(57)【要約】【課題】クリーンルーム内での使用という条件のもと、部品数を増やす事なく、半導体製造装置の状況に応じて簡単にケーブルの導出方向を可変なコネクタフードを提供する。【解決手段】コネクタに取り付けられるコネクタフードは、第１部材(1)と、第１部材(1)と異なる他の部材(2,3,4)とを組み合わせて成り、第１部材(1)を他の部材(2,3,4)に組み合わせる方向によって、コネクタフードに設けられる、コネクタに接続された電線(12)を導出する開口部(30)の位置が変化することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コネクタに取り付けられるコネクタフードであって、
前記コネクタフードは、第１部材と、当該第１部材と異なる他の部材とを組み合わせて成り、
前記第１部材を前記他の部材に組み合わせる方向によって、前記コネクタに接続された電線を導出する開口部の位置が変化するコネクタフード。
【請求項２】
前記第１部材は、略同一形状の面であって、対を成す凹凸のうち凹型の切り欠きを含む面と、凸型の切り欠きを含む面とから構成され、
前記凹型の切り欠きを含む面と前記凸型の切り欠きを含む面とが、略同一の辺のうち前記切り欠きのない辺において、所定の角度を成して接続され、
前記他の部材は、前記第１部材の凹型の切り欠きと嵌合する凹形の部分を含み、
前記他の部材の前記凹形の部分は、前記第１部材を前記他の部材に組み合わせた場合に、前記第１部材の凹型の切り欠きと嵌合する位置と、前記第１部材の凸型の切り欠きに対応する位置とに設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のコネクタフード。
【請求項３】
前記他の部材は、前記第１部材と組み合わされた場合に、前記第１部材の凹型の切り欠きと前記他の部材の一方の凹形の部分とが嵌合し、前記第１部材の凸型の切り欠きと前記他の部材の他方の凹形の部分とが、前記開口部を形成する、
ことを特徴とする請求項２に記載のコネクタフード。
【請求項４】
前記第１部材の凹型の切り欠きを、前記他の部材の一方の凹形の部分に嵌合した場合と、前記他の部材の他方の凹形の部分に嵌合した場合とで、前記開口部の位置が変化する、
ことを特徴とする請求項２または３に記載のコネクタフード。
【請求項５】
前記他の部材は、前記コネクタの端子用の開口面を含む部材をさらに組み合わせて成り、前記コネクタの端子用の開口面を含む部材を組み合わせる方向に応じて、前記開口部の位置がさらに変化する、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のコネクタフード。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のコネクタフードを用いたコネクタが接続された流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コネクタフードであって、特に、マスフローコントローラ（ＭＦＣ：Mass Flow Controller、質量流量制御装置）等の流体制御装置に用いられるコネクタのコネクタフードに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体の製造工程は、ゴミの侵入を防ぎ歩留まりを向上させるためにクリーンルームで行われるが、近年の製造技術の発展に伴ってウェハの回路ピッチの微細化が進み、クリーンルームの清浄度への要求が益々高くなっている。一方で、ウェハの巨大化が進み、クリーンルームにおいてウェハの占める割合が高くなるにつれて、半導体製造装置の省スペース化のために、半導体製造装置内部の集積化が進められている。半導体製造工程においては様々なガスが用いられ、ガス流量、ガス濃度等の正確な制御を必要とする。従って、流体制御装置の役割は非常に重要であり、流体制御装置には、ＭＦＣ、ブロックバルブ、流量調節バルブ等、種々の機器が用いられている。しかしながら、上述のように半導体製造装置の省スペース化に伴い、流体制御装置にも高い集積化が要求され、各流体制御装置間のスペースが非常に狭い。
【０００３】
このような、十分なスペースが確保できない条件の元では、流体制御装置の設置場所に応じて、装置に接続されるコネクタケーブルの導出方向にも制限が生じ、例えば、周囲の機器やスペースとの関係から、コネクタケーブルを横方向又は上方向どちらかに導出（横出し又は上出し）しなければならない状況が生じる。例えば、流体制御装置のコネクタ端子が装置の上面にあるが、コネクタケーブルを横方向に導出したい場合、コネクタケーブルをコネクタ端子に接続してから、所定のスペース内に配線しなければならない。従って、場合によってはケーブルを横方向に曲げるように配線し、ケーブルに負荷がかかる。また、横出しの場合と上出しの場合とでコネクタ端子のカバー（コネクタフード）の形状を変更する事も考えられるが、部品数の増加はリードタイムの増加や作業性の低下につながるという問題がある。
【０００４】
