(57)【要約】【課題】屈折率、光軸及び位置ずれ等の公差がある光学部品を組み合わせた結像光学系でも、全系において他のレンズと区別しながら特定箇所の光学調整を容易に行うことができる、結像光学系及び光軸調整方法を提供する。【解決手段】第１レンズ、第２レンズ、第Ｎレンズ、コンペンセータで構成される結像光学系に、面評価装置により、光源から使用波長以外である光を照射し、第１レンズ、第２レンズ、コンペンセータ内を通過後、コーティングで反射され、再びコンペンセータ内、第２レンズ、第１レンズをダブルパスで透過した光を検出器にて検出する。コーティング２ａが施されたコンペンセータを前後に移動させることにより、光路長が変化するとともに波面が変化するため、その結果が光学設計通りの波面となるようコンペンセータを調整する。【選択図】図１
2016218313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
使用波長である第１の波長の光を透過する複数のレンズからなる結像光学系であって、
前記複数のレンズは、前記使用波長と異なる第２の波長の光を反射するコーティングを少なくとも一方の面に施された少なくとも１つのレンズを含み、
前記第２の波長の光を反射するコーティングが施されたレンズは、光学調整用に移動可能であることを特徴とする結像光学系。
【請求項２】
前記光学調整は、前記第２の波長の光を反射するコーティングが施されたレンズで反射された前記第２の波長の光の反射光の波面を、所望の波面と一致させる調整であることを特徴とする請求項１記載の結像光学系。
【請求項３】
前記第２の波長の光を反射するコーティングが施されたレンズは、コンペンセータを構成するレンズの１つであることを特徴とする請求項１、２いずれか記載の結像光学系。
【請求項４】
前記複数のレンズは、前記第１の波長、前記第２の波長と異なる、第３の波長の光を反射するコーティングを少なくとも一方の面に施された少なくとも１つのレンズを含み、
前記第３の波長の光を反射するコーティングが施されたレンズは、光学調整用に移動可能であり、
前記光学調整は、前記第３の波長の光を反射するコーティングが施されたレンズで反射された前記第３の波長の光の反射光の波面を、所望の波面と一致させる調整であることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の結像光学系。
【請求項５】
前記複数のレンズの各レンズ面には、各々異なる波長の光を反射するコーティングが施され、
各々のレンズは、光学調整用に移動可能であることを特徴とする請求項１記載の結像光学系。
【請求項６】
前記複数のレンズのうち、隣接するレンズの対向する面には、同一の波長の光を反射するコーティングが施され、
前記反射する波長は、隣接するレンズの対向する面毎に異なることを特徴とする請求項１記載の結像光学系。
【請求項７】
使用波長である第１の波長の光を透過する複数のレンズからなる結像光学系の光学調整方法であって、
結合光学系の入射側あるいは出射側から、前記使用波長と異なる第２の波長の光を照射し、
前記複数のレンズのうち、予め前記第２の波長の光を反射するコーティングが施された第２波長反射レンズで反射された前記第２の波長の反射光の波面が所望の波面となるように、前記第２波長反射レンズの位置を調整することを特徴とする結像光学系の光学調整方法。
【請求項８】
使用波長である第１の波長の光を透過する複数のレンズからなる結像光学系の光学調整方法であって、
結合光学系の入射側から、前記使用波長と異なる第２の波長の光を照射し、
前記複数のレンズのうち、予め前記第２の波長の光を反射するコーティングが施された第２波長反射レンズで反射された前記第２の波長の反射光の波面が所望の波面となるように、前記第２波長反射レンズの位置を調整し、
前記結合光学系の出射側から、前記第１の波長、前記第２の波長と異なる、第３の波長の光を照射し、
前記複数のレンズのうち、予め前記第３の波長の光を反射するコーティングが施された第３波長反射レンズで反射された前記第３の波長の反射光の波面が所望の波面となるように、前記第３波長反射レンズの位置を調整することを特徴とする結像光学系の光学調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば写真レンズ等、高い結像性能を有する光学系及びその結像光学系の光学調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、結像光学系は、10μmオーダの製造精度である鏡筒にレンズやミラー等の光学部品を嵌合させることにより、幾何学的に光学部品の位置を調整することで、光学部品の位置ずれによる光軸ずれを抑え、所望の光学性能を実現する。また、光学部品の位置精度が光学部品と鏡筒の製造精度よりも厳しく、幾何学的な調整だけでは困難な場合に、光学部品に位置調整可能な部分(以下、コンペンセータと称す。コンペンセータ（compensator）：公差による光学性能の劣化を最小限に抑制するための補償機構。)を設け、光学性能を測定評価することにより光学的に光学部品の位置を調整(以下、光学調整と称す)している。
