(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子を、直接、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散させた後、粉砕処理し、水分濃度１重量％以下の酸化インジウムオルガノゾルを得ることを特徴とする酸化インジウムオルガノゾルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の技術分野】
本発明は、酸化インジウムオルガノゾル、その製造方法および導電性被膜付基材に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
従来より、Ｓｎなどの異種元素を含有する導電性酸化インジウム被膜は、液晶表示素子の透明電極などとして用いられている。
【０００３】
この種の導電性酸化インジウム被膜は、真空蒸着法、スパッタリング法などの乾式法、または以下に述べる湿式法で基材上に形成されている。
しかしながら、乾式法で導電性酸化インジウム被膜を形成する場合、被膜形成用装置が高価であり、しかも大面積の被膜が得難いといった問題点があった。
【０００４】
また、湿式法では、無機または有機のインジウム化合物を水および／または有機溶媒に溶解または分散して含む塗布液を基材上に塗布し、乾燥・焼成することにより導電性酸化インジウム被膜が形成されている。
【０００５】
たとえば、特開昭５９−２２３２２９号公報には、Ｉｎ・Ｓｎ複合酸化物ゾル組成物を塗布液として用い、この塗布液を基材上に塗布し、乾燥・焼成することにより、導電性酸化インジウム被膜を形成する方法が開示されている。
【０００６】
これら従来の湿式法においては、塗布液に含まれるインジウム化合物は、無機または有機のインジウム塩などいわゆる酸化インジウムの前駆体である。上記特開昭５９−２２３２２９号公報に開示されているＩｎ・Ｓｎ複合酸化物ゾル中の複合酸化物微粒子も、その製造法からみて、非晶質の酸化物である。
【０００７】
したがって、このような塗布液を基材上に塗布した後に乾燥しただけでは高い導電性を示す結晶性酸化インジウムの被膜は得られず、基材上に塗布した後の塗膜を４００℃以上の高温で焼成してインジウム塩を熱分解するとともに得られた酸化インジウムを結晶化することにより、はじめて高導電性の酸化インジウム被膜が形成される。上記特開昭５９−２２３２２９号公報の実施例でも５００℃で焼成する工程を経て導電性被膜が形成されている。
【０００８】
しかしながら、このように焼成工程で５００℃程度の温度で加熱すると、基材がプラスチック基材である場合には基材が損傷してしまい、また、基材がガラス基材である場合には基材に歪み、割れなどが生じるという問題点があった。
【０００９】
本発明者らは、上記のような従来技術に伴う問題点を解決するため、高温で焼成することにより、導電性が付与された結晶性酸化インジウム粉末であって、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム粉末を予め調製し、この粉末を粉砕した後、酸性水溶液またはアルカリ性水溶液に分散させることによって得られた結晶性酸化インジウムゾル、および該ゾルを用いて形成された導電性酸化インジウム被膜付基材について、すでに特願平６−２７８１４８号明細書で提案している。この発明によれば、従来のように基材上に酸化インジウムゾルを塗布して得られた塗膜を高温で焼成しなくても導電性に優れた酸化インジウム被膜が得られる。
【００１０】
しかしながら、その後の本発明者らの検討によれば、上述した結晶性酸化インジウムゾルは、その分散媒が水であるか、たとえこの水が有機溶媒で置換されていたとしても、ゾル中の結晶性酸化インジウム微粒子が有機溶媒で置換する前に水と接触していたことに起因して、ゾル中の結晶性酸化インジウム微粒子表面が水和されており、このため、このゾルを用いて形成された被膜の導電性が若干低くなるという問題点があることが判明した。
【００１１】
本発明者らは、上記知見に基づいて鋭意研究を重ねた結果、結晶性酸化インジウムゾルの分散媒として双極子モーメントが特定された有機溶媒を用いることにより、さらにゾル製造過程で結晶性酸化インジウム粉末を水と接触させないようにすればより効果的に上記問題点が解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１２】
【発明の目的】
本発明は、上記の如き従来の結晶性酸化インジウムゾルから形成された導電性被膜に比較してより一層導電性の高い被膜が基材上に形成できるような酸化インジウムゾル、その製造方法およびこのような高導電性酸化インジウム被膜がプラスチックまたはガラス基材上に形成された高導電性被膜付基材を提供することを目的としている。
【００１３】
【発明の概要】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルは、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子が１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散されていることを特徴としている。
