(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動されるウェーハの側面部分に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、ウェーハの側面に圧接し該ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられる柔軟で圧縮性を有するエッジ洗浄ブラシとを備えたウェーハエッジ洗浄装置において、ウェーハの外周を保持して回転する複数個のウェーハ保持ローラとを有し、前記複数個のウェーハ保持ローラの１つは下方部にギア部を有するギア付ウェーハ保持ローラであり、該ギア付ウェーハ保持ローラを回転駆動させる駆動源と、前記ギア付ウェーハ保持ローラのギア部に直接又は間接に噛合して回転させられるギア部材と、上下動及び回転可能で前記ギア部材に載置され、前記エッジ洗浄ブラシを有するブラシホルダとを備え、前記ギア部材と前記ブラシホルダとの当接面には、いずれか一方にカム部が形成されていることを特徴とするウェーハエッジ装置。
【請求項２】
前記ギア部材には、前記エッジ洗浄ブラシに圧接するブラシ回転ピンが設けられていることを特徴とする請求項１記載のウェーハエッジ洗浄装置。
【請求項３】
前記エッジ洗浄ブラシは、ウェーハ方向に揺動可能で、かつウェーハ側に付勢されていることを特徴とする請求項１記載のウェーハエッジ洗浄装置。
【請求項４】
回転駆動されるウェーハの側面部分に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、ウェーハの側面に圧接し該ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられる柔軟で圧縮性を有するエッジ洗浄ブラシとを備えたウェーハエッジ洗浄装置において、ウェーハの外周を保持して回転する複数個のウェーハ保持ローラと、前記エッジ洗浄ブラシを有し、下面にカム部が形成されたブラシホルダと、このブラシホルダと共に回転可能で、かつ該ブラシホルダが上下動可能に嵌挿された回転軸と、位置固定で前記ブラシホルダのカム部が載置される部材と、前記複数個のウェーハ保持ローラの１つと前記回転軸を駆動させる駆動源とを備えたことを特徴とするウェーハエッジ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハエッジ研磨後のウェーハエッジ洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハは、エッジ部のチッピング防止やエピタキシャル成長時のクラウン防止等のため、ダイヤモンド砥石でエッジ部の面取り加工が施される。そして、この面取り加工後に残った加工歪み層をエッチングにより除去している。このエッチング処理した表面は波状やうろこ状の凹凸になって汚れが残り易い。そこで、ウェーハの面取り加工したエッジ部を平滑化するためのエッジ研磨が行なわれている。エッジ研磨したウェーハには研磨スラリが付着しているため、洗浄により除去し、その後に乾燥させている。即ち、エッジ研磨工程、洗浄工程、乾燥工程が行なわれる。
【０００３】
従来、ウェーハのエッジを洗浄するウェーハエッジ洗浄装置として、特開平６−４５３０２号公報（以下、公知例１という）、特開平１１−６２５号公報（以下、公知例２という）、特開２００１−２１２５２８号公報（以下、公知例３という）が挙げられる。
【０００４】
公知例１及び公知例２のエッジ洗浄ブラシは、ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられる柔軟で圧縮性を有しており、ウェーハのエッジ部にエッジ洗浄ブラシを圧接させ、ウェーハ及びエッジ洗浄ブラシが回転してエッジ部に付着した研磨スラリ等の不純物を洗浄する。
【０００５】
公知例３のエッジ洗浄ブラシは、回転中心がウェーハと同等の位置になるように配置し、エッジ洗浄ブラシの毛ブラシがウェーハのエッジに侵入するようになっている。エッジ洗浄ブラシが回転すると、毛ブラシの一方側（例えば左側）はウェーハの表面の平坦部よりエッジ部にかけて摺擦し、毛ブラシの他方側（例えば右側）はウェーハの裏面の平坦部よりエッジ部にかけて摺擦し、エッジ部に付着した研磨スラリ等の不純物を洗浄する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
