(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単な構成でパージガスの供給経路側における圧力を検出可能とし、装置全体を小型化する流量制御装置を提供する。【解決手段】流量制御装置３２は、流量指令に応じてガスの流量を調整する装置本体７０と、装置本体７０に設けられて装置本体７０の出力側の圧力を検出する圧力検出部７１と、圧力検出部７１の検出結果を外部に送信する通信部７２と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流量指令に応じてガスの流量を調整する装置本体と、
前記装置本体に設けられて前記装置本体の出力側の圧力を検出する圧力検出部と、
前記圧力検出部の検出結果を外部に送信する通信部と、を備える、流量制御装置。
【請求項２】
前記圧力検出部は、前記装置本体の筐体内に収容される、請求項１記載の流量制御装置。
【請求項３】
前記通信部は、外部からの前記流量指令を受信可能、またはガスの流量の調整に関する情報を外部に送信可能である、請求項１または請求項２記載の流量制御装置。
【請求項４】
前記装置本体は、ガスの流量を調整するための電源部を有し、
前記圧力検出部は、前記電源部から電力の供給を受ける、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の流量制御装置。
【請求項５】
容器が載置される載置部と、
前記載置部に設けられて前記容器に接続可能なノズルと、
前記ノズルを介した前記容器へのパージガスの流量を制御する、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の流量制御装置と、
前記流量制御装置の前記通信部から送信される前記圧力検出部の検出結果に基づいて、前記容器に対するパージの良否判定を行う判定部と、を備える、パージ装置。
【請求項６】
前記流量制御装置は、第１流量で前記パージガスを供給する第１モードと、前記第１流量よりも多い第２流量で前記パージガスを供給する第２モードとを切り替え可能であり、
前記判定部は、前記第１モードにおいて前記良否判定を行う、請求項５記載のパージ装置。
【請求項７】
容器を保持する複数の保管棚と、
前記複数の保管棚のうち少なくとも１つに配置される、請求項５または請求項６記載のパージ装置と、を備えるパージストッカ。
【請求項８】
前記流量制御装置は、前記保管棚に保持された前記容器の背面側に配置される、請求項７記載のパージストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量制御装置、パージ装置、及びパージストッカに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハやレチクルなどを収容するＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどの容器は、保管に際してパージ装置により容器内に清浄乾燥空気や窒素ガスなどのパージガスを充填し、収容物の汚染や酸化などを抑制している。このパージ装置は、容器を保管するためのパージストッカに備えられることが知られている。パージ装置によるパージガスの供給が不足するなどパージの異常が発生すると、収容物の汚染等が生じるため、容器へ供給されるパージガスの流量を測定し、パージの異常を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、容器内部に供給されるパージガスの流量をセンサにより測定し、良好なパージが行われているかを判定している。また、パージガスの供給経路に圧力センサを取り付け、容器に供給されるパージガスの圧力を測定することで、パージの異常を検出する提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４６７０８０８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、パージガスの供給経路に圧力センサを取り付ける構成では、流量制御装置の他に圧力センサが別途必要となり、さらに供給経路から圧力センサに分岐させるための配管や継手、圧力センサへの電源供給線や出力を送信するための信号線など、多くの部品が必要になるため、パージ装置及びパージストッカが大型化するだけでなく製造コストの増加を招いてしまう。