(57)【要約】      （修正有）【課題】可動部材を高精度に所定位置まで移動することが可能で、小型・軽量化が可能な手振れ補正装置を提供する。【解決手段】第１の固定部２に設置される駆動用磁石６１ａ〜ｃと、各駆動用磁石６１ａ〜ｃに対向して第１の固定部２に対して移動可能に支持される可動部３に設置される可動コイル６２ａ〜ｃとを含む複数のボイスコイルモータ６ａ〜ｃと、第１の固定部２に組み付けられる第２の固定部５と可動部３との間に介装される複数の球状体４ａ〜ｃと、可動部３に、軸方向から見て各ボイスコイルモータの中間に設置される複数の検出用磁石８１ａ〜ｃと、第１の固定部２に設置される磁界検出素子８０ａ〜ｃを有する位置検出部材８ａ〜ｃと、第２の固定部５に固設され、各駆動用磁石から発生する磁束が流入する対向ヨー５１ａ〜ｃと各検出用磁石から発生する磁束が流入する吸引ヨーク５２ａ〜ｃを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の固定部に設置される駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向して前記第１の固定部の中心軸と直交する平面内で移動可能に支持される可動部に設置される可動コイルとを含み、前記中心軸の周囲に配置される複数のボイスコイルモータと、
前記第１の固定部に組み付けられる第２の固定部と前記可動部との間に介装され、かつ軸方向から見て前記駆動用磁石に重ならない位置に配置される複数の球状体と、
前記可動部に、軸方向から見て前記各ボイスコイルモータの中間に設置される複数の検出用磁石と、前記検出用磁石に対向して、前記第１の固定部に設置される複数の磁界検出素子を有する位置検出部材と、
前記第２の固定部に固設され、前記駆動用磁石から発生する磁束が流入する対向ヨークと前記検出用磁石から発生する磁束が流入する吸引ヨークを、有することを特徴とすることを特徴とする手振れ補正装置。
【請求項２】
前記第１の固定部は、バックヨークを介して前記駆動用磁石と前記磁界検出素子が設置される第１の固定枠を含み、
前記可動部は、前記可動コイルと前記検出用磁石が設置される可動枠を含み、
前記第２の固定部は、前記可動枠との間に前記球状体が介装される第２の固定枠を含み、
前記対向ヨーク及び吸引ヨークは、前記第２の固定枠に設置することを特徴とする請求項１に記載の手振れ補正装置。
【請求項３】
前記位置検出用磁石及び前記磁界検出素子は軸方向から見て、円周方向に沿って等角度間隔で配置することを特徴とする請求項２に記載の手振れ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定部に対して可動部を移動させるボイスコイルモータと磁界検出素子を含む位置検出部材を備えた手振れ補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密機器、例えばデジタルカメラなどの撮像用光学機器では、撮影レンズの長焦点化や高倍率ズーム化に伴い、高画質の写真を撮影するために、カメラボディーや交換レンズに例えば光学式手振れ補正装置を搭載することが一般的になっている。光学式手振れ補正装置では、光軸と垂直な平面上で補正レンズ又は撮像素子をボイスコイルモータ（以下「ＶＣＭ」という。）により二次元方向に移動させるとともに、位置検出装置を搭載して、サーボ制御することが一般的である。
【０００３】
例えば、特許文献１には、第１軸及び第２軸のそれぞれに沿って配置された磁石（６１Ｌ、６１Ｒ）が備えられた第１の部材（３０）と、第１の部材に対向して備えられた第２の部材（２０）と、第１の部材及び第２の部材のそれぞれに備えられた第１要素（５２）と第２要素（５１、５５２、５５３）との電磁的作用により第１の部材と第２の部材とを相対的に駆動させる駆動部材（５０）とを含み、一方の磁石は、他方の磁石と前記第２要素との電磁的結合により生じる回転モーメントを低減させるように配置された位置決め装置が記載されている。
【０００４】
