(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケイ酸化合物、アルミニウム化合物、表面調整剤、塩基及び水を含有することを特徴とするマグネシウム合金の陽極酸化処理組成物であって、
前記ケイ酸化合物が、ケイ酸ナトリウム又はケイ酸リチウムであり、
前記アルミニウム化合物が、硝酸アルミニウム又はリン酸アルミニウムであり、
前記表面調整剤が、エチレングリコールであり、
前記塩基が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及び水酸化リチウムからなる群から選ばれる少なくとも１種であり、
前記マグネシウム合金が、Li:5〜16重量%, Y, Zn, Al, Ag, Mn, Si, Ca, Zr,ランタノイドの少なくとも１種:6重量%以下, Mg:残部という組成を有する合金である、
陽極酸化処理組成物。
【請求項２】
さらに、チオシアン酸カリウム又はチオシアン酸アンモニウムを含有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
水１Ｌに対して、ケイ酸化合物を0.01〜10mol（無水物として）、アルミニウム化合物を0.01〜10mol、表面調整剤を0.01〜10mol、塩基を0.1〜10mol含有することを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
水１Ｌに対して、ケイ酸化合物を0.01〜10mol（無水物として）、アルミニウム化合物を0.01〜10mol、表面調整剤を0.01〜10mol、塩基を0.1〜10mol、チオシアン酸カリウム又はチオシアン酸アンモニウムを0.01〜10mol含有することを特徴とする請求項２に記載の組成物。
【請求項５】
前記マグネシウム合金を、請求項１に記載の組成物に浸漬して陽極酸化処理を行い、得られた陽極酸化皮膜の封孔処理をすることを特徴とするマグネシウム合金の表面処理方法。
【請求項６】
封孔処理に用いる封孔処理剤として、側鎖に1級アミノ基を含有する高分子を用いることを特徴とする請求項５に記載の表面処理方法。
【請求項７】
封孔処理剤として、側鎖に1級アミノ基を含有する高分子、エポキシ樹脂およびシランカップリング剤を含有する組成物を用いることを特徴とする請求項６に記載の表面処理方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載の表面処理方法により得られたケイ酸及びアルミナ、並びにケイ素とアルミニウムの複合酸化物の少なくとも１種を含有する陽極酸化皮膜を有するマグネシウム合金。
【請求項９】
請求項８に記載のマグネシウム合金からなる成形体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マグネシウム合金材料の陽極酸化処理に用いる組成物及びマグネシウム合金材料の表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マグネシウム合金は比較的新しい金属材料であり、リサイクル法の成立によってリサイクルしにくいプラスチック材料からの置き換え、マグネシウム合金の持つ軽量性を利用した携帯電話やノート型パーソナルコンピューターなどの筐体部分の材質などとして利用範囲が増加している材料である。
【０００３】
マグネシウム合金の主成分であるマグネシウムは、アルカリ土類金属に属する反応性の高い金属である。従って、マグネシウム合金材料は、他の材料と比較して耐食性が著しく劣っている。
【０００４】
そこで、従来、マグネシウム合金材料の耐食性を向上させるために、六価クロム酸塩やマンガン酸塩、過マンガン酸塩の重金属塩を用いて陽極酸化皮膜を形成することが行われている。しかしながら、これら重金属塩類を用いた陽極酸化は、重金属塩類による排水の汚染をもたらし、環境保全の観点からは好ましいものではない。
【０００５】
特開平９−１７６８９４号公報には、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩又は重炭酸塩を１種類以上含む水溶液に、ケイ酸化物、水酸基を有する有機化合物などの皮膜形成安定剤を添加してなる電解液中が提案されているが、充分な耐食性を有する陽極酸化皮膜は得られていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、有害な重金属塩を用いることなく、優れた耐食性を有する陽極酸化皮膜を形成することができる陽極酸化処理用組成物及び陽極酸化方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ケイ酸化合物、アルミニウム化合物、表面調整剤、塩基及び水を含有する組成物を、マグネシウム合金の陽極酸化処理に用いることにより上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
即ち、本発明は、下記の各項に係る発明を提供するものである。
項１  ケイ酸化合物、アルミニウム化合物、表面調整剤、塩基及び水を含有することを特徴とするマグネシウム合金の陽極酸化処理組成物。
