(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出位置において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像信号を得る受光手段と、
前記受光手段からの画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得する画像処理手段と、
前記検査対象物の移動速度を検出する速度検出手段と、
前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する目視の検査位置において、前記検出位置から目視の検査位置までの検査対象物上の欠陥位置を表示する出力手段と、
前記画像処理手段と速度検出手段からのデータを処理し、前記速度検出手段で検出された移動速度に同期させて前記出力手段に表示された欠陥位置を移動させるデータ処理手段と、
前記搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度を変更する速度変更手段と、
前記速度変更手段の搬送ライン上の前方でかつ前記検出位置と前記検査位置との間に配置された検査対象物貯留手段と、
前記検査対象物貯留手段により貯留される検査対象物の貯留量を検出する貯留量検出手段とを有し、
前記検査対象物貯留手段は、前記検査対象物貯留手段の前方における検査対象物の移動速度が後方における移動速度よりも大きいときは検査対象物の貯留量を増加させ、前記検査対象物貯留手段の前方における検査対象物の移動速度が後方における移動速度よりも小さいときは検査対象物の貯留量を減少させるように構成されており、
前記速度検出手段は前記検査対象物貯留手段よりも後方に配置されており、
前記データ処理手段は、前記画像処理手段と前記速度検出手段からのデータに加えて前記貯留量検出手段からのデータを処理して、前記貯留量検出手段により検出された検査対象物の貯留量に応じて、前記検査対象物貯留手段により検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での、前記出力手段に表示される欠陥位置を設定するとともに、前記出力手段に表示される貯留中の前記検査対象物の欠陥位置を移動させることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記検出位置において欠陥を検出してから、欠陥が前記検査位置に到達するまでの間、警報音を発する警報装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属板生産分野等に特に好適に使用される、疵、汚れ等の欠陥を検出する欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、金属板、フィルム、不織布、樹脂板などの検査対象物の表面上の疵、汚れ、斑などの欠陥を検出する装置が知られている。この欠陥検査装置としては、例えば、検出位置において、検査対象物の表面に対して光を照射し、その反射光または透過光を、ＣＣＤカメラなどを用いたラインセンサにより画像信号として取り込み、画像処理装置によって画像信号の輝度の変化から欠陥を検出し、欠陥の検出状況を、欠陥の目視確認を行う検査台（検査位置）にあるモニタに表示するものがある。
【０００３】
ここで、検査位置のモニタには、検出された欠陥のランク（大小）、種類（明暗）、検査対象物表面上における幅方向の位置（ラインセンサの画素位置）等の欠陥検出データなどが表示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図７に示すように、検査位置（目視位置）４２は、通常、検出位置４１よりも搬送ライン４３の後方に離れて位置していることが多く、従来の欠陥検出装置では、欠陥の検出を検査位置（目視位置）４２において知ることはできても、検出された欠陥が搬送ライン４３上のどの位置まで到達しているかを把握することは困難であった。そのため、検出された欠陥の目視確認に手間取るという欠点があった。
【０００５】
