(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の各構成を有することを特徴とするＸＹ移動テーブル装置。
（イ）ベース上に取り付けられＸ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＸ軸固定ブロック
（ロ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸線が直交するようにベース上に配置して取り付けられ、Ｙ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＹ軸固定ブロック
（ハ）ベース上に互いに軸線が直交するように取り付けられた前記Ｘ軸固定ブロックと前記Ｙ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられ、ＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック
（ニ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ
（ホ）前記Ｘ軸ボールねじに螺合しＸ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＸ軸移動ブロック
（ヘ）前記Ｘ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｘ軸ボールねじに連結され前記Ｘ軸ボールねじを回転させるＸ軸モータ
（ト）前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ
（チ）前記Ｙ軸ボールねじに螺合しＹ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＹ軸移動ブロック
（リ）前記Ｙ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｙ軸ボールねじに連結され前記Ｙ軸ボールねじを回転させるＹ軸モータ
（ヌ）前記Ｙ軸移動ブロックに連結されＹ軸方向の駆動力を伝達する連結ガイド
（ル）前記テーブル固定ブロックの上面のＹ軸方向の両端に、配置された２個のＸ軸ガイド
（オ）前記Ｘ軸ガイドに沿ってＸ軸方向に移動可能で、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に中心位置が配置され前記Ｘ軸移動ブロックに連結されたＸ軸移動板
（ワ）前記Ｘ軸移動板のＸ軸方向の両端に、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｘ軸移動板の中心位置と同一水平面内に中心位置が配置された２個のＹ軸ガイド
（カ）前記Ｘ軸移動板の上面に取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドがＸ軸方向の両端の内側に内接するように組み込まれ、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｙ軸ガイドに沿ってＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸＹ移動テーブル
（ヨ）前記ＸＹ移動テーブルのＹ軸モータ側の側面に保持板を介して取り付けられ、前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向にスライド可能とし、また前記Ｙ軸移動ブロックに連結された前記連結ガイドと結合して前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力をＸＹ移動テーブルに伝達するスライドバー
【請求項２】
前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじまたは前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心が、前記Ｘ軸ガイド、前記Ｘ軸移動板および前記Ｙ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１記載のＸＹ移動テーブル装置。
【請求項３】
前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とが同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のＸＹ移動テーブル装置。
【請求項４】
前記Ｘ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸移動板の中心位置と、前記Ｙ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されていることを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載のＸＹ移動テーブル装置。