項２  さらに、チオシアン酸化合物を含有することを特徴とする項１に記載の組成物。
項３  水１Ｌに対して、ケイ酸化合物を0.01〜10mol（無水物として）、アルミニウム化合物を0.01〜10mol、表面調整剤を0.01〜10mol、塩基を0.1〜10mol含有することを特徴とする項１に記載の組成物。
項４  水１Ｌに対して、ケイ酸化合物を0.01〜10mol（無水物として）、アルミニウム化合物を0.01〜10mol、表面調整剤を0.01〜10mol、塩基を0.1〜10mol、チオシアン酸化合物を0.01〜10mol含有することを特徴とする項２に記載の組成物。
項５  表面調整剤がグリコール化合物であり、塩基がアルカリ金属又はアルカリ土類金属の水酸化物、炭酸塩又は重炭酸塩の少なくとも１種であることを特徴とする項１又は２に記載の組成物。
項６  ケイ酸化合物が、ケイ酸ナトリウム及びケイ酸リチウムの少なくとも1種であり、
アルミニウム化合物が、硝酸アルミニウム、リン酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム及びアルミン酸カリウムの少なくとも1種であり、
表面調整剤が、エチレングリコール、エチルグリコール、エチルジグリコール、エチルトリグリコール、ブチルグリコール及びブチルジグリコールの少なくとも1種であり、
塩基が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及び水酸化リチウムの少なくとも1種であることを特徴とする項１に記載の組成物。
項７  ケイ酸化合物が、ケイ酸ナトリウム及びケイ酸リチウムの少なくとも1種であり、
アルミニウム化合物が、硝酸アルミニウム、リン酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム及びアルミン酸カリウムの少なくとも1種であり、
表面調整剤が、エチレングリコール、エチルグリコール、エチルジグリコール、エチルトリグリコール、ブチルグリコール及びブチルジグリコールの少なくとも1種であり、
塩基が、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及び水酸化リチウムの少なくとも1種であり、
チオシアン酸化合物が、チオシアン酸カリウム、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸カルシウム及びチオシアン酸アンモニウムの少なくとも1種であることを特徴とする項２に記載の組成物。
項８  マグネシウム合金を、項１に記載の組成物に浸漬して陽極酸化処理を行い、得られた陽極酸化皮膜の封孔処理をすることを特徴とするマグネシウム合金の表面処理方法。
項９  封孔処理に用いる封孔処理剤として、側鎖に1級アミノ基を含有する高分子を用いることを特徴とする項８に記載の表面処理方法。
項１０  封孔処理剤として、側鎖に1級アミノ基を含有する高分子、エポキシ樹脂およびシランカップリング剤を含有する組成物を用いることを特徴とする項９に記載の表面処理方法。
項１１  ケイ酸及びアルミナ、並びにケイ素とアルミニウムの複合酸化物の少なくとも１種を含有する陽極酸化皮膜を有するマグネシウム合金。
項１２  項１１に記載のマグネシウム合金からなる成形体。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１０】
本発明の組成物は、ケイ酸化合物、アルミニウム化合物、表面調整剤、塩基及び水を含有する。
【００１１】
ケイ酸化合物としては、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸リチウムなどのケイ酸塩が挙げられる。ケイ酸化合物は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１２】
アルミニウム化合物としては、硝酸アルミニウム、リン酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、ケイ酸アルミニウム、アルミン酸ナトリウム、アルミン酸カリウムなどが例示できる。アルミニウム化合物は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１３】
表面調整剤は、アルコール基、エーテル基などを有する極性物質であればよく、例えば、アルコールなどのプロトン性溶媒を好ましく用いることができる。アルコールとしては、具体的には、エチレングリコール、エチルグリコール、エチルジグリコール、エチルトリグリコール、ブチルグリコール、ブチルジグリコールなどのグリコール化合物が好ましく例示できる。表面調整剤としては、多価アルコールが好ましく、例示された化合物の中でもエチレングリコールがより好ましい。これら表面調整剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。表面調整剤は、電解液（陽極酸化処理組成物）の表面張力を緩和することで酸化膜表面を安定させていると思われる。
【００１４】
