(57)【要約】【課題】パルスレートが高い放電加工条件でも、複数のワークを同時にワイヤ放電加工すること。【解決手段】並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスするワイヤ放電加工システムが、並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、複数のワークを放電加工するパルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御部と、を備える。 【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスするワイヤ放電加工システムであって、
前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、
前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、
前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御部と、
を備えることを特徴とするワイヤ放電加工システム。
【請求項２】
前記パルス電圧の周期を制御するパルス発生部をさらに備え、
前記パルス電圧制御部は、１つの前記パルス発生部で発生したパルスの周期を前記複数のワーク毎にそれぞれ分配して前記個別のパルス電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工システム。
【請求項３】
前記複数のワーク毎に個別のパルス電圧制御部を備え、
前記個別のパルス電圧制御部により、前記個別のパルス電圧を前記複数のワーク毎にそれぞれ印加することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工システム。
【請求項４】
前記並設されたワイヤとワークとの極間における極間電圧を取得する取得手段を備え、
前記取得手段は、前記複数のワーク毎に前記極間電圧をそれぞれ取得し、
前記取得した前記複数のワーク毎の前記極間電圧に従って、前記個別のパルス電圧が前記複数のワーク毎にそれぞれ印加される頻度を調整する頻度調整手段を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工システム。
【請求項５】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスする、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、を備えるワイヤ放電加工システムの制御方法であって、
前記ワイヤ放電加工システムのパルス電圧制御部が、前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御工程を含むことを特徴とする制御方法。
【請求項６】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスする、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、を備えるワイヤ放電加工システムで読み取り実行可能なプログラムであって、
前記ワイヤ放電加工システムを、
前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスする、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、を備えるワイヤ放電加工システムに用いられる電源装置であって、
前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御部と、
を備えることを特徴とする電源装置。
【請求項８】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスする、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、を備えるワイヤ放電加工システムに用いられる電源装置の制御方法であって、
前記電源装置のパルス電圧制御部が、前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御工程を含むことを特徴とする制御方法。
【請求項９】
並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスする、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、を備えるワイヤ放電加工システムに用いられる電源装置で読み取り実行可能なプログラムであって、
