(57)【要約】【課題】共通液室の壁面で反射した圧力波に起因する吐出不良を安定的に抑制可能な液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出口が形成された第１の基板と、共通液室１６と、予め定められた時間差で順次駆動されることによってエネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子と、を有する。複数のエネルギ発生素子が駆動するたびに発生する圧力波が、複数のエネルギ発生素子の位置に応じて共通液室１６の第１の基板に対向する第１の面３０にそれぞれ設定された開始点から第１の面３０に垂直な方向に進行して第１の面３０に対向する共通液室の壁面で反射し、その後、第１の面３０に設定された終点に戻る。壁面は傾斜部３１、３２、３３を備え、傾斜角度を用いて求められる各圧力波の伝播時間が時間差よりも長いかまたは短い。【選択図】  図３
2016128224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数の吐出口が形成された第１の基板と、前記複数の吐出口に連通し、前記液体を貯蔵する共通液室と、前記共通液室と前記複数の吐出口との間に配置され、予め定められた時間差で順次駆動されることによって前記共通液室から供給された前記液体を前記複数の吐出口から吐出させるためのエネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子と、を有する液体吐出ヘッドであって、
前記複数のエネルギ発生素子が駆動するたびに発生する圧力波が、前記複数のエネルギ発生素子の位置に応じて前記共通液室の前記第１の基板と対向する第１の面にそれぞれ設定された開始点から前記第１の面に垂直な方向に進行して前記第１の面に対向する前記共通液室の壁面で反射し、その後、前記第１の面に設定された終点に戻り、
前記壁面は前記第１の面に対して傾斜した傾斜部を備え、前記傾斜部と前記第１の面とのなす傾斜角度を用いて求められる、各圧力波の前記開始点から前記終点までの伝播時間が、前記時間差よりも長いかまたは前記時間差よりも短い、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記時間差と前記伝播時間との差の絶対値が規定時間よりも長い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記規定時間が０．５μｓである、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記伝播時間ｔＲが、
【数１】
2016128224.tif 000004
により求められる（ただし、Ｌ１は前記開始点から前記圧力波が前記傾斜部で反射する点までの直線距離であり、θは前記第１の面と前記傾斜部とのなす角度であり、ｃは前記液体中の音速である）、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記時間差が３．８μｓであり、
前記傾斜部が、前記傾斜角度が８°である第１の傾斜部と、前記傾斜角度が４５°であり、前記第１の傾斜部よりも前記第１の面から離れた第２の傾斜部と、前記傾斜角度が８°であり、前記第２の傾斜部よりも前記第１の面から離れた第３の傾斜部とを有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記時間差が５．１μｓであり、
前記傾斜部が、前記傾斜角度が５°である第１の傾斜部と、前記傾斜角度が４５°であり、前記第１の傾斜部よりも前記第１の面から離れた第２の傾斜部とを有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の吐出口を有する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出方式としてサーマル方式とピエゾ方式とが知られている。サーマル方式は、液体を吐出するエネルギを発生させるエネルギ発生素子として電気熱変換素子（ヒータ）を利用する。ピエゾ方式は、エネルギ発生素子として圧電素子（ピエゾ）を利用する。これらの方式で液体を吐出する液体吐出ヘッドは、一般的に複数の吐出口と、各吐出口に個別に連通する複数の圧力室と、各圧力室に供給される液体を貯蔵する共通液室とを有する。エネルギ発生素子は、各圧力室内に設けられている。