【００１４】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルの製造方法は、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子を、直接、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散させた後、粉砕処理し、水分濃度１重量％以下の酸化インジウムオルガノゾルを得ることを特徴としている。
【００１５】
本発明に係る導電性被膜付基材は、上記酸化インジウムオルガノゾルから形成された導電性被膜を基材上に有することを特徴としている。
【００１６】
【発明の具体的説明】
酸化インジウムオルガノゾル
まず、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルにつき具体的に説明する。
【００１７】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルでは、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子が１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散されている。
【００１８】
本明細書中で異種元素を含有する結晶性酸化インジウムとは、酸化インジウム中に１種または２種以上の異種元素（Ｉｎ以外の元素）が含有されていて、これらの異種元素がＩｎに代わって酸化インジウム結晶の一部を構成しているか、あるいは酸化インジウムと固溶した状態で存在している結晶性の酸化インジウムを意味し、異種元素化合物と酸化インジウムとの単なる混合物ではない。
【００１９】
このような結晶性酸化インジウムを形成するのに適当な異種元素としては、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｆなどが挙げられる。
これらの異種元素の含有量が少なすぎると、酸化インジウム結晶中を伝導する電子の密度が低くなり、充分な導電性を有する酸化インジウムが得られないことがある。逆にこれらの異種元素の含有量が多すぎると、酸化インジウムの結晶性が低下して酸化インジウム結晶中を伝導する電子の移動度が低くなり、充分な導電性を有する酸化インジウム微粒子が得られないことがある。
【００２０】
このような点から、異種元素がＳｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、ＺｒおよびＴｉから選ばれる１種または２種以上である場合、これらの異種元素は、酸化インジウム中に酸化物換算量（ただし、異種元素がＳｎである場合はＳｎＯ2 換算量であり、異種元素がＴｉである場合はＴｉＯ2 換算量である）で１〜２０重量％含まれていことが好まく、また、異種元素がＦである場合には、Ｆとして酸化インジウム中に０．１〜１０重量％含まれてるいことが好ましい。
【００２１】
本発明の酸化インジウムオルガノゾルに用いられる異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子は、結晶性であり、５００℃以上の高温焼成を経て得られるbixbyite型酸化インジウムと同様のＸ線回折パターンを示す。
【００２２】
この微粒子の平均粒径は約５〜２５０ｎｍであることが好ましく、このような平均粒径を有する微粒子を用いると、安定性に優れた酸化インジウムオルガノゾルを製造することができると同時に透明性に優れた導電性被膜が形成できる。
【００２３】
また、この微粒子は、ゾル中に約３０重量％以下の量で含まれていることが好ましく、この量を越えるとゾルの安定性が損なわれる場合がある。
上記範囲の平均粒径を有する酸化インジウム微粒子を上記のような量で含む酸化インジウムオルガノゾルは、ゲル化を起こすこともなく、また長期間、たとえば室温で１年以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定である。
【００２４】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルでは、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒が、上述したような異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子の分散媒として用いられる。
【００２５】
双極子モーメントが１．９[Debye] 以上である有機溶媒としては、たとえば分子内にカルボニル基および／またはエーテル基を有する有機溶媒、あるいは複素環を有する有機溶媒が用いられ、具体的にはアセトン、メチルエチルケトン、ジアセトンアルコールなどのケトン類、アセチルアセトン、アセトニルアセトンなどのβ−ジケトン類、アセト酢酸エステル、乳酸エステル、２−メトキシエチルアセテート、２−エトキシエチルアセテートなどのエステル類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル類、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、Ｎ−メチルピロリドンなどの複素環化合物、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。
