(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とするホルダ先端部冷却装置、
（Ａ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒、
（Ａ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒を貫通するホルダ装着孔を有し、ホルダ装着孔の中心線上に有る揺動中心点の回りに揺動可能なホルダ装着部材、
（Ａ03）前記ホルダ装着孔を気密に貫通して前記ホルダ装着部材の内端よりも内方に突出する内方突出部を有し、前記内方突出部の内端部に試料を保持し且つホルダ装着孔に沿って移動可能に支持された試料ホルダ、
（Ａ04）前記試料ホルダの内方突出部と冷媒タンクとを接続し且つ前記冷媒の冷熱を試料ホルダに伝導するホルダ冷却熱伝導部材、
（Ａ05）前記内方突出部の周囲を渦巻状に巻いて配置され且つ前記渦巻状部分の内端部が前記試料ホルダの内方突出部に接続されたフレキシブルな帯状熱伝導部材を有する前記ホルダ冷却熱伝導部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ06），（Ａ07）を備えたことを特徴とするホルダ先端部冷却装置、
（Ａ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビームの通路が内部に形成された鏡筒、
（Ａ02）前記荷電粒子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒を貫通するホルダ装着孔を有し、ホルダ装着孔の中心線上に有る揺動中心点の回りに揺動可能なホルダ装着部材、
（Ａ03）前記ホルダ装着孔を気密に貫通して前記ホルダ装着部材の内端よりも内方に突出する内方突出部を有し、前記内方突出部の内端部に試料を保持し且つホルダ装着孔に沿って移動可能に支持された試料ホルダ、
（Ａ06）前記試料ホルダの内方突出部の周囲を囲む冷却壁と、前記冷却壁と冷媒タンクとを接続し且つ前記冷媒タンクの冷熱を冷却壁に伝導する冷媒熱伝導部材と、前記冷却壁と前記試料ホルダの内方突出部とを接続し且つ冷却壁の冷熱を試料ホルダに伝導するフレキシブルな熱伝導部材とを有する前記ホルダ冷却熱伝導部材、
（Ａ07）前記内方突出部の周囲を渦巻状に巻いて配置された渦巻状部分を有し、前記渦巻状部分の内端部が前記試料ホルダの内方突出部に接続された前記フレキシブルな熱伝導部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ08）〜（Ａ012）を備えたことを特徴とする請求項１記載のホルダ先端部冷却装置、
（Ａ08）前記試料ホルダの内方突出部の周囲を囲む内側冷却壁およびその外側に配置された外側冷却壁を有する前記冷却壁、
（Ａ09）液体ヘリウムタンクおよび液体窒素タンクを有する前記冷媒タンク、
（Ａ010）前記内側冷却壁および前記ヘリウムタンクを接続する内側冷媒熱伝導部材と、前記外側冷却壁および前記液体窒素タンクを接続する外側冷媒熱伝導部材とを有する前記冷媒熱伝導部材、
（Ａ011）前記内側冷却壁および前記試料ホルダの内方突出部を接続し且つ内側冷却壁の冷熱を試料ホルダに伝導する内側ホルダ冷却熱伝導部材と、前記外側冷却壁および前記試料ホルダの内方突出部を接続し且つ外側冷却壁の冷熱を試料ホルダに伝導する外側ホルダ冷却熱伝導部材とを有するホルダ冷却熱伝導部材、
（Ａ012）前記内側ホルダ冷却熱伝導部材よりも前記試料ホルダに沿って外側に配置された前記外側ホルダ冷却熱伝導部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内部に電子ビームの通路を形成する鏡筒と、前記電子ビームに略垂直な方向から前記鏡筒を貫通するホルダ装着孔を有するホルダ装着部材と、前記ホルダ装着孔を気密に貫通して前記ホルダ装着部材の内端よりも内方に突出する内方突出部を有し且つ前記内方突出部の内端部に試料を保持する試料ホルダとを備えた電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の、前記試料ホルダの先端部を冷却するホルダ先端部冷却装置に関し、特に、前記試料ホルダの先端部に接続されるホルダ冷却熱伝導部材を有するホルダ先端部冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記種類のホルダ先端部冷却装置では、先端部に試料を保持した試料ホルダは、その先端部にホルダ冷却熱伝導部材が接続された状態で、前記試料の位置、傾斜姿勢等の調節を行うために移動調節される。したがって、前記ホルダ冷却熱伝導部材と前記試料ホルダとは試料ホルダの移動を可能にするように連結しなければならない。
ホルダ先端部を冷却するために、前記ホルダ冷却熱伝導部材が試料ホルダに接続された技術として、次の従来技術（Ｊ01）が従来公知である。
（Ｊ01）米国特許第５９８６２７０号公報記載の技術
この公報には、振動伝達を防止するため、フレキシブルなホルダ冷却熱伝導部材により冷熱源と試料ホルダ先端部とを接続している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
（前記従来技術（Ｊ01）の問題点）
この従来技術（Ｊ01）では、フレキシブルなホルダ冷却熱伝導部材の先端部を試料ホルダ先端部に接続するだけの構造なので、試料ホルダ先端部が移動したときに、ホルダ冷却熱伝導部材も移動する。このフレキシブルなホルダ冷却熱伝導部材が移動したときに、ホルダ冷却熱伝導部材が他の部材に接触すると、前記接触した他の部材にホルダ冷却熱伝導部材の冷熱が伝導されて、試料ホルダに伝導されなくなるという問題点が生じる。
【０００４】
したがって、試料ホルダの移動時にホルダ冷却熱伝導部材が他の部材に接触するのを防止する必要がある。
また、試料ホルダの移動時に、ホルダ冷却熱伝導部材が変形するが、この変形による力が試料ホルダ先端部に歪みを生じさせると試料の正確な位置決めができなくなる。したがって、前記試料ホルダ先端に前記歪みが生じないように前記ホルダ冷却熱伝導部材を連結しなければならない。
特に、試料ホルダをホルダ軸回りに大きな傾斜角度で傾斜させる場合には、ホルダ冷却熱伝導部材が大きく変形するが、その場合でもホルダ先端部に歪みが生じないようなホルダ冷却熱伝導部材が必要とされる。
