(57)【要約】【課題】載置面の広がる水平方向において、静電チャック部の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる静電チャック装置を提供すること。【解決手段】静電チャック装置１０は、静電チャック部２０が冷却ベース部６０から離れるように、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の所定のチャック押上箇所Ｐを押し上げるチャック押上機構７０を備える。チャック押上機構７０が静電チャック部２０のチャック押上箇所Ｐを押し上げることによって、接着層５０のうち所望する部分の接着層５０の厚さを変化させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状試料が載置される載置面を有する静電チャック本体部を含む静電チャック部と、
押上用貫通孔を有し、前記静電チャック部を冷却する冷却ベース部と、
前記静電チャック部と前記冷却ベース部とが接着するように、前記静電チャック部と前記冷却ベース部との間に形成された接着層と、
前記押上用貫通孔内に設けられたチャック押上機構と、を備え、
前記チャック押上機構は、前記静電チャック部が前記冷却ベース部から離れるように、前記静電チャック部の前記冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所を押し上げる、静電チャック装置。
【請求項２】
さらに、前記接着層と前記冷却ベース部との間において、前記押上用貫通孔の前記静電チャック部側の開口を覆わないように、前記冷却ベース部の表面に接着した絶縁シートを備え、
前記チャック押上機構は、前記チャック押上箇所を押し上げる、請求項１に記載の静電チャック装置。
【請求項３】
前記チャック押上機構は、前記押上用貫通孔を摺動しながら前記チャック押上箇所を押し上げるチャック押上部材と、前記チャック押上部材にチャック押上力を付与するチャック押上力付与機構とを有する、請求項１又は２に記載の静電チャック装置。
【請求項４】
板状試料が載置される載置面を有する静電チャック本体部を含む静電チャック部と、
押上用貫通孔を有し、前記静電チャック部を冷却する冷却ベース部と、
前記静電チャック部と前記冷却ベース部とが接着するように、前記静電チャック部と前記冷却ベース部との間に形成された接着層と、
前記接着層と前記冷却ベース部との間において、前記押上用貫通孔を覆うように、前記冷却ベース部の前記静電チャック部側に接着した絶縁シートと、
前記押上用貫通孔内に設けられた絶縁シート押上機構と、を備え、
前記絶縁シート押上機構は、前記静電チャック部の前記冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所と前記絶縁シートのうち前記押上用貫通孔を覆っているシート押上箇所との間の接着層の厚さが薄くなるように、前記シート押上箇所を前記チャック押上箇所に向けて押し上げる、静電チャック装置。
【請求項５】
前記絶縁シート押上機構は、前記押上用貫通孔を摺動しながら前記シート押上箇所を押し上げる絶縁シート押上部材と、前記絶縁シート押上部材に絶縁シート押上力を付与する絶縁シート押上力付与機構と、前記シート押上箇所と前記絶縁シート押上部材との間に配置された絶縁シート押上弾性部材とを有する、請求項４に記載の静電チャック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状試料を静電気力で吸着させる静電チャック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマエッチング装置、プラズマＣＶＤ装置などのプラズマを用いた半導体製造装置は、板状試料を固定する静電チャック装置と、固定された板状試料にプラズマを照射するプラズマ照射機構とを備える。板状試料は、例えば、円盤状のウエハである。
静電チャック装置は、板状試料が載置される載置面を有する静電チャック部と、静電チャック部を冷却する冷却ベース部と、静電チャック部と冷却ベース部とが接着するように、静電チャック部と冷却ベース部との間に形成された接着層とを備える。
【０００３】
プラズマ照射機構が作動すると、静電チャック部の載置面に固定された板状試料の表面温度が上昇する。そこで、板状試料の表面温度の上昇を抑え、板状試料が所望の温度分布になるように、静電チャック装置は、板状試料を載置面に静電吸着させる静電吸着用内部電極を有する静電チャック部と、水やフッ素系冷媒などの冷却媒体が循環する温度調整用ベース部と、静電チャック部の内部や載置面とは反対側の面に形成された電気ヒータのような加熱部材とを備える（特許文献１）。
【０００４】
そして、温度調整用ベース部で板状試料の下側全体を冷却し、加熱部材で板状試料の所定範囲を加熱することにより、板状試料全体を均一に所望の温度にする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３００４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
