(57)【要約】【目的】複数の項目の検査を能率的に行なえるようにする。【構成】異なる検査を行う配線検査機11，ＧＰ検査機12，裏面検査機13と，さらにレビュー機18を設ける。各検査機11，12，13においては検査対象物40を順次搬送しながら自動的に検査を行う。これらの検査結果はレビュー機18に与えられる。レビュー機18においては，オペレータが各検査機が検出した欠陥候補箇所について顕微鏡画像を見て目視外観検査を行う。１つのピース43に１つでも不良と判定された欠陥があれば，そのピースの他の欠陥候補についてレビューすることなく，そのピース43を不可とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置，および
少なくとも１台のレビュー装置を備え，
前記レビュー装置が，
前記複数台の検査装置による検査結果のデータを入力する入力手段，
各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録するレビュー手段，および
上記レビュー手段が１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップするように制御する制御手段，
を有している基板等の検査システム。
【請求項２】
上記レビュー装置は，上記入力手段により入力された複数台の検査装置による検査結果データを，検査対象ごとにまとめる統合手段をさらに備える，請求項１に記載の基板等の検査システム。
【請求項３】
上記レビュー手段は，欠陥候補のレビューをスキップしたときには，当該検査対象の検査結果データによって示された欠陥候補のレビュー結果をすべて不可と記録する，請求項１または２に記載の基板等の検査システム。
【請求項４】
上記レビュー手段は，レビュー結果を入力する操作手段を有する，請求項１から３のいずれか一項に記載の基板等の検査システム。
【請求項５】
前記各検査装置は，検査結果データを出力する出力手段を備える，請求項１から４のいずれか一項に記載の基板等の検査システム。
【請求項６】
前記複数台の検査装置から出力される検査結果データが，検査対象を特定するデータと，検査結果が欠陥候補であることを示しているときにその箇所の位置を表わすデータとを含む，請求項１から５のいずれか一項に記載の基板等の検査システム。
【請求項７】
前記レビュー手段は，１つの検査対象について，検査結果データで示される欠陥候補の位置が，レビュー視野内に入るものについてグループ化するグループ化手段を有する，請求項１から６のいずれか一項に記載の基板等の検査システム。
【請求項８】
前記入力手段は通信手段である，請求項１に記載の基板等の検査システム。
【請求項９】
前記出力手段は通信手段である，請求項５に記載の基板等の検査システム。
【請求項１０】
前記レビュー手段が，
検査対象の欠陥候補の拡大像を撮像する撮像手段と，
前記撮像手段により撮像された画像を表示する表示手段と，
レビュー結果を入力する操作手段とを有する，
請求項１に記載の基板等の検査システム。
【請求項１１】
１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置から出力される検査結果データをレビュー装置に入力し，
レビュー装置において，各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録し，この際，１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップする，
基板等の検査方法。
【請求項１２】
１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置から出力される検査結果データを入力し，
各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録し，この際，１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップするように，レビュー装置のコンピュータを制御するプログラム。
【請求項１３】
請求項12に記載のプログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板等の検査システム，方法，および検査システムに含まれるレビュー装置のコンピュータを制御するためのコンピュータ・プログラムに関する。基板とはフレキシャー基板（製品），電気，電子回路基板等の配線，電極，半田等が設けられた基板を指し，基板そのものは絶縁体のみならず，半導体，導体でもよい。基板等とは上記基板以外の多面的な外観検査が必要な加工製品を含む。
