(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、
先端部に前記洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が前記被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルと、
前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から遊嵌状態で挿入し、該挿入状態で前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機構と、
排出口と前記被洗浄ノズルの差し込み口とを有し、前記洗浄用ノズルの先端部が覆われているカバーとを有し、
前記供給口から吐出した洗浄液は、前記吐出口の内部を洗浄し、前記吐出口と供給口との隙間から前記カバー内に排出される
ことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】
先端部に洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルを用いると共に、被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄方法であって、
前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から遊嵌した状態で挿入して、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給し、
前記洗浄ノズルから吐出した洗浄液で前記吐出口の内部を洗浄したあと、前記洗浄液を前記吐出口から排出する
ことを特徴とするノズル洗浄方法。
【請求項３】
薬液を塗布する基板を回転させるスピンコータ部と、
前記スピンコータ部の周辺に備えられた、廃液を回収するドレイン槽と、
前記基板に薬液を敵かする薬液供給ノズルを先端に備え、前記基板上と前記ドレイン槽上に、前記薬液供給ノズルが設置できるように回動可能なノズルアームと、
前記薬液供給ノズルに洗浄液を供給して、前記薬液供給ノズルを洗浄するノズル洗浄装置とを備える薬液塗布装置において、
前記ノズル洗浄装置は、
先端部に洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルを備え、
前記洗浄用ノズルを前記薬液供給ノズル内に吐出口から遊嵌した状態で挿入し、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機構と、前記吐出口から洗浄済みの洗浄液が排出されるカバーとを有する
ことを特徴とする薬液塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置等の製造に用いられる薬液塗布装置に備えられたノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有する薬液塗布装置に関する。
【０００２】
半導体装置等の製造において、ウエハー等の基板にレジスト等の薬液の塗布を行う場合、塗布ムラを無くし、塗膜が均一になるように塗布をすることが求められる。そのため、塗膜の均一性の高いスピンコータが、薬液塗布装置として広く用いられている。
【０００３】
この薬液塗布装置において、薬液を滴下する薬液供給ノズルは常に綺麗に保つ必要があり、薬液供給ノズルの先端部に薬液が付着したままある程度時間が経過すると、ノズル先端部に残留した薬液が凝固してしまい、付着する。そして、薬液供給ノズルの先端部に固体化した薬液が残っている場合、滴下された薬液が、真下に滴下されず、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一といった問題が生じてしまう。
【０００４】
【従来の技術】
図９、図１０を用いて、従来の技術を説明する。なお、図９（Ａ）は従来の薬液塗布装置の平面図を、図９（Ｂ）はドレイン槽とノズルアームの拡大斜視図を示す。また、図１０は、従来の薬液塗布装置のスピンコータ部分の縦断面図を示す。