また特許文献２には、振れ補正レンズを保持するシフト枠とシフトベースとの間に転動可能なボールを挟持し、可動コイル形のボイスコイルモータにより、シフト枠を光軸直交面内でピッチ方向及びヨー方向に駆動し、ボイスコイルモータを構成する磁石とヨークとの間に作用する磁気的な吸引力により、シフト枠をベース側へ付勢するとともに、シフト枠に固定された検出用磁石とシフトベースに固定されたホール素子を含む位置検出手段を備えた像振れ補正装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５１８１５４２号公報
【特許文献２】特許第４００６１７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された位置決め装置では、位置検出用磁石と駆動用磁石の各磁極の配置が９０°異なるために、特にコンパクトな構成とする場合には位置検出用磁石と駆動用磁石間には必ず吸引と反発の磁力が生じ、特に各磁石間の吸引力は、駆動磁石側からみた時、駆動磁石の磁力線は位置検出用磁石に引っ張られることになるため、その分はコイルへの有効磁束が減ることになり、結果として推力低下を招く。位置検出用磁石側からみた時には、駆動磁石からの磁束線の流入、又は位置検出用磁石からの磁束の流出によって、位置検出に重要な極間付近での直線的な磁力変化を悪化させる可能性もあり、その結果、精密制御に支障を生じ、制御範囲を狭くする一因となり得る。また、位置検出磁石が駆動用磁石の対向ヨークに近接すると、位置検出磁石が駆動磁石用対向ヨークに磁気的に吸引され、負荷となることで、制御を阻害するといった問題が生じる可能性もある。更に、磁石としてフェライト磁石を使用するので、小型・軽量化を図ることができないといった問題がある。また、特許文献２に記載された像振れ補正装置は、光軸方向から見てボイスコイルモータのコイルと検出用磁石が重なるように配置されているので、コイルの磁界の影響を受けて、位置検出精度が低下するといった問題がある。又、光軸方向で位置検出磁石と駆動磁石は重なるように配置されており、可動する位置検出磁石と固定側の駆動磁石の間には常に磁気的吸引力が働いており、その磁気的吸引力は可動部の位置を光軸中心位置に保持しようとする力であり、像振れ補正する本来の制御動作の際には可動部の動きを阻害するといった問題もある。更に、磁石同士の吸引力は非常に強いため、可動部のシフトベースに対する吸引保持力を調整する場合には、位置検出磁石と駆動磁石の光軸方向の距離は遠ざけざるを得ず、その結果厚み方向の寸法が大きくなり、小型化できないといった問題も生じ得る。
【０００７】
したがって本発明の目的は、可動部材を高精度で所定位置まで直線的に移動することが可能で、かつ小型・軽量化が可能な手振れ補正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の手振れ補正装置は、
第１の固定部に設置される駆動用磁石と、前記駆動用磁石に対向して前記第１の固定部の中心軸と直交する平面内で移動可能に支持される可動部に設置される可動コイルとを含み、前記中心軸の周囲に配置される複数のボイスコイルモータと、
前記第１の固定部に組み付けられる第２の固定部と前記可動部との間に介装され、かつ軸方向から見て前記駆動用磁石に重ならない位置に配置される複数の球状体と、
前記可動部に、軸方向から見て前記各ボイスコイルモータの中間に設置される複数の検出用磁石と、前記検出用磁石に対向して、前記第１の固定部に設置される複数の磁界検出素子を有する位置検出部材と、
前記第２の固定部に固設され、前記駆動用磁石から発生する磁束が流入する対向ヨークと前記検出用磁石から発生する磁束が流入する吸引ヨークを、有することを特徴とすることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明において、
前記第１の固定部は、バックヨークを介して前記駆動用磁石と前記磁界検出素子が設置される第１の固定枠を含み、
前記可動部は、前記可動コイルと前記検出用磁石が設置される可動枠を含み、
前記第２の固定部は、前記可動枠との間に前記球状体が介装される第２の固定枠を含み、
前記対向ヨーク及び吸引ヨークは、前記第２の固定枠に設置することが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記位置検出用磁石及び前記磁界検出素子は軸方向から見て、円周方向に沿って等角度間隔で配置することが好ましい。
【００１１】
