(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台上に設けられた断熱材と、
前記断熱材を介して前記基台に載置されて当該基台に固定され、内部で熱処理を行う箱状の内容器と、
前記内容器の底面以外の外面に沿わせる他の断熱材と、
内面側に前記他の断熱材を介装した複数のパネルを、前記内容器の外面に当該断熱材を沿わせて当該内容器から断熱された状態で配置し、これらのパネルを相互に締結することで前記内容器の外側に筐体を構成し、かつ、前記基台にも締結された外容器と、
前記外容器の少なくとも一部の外面に隙間を保って設けられた外容器カバーとを備え、
前記内容器及び外容器の所定箇所に被熱処理物の搬入又は搬出用の開口が設けられ、これに対応して前記外容器又は外容器カバーの所定箇所に、開閉可能部位が設けられていることを特徴とする熱処理装置の筐体構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理装置の筐体構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、従来の熱処理装置における筐体構造の概略を示す図である。まず（ａ）において、基台１０１の上に四角い筒状の外容器１０２が設置される。そして、内部で熱処理を行うための予め組み立てられた内容器１０３を、外容器１０２の内部に挿入する。挿入後、（ｂ）に示すように外容器１０２と内容器１０３との隙間に断熱材１０４を押し込み、蓋１０５をして外容器１０２を閉鎖する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の熱処理装置における筐体構造では、上部から断熱材１０４を押し込む作業が容易ではなく、作業能率が悪い。また、断熱材１０４が下方の隅の方まで行き届かないことがあり、そのような場合には十分な断熱効果が得られない。
【０００４】
上記のような従来の問題点に鑑み、本発明は、断熱材の装着が容易で、優れた断熱効果が得られる熱処理装置の筐体構造を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の熱処理装置の筐体構造は、基台と、前記基台上に設けられた断熱材と、前記断熱材を介して前記基台に載置されて当該基台に固定され、内部で熱処理を行う箱状の内容器と、前記内容器の底面以外の外面に沿わせる他の断熱材と、内面側に前記他の断熱材を介装した複数のパネルを、前記内容器の外面に当該断熱材を沿わせて当該内容器から断熱された状態で配置し、これらのパネルを相互に締結することで前記内容器の外側に筐体を構成し、かつ、前記基台にも締結された外容器と、前記外容器の少なくとも一部の外面に隙間を保って設けられた外容器カバーとを備え、前記内容器及び外容器の所定箇所に被熱処理物の搬入又は搬出用の開口が設けられ、これに対応して前記外容器又は外容器カバーの所定箇所に、開閉可能部位が設けられている。
上記のように構成された熱処理装置の筐体構造は、基台上に断熱材を介して内容器を設置してから、他の断熱材を介してパネルが配置され、パネルを相互に締結し、かつ、基台にも締結することにより外容器が形成される。また、外容器カバーは外容器との間に空気の層を形成することにより、外容器より表面温度が低下する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態による熱処理装置の外観を示す図であり、（ａ）は背面図、（ｂ）は（ａ）に対する右側面図である。また、図２は、当該熱処理装置内部の概略構造を示す平面図である。図１において、当該熱処理装置は、多数の支持脚１ａで支えられた直方体状の基台１上に、熱処理室２を構成してなるものである。
【０００７】
図１及び図２において、熱処理室２は、密閉可能な箱状の内容器３と、内容器３の底面を除く他の５面（背面、正面、両側面、上面）を覆う外容器４と、内容器３と外容器４との隙間及び内容器３の底面と基台１の上面との間に設けられた断熱材５と、外容器４の一部の外面を覆う外容器カバー６と、外容器カバー６の上部のトップカバー７とを備えている。外容器４は上記５面に対応した５つのパネル（詳細後述）によって構成され、各パネルは、その縁辺部が折り曲げられた蓋状の形状を成している。また、熱処理室２の背面側には点検扉８が設けられ、正面側には被処理物９を搬入又は搬出する際に開閉されるシャッタ１０が設けられている。点検扉８及びシャッタ１０の内部にはそれぞれ断熱材５が取り付けられている。
【０００８】
