(57)【要約】      （修正有）【課題】単純で交換可能なコンポーネントによる、製造コスト効率の高い小型読取ヘッドを提供する。【解決手段】照明部と、スケール格子と、検出器構成とを含む光学エンコーダにおいて使用される光源アレイである。光源アレイは、グリッドパターンに配置され、その平行ライン間で２つの異なるグリッドラインピッチを有する平行グリッドパターンラインからなる２つの交差するセットと一致する個々の光源を含んでよい。光源アレイの様々なインスタンスが、測定軸方向に沿って、様々な格子ピッチを有する対応するスケール格子との使用のために適応される様々な照明部における使用のために、グリッドパターンに垂直な軸の周りに様々な回転方位で取り付けられてよい。様々な対応する回転方位を使用することによって、個々の光源は、測定軸方向に沿って、様々な対応する照明源ラインピッチで離間される対応する照明源ラインに沿って整列する。【選択図】図２
2016218051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明部と、測定軸方向に沿って延在し、前記照明部から光を受け取るように配置されるスケール格子と、前記スケール格子から光を受け取るように配置される検出器構成とを含む光学エンコーダの前記照明部において使用される光源アレイであって、
略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸に平行な第１のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、更に、前記第１のグリッド軸を横切る第２のグリッド軸に平行な第２のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置する個々の光源を含み、
前記第１のグリッドパターンラインのセットの構成要素は、前記第１のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、前記第２のグリッドパターンラインのセットの構成要素は、前記第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間され、
前記光源アレイは、前記測定軸方向に沿って、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部における前記２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成され、前記第１の照明部において、前記第１の回転方位を使用する場合、前記個々の光源は、前記測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、前記照明源ラインは、前記測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間され、
前記光源アレイは更に、前記測定軸方向に沿って、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における前記２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成され、前記第２の照明部において、前記第２の回転方位を使用する場合、前記個々の光源は、前記測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、前記照明源ラインは、前記測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間され、
前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１と前記第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは異なる、光源アレイ。
【請求項２】
前記光源アレイの第１のインスタンスは、
前記第１の照明部において、前記第１の回転方位で取り付けられる前記光源アレイの前記第１のインスタンスと、
前記第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、前記測定軸方向に沿って延在し、前記第１の照明部から光を受け取るように配置される第１のスケール格子と、
前記第１のスケール格子から光を受け取るように配置される第１の検出器構成と、
を含む第１の光学エンコーダに含まれる、請求項１に記載の光源アレイ。
【請求項３】
前記第１の回転方位を使用すると、前記第１のグリッド軸を前記測定軸方向に垂直に整列し、前記照明源ラインピッチＩＰ１は、前記第１のグリッドラインピッチＰ１と同じである、請求項２に記載の光源アレイ。
【請求項４】
前記第１の回転方位を使用すると、前記第１のグリッド軸と前記第２のグリッド軸のどちらも前記測定軸方向に垂直に整列せず、前記照明源ラインピッチＩＰ１は、前記第１のグリッドラインピッチＰ１と異なり、また、前記第２のグリッドラインピッチＰ２と異なる、請求項２に記載の光源アレイ。
【請求項５】
前記光源アレイの第２のインスタンスは、
前記第２の照明部において、前記第２の回転方位で取り付けられる前記光源アレイの前記第２のインスタンスと、
前記第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有し、前記測定軸方向に沿って延在し、前記第２の照明部から光を受け取るように配置される第２のスケール格子と、
前記第２のスケール格子から光を受け取るように配置される第２の検出器構成と、
を含む第２の光学エンコーダに含まれる、請求項２に記載の光源アレイ。
【請求項６】
少なくとも５０％の前記個々の光源が、前記第１及び第２の光学エンコーダの両方において使用される、請求項５に記載の光源アレイ。
【請求項７】
前記第１の光学エンコーダは、動作中、前記個々の光源の幾つかを非アクティブ状態にするように構成されている、請求項２に記載の光源アレイ。
【請求項８】
前記非アクティブ状態の個々の光源は、アクティブ状態の個々の光源に対応する照明源ライン間の間隔が、前記測定軸方向に沿って、ｎ＊ＩＰ１（ｎは整数）に等しいように、対応する照明源ラインに沿って整列した個々の光源のセットを含む、請求項７に記載の光源アレイ。
【請求項９】
前記非アクティブ状態の個々の光源は、隣接する個々の光源からなるセットを含む、請求項７に記載の光源アレイ。
【請求項１０】
前記第１の照明部において、前記第１の回転方位を使用することは、前記測定軸方向に沿って、前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される前記照明源ラインを提供し、前記第１のスケール格子は、前記測定軸方向に沿って、前記第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、
