(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープの搬送をガイドする搬送テープのガイド構造において、
上記搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部と、この載置部より幅方向内側に配置され上記搬送テープの面に対して臨み、かつ上記搬送テープの幅方向の反りを上記搬送テープに当接することにより抑えるテープ反り防止部とを備えると共に、
上記テープ反り防止部は、上記幅方向で上記素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材を備え、
上記第１反り防止部材と上記第２反り防止部材とで上記反りを抑えることにより、搬送時における上記搬送テープの上記載置部からの脱落を防止する構造としたことを特徴とする搬送テープのガイド構造。
【請求項２】
前記第１反り防止部材および前記第２反り防止部材はそれぞれ、前記載置部の近傍に配置されていることを特徴とする請求項１記載の搬送テープのガイド構造。
【請求項３】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープが供給されるテープ入口と、その内部に配置され、上記樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化手段と、上記搬送テープの装置内における搬送をガイドするガイド構造と、上記搬送テープを排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、
上記ガイド構造が、上記搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部と、この載置部より幅方向内側に配置され上記搬送テープの面に対して臨み、かつ上記搬送テープの幅方向の反りを上記搬送テープに当接することにより抑えるテープ反り防止部とを備えると共に、
上記テープ反り防止部は、上記幅方向で上記素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材を備え、
上記第１反り防止部材と上記第２反り防止部材とで上記反りを抑えることにより、搬送時における上記搬送テープの上記載置部からの脱落を防止する構造とされたことを特徴とする樹脂硬化装置。
【請求項４】
前記第１反り防止部材および前記第２反り防止部材はそれぞれ、前記載置部の近傍に配置されていることを特徴とする請求項３記載の樹脂硬化装置。
【請求項５】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを搬送する搬送テープの搬送方法において、
上記搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部から上記搬送テープが脱落しないように、上記搬送テープの幅方向の反りを上記搬送テープに当接することにより抑えると共に、上記載置部の幅方向内側に離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材の間を上記素子が通過するように上記搬送テープを搬送することを特徴とする搬送テープの搬送方法。
【請求項６】
素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを上記樹脂を硬化させる炉体内に供給し、上記搬送テープを上記炉体内で搬送して上記樹脂を硬化させる樹脂硬化方法において、
上記搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部の幅方向内側に、かつ、上記幅方向で上記素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材で上記搬送テープの幅方向の反りを抑えながら上記搬送テープを搬送することを特徴とする樹脂硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂が塗布された素子付きの搬送テープの搬送をガイドするガイド構造および搬送テープ上の樹脂を加熱硬化させる加熱硬化手段を有する樹脂硬化装置に関する。また、本発明は、搬送テープの搬送方法および樹脂硬化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近、半導体装置の実装装置として、フィルム状の搬送テープを走行させて半導体素子を搬送するＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式を採用したものが普及している。このＴＡＢ方式の半導体実装装置の１つとして、搬送テープにインナーリードボンディングされた半導体素子を樹脂で封止するポッティング装置を備える半導体実装装置が知られている。
【０００３】
このような半導体実装装置は、搬送テープ送り出し装置、樹脂のポッティングを行うポッティング装置、ポッティングされた樹脂を硬化させる加熱硬化手段を有する樹脂硬化装置（プリキュア炉）、搬送テープ巻き取り装置等から構成され、リールツーリールで搬送テープの送り出し、樹脂封止、搬送テープの巻き取りを自動的に行うものとなっている。
【０００４】
従来のこの種の半導体実装装置における搬送テープの搬送は、搬送テープの幅方向両側に設けられた写真用のフィルムと同様なパーフォレーションを利用して行われる。しかし、中間に配置される樹脂硬化装置内での搬送テープの水平搬送には、加熱を考慮してパーフォレーションを利用しての搬送はなされない。このため、樹脂硬化装置における搬送テープのガイド構造は、搬送テープの幅方向の側部を単に載置するのみの構造となっている（特開平６−３１０５７０号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、生産効率を高めるために、搬送テープは、従来に比べてより幅広でかつ薄型になってきており、いわゆる「コシ」が強くない。例えば、従来ではその幅は３５ｍｍ、４８ｍｍとなっているが、最近では７０ｍｍのものが使用され始めている。また、従来はその厚さが３７μｍ以上であるが、２５μｍのものが採用され始めている。そのため、搬送テープは、樹脂硬化装置を通過する際等に加熱によってたるみ易く、搬送テープの幅方向に反り易い。搬送テープが幅方向に反ると、搬送中にガイド手段の載置面から脱落する可能性がある。この結果、半導体実装装置内における搬送テープの搬送が正常に行われなくなるという問題が生じる。
【０００６】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、搬送テープがガイドから外れずにその送り動作を確実に行えるようにした搬送テープのガイド構造、樹脂硬化装置、搬送テープの搬送方法および樹脂硬化方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明の搬送テープのガイド構造は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープの搬送をガイドする搬送テープのガイド構造において、搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部と、この載置部より幅方向内側に配置され搬送テープの面に対して臨み、かつ搬送テープの幅方向の反りを搬送テープに当接することにより抑えるテープ反り防止部とを備えると共に、テープ反り防止部は、幅方向で素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材を備え、第１反り防止部材と第２反り防止部材とで反りを抑えることにより、搬送時における搬送テープの載置部からの脱落を防止する構造としている。
【０００８】