【０００３】
所望の光学性能が非常に高い場合、ＭＴＦや波面収差では設計値に対する誤差感度も高くなり、光学部品の位置精度がμm以下のオーダが要求される。さらに、レンズ構成数が増加する、または複数のコンペンセータを設けることが必要となることで光学系は複雑になる。また、複数のレンズまたはコンペンセータから構成されるレンズ群は、個々の光学部品の形状、屈折率、光軸ずれ及び位置ずれの公差が小さい場合でも、各レンズの公差の影響が相乗することにより、光学性能に影響を与えるため、全系で光学調整を最適化する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
特許文献１には、複数のレンズを有する光学系に光束を照射するための光源と、光源と光学系との間に設けられ、光学系への光束の照射面積を変化させるための遮光手段と、光学系のバックフォーカスの設計ノミナル位置に設けられ、光学系を通過した光の強度分布の重心位置を検出することにより、光学系のバックフォーカスを検出する検出手段とを備えた光学系の組立調整装置において、複数のレンズを有する光学系に対して、光学性能の測定評価を行い、設計ノミナル値になるように各レンズの間隔を調整する、組立調整装置及び組立調整方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１０９１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の方法では、光学系を構成するレンズまたはコンペンセータが多くなった場合、前段又は後段のレンズ、もしくはコンペンセータの各公差による影響を受けることにより、各レンズ、または各コンペンセータの光学性能への寄与が複雑となるため、全系で光学調整を行い所望の光学性能を得ることが困難となる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る結像光学系は、所望の使用波長を透過し、前記使用波長外にて反射するコーティングを少なくとも一方の面に施されたレンズが少なくとも１つ含まれるレンズ群で構成された結像光学系と、前記使用波長外の光を発生させる光源と前記使用波長外の光を検出する検出器を有し、前記検出器で検出した、前記光源からの光が前記結像光学系で反射された反射光に基づき、前記結像光学系の波面を評価する波面測定装置とからなる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の結像光学系は、所望の使用波長を透過し、使用波長以外にて反射するコーティングを、少なくとも一方の面に施されたレンズが、少なくとも１つ含まれるレンズ群で構成される。なお、コーティングを施す必要があるのは、光学調整を行う必要のあるレンズに対してである。また、複数のレンズにコーティングを施す場合は、使用波長以外の帯域から、それぞれ異なる波長帯を反射するコーティングを使用する。
【０００９】
前記、結像光学系の光学調整には、使用波長以外の光を発生させる光源と使用波長以外の光を検出可能な検出器から構成され、結像光学系の波面を評価することが可能な波面評価装置により光学調整を行う。
【００１０】
光学調整では、コーティングが施されたレンズに対し、使用波長以外の光を照射し、レンズ群をダブルパスした波面の評価を行う。その結果が、光学設計通りの波面となるよう、コーティングが施されたレンズを調整する。また、コーティングを施したレンズが複数ある場合には、光学調整時に使用する光の波長帯は、各コーティングが反射する、異なる波長帯をそれぞれ使用する。
【００１１】
これにより、使用波長以外の帯域から、それぞれ異なる波長帯を反射するコーティングが施された各レンズを、異なる波長帯で波面評価することで、他のレンズと区別して特定箇所の光学調整を行うことができる。この結果、各レンズによる光学性能への寄与を区別することが可能となるため、構成品が多い場合でも、全系での光学調整が容易に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【図２】本発明の実施の形態２による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【図３】本発明の実施の形態３による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【図４】本発明の実施の形態４による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一または同等の構成には同一番号を付してその説明を省略する。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【００１５】
