(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填されている液化塩化水素を使い終えた後、大気に開放された高圧ガス容器、または新品の高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する方法において、
高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する充填工程と、
続いて前記高圧ガス容器内部の金属酸化物と前記液化塩化水素とを反応させて水を生成させる反応工程と、
続いて前記反応工程にて生成した水を含む液化塩化水素を当該高圧ガス容器から排出して廃棄する排出工程と、
その後、前記高圧ガス容器を大気に開放せずに、当該高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する工程と、を含むことを特徴とする高圧ガス容器への液化塩化水素の充填方法。
【請求項２】
前記反応工程は、前記液化塩化水素が充填された高圧ガス容器の内部温度を３０℃以上５０℃以下に調整して行うことを特徴とする請求項１記載の高圧ガス容器への液化塩化水素の充填方法。
【請求項３】
前記反応工程は、前記液化塩化水素が充填された高圧ガス容器の外表面を加熱手段で被覆することにより、前記高圧ガス容器の内部温度を３０℃以上５０℃以下に調整することを特徴とする請求項２記載の高圧ガス容器への液化塩化水素の充填方法。
【請求項４】
排気手段と液化塩化水素供給源とが接続されたガス流路を高圧ガス容器に接続し、このガス流路を介して排気手段により排出工程を行った後、バルブを切り換えて液化塩化水素供給源により液化塩化水素を充填する工程を行うことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の高圧ガス容器への液化塩化水素の充填方法。
【請求項５】
前記金属酸化物は、鉄酸化物、クロム酸化物、モリブデン酸化物、マンガン酸化物の何れかであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の高圧ガス容器への液化塩化水素の充填方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液化塩素を充填する高圧ガス容器から金属酸化物を除去する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造プロセス等で使用される無水液化塩化水素は高圧ガス容器に充填されて顧客まで運搬されるが、この高圧ガス容器としては、新品の容器もあれば、顧客から返還されたいわゆる戻り容器もある。
【０００３】
ここで高圧ガス容器は、購入時や、容器弁不良時、耐圧検査時等に開放整備を行わなければならないが、この開放整備とは容器弁をガス容器本体から取り外して所定の整備を行うことである。具体的には、先ず残ガスを排気してから、容器弁を外して容器内部を例えば水等で洗浄し、次いで容器内部を乾燥させてから容器弁を取り付けて、容器内を真空引きした後、ここに新たに無水液化塩化水素を充填している。しかしながらこれらの操作を行うと、容器内の水洗又は乾燥時に、容器材料に含まれる鉄が大気により酸化され、酸化第一鉄（ＦｅＯ）をはじめとする鉄酸化物被膜が容器内表面に生成してしまう。
【０００４】
ところでこれら鉄酸化物が存在する容器に水分濃度が例えば０．５ｗ／ｗｐｐｍ程度の高純度の無水液化塩化水素を充填すると、鉄酸化物は塩化水素と反応して水を生成するという性質を有しているので、この水が不純物となる。
【０００５】
容器内の鉄酸化物被膜の発生を抑える手段の一つとしては例えば電解研磨容器を用いればよいと言われているが、この方法は、容器内表面を平滑にすることにより、酸化速度を小さく抑えたものである。また別の手法として例えば塩酸等の酸で容器内を洗浄した後、ショットブラスト研磨等の公知の研磨法により容器の内面を研磨し、次いでイソプロピルアルコール等を容器内面に吹き付けることにより当該容器内面を脱水し、最後に窒素等の不活性ガス等の水分濃度の低いガスを容器内に封入して、容器内壁の酸化を防ぐことも行なわれている。さらにこの他、液化塩化水素によって容器内面の共洗いしたり、容器内面を真空乾燥したりして、容器内面の水分汚染源となる鉄酸化物の除去を行なう手法もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら電解研磨容器は高価であり、容器を研磨する手法は、作業工程が多いので、コストが高くなるという問題や、十分に水分汚染源となる容器内壁の酸化を防止できないという問題があり、容器の共洗いや真空乾燥といった手法においても、やはり鉄酸化物等の発生は抑えられない。