【請求項５】
前記Ｘ軸ボールねじおよび前記Ｘ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板および前記ＸＹ移動テーブルの側部に設置されていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４記載のＸＹ移動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤボンダその他の装置に用いる高速移動のＸＹ移動テーブル装置に関し、特にＸＹ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心と、Ｙ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心とを同一水平面内に配置した、ＸＹ移動テーブルの振動を防止する高速移動のＸＹ移動テーブル装置の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、従来のワイヤボンダにおいては、チップの電極とリードとを接続するワイヤが挿通されるキャピラリとキャピラリを保持するアームとアームを上下方向に揺動させる駆動機構とを含むボンディングヘッドと、このボンディングヘッドを上面に搭載し前記キャピラリをチップに対して相対的に水平面内に移動させるＸＹ移動テーブル装置とを有し、キャピラリがチップの電極の第１ボンディング点からリードの第２ボンディング点まで移動してワイヤで接続するようになっている。
【０００３】
図４は従来のワイヤボンダに用いられていた高速移動のＸＹ移動テーブル装置の構成の一例を示す斜視図であり、図５は図４のＣ−Ｃ断面図である。
図４および図５において、ベース２０上にはＸ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロック２１と、Ｘ軸固定ブロック２１の横にＹ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロック２２が取り付けられている。Ｙ軸固定ブロック２２にはＹ軸ボールねじ２５が軸受２３および軸受２４によりベース２０の上面から軸中心がＨ４の位置に軸支されており回転可能である。Ｙ軸ボールねじ２５にはＹ軸ボールねじ２５に螺合するＹ軸ボールねじナット２６が嵌め込まれたＹ軸移動ブロック２７が装着されており、Ｙ軸ボールねじ２５の回転によりＹ軸移動ブロック２７がＹ軸方向に移動可能となっている。また、Ｙ軸固定ブロック２２にはＹ軸モータ固定ブロック２８が取り付けられており、さらに、Ｙ軸モータ固定ブロック２８にはＹ軸モータ２９が取り付けられている。Ｙ軸モータ２９のモータ軸３０はＹ軸ボールねじ２５とカップリング３１により接続されており、Ｙ軸モータ２９の回転によりＹ軸ボールねじ２５が回転する。Ｙ軸移動ブロック２７にはＹ軸移動板３２が取り付けられており、Ｙ軸移動板３２はＹ軸固定ブロック２２の上面の両端にベース２０の上面から高さＨ５の位置に配置された２個のＹ軸ガイド３３（図４）に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。
【０００４】
Ｘ軸固定ブロック２１にはＸ軸ボールねじ３４が、ベース２０の上面から軸中心がＨ１の位置でＹ軸ボールねじ２５に直交するように軸受（図示せず）により軸支されており回転可能である。Ｘ軸ボールねじ３４にはＸ軸ボールねじ３４に螺合するＸ軸ボールねじナット３５が嵌め込まれたＸ軸移動ブロック３６が装着されており、Ｘ軸ボールねじ３４の回転によりＸ軸移動ブロック３６がＸ軸方向に移動可能となっている。また、Ｘ軸固定ブロック２１にはＸ軸モータ固定ブロック３７が取り付けられており、さらに、Ｘ軸モータ固定ブロック３７にはＸ軸モータ３８が取り付けられている。Ｘ軸モータ３８のモータ軸はＹ軸モータ２９のモータ軸３０と同様にＸ軸ボールねじ３４とカップリングにより接続されており、Ｘ軸モータ３８の回転によりＸ軸ボールねじ３４が回転する。Ｘ軸移動ブロック３６にはＸ軸移動板Ａ３９が取り付けられており、Ｘ軸移動板Ａ３９はＸ軸固定ブロック２１の上面の両端にベース２０の上面からＨ２の位置に配置された２個のＸ軸ガイド４０に沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。Ｘ軸移動板Ａ３９の上面には、Ｘ軸移動板Ｂ４１が搭載されておりＸ軸移動板Ａ３９と一体でＸ軸方向に移動するようになっている。
【０００５】
