(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体 1と連結部 3を介して閉鎖する蓋体 2とを有するフォトマスクを収納するためのマスクケースにおいて、
本体 1の内部の本体開口部方向及び奥方向にフォトマスクを載置するための傾斜面 162のある係止部16を有し、蓋体 2を閉めた場合にこれらの係止部16に対応する蓋体 2の内部にフォトマスクを押えるための傾斜面 262のある係止部26を有するマスクケースであって、
本体 1の開口部方向の係止部16は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面 162の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部16に向かって徐々に低くなるように配設し、
本体 1の奥方向の係止部16はその傾斜面 162をケース開口部方向に向かって徐々に低くなるように配設し、
蓋体 2の開口部方向の係止部26はその傾斜面 262をケース奥方向に向かって徐々に低くなるように配設し、
蓋体 2の奥方向の係止部26は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面 262の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部16に向かって徐々に低くなるように配設し、
本体 1の係止部16とこれに対応する蓋体 2の係止部26とが交差する方向に向いており、
蓋体 2を閉めた場合に、少なくとも本体 1の係止部16と蓋体 2の開口部方向の係止部26はそれぞれの傾斜面 162、262によりフォトマスクの稜線部分を上下方向から押えると共に前後左右方向から押えることを可能としたことを特徴とするマスクケース。
【請求項２】
略四角形状のマスクケースの本体 1の内部のそれぞれの角部からやや中心部方向にそれぞれフォトマスクを載置するための傾斜面 162のある係止部16を４つ有すると共にこれに対応して蓋体2の内部にフォトマスクを押えるための傾斜面 262のある係止部26を４つ有するマスクケースであって、
本体 1の開口部方向の二つの係止部16は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面 162の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部16に向かって徐々に低くなるように配設し、
本体 1の奥方向の二つの係止部16はその傾斜面 162をケース開口部方向に向かって徐々に低くなるように配設し、
蓋体 2の開口部方向の二つの係止部26はその傾斜面 262をケース奥方向に向かって徐々に低くなるように配設し、
蓋体 2の奥方向の二つの係止部26はフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面 262の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部16に向かって徐々に低くなるように配設し、
本体 1の係止部16とこれに対応する蓋体 2の係止部26とが交差する方向に向いており、
蓋体 2を閉めた場合に、本体 1の係止部16と蓋体 2の係止部26はそれぞれの傾斜面 162、262によりフォトマスクの稜線部分を上下方向から押えると共に前後左右方向から押えることを可能としたことを特徴とする請求項１に記載のマスクケース。
【請求項３】
蓋体 2の係止部26はその両端部方向に係止部基部 261を有し、中央部が傾斜面 262よりなる略ブリッジ形状の係止部26であることを特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項４】
蓋体 2の係止部26の係止部基部 261にはそれぞれ大きさの異なる孔を有し、他方蓋体 2の係止部26の配設箇所に前記孔に対応する二つの大きさの異なる突出部を設け、前記係止部基部 261の孔に突出部を嵌入することにより係止部26の配設箇所の位置決めを可能としたことを特徴とする請求項３に記載のマスクケース。
【請求項５】
蓋体 2の係止部26に弾力性を有するＰＰブロック共重合体又はウレタン樹脂を用いたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項６】
本体 1の係止部16の係止部基部 161にはそれぞれ大きさの異なる二つ孔を有し、他方本体 1の係止部16の配設箇所に前記孔に対応する二つの大きさの異なる突出部を設け、前記係止部基部 161の孔に突出部を嵌入することにより係止部16の配設箇所の位置決めを可能としたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項７】
本体 1の内面の連結部 3側であって奥方向の係止部16の近傍に、ケース奥方向に向かって徐々に係止部16の傾斜面 162程度の高さになる傾斜辺を有する補助受け台リブ 151を有し、フォトマスクを押し入れる際に傾斜辺にそって係止部16の傾斜面 162迄フォトマスクの稜線部を導くことを可能としたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項８】
