(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁磁性材層を有し、回転する第１のシャフトの軸線方向所定位置に取り付けられる第１のロータ、固定部材に固定され、励磁コイルを有する固定コア、前記第１のロータに隣接し、前記第１のシャフトに対して相対回転する第２のシャフトに取り付けられ、前記第１のロータと前記固定コアとの間に配置される第２のロータ及び前記励磁コイルと接続され、特定周波数の発振信号を発振する発振手段を備えた回転センサにおいて、前記固定コアは、コア本体を外周が導電性部材からなるケースで覆って構成し、前記コア本体に複数の突起を設けるかまたは前記ケース内面に複数の突起もしくは凹部を設けることにより、前記コア本体と前記ケースとの間に非磁性の絶縁層となる空気層を形成したことを特徴とする回転センサ。
【請求項２】
前記非磁性の絶縁層は、前記第１のシャフトの軸線と直交する半径方向における大きさが、前記コア本体と導電性部材からなる前記ケースの製造精度に基づいて形成される前記コア本体と前記ケースとの半径方向の隙間の寸法におけるばらつきの最大値の３倍以上である、請求項１の回転センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
絶縁磁性材層と導体とを有する回転体（ロータ）と、励磁コイルを有する固定体とを備えた回転センサとして、例えば、トーションジョイントを介して相対回転する二本の回転軸が連結された自動車のハンドルシャフトにおける回転トルクを検出する回転センサが知られている。
【０００３】
このような回転センサとしては、例えば、前記ハンドルシャフトの車輪側の回転軸と連動し、磁性体と非磁性金属体とを周方向に等間隔に交互に配置した第１ロータと、前記ハンドルシャフトのハンドル側の回転軸と連動し、非磁性金属体を周方向に等間隔で切り欠いて形成される第２ロータとを備え、両ロータの相対回転位置によって変化する磁界を横切る導電性金属体の面積に応じて生ずる渦電流により、前記励磁コイルに発生する実効インダクタンスを変化させ、前記両回転軸間の相対回転ずれの角度を回転トルクとして検出するものがある。
【０００４】
この回転センサは、前記ハンドルシャフトの車輪側の回転軸とハンドル側の回転軸とが、相対回転ずれを起こすことなく１回転した場合、前記励磁コイルから両回転軸の中心に向かう面上における透磁率が周方向で異なる。このため、上記回転センサは、前記励磁コイルの磁界が周方向に沿って不均一となり、センサの出力変化が一定範囲のレベルを超えてしまう。従って、上記回転センサは、パワーステアリング装置のトルクセンサとして使用した場合、相対回転角度を適正に検出できなくなる。
【０００５】
このため、回転センサにおいては、励磁コイルのコアに多数の孔を形成することによって周方向の不均一磁界を均一化することが提案されている（実公平５−２２８３６号公報）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記公報に開示された手段は、径方向の磁界の不均一度を低減するうえでは有効であるが、周方向に沿って均一な磁界とするには不十分である。これは、回転センサでは、外部への磁界の漏れ防止を目的として前記励磁コイルのコアを金属ケースで覆っているが、コアを金属ケースで覆う場合、金属ケースとコアとの隙間が小さい部分では、他の箇所に比べて金属ケースの表面で発生する渦電流が大きく、コイルの実効インダクタンスが小さくなる。これに対し、金属ケースとコアとの隙間が大きい部分では効インダクタンスが大きくなるからである。即ち、回転センサでは、外部への磁界の漏れ防止を目的とする金属ケースとコアとの間には隙間が設けられており、その密着度が周方向に沿ってばらつき、不均一となっているからである。
【０００７】
この場合、金属ケースとコアとの密着度を周方向に沿って一定に保持するためには、金属ケースとコアとの同心度を揃え、両部材の真円からのずれを小さくすればよい。但し、コアを金属ケースで覆う場合、両部材の真円からのずれを小さくするため、金属ケースやコアの加工精度や製造精度で対応しようとすると、回転センサの製造コストが大幅に増加して好ましくない。また、金属ケース内にコアを挿入し難くなることも考えられる。
