(57)【要約】【課題】      本発明は、光路を内蔵する光路内蔵チップであって、光軸の微調整が可能な光路内蔵チップ等を提供することを課題とする。【解決手段】  光路を内蔵する光路内蔵チップであって、光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、可動光路部は、固体の樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、調整部を動かすことにより第２光路の進路を変化させて光路の光軸を調整する、光路内蔵チップである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光路を内蔵する光路内蔵チップであって、
前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、
前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、
前記可動光路部は、
前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、
前記調整部を動かすことにより前記第２光路の進路を変化させて前記光路の光軸を調整する、光路内蔵チップ。
【請求項２】
光透過性の流体をさらに備え、
前記流体は、前記調整部及び前記第１光路に接するように充填されている、請求項１記載の光路内蔵チップ。
【請求項３】
前記第１光路の屈折率と前記流体の屈折率との差は、０．０１以下である、請求項２記載の光路内蔵チップ。
【請求項４】
前記調整部は、前記光路の一部を構成する光学素子であり、
前記可動光路部は、前記光学素子を回動させることで前記光路の光軸を調整する、請求項１から３のいずれかに記載の光路内蔵チップ。
【請求項５】
前記調整部は、前記光路の一部を内包する光ファイバであり、
前記光ファイバは、
前記固定光路部と前記可動光路部との界面を貫通しており、
一部を前記可動光路部の移動体に保持されており、
前記可動光路部は、前記移動体の変位により前記光ファイバから放出される光の角度を調整して前記光路の光軸を調整する、請求項１から３のいずれかに記載の光路内蔵チップ。
【請求項６】
光路を内蔵する光路内蔵チップを用いた光軸調整方法であって、
前記光路内蔵チップは、
前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、
前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、
前記可動光路部は、前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、
前記可動光路部が、前記調整部を動かすことにより前記第２光路の進路を変化させて前記光路の光軸を調整する調整ステップを含む、光軸調整方法。
【請求項７】
前記光路内蔵チップは、前記樹脂の前駆体を成分とする光透過性の流体をさらに備え、
前記流体は、前記調整部及び前記第１光路に接するように充填されており、
前記流体を固化させて前記可動光路部が有する光路を固定化する固定化ステップをさらに備える、請求項６記載の光軸調整方法。
【請求項８】
光路を内蔵する光路内蔵チップを生産する方法であって、
前記光路内蔵チップの筐体は、
前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、
前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、
前記可動光路部は、前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、
前記第１光路及び前記調整部に接する空間に、光透過性の流体を充填する充填ステップを含む、光路内蔵チップを生産する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光路内蔵チップ、光路内蔵チップを用いた光軸調整方法、及び、光路内蔵チップを生産する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばシリコン、シリコーン、ガラスなどよりなる小さな基板上に、半導体微細加工の技術によってマイクロスケールの分析用チャネルなどを形成したマイクロチップよりなるマイクロリアクタを用いて微量の試薬の分離、合成、抽出、分析などを行う手法が注目されている。