前記第１の検出器構成は、前記測定軸方向に沿って、検出器ピッチＤＰ１を有する光学検出器部からなるセットを含み、
前記ピッチＩＰ１、ＳＧＰ１及びＤＰ１は、式ＩＰ１＝ＤＰ１＊ＳＧＰ１／（ＤＰ１−ＳＧＰ１）を満たす、請求項２に記載の光源アレイ。
【請求項１１】
前記第１の照明部は、波長λを有する光を出力し、前記光源アレイの前記第１のインスタンスは、前記第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第１のスケール格子から、距離Ｚｓで間隔が置かれ、前記距離Ｚｓは、式Ｚｓ＝２＊ＩＰ１＊ＳＧＰ１／λを満たす、請求項１０に記載の光源アレイ。
【請求項１２】
前記第１のスケール格子は、前記第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第１の検出器構成から、距離Ｚｉで間隔が置かれ、前記距離Ｚｉは、式Ｚｉ＝Ｚｓ＊ＳＧＰ１／（ＩＰ１−ＳＧＰ１）を満たす、請求項１０に記載の光源アレイ。
【請求項１３】
第１及び第２の光学エンコーダを提供するための方法であって、
光源アレイの第１及び第２のインスタンスを提供するステップと、
前記光源アレイの前記第１のインスタンスを、第１の光学エンコーダに含めるステップと、
前記光源アレイの前記第２のインスタンスを、第２の光学エンコーダに含めるステップと、
を含み、
個々の光源が、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸に平行な第１のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、更に、前記第１のグリッド軸を横切る第２のグリッド軸に平行な第２のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、
前記第１のグリッドパターンラインのセットは、前記第１のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、前記第２のグリッドパターンラインのセットは、前記第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間され、
前記光源アレイは、前記測定軸方向に沿って、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部における前記２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成され、前記第１の照明部において、前記第１の回転方位を使用する場合、前記個々の光源は、前記測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、前記照明源ラインは、前記測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間され、
前記光源アレイは更に、前記測定軸方向に沿って、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における前記２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成され、前記第２の照明部において、第２の回転方位を使用する場合、前記個々の光源は、前記測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、前記照明源ラインは、前記測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間され、
前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１と、前記第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは異なり、
前記第１の光学エンコーダは、
前記第１の照明部において、前記第１の回転方位で取り付けられる前記光源アレイの前記第１のインスタンスと、
前記第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、前記測定軸方向に沿って延在し、前記第１の照明部から光を受け取るように配置される第１のスケール格子と、
前記第１のスケール格子から光を受け取るように配置される第１の検出器構成と、を含み、
前記第２の光学エンコーダは、
前記第２の照明部において、前記第２の回転方位で取り付けられる前記光源アレイの前記第２のインスタンスと、
前記第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有し、前記測定軸方向に沿って延在し、前記第２の照明部から光を受け取るように配置される第２のスケール格子と、
前記第２のスケール格子から光を受け取るように配置される第２の検出器構成と、を含む、方法。
【請求項１４】
前記光源アレイを、前記第１の回転方位で取り付けることは、前記第１のグリッド軸を前記測定軸方向に垂直に整列し、前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１は、前記第１のグリッドラインピッチＰ１と同じである、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記光源アレイを、前記第２の回転方位で取り付けることは、前記第２のグリッド軸を前記測定軸方向に垂直に整列し、前記第２の照明源ラインピッチＩＰ２は、前記第２のグリッドラインピッチＰ２と同じである、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記光源アレイを、前記第１の回転方位で取り付けることは、前記第１のグリッド軸と前記第２のグリッド軸のどちらも前記測定軸方向に垂直に整列せず、前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１は、前記第１のグリッドラインピッチＰ１と異なり、また、前記第２のグリッドラインピッチＰ２と異なる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも５０％の前記個々の光源が、前記第１及び第２の光学エンコーダの両方において使用される、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記光源アレイを、前記第１の回転方位で取り付けることは、前記測定軸方向に沿って、前記第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される前記照明源ラインを提供し、