プラズマエッチング装置では、板状試料の処理温度の調整、及び板状試料のエッチングレートの均一化を目的としてヒータ部を備える。例えば、ウエアで形成される半導体には、細線化が求められており、細線化のためには、プラズマエッチング装置の処理中におけるウエハの面内の温度を均一にすることが求められている。
【０００７】
板状試料の温度は、冷却ベース部の形状、ヒータ部のパターン、ヒータ部と冷却ベース部との間の熱伝達率、及び、プラズマ状態の影響を受けるので、それらの影響に適合した静電チャック装置、特に、ヒータ部を設計する必要がある。特に、種々のプラズマの照射条件に対応するためには、プラズマの照射条件に合わせた温度調整ができるヒータ部が必要である。
【０００８】
板状試料が円盤形状の場合、まず、ヒータ部を複数のヒータパターンで構成し、次いで、静電チャック部に同心円状に複数のヒータパターンを配置した静電チャック装置を用いる。この場合、複数のヒータパターンへの電力供給量を個別に制御することにより、板状試料の径方向の温度調整を行うことができるが、同心円周上の温度分布の調整をすることができない。そこで、板状試料の径方向と円周方向との両方の温度調整ができるように、ヒータパターンの分割数を増やす方法が提案されている。
しかし、ヒータパターンの分割数を増加させると、電力供給源数も増加し、また、高周波が電力供給源に影響しないように、電力供給源を保護する高周波カットフィルタの設置数も増加すると共に、複数の分割されたヒータパターン間の温度制御が複雑となる課題がある。
【０００９】
また、ヒータ部を、プラズマ状態の変化、及びヒータ部への電力供給量の変化に伴う冷却ベース部の冷却用流路内の温度変化を考慮して設計することにより、同一周円上の温度分布を所定の温度分布とすることが可能である。
しかし、この場合、限られた条件でのみ適応可能であり、プロセスの条件毎にヒータ部の設計が必要になるという課題がある。
また、限られた条件を充たすヒータ部の厚さ、幅及び接着層の厚さの許容管理値が狭く、製造コストの上昇及び歩留まりの低下の原因となる課題がある。
【００１０】
本発明の課題は、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる静電チャック装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者は、ヒータ部を有する静電チャック装置を製作後に、ヒータ部と冷却ベース部との間の接着層の厚みを変化させることにより、ヒータ間と冷却ベース部との間の熱伝達を調整することで、静電チャック部の載置面の温度の調整を行うことができることを見出し、さらに、その調整は、載置面の温度測定をサーモグラフ等で行うことにより、温度の低い載置面の静電チャック部を押し上げることにより、面内温度の均一化を図ることを見出して、以下の発明を完成させた。
【００１２】
本発明に係る静電チャック装置は、板状試料が載置される載置面を有する静電チャック本体部を含む静電チャック部と、押上用貫通孔を有し、前記静電チャック部を冷却する冷却ベース部と、前記静電チャック部と前記冷却ベース部とが接着するように、前記静電チャック部と前記冷却ベース部との間に形成された接着層と、前記押上用貫通孔内に設けられたチャック押上機構と、を備える。
前記チャック押上機構は、前記静電チャック部が前記冷却ベース部から離れるように、前記静電チャック部の前記冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所を押し上げる。
【００１３】
本発明に係る静電チャック装置は、さらに、前記接着層と前記冷却ベース部との間において、前記押上用貫通孔の前記静電チャック部側の開口を覆わないように、前記冷却ベース部の表面に接着した絶縁シートを備え、前記チャック押上機構は、前記チャック押上箇所を押し上げることが好ましい。
【００１４】
前記チャック押上機構は、前記押上用貫通孔を摺動しながら前記チャック押上箇所を押し上げるチャック押上部材と、前記チャック押上部材にチャック押上力を付与するチャック押上力付与機構とを有することが好ましい。
【００１５】
前記チャック押上機構は、さらに、前記チャック押上部材と前記チャック押上力付与機構との間に配置されたチャック押上弾性部材を有することが好ましい。
【００１６】
本発明に係る別の静電チャック装置は、板状試料が載置される載置面を有する静電チャック本体部を含む静電チャック部と、押上用貫通孔を有し、前記静電チャック部を冷却する冷却ベース部と、前記静電チャック部と前記冷却ベース部とが接着するように、前記静電チャック部と前記冷却ベース部との間に形成された接着層と、前記接着層と前記冷却ベース部との間において、前記押上用貫通孔を覆うように、前記冷却ベース部の前記静電チャック部側に接着した絶縁シートと、前記押上用貫通孔内に設けられた絶縁シート押上機構と、を備える。前記絶縁シート押上機構は、前記静電チャック部の前記冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所と前記絶縁シートのうち前記押上用貫通孔を覆っているシート押上箇所との間の接着層の厚さが薄くなるように、前記シート押上箇所を前記チャック押上箇所に向けて押し上げる。
