(57)【要約】【課題】記憶容量のさらなる大容量化を図りつつも歩留まりの低下を抑止できる回転機器の製造方法を提供する。【解決手段】回転機器の製造方法は、ハブ、軸受ユニットおよびベースを形成する形成工程と、軸受ユニットにハブを取り付けるハブ側組立工程と、軸受ユニットの外周面とベースの貫通孔の内周面の少なくとも一方に接着剤を塗布する接着剤塗布工程Ｓ２２２と、ハブが取り付けられた軸受ユニットを貫通孔に挿入することによってアセンブリを組み立てる挿入工程Ｓ２２３と、組み立てられたアセンブリについて、ハブを回転させた状態で、載置面高さに関する情報を測定する測定工程Ｓ２２５と、測定された情報に基づいて、ベースに対する軸受ユニットの傾きを調整する調整工程Ｓ２２６と、傾きを調整されたアセンブリについて、軸受ユニットとベースとに介在する接着剤を仮硬化状態とする仮硬化工程Ｓ２２７と、を含む。【選択図】図４
2016189228.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ディスクが載置されるべきハブと、ハブを回転自在に支持する軸受ユニットと、ハブの回転軸に沿って貫通孔が形成されたベースと、を備える回転機器の製造方法であって、
ハブ、軸受ユニットおよびベースを形成する工程と、
軸受ユニットにハブを取り付ける工程と、
軸受ユニットの外周面とベースの貫通孔の内周面の少なくとも一方に接着剤を塗布する工程と、
ハブが取り付けられた軸受ユニットを貫通孔に挿入することによってアセンブリを組み立てる工程と、
組み立てられたアセンブリについて、ハブを回転させた状態で、ベースの基準面と回転中のハブのディスク載置面との軸方向における距離である載置面高さに関する情報を測定する工程と、
情報を測定されたアセンブリについて、測定された情報に基づいて、ベースに対する軸受ユニットの傾きを調整する工程と、
傾きを調整されたアセンブリについて、軸受ユニットとベースとに介在する接着剤を仮硬化状態とする仮硬化工程と、
接着剤が仮硬化されたアセンブリを加熱する工程であって前記仮硬化工程とは別に設けられる加熱工程と、
加熱されたアセンブリを使用して回転機器を組み立てる工程と、を含むことを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記測定する工程、前記調整する工程および前記仮硬化工程は、ハブを回転させたまま連続して行われることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記調整する工程では、軸受ユニットを保持する治具により軸受ユニットに力を加えることでベースに対する軸受ユニットの傾きを調整することを特徴とする請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記治具は、軸受ユニットの底部に対応する位置に設けられた吸引口から吸引することにより軸受ユニットを吸着保持する部分を含み、
前記調整する工程では、前記治具の前記吸引口により軸受ユニットの底部を押圧することでベースに対する軸受ユニットの傾きを調整することを特徴とする請求項３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記仮硬化工程は、前記治具に設けられた開口を通じて紫外線を照射する工程を含むことを特徴とする請求項３または４に記載の製造方法。
【請求項６】
前記測定する工程では、回転機器の使用時の回転数でハブを回転させることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
前記測定する工程よりも前に、
ハブにマグネットを取り付ける工程と、
ベースに磁束発生部を取り付ける工程と、を含み、
前記測定する工程では、マグネットと磁束発生部とを含む駆動機構によりハブを回転させることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
記録ディスクが載置されるべきハブと、ハブを回転自在に支持する軸受ユニットと、ハブの回転軸に沿って貫通孔が形成されたベースと、を備える回転機器の製造方法であって、
ハブ、軸受ユニットおよびベースを形成する工程と、
軸受ユニットにハブを取り付ける工程と、
軸受ユニットの外周面とベースの貫通孔の内周面の少なくとも一方に接着剤を塗布して、前記軸受ユニットを前記貫通孔に挿入する工程と、
ハブを回転させた状態で、ベースの基準面と回転中の前記ハブのディスク載置面との軸方向における距離である載置面高さに関する情報を検出し、当該情報に基づいて前記ベースに対する軸受ユニットの傾きを調整すると共に、前記軸受ユニットと前記ベースとに介在する接着剤に紫外線を照射する回転調整工程と、
を含むことを特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転機器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブなどのディスク駆動装置は、小型・薄型・軽量化が進み、種々の電子機器に搭載されている。特に、ノートパソコンや録画装置などの電子機器への搭載が進んでいる。従来では例えば特許文献１に記載のディスク駆動装置が提案されている。
【０００３】
特許文献２には、そのようなディスク駆動装置の製造方法が開示されている。この製造方法では、ベースの軸受孔に軸受ユニットが接着固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９８５５５号公報
【特許文献２】特開２０１１−１６５２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ディスク駆動装置には、より小型としつつも記憶容量を増やして欲しいという要請がある。この要請に応えるためのひとつの手法として、磁気記録ディスクの記録密度を高めることがある。しかしながら、記録密度を高めるとディスク駆動装置の組み立て精度や加工精度のばらつきの影響がより強く現われ、データのリード／ライト時のエラーレートが悪化して歩留まりが低下する。