【背景技術】
【０００２】
この種の加工製品の外観検査システムに特許文献１に開示のシステムがある。この検査システムは，第１の場所において加工製品の画像を取込んで欠陥候補箇所を抽出し，欠陥候補箇所の画像データを第１の場所から離れた１ないし複数の作業場所に転送し，そこで転送された欠陥候補箇所の画像データを基に，欠陥箇所であるかを作業者が判定し，判定結果を再び第１の場所に返送して，第１の場所において最終的な選別処理を行うというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１９８２６５号公報
【０００４】
この外観検査システムは，第１の場所で取得した欠陥候補箇所の画像データを，そこから離れた場所に転送して，転送されてきた画像データを基に作業者が判定するところに特徴がある。したがって，作業者の判定は転送されてきた画像データにのみ基づいている。判定作業を第１の場所から離れた１または複数の場所で行なえるので，効率的ではあるが，現実の検査対象物に基づいて行うものではないので検査項目が多い場合には必ずしも充分に対応できない。
【０００５】
検査対象物である基板等については，配線部，電極部，半田部，裏面など検査項目が多く効率的な自動化が困難であった。
【発明の開示】
【０００６】
この発明は，複数の項目の検査の自動化を図ることを目的とする。
【０００７】
この発明はまた，複数の項目の検査を効率的に行なえるようにすることを目的とする。
【０００８】
この発明はさらに，現実の検査対象物に基づく良否判定を行なえるようにすることを目的とする。
【０００９】
この発明による検査システムは，１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置，および少なくとも１台のレビュー装置を備える。
【００１０】
前記レビュー装置は，前記複数台の検査装置による検査結果のデータを入力する入力手段，各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録するレビュー手段，および上記レビュー手段が１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップするように制御する制御手段を備える。
【００１１】
異なる項目の検査を行う複数台の検査装置でそれぞれ検査を行い，それぞれの検査装置は各項目検査専用の装置であるから能率的な検査が可能である。好ましくは，各検査装置は好ましくは自動化された装置である。
【００１２】
最終的な良否の判定はレビュー装置で行なわれるので，各検査装置は欠陥候補を見つける能力があれば足り，比較的簡便な検査装置でよいし，かつ各検査も高速に行なえる。
【００１３】
レビュー装置は前記各検査装置が欠陥候補と判断した箇所についてのみレビューすれば良いから，この点でも能率的である。好ましくは作業員（オペレータ）が目視で外観検査を行うので精度が高く，正確な検査が期待できる。そして，１つの検査対象について指摘された欠陥候補が複数ある場合に，その１つの欠陥候補について不良と判定されたときには他の欠陥候補については判定を要求せずに，その時点で当該検査対象について不良と判定しているので，無駄なレビューを行なわずにすみ，効率的なレビューが実施できる。
【００１４】
ここで１つの検査対象とは，その全体を不良と判定することが許される単位であり，検査装置に搬入される対象物全体であるとは必ずしも限らない。単位としての検査対象が多数個集まって１つの検査対象物を構成する場合もありうる（後述する実施例を参照）。
【００１５】
一実施態様では，上記レビュー装置は，上記入力手段により入力された複数台の検査装置による検査結果データを，検査対象ごとにまとめる統合手段をさらに備える。
【００１６】
好ましい実施態様では，上記レビュー手段は，欠陥候補のレビューをスキップしたときには，当該検査対象の検査結果データによって示された欠陥候補のレビュー結果をすべて不可と記録する。
【００１７】
他の実施態様では，上記レビュー手段は，レビュー結果を入力する操作手段を有する。
【００１８】
さらに他の実施態様では，前記各検査装置は，検査結果データを出力する出力手段を備える。
【００１９】
一実施態様では，前記複数台の検査装置から出力される検査結果データが，検査対象を特定するデータと，検査結果が欠陥候補であることを示しているときにその箇所の位置を表わすデータとを含む。
【００２０】
好ましい実施態様では，前記レビュー手段は，１つの検査対象について，検査結果データで示される欠陥候補の位置が，レビュー視野内に入るものについてグループ化するグループ化手段を有する。これにより，グループ化したものについて効率的なレビューが可能となる。
