(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
汚染物質に敏感な物品を汚染物質のない環境で保管するパッケージであって、
１対の重合体物質製の片割れ部分であって、片割れ部分のそれぞれが底壁および側壁を有し、前記片割れ部分が、１個または複数の汚染物質に敏感な物品を収容する内部を有する閉止されたエンクロージャを形成するために、各片割れ部分が距離を開けた開放位置から、前記側壁が入れ子式にある停止位置への重なり滑動係合をするために係合し配置される、１対の重合体物質製の片割れ部分と、
少なくとも１つの前記側壁と動作可能に連携して前記停止位置で前記エンクロージャ内部を封止する封止手段と、
前記片割れ部分を前記封止手段に対する前記停止位置に柔軟に追い込んで前記エンクロージャ内部を封止する、前記片割れ部分上の弾力のあるクランプ締め付け手段と、
前記封止されたエンクロージャ内部内にパージガスを導入し、前記クランプ締め付け手段に逆らって前記各片割れ部分を前記停止位置から外側に移動させ、これによって前記エンクロージャ内部内の過剰なガス圧力を軽減する、前記エンクロージャ上の手段とを組み合わせて備えるパッケージ。
【請求項２】
前記物品を前記エンクロージャ内部内に入れる際、前記物品をイオン化ガスに浸す手段を備える請求項１に記載のパッケージ。
【請求項３】
前記片割れ部分が断面形状が円形である請求項１に記載のパッケージ。
【請求項４】
前記各側壁はそれぞれ環状の上方端を備え、前記封止手段は前記片割れ部分の一方上に取り付けられたＯ−リングを具備し、前記片割れ部分の他方の前記側壁上の前記上方端は、前記停止位置で前記Ｏ−リングと封止的に係合して前記エンクロージャ内部を封止状態に維持するようになされた請求項１に記載のパッケージ。
【請求項５】
前記エンクロージャの衝撃を吸収し、さらに前記エンクロージャ内部内への汚染物質の移入を低減するように、前記エンクロージャの外周縁上に取り付けられるようになされた、当てものをする手段を備える請求項１に記載のパッケージ。
【請求項６】
前記当てものをする手段が、端部を有する長く延びた帯と、帯内で長手方向に伸張する少なくとも１つの空気チャンバーと、前記帯の端部を相互に接続して前記帯を前記エンクロージャ上の前記取り付け位置に保持する手段とを備えた請求項５に記載のパッケージ。
【請求項７】
前記弾力的なクランプ締め手段が、前記片割れ部分の一方に回動自在取り付けられ円周方向に離間された複数の掛け金部材と、前記片割れ部分の他方に円周方向に離間された複数の受け金具部材を備え、この受け金具部材はそれぞれ、前記片割れ部分を前記停止位置に追い込むように、関連する前記掛け金部材の１つと柔軟に係合可能である請求項１に記載のパッケージ。
【請求項８】
前記掛け金部材がそれぞれ、回動自在に取り付けられ、前記１つの片割れ部分と一体的に形成され、前記受け金具部材を受け入れる溝穴を有するフラップ部材を備える請求項７に記載のパッケージ。
【請求項９】
パージガスを前記エンクロージャ内へ導入する前記手段が、前記片割れ部分の一方にある入り口と、前記入り口をパージガス源を有する関連する流体ポンピング装置に接続する手段とを備える請求項１に記載のパッケージ。
【請求項１０】
前記流体ポンピング装置は、前記流体ポンピング源に接続され出口端がある中空針を備え、前記入り口は、前記１つの片割れ部分の底壁内の開口と、前記開口の上に重なる関係にあるフィルターと、前記エンクロージャ内部を封止状態に維持するための、前記フィルターと離間した関係で重なる自己密封式素材のパッチとを備え、前記パッチは、前記中空針を貫通させて前記パージガスを前記フィルターを通して前記エンクロージャ内部内に導入し、かつ前記針を引き抜いた際は再度封止して前記エンクロージャ内部を封止状態に維持するようになされる請求項９に記載のパッケージ。
【請求項１１】
フレキシブルなプラスチック製の封止されたバッグを備え、このバッグはバッグ内部を有し、エンクロージャが前記バッグ内部内に配置され、前記バッグ内部内にパージガスを導入する手段を有する請求項１に記載のパッケージ。