【００１７】
前記絶縁シート押上機構は、前記押上用貫通孔を摺動しながら前記シート押上箇所を押し上げる絶縁シート押上部材と、前記絶縁シート押上部材に絶縁シート押上力を付与する絶縁シート押上力付与機構と、前記シート押上箇所と前記絶縁シート押上部材との間に配置された絶縁シート押上弾性部材とを有することが好ましい。
前記絶縁シート押上機構は、さらに、前記シート押上箇所と前記絶縁シート押上弾性部材との間に配置された絶縁シート保護層を有することが好ましい。
【００１８】
前記絶縁シート押上機構は、前記押上用貫通孔の前記シート押上箇所とは反対側の開口から気体や液体のような流体を供給する流体押上機構であることが好ましい。
【００１９】
前記静電チャック部は、さらに、前記静電チャック本体部の前記載置面とは反対側の裏面に貼り付けられたヒータ部を有し、前記チャック押上箇所は、前記ヒータ部の所定の位置であることが好ましい。
【００２０】
前記接着層は、シリコン系樹脂、アクリル系樹脂及びポリイミド系樹脂の群から選択された１種又は２種以上を含むことが好ましく、特に、耐熱性、耐プラズマ性、及び冷却ベース部との熱伝達率の観点から、シリコン系接着材に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）フィラ等の絶縁性の熱伝導材料を添加してなる接着剤が好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、静電チャック装置は、静電チャック部が冷却ベース部から離れるように、静電チャック部の冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所を押し上げるチャック押上機構を備える。このため、チャック押上機構が静電チャック部のチャック押上箇所を押し上げることによって、接着層のうち所望する部分の接着層の厚さを変化させることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる静電チャック装置を提供することができる。
【００２２】
また、本発明によれば、静電チャック装置は、静電チャック部の冷却ベース部側の所定のチャック押上箇所と絶縁シートのうち押上用貫通孔を覆っているシート押上箇所との間の接着層の厚さが薄くなるように、シート押上箇所をチャック押上箇所に向けて押し上げる絶縁シート押上機構を備える。
このため、絶縁シート押上機構がシート押上箇所をチャック押上箇所に向けて押し上げることによって、押し上げられたチャック押上箇所とシート押上箇所との間の接着層が弾性変形し、その接着層の厚さを薄くすることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる静電チャック装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る静電チャック装置の第１実施形態の一部を省略した部分断面図である。
【図２】本発明に係る静電チャック装置の第２実施形態の一部を省略した部分断面図である。
【図３】図２に示した静電チャック装置の動作を説明する一部を省略した部分断面図である。
【図４】本発明に係る静電チャック装置の第３実施形態の一部を省略した部分断面図である。
【図５】本発明に係る静電チャック装置の第４実施形態の一部を省略した部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１から図５を参照して、本発明に係る静電チャック装置１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃの説明をする。なお、同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【００２５】
図１を参照して、静電チャック装置１０の説明をする。
図１に示すように、静電チャック装置１０は、静電チャック部２０と、冷却ベース部６０と、接着層５０と、チャック押上機構７０とを備える。静電チャック装置１０は、さらに、絶縁シート４０を備える。
【００２６】
静電チャック部２０は、静電チャック本体部２１とヒータ部３０とを有する。静電チャック本体部２１は、板状試料が載置される載置面が形成され、その載置面側を一主面２２とし、一主面２２とは反対側の裏面を他主面２４とする板状部材である。静電チャック本体部２１は、セラミックスで形成され、図示はしないが、載置板と、支持板と、絶縁材層とを有する。
【００２７】
ヒータ部３０は、一主面３２及び他主面３４を有する薄厚のヒータエレメントである。ヒータ部３０が静電チャック部２０ひいては静電チャック部２０に載置された板状試料を加熱することができるように、ヒータ部３０は、静電チャック部２０の他主面２４に接着剤（図示せず）を介して接着されている。つまり、ヒータ部３０は、静電チャック部２０の一主面２２（載置面）とは反対側の他主面２４（裏面）に貼り付けられている。
