(57)【要約】【課題】板状ワークの中心部分を蓄熱させることなく適度に研削すること。【解決手段】研削ホイール（５０）は、ホイール基台（５１）に対して真円を描くように複数の砥石（５２）が装着されており、砥石の厚みをＷとしたときに、ホイール基台の回転軸に対して複数の砥石による真円の中心がＷ／２からＷの範囲内で偏心するように構成されている。この研削ホイールを用いて板状ワーク（６０）を研削することで、所定の時間帯だけ板状ワークの中心部分から砥石の通り路が外されて、板状ワークの中心部分の窪みが深くなり過ぎることがなく、さらに板状ワークの中心部分が定期的に放熱される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを研削する回転軸を備えた研削ホイールであって、
研削ホイールは、ホイール基台と、該ホイール基台の自由端部に真円の環状に装着される砥石と、から構成され、
該砥石の厚みをＷとし、該回転軸に対する環状に装着された該砥石の中心の偏心量がＷ／２からＷの範囲内で偏心される研削ホイール。
【請求項２】
板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削手段と、を少なくとも備える研削装置の該研削手段に回転可能に装着され、
該砥石の厚みの中心を該チャックテーブルの回転中心に位置づけて、該チャックテーブルの回転中心を中間位置として該砥石を該チャックテーブルの径方向に往復移動させる請求項１記載の研削ホイール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークの表面をインフィード研削する際に用いられる研削ホイールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チャックテーブル上に板状ワークを保持して、環状に並んだ砥石で板状ワークの上面を研削する研削装置が知られている。研削装置では、鉛直軸回りに回転するスピンドルのマウントに円環状のホイール基台が装着され、ホイール基台に複数の砥石が真円を描くように装着されている。また、チャックテーブル上の板状ワークの中心を円環状に並んだ砥石が通るように、チャックテーブルと研削ホイールの位置が調整されている。そして、チャックテーブルが低速で回転されると共に、環状に並んだ砥石が同方向に高速で回転されることで板状ワークの上面がインフィード研削される。
【０００３】
このような研削装置では、砥石が常に板状ワークの中心に当たっているため、板状ワークの中心部分が砥石で深く削られてしまう。また、板状ワークの中心部分が砥石に削られている時間が長くなり、摩擦熱を放熱する時間が少なくなって蓄熱されてしまう。このため、環状に並んだ砥石の中心をスピンドルの回転軸から偏心させたものや、砥石を多角形状や楕円形状に並べたものが知られている（例えば、特許文献１−３参照）。これらの研削装置では、所定の時間帯だけ板状ワークの中心から砥石の通り路が外されて、板状ワークの中心部分における研削が抑えられると共に放熱時間が確保されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６１−１１１８８７号公報
【特許文献２】実公平７−５９８３号公報
【特許文献３】特開２００１−０９６４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した特許文献１−３に記載の研削装置では、砥石の通り路を板状ワークの中心を挟んだ所定範囲で動かすことで、板状ワークの中心を研削している時間帯と、板状ワークの中心から外れている時間帯とが繰り返される。したがって、板状ワークの中心から砥石の通り路が大きく外れると、板状ワークの中心部分での蓄熱を防止することができる一方で、砥石による板状ワークの研削量が少なくなって、板状ワークの中心部分が厚く形成されてしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、板状ワークの中心部分を蓄熱させることなく適度に研削することができる研削ホイールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の研削ホイールは、板状ワークを研削する回転軸を備えた研削ホイールであって、研削ホイールは、ホイール基台と、該ホイール基台の自由端部に真円の環状に装着される砥石と、から構成され、該砥石の厚みをＷとし、該回転軸に対する環状に装着された該砥石の中心の偏心量がＷ／２からＷの範囲内で偏心されることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、板状ワークの上面において砥石の通り路が板状ワークの中心を挟んだＷの範囲から２Ｗの範囲内で往復移動される。