この発明では、搬送テープが加熱等により反って搬送方向と直交する方向に変形した場合に、この反りを抑える構造を有している。そのため、搬送テープが、反ってしまって載置部から脱落するという不具合が生じず、搬送テープの脱落によってテープの搬送が停止してしまうという問題が生じないものとなる。
【０００９】
加えて、他の発明では、上述の発明の搬送テープのガイド構造に加え、第１反り防止部材および第２反り防止部材はそれぞれ、載置部の近傍に配置されている。
【００１０】
また、本発明の樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープが供給されるテープ入口と、その内部に配置され、樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化手段と、搬送テープの装置内における搬送をガイドするガイド構造と、搬送テープを排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、ガイド構造が、搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部と、この載置部より幅方向内側に配置され搬送テープの面に対して臨み、かつ搬送テープの幅方向の反りを搬送テープに当接することにより抑えるテープ反り防止部とを備えると共に、テープ反り防止部は、幅方向で素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材を備え、第１反り防止部材と第２反り防止部材とで反りを抑えることにより、搬送時における搬送テープの載置部からの脱落を防止する構造とされている。
【００１１】
この発明では、搬送テープ上の樹脂を加熱し硬化する際に、搬送テープが加熱により変形して幅方向に反った場合、この反りを抑える構造を有している。そのため、搬送テープが、反ってしまって搬送テープの側面部分がガイド手段の載置部から脱落するという不具合が生じない。その結果、搬送テープの脱落によって、テープの搬送が停止してしまうという問題が生じないものとなる。
【００１２】
加えて、他の発明では、上述の発明の樹脂硬化装置に加え、第１反り防止部材および第２反り防止部材はそれぞれ、載置部の近傍に配置されている。
【００１３】
また、本発明の搬送テープの搬送方法は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを搬送する搬送テープの搬送方法において、搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部から搬送テープが脱落しないように、搬送テープの幅方向の反りを搬送テープに当接することにより抑えると共に、載置部の幅方向内側に離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材の間を素子が通過するように搬送テープを搬送するものである。
【００１４】
また、本発明の樹脂硬化方法は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを樹脂を硬化させる炉体内に供給し、搬送テープを炉体内で搬送して樹脂を硬化させる樹脂硬化方法において、搬送テープの幅方向の側部が載置される載置部の幅方向内側に、かつ、幅方向で素子を間にして離間して配置される第１反り防止部材および第２反り防止部材で搬送テープの幅方向の反りを抑えながら搬送テープを搬送するものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明による実施の形態の搬送テープのガイド構造および樹脂硬化装置を図面に基づいて説明する。図１から図５は、本実施の形態の搬送テープのガイド構造を有する樹脂硬化装置の筐体と炉体の構成図である。なお、図１および図２は、本実施の形態の構成の概要図で、説明を分かり易くするため主要構成のみを示している模式図である。図３から図５は、本実施の形態の樹脂硬化装置の具体的な構成を示す図である。図６は、図１から図５に示す樹脂硬化装置の炉体内に配置される搬送テープのガイド構造の正面図である。また、図７および図８は、図１から図５に示す樹脂硬化装置の炉体内に配置される搬送テープのガイド構造の断面を示す図で、異なる段における断面図である。
【００１７】
この実施の形態の樹脂硬化装置は、筐体１と、筐体１上に設けられている炉体２とで主に構成される。そして、ボンディングされた素子３を樹脂４により封止して固定するための搬送テープ５が、この炉体２中を搬送される。炉体２内には、搬送テープ５を反転させるキュアガイド６，７が設けられている。
【００１８】
さらに、炉体２内には、最下段の水平搬送路８内の搬送テープ５と、キュアガイド６で反転された中段の水平搬送路９内の搬送テープ５との間に加熱硬化手段の一部となる水平搬送路用発熱体１１，１２が設けられ、さらに、キュアガイド７で反転された最上段の水平搬送路１０内の搬送テープ５の上方に加熱硬化手段の一部となる水平搬送路用発熱体１３が設けられている。なお、キュアガイド６，７によって搬送テープ５が折り返される搬送状態変更点の真下には、搬送状態変更部用発熱体１４，１５が設けられている。
【００１９】
炉体２内には、さらに搬送テープ５と水平搬送路用発熱体１１との間に配設され、加熱硬化手段の一部となる熱板２１と、搬送テープ５と水平搬送路用発熱体１２との間に配設され、加熱硬化手段の一部となる熱板２２と、搬送テープ５と水平搬送路用発熱体１３との間に配設され、加熱硬化手段の一部となる熱板２３とが設けられている。
【００２０】
さらに、炉体２内には、搬送テープ５を挟んで熱板２１と対向する位置に配設され加熱硬化手段の一部となる反射板３１と、搬送テープ５を挟んで熱板２２と対向する位置に配設される同様な機能を有する反射板３２と、搬送テープ５を挟んで熱板２３と対向する位置に配設されて同様な機能を有する反射板３３とが設けられている。これらの反射板３１，３２，３３には、それぞれ後述するガイド構造を構成する基材９５，１００および裏面抑え部９４，９９となるＬ字状部材を取り付け固定するための孔（図示省略）が所定ピッチ毎に設けられている。なお、所定ピッチとしては、図６中の矢示Ｈ１が該当し、その矢示Ｈ１は各孔のそれぞれ中心位置を表している。この実施の形態では、ピッチを５０ｍｍとしている。
【００２１】
炉体２の壁部には、テープ入口４１と、テープ出口４２と、最下段の水平搬送路８に窒素ガスを導入するためのガス管４３が貫通する貫通孔（図示省略）と、中段と最上段の水平搬送路９，１０にそれぞれ窒素ガスを導入するためガス管４４，４５が貫通する２本の貫通孔（図示省略）と、窒素ガス等を排出する排出口４６と、溶剤用の排気孔４７とが設けられている。
【００２２】
この樹脂硬化装置には、さらに、図３に示すように、その筐体１の下方部であって前面側に、ブレーカの収納部分を開閉するブレーカ用開閉扉５１と、温度設定や窒素ガスの流量制御を行う操作部を配した操作パネル５２と、炉体２内の各部の温度を温度センサによって記録する記録計が配置される温度記録計部５３と、各種の雑用物が収納される収納部５４と、窒素ガスの導入量を量る流量計が設置されている流量計部５５が設けられている。
【００２３】
炉体２の前面側には、図４に示すように、断熱と気密のための表断熱扉５６が観音開き可能に２対設けられている。また、炉体２の背面には、背面側から炉体２内の各部を調整できるように取っ手５７を有する複数の扉が設けられている。なお、炉体２の側方であってテープ入口４１の上部には各種のセンサ用の配管口２ａが設置されている。
【００２４】
炉体２内には、図２に示すように、水平搬送路８と水平搬送路９とを仕切る断熱剤としてのグラスウール５８が入れられた直方体状の第１断熱仕切り部５９と、水平搬送路９と水平搬送路１０とを仕切るグラスウール５８が入れられた直方体状の第２断熱仕切り部６０と、炉体２内の高温度が筐体１の下部の制御部分に対して影響を与えないようにするため水平搬送路８の下方に配置されたグラスウール５８が入れられた直方体状の第３断熱仕切り部６１とがさらに設けられている。