前記第１のスケール格子は、前記測定軸方向に沿って、前記第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、
前記第１の検出器構成は、前記測定軸方向に沿って、検出器ピッチＤＰ１を有する光学検出器部からなるセットを含み、
前記ピッチＩＰ１、ＳＧＰ１及びＤＰ１は、式ＩＰ１＝ＤＰ１＊ＳＧＰ１／（ＤＰ１−ＳＧＰ１）を満たし、
前記光源アレイを、前記第２の回転方位で取り付けることは、前記測定軸方向に沿って、前記第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間される前記照明源ラインを提供し、
前記第２のスケール格子は、前記測定軸方向に沿って、前記第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有し、
前記第２の検出器構成は、前記測定軸方向に沿って、検出器ピッチＤＰ２を有する光学検出器部からなるセットを含み、
前記ピッチＩＰ２、ＳＧＰ２及びＤＰ２は、式ＩＰ２＝ＤＰ２＊ＳＧＰ２／（ＤＰ２−ＳＧＰ２）を満たす、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１の照明部は、波長λを有する光を出力し、前記光源アレイの前記第１のインスタンスは、前記第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第１のスケール格子から、距離Ｚｓ１で間隔が置かれ、前記距離Ｚｓ１は、式Ｚｓ１＝２＊ＩＰ１＊ＳＧＰ１／λを満たし、
前記第２の照明部は、前記波長λを有する光を出力し、前記光源アレイの前記第２のインスタンスは、前記第２のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第２のスケール格子から、距離Ｚｓ２で間隔が置かれ、前記距離Ｚｓ２は、式Ｚｓ２＝２＊ＩＰ２＊ＳＧＰ２／λを満たす、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１のスケール格子は、前記第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第１の検出器構成から、距離Ｚｉ１で間隔が置かれ、前記距離Ｚｉ１は、式Ｚｉ１＝Ｚｓ１＊ＳＧＰ１／（ＩＰ１−ＳＧＰ１）を満たし、
前記第２のスケール格子は、前記第２のスケール格子に垂直な方向に沿って、前記第２の検出器構成から、距離Ｚｉ２で間隔が置かれ、前記距離Ｚｉ２は、式Ｚｉ２＝Ｚｓ２＊ＳＧＰ２／（ＩＰ２−ＳＧＰ２）を満たす、請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、概して、精密測定器に関し、より具体的には、光学変位エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
読取ヘッド内の光検出器配置にスケールパターンを結像させる光学配置を有する当該読取ヘッドを使用する様々な光学変位エンコーダが知られている。スケールパターンの像は、スケール部材と共に変位し、変位したスケールパターン像の動き又は位置は、光検出器配置で検出される。光学エンコーダは、スケール格子を含むスケール部材の変位を検出するために、自己結像配置を使用することがある。タルボット（Talbot）像とも知られる自己像の基本原理は、Cowley, J. M.及びA. F. Moodieによる論文「Fourier Images: I - The Point Source」（１９５７、Ｐｒｏｃ．Ｐｈｙｓ．Ｓｏｃ．Ｂ、７０、４８６）に説明されている。当該論文は、参照することにより、本明細書に組み込まれる。自己結像を使用する例示的な光学エンコーダは、米国特許第７，６０８，８１３号（第‘８１３号特許）に開示されている。本特許も、参照することにより、その全体が本明細書に組み込まれる。同様のエンコーダが、２又は３格子エンコーダ配置において、ロー（Lau）効果原理に従って生成された自己像を使用してもよい。一例が、Crespo他による論文「Optical Encoder Based on the Lau Effect」（２０００年３月、Ｏｐｔ．Ｅｎｇ．３９（３）、８１７−８２４）に開示されている。他の光学エンコーダは、モアレ結像技術を使用することができる。モアレ結像技術を使用する例示的な光学エンコーダは、米国特許出願公開第２０１３／０１６１４９９Ａ１号に開示されている。本出願も、参照することにより、その全体が本明細書に組み込まれる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
第‘８１３号特許に開示されるような典型的なエンコーダ構成は、固定ピッチを有する照明格子に依存するので、照明格子の様々なピッチに対して、取り換え可能な照明部コンポーネントを使用することができない。様々なエンコーダ構成において、単純かつ取り換え可能なコンポーネントを用いて、費用効率の高い方法で製造可能である小型読取ヘッドを提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
照明部と、測定軸方向に沿って延在し、照明部から光を受け取るように配置されるスケール格子と、スケール格子から光を受け取るように配置される検出器構成とを含む光学エンコーダの照明部において使用される光源アレイが開示される。当該光源アレイは、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸に平行な第１のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、更に、第１のグリッド軸を横切る第２のグリッド軸に平行な第２のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置する個々の光源を含む。第１のグリッドパターンラインのセットの構成要素は、第１のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、第２のグリッドパターンラインのセットの構成要素は、第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間される。光源アレイは、測定軸方向に沿って、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成され、第１の照明部において、第１の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される。光源アレイは更に、測定軸方向に沿って、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成され、第２の照明部において、第２の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間される。第１の照明源ラインピッチＩＰ１と第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは異なる。
