(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱物をトンネル型の炉内上段および炉内下段を順次移動させながら、加熱、徐冷および冷却の一連の熱処理を行う連続焼成炉に設けられ、上記炉内上段と上記炉内下段との間で上記被加熱物を移動させる昇降ユニットを備えた連続焼成炉用リフター装置において、
上記昇降ユニットの上部に、この昇降ユニット内に収容した被加熱物に対して清浄空気を供給するための第１の清浄空気供給手段を備えたことを特徴とする連続焼成炉用リフター装置。
【請求項２】
上記第１の清浄空気供給手段は、リフター装置内を循環した清浄空気を再度吸気するものであり、上記昇降ユニットは、上記清浄空気を冷却するための冷却手段を、さらに備えた請求項１に記載の連続焼成炉用リフター装置。
【請求項３】
リフター装置内全域に清浄空気を供給するための第２の清浄空気供給手段を、さらに備えた請求項１または請求項２に記載の連続焼成炉用リフター装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の板状被処理物に熱処理を行う連続焼成炉に備えられる連続焼成炉用リフター装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばプラズマディスプレイパネル用基板等のガラス基板に電極、誘電体、蛍光体等の膜形成を行うためには、連続焼成炉が用いられている。この連続焼成炉では、例えばガラス基板等の被加熱物をトンネル型の炉内を通過させながら所定温度まで加熱した後、徐冷を行い、その後さらに常温程度まで冷却するという工程で処理が行われている。このような連続焼成炉では、炉の長さを短くして設置面積を小さくするために、炉内を２段構成として、上段で加熱および徐冷を行った後、被加熱物を下段に降ろして上段とは反対方向に搬送させながら冷却するようにしたものも用いられている。このような２段構成の連続焼成炉では、被加熱物を上段より下段に降ろすために被加熱物を収容して昇降する昇降ユニットを備えたリフター装置が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようなガラス基板への焼成処理では、クリーンな環境下での焼成が必要である。このために、従来、連続焼成炉はクリーン度が保持されるクリーンルーム内に設置される場合や、コスト面等の理由によりクリーンルーム内に設置せずに、クリーンルームより被加熱物の搬入出が行えるように連続焼成炉の搬入出口をクリーンルームに臨ませるような形で設置される場合があった。また、どちらの場合も、炉内では、例えば被加熱物の搬送にセラミックローラーを使用するとともに、炉壁に耐熱ガラスを使用する等して、発塵を極力抑えるようにしている。
【０００４】
しかしながら、上記リフター装置内には、被加熱物を搬入出するためのローラー、このローラーを駆動するためのモータ等の駆動部、昇降ユニットを昇降させるための駆動部等の機構部分が多く、発塵の可能性が高いにもかかわらず、発塵についてあまり考慮されていなかった。このため、リフター装置内においてクリーン度を保持することは困難であった。
本発明は上記の事情に鑑みて提案されたものであって、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる連続焼成炉用リフター装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために以下の手段を採用している。すなわち、被加熱物をトンネル型の炉内上段および炉内下段を順次移動させながら、加熱、徐冷および冷却の一連の熱処理を行う連続焼成炉に設けられ、上記炉内上段と上記炉内下段との間で上記被加熱物を移動させる昇降ユニットを備えた連続焼成炉用リフター装置において、上記昇降ユニットの上部に、この昇降ユニット内に収容した被加熱物に対して清浄空気を供給するための第１の清浄空気供給手段を備えるという手段を採用している（請求項１）。このように構成することによって、被加熱物に対して直接清浄空気を供給することができるので、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる。また、リフター装置には、例えば約３００〜４００℃程度の被加熱物が搬送されてくるが、この被加熱物は清浄空気によって冷却が促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響も軽減される。
【０００６】
また、上記第１の清浄空気供給手段は、リフター装置内を循環した清浄空気を再度吸気するものであり、上記昇降ユニットは、上記清浄空気を冷却するための冷却手段を備えた構成とすることができる（請求項２）。このように構成した場合、被加熱物により加熱された清浄空気を即座に冷却手段により冷却することができるので、リフター装置内で循環して再度吸気される清浄空気の熱によって清浄空気供給手段が影響を受けるのを軽減することができる。また、清浄空気による被加熱物の冷却も一層促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響もより一層軽減される。
【０００７】
また、リフター装置内全域に清浄空気を供給するための第２の清浄空気供給手段を、さらに備えた構成とすることができる（請求項３）。このように構成した場合、被加熱物に対して清浄空気を供給するのに加えて、リフター装置内全域にも第２の清浄空気供給手段で清浄空気を供給するので、被加熱物のクリーン度をより一層保持することが可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略正面図であり、図２はこの連続焼成炉用リフター装置の概略側面図であり、図３はこの連続焼成炉用リフター装置を用いる連続焼成炉の全体構成を示す概略図である。以下、図に基づいてこの連続焼成炉、および連続焼成炉用リフター装置（以下、単にリフター装置という）について説明する。
この連続焼成炉には、図３に示すように炉内上段２１にガラス基板等の被加熱物Ａを所定温度まで加熱する加熱部Ｂと、所定温度まで加熱された被加熱物Ａを徐冷する徐冷部Ｃとが、炉内下段２２に徐冷された被加熱物Ａをさらに常温程度まで冷却する冷却部Ｄが設けられている。また、この連続焼成炉の長手方向一方端には、被加熱物Ａを炉内上段２１より炉内下段２２に移動させるためのリフター装置１が設けられている。被加熱物Ａは、トンネル型の炉内上段２１を加熱部Ｂ、徐冷部Ｃと順次移動し、リフター装置１により炉内上段２１より炉内下段２２に移動させられ、炉内下段２２の冷却部Ｄを炉内上段２１と反対方向に移動されながら、一連の熱処理が行われる。