【０００５】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）試料ホルダおよび冷熱源を接続するフレキシブルなホルダ冷却熱伝導部材が、前記試料ホルダの移動時に他の部材と接触するのを防止して、前記他の部材に冷熱が逃げるのを防止すること。
（Ｏ02）試料を保持する試料ホルダを移動させた場合、特に、試料ホルダをホルダ軸回りに大きく傾斜させた場合に、ホルダ冷却熱伝導部材が変形しても、試料ホルダ先端に歪みを生じさせることを防止すること。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００７】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明のホルダ先端部冷却装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビーム（Ｂ）の通路が内部に形成された鏡筒（２）、
（Ａ02）前記荷電粒子ビーム（Ｂ）に略垂直な方向から前記鏡筒（２）を貫通するホルダ装着孔（１２ａ）を有し、ホルダ装着孔（１２ａ）の中心線上に有る揺動中心点（Ｏ）の回りに揺動可能なホルダ装着部材（１２）、
（Ａ03）前記ホルダ装着孔（１２ａ）を気密に貫通して前記ホルダ装着部材（１２）の内端よりも内方に突出する内方突出部（Ｈａ）を有し、前記内方突出部（Ｈａ）の内端部に試料を保持し且つホルダ装着孔（１２ａ）に沿って移動可能に支持された試料ホルダ（Ｈ）、
（Ａ04）前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）と冷媒タンク（６８，６９）とを接続し且つ前記冷媒の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導するホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）、
（Ａ05）前記内方突出部（Ｈａ）の周囲を渦巻状に巻いて配置され且つ前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の内端部が前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に接続されたフレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）を有する前記ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）。
【０００８】
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、ホルダ装着部材（１２）の揺動中心点（Ｏ）の回りの揺動姿勢および前記ホルダ装着孔（１２ａ）に沿う方向の試料ホルダ（Ｈ）の位置を調節することにより、前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することができる。前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することにより、内方突出部（Ｈａ）の内端部に保持した試料を前記荷電粒子ビーム（Ｂ）の通路に配置することができる。
前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）と冷媒タンク（６８，６９）とを接続し且つ前記冷媒の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導するホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）により、前記内方突出部（Ｈａ）を冷却することができる。前記ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）のフレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）は、前記内方突出部（Ｈａ）の周囲を渦巻状に巻いて配置され且つ前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の内端部が前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に接続されている。前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）は容易に変形するので、前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することができ、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の変形による力は前記試料ホルダ（Ｈ）に加わらない。したがって、試料ホルダ（Ｈ）に力が加わることによる試料ホルダ（Ｈ）のドリフト（位置ずれ等）の発生を防止することができ、試料ホルダ（Ｈ）の位置決めを正確に行うことができる。
【０００９】
また、前記フレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）の渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）は、その形状を渦巻状に保持した状態で変形するので、試料ホルダ（Ｈ）が大傾斜角で傾斜しても、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）が巻き締められたり緩んだりするだけで、その位置が大きく移動することを防止することができる。このため、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）が他の部材に接触することを防止することができるので、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）から冷熱が他の部材に無駄に伝導されることを防止することができる。
【００１０】
また、本発明のホルダ先端部冷却装置は、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ06），（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）上下方向に延びるＺ軸に沿った荷電粒子ビーム（Ｂ）の通路が内部に形成された鏡筒（２）、
