(57)【要約】      （修正有）【課題】液体の成分の堆積を抑制して液体のリークを抑制することができる圧力調整弁、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】１次室５１１と、１次室と隔壁５１３によって隔てられた２次室５１２と、隔壁を貫通して設けられた連通路５１４と、連通路内に挿入された軸状の弁体５５と、２次室の開口を封止すると共に弁体を軸方向に移動させる受圧膜体５１７と、具備し、弁体は内部に設けられた供給路５５３と、軸方向の１次室側に設けられて供給路と外部とを連通する流入孔５５４と、軸方向の２次室側に設けられて供給路と外部とを連通する流出孔５５５とを具備し、弁体が連通路５１４内を軸方向に移動することで、流入孔を１次室に開口させると共に流出孔を２次室に開口させて１次室と２次室とを供給路を介して連通する開弁状態と、流入孔及び流出孔の両方を１次室又は２次室に開口させて供給路を塞ぐ閉弁状態と、を切り替え可能となっている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内の１次室と、
前記ハウジング内に前記１次室と隔壁によって隔てられた２次室と、
前記隔壁を貫通して設けられた連通流路と、
前記連通流路内に挿入された軸状の弁体と、
前記２次室の開口を封止すると共に前記弁体を大気圧基準で軸方向に移動させる受圧膜体と、を具備し、
前記弁体は、
内部に設けられた供給路と、
前記軸方向の前記１次室側に設けられて前記供給路と外部とを連通する流入孔と、
前記軸方向の前記２次室側に設けられて前記供給路と外部とを連通する流出孔と、
を具備し、
前記弁体が前記連通流路内を軸方向に移動することで、前記流入孔を前記１次室に開口させると共に前記流出孔を前記２次室に開口させて前記１次室と前記２次室とを前記供給路を介して連通する開弁状態と、前記流入孔及び前記流出孔の両方を前記１次室又は前記２次室に開口させて前記供給路を塞ぐ閉弁状態と、を切り替え可能となっていることを特徴とする圧力調整弁。
【請求項２】
前記連通流路内には、前記弁体に当接する弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の圧力調整弁。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の圧力調整弁と、当該圧力調整弁から供給された液体を噴射するヘッド本体と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の圧力調整弁を具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路の途中に設けられて当該流路を開閉する圧力調整弁、圧力調整弁を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被噴射媒体に液体を噴射する液体噴射装置には、例えば、液体としてインクを噴射させて被噴射媒体である紙や記録シート等に印刷を行うインクジェット式記録装置が知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録装置には、インクタンクなどの液体貯留手段からチューブ等の供給管を介してインクジェット式記録ヘッドにインクが供給され、インクタンクから供給されたインクをインクジェット式記録ヘッドのノズル開口からインク滴として噴射するものがある。また、液体貯留手段から供給されたインクがインクジェット式記録ヘッドに所定の圧力で供給されるように、流路の途中に圧力調整弁が設けられたものが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
圧力調整弁は、弁座と、弁体と、を具備し、弁体が弁座に当接することにより流路を閉弁し、弁体が弁座から離反することで流路を開弁するようになっている。このような弁座と弁体との開閉は、下流側の流路の圧力によって行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０８０４８号公報
【特許文献２】特開２０１３−１３２８９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、圧力調整弁の弁体と弁座とが繰り返し当接することによって、液体に含まれる成分が堆積し、堆積物によって弁体と弁座との当接不良による閉塞不良が発生するという問題がある。
【０００７】
特に液体噴射ヘッドにおいて、圧力調整弁の閉塞不良が発生すると、液体がリークすることによってノズル開口から液体垂れが生じ、被噴射媒体を汚してしまうことや、液体噴射装置を汚してしまうという問題がある。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに用いられる圧力調整弁に限定されず、その他のデバイスに用いられる圧力調整弁においても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、液体の成分の堆積を抑制して液体のリークを抑制することができる圧力調整弁、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、ハウジング内の１次室と、前記ハウジング内に前記１次室と隔壁によって隔てられた２次室と、前記隔壁を貫通して設けられた連通流路と、前記連通流路内に挿入された軸状の弁体と、前記２次室の開口を封止すると共に前記弁体を大気圧基準で軸方向に移動させる受圧膜体と、を具備し、前記弁体は、内部に設けられた供給路と、前記軸方向の前記１次室側に設けられて前記供給路と外部とを連通する流入孔と、前記軸方向の前記２次室側に設けられて前記供給路と外部とを連通する流出孔と、を具備し、前記弁体が前記連通流路内を軸方向に移動することで、前記流入孔を前記１次室に開口させると共に前記流出孔を前記２次室に開口させて前記１次室と前記２次室とを前記供給路を介して連通する開弁状態と、前記流入孔及び前記流出孔の両方を前記１次室又は前記２次室に開口させて前記供給路を塞ぐ閉弁状態と、を切り替え可能となっていることを特徴とする圧力調整弁にある。
