(57)【要約】【課題】放電管の光射出部の短手方向端部近傍領域から射出される光量を増加させることができる放電ランプを提供する。【解決手段】放電管１００と、放電管１００の長手方向に沿って放電管１００に設けられた一対の電極である第一電極２００及び第二電極３００とを備える放電ランプ１０であって、一対の電極のうちのいずれか一方の電極である第二電極３００は、当該長手方向に延びる複数の電極線を含む第一電極線群３１０と、当該長手方向と交差する方向に延びる複数の電極線を含む第二電極線群３２０とを有し、第一電極線群３１０は、放電管１００からの光が放射される光放射領域Ｒ内に配置される、複数の電極線である領域内電極線３１１と、領域内電極線３１１に流れる電流の密度を低減する電流密度低減部３１２とを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電管と、前記放電管の長手方向に沿って設けられた一対の電極とを備える放電ランプであって、
前記一対の電極のうちのいずれか一方の電極は、前記長手方向に延びる複数の電極線を含む第一電極線群と、前記長手方向と交差する方向に延びる複数の電極線を含む第二電極線群とを有し、
前記第一電極線群は、
前記放電管からの光が放射される光放射領域内に配置される、複数の電極線である領域内電極線と、前記領域内電極線に流れる電流の密度を低減する電流密度低減部とを有する
放電ランプ。
【請求項２】
前記第二電極線群は、前記第一電極線群よりも電極線の間隔が大きくなるように形成されている
請求項１に記載の放電ランプ。
【請求項３】
前記電流密度低減部は、前記領域内電極線よりも断面積が大きくなるように形成された少なくとも１つの電極線である
請求項１または２に記載の放電ランプ。
【請求項４】
前記電流密度低減部は、前記領域内電極線よりも線幅が太くなるように形成された少なくとも１つの電極線であり、前記第一電極線群に含まれる複数の電極線のうちの端部に配置される
請求項３に記載の放電ランプ。
【請求項５】
前記一対の電極は、前記放電管の外面に、互いに対向して設けられており、
前記一対の電極のうち前記第一電極線群及び前記第二電極線群を有する電極は網状電極であり、他方の電極は板状電極である
請求項１〜４のいずれか１項に記載の放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプなどの放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
放電管と、前記放電管の外表面に長手方向に沿って設けられた一対の電極と、前記放電管の内表面に長手方向に沿って設けられた紫外線反射膜と、前記紫外線反射膜を前記放電管の長手方向に沿って開口する開口部を備えたエキシマランプが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような紫外線反射膜を備えることで、放電管の内部で発生した紫外線を散乱反射させて、前記開口部に位置する前記放電管の光射出部から射出される光量を増やすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２８９７２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような紫外線反射膜を用いる場合、前記紫外線反射膜を前記放電管の長手方向に沿って開口する開口部の前記長手方向に沿った開口端部近傍領域、言い換えれば、前記放電管の光射出部の短手方向端部近傍領域から射出される光量が、前記光射出部の短手方向中心部近傍領域から射出される光量より低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、放電管の光射出部の短手方向端部近傍領域から射出される光量を増加させることができる放電ランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る放電ランプは、放電管と、前記放電管の長手方向に沿って設けられた一対の電極とを備える放電ランプであって、前記一対の電極のうちのいずれか一方の電極は、前記長手方向に延びる複数の電極線を含む第一電極線群と、前記長手方向と交差する方向に延びる複数の電極線を含む第二電極線群とを有し、前記第一電極線群は、前記放電管からの光が放射される光放射領域内に配置される、複数の電極線である領域内電極線と、前記領域内電極線に流れる電流の密度を低減する電流密度低減部とを有する。
【０００７】
また、前記第二電極線群は、前記第一電極線群よりも電極線の間隔が大きくなるように形成されていることにしてもよい。
【０００８】
また、前記電流密度低減部は、前記領域内電極線よりも断面積が大きくなるように形成された少なくとも１つの電極線であることにしてもよい。