【０００３】
上述した液体吐出ヘッドでは、エネルギ発生素子の駆動によって液体の圧力波が発生する。この圧力波は、共通液室を介して他のエネルギ発生素子が設けられた圧力室に伝播する。この伝播によって、メニスカス振動が発生する場合がある。メニスカスが大きく振動している状態で液体が吐出されると、メニスカスの高さや速度に応じて吐出液滴の体積、速度、および方向が変化する場合がある。この場合、記録画像の濃度変化やスジの発生等の画像劣化を招くおそれがある。また、過大に隆起したメニスカスが吐出口形成面に濡れ広がることにより、吐出方向の変化や不吐出状態を招くおそれもある。
【０００４】
上述した圧力波には、伝播経路の違いに応じて２種類の圧力波に分類される。一方は、圧力波が発生した圧力室から当該圧力室に近接する他の圧力室へ直接伝播する圧力波、いわゆる直接伝搬波である。他方は、共通液室内に進行した後、共通液室の壁面で反射して他の圧力室へ伝播する圧力波、いわゆる壁面反射波である。
直接伝搬波によるメニスカス振動の大きさは、圧力室間の距離に依存する。そのため、互いに離れた圧力室間では直接伝搬波の影響が小さい。また直接伝搬波によるメニスカス振動は、直接伝搬波の発生直後に短時間だけ生じる。そのため、時分割駆動と呼ばれるエネルギ発生素子の駆動方式によって、互いに近接する圧力室にそれぞれ設けられたエネルギ発生素子の駆動時間差を可能な限り大きくすれば、直接伝搬波の影響を受けにくい吐出が可能となる。
壁面反射波によるメニスカス振動は、圧力波の反射挙動に依存する。具体的には、壁面反射波の開始点から共通液室の壁面までの距離や、壁面の角度によって、メニスカス振動の大きさやピーク時間が大きく変化する。上述した時分割駆動では、その方式の都合上エネルギ発生素子の位置ごとに駆動時間差を細かく変えることは困難である。そのため、全てのエネルギ発生素子について壁面反射波の影響を受けにくい駆動を実現するのは困難である。
【０００５】
上記のような壁面反射波による吐出不良を解決する技術が特許文献１および特許文献２に開示されている。特許文献１、２に記載の技術では、共通液室の内部に気泡をトラップさせ、その気泡の圧力緩衝効果によって、共通液室内の圧力変動を吸収することが可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第２９６２７２６号公報
【特許文献２】特開平７−１５６４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１、２に記載の技術のように気泡による圧力緩衝効果を利用する場合、共通液室内で長期にわたり気泡の体積を一定に保ち続けることは困難である。そのため、安定した圧力緩衝効果を持続させることが困難になる。
本発明は、共通液室の壁面で反射した圧力波に起因する吐出不良を安定的に抑制可能な液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、液体を吐出する複数の吐出口が形成された第１の基板と、前記複数の吐出口に連通し、前記液体を貯蔵する共通液室と、前記共通液室と前記複数の吐出口との間に配置され、予め定められた時間差で順次駆動されることによって前記共通液室から供給された前記液体を前記複数の吐出口から吐出させるためのエネルギを発生させる複数のエネルギ発生素子と、を有する液体吐出ヘッドである。前記複数のエネルギ発生素子が駆動するたびに発生する圧力波が、前記複数のエネルギ発生素子の位置に応じて前記共通液室の前記第１の基板と対向する第１の面にそれぞれ設定された開始点から前記第１の面に垂直な方向に進行して前記第１の面に対向する前記共通液室の壁面で反射し、その後、前記第１の面に設定された終点に戻る。前記壁面は前記第１の面に対して傾斜した傾斜部を備え、前記傾斜部と前記第１の面とのなす傾斜角度を用いて求められる、各圧力波の前記開始点から前記終点までの伝播時間が、前記時間差よりも長いかまたは前記時間差よりも短い。
【０００９】