公知例１及び公知例２は、エッジ洗浄ブラシの一定部分を常にウェーハのエッジに接触させるので、エッジ洗浄ブラシの磨耗が著しく、寿命の点で問題があった。
【０００７】
公知例３は、エッジ洗浄ブラシの回転中心がウェーハと同等位置に配置した構造であるので、毛ブラシに限定される。また毛ブラシが軟質材であると切れ易く、長期の使用に耐えられなく、硬質材であるとウェーハに傷を付ける。また毛ブラシがウェーハの表面よりエッジに移動する時、毛ブラシが弾かれて裏面に移動した時に元に戻るので、エッジが良好に洗浄できない。毛ブラシがウェーハの裏面側よりエッジに移動する時も同様である。この点、公知例１及び公知例２のエッジ洗浄ブラシは、ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられるので、公知例３のような問題は生じない。
【０００８】
本発明の第１の課題は、ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられるエッジ洗浄ブラシを有するウェーハエッジ洗浄装置において、エッジ洗浄ブラシの消耗を防ぐことができるように、ウェーハ側面との圧接部を変えることができるウェーハエッジ洗浄装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の第２の課題は、前記第１の課題を達成するのに、エッジ洗浄ブラシを上下動させるための駆動源を特別に必要としないウェーハエッジ洗浄装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の第３の課題は、エッジ洗浄ブラシとウェーハとの相対的な周速を変えることができ、洗浄効果を向上させることができるウェーハエッジ洗浄装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の第４の課題は、ウェーハの外周面（エッジ部）に多少の凹凸があっても良好に洗浄することができるウェーハエッジ洗浄装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項１は、回転駆動されるウェーハの側面部分に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、ウェーハの側面に圧接し該ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられる柔軟で圧縮性を有するエッジ洗浄ブラシとを備えたウェーハエッジ洗浄装置において、ウェーハの外周を保持して回転する複数個のウェーハ保持ローラとを有し、前記複数個のウェーハ保持ローラの１つは下方部にギア部を有するギア付ウェーハ保持ローラであり、該ギア付ウェーハ保持ローラを回転駆動させる駆動源と、前記ギア付ウェーハ保持ローラのギア部に直接又は間接に噛合して回転させられるギア部材と、上下動及び回転可能で前記ギア部材に載置され、前記エッジ洗浄ブラシを有するブラシホルダとを備え、前記ギア部材と前記ブラシホルダとの当接面には、いずれか一方にカム部が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
上記第１、第２及び第３の課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項２において、前記ギア部材には、前記エッジ洗浄ブラシに圧接するブラシ回転ピンが設けられていることを特徴とする。
【００１５】
上記第１、第２及び第４の課題を解決するための本発明の請求項３は、上記請求項２において、前記エッジ洗浄ブラシは、ウェーハ方向に揺動可能で、かつウェーハ側に付勢されていることを特徴とする。