また、図８に示すように、製品の検査や出荷調整のために搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度（搬送ライン速度）を変更する場合に、検査対象物を一時貯留し搬送ライン速度の変化に応じてその貯留量を変更するルーパ４４が欠陥の検出位置４１と検査位置（目視位置）４２との間に設けられている場合がある。例えば、鋼板の検査を行う場合は、通常搬送ライン後方の搬送ライン速度が変更される。このルーパ４４としては、例えば、図９（ａ）、（ｂ）に示す装置が使用される。図９（ａ）に示すルーパは、２つのローラー４４１、４４２及びその間の下部に配置された穴部４４３から構成され、検査対象物は穴部４４３内を経由して搬送され、２つのローラー４４１、４４２間において貯留されている。ルーパ前後の検査対象物の移動速度に応じてローラー４４１、４４２間において貯留されている検査対象物の量が変化する。即ち、ルーパ４４の前方における検査対象物の移動速度が後方における移動速度よりも大きいときは検査対象物の貯留量が増加し、ルーパ４４の前方における検査対象物の移動速度が後方における移動速度よりも小さいときは検査対象物の貯留量が減少するようになっている。図９（ｂ）に示すルーパは、２つのローラー４４１、４４２及び可動ローラー４４４から構成され、検査対象物はローラー４４１、４４４、４４２の外周を順次経由して搬送されている。このルーパは可動ローラーを図中矢印方向に移動させることによってローラー４４１、４４２間において貯留されている検査対象物の量を変化させることができる。
ルーパの後方の搬送ライン速度を変更する場合は、ルーパ４４の出口側の搬送ライン速度が変化するため、検出された欠陥が搬送ライン４３上のどの位置まで到達しているかを検査位置（目視位置）４２において把握することは一層困難であった。
【０００６】
よって、本発明の目的は、検出位置で検出された欠陥が搬送ライン上のどの位置まで到達しているかを検査位置において容易に把握することができ、検査位置への欠陥の到着を確実に知ることができる欠陥検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明の欠陥検査装置は、検出位置において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像信号を得る受光手段と、前記受光手段からの画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得する画像処理手段と、前記検査対象物の移動速度を検出する速度検出手段と、前記画像処理手段と速度検出手段からのデータを処理するデータ処理手段と、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査位置において検査対象物上の欠陥位置を表示する出力手段とを具備し、前記データ処理手段が前記速度検出手段で検出された移動速度に同期させて前記出力手段に表示された欠陥位置を移動させるものであることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の欠陥検査装置は、前記検出位置において欠陥を検出してから、欠陥が検査位置に到達するまでの間、警報音を発する警報装置を備えていてもよい。
また、搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度を変更する速度変更手段と、その速度変更手段の搬送ライン上の前方に配置された検査対象物貯留手段とをさらに有する場合、速度検出手段が検査対象物貯留手段よりも後方に配置されていることが好ましい。
また、検査対象物貯留手段により貯留される検査対象物の貯留量を検出する貯留量検出手段をさらに有し、データ処理手段が、貯留量検出手段により検出された検査対象物の貯留量に応じて、検査対象物貯留手段により検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での、出力手段に表示される欠陥位置を設定する機能をさらに有していることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の欠陥検査方法は、検出位置において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像信号を得るステップと、この画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得するステップと、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査位置において検査対象物上の欠陥位置をモニタに表示するステップと、前記モニタに表示された欠陥位置を検査対象物の移動速度に同期させて移動させるステップとを有することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の欠陥検査装置の一例を示すブロック図である。