(57)【要約】【課題】積層体の各シートの輪郭が明瞭に確認でき、各シートがずれなく貼合されているか否かを検査可能な外観検査の技術を提供することを課題とする。【解決手段】積層体の外観を検査する外観検査装置であって、上面が黒色で積層体１を載置可能な黒色吸着プレート２０３と、黒色吸着プレート２０３に載置された積層体１に斜めから照明を照射するローアングル斜光照明２０５と、照明を照射した状態で積層体を撮像し、第１画像情報を取得するカメラ２０６と、上面が白色で積層体１を載置可能な白色吸着プレート２０８と、白色吸着プレート２０８に載置された照明を照射する均一照明２１０、照明を照射した状態で積層体を撮像し、第２画像情報を取得するするカメラ２１１と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査装置であって、
上面が黒色で前記積層体を載置可能な第１の載置部と、
第１の載置部に載置された積層体に照明を照射する第１の照明部と、
第１の照明部からの照明を照射した状態で積層体を撮像し第１の画像情報を取得する第１の撮像部と、
上面が白色で積層体を載置可能な第２の載置部と、
第２の載置部に載置された積層体に照明を照射する第２の照明部と、
第２の照明部からの照明を照射した状態で積層体を撮像し第２の画像情報を取得する第２の撮像部と、
第１の撮像部が取得した第１の画像情報と第２の撮像部が取得した第２の画像情報のいずれか一方または両方の画像情報に基づき、積層体の良否を判定する画像処理部と、を備えていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記第１の載置部および前記第２の載置部が、前記積層体を固定するための吸着機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記第１の照明部の照明が、斜光照明であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査装置であって、
上面が黒色で前記積層体を載置可能な第１の載置部と、
上面が白色で前記積層体を載置可能な第２の載置部と、
第１の載置部に載置された積層体に照明を照射するための第１の照明部または第２の載置部に載置された積層体に照明を照射するための第２の照明部と、
第１の載置部または第２の載置部に載置された積層体に照明を照射した状態で積層体を撮像し、第１の載置部に載置された積層体からは第１の画像情報を取得し、第２の載置部に載置された積層体からは第２の画像情報を取得する撮像部と、
撮像部が取得した第１の画像情報と第２の画像情報のいずれか一方または両方の画像情報に基づき、積層体の良否を判定する画像処理部と、を備えていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項５】
前記第１の載置部および前記第２の載置部が、前記積層体を固定するための吸着機構を備えていることを特徴とする請求項４記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記第１の照明部の照明が、斜光照明であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の外観検査装置。
【請求項７】
複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査方法であって、
上面が黒色の第１の載置部上に積層体を載置し、載置された積層体に照明を照射して、当該積層体を第１の撮像部により撮像して第１の画像情報を取得する第１の検査工程と、
上面が白色の第２の載置部上に積層体を載置し、載置された積層体に照明を照射して、当該積層体を第２の撮像部により撮像して第２の画像情報を取得する第２の検査工程と、
取得した第１の画像情報と第２の画像情報のいずれか一方または両方に基づいて積層体の良否を判定する判定工程と、を備えていることを特徴とする外観検査方法。
【請求項８】
前記積層体を前記第１の載置部および前記第２の載置部に載置した後、吸着により固定することを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法。
【請求項９】
前記第１の検査工程における照明が斜光照明であることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学フィルム等の積層体の外観を検査する外観検査の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層体の外観検査技術としては、例えば、特許文献１、特許文献２に開示されているように、光学フィルム等の透明フィルムまたは半透明フィルムに光を照射し、その透過光を受光して、フィルムの欠陥を検査する技術が良く知られている。