【０００５】
様々な実施形態において、第１及び第２の光学エンコーダを提供するための方法が開示される。当該方法は、光源アレイの第１及び第２のインスタンスを提供するステップを含み、個々の光源が、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸に平行な第１のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、更に、第１のグリッド軸を横切る第２のグリッド軸に平行な第２のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置する。第１のグリッドパターンラインのセットは、第１のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、第２のグリッドパターンラインのセットは、第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間される。光源アレイは、測定軸方向に沿って、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成され、第１の照明部において、第１の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される。光源アレイは更に、測定軸方向に沿って、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成され、第２の照明部において、第２の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間される。第１の照明源ラインピッチＩＰ１と、第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは、光源アレイにおいて異なる。当該方法は更に、光源アレイの第１のインスタンスを、第１の光学エンコーダに含めるステップを含み、第１の光学エンコーダは、第１の照明部において、第１の回転方位で取り付けられる光源アレイの第１のインスタンスと、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、測定軸方向に沿って延在し、第１の照明部から光を受け取るように配置される第１のスケール格子と、第１のスケール格子から光を受け取るように配置される第１の検出器構成とを含む。当該方法は更に、光源アレイの第２のインスタンスを、第２の光学エンコーダに含めるステップを含み、第２の光学エンコーダは、第２の照明部において、第２の回転方位で取り付けられる光源アレイの第２のインスタンスと、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有し、測定軸方向に沿って延在し、第２の照明部から光を受け取るように配置される第２のスケール格子と、第２のスケール格子から光を受け取るように配置される第２の検出器構成とを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
前述の態様及び付随する利点の多くは、次の詳細な説明を添付図面と併せて参照することによって、当該態様及び利点がより深く理解されるにつれて、より容易に評価できるようになるであろう。
【０００７】
【図１】図１は、従来技術の光学エンコーダ構成の部分的概略分解図である。
【図２】図２は、本明細書に開示される光源アレイの一実施形態を使用する光学エンコーダ構成の部分的概略分解図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本明細書に開示される光源アレイの第１の実施形態の１つの回転方位を使用する光学エンコーダの照明部を示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本明細書に開示される光源アレイの第１の実施形態の１つの回転方位を使用する光学エンコーダの照明部を示す図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本明細書に開示される光源アレイの第１の実施形態の１つの回転方位を使用する光学エンコーダの照明部を示す図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本明細書に開示される光源アレイの第２の実施形態の１つの回転方位を使用する光学エンコーダの照明部を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本明細書に開示される光源アレイの第２の実施形態の１つの回転方位を使用する光学エンコーダの照明部を示す図である。
【図５Ａ】図５Ａは、第１及び第２の光学エンコーダを提供する方法を説明する図を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、第１及び第２の光学エンコーダを提供する方法を説明する図を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１は、様々な実施形態において、既知の「自己結像」原理に従って動作しうる従来技術の光学エンコーダ構成１００の部分的概略分解図である。エンコーダ構成１００の幾つかの特徴は、第‘８１３号特許に説明されるエンコーダ構成と同様であり、類似性によって理解することができる。図１に示されるように、エンコーダ構成１００は、スケール格子１１０と、照明部１６０と、検出器構成１２５とを含む。照明部１６０は、光源１３０と、レンズ１４０と、照明格子１５０とを含む。スケール格子１１０は、ソースギャップ距離Ｚｓで、照明部１６０から離されている。検出器構成１２５は、距離Ｚｉで、スケール格子１１０から離されている。幾つかの実施形態では、光源１３０はＬＥＤである。
【０００９】
図１は、本明細書に使用される慣例に従って、直交するＸ、Ｙ及びＺ方向を示す。Ｘ及びＹ方向は、スケール格子１１０の平面に平行であり、Ｘ方向は、対象とする測定軸方向ＭＡと平行（例えば、スケール格子１１０の細長いパターン要素に垂直）である。Ｚ方向は、スケール格子１１０の平面に垂直である。
【００１０】