この欠陥検査装置１は、欠陥の検出位置において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物２の表面に光を照射する照明装置３と、検査対象物からの光を受光して、その画像信号を得るラインセンサ４（受光手段）と、この画像信号を処理する画像処理装置５（画像処理手段）と、検査対象物２の走行速度を検出する測長計６（速度検出手段）と、各種信号処理を行うシーケンサ７と、画像処理装置５および測長計６からのデータの処理や、装置全体の制御を行う制御コンピュータ８（データ処理手段）と、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査位置（目視位置）の検査台１０において検査対象物２上の欠陥位置を表示するモニタ９（出力手段）とを具備して概略構成される。
【００１１】
検査対象物２は、長尺、帯状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等からなるものであり、ラインセンサ３の長さ方向に直行するように搬送ライン上を移動している。この欠陥検査装置１を用いた欠陥検査には、鋼板、メッキ鋼板、酸洗済み鋼板、塗装鋼板、銅板、アルミ板などの金属板が好適に用いられる。
【００１２】
照明装置３は、検査対象物２上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物２の移動方向に直交するように配置されたライン状の照明装置であり、例えば、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等が挙げられる。図示例では、照明装置３はラインセンサ４と同じく検査対象物２の表面側に配置されているが、本発明における照明装置の配置形態は、これに限られるものではない。例えば、照明装置を検査対象物２の背面側に配置し、検査対象物２の背面から光を照射し、透過光をラインセンサ４で受光するようにしてもよい。
【００１３】
ラインセンサ４は、撮像範囲の長手方向が検査対象物２の移動方向に直交するように配置されたライン状の光センサであり、検査対象物２からの反射光を受光し、検査対象物２の移動方向に直交するライン（検査ライン）単位で検査対象物２表面の光強度分布に応じた画像信号を出力するものである。ラインセンサ４としては、例えば、素子数（画素数）が２０４８または５０００のＣＣＤカメラ等が用いられる。
【００１４】
画像処理装置５は、ラインセンサ４から出力された画像信号を、所定のプログラムにしたがって処理し、検査対象物２に存在する欠陥を検出し、その検出された欠陥データを制御コンピュータ８に出力するものである。画像処理装置５としては、欠陥検査装置に用いられている公知の画像処理装置を用いることができる。
【００１５】
図２は、画像処理装置５の構成の一例を示すブロック図である。この画像処理装置５は、画像信号をアナログ信号からデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換部１１と、設定された閾値によってデジタル信号を二値化する二値化部１２と、二値化されたデジタル信号をランレングス符号化するランレングス符号化部１３と、ランレングス符号化された検査ラインごとの画像信号を検査対象物２の移動方向につなぎ合わせる連結性処理部１４とを有して概略構成される。
【００１６】
Ａ／Ｄ変換部１１は、ラインセンサ４から出力される画素ごとの画像信号Ａi （ｉ：画素Ｎｏ）を、例えば、８ビットの濃度値（２５６階調）を表すデジタル信号Ｂi に変換するものである。
二値化部１２は、Ａ／Ｄ変換部１１で変換されたデジタル信号Ｂi を閾値Ｄi にしたがって二値化するものである。例えば、正常部よりも明るい欠陥（明欠陥）を検出しようとする際には二値化部１２は、デジタル信号Ｂi が閾値Ｄi 以上である場合は二値化後のデジタル信号Ｂi'を「１」とし、デジタル信号Ｂi が閾値Ｄi 未満である場合は二値化後のデジタル信号Ｂi'を「０」とする。正常部よりも暗い欠陥（暗欠陥）を検出するように二値化部１２を構成することも可能である。ここで、閾値Ｄi とは、デジタル信号Ｂi のうち、正常部に比べてどの程度の濃度差（単位％）がある部分を欠陥部として検出するかを決める境界値である。
【００１７】
ランレングス符号化部１３は、メモリ容量をより少なくするために、二値化後のデジタル信号を圧縮するものである。