また、枚葉フィルムの欠陥検査装置としては、例えば特許文献３を挙げることができる。
また、欠陥の種類を光学的に判別する技術として、複数の光学系で得られた複数の画像データを用いて欠陥を判別する技術が特許文献４に開示されている。
【０００３】
前述した従来の検査装置で、透明または半透明の複数のシートもしくはフィルムを積層した積層体（ワーク）を検査した場合、各シートの輪郭が明瞭に写らないため、各シートがずれなく貼合されているか否かを検査したり、各シートの形状が正常であるか否かを検査することは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１２８９６８号公報
【特許文献２】特開２００１−３４９８３９号公報
【特許文献３】特開２００５−２０１７８３号公報
【特許文献４】特開２０１２−１６７９７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、積層体の各シートの輪郭が明瞭に確認でき、各シートの形状が正常であるか否かや、各シートがずれなく貼合されているか否か、を検査可能な外観検査装置およびその方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決する手段として、請求項１に記載の発明は、複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査装置であって、
上面が黒色で前記積層体を載置可能な第１の載置部と、
第１の載置部に載置された積層体に照明を照射する第１の照明部と、
第１の照明部からの照明を照射した状態で積層体を撮像し第１の画像情報を取得する第１の撮像部と、
上面が白色で積層体を載置可能な第２の載置部と、
第２の載置部に載置された積層体に照明を照射する第２の照明部と、
第２の照明部からの照明を照射した状態で積層体を撮像し第２の画像情報を取得する第２の撮像部と、
第１の撮像部が取得した第１の画像情報と第２の撮像部が取得した第２の画像情報のいずれか一方または両方の画像情報に基づき、積層体の良否を判定する画像処理部と、を備えていることを特徴とする外観検査装置である。
【０００７】
また請求項２に記載の発明は、前記第１の載置部および前記第２の載置部が、前記積層体を固定するための吸着機構を備えていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置
である。
【０００８】
また請求項３に記載の発明は、前記第１の照明部の照明が、斜光照明であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の外観検査装置である。
【０００９】
また請求項４に記載の発明は、複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査装置であって、
上面が黒色で前記積層体を載置可能な第１の載置部と、
上面が白色で前記積層体を載置可能な第２の載置部と、
第１の載置部に載置された積層体に照明を照射するための第１の照明部または第２の載置部に載置された積層体に照明を照射するための第２の照明部と、
第１の載置部または第２の載置部に載置された積層体に照明を照射した状態で積層体を撮像し、第１の載置部に載置された積層体からは第１の画像情報を取得し、第２の載置部に載置された積層体からは第２の画像情報を取得する撮像部と、
撮像部が取得した第１の画像情報と第２の画像情報のいずれか一方または両方の画像情報に基づき、積層体の良否を判定する画像処理部と、を備えていることを特徴とする外観検査装置である。
【００１０】
また請求項５に記載の発明は、前記第１の載置部および前記第２の載置部が、前記積層体を固定するための吸着機構を備えていることを特徴とする請求項４記載の外観検査装置である。
【００１１】
また請求項６に記載の発明は、前記第１の照明部の照明が、斜光照明であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の外観検査装置である。
【００１２】
また請求項７に記載の発明は、複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体の外観を検査する外観検査方法であって、
上面が黒色の第１の載置部上に積層体を載置し、載置された積層体に照明を照射して、当該積層体を第１の撮像部により撮像して第１の画像情報を取得する第１の検査工程と、
上面が白色の第２の載置部上に積層体を載置し、載置された積層体に照明を照射して、当該積層体を第２の撮像部により撮像して第２の画像情報を取得する第２の検査工程と、
