(57)【要約】      （修正有）【課題】紫外線によるガラス基材の着色が抑制された、可視光の透過率の高い光学多層膜付きガラス部材を提供する。【解決手段】ガラス基材１１上に光学多層膜１３が形成された光学多層膜付きガラス部材１０であって、前記ガラス基材と前記光学多層膜との間に、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を吸収する１層または２層以上からなる紫外線吸収層１２を備える。紫外線吸収層は、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、および酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）のいずれかから選ばれる材料からなる酸化物膜で構成される。【選択図】図１
2016218335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基材上に光学多層膜が形成された光学多層膜付きガラス部材であって、
前記ガラス基材と前記光学多層膜との間に、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を吸収する１層または２層以上からなる紫外線吸収層を備えることを特徴とする光学多層膜付きガラス部材。
【請求項２】
前記紫外線吸収層は、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍにおける平均透過率が２０％以下であることを特徴とする請求項１に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【請求項３】
前記紫外線吸収層は、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、および酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）のいずれかから選ばれる材料からなる酸化物膜を、前記ガラス基材側の第１層に備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【請求項４】
前記紫外線吸収層は、前記光学多層膜の光学特性に実質的に影響を与えないことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【請求項５】
前記紫外線吸収層は、前記光学多層膜の一部を構成することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【請求項６】
前記光学多層膜は、反射防止膜、赤外線遮蔽膜、紫外線遮蔽膜、紫外線および赤外線遮蔽膜から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【請求項７】
前記光学多層膜は、反射防止膜であって、酸化珪素（ＳｉＯ２）、窒化珪素（ＳｉｘＮｙ）および酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）から選ばれる２つ以上の材料の交互多層膜であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光学多層膜付きガラス部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラや表示装置等の光学部品として利用される光学多層膜付きガラス部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
モバイル機器等の表示装置のカバーガラスには、ガラス表面での光の反射を抑制するため、反射防止膜がガラス基材上に形成される。また、デジタルスチルカメラやビデオカメラに利用される光学フィルタには、特定の波長の光（例えば、近赤外線）を遮蔽するため、近赤外線遮蔽膜がガラス基材上に形成される（特許文献１参照）。
【０００３】
光学多層膜は、反射防止膜や近赤外線遮蔽膜の場合、高屈折率層と低屈折率層とをガラス基材上に複数交互積層したもので、高屈折率層および低屈折率層の材質、厚さ、層数等の構成を適宜設定することで、光の干渉を利用して光を選択透過するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−２１３８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光学多層膜をガラス基材上に形成する際、スパッタリング法による成膜方法で行うことが知られている。しかし、ガラス基材面に対して、スパッタリング法を用いて光学多層膜を形成した場合、ガラス基材自体が着色し、可視光の透過率が低下するという現象が見られた。
【０００６】
その理由としては、以下の点が挙げられる。