【請求項１２】
パージガスを前記エンクロージャおよび前記バッグの各内部内に導入する前記手段が、関連する流体ポンピング装置と、前記エンクロージャ入り口と動作可能に連携する前記バッグの入り口と、および前記入り口をパージガス源を有する前記関連する流体ポンピング装置に接続する手段とを備える請求項１１に記載のパッケージ。
【請求項１３】
前記流体ポンピング装置が、真空状態発生源、前記流体ポンピング源に接続され出口端および出口側面口を有する中空針を備え、前記エンクロージャ入り口は前記１つの片割れ部分の底壁内の開口と、前記開口の上と重なり関係にあるフィルターと、前記フィルターと離間関係で重なって前記エンクロージャ内部を封止状態に維持する自己密封式素材のパッチとを備え、前記バッグは側壁を備え、前記バッグ入り口は前記バッグ側壁内の開口部と、前記バッグ開口部と離間関係で重なって前記バッグ内部を封止状態に維持する自己密封式素材のパッチとを備え、前記パッチは、前記中空針を貫通させて前記パージガスの１つおよび前記真空状態を前記針出口端から前記エンクロージャ内部に、前記針の側面口を通して前記バッグ内部内に導入し、前記針を引き抜いた際は再度封止して前記各内部を封止状態に維持するようになされる請求項１２に記載のパッケージ。
【請求項１４】
前記流体ポンピング装置が、真空状態発生源、前記流体ポンピング源に接続され出口端を有する中空針を備え、前記エンクロージャ入り口は前記１つの片割れ部分の底壁内の開口と、前記開口の上と重なり関係にあるフィルターを備え、前記バッグは前記バッグ側壁内の開口部と、前記バッグ開口部と離間関係で重なって前記バッグおよびエンクロージャの各内部を封止状態に維持する自己密封式素材のパッチとを備え、前記パッチは、前記中空針を貫通させて前記パージガスの１つおよび真空状態を前記針出口端から前記エンクロージャおよびバッグの各内部内にそれぞれ導入し、前記針を引き抜いた際は再度封止して前記各内部を封止状態に維持するようになされる請求項１２に記載のパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は封止したプラスチック容器内に保管された、汚染物質に敏感な物品の汚染の除去に関し、さらに詳細には水分、酸素、イオン汚染物質等の汚染物質を容器内部から取り除き、容器内部をいつまでも汚染物質のない状態に保ち環境の変化をなくして製造の各工程間の製品収率を上げる方法、装置、およびパッケージに関する。
【０００２】
（先行技術の説明）
半導体ウェハのような汚染物質に敏感な物品の製造における急速な技術の発展によって、汚染物質の除去に対する要件はさらに高いものになった。そのようなウェハの感度がたえず増ことによって、極微量の汚染物質の存在でさえも、高品質で生産することおよび不合格品をなくすことに対する障害となる。
【０００３】
このような汚染物質の発生源は無数にある。このような汚染源の１つが、ウェハのとがった角がプラスチックのウェハ担体とこすれたり、擦れ合う場合に形成されるプラスチックの微粒子または削りくずである。他の汚染源はプラスチックのバッグやボックス等のような重合物質で形成される容器からのイオン汚染物質である。このようなイオン汚染物質はウェハ表面に拡散し、重合物質の中に認められるＣＬ、ＰＯ４、ＮＯ３、ＮａおよびＫのような苛性および／または腐食性成分のために回路の劣化を引き起こす可能性がある。このような重合物質は「脱ガスする（ｏｕｔｇａｓ）」傾向がありそのためこれらの成分が環境水分を伴って可動に成りウェハ表面に引き付けられる。したがって、最大限可能な範囲で汚染物質の活動をなくした封止したプラスチック製エンクロージャ内にこのような物品をパッケージングすることが大いに望まれる。
【０００４】
保護対策の１つの形式は、蒸気透過型素材の中に詰めた乾燥剤を使用することであった。この乾燥剤はプラスチック製のエンクロージャを封止する前にその内部に設置される。この乾燥剤すなわち「ゲッタ（ｇｅｔｔｅｒ）」はパッケージングおよび保管の間は水分や酸素のような大気中の汚染物質を吸収するように作用する。このような乾燥剤には、一般に、水分吸収に使用されるシリカゲルおよびモルキュラーシーブ、ならびに酸素吸収用の鉄製小片のような鉄くずが含まれる。このような汚染物質の除去効果をさらに高めるために、エンクロージャ内部は不活性ガスで頻繁にパージされ、封止する前に吸引排気される。