【０００５】
薬液を供給するノズル３０は、回動可能なノズルアーム３５に取り付けられており、この回動可能なノズルアーム３５はノズル３０を、薬液を塗布する基板３４上の位置と、ドレイン槽３１上の位置との間で、移動するようにしてある。薬液を供給するノズル３０は、はじめにドレイン槽３１上に設けられた対応する穴３２にノズル３０の先端を差し込む形で位置している。
【０００６】
そして、ノズル３０は、ノズルアーム３５を動かすことにより、このドレイン槽３１上の初期の位置から、チャック３３に吸着された基板３４上に移動する。
次に、薬液をノズル３０から基板３４の中心に向かって真下に一定量滴下することによって、基板３４上に薬液を供給する。その後、スピンモータ３６によって、基板３４を回転させ、不要な薬液を飛散させ、塗布ムラ無く、塗膜が均一になるように薬液を塗布する。飛散された不要な薬液はレジストカップ３７に捕捉され、回収される。そして、ノズル３０は薬液滴下後、初めに位置していたドレイン槽３１上に戻る。
【０００７】
以上の動作を各基板毎に繰り返して行くが、基板への塗布を連続して行わず、ある程度の時間薬液を供給しなかった場合、ノズル３０の先端部分に残留しているレジスト等の薬液は、長時間外気に接することになる。その結果、薬液の一部が乾燥し、ノズル３０の先端部で凝固し、吐出口付近に付着してしまう。
【０００８】
薬液を供給するノズル３０先端部に固体化した乾燥薬液が残っている場合、レジスト等の薬液が、ノズル３０の真下に滴下されないので、塗布ムラ、塗膜の膜厚の不均一といった問題を生じる。また、吐出口付近に付着した固体化した乾燥薬液が、何らかの理由により剥離し、薬液に混入し、そのまま滴下されてしまうことがある。その場合同様に、塗布ムラ、塗膜の膜厚の不均一といった問題を生じる。
【０００９】
このような問題は、例えば薬液がレジストで、基板３４がウエハであり、そのレジストが塗布されたウエハを半導体製造に用いる場合に、その後の製造工程において、パターン寸法の変化等を引起し、製品の歩留り低下や品質低下に結びつく。
【００１０】
このような問題に対し、従来は以下の方法でその解決が試みられていた。
一つはダミーディスペンスを行う方法である。ダミーディスペンスとは、ある一定時間薬液の滴下を行わない場合、ドレイン槽３１上の初期の位置に置かれた薬液供給ノズル３０において、薬液が凝固する時間より短い時間間隔で薬液を吐出させるという技術である。この方法により、確かに上記問題は改善が見られるが、十分とはいえず、長時間の薬液塗布装置の使用により、やはり吐出口付近に固形物が析出し、付着してしまう。
【００１１】
また、その程度を軽微なものとするには、ダミーディスペンスを行なう間隔を短くし、回数を多くすることが必要であるが、薬液を無駄に使用することになり、半導体装置製造におけるコスト上昇の要因となってしまう。
また、サックバック法も行われている。図１１にはサックバックを行った後の薬液供給ノズル３９の縦断面を示している。図１１に示すように、サックバック法とは、薬液３８を供給後、薬液供給ノズル３９の内部を減圧し、吐出口４０にあるサックバック前の薬液面４１をノズル３９の内側方向に引き上げ、薬液面４２をノズル３９の中に形成する技術である。この方法によって、確かに吐出口付近の外壁に付着する固形物は減少するが、内壁に付着する固形物４３の析出は抑止できない。
【００１２】
この方法は、上記ダミーディスペンスを行う方法と併用されて用いられる場合が多いが、２つの方法を併用して用いても、その効果は不十分である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の薬液塗布装置は、塗膜の均一性が高いという点で優れているが、その薬液供給ノズルにおいて生じる問題から、その特性が十分に発揮できない場合がある。つまり、薬液塗布装置の有する薬液供給ノズルにおいて起きる薬液の乾燥と固体化、吐出口への固体化した薬液の付着を、必要に応じて、簡便に取り除くことを可能とするという課題を有している。
【００１４】