【００１６】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項４は、回転駆動されるウェーハの側面部分に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、ウェーハの側面に圧接し該ウェーハの中心線と平行な軸線を中心として回転させられる柔軟で圧縮性を有するエッジ洗浄ブラシとを備えたウェーハエッジ洗浄装置において、ウェーハの外周を保持して回転する複数個のウェーハ保持ローラと、前記エッジ洗浄ブラシを有し、下面にカム部が形成されたブラシホルダと、このブラシホルダと共に回転可能で、かつ該ブラシホルダが上下動可能に嵌挿された回転軸と、位置固定で前記ブラシホルダのカム部が載置される部材と、前記複数個のウェーハ保持ローラの１つと前記回転軸を駆動させる駆動源とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図４により説明する。なお、図示しないが、本装置は従来と同様に、ウェーハ１の表面側及び裏面側を洗浄するブラシと、表面側及び裏面側に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルを備えている。
【００１８】
ウェーハ１は、１個のギア付ウェーハ保持ローラ２と、３個のウェーハ保持ローラ３、４、５によって支持される。ギア付ウェーハ保持ローラ２は、上方部の外周がＶ字状に形成されたウェーハ保持部２ａと、このウェーハ保持部２ａより下方が広がるようにテーパ状に形成されたウェーハ支持部２ｂと、下方部にギアが形成されたギア部２ｃとからなっている。ウェーハ保持ローラ３、４、５は、それぞれ上方部の外周がＶ字状に形成されたウェーハ保持部３ａ、４ａ、５ａと、このウェーハ保持部３ａ、４ａ、５ａより下方が広がるようにテーパ状に形成されたウェーハ支持部３ｂ、４ｂ、５ｂを有している。
【００１９】
ギア付ウェーハ保持ローラ２は、支持板１０に軸受１１を介して回転自在に支承された回転軸１２の上端に固定されている。ウェーハ保持ローラ３は、支持板１０に軸受１３を介して回転自在に支承された回転軸１４の上端に固定されている。ウェーハ保持ローラ４、５は、支持板１５にそれぞれ軸受１６、１７を介して回転自在に支承された回転軸１８、１９の上端に固定されている。支持板１０と１５は、接近及び離反する相反する方向に図示しない駆動手段で同時に移動させられ、ウェーハ保持ローラ２、３と４、５とが開閉するようになっている。
【００２０】
回転軸１２の下端部にはプーリ２０が固定されており、プーリ２０に対応して支持板１０の下面にはブラケット２１を介して駆動モータ２２が固定されている。駆動モータ２２の出力軸にはプーリ２３が固定され、プーリ２０と２３にはベルト２４が掛け渡されている。
【００２１】
支持板１０の上面にはブラケット３０が固定され、ブラケット３０には前記ギア付ウェーハ保持ローラ２の下面側に伸びた支持板３１が固定されている。支持板３１には、２個の支持軸３２、３３が固定されている。支持軸３２には、ギア付ウェーハ保持ローラ２のギア部２ｃに螺合するギア部３４ａと、このギア部３４ａより小径のギア部３４ｂを有する減速ギア３４が回転自在に支承されている。支持軸３３には、減速ギア３４のギア部３４ｂに噛合するギア部３５ａと、このギア部３５ａの上面の円周部に形成されたカム部３５ｂを有するカムギア３５が回転自在に支承されている。
【００２２】
ブラケット３０及び支持板３１には、それぞれ上下に相対向して支持板４０、４１が固定され、支持板４０、４１には支持軸４２が固定されている。支持軸４２には、ウェーハ１の側面に圧接する圧縮性のある柔軟なＰＶＡ又はナイロンよりなるエッジ洗浄ブラシ４３を有するブラシホルダ４４が回転及び上下動自在に嵌挿されており、ブラシホルダ４４の下端部分は、前記カムギア３５のカム部３５ｂに自重により載置されるようになっている。カムギア３５には、エッジ洗浄ブラシ４３に圧接するようにブラシ回転ピン４５が固定されている。
【００２３】
次に作用について説明する。エッジ洗浄ブラシ４３がウェーハ１の側面に圧接する位置より離れ、ウェーハ保持ローラ２、３、４、５のウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂがウェーハ１を支持する位置にある状態で、図示しない吸着パッドに吸着保持されたウェーハ１が上方よりウェーハ保持ローラ２、３、４、５上に供給される。これにより、ウェーハ１は図２及び図３に１ａで示すようにウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂに支持される。
【００２４】