また、使用される圧力センサや配管等は、ストッカ内の清浄度を保つために脱ガス等が抑制された高機能なものが使用され、その結果、各部品が大型化かつ高価格化し、ストッカの小型化、低コスト化を図ることが難しいといった課題がある。また、ストッカ内に圧力センサや配管を配置する作業は、作業者に狭い空間での作業を強いるため、作業者にとって負担の大きな作業となる。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明は、簡単な構成でパージガスの供給経路側における圧力を検出可能とし、装置全体を小型化することが可能な流量制御装置、パージ装置、及びパージストッカを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る流量制御装置は、流量指令に応じてガスの流量を調整する装置本体と、前記装置本体に設けられて前記装置本体の出力側の圧力を検出する圧力検出部と、前記圧力検出部の検出結果を外部に送信する通信部と、を備える。
【０００７】
また、圧力検出部は、装置本体の筐体内に収容されてもよい。また、通信部は、外部からの流量指令を受信可能、またはガスの流量の調整に関する情報を外部に送信可能であってもよい。また、装置本体は、ガスの流量を調整するための電源部を有し、圧力検出部は、電源部から電力の供給を受けてもよい。
【０００８】
本発明に係るパージ装置は、容器が載置される載置部と、載置部に設けられて容器に接続可能なノズルと、ノズルを介した容器へのパージガスの流量を制御する、上記の流量制御装置と、流量制御装置の通信部から送信される圧力検出部の検出結果に基づいて、容器に対するパージの良否判定を行う判定部と、を備える。また、流量制御装置は、第１流量でパージガスを供給する第１モードと、第１流量よりも多い第２流量でパージガスを供給する第２モードとを切り替え可能であり、判定部は、第１モードにおいて良否判定を行ってもよい。
【０００９】
本発明に係るパージストッカは、容器を保持する複数の保管棚と、複数の保管棚のうち少なくとも１つに配置される、上記のパージ装置と、を備える。また、流量制御装置は、保管棚に保持された容器の背面側に配置されてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る流量制御装置によれば、圧力検出部が装置本体に設けられるため、装置本体の外部に別途圧力センサ等の圧力検出手段を配置する必要がない。これにより、簡単な構成で出力側の圧力を検出することができ、別途圧力センサや配管、配線等が不要となるので、装置コストを低減することができる。
【００１１】
また、圧力検出部が、装置本体の筐体内に収容されるものでは、圧力検出部を筐体等に収容することが不要となる。また、筐体外部に設けられる場合に比べて配線を短くすることができ、装置本体を大型化することなく圧力検出部を配置できる。また、通信部が、外部からの流量指令を受信可能、またはガスの流量の調整に関する情報を外部に送信可能であるものでは、外部からの流量指令の受信等を行う既存の通信部を用いて、圧力検出部の検出結果を外部に出力するので、通信部を兼用することにより装置を小型化するとともに装置コストを低減できる。また、装置本体が、ガスの流量を調整するための電源部を有し、圧力検出部が、電源部から電力の供給を受けるものでは、ガスの流量を調整するための既存の電源部を用いて、圧力検出部に電力を供給することが可能となる。これにより、別途電源部を設ける必要がないため、装置を小型化するとともに装置コストを低減できる。
【００１２】
本発明に係るパージ装置によれば、圧力検出部が装置本体に設けられた流量制御装置によって出力側の圧力を検出できるため、上記のように別途圧力検出手段を流量制御装置の外部に設ける場合に必要な配管や継手などが不要となる。これにより、簡単な構成でパージの良否判定を行うことが可能なパージ装置を構成でき。また、流量制御装置が、第１流量で前記パージガスを供給する第１モードと、第１流量よりも多い第２流量でパージガスを供給する第２モードとを切り替え可能であり、判定部が、第１モードにおいて良否判定を行うものでは、流量制御装置の出力側の圧力を高精度に検出可能であるため、良否判定をより正確に行うことができる。また、所定圧力以上になるとパージガスが漏れるように構成されたパージ装置であっても、より正確に良否判定を行うことができる。