かかる態様では、弁体とハウジングとが繰り返し当接することなく、軸状の弁体を軸方向に移動させることで、流入孔及び流出孔の開口位置を変更することで、開閉することができるため、液体が凝集することによる堆積物を減少させることができる。また、凝集した液体が堆積したとしても、弁体の移動によって堆積物をそぎ落とすことができる。
【００１１】
ここで、前記連通流路内には、前記弁体に当接する弾性部材が設けられていることが好ましい。これによれば、弾性部材によって弁体と連通流路とが密着し、液体のリークを抑制することができる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の圧力調整弁と、当該圧力調整弁から供給された液体を噴射するヘッド本体と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体の成分の堆積を抑制して液体のリークを抑制することができ、液体による汚染を抑制した液体噴射ヘッドを実現できる。
【００１３】
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧力調整弁を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体の成分の堆積を抑制して液体のリークを抑制することができ、液体による汚染を抑制した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の平面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る圧力調整弁の要部断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る圧力調整弁の要部断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る圧力調整弁の要部断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る圧力調整弁の要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の平面図である。
【００１６】
図１に示すように、インクジェット式記録装置１は平面視矩形状をなす本体フレーム２を備えている。この本体フレーム２内には被噴射媒体（図示略）を支持する媒体支持部材３が主走査方向となる第１の方向Ｘに沿って延設されている。媒体支持部材３上には、図示しない紙送り機構により紙などの被噴射媒体が副走査方向となる第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙに沿って給送されるようになっている。また、本体フレーム２内における媒体支持部材３の上方には、媒体支持部材３の第１の方向Ｘと平行に延びる棒状のガイド軸４が架設されている。
【００１７】
ガイド軸４には、キャリッジ５がガイド軸４に沿って第１の方向Ｘに往復移動可能な状態で支持されている。キャリッジ５は、本体フレーム２に設けられた一対のプーリー６ａ間に掛装された無端状のタイミングベルト６を介して本体フレーム２に設けられたキャリッジモーター７に連結されている。これにより、キャリッジ５は、キャリッジモーター７の駆動によってガイド軸４に沿って往復移動される。
【００１８】
キャリッジ５は、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１５（以下、単に記録ヘッド１５とも言う）を保持する。本実施形態の記録ヘッド１５は、ヘッド本体２０と、液体貯留手段であるインクタンク８からのインクをヘッド本体２０に供給する圧力調整弁５０と、を具備する。
【００１９】
詳しくは後述するが、ヘッド本体２０の媒体支持部材３に相対向する面には、複数のノズル開口が設けられており、ヘッド本体２０内に設けられた図示しない圧力発生手段を駆動することにより、各ノズル開口から媒体支持部材３上に給送された被噴射媒体にインク滴が噴射されることでインク滴によるドットの着弾、すなわち、印刷が行われるようになっている。
【００２０】
本体フレーム２の第１の方向Ｘの一端側にはタンクホルダー９が設けられており、タンクホルダー９には液体貯留手段である複数のインクタンク８がそれぞれ着脱可能に装着されている。本実施形態ではインクタンク８は、２個設けられている。各インクタンク８には、互いに種類（色）の異なるインクが収容されている。
【００２１】
タンクホルダー９に装着された各インクタンク８は、チューブ等の供給管１０を介して本実施形態の圧力調整弁５０に接続されている。圧力調整弁５０は、各インクタンク８から各供給管１０を介して供給される各色のインクをそれぞれ一時貯留するようになっており、個別に一時貯留した各色のインクはそれぞれヘッド本体２０に供給される。