（Ａ02）前記荷電粒子ビーム（Ｂ）に略垂直な方向から前記鏡筒（２）を貫通するホルダ装着孔（１２ａ）を有し、ホルダ装着孔（１２ａ）の中心線上に有る揺動中心点（Ｏ）の回りに揺動可能なホルダ装着部材（１２）、
（Ａ03）前記ホルダ装着孔（１２ａ）を気密に貫通して前記ホルダ装着部材（１２）の内端よりも内方に突出する内方突出部（Ｈａ）を有し、前記内方突出部（Ｈａ）の内端部に試料を保持し且つホルダ装着孔（１２ａ）に沿って移動可能に支持された試料ホルダ（Ｈ）、
（Ａ06）前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）の周囲を囲む冷却壁（６６；６７）と、前記冷却壁（６６；６７）と冷媒タンク（６８，６９）とを接続し且つ前記冷媒タンク（６８，６９）の冷熱を冷却壁（６６；６７）に伝導する冷媒熱伝導部材（７１，７２）と、前記冷却壁（６６；６７）と前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）とを接続し且つ冷却壁（６６；６７）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導するフレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）とを有する前記ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）、
（Ａ07）前記内方突出部（Ｈａ）の周囲を渦巻状に巻いて配置された渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）を有し、前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の内端部が前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に接続された前記フレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）。
【００１１】
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ06），（Ａ07）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、ホルダ装着部材（１２）の揺動中心点（Ｏ）の回りの揺動姿勢および前記ホルダ装着孔（１２ａ）に沿う方向の試料ホルダ（Ｈ）の位置を調節することにより、前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することができる。前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することにより、内方突出部（Ｈａ）の内端部に保持した試料を前記荷電粒子ビーム（Ｂ）の通路に配置することができる。
前記ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）は、前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）の周囲を囲む冷却壁（６６；６７）と、前記冷却壁（６６；６７）と冷媒タンク（６８，６９）とを接続し且つ前記冷媒タンク（６８，６９）の冷熱を冷却壁（６６；６７）に伝導する冷媒熱伝導部材（７１，７２）とを有するので、試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に保持した試料の周囲を囲む冷却壁（６６；６７）により、前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）および前記試料を冷却することができる。また、ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）は、前記冷却壁（６６；６７）と前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）とを接続するフレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）を有するので、冷却壁（６６；６７）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に伝導して、内方突出部（Ｈａ）に保持された試料を冷却することができる。
【００１２】
フレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）は、容易に変形するので、試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置の調節が可能であり、且つ、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の変形による力が前記試料ホルダ（Ｈ）に加わることを防止できる。したがって、試料ホルダ（Ｈ）に力が加わることによる試料ホルダ（Ｈ）のドリフト（位置ずれ等）の発生を防止することができ、試料ホルダ（Ｈ）の位置決めを正確に行うことができる。また、前記フレキシブルな熱伝導部材（７６，７８）は、試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）とその周囲を囲む冷却壁（６６；６７）との間に配置されているので、試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置の調節時にフレキシブルな熱伝導部材（７６，７８）が変形しても、他の部材に接触することを防止することができる。このため、フレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）から冷熱が他の部材に無駄に伝導されることを防止することができる。
【００１４】