【０００５】
このような先行技術の努力すべてにもかかわらず、２つの理由でパッケージングされた損傷されやすい物品の望ましくない汚染が依然としてある程度起こることが見いだされた。第１の理由は、現在の封止している装置の封止操作が負圧に依存しているためである。この結果、決定的な遮断機構を欠いているため、封止後に大気汚染物質がエンクロージャ内に残留するのを許している。さらに、このようなバッグおよびボックスを構成している重合体物質は全て、いくらかの水蒸気透過率（ＷＶＴＲ）を有し、エンクロージャ壁を通して乾燥剤が取り除こうとする水分および他の汚染物質の浸透を引き起こしている。
【０００６】
このような汚染物質の除去は一般に有効であるが、中にパッケージングされた乾燥剤の貯蔵寿命はすべて限度があり、この寿命を越えた場合、時間と費用をかけて再パッケージングと交換を実施する以外に汚染物質をさらに除去する方法はない。さらに、このような乾燥剤を物品のパッケージングに使用する場合、使用前の保管を含む、従事者による乾燥剤の取り扱いが不適切であると、乾燥剤の効き目が低下する可能性がある。
【０００７】
汚染物質がない環境の生産現場でウェハがパッケージングされたとしても、他の汚染の問題がある。汚染のレベルは、使用する材料、圧力、温度、振動、湿気濃度などの雰囲気保管条件、ならびにパッケージ封止技術などの要因のため、長期間の間に変化することが実証済みである。
【０００８】
このような汚染レベルは一貫せず、汚染を半連続的または連続的に測定することは費用の面で実際的でないために、最終ユーザーは製造コストに加えてこのような汚染レベルの不一致や変動に対処する必要がある。このようなコストの増加は、ウェハ上の汚染物質を除去できるにしろ出来ないにしろ使用の時点でウェハを洗浄する必要性から発生している。このようにすることによって、「ウェハ環境制御」（ＷＥＣ）と呼ぶことのできるものがきわめて重大な考慮すべき事項になっている。このような変動は、その後の工程に大きく影響し、かつ、おそらくはウェハ上に作成されていく最終製品または半導体の歩留りに影響する可能性があるため、ユーザーにとって「お金（ｍｏｎｅｙ）」そのものとなる。
【０００９】
これらに追加して微粒子の問題がある。この微粒子は、遊離した薬剤、またはパッケージングされたウェハのとがった角が、衝撃吸収材などのようなパッケージの中でウェハを支持するプラスチックの表面と擦れ合ってできる微粒子のいずれかである。このような微粒子はロット毎に変化するため、ＷＥＣに関連する別の要因となる。
【００１０】
要約すると、重合物質のエンクロージャ内にパッケージングされた、汚染物質に敏感な物品に対し無数の汚染源が存在し、これにはその可動性が主に水分に依存するイオン汚染物質が重合物質によって連続的に生成されることが含まれる。さらに、重合物質を通しエンクロージャ内部に浸透する水蒸気、エンクロージャの不適切な取り扱いや封止方法および保管期間が延びた場合の乾燥剤の長期間に渡る有効性の限界などの問題に直面する。
【００１１】
（発明の概要）
したがって、本発明の主な目的は半導体ウェハのような汚染物質に敏感な物品を汚染物質のない環境でパッケージングする新しくかつ新規な方法およびパッケージを提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、パッケージングした汚染物質に敏感な物品を汚染物質のない環境の中に維持する新しくかつ新規な方法およびパッケージをを提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、半導体ウェハのような汚染物質に敏感な物品用に、パージガスおよびパージガスに同伴する汚染物質を流せるようにしつつパッケージの封止状態を維持する新しくかつ新規なパッケージを提供することにある。
【００１４】