これにより、所定の時間帯だけ板状ワークの中心から砥石の通り路が外されて、板状ワークの中心部分が適度に研削されると共に、板状ワークの中心部分が定期的に放熱される。よって、板状ワークの中心部分をより平坦に近付けることができ、板状ワークの中心部分での蓄熱を防止することができる。また、回転軸に対する環状に形成された砥石の中心の偏心量が大きくなると、板状ワークの上面には斑模様が現れるが、偏心量を適切に設定することで斑模様の発生を抑えることができる。
【０００９】
本発明の研削ホイールにおいて、板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを研削する研削手段と、を少なくとも備える研削装置の該研削手段に回転可能に装着され、該砥石の厚みの中心を該チャックテーブルの回転中心に位置づけて、該チャックテーブルの回転中心を中間位置として該砥石を該チャックテーブルの径方向に往復移動させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、研削ホイールの回転軸に対する環状に装着された砥石の中心がＷ／２からＷの範囲内で偏心されることで、研削ホイールによって板状ワークの中心部分で蓄熱させることなく適度に研削することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る研削手段とチャックテーブルの側面模式図である。
【図３】砥石と板状ワークの中心部分の位置関係を示す上面模式図である。
【図４】本実施の形態に係る偏心量Ｗ／２の研削ホイールによる研削加工の説明図である。
【図５】本実施の形態に係る偏心量Ｗの研削ホイールによる研削加工の説明図である。
【図６】研削評価に用いられる研削ホイールの模式図である。
【図７】板状ワークの中心部分のレーザー反射測定の測定結果の一例である。
【図８】板状ワークの被研削面の外観検査の検査結果の一例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係る研削装置は、図１に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。
【００１３】
図１に示すように、研削装置１は、多数の砥石５２を円環状に並べた研削ホイール５０を用いて、チャックテーブル２０に保持された板状ワーク６０をインフィード研削するように構成されている。インフィード研削では、チャックテーブル２０の回転軸と研削ホイール５０の回転軸が偏心され、円環状に並んだ砥石５２が板状ワーク６０の上面６１を通過することで板状ワーク６０が円弧状に削られて薄化される。なお、板状ワーク６０は、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板でもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の無機材料基板でもよいし、樹脂や金属等で形成された基板でもよい。
【００１４】
研削装置１の基台１０の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口はチャックテーブル２０と共に移動可能な移動板１１及び蛇腹状の防水カバー１２により覆われている。防水カバー１２の下方には、チャックテーブル２０をＸ軸方向に移動させるボールねじ式の進退手段（不図示）が設けられている。チャックテーブル２０の表面には、多孔質のポーラス材によって板状ワーク６０を吸着する保持面２１が形成されている。保持面２１は、チャックテーブル２０内の流路を通じて吸引源（不図示）に接続されており、保持面２１に生じる負圧によって板状ワーク６０が吸引保持される。
