(57)【要約】【課題】微調整を可能としつつ、簡易的な構造かつ省スペースの点で有利な風量調整ダンパーを提供する。【解決手段】風量調整ダンパー２４は、回転板の回転角度を変化させて風量を調整するものであり、回転軸が同一直線上に位置する第１および第２の回転板２、３を備える。ここで、第１および第２の回転板２、３は、個別に回転角度を変化させることが可能に構成される。【選択図】図１
2016099024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転板の回転角度を変化させて風量を調整するダンパーであって、
回転軸が同一直線上に位置する第１および第２の前記回転板を備え、
前記第１および第２の回転板は、個別に回転角度を変化させることが可能に構成されることを特徴とする風量調整ダンパー。
【請求項２】
前記第１および第２の回転板は、回転角度に対する流量変化特性が異なることを特徴とする請求項１に記載の風量調整ダンパー。
【請求項３】
前記第１の回転板には開口が形成され、
前記開口の内側に前記第２の回転板が配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の風量調整ダンパー。
【請求項４】
前記第１の回転板は、前記第２の回転板の外周寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の風量調整ダンパー。
【請求項５】
前記第１の回転板の回転軸は、円筒軸であり、
前記第２の回転板の回転軸は、円筒軸の内部を貫通する、
ことを特徴とする請求項４に記載の風量調整ダンパー。
【請求項６】
前記第１の回転板の回転軸および前記第２の回転板の回転軸を支持するケーシングを備え、
前記第１の回転板の回転軸および前記第２の回転板の回転軸は、それぞれ、同一の側の端部が前記ケーシングから突出し、
前記ケーシングの外部に配置され、前記突出した各回転軸の端部に回転のための外力を付与する外力付与手段をさらに備える、
ことを特徴とする請求項５に記載の風量調整ダンパー。
【請求項７】
前記外力付与手段は、
前記ケーシングから突出している側の前記第１の回転板の回転軸の端部に設置される第１のハンドルと、
前記ケーシングから突出している側の前記第２の回転板の回転軸の端部に設置される第２のハンドルと、を含み、
前記第２のハンドルは、前記第１のハンドルに締結可能であり、
前記第１のハンドルは、前記ケーシングに締結可能である、
ことを特徴とする請求項６に記載の風量調整ダンパー。
【請求項８】
前記外力付与手段は、前記第１の回転板の回転軸と前記第２の回転板の回転軸とを個別に回転させる駆動手段を含むことを特徴とする請求項６に記載の風量調整ダンパー。
【請求項９】
流路にある回転板の回転角度を変化させて風量を調整するダンパーを含むシステムであって、
請求項８に記載の風量調整ダンパーと、
前記流路内の圧力または流量を検出する検出手段と、
前記検出手段が出力した検出信号に基づいて、前記駆動手段の動作を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする風量調整ダンパーシステム。
【請求項１０】
所定の処理を行うためのチャンバーを有するリソグラフィ装置であって、
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の風量調整ダンパーを備え、
前記風量調整ダンパーは、前記チャンバーの内部の空間に供給される温調空気の風量を調整する、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、風量調整ダンパー、風量調整ダンパーシステム、リソグラフィ装置、および物品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示デバイスなどを製造する工程におけるリソグラフィー工程では、原版（マスクなど）に形成されているパターンを、投影光学系などを介して基板（表面にレジスト層が形成されたガラスプレートなど）に転写する露光装置が用いられる。このような露光装置では、近年、ガラスプレートの大型化や回路パターンの微細化に伴い、高いアライメント精度（位置決め精度）が要求されている。ここで、原版または基板のいずれかを保持するステージの位置は、一般的にレーザー干渉計またはエンコーダを用いて計測される。その場合、測長光路中の空気の屈折率が変化すると、測長誤差の原因となり、望ましくない。例えば、空気の屈折率は温度や湿度で変化するが、温度の場合で考えると、その変化率は約１ｐｐｍ／°Ｃである。