(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、
（Ｂ）成分として、下記一般式（ＩＩＩ）で表されるオキシアルキレン系光重合性化合物を含み
（Ｃ）成分として、下記一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物及び２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
0004000839.tif 000029
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｘ１及びＸ２はそれぞれ独立に、−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ａ−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｂ−で表される基、−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｂ−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ａ−で表される基、−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｃ−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｄ−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｅ−で表される基、−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｅ−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｄ−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｃ−で表される基、−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｆ−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｇ−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｈ−で表される基、又は、−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｈ−（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｇ−（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｆ−で表される基を示し、Ｙは下記一般式（ＩＶ）で表される２価の有機基を示す。また、ｋは０又は１であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈは、それぞれ独立に１〜３０の整数である。）
【化２】
0004000839.tif 000030
（式中、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示す。）
【化３】
0004000839.tif 000031
（式中、Ｚ１及びＺ２はそれぞれ独立にハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４のアリール基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシル基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基、ｎは０〜４の整数、ｍは０〜２の整数をそれぞれ示す。なお、ｎ個のＺ１及びｍ個のＺ２のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。）
【請求項２】
前記クマリン化合物が、下記一般式（ＩＩ）で表される化合物であることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【化４】
0004000839.tif 000032
（式中、Ｚ１、Ｚ２及びｍは前記Ｚ１、Ｚ２及びｍと同義であり、Ｚ１１及びＺ１２は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、ｒは０〜３の整数を示す。なお、ｒ個のＺ１、ｍ個のＺ２、Ｚ１１及びＺ１２のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。）
【請求項３】
前記バインダーポリマーが、カルボキシル基を有するポリマーであることを特徴とする請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記カルボキシル基を有するポリマーが、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体を含むことを特徴とする請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ａ）成分４０〜８０重量部と（Ｂ）成分２０〜６０重量部との合計１００重量部に対する、（Ｃ）成分の配合量が、０．０１〜５重量部であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
支持体と、該支持体上に形成された請求項１〜５のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント。
【請求項７】
前記支持体の厚さが、５〜２５μｍであることを特徴とする請求項６記載の感光性エレメント。
【請求項８】
前記感光性樹脂組成物層上に、該感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムを更に備えることを特徴とする請求項６又は７記載の感光性エレメント。
【請求項９】
前記保護フィルムの厚さが、５〜３０μｍであることを特徴とする請求項８記載の感光性エレメント。
【請求項１０】
回路形成用基板上に、請求項６〜９のいずれか一項に記載の感光性エレメントにおける前記感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成せしめ、次いで、該露光部以外の部分を除去することを特徴とするレジストパターンの形成方法。
【請求項１１】
請求項１０記載のレジストパターンの形成方法により、レジストパターンの形成された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板の製造方法として、テンテイング法及びめっき法が知られている。テンテイング法は、チップ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し、エッチング、レジストはく離を経て、電気回路形成を行うのに対して、めっき法は、電気めっきによってスルーホールに銅を析出させ、半田めっきで保護し、レジストはく離、エッチングによって電気回路の形成を行う方法である。
【０００３】
かかる製造方法で用いられるレジストとしては、感光性樹脂組成物や感光性エレメントが一般的である。また、未硬化部の現像は、アルカリ性水溶液を用いるアルカリ現像型が主流となっている。したがって、使用する感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、現像液や水洗のスプレー圧によって破れないテンテイング性、すなわちテント信頼性を有することが要求される。更に、近年のプリント配線板の高密度化にともなって、高い光感度も要求されている。
【０００４】
かかる要求特性に応えるべく、種々の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントの開発が行われている。例えば、テント強度の向上が可能なものとして、ビニルウレタン化合物を用いた感光性樹脂組成物（特開平５−２７１１２９号公報）や、エチレングリコール鎖を有するアクリレート系化合物を用いた感光性樹脂組成物（特開平５−２３２６９９号公報）が知られている。また、光感度の改良が可能なものとして、アクリジン系開始剤を用いた組成物（特開平４−１３６９４２号公報）が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平５−２７１１２９号公報に開示された感光性樹脂組成物は、解像度や光感度の点において不充分であった。また、特開平５−２３２６９９号公報に開示された感光性樹脂組成物においては、テント信頼性やはく離特性が悪化する問題があった。更に、特開平４−１３６９４２号公報に開示された感光性樹脂組成物は、めっき法を適用した場合にめっき浴を汚染することが多く、光感度の向上を図るために光開始剤を増量した場合には、スラッジ（現像液への不溶物）が発生していた。
【０００６】
本発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、光感度が高く、テント信頼性にも優れており、更には、スラッジの発生やめっき浴の汚染をも効果的に抑制し得る感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、かかる感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の光重合性化合物と特定の光重合性開始剤とを併用することにより、上記目的が達成可能であることを見出し本発明を完成させた。
【０００８】