【０００８】
更に、回転センサは、温度補償を目的として同一形状の２つのコイルを対にして用いることがある。この場合、対となる２つのコイルは、可能な限り同一の特性を有する必要がある。
しかし、金属ケースとコアとの周方向に沿った密着度が上記のように異なっていると、回転センサは、温度変化に伴う各構成部材の膨張量や収縮量の相違に起因して、各構成部材相互間の相対距離が部分的に変化する。このため、温度補償を目的として２つのコイルを用いた回転センサにおいては、対となるコイルの実効インダクタンスに差が生じ、温度補償機能を適正に発揮することができなくなる。
【０００９】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、環境温度の変動に拘わらず励磁コイルの実効インダクタンスが周方向に沿って均一な回転センサを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記目的を達成するため、絶縁磁性材層を有し、回転する第１のシャフトの軸線方向所定位置に取り付けられる第１のロータ、固定部材に固定され、励磁コイルを有する固定コア、前記第１のロータに隣接し、前記第１のシャフトに対して相対回転する第２のシャフトに取り付けられ、前記第１のロータと前記固定コアとの間に配置される第２のロータ及び前記励磁コイルと接続され、特定周波数の発振信号を発振する発振手段を備えた回転センサにおいて、前記固定コアは、コア本体を外周が導電性部材からなるケースで覆って構成し、前記コア本体に複数の突起を設けるかまたは前記ケース内面に複数の突起もしくは凹部を設けることにより、前記コア本体と前記ケースとの間に非磁性の絶縁層となる空気層を形成したことを特徴としている。
【００１１】
好ましくは、前記非磁性の絶縁層は、前記第１のシャフトの軸線と直交する半径方向における大きさが、前記コア本体と導電性部材からなる前記ケースの製造精度に基づいて形成される前記コア本体と前記ケースとの半径方向の隙間の寸法におけるばらつきの最大値の３倍以上とする。
【００１２】
【作用】
コア本体との間に非磁性の絶縁層を介して外周を導電性部材からなるケースで覆うと、固定コアは、励磁コイルの相対実効インダクタンスの変動幅が小さくなり、環境温度の変動による励磁コイルの実効インダクタンスの不均一度が周方向に沿って小さくなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の回転センサに係る一実施形態として、例えば、自動車において変換ジョイント（トーションバー）を介して主動シャフトから従動シャフトへ伝達されるステアリングシャフトの回転トルクを検出する２重コイル方式の回転センサを図１乃至図１１に基づいて説明する。
【００１４】
回転センサ１０は、図１及び図２に示すように、第１ロータ１１、固定コア１２、第２ロータ１３及び相対回転角度測定装置１４を備えている。ここで、前記主動シャフトは、前記従動シャフトに対して±８°の範囲内で相対回転する。
第１ロータ１１は、ナイロン，ポリプロピレン（ＰＰ），ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ），ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂に、Ｎi−ＺnやＭn−Ｚn系のフェライトからなる軟磁性材粉を、軟磁性材の含有量が１０〜７０体積％で混合した絶縁磁性材によって円筒状に成形され、回転する前記主動シャフトの軸線方向所定位置に取り付けられる。第１ロータ１１は、図１に示すように、外周に回転軸Ａrt方向に２段に配置されると共に、周方向に所定間隔、例えば、上下で交互に位置をずらして中心角３０°間隔で複数の銅箔１１ａが設けられている。
【００１５】