【０００３】
このようなマイクロリアクタを用いた反応分析システムは、マイクロ・トータル・アナリシス・システム（以下、「μＴＡＳ」という。）と称されており、μＴＡＳによれば、試薬の体積に対する表面積の比が大きくなることなどから高速かつ高精度の反応分析を行うことが可能となり、また、コンパクトで自動化されたシステムを実現することが可能となる。
【０００４】
マイクロチップは、当該マイクロチップに設けられるマイクロチャンネルとも呼ばれる流路に試薬が配置された反応領域、流体制御素子（マイクロポンプ、マイクロバルブ、マイクロミキサ、フィルタ、センサ）など各種機能を有する領域を設けて集積化することにより、様々な用途に適応させることが可能となる。
【０００５】
上記したマイクロチップは、典型的には一対のマイクロチップ基板が対向して接着された構造を有し、少なくとも１つの上記マイクロチップ基板の表面に微細な流路（例えば、幅１０〜数１００μｍ、深さ１０〜数１００μｍ程度）が形成されている。
【０００６】
マイクロチップの用途としては、遺伝子解析、臨床診断、薬物スクリーニングなどの化学、生化学、薬学、医学、獣医学の分野における分析、あるいは、化合物の合成、環境計測などが代表的である。
【０００７】
本発明者らは、検査時間が短く、かつ、高精度な評価分析を可能とする小型で携帯可能な、ＰＯＣＴ（ポイント・オブ・ケア・テスト）用の光学測定装置を提案してきた（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
このような光学測定装置の基本構成を以下に述べる。まず、光源、被測定試料を保持する試料ケース、光学系要素、センサー等の各構成要素が透明なＰＤＭＳ等の樹脂に埋設されている。ここでいう透明とは、光源からの測定光（励起光など）、試料からの観測光に対して透明を意味する。
【０００９】
また、光が進行する光路の少なくとも一部にも透明な樹脂が充填されている。この透明な樹脂により、各構成要素が一体化して保持される。さらに、各構成要素を一体化して保持する透明な樹脂構造は、顔料を含有する樹脂に包囲される。この樹脂が含有する顔料は、測定光（ＬＩＦ（光誘起蛍光法）の場合励起光）、自家蛍光、透明樹脂を測定光（励起光）が進行する際に発生するラマン光を吸収する波長特性を有する。この顔料含有樹脂は、結果として、各構成要素を保持するモノコックな筐体を構成する。
【００１０】
上記の光学測定装置は、各構成要素が樹脂に埋設されているので、振動・衝撃による光学系のアライメントズレが抑制される。また、顔料含有樹脂で包囲されているので、測定器内部の光が外部に漏れず、外部からも光が侵入しない。さらに、透明樹脂と顔料含有樹脂を同材質とすることで、屈折率が同じなので界面に屈折率境界はなく、界面における光反射・散乱が抑制される。測定光（励起光）、その反射光・散乱光等の迷光は、一旦、顔料含有樹脂に入射すると吸収され、迷光の複雑な多重反射は殆ど発生しない。よって、光学系（ＬＩＦの場合、蛍光収集光学系）は、複雑な迷光の多重反射に対応する必要がなく簡便化され、結果的に本測定器は小型化される。
【００１１】
このような樹脂に各構成要素（光学要素）などを埋設した構造、さらに、光吸収性顔料を含有する樹脂で包囲した構造は、光学測定装置にのみ応用できるだけではなく、例えば、μＴＡＳ用の光学チップにも応用できる。
【００１２】
また、本発明者らが提案した、携帯型端末機器のディスプレイ表面にマイクロチップを貼り付けて光学測定を行うＬＯＴ（Labo  on  Tablet）方式に用いる光分析装置、光分析処理装置に含まれるマイクロチップにも応用できる（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１４−３２０６４号公報
【特許文献２】特願２０１４−０３２２４５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、樹脂に光源、光学要素（レンズ、フィルタ等の光学部品）等の構成要素が埋設された構造である場合、振動・衝撃による光学系のアライメントズレが抑制されることの裏返しとして、光学系の光軸を微調整することが困難となる。