塩基としては、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の、水酸化物、炭酸塩、重炭酸塩などが好ましく用いられ、水酸化物がより好ましい。具体的には、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムなどのアルカリ金属の水酸化物が例示できる。塩基は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１５】
本発明の組成物は、上記成分に加えて、さらに、チオシアン酸化合物を含有していてもよい。チオシアン酸化合物を添加すると、耐食性が向上し、且つ、塗膜の密着性も大幅に向上する。
【００１６】
チオシアン酸化合物としては、チオシアン酸カリウム、チオシアン酸ナトリウムなどのチオシアン酸のアルカリ金属塩、チオシアン酸カルシウムなどのチオシアン酸のアルカリ土類金属塩などのチオシアン酸塩；チオシアン酸アンモニウムなどが例示できる。チオシアン酸化合物は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１７】
本発明組成物において、各成分の配合量は、本発明所期の効果が得られるようなものであれば特に限定されず各成分の種類に応じて適宜設定することができるが、通常、水１Ｌに対して、ケイ酸化合物0.01〜10mol（無水物として）程度、特に0.02〜5mol（無水物として）程度；アルミニウム化合物0.01〜10mol程度、特に0.02〜5mol程度、さらに0.04〜5mol程度；表面調整剤0.01〜10mol、特に0.02〜5mol程度、さらに0.3〜5mol程度；塩基0.1〜10mol程度、特に0.2〜10mol程度とすることが好ましい。
【００１８】
ケイ酸化合物として、例えば３号水ガラスを用いる場合の使用量は、上記したモル濃度の範囲になるように設定すればよく、水１Ｌに対して、1.2〜1000ｇ程度、特に2.4〜500ｇ程度とするのが好ましい。
【００１９】
チオシアン酸化合物を配合する場合の配合量は、通常、水１Ｌに対して、チオシアン酸化合物を0.01〜10mol程度、特に0.02〜5mol程度配合することが好ましい。
【００２０】
本発明の組成物には、上記した成分以外にも、アセチレニックアルコール、界面活性剤などを配合することができる。
【００２１】
本発明の組成物は、水に所定量の成分を溶解させることにより調製することができる。
【００２２】
かくして得られた組成物に、マグネシウム合金を浸漬して電解（陽極酸化処理）を行い、マグネシウム合金の表面に陽極酸化皮膜を得ることができる。
【００２３】
陽極酸化処理の対象となるマグネシウム合金としては、例えば、Li:5〜16重量%, Y,Zn, Al, Ag, Mn, Si,Ca,Zr,ランタノイドの少なくとも１種:6重量%以下, Mg:残部という組成を有するような合金が挙げられる。
【００２４】
本発明において、マグネシウム合金は、通常、プレス加工などの塑性加工、ダイキャスト法、チクソモールド法などにより、所望の形状の成形体に加工した後に陽極酸化処理に供される。
【００２５】
陽極酸化皮膜の膜厚としては、用途に応じた耐食性などが得られるようなものであれば特に限定されるものではないが、通常、０．５〜３０μｍ程度、好ましくは１〜２０μｍ程度である。陽極酸化処理の条件は、所望の膜厚が得られるように、組成物に含まれる各成分の種類、濃度などに応じて適宜設定することができる。
【００２６】
具体的には、浴温は２０〜９０℃程度が好ましく、３０〜８０℃程度とするのがより好ましい。電解時間は、通常、２〜４０分間程度であり、５〜３０分間程度が好ましい。電解の際の供給電源には、直流電源、交流電源、ＰＲ電源、パルス電源等、任意の電源を用いることができる。電流密度は、０．１〜３０A/dm2程度が好ましく、０．５〜２０A/dm2程度がより好ましい。
【００２７】
陽極酸化により得られた皮膜は、通常、開口部をもった空孔を有しており、かかる空孔から腐食が生じ易い。従って、陽極酸化を行った後、通常、該空孔を被覆するための封孔処理が行われる。
【００２８】
封孔処理は、通常、陽極酸化皮膜の封孔処理に用いられているような封孔処理剤を用いて行うことができる。封孔処理剤としては、例えば、側鎖に1級アミノ基を含有する高分子（好ましくは、数平均分子量３００〜５００，０００程度の高分子）が好ましく用いられる。かかる高分子としては、ポリエチレンイミンとメタクリル酸のグラフト重合体が挙げられる。封孔処理剤には、かかる高分子に加えて、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセリンポリグリシジルエーテルなどのエポキシ樹脂、ビニルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシランなどのシランカップリング剤などを配合してもよい。
【００２９】
封孔処理の条件は、封孔処理剤の種類に応じて適宜設定することができるが、例えば、溶剤で希釈した後、その溶液に陽極酸化皮膜を浸漬させて含浸させ、２０〜２５０℃程度にて３０秒〜６０分間程度処理すればよい。