本体 1の内面の開口部側から、本体 1の開口部方向の係止部16の傾斜面 162迄延在した該傾斜面 162の高さよりやや高い補助位置決めリブ 152を有し、
フォトマスクの載置箇所を規制可能とすると共に係止部16の傾斜面 162に載置したフォトマスクが開口部側にずれることを補助位置決めリブ 152により阻止可能としたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項９】
蓋体 2の内面の連結部 3側から、蓋体 2の奥方向の係止部26の傾斜面 262迄延在した補助押さえリブ 241を有していると共に該傾斜面 262の高さよりやや高いリブ突出部 242を有し、
係止部26の傾斜面 262に載置したフォトマスクが奥方向にずれることをリブ突出部 242により阻止可能としたことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項１０】
蓋体 2の内面の開口部側から、蓋体 2の開口部方向の係止部26の傾斜面 262迄延在した補助押さえリブ 241を有していると共に該傾斜面 262の高さよりやや高いリブ突出部 242を有し、
係止部26の傾斜面 262に載置したフォトマスクが開口部方向にずれることをリブ突出部 242により阻止可能としたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のマスクケース。
【請求項１１】
本体 1及び／又は蓋体 2の内面の両側面に、該側面部分からフォトマスクを収納した際のフォトマスクの側辺部分にまで延在するリブ 14,24を有し、
フォトマスクの載置箇所を規制可能とすると共に載置したフォトマスクが横方向にずれることをリブ14,24により阻止可能としたことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載のマスクケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子や液晶表示素子等を製造するために用いられるフォトマスク基板を保存又は運搬に際してケース内にきっちりと位置決め載置可能な係止具であって、フォトマスク基板表面に触れることがなく、フォトマスクの破損やずれによる静電気の発生を防止可能な係止具を有するマスクケースに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より半導体集積回路等の製造工程で用いられているマスク基板、例えば半導体素子や液晶表示素子等を製造するためのフォトリソグラフィ工程等において用いられるフォトマスク基板に関しては、その保存又は運搬に際してこれを収納するマスクケースが用いられており、フォトマスク基板に塵埃の付着を防止しているものである。
即ち、フォトマスク基板は微細な写真製版品であり、塵埃の付着により重大な損傷を与えてしまうことから写真の原板を汚す一切の汚染物を嫌い、塵埃の付着を極力防ぐことが必要である。
また、フォトマスク基板はガラス基板であり、マスクケース内において運搬等の際の衝撃に伴うフォトマスク基板とその係止具であるマスク支持体とのずれによる摩擦で静電気の発生により塵埃がフォトマスク基板に付着する虞れがあり、写真製版面に塵埃が付着し、重大な損傷を与える虞れがある。
このため、フォトマスク基板をケース内に載置するための係止具であるマスク支持体としては例えば、特開平2001-301877 の第７図及び第８図に示す構成のものがある。
この係止具であるマスク支持体は、本体及び蓋体の内表面から必要数の保持枝部が突出してこの部分でフォトマスク基板を載置するものであり、この保持枝部に関しては幹部に傾斜平面を持つ台板部を有する保持枝部又は幹部に帽子部を有する保持枝部が明示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述のようにマスクケース内にフォトマスクを入れた場合、そのフォトマスク基板の取扱上フォトマスク自体の汚れを極端に嫌うことから、フォトマスクの上下表面に関しては接触汚染を極力避けることが必要である。
従ってまず前述の特開平2001-301877 に示す幹部に帽子部を有する保持枝部に関しては、この接触面を帽子部のみに限定し、接触面を極力少なくしたものであるが、この帽子部に関してはどうしてもフォトマスクの上下表面に接触し、この部分の汚染は避けられないものである。
また帽子部の点で支持することから、マスクケース内にフォトマスクを入れて運搬した場合には、内部のフォトマスクが揺らされ、前記保持枝部からずれてしまい、ずれに伴う汚れが付着してしまうばかりでなく破損の恐れを有し、更にはこの帽子部とフォトマスクとの接触面がずれることにより摩擦され静電気が生じてケース内の塵埃がフォトマスクの表面に付着してしまうものである。
【０００４】
従って、フォトマスクに甚大な損傷を与えてしまう虞れがある。
次に特開平2001-301877 に示す幹部に傾斜平面を持つ台板部を有する保持枝部に関しては、この傾斜平面でフォトマスクの角部即ち稜線を支える事となり、フォトマスクの上下表面には触れないこととなる。