本発明のさらに他の目的は、半導体ウェハのような汚染物質に敏感な物品の封止されたパッケージの内部をパッケージの封止状態を維持しつつ自動的にパージおよび／または吸引排気する新しくかつ新規な装置を提供することにある。
【００１５】
本発明のさらに他の目的は、汚染物質に敏感な物品用の新しくかつ新規なパッケージであって、２つ以上の封止されたエンクロージャを備える多重のエンクロージャ構造であって、エンクロージャ内部ではパージおよび／または吸引排気処理を同時に行って、内部を汚染物質のない状態に維持することができるパッケージを提供することにある。
【００１６】
本発明のさらに他の目的は、汚染物質に敏感な物品用の新しくかつ新規なパッケージであって、最初のパッケージングの後、パッケージを封止の際の水分のない環境に維持しつついつでも汚染物質の除去ができるパッケージを提供することにある。
【００１７】
本発明のさらに他の目的は、汚染物質に敏感な物品をパッケージに挿入する際、物品を汚染物質のない状態に維持するような、汚染物質に敏感な物品用の新しくかつ新規な装置およびパッケージを提供することにある。
【００１８】
本発明の目的および他の関連する目的は、半導体ウェハのように汚染物質に敏感な１個または複数の物品がその内部にパッケージングされ、そのような物品をパッケージに挿入する際も汚染物質がない封止されたプラスチックのエンクロージャであって、エンクロージャは１対の片割れ部分を備え、この片割れ部分はエンクロージャ内部を関連する装置がもたらすパージガスおよび／または真空状態にさらして内部の封止状態を維持する一方、パージ操作中に内部から外へパージガスに同伴させて汚染物質を逃がすことができる手段と共に封止的に係合するように柔軟に保持され、エンクロージャはエンクロージャを囲包しこれと同心の１個または複数の、パージおよび／または減圧操作を行うようになされた内部を有するフレキシブルなプラスチックバッグ内に収容されるようになされているプラスチックのエンクロージャを供給することで達成される。
【００１９】
（好ましい実施形態の説明）
図面、とくに図１、２について説明すると、本発明によって組み立てられ、一般に文字Ｅで表されるエンクロージャまたはボックスが示されている。このエンクロージャＥは好ましくはポリプロピレンのような合成樹脂の材質で成形され、半導体ウェハＷのような汚染物質に敏感な物品をパッケージングするようになされる。
【００２０】
さらに詳細に述べると、エンクロージャＥは１対になった片割れ部分１１、１２を備え、各部分品にはそれぞれ底壁１３、１４および側壁１６、１７がある。ここに示した実施形態において、エンクロージャＥは断面形状が円形で環状の側壁１６、１７が直立しているのが好ましい。しかしながら、エンクロージャＥは望ましいどのような形状にもできることを理解すべきである。
【００２１】
片割れ部分１１、１２は、おたがいが重なるように、図１に示すような距離をとって離した開放位置から図２に示すような停止位置に滑り込み、図４に示すように側壁１６、１７を入れ子式にはめ込んで係合し、内部１９を有するエンクロージャＥを形成するように配置される。このようにすることによって、図１の開放位置において、物品Ｗを片割れ部分１１、１２の間に入れ、エンクロージャ内部１９内に収容することができる。
【００２２】
図１に示すように、エンクロージャＥ内に入れられた物品Ｗをイオン化ガスに浸すような各手段が設けられ、このガスによって微粒子のような汚染物質を引きつける働きをする物品上の静電荷を除去する。さらに詳細に述べると、図１に示すように、イオン化装置２１がエンクロージャＥと機能的に作用するように結合してイオン化ガスを生成し、このガスが矢印Ａで示すようにウェハＷおよび隣接するエンクロージャ部分を連続的におおう。図に示すように、イオン化装置２１はイオン化ガス源２２および電源２３と接続している。
【００２３】
側壁１６、１７の少なくとも１つと機能的に結合した封止手段がエンクロージャ内部１９を封止するために図２の停止位置すなわち閉止位置に設けられる。図４に示すように、片割れ部分１２は周辺フランジ２４を備えその中に環状溝２６が形成される。Ｏ−リング２７が側壁１７に隣接する溝２６内に配置され、図５に示すように片割れ部分１１の側壁１６の上方端１６ａと封止的に係合する。