すなわち、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）バインダーポリマーと、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、（Ｂ）成分として、分子内にオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有し、且つ少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するオキシアルキレン系光重合性化合物を含み、（Ｃ）成分として、下記一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物及び２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体を含むことを特徴とするものである。
【化５】
0004000839.tif 000002
（式中、Ｚ１及びＺ２はそれぞれ独立にハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４のアリール基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシル基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基、ｎは０〜４の整数、ｍは０〜２の整数をそれぞれ示す。なお、ｎ個のＺ１及びｍ個のＺ２のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。）
【０００９】
本発明の感光性樹脂組成物は、上記（Ａ）〜（Ｃ）成分を必須成分とするものであって、（Ｂ）成分として、オキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有するオキシアルキレン系光重合性化合物を含有し、（Ｃ）成分として上記一般式（Ｉ）で表される化合物及び２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体を含有することから、光感度及びテント信頼性に優れ、スラッジの発生やめっき浴の汚染を効果的に抑制することができるようになる。更に、耐薬品性、密着性、機械強度及び柔軟性の点においても優れた特性を発揮するようになる。
【００１０】
なお、特開平５−２７１１２９号公報に開示された組成物が光感度等において劣るのは、ビニルウレタン化合物のウレタン結合におけるイソシアネート残基部分が現像性に優れないことに起因するものと推測され、特開平５−２３２６９９号公報に開示された組成物がテント信頼性等において劣るのは、アクリレート系化合物におけるエチレングリコール鎖が単独であるために親水性が強すぎることに起因するものと推測される。一方、本発明者らの知見によれば、感光性樹脂組成物において、プロピレングリコール鎖が単独であるアクリレート化合物を用いた場合には、解像度や光感度を向上させることが困難であり、更に、アルカリ現像液で分離しやすいため、スラッジが発生して基板に付着した場合にショートや断線の原因となってしまう。本発明者らは、オキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有するオキシアルキレン系光重合性化合物と上記一般式（Ｉ）で表される化合物とを併用する本発明の組成により、上記問題点が解決可能であることを見出したものである。
【００１１】
本発明においては、上記クマリン化合物が、下記一般式（II）で表される化合物であることが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物が、（Ｃ）成分として下記一般式（II）の化合物を含有する場合は、光感度及びテント信頼性が更に優れるようになり、スラッジの発生やめっき浴の汚染が更に高度に抑制されるようになる。
【化６】
0004000839.tif 000003
（式中、Ｚ1、Ｚ2及びｍは前記Ｚ1、Ｚ2及びｍと同義であり、Ｚ11及びＺ12は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基を示し、ｒは０〜３の整数を示す。なお、ｒ個のＺ1、ｍ個のＺ2、Ｚ11及びＺ12のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。）
【００１２】
光感度及びテント信頼性を更に向上させ、スラッジの発生やめっき浴の汚染を更に効果的に抑制する観点からは、上記オキシアルキレン系光重合性化合物は、下記一般式（III）で表される化合物であり、下記一般式（III）のＹが、下記一般式（IV）で表される２価の有機基である。
【化７】
0004000839.tif 000004
（式中、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｘ１及びＸ２はそれぞれ独立に、−(C2H4O)a−(C3H6O)b−で表される基、−(C3H6O)b−(C2H4O)a−で表される基、−(C2H4O)c−(C3H6O)d−(C2H4O)e−で表される基、−(C2H4O)e−(C3H6O)d−(C2H4O)c−で表される基、−(C3H6O)f−(C2H4O)g−(C3H6O)h−で表される基、又は、−(C3H6O)h−(C2H4O)g−(C3H6O)f−で表される基を示し、Ｙは炭素数１〜２０の２価の有機基を示す。また、ｋは０又は１であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈは、それぞれ独立に１〜３０の整数である。）
【化８】
0004000839.tif 000005
（式中、Ｒ３及びＲ４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示す。）
【００１３】
上記と同様の観点からは、上記バインダーポリマーが、カルボキシル基を有するポリマーであることが好ましい。また、上記カルボキシル基を有するポリマーが、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体を含むことが好ましく、（Ａ）〜（Ｃ）成分の配合量については、（Ａ）成分４０〜８０重量部と（Ｂ）成分２０〜６０重量部との合計１００重量部に対する、（Ｃ）成分の配合量が、０．０１〜５重量部であることが好ましい。
【００１４】
本発明は、また、支持体と、該支持体上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント、及び、上記感光性樹脂組成物層上に、該感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムを更に備えることを特徴とする感光性エレメントを提供する。この場合において、支持体の厚さは５〜２５μｍであることが好ましく、保護フィルムの厚さは５〜３０μｍであることが好ましい。
【００１５】
かかる感光性エレメントは、上記効果を奏する上記本発明の感光性樹脂組成物を用いるものであるために、プリント配線板製造時の作業性及び歩留まりを向上させることができるばかりでなく、プリント配線版の高解像・高密度化が可能になる。
【００１６】
本発明は、更に、回路形成用基板上に、上記感光性エレメントにおける上記感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成せしめ、次いで、該露光部以外の部分を除去することを特徴とするレジストパターンの形成方法、及び、かかるレジストパターンの形成方法により、レジストパターンの形成された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法を提供するものである。
【００１７】
本発明のレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法は、上記本発明の感光性エレメントを用いるものであるために、パターン間隔を狭小にした場合であっても、良好なエッチング又はめっきが可能になり、高密度化を実現することが可能になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。なお、本発明における（メタ）アクリル酸とはアクリル酸又はそれに対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとはアクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味し、（メタ）アクリロイル基とはアクリロイル基又はそれに対応するメタクリロイル基を意味する。
【００１９】
上述のように、本発明の感光性樹脂組成物は、以下の（Ａ）〜（Ｃ）成分を含有しており、
（Ａ）バインダーポリマー
（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び
（Ｃ）光重合開始剤、
（Ｂ）成分としては、分子内にオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有し、且つ少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するオキシアルキレン系光重合性化合物を含み、
（Ｃ）成分としては、上記一般式（Ｉ）で示される化合物（クマリン化合物）を必須成分として含むものである。以下（Ａ）〜（Ｃ）成分につき、詳述する。
【００２０】
先ず、（Ａ）成分であるバインダーポリマーについて説明する。
本発明において、（Ａ）成分として用いられるバインダーポリマーの種類は特に制限されず、使用可能なバインダーポリマーとしては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられ、なかでも、アクリル樹脂が好ましい。