【００２５】
素子３は、集積回路（ＩＣ）や中央演算処理装置（ＣＰＵ）等の半導体素子であり、縦横が０．５＊０．５ｍｍ〜５０＊５０ｍｍ程度の大きさのものとなっている。また、厚さは、０．１〜２．０ｍｍ程度となっている。樹脂４は、搬送テープ５が炉体２内に導入される前に樹脂封止手段によって素子３を封止する際に使用される。樹脂４は、熱をかけた場合に気泡が出にくい樹脂を採用しており、脱泡後、樹脂封止手段に取り付けられる樹脂シリンジ（３０ｃｃまたは５０ｃｃ）へ詰められる。なお、上記各数値間に示した「＊」の記号は、「かける」を意味する。
【００２６】
搬送テープ５は、ポリイミド材とされ、テープ幅が複数のものが採用され得るが、ここでは７０ｍｍのものが使用される。搬送テープ５の両側部には、パーフォレーションが形成されており、テープ搬送手段に設けられているスプロケットが入り込んでこの搬送テープ５を搬送するようになっている。なお、本実施の形態では、幅広で薄型のいわゆる「コシ」の弱い搬送テープ５を使用、すなわちテープ幅７０ｍｍ、薄さ２５μｍ程度の搬送テープ５を使用するので、搬送途中で脱落する可能性が高い。このため、従来にない新規なガイド構造を採用している。このガイド手段の構造に関しては、後で詳述する。
【００２７】
キュアガイド６は、第１の搬送状態変更区域６２に配置された搬送状態変更手段であり、この実施の形態では搬送テープ５を１８０度折り返すものとなっている。キュアガイド６を包み込むように間接加熱手段となる熱板６３が半円状に設けられている。
【００２８】
キュアガイド７は、第２の搬送状態変更区域６４に配置された搬送状態変更手段となっており、キュアガイド６とは反対方向に搬送テープ５を１８０度折り返すものとなっている。キュアガイド７にも間接加熱手段となる半円状の熱板６５が設けられている。この熱板６５は、キュアガイド７の移動を許容する許容空間６６が生ずるように、熱板６５の側方部分がキュアガイド７から離れるように設置されている。
【００２９】
キュアガイド６，７は同じ大きさとはされず、キュアガイド６がキュアガイド７より大径とされている。これは、下段側に位置する搬送テープ５の場合、樹脂４が搬送テープ５に対して十分には固着していない可能性があり、下段側のキュアガイド６の径を大きくすることで、ゆるやかな折れ曲がりとし、樹脂４の搬送テープ５からの剥離を防いでいるのである。
【００３０】
キュアガイド７には、搬送テープ５に巻取方向と逆のテンションが掛かるように、重りによるカウンタ・テンション機構（図示省略）が連結されている。この機構は、キュアガイド７が水平方向に移動する機能との組み合わせで、搬送テープ５のテンション変動時（間欠送りの初期および搬送テープ５が軽く引っかかった時）に、所定テンションでキュアガイド７を移動させる。
【００３１】
このことにより、一過性の変動に対してテンションへの負荷が急激に上がることがなく搬送テープ５の搬送を継続することができる。なお、キュアガイド７が移動し過ぎることを防止するリミッタ（図示省略）が設置されており、リミッタを越えると搬送テープ５の搬送は停止させられる。
【００３２】
また、キュアガイド７は、上述したように、加わる力によってその中心位置が水平方向にずれるように構成されている。これらの工夫によって、水平搬送路８，９，１０内の搬送テープ５は適切な張力でたるみなく搬送させられる。
【００３３】
各水平搬送路８，９，１０は、第１、第２、第３の各断熱仕切り部５９，６０，６１で仕切られた空間である。また、水平搬送路８と水平搬送路９の両者と連通し、両者のつなぎとなる部分が第１の搬送状態変更区域６２となる。また、水平搬送路９と水平搬送路１０の両者と連通し、両者のつなぎとなる部分が第２の搬送状態変更区域６４となる。
【００３４】
水平搬送用発熱体１２は、水平搬送路８に配置される遠赤外線ヒータと同じ形状の５つの遠赤外線ヒータから構成されている。ただし、その最大容量は４００Ｗとされている。また、搬送テープ５の搬送順に２つずつが一対となって温度制御されている。このため、キュアガイド７に最も近い１つの遠赤外線ヒータのみは、当該１個に対し、１つの温度センサによって制御される構成となっている。
【００３５】
水平搬送路用発熱体１３は、水平搬送路８に配置される遠赤外線ヒータと同じ形状、同じ容量の５つの遠赤外線ヒータから構成されている。その温度制御は、キュアガイド７に最も近い１つの遠赤外線ヒータを１個の温度センサで制御し、他の４つを連続して並ぶ２つを１対として各１対に対して１個の温度センサで制御している。
【００３６】
最下段に配置される水平搬送路用発熱体１１および最上段に配置される水平搬送路用発熱体１３を構成する遠赤外線ヒータの容量を７００Ｗと高くしているのは、テープ入口４１やテープ出口４２からの放熱量が大きいため強力加熱が必要となるためである。したがって、テープ入口４１やテープ出口４２付近では、テープ搬送方向に短い発熱体を１つまたは複数設置することにより炉体２内の均熱区域を長くすることができる。中段の遠赤外線ヒータの容量を４００Ｗとして小さくしているのは、中段は微妙な制御を必要とするためであることと、最下段から上昇してくる熱を利用できるため、強力な加熱を必要としないためである。
【００３７】
なお、炉体２のテープ入口４１付近は、炉体２の中央部と比較して熱がより多く放散されかつ冷却されるので、設定温度を炉体２の中央部より高くすることにより水平搬送路８のフラットな温度範囲を広くでき、水平搬送路８での樹脂硬化時間をより長くすることができる。
【００３８】
しかし、搬送テープ５が炉体２内に初めて導入される水平搬送路８は、樹脂に「ふくれ」が生じない昇温速度で加熱できかつキュアガイド６で搬送テープ５が曲げられるまでに樹脂と搬送テープ５の接着強度が大きくなるような温度プロファイルとなる。この実施の形態では、水平搬送路８の遠赤外線ヒータの温度設定は、３つの温度センサによる３ヶ所において同一温度に設定され、昇温速度の調整は、搬送テープ５の送り速度で調整している。１１ヶ所に配設された温度センサによる遠赤外線ヒータの加熱能力は、ＯＮ−ＯＦＦのデュティ比がそれぞれ５０％前後になるように設計されている。
【００３９】
搬送状態変更部用発熱体１４，１５は共に、上述した遠赤外線ヒータの半分の形状となる小型遠赤外線ヒータから構成されている。また、その出力容量はそれぞれ３５０Ｗとされている。また、温度センサはそれぞれ１個ずつ配置される。
【００４０】
熱板２１，２２，２３は、それぞれ平板状の縦長に形成された銅板とされ、均熱作用をなすもので、各水平搬送路用発熱体１１，１２，１３の熱を受けてその熱を均一化して搬送テープ５側に伝えるものとなっている。各熱板２１，２２，２３は、その幅（図２参照）が各水平搬送路用発熱体１１，１２，１３の幅より広くされ、熱源となる各発熱体１１，１２，１３の熱の有効活用を図っている。なお、熱板２３は、反射板３３と共に、図３に示すように、遠赤外線ヒータ７１が配置されている部分よりさらにテープ出口４２側まで伸びている。これによって搬送テープ５をしっかり温めるものとなっている。
【００４１】
搬送テープ５と各熱板２１，２２，２３との距離を、各熱板２１，２２，２３と各水平搬送路用発熱体１１，１２，１３との距離に比べ小さくしている（図２参照）。また、図２に示すように、各熱板２１，２２，２３の幅を搬送テープの幅より広くしている。これらは、各熱板２１，２２，２３による熱の均一化作用を高めると共に均一化されている熱をその均一状態のままで搬送テープ５に伝達させるためである。これによって水平搬送路用発熱体１１，１２，１３の熱を効率的かつ均一化して搬送テープ５に伝えることが可能となる。
【００４２】
各熱板２１，２２，２３の搬送テープ５側には、温度センサとしての熱電対が固定部材によって取り付けられている。この熱電対は、取り付けられる各熱板２１，２２，２３の温度を測定するもので、各発熱体１１，１２，１３，１４，１５の温度制御のために利用される。