スパッタリング法においては、成膜中にガラス基材の直近でプラズマを発生させる。このプラズマには紫外線が含まれている。例えば、スパッタリング法でガラス基材上にＳｉＯ２膜を成膜する場合、ガラス基材はＳｉ（珪素）原子の原子発光（波長２００〜３００ｎｍにピークを備える）に曝される。そのため、ガラス基材には、これら紫外線の暴露に起因してガラスの構造欠陥（非架橋酸素ホールセンタの生成）が生じ、ガラス基材自体が着色すると考えられる。また、ガラス基材の製造工程においては、成膜工程以外に、例えば洗浄工程でガラス基材に紫外線を照射することがあり、この工程においても同様の現象が発生することが想定される。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、紫外線によるガラス基材の着色が抑制された、可視光の透過率の高い光学多層膜付きガラス部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、鋭意検討を重ねた結果、ガラス基材と光学多層膜との間に紫外線を吸収する層を備えることで、紫外線によるガラス基材の着色が抑制された、可視光の透過率の高い光学多層膜付きガラス部材が得られることが見出した。
【０００９】
すなわち、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、ガラス基材上に光学多層膜が形成された光学多層膜付きガラス部材であって、前記ガラス基材と前記光学多層膜との間に、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を吸収する１層または２層以上からなる紫外線吸収層を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記紫外線吸収層の波長２００〜２８０ｎｍにおける平均透過率が２０％以下であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記紫外線吸収層が、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、および酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）のいずれかから選ばれる材料からなる酸化物膜を、前記ガラス基材側の第１層に備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記紫外線吸収層が前記光学多層膜の光学特性に実質的に影響を与えないことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記紫外線吸収層が前記光学多層膜の一部を構成することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記光学多層膜が、反射防止膜、赤外線遮蔽膜、紫外線遮蔽膜、紫外線および赤外線遮蔽膜から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の光学多層膜付きガラス部材は、前記光学多層膜が反射防止膜であって、酸化珪素（ＳｉＯ２）、窒化珪素（ＳｉｘＮｙ）および酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）から選ばれる２つ以上の材料の交互多層膜であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、紫外線によるガラス基材の着色が抑制された、可視光の透過率の高い光学多層膜付きガラス部材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の光学多層膜付きガラス部材の第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明の光学多層膜付きガラス部材の第２の実施形態を示す断面図である。
【図３】ＴｉＯ２膜の総膜厚が８ｎｍ、１６ｎｍ、２４ｎｍのそれぞれの場合の分光透過率の測定結果を示すグラフである。
【図４】参考例１、実施例１，２および比較例１，２のガラスについて、分光透過率を測定した結果を示すグラフである。
【図５】実施例３および実施例４において、紫外線吸収層の吸収のみを考慮した分光透過率のシミュレーション結果を示すグラフである。
【図６】実施例３および実施例４において、紫外線吸収層および光学多層膜が形成されたガラス部材の反射率のシミュレーション結果を示すグラフである。
【図７】ガラスに表２に示す膜が層数別（１Ｌ〜３Ｌ、１Ｌ〜４Ｌ、１Ｌ〜５Ｌ、１Ｌ〜６Ｌ、１Ｌ〜７Ｌ）に設けられた場合の、分光透過率のシミュレーション結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
［第１の実施形態］
【００１９】
図１は、本発明の光学多層膜付きガラス部材の第１の実施形態を示す断面図である。
光学多層膜付きガラス部材（以下、ガラス部材という）１０は、ガラス基材１１、紫外線吸収層１２、および光学多層膜１３を有する。紫外線吸収層１２および光学多層膜１３は、ガラス基材１１の一方の主面側に、この順で設けられている。また、第１の実施形態のガラス部材１０は、紫外線吸収層１２が光学多層膜１３の光学特性に実質的に影響を与えないものである。