【０００７】
例えば鉄酸化物が残っている５００ｋｇ高圧ガス容器に、水分濃度が０．５ｗ／ｗｐｐｍ以下の無水液化塩化水素を充填した場合、上述の鉄酸化物と塩化水素との反応により水が発生して、この水分の大部分は液化塩化水素中に溶解する。そして液化塩化水素ガスを使用していくと、水分の大部分は容器中の塩化水素の液相に残留しやすいので、徐々に容器内の塩化水素の液相中の水分濃度が高まり、場合によっては水分濃度が１０．０ｗ／ｗｐｐｍ以上になることもある。
【０００８】
ところで無水液化塩化水素の使用者側では、水分濃度が所定値以上になると、液化塩化水素は使用できない場合もある。一方最近の産業の高度化やコスト削減運動の展開により、容器内のガス使用効率を向上させることが要求されており、高圧ガス容器内の水分汚染源を極力排除することが望まれている。
【０００９】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、液化塩素を充填する高圧ガス容器から金属酸化物を除去する技術を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、充填されている液化塩化水素を使い終えた後、大気に開放された高圧ガス容器、または新品の高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する方法において、
高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する充填工程と、
続いて前記高圧ガス容器内部の金属酸化物と前記液化塩化水素とを反応させて水を生成させる反応工程と、
続いて前記反応工程にて生成した水を含む液化塩化水素を当該高圧ガス容器から排出して廃棄する排出工程と、
その後、前記高圧ガス容器を大気に開放せずに、当該高圧ガス容器に液化塩化水素を充填する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
ここで前記反応工程は、前記液化塩化水素が充填された高圧ガス容器を所定温度例えば高圧ガス容器の内部温度を３０℃以上５０℃以下に調整しながら行うことが望ましく、この場合例えば前記液化塩化水素が充填された高圧ガス容器の外表面を加熱手段で被覆することにより、前記高圧ガス容器の内部温度が前記所定温度に調整される。また前記排出工程は、前記高圧ガス容器のガス流路に排気手段を接続して、前記ガス流路を減圧しながら、前記反応工程にて生成した水を含む液化塩化水素を吸引排気することが望ましい。
【００１２】
このような方法では、反応工程にて高圧ガス容器内部の金属酸化物例えば鉄酸化物と塩化水素とを反応させて水を生成させ、次いでこの水を排出工程にて塩化水素と共に高圧ガス容器から排出して高圧ガス容器のガス流路を閉じているので、高圧ガス容器の内部の金属酸化物が塩化水素との反応に使い尽くされ、これにより当該金属酸化物を十分に除去することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明方法が実施される装置の一実施の形態を示す構成図である。図中Ｇは本発明方法が適用される高圧ガス容器であり、この高圧ガス容器Ｇは例えば材料として鉄が用いられるガス容器本体２の開口部にパックタイプなどと呼ばれる容器弁１を備えている。前記容器弁１は内部に図中点線で示すＬ字型のガス流路１０を備えており、このガス流路１０はハンドル２１により開閉されるようになっている。
【００１４】
図中３（３Ａ，３Ｂ）はガス容器本体２の外周囲に巻回される加熱手段をなす加温ベルトである。この加温ベルトは、例えばゴム材等の弾性体の中に例えば抵抗発熱体等の加熱源を埋設して構成されており、前記加熱源への電力供給量を調整することにより、ガス容器本体２の内部が所定の温度に加熱されるようになっている。この例では、例えば内径が約８００ｍｍ程度，長さが約１９００ｍｍ程度の大きさの５００ｋｇ容器に対して処理を行う場合、幅が約４００ｍｍ、厚みが約３ｍｍ程度の大きさの加温ベルトにより、容器Ｇの長さ方向の２カ所の位置が巻回されている。