本発明では、共通液室の壁面が、どのエネルギ発生素子が駆動しても圧力波の伝播時間を駆動の時間差と一致させない傾斜部を備えているので、圧力波の重なりに起因するメニスカス振動の増幅を安定的に抑制できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、共通液室の壁面で反射した圧力波に起因する吐出不良を安定的に抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態１に係る液体吐出ヘッドを吐出口形成面側から見た平面図である。
【図２】図１に記載の切断線ｈ−ｈ’に沿った断面図である。
【図３】図１に示す切断線ｉ−ｉ’に沿った断面図である。
【図４】図３に示す共通液室の壁面に関する寸法表である。
【図５】図３に示す第１の傾斜部周辺の拡大図である。
【図６】グループ化されたエネルギ発生素子の模式図である。
【図７】エネルギ発生素子の駆動ブロックを示す表である。
【図８】比較例の液体吐出ヘッドの断面図である。
【図９】図８に示す共通液室の壁面に関する寸法表である。
【図１０】比較例の液体吐出ヘッドについて圧力波発生素子と伝播時間との関係を示すグラフである。
【図１１】比較例の液体吐出ヘッドについて圧力波が発生してからの経過時間とメニスカス振動速度との関係を示すグラフである。
【図１２】エネルギ発生素子の位置関係を示す模式図である。
【図１３】２つのメニスカス振動速度の時間経過に伴う変動を示すグラフである。
【図１４】比較例の液体吐出ヘッドにおいて圧力波が伝搬する様子を数値計算した例を示す。
【図１５】実施形態１の液体吐出ヘッドについて圧力波発生素子と伝播時間との関係を示すグラフである。
【図１６】実施形態１の液体吐出ヘッドについて圧力波が発生してからの経過時間とメニスカス振動速度との関係を示すグラフである。
【図１７】実施形態２の液体吐出ヘッドの断面図である。
【図１８】図１７に示す共通液室の壁面に関する寸法表である。
【図１９】図１７における壁面形状の寸法を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体吐出ヘッドを吐出口形成面側から見た平面図である。図２は、図１に記載の切断線ｈ−ｈ’に沿った断面図である。
本実施形態の液体吐出ヘッドでは、図２に示すように、タンク１８に収容されているインクが、供給路１７を通じて第２の共通液室１６に供給される。このインクは、第２の共通液室１６から第１の共通液室１５に供給される。本実施形態では、第１の共通液室１５と第２の共通液室１６とが、インクを貯蔵可能な共通液室１１０を構成している。
第１の共通液室１５には、複数の流路１３が連通している。各流路１３には、インク内の異物を除去するためのフィルタ１４が設けられている。フィルタ１４を通過したインクは圧力室１９に流入する。圧力室１９内にはエネルギ発生素子１２が配置されている。本実施形態では、１０２４個のエネルギ発生素子１４が設けられている。各エネルギ発生素子１２に対向する位置には吐出口１１が形成されている。流路１３と圧力室１９と吐出口１１とは第１の基板１１１に形成されている。第１の共通液室１５は第２の基板１１２に形成されている。第２の共通液室１６は第３の基板１１３に形成されている。第１の基板１１１と第２の基板１１２と第３の基板１１３は、この順に積層されている。
本実施形態では、エネルギ発生素子１２は、インクを吐出口１１から吐出させるのに必要な熱エネルギを発生させる発熱素子である。駆動信号の入力によりエネルギ発生素子１２が発熱すると、素子近傍のインクが発泡し、このとき発生した気泡の圧力でインクが吐出口１１から吐出される。本発明では、エネルギ発生素子１２は圧電素子であってもよい。
【００１３】
図３は、図１に示す切断線ｉ−ｉ’に沿った断面図である。切断線ｉ−ｉ’は、第１の共通液室１５の中心線に沿って延びている。図３に示すように、本実施形態の第２の共通液室１６の壁面は、第１の共通液室１５の第１の基板１１１に対向する第１の面３０（吐出口１１との連通部が形成された面）と対向している。そして、この壁面は、第１の面３０に対して傾斜した３つの傾斜部を備えている。３つの傾斜部は、第１の傾斜部３１と、第２の傾斜部３２と、第３の傾斜部３３とで構成されている。第２の傾斜部３２は、第１の傾斜部３１に連続し、第１の傾斜部３１よりも第１の面３０から離れている。第３の傾斜部３３は、第２の傾斜部３２に連続し、第２の傾斜部３２よりも第１の面３０から離れている。以下、第１の傾斜部３１と第１の面３０とのなす傾斜角度をθ１と示し、第２の傾斜部３２と第１の面３０とのなす傾斜角度をθ２と示し、第３の傾斜部３３と第１の面３０とのなす傾斜角度をθ３と示す。第１の傾斜部３１の水平方向の長さをｘ１と示し、第２の傾斜部３２の水平方向の長さをｘ２と示し、第３の傾斜部３３の水平方向の長さをｘ３と示す。第１の共通液室１５と第２の共通液室１６を合わせた鉛直方向の長さをｙ０と示す。図４は、図３に示す共通液室の壁面に関する寸法表である。