【０００６】
このような課題は、ディスク駆動装置に限らず他の種類の回転機器でも生じうる。
【０００７】
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、記憶容量のさらなる大容量化を図りつつも歩留まりの低下を抑止できる回転機器の製造方法の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の製造方法は、記録ディスクが載置されるべきハブと、ハブを回転自在に支持する軸受ユニットと、ハブの回転軸に沿って貫通孔が形成されたベースと、を備える回転機器の製造方法であって、ハブ、軸受ユニットおよびベースを形成する工程と、軸受ユニットにハブを取り付ける工程と、軸受ユニットの外周面とベースの貫通孔の内周面の少なくとも一方に接着剤を塗布する工程と、ハブが取り付けられた軸受ユニットを貫通孔に挿入することによってアセンブリを組み立てる工程と、組み立てられたアセンブリについて、ハブを回転させた状態で、ベースの基準面と回転中のハブのディスク載置面との軸方向における距離である載置面高さに関する情報を測定する工程と、情報を測定されたアセンブリについて、測定された情報に基づいて、ベースに対する軸受ユニットの傾きを調整する工程と、傾きを調整されたアセンブリについて、軸受ユニットとベースとに介在する接着剤を仮硬化状態とする仮硬化工程と、接着剤が仮硬化されたアセンブリを加熱する工程であって仮硬化工程とは別に設けられる加熱工程と、加熱されたアセンブリを使用して回転機器を組み立てる工程と、を含む。
【０００９】
本発明の別の態様もまた、製造方法である。この方法は、記録ディスクが載置されるべきハブと、ハブを回転自在に支持する軸受ユニットと、ハブの回転軸に沿って貫通孔が形成されたベースと、を備える回転機器の製造方法であって、ハブ、軸受ユニットおよびベースを形成する工程と、軸受ユニットにハブを取り付ける工程と、軸受ユニットの外周面とベースの貫通孔の内周面の少なくとも一方に接着剤を塗布して、軸受ユニットを貫通孔に挿入する工程と、ハブを回転させた状態で、ベースの基準面と回転中のハブのディスク載置面との軸方向における距離である載置面高さに関する情報を検出し、当該情報に基づいてベースに対する軸受ユニットの傾きを調整すると共に、軸受ユニットとベースとに介在する接着剤に紫外線を照射する回転調整工程と、を含む。
【００１０】
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、記憶容量のさらなる大容量化を図りつつも歩留まりの低下を抑止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（ａ）〜（ｃ）は、実施の形態に係る製造方法により製造される回転機器を示す図である。
【図２】図１（ｃ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】実施の形態に係る製造方法を示す模式的な製造工程図である
【図４】図３の仮固着工程を模式的に示す製造工程図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は、第２準備工程、測定工程、調整工程および仮硬化工程の様子を示す図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、保持治具を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
【００１４】
実施の形態に係る製造方法により製造される回転機器は、磁気記録ディスクを搭載しそれを回転駆動するハードディスクドライブなどのディスク駆動装置として好適に用いられる。
【００１５】
（回転機器）
図１（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る製造方法により製造される回転機器１００を示す図である。図１（ａ）は回転機器１００の上面図である。図１（ｂ）は回転機器１００の側面図である。図１（ｃ）は、トップカバー２を外した状態の回転機器１００の上面図である。回転機器１００は、固定体と、固定体に対して回転する回転体と、回転体に取り付けられる磁気記録ディスク８と、データリード／ライト部１０と、を備える。固定体は、ベース４と、ベース４に固定されたシャフト２６と、トップカバー２と、６つのねじ２０と、シャフト固定ねじ６と、を含む。回転体は、キャップ１２と、クランパ１５４と、を含む。キャップ１２およびクランパ１５４は不図示のハブに取り付けられている。
【００１６】
以降ベース４に対してハブが搭載される側を上側として説明する。また、磁気記録ディスク８の回転軸Ｒに平行な方向を軸方向、回転軸Ｒに垂直な平面上で回転軸Ｒを通る任意の方向を半径方向とし、半径方向において回転軸Ｒから遠い方を外周側、回転軸Ｒに近い方を内周側とし、回転軸Ｒを中心とし回転軸Ｒに垂直な円の円周に沿った方向を周方向として説明する。これらの表記は、回転機器１００が使用される姿勢を制限するものではなく、回転機器１００は任意の姿勢で使用され得る。
【００１７】
磁気記録ディスク８は、直径が約９５ｍｍのガラス製の３．５インチ型磁気記録ディスクであり、その中央の孔の直径は約２５ｍｍ、厚みは約１．２７ｍｍである。ハブ２８は５枚の磁気記録ディスク８を搭載する。
ベース４はアルミニウムの合金をダイカストにより成型して形成される。ベース４は、回転機器１００の底部を形成する底板部４ａと、磁気記録ディスク８の載置領域を囲むように底板部４ａの外周に沿って形成された外周壁部４ｂと、を有する。外周壁部４ｂの上面４ｃには、６つのねじ穴２２が設けられる。
【００１８】