かかる点に関しては極めて有用であるが、単に傾斜平面を有し、この面のみでフォトマスクを支持した場合には傾斜の上部方向へのフォトマスクのずれは防げるが、傾斜の下部方向へは簡単にフォトマスクがずれてしまい、また傾斜平面の水平な平面方向即ち幹部と垂線方向にはフォトマスクがずれてしまうものである。
例えば特開平2001-301877 の第５図に示す保持枝部の配置状態においては、図面上において上下方向にずれてしまうものであり、第６図に示す場合にはフォトマスクの中心部分を軸芯として回転する方向には簡単にずれてしまうものである。
マスクケース内にフォトマスクを入れて運搬した場合には、内部のフォトマスクが揺らされて、前述と同様保持枝部からずれてしまい、破損の恐れを有し、更にはこの傾斜平面とフォトマスクとの接触面がずれることによりフォトマスクの稜線部分が摩擦されフォトマスクに静電気が生じて塵埃が表面に付着してしまうものであって、フォトマスクに甚大な損傷を与えてしまう虞れがある。
【０００５】
更には、フォトマスクをこれらの保持枝部でずれを生じさせずに支持するためには、保持枝部に極めて高い圧力を掛けてフォトマスクを本体と蓋体で押さえ付ける事が必要であって、これによりフォトマスクに傷を付けてしまう虞れもある。
また、フォトマスクを挟み込むことにより本体と蓋体との間に隙間の生ずる虞れもあり、ケース内への塵埃の侵入を助長してしまう可能性をも有する。
以上のようにケース内でフォトマスクを、ずれることなく正確にかつ安全に定置させことは極めて困難であった。
本発明は、かかる観点に鑑み、上記問題点を解決しフォトマスクをその上下表面に触れることなく正確にかつ安全に定置させ、運搬時等の衝撃によってもフォトマスクがずれることを防止することができる係止部を有するマスクケースの提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１に係る発明は本体と連結部を介して閉鎖する蓋体とを有するフォトマスクを収納するためのマスクケースにおいて、本体の内部の本体開口部方向及び奥方向にフォトマスクを載置するための傾斜面のある係止部を有し、蓋体を閉めた場合にこれらの係止部に対応する蓋体の内部にフォトマスクを押えるための傾斜面のある係止部を有するマスクケースであって、本体の開口部方向の係止部は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部に向かって徐々に低くなるように配設し、本体の奥方向の係止部はその傾斜面をケース開口部方向に向かって徐々に低くなるように配設し、蓋体の開口部方向の係止部はその傾斜面をケース奥方向に向かって徐々に低くなるように配設し、蓋体の奥方向の係止部は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部に向かって徐々に低くなるように配設し、本体の係止部とこれに対応する蓋体の係止部とが交差する方向に向いており、蓋体を閉めた場合に、少なくとも本体の係止部と蓋体の開口部方向の係止部はそれぞれの傾斜面によりフォトマスクの稜線部分を上下方向から押えると共に前後左右方向から押えることを可能とするマスクケースであり、係る発明により前記課題を達成できる。
【０００７】
また請求項２に係る発明である略四角形状のマスクケースの本体の内部のそれぞれの角部からやや中心部方向にそれぞれフォトマスクを載置するための傾斜面のある係止部を４つ有すると共にこれに対応して蓋体の内部にフォトマスクを押えるための傾斜面のある係止部を４つ有するマスクケースであって、本体の開口部方向の二つの係止部は収納するフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部に向かって徐々に低くなるように配設し、本体の奥方向の二つの係止部16はその傾斜面をケース開口部方向に向かって徐々に低くなるように配設し、蓋体の開口部方向の二つの係止部はその傾斜面をケース奥方向に向かって徐々に低くなるように配設し、蓋体の奥方向の二つの係止部はフォトマスクの両側方向にそれぞれあり、そのそれぞれの傾斜面の傾斜の方向が対向する方向であって、それぞれ対向方向の係止部に向かって徐々に低くなるように配設し、本体の係止部とこれに対応する蓋体の係止部とが交差する方向に向いており、蓋体を閉めた場合に、本体の係止部と蓋体の係止部それぞれの傾斜面によりフォトマスクの稜線部分を上下方向から押えると共に前後左右方向から押えることを可能としたマスクケースによっても達成できる。
或いは請求項３に係る発明である蓋体の係止部はその両端部方向に係止部基部を有し、中央部が傾斜面よりなる略ブリッジ形状の係止部であるマスクケースであってもよい。
【０００８】
更に請求項４に係る発明である蓋体の係止部の係止部基部にはそれぞれ大きさの異なる孔を有し、他方蓋体の係止部の配設箇所に前記孔に対応する二つの大きさの異なる突出部を設け、前記係止部基部の孔に突出部を嵌入することにより係止部の配設箇所の位置決めを可能としたマスクケースであってもよい。
この他請求項５に係る発明である蓋体の係止部に弾力性を有するＰＰブロック共重合体又はウレタン樹脂を用いたマスクケースでも同様である。
また請求項６に係る発明である本体の係止部の係止部基部にはそれぞれ大きさの異なる二つ孔を有し、他方本体の係止部の配設箇所に前記孔に対応する二つの大きさの異なる突出部を設け、前記係止部基部の孔に突出部を嵌入することにより係止部の配設箇所の位置決めを可能としたマスクケースでもよい。