前記電源装置を、
前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御手段として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤ放電加工システム、電源装置、およびその制御方法とプログラムの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来よりシリコンインゴットを多数の薄片にスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。
【０００３】
特許文献１には、複数のワークを並べて同時にワイヤ放電加工する技術が開示されている。特許文献１では複数のワークを並べて同時に放電加工する例が示されているが、複数のワーク毎に給電する仕組みを分けていないので、両方のワークで同時に放電が起こってしまう。
【０００４】
この時、例えばパルスレートが高い（またはパルスの周期が短い）放電加工条件で加工が必要な場合に、もしもどちらか一方のワークでのみ集中的に放電が発生した際には、給電部（回転電極）からは一方のワーク側に局所的に流れる電流が多くなりワイヤの断線につながりやすい。このように従来技術ではパルスレートが高い放電加工条件で複数のワークを並べて同時に放電加工することが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２００８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、パルスレートが高い放電加工条件でも、複数のワークを同時にワイヤ放電加工することが可能な仕組みを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、並設されたワイヤの間隔でワークを放電加工によりスライスするワイヤ放電加工システムであって、前記並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されている複数のワークを、前記並設されたワイヤに接近する方向に送り出すワーク送り部と、前記並設されたワイヤにパルス電圧を給電する給電部と、前記複数のワークを放電加工する前記パルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、前記複数のワーク毎にそれぞれ印加するパルス電圧制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、前記パルス電圧の周期を制御するパルス発生部をさらに備え、前記パルス電圧制御部は、１つの前記パルス発生部で発生したパルスの周期を前記複数のワーク毎にそれぞれ分配して前記個別のパルス電圧を印加する。
【０００９】
また、前記複数のワーク毎に個別のパルス電圧制御部を備え、前記個別のパルス電圧制御部により、前記個別のパルス電圧を前記複数のワーク毎にそれぞれ印加することを特徴とする。
【００１０】
また、前記並設されたワイヤとワークとの極間における極間電圧を取得する取得手段を備え、前記取得手段は、前記複数のワーク毎に前記極間電圧をそれぞれ取得し、前記取得した前記複数のワーク毎の前記極間電圧に従って、前記個別のパルス電圧が前記複数のワーク毎にそれぞれ印加される頻度を調整する頻度調整手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、パルスレートが高い放電加工条件でも、複数のワークを同時にワイヤ放電加工することが可能な仕組みを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のワイヤ放電加工システムを正面から見た図である。
【図２】本発明における電気回路の第１の例を示した図である。
【図３】本発明における電気回路の第１の例の詳細に示した図である。
【図４】本発明における極間電圧を取得するタイミング（取得時間）を示す図である。
【図５】本発明における放電加工するパルス電圧が複数のワークにそれぞれ印加されるタイミング（印加時間）を示す図である。
【図６】本発明における放電加工するパルス電圧が複数のワークでそれぞれ調整された場合のタイミング（印加時間）を示す図である。
【図７】本発明における電気回路の第２の例を示した図である。
【図８】本発明における放電加工するパルス電圧が複数のワークにそれぞれ印加されるタイミング（印加時間）を示す図である。
