(57)【要約】【課題】  ＤＳＰの診断のためのプログラムを別途用意する必要はなく複数のＤＳＰの診断を可能とする。また、ＤＳＰに故障が生じた場合、他の正常なＤＳＰで該当のセンサ制御プログラムを代替し、必要なセンサ出力を得ることを目的とする。【解決手段】  異なる複数の物理量を検出し物理量検出信号として出力する手段と、前記複数の物理量検出信号の中から任意の検出信号を選択し出力する手段と、前記選択後の同一または異なる検出信号に対して演算を行い計測値として出力する複数の計測値演算手段と、前記計測値演算手段で実行するプログラムを変更する手段で実現される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる複数の物理量を検出し物理量検出信号として出力する手段と、前記複数の物理量検出信号の中から任意の検出信号を選択し出力する手段と、前記選択後の同一または異なる検出信号に対して演算を行い計測値として出力する複数の計測値演算手段とを有することを特徴とする物理量検出装置。
【請求項２】
前記計測値演算手段で実行する複数のプログラムを格納する手段と、前記計測値演算手段で実行するプログラムを選択する手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の物理量検出装置。
【請求項３】
前記複数の計測値演算手段に対し、同一の入力信号と、同一のプログラム命令の実行とから故障診断を実行することを特徴とする請求項１または請求項２記載の物理量検出装置。
【請求項４】
前記プログラムを選択する手段において、通信手段を介して、外部装置から前記計測値演算手段の実行するプログラムの選択およびプログラム実行の停止を指示する手段を有することを特徴とする請求項２記載の物理量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角速度、加速度等の物理量検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
自動車の走行時の安全を確保するためには、角速度や加速度を検出するセンサが必要となる。これらセンサを、エンジンルームのように温度変化範囲が広く、振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、センサ出力の信頼性を高く保つための工夫が必要になる。
【０００３】
そこで、このような環境において用いられるセンサは、センサ内部に自己診断機能を備え、外部装置に対しその診断情報をセンサ出力とともに送信する。外部装置は、受信した診断情報を基に、受信したセンサ出力が正常であるか否かを判断し、そのセンサ出力を採用するか否かを決定する。
【０００４】
特許文献１〜２には、角速度や加速度などの物理量を検出し、その検出結果と、センサの稼働状況についての診断結果とを、外部装置に送信するセンサが記載されている。
【０００５】
特許文献１に記載されている技術では、センサ出力と同一時点における故障診断出力を出力回路にて時分割して出力する。
【０００６】
特許文献２に記載されている技術では、センサの制御、センサ出力の補正、故障診断などの処理をデジタル・シグナル・プロセッサ（以下、ＤＳＰと称す）を用いたプログラム処理にて実行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−２５４２号公報
【特許文献２】特開２０１１−２０３０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１では、センサの駆動、検出、診断等の処理をＤＳＰの共通回路で実行している。そのため、共通回路の診断として、レジスタ部や演算部の診断が必要となる。
【０００９】
特許文献２では、複数のＤＳＰ内のレジスタ部や演算部の診断を慣性力の検出動作とともに実施しているが、診断専用のプログラムを用意し、稼動中に実行する必要がある。また、各ＤＳＰは個別のセンサ制御処理を実行するため、１つのＤＳＰの故障が検出された場合、ＤＳＰの担っているセンサ制御処理は正常ではなく使用不可能となるおそれがある。