このような課題に対し、前記ノズルに付着した固体化した薬液を、ダミーディスペンス法のように固体化していない同じ薬液で押し出すなどして物理的に取り除くのではなく、固体化した薬液を良く溶解する溶剤を洗浄液とし、薬液供給ノズルの先端部分を洗浄する方法が考えられる。つまり、具体的には薬液供給ノズルの外部に、溶剤を供給するノズル等の手段を設け、これを洗浄用ノズルとし、前記洗浄用ノズルから、固体化した乾燥薬液を良く溶解する溶剤を、前記薬液供給ノズルに向かってスプレーする方法が考えられる。
【００１５】
図１２はこの溶剤をスプレーする方法の概略を表す図であるが、通常は図１２中の矢印が表すスプレー方向４４から薬液供給ノズル先端部４５に、溶剤をスプレーし洗浄する。その結果、確かに薬液供給ノズルの先端部４５において、溶剤が到達し触れることが可能な部位に付着した固体化した乾燥薬液は効果的に取り除かれる。しかし、図１３に洗浄後のノズル先端の断面図を示すように、固体化した乾燥薬液のうち、薬液供給ノズル４６の内壁に付着した乾燥薬液４７を十分に取り除くことができない。
【００１６】
次に、図１４に示すように、薬液を良く溶解する溶剤を用い、そのスプレー方向４８を、薬液供給ノズル４９の吐出口５０の下側から吐出口５０に向かう方向４８とすることも考えられたが、結果は、前記溶剤の吐出口５０内部への到達が十分でなかった。従って、図１３に示すように、固体化した乾燥薬液４７が、洗浄後も付着していた内壁にそのまま残り、洗浄効果は十分とはならなかった。
【００１７】
そこで、本発明の目的は、薬液を滴下する薬液供給ノズルを常に綺麗に保つノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有し、薬液を滴下する薬液供給ノズルが常に綺麗に保たれた薬液塗布装置を提供することである。
【００１８】
本発明の他の目的は、洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から挿入した状態で、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給し、前記被洗浄ノズルを洗浄して、薬液を供給するノズルの先端に付着した、固体化した乾燥薬液を、効率よく十分に落とすノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、およびかかるノズル洗浄装置を有することにより、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題は、次の手段を講じることにより解決することができる。
請求項１記載の発明は、
被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、
先端部に前記洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が前記被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルと、
前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から遊嵌状態で挿入し、該挿入状態で前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機構と、
排出口と前記被洗浄ノズルの差し込み口とを有し、前記洗浄用ノズルの先端部が覆われているカバーとを有し、
前記供給口から吐出した洗浄液は、前記吐出口の内部を洗浄し、前記吐出口と供給口との隙間から前記カバー内に排出されることを特徴とするものである。
【００２０】
また、請求項２記載の発明は、
先端部に洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルを用いると共に、被洗浄ノズルに洗浄液を供給して、前記被洗浄ノズルを洗浄するノズル洗浄方法であって、
前記洗浄用ノズルを前記被洗浄ノズル内に吐出口から遊嵌した状態で挿入して、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給し、
前記洗浄ノズルから吐出した洗浄液で前記吐出口の内部を洗浄したあと、前記洗浄液を前記吐出口から排出することを特徴とするものである。
また、請求項３記載の発明は、