【図９】本発明の制御コンピュータのハードウエア構成を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１を説明する。
【００１４】
図１は本発明におけるワイヤ放電加工システムの構成を示す図である。ワイヤ放電加工システムは、ワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置５０から構成されている。図１に示す各機構の構成は一例であり目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。
【００１５】
ワイヤ放電加工システムは放電加工により、並設されたワイヤ１０３の間隔で被加工物を薄片にスライスすることができる。本発明では複数のワーク１０５ａ、１０５ｂを同時加工する場合のワイヤ放電加工装置に関するものであり、ワイヤ放電加工装置１では、サーボモータにより駆動されるワーク送りユニット３がワイヤ１０３の上部に設けられ上下方向に同時にふたつのワーク１０５ａ、１０５ｂを移動できる。ワーク１０５ａ、１０５ｂが下方向に送られて、放電加工がおこなわれるが、ワーク送りユニット３をワイヤ１０３の下部に設けることでワーク１０５ａ、１０５ｂを上方向へ移動して放電加工をしてもよい。
【００１６】
電源装置２は、並設されているワイヤ１０３とワーク１０５ａ、１０５ｂとの極間に、パルス電圧が印加されることでワーク１０５ａ、１０５ｂを放電加工する。電源装置２は、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために、放電ギャップ（極間）を一定の距離に保つように制御して、ワーク１０５ａ、１０５ｂの相対的な位置決めを行い、放電加工を少しずつ進行させる。
【００１７】
電源装置２は、放電加工のためのパルス電圧をワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行い、また放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を供給する。
【００１８】
ワイヤ放電加工装置１は電源装置２と電線１１を介して接続されており、ワイヤ放電加工装置１は電源装置２から供給される電力（加工電圧と加工電流の積）を用いて、ワーク１０５ａ、１０５ｂを放電加工する。
【００１９】
加工液供給装置１２は、放電部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５ａ、１０５ｂとワイヤ１０３との極間へ送液すると共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。
【００２０】
メインローラ８，９には、所望する厚さでスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチや数でＶ溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。この時ワイヤの走行速度は例えば１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。
【００２１】
２つのメインローラ８，９が同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、ワイヤ１０３を複数本に並設させて、同一方向に走行させることができる。ワイヤ１０３は１本の繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。
【００２２】
メインローラ８，９は中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆う構造である。メインローラ８．９の間の下部には、電源装置２からのパルス電圧を供給するために給電子１０４が設けられていて、給電子１０４を例えばワイヤ１０３の１０本と一括接触させている。給電子１０４は機械的摩耗に強く導電性があることが要求され超硬合金が使用されている。
【００２３】
メインローラ８，９の上部に、ワーク送りユニット３に２つのワーク１０５ａ、１０５ｂ、を取付けてから、下方向にワーク１０５ａ、１０５ｂを移動し放電加工を行う。
メインローラの間中央部に加工液槽６を設け、ワイヤ１０３およびワーク１０５ａ、１０５ｂを浸漬し、放電部の冷却、加工チップの除去を行う。
【００２４】
ブロック５は、ワーク送りユニット３と接合されている。また、ワーク送りユニット３はワーク１０５ａ、１０５ｂと接着部４により接着（接合）されている。ワーク１０５ａ、１０５ｂとしては例えばシリコンインゴット等が該当する。接着部４は、ワーク送りユニット３と、ワーク１０５ａ、１０５ｂとを接着（接合）するためのものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。