【００２０】
（ガラス基材）
ガラス基材１１の形状は、特に限定されるものではなく、ブロック状であっても、板状であっても、フィルム状であってもよい。また、金型等で任意の形状に成形されたものであってもよい。
【００２１】
ガラス基材１１の厚みは、ガラス部材１０の用途にも依存するが、０．０３ｍｍ〜５ｍｍが好ましく、薄型化の点から、０．０５ｍｍ〜１ｍｍがより好ましい。
【００２２】
ガラス基材１１は、可視光域の光を透過する多成分系ケイ酸塩ガラスであって、かつ紫外線の照射によりガラス自体が着色するガラスであれば、構成するガラス組成系は特に限定されない。例えば、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、アルミノシリケートガラス等が挙げられる。
紫外線の照射によりガラス自体が着色するか否か（耐ソラリゼーション性）は、以下の方法で評価することができる。
耐ソラリゼーション性は、厚さが０．３ｍｍとなるよう両面光学研磨加工した所定形状（２５ｍｍ×２５ｍｍ×０．３ｍｍ）のガラスについて、分光光度計（日立ハイテクノロジーズ社製、型番：Ｕ−４１００）により、波長４００ｎｍ〜４４０ｎｍにおける透過率を測定する。次に、日本光学硝子工業会測定規格ＪＯＧＩＳ−０４に基づき、理化学用高圧水銀ランプ（（株）東芝製、型番：Ｈ−４００Ｐ）を用い、１５ｃｍの距離から５時間、ガラスに対して紫外線を照射した後、再度ガラスの透過率を測定し、紫外線照射後の波長４００ｎｍ〜４４０ｎｍにおける透過率変化を比較する。そして、紫外線照射前後における波長４００ｎｍ〜４４０ｎｍの範囲の光透過率の低下量の最大値が、５％以上である場合、本発明において、紫外線の照射によりガラス自体が着色すると定義する。
【００２３】
（紫外線吸収層）
紫外線吸収層１２は、ガラス基材１１の少なくとも一方の面上であって、ガラス基材１１と光学多層膜１３との間に設けられる。
紫外線吸収層１２は、ガラス部材１０の製造工程において、ガラス基材１１に紫外線が暴露される場合に、紫外線を吸収することでガラス基材１１への紫外線照射量を抑制するための層である。
【００２４】
紫外線吸収層１２は、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を吸収する層である。また、紫外線吸収層１２は、層を構成する膜材自体の紫外線吸収特性により、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光の平均透過率が２０％以下となる層が好ましい。紫外線吸収層１２をガラス基材１１の成膜側表面に設けることで、ガラス基材１１に到達する紫外線（波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光）の量が、紫外線吸収層１２を設けない場合と比較して大幅に抑制される。なお、紫外線吸収層１２の光吸収特性として、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を選択した理由は、波長２８０ｎｍ超の光は、ガラスの着色に大きく関与しないためである。また、波長２００ｎｍ未満の光は、ガラスの着色への影響が未知である。紫外線吸収層１２は、波長２４０ｎｍ〜２８０ｎｍの光の平均透過率が２０％以下となる層がより好ましい。
【００２５】
紫外線吸収層１２は、１層または２層以上からなる。紫外線吸収層１２が２層以上からなる場合、層間に紫外線吸収能を備えない層を挟み込んでもよい。紫外線吸収層１２は、物理膜厚が５ｎｍ〜１００ｎｍであることが好ましい。５ｎｍ未満であると、紫外線を十分に吸収できないおそれがある。また、１００ｎｍ超であると、可視領域の光の透過率を低下させるおそれがある。なお、紫外線吸収層１２が２層以上で構成される場合、紫外線吸収層１２の物理膜厚とは、紫外線吸収能を備える層の合計の物理膜厚をいうものであり、紫外線吸収層１２の層間の紫外線吸収能を備えない層の物理膜厚は含まない。紫外線吸収層１２は、層数が多くなると、光学特性への影響を考慮して膜構成の設計が複雑となるため、５層以下であることが好ましい。典型的には３層以下である。また、紫外線吸収層１２が２層以上で構成される場合、紫外線吸収層１２の間に、低屈折率膜（例えば、ＳｉＯ２膜）を積層し、各層の屈折率差による紫外線の反射特性を前述の吸収特性と併用して、紫外線の一部を遮蔽してもよい。
【００２６】
紫外線吸収層１２は、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、および酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）のいずれかからなる酸化物膜を、ガラス基材１１側の第１層に備えることが好ましい。これら酸化物膜は、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光の吸収性が高く、物理膜厚が薄くても所望の紫外線吸収性を備えるため、可視領域の光の透過特性への影響を少なくすることができる。また、これら酸化物膜を、ガラス基材１１側の第１層すなわちガラス基材１１の上に設けることで、第２層以降の成膜工程時にガラス基材１１が紫外線に曝されたとしても、紫外線によるガラス基材１１の着色を抑制することができる。
