(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電部分が外気に開放されている開放型陰極と開口部を有するグリッドとを内蔵する放電室を有するイオン源と、上記イオン源へのイオン源運転用ガスを供給するためのイオン源運転用ガス供給装置内にイオン源運転用ガス供給用の第１のガス供給経路と上記イオン源のパージ用ガス供給用の第２のガス供給経路とを有し、上記第１のガス供給経路からイオン源へのイオン源運転用ガス供給と上記第２のガス供給経路からイオン源へのイオン源パージ用ガス供給とを切り替えるための弁と、上記イオン源運転用ガス供給装置内のイオン源パージ用ガス供給用の経路上にイオン源パージ用ガスを供給するための貯気槽を有することを特徴とするイオン源装置。
【請求項２】
放電部分が外気に開放されている開放型陰極と開口部を有するグリッドとを内蔵する放電室を有するイオン源と、上記イオン源を運転する際に必要なイオン源運転用ガス供給装置とから構成されるイオン源装置において、上記イオン源とイオン源運転用ガス供給装置が接続されたイオン源運転時取り付け状態で、上記イオン源全体を気密状態で覆い遠隔操作で上記カバーを取り外し可能とする機構をもつ気密式カバーを有し、上記気密式カバーは、遠隔操作で上記カバーを取り外し可能とし、上記気密式カバー内部のガスが外部に放出される力の反作用に基づき上記カバーを取り外すことを特徴とするイオン源装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、人工衛星の姿勢・軌道・帯電等を制御するためのイオンエンジン装置・プラズマコンタクタ等及び原子炉用イオン源発生装置等のイオン源装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来のイオン源における劣化防止の方式の１例を示すものである。図において、１はイオンエンジン装置・プラズマコンタクタ等のイオン源、５は乾燥した不活性ガス等大気中の水分、酸素等イオン源の性能に悪影響を及ぼす可能性のある有害ガス７を除去または悪影響を生じない程度に低減したイオン源パージ用ガス、１３は内部を上記イオン源パージ用ガス５に置換するまたは内部を真空に排気した状態で上記イオン源１を保管するイオン源気密封入容器、１５、１６、１７は各々上記イオン源内の開放型陰極、放電室、開口部を有するグリッド、２４は上記のイオン源気密封入容器の内部を排気・ガス置換するためのイオン源装置気密封入容器内部の排気・ガス置換用装置である。
【０００３】
次に、上記の従来方式によるイオン源の劣化防止方法について説明する。この場合イオン源気密封入容器１３の内部は、イオン源気密封入容器１３内部の排気・ガス置換装置２４を用いて真空排気した後に上記装置２４を用いて乾燥した不活性ガス等大気中の水分、酸素等イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を除去またはその有害ガス７がイオン源１に与える可能性のある悪影響を生じない程度に低減したイオン源パージ用ガス５を導入する等の操作を繰り返す、または上記イオン源気密封入容器１３内部の排気・ガス置換装置２４を用いて内部を真空に排気し続けることによりその真空状態を維持する等の方法により、上記有害ガス７が、内部に保管するイオン源１内部の開口部を有するグリッド１７や、上記グリッドを通過して放電室１６に侵入して放電室１６内部や放電室１６に内蔵された開放型陰極１５へ接触して劣化することが無いように構成されている。
【０００４】
上記の方法によって、イオン源１内部の開口部を有するグリッド１７、放電室１６や放電室内部の開放型陰極１５はイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７から遮断された状態で保管されているため、上記有害ガス７により、大気中保管時に吸着したガス・水分等がイオン源の動作時に脱ガスとして発生して異常放電を起こしたり、大気中保管中に開放型陰極１５等に侵入した水分・ガス等により寿命や動作特性を劣化させたりする悪影響を低減しているものである。
【０００５】
また、図７は従来のイオン源における劣化防止の方式の別の１例を示すものである。図において、１はイオン源、３はイオン源パージ用ガス供給装置、５は水分、酸素等イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を除去または悪影響を生じない程度に低減したイオン源パージ用ガス、７は水分、酸素等イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス、９は人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体、１４は上記システム本体９に組み込んだままでイオン源１に取り付けられたイオン源パージ用非気密式カバー１５、１６、１７は各々上記イオン源内の開放型陰極、放電室、開口部を有するグリッド、１８は上記イオン源パージ用ガス供給装置３から供給されたイオン源パージ用ガス５が大気中に放出される状態、１９は上記イオン源パージ用非気密式カバー１４の端部開口部、２０はイオン源パージ用ガス供給装置３からイオン源パージ用非気密式カバー１４にイオン源パージ用ガス５を供給するパージガス供給用ラインである。