動作中、光源１３０から放射される光１３１は、スケール格子１１０を照射するのに十分なビーム領域に亘って、レンズ１４０によって部分的に又は全体的にコリメートされる。光１３１は、照明格子１５０の格子構造を通過し、既知の自己結像照明原理に従ってスケール格子１１０を照明するように選択された部分的にコヒーレントな照明源のアレイを格子開口において提供する。スケール格子１１０が照射されると、当該スケール格子１１０は、スケール光１３２として、空間変調された光パターン（例えば、幾つかの実施形態では、回折次数からの干渉縞光）を検出器構成１２５に出力する。エンコーダ構成１００は、幾つかの回折次数が相互作用して、検出器構成１２５の平面において、自己像（例えばタルボット（Talbot）像又はフレネル（Fresnel）像）を生成するように、既知の方法に従って構成される。
【００１１】
様々な応用において、検出器構成１２５及び照明部１６０は、例えば読取ヘッド又はゲージハウジング（図示せず）内で互いに固定の関係で取り付けられ、既知の技術に従って、軸受系によって、スケール格子１１０に対して測定軸に沿って案内される。スケール格子１１０は、様々な応用において、移動ステージ、ゲージスピンドル等に取り付けられていてもよい。図１に示される構成は、透過型構成である。スケール格子１１０は、（例えば既知の薄膜パターニング技術等を使用して透明基板上に製造される）光遮断部と光透過部とを含み、透過によって、空間変調された光パターンを検出器トラックに出力する。当然ながら、同様のコンポーネントが、反射型実施形態において配置されてもよく、ここでは、照明部１６０と検出器構成１２５とは、スケーリング格子１１０の同じ側に配置され、既知の技術に従って、必要に応じて、傾斜照明及び反射のために位置付けられる。
【００１２】
当然ながら、エンコーダ構成１００は、ロー（Lau）効果エンコーダ構成において使用されてもよい。ロー効果エンコーダ構成を組み込んだ幾つかの実施形態では、当該構造は、高度にコリメートされた光源を必要としないため、レンズ１４０は除外されてもよい。
【００１３】
図２は、様々な実施形態において、既知の「自己結像」原理に従って動作しうる、本明細書に開示される光源アレイの一実施形態を使用する光学エンコーダ構成２００の部分的概略分解図である。２ＸＸと番号が付けられたエンコーダ構成２００の幾つかの要素は、図１において同様の「ＸＸ」である数字による添え字を使用して、１ＸＸと番号が付けられた要素と同様又は同一であってよく、類似性によって理解することができる。図２に示されるように、エンコーダ構成２００は、スケール格子２１０と、照明部２６０と、検出器構成２２５とを含む。当然ながら、照明部２６０及び検出器構成２２５は、既知の方法に従って、様々なコンポーネントへの及び様々なコンポーネントからの電力、制御及び／又はデータ信号を接続するための電気的接続（図示せず）を含む。
【００１４】
照明部２６０は、本明細書に開示される原理に従って、様々な照明部において様々な方位に取り付けられるように構成される光源アレイ２６５の一実施形態を含む。具体的には、光源アレイ２６５は、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸ＧＡ１に平行である第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１のセットと一致するように位置し、更に、第１のグリッド軸ＧＡ１を横切る第２のグリッド軸ＧＡ２に平行である第２のグリッドパターンラインＧＰＬ２のセットと一致するように位置する個々の光源２６５ｎを含む。幾つかの実施形態では、個々の光源２６５ｎは、ＬＥＤ源である。第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１のセットの構成要素は、第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１に垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、第２のグリッドパターンラインＧＰＬ２のセットの構成要素は、第２のグリッドパターンラインＧＰＬ２に垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間される。第１の照明源ラインピッチＩＰ１と、第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは異なる。なお、図３Ａ及び図３Ｂにおいて、第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１のうちの２本及び第２のグリッドパターンラインＧＰＬ２のうちの２本のみが、例示的なグリッドパターンラインとして符号が付けられているが、グリッドパターンラインは、光源アレイ２６５に沿って一定の間隔で離間されていることは理解されよう。
【００１５】
上記されたように、光源アレイ２６５は、そのデザインの第１のインスタンスが、測定軸方向ＭＡに沿って第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子２１０との使用のために、第１の照明部（即ち、照明部２６０）における２Ｄグリッドパターンに垂直な（即ち、Ｚ方向における）軸の周りに第１の回転方位で取り付けられ得るように構成される。照明部２６０において第１の回転方位を使用する場合、個々の光源２６５ｎは、測定軸方向ＭＡに垂直である照明源ラインＩＳＬ１に沿って整列し、当該照明源ラインは、測定軸方向ＭＡに沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で、離間される。光源アレイ２６５は更に、そのデザインの第２のインスタンスが、測定軸方向ＭＡに沿って第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な（即ち、Ｚ方向における）軸の周りに第２の回転方位で取り付けられ得るように構成される。第２の照明部において第２の回転方位を使用する場合、個々の光源２６５ｎは、測定軸方向ＭＡに垂直である照明源ラインＩＳＬ２に沿って整列し、照明源ラインＩＳＬ２は、測定軸方向ＭＡに沿って第２の照明源ラインピッチＩＰ２で、離間される。検出器構成２２５は、その結果、空間変調された光２３２のピッチに対応する検出器ピッチＤＰ２に従って配置される検出器部２２６ｎを含んでもよい。図２では、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２及び第２の検出器ピッチＤＰ２は、ＳＧＰ１及びＤＰ１の構成と異なる代替構成を表すことを示すために破線で示される。図３Ａ乃至図３Ｃを参照して、３つの異なる照明部において異なる方位にある類似する光源アレイの３つのインスタンスを使用する例について、以下により詳細に説明される。
