(57)【要約】【課題】より確かなシール性判定を行うことのできる積層冷却器のリーク検査方法の提供。【解決手段】以下のステップを逐次行う。ｎ層分リーク合計量測定ステップ（Ｓ１２１等）では、ｎ個（ｎは自然数）を積層したｎ層冷却器（６１〜６０＋ｎ）のリーク検査を行い、ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求める。ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップ（Ｓ１２２等）では、ｎ＋１個を積層したｎ＋１層冷却器のリーク検査を行い、ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ＋１を求める。ｎ＋１層目リーク量算出ステップ（Ｓ１２３等）では、ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ＋１と、ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎと、数式（ＬＳｎ＋１＝ＬＴｎ＋１−ＬＴｎ）とを用いて、ｎ＋１層目の冷却器のリーク量ＬＳｎ＋１を求める。ｎ＋１層目シール性判定ステップ（Ｓ１２４等）では、ｎ＋１層目の冷却器を判定する。【選択図】図５
2016109626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給側流路と、伝熱流路と、排出側流路とを有する複数の冷却器を積層することによって、前記供給側流路同士を連結しつつ前記排出側流路同士を連結した積層冷却器のリーク検査方法であって、
ｎ個（ｎは自然数）を積層したｎ層冷却器のリーク検査を行い、ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求めるｎ層分リーク合計量測定ステップと、
ｎ＋１個を積層したｎ＋１層冷却器のリーク検査を行い、ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ＋１を求めるｎ＋１層分リーク合計量測定ステップと、
下記の数式を用いて、ｎ＋１層目の冷却器のリーク量ＬＳｎ＋１を求めるｎ＋１層目リーク量算出ステップと、
前記ｎ＋１層目の冷却器のリーク量ＬＳｎ＋１と判定値との大小を比較することで、前記ｎ＋１層目の冷却器のシール性の良否を判定するｎ＋１層目シール性判定ステップと、を含み、
前記ｎ層分リーク合計量測定ステップと、前記ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップと、前記ｎ＋１層目リーク量算出ステップと、前記ｎ＋１層目シール性判定ステップとを逐次行い、各層の前記冷却器のシール性の良否を決定する積層冷却器のリーク検査方法。
ＬＳｎ＋１＝ＬＴｎ＋１−ＬＴｎ  …（数式）
【請求項２】
前記冷却器を組み付けて積層させて、検査用冷媒を前記冷却器の前記供給側流路に供給しつつ前記供給した前記検査用冷媒を前記排出側流路から排出する組付兼リーク検査治具を用いて、
前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、ｎ個の前記冷却器を積層した後で、前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求めて、
前記ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ＋１層目の冷却器を前記ｎ層冷却器に積層した後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ+１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求めることによって、
前記ｎ+１層目の冷却器の積層と、前記ｎ+１層目の冷却器のリーク検査と、を逐次行って、各層の前記冷却器のシール性の良否を決定することを特徴とする請求項１に記載の積層冷却器のリーク検査方法。
【請求項３】
検査用冷媒を供給する供給口と、前記供給口近傍に配置される供給側シール部とを備える供給筒と、
前記供給された前記検査用冷媒を排出する排出口と、前記排出口近傍に配置される排出側シール部とを備える排出筒と、を用いて、
前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、
前記供給筒の前記供給口を、前記ｎ層目の冷却器の前記供給側流路、又は、前記ｎ＋１層目の冷却器の前記供給側流路に配置させつつ、前記供給側シール部を前記ｎ＋１層目の冷却器の前記供給側流路に配置させるとともに、
前記排出筒の前記排出口を、前記ｎ層目の冷却器の前記排出側流路、又は、前記ｎ＋１層目の冷却器の前記排出側流路に配置させつつ、前記排出側シール部を前記ｎ＋１層目の冷却器の前記排出側流路に配置させた後で、
前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求め、
前記ｎ+１層分リーク合計量測定ステップでは、
前記供給筒と前記排出筒とを積層方向に前記冷却器１層分移動させた後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求めることを特徴とする請求項１に記載の積層冷却器のリーク検査方法。
【請求項４】
各層の前記冷却器はいずれも、前記供給側流路同士の連結部と、前記排出側流路同士の連結部とをそれぞれ仕切る仕切板を備え、
前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求め、
前記ｎ+１層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ層冷却器の前記仕切り板を貫通する機械加工を行った後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ+１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求める
ことを特徴とする請求項１に記載の積層冷却器のリーク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層冷却器のリーク検査方法に関し、特に、冷媒を流して冷却する積層冷却器のリーク検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体モジュールなどの発熱体を冷却する冷却器を、複数積層した積層冷却器が利用される。例えば、特許文献１では、冷媒を流すための流路を有する冷却器を複数積層した積層冷却器が開示されている。積層冷却器では、接触し合う単体の冷却器の流路同士はいずれも連結し、ガスケットシールなどのシールが各冷却器の流路同士の隙間に設置されているため、冷媒の漏れが抑制される。そのため、水や不凍液などの冷媒を一端の冷却器に流すと、積層冷却器全体に流れて、冷却することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１―１９２７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような冷却器及び積層冷却器では、リーク検査用の冷媒を流路に流すことによって、リーク検査が行われる。リーク検査用の冷媒は、積層冷却器としての使用時に流路に流す冷媒と比較して、リークしやすい。リーク検査用の冷媒を用いて、積層冷却器のリーク検査を行うと、そのリーク量は、所定の範囲に分布する。
