(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液タンクから洗浄槽へ洗浄液をポンプで送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄液中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部のバルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液タンクへ戻す方式の超音波洗浄装置において、前記超音波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄液タンクへ戻ってきてから、前記洗浄槽底部のバルブを閉め、前記ポンプで該洗浄液を汲み上げて前記洗浄槽へ送り出し、前記メタルマスク版が洗浄槽中に漬った状態となったとき、前記洗浄槽底部の前記バルブを開けた状態にて、所定時間、メタルマスク版を超音波洗浄しながら、前記ポンプで前記洗浄液タンクから前記洗浄槽へ該洗浄液を送り込み続けることを特徴とするメタルマスク版洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メタルマスク版全体を洗浄槽に溜めた洗浄液に漬けた状態にて、超音波洗浄する方法の改良発明に係わるものであり、メタルマスク版洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
メタルマスク版（以後、メタル版とも称する）全体を洗浄液中にドブンと漬ける、いわゆるドブ漬けした状態で超音波洗浄する装置が知られ、使われてきている。
従来、洗浄槽中で洗浄液にメタル版をドブ漬けして、超音波洗浄した後の洗浄液には、クリームハンダの滓（残滓）やメタル版から剥離した各種の汚れが、特に洗浄液表面付近に、浮遊しており、洗浄液を洗浄槽底部のバルブから（洗浄液タンクへ）落と（排出）すると、それらの残滓または汚れがメタル版に付着してしまう、という問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の技術の有する問題点に鑑み、成されたもので、その目的とするところは、ドブ漬け超音波洗浄方式のメタル版洗浄装置において、通常の従来の超音波洗浄工程後、メタル版に付着してくる残滓または汚れを洗い流すことのできるメタルマスク版洗浄方法を提供することにある。
【０００４】
本発明に係わる請求項１のメタルマスク版洗浄方法は、上記した課題を解決したもので、次のようなものである。
【０００６】
洗浄液タンクから洗浄槽へ洗浄液をポンプで送り出し、前記洗浄槽でメタルマスク版全体を洗浄液中に漬けた状態で超音波洗浄した後、前記洗浄槽底部のバルブを開けて該洗浄液を前記洗浄液槽へ戻す方式の超音波洗浄装置において、前記超音波洗浄後、該洗浄液が前記洗浄槽へ戻ってきてから、前記洗浄槽底部のバルブを閉め、前記ポンプで該洗浄液を汲み上げて前記洗浄槽へ送り出し、前記メタルマスク版が洗浄槽中に漬った状態となったとき、前記洗浄槽底部の前記バルブを開けた状態にて、所定時間、メタルマスク版を超音波洗浄しながら、前記ポンプで前記洗浄液タンクから前記洗浄槽へ該洗浄液を送り込み続ける。
当業者が定める前記所定時間経過後、前記メタルマスク版は、前記洗浄槽から取り出されることになる。
すなわち、請求項２の発明は、通常のドブ漬け超音波洗浄後、メタル版を洗浄液に漬けて超音波を掛けながら、かつ洗浄液ですすぎ洗いし得るようにしたことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
先ず、請求項１の実施の形態を説明する。
【０００９】
請求項１の発明においては、通常のドブ漬け状態での超音波洗浄後、メタルマスク洗浄装置の制御装置は、洗浄槽底部の電磁バルブを開けて、洗浄液を洗浄液タンクへ戻す。洗浄液タンクへ洗浄液が戻ってきたら、前記制御装置は、前記電磁バルブを閉めるとともに、ポンプを駆動させ、洗浄液タンクの洗浄液を洗浄槽へ放出する。前記電磁バルブは、閉じているので、洗浄槽には、洗浄液が溜まっていく。洗浄槽に所定量、洗浄液が溜まると、前記制御装置は、それを認識することができる。従来のドブ漬けのメタルマスク版洗浄装置は、通常フロートを備えており、洗浄槽へ必要量の洗浄液が溜まったことを検出できるようになっているからである。