【０００９】
また、前記電流密度低減部は、前記領域内電極線よりも線幅が太くなるように形成された少なくとも１つの電極線であり、前記第一電極線群に含まれる複数の電極線のうちの端部に配置されることにしてもよい。
【００１０】
また、前記一対の電極は、前記放電管の外面に、互いに対向して設けられており、前記一対の電極のうち前記第一電極線群及び前記第二電極線群を有する電極は網状電極であり、他方の電極は板状電極であることにしてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る放電ランプによれば、放電管の光射出部の短手方向端部近傍領域から射出される光量を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る放電ランプの外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る放電ランプの構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る放電ランプの構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る第二電極の構成を示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る第二電極の第一電極線群の構成を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る第二電極の光放射領域を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態に係る放電ランプについて説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の好ましい一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、製造工程、製造工程の順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、以下の各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示したものではない。
【００１４】
（実施の形態）
まず、放電ランプ１０の概略構成について、説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態に係る放電ランプ１０の外観を模式的に示す斜視図である。なお、放電ランプ１０は、同図のＸ軸方向に延びる長尺状の形状を有しているが、同図では、当該長尺状の中央部分を省略して図示している。
【００１６】
また、図２及び図３は、本発明の実施の形態に係る放電ランプ１０の構成を示す断面図である。具体的には、図２は、図１に示された放電ランプ１０を、ＩＩ−ＩＩ線を含むＹＺ平面に平行な面で切断した場合の断面を示す図である。また、図３は、図１に示された放電ランプ１０を、ＩＩＩ−ＩＩＩ線を含むＸＺ平面に平行な面で切断した場合の断面を示す図である。
【００１７】
なお、これらの図では、Ｚ軸方向を上下方向として示しており、以下ではＺ軸方向を上下方向として説明する場合があるが、使用態様によってはＺ軸方向が上下方向にならない場合も考えられるため、Ｚ軸方向は上下方向となることには限定されない。以降の図においても、同様である。
【００１８】
放電ランプ１０は、いわゆる誘電体バリア放電を利用した放電ランプであり、より具体的には、一対の電極間にエキシマ放電を生じさせて紫外線を照射する、例えばエキシマランプといった紫外線ランプ等の誘電体バリア放電ランプである。例えば、放電ランプ１０は、紫外線による印刷、塗装、洗浄などを行う紫外線照射装置等に適用される。
【００１９】
これらの図に示すように、放電ランプ１０は、長尺状の放電管１００と、放電管１００の長手方向（同図ではＸ軸方向）に沿って互いに対向して設けられた一対の電極である第一電極２００及び第二電極３００とを備えている。
【００２０】
放電管１００は、扁平な直管状の放電管であり、内方の空間内に、誘電体バリア放電用のガスが充填されている。放電管１００は、例えば、合成石英ガラスによって形成されている。具体的には、放電管１００は、対向する一対の平坦な上壁部１０１及び下壁部１０２と、対向する一対の湾曲状の側壁部１０３及び１０４とを有している。
【００２１】
上壁部１０１は、放電管１００の上部（Ｚ軸方向プラス側の部分）に配置された、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる長尺状かつ平板状の壁部である。上壁部１０１には、外面（Ｚ軸方向プラス側の面）に、第一電極２００が設けられている。また、下壁部１０２は、放電管１００の下部（Ｚ軸方向マイナス側の部分）に配置された、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる長尺状かつ平板状の壁部である。下壁部１０２には、外面（Ｚ軸方向マイナス側の面）に、第二電極３００が設けられている。