【００１０】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、ＤＳＰの診断のためのプログラムを別途用意する必要はなく、複数のＤＳＰに対し、同一の入力信号を与え、同一のセンサ制御プログラムを実行することで、それぞれの出力を比較して診断を行う。また、一つのＤＳＰに故障が生じた場合、他の正常なＤＳＰでセンサ制御プログラムの実行を代替することで、必要なセンサ出力を得ることを可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る物理量検出装置は、異なる複数の物理量を検出し物理量検出信号として出力する手段と、前記複数の物理量検出信号の中から任意の検出信号を選択し出力する手段と、前記選択後の同一または異なる検出信号に対して演算を行い計測値として出力する複数の計測値演算手段と、前記計測値演算手段で実行するプログラムを変更する手段とで実現される。  
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る物理量検出装置によれば、ＤＳＰの診断のためのプログラムを別途用意する必要はなく、複数のＤＳＰに対し、同一の入力信号を与え、同一のセンサ制御プログラムを実行することで、それぞれの出力を比較することで診断を実行できる。また、一つのＤＳＰに故障が生じた場合、他の正常なＤＳＰで該当するセンサ制御プログラムの実行を代替することで、必要なセンサ出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】物理量検出装置のブロック図である。
【図２】検出選択部のブロック図である。
【図３】プログラム選択部のブロック図である。
【図４】ＤＳＰで実行するプログラムのフローチャートである。
【図５】診断部のブロック図である。
【図６】通信部のブロック図である。
【図７】通信部のタイムチャートである。
【図８】本発明の通常動作を示す図である。
【図９】本発明のＤＳＰの診断動作を示す図である。
【図１０】本発明のＤＳＰ代替動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は、本発明の実施形態に係る物理量検出装置のブロック図である。図１において、角速度検出素子１０１は、振動子１２１、駆動電極１２２、検出電極１２３を備える。振動子１２１は、所定の質量を持ち、所定の振動周波数で振動軸方向に振動する。駆動信号はＤＡ変換器１０５を介して駆動電極１２２に出力される。駆動信号は振動子１２１を共振周波数で常時振動させる。そして、角速度を印加すると生じるコリオリ力により振動軸と直角の方向に振動子１２１に生じる変位を、検出電極１２３による静電容量の変化により検出する。そして、ＡＤ変換器１０６によりデジタル信号に変換し出力する。
【００１５】
Ｘ加速度検出素子１０２は、振動子１３１と検出電極１３２を有する。振動子１３１は、左右方向（以下、Ｘ軸方向と称す）に加速度が加わったときに変位する。検出電極１３２は、Ｘ軸方向の変位量を静電容量の変化により検出する。ＡＤ変換器１０７は、Ｘ加速度センサ１０２が出力する変位容量をデジタル信号に変換し出力する。
【００１６】
Ｙ加速度検出素子１０３は、振動子１４１と検出電極１４２を有する。振動子１４１は、前後方向（以下、Ｙ軸方向と称す）に加速度が加わったときに変位する。検出電極１４２は、Ｙ軸方向の変位量を静電容量の変化によって検出する。ＡＤ変換器１０８は、Ｙ加速度検出素子１０３が出力する変位容量をデジタル信号に変換し出力する。
【００１７】
温度検出素子１０４は、周囲温度を検出し電圧に変換して出力する。これは、例えば２つの温度特性の違う抵抗の接点の電圧値を検出する原理であるサーミスタで実現できる。ＡＤ変換器１０９は、温度検出素子１０４の出力電圧をデジタル信号に変換し出力する。
【００１８】
検出値選択部１１０は、ＤＡ変換器１０５へ出力する駆動信号の振幅値を、後で述べるＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２のどちらか一方から出力される値を保持し出力する、また、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２に入力するＡＤ変換器１０６〜１０９からの出力をそれぞれ選択する手段である。
【００１９】
ＤＳＰ−Ａ１１１およびＤＳＰ−Ｂ１１２は、角速度の検出および加速度検出を実行するＤＳＰである。センサの制御を実行するプログラム命令を格納したプログラムＲＯＭ−Ａ１１６およびプログラムＲＯＭ−Ｂ１１７へアドレス信号を出力するプログラムカウンタと、入力するプログラム命令を実行する命令実行部と、デジタル演算を実行する演算部で構成する。
