(57)【要約】【課題】短時間で製造可能な光学機能素子の製造装置及びこれを使用した製造方法を提供する。【解決手段】光学軸方向が異なる複数の波長板ユニットを二次元に複数行複数列で配列してなる光学機能素子を、ガラス１０から製造するための光学機能素子の製造装置２０であって、フェムト秒レーザ３１（以下、レーザ）を出力するレーザ出力器２１と、上記レーザ３１を収束させてガラス１０に照射するレンズ２３と、ガラス１０のレーザ３３が照射される面に固定される波長板アレイ２４と、ガラス１０とレーザ３３とを相対移動させる電動ステージ２７とを備え、波長板アレイ２４が、二次元に複数行複数列で配列される波長板セルを有し、レンズ２３がレーザ３３の横断面が１つの波長板セルに納まる大きさにするものであり、電動ステージ２７が、上記相対移動によりレーザ３３を複数の波長板セルに順次透過させるものである。【選択図】図７
2016099533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学軸方向が異なる複数の波長板ユニットを二次元に複数行複数列で配列してなる光学機能素子を、透光材料から製造するための光学機能素子の製造装置であって、
フェムト秒レーザを出力するレーザ出力部と、
上記レーザ出力部から出力されたフェムト秒レーザを収束させて上記透光材料に照射する集光部と、
上記透光材料の上記フェムト秒レーザが照射される面に固定される波長板アレイ／偏光子アレイと、
上記透光材料とこの透光材料に照射されるフェムト秒レーザとを相対移動させる相対移動部とを備え、
上記波長板アレイ／偏光子アレイが、二次元に複数行複数列で配列される波長板セル／偏光子セルを有し、
上記集光部が、上記収束によりフェムト秒レーザの波長板アレイ／偏光子アレイでの横断面が１つの波長板セル／偏光子セルに納まる大きさにするものであり、
上記相対移動部が、上記相対移動によりフェムト秒レーザを上記複数の波長板セル／偏光子セルに順次照射させるものであることを特徴とする光学機能素子の製造装置。
【請求項２】
波長板ユニットが略矩形状であり、
上記集光部の材質および形状と、上記フェムト秒レーザのパラメータと、透光材料の材質との関係が、以下の式（１）を満たすものであることを特徴とする光学機能素子の製造装置。
（Ｐ−２ｄ・ｔａｎθ）／Ｐ≧０．５・・・（１）
ｄ：上記透光材料の上記フェムト秒レーザが照射される面から波長板ユニットが形成される位置までの距離
θ：上記フェムト秒レーザの光軸に対する収束角度
Ｐ：上記略矩形状の波長板ユニットにおける一辺の長さ
【請求項３】
波長板アレイ／偏光子アレイにおける波長板セル／偏光子セルが、ガラスをレーザ加工もしくはインプリント技術により製作されたもの、または、フォトニック結晶波長板であることを特徴とする請求項１または２に記載の光学機能素子の製造装置。
【請求項４】
波長板アレイが、フェムト秒レーザの波長に対して位相差πまたはπ／２を有し、
上記波長板アレイにおける波長板セルの配列が、製造される光学機能素子における波長板ユニットの配列と同一であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光学機能素子の製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光学機能素子の製造装置を使用することを特徴とする光学機能素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学機能素子の製造装置およびこれを使用した光学機能素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学機能素子は、入射される光の偏光方向を回転させたり、所定方向の偏光のみを透過させるものであり、例えば偏光イメージングフィルタなどである。このため、光学機能素子は、入射される光の偏光方向を回転させるために、波長板ユニットを二次元に複数行複数列で配列してなるものである。個々の波長板ユニットは、高屈折率領域と低屈折率領域とが交互に且つ平行に形成されることで、複屈折を発現し、その光学軸が一方向となるように構成されている。
【０００３】
