(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に冷却流体の循環路を形成した筒状の缶体と、該缶体に外筒及び内筒からなる内外二重の筒体の放電管をほぼ同心上に配設し、該放電管の両端部には、原料窒素含有酸素ガスの流通が可能なガスの出入口を設け、前記放電管の外筒の外周面と内筒の内周面とに電極となる導電性物質を位置させたオゾン発生装置において、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向両端の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、厚みを増大させたリング状導電性成型物を形成したことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
前記内筒の内側を外気に対して連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための強制換気装置を取り付けた請求項１に記載のオゾン発生装置。
【請求項３】
前記リング状導電性成型物の上面を、ア−ル状に形成してなる請求項２に記載のオゾン発生装置。
【請求項４】
前記ア−ル状のリング状導電性成型物を別体として形成し、これを電気的に接続された状態で追加取付してなる請求項３に記載のオゾン発生装置。
【請求項５】
内部に冷却流体の循環路を形成した筒状の缶体と、該缶体に外筒及び内筒からなる内外二重の筒体の放電管をほぼ同心上に配設し、該放電管の両端部には、原料窒素含有酸素ガスの流通が可能なガスの出入口を設け、前記放電管の外筒の外周面と内筒の内周面とに電極となる導電性物質を位置させたオゾン発生装置において、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向両端の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、リング状高抵抗電極を接続したことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項６】
前記内筒の内側を外気に対して連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための強制換気装置を取り付けた請求項５に記載のオゾン発生装置。
【請求項７】
内部に冷却流体の循環路を形成した筒状の缶体と、該缶体に外筒及び内筒からなる内外二重の筒体の放電管をほぼ同心上に配設し、該放電管の両端部には、原料窒素含有酸素ガスの流通が可能なガスの出入口を設け、前記放電管の外筒の外周面と内筒の内周面とに電極となる導電性物質を位置させたオゾン発生装置において、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向両端の長さを異なる長さとし、且つ内筒と外筒の電極両端部付近の誘導体厚をリング状に増大させたことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項８】
前記内筒の内側を外気に対して連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための強制換気装置を取り付けた請求項７に記載のオゾン発生装置。
【請求項９】
内部に冷却流体の循環路を形成した筒状の缶体と、該缶体に外筒及び内筒からなる内外二重の筒体の放電管をほぼ同心上に配設し、該放電管の両端部には、原料窒素含有酸素ガスの流通が可能なガスの出入口を設け、前記放電管の外筒の外周面と内筒の内周面とに電極となる導電性物質を位置させたオゾン発生装置において、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向の両端の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、沿面放電によって発生したオゾンを閉じ込める絶縁体で構成されたリング状フ−ドを設けることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項１０】
前記内筒の内側を外気に対して連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための強制換気装置を取り付けた請求項９に記載のオゾン発生装置。
【請求項１１】
前記内筒の導電性物質両端部を、肉厚のリング状凸条部に形成してなる請求項１０に記載のオゾン発生装置。
【請求項１２】
前記原料窒素含有酸素ガスは、酸素に対して窒素５００ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍ未満含有する請求項１〜１１のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。
