(57)【要約】【課題】微小な反応場における液体の流入及び流出を容易に制御することが可能な送液方法の提供を課題とする。【解決手段】第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１と、第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２と、第一の開口部Ｔａ及び第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔Ｔを構成する内側面Ｙと、を含む本体部４を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、第１空間部Ｓ１に液体Ｑを導入し、第一の開口部Ｔａから、微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑの一部を流入させた後、第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出することによって第１内壁面ｗ１に液体Ｑからなる膜Ｍを形成し、続いて、膜Ｍの乾燥過程に伴う、膜Ｍと微細貫通孔Ｔ内に一時的に残留した前記一部の液体Ｑとの張力によって、前記一部の液体Ｑを、微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから第１空間部Ｓ１へ流出させる送液方法。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、
第１空間部を構成する第１内壁面と、第２空間部を構成する第２内壁面と、
前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面と、を含む本体部を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、
前記第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、
前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【請求項２】
マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、
第１空間部を構成する第１内壁面及び第２空間部を構成する第２内壁面を含む本体部と、
前記第１空間部に面して開口する第一の開口部及び前記第２空間部に面して開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面を含む副本体部と、を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、
前記第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、
前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【請求項３】
マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、
第１空間部を構成する第１内壁面及び第２空間部を構成する第２内壁面を含む本体部と、
前記第１空間部を構成する第１副内壁面及び前記第２空間部を構成する第２副内壁面を含み、更に、前記第１副内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２副内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面を含む副本体部と、を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、
前記第１内壁面及び第１副内壁面によって構成される第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、
前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【請求項４】
マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、
第１空間部を構成する第１内壁面と、第２空間部を構成する第２内壁面と、・・・第ｎ空間部（ｎは３以上の整数を表す。）を構成する第ｎ内壁面、を含むｎ個の内壁面と、
前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する第１内側面と、・・・
前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第ｎ内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第ｎ空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する第（ｎ−１）内側面、を含む（ｎ−１）個の内側面と、
を含む本体部を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、
前記第１空間部に液体を導入し、前記（ｎ−１）個の内側面によって構成される各微細貫通孔の各々が有する第一の開口部から、各微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、
前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第ｎ個の内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記各微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記各微細貫通孔の第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細貫通孔を備えたマイクロ流体デバイスにおける送液方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロスケールからナノスケールの微小な反応場において、抗原抗体反応を利用した免疫学的測定、化学反応、細胞培養等を行うためのマイクロＴＡＳ、マイクロ流体デバイス、マイクロミキサ等が注目されている。在宅医療、ポイント・オブ・ケア（ＰＯＣ）、臨床検査、細胞培養等を迅速に少ない試料で行うためには、これらのデバイスの小型化が重要である。
【０００３】
従来のマイクロ流体デバイスとして、流路の途中に細胞培養可能な空間を備え、その下流に細胞が流出しないように堰き止め部を有する流路チップが開示されている（特許文献１）。この堰き止め部の上部には微細な流路が形成されており、細胞は通過し難く、培養液のみが流出し易い構造を有する。培養空間及び流路は透明なプラスチック基板で形成されているため、培養した細胞に対して所望の薬剤を投与し、その反応を光学的に観察することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１８５００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
マイクロ流体デバイスに設けられた反応場に目的の物質が含まれた液体を流入させたり、該反応場から液体を流出させたりする送液方法として、シリンジポンプが一般的に使用されている。しかしながら、近年のマイクロ流体デバイスにおいては、流路だけでなく、流路に接続された反応場の微小化（微細化）が進んでいるため、ポンプ操作のみで微小な反応場の内外に液体を送液する場合には、精密な圧力制御を行い得る高価なポンプが必要である。このため、マイクロ流体デバイスを使用するための全体コストが高騰する、という問題がある。さらに、マイクロ流体デバイスを構成する流路には、液体だけでなく空気が流入することが一般的であるが、このような気液混合系の流路内における送液をポンプのみで精密に制御することは難しい、という問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、微小な反応場における液体の流入及び流出を容易に制御することが可能な送液方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、第１空間部を構成する第１内壁面と、第２空間部を構成する第２内壁面と、前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面と、を含む本体部を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、前記第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【０００８】
上記（１）の送液方法によれば、微小な反応場として利用可能な微細貫通孔の内部に液体を流入させるために、微細貫通孔が本来的に有する毛細管力（毛細管現象）を利用している。また、微細貫通孔内から液体を流出させるために、前記膜と微細貫通孔内の液体との張力差、及びその張力差が前記膜の乾燥に伴って変化することを利用している。よって、ポンプで発生した高圧力を微細貫通孔に負荷する必要がないため、穏やか且つ確実に微細貫通孔内へ所望の液体を流入及び流出させることができる。
【０００９】
（２）マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、第１空間部を構成する第１内壁面及び第２空間部を構成する第２内壁面を含む本体部と、前記第１空間部に面して開口する第一の開口部及び前記第２空間部に面して開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面を含む副本体部と、を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、前記第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【００１０】