連結性処理部１４は、圧縮された検査ラインごとの画像信号を検査対象物２の移動方向につなぎ合わせ、検査対象物２に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥の面積、検査対象物２の移動方向の長さ、検査対象物２の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥位置）、ランク（大小）、種類等の欠陥データを取得するものである。
【００１８】
測長計６は、検査対象物２の移動距離を測定し、検査対象物２が所定距離を移動するごとにパルス信号（例えば、１０ｍｍ／パルスの信号）を出力する装置である。測長計６からのパルス信号が出力される間隔から検査対象物２の移動速度を知ることができる。
【００１９】
制御コンピュータ７は、欠陥検査装置１の制御、画像処理装置５からの欠陥データの記録、画像処理装置５からの欠陥データおよび測長計６からのパルス信号の処理、モニタ９への出力データの出力、画像処理装置５で使用される検査条件（閾値Ｄi 、欠陥サイズ等）の設定などを行う装置である。
図３は、制御コンピュータ７の構成の一例を示すブロック図である。この制御コンピュータ７は、記憶部２１と、処理部２２と、インターフェース部（Ｉ／Ｆ部）２３とを有して概略構成される。
【００２０】
記憶部２１は、主に画像処理装置５からの欠陥データを記憶するものである。なお、記憶部２２は、ＲＡＭ（Random Access Memory）のような揮発性のメモリ、ハードディスク装置、光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリ、あるいはこれらの組合せにより構成されるものとする。
【００２１】
処理部２２は、記憶部２２に記憶された欠陥データ、特に、欠陥位置の座標データをモニタ９の出力形式に変換し、後述のモニタ９のラインマップ上に欠陥マーカを表示するものである。また、処理部２２は、測長計６からのパルス信号を受信した場合には、記憶部２２に記憶された欠陥位置の座標を検査対象物２の移動方向に移動距離分移動し、更新すると同時に、更新された欠陥位置の座標データをモニタ９の出力形式に変換することにより、モニタ９のラインマップ上の欠陥マーカを検査対象物２の移動方向に同期させて移動させるものである。
【００２２】
なお、この処理部２２は専用のハードウエアにより実現されるものであってもよく、また、この処理部２２はメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、処理部２２の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
【００２３】
インターフェース部２３は、画像処理装置５、シーケンサ７およびモニタ９と、処理部２２との間の通信を行うものである。インターフェース部２３としては、例えば、汎用インターフェイス・バス（ＧＰＩＢ）などが用いられる。
また、前記制御コンピュータ８には、周辺機器として、入力装置、表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴや液晶表示装置のことをいう。
【００２４】
モニタ９は、検査位置の検査台１０に設けられ、検出位置から検査位置までの検査対象物２上に存在する欠陥の位置を表示するものである。モニタ９には、図４に示すように、検査対象物２の移動方向を示す座標軸３１と、検査対象物２の幅方向を示す座標軸３２とからなるラインマップ３３、および制御コンピュータ８から出力された欠陥位置の座標データに基づく欠陥マーカ３４が表示されている。
【００２５】
また、欠陥検査装置１には、検出位置において欠陥を検出してから、欠陥が検査位置に到達するまでの間、警報音を発する警報装置を設けてもよい。また、検査位置直前（数ｍ）から警報音を発するようにしてもよい。警報装置を設けることによって、聴覚により欠陥の検出および欠陥の検査位置への接近を把握することができるようになる。
【００２６】