【請求項１３】
前記導電性物質が、導電性被膜である請求項１〜１２のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、窒素含有酸素を原料として無声放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、オゾンは強力な酸化力をもっているので、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほか、各種の水の殺菌、脱臭、脱色等にも広く利用されている。ところで、工業用として多量のオゾンを連続的に発生させるには、通常無声放電による方法が多く採用されている。
【０００３】
この従来のオゾン発生装置は、図１に示すように、冷却水２０の循環を可能とした缶体１と、該缶体１の内部において該缶体を貫通するようにほぼ同心状に配設した内筒２および外筒３からなる内外二重の筒体（放電管）４と、前記内筒の内周面と外筒の外周面に設けた放電電極としての導電性被膜５，６と、前記外筒と内筒との間に形成した原料ガスの流通経路７とを具備し、前記内筒の内側を外気に対し連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための給気装置８を取り付け、前記の放電電極に対して高圧交流電源２７を接続することにより構成されていた。
【０００４】
上記従来のオゾン発生装置は、内筒の内周面に形成した導電性被膜６と、外筒の外周面に形成した導電性被膜５とを、沿面放電を防ぐために、ほぼ同一の高さに形成すると共に、導電性被膜の上下両端部を絶縁性物質２６で被覆している。沿面放電は、オゾンの漏洩及び不要部分でのオゾンの発生をもたらすものであり、それ故オゾン発生装置にとって極めて重要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の絶縁性物質で被覆して沿面放電を防止する方法は、まだ実際に使用されてから長期間を経ていないので、それほど大きな問題点が指摘されているわけではない。尚、図１においては、沿面放電防止用のシリコンゴム２６を使用しているが、本発明では特に使用しなくとも良い。
【０００６】
この発明のうち請求項１〜６に記載の発明は、絶縁性物質で被覆しなくとも沿面放電を防止することができるオゾン発生装置を提供することを目的とする。また、この発明のうち請求項７に記載の発明は、上記目的に加えて放電管の長寿命化が達成されるオゾン発生装置を提供することを目的とする。
【０００７】
更に、この発明のうち請求項９に記載の発明は、沿面放電によって発生するオゾンを大気中に発散させないようにして、オゾン発生による実害を防止したオゾン発生装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的に沿う本発明の構成は、内部に冷却流体の循環路を形成した筒状の缶体と、該缶体に外筒及び内筒からなる内外二重の筒体の放電管をほぼ同心上に配設し、該放電管の両端部には、原料窒素含有酸素ガスの流通が可能なガスの出入口を設け、前記放電管の外筒の外周面と内筒の内周面とに電極となる導電性物質を位置させたオゾン発生装置において、下記のように構成したことを特徴とする。
【０００９】
（１）即ち、請求項１に記載の発明は、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向両端の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、厚みを増大させたリング状導電性成型物を形成したことを特徴とする。
（２）また、請求項５に記載の発明は、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向両端部の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、リング状高抵抗電極を接続したことを特徴とする。
【００１０】
（３）また、請求項７に記載の発明は、前記外筒の導電性物質よりも前記内筒の導電性物質の長さ方向両端の長さを異なる長さとし、且つ内筒と外筒の電極両端部付近の誘導体厚をリング状に増大させたことを特徴とする。
（４）更に、請求項９に記載の発明は、前記外筒の導電性物質と前記内筒の導電性物質の長さ方向の両端の長さを異なる長さとし、且つ対向する導電性物質によって構成される電極の両端部に、発生したオゾンを閉じ込める、耐オゾン性を有する絶縁体（例えばガラス等）で構成されたリング状フ−ドを設けたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を説明する。本発明のオゾン発生装置は、図２〜図５に示す放電管部以外は、図１に示す従来のオゾン発生装置と同様に構成されているので、以下図１に基づいて説明する。
【００１２】