上記（２）の送液方法によれば、上記（１）の場合と同様に、微小な反応場として利用可能な微細貫通孔の内部に液体を流入させるために、微細貫通孔が本来的に有する毛細管力（毛細管現象）を利用している。また、微細貫通孔内から液体を流出させるために、前記膜と微細貫通孔内の液体との張力差、及びその張力差が前記膜の乾燥に伴って変化することを利用している。よって、ポンプで発生した高圧力を微細貫通孔に負荷する必要がないため、穏やか且つ確実に微細貫通孔内へ所望の液体を流入及び流出させることができる。
また、上記（２）の送液方法において使用するマイクロ流体デバイスにおいては、微細貫通孔が副本体部に備えられている。このため、副本体部の形態が本体部から取り外し可能な形態であれば、上記の送液方法を実施した後で、本体部から副本体部を取り外して、新しい副本体部を取り付けることにより、マイクロ流体デバイスの本体部を再利用して、再び上記送液方法を実施することができる。
【００１１】
（３）マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、第１空間部を構成する第１内壁面及び第２空間部を構成する第２内壁面を含む本体部と、前記第１空間部を構成する第１副内壁面及び前記第２空間部を構成する第２副内壁面を含み、更に、前記第１副内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２副内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する内側面を含む副本体部と、を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、前記第１内壁面及び第１副内壁面によって構成される第１空間部に液体を導入し、前記第一の開口部から、毛細管現象により前記１本以上の微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第１内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記１本以上の微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記１本以上の微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【００１２】
上記（３）の送液方法によれば、上記（１）の場合と同様に、微小な反応場として利用可能な微細貫通孔の内部に液体を流入させるために、微細貫通孔が本来的に有する毛細管力（毛細管現象）を利用している。また、微細貫通孔内から液体を流出させるために、前記膜と微細貫通孔内の液体との張力差、及びその張力差が前記膜の乾燥に伴って変化することを利用している。よって、ポンプで発生した高圧力を微細貫通孔に負荷する必要がないため、穏やか且つ確実に微細貫通孔内へ所望の液体を流入及び流出させることができる。また、上記（３）の送液方法において使用するマイクロ流体デバイスにおいては、上記（２）の場合と同様に、微細貫通孔が副本体部に備えられている。このため、副本体部の形態が本体部から取り外し可能な形態であれば、上記送液方法を実施した後で、本体部から副本体部を取り外して、新しい副本体部を取り付けることにより、マイクロ流体デバイスの本体部を再利用して、再び上記送液方法を実施することができる。
【００１３】
（４）マイクロ流体デバイスにおいて液体を送液する方法であって、第１空間部を構成する第１内壁面と、第２空間部を構成する第２内壁面と、・・・第ｎ空間部（ｎは３以上の整数を表す。）を構成する第ｎ内壁面、を含むｎ個の内壁面と、前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第２内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第２空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する第１内側面と、・・・前記第１内壁面に開口する第一の開口部及び前記第ｎ内壁面に開口する第二の開口部を有し、前記第１空間部と前記第ｎ空間部を空間的に連結する１本以上の微細貫通孔を構成する第（ｎ−１）内側面、を含む（ｎ−１）個の内側面と、を含む本体部を備えるマイクロ流体デバイスを使用して、前記第１空間部に液体を導入し、前記（ｎ−１）個の内側面によって構成される各微細貫通孔の各々が有する前記第一の開口部から、各微細貫通孔内に前記液体の一部を流入させた後、前記第１空間部から前記液体を排出することによって前記第ｎ個の内壁面に前記液体からなる膜を形成し、続いて、前記膜の乾燥過程に伴う、前記膜と前記各微細貫通孔内に一時的に残留した前記一部の液体との張力によって、前記一部の液体を、前記各微細貫通孔の前記第一の開口部から前記第１空間部へ流出させることを特徴とする送液方法。
【００１４】
上記（４）の送液方法によれば、上記（１）の場合と同様に、微小な反応場として利用可能な複数の微細貫通孔の各々の内部に液体を流入させるために、各微細貫通孔が本来的に有する毛細管力（毛細管現象）を利用している。また、微細貫通孔内から液体を流出させるために、前記膜と微細貫通孔内の液体との張力差、及びその張力差が前記膜の乾燥に伴って変化することを利用している。よって、ポンプで発生した高圧力を各微細貫通孔に負荷する必要がないため、穏やか且つ確実に、各微細貫通孔内へ所望の液体を流入及び流出させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の送液方法によれば、マイクロ流体デバイスが備える第１空間部に所望の液体を導入すると、毛細管力によって、第１空間部に開口する一つ以上の微細貫通孔の各々の内部に穏やか且つ確実に前記液体の一部を流入させることができる。次いで、第１空間部から前記液体を排出すると、その排出の際に各微細貫通孔内に前記一部の液体が一時的に残留し、続いて自動的に、各微細貫通孔内の前記一部の液体を第１空間部に流出させることができる。このように、第一空間部における液体の流入及び流出を制御するだけで、第１空間部に開口する各微細貫通孔における液体の流入及び流出を制御できるため、安価なポンプを使用するか又は手動でシリンジ使用することによって、本発明にかかる送液方法を容易に実施することができる。
【００１６】
また、本発明で使用するマイクロ流体デバイスに備えられた微細貫通孔を微小な反応場として利用することにより、反応物質（反応分子）同士の物質間距離（分子間距離）を飛躍的に短くすることができる。このため、例えば、従来方法では数時間を要していたＥＬＩＳＡ(enzyme-linked immunosorbent assay)を十数分から数十分程度で実施することが可能である。
したがって、本発明の送液方法は、在宅医療、ポイント・オブ・ケア、臨床検査、食品検査等の用途に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の送液方法において使用可能なマイクロ流体デバイス１０の模式的な断面図である。
【図２】図１の要部を示す図であり、マイクロ流体デバイス１０における送液の様子を示した模式図である。
【図３】図１の要部を示す図であり、マイクロ流体デバイス１０における送液の様子を示した模式図である。
【図４】図１の要部を示す図であり、マイクロ流体デバイス１０における送液の様子を示した模式図である。
【図５Ａ】マイクロ流体デバイスに備えられた、第１空間部、第２空間部及び複数の微細貫通孔を表す模式的な断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａのマイクロ流体デバイスにおける複数の微細貫通孔をＡ−Ａ’方向で切断した時の各微細貫通孔の断面形状の一例を示した模式図である。
【図５Ｃ】図５Ａのマイクロ流体デバイスにおける複数の微細貫通孔をＡ−Ａ’方向で切断した時の各微細貫通孔の断面形状の一例を示した模式図である。
【図５Ｄ】図５Ａのマイクロ流体デバイスにおける複数の微細貫通孔をＡ−Ａ’方向で切断した時の各微細貫通孔の断面形状の一例を示した模式図である。
【図５Ｅ】図５Ａのマイクロ流体デバイスにおける複数の微細貫通孔をＡ−Ａ’方向で切断した時の各微細貫通孔の断面形状の一例を示した模式図である。
【図６】本発明の送液方法において使用可能なマイクロ流体デバイス２０の模式的な断面図である。
【図７】本発明の送液方法において使用可能なマイクロ流体デバイス３０の模式的な断面図である。
【図８】本発明の送液方法において使用可能なマイクロ流体デバイス４０の模式的な断面図である。
【図９】マイクロ流体デバイスを構成する第一基板及び第二基板の模式的な断面図である。
【図１０】マイクロ流体デバイスを構成する第一基板及び第二基板の模式的な断面図である。
【図１１】マイクロ流体デバイスの微細貫通孔Ｔを含む要部の模式的な断面図である。
【図１２】マイクロ流体デバイスの微細貫通孔Ｔを含む要部の模式的な断面図である。
【図１３】マイクロ流体デバイスの微細貫通孔Ｔを含む要部の模式的な断面図である。
