(57)【要約】【課題】ノズルユニットのＺ方向の振動を全て確実に検知し振動モードを解析できる。【解決手段】一定方向に延びる吐出口（３）を有するスロットダイ（２）を備え、吐出口（３）が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイ（２）を移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワーク（１）を移動させながら、ワーク（１）の上からワーク（１）に吐出口（３）を向けて吐出口（３）から塗布液を吐出することで、ワーク（１）の一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイ（２）に、複数の振動測定器（７ａ，７ｂ，７ｃ）を備えることを特徴とするダイコーター。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に延びる吐出口を有するスロットダイを備え、吐出口が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイを移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワークを移動させながら、ワークの上からワークに吐出口を向けて吐出口から塗布液を吐出することで、ワークの一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイに、複数の振動測定器を備えることを特徴とするダイコーター。
【請求項２】
各振動測定器から出力される振動に係るデータを、ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されることを特徴とする請求項１記載のダイコーター。
【請求項３】
他のダイコーターとともにネットワークに接続され、各ダイコーターの各振動測定器から出力される振動に係るデータを、各ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されることを特徴とする請求項１記載のダイコーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイコーターに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、図４に示すように、一定方向（図４ではＸ方向）に延びる吐出口３を有するスロットダイ２を備え、吐出口３が延びる方向（図４ではＸ方向）と直交する一定方向（図４ではＹ方向）にスロットダイ２を移動させるか、或いは、この一定方向（図４ではＹ方向）とは逆方向に、ワーク１を移動させながら、ワーク１の上からワーク１に吐出口３を向けて吐出口３から塗布液を吐出することで、ワーク１の一面に塗布液を塗布するダイコーターが知られている。ここで、ワークは、基板等の塗布対象物である。
【０００３】
従来から、薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターには、スロットダイ２を昇降させる機構として、図５に示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂを備え、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂ、それぞれの保持部（図示せず）で、スロットダイ２の吐出口３が延びる方向の両端を保持しているものがある。そして、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂは、駆動部であるモーターと、そのモーターの状態を検出する検出部であるエンコーダーとを有するサーボモーターを備え、スロットダイ２とともに、ノズルユニット５を構成する。
【０００４】
そして、薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターは、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂのサーボモーターのモーターを常に駆動させ、エンコーダーからのモーターの状態のフィードバックを受けて、スロットダイ２の吐出口３とワーク１との距離を計算しながら制御している。
【０００５】
しかしながら、このモーターの駆動や周囲からの外乱（振動や圧力）が、力としてダイコーターの構造物を伝わるため、固有振動数に従ってノズルユニット５を振動させている。
【０００６】
この振動が、スロットダイ２の塗布しているワーク１面に対して垂直方向（図４ではＺ方向なので、以後、Ｚ方向とも云う）に発生すると、図６に示すように、塗布後の膜厚分布に周期的な厚薄の膜厚変化を与える。ここで、図６において、塗布方向に対する膜厚のグラフの楕円で囲まれている部分は、レジスト膜６の楕円で囲まれている部分の塗布方向に対する膜厚を示している。
【０００７】
また、その膜厚変化量はＺ方向の振幅に依存するため、塗布動作の高速化、サーボモーターの劣化などで振動が増幅すると、膜厚変化の最大、最小幅が大きくなり、周期的な濃淡が視認できるムラとして不良の原因になる。例えば、図７に示すように、ノズルユニットのＺ方向の振動は、塗布速度Ａのときよりも、塗布速度Ａよりも大きい塗布速度Ｂのときの方が、大きくなっている。
【０００８】
ムラの原因となる振動の内、モーター駆動軸に変位がある場合は、エンコーダーで振動の検知が可能だが、相対的にモーター駆動軸の変位を伴わないノズルユニット全体の振動や、スロットダイが梁の振動モードを起こす場合、エンコーダーでは検知が出来ない。
【０００９】
例えば、図８（ａ）に矢印で示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂの保持部を境に、スロットダイ２のみが、その形状を保って、振動を起こす場合、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂ内のサーボモーターのモーター駆動軸は、その振動により変位する。サーボモーターのエンコーダーは、その変位量を検知するので、スロットダイ２のＺ方向の振動を知ることがで
きる。
【００１０】
しかしながら、例えば、図８（ｂ）に矢印で示すように、スロットダイ２が、梁の曲げ振動モードを起こしている場合、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂの保持部は、振動の節となり、サーボモーターのモーター駆動軸は、変位のない状態となる。サーボモーターのエンコーダーは、スロットダイ２の変位量を検知できないため、振動の発生に気付かない。