【０００６】
次に、上記の従来方式によるイオン源の劣化防止方法について説明する。この場合、イオン源１は人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に組み込んだままで、イオン源パージ用ガス供給装置３からイオン源パージ用ガス５をイオン源パージ用ガス供給ライン２０を経由してイオン源パージ用非気密式カバー１４に連続的または断続的に供給し、イオン源パージ用非気密式カバー１４内部のイオン源１に内蔵された開口部を有するグリッド１７を通じてイオン源１内部の開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７を含むイオン源１の内部を通り、イオン源パージ用非気密式カバー１４の端部開口部１９より、ガスが大気中に放出される状態１８とすることで、イオン源１内部の、有害ガスにより劣化する可能性のある部分である開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７に接触するガスをイオン源パージ用ガス５の流れにさらし、イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７と開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７との接触を低減するとともに、イオン源パージ用ガス５がイオン源パージ用非密閉式カバー１４の端部１９の開口部から放出する状態１８とすることで、上記端部１９の開口部における流れの抵抗により、イオン源パージ用非気密式カバー１４内部圧力を大気圧よりも高い状態にし、上記端部１９の開口部からのイオン源パージ用非気密式カバー１４への上記有害ガス７の逆流を防御するように構成している。
【０００７】
イオン源１は上記の方法によって人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に組み込まれたままで内部の上記イオン源内の開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７が、イオン源１に悪影響を与える可能性のある有害ガス７から遮断された状態で保管されているため、上記有害ガス７により、大気中保管時に吸着したガス・水分等がイオン源１の動作時に脱ガスとして発生して異常放電を起こしたり、大気中保管中に陰極部１５等に侵入した水分・ガス等により陰極部１５等の寿命や動作特性を劣化させたりする悪影響を低減している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
図６に示すようなイオン源１においては、イオン源１はイオン源気密封入容器１３内に保管する必要があり、イオン源を人工衛星に取り付けて軌道上で運転する際等のイオン源運転時取り付け状態と異なる状態で保管する必要があり、図６に示す保管状態から実際の運転状態に変更する作業が必要であるとともに、イオン源気密封入容器１３に保管された状態から、人工衛星への取り付け等、イオン源運転時取り付け状態に移す作業において一旦イオン源気密封入容器１３から、イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を含む大気中に取り出す必要があり、その際にイオン源１全体が上記有害ガス７を含む大気中にさらされるため、イオン源１の内部の、開口部を有するグリッド１７を通じてイオン源１の内部の放電室１６及び放電室１６に内蔵された開放型陰極１５が上記有害ガス７を含む大気に接触する。
【０００９】
また、図７に示すようなイオン源は図６の保管状態から人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に取り付けられた状態に移した後ではイオン源１の内部の、開口部を有するグリッド１７を通じてイオン源１の内部の放電室１６及び放電室１６に内蔵された開放型陰極１５がイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を含む大気に接触しない状態とするために、イオン源１を人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に取り付けたままで図６と同様のパージを実施できる様に改善したものである。しかし、このパージ容器では、イオン源全体を覆うようにパージガスの流れを作っており、イオン源１の内部の開口部を有するグリッド１７を通じてイオン源１の内部の放電室１６及び放電室１６に内蔵された開放型陰極１５等の上記有害ガス７によって影響を受けやすい部分はイオン源パージ用ガス５の流れが行き止まりとなる部分であり、イオン源パージ用ガス５が上記開放型陰極１５、放電室１６、グリッド１７等有害ガス７によって影響を受けやすい部分を通過する形でパージしていないため、有害ガス７による上記陰極部等への影響を排除することは困難であった。