ここで、銅箔１１ａは、回転軸Ａrt方向に上下２段に分けた少なくともいずれか一方の外周に配置されると共に、周方向に所定間隔をおいて設ければよい。従って、銅箔１１ａは、上側あるいは下側のみに所定間隔で設けたり、上側あるいは下側に所定間隔で設けると共に、下側あるいは上側に全周に亘って設けてもよい。また、導体層であれば、例えば、アルミニウム，銀等の素材を使用することができ、銅箔１１ａを含むこれら導体層は絶縁磁性材の内部に埋め込んでもよい。
【００１６】
固定コア１２は、第１ロータ１１と半径方向に数ｍｍ程度の僅かなギャップをおいて配置され、ステアリングシャフト近傍に位置する固定部材（図示せず）に固定される。固定コア１２は、図２に示すように、第１ロータ１１と同一の絶縁磁性材からなる２つのコア本体１２ａと、各コア本体１２ａ内に収容される励磁コイル１２ｂと、両コア本体１２ａを収容する導電性部材からなる遮蔽ケース（以下、単に「ケース」という）１２ｃとを有している。各励磁コイル１２ｂは、ケース１２ｃから外部へ延出させた電線１２ｄ（図１参照）によって図示しない信号処理回路と接続され、この信号処理回路から交流電流が流されている。ケース１２ｃは、交流磁界の遮蔽性を有するアルミニウム，銅、或いはＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）等の合成樹脂にカーボンを混入した体積抵抗率１０-1〜１０-2Ω・ｃｍ程度のカーボン混入プラスチック等の導電性部材によって、各コア本体１２ａを収容する２つの凹部１２ｅを有するリング状に形成されている。
【００１７】
このとき、固定コア１２は、図３に示すように、ケース１２ｃの内面に所定の曲率半径を有する半球からなる突起１２ｆが複数設けられている。これにより、固定コア１２は、各コア本体１２ａとの間に非磁性の絶縁層である空気層１２ｇを介して外周が導電性のケース１２ｃで覆われている。このため、回転センサ１０は、後述するように、各励磁コイル１２ｂの実効インダクタンスの変動幅が小さくなり、環境温度の変動に拘わらず励磁コイルの実効インダクタンスが周方向に沿って均一となる。
【００１８】
ここで、固定コア１２は、コア本体１２ａとケース１２ｃの製造精度の関係で、コア本体１２ａとケース１２ｃとの間に隙間（空気層１２ｇ）が生ずる。この隙間の半径方向における寸法のばらつきの平均値をＧ0とし、最大値と最小値の差をΔＧとする。このとき、固定コア１２は、理論上、最大値と最小値の差ΔＧが同じならばΔＧ／Ｇ0の値が小さい程、周方向に沿った磁界の不均一度が小さい。即ち、固定コア１２は、平均値Ｇ0が大きい程、周方向に沿った磁界の均一度が良くなる。従って、空気層１２ｇは、半径方向における大きさ（寸法）を、コア本体１２ａとケース１２ｃの製造精度に基づいて形成される隙間の寸法におけるばらつきの最大値、即ち、前記した最大値と最小値の差ΔＧの３倍以上とする。
【００１９】
また、固定コア１２は、上側のコア本体１２ａ及び励磁コイル１２ｂと下側のコア本体１２ａ及び励磁コイル１２ｂとの間の回転軸Ａrtに直交する面に関し、図２に示すようにケース１２ｃを面対称に形成し、上側のコア本体１２ａ及び励磁コイル１２ｂと下側のコア本体１２ａ及び励磁コイル１２ｂとが前記面に関して面対称に配置されるようにする。更に、２つの励磁コイル１２ｂは、それぞれ巻き方向を逆に設定したり、交流電流を流す向きを逆にすることで、第１ロータ１１との間に形成される磁気回路の向きを逆にする。
【００２０】
第２ロータ１３は、電気絶縁性を有し、成型性に優れた合成樹脂によって、図１に示すように、フランジ１３ａの外周に回転軸Ａrtと並行する複数の羽板１３ｂを均等に配置して形成されている。各羽板１３ｂは、それぞれ各銅箔１１ａに対応する間隔で形成され、外表面には銅箔１３ｃが設けられている。従って、第１ロータ１１に上下２段で、周方向に所定間隔をおいて設けられる銅箔１１ａと銅箔１３ｃは、第１ロータ１１を展開した状態として示すと図４のようになる。そして、図４に示す銅箔１１ａと銅箔１３ｃの位置が、第１ロータ１１と第２ロータ１３との相対回転における基準位置、言い替えると相対回転がゼロの位置である。
【００２１】