取得した第１の画像情報と第２の画像情報のいずれか一方または両方に基づいて積層体の良否を判定する判定工程と、を備えていることを特徴とする外観検査方法である。
【００１３】
また請求項８に記載の発明は、前記積層体を前記第１の載置部および前記第２の載置部に載置した後、吸着により固定することを特徴とする請求項７に記載の外観検査方法である。
【００１４】
また請求項９に記載の発明は、前記第１の検査工程における照明が斜光照明であることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の外観検査方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の態様によれば、上面が黒色の第１の載置部上に固定した積層体に照明を照射することで、積層体を構成する各シートの輪郭が明瞭な画像情報を取得でき、各シートがずれなく貼合されているか否かを検査したり、各シートの形状が正常であるか否かを検査したりすることができる。
また、上面が白色の第２の載置部上に固定した積層体に照明を照射することで、積層体の異物や欠陥を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に基づく実施形態に係る第１の外観検査装置の構成例を示す概略図である。
【図２】本発明に基づく実施形態に係る第１の外観検査装置の黒色吸着プレート（第１の載置部）上の積層体を撮像する動作を説明する概略図である。
【図３】本発明に基づく実施形態に係る第１の画像情報の例を示す模式図である。
【図４】本発明に基づく実施形態に係る第１の外観検査装置の白色吸着プレート（第２の載置部）上の積層体を撮像する動作を説明する概略図である。
【図５】本発明に基づく実施形態に係る第２の画像情報の例を示す模式図である。
【図６】本発明に基づく実施形態に係る第２の外観検査装置の構成例を示す概略図である。
【図７】本発明に基づく実施形態に係る第２の外観検査装置の動作の例を説明する概略図であり、（ａ）は供給部にあった積層体を黒色吸着プレート上に移動した状態、（ｂ）はカメラと均一照明と斜光照明が備えられた撮像部に、積層体が載置された黒色吸着プレートが白色吸着プレートと一緒に移動した状態、（ｃ）は撮像後、黒色吸着プレートと白色吸着プレートが一緒に初期の位置である（ａ）の位置に戻って、積層体を白色吸着プレート上に移載した状態、（ｄ）は積層体を載置された白色吸着プレートが黒色吸着プレートと一緒に撮像部に移動した状態、（ｅ）は撮像後、移動手段である電動スライダが排出部側に移動して検査済の積層体を排出部に配出させる直前の状態、（ｆ）は積層体の排出が終了後、移動手段である電動スライダが初期の位置である図６（ａ）の位置に戻った状態、をそれぞれ示している。
【図８】検査対象物となる積層体の一例を示す概略説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
＜検査対象物＞
本実施形態における検査対象物である積層体１は、図８に示すように、透明または乳白色の半透明粘着シート１１に対し、透明シート１２、乳白色の半透明シート１３を、この順に貼合して積層されたものとする。
【００１８】
本発明の検査対象物である積層体は、複数のシートもしくはフィルムを積層した透明又は半透明の積層体であることが好ましい。ただし、検査対象物である積層体は、単数のシートもしくはフィルムであってもよい。また、検査対象物である積層体は、不透明であってもよい。ただし、積層体は、複数のシートもしくはフィルムを積層したものであり、積層体全体として透明又は半透明とするものが、検査対象物として好適である。
【００１９】
＜第１の外観検査装置＞
第１の外観検査装置の一例を、図１を参照して説明する。
第１の外観検査装置は、図１に示すように、上面が黒色の黒色吸着プレート２０３、ローアングル斜光照明２０５、カメラ２０６、上面が白色の吸着プレート２０８、均一照明２１０、カメラ２１１、画像処理部３００を備える。
【００２０】
ここで、第１の載置部である上面が黒色の黒色吸着プレート２０３は黒色プレート２及びベース部３から構成されており、第２の載置部である白色吸着プレート２０８は白色プレート４及びベース部５から構成されており、ローアングル斜光照明２０５は第１の照明部を構成し、均一照明２１０は第２の照明部を構成し、カメラ２０６は第１の撮像部を構成し、カメラ２１１は第２の撮像部を構成する。
黒色吸着プレート２０３は、積層体１を吸着によって固定した状態で載置可能となっている。黒色吸着プレート２０３の上面は、積層体１よりも大きく、積層体１の周囲に黒色
の背景をもたらす。
【００２１】
