(57)【要約】【課題】  加熱炉からのマイクロ波の漏洩を低減しつつ、加熱炉の外側から被加熱物の複数箇所の温度を同時に測定してその温度分布を把握し、被加熱物全体の確実な温度測定を行うマイクロ波加熱装置を得る。【解決手段】  加熱炉の壁面に観測窓としての開口を複数個形成するとともに、加熱炉の外側に赤外線カメラを近接して設置し、これらの開口を通して赤外線カメラにより被加熱物の温度を測定する際に、観測窓の開口径を、照射するマイクロ波の波長λの１／２未満にして、開口からのマイクロ波の漏洩を低減する。また、開口の中心軸を、赤外線カメラの視野の中心から開口の中心への視軸に一致させ、開口が赤外線カメラ１３の方向を向くように形成する。さらに、開口をふさぐように、導電性の透明材料を配置する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
被加熱物を収容し、前記マイクロ波を導入してこの被加熱物に照射するとともに、この被加熱物の温度を外部から測定するための観測窓としての開口を壁面に形成した金属製の加熱炉と、
前記加熱炉から離間して設置され、前記加熱炉の観測窓を通して前記被加熱物の温度を測定する赤外線カメラとを備え、
前記加熱炉の開口は、その開口径を前記マイクロ波の波長の１／２未満とするとともに、その中心軸を前記赤外線カメラの視野の中心点からこの開口の中心への視軸に一致させて複数個形成したことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
【請求項２】
前記複数個の開口のそれぞれは、開口形成位置における前記加熱炉内のマイクロ波の電界強度に基づいて、その開口径を変えて形成したことを特徴とする請求項１に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項３】
マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、
被加熱物を収容し、前記マイクロ波を導入してこの被加熱物に照射するとともに、この被加熱物の温度を外部から測定するための観測窓としての開口を壁面に形成した金属製の加熱炉と、
前記加熱炉から離間して設置され、前記加熱炉の観測窓を通して前記被加熱物の温度を測定する赤外線カメラとを備え、
前記加熱炉の開口は、収容された前記被加熱物の全体、または所望の範囲を外部から直視できる開口形状を有するとともに、この開口全面をふさぐように導電性の透明材料を配置したことを特徴とするマイクロ波加熱装置。
【請求項４】
前記導電性の透明材料の厚みをレンズ状に形成したことを特徴とする請求項３に記載のマイクロ波加熱装置。
【請求項５】
前記導電性の透明材料は、スズドープ酸化インジウムまたはＦＴＯ（Ｆｌｕｏｒｉｎｅ−ｄｏｐｅｄ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）を含む、透明導電膜付ガラスであることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のマイクロ波加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、マイクロ波加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加熱炉内に置かれた被加熱物にマイクロ波を照射して加熱するマイクロ波加熱装置においては、従来より、被加熱物の温度を測定するセンサとして、例えば赤外線カメラ等が用いられる。この種のマイクロ波加熱装置では、赤外線カメラは、被加熱物全体の温度分布や、特定部位の温度を正確に測定できるように、被加熱物全体を、その視野内に直視できる位置に設置される。
【０００３】
その設置場所としては、例えば、加熱炉の壁面に測定窓を設け、加熱炉内を視野としてこの測定窓に直接埋め込むようにして赤外線カメラを固定した事例がある。また、加熱炉に直接固定した場合には、加熱炉の温度上昇の影響が、そのまま温度センサとしての赤外線カメラに及ぶおそれがあることから、赤外線カメラと加熱炉とを所定の距離をおいて設置し、加熱炉に設けられた複数の観測窓としての開口部を通して被加熱物全体を直視するように構成した事例もある。
【０００４】