薬液を塗布する基板を回転させるスピンコータ部と、
前記スピンコータ部の周辺に備えられた、廃液を回収するドレイン槽と、
前記基板に薬液を敵かする薬液供給ノズルを先端に備え、前記基板上と前記ドレイン槽上に、前記薬液供給ノズルが設置できるように回動可能なノズルアームと、
前記薬液供給ノズルに洗浄液を供給して、前記薬液供給ノズルを洗浄するノズル洗浄装置とを備える薬液塗布装置において、
前記ノズル洗浄装置は、
先端部に洗浄液の供給口が形成されると共に、前記供給口の外径が最も細く、前記供給口から離れるに従って漸次外径が太くなり最大外径が被洗浄ノズルの内径よりも大きい形状を有し前記被洗浄ノズルの吐出口内に遊嵌可能な状態で挿入される洗浄用ノズルを備え、
前記洗浄用ノズルを前記薬液供給ノズル内に吐出口から遊嵌した状態で挿入し、前記洗浄用ノズルに洗浄液を供給する機構と、前記吐出口から洗浄済みの洗浄液が排出されるカバーとを有することを特徴とするものである。
【００２３】
本発明によれば、薬液塗布装置におけるノズル洗浄装置において、薬液塗布装置の有する薬液供給ノズルの吐出口に付着した固体化した乾燥薬液を、溶剤により溶解して取り除く際に、前記溶剤を、従来の技術に比べ、前記固体化した乾燥薬液に対し直接に、そして強く作用させるようにすることができる。つまり、前記溶剤が前記固体化した薬液に十分到達し、溶解等の作用を十分に行うことができる。
【００２４】
また本発明によれば、ノズル洗浄装置において、洗浄用ノズルを設け、この洗浄用ノズルを、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルを洗浄する際に、前記薬液供給ノズルに挿入した状態にする。この時、挿入するべき挿入口を前記薬液供給ノズルに別個に設けることなく、前記薬液供給ノズルの吐出口から前記洗浄用ノズルを挿入する。したがって、簡便に洗浄用ノズルを、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルに挿入した状態にすることができる。
【００２５】
そして、この挿入された前記洗浄用ノズルに洗浄液となる溶剤を供給し、前記洗浄用ノズルから前記溶剤を吐出させることによって、前記薬液供給ノズルに付着した固体化した乾燥薬液を、前記溶剤に溶解させ、前記薬液供給ノズルの薬液を滴下する吐出口から排出することにより取り除く。
【００２６】
このとき、前記薬液供給ノズルは、従来技術では外側から洗浄されるのに対し、前記薬液供給ノズルの内部から、固体化した乾燥薬液をよく溶かす溶剤によって、洗浄されることになる。したがって、前記ノズル内部に付着した固体化した乾燥薬液は、従来技術と比べ、はるかに効率よく取り除かれることになる。
【００２７】
また本発明によれば、ノズル洗浄装置において、洗浄用ノズルは、その先端部の最先端が最も細くなっている。従って、洗浄用ノズルの薬液供給ノズルへの挿入は、確実なものとでき、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの洗浄が容易となる。
【００２８】
また本発明によれば、ノズル洗浄装置において、洗浄用ノズルの先端部の最も太い部位の外径が、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの内径より大きい。
従って、洗浄用ノズルを、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルに、薬液供給ノズルの吐出口から挿入する場合、前記内径と前記洗浄用ノズルの先端部における同一外径を有する部位まで、洗浄用ノズルの先端部は挿入できることになる。従って、最も深く前記洗浄用ノズルを前記薬液供給ノズルに挿入した場合、洗浄用ノズルと薬液供給ノズルの吐出口内壁の間には隙間は殆ど無い。
【００２９】
そして、前記洗浄用ノズルを薬液供給ノズルから若干引き抜く方向でそれぞれの位置を設定すると、前記洗浄用ノズルと前記薬液供給ノズルの吐出口内壁の間に隙間が形成される。そして、溶剤を前記洗浄用ノズルに供給した場合、前記隙間から溶剤は流れ出る。
【００３０】