【００２２】
側壁部１０３は、放電管１００の一方の側部（Ｙ軸方向マイナス側の部分）に配置された、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる長尺状かつ断面が半円形状の壁部である。側壁部１０３は、上壁部１０１及び下壁部１０２の一端部（Ｙ軸方向マイナス側の端部）に接続されて配置されている。また、側壁部１０４は、放電管１００の他方の側部（Ｙ軸方向プラス側の部分）に配置された、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる長尺状かつ断面が半円形状の壁部である。側壁部１０４は、上壁部１０１及び下壁部１０２の他端部（Ｙ軸方向プラス側の端部）に接続されている。
【００２３】
このように、放電管１００は、断面が長円形状（概略トラック状）を有する長尺状の放電管である。また、放電管１００の長手方向の両端部は、合成石英ブロックを溶着するなどにより、閉塞されている。なお、放電管１００の断面形状は、長円形状には限定されず、円形状、楕円形状、矩形状などであってもよい。また、放電管１００は、二重管構造を有していてもかまわない。
【００２４】
また、放電管１００の内部に形成された空間（放電空間）には、誘電体バリア放電用ガスが充填されている。なお、誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）またはクリプトン（Ｋｒ）等の希ガス、あるいは、フッ素（Ｆ２）または塩素（Ｃｌ２）等のハロゲンガス等を用いることができる。放電ランプ１０は、誘電体バリア放電用ガスの種類に応じて、異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等）のエキシマ光を発光する。例えば、有機化合物を分解するためには、誘電体バリア放電用ガスとしてキセノンが用いられ、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光が発光される。
【００２５】
また、図２及び図３に示すように、放電管１００の内面には、放電管１００の内部で生じたエキシマ光を反射する紫外線反射膜である反射膜１１０が形成されている。反射膜１１０は、放電管１００の内周面に長手方向に沿って設けられている。具体的には、反射膜１１０は、上壁部１０１と、側壁部１０３と、側壁部１０４とに亘って設けられている。つまり、反射膜１１０は、放電管１００の内面のうち、下壁部１０２に対応する位置に開口部が設けられたような形状を有している。この開口部から、エキシマ光が発光される。なお、反射膜１１０の一部が下壁部１０２に形成されていてもよい。
【００２６】
ここで、反射膜１１０は、シリカ粒子を含む膜である。つまり、シリカ粉末を所定の溶媒と混合してスラリーを作製し、放電管１００の内周面に塗布することで、反射膜１１０を形成することができる。なお、反射膜１１０を形成しない部分には、マスキングテープ等によりマスキングしておく。なお、反射膜１１０は、シリカ微粒子に加えてアルミナ粒子を含むものであってもよい。
【００２７】
第一電極２００は、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って、放電管１００の外面に、第二電極３００と対向して設けられた板状電極である。つまり、第一電極２００は、放電管１００の上面（Ｚ軸方向プラス側の面）に設けられた、放電管１００の長手方向に延びる長尺状かつ平板状の電極である。第一電極２００は、当該長手方向において、放電管１００内方の放電空間と略同等の長さを有し、第二電極３００とで当該放電空間を挟み込むように当該放電空間の上方に配置されている。
【００２８】
また、第一電極２００は、アルミニウム、アルミ合金、ステンレス等の導電性材料から形成されており、例えばメッキ、溶射、蒸着またはスパッタにより放電管１００の外面上に形成される薄膜かつ平板状の電極である。なお、第一電極２００は、放電管１００の上壁部１０１のほぼ全面に亘って設けられているのが好ましいが、部分的に設けられていない領域があってもかまわない。
【００２９】
第二電極３００は、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って、放電管１００の外面に、第一電極２００と対向して設けられた網状電極である。つまり、第二電極３００は、放電管１００の下面（Ｚ軸方向マイナス側の面）に設けられた、放電管１００の長手方向に延びる長尺状かつ網目状（メッシュ状）の電極である。第二電極３００は、当該長手方向において、放電管１００内方の放電空間と略同等の長さを有し、第一電極２００とで当該放電空間を挟み込むように当該放電空間の下方に配置されている。