Ｘ軸移動板Ｂ４１の上面にはボンディングヘッドが搭載されるＸＹ移動テーブル４２が取り付けられている。ＸＹ移動テーブル４２はＸ軸移動板Ｂ４１の上面の両端にベース２０の上面からＨ３の位置にある２個のＹ軸ガイド４３に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。ＸＹ移動テーブル４２のＹ軸モータ２９寄りの一端は、Ｙ軸移動板３２からＹ軸方向の駆動力が伝達されるようにＬ型に９０度曲げられた形状となっている。Ｙ軸移動板３２の上面にはスライドユニット４４が取り付けられておりＹ軸移動板３２と一体でＹ軸方向に移動する。スライドユニット４４には２組のローラ４５が有り、ローラ４５はＸＹ移動テーブル４２のＬ型部分を挟持しており、ＸＹ移動テーブル４２がスライドユニット４４に沿ってＸ軸方向に移動可能である。これによりＹ軸移動板３２がＹ軸方向に移動することによりＸＹ移動テーブル４２がＹ軸方向に、さらにＸ軸移動板Ｂ４１がＸ軸方向に移動することによりＸＹ移動テーブル４２がＸ軸方向に移動し、ＸＹ移動テーブル４２が水平面内を移動するようになっている。
【０００６】
次に、上記ＸＹ移動テーブル装置の動作について説明する。  Ｙ軸モータ２９の回転によりＹ軸ボールねじ２５がＹ軸移動ブロック２７をＹ軸方向に移動させる。これによりＹ軸移動ブロック２７に取り付けられたＹ軸移動板３２がＹ軸方向に移動して、スライドユニット４４を介してＸＹ移動テーブル４２をＹ軸方向に移動させる。
Ｘ軸モータ３８の回転によりＸ軸ボールねじ３４がＸ軸移動ブロック３６をＸ軸方向に移動させる。これによりＸ軸移動ブロック３６に取り付けられたＸ軸移動板Ａ３９がＸ軸方向に移動してＸ軸移動板Ｂ４１を介してＸＹ移動テーブル４２をＸ軸方向に移動させる。
以上説明したように、従来、ワイヤボンダに用いられていたＸＹ移動テーブル装置においては、ＸＹ移動テーブル４２をＸ軸およびＹ軸方向の水平面内を移動させることにより、ＸＹ移動テーブル４２に搭載されたボンディングヘッド（図示せず）をＸ軸およびＹ軸方向に移動させて、ボンディングヘッドに装着されたキャピラリをチップに対して相対的に水平面内に移動させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の技術には次のような問題点があった。
第１の問題点は、Ｘ軸ボールねじの位置（ベース上面からＨ１）とＸ軸移動板の位置（ベース上面からＨ２）とＸＹ移動テーブルの位置（ベース上面からＨ３）がすべて異なった構造となっている。また、Ｙ軸ボールねじの位置（ベース上面からＨ４）とＹ軸移動板の位置（ベース上面からＨ５）が異なった構造となっているので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによりボールねじに対して前後左右およびその複合方向に偶力が働き、ＸＹ移動テーブルが振動する残留振動が発生してボンディングの位置決め精度や信頼性が悪化していた。これによりボンディング速度があげられないということである。
【０００８】
第２の問題点は、Ｘ軸ボールねじを含むＸ軸移動ブロックの上部にＸ軸移動板およびＸＹ移動テーブルが搭載されており、また、Ｙ軸ボールねじを含むＹ軸移動ブロックの上部にＹ軸移動板が搭載されているので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによりボールねじに対して前後左右およびその複合方向に偶力が働き、ＸＹ移動テーブルが振動する残留振動が発生して、ボンディングの位置決め精度や信頼性が悪化していた。これによりボンディング速度があげられないということである。
【０００９】
第３の問題点は、Ｘ軸移動板ＡとＸ軸移動板ＢとＹ軸移動板とＸＹ移動テーブルとの４個の移動板を有する構成となっており構造が複雑で構成部品が多くなり原価が高くなるということである。
【００１０】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、ワイヤボンダその他の装置に用いるような高速移動のＸＹ移動テーブル装置であって、Ｘ軸移動板のＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心と、Ｙ軸移動板のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心とが同一水平面内に配置され、またＸ軸移動板とＹ軸移動板は各１枚とし、さらに各移動板の下部にはボールねじの機構を設けず側面に配置する構造として、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、ＸＹ移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が働かなく、残留振動が発生しなく、構造が単純で簡単なＸＹ移動テーブル装置を提供することにある。
これによりワイヤボンダの場合、ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができ、また原価低減を計ることができる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するために次の各手段構成を有する。
第１の構成は、次の各構成を有することを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