【００１６】
光学エンコーダ構成２００の様々な実施形態において、スケール格子２１０は、測定軸方向８２に沿って延在し、照明部２６０から光２３１を受光するように配置される。スケール格子２１０は、ソースギャップ距離Ｚｓで、照明部２６０から離される。検出器構成２２５は、距離Ｚｉで、スケール格子２１０から離され、スケール格子２１０から空間変調された光２３２を受光するように配置される。検出器構成２２５は、空間変調された光２３２のピッチに対応する検出器ピッチＤＰ１に従って配置される検出器部２２６ｎを含む。当然ながら、様々な実施形態において、検出器ピッチＤＰ１は、空間変調された光２３２の同じ位相に対応する検出器部２２６ｎ間の距離であると理解されてもよい。簡単にするために、図２は、単相に従って間隔が置かれた検出器部２２６ｎを示す。しかし、様々な実施形態において、検出器部２２６ｎは、直交検波又は三相検出のために構成されてもよい。光学エンコーダ構成２００は、光源アレイ２６５とスケーリング格子２１０との間に遮光要素は含まない。
【００１７】
幾つかの実施形態では、ピッチＩＰ１、ＳＧＰ１及びＤＰ１は、次式を満たす。
ＩＰ１＝ＤＰ１＊ＳＧＰ１／（ＤＰ１−ＳＧＰ１）            式１
【００１８】
幾つかの実施形態では、照明部２６０は、波長λを有する光を出力し、光源アレイの第１のインスタンスは、第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、第１のスケール格子から距離Ｚｓで間隔が置かれ、距離Ｚｓは、次式を満たす。
Ｚｓ＝２＊ＩＰ１＊ＳＧＰ１／λ                          式２
【００１９】
幾つかの実施形態では、距離Ｚｉは、次式を満たす。
Ｚｉ＝Ｚｓ＊ＳＧＰ１／（ＩＰ１−ＳＧＰ１）              式３
【００２０】
１つの例示的な実施形態では、第１のエンコーダ構成は、４０μｍである第１の照明源ラインピッチＩＰ１を有する第１の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられる光源アレイデザインの第１のインスタンスと、１０μｍであるスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子と、１３．３μｍである検出器ピッチＤＰ１を有する検出器部とを含む。第１のエンコーダ構成は、１．９８ｍｍである距離Ｚｓと、０．６６ｍｍである距離Ｚｉとで構成されてよい。第２のエンコーダ構成は、２３μｍである第２の照明源ラインピッチＩＰ２を有する第２の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられる同じ光源アレイデザインの第２のインスタンスと、８μｍであるスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子と、１２．３μｍである検出器ピッチＤＰ２を有する検出器部とを含む。第２のエンコーダ構成は、０．９１ｍｍである距離Ｚｓと、０．４９ｍｍである距離Ｚｉとで構成されてよい。
【００２１】
光学エンコーダ構成２００は、透過型のエンコーダ構成であるが、当然ながら、照明部２６０は、反射型のエンコーダ構成に適切に適応されうる。更に、自己結像型光学エンコーダである一実施形態において有用でありうる特定の寸法が記載されたが、照明部２６０は、例えば米国特許出願公開第２０１３／０１６１４９９Ａ１号に開示されるようなモアレ結像型のエンコーダ構成にも適切に適応されうる。当該特許出願は、参照することにより、その全体を本明細書に組み込む。
【００２２】
図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃは、光源アレイ３６５の第１の実施形態の対応するインスタンスの３つの回転方位を使用する３つの光学エンコーダの照明部３６０Ａ、照明部３６０Ｂ及び照明部３６０Ｃを示す図である。照明部３６０Ａは、エンコーダ構成２００における照明部２６０と同様であり、照明部２６０の代わりに使用可能である。光源アレイ３６５は、測定軸方向ＭＡ、８２に沿って配置される個々の光源３６５ｎを含む。当然ながら、光源アレイ３６５は更に、デバイスに給電するための電気的接続（図示せず）も含み、また、必要に応じて、既知の技術に従って、様々な信号及び制御ライン並びに／又は制御回路も含んでもよい。当然ながら、光源アレイ３６５は、既知の技術を使用して、所望の取付け方位に、様々な照明部３６０Ａ、３６０Ｂ及び／又は３６０Ｃ内の回路基板等（図示せず）に取り付けられてよい。
【００２３】
図３Ａに示されるように、光源アレイ３６５の第１のインスタンスについて、示されるような第１の回転方位を使用すると、第１のグリッド軸ＧＡ１を測定軸方向ＭＡに垂直に整列し、したがって、結果として生じる、測定軸方向ＭＡに垂直な照明源ラインＩＳＬ１は、第１のグリッドラインピッチＰ１と同じである第１の照明源ラインピッチＩＰ１を（測定軸方向ＭＡに沿って）有する。図３Ｂに示されるように、光源アレイ３６５の第２のインスタンスについて、示されるような第２の回転方位を使用すると、第２のグリッド軸ＧＡ２を測定軸方向ＭＡに垂直に整列し、したがって、結果として生じる、測定軸方向ＭＡに垂直な照明源ラインＩＳＬ２は、第２のグリッドラインピッチＰ２と同じである第２の照明源ラインピッチＩＰ２を（測定軸方向ＭＡに沿って）有する。図３Ｃに示されるように、光源アレイ３６５の第３のインスタンスについて、示されるような第３の回転方位を使用すると、第１のグリッド軸ＧＡ１と第２のグリッド軸ＧＡ２のどちらも測定軸方向ＭＡに垂直に整列しない。より正確には、個々の照明源３６５ｎの「斜めの」セットが、測定軸方向に垂直な照明源ラインＩＳＬ３に沿って整列する。したがって、（第３のグリッドパターンラインＧＰＬ３間に広がる第３のグリッドラインピッチＰ３と同じである）照明源ラインピッチＩＰ３は、第１のグリッドラインピッチＰ１と異なり、また、第２のグリッドラインピッチＰ２とも異なる。
【００２４】
当然ながら、光源アレイ３６５は、矩形格子として配置されているが、本明細書に記載される原理に従って、他の配置が適している場合もある。例えば光源アレイは、或いは、六角形格子、斜め格子又は斜方格子として配置されてもよく、また、本明細書に開示される原理に従って依然と使用されうる。
【００２５】