【図１４Ａ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｂ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｃ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｄ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｅ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｆ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｇ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｈ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【図１４Ｉ】本発明の送液方法を利用した生化学検査の一例を行う様子を示した、マイクロ流体デバイスの要部の模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
《送液方法》
図１に示すマイクロ流体デバイス１０は、本発明にかかる送液方法の第一実施形態において使用可能なマイクロ流体デバイスの一例である。図１はマイクロ流体デバイス１０の模式的な断面図を示している。
【００１９】
マイクロ流体デバイス１０は、第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１と、第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２と、第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第２内壁面ｗ２に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を空間的に連結する一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する内側面Ｙと、を含む本体部４を少なくとも備えている。マイクロ流体デバイス１０において、本体部４に内在される第１空間部Ｓ１及び第２空間部Ｓ２は、複数の微細貫通孔Ｔによって互いに空間的に連結している（連通している）。
【００２０】
第一実施形態の送液方法は、第１空間部Ｓ１に任意の液体を導入し、第一の開口部Ｔａから、毛細管現象（毛細管力）により各微細貫通孔Ｔ内に前記液体の一部を流入させた後、第１空間部Ｓ１から前記液体を排出し、続いて、前記液体の排出の際に各微細貫通孔Ｔ内に一時的に残留した前記一部の液体を、各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから第１空間部Ｓ１へ自動的に流出させる送液方法である。
【００２１】
第一実施形態の送液方法の説明は、流入ステップ、排出ステップ、流出ステップの３ステップに分けられる。
【００２２】
流入ステップは、第１空間部Ｓ１に任意の液体を導入するとともに、第１空間部Ｓ１に開口する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、毛細管現象により各微細貫通孔Ｔ内に前記液体の一部を流入させるステップである。
排出ステップは、各微細貫通孔Ｔ内に流入された前記一部の液体を残したまま、第１空間部Ｓ１から前記液体を排出するステップである。
流出ステップは、前記排出の後、各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、各微細貫通孔Ｔ内に残留された前記液体を第１空間部Ｓ１へ自動的に流出させるステップである。
以下、各ステップを順に説明する。
【００２３】
（流入ステップ）
図２に示す様に、マイクロ流体デバイス１０を構成する本体部４の表面に開口する開口部から第１空間部Ｓ１へ液体Ｑを導入すると、第１空間部Ｓ１に開口する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、毛細管現象（毛細管力）により各微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑの一部が流入する。この際、各微細貫通孔Ｔ内の空気は第２空間部Ｓ２へ自然に押し出される。
【００２４】
微細貫通孔Ｔの孔径（長手方向に直交する断面の直径又は短径）は、上記毛細管現象が起きる範囲であれば特に制限されず、使用する液体Ｑの表面張力や粘度等にもよるが、通常２００ｎｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましい。
【００２５】
微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから流入して進む液体Ｑの先端部は、第２空間部Ｓ２に開口する第二の開口部Ｔｂに達してもよいし、達しなくてもよい。第二の開口部Ｔｂに達した場合、その先端部を構成する液体Ｑの一部が第二の開口部Ｔｂから流出しても構わないが、基本的には第二の開口部Ｔｂから流出せずに、第二の開口部Ｔｂで液体Ｑの先端部の進行が止まる。この理由は、毛細管力が液体Ｑを微細貫通孔Ｔ内に留めるため、及び第二の開口部Ｔｂにおいて液体Ｑの先端部に働く表面張力が液体Ｑを微細貫通孔Ｔ内に留めるためである。
【００２６】
第１空間部Ｓ１に液体Ｑが充分に導入されると、各微細貫通孔Ｔの内部も液体Ｑの一部によって満たされる（図３参照）。この際、第１空間部Ｓ１に継続して液体Ｑを導入し続けてもよいし、第１空間部Ｓ１の液体Ｑの流通を止めて、第１空間部Ｓ１を液体Ｑで満たした状態を保ってもよい。
【００２７】
（排出ステップ）
次に、図４に示す様に、各微細貫通孔Ｔ内に流入された前記一部の液体Ｑを残したまま、第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出する。排出方法は特に制限されず、重力を利用した自然排出であってもよいし、シリンジポンプ、ペリスターポンプ等を利用した強制排出であってもよい。排出速度は特に制限されず、第１空間部Ｓ１が陰圧になる程に勢いよく排出しても構わないが、通常、より穏やかに排出することが好ましい。すなわち、液体Ｑの排出によって、第１空間部Ｓ１が陰圧や陽圧になってもよいし、ならなくてもよい。
【００２８】
（流出ステップ）
第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出すると、液体Ｑが排出されて第１空間部Ｓ１に空気が流入し、この空気に接した順に、各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、各微細貫通孔Ｔ内に残されていた液体Ｑが自動的に第１空間部Ｓ１へ流出する。
【００２９】
この自動的な流出が発生する要因の一つとして、第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出した直後に、各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａが開口する第１空間部Ｓ１の第１内壁面ｗ１に、液体Ｑからなる薄い膜Ｍが形成されることが挙げられる。この膜Ｍが第１空間部Ｓ１に流入した空気によって徐々に乾燥し、その膜Ｍの厚みが徐々に薄くなり、最終的には膜Ｍが無くなる。この乾燥過程に伴って、各微細貫通孔Ｔ内の液体Ｑと膜Ｍの間に張力が働き続け、各微細貫通孔Ｔ内の液体Ｑが膜Ｍの方向に引き寄せられて第一の開口部Ｔａから流出する、というメカニズムが働いている。このメカニズムにより、空気に触れる順番が速い第一の開口部Ｔａを有する微細貫通孔Ｔから順に（図４においては、紙面の上から下に並んだ複数の微細貫通孔Ｔのうち、上側の微細貫通孔Ｔから順に）、ある程度の時間差を伴って、各々の微細貫通孔Ｔの内部に残された液体Ｑが第１空間部Ｓ１へ自動的に流出する。
【００３０】
以上の各ステップにより、第１空間部Ｓ１に導入した液体Ｑの一部を各微細貫通孔Ｔ内に流入させ、所望に応じてその状態を保持し、続いて、第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出することにより、前記液体Ｑの排出時に一時的に各微細貫通孔Ｔ内に残された液体Ｑの一部を第１空間部Ｓ１へ流出させることができる。
【００３１】
以上の説明においては、第１空間部Ｓ１に液体Ｑを導入する場合を説明したが、この場合と同様に第２空間部Ｓ２に液体Ｑを導入すれば、第２空間部Ｓ２に開口する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから各微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑの一部を流入させることができる。次いで、第２空間部Ｓ２内の液体Ｑを排出することにより、各微細貫通孔Ｔ内の液体Ｑを第二の開口部Ｔｂから第２空間部Ｓ２へ流出させることができる。第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２の構造及び構成は互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３２】
マイクロ流体デバイス１０を使用して本発明にかかる送液方法を実施することにより、各微細貫通孔Ｔを物理、化学、生物学（バイオテクノロジー）に関する反応場として利用することができる。具体的には、例えば、免疫化学反応を利用した生化学的検査デバイスとして、マイクロ流体デバイス１０を使用することができる。
【００３３】
《マイクロ流体デバイス》