【００２４】
弾力的なクランプ手段が各片割れ部分１１、１２上に設けられ、片割れ部分を図５の停止すなわち封止位置に柔軟に追い込んでエンクロージャ内部１９を封止する。さらに詳細に述べると、複数の円周方向に間を置いて配置した一般に文字Ｌで表される掛け金がエンクロージャＥ上に設けられ、この掛け金はそれぞれ、回動自在な、好ましくは片割れ部分１２のフランジ２４と一体的に形成される掛け金部材２８を備える。各部材２８の末端は溝穴２９を備える。
【００２５】
片割れ部分１１もまた直立な環状フランジ３０および外周フランジ３１を備え、外周フランジ上には、好ましくは外周フランジ３１と一体的に形成され、隣接する掛け金部材２８と連携して機能的に作用するように円周方向に間を置いて配置される複数の受け金具部材３２が設けられる。このようにすることによって、図５に示すように、各片割れ部分１１、１２は、受け金具部材３２が関連する掛け金部材２８の溝穴２９と係合するように掛け金部材２８を図２の点線位置から上方に動かして一緒に掛け金で固定される。この掛け金を掛ける操作に従って側壁１６の上方端１６９はＯ−リング２７の位置に追い込まれ、これによってエンクロージャＥの内部１９の気密性がもたらされる。掛け金Ｌを取り外し可能なようにロックした位置に保持するために、各受け金具部材３２の外側端は直立したビード（縁）部３３を備える。
【００２６】
封止されたエンクロージャＥの内部１９内にパージガスを導入し、図４に示す掛け金Ｌのクランプ締め付け作用に逆らって片割れ部分１１、１２を図５の停止位置から外側に移動させ、これによってパージ操作中のエンクロージャ内部１９内の過剰なガス圧力を軽減する手段が設けられる。さらに詳細に述べると、図１、図５に示すように、片割れ部分１１の底壁１３は一般に文字Ｉで表される入り口を備える。この入り口Ｉは好ましくは底壁１３と一体的に形成される直立した中央スリーブ３４を備える。開口部３６も同様にスリーブ３４によって形成される底壁１３の区域内に設けられる。
【００２７】
スリーブ３４は中央の内腔３７を備え、内腔内には、図５および図１の実線で示す組立品の分解図にそれぞれ示すように、フィルター３８、中央開口部３９ａを有するフィルター保持器３９、ゴムのような自己密封式素材のパッチ４１および中央開口部４２ａを有するパッチ保持器４２などを積み重ねた組立品が配置されている。
【００２８】
図２について説明すると、封止されたエンクロージャ内のパージガスならびに真空状態は、一般に文字Ｓで表され、パージガス源および真空状態発生源を備える関連の流体ポンピング源から選択的に導入される。
【００２９】
さらに詳細に述べると図３、図５でよく分かるように、手動で操作する棒状部Ｔが設けられており、この棒状部は凹所４７を形成するカップ部分４６内で一端が終わる中央の内腔４４を有する長く伸びた本体部分４３を備えている。鋭利な出口端４８ａを持つ注射針４８のような中空の器具が棒状部Ｔ内に支持され、相対向する両端部は内腔４４およびカップ状凹所４７内をそれぞれ伸張する。
【００３０】
この中空針４８はホース４９の手段によって、タイミング手段５２を備えたプログラムコントローラー５１を具備する流体ポンピング源Ｓに接続される。このコントローラー５１は導線５３の手段で電源に、またホース５７、５８の手段でパージガス源５４および真空源５６にそれぞれ接続される。
【００３１】
エンクロージャ内部１９内へのパージガスの導入は図２に示すように棒状部Ｔの位置を適切に定め、図５に示すように入り口Ｉのスリーブ３４が棒状部の凹所４７内にぴったりと収容されることで達成される。この所定位置において、針の末端部分はパッチ保持器４２およびフィルター保持器３９内の、パッチ４１をそれぞれ貫通する開口４２ａ、３９ａを通って伸張する。したがってこの針の出口４８ａは棒状部の凹所４７内に配置され、この結果システムＳからのパージガスをエンクロージャ内部１９内に導入し、エンクロージャ内の汚染物質に敏感な物品を浸すことができる。
【００３２】