【０００５】
例えば、図２０に示すように、リーク検査用の冷媒としてＨｅを単体の冷却器に流した場合、Ｈｅリーク量と判定値Ｌ１との大小を比較することで、その冷却器のシール性の良否を判定する。リーク検査で「良好」と判定されて、良品であると判断された冷却品であっても、そのＨｅリーク量は、所定の範囲に分布する。そのため、リーク検査で「良好」と判定された冷却器のうち、Ｈｅリーク量が、所定の値、つまり、所定の範囲の上限値Ｌｍａｘを有するものもある。
【０００６】
ここで、リーク検査で良品と判断された冷却器を９つ積層した積層冷却器がある。この積層した冷却器のＨｅリーク量は、いずれも上限値Ｌｍａｘである。この積層冷却器のリーク検査を行うと、Ｈｅリーク量は、所定の値Ｌ２を有する。
【０００７】
一方、リーク検査で良品と判断された８つの冷却器と、「不良」と判定されて不良品と判断された１つの冷却器とを積層した積層冷却器がある。このような積層冷却器は、積層冷却器としても、不良品と判断される。このリーク検査で「良好」と判定された８つの冷却器のＨｅリーク量は、いずれも下限値Ｌｍｉｎである。この積層冷却器のリーク検査を行うと、そのＨｅリーク量は、値Ｌ２よりも低い値Ｌ３となる。つまり、不良品と判断された冷却器１つを含む積層冷却器が、全て良品と判断された冷却器からなる積層冷却器と比較して、少ないリーク量を有することがある。したがって、リーク検査の確かさに改善の余地が有った。
【０００８】
そこで、本発明は、上記した事情を背景としてなされたものであり、より確かなシール性判定を行うことのできる積層冷却器のリーク検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる積層冷却器のリーク検査方法は、
供給側流路と、伝熱流路と、排出側流路とを有する複数の冷却器を積層することによって、前記供給側流路同士を連結しつつ前記排出側流路同士を連結した積層冷却器のリーク検査方法であって、
ｎ個（ｎは自然数）を積層したｎ層冷却器のリーク検査を行い、ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求めるｎ層分リーク合計量測定ステップと、
ｎ＋１個を積層したｎ＋１層冷却器のリーク検査を行い、ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ＋１を求めるｎ＋１層分リーク合計量測定ステップと、
下記の数式を用いて、ｎ＋１層目の冷却器のリーク量ＬＳｎ＋１を求めるｎ＋１層目リーク量算出ステップと、
前記ｎ＋１層目の冷却器のリーク量ＬＳｎ＋１と判定値との大小を比較することで、前記ｎ＋１層目の冷却器のシール性の良否を判定するｎ＋１層目シール性判定ステップと、を含み、
前記ｎ層分リーク合計量測定ステップと、前記ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップと、前記ｎ＋１層目リーク量算出ステップと、前記ｎ＋１層目シール性判定ステップとを逐次行い、各層の前記冷却器のシール性の良否を決定する。
ＬＳｎ＋１＝ＬＴｎ＋１−ＬＴｎ  …（数式）
【００１０】
このような構成によれば、より確かなシール性判定を行うことができる。
【００１１】
また、前記冷却器を組み付けて積層させて、検査用冷媒を前記冷却器の前記供給側流路に供給しつつ前記供給した前記検査用冷媒を前記排出側流路から排出する組付兼リーク検査治具を用いて、前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、ｎ個の前記冷却器を積層した後で、前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求めて、前記ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ＋１層目の冷却器を前記ｎ層冷却器に積層した後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ+１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求めることによって、前記ｎ+１層目の冷却器の積層と、前記ｎ+１層目の冷却器のリーク検査と、を逐次行って、各層の前記冷却器のシール性の良否を決定することを特徴としてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、単体の冷却器を一層ごとに積層して組み付けるたびに、シール性判定を行うことができる。そのため、積層冷却器がシール性判定で不合格となる単体の冷却器を含む場合において、その不合格となる単体の冷却器を早く発見することができる。
【００１３】
また、検査用冷媒を供給する供給口と、前記供給口近傍に配置される供給側シール部とを備える供給筒と、前記供給された前記検査用冷媒を排出する排出口と、前記排出口近傍に配置される排出側シール部とを備える排出筒と、を用いて、前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、前記供給筒の前記供給口を、前記ｎ層目の冷却器の前記供給側流路、又は、前記ｎ＋１層目の冷却器の前記供給側流路に配置させつつ、前記供給側シール部を前記ｎ＋１層目の冷却器の前記供給側流路に配置させるとともに、前記排出筒の前記排出口を、前記ｎ層目の冷却器の前記排出側流路、又は、前記ｎ＋１層目の冷却器の前記排出側流路に配置させつつ、前記排出側シール部を前記ｎ＋１層目の冷却器の前記排出側流路に配置させた後で、前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求め、前記ｎ+１層分リーク合計量測定ステップでは、前記供給筒と前記排出筒とを積層方向に前記冷却器１層分移動させた後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ＋１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求めることを特徴としてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、簡易な構造でシール性判定を行なうことができ、ランニングコストの増大を抑制しつつ、より確かなシール性判定を行うことができる。