このように、赤外線カメラと加熱炉とを離間して設置した、従来のマイクロ波加熱装置の一例をモデル化して図９に示す。この図９に例示したマイクロ波加熱装置では、マイクロ波加熱を行う加熱炉８１は、金属板等の導体で構成され、内部は空洞になっている。加熱炉８１の一側面（図９では左側）には導波管８２が接続されており、マイクロ波発生部（図示せず）からのマイクロ波がこの導波管８２経由で加熱炉内に放射され、被加熱物８３に照射される。
【０００５】
また、加熱炉８１の上面には開口径ｒの３つの観測窓８１１、８１２、及び８１３が設けられている。開口径ｒは、マイクロ波の漏洩を考慮して、炉内に放射されるマイクロ波の波長の半分よりも小さい。さらにその上方で、加熱炉８１の外壁から距離ｄの位置に、これら３つの観測窓を視野に含むようにして、赤外線カメラ８４が設けられている。そして、赤外線カメラ８４は、３つの観測窓８１１〜８１３を通して被加熱物８３を直視し、被加熱物８３の異なる複数箇所の温度を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３０１７６４号公報（第１２ページ、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、加熱炉８１は、その周囲を金属壁によって構成され、マイクロ波伝送路としての一部をなす一種の導波管でもあり、上述したように加熱炉に観測窓としての開口部を設けると、その開口径によってはわずかではあるがマイクロ波が漏洩する。この漏洩するマイクロ波のレベルを低減するには、開口部の開口径をマイクロ波の波長λの１／２未満にすることと併せ、加熱炉８１の壁面も厚くする必要がある。しかしながら、加熱炉の壁面を厚くすると、赤外線カメラ８４の斜め方向の視野に位置する観測窓からは、被加熱物を直視できない、あるいは直視できる範囲が極めて狭くなる場合がある。この様子を、図１０を参照して説明する。
【０００８】
図１０は、３つの観測窓８１１〜８１３を通して、赤外線カメラ８４により温度測定が可能な被加熱物の範囲を例示した説明図である。この図１０に例示したように、赤外線カメラ８４と正対している観測窓８１２では、被加熱物８３の温度測定が可能であるが、両端の観測窓８１１、及び８１３では、加熱炉８１の金属壁の厚みによって被加熱物８３を直視することができない。従って、複数の観測窓を設けても、被加熱物８３の異なる複数箇所の温度を同時に測定することができず、被加熱物８３の温度分布の測定に正確さを欠いていた。
【０００９】
また、加熱炉内には、放射されたマイクロ波による定在波が形成されるので、炉内におけるマイクロ波の電界強度は一様ではない。このため、電界強度の高い部分に観測窓が設けられると、同じ開口径の観測窓でも、漏洩量が多くなるという課題があった。
【００１０】
さらに、加熱炉の外部からその内部の視認性を確保しつつ、加熱炉内部の保温、あるいは内部の気体留保のため、観測窓をガラス等で封止することもある。しかし、ガラスはマイクロ波にとっては誘電体であるため、観測窓の開口径は、ガラスを取り付けない場合に比べて小さくする必要があるため、観測性が悪化し、特に被加熱物８３が小型の場合には正確な温度測定が困難であった。
【００１１】
本実施形態は、上述の事情を考慮してなされたものであり、加熱炉からのマイクロ波の漏洩を低減しつつ、加熱炉の外側から被加熱物の複数箇所の温度を同時に測定してその温度分布を把握し、被加熱物全体の確実な温度測定を行うマイクロ波加熱装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本実施形態の第１のマイクロ波加熱装置は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、被加熱物を収容し、前記マイクロ波を導入してこの被加熱物に照射するとともに、この被加熱物の温度を外部から測定するための観測窓としての開口を壁面に形成した金属製の加熱炉と、前記加熱炉から離間して設置され、前記加熱炉の観測窓を通して前記被加熱物の温度を測定する赤外線カメラとを備え、前記加熱炉の開口は、その開口径を前記マイクロ波の波長の１／２未満とするとともに、その中心軸を前記赤外線カメラの視野の中心点からこの開口の中心への視軸に一致させて複数個形成したことを特徴とする。
【００１３】