また、ヒータ部３０の一主面３２は、静電チャック部２０の一主面２２（載置面）とは反対側の他主面２４に対向し、他主面３４は、後述するチャック押上機構７０のチャック押上部材７８の端部が当接するように、冷却ベース部６０側に向いている。つまり、他主面３４は、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の一部を構成している。
また、後述するように、所定の他主面３４の一部は、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の所定のチャック押上箇所Ｐとなる。
【００２８】
冷却ベース部６０は、静電チャック部２０を冷却する部材であり、静電チャック部２０に対向する上面６２と、上面６２とは反対側の下面６４とを有する厚さのある円板状の部材である。冷却ベース部６０は、押上用貫通孔６５と、水やフッ素系冷媒などの冷却媒体が循環する冷却用流路６８とを有する。
冷却ベース部６０の温度は、所定の温度の冷却媒体が所定の流量で冷却用流路６８を流れることによって調整される。そして、ヒータ部３０の加熱と相まって、静電チャック部２０、ひいては、静電チャック部２０の積載面に積載された板状試料を所望温度に調整する。
冷却ベース部６０を構成する材料は、熱伝導性、導電性、加工性に優れた金属、又はこれらの金属を含む複合材であることが好ましく、アルミニウム又はチタンで形成されていることがさらに好ましい。
【００２９】
押上用貫通孔６５は、上面６２及び下面６４に開口する貫通孔である。押上用貫通孔６５の上面６２側の開口は、チャック押上箇所Ｐに向いている。押上用貫通孔６５は、摺動孔部６７と、摺動孔部６７に連通する螺合孔部６６とを有する。
摺動孔部６７は、押上用貫通孔６５において、静電チャック部２０側に形成され、後述するチャック押上機構７０の一部が摺動する摺動孔である。
螺合孔部６６は、押上用貫通孔６５において、静電チャック部２０とは反対側に形成され、後述するチャック押上機構７０の、雄ネジのような押上力付与機構７１に螺合する雌ネジが形成されている。
【００３０】
冷却ベース部６０には、上面６２における摺動孔部６７の開口に凹部６９が形成されている。凹部６９には、後述するピン７８ａが摺動可能なリング形状のセラミックリング１１０が配置される。
【００３１】
接着層５０は、静電チャック部２０と冷却ベース部６０とが接着するように、静電チャック部２０と冷却ベース部６０との間に形成されている。接着層５０は、弾性材料を組成物としているので、温度変化に伴う静電チャック部２０の温度変位と冷却ベース部６０の温度変位との差による熱応力を緩和させる作用を有する。また、接着層５０は、静電チャック部２０と冷却ベース部６０との間の隙間の変化に応じて弾性変形する。
【００３２】
接着層５０は、シリコンゴム等のゴム弾性を有する材料、又は粘性の高い粘弾性体で構成される。シリコンゴム等のゴム弾性を有する材料としては、具体的には、シリコン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂の群から選択された１種又は２種以上を含むことが好ましく、特に、耐熱性、耐プラズマ性、及び冷却ベース部との熱伝達率の観点から、シリコン系接着材に窒化アルミニウム（ＡｌＮ）フィラ等の絶縁性の熱伝導材料を添加してなる接着剤が好ましい。
粘性の高い粘弾性体としては、粘土や餅のような材料を例示することができる。接着層５０を粘性の高い粘弾性体で構成することにより、裏面より温度分布に合わせた外力を付与することができる。
接着層５０が弾性体の場合、定常的に力が弾性体に作用するので、接着剤にかかる圧力分布が特性（形状、破壊など）に影響を及ぼす可能性がある。そこで、静電チャック部２０と冷却ベース部６０との間に、固体でありながらある程度の流動性を有する粘土のような構造を介在させることで、外力に対して接着剤層内でつり合いを保つように動くことになるので、接着剤そのものに作用する負荷を低減させることができる。
【００３３】
後述するように、チャック押上機構７０は、静電チャック部２０が冷却ベース部６０から離れるように、静電チャック部２０のチャック押上箇所Ｐを押し上げるので、静電チャック部２０と冷却ベース部６０との間の接着層５０は、接着層５０の厚さを厚くする引っ張り力が作用することになる。そこで、接着層５０は、接着層５０の厚さを厚くする引っ張り力に対して弾性変形可能な、ヤング率、強度、厚さを有することが好ましい。具体的には、接着層５０は、５μｍ以上、好ましくは１０から３０μｍ厚くすることができるヤング率、強度、厚さを有することが好ましい。
接着層５０は、シリコン系樹脂組成物を加熱硬化した硬化体又はアクリル樹脂で形成され、熱伝導性などの特性を向上させるためセラミックスなどのフィラを添加してあるものを使用してもよい。なお、接着層５０の熱伝達率は、フィラが添加されると、変化する。
【００３４】
チャック押上機構７０は、チャック押上部材７８と押上力付与機構７１とチャック押上弾性部材７７とを有し、押上用貫通孔６５内に設けられる。