【００１４】
図５は、図３に示す第１の傾斜部３１周辺の拡大図である。以下、図５を用いて圧力波（壁面反射波）の伝搬経路について説明する。図５において点Ｓは、複数のエネルギ発生素子１２の位置に応じて第１の面３０にそれぞれ設定された圧力波の開始点である。圧力波の発生源はエネルギ発生素子１２であるので、圧力波の開始点は、本来、各エネルギ発生素子１２に位置する。しかし、本発明では、便宜上、圧力波の開始点は、第１の共通液室１５の第１の基板１１１に対向する第１の面３０に設定されている。本実施形態では、点Ｓは、各エネルギ発生素子１２から第１の共通液室１５に向かって延びた直線と第１の共通液室１５の中心線（切断線ｉ−ｉ’）との交点に設定されている。しかし、本発明では、点Ｓは、第１の面３０における他の任意の点に設定することも可能である。点Ｐは、点Ｓから第１の面３０に垂直な方向に進行した圧力波が第１の傾斜部３１に接触する（反射する）点である。点Ｑは、点Ｐで反射した圧力波の、第１の面３０に設定された終点である。圧力波が点Ｐから出発して点Ｑに戻ってくるまでの伝播時間ｔＲは、下記の式により求められる。
【００１５】
【数１】
2016128224.tif 000003
上記の式において、Ｌ１は、点Ｓから点Ｐまでの直線距離である。Ｌ２は、点Ｐから点Ｑまでの直線距離であり、Ｌ１／ｃｏｓ２θ1と換算できる。ｃは、共通液室１１０に貯蔵された液体中の音速である。
【００１６】
以下、図６〜図８を参照しながら本実施形態のエネルギ発生素子の駆動方法について説明する。図６は、グループ化されたエネルギ発生素子１２の模式図である。図６に示すように、互いに隣接する複数のエネルギ発生素子１２が所定の数ごとにグループ化される。各グループにおいて、エネルギ発生素子１２は、駆動順序が設定され、予め定められた時間差で順次駆動される。以下、この駆動順序のことを駆動ブロック、駆動ブロック間の時間差のことをブロック間隔と呼ぶ。図６では、１２個のエネルギ発生素子１２が３つのグループに分けられ、グループ毎に４つの駆動ブロックが設定されている。本実施形態の液体吐出ヘッドでは、実際には、エネルギ発生素子１２の総数が１０２４個であり、駆動ブロック数が１６であり、１つの駆動ブロックに属するエネルギ発生素子１２の数は３２である。
【００１７】
図７は、エネルギ発生素子１２の駆動ブロックを示す表である。図７において、Ｓｅｇ.Ｎ（Ｎは数字）は、各エネルギ発生素子１２の位置に応じて割り当てられたエネルギ発生素子１２の識別番号である。本実施形態では、エネルギ発生素子１２は、図２に示したように、第１の共通液室１５を挟んで２列に並べられている。図７に示す表において、Ｓｅｇ．０、２、４・・・３０のように偶数のＳｅｇ．に対応するエネルギ発生素子１２の列をＯＤＤ列と呼ぶ。Ｓｅｇ.１、３、５・・・３１のように奇数のＳｅｇ．に対応するエネルギ発生素子１２の列をＥＶＥＮ列と呼ぶ。ＯＤＤ列、ＥＶＥＮ列でそれぞれ異なる駆動ブロックが設定されており、このＯＤＤ列、ＥＶＥＮ列を合わせた３２個のエネルギ発生素子１２が一つのグループを構成している。Ｓｅｇ．３２以降に対応するエネルギ発生素子１２は、全てこの駆動プロックの繰り返しとなる。
【００１８】
（比較例）
図８は、比較例の液体吐出ヘッドの断面図である。図８において、実施形態１の液体吐出ヘッドと同様の構成要素には同じ符号が付されている。図８に示すように、比較例の第２の共通液室１６は、傾斜角が一定の傾斜部４１を備えている。傾斜部４１の水平方向の長さをｘ４と示す。傾斜部４１と第１の面３０とのなす角度をθ４と示す。図９は、図８に示す共通液室の壁面に関する寸法表である。
【００１９】