【００１５】
基台１０上のコラム１５には、研削手段４０をチャックテーブル２０に対して研削送り方向（Ｚ軸方向）に接近及び離間させる研削送り手段３０が設けられている。研削送り手段３０は、コラム１５に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル３２とを有している。Ｚ軸テーブル３２の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ３３が螺合されている。ボールネジ３３の一端部に連結された駆動モータ３４によりボールネジ３３が回転駆動されることで、研削手段４０がガイドレール３１に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００１６】
研削手段４０は、ハウジング４１を介してＺ軸テーブル３２の前面に取り付けられており、円筒状のスピンドル４２の下端にマウント４３を設けて構成されている。スピンドル４２にはフランジ４４が設けられ、フランジ４４を介してハウジング４１に研削手段４０が支持される。マウント４３の下面には、ホイール基台５１の自由端部（下面部）５４に複数の砥石５２が真円の環状に装着された研削ホイール５０が保持されている。なお、詳細は後述するが、研削ホイール５０の回転軸に対して円環状に並んだ砥石５２の中心が偏心している。複数の砥石５２は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めたセグメント砥石で構成される。
【００１７】
このように構成された研削装置１では、先ずチャックテーブル２０上に板状ワーク６０が保持される。図１では保持面２１が平坦に描かれているが、図２に示すように、実際の保持面２１はチャックテーブル２０の回転中心を頂点とする緩傾斜の円錐状であり、板状ワーク６０も保持面２１に沿って円錐状に保持される。また、砥石５２の研削面５３に対して円錐状の板状ワーク６０の上面が平行になるようにチャックテーブル２０の傾きが調整されている。そして、研削ホイール５０が高速回転され、チャックテーブル２０が同方向に低速回転されて、板状ワーク６０に砥石５２が回転接触されることで板状ワーク６０が研削される。
【００１８】
ところで、研削加工においては、図３Ａに示すように、砥石５２が板状ワーク６０の中心部分Ｏ１を通るように位置付けられていると、板状ワーク６０の中心部分に砥石５２が当たり続けるため窪みや蓄熱等の問題が生じる。このため、図３Ｂに示すように、研削ホイール５０の回転軸Ｃと円環状に並んだ砥石５２の中心Ｏ２を所定量で偏心させることで、研削ホイール５０の１回転中に砥石５２が板状ワーク６０の中心部分Ｏ１に接触しない時間帯が設けられる。しかしながら、偏心量が大きくなると、板状ワーク６０の中心部分Ｏ１で研削不足が生じる他、板状ワーク６０の被研削面に斑模様が現れるという新たな問題が生じる。
【００１９】
そこで、本件発明者が、研削ホイール５０の回転軸Ｃに対する環状に並んだ砥石５２の中心Ｏ２の偏心量と砥石５２の厚みＷとの関係を調べたところ、当該偏心量をＷ／２からＷの範囲内に設定することで、板状ワーク６０の中心部分Ｏ１の不具合だけでなく、板状ワーク６０の被研削面の斑模様を抑えることができることを発見した。すなわち、本発明の骨子は、板状ワーク６０の中心部分Ｏ１の研削の過不足や蓄熱等の問題だけでなく、板状ワーク６０の被研削面の外観を考慮した上記の偏心量を用いることにより、板状ワーク６０の被研削面の外観性を低下させることなく、板状ワーク６０の中心部分Ｏ１を適度に研削することである。
【００２０】
図４及び図５を参照して、研削ホイールを用いた研削加工について説明する。図４は、本実施の形態に係る偏心量Ｗ／２の研削ホイールによる研削加工の説明図である。図５は、本実施の形態に係る偏心量Ｗの研削ホイールによる研削加工の説明図である。なお、ここでは、偏心量Ｗ／２、Ｗの研削ホイールを例示して説明するが、この構成に限定されない。偏心量がＷ／２からＷの間の研削ホイールについても同様な作用効果を得ることが可能である。
【００２１】