データリード／ライト部１０は、記録再生ヘッド（不図示）と、スイングアーム１４と、ボイスコイルモータ１６と、ピボットアセンブリ１８と、を含む。記録再生ヘッドは、スイングアーム１４の先端部に取り付けられ、磁気記録ディスク８にデータを記録し、磁気記録ディスク８からデータを読み取る。ピボットアセンブリ１８は、スイングアーム１４をベース４に対してヘッド回転軸Ｓの周りに揺動自在に支持する。ボイスコイルモータ１６は、スイングアーム１４をヘッド回転軸Ｓの周りに揺動させ、記録再生ヘッドを磁気記録ディスク８の上面上の所望の位置に移動させる。ボイスコイルモータ１６およびピボットアセンブリ１８は、ヘッドの位置を制御する公知の技術を用いて構成される。
【００１９】
トップカバー２は、６つのねじ２０を用いてベース４の外周壁部４ｂの上面４ｃに固定される。ベース４の底板部４ａと、ベース４の外周壁部４ｂと、トップカバー２と、で囲まれる空間２４は密閉されると共にパーティクルが除去された清浄な空気で満たされる。これにより、磁気記録ディスク８へのパーティクルなどの異物の付着が抑えられ、回転機器１００の動作の信頼性が高められている。
【００２０】
シャフト２６の上側の端面にはシャフト固定ねじ孔２６ａが設けられる。シャフト固定ねじ６がトップカバー２を貫通してシャフト固定ねじ孔２６ａに螺合されることによって、シャフト２６の上端はトップカバー２に対して固定される。シャフト２６の下端はベース４に対して後述のように固定される。
【００２１】
図２は、図１（ｃ）のＡ−Ａ線断面図である。回転体は、ハブ２８と、ヨーク３０と、マグネット３２と、スリーブ１０６と、キャップ１２と、クランパ１５４と、を含む。固定体は、ベース４と、ステータコア４０と、コイル４２と、ハウジング１０２と、シャフト２６と、張出環囲部１０４と、を含む。回転体と固定体との隙間の一部に潤滑剤９２が連続的に介在する。
【００２２】
ハウジング１０２、スリーブ１０６、シャフト２６、張出環囲部１０４および潤滑剤９２は、後述する動圧発生部とともに軸受ユニットを構成する。ベース４は、この軸受ユニットを介してハブ２８を回転自在に支持する。
【００２３】
ハブ２８は、スリーブ１０６の外周側に固定される。ハブ２８は、アルミニウム合金などの非鉄金属やステンレス鋼などの鉄鋼材料から形成され、その一部または全部に切削加工された部分を含む。ハブ２８は、その一部または全部にプレス加工された部分を含んでもよい。ハブ２８は、回転軸Ｒに沿って中心孔を有する略カップ状の所定の形状に形成される。ハブ２８は、その表面に例えば無電解ニッケルめっきなどの表面コーティング層を有してもよい。この場合、例えばハブ２８の表面の剥離を抑制することができる。
【００２４】
ハブ２８の中心孔２８ａにスリーブ１０６が嵌合される。すなわち、ハブ２８の中心孔２８ａの周面は、スリーブ１０６の上部の外周面１０６ｆと接合される。
【００２５】
ハブ２８は、磁気記録ディスク８の中央孔に嵌るハブ突出部２８ｂと、ハブ突出部２８ｂよりも半径方向外側に設けられた載置部２８ｃと、を有する。磁気記録ディスク８は、載置部２８ｃの上面であるディスク載置面２８ｊ上に載置される。
【００２６】
軸方向で隣接する２枚の磁気記録ディスク８の間には円環状のスペーサ１５２が挿入される。クランパ１５４は、５枚の磁気記録ディスク８および４つのスペーサ１５２をディスク載置面２８ｊに対して押し付けて固定する。クランパ１５４は、複数のクランプねじ（不図示）によってハブ２８の上面２８ｌに対して固定される。特にクランプねじはハブ突出部２８ｂに設けられたクランプねじ孔２８ｍに螺合される。
【００２７】
ヨーク３０はその断面が逆Ｌ字型であり、鉄などの磁性材料により形成される。ヨーク３０は、ハブ突出部２８ｂの内側の円筒面に相当する円筒状内周面２８ｆに接着と圧入とを併用して固定される。
【００２８】
ヨーク３０の内周面３０ｂには円筒状のマグネット３２が接着固定される。マグネット３２は、例えば、希土類磁石材料やフェライト磁石材料によって形成され、ステータコア４０の１２本の突極と半径方向に対向する。マグネット３２にはその周方向に８極の駆動用着磁が施される。マグネット３２の表面には電着塗装やスプレー塗装などによる塗膜が設けられる。塗膜は、例えば発錆を抑制する。
【００２９】
ステータコア４０は円環部４０ａとそこから半径方向外向きに伸びる１２本の突極４０ｂとを有し、ベース４の上面４ｄ側に固定される。ステータコア４０は、厚さ０．３５ｍｍの薄型電磁鋼板を１８枚積層しカシメにより一体化して形成される。なお、ステータコア４０は、例えば０．１ｍｍ〜０．８ｍｍの範囲の薄型電磁鋼板を、例えば２枚〜３２枚の範囲で積層して形成されてもよい。ステータコア４０の表面には電着塗装や粉体塗装などによる塗膜が設けられる。塗膜は、例えば絶縁に用いられる。ステータコア４０の各突極４０ｂにはコイル４２が巻回される。このコイル４２に３相の略正弦波状の駆動電流が流れることにより突極４０ｂに沿って駆動磁束が発生する。この駆動磁束によってマグネット３２にトルクが与えられ、ハブ２８およびそれに嵌合された磁気記録ディスク８が回転する。このように、マグネット３２、ステータコア４０およびコイル４２は、駆動機構を構成する。
【００３０】
ベース４は、回転軸Ｒを中心とした円筒状の突出部４ｅを有する。突出部４ｅは、ハウジング１０２を環囲するようにベース４の上面から上向きに突出する。ステータコア４０は、突出部４ｅの外周面４ｆに嵌合されることでベース４に対して固定される。ステータコア４０は特に、突出部４ｅに圧入されもしくは隙間嵌めによって接着固定される。ステータコア４０とスリーブ環囲部１１２との半径方向隙間には接着剤が塗布されてもよい。
【００３１】
ハウジング１０２はステンレス鋼などの鉄鋼材料やその他金属材料により形成される。ハウジング１０２は、平たい環状のシャフト保持部１１０と、シャフト保持部１１０の外周側に固定された円筒状のスリーブ環囲部１１２と、を含む。シャフト保持部１１０とスリーブ環囲部１１２とは、シャフト保持部１１０の外周面１１０ｃの上端側がスリーブ環囲部１１２の内周面１１２ａの下端側と接する形で結合され、特にシャフト保持部１１０とスリーブ環囲部１１２とは一体に形成される。この場合、ハウジング１０２の製造誤差を低減でき、接合の手間を省くことができる。シャフト保持部１１０は突出部４ｅによって環囲される。特にシャフト保持部１１０は、突出部４ｅの内周面すなわちベース４に設けられた回転軸Ｒを中心とする軸受孔４ｈに接着により固定される。