上述の問題に対し、特許文献１では、コネクタカバーを交換せずとも、電線案内部材を回動することによってコネクタハウジングからの電線の導出方向の変更に対応することができ、コネクタハウジングからの電線の導出方向の変更によりコネクタカバーが多種化することを抑止することのできるコネクタカバーが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１３−１１００２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、高い清浄度が要求されるクリーンルーム内において、回動や摺動といった可動部がある事は、部材同士のこすれによる塵の発生につながり、歩留まりが低下するおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、クリーンルーム内での使用という条件の元、部品数を増やす事なく、半導体製造装置の状況に応じて簡単にケーブルの導出方向を可変なコネクタフードを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の問題を解決すべく、本発明の一態様に係る、コネクタに取り付けられるコネクタフードは、第１部材と、当該第１部材と異なる他の部材とを組み合わせて成り、第１部材を他の部材に組み合わせる方向によって、コネクタフードに設けられる、コネクタに接続された電線を導出する開口部の位置が変化することを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明の一態様に係るコネクタフードにおいて、第１部材は、略同一形状の面であって、対を成す凹凸のうち凹型の切り欠きを含む面と、凸型の切り欠きを含む面とから構成され、凹型の切り欠きを含む面と凸型の切り欠きを含む面とが、略同一の辺のうち切り欠きのない辺において、所定の角度を成して接続され、他の部材は、第１部材の凹型の切り欠きと嵌合する凹形の部分を含み、他の部材の凹形の部分は、第１部材を他の部材に組み合わせた場合に、第１部材の凹型の切り欠きと嵌合する位置と、第１部材の凸型の切り欠きに対応する位置とに設けられることを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明の一態様に係るコネクタフードにおいて、他の部材は、第１部材と組み合わされた場合に、第１部材の凹型の切り欠きと他の部材の一方の凹形の部分とが嵌合し、第１部材の凸型の切り欠きと他の部材の他方の凹形の部分とが、開口部を形成することを特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明の一態様に係るコネクタフードにおいて、第１部材の凹型の切り欠きを、他の部材の一方の凹形の部分に嵌合した場合と、他の部材の他方の凹形の部分に嵌合した場合とで、開口部の位置が変化することを特徴とする。
【００１２】
さらに、本発明の一態様に係るコネクタフードにおいて、他の部材は、コネクタの端子用の開口面を含む部材をさらに組み合わせて成り、コネクタの端子用の開口面を含む部材を組み合わせる方向に応じて、開口部の位置がさらに変化することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の一態様に係る流体制御装置は、上述のコネクタフードを用いたコネクタが接続されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、クリーンルーム内での使用という条件のもと、部品数を増やす事なく、半導体製造装置の状況に応じて簡単にケーブルの導出方向を可変なコネクタフードを提供することができ、ユーザにとって利便性が高い。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（ａ）は、マスフローコントローラ（ＭＦＣ）に接続された本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフードを示す概略図であり、図１（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフードを示す概略図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフードにおける内部構造を示す概略図であり、図２（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフードにおける内部構造を示す概略図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の一態様によるコネクタフードを構成する部材を示す概略図であり、図３（ｂ）は、当該部材を示す概略図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフードにおける第１部材を示す概略図であり、図４（ｂ）は、横出しの状態のコネクタフードにおける第１部材と他の部材の一部とが組み合わされた状態を示す概略図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の一態様による上出しの状態のコネクタフードにおける第１部材を示す概略図であり、図５（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフードにおける第１部材と他の部材の一部とが組み合わされた状態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、諸図面を参照しながら、本発明の一態様を詳細に説明する。図１は、本発明の一態様によるコネクタフードを用いたコネクタが、ＭＦＣに接続された状態を示す概略図である。図１（ａ）は、ＭＦＣに接続された本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフードを示す概略図であり、図１（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフードを示す概略図である。図に示すように、ＭＦＣ２０の上面に設けられたコネクタ端子に、コネクタフード１０が接続されている。詳細は後述するが、コネクタフード１０は、図の例では、略正方形状の面を２つ含む直方体の筐体であり、複数の部材で構成されている。コネクタフード１０は、各部材を組み合わせる際に、構成する部材の１つの取り付け方向を変えることによって、電線１２を導出する開口部が、図のように側面、上面と変化する。