【００４３】
水平搬送路８には、３対で計６個の遠赤外線ヒータが配置されており、少なくとも各対の温度制御のために３つの熱電対が設置されている。同様に水平搬送路９，１０にも各３つの熱電対が配置され、全水平搬送路８，９，１０中に計９個の熱電対が設置される。さらに、各搬送状態変更区域６２，６４に配置される搬送状態変更部用発熱体１４，１５の温度制御用に、各１個の熱電対が設置される。
【００４４】
このようにして、少なくとも全１１個の熱電対が配置され、炉体２内は１１のブロックに区分され各ブロックが独立して温度制御される構成となっている。なお、この実施の形態では、１１ブロックに区分されてはいるが、その１１ブロック中、２つの遠赤外線ヒータで１ブロックを構成しているブロックが計７個ある。この７個のブロックについては、それぞれ１個の遠赤外線ヒータに対し１個の熱電対を配置する構成としており、結局、炉体２内に、計１８個の熱電対を配置したものとしている。
【００４５】
反射板３１，３２，３３は、鏡面加工されたステンレス鋼材から形成されており、各発熱体１１，１２，１３の幅（この実施の形態では、１００ｍｍ）と略同一の幅を有する長方形の平板となっている。テープ入口４１は、炉体２の前面側から見て左側面部下方に配置され、樹脂封止手段から搬送されてくる搬送テープ５を炉体２内へ導入する部分となっている。テープ出口４２は、炉体２の前面側から見て右側面部上方に配置され、炉体２内を通ってきた搬送テープ５をテープ収納手段側へ排出するものとなっている。
【００４６】
水平搬送路８に配される窒素ガス用のガス管４３は、テープ入口４１付近の下方から炉体２内へ導入され、反射板３１の下方空間中をキュアガイド６の近傍まで横方向に延びている。ガス管４３は、炉体２内への導入部では１本であるが、導入後２つに分岐し、水平搬送路８内では、図２に示すように２本となっている。そして、ガス管４３の上方に噴出穴が複数設けられ、それぞれの噴出穴から窒素ガスが上方に噴出するようになっている。
【００４７】
水平搬送路９に配される窒素ガス用のガス管４４は、キュアガイド６の近傍の下方から炉体２内へ導入される。そして、キュアガイド６が配置されている空間を垂直に上昇し、第２断熱仕切り部６０の所で横方向へ直角に曲げられ、反射板３２と第２断熱仕切り部６０との間の空間中をキュアガイド７の近傍まで横方向に延びている。このガス管４４は１本となっており、図２に示すようにガス管４４の下方に噴出穴が複数設けられ、それぞれの噴出穴から窒素ガスが下方に噴出される。
【００４８】
水平搬送路１０に設置される窒素ガス用のガス管４５は、ガス管４４と同様にキュアガイド６の近傍の下方から炉体２内へ導入され、垂直に上昇している。そして、第２断熱仕切り部６０を貫通し、この第２断熱仕切り部６０上に配され、キュアガイド７の近傍まで延びている（図２参照）。このガス管４５も１本で、図２に示すように、ガス管４５の上方に噴出穴が複数設けられ、それぞれの噴出穴から窒素ガスが上方に噴出される構成となっている。
【００４９】
なお、各ガス管４３，４４，４５に設けられた噴出穴の位置は、搬送テープ５に直接窒素ガスが当たらない構造であれば、上、下、左、右のいずれでも良い。さらに、窒素ガスの流れに乱流が生じにくいように微細な孔径を多数連続的に有する連続多孔体を噴出穴を覆うように配設しても良い。
【００５０】
排出口４６は、テープ入口４１側の上方であって、窒素ガスを導入するガス管４３の炉体２内への導入位置の略真上に配置されている。排出口４６には、図３に示すように、排気量を調整するためのバタフライダンパ８４と炉体２内の窒素ガス等を強制的に排気する強制排気ファン８５とが取り付けられている。また、排出口４６に風量計が取り付けられ、その風量計の値によってバタフライダンパ８４の角度や強制排気ファン８５の毎分の回転数を調整できるようになっている。
【００５１】
排気孔４７は、下段となる水平搬送路８の前半分の区域であって、炉体２の背面側に設けられている。この排気孔４７は、樹脂封止手段によってポッティングされる樹脂４内の硬化剤等の溶剤が炉体２内で加熱されることで炉体２中へ飛び出してくるが、その溶剤を炉体２外へ排出するものである。この炉体２内へ飛び出してくる溶剤をそのままにすると、搬送テープ５の表面に張りつくこととなり搬送の妨げになる等の問題が発生する。
【００５２】
この実施の形態では、排気孔４７を、テープ入口４１に最も近い遠赤外線ヒータが配置される部分の奥側に配置している。このように、加熱開始部分に排気孔４７を配置させることで、溶剤の悪影響を排除している。なお、この排気孔４７は、水平搬送路８の中央よりテープ入口４１側に配設されれば、かなりの排除効果を有するものとなる。
【００５３】
次に、炉体２内を送られていく搬送テープ５をガイドするガイド手段の構造を図６，図７および図８に基づいて説明する。
【００５４】
水平搬送路８，１０中のガイド手段の構造は、図６および図７に示すように、炉体２内の固定部（図示省略）によって支持されている１対のレール状のガイド部材９１，９２と、搬送テープ５の図６および図７中における上方向への反りを抑えるためガイド部材９１，９２に沿って複数設置されるテープ反り防止部９３と、搬送テープ５のテープ反り防止部９３側とは反対となる側の面を抑えるため反射板３１，３３に沿って複数設置される裏面抑え部９４とを備えている。なお、テープ反り防止部９３と裏面抑え部９４とは、ガイド部材９１，９２に沿って交互に配置されている。
【００５５】
ガイド部材９１，９２は、同一形状であり、その断面は中心線（図示省略）に関して線対称となるように配置されている。なお、ガイド部材９１は、角柱状のガイド下構成部９１ａと平板状のガイド上構成部９１ｂとから構成され、同様にガイド部材９２は、角柱状のガイド下構成部９２ａと平板状のガイド上構成部９２ｂとから構成されている。なお、ガイド下構成部９１ａ，９２ａの上面部は、２段となっており、その下段部分であるテープ載置面９１ｃ，９２ｃにより、搬送テープ５の側部が置かれる載置部が構成される。
【００５６】
なお、水平搬送路８，１０では、上述したように、熱源となる水平搬送路用発熱体１１，１３および熱板２１，２３が、搬送テープ５の上方に配置されている。この搬送テープ５は、熱源によって加熱されると、当該熱源が配置されている側に反る（凸となる）傾向にある。したがって、水平搬送路８，１０では、搬送テープ５の面が熱によって、搬送テープ５の幅方向に反り易い。
【００５７】
この加熱による上方への反りを抑えないと、搬送テープ５の上方向へのたわみにより幅方向の長さが短くなり、搬送テープ５の側方部分が、ガイド部材９１，９２から脱落してしまう可能性がある。一方、反りを抑えるためにあまりに強く搬送テープ５の面に当接するようにガイド構造を構成すると、搬送テープ５にテンションがかかり過ぎ走行に支障を来す可能性がある。
【００５８】
そこで、本実施の形態のテープ反り防止部９３は、上述した不具合を起こさないようにすべく、搬送テープ５を熱源が配置されている上方側から抑えることにより搬送テープ５の幅方向のたるみを防止し、搬送テープ５の側方がガイド部材９１，９２から脱落することを防止する。また、その際、本実施の形態のテープ反り防止部９３は、搬送テープ５の走行に支障が出ないような強さで、搬送テープ５に対し当接する。
【００５９】
各テープ反り防止部９３の構成を具体的に説明する。各々のテープ反り防止部９３は、搬送テープ５が上方に反った際に、この反った搬送テープ５に当接可能となる位置であって搬送テープ５の上流側に配置された１対のローラー部材９３ａ１，９３ａ１と、さらに搬送テープ５の下流側に配置された１対のローラー部材９３ａ２，９３ａ２の計４個のローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２を備えている。これらの４つのローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２は、２本の軸９３ｂ，９３ｂにそれぞれ２個ずつ回転自在に支持されている。これらの軸９３ｂは、後述するように、高さ方向において位置調節可能となっている。なお、この実施の形態では、１対のローラー部材９３ａ１，９３ａ１の一方は第１反り防止部材に相当し、他方は第２反り防止部材に相当する。また、１対のローラー部材９３ａ２，９３ａ２の一方は第１反り防止部材に相当し、他方は第２反り防止部材に相当する。