【００２１】
バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体を重合（ラジカル重合等）させることにより製造することができる。重合性単量体としては、例えば、スチレン；ビニルトルエン、α−メチルスチレン等のスチレン誘導体；アクリルアミド；ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド誘導体；アクリロニトリル；ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルエーテル；（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル；（メタ）アクリル酸；α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸等の置換（メタ）アクリル酸；マレイン酸；マレイン酸無水物；マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル等が挙げられ、これら以外にも、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸などが例示可能である。なお、本発明において、スチレン誘導体とはスチレンにおける水素原子が置換基（アルキル基等の有機基やハロゲン原子等）で置換されたものをいう。
【００２２】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、一般式（Ｖ）で表される化合物や、かかる化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロゲン基等が置換した化合物などが挙げられ、一般式（Ｖ）におけるＲ12で示される炭素数１〜１２のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基及びこれらの構造異性体が例示可能である。
【化９】
0004000839.tif 000006
（式中、Ｒ11は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ12は炭素数１〜１２のアルキル基を示す）
【００２３】
上記一般式（Ｖ）で表される単量体の具体例としては、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸ペンチルエステル、（メタ）アクリル酸ヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヘプチルエステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ノニルエステル、（メタ）アクリル酸デシルエステル、（メタ）アクリル酸ウンデシルエステル、（メタ）アクリル酸ドデシルエステル等が挙げられ、これらは単独又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２４】
本発明におけるバインダーポリマーは、現像性の見地から、カルボキシル基を有するポリマーの１種又は２種以上からなることが好ましい。カルボキシル基を有するポリマーは、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体（メタクリル酸が好ましい）とその他の重合性単量体を重合（ラジカル重合等）させることにより製造することができる。そして、炭酸水素ナトリウム溶液等のアルカリ水溶液で現像を行う場合は、重合性単量体の全重量を基準としたカルボキシル基を有する重合性単量体の重量比率は、１０〜５０重量％が好ましく、２０〜４０重量％がより好ましい。
【００２５】
可とう性の見地からは、バインダーポリマーであるカルボキシル基を有するポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体の１種又は２種以上を含むことが好ましい。
【００２６】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸と共重合しうるビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ、なかでも、可とう性が特に優れることから、スチレン及び／又はスチレン誘導体が好ましく、スチレンがより好ましい。
【００２７】
そして、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体においては、感光性樹脂組成物の密着性及び剥離特性の観点から、スチレン及び／又はスチレン誘導体の合計の重量比率は、重合性単量体の全重量を基準として、０．１〜５０重量％であることが好ましく、１０〜４０重量％であることがより好ましく、２０〜４０重量％であることが特に好ましい。含有量が０．１重量％未満では、密着性が劣る傾向があり、５０重量％を超えると、硬化後に感光性樹脂組成物を剥離させたときに得られる剥離片が大きくなったり、剥離時間が長くなったりして、製造工程上の不都合が生じる場合がある。
【００２８】
また、（Ａ）成分であるバインダーポリマーの酸価は、３０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、３０〜２５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが更に好ましい。酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像時間が遅くなる傾向があり、５００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化した感光性樹脂組成物の耐現像液性が低下する傾向がある。
【００２９】
（Ａ）成分であるバインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）はゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定することができる（標準ポリスチレンによる換算）。かかる測定法によれば、バインダーポリマーのＭｗは、５，０００〜３００，０００が好ましく、１０，０００〜１５０，０００がより好ましい。Ｍｗが、５，０００未満では耐現像液性が低下する傾向があり、３００，０００を超えると現像時間が長くなる傾向がある。また、バインダーポリマーの分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）は、１．０〜３．０であることが好ましく、１．０〜２．５であることがより好ましい。分散度が３．０を超えると接着性及び解像度が低下する傾向がある。
【００３０】
以上説明したバインダーポリマーは、単独又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。２種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なるＭｗの２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度（Ｍｗ／Ｍｎ）の２種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。また、特開平１１−３２７１３７号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを使用するもできる。
【００３１】
次に、（Ｂ）成分である、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物（以下、単に「光重合性化合物」という。）について説明する。
【００３２】
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分として、分子内にオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位を有し、且つ少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有するオキシアルキレン系光重合性化合物（以下、単に「オキシアルキレン系光重合性化合物」という。）を含んでおり、かかる化合物を含む限りにおいては、（Ｂ）成分はこれ以外の光重合性化合物を更に含んでいてもよい。また、オキシアルキレン系光重合性化合物及びオキシアルキレン系光重合性化合物以外の光重合性化合物は単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３３】
オキシアルキレン系光重合性化合物におけるオキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位は、ランダムに結合していてもブロック状に結合していてもよいが、ブロック状に結合していることが好ましい。オキシプロピレン単位におけるプロピレン基は、ｎ−プロピレン基であってもイソプロピレン基であってもよく、イソプロピレン基である場合は、その２級炭素が酸素と結合してオキシプロピレン基を形成していてもよく、１級炭素が酸素と結合してオキシプロピレン基を形成していてもよい。また、オキシアルキレン系光重合性化合物は、オキシエチレン単位及びオキシプロピレン単位以外のオキシアルキレン単位を分子内に有していてもよい。かかるオキシアルキレン単位としては、オキシブチレン単位、オキシペンチレン単位、オキシへキシレン単位等の炭素数４〜６のオキシアルキレン単位が挙げられる。
【００３４】
本発明おけるオキシアルキレン系光重合性化合物としては、下記一般式（III）で表される化合物が好ましい。
【化１０】
0004000839.tif 000007