（イ）ベース上に取り付けられＸ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＸ軸固定ブロック
（ロ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸線が直交するようにベース上に配置して取り付けられ、Ｙ軸方向の移動力を発生させる機構が組み込まれるＹ軸固定ブロック
（ハ）ベース上に互いに軸線が直交するように取り付けられた前記Ｘ軸固定ブロックと前記Ｙ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられ、ＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック
（ニ）前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ
（ホ）前記Ｘ軸ボールねじに螺合しＸ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＸ軸移動ブロック
（ヘ）前記Ｘ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｘ軸ボールねじに連結され前記Ｘ軸ボールねじを回転させるＸ軸モータ
（ト）前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ
（チ）前記Ｙ軸ボールねじに螺合しＹ軸ボールねじの回転により軸方向に移動するＹ軸移動ブロック
（リ）前記Ｙ軸固定ブロックに取り付けられ回転軸が前記Ｙ軸ボールねじに連結され前記Ｙ軸ボールねじを回転させるＹ軸モータ
（ヌ）前記Ｙ軸移動ブロックに連結されＹ軸方向の駆動力を伝達する連結ガイド
（ル）前記テーブル固定ブロックの上面のＹ軸方向の両端に、配置された２個のＸ軸ガイド
（オ）前記Ｘ軸ガイドに沿ってＸ軸方向に移動可能で、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に中心位置が配置され前記Ｘ軸移動ブロックに連結されたＸ軸移動板
（ワ）前記Ｘ軸移動板のＸ軸方向の両端に、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｘ軸移動板の中心位置と同一水平面内に中心位置が配置された２個のＹ軸ガイド
（カ）前記Ｘ軸移動板の上面に取り付けられ、前記Ｙ軸ガイドがＸ軸方向の両端の内側に内接するように組み込まれ、前記Ｘ軸ガイドおよび前記Ｙ軸ガイドに沿ってＸ軸およびＹ軸方向に移動可能なＸＹ移動テーブル
（ヨ）前記ＸＹ移動テーブルのＹ軸モータ側の側面に保持板を介して取り付けられ、前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向にスライド可能とし、また前記Ｙ軸移動ブロックに連結された前記連結ガイドと結合して前記ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力をＸＹ移動テーブルに伝達するスライドバー
【００１２】
第２の構成は、第１の構成において、前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじまたは前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心が、前記Ｘ軸ガイド、前記Ｘ軸移動板および前記Ｙ軸ガイドの中心位置と同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１３】
第３の構成は、第１または第２の構成において、前記Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支された前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とが同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１４】
第４の構成は、第１、第２または第３の構成において、前記Ｘ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸移動板の中心位置と、前記Ｙ軸ガイドの中心位置と、前記Ｘ軸ボールねじの軸中心と、前記Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１５】
第５の構成は、第１、第２、第３または第４の構成において、前記Ｘ軸ボールねじおよび前記Ｘ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板および前記ＸＹ移動テーブルの側部に設置されていることを特徴とするＸＹ移動テーブル装置である。
【００１６】