【００１５】
このように加温ベルト３で巻回された容器の外周囲には、さらにアスベストよりなり、厚さが約５０ｍｍ程度の断熱シート４が、例えば容器Ｇの長さ方向の大部分を覆うように設けられている。
【００１６】
またガス容器本体２の加温ベルト３で覆われていない部位には、例えば熱電対よりなる温度検出手段をなす温度センサ４１が取り付けられている。図中４２は加温ベルト３の電源部、４３は温度調整部であり、例えば前記温度検出手段４１からの検出値に基づいて温度調整部４２にて加温ベルト３への電力供給量を調整し、これにより加温ベルト３の温度調整が行われ、容器Ｇの内部温度が所定温度例えば３０℃〜５０℃の温度になるように制御されている。
【００１７】
このような高圧ガス容器Ｇでは、ガス流路１０のガス容器本体２との接続端の他端側に設けられているアウトレットキャップ（図示せず）を外し、この他端側開口と配管とを連通させてガス容器本体２からの液化塩化水素及び塩化水素の排出及び高圧ガス容器Ｇへの液化塩化水素の充填を行うが、図２中５は塩化水素の供給及び排出を行うための配管であり、この一端側の開口部は前記容器弁１の他端側開口に接続されている。５１は接続部である。また前記配管５の他端側はバルブＶ１を介して塩化水素供給源５２に接続されており、配管５の途中にはバルブＶ２を介して例えばエジェクタよりなる排気手段５３が接続されている。
【００１８】
続いて上述の装置にて実施される本発明方法について説明する。先ず不純物である金属酸化物例えば鉄酸化物を除去しようとする高圧ガス容器Ｇに対し、充填対象となる液化塩化水素例えば例えば水分濃度が０．５ｗ／ｗｐｐｍ以下の無水液化塩化水素を充填する。つまり容器弁１のアウトレットキャップを外し、他端側開口を液化塩化水素供給源又は液化塩化水素供給用配管に接続して、ガス流路１０を開き（容器弁１を開き）、当該ガス流路１０を介して容器Ｇ内に液化塩化水素を充填する。容器Ｇ内に液化塩化水素を充填した後は、例えばガス流路１０を閉じ（容器弁１を閉じ）、高圧ガス容器Ｇを液化塩化水素供給源又は液化塩化水素用配管から取り外して、アウトレットキャップを取り付ける。
【００１９】
この際液化塩化水素の充填は、高圧ガス容器Ｇを前記配管５に接続して、塩化水素供給源５２により行ってもよいし、別の液化塩化水素供給源又は液化塩化水素供給用配管により行ってもよい。また前記高圧ガス容器Ｇとしては、新規に購入した新品容器や、一旦容器弁を外して解放された容器及び顧客から返還された戻り容器などが対象となる。
【００２０】
次いで図に示すように、前記高圧ガス容器Ｇの外表面に温度センサ４１を取り付けると共に、この容器Ｇの外周囲を加温ベルト３で巻回し、さらにこの加温ベルト３の上を保温シート４で被覆する。そして温度センサ４１の検出値に基づいて温度調整部４３で加温ベルト３への電力供給量を調整しながら高圧ガス容器Ｇの内部温度が所定の温度例えば３０℃〜５０℃になるように加熱する。
【００２１】
ここで前記温度範囲は、温度が低過ぎると後述する鉄酸化物と塩化水素との反応の進行が遅く、また温度が高過ぎると許容限界温度が７０℃以下の容器弁１に設けられている安全栓が溶解したり、また高圧ガス容器Ｇの温度が上がると内圧が上昇し、破壊するおそれがあることから、前記鉄酸化物と塩化水素との反応の進行を促進し、かつこ前記安全栓が正常に作動する温度を検討して設定され、種々の実験を行った結果前記温度範囲は高圧ガス容器Ｇの内部温度が３０℃〜５０℃であることが好ましいことが認められた。
【００２２】
ここで温度センサ４１では高圧ガス容器Ｇの外表面の温度を測定しているが、この例では予め得た容器の外表面と内部の温度との相関データにより、高圧ガス容器Ｇの内部温度が前記所定温度である３０℃〜５０℃となるように制御されている。
【００２３】
このように高圧ガス容器Ｇを加熱すると、容器Ｇの内部では、次式に示すような、容器Ｇの内壁に不純物として生成する鉄酸化物と塩化水素との反応が促進され、水（Ｈ2Ｏ）と塩化鉄（ＦｅＣｌ2）とが生成する。この反応により生成した水は、液化塩化水素との相互作用で液化塩化水素中に移行して行き、当該液化塩化水素内に溶解するので、液化塩化水素の水分濃度は高くなり、５．０ｗ／ｗｐｐｍ程度となる。一方塩化鉄はそのまま容器内に残査として残る。