【００１５】
ゆえに、本発明は、光路を内蔵する光路内蔵チップであって、光軸の微調整が可能な光路内蔵チップ等を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の第１の観点は、光路を内蔵する光路内蔵チップであって、前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、前記可動光路部は、前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、前記調整部を動かすことにより前記第２光路の進路を変化させて前記光路の光軸を調整する、光路内蔵チップである。
【００１７】
本発明の第２の観点は、第１の観点の光路内蔵チップであって、光透過性の流体をさらに備え、前記流体は、前記調整部及び前記第１光路に接するように充填されている。
【００１８】
本発明の第３の観点は、第２の観点の光路内蔵チップであって、前記第１光路の屈折率と前記流体の屈折率との差は、０．０１以下である。
【００１９】
本発明の第４の観点は、第１から３のいずれかの観点の光路内蔵チップであって、前記調整部は、前記光路の一部を構成する光学素子であり、前記可動光路部は、前記光学素子を回動させることで前記光路の光軸を調整する。
【００２０】
本発明の第５の観点は、第１から３のいずれかの観点の光路内蔵チップであって、前記調整部は、前記光路の一部を内包する光ファイバであり、前記光ファイバは、前記固定光路部と前記可動光路部との界面を貫通しており、一部を前記可動光路部の移動体に保持されており、前記可動光路部は、前記移動体の変位により前記光ファイバから放出される光の角度を調整して前記光路の光軸を調整する。
【００２１】
本発明の第６の観点は、光路を内蔵する光路内蔵チップを用いた光軸調整方法であって、前記光路内蔵チップは、前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、前記可動光路部は、前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、前記可動光路部が、前記調整部を動かすことにより前記第２光路の進路を変化させて前記光路の光軸を調整する調整ステップを含む、光軸調整方法である。
【００２２】
本発明の第７の観点は、第６の観点の光軸調整方法であって、前記光路内蔵チップは、前記樹脂の前駆体を成分とする光透過性の流体をさらに備え、前記流体は、前記調整部及び前記第１光路に接するように充填されており、前記可動光路部が有する光路を固定化する固定化ステップをさらに備える。
【００２３】
本発明の第８の観点は、光路を内蔵する光路内蔵チップを生産する方法であって、前記光路内蔵チップの筐体は、前記光路の一部であって固化した樹脂で構成された第１光路を有する固定光路部と、前記光路の他の一部である第２光路を有する可動光路部とを備え、前記可動光路部は、前記固化した樹脂とは屈折率が異なる材質からなる調整部を有し、前記第１光路及び前記調整部に接する空間に、光透過性の流体を充填する充填ステップを含む、光路内蔵チップを生産する方法である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の各観点によれば、光路内蔵チップに内蔵された光路の保持しやすさを維持しつつ、調整部の許容範囲内で光軸の調整を行うことが可能となる。
【００２５】
また、本発明の第２，７及び８の観点によれば、前記調整部を動かすことが容易となる。しかも、前記光透過性の流体として前記樹脂の前駆体を採用することにより、光軸調整後に前記流体を固化させても流体が充填されていた空間と第１光路の界面の屈折率の変化を生じさせないため、調整後の光路を安定に維持可能となる。
【００２６】
さらに、本発明の第３の観点によれば、光軸の調整中に固液界面における屈折を無視することができ、光軸を調整することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る光分析システムの概要を示すブロック図である。