【００１５】
また、各層の前記冷却器はいずれも、前記供給側流路同士の連結部と、前記排出側流路同士の連結部とをそれぞれ仕切る仕切板を備え、前記ｎ層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎを求め、前記ｎ+１層分リーク合計量測定ステップでは、前記ｎ層冷却器の前記仕切り板を貫通する機械加工を行った後で、前記ｎ+１層冷却器のリーク検査を行い、前記ｎ+１層分の冷却器のリーク合計量ＬＴｎ+１を求めることを特徴としてもよい。
【００１６】
このような構成によれば、各冷却器の流路同士の連結をより確実に断ち、より確かなシール性判定を行うことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、より確かなシール性判定を行うことのできる積層冷却器のリーク検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】積層冷却器の上面図である。
【図２】積層冷却器の断面図である。
【図３】単体の冷却器の断面図である。
【図４】実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図５】実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図６】実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図７】実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図８】筒とシール部材とを示す模式図である。
【図９】実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図１０】実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図１１】実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図１２】実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図１３】実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。
【図１４】実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【図１５】実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。
【図１６】実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【図１７】実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。
【図１８】実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【図１９】実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。
【図２０】冷却器及び積層冷却器のリーク量を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（積層冷却器）
図１〜図３を参照して、実施の形態１〜３にかかるリーク検査対象の積層冷却器について説目する。図１は、積層冷却器の上面図である。図２は、積層冷却器の断面図である。図３は、単体の冷却器の断面図である。図１〜図３では、ＸＹＺ３次元座標を規定した。なお、図２〜図９及び図１０〜図１３では、見易さのため、適宜、ハッチングを省略した。
【００２０】
図１及び図２に示すように、積層冷却器１００は、冷却器６１〜６９を含む。なお、後述する実施の形態１〜２では、冷却器６１〜６９は、積層方向（ここでは、Ｚ軸方向）に順に積層される。また、後述する実施の形態１〜３では、積層冷却器１００は、冷却器６１〜６９、つまり、９つの冷却器を含むが、冷却器は複数であればよい。
【００２１】
図３に示すように、冷却器６１は、冷却器本体６１０と、熱伝導フィン８、９と、ガスケットシール７ａ、７ｂと、を有する。
【００２２】
冷却器本体６１０は、供給側流路６１ａと、排出側流路６１ｂと、伝熱流路６１ｃと、を有する。冷却器本体６１０は、冷媒及びリーク検査用冷媒と接触して、流路として必要な機械的強度及び化学的安定性を有する材料からなる。このような材料として、例えば、樹脂が挙げられる。供給側流路６１ａは、供給された冷媒を、伝熱流路６１ｃに導くことのできる形状を有する。伝熱流路６１ｃは、供給側流路６１ａから導かれた冷媒を、排出側流路６１ｂへ導く形状を有する。伝熱流路６１ｃの内壁の底面は、熱伝導フィン８により構成され、伝熱流路６１ｃの内壁の上面は、熱伝導フィン９により構成される。排出側流路６１ｂは、伝熱流路６１ｃを通過した冷媒を排出することのできる形状を有する。
【００２３】
熱伝導フィン８、９は、突出部８ａ、９ａをそれぞれ一方の主面に有する板状体である。熱伝導フィン８、９は、冷却器本体６１０と比較して熱伝導性に優れる材料からなると好ましい。このような材料として、例えば、アルミニウム又はアルミニウム合金が挙げられる。熱伝導フィン８、９は、突出部８ａ、９ａを互いに対向させつつ所定の間隔を空けて配置される。冷却器本体６１０の内壁と熱伝導フィン８、９とが、伝熱流路６１ｃを構成する。熱伝導フィン９は、発熱体、例えば、半導体モジュール１を、突出部９ａを有する主面と異なる他方の主面に、支持することができる。言い換えると、この他方の主面は、積層方向（ここでは、＋Ｚ軸方向）側の主面である。なお、後述する実施の形態１〜３では、半導体モジュール１は冷却器６１〜６８の熱伝導フィン９に配置されているが、半導体モジュール１は冷却器６９の熱伝導フィン９にも配置されていてもよい。
【００２４】
ガスケットシール７ａは、供給側流路６１ａの周辺に配置されており、冷却器６１に積層方向に積層される冷却器との界面を塞いで供給側流路６１ａの漏れを抑制する。この実施の形態１では、冷却器６１に積層方向に積層される冷却器は、冷却器６２である。
【００２５】
ガスケットシール７ｂは、排出側流路６１ｂの周辺に配置されており、積層方向に積層される冷却器との界面を塞いで排出側流路６１ｂの漏れを抑制する。
【００２６】
再び図１及び図２を参照して、冷却器６２〜６９は、冷却器６１と同じ構成を備えている。この実施の形態１では、便宜的に、冷却器６１から積層方向（Ｚ軸方向）に積層した順に、枝番を付した。冷却器６１〜６９の供給側流路６１ａ同士が連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。また、冷却器６１〜６９の排出側流路６１ｂ同士も連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。