また請求項７に係る発明のように本体の内面の連結部側であって奥方向の係止部の近傍に、ケース奥方向に向かって徐々に係止部の傾斜面程度の高さになる傾斜辺を有する補助受け台リブを有し、フォトマスクを押し入れる際に傾斜辺にそって係止部の傾斜面迄フォトマスクの稜線部を導くことを可能としたマスクケースでもよい。
【０００９】
この他請求項８に係る発明のように本体の内面の開口部側から、本体の開口部方向の係止部の傾斜面迄延在した該傾斜面の高さよりやや高い補助位置決めリブを有し、フォトマスクの載置箇所を規制可能とすると共に係止部の傾斜面に載置したフォトマスクが開口部側にずれることを補助位置決めリブにより阻止可能としたマスクケースでも同様である。
或いは請求項９に係る発明のように蓋体の内面の連結部側から、蓋体の奥方向の係止部の傾斜面迄延在した補助押さえリブを有していると共に該傾斜面の高さよりやや高いリブ突出部を有し、係止部の傾斜面に載置したフォトマスクが奥方向にずれることをリブ突出部により阻止可能としたマスクケースでもよい。
この他請求項１０に係る発明のように蓋体の内面の開口部側から、蓋体の開口部方向の係止部の傾斜面迄延在した補助押さえリブを有していると共に該傾斜面の高さよりやや高いリブ突出部を有し、係止部の傾斜面に載置したフォトマスクが開口部方向にずれることをリブ突出部により阻止可能としたマスクケースでもよい。
更に請求項１１に係る発明のように本体及び／又は蓋体の内面の両側面に、該側面部分からフォトマスクを収納した際のフォトマスクの側辺部分にまで延在するリブを有し、フォトマスクの載置箇所を規制可能とすると共に載置したフォトマスクが横方向にずれることをリブにより阻止可能としたマスクケースでもよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係るフォトマスクのマスクケースの一実施の状態を示す図であり、略四角形状を基盤とするマスクケースの本体 1とこの本体の開口部を覆うためのマスクケースの蓋体 2からなる。
本体 1を蓋体 2で被せることにより、マスクケースを閉鎖可能である。
この本体 1を蓋体 2によって閉鎖した場合の合わせ目に該当する本体 1の開口周縁11及び蓋体 2の開口周縁21はそれぞれ突出壁 110、210を有し、これらが互いに嵌め合わされることにより印籠合せとなり、閉鎖時の密封の度合いを高めている。
次に本体 1と蓋体 2とは両者を連設し、かつ両者を開閉自在に曲折可能な丁番部分として、連結部 3により連設されている。
この連結部 3は、本体 1及び蓋体 2の連結部挿入口 12、22に挿入する舌片部を略Ｕ字状の連結部本体の両端部に有し、Ｕ字状の連結部本体の開口側の舌片部にそれぞれ接触片35を有している丁番形状からなる。
この接触片35はそれぞれの舌片部を水平状態とした場合はＵ字状の連結部本体の開口を保ったまま、接触片35の一側辺である接触側面同志が接触状態となる。
【００１１】
従って、この接触片35をケース内部方向に向けた状態で連結部 3のそれぞれの舌片部をそれぞれ本体 1及び蓋体 2の連結部挿入口 12、22に挿入する事ができ、本体 1と蓋体 2とを閉じた状態にした場合には前述のように舌片部が水平状態となり、接触片35の接触側面同志が接触状態となって、この部分の密封度を高めることができる。
次にこの様な状態から蓋体 2を開被した場合にはＵ字状の連結部本体の部分が曲折して開被を可能とする。
この様な連結部 3を配設した位置と対向方向である本体 1と蓋体 2の開被部分においては本体 1及び蓋体 2の凹部 13、23を有し、該凹部 13、23内に閉鎖スライダー 4を有している。
閉鎖スライダー 4は本体 1の水平部や突出導通片等によって可動方向を規制していると共に閉鎖スライダー 4が蓋体 2の閉鎖ブロック 231等を挟み込む事により本体 1と蓋体 2とを係止してロック可能とし、反面この閉鎖スライダー 4を可動することにより、この挟み込みを解除して蓋体 2を開被可能とする。
この様な閉鎖スライダー 4は、本体 1及び蓋体 2のそれぞれの内部方向に向けて設けられている凹部 13、23内に配置されるものであり、閉鎖スライダー 4を配設した状態で本体 1及び蓋体 2の外表面から閉鎖スライダー 4が外部に突出しない状態で配設されている。
【００１２】
以上のように連結部 3及び閉鎖スライダー 4はそれぞれ本マスクケースの外周側面とほぼ同一平面上に位置することができると共にマスクケースの本体 1と蓋体 2との合わせ目を印籠合わせとした上で同一線上にすることができる。
従って例えばこの部分に粘着テープを巻いた場合には、マスクケースの本体 1と蓋体 2との合わせ目を同一線上とでき、かつ全て平面として巻き付けることができ、密封性を極めて高く維持でき、ケース内への塵埃の侵入を極めて高い確率で防止できる。
尚、必要に応じて本体 1と蓋体 2との合わせ部分にパッキング等を配設するものであってもよい。
次に、本体 1にはその内周面の側面にリブ14が設けられており、蓋体 2にも同様にその内周面の側面にリブ24を有している。
これにより、ケースの変形を防止しており、本体 1及び蓋体 2の変形に伴う合わせ目のずれを防止できることとなり、両者の間隙の発生を防止でき、かつ本体 1及び蓋体 2の強度を増すことを可能とする。