【００２０】
プログラムＲＯＭ−Ａ１１６およびプログラムＲＯＭ−Ａ１１７は、ＤＳＰ−Ａ１１１およびＤＳＰ−Ｂ１１２で実行するセンサ制御プログラムを格納するリード・オンリー・メモリーである。格納するプログラムの実施例については、図２で説明する。
【００２１】
プログラム選択部１１５は、プログラムＲＯＭ−Ａ１１６およびプログラムＲＯＭ−Ａ１１７に格納されているプログラムを、ＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２のどちらで実行するかを選択する手段である。具体的な実施例については図３で説明する。
【００２２】
診断部１１８は、ＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２を診断するための診断用データの出力、診断出力の期待値確認および診断結果を通信部１１９へ出力する。具体的な実施例については図５で説明する。
【００２３】
通信部１１９は、ＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２で実行する処理動作を外部から指示する手段と、角速度、加速度および温度の検出信号と診断結果を外部装置に送信する手段である。具体的な実施例については図６で説明する。
【００２４】
図２を用いて検出値選択部１１０について説明する。レジスタ２０１〜２０６は入力データを保持する機能であり、フリップフロップで構成される。セレクタ２０７およびセレクタ２０８は選択信号Ｓの値に応じて入力Ａ〜Ｅの信号を選択し出力Ｙに出力する機能である。次に動作について説明する。レジスタ２０１は角速度検出素子１０１の駆動信号の振幅値を保持する手段である。ＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２のどちらか一方からの振幅信号を、論理和２０９を通じてレジスタ２０１は保持する。レジスタ２０２〜２０５はそれぞれ角速度、加速度、温度の検出信号を保持する手段である。レジスタ２０６はＤＳＰ診断用の入力データを保持する手段である。ＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２はそれぞれセレクタ２０７、２０８に選択信号を入力し、レジスタ２０２〜２０６から処理に必要とする信号を得る。
【００２５】
図３を用いてプログラム選択部１１５について説明する。セレクタ３０１はプログラムＲＯＭ−Ａ１１６に対して、アドレス信号をＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２のどちらから入力するかを選択する手段であり、選択信号は外部装置から通信部１１９を介して入力する。セレクタ３０２も上記と同様に、プログラムＲＯＭ−Ｂ１１７のアドレス信号をＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２のどちらから入力するかを選択する手段である。セレクタ３０３は、ＤＳＰ−Ａ１１１に対して、上記２つのプログラムＲＯＭのどちらからプログラム命令であるデータを入力するかを選択する手段であり、選択信号は外部装置から通信部１１９を介して入力する。同様に、セレクタ３０４は、ＤＳＰ−Ｂ１１２に対して、上記２つのプログラムＲＯＭのどちらからプログラム命令であるデータを入力するかを選択する手段である。
【００２６】
図４を用いてプログラムＲＯＭ−Ａ１１６およびプログラムＲＯＭ−Ａ１１７に格納されているＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２の実行プログラムの一例を説明する。以下、図４の各ステップについて説明する。最初にプログラムＲＯＭ−Ａ１１６について説明する。
（ステップＳ４００）
周期カウントは、プログラムＲＯＭ−Ａ内の一連の処理の実行回数を管理する周期カウンタである。ステップ４０１から４０３までの処理が１回終了するごとに１を加算する処理である。
（ステップＳ４０１）
角速度駆動は、角速度検出素子１０１を振動軸方向に振動させる処理である。振動子１２１の駆動方向の振動が共振状態となるように周波数と振幅を調整して交流の駆動信号を発生する。上記駆動信号をＤＳＰ−Ａ１１１からＤＡ変換器１０５を介して駆動電極１２２に出力し振動子１２１を共振周波数で常時振動させる。