【００２５】
ワーク送りユニット３は、並設されたワイヤ１０３が走行する方向に並んで配置されている複数のワーク１０５ａ、１０５ｂを、並設されたワイヤ１０３に接近する方向に送り出す。
【００２６】
なお、図１に示したように複数のワーク１０５ａ、１０５ｂが並んで配置する場合には限定されず、ワーク送りユニット３を複数のワーク１０５ａ、１０５ｂ毎に複数設けた場合には、複数のワーク１０５ａ、１０５ｂが、並設されたワイヤが走行する方向において異なる箇所に配置されていればよい。
【００２７】
ここで、並設されたワイヤが走行する方向とは、図１に示した本発明におけるワイヤ放電加工システムの場合には、並設されたワイヤが右側に走行する第１の方向と、並設されたワイヤが左側に走行する第２の方向とがある。従って並設されたワイヤが走行する方向は第１の方向でもよく、また第２の方向でもよい。複数のワーク１０５ａ、１０５ｂを第１の方向に走行するワイヤ面上と第２の方向に走行するワイヤ面上に配置する場合も含んでいる。
【００２８】
ワーク送りユニット３は、接着部４により接着（接合）されているワーク１０５ａ、１０５ｂを上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク送りユニット３が下方向に移動すると、ワーク１０５ａ、１０５ｂをワイヤ１０３に近づけることができる。
【００２９】
加工液漕６は、加工液を溜めるための容器である。加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ１０３と、ワーク１０５ａ、１０５ｂとの間に、加工液を設けられることにより、ワイヤ１０３と、ワーク１０５ａ、１０５ｂとの間で放電が起き、ワーク１０５ａ、１０５ｂを削ることが可能となる。
【００３０】
メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そして、メインローラ８、９が右又は左回転することにより、ワイヤ１０３が走行する。
また、ワイヤ１０３は、メインローラ８、９に取り付けられ、メインローラ８、９の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。
【００３１】
ワイヤ１０３は伝導体であり、電源装置２からパルス電圧が供給された給電子１０４とワイヤ１０３とが接触することにより、供給されたパルス電圧が給電子１０４を介してワイヤ１０３に印加される。そして、ワイヤ１０３とワーク１０５ａ、１０５ｂとの間で放電が起きることでワーク１０５ａ、１０５ｂを削り、薄板状の加工物（例えばシリコンウエハ等）を作成することができる。ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は約０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ２）である。
このように給電子（給電部）１０４は、並設されたワイヤ１０３にパルス電圧を給電することができる。
【００３２】
ワイヤ放電加工装置１には、サーボモータにより駆動されるワーク送りユニット３がワイヤ１０３の上部に設けられ上下方向にワーク１０５ａ、１０５ｂを移動できる。本発明ではワーク１０５ａ、１０５ｂが下（重力）方向に送られ、ワーク１０５ａ、１０５ｂとワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれる。なお、本明細書において、上下とは重力方向における上方向と下方向にそれぞれ対応し、左右とはワイヤ放電加工装置を正面から見た場合の左及び右にそれぞれ対応する。
図２及び図３を説明する。
図２及び図３は本発明における電気回路（第１の実施例）を示す図である。
【００３３】
測定用パルス発生部３０６は測定用パルスを発生させる。発生するパルス周期はＦｉｇ４Ｃような周期である。測定用パルス発生部３０６は、副直流電源部３０４からのパルス電圧の印加が開始されてから、主直流電源部２０５からのパルス電圧の印加が開始されるまでの間（Ｆｉｇ４Ａの遅延時間）で極間電圧を定量するように、トランジスタ２０３から送られるパルス信号とトランジスタ３０２から送られるパルス信号から測定用パルスを生成する。
アンプ３０５ａはワーク１０５ａの方で測定された極間電圧ａを増幅する。
アンプ３０５ｂはワーク１０５ｂの方で測定された極間電圧ｂを増幅する。
【００３４】
測定用パルスのパルス信号に同期して、アナログスイッチ制御部３０７が指示してアナログスイッチ３０８ａ、３０８ｂを開閉させることで、極間電圧定量部３０９は測定用パルスＯＮのタイミングだけ極間電圧を定量することができる。