したがって、測長距離を３０００ｍｍと想定し、温度による測長誤差を例えば０．２μｍ以下にするためには、空気の温度変化を０．０６°Ｃ以下に抑えなければならない。そこで、露光装置は、一般的にステージの周囲空間などを空調するための機構を備えている。その場合の空調機構は、例えば、ステージの周囲空間に温度安定性±０．０５°Ｃで精密に温度制御された所定の風量の温調空気を供給する。特に、温度制御の特性は風量の影響を受けるため、高精度な温度制御を行うためには、風量の微調整が要求される。特許文献１は、このような風量の微調整を行うための風量調整ダンパーとして採用しうる対向翼ダンパーを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２５４３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されているダンパーは、特に開閉する弁板に特殊な形状（構成部分）を有するため、製作コストが高くなる可能性があり、また、風量の変化特性を略リニアなものとするため、ダンパー自体が大型化する可能性がある。したがって、そのようなダンパーは、微調整を可能とはするものの、簡易的な構造とする点や、省スペース化を実現する点などにおいては、改善の余地がある。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、微調整を可能としつつ、簡易的な構造かつ省スペースの点で有利な風量調整ダンパーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、回転板の回転角度を変化させて風量を調整するダンパーであって、回転軸が同一直線上に位置する第１および第２の回転板を備え、第１および第２の回転板は、個別に回転角度を変化させることが可能に構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、例えば、微調整を可能としつつ、簡易的な構造かつ省スペースの点で有利な風量調整ダンパーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る風量調整ダンパーの構成を示す図である。
【図２】各風量調整板の回転角度に対する流量変化特性を示すグラフである。
【図３】風量調整中の風量調整ダンパーの状態を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る露光装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
【００１０】
まず、本発明の一実施形態に係る風量調整ダンパー（以下、単に「ダンパー」という。）の構成について説明する。図１は、本実施形態に係るダンパー２４の構成を示す概略斜視図である。ダンパー２４は、空調用や換気用などのダクトの途中に設置され、ダクト内を流れる気体（例えば空気）の風量（流量）を調節したり、またはその気体を遮断したりする装置である。ダンパー２４は、ケーシング１と、粗調整用の第１の風量調整板２と、微調整用の第２の風量調整板３と、第１の回転軸８と、第２の回転軸９と、第１のハンドル４と、第２のハンドル５とを有する。
【００１１】
ケーシング１は、その内部を調整対象である気体を通過可能とする流路とし、その内部に第１風量調整板２および第２風量調整板３を支持する円筒形状の本体部材である。ケーシング１の円筒の両端（開口端）には、設置対象であるダクトの端部が接続される。第１風量調整板２は、ケーシング１の円筒軸に直交する第１回転軸８を基準として回転可能とする第１の回転板である。第１風量調整板２の平面形状は、ケーシングの内径と略同一の外径を有する円環形である。第２風量調整板３は、ケーシング１の円筒軸に直交する第２回転軸９を基準として回転可能とする第２の回転板である。第２風量調整板３の平面形状は、第１風量調整板２の内径すなわち開口の大きさと略同一の外径を有する円形であり、第１風量調整板２の開口の内側に配置される。また、第１風量調整板２の断面積は、第２風量調整板３の断面積と同一か、または、それよりも大きいことが望ましい。これは、以下で詳説するが、風量を微調整可能とするように通風断面積を変化させるに好適であるからである。また、第１風量調整板２である円環と、第２風量調整板３である円とは、その形状中心を略同一としているが、これは、ケーシング１内の流路の断面形状（円）の形状中心とも略一致するので、流路内で無駄な逆流等を生じづらくさせる点においても有利である。
【００１２】