チャック押上部材７８は、ピン７８ａ及びピン７８ｂを有する。
ピン７８ａは、チャック押上箇所Ｐを押し上げることができるように、摺動孔部６７内及びセラミックリング１１０内を摺動可能に配置される。ピン７８ａの静電チャック部２０側の端部は、ヒータ部３０の他主面３４、すなわち、チャック押上箇所Ｐに当接する。ピン７８ａは、絶縁処理としてテフロン（登録商標）コートされている。
ピン７８ｂは、摺動孔部６７内において、ピン７８ａの静電チャック部２０とは反対側に配置される。ピン７８ｂの一方の端部がチャック押上弾性部材７７を介してピン７８ａに対向し、他方の端部は後述する押上力付与機構７１の凹部７６に回転摺動可能に当接している。ピン７８ｂは、アルミニウム、ステンレス等の一般的な材料で形成される。
【００３５】
チャック押上弾性部材７７は、摺動孔部６７内において、ピン７８ａとピン７８ｂとの間に配置された、Ｏリングのような弾性部材である。チャック押上弾性部材７７は、例えば、ピン７８ａやピン７８ｂの過度な変位を吸収する作用を有する。
【００３６】
押上力付与機構７１は、螺合孔部６６に螺合して、チャック押上部材７８にチャック押上力を付与する、雄ネジである。雄ネジは、螺合孔部６６に螺合する雄ネジを有する側面と、凹部７６を有する一端部７２と、マイナス・ドライバーの先端が入るようにフライス・カッターで加工した凹状の溝７５を有する他端部７３とを有する。雄ネジは、例えば、すりわり付きくぼみ先止めネジが好ましい。
【００３７】
絶縁シート４０は、接着層５０と冷却ベース部６０との間において、押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆わないように、冷却ベース部６０の上面６２（表面）に接着している。このため、絶縁シート４０には、チャック押上機構７０のピン７８ａが摺動可能な孔を有するので、ピン７８ａの側面がその孔に密接した状態で、ピン７８ａが、ヒータ部３０の他主面３４、すなわち、チャック押上箇所Ｐに直接当接した状態にすることができる。
【００３８】
以上の静電チャック装置１０は、以下のようにして、載置面の広がる水平方向において、載置面の温度のムラの発生を抑える。
【００３９】
先ず、静電チャック部２０の載置面の温度を、サーモグラフ等で測定を行うことにより、例えば、温度の低い載置面の位置を特定する。そして、載置面の温度が均一にするために、接着層５０の厚さを変えたい部分に近いチャック押上機構７０を特定する。
【００４０】
次に、特定されたチャック押上機構７０の溝７５に、マイナス・ドライバーの先端を挿入し、マイナス・ドライバーを回転させる。これにより、押上力付与機構７１である雄ネジが回転し、螺合孔部６６の螺合に従って押上力付与機構７１が静電チャック部２０側に移動する。
このとき、押上力付与機構７１は、押上力付与機構７１の移動に伴って、凹部７６に回転摺動可能に当接しているピン７８ｂを押し上げ、ピン７８ｂに押し上げ力を付与する。そしてピン７８ｂに作用した押し上げ力は、チャック押上弾性部材７７、ピン７８ａを介して、ヒータ部３０の他主面３４ひいては、静電チャック部２０に作用し、静電チャック部２０を押し上げる。つまり、チャック押上機構７０は、チャック押上箇所Ｐを押し上げ、チャック押上部材７８にチャック押上力を付与する。
このように、チャック押上機構７０は、静電チャック部２０が冷却ベース部６０から離れるように、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側のチャック押上箇所Ｐを押し上げる押し上げ機構として作用する。
【００４１】
こうして、静電チャック装置１０は、接着層５０のうち所望する部分の接着層５０の厚さを変化させることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部２０の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００４２】
図２を参照して、本発明に係る静電チャック装置１０ａの説明をする。
図２に示すように、静電チャック装置１０ａは、静電チャック部２０と、冷却ベース部６０と、接着層５０と、絶縁シート４１と、絶縁シート押上機構８０とを備える。
【００４３】
静電チャック装置１０ａは、絶縁シート４０の代わりに絶縁シート４１を用い、チャック押上機構７０の代わりに絶縁シート押上機構８０を用い、凹部６９及びセラミックリング１１０がないこと以外は、静電チャック装置１０と同じである。
【００４４】
絶縁シート４１は、押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆う絶縁シートである点で、押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆わない絶縁シート４０と異なる。絶縁シート４１のうち押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆う部分はシート押上箇所Ｑとされる。
【００４５】