【００２２】
本体フレーム２内における第１の方向Ｘの一端部寄りの位置であって、キャリッジ５のホームポジション領域には、ヘッド本体２０のクリーニング等のメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット１１が設けられている。このメンテナンスユニット１１は、ヘッド本体２０の各ノズル開口を囲うように該ヘッド本体２０に当接したり各ノズル開口からフラッシングによって吐出されるインクを受容したりするためのキャップ１２と、キャップ１２内を吸引可能な吸引ポンプ（図示略）とを備えている。
【００２３】
そして、ヘッド本体２０の各ノズル開口を囲うようにヘッド本体２０にキャップ１２を当接した状態でキャップ１２内を吸引ポンプ（図示略）によって吸引することで、各ノズル開口から増粘したインクや気泡などをキャップ１２内に強制的に排出させる、いわゆるクリーニングが行われるようになっている。
【００２４】
このようなインクジェット式記録装置１に搭載される記録ヘッド１５について図２及び図３を参照して説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図３は、ヘッド本体の要部断面図である。
【００２５】
図２に示すように、本実施形態の記録ヘッド１５を構成するヘッド本体２０は、インク滴を噴射する吐出部３０と、吐出部３０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。
【００２６】
吐出部３０は、図３に示すように、アクチュエーターユニット３１と、アクチュエーターユニット３１を内部に収容可能なケース３２と、ケース３２の一方面に接合された流路ユニット３３と、ケース３２の他方面に固定された配線基板３４と、を具備する。
【００２７】
本実施形態のアクチュエーターユニット３１は、複数の圧電アクチュエーター３１０がノズル開口３３４の並設方向に沿って並設された圧電アクチュエーター形成部材３１１と、圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板３１２とを有する。
【００２８】
圧電アクチュエーター形成部材３１１は、圧電材料３１３と、電極形成材料３１４及び３１５とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００２９】
この圧電アクチュエーター形成部材３１１には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット３１６が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーター３１０が並設されている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３１０の並設方向は、ノズル開口３３４の並設方向であって、上述したインクジェット式記録装置１に搭載された際に、第１の方向Ｘとなるように配置される。したがって、以降、ノズル開口３３４の並設方向を第１の方向Ｘと称し、第１の方向Ｘに直交する方向をインクジェット式記録装置１と同様に第２の方向Ｙと称する。もちろん、ヘッド本体２０は、インクジェット式記録装置１に搭載された際に、ノズル開口３３４の並設方向が第１の方向Ｘと一致する方向ではなくてもよく、特に限定されるものではない。また、本実施形態では、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの両方に直交する方向を第３の方向Ｚと称する。
【００３０】
ここで、圧電アクチュエーター３１０の固定板３１２に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター３１０を構成する電極形成材料３１４及び３１５間に電圧を印加すると、固定板３１２に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター３１０の先端面が、後述する振動板３３１に固定される。
【００３１】
また、アクチュエーターユニット３１の各圧電アクチュエーター３１０には、当該圧電アクチュエーター３１０を駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路３１７が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３１８が接続されている。
【００３２】
流路ユニット３３は、流路形成基板３３０、振動板３３１及びノズルプレート３３２を具備する。
【００３３】
流路形成基板３３０には、複数の圧力発生室３３３が並設され、流路形成基板３３０の両側は、各圧力発生室３３３に対応してノズル開口３３４を有するノズルプレート３３２と、振動板３３１とにより封止されている。本実施形態では、圧力発生室３３３が並設された列が２列設けられている。また、流路形成基板３３０には、圧力発生室３３３毎にそれぞれインク供給路３３５を介して連通されて列毎に複数の圧力発生室３３３の共通のインク室となるマニホールド３３６が形成されている。すなわち、本実施形態では、圧力発生室３３３の列毎にマニホールド３３６が形成されている。
【００３４】