ローアングル斜光照明２０５は、黒色吸着プレート２０３に載置された積層体１に斜め方向から光を照射する照明装置である。
ローアングル斜光照明２０５は、黒色プレート２と照明との角度が０°以上４５°以下の範囲内であると定義される。なお、ローアングル斜光照明２０５は黒色プレート２と照明との角度が小さいほど積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な画像情報を取得できるため好ましい。具体的には、黒色プレート２と照明との角度が０°以上１０°以下の範囲内であることがさらに好ましい。
【００２２】
カメラ２０６は、黒色吸着プレート２０３に載置された積層体１を撮像して第１の画像情報を取得する。カメラ２０６が撮像した第１の画像情報は画像処理部３００に供給される。
白色吸着プレート２０８は、積層体１を吸着によって固定した状態で載置可能となっている。白色吸着プレート２０８の上面は、積層体１よりも大きく、積層体１の周囲に白色の背景をもたらす。
【００２３】
均一照明２１０は、白色吸着プレート２０８に載置された積層体１に均一な光を照射する照明装置である。
カメラ２１１は、白色吸着プレート２０８に載置された積層体１を撮像して第２の画像情報を取得する。カメラ２１１が撮像した第２の画像情報は画像処理部３００に供給される。
【００２４】
画像処理部３００は、積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報により、各シート間の積層状態が予め設定した範囲の状態かどうか判定する。また画像処理部３００は、第２の画像情報により、積層体１の異物や欠陥に関する外観を検査する。
【００２５】
＜第１の検査方法＞
次に第１の外観検査装置における検査方法の一例について説明する。
積層体１は、供給部２０１からピックアンドプレースユニット等の供給手段２０２によって黒色吸着プレート２０３の上に載置され、黒色吸着プレート２０３に吸着により吸着固定される。
【００２６】
黒色吸着プレート２０３は、電動スライダ２０４に機械的に接続されており、図１中に示したＸ軸方向（図１の紙面左右方向）に移動することができるようになっている。
黒色吸着プレート２０３は、図２（ａ）の位置で検査対象物である積層体１を吸着固定した後、電動スライダ２０４により図２（ｂ）の位置に移動する。カメラ２０６側を移動するように構成しても良い。
【００２７】
黒色吸着プレート２０３が図２（ｂ）の位置にある時、ローアングル斜光照明２０５は照明を斜め方向から積層体１に照射して、その反射光をカメラ２０６が受光することで、図３に示したような積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報を取得する。
ローアングル斜光照明とすることにより、より各シートの輪郭が明瞭な画像情報を取得することができる。
【００２８】
カメラ２０６が取得した第１の画像情報は画像処理部３００に転送される。画像処理部３００では、第１の画像情報に基づき所定の検査処理が行なわれ、良否判定される。
その後、黒色吸着プレート２０３は図２（ｃ）の位置に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の受け渡し手段２０７によって、積層体１は黒色
吸着プレート２０３から白色吸着プレート２０８の上に受け渡され、白色吸着プレート２０８の上で吸着固定される。
【００２９】
なお、黒色吸着プレート２０３は、積層体１を白色吸着プレート２０８上に受け渡した後、その初期位置である図２（ｄ）の位置に戻る。
白色吸着プレート２０８は、電動スライダ２０９に機械的に接続されており、図１中に示したＸ軸方向（図１の紙面左右方向）に移動することができるようになっている。カメラ２１１側が移動するように構成しても良い。
【００３０】
白色吸着プレート２０８は、図４（ａ）の位置で検査対象物である積層体１を吸着固定した後、電動スライダ２０９により図４（ｂ）の位置、または、図４（ｃ）の位置に移動する。
即ち、図２（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫであった場合は図４（ｂ）の位置に移動し、ＮＧであった場合は図４（ｃ）の位置に移動する。
【００３１】
図２（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫで、白色吸着プレート２０８が図４（ｂ）の位置にある時、均一照明２１０から均一な照明を積層体１に照射して、その反射光をカメラ２１１が受光することで、図５に示したような背景が無地状の第２の画像情報を取得する。
【００３２】
