(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスターディスクから磁気信号をスレーブディスクに転写する磁気転写の各工程を行う各構成要素がベース上に配設され、前記ベースを覆う筐体が配設された磁気転写装置の前記筐体内の複数の所要の構成要素の至近位置に吸気口が固定して配設されたパーティクル測定手段によって前記筐体内のパーティクルを測定し、各測定位置のパーティクル数の関係からパーティクルの発生源を特定するとともに、時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の変化からパーティクルの発生源である構成要素を推定し、かつ時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の平均値と最大値とから前記筐体内のクリーン度を評価することを特徴とする磁気転写装置のパーティクル監視方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスク装置やフロッピーディスク装置等に用いられる磁気ディスクにマスターディスクからフォーマット情報等の磁気信号を転写する磁気転写装置と、磁気転写に障害となるパーティクルを監視するパーティクル監視方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録技術の進歩により磁気記録装置の大容量化あるいは小型化が進展している。中でもハードディスク装置の高密度記録による記録容量の向上は目ざましいものがある。このハードディスク装置は、複数枚の磁気ディスクと、各磁気ディスクそれぞれに対応する磁気ヘッドと、記録再生のための電子回路とを備えて構成される。このハードディスク装置の製造工程では、磁気ディスクにフォーマット情報、アドレス情報等の磁気信号が書き込まれる。この磁気信号の書き込みは、ハードディスク装置自身の磁気ヘッドを用いて行うこともできるが、磁気ディスクをスレーブディスクとして磁気信号を記録したマスターディスクから一括して磁気信号を記録することができる。このようにマスターディスクから磁気信号をスレーブディスクに転写する磁気転写装置の構成を図４に示す。
【０００３】
図４において、磁気転写装置は筐体１０内に各構成要素を収容し、筐体の上部からクリーンエアが送給され、クリーンな環境下で磁気転写がなされるように構成される。筐体１０内には複数枚のスレーブディスク１を収納したカセット１１が搬入され、ディスクハンドラ１３により１枚のスレーブディスク１が取り出されてロータリーインデックス４に設けられた吸着ヘッド３に移載される。ロータリーインデックス４にはその４か所に等間隔に吸着ヘッド３が設けられており、各吸着ヘッド３はロータリーインデックス４の間欠回転により停止位置（Ａ）〜（Ｄ）に順次移動する。停止位置（Ａ）に移動した吸着ヘッド３に移載されたスレーブディスク１は、ロータリーインデックス４の間欠回転により停止位置（Ｄ）に移動するまでの各停止位置（Ｂ）、（Ｃ）において、位置測定部５によるスレーブディスク１の保持位置の測定、異物検査部６によるスレーブディスク１表面の異物検査、初期化部７によるスレーブディスク１表面磁気の消去の各工程を経て、停止位置（Ｄ）においてマスターディスク２を保持した転写ステージ８により、マスターディスク２をスレーブディスク１に密着させた状態にして磁気転写がなされる。
【０００４】
上記磁気転写を行うとき、筐体１０内のクリーン度が極めて重要で、僅かなゴミや微粒子（パーティクル）が空気中に存在すると、マスターディスク２とスレーブディスク１との密着性が損なわれて磁気転写の障害となるばかりでなく、マスターディスク２の表面に傷が生じて著しくその寿命を低下させる。前述したように筐体１０内は上部から送給されるクリーンエアによって満たされるが、機械的な動作を伴う構成要素からはパーティクルが発生しクリーン度を低下させる恐れがある。そこで、筐体１０内のクリーン度を測定するために、筐体１０の扉１０ａを開いて筐体１０内にパーティクル測定用のプローブ１６を配置し、このプローブ１６から樹脂チューブ１８を引き出して、これをパーティクルカウンタ１７に接続してパーティクルを測定するように構成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来構成においては、プローブ１６を配置するために扉１０ａを開ける必要があり、このときの作業によって発生する塵埃や外部の異物が扉１０ａから空間内に侵入することになりやすく、正確なクリーン度の測定が困難になる問題点があった。
【０００６】
また、上記従来構成では、パーティクルの検出は可能であっても、パーティクル発生の場所やパーティクル発生の原因を特定することは容易でなく、パーティクルが検出されたときの対応処置が困難である課題があった。
【０００７】
本発明が目的とするところは、磁気転写装置が配設された環境中のパーティクルを正確に検出し、パーティクル発生の原因の特定を容易にする磁気転写装置のパーティクル監視方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本願発明に係る磁気転写装置のパーティクル監視方法は、マスターディスクから磁気信号をスレーブディスクに転写する磁気転写の各工程を行う各構成要素がベース上に配設され、前記ベースを覆う筐体が配設された磁気転写装置の前記筐体内の複数の所要の構成要素の至近位置に吸気口が固定して配設されたパーティクル測定手段によって前記筐体内のパーティクルを測定し、各測定位置のパーティクル数の関係からパーティクルの発生源を特定するとともに、時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の変化からパーティクルの発生源である構成要素を推定し、かつ時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の平均値と最大値とから前記筐体内のクリーン度を評価することを特徴とする。複数位置に配設された各パーティクル測定手段によって測定されたパーティクル数の関係から筐体内のクリーン度のばらつきが検出できると同時に、パーティクル発生源を特定することができ、時系列のパーティクル数の変化からパーティクル発生源と考えられる構成要素を推定することができる。これにより、検出された位置及び時間当たりのパーティクル数から磁気転写に不適な環境にならないように監視することができる。さらに、筐体内のクリーン度を、時系列に測定された各測定位置のパーティクル数の平均値と最大値とを所定値と比較することによって評価することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明し、本発明の理解に供する。尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１３】