又、図６のイオン源１がイオン源気密封入容器１３に保管した状態から取り出され、一旦上記有害ガス７を含む大気中の雰囲気にさらされた後で、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に移し、イオン源パージ用ガス供給装置３とパージガス供給ライン２０とイオン源パージ用非気密式カバー１４を設置して、イオン源パージ用ガス供給装置３からのガス供給によりイオン源１の内部の開口部を有するグリッド１７を通じてイオン源パージ用ガス５の流れが行き止まり部になるイオン源１の内部の放電室１６及び放電室１６に内蔵された開放型陰極１５までの各部分の雰囲気がイオン源パージ用ガス５にて置換されるまでの間は、上記有害ガス７によって悪影響を受けやすい開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７は有害ガス７と接触した状態である。また、イオン源１にはパージ容器等の付属装置が取り付けられており、これらが取り付けられた状態ではイオン源装置運転は開始できず、イオン源装置を運転する前にこれら付属装置を取り外す必要があるため、付属装置取り外し後は有害ガスがイオン源に接触・侵入する可能性がある。また、このパージ容器は非気密式であるためにパージガス供給装置停止時等に開口部から有害ガスが侵入し、イオン源に接触する可能性が排除できない。
【００１０】
この発明はこのような課題を改善するためになされたもので、イオン源運転時取り付け状態のままで、イオン源への有害ガスの接触・侵入によるイオン源への悪影響を低減することを目的としたものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
第１の発明によるイオン源装置は、イオン源内部の有害ガスによって悪影響を受けやすい部分への有害ガスの接触を遮断する目的で、上記の悪影響を受けやすい部分を経由してパージガスが流れるように、イオン源運転用ガス供給ラインの途中に合流する、イオン源のパージ用ガス供給ラインと、そのパージ用ガス供給ラインにパージ用ガスを供給するパージ用ガス供給装置を具備し、上記イオン源運転用ガス供給装置からの上記イオン源へのイオン源運転時ガス供給と上記パージ用ガス供給とを切り替えるための弁と、イオン源装置内部のパージ用ガス供給ラインの途中にイオン源装置外部からのイオン源パージ用ガス供給を蓄積し、イオン源パージ用ガス供給を停止した後でもパージガス供給を継続できるようにするための貯気槽を具備したものである。
【００１２】
第２の発明によるイオン源装置は、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体に取り付けた状態のままでイオン源全体を気密状態とすることのできる気密式カバーでイオン源全体を覆い、その気密式カバー内部を真空状態もしくは不活性ガス等水分、酸素等イオン源に悪影響を与える可能性のある成分を除いたガスを封入した状態とするような気密式カバーを具備し、気密式カバーがイオン源運転時まで取り付けられたままとして、イオン源運転状態になると遠隔操作で外せるように、上記気密式カバー取り付け部に、バネ・ねじ・歯車等で構成される上記カバーの取り外し可能とする機構を有することで、遠隔操作により上記カバーを取り外し可能とし、上記気密式カバー内部のガスが外部に放出される力の反作用に基づき上記カバーを取り外すことを特徴とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１によるイオン源装置及びイオン源パージガス供給装置の構成を示す図であり、図において、１はイオン源、２はイオン源運転用ガス供給装置、３は乾燥した不活性ガス等大気中の水分、酸素等イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を除去または悪影響を生じない程度に低減したイオン源パージ用ガス５を供給するイオン源パージ用ガス供給装置、４は上記イオン源運転用ガス供給装置２のイオン源運転用ガス供給ライン６と上記イオン源パージ用ガス供給装置３からのガス供給を切り替えるための切り替え用弁、１５はイオン源１の内部に内蔵されて、上記有害ガス７の悪影響を受けやすい開放型陰極、１６は上記イオン源１に内蔵され、上記開放型陰極１５を内蔵する放電室、１７は上記放電室の一部であり、上記放電室１７がイオン源１外部と接触する開口部を有するグリッド、１８は上記開放型陰極１５に供給されたガスが上記放電室１６、上記開口部を有するグリッド１７を経由してイオン源１の外部に放出される状態、２０はパージ用ガス供給ラインであり、図は、イオン源運転用ガス供給装置２側の切り替え用弁４ａを閉じ、イオン源パージ用ガス供給装置３側の切り替え用弁４ｂを開いてイオン源パージ用ガス供給装置３からイオン源パージ用ガス５をイオン源に供給した状態である。