【００２６】
上記のような１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒が酸化インジウムオルガノゾル中に存在すると、ゾルの安定性が向上する。
これは、ゾル中の酸化インジウム微粒子が１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒と溶媒和を形成し、酸化インジウム微粒子の凝集を防止する、すなわち、酸化インジウム微粒子の分散剤として作用しているためと推定される。
【００２７】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルでは、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒と１．９[Debye] 未満の双極子モーメントを有する有機溶媒との混合有機溶媒を分散媒として用いてもよい。
【００２８】
この混合有機溶媒に用いられる１．９[Debye] 未満の双極子モーメントを有する有機溶媒としては、従来のオルガノゾルの分散媒、たとえばメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、エチレングリコール、トリメチレングリコールなどのグリコール類などが挙げられる。
【００２９】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルの分散媒が、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒と１．９[Debye] 未満の双極子モーメントを有する有機溶媒との混合溶媒である場合、安定性に優れたゾルを提供するためには、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒の量が、ゾル中の酸化インジウム微粒子１重量部当り０．１重量部以上であることが好ましい。
【００３０】
また、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルでは、水分濃度が５重量％以下、好ましくは１重量％以下であることが望ましい。ゾル中の水分濃度が５重量％を越えると、ゾル中で酸化インジウム微粒子の表面が水和し、得られる導電性酸化インジウム被膜の導電性が低下するおそれがある。
【００３１】
酸化インジウムオルガノゾルの製造方法
次いで、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルの製造方法について説明する。
【００３２】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルは、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム粉末を上述したような特定の双極子モーメントを有する有機溶媒を含む分散媒中に、必要に応じて粉砕処理を施して分散させることによって製造される。
【００３３】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルの原料として用いられる異種元素を含有する結晶性酸化インジウム粉末は、たとえば異種元素の塩とインジウム塩との混合水溶液中でこれらの塩を加水分解し、得られた加水分解物を乾燥・焼成することにより得られる。好ましくは特開昭６３−１１５１９号公報に開示された方法で製造された導電性酸化インジウム微粉末が用いられる。
【００３４】
このような方法で得られた異種元素を含有する結晶性酸化インジウム粉末は、この粉末を構成する微粒子が良好な導電性を示すようにするために、通常、４００℃以上で加熱処理がなされる。この結果、一次粒子が焼結して数μｍ〜数百μｍの平均粒径を有する二次粒子からなる粉末が得られる。このような粒径の大きな粉末を用いて酸化インジウムゾルを製造するためには、これらの粉末を粉砕する必要がある。
【００３５】
しかし、これらの粉末を水に分散させてボールミルやサンドミルなどによる通常の方法でコロイド次元の粒径まで粉砕しようとすると、粉砕効率が悪く、また得られた粉砕粒子は不安定で分散媒中ですぐに凝集してしまう。
【００３６】
そこで、これらの焼結二次粒子からなる粉末を機械的手段で予め粉砕した後、分散媒として水を用いることなく、直接、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散させることによって酸化インジウムオルガノゾルが製造される。この過程で酸化インジウム微粒子は有機溶媒と溶媒和を形成する。この際、特に加熱処理を行う必要はないが、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム粉末を構成している二次粒子の焼結が強固な場合には、これら粉末を、分散媒に分散した後、サンドミル、ボールミルなどの粉砕手段で粉砕処理することが好ましい。
【００３７】
導電性被膜付基材
