(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持し、水平方向に延設された第１移動路を移動する第１基板搬送機構と、
前記第１移動路と並行して延設された第２移動路を、基板を保持して移動する第２基板搬送機構と、
前記第１移動路と前記第２移動路との間に配された軸を中心に回動することで前記第１移動路および前記第２移動路に対して進退可能であるとともに前記第１移動路および前記第２移動路への進出位置において前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構の移動を停止させる停止部材を有する停止機構と
を備えた基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構を駆動する駆動源と、
前記停止部材の進退状態を検出する検出手段と、
前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記駆動源を停止させる制御手段と
をさらに備えた基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記駆動源はモータであって、
前記制御手段は前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記モータへの電流供給を停止させる基板搬送装置。
【請求項４】
水平方向に延設され、基板に処理を施す処理部と、
前記処理部に沿って設けられた第１移動路と、
前記第１移動路を移動し、基板を保持して搬送する第１基板搬送機構と、
前記第１移動路と並行して延設された第２移動路と、
前記第２移動路を移動し、基板を保持して搬送する第２基板搬送機構と、
前記第１移動路と前記第２移動路との間に配された軸を中心に回動することで前記第１移動路および前記第２移動路に対して進退可能であるとともに前記第１移動路および前記第２移動路への進出位置において前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構の移動を停止させる停止部材を有する停止機構と
を備えた基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置において、
前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構を駆動する駆動源と、
前記停止部材の進退状態を検出する検出手段と、
前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記駆動源を停止させる制御手段と
をさらに備えた基板処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理装置において、
前記駆動源はモータであって、
前記制御手段は前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記モータへの電流供給を停止させる基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は基板を搬送する基板搬送装置および、基板に処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板搬送装置は基板を保持して移動路上を移動する基板搬送機構を有する。
【０００３】
従来の基板搬送装置では投受光式センサーなどを有しており、該センサーで、特定のエリアに物体が進入したことを検知すると基板搬送機構への動力供給を停止させ、基板搬送機構が不用意に移動することを防止する安全装置が設けられている。
【０００４】
また、基板処理装置は基板を処理する処理部と処理部に基板を搬送する基板搬送機構を有する。従来の基板処理装置では処理部の特定部分、例えばメンテナンス用の扉を開けたりすると基板搬送機構への動力供給を停止させ、基板搬送機構が不用意に移動することを防止する安全装置が設けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし基板搬送装置でも基板処理装置でも、安全装置の解除機構を有しており、安全装置を無力化した状態にすることができる。このため、誤って安全装置を解除したままにしておくと、不用意に移動した基板搬送機構によって、作業者が挟まれたり、基板搬送装置や基板処理装置のその他の部分を損傷したりする恐れがある。
【０００６】