【図２】本願発明の実施例１に係る光路内蔵チップを用いた光軸調整方法の概要を示す図であり、（ａ−１）可動光路部をｚ軸方向から見た平面図、（ａ−２）（ａ−１）のＢ−Ｂ断面図、（ａ−３）（ａ−２）のＡ−Ａ断面図、（ｂ−１）可動光路部をｚ軸回りに回転させたところをｚ軸方向から見た平面図、（ｂ−２）（ｂ−１）のＢ−Ｂ断面図、（ｂ−３）（ｂ−２）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】実施例１に係る光路内蔵チップの生産から調整までの工程を示すフロー図である。
【図４】実施例１に係る光路内蔵チップの可動光路部の構造の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して、本願発明の実施例について述べる。なお、本願発明の実施の形態は、以下の実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００２９】
まず、図１を参照して、本願発明に係る光分析システムの概要について説明する。図１は、本願発明に係る光分析システム１の概要を示すブロック図である。
【００３０】
図１を参照して、光分析システム１は、光路内蔵チップ３（本願請求項の「光路内蔵チップ」の一例）と、携帯型端末機器５と、光源７とを備える。光路内蔵チップ３は、可動光路部９（本願請求項の「可動光路部」の一例）と、固定光路部１１（本願請求項の「固定光路部」の一例）と、筐体１３（本願請求項の「筐体」の一例）と、流路１５とを備える。可動光路部９は、可動透光部１７（本願請求項の「第２光路」の一例）と可動遮光部１９とを備える。可動透光部１７は、調整部２１（本願請求項の「調整部」の一例）と可動流体透光部２３とを備える。固定光路部１１は、固定透光部２５（本願請求項の「第１光路」の一例）と固定遮光部２７とを備える。携帯型端末機器５は、受光部２９と、演算部３１と、表示部３３とを備える。
【００３１】
光分析システム１は、流路１５内の検体に光を照射し、検体からの光を携帯型端末機器５の受光部２９が受光する。また、受光された光に基づいて演算部３１が演算することにより、分析を行う。演算結果は、表示部３３に表示される。可動光路部９と固定光路部１１は、隣接しており、全体として光路内蔵チップ３内の光路（本願請求項の「光路」の一例）を形成する。可動光路部９は、可動であって、光路の一部である可動透光部１７を有する。可動遮光部１９は、可動透光部１７を囲んでおり、可動透光部１７にとってノイズとなる光を遮断・吸収する。固定光路部１１は、固定されており、光路の一部である固定透光部２５を有する。固定遮光部２７は、固定透光部２５を囲んでおり、固定透光部２５にとってノイズとなる光を遮断・吸収する。
【００３２】
光源７から発した光は、光路内蔵チップ３内の光路（固定透光部１１及び／又は可動透光部１７）を経て、流路１５内の検体に照射される。検体からの光は、同様に光路内蔵チップ３内の光路（固定透光部１１及び／又は可動透光部１７）を経て受光部２９に達する。
【００３３】
ここで、従来の光路内蔵チップは、光路を安定に保つことができる一方、一度決定した光路を調整することは困難であった。本願発明に係る光路内蔵チップ３は、可動光路部９を備えることにより、光路を調整することが可能である。
【００３４】
続いて、図２を用いて、可動光路部９の具体的な構造と光軸調整方法について述べる。図２は、本願発明の実施例１に係る光路内蔵チップ３を用いた光軸調整方法（本願請求項の「光軸調整方法」の一例）の概要を示す図であり、（ａ−１）：可動光路部９をｚ軸方向から見た平面図、（ａ−２）：（ａ−１）のＢ−Ｂ断面図、（ａ−３）：（ａ−２）のＡ−Ａ断面図、（ｂ−１）可動光路部９をｚ軸回りに回転させたところをｚ軸方向から見た平面図、（ｂ−２）：（ｂ−１）のＢ−Ｂ断面図、（ｂ−３）：（ｂ−２）のＡ−Ａ断面図である。
【００３５】
図２を参照して、図２（ａ−１）及び図２（ａ−２）に示すように、光路内蔵チップ３は、筐体１３と、固定光路部１１と、透明光学素子ホルダ４１（「可動光路部９」の一例）とを備える。固定光路部１１は、透明な樹脂（本願請求項の「固化した樹脂」の一例）からなる固定透光部２５と、顔料を含有した樹脂からなる固定遮光部２７とを備える。透明光学素子ホルダ４１は、透明光学素子４３（本願請求項の「光学素子」の一例）と、光透過性の流体（本願請求項の「流体」の一例）からなる可動流体透光部２３と、顔料を含有した樹脂からなる可動遮光部１９（後述する円柱状部材４５及び４７に相当）とを有する。なお、上記流体は、例えば、液状の透明な樹脂であってもよい。