このような波長板ユニットからなる光学機能素子の製造方法として、特許文献１の図１に示すように、レーザ出力部（励起光発生部３）からパルス光レーザを発生させるとともに波長板（直線偏光板８）に通過させ、波長板（直線偏光板８）に通過したパルス光レーザを集光部（レンズ６）で収束して透光材料（ガラス材料１）に照射する方法が開示されている。そして、透光材料（ガラス材料１）は、相対移動部（電動ステージ７）に載置されて、パルス光レーザの照射方向に対して垂直に移動するようされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３１０００９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の製造方法だと、当該特許文献１の図５〜図１１に示すように、屈折率変化領域での平行の線が一方向、つまり光学軸の方向が一方向のみとなる。波長板ユニットごとに光学軸の方向を変えるには、波長板ユニットごとにパルス光レーザの直線偏光の偏光方向を変える必要がある。波長板ユニットごとにパルス光レーザの直線偏光の偏光方向を変えるには、パルス光レーザが照射されている透光材料（ガラス材料１）を電動ステージで移動させながら、隣接する新たな波長板ユニットの形成される位置まで透光材料（ガラス材料１）が移動した際に、パルス光レーザをシャッターなどで遮断しながら、波長板（直線偏光板８）を回転させる必要がある。言い換えれば、波長板ユニットごとに光学軸方向が異なる光学機能素子を製造するには、上記特許文献１に記載の製造方法だと、透光材料（ガラス材料１）の移動に、シャッターによるパルス光レーザの遮断と波長板（直線偏光板８）の回転とを同期させる必要がある。
【０００６】
このため、光学機能素子を上記特許文献１に記載の製造方法で製造するには、多くの操作が必要であり、製造時間を要するという問題がある。特に、多数の波長板ユニットからなる光学機能素子を上記特許文献１に記載の製造方法で製造するには、この問題が顕著になる。
【０００７】
そこで、本発明は、短時間で製造可能な光学機能素子の製造装置およびこれを使用した製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る光学機能素子の製造装置は、光学軸方向が異なる複数の波長板ユニットを二次元に複数行複数列で配列してなる光学機能素子を、透光材料から製造するための光学機能素子の製造装置であって、
フェムト秒レーザを出力するレーザ出力部と、
上記レーザ出力部から出力されたフェムト秒レーザを収束させて上記透光材料に照射する集光部と、
上記透光材料の上記フェムト秒レーザが照射される面に固定される波長板アレイ／偏光子アレイと、
上記透光材料とこの透光材料に照射されるフェムト秒レーザとを相対移動させる相対移動部とを備え、
上記波長板アレイ／偏光子アレイが、二次元に複数行複数列で配列される波長板セル／偏光子セルを有し、
上記集光部が、上記収束によりフェムト秒レーザの波長板アレイ／偏光子アレイでの横断面が１つの波長板セル／偏光子セルに納まる大きさにするものであり、
上記相対移動部が、上記相対移動によりフェムト秒レーザを上記複数の波長板セル／偏光子セルに順次照射させるものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係る光学機能素子の製造装置は、請求項１に記載の光学機能素子の製造装置において、波長板ユニットが略矩形状であり、
上記集光部の材質および形状と、上記フェムト秒レーザのパラメータと、透光材料の材質との関係が、以下の式（１）を満たすものである。
【００１０】
（Ｐ−２ｄ・ｔａｎθ）／Ｐ≧０．５・・・（１）
ｄ：上記透光材料の上記フェムト秒レーザが照射される面から波長板ユニットが形成される位置までの距離
θ：上記フェムト秒レーザの光軸に対する収束角度
Ｐ：上記略矩形状の波長板ユニットにおける一辺の長さ
さらに、本発明の請求項３に係る光学機能素子の製造装置は、請求項１または２に記載の光学機能素子の製造装置において、波長板アレイ／偏光子アレイにおける波長板セル／偏光子セルが、ガラスをレーザ加工もしくはインプリント技術により製作されたもの、または、フォトニック結晶波長板であるものである。
【００１１】
加えて、本発明の請求項４に係る光学機能素子の製造装置は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光学機能素子の製造装置において、波長板アレイが、フェムト秒レーザの波長に対して位相差πまたはπ／２を有し、
上記波長板アレイにおける波長板セルの配列が、製造される光学機能素子における波長板ユニットの配列と同一である。
【００１２】
また、本発明の請求項５に係る光学機能素子の製造方法は、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光学機能素子の製造装置を使用するものである。
【発明の効果】
