(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有する磁気ヘッドであって、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられ、該第１の下部保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の下部保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有する磁気ヘッドであって、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられた多孔質体からなる第２の下部保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項３】
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、及び該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層を有する磁気ヘッド本体と、該磁気ヘッド本体上面を被覆する上部保護層とを有する磁気ヘッドであって、前記上部保護層は、該上側絶縁層上の少なくとも該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側領域及び該上部保護層表面領域にかけて設けられた第１の保護層と、前記エアベアリングサーフィス側から見て、コイルのエアベアリングサーフィス側と反対側の端面から後方に形成され、該第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項４】
基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有し、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられ、該第１の下部保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の下部保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項５】
基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有し、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられた多孔質体からなる第２の下部保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置。
【請求項６】
基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、及び該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層を有する磁気ヘッド本体、及び該磁気ヘッド本体上面を被覆する上部保護層を有し、前記上部保護層が、該上側絶縁層上の少なくとも該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側領域及び該上部保護層表面領域にかけて設けられた第１の保護層と、前記エアベアリングサーフィス側から見て、コイルのエアベアリングサーフィス側と反対側の端面から後方に形成され、該第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録再生技術に用いられる磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７に、磁気ヘッドによる記録再生の様子を模式的に表す図を示す。
【０００３】
図示するように、磁気ヘッド１０は、基板１、基板上に形成された下部保護層２、下部保護層２上に形成された下側磁極層３、下側磁極層３上に形成された磁気ギャップ層４、磁気ギャップ層４上に形成された下側絶縁層５、下側絶縁層５上に形成されたコイル６、コイル６上に形成された上側絶縁層７、及び上側絶縁層７上に回転するディスク１１と対向するＡＢＳ１２側からコイル６中心部付近にかけて形成された上側磁極層８、及びこれらの上側絶縁層７、上側磁極層８、及び下側磁極層３等の上に形成された上部保護層９を有する。
【０００４】
この磁気ヘッド１０は、図示するように、そのＡＢＳ１２を、回転するディスク１１面に対向させて配置される。ここで、回転するディスク１１と、ＡＢＳ１２との間に発生する動圧により、ディスクに対して最小浮上量ｈの間隔をもって浮上しながら記録再生が行われる。最小浮上量ｈは面記録密度１０Ｇｂｉｔ／ｉｎｃｈ2ではおおむね２０ｎｍ程度と非常に小さい値である。
【０００５】
絶縁層５、７はフォトレジストのような樹脂からなるもので、その熱膨張係数は、一般的に、周囲の部材である金属やアルミナに比べ、一桁程度大きい。コイルを形成する銅が１６．５×１０-6、コイルの周囲を被覆する絶縁材料が例えば７０×１０-6、コイルの周囲を覆うアルミナが５．３×１０-6であり、アルミナに比べて銅と絶縁材料の熱膨張率が大きくなっている。例えばまたコイル６の材質は銅でありその熱膨張係数は、下部保護層２や上部保護層９の材質であるアルミナの熱膨張係数の数倍である。このため、温度上昇にともなう熱膨張率の差により、絶縁層５、７およびコイル６は、その周囲のアルミナ部分より体積を増し、ヘッドを変形せしめる。
【０００６】
図８に、ヘッドの変形を模式的に表す図を示す。図示するように、熱膨張係数が大きなこれら絶縁層５，７およびコイル６の位置は、ヘッドの厚さ方向に対して、よりＡＢＳに近いところに位置するため、ＡＢＳの側により大きく変形することになる。
【０００７】
図９は、ヘッドの周囲温度を変化させたときの図７中Ｂの位置に対するＡの位置が図８中のＡ’の位置のように変形する際の変位量をプロットしたものである。図９より、このヘッドでは、Ａの位置では１ｎｍ／１０℃程度の変形があることがわかる。
【０００８】