カメラ２１１は取得した第２の画像情報を画像処理部３００に転送する。画像処理部３００では、第２の画像情報に基づき所定の検査処理が行なわれ、良否判定される。
その後、白色吸着プレート２０８は図４（ｃ）の位置に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の排出手段２１２によって排出部２１３に排出される。
【００３３】
排出部２１３はＯＫ品排出部とＮＧ品排出部とに分かれており、図２（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫで、かつ、図４（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫの場合に、その積層体１をＯＫ品排出部に排出し、それ以外の場合はＮＧ品排出部に排出する。
また、図２（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＮＧの場合は、図４（ｂ）の位置で積層体１の撮像、及び、検査は行なわれず、白色吸着プレート２０８は図４（ａ）の位置から図４（ｃ）に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の排出手段２１２によって排出部２１３のＮＧ品排出部に排出される。
【００３４】
白色吸着プレート２０８は、積層体１を排出部２１３に排出した後、その初期位置である図４（ｄ）の位置に戻る。
ここで、本実施形態では、積層体１をまず黒色吸着プレート上で検査して、その後に白色吸着プレート上に受け渡す場合で説明したが、その順序は逆でも良く、積層体１をまず白色吸着プレート上で検査して、その後に黒色吸着プレート上に受け渡すようにしても良い。
【００３５】
また、本実施形態では、積層体１をまず黒色吸着プレート上で検査して、その検査結果がＮＧである場合には、白色吸着プレート上での検査をスキップするようにしたが、黒色吸着プレート上の検査結果がＮＧである場合であっても、白色吸着プレート上での検査を行うようにしても良い。
以上のように、本実施形態では、黒色吸着プレート上に吸着固定した積層体にローアングル斜光照明を照射することで、図３のような積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報を取得できる。この結果、各シートがずれなく貼合されているか否かを検査したり、各シートの形状が正常であるか否かを検査したりすることができる。
また、白色吸着プレート上に吸着固定した積層体に均一照明を照射することで、図５のような背景が無地状の第２の画像情報を取得できる。この結果、積層体１に付着した着色異物等の欠陥を検出することができる。
【００３６】
また、本実施形態では、カメラ２０６およびカメラ２１１の２台のカメラを用いて第１の画像情報および第２の画像情報をそれぞれ取得しているが、装置コストを下げるために、１台のカメラで第１の画像情報および第２の画像情報を取得できるような装置構成（第２の外観検査装置）にしても良い。
【００３７】
＜第２の外観検査装置＞
本発明の第２の外観検査装置の一例を、図６を参照して説明する。
第１の外観検査装置が、撮像部であるカメラと移動手段である電動スライダを二組備えており、それぞれの組には、黒色吸着プレートまたは白色吸着プレートのいずれかを備え、また黒色吸着プレートが備えられた組にはローアングル斜光照明が、白色吸着プレートが備えられた組には均一照明が備えられていたのに対し、第２の外観検査装置においては、カメラと電動スライダと黒色吸着プレートと白色吸着プレートとローアングル斜光照明と均一照明が、それぞれ１つ備えられていることが特徴である。
【００３８】
第２の外観検査装置は、図６に示すように、上面が黒色の黒色吸着プレート２０３と、上面が白色の白色吸着プレート２０８と、ローアングル斜光照明２０５と、均一照明２１０と、カメラ２０６と、画像処理部３００と、を備えている。
ここで、第１の載置部である黒色吸着プレート２０３はベース部３及び黒色プレート２から構成されており、第２の載置部である白色吸着プレート２０８は第２のベース部５及び白色プレート４から構成されており、ローアングル斜光照明２０５は第１の照明部を構成し、均一照明２１０は第２の照明部を構成し、カメラ２０６は撮像部を構成している。
【００３９】
ローアングル斜光照明２０５、均一照明２１０、カメラ２０６は同一の軸上に設置する構成であるが、ローアングル斜光照明２０５および均一照明２１０を同一の軸上ではない位置に設置し、カメラ２０６に移動手段を設けて、ローアングル斜光照明２０５および均一照明２１０のそれぞれの直上部に移動できる構成にしても良い。
また、ローアングル斜光照明２０５と均一照明２１０の両方、またはどちらか一方に移動手段を設けて撮像時に使用する照明をカメラの直下に移動できるようにしても良い。