また、前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ03），（Ａ06），（Ａ07）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、前記ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）のフレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）は、前記内方突出部（Ｈａ）の周囲を渦巻状に巻いて配置され且つ前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の内端部が前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）に接続されている。前記渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）は容易に変形するので、前記試料ホルダ（Ｈ）の姿勢および位置を調節することができ、且つ、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）の変形による力が前記試料ホルダ（Ｈ）に加わることを防止できる。
また、前記フレキシブルな帯状熱伝導部材（７６，７８）の渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）は、その形状を渦巻状に保持した状態で巻き締められたり緩んだりするだけで、その位置が大きく移動することを防止することができる。このため、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）が他の部材に接触することを防止することができるので、渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）から冷熱が他の部材に無駄に伝導されることを防止することができる。
【００１５】
また、本発明のホルダ先端部冷却装置は、前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた発明において、下記の構成要件（Ａ08）〜（Ａ012）を備えることができる。
（Ａ08）前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）の周囲を囲む内側冷却壁（６７）およびその外側に配置された外側冷却壁（６６）を有する前記冷却壁（６６；６７）、
（Ａ09）液体ヘリウムタンク（６９）および液体窒素タンク（６８）を有する前記冷媒タンク（６８，６９）、
（Ａ010）前記内側冷却壁（６７）および前記ヘリウムタンク（６９）を接続する内側冷媒熱伝導部材（７２）と、前記外側冷却壁（６６）および前記液体窒素タンク（６８）を接続する外側冷媒熱伝導部材（７１）とを有する前記冷媒熱伝導部材（７１，７２）、
（Ａ011）前記内側冷却壁（６７）および前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）を接続し且つ内側冷却壁（６７）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導する内側帯状熱伝導部材（７８）と、前記外側冷却壁（６６）および前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）を接続し且つ外側冷却壁（６６）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導する外側帯状熱伝導部材（７６）とを有する帯状熱伝導部材（７６，７８）、
（Ａ012）前記内側帯状熱伝導部材（７８）よりも前記試料ホルダ（Ｈ）に沿って外側に配置された前記外側帯状熱伝導部材（７６）。
【００１６】
前記構成要件（Ａ08）〜（Ａ012）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、内側冷却壁（６７）は前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）の周囲を囲み、内側冷媒熱伝導部材（７２）は、前記内側冷却壁（６７）および前記ヘリウムタンク（６９）を接続する。前記内側冷却壁（６７）および前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）を接続する内側帯状熱伝導部材（７８）は、内側冷却壁（６７）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導する。したがって、前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）および内方突出部（Ｈａ）に保持された試料はその周囲を囲む内側冷却壁（６７）により冷却されるとともに、内側冷却壁（６７）から内側帯状熱伝導部材（７８）を介して伝導される冷熱により冷却される。
【００１７】
前記外側冷却壁（６６）および前記液体窒素タンク（６８）を接続する外側冷媒熱伝導部材（７１）は、前記内側冷却壁（６７）の外側に配置された前記外側冷却壁（６６）に液体窒素タンク（６８）の冷熱を伝導する。液体窒素タンク（６８）の冷熱により冷却された外側冷却壁（６６）は、前記内側冷却壁（６７）の冷熱が放射されるのを防止する。
前記内側帯状熱伝導部材（７８）よりも前記試料ホルダ（Ｈ）に沿って外側に配置された外側帯状熱伝導部材（７６）は、前記外側冷却壁（６６）および前記試料ホルダ（Ｈ）の内方突出部（Ｈａ）を接続して、外側冷却壁（６６）の冷熱を試料ホルダ（Ｈ）に伝導する。試料ホルダ（Ｈ）に伝導される外側冷却壁（６６）の冷熱は、前記試料ホルダ（Ｈ）に沿って外側から内方に伝導される外部の熱が、前記内側冷却壁（６７）の冷熱により冷却される試料ホルダ（Ｈ）の内端部に伝導されるのを防止する。すなわち、前記内側冷却壁（６７）の冷熱により冷却される試料ホルダ（Ｈ）の内端部の冷熱が、前記試料ホルダ（Ｈ）に沿って外側に伝導されるのを防止する。
【００１８】
また、本発明のホルダ先端部冷却装置は、下記の構成要件（Ａ013）を備えることが可能である。
（Ａ013）前記内方突出部（Ｈａ）の周囲を渦巻状に巻いて配置された多層金属箔製のフレキシブルな渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）を有する前記帯状熱伝導部材（７６，７８）。
前記構成要件（Ａ013）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、前記帯状熱伝導部材（７６，７８）のフレキシブルな渦巻状部分（７６ａ，７８ａ）は多層金属箔製であり、熱伝導性の高い金属箔を積層して製作することができる。