第１回転軸８と第２回転軸９とは、それぞれ同一直線上に位置する。このうち、第１回転軸８は、円筒軸であり、外側の一部に第１風量調整板２が固定（接続または一体化）されている。第２回転軸９は、第１回転軸８（円筒軸）の内部を貫通する軸であり、外周部分の一部に第２風量調整板３が固定（接続または一体化）されている。第２回転軸９の一方の端部は、ケーシング１の壁部に回転可能に支持されている。一方、第２回転軸９の他方の端部は、第１回転軸８の内部に支持されつつ回転可能に貫通し、ケーシング１の壁部から外部に向けて突出し、第２ハンドル５に接続されている。これに対して、第１回転軸８の一方の端部は、第２回転軸９の側壁に回転可能に支持されている。一方、第１回転軸８の他方の端部は、ケーシング１の壁部に支持されつつ回転可能に貫通し、ケーシング１の壁部から外部に向けて突出し、第１ハンドル４に接続されている。このような構成によれば、第１風量調整板２と第２風量調整板３とは、回転角度によっては、図１に示すように、ケーシング１の内部において１枚の平板状に整列することもできる。
【００１３】
第１ハンドル４と第２ハンドル５とは、例えば、上記のようにケーシング１の外部に配置され、個別に回転可能として重なり合う円板であり、第１風量調整板２と第２風量調整板３とに外力（回転力）を与える外力付与手段である。この場合、第１ハンドル４の外径を第２ハンドル５の外径よりも大きくしておけば、ユーザーは、第１ハンドル４を回転させる、すなわち手動で外力を与えることで、第１風量調整板２を開閉（回転）させることができる。一方、ユーザーは、第１ハンドル４上にある第２ハンドル５を回転させることで、第２風量調整板３を開閉（回転）させることができる。すなわち、このような構成によれば、ユーザーは、第１風量調整板２の開閉と第２風量調整板３の開閉とを個別に調整することができる。また、第１ハンドル４は、それに形成されている溝部を介して設置されている第１固定ナット６を用いることで、第１風量調整板２を所定の開度に維持させることができる。同様に、第２ハンドル５は、それに形成されている溝部を介して設置されている第２固定ナット７を用いることで、第２風量調整板３を所定の開度に維持させることができる。この場合、第２固定ナット７は、第１ハンドル４に設けられている不図示のスタッドボルトに締結可能とされ、一方、第１固定ナット６は、ケーシング１に設けられている不図示のスタッドボルトに締結可能とされる。
【００１４】
次に、本実施形態における風量調整について説明する。図２は、粗調整用の第１風量調整板２と微調整用の第２風量調整板３とのそれぞれの回転角度（開度）に対する流量変化特性を示すグラフである。ここでは、流量変化特性として、回転角度に対して気体が通過することができる流路内の断面積（通風断面積）を例示している。なお、図中、原点は、回転角度がゼロ、すなわち第１風量調整板２と第２風量調整板３とが略一体となって流路を覆い、気体が遮蔽される状態に相当する。
【００１５】
図２（ａ）では、第２風量調整板３の回転角度をゼロとしつつ、第１風量調整板２のみ回転角度を変化させた場合と、第１風量調整板２の回転角度をゼロとしつつ、第２風量調整板３のみ回転角度を変化させた場合とを示す。上記説明した第１風量調整板２と第２風量調整板３との外径および断面積の関係から、ある回転角度に対して、第１風量調整板２については通風断面積の変化が大きく、第２風量調整板３については通風断面積の変化が小さい。したがって、第１風量調整板２を用いれば、風量を粗調整できるのに対し、第２風量調整板３を用いれば、第１風量調整板２での調整と比較して風量を微調整できる。
【００１６】
図２（ｂ）では、ある回転角度まで第１風量調整板２と第２風量調整板３とを同時に回転させ、ある回転角度から第２風量調整板３のみ回転角度を変化させた場合を示す。例えば、目標風量があるならば、その目標風量の近傍となるまでは第１風量調整板２と第２風量調整板３とを同時に回転させる粗調整を行い、その後、目標風量となるように、第２風量調整板３のみを用いた微調整を行いうる。このように、ダンパー２４は、第１風量調整板２と第２風量調整板３とを使い分けることによって、開度のダイナミックレンジを拡げて、ダイナミックレンジが許容するどの風量範囲においても精度良くかつ迅速に微調整が可能となる。
【００１７】
図３は、風量調整中のダンパー２４の状態を示す概略斜視図である。図２（ｂ）で例示した風量調整に対応させて説明すると、ユーザーは、ある回転角度までは、第１固定ナット６を緩めた上で第１ハンドル４を回転させることにより、通風断面積を変化させて、風量を粗調整する（図３（ａ）参照）。このとき、第２風量調整板３と一体化している第２ハンドル５は、第２固定ナット７により第１ハンドル４に締結されていれば、第１風量調整板２とともに（回転角度を同じくして）回転する。そして、風量が目標風量の近傍となったら、ユーザーは、第１固定ナット６を締結後、第２固定ナット７を緩めた上で、第２ハンドル５を回転させることにより、風量を微調整する（図３（ｂ）参照）。
