(57)【要約】【課題】高圧ガスをシールする高圧ガス用シールであって、ロッドシールを装着するシール装着溝を備えるシール構造において、シール装着溝の内面隅部に応力集中が発生せず、筐体が破損するのを抑制し、しかもシール装着溝内においてシール部品が面取り部に乗り上げることがなく、軸に対する緊迫力が増加したりシール部品の摩耗量が増加したりするのを抑制する。【解決手段】筐体の軸孔に貫挿した軸の回りから高圧ガスが漏洩しないようにシールする高圧ガス用シール構造であって、軸孔の内周面にシール装着溝を設け、シール装着溝に軸の周面に摺動可能に接触するシール部品を装着してなる高圧ガス用シール構造において、筐体を、シール装着溝の底面部を形成する分割体と、シール装着溝の側面部を形成する分割体とに分割したうえで分割体同士を組み合わせることにより筐体となす。また、分割体同士の割り面にもガスリーク防止用のシール部品を装着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体の軸孔に貫挿した軸の回りから高圧ガスが漏洩しないようにシールする高圧ガス用シール構造であって、前記軸孔の内周面にシール装着溝を設け、前記シール装着溝に前記軸の周面に摺動可能に接触するシール部品を装着してなる高圧ガス用シール構造において、
前記筐体を、前記シール装着溝の底面部を形成する分割体と、前記シール装着溝の側面部を形成する分割体とに分割したうえで前記分割体同士を組み合わせることにより前記筐体となし、
前記分割体同士の割り面にもガスリーク防止用のシール部品を装着することを特徴とする高圧ガス用シール構造。
【請求項２】
請求項１記載の高圧ガス用シール構造において、
前記シール装着溝の底面部を形成する分割体および前記シール装着溝の側面を形成する分割体は、前記シール装着溝の側面と同一平面上にて分割されていることを特徴とする高圧ガス用シール構造。
【請求項３】
請求項１または２記載の高圧ガス用シール構造において、
前記分割体同士の割り面に装着されるガスリーク防止用のシール部品は、ゴム製シールリングと、前記ゴム製シールリングの外周側に配置された樹脂製バックアップリングとを備えることを特徴とする高圧ガス用シール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧ガスをシールするために用いられる高圧ガス用シール構造に関する。本発明の高圧ガス用シール構造は例えば、弁装置（減圧弁や開閉弁等）における軸摺動部に用いられる。また本発明の高圧ガス用シール構造は例えば、燃料電池用部品（タンク、バルブ等）の分野で用いられ、またはその他の高圧シールの分野で用いられる。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池車においては水素タンク内の圧力が高くなるほど、走行距離の延長やタンクの小型化などが可能となるが、高圧の水素タンクから燃料電池スタックへ水素ガスを供給する際、複数の減圧弁を使用した減圧システムが必要となることがある。複数の減圧弁を使用すると減圧システムのスペース拡大やコスト増に影響するため、減圧弁は少数であることが望ましい。ただし、減圧弁の数が減ると減圧弁１個当りにかかる圧力が大きくなるため、シール装着溝の内面隅部で筐体（シールハウジング）材料の許容応力を越える応力集中が発生し、減圧弁の安全性が保証できなくなる。
【０００３】
例えばロッド（軸、なおピストン等を含む）が軸方向に動き、ロッド端部の弁体部で流量を調節し圧力を制御するタイプの減圧弁では、ロッド摺動部で高圧ガス側と大気圧側とを分けるロッドシールが必要となる。ロッドシールはシールリングなどのシール部品を備え、シール部品はシール装着溝に装着されるが、このようなシール装着溝の内面に高圧が作用するとシール装着溝の内面隅部に大きな応力集中が発生し、発生する応力集中の大きさが許容応力（ＦＣ部品に良く使われるＳＵＳ３１６Ｌでは９３ＭＰａ・１２０℃）を越えてしまうことがある。
【０００４】