【００１９】
また、本発明のホルダ先端部冷却装置は、下記の構成要件（Ａ014）を備えることが可能である。
（Ａ014）前記鏡筒（２）内部に配置された冷媒タンク（６８，６９）、
前記構成要件（Ａ014）を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、冷媒タンク（６８，６９）は、前記鏡筒（２）内部に配置されているので、冷媒タンク（６８，６９）から試料ホルダ（Ｈ）の内端部へ冷熱を伝導するホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）の熱伝導経路を短くすることができる。
【００２０】
【実施例】
次に図面を参照しながら、本発明の実施例の試料ホルダ支持装置を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００２１】
（実施例）
図１は本発明の実施例のホルダ先端部冷却装置を備えた透過型の電子顕微鏡の要部拡大縦断面図である。
図２は本発明の実施例のホルダ先端部冷却装置を備えた透過型の電子顕微鏡の要部拡大平断面図である。
図１、図２において透過型の電子顕微鏡１の鏡筒２は、上下方向に延びるＺ軸（上下軸）に沿った荷電粒子ビームＢの通路が内部に形成されている。鏡筒２には前記Ｚ軸に垂直な方向に延び且つ前記鏡筒２の内外を連通させるホルダ支持部材装着孔２ａと、前記ホルダ支持部材装着孔２ａの外端に形成されたホルダ支持部材装着面２ｂとが設けられており、前記ホルダ支持部材装着孔２ａの内端部には球面軸受け３が設けられている。
【００２２】
前記ホルダ支持部材装着孔２ａの外端部には、軸受部材６が固着されており、軸受部材６は前記ホルダ支持部材装着面２ｂに接合した状態で連結される被装着面６ａおよび前記被装着面６ａに垂直な軸受孔６ｂとを有する。
図１において、前記軸受部材６にはギヤホルダ７が支持されており、ギヤホルダ７内のウォームギヤ８はＸ軸周り駆動用モータ（図示せず）の回転により回転する。前記軸受部材６により回転可能に支持された回転部材１１には、前記図示しないモータにより回転されるギヤ１１ａが固定されており、ギヤ１１ａは前記ウォームギヤ８と噛み合っている。前記ウォームギヤ８の回転により回転部材１１はＸ軸回りに回転（ＴＩＬＴ−Ｘ）する。
前記符号７〜１１で示された要素により前記回転部材１１のＸ軸回りの回転（ＴＩＬＴ−Ｘ）の位置調節が可能な、回転部材位置調節装置（７〜１１）が構成されている。前記回転部材値調節装置（７〜１１）により回転部材１１はＸ軸周りの回動位置の調節が可能である。
図１、図２において、前記回転部材１１のホルダ装着部材貫通孔１１ｂを貫通するホルダ装着部材１２は、中央円筒部１３と、前記中央円筒部１３の外端を閉塞する外端部材１４と、前記中央円筒部１３の内端部に連結された内端部材１５とを有している。前記中央円筒部１３は、ホルダ貫通孔１３ａおよび一対のピンガイド孔１３ｂ（図２参照）を有している。
【００２３】
前記内端部材１５は、円筒部１５ａとその内端部に形成された球面形成部１５ｂとを有し、前記球面形成部１５ｂは前記球面軸受け３により回動可能に支持されている。前記球面形成部１５ｂにはホルダ貫通孔１５ｃが形成されており、ホルダ貫通孔１５ｃと前記ホルダ貫通孔１３ａとによりホルダ装着孔１２ａが形成されている。前記ホルダ装着孔１２ａは試料ホルダＨが装着される孔でその軸はホルダ軸（試料ホルダの軸）Ｈｘと同一であり、前記球面軸受け３の中心（揺動中心点）Ｏを通る。
図１において、ホルダ装着部材１２の外端部は前記Ｚ軸（上下軸）方向の上面（一側面）が、前記回転部材１１に支持されたＺ軸方向押圧部材１６により下方に押圧されており、下面（他側面）には前記回転部材１１下端部に揺動可能に支持された揺動部材１７の先端部１７ａが当接している。前記先端部１７ａは揺動部材１７に埋設された球により形成されている。
【００２４】
前記揺動部材１７の他端には回転部材１１の下面に支持されたネジ１８（Ｚ軸方向位置調節部材）の先端が当接しており前記ネジ１８の進退移動によりホルダ装着部材１２は上下に揺動する。前記ネジ１８はギヤ１９と一体に構成されており、前記回転部材１１に支持された上下回動用モータ２０が回転するとギヤ２１およびこのギヤ２１と噛み合う前記ギヤ１９および前記ネジ１８が回転する。このとき、前記ネジ１８が進退移動し、前記ホルダ軸（ホルダ装着部材１２および試料ホルダＨの軸）Ｈｘが上下に回動する。
前記符号１６〜２１で示された要素により前記ホルダ装着部材１２の外端部のＺ軸方向（上下方向）の位置調節が可能な、ホルダ装着部材Ｚ軸方向位置調節装置（１６〜２１）が構成されている。前記ホルダ装着部材Ｚ軸方向位置調節装置（１６〜２１）によりホルダ装着部材１２は前記球面軸受け３の中心Ｏ回りにＸＺ平面内でのＹ軸回りの回動位置の調節が可能である。
【００２５】
図２において、ホルダ装着部材１２の外端部は前記Ｙ軸（左右軸）方向の右側面（一側面）が、前記回転部材１１に支持されたＹ軸方向押圧部材２３により左方に押圧されており、左側面（他側面）には前記回転部材１１の左側面に支持されたネジ２４（Ｚ軸方向位置調節部材）の先端が当接しており前記ネジ２４の進退移動によりホルダ装着部材１２は左右（Ｙ軸方向）に回動する。前記ネジ２４はギヤ２５と一体に構成されており、前記回転部材１１に支持された左右回動用モータ２６が回転するとギヤ２７およびこのギヤ２７と噛み合う前記ギヤ２５および前記ネジ２４が回転する。このとき、前記ネジ２４がＹ軸方向に進退移動し、前記ホルダ軸（ホルダ装着部材１２および試料ホルダＨの軸）Ｈｘが左右に回動する。
前記符号２３〜２７で示された要素により前記ホルダ装着部材１２の外端部のＹ軸方向位置調節が可能な、ホルダ装着部材Ｙ軸方向位置調節装置（２３〜２７）が構成されている。前記ホルダ装着部材Ｙ軸方向位置調節装置（２３〜２７）によりホルダ装着部材１２は前記球面軸受け３の中心Ｏ回りにＸＹ平面内でのＺ軸回りの回動位置（Ｙ軸方向回動位置）の調節が可能である。
【００２６】
図２において、試料ホルダＨは円柱部材３０を有しており、円柱部材３０は、前記ホルダ装着部材１２の中央円筒部１３および内端部材１５の内部に装着され且つ軸方向に移動可能である。円柱部材３０の外端部にはピン３１が貫通して支持されており、ピン３１の両端部は前記ピンガイド孔１３ｂ，１３ｂを貫通してホルダ装着部材１２の外側に突出している。図２において、前記ピン３１の両端部は、引張バネ３２，３２によりホルダ装着部材１２の外端側に引っ張られている。