【００３０】
かくして得られた陽極酸化皮膜は、ケイ酸及びアルミナ、又はケイ素とアルミニウムの複合酸化物を主成分として含有するものである。かかる陽極酸化皮膜を有するマグネシウム合金乃至マグネシウム合金の成形体も、本発明に含まれる。
【００３１】
本発明の成形体は、さらに、最終的な製品の製造に用いることができ、例えば、携帯電話、PHS、PDA（Personal Digital Assistance）などの移動情報端末；ノート型パソコン；デジタルビデオ、デジタルカメラなどの映像機器；産業ロボット、エンターテインメントロボットなどのロボット；CDプレイヤー、MDプレイヤー、ポータブルカセットディスク、ポータブルDVDなどの情報記録及び／又は再生装置；ゲーム機器の筐体部分、内部機構部品（例えば、ゲーム機器の内部ピックアップ）などの用途に用いることができる。また、該成形体は、自動車部品、航空宇宙産業用部品（人工衛星の筐体、太陽電池用パドルの支え、宇宙ステーションの構造材）などにも用いることができる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の陽極酸化処理組成物によれば、マグネシウム合金に対して優れた耐食性を付与することができる。また、本発明によれば、有害物質（重金属塩）を含んだ処理液を用いる工程を経ることなく、陽極酸化皮膜が形成される。したがって、形成される陽極酸化皮膜にも有害物質が含まれることはなく、例えばリサイクルの際に環境汚染が問題になることはない。
【００３３】
【実施例】
以下に実施例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００３４】
試験例１（Li系Mg合金の陽極酸化）
下記に示すリチウム系マグネシウム合金（LW91）の試験片を脱脂し、エッチングした後、下記表１に示す組成物を用いて陽極酸化を行った。
試験片：Li：9重量％、Y：1重量％、Mg：90重量％のマグネシウム合金
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
60℃、4A／dm2、20分間陽極酸化
【００３５】
【表１−１】
0004025967.tif 000002
【００３６】
【表１−２】
0004025967.tif 000003
【００３７】
表１及び後述の表中、「水ガラス」は、３号水ガラス（ケイ酸ナトリウム）を示す。また、表１及び後述の表中、「LSS-75」はリチウムシリケートを示す。
【００３８】
得られた試験片の陽極処理酸化膜の膜厚を測定した。また、酸化膜の封孔処理後、長さ30mmのカットを入れたもの、および入れないものについて塩水噴霧試験を行ってその耐食性を評価した。
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
封孔処理：株式会社日本触媒製のポリメントNK−380（ポリエチレンイミンとメタクリル酸の重合体）を2−ブタノンで2倍希釈した後、陽極酸化処理後の試験片を浸漬処理し、60℃で10分間処理することにより焼き付けた。
塩水噴霧試験条件（SST試験）：5％NaCl、35±1℃、24時間
SST試験装置：スガ試験機株式会社製CASS90型使用
結果を表２に示す。
【００３９】
【表２】
0004025967.tif 000004
【００４０】
実施例の陽極酸化皮膜はいずれも全く点錆が発生せず、またカット幅が広がることなく、優れた耐食性を示した。
【００４１】
試験例２（AZ31B合金の陽極酸化）
下記に示すマグネシウム合金（AZ31B）の試験片を脱脂し、エッチングした後、下記表３に示す組成物を用いて陽極酸化を行った。
試験片：AZ31Bのマグネシウム合金（Al:3重量%, Zn:1重量%, Mg:96重量%）
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
スマット除去：10%水酸化ナトリウム、60℃、5分間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
60℃、4A／dm2、20分間陽極酸化
【００４２】
【表３】
0004025967.tif 000005
【００４３】
得られた試験片の陽極処理酸化膜の膜厚を測定した。また、酸化膜の封孔処理後、長さ30mmのカットを入れたもの、および入れないものについて塩水噴霧試験を行ってその耐食性を評価した。
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
封孔処理：株式会社日本触媒製のポリメントNK−380（ポリエチレンイミンとメタクリル酸の重合体）を2−ブタノンで2倍希釈した後、陽極酸化処理後の試験片を浸漬処理し、60℃で10分間処理することにより焼き付けた。
塩水噴霧試験条件（SST試験）：5％NaCl、35±1℃、120時間
SST試験装置：スガ試験機株式会社製CASS90型使用
結果を表４に示す。
【００４４】
【表４】
0004025967.tif 000006
【００４５】
実施例の陽極酸化皮膜はいずれも全く点錆が発生せず、またカット幅が広がることなく、優れた耐食性を示した。