【００１３】
上記光学機能素子の製造装置およびこれを使用した光学機能素子の製造方法によると、光学機能素子を短時間で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係る光学機能素子を模式的に示す平面図である。
【図２】同光学機能素子の屈折率変化領域における高屈折率部を線で示す平面図である。
【図３】同光学機能素子を構成する波長板ユニットを模式的に示す斜視図である。
【図４】同光学機能素子を構成する波長板ユニットの屈折率変化領域における高屈折率部を線で示す斜視図である。
【図５】球状の屈折率変化領域が形成される原理を説明するための斜視図である。
【図６】円柱状の屈折率変化領域が形成される原理を説明するための斜視図である。
【図７】同光学機能素子の製造装置を概略的に示す斜視図である。
【図８】同製造装置で円柱状の屈折率変化領域が形成される状態を説明するための拡大斜視図である。
【図９】同製造装置で円柱状の屈折率変化領域が形成される状態を説明するためのガラスおよび波長板アレイの模式図であり、上部で拡大平面視を示し、下部で拡大断面視を示す。
【図１０】同製造装置に必要なパラメータを説明するためのガラスおよび波長板アレイの模式図であり、拡大断面視を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係る光学機能素子の製造装置およびこれを使用した製造方法について、図面に基づき説明する。
まず、光学機能素子の概略について説明する。
【００１６】
この光学機能素子は、二次元に多数行多数列で配列される波長板ユニットからなるが、本実施の形態では説明および図面を簡単にするために、図１に示すように、６行６列で配列されたものとする。１つの波長板ユニット３は、矩形状であって、その光学軸４が一方向となるように構成されている。上記光学機能素子１を構成する多数（図１では６行６列で３６個）の波長板ユニット３のうち、行および列で隣り合う４つの波長板ユニット３の光学軸４方向は、いずれも異なるとともに、規則的にされている。一例として、図１に示すように、行および列で隣り合う４つの波長板ユニット３の光学軸４は、互いに４５°をなしている。このように光学軸４方向を規則的にするのは、光学機能素子１に入力された入射光の偏光方向を知るためである。具体的には、光学機能素子１に入射光が入力されると、入力された入射光の偏光方向と波長板ユニット３の光学軸４方向との関係により、入力された入射光の偏光方向が変化する。ここで、上記光学機能素子１に偏光子（ある特定方向の偏光方向しか透過させない光学的な素子）が設けられたもの、つまり偏光イメージングフィルタに、入射光が入力される場合について説明する。上記光学機能素子１を透過した入射光は、上記光学軸４方向に従って、さまざまな偏光方向を有するものに変換される。この変換された入射光のうち、ある特定方向の偏光方向のもののみが上記偏光子を透過する。このため、上記偏光イメージングフィルタを透過した入射光は、その偏光方向によって光強度が異なる。この光強度の異なりから、光学機能素子１に入力された入射光の偏光方向が明らかになる。
【００１７】
図１は上記光学機能素子１の光学軸４を両矢印で模式的に示した図であるが、実際の光学軸４は、ガラス（透光材料の一例である）に形成された屈折率変化領域（高屈折率部および低屈折率部からなる）の作用により定められる。この屈折率変化領域は、後述するように、フェムト秒レーザ（パルス幅が１０−１２秒〜１０−１５秒のパルス光レーザ）をガラスに照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に形成される。高屈折率部を線で表すと、図２に示すように、各波長板ユニット３に平行線が見られる。すなわち、この平行線が、酸素過剰により屈折率が高くなった高屈折率部１１である。一方で、上記平行線以外が、酸素欠陥により屈折率が低くなった低屈折率部１２である。上記高屈折率部１１および低屈折率部１２からなる屈折率変化領域は、高屈折率部１１および低屈折率部１２が交互に現れているので、周期構造であるといえる。この周期構造が、波長板としての機能を与える。また、図１と図２との比較から明らかなように、上記光学軸４方向は、上記高屈折率部１１の平行線と平行な方向である。
【００１８】
次に、光学軸４方向が規則的にされた１つの単位である、行および列で隣り合う４つの波長板ユニット３に着目して、図３および図４に基づき説明する。