先ず、図４Ａに示す偏心量Ｗ／２の研削ホイール５０について説明する。研削ホイール５０は、円環状のホイール基台５１の自由端部５４（図２参照）に、複数の砥石５２が真円を描くように装着されている。ホイール基台５１の中心Ｏ３はスピンドル４２の回転軸Ｃに一致しており、このホイール基台５１の中心Ｏ３、すなわち研削ホイール５０の回転軸Ｃに対して複数の砥石５２からなる真円の中心Ｏ２が砥石５２の厚みの半分のＷ／２だけ偏心している。よって、研削ホイール５０が回転軸Ｃ回りに回転すると、研削ホイール５０の１回転の間に砥石５２が径方向に１往復して、研削ホイール５０の回転軸Ｃから砥石５２までの距離が砥石５２の厚みＷ分だけ可変される。
【００２２】
図４Ｂに示すように、チャックテーブル２０の回転中心に板状ワーク６０の中心Ｏ１が一致するように、チャックテーブル２０上に板状ワーク６０が保持されている。また、チャックテーブル２０の回転中心を中間位置として、砥石５２をチャックテーブル２０の径方向に往復移動させるように、砥石５２の厚みＷの中心がチャックテーブル２０の回転中心に位置付けられている。よって、研削ホイール５０（図４Ａ参照）が１回転する間に、砥石５２の通り路Ｐが板状ワーク６０の中心Ｏ１から径方向の奥側と手前側にＷ／２ずつ移動される。このように、砥石５２の通り路Ｐは、偏心量である砥石５２の厚みＷだけ径方向に往復移動される。
【００２３】
図４Ｃに示すように、研削ホイール５０（図４Ａ参照）が回転しながらチャックテーブル２０に近づけられ、砥石５２と板状ワーク６０とが回転接触することで板状ワーク６０が研削される。このとき、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１を挟んで紙面の左右方向にＷ／２ずつ往復移動され、板状ワーク６０の中心部分に砥石５２が当たらない時間帯（区間）が作られる。すなわち、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１から外側に向かってＷ／２だけ移動した時に、板状ワーク６０の中心Ｏ１から砥石５２が離れて、板状ワーク６０の中心Ｏ１が削られない時間帯が定期的に繰り返されている。
【００２４】
したがって、板状ワーク６０の中心部分が削られ過ぎることなく、適度に削られて高さバラツキが抑えられている。また、板状ワーク６０の中心部分に砥石５２が当たらない時間帯が作られることで、板状ワーク６０の中心部分の蓄熱が抑えられている。また、砥石５２の往復移動量が大きくなると、板状ワーク６０の被研削面に斑模様が現れるが、砥石５２の往復移動量が砥石５２の厚みＷの範囲内に抑えられているため、板状ワーク６０の被研削面に斑模様が現れることがない。よって、砥石５２を往復移動させない場合と比較しても被研削面の外観性が変わることがない。
【００２５】
続いて、図５Ａに示す偏心量Ｗの研削ホイール５０について説明する。この研削ホイール５０は、研削ホイール５０の回転軸Ｃに対する複数の砥石５２からなる真円の中心Ｏ２の偏心量が砥石５２の厚みＷである点についてのみ、上記の偏心量Ｗ／２の研削ホイール５０と異なっている。このため、研削ホイール５０の１回転の間に、研削ホイール５０の回転軸Ｃから砥石５２までの距離が２Ｗだけ可変される。また、図５Ｂに示すように、砥石５２の通り路Ｐが板状ワーク６０の中心Ｏ１から径方向の奥側と手前側にＷずつ移動されるように、砥石５２の厚みＷの中心がチャックテーブル２０の回転中心に位置付けられている。
【００２６】
図５Ｃに示すように、板状ワーク６０が研削されると、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１を挟んで紙面の左右方向にＷずつ往復移動され、板状ワーク６０の中心Ｏ１に砥石５２が当たらない時間帯（区間）が作られる。この場合、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１から外側にＷ／２だけ移動した時に、板状ワーク６０の中心Ｏ１から砥石５２が離れ始めて、板状ワーク６０の中心Ｏ１が削られない時間帯が長めに設定されて定期的に繰り返される。
【００２７】
したがって、偏心量Ｗ／２の研削ホイール５０と同様に、板状ワーク６０の中心部分を蓄熱させることなく、砥石５２によって板状ワーク６０が適度に研削される。また、砥石５２の往復移動量が大きくなった分だけ、板状ワーク６０の被研削面に斑模様が濃く現れるが、外観上は問題ない程度に抑えられている。したがって、砥石５２を往復移動させない場合と比較しても被研削面の外観性が大きく変わることがない。