図１０は、比較例の液体吐出ヘッドについて圧力波を発生させたエネルギ発生素子と伝播時間との関係を示すグラフである。図１０には、Ｓｅｇ．０〜Ｓｅｇ.５１１のエネルギ発生素子１２がそれぞれ発生させた圧力波の伝播時間ｔＲが示されている。伝播時間ｔＲは上記の数式（１）により求められている。
【００２０】
図１１は、比較例の液体吐出ヘッドについて圧力波が発生してからの経過時間とメニスカス振動速度との関係を示すグラフである。図１１には、１番目の駆動ブロックに属する６４個のエネルギ発生素子１２を同時に駆動したときに液体を吐出していない特定の吐出口１１におけるメニスカス振動速度が示されている。具体的には、８番目の駆動ブロックに属するエネルギ発生素子１２に対応する吐出口１１のメニスカス振動速度が示されている。
図１１において、圧力波が発生してから約０．８μｓ後にピークとなるメニスカス振動は、直接伝搬波に起因する。一方、圧力波が発生してから約２μｓ以降にピークとなるメニスカス振動は、壁面反射波に起因する。このメニスカス振動は、Ｓｅｇ．６３〜Ｓｅｇ．４４７の順にほぼ等間隔で発生している。図１２は、エネルギ発生素子１２の位置関係を示す模式図である。
【００２１】
図１３は、２つのメニスカス振動速度の時間経過に伴う変動を示すグラフである。図１３は、ブロック間隔が３．８μｓに設定された比較例の液体吐出ヘッドを連続的に駆動したときにメニスカス振動速度を示す。Ｓｅｇ．２５５では、図１１に示すように壁面反射波によるメニスカス振動がピークとなる時間が約３．９μｓであり、ブロック間隔の値（３．８μｓ）とほぼ同じである。そのため、液体が連続的に吐出される場合、繰り返し発生する壁面反射波が重なり合うことによってメニスカス振動が増幅する。壁面反射波によるメニスカス振動がピークとなる時間が約４．９μｓであるＳｅｇ．３８３では、メニスカス振動は増幅していない。
【００２２】
本比較例のように傾斜部４１の角度が一定である場合、壁面反射波の伝播時間ｔＲは、素子列の端部に位置するエネルギ発生素子１２から素子列の中央部に位置するエネルギ発生素子１２に向かって徐々に大きくなる（図１０参照）。ブロック間隔を３．８μｓよりも短く設定した場合、端部側に位置するエネルギ発生素子１２に対応する吐出口１１でメニスカス振動の増幅が起こる。ブロック間隔を３．８μｓよりも長くした場合、中央部側に位置するエネルギ発生素子１２に対応する吐出口１１でメニスカス振動の増幅が起こる。つまり、圧力波が反射する壁面の傾斜角度が一定である場合、ブロック間隔を３．８μｓより長くしたり短くしたりしても、壁面反射波によるメニスカス振動の増幅が発生する。
時分割駆動で設定可能なブロック間隔の上限は、エネルギ発生素子１２の駆動周波数の逆数を駆動ブロック数で割った値である。近年の高速記録に伴う駆動周波数の増加を考慮すると、ブロック間隔をさほど大きくすることはできない。ブロック間隔を小さくしすぎると、直接伝搬波によるメニスカス振動の影響を回避することができなくなる。このように、時分割駆動におけるブロック間隔の自由度はさほど高くない。そのため、上述したようにブロック間隔の調整のみで壁面反射波の増幅を回避することは難しい。
【００２３】
図１４は、本比較例の液体吐出ヘッドにおいて圧力波が伝搬する様子を数値計算した例を示す。図１４には、一つの駆動ブロックに属する６４個のエネルギ発生素子１２を同時駆動した際の共通液室内部における圧力波の伝搬の様子が示されている。この数値計算には、アンシス・インコーポレイテッドのＦＬＵＥＮＴ（登録商標）が用いられている。図１４の左側には、複数のエネルギ発生素子で発生した圧力波が共通液室内部を鉛直方向下向きに伝搬する様子が示されている。図１４の右側には、共通液室の壁面で反射した圧力波が上向きに伝搬する様子が示されている。図１４では、複数のエネルギ発生素子１２から発生した圧力波は、略平面波として共通液室内部を伝搬していく様子が見られる。
【００２４】
図１５は、実施形態１の液体吐出ヘッドについて圧力波発生させたエネルギ発生素子と伝播時間との関係を示すグラフである。図１６は、実施形態１の液体吐出ヘッドについて圧力波が発生してからの経過時間とメニスカス振動速度との関係を示すグラフである。本実施形態では、ブロック間隔が比較例と同じ３．８μｓに設定されている。