【００２７】
図１において、前記試料ホルダＨの外端には、ホルダ装着部材１２の外端部材１４に支持され且つＸ軸方向に延びるネジ３３（Ｘ軸方向位置調節部材）の先端が当接している。すなわち、前記試料ホルダＨは、前記引張バネ３２（図２参照）により常時後方（−Ｘ軸方向）に引っ張られており、試料ホルダＨの後端が前記ネジ３３の前端（Ｘ端）に当接して位置決めされている。前記ネジ３３の進退移動により試料ホルダＨは前後（Ｘ軸方向）に移動する。前記ネジ３３はギヤ３４と一体に構成されており、前記ホルダ装着部材１２の外端部材１４に支持された前後移動用モータ３５（図１参照）が回転するとギヤ３６およびこのギヤ３６と噛み合う前記ギヤ３４および前記ネジ３３が回転する。このとき、前記ネジ３３がＸ軸方向に進退移動し、前記試料ホルダＨが前後に進退移動する。
前記符号３３〜３６で示された要素により前記試料ホルダＨの前後方向（Ｘ軸方向）の位置調節が可能な、試料ホルダＸ軸方向位置調節装置（３３〜３６）が構成されている。
【００２８】
前記内端部材１５の円筒部１５ａ内部にはベローズ４１が配置されており、ペローズ４１は前記試料ホルダＨの外周を囲むように配置されている。前記ベローズ４１の内端は前記球面形成部１５ｂに連結され、外端は前記試料ホルダＨの外周部に固定されたベローズ連結部材４２に連結されている。そして、ベローズ４１の内部の試料ホルダＨの外周面および前記ベローズ４１よりも内端側部分の試料ホルダＨの表面は、ベローズ４１の外部に対して気密に密封されている。
【００２９】
図３は前記図２の要部拡大断面図である。
図３において、試料ホルダＨの円柱部材３０の内端部にはオスネジ３０ａが形成されており、オスネジ３０ａには連結部材４６のメスネジ４６ａが螺合している。連結部材４６の内端にはネジ４７，４７により外側連結プレート４８が連結されている。前記外側連結プレート４８の前方（Ｘ方向）には中間連結部材４９が配置されており、それらの間には４本の円筒状スペーサ５０（図３、図４Ａ参照）が配置されている。前記円筒状スペーサ５０の外端部には前記外側連結プレート４８を貫通するネジ５１がねじ込まれており、前記円筒状スペーサ５０の内端部には前記中間連結部材４９を貫通するネジ５２がねじ込まれている。したがって、前記外側連結プレート４８および中間連結部材４９は４本の前記円筒状スペーサ５０、ネジ５１，５２により連結されている。
前記外側連結プレート４８および内側連結プレート４９は、それらの間を連結する円筒状スペーサ５０が熱伝導率の低い材料により構成されており、それらの間の熱伝導率は低くなっている。
【００３０】
中間連結部材４９は、前後軸（Ｘ軸）に垂直なプレート部４９ａと、前記プレート部４９ａの中央部から前方に突出する円筒状突出部４９ｂとを有している。前記プレート部４９ａの中央部には、後方（前記外側連結プレート４８側）に向かって延びる外側熱伝導部材連結部材５３がネジにより固定されている。前記外側熱伝導部材連結部材５３の後端（−Ｘ端）には円板状プレート５４がネジで連結されている。
前記円筒状突出部４９ｂの前側に配置される第１内端側連結部材５６は、円筒部５６ａおよびその後端に接続するフランジ部５６ｂを有しており、前記円筒部５６ａの前端部のみが前記円筒状突出部４９ｂの前端に接触した状態で、ネジにより固定されている。前記円筒部５６ａの後側部分は肉厚が薄く形成され、且つその内周面と前記円筒状突出部４９ｂの外周面との間には隙間が形成されている。したがって、中間連結部材４９と第１内端側連結部材５６との間の熱伝導率は低くなっている。
【００３１】
前記第１内端側連結部材５６の前側に配置される第２内端側連結部材５７は、薄肉の円筒部５７ａおよびその後端に接続するフランジ部５７ｂを有しており、前記フランジ部５７ｂは前記フランジ部材５６ｂと断熱スペーサ５８を挟んでネジにより連結されている。前記第２内端側連結部材５７の円筒部５７ａの前端に連結される内側熱伝導部材連結部材５９は、プレート部５９ａおよび前記プレート部５９ａから前方に突出する熱伝導部材連結部５９ｂとを有している。
前記内側熱伝導部材連結部材５９は、前記薄肉の円筒部５７ａ、断熱スペーサ５８、薄肉の円筒部５６ａを介して中間連結部材４９に接続されているので、内側熱伝導部材連結部材５９と中間連結部材４９との間の熱伝導率は低くなっている。
【００３２】
前記内側熱伝導部材連結部材５９の前端には円板状プレート６１が固定され、その前面にはホルダ連結部材６２が固定されている。ホルダ連結部材６２には試料保持部材６３が着脱可能に連結されている。なお、前記ホルダ連結部材６２は試料保持部材６３を着脱可能な種々の構成を採用することができ、また、試料保持部材６３も試料を保持することが可能な種々の構成を採用することが可能である。また、前記ホルダ連結部材６２および試料保持部材６３は着脱不可能に連結したり、一体的に構成したりすることも可能である。
前記符号３０，３１，４６〜６３で示された要素により試料ホルダＨが構成されている。また、前記符号４６〜６３で示された要素によりホルダ内方突出部Ｈａが構成されている。
【００３３】
図１において、試料ホルダＨの前端部の外周には、ホルダ冷却用外側カバー６６が配置されており、また、前記ホルダ冷却用外側カバー６６の内側で且つ試料ホルダＨの外側にはホルダ冷却用内側カバー６７が配置されている。前記ホルダ冷却用外側カバー６６は図示しない連結用断熱部材等を介して鏡筒２に固定された部材に連結されている。また、ホルダ冷却用内側カバー６７は図示しない連結用断熱部材等を介してホルダ冷却用外側カバー６６に固定されている。
前記ホルダ冷却用外側カバー６６の上方には、ドーナツ状の液体窒素タンク（冷媒タンク）６８が配置され、その内側にはドーナツ状の液体ヘリウムタンク（冷媒タンク）６９が配置されている。前記液体窒素タンク６８と前記ホルダ冷却用外側カバー６６とは、フレキシブルな帯状熱伝導部材７１により接続されている。前記液体ヘリウムタンク６９と前記ホルダ冷却用内側カバー６７とを接続するフレキシブルな帯状熱伝導部材７２は、前記ホルダ冷却用外側カバー６６に接触せずに且つホルダ冷却用外側カバー６６に形成された孔を貫通して配置されている。
【００３４】