【００１０】
洗浄槽に所要量の洗浄液が溜まったことを前記制御装置が認識すると、前記制御装置は、前記電磁バルブを開けて、メタル版を超音波洗浄する。このとき、ポンプは駆動させたままであり、洗浄液は、洗浄槽へ放出され続けている。前記電磁バルブは開いており、洗浄槽のメタル版は、洗浄液に漬かった状態で超音波洗浄されており、洗浄液は、洗浄槽から洗浄液タンク、洗浄液タンクから洗浄槽と循環している状態で所定時間、すなわち前記メタル版を所定時間、超音波すすぎ洗いすると、前記制御装置は、超音波を停止させ、前記ポンプを停止させるとともに、前記電磁バルブを開ける。洗浄槽から洗浄液が洗浄液タンクへ戻れば、ユーザは、メタル版を洗浄槽から取り出すことができる。
【００１１】
【実施例】
本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置は、その構成は、従来のドブ漬けの超音波洗浄装置と同様である。すなわち、洗浄液タンク、洗浄槽、電磁バルブ、ポンプ、超音波振動子及び制御装置を主構成要素としている。請求項１の発明は、制御装置にプログラムが実質的にはＲＯＭに内臓されている。請求項１の発明であるすすぎ洗いのプログラムが制御装置に搭載してある。
【００１２】
図１は、本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実施例を示す略斜視図である。
図１は、従来のドブ漬け超音波洗浄後、掛け洗いをしているところを示している。
なお、図１においてメタル版は図示していないが、実際には、当然、洗浄槽３の中に入っている。
【００１３】
電磁バルブ４が開いており、洗浄液は、洗浄液タンク１から洗浄槽３、洗浄槽３から洗浄液タンク１へと循環している。つまり、メタル版を洗浄液で掛け洗いしている。なお、洗浄液循環系のどこかにフィルタ６を設け、洗浄液を濾過することが望まれる。このようにして、いわゆる掛け洗いにより、メタル版に付着しているクリームハンダ等の残滓を洗い流すことができる。
【００１４】
図２は、本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実施例を示す斜視図である。
図２は、従来のドブ漬け洗浄後、メタル版（図示せず）をすすぎながら、超音波洗浄しているところを示したものである。
従来のドブ漬け洗浄後、洗浄液を一旦排出し、電磁バルブ４を閉める。ポンプ２は、洗浄液を洗浄槽３へ入れてメタル版をドブ漬け状態にする。しかる後、図２のように、電磁バルブ４を開け、洗浄液を循環させながら、メタル版を超音波洗浄する。
【００１５】
つまり、超音波を掛けながら、メタル版を洗浄液ですすぎ洗いするわけである。
通常のドブ漬け超音波洗浄後に洗浄液に浮遊しているために、メタル版に付着してくるクリームハンダ等の残滓を除去することができる。
特に、洗浄液循環系にフィルタ６を設けている場合は、前記残滓を強力に除去することができる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明は、以上説明してきたように構成されているので、次に記載する効果を奏する。従来のドブ漬け式のメタル版超音波洗浄装置と同様の構成で、通常の超音波洗浄後、メタル版を超音波すすぎ洗いできる。制御装置５に電磁バルブ４、ポンプ２及び超音波振動子７を制御するプログラムをそれぞれ搭載することによって可能である。
【００１７】
従って、従来の通常の超音波洗浄後、メタル版にクリームハンダ等の残滓ないし汚れが付着してきたとしても、それらを掛け洗いまたは超音波すすぎ洗いで除去できるメタルマスク版洗浄方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実施例を示す略斜視図
【図２】本発明に係わるメタルマスク版洗浄装置の一実施例を示す略斜視図
【符号の説明】
１  洗浄液タンク
２  ポンプ
３  洗浄槽
４  電磁バルブ
５  制御装置
６  フィルタ
７  超音波振動子
開  電磁バルブの開閉状態
ＯＮ、ＯＦＦ  超音波振動子の駆動状態
【図１】
0003951157.tif 000002
【図２】
0003951157.tif 000003