また、図示例において、測長計６は検出位置付近に設けられていたが、検出位置と検査位置の間の搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度が速度変更手段により変更され、その速度変更手段の搬送ライン上の前方に例えば図９に示したようなルーパなどの検査対象物貯留手段が配置されている場合は、測長計６はこのルーパの出口側（後方）に設けられる必要がある。測長計６をルーパの入口側のみに設けた場合、欠陥検査装置１がルーパの出口側の搬送ライン速度の変動に対応できなくなり、モニタ９のラインマップ上に表示される欠陥マーカの位置が正確な欠陥位置を示さなくなり、欠陥位置の検査位置への到達を正確に知ることができなくなる。なお、測長計は、リアルタイムにルーパにより貯留される検査対象物の貯留量（ルーパ量）が検出可能な場合は、ルーパの出口側のみに設けてもよいが、リアルタイムにルーパ量が検出されない場合であっても、ルーパの入口側と出口側の両方に設けることによって、モニタ９のラインマップ上に表示される欠陥マーカの位置を正確に示すことが可能となる。なお、速度変更手段の搬送ライン上の後方にルーパを配置する構成とすることも可能である。この場合、測長計はルーパの入口側に配置され、入口側と出口側の両方に配置することが好ましい。
また、欠陥マーカがより正確な位置を示すようにするためには、ルーパ量を検出する貯留量検出手段（ルーパ量検出手段）（図示せず）を設け、検出されたルーパ量に応じて、検査対象物の欠陥位置がルーパにより貯留され始めた時点でのラインマップ上の欠陥マーカの表示位置を変更するような構成とすることが好ましい。
【００２７】
次に、欠陥検査装置１の動作について説明する。
検出位置において照明装置３から検査対象物２の表面に照射され、検査対象物２の表面で反射された光は、ラインセンサ４に受光される。ラインセンサ４に受光された光は、画像信号として画像処理装置５へと出力される。
【００２８】
ラインセンサ４から出力される画素ごとのアナログの画像信号Ａi （ｉ：画素Ｎｏ）は、画像処理装置５内のＡ／Ｄ変換部１１によって８ビットの濃度値（２５６階調）を表すデジタル信号Ｂi に変換される。Ａ／Ｄ変換部１１で変換されたデジタル信号Ｂi は、制御コンピュータ８の入力装置から入力、設定された閾値Ｄi にしたがって二値化部１２で二値化される。二値化後のデジタル信号は、ランレングス符号化部１３でランレングス符号化される。ランレングス符号化された検査ラインごとの画像信号は、連結性処理部１４で検査対象物２の移動方向につなぎ合わされる。つなぎ合わされた画像信号からは、制御コンピュータ８で入力、設定された検査条件（サイズ）以上の欠陥が検出され、検出された欠陥の面積、検査対象物２の移動方向の長さ、検査対象物２の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥位置）、ランク（大小）、種類等の欠陥データが取得される。
【００２９】
このようにして画像処理装置５で取得された欠陥データは、制御コンピュータ８の記憶部２１に記憶される。記憶部２１に記憶された欠陥位置の座標データは、処理部２２によってモニタ９の出力形式に変換された後、図４に示すように、モニタ９のラインマップ３３上に欠陥マーカ３４として表示される。
【００３０】
測長計６からのパルス信号（例えば、１０ｍｍ／パルスの信号）を制御コンピュータ８が受信した場合には、記憶部２２に記憶された欠陥位置の座標は、処理部２２よって検査対象物２の移動方向に１０ｍｍに相当する分だけ移動、更新されると同時に、更新された欠陥位置の座標データは、処理部２２によってモニタ９の出力形式に変換された後、図５に示すようにモニタ９のラインマップ３３上に欠陥マーカ３４’として表示される。さらに、更新前の欠陥位置の座標データに基づく欠陥マーカ３４はモニタ９のラインマップ上から消去される。このようにして、モニタ９のラインマップ上の欠陥マーカ３４は、図５に示すように、処理部２２によって検査対象物の移動方向を示す座標軸３１方向に、検査対象物２の移動速度に同期するように移動させられる。
また、測長計６からのパルス信号は、信号端子台（図示略）を介して画像処理装置５へ出力され、検査対象物２の移動方向に対する画像信号の分解能を検査対象物２の移動速度に対応させるためにも使用されている。
検出位置と検査位置の間の搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度を速度変更手段により変更し、その速度変更手段の搬送ライン上の前方または後方に例えばルーパを配置する構成とする場合、搬送ライン速度に応じてルーパ量が変動する。なお、速度変更手段としては検査対象物の搬送速度を変更する公知の装置が使用される。この場合ルーパ量をモニタ９の表示に反映させるため、前述のルーパ量検出手段（図示せず）を設け、検出されたルーパ量をライン制御盤（図示せず）から０〜１０Ｖのアナログ値をアナログ入力ユニットで入力し、この値を８ビットのデジタル信号信号に変換して制御コンピュータ８に出力し、ルーパ量に応じて制御コンピュータ８の記憶部２１に記憶された欠陥位置の座標を設定することが好ましい。ルーパ量として検出されるアナログ値（０〜１０Ｖ）は、ルーパが貯留可能な検査対象物の量に対する実際に貯留されている検査対象物の量の割合（０〜１００％）を示している。例えばルーパに貯留可能な検査対象物の量が４００ｍの場合、ルーパ量が０％の場合貯留されている検査対象物は０ｍであり、ルーパ量が１００％の場合４００ｍである。