絶縁シート押上機構８０は、押上用貫通孔６５の摺動孔部６７を摺動しながらシート押上箇所Ｑを押し上げる絶縁シート押上部材８４と、絶縁シート押上部材８４に絶縁シート押上力を付与する押上力付与機構７１と、シート押上箇所Ｑと絶縁シート押上部材８４との間に配置された絶縁シート押上弾性部材８６とを有する。絶縁シート押上機構８０は、さらに、シート押上箇所Ｑと絶縁シート押上弾性部材８６との間に配置された絶縁シート保護層８９を有する。
絶縁シート押上部材８４及び絶縁シート押上弾性部材８６は、それぞれ、ピン７８ａ及びチャック押上弾性部材７７と同じ構成であることが好ましい。
絶縁シート保護層８９は、絶縁シート４１の傷防止用に用いられ、絶縁性及び弾力性を有する材料で形成されていることが好ましく、例えば、円盤状のゴムである。
【００４６】
絶縁シート押上機構８０は、接着層５０のうち、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の接着層５０ａの厚さが薄くなるように、シート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げるので、静電チャック部２０と冷却ベース部６０との間の接着層５０ａは、接着層５０ａの厚さを薄くする圧縮力が作用することになる。
接着層５０ａの厚さを薄くしようとする圧縮力は、静電チャック部２０のチャック押上箇所Ｐに作用し、静電チャック部２０は、冷却ベース部６０から離れようとする。
静電チャック部２０が冷却ベース部６０から離れるように押し上げられると、接着層５０のうち、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の周辺部の接着層５０ｂは広げられ、接着層５０ｂの厚さが厚くなる引っ張り応力が作用する。
そこで、接着層５０は、接着層５０の厚さを薄くする圧縮力、接着層５０の厚さを厚くする引っ張り応力に対して、弾性変形可能な、ヤング率、強度、厚さを有することが好ましい。
具体的には、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の周辺部の接着層５０ｂ、すなわち、接着層５０は、５μｍ以上、好ましくは１０から３０μｍ、厚さを厚くすることができるヤング率、強度、厚さを有することが好ましい。
なお、チャック押上箇所Ｐにおける接着層５０の冷却能力は低いため、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の接着層５０ａが圧縮されても、静電チャック部２０の冷却には、殆ど影響しない。しかし、チャック押上箇所Ｐを押し上げて、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の周辺部のうち、冷却ベース部６０に接着されている周辺部の接着層５０ｂが厚くなると、押し上げた部分の静電チャック部２０の温度は上昇する。
【００４７】
以上の静電チャック装置１０ａは、以下のようにして、載置面の広がる水平方向において、載置面の温度のムラの発生を抑える。
【００４８】
図３に示すように、接着層５０の厚さを変えたい部分の近傍にある絶縁シート押上機構８０の溝７５に、マイナス・ドライバーの先端を挿入し、マイナス・ドライバーを回転させる。これにより、押上力付与機構７１である雄ネジが回転し、螺合孔部６６の螺合に従って押上力付与機構７１である雄ネジが静電チャック部２０側に移動すると共に、絶縁シート押上部材８４も静電チャック部２０側に移動する。また、絶縁シート押上部材８４が静電チャック部２０側に移動するので、絶縁シート押上弾性部材８６及び絶縁シート保護層８９も静電チャック部２０側に移動すし、絶縁シート４１のシート押上箇所Ｑを距離βだけチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げる。
このように、絶縁シート押上機構８０は、シート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げる押上機構として作用する。
【００４９】
シート押上箇所Ｑがある接着層５０はシート押上箇所Ｑとチャック押上箇所Ｐとにはさまれているので、接着層５０が弾性変形をすると共に、弾性力、すなわち、チャック押上力をチャック押上箇所Ｐに向けて発揮する。
チャック押上箇所Ｐで受けたチャック押上力は、ヒータ部３０を介して静電チャック部２０に作用し、チャック押上箇所Ｐにおける静電チャック部２０を距離αだけ冷却ベース部６０から離れると共に、静電チャック部２０の全体又は静電チャック部２０のチャック押上箇所Ｐがある付近（図３において、静電チャック部２０の中央から左側）が傾斜する。
【００５０】
このように、絶縁シート押上機構８０がシート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げることによって、押し上げられたチャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の接着層５０ａが弾性変形し、その接着層５０の厚さを薄くすることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部２０の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００５１】