これに対し、応力集中を緩和するには図５に示すように、シール装着溝１０１の内面隅部に設けるＲ面取り（断面円弧形の面取り部）１０２の曲率半径を大きく設定することが考えられるが、このようにＲ面取り１０２の曲率半径を大きく設定すると、高圧Ｐが作用したときにシール部品１０３がこのＲ面取り１０２に乗り上げるかたちとなってロッド１０４に押し付けられ（矢印Ｘ）、その結果として、ロッド１０４に対する緊迫力が増加したりシール部品１０３の摩耗量が増加したりすることが懸念される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１３２３５３号公報
【特許文献２】特開２００３−７６４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は以上の点に鑑みて、高圧ガスをシールする高圧ガス用シールであって、ロッドシールを装着するシール装着溝を備える高圧ガス用シール構造において、シール装着溝の内面隅部に応力集中が発生せず、もって筐体が破損するのを抑制することができ、しかもシール装着溝内においてシール部品が面取り部に乗り上げることがなく、もって軸に対する緊迫力が増加したりシール部品の摩耗量が増加したりするのを抑制することができる高圧ガス用シール構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１による高圧ガス用シール構造は、筐体の軸孔に貫挿した軸の回りから高圧ガスが漏洩しないようにシールする高圧ガス用シール構造であって、前記軸孔の内周面にシール装着溝を設け、前記シール装着溝に前記軸の周面に摺動可能に接触するシール部品を装着してなる高圧ガス用シール構造において、前記筐体を、前記シール装着溝の底面部を形成する分割体と、前記シール装着溝の側面部を形成する分割体とに分割したうえで前記分割体同士を組み合わせることにより前記筐体となし、前記分割体同士の割り面にもガスリーク防止用のシール部品を装着することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項２による高圧ガス用シール構造は、上記した請求項１記載の高圧ガス用シール構造において、前記シール装着溝の底面部を形成する分割体および前記シール装着溝の側面を形成する分割体は、前記シール装着溝の側面と同一平面上にて分割されていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の請求項３による高圧ガス用シール構造は、上記した請求項１または２記載の高圧ガス用シール構造において、前記分割体同士の割り面に装着されるガスリーク防止用のシール部品は、ゴム製シールリングと、前記ゴム製シールリングの外周側に配置された樹脂製バックアップリングとを備えることを特徴とする。
【００１０】
上記構成を備える本発明の高圧ガス用シール構造においては、シールハウジングである筐体が、シール装着溝の底面部を形成する分割体と、シール装着溝の側面部を形成する分割体とに分割されているため、この両分割体の割り面がちょうどシール装着溝の内面隅部に位置することになり、よってシール装着溝の内面隅部が両分割体によって分割された構造とされる。したがってシール装着溝の内面隅部が一体ものでなくなるため、ここに応力集中が発生するのを抑制することが可能とされ、またこれに伴ってシール装着溝の内面隅部にＲ面取り（断面円弧形の面取り部）が形成されないため、シール部品がＲ面取りに乗り上げると云う事態が発生しないことになる。
【００１１】
また、このような構造によると、新たに設定される分割体の割り面から高圧ガスがリークする可能性を生じるところ、分割体の割り面にもガスリーク防止用のシール部品を装着することにより、ガスリークを抑制することが可能とされる。
【００１２】
シール装着溝は、環状であって断面矩形状に形成されることが多く、この場合、シール装着溝の底面部は軸中心に対し平行な円筒面をなし、シール装着溝の側面部は軸中心に対し直交する平面状をなすので、分割体の割り面をシール装着溝の側面部と同一平面上に設定することにより、分割体同士を軸方向の突き当て構造とすることが可能とされる。
【００１３】
シール装着溝に装着するシール部品としては、以下のものが好適である。
（ａ）