【００２７】
積層冷却器１００の冷却器６１〜６９のうち、下端に配置される冷却器６１は、供給側流路６１ａ及び排出側流路６１ｂの下端側開口を閉じられる。例えば、冷却器６１の下には台５１を設けて、供給側流路６１ａ及び排出側流路６１ｂの下端側開口を閉じてもよい。
【００２８】
積層冷却器１００のうち、上端に配置される冷却器６９の上にリーク検査治具５２を組み付ける。リーク検査治具５２は、例えば、供給タンク（図示略）に接続されており、検査用冷媒を供給する供給路５２ａと、例えば、回収タンク（図示略）に接続されており、検査用冷媒を排出する排出路５２ｂと、を有する。供給路５２ａと、冷却器６１〜６９の供給側流路６１ａ同士とが連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。また、排出路５２ｂと、冷却器６１〜６９の排出側流路６１ｂ同士とが連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。
【００２９】
積層冷却器１００が使用される場合、冷媒として、例えば、水や不凍液を使用する。積層冷却器１００がリーク検査される場合、検査用冷媒として、例えば、ヘリウム（Ｈｅ）、空気が使用される。
【００３０】
ここで、供給路５２ａからＨｅガスを供給すると、Ｈｅガスは、冷却器６１〜６９の各供給側流路６１ａを通過して、冷却器６１〜６９の各伝熱流路６１ｃに流入する。Ｈｅガスは、冷却器６１〜６９の各伝熱流路６１ｃにおいて、冷却器６１〜６９の各熱伝導フィン８，９を介して、冷却器６１〜６８の熱伝導フィン９に配置される各半導体モジュール１から熱を奪う。Ｈｅガスは、冷却器６１〜６９の各伝熱流路６１ｃから、冷却器６１〜６９の各排出側流路６１ｂにそれぞれ流入し、排出路５２ｂから排出される。これにより、積層冷却器１００は、冷却器６１〜６８の熱伝導フィン９に配置される各半導体モジュール１を冷却することができる。積層冷却器１００は、良好な冷却能を有しており、例えば、インバータ等に用いると好適である。
【００３１】
実施の形態１．
（第１の積層冷却器のリーク検査方法）
図１４を参照しつつ、図４〜図６を用いて、実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法について説明する。図４〜図６は、実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。図１４は、実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【００３２】
図４に示すように、第１の積層冷却器のリーク検査方法では、組付兼リーク検査治具１０と、組付台１５とを用いた。
【００３３】
組付兼リーク検査治具１０は、供給部１１と、排出部１２と、把持部１３、１４とを有する。供給部１１は、例えば、検査用冷媒を貯蔵する供給タンク（図示略）等に接続されて、検査用冷媒を供給路１１ａから供給する。排出部１２は、例えば、検査用冷媒を回収する回収タンク（図示略）等に接続されて、検査用冷媒を排出路１２ａから排出する。検査用冷媒が流れる流路内に、流路内の圧力を計測する計測器（図示略）を設けてもよい。また、情報処理端末（図示略）を計測機に接続してもよい。情報処理端末は、計測した圧力データを受けて、この圧力データからリーク量を算出し、リーク量に基づいて冷却器の判定結果（後述）を使用者に確認させる。把持部１３、１４は、冷却器６１〜６９のそれぞれを把持する。組付兼リーク検査治具１０の底面は、冷却器６１〜６９の上面に倣う形状を有するとよい。組付台１５は、台５１を支持することで、冷却器６１〜６９の組み付け及び積層をより安定化させる。なお、第１の積層冷却器のリーク検査方法では、必要に応じて、組付台１５を使用しなくともよい。
【００３４】
図４に示すように、台５１を組付台１５に支持させて、冷却器６１を台５１に載置した後、冷却器６１の１層分のリーク検査を行う（１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１）。ここでは、半導体モジュール１を、冷却器６１の熱伝導フィン９に載置していないが、冷却器６１の熱伝導フィン９に載置した後で冷却器６１の１層分のリーク検査を行ってもよい。
【００３５】
具体的には、まず、組付兼リーク検査治具１０の底面を冷却器６１に密着させる。ここで、供給路１１ａと供給側流路６１ａとは、互いに連なって通じ、排出路１２ａと排出側流路６１ｂとは、互いに連なって通じるように、組付兼リーク検査治具１０と冷却器６１との相対的な位置を調整してもよい。続いて、冷却器６１を把持部１３、１４によって把持して、台５１に載置する。なお、ここで、冷却器６１と台５１とのシール性は、リーク検査に大きな影響を与えないように、十分に確保されている。また、載置した後も、冷却器６１を把持した状態を継続し、供給路１１ａと供給側流路６１ａとは、連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。同様に、排出路１２ａと排出側流路６１ｂとは、連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。
【００３６】
また、検査用冷媒を供給路１１ａから供給側流路６１ａに供給して、流路内の圧力を所定時間計測し、その計測した圧力から、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１を計測する。ここで、流路内とは、例えば、供給側流路６１ａ、排出側流路６１ｂ、伝熱流路６１ｃなどである。なお、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１は、冷却器６１単体のリーク量ＬＳ１と同じ値となる。
【００３７】
さらに、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６１のシール性の良否を判定する。判定値ＬＪは、冷却器６１〜６９のシール性を判定するために、予め決められた所定のリーク量である。例えば、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１が判定値ＬＪより小さいと、「良好」と判定される。冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１が判定値ＬＪ以上であると、冷却器６１は、「不良」と判定される。
【００３８】
続いて、図５に示すように、半導体モジュール１を冷却器６１の熱伝導フィン９に載置し、冷却器６２を冷却器６１に積層した後で、冷却器６１及び冷却器６２の２層分のリーク検査を行う（２層分リーク合計量測定ステップＳ１１２）。
【００３９】