上記内容器３の内部（図２）には、ヒータ１１と、熱風を循環させるシロッコファン１２と、熱風を所定の清浄度以下にするフィルタ１３とが備えられている。外容器４の外部に取り付けられたモータ１４によりシロッコファン１２が回転駆動されると、熱風が矢印に示す経路を循環して、被処理物９は熱処理される。この被処理物９は例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイパネル等の平面型ディスプレイに使用されるガラス基板であり、ラック（図示略）に多段に載置されている。上記モータ１４を収納するスペースは、化粧カバー１５により覆われている。
【０００９】
次に、上記のように構成された熱処理室２の組立について説明する。図３は、熱処理室２を構成する主要な筐体の組立手順を示す分解斜視図である。なお、内容器３は予め組み立てられているものとする。図において、まず、基台１上の所定位置に、断熱材５を介して内容器３を載置し、基台１に固定する。次に、外容器４を構成する５つのパネル４１，４２，４３，４４，４５のうち、背面、正面及び両側面の４つのパネル４１〜４４の内面側に断熱材５を入れる。そして、それぞれを内容器３の対応する面に沿わせて配置し、各パネル４１〜４４を相互に締結するとともに基台１にも締結する。また、内容器３の天板上に、断熱材５を介して残りの１枚のパネル４５を、縁辺部の折り返しの無い方の面を下にして重ね、これを先の４枚のパネル４１〜４４と締結する。こうして、内容器３の５面に断熱材５を介して外容器４（４１〜４５）が構成される。また、断熱材５は底面も含む内容器３の外面全体（６面）に配置される。当該作業は、必要な断熱材５を予め取り付けてからパネル４１〜４５を取り付ける作業であるため、容易に、かつ、短時間に行うことができる。また、断熱材５は６面全域に確実に行き届くので、優れた断熱効果を得ることができる。
【００１０】
図４は、外容器４の上部における部材間の締結構造を示す縦断面図である。上記のようにして外容器４を構成した後、外容器４の背面側のパネル４１及び右側面側のパネル４４の上端面に、図４に示すようにしてトップカバー７を取り付ける。なお、正面側のシャッタ１０昇降部以外にもトップカバー７が取り付けられるが、これについては図示を省略する。取り付けた状態のトップカバー７の下端面には空気を通すための孔７ａが多数設けられている。続いて、外容器カバー６の背面側パネル６１及び右側面側パネル６２を取り付ける。これらのパネル６１，６２の上部はトップカバー７に締結され、下部は基台１に締結される。外容器カバー６の取付により、図４に示すように、外容器４のパネル（４１，４４）との間に空気の層ができる。これにより、外容器カバー６の表面温度は外容器４の表面温度より低減される。また、外容器カバー６には、外容器４の表面に露出するボルト等を隠して美観を向上させるなどの意義がある。
【００１１】
最後に、図３における外容器カバー６の背面側パネル６１に点検扉８が取り付けられ、また、正面側にはシャッタ１０等が取り付けられて、熱処理室２の主要な筐体が完成する。
なお、外容器カバー６及びトップカバー７は、背面及び右側面に限らず、必要により他の面にも設けることができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上のように構成された本発明は以下の効果を奏する。
本発明の熱処理装置の筐体構造によれば、基台上に断熱材を介して内容器を設置してから、他の断熱材を介してパネルが配置され、パネルを相互に締結し、かつ、基台にも締結することにより外容器が形成されるので、断熱材の装着が容易であり、外容器の組立も容易である。また、隅々まで確実に断熱材が行き届くので優れた断熱効果が得られる。さらに、外容器カバーによって外容器との間に空気の層が形成されることにより、外容器カバーの表面温度が外容器より下がるので、安全である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による熱処理装置の外観を示す図であり、（ａ）は背面図、（ｂ）は（ａ）に対する右側面図である。
【図２】上記熱処理装置内部の概略構造を示す平面図である。
【図３】上記熱処理装置の熱処理室を構成する主要な筐体の組立手順を示す分解斜視図である。
【図４】上記筐体の外容器上部における部材間の締結構造の詳細を示す縦断面図である。
【図５】従来の熱処理装置の筐体構造の概略を示す斜視図である。
【符号の説明】
３    内容器
４    外容器
５    断熱材
６    外容器カバー
４１〜４５    パネル
６１    背面側パネル
６２    右側面側パネル
【図１】
0003868211.tif 000002
【図２】
0003868211.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003868211.tif 000005
【図５】
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