この時、前記洗浄用ノズルと前記薬液供給ノズルの吐出口内壁の間の隙間は非常に狭くなる。従って、溶剤を前記洗浄用ノズルに供給した場合、前記薬液供給ノズルの吐出口の内壁付近を前記溶媒が通る際、前記溶剤の流速はとても速くなる。
【００３１】
また、薬液供給ノズルの吐出口の内壁付近は、固体化した乾燥薬液の付着物が最も多い部分である。よって、最も洗浄を必要とする部分を溶剤が勢い良く流れ、その結果、勢い良く洗浄できることになる。従って、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの効率良い洗浄が可能となる。
【００３２】
また本発明によれば、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルを、洗浄用ノズルで洗浄する際、必然的に排出される、薬液、固体化した乾燥薬液の溶液、溶剤等を効率よく回収できる。
また、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルを洗浄する際、薬液、固体化した乾燥薬液の溶液、溶剤等が飛びはねるなどした場合、設置されたカバーによって、飛びはねを抑え、前記薬液供給ノズルや他の機器部分に付着することを防止できる。薬液供給ノズルに付着物がある場合、薬液塗布工程で前記付着物が剥離し、塗布する薬液に混入するなどして、塗布ムラの原因となる場合がある。従って、薬液塗布工程での塗布ムラを防止できる。
【００３３】
また本発明によれば、薬液塗布装置が有するノズル洗浄装置部に備えられたノズル洗浄装置において、洗浄用ノズルを設け、この洗浄用ノズルを、薬液供給ノズルを洗浄する際に、前記薬液供給ノズルに前記薬液供給ノズルの吐出口から挿入した状態にする。
【００３４】
そして、この挿入された前記洗浄用ノズルに洗浄液となる溶剤を供給し、前記洗浄用ノズルから前記溶剤を吐出させることによって、前記薬液供給ノズルに付着した固体化した乾燥薬液を、前記溶剤に溶解させ、前記薬液供給ノズルの薬液を滴下する吐出口から排出することにより取り除く。
【００３５】
このとき、前記薬液供給ノズルは、従来技術では外側から洗浄されるのに対し、前記薬液供給ノズルの内部から、固体化した乾燥薬液をよく溶かす溶剤によって、洗浄されることになる。したがって、前記ノズル内部に付着した固体化した乾燥薬液は、従来技術と比べ、はるかに効率よく取り除かれることになる。
【００３６】
こうした、薬液を滴下する薬液供給ノズルを常に綺麗に保つノズル洗浄装置を有することにより、薬液を滴下する薬液供給ノズルが常に綺麗に保たれた薬液塗布装置を提供することができる。従って、薬液供給ノズルの吐出口付近に付着した固体化した乾燥薬液が、何らかの理由により剥離し、薬液に混入し、そのまま滴下されてしまうことは防止され、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。
【００４１】
【実施例１】
図１は本発明によるノズル洗浄装置の一実施例の構成を示す斜視図である。
溶剤が供給される洗浄用ノズル１の先端に、先端部２を囲むようにしてカバー３が設けられている。このカバー３には洗浄時の薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等の廃液を排出する排出口４と薬液塗布装置の薬液供給ノズル５の差し込み口６が設けられている。差し込み口６の口径（Ｄ１）は薬液供給ノズル５の外径（Ｄ２）である２．５ｍｍより大きく（Ｄ１＞Ｄ２）なるように設定されている。また、排出口４には、廃液をカバー３の外に導く廃液管７が設けられている。
【００４２】
図２は前記カバー３内部にある洗浄用ノズルの先端部２と薬液供給ノズル５の先端を示す図である。先端部２は円柱状の管からなっており、薬液供給ノズル５に先端部２を挿入して、洗浄用ノズル１を使用する必要から、先端部２の外径（Ｄ３）は薬液供給ノズル５の内径（Ｄ４）より小さい（Ｄ３＜Ｄ４）という関係を有している。
【００４３】
本実施例においては、薬液塗布装置の薬液供給ノズル５の内径（Ｄ４）が１．８ｍｍであることから、外径（Ｄ３）は１．５ｍｍに設定されており、内径（Ｄ５）は１ｍｍに設定されている。