併せて、このリブ 14、24の内マスクケースの両側辺部分に配設したリブ 14、24は、フォトマスクを収納した際に横方向へのフォトマスクのずれを防止するためにフォトマスクの両側辺近傍まで延在している。
【００１３】
特に図に示す様に蓋体 2のケース内部には蓋体 2の内部の周面に底部から開口部へ突出したリブを有しており、蓋体 2の外周縁21に設けられた突出壁 210との間に隙間を有して立設した位置決めリブ25を有している。
これは、蓋体 2を被せた場合に本体 1の内周縁11に設けられた突出壁 110と蓋体 2の外周縁21に設けられた突出壁 210とによる印籠合わせのずれを防止するためのものであり、本体 1の内周縁の突出壁 110がケース内部方向にずれおちてくることを防止して印籠合わせのずれを防止している。
次に本体 1の内部には略四角形状のケースのそれぞれの角部からやや中心部方向に４か所、それぞれフォトマスクを載置し係止するための係止部16がありこの部分にフォトマスクを載置して位置決めし、ケース内に収納可能としている。
この係止部16は係止部基部 161とフォトマスクと接触する上面部に傾斜面 162とを有しており、この傾斜面 162にてフォトマスクの下面側の側辺の角部である稜線部分を当接することにより、位置決めされる。
この場合、係止部16の内、本体 1の凹部13側に位置する二つの係止部16は、その傾斜面 162の傾斜の低い端部162aが本体 1の内側方向にあり、高い端部162bが本体 1の外側方向にあって、傾斜面 162の傾斜が本体 1の凹部13側の側辺に平行に外側方向の端部を高くして徐々に内側方向に向かって低くなるようにそれぞれ配設されている。
【００１４】
また、係止部16の内、本体 1の連結部挿入口12側に位置する二つの係止部16は、その傾斜面 162の傾斜の低い端部162aが本体 1の内側方向にあり、高い端部162bが本体 1の外側方向にあって、傾斜面 162の傾斜が本体 1の凹部13及び連結部挿入口12のない両側辺に平行に外側方向の端部を高くして徐々に内側方向に向かって低くなるようにそれぞれ配設されている。
なお、これらの係止部16の傾斜面 162を支える係止部基部 161は、フォトマスクを載置すべき高さを維持するための一定の高さを有している。
従って、本体 1内にフォトマスクを載置する場合に本体 1の凹部13側の開口部分よりフォトマスクを差し入れた場合に、本体 1の連結部挿入口12側に位置する二つの係止部16の傾斜面 162の傾斜は、本体1の奥側が高く、開口部側が低くなっていることから、フォトマスクの差し入れ奥側の下面側の側辺の角部である稜線部分は、この傾斜面 162により定位置で押し止められ、フォトマスクを載置位置にて押し止めて本体 1の奥側へ一定以上押し入れることを防止でき、フォトマスクの差し入れ方向のずれを防止できる。
【００１５】
この状態でフォトマスクの手前側即ち本体 1の開口部側に位置する端部を下げてフォトマスクを係止部16に載置した場合には、この本体 1の凹部13側に位置する二つの係止部16の傾斜面 162の傾斜は、本体 1の両側辺側が高く、本体 1の内部側が低くなっていることから、フォトマスクの両側部の下面側の側辺の角部である稜線部分がこの傾斜面 162に載置されることとなり、フォトマスクの横方向からの押さえを行うことができ、フォトマスクの差し入れ方向に対して横方向のずれを防止できる。
これらの係止部16の傾斜面 162はフォトマスクの上下面の表面に接触するものではなく、いわゆる稜線部分に接触するものであり、フォトマスクの面を接触により汚す事はない。
また、本体 1の奥方向の二つの係止部16の傾斜面 162の傾斜の方向と、本体 1の開口部方向の二つの係止部16の傾斜面 162の傾斜の方向とが、いわゆる対向する方向であって交差方向に両者が向いており、定位置にフォトマスクを載置可能とすると共にずれを防止でき、かつフォトマスクの収納に際しても定位置から若干ずれて収納した場合にも容易に定位置に修正定置可能となる。
【００１６】
なお、係止部16の傾斜面 162は半導体関連で多用されるオレフィン類により構成されることが望ましい。
また、これらの係止部16は、本体 1に一体成形で配設されるもののほか、例えば本体から突出部を有し、これに対して係止部基部 161にこの突出部に嵌合する孔を有しており、傾斜面 162を有する係止部16の係止部基部 161の孔に前記突出部を嵌合することにより本体 1に嵌着するものであってもよい。
例えば係止部基部 161に二つの孔を有し、これに適合する二つの突出部を本体 1に有していれば、配設時の傾斜面 162の方向の規制を容易に可能とする。
また、本体 1の連結部挿入口12側に位置する二つの係止部16の間であって、やや本体 1中心部方向に補助受け台リブ 151を有している。
これは、本体 1の開口部方向は低く、奥に行くにしたがって高くなっており傾斜された補助受け台リブ 151である。
【００１７】
従って、フォトマスクを本体 1に収納するために開口部方向から本体 1の連結部挿入口12側の係止部16に向かって置く場合に、フォトマスクの奥方向の下面の稜線部分が、この補助受け台リブ 151に沿って本体 1の奥方向に押し入れる際の方向規制を可能とする。