【００３５】
極間電圧定量部３０９は、測定用パルスのＯＮ時間中だけ、並設されたワイヤ１０３とワークとの極間における極間電圧を取得する（取得手段）。つまり、極間電圧定量部３０９は、測定用パルス発生部３０６により生成された測定用パルスに同期して、ＯＮ時間の間に、ワーク１０５ａの方の極間電圧ａを測定する。さらに、極間電圧定量部３０９は、生成された測定用パルスに同期して、ＯＮ時間の間に、ワーク１０５ｂの方の極間電圧ｂも測定する。
このように極間電圧定量部３０９は、複数のワーク毎に極間電圧をそれぞれ取得している。
【００３６】
サーボ制御部３１０は、極間電圧定量部３０９が定量した極間電圧に応じて、並設されているワイヤ１０３とワーク１０５ａ及び１０５ｂとの極間距離（ギャップ）を自動調整している。つまりサーボ制御部３１０の自動調整によってワークの送り装置３を制御している。サーボ制御部３１０では、極間電圧はピークホールドするかあるいは平均化され、ワーク送りユニット３によるワークの前進（極間距離が狭くなる方向）または、リーク電流の発生を減らすための後退（極間距離が離れる方向）に利用される。
このように、放電サーボ装置３００の他の役割としては、極間電圧を定量し、極間電圧を基にサーボ制御によりワーク送りユニット３を制御するものである。
トランジスタ制御部２０２は、パルス発生部２０１が生成したパルス周期をトランジスタ２０３とトランジスタ２０４にそれぞれ振り分けて分配を行う。
【００３７】
パルス発生部２０１はパルス電圧の周期を制御することができる。トランジスタ制御部２０２は、１つのパルス発生部２０１で発生したパルスの周期を複数のワーク毎にそれぞれ分配して個別のパルス電圧を印加する。
【００３８】
トランジスタ制御部２０２は、極間電圧定量部３０９が定量したワーク１０５ａでの極間電圧ａとワーク１０５ｂでの極間電圧ｂとに従ってパルスの分配を行い、ワーク１０５ａ、１０５ｂが同様の加工スピードにて加工が進むよう、パルス配分を調整する（頻度調整手段）。尚、パルス配分を調整する方法は、図５で詳細に説明する。
【００３９】
このようにトランジスタ制御部２０２は、取得した複数のワーク毎の極間電圧ａ、極間電圧ｂに従って、個別のパルス電圧が複数のワーク毎にそれぞれ印加される頻度を調整している。
【００４０】
主直流電源部２０５では放電加工に必要な加工電流をワーク１０５ａ、１０５ｂ及び給電子１０４に供給できる加工電圧が設定され、直流電源部２０５で加工電圧を任意の電圧値（Ｖｍ）に設定される。
【００４１】
主直流電源部２０５の負極側は電線１１を通じて給電子１０４と導通している。また主直流電源部２０５の正極側は電線１１を通じてトランジスタ２０３及びトランジスタ２０４と導通している。
【００４２】
トランジスタ２０３であるＴｒ１は、ワーク１０５ａに印加される加工電圧（Ｖｍ）のＯＮ／ＯＦＦ状態（印加時間）をスイッチングで切り替え、ワーク１０５ａの方に印加される加工電圧のＯＮ／ＯＦＦ状態を制御している。トランジスタ２０３は電線１１を通じてワーク１０５ａと導通している。
【００４３】
トランジスタ２０４であるＴｒ２は、ワーク１０５ｂに印加される加工電圧（Ｖｍ）のＯＮ／ＯＦＦ状態（印加時間）をスイッチングで切り替え、ワーク１０５ｂの方に印加される加工電圧のＯＮ／ＯＦＦ状態を制御している。トランジスタ２０４は電線１１を通じてワーク１０５ｂと導通している。
【００４４】
副直流電源部３０４ではワイヤ１０３とワーク１０５ａ、１０５ｂとの間の極間距離（ギャップ）を測定するための電圧が設定され、副直流電源部３０４で電圧を任意の電圧値（Ｖｓ）に設定される。
【００４５】
副直流電源部３０４の負極側は電線１１を通じて給電子１０４と導通している。また副直流電源部３０４の正極側は電線１１を通じてトランジスタ３０２及びトランジスタ３０３と導通している。
【００４６】
トランジスタ３０２であるＴｒ３は、ワーク１０５ａに印加される電圧（Ｖｓ）のＯＮ／ＯＦＦ状態（印加時間）をスイッチングで切り替え、ワーク１０５ａの方に印加される電圧のＯＮ／ＯＦＦ状態を制御している。トランジスタ３０２は電線１１を通じてワーク１０５ａと導通している。
【００４７】
トランジスタ３０３であるＴｒ４は、ワーク１０５ｂに印加される電圧（Ｖｓ）のＯＮ／ＯＦＦ状態（印加時間）をスイッチングで切り替え、ワーク１０５ｂの方に印加される電圧のＯＮ／ＯＦＦ状態を制御している。トランジスタ３０３は電線１１を通じてワーク１０５ｂと導通している。
図４を説明する。
図４は、極間電圧を取得するタイミングを示した図である。
【００４８】