【００２８】
以下、図６から図８を参照して、研削ホイールを用いた研削評価について説明する。図６は、研削評価に用いられる研削ホイールの模式図である。図７は、板状ワークの中心部分のレーザー反射測定の測定結果の一例である。図８は、板状ワークの被研削面の外観検査の検査結果の一例である。なお、図６における図示左側が研削ホイール、図示右側が研削状態を示している。
【００２９】
ここでは、図６に示すように、一般的な研削ホイール５０Ａ、１．５ｍｍ偏心品の研削ホイール５０Ｂ、３ｍｍ偏心品の研削ホイール５０Ｃ、３．５ｍｍ偏心品の研削ホイール５０Ｄを用意し、それぞれを用いて板状ワークに対する研削加工を以下の表１に示す加工条件で実施した。なお、各研削ホイール５０には厚み３ｍｍの複数の砥石５２が真円状に並んで装着されている。
【表１】
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【００３０】
図６Ａに示すように、研削ホイール５０Ａは、研削ホイール５０Ａの回転軸Ｃを中心に砥石５２が旋回している。この場合、厚み３ｍｍの砥石５２が常に板状ワーク６０の中心部分に当たり続けており、板状ワーク６０の中心部分から砥石５２が逃げることがない。図６Ｂに示すように、研削ホイール５０Ｂは、研削ホイール５０Ｂの回転軸Ｃに対して砥石５２の厚みの半分の１．５ｍｍ偏心しながら旋回している。この場合、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１を挟んで３ｍｍだけ往復移動するため、板状ワーク６０の中心Ｏ１から砥石５２が逃げている時間が最小限に抑えられている。
【００３１】
図６Ｃに示すように、研削ホイール５０Ｃは、研削ホイール５０Ｃの回転軸Ｃに対して砥石５２の厚み分の３ｍｍ偏心しながら砥石５２が旋回している。この場合、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１を挟んで６ｍｍだけ往復移動するため、板状ワーク６０の中心Ｏ１から砥石５２が逃げている時間が長くなる。図６Ｄに示すように、研削ホイール５０Ｄは、研削ホイール５０Ｄの回転軸に対して、砥石５２の厚みを超える３．５ｍｍ偏心しながら砥石５２が旋回している。この場合、砥石５２が板状ワーク６０の中心Ｏ１を挟んで７ｍｍだけ往復移動するため、板状ワーク６０の中心Ｏ１から砥石５２が逃げている時間がさらに長くなる。
【００３２】
図６及び図７に示すように、板状ワーク６０の被研削面についてレーザー反射測定（WaferCom）で板状ワーク６０の中心部分を測定した。研削ホイール５０Ａで研削した板状ワーク６０の中心部分には、０．５μｍ程度の窪みが確認された（図７Ａ参照）。これに対し、研削ホイール５０Ｂ、５０Ｃで研削した板状ワーク６０の中心部分の窪みは０．１μｍ程度に改善された（図７Ｂ、Ｃ参照）。また、研削ホイール５０Ｄで研削した板状ワーク６０の中心部分には、逆に０．３μｍ程度の膨らみが確認された（図７Ｄ参照）。また、静電容量測定（BowWrap）で板状ワーク６０の中心部分を測定した場合でも同様な結果が得られた。
【００３３】
このように、研削ホイール５０Ｂ、５０Ｃで板状ワーク６０を研削した場合には、板状ワーク６０の中心部分を適度に研削でき、さらに窪みの深さに差が生じないことが判明した。また、研削ホイール５０Ｂ、５０Ｃで複数枚（例えば、２５枚）の板状ワーク６０を連続して研削した場合であっても、板状ワーク６０の中心部分の窪みは０．１μｍ程度になることが確認された。よって、砥石５２の厚みをＷにした時に、研削ホイール５０の偏心量がＷ／２からＷの範囲内に収まっていれば、板状ワーク６０の中心部分に深い窪みや大きな膨らみが生じることがない。
【００３４】