エンクロージャ内部１９内で過大なパージガス圧力の蓄積が生じた場合は、片割れ部分１１、１２が離れる方向に移動して側壁１６の上方端１６ａをＯ−リング２７から切り離して持ち上げ、ガスの通路を与えて、図４に矢印で示すように側壁１６の周辺でエンクロージャＥから外へ汚染物質をガスに同伴させて逃がす。パージ操作の他に、エンクロージャ内部１９を、コントローラーのタイミング手段５２で事前に設定したプログラムに従ってどのような順序でもまたどのような期間でもコントローラー５１によって設定したように真空状態にすることもできる。
【００３３】
パージングおよび／または真空操作終了後は、棒状部Ｔは取り外しこれに伴い針４８を引き抜き、針の跡をパッチで再度シールしてエンクロージャ内部１９を汚染物質のない密封状態に保つ。
【００３４】
エンクロージャＥはエンクロージャＥの側面部分を外側から囲包する手段で汚染物質の浸入をさらに防ぐことができる。さらに詳細にのべると、図６−図９に最もよく示すように、長方形の長く延びたパッドすなわちバリア帯６１が設けられ、このバリア帯はプラスチックなどのように気密性の適切な材質であればどのようなものでも良い。パッド６１は１つまたは複数の長手方向に伸張するふくらんだ空気チャンバーを形成する側壁６３、６４を持つ帯６２を備える。図示した実施形態では、図７に示すようにこのようなチャンバーが３つ６６、６７、６８設けられ帯７１、７２で相互につながっている。パッド６１の巾はエンクロージャＥの高さより多少広く、長さは図９の取り付けた位置で端部が重なり合うのが好ましい。
【００３５】
図に示すように、パッド６１はエンクロージャＥのまわりを一周巻いて取り付けられ、はがせる素材で出来た細片７４の付いた粘着性のタブ７３の手段によって取り付け位置に保持される。図９の取り付け位置において、パッド６１はエンクロージャＥの衝撃保護手段を提供するだけでなく水蒸気透過率を低減もする（ＷＶＴＲ）。
【００３６】
図１０−図１３について説明する。これらの図においては、同一の部品に対しては同じ数字が使用され、さらにエンクロージャＥに対しさらにエンクロージャ手段を追加して設けることができる。図示した実施形態において、一般に文字Ｂで識別されるプラスチック製のフレキシブルなエンクロージャまたはバッグが設けられる。バッグＢは側壁７６、７７を備えバッグ内部７８を形成する。図１０に示すように、バッグＢは一端７９が密封され、他端はエンクロージャＥをパッド６１とともにバッグ内部７８内に挿入できるように開放されており、この開放端は挿入の後、８０のところで密封される。このバッグＢとエンクロージャＥの組み合わせが密封されたパッケージＰを形成する。
【００３７】
図１３に示すように、バッグＢは入り口８１を備え、この入り口は、中央に内腔８３を有しフランジ８６の手段によってバッグＢの側壁７６の開口部８７内に適切に固定される直立したスリーブ８２を備える。図１３に示すように、このスリーブ８２はスリーブを横切って伸張し開口８８ａを有する内壁８８を備え、内壁上部にはゴム製などの自己密閉式のパッチ９０および中央開口９１ａを有する円板保持器９１が配置される。スリーブ８２の内壁８２ａは、この後で説明する目的のために複数の円周方向に間隔をとって配置されたノッチ９３を備える。
【００３８】
図１４、１５について説明する。これらの図においては同一の部品に対しては同じ数字が使用され、図１１の密閉されたパッケージＰは流体ポンピングシステムＳと共同してパージおよび／または吸引排気操作を行うことができる。パッケージＰの処理において、前に述べた実施形態の棒状部Ｔは変更されて図１５に示すような側面出口９４を備えた棒状部Ｔ’として識別する。
【００３９】
図１５に示すように、バッグＢの入り口８１は中央に配置されその結果バッグＢとエンクロージャＥを組み立てると、エンクロージャＥの入り口Ｉはバッグ入り口８１のスリーブ８２の中央内腔８３内に収容される。バッグ入り口８１上の棒状部Ｔ’の機能的に作用する位置では、入り口８１は棒状部凹所４７内に収容される。針４８はバッグＢの入り口８１上の開口８８ａ、９１ａおよびエンクロージャＥ上の開口４２ａ、３９ａを貫いて通り、エンクロージャＥおよびバッグＢ上の各ゴム製パッチ４１、９０の両方をそれぞれ貫通している。