筐体の軸孔に貫挿した軸の回りから高圧ガスが漏洩しないようにシールする高圧ガス用シールであって、高圧側（高圧ガス側）の第１段シール部および低圧側（大気圧側）の第２段シール部を有し、前記高圧側の第１段シール部は、前記軸の周面に摺動可能に接触する中剛性樹脂製リングと、前記中剛性樹脂製リングの外周側に配置されるゴム製リングと、前記中剛性樹脂製リングおよびゴム製リングの低圧側に配置される中剛性樹脂製バックアップリングと、前記中剛性樹脂製バックアップリングの更に低圧側に配置される高剛性樹脂製バックアップリングとを有し、前記低圧側の第２段シール部は、前記軸の周面に摺動可能に接触する低剛性樹脂製リングと、前記低剛性樹脂製リングの外周側に配置されるゴム製リングとを有することを特徴とする高圧ガス用シール。
（ｂ）
上記（ａ）記載の高圧ガス用シールにおいて、前記高剛性樹脂は、前記中剛性樹脂より剛性の高い樹脂であり、前記低剛性樹脂は、前記中剛性樹脂より剛性の低い樹脂であることを特徴とする高圧ガス用シール。
（ｃ）
上記（ａ）または（ｂ）記載の高圧ガス用シールにおいて、前記中剛性樹脂は、圧縮弾性率６００ＭＰａ以上のＰＴＦＥ材を主材とする樹脂であり、前記高剛性樹脂は、ポリアミド４６またはポリアミド６６を主材とする樹脂であり、前記低剛性樹脂は、圧縮弾性率３００ＭＰａ以上６００ＭＰａ以下のＰＴＦＥ材を主材とする樹脂であることを特徴とする高圧ガス用シール。
（ｄ）
上記（ａ）（ｂ）または（ｃ）記載の高圧ガス用シールにおいて、前記高圧側の第１段シール部および低圧側の第２段シール部間の中間室に溜まる蓄圧を開放または回収する流路を有することを特徴とする高圧ガス用シール。
【００１４】
分割体の割り面に装着するガスリーク防止用のシール部品としては、以下のものが好適である。
（ｅ）
分割体の割り面に新たにシール装着溝を形成し、このシール装着溝に、高圧側（高圧ガス側）のゴム製シールリングと、低圧側（大気圧側）側の樹脂製バックアップリングとを配置する。そしてこの両リングの組み合わせによれば、高圧で分割体の割り面が開いたときも、耐はみ出し性および耐久性を担保することができ、シール構造の信頼性・減圧弁などとしての信頼性を保証することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００１６】
すなわち本発明においては以上説明したように、高圧ガスをシールする高圧ガス用シールであって、シール装着溝を備える高圧ガス用シールにおいて、シール装着溝の内面隅部に応力集中が発生せず、もって筐体が破損するのを抑制することができ、しかもシール装着溝内においてシール部品が面取り部に乗り上げることがなく、もって軸に対する緊迫力が増加したりシール部品の摩耗量が増加したりするのを抑制することができる高圧ガス用シール構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施例に係る高圧ガス用シール構造の断面図
【図２】同シール構造に備えられる第１段シール部の拡大断面図
【図３】同シール構造に備えられる第２段シール部の拡大断面図
【図４】筐体分割体割り面が開いた状態を示す説明図
【図５】従来例に係る不具合発生の状態を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明には、以下の実施形態が含まれる。
（１）上記の問題を解決するため、シール装着溝を分割構造にして隅部に応力集中が発生しない構造を提案する。また、溝の分割部からのガスリークを防ぐため、割り面に高圧ガスシール特性に優れたシリコンゴム製シール＋樹脂製バックアップリングを設置する。
（２）減圧システムの省スペース、低コストのため、ＦＣ高圧水素ガス用減圧弁が１段階減圧になり、シール、シール装着溝には厳しい環境となるが、上記構造で、シール装着溝の隅部に応力集中を発生させず、高圧でシールハウジングの分割面が開いたときも、ゴムシール＋樹脂製バックアップリングで耐はみ出し性と耐久性を担保し、減圧弁の信頼性を保証できる。
【実施例】
【００１９】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施例に係る高圧ガス用シール構造の断面を示している。図２および図３はそれぞれ図１の要部を拡大して示している。当該実施例に係る高圧ガス用シール構造は、減圧弁の内部構造としてロッド摺動部に備えられる。減圧弁は、燃料電池車における水素タンクと燃料電池スタックとを繋ぐ配管系に接続されものであって、筐体（シールハウジング）１の軸孔５に貫挿したロッド（軸、なおピストン等を含む）６が軸方向に移動し、ロッド端部の弁体部７で流量を調節し圧力を制御する。