図４は前記図３に示されたフレキシブルな渦巻状の外側熱伝導部材の説明図で、図４Ａは前記図３の矢印IＶＡ−IＶＡ線から見た渦巻状の外側熱伝導部材と外側連結プレートとを示す図、図４Ｂは渦巻状の外側熱伝導部材の製造方法の説明図である。
図１〜図４において、外側帯状熱伝導部材７６は、金属箔を積層して帯状に形成し且つ渦巻状に形成したフレキシブルな熱伝導部材により構成された渦巻状部分７６ａとその両端に連結された板状の端部連結部材７６ｂ，７６ｃとを有している。
図４Ａにおいて、前記外側帯状熱伝導部材７６の端部連結部材７６ｂは、金属板を折り曲げた部材であって、前記フレキシブルな帯状の渦巻状部分７６ａの一端部の両側面を挟むように折り曲げた状態で前記渦巻状部分７６ａと連結されている。端部連結部材７６ｃも前記端部連結部材７６ｂと同様に渦巻状部分７６ａに連結されている。
【００３５】
図４Ｂにおいて、前記外側帯状熱伝導部材７６を製作する場合、前記渦巻状部分７６ａを形成するためのフレキシブルな帯状部分７６ａの一端部に端部連結部材７６ｂを連結し且つ他端部に端部連結部材７６ｃを連結しない状態で、前記外側熱伝導部材連結部材５３と同様に構成された治具５３′に、端部連結部材７６ｂを連結する。その状態で、帯状部分７６ａを治具５３′の周囲に巻き付けて締め付けて渦巻状部分に形成する。前記渦巻状に形成した帯状部分７６ａの他端部に端部連結部材７６ｃを連結して、外側帯状熱伝導部材７６を製作する。
前記外側帯状熱伝導部材７６の端部連結部材７６ｂは外側熱伝導部材連結部材５３（図４Ａ、図３参照）に連結され、端部連結部材７６ｃはホルダ冷却用外側カバー６６（図１参照）の下端部内面に連結される。
【００３６】
このようにして、積層した金属箔に巻き癖を付けて製作した外側帯状熱伝導部材７６の渦巻状部分７６ａは、渦巻状に積層した金属箔が密着状態で保持されるため、図４Ａの状態で使用した場合に、積層した金属箔の密着状態が緩んで膨れることなく、図４Ａの状態に保持される。したがって、外側帯状熱伝導部材７６は、膨れることが防止されるので、スペーサ５０との接触を防止することができる。
前記液体窒素タンク６８（図１参照）から帯状熱伝導部材７１を介して、ホルダ冷却用外側カバー６６の上端部に伝導された冷熱は、ホルダ冷却用外側カバー６６（図１参照）の下端部から外側帯状熱伝導部材７６に伝導される。外側帯状熱伝導部材７６に伝導された冷熱は、試料ホルダＨの外側熱伝導部材連結部材５３に伝導されてから、中間連結部材４９に伝導される。この場合、外側帯状熱伝導部材７６がスペーサ５０に接触しないので、外側帯状熱伝導部材７６の冷熱は、試料ホルダＨの外側熱伝導部材連結部材５３に確実に伝導される。また、中間連結部材４９に伝導された冷熱は、熱伝導率の低い円筒状スペーサ５０、外側連結プレート４８を介して連結部材４６に伝導されており、熱伝導率が低く、熱伝導経路が長くなるので、連結部材４６を通って試料ホルダＨの外端部に伝導される無駄な冷熱を減少させることができる。
【００３７】
前記符号７１，６６，７６により示された要素により、液体窒素タンク（冷媒タンク）６８から試料ホルダＨの内端部へ冷熱を伝導する外側ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６）が構成されている。
【００３８】
図５は前記図３に示されたフレキシブルな渦巻状の内側熱伝導部材の説明図で、図５Ａは前記図３の矢印ＶＡ−ＶＡ線から見た渦巻状の内側熱伝導部材と内側連結プレートとを示す図、図５Ｂは渦巻状の内側熱伝導部材の製造方法の説明図である。
図１〜図３および図５において、内側帯状熱伝導部材７８は前記外側帯状熱伝導部材７６と同様に構成されており、金属箔を積層して帯状に形成し且つ渦巻状に形成したフレキシブルな帯状の熱伝導部材により構成された渦巻状部分７８ａとその両端に連結された板状の端部連結部材７８ｂ，７８ｃとを有している。前記内側帯状熱伝導部材７８は、治具５９′（図５Ｂ参照）に巻き付けられて、前記外側帯状熱伝導部材７６と同様に製作される。
前記内側帯状熱伝導部材７８の端部連結部材７８ｂは内側熱伝導部材連結部５９（図３参照）に連結され、端部連結部材７６ｃはホルダ冷却用外側カバー６６（図１参照）の下端部内面に連結される。
前記液体ヘリウムタンク６９（図１参照）から帯状熱伝導部材７２を介して、ホルダ冷却用内側カバー６７の上端部に伝導された冷熱は、ホルダ冷却用内側カバー６７（図１参照）の下端部から内側帯状熱伝導部材７８に伝導される。内側帯状熱伝導部材７８に伝導された冷熱は、試料ホルダＨの内側熱伝導部材連結部５９に伝導される。
【００３９】
前記符号７２，６７，７８により示された要素により、液体ヘリウムタンク（冷媒タンク）６９から試料ホルダＨの内端部へ冷熱を伝導する内側ホルダ冷却熱伝導部材（７２，６７，７８）が構成されている。なお、内側ホルダ冷却熱伝導部材（７２，６７，７８）は、前記外側ホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６）よりも試料ホルダＨに沿って内側部分に冷熱を伝達するように構成されている。
【００４０】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた本発明のホルダ先端部冷却装置では、ホルダ装着部材１２の揺動中心点Ｏの回りの揺動姿勢および前記ホルダ装着孔１２ａに沿う方向の試料ホルダＨの位置を調節することにより、前記試料ホルダＨの姿勢および位置を調節することができる。前記試料ホルダＨの姿勢および位置を調節することにより、内方突出部Ｈａの内端部に保持した試料を前記荷電粒子ビームＢの通路に配置することができる。
内側冷却壁６７は前記試料ホルダＨの内方突出部Ｈａの周囲を囲み、内側冷媒熱伝導部材７２は、前記内側冷却壁６７および前記ヘリウムタンク６９を接続するので、前記試料ホルダＨの内方突出部Ｈａおよび内方突出部Ｈａに保持された試料は、その周囲を囲む内側冷却壁６７により冷却されるとともに、内側冷却壁６７から内側帯状熱伝導部材７８を介して伝導される冷熱により冷却される。
【００４１】
前記外側冷却壁６６および前記液体窒素タンク６８を接続する外側冷媒熱伝導部材７１は、前記内側冷却壁６７の外側に配置された前記外側冷却壁６６に液体窒素タンク６８の冷熱を伝導する。液体窒素タンク６８の冷熱により冷却された外側冷却壁６６は、前記内側冷却壁６７へ外部の熱が伝達されるのを防止する。