本発明の目的は、基板搬送装置や基板処理装置の基板搬送機構が不用意に移動することを防止することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決する為に、請求項１に係る基板搬送装置は、基板を保持し、水平方向に延設された第１移動路を移動する第１基板搬送機構と、前記第１移動路と並行して延設された第２移動路を、基板を保持して移動する第２基板搬送機構と、前記第１移動路と前記第２移動路との間に配された軸を中心に回動することで前記第１移動路および前記第２移動路に対して進退可能であるとともに前記第１移動路および前記第２移動路への進出位置において前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構の移動を停止させる停止部材を有する停止機構とを備える。
【０００８】
請求項２の基板搬送装置は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構を駆動する駆動源と、前記停止部材の進退状態を検出する検出手段と、前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記駆動源を停止させる制御手段とをさらに備える。
【０００９】
請求項３の基板搬送装置は、請求項２に記載の基板搬送装置において、前記駆動源はモータであって、前記制御手段は前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記モータへの電流供給を停止させる。
【００１０】
請求項４の基板処理装置は、水平方向に延設され、基板に処理を施す処理部と、前記処理部に沿って設けられた第１移動路と、前記第１移動路を移動し、基板を保持して搬送する第１基板搬送機構と、前記第１移動路と並行して延設された第２移動路と、前記第２移動路を移動し、基板を保持して搬送する第２基板搬送機構と、前記第１移動路と前記第２移動路との間に配された軸を中心に回動することで前記第１移動路および前記第２移動路に対して進退可能であるとともに前記第１移動路および前記第２移動路への進出位置において前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構の移動を停止させる停止部材を有する停止機構とを備える。
【００１１】
請求項５の基板処理装置は、請求項４に記載の基板処理装置において、前記第１基板搬送機構および前記第２基板搬送機構を駆動する駆動源と、前記停止部材の進退状態を検出する検出手段と、前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記駆動源を停止させる制御手段とをさらに備える。
【００１２】
請求項６の基板処理装置は、請求項５に記載の基板処理装置において、前記駆動源はモータであって、前記制御手段は前記検出手段の出力に従って、前記停止部材が前記第１移動路および前記第２移動路に対して進出しているときは前記モータへの電流供給を停止させる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図1は、基板処理システム１００の斜視図である。なお、便宜上図示のようにＸＹＺ軸を設定する。また、矢印Ｆで指される面が前面である。
【００１４】
基板処理システム１００は基板処理機構１と基板搬送機構２とからなる。
【００１５】
＜基板処理機構＞
【００１６】
基板処理機構１は複数の液処理部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄと乾燥処理部１３とを有する。
【００１７】
液処理部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄは薬液や純水である処理液を貯留する処理槽１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄを有し、また、メンテナンス用の開口１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄを有する。
乾燥処理部は液処理部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄで処理された基板を乾燥させるもので、カバー１９の下方に図示せぬ乾燥槽および、後述の搬送ロボットから基板を授受して乾燥槽内外に昇降する図示せぬ支持機構を有する。
【００１８】
＜基板搬送機構＞
【００１９】
＜搬送ロボット＞
【００２０】
基板搬送機構２はＹ軸に沿った第1移動路２１を移動する搬送ロボットＴＲを有する。搬送ロボットＴＲはモータＭＭ（図２参照）を有してレールＲ１、Ｒ１上を走行する第1走行台２５、第1走行台２５上に設けられて第1昇降台２９を昇降させる第1昇降部２７、第1昇降台２９に設けられた第1ポスト３１、第1ポスト３１の頂部に設けられた第1ヘッド３３を有する。
【００２１】