特に傾斜を有しており、フォトマスクを補助受け台リブ 151に沿って押し入れると、徐々に係止部16の傾斜面 162の高さ近く迄達し、そのまま係止部16の傾斜面 162に当接することができる。
従って、フォトマスクの載置の際の便宜が図れ、定位置にきっちりと定置できる。
尚、補助受け台リブ 151は開口部側が低いことから、フォトマスクを４か所の係止部26に載置すると、もはやフォトマスクと接触することはない。
また、本体 1の開口部方向には補助位置決めリブ 152を有しており、フォトマスクを係止部16に載置する場合に、フォトマスクを定位置に迄導くためのものである。
【００１８】
即ち、フォトマスクを奥側の定位置まで達しない状態でフォトマスクを係止部16に載置しようとした場合には、開口部方向の補助位置決めリブ 152が邪魔になり、開口部方向の係止部16にはフォトマスクは乗らないものであり、定位置にまでフォトマスクを導いた場合には、もはや補助位置決めリブ 152が邪魔にならず前記口部方向の係止部16に載置可能となる。
従って、補助位置決めリブ 152は、フォトマスクの定置箇所よりも開口部方向に配設されているものであればよい。
次に、蓋体 2の内部にも略四角形状のケースのそれぞれの角部からやや中心部方向に４か所、それぞれ載置したフォトマスクを係止するための係止部26を有している。
これらの係止部26はそれぞれ本体 1の係止部16と対応する部分に配設されており、本体 1の係止部16上にフォトマスクを載置して蓋体 2を閉めた場合には、それぞれの係止部16に対応する位置の蓋体 2の係止部26によって押さえられるものである。
この係止部26は、係止部基部 261とフォトマスクと接触する面を傾斜面 262とからなり、蓋体 2を閉めた場合にフォトマスクの上面側の側辺の角部である稜線部分はこの蓋体係止部26の傾斜面 262に当接され、上方方向から下方方向に押さえられる。
【００１９】
この場合、係止部26の内、蓋体 2の凹部23側に位置する二つの係止部26は、その傾斜面 262の傾斜の低い端部262aが蓋体 2の内側方向にあり、高い端部262bが蓋体 2の外側方向にあり、傾斜面 262の傾斜が蓋体 2の凹部23及び連結部挿入口22のない両側辺に平行に配設されている。
また、係止部26の内、蓋体 2の連結部挿入口22側に位置する二つの係止部26は、その傾斜面 262の傾斜の低い端部262aが蓋体 2の内側方向にあり、高い端部262bが蓋体 2の外側方向にあって、傾斜面 262の傾斜が蓋体 2の連結部挿入口22側の側辺に平行に沿って配設されている。
なお、これらの係止部26の傾斜面 262を支える係止部基部 261は、フォトマスクを定位置で押さえるための高さを維持するため一定の高さを有している。
従って、本体 1内にフォトマスクを載置して蓋体 2を閉めた場合に、ケースの奥側即ち連結部挿入口22側に位置する二つの係止部26は、ケースの横方向の内側に向けてその傾斜面を低くしており、フォトマスクの差し入れ方向の両側面の上面側の両側辺の角部である稜線部分をこの傾斜面 262で当接し、フォトマスクの差し入れ方向の両側方向からの押さえを行うことができる。
【００２０】
また、フォトマスクの差し入れ手前側であるケース開口部側の上面側の側辺の角部である稜線部分は、蓋体 2の凹部23側に位置する二つの係止部26の傾斜面 262の傾斜が当接するものである。
この係止部26は蓋体 2の中心部方向に向けて徐々に低くなっており、ケース開口部側が高くケース中心方向が低くなってケースの両側と平行に傾斜面 262を向けたものであり、ケースの縦方向即ち奥方向にてその傾斜面を低くしており、フォトマスクの差し入れ方向の両側面の上面側の両側辺の角部である稜線部分をこの傾斜面 262で当接して開口部方向へのずれを防止できるものである。
なお、係止部26の傾斜面 262は半導体関連で多用されるオレフィン類の他、弾力性を持って押さえるためにＰＰブロック共重合体からなるものやウレタン樹脂などにより構成されるものであってもよい。
この係止部26は、係止部基部 261に傾斜面 262を有する構成の他、例えば両端部分を係止部基部 261とし、その中間部分を傾斜面 262としたブリッジ状の係止部26であってもよい。
弾力性を有する部材又は／これと共にブリッジ状として弾力性を持たせることにより蓋体 2を閉めた場合にフォトマスクを弾力を持って押さえることができ、フォトマスクに傷を付けてしまうようなことを防止できるばかりでなくずれの防止も図ることもできる。
【００２１】
また、これらの係止部26は、蓋体 2に一体成形で配設されるもののほか、例えば本体から突出部を有し、これに対して係止部基部 261にこの突出部に嵌合する孔を有しており、傾斜面 262を有する係止部26の係止部基部 261の孔に前記突出部を嵌合することにより蓋体 2に嵌着するものであってもよい。
例えば両端部に係止部基部 261を有しそれぞれに孔を有し、これに適合する二つの突出部を蓋体 2に有していれば、配設時の傾斜面 262の方向の規制を容易に可能とする。
特に二つの突出部の形状、長さや大きさ等と前記二つの孔の形状、深さや大きさ等を変えることにより、所定の傾斜を希望する向きに合わせて嵌入できることとなる。