本発明において、前記球状体は、軸方向からみて、前記駆動用磁石と重ならないように設置されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、可動部材を高精度で所定の位置まで移動できるとともに、小型・軽量化が可能な磁石装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態に係わる手振れ補正装置の分解斜視図である。
【図２】図１に示す手振れ補正装置の主要部材の位置関係を示すための概略平面図である
【図３】図１に示す手振れ補正装置における第１の固定部を示す分解斜視図である。
【図４】図１に示す手振れ補正装置における可動部を示す分解斜視図である。
【図５】図１に示す手振れ補正装置における第２の固定部を示す分解斜視図である。
【図６】図１に示す手振れ補正装置の断面図（図２のＡ−Ａ線断面図に相当）である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の詳細を添付図面により説明する。
【００１５】
＜第１の実施の形態＞
【００１６】
手振れ補正装置１は、図１に示すように、第１の固定部２と、そこに固定された第２の固定部５と、第１の固定部２と第２の固定部５との間に介装された円環状の可動部３と、可動部３を中心軸（Ｚ軸）と直交する面内で摺動自在に支持する複数（例えば３つ）の球状体（例えば鋼球）４ａ、４ｂ、４ｃを有する。この手振れ補正装置１は、図示しない光学素子（例えば補正レンズ）を有する可動部３を中心軸に対して垂直な面内で駆動するために、駆動用磁石６１ａ、６１ｂ、６１ｃ及び空心コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃを有する可動コイル形のボイスコイルモータ（以下「ＶＣＭ」という）６ａ、６ｂ、６ｃを有する。空心コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃはフレキシブルプリント基板（以下「ＦＰＣ」という）９を介して制御回路（不図示）に接続されている。この手振れ補正装置１は、可動部３の移動量を検出するために、磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃ及び検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃを有する位置検出部８ａ、８ｂ、８ｃを有する。磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃはＦＰＣ７を介して制御回路（不図示）に接続されている。
【００１７】
図２に示すように、上記の手振れ補正装置１においては、ＶＣＭ６ａ、６ｂ、６ｃは、軸方向から見て、円周方向に沿って等角度間隔（１２０°）をおいて配置されるとともに、位置検出部８ａ、８ｂ、８ｃは、円周方向に沿って各ＶＣＭの中間に位置しかつ等角度間隔（１２０°）をおいて配置される。球状体４ａ、４ｂ、４ｃは、軸方向から見て駆動用磁石と重ならない位置（ＶＣＭと位置検出部の間）に配置される。
【００１８】
手振れ補正装置１の各部の詳細を図３〜図６により説明する。
【００１９】
図３に示すように、第１の固定部２は、円環状の第１の固定枠２０を有する。第１の固定枠２０は、支持板部２１と、円周方向に沿って等角度間隔（１２０°）をおいて形成された台座２２ａ、２２ｂ、２２ｃ及び磁石保持部２３ａ、２３ｂ、２３ｃを有する。磁石保持部２３ａ、２３ｂ、２３ｃには、強磁性体（例えば鉄鋼材料）からなるバックヨーク６０ａ、６０ｂ、６０ｃ及び駆動用磁石６１ａ、６１ｂ、６１ｃが設置される。各磁石は、厚さ方向に磁化されかつ半径方向に沿って異極性の磁極が並ぶように配置される。駆動用磁石は、公知の永久磁石で形成することができるが、少ない消費電力で高推力を得るために、希土類焼結磁石で形成することが好ましい。ＦＰＣ７は、円弧状の巻回部７０から内周側に延出する受部７１ａ、７１ｂ、７１ｃ及び制御回路（不図示）に接続される引出部７２を有する。磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは、受部７１ａ、７１ｂ、７１ｃに実装された状態で台座２２ａ、２２ｂ、２２ｃに設置されるとともに、引出部７２は、切欠部２２から枠外に延出される。
【００２０】