結像光学系１０は、目標からの所望の使用波長、例えば１μm帯の近赤外光を任意の受光面上に結像する光学系であり、第１レンズ３１、第２レンズ３２、第Ｎレンズ３０、コンペンセータ４０で構成されている。
第１レンズ３１、第２レンズ３２、第Ｎレンズ３０は、200-2000nm帯の光を透過する合成石英または350-2000nm帯の光を通過するＢＫ７のレンズである。コンペンセータ４０は、複数の合成石英またはＢＫ７のレンズを鏡筒により固定して一緒に位置調整可能としている。さらに、コンペンセータ４０の一つのレンズの一面にはコーティング２ａが施されている。コーティング２ａは、１μm帯の近赤外光を透過するとともに、使用波長以外、例えば632.8nmの可視光を反射する誘電多層膜である。
【００１６】
波面測定装置５０は、光源５１と検出器５２から構成され、被測定物に632.8nmの可視光を照射し、照射した光が被測定物より反射して得られた波面の状態を計測する装置であり、フィゾー型干渉計やシャックハルトマンセンサ等の干渉計または波面センサが挙げられる。例えば、光源５１は、632.8nmの光を発生させるHe-Neレーザ発振器であり、検出器５２は、632.8nmの光を検出可能なＣＣＤイメージセンサである。なお、光源５１と検出器５２は分離していても良い。
【００１７】
次に、結像光学系の光学調整方法について説明する。
結像光学系１０に対して、波面評価装置５０により、光源５１から使用波長以外である波長帯632.8nmの光を照射し、第１レンズ３１、第２レンズ３２、コンペンセータ４０内を通過後、コーティング２ａで反射され、再びコンペンセータ４０内、第２レンズ３２、第１レンズ３１をダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出する。波面評価装置５０は、参照波面との干渉による縞の変化で波面の乱れを評価することが可能である。コーティング２ａが施されたコンペンセータ４０を前後に移動させることにより、光路長が変化するとともに波面が変化するため、その結果が光学設計通りの波面となるよう調整する。なお、光学設計では632.8nmの光に合わせて波面を計算している。光学設計通りの波面になるように調整しているため、所望の光学性能に近付けて結像させることが可能となる。なお、コンペンセータは平面内または取り付け角度を変化させて波面の調整をしても良い。また、波面を評価する際に行う光学設計の設計手法は問わない。さらに、光学調整後、結像光学系１０は全系が鏡筒等により固定されている。
【００１８】
この結果、コンペンセータ４０による光学性能への寄与を、他のレンズと区別することが可能となるため、構成品が多い場合でも、全系において、特定箇所の光学調整が容易に行うことが出来る。
ここで、コンペンセータ単体として光学調整が完了している場合、コーティングを施す面はコンペンセータを構成するレンズの１面のみで良く、コーティングを減らすことができる。さらに、光軸調整するレンズの枚数が減るため、作業が容易になる。また、コーティングを施す必要があるのは、光学調整を行う必要のあるレンズに対してである。なお、コーティングを施す面は、光が照射される側を表面、その反対を裏面とした場合、ダブルパスの経路に対象レンズ内の光路も含まれる裏面が望ましい。
【００１９】
実施の形態２．
図２は、本発明の実施の形態2による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【００２０】
結像光学系１０は、目標からの所望の使用波長、例えば3-5μm帯の中赤外光を任意の受光面上に結像する光学系であり、第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０で構成されている。第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０は、1.2-6μm帯の光を透過するSiまたは0.7-10μm帯の光を透過するZnSeもしくは2-20μm帯の光を通過するGeのレンズである。第１レンズ３１及び第３レンズ３３の一面にはコーティング２ａが施されており、第２レンズ３２及び第４レンズ３４の一面にはコーティング２ｂが施されている。コーティング２ａは、3-5μm帯の中赤外光を透過するとともに、使用波長以外、例えば532nmの可視光を反射する誘電多層膜である。コーティング２ｂは、3-5μm帯の中赤外光を透過するとともに、使用波長以外、例えば1064nmの近赤外光を反射する誘電多層膜である。
【００２１】