次に図示しない洗浄液供給ノズルよりウェーハ１の表面側及び裏面側に洗浄液が供給されると共に、駆動モータ２２が回転させられる。駆動モータ２２が回転させられると、プーリ２３、ベルト２４、プーリ２０を介して回転軸１２と共にギア付ウェーハ保持ローラ２が回転させられる。この状態で支持板１０と１５がウェーハ１側に移動させられる。これにより、ウェーハ１は、ウェーハ保持ローラ２、３、４、５のウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂに沿って押し上げられ、図２及び図３に１ｂで示すようにウェーハ保持部２ａ、３ａ、４ａ、５ａで保持され、またエッジ洗浄ブラシ４３がウェーハ１のエッジ部に圧接する。前記したように、エッジ洗浄ブラシ４３は、圧縮性の柔軟な材料よりなるので、図４に示すようにウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面に圧接する。また図示しないウェーハ１の表面側及び裏面側を洗浄するブラシがウェーハ１の表面側及び裏面側に圧接する。
【００２５】
前記したように、ギア付ウェーハ保持ローラ２が回転すると、該ギア付ウェーハ保持ローラ２のウェーハ保持部２ａによりウェーハ１が回転させられる。またギア付ウェーハ保持ローラ２が回転すると、減速ギア３４を介してカムギア３５が回転させられる。カムギア３５が回転すると、カムギア３５のカム部３５ｂのプロフィルにより、エッジ洗浄ブラシ４３は上下動させられる。ウェーハ１はギア付ウェーハ保持ローラ２によって回転させられているので、エッジ洗浄ブラシ４３はウェーハ１によって回転させられながらウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面を洗浄すると共に、表面側及び裏面側のブラシによって表面側及び裏面側が洗浄される。
【００２６】
洗浄が完了すると、駆動モータ２２は停止し、図示しない吸着パッドが下降してウェーハ１を吸着保持する。その後、支持板１０と１５は離反する方向に移動させられ、ウェーハ保持ローラ２、３、４、５はウェーハ１より離れる。続いて前記吸着パッドはウェーハ１を吸着保持した状態で上昇及び次工程に移動させられる。これにより、一連の洗浄サイクルが終了する。
【００２７】
このように、ウェーハ１を回転させながら該ウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面にエッジ洗浄ブラシ４３を圧接することにより、ウェーハ１のエッジ部及びベベル面を洗浄することができる。またウェーハ１を回転させるギア付ウェーハ保持ローラ２が回転して減速ギア３４を介してカムギア３５を回転させ、カムギア３５に設けられたカム部３５ｂでエッジ洗浄ブラシ４３を上下動させてウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面を洗浄する。即ち、エッジ洗浄ブラシ４３がウェーハ１のエッジ部に当たる面が自動的に変えられるので、エッジ洗浄ブラシ４３の消耗を防ぐことができる。このエッジ洗浄ブラシ４３の上下動は、前記したようにギア付ウェーハ保持ローラ２を回転させる駆動モータ２２によって行われ、別個に上下駆動源を必要としないので、安価に製作できる。
【００２８】
またカムギア３５が１回転する毎にブラシ回転ピン４５がエッジ洗浄ブラシ４３に圧接して該エッジ洗浄ブラシ４３を強制的に回転させる。このエッジ洗浄ブラシ４３の回転により、該エッジ洗浄ブラシ４３とウェーハ１との周速が変化するので、ウェーハ１の洗浄効果が向上する。
【００２９】
本発明の第２の実施の形態を図５乃至図８により説明する。なお、前記第１の実施の形態と同じ又は相当部材には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。前記実施の形態は、ブラケット３０を支持板１０に固定した。本実施の形態は、ブラケット３０を支持板１０に揺動自在に設け、ウェーハ１の外周面に凹凸があってもエッジ洗浄ブラシ４３がウェーハ１に追従してウェーハ１を良好に洗浄を行うようにしたものである。即ち、ブラケット３０の揺動構造及びそれに関連する構造が前記実施の形態と異なるのみであり、その他の構造は前記実施の形態と同じである。
【００３０】
図６及び図７に示すように、支持板１０上には、ブラケット保持板５０が固定されており、ブラケット保持板５０には支軸５１が回転自在に支承されている。支軸５１にはブロック５２が固定されており、ブロック５２にはブラケット３０が固定されている。ブラケット３０には、ウェーハ１の下方に伸びた錘支持レバー５３の一端部が固定されており、錘支持レバー５３の他端部には錘５４が固定されている。