ここでは、ワーク１０５ａの方の極間電圧ａの取得の仕方についてのみ例を挙げて説明するが、ワーク１０５ｂの方についても同じ手法で極間電圧ｂを取得する。
【００４９】
Ｆｉｇ４Ａはトランジスタ２０３から送られるパルス信号である。副直流電源部からのパルス電圧の印加が開始されてから、主直流電源部からのパルス電圧の印加が開始されるまでの間（Ｆｉｇ４Ａの遅延時間）を、少なくとも０．３μ秒以上遅延させることが重要である。このように十分な遅延時間を設けることで正確な極間電圧を取得することができる。
Ｆｉｇ４Ｂはトランジスタ３０２から送られるパルス信号である。尚このパルスは、極間において、放電が発生する前に放電を誘発するという役割もある。
Ｆｉｇ４Ｃは、測定用パルスの周期であるが。測定用パルスは以下のような時間に定量するパルスを発生すればよい。
つまり測定用パルスは
（１）トランジスタ２０３が先にＯＮ開始しその後トランジスタ３０２がＯＮ開始するまでの間。
（２）トランジスタ２０３がＯＮ継続中でかつトランジスタ３０２がＯＦＦ継続中の時間。
であればよい。
Ｆｉｇ４Ｄは、極間電圧定量部３０９によって取得されたの極間電圧の周期である。
【００５０】
なお、本発明では、ワーク１０５ａとワーク１０５ｂの両方の極間電圧の定量を行うので、ワーク１０５ａ用の極間電圧ａの定量とワーク１０５ｂ用の極間電圧ｂの定量はともに、他方のパルスの休止時間に行っている。
図５を説明する。
図５は、本発明における加工電圧（Ｖｍ）のパルス電圧が複数のワークにそれぞれ異なるタイミングミで印加される周期を示す図である。
Ｆｉｇ５Ａはパルス発生部２０１からトランジスタ制御部２０２に出力されるパルス信号を示している。
Ｆｉｇ５Ｂはトランジスタ制御部２０２からトランジスタ２０３に出力されるパルス信号２０７を示している。
Ｆｉｇ５Ｃはトランジスタ制御部２０２からトランジスタ２０４に出力されるパルス信号２０８を示している。
【００５１】
つまりトランジスタ制御部（パルス電圧制御部）２０２により、複数のワーク１０５ａ、１０５ｂを放電加工するパルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、複数のワーク毎にそれぞれ印加することができる。
【００５２】
トランジスタ制御部２０２は、極案電圧定量部３０９で取得されたの各ワーク１０５ａ、１０５ｂそれぞれの極間電圧ａと極間電圧ｂを取得し、その値を比較した結果を用いて、トランジスタ２０３とトランジスタ２０４をそれぞれ異なるタイミングでＯＮ／ＯＦＦさせるパルス信号２０７、２０８を生成している。
【００５３】
ここで、それぞれの極間電圧ａと極間電圧ｂが等しい場合には、トランジスタ制御部２０２はトランジスタ２０３とトランジスタ２０４に対して、パルス発生部２０１からトランジスタ制御部２０２に出力されたパルス信号を、単純に交互に分配（図５）して放電加工を進める。
【００５４】
このよう本発明では、複数のワーク１０５ａ、１０５ｂに対しパルス電圧を交互に分配して与えることで、もし全体（パルス発生部２０１）のパルスレート（加工電圧を印加する間隔）を２倍に上げたとしても、それぞれのワークに対しては、結果的に半分のパルスレートとなるため、何れかのワークへの集中放電が起きにくく、ワイヤの断線を発生させずにトータルの放電加工速度を高めることができる。
【００５５】
逆に、複数のワーク１０５ａ、１０５ｂに同じタイミング（印加時間）のパルス電圧を与えた場合には、加工パルスのパルスレート（デューティ）を上げ、加工速度を上げようとすると、何れかのワークに集中放電が発生するとワイヤが断線してしまう。
【００５６】
また、ワーク１０５ａの極間電圧ａがワーク１０５ｂの極間電圧ｂよりも高い（この場合ワーク１０５ａとワイヤとの極間距離が遠い）場合には、図６に示した例のように、ワーク１０５ａの方の加工に影響するパルス制御部出力１（２０７）のパルス信号の頻度を減らせばよい。ワーク１０５ｂへのパルス電圧は継続して供給され、ワーク１０５ｂの加工が進むことで、その後、ワーク１０５ａとワーク１０５ｂの極間電圧がやがて同等に戻れば、１０５ａへのパルス信号の頻度を元のパルス信号の頻度に戻せばよい。
このように極間電圧ａと極間電圧ｂの値に違いがある場合には、その差分に相当するだけパルス信号の頻度に差をつければよい。
【００５７】
その他、極間電圧ａと極間電圧ｂの値に違いがある場合には、一方のワークの方の加工に影響するのパルス電圧の供給を止めてしまう方法や、パルス信号の比率を２：１の振り分けにする、という方法もある。
極間電圧ａと極間電圧ｂの値の違いは、それぞれの極間電圧を所定回数で平均化し、それぞれの値を求めてその差を計算する。