前記内側帯状熱伝導部材７８よりも前記試料ホルダＨに沿って外側に配置された外側帯状熱伝導部材７６は、前記外側冷却壁６６および前記試料ホルダＨの内方突出部Ｈａを接続して、外側冷却壁６６の冷熱を試料ホルダＨに伝導する。試料ホルダＨに伝導される外側冷却壁６６の冷熱は、前記試料ホルダＨに沿って外側から内方に伝達される外部の熱が、試料ホルダＨの内端側に伝導されるのを防止する。すなわち、前記内側冷却壁６７の冷熱により冷却される試料ホルダＨの内端部の冷熱が、前記試料ホルダＨに沿って外側に伝導されるのを防止する。
【００４２】
フレキシブルな帯状熱伝導部材７６，７８は、容易に変形するので、試料ホルダＨの姿勢および位置の調節が可能である。また、前記回転部材位置調節装置（７〜１１）、ホルダ装着部材Ｚ軸方向位置調節装置（１６〜２１）、試料ホルダＸ軸方向位置調節装置（３３〜３６）、ホルダ装着部材Ｙ軸方向位置調節装置（２３〜２７）によって、試料ホルダＨがＸ、Ｙ、Ｚ軸中心の回転及びＸ軸方向に沿う移動をする時、フレキシブルな帯状熱伝導部材７６，７８は渦巻状部分７６ａ、７８ａが膨らんだり、収縮する変形（緩んだり、巻き締められたりする変形）を行うので、試料ホルダＨに歪みを生じさせるような力を及ぼさない。
したがって、試料ホルダＨをＸ、Ｙ、Ｚ軸中心に回転させたり、Ｘ軸方向に移動させた場合でも、前記帯状熱伝導部材７６，７８は試料ホルダＨに力を及ぼさない。特に、Ｘ軸回りに大きく傾斜させた場合でも、前記帯状熱伝導部材７６，７８は試料ホルダＨに歪みを生じさせるような力を及ぼさない。
この結果、試料ホルダＨに力が加わることによるドリフト（位置ずれ等）の発生を防止でき、試料ホルダＨを目的の位置に精確に位置決めできる。
【００４３】
また、前記フレキシブルな熱伝導部材７６，７８は、試料ホルダＨの内方突出部Ｈａとその周囲を囲む冷却壁６６，６７との間に配置されているので、試料ホルダＨの姿勢および位置の調節時にフレキシブルな熱伝導部材７６，７８が変形しても、他の部材に接触することを防止して、フレキシブルな帯状熱伝導部材７６，７８から冷熱が他の部材に無駄に伝導されることを防止することができる
前記帯状熱伝導部材７６，７８のフレキシブルな渦巻状部分７６ａ，７８ａは多層金属箔製であり、熱伝導性の高い金属箔を積層して容易に製作することができる。前記冷媒タンク６８，６９は、前記鏡筒２内部に配置されているので、冷媒タンク６８，６９から試料ホルダ（Ｈ）の内端部へ冷熱を伝導するホルダ冷却熱伝導部材（７１，６６，７６；７２，６７，７８）の熱伝導経路を短くすることができる。
【００４４】
前記内側帯状熱伝導部材７８から試料ホルダＨの内側熱伝導部材連結部５９に伝達された冷熱は、試料ホルダＨの外端側に伝導される場合には、前記薄肉の円筒部５７ａ、断熱スペーサ５８、薄肉の円筒部５６ａを介して中間連結部材４９に伝導される。したがって、内側熱伝導部材連結部材５９と中間連結部材４９との間の熱伝導率は低くなっているので、試料ホルダＨの外端側に伝導される冷熱は少なくなっている。
また、前記外側帯状熱伝導部材７６により前記冷却壁６６の冷熱が伝導される試料ホルダＨの外側熱伝導部材連結部材５３の後端側（−Ｘ側）には円板状プレート５４が連結されているので、前記外側帯状熱伝導部材７６のフレキシブルな渦巻状部分７６ａが外側連結プレート４８に直接接触することを防止でき、前記渦巻状部分７６ａから外側連結プレート４８に直接冷熱が伝導することを防止することができる。したがって、前記外側帯状熱伝導部材７６から試料ホルダＨの外側熱伝導部材連結部材５３に伝導された冷熱は、試料ホルダＨの外端側に伝導される場合には、前記外側連結プレート４８および内側連結プレート４９の間を連結する円筒状スペーサ５０を介して外端側に伝導される。前記円筒状スペーサ５０は、熱伝導率の低い材料により構成されているので、外側熱伝導部材連結部材５３から試料ホルダＨの外端側への冷熱の伝導は少なくなる。
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。
【００４５】
【発明の効果】
前述の本発明の試料ホルダ支持装置は、下記の効果（Ｅ01）、（Ｅ02）を奏することができる。
（Ｅ01）試料ホルダおよび冷熱源を接続するフレキシブルなホルダ冷却熱伝導部材が、前記試料ホルダの移動時に他の部材と接触するのを防止して、前記他の部材に冷熱が逃げるのを防止することができる。
（Ｅ02）試料を保持する試料ホルダを移動させた場合、特に、試料ホルダをホルダ軸回りに大きく傾斜させた場合に、ホルダ冷却熱伝導部材が変形しても、試料ホルダ先端に歪みを生じさせることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施例のホルダ先端部冷却装置を備えた透過型の電子顕微鏡の要部拡大縦断面図である。
【図２】  図２は本発明の実施例のホルダ先端部冷却装置を備えた透過型の電子顕微鏡の要部拡大平断面図である。
【図３】  図３は前記図２の要部拡大断面図である。
【図４】  図４は前記図３に示されたフレキシブルな渦巻状の外側熱伝導部材の説明図で、図４Ａは前記図３の矢印IＶＡ−IＶＡ線から見た渦巻状の外側熱伝導部材と外側連結プレートとを示す図、図４Ｂは渦巻状の外側熱伝導部材の製造方法の説明図である。
【図５】  図５は前記図３に示されたフレキシブルな渦巻状の内側熱伝導部材の説明図で、図５Ａは前記図３の矢印ＶＡ−ＶＡ線から見た渦巻状の内側熱伝導部材と内側連結プレートとを示す図、図５Ｂは渦巻状の内側熱伝導部材の製造方法の説明図である。
【符号の説明】
Ｂ…荷電粒子ビーム、Ｈ…試料ホルダ、Ｈａ…内方突出部、
２…鏡筒、１２…ホルダ装着部材、１２ａ…ホルダ装着孔、６６…冷却壁（外側冷却壁）、６７…冷却壁（内側冷却壁）、６８…冷媒タンク（液体窒素タンク）、６９…冷媒タンク（液体ヘリウムタンク）、７１，７２…冷媒熱伝導部材、７６，７８…フレキシブルな帯状熱伝導部材、７６ａ，７８ａ…渦巻状部分、
（７１，６６，７６；７２，６７，７８）…ホルダ冷却熱伝導部材、
（７１，６６，７６）…外側ホルダ冷却熱伝導部材、
（７２，６７，７８）…内側ホルダ冷却熱伝導部材、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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