また、蓋体 2の連結部挿入口22側に位置する二つの係止部26の間であって、やや蓋体 2の連結部挿入口22に補助押さえリブ 241を有していると共に蓋体 2の凹部23側に位置する二つの係止部26の間であって、やや蓋体 2の凹部23側に補助押さえリブ 241を有しており、併せてこれらの補助押さえリブ 241にはリブ突出部 242を有している。
これらの補助押さえリブ 241及びリブ突出部 242は、フォトマスクとは通常接触しないが、取扱上ケースに大きな衝撃を受けて係止部26の弾力的な押さえのスクロークを越えてしまった場合に、フォトマスクがずれることをなくすための押さえである。
【００２２】
以上のように、本体 1の係止部16と蓋体 2の係止部26は、それぞれに対応して配設されており、上下方向からの挟みこみをすることによりフォトマスクの上下面の角部である稜線部分を押さえてフォトマスクの収納時の位置決め及びずれを防止している。
この場合、本体 1及び蓋体 2の対向している係止部16と係止部26はそれぞれその傾斜面を交差方向に向けており、フォトマスクの上下面の各稜線部により四方方向から押さえこむこととなる。
さらに補助位置決めリブ 152やリブ突出部 241により強い衝撃を受けた場合でもフォトマスクのずれを最小限に押さえることができるいわゆる二段構えのずれ防止措置をとっている。
以上のように、本体 1内にフォトマスクを位置決め載置した上で蓋体 2を閉めた場合にフォトマスクの上面側の側辺の角部の稜線部分は、この蓋体係止部26の傾斜面 262に当接され、上方方向から下方方向に押さえられることとなり、フォトマスクを静止状態で定置することができる。
さらに本体 1及び蓋体 2の対向している係止部16と係止部26はそれぞれその傾斜面を交差方向に向いてフォトマスクの上下面の各稜線部により四方方向から押さえこむものでありフォトマスクがずれることなくマスクケース内に収納できる。
【００２３】
また係止部26が弾力を持ってフォトマスクを押さえることからフォトマスクのずれをさらに押さえることができると共にフォトマスクの破損も防止できる。
また、フォトマスクの角部である稜線部分のみが各係止部 16、26に接触してフォトマスク自体に触れずに載置できる。
これらによりケース内でのフォトマスクのずれにより生ずる静電気を防止でき、不要な粉塵がフォトマスクに付着することを防止できると共に各係止部の接触によるフォトマスク表面の汚れを防止できる。
併せて、マスクケースの取扱上においてフォトマスクのずれによるフォトマスクの破損等も十分に防ぐことができる。
なお、マスクケース自体に静電気を生じる事を防ぐ帯電防止のための導電性樹脂類をコーティングした素材を用いた場合であっても、或いは帯電防止効果の高い導電性ゴムを配合したアクリル系樹脂を用いるものであってもよい。
これによってケース自体に生ずる静電気を防止し、不必要に塵埃をケースに付着させることを防止できる。
図２は従来例の一例を示す図であり、本体 7と蓋体 8とが丁番90の各々の翼部により連設されており、本体 7の開口周縁から突出形成された板の先端に設けられた本体側係止ブロック71と閉蓋したときにこれに接合する蓋体側係止ブロック81を係止スライダー95によって係合する構成である。
【００２４】
従って、この係止スライダー95は蓋体 8の上部方向に位置されてケース外部に突出形成されているものである。
この部分に粘着テープを巻回した場合には係止スライダー95の部分が盛り上がり、隙間が生ずることとなってしまうものである。
またこの部分をずらして、この係止スライダー95よりの下の部分のみを粘着テープで巻回した場合には、突出形成された本体側係止ブロック71の周辺と蓋体側係止ブロック81との間には粘着テープが巻回されずに隙間を残してしまうこととなり、この部分よりケース内部に塵埃が入ることとなってしまう。
また、本体 7には係止部75を有しており、いずれも傾斜面 751を有しているが、これらは全てケースの両側辺方向から徐々に内側であるケース中心に向かって低くなる傾斜であり、横方向の動きはある程度制御できるが、縦方向のずれには無力に近いものである。
さらに蓋体 8には略棒形状の係止部85を有し、この係止部85の先端に帽子部を有している。
従って、蓋体を閉めた場合にはフォトマスクの上面表面にてこの帽子部が接し、フォトマスクを押さえるものである。
これは、フォトマスクの表面に接してしまうものであると共に帽子部の先端部分の一点で押さえるものであり、フォトマスクのずれを押さえる上では極めて脆弱である。
【００２５】
更に、この部分に力を加え過ぎた場合にはフォトマスクの破損などの虞れも生ずる。
図３は、本マスクケースの蓋体 2を開いた状態を示す図である。
本図に示すように本体 1の凹部13側に位置する二つの係止部16は凹部13側の側辺に平行に配設され、本体 1の連結部挿入口12側に位置する二つの係止部16は凹部23及び連結部挿入口22のない両側辺即ちケースの開口部方向から奥方向に平行に配設されている。
更に、蓋体 2の凹部23側に位置する二つの係止部26は蓋体 2の凹部23及び連結部挿入口22のない両側辺に平行に配設されている。
また、蓋体 2の連結部挿入口22側に位置する二つの係止部26は蓋体 2の連結部挿入口22側の側辺に平行に沿って配設されている。