【００２１】
一実施態様では，前記入力手段は通信手段である。
【００２２】
好ましい実施態様では，前記レビュー手段は，検査対象の欠陥候補の拡大像を撮像する撮像手段と，前記撮像手段により撮像された画像を表示する表示手段と，レビュー結果を入力する操作手段とを有する。
【００２３】
作業者は，たとえば表示された顕微鏡による拡大像を目視して判定することができるので，精度の高い判定が可能となる。
【００２４】
この発明による基板等の検査方法は，１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置から出力される検査結果データをレビュー装置に入力し，レビュー装置において，各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録し，この際，１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップするものである。
【００２５】
この発明によるレビュー装置のコンピュータを制御するプログラムは，１つの検査対象について異なる検査を行う複数台の検査装置から出力される検査結果データを入力し，各検査対象について検査結果データで示された欠陥候補のレビュー結果を記録し，この際，１つの検査対象について不可の旨のレビュー結果を記録するときにはその検査対象についての検査結果データで示された他の欠陥候補のレビューをスキップするように，レビュー装置のコンピュータを制御するものである。
【００２６】
この発明はまた，上記プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供している。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】検査システムの全体的構成を示す。
【図２】各検査機の構成の概要を示す。
【図３】検査システムの電気的構成を示す。
【図４】検査対象物の一例としてフレキシャー基板のシートを示す。
【図５】フレキシャー基板のフレームを示す。
【図６】図５のＡで示す部分の拡大図である。
【図７】図６のVII−VII線に沿う拡大断面図である。
【図８】図５のＢで示す部分の拡大図である。
【図９】レビュー機の動作（処理）を示すフローチャートである。
【図１０】配線検査結果のデータの一例を示す。
【図１１】ＧＰ検査結果のデータの一例を示す。
【図１２】裏面検査結果のデータの一例を示す。
【図１３】各種検査結果を統合したデータを示す。
【図１４】レビュー結果の一例を示す。
【図１５】レビュー結果の一例を示す。
【図１６】レビュー結果の一例を示す。
【実施例】
【００２８】
図１は検査システム全体の構成を示している。
【００２９】
検査対象物（基板等）の検査にはいくつかの検査項目があり，検査項目ごとに，その項目の検査専用の個別の検査装置が用意されている。この実施例では，それらは配線部の自動検査装置（以下，配線検査機11），電極（ＧＰ）部，半田部など配線以外の表面自動検査装置（以下，ＧＰ検査機12）および裏面の自動検査装置（以下，裏面検査機13）である。それぞれの検査の具体的内容については後述する。
【００３０】
検査対象物40は検査前ワーク箱14（検査対象物載置場所）内に収められている。自動搬送機（自動搬送装置）16が配置されており，検査前ワーク箱14内の検査対象物40をまず配線検査機11に搬送し，そのステージ上に載置する。配線検査機11における検査が終了すると，自動搬送機16は配線検査機11にある検査対象物40をＧＰ検査機12に運び，そのステージ上に置く。この間に，次の検査対象物が検査前ワーク箱14から取出され，配線検査機11まで搬送され，次の検査対象物について配線検査機11で検査が行なわれる。ＧＰ検査機12における検査が終了すると，検査対象物40は自動搬送機16によってＧＰ検査機12から裏面検査機13に搬送され，そのステージ上に置かれる。配線検査機11で検査が終了した次の検査対象物40はＧＰ検査機12に送られるのはいうまでもない。裏面検査機13で検査が終了した検査対象物40は自動搬送機16によって検査後ワーク箱15（検査対象物載置場所）に搬送され，保管される。
【００３１】
このようにして，検査対象物40は検査前ワーク箱14から，配線検査機11，ＧＰ検査機12，裏面検査機13に順次搬送され，各検査機11，12，13でそれぞれ検査が実施され，最後に検査後ワーク箱15内に収められる。自動搬送機16はたとえば複数のバキューム・カップを備えたアームを有し，検査対象物40を吸着して搬送するものである。このような個別検査機11〜13は，各１台ずつでもよいし，複数台ずつ配置してもよい。また，図示のように一列状に配置する必要は必ずしもない。