【００１７】
上記のように構成されたイオン源装置における動作は以下の通りである。イオン源１は、イオン源運転用ガス供給装置２側の切り替え用弁４ａを閉じた状態でイオン源パージ用ガス供給装置３側の切り替え用弁４ｂを開き、イオン源パージ用ガス供給装置３からイオン源パージ用ガス５を連続的に供給することで、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９にイオン源１を組み込んだままの状態でイオン源１の内部のイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７によって悪影響を受けやすい開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有るグリッド１７を経由してイオン源パージ用ガス５を放出する状態１８となり、これにより上記悪影響を受けやすい部分を直接パージガス５の流れにさらすことができるようにしたものである。
【００１８】
上記の様に構成されたイオン源１は、イオン源運転用ガス供給ライン６経由で、イオン源１を人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に組み込んだままの状態で、イオン源１に悪影響を与える可能性のある有害ガス７によって悪影響を受ける可能性のあるイオン源１の内部の開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７等を通過する形態でパージガスを供給するため、イオン源１にカバー等を取り付けずに、上記有害ガス７による悪影響を排除することができる。
このため、従来の方法ではパージガスの流れの行き止まり部であった開放型陰極１５、放電室１６、開口部を有するグリッド１７等へのパージガス供給に比べて、イオン源１に悪影響を与える可能性のある有害ガス７のこれら悪影響を受けやすい部分への接触を、パージガス供給開始後、より速やかに排除でき、かつ、上記有害ガス７の接触の可能性をより低減できる。
上記のように構成されたパージ用ガス供給装置３はパージガス供給ライン２０のみでイオン源装置と結合されており、従来のイオン源パージ用非気密式パージカバーがイオン源全体を覆うのに比べて取り外し、再取り付けが簡便に行えるため、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体に取り付けられたイオン源１の周辺の機器との物理的干渉等の制約が少なく、パージ中断や早期取り外しの必要性がより少なく、パージ中断期間が短くなる。
又、イオン源装置にイオン源パージ用ガス供給装置３、パージ用ガス供給ライン２０、切り替え用弁４ａ、４ｂを内蔵する形態とし、かつ、切り替え用弁４ａ、４ｂを遠隔操作にて開閉できるようにした場合には、切り替え用弁４ａ、４ｂの遠隔操作のみでイオン源１のパージを開始、停止できるため、イオン源装置を真空槽内に設置して真空排気した後など上記有害ガス７の接触の可能性が無くなるまでパージを継続し、また、上記真空槽からイオン源１を取り出す前にパージを再開する等の操作が可能となる。
【００１９】
実施の形態２．
図２はこの発明の実施の形態２のイオン源装置を示す図であり、図において、１２は上記２つの切り替え用弁４の間に設けられた貯気槽であり、図は、イオン源運転用ガス供給装置２側の切り替え用弁４ａを閉じ、イオン源パージ用ガス供給装置３側の切り替え用弁４ｂを開いてイオン源パージ用ガス供給装置３から上記貯気槽１２を経由してイオン源パージ用ガス５をイオン源に供給した状態である。
【００２０】
上記のように構成されたイオン源装置における動作は以下の通りである。イオン源１は、イオン源１を取り付けた人工衛星の打ち上げ前等はイオン源パージ用ガス供給装置３から供給されるガスによってパージされ、イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７との接触を遮断しているが、イオン源１を搭載した人工衛星打ち上げ直前等に上記イオン源パージ用ガス供給装置３を取り外した場合でも、貯気槽１２に残留したパージガスの圧力・温度及び貯気槽１２の容積及び、イオン源１から放出されるガスの圧力、温度、流量から以下の式で定まる時間だけパージを継続する様に構成したものである。
すなわち、貯気槽１２に残留したパージガスの圧力、温度、貯気槽１２の容積を各々Ｐ0 ，Ｔ0 ，Ｖ0 、イオン源１から放出されるガスの圧力、温度、体積流量を各々Ｐ1 ，Ｔ1 ，ｖ、貯気槽１２の残留ガスによるパージ継続可能時間をΔｔとすると、
【００２１】
【数１】
0003906579.tif 000002
【００２２】
ここで、Ｐ1 ，ｖ，Ｔ1 が一定と見なせる場合には、
【００２３】
【数２】
0003906579.tif 000003
【００２４】
となり、上記Δｔの間貯気槽からのパージガス供給のみで数２に示す時間イオン源１のパージが継続できる。
【００２５】