図１に示すように、純水・水道水等の冷却流体２０の循環を可能とした筒状の缶体１の内部において、該缶体を貫通するように、放電管４を配設している。缶体１の上下両端部には、中央部に貫通穴を有する支持部材としての蓋体２１，２２が配設されている。蓋体２１，２２に近接した部分には、冷却水室２０に連通する冷却水の排出口２３及び供給口２４が設けられている。
【００１３】
放電管４は、石英材若しくは硝子材等のような高い耐電圧の誘電体で構成された外筒２及び内筒３からなる内外二重の筒体（以下、単に二重管という）をほぼ同心円上に配設し、該二重管外筒の外周面と内筒の内周面に導電性被膜５，６を形成し、一対の電極としている。
【００１４】
外筒２と内筒３との間隔（以下、ギャップという）は、オゾン発生機に要求される能力に応じて適宜調整すれば良いが、実用的には３ｍｍ以下とするのが良い。二重管の両端部には、ギャップを通過してガスの流通が可能なように、ガスの出入口９，９′を設ける。ガスの出入口以外の部分は、溶着・エラストマ−・ハ−メチックシ−ル等のリング状封止部材２５により封止し、意図する以外の空間に原料ガス及びオゾンが漏れないようにしている。
【００１５】
導電性被膜５，６は、表面を清浄にした後、必要があれば電極材料形成方法に適合した方法で表面処理を行い（例えば樹脂塗布ならサンドブラスト）、金属（例えば銀系）フイラ−とエポキシ樹脂を含む導電性塗料を塗布するか、アルミニウム等の金属蒸着膜を形成するか、金属溶射によって形成する。或は金属箔を二重管表面に密着させても差し支えない。導電性被膜５，６は、二重管の長手方向の両端部の位置が同一であってはならない。
【００１６】
放電管の内周側導電性被膜６に導線を接続して、電源装置から高電圧交流を印加できるようにする。尚、高電圧交流の波形は必ずしも正弦波でなくとも良い。導線１１の接続は、スプリング若しくはブラシ状の接触子１０を用いるか、導電性接着剤やろう付けにより導電性被膜に直接接続すれば良い。
【００１７】
ガスの出入口の一方９′（９）から原料窒素含有酸素ガスを供給し、電源装置から供給される高電圧交流を導線１１により印加すると、原料ガスの一部がオゾン化する。このオゾン化したガスを、他方のガスの出入口９′（９）から取り出す。
【００１８】
本発明に使用する原料窒素含有酸素ガスは、二重管のギヤップ、圧力及び導電被膜面積に対するガス流量等の放電条件によって異なるが、酸素に対して窒素を５００ｐｐｍ〜１０００ｐｐｍ未満含有させるようにするのが良い。これより少量だと、オゾンの発生効率が悪化するし、これより多くとも利点がない。
【００１９】
上記のようにしてオゾン化ガスを得ることができるが、一方で導電性被膜５，６の端面から沿面放電が起こり、これに接触する大気中の酸素がオゾンとなる。尚、外周側電極５の端面が冷却媒体に没していて、空気との接触がない場合、ここからのオゾン発生はない。また、缶体１を金属等の導電性材料で構成した場合には、缶体の冷却水封止部分の端面が外周側電極５と同様の役割を果し、ここから沿面放電を起こしてオゾンが発生し、大気中に拡散する。
【００２０】
本発明は、上記オゾンの発生を抑止する手段を提供するものであり、大気中にこのオゾンが発生、拡散せずに、原料ガスからオゾンを得るという本来の目的の達成を実現するものである。また、このような現象を抑止する公知の事実として、電極端面間相互の距離が大きくなれば、沿面放電が発生しないことが知られている。例えば、電圧：ＡＣ１４０００Ｖ、誘導体：石英１．５ｍｍ、ギャップ：１ｍｍの条件で、電極端面間相互の距離を５０ｍｍ以上とすれば、沿面放電は発生しない。
【００２１】
しかしながら、上記対策だけで沿面放電が発生しないようにすると、半導体産業などのように、装置の小型化が要求される分野では、十分な効果が期待できない場合がある。
【００２２】
図２は、請求項１に記載の発明の実施例を示すものであり、外筒３の導電性被膜５よりも内筒２の導電性被膜６の長さ方向両端部の長さを長くし、且つ内筒２の導電性被膜６の端部の厚みを増大させ、曲率Ｒが大きくなるように整形した導電性成型物１２を形成し、外側の電極端面となるＯリングセッタ１５上に導電性材料を盛り上げて同様に上面の曲率Ｒが大きくなるように整形した導電性成型物１２′を、外筒３に接して形成した例を示す。
【００２３】
導電性成型物１２，１２′は、ＳＵＳ材等の金属で成型しても良いが、良好な導電性を持ち、高電圧印加に耐えるものであれば良く、例えば、導電性被膜と同じ材料で形成しても良い。このように形成することによって、電極端面相互の距離が大きくなることと、電極端面付近の電気エネルギ−密度が下がることとの相乗効果によって、沿面放電が極めて起こり難くなる。導電性成型物１２，１２′の曲率半径Ｒは、大きくするほど、沿面放電の防止には効果的である。
【００２４】