具体的には、まず、１層分リーク合計量測定ステップＳ１１２における冷却器６１と同様に、組付兼リーク検査治具１０を用いて、冷却器６２を冷却器６１の上面に載置する。ここで、冷却器６１、６２の供給側流路６１ａ同士は、連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。冷却器６１、６２の排出側流路６１ｂ同士は、連結しており、互いに連なって通じて、流体を自由に流通させる。続いて、検査用冷媒を供給路１１ａから冷却器６２の供給側流路６１ａに供給して、冷却器６１及び冷却器６２のリーク合計量ＬＴ２を計測する。
【００４０】
続いて、下記の数式１を用いて、冷却器６２のリーク量ＬＳ２を算出する（２層目リーク量算出ステップＳ１１３）。
ＬＳ２＝ＬＴ２−ＬＴ１  …（数式１）
【００４１】
続いて、冷却器６２のリーク量ＬＳ２と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６２のシール性の良否を判定する（２層目シール性判定ステップＳ１１４）。例えば、冷却器６２のリーク量ＬＳ２が判定値ＬＪより小さいと、「良好」と判定される。冷却器６２のリーク量ＬＳ２が判定値ＬＪ以上であると、冷却器６２は、「不良」と判定される。
【００４２】
続いて、上記した１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１〜２層目シール性判定ステップＳ１１４と同様に、冷却器６３、６４、６５、６６、６７、６８、６９をこの順に積層して、一層を積層するたびに各冷却器６３、６４、６５、６６、６７、６８、６９のリーク検査を逐次行う（逐次検査ステップＳ１１５）。これにより、冷却器を一個積層するたびに、冷却器のリーク検査を行うことができる。
【００４３】
ここで、図１５を参照して、上記した冷却器６３〜６９のリーク検査、すなわち、逐次検査ステップＳ１１５をより一般化して、ｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法について説明する。図１５は、実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。ここで、ｍは、２以上の自然数とし、積層冷却器に含まれる冷却器の数に応じて決定され、この実施の形態１では２〜８の自然数とする。
【００４４】
まず、組付兼リーク検査治具１０を用いて、ｍ個の冷却器６１〜６０＋ｍを積層した後で、冷却器６１〜６０＋ｍ（ここでは、６２、６３、…、６８）のｍ層分のリーク検査を行う（ｍ層分リーク合計量測定ステップＳ１０１＋１０ｍ（ここでは、Ｓ１２１、Ｓ１３１、…、Ｓ１８１））。１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１と同様にして、冷却器６１〜６０＋ｍを積層して、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍを計測する。冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍは、同様の値がすでに求められている場合、そのすでに求められた値を用いてもよい。
【００４５】
続いて、半導体モジュール１を冷却器６０＋ｍの熱伝導フィン９に載置し、冷却器６１＋ｍ（ここでは、６３、６４、…、６９）を冷却器６０＋ｍに積層した後で、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ＋１分のリーク検査を行う（ｍ＋１層分リーク合計量測定ステップＳ１０２＋１０ｍ（ここでは、Ｓ１２２、Ｓ１３２、…、Ｓ１８２））。２層分リーク合計量測定ステップＳ１１２と同様にして、冷却器６１＋ｍを冷却器６０＋ｍに積層して、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍ＋１を計測する。
【００４６】
続いて、下記の数式２を用いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１を算出する（ｍ＋１層目リーク量算出ステップＳ１０３＋１０ｍ（ここでは、Ｓ１２３、Ｓ１３３、…、Ｓ１８３））。
ＬＳｍ＋１＝ＬＴｍ＋１−ＬＴｍ  …（数式２）
【００４７】
続いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６１＋ｍのシール性の良否を判定する（ｍ＋１層目シール性判定ステップＳ１０４＋１０ｍ（ここでは、Ｓ１２４、Ｓ１３４、…、Ｓ１８４））。例えば、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１が判定値ＬＪより小さいと、冷却器６１＋ｍは「良好」と判定される。冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１が判定値ＬＪ以上であると、冷却器６１＋ｍは「不良」と判定される。
【００４８】
上記したｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法を用いて、冷却器６３〜６９の積層と、シール性の判定と、逐次行う。すると、図６に示すように、冷却器６９を積層して、冷却器６９シール性の判定とを行うと、各冷却器６１〜６９のシール性の判定をそれぞれ完了することができる。
【００４９】
以上、実施の形態１にかかるリーク検査の測定方法によれば、積層冷却器に含まれる単体の各冷却器のシール性の判定を行えるため、積層冷却器について確かなリーク検査を行うことができる。
【００５０】
また、実施の形態１にかかるリーク検査の測定方法によれば、冷却器を１層ごとに積層し、逐次、積層した冷却器のリーク検査を行うことで、全ての冷却器を積層する前に、「不良」と判定される冷却器を確認し得る。したがって、積層冷却器に含まれる単体の各冷却器のシール性を早く判定し得る。
なお、各冷却器について積層前に個別にリーク検査を行うことのみにより、単体の冷却器のシール性を良否判定する方法では、積層時のずれなどに起因して生じる冷却器の間の隙間を検出することができない。実施の形態１によれば、単体の冷却器のシール性の判定が行われるだけでなく、積層時に生じる冷却器の間の隙間を逐次計測することができ、確かなリーク検査を行うことができる。
【００５１】
実施の形態２．
図１６を参照しつつ、図７〜図１０を用いて、実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法について説明する。図７、図９及び図１０は、実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。図８は、供給筒を示す模式図である。図１６は、実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【００５２】
図７に示すように、第２の積層冷却器のリーク検査方法では、供給筒２０と、排出筒２１とを用いた。
【００５３】