図３は行および列で隣り合う４つの波長板ユニット３を模式的に示した斜視図であり、図４は図３の４つの波長板ユニット３を実際に示した斜視図である。波長板ユニット３は、図４に示すように、複数の円柱状の屈折率変化領域（以下では単に円柱領域５という）が同一平面上で並列に（つまり筏状に）形成されたものである。各円柱領域５は、図５および図６に示すように、球状の屈折率変化領域５Ｓが直線状に連なってなるものである。この球状の屈折率変化領域５Ｓは、図５に示すように、一定の偏光を有するとともに収束されたフェムト秒レーザ３４をガラス（透光材料の一例である）１０に照射することにより、当該フェムト秒レーザ３４の集光位置に形成される。したがって、上記各円柱領域５は、図６に示すように、上記フェムト秒レーザ３４と、このフェムト秒レーザ３４が照射されているガラス１０とを相対移動させることにより、当該フェムト秒レーザ３４の集光位置の軌跡に形成される。
【００１９】
以下、上述した円柱領域５が形成される原理を用いた上記光学機能素子１の製造装置について、図７および図８に基づき説明する。なお、以下では、単なるフェムト秒レーザを符号３１で表し、収束されたフェムト秒レーザを符号３３で表し、一定の偏光を有するとともに収束されたフェムト秒レーザを符号３４で表す。
【００２０】
図７に示すように、上記光学機能素子１の製造装置２０は、フェムト秒レーザ３１を出力するレーザ出力器（レーザ出力部の一例である）２１と、このレーザ出力器２１から出力されたフェムト秒レーザ３１をガラス（透光材料の一例である）１０に向けて反射させるミラー２２と、このミラー２２で反射されたフェムト秒レーザ３１を収束させるレンズ（集光部の一例である）２３と、上記ガラス１０のフェムト秒レーザ３３が照射される面に固定される波長板アレイ２４と、この波長板アレイ２４が固定された上記ガラス１０を載置するとともに上記フェムト秒レーザ３３，３４に対して当該ガラス１０を移動させ得る電動ステージ（相対移動部の一例である）２７とを備える。
【００２１】
上記波長板アレイ２４は、図７に示すように、その周囲がマスク２６で覆われることにより、収束されたフェムト秒レーザ３３が直接ガラス１０に照射されないようにされている。上記波長板アレイ２４の上記ガラス１０への固定は、例えば図８に示すように、上記波長板アレイ２４とガラス１０とが密着するように行われる。上記波長板アレイ２４は、波長板セル２５を二次元で多数行多数列に配列してなるものである。上記波長板セル２５は、入力される偏光を変換する機能がある。すなわち、上記波長板セル２５は、例えば、円偏光を直線偏光に変換したり、直線偏光を異なる角度の直線偏光に変換したりする。この機能を応用して、波長板セル２５は、その光学軸２５ａに従って、その上記波長板アレイ２４に照射されたフェムト秒レーザ３３の偏光を様々に変換させる。例えば、波長板セル２５は、フェムト秒レーザ３３の直線偏光の偏光方向を異なる角度に変換したり、フェムト秒レーザ３３の円偏光を様々な偏光方向の直線偏光に変換させたりする。
（１）波長板アレイ２４に照射されるフェムト秒レーザ３３が直線偏光の場合、フェムト秒レーザ３３の波長に対して位相差πを与えるλ／２波長板の機能を備える波長板アレイ２４を使用する。また、これら波長板セル２５は、製造したい光学機能素子に対応した配列、すなわち、行および列で隣り合う４つで、光学軸２５ａ方向がいずれも異なるとともに、規則的に配列されている。
（２）波長板アレイ２４に照射されるフェムト秒レーザ３３が円偏光の場合、フェムト秒レーザ３３の波長に対して位相差π／２を与えるλ／４波長板の機能を備える波長板アレイ２４を使用する。また、これら波長板セル２５は、製造したい光学機能素子１に対応した配列、すなわち、行および列で隣り合う４つで、光学軸２５ａ方向がいずれも異なるとともに、規則的に配列されている。
【００２２】
上記レンズ２３は、図８および図９に示すように、上記フェムト秒レーザ３３の波長板アレイ２４での横断面が１つの波長板セル２５に納まる大きさまで、上記フェムト秒レーザ３３を収束させるものである。なぜなら、収束されたフェムト秒レーザ３３が複数の波長板セル２５を透過すると、例えば図９の符号Ｎに示すように、適切な屈折率変化領域がガラス１０に形成されないからである。１つのみの波長板セル２５を透過したフェムト秒レーザ３４は、一定の偏光を有することにより、ガラス１０の所定深さｄで球状の屈折率変化領域５Ｓを形成する。なお、この屈折率変化領域の周期構造は、フェムト秒レーザ３４の有する偏光に依存する。
【００２３】