また、本実施形態の第２のマイクロ波加熱装置は、マイクロ波を発生するマイクロ波発生部と、被加熱物を収容し、前記マイクロ波を導入してこの被加熱物に照射するとともに、この被加熱物の温度を外部から測定するための観測窓としての開口を壁面に形成した金属製の加熱炉と、前記加熱炉から離間して設置され、前記加熱炉の観測窓を通して前記被加熱物の温度を測定する赤外線カメラとを備え、前記加熱炉の開口は、収容された前記被加熱物の全体、または所望の範囲を外部から直視できる開口形状を有するとともに、この開口全面をふさぐように導電性の透明材料を配置したことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第１の実施例の構成を示すブロック図。
【図２】開口の断面と赤外線カメラとの位置関係の一例を示す説明図。
【図３】本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第２の実施例における加熱炉の説明図。
【図４】図３（ａ）におけるＡ−Ｂ面の断面図。
【図５】本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第３の実施例の構成を示すブロック図。
【図６】開口１２８周辺における加熱炉１２ｂの断面図。
【図７】本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第４の実施例における、加熱炉１２ｂに形成された開口周辺の断面図。
【図８】図７に例示した第４の実施例の変形例を説明するための断面図。
【図９】従来のマイクロ波加熱装置の一例をモデル化して示す構成図。
【図１０】観測窓を通して温度測定が可能な被加熱物の範囲を例示した説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置を実施するための最良の形態について、図１〜図７を参照して説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第１の実施例の構成を示すブロック図である。このマイクロ波加熱装置１は、マイクロ波発生部１１、加熱炉１２、赤外線カメラ１３、及び制御部１４を備えている。そして、マイクロ波発生部１１で発生させたマイクロ波を、加熱炉１２内に収容された被加熱物１６に照射して加熱するとともに、加熱炉１２の外部に設置された赤外線カメラ１３で被加熱物の温度を測定し、その測定結果に基づいて、制御部１４はマイクロ波発生部１１で発生させるマイクロ波のレベルを制御することによって、被加熱物１６の加熱を制御するように構成されている。
【００１７】
マイクロ波発生部１１は、被加熱物１６に照射するためのマイクロ波信号を発生し、加熱炉１２に送出する。本実施例では、後述する制御部１４からの制御により、マイクロ波の出力レベルを変えられるものとしている。
【００１８】
加熱炉１２は、金属製で、内部に被加熱物１６を収容し、この被加熱物１６にマイクロ波発生部１１からのマイクロ波を照射して加熱する。本実施例においては、その形状は直方体としている。加熱炉１２の壁面の中の一面には、マイクロ波発生部１１からのマイクロ波を炉内に導入するための導入口１２４が形成されており、マイクロ波発生部１１と導波管１５で接続されている。マイクロ波発生部１１からのマイクロ波は、導波管１５を経由してこの導入口１２４から炉内に放射される。
【００１９】
この直方体の形状をした加熱炉１２を導波管に見立てた場合に、その幅の長辺に相当する壁面（図１では上壁面）には、加熱炉１２の外部から被加熱物１６の温度を測定するための観測窓としての３つの開口１２１、１２２、及び１２３が一列に形成されている。これら３つの開口は、いずれもその開口径ｒが加熱炉１２内で照射されるマイクロ波の波長λの１／２未満であり、かつ、その開口の中心軸は、赤外線カメラ１３の視野の中心点からこの開口の中心への視軸に一致するように形成されている。これらの開口の形成について、図２を参照して詳述する。
【００２０】
図２は、観測窓としての開口１２１、１２２、及び１２３が形成された加熱炉の壁面の断面と赤外線カメラ１３との位置関係の一例を示す説明図である。この図２において、赤外線カメラ１３は、加熱炉１２の壁面から距離ｄだけ離間して設置されており、３つの開口１２１、１２２、及び１２３の中で、開口１２２は、この赤外線カメラ１３の視野と正対する位置に形成され、他の開口１２１、及び１２３は斜め方向に形成されているものとしている。３つの開口１２１、１２２、及び１２３の開口径ｒは、いずれもマイクロ波の波長λの１／２未満としている。そして、それぞれの開口の中心軸１２１ｐ、１２２ｐ、及び１２３ｐ（一点鎖線で図示）は、赤外線カメラ１３の視野の中心点から各開口の中心点への視軸である視軸ａ、視軸ｂ、及び視軸ｃ（破線で図示）にそれぞれ一致させて形成されている。