また、静電チャック装置１０ａは、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の所定のチャック押上箇所Ｐと絶縁シート４１のうち押上用貫通孔６５を覆っているシート押上箇所Ｑとの間の周辺部の接着層５０ｂの厚さが厚くなるように、シート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げる絶縁シート押上機構８０を備える。このため、絶縁シート押上機構８０がシート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げることによって、チャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の周辺部の接着層５０ｂが弾性変形し、その接着層５０ｂの厚さを厚くすることができるので、載置面２２の広がる水平方向において、静電チャック部２０の載置面２２の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００５２】
図４を参照して、本発明に係る静電チャック装置１０ｂの説明をする。
図４に示すように、静電チャック装置１０ｂは、静電チャック部２０の内部に静電吸着用電極９０を有すること以外は、静電チャック装置１０ａと同じである。
【００５３】
静電吸着用電極９０は、静電チャック本体部２１の内部に形成された吸着用電極部９１と、静電チャック本体部２１の他主面２４に形成された露出電極部９５と、吸着用電極部９１と露出電極部９５とを電気的に接続する接続電極部９２とを有する。露出電極部９５は、例えば、一主面９６及び他主面９７を有する円盤形状を有する電極である。
【００５４】
露出電極部９５は、静電チャック部２０の一主面２２（載置面）とは反対側の他主面２４（裏面）に貼り付けられている。
また、露出電極部９５の一主面９６は、静電チャック部２０の一主面２２（載置面）とは反対側の他主面２４に対向し、他主面９７は、シート押上箇所Ｑと対向するように、冷却ベース部６０側に向いている。つまり、他主面９７は、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の一部を構成している。
つまり、チャック押上箇所Ｐは、静電吸着用電極９０のうち静電チャック本体部２１の他主面２４（裏面）から露出している露出電極部９５の所定の位置とされる。
【００５５】
以上の静電チャック装置１０ｂは、静電チャック装置１０ａと同様に作用するので、載置面の広がる水平方向において、載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００５６】
図５を参照して、本発明に係る静電チャック装置１０ｃの説明をする。
図５に示すように、静電チャック装置１０ｃは、押上用貫通孔６５を押上用貫通孔１００としていること、絶縁シート押上機構８０の代わりに流体供給手段Ｃを用いていること以外は、静電チャック装置１０ａと同じである。
【００５７】
流体供給手段Ｃは、押上用貫通孔１００に、気体や液体のような流体を供給するコンプレッサーである。
流体供給手段Ｃは、押上用貫通孔１００に取り外し可能に気密的に接続され、押上用貫通孔１００を覆うシート押上箇所Ｑとは反対側（下面６４）の開口から気体や液体のような流体を供給する。
【００５８】
押上用貫通孔１００は、冷却ベース部６０の上面６２及び下面６４に開口している。押上用貫通孔１００は、上面６２に開口を有する流体押圧孔部１０２と、流体押圧孔部１０２に連通し下面６４に開口を有する流体供給孔部１０４とを備える。流体押圧孔部１０２は、シート押上箇所Ｑと同じ大きさの開口が上面６２に形成されるように、流体供給孔部１０４より大径である。
なお、押上用貫通孔１００の流体押圧孔部１０２の上面６２側の開口は、シート押上箇所Ｑで覆われている。
【００５９】
以上の静電チャック装置１０ｃは、以下のようにして、載置面の広がる水平方向において、載置面の温度のムラの発生を抑える。
【００６０】
流体供給手段Ｃから流体を押上用貫通孔１００に供給すると、押上用貫通孔１００内の流体圧が静電チャック装置１０ｃの外部の気圧よりも高くなり、流耐圧が絶縁シート押上力としてシート押上箇所Ｑを押し上げる。
こうして、静電チャック装置１０ｃは、静電チャック装置１０ａと同様に作用するので、載置面の広がる水平方向において、載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００６１】