【００４６】
試験例３（Li系Mg合金の陽極酸化）
各成分の濃度変化と得られる陽極酸化皮膜に対する影響を評価するため、リチウムシリケート、硝酸アルミニウム及びエチレングリコールの濃度をそれぞれ表５〜７に示す通り変化させた組成物を用いて、下記に示すリチウム系マグネシウム合金（LW91）の試験片を脱脂・エッチングした後、陽極酸化を行った。
試験片：Li：9重量％、Y：1重量％、Mg：90重量％のマグネシウム合金
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
60℃、4A／dm2、20分間陽極酸化
【００４７】
【表５】
0004025967.tif 000007
【００４８】
【表６】
0004025967.tif 000008
【００４９】
【表７】
0004025967.tif 000009
【００５０】
得られた試験片の陽極処理酸化膜の膜厚を測定した。また、酸化膜の封孔処理後、長さ30mmのカットを入れたもの、および入れないものについて塩水噴霧試験を行ってその耐食性を評価した。
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
封孔処理：株式会社日本触媒製のポリメントNK−380（ポリエチレンイミンとメタクリル酸の重合体）を2−ブタノンで2倍希釈した後、陽極酸化処理後の試験片を浸漬処理し、60℃で10分間処理することにより焼き付けた。
塩水噴霧試験条件（SST試験）：5％NaCl、35±1℃、24時間
SST試験装置：スガ試験機株式会社製CASS90型使用
結果を表８に示す。
【００５１】
【表８】
0004025967.tif 000010
【００５２】
表８中、「EG」はエチレングリコールを意味する。
【００５３】
試験例４（Li系Mg合金の陽極酸化）
陽極酸化処理の際の浴温度の，得られる皮膜に対する影響を評価するため、リチウム系マグネシウム合金（LW91）の試験片を脱脂・エッチングした後、下記表９に示す条件にて陽極酸化を行った。
試験片：Li：9重量％、Y：1重量％、Mg：90重量％のマグネシウム合金
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
40、50、60又は70℃、4A／dm2、20分間陽極酸化
【００５４】
【表９】
0004025967.tif 000011
【００５５】
得られた試験片の陽極処理酸化膜の膜厚を測定した。また、酸化膜の封孔処理後、長さ30mmのカットを入れたもの、および入れないものについて塩水噴霧試験を行ってその耐食性を評価した。
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
封孔処理：株式会社日本触媒製のポリメントNK−380（ポリエチレンイミンとメタクリル酸の重合体）を2−ブタノンで2倍希釈した後、陽極酸化処理後の試験片を浸漬処理し、60℃で10分間処理することにより焼き付けた。
塩水噴霧試験条件（SST試験）：5％NaCl、35±1℃、24時間
SST試験装置：スガ試験機株式会社製CASS90型使用
結果を表１０に示す。
【００５６】
【表１０】
0004025967.tif 000012
【００５７】
試験例５（Li系Mg合金の陽極酸化）
陽極酸化処理の際の電流密度の、得られる皮膜の膜厚に対する影響を評価するため、リチウム系マグネシウム合金（LW91）の試験片を脱脂・エッチングした後、下記表１１に示す組成物を用いて陽極酸化を行った。
試験片：Li：9重量％、Y：1重量％、Mg：90重量％のマグネシウム合金
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
60℃、1, 2, 3 又は4A／dm2、20分間陽極酸化
【００５８】
【表１１】
0004025967.tif 000013
【００５９】
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
結果を図１に示す。
【００６０】
試験例６（Li系Mg合金の陽極酸化）
陽極酸化処理時間の、得られる皮膜の膜厚に対する影響を評価するため、リチウム系マグネシウム合金（LW91）の試験片を脱脂・エッチングした後、下記表１２に示す組成物を用いて陽極酸化を行った。
試験片：Li：9重量％、Y：1重量％、Mg：90重量％のマグネシウム合金
脱  脂：5％NaOH、60℃、3分間超音波脱脂
エッチング：5％リン酸、60℃、20秒間浸漬処理
陽極酸化条件：定電流電解法、電解装置：北斗電工製HA310型使用
60℃、4A／dm2、5, 10又は20分間陽極酸化
【００６１】
【表１２】
0004025967.tif 000014
【００６２】
膜厚測定：株式会社フィッシャーインスツルメンツ製：イソスコープMP30型
結果を図２に示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】試験例５の結果を示す図。
【図２】試験例６の結果を示す図。
【図１】
0004025967.tif 000015
【図２】
0004025967.tif 000016