【００１８】
このように、ダンパー２４は、風量の微調整が可能である。その上で、第１風量調整板２と第２風量調整板３とは、それぞれ、同一直線上に位置する各回転軸８、９を基準として回転する。したがって、複数の風量調整板がそれぞれ異なる位置にある複数の回転軸を基準として回転する場合に比べて、全体的に省スペース化を実現できる。また、第１風量調整板２および第２風量調整板３は、円環形状または円形状と単純形状であり、それに対する各回転軸の取り付けも簡単なものである。したがって、ダンパー２４は、全体的に見ても、従来の風量を微調整可能とするダンパーと比較して、構成が簡易的である。
【００１９】
以上のように、本実施形態によれば、微調整を可能としつつ、簡易的な構造かつ省スペースの点で有利な風量調整ダンパーを提供することができる。
【００２０】
なお、上記説明では、ケーシング１が円筒形状で、その内部に設置される各風量調整板の形状も、ケーシング１内の流路の断面形状に合わせて円形または円環形としている。しかしながら、本発明は、これに限定されない。例えば、ケーシング１内の流路の断面形状にもよるが、各風量調整板２、３の形状を、矩形または矩形枠形状としてもよいし、矩形（矩形枠形状）と円形（円環形）との組み合わせとしてもよいし、２つの半円としてもよい。なお、第１風量調整板２と第２風量調整板３との形状の比較として、上記説明では、各風量調整板２、３の形状が円形（円環形）であるため外径で比較した。これに対して、各風量調整板の形状が矩形等である場合には、外周寸法で比較しても構わない。なお、外径で比較した場合であっても、大小関係については、外周寸法と同義である。
【００２１】
また、上記説明では、風量調整板の設置数は、第１風量調整板２と第２風量調整板３との２つとする場合を例示したが、２つ以上の複数有るものとし、上記のように粗調整と微調整とを実施できる範囲において増加させてもよい。
【００２２】
また、上記説明では、第１風量調整板２と第２風量調整板３との回転角度の調整を、ユーザーが外力付与手段である第１ハンドル４と第２ハンドル５とを用いて手動で行うものとした。しかしながら、本発明は、これに限定されない。すなわち、各ハンドル４、５に代わる外力付与手段として、不図示であるが、第１回転軸８と第２回転軸９とに対して個別に回転力を与える駆動手段を別途設置し、第１風量調整板２および第２風量調整板３の回転角度を自動で調整するものとしてもよい。この場合、駆動手段としては、例えば、モーター、または空気や油等の流体エネルギーを変換するアクチュエーターなどが採用可能である。
【００２３】
さらに、第１風量調整板２と第２風量調整板３との回転角度を駆動手段を用いて自動で調整する場合、ダンパー２４に加えて、上記駆動手段と、検出手段と、ダンパー制御手段とを含む風量調整ダンパーシステムを構成することもあり得る。この場合、検出手段は、流路中（ケーシング１内またはケーシング１が接続されるダクト内）の圧力または風量（風速）などを検出する。例えば、検出手段は、検出対象を圧力とするならば、圧力センサー等の圧力計であり、または、検出対象を風量とするならば、プローブ等の風量計（流量計）が相当する。ダンパー制御手段は、検出手段が出力した検出信号に基づいて、予め設定された風量となるように駆動手段の動作を制御する。このような風量調整ダンパーシステムによれば、上記ダンパー２４による効果とともに、風量調整をリアルタイムに効率良く行うことが可能となる。
【００２４】
（リソグラフィ装置）
次に、本発明の一実施形態に係るリソグラフィ装置について説明する。図４は、本実施形態に係るリソグラフィ装置の一例としての露光装置１００の構成を示す概略図である。露光装置１００は、例えば、液晶表示デバイスの製造工程におけるリソグラフィー工程で使用されるものであり、マスクに形成されているパターンの像をガラスプレート上（基板上）に露光（転写）する。なお、図中、投影光学系１４の光軸に平行にＺ軸を取り、Ｚ軸に垂直な同一平面内で露光時のマスクとガラスプレートとの相対的な移動方向にＹ軸を取り、Ｙ軸に直交する非走査方向にＸ軸を取っている。露光装置１００は、照明光学系１６と、マスクステージ１３と、投影光学系１４と、プレートステージ１５と、制御部３１とを備える。
【００２５】