【００３２】
シャフト２６は、回転軸Ｒ上において軸方向に延在する。シャフト２６の下端は、シャフト保持部１１０に設けられた回転軸Ｒを中心とするシャフト孔１１０ａに挿入され固定される。すなわち、シャフト２６の下端の外周面２６ｄは、シャフト孔１１０ａの周面と接合される。シャフト２６とシャフト保持部１１０との接合部分１７０は、圧入部分１７２と、隙間接着部分１７４と、を有する。隙間接着部分１７４には接着剤１７８が存在する。隙間接着部分１７４の軸方向長さは、接合部分１７０の軸方向長さの１／３よりも長い。この場合、圧入部分１７２の軸方向長さは比較的短くなるため、シャフト２６をシャフト孔１１０ａに挿入するために必要な荷重（圧入荷重）を低減できる。圧入部分１７２を短くした代わりに隙間接着部分１７４が長くなるため、接合部分１７０全体として十分な接合強度を確保できる。隙間接着部分１７４の隙間は、例えばシャフト２６の下端に、下側となるほど縮径する縮径部を設けることによって実現される。
【００３３】
張出環囲部１０４は、シャフト２６の上端側を環囲する。シャフト２６と張出環囲部１０４とは、例えばＳＵＳ４２０Ｊ２等の鉄鋼材料を切削加工や研削加工することによって一体に形成される。この場合、シャフト２６と張出環囲部１０４との製造誤差を低減でき、また接合の手間を省くことができる。なお、シャフト２６と張出環囲部１０４とは別体として形成された上で結合されてもよい。
【００３４】
スリーブ１０６は、例えば黄銅やアルミニウム合金などの非鉄金属またはステンレス鋼などの鉄鋼材料から形成される。スリーブ１０６は、切削加工された部分を含む。スリーブ１０６は、ニッケルめっき層を有する部分を含んでもよい。スリーブ１０６は、シャフト２６のうちシャフト孔１１０ａに嵌っている部分と張出環囲部１０４に環囲される部分との間の中間部分を環囲する。スリーブ１０６とシャフト２６の中間部分とに潤滑剤９２が介在する。すなわち、スリーブ１０６の内周面１０６ａとシャフト２６の中間部分の外周面２６ｄとは第１隙間１２６を介して対向し、第１隙間１２６は潤滑剤９２で満たされている。
【００３５】
第１隙間１２６は、回転体が所定の第１方向（例えば、上面視でＣＣＷ方向）に回転するとき潤滑剤９２に半径方向の動圧が発生させる２つのラジアル動圧発生部１６０、１６２を含む。２つのラジアル動圧発生部１６０、１６２は互いに軸方向に離間し、第１ラジアル動圧発生部１６０は第２ラジアル動圧発生部１６２の上側に位置する。２つのラジアル動圧発生部１６０、１６２のそれぞれに対応するスリーブ１０６の内周面１０６ａの部分には、ヘリングボーン形状またはスパイラル形状の第１ラジアル動圧発生溝５０、第２ラジアル動圧発生溝５２が形成される。なお、第１ラジアル動圧発生溝５０および第２ラジアル動圧発生溝５２のうちの少なくともひとつは、スリーブ１０６の内周面１０６ａの代わりにシャフト２６の中間部分の外周面２６ｄに形成されてもよい。
【００３６】
スリーブ１０６は、軸方向において張出環囲部１０４とシャフト保持部１１０とに挟まれている。スリーブ１０６と張出環囲部１０４、および、スリーブ１０６とシャフト保持部１１０、のそれぞれに潤滑剤９２が介在する。すなわち、スリーブ１０６の上面１０６ｂと張出環囲部１０４の下面１０４ａとは第２隙間１２８を介して対向し、第２隙間１２８は潤滑剤９２で満たされている。スリーブ１０６の下面１０６ｈとシャフト保持部１１０の上面１１０ｂとは第３隙間１２４を介して対向し、第３隙間１２４は潤滑剤９２で満たされている。
【００３７】
第３隙間１２４は、回転体が第１方向に回転するとき潤滑剤９２を回転軸Ｒ側に押し込むポンプイン方向の動圧を発生させる第１スラスト動圧発生部１６４を含む。言い換えると、第１スラスト動圧発生部１６４は、連通路１６８（後述）に存在する潤滑剤９２を第３隙間１２４に吸い込む方向の動圧を発生させる。第１スラスト動圧発生部１６４に対応するスリーブ１０６の下面１０６ｈの部分には、スパイラル形状の第１スラスト動圧発生溝５４が形成される。第１スラスト動圧発生溝５４は、スリーブ１０６の下面１０６ｈの代わりにシャフト保持部１１０の上面１１０ｂに形成されてもよい。
【００３８】
第２隙間１２８は、回転体が第１方向に回転するとき潤滑剤９２を回転軸Ｒ側に押し込むポンプイン方向の動圧を発生させる第２スラスト動圧発生部１６６を含む。第２スラスト動圧発生部１６６に対応するスリーブ１０６の上面１０６ｂの部分には、ヘリングボーン形状の第２スラスト動圧発生溝５６が形成される。第２スラスト動圧発生溝５６は、スリーブ１０６の上面１０６ｂの代わりに張出環囲部１０４の下面１０４ａに形成されてもよい。
【００３９】
スパイラル形状の第１スラスト動圧発生溝５４が形成された第１スラスト動圧発生部１６４によるポンプイン方向の動圧は、ヘリングボーン形状の第２ラジアル動圧発生溝５２が形成された第２スラスト動圧発生部１６６のポンプイン方向の動圧よりも大きい。そのため潤滑剤９２は、第１スラスト動圧発生部１６４、第１隙間１２６、第２スラスト動圧発生部１６６、連通路１６８（後述）と巡ってまた第１スラスト動圧発生部１６４に戻る経路で循環する。ハブ２８がベース４の鉛直上方にある姿勢またはベース４がハブ２８の鉛直上方にある姿勢のいずれであっても、第１スラスト動圧発生部１６４と第２スラスト動圧発生部１６６とのポンプイン方向の動圧の大小関係は変わらないため、潤滑剤９２は回転機器１００の姿勢によらずこの経路で循環する。
【００４０】
回転体が固定体に対して第１方向に回転するとき、第１ラジアル動圧発生溝５０、第２ラジアル動圧発生溝５２、第１スラスト動圧発生溝５４、第２スラスト動圧発生溝５６はそれぞれ潤滑剤９２に動圧を生じさせる。この動圧によって回転体は、固定体と非接触のまま半径方向および軸方向に支持される。