【００２７】
（光学多層膜）
光学多層膜１３は、紫外線吸収層１２の上（ガラス基材１１と反対側）に設けられる。光学多層膜１３は、反射防止膜、赤外線遮蔽膜、紫外線遮蔽膜、紫外線および赤外線遮蔽膜の少なくとも１種であることが好ましい。このような光学多層膜１３を用いることで、ガラス部材１０に所望の機能を付与することができる。
【００２８】
光学多層膜１３は、反射防止膜であって、酸化珪素（ＳｉＯ２）、窒化珪素（ＳｉｘＮｙ）および酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）から選ばれる２種以上の材料との交互多層膜であることが好ましい。ガラス部材１０は、筺体の表面のカメラ用窓や表示装置のカバーガラスとして用いられる場合、耐傷性の高い膜が求められる。前述の材料を含む光学多層膜１３は、膜の硬度が高いため、耐傷性の高いガラス部材１０とすることができる。
膜の構成としては、ガラス基材１１側からＳｉＯ２／ＳｉｘＮｙ／ＳｉＯ２／ＳｉｘＮｙ／ＳｉＯ２の構成や、ガラス基材１１側からＳｉＯ２／ＳｉＯｘＮｙ／ＳｉＯ２／ＳｉＯｘＮｙ／ＳｉＯ２の構成など、適宜の膜構成を用いることができる。なお、前述の材料は、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光を吸収する特性をほとんど備えない。そのため、紫外線吸収層１２を用いることなく前述の反射防止膜（酸化珪素（ＳｉＯ２）、窒化珪素（ＳｉｘＮｙ）および酸化窒化珪素（ＳｉＯｘＮｙ）から選ばれる２種以上の材料の交互多層膜）を設けると、ガラス基材１１が紫外線に曝されることにより着色するおそれがある。
【００２９】
（製造方法）
ガラス部材１０は、公知の成膜方法で形成することができる。具体的には、加熱蒸着法やスパッタリング法、イオンアシスト蒸着（ＩＡＤ：Ｉｏｎ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などの成膜法を用い、紫外線吸収層１２および光学多層膜１３を形成する。特に、光学多層膜１３として耐傷性の高い膜を形成する場合は、緻密な膜が得られるように、スパッタリング法やイオンアシスト蒸着法を用いることが好ましい。
【００３０】
［第２の実施形態］
【００３１】
図２は、本発明の光学多層膜付きガラス部材の第２の実施形態を示す断面図である。
本実施形態において、光学多層膜付きガラス部材（以下、ガラス部材という）２０は、図２に示すように、紫外線吸収層２２が光学多層膜２３の一部を構成する点で、第１の実施形態と異なる。本実施形態は、この点およびこれに関連する点を除き、第１の実施形態の場合と同様である。このため、本実施形態において、第１の実施形態と重複する個所については、適宜、記載を省略する。
【００３２】
（紫外線吸収層）
紫外線吸収層２２は、ガラス基材１１の少なくとも一方の面上にあって、光学多層膜２３の一部である。例えば、紫外線吸収層２２が高屈折率物質である場合、光学多層膜２３の高屈折率層として、ガラス基材１１側の第１層に、つまりガラス基材１１の上に設けられる。また、紫外線吸収層２２は、前述の第１層に加え、ガラス基材１１側の第３層、つまりガラス基材１１側から数えて３番目の層として設けてもよい。このように紫外線吸収層２２が設けられることで、光学多層膜２３の第２層以降の成膜工程時にガラス基材１１が紫外線に曝されたとしても、紫外線によるガラス基材１１の着色が抑制することができる。
【００３３】
紫外線吸収層２２が光学多層膜２３の一部として構成される場合、両者をそれぞれ別の構成として設計や膜形成を行うのと比較して、低コストでガラス部材２０を製造することができる、もしくは紫外線吸収層を薄くしても良いため、設計上の自由度が上がる。
【００３４】
（光学多層膜）
光学多層膜２３は、ガラス基材１１の上に設けられる。前述のとおり、紫外線吸収層２２は、光学多層膜２３の一部を構成し、光学特性に影響を及ぼす。光学多層膜２３は、反射防止膜、赤外線遮蔽膜、紫外線遮蔽膜、紫外線および赤外線遮蔽膜の少なくとも１種であることが好ましい。このような光学多層膜２３を用いることで、ガラス部材２０に所望の機能を付与することができる。
【００３５】
（製造方法）
ガラス部材２０は、公知の成膜方法で形成することができる。具体的には、加熱蒸着法やスパッタリング法、イオンアシスト蒸着（ＩＡＤ：Ｉｏｎ  Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などの成膜法を用い、紫外線吸収層２２を含む光学多層膜２３を形成する。特に、光学多層膜２３として耐傷性の高い膜を形成する場合は、緻密な膜が得られるように、スパッタリング法やイオンアシスト蒸着法を用いることが好ましい。