このようにパルス信号の頻度の調整を行うことで、その後、両方のワークの極間電圧が等しくなるように回復する。
【００５８】
このように、ワーク１０５ａ、１０５ｂの極間電圧を別々に測定し、その極間電圧を基に複数のワーク毎に供給するパルス信号の頻度を調整することで、複数のワークを見かけ上同じスピードで加工することができる。
【００５９】
ワークがシリコンインゴットの場合には、シリコンインゴット毎に比抵抗値の差異があり、その際により放電加工における加工速度が異なる。このようなシリコンインゴットを複数個同時に放電加工する場合、本発明の調整方法によりシリコンインゴット毎の加工速度を調整し、全インゴットの加工の進み具合を合わせる必要がある。この調整を行わない場合、加工速度の遅いシリコンインゴットではワークとワイヤの短絡が発生し、ワイヤが断線するか加工が停止してしまう。
図７を説明する。
図７は本発明における電気回路（第２の実施例）を示す図である。
トランジスタ制御部４０１は、ワーク１０５ａに印加するパルス電圧を個別に制御するパルス電圧制御部である。
トランジスタ制御部４０２は、ワーク１０５ｂに印加するパルス電圧を個別に制御するパルス電圧制御部である。
【００６０】
このようにトランジスタ制御部４０１及びトランジスタ制御部４０２を用いても、複数のワーク１０５ａ、１０５ｂを放電加工するパルス電圧の印加時間が重複しない個別のパルス電圧を、複数のワーク毎にそれぞれ印加することができる。
【００６１】
つまり、個別のパルス電圧制御部４０１、４０２により、個別のパルス電圧を複数のワーク１０５ａ、１０５ｂ毎にそれぞれ印加することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工システム。
図８を説明する。
図８は、本発明における加工電圧（Ｖｍ）のパルス電圧が複数のワークにそれぞれ異なるタイミングミで印加される周期を示す図である。
Ｆｉｇ８Ａはトランジスタ制御部４０１からトランジスタ４０３に出力されるパルス信号２０７を示している。
Ｆｉｇ８Ｂはトランジスタ制御部４０２からトランジスタ４０４に出力されるパルス信号２０８を示している。
【００６２】
図９を説明する。図９は、ワイヤ放電加工装置１及び電源装置２が内蔵し、ワイヤ放電加工装置１及び電源装置２をそれぞれ制御する制御部１０００のハードウエア構成図である。なお、制御部１０００はワイヤ放電加工装置１及び電源装置２の外部に別体で設けてもよい。
【００６３】
図９において、ＭＰＵ（ＣＰＵ）１００１は、システムバス１００４に接続される各デバイスやコントローラを統括的に制御する。また、ＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１には、ＣＰＵ１００１の制御プログラムであるＢＩＯＳ（Ｂａｓｉｃ  Ｉｎｐｕｔ  ／  Ｏｕｔｐｕｔ  Ｓｙｓｔｅｍ）やオペレーティングシステムプログラム（以下、ＯＳ）や、各サーバ或いは各ＰＣの実行する機能を実現するために必要な後述する各種プログラム等が記憶されている。
【００６４】
ＲＡＭ１００３は、ＣＰＵ１００１の主メモリ、ワークエリア等として機能する。ＣＰＵ１００１は、処理の実行に際して必要なプログラム等をＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１からＲＡＭ１００３にロードして、該ロードしたプログラムを実行することで各種動作を実現するものである。
【００６５】
入力コントローラ１００５は、キーボード（ＫＢ）１００９や不図示のマウス等のポインティングデバイス等からの入力を制御する。ビデオコントローラ１００６は、表示部１０１０への表示を制御する。なお、表示部１０１０はＣＲＴだけでなく、液晶ディスプレイ等の他の表示器であってもよい。これらは必要に応じて管理者が使用するものである。また表示部は指やペン等にてユーザが表示画面内の対象位置を指定するタッチパネル機能を含むものであってもよい。
【００６６】
メモリコントローラ１００７は、ブートプログラム，各種のアプリケーション，フォントデータ，ユーザファイル，編集ファイル，各種データ等を記憶するハードディスク（ＨＤ）や、フレキシブルディスク（ＦＤ）、或いはＰＣＭＣＩＡカードスロットにアダプタを介して接続されるコンパクトフラッシュ（登録商標）メモリ等の外部メモリ１０１１へのアクセスを制御する。
【００６７】
通信Ｉ／Ｆコントローラ１００８は、ＬＡＮ１０１２またはＷＡＮなどの、ネットワーク（通信回線）を介して外部装置と接続・通信するものであり、ネットワークでの通信制御処理を実行する。例えば、ＴＣＰ／ＩＰを用いた通信等が可能である。
【００６８】