【００３６】
固定遮光部２７及び可動遮光部１９が有する顔料は、黒色顔料を含み、光を吸収する。固定遮光部２７も固定透光部２５も、屈折率ｎは、ｎ１に一致させている。そのため、固定遮光部２７に到達した光は、基本的に反射・散乱されることなく、固定遮光部２７に吸収される。また、固体透光部２５は、固定遮光部２７に包囲されている。そのため、光学測定のノイズとなる外部からの光は、固定遮光部２７が遮光し、光路に到達しない。
【００３７】
図２（ａ−２）に示すように、光路の途中に窪み部４０が設けられ、可動流体透光部２３として例えば液状の透明樹脂からなる光透過性の流体が充填されている。また、窪み部４０には、透明光学素子４３を挟持している透明光学素子ホルダ４１が挿入されており、そのため、透明光学素子４３の周囲には、液状の透明樹脂が充填されている。また、可動流体透光部２３は、固定透光部２５にも接している。
【００３８】
透明光学素子ホルダ４１は、例えば、透明光学素子４３を挟持する２つの円柱状部材４５及び４７で構成されている。円柱状部材４５及び４７の外径は、窪み部４０の内径とほぼ等しい。また、円柱状部材４５及び４７は、外部からの光を遮断したり、光路からの迷光を吸収させたりするため、黒色顔料を含有する固体樹脂から構成されている。
【００３９】
可動流体透光部２３を構成する光透過性の流体である液状の透明樹脂は、非架橋の樹脂である。この可動流体透光部２３を、固定透光部２５の屈折率ｎ１と同じ屈折率ｎ１を有する液状の透明樹脂とすることにより、光路となる固定透光部２５（ｎ＝ｎ１）と、窪み部４０に充填される可動流体透光部２３（ｎ＝ｎ１）との界面Ａ（図２（ａ−３）参照）では、屈折率差がない。よって、固定透光部２５から界面Ａを通過して可動流体透光部２３に進入する光線の進行方向は変わらない。
【００４０】
一方、板状の透明光学素子４３として、前記液状の透明樹脂の屈折率ｎ１とは相違する屈折率ｎ２を有する光学素子を採用することにより、前記液状の透明樹脂２３（ｎ＝ｎ１）と板状の透明光学素子４３（ｎ＝ｎ２）との間には屈折率差が生じる。よって、両者の界面Ｂを通過する光線は、透明光学素子４３の界面に垂直に入射しない限り、屈折の影響を受ける。
【００４１】
ここで、円柱状部材の一方（円柱状部材４５）の一部は、固定遮光部２７の表面からＺ方向に突出している。この突出部がつまみとなる。円柱状部材４５及び４７と窪み部４０との接触面は、液状の透明樹脂が潤滑剤として機能し、摩擦が少ない。よって、図２（ｂ−１）に示すように、透明光学素子ホルダ４１は回動可能である。したがって、円柱状部材４５及び４７により挟持される板状の透明光学素子４３も回動可能である。
【００４２】
図２（ａ−３）では、光線は界面Ｂに対して垂直に入射しているので、屈折しない。一方、図２（ｂ−３）では、板状の透明光学素子４３（ｎ＝ｎ２）の入射面（界面Ｂ）は、光線に対して傾いている。すなわち、界面Ｂにおいて、入射角が９０°ではない。よって、光線は屈折されて、Δｘだけ、ずれて進行する。
【００４３】
すなわち、Ｚ軸を回転軸として透明光学素子ホルダ４１（及び板状の透明光学素子４３）を回動させることにより、光軸をΔｘだけ調整できる。言い換えれば、前記した回動可能な板状の透明光学素子４３は、光軸を調整するための調整部２１として機能する。
【００４４】
なお、界面Ａを構成する光路となる固定透光部２５と、可動流体透光部２３との屈折率差Δｎが０．０１以下であれば、界面Ａでの屈折の影響は無視できる。よって、Δｎ＜０．０１であれば、光路となる固体と液体とを相違する材料で構成することも可能となる。
【００４５】
本実施例の構成の特徴をまとめると、次のとおりとなる。構造的な自由度（動かし易さ）を確保するために、液体固体界面（界面Ａ）を利用する。また、界面Ａにおいて進行する光が影響されないように、光路となる固体と液体との屈折率差Δｎを０．０１未満とする。液体内に光学素子を浸漬させて駆動可能とする。光学素子の屈折率と可動流体透光部の屈折率との間に差を設けることにより、光に対して反射・屈折の作用をもたらす界面Ｂを構築する。図２に示すように、板状の光学素子を回動させて、光学素子への光の入射角を調整することにより、光軸を調整する。