波面測定装置５０は、光源５１と検出器５２から構成され、被測定物に632.8nmまたは1064nmの光を照射し、照射した光が被測定物より反射して得られた波面の状態を計測する装置であり、フィゾー型干渉計やシャックハルトマンセンサ等の干渉計または波面センサが挙げられる。光源５１は、1064nmの近赤外光を発生させるNd:YAGレーザ発振器及びその２倍波である532nmの可視光を発生する波長変換レーザ光源であり、検出器５２は、532nm及び1064nmの光を検出可能なCCDイメージセンサである。また、波面測定装置５３は、光源５４と検出器５５から構成され、波面測定装置５０と同様の構成である。
【００２２】
次に、結像光学系の光学調整方法について説明する。
結像光学系１０に対して、波面評価装置５０により、照射面(表)６１から波長帯532nmの光を照射し、第１レンズ３１内を通過後、コーティング２ａで反射され、再び第１レンズ３１をダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出する。波面評価装置５０は、参照波面との干渉による縞の変化で波面の乱れを評価することが可能である。コーティング２ａが施された第１レンズ３１を前後に移動させることにより、光路長が変化するとともに波面が変化するため、その結果が光学設計通りの波面となるよう調整する。なお、光学設計では532nmの光に合わせて波面を計算している。光学設計通りの波面になるように調整しているため、所望の光学性能に近付けて結像させることが可能となる。なお、レンズは平面内または取り付け角度を変化させて波面の調整をしても良い。また、波面を評価する際に行う光学設計の設計手法は問わない。
【００２３】
続いて、波面評価装置５０により、照射面(表)６１から波長帯1064nmの光を照射し、第１レンズ３１、コーティング２ａ、第２レンズ３２中を通過後、コーティング２ｂで反射され、再び第２レンズ３２、コーティング２ａ、第１レンズ３１をダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出することで同様の評価を行い第２レンズ３２の調整を行う。
【００２４】
同様の手順により、波面評価装置５３を用いて、照射面(裏)から波長帯532nmの光を照射することで第３レンズ３３の、波長帯1064nmの光を照射することで第４レンズ３４の波面評価及び調整を行う。なお、レンズの調整順序は問わない。また、各波長帯の調整を行う際に波面評価装置を変更しても良い。さらに、光学調整後、結像光学系１０は全系が鏡筒等により固定されている。
【００２５】
この結果、第１レンズ３１〜第４レンズ３４による光学性能への各寄与を、他のレンズと区別することが可能となるため、構成品が多い場合でも、全系において、特定箇所の光学調整が容易に行うことが出来る。また、照射面(表)６１と照射面(裏)６２の両側から同一のレンズの評価を行うことでより、最適な値となるように調整を行うことが可能となる。また、使用するコーティングの種類が、光軸調整を実施するレンズの枚数の約半分で済むことから、コーティングの種類及び波面測定装置の光源の種類を減らすことが可能である。
【００２６】
ここで、コーティングを施す必要があるのは、光学調整を行う必要のあるレンズに対してである。なお、コーティングを施す面は、光が照射される側を表面、その反対を裏面とした場合、ダブルパスの経路に対象レンズ内の光路も含まれる裏面が望ましい。同様の理由により、同一のコーティングが施されているレンズ、例えばコーティング２ａが施されている第１レンズ３１及び第３レンズ３３において、第１レンズ３１は照射面(表)６１から、第３レンズ３３は照射面(裏)６２から光を照射し、評価及び調整を行う場合、それぞれの評価面側に評価するレンズが配置することが望ましい。例えば、図中の左側から、照射面(表)６１、第１レンズ３１、第３レンズ３３照射面(裏)６２の順となるように配置する。なお、異なる波長帯を反射するコーティングが施されたレンズがその間に挿入されていても良い。
【００２７】
実施の形態３
図３は、本発明の実施の形態３による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【００２８】
結像光学系１０は、目標からの所望の使用波長、例えば3-5μm帯の中赤外光を任意の受光面上に結像する光学系であり、第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０で構成されている。第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０は、1.2-6μm帯の光を透過するSiまたは0.7-10μm帯の光を透過するZnSeもしくは2-20μm帯の光を通過するGeのレンズである。また、各レンズ面にはコーティングが施されており、各コーティングは3-5μm帯の中赤外光を透過するとともに、1260-1608nmの帯域内で異なる波長帯の光をそれぞれ反射する誘電多層膜である。
【００２９】
