(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼成過程で生じる反りを抑えるための荷重体を、セラミック生基板に載置する際に使用される荷重体載置用治具であって、
前記セラミック生基板を前記治具上の所定位置に配置するための第１の凹部が上部に形成され、前記荷重体を前記第１の凹部における所定位置に配置するための第２の凹部が前記第１の凹部に形成されていることを特徴とする荷重体載置用治具。
【請求項２】
前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部の外周上端部に面取りが施されていることを特徴とする請求項１記載の荷重体載置用治具。
【請求項３】
前記治具を反転させた場合に、前記セラミック生基板を支持する台板の位置決め用ガイド部が上面外周部に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の荷重体載置用治具。
【請求項４】
少なくとも一つの隅部に切除部が形成されていることを特徴とする請求項３記載の荷重体載置用治具。
【請求項５】
反転用把持部が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかの項に記載の荷重体載置用治具。
【請求項６】
前記反転用把持部が、外周下部に形成された段差であることを特徴とする請求項５記載の荷重体載置用治具。
【請求項７】
前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部底面に開口する貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかの項に記載の荷重体載置用治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は荷重体載置用治具に関し、より詳細には、焼成過程で生じるセラミック基板の反りを抑えるための荷重体を、セラミック生基板に載置する際に使用される荷重体載置用治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体パッケージ用セラミック基板は、セラミック生基板（焼成後に基板となる）をＭｏ板等の台板上に載置し、さらに前記セラミック生基板上の一部に荷重体を載置し、その後焼成することによって製造される場合がある。
ここで、前記セラミック生基板に前記荷重体を載置するのは、焼成過程で熱収縮により生じる基板の反りを抑えるためである。
【０００３】
例えば、１０００℃以下で焼成される低温焼成セラミック多層基板は、その焼成過程で、基板内層の導体パターンとセラミックとの焼成収縮率の相違により基板に反りを生じることがあり、この基板の反りは該基板に実装するチップの接合信頼性を低下させる等、品質低下の原因となる。
【０００４】
図３（ａ）は、前記荷重体の載置例を示した斜視図であり、（ｂ）は側面図である。図３（ｂ）に２点鎖線で示したように、セラミック生基板１の四隅側の部分が上方に反りやすい場合には、図３（ａ）に示したように、セラミック生基板１の四隅部に荷重体２を載置する。
また、図４は荷重体２の載置された複数のセラミック生基板１の台板３への載置例を示した平面図である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来より、特開平９−１３２４６４号公報に開示されているように、セラミック生基板を台板に載置し、前記セラミック生基板に荷重体を載置し、そして焼成するといった一連の作業を機械によって自動的に行なわせるといった技術は存在する。
【０００６】
ところで、近年、セラミック基板の需要が多品種少量に変わってきており、前記セラミック生基板の寸法は当然のこととして、前記荷重体の寸法、形状、数量、そして載置パターン等、様々な種類が出てきているため、前記セラミック生基板に前記荷重体を載置するといった作業の機械化については、コスト面で問題が生じてきていた。
そこで、前記セラミック生基板への前記荷重体の載置は一個ずつ手作業で行なう場合が多かった。
【０００７】
しかしながら、前記荷重体の載置を１個ずつ手作業で行なっていては、作業効率が悪いといった問題や、載置ミス（間違った荷重体の載置）、載置ズレが発生し易いといった問題があった。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、前記荷重体を容易に、かつ適切に前記セラミック生基板に載置することのできる荷重体載置用治具を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段及びその効果】
上記目的を達成するために本発明に係る荷重体載置用治具（１）は、焼成過程で生じる反りを抑えるための荷重体を、セラミック生基板に載置する際に使用される荷重体載置用治具であって、前記セラミック生基板を前記治具上の所定位置に配置するための第１の凹部が上部に形成され、前記荷重体を前記第１の凹部における所定位置に配置するための第２の凹部が前記第１の凹部に形成されていることを特徴としている。
【００１０】
上記荷重体載置用治具（１）によれば、まず最初に前記第２の凹部に前記荷重体を配置し、次に前記第１の凹部に前記セラミック生基板を配置し、その後前記治具を反転させることによって、前記荷重体を前記セラミック生基板に載置することができる。また、前記第１の凹部、及び前記第２の凹部は前記治具上部、及び前記第１の凹部における所定位置にそれぞれ形成されているので、載置ズレや載置ミスといった問題が解消される。
【００１１】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（２）は、上記荷重体載置用治具（１）において、前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部の外周上端部に面取りが施されていることを特徴としている。
【００１２】
上記荷重体載置用治具（２）によれば、前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部の外周上端部に面取りが施されているので、これら凹部への前記セラミック生基板や前記荷重体の配置が大変スムーズなものになる。
【００１３】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（３）は、上記荷重体載置用治具（１）又は（２）において、前記治具を反転させた場合に、前記セラミック生基板を支持する台板の位置決め用ガイド部が上面外周部に形成されていることを特徴としている。
【００１４】