【００１３】
本発明に係るパージストッカによれば、簡単な構成でパージの良否判定を行うことが可能なパージ装置を備えるため、パージ装置を配置するスペースを縮小することができる。これにより、ストッカを小型化することができる。また、流量制御装置が、保管棚に保持された容器の背面側に配置されるものでは、上記したパージ装置によって容器の背面側のスペースを縮小できるので、ストッカの小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係るパージストッカの一例を示す図である。
【図２】本実施形態に係るパージ装置の一例を示す図である。
【図３】本実施形態に係る流量制御装置の一例を示す図である。
【図４】パージストッカに流量制御装置を配置した一例を示す図である。
【図５】パージの異常を検出する方法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態に係るパージストッカ１の一例を示す図、図２は容器Ｆおよびパージ装置４の一例を示す図である。パージストッカ１は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウェハや、レチクルなどの物品を収容する容器Ｆを保管する自動倉庫である。容器Ｆは、例えば、ウェハや、レチクルなどを収容するＦＯＵＰ、ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどである。
【００１７】
図１に示すように、パージストッカ１は、外郭を形成するストッカ筐体２と、ストッカ筐体２内に設置された複数の保管棚３と、各保管棚３に形成された複数のパージ装置４と、容器Ｆの搬送装置としてのスタッカクレーン５と、制御装置６と、を備える。ストッカ筐体２は、外部に対して隔離可能な内部空間２ａを有する。ストッカ筐体２は、ストッカ筐体２の外部と内部空間２ａとで容器Ｆが受け渡される入出庫ポート（図示せず）を備えている。複数の保管棚３、複数のパージ装置４、及びスタッカクレーン５は、ストッカ筐体２の内部空間２ａに配置されている。なお、複数の保管棚３は、スタッカクレーン５の走行範囲（Ｘ方向）の両側（＋Ｙ側及び−Ｙ側）にそれぞれ配置されてもよい。制御装置６は、パージ装置４およびスタッカクレーン５を制御する。なお、パージ装置４を制御する制御装置と、スタッカクレーン５を制御する制御装置とが別に設けられていてもよい。
【００１８】
スタッカクレーン５は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の各方向に容器Ｆを搬送可能であり、例えば、入出庫ポートと保管棚３との間や、保管棚３から他の保管棚３に容器Ｆを搬送可能である。スタッカクレーン５は、例えば、走行台車１０と、支持柱１１と、支持台１２と、移載装置１３とを備える。走行台車１０は、複数の車輪１４を有し、床面に設けられたレール１５に沿って水平方向（Ｘ方向）に移動する。
【００１９】
支持柱１１は、走行台車１０の上面から鉛直方向（Ｚ方向）に延びて設けられる。支持台１２は、支持柱１１に支持され、支持柱１１に沿ってＺ方向にスライド可能に設けられる。移載装置１３は、例えば、伸縮可能なアーム部と、上面に容器Ｆを載置可能なハンド部と、を備える。なお、支持柱１１の上端がストッカ筐体２の天井等に敷設されたレール等に案内されるものでもよい。
【００２０】
また、容器Ｆの搬送装置としては、上記のように容器Ｆを載置して搬送するスタッカクレーン５に代えて、例えば、容器Ｆの上部に備えるフランジ部２８（図２参照）を把持し、容器Ｆを吊り下げて搬送するものや、容器Ｆの側面を把持して搬送するものが使用されてもよい。また、図１には１台のスタッカクレーン５を図示したが、ストッカ筐体２内に配置されるスタッカクレーン５は２台以上であってもよい。
【００２１】
保管棚３は、高さ方向（Ｚ方向）に複数段並んで配置され、水平方向（Ｘ方向）に複数列並んで配置されている。複数の保管棚３には、それぞれ、容器Ｆを載置可能である。図２に示すように、保管棚３の上面にはピン２０が設けられ、容器Ｆの位置決めに利用される。容器Ｆは、図２ではＦＯＵＰの一例を示しており、開口２１ａを有する箱状の本体部２１と、開口２１ａを塞ぐ蓋部２２とを備える。ウェハなどの物品は、開口２１ａを介して容器Ｆの内部Ｆａに収容される。本体部２１は、その底面側に、位置決め用の凹部２３を備える。凹部２３は、例えば、本体部２１の底面の中心から放射状に延びる溝である。この凹部２３には、移載装置１３のハンド部に備える不図示のピンも入り込み、容器Ｆを搬送する際の位置決めを行っている。