上記一般式（III）中、Ｒ1及びＲ2は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基である。炭素数１〜３のアルキル基としては、メチル基、エチル期、ｎ−プロピル基、イソプロピル基が挙げられるが、光感度及びテント信頼性の観点からは、Ｒ1及びＲ2はいずれも水素原子又はメチル基であることが好ましく、いずれもメチル基であることがより好ましい。
【００３５】
また、上記一般式（III）中、Ｘ1及びＸ2はそれぞれ独立に、-(C2H4O)a-(C3H6O)b-で表される基、-(C3H6O)b-(C2H4O)a-で表される基、-(C2H4O)c-(C3H6O)d-(C2H4O)e-で表される基、-(C2H4O)e-(C3H6O)d-(C2H4O)c-で表される基、-(C3H6O)f-(C2H4O)g-(C3H6O)h-で表される基、又は、-(C3H6O)h-(C2H4O)g-(C3H6O)f-で表される基であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈは、それぞれ独立に１〜３０の整数である。ここで、-(C2H4O)a-(C3H6O)b-で表される基とは、オキシエチレン単位ａ個とオキシプロピレン単位ｂ個とがこの順にブロック共重合してなる２価の基を意味し、-(C2H4O)c-(C3H6O)d-(C2H4O)e-で表される基とは、オキシエチレン単位ｃ個とオキシプロピレン単位ｄ個とオキシエチレン単位ｅ個とがこの順にブロック共重合してなる２価の基を意味する。なお、オキシプロピレン単位におけるC3H6は、ｎ−プロピレン基であってもイソプロピレン基であってもよい（イソプロピレン基が好ましい）。
【００３６】
上記一般式（III）においてｋが１である場合には、１分子中にａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのそれぞれが複数存在する場合があるが、それらは同一の整数値でも異なる整数値であってもよい。例えば、Ｘ1が-(C2H4O)a-(C3H6O)b-であり、Ｘ2が-(C3H6O)b-(C2H4O)a-である場合は、Ｙを中心として左右にａ個のオキシプロピレン単位が存在するが、左右のａは１〜３０の整数であれば異なる整数値であってもよい。但し、１分子中にａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈのそれぞれが複数存在する場合、それらは同一の整数値であることが好ましい。
【００３７】
上記一般式（III）において、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈはそれぞれ独立に１〜３０の整数である。オキシエチレン単位の繰り返し数であるａ、ｃ、ｅ及びｇが３０を越す場合は、テント強度が低下する傾向にあるため、レジスト形状が悪化する場合がある。また、オキシプロピレン単位の繰り返し数であるｂ、ｄ、ｆ及びｈが３０を越す場合は、解像度が悪化してスラッジが発生する傾向がある。なお、ａ、ｃ、ｅ及びｇは、それぞれ独立に、１〜１０の整数であることがより好ましく、４〜９の整数であることが更に好ましく、５〜８の整数であることが特に好ましい。また、ｂ、ｄ、ｆ及びｈは、それぞれ独立に、５〜２０の整数であることが好ましく、８〜１６の整数であることが更に好ましく、１０〜１４の整数であることが特に好ましい。
【００３８】
上記一般式（III）において、Ｙは炭素数１〜２０の２価の有機基を示す。炭素数１〜２０の２価の有機基としては、ベンゼン環を１〜３個有するものが好ましく、ベンゼン環を２個有するものがより好ましい。そして、炭素数１〜２０の２価の有機基としては、下記一般式（IV）で表される２価の基が特に好ましい。
【化１１】
0004000839.tif 000008
上記一般式（IV）中、Ｒ3及びＲ4は、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示す（メチル基が好ましい）。
【００３９】
本発明においては、一般式（III）のｋが１である場合は、Ｙを軸としてＸ1とＸ2とは対称形であることが好ましい。すなわち、Ｘ1が-(C2H4O)a-(C3H6O)b-である場合はＸ2は-(C3H6O)b-(C2H4O)a-が好ましく、Ｘ1が、-(C2H4O)c-(C3H6O)d-(C2H4O)e-である場合はＸ2は-(C2H4O)e-(C3H6O)d-(C2H4O)c-が好ましく、Ｘ1が-(C2H4O)a-(C3H6O)b-である場合はＸ2は-(C3H6O)b-(C2H4O)a-が好ましい。
【００４０】
したがって、一般式（III）で表される化合物の好ましい態様としては、以下の一般式（IIIa）〜（IIIg）が挙げられる。なお、一般式（IIIa）〜（IIIg）において、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｈについては上記と同義である。
【００４１】
【化１２】
0004000839.tif 000009
【００４２】
【化１３】
0004000839.tif 000010
【００４３】
【化１４】
0004000839.tif 000011
【００４４】
【化１５】
0004000839.tif 000012
【００４５】
【化１６】
0004000839.tif 000013
【００４６】
【化１７】
0004000839.tif 000014
【００４７】
【化１８】
0004000839.tif 000015
【００４８】
上記一般式（IIIa）において、Ｒ1及びＲ2が水素原子であり、ａ＝１（平均値）、ｂ＝９（平均値）である化合物としては、ＮＫエステルＨＥＭＡ−９Ｐ（新中村化学工業社製、製品名）が挙げられ、上記一般式（IIIb）において、Ｒ1及びＲ2がメチル基であり、ｃ＋ｅ＝４（平均値）、ｄ＝１２（平均値）である化合物としては、ＦＡ−０２３Ｍ（日立化成工業社製、商品名）が挙げられ、上記一般式（IIIc）において、Ｒ1及びＲ2がメチル基であり、ｆ＋ｈ＝１２（平均値）、ｇ＝６（平均値）である化合物としては、ＦＡ−０２４Ｍ（日立化成工業社製、商品名）が挙げられる。
【００４９】
上記以外のオキシアルキレン系光重合性化合物としては、例えば、ＥＯ・ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ・ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート（新中村化学工業社製、製品名ＵＡ−１３等）、ノニルフェノキシポリエチレンオキシポリプロピレンオキシ（メタ）アクリレートが挙げられる。なお、ＥＯはオキシエチレンを示し、ＰＯはオキシプロピレンを示す。そして、ＥＯ変性は、ブロック構造のオキシエチレン単位により変性がなされていることを意味し、ＰＯ変性とはブロック構造のオキシプロピレン単位により変性がなされていることを意味する（以下同様）。
【００５０】
本発明において（Ｂ）成分として用いることのできるオキシアルキレン系光重合性化合物以外の光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；多価カルボン酸と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質とのエステル化物；（メタ）アクリル酸アルキルエステル；分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物；ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート（ＥＯ変性ノニルフェニルアクリレート）；ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β′−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物等が挙げられる。
【００５１】
多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００５２】
グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレート等が挙げられる。
【００５３】
多価カルボン酸と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する物質とのエステル化物としては、例えば、無水フタル酸とβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとのエステル化物が挙げられる。
【００５４】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、上記一般式（Ｖ）で表される化合物が挙げられ、その具体例は上述したものと同様である。
【００５５】
分子内にウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業社製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。
【００５６】
ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシアクリレート等が挙げられる。
【００５７】
（Ｂ）成分として用いることのできるオキシアルキレン系光重合性化合物以外の光重合性化合物としては、更に、下記一般式（VI）で表される化合物が挙げられる。
【化１９】
0004000839.tif 000016
（式中、Ｒ21及びＲ22はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、Ａ及びＢはそれぞれ独立に炭素数２〜６のアルキレン基を示し、ｐ及びｑはｐ＋ｑ＝４〜４０となるように選ばれる正の整数である。）