上記の様に構成されたイオン源装置は、イオン源パージ用ガス供給装置３を取り外した後もパージを継続することができるため、イオン源パージ用ガス供給装置３等をイオン源装置自体に内蔵しない場合で、イオンエンジン装置を搭載した人工衛星の打ち上げ直前等イオン源パージ用ガス供給装置３を取り外す必要が生じた後でもイオン源１のパージを継続することができ、またその残留ガスについては軌道上に打ち上げられて周囲が真空となり、パージの必要がなくなったら、特に操作をする必要もなく自然にパージガスを排出し切ることが可能となる。
【００２６】
実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３のイオン源装置を示す図であり、図において、８はイオン源装置との取り付け部等をイオン源運転時取り付け状態９のままで気密状態で覆い、イオン源１を密閉状態とするイオン源気密用カバー、２１は上記イオン源気密用カバー８の内部の真空排気またはガス置換を行うためのイオン源気密用カバー内部排気・ガス置換用ライン、２２は上記イオン源気密用カバー内部排気・ガス置換用ライン２１を通じて上記イオン源気密用カバー８内部を真空排気またはガス置換するためのイオン源気密用カバー内部真空排気・ガス置換装置である。
【００２７】
上記のように構成されたイオン源における動作は以下の通りである。イオン源１は、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に組み込まれた状態のままでイオン源気密用カバー８で覆い、その状態のままで内部を上記気密用カバー８の外部と遮断できるように気密接続して、イオン源気密用カバー内部真空排気・ガス置換ライン２１を経由して、イオン源気密用カバー内部真空排気・ガス置換装置２２でイオン源気密用カバー８の内部を真空に排気する、または内部を真空排気後イオン源１に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を低減したパージガス５を導入する作業を繰り返す等の方法により、上記システム本体９にイオン源１を組み込んだ状態のままでイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７とイオン源１との接触を遮断するものである。
【００２８】
上記の様に構成されたイオン源は、人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に組み込まれた状態のままで上記有害ガス７による悪影響を排除することができる。
【００２９】
実施の形態４．
図４はこの発明の実施の形態４のイオン源装置を示す図であり、図において、８は人工衛星本体等上記イオン源装置を組み込むシステム本体９に上記イオン源１が組み込まれた状態のままでイオン源１を気密にして覆うイオン源気密用カバーであり、１０は上記カバー８をイオン源運転開始前にイオン源１の取り付け部から取り外した状態、２３は、イオン源気密用パージカバー８の取り付け部に組み込まれたイオン源気密用カバー保持・解放機構である。
【００３０】
上記のように構成されたイオン源における動作は以下の通りである。イオン源１は、イオン源運転前で、イオン源気密用カバー８の外にイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７がある状態では上記の実施の形態３．と同様に人工衛星本体等上記イオン源１を組み込むシステム本体９に組み込まれた状態のままでイオン源気密用カバー８の内部で有害ガス７から遮断されており、イオン源１が人工衛星軌道上の真空環境に達した後などイオン源気密用カバー８の外に上記有害ガス７が低減された状態となった時点で、２３のイオン源気密用カバー保持・解放機構内に組み込まれた止め具を遠隔操作で外し、この止め具で押さえられていたイオン源気密用カバー８内部のガスが人工衛星軌道上の真空環境に放出される力の反作用としてイオン源気密用カバー８が押し出される力を利用して、１０の様にイオン源気密用カバー８が外れるようにしたものである。
【００３１】
上記の様に構成されたイオン源は、運転開始前で、イオン源気密用カバー８の外に上記有害ガス７がある状態では上記の実施の形態３．と同様にイオン源運転時取り付け状態のままでイオン源気密用カバー８の内部で上記有害ガス７から遮断されているが、イオン源１を搭載した人工衛星が人工衛星軌道上に到達した後等、イオン源気密用カバー８の外に上記有害ガス７が低減された状態となった時点ではイオン源気密用カバー８を遠隔操作で取り外せるようにイオン源気密用カバー８が取り付けられており、これによりイオン源１の運転前には有害ガスとイオン源１との接触を防ぎ、かつ、イオン源１の運転時にはイオン源気密用カバー８を遠隔操作にて取り外すことができるようにしたものである。
【００３２】
実施の形態５．
図５はこの発明の実施の形態５のイオン源を示す図であり、図において、８は人工衛星本体等上記イオン源１を組み込むシステム本体９にイオン源１が組み込まれた状態のままでイオン源１を密閉して覆うイオン源気密用カバーであり、１１は上記カバー８を取り外し、その後、再度取り付ける動作を遠隔操作でできるようにモータ・歯車等で構成されたイオン源気密用カバー取り外し・再取り付け機構である。