即ち、図６に示すようにラインマップ３３をルーパにより貯留されている部分を表示する領域（ルーパ領域）と、それ以外の領域とに分割し、検査対象物のルーパに保持されている部分を表示する領域において、ルーパにより検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での欠陥マーカの表示位置がルーパ量に応じて変更されるように欠陥位置の座標を設定することが好ましい。ルーパ量の最大値を１００％としたとき、ルーパによる貯留開始時点での欠陥マーカは、例えばルーパ量が１００％である場合はルーパ領域の最上部に表示され、ルーパ量が５０％である場合はルーパ領域の１／２に高さに表示され、ルーパ量が０％である場合はルーパ領域の最下部に表示される。このような構成とすることによりルーパにより貯留されている検査対象物の欠陥位置を正確に知ることができる。
【００３１】
このような欠陥検査装置１にあっては、制御コンピュータ８が、測長計６で検出された検査対象物の移動速度に基づいてモニタ９に表示された欠陥マーカ３４（欠陥位置）を移動させることができるので、検出位置において検出された検査対象物２上の欠陥が、検査対象物２の移動速度に同期して検査位置（目視位置）に流れてくる様子を視覚によって把握することができる。そのため、検出された欠陥の目視確認を容易に行うことができる。
【００３２】
【実施例】
以下、具体的な実施例について説明する。
検出位置からルーパまでの距離が０ｍであり、ルーパが０〜２５０ｍの間で可変であり、ルーパから検査位置（目視位置）までの距離が１００ｍである搬送ラインにおいて、１８８０ｍｍ幅の鋼板の欠陥検査を図１〜図６に示す欠陥検査装置１を用いて行った。
【００３３】
照明装置３としては、京都電機（株）製の１１０Ｗの灯具を用いた。ラインセンサ４としては、画素数２０４８のＳＣＤ−２０４８−２０（三菱レイヨン（株）製、ＣＣＤカメラ）を２台用意し、これらを検査対象物２の幅方向に配置した構成で用いた。このときのラインセンサ４の幅方向分解能は０．５ｍｍ／画素、走行方向分解能は０．５ｍｍ／スキャンであった。画像処理装置５としては、三菱レイヨン（株）製のＬＳＣ−３００を用いた。測長計６としては、三菱レイヨン（株）製のＲＥＡ２００を用いた。
【００３４】
ラインセンサ４から出力された画像信号は、画像処理装置５のＡ／Ｄ変換部１１にて８ビットでデジタル化されるように設定した。欠陥の検査の前に、あらかじめ欠陥のない鋼板の画像信号をラインセンサ４で取り込み、画像処理装置５のＡ／Ｄ変換部１１でデジタル化した後、これを平均化して、閾値Ｄi を設定した。
測長計６は、ルーパの出口側に設置し、１０ｍｍ／パルスのパルス信号を出力するように設定した。
【００３５】
まず、検出位置において、移動速度２５０ｍ／ｍｉｎで移動する検査対象物２からラインセンサ４で得られた画像信号を、画像処理装置５においてＡ／Ｄ変換、二値化、ランレングス符号化および連結性処理し、検査対象物２上の欠陥を検出し、欠陥データを取得した。取得された欠陥データを、制御コンピュータ８によって検査位置（目視位置）のモニタ９のラインマップ３３上に欠陥マーカ３４として表示するとともに、警報装置から警報音を発した。
【００３６】
測長計６からのパルス信号に基づいて、モニタ９のラインマップ３３上に表示された欠陥マーカ３４を制御コンピュータ８によって検査対象物２の移動速度に同期させて移動させ、また、ルーパ量検出手段により検出されたルーパ量に応じて、ルーパにより検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での欠陥マーカのラインマップ上の表示位置を変更するようにした。モニタ９のラインマップ３３上に表示された欠陥マーカ３４が、ラインマップ３３上において検査位置を示す位置に到達すると同時に、警報装置からの警報音を停止した。