【００５８】
一般式（VI）中、Ｒ21及びＲ22はいずれもメチル基であることが好ましい。また、Ａ及びＢは、解像度、耐めっき性の点から、それぞれ独立にエチレン基又はプロピレン基（更にはイソプロピレン基）であることが好ましく、いずれもエチレン基であることがより好ましい。そして、ｐ及びｑは、８〜１２であることが最も好ましい。
【００５９】
一般式（VI）で表される化合物の具体例としては、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。
【００６０】
本発明においては、（Ｂ）成分として、上記オキシアルキレン系光重合性化合物の１種又は２種以上と、ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレートの１種又は２種以上と、を組み合わせて用いることが好ましい。
【００６１】
次に、（Ｃ）成分である光重合開始剤について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｃ）成分として下記一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物を必須成分として含んでおり、かかる化合物を含む限りにおいては、（Ｃ）成分は他の光重合開始剤を更に含んでいてもよい。そして、いずれの場合であっても、１種又は２種以上の光重合開始剤を用いることができる。なお、（Ｃ）成分中の下記一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物の重量比率は、（Ｃ）成分の全重量を基準として、２重量％以上が好ましく、４重量％以上がより好ましい。
【化２０】
0004000839.tif 000017
【００６２】
一般式（Ｉ）において、Ｚ1及びＺ2はそれぞれ独立にハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４のアリール基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシル基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基、ｎは０〜４の整数、ｍは０〜２の整数をそれぞれ示す。なお、ｎ個のＺ1及びｍ個のＺ2のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。
【００６３】
一般式（Ｉ）において、ハロゲン原子としては、例えば、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素及びアスタチン等が挙げられ、炭素数１〜２０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、イコシル基及びこれらの構造異性体等が挙げられる。
【００６４】
また、炭素数３〜１０のシクロアルキル基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等が挙げられる。炭素数６〜１４のアリール基としては、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、ビフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられ、これらはハロゲン原子、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、アリル基、炭素数１〜２０のアルキル基等で置換されていてもよい。炭素数１〜１０のアルキルアミノ基としては、例えば、メチルアミノ基、エチルアミノ基、プロピルアミノ基、イソプロピルアミノ基等が挙げられ、炭素数２〜２０のジアルキルアミノ基としては、例えば、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基等が挙げられる。そして、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基としては、例えば、メチルメルカプト基、エチルメルカプト基、プロピルメルカプト基等が挙げられる。
【００６５】
更に、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基としては、例えば、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシイソプロピル基、ヒドロキシブチル基等が挙げられ、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基としては、例えば、カルボキシメチル基、カルボキシエチル基、カルボキシプロピル基、カルボキシブチル基等が挙げられる。また、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基としては、例えば、ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、バレリル基、イソバレリル基、ピバロイル基等が挙げられ、炭素数１〜２０のアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等が挙げられる。そして、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、複素環を含む基としては、例えば、フリル基、チエニル基、ピロリル基、チアゾリル基、インドリル基、キノリル基等が挙げられる。
【００６６】
一般式（Ｉ）において、Ｚ1及びＺ2は、それぞれ独立に炭素数１〜２０のアルキル基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基又は炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基であることが好ましい。この場合においてもｎ個のＺ1及びｍ個のＺ2のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。
【００６７】
解像度及び光感度の観点から、一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物は、下記一般式（VII）で表される化合物であることがより好ましい。なお、一般式（VII）中、Ｚ1、Ｚ2及びｍは上記Ｚ1、Ｚ2及びｍと同義であり、Ｚ11及びＺ12は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜２０のアルキル基、ｒは０〜３の整数をそれぞれ示す。なお、ｒ個のＺ1、ｍ個のＺ2、Ｚ11及びＺ12のうち少なくとも２つは環を形成していてもよい。そして、下記一般式（VII）で表される化合物において、Ｚ11及びＺ12は、それぞれ独立に炭素数１〜１０のアルキル基であることが好ましく、炭素数１〜６のアルキル基であることがより好ましい。また、好適な、Ｚ1及びＺ2は上記と同様である。
【化２１】
0004000839.tif 000018
【００６８】
一般式（VII）で表される化合物であって、ｍ個のＺ2、Ｚ11及びＺ12のうち少なくとも２つが環を形成している態様としては、下記一般式（VIIａ）で表される化合物や下記一般式（VIIｂ）で表される化合物が挙げられる。
【化２２】
0004000839.tif 000019
（式中、Ｚ1、Ｚ11、Ｚ12及びｒは上記Ｚ1、Ｚ11、Ｚ12及びｒと同義であり、Ｚ21は、上記Ｚ1と同様の原子又は基を示す。また、ｓは０〜８の整数を示す。なお、好適なＺ1、Ｚ11及びＺ12は上記と同様である。）
【化２３】
0004000839.tif 000020
（式中、Ｚ1、Ｚ2及びｍは上記Ｚ1、Ｚ2及びｍと同義であり、Ｚ31及びＺ32はそれぞれ独立に上記Ｚ1と同様の原子又は基を示す。また、ｔは０〜１の整数、ｕは０〜６の整数、ｖは０〜６の整数をそれぞれ示す。なお、好適なＺ1及びＺ2は上記と同様である。）
【００６９】
一般式（VII）で表される化合物（一般式（VIIａ）及び（VIIｂ）で表される化合物を含む）としては、７−アミノ−４−メチルクマリン、７−ジメチルアミノ−４−メチルクマリン、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（下記式（VIIｃ）で表される化合物）、７−メチルアミノ−４−メチルクマリン、７−エチルアミノ−４−メチルクマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン（下記式（VIIｄ）で表される化合物）、４，６−ジエチル−７−エチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン、７−ジメチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン（下記式（VIIｅ）で表される化合物）、７−アミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、７−ジエチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、２，３，６，７，１０，１１−ヘキサアンヒドロ−１Ｈ，５Ｈ−シクロペンタ［３，４］［１］ベンゾピラノ［６，７，８−ｉｊ］キノリジン１２（９Ｈ）−オン、７−ジエチルアミノ−５′，７′−ジメトキシ−３，３′−カルボニルビスクマリン、３，３′−カルボニルビス［７−（ジエチルアミノ）クマリン］、７−ジエチルアミノ−３−チエノキシルクマリン及び下記式（VIIｆ）で表される化合物が挙げられる。
【００７０】