リング状導電性成型物１２，１２′の形成は、前記したように、導電性物質で構成された被膜端部表面の曲率を小さくすることにより、該当する部分の電位傾度を下げて、沿面放電を防止することを目的としているので、図６に示すように、予めそのように加工した導電性成型物１２，１２′を後から取付けても良い。
【００２５】
図７は、内側に形成する導電性成型物１２のア−ルを大きくした場合を示すものであり、最大限に大きくした場合は、図８に示すように半球状となる。このように形成しても、作用に関しては同等であり、当然に本発明の沿面放電防止手段の１つである。
【００２６】
図３は、請求項５に記載の発明の実施例を示すものであり、外筒３の導電性被膜５よりも内筒２の導電性被膜６の長さ方向両端部の長さを長くし、且つ対向する導電性被膜５，６によって構成される電極の端部に、リング状高抵抗電極１４，１４′を接続した例を示す。
【００２７】
このように構成することによって、放電エネルギ−の消耗が端部に近づくにつれて大きくなるため、端部付近では放電による電力消耗により結果的に端部の電位が下がり、沿面放電に至らない。高抵抗電極１４，１４′としては、高電圧に耐え適当な抵抗値を持つ材質、例えば二酸化マンガンを含む磁器等で構成すれば良い。
【００２８】
図４は、請求項７に記載の発明の実施例を示すものであり、外筒３の導電性被膜５よりも内筒２の導電性被膜６の長さ方向両端部の長さを長くし、且つ内筒と外筒の端部付近に誘導体厚を増大させたリング状凸条部１６，１６′を形成する。
【００２９】
上記実施例では、リング状凸条部１６，１６′は、ガラス内筒１６及びガラス外筒１６′に形成されている。このように形成することによって、電極端面相互の距離を取ることができるので、沿面放電が起こり難くなると共に、端部での放電に対する放電管の強度が大きく取れるので、放電管の長寿命化が達成される。
【００３０】
図５は、請求項９に記載の発明の実施例を示すものであり、外筒３の導電性被膜５よりも内筒２の導電性被膜６（肉厚のリング状凸条部１９を含む）の長さ方向両端部の長さを長くし、且つ対向する導電性被膜５，６によって構成される電極の端部に、発生したオゾンを閉じ込めるリング状ガラスフ−ド１７，１７′を設けることによって構成されている。
【００３１】
このように構成することによって、沿面放電によって発生したオゾンを、ガラスフ−ドによって閉じ込めてしまうので、実用上の支障は全く生じない。しかしながら、沿面放電が起こることによって電極の消耗が起こらないように、内筒２の電極６端部は、ＳＵＳ材等の導電性材料で整形した肉厚のリング状凸条部１９に形成すると良い。
【００３２】
上記図２〜図５に示す実施例では、導電性被膜（電極）端部として、上端部のみしか記載していないが、下端部も同様に構成されている。また、上記実施例では、外筒３の外周面にも導電性被膜５を形成しているが、冷却水２０として水道水等のような導電率の良い流体を使用する場合は、外筒３の導電性被膜５は、水によって代用できるので、形成しなくとも良い。
【００３３】
尚、オゾンを効率良く発生させるため、本発明のオゾン発生装置には、図１に示すように、内筒２の内側を外気に対し連通状態として、その上部または下部に冷却空気を送り出すための強制換気装置８を取り付けている。
【００３４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のうち請求項１〜６に記載の発明によれば、絶縁性物質で被覆しなくとも、沿面放電を効果的に防止することができる。また、本発明のうち請求項７に記載の発明によれば、上記請求項１〜６に記載の発明の効果に加えて、放電管の長寿命化が達成される。
【００３５】
更に、本発明のうち請求項９に記載の発明によれば、沿面放電によって発生したオゾンを、大気中に閉じ込めて大気中に発散しないようにすることができ、オゾン生成による実害を防止することができる。
【００３６】
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のオゾン発生装置を示す断面図である。
【図２】本発明の実施例を示す一部断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【図６】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【図７】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す一部断面図である。
【符号の説明】
２  内筒
３  外筒
４  放電管
５  導電性被膜
６  導電性被膜
８  強制換気装置
１２，１２′ 導電性成型物
１４，１４′ 高抵抗電極
１６，１６′ リング状凸条部
１７，１７′ ガラスフ−ド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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