【００２１】
従って、各開口の側壁は、赤外線カメラ１３の視野に正対した位置の開口１２２では、加熱炉１２の壁面の厚さ方向に平行となるが、開口１２１、及び１２３では、赤外線カメラ１３の方向を向くようにして、厚さ方向に対して傾きを持って形成される。このように、開口の中心軸を赤外線カメラ１３の方向に向けて形成することによって、赤外線カメラ１３から斜め方向に形成された開口を通して被加熱物１６を観測したときに、開口の側壁によって被加熱物１６への視界が遮られることがなくなるため、被加熱物１６の複数箇所の温度を同時に測定してその温度分布を把握することができ、被加熱物全体の確実な温度測定を行うことが可能となる。
【００２２】
赤外線カメラ１３は、加熱炉１２の壁面から距離ｄ離間して設置され、加熱炉１２に設けられた観測窓としての複数個の開口１２１、１２２、及び１２３を通して、加熱炉１２の外部から被加熱物１６の温度を測定する。本実施例においては、加熱炉１２との距離ｄは、例えばマイクロ波の波長λの１／２よりも長い距離としており、また、加熱炉１２に設けられた開口１２１〜１２３を、いずれもその視野内に含むように設置されている。
【００２３】
図２の事例では、開口１２２は視野の中心に正対しており、開口１２１及び１２３は、視野内の斜め方向に位置している。そして、いずれの開口も、赤外線カメラ１３の方向を向いて形成されているので、赤外線カメラ１３は、加熱炉１２内の被加熱物１６の異なる複数箇所を同時に直視しながら、温度測定を行うことができる。測定結果は、例えば赤外線カメラ１３のモニタ部（図示せず）などに表示されるとともに、制御部１４に送られる。
【００２４】
制御部１４は、赤外線カメラ１３からの温度測定結果を受けとり、被加熱物１６の温度分布等、加熱炉１２内の加熱状況に応じてマイクロ波発生部１１で発生させるマイクロ波のレベルを制御し、加熱状況を監視・制御する。
【００２５】
上述のように、本実施例のマイクロ波加熱装置１においては、加熱炉の内部に収容した被加熱物にマイクロ波を照射してその温度を測定するにあたって、加熱炉の壁面に観測窓としての開口を複数個形成するとともに、加熱炉の外側に赤外線カメラを近接して設置し、これらの開口を通して赤外線カメラにより被加熱物の温度を測定している。そして、観測窓として加熱炉の壁面に設けた複数個の開口部ついては、それぞれその開口径を、照射するマイクロ波の波長λの１／２未満にすることによって、開口からのマイクロ波の漏洩を低減している。
【００２６】
また、開口の中心軸を、赤外線カメラの視野の中心から開口の中心への視軸に一致させ、各開口が加熱炉壁面の厚さ方向に対して傾きを持って、赤外線カメラ１３の方向を向くように形成している。これにより、赤外線カメラ１３から斜め方向に形成された各開口からも、加熱炉内部の被加熱物を直視することができるため、被加熱物の複数箇所の温度を同時に測定することができる。
【００２７】
従って、加熱炉の外側から内部に配置された被加熱物の温度を測定する際に、加熱炉からのマイクロ波の漏洩を低減しつつ、被加熱物の複数箇所の温度を同時に測定してその温度分布を把握し、被加熱物全体の確実な温度測定を行うことのできるマイクロ波加熱装置を得ることができる。
【実施例２】
【００２８】
図３は、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第２の実施例における加熱炉の説明図であり、図３（ａ）は、加熱炉の上壁面に設けた観測窓としての開口をモデル化して示した平面図、また、図３（ｂ）は、加熱炉内部の電界強度の一例を示した図である。この第２の実施例について、図１〜図２に示した第１の実施例の各部と同一の部分は同一の符号で示し、説明は省略する。
【００２９】
この第２の実施例が第１の実施例と異なる点は、加熱炉に観測窓としての複数の開口を形成するにあたって、第１の実施例では、加熱炉１２の上壁面に、同じ開口径ｒの複数個（図１の事例では３個）の開口を形成したのに対して、この第２の実施例では、図３（ａ）に例示したように、開口の形成位置における加熱炉内のマイクロ波の電界強度に応じて、異なる開口径を有する複数個の開口を、加熱炉の上壁面に２次元に形成した点である。以下、前出の図１〜図２、ならびに図３〜図４を参照して、その相違点を中心に説明する。
【００３０】