供給筒２０は、供給タンク（図示略）に接続されており、検査用冷媒を供給口２０ａから供給する。供給筒２０の外周面における供給口２０ａの近傍には、環状の供給側シール部２０ｂが配置される。具体的には、供給側シール部２０ｂは、供給口２０ａの近傍において供給筒２０の外周面を囲むように配置される。供給側シール部２０ｂは、弾性材料からなり、径方向に圧縮されない場合、供給側流路６１ａの内径よりも大きな径を有する。供給筒２０は、供給口２０ａが積層冷却器１００の冷却器６１〜６９の各供給側流路６１ａ内と供給路５２ａ内とを移動可能に支持される。供給口２０ａが積層冷却器１００の冷却器６１〜６９の各供給側流路６１ａ内と供給路５２ａ内とを移動すると、図８に示すように、供給側シール部２０ｂは、各供給側流路６１ａの内径及び供給路５２ａの内径に応じて、拡大する、又は、収縮する。
【００５４】
排出筒２１は、回収タンク（図示略）に接続されており、検査用冷媒を排出口２１ａから排出する。排出筒２１の外周面における排出口２１ａの近傍には、環状の排出側シール部２１ｂが配置される。具体的には、排出側シール部２１ｂは、排出口２１ａの近傍において排出筒２１の外周面を囲むように配置される。排出側シール部２１ｂは、弾性材料からなり、径方向に圧縮されない場合、排出側流路６１ｂの内径よりも大きな径を有する。排出筒２１は、排出口２１ａが積層冷却器１００の冷却器６１〜６９の各排出側流路６１ｂ内と排出路５２ｂ内とを移動可能に支持される。排出口２１ａが積層冷却器１００の冷却器６１〜６９の各排出側流路６１ｂ内と排出路５２ｂ内とを移動すると、図８に示す供給側シール部２０ｂと同様に、排出側シール部２１ｂは、各排出側流路６１ｂの内径及び排出路５２ｂの内径に応じて、拡大する、又は、収縮する。
【００５５】
供給筒２０と排出筒２１とは、第１の積層冷却器のリーク検査方法で用いた組付兼リーク検査治具１０（図４〜６参照。）と比較して、簡易な構造のリーク検査用治具である。また、供給筒２０と排出筒２１とは、後述する第３の積層冷却器のリーク検査方法で採用される仕切板（図１１〜図１３参照。）と比較して、ランニングコストが低い。
【００５６】
まず、図７を参照して、冷却器６１の１層分のリーク検査を行う（１層分リーク合計量測定ステップＳ２１１）。具体的には、供給筒２０の供給口２０ａを冷却器６１の供給側流路６１ａ又は冷却器６２の供給側流路６１ａに配置させつつ、供給側シール部２０ｂを冷却器６２の供給側流路６１ａに配置させる。また、排出筒２１の排出口２１ａを冷却器６１の排出側流路６１ｂ又は冷却器６２の排出側流路６１ｂに配置させつつ、排出側シール部２１ｂを冷却器６２の排出側流路６１ｂに配置させる。
【００５７】
続いて、第１の積層冷却器のリーク検査方法の１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１と同様に、検査用冷媒を供給口２０ａから冷却器６１の供給側流路６１ａ又は冷却器６２の供給側流路６１ａに供給して、流路内の圧力を所定時間計測し、その計測した圧力から、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１を計測する。ここでは、流路内とは、冷却器６１及び冷却器６２の供給側流路６１ａ、排出側流路６１ｂ、伝熱流路６１ｃなどである。なお、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１は、冷却器６１単体のリーク量ＬＳ１と同じ値となる。
【００５８】
さらに、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１と判定値ＬＪに基づいて、冷却器６１のシール性の良否を判定する。
【００５９】
続いて、図９に示すように、冷却器６１及び冷却器６２の２層分のリーク検査を行う（２層分リーク合計量測定ステップＳ２１２）。具体的には、供給筒２０と排出筒２１とを、積層方向に冷却器１層分移動させた後で、冷却器６１及び冷却器６２のリーク検査を行い、冷却器６１及び冷却器６２の２層分のリーク合計量ＬＴ２を求める。
【００６０】
より具体的には、供給筒２０の供給口２０ａを冷却器６２の供給側流路６１ａ又は冷却器６３の供給側流路６１ａに配置させつつ、供給側シール部２０ｂを冷却器６３の供給側流路６１ａに配置させる。また、排出筒２１の排出口２１ａを冷却器６２の排出側流路６１ｂ又は冷却器６３の排出側流路６１ｂに配置させつつ、排出側シール部２１ｂを冷却器６３の排出側流路６１ｂに配置させる。
【００６１】
検査用冷媒を供給口２０ａから冷却器６２の供給側流路６１ａ又は冷却器６３の供給側流路６１ａに供給して、流路内の圧力を所定時間計測し、その計測した圧力から、冷却器６１及び冷却器６２のリーク合計量ＬＴ２を計測する。ここでは、流路内の圧力は、冷却器６１〜冷却器６３の供給側流路６１ａ、排出側流路６１ｂ、伝熱流路６１ｃである。
【００６２】
続いて、第１の積層冷却器のリーク検査方法と同様に、上記した数式１を用いて、冷却器６２のリーク量ＬＳ２を算出する（２層目リーク量算出ステップＳ２１３）。同様に、冷却器６２のリーク量ＬＳ２と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６２のシール性の良否を判定する（２層目シール性判定ステップＳ２１４）。
【００６３】
続いて、上記した１層分リーク合計量測定ステップＳ２１１〜２層目シール性判定ステップＳ２１４と同様に、各冷却器６３、６４、６５、６６、６７、６８、６９のリーク検査を逐次行う（逐次検査ステップＳ２１５）。
【００６４】
ここで、図１７を参照して、上記した冷却器６３〜６９のリーク検査、すなわち、逐次検査ステップＳ２１５をより一般化して、ｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法について説明する。図１７は、実施の形態２にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。ここで、ｍは、２以上の自然数とし、積層冷却器に含まれる冷却器の数に応じて決定され、この実施の形態２では２〜８の自然数とする。
【００６５】
まず、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分のリーク検査を行う（ｍ層分リーク合計量測定ステップＳ２０１＋１０ｍ（ここでは、Ｓ２２１、Ｓ２３１、…、Ｓ２８１））。具体的には、供給筒２０の供給口２０ａを冷却器６０＋ｍの供給側流路６１ａ又は冷却器６１＋ｍの供給側流路６１ａに配置させつつ、供給側シール部２０ｂを冷却器６１＋ｍの供給側流路６１ａに配置させる。また、排出筒２１の排出口２１ａを冷却器６０＋ｍの排出側流路６１ｂ又は冷却器６１＋ｍの排出側流路６１ｂに配置させつつ、排出側シール部２１ｂを冷却器６１＋ｍの排出側流路６１ｂに配置させる。ここで、第２の積層冷却器の検査方法の一工程として、ｍ＝３のときの３層分リーク合計量ステップＳ２３１を図１０に示す。
【００６６】