【００６０】
このような構成のため、テープ反り防止部９３は、両ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２が搬送テープ５を搬送させる方向に回転しながら当該搬送テープ５に当接する。そのため、本実施の形態のテープ反り防止部９３は、搬送テープ５の上方への反りを２対のローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２を搬送方向の複数箇所で搬送テープ５に当接させることによって防止すると共に、当接時に搬送テープ５の走行方向に各ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２が回転することにより搬送テープ５にテンションがかかりにくいものとなっている。
【００６１】
なお、テープ反り防止部９３の高さが低すぎたり高すぎたりすると、搬送テープ５にテンションをかけ過ぎたりあるいは反りの防止が不十分となる。各ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２の下端部分と、搬送テープ５を載置する各ガイド部材９１，９２のテープ載置面９１ｃ，９２ｃの上面とは、高さ方向において１ｍｍ以内程度のギャップを持たせることが好ましい。これにより、反りの防止とスムーズな走行を両立させることができる。
【００６２】
軸９３ｂ，９３ｂは、その一端であって筐体１の正面側（手前側）の端部を、軸９３ｂ，９３ｂおよびこれらの軸９３ｂ，９３ｂに支承された両ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２を高さ方向において調節する高さ調節部の高さ調整部材９３ｄに取り付けられている。この取り付けは、円柱状の軸９３ｂ，９３ｂを高さ調整部材９３ｄに設けられた各丸孔にそれぞれ差し込み、上方及び側方に設けられたネジ孔９３ｅ，９３ｅにネジ（図６および図７では図示省略）を差し込むことで行われる。
【００６３】
高さ調節部は、反射板３１，３３に固定されたＬ字状の基材９５と、この基材９５に高さ調節可能に取り付けられる板状の高さ調整部材９３ｄと、この高さ調整部材９３ｄの下端に上端が当接するように基材９５に取り付けられることにより高さ調整部材９３ｄの高さ方向の最下位置を位置決めする板状の位置決め部材９３ｆとを備えている。
【００６４】
Ｌ字状の基材９５は、平面部９５ａと、この平面部９５ａの一端側から立ち上がる垂直面部９５ｂから構成される。平面部９５ａの幅方向一端（図７における右端）近傍には、ネジ孔（図示省略）が形成され、後述するネジ９５ｃがネジ係合している。そして、基材９５は、平面部９５ａの垂直面部９５ｂから離れた端部を反射板３１，３３の下面に当接させ、かつ垂直面部９５ｂ側を反射板３１，３３の幅方向における一側の端面（図７における左端）から幅方向に突出するように、ネジ９５ｃにより反射板３１，３３に固定されている。
【００６５】
高さ調整部材９３ｄおよび位置決め部材９３ｆは、基材９５の垂直面部９５ｂにネジ止め固定される。高さ調整部材９３ｄには、一対の長孔９３ｇ，９３ｇが設けられている。一方、基材９５には、ネジ孔（図示省略）が設けられている。基材９５に高さ調整部材９３ｄを重ね、ネジ９３ｈ，９３ｈを長孔９３ｇ，９３ｇ内に挿入し、長孔９３ｇ，９３ｇを基材９５のネジ孔に対して高さ調節をし、所定の位置合わせ後にネジ止め固定をすると、高さ調整部材９３ｄが、所定の高さで基材９５に取り付けられる。
【００６６】
また、位置決め部材９３ｆは、各種の高さ調整部材９３ｄをそれぞれ水平に取り付けるために使用されるものであり、その上面９３ｃが水平となるように高さ調整部材９３ｄを取り付ける以前に取り付けられる。すなわち、この位置決め部材９３ｆは、高さ調整部材９３ｄの下方において、高さ調整部材９３ｄと同様、一対の長孔９３ｋ，９３ｋを利用して高さ方向に調節可能に基材９５に取り付けられている。そして、上面９３ｃが水平となるように基材９５に対して位置決め部材９５ｆが取り付けられ、以後、高さ調整部材９３ｄが取り付けられる際の位置基準となる。なお、高さ調整部材９３ｄは、搬送テープ５の幅や厚さによって異なるものが用意されており、搬送テープ５の種類にあわせて適切な高さ調節部材９３ｄを取り付けられることとなる。上述の構成により、高さ調整部材９３ｄに取り付けられた４つのローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２は、所定の高さに調節可能となる。
【００６７】
なお、上述したように、高さ調整部材９３ｄの下端部が位置決め部材９３ｆの上端部に当接しそれ以上は下げられないという基準位置が、高さ調整部材９３ｄの最下位置となる。この最下位置を高さ調整部材９３ｄの所定の高さとしても良い。すなわち、位置決め部材９３ｆによって、高さ調整部材９３ｄの高さ方向の位置決めを行うようにしても良い。また、例えば、ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２の最下位置の高さがガイド部材９１，９２のテープ載置面９１ｃ，９２ｃとほぼ同じとなる高さとなるように設定し、その位置から高さ調整部材９３ｄの高さを長孔９３ｇ，９３ｇを利用して徐々に上方へずらしながら調整するようにしても良い。このようにすれば、高さ調整部材９３ｄを下げすぎて、搬送テープ５にテンションをかけすぎてしまうという不具合を解消できる。
【００６８】
上述したように、４つのローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２は、高さ調節部によって搬送テープ５の上面に対して高さ調節可能に臨んでいる。なお、各ローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２は、軸９３ｂ，９３ｂの軸方向においては位置ズレを起こさないように、同じ位置で回転するように設けられている。
【００６９】
一対のローラー部材９３ａ１，９３ａ１および一対のローラー部材９３ａ２，９３ａ２の間隔は、任意なものであるが、それぞれがガイド部材９１，９２の各テープ載置面９１ｃ，９２ｃの近傍となるように配置されるのが好ましい。そして、搬送テープ５上の素子３およびこの素子３を封止する樹脂４は、軸９３ｂ，９３ｂの軸方向において、２つのローラー部材９３ａ１，９３ａ１および２つのローラー部材９３ａ２，９３ａ２の間を通過することとなる。
【００７０】
一方、断面Ｌ字状の裏面抑え部９４は、テープ反り防止部９３によって上面側が抑えつけられた搬送テープ５の下面側に当接し、下面側から搬送テープ５を支持すると共にたわみを抑えるものとなっている。すなわち、裏面抑え部９４は、反射板３１，３３の上面に載置された状態で当該反射板３１，３３にネジ止め固定される底面部９４ａと、この底面部９４ａの一端側から立ち上がっている垂直面部９４ｂから構成されている。そして、垂直面部９４ｂの上端部分が、搬送テープ５の下面側に当接するように構成されている。
【００７１】
なお、図７では、裏面抑え部９４を、奥側のガイド部材９２に沿うように取り付けている。しかし、裏面抑え部９４を、手前側（図７の左方向）にスライドさせて垂直面部９４ｂが手前側（図７の左側）のガイド部材９１に当接した位置で固定しても良い。この場合、ネジ９５ｃの固定位置は、図７に示す位置に対してわずかに手前側（図７では左側）となる位置とされる。本実施の形態では、図６に示すように、裏面抑え部９４の幅方向における取り付け方向は全部同じ向きで取り付けられ、しかも図６ではその違いが現れていないが、各裏面抑え部９４は、ガイド部材９１とガイド部材９２とに交互に接するように取り付けられている。