このような変形が起こると、最小浮上高が実質的に減少することとなり、クラッシュの危険性、サーマルアスペリティ（ＴＡ）の増大といった信頼性低下の問題が発生する。特に車の中といったような高温になることが予想される状況では問題は一層深刻であった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、温度上昇に伴う磁気ヘッドのＡＢＳ側に、磁気ディスク装置に、浮上高の低下、クラッシュの危険性の増大、及びＴＡの増大などを引き起こすような変形を生じない磁気ヘッドを提供することにある。
【００１０】
本発明の第２の目的は、温度上昇に伴う磁気ヘッドのＡＢＳ側の変形を防止し、浮上高の低下、クラッシュの危険性の増大、及びＴＡの増大など発生することなく信頼性の高い磁気ディスク装置を得ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１に、下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有する磁気ヘッドであって、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられ、該第１の下部保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の下部保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッドを提供する。
【００１２】
本発明は、第２に、下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有する磁気ヘッドであって、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられた多孔質体からなる第２の下部保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッドを提供する。
【００１３】
本発明は、第３に、下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、及び該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層を有する磁気ヘッド本体と、該磁気ヘッド本体上面を被覆する上部保護層とを有する磁気ヘッドであって、前記上部保護層は、該上側絶縁層上の少なくとも該磁気ヘッドのＡＢＳ側領域及び該上部保護層表面領域にかけて設けられた第１の保護層と、前記エアベアリングサーフィス側から見て、コイルのエアベアリングサーフィス側と反対側の端面から後方に形成され、該第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の保護層とを含むことを特徴とする磁気ヘッドを提供する。
【００１４】
本発明は、第４に、基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有し、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのエアベアリングサーフィス（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられ、該第１の下部保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の下部保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置を提供する。
【００１５】
本発明は、第５に、基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層、及び該上側磁極層上に設けられた上部保護層を有し、前記下部保護層は、該磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた第１の下部保護層と、該第１の下部保護層に隣接し、かつ該コイルの少なくとも一部の下方に設けられた多孔質体からなる第２の下部保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置を提供する。
【００１６】
本発明は、第６に、基板、及び該基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、
該磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、
下部保護層、該下部保護層上に設けられた下側磁極層、該下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、該磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、該下側絶縁層上に設けられたコイル、該コイル上に設けられた上側絶縁層、及び該上側絶縁層上に設けられた上側磁極層を有する磁気ヘッド本体、及び該磁気ヘッド本体上面を被覆する上部保護層を有し、前記上部保護層が、該上側絶縁層上の少なくとも該磁気ヘッドのＡＢＳ側領域及び該上部保護層表面領域にかけて設けられた第１の保護層と、前記エアベアリングサーフィス側から見て、コイルのエアベアリングサーフィス側と反対側の端面から後方に形成され、該第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の保護層とを含む、該磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、
該磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする磁気記録装置を提供する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、温度上昇時の磁気ヘッドのＡＢＳ側の変形を防止すべく鋭意研究を行い、本発明をなすに至った。
【００１８】
本発明は、以下の６つの観点に大別される。
【００１９】
