(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリシリコン砕片（２）を分配する手段と、プラスチック袋（８）を有する充填装置と、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置（１０）と、さらに
ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置（１０）の後方に、プラスチック袋を有する充填装置、並びにポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋を収容する前記プラスチック袋のための溶接装置を有する、
高純度のポリシリコン砕片（２）を低コストで全自動式に分配、充填及び包装する装置において、装置のポリシリコン砕片と接触する全ての部分がシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性プラスチックでライニングされていることを特徴とする、高純度のポリシリコン砕片（２）を低コストで全自動式に分配、充填及び包装する装置。
【請求項２】
付加的になおポリシリコン砕片を搬送する手段を有する、請求項１記載の装置。
【請求項３】
ポリシリコンのための充填装置及び溶接装置の上に設置された空気吸引装置を有する、請求項１から２までのいずれか１項記載の装置。
【請求項４】
ポリシリコン砕片（２）のための搬送トラフ（１）、
ホッパー（４）と結合された、ポリシリコン砕片（２）のための秤量装置（３）、
転向板（５）、
搬送トラフ（１）、秤量装置（３）、充填装置（６）及び溶接装置（１０）の上に設置され、ポリシリコン砕片（２）の粒子汚染を防止するフローボックス（１１）、
ポリシリコン砕片（２）が充填され、溶接されたプラスチック袋（１４）のためのコンベアベルト（１２）
からなり、この場合ポリシリコン砕片（２）と接触する全ての構造部分はシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性のプラスチックでライニングされていることを特徴とする、高純度のポリシリコン砕片を搬送、秤量、分配、充填及び包装するための請求項２記載の装置。
【請求項５】
さらに、高清浄度のプラスチックシート（１６）から袋（１７）を形成するためのもう１つの充填装置（１５）、前記プラスチック袋（１７）のための、それに溶接されかつポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋（１４）が充填された後の溶接装置（１８）、並びにコンベアベルト（１９）を有する、請求項４記載の装置。
【請求項６】
溶接され、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のための検出器を備えた搬送装置を有する、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
プラスチックシート（７，１６）がＰＥシートである、請求項５から６までのいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
高耐摩耗性プラスチックがポリウレタンである、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
ポリシリコン砕片の汚染の少ない包装方法において、ポリシリコン砕片（２）をシリコンで外装した搬送トラフ（１）上で秤量装置（３）に搬送し、その際秤量装置はホッパ（４）へのポリシリコン砕片（２）の充填度を調節しかつ、ホッパ（４）内に所定の充填量のポリシリコン砕片（２）が存在すると、ポリシリコン砕片（２）をホッパ（４）からプラスチック袋（８）にあけ、その際、装置のポリシリコン砕片と接触する全ての部分がシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性プラスチックでライニングされており、かつシリコンの不所望の後粉砕が行われないように、シリコンの落下高さを転向板（５）で最小にし、かつプラスチック袋（８）を充填後に溶接装置（１０）により溶接し、かつそうして得られたポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋（１４）を一重袋としてコンベアベルト（１２）を介して、起こり得る金属汚染を検出するために磁気誘導検出器（１３）を通過させることを特徴とする、ポリシリコン砕片の汚染の少ない包装方法。
【請求項１０】
一重袋を別のプラスチック袋に包装する、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
別のプラスチック袋での包装を、第２のプラスチック袋（１７）を第１のプラスチック袋（８）に類似して製造しかつ一重袋を第２のプラスチック袋に入れかつ溶接することにより行う、請求項１０記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装方法及び包装装置、並びに自動包装機械の使用に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ポリシリコン砕片は、例えばシーメンス法によりトリクロルシランから堆積され、その後汚染無く粉砕される。一般に、これはソーラ又は半導体工業において例えば太陽電池又はきわめて純粋なシリコンウェーハの製造のために使用される。これらの用途のためには、出来るだけ汚染の少ないポリシリコン砕片が所望され、従って該材料はユーザに搬送するために包装される。尤も、この包装は従来汚染の危険度の高いかつ作業者にとって過酷な手動で行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、高純度のポリシリコン砕片の低コストで汚染の少ない包装を可能にする方法を提供することである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記課題は、ポリシリコン砕片を自動的に包装する方法により解決される。
【０００５】
該方法を実施するための装置としては、原則的に小片状の砕片物の従来の技術において公知のあらゆる自動包装機械が適当である。
【０００６】
従って、本発明はまた、高純度のポリシリコン砕片を包装するために自動包装機械を使用することに関する。
【０００７】
自動包装機械の本発明による使用は、低コストで全自動式に高純度のポリシリコン砕片の分配、充填及び包装を可能にする。
【０００８】
自動包装機械としては、
ポリシリコン砕片を分配けする手段と、
プラスチック袋を有する充填装置と、
ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置とからなる装置を使用するのが有利である。