【化２４】
0004000839.tif 000021
【００７１】
【化２５】
0004000839.tif 000022
【００７２】
【化２６】
0004000839.tif 000023
【００７３】
【化２７】
0004000839.tif 000024
【００７４】
一般式（Ｉ）で表されるクマリン化合物として特に好ましいものは、下記一般式（VIII）で表される化合物である。一般式（VIII）中、Ｚ11及びＺ12は上記Ｚ11及びＺ12と同義であり、Ｚ41、Ｚ42及びＺ43はそれぞれ独立に炭素数１〜２０のアルキル基（好ましくは炭素数１〜６のアルキル基）を示す。なお、Ｚ42及びＺ43は環を形成していてもよい。
【化２８】
0004000839.tif 000025
【００７５】
上述した化合物のうち、７−アミノ−４−メチルクマリン、７−ジメチルアミノ−４−メチルクマリン、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン（式（VIIｃ）で表される化合物）、７−メチルアミノ−４−メチルクマリン、７−エチルアミノ−４−メチルクマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン（式（VIIｄ）で表される化合物）、４，６−ジエチル−７−エチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジエチルアミノクマリン、４，６−ジエチル−７−ジメチルアミノクマリン、４，６−ジメチル−７−エチルアミノクマリン、７−ジメチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリン（式（VIIｅ）で表される化合物）、７−アミノシクロペンタ［ｃ］クマリン、７−ジエチルアミノシクロペンタ［ｃ］クマリンが、一般式（VIII）で表される化合物に該当する。
【００７６】
本発明において用いることのできる一般式（Ｉ）で表される化合物以外の光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ'−テトラメチル−４，４'−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ'−テトラエチル−４，４'−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４'−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９'−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン；Ｎ−フェニルグリシン誘導体；ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組合せ等のチオキサントン系化合物と３級アミン化合物との組合せ等が挙げられる。
【００７７】
２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体においては、当該二量体を構成する２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールは、それぞれ同一の構造を有していても、相違する構造を有していてもよい。すなわち、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体におけるトリアリール基の種類は同一でも異なっていてもよい。
【００７８】
かかる２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体としては、例えば、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−１，２′−ビイミダゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｐ−クロロフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｐ−フルオロフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｐ−クロロｐ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｏ，ｐ−ジブロモフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｐ−クロロナフチル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｍ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ，ｐージクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｐ−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｐ−ヨードフェニル）イミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｍ−ブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルイミダゾール二量体、２，２′−ビス（ｍ，ｐ−ジブロモフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニルイミダゾール二量体等が挙げられる。
【００７９】
これらの２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体は、そのアリール基がさらにハロゲン原子、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、炭素数６〜１４アリール基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、炭素数１〜１０のアルキルメルカプト基、炭素数２〜２０のジアルキルアミノ基、アリル基、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が１〜１０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシル基又は複素環を含む基等で置換されていてもよい。
【００８０】
本発明においては、解像度及び光感度を更に向上させる観点から、（Ｃ）成分としては、上記一般式（Ｉ）で表される化合物と上記２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体とを組み合わせて用いることが好ましい。この場合において、両化合物の合計の重量比率は、（Ｃ）成分の全重量を基準として、８０重量％以上が好ましく、９０重量％以上がより好ましい。また、両化合物中、一般式（Ｉ）で表される化合物の重量比率は、２重量％以上が好ましく、４重量％以上がより好ましい。
【００８１】
次に、本発明の感光性樹脂組成物における（Ａ）〜（Ｃ）成分の配合量について説明する。
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の重量の合計１００重量部に占める、（Ａ）成分の重量は、４０〜８０重量部が好ましく、４５〜７０重量部がより好ましい。（Ａ）成分の重量が４０重量部未満では光硬化物が脆くなり易く、感光性エレメントとして用いた場合に、成膜性が劣る傾向があり、８０重量部を超えると光感度が不充分となる傾向がある。
【００８２】
（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の重量の合計１００重量部に占める、（Ｂ）成分の重量は、２０〜６０重量部が好ましく、３０〜５５重量部がより好ましい。（Ｂ）成分の重量が２０重量部未満では光感度が不充分となる傾向があり、６０重量部を超えると光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００８３】
（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総重量１００重量部に対して、０．０１〜５重量部であることが好ましく、０．０５〜１重量部であることがより好ましい。（Ｃ）成分の配合量が０．０１重量部未満では光感度が不充分となる傾向があり、５重量部を超えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
【００８４】
次に、本発明の感光性樹脂組成物が含有することのできる（Ａ）〜（Ｃ）成分以外の成分について説明する。
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、はく離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤などを（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総重量１００重量部に対してそれぞれ０．０１〜２０重量部程度含有することができる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００８５】
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して固形分３０〜６０重量％程度の溶液としてもよい。
【００８６】
上述した本発明の感光性樹脂組成物は、金属面、例えば、銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金の表面上に、液状レジストとして塗布して乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いるか、以下に述べる感光性エレメントの形態で用いることが好ましい。