【００３６】
（変形例）
本発明の光学多層膜付きガラス部材の第１の実施形態や第２の実施形態は、例として示したものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲において、省略、置き換え、変更などを適宜行うことができる。
【００３７】
例えば、ガラス部材は、紫外線吸収層および光学多層膜が形成された側と反対の面に、各実施形態と同様の紫外線吸収層および光学多層膜を設けてもよい。また、ガラス部材は、紫外線吸収層および光学多層膜が形成された側と反対の面に紫外線が照射されることがなければ、紫外線吸収層を用いず、光学多層膜のみを設けてもよい。これは、ガラス基材が紫外線に曝されることでガラス自体に着色が生じるためであり、紫外線の入射面側でない面の紫外線吸収層は、ガラス基材に紫外線が到達するのをカットする機能を奏さないためである。
【００３８】
また、ガラス基材と紫外線吸収層との間に紫外線吸収能を有しない層を介在させてもよい。この場合、紫外線吸収能を有しない層の物理膜厚は、１０ｎｍ以下であることが好ましい。この程度の物理膜厚であれば、成膜時間が短く、ガラス基材が受ける紫外線の積算光量が少ないため、ガラス基材の着色への影響が小さいためである。
【実施例】
【００３９】
以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
【００４０】
（紫外線吸収層の紫外線吸収能）
紫外線吸収層の紫外線吸収能を、以下の方法で確認した。
波長２００ｎｍ〜１２００ｎｍの広い範囲で光透過率が高い石英ガラスに対して、スパッタリング法により、ＴｉＯ２膜を８ｎｍの厚さ（物理膜厚）で成膜した。
次いで、ＴｉＯ２膜が形成された石英ガラスを３つに分割した。
そして、石英ガラスが１枚の場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：８ｎｍ）について、透過率を測定した。また、石英ガラスが１枚の場合の透過率の測定結果を基に、石英ガラスを２枚積層した場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：１６ｎｍ）、石英ガラスを３枚積層した場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：２４ｎｍ）のそれぞれについて、透過率を算出した。なお、これら透過率の算出においては、石英ガラス表面における透過率の反射を考慮している。ＴｉＯ２膜の総膜厚が８ｎｍ、１６ｎｍ、２４ｎｍの場合の、波長２００ｎｍ〜１２００ｎｍの透過率を、図３に示す。
【００４１】
この結果から、紫外線吸収層であるＴｉＯ２膜の総膜厚が１６ｎｍ以上の場合、波長２００〜２８０ｎｍの光の平均透過率が２０％以下となることがわかる。なお、石英ガラスが１枚の場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：８ｎｍ）の波長２００ｎｍ〜２８０の平均透過率は、３２．２％であった。これに対し、石英ガラスが２枚の場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：１６ｎｍ）の波長２００ｎｍ〜２８０の平均透過率は、１０．４％であり、石英ガラスが３枚の場合（ＴｉＯ２膜の総膜厚：２４ｎｍ）の波長２００ｎｍ〜２８０の平均透過率は、３．４％であった。
【００４２】
次に、ガラスに紫外線吸収層を設けることで、紫外線照射によるガラスの着色が抑制されることを確認した。
【００４３】
（参考例１）
市販のアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）の波長３５０ｎｍ〜８５０ｎｍの分光透過率を、分光光度計（日立ハイテクノロジーズ社製、型番：Ｕ−４１００）を用いて調べた。結果を図４に示す。なお、このガラスの耐ソラリゼーション性は、前記した測定方法により確認した。その結果、紫外線照射前後において、波長４００ｎｍ〜４４０ｎｍの光透過率の最大低下量は１０．４％であった。
【００４４】
（比較例１）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、紫外線吸収層を設けることなく、スパッタリング法によりＳｉＯ２膜を４４２ｎｍの厚さ（物理膜厚）で成膜した。その際、スパッタリング法による成膜時間は４６分間であった。スパッタリング法によりＳｉＯ２膜を成膜することで、波長２００ｎｍ〜３００ｎｍにピークを有するＳｉ（珪素）原子のプラズマ発光（紫外線を含む）にガラスを曝した。このガラスの波長３５０ｎｍ〜８５０ｎｍの分光透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて調べた。結果を図４に示す。
【００４５】