このうち第１ないし第３の観点に係る発明は磁気ヘッド、第４ないし第６の発明は、各々、第１ないし第３の観点に係る磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置を提供する。
【００２０】
本発明に係る磁気ヘッドは、基本的に、下部保護層、下部保護層上に設けられた下側磁極層、下側磁極層上に設けられた磁気ギャップ層、磁気ギャップ層上に設けられた下側絶縁層、下側絶縁層上に設けられたコイル、コイル上に設けられた上側絶縁層、及び上側絶縁層上に設けられた上側磁極層を有する磁気ヘッド本体と、磁気ヘッド本体上に設けられた上部保護層を有し、第１、第２、第４、及び第５の観点に係る発明では、下部保護層を、また、第３及び第６の観点に係る発明では、上部保護層を各々規定することにより特徴づけられる。
【００２１】
以下、図面を参照し、本発明を具体的に説明する。
【００２２】
特に断らない限り、同じ符号は、同じものを示す。
【００２３】
まず、第１の観点に係る発明では、下部保護層が、磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた第１の下部保護層と、第１の下部保護層に隣接し、かつコイルの少なくとも一部の下方に設けられ、第１の下部保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の下部保護層とを含む。
【００２４】
第１の下部保護層と第２の下部保護層の境界は、好ましくは磁気ヘッドのＡＢＳ側からコイル下方の位置に設けられ、さらに好ましくは、コイル中央部の下方とコイルのＡＢＳ側端部の下方との間に設けられる。
【００２５】
図１に本発明の第１の観点に係る磁気記録ヘッドの一例の構成を表す概略図を示す。
【００２６】
図示するように、この磁気ヘッド２０は、例えばＡｌ2Ｏ3−ＴｉＣからなる基板１と、その上に積層され、磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた例えばＡｌ2Ｏ3からなる下部保護層２ａと、第１の下部保護層に隣接して基板１上に積層され、かつ例えばコイル６の下方からＡＢＳの反対側にかけて設けられ、第１の下部保護層２ａのヤング率よりも低いヤング率を有するノボラック樹脂のようなフォトレジスト等からなる第２の下部保護層２ｂ、例えばＮｉＦｅ合金やＦｅＡｌＳｉ合金などの結晶質軟磁性材料、あるいはＣｏＺｒＮｂ合金などのアモルファス軟磁性材料からなる下側磁極層３と、下側磁極層３上に形成されたＡｌＯｘ（例えばＡｌ2Ｏ3）などの非磁性絶縁材料からなる磁気ギャップ層４と、磁気ギャップ層４上に形成されたフォトレジストからなる絶縁層５と、絶縁層５上形成された例えばＣｕ等によりパターニングされたコイル６と、コイル６上に形成された例えばフォトレジストからなる絶縁層７と、その上に形成された上側磁極層８と、下側磁極層３、及びその上に形成された絶縁層５，７、上側磁極層８等の各部材全体を覆うように形成された上部保護層９（材質はＡｌ2Ｏ3）とから構成される。
【００２７】
従来のヘッドでは、樹脂など金属に比べて線膨張係数が一桁大きな材料で作られる絶縁層は全体的にＡＢＳに近い部分にあり、絶縁層より下の部分は厚さ方向にほぼ対称であったために、樹脂部の熱膨張がＡＢＳの側に大きく出ていたのに対し、上述のような構成にすることにより、コイル６の下方の部分の構造が厚さ方向に非対称で、ＡＢＳ側でヤング率が大きく、ＡＢＳと反対側でヤング率が小さくなっているため、ＡＢＳと反対側により変形が起こりやすい構造となっている。このため、ＡＢＳ側に変形しにくくなる。
【００２８】
また、第２の観点に係る発明では、下部保護層は、磁気ヘッドのＡＢＳ側に設けられた第１の下部保護層と、第１の下部保護層に隣接し、かつコイルの少なくとも一部の下方に設けられた多孔質体からなる第２の下部保護層とを含む。
【００２９】
図２に、本発明の第２の観点に係る磁気記録ヘッドの一例の構成を表す概略図を示す。
【００３０】
図示するように、この磁気ヘッド３０は、ノボラック樹脂のようなフォトレジスト材からなる第２の保護層２ｂの代わりに、多孔質体からなる第２の保護層２ｃが設けられている以外は、図１に示す磁気ヘッドと同様の構成を有する。
【００３１】
第２の観点に係る発明では、第２の保護層を多孔質体とすることにより、コイル６の下方の部分の構造が厚さ方向に非対称で、ＡＢＳ側でみかけのヤング率が大きく、ＡＢＳと反対側でみかけのヤング率が小さくなっているため、ＡＢＳと反対側により変形が起こりやすく、ＡＢＳ側に変形しにくい構造となる。
【００３２】
このような多孔質体は、ノボラック樹脂、ポリイミド樹脂等を発泡させる方法、温度を上げることにより、構造の一部を炭化させる方法、Ａｌ2Ｏ3膜を成長させる速度を速くすることにより充填率を下げる方法があげられる。
【００３３】
第３の観点に係る発明では、上側絶縁層上の少なくとも磁気ヘッドのＡＢＳ側領域及び上部保護層表面領域にかけて設けられた第１の保護層と、第１の保護層及び磁気ヘッド本体上面により定義された領域内に形成され、第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する第２の保護層とを含む。
【００３４】
第２の保護層の形成される領域は、ＡＢＳ側から見て、コイルのＡＢＳ側と反対側の端面から後方に定義されることが好ましい。また、ヘッドのＡＢＳに対する反対面は、第２の保護層が露出していても、第１の保護層で覆われていても良い。
【００３５】
第３の観点に係る磁気ヘッドの一例を表す概略断面図を図３に示す。図示するように、この磁気ヘッド４０は、上部保護層が、ＡＢＳ側からコイル上にかけての領域、及び上部保護層表面領域にかけて設けられた例えばＡｌ2Ｏ3からなる第１の保護層９ａと、ＡＢＳ側からみてコイルのＡＢＳ側と反対側の端面よりも後方に設けられ、第１の保護層９ａのヤング率よりも低いヤング率を有する例えばノボラック樹脂のようなフォトレジスト材からなる第２の保護層９ｂとから構成され、かつ下部保護層２が、例えばＡｌ2Ｏ3からなる以外は、図１に示す磁気ヘッドと同様の構成を有する。
【００３６】