本発明に係る導電性被膜付基材は、ガラス、プラスチック、金属、セラミックなどからなる平板、立体物、フィルムなどの基材上に上記のようにして製造された本発明に係る酸化インジウムゾルからなる塗布液から形成された通常、１０〜３００ｎｍ、好ましくは３０〜２００ｎｍの膜厚の導電性被膜を有している。
【００３８】
この導電性被膜付基材は、導電性被膜の表面抵抗が小さく、透明性に優れ、しかもヘーズが小さいので液晶表示素子やタッチパネルの透明電極付基板、陰極線管の前面板、その他の電極付基材などに好適に応用することができる。
【００３９】
この導電性被膜付基材は、基材上に本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルをディッピング法、スピナー法、スプレー法、ロールコーター法、フレキソ印刷法などの方法で塗布し、次いで得られた塗膜を乾燥・焼成することによって製造される。
【００４０】
本発明では、上記の焼成を２００℃以下の低温で行っても従来の導電性酸化インジウム被膜と同等の高い導電性を示す。したがって、従来の導電性酸化インジウム被膜付基材のように５００℃以上の温度で加熱する必要はなく、このため、このような高温を加熱することに起因する基材の損傷、歪み、割れなどが生じることはない。
【００４１】
この導電性被膜付基材を製造する際、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルのみを用いてもよいが、これに染料、有機顔料、あるいはカーボンブラックなどの無機顔料を本発明の目的を損なわない範囲の量で加えててもよい。このような着色剤を含む酸化インジウムオルガノゾルからは着色された導電性被膜が基材上に形成される。
【００４２】
上記のようにして形成された導電性被膜に機械的強度が要求されるときは、この導電性被膜上に保護膜を形成すればよい。この保護膜を形成する際には、通常の保護膜形成用塗布液、例えばアルコキシシラン加水分解物を含むシリカ系被膜形成用塗布液が用いられる。
【００４３】
また、上記のようにして形成された導電性被膜上に、この導電性被膜よりも屈折率の低い透明被膜をその光学的膜厚をコントロールしながら形成すれば、反射防止性の導電性被膜付基材が得られる。さらに、この屈折率の低い透明被膜を上述したようなシリカ系被膜形成用塗布液を用いて形成すれば、反射防止性能に優れ、しかも機械的強度が高い導電性被膜付基材が得られる。
【００４４】
【発明の効果】
本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルは、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子のゾルであるので、基材上にこのゾルを含む塗布液を塗布し、２００℃以下の低温で乾燥・焼成して酸化インジウム被膜を形成しても高い導電性を有する被膜付基材が得られる。
【００４５】
このため、本発明によれば、酸化インジウム被膜に高導電性を付与するために塗布後、５００℃以上の焼成過程を経て製造する必要がある従来の導電性酸化インジウム被膜付基材に比較して耐熱性の低い基材にも導電性被膜付基材が形成できる。
【００４６】
また、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルは、ゾル製造過程で水を用いることなく、異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子を、直接、１．９[Debye] 以上の双極子モーメントを有する有機溶媒または該有機溶媒を含む混合有機溶媒に分散して製造されるので、分散後にゾル中の微粒子が凝集することはなく、水を用いて製造された従来の酸化インジウムゾルに比較して微粒子の分散性に優れている。
【００４７】
このため、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルから得られた被膜は、酸化インジウム微粒子の凝集に起因する斑点、白濁、むらなどがなく、外観に優れている。
【００４８】
さらに、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルを用いると、水を用いて製造された従来の酸化インジウムゾルを用いた場合に比較して導電性の高い被膜を基材上に形成することができる。
【００４９】
したがって、本発明によれば、ゾル中の異種元素を含有する結晶性酸化インジウム微粒子の粒径を小さくすることにより、ヘーズが低く、しかも導電性の高い被膜を基材上に形成することができる。
【００５０】
さらにまた、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾル中の異種元素を含有する酸化インジウム微粒子が結晶性であるため、このゾルからなる塗布液から基材上に形成された導電性被膜の屈折率は、１．７〜２．０と高い。このようにして基材上に形成された導電性酸化インジウム被膜上に低屈折率の被膜を積層すれば、導電性および反射防止性に優れた導電性被膜付基材を提供することが可能である。
【００５１】
すなわち、本発明によれば、導電性および反射防止性に優れた導電性被膜付基材が提供可能である。
【００５２】
【実施例】
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００５３】