【００２１】
筐体１に、水素タンク圧（１次圧）Ｐ１を入力する入力ポート２、弁室３、およびスタック圧（２次圧）Ｐ２を出力する出力ポート４が設けられ、弁室３に通じるように軸孔５が設けられ、軸孔５にロッド６が貫挿され、弁内を流れる高圧の水素ガスがロッド６の回りで軸孔内周面との間の隙間から外部（図では上方）へ漏洩しないように全体を符号２１で示す高圧ガス用シールが設置されている。
【００２２】
高圧ガス用シール２１は、弁室３に近いほうに配置される高圧側（高圧ガス側）の第１段シール部３１と、弁室３から遠いほうに配置される低圧側（大気側）の第２段シール部４１とを有している。
【００２３】
高圧側の第１段シール部３１は図２に拡大して示すように、ロッド６の周面に摺動可能に接触する中剛性樹脂製リング（シールリング）３２と、この中剛性樹脂製リング３２の外周側に配置されたゴム製リング（バックリング）３３と、中剛性樹脂製リング３２およびゴム製リング３３の低圧側に配置された中剛性樹脂製バックアップリング３４と、中剛性樹脂製バックアップリング３４の更に低圧側に配置された高剛性樹脂製バックアップリング３５とを有し、これら４つのリングが、軸孔５内周面に設けた環状のシール装着溝８に装着されている。
【００２４】
中剛性樹脂製リング３２および中剛性樹脂製バックアップリング３４はそれぞれ、所定の樹脂材によって成形され、具体的には、圧縮弾性率６００ＭＰａ以上のＰＴＦＥ材（例えばカーボン／グラファイト充填、またはカーボン繊維充填）によって成形されている。また、高剛性樹脂製バックアップリング３５は、中剛性樹脂製リング３２および中剛性樹脂製バックアップリング３４よりも高硬度の樹脂材によって成形され、具体的には、ポリアミド４６またはポリアミド６６（これらをガラス繊維等で充填補強する場合を含む）によって成形されている。
【００２５】
シール装着溝８は断面矩形状に形成され、円筒面状の底面部８ａと、軸直角平面状の軸方向一対の側面部８ｂ，８ｃとを有している。
【００２６】
一方、低圧側の第２段シール部４１は図３に示すように、ロッド６の周面に摺動可能に接触する低剛性樹脂製リング（シールリング）４２と、この低剛性樹脂製リング４２の外周側に配置されたゴム製リング（バックリング）４３とを有し、これら２つのリングが、軸孔５内周面に設けた環状のシール装着溝９に装着されている。
【００２７】
低剛性樹脂製リング４２は、中剛性樹脂製リング３２および中剛性樹脂製バックアップリング３４よりも低硬度の樹脂材によって成形され、具体的には、圧縮弾性率３００ＭＰａ以上６００ＭＰａ以下（または未満）のＰＴＦＥ材によって成形されている。
【００２８】
シール装着溝９は断面矩形状に形成され、円筒面状の底面部９ａと、軸直角平面状の軸方向一対の側面部９ｂ，９ｃとを有している。
【００２９】
また、図１に示すように上記高圧側の第１段シール部３１および低圧側の第２段シール部４１間の空間は中間室１０とされ、この中間室１０に開口する流路１１が設けられており、この流路１１は、中間室１０に溜まる蓄圧を開放または回収するために設けられている。
【００３０】
高圧側の第１段シール部３１の周辺において、筐体１は、シール装着溝８の底面部８ａを形成する分割体（第１分割体）１Ａと、この第１分割体１Ａの高圧側に配置されるとともにシール装着溝８の高圧側の側面部８ｂを形成する分割体（第２分割体）１Ｂと、第１分割体１Ａの低圧側に配置されるとともにシール装着溝８の低圧側の側面部８ｃを形成する分割体（第３分割体）１Ｃとよりなる３つの分割体に分割され、このように分割されたうえで分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃ同士が組み付けられることにより筐体１が形成されている。上記したようにシール装着溝８は断面矩形状であって軸直角平面状の側面部８ｂ，８ｃを有しており、これに対し第１分割体１Ａおよび第２分割体１Ｂの割り面１２ならびに第２分割体１Ｂおよび第３分割体１Ｃの割り面１３はそれぞれシール装着溝８の側面部８ｂ，８ｃと同一平面上に設定されている。したがってシール装着溝８において、その底面部８ａは第１分割体１Ａによって形成されるとともに側面部８ｂ，８ｃは第２分割体１Ｂおよび第３分割体１Ｃによって形成されているので、両面は直交し、よってここに従来のようなＲ状の面取り（断面円弧形の面取り部）は形成されない構成とされている。