第1ヘッド３３にはＸ軸方向に延設された1対のシャフトＳ１、Ｓ１が設けられ、該シャフトＳ１の先端にはチャック３５が設けられている。シャフトＳ１はＸ軸と平行な軸を中心に回動することにより一対のチャック３５、３５を開閉する。これにより、一対のチャック３５、３５間に基板Ｗを保持することができる。
【００２２】
＜第1リフタおよび第2リフタ＞
【００２３】
また、基板搬送機構２はＹ軸に沿った第2移動路２２を移動する第1リフタＬＦ１を有する。第1リフタＬＦ１はＹ軸方向において処理部１０Ａ、１０Ｂの背後に敷設されたレールＲ２、Ｒ２上をモータＭＬ１（図２参照）で走行する第2走行台４５、第2走行台４５上に設けられて第2昇降台４９を昇降させる第2昇降部４７、第2昇降台４９に設けられた第2ポスト５１、第2ポスト５１の頂部に設けられた第2ヘッド５３を有する。
【００２４】
第2ヘッド５３には第1リフタアーム５５が第1リフタアーム５５には第1リフタガイド５７が設けられている。第1リフタガイド５７には基板Ｗが支持される。
【００２５】
また、基板搬送機構２はＹ軸に沿った第３移動路２３を移動する第２リフタＬＦ２を有する。第２リフタＬＦ２は設けられる位置が処理部１０Ｃ、１０Ｄの背後である以外は第1リフタＬＦ１と同様の構造なので詳細な説明を省略するが、第２リフタＬＦ２をＹ軸方向に走行させるモータＭＬ２（図2参照）を有する。
【００２６】
＜基板搬送機構の動作＞
【００２７】
基板搬送機構２の動作について説明する。
【００２８】
搬送ロボットＴＲは図示せぬ移載機構から基板Ｗを受け取る。そして、Ｙ軸方向に移動して第１リフタＬＦ１または第２リフタＬＦ２に該基板Ｗを渡す。
【００２９】
一例としては搬送ロボットＴＲは処理部１０Ａの背後に停止している第１リフタＬＦ１に基板Ｗを渡す。すると第１リフタＬＦ１は基板Ｗを保持して降下し、基板Ｗを処理槽１５Ａ内に進入させる。処理槽１５Ａでの処理が終了すると、第１リフタＬＦ１は上昇してレールＲ２，Ｒ２上をＹ軸正方向に走行して処理部１０Ｂの背後で停止する。そして、そこで降下することで基板Ｗを処理槽１５Ｂ内に進入させる。処理槽１５Ｂでの処理が終了すると、第１リフタＬＦ１は上昇する。
【００３０】
次に、搬送ロボットＴＲは第１リフタＬＦ１に保持されている基板Ｗを処理部１０Ｃの背後に停止している第２リフタＬＦ２に渡す。第２リフタＬＦ２は前記第１リフタＬＦ１と略同様の動作をして基板Ｗを処理槽１５Ｃ、１５Ｄに進入させ、処理部１０Ｄの背後において上昇する。
【００３１】
搬送ロボットＴＲは処理部１０Ｄの背後において上昇している第２リフタＬＦ２から基板Ｗを受け取り、乾燥処理部１３に基板Ｗを搬送する。そして、乾燥処理部１３にて処理が終了した基板Ｗは再び搬送ロボットＴＲに持ち出されて図示せぬ移載機構に渡される。
【００３２】
このように、搬送ロボットＴＲは処理部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄおよび乾燥処理部１３の背後においてＹ軸方向に走行可能である。また、第１リフタＬＦ１は処理部１０Ａ、１０Ｂの背後においてＹ軸方向に走行可能である。また、第２リフタＬＦ２は処理部１０Ｃ、１０Ｄの背後においてＹ軸方向に走行可能である。
【００３３】
＜停止機構＞
【００３４】
第１移動路２１と第２移動路２２および第３移動路２３との間にはＹ軸方向に沿って、複数本の支柱７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃが立設されている。支柱７０Ａと７０Ｂとの間、支柱７０Ｂ、７０Ｃとの間にはそれぞれ停止機構８０Ａ、８０Ｂが設けられている。
【００３５】
停止機構８０Ａと停止機構８０Ｂとは同様の機構なのでここでは停止機構８０Ａについて説明する。
【００３６】
停止機構８０Ａは支柱７０Ａと支柱７０Ｂとの間においてＹ軸方向と平行な軸ＡＸ１を中心にして回動可能に軸支されているストッパ板７１Ａと、ストッパ板７１Ａから延びる連結部材７２Ａと、連結部材７２Ａの先端部分からＹ軸方向と平行に延設されているリフタストッパ７３Ａとを有する。
【００３７】
そして停止機構８０Ａは図１に示すようにストッパ板７１Ａが鉛直方向と平行になるような退避姿勢にある状態から、リフタストッパ７３ＡがＸ軸負方向に移動するように軸ＡＸ１を中心にして約９０度回動させることによって、図１の停止機構８０Ｂのようにストッパ板７１Ａが水平方向と平行になるような進出姿勢をとることができる。
【００３８】
なお、支柱７０Ａと支柱７０Ｂには停止機構８０Ａが上記のような退避姿勢と進出姿勢との間の回動のみを許容し、それ以外の位置に回動することを規制する図示せぬ規制部材が設けられている。
【００３９】