ＦｅＯ  ＋  ２ＨＣｌ  →  ＦｅＣｌ2  ＋  Ｈ2Ｏ
こうして高圧ガス容器Ｇを所定時間例えば３〜４日程度加温して上述の鉄酸化物と塩化水素とを十分に反応させた後、前記水と塩化鉄とを含む塩化水素を高圧ガス容器Ｇから除去する。つまり当該ガス容器Ｇを接続部５１を介して配管５に接続する。そしてバルブＶ２を開いて排気手段５３により、配管５内が所定圧力例えば大気圧−２０ｃｍＨｇになるように排気した状態で、ガス流路１０を開く。これにより高圧ガス容器Ｇ内の水と塩化鉄とを含む塩化水素は、排気手段５３により吸引され、廃棄される。
【００２４】
このようにして水分等の不純物を含む塩化水素を高圧ガス容器Ｇから完全に吸引除去し、これにより高圧ガス容器Ｇ内の鉄酸化物を除去した後、前記ガス流路１０を閉じる。そしてバルブＶ２を閉じてから当該容器Ｇを配管５から取り外して、当該ガス容器Ｇにアウトレットキャップを取り付ける。
【００２５】
このような高圧ガス容器Ｇの不純物除去方法では、容器Ｇを所定温度に調整することにより、当該容器Ｇの内壁に生成した鉄酸化物を塩化水素と強制的に反応させて水と塩化鉄を生成させ、この際鉄酸化物を塩化水素との反応に使い尽くさせて、前記水等の反応生成物を含んだ塩化水素を除去しているので、後述の実験例より明らかなように、高圧ガス容器Ｇの内部の鉄酸化物を十分に除去することができる。
【００２６】
またこのようにして鉄酸化物が除去された高圧ガス容器Ｇに液化塩化水素を充填する場合は、次のようにして行われる。つまり既述のように水分等の不純物を含む塩化水素を高圧ガス容器Ｇから完全に吸引除去した後、バルブＶ２を閉じ、バルブＶ１を開いて塩化水素供給源５２により、ガス流路１０を介してガス容器本体２内に前記液化塩化水素を所定量充填する。そしてガス流路１０を閉じ、バルブＶ１を閉じてから、高圧ガス容器Ｇを配管５から外し、アウトレットキャップを取り付ける。このようにして上述の例では、高圧ガス容器Ｇを大気中に開放させずに、当該容器Ｇ内に所定の無水液化塩化水素が充填される。
【００２７】
このように高圧ガス容器Ｇに無水液化塩化水素を充填すると、高圧ガス容器Ｇは内部に生成した鉄酸化物が塩化水素との反応により除去されてから大気中に開放されないので、新たに容器Ｇ内壁が大気により酸化されることがなく、このため容器Ｇの内壁に鉄酸化物が新たに生成することがない。これにより鉄酸化物と塩化水素との反応により生成する水の発生が抑えられ、後述の実験例より明らかなように、容器Ｇ内の無水液化塩化水素中の水分濃度を極めて低くすることができる。このため高圧ガス容器Ｇ内の無水液化塩化水素の水分濃度が高まるおそれがなく、使用者に使い初めから使い終わりまで水分濃度の極めて低い無水液化塩化水素を提供することができ、ガスの使用効率が向上する。
【００２８】
また高圧ガス容器Ｇのガス流路１０にガス排気用の配管を接続し、この配管を介して液化塩化水素及び塩化水素の排出を行った後、ガス流路１０を閉じ、高圧容器Ｇを配管から外すようにしてもよい。またガス流路１０にガス充填用の配管を接続し、この配管を介して無水液化塩化水素の充填を行った後、ガス流路１０を閉じるようにしてもよく、この場合においても高圧ガス容器Ｇを開放させずに塩化水素を放出し、充填することができる。
【００２９】
続いて本発明が適用される高圧ガス容器の他の例について図２に基づいて説明する。この容器は５００ｋｇ容器であって、図中６０は例えば両端が閉じられた略円筒状のガス容器本体である。このガス容器本体６０は長さ方向が略水平に配置されており、容器の内部では塩化水素は液相（下方側）と気相（上方側）との２相に分かれて存在するようになっている。このようなガス容器本体６０の一端側に第１のガス流路６１と第２のガス流路６２とが、第１のガス流路６１を上側にして設けられると共に、例えば上述の実施の形態と同様に鉛からなる合金等により構成され、７０℃程度の温度で溶解する可溶栓６３ａが設けられている。
【００３０】
これらガス流路６１，６２はガス容器本体６０の外側において夫々バルブＶ３，Ｖ４を備えており、これらバルブＶ３，Ｖ４の先の部分を配管とを連通させてガス容器本体６０からの液化塩化水素及び塩化水素の排出及び高圧ガス容器Ｇへの液化塩化水素の充填が行われる。
【００３１】