【００７２】
なお、この裏面抑え部９４は、図７に示す状態とは面対称となるように取り付けるものも混在させるようにしても良い。すなわち、垂直面部９４ｂが図７における左側となるように取り付けられる裏面抑え部９４と、垂直面部９４ｂが図７における右側となるように取り付けられる裏面抑え部９４とが混在するように構成されても良い。
【００７３】
また、本実施の形態では、図６に示すように、各裏面抑え部９４は、それぞれ搬送テープ５の搬送方向に関して見れば、各テープ反り防止部９３間に配置されている。すなわち、本実施の形態では、各テープ反り防止部９３と各裏面抑え部９４とが交互に配置されている。しかし、各テープ反り防止部９３および各裏面抑え部９４の搬送方向における配置位置も、特に交互である必要はなく、任意なものでよい。なお、本実施の形態の場合、上述したように、反射板３１，３３には、所定間隔（５０ｍｍ）毎に取り付け用の孔が設けられている。各テープ反り防止部９３および各裏面抑え部９４は、取り付け用の孔を利用して反射板３１，３３に取り付けられることとなる。
【００７４】
また、中段に位置する水平搬送路９中のガイド構造は、図８に示すように、図７に示すガイド構造を上下逆にしたものとなっている。すなわち、先のガイド部材９１，９２を逆にした１対のレール状のガイド部材９６，９７と、搬送テープ５の図８中における下方向への反りを抑えるためのテープ反り防止部９８と、搬送テープ５のテープ反り防止部９８と当接する面とは反対側の面を抑えるための裏面抑え部９９と、を備えている。
【００７５】
テープ反り防止部９８と裏面抑え部９４は、図６を上下逆にしたような状態で水平搬送路９中に配置される。その配置は、先のテープ反り防止部９３と裏面抑え部９４と同様に、ガイド部材９６，９７に沿って交互に配置される。
【００７６】
炉体２内の固定部によって支持されているガイド部材９６，９７は、ガイド部材９１，９２と同一形状であり、その中心線（図示省略）に関して面対称となるように配置されている。ガイド部材９６は、角柱状のガイド上構成部９６ａと平板状のガイド下構成部９６ｂとから構成され、同様にガイド部材９７は、ガイド上構成部９７ａとガイド下構成部９７ｂとから構成されている。なお、ガイド下構成部９６ｂ，９７ｂの上面の一部であるテープ載置面９６ｃ，９７ｃにより、搬送テープ５の側部が置かれる載置部が構成される。
【００７７】
なお、水平搬送路９では、上述したように、熱源となる水平搬送路用発熱体１２および熱板２２が、搬送テープ５の下方に配置されている。搬送テープ５は、熱源によって加熱されると、当該熱源が配置されている側に反る傾向にある。したがって、水平搬送路９では、搬送テープ５が熱によって、搬送方向と直交する側となる下方側へ反り易い。
【００７８】
この加熱による下方への反りを抑えないと、搬送テープ５の幅方向が上方向へのたわみによって縮まり、搬送テープ５の側方部分が、ガイド部材９６，９７から脱落してしまう可能性がある。一方、反りを抑えるためにあまりに強く搬送テープ５に当接するように構成すると、搬送テープ５にテンションがかかり過ぎ走行に支障を来す可能性がある。
【００７９】
そこで、本実施の形態のテープ反り防止部９８は、上述した不具合を起こさないようにすべく、搬送テープ５を下方側から抑えることにより搬送テープ５の幅方向のたるみを防止し、搬送テープ５の側方がガイド部材９６，９７から脱落することを防止する。また、その際、本実施の形態のテープ反り防止部９８は、搬送テープ５の走行に支障が出ないような強さで、搬送テープ５に対し当接する。
【００８０】
各テープ反り防止部９８の構成を具体的に説明する。テープ反り防止部９８は、搬送テープ５が下方に反った際に、この反った搬送テープ５に当接可能となる位置に配置された４つのローラー部材９８ａ，９８ａ（他の２個は図８では奥側に重なって位置するため明示せず）を備えている。これらの４つのローラー部材９８ａは、２本の軸９８ｂに２つずつ対となってそれぞれ回転自在に支持されている。この軸９８ｂは、先の軸９３ｂと同様に円柱状とされ、先に示したものと上下位置が逆となるが、基本的には同じ構成によって高さ方向において位置調節可能となっている。なお、この実施の形態では、１対のローラー部材９８ａ，９８ａの一方は第１反り防止部材に相当し、他方は第２反り防止部材に相当する。
【００８１】
このような構成のため、テープ反り防止部９８は、ローラー部材９８ａが搬送テープ５の走行する方向に回転しながら当該搬送テープ５に当接する。そのため、本実施の形態のテープ反り防止部９８は、搬送テープ５の下方への反りを２対で計４個のローラー部材９８ａの当接が所定間隔毎に行われることによって防止すると共に、当接時に搬送テープ５の走行方向に各ローラー部材９８ａが回転することにより搬送テープ５にテンションがかかりにくいものとなっている。
【００８２】
なお、テープ反り防止部９８の高さが低すぎたり高すぎたりすると、搬送テープ５にテンションをかけ過ぎたりあるいは反りの防止が不十分となる。各ローラー部材９８ａの上端部分と、搬送テープ５を載置する各ガイド部材９６，９７のテープ載置面９６ｃ，９７ｃの上面とは、図７のガイド構造と同様に、高さ方向において１ｍｍ以内程度のギャップを持たせることが好ましい。これにより、反りの防止とスムーズな走行を両立させることができる。
【００８３】
軸９８ｂは、その一端を、軸９８ｂおよびこの軸９８ｂに支承された４つのローラー部材９８ａを高さ方向において調節する高さ調節部の高さ調整部材９８ｄに取り付けられている。高さ調節部は、反射板３２に固定されたＬ字状の基材１００（この基材１００は先の基材９５と同一）と、この基材１００に高さ調節可能に取り付けられる板状の高さ調整部材９８ｄ（この高さ調整部材９３ｄと同一）と、この高さ調整部材９８ｄの上端に下端が当接するように基材１００に取り付けられることにより高さ調整部材９８ｄの高さ方向の最上位置を位置決めする板状の位置決め部材９８ｆ（この位置決め部材９８ｆは先の位置決め部材９３ｆと同一）と、を備えている。
【００８４】
Ｌ字状の基材１００は、平面部１００ａと、この平面部１００ａの一端側から立ち上がる垂直面部１００ｂから構成される。平面部１００ａの幅方向一端（図８における右端）近傍には、ネジ孔（図示省略）が形成されている。そして、基材１００は、平面部１００ａの垂直面部１００ｂから離れた側の部分を反射板３２の上面に当接させ、かつ垂直面部１００ｂ側を反射板３２の幅方向における一側の端面（図８における左端）から幅方向に突出するように、ネジ１００ｃにより反射板３２に固定されている。
【００８５】
高さ調整部材９８ｄおよび位置決め部材９８ｆは、基材１００の垂直面部１００ｂにネジ止め固定される。高さ調整部材９８ｄには、図７に示した高さ調整部材９３ｄと同様、一対の長孔９３ｇ，９３ｇと全く同様の一対の長孔（図示省略）が設けられている。一方、基材１００には、ネジ孔（図示省略）が設けられている。高さ調整部材９８ｄは、この長孔とネジ孔を利用して、高さを調節して基材１００にネジ止め固定される。また、位置決め部材９８ｆは、高さ調整部材９８ｄの上方において、一対の長孔９３ｋ，９３ｋと全く同構造の一対の長孔（図示省略）を利用して高さ方向に調節可能に基材１００に取り付けられている。上述の構成により、高さ調整部材９８ｄに取り付けられた４つのローラー部材９８ａは、所定の高さに調節可能となる。
【００８６】
