(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
四辺形状の座面と該座面の四隅の周囲に設けた立ち上がり壁部とを有し、根太鋼上に載置される受け部材と、
前記受け部材の上面で前記立ち上がり壁部に囲まれた凹部に載置される防振ゴムと、
柱状体の座部と該座部の下面に連接する座面部とを有し、前記受け部材の四隅上に前記防振ゴムを介して、前記座面部２辺が前記受け部材の立ち上がり壁部に当接されて載置される床パネル受け部材と、
軸心方向に螺子部材を挿通する穴部を有し、床パネルの面取りされた隅部を当接させる受け面を設けた断面菱形形状の柱状体を中心に設けるとともに該柱状体の四隅に前記床パネルの側壁を当接させる板状の間隔部材をそれぞれ設け、前記受け部材上に立設されるスペーサとを有し、
前記スペーサは、前記各床パネル受け部材の座面部上を跨いで敷設した十文字状をなす防振ゴム上に立設されるとともに、前記柱状体の穴部に螺子部材を挿通して前記受け部材の下面からナットで螺着挟持して固定されている
ことを特徴とするフリーアクセスフロア用台座。
【請求項２】
請求項１に記載のフリーアクセスフロア用台座において、前記スペーサは、合成樹脂によって構成されていることを特徴とするフリーアクセスフロア用台座。
【請求項３】
所定の間隔で配設された根太鋼と、
前記各根太鋼上に配設されるとともに接着剤で固定された請求項１または請求項２に記載のフリーアクセスフロア用台座と、
四隅に面取り部を有し、該四隅を前記フリーアクセスフロア用台座上に載置して配設された床パネルとを備え、
前記床パネルは、各面取り部が前記スペーサの受け面に当接するとともに各側壁部が前記間隔部材に当接して敷設されている
ことを特徴とするフリーアクセスフロア。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリーアクセスフロア用台座およびこれを用いたフリーアクセスフロアに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、半導体製造装置のクリーンルームに用いられる床として、フリーアクセスフロアが知られている。
図７，図８は、その一例を示す。
フリーアクセスフロア１は、例えば、６００ｍｍ×６００ｍｍの正方形状の床パネル２を敷設することによって構成されている。
この際、床パネル２は、それぞれの隅部２ａを付き合わせるとともに各側壁２ｂを当接するようにフリーアクセスフロア用台座３に螺子部材４を介して固定されている。フリーアクセスフロア用台座３は、４個の床パネル受け部材５を設け、この床パネル受け部材５に床パネル２から挿通される螺子部材４が螺合されるようになっている。このフリーアクセスフロア用台座３は、例えば、大引鋼上６に取り付けられた根太鋼７上に載置されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のフリーアクセスフロア１では、床パネル２が接触して密に敷き詰められているため、例えば、歩行、搬送装置の移動などによって、振動が発生すると、周囲に容易に伝搬するという問題があった。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、振動伝搬を防止することが可能なフリーアクセスフロア用台座およびフリーアクセスフロアを提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、四辺形状の座面と該座面の四隅の周囲に設けた立ち上がり壁部とを有し、根太鋼上に載置される受け部材と、前記受け部材の上面で前記立ち上がり壁部に囲まれた凹部に載置される防振ゴムと、柱状体の座部と該座部の下面に連接する座面部とを有し、前記受け部材の四隅上に前記防振ゴムを介して、前記座面部２辺が前記受け部材の立ち上がり壁部に当接されて載置される床パネル受け部材と、軸心方向に螺子部材を挿通する穴部を有し、床パネルの面取りされた隅部を当接させる受け面を設けた断面菱形形状の柱状体を中心に設けるとともに該柱状体の四隅に前記床パネルの側壁を当接させる板状の間隔部材をそれぞれ設け、前記受け部材上に立設されるスペーサとを有し、前記スペーサは、前記各床パネル受け部材の座面部上を跨いで敷設した十文字状をなす防振ゴム上に立設されるとともに、前記柱状体の穴部に螺子部材を挿通して前記受け部材の下面からナットで螺着挟持して固定されていることを特徴とする。