そして、流路形成基板３３０の振動板の各圧力発生室３３３に対向する領域にそれぞれ圧電アクチュエーター３１０の先端が固定されている。
【００３５】
また、振動板３３１のマニホールド３３６に対応する領域は、コンプライアンス部３３７が設けられている。なお、このコンプライアンス部３３７は、マニホールド３３６内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部３３７が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド３３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００３６】
ケース３２は、流路ユニット３３に接合されて、インクタンク８に接続された圧力調整弁５０からのインクをマニホールド３３６に供給するインク導入路３２１が設けられている。本実施形態では、マニホールド３３６の各々に対して１つずつ、合計２つのインク導入路３２１が設けられている。そして、インクタンク８から圧力調整弁５０を介してインク導入路３２１に供給されたインクは、マニホールド３３６に供給され、インク供給路３３５を介して各圧力発生室３３３に分配される。
【００３７】
また、ケース３２には、圧力発生室３３３の列に対応して、収容部３２２が設けられている。すなわち、本実施形態では、２つの収容部３２２が設けられており、各収容部３２２内にアクチュエーターユニット３１がそれぞれ固定されている。
【００３８】
さらに、ケース３２の流路ユニット３３とは反対側には、配線基板３４が設けられており、アクチュエーターユニット３１に一端が接続された回路基板３１８の他端部が配線基板３４に接続されている。
【００３９】
このような吐出部３０では、圧電アクチュエーター３１０及び振動板３３１の変形によって各圧力発生室３３３の容積を変化させて所定のノズル開口３３４からインク滴を吐出させるようになっている。
【００４０】
また、流路部材４０は、図２に示すように、一方面に圧力調整弁５０が固定されて、他方面に固定された吐出部３０に圧力調整弁５０からのインクを供給するものである。
【００４１】
具体的には、流路部材４０には、インク連通路４１が設けられており、インク連通路４１が開口する一方面には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するフィルター４２と、フィルター４２上に設けられた供給針４３とが設けられている。
【００４２】
供給針４３は、詳しくは後述する圧力調整弁５０に挿入されるものである。圧力調整弁５０からのインクは、供給針４３の内部を通過してフィルター４２で異物が除去された後、インク連通路４１を介して吐出部３０に供給される。
【００４３】
このような流路部材４０に接続されてインクタンクからのインクを記録ヘッドに供給する圧力調整弁５０についてさらに図４及び図５を参照して説明する。なお、図４及び図５は、圧力調整弁の要部を拡大した断面図である。
【００４４】
本実施形態では、図２に示すように、１つのヘッド本体２０に対して種類の異なる２つのインクが供給されるため、流路部材４０には、２つの圧力調整弁５０が固定されている。なお、本実施形態では、流路部材４０の各方向について、インクジェット式記録装置１に搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。もちろん、流路部材４０のインクジェット式記録装置１内の配置は以下に示すものに限定されるものではない。
【００４５】
図２、図４及び図５に示すように、各圧力調整弁５０は、インクが流れる流路の途中に設けられて当該流路を開閉するバルブである。具体的には、本実施形態の圧力調整弁５０は、ハウジング５１と、ハウジング５１内に設けられた弁体５５と、を具備する。
【００４６】
ハウジング５１内には、液体貯留手段であるインクタンク８に供給管１０を介して連通してインクタンク８からインクが供給される１次室５１１と、ヘッド本体２０のインク連通路４１に連通する２次室５１２と、が設けられている。これら１次室５１１と２次室５１２とが隔壁５１３によって隔てられている。そして１次室５１１と２次室５１２とは、隔壁５１３を貫通して設けられた連通路５１４を介して連通している。
【００４７】
１次室５１１は、ハウジング５１の一方面に形成された凹部を蓋部材５１５で封止することで形成されている。また、１次室５１１には、流入路５１６の一端が連通して設けられている。この流入路５１６の他端には、供給管１０を介してインクタンク８が接続されている。
【００４８】
２次室５１２は、ハウジング５１の１次室５１１とは反対側の側面に開口する凹形状を有する。また、ハウジング５１の２次室５１２が開口する面には、受圧膜体であるフィルム５１７が貼付されており、２次室５１２の開口はフィルム５１７によって封止されている。また、２次室５１２には、流出路５１８の一端が連通しており、流出路５１８の２次室５１２と連通する一端部とは反対側の他端部には第１シール部材５１９が設けられている。なお、流路部材４０の供給針４３は、第１シール部材５１９に挿入されて流出路５１８と接続されている。
【００４９】