マイクロ流体デバイス１０を構成する複数の微細貫通孔Ｔは、それぞれ第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａと、第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２に開口する第二の開口部Ｔｂとを有する。各微細貫通孔Ｔは、マイクロ流体デバイス１０を構成する本体部４に内在して第一の流路を形成する第１空間部Ｓ１と、本体部４に内在して第二の流路を形成する第２空間部Ｓ２とを空間的に連結している（連通している）。つまり、各微細貫通孔Ｔの第一の端部が第一の開口部Ｔａを構成し、各微細貫通孔Ｔの第二の端部が第二の開口部Ｔｂを構成している。
【００３４】
本体部４に内在する第１空間部Ｓ１は、本体部４が有する第１内壁面ｗ１によって形成されている。第１空間部Ｓ１は本体部４の表面の任意の箇所に少なくとも１つの開口部を有する。何れかの開口部から任意の液体Ｑを注入すると、第１空間部Ｓ１内に液体Ｑが導入される。その後、所望のタイミングで第１空間部Ｓ１内の液体Ｑを何れかの開口部から排出する。第１空間部Ｓ１における液体Ｑの導入及び排出を制御するために、マイクロ流体デバイス１０にポンプ又はバルブが取り付けられてもよい。
【００３５】
第１空間部Ｓ１の形状は、第一の開口部Ｔａが開口する第１内壁面ｗ１を有する形状であれば特に限定されず、例えば、公知の流体デバイスを構成する流路と同じ形状であってもよいし、立方体、直方体、球、回転楕円体等の任意の立体形状であってもよい。第１空間部Ｓ１の形状が長手方向を有する形状である場合、その長手方向に直交する断面の形状は矩形、円形、楕円形等の任意の形状でよい。前記断面の断面積は特に限定されず、例えば、１ｍｍ２〜４００ｍｍ２程度が好ましい。この範囲であると、第１空間部Ｓ１に開口する各微細貫通孔Ｔ内に対して、穏やか且つ確実に、液体Ｑが流入及び流出し得る。
【００３６】
第２空間部Ｓ２の形状及びサイズは、第１空間部Ｓ１と同じであってもよいし、異なっていてもよい。第２空間部Ｓ２が構成する第二の流路の経路と、第１空間部Ｓ１が構成する第一の流路の経路とは互いに異なるが、両方の経路の一部が重複したり交差したりしても構わない。各流路における液体Ｑの流れの制御は、公知方法で行えばよく、例えば流路上に設けられたバルブ又はポンプ（不図示）によって制御することができる。その他の第２空間部Ｓ２に関する説明は、上記の第１空間部Ｓ１の説明と同様であるため省略する。
【００３７】
微細貫通孔Ｔの孔径、すなわち微細貫通孔Ｔの長手方向に直交する断面の直径又は短径（最小径）は、上記毛細管力による液体Ｑの流入及び上記自動的な液体Ｑの流出が容易になるため、第一の開口部Ｔａから第二の開口部Ｔｂまで均一であることが好ましい。前記孔径は、前述した様に２００ｎｍ〜１０μｍ程度の範囲であることが好ましい。この範囲であると、上記毛細管力による液体Ｑの流入及び上記自動的な液体Ｑの流出が、穏やか且つ確実に行われ得る。
【００３８】
微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａ及び第二の開口部Ｔｂの形状（微細貫通孔Ｔの両端部が第１内壁面ｗ１及び第２内壁面ｗ２にそれぞれ形成する縁の輪郭）は、上記毛細管力による液体Ｑの流入及び上記自動的な液体Ｑの流出が起こることを妨げる形状でなければ特に制限されない。上記流入及び流出がより容易に起きるため、第一の開口部Ｔａ及び第二の開口部Ｔｂの形状は、これら開口部Ｔａ，Ｔｂを両端に有する微細貫通孔Ｔの長手方向に直交する断面の形状と同じであることが好ましい。
【００３９】
微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａと第二の開口部Ｔｂの形状は互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。また、マイクロ流体デバイス１０の様に、微細貫通孔Ｔがデバイス内に複数備えられている場合には、各微細貫通孔Ｔの長手方向に直交する断面の形状、及び各微細貫通孔Ｔの開口部Ｔａ、Ｔｂの形状は、互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００４０】
マイクロ流体デバイスが有する複数の微細貫通孔Ｔを図５ＡのＡ−Ａ’方向で切断したときの各微細貫通孔Ｔの断面形状の具体例を次に示す。図５Ｂは楕円形状の断面を有する複数の微細貫通孔Ｔが直線的に配列された例であり、図５Ｃは矩形状の断面を有する複数の微細貫通孔Ｔが直線的に配列された例であり、図５Ｄは楕円形状の断面を有する複数の微細貫通孔Ｔが三本の直線状に配列された例であり、図５Ｅは図５Ｂよりも扁平で長径の方向が異なる楕円形状の断面を有する複数の微細貫通孔Ｔが直線的に配列された例である。マイクロ流体デバイスに備えられた複数の微細貫通孔Ｔは、互いに同じ断面形状を有していてもよいし、異なる断面形状を有していてもよい。
【００４１】
微細貫通孔Ｔの長手方向の長さは、上記毛細管力による液体Ｑの流入及び上記自動的な液体Ｑの流出が起こる長さであれば特に制限されず、例えば、０．５ｍｍ〜１５ｍｍ程度が好ましい。この範囲であると、微細貫通孔Ｔにおける液体Ｑの流入及び流出を、穏やか且つ確実に起こすことができる。前記長さは、微細貫通孔Ｔ内の液体Ｑの流入又は流出を光学的に検知することが可能な長さであることが好ましい。
【００４２】
マイクロ流体デバイス１０に備えられた微細貫通孔Ｔが複数である場合、各微細貫通孔Ｔ同士の距離（離間距離）及び各微細貫通孔Ｔの開口部Ｔａ，Ｔｂ同士の距離（離間距離）は特に制限されず、例えば１μｍ〜１００μｍ程度が好ましい。各微細貫通孔Ｔの長手方向に沿う中心軸線の方向（中心軸が指す方向）は、互いに平行であってもよいし、非平行であってもよい。
【００４３】
マイクロ流体デバイス１０の本体部４において、微細貫通孔Ｔが連通する第１空間部Ｓ１及び第２空間部Ｓ２は、二つの平行な流路を形成している。各流路において、微細貫通孔Ｔの長手方向に沿う中心軸線が各流路を通過する方向の流路径は特に限定されないが、各流路から微細貫通孔Ｔ内へ液体が流入し易くなる観点から、例えば０．５ｍｍ〜２０ｍｍ程度が好ましい。
【００４４】
前記各流路の長手方向に沿う中心軸線と、各微細貫通孔Ｔの長手方向に沿う中心軸線との「なす角」は特に制限されず、９０度であってもよいし、鈍角であってもよいし、鋭角であってもよい。前記なす角が特に制限されない理由は、各微細貫通孔Ｔにおける液体Ｑの流入及び流出に対して支配的な力は、上記毛細管力、及び、各第一の開口部Ｔａ周辺の第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１において形成される液体Ｑからなる膜Ｍの移動（乾燥）の際に発生する張力であり、上記なす角の寄与は小さいからである。
【００４５】
マイクロ流体デバイス１０においては、第１空間部Ｓ１及び第２空間部Ｓ２を構成する第１内壁面ｗ１及び第２内壁面ｗ２、並びに複数の微細貫通孔Ｔを構成する内側面Ｙが、本体部４を構成する基材（基板）に含まれている。
【００４６】
次に、マイクロ流体デバイス１０の変形例として、マイクロ流体デバイス２０（図６参照）、マイクロ流体デバイス３０（図７参照）を説明する。
マイクロ流体デバイス２０，３０を使用して、前述したマイクロ流体デバイス１０と同様に、流入ステップ、排出ステップ及び流出ステップによって送液することができる。
【００４７】
図６に示すマイクロ流体デバイス２０は、第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１及び第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２を含む本体部４と、第１空間部Ｓ１に面して開口する第一の開口部Ｔａ及び第２空間部Ｓ２に面して開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する内側面Ｙを含む副本体部５（チップ）と、を備えている。
【００４８】
マイクロ流体デバイス２０においては、副本体部５が本体部４の内部に設置されている。副本体部５の第一の表面５ｕは、本体部４の第１内壁面ｗ１と一体化して第１空間部Ｓ１を構成している。副本体部５に含まれる各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａは、第１空間部Ｓ１に面するように第一の表面５ｕに開口している。同様に、副本体部５の第二の表面５ｖは、本体部４の第２内壁面ｗ２と一体化して第２空間部Ｓ２を構成している。副本体部５に含まれる各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂは、第２空間部Ｓ２に面するように第二の表面５ｖに開口している。
【００４９】
図７に示すマイクロ流体デバイス３０は、第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１及び第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２を含む本体部４と、第１空間部Ｓ１を構成する第１副内壁面ｗｗ１及び第２空間部Ｓ２を構成する第２副内壁面ｗｗ２を含み、更に、第１副内壁面ｗｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第２副内壁面ｗｗ２に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する内側面Ｙを含む副本体部５（チップ）と、を備えている。
【００５０】