【００２２】
保管棚３は、移載装置１３のハンド部が鉛直方向に通過可能な不図示の切り欠きを備えている。移載装置１３は、容器Ｆを載置したハンド部を保管棚３の上方から下方に、切り欠き部を通って移動させることにより、保管棚３の上面に容器Ｆを移載する。その際、容器Ｆは、凹部２３に保管棚３のピン２０が挿入されることで、保管棚３に対して位置決めされる。本体部２１は、底面側に、ガスの導入口２４、逆止弁２５、排気口２６、及び逆止弁２７を備える。導入口２４および排気口２６は、それぞれ、本体部２１の内部Ｆａと外部と連通する。逆止弁２５、２７は、それぞれ導入口２４、排気口２６に設けられる。
【００２３】
パージ装置４は、供給ノズル３０と、排気ノズル３１と、流量制御装置３２と、判定部３３と、を備える。供給ノズル３０及び排気ノズル３１は、保管棚３の上面に設けられる。従って、保管棚３は、パージ装置４の載置部として機能する。供給ノズル３０及び排気ノズル３１は、保管棚３に容器Ｆを載置した際に、それぞれ導入口２４、排気口２６と接続するように配置される。容器Ｆの導入口２４は、保管棚３に容器Ｆを載置した際に、供給ノズル３０を介して配管３４に接続され、さらに流量制御装置３２を介してパージガス源４０と接続される。排気ノズル３１は、配管３５を介してパージガスの排気経路（パージガス排気４１）に接続される。
【００２４】
なお、パージ装置４は、排気ノズル３１及び配管３５を備えなくてもよい。この場合、容器Ｆの排気口２６から排気されたパージガスは、パージストッカ１の内部空間２ａ内に排気される。また、流量制御装置３２から供給ノズル３０までの流路の一部に電磁弁が配置されてもよい。この電磁弁の開閉は、制御装置６からの開閉指示により行ってもよいし、また、流量制御装置３２からの開閉指示により行ってもよい。
【００２５】
パージガス源４０は、例えば窒素ガスなど、収納した物品に対して不活性なガスをパージガスとして供給する。パージガスは、容器Ｆに収容される物品に応じて選択され、例えば、物品に対する酸化抑制、分子汚染等を抑制するガスや、容器Ｆ内の水分を減少させるガスなどが用いられる。パージガスは、窒素ガスや、清浄乾燥空気（ＣＤＡ）などが用いられる。パージガス源４０は、パージストッカ１の一部に配置されてもよいし、パージストッカ１から離れて配置されてもよい。また、パージガス源４０は、例えば、パージストッカ１が配置される工場内の設備が利用されてもよい。パージガス源４０をパージストッカ１と別体のものとした場合、パージストッカ１側の圧力調整装置等でパージガス源４０からのパージガスを一旦受け、この圧力調整装置等から各流量制御装置３２へパージガスを供給するようにしてもよい。
【００２６】
容器Ｆをパージする際、パージガス源４０からのパージガスは、流量制御装置３２および配管３４を通って、容器Ｆの導入口２４から逆止弁２５を介して内部Ｆａに供給され、容器Ｆの内部Ｆａに充填される。また、内部Ｆａのガスは、排気口２６から逆止弁２７を介して容器Ｆの外部に排出され、配管３５を通ってパージガス排気４１により外部に排気される。なお、パージガス排気４１は、ポンプなどによりガスを吸引する装置や、フィルタ等が設けられてよい。
【００２７】
流量制御装置３２は、例えばマスフローコントローラであり、配管３４におけるパージガスの流量を制御することにより、パージガス源４０から供給ノズル３０へ供給されるパージガスの流量を制御する。流量制御装置３２は、通信部７２によって制御装置６と無線または有線により通信可能に設けられる。制御装置６は、通信部７２に対して流量の設定値（流量指令）を送信する。流量制御装置３２は、パージガスの流量を設定値に近づけるように制御する。
【００２８】
図３は、流量制御装置３２の一例を示す図である。流量制御装置３２は、装置本体７０を備える。装置本体７０の筐体７０ａ内には、接続部５０、５１と、管路５２と、流量計５３と、流量制御バルブ５４と、制御回路５５とが設けられる。筐体７０ａは、一部に透明または半透明な窓部が設けられ、内部を目視可能としてもよい。接続部５０、５１は、パージガスの入力側及び出力側に設けられた、例えば流体継ぎ手である。接続部５０は、配管３６が取り付けられてパージガス源４０と接続され、接続部５１は配管３４が取り付けられて供給ノズル３０と接続される。