本発明は、各手段構成のＸＹテーブル装置において、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイドの中心位置とＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置し、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルを各１枚設け、またＸ軸ボールねじまたはＹ軸ボールねじの軸中心とＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置し、さらにＸ軸移動板とＸＹ移動テーブルのＸ軸ガイドおよびＹ軸ガイドの中心位置とＸ軸ボールねじとＹ軸ボールねじの軸中心とをすべて同一水平面内に配置し、このほかＸ軸移動板とＸＹ軸移動テーブルの下部にはボールねじの移動機構を設けない構造とすることにより、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時に、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が働かなく残留振動が発生しなく構造が簡単で単純となる。従って、ワイヤボンダに用いた場合、ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができ、また原価低減を計ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態は、第１の構成では、次の各構成を有する。
ベース上にはＸ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロックと、Ｘ軸固定ブロックと直交するように配置されＹ軸方向にテーブルを移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロックと、Ｘ軸固定ブロックとＹ軸固定ブロックとの直角内側面に沿うように配置して取り付けられＸＹ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロックとが取り付けられている。Ｘ軸固定ブロックにはＸ軸ボールねじが装着されたＸ軸移動ブロックがあり、Ｘ軸移動ブロックの側部にはＸ軸移動板が連結されている。Ｘ軸移動板の上面にはＸＹ移動テーブルが搭載されている。Ｘ軸移動板とＸ軸移動板をＸ軸方向にガイドするＸ軸ガイドとＸＹ移動テーブルをＹ方向にガイドするＹ軸ガイドの各中心は同一水平面内に配置されている。Ｘ軸モータの回転によりＸ軸移動板がＸ軸方向に移動し、Ｘ軸移動板に搭載されたＸＹ軸移動テーブルがＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１８】
Ｙ軸固定ブロックにはＹ軸ボールねじが装着されたＹ軸移動ブロックがあり、Ｙ軸移動ブロックは連結ガイドおよびスライドバーを介して、Ｙ軸モータの回転によりＸＹ移動テーブルをＹ軸方向に移動可能である。連結ガイドはスライドバーに沿ってＸＹ移動テーブルをＸ軸方向にスライドさせることが可能であり、ＸＹ移動テーブルがＸ軸方向に移動中であってもＹ軸方向の駆動力が伝達されるようになっている。ワイヤボンダのＸＹ移動テーブル装置は、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの回転により、ＸＹ移動テーブルをＸ軸およびＹ軸方向の水平面内に移動させる動作を行い、ワイヤボンダの場合、ＸＹ移動テーブルに搭載されたボンディングヘッドをＸ軸およびＹ軸方向に移動させている。
【００１９】
第２の構成では、Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじまたはＹ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸ボールねじの軸中心と、Ｘ軸ガイド、Ｘ軸移動板およびＹ軸ガイドの中心位置とが同一水平面内に配置されている。
【００２０】
第３の構成では、Ｘ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＸ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸固定ブロックに軸受により軸支されたＹ軸駆動軸の軸中心とが同一水平面内に配置されている。
【００２１】
第４の構成では、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸ボールねじの軸中心とがすべて同一水平面内に配置されている。
【００２２】
第５の構成では、前記Ｘ軸ボールねじおよびＸ軸移動ブロックと前記Ｙ軸ボールねじおよび前記Ｙ軸移動ブロックとが前記Ｘ軸移動板およびＸＹ移動テーブルの側部に設置されている。
【００２３】
【実施例】
以下本発明のＸＹ移動テーブル装置の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の、ＸＹ移動テーブル装置の実施例の第１の構成を示す斜視図である。
図２は図１のＡ矢方向の斜視図である。（Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータは図示せず）