このようにして欠陥検査を行った結果、ルーパの出口側での検査対象物２の移動速度を変化させても、検査対象物２上の欠陥が搬送ライン上のどの位置にあるのかを検査位置（目視位置）で正確に把握することができ、検査位置（目視位置）への欠陥の到着を確実に知ることができた。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置によれば、データ処理手段が、検出位置で検出され、検査位置に出力手段に表示された欠陥位置を速度検出手段で検出された移動速度に同期させて移動させるものであるので、検出位置で検出された欠陥が搬送ライン上のどの位置まで到達しているかを検査位置において容易に把握することができ、検査位置への欠陥の到着を確実に知ることができる。
【００３８】
また、前記検出位置において欠陥を検出してから、欠陥が検査位置に到達するまでの間、警報音を発する警報装置が備えられている場合、聴覚により欠陥の検出および欠陥の検査位置への接近を確実に把握できる。
また、搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度を変更する速度変更手段と、その速度変更手段の搬送ライン上の前方に配置された検査対象物貯留手段とをさらに有する場合、速度検出手段を検査対象物貯留手段よりも後方に配置することにより、検査対象物貯留手段の出口側の移動速度の変動に対応できるようになり、出力手段に表示される欠陥位置は正確な位置を示すことが可能となる。また、前記検査対象物貯留手段により貯留される検査対象物の貯留量を検出する貯留量検出手段をさらに有し、データ処理手段が、前記貯留量検出手段により検出された検査対象物の貯留量に応じて、前記検査対象物貯留手段により検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での、前記出力手段に表示する欠陥位置を設定する機能をさらに有するものである場合は、検査対象物貯留手段により貯留されている検査対象物の欠陥位置をより正確に示すことが可能となる。
【００３９】
また、本発明の欠陥検査方法は、検出位置において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像信号を得るステップと、この画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得するステップと、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査位置において検査対象物上の欠陥位置をモニタに表示するステップと、前記モニタに表示された欠陥位置を検査対象物の移動速度に同期させて移動させるステップとを有しているので、検出位置で検出された欠陥が搬送ライン上のどの位置まで到達しているかを検査位置において容易に把握することができ、検査位置への欠陥の到着を確実に知ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の欠陥検査装置の一例を示すブロック図である。
【図２】  本発明の欠陥検査装置に用いられる画像処理装置の一例を示すブロック図である。
【図３】  本発明の欠陥検査装置に用いられる制御コンピュータの一例を示すブロック図である。
【図４】  本発明の欠陥検査装置のモニタに表示されるラインマップを示す概略図である。
【図５】  本発明の欠陥検査装置のモニタに表示されるラインマップを示す概略図である。
【図６】  本発明の欠陥検査装置のモニタに表示されるラインマップを示す概略図である。
【図７】  欠陥の検出位置と検査位置の位置関係を示すブロック図である。
【図８】  欠陥の検出位置、検査位置およびルーパの位置関係を示すブロック図である。
【図９】  （ａ）は、ルーパの一例を示す概略図であり、（ｂ）は、ルーパの他の例を示す概略図である。
【符号の説明】
１  欠陥検査装置
２  検査対象物
４  ラインセンサ（受光手段）
５  画像処理装置（画像処理手段）
６  測長計（速度検出手段）
８  制御コンピュータ（データ処理手段）
９  モニタ（出力手段）
３４  欠陥マーカ（欠陥位置）
【図１】
0003992884.tif 000002
【図２】
0003992884.tif 000003
【図３】
0003992884.tif 000004
【図４】
0003992884.tif 000005
【図５】
0003992884.tif 000006
【図６】
0003992884.tif 000007
【図７】
0003992884.tif 000008
【図８】
0003992884.tif 000009
【図９】
0003992884.tif 000010