ここで、受圧膜体であるフィルム５１７は、２次室５１２に供給される液体（インク）に対して耐性を有する可撓性材料を用いることができる。また、フィルム５１７としては、水分透過率や液酸素や窒素等のガス透過率の低い材料を用いるのが好ましい。フィルム５１７の材料としては、例えば、高密度ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに、塩化ビニリデン（サラン）をコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートした構成が挙げられる。また、他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。また、フィルム５１７の接合方法は、特に限定されず、熱溶着、振動溶着、接着剤による接着などを用いることができる。
【００５０】
このようなフィルム５１７の２次室５１２の壁面の一部を構成する部分は、ダイヤフラム５１７ａとなっている。また、ダイヤフラム５１７ａの２次室５１２側の面には、受圧板５２０が設けられている。本実施形態の受圧板５２０は、ダイヤフラム５１７ａよりも小さな外形の円盤形状を有する。このような受圧板５２０は、連通路５１４を開閉する弁体５５が直接フィルム５１７に当接するのを避けるために設けられたものであり、フィルム５１７よりもよりも剛性の高い材料、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。本実施形態では、受圧板５２０をダイヤフラム５１７ａよりも小さな外形としたが、特にこれに限定されず、受圧板５２０の一端が、２次室５１２の外側においてフィルム５１７とハウジング５１との間に固定されていてもよい。
【００５１】
２次室５１２の底面、すなわち、ハウジング５１のダイヤフラム５１７ａに相対向する隔壁５１３には、１次室５１１と２次室５１２とを区画する方向である厚さ方向に貫通して２次室５１２と１次室５１１とを連通する連通路５１４が設けられている。
【００５２】
このようなハウジング５１は、１次室５１１、２次室５１２、連通路５１４等を有する複雑な形状を有するため、樹脂材料を成形することにより容易に且つ低コストで形成することができる。もちろん、ハウジング５１の材料は樹脂材料に限定されず、例えば、金属材料やセラミック材料等を用いることもできる。また、ハウジング５１は、フィルム５１７に比べて剛性が高い材料で形成されている。ちなみに、ハウジング５１の剛性が低いと、例えば２次室５１２の形状が安定せずに、２次室５１２内のインク圧力とフィルム５１７の外側の大気圧との圧力差が安定せず、弁体５５による連通路５１４の開閉動作を安定して行うことができなくなってしまう虞がある。また、連通路５１４の形状が安定せずに連通路５１４の閉弁が正常に行えなくなってしまう虞がある。したがって、ハウジング５１は、ある程度の剛性を有する材料で形成するのが好適である。
【００５３】
このようなハウジング５１の連通路５１４の内面には、第２シール部材５７が設けられている。第２シール部材５７は、ゴムやエラストマー等の弾性材料で形成されており、連通路５１４の内面の周方向に亘って連続して設けられた環形状を有する。また、第２シール部材５７は、連通路５１４の径方向における断面が半円形状を有し、連通路５１４の中心側が曲面となるように配置されている。
【００５４】
このような連通路５１４には、弁体５５が挿通されている。弁体５５は、連通路５１４に挿通された軸部５５１と、軸部５５１の１次室５１１内の端面に設けられたフランジ部５５２と、を具備する。
【００５５】
弁体５５の軸部５５１は、連通路５１４よりも若干小さな外径を有し、第２シール部材５７の内径よりも若干大きな外径を有する。したがって、軸部５５１は、第２シール部材５７の内面に圧接すると共に、連通路５１４内を軸方向である第１の方向Ｘに移動可能となっている。つまり、軸部５５１と連通路５１４の第２シール部材５７とは、連通路５１４の径方向に圧力が印加された状態で密接している。
【００５６】
このような軸部５５１には、内部に軸方向に延設された供給路５５３が設けられている。また、軸部５５１の側面には、１次室５１１側、すなわち、フランジ部５５２側に設けられて供給路５５３と外部とを連通する流入孔５５４と、２次室側、すなわちフィルム５１７側に設けられて供給路５５３と外部とを連通する流出孔５５５と、が設けられている。流入孔５５４及び流出孔５５５は、それぞれ１つずつ設けられていてもよく、また、軸部５５１の周方向に所定の間隔で複数設けられていてもよい。本実施形態では、流入孔５５４及び流出孔５５５をそれぞれ複数設けるようにした。また、流入孔５５４及び流出孔５５５が軸部５５１の側面に開口しているとは、軸部５５１の連通路５１４に対向する面に設けられていることを言う。
【００５７】
このような軸部５５１の２次室５１２内の一端が受圧板５２０の略中央部に当接する。また、軸部５５１の１次室５１１内の他端には、フランジ部５５２が固定されている。フランジ部５５２は、円形の板状部材からなり、軸部５５１とは反対面側で、コイルバネ５６が当接するバネ受けとして機能する。コイルバネ５６は、フランジ部５５２と１次室５１１を画成する蓋部材５１５との間に介装されており、コイルバネ５６の付勢力によって弁体５５は軸部５５１の軸方向を移動軸方向として２次室５１２側に付勢されている。
【００５８】
ここで弁体５５に働く力には、フィルム５１７の反力と、２次室５１２のインク圧を受けて受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとに働く力と、コイルバネ５６の付勢力と、インクの供給圧を受けて弁体５５に働く力と、がある。
【００５９】