【０００９】
上記リフター装置１は、図１に示すように筐体２内に、被加熱物Ａを収容して昇降する昇降ユニット３と、この昇降ユニット３を昇降させるためのボールネジ４のねじ軸４ａと、昇降ユニット３を支持するためのガイド軸１０とを主として備えている。また、筐体２には、被加熱物Ａを炉内上段２１より搬入するための搬入口１２と、被加熱物Ａを炉内下段２２へ搬出するための搬出口１３とが設けられている。さらに、筐体２上部には清浄空気を供給するための第２の清浄空気供給手段であるクリーンユニット７、ギヤボックス６を介してボールネジ４に接続される昇降用モータ５等を備えている。
【００１０】
昇降ユニット３は、被加熱物Ａを搬入および搬出するための複数のローラー９と、このローラー９を駆動するためのモータ等の駆動部（図示しない）と、天井部上面に清浄空気を供給するための第１の清浄空気供給手段であるクリーンユニット８と、天井部下面および底部上面に冷却手段である水冷ラジエータ１４とを備えている。また、昇降ユニット３は、両側面を覆う側板１１を有しており、ローラー９の端部はこの側板１１より外側に突出するように設けられ、側板１１の外側に上記駆動部が設けられている。
さらに、昇降ユニット３は、ボールネジ４のボールナット４ｂと、ガイド軸１０に摺動自在に外嵌されるガイド受部材１５とを備えており、昇降用モータ５の駆動によるボールネジ４の回転によって上下に昇降するように構成されている。水冷ラジエータ１４は、図示しない水供給部より水が供給され、清浄空気を冷却する。
【００１１】
クリーンユニット７、８は、それぞれ送風ファン７ｃ、８ｃを備えており、この送風ファン７ｃ、８ｃの吸気側にプレフィルター７ａ、８ａ、排気側にクリーンフィルター（ＨＥＰＡフィルター）７ｂ、８ｂを備えている。クリーンユニット８は、送風ファン８ｃの回転によりプレフィルター８ａを介して吸気した筐体２内の空気を、クリーンフィルター８ｂで清浄化することで清浄空気を供給している。そして、この清浄空気は、昇降ユニット３に収容される被加熱物Ａに対して直近より吹き付けられることになる。一方、クリーンユニット７は、送風ファン７ｃの回転によりプレフィルター７ａを介して外部より吸気した空気を、クリーンフィルター７ｂで清浄化することで清浄空気を供給している。この清浄空気は、筐体２内全域にわたって供給される。
【００１２】
次に、リフター装置１によって被加熱物Ａを炉内上段２１から炉内下段２２へ移動させる動作について説明する。
まず、被加熱物Ａが炉内上段２１よりリフター装置１へ搬送されてくると、この被加熱物Ａは搬入口１２を通ってリフター装置１の内部に搬入され、ローラー９の回転に伴って昇降ユニット３内に収容され所定位置で停止する。次に、昇降用モータ５が駆動され、昇降ユニット３は搬出口１３が設けられている高さまで降下する。次いで、ローラー９の回転に伴って昇降ユニット３内より搬出口１３を通って炉内下段２２に搬出される。そして、被加熱物Ａは炉内下段２２を炉内上段２１と反対方向に搬送されることになる。
【００１３】
被加熱物Ａは、このようにリフター装置によって炉内上段２１から炉内下段２２へ移動されるとき、筐体２内全域にわたってクリーン度が保たれている上、クリーンユニット８によって直近から清浄空気を吹き付けられることになる。これによって、被加熱物Ａのクリーン度を保持することができる。また、発塵の多い駆動部と、被加熱物Ａが収容される昇降ユニット３内とを仕切るように側板１１を設けているので、被加熱物Ａのクリーン度をより効果的に保持することができる。
なお、本実施の形態では、昇降ユニット３の天井部下面および底部上面に水冷ラジエータ１４を２つ備えているが、これに限られるものではなく、例えば１つであっても構わない。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る連続焼成炉用リフター装置では、被加熱物に対して清浄空気を供給することができるので、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる。また、リフター装置には、例えば約３００〜４００℃程度の被加熱物が搬送されてくるが、この被加熱物は清浄空気によって冷却が促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響も軽減される。
【００１５】
また、昇降ユニットが清浄空気を冷却するための冷却手段を備えた構成とした場合、被加熱物により加熱された清浄空気を冷却手段により冷却することができるので、循環して再度吸気される清浄空気の熱によって清浄空気供給手段が影響を受けるのを軽減することができる。また、清浄空気による被加熱物の冷却も一層促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響もより一層軽減される。
【００１６】
また、第２の清浄空気供給手段を備えた構成とした場合、被加熱物に対して清浄空気を供給するのに加えて、リフター装置内全域にも第２の清浄空気供給手段で清浄空気を供給できるので、被加熱物のクリーン度をより一層保持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略正面図である。
【図２】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略側面図である。
【図３】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置を用いる連続焼成炉の全体構成を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａ    被加熱物
１    連続焼成炉用リフター装置
７    クリーンユニット（第２の清浄空気供給手段）
８    クリーンユニット（第１の清浄空気供給手段）
１４  水冷ラジエータ（冷却手段）
【図１】
0003920586.tif 000002
【図２】
0003920586.tif 000003
【図３】
0003920586.tif 000004