図４に示すように、可動部３は、光学素子（例えば補正レンズ、図示を省略）の外周縁を保持する円筒部３１と、その外周側に形成されたフランジ部３２を有する円環状の可動枠３０を有する。可動枠３０は、フランジ部３２の外周側に形成されたコイル保持部３３ａ、３３ｂ、３３ｃと球状体の一部が入り込む深さを有する円孔３４ａ、３４ｂ、３４ｃと検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１を保持する保持溝３５ａ、３５ｂ、３５ｃを有する。各検出用磁石は、厚さ方向に磁化されかつ半径方向に沿って異極性の磁極が並ぶように配置される。コイル保持部、円孔及び磁石保持溝はいずれも、軸方向から見て等角度間隔（１２０°）をおいてかつ検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃと円孔３４ａ、３４ｂ、３４ｃが円周方向に沿って交互に並ぶように構成されている。各円孔３４ａ、３４ｂ、３４ｃは、球状体４ａ、４ｂ、４ｃが所定範囲で転動できるような大きさに形成される。また各コイル保持部３３ａ、３３ｂ、３３ｃには、ＶＣＭ６ａ、６ｂ、６ｃの可動子を構成する、偏平な空芯コイルである可動コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃが設置される。各コイル端末は、駆動電源（例えば直流電源、図示を省略）に接続されるＦＰＣ９の円弧状の巻回部９０から外周側に延出する受部９１ａ、９１ｂ、９１ｃに接続される。
【００２１】
検出用磁石としては、公知の永久磁石を使用することができるが、可動部に設置されるので、軽量化を図るために、永久磁石粉末（表面を樹脂で被覆してもよい）と、この希土類磁石粉末を樹脂又はゴム等の高分子材料で結合した希土類ボンド磁石を使用してもよい。但しホール素子の出力電圧は低下するので、電気的に増幅すればよい。検出用磁石の材質は可動部質量の軽量化を図るためにボンド磁石の方が望ましいが、可動部材の質量が大きい場合には、小型の希土類系焼結磁石でも可動部の軽量化を実質的に阻害しないため、実用上の問題はない。
【００２２】
図５に示すように、第２の固定部５は、中空円板状の第２の固定枠５０とそこに設置された、強磁性体（ＳＳ材等の鉄鋼材料）からなる対向ヨーク５１ａ、５１ｂ、５１ｃ及び吸引ヨーク５２ａ、５２ｂ、５２ｃを有する。対向ヨーク及び吸引ヨークは、厚さが例えば、０．５〜１．５ｍｍの範囲に設定され、また同一の大きさとすることができ、大きさが同じであればプレス抜き金型を共用でき、もって製造コストを低減できる。
【００２３】
図６に示すように、対向ヨーク５１ａ（５１ｂ、５１ｃ）は、駆動用磁石６１ａ（６１ｂ、６１ｃ）から発生する磁束が流入する位置に設けられる。対向ヨーク５１ａ（５１ｂ、５１ｃ）と駆動用磁石６１ａ（６１ｂ、６１ｃ）とのギャップｇ１を狭くすることにより、漏洩磁束が低減され、且つパーミアンス係数の向上にもなり、ＶＣＭの推力を向上できる。吸引ヨーク５２ｂ（５２ａ、５２ｃ）、は、検出用磁石８１ｃ（８１ａ、８１ｂ）から流出する磁束が流入する位置に設けられるので、可動部３は、軸方向に沿って固定部２から遠ざかる方向に磁気的に吸引される。検出用磁石８１ｃ（８１ａ、８１ｂ）と吸引ヨーク５２ｂ（５２ａ、５２ｃ）とのギャップｇ２は、例えば検出磁石の設置位置を変更することにより調整できる。検出用磁石８１ｃ（８１ａ、８１ｂ）とホール素子８０ｃ（８０ａ、８０ｂ）とのギャップｇ３は、例えばホール素子の設置位置（台座の高さ）を変更することにより調整できる。
【００２４】
可動枠３０は、Ｚ軸方向から見て第２の固定枠との間に、複数の球状体が介装されるため、可動枠３０はＺ軸に対して垂直な平面（Ｘ方向及びそれと直交するＹ方向を含む面）において任意の方向に移動可能な状態で支持されて、摺動（摩擦）抵抗が低減され、正確な位置精度を確保することが可能となる。第１の固定枠２０、可動枠３０及び第２の固定枠５０は、非磁性体（例えばエンジニアリングプラスチック）で形成される。
【００２５】
本実施の形態のように、磁界検出素子の中心が推力中心と反転した位置にあると、現在位置の演算が容易となるため、可動部材を目標位置まで速やかに移動させることが可能である。また、磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは、可動コイル６２ａ、６２ｂ、６２ｃから大きく離れた位置に存在するため、コイルから発生する磁束の影響を受けず（ノイズを伴わずに）、高精度の位置検出が可能となる。