マイクロ流体デバイス３０においては、副本体部５が本体部４の内部に設置されている。副本体部５の第１副内壁面ｗｗ１は、本体部４の第１内壁面ｗ１に接続されて、全体として一つの第１空間部Ｓ１を形成している。副本体部５に含まれる各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａは、第１空間部Ｓ１に面するように第１副内壁面ｗｗ１に開口している。同様に、副本体部５の第２副内壁面ｗｗ２は、本体部４の第１内壁面ｗ２に接続されて、全体として一つの第２空間部Ｓ２を形成している。副本体部５に含まれる各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂは、第２空間部Ｓ２に面するように第２副内壁面ｗｗ２に開口している。
【００５１】
マイクロ流体デバイス２０，３０を構成する副本体部５（チップ）は、本体部４から取り外すこと及び本体部４に取り付けることが可能なように設置されていてもよいし、本体部４から取り外すことができないように接着又は接合された状態で設置されていてもよい。
【００５２】
副本体部５を構成する基体の形状は、本体部４に設置可能な形状であれば特に限定されない。前記基体の形状としては、例えば直方体、立方体等の箱型形状（チップ形状）が挙げられる。前記基体の材料は特に限定されず、本体部４を構成する基体の材料と同じ材料が適用可能である。
【００５３】
本体部４又は副本体部５を構成する基体に、微細貫通孔Ｔ、第１空間部Ｓ１及び第２空間部Ｓ２を形成する方法は特に限定されず、公知の微細加工技術を適用できる。マイクロ流体デバイス１０の製造方法を代表例として、後で詳述する。
【００５４】
以上で説明したマイクロ流体デバイス１０，２０，３０は、２つの空間部Ｓ１、Ｓ２を備えたデバイスである。
以下に、複数の空間部を備えたマイクロ流体デバイス４０を、図８を参照して例示する。
【００５５】
マイクロ流体デバイス４０は、第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１と、第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２と、・・・第ｎ空間部Ｓｎを構成する第ｎ内壁面ｗｎと、の合計ｎ個の内壁面を含む。を含む。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表す。
【００５６】
さらに、マイクロ流体デバイス４０は、第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第２内壁面ｗ２に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を空間的に連結する一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する第１内側面Ｙ１と、・・・第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第ｎ内壁面ｗｎに開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第ｎ空間部Ｓｎを空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する第（ｎ−１）内側面Ｙ（ｎ−１）と、の合計（ｎ−１）個の内側面を含む。１つの内側面は１本以上の微細貫通孔を構成する。を含む。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表す。
【００５７】
ここで、「第１空間部Ｓ１を構成する第１内壁面ｗ１と、第２空間部Ｓ２を構成する第２内壁面ｗ２と、・・・第ｎ空間部Ｓｎを構成する第ｎ内壁面ｗｎ」の表記における「・・・」は、第３空間部Ｓ３を構成する第３内壁面ｗ３、第４空間部Ｓ４を構成する第４内壁面ｗ４、第５空間部Ｓ５を構成する第５内壁面ｗ５、・・・の順序で、任意のｎ個の空間部が繰り返されることを表す。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表し、図８においてはｎ＝５の場合を例示している。
【００５８】
同様に、「・・・第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第ｎ内壁面に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第ｎ空間部Ｓｎを空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する第（ｎ−１）内側面Ｙ（ｎ−１）と、」の表記における「・・・」は、
第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第３内壁面に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第３空間部Ｓ３を空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する第２内側面Ｙ２と、
第１内壁面ｗ１に開口する第一の開口部Ｔａ及び第４内壁面に開口する第二の開口部Ｔｂを有し、第１空間部Ｓ１と第４空間部Ｓ４を空間的に連結する（連通する）一つ以上の微細貫通孔Ｔを構成する第３内側面Ｙ３と、・・・
の順序で、任意の（ｎ−１）個の内側面が繰り返されることを表す。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表し、第ｎ空間部Ｓｎにおける「ｎ」と同一の整数である。よって、図８においてはｎ＝５の場合を例示している。
【００５９】
マイクロ流体デバイス４０は、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を連通する一つ以上の微細貫通孔Ｔからなる第１微小空間群Ｇ１、第１空間部Ｓ１と第３空間部Ｓ３を連通する一つ以上の微細貫通孔Ｔからなる第２微小空間群Ｇ２、・・・第１空間部Ｓ１と第ｎ空間部Ｓｎを連通する一つ以上の微細貫通孔Ｔの第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）を有する。ここでも、「・・・」の表記は前述と同様の順序で、任意の（ｎ−１）個の微小空間群が繰り返されることを表す。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表し、第ｎ空間部Ｓｎにおける「ｎ」と同一の整数である。よって、図８においてはｎ＝５の場合を例示している。
【００６０】
マイクロ流体デバイス４０における第一の送液方法は、前述したマイクロ流体デバイス１０等と同様に、流入ステップ、排出ステップ及び流出ステップによって実施することができる。
【００６１】
第一の送液方法において、流入ステップは、第１空間部Ｓ１に液体Ｑを導入するとともに、第１空間部Ｓ１に開口し、第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａ、・・・及び第１空間部Ｓ１に開口し、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）を構成する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、毛細管現象により各微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑの一部をそれぞれ流入させるステップである。排出ステップは、各微細貫通孔Ｔ内に流入された前記一部の液体Ｑを残したまま、第１空間部Ｓ１から液体Ｑを排出するステップである。流出ステップは、前記排出後、各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから、各微細貫通孔Ｔ内の液体Ｑを第１空間部Ｓ１へ自動的に流出させるステップである。なお、ｎは３以上の整数（序数）を表す。
【００６２】
前述の第一の送液方法においては、マイクロ流体デバイス４０が有する第１微小空間群〜第（ｎ−１）微小空間群を構成する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａが共通に開口している第１空間部Ｓ１に、液体Ｑを導入することによって、第１微小空間群〜第（ｎ−１）微小空間群の各微細貫通孔Ｔに同一の液体Ｑを流入し、その後流出させている。この第一の送液方法とは異なる第二の送液方法として、第１微小空間群〜第（ｎ−１）微小空間群のそれぞれの群に対して、異なる液体を流入及び流出させることも可能である。
【００６３】
マイクロ流体デバイス４０を使用した第二の送液方法においては、第１微小空間群〜第（ｎ−１）微小空間群の各群が独立に、流入ステップ、排出ステップ及び流出ステップを行う。その流入ステップにおいては、各群を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂが群ごとに個別に開口する、第２空間部Ｓ２〜第ｎ空間部Ｓｎのそれぞれに対して所望の液体を導入する。
【００６４】
第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔに所定の液体Ａを流入及び流出させる際には、第２空間部Ｓ２において液体Ａを導入及び排出すればよい。この第１微小空間群Ｇ１における液体Ａの流入及び流出とは独立に、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）に液体Ｂを流入及び流出させる際には、第ｎ空間部Ｓｎに液体Ｂを導入し、その後排出すればよい。
【００６５】
第２空間部Ｓ２に導入された液体Ａの一部は、第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから各微細貫通孔Ｔ内に流入する。次いで、第２空間部Ｓ２から液体Ａを排出すると、第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔ内に一時的に残留した液体Ａの一部が第二の開口部Ｔｂから第２空間部Ｓ２へ流出する。