【００３０】
また、第二電極３００は、第一電極２００と同様に、アルミニウム、アルミ合金、ステンレス等の導電性材料から形成されており、例えばメッキ、溶射、蒸着またはスパッタにより放電管１００の外面上に形成される薄膜かつ網目状の電極である。なお、第二電極３００は、放電管１００の下壁部１０２のほぼ全面に亘って設けられているのが好ましいが、部分的に設けられていない領域があってもかまわない。この第二電極３００のさらに詳細な構成の説明については、後述する。
【００３１】
以上のような構成において、高周波高電圧電源（図示せず）から高周波高電圧が第一電極２００と第二電極３００との間に印加されると、放電管１００内方の放電空間で誘電体バリア放電が発生する。そして、当該放電空間でキセノン原子などの誘電体バリア放電用ガスが励起され、このキセノン原子が基底状態に戻る際に中心波長が１７２ｎｍの真空紫外線を放射する（エキシマ発光）。そして、この真空紫外線は、放電管１００の下面に配置された第二電極３００のメッシュの開口を通って下方に放出される。したがって、この放電管１００の下方に放出された真空紫外線を被照射物に照射すれば、この被照射物の光洗浄を行うことができる。
【００３２】
次に、第二電極３００の構成について、詳細に説明する。
【００３３】
図４は、本発明の実施の形態に係る第二電極３００の構成を示す平面図である。具体的には、同図は、図１に示された放電ランプ１０を、下方（Ｚ軸方向マイナス側）から見た場合の構成を示す平面図である。
【００３４】
また、図５は、本発明の実施の形態に係る第二電極３００の第一電極線群３１０の構成を示す拡大断面図である。具体的には、同図は、図２に示された放電ランプ１０の第二電極３００の部分を拡大して示す断面図である。
【００３５】
また、図６は、本発明の実施の形態に係る第二電極３００の光放射領域Ｒを示す平面図である。具体的には、同図は、図４に示された放電ランプ１０に、光放射領域Ｒの位置を示した平面図である。
【００３６】
これらの図に示すように、第二電極３００は、網状電極であり、互いに異なる方向に延びる２組の電極線の集まり（電極線群）である第一電極線群３１０及び第二電極線群３２０を有している。つまり、第一電極線群３１０及び第二電極線群３２０は、それぞれ複数の電極線を有しており、第一電極線群３１０に含まれる電極線と第二電極線群３２０に含まれる電極線とは、直角に交差し、かつ、交差している部分で接続されている。
【００３７】
第一電極線群３１０は、放電管１００の長手方向（Ｘ軸方向）に延びる複数の電極線を含む電極線群である。第一電極線群３１０は、領域内電極線３１１と電流密度低減部３１２とを有している。具体的には、第一電極線群３１０は、Ｙ軸方向に配列された複数（本実施の形態では、９本）の領域内電極線３１１と、２つの電流密度低減部３１２とを有している。
【００３８】
領域内電極線３１１は、第二電極３００のＸ軸方向プラス側の端部からＸ軸方向マイナス側の端部まで、Ｘ軸方向に延びる電極線である。領域内電極線３１１は、Ｙ軸方向に等間隔で並ぶように複数配列されている。例えば、領域内電極線３１１は、線幅が０．３ｍｍの電極線であり、Ｙ軸方向にピッチ（図４の間隔Ａ）が２．４ｍｍの等間隔で並ぶように配列されている。なお、領域内電極線３１１の線幅及びピッチは、上記の値には限定されない。
【００３９】
電流密度低減部３１２は、複数の領域内電極線３１１の側方に配置され、第二電極３００のＸ軸方向プラス側の端部からＸ軸方向マイナス側の端部まで、Ｘ軸方向に延びる電極線である。つまり、電流密度低減部３１２は、第一電極線群３１０に含まれる複数の電極線のうちの端部に配置される電極線である。具体的には、当該複数の電極線の両端部、つまり複数の領域内電極線３１１の両側方（Ｙ軸方向プラス側及びマイナス側）に、２つの電流密度低減部３１２が配置されている。そして、複数の領域内電極線３１１と、２つの電流密度低減部３１２とが、Ｙ軸方向に等間隔で並んで配列されている。
【００４０】
また、電流密度低減部３１２は、第一電極線群３１０に含まれる複数の電極線のうち、領域内電極線３１１よりも線幅が太くなるように形成された少なくとも１つの電極線である。例えば、領域内電極線３１１の線幅が０．３ｍｍの場合、電流密度低減部３１２は、線幅が１．３ｍｍの電極線である。
【００４１】
具体的には、図５に示すように、電流密度低減部３１２は、領域内電極線３１１と高さ（放電管１００の下壁部１０２からの突出高さ）は同じで、領域内電極線３１１よりも線幅が太くなるように形成されている。これにより、電流密度低減部３１２は、領域内電極線３１１よりも断面積が大きくなり、領域内電極線３１１に流れる電流の密度を低減する。