以上の説明から明らかなように、静電チャック装置１０は、静電チャック部２０が冷却ベース部６０から離れるように、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の所定のチャック押上箇所Ｐを押し上げるチャック押上機構７０を備える。このため、チャック押上機構７０が静電チャック部２０のチャック押上箇所Ｐを押し上げることによって、接着層５０のうち所望する部分の接着層５０の厚さを変化させることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部２０の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００６２】
また、静電チャック装置１０ａ、１０ｂ、１０ｃは、静電チャック部２０の冷却ベース部６０側の所定のチャック押上箇所Ｐと絶縁シート４１のうち押上用貫通孔６５又は押上用貫通孔１００を覆っているシート押上箇所Ｑとの間の接着層５０の厚さが薄くなるように、シート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げる絶縁シート押上機構８０又は流体供給手段Ｃを備える。このため、絶縁シート押上機構８０又は流体供給手段Ｃがシート押上箇所Ｑをチャック押上箇所Ｐに向けて押し上げることによって、押し上げられたチャック押上箇所Ｐとシート押上箇所Ｑとの間の接着層５０が弾性変形し、その接着層５０の厚さを薄くすることができるので、載置面の広がる水平方向において、静電チャック部の載置面の温度のムラの発生を抑えることができる。
【００６３】
本発明は、上述の実施の形態に限定されないことは言うまでもない。
例えば、図３の紙面において、静電チャック装置１０ａの左側の絶縁シート押上機構８０を操作したが、静電チャック装置１０ａの右側の絶縁シート押上機構８０も操作してもよい。この場合、静電チャック部２０は、図３の紙面の中央から左右に進むに従って冷却ベース部６０から離れるＶ字状に変形する。
【００６４】
例えば、静電チャック装置１０ｂにおいて、静電吸着用電極９０の吸着用電極部９１は静電チャック本体部２１の内部に形成されたとして説明したが、載置面とは反対側、すなわち、他主面２４に設けられていても良い。
【００６５】
また、静電チャック装置１０において、絶縁シート４０は、接着層５０と冷却ベース部６０との間において、押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆わないように、冷却ベース部６０の上面６２（表面）に接着しているとして説明したが、押上用貫通孔６５の静電チャック部２０側の開口を覆う絶縁シート４１を用いても良い。この場合、チャック押上機構７０は、絶縁シート４１のシート押上箇所Ｑを介してチャック押上箇所Ｐを押し上げる。
【００６６】
また、静電チャック装置１０ｃにおいて、冷却ベース部６０の上面６２側に複数の窪みを形成し、流体供給手段Ｃからの流体をその複数の窪みから選択した窪みに供給してもよい。
【００６７】
また、ヒータ部３０は、静電チャック部２０の他主面２４に形成されているとして説明したが、静電チャック部２０の内部に形成されていてもよい。この場合、チャック押上箇所Ｐは、静電チャック部２０の他主面２４の所定の箇所となる。
【符号の説明】
【００６８】
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ  静電チャック装置
２０  静電チャック部
２１  静電チャック本体部
２２  静電チャック本体部の一主面
２４  静電チャック本体部の他主面
３０  ヒータ部
３２  ヒータ部の一主面
３４  ヒータ部の他主面
４０  開口を覆わない絶縁シート
４１  開口を覆う絶縁シート
５０  接着層
５０ａ  チャック押上箇所とシート押上箇所との間の接着層
５０ｂ  チャック押上箇所とシート押上箇所との間の周辺部の接着層
６０  冷却ベース部
６２  冷却ベース部の上面
６４  冷却ベース部の下面
６５  押上用貫通孔
６６  押上用貫通孔の螺合孔部
６７  押上用貫通孔の摺動孔部
６８  冷却ベース部の冷却用流路
６９  冷却ベース部の凹部
７０  チャック押上機構
７１  押上力付与機構（雄ネジ）
７２  押上力付与機構の一端部
７３  押上力付与機構の他端部
７５  押上力付与機構の凹状の溝
７６  押上力付与機構の凹部
７７  チャック押上弾性部材
７８  チャック押上部材
７８ａ、７８ｂ  チャック押上部材のピン
８０  絶縁シート押上機構
８４  絶縁シート押上機構の絶縁シート押上部材
８６  絶縁シート押上機構の絶縁シート押上弾性部材
８９  絶縁シート押上機構の絶縁シート保護層
９０  静電吸着用電極
９１  静電吸着用電極の吸着用電極部
９２  静電吸着用電極の接続電極部
９５  静電吸着用電極の露出電極部
９６  露出電極部の一主面
９７  露出電極部の他主面
１００  押上用貫通孔
１０２  押上用貫通孔の流体押圧孔部
１０４  押上用貫通孔の流体供給孔部
１１０  セラミックリング
Ｃ  流体供給手段
Ｐ  静電チャック部のチャック押上箇所
Ｑ  絶縁シートのシート押上箇所
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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