【００３１】
また、このように筐体１が複数の分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃに分割されると、図４に示すように高圧が作用したときに分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃの割り面１２，１３が開いて高圧ガスがリークする可能性があるので、割り面１２，１３にそれぞれガスリーク防止用の端面シール部５１が設けられ、これにより割り面１２，１３からのガスリークを抑制する構成とされている。
【００３２】
ガスリーク防止用の端面シール部５１は、そのシール部品としてゴム製シールリング５２と、このゴム製シールリング５２の外周側に配置された樹脂製バックアップリング５３との組み合わせとされ、これら２つのリングが、互いに突き合わされる一方の分割体１Ｂ，１Ｃの割り面（端面）に設けた環状のシール装着溝１４に装着されて他方の分割体１Ａ対し静止的に接触している。
【００３３】
一方、低圧側の第２段シール部４１の周辺において、筐体１は同じく、シール装着溝９の底面部９ａを形成する分割体（第４分割体）１Ｄと、この第４分割体１Ｄの高圧側に配置されるとともにシール装着溝９の高圧側の側面部９ｂを形成する分割体（第３分割体）１Ｃと、第４分割体１Ａの低圧側に配置されるとともにシール装着溝９の低圧側の側面部９ｃを形成する分割体（第５分割体）１Ｅとよりなる３つの分割体に分割され、このように分割されたうえで分割体１Ｄ，１Ｃ，１Ｅ同士が組み付けられることにより筐体１が形成されている。尚、第３分割体１Ｃは高圧側の第１段シール部３１および低圧側の第２段シール部４１の双方で共用されているので、筐体１は図示する範囲で都合５つの分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅに分割されている。上記したようにシール装着溝９は断面矩形状であって軸直角平面状の側面部９ｂ，９ｃを有し、これに対し第４分割体１Ｄおよび第３分割体１Ｃの割り面１５ならびに第４分割体１Ｄおよび第５分割体１Ｅの割り面１６はそれぞれシール装着溝８の側面部８ｂ，８ｃと同一平面上に設定されている。したがってシール装着溝９において、その底面部９ａは第４分割体１Ｄによって形成されるとともに側面部９ｂ，９ｃは第３分割体１Ｃおよび第５分割体１Ｅによって形成されているので、両面は直交しており、よってここに従来のようなＲ状の面取り（断面円弧形の面取り部）は形成されない構成とされている。
【００３４】
また、このように筐体１が複数の分割体１Ｄ，１Ｃ，１Ｅに分割されると、図４に示すように高圧が作用したときに分割体１Ｄ，１Ｃ，１Ｅの割り面１５，１６が開いて高圧ガスがリークする可能性があるので、割り面１５，１６にそれぞれガスリーク防止用の端面シール部６１が設けられ、これにより割り面１５，１６からのガスリークを抑制する構成とされている。
【００３５】
ガスリーク防止用の端面シール部６１は、そのシール部品としてゴム製シールリング６２と、このゴム製シールリング６２の外周側に配置された樹脂製バックアップリング６３との組み合わせとされ、これら２つのリングが、互いに突き合わされる一方の分割体１Ｃ，１Ｅの割り面（端面）に設けた環状のシール装着溝１７に装着されて他方の分割体１Ｄ対し静止的に接触している。
【００３６】
上記構成の高圧ガス用シール構造においては、上記したようにロッド６のリフト量によって圧力ｋ調整を行なうに際し入力ポート２から弁室３へ向け高圧の水素ガスが流入するが、ロッド６の周りに、高圧側の第１段シール部３１および低圧側の第２段シール部４１の組み合わせよりなる２段のシール構造が設けられているため、高圧側の第１段シール部３１がその部品構成にもとづいて優れた耐圧性を発揮し、その一方で、低圧側の第２段シール部４１がその部品構成にもとづいて優れたシール性を発揮する。したがって耐圧性およびシール性の双方について十分な性能を発揮する高圧ガス用シール構造を提供することができる。