【０００５】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載のフリーアクセスフロア用台座において、前記スペーサは、合成樹脂によって構成されていることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、所定の間隔で配設された根太鋼と、前記各根太鋼上に配設されるとともに接着剤で固定された請求項１または請求項２に記載のフリーアクセスフロア用台座と、四隅に面取り部を有し、該四隅を前記フリーアクセスフロア用台座上に載置して配設された床パネルとを備え、前記床パネルは、各面取り部が前記スペーサの受け面に当接するとともに各側壁部が前記間隔部材に当接して敷設されていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１ないし図５は、本発明の一実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０（請求項１、請求項２に対応する）およびフリーアクセスフロア用台座１０を用いたフリーアクセスフロア２０（請求項３に対応する）を示す。
本実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０は、根太鋼３１上に載置される受け部材１１と、受け部材１１の四隅上に防振ゴム１３を介して載置される４個の床パネル受け部材１２と、床パネル２１の面取りされた隅部２２を当接させる受け面１４２を設けた断面菱形形状の柱状体１４１を中心に設けるとともに柱状体１４１の隅部１４３に床パネル２１の側壁２３を当接させる板状の間隔部材１４４をそれぞれ一体に設け、受け部材１１上に立設されるスペーサ１４とを有する。
【００１０】
受け部材１１は、例えば、ＡＢＳ樹脂などの硬質合成樹脂で構成され、四辺形状の座面１１１と、座面１１１の四隅の周囲に設けた立ち上がり壁部１１２と、中央部に設けた螺子部材１６の挿通孔１１３とを有する。
床パネル受け部材１２は、例えば、ＡＢＳ樹脂などの硬質合成樹脂で構成され、四角柱状の座部１２１と、座部１２１の下面１２２に連接する四角形状の座面部１２３とを有し、受け部材１１上に配設された防振ゴム１３の四隅上に接着剤を介して載置されている。防振ゴム１３は、座面１１１とほぼ同様の形状を為しており、中央に螺子部材１６の挿通孔１３１を有する。座面部１２３は、座部１２より広い受圧面を有し、受け部材１１の立ち上がり壁部１１２に２辺が当接して受け部材１１の座面１１１上に載置される。また、座面部１２３の立ち上がり壁の高さは、立ち上がり壁部１１２の立ち上がり高さと同等にしてある。
【００１１】
スペーサ１４は、例えば、ＡＢＳ樹脂などの合成樹脂で構成され、柱状体１４１の中央に軸心方向に螺子部材１６を挿通する穴部１４５を有し、各床パネル受け部材１２の座面部１２３上を跨いで敷設した十文字状を為す防振ゴム１５上に立設されている。防振ゴム１５は、中央に螺子部材の挿通孔１５１を有する。
ここで、スペーサ１４は、柱状体１４１の穴部１４５の上方から螺子部材１６を差し込み、防振ゴム１５の挿通孔１５１、防振ゴム１３の挿通孔１３１および受け部材１１の挿通孔１１３を挿通し、受け部材１１の下面においてナットなどの締結部材１７により固定することによって、受け部材１１上に立設されている。
【００１２】
斯くして立設されたスペーサ１４は、柱状体１４１の下面が、防振ゴム１５を介して４個の床パネル受け部材１２の座面部１２３上に押し付けられている。
なお、根太鋼３１は、従来と同様に大引鋼３０上に取り付けられている。
次に、本実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０を用いたフリーアクセスフロア２０について説明する。
【００１３】
先ず、フリーアクセスフロア用台座１０を床パネル２１の間隔に応じて根太鋼３１上に接着剤により固定する。
次に、フリーアクセスフロア用台座１０のスペーサ１４の受け面１４２と同様に面取りした面取り部２２を四隅に設けた床パネル２１を、各フリーアクセスフロア用台座１０のスペーサ１４に合わせて敷設する。
【００１４】
斯くして敷設された床パネル２１は、図５に示すように、四隅の面取り部２２がスペーサ１４の受け面１４２に当接するとともに、各側壁２３がスペーサ１４の間隔部材１４４に当接して、各床パネル２１同士が所定の間隔を隔てて配設される。
以上のように構成された本実施形態によれば、敷設された床パネル２１が、フリーアクセスフロア用台座１０のスペーサ１４によって、隣接する床パネル２１と直に接することが無くなる。
【００１５】
その結果、ある床パネル２１に発生した振動が隣接する床パネル２１に対して伝搬し難くなった。
これを、図６に基づいて説明する。
ここでは、本実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０を用いたフリーアクセスフロア２０と、従来のフリーアクセスフロア１とを比較した実験を行った結果を示す。
【００１６】
図６（Ａ）のように、根太鋼５０の上に３枚の床パネル（６００ｍｍ×６００ｍｍ）５１，５２，５３を敷設する。
そして、１枚目の床パネル５１上で足踏みをし、その振動の伝搬を隣の床パネル５２とさらに隣の床パネル５３で確認した（伝搬方向は根太直交方向）。床パネル５２の測定点をＡ、床パネル５３の測定点をＢとした。