（ステップＳ４０２）
角速度検出は、外部から回転運動が生じたときの振動子１２１の変位信号に対し、上記共振周波数にて同期検波を行うことで、角速度により生じる振動子１２１の変位信号の振幅値を検出する。得られた振幅値を角速度の検出データとして取り込む。その後、温度検出素子１０４の検出値に応じて、取り込んだ角速度検出値に対し、温度補正演算と、ローパスフィルタによる高周波ノイズ成分除去を実施する。
（ステップＳ４０３）
故障検出は、ステップＳ４０１の角速度駆動の出力に基づき、振動子１２１の振動軸方向の駆動周波数および駆動振幅が正常か否かを判定する。また、角速度検出Ｓ４０２の出力に基づき、角速度出力が正常か否かを判定する。
（ステップＳ４１０）
周期カウントは、プログラムＲＯＭ−Ｂ内の一連の処理の実行回数を管理する周期カウンタである。ステップ４１１から４１３までの処理が１回終了するごとに１を加算する処理である。
（ステップＳ４１１）
Ｘ加速度検出は、Ｘ加速度検出素子１０２の変位信号を左右方向の加速度出力として取り込む。その後、温度検出素子１０４の検出値に応じて、取り込んだ加速度検出値に対し、温度補正演算と、ローパスフィルタによる高周波ノイズ成分除去を実施する。
（ステップＳ４１２）
Ｙ加速度検出は、Ｙ加速度検出素子１０３の変位信号を前後方向の加速度出力として取り込む。その後、温度検出素子１０４の検出値に応じて、取り込んだ加速度検出値に対し、温度補正演算と、ローパスフィルタによる高周波ノイズ成分除去を実施する。
（ステップＳ４１３）
故障検出は、Ｘ加速度検出Ｓ４１１の出力に基づき、Ｘ方向の加速度検出素子１０２が正常に稼動しているか否かを判定する。また、Ｙ加速度検出Ｓ４１２の出力に基づき、Ｙ方向の加速度検出素子１０３が正常に稼動しているか否かを判定する。
【００２７】
図５を用いて診断部１１８について説明する図である。診断用データＲＯＭ５０１は、ＤＳＰ−Ａ１１１、ＤＳＰ−Ｂ１１２に内蔵するレジスタ部および演算部の診断を実行するための診断用入力データを格納する手段である。出力期待値ＲＯＭ５０２は上記診断実行後の出力が正常か否かを判定するための出力期待値を格納する手段である。周期カウンタ５０３は、図２のプログラムＲＯＭ１１６、１１７のプログラムが１周期（Ｓ４００〜Ｓ４０３の期間およびＳ４１０〜Ｓ４１３の期間）実行されるのと同期して１ずつカウントアップする手段である。比較５０４〜５０７は２つの入力データを比較し、一致していれば“１”を出力し、一致していなければ“０”を出力する手段である。故障フラグ生成部５０８は、比較器５０４、５０５の出力に基づき故障フラグを作成し出力する手段である。具体的な動作としては、図４のステップＳ４００の周期カウント値と周期カウンタ５０３の出力を比較器５０５で比較し、一致していればＤＳＰ−Ａ１１１のプログラムカウンタの動作が正常であると判断し比較器５０５は“１”を出力する。また、ＤＳＰ−Ａ１１１の物理量（角速度または加速度）検出値と出力期待値ＲＯＭ５０２の出力を比較器５０４で比較し、一致していれば“１”を出力する。そして、故障フラグ生成部５０８では、比較器５０４の出力と比較器５０５の出力との論理積を求め、さらに出力を反転し、ＤＳＰ−Ａレジスタ故障フラグとして正常を示す“０”を出力する。一方で、どちらかの出力が１周期でも異常“１”である場合は、内部のラッチで値を保持し、それ以降は常にＤＳＰ−Ａレジスタ故障フラグとして故障を示す“１”を出力する。同様に、ＤＳＰ−Ｂ１１２についても、周期カウント値と物理量検出値について、比較器５０６，５０７と故障フラグ生成５０９によりＤＳＰ−Ｂ１１２の故障診断を行う。
【００２８】