上記荷重体載置用治具（３）によれば、前記ガイド部が形成されているので、前記台板の前記治具での位置決めが容易になる。従って、前記治具を反転させ、前記台板により前記セラミック生基板を支持させた場合に、前記セラミック生基板を前記台板上の所定位置に容易に、かつ適切に載置することができる。
【００１５】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（４）は、上記荷重体載置用治具（３）において、少なくとも一つの隅部に切除部が形成されていることを特徴としている。
【００１６】
上記荷重体載置用治具（４）によれば、隅部に前記切除部が形成されているので、前記台板の前記治具に対する位置決めの際に、前記台板の角が前記治具上面に引っかかったりして前記台板がスムーズに動かなくなるのを防止することができる。
【００１７】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（５）は、上記荷重体載置用治具（１）〜（４）のいずれかにおいて、反転用把持部が設けられていることを特徴としている。
【００１８】
上記荷重体載置用治具（５）によれば、前記反転用把持部が設けられているので、容易に前記治具を反転させることができる。
【００１９】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（６）は、上記荷重体載置用治具（５）において、前記反転用把持部が、外周下部に形成された段差であることを特徴としている。
【００２０】
上記荷重体載置用治具（６）によれば、前記反転用把持部として特別な部材を設ける必要がないので、余計に前記治具が大きくなることはなく、またコストの増大をも抑えることができる。
【００２１】
また、本発明に係る荷重体載置用治具（７）は、上記荷重体載置用治具（１）〜（６）のいずれかにおいて、前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部底面に開口する貫通孔が形成されていることを特徴としている。
【００２２】
上記荷重体載置用治具（７）によれば、前記第１の凹部、及び／又は前記第２の凹部底面に開口する前記貫通孔が形成されているので、前記治具を清掃する際に異物等の除去が大変容易になる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る荷重体載置用治具の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１（ａ）は、実施の形態に係る荷重体載置用治具（１）を概略的に示した平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【００２４】
図中１０は荷重体載置用治具（以下、単に治具とも記す）を示している。セラミック生基板１（図３参照）を治具１０上の所定位置に配置するための第１の凹部１１が治具１０の上部に縦３列、横３列に形成され、さらに荷重体２（図３参照）を第１の凹部１１における所定位置に配置するための第２の凹部１２が第１の凹部１１の底面部四隅に形成されている。
【００２５】
また、治具１０を反転させた場合に、セラミック生基板１を支持する台板３（図４参照）の位置決め用ガイド部１３が治具１０の上面外周部に形成され、さらに隅部には切除部１４が形成されており、台板３の治具１０に対する位置決めの際に、台板３の角が治具１０の上面に引っかかったりして、台板３がスムーズに動かなくなるのを防止するようになっている。また、反転用把持部として、外周下部に段差１５が形成されている。
【００２６】
上記実施の形態に係る荷重体載置用治具（１）によれば、まず最初に第２の凹部１２に荷重体２を配置し、次に第１の凹部１１にセラミック生基板１を配置し、その後治具１０上面に台板３を配置し、最後に治具１０を反転させることによって、荷重体２が適切に載置されたセラミック生基板１を、台板３上へ適切に載置することができる。また、第１の凹部１１、第２の凹部１２は治具１０の上部、第１の凹部１１における所定位置にそれぞれ形成されているので、載置ズレや載置ミスといった問題が解消される。
【００２７】
また図２（ａ）は、図１に示した荷重体載置用治具１０における第１の凹部１１の拡大平面図であり、（ｂ）は断面図である。
図中１１ａ、１２ａはそれぞれ第１の凹部１１、第２の凹部１２に形成された面取り部を示しており、面取り部１１ａ、１２ａによって、第２の凹部１２への荷重体２の配置や、第１の凹部１１へのセラミック生基板１の配置が大変スムーズに行なえる。
【００２８】
また、第１の凹部１１、第２の凹部１２底面に開口する貫通孔１６、１７が形成されており、これら貫通孔１６、１７の形成により治具１０を清掃する際に異物等の除去が大変容易となる。
【００２９】
ここでは、荷重体２をセラミック生基板１の四隅部に載置する際に使用される荷重体載置用治具１０について説明しているが、荷重体２を載置する位置、及び数量は、セラミック生基板１の種類（基板の反り傾向）によって異なってくるので、第２の凹部１２の形成位置は前記種類に応じて決定される。例えば、中央部分が上方に反りやすいセラミック生基板１の場合には、第２の凹部１２の形成位置は第１の凹部１１の中央部となる。
【００３０】
また、治具１０、及び第１の凹部１１の寸法は、セラミック生基板１や台板３の寸法等に基づいて決定され、第２の凹部１２の寸法は、セラミック生基板１の反りを矯正するのに適した積載位置や数量等に基づいて決定される。
【００３１】
また、治具１０の材質としては、ポリアセタール材等の耐摩耗性に優れたエンジニアリングプラスチックが適している。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の実施の形態に係る荷重体載置用治具（１）を概略的に示した平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図２】（ａ）は、図１に示した荷重体載置用治具における第１の凹部の拡大平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図３】（ａ）は、荷重体の載置例を示した斜視図であり、（ｂ）は側面図である。
【図４】荷重体の載置された、複数のセラミック生基板の台板への載置例を示した平面図である。
【符号の説明】
１  セラミック生基板
２  荷重体
３  台板
１０  荷重体載置用治具
１１  第１の凹部
１１ａ、１２ａ  面取り部
１２  第２の凹部
１３  ガイド部
１４  切除部
１５  段差（反転用把持部）
１６、１７  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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