上記電動ステージ２７は、図７に示すように、載置されたガラス１０を移動させることにより、上記フェムト秒レーザ３３，３４と、このフェムト秒レーザ３３，３４が照射されているガラス１０とを相対移動させるものである。この相対移動の方向には、少なくとも、フェムト秒レーザ３３，３４の光軸方向（Ｚ軸方向ともいう）および当該光軸方向に垂直な方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向ともいう）を含む。上記相対移動により、上記ガラス１０に、球状の屈折率変化領域５Ｓが連続的に形成されて、図８および図９に示すような円柱領域５が形成される。上記光軸方向に垂直な方向（Ｘ軸方向またはＹ軸方向）への相対移動により、フェムト秒レーザを隣り合う波長板セルに順次照射することになる。
【００２４】
ここで、製造する光学機能素子１をＣＣＤの偏光イメージングフィルタとする場合、図１０に示すように、ＣＣＤの画素の一辺の長さをＰ、上記所定深さをｄ、上記フェムト秒レーザ３４の光軸に対する収束角度をθとすると、上記レンズ２３の材質および形状、フェムト秒レーザ３１のパラメータ、並びにガラス１０（例えばＣＣＤのカバーガラス）の材質は、以下の式（１）を満たすように決定される。
【００２５】
（Ｐ−２ｄ・ｔａｎθ）／Ｐ≧０．５・・・（１）
このように決定されることにより、上記画素に対応する波長板ユニット３における屈折率変化領域の一辺の長さ比が０．５以上になるので、上記画素に対応する波長板ユニット３における屈折率変化領域の面積比が０．２５以上になる。上記画素に対応する波長板ユニット３における屈折率変化領域の面積比が０．２５以上であれば、製造される光学機能素子１は、ＣＣＤの偏光イメージングフィルタとして有効に動作する。
【００２６】
以下、上記製造装置２０を使用した光学機能素子１の製造方法について説明する。
まず、周囲がマスク２６で覆われた波長板アレイ２４を、光学機能素子１にするガラス１０に密着させるとともに治具などで固定する。そして、図７に示すように、このガラス１０を電動ステージ２７に載置する。
【００２７】
次に、レーザ出力器２１からフェムト秒レーザ３１を出力させる。このフェムト秒レーザ３１は、ミラー２２で反射されてから、レンズ２３で収束されて、波長板アレイ２４に照射される。なお、波長板アレイ２４に照射されるフェムト秒レーザ３３は、図８および図９に示すように、その波長板アレイ２４での横断面が１つの波長板セル２５に納まる大きさとなるので、波長板セル２５ごとに照射されることになる。
【００２８】
波長板セル２５に照射されたフェムト秒レーザ３３は、その波長板セル２５の光学軸２５ａに応じて、特定の偏光方向の直線偏光が得られる。具体的には、
（１）波長板アレイ２４に照射されるフェムト秒レーザ３３が直線偏光の場合、フェムト秒レーザ３３の波長に対して位相差πを与えるλ／２波長板の機能を備える波長板アレイ２４を使用すると、その光学軸２５ａ方向に応じて、上記直線偏光が特定の偏光方向の直線偏光に変換される。
（２）波長板アレイ２４に照射されるフェムト秒レーザ３３が円偏光の場合、フェムト秒レーザ３３の波長に対して位相差π／２を与えるλ／４波長板の機能を備える波長板アレイ２４を使用すると、その光学軸２５ａ方向に応じて、上記円偏光が特定の偏光方向の直線偏光に変換される。
【００２９】
その結果、波長板セル２５を透過したフェムト秒レーザ３４、つまり、特定の偏光方向を有するフェムト秒レーザ３４は、ガラス１０の所定深さｄで球状の屈折率変化領域５Ｓを形成する。この球状の屈折率変化領域５Ｓは、その周期構造が上記特定の偏光方向に垂直な方位となる。次いで、電動ステージ２７でガラス１０を移動させることにより、球状の屈折率変化領域５Ｓが連続的に形成されて、円柱領域５が形成される。
【００３０】
ガラス１０の移動により、図８および図９に示すように、フェムト秒レーザ３４が隣り合う波長板セル２５に順次照射されることになる。ここで、波長板セル２５を透過したフェムト秒レーザ３４が有する偏光は、当該波長板セル２５に依存する。このため、フェムト秒レーザ３３は、隣の波長板セル２５（つまり光学軸２５ａ方向の異なる波長板セル２５）に照射されると、その偏光が異なることになるので、形成する円柱領域５の周期構造の方位も異なるものとなる。なお、隣り合う２つの波長板セル２５にフェムト秒レーザ３３が照射されると、フェムト秒レーザ３３が複数の偏光を有することになるので、図９の符号Ｎに示すように、適切な屈折率変化領域（円柱領域５）が形成されない。
【００３１】
このように、上記光学機能素子１の製造装置２０およびこれを使用した製造方法によると、フェムト秒レーザ３３が照射されたガラス１０を電動ステージ２７で移動させるだけで済むので、波長板アレイ２４の回転およびシャッターを不要にし、結果として、光学機能素子１を短時間で製造することができる。