【００３１】
図５に示すように、エッジ洗浄ブラシ４３の両側には、位置ずれ防止ピン６０が配設されており、２個の位置ずれ防止ピン６０は、図７及び図８に示すように、エッジ洗浄ブラシ４３に干渉しない形状に形成されたピン支持ブロック６１に回転自在に支承されている。ピン支持ブロック６１は、支柱６２の上端に設けられたフランジ部６２ａに前後位置調整可能に固定されており、支柱６２は支持板１０上に固定されている。支柱６２のフランジ部６２ａには、ブラケット３０側に伸びたブラケットストッパ６３が固定されている。ブラケットストッパ６３は、ブラケット３０に設けられた穴３０ａに挿通され、ブラケット３０の外側側面に係合する係合部６３ａが形成されている。
【００３２】
次に作用について説明する。支持板１０と１５が十分に開いた状態においては、ブラケット３０及び支持板４０、４１は、錘５４の付勢力によって支軸５１を中心として矢印Ｅ方向に揺動してブラケットストッパ６３の係合部６３ａより離れ、減速ギア３４はギア付ウェーハ保持ローラ２のギア部２ｃに十分に噛み合った状態にある。この状態より、ウェーハ保持ローラ２、３、４、５のウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂがウェーハ１を支持する位置に移動する。この状態で、図示しない吸着パッドに吸着保持されたウェーハ１が上方よりウェーハ保持ローラ２、３、４、５上に供給される。これにより、ウェーハ１は図２及び図３に１ａで示すようにウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂに支持される。
【００３３】
次に図示しない洗浄液供給ノズルよりウェーハ１の表面側及び裏面側に洗浄液が供給されると共に、駆動モータ２２が回転させられる。この状態で支持板１０と１５がウェーハ１側に移動させられる。これにより、ウェーハ１は、ウェーハ保持ローラ２、３、４、５のウェーハ支持部２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂに沿って押し上げられ、また位置ずれ防止ピン６０及びエッジ洗浄ブラシ４３が錘５４の付勢力でウェーハ１のエッジ部に圧接した直後に、図２及び図３に１ｂで示すようにウェーハ保持部２ａ、３ａ、４ａ、５ａで保持される。
【００３４】
前記したように駆動モータ２２が回転させられると、前記実施の形態で説明したように、ギア付ウェーハ保持ローラ２が回転させられ、ギア付ウェーハ保持ローラ２のウェーハ保持部２ａによりウェーハ１が回転させられると共に、カムギア３５のカム部３５ｂのプロフィルにより、エッジ洗浄ブラシ４３は上下動させられる。前記したように、エッジ洗浄ブラシ４３は、圧縮性の柔軟な材料よりなるので、図４に示すようにウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面に圧接する。また図示しないウェーハ１の表面側及び裏面側を洗浄するブラシがウェーハ１の表面側及び裏面側に圧接する。ウェーハ１はギア付ウェーハ保持ローラ２によって回転させられているので、エッジ洗浄ブラシ４３はウェーハ１によって回転させられながらウェーハ１のエッジ部及び表裏ベベル面を洗浄すると共に、表面側及び裏面側のブラシによって表面側及び裏面側が洗浄される。
【００３５】
このように、エッジ洗浄ブラシ４３は矢印Ｅ，Ｆ方向に揺動自在に設けられているので、ウェーハ１の外周面に凹凸があってもウェーハ１の外周面に追従し、ウェーハ１のエッジ部及びベベル面を良好に洗浄することができる。
【００３６】
なお、上記各実施の形態においては、カムギア３５にカム部３５ｂを設けたが、カムギア３５をカム部３５ｂを有しないギア部材とし、このギア部材に載置されるブラシホルダ４４の下面にカム部を形成してもよい。
【００３７】
本発明の第３の実施の形態を図９により説明する。前記各実施の形態は、駆動モータ２２によって駆動されるギア付ウェーハ保持ローラ２の回転により減速ギア３４、カムギア３５を介してエッジ洗浄ブラシ４３を上下動させた。またエッジ洗浄ブラシ４３は、ウェーハ１の回転力によって回転させられるように構成した。本実施の形態は、前記各実施の形態のギア付ウェーハ保持ローラ２をギア部２ｃを有しないウェーハ保持ローラ２とし、ウェーハ保持ローラ２を駆動する駆動モータ２２でエッジ洗浄ブラシ４３を回転駆動させると共に、駆動モータ２２で回転させられるエッジ洗浄ブラシ４３の回転を利用して該エッジ洗浄ブラシ４３を上下駆動させるようにしたものである。