（実施例１）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、前述のＴｉＯ２膜（８ｎｍ）が形成された石英ガラスをスパッタリングターゲット側に２枚積層して、比較例１と同一の方法・条件でＳｉＯ２膜を成膜した。このガラスの波長３５０ｎｍ〜８５０ｎｍの分光透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて調べた。結果を図４に示す。
【００４６】
（実施例２）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、前述のＴｉＯ２膜（８ｎｍ）が形成された石英ガラスをスパッタリングターゲット側に３枚積層して、比較例１と同一の方法・条件でＳｉＯ２膜を成膜した。このガラスの波長３５０ｎｍ〜８５０ｎｍの分光透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて調べた。結果を図４に示す。
【００４７】
（比較例２）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、前述のＴｉＯ２膜（８ｎｍ）が形成された石英ガラスをスパッタリングターゲット側に１枚積層して、比較例１と同一の方法・条件でＳｉＯ２膜を成膜した。このガラスの波長３５０ｎｍ〜８５０ｎｍの分光透過率を、前記紫外可視近赤外分光光度計を用いて調べた。結果を図４に示す。
【００４８】
図４に示す分光透過率のグラフから、以下のことがわかる。
参考例１と比較例１の結果から、ガラスに対して紫外線照射を行う（例えば、ＳｉＯ２膜の成膜）ことで、ガラスが着色し、波長５００ｎｍ未満の分光透過率が低下することがわかる。
また、実施例１、実施例２および比較例２の結果から、ガラスに紫外線吸収層を設けることで、ガラスに対して紫外線照射を行う（例えば、ＳｉＯ２膜の成膜）場合であっても、ガラスが着色して波長５００ｎｍ未満の分光透過率が低下する現象を抑制できるが、波長２００ｎｍ〜２８０ｎｍの光の平均透過率が２０％超の紫外線吸収層をガラスに設けた場合は、ガラスが着色し波長５００ｎｍ未満の分光透過率が低下する現象を抑制できないことがわかる。
【００４９】
次いで、ガラスに紫外線吸収層を設け、その上に反射防止機能を備える光学多層膜を作成した。
【００５０】
（実施例３）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、ガラス側から順に表１に示す層構成で紫外線吸収層および光学多層膜を形成した。なお、表１において、紫外線吸収層は１Ｌおよび３Ｌである。紫外線吸収層の吸収のみを考慮した分光透過率を、図５に示す。また、紫外線吸収層および光学多層膜が形成された実施例３のガラス部材の反射率を図６に示す。なお、図５および図６の結果は、いずれもシミュレーション結果（ソフトウエアスペクトラ社製：ＴＦＣａｌｃにより算出）である。
【００５１】
【表１】
2016218335.tif 000003
【００５２】
（実施例４）
参考例１と同じアルミノシリケートガラス（板厚：０．３ｍｍ）に対し、ガラス側から順に表２に示す層構成で紫外線吸収層および光学多層膜を形成した。なお、表２において、紫外線吸収層は１Ｌおよび３Ｌである。紫外線吸収層の吸収のみを考慮した分光透過率を、図５に示す。また、紫外線吸収層および光学多層膜が形成された実施例４のガラス部材の反射を図６に示す。なお、図５および図６の結果は、いずれもシミュレーション結果（ソフトウエアスペクトラ社製：ＴＦＣａｌｃにより算出）である。
【００５３】
【表２】
2016218335.tif 000004
【００５４】
実施例３および実施例４の結果から、ガラスに紫外線吸収層を設けることで、特に可視波長域において透過率の高いガラスが得られることがわかる。すなわち、図５に示すとおり、ガラス上に紫外線吸収層を設けることで紫外線の透過率特性が低くなる。そのため、ガラス上に紫外線吸収層を設けた後に光学多層膜を成膜すると、成膜工程に起因するガラス部材の紫外線暴露に対して、ガラスの可視光の透過率の低下を抑制することができる。これは、図６に示す光学多層膜が形成されたガラス部材の反射率からも明確である。このように、実施例３および実施例４は、可視光の表面反射率が抑えられ、かつガラス自体の着色が抑制された、耐擦傷性の高い反射防止膜付きガラス部材であることがわかる。
【００５５】
また、ガラスに表２に示す膜が層数別（１Ｌ〜３Ｌ、１Ｌ〜４Ｌ、１Ｌ〜５Ｌ、１Ｌ〜６Ｌ、１Ｌ〜７Ｌ）に設けられた場合の、各分光透過率のシミュレーション結果を、図７に示す。これによれば、実施例４のガラス部材は、層数４Ｌ以降の膜が紫外線を反射する干渉層として機能することで、紫外線吸収層との併用により高い紫外線遮蔽性を備えることがわかる。
【符号の説明】
【００５６】
１０，２０…光学多層膜付きガラス部材、１１…ガラス基材、１２，２２…紫外線吸収層、１３，２３…光学多層膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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