【００４１】
スリーブ環囲部１１２とスリーブ１０６との位置関係では、スリーブ環囲部１１２はスリーブ１０６の下部を環囲する。スリーブ環囲部１１２とスリーブ１０６との間には、スリーブ環囲部１１２の内周面１１２ａとスリーブ１０６の下部の外周面１０６ｇとの間の第４隙間１３２に第１キャピラリーシール１１４が形成される。第４隙間１３２は、上側が下側より広いテーパー空間を含む。例えば、スリーブ環囲部１１２の内周面１１２ａは回転軸Ｒと略平行になるよう形成され、スリーブ１０６の下部の外周面１０６ｇは上側となるほど小径となるよう形成される。第１キャピラリーシール１１４は潤滑剤９２の第１気液界面１１６を有し、毛細管現象により潤滑剤９２の漏れ出しを抑止する。すなわち、スリーブ環囲部１１２とスリーブ１０６とに少なくとも部分的に潤滑剤９２が介在する。潤滑剤９２の第１気液界面１１６は、スリーブ環囲部１１２の内周面１１２ａおよびスリーブ１０６の下部の外周面１０６ｇの両方と接している。
【００４２】
スリーブ１０６は、張出環囲部１０４と半径方向で対向する上突出部１０６ｃを有する。上突出部１０６ｃは張出環囲部１０４を環囲する。上突出部１０６ｃと張出環囲部１０４との間には、上突出部１０６ｃの内周面１０６ｄと張出環囲部１０４の外周面１０４ｂとの間の第５隙間１３４に第２キャピラリーシール１１８が形成される。第５隙間１３４は、上側が下側より広いテーパ空間を含む。例えば、上突出部１０６ｃの内周面１０６ｄは回転軸Ｒと略平行になるよう形成され、張出環囲部１０４の外周面１０４ｂは上側となるほど小径となるよう形成される。
【００４３】
第２キャピラリーシール１１８は潤滑剤９２の第２気液界面１２０を有し、毛細管現象により潤滑剤９２の漏れ出しを抑止する。すなわち、上突出部１０６ｃと張出環囲部１０４とに少なくとも部分的に潤滑剤９２が介在する。潤滑剤９２の第２気液界面１２０は、上突出部１０６ｃの内周面１０６ｄおよび張出環囲部１０４の外周面１０４ｂの両方と接している。
【００４４】
スリーブ１０６には、第１スラスト動圧発生部１６４の外周側と第２スラスト動圧発生部１６６の外周側とを連通する連通路１６８が形成される。連通路１６８は、２つのラジアル動圧発生部１６０、１６２および２つのスラスト動圧発生部１６４、１６６をバイパスする。連通路１６８の上端は第２隙間１２８に在り、連通路１６８の下端は第３隙間１２４に在る。連通路１６８の下端側は第１キャピラリーシール１１４に環囲される。連通路１６８には潤滑剤９２が入っており、潤滑剤９２は連通路１６８を通じて流れる。これにより動圧が平均化される。
【００４５】
連通路１６８は、ストレートの貫通孔として形成され、下側となる（第１スラスト動圧発生部１６４に近づく）にしたがって回転軸Ｒから離れるように延在する。逆に言えば、連通路１６８は回転軸Ｒから離れるにしたがって第１スラスト動圧発生部１６４に近づくように延在する。したがって、回転体の回転により連通路１６８内の潤滑剤９２に遠心力起因の半径方向外向き（すなわち回転軸Ｒから離れる向き）の力が働くと、その力は連通路１６８内の潤滑剤９２を第１スラスト動圧発生部１６４側に移動させるよう作用する。なお本実施の形態では、連通路１６８は平面視した場合に半径方向に延在する。
【００４６】
まとめると、（１）第１スラスト動圧発生部１６４、第１隙間１２６、第２スラスト動圧発生部１６６、連通路１６８と巡ってまた第１スラスト動圧発生部１６４に戻る経路で潤滑剤が循環するように、第１スラスト動圧発生部１６４および第２スラスト動圧発生部１６６が形成される。つまり、潤滑剤９２は止まることなく循環しうる。特に、回転機器１００の姿勢によらずにこの経路で潤滑剤が循環するように、第１スラスト動圧発生部１６４および第２スラスト動圧発生部１６６が形成される。したがって、仮に回転機器１００の姿勢を変更しても、潤滑剤９２が流れる経路は反対向きにならない。つまり、一時的に潤滑剤の流れが止まることもない。
【００４７】
また、（２）第１スラスト動圧発生部１６４は、回転体が回転するとき潤滑剤９２を回転軸Ｒ側に押し込むポンプイン方向の動圧、言い換えると、連通路１６８に存在する潤滑剤９２を第３隙間１２４に吸い込む方向の動圧を発生させる。これにより、連通路１６８の流路抵抗は比較的小さくなる。
【００４８】
さらに、（３）連通路１６８は第１スラスト動圧発生部１６４に近づくにしたがって回転軸Ｒから離れるように延在する。逆に言えば、連通路１６８は回転軸Ｒから離れるにしたがって第１スラスト動圧発生部１６４に近づくように延在する。回転体の回転時には、連通路１６８内の潤滑剤９２に遠心力起因の半径方向外向き（すなわち回転軸Ｒから離れる向き）の力が働くと、その力は連通路１６８内の潤滑剤９２を第１スラスト動圧発生部１６４側に移動させるよう作用する。これにより、連通路１６８の流路抵抗は比較的小さくなる。
【００４９】
つまり、（１）〜（３）の特徴をすべて備えることにより、潤滑剤９２は止まることなく循環し、かつ、連通路１６８の流路抵抗は比較的小さくなる。したがって、潤滑剤９２は、キャピラリーシールに流出してその界面を上昇させることなく、連通路１６８を含む経路を良好に循環できる。
【００５０】
キャップ１２は、断面が逆Ｌ字状の回転軸Ｒを囲む環状部材で、第２気液界面１２０および張出環囲部１０４を覆う部分を含む。キャップ１２は、上突出部１０６ｃの上面に例えば接着固定される。キャップ１２は鉄鋼材料や真鍮などの金属材料や樹脂材料により形成される。
【００５１】
潤滑剤９２は蛍光剤を含んでいる。潤滑剤９２に励起光を照射することにより蛍光剤が可視光を発光する。
【００５２】
潤滑剤は種々のベースオイルを含むことができる。潤滑剤９２では、１つのエステル結合とエーテル結合とにより炭化水素基を適宜結合したモノエステルエーテルからなるベースオイルを含んでいる。このようなベースオイルは、エステル結合が１つであるから加水分解による劣化を抑制できる。また、加水分解しにくいエーテル結合によっても炭化水素基を結合するから、用途や仕様に応じた広い範囲の分子量や分子構造のベースオイルを構成できる。このことにより、ジエステルオイルやポリオールエステルオイルと同等以上の低温特性や抗蒸発性を得ることができる。