【００４６】
さらに、光透過性の流体として、液状の透明樹脂を採用した場合、調整の完了後、非架橋の可動流体透光部２３を架橋して固体化することにより、安定に光軸を保つことも可能である。
【００４７】
図３は、本実施例に係る光路内蔵チップ３の生産から使用までに特徴的な工程を示すフロー図である。
【００４８】
図３を参照して、ステップＳＴ００１として、光路内蔵チップ３のうち、可動流体透光部２３以外を製造及び／又は準備する。続いて、ステップＳＴ００２として、調整部２１及び固定透光部２５に接するように、固定透光部２５を構成する光透過性の流体を充填して可動流体透光部２３を設ける（本願請求項における「充填ステップ」の一例）。ここまでが光路内蔵チップ３を生産する方法（本願請求項の「光路内蔵チップを生産する方法」の一例）に関する工程である。
【００４９】
続いて、光路内蔵チップ３を用いた光軸調整方法に関する工程について述べる。ステップＳＴ００３として、可動透光部１７が、調整部２１を動かすことにより可動透光部１７における光路の進路を変化させて光軸を調整する（本願請求項における「調整ステップ」の一例）。ステップＳＴ００４として、光透過性の流体が樹脂の前駆体を成分とする流体である場合、可動流体透光部２３を重合により固化させて、可動光路部９の光路を固定化する（本願請求項における「固定化ステップ」の一例）。
【実施例２】
【００５０】
続いて、図４を参照して、実施例２に係る光軸調整方法について述べる。図４は、本願発明の実施例２に係る光路内蔵チップ５１を用いた光軸調整方法（本願請求項の「光軸調整方法」の一例）の概要を示す図であり、（ｃ−１）：光路を含む可動光路部の断面図、（ｃ−２）：（ｃ−１）のＣ−Ｃ断面図、（ｄ−１）：可動光路部を動かして調整した様子を示す断面図、（ｄ−２）：（ｄ−１）のＣ−Ｃ断面図である。
【００５１】
実施例２に係る光路内蔵チップ５１（本願請求項の「光路内蔵チップ」の一例）の構成のうち、実施例１と異なる点を中心に述べる。光路内蔵チップ５１は、隣接する可動光路部５３（本願請求項の「可動光路部」の一例）及び固定光路部５５（本願請求項の「固定光路部」の一例）を有する。可動光路部５３は、移動体５７（本願請求項の「移動体」の一例）と、可撓結合部５９と、可動流体透光部６１と、駆動ねじ部６３と、駆動空間６５とを備える。固定光路部５５は、移動体５７と接する第１固定透光部６７と、可動流体透光部６１に接する第２固定透光部６９（本願請求項の「第１光路」の一例）と、固定遮光部７１とを有する。移動体５７は、変形可能である可撓結合部５９を介して第２固定透光部６９に連結されている。可撓結合部５９が囲む空間には、光透過性の流体（例えば非架橋の樹脂）である可動流体透光部６１が充填されている。光路内蔵チップ５１は、第１固定透光部６７及び移動体５７を順に貫通し、可動流体透光部６１に進入する光ファイバ７３（本願請求項の「光ファイバ」の一例）をさらに備える。光ファイバ７３は、光の導波路となる。光ファイバ７３及び可動流体透光部６１が形成する可動光路部５３における光路は、本願請求項の「第２光路」の一例である。駆動ねじ部６３は、固定遮光部７１の上部７５を貫通して駆動空間６５に進入し、駆動空間６５の底部７７に接する。
【００５２】
移動体５７は、第１固定透光部６７と同じ樹脂で構成されている。移動体５７、可動流体透光部６１、第１固定透光部６７、第２固定透光部６９及び固定遮光部７１は、それぞれ屈折率が同一（ｎ＝ｎ１）となるように構成されている。
【００５３】
図４（ｃ−１）に示すように、可動光路部５３は、固定遮光部７１に囲まれた駆動空間６５を有し、移動体５７が駆動空間６５の内部で移動可能である。また、図４（ｃ−２）に示すように、移動体５７には、導波路（光ファイバ７３）から外れた位置であって、導波路（光ファイバ７３）が伸びる方向と略直交する方向にねじ孔部７９が設けられている。ねじ孔部７９は、駆動ねじ部６３と勘合する。
【００５４】