このとき、第２ロータ１３は、各羽板１３ｂの内表面あるいは絶縁材で製作された筒体の内表面や内部に一定の厚さの導体層（例えば0.２ｍｍの銅箔，或いはアルミニウム，銀等の素材のもの）を銅箔１１ａに対応させて均等に配置してもよく、これは後述する回転センサにおいても同じである。第２ロータ１３は、第１ロータ１１と固定コア１２との間に配置され、前記主動シャフトに対して相対回転する前記従動シャフトに取り付けられる。
【００２２】
以上のように構成される回転センサ１０は、第１ロータ１１を前記主動シャフトに、第２ロータ１３を前記従動シャフトに、それぞれ取り付けるとともに、固定コア１２を前記固定部材に固定してステアリング装置に組み付けられる。
次に、図５及び図６を用いて第１実施形態に係る回転センサによる相対回転角度測定を説明する。図５は、回転センサの相対回転角度測定装置１４の一例を示す回路図である。図において、測定装置１４は、発振信号を発振する発振回路１４ａと、発振信号を分周して特定周波数のパルス信号を出力する分周回路１４ｂと、２つの励磁コイル１２ｂにそれぞれ生じる前記パルス信号の位相をシフトする位相シフト部１４ｃと、前記検出された各位相シフト量を検出する第１及び第２のシフト量検出部１４ｄ，１４ｅと、前記検出されたシフト量を対応する電圧値に変換する第１及び第２のコンバータ１４ｆ，１４ｇと、前記電圧値のシフトレベルを調整する第１及び第２のシフトレベル調整部１４ｈ，１４ｉと、第１のコンバータ１４ｆからのシフト量に対応する電圧と第２のシフトレベル調整部１４ｉからの調整された電圧との差分を求める第１の差動アンプ１４ｊと、第１のシフトレベル調整部１４ｈからの調整された電圧と第２のコンバータ１４ｇからのシフト量に対応する電圧との差分を求める第２の差動アンプ１４ｋと、求められた各差分の電圧から相対回転角度を測定する相対回転角度測定部１４ｍとを有して構成される。
【００２３】
発振回路１４ａは、分周回路１４ｂを介して特定周波数のパルス信号を位相シフト部１４ｃに出力している。
位相シフト部１４ｃは、励磁コイル１２ｂ，１２ｂが直列接続され、かつ直列接続されたコンデンサＣ1、抵抗Ｒ1及びコンデンサＣ2が励磁コイル１２ｂ，１２ｂと並列に接続されて構成される。励磁コイル１２ｂ，１２ｂは、固定コアに巻回されて交流電流が流され、第１のロータと協働して磁気回路を形成している。位相シフト部１４ｃは、第２のロータに発生する渦電流の大きさに応じて、励磁コイル１２ｂ，１２ｂ間に接続された分周回路１４ｂから入力されるパルス信号の位相をシフトする。
【００２４】
第１及び第２のシフト量検出部１４ｄ，１４ｅは、各励磁コイル１２ｂの一端にそれぞれ接続され、第１のシフト量検出部１４ｄはＡ点とＢ点とのパルス信号の位相ずれ量を検出し、第２のシフト量検出部１４ｄはＡ点とＣ点とのパルス信号の位相ずれ量を検出することによって、位相シフト量を検出する。
第１及び第２のコンバータ１４ｆ，１４ｇは、図６に示すように、前記検出されたシフト量を対応する電圧値Ｓ1，Ｓ2に変換し、シフトレベル調整部１４ｈ，１４ｉは、コンバータ１４ｆ，１４ｇから入力するパルス信号の電圧値Ｓ1，Ｓ2のシフトレベルを調整し、第１及び第２の差動アンプ１４ｊ，１４ｋに出力している。第１の差動アンプ１４ｊは、コンバータ１４ｆからのパルス信号の電圧値Ｓ1とシフトレベル調整部１４ｉからのパルス信号の電圧値Ｓ2の差分を求め、元の信号の２倍の出力レベルからなる信号Ｔ1（電圧値）を相対回転角度測定部１４ｍに出力する。また、差動アンプ１４ｋは、コンバータ１４ｇから入力するパルス信号の電圧値Ｓ2とシフトレベル調整部１４ｈからのパルス信号の電圧値Ｓ1の差分を求め、元の信号の２倍の出力レベルからなる信号Ｔ2（電圧値）を相対回転角度測定部１４ｍに出力する。
【００２５】
相対回転角度測定部１４ｍは、図５に示すように、これら信号Ｔ1，Ｔ2の電圧値に基づき、２つのロータの相対回転角度を−８°〜＋８°の範囲で高精度に測定できる。
従って、回転センサ１０は、この相対回転角度に基づき、予め求めてある前記主動シャフトと前記従動シャフトとの間に作用する回転トルクと、両シャフト間の相対回転角度との関係に基づき、作用している回転トルクを求めることができる。
【００２６】