またこれらガス流路６１，６２はガス容器本体６０の内部では夫々サイフォン管６１ａ，６２ａとして構成されており、第１のサイフォン管６１ａは、当該サイフォン管６１ａの先端側（バルブＶ３と反対側）が容器内の気相に接続されるように容器の内壁に沿って上方側に向かい、第２のサイフォン管６２ａは、当該サイフォン管６２ａの先端側（バルブＶ４と反対側）が容器内の液相に接続されるように容器の内壁に沿って下方側に向かうように夫々延びている。
【００３２】
またガス容器本体６０の他端側には、例えば鉛からなる合金等により構成され、７０℃程度の温度で溶解する可溶栓６３ｂと盲栓６４とが設けられている。
【００３３】
このような高圧ガス容器では、例えば図３に示すように、液化塩化水素及び塩化水素の排出及び充填を行うための配管７と接続される。つまり配管７の一端側は分岐して夫々第１のガス流路６１と第２のガス流路６２に接続されている。７１ａ，７１ｂは接続部である。また前記配管７の他端側はバルブＶ５を介して塩化水素供給源７２に接続されており、配管７のバルブＶ５と第１のガス流路６１との接続部７１ａとの間には、バルブＶ６を介して例えばエジェクタよりなる排気手段７３が接続されている。
【００３４】
このような高圧ガス容器では、先ず例えば水分濃度が０．５ｗ／ｗｐｐｍ以下の無水液化塩化水素を充填し、上述の実施の形態と同様に、前記高圧ガス容器Ｇの内部温度が所定の温度例えば３０℃〜５０℃になるように加熱して、容器の内壁に不純物として生成する鉄酸化物と塩化水素とを反応させた後、生成した水と塩化鉄とを含む塩化水素を高圧ガス容器から除去する。つまり当該容器に配管７を接続して、先ずバルブＶ３，Ｖ６を開いて排気手段７３により第１のガス流路６１を介して容器内の水と塩化鉄とを含む塩化水素を吸引して除去する。
【００３５】
こうして水分等の不純物を含む塩化水素を高圧ガス容器から完全に吸引除去した後、バルブＶ６を閉じ、バルブＶ３，Ｖ４，Ｖ５を開いて塩化水素供給源７２により、第１及び第２のガス流路６１，６２を介してガス容器本体６０内に無水液化塩化水素を所定量充填する。そしてバルブＶ３，Ｖ４，Ｖ５を閉じてから、配管７から外す。このようにして上述の例では、高圧ガス容器を大気中に開放させずに、当該容器内に所定の無水液化塩化水素が充填される。
【００３６】
このような高圧ガス容器に対しても、容器の内壁に生成した鉄酸化物を塩化水素と強制的に十分に反応させて水と塩化鉄を生成させ、これらを含んだ塩化水素を除去しているので、高圧ガス容器内の鉄酸化物が塩化水素との反応に使い尽くされ、十分に除去することができる。また上述のように鉄酸化物が除去された容器を大気中に開放させずに、新たに無水液化塩化水素を充填するようにすれば、容器内の無水液化塩化水素中の水分濃度を極めて低くすることができる。
【００３７】
この例においても、第１のガス流路６１のみを配管７に接続して、バルブＶ３，Ｖ６を開いて排気手段７３により、水分等の不純物を含む塩化水素を高圧ガス容器から完全に吸引除去した後、バルブＶ３，Ｖ６を閉じて、配管７から外して、高圧ガス容器内の鉄酸化物の除去のみを行うようにしてもよい。
【００３８】
またこの例では、第１のガス流路６１は塩化水素の放出だけに用い、塩化水素の充填は第２のガス流路６２をのみを用いて行うようにしてもよい。また先ず第１のガス流路６１にガス排気用の配管を接続し、この配管を介して塩化水素の放出を行った後、当該ガス流路６１を閉じ、次いで第１及び／又は第２のガス流路６１，６２にガス充填用の配管を接続し、この配管を介して塩化水素の充填を行った後、これらガス流路を閉じるようにしてもよく、この場合においても高圧ガス容器を開放させずに塩化水素を放出し、充填することができる。
【００３９】
【実施例１】
図２に示す５００ｋｇ高圧ガス容器に、無水液化塩化水素を充填し、容器内温度を３０℃に制御しながら、液化塩化水素中の水分濃度を近赤外分光光度法で分析した結果を図４に示す。容器内温度を５０℃に制御した場合において同様の実験を行った結果も図４に合わせて示す。
【００４０】
これらの結果より、加温前の塩化水素の水分濃度は０．５ｗ／ｗｐｐｍ未満であったのに対し、加温後は前記水分濃度が１週間後には５．０ｗ／ｗｐｐｍ（３０℃の場合）、４日後には５．０ｗ／ｗｐｐｍ（５０℃の場合）であったことから、前記高圧ガス容器を加温することにより、容器中の鉄酸化物と塩化水素との反応が促進されて水が生成し、この水が塩化水素中に溶解していることが認められた。