【００３２】
検査システムはまた１台または複数台のレビュー装置（レビュー機18）を備えている。上記の各検査機11〜13は基本的にそれぞれの検査を自動的に実施し，欠陥候補の箇所を見つける。レビュー機18は各検査機11〜13が見つけた欠陥候補箇所について，基本的には作業員（オペレータ）が，精密に検査し，たとえば顕微鏡を用いて目視外観検査を行い，または検査対象物に直接に触れることにより，最終的に良不良を判定する。もちろん，レビュー機18においてもその検査のすべて，または一部を自動化してもよい。少なくともいずれかの検査機11〜13で欠陥候補箇所を有すると判定された検査対象物40は，検査後ワーク箱40からレビュー機18に運ばれ，一つずつ最終的に検査される。検査後ワーク箱には，レビュー機18によるレビューが必要なものと，必要ないものとに分けて収納することが好ましい。
【００３３】
レビュー機18は検査機11〜13の近くに配置しておくことが好ましいが，場合によっては遠方でもよい。いずれにしても，検査機11〜13による個別検査の後であれば，レビュー機18による検査は任意のときに，検査機11〜13の動作とは無関係に（非同期で）行うことができる。レビュー機18によるレビューを検査機11〜13が撮影した画像で行うことが可能であれば，レビュー機18に検査対象物を搬送しなくてもよい。
【００３４】
専用の複数台の検査機11〜13が対応する検査項目について個別にかつ自動的に検査を行うので，検査の高速化を図ることができる。検査機11〜13が欠陥候補と判定したものについては１または複数台のレビュー機18で精密に検査するので，精度の高い検査結果を得ることができる。
【００３５】
図２は各検査機11〜13の構成例を示している。
【００３６】
各検査機11〜13はＸＹステージ38を備えている。ＸＹステージ38は水平な載置面を有し，水平面内においてＸＹ方向に移動自在に保持され，駆動制御装置（図示略）によりＸＹ方向の任意の位置に位置決めされる。ＸＹステージ38をＺ方向（垂直方向）に移動可能としてもよい。
【００３７】
ＸＹステージ38の上方には撮像装置30が配置されている。撮像装置30は光学系32と電子カメラ31とを備えている。光学系32には必要に応じてズーム機構が備えられる。カメラ31はこの実施例ではラインセンサである。もちろん二次元撮像素子を用いてもよい。撮像装置30はロボット（図示略）により，ＸＹＺ三次元方向に移動可能である。
【００３８】
照明装置33は撮像装置30の下方でかつステージ38の上方の位置に設けられ，撮像装置30と一体的に固定され，上記ロボットにより撮像装置30と一緒に三次元的に移動する。照明装置33は，同軸落射照明装置，リング照明装置34，バー照明装置等，検査対象，検査方法等に最適のものが用いられる。
【００３９】
検査対象物40がステージ38上に置かれると，撮像装置30と照明装置33がロボット操作により位置決めされ（高さ，水平位置），その後，ＸＹステージ38を移動させることにより，カメラ31から検査対象物40のラインスキャン画像信号が出力され，検査処理装置35に与えられる。検査処理装置35はたとえばコンピュータ（ＰＣ）により構成され，撮像装置31が撮像した画像を解析することにより，検査対象物に欠陥と推測される部分があるかどうかを検査する。たとえば，検査対象物の検査対象部の標準的外観形状についての標準画像が用意されており，撮影により得られた画像と標準画像との対比により，欠陥候補（レビュー機18で精密に検査すべき部分）を見つける。
【００４０】
レビュー機18も図２に示す構成と基本的に同じであるが，好ましくは光学系32として顕微鏡を備える。また，レビュー機18の検査処理装置35には表示装置と操作装置が設けられる。いずれかの検査機11〜13で欠陥候補有と判断された検査対象物の欠陥候補箇所の拡大像（顕微鏡像）がカメラ31により撮像され，その画像が上記表示装置に表示される。操作者はこの表示画像をみて，欠陥候補についての最終的な良否の判定を行い，上記操作装置から判定結果を入力する。またステージ38の移動も検査処理装置35により制御される。
【００４１】
図３は上述した検査機11〜13，レビュー機18の電気的接続関係を示している。
【００４２】
各検査機11，12，13はそれぞれ配線検査機用データサーバ21，ＧＰ検査機用データサーバ22，裏面検査機用データサーバ23に接続されており，各検査機11，12，13が実施した各検査の検査結果を示すデータは対応するデータサーバ21，22，23にそれぞれ送られ，そこで保存する。レビュー機18はハブ25を含むネットワークで各検査機用サーバ21，22，23と接続されている。各レビュー機18においてレビューを行うときには，各レビュー機18は各サーバ21，22，23から検査結果データを読出す。