【００５３】
発明者の検討によると、比較例のポリオールエステルオイルは、高温高湿環境下では５００時間で多くの加水分解を生じて劣化するのに対して、実施の形態の１つのエーテル結合を含むモノエステルエーテルオイルでは同条件で２０００時間経過後の劣化は許容範囲内であった。また、モノエステルエーテルオイルは、蛍光剤を含有させた場合にも同条件で２０００時間経過後の劣化は許容範囲内であることが確認された。
【００５４】
（回転機器の製造方法）
図１、２に示されるような回転機器１００に対しては、より小型としつつも記憶容量を増やして欲しいという要請がある。この要請に応えるためのひとつの手法として、磁気記録ディスク８の記録密度を高めることがある。しかしながら、記録密度を高めると回転機器１００の組み立て精度や加工精度のばらつきの影響がより強く現れる傾向にあるので、データのリード／ライト時のエラーレートが悪化して歩留まりが低下する可能性がある。
【００５５】
回転機器１００の組み立て精度のなかでもエラーレートへの影響が比較的大きなものにベース４に対するディスク載置面２８ｊの傾きがある。ベース４に対してディスク載置面２８ｊが傾くと、ディスク載置面２８ｊに載置される磁気記録ディスク８もベース４に対して傾く。磁気記録ディスク８が傾くと、磁気記録ディスク８の回転時における記録再生ヘッドと磁気記録ディスク８の上面との距離が比較的大きく変化する。これにより、エラーレートの悪化が引き起こされうる。したがって、ベース４に対するディスク載置面２８ｊの傾きを抑制することが望まれる。
【００５６】
ここで、回転機器１００では組み立てや接着作業の容易性を考慮して、軸受ユニットとベース４との接着隙間すなわち軸受孔４ｈの内周面とシャフト保持部１１０の外周面１１０ｃとの隙間は小さくなりすぎないよう設計されている。したがって、軸受ユニットは軸受孔４ｈの中で比較的容易に動きうるので、軸受ユニットがベース４に対して傾いた状態で接着される場合がある。この軸受ユニットの傾きは、ベース４に対するディスク載置面２８ｊの傾きの原因となる。そのため、軸受ユニットがベース４に対して傾かないよう軸受ユニットをベース４に接着することが考えられる。これにより、ベース４に対するディスク載置面２８ｊの傾きが抑制される。このために例えば、ハブ２８すなわち回転体を静止させた状態で、ベース４に対するディスク載置面２８ｊの傾きが所定の範囲内となるよう軸受ユニットをベース４に接着固定することが考えられる。
【００５７】
しかしながらこの場合、回転体の静止時には、回転体は固定体に接触した（すなわち寄りかかった）状態で固定体に支持される。これに対し、回転体の回転時には、回転体は固定体と非接触のまま半径方向および軸方向に支持される。このように、回転時と静止時とでは、固定体に対する回転体の姿勢が異なる。つまり、回転時と静止時とでは、ベース４に対するハブ２８の姿勢が異なる。そのため、回転体を静止させた状態でディスク載置面２８ｊの傾きが所定の閾値以下となるよう軸受ユニットの傾きを調整しても、回転時にはディスク載置面２８ｊの傾きがその閾値を超えてしまう場合がある。以上の経緯から、本発明者は、本実施の形態に係る製造方法を得るに至った。以下、具体的に説明する。
【００５８】
図３は、本実施の形態に係る製造方法を示す模式的な製造工程図である。本実施の形態に係る製造方法は、形成工程Ｓ２０１と、ハブ側組立工程Ｓ２０２と、ベース側組立工程Ｓ２０３と、仮固着工程Ｓ２０４と、加熱工程Ｓ２０５と、全体組立工程Ｓ２０６と、検査工程Ｓ２０７と、を含む。
【００５９】
形成工程Ｓ２０１では、ハブ２８、軸受ユニットおよびベース４を含む回転機器１００の部材を形成する。ハブ側組立工程Ｓ２０２は、ヨーク取付工程Ｓ２１１と、マグネット取付工程Ｓ２１２と、ハブ取付工程Ｓ２１３と、を含む。ヨーク取付工程Ｓ２１１では、ハブ突出部２８ｂの円筒状内周面２８ｆにヨーク３０を取り付ける。マグネット取付工程Ｓ２１２では、ヨーク３０の内周面３０ｂにマグネット３２を取り付ける。ハブ取付工程Ｓ２１３では、ヨーク３０とマグネット３２が取り付けられたハブ２８を軸受ユニットに取り付け、軸受ユニットに潤滑剤９２を注入する。ベース側組立工程Ｓ２０３では、コイル４２が設けられたステータコア４０をベース４に取り付ける。
【００６０】
図４は、仮固着工程Ｓ２０４を模式的に示す製造工程図である。仮固着工程Ｓ２０４は、第１準備工程Ｓ２２１と、接着剤塗布工程Ｓ２２２と、挿入工程Ｓ２２３と、第２準備工程Ｓ２２４と、測定工程Ｓ２２５と、調整工程Ｓ２２６と、仮硬化工程Ｓ２２７と、を含む。第１準備工程Ｓ２２１では、ステータコア４０付きのベース４を所定の固定治具に固定する。特に、ベース４の上面４ｄが鉛直上方を向いた姿勢に固定する。接着剤塗布工程Ｓ２２２では、ベース４の軸受孔４ｈの内周面にＵＶ（Ultraviolet、紫外線）硬化性と熱硬化性とを併せ持つ接着剤を塗布する。なお、軸受孔４ｈの内周面の代わりにまたは軸受孔４ｈの内周面に加えて、シャフト保持部１１０の外周面１１０ｃ（すなわち軸受ユニットの外周面）に接着剤を塗布してもよい。
【００６１】
挿入工程Ｓ２２３では、軸受孔４ｈの上端から下端に向けてハブ２８付きの軸受ユニットを挿入することにより、ハブ２８付きの軸受ユニットとステータコア４０付きのベース４とそれらに介在する接着剤とを含むアセンブリを組み立てる。熱硬化型接着剤の粘度が比較的低いうちに挿入を完了するため、軸受ユニットは、接着剤塗布工程Ｓ２２２において熱硬化型接着剤が塗布された後１０秒以内に挿入される。
【００６２】
図５（ａ）〜（ｄ）は、図４の第２準備工程Ｓ２２４、測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６および仮硬化工程Ｓ２２７の様子を示す。これらの工程では、固定治具（不図示）に加えて保持治具３００が使用される。