第ｎ空間部Ｓｎに導入された液体Ｂの、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）における流入及び流出についても、第２空間部Ｓ２に導入された液体Ａの場合と同様である。
【００６６】
したがって、第二の送液方法は、本体部４と、本体部４に内在する第１空間部Ｓ１、第２空間部Ｓ２、・・・及び第ｎ空間部Ｓｎ（ｎは３以上の整数を表す。）と、本体部４に内在し、第１空間部Ｓ１と第２空間部Ｓ２を連通する一本以上の微細貫通孔Ｔからなる第１群Ｇ１、・・・及び第１空間部Ｓ１と第ｎ空間部Ｓｎを連通する一本以上の微細貫通孔Ｔからなる第（ｎ−１）群Ｇ（ｎ−１）と、を備えたマイクロ流体デバイス４０を使用して、以下で説明するように、第１微小空間群Ｇ１における送液、・・・、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）における送液をそれぞれ独立に行う送液方法である。
【００６７】
ここでも、「・・・」の表記は前述と同様の順序で、任意の（ｎ−１）個の微小空間群が繰り返されることを表す。前記「ｎ」は３以上の整数（序数）を表し、第ｎ空間部Ｓｎにおける「ｎ」と同一の整数である。よって、図８においてはｎ＝５の場合を例示している。
【００６８】
第１微小空間群Ｇ１における送液は、第２空間部Ｓ２に第１の液体を導入するとともに、第２空間部Ｓ２に開口する第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから、毛細管現象により各微細貫通孔Ｔ内に前記液体の一部を流入させる流入ステップと、第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔ内に流入された前記一部の液体を残したまま、第２空間部Ｓ２から前記液体を排出する排出ステップと、前記排出後、第１微小空間群Ｇ１を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから、各微細貫通孔Ｔ内の液体を第２空間部Ｓ２へ自動的に流出させる流出ステップと、を有する。
【００６９】
第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）における送液は、第ｎ空間部Ｓｎに第（ｎ−１）の液体を導入するとともに、第ｎ空間部Ｓｎに開口する第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから、毛細管現象により各微細貫通孔Ｔ内に前記液体の一部を流入させる流入ステップと、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）を構成する各微細貫通孔Ｔ内に流入された前記一部の液体を残したまま、第ｎ空間部Ｓｎから前記液体を排出する排出ステップと、前記排出後、第（ｎ−１）微小空間群Ｇ（ｎ−１）を構成する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから、各微細貫通孔Ｔ内の液体を第ｎ空間部Ｓｎへ自動的に流出させる流出ステップと、を有する。
【００７０】
マイクロ流体デバイス４０を使用した第二の送液方法においては、各群に対してそれぞれ独立に、同一の液体を送液してもよいし、異なる液体を送液してもよい。例えば、各群において異なる抗原を検出するＥＬＩＳＡを実施することができる。各群におけるＥＬＩＳＡは独立に行うことができるため、複数のＥＬＩＳＡを同時並行で実施することも可能である。
一方、前述した第一の送液方法においては、第１空間部Ｓ１に開口する微細貫通孔Ｔを有する全ての群に対して、一括して同一の液体を送液することができる。
【００７１】
マイクロ流体デバイス４０の使用において、第二の送液方法と第一の送液方法を組み合わせた送液方法を実施してもよい。この送液方法により、各群の独立性を活かして、効率の良い送液を実現することができる。一例として次のような使用方法が挙げられる。
【００７２】
まず、第一の送液方法によって、全ての群に対して一括してプロテインＡを含む溶液を送液して、全ての群を構成する各微細貫通孔Ｔの内側面にプロテインＡを吸着させた後、さらにスキムミルクが含まれた溶液を送液して、全ての群を構成する各微細貫通孔Ｔの内壁面をブロッキングする。
次に、第二の送液方法によって、各群に対して独立に、所望の抗原特異性を有する個別の一次抗体を含む溶液を送液して、各群が有する微細貫通孔Ｔの内壁面に個別の一次抗体を配置する。
続いて、第一の送液方法によって、全ての群に対して一括して洗浄液を送液した後、全ての群に対して一括して検査対象の試料液を送液し、さらに、全ての群に対して一括して標識物質が結合された二次抗体を含む溶液を送液することにより、各群においてそれぞれ独立したＥＬＩＳＡを実施することができる。
【００７３】
《マイクロ流体デバイスの製造方法》
前述したマイクロ流体デバイスは公知の微細加工技術を適用することにより製造することができる。
マイクロ流体デバイスの本体部４の材料は特に制限されず、例えば、ガラス、プラスチック（樹脂）、半導体、金属、セラミックス等が挙げられる。本体部４の形状は特に制限されず、本体部４を他のデバイス（例えばポンプ、試薬瓶、廃液溜め等）に接続したり、設置したりすることが容易になるため、立方体、直方体等の箱型の形状であることが好ましい。このような形状の本体部４を「基板」と称する。以下、本体部４が基板によって構成されている場合のマイクロ流体デバイスの製造方法を説明するが、本体部４が基板以外の形状であっても同様に製造することができる。
【００７４】
基板（本体部４）に内在する微細貫通孔Ｔを形成する方法として、例えば、第一の形成方法と第二の形成方法の２つの形成方法が例示できる。
【００７５】
（第一の形成方法）
第一の形成方法は、図９及び図１０に示す様に、第一基板４Ａの表面に溝Ｙａ（凹部）を形成し、その表面に第二基板４Ｂを接合して、溝Ｙａに天井を形成することにより微細貫通孔Ｔを形成する方法である。
【００７６】
図９及び図１０は、本体部４の微細貫通孔Ｔを含む要部を拡大した模式的な断面図である。本体部４は、第一基板４Ａと第二基板４Ｂを接合してなる。微細貫通孔Ｔは、両基板の界面に形成されている。図９の場合は、断面が矩形状の微細貫通孔Ｔを１つ形成した場合である。図１０の場合は、断面が矩形状の微細貫通孔Ｔを複数形成した場合である。
【００７７】
図１０に示す様に、溝Ｙａの高さＨ１が、隣接する微細貫通孔Ｔ同士の離間距離Ｌ２よりも大きい場合（Ｈ１＞Ｌ２の場合）、各微細貫通孔Ｔの表面積（微細貫通孔を構成する内側面の面積）の合計は、図９に示した一つの大きな微細貫通孔Ｔの表面積（微細貫通孔を構成する内側面の面積）よりも大きくなる。したがって、本体部４に内在される微細貫通孔Ｔが有する表面積、すなわち液体Ｑと微細貫通孔Ｔを構成する内側面との接触面積、を増やしたい場合は、図１０の様に微細貫通孔Ｔを複数形成すればよい。前記表面積（接触面積）を更に増やすためには、各微細貫通孔Ｔのアスペクト比（高さＨ１／底辺Ｌ１）を１より大きくすればよい。アスペクト比を大きくする程、前記表面積を増やすことができる。
【００７８】
第一基板４Ａに溝Ｙａを形成する方法として、第一基板４Ａの材料に応じて種々の公知方法が挙げられる。
【００７９】
第一基板４Ａとして樹脂基板を使用する場合には、例えば、ソフトリソグラフィ技術によって作製した微細なパターンを転写して形成するモールディング、ナノインプリント、射出成形などの公知方法を適宜組み合わせる形成方法が挙げられる。
【００８０】
第一基板４Ａとしてガラス基板を使用する場合には、例えば、フォトリソグラフィ、レーザー加工、機械加工、ドライエッチング、ウェットエッチングなどの公知方法を適宜組み合わせる方法が挙げられる。ナノスケールの溝Ｙａを形成する場合には、短パルスレーザー加工による基板改質とウェットエッチングの組み合わせが好ましい。
【００８１】
第一基板４Ａと第二基板４Ｂとを接合する方法としては、例えば、接着剤によって接着する方法、陽極接合法、自己溶着法、表面改質を併用した低温圧着法等の公知方法が挙げられる。
【００８２】
第一基板４Ａと第二基板４Ｂの材質は、互いに同じであってもよいし、異なっていてもよい。具体的には、両基板ともガラス基板であってもよいし、ガラス基板とシリコン基板との組み合わせであってもよいし、ガラス基板とプラスチック基板との組み合わせであってもよいし、両基板とも樹脂基板であってもよい。
【００８３】
プラスチック基板の種類は特に限定されず、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＳ（ポリスチレン）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）、ＡＳ（アクリロニトリルスチレン）樹脂、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＬＡ（ポリ乳酸）等が挙げられる。ガラス基板を構成するガラスの種類も特に限定されず、例えば、石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス等が挙げられる。
【００８４】
（第二の形成方法）
第二の形成方法は、図１１、図１２及び図１３に示す様に、第一基板４Ｃの内部に微細貫通孔Ｔを直接的に形成する方法である。基板の内部に短パルスレーザー光の焦点（集光部）を結び、基板内に微細貫通孔Ｔを形成する部位を走査することにより、その走査した部位（改質部）のエッチング耐性を弱める様に改質する。その後、ウェットエッチングによって基板内から改質部を除去することにより、基板内部に微細貫通孔Ｔを形成することができる。