【００４０】
黒色吸着プレート２０３は、積層体１を吸着によって固定した状態で載置可能となっている。黒色吸着プレート２０３の上面（黒色プレート２）は、積層体１よりも大きく、積層体１の周囲に黒色の背景をもたらす。
ローアングル斜光照明２０５は、黒色吸着プレート２０３に載置された積層体１に斜め方向から光を照射する照明装置である。
ローアングル斜光照明２０５は、黒色プレート２と照明との角度が０°以上４５°以下の範囲内になるように配置する。なお、ローアングル斜光照明２０５は黒色プレート２と照明との角度が小さいほど、積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な画像情報を取得できるため好ましい。具体的には、黒色プレート２と照明との角度が０°以上１０°以下の範囲内であることがさらに好ましい。
【００４１】
カメラ２０６は、黒色吸着プレート２０３に載置された積層体１を撮像して第１の画像情報を取得する。カメラ２０６が撮像した第１の画像情報は画像処理部３００に転送される。
白色吸着プレート２０８は、積層体１を吸着によって固定した状態で載置可能となっている。白色吸着プレート２０８の上面（白色プレート４）は、積層体１よりも大きく、積層体１の周囲に白色の背景をもたらす。
均一照明２１０は、白色吸着プレート２０８に載置された積層体１に均一な光を照射する照明装置である。
カメラ２０６は、白色吸着プレート２０８に載置された積層体１を撮像して第２の画像情報を取得する。カメラ２１１が撮像した第２の画像情報は画像処理部３００に転送される。
【００４２】
画像処理部３００は、積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報により、各シート間の積層状態が予め設定した範囲の状態かどうか判定する。また画像処理部３００は、第２の画像情報により、積層体１の異物や欠陥に関する外観の良否を判定する。
【００４３】
＜第２の検査方法＞
次に第２の外観検査装置における検査方法の１例について、図７、８を用いて説明する。
積層体１は、供給部２０１からピックアンドプレースユニット等の供給手段２０２によって黒色吸着プレート２０３の上に載置され、黒色吸着プレート２０３に吸着により吸着固定される。
【００４４】
黒色吸着プレート２０３は、電動スライダ２０４に機械的に接続されており、図６中に示したＸ軸方向（図６の紙面左右方向）に移動することができるようになっている。
【００４５】
黒色吸着プレート２０３は、図７（ａ）の位置で、検査対象物である積層体１を吸着固定したあと、電動スライダ２０４により図７（ｂ）のカメラ２０６が黒色吸着プレート２０３上の積層体１の画像情報を取得できる位置に移動する。カメラ２０６側を移動するように構成しても良い。
【００４６】
黒色吸着プレート２０３が図７（ｂ）の位置にある時、ローアングル斜光照明２０５は照明を斜め方向から積層体１に照射して、その反射光をカメラ２０６が受光することで、図３に示したような積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報を取得する。
よりローアングルな斜光照明とすることにより、各シートの輪郭がより明瞭な画像情報を取得することができる。
【００４７】
カメラ２０６が取得した第１の画像情報は画像処理部３００に転送される。画像処理部３００では、第１の画像情報に基づき所定の検査処理が行なわれ、良否判定される。
【００４８】
その後、黒色吸着プレート２０３は、初期状態の図７（ａ）と同じ、図７（ｃ）の位置に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の受け渡し手段２０７によって、積層体１は黒色吸着プレート２０３から白色吸着プレート２０８の上に受け渡され、白色吸着プレート２０８の上で載置され、吸着固定される。
【００４９】
白色吸着プレート２０８は、電動スライダ２０４に機械的に接続されており、図６中に示したＸ軸方向（図６の紙面左右方向）に移動することができるようになっている。カメラ２０６側が移動するように構成しても良い。
【００５０】
白色吸着プレート２０８は、図７（ｃ）の位置で検査対象物である積層体１を吸着固定した後、電動スライダ２０４により、図７（ｄ）のカメラ２０６が白色吸着プレート２０８上の積層体１の画像情報を取得できる位置、または、図７（ｅ）の位置、すなわち図７（ｄ）の状態からカメラ２０６と均一照明２１０とローアングル斜光照明２０５が、白色吸着プレート２０８および黒色吸着プレート２０３の上にない位置に移動する。この状態にするために、カメラ２０６と均一照明２１０とローアングル斜光照明２０５を移動させても良い。