なお、ＣＰＵ１００１は、例えばＲＡＭ１００３内の表示情報用領域へアウトラインフォントの展開（ラスタライズ）処理を実行することにより、表示部１０１０上での表示を可能としている。また、ＣＰＵ１００１は、ＣＲＴ上の不図示のマウスカーソル等でのユーザ指示を可能とする。
【００６９】
本発明を実現するための後述する各種プログラムは、外部メモリ１０１１に記録されており、必要に応じてＲＡＭ１００３にロードされることによりＣＰＵ１００１によって実行されるものである。さらに、上記プログラムの実行時に用いられるデータファイル及びデータテーブル等も、外部メモリ１０１１または記憶部に格納されている。
【００７０】
また、本発明におけるプログラムは、ワイヤ放電加工方法に従ったワイヤ放電加工動作を制御部１０００が実行可能なプログラムであり、本発明の記憶媒体はワイヤ放電加工動作を実行可能なプログラムとして記憶している。
（本発明の他の実施形態）
【００７１】
以上のように、前述した実施形態の機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を、ワイヤ放電加工装置１に供給し、そのシステムあるいはワイヤ放電加工装置内のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されたプログラムを読出し実行することによっても、本発明の目的が達成されることは言うまでもない。
【００７２】
この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムを記憶した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体は本発明を構成することになる。
【００７３】
プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，  ＢＤ−ＲＯＭ、磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ，ＥＥＰＲＯＭ，シリコンディスク等を用いることができる。
【００７４】
また、読み出したプログラムを実行することにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００７５】
さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。
【００７６】
また、本発明は、複数の機器から構成されるワイヤ放電加工システムに適用しても、１つの機器からなるワイヤ放電加工装置に適用してもよい。また、本発明は、ワイヤ放電加工システムあるいはワイヤ放電加工装置にプログラムを供給することによって達成される場合にも適応できることは言うまでもない。この場合、本発明を達成するためのプログラムを格納した記録媒体を該システムあるいは装置に読み出すことによって、そのワイヤ放電加工システムあるいはワイヤ放電加工装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
【００７７】
さらに、本発明を達成するためのプログラムをネットワーク上のサーバ，データベース等から通信プログラムによりダウンロードして読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００７８】
１  ワイヤ放電加工装置
２  電源装置
３  ワーク送りユニット
８、９  メインローラ
１０３  ワイヤ
１０４  給電子
１０５ａ  ワーク（シリコンインゴット）
１０５ｂ  ワーク（シリコンインゴット）
２０１  パルス発生部
２０２  トランジスタ制御部
２０３  パルスＯＮ／ＯＦＦ用  トランジスタ１
２０４  パルスＯＮ／ＯＦＦ用  トランジスタ２
２０５  主直流電源部
２０６ａ  電流制限抵抗
２０６ｂ  電流制限抵抗
２０７  トランジスタ制御部の出力１
２０８  トランジスタ制御部の出力２
３００  放電サーボ装置
３０１ａ  電源制限抵抗
３０１ｂ  電源制限抵抗
３０２  パルスＯＮ／ＯＦＦ用  トランジスタ３
３０３  パルスＯＮ／ＯＦＦ用  トランジスタ４
３０４  副直流電源部
３０５ａ  アンプ
３０５ｂ  アンプ
３０６  測定用パルス発生部
３０７  アナログスイッチ制御部
３０８ａ  アナログスイッチ
３０８ｂ  アナログスイッチ
３０９  極間電圧定量部
３１０  サーボ制御部
１０００  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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