第２の実施例のマイクロ波加熱装置も、図１に例示した第１の実施例と同様に、マイクロ波発生部１１で発生させたマイクロ波を、導波管１５を経由して加熱炉１２ａ内に導入し、その内部に収容された被加熱物１６に照射して加熱するとともに、加熱炉１２ａの外部に設置された赤外線カメラ１３で被加熱物の温度を測定し、その測定結果に基づいて、制御部１４はマイクロ波発生部１１で発生させるマイクロ波のレベルを制御して、被加熱物１６の加熱を制御するように構成されている。
【００３１】
ここで、第２の実施例においては、加熱炉１２ａの上壁面に異なる開口径を有する複数個の開口を２次元に配置している。図３、及び図４にその一例を示す。図３（ａ）は、加熱炉１２ａの上壁面をモデル化して示したの平面図の一例である。また、図４は、図３（ａ）におけるＡ−Ｂ面の断面の一例である。この図３（ａ）、及び図４の事例では、３種類の異なる開口径を有する開口として、開口径がそれぞれｒ５の開口１２５、ｒ６の開口１２６、及びｒ７の開口１２７がそれぞれ複数個、２次元に配列されて形成されてものとしている。またそれぞれの開口径は、いずれもマイクロ波の波長λの１／２未満であり、かつ図３（ｂ）に例示したそれぞれの開口の形成位置における加熱炉１２ａ内のマイクロ波の電界強度に基づいて、電界強度の低い位置では開口径を大きく、また電界強度の高い位置では開口径を小さく形成している。すなわち、この事例では、ｒ５＜ｒ６＜ｒ７＜λ／２としている。これによって、各開口からのマイクロ波の漏洩を一層低減することができる。
【００３２】
加えて、いずれの開口も、図４の断面図に例示したように、第１の実施例と同様に、赤外線カメラ１３の方向を向いて形成されている。すなわち、この図４では、開口径ｒ６の開口１２６が赤外線カメラ１３と正対する位置にあり、開口径ｒ５の開口１２５、及び開口径ｒ６の開口１２７は、赤外線カメラ１３から斜めの視野方向に位置しているものとしている。そして、それぞれの開口の中心軸は、赤外線カメラ１３からそれぞれの開口の中心への視軸に一致するように形成されている。これによって、赤外線カメラ１３から斜め方向に形成された開口についても、その側壁によって被加熱物１６への視界が遮られることがなくなり、被加熱物１６の複数箇所の温度を同時に測定してその温度分布を把握することができ、被加熱物全体の確実な温度測定を行うことができる。
【００３３】
以上説明したように、本実施例においては、加熱炉からのマイクロ波の漏洩を一層低減しつつ、被加熱物全体の確実な温度測定を行うことのできるマイクロ波加熱装置を得ることができる。
【実施例３】
【００３４】
図５は、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第３の実施例の構成を示すブロック図である。この第３の実施例について、図１〜図２に示した第１の実施例の各部と同一の部分は同一の符号で示し、説明は省略する。この第３の実施例が第１の実施例と異なる点は、加熱炉に観測窓としての開口を形成するにあたって、第１の実施例では、加熱炉１２の上壁面に、開口径がマイクロ波の波長λの１／２未満の複数個の開口を形成したのに対して、この第３の実施例では、加熱炉内に収容された被加熱物の全体、または所望の範囲を外部から直視できる、広い面積を有する開口を形成するとともに、その開口全体をふさぐように導電性の透明材料を配置した点である。以下、前出の図１〜図２、ならびに図５〜図６を参照して、その相違点を中心に説明する。
【００３５】
この第３の実施例のマイクロ波加熱装置３も、図１に例示した第１の実施例と同様に、マイクロ波発生部１１で発生させたマイクロ波を、導波管１５を経由して加熱炉１２ｂ内に導入し、その内部に収容された被加熱物１６に照射して加熱するとともに、加熱炉１２ｂの外部に設置された赤外線カメラ１３で被加熱物の温度を測定し、その測定結果に基づいて、制御部１４はマイクロ波発生部１１で発生させるマイクロ波のレベルを制御して、被加熱物１６の加熱を制御するように構成されている。
【００３６】
ここで、第３の実施例のマイクロ波加熱装置３では、加熱炉１２ｂの上壁面に、その外側から内部の被加熱物１６の全体を直視できる形状の開口１２８が形成されており、その開口１２８には、導電性の透明材料を用いた透明平板１２８１が配置されている。開口部１２８周辺の断面図を図６に示す。図６は、開口１２８周辺における加熱炉１２ｂの断面図の一例である。
【００３７】