【００３８】
支持板１０には、軸受７０を介して回転軸７１が回転自在に支承されており、回転軸７１には、ブラシホルダ４４が回転軸７１と共に回転可能で、かつ回転軸７１に上下動可能に嵌挿されている。ブラシホルダ４４には、ＰＶＡ又はナイロンよりなるエッジ洗浄ブラシ４３が固定されている。ブラシホルダ４４の下面の内側には凹部４４ｂが形成され、下面の円周部は、カム部４４ａとなっており、カム部４４ａは、自重によってローラ７２に圧接している。
【００３９】
回転軸７１には、ストッパ７３が固定されている。ここで、カム部４４ａの最下面４４ａ１がローラ７２に圧接した状態、即ち、ブラシホルダ４４が最も上方に押し上げられた状態では、凹部４４ｂの上面４４ｂ１とストッパ７３との長さＺ１は、カム部４４ａの最下面４４ａ１と最上面４４ａ２の長さＺ２より小さくなるようにストッパ７３は回転軸７１に固定されている。従って、カム部４４ａの最上面４４ａ２がローラ７２の上方に位置した時は、ブラシホルダ４４の凹部４４ｂの上面４４ｂ１がストッパ７３に当接し、カム部４４ａの最上面４４ａ２はローラ７２に当接しない。
【００４０】
支持板１０の上方には、図示しない架台に固定されたベース板７４が配設されており、ベース板７４には、回転軸１２、１４、７１が貫通する長穴７４ａが設けられてる。長穴７４ａは、支持板１０の移動に干渉しないように、支持板１０の移動方向、即ち紙面に垂直に伸びた穴となっている。ベース板７４上には、ローラ７２を回転自在に支承するブラケット７５が固定されている。ベース板７４の下面には、支持板１０の移動方向（紙面に垂直方向）に伸びたシリンダ７６が固定されており、シリンダ７６の作動ロッドは支持板１０に固定されたブロック７７に連結されている。
【００４１】
支持板１０の下面には、ブラケット２１を介して駆動モータ２２が固定されており、駆動モータ２２の出力軸にはギア８０が固定されている。回転軸１２、７１の下端部には、それぞれギア８１、８２が固定されており、ギア８１、８２はギア８０に螺合している。
【００４２】
前記したように、ベース板７４は移動しなく、支持板１０は、ウェーハ１を洗浄する位置と、ウェーハ１を供給・排出する位置に移動、即ち紙面に垂直方向に移動する。そこで、支持板１０がウェーハ１の供給・排出位置にある時は、ブラシホルダ４４のカム部４４ａはローラ７２より離れ、ブラシホルダ４４の凹部４４ｂの上面４４ｂ１がストッパ７３に当接している。この状態においては、ブラシホルダ４４のカム部４４ａの最上面４４ａ２がローラ７２に対応した状態となっており、ブラシホルダ４４のカム部４４ａがローラ７２の上方に移動した時にローラ７２に干渉しないようになっている。
【００４３】
そこで、シリンダ７６の作動ロッドが引っ込んだ状態よりシリンダ７６が作動し、ウェーハ保持ローラ２、３及び４、５（図１参照）のウェーハ支持部２ｂ、３ｂ及び４ｂ、５ｂがウェーハ１を支持する位置に支持板１０を移動させ、ウェーハ１がウェーハ支持部２ｂ、３ｂ及び４ｂ、５ｂで支持された後、駆動モータ２２を回転させる。続いてシリンダ７６を作動させて支持板１０を移動させ、ウェーハ保持ローラ２、３及び４、５のウェーハ保持部２ａ、３ａ及び４ａ、５ａでウェーハ１を保持させる。
【００４４】
前記したように、駆動モータ２２が回転させられると、ギア８１、８２を介して回転軸１２、７１と共にウェーハ保持ローラ２及びエッジ洗浄ブラシ４３が回転し、ウェーハ保持ローラ２で保持されたウェーハ１は回転させられる。またブラシホルダ４４はローラ７２で支持され、回転軸７１と共に回転自在で、かつ該回転軸７１に上下動可能に嵌挿されているので、ブラシホルダ４４が回転すると、エッジ洗浄ブラシ４３は、回転しながらブラシホルダ４４のカム部４４ａのプロフィルにより上下動させられ、ウェーハ１のエッジ部及びベベル部を洗浄する。
【００４５】
本実施の形態においても、前記各実施の形態と同様に、エッジ洗浄ブラシ４３がウェーハ１のエッジ部に当たる面が自動的に変えられるので、エッジ洗浄ブラシ４３の消耗を防ぐことができる。このエッジ洗浄ブラシ４３の上下動は、ウェーハ保持ローラ２を回転させる駆動モータ２２によって行われ、別個に上下駆動源を必要としないので、安価に製作できる。