【００２９】
管路５２は、入力側管路５２ａ及び出力側管路５２ｂを有する。入力側管路５２ａは、流量制御バルブ５４よりも入力側に配置される。出力側管路５２ｂは、流量制御バルブ５４よりも出力側に配置される。入力側管路５２ａ及び出力側管路５２ｂは、流量制御バルブ５４を介して接続部５０と接続部５１とを結ぶ流路になっている。入力側管路５２ａは、流量測定部５６とバイパス部５７とに分岐した並列する流路を備えている。
【００３０】
流量測定部５６は、例えばキャピラリ管などであり、流量計５３の位置を経由してバイパス部５７と合流している。バイパス部５７は、層流素子５８が設けられ、流量測定部５６には、層流素子５８により層流状になったパージガスが流れる。流量測定部５６における流量とバイパス部５７における流量との流量比（分流比）は予め定められており、流量測定部５６における流量を検出し、上記の流量比を用いることで、入力側管路５２ａにおける流量を測定することができる。
【００３１】
流量制御バルブ５４は、出力側管路５２ｂを介して接続部５０へ流れるパージガスの流量を調整する。なお、出力側管路５２ｂは、接続部５１及び配管３４を介して供給ノズル３０に接続される。流量制御バルブ５４は、電磁弁などであり、印加電圧に応じて開度（流路断面積）が変化する。流量制御バルブ５４は、例えば、印加電圧が最小（例、０）である場合に開度が最小の閉状態（例えば、全閉状態）となり、印加電圧が増すにつれて開度が大きくなる。流量計５３は、流量測定部５６における流量を検出することにより、入力側管路５２ａにおける流量を測定する。流量計５３は、例えば熱式流量計（サーマル式流量計）であり、流量測定部５６に設けられる抵抗６０、６１と、ブリッジ回路６２と、アンプ６３とを備える。
【００３２】
抵抗６０、６１は自己発熱型抵抗体であり、抵抗６０は、抵抗６１の上流側に設けられている。抵抗６０、６１は、それぞれ、ブリッジ回路６２と接続されている。抵抗６０、６１に電力を供給した状態で流量測定部５６にパージガスが流れると、抵抗６０から熱が奪われることにより、抵抗６０、６１に温度差が生じる。ブリッジ回路６２は、抵抗６０、６１の温度差による抵抗値の差を検出する。ブリッジ回路６２は、アンプ６３と接続されており、抵抗６０、６１の抵抗値の差を示す信号、すなわち流量測定部５６における流量に応じた信号をアンプ６３に出力する。アンプ６３は、ブリッジ回路６２から出力された信号を増幅する。流量計５３は、例えば、流量測定部５６における流量を流量測定部５６とバイパス部５７との流量比に応じて変換し、入力側管路５２ａにおける流量（例えば、リットル毎分）を示す流量信号を生成する。流量計５３は、この流量信号を制御回路５５に出力する。
【００３３】
制御回路５５は、流量制御バルブ５４への印加電圧を制御することにより、流量制御バルブ５４の開度を制御して、出力側管路５２ｂにおける流量を制御する。制御回路５５は、流量計５３による流量の検出値を用いて、出力側管路５２ｂにおける流量が設定値に近づくように流量制御バルブ５４をフィードバック制御する。例えば、制御回路５５は、流量の設定値よりも検出値が小さい場合、流量が増加するように流量制御バルブ５４への印加電圧を増加させて流量制御バルブ５４を開き、また、流量の設定値よりも検出値が大きい場合、流量が減少するように流量制御バルブ５４への印加電圧を減少させて流量制御バルブ５４を絞る。なお、流量測定部５６における流量を、出力側管路５２ｂにおける流量に換算する換算部は制御回路５５に設けられてもよいし、流量計５３の一部であってもよい。また、流量計５３は、例えばコリオリ式流量計、またはノズル式流量計等であってもよい。
【００３４】
なお、制御回路５５は、例えば出力側管路５２ｂにおける流量の設定値を第１流量とする第１モードと、流量の設定値を第１流量よりも大きい第２流量とする第２モードと、を切り替え可能である。第１モードに設定される場合には、第２モードに設定される場合に比べて、出力側管路５２ｂを流れる流量が小さくなる。
【００３５】