【００８５】
図１１、図１２及び図１３は、本体部４に形成された複数の微細貫通孔Ｔを含む要部の模式的な断面図である。本体部４は、単一の基板４Ｃによって構成されている。微細貫通孔Ｔは、基板４Ｃの内部に形成されている。
【００８６】
図１１の場合は、複数の楕円状の断面を有する微細貫通孔Ｔが、基板厚さ方向Ｋと直交する方向（基板の平面方向）に一列で配列した場合である。前記楕円の長径は基板厚さ方向Ｋに沿っているため、前記断面が真円である場合よりも、基板の平面方向における微細貫通孔４の集積密度を高めることができる。集積密度を高めることにより、単位体積当たりの計測サンプル数が増加するため、測定精度が向上し得る。
【００８７】
図１２の場合は、複数の楕円状の断面を有する微細貫通孔Ｔが、基板厚さ方向Ｋと直交する方向（基板の平面方向）に二列で配列した場合である。図において上段に配列された微細貫通孔Ｔと下段に配列された微細貫通孔Ｔとは、基板の厚み方向Ｋに見て互いに重ならない様に配列している。このように配列することにより、各微細貫通孔Ｔを基板厚さ方向Ｋに観察する際の容易さを損なうことなく、複数の微細貫通孔Ｔの集積密度を高めることができる。
【００８８】
図１３の場合は、複数の楕円状の断面を有する微細貫通孔Ｔが、基板厚さ方向Ｋに一列で配列した場合である。このように配列すると、微細貫通孔Ｔの長径が基板平面方向に沿っている（微細貫通孔Ｔの短径が基板厚さ方向Ｋに沿っている）ため、基板厚み方向Ｋに沿って光（例えば、励起光、内部を観察するためのバックライト等）を微細貫通孔Ｔに照射した際、その照射光が屈折され難く、照射光を透過させ易い。したがって、微細貫通孔Ｔの内部に光を照射し易く、微細貫通孔Ｔ内部における発光を基板の厚み方向Ｋから観察し易い。
【００８９】
（第二の形成方法の具体例）
本具体例においては、フェムト秒レーザーであるチタンサファイアレーザー光を発生する装置を使用するが、他の種類のレーザー光を発生する装置を使用しても構わない。
まず、精密ステージに設置した石英ガラス基板の第一面からレーザー光を基板内部に入射させ、レーザー光の焦点を基板内部の所定位置に結び、レーザー光の伝搬方向（光軸）に対して垂直の方向にレーザー光の焦点を走査する。この際、走査方向に対してレーザー偏波が垂直であると、ナノオーダー（例えば１０ｎｍ〜５００ｎｍ程度）の短径を有する微細貫通孔Ｔを容易に形成することができる。また、レーザー光の照射強度は、加工下限閾値以上且つ加工上限閾値未満に設定されることが好ましい。最適な照射強度は、予め同じ種類の石英ガラス基板を用いて調べておくことが好ましい。
一例として、例えば以下の照射条件が挙げられる。
【００９０】
・波長（中心波長）＝８００ｎｍ、スペクトル幅＝１０ｎｍ（±５ｎｍ）、パルス時間幅＝〜２５０ｆｓ、対物レンズの開口数（N.A.）＝０．５、偏波＝直線偏波、光軸と走査方向とのなす角度＝約９０度
・ピーク強度（１パルス当りのレーザーフルエンス／パルス時間幅）＝９ＴＷ／ｃｍ２
・走査速度(μｍ/sec)＝１，０００μｍ/sec、繰り返し周波数(kHz)＝２００ｋＨｚ
・１パルス毎の焦点が重なるようにシフトさせながら一定の速度で走査
【００９１】
上記のように石英基板に対してレーザー光を照射することにより、レーザー光の焦点及びその周辺を含む集光部が走査した領域に、エッチング耐性が低下した改質部が形成される。例えば、基板表面に対して略平行に延在し、その延在する方向に対して直交方向の断面の形状が楕円形（略矩形）である改質部を形成することができる。一例として、長径（縦の長さ）（基板厚み方向Ｋの長さ）が約５μｍであり、短径（横の長さ）（基板平面方向の長さ）が約３０ｎｍである改質部を形成することができる。このようなレーザー加工によって、互いに平行に並んだ複数の改質部を形成することができる。
【００９２】
次に、各改質部の両端が表面に露出した石英基板を、フッ酸又は水酸化カリウム水溶液に浸漬してエッチングを行う。このエッチングにおいて、各改質部の両端から各改質部の内部にエッチング溶液が浸透し、各改質部が石英基板内から除去される。この結果、石英基板を貫通する複数の微細貫通孔Ｔを形成することができる。一例として、両端部が石英基板の表面に開口し、長手方向に対して直交する方向の断面の形状が楕円形（略矩形）であり、長径（縦の長さ）（基板厚み方向Ｋの長さ）が約５．５μｍであり、短径（横の長さ）（基板平面方向の長さ）が約３００ｎｍである微細貫通孔を形成することができる。
【００９３】
石英基板に改質部を形成した際に、その改質部の両端部が基板表面に露出していない場合には、エッチングの前に、フォトリソグラフ、研削、研磨等の方法により、改質部の両端部が基板表面に露出するように予備加工すればよい。
【００９４】
前述したレーザー加工法は、ポリスチレン、アクリル（ＰＭＭＡ）、ＰＤＭＳ等の樹脂材料の加工にも用いることができる。樹脂材料に対するフェムト秒レーザー加工はレーザーの集光照射のみによって微細孔を形成させることが可能であるため、エッチングによる前記改質部の除去作業は一般的に不要となる。
【００９５】
《マイクロ流体デバイスの使用》
マイクロ流体デバイスの用途は、前述した送液方法が適用可能であれば特に制限されず、例えば、抗体を利用した生化学検査デバイスとしての使用が挙げられる。
【００９６】
以下、図１４Ａ〜図１４Ｉを参照して、マイクロ流体デバイス１０を生化学検査デバイスとして使用した例における、液体Ｑ１〜液体Ｑ３の流れを例示する。
【００９７】
まず、一次抗体Ａｂ１を含む第一の液体Ｑ１が第１空間部Ｓ１に導入されると、液体Ｑ１が第１空間部Ｓ１を徐々に満たすとともに、毛細管力によって各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから内部へ液体Ｑ１が流入する（図１４Ａ）。各微細貫通孔Ｔに流入した液体Ｑ１に含まれる一次抗体Ａｂ１は、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着する。
【００９８】
全ての微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑ１が満たされた後、第１空間部Ｓ１から液体Ｑ１を排出すると、第１空間部Ｓ１に空気が流入する。第１空間部Ｓ１に開口する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａのうち、空気に接触した順序が速い第一の開口部Ｔａから順に、各微細貫通孔Ｔの内部に残された液体Ｑ１が第１空間部Ｓ１へ流出する（図１４Ｂ）。この際、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した一次抗体Ａｂ１は、内側面Ｙに吸着した状態を維持する。各微細貫通孔Ｔの内部の液体Ｑ１が全て排出された後においても、一次抗体Ａｂ１は各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した状態を維持している（図１４Ｃ）。
【００９９】
続いて、抗原Ａｇを含む第二の液体Ｑ２が第１空間部Ｓ１に導入されると、液体Ｑ２が第１空間部Ｓ１を徐々に満たすとともに、毛細管力によって各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａから内部へ液体Ｑ２が流入する（図１４Ｄ）。各微細貫通孔Ｔに流入した液体Ｑ２に含まれる抗原Ａｇは、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着された一次抗体Ａｂ１に対する抗原抗体反応によって結合する。なお、一次抗体Ａｂ１には、抗原Ａｇに対する結合性が予め付与されている。
【０１００】
全ての微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑ２が満たされた後、第１空間部Ｓ１から液体Ｑ２を排出すると、第１空間部Ｓ１に空気が流入する。第１空間部Ｓ１に開口する各微細貫通孔Ｔの第一の開口部Ｔａのうち、空気に接触した順序が速い第一の開口部Ｔａから順に、各微細貫通孔Ｔの内部に残された液体Ｑ２が第１空間部Ｓ１へ流出する（図１４Ｅ）。この際、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した一次抗体Ａｂ１は抗原Ａｇを結合した状態を維持する。各微細貫通孔Ｔの内部の液体Ｑ２が全て排出された後においても、一次抗体Ａｂ１は抗原Ａｇを結合した状態を維持している（図１４Ｆ）。
【０１０１】
ここで、抗原Ａｇとは異なる夾雑物質、すなわち一次抗体Ａｂ１に結合しない物質が液体Ｑ２に含まれている場合には、微細貫通孔Ｔから液体Ｑ２が流出する際に、液体Ｑ２とともに微細貫通孔Ｔから夾雑物質が除外される。つまり、Ｂ／Ｆ分離（一次抗体に結合した物質（抗原）と結合しなかった物質（夾雑物質）の分離）が効率的に行われる。
【０１０２】
次に、抗原Ａｇに対する結合性が予め付与された二次抗体Ａｂ２を含む第三の液体Ｑ３が第２空間部Ｓ２に導入されると、液体Ｑ３が第２空間部Ｓ２を徐々に満たすとともに、毛細管力によって各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂから内部へ液体Ｑ３が流入する（図１４Ｇ）。各微細貫通孔Ｔに流入した液体Ｑ３に含まれる二次抗体Ａｂ２は、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙにおいて一次抗体Ａｂ１に結合した抗原Ａｇを認識して結合し、一次抗体−抗原−二次抗体からなる三者複合体Ｃｏｍｐ．を形成する。
【０１０３】