なお、高さ調整部材９８ｄの上端部が位置決め部材９８ｆの下端部に当接しそれ以上は上げられないという位置が、高さ調整部材９８ｄの最上位置となる。この最上位置を高さ調整部材９８ｄの所定の高さとしても良い。すなわち、位置決め部材９８ｆによって、高さ調整部材９８ｄの高さ方向の位置決めを行うようにしても良い。また、例えば、ローラー部材９８ａの最上位置の高さがガイド部材９６，９７のテープ載置面９６ｃ，９７ｃとほぼ同じとなる高さとなるように設定し、その位置から高さ調整部材９８ｄの高さを長孔を利用して徐々に下方へずらしながら調整するようにしても良い。このようにすれば、高さ調整部材９８ｄを上げすぎて、搬送テープ５にテンションをかけすぎてしまうという不具合を解消できる。
【００８７】
上述したように、４つのローラー部材９８ａは、高さ調節部によって搬送テープ５の下面に対して高さ調節可能に臨んでいる。なお、各ローラー部材９８ａは、軸９８ｂの軸方向においては位置ズレを起こさないように、同じ位置で回転するように設けられている。
【００８８】
１つの軸９８ｂに設置される一対のローラー部材９８ａ，９８ａの間隔は、任意なものであるが、それぞれガイド部材９６，９７の各テープ載置面９６ｃ，９７ｃの近傍となるように配置されるのが好ましい。そして、搬送テープ５上の素子３およびこの素子３を封止する樹脂４は、軸９８ｂの軸方向において２つのローラー部材９８ａ，９８ａの間を通過することとなる。
【００８９】
一方、断面Ｌ字状の裏面抑え部９９は、テープ反り防止部９８によって下面側が抑えつけられた搬送テープ５の上面側に当接し、上面側から搬送テープ５のたわみを抑えものとなっている。すなわち、裏面抑え部９９は、反射板３２の下面に接する状態で当該反射板３２にネジ止め固定される底面部９９ａと、この底面部９９ａの一端側から垂下している垂直面部９９ｂから構成されている。そして、垂直面部９９ｂの下端部分が、ガイド部材９７に接すると共に搬送テープ５の上面側に当接するように構成されている。
【００９０】
なお、裏面抑え部９９の設置の仕方は、先の裏面抑え部９４と同様に、図８に示す状態の他に、裏面抑え部９９を手前側（図８では左側）にスライドさせてガイド部材９６に接するように配置したり、裏面抑え部９９を左右逆となるように配置しても良い。図８に示すものと、スライドさせたものとを交互に配置したり、図８に示すものと左右逆のものとを交互に配置するのが好ましい。
【００９１】
また、本実施の形態では、各裏面抑え部９９は、それぞれ搬送テープ５の搬送方向に関して見れば、上述した水平搬送路８，１０に配置される各裏面抑え部９４と同様、各テープ反り防止部９８間に配置される。しかし、各テープ反り防止部９８および各裏面抑え部９９の搬送方向における配置位置も、特に交互である必要はなく、任意なものでよい。なお、本実施の形態では、上述したように、反射板３２には、所定間隔（５０ｍｍ）毎に取り付け用の孔が設けられている。各テープ反り防止部９８および各裏面抑え部９９は、これらの取り付け用の孔を利用して反射板３２に取り付けられることとなる。
【００９２】
以上のような搬送テープのガイド構造を有するこの樹脂硬化装置は、素子３がインナーリードボンディングされた搬送テープ５を供給し、樹脂封止とプリキュア（仮硬化）とをインラインにて行い、リールに巻き取る全自動機の中の一部に組み込まれるものである。すなわち、ボンディング済みの素子３を有する搬送テープ５をテープ送り出し手段にて樹脂封止手段に送り、樹脂４のポッティングを行った後の搬送テープ５が送り込まれてくるプリキュア装置となっている。この樹脂硬化装置によって樹脂４の加熱が行われ、テープ収納手段によって搬送テープ５が巻き取られることとなる。
【００９３】
この実施の形態では、搬送テープ５は、間欠的に送られ、平均すると炉体２内を毎秒２〜２００ｍｍで搬送される。また、炉体２の有効加熱長は、約３４００ｍｍ（炉内長は約３８００ｍｍ）とされている。このため、搬送テープを毎秒５ｍｍの速度で搬送すると、約１１分２０秒でテープ入口４１からテープ出口４２まで搬送されることとなる。
【００９４】
この樹脂硬化装置の仕様は、上述した仕様の他に、次のような仕様を有するものとなっている。すなわち、使用温度が６０〜２００℃で、１１ブロック独立制御方式（オンオフパルス式ＰＩＤ制御）で、さらに温度記録は１２または２４点式で、上下限のアラーム付きとなっている。加えて、炉体２内の搬送テープ５の過負荷検出機構や高温・低温警報機能が付いており、また、３００℃の温度ヒューズが付加されており、過昇温防止が図られている。さらに、ウイークリータイマが付いており、毎週の自動運転が可能となっている。
【００９５】
次に、以上のように構成された樹脂硬化装置の動作について説明する。
【００９６】
まず、樹脂硬化装置の炉体２内の温度を所望の温度プロファイルとなるように、各ブロックの遠赤外線ヒータの温度をそれぞれ設定する。この設定は、温度センサが固定された搬送テープを実際に搬送させて測温し、炉体２内のそれぞれの場所（各ブロック）が所望の温度となるように遠赤外線ヒータの温度を設定する。この温度設定は、熱電対を利用して行われる。
【００９７】
各ヒータの温度設定がなされた後、搬送テープ５が導入される。搬送テープ５は、テープ入口４１から供給され、キュアガイド６，７により反転させられてテープ出口４２から排出される。テープ入口４１から供給された搬送テープ５は、キュアガイド６で反転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱される。
【００９８】
すなわち、素子３を封止した樹脂４は、遠赤外線ヒータからなる水平搬送路用発熱体１１によって加熱された熱板２１により間接的に加熱されると共に、熱板２１と対向する位置に配設された反射板３１により熱板２１の熱が輻射され搬送テープ５の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送テープ５の表面側と裏面側が均一に加熱される。これにより、樹脂４は、熱板２１と反射板３１により間接的に加熱されるために、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もそれほどなく樹脂４を硬化させることができる。
【００９９】
なお、搬送テープ５は、若干、熱源となる水平搬送路用発熱体１１側へ反ろうとするが、この反りは上述したようにテープ反り防止部９３によって抑えられている。よって、熱源が配置されている上方向への反りによる幅方向のたるみによって、搬送テープ５がガイド部材９１，９２から脱落するという不具合は生じない。
【０１００】
また、搬送テープ５は、表面側および裏面側から均一に加熱されるため、搬送テープ５面への樹脂４の廻り込みを容易にし、搬送テープ５と樹脂４の周辺部との密着性が高められ、搬送テープ５に樹脂４を密着させることができる。
【０１０１】
キュアガイド７で反転されるまでの加熱中間段階（中段位置）において、搬送テープ５は遠赤外線ヒータから構成される水平搬送路用発熱体１２により加熱された熱板２２とその熱板２２からの輻射熱を反射する反射板３２とにより間接的に加熱される。これにより、樹脂４の硬化が促進される。
【０１０２】
なお、搬送テープ５は、この中段位置においても、若干、熱源となる水平搬送路用発熱体１２側へ反ろうとするが、この反りは上述したようにテープ反り防止部９８によって抑えられている。よって、熱源が配置されている下方向への反りによる幅方向のたるみによって、搬送テープ５がガイド部材９６，９７から脱落するという不具合は生じない。なお、本実施の形態における搬送テープ５は、ＴＡＢテープやＣＯＦ等も含むものである。
【０１０３】
キュアガイド７で反転されてテープ出口４２までの加熱最終段階（最上段位置）において、搬送テープ５は、水平搬送路用発熱体１３により加熱された熱板２３と、その熱板２３からの輻射熱を反射する反射板２３とにより間接的に加熱される。これにより、樹脂４の硬化が更に促進される。
【０１０４】
なお、搬送テープ５は、この最上段位置においても、若干、熱源となる水平搬送路用発熱体１３側へ反ろうとするが、この反りは上述したようにテープ反り防止部９３によって抑えられている。よって、熱源が配置されている上方向への反りによる幅方向のたるみによって、搬送テープ５がガイド部材９１，９２から脱落するという不具合は生じない。