流量制御装置３２は、電源部６５からの電力によって、流量計５３、制御回路５５、及び流量制御バルブ５４などで消費される電力がまかなわれる。例えば、流量制御装置３２は、電源部６５から供給される電力の電流値あるいは電圧値を調整する図示しない電源回路を含み、この電源回路から流量制御装置３２の各部へ電力が供給される。制御回路５５は、例えば、電源回路から流量制御バルブ５４へ供給される電力の電圧を調整することによって、流量制御バルブ５４を制御する。なお、上記の電源回路は、制御回路５５に設けられてもよいし、制御回路５５と別に設けられてもよい。
【００３６】
また、流量制御装置３２は、圧力検出部７１及び通信部７２を備える。圧力検出部７１及び通信部７２は、装置本体７０の筐体７０ａ内に設けられる。圧力検出部７１は、出力側管路５２ｂから分岐して形成された分岐管路５２ｃを介して、出力側管路５２ｂに接続される。圧力検出部７１は、出力側管路５２ｂの圧力を検出することにより、流量制御装置３２の出力側の圧力を検出する。出力側管路５２ｂは接続部５１及び配管３４を介して供給ノズル３０に接続されるため、この出力側管路５２ｂの圧力は、供給ノズル３０における圧力にほぼ等しい。これにより、圧力検出部７１は、流量制御装置３２の出力側の圧力を検出することで、供給ノズル３０におけるパージガスの圧力を検出可能である。なお、流量制御装置３２と供給ノズル３０との間にフィルタ等を設置した場合には、フィルタ等による圧力損失を考慮して供給ノズル３０におけるパージガスの圧力を想定すればよい。
【００３７】
圧力検出部７１としては、例えばダイヤフラム式圧力計等が用いられる。圧力検出部７１は、装置本体７０の筐体７０ａ内に設けられるため、当該筐体７０ａによって外部と隔離されている。従って、流量制御装置３２は、圧力検出部７１を配置する分だけスペースを必要とするが、流量制御装置３２と別に圧力検出部を用意する場合と比較してパージ装置４全体として縮小した構成となる。
【００３８】
通信部７２は、流量の設定値を定めた流量設定信号（流量指令）を制御装置６から受信する。また、通信部７２は、制御装置６からの各種の動作指令を受信する。動作指令としては、例えば流量制御装置３２のオンオフを制御するコマンド、流量制御バルブ５４の状態（例えば、開度など）を指定するコマンド、流量制御装置３２から各種の出力信号の出力を要求するコマンドなどである。流量制御装置３２の出力信号としては、例えば、入力側管路５２ａにおける流量の検出値を示す流量信号、流量制御バルブ５４の状態（例えば、印加電圧、開度など）を示すステータス信号、圧力検出部７１による検出結果である圧力検出値、などである。流量制御装置３２は、例えば、信号の出力を求める動作指令を受けた場合、動作指令に対する応答として出力信号を制御装置６へ出力する。
【００３９】
通信部７２は、パージガスの流量に関する情報の他に、圧力検出部７１による圧力検出値を外部に出力する機能を備える。従って、流量制御装置３２の外部に圧力検出部を配置する場合には、この圧力検出部専用の通信部が必要だったことと比較して、装置コストを低減することができる。圧力検出部７１の出力は、制御回路５５によって例えばＡ／Ｄ変換など、通信部７２によって通信可能な形式や、制御装置６によって処理可能な形式に変換される。なお、圧力検出部７１の出力は、制御回路５５を介して通信部７２に出力されるが、これに代えて、圧力検出部７１の出力信号を制御回路５５に入力せずに直接通信部７２から制御装置６に出力させてもよい。
【００４０】
また、流量制御装置３２では、電源部６５からの電力を受ける図示しない電源回路を介して、圧力検出部７１及び通信部７２で消費される電力がまかなわれる。このように、流量制御装置３２では、装置本体７０に設けられる流量計５３、制御回路５５、流量制御バルブ５４等と、圧力検出部７１及び通信部７２とで電源が共通化される。このため、電源を複数設ける必要がなく、流量制御装置３２の大型化を回避できる。さらに、圧力検出部７１に電力を供給するための配線や、圧力検出値を出力するための配線などが筐体７０ａ内部において短くすることが可能であり、装置コストを低減できる。
【００４１】
図４は、パージストッカ１の保管棚３の一例を示す図である。図４に示すように、流量制御装置３２は、パージストッカ１において、保管棚３に保持された容器Ｆの背面Ｆｂ側に配置される。ここで、容器Ｆの背面Ｆｂ側とは、スタッカクレーン５の移載装置１３（図１参照）が容器Ｆにアクセスする側とは反対側であり、筐体７０ａを構成するパネル等の壁部２ｂの内側の領域である。なお、図４では、流量制御装置３２の上流側の構成を省略している。また、図４においては、保管棚３に３つの供給ノズル３０と、１つの排気ノズル３１とを備えるが、これに限定されず、１つまたは２つの供給ノズル３０が配置されてもよく、また、排気ノズル３１は形成されなくてもよい。