【００１７】
なお、図ではＭＦＣ２０をそれぞれ１台のみ示してあるが、実際にはＭＦＣ２０を数台並べて集積化したものが用いられる事が多く、ＭＦＣ２０が非常に狭い間隔で、ＭＦＣ２０の奥行き方向（ＭＦＣ２０の広い面を密接させる方向）に並べられている。なお、ＭＦＣ２０のサイズとしては、一例として、幅（面間）９２ｍｍ、高さ１３１ｍｍ、奥行き２８．６ｍｍが挙げられる。
【００１８】
次に、コネクタフード１０の内部構造について、図２を用いて説明する。図２（ａ）は、本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフードにおける内部構造を示す概略図であり、図２（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフードにおける内部構造を示す概略図である。図において、説明を分かり易くするため、コネクタフード１０の第３部材３（詳細は後述する）を無くした状態を示してある。図に示すように、コネクタフード１０は、第１部材１、第２部材２、コネクタ端子１１用の開口部を含む第４部材４、側面用スクリューねじ５、上面用スクリューねじ６及び図示しない第３部材３を含む。また、コネクタフード１０の内部には、コネクタ端子１１、電線１２、コネクタケーブル１３、ブッシュ１４を含む。
【００１９】
第１部材１や第２部材２は、例えばプラスチックで形成され、サイズは、コネクタ端子１１の大きさに応じて変化するが、例えば、奥行き及び高さ４０ｍｍ、幅２０ｍｍ等で実現される。なお、第１部材１や第２部材２等については後述する。側面用スクリューねじ５は、第１部材１、第２部材２、第３部材３、第４部材４等を連結する役割を果たし、上面用スクリューねじ６は、コネクタフード１０に保持されたコネクタ端子１１を、ＭＦＣ２０に固定する役割を果たす。コネクタ端子１１は、例えばＤ−ｓｕｂ端子で実現される。電線１２は、コネクタ端子１１の各ピンに接続されて、ＭＦＣ２０からの電気信号を運ぶ。ブッシュ１４は、狭所でも装着可能で例えばゴムで形成され、コネクタケーブル１３の引き回しの際に電線１２にかかる負荷を受けて、電線１２のはんだが剥離することを防止する。なお、図において、ブッシュ１４は、コネクタフード１０の内部のスペースに応じて、図２（ａ）と（ｂ）とでは方向を逆にして用いている。
【００２０】
次に、第１部材１、第２部材２、第３部材３について図３〜図５を用いて説明する。図３（ａ）は、本発明の一態様によるコネクタフード１０を構成する部材のうち第２部材２、第３部材３を示す概略図であり、図３（ｂ）は、第２部材２と第３部材３とを組み合わせた部材を示す概略図である。図３に示すように、第２部材２は、凹形の部分２Ａを備える。なお、凹形の部分２Ａは、図４（ａ）に示す第１部材1の凹型の切り欠き１Ｂと嵌合するように形成される。また、第２部材２は、コネクタフード１０を構成する略正方形状の面と、当該正方形状の面に接続された側面２Ｃとを備える。また、第３部材３は、凹形の部分３Ａと、当該凹形の部分３Ａが接続された略正方形状の面とから構成される。凹形の部分２Ａ、３Ａは、第１部材１を他の部材（第２部材２、第３部材３、第４部材４）に組み合わせた場合に、第１部材１の凹型の切り欠き１Ｂと嵌合する位置と、第１部材１の凸型の切り欠き１Ａに対応する位置とに設けられる。
【００２１】
図４（ａ）は、本発明の一態様による横出しの状態のコネクタフード１０における第１部材１を示す概略図であり、図４（ｂ）は、横出しの状態のコネクタフード１０における第１部材１と他の部材の一部（第２部材２及び第３部材３）とが組み合わされた状態を示す概略図である。また、図５（ａ）は、本発明の一態様による上出しの状態のコネクタフード１０における第１部材１を示す概略図であり、図５（ｂ）は、上出しの状態のコネクタフード１０における第１部材１と他の部材の一部（第２部材２及び第３部材３）とが組み合わされた状態を示す概略図である。
【００２２】
図４（ａ）に示すように、第１部材１は、略同一形状の面であって、対を成す凹凸のうち凹型の切り欠き１Ｂを含む面と、凸型の切り欠き１Ａを含む面とから構成される。また、凹型の切り欠き１Ｂを含む面と凸型の切り欠き１Ａを含む面とは、略同一の辺のうち切り欠きのない辺において、所定の角度を成して接続されて（連続して）いる。ここで、図の例では、連続した二面が成す角は９０度である。第１部材１の切り欠き１Ｂ、１Ａの向きは、例えば、連続した二面の成す角を９０度から徐々に小さくして仮想的に重ね合わせた際に、凸型の突出部分が凹型の窪み部分に嵌合されるように形成されている。また、上述の第１部材１における凹型の窪み部分や、第２部材２の凹形の部分２Ａにおける窪み部分は、ブッシュ１４とケーブル１３とを貫通させる径を有する円の半円形状である。第１部材１は、凹型の切り欠き１Ｂを含む面と、凸型の切り欠き１Ａを含む面に、上面用スクリューねじ６を貫通させる穴を有する。また、第１部材１は、第２部材２と第３部材３とに接続するための側面用スクリューネジ５、上面用スクリューねじ６に対するネジ孔のためのネジ固定面１Ｃを複数個有する。