【００６３】
図６（ａ）、（ｂ）は、保持治具３００を示す。図６（ａ）は、保持治具３００の上面図である。図６（ａ）の破線の四角９４は、後述するように保持治具３００が軸受ユニットを保持しているときのベース４の外周面に対応する。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。保持治具３００は、保持部３０２と、３本のアーム３０４と、を含む。保持部３０２は、円筒状の部材であり、その一端側にはエアを吸引するための吸引口３０２ａが形成されている。吸引口３０２ａの内径および外径は、シャフト保持部１１０の内径よりも大きくシャフト保持部１１０の外径よりも小さくなるよう形成される。吸引口３０２ａの外周側には、ＵＶを照射するための複数の照射口３０２ｂが吸引口３０２ａを取り囲むように形成されている。３本のアーム３０４は、保持部３０２の外周に、放射状に延びるよう取り付けられている。保持治具３００が軸受ユニットを保持しているとき、３本のアーム３０４の先端はベース４よりも外側に位置する。図５（ａ）〜（ｄ）に戻る。
【００６４】
図５（ａ）は、第２準備工程Ｓ２２４の様子を示す。第２準備工程Ｓ２２４では、保持治具３００により軸受ユニットを保持する。保持治具３００の吸引口３０２ａの中心Ｃ（図６（ａ）参照）が回転軸Ｒ上あるいはその近傍に位置するよう吸引口３０２ａをシャフト保持部１１０の底部に当接させる。この状態で、吸引口３０２ａからエアを吸引することにより、シャフト保持部１１０すなわち軸受ユニットを吸着保持する。
【００６５】
続いて、保持治具３００により軸受ユニットを保持した状態で、ハブ２８を回転させる。本実施の形態では特に、回転機器１００が実際に使用される場合と同様の回転数（例えば５４００ｒｐｍ）でハブ２８を回転させる。また、回転機器１００が実際に使用される場合と同様に駆動機構によりハブ２８を回転させる。具体的には、３相の駆動電流をコイル４２に供給する。その駆動電流がコイル４２を流れることにより、１２本の突極に沿って磁束が発生する。この磁束によってマグネット３２にトルクが与えられ、ハブ２８が第１方向に回転する。本実施の形態では、測定工程Ｓ２２５が終了するまでこのままハブ２８を回転させ続ける。つまり、ハブ２８を回転させたまま連続して測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６、仮硬化工程Ｓ２２７を行う。
【００６６】
図５（ｂ）は、測定工程Ｓ２２５の様子を示す。測定工程Ｓ２２５では、センサ４００により、回転しているハブ２８のディスク載置面２８ｊの高さ（以下、「載置面高さ」と呼ぶ）を測定する。本実施の形態では、載置面高さは、ベース４に設けられた基準面すなわち上面４ｄを基準として決定される。なお、ハブ２８は回転しているため、ディスク載置面２８ｊが基準面に対して傾いていると、センサ４００によって測定される載置面高さは幅を持った値となる。センサ４００は、例えば光学式の変位センサであり、非接触にて載置面高さを測定する。
【００６７】
制御部は、測定された載置面高さから、載置面高さの最大値と最小値の差として定義されるディスク載置面２８ｊの平行度を算出する求める。基準面に対するディスク載置面２８ｊの傾きが大きいほど、この平行度は大きくなる。一例としてこの平行度を３０μｍ以下に抑えることが求められている。
【００６８】
図５（ｃ）は、調整工程Ｓ２２６の様子を示す。調整工程Ｓ２２６では、制御部によって算出された平行度が所定の閾値（例えば３０μｍ）より大きい場合、平行度が小さくなるようあるいはゼロになるようベース４に対する軸受ユニットの傾き（以下、単に「軸受ユニットの傾き」と呼ぶ）を調整する。具体的には、制御部は、算出した平行度に基づいて不図示の駆動機構に指示を送る。駆動機構は、制御部の指示を受けて保持治具３００の３つのアーム３０４の先端のそれぞれに上向きあるいは下向きの力を加え、保持治具３００の姿勢を変更させる。このとき、保持治具３００の吸引口３０２ａはシャフト保持部１１０の底部を押圧する。つまり、この押圧はシャフト保持部１１０の底部の底面に偏った偏荷重を加える。これにより軸受ユニットの傾きが調整される。調整後は、測定工程Ｓ２２５に戻る。測定工程Ｓ２２５の測定のタイミングは、調整工程Ｓ２２６の調整のタイミングと重複する部分を含んでもよい。つまり、測定している状態で調整してもよい。
【００６９】
調整工程Ｓ２２６では、測定工程Ｓ２２５において制御部によって算出された平行度が上述の閾値以下の場合、それ以上の軸受ユニットの傾きの調整をスキップして、仮硬化工程Ｓ２２７に進む。
【００７０】
図５（ｄ）は、仮硬化工程Ｓ２２７の様子を示す。仮硬化工程Ｓ２２７では、軸受ユニットと軸受孔４ｈとの間、すなわちシャフト保持部１１０の外周面１１０ｃと軸受孔４ｈの内周面との間から下方にはみ出した接着剤に所定時間ＵＶ（Ultraviolet、紫外線）を照射する。これにより、接着剤は仮硬化状態となる。ここで、接着剤の「仮硬化状態」は、接着される部材同士の自重によるずれや傾きを防止できる程度の接着強度であって接着剤の公称の接着強度よりも低い接着強度を有する状態であってもよく、あるいはまた、作業上支障のない初期強度が得られる状態であってもよい。接着剤の「仮硬化状態」は、所定の加熱処理によりその接着剤をさらに硬化させることができる状態であってもよい。
【００７１】
保持治具３００には、吸引口３０２ａを取り囲むようにＵＶを照射するための照射口３０２ｂが形成されている。吸引口３０２ａの中心Ｃが回転軸Ｒ上に位置するとき、照射口３０２ｂはシャフト保持部１１０の外周面１１０ｃと軸受孔４ｈの内周面との隙間と軸方向で対向する。この照射口３０２ｂから接着剤にＵＶが照射される。つまり、軸受ユニットを保持するための保持治具３００に設けられた開口を通じて接着剤にＵＶが照射される。
【００７２】