図１５において、Ｓｅｇ．２１１〜Ｓｅｇ．２６５に対応するエネルギ発生素子で発生した圧力波は、第３の傾斜部３３で反射する。このとき角度θ３が４５°であるので、第３の傾斜部３３で反射した圧力波は、数値計算上では全て水平方向へ伝搬し、吐出口形成面側へは戻らない。したがって、Ｓｅｇ．２１１〜Ｓｅｇ．２６５のエネルギ発生素子１２が発生させた圧力波の伝播時間ｔＲは存在しない。
【００２５】
実施形態１では、図１５に示すように、伝播時間ｔＲは約２．１〜２．８μｓの範囲内または約４．５〜６．２μｓの範囲内になっている。つまり、伝播時間ｔＲが点Ｓの位置に拘わらずブロック間隔（３．８μｓ）よりも長いかまたは短い。また、図１６に示すように、壁面反射波に起因するメニスカス振動がピークとなる時間は、約２．０〜３．０μｓの範囲内または約４.５〜５．０μｓの範囲内に集中している。
【００２６】
上述した本実施形態では、どのエネルギ発生素子１２が駆動しても壁面反射波の伝播時間ｔＲがエネルギ発生素子１２のブロック間隔と一致しないように、第１の傾斜部３１と第２の傾斜部３２と第３の傾斜部３３とが第２の共通液室１６に形成されている。各傾斜部の形状は不変であるので、繰り返し発生する壁面反射波の重なりに起因するメニスカス振動の増幅を安定的に抑制できる。よって、第２の共通液室１６の壁面で反射した圧力波に起因する吐出不良を安定的に抑制することが可能となる。なお、本発明では、より確実にメニスカス振動の増幅を抑制するために、伝播時間ｔＲとブロック間隔との差の絶対値が、例えば０．５μｓ（規定時間）よりも長いことが望ましい。
【００２７】
（実施形態２）
図１７は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの断面図である。以下、実施形態１の液体吐出ヘッドと異なる点を中心に説明し、同様の構成については詳細な説明を省略する。
本実施形態では、ブロック間隔が５．１μｓに設定されている。この設定に伴って本実施形態の第２の共通液室１６は、第１の傾斜部５１と、第１の傾斜部５１よりも吐出口形成面５０までの距離が長い第２の傾斜部５２と、を備える。図１８には、図１７に示すおける壁面形状の寸法を示す。
【００２８】
図１９は、実施形態２の液体吐出ヘッドについて圧力波が発生してからの経過時間とメニスカス振動速度との関係を示すグラフである。図１９には、１番目の駆動ブロックに属する６４本のエネルギ発生素子１２を同時に駆動したときに液体を吐出していない吐出口１１におけるメニスカス振動速度が示されている。
図１９に示すように、壁面反射波によるメニスカス振動速度がピークとなる時間は、約２．０〜３．５μｓに集中しており、ブロック間隔である５．１μｓ付近にピークとなるメニスカス振動速度は見られない。
よって、ブロック間隔が５．１μｓに設定された本実施形態のエネルギ発生素子１２を連続駆動しても、実施形態１と同様に、壁面反射波の重なりによるメニスカス振動の増幅を抑制することが可能となる。
【符号の説明】
【００２９】
１１  吐出口
１２  エネルギ発生素子
１１０  共通液室
１１１  第１の基板
３０  第１の面
３１  第１の傾斜部
３２  第２の傾斜部
３３  第３の傾斜部
【図１】
2016128224.tif 000005
【図２】
2016128224.tif 000006
【図３】
2016128224.tif 000007
【図４】
2016128224.tif 000008
【図５】
2016128224.tif 000009
【図６】
2016128224.tif 000010
【図７】
2016128224.tif 000011
【図８】
2016128224.tif 000012
【図９】
2016128224.tif 000013
【図１０】
2016128224.tif 000014
【図１１】
2016128224.tif 000015
【図１２】
2016128224.tif 000016
【図１３】
2016128224.tif 000017
【図１５】
2016128224.tif 000018
【図１６】
2016128224.tif 000019
【図１７】
2016128224.tif 000020
【図１８】
2016128224.tif 000021
【図１９】
2016128224.tif 000022
【図１４】
2016128224.tif 000023