【００５１】
即ち、図７（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫであった場合は図７（ｄ）の位置に移動し、ＮＧであった場合は図７（ｅ）の位置に移動する。
【００５２】
図７（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫで、白色吸着プレート２０８が図７（ｄ）の位置にある時、均一照明２１０から均一な照明を積層体１に照射して、その反射光をカメラ２０６が受光することで、図５に示したような背景が無地状の第２の画像情報を取得する。
【００５３】
なお、黒色吸着プレート２０３上の積層体１を撮像する時と、白色吸着プレート２０８上の積層体１を撮像する時、カメラ２０６のシャッタースピードやゲイン等の撮像条件は同一である必要は無く、それぞれ適当な明るさの画像情報が得られるように調節することも可能である。
【００５４】
カメラ２０６は取得した第２の画像情報を画像処理部３００に転送する。画像処理部３００では、第２の画像情報に基づき所定の検査処理が行なわれ、良否判定される。
【００５５】
その後、白色吸着プレート２０８は図７（ｅ）の位置に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の排出手段２１２によって排出部２１３に排出される。
【００５６】
排出部２１３はＯＫ品排出部とＮＧ品排出部とに分かれており、図７（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫで、かつ、図７（ｄ）の位置でなされた良否判定結果がＯＫの場合に、その積層体１を排出部２１３のＯＫ品排出部に排出し、それ以外の場合はＮＧ品排出部に排出する。
【００５７】
また、図７（ｂ）の位置でなされた良否判定結果がＮＧの場合は、図７（ｄ）の位置で積層体１の撮像及び検査は行なわれず、黒色吸着プレート２０３は図７（ｂ）の位置から図７（ｅ）に移動し、積層体１の吸着が解除され、ピックアンドプレースユニット等の排出手段２１２によって排出部２１３のＮＧ品排出部に排出される。
【００５８】
白色吸着プレート２０８は、積層体１を排出部２１３に排出した後、その初期位置である図７（ｆ）の位置に戻る。
【００５９】
ここで、本実施形態では、積層体１をまず黒色吸着プレート上で検査して、その後に白色吸着プレート上に受け渡す場合で説明したが、その順序は逆でも良く、積層体１をまず白色吸着プレート上で検査して、その後に黒色吸着プレート上に受け渡すようにしても良い。
【００６０】
また、本実施形態では、積層体１をまず黒色吸着プレート上で検査して、その検査結果がＮＧである場合には、白色吸着プレート上での検査をスキップするようにしたが、黒色吸着プレート上の検査結果がＮＧである場合であっても、白色吸着プレート上での検査を行うようにしても良い。
【００６１】
以上のように、本実施形態では、黒色吸着プレート上に吸着固定した積層体にローアングル斜光照明を照射することで、図３のような積層体１を構成する各シートの輪郭が明瞭な第１の画像情報を取得できる。この結果、各シートがずれなく貼合されているか否かを検査したり、各シートの形状が正常であるか否かを検査したりすることができる。
【００６２】
また、白色吸着プレート上に吸着固定した積層体に均一照明を照射することで、図５のような背景が無地状の第２の画像情報を取得できる。この結果、積層体１に付着した着色異物等の欠陥を検出することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１      積層体
２      黒色プレート
３      ベース部
４      白色プレート
５      ベース部
１１    粘着シート（透明、または、乳白色の半透明）
１２    透明シート
１３    透明、または、乳白色の半透明シート
２０１  供給部
２０２  供給手段
２０３  黒色吸着プレート（第１の載置部）
２０４  電動スライダ
２０５  ローアングル斜光照明
２０６  カメラ
２０７  受け渡し手段
２０８  白色吸着プレート（第２の載置部）
２０９  電動スライダ
２１０  均一照明
２１１  カメラ
２１２  排出手段
２１３  排出部
３００  画像処理部
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図３】
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【図５】
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