【００１７】
測定点Ａ，Ｂには、測定器として、ＲＩＯＮ製  ＶＭ−８０（ピックアップＰＶ−８１）を設置した。また、測定レンジは、変位ＰＥＡＫ（１０−５００Ｈｚ）とした。
図６（Ｂ）のように、本実施形態では、隣の床パネル５２には０．３μｍを中心とする僅かな振動が伝搬したが、さらに隣の床パネル５３には０．１μｍの微細な振動が伝搬された。すなわち、隣の床パネル５２には僅かな振動が伝搬したが、さらに隣の床パネル５３には殆ど振動が伝搬されなかった。
【００１８】
これに対し、従来の床パネルでは、隣の床パネル５２には２．７μｍを中心とする１．５〜４μｍの振幅として振動が伝搬され、さらに隣の床パネル５３には１．９μｍを中心とする０．５〜１．５μｍの振幅として振動が伝搬された。すなわち、隣の床パネル５２には足踏みによる振動が直に伝搬し、さらに隣りの床パネル５３においても大きな振動が伝搬されていた。
【００１９】
以上の結果から、本実施形態のように、各床パネル２１を所望の間隔を隔てて敷設することによって振動の伝搬を防止できることが確認できた。
また、本実施形態に係るフリーアクセスフロア２０では、フリーアクセスフロア用台座１０のスペーサ１４の受け面１４２に床パネル２１の面取り部２２を当接するとともにスペーサ１４の間隔部材１４４に床パネル２の側壁２３を当接して敷設するので、フリーアクセスフロア用台座１０が位置決め部材として機能し、床パネル２１が設計仕様に従って正しく配置される。
【００２０】
また、本実施形態に係るフリーアクセスフロア２０では、例えば、地震などの振動により床パネル２１を持ち上げようとする力が床パネル２１に掛かっても、各床パネル２１の四隅がフリーアクセスフロア用台座１０のスペーサ１４によって拘束されているので、床パネルを付き合わせて形成した従来のフリーアクセスフロアに比し、床パネル２１の持ち上がりを低減できる。
【００２１】
また、本実施形態に係るフリーアクセスフロア２０では、床パネル２１の敷設時に、フリーアクセスフロア用台座１０に掛かる荷重に応じて防振ゴム１３，１５がそれに追従し、４個の床パネル受け部材１２とスペーサ１４に掛かる過荷重を軽減するとともに、床パネル２１を所定の位置に配置することができる。
なお、各床パネル２１の間隔は、用途目的により適宜決めれば良い。ちなみに、本実施形態では、通常の大きさ６００ｍｍ×６００ｍｍの床パネルの周囲を１．５ｍｍ切削して５９８．５ｍｍ×５９８．５ｍｍとしたので、各床パネル２１の間隔は、１．５×１／２ｍｍである。
【００２２】
【発明の効果】
本発明に係るフリーアクセスフロア用台座によれば、床パネルを所定の場所に確実に配置することができる。
本発明に係るフリーアクセスフロアによれば、床パネルを介して伝搬される振動が確実に遮断できる。
そのため、本発明に係るフリーアクセスフロアは、振動を嫌う半導体製造用クリーンルームのフリーアクセスフロアとしては勿論のこと、振動を嫌う部位でのフリーアクセスフロアとしても有効に活用できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０を示す平面図である。
【図２】図１に示すフリーアクセスフロア用台座１０の縦断面図である。
【図３】図１に示すフリーアクセスフロア用台座１０の分解斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るフリーアクセスフロア用台座１０を用いたフリーアクセスフロア２０の一部を示す平面図である。
【図５】図４に示すフリーアクセスフロア２０の一部を示す縦断面図である。
【図６】（Ａ）図４に示すフリーアクセスフロア２０と従来のフリーアクセスフロアとの比較を行った試験方法を示す説明図である。
（Ｂ）図４に示すフリーアクセスフロア２０と従来のフリーアクセスフロアとの比較を行った結果を示す図である。
【図７】従来のフリーアクセスフロアを示す縦断面図である。
【図８】従来のフリーアクセスフロアの一部を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  フリーアクセスフロア用台座
１１  受け部材
１１１  座面
１１２  立ち上がり壁部
１１３  挿通孔
１２  床パネル受け部材
１２１  座部
１２２  下面
１２３  座面部
１３，１５  防振ゴム
１３１  挿通孔
１４  スペーサ
１４１  断面菱形形状の柱状体
１４２  受け面
１４３  隅部
１４４  間隔部材
１４５  穴部
１５１  挿通孔
１６  螺子部材
１７  締結部材
２１  床パネル
２２  隅部
２３  側壁
３０  大引鋼
３１  根太鋼
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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