照明光学系１６は、光源３０からの光束を調整して、結像光学系１７を介してマスク（不図示）を照明する。マスクは、ガラスプレート上に転写されるべきパターンが形成された、例えば石英ガラス製の原版である。マスクステージ１３は、マスクを保持してＸ、Ｙの各軸方向に可動である。投影光学系１４は、マスクを通過した光をガラスプレート（不図示）上に投影する。ガラスプレートは、表面上にレジスト（感光剤）が塗布された基板である。プレートステージ１５は、ガラスプレートを保持し、Ｘ、Ｙ、Ｚ（それぞれの回転方向であるωｘ、ωｙ、ωｚを含む場合もある）の各軸方向に可動である。制御部３１は、例えばコンピューターなどで構成され、露光装置１００の各構成要素に回線を介して接続されて、プログラムなどに従って各構成要素の動作および調整などを制御し得る。なお、制御部３１は、露光装置１００の他の部分と一体で（共通の筐体内に）構成してもよいし、露光装置１００の他の部分とは別体で（別の筐体内に）構成してもよい。
【００２６】
また、露光装置１００は、マスクステージ１３、投影光学系１４およびプレートステージ１５などの露光装置本体を覆う恒温チャンバー１０と、恒温チャンバー１０に連設されている空調機械室１８とを備える。恒温チャンバー１０は、所定の処理を行うためのチャンバーであり、ここでは、露光装置本体を取り巻く周囲環境を、空調機械室１８による空調により一定に維持する。空調機械室１８は、送風機１９と、冷却器２０と、一次加熱器２１と、吹き出し部２２とを含み、最終的には、温調された空気を、吹き出し口２２から恒温チャンバー１０内の各所に供給する。なお、空調機械室１８に含まれる各構成要素の設置数は、１つまたは図４に図示されている数に限られず、複数としうる。特に、精密な温度制御が要求される各ステージ１３、１５の周囲空間に温調空気を供給する吹き出し部２２へ連通するダクト内には、精密ヒーター２３と、風量調整ダンパー２４と、風量を検出する検出部２５とが設けられている。また、ダクト外には、ダンパー制御部２６が設けられている。ここでの風量調整ダンパー２４、検出部２５およびダンパー制御部による作用は、上記風量調整ダンパーシステムで説明した内容と同様である。露光装置１００において、このような風量調整ダンパーシステムを用いることにより、各ステージ１３、１５が移動することに起因する恒温チャンバ−１０内の圧力変化や、周囲環境の変化等に起因する微小な風量の変動に対して、常に安定した風量を維持できる。したがって、恒温チャンバ−１０内において、精密ヒーター２３の稼働が安定し、より高精度な温度制御が実現できる。
【００２７】
このように、本実施形態に係る露光装置によれば、各ステージの周囲空間を所望の温度に維持することができるので、例えばアライメント精度の低下を抑え、最終的にはより高精度にパターンを転写することが可能となる。さらに、この露光装置によれば、簡易的な構造かつ省スペースの点で有利な風量調整ダンパーを用いるので、露光装置全体としてのコストを抑制する、または、風量調整ダンパーを設置する位置の選択範囲が拡がるなどの点で有利となる。
【００２８】
なお、上記説明では、リソグラフィ装置として露光装置を例示したが、リソグラフィ装置は、それに限らず、例えば、基板上のインプリント材を成型して基板上にパターンを形成するインプリント装置などであってもよい。
【００２９】
（物品の製造方法）
一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。当該製造方法は、物体（例えば、感光剤を表面に有する基板）上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターン（例えば潜像パターン）を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を加工する工程（例えば、現像工程）とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程（酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど）を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも１つにおいて有利である。
【００３０】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
【符号の説明】
【００３１】
２    第１風量調整板
３    第２風量調整板
８    第１回転軸
９    第２回転軸
２４  風量調整ダンパー
【図１】
2016099024.tif 000003
【図２】
2016099024.tif 000004
【図３】
2016099024.tif 000005
【図４】
2016099024.tif 000006