図３は洗浄用ノズル１が薬液供給ノズル５に挿入され、薬液供給ノズルが洗浄される様子を示している。洗浄用ノズル１の先端部２を５ｍｍから１０ｍｍ薬液塗布装置の薬液供給するノズル５に挿入し、溶剤を供給する。供給された溶剤は、先端部より、薬液供給ノズル５の内部に入り、図３中の矢印に示される溶剤の流れ８を形成し、先端部と薬液供給ノズル５の隙間を流れ、薬液供給ノズル５を洗浄する。
【００４４】
このノズル洗浄装置を用いて洗浄することにより、従来取り除くことが困難であった、薬液供給ノズル５の吐出口付近の内壁についた乾燥レジスト液を容易に取り除くことができ、薬液供給ノズル５の洗浄を非常に効率良く行うことができた。
【００４５】
また、設けられたカバー３の効果により、薬液供給ノズル５先端で生じるレジスト液の飛びはねにより、この装置の他の部位に飛びはねが付着することは無かった。
【００４６】
【実施例２】
図４は本発明によるノズル洗浄装置の他の実施例の構成を示す斜視図である。
溶剤が供給される洗浄用ノズル９の先端に、先端部１０を囲むようにしてカバー１１が設けられている。このカバー１１には洗浄時の薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等の廃液を排出する排出口１２と薬液塗布装置の薬液供給ノズル１３の差し込み口１４が設けられている。差し込み口１４の口径（Ｄ６）は薬液供給ノズル１３の外径（Ｄ７）である２．５ｍｍより大きく（Ｄ６＞Ｄ７）なるように設定されている。また、排出口１２には、廃液をカバーの外に導く廃液管１５が設けられている。
【００４７】
図５はカバー１１内部にある洗浄用ノズル９の先端部１０を示す図である。洗浄用ノズル９の先端部１０の供給口１６付近は円柱状の管からなっており、薬液供給ノズル１３に洗浄用ノズル９の先端部１０を挿入して洗浄用ノズル９を使用する必要から、洗浄用ノズル９の先端部１０の供給口１６の外径（Ｄ８）は薬液供給ノズル１３の内径（Ｄ９）より小さい（Ｄ８＜Ｄ９）という特徴を有している。
【００４８】
本実施例においては、薬液塗布装置の薬液供給ノズル１３の内径（Ｄ９）が１．８ｍｍであり、洗浄用ノズル９の先端部１０の吐出口１６の外径（Ｄ８）は１．５ｍｍに設定されている。
また、洗浄用ノズル９の先端部１０は，供給口１６から７ｍｍの長さで外径（Ｄ８）１．５ｍｍ，内径（Ｄ１０）１ｍｍの円柱状の管構造が続いた後、徐々にその外径が太くなり、洗浄ノズルを形成する管の太さである外径（Ｄ１１）５ｍｍになるまで太くなる管構造１８からなっている。この時、管構造１８の最も太い部位の外径（Ｄ１１）は、薬液供給ノズル１３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）という関係を有している。
【００４９】
本実施例においては、管構造１８中、徐々に太くなる部分が１３ｍｍの長さを有しており、前記外径（Ｄ１１）は、洗浄ノズル９を形成する管の太さである外径５ｍｍに設定されている。
図６は洗浄用ノズル９が薬液供給ノズル１３に挿入され、薬液供給ノズル１３が洗浄される様子を示している。洗浄用ノズル９は、先端部１０と薬液供給ノズル１３の吐出口内壁との間に隙間ができるように、５ｍｍから１０ｍｍの長さで薬液供給ノズル１３に挿入され、その状態において、洗浄用ノズル９に溶剤が供給される。
【００５０】
供給された溶剤は、先端部１０より、薬液供給ノズル１３の内部に入り、図６中の矢印に示される溶剤の流れ８を形成し、洗浄用ノズル９の先端部１０と薬液供給ノズル１３の隙間を流れ、その結果、薬液供給ノズル１３を洗浄する。
この時、先端部１０と、薬液供給ノズル１３の吐出口内壁との間の隙間は、先端部１０の最も太い部位の外径（Ｄ１１）が、薬液供給ノズル１３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）ため、非常に狭くなっている。従って、溶剤を洗浄用ノズル９に供給した場合、前記溶剤は、薬液供給ノズル１３の先端の吐出口の内壁付近を通る際、とても速く流れることになる。
【００５１】
このノズル洗浄装置を用いて洗浄することにより、従来取り除くことが困難であった、薬液供給ノズル１３の吐出口付近の内壁についた乾燥レジスト液を容易に取り除くことができ、薬液供給ノズル１３の洗浄を非常に効率良く行うことができた。