図６及び図８に示すように、板状ワーク６０の被研削面について魔鏡による外観検査を実施した。研削ホイール５０Ａ、５０Ｂで研削した板状ワーク６０の被研削面には、非常に薄い斑模様が現れているが、良好な外観性を有していることが確認された（図８Ａ、Ｂ参照）。研削ホイール５０Ｃで研削した板状ワーク６０の被研削面には、外観性を大きく損なわない程度に斑模様が現れることが確認された（図８Ｃ参照）。研削ホイール５０Ｄで研削した板状ワーク６０の被研削面には、明らかに斑模様が現れて外観性を大きく損なうことが確認された（図８Ｄ参照）。なお、外観性の良否判定は、例えば、画像処理による被研削面の輝度の違い等で判定されてもよい。
【００３５】
このように、外観検査によって研削ホイール５０の偏心量がＷより大きい場合に、板状ワーク６０の被研削面の外観性が悪化することが確認された。よって、本実施の形態では、板状ワーク６０の被研削面の外観性が悪化しないように、研削ホイール５０の偏心量の上限がＷに設定されている。なお、研削ホイール５０Ａ−５０Ｄで研削した板状ワーク６０の被研削面について表面粗さが測定されたが、板状ワーク６０の中心付近及び外周付近のいずれにおいても、問題ないことが確認された。さらに、研削中の研削ホイール５０Ａ−５０Ｄの砥石５２の摩耗量及び研削抵抗等が測定されたが、いずれも問題ないことが確認された。
【００３６】
以上のように、本実施の形態に係る研削ホイール５０では、砥石５２の厚みをＷにした時に、板状ワーク６０の上面において砥石５２の通り路が板状ワーク６０の中心部分を挟んだ範囲内で往復移動される。これにより、所定の時間帯だけ板状ワーク６０の中心部分から砥石５２の通り路が外されて、板状ワーク６０の中心部分が適度に研削されると共に、板状ワーク６０の中心部分が定期的に放熱される。よって、板状ワーク６０の中心部分をより平坦に近付けることができ、板状ワーク６０の中心部分での蓄熱を防止することができる。また、回転軸に対する環状に形成された砥石５２の中心の偏心量が大きくなると、板状ワーク６０の上面には斑模様が現れるが、偏心量を適切に設定することで斑模様の発生を抑えることができる。
【００３７】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【００３８】
例えば、上記した実施の形態においては、ホイール基台５１が円環状に形成される構成にしたが、この構成に限定されない。ホイール基台５１は、研削ホイール５０の回転軸に対して複数の砥石５２の中心を偏心させて円環状に装着できる構成であればよく、例えば、円板状に形成されてもよい。
【００３９】
また、上記した実施の形態においては、砥石５２の厚みの中心をチャックテーブル２０の回転中心に位置付けて、チャックテーブル２０の回転中心を中間位置として砥石５２をチャックテーブル２０の径方向に往復移動させる構成にしたが、この構成に限定されない。チャックテーブル２０の回転中心を間に挟んで砥石５２を往復移動させるように、砥石５２がチャックテーブル２０に対して位置付けられていればよい。
【００４０】
また、上記した実施の形態においては、チャックテーブル２０は、多孔質のポーラス材によって板状ワーク６０を吸引保持する構成にしたが、この構成に限定されない。チャックテーブル２０は、板状ワーク６０を保持可能であれば、どのように構成されてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
以上説明したように、本発明は、板状ワークの中心部分を蓄熱させることなく適度に研削することができるという効果を有し、特に、板状ワークの表面をインフィード研削する際に用いられる研削ホイールに有用である。
【符号の説明】
【００４２】
１  研削装置
２０  チャックテーブル
４０  研削手段
５０  研削ホイール
５１  ホイール基台
５２  砥石
５４  自由端部
６０  板状ワーク
【図１】
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【図２】
2016060031.tif 000005
【図３】
2016060031.tif 000006
【図４】
2016060031.tif 000007
【図５】
2016060031.tif 000008
【図６】
2016060031.tif 000009
【図７】
2016060031.tif 000010
【図８】
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