図３は図１のＢ矢方向の側面図である。
図１、図２および図３において、ベース１上にはテーブルをＸ軸方向に移動させる機構を固定するＸ軸固定ブロック２と、Ｘ軸固定ブロック２と直交するように配置されテーブルをＹ軸方向に移動させる機構を固定するＹ軸固定ブロック３と、Ｘ軸固定ブロック２とＹ軸固定ブロック３との直角内側面に沿うように配置して取り付けられ移動テーブルが組み込まれるテーブル固定ブロック４とが取り付けられている。Ｘ軸固定ブロック２にはＸ軸ボールねじ５が軸受により軸支されており回転可能である。Ｘ軸ボールねじ５にはＸ軸ボールねじ５に螺合するＸ軸ボールねじナット６が嵌め込まれたＸ軸移動ブロック７が装着されている。また、Ｘ軸固定ブロック２には回転軸がＸ軸ボールねじ５に連結されたＸ軸モータ８が取り付けられており、Ｘ軸モータ８の回転によりＸ軸ボールねじ５が回転してＸ軸移動ブロック７をＸ軸方向に移動するようになっている。Ｘ軸移動ブロック７のＸ軸モータ８と反対側の一端はＸ軸移動板９と連結されている。
【００２４】
Ｙ軸固定ブロック３にはＹ軸ボールねじ１０が軸受により軸支されており回転可能である。Ｙ軸ボールねじ１０にはＹ軸ボールねじ１０に螺合するＹ軸ボールねじナット１１が嵌め込まれたＹ軸移動ブロック１２が装着されている。また、Ｙ軸固定ブロック３には回転軸がＹ軸ボールねじ１０に連結されたＹ軸モータ１３が取り付けられており、Ｙ軸モータ１３の回転によりＹ軸ボールねじ１０が回転してＹ軸移動ブロック１２をＹ軸方向に移動するようになっている。Ｙ軸移動ブロック１２のＹ軸モータ１３と反対側の一端には連結ガイド１４が連結されている。
【００２５】
テーブル固定ブロック４の上面にはＸ軸移動板９が搭載されている。Ｘ軸移動板９はテーブル固定ブロック４の上面のＹ軸方向の両端にベース１の上面から高さＨ０の位置に配置された２個のＸ軸ガイド１５に沿ってＸ軸方向に移動可能である。そして、Ｘ軸移動板９が、同じく高さＨ０となるように設定されている。また、Ｘ軸移動板９の上面には例えばボンディングヘッド（図示せず）を搭載するＸＹ移動テーブル１６が搭載されている。ＸＹ移動テーブル１６のＸ軸方向の両端の下部にはベース１の上面からＨ０の位置に２個のＹ軸ガイド１７が配置されており、ＸＹ移動テーブル１６がＹ軸ガイド１７に沿ってＹ軸方向に移動可能である。Ｘ軸移動板９とＸ軸移動ブロック７は連結されており、Ｘ軸モータ８の回転によりＸＹ移動テーブル１６がＸ軸方向に移動するようになっている。
【００２６】
ＸＹ移動テーブル１６のＹ軸モータ１３側の側面には保持板１８を介してスライドバー１９が取り付けられている。スライドバー１９がＹ軸移動ブロック１２に連結された連結ガイド１４に沿ってＸ軸方向にスライドすることにより、ＸＹ移動テーブル１６がＸ軸方向の如何なる位置にあってもＹ軸方向の駆動力が伝達される。Ｙ軸モータ１３の回転によりＸＹ移動テーブル１６がＹ軸方向に移動するようになっている。
【００２７】
次に、本発明の実施例の第１の構成の動作について図１、図２および図３を使用して説明する。
図１、図２および図３によれば、Ｘ軸モータ８が回転することによりＸ軸ボールねじ５が回転し、Ｘ軸移動ブロック７をＸ軸方向に移動させる。この動作によりＸ軸移動ブロック７に連結されたＸ軸移動板９がＸ軸方向に移動し、ＸＹ移動テーブル１６をＸ軸方向に移動させる。
Ｙ軸モータ１３が回転することによりＹ軸ボールねじ１０により、Ｙ軸移動ブロック１２をＹ軸方向に移動させる。この動作によりＹ軸移動ブロック１２に連結された連結ガイド１４がＹ軸方向に移動し、スライドバー１９を介してＸＹ移動テーブル１６をＹ軸方向に移動させる。
ワイヤボンダに用いるＸＹ移動テーブル装置は、Ｘ軸モータ８およびＹ軸モータ１３を回転させ、ＸＹ移動テーブル１６をＸ軸およびＹ軸方向に水平面内に移動させることにより、ＸＹ移動テーブル１６に搭載されたボンディングヘッド（図示せず）をＸ軸およびＹ軸方向に移動させている。
【００２８】
次に第２の構成について説明する。
Ｘ軸固定ブロック２に軸受により軸支されたＸ軸ボールねじ５またはＹ軸固定ブロック３に軸受により軸支されたＹ軸ボールねじ１０の軸中心と、Ｘ軸ガイド１５、Ｘ軸移動板９およびＹ軸ガイド１７の中心位置とがベース１の上面からＨ０の位置の同一水平面内に配置されている。
【００２９】
次に第３の構成について説明する。
Ｘ軸固定ブロック２に装着されるＸ軸ボールねじ５が、ベース１の上面から軸中心がＨ０の位置に軸受により軸支され、またＹ軸固定ブロック３に装着されるＹ軸ボールねじ１０がＸ軸ボールねじ５と同一水平面内であるベース１の上面から軸中心がＨ０の位置に軸受により軸支されている。
【００３０】
次に第４の構成について説明する。
Ｘ軸ガイド１５の中心位置と、Ｘ軸移動板９の中心位置と、Ｙ軸ガイド１７の中心位置と、Ｘ軸ボールねじ５がＸ軸固定ブロック２に軸受により軸支された軸中心と、Ｙ軸ボールねじ１０がＹ軸固定ブロック３に軸受により軸支された軸中心とがすべて同一水平面内であるベース１の上面からＨ０の位置に配置されている。