【００４２】
なお、電流密度低減部３１２の線幅は、１．３ｍｍには限定されないが、領域内電極線３１１に流れる電流の密度を低減する観点から、領域内電極線３１１の線幅の３〜５倍程度（０．９ｍｍ〜１．５ｍｍ程度）であるのが好ましい。
【００４３】
また、領域内電極線３１１及び電流密度低減部３１２は、放電管１００からの光が放射される光放射領域内に配置されている。ここで、光放射領域について、説明する。
【００４４】
放電ランプ１０は、放電管１００内方の放電空間で発生した紫外線（エキシマ光）を、第二電極３００のメッシュの開口から放射する。つまり、第二電極３００のメッシュの開口を覆う領域が、放電管１００からの光が放射される光放射領域となる。加えて、放電ランプ１０は、放電管１００内方の放電空間で発生した紫外線（エキシマ光）を、第二電極３００の電流密度低減部３１２の前記側壁部１０３、１０４側の領域Ｒ’からも放射するため、この領域Ｒ’も光放射領域となる。
【００４５】
このため、図５及び図６に示される光放射領域Ｒ’を含む光放射領域Ｒ（図５の矢印で示す部分、及び図６の網掛けで示す部分）が、放電管１００からの光が放射される光放射領域となる。つまり、光放射領域Ｒは、第二電極３００に形成された全ての開口及び光放射領域Ｒ’を覆う矩形状の領域である。光放射領域Ｒ’は、第二電極３００の側壁部１０３、１０４側に設けられた矩形状の領域である。
【００４６】
これにより、領域内電極線３１１は、光放射領域Ｒ内に配置され、電流密度低減部３１２においても、光放射領域Ｒ内に配置されることとなる。つまり、光放射領域Ｒ内に、Ｘ軸方向に延びる複数の領域内電極線３１１がＹ軸方向に並んで配置されている。そして、Ｙ軸方向において当該複数の領域内電極線３１１を挟むように、当該複数の領域内電極線３１１の両側の光放射領域Ｒ内に、２つの電流密度低減部３１２が配置されている。
【００４７】
また、図４に示すように、第二電極線群３２０は、放電管１００の長手方向と交差する方向（Ｙ軸方向）に延びる複数の電極線を含む電極線群である。具体的には、第二電極線群３２０は、Ｘ軸方向に等間隔で並んで配列された複数の電極線３２１を有している。この複数の電極線３２１は、第二電極３００のＹ軸方向プラス側の端部からＹ軸方向マイナス側の端部まで、Ｙ軸方向に延びる電極線である。例えば、電極線３２１は、領域内電極線３１１と同じ線幅が０．３ｍｍの電極線である。
【００４８】
つまり、複数の電極線３２１のそれぞれは、複数の領域内電極線３１１と交差（直交）し、両端部が２つの電流密度低減部３１２に接続されている。また、複数の電極線３２１と複数の領域内電極線３１１とは、交差部分で一体化されており、複数の電極線３２１と２つの電流密度低減部３１２とは、接続部分で一体化されている。
【００４９】
ここで、第二電極線群３２０は、第一電極線群３１０よりも電極線の間隔（ピッチ）が大きくなるように形成されている。つまり、第二電極線群３２０内の隣り合う電極線３２１同士の間の間隔（図４の間隔Ｂ）は、隣り合う領域内電極線３１１同士の間の間隔、または領域内電極線３１１と電流密度低減部３１２との間の間隔（図４の間隔Ａ）よりも大きい。
【００５０】
例えば、間隔Ａが２．４ｍｍの場合、電極線３２１は、Ｘ軸方向にピッチ（図４の間隔Ｂ）が５．６ｍｍの等間隔で配列されている。なお、当該間隔Ｂは、当該間隔Ａよりも大きければよく、例えば２．８ｍｍなどであってもかまわない。また、電極線３２１の線幅についても、上記の値には限定されない。
【００５１】
なお、上述の通り、上記の間隔とは、電極線の中心線間の間隔（ピッチ）を示しているが、電極線間の隙間（電極線の縁と縁との間の長さ）を当該間隔と定義してもかまわない。つまり、第二電極線群３２０は、第一電極線群３１０よりも電極線間の隙間が大きくなるように形成されている構成でもかまわない。
【００５２】
このような構成により、第二電極３００は、Ｘ軸方向に延びる長方形状の開口が、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に複数並んだようなメッシュ状の電極となる。また、本実施の形態では、第二電極３００におけるメッシュの開口率（開口面積の割合）は、７８〜８３％程度となり、電流密度低減部３１２によって温度の上昇を抑制しつつ、照度向上を図ることができている。
【００５３】
以上のように、本発明の実施の形態に係る放電ランプ１０によれば、領域内電極線３１１より線幅が太い電流密度低減部３１２が光放射領域内に配置されているため、前記電流密度低減部３１２と対向して設けられた第一電極２００との間の放電強度を高めることができる。従って、前記放電管１００の長手方向に沿って開口する反射膜１１０の開口部の前記長手方向に沿った開口端部近傍領域、言い換えれば、前記放電管１００の光射出部の短手方向端部近傍領域から射出される光量を高めることができる。