フィルム５１７の反力とは、撓み変形したダイヤフラム５１７ａが元の形状に復元しようとする力である。ダイヤフラム５１７ａの変形量、すなわち、撓み量が大きいほど、フィルム５１７の反力は大きくなる。このようなフィルム５１７の反力は受圧板５２０を介して軸部５５１に伝達される。
【００６０】
２次室５１２のインク圧を受けて受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとに働く力とは、インク圧を受ける受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとの受圧面積とインク圧との積で表される。２次室５１２内の液体が流出路５１８から下流に流されて、２次室５１２内のインクが減少すると、インク圧と大気圧との差圧が大きくなり、受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとに働く力は大きくなる。この受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとに働く力は、軸部５５１を介して弁体５５に開弁方向の力として働く。
【００６１】
コイルバネ５６の付勢力は、弁体５５を閉弁方向に付勢する力である。このように、本実施形態では、弁体５５は、コイルバネ５６によって、２次室５１２のインクの圧力によって受圧板５２０とダイヤフラム５１７ａとに働く力とは反対向きの力を受圧板５２０に与えるので、受圧板５２０を弁体５５が開弁位置に達するまで変位させるためには、コイルバネ５６の付勢力に相当する分だけ、２次室５１２内のインクをより低い圧力まで減圧させる必要がある（動作圧）。
【００６２】
このような圧力調整弁５０では、図５（ａ）に示すように、２次室５１２内のインクが下流に流されて２次室５１２内が大気圧よりも負圧に減圧されることで、ダイヤフラム５１７ａが２次室５１２の底面側に移動し、受圧板５２０が弁体５５をコイルバネ５６の付勢力に抗して押圧することで弁体５５を１次室５１１側に移動させて、連通路５１４と軸部５５１とを密着させる第２シール部材５７が軸部５５１の流入孔５５４と流出孔５５５との間に配置される。これにより、軸部５５１の流入孔５５４が１次室５１１に開口すると共に流出孔５５５が２次室５１２に開口し、１次室５１１と２次室５１２とは、供給路５５３を介して連通、すなわち開弁する（開弁状態）。
【００６３】
また、この開弁によって１次室５１１から供給路５５３を介して２次室５１２内にインクが供給されることで、２次室５１２内の減圧が解消されると、図４に示すように、ダイヤフラム５１７ａがコイルバネ５６の付勢力によって元の位置に戻り、第２シール部材５７が流入孔５５４とフランジ部５５２との間に配置される。これにより、軸部５５１の流入孔５５４及び流出孔５５５の両方が２次室５１２に開口することで、１次室５１１と２次室５１２とが連通しない、すなわち閉弁する（閉弁状態）。
【００６４】
すなわち、シール部材と弁体５５の軸部５５１とは、常に同じ場所が当接することで弁を開閉するのではなく、開弁する際に当接する場所と閉弁する際に当接する場所とが異なる場所とすることができる。
【００６５】
ここで、インクに含まれる顔料粒子は、弁体と弁座とが当接した際に形成される微少空間に溜まり、圧縮脱水されることにより凝集して、凝集したインクが弁体及び弁座に付着、堆積する。このように凝集したインクが弁体及び弁座に堆積すると、閉弁が確実に行われずにインクのリークが発生する。しかしながら、本実施形態では、弁体と弁座とが離反及び当接を繰り返すことで開閉するものではなく、軸部５５１の移動によって流入孔５５４及び流出孔５５５の開口位置を変更することで開閉する。したがって、繰り返し当接することによるインクの凝集及び堆積を減少させることができる。また、図６（ａ）に示すように、第２シール部材５７と軸部５５１の表面とが当接する部分で凝集したインクが堆積したとしても、図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示すように、開閉するために軸部５５１を移動させることで、第２シール部材５７が軸部５５１の表面に摺接するため、軸部５５１に付着した堆積物６０を第２シール部材５７によってそぎ落とすことができる。したがって、堆積物によってインクのリークが発生するのを抑制することができる。
【００６６】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
【００６７】
例えば、上述した実施形態１では、流出孔５５５を軸部５５１の側面に設けるように下が、特にこれに限定されない。例えば、図７に示すように、軸部５５１の受圧板５２０に当接する端面に流出孔５５５が開口するようにしてもよい。
【００６８】
また、軸部５５１は、円柱状のものや、断面が円柱状に設けられたものに限定されず、例えば、四角柱状等の多角形の柱状のものを用いるようにしてもよい。ただし、軸部５５１を円柱状とすることで、第２シール部材５７と軸部５５１との密着圧力を周方向に亘って均一化することができ、インクのリークを抑制することができる。
【００６９】
さらに、上述した実施形態１では、弁体５５には、バネ受けであるフランジ部５５２を設けるようにしたが、フランジ部５５２は必ずしも必要ではなく、軸部５５１の端面がバネ受けとなっていてもよい。
【００７０】