このとき、突起１２ｆの曲率半径を0.１，0.２，0.３ｍｍとし、空気層１２ｇの厚さＴを0.１，0.２，0.３ｍｍの３通りに設定した３種類の回転センサ１０と、突起１２ｆを設けず、各コア本体１２ａとの間に空気層１２ｇが存在しない（Ｔ＝０）ことを除いて回転センサ１０と構造が同一な回転センサを用意した。そして、これら４種類の回転センサに関し、第１及び第２ロータ１１，１３を固定コア１２に対して１回転させ、回転センサ１０の上側の励磁コイル１２ｂにおける回転角度（°）と相対実効インダクタンス（ΔＬ／Ｌ）との関係をＬＣＲメータ（ヒューレットパッカード社製，ＨＰ４２８４Ａ）を用いて測定した。その結果を図７（ａ）〜（ｄ）に示す。
【００２７】
図７（ａ）〜（ｄ）に示す結果から明らかなように、回転センサ１０は、空気層１２ｇが存在した方が各励磁コイル１２ｂの実効インダクタンスの周方向に沿った変動幅が小さくなること、また、実効インダクタンスの変動幅は、空気層１２ｇの厚さの増加に伴って小さく均一になる傾向があることが分かった。
また、回転センサ１０は、図２に示すように、回転軸Ａrtに直交する面に関して、励磁コイル１２ｂを収容した２つのコア本体１２ａ及びケース１２ｃを面対称に配置し、２つの励磁コイル１２ｂは、それぞれ巻き方向を逆に設定したり、交流電流を流す向きを逆にすることで、第１ロータ１１との間に形成される磁気回路の向きを逆にしている。このため、回転センサ１０は、相対回転角度測定装置１４による相対回転角度の測定に際し、２つの励磁コイル１２ｂに生ずる環境温度の変動，電磁ノイズ，前記発振回路における発振周波数の変動，電源電圧あるいは組付け誤差等の外乱が相殺される。このため、回転センサ１０は、信号Ｔ1，Ｔ2には前記外乱の影響が入っていないので、種々の外乱があっても検出精度の変動が少なく、相対回転角度や回転トルクを正確に検出することができる。
【００２８】
ここで、前記実施形態の固定コア１２は、コア本体１２ａとケース１２ｃとの間に非磁性の絶縁層として空気層１２ｇを介在させるためにケース１２ｃに突起１２ｆを設けた。しかし、本発明の回転センサは、固定コアが、コア本体との間に非磁性の絶縁層を介して外周を導電性のケースで覆われていれば良い。
従って、例えば、図８に示す固定ケース１６のように、導電性金属からなるケース１６ｃに厚さＴの空気層１６ｇを形成する凹部１６ｆを設けてもよい。
【００２９】
尚、固定コア１６並びに以下に説明する固定コア１７，１８においては、固定コア１２と同一の構成部分には対応する符号を使用することで重複した説明を省略する。
このとき、空気層１６ｇの厚さＴ＝0.３ｍｍの固定コア１６を用いた回転センサ１０と、凹部１６ｆがなく、空気層１２ｇの厚さＴ＝０ｍｍの固定コア１６を用いたことを除き、回転センサ１０と同一構造の回転センサとを用意した。そして、これら２種類の回転センサに関し、第１ロータ１１と第２ロータ１３とを±１０°の範囲で相対回転させ、図１の回転センサ１０の上側の励磁コイル１２ｂにおける実効インダクタンス（Ｈ）を相対回転角度（°）に関して測定した。その結果を、空気層１２ｇの厚さＴ＝０ｍｍの固定コア１６を用い、両ロータ１１，１３が相対回転角度が０°のときの実効インダクタンスをＬ0、相対回転角度が±１０°の範囲で変化したときにおける実効インダクタンスの変化量をΔＬ（Ｈ）として図９に示す。図９においては、時計方向への回転を＋、反時計方向への回転を−で、それぞれ示した。
【００３０】
図９に示す結果から明らかなように、回転センサは、コア本体１６ａとケース１６ｃとの間に空気層１６ｇが存在すると、励磁コイル１６ｂ（図示せず）における実効インダクタンスの絶対値は減少するが、第１ロータ１１と第２ロータ１３との間の相対回転に伴う相対回転角度の変化幅は周方向に沿って略同一となることが分かった。
【００３１】
一方、固定コアは、図１０に示す固定コア１７のように、コア本体１７ａの外面に突起１２ｆと同様に構成される所定の曲率半径を有する半球からなる突起１７ｆを複数設けることで、コア本体１７ａと導電性部材からなるケース１７ｃとの間に、非磁性の絶縁層となる厚さＴの空気層１７ｇを形成してもよい。また、図１１に示す固定コア１８のように、コア本体１８ａと導電性のケース１８ｃとの間に、非磁性の絶縁層となる合成樹脂、例えば、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）の薄膜からなる厚さＴの樹脂層１８ｇを形成してもよい。