よって、停止機構８０Ａが退避姿勢をとっているときは停止機構８０Ａはそれ以上リフタストッパ７３ＡがＸ軸正方向に移動するように回動することが規制され、また、停止機構８０Ａが進出姿勢をとっているときは停止機構８０Ａはそれ以上リフタストッパ７３Ａが上方に移動するように回動することが規制される。
【００４０】
このように停止機構８０Ａが進出姿勢をとったときはストッパ板７１Ａが第１移動路２１上に進出して搬送ロボットＴＲが処理部１０Ａ、１０Ｂの背後に走行してくることを防止する。
【００４１】
また、同じく停止機構８０Ａが進出姿勢をとったときはリフタストッパ７３Ａが第２移動路２２上に進出して第１リフタＬＦ１が処理部１０Ａの背後にあるときは該第１リフタＬＦ１が処理部１０Ｂの背後に走行してくることを防止し、第１リフタＬＦ１が処理部１０Ｂの背後にあるときは該第１リフタＬＦ１が処理部１０Ａの背後に走行してくることを防止する。
【００４２】
そして、例えば、開口１７Ｂを介して作業を行いたいときは図１のように第１リフタＬＦ１を処理部１０Ａの背後に配した状態で、かつ、搬送ロボットＴＲを処理部１０Ａ、１０Ｂの背後以外の場所に配した状態で、停止機構８０Ａを回動させて進出姿勢をとらせた上で作業を行う。そうすれば、第１リフタＬＦ１や搬送ロボットＴＲが処理部１０Ｂの背後にまで走行してくることを防止でき、作業者の安全を確保することができる。
【００４３】
しかも、ひとつの停止機構８０Ａに進出姿勢をとらせるだけで、搬送ロボットＴＲおよび第１リフタＬＦ１の不用意な走行に対して有効なので容易に安全を確保することができる。
【００４４】
また、支柱７０Ｂ、７０Ｃにはそれぞれ停止機構８０Ａ、８０Ｂの姿勢を検知するスイッチＳＷ１、ＳＷ２が設けられている。スイッチＳＷ１、ＳＷ２はそれぞれ停止機構８０Ａ、８０Ｂが退避姿勢をとっているときはＯＦＦ状態で、それ以外の状態のときはＯＮになっている。
【００４５】
図２は基板処理システム１００の制御部２００を示す。
【００４６】
CPUやRAM、ROMから構成される制御手段２０１には前述のスイッチＳＷ１、ＳＷ２が接続されている。また、制御手段２０１には搬送ロボットＴＲのモータＭＭに供給される電流を制御するメインサーボアンプＡＭ、第1リフタＬＦ１のモータＭＬ１に供給される電流を制御する第1サーボアンプＡＬ１、第２リフタＬＦ２のモータＭＬ２に供給される電流を制御する第２サーボアンプＡＬ２が接続されている。そして、メインサーボアンプＡＭ、第1サーボアンプＡＬ１、第２サーボアンプＡＬ２にはそれぞれ、モータＭＭ、モータＭＬ１、モータＭＬ２が接続されている。
【００４７】
制御手段２０１はスイッチＳＷ１またはＳＷ２がＯＮになると、すなわち、停止機構８０Ａまたは８０Ｂの何れかが進出姿勢をとると、メインサーボアンプＡＭ、第1サーボアンプＡＬ１、第２サーボアンプＡＬ２に対してモータＭＭ、モータＭＬ１、モータＭＬ２へ電流を流すことを停止する命令を出力する。
【００４８】
こうすることによって、電気的にも搬送ロボットＴＲや第１リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２が不用意に移動することを防止でき、さらに安全性が高くなる。
【００４９】
しかも、スイッチＳＷ１、ＳＷ２はそれぞれ停止機構８０Ａ、８０Ｂが退避姿勢をとっているときのみＯＦＦ状態で、それ以外の状態のときはＯＮになっている。すなわち、停止機構８０Ａ、８０Ｂが少しでも、第1移動路２１、第2移動路２２、第3移動路２３に進出していればスイッチＳＷ１、ＳＷ２はＯＮになって、搬送ロボットＴＲや第１リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２が不用意に移動することを防止でき、さらに安全性が高くなる。
【００５０】
なお、搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２をＹ軸方向に移動させる機構としては、第1移動路２１、第2移動路２２、第3移動路２３それぞれに沿って環状にタイミングベルトを張設し、タイミングベルトの一部を搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２に固定するとともに、各タイミングベルトを回転させるモータをそれぞれ設ける機構としてもよい。そして、モータを回転させることでタイミングベルトが回転すれば搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２が移動する。
【００５１】
この場合は各タイミングベルトを回転させるモータをそれぞれメインサーボアンプＡＭ、第1サーボアンプＡＬ１、第２サーボアンプＡＬ２によって制御させればよい。
【００５２】