【００５２】
そして、本実施例のノズル洗浄装置は、洗浄用ノズル９の先端部１０が，図５に示すように、供給口１６の外径（Ｄ８）より徐々にその外径が太くなり、洗浄ノズル９を形成する管の太さである外径（Ｄ１１）５ｍｍになるまで太くなる管構造１８を有し、この管構造１８の最も太い部位の外径（Ｄ１１）は、薬液供給ノズル１３の内径（Ｄ９）より大きい（Ｄ１１＞Ｄ９）という特徴を有している。
【００５３】
従って、実施例１に記載された実施例より、洗浄用の溶剤を、薬液供給ノズル１３の先端の吐出口の内壁付近を通る際、勢い良く流すことが容易にできる。よって、薬液供給ノズルの洗浄効果は実施例１に記載された実施例の洗浄効果より高かった。
【００５４】
また、設けられたカバー１１の効果により、薬液供給ノズル１３先端で生じるレジスト液の飛びはねにより、この装置の他の部位に飛びはねが付着することは無かった。
【００５５】
【実施例３】
図７、図８は本発明による薬液塗布装置の実施例の概略構成を示す図であり、図７は実施例３の平面図を、図８は実施例３におけるノズル洗浄装置部の拡大斜視図である。塗布処理を行うレジストカップ１７周辺にノズルアーム１９、ドレイン槽２０、および実施例２のノズル洗浄装置３機からなる洗浄装置部分２１が設けられている。ノズルアーム１９の先端部分にはテフロンからなるフッ化樹脂製の先端を有する薬液供給ノズル１３が３機設けられている。この薬液供給ノズル１３は上下に動かすことができる。ノズルアーム１９は薬液供給ノズル１３が設けられた側と反対の端を支点として可動であり、図７に示すように、ドレイン槽２０上、ウエハ２２の中心の真上、または洗浄装置部２１上に薬液供給ノズル１３が置かれるように、３個所の位置をとることができる。
【００５６】
まず、ノズルアーム１９はウエハ２２の中心の真上に薬液供給ノズル１３が位置するように置かれている。そして、薬液供給ノズル１３からウエハ２２上にレジストを滴下後、図１０の従来装置同様、ウエハ２２をウエハ下に設けられたスピンモータにより回転させ、塗布処理を行う。この時ウエハ２２上の余分なレジストは、ウエハ２２から飛散し、レジストカップ１７に集められる。
【００５７】
塗布処理後、ノズル洗浄装置部２１上に薬液供給ノズル１３が置かれるようにノズルアーム１９を移動する。そして、薬液供給ノズル１３を、ノズル洗浄装置２４の洗浄用ノズル２３の先端部２５が５ｍｍから１０ｍｍ挿入されるように下降させる。図８は、実施例２のノズル洗浄装置２４を３機結合してなる本実施例の洗浄装置部２１において、洗浄用ノズル２３が薬液供給ノズル１３に挿入されたときの様子を示している。ノズル洗浄装置２４の洗浄用ノズル２３の先端部２５が薬液供給ノズル１３に挿入された状態で、洗浄用ノズル２３に溶剤が供給される。供給された溶剤は、洗浄用ノズル２３の吐出口２６を出て、薬液供給ノズル１３内部に入り込む。そこで、薬液供給ノズル１３の内壁を洗浄し、固体化したレジストが付着していればそれを溶解し、取り除く。さらに洗浄用ノズル２３と薬液供給ノズル１３の隙間から、薬液供給ノズル１３の外に流れ出る際に、薬液供給ノズル１３の吐出口２７付近の外壁を洗浄して、薬液供給ノズル１３の外に流れ出ていく。その洗浄に用いられた溶剤は、ノズル洗浄装置２４に設けられたカバー２８の底にたまり、カバー２８の底に設けられた排出口２９を通って、ノズル洗浄装置２４の外に排出される。
【００５８】
薬液供給ノズル１３が洗浄された後、薬液供給ノズル１３を上昇させ、ノズルアーム１９をドレイン槽２０上に移動させ、薬液供給ノズル１３を再び下降させ、ドレイン槽２０中に収納する。必要な場合、この位置で、ダミーディスペンスを行う。
【００５９】
この薬液塗布装置を使用することにより、薬液供給ノズル１３で薬液の乾燥、固体化が起こることを抑止し、また、薬液の乾燥、固体化によって、析出した固形物を、効率よく十分に落とすことができる。従って、滴下され、ウエハ２２上に供給されるレジストへの固体化したレジストの混入や、固体化したレジストの影響で、薬液供給ノズル１３の真下にレジストの滴下ができないという問題が起きず、ウエハ２２へのレジスト塗布が塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無しに行うことができた。