【０１０５】
なお、炉体２は、気密性を保つようになっているので、筐体１に設けられた貫通孔から窒素ガス導入用のガス管４３，４４，４５を導入し、炉体２に設けられた排出口４６から排出することで、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。また、テープ入口４１付近で発生する溶剤を排気孔４７から排出することで搬送がスムーズとなり、また樹脂硬化の品質を向上させることができる。
【０１０６】
上述の実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の例であるが、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更実施可能である。たとえば、上述の実施の形態では、７０ｍｍ幅の搬送テープ５の搬送をガイドする例を示したが、本発明の搬送テープのガイド構造では、ガイド部材９１，９２（９６，９７）間の寸法を変えることにより、その他の幅の搬送テープの走行時にも適用可能である。
【０１０７】
また、上述の実施の形態では、搬送テープ５の面の熱源方向への反りを抑える構造として、２つの軸９３ｂ，９３ｂにそれぞれ１対のローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２を回動自在とし、計４つのローラー部材９３ａ１，９３ａ１，９３ａ２，９３ａ２を備えた搬送テープ反り防止部９３を搬送方向に略等間隔に複数配置した。しかし、１つの搬送テープ反り防止部９３の構造において、軸の本数、および１本の軸に回動自在に支持されるローラー部材の数は特に上述の構造に限られるものではない。例えば、１つの搬送テープ反り防止部９３において、軸を１本もしくは３本以上としても良いし、軸１本に支持されるローラー部材の数も１つもしくは３つ以上としても良い。これらを適宜組み合わせて良い。
【０１０８】
また、上述の実施の形態では、搬送テープ反り防止部９３，９８を、筐体１の固定部に固定された反射板３１，３２，３３に取り付けたが、他の部位に取り付けるようにしても良い。また、上述の実施の形態では、裏面抑え部９４，９９も搬送テープ反り防止部９３，９８と同様、反射板３１，３２，３３に取り付けられているが、他の部位に取り付けるようにしても良い。なお、この裏面抑え部９４，９９は、搬送テープ５の面を搬送テープ反り防止部９３，９８の配置された側とは反対側、すなわち熱源が配置された側とは反対側から抑えるものであるが、熱源と反対側からの抑えが必要ない場合は設けなくても良い。また、裏面抑え部９４，９９を、搬送テープ５のたるみ方に応じ、適宜必要箇所に設置するようにしてもよい。
【０１０９】
また、上述の実施の形態では、反射板３１，３２，３３に取り付けられた基材９５，１００に、別部材となる搬送テープ反り防止部９３，９８を取り付けた構造としたが、基材９５，１００と搬送テープ反り防止部９３，９８とを一体化させても良い。また、上述の実施の形態では、２本の軸９３ｂを支持する高さ調整部材９３ｆと位置決め部材９３ｆとを別部材で構成したが、これらを一体化した構成としても良い。
【０１１０】
また、上述の実施の形態では、熱源となる加熱手段としての各ヒータを遠赤外線ヒータではなく、単なる赤外線ヒータや電熱ヒータ等他の加熱手段としても良い。また、反射板３１，３２，３３を設けるのが好ましいが、搬送状態変更区域６２，６４での温度下降防止のみの観点から言えば、必ずしもそれらを設けなくても良い。また熱板としては、銅材の他に真鍮やアルミニウム材としたり、銅板やアルミニウム板に樹脂等をコーティングしたものとしても良い。また、遠赤外線放射材料や黒体輻射に近い黒色材にしても良い。
【０１１１】
また、温度センサとしては、熱電対の代わりに、サーミスタや白金線を用いたり、ＩＣ化半導体温度センサ等を用いるようにしても良い。さらに、熱電対の取り付け位置は、熱板２１，２２，２３の搬送テープ５に対向する面側が好ましいが、遠赤外線ヒータに対向する面に取り付けても良い。
【０１１２】
さらに、上述の実施の形態では、キュアガイド６，７により搬送方向を１８０度反転する例を示したが、中段の搬送路を斜め上方に向かう搬送路とし、キュアガイド６，７による方向変更を１５０度程度としても良い。さらには、キュアガイド６のみを配置した一段炉とし、水平のみに搬送させる形式としたり、キュアガイド６によって斜め上方（４５度の方向転換）または９０度方向転換し、炉体２の側方または上方から搬送テープ５を排出するようにしても良い。このような場合においても、キュアガイド６の下方に搬送状態変更部用発熱体１４を配置することで、その地点における温度下降を効率的に防止することができる。
【０１１３】
また、３段炉とせず、１段炉、２段炉、４段炉、５段炉等種々の炉に本発明を適用することができる。さらに、キュアガイド６，７の半円を覆うように設けられる熱板６３，６５を設けず、搬送テープ５を搬送状態変更部用発熱体１４，１５で直接加熱するようにしても良い。また、各水平搬送路８，９，１０の遠赤外線ヒータの数を増やしたり減らしたりしても良い。たとえば、各水平搬送路８，９，１０について、遠赤外線ヒータの数を８，７，７としたり、４，３，３としたりしても良い。また、キュアガイド６，７の位置を工夫することで遠赤外線ヒータの数を各段とも同じ数としても良い。
【０１１４】
【発明の効果】
本発明の搬送テープのガイド構造、樹脂硬化装置、搬送テープの搬送方法および樹脂硬化方法によれば、搬送テープが加熱によって上下方向に反って幅方向の寸法が縮まることに起因した、搬送中にガイドから外れるという不具合が生じず、その送り動作を確実に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による実施の形態の樹脂硬化装置の筐体と炉体の概要断面図と、その一部拡大図である。
【図２】図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【図３】図１および図２の樹脂硬化装置の詳細構成を示す図で、前面の表断熱扉を取り外した状態の正面図である。
【図４】図３の上方から見た平面図である。
【図５】図３の左側方から見た側面図である。
【図６】図１から図５に示す樹脂硬化装置の炉体内に配置されるガイド構造であって、最下段および最上段の水平搬送路中のガイド手段の正面図である。
【図７】図６に示す、最下段および最上段の水平搬送路中のガイド構造を図６の矢示ＶＩＩ方向から見た断面図である。
【図８】図１から図５に示す樹脂硬化装置の炉体内に配置されるガイド手段であって、中段の水平搬送路中のガイド手段の断面図である。
【符号の説明】
１  筐体
２  炉体
３  素子
４  樹脂
５  搬送テープ
１１，１２，１３  水平搬送路用発熱体（加熱硬化手段の一部）
１４，１５  搬送状態変更部用発熱体（加熱硬化手段の一部）
２１，２２，２３  熱板（加熱硬化手段の一部）
３１，３２，３３  反射板（加熱硬化手段の一部）
４１  テープ入り口
４２  テープ出口
９１，９２  ガイド部材
９１ａ，９２ａ，９６ａ，９７ａ  ガイド下構成部（載置部）
９１ｃ，９２ｃ，９６ｃ，９７ｃ  テープ載置面（載置部）
９３，９８  テープ反り防止部
９３ａ１，９３ａ２，９８ａ  ローラー部材
９３ｂ，９８ｂ  軸
９３ｄ，９８ｄ  高さ調整部材（高さ調節部の一部）
９３ｆ，９８ｆ  位置決め部材（高さ調節部の一部）
９３ｇ  長孔
９３ｈ  ネジ
９４，９９  裏面抑え部（Ｌ字状部材）
９５，１００  基材（高さ調節部の一部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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