【実施例１】
硝酸インジウム７９．９ｇを水６８６ｇに溶解した硝酸インジウム水溶液と、スズ酸カリウム１２．７ｇを１０重量％水酸化カリウム水溶液に溶解したスズ酸カリウム水溶液とを調製した。
【００５４】
５０℃に加熱された１０００ｇの水に攪拌しながら前記硝酸インジウム水溶液と前記スズ酸カリウム水溶液とを添加し、系内のｐＨを１１に保持しながら水溶液中の硝酸インジウムとスズ酸カリウムとを加水分解した。このようにして生成した微粒子をろ別し、洗浄し、乾燥した後、窒素中３００℃で３時間焼成し、さらに窒素中５００℃で６時間焼成してＳｎがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１７．５重量％）の微粉末（Ａ）を得た。
【００５５】
この微粉末（Ａ）１００ｇをアセチルアセトン４０ｇに充分に混合・分散させてからエタノール３６０ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ａ）をサンドミルで５時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＡを得た。
【００５６】
このゾルＡ中の微粒子の平均粒径は４０ｎｍであり、ゾルＡ中の水分濃度は０．３％であった。
このようにして得られたゾルＡは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００５７】
このゾルＡ中に含まれている微粒子の乾燥後のＸ線回折図を図１に示す。
図１は、この微粒子がBixbyite型のＩｎ2 Ｏ3 であることを示している。
【００５８】
【実施例２】
スズ酸カリウムの量を７．３ｇに代えた以外は実施例１と同様にしてＳｎがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１０．５重量％）の微粉末（Ｂ）を得た。
【００５９】
この微粉末（Ｂ）１００ｇをメチルエチルケトン４００ｇに充分に混合・分散させた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｂ）をサンドミルで３時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＢを得た。
【００６０】
このゾルＢ中の微粒子の平均粒径は６０ｎｍであり、ゾルＢ中の水分濃度は０．２％であった。
このようにして得られたゾルＢは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００６１】
【実施例３】
スズ酸カリウムの量を９．５ｇに代えた以外は実施例１と同様にしてＳｎがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１３．３重量％の微粉末（Ｃ）を得た。
【００６２】
この微粉末（Ｃ）１００ｇをメチルセロソルブ３００ｇに充分に混合・分散させてからメタノール１００ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｃ）をサンドミルで８時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＣを得た。
【００６３】
このゾルＣ中の微粒子の平均粒径は１０ｎｍであり、ゾルＣ中の水分濃度は０．４％であった。
このようにして得られたゾルＣは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００６４】
【参考例１】
塩化インジウム６６．０ｇと塩化スズ７．０ｇとを水７８８ｇに溶解した塩化インジウム−塩化スズ水溶液と、１０重量％水酸化カリウム水溶液とをそれぞれ調製した。
【００６５】
５０℃に加熱された１０００ｇの水に、攪拌しながら前記塩化インジウム−塩化スズ水溶液と前記水酸化カリウム水溶液とを添加し、系内のｐＨを１１に保持しながら水溶液中の塩化インジウムと塩化スズとを加水分解した。このようにして生成した微粒子をろ別し、洗浄し、乾燥した後、窒素中３００℃で３時間焼成し、さらに窒素中５００℃で６時間焼成してＳｎがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１３．０重量％）の微粉末（Ｄ）を得た。
【００６６】
この微粉末（Ｄ）１００ｇをメチルセロソルブ３００ｇに充分に混合・分散させてからエタノール８６ｇと純水２４ｇとを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｄ）をサンドミルで５時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＤを得た。
【００６７】
このゾルＤ中の微粒子の平均粒径は４０ｎｍであり、ゾルＤ中の水分濃度は５．０％であった。
このようにして得られたゾルＤは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００６８】
【実施例５】
スズ酸カリウム１２．７ｇに代えてフッ化アンモニウム１．７９ｇ用いた以外は実施例１と同様にしてＳｎおよびＦがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１７．１重量％、Ｆ：２．０重量％）の微粉末（Ｅ）を得た。