波面測定装置５０は、光源５１と検出器５２から構成され、被測定物に1260-1608nmの帯域の光を照射し、照射した光が被測定物より反射して得られた波面の状態を計測する装置であり、フィゾー型干渉計やシャックハルトマンセンサ等の干渉計または波面センサが挙げられる。光源５１は1260-1608nmの帯域内で間隔をあけて波長帯を変更させることが可能な波長可変レーザ光源であり、検出器５２は、1260-1608nmの帯域の光を検出可能なCCDイメージセンサである。また、波面測定装置53は、光源54と検出器55から構成され、波面測定装置５０と同様の構成である。
【００３０】
次に、結像光学系の光学調整方法について説明する。結像光学系１０に対して、波面評価装置５０により、1260-1608nmの帯域からコーティング２ｂが反射する一部帯域の光を照射面(表)６１から照射し、コーティング２ａ、第１レンズ３１内を通過後、コーティング２ｂで反射され、再び第１レンズ３１、コーティング２ａをダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出する。波面評価装置５０は、参照波面との干渉による縞の変化で波面の乱れを評価することが可能である。コーティング２ｂが施された第１レンズ３１を前後に移動させることにより、光路長が変化するとともに波面が変化するため、その結果が光学設計通りの波面となるよう調整する。なお、光学設計では照射した1260-1608nm帯域内に含まれる一部帯域の光に合わせて波面を計算している。光学設計通りの波面になるよう調整しているため、所望の光学性能に近付けて結像させることが可能となるなお、レンズは平面内または取り付け角度を変化させて波面の調整をしても良い。また、光学設計の手段は、その波面との比較評価が可能であれば設計手法は問わない。
【００３１】
続いて、照射面(表)６１から1260-1608nmの帯域からコーティング２ｄが反射する一部帯域の光を照射し、コーティング２ａ、第１レンズ３１、コーティング２ｂ、コーティング2c、第２レンズ３２中を通過後、コーティング２ｄで反射され、再び第２レンズ３２、コーティング2c、コーティング２ｂ、第１レンズ３１、コーティング２ａをダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出することで同様の評価を行い第２レンズ３２の調整を行う。
【００３２】
同様の手順により、照射面(表)６１から1260-1608nmの帯域からコーティングf、コーティングh、コーティングjがそれぞれ反射する光を順に照射することで、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０の波面評価及び調整を行う。また、同様に、照射面(裏)６２から1260-1608nmの帯域からコーティングａ、コーティングｃ、コーティングｅ、コーティングｇ、コーティングｉがそれぞれ反射する光を順に照射することでも全レンズの調整することができる。なお、レンズの調整順序は問わない。また、各波長帯の調整を行う際に波面評価装置を変更しても良い。さらに、光学調整後、結像光学系１０は全系が鏡筒等により固定されている。
【００３３】
この結果、第１レンズ３１〜第Ｎレンズ３０による光学性能への各寄与を、他のレンズと区別することが可能となるため、構成品が多い場合でも、全系において、特定箇所の光学調整が容易に行うことが出来る。また、照射面(表)６１と照射面(裏)６２の両側から同一のレンズの評価を行うことでより、最適な値となるように調整を行うことが可能となる。さらに、どちらか一方でしか評価及び調整が出来ない場合、どちらの面からでも光学調整が出来る。なお、一方の照射面からしか光学調整を実施しない場合、コーティングは片面だけでも良い。コーティングを施す面は、光が照射される側を表面、その反対を裏面とした場合、ダブルパスの経路に対象レンズ内の光路も含まれる裏面が望ましい。
【００３４】
実施の形態４．
図４は、本発明の実施の形態４による結像光学系及びその光学調整方法を概略的に示す図である。
【００３５】
結像光学系１０は、目標からの所望の使用波長、例えば0.3-0.7μm帯の可視光を任意の受光面上に結像する光学系であり、第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０で構成されている。第１レンズ３１、第２レンズ３２、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０は、200-2000nm帯の光を透過する合成石英のレンズである。また、各レンズ面にはコーティングが施されており、各コーティングは0.3-0.7μm帯の可視光を透過するとともに、1260-1608nmの帯域内で異なる波長帯の光をそれぞれ反射する誘電多層膜である。
【００３６】