全ての微細貫通孔Ｔ内に液体Ｑ３が満たされた後、第２空間部Ｓ２から液体Ｑ３を排出すると、第２空間部Ｓ２に空気が流入する。第２空間部Ｓ２に開口する各微細貫通孔Ｔの第二の開口部Ｔｂのうち、空気に接触した順序が速い第二の開口部Ｔｂから順に、各微細貫通孔Ｔの内部に残された液体Ｑ３が第２空間部Ｓ２へ流出する（図１４Ｈ）。この際、各微細貫通孔Ｔの内側面Ｙにおいて形成された三者複合体Ｃｏｍｐ．は、一次抗体Ａｂ１を介して内側面Ｙに結合された状態を維持する。各微細貫通孔Ｔの内部の液体Ｑ３が全て排出された後においても、三者複合体Ｃｏｍｐ．は、一次抗体Ａｂ１を介して内側面Ｙに結合した状態を維持している（図１４Ｉ）。
【０１０４】
二次抗体Ａｂ２には、予め発光性標識物質が結合（コンジュゲート）されているため、例えば、微細貫通孔Ｔに励起光を照射すると、微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに形成された三者複合体Ｃｏｍｐ．に含まれる発光性標識物質が蛍光を発する。この蛍光の発光量は三者複合体Ｃｏｍｐ．の存在量に依存する。したがって、蛍光の発光量を測定することにより、液体Ｑ２に含まれていた抗原Ａｇの含有量を定量することができる。ただし、微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した一次抗体Ａｂ１の量及び微細貫通孔Ｔに流入させた二次抗体Ａｂ２の量がそれぞれ、抗原Ａｇの量よりも充分に多いという前提がある。
【０１０５】
励起光照射による蛍光測定を実施する前に、微細貫通孔Ｔの内側面Ｙ又は一次抗体Ａｂ１に対して非特異的に吸着した二次抗体Ａｂ２を洗浄する目的で、洗浄液を微細貫通孔Ｔ内に流入した後、流出させてもよい。
【０１０６】
通常、微細貫通孔Ｔ内の洗浄は、次の何れか１つ以上の段階で行われることが好ましい。
・一次抗体Ａｂ１を含む液体Ｑ１が微細貫通孔Ｔに流入及び流出した後
・抗原Ａｇを含む液体Ｑ２が微細貫通孔Ｔに流入及び流出した後
・二次抗体Ａｂ２を含む液体Ｑ３が微細貫通孔Ｔに流入及び流出した後
【０１０７】
二次抗体Ａｂ２が結合する発光性標識物質としては、外部からの光照射を受けて励起された発光性標識物質自身が蛍光を発する蛍光物質であってもよいし、他の基質を化学発光する発光物質に変換する触媒物質であってもよい。
【０１０８】
前記蛍光物質としては、例えば、緑色蛍光タンパク質（ＧＦＰ）、量子ドット等が挙げられる。前記触媒物質としては、例えば、ＥＬＩＳＡで使用される公知の酵素が適用可能であり、具体例として、ペルオキシダーゼ、ルシフェラーゼ、イクオリン等の酵素が挙げられる。この酵素の基質としては、例えば、３−（ｐ−ハイドロオキシフェノール）プロピオン酸及びその類似体、ルシフェリン及びルシフェリン類似体、セレンテラジン及びセレンテラジン類似体等が挙げられる。
【０１０９】
１種類の発光性標識物質が単独で使用されてもよいし、２種類以上の発光性物質が併用されてもよい。２種類以上の蛍光物質が併用されてもよいし、２種類以上の酵素及び基質が併用されてもよいし、１種類以上の蛍光物質と、１種類以上の酵素及び基質とが併用されてもよい。二次抗体Ａｂ２に種々の発光性標識物質を結合させる方法は特に限定されず、公知方法が適用可能である。
【０１１０】
微細貫通孔Ｔ内に存在する物質をトレースするための標識物質は、上記の様に発光性標識物質であってもよいし、非発光性標識物質であってもよい。非発光性標識物質としては、例えば、公知のラジオイムノアッセイ法で使用される様な放射性標識物質が挙げられる。
【０１１１】
抗原Ａｇの種類は特に制限されず、生化学検査の目的に応じて適宜選定される。抗原Ａｇの具体例としては例えば、風邪、肝炎、後天的免疫不全等を惹起するウイルス、細菌等の病原体に由来するタンパク質、ペプチド、核酸、脂質、糖鎖等が挙げられる。
【０１１２】
微細貫通孔Ｔ内において抗原Ａｇを捕捉する物質としては、微細貫通孔Ｔ内に配置された状態で抗原Ａｇを捕捉できる物質であれば特に限定されず、抗体（一次抗体Ａｂ１及び二次抗体Ａｂ２）に代わる他の物質を使用してもよい。このような物質としては、例えば、ペプチド（ペプチドアプタマー）、ＤＮＡアプタマー、ＲＮＡアプタマー、糖鎖等が挙げられる。これらの物質の中でも、抗原Ａｇに対する特異性が高い（抗原Ａｇを特異的に認識可能な）物質が好ましい。
【０１１３】
以上で説明した実施形態は、検査対象である液体Ｑ２中に抗原Ａｇが含有されるか否かを定性的に分析すること、又は液体Ｑ２中に含まれる抗原Ａｇの含有量を定量的に分析することを目的として、一般にサンドイッチイムノアッセイと呼ばれる形式を採用している。このため、抗原Ａｇに対して特異的又は非特異的に結合する一次抗体Ａｂ１及び二次抗体Ａｂ２を予め準備しておく必要がある。このような抗体は公知方法により取得される。
【０１１４】
本発明にかかるマイクロ流体デバイスを使用した生化学検査においては、上記のサンドイッチイムノアッセイ形式に代えて、間接抗体イムノアッセイ形式、ブリッジングイムノアッセイ形式、競合形式等の他の公知のイムノアッセイ形式を採用してもよい。また、抗体及び抗原の少なくとも何れか一方を利用しない、他の分子間相互作用を利用した生化学検査を実施してもよい。これらのイムノアッセイ形式及びその他の分子間相互作用を利用した生化学検査の基本的な方法は何れも公知であるため、ここでは簡単な説明に留める。
【０１１５】
間接抗体イムノアッセイ形式を採用する場合は、抗原Ａｇが微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した後、一次抗体Ａｂ１、二次抗体Ａｂ２が順に微細貫通孔Ｔ内に導入される。この形式によれば、検査対象である試料液体中に一次抗体Ａｂ１が含有されている可能性が有る場合に、その一次抗体Ａｂ１の含有の有無又は含有量を分析することができる。
【０１１６】
ブリッジングイムノアッセイ形式を採用する場合は、抗原Ａｇが微細貫通孔Ｔの内側面Ｙに吸着した後、一次抗体Ａｂ１、標識物質を有する抗原Ａｇが順に微細貫通孔Ｔ内に導入される。この形式によれば、検査対象である液体中の一次抗体Ａｂ１の有無又は含有量を分析することができる。
【０１１７】
微細貫通孔Ｔ内に抗体、抗原、及びその他のタンパク質、ペプチド、核酸、脂質、糖鎖等のアンカー物質を固定する方法は公知方法が適用可能である。例えば、任意の抗原Ａｇが含まれた溶液を清浄な内側面Ｙを有する微細貫通孔Ｔに流入させると、抗原Ａｇを内側面Ｙに吸着させることができる。その後、必要に応じて、非特異的な吸着を防ぐためのブロッキング処理を内側面Ｙに施すことが好ましい。また、抗原Ａｇを吸着させたくない箇所が流路内にある場合には、当該箇所の撥水性を高めるコーティング等の表面処理を予め施しておくことにより、不要な吸着を防ぐことができる。
【０１１８】
抗体、抗原及び前記アンカー物質の使用においては、それぞれ１種類が単独で使用されてもよいし、それぞれ２種類以上が併用されてもよい。
【０１１９】
以上で説明した各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。また、本発明は各実施形態によって限定されることはなく、請求項（クレーム）の範囲によってのみ限定される。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明にかかるマイクロ流体デバイスは、医療検査、食品検査の分野等に広く利用することができる。
【符号の説明】
【０１２１】
１０，２０，３０，４０…マイクロ流体デバイス、Ｓ１…第１空間部、Ｓ２…第２空間部、Ｓ３…第３空間部、Ｓ４…第４空間部、Ｓ５…第５空間部、ｗ１…第１内壁面、ｗ２…第２内壁面、ｗ３…第３内壁面、ｗ４…第４内壁面、ｗ５…第５内壁面、Ｔａ…第一の開口部、Ｔｂ…第二の開口部、Ｔ…微細貫通孔、Ｙ…内側面、４…本体部、５…副本体部、Ｍ…液体からなる膜、Ｇ１…第１微小空間群、Ｇ２…第２微小空間群、Ｇ３…第３微小空間群、Ｇ４…第４微小空間群、Ｑ…液体、Ｑ１…第一の液体、Ｑ２…第二の液体、Ｑ３…第三の液体、Ａｂ１…一次抗体、Ａｂ２…二次抗体、Ａｇ…抗原、Ｃｏｍｐ．…三者複合体
【図１】
2016109537.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
2016109537.tif 000007
【図５Ｂ】
2016109537.tif 000008
【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
2016109537.tif 000010
【図５Ｅ】
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【図６】
2016109537.tif 000012
【図７】
2016109537.tif 000013
【図８】
2016109537.tif 000014
【図９】
2016109537.tif 000015
【図１０】
2016109537.tif 000016
【図１１】
2016109537.tif 000017
【図１２】
2016109537.tif 000018
【図１３】
2016109537.tif 000019
【図１４Ａ】
2016109537.tif 000020
【図１４Ｂ】
2016109537.tif 000021
【図１４Ｃ】
2016109537.tif 000022
【図１４Ｄ】
2016109537.tif 000023
【図１４Ｅ】
2016109537.tif 000024
【図１４Ｆ】
2016109537.tif 000025
【図１４Ｇ】
2016109537.tif 000026
【図１４Ｈ】
2016109537.tif 000027
【図１４Ｉ】
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