従って蓋体 2を閉めた場合には、本体 1の係止部16とこれに対応する蓋体 2の係止部26はそれぞれ交差する方向に向いており、フォトマスクを上下面のみならず更に四方から押えることができる。
図４は、本体 1の係止部16の一例を示す図であり、二つの円筒形状の脚部を連接部で繋いで構成した係止部基部 161と傾斜面 162からなる。
この傾斜面 162にフォトマスクの稜線部が接するものである。
なお係止部基部 161の二つの円筒形状の脚部にはそれぞれ幅の異なる孔を有している。
【００２６】
本体 1にそれぞれ太さの異なる二つの突出部を設け、この突出部を前記孔に嵌入することにより、本係止部16を本体 1に配設できる。
例えばこの様に太さの異なる二つの突出部を設けることにより、本係止具16の取り付け方向を間違えずにかつ簡単に行なえる。
図５は、蓋体 2の係止部26の一例を示す図であり、両端部分を係止部基部 261として、その中間部分を傾斜面 262とした略ブリッジ状の係止部26を示す。
両端部分は、係止部基部 261が開いてしまわないように連接部材で連接されている。
従って、この傾斜面 262にてフォトマスクの稜線部が接するものである。
特に係止部基部 261間に傾斜面 262を有することからこの傾斜面 262は弾力を持つ事となり、フォトマスクを弾圧することができる。
また二つの係止部基部 261にはそれぞれ幅の異なる孔を有している。
蓋体 2にそれぞれ太さの異なる二つの突出部を設け、この突出部を前記孔に嵌入することにより、本係止具26を蓋体 2に配設できる。
この様にすることにより、前述と同様、本係止具26の取り付け方向を間違えずにかつ簡単に行なえる。
【００２７】
【発明の効果】
１、本発明に係るマスクケースは、本体の傾斜面を有する係止部をケース開口部方向と奥方向の傾斜の向きを変えると共に蓋体の係止部にも傾斜面を有し、蓋体を閉じた場合に両者の係止部の傾斜面が交差するように構成し、本体に関しては開口部方向の係止部の傾斜面を左右方向の傾斜とし、奥方向の係止部の傾斜面を前後方向即ち奥から開口部方向に徐々に低く傾斜させ、蓋体に関しては開口部方向の係止部の傾斜面を開口部方向から奥方向に向かって徐々に低く傾斜させ、奥方向の係止部の傾斜面を左右方向の傾斜とすることにより、挟み込まれるフォトマスクが上下方向のほか前後左右方向から押さえられることとなり、収納時のフォトマスクのずれがなくなり、係止具とフォトマスクの間に発生するずれによる摩擦から生ずる静電気を防ぐことができ、フォトマスクに塵埃の付着を防止できるという第一の効果を有する。
また、ずれがなくなることからフォトマスクの破損の防止にも役立つ。
【００２８】
２、フォトマスクとは本体及び蓋体の係止部の傾斜面で接するものであり、フォトマスクの稜線部分だけで接触することから、フォトマスクの上下面の表面には係止部が接触せず、フォトマスクの表面を汚す事がないという第二の効果を有する。
３、蓋体側の係止部をいわゆるブリッジ状にすることにより、弾力を持ってフォトマスクを押さえることができ、フォトマスクのずれを効果的に防止できると共にフォトマスクの破損を防止できるという第三の効果を有する。
４、補助受け台リブにより、フォトマスクの装着時の位置決めを正確にかつ容易にできるという第四の効果を有する。
５、補助位置決めリブ、リブ突出部、リブにより収納したフォトマスクについて、マスクケースに大きな衝撃を与えた場合でもフォトマスクのずれを防止できるという第五の効果を有する。
またフォトマスクの収納時の位置決めに際しても役立つものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るフォトマスクのマスクケースの一実施の状態を示す図
【図２】  従来の一例を示す図
【図３】  本発明に係るフォトマスクのマスクケースの蓋体を開いた一実施の状態を示す図
【図４】  本体の係止部の一例を示す図
【図５】  蓋体の係止部の一例を示す図
【符号の説明】
１    本体
１１    開口周縁
１１０    突出壁
１２    連結部挿入口
１２１    接触片嵌入凹部
１３    凹部
１３０    水平部
１３１    突出導通片
１４    リブ
１５１    補助受け台リブ
１５２    補助位置決めリブ
１６    係止部
１６２    傾斜面
２    蓋体
２１    開口周縁
２１０    突出壁
２２    連結部挿入口
２２１    接触片嵌入凹部
２３    凹部
２３１    閉鎖ブロック
２４    リブ
２４１    補助押さえリブ
２４２    リブ突出部
２５    位置決めリブ
２６    係止部
２６２    傾斜面
３    連結部
３１    連結部本体
３１２    背面部
３２    舌片部
３２１    舌片部孔
３５    接触片
３５１    接触側面
３５２    接触片突出部
４    閉鎖スライダー
４０    閉鎖スライダー本体
４１    突出導通路嵌入片
４２    突出位置規制片
４３    切欠部
【図１】
0004025973.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0004025973.tif 000005
【図５】
0004025973.tif 000006