【００１１】
また、例えば、図８（ｃ）に矢印で示すように、スロットダイ２が、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂなど周囲の構造物と共に振動している場合、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂの保持部と、スロットダイ２とは、相対変化が無く、サーボモーターのエンコーダーは、スロットダイ２の変位量を検知できないため、振動の発生に気付かない。
【００１２】
ところで、従来から、塗布中のスロットダイの振動を計測するために、スロットダイに加速度検出器を取り付けることが行われている（例えば特許文献１参照）。
【００１３】
しかしながら、特許文献１の図５から明らかなように、加速度検出器を、スロットダイ上に、スロットダイの吐出口が延びる方向の一方の端にのみ、１つだけ取り付けているために、図８（ｂ）に示すように、スロットダイ２が、梁の曲げ振動モードを起こしている場合、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂの保持部は、振動の節となり、スロットダイの吐出口が延びる方向の両端は、振動していないので、スロットダイ２が起こしている梁の曲げ振動モードを検知することが極めて困難であり、しかも、振動モードを解析することは不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００７−２４５０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、ノズルユニットのＺ方向の振動を全て確実に検知し振動モードを解析できることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、一定方向に延びる吐出口を有するスロットダイを備え、吐出口が延びる方向と直交する一定方向にスロットダイを移動させるか、或いは、この一定方向とは逆方向に、ワークを移動させながら、ワークの上からワークに吐出口を向けて吐出口から塗布液を吐出することで、ワークの一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイに、複数の振動測定器を備えることを特徴とするダイコーターとしたものである。
【００１７】
また請求項２の発明では、各振動測定器から出力される振動に係るデータを、ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されることを特徴とする請求項１記載のダイコーターとしたものである。
【００１８】
また請求項３の発明では、他のダイコーターとともにネットワークに接続され、各ダイコーターの各振動測定器から出力される振動に係るデータを、各ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されることを特徴とする請求項１記載のダイコーターとしたものである。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１の発明は、スロットダイに、複数の振動測定器を備えるので、ノズルユニットのＺ方向の振動を全て確実に検知し振動モードを解析できるという効果がある。
【００２０】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、各振動測定器から出力される振動に係るデータを、ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されるので、振動原因を、ダイコーターの各部の動作から発見することが容易になって、振動原因を早期に発見することができるという効果がある。
【００２１】
また、請求項３の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、他のダイコーターとともにネットワークに接続され、各ダイコーターの各振動測定器から出力される振動に係るデータを、各ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されるので、振動原因を、各ダイコーターの各部の動作から発見することが容易になって、振動原因を早期に発見することができるという効果がある。
【００２２】
以上、本発明は、ノズルユニットのＺ方向の振動を全て確実に検知し振動モードを解析できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のダイコーターの説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の平面図のＡＡで切断したときの正面図、（ｃ）は側面図である。
【図２】本発明のダイコーターのＺ軸昇降機構とノズルユニットを説明する側面図。
【図３】本発明のダイコーターでのノズルユニットの振動モードの説明図であって、（ａ）はＺ軸昇降機構の保持部を境にスロットダイが振動している場合、（ｂ）はスロットダイが梁の曲げ振動モードを引き起こしている場合、（ｃ）はスロットダイが周囲の構造物と共に振動している場合、それぞれの説明図。
【図４】一般のダイコーターの説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の平面図のＡＡで切断したときの正面図、（ｃ）は側面図である。
【図５】従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターの側面図。
【図６】スリットダイがＺ方向に振動した場合の膜厚分布を説明する説明図。
【図７】塗布速度が大きくなると、ノズルユニットのＺ方向の振動も大きくなることを説明する説明図。
【図８】従来の薄膜のレジスト塗布に用いられるダイコーターでのノズルユニットの振動モードの説明図であって、（ａ）はＺ軸昇降機構の保持部を境にスロットダイが振動している場合、（ｂ）はスロットダイが梁の曲げ振動モードを引き起こしている場合、（ｃ）はスロットダイが周囲の構造物と共に振動している場合、それぞれの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００２５】