図１、図２は、実施形態に係る磁気転写装置の構成を示すもので、図１に示すように、筐体１０内に磁気転写を実施する各構成要素が配設され、各構成要素は、図２に示すように架台１９上に取付けられたベース２０上に配設され、このベース２０を覆って筐体１０が配置される。筐体１０内には上部に配設されたクリーンエア送給ユニット１５からクリーンエアが送給される。
【００１４】
図１において、筐体１０内には複数枚のスレーブディスク１を収納したカセット１１が搬入され、ディスクハンドラ１３により１枚のスレーブディスク１が取り出されてロータリーインデックス４に設けられた吸着ヘッド３に移載される。ロータリーインデックス４にはその４か所に等間隔に吸着ヘッド３が設けられており、各吸着ヘッド３はロータリーインデックス４の間欠回転により停止位置（Ａ）〜（Ｄ）に順次移動する。停止位置（Ａ）に移動した吸着ヘッド３に前記ディスクハンドラ１３によって移載されたスレーブディスク１は、ロータリーインデックス４の間欠回転により停止位置（Ｄ）に移動するまでの各停止位置（Ｂ）、（Ｃ）において、位置測定部５によるスレーブディスク１の保持位置の測定、異物検査部６によるスレーブディスク１表面の異物検査、初期化部７によるスレーブディスク１表面磁気の消去の各工程を経て、停止位置（Ｄ）においてマスターディスク２を保持した転写ステージ８により、マスターディスク２をスレーブディスク１に密着させた状態にして磁気転写がなされる。前記マスターディスク２はマスターディスク搬送部９から転写ステージ８に搬送される。
【００１５】
上記各構成要素が配設されたベース２０上の６か所に吸気口１２が配設されている。各吸気口１２はベース２０を貫通して樹脂チューブ２１が接続され、各樹脂チューブ２１はそれぞれのパーティクルカウンター１４に接続され、筐体１０内の複数位置のパーティクルを測定することができる。各吸気口１２は、ディスクハンドラ１３、位置測定部５、異物検査部６、初期化部７、マスターディスク搬送部９、転写ステージ８の至近位置に配設されており、パーティクルが発生した場合に、その発生位置を特定することができる。尚、パーティクルカウンター１４は１台だけにして、各樹脂チューブ２１に対して切り替え接続するようにしてもよい。
【００１６】
また、各吸気口１２は筐体１０内に固定状態に配設されているので、パーティクルの測定に際して筐体１０を開く必要がなく、従来のパーティクル測定方法のように、パーティクルの測定作業によって筐体１０内が汚染されてしまうことがない。
【００１７】
各吸気口１２から測定されるパーティクル数は、図３（ａ）に示すように、測定位置の相関グラフに作成すると、図３（ａ）に示す例では、汚染された部位が特定されると同時に、パーティクル数は測定位置（３）を最大として測定位置（４）、測定位置（５）へと順次減少する傾向から気流の方向を知ることができる。この例では、測定位置（３）にパーティクルの発生源があり、それが測定位置（４）、測定位置（５）の方向に流れている様子がわかり、気流の方向に問題があることや、移動する機構部に問題があることが推定でき、原因の特定から対策を施すことが容易となる。
【００１８】
また、図３（ｂ）に示すように、特定した測定位置でのパーティクル数の時間経過毎の変化からもパーティクル発生の原因を特定することができる。図示する例では一定時間毎にパーティクルの発生がみられ、それが１分半間隔であることから、その間隔で動作する構成要素がパーティクル発生の原因と推定でき、１分半毎に筐体１０内にカセット１１を搬入する搬送部に問題があると特定できる。
【００１９】
また、パーティクルの測定によるクリーン度の評価は、所定回数の測定を行って、その平均値（ｎ）と最大値（ｍ）とを異常判定の設定値と比較して判定される。例えば、５回の測定を行って、その測定結果が、以下に示す測定結果１の場合と、測定結果２の場合とであったとき、パーティクル数が５個以上で異常とすると測定結果１の場合は異常、測定結果２の場合は正常と判定される。
【００２０】
０個、０個、０個、５個、０個…測定結果１
４個、４個、４個、４個、４個…測定結果２
しかし、実際にはほとんどの場合パーティクルなしであり、測定結果２の場合には常に一定のパーティクルが発生しており、明らかに測定結果２の方に問題がある。
【００２１】
そこで、本実施形態における異常判定は、測定結果の平均値ｍと、各測定値ｎとから評価する。即ち、平均値がｍ個以下、各測定値がｎ個以下であるとき、クリーン度は正常と判定する。例えば、異常判定の設定値を、ｍ＝２、ｎ＝６に設定すると、前記測定結果１は正常であり、測定結果２は異常となる。
【００２２】
【発明の効果】
以上の説明の通り本発明に係る磁気転写装置のパーティクル監視方法によれば、複数位置にパーティクルの測定手段が常時配設されるので、筐体内のパーティクルの分布が検出され、パーティクルの発生源を特定して、パーティクルのない状態に対応処置をとることが容易となり、パーティクルのない環境下での磁気転写を行うことができる。また、複数位置に設けたパーティクル測定手段により時系列測定が可能となり、筐体内のパーティクルの監視がより確実なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る磁気転写装置の構成を示す平面図である。
【図２】磁気転写部装置の全体構成を示す側面図である。
【図３】（ａ）は各測定位置単位のパーティクル測定グラフ、（ｂ）は特定位置の時系列のパーティクル測定グラフである。
【図４】従来構成になる磁気転写装置の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１  スレーブディスク
２  マスターディスク
１０  筐体
１２  吸気口
１４  パーティクルカウンター
２１  樹脂チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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