様々な照明部３６０Ａ、３６０Ｂ及び３６０Ｃに示されるような光源アレイを使用すると、エンコーダ読取ヘッド内の要素数を減らし、同様の効果を得るために、図１に示される照明部１６０の光源１３０、レンズ１４０及び照明格子１５０といった光源、レンズ及び照明「マスク」格子を必要とするのではなく、照明部のより小型の単一要素を提供する。更に、様々な照明部３６０Ａ、３６０Ｂ及び３６０Ｃにおいて、同じ光源アレイデザインの複数のインスタンスを使用すると、光源アレイの製造量の増加と、様々なスケールピッチ及び／又は分解能といった様々な動作パラメータを有するエンコーダの製品種目を製造する際に使用されるコンポーネント在庫管理の単純化とを可能にすることによって、費用削減が可能となる。
【００２６】
図４Ａ及び図４Ｂは、２つの異なる光学エンコーダにそれぞれ使用可能である照明部４６０Ａ及び４６０Ｂを示す図である。照明部４６０Ａ及び４６０Ｂは、光源アレイ４６５の第２の実施形態の対応するインスタンスの２つの異なる回転方位を使用する。光源アレイ４６５は、個々の光源４６５ｎを含む。図４Ａ及び図４Ｂに示されるように、光源アレイ４６５は、少なくとも、個々の光源の第１のアドレス可能なセット４６６ａと、個々の光源の第２のアドレス可能なセット４６６ｂとを提供するように構成される。個々の光源４６５ｎは、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸ＧＡ１に平行な第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１のセットと一致するように位置し、更に、第１のグリッド軸ＧＡ１を横切る第２のグリッド軸ＧＡ２に平行な第２のグリッドパターンラインＧＰＬ２のセットと一致するように位置する。第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１のセットの構成要素は、第１のグリッドパターンラインＧＰＬ１に垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、第２のグリッドパターンラインのセットは、第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間される。光源アレイ４６５は、測定軸方向ＭＡに沿って第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部４６０Ａにおける２Ｄグリッドパターンに垂直な（即ち、Ｚ方向における）軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成される。照明部４６０Ａにおいて、第１の回転方位を使用する場合、個々の光源４６５ｎは、測定軸方向ＭＡに垂直な照明源ラインＩＳＬ１に沿って整列し、当該照明源ラインは、測定軸方向ＭＡに沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される。図４Ｂに示されるように、光源アレイ４６５は更に、測定軸方向ＭＡに沿って第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部４６０Ｂにおける２Ｄグリッドパターンに垂直な（即ち、Ｚ方向における）軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成される。
【００２７】
図４Ａ及び図４Ｂに示される実施形態では、第１の光学エンコーダ及び第２の光学エンコーダは、動作中、幾つかの個々の光源４６５ｎを、非アクティブ状態にするように構成される。より具体的には、第１の光学エンコーダは、動作中、個々の光源の第１のアドレス可能なセット４６６ａの一部ではない個々の光源４６５ｎを、非アクティブ状態にするように構成され、第２の光学エンコーダは、動作中、個々の光源の第２のアドレス可能なセット４６６ｂの一部ではない個々の光源４６５ｎを、非アクティブ状態にするように構成される。幾つかの個々の光源を非アクティブ状態にすることは、光学エンコーダの検出器部の視野に光を提供しない個々の光源をアクティブにしないことによって、光学エンコーダが節電できるようにする。当然ながら、光源アレイ４６５からの光源光の強度レベルを調節するために、測定軸方向ＭＡに沿った個々の光源４６５ｎの幾つかの行が、非アクティブ状態にセットされてもよい（即ち、幾つかの行が「スキップ」されてもよい）。
【００２８】
図４Ａは、光源アレイ４６５の個々の光源のセット４６７ｎを示す。個々の光源のセット４６７ｎは、照明部４６０Ａ及び照明部４６０Ｂの両方において非アクティブ状態である隣接する個々の光源を含む。したがって、幾つかの実施形態では、光源アレイ４６５は、個々の光源のセット４６７ｎが照明部４６０Ａと照明部４６０Ｂのどちらにも光を提供しないので、当該個々の光源のセット４６７ｎを含まなくてもよいことは認識すべきである。
【００２９】
個々の光源４６５ｎの幾つかが、照明部４６０Ａ及び照明部４６０Ｂの両方においてアクティブ状態であることは好都合である。したがって、光源アレイ４６５は、必要とする個々の光源４６５ｎはより少なくて済む。本明細書に開示される原理に従って個々の光源のアドレス可能なセットを含む幾つかの実施形態では、少なくとも５０％の個々の光源が、第１及び第２の光学エンコーダの両方において使用されてよい。
【００３０】
個々の光源のアドレス可能なセットを含む幾つかの実施形態では、非アクティブ状態の個々の光源は、アクティブ状態の個々の光源に対応する照明源ライン間の間隔が、測定軸方向に沿って、ｎ＊ＩＰ１（ｎは、整数）に等しいように、対応する照明源ラインに沿って整列した個々の光源のセットを含む。より具体的には、幾つかの実施形態では、光源アレイは、所望の照明源ラインピッチを提供するために、１つ以上のグリッドパターンラインを、非アクティブ状態にする、即ち、グリッドパターンラインを「スキップ」するように構成される。
【００３１】
組立中、照明部４６０Ａ又は照明部４６０Ｂ全体を機械的に整列するのではなく、検出器構成に対する位置合わせを補正するために、測定軸方向ＭＡに平行の及び／又は測定軸方向ＭＡに垂直の個々の光源４６５ｎのセットが、必要に応じて、アクティブ状態又は非アクティブ状態にされうるので、組立費用も削減されうる。
【００３２】