ここで、図４（ｄ−１）に示すように、駆動ねじ部６３を同図の下側に移動するように回転させる。しかしながら、上記したように、駆動ねじ部６３の先端は、駆動空間の底部７７と接触している。そのため、駆動ねじ部６３は、同図の下側への移動が制限されている。結果として、駆動ねじ部６３と勘合するねじ孔部７９を有する移動体５７が、図（ｄ−１）に示すように、上側へと移動する。なお、可撓結合部５９は、板厚の薄い透明樹脂で構成されており、撓むことが可能である。
【００５５】
こうして、光ファイバ７３は、移動体５７と第１固定透光部６７との境界と交差する部分を基点として、角度Δφだけ（上側）に回動する。
【００５６】
上記したように、光ファイバ７３の先端は、可撓結合部５９内の可動流体透光部６１内に位置している。そのため、光ファイバ７３から放出される光は、可動流体透光部６１（ｎ＝ｎ１）と光出射側の第２固定透光部６９（ｎ＝ｎ１）との界面Ａを介して、第２固定透光部６９に入射する。このとき、可動流体透光部６１と第２固定透光部６９とは、屈折率差がない。よって、光ファイバ７３から放出される光が界面Ａを通過しても、その進行方向は変わらない。
【００５７】
すなわち、駆動ねじ部６３を回転させて、移動体５７を駆動空間６５内で上下方向に駆動させることにより、光軸をΔφだけ調整できる。
【００５８】
なお、界面Ａを構成する光路となる第２固定透光部６９と、可動流体透光部６１との屈折率差Δｎが０．０１以下であれば、界面Ａでの屈折の影響は無視できる。したがって、Δｎ＜０．０１であれば、光路となる固体と液体とを相違する材料で構成することも可能となる。
【００５９】
なお、実施例１において、透明光学素子をＺ軸方向周りに回動させることとしたが、複数の軸回りに回動させて透明光学素子の回転の自由度を向上させてもよい。
【００６０】
また、実施例２において、駆動ねじ部の貫通方向を図４の紙面に垂直な方向とすれば、Δφが含まれる平面に垂直な平面内のΔθ方向に光軸を調整することも可能である。
【００６１】
さらに、実施例１において、可動流体透光部２３を形成する光透過性の流体である液状の透明樹脂は、透明光学素子ホルダ４１が挿入された後に窪み部４０に充填されてもよいし、透明光学素子ホルダ４１が挿入される前に窪み部４０に充填されてもよい。また、透明光学素子ホルダ４１に液状の透明樹脂が充填された状態で一緒に窪み部４０に挿入されてもよい。さらに、円柱状部材４７が挿入された後に、液状の透明樹脂及び透明光学素子４３が挿入され、最後に円柱状部材４１が挿入されてもよい。
【００６２】
実施例２においても、光透過性の流体である液状の透明樹脂（可動流体透光部６１）は、可撓結合部５９が光路内蔵チップ５１内に内蔵された後に充填されてもよいし、あらかじめ可撓結合部５９内に充填した上で可撓結合部５９を光路内蔵チップ５１に内蔵してもよい。
【００６３】
さらに、光源は、光路内蔵チップ３、５１に内蔵されてもよいし、外部光源を用いてもよい。
【００６４】
さらに、光透過性の流体として、樹脂の前駆体以外の材料であって固化させた場合に第１光路との屈折率が整合する材料を用いてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１・・・光分析システム、３・・・光路内蔵チップ、９・・・可動光路部、１１・・・固定光路部、１７・・・可動透光部、１９・・・可動遮光部、２１・・・調整部、２３・・・可動流体透光部、２５・・・固定透光部、２７・・・固定遮光部、４１・・・透明光学素子ホルダ、４３・・・透明光学素子、５１・・・光路内蔵チップ、５３・・・可動光路部、５５・・・固定光路部、５７・・・移動体、５９・・・可撓結合部、６１・・・可動流体透光部、６３・・・駆動ねじ部、６５・・・駆動空間、６７・・・第１固定透光部、６９・・・第２固定透光部、７１・・・固定遮光部、７３・・・光ファイバ、７９・・・ねじ孔部
【図１】
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【図３】
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【図２】
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【図４】
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