【００５４】
よって、前記放電管１００の光射出部の短手方向の光量の均一化を図ることができる。
【００５５】
更に、放電ランプ１０の長手方向端部から給電する場合には、電流は長手方向の電極線に選択的に流れるため、当該長手方向の電極線を細くしたり本数を減らしたりすると、当該電極線における電流密度が増加して温度が上昇し、電極線が損傷する虞がある。このため、第一電極線群３１０において、電流密度低減部３１２により電極線の電流密度を低減することで、電極線が損傷するのを抑制しつつ第二電極３００の開口率を向上させることができる。
【００５６】
また、放電ランプ１０において、一部の電極線の断面積を大きくして電流密度低減部３１２を形成することで、容易に電流密度低減部３１２を形成することができる。
【００５７】
また、放電ランプ１０において、一部の電極線の線幅を太くして電流密度低減部３１２を形成する場合に、当該電流密度低減部３１２を端部に配置することで、電極線を太くすることによる開口率の低下を抑制することができる。
【００５８】
また、放電ランプ１０は、放電管１００の外面に互いに対向して設けられた板状電極である第一電極２００と網状電極である第二電極３００とを備えたエキシマランプであるため、第二電極３００の開口率を向上させて照度向上を図ることができるエキシマランプを実現することができる。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態に係る放電ランプについて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。つまり、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００６０】
例えば、上記実施の形態では、第一電極線群３１０と第二電極線群３２０とは、直角に交差していることとした。しかし、第一電極線群３１０と第二電極線群３２０とが交差する角度は、直角でなくともかまわない。
【００６１】
また、上記実施の形態では、第一電極線群３１０及び第二電極線群３２０は、いずれも電極線が等間隔に配列されていることとした。しかし、第一電極線群３１０または第二電極線群３２０は、電極線の間隔が徐々に広くなる、または狭くなるように配列されていてもよいし、電極線の間隔が中央部ほど広くなる、または狭くなるように配列されていてもよい。
【００６２】
また、上記実施の形態では、第一電極線群３１０及び第二電極線群３２０は、いずれも電極線が等間隔に配列されており、第二電極線群３２０は、第一電極線群３１０よりも電極線の間隔が大きくなるように形成されていることとした。しかし、第一電極線群３１０または第二電極線群３２０において、電極線が等間隔に配列されていない場合には、第二電極線群３２０は、第一電極線群３１０よりも電極線の間隔の平均値が大きくなるように形成されていることにしてもよい。または、第二電極線群３２０は、第一電極線群３１０よりも電極線の間隔の最小値または最大値が大きくなるように形成されていることにしてもよい。
【００６３】
また、上記実施の形態では、第一電極線群３１０及び第二電極線群３２０に含まれる電極線（領域内電極線、電流密度低減部、その他の電極線）は、断面形状（ＹＺ平面に平行な面での断面形状）が矩形状（長方形状）であることとした。しかし、当該電極線の断面形状は特に限定されず、半円形状、半楕円形状や、長方形状以外の角形状などであってもかまわない。
【００６４】
また、上記実施の形態では、放電ランプは、誘電体バリア放電ランプであることとした。しかし、放電ランプは、誘電体バリア放電ランプには限定されず、波長１８５ｎｍ、２５４ｎｍ等の低圧水銀ランプ等の紫外線ランプであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、照度向上を図ることができるエキシマランプ等の放電ランプに適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１０  放電ランプ
１００  放電管
１０１  上壁部
１０２  下壁部
１０３、１０４  側壁部
１１０  反射膜
２００  第一電極
３００  第二電極
３１０  第一電極線群
３１１  領域内電極線
３１２  電流密度低減部
３２０  第二電極線群
３２１  電極線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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