【００３７】
また、高圧側の第１段シール部３１および低圧側の第２段シール部４１間の中間室１０に開口する流路１１が設けられ、この流路１１から中間室１０の蓄圧を開放または回収することが可能とされているため、蓄圧がシールの作動や減圧弁の作動に影響を及ぼすのを防止することができる。
【００３８】
また、上記構成の高圧ガス用シール構造においては、高圧側の第１段シール部３１の周辺において上記したように筐体１が、シール装着溝８の底面部８ａを形成する第１分割体１Ａと、シール装着溝８の側面部８ｂ，８ｃを形成する第２分割体１Ｂおよび第３分割体１Ｃとに分割されているため、この両分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃの割り面１２，１３がちょうどシール装着溝８の内面隅部に位置し、よってシール装着溝８の内面隅部が両分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｃによって分割された構造とされている。したがってシール装着溝８の内面隅部が一体ものでなくなるため、ここに応力集中が発生するのを抑制することが可能とされ、またこれに伴ってシール装着溝８の内面隅部にＲ面取り（断面円弧形の面取り部）が形成されないため、上記４部品３２，３３，３４，３５よりなるシール部品がＲ面取りに乗り上げると云う事態が発生しない。したがってシール装着溝８の内面隅部に応力集中が発生せず、よって筐体１が破損するのを抑制することができ、しかもシール装着溝８内においてシール部品が面取り部に乗り上げることがなく、よってロッド６に対する緊迫力が増加したり、シール部品の摩耗量が増加したりするのを抑制することができる。また、分割体１Ａ，１Ｂ，１Ｂの割り面１２，１３にガスリーク防止用の端面シール部５１が設けられているため、ここからガスリークが発生することがない。
【００３９】
また、低圧側の第２段シール部４１の周辺においても同様に、筐体１が、シール装着溝９の底面部９ａを形成する第４分割体１Ｄと、シール装着溝９の側面部９ｂ，９ｃを形成する第３分割体１Ｃおよび第５分割体１Ｅとに分割されているため、この両分割体１Ｄ，１Ｃ，１Ｅの割り面１５，１６がちょうどシール装着溝９の内面隅部に位置し、よってシール装着溝９の内面隅部が両分割体１Ｄ，１Ｃ，１Ｅによって分割された構造とされている。したがってシール装着溝９の内面隅部が一体ものでなくなるため、ここに応力集中が発生するのを抑制することが可能とされ、またこれに伴ってシール装着溝９の内面隅部にＲ面取り（断面円弧形の面取り部）が形成されないため、上記２部品４２，４３よりなるシール部品がＲ面取りに乗り上げると云う事態が発生しない。したがってシール装着溝９の内面隅部に応力集中が発生せず、よって筐体１が破損するのを抑制することができ、しかもシール装着溝９内においてシール部品が面取り部に乗り上げることがなく、よってロッド６に対する緊迫力が増加したり、シール部品の摩耗量が増加したりするのを抑制することができる。また、１Ｄ，１Ｃ，１Ｅの割り面１５，１６にガスリーク防止用の端面シール部６１が設けられているため、ここからガスリークが発生することがない。
【符号の説明】
【００４０】
１  筐体
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ  分割体
２  入力ポート
３  弁室
４  出力ポート
５  軸孔
６  ロッド（軸）
７  弁体部
８，９，１４，１７  シール装着溝
８ａ，９ａ  底面部
８ｂ，８ｃ，９ｂ，９ｃ  側面部
１０  中間室
１１  流路
１２，１３，１５，１６  割り面
２１  高圧ガス用シール
３１  第１段シール部
３２，４２  樹脂製リング
３３，４３  ゴム製リング
３４，３５，５３，６３  樹脂製バックアップリング
４１  第２段シール部
５１，６１  端面シール部
５２，６２  ゴム製シールリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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