図５Ａ及び図５Ｂは、第１及び第２の光学エンコーダを提供するための方法の図５００を示す。図５Ａでは、ステップ５１０において、光源アレイの第１及び第２のインスタンスが提供される。個々の光源が、略平面の２次元（２Ｄ）グリッドパターンに配置され、第１のグリッド軸に平行な第１のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置し、更に、第１のグリッド軸を横切る第２のグリッド軸に平行な第２のグリッドパターンラインのセットと一致するように位置する。第１のグリッドパターンのセットは、第１のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第１のグリッドラインピッチＰ１で離間され、第２のグリッドパターンラインのセットは、第２のグリッドパターンラインに垂直な方向に沿って、第２のグリッドラインピッチＰ２で離間される。光源アレイは、光源アレイの第１のインスタンスが、測定軸方向に沿って第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有するスケール格子との使用のために、第１の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第１の回転方位で取り付けられるように構成される。第１の照明部において、第１の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、当該照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間される。光源アレイは更に、光源アレイの第２のインスタンスが、測定軸方向に沿って第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有するスケール格子との使用のために、第２の照明部における２Ｄグリッドパターンに垂直な軸の周りに第２の回転方位で取り付けられるように構成される。第２の照明部において、第２の回転方位を使用する場合、個々の光源は、測定軸方向に垂直な照明源ラインに沿って整列し、当該照明源ラインは、測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間される。第１の照明源ラインピッチＩＰ１と第２の照明源ラインピッチＩＰ２とは異なる。当該方法は、図５Ｂにおいて続行される参照ステップＡに続く。図５Ｂでは、当該方法は、参照ステップＡから、ステップ５２０に続く。ステップ５２０において、光源アレイの第１のインスタンスは、第１の照明部において、第１の回転方位で取り付けられる当該光源アレイの第１のインスタンスと、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有し、測定軸方向に沿って延在し、第１の照明部から光を受け取るように配置される第１のスケール格子と、第１のスケール格子から光を受け取るように配置される第１の検出器構成とを含む第１の光学エンコーダ内に含まれる。ステップ５３０において、光源アレイの第２のインスタンスは、第２の照明部において、第２の回転方位で取り付けられる光源アレイの第２のインスタンスと、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有し、測定軸方向に沿って延在し、第２の照明部から光を受け取るように配置される第２のスケール格子と、第２のスケール格子から光を受け取るように配置される第２の検出器構成とを含む第２の光学エンコーダ内に含まれる。第１の照明部構成の第１のインスタンスは、第１の光学エンコーダにおける個々の光源の第１のアドレス可能なセットを使用して、第１のスケール格子を照射するように操作され、第１の照明部構成の第２のインスタンスは、第２の光学エンコーダにおける個々の光源の第２のアドレス可能なセットを使用して、第２のスケール格子を照射するように操作される。
【００３３】
幾つかの実施形態では、光源アレイを、第１の回転方位で取り付けることは、第１のグリッド軸を測定軸方向に垂直に整列し、第１の照明源ラインピッチＩＰ１は、第１のグリッドラインピッチＰ１と同じであってよい。
【００３４】
幾つかの実施形態では、光源アレイを、第２の回転方位で取り付けることは、第２のグリッド軸を測定軸方向に垂直に整列し、第２の照明源ラインピッチＩＰ２は、第２のグリッドラインピッチＰ２と同じであってよい。
【００３５】
幾つかの実施形態では、光源アレイを、第１の回転方位で取り付けることは、第１のグリッド軸と第２のグリッド軸のどちらも測定軸方向に垂直に整列せず、第１の照明源ラインピッチＩＰ１は、第１のグリッドラインピッチＰ１と異なってよく、また、第２のグリッドラインピッチＰ２とも異なってよい。
【００３６】
幾つかの実施形態では、少なくとも５０％の個々の光源が、第１及び第２の光学エンコーダの両方において使用されてよい。
【００３７】
幾つかの実施形態では、光源アレイを、第１の回転方位で取り付けることは、測定軸方向に沿って、第１の照明源ラインピッチＩＰ１で離間された照明源ラインを提供する。第１のスケール格子は、測定軸方向に沿って、第１のスケール格子ピッチＳＧＰ１を有する。第１の検出器構成は、測定軸方向に沿って、検出器ピッチＤＰ１を有する光学検出器部のセットを含む。ピッチＩＰ１、ＳＧＰ１及びＤＰ１は、式ＩＰ１＝ＤＰ１＊ＳＧＰ１／（ＤＰ１−ＳＧＰ１）を満たす。光源アレイを、第２の回転方位で取り付けることは、測定軸方向に沿って、第２の照明源ラインピッチＩＰ２で離間された照明源ラインを提供する。第２のスケール格子は、測定軸方向に沿って、第２のスケール格子ピッチＳＧＰ２を有する。第２の検出器構成は、測定軸方向に沿って、検出器ピッチＤＰ２を有する光学検出器部のセットを含む。ピッチＩＰ２、ＳＧＰ２及びＤＰ２は、式ＩＰ２＝ＤＰ２＊ＳＧＰ２／（ＤＰ２−ＳＧＰ２）を満たす。幾つかの実施形態では、第１の照明部は、波長λを有する光を出力し、光源アレイの第１のインスタンスは、第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、第１のスケール格子から、距離Ｚｓ１で間隔が置かれ、距離Ｚｓ１は、式Ｚｓ１＝２＊ＩＰ１＊ＳＧＰ１／λを満たす。第２の照明部は、波長λを有する光を出力し、光源アレイの第２のインスタンスは、第２のスケール格子に垂直な方向に沿って、第２のスケール格子から、距離Ｚｓ２で間隔が置かれ、距離Ｚｓ２は、式Ｚｓ２＝２＊ＩＰ２＊ＳＧＰ２／λを満たす。幾つかの実施形態では、第１のスケール格子は、第１のスケール格子に垂直な方向に沿って、第１の検出器構成から、距離Ｚｉ１で間隔が置かれ、距離Ｚｉ１は、式Ｚｉ１＝Ｚｓ１＊ＳＧＰ１／（ＩＰ１−ＳＧＰ１）を満たす。第２のスケール格子は、第２のスケール格子に垂直な方向に沿って、第２の検出器構成から、距離Ｚｉ２で間隔が置かれ、距離Ｚｉ２は、式Ｚｉ２＝Ｚｓ２＊ＳＧＰ２／（ＩＰ２−ＳＧＰ２）を満たす。
【００３８】
様々な実施形態が例示され、説明されたが、当業者には、本開示に基づいて、特徴及び動作順序が例示され、説明された構成における多数の変形態様が明らかであろう。したがって、本発明の精神及び範囲から離れることなく、これらに様々な変更を加えることが可能であることは理解されよう。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【外国語明細書】
2016218051000001.pdf