また、搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２をＹ軸方向に移動させるその他の機構としては第1移動路２１、第2移動路２２、第3移動路２３それぞれに沿ってボールネジを延設して、搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２を各ボールネジと螺合させる機構としてもよい。そして、各ボールネジを回転させれば搬送ロボットＴＲや第1リフタＬＦ１、第２リフタＬＦ２が移動する。
【００５３】
なお、この場合も各ボールネジを回転させるモータをそれぞれメインサーボアンプＡＭ、第1サーボアンプＡＬ１、第２サーボアンプＡＬ２によって制御させればよい。
【００５４】
また、上記実施形態では駆動源としてモータを使用したが駆動源としてエアシリンダを使用してもよい。この場合はスイッチＳＷ１またはＳＷ２の何れかがＯＮになったとき、制御手段によってエアシリンダへのエアの供給を停止させればよい。
【００５５】
【発明の効果】
以上詳細に説明した如く、請求項１の基板搬送装置では、通常は停止部材を移動路に対して退避させておくことで、基板搬送機構の移動路上の移動を許容し、基板搬送機構が移動すると都合の悪いときには停止部材を移動路に対して進出させることで、仮に基板搬送機構が移動しようとしても停止部材が当該移動を妨げ、基板搬送機構が不用意に移動路上を移動することを防止することができる。また、停止部材が第１移動路および第２移動路に対して進退するので、ひとつの停止部材で第１、第２基板搬送機構を停止させることができる。このため、容易に第１、第２基板搬送機構の不用意な移動を防止することができる。
【００５６】
また請求項２の基板搬送装置では、駆動源は基板搬送機構を駆動する。そして、制御手段は停止部材が移動路に対して進出しているときは駆動源を停止させる。このため、基板搬送機構が駆動源によって駆動されることがなく、不用意に移動路上を移動することを確実に防止することができる。
【００５７】
請求項３の基板搬送装置によればモータが基板搬送機構を駆動する。そして、制御手段は停止部材が移動路に対して進出しているときはモータへの電流供給を停止させる。このため、基板搬送機構がモータによって駆動されることがなく、不用意に移動路上を移動することを確実に防止することができる。
【００５８】
請求項４の基板処理装置によれば、基板処理時は停止部材を移動路に対して退避させておくことで、基板搬送機構の移動路上の移動を許容し、基板搬送機構が移動すると都合の悪いときには停止部材を移動路に対して進出させることで仮に基板搬送機構が移動しようとしても停止部材が当該移動を妨げ、基板搬送機構が不用意に移動路上を移動することを防止することができる。また、停止部材が第１移動路および第２移動路に対して進退するので、ひとつの停止部材で第１、第２基板搬送機構を停止させることができる。このため、容易に第１、第２基板搬送機構の不用意な移動を防止することができる。
【００５９】
請求項５の基板処理装置によれば、駆動源は基板搬送機構を駆動する。そして、制御手段は停止部材が移動路に対して進出しているときは駆動源を停止させる。このため、基板搬送機構が駆動源によって駆動されることがなく、不用意に移動路上を移動することを確実に防止することができる。
【００６０】
請求項６の基板処理装置によれば、モータが基板搬送機構を駆動する。そして、制御手段は停止部材が移動路に対して進出しているときはモータへの電流供給を停止させる。このため、基板搬送機構がモータによって駆動されることがなく、不用意に移動路上を移動することを確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態である基板処理システム１００の構成を示す図である。
【図２】基板処理システム１００の制御部２００の構成を示す図である。
【符号の説明】
１      基板処理機構
２      基板搬送機構
２１      第1移動路
２２      第2移動路
２３      第3移動路
７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ  支柱
７１Ａ    ストッパ板
７２Ａ    連結部材
７３Ａ    リフタストッパ
８０Ａ、８０Ｂ  停止機構
１００    基板処理システム
２００    制御部
２０１    制御手段
ＡＬ１    第1サーボアンプ
ＡＬ２    第２サーボアンプ
ＡＭ      メインサーボアンプ
ＡＸ１    軸
ＬＦ１    第１リフタ
ＬＦ２    第２リフタ
ＭＭ、ＭＬ１、ＭＬ２  モータ
ＳＷ１、ＳＷ２    スイッチ
ＴＲ      搬送ロボット
【図１】
0003920489.tif 000002
【図２】
0003920489.tif 000003