【００４３】
図４は検査対象物の一例としてのフレキシャー製品を示している。
【００４４】
図４に示すフレキシャー製品の全体40がシートである。シートには識別番号（シートNO.1など）がつけられる。シート40は，この実施例では，９個のフレーム41により構成される。フレーム41は枠体42により結合している。フレーム41の縦方向の並びをラインと呼び，図４右側からライン１，ライン２，ライン３の順である。各フレーム41にも番号が付され，ライン１において，下からフレーム１，フレーム２，フレーム３，ライン２において下からフレーム４，フレーム５，フレーム６，ライン３において下からフレーム７，フレーム８，フレーム９である。シート40の左下の角がＸＹ座標の原点である。各検査機11〜13が判断する不良箇所の位置は，このＸＹ座標で表わされる。
【００４５】
図５は１つのフレーム41を拡大して示すものであり，多数のフレキシャー基板（ピース）43が枠体44により結合されている。各ピース43にも識別番号が付されている。
【００４６】
図６は図５の鎖線Ａで示す範囲の拡大図，図７は図６のVII−VII線に沿う断面図である。フレキシャー基板ピース43の基板50は金属，たとえばステンレス鋼である。この基板50上に絶縁膜（層），たとえばポリイミド等の合成樹脂層51が形成され，その上に金属（たとえば銅）の配線52，53，54等が形成されている。必要に応じて配線52，53，54の上に合成樹脂による保護膜が形成される。配線54の一部に基板50と導通している部分（ＧＰ：Ground Pad：グラウンドパッド）55がある。すなわち，配線54の一部が円形に膨出して形成され，その中央に絶縁層51を通って基板50に達する孔があけられ，この孔内にニッケル等の金属が埋め込まれてパッド55が形成されている。もう一つの配線52にもＧＰが形成されるべき箇所があるがここにはパッドが形成されていない（メッキ未着）。これはＧＰ無と呼ばれる欠陥であり，図６，図７には符号Ｇ20で示されている。
【００４７】
図８は図５の鎖線Ｂで示される範囲の拡大図であり，上記と同じようにフレキシャー基板（ピース）43上に配線61が形成され，その終端に電極62が設けられている。この電極62には半田によりワイヤが接続され，かつ固定される（いずれも図示略）。
【００４８】
上述した配線検査機11はフレキシャー基板ピース43上の配線52，53，54，61等について検査するものであり，配線のショート（短絡），断線，配線の欠け等を検出し，これらを欠陥候補とする。フレキシャー基板ピース43が検査対象である。
【００４９】
ＧＰ検査機12はＧＰの有無，ＧＰの欠け，半田不良（ショート，欠け，半田の高さ）等を検査し，異常がある場合にはそれを欠陥候補とする。
【００５０】
裏面検査機13はフレキシャー基板（ピース）43の基板50の配線パターン（配線52，53，54，61等）が形成されていない面（裏面）の表面を検査するもので，たとえばこの裏面において，縁の欠け，汚れ（ゴミ等の付着），キズ等を欠陥候補として検出するものである。
【００５１】
図９はレビュー機18の検査処理装置35により制御される動作を示すフローチャートであるが，レビュー機18の動作の説明に先だち，各検査機11，12，13から得られる検査結果を示すデータについて説明する。
【００５２】
図10は配線検査機11から出力されるシートNO.1の検査対象物についての配線検査結果のデータの一例を示すものである。この検査結果データは検出した欠陥候補についてのものである。欠陥ＩＤ（Ｗ153 ）は欠陥候補を特定するものである。欠陥グループはレビュー機18が定めるもので，ここではまだデフォルト値が入れられている。対象は，欠陥ＩＤで示される欠陥候補を有する検査対象物のピース43を特定するもので，ライン番号，フレーム番号およびピース番号が記述される。判定もレビュー機18において決定（入力）されるもので，ここではデフォルト値が入れられている。欠陥の種類は，欠陥候補がどのような欠陥であるかを簡潔に示すものである。位置は当該欠陥候補が存在する位置を上述したＸ，Ｙ座標で示すもので，単位はμｍ（ミクロン）である。欠陥画像番号は，当該欠陥候補について検査機11のカメラ31が撮影した画像のファイル名である。
【００５３】
図11は同じようにＧＰ検査機12から得られるＧＰ検査結果データの一例を示している。各項目は図10に示すものと同じである。欠陥ＩＤがＧ20（図６，図７参照），欠陥の種類がＧＰ無である。