本発明は、図１に示すように、一定方向（図１ではＸ方向）に延びる吐出口３を有するスロットダイ２を備え、吐出口３が延びる方向（図１ではＸ方向）と直交する一定方向（
図１ではＹ方向）にスロットダイ２を移動させるか、或いは、この一定方向（図１ではＹ方向）とは逆方向に、ワーク１を移動させながら、ワーク１の上からワーク１に吐出口３を向けて吐出口３から塗布液を吐出することで、ワーク１の一面に塗布液を塗布するダイコーターであって、スロットダイ２の上に、複数の振動測定器（図１では、７ａ，７ｂ，７ｃ）を備えるダイコーターである。ここで、ワークは、基板等の塗布対象物である。
【００２６】
そして、本発明のダイコーターは、スロットダイ２を昇降させる機構として、図２に示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂを備え、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂ、それぞれの保持部（図示せず）で、スロットダイ２の吐出口３が延びる方向の両端を保持しているおり、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂは、駆動部であるモーターと、そのモーターの状態を検出する検出部であるエンコーダーとを有するサーボモーターを備え、スロットダイ２とともに、ノズルユニット５を構成する。
【００２７】
そして、本発明のダイコーターは、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂのサーボモーターのモーターを常に駆動させ、エンコーダーからのモーターの状態のフィードバックを受けて、スロットダイ２の吐出口３とワーク１との距離を計算しながら制御している。
【００２８】
振動測定器は、この振動測定器を取り付けた物体の振動を測定して、この物体の振動に係るデータを出力する装置である。本発明のダイコーターでは、各振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃから出力される振動に係るデータは、このダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶される。
なお、ダイコーターの各部の動作とは、上記述べた動作の他に、ダイコーターに接続した搬入出装置のワークの搬送動作、およびダイコーターを設置した建物の振動も含まれる。
また、複数の本発明のダイコーターをネットワークに接続し、各ダイコーターの各振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃから出力される振動に係るデータが、各ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けて記憶されても良い。
【００２９】
振動測定器は、測定する振動の軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、或いはＺ軸方向）を選択可能であり、また、振動を測定して振動に係るデータを出力する周期を選択可能である。
【００３０】
振動測定器の例として、物体の加速度を計測する加速度計が挙げられ、この加速度計は、加速度ピックアップとも呼ばれる。
【００３１】
本発明のダイコーターは、スロットダイ２の上に、複数の振動測定器（図１では、７ａ，７ｂ，７ｃ）を備えるので、各振動測定器が測定する振動の軸方向をＺ軸方向に選択すれば、振動モードに拘わらず、ノズルユニットのＺ方向の振動を検知することができる。
【００３２】
例えば、図３（ａ）に矢印で示すように、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂの保持部を境に、スロットダイ２のみが、その形状を保って、振動を起こす場合、振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃは、その変位量を検知し、スロットダイ２のＺ方向の振動を知ることができる。
【００３３】
また、例えば、図３（ｂ）に矢印で示すように、スロットダイ２が、梁の曲げ振動モードを起こしている場合も、振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃは、その変位量を検知し、スロットダイ２のＺ方向の振動を知ることができる。そして、複数の振動測定器（図１では、７ａ，７ｂ，７ｃ）を設置することで、振動モードを解析することもできる。
【００３４】
また、例えば、図３（ｃ）に矢印で示すように、スロットダイ２が、Ｚ軸昇降機構４ａ，４ｂなど周囲の構造物と共に振動している場合も、振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃは、その変位量を検知し、スロットダイ２のＺ方向の振動を知ることができる。
【００３５】
そして、本発明のダイコーターは、振動モードに拘わらず、ノズルユニットのＺ方向の振動を検知することができるため、振幅の大きさからムラの発生を感知し、不良品の流出を予防することができる。
【００３６】
また、本発明のダイコーターは、振動モードに拘わらず、ノズルユニットのＺ方向の振動を検知することができるため、振動モードを解析して、反対位相の振動を振動装置からノズルユニット５に与えて、ノズルユニット５の振動を抑え、ムラの発生を防止できる。
【００３７】
また、各ダイコーターの各振動測定器７ａ，７ｂ，７ｃから出力される振動に係るデータを、各ダイコーターの各部の動作に係るデータと、時系列的に関連付けることにより、振動原因を、各ダイコーターの各部の動作から発見することが容易になって、振動原因を早期に発見することができる。
【００３８】
本発明のダイコータを構成する装置の劣化が振動原因の場合、早期発見により、長納期、長工期部材の破損前に手配することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１…ワーク
２…スロットダイ
３…吐出口
４ａ…Ｚ軸昇降機構
４ｂ…Ｚ軸昇降機構
５…ノズルユニット
６…レジスト膜
７ａ…振動測定器
７ｂ…振動測定器
７ｃ…振動測定器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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