【００４１】
【実施例２】
実施例１の２日（４８時間）経過後の高圧ガス容器内の液化塩化水素を所定量放出し、この塩化水素ガス中の水分を露点測定にて求めたところ、図５に示す結果が得られた。ここで残量４００ｋｇとは、容器中の液化塩化水素量が４００ｋｇとなるまで塩化水素を放出したことを示している。
【００４２】
これらの結果により、容器中の液化塩化水素量が少なくなるにつれて、当該塩化水素の水分濃度が高くなることが認められ、高圧ガス容器から液化塩化水素を放出していくと、容器内に残存する塩化水素に水分が濃縮されることが理解される。
【００４３】
【実施例３】
実施例２の高圧ガス容器内の液化塩化水素の残量を全て吸引排気し、ここに容器を開放させずに、無水液化塩化水素を新たに充填し、液化塩化水素中の水分濃度を近赤外分光光度法で分析した結果と、容器を容器内温度を３０℃、５０℃に夫々制御しながら、液化塩化水素中の水分濃度を近赤外分光光度法で分析した結果を図６に示す。さらにまた２日（４８時間）経過後の容器内の液化塩化水素を所定量放出し、この塩化水素ガス中の水分を露点測定にて分析した結果を図７に示す。
【００４４】
図６の結果より、塩化水素の水分濃度は高圧ガス容器の加温の前後で変わらないことから、実施例１〜３を行うことにより、前記高圧ガス容器内の、水分発生源となる鉄酸化物が十分除去されて、水分の発生が抑えられていることが認められた。また図７の結果により、残量が２００ｋｇまでは容器中の液化塩化水素量が少なくなっても当該塩化水素の水分濃度は変わらないことが認められ、使い初めからほぼ使い終わりまで水分濃度の低い塩化水素ガスを放出できることが理解される。また容器内温度を５０℃に制御した場合においても、可溶栓の状態は変化ないことから、この温度範囲では容器弁の安全性を確保できることが確認された。
【００４５】
以上において本発明は、容器材料に鉄が用いられる高圧ガス容器の他、クロム、モリブデン、マンガン等の酸化物が塩化水素と反応して水を生成するという性質を有する金属を容器材料に用いる高圧ガス容器に対しても適用でき、本発明により高圧ガス容器の酸化により生成するこれらの金属酸化物も十分に除去できる。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように高圧ガス容器に付着する鉄酸化物を塩化水素と強制的に反応させて水を生成させ、この生成した水を含む塩化水素を高圧ガス容器から吸引することにより除去しているので、高圧ガス容器内の不純物を十分に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施するための高圧ガス容器の不純物除去装置の一例を示す断面図である。
【図２】本発明方法が適用される高圧ガス容器の例を示す断面図である。
【図３】本発明方法が適用される高圧ガス容器の他の例を示す断面図である。
【図４】本発明方法の効果を確認するために行った実験例の結果を示す特性図である。
【図５】本発明方法の効果を確認するために行った実験例の結果を示す特性図である。
【図６】本発明方法の効果を確認するために行った実験例の結果を示す特性図である。
【図７】本発明方法の効果を確認するために行った実験例の結果を示す特性図である。
【符号の説明】
Ｇ            高圧ガス容器
１            容器弁
１０          ガス流路
２            ガス容器本体
２２          ハンドル
３            加温ベルト
４            断熱シート
４１          温度センサ
４３          温度調整部
５，７        配管
５２，７２    塩化水素供給源
５３，７３    排気手段
６１          第１のガス流路
６２          第２のガス流路
【図１】
0003920544.tif 000002
【図２】
0003920544.tif 000003
【図３】
0003920544.tif 000004
【図４】
0003920544.tif 000005
【図５】
0003920544.tif 000006
【図６】
0003920544.tif 000007
【図７】
0003920544.tif 000008