【００５４】
図12は裏面検査機13から出力される裏面検査結果データの例を示している。各項目は図10に示すものと同じである。欠陥ＩＤがＳ−121 ，欠陥の種類が欠けである。
【００５５】
図９において，レビュー機18は，図10から図12に示すような各検査機，11，12，13が作成した検査結果データをそれらのサーバ21，22，23から取得し，その記憶装置内において各検査機の検査結果データを図13に示すように統合する（Ｓ11）。すなわち，同じライン，同じフレーム，同じピースのデータを配列する。欠陥候補の位置の順（Ｘ座標の順，Ｙ座標の順，位置間の距離の近いものの順など）に配列してもよい。上述したようにレビュー機18は顕微鏡を備えている。もし複数の欠陥候補がこの顕微鏡の視野内に入るならば，作業員は顕微鏡を通して複数の欠陥候補を一度に観察することができる。顕微鏡の一つの視野内に入る欠陥候補を一つのグループにまとめるのがグルーピングであり，まとめられたものを同じ欠陥グループの番号で表わす。図13においては，図示された３つの欠陥候補の欠陥グループ番号は１，２，３で異なるから，これらは異なるグループに属するものである（この例ではグループ化された欠陥候補はない）。
【００５６】
このようなデータ統合が終了すると，第１番目のものから欠陥候補の顕微鏡像をレビュー機18の表示装置の表示画面に表示する（Ｓ12）。すなわち，シートNO.1の検査対象物がレビュー機18のステージ38上に，作業者または搬送機によって載置され，統合データ中の位置データに基づいてステージ38が移動し，第１番目の欠陥候補を顕微鏡の視野内に位置決めする。作業員（オペレータ）は表示された欠陥候補の画像を目視して，良（ＯＫ）か不良（ＮＧ）かの最終判定を行い，その結果を操作装置（表示画面上のタッチボックス，キーボード，マウス等）から入力する（Ｓ13）。ＯＫの入力があった場合には，図14（レビュー結果）に示すように，上述した統合データ（図12）において，該当する欠陥候補に関してＯＫの判定結果が記録され，さらにレビューすべき欠陥候補があるかどうかがチェックされ（Ｓ15），ステージ38の移動によって次の欠陥候補が顕微鏡の視野内に位置決めされ，その顕微鏡画像が表示装置に表示されて（Ｓ12），レビューが続行していく。
【００５７】
作業員による判定結果（入力結果）がＮＧの場合には，図15に示すように該当する欠陥候補の判定にＮＧが記録される（Ｓ13）。１つのピース（フレキシャー基板）43について，１つでも欠陥と判定されたものが存在する場合には，そのピースは全体としてＮＧ（不良）であるとみなし，そのピースにある他の欠陥候補については作業員による判定入力を待つまでもなく（ステージの移動を行うことなく，すなわちステージ38を次の欠陥候補箇所が顕微鏡の視野内に入るように移動することなく），図16に示すように，すべてＮＧの判定結果を自動的に書込む。すなわち，同一のピース内の欠陥候補に関するステージ移動，顕微鏡画像の取得，表示，判定の入力等の処理をスキップして（Ｓ14），次のピースの欠陥候補の処理に進む，すなわち次のピースの欠陥候補が顕微鏡の視野内に入るようにステージ38を移動，位置決めし，撮像，表示する（Ｓ15）。このようにしてレビュー機における作業時間を節約し能率を高めることができる。
【００５８】
処理のスキップ（Ｓ14）をデータ上の変化として分りやすくするために図15，図16を分けて示したが，処理上は図15の状態を経ることなく図16に示す状態となるであろう。
【００５９】
１つの検査対象物（シート）についてすべての欠陥候補のレビューが終了すれば，レビュー結果ファイルを完成して（Ｓ16），レビュー機における処理が終る。もちろん，途中のレビュー結果をバッファに格納しておき，最後にレビュー結果ファイルを作成してもよい。
【００６０】
上記実施例では，レビュー機においてすべての判定を作業員（オペレータ）が行い，判定結果を入力しているが，レビュー機において自動的に判定するものがあってもよい。
【符号の説明】
【００６１】
11  配線検査機（検査装置）
12  ＧＰ検査機（検査装置）
13  裏面検査機（検査装置）
18  レビュー機（レビュー装置）
30  撮像装置
35  検査処理装置
38  ステージ
40  検査対象物
41  フレーム
43  フレキシャー基板（ピース）（検査対象）
50  基板
52，53，54，61  配線
55  パッド
62  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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