【００３２】
また、ＣＣＤの画素に対応する波長板ユニット３における屈折率変化領域の面積比が０．２５以上になるので、ＣＣＤの偏光イメージングフィルタとして有効に動作する光学機能素子１を短時間で製造することができる。
【００３３】
ところで、上記実施の形態では、行および列で隣り合う４つの波長板ユニット３の光学軸４は、互いに４５°をなすとして説明したが、４５°に限定されるものではなく、規則的な方向であればよい。
【００３４】
また、上記実施の形態では、相対移動部の一例として電動ステージ２７について説明したが、移動させる対象を波長板アレイ２４およびガラス１０ではなくフェムト秒レーザ３３にするものでもよい。
【００３５】
さらに、上記実施の形態では、透光部材の一例としてガラス１０について説明したが、これに限定されるものではなく、光を透過させる部材であればよい。
加えて、上記実施の形態では、集光部の一例としてレンズ２３について説明したが、これに限定されるものではなく、フェムト秒レーザ３１を収束させるものであればよい。
【００３６】
また、上記実施の形態では、上記電動ステージ２７による移動をＸ軸方向またはＹ軸方向として説明したが、Ｘ軸方向および／またはＹ軸方向にＺ軸方向を組み合わせたものでもよい。
【００３７】
また、上記実施の形態では、上記光学機能素子１の製造装置２０が備えるものとして、波長板セル２５を二次元で多数行多数列に配列してなる波長板アレイ２４について説明したが、偏光子セルを二次元で多数行多数列に配列してなる偏光子アレイであってもよい。この場合、波長板セル２５の光学軸２５ａは、偏光子セルの透過軸となる。勿論、上記偏光子セルは、製造したい光学機能素子１に対応した配列、すなわち、行および列で隣り合う４つで、透過軸方向がいずれも異なるとともに、規則的に配列されている。これにより、偏光子アレイに照射されるフェムト秒レーザ３３が円偏光の場合、偏光子セルの透過軸方向に平行な偏光方向の直線偏光のみが透過され、特定の偏光方向の直線偏光が得られる。
【００３８】
また、上記実施の形態では、上記波長板アレイ２４の上記ガラス１０への固定が、例えば図８に示すように、上記波長板アレイ２４とガラス１０とが密着するように行われるとして説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、上記波長板アレイ２４（偏光子アレイ）とガラス１０との間に空隙があってもよい。
【００３９】
また、上記実施の形態では、上記波長板アレイ２４について詳しく説明しなかったが、上記波長板アレイ２４における波長板セル２５の配列は、製造される光学機能素子１における波長板ユニット３の配列と同一である。これにより、より大きい光学機能素子１を製造することができる。
【００４０】
また、上記実施の形態では、上記波長板アレイ２４について詳しく説明しなかったが、上記波長板アレイ２４における波長板セル２５は、ガラスをレーザ加工もしくはインプリント技術により製作されたもの、または、フォトニック結晶波長板である。これにより、極めて小さい波長板セル２５が製作されるので、上記波長板アレイ２４における波長板セル２５が細かくなり、より多くの波長板ユニット３から構成される光学機能素子１を製造することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１    光学機能素子
３    波長板ユニット
４    光学軸
５    円柱領域
５Ｓ  球状の屈折率変化領域
１０    ガラス
１１    高屈折率部
１２    低屈折率部
２１    レーザ出力器
２２    ミラー
２３    レンズ
２４    波長板アレイ
２５    波長板セル
２６    マスク
２７    電動ステージ
３１    フェムト秒レーザ
３３    収束されたフェムト秒レーザ
【図１】
2016099533.tif 000003
【図２】
2016099533.tif 000004
【図３】
2016099533.tif 000005
【図４】
2016099533.tif 000006
【図５】
2016099533.tif 000007
【図６】
2016099533.tif 000008
【図７】
2016099533.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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