図６を用いて通信部１１９について説明する。通信部１１９は、外部装置からデータを受信し、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２の動作を決定する。また、角速度、Ｘ加速度およびＹ加速度の検出結果と故障診断結果を外部装置に送信する。具体的な処理を以下説明する。シリアル・パラレル変換６０１は、外部装置から入力する１ビットのシリアルデータを１６ビットのパラレルデータに変換し、命令解読部６０２に入力する。命令解読部６０２は、入力した１６ビットのデータを解読し、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２でそれぞれ実行するプログラムを指定する命令であれば、その情報をプログラム選択レジスタ６０３に格納する。レジスタ６０５〜６０７は図４の角速度検出（ステップＳ４０２）、Ｘ加速度検出（ステップＳ４１１）およびＹ加速度検出（ステップＳ４１２）がそれぞれ検出したセンサ出力を格納する。またレジスタ６０８は故障診断（ステップＳ４０３およびＳ４１３）の結果と診断部１１８の出力を格納する。カウンタ６１０は、外部装置から転送クロックが１６個入力する毎に１ずつカウントアップし、０から３までの値を繰り返し出力する。セレクタ６０９は４つのレジスタ出力をカウンタ６１０の出力に応じて選択して出力する。パラレル・シリアル変換６１１は、セレクタ６０９から出力する１６ビットのパラレルデータを１ビットのシリアルデータに変換し、外部へ送信データとして出力する。
【００２９】
図７は本実施例の通信のタイムチャートを示したものである。外部装置から転送クロックとともに動作命令のデータ１６ビット分が順番に１ビットずつ入力される。そのデータを命令解読部６０２で内容を判定し、プログラム選択信号レジスタ６０３に動作指示データを格納する。図７の例では、ビットｂ１５〜ｂ１２の４ビットが示す数字が１６進数で“８”である場合、プログラム選択信号であると命令解読部６０２は解釈する。そして、ビットｂ１１〜ｂ１０の２ビットが示す数字が図３に示すプログラム選択部１１５の中のセレクタ３０１，３０３の選択信号Ｓに変換され選択信号レジスタ６０３に格納される。同様に、ビットｂ９〜ｂ８の２ビットが示す数字がプログラム選択部１１５の中のセレクタ３０２，３０４の選択信号Ｓに変換され選択信号レジスタ６０３に格納される。一方、転送クロックが外部装置から入力されると、１６クロック単位でレジスタ６０５〜６０８に格納されたデータが順番に１ビットずつ出力される。最初に、１６ビットの角速度検出信号、続いて１６ビットのＸ方向加速度検出信号、１６ビットのＹ方向加速度検出信号、最後に１６ビットの診断情報が出力される。図７の診断情報の実施例では、各ビットはそれぞれ、以下の項目に対する診断結果を０（正常）または１（異常）によって示す。
（ビットｂ１５）角速度検出素子１０１の駆動機能（ステップＳ４０３）
（ビットｂ１４）角速度検出素子１０１の角速度検出機能（ステップＳ４０３）
（ビットｂ１３）Ｘ方向加速度検出素子１０２の加速度検出機能（ステップＳ４１１）
（ビットｂ１２）Ｙ方向加速度検出素子１０３の加速度検出機能（ステップＳ４１２）
（ビットｂ１１）ＤＳＰ−Ａの診断結果（故障フラグ生成部５０８の出力）
（ビットｂ１０）ＤＳＰ−Ｂの診断結果（故障フラグ生成部５０９の出力）
また、下位８ビットは周期カウンタの値を出力し、センサが周期動作を正常に行っていることを示す。
（ビットｂ７〜ｂ０）周期カウント値（周期カウンタ５０３の出力）
次に本実施例の動作について説明する。図８は、通常のセンサ動作を示す図である。外部装置から通信部１１９に対し、プログラムＲＯＭ−Ａ１１６のデータをＤＳＰ−Ａ１１１に、プログラムＲＯＭ−Ｂ１１７のデータをＤＳＰ−Ｂ１１２に供給するように動作指示命令が入力される。その結果、図４の各ＲＯＭのプログラム内容に従い、ＤＳＰ−Ａ１１１では、検出値選択部１１０を介して、角速度検出素子１０１に駆動信号を与えるのと同時に角速度検出素子１０１の出力信号と温度検出素子１０４の出力信号を取り込み、角速度の検出処理を実行する。一方、ＤＳＰ−Ｂ１１２では、検出値選択部１１０を介して、加速度検出素子１０２、１０３の出力信号と温度検出素子１０４の出力信号を取り込み、加速度の検出処理を実行する。そして、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２で検出した信号を通信部１１９から外部装置に出力する。
【００３０】