第３の観点に係る磁気ヘッドの他の例を表す概略断面図を図４に示す。図示するように、ＡＢＳ側からコイル上にかけての領域、上部保護層表面領域、及び上部保護層のＡＢＳ側領域の反対面にかけて設けられた例えばＡｌ2Ｏ3からなる第１の保護層９ｃと、第１の保護層９ｃと磁気ヘッド本体上面に囲まれた領域内の、ＡＢＳ側からみてコイルのＡＢＳ側と反対側の端面よりも後方に設けられ、第１の保護層のヤング率よりも低いヤング率を有する例えば
ノボラック樹脂のようなフォトレジスト材からなる第２の保護層９ｄとから構成され、かつ下部保護層２が、例えばＡｌ2Ｏ3からなる以外は、図１に示す磁気ヘッドと同様の構成を有する。
【００３７】
第３の観点に係る発明では、上部保護層９ａ、９ｂ、９ｃ、及び９ｄを、コイル６の上方の部分の構造が厚さ方向に非対称で、ＡＢＳ側でヤング率が大きく、ＡＢＳと反対側でヤング率が小さくなっているため、ＡＢＳと反対側により変形が起こりやすい構造となっている。このため、ＡＢＳ側に変形しにくくなる。
【００３８】
本発明の第４ないし第６の観点に係る磁気ディスク装置は、基板、及び基板の少なくとも一方の面に形成された磁気記録層を含む磁気記録媒体と、磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための磁気ヘッドと、磁気記録媒体に対して磁気記録ヘッドを移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとからなる構成を有し、各々、以上説明した第１ないし第３の観点に係る磁気ヘッドを搭載している。
【００３９】
図５に、本発明に係る磁気ディスク装置の一例を一部分解した斜視図が示されている。
情報を記録するための剛構成（ディスク厚／ディスク外径＞1／500）の磁気ディスク２１はスピンドル２２に装着されており、図示しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動される。磁気ディスク２１にアクセスして情報の記録再生を行う上述の各第１ないし第３観点に係る磁気ヘッドのいずれかを搭載したスライダー２３は、薄板状の板ばねからなるサスペンション２４の先端に取付けられている。サスペンション２４は図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム２５の一端側に接続されている。
【００４０】
アーム２５の他端側には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ２６が設けられている。ボイスコイルモータ２６は、アーム２５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むように対向して配置された永久磁石および対向ヨークにより構成される磁気回路とから構成されている。
【００４１】
アーム２５は、固定軸２７の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ２６によって回転揺動駆動される。すなわち、磁気ディスク２１上におけるスライダー２３の位置は、ボイスコイルモータ２６によって制御される。なお、図５中、２８は蓋体を示している。
【００４２】
図６は、図５のヘッドアクチュエータを側方から見た図を示す。
【００４３】
ヘッドアクチュエータは、サスペンション２４と、サスペンション２４の先端に固定されたスライダー２３と、このスライダー２３の反磁気ディスク側に位置する部分を前述したサスペンション２４に連結するとともにスライダー２３に対して磁気ディスク方向に必要な押付け力を与える荷重印加手段としてのジンバル３２を備え、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム２５の先端に固定され、アーム２５から延出している。
【００４４】
これらの磁気ディスク装置を用いることにより、高温時でもＡＢＳが平滑化された磁気ヘッドを使用しているために、浮上高の低下、クラッシュの危険性の増大、及びＴＡの増大など発生することなく信頼性の高い記録再生を行うことができる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、温度上昇に伴う磁気ヘッドのＡＢＳ側に、磁気ディスク装置に、浮上高の低下、クラッシュの危険性の増大、及びＴＡの増大などを引き起こすような変形を生じない磁気ヘッドが得られる。
【００４６】
本発明によれば、温度上昇に伴う磁気ヘッドのＡＢＳ側の変形を防止し、浮上高の低下、クラッシュの危険性の増大、及びＴＡの増大など発生することなく信頼性の高い磁気ディスク装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の観点に係る磁気記録ヘッドの一例の構成を表す概略図
【図２】本発明の第２の観点に係る磁気記録ヘッドの一例の構成を表す概略図
【図３】本発明の第３の観点に係る磁気記録ヘッドの一例の構成を表す概略図
【図４】本発明の第３の観点に係る磁気記録ヘッドの他の一例の構成を表す概略図
【図５】本発明に係る磁気ディスク装置の一例を一部分解した斜視図
【図６】図５のヘッドアクチュエータを側方から見た図
【図７】磁気ヘッドによる記録再生の様子を模式的に表す図
【図８】ヘッドの変形を模式的に表す図
【図９】ヘッドの周囲温度を変化させたときの変形する際の変位量を表すグラフ図
【符号の説明】
１…基板
２…下部保護層
３…下側磁極層
４…磁気ギャップ層
５…下側絶縁層
６…コイル
７…上側絶縁層
８…上側磁極層
９，９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ…上部保護層
２０，３０，５０…磁気ヘッド
２１…磁気ディスク
２２…スピンドル
２３…スライダー
２４…サスペンション
２５…アーム
２６…ボイスコイルモータ
２７…固定軸
２８…蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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