【００３３】
上記のように構成されたイオン源における動作は以下の通りである。イオン源１は、上記の発明の実施の形態４と同様に、イオン源運転前で、イオン源気密用カバー８の外にイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７がある状態ではイオン源運転時取り付け状態のままでイオン源気密用カバー８の内部で上記有害ガス７から遮断されており、イオン源１が軌道上の真空環境に達した後や地上試験のために試験槽の中で真空排気された後等上記イオン源気密用カバー８の外に上記有害ガス７が低減された状態となった時点では上記イオン源気密用カバー８のカバーを取り外せるようにしたのに加えて、試験槽内で試験が終了し、再度大気中等イオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７を含む環境にさらされる等の状況が発生する場合には、その前にイオン源気密用カバー８の取り外し・再取り付け機構１１によって上記イオン源気密用カバー８を再度取り付けることができるように構成したものである。
【００３４】
上記の様に構成されたイオン源は、人工衛星取り付け用イオン源の地上試験実施時など、運転前にイオン源１の周囲にイオン源に悪影響を与える可能性のある有害ガス７が無い状態となったらイオン源気密用カバー８を取り外してイオン源１の運転に備えることができるようにしたのに加えて、その後大気中に取り出す等のために再度イオン源１に上記有害ガス７が接触する可能性がある場合には、その前に上記イオン源気密用カバー８を再取り付けし、大気中取り出し後等においても上記有害ガス７がイオン源１に接触しないようにすることができる。
【００３５】
【発明の効果】
第１の発明によれば、イオン源を人工衛星などイオン源運転時の取り付け状態のままで、イオン源を大気中の水分・酸素などの有害ガスによって悪影響を受ける可能性のある部分を継続的にパージすることが可能であり、また、イオン源にかぶせた非気密式カバーでは排除しきれなかったイオン源内部の、有害ガスに悪影響を受ける可能性のある部分への有害ガスの侵入を排除することが可能となるとともに、人工衛星打ち上げ直前から人工衛星打ち上げ中などパージガス供給装置等の付属装置を人工衛星等のイオン源を取り付ける装置から外す必要がある場合でもパージを継続することができる。また、この発明によれば、特に遠隔操作等を必要とせずに、自然に継続したパージを停止することも可能となる。
【００３６】
第２の発明によれば、イオン源を人工衛星などイオン源運転時の取り付け状態のままで、イオン源を大気中の水分・酸素などの有害ガスによって悪影響を受ける可能性のある部分を継続的にパージすることが可能であり、また、イオン源にかぶせた非気密式カバーでは排除しきれなかったイオン源への侵入を排除するとともに、軌道上等イオン源運転の際にはイオン源運転の支障となる気密式カバーを取り外すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明によるイオン源の実施の形態１の構成を示す図である。
【図２】  この発明によるイオン源の実施の形態２の構成を示す図である。
【図３】  この発明によるイオン源の実施の形態３の構成を示す図である。
【図４】  この発明によるイオン源の実施の形態４の構成を示す図である。
【図５】  この発明によるイオン源の実施の形態５の構成を示す図である。
【図６】  従来のイオン源の構成の１例を示す図である。
【図７】  従来のイオン源の構成の別の１例を示す図である。
【符号の説明】
１  イオン源、２  イオン源運転用ガス供給装置、３  イオン源パージ用ガス供給装置、４  切り替え用弁、５  イオン源パージ用ガス、６  イオン源運転用ガス供給ライン、７  有害ガス、８  イオン源気密用カバー、９  システム本体、１１  遠隔操作式イオン源気密用カバー取り外し、再取り付け機構、１２  貯気槽、１３  イオン源気密封入容器、１４  イオン源パージ用非気密式カバー、１５  開放型陰極、１６  放電室、１７  グリッド、１９  イオン源パージ用非密閉式カバー端部開口部、２０  パージ用ガス供給ライン、２１  イオン源気密用カバー内部の排気・ガス置換用ライン、２２  イオン源気密用カバー内部の排気・ガス置換装置、２３  イオン源気密用カバー保持・解放機構、２４  イオン源気密用カバー内部の排気・ガス置換用装置。
【図１】
0003906579.tif 000004
【図２】
0003906579.tif 000005
【図３】
0003906579.tif 000006
【図４】
0003906579.tif 000007
【図５】
0003906579.tif 000008
【図６】
0003906579.tif 000009
【図７】
0003906579.tif 000010