【００６０】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、ノズル洗浄装置において、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルに付着した固体化した乾燥薬液を、前記薬液供給ノズルの吐出口から挿入した洗浄用ノズルより溶剤を吐出させることによって、前記薬液供給ノズルに付着した固形化された乾燥薬液を前記溶剤に溶解させ、前記吐出口から排出することにより効率よく取り除くことができる。
【００６１】
また、ノズル洗浄装置において、洗浄用のノズルの薬液供給ノズルへの挿入は確実なものとでき、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの洗浄が容易となる。請求項３記載の発明によれば、ノズル洗浄装置において、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの最も洗浄を必要とする吐出口の内壁付近部分を、挿入された洗浄用ノズルから供給された溶剤により、最も勢い良く洗浄できることになる。従って、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルの効率良い洗浄が可能となる。
【００６２】
また、薬液塗布装置が有する薬液供給ノズルを、洗浄用ノズルで洗浄する際に排出される、薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等を効率よく回収できる。また、洗浄する際に生じる飛びはねを抑え、前記薬液供給ノズルに薬液、固体化された乾燥薬液の溶液、溶剤等が付着することを防止できる。
【００６３】
また、塗布ムラ、塗膜の膜厚不均一の無い薬液塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の斜視図である。
【図２】実施例１の洗浄用ノズルの先端部と薬液供給ノズルの拡大斜視図である。
【図３】洗浄用ノズルが薬液供給ノズルに挿入されたときの実施例１の斜視図である。
【図４】実施例２の斜視図である。
【図５】実施例２の洗浄用ノズルの先端部と薬液供給ノズルの拡大斜視図である。
【図６】洗浄用ノズルが薬液供給ノズルに挿入されたときの実施例２の斜視図である。
【図７】実施例３の平面図である。
【図８】実施例３におけるノズル洗浄装置部の拡大斜視図である。
【図９】従来の薬液塗布装置の平面図及びドレイン槽とノズルアームの拡大斜視図である。
【図１０】スピンコータ部分の縦断面図である。
【図１１】サックバック後の薬液供給ノズルの縦断面図である。
【図１２】溶剤をスプレーする方法の概略を表す図である。
【図１３】洗浄後の薬液供給ノズルの縦断面図である。
【図１４】吐出口に向かう方向にスプレーする方法の概略を表す図である。
【符号の説明】
１，９  洗浄用ノズル
２，１０  先端部
３，１１  カバー
４，１２  排出口
５，１３  薬液供給ノズル
６，１４  差し込み口
７，１５  廃液管
８  溶剤の流れ
１６，２６  供給口
１７  レジストカップ
１８  管構造部
１９  ノズルアーム
２０  ドレイン槽
２１  ノズル洗浄装置部
２２  ウエハ
２３  洗浄用ノズル
２４  ノズル洗浄装置
２５  先端部
２６  吐出口
２７  薬液供給ノズル吐出口
２８  カバー
２９  排出口
Ｄ１  差し込み口６の口径
Ｄ２  薬液供給ノズル５の外径
Ｄ３  先端部２の外径
Ｄ４  薬液供給ノズル５の内径
Ｄ５  先端部２の内径
Ｄ６  差し込み口１４の口径
Ｄ７  薬液供給ノズル１３の外径
Ｄ８  供給口１６の外径
Ｄ９  薬液供給ノズル１３の内径
Ｄ１０  管の内径
Ｄ１１  管の外径
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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