【００２３】
ここで、図４（ａ）に示す第１部材１を、ｙ軸を回転軸としてｘ軸からｚ軸方向に、矢印ＡＲ１で示す向きに９０度回転させ、さらに、ｚ軸を回転軸としてｘ軸からｙ軸方向に、矢印ＡＲ２で示す向きに１８０度回転させる（複数段階で、回転軸を変化させて回転させる）と、図５（ｂ）に示す方向の第１部材１を得ることができる。従って、図４（ｂ）に示すように、第１部材１の凹型の切り欠き１Ｂが第２部材２の凹形の部分２Ａと嵌合された場合、第１部材１の凸型の切り欠き１Ａと第３部材３の凹形の部分３Ａとで、横出し用の開口部３０が形成される。また、図５（ｂ）に示すように、第１部材１の凹型の切り欠き１Ｂが第３部材３の凹形の部分３Ａと嵌合された場合、第１部材１の凸型の切り欠き１Ａと第２部材２の凹形の部分２Ａとで、上出し用の開口部３０が形成される。さらに、図４（ｂ）、図５（ｂ）に示すように、第１部材１の凹型の切り欠き１Ｂは、第２部材２又は第３部材３の凹形の部分２Ａ、３Ａと嵌合して、開口部が無い面を形成することができる。
【００２４】
このように、本発明によれば、第１部材１を他の部材（第２部材２、第３部材３、第４部材４）に組み合わせる際に、第１部材１を回転させて組み合わせる方向を変化させることによって、開口部３０の位置を、コネクタフード１０の上面と側面とで変化させることができる。この時、開口部３０の位置を変化させるのに、数種類の部材を必要とせず、第１部材１のみで足りる。従って、コスト低減や作業性向上という効果を奏する。
【００２５】
なお、コネクタフード１０を組み立てる際には、半導体制御装置において流体制御装置を設置するスペースに応じて、ケーブルを導出する方向を横出しにするか上出しにするかを設計時に決定する。そして、予めクリーンルーム内でコネクタフード１０を組み立てて、外気の接触を防ぐために密閉の上保管する。半導体制御装置にコネクタフード１０を取り付ける際には、組み立て用のクリーンルーム内で取り付け、製造工程用のクリーンルーム内に設置すればよい。このようにすれば、半導体製造工程用のクリーンルーム内で配線方向を動かしたりすることなく、部材の擦れによる塵の発生を抑えることができる。
【００２６】
さらに、コネクタ端子用の開口部を含む第４部材４の、第２部材２と第３部材３への組み合わせる向きに応じて、上述の開口部３０をさらに変化させることができる。例えば、図２において、第４部材４は動かさず、第２部材２及び図示しない第３部材３を組み合わせた部材を、コネクタ端子１１に垂直な方向を軸にして１８０度回転させるように組み立てると、横出しの開口部が、図２（ａ）の右方向から、左方向へと変化する。
【００２７】
このように、構成する部材を増やすことなく、組み立てる方向によって、ケーブルを導出するための開口部を複数の位置に設けることができるため、半導体製造装置内の限られたスペースに臨機応変に対応することが可能となる。
【００２８】
本発明を諸図面や実施例に基づき説明してきたが、当業者であれば本開示に基づき種々の変形や修正を行うことが容易であることに注意されたい。従って、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。
【００２９】
例えば、コネクタ端子１１はＤ−ｓｕｂ端子に限られるものではない。また、ブッシュ１４は、方向を逆にしなければならないものではなく、スペースに余裕があれば一方向のみで使用してもよい。また、ＭＦＣ２０の上面にコネクタ端子１１が設けられる態様を示したが、側面にコネクタ端子１１が設けられても良い。
【００３０】
また、図の例では、コネクタフード１０の形状が正方形の面を含む直方体の場合を示したが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、コネクタフード１０が全て長方形の面から成る直方体であっても、直方体の辺の一部を含む部分を、上述の第１部材１を組合せ可能な形状（第２部材２や第３部材３における凹形の部分２Ａ、３Ａを適切な位置に設けた形状）にすればよい。さらに、コネクタフード１０の形状は図のような直方体に限られるものではなく、第１部材１の切り欠きを含む面が成す角を変え、凹形の部分２Ａ、３Ａを第１部材１と対応する適切な位置に設けた形状であれば、任意の形状を取り得る。
【符号の説明】
【００３１】
１０  コネクタフード
２０  ＭＦＣ
１  第１部材
２  第２部材
３  第３部材
４  第４部材
５  側面用スクリューねじ
６  上面用スクリューねじ
１１  コネクタ端子
１２  電線
１３  コネクタケーブル
１４  ブッシュ
２Ａ、３Ａ  凹形の部分
２Ｃ  側面
１Ａ  凸型の切り欠き
１Ｂ  凹型の切り欠き
１Ｃ  ネジ固定面
ＡＲ１、ＡＲ２  矢印
３０  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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