図９は、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２の診断の動作を示す図である。外部装置から通信部に対し、プログラムＲＯＭ−Ａ１１６のデータをＤＳＰ−Ａ１１１とＤＳＰ−Ｂ１１２の両方に供給するように動作指示命令が入力される。その結果、図４のプログラムＲＯＭ−Ａのプログラム内容に従い、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２では、検出値選択部１１０を介して、角速度検出素子１０１に駆動信号を与えるのと同時に角速度検出素子１０１の出力信号と温度検出素子１０４の出力信号を取り込み、角速度の検出処理を実行する。そして、２つのＤＰＳから出力する角速度の検出信号値を診断部１１８で比較し、同じ値であれば、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２は正常であると判定する。一方、異なる値である場合は、どちらのＤＳＰが故障しているかを判別するために、図５に示す診断部１１８の診断用データＲＯＭ５０１は、検出値選択部１１０を介して診断用入力データを両方のＤＳＰに与え、両方のＤＳＰはそれぞれ角速度検出処理を実行する。そして、両方のＤＳＰは検出処理の結果を診断部１１８にそれぞれ入力し、診断部１１８は、入力された結果を出力期待値ＲＯＭのデータと比較し、一致しない方のＤＳＰを故障とみなす。そして、診断部１１８からの故障フラグ信号を通信部１１９から外部装置に出力する。
【００３１】
図１０は、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２のうち１つのＤＳＰのみを動作させる実施例を示す図である。本実施例によれば、例えば、ＤＳＰ−Ａ１１１が故障している場合に、ＤＳＰ−Ａ１１１で通常行う角速度検出処理をＤＳＰ−Ｂ１１２で実行することができる。また、同時に角速度検出と加速度検出が必要でなく、どちらか一方の検出値を得ればよい場合には、ＤＳＰ-Ａ１１１とＤＳＰ-Ｂ１１２が共に正常であっても、１つのＤＳＰのみを動作させることで、消費電流を減らすことができる。その実施例について以下説明する。外部装置から通信部を介し、図３のプログラム選択部１１５において、プログラムＲＯＭ−Ａ１１６のデータをＤＳＰ−Ｂ１１２に供給し、ＤＳＰ−Ａ１１１にはプログラムデータとして常に“０”を供給するように動作指示がされる。その結果、図４のプログラムＲＯＭ―Ａ１１６のプログラム内容に従い、ＤＳＰ−Ｂ１１２では、検出値選択部１１０を介して、角速度検出素子１０１に駆動信号を与えるのと同時に角速度検出素子１０１の出力信号と温度検出素子１０４の出力信号を取り込み、角速度の検出処理を実行する。一方、ＤＳＰ−Ａ１１１では、プログラム命令として常に“０”が入力されるため、動作停止状態を維持する。そして、ＤＳＰ−Ｂ１１２で検出した角速度検出信号を通信部１１９から外部装置に出力する。また、加速度検出値を得る場合は、図３のプログラム選択部１１５において、プログラムＲＯＭ−Ｂ１１７のデータをＤＳＰ−Ｂ１１２に供給し、ＤＳＰ−Ａ１１１にはプログラムデータとして常に“０”を供給するように動作指示がされる。その結果、図４のプログラムＲＯＭ―Ａ１１７のプログラム内容に従い、ＤＳＰ−Ｂ１１２では、検出値選択部１１０を介して、加速度検出素子１０２および１０３の出力信号と温度検出素子１０４の出力信号を取り込み、角速度の検出処理を実行する。そして、ＤＳＰ−Ｂ１１２で検出した加速度検出信号を通信部１１９から外部装置に出力する。
【符号の説明】
【００３２】
１０１：角速度検出素子、１０２：Ｘ方向加速度検出素子、１０３：Ｙ方向加速度検出素子、１０４：温度検出素子、１０５：ＤＡ変換器、１０６〜１０９：ＡＤ変換器、１１０：検出値選択部、１１１および１１２：デジタル・シグナル・プロセッサ  、１１５：プログラム選択部、１１６および１１７：プログラムＲＯＭ、１１８：診断部、１１９：通信部、１２１：振動子、１２２：駆動電極、１２３：検出電極、１３１：振動子、１３２：検出電極、１４１：振動子、１４２：検出電極、２０１〜２０６：レジスタ、２０７および２０８：セレクタ、２０９：論理和、３０１〜３０４：セレクタ、５０１：診断用データＲＯＭ、５０２：出力期待値ＲＯＭ、５０３：周期カウンタ、５０４〜５０７：比較器、５０８および５０９：故障フラグ生成部、６０２：命令解読、６０３：レジスタ、６０５〜６０８：レジスタ、６０９：セレクタ、６１０：カウンタ、６１１：パラレル・シリアル変換器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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