さらに、上述した実施形態１では、連通路５１４と軸部５５１との間に弾性部材からなる第２シール部材５７を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、フッ素樹脂や皮革等のシール部材であってもよい。また、シール部材として液状のものを用いても良い。
【００７１】
また、上述した実施形態１では、ハウジング５１の連通路５１４側に第２シール部材５７を固定するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、軸部５５１の外周に第２シール部材５７を固定し、第２シール部材５７と連通路５１４の内面とが摺接するようにしてもよい。このような場合であっても、連通路５１４の内面に凝集したインクが堆積したとしても、軸部５５１の外周に固定されたシール部材によって堆積物をそぎ落とすことが可能である。
【００７２】
さらに、上述した実施形態１では、流入孔５５４及び流出孔５５５の両方を２次室５１２に開口させることで閉弁させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、流入孔５５４及び流出孔５５５の両方を１次室５１１に開口させることで閉弁するようにしてもよい。
【００７３】
さらに、上述した各実施形態では、圧力発生室３３３に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料３１３と電極形成材料３１４、３１５とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる圧電アクチュエーター３１０を用いて説明したが、圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、電極及び圧電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを添付する等の方法により形成される厚膜型などの撓み振動型の圧電アクチュエーターを用いることができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
【００７４】
また、上述したインクジェット式記録装置１では、記録ヘッド１５がキャリッジ５に搭載されて第１の方向Ｘに移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１５が固定されて、被噴射媒体を第２の方向Ｙに移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００７５】
また、上述した例では、インクジェット式記録装置１は、液体貯留手段であるインクタンク８が本体フレーム２のタンクホルダー９に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、液体貯留手段であるインクカートリッジがキャリッジ５に搭載されていてもよい。また、圧力調整弁５０は、キャリッジ５に搭載されたものに限定されず、圧力調整弁５０と記録ヘッド１５とがチューブ等の供給管を介して接続されていてもよい。
【００７６】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射装置に用いることが可能である。
【００７７】
また、本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に用いられる圧力調整弁に限定されず、他のデバイスに用いられる圧力調整弁にも用いることが可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  ２  本体フレーム、  ３  媒体支持部材、  ４  ガイド軸、  ５  キャリッジ、  ６  タイミングベルト、  ７  キャリッジモーター、  ８  インクタンク（液体貯留手段）、  ９  タンクホルダー、  １０  供給管、  １１  メンテナンスユニット、  １２  キャップ、  １５  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０  ヘッド本体、  ３０  吐出部、  ３１  アクチュエーターユニット、  ３２  ケース、  ３３  流路ユニット、  ３４  配線基板、  ４０  流路部材、  ５０  圧力調整弁、  ５１  ハウジング、  ５５  弁体、  ５６  コイルバネ、  ５７  第２シール部材、  ６０  堆積物、  ３１０  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、  ３２１  インク導入路、  ３３１  振動板、  ３３２  ノズルプレート、  ３３３  圧力発生室、  ３３４  ノズル開口、  ３３５  インク供給路、  ３３６  マニホールド、  ５１１  １次室、  ５１２  ２次室、  ５１３  隔壁、  ５１４  連通路、  ５１５  蓋部材、  ５１６  流入路、  ５１７  フィルム（受圧膜体）、  ５１７ａ  ダイヤフラム、  ５１８  流出路、  ５１９  第１シール部材、  ５２０  受圧板、  ５５１  軸部、  ５５２  フランジ部、  ５５３  供給路、  ５５４  流入孔、  ５５５  流出孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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