【０００９】
ポリシリコン砕片の汚染の危険を回避するために、本発明による装置のポリシリコン砕片と接触する全ての部分は、特に有利にはシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性プラスチックでライニングされている。さらに、包装の突き破りを最小にするために、本発明による装置を、ポリシリコン砕片が２つの溶接されたプラスチック袋で包装されるように構成するのが特に有利である。
【００１０】
従って、特に有利には、本発明による包装機械は、ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋のための溶接装置の後方に再度、プラスチック袋を有する充填装置、並びにポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋を収容する前記プラスチック袋のための溶接装置を有する。
【００１１】
さらにまた有利には、本発明による装置は、全自動式にポリシリコン砕片の搬送を可能にし、従って例えば搬送トラフ、搬送管、コンベアベルト又はブラシベルトのようなポリシリコン砕片を搬送するための付加的な手段を有する。
【００１２】
ポリシリコン砕片を分配するための手段は、例えば時間制御される搬送トラフ又は貯蔵容器の充填高さ測定装置又はポリシリコン砕片のための秤量装置である。
【００１３】
有利には、充填装置は、例えば充填及び袋成形管により、有利には高純度（高い清浄度：hochrein）のプラスチックシートからプラスチック袋を形成する。
【００１４】
さらに、該装置は、特に有利な実施態様においては、ポリシリコンのための充填装置及び溶接装置の上に設置された、ポリシリコン砕片の粒子汚染を防止すための空気吸引装置（フローボックス：Flowbox）を有する。
【００１５】
【実施例】
図１は、本発明の特に有利な実施例を示す。
【００１６】
この本発明による装置は、
ポリシリコン砕片２のための搬送トラフ１、
ホッパー４を備えた、ポリシリコン砕片２のための秤量装置３、
転向板５、
高純度のプラスチックシート７からプラスチック袋８を形成する充填装置６，
ポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋８のための溶接装置１０、
搬送トラフ１、秤量装置３、充填装置６及び溶接装置１０の上に設置され、ポリシリコン砕片２の粒子汚染を防止するフローボックス１１、
ポリシリコン砕片２が充填され、溶接されたプラスチック袋１４のためのコンベアベルト１２
からなり、この場合ポリシリコン砕片と接触する全ての構造部分はシリコンで外装されているか又は高耐摩耗性のプラスチックでライニングされている。
【００１７】
有利には、本発明による装置は、コンベアベルト１２に引き続き、高純度のプラスチックシート１６からプラスチック袋１７を形成するためのもう１つの充填装置１５、前記のプラスチック袋１７のための、それに溶接されかつポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋１４が収容された後の溶接装置１８、並びに二重袋包装２１内に存在するポリシリコン砕片２のためのコンベアベルト１９を有する。
【００１８】
有利には、充填装置６は、プラスチックシート７の静電気帯電、ひいては粒子汚染を防止する消イオン装置９を有する。
【００１９】
有利には、コンベアベルト１２及び／又はコンベアベルト１９は、磁気誘導検出器１３及び２０を通過する。
【００２０】
有利には、プラスチックシート７，１６はＰＥシートである。プラスチックシートは、有利には＞２００μｍの厚さ、特に有利には２９０〜３５０μｍの厚さを有する。
【００２１】
有利には、高耐摩耗性プラスチックは、ポリウレタンである。
【００２２】
本発明による装置は、ヒトと接触しない汚染の少ない包装を可能にする。さらに、該装置は、包装された物品の変わらない品質を可能にする。
【００２３】
包装物、ポリシリコン砕片と結び付いた特殊な問題設定、例えば汚染除去、後粉砕、ダスト発生は、本発明による装置における前記の構成により解決される（シリコン外装、空気の消イオン化、構造に起因する低い投下高さ、吸引、金属検出器等）。
【００２４】
本発明による方法の具体的実施例を、図１の装置により説明する。
【００２５】
ポリシリコン砕片２をシリコンで外装した搬送トラフ１上で秤量装置３に搬送し、その際秤量装置がホッパ４へのポリシリコン砕片２の充填度を調節しかつ、ホッパ４内に所定の充填量のポリシリコン砕片２が存在すると、ポリシリコン砕片２をホッパ４からプラスチック袋８にあけ、その際シリコンの不所望の後粉砕が行われないように、シリコンの落下高さを転向板５で最小にし、かつプラスチック袋８を充填後に溶接装置１０により溶接し、かつそうして得られたポリシリコン砕片が充填されたプラスチック袋１４を一重袋としてコンベアベルト１２を介して、起こり得る金属汚染を検出するために磁気誘導検出器１３を通過させる。
【００２６】
プラスチックシート７を、充填装置６内で有利には、シート７をいわゆる肩を介して引張ることによりプラスチック袋８に成形する。該肩は、シート表面を汚染しないように、この場合も高耐摩耗性プラスチックから形成されている。ホース状に成形されたプラスチックシートの隣接した端部を溶接し、該ホースを下で溶接装置によって、上から充填可能な高純度のプラスチック袋が生じるように閉鎖し、該袋を有利にはポリシリコン砕片の充填中に１つのホースを形成するプラスチックシートを別の連続的溶接により延長する。
【００２７】
袋に充填した後に、有利には２つの型ジョーでプラスチック袋を溶接する。
【００２８】
特に有利には、一重袋を別のプラスチック袋に包装する。このことは、第２のプラスチック袋を第１のプラスチック袋に類似して製造しかつ一重袋を第２の袋に入れかつ溶接することにより行う。有利には、機械／空気力式製品ブレーキが、第２のプラスチック袋に入る際に第１のプラスチック袋の落下を制動する。
【００２９】
このようにして包装したポリシリコン砕片は、起こり得る金属汚染を検出するために、再度コンベアベルトを介して磁気誘導検出器を通過させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による包装装置の有利な１実施例の概略図である。
【符号の説明】
１  搬送トラフ、  ２  ポリシリコン砕片、  ３  秤量装置、  ４  ホッパー、  ５  転向板、  ６，１５  充填装置、  ７，１６  プラスチックシート、  ８，１４，１７  プラスチック袋、  １０，１８  溶接装置、  １１  フローボックス、  １２，１９  コンベアベルト、  １３  磁気誘導検出器
【図１】
0003906161.tif 000002