続いて、１層分リーク合計量測定ステップＳ２１１と同様に、供給筒２０の供給口２０ａから検査用冷媒を供給して、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍを計測する。なお、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍは、同様の値がすでに求められている場合、そのすでに求められた値を用いてもよい。
【００６７】
続いて、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ＋１層分のリーク検査を行う（ｍ＋１層分リーク合計量測定ステップＳ２０２＋１０ｍ（ここでは、Ｓ２２２、Ｓ２３２、…、Ｓ２８２））。具体的には、供給筒２０と排出筒２１とを、積層方向に冷却器１層分移動させた後で、冷却器６１〜６１＋ｍのリーク検査を行い、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ＋１層分のリーク合計量ＬＴｍ＋１を求める。
【００６８】
続いて、上記した数式２を用いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１を算出する（ｍ＋１層目リーク量算出ステップＳ２０３＋１０ｍ（ここでは、Ｓ２２３、Ｓ２３３、…、Ｓ２８３））。続いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６１＋ｍのシール性の良否を判定する（ｍ＋１層目シール性判定ステップＳ２０４＋１０ｍ（ここでは、Ｓ２２４、Ｓ２３４、…、Ｓ２８４））。
【００６９】
ｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法を用いて、冷却器６３〜６９のシール性の判定と、逐次行う。すると、冷却器６９のシール性の判定を行うと、各冷却器６１〜６９のシール性の判定をそれぞれ完了することができる。
【００７０】
以上、実施の形態２にかかるリーク検査の測定方法によれば、実施の形態１にかかるリーク検査の測定方法と同様に、積層冷却器に含まれる単体の各冷却器のシール性判定を行えるため、積層冷却器について確かなリーク検査を行うことができる。
【００７１】
また、実施の形態２にかかるリーク検査の測定方法によれば、簡易な構造の治具を用いて、積層冷却器のリーク検査を行うことができる。
【００７２】
実施の形態３．
図１８を参照しつつ、図１１〜図１３を用いて、実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法について説明する。図１１〜図１３は、実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程を示す模式図である。図１８は、実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法のフローチャートである。
【００７３】
図１１に示すように、第３の積層冷却器のリーク検査方法では、仕切板３ａと、仕切板３ｂとを用いた。なお、図１１〜図１３に示す積層冷却器１００では、冷却器６９、６８、６７、６６、６５、６４、６３，６２、６１は、この順に積層されている。これは、説明の便宜のためのであって、第１及び第２の積層冷却器のリーク検査方法での検査対象と積層冷却器１００と構成は実質的に同一である。
【００７４】
仕切板３ａは、冷却器６１〜６８の供給側流路６１ａにそれぞれ配置されている。具体的には、仕切板３ａは、供給側流路６１ａにおける、仕切板３ａを備える冷却器と隣り合う層の別体の冷却器側に配置されている。例えば、冷却器６１の仕切板３ａは、供給側流路６１ａにおける、冷却器６１と隣り合う層の冷却器６２側に配置されている。仕切板３ａは、仕切板３ａが配置された冷却器の供給側流路６１ａと、その隣り合う層の別体の冷却器との供給側流路６１ａとの連結を断つ。例えば、冷却器６１の仕切板３ａは、冷却器６１の供給側流路６１ａと、冷却器６２の供給側流路６１ａとの連結を断つ。言い換えると、冷却器６１〜６８に配置された仕切板３ａは、冷却器６１〜６９の供給側流路６１ａ同士の連結部と、排出側流路６１ｂ同士の連結部とをそれぞれ仕切る。
【００７５】
仕切板３ｂは、冷却器６１〜６８の排出側流路６１ｂにそれぞれ配置されている。具体的には、仕切板３ｂは、排出側流路６１ｂにおける、仕切板３ｂを備える冷却器と隣り合う層の別体の冷却器側に配置されている。例えば、冷却器６１の仕切板３ｂは、排出側流路６１ｂにおける、冷却器６１と隣り合う層の冷却器６２側に配置されている。仕切板３ｂは、仕切板３ｂが配置された冷却器の排出側流路６１ｂと、その隣り合う層の別体の冷却器との排出側流路６１ｂとの連結を断つ。例えば、冷却器６１の仕切板３ｂは、冷却器６１の排出側流路６１ｂと、冷却器６２の排出側流路６１ｂとの連結を断つ。言い換えると、冷却器６１〜６８に配置された仕切板３ａは、冷却器６１〜６９の供給側流路６１ａ同士の連結部と、排出側流路６１ｂ同士の連結部とをそれぞれ仕切る。
【００７６】
仕切板３ａと、仕切板３ｂとは、検査用冷媒を通過させない程度の機械的強度及び化学的安定性を有する材料、例えば、樹脂からなる。なお、仕切板３ａと、仕切板３ｂとは、冷却器本体６１０と一体化して形成されてもよい。
【００７７】
ここで、仕切板３ａと、仕切板３ｂとは、第２の積層冷却器のリーク検査方法で用いた供給筒２０の供給側シール部２０ｂ及び排出筒２１の排出側シール部２１ｂ（図７〜図１０参照。）と比較して、供給側流路６１ａ同士の連結及び排出側流路６１ｂ同士の連結を断つことで、検査用冷媒の漏れをより確実に抑制することができる。
【００７８】
まず、図１１を参照して、冷却器６１の１層分のリーク検査を行う（１層分リーク合計量測定ステップＳ３１１）。具体的には、検査用冷媒をリーク検査治具５２の供給路５２ａから供給する。ここで、冷却器６１の仕切板３ａは、冷却器６１の供給側流路６１ａと冷却器６２の供給側流路６１ａとの連結を断っているため、検査用冷媒は冷却器６２の供給側流路６１ａに流入することなく、冷却器６１の伝熱流路６１ｃに流入する。同様に、冷却器６１の仕切板３ｂは、冷却器６１の排出側流路６１ｂと冷却器６２の排出側流路６１ｂの連結を断っているため、検査用冷媒は冷却器６２の排出側流路６１ｂに流入しない。
【００７９】
また、第１の積層冷却器のリーク検査方法の１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１と同様に、検査用冷媒をリーク検査治具５２の供給路５２ａから供給して、流路内の圧力を所定時間計測し、その計測した圧力から、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１を計測する。ここで、流路内は、例えば、冷却器６１の供給側流路６１ａ、排出側流路６１ｂ、伝熱流路６１ｃである。なお、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１は、冷却器６１のリーク量ＬＴ１と同じ値となる。