【００４２】
図４に示すように、流量制御装置３２は、容器Ｆの背面側のうち、例えば保管棚３と壁部２ｂとの間の空間に配置される。流量制御装置３２は、圧力検出部７１を内部に有するため、流量制御装置３２とは別に圧力検出部を近傍に配置することが不要となり、さらに、圧力検出部のための配管や配線等が不要となり、容器Ｆの背面側のスペース（保管棚３と壁部２ｂとの間の空間）を縮小することが可能となる。また、流量制御装置３２は、１つの容器Ｆの背面側に配置されることに限定されず、隣り合う保管棚３の間（隣り合って載置された容器Ｆの背面側）に配置されてもよい。
【００４３】
また、図２及び図３に示すように、制御装置６には、入力部７および表示部８が接続されている。入力部７は、例えば、操作パネル、タッチパネル、キーボード、マウス、トラックボールなどである。入力部７は、オペレータからの入力を検出し、入力された情報を制御装置６に供給する。例えば、オペレータは、入力部７を操作することによりパージガスの流量などを設定、変更することができる。表示部８は、例えば液晶ディスプレイなどであり、制御装置６から供給される情報を表示する。例えば、制御装置６は、パージストッカ１の動作状況や、各種設定、容器Ｆに対するパージの状態を示す情報などを表示部８に表示させる。
【００４４】
容器Ｆがパージ装置４に接続される際に、容器Ｆとパージ装置４との位置ずれなどにより、容器Ｆの導入口２４と供給ノズル３０との接続不良が発生する可能性がある。この場合、導入口２４と供給ノズル３０との隙間からパージガスが漏れることにより、容器Ｆの内部Ｆａに供給されるパージガスが不足し、パージ不良が発生する。また、配管３４、３５の詰まりなどが発生した場合や、容器Ｆの蓋部２２と本体部２１との隙間などからパージガスが漏れる場合にも、パージ不良が発生する。本実施形態においては、流量制御装置３２の圧力検出部７１の機能を使って、パージの良否判定を行う。
【００４５】
判定部３３は、流量制御装置３２の出力信号に基づいて、容器Ｆに対するパージの良否判定を行う。制御装置６は、判定部３３の判定結果を表示部８に表示させてもよい。表示部８は、判定部３３の判定結果を報知する報知部６６として機能する。なお、報知部６６は、表示部８でなくてもよく、例えば、ＬＥＤなどの光源の発する光の色の変化や点滅により判定結果を報知してもよいし、音などにより判定結果を報知してもよい。また、報知部６６は、パージストッカ１の筐体２の外側に設けられたランプ等の点灯、点滅等であってもよい。また、判定部３３は、例えば、いつ、どのパージ装置４でパージの不良があったか等の判定結果をログに残すものや、上位のコントローラ等に送信するものでもよく、この場合に報知部６６は設けられなくてもよい。
【００４６】
判定部３３は、例えば流量制御装置３２が出力する圧力検出値に基づいて、パージの良否判定を行う。例えば、流量制御装置３２は、圧力検出値として、圧力検出部７１による検出信号を出力し、判定部３３は、この検出信号と所定値（閾値）との比較により、良否判定を行う。この場合、制御装置６は、圧力検出部７１の圧力検出信号の出力を要求するコマンドを流量制御装置３２に送り、流量制御装置３２は、このコマンドへの応答として検出信号を示す信号を制御装置６に出力してもよい。なお、判定部３３は、制御装置６に形成されることに代えて、制御装置６とは別に形成されてもよい。
【００４７】
図５は、容器Ｆに対するパージの異常を検出する方法の一例を示すフローチャートである。図５に示すように、ステップＳ１において、制御装置６は、パージ装置４にパージガスの供給を開始させる。パージガスの供給開始は、容器Ｆを保管棚３に載置した後であってもよいし、容器Ｆを載置する前のいずれでもよい。次に、ステップＳ２において、流量制御装置３２は、容器Ｆに供給するパージガスの流量を制御する。パージガスの供給量は、上位のコントローラ等から制御装置６に送られた情報により行ってもよく、また、制御装置６に備える不図示の記憶装置等に記憶された情報により行ってもよい。
【００４８】