図６に示した事例では、加熱炉１２ｂの上壁面には、内部の被加熱物１６を炉外から直視できるように、広い開口１２８が設けられているとともに、この開口１２８をふさぐように、導電性の透明材料を用いた透明平板１２８１がはめ込まれて配置され、透明窓として構成されている。本実施例においては、透明平板１２８１は、スズドープ酸化インジウムを含む導電性の透明材料により形成されるものとしている。そして、赤外線カメラ１３は、被加熱物１６全体を直視できる開口１２８、及び透明平板１２８１からなる透明窓を通して、加熱炉１２ｂの外側から被加熱物１６の温度を測定する。
【００３８】
このように、加熱炉１２ｂの壁面に形成する開口１２８の形状を、例えば、被加熱物１６の温度測定の対象範囲に合わせて、広い開口面積を持った形状とし、この開口１２８に透明平板１２８１を配置することによって、赤外線カメラ１３は、被加熱物１６の対象範囲全体を直視することができ、その温度分布を確実に測定することができる。また、開口１２８に配置された透明平板１２８１は、導電性であるため、加熱炉１２ｂ内のマイクロ波はこの透明平板１２８１により遮蔽されて、外部への漏洩が阻止される。
【００３９】
従って、本実施例においても、加熱炉の外側から内部に配置された被加熱物の温度を測定する際に、加熱炉からのマイクロ波の漏洩を低減しつつ、被加熱物全体の温度分布を把握して、確実な温度測定を行うことのできるマイクロ波加熱装置を得ることができる。特に、加熱炉内を高温に保持し、あるいはガス等の流体で充満させる場合には、このように導電性の透明な平板を開口に配置して加熱炉を密閉することによって、開口からの熱あるいはガス漏れ等も防止することができる。
【００４０】
なお、本実施例においては、開口１２８に導電性の透明材料からなる透明平板１２８１を埋め込むように構成したが、導電性の透明材料をフィルム状にして、開口１２８全面を覆うように構成することもできる。
【実施例４】
【００４１】
図７は、本実施形態に係るマイクロ波加熱装置の第４の実施例における、加熱炉１２ｂに形成された開口周辺の断面図である。この第４の実施例について、図５〜図６に示した第３の実施例の各部と同一の部分は同一の符号で示し、説明は省略する。この第４の実施例が第３の実施例と異なる点は、第３の実施例では、加熱炉に観測窓として形成した開口に、導電性の透明材料を用いた平板を配置したのに対して、この第４の実施例では、これを平板ではなく、レンズ状にした点である。以下、前出の図５〜図６、ならびに図７を参照して、その相違点のみを説明する。
【００４２】
図７に例示したように、本実施例においても、図５に例示した第３の実施例と同様に、加熱炉１２ｂの上壁面には、その外側から内部の被加熱物１６を直視できる開口１２８が形成されている。この開口１２８には、例えばスズドープ酸化インジウム等を含む導電性の透明材料を用いた、レンズ状の透明板１２８２がはめ込まれて配置されている。本実施例では、透明板１２８２は、凸レンズ状に加工されているものとしている。そして、赤外線カメラ１３は、このレンズ状の透明板１２８２がはめ込まれた開口１２８を通して、加熱炉１２ｂの外側から被加熱物１６を直視し、温度を測定する。
【００４３】
このように、加熱炉１２ｂに形成した開口１２８にレンズ状の透明板１２８２を配置することによって、第３の実施例と同様の効果に加え、特に、被加熱物が小さい場合でも、赤外線カメラ側で倍率を上げる必要がなく、赤外線カメラの感度を十分に維持することができるので、小型の被加熱物に対しても確実な温度測定を実現することができる。
【変形例】
【００４４】
図８は、上述した第４の実施例の変形例である。この事例では、透明板１２８２は、凹レンズ状に加工されており、被加熱物１６が比較的大きな場合でも、開口１２８を大きさを変えることなく被加熱物全体を直視することができる。従って、開口１２８に比べて大きな被加熱物に対しても確実な温度測定を行うことができる。
【００４５】
なお、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４６】
１、３  マイクロ波加熱装置
１１  マイクロ波発生部
１２、１２ａ、１２ｂ  加熱炉
１３  赤外線カメラ
１４  制御部
１５  導波管
１６  被加熱物
１２１、１２２、１２３、１２５、１２６、１２７、１２８  開口
１２４  導入口
１２８１  透明平板
１２８２  レンズ状の透明板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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