【００８７】
次に、本発明の感光性エレメントについて説明する。
本発明の感光性エレメントは、支持体と、該支持体上に形成された上記感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えるものであり、感光性樹脂組成物層上には、該感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムを更に備えていてもよい。
【００８８】
感光性樹脂組成物層は、本発明の感光性樹脂組成物を上述した溶剤（又は混合溶剤）に溶解して固形分３０〜６０重量％程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体上に塗布して乾燥することにより形成することが好ましい。塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができ、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。そして、感光性樹脂組成物層の厚さは、用途により異なるが、乾燥後の厚さで１〜１００μｍであることが好ましく、１〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さが１μｍ未満では工業的に塗工困難となる傾向があり、１００μｍを超えると接着力、解像度が低下する傾向がある。
【００８９】
感光性樹脂組成物層は、波長３６５ｎｍの紫外線に対する透過率が５〜７５％であることが好ましく、７〜６０％であることがより好ましく、１０〜４０％であることが特に好ましい。透過率が５％未満では密着性が劣る傾向があり、７５％を超えると解像度が劣る傾向がある。上記透過率は、ＵＶ分光計により測定することができ、ＵＶ分光計としては、株式会社日立製作所製２２８Ａ型Ｗビーム分光光度計等が挙げられる。
【００９０】
感光エレメントにおける支持体は、厚さが５〜２５μｍであることが好ましく、８〜２０μｍであることがより好ましく、１０〜１６μｍであることが特に好ましい。厚さが５μｍ未満では現像前の支持体はく離の際に、支持体が破れやすくなる傾向があり、２５μｍを超えると解像度が低下する傾向がある。
【００９１】
支持体は、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムからなることが好ましく、そのヘーズは０．００１〜５．０であることが好ましく、０．００１〜２．０であることがより好ましく、０．０１〜１．８であることが特に好ましい。このヘーズが２．０を超えると、解像度が低下する傾向がある。上記ヘーズはＪＩＳ  Ｋ  ７１０５に準拠して測定したものであり、例えば、ＮＤＨ−１００１ＤＰ（日本電色工業社製、商品名）等の市販の濁度計などで測定が可能である。
【００９２】
感光エレメントに使用される保護フィルムは、厚さが５〜３０μｍであることが好ましく、１０〜２８μｍであることがより好ましく、１５〜２５であることが特に好ましい。厚さが５μｍ未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向があり、３０μｍを超えると廉価性に劣る傾向がある。
【００９３】
保護フィルムのフィルム長手方向の引張強さは、１３ＭＰａ以上であることが好ましく、１３〜１００ＭＰａであることがより好ましく、１４〜１００ＭＰａであることが更に好ましく、１５〜１００ＭＰａであることが特に好ましく、１６〜１００ＭＰａであることが極めて好ましい。フィルム長手方向の引張強さが１３ＭＰａ未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れやすくなる傾向がある。
【００９４】
保護フィルムのフィルム幅方向の引張強さは、９ＭＰａ以上であることが好ましく、９〜１００ＭＰａであることがより好ましく、１０〜１００ＭＰａであることが更に好ましく、１１〜１００ＭＰａであることが特に好ましく、１２〜１００ＭＰａであることが極めて好ましい。フィルム幅方向の引張強さが９ＭＰａ未満ではラミネートの際、保護フィルムが破れる傾向がある。
【００９５】
引張強さはＪＩＳ  Ｃ  ２３１８−１９９７（５．３．３）に準拠して測定することができ、例えば、東洋ボールドウィン社製商品名テンシロン等の市販の引張強さ試験機などで測定が可能である。
【００９６】
また、支持体及び保護フィルムは、後に感光性樹脂組成物層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであってはならないが、必要に応じてコロナ放電処理などの表面処理を施してもよい。また、支持体及び保護フィルムには、帯電防止処理を施してもよい。作業性の観点からは、保護フィルムと感光性樹脂組成物との間の接着強度は、支持体と感光性樹脂組成物との間の接着強度よりも小さいことが好ましい。更に、支持体及び保護フィルムはいずれも低フィッシュアイのフィルムが好ましい。
【００９７】
本発明の感光性エレメントは、更に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層等を有していてもよい。そして、本発明の感光性エレメントは、例えば、シート状、又は保護フィルムを介在させた上で巻芯（ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂等）にロール状に巻きとって保管することができる。ロール状に巻き取った感光性エレメントの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、梱包方法として、透湿性の低いブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００９８】
次に、本発明のレジストパターンの形成方法について説明する。
本発明のレジストパターンの形成方法は、回路形成用基板上に、上記感光性エレメントにおける感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成せしめ、次いで、該露光部以外の部分を除去するものである。なお、回路形成用基板とは、絶縁層と絶縁層上に形成された導体層（銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる）とを備えた基板をいう。
【００９９】
積層方法としては、感光性エレメントが保護フィルムを有している場合には、当該フィルムを除去後、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する方法などが挙げられ、密着性及び追従性の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導体層の面であるが、かかる面以外の面であってもよい。感光性樹脂組成物層の加熱温度は７０〜１３０℃とすることが好ましく、圧着圧力は、０．１〜１．０ＭＰａ程度（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度）とすることが好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物層を上記のように７０〜１３０℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向上させるためには、回路形成用基板の予熱処理を行うこともできる。
【０１００】
このようにして積層が完了した後、感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成せしめる。露光部を形成せしめる方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が活性光線に対して透明の場合には、支持体を通して活性光線を照射することができ、支持体が活性光線に対して不透明の場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂組成物層に活性光線を照射する。
【０１０１】
活性光線の光源としては、例えば、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられる。
【０１０２】
次いで、露光後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、ウエット現像、ドライ現像等で露光部以外の部分を除去して現像し、レジストパターンを形成させる。ウエット現像の場合は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等の感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
【０１０３】
現像液としては、アルカリ性水溶液等の安全かつ安定であり、操作性が良好なものが用いられる。アルカリ性水溶液の塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられる。また、現像に用いるアルカリ性水溶液としては、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。また、現像に用いるアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【０１０４】