次に、ステップＳ３において、先ず、制御装置６は、圧力検出部７１の圧力検出に関する出力信号を要求するコマンドを流量制御装置３２に送る。このコマンドを送るタイミングは、予め設定された所定時間間隔であってもよいし、また、オペレータにより手動でコマンドを送ってもよい。このコマンドにより、流量制御装置３２が圧力検出に関する出力信号（圧力検出信号）を制御装置６に送信する。これにより、制御装置６の判定部３３は、圧力検出に関する出力信号を取得する。
【００４９】
次に、ステップＳ４において、制御装置６は、パージガスの供給モードが第１モードか否かを判断する。パージガスの供給モードが第１モードであると判断された場合（ステップＳ４のＹＥＳ）、ステップＳ６として、判定部３３は、圧力検出部７１の検出信号に基づいてパージの良否判定を行う。また、供給モードが第１モードとは異なると判断された場合（ステップＳ４のＮＯ）、制御装置６は、ステップＳ５としてパージガスの供給モードを第１モードに設定し、その後ステップＳ６に移る。ステップＳ６において、判定部３３は、上記した手法により、圧力検出部７１の出力信号に基づいてパージの良否判定を行う。次に、ステップＳ７において、報知部６６は、例えば判定結果を表示することにより、良否判定の結果を報知し、一連の処理を終了する。なお、上記したステップＳ４及びＳ５を行うか否かは任意である。例えば、ステップＳ３で制御装置６の判定部３３が圧力検出に関する出力信号を取得した後、ステップＳ６に移行してパージの良否判定を行ってもよい。
【００５０】
ところで、上記したパージストッカ１においては、例えば、容器Ｆが半導体素子の製造に用いられるウェハやレチクル等を収容する場合、半導体製造プロセスにおいて汚染等の原因となるガスを発生する部品や、洗浄方法、梱包方法などの取り扱い方法の管理されていない部品はパージ装置４の部品として使用できない。そのため、パージ装置４の配管３４等に圧力検出センサを取り付ける場合、ステンレス製で精密に洗浄された継手や配管など高価な部品を用いる必要がある。また、流量制御装置３２と別に圧力検出部を使用する場合、圧力検出部だけでなく電源や通信配線等が必要となるのでパージ装置が大型化する。また、流量制御装置３２の設置とは別に、圧力検出部の設置や配管等の組み立てが必要となり、狭い空間で作業により作業者の負担が大きくなってしまう。
【００５１】
これに対して、本実施形態によれば、圧力検出部７１が流量制御装置３２の装置本体７０に設けられるため、装置本体７０の外部に別途圧力検出手段を配置する場合に比べて、簡単な構成で流量制御装置３２の出力側の圧力を検出することができる。従って、継手や配管等の高価な部品を用いる必要がないので、低コストでパージガスの圧力の検出（パージの異常検出）が可能となる。また、パージ装置４を配置するスペースが縮小するので、パージストッカ１を小型化することが可能となる。また、流量制御装置３２とは別に圧力検出部の設置や配管等の作業が不要となり、作業者の負担を軽減できる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、上記した実施形態あるいは変形例に限定されない。また、上記した実施形態で説明した要件は、適宜組み合わせることができる。
【００５３】
例えば、パージ装置４は、図１に示すように、保管棚３ごとに設けられるが、一部の保管棚３に設けられなくてもよい。例えば、パージ装置４は、Ｘ方向やＺ方向に並ぶ複数の保管棚３（１段の保管棚群）のうち、１つに設けられてもよいし、２つ以上に設けられてもよい。パージ装置４がない保管棚３の場合、スタッカクレーン５は、パージ装置４を持つ保管棚３に容器Ｆを載置し、このパージ装置４によってパージが施された容器Ｆを、パージ装置４がない保管棚３に載置してもよい。また、パージ装置４は、パージストッカ１の入出庫口など保管棚３以外に設けられてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
Ｆ…容器  Ｆｂ…背面  １…パージストッカ  ３…保管棚（載置部）  ４…パージ装置  ３０…供給ノズル（ノズル）  ３２…流量制御装置  ３３…判定部  ６５…電源部  ７０…装置本体  ７０ａ…筐体  ７１…圧力検出部  ７２…通信部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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