【００２６】
上記の手振れ補正装置１では、各可動コイルに供給する電流の極性及び／又は大きさを変えることにより、推力の大きさと向きを調整することができるので、各ＶＣＭに発生する推力を合成することにより、可動部３を中心軸と垂直な面内で任意の方向に駆動することができる。この駆動量を制御回路にフィードバックして、目標位置に可動部材を移動させるサーボ制御を行うことができる。
【００２７】
上記のＶＣＭで可動部材を駆動する場合、可動部３の移動量を検出する位置検出部材８ａ、８ｂ、８ｃが設けられるので、可動部３に設置された検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃから発生する磁界を磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃで検出するので、可動部３の移動量に基づいてフィードバック制御を行うことができる。また第２の固定枠５０には、吸引ヨーク５２ａ、５２ｂ、５２ｃが設けられており、検出磁石から発生する磁束が流入して、検出用磁石と吸引ヨークとの間に磁気吸引力が発生して、可動部３は第２の固定部５側に引きつけられる。即ち、本実施の形態では、検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃは位置検出を行うための磁界発生手段と共に、可動部３を第２の固定部５側に引きつけるための磁界発生手段としての機能も兼ね備えている。
【００２８】
上記の検出用磁石（駆動用磁石も同様）は、厚さ方向に磁化した（単極着磁を施した）一対の平板状の永久磁石であるが、一対の平板状の永久磁石の代りに、厚さ方向に磁化しかつ異極性の磁極が隣接する単一の平板状の永久磁石を使用することができる。
【００２９】
磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃは各々、可動部３がセンタリングされている初期位置では、その中心が可動部３に固定された検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃの中間（磁極が反転する位置：磁束密度がほぼゼロ）に一致する。したがって各磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃの表面において、各検出用磁石８１ａ、８１ｂ、８１ｃの一端から他端に向って磁束密度は、検出磁石の中間（ゼロクロス点）を挟んで所定長さの範囲で、磁束密度が直線的に変化する。磁界検出素子は磁束密度に比例した電圧を出力するので、磁石部の寸法及びホール素子と磁石部との距離を適切に設定しておけば、検出用磁石の移動量（磁力変化）に比例した電圧を制御回路に出力することができ、さらに出力電圧のリニアリティーを向上することができるので、高精度の位置決めを行うことができる。
【００３０】
本実施の形態においては、上述したように、中心軸方向に沿って磁界検出素子、検出用磁石、吸引ヨークの順に配置されるとともに、中心軸を挟んで、磁界検出素子と点対称となる位置で、バックヨーク、駆動用磁石、可動コイル及び対向ヨークの順に配置されている。このように磁界検出素子は可動コイルに対向せずに、可動コイルから離間した位置に配置されているので、可動コイルから発生する磁束は、磁界検出素子に影響を与えることはない。また吸引ヨークは、検出用磁石から発生する磁束が流入する位置に配置されているので、可動部３はこのヨークに向って磁気的に吸引される。磁気吸引力を可動部の質量に応じた適切な値に設定することにより、可動部２を中心軸と直交する面内で円滑に支持することができる。磁気吸引力の値としては、可動部材の質量の２倍程度であることが好ましく、例えば可動部の質量が約２５〜３０ｇの場合で、５０〜６０ｇｆの範囲にあることが好ましい。
【００３１】
本発明の手振れ補正装置は、例えば、可動部材５の質量が２０〜３０ｇの場合で、推力質量比（最大推力／可動部材の質量）を例えば２．０〜３．０の範囲に収まるように構成することができる。但し推力質量比は３．０以上であってもよい。
【００３２】