【００８０】
さらに、第１の積層冷却器のリーク検査方法と同様に、冷却器６１のリーク合計量ＬＴ１と判定値ＬＪに基づいて、冷却器６１のシール性の良否を判定する。
【００８１】
続いて、図１２に示すように、冷却器６１の仕切板３ａ及び仕切板３ｂを貫通する機械加工を行った後で、冷却器６１及び冷却器６２の２層分のリーク検査を行う（２層分リーク合計量測定ステップＳ３１２）。
【００８２】
具体的には、ドリル加工などの機械加工方法を用いて、冷却器６１の仕切板３ａ及び仕切板３ｂを貫通する。すると、冷却器６１の供給側流路６１ａ及び冷却器６２の供給側流路６１ａが互いに連なって通じ、自由に流体が流通する。
【００８３】
検査用冷媒をリーク検査治具５２の供給路５２ａから供給して、流路内の圧力を所定時間計測し、その計測した圧力から、冷却器６１及び冷却器６２のリーク合計量ＬＴ２を計測する。ここで、流路内とは、例えば、冷却器６１及び冷却器６２の供給側流路６１ａ、排出側流路６１ｂ、伝熱流路６１ｃなどである。
【００８４】
続いて、第１の積層冷却器のリーク検査方法と同様に、上記した数式１を用いて、冷却器６２のリーク量ＬＳ２を算出する（２層目リーク量算出ステップＳ３１３）。同様に、冷却器６２のリーク量ＬＳ２と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６２のシール性の良否を判定する（２層目シール性判定ステップＳ３１４）。
【００８５】
続いて、上記した１層分リーク合計量測定ステップＳ３１１〜２層目シール性判定ステップＳ３１４と同様に、各冷却器６３、６４、６５、６６、６７、６８、６９のリーク検査を逐次行う（逐次検査ステップＳ３１５）。
【００８６】
ここで、図１９を参照して、上記した冷却器６３〜６９のリーク検査、すなわち、逐次検査ステップＳ３１５をより一般化して、ｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法について説明する。図１９は、実施の形態３にかかる積層冷却器のリーク検査方法の一工程のフローチャートである。ここで、ｍは、２以上の自然数とし、積層冷却器に含まれる冷却器の数に応じて決定され、この実施の形態３では２〜８の自然数とする。
【００８７】
まず、冷却器６１〜６０＋ｍ層分のリーク検査を行う（ｍ層分リーク合計量測定ステップＳ３０１＋１０ｍ（ここでは、Ｓ３２１、Ｓ３３１、…、Ｓ３８１））。具体的には、検査用冷媒をリーク検査治具５２の供給路５２ａから供給する。ここで、冷却器５９＋ｍ（ここでは、６１、６２、…、６９）の仕切板３ａは、冷却器５９＋ｍの供給側流路６１ａと冷却器６０＋ｍの供給側流路６１ａとの連結を断っているため、検査用冷媒は冷却器６０＋ｍの供給側流路６１ａに流入することなく、冷却器５９＋ｍの伝熱流路６１ｃに流入する。同様に、冷却器５９＋ｍの仕切板３ｂは、冷却器５９＋ｍの排出側流路６１ｂと冷却器６０＋ｍの排出側流路６１ｂの連結を断っているため、検査用冷媒は冷却器６０＋ｍの排出側流路６１ｂに流入しない。
【００８８】
また、第１の積層冷却器のリーク検査方法の１層分リーク合計量測定ステップＳ１１１と同様に、検査用冷媒をリーク検査治具５２の供給路５２ａから供給して、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍを計測する。なお、冷却器６１〜６０＋ｍのｍ層分リーク合計量ＬＴｍは、同様の値がすでに求められている場合、そのすでに求められた値を用いてもよい。
【００８９】
続いて、冷却器６０＋ｍの仕切板３ａ及び仕切板３ｂを貫通する機械加工を行った後で、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ＋１層分のリーク検査を行う（ｍ＋１層分リーク合計量測定ステップＳ３０２＋１０ｍ（ここでは、Ｓ３２２、Ｓ３３２、…、Ｓ３８２））。具体的には、供給筒２０と排出筒２１とを、積層方向に冷却器１層分移動させた後で、冷却器６１〜６１＋ｍのリーク検査を行い、冷却器６１〜６１＋ｍのｍ＋１層分のリーク合計量ＬＴｍ＋１を求める。
【００９０】
続いて、上記した数式２を用いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１を算出する（ｍ＋１層目リーク量算出ステップＳ３０３＋１０ｍ（ここでは、Ｓ３２３、Ｓ３３３、…、Ｓ３８３））。続いて、冷却器６１＋ｍのリーク量ＬＳｍ＋１と判定値ＬＪとの大小に基づいて、冷却器６１＋ｍのシール性の良否を判定する（ｍ＋１層目シール性判定ステップＳ３０４＋１０ｍ（ここでは、Ｓ３２４、Ｓ３３４、…、Ｓ３８４））。
【００９１】
ｍ＋１層目の冷却器のシール性判定方法を用いて、冷却器６３〜６９のシール性の判定と、逐次行う。すると、図１３に示すように、冷却器６９のシール性の判定を行うと、各冷却器６１〜６９のシール性の判定をそれぞれ完了することができる。
【００９２】
以上、実施の形態３にかかるリーク検査の測定方法によれば、実施の形態１及び２にかかるリーク検査の測定方法と同様に、積層冷却器に含まれる単体の各冷却器のシール性判定を行えるため、積層冷却器について確かなリーク検査を行うことができる。
【００９３】
また、実施の形態３にかかるリーク検査の測定方法によれば、各冷却器の流路同士の連結をより確実に断って、積層冷却器のリーク検査を行うことができる。
【００９４】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。実施の形態１〜３にかかる積層冷却器のリーク検査方法では、冷媒としてＨｅを用いたが、空気を用いても構わない。また、実施の形態２及び３にかかる積層冷却器のリーク検査方法においても、実施の形態１にかかる積層冷却器のリーク検査方法と同様に、組付台１５を使用してもよい。
【符号の説明】
【００９５】
Ｓ１１１、Ｓ１２１、…、Ｓ３８１  ｎ層分リーク合計量測定ステップ
Ｓ１１２、Ｓ１２２、…、Ｓ３８２  ｎ＋１層分リーク合計量測定ステップ
Ｓ１１３、Ｓ１２３、…、Ｓ３８３  ｎ＋１層目リーク量算出ステップ
Ｓ１１４、Ｓ１２４、…、Ｓ３８４  ｎ＋１層目シール性判定ステップ
Ｓ１１５、Ｓ２１５、Ｓ３１５  逐次検査ステップ
３ａ、３ｂ  仕切板                        １０組付兼リーク検査治具
２０  供給筒                              ２１  排出筒
１００  積層冷却器
６１〜６９  冷却器
６１ａ  供給側流路                        ６１ｂ  排出側流路
６１ｃ  伝熱流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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