図３に戻り、加熱工程Ｓ２０５では、アセンブリを加熱することで熱硬化型接着剤を本硬化状態とする。ここで、接着剤の「本硬化状態」は、仮硬化状態にある接着剤に加熱処理を施した結果得られる状態であり、それ以上は特別な加熱処理を要しない状態であってもよい。加熱工程Ｓ２０５では、具体的には、アセンブリを所定数集めた後まとめて加熱炉に入れる。加熱炉では、熱硬化型接着剤を仮硬化状態から本硬化状態にするために必要な加熱条件（例えば９５度で２時間）で加熱が行われる。
【００７３】
全体組立工程Ｓ２０６では、加熱工程Ｓ２０５を経たアセンブリおよび他の部材を使用して回転機器１００を組み立てる。検査工程Ｓ２０７では、組み立てられた回転機器１００の外観、動作、機能等を検査する。
【００７４】
以上説明した本実施の形態に係る製造方法によると、ハブ２８が回転した状態でディスク載置面２８ｊの平行度が測定され、その平行度が閾値以下となるよう軸受ユニットの傾きが調整される。そのため、検査工程Ｓ２０７ではもちろんのこと、実際の使用時もその平行度は閾値以下となる可能性が高くなる。この場合、磁気記録ディスク８の回転時における記録再生ヘッドと磁気記録ディスク８の上面との距離は大きく変化しないため、磁気記録ディスク８の記録密度を高めても、リード／ライトのエラーレートの悪化が抑えられる。つまり、磁気記録ディスク８の記録密度を高めても、回転機器１００の不良率の増大が抑えられ、歩留まりの低下を抑止できる。なお、仮固着工程Ｓ２０４でアセンブリが不良となった場合、回転機器１００の大半の部材は組み付けられているため、それより前の工程において回転機器１００の各部材が不良となる場合に比べ、損益が大きくなる。したがって、仮固着工程Ｓ２０４での不良を抑えられる効果は大きい。
【００７５】
また、本実施の形態に係る製造方法によると、測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６および仮硬化工程Ｓ２２７では、回転機器１００が実際に使用される場合と同様に駆動機構により、実際に使用される場合と同様の回転数で、ハブ２８を回転させる。そのため、検査工程Ｓ２０７および実際の使用時にディスク載置面２８ｊの平行度が所定の閾値以下となる可能性がより高くなる。この場合、回転機器１００の歩留まりの低下をより抑止できる。
【００７６】
例えば仮硬化工程Ｓ２２７の前にハブ２８の回転を停止させると、その慣性力によって軸受ユニットの傾きが変わる可能性がある。これに対し、本実施の形態に係る製造方法によると、ハブ２８を回転させたまま連続して測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６、仮硬化工程Ｓ２２７が行われる。そのため、回転の停止に伴う慣性力が軸受ユニットに加わらないため、調整された軸受ユニットの傾きが仮硬化工程Ｓ２２７の前に変わってしまうのを抑止できる。
【００７７】
また、本実施の形態に係る製造方法によると、保持治具３００の吸引口３０２ａからエアを吸引することにより軸受ユニットを保持される。また、保持治具３００の吸引口３０２ａで軸受ユニットの底部を押圧することで軸受ユニットの傾きが調整される。つまり、軸受ユニットは保持治具３００の吸引力によって掴まれる。そのため、軸受ユニットを掴むための切り欠きなどを軸受ユニットに形成する必要がなく、加工の手間を省くことができる。
【００７８】
また、本実施の形態に係る製造方法によると、吸引口３０２ａを取り囲むように設けられた照射口３０２ｂを通じて接着剤に紫外線が照射される。これにより、吸引口３０２ａから吸引することにより吸着保持したまま紫外線を照射できる。
【００７９】
以上、実施の形態に係る回転機器の製造方法について説明した。この実施の形態は例示であり、各構成要素の組み合わせにいろいろな変形例が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。
【００８０】
（変形例１）
実施の形態では、ハブ２８を回転させたまま連続して測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６および仮硬化工程Ｓ２２７を行う場合について説明したが、これに限られない。測定工程Ｓ２２５と調整工程Ｓ２２６の間または調整工程Ｓ２２６と仮硬化工程Ｓ２２７の間の少なくとも一方でハブ２８の回転を一旦停止させてもよい。また、少なくとも測定工程Ｓ２２５をハブ２８を回転させた状態で行えばよく、測定工程Ｓ２２５または調整工程Ｓ２２６の少なくとも一方をハブ２８の回転を停止させた状態で行ってもよい。
【００８１】
（変形例２）
実施の形態では、測定工程Ｓ２２５、調整工程Ｓ２２６および仮硬化工程Ｓ２２７において、駆動機構によりハブ２８を回転させる場合について説明したが、これに限られない。例えば、外部のベルトによりハブ２８を回転させてもよい。
【００８２】
上述した実施の形態および変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施の形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施の形態は、組み合わされる実施の形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。
【符号の説明】
【００８３】
４  ベース、  ２８  ハブ、  ２８ｊ  ディスク載置面、  １００  回転機器、  Ｓ２０４  仮固着工程、  Ｓ２２１  第１準備工程、  Ｓ２２２  接着剤塗布工程、  Ｓ２２３  挿入工程、  Ｓ２２４  第２準備工程、  Ｓ２２５  測定工程Ｓ、  Ｓ２２６  調整工程、  Ｓ２２７  仮硬化工程、  ３００  保持治具、  ３０２  保持部、  ３０２ａ  吸引口、  Ｒ  回転軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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