水系現像液としては、水又はアルカリ水溶液と１種以上の有機溶剤とからなるものが挙げられる。ここでアルカリ性水溶液の塩基としては、上述したもの以外に、例えば、ホウ砂やメタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、２−アミノ−２−ヒドロキシメチル−１、３−プロパンジオール、１、３−ジアミノプロパノール−２、モルホリン等が挙げられる。現像液のｐＨは、レジストの現像が充分にできる範囲でできるだけ小さくすることが好ましく、ｐＨ８〜１２とすることが好ましく、ｐＨ９〜１０とすることがより好ましい。
【０１０５】
水系現像液における有機溶剤としては、例えば、アセトンアルコール、アセトン、酢酸エチル、炭素数１〜４のアルコキシル基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。有機溶剤の濃度は、通常、２〜９０重量％とすることが好ましく、その温度は、現像性にあわせて調整することができる。また、水系現像液中には、界面活性剤、消泡剤等を少量混入することもできる。
【０１０６】
有機溶剤系現像液としては、例えば、１，１，１−トリクロロエタン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、引火防止のため、１〜２０重量％の範囲で水を添加することが好ましい。
【０１０７】
本発明においては、必要に応じて、上述した現像方法の２種以上を併用してもよい。現像の方式には、ディップ方式、バトル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等があり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適している。
【０１０８】
現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０ｍＪ／ｃｍ2程度の露光を行うことによりレジストパターンをさらに硬化して用いてもよい。
【０１０９】
以上により、レジストパターンが形成されるが、本発明のレジストパターンの形成方法においては、上述した本発明の感光性エレメントを用いるために、狭小のパターン形成も良好に行うことが可能になる。
【０１１０】
次に、本発明のプリント配線板の製造方法について説明する。
本発明のプリント配線板の製造方法は、上記本発明のレジストパターンの形成方法により、レジストパターンの形成された回路形成用基板をエッチング又はめっきするものである。
【０１１１】
回路形成用基板のエッチング及びめっきは、形成されたレジストパターンをマスクとして、回路形成用基板の導体層等に対して行われる。エッチングに用いられるエッチング液としては、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素系エッチング液が挙げられ、これらの中では、エッチファクタが良好な点から塩化第二鉄溶液を用いることが好ましい。また、めっきを行う場合のメッキ方法としては、例えば、硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスローはんだめっき等のはんだめっき、ワット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファミン酸ニッケルめっき等のニッケルめっき、ハード金めっき、ソフト金めっき等の金めっきなどが挙げられる。なお、本発明においては、硫酸銅めっき等で形成された銅パターンの保護のために、はんだめっきを更に行ってもよい。
【０１１２】
エッチング又はめっき終了後、レジストパターンは、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウム水溶液等が用いられる。剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレー方式等が挙げられ、浸漬方式及びスプレー方式を単独で使用してもよいし、併用してもよい。
【０１１３】
以上によりプリント配線板が得られるが、本発明のプリント配線板の製造方法においては、上述した本発明の感光性エレメントを用いるために、パターン間隔を狭小にした場合であっても、良好な露光及びエッチング又はめっきが可能になり、高密度化を実現することが可能になる。
【０１１４】
上記本発明のプリント配線板の製造方法は、単層のプリント配線板の製造のみならず、多層プリント配線板の製造にも適用可能である。また、本発明のプリント配線板の製造方法は上記効果を奏することから、得られるプリント配線板は、高密度化が要求される分野において好適に用いることができる。
【０１１５】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例についてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
まず、表１に示す材料を配合して溶液（以下「溶液１」という。）を得た。なお、溶液１の（Ｃ）成分としては、Ｃ１〜Ｃ６のそれぞれの場合を作り分けた。すなわち、（Ｃ）成分がＣ１〜Ｃ６のいずれかである６種類の溶液１を作製した。そして、６種類の溶液１のいずれかに表２に示す成分（（Ｂ）成分）を溶解させて、感光性樹脂組成物の溶液を得た。なお、表１及び表２中の数値は重量部を意味し、表２には溶液１に含まれる（Ｃ）成分の種類（Ｃ１〜Ｃ６のいずれか）を示した。
【０１１６】
【表１】
0004000839.tif 000026
【０１１７】
【表２】
0004000839.tif 000027
【０１１８】
次いで、得られた感光性樹脂組成物の溶液（実施例１〜７及び比較例１〜６）を、１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（商品名：Ｇ２−１６、帝人社製）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥した後、ポリエチレン製保護フィルム（商品名：ＮＦ−１３、タマポリ社製）で被覆し感光性エレメントを得た。なお、乾燥後の感光性樹脂組成物層の膜厚は４０μｍであった。
【０１１９】
一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓株式会社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。そして、得られた銅張り積層板を８０℃に加温し、感光性エレメントの保護フィルムを剥がしながら、感光性樹脂組成物層を銅表面上にラミネートして、積層体を得た。なお、ラミネートは、１２０℃のヒートロールにより１．５ｍ／分の速度で行った。
【０１２０】
次に、得られた積層体の上に、ネガとしてストーファー２１段ステップタブレットを置いて、高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク社製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）を用いて、４０ｍＪ／ｃｍ2で露光した。続いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を５０秒間スプレーし、未露光部分を除去した後、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することにより感光性樹脂組成物の光感度を評価した。光感度はステップタブレットの段数で示され、この段数が大きいほど光感度が高いことを示す。
【０１２１】
次いで、テント信頼性を以下のようにして評価した。すなわち、１．６ｍｍ厚の銅張積層板に直径６ｍｍの円形の穴が空いてある基材の両面に、上記感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を上記と同様にしてラミネートし、４０ｍＪ／ｃｍ2の露光量により露光を行い、上記と同様の条件で５０秒間の現像を３回行った後に、穴破れ数を測定し、穴２４個当りの穴破れ数であるテント破れ率（下記式）をテント信頼性とした。
テント破れ率（％）＝（穴破れ数（個）／２４（個））×１００
【０１２２】
更に、スラッジ性を以下のようにして評価した。すなわち、上記の感光性エレメントの感光層樹脂組成物層だけを０．４ｍ2取り出し、１．０重量％炭酸ナトリウム水溶液中に入れ、３０℃に保持しつつ攪拌機で９０分間攪拌し一週間放置した後、再び同様の攪拌を行い、堆積したスラッジの除去性をスラッジ性とした。スラッジ性の評価は、堆積したスラッジの８０％以上が除去できた場合を○、２０％以上８０％未満除去できたときを△、２０％未満しか除去できなかたっときを×とした。
【０１２３】
次に、めっき浴汚染を以下のようにして評価した。まず、上記の感光性エレメントをストーファーの２１段ステップタブレットの８段に相当するエネルギー量で露光した後、感光性樹脂組成物層を０．０９ｍ2取り出し、３００ｍＬの半田めっき液（プルテインＬＡ、メルテックス社製）に７日間浸漬した。次いで、このようにして得られためっき液を用いて、銅張り積層板（日立化成工業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面のめっきを行い、めっき基板外観の良否を観察し、めっき基板外観が良好な場合はめっき浴汚染が生じていず、めっき基板外観が劣る場合はめっき浴汚染が生じているものと評価した。
光強度、テント破れ率、スラッジ性及びめっき浴汚染の結果をまとめて表３に示した。
【０１２４】
【表３】
0004000839.tif 000028
【０１２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光感度が高く、テント信頼性にも優れており、更には、スラッジの発生やめっき浴の汚染をも効果的に抑制し得る感光性樹脂組成物を提供することが可能になる。また、かかる感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することが可能になる。