【００４６】
なお、上記各実施の形態においては、エッジ洗浄ブラシ４３の上下駆動は、ギア付ウェーハ保持ローラ２又はギア２ｃ無しのウェーハ保持ローラ２を回転させる駆動モータ２２でエッジ洗浄ブラシ４３を上下動させるように構成したが、エッジ洗浄ブラシ４３を上下動させるウェーハ上下駆動手段を別個に設け、エッジ洗浄ブラシ４３を単独で上下駆動させるようにしてもよい。しかし、本実施の形態のように単一の駆動モータ２２でギア付ウェーハ保持ローラ２又はギア２ｃ無しのウェーハ保持ローラ２とエッジ洗浄ブラシ４３を駆動させると、安価に製作できる。また上記各実施の形態においては、１個のエッジ洗浄ブラシ４３を設けた場合について説明したが、複数個のエッジ洗浄ブラシ４３を設けると、洗浄効果が向上することは言うまでもない。
【００４８】
【発明の効果】
本発明の請求項１及び４によれば、エッジ洗浄ブラシはブラシ上下駆動手段によって上下動させられるので、ウェーハ側面との圧接部を変えることができ、エッジ洗浄ブラシの消耗を防ぐことができる。またエッジ洗浄ブラシの上下動は、ウェーハ保持ローラを回転させる駆動源によって行われ、別個に上下駆動源を必要としないので、安価に製作できるという効果が得られる。
【００４９】
本発明の請求項２によれば、エッジ洗浄ブラシをブラシ回転ピンで強制的に回転させるので、上記請求項１の効果の他に、エッジ洗浄ブラシとウェーハとの相対的な周速を変えることができ、洗浄効果を向上させることができるという効果が得られる。
【００５０】
本発明の請求項３によれば、エッジ洗浄ブラシは、ウェーハ方向に揺動可能で、かつウェーハ側に付勢されているので、上記請求項２の効果の他に、ウェーハの外周面に多少の凹凸があっても良好に洗浄することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウェーハエッジ洗浄装置の第１の実施の形態を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面展開図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】ウェーハとエッジ洗浄ブラシとの圧接状態を示す拡大説明図である。
【図５】本発明のウェーハエッジ洗浄装置の第２の実施の形態を示す平面図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ線断面展開図である。
【図７】図５のＤ−Ｄ線断面図である。
【図８】ピン部分を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図９】本発明のウェーハエッジ洗浄装置の第３の実施の形態を示す断面展開図である。
【符号の説明】
１    ウェーハ
２    ギア付ウェーハ保持ローラ
３、４、５    ウェーハ保持ローラ
２ａ、３ａ、４ａ、５ａ    ウェーハ保持部
２ｂ、３ｂ、４ｂ、５ｂ    ウェーハ支持部
２ｃ    ギア部
１０    支持板
１２    回転軸
１４    支持板
２０    プーリ
２２    駆動モータ
２３    プーリ
２４    ベルト
３４    減速ギア
３４ａ、３４ｂ    ギア部
３５    カムギア
３５ａ    ギア部
３５ｂ    カム部
４２    支持軸
４３    エッジ洗浄ブラシ
４４    ブラシホルダ
４４ａ    カム部
４５    ブラシ回転ピン
５０    ブラケット歩時板
５１    支軸
５３    錘支持レバー
５４    錘
６０    位置ずれ防止ピン
６１    ピン支持ブロック
６２    支柱
６３    ブラケットストッパ
７１    回転軸
７２    ローラ
７３    ストッパ
７４    ベース板
７５    ブラケット
８０、８１、８２    ギア
【図１】
0003992273.tif 000002
【図２】
0003992273.tif 000003
【図３】
0003992273.tif 000004
【図４】
0003992273.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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