可動部をＶＣＭで駆動し、かつ位置検出素子としてホール素子を使用した場合、可動部材の最大移動距離は、例えば初期位置から±（０．５〜１．０）ｍｍの範囲に設定することができる。この移動範囲で、実際の移動量と磁界検出素子の出力電圧に対応する移動量との差（理論直線に対する誤差量）が少ない（リニアリティーが高い）ことが必要であり、ホール素子を使用した場合で、理論直線に対する誤差量が０．０４ｍｍ以内に収まることができる。
【００３３】
本実施の形態では、各対向ヨーク５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、各吸引ヨーク５２ａ、５２ｂ、５２ｃ及び各磁界検出素子８０ａ、８０ｂ、８０ｃの軸方向（Ｚ軸方向）の位置を独立して調整できる。したがって、高い推力が得られながら、しかも推力とは無関係に、検出用磁石による磁気吸引力及び磁界検出素子の出力の直線性をそれぞれ最適な値に調整することができる。
【００３４】
上述した通り、本実施の形態によれば、（１）軸方向に沿って、駆動用磁石、可動コイル及び対向ヨークを配置して磁気回路を形成するので、消費電力の増大を伴わずに、磁気特性の大なる固定磁石を使用できることになり、推力質量比の増大を図ることができること、及び（２）駆動用磁石とは別に検出用磁石を用いるので、磁界検出素子の出力電圧の直進性を優先して検出用磁石の寸法を設定できるとともに、磁界検出素子を可動コイルから発生する磁束が及ばない位置に配置することが可能で、可動コイルにより磁界検出素子に与える影響を無くすことができることに加えて、特に次のような効果を奏し得る。
【００３５】
（３）固定部に２つのヨークを駆動用磁石及び検出用磁石に対向する位置に設けるので、可動部材を駆動するためのＶＣＭの発生推力と、可動部材を固定側部材に吸引するための磁気吸引力並びに磁界検出素子の出力の直線性をいずれも独立して（最適な値に）調整することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１：手振れ補正装置、
２：第１の固定部、
２０：固定枠、２１：支持板部、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ：台座、２３ａ、２３ｂ、２３ｃ：磁石保持部、２４：切欠部、
３：可動部、
３０：可動枠、３１：円筒部、３２：フランジ部、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ：コイル保持部、３４ａ、３４ｂ、３４ｃ：円孔、３５ａ、３５ｂ、３５ｃ：保持溝、
４ａ、４ｂ、４ｃ：球状体、
５：第２の固定部、
５０：第２の固定枠、５１ａ、５１ｂ、５１ｃ：対向ヨーク、５２ａ、５２ｂ、５２ｃ：吸引ヨーク
６ａ、６ｂ、６ｃ：ボイスコイルモータ、
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ：バックヨーク、６１ａ、６１ｂ、６１ｃ：駆動用磁石、
７：第１のフレキシブルプリント基板、
７０：巻回部、７１ａ、７１ｂ、７１ｃ：受部、７２：引出部、
８：位置検出部、
８０ａ、８０ｂ、８０ｃ：磁界検出素子、
８１ａ、８１ｂ、８１ｃ：検出用磁石、
９：第２のフレキシブルプリント基板、
９０：巻回部、９１ａ、９１ｂ、９１ｃ：支持部、９２：引出部、
ｇ１：駆動用磁石と対向ヨークとの距離
ｇ２：検出用磁石と吸引ヨークとの距離
ｇ３：磁界検出素子と検出用磁石との距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
2016212203.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年5月9日(2015.5.9)
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2016212203.tif 000009
【図２】
2016212203.tif 000010
【図３】
2016212203.tif 000011
【図４】
2016212203.tif 000012
【図５】
2016212203.tif 000013
【図６】
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