波面測定装置５０は、光源５１と検出器５２から構成され、被測定物に1260-1608nmの帯域の光を照射し、照射した光が被測定物より反射して得られた波面の状態を計測する装置であり、フィゾー型干渉計やシャックハルトマンセンサ等の干渉計または波面センサが挙げられる。光源５１は1260-1608nmの帯域内で間隔をあけて波長帯を変更させることが可能な波長可変レーザ光源または半導体レーザ光源であり、検出器５２は、1260-1608nmの帯域の光を検出可能なＣＣＤセンサである。また、波面測定装置５３は、光源５４と検出器５５から構成され、波面測定装置５０と同様の構成である。
【００３７】
次に、結像光学系の光学調整方法について説明する。
結像光学系１０に対して、波面評価装置５０により、1260-1608nmの帯域からコーティング２ｂが反射する一部帯域の光を照射面(表)６１から照射し、コーティング２ａ、第１レンズ３１内を通過後、コーティング２ｂで反射され、再び第１レンズ３１、コーティング２ａをダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出する。波面評価装置５０は、参照波面との干渉による縞の変化で波面の乱れを評価することが可能である。コーティング２ｂが施された第１レンズ３１を前後に移動させることにより、光路長が変化するとともに波面が変化するため、その結果が光学設計通りの波面となるよう調整する。なお、光学設計では照射した1260-1608nm帯域内に含まれる一部帯域の光に合わせて波面を計算している。光学設計通りの波面にしているため、所望の光学性能に近付けて結像させることが可能となる。なお、レンズは平面内または取り付け角度を変化させて波面の調整をしても良い。また、光学設計の手段はその波面との比較評価が可能であれば設計手法は問わない。
【００３８】
続いて、260-1608nmの帯域からコーティング2cが反射する一部帯域の光を照射面(表)６１から照射し、コーティング２ａ、第１レンズ３１、コーティング２ｂ、コーティング２ｂ、第２レンズ３２中を通過後、コーティング２ｃで反射し、再び第２レンズ３２、コーティング２ｂ、第１レンズ３１、コーティング２ａをダブルパスで透過した光を検出器５２にて検出することで同様の評価を行うことで第２レンズ３２の調整を行う。
【００３９】
同様の手順により、照射面(表)６１から1260-1608nmの帯域からコーティングｄ、コーティングｅ、コーティングｆがそれぞれ反射する光を順に照射することで、第３レンズ３３、第４レンズ３４、第Ｎレンズ３０の波面評価及び調整を行う。また、同様に、照射面(裏)６２から1260-1608nmの帯域からコーティングａ、コーティングｂ、コーティングｃ、コーティングｄ、コーティングｅの光を順に照射することでも全レンズの調整することもできる。なお、レンズの調整順序は問わない。また、各波長帯の調整を行う際に波面評価装置を変更しても良い。さらに、光学調整後、結像光学系１０は全系が鏡筒等により固定されている。
【００４０】
この結果、第１レンズ３１〜第Ｎレンズ３０による光学性能への各寄与を、他のレンズと区別することが可能となるため、構成品が多い場合でも、全系において、特定箇所の光学調整が容易に行うことが出来る。また、照射面(表)６１と照射面(裏)６２の両側から同一のレンズの評価を行うことでより、最適な値となるように調整を行うことが可能となる。さらに、どちらか一方でしか評価及び調整が出来ない場合、どちらの面からでも光学調整が出来る。
【００４１】
実施例３ではレンズの枚数の２倍コーティングの種類が必要であるのに対して、使用するコーティングの種類が、光軸調整を実施するレンズの枚数に加えて２種類で済むことから、コーティングの種類及び波面測定装置の光源の種類を減らすことが可能である。なお、コーティングを施す面は、光が照射される側を表面、その反対を裏面とした場合、ダブルパスの経路に対象レンズ内の光路も含まれる裏面が望ましい。さらに、コーティングの種類を少なくするため、レンズ間で対向する面毎に同一の波長帯を反射する各コーティングを使用する。また、照射面(表)６１及び照射面(裏)６２に最も近いレンズの面に施すコーティングは、それぞれ異なる波長帯を反射するコーティングを使用することが望ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１０  結像光学系、２ａ  コーティング(反射波長帯：a)、２ｂ  コーティング(反射波長帯：b)、２ｃ  コーティング(反射波長帯：c)、２ｄ  コーティング(反射波長帯：d)、２ｅ  コーティング(反射波長帯：e)、２ｆ  コーティング(反射波長帯：f)、３０  第Ｎレンズ、３１  第１レンズ、３２  第２レンズ、３３  第３レンズ、３４  第４レンズ、４０  コンペンセータ、５０  波面測定装置、５１  光源、５２  検出器、５３  波面測定装置、５４  光源、５５  検出器、６１  照射面(表)、６２  照射面(裏)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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