【００３１】
次に第５の構成について説明する。
Ｘ軸ボールねじ５およびＸ軸移動ブロック７とＹ軸ボールねじ１０およびＹ軸移動ブロック１２とが、Ｘ軸移動板９およびＸＹ移動テーブル１６の側部に設置されている。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のＸＹ移動テーブル装置は次の効果を有する。
第１の構成の第１の効果は、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置とを同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動の発生が少ない。これによりワイヤボンダの場合ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３３】
第１の構成の第２の効果は、Ｘ軸移動板とＸＹ移動テーブルを各１枚設ける構造としたので、構造が簡単で単純となり原価低減が計れる。
【００３４】
第２の構成と第３の構成の効果は、第２の構成ではＸ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじまたはＹ軸ボールねじの軸中心とを同一水平面内に配置したので、また第３の構成ではＸ軸ボールねじの軸中心とＹ軸ボールねじの軸中心とを同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動の発生が少ない。これによりワイヤボンダの場合ボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３５】
第４の構成の効果は、Ｘ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸移動板の中心位置と、Ｙ軸ガイドの中心位置と、Ｘ軸ボールねじの軸中心と、Ｙ軸ボールねじの軸中心とをすべて同一水平面内に配置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力がなく残留振動が発生しない。これにより同じくボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。
【００３６】
第５の構成の効果は、Ｘ軸ボールねじおよびＸ軸移動ブロックとＹ軸ボールねじおよびＹ軸移動ブロックとがＸ軸移動板およびＸＹ移動テーブルの側部に設置したので、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータの加速、減速、停止時において、移動テーブルの慣性モーメントによるボールねじに対する偶力が少なく残留振動が発生しない。これにより同じくボンディング速度とボンディング精度および信頼度をあげることができる。また構造が簡単で単純となり原価低減が計れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、ＸＹ移動テーブル装置の実施例の第１の構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ矢方向の斜視図である。（Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータは図示せず）
【図３】図１のＢ矢方向の側面図である。
【図４】従来ワイヤボンダに用いられているＸＹ移動テーブル装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
１  ベース
２  Ｘ軸固定ブロック
３  Ｙ軸固定ブロック
４  テーブル固定ブロック
５  Ｘ軸ボールねじ
６  Ｘ軸ボールねじナット
７  Ｘ軸移動ブロック
８  Ｘ軸モータ
９  Ｘ軸移動板
１０  Ｙ軸ボールねじ
１１  Ｙ軸ボールねじナット
１２  Ｙ軸移動ブロック
１３  Ｙ軸モータ
１４  連結ガイド
１５  Ｘ軸ガイド
１６  ＸＹ移動テーブル
１７  Ｙ軸ガイド
１８  保持板
１９  スライドバー
２０  ベース
２１  Ｘ軸固定ブロック
２２  Ｙ軸固定ブロック
２３  軸受
２４  軸受
２５  Ｙ軸ボールねじ
２６  Ｙ軸ボールねじナット
２７  Ｙ軸移動ブロック
２８  Ｙ軸モータ固定ブロック
２９  Ｙ軸モータ
３０  モータ軸
３１  カップリング
３２  Ｙ軸移動板
３３  Ｙ軸ガイド
３４  Ｘ軸ボールねじ
３５  Ｘ軸ボールねじナット
３６  Ｘ軸移動ブロック
３７  Ｘ軸モータ固定ブロック
３８  Ｘ軸モータ
３９  Ｘ軸移動板Ａ
４０  Ｘ軸ガイド
４１  Ｘ軸移動板Ｂ
４２  ＸＹ移動テーブル
４３  Ｙ軸ガイド
４４  スライドユニット
４５  ローラ
【図１】
0003868636.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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