【００４０】
図１５に示す位置において、針の側面入り口９４は切り欠き９３を通してバッグＢの内部７８とだけ連絡し、針の出口端４８ａは片割れ部分１１の底壁１３内のフィルター３８および開口部３６を通してエンクロージャ内部１９とだけ連絡している。図１５に示すようにしてパージ操作を行うと、バッグ内部７８へのガスの流れは矢印Ｘで示され、エンクロージャ内部１９へのガスの流れは矢印Ｙで示される。エンクロージャ内部１９内の過剰なガス圧力の軽減は前述の実施形態のように柔軟な掛け金Ｌの許す範囲で片割れ部分１１、１２を相対的に移動することで達成される。
【００４１】
図１６について説明すると、一般に文字Ｐ’で表される図１５のパッケージＰの変更形態が示され、これらの図においては同一の部品に対しては同じ数字が使用される。パッケージＰ’は入り口Ｉ’を有するエンクロージャＥ’を備え、この入り口は、中央に内腔３７を有し好ましくは片割れ部分１１の底壁１３と一体的に形成される直立したスリーブ３４を備える。フィルター３８および中央開口部３９ａ’を有するフィルター保持器３９’はスリーブ３４の中央内腔３７内に配置され、フィルター３８は片割れ部分底壁１３内の開口３６の上に重なる。入り口Ｉ’の構成部品は図１で破線で示されるものである。
【００４２】
バッグＢは図１３に示すように入り口８１を具備し、図１６の実施形態においてはエンクロージャ入り口Ｉ’と中心を揃えてスリーブ８２の中央内腔８３内に入り口Ｉ’のスリーブ３４を収容する。入り口Ｉ’は図５のパッチ４１のようなパッチを備えていないことが注目されよう。この結果、パッケージの封止および再封止はバッグＢのパッチ９０で得られる。
【００４３】
図１６の実施形態でパージおよび／または吸引排気操作を行うには、図に示すようにバッグ入り口８１が棒状部凹所４７内に収容されるように棒状部Ｔの位置を定める。針４８はバッグ入り口８１上の、パッチ９０を貫通している開口８８ａ、９１ａおよび入り口Ｉ’の保持器３９内の開口３９ａを通って伸張する。このようにすることによって、針の側面口９４はエンクロージャ底壁１３内のフィルター３８および開口３６を通してエンクロージャＥ’の内部１９と連絡する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の新規な方法における各段階の１つを示す本発明のパッケージング方法の分解図である。
【図２】  装置のパージおよび吸引排気に関連する本発明のエンクロージャーの略図である。
【図３】  図２のおおむね線３−３の矢印の方向に沿った拡大断面図である。
【図４】  図２のおおむね線４−４の矢印の方向に沿った拡大断面図である。
【図５】  図２のおおむね線５−５の矢印の方向に沿った拡大断面図である。
【図６】  図１のエンクロージャーに取り外し可能なように取り付けられるバリヤ帯の斜視図である。
【図７】  図６のおおむね線７−７の矢印の方向に沿った断面図である。
【図８】  図６のバリヤ帯の取り付けを示す図１のエンクロージャーの斜視図である。
【図９】  取り付けられた図６のバリヤ帯と一緒になった図１のエンクロージャーの斜視図である。
【図１０】  第２のエンクロージャー内部の図９のエンクロージャーのパッケージングを示す斜視図である。
【図１１】  図１０の部品を使用して本発明によって組み立てられたパッケージの斜視図である。
【図１２】  図１１のパッケージの一部分の拡大平面図である。
【図１３】  図１２のおおむね線１３−１３の矢印の方向に沿った断面図である。
【図１４】  本発明のパージおよび吸引排気装置に関連する図１１のパッケージの斜視図である。
【図１５】  図１４のおおむね線１５−１５の矢印の方向に沿った断面図である。
【図１６】  本発明のパッケージの変更形態を示す、図１５と同様の図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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