【００３２】
尚、上記実施形態は、外乱の影響を相殺して相対回転角度や回転トルクを正確に検出することを目的として励磁コイルを２つ有する２重コイル方式の回転センサに基づいて説明した。しかし、本発明の回転センサは、励磁コイルが１つの回転センサであってもよいことは言うまでもない。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１乃至２の発明によれば、環境温度の変動に拘わらず励磁コイルの実効インダクタンスが周方向に沿って均一な回転センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る回転センサを示す分解斜視図である。
【図２】図１の回転センサを直径方向に沿って切断した断面図である。
【図３】図１の回転センサで用いる固定コアを直径方向に沿って切断した一部を示す断面図である。
【図４】図１の回転センサに関し、第１のロータに設ける第１の導体層と、第２のロータに設ける第２の導体層との位置関係を、第１のロータを展開した状態として示す展開図である。
【図５】図１の回転センサで使用する相対回転角度測定装置の一例を示す回路図である。
【図６】図５に回路図を示した相対回転角度測定装置で得られる電圧値Ｓ1，Ｓ2並びに電圧値に関する信号Ｔ1，Ｔ2と第１及び第２のロータの相対回転角度との関係を示す電圧特性図である。
【図７】第１及び第２のロータが固定コアに対して１回転したとき、図１の回転センサの上側の励磁コイルにおける回転角度と相対実効インダクタンスとの関係を突起の曲率半径を４通りに変化させて測定した特性変化図である。
【図８】図１の回転センサで用いる固定コアの他の実施形態を、固定コアを直径方向に沿って切断した一部を示す断面図である。
【図９】図８の固定コアと、空気層がない固定コアとにおいて、第１のロータと第２のロータとを±１０°の範囲で相対回転させたとき、図１の回転センサの上側の励磁コイルにおける相対回転角度と実効インダクタンスとの関係を示す特性変化図である。
【図１０】図１の回転センサで用いる固定コアの更に他の実施形態を、固定コアを直径方向に沿って切断した一部を示す断面図である。
【図１１】図１の回転センサで用いる固定コアの他の実施形態を、固定コアを直径方向に沿って切断した一部を示す断面図である。
【符号の説明】
１０              回転センサ
１１              第１ロータ
１２              固定コア
１２ａ            コア本体
１２ｂ            励磁コイル
１２ｃ            ケース（導電性部材からなる）
１２ｆ            突起
１２ｇ            空気層（非磁性の絶縁層）
１３              第２ロータ
１４              相対回転角度測定装置
１６              固定ケース
１６ａ            コア本体
１６ｃ            ケース（導電性部材からなる）
１６ｇ            空気層（非磁性の絶縁層）
１６ｆ            凹部
１７              固定コア
１７ａ            コア本体
１７ｃ            ケース（導電性部材からなる）
１７ｆ            突起
１７ｇ            空気層（非磁性の絶縁層）
１８              固定コア
１８ａ            コア本体
１８ｃ            ケース（導電性部材からなる）
１８ｇ            樹脂層（非磁性の絶縁層）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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