【００６９】
この微粉末（Ｅ）１００ｇをアセト酢酸エチル２００ｇに充分に混合・分散させてからイソプロピルアルコール２００ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｅ）をサンドミルで２時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＥを得た。
【００７０】
このゾルＥ中の微粒子の平均粒径は７０ｎｍであり、ゾルＥ中の水分濃度は０．２％であった。
このようにして得られたゾルＥは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００７１】
【実施例６】
実施例１の加水分解工程で得られた微粒子をろ別し、洗浄した後、この微粒子をＳｉＯ2 換算量で２０重量％のシリカゾル（触媒化成工業（株）製Ｓ−５５０、平均粒径５．５ｎｍ）５ｇとを混合した。この混合物を乾燥し、次いで実施例１と同様にして焼成してＳｎおよびＳｉがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１７．１重量％、ＳｉＯ2 ：２．２重量％）の微粉末（Ｆ）を得た。
【００７２】
この微粉末（Ｆ）１００ｇをＮ−メチルピロリドン１０ｇに充分に混合・分散させてからｎ−ブタノール３９０ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｆ）をサンドミルで４時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＦを得た。
【００７３】
このゾルＦ中の微粒子の平均粒径は５０ｎｍであり、ゾルＦ中の水分濃度は０．８％であった。
このようにして得られたゾルＦは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００７４】
【実施例７】
シリカゾルの代わりにＺｒＯ2 換算量で５重量％の炭酸ジルコニウム・アンモニウム水溶液３ｇ用いた以外は実施例３と同様にしてＳｎおよびＺｒがドープされたＩｎ2 Ｏ3 （ＳｎＯ2 ：１７．４重量％、Ｚｒ：０．３重量％）の微粉末（Ｇ）を得た。
【００７５】
この微粉末（Ｇ）１００ｇをジアセトンアルコール３００ｇに充分に混合・分散させてからエチレングリコール１００ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｇ）をサンドミルで２時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＧを得た。
【００７６】
このゾルＧ中の微粒子の平均粒径は１００ｎｍであり、ゾルＧ中の水分濃度は０．１％であった。
このようにして得られたゾルＧは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００７７】
【参考例２】
微粉末（Ｃ）１００ｇにメチルセロソルブ３００ｇに充分に混合・分散させてからメタノール６１ｇと純水３９ｇを加えた後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ｃ）をサンドミルで５時間粉砕して固形分濃度２０重量％のゾルＨを得た。
【００７８】
このゾルＨ中の微粒子の平均粒径は８０ｎｍであり、ゾルＨ中の水分濃度は８．０％であった。
このようにして得られたゾルＨは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００７９】
【参考例３】
微粉末（Ａ）２００ｇを純水５００ｇに分散した分散液のｐＨを濃塩酸で１．０に調整した後、この分散液をサンドミルに収容し、この分散液中の微粉末（Ａ）をサンドミルで５時間粉砕した。次いで、この分散液をオートクレーブ中で液相に保ちながら２５０℃で１時間加熱して固形分濃度２０重量％の水性ゾルを得た。
【００８０】
この水性ゾルにメチルセルソルブを加え、減圧蒸留法（９０℃）で溶媒置換して水分濃度０．８重量％、固形分濃度２０重量％のメチルセロソルブを分散媒とするオルガノゾルＩを得た。
【００８１】
このゾルＩ中の微粒子の平均粒径は４０ｎｍであった。
このようにして得られたゾルＩは、６ケ月以上にわたって微粒子の凝集・沈降もなく、安定であった。
【００８２】
【比較例１】
微粉末（Ａ）１００ｇにアセチルアセトンを加えず、エタノール４００ｇのみを加えた以外は実施例１と同様にして固形分濃度２０重量％のゾルＪを得た。
【００８３】
このゾルＪ中の微粒子の平均粒径は２０００ｎｍであり、ゾルＪ中の水分濃度は０．２％であった。
このようにして得られたゾルＪでは、１日後に微粒子の凝集および沈降が生じていることが観察された。
【００８４】
なお、上記ゾルＡ〜Ｊの平均粒径および水分濃度は次のようにして測定した。
平均粒径：
粒径測定機（日立製作所（株）製ＣＡＰＡ−７００）で測定した。
水分濃度：
カールフィッシャー（京都電子（株）製）で測定した。
【００８５】
上記ゾルＡ〜Ｊの性状を表１に示す。
【００８６】
【表１】
0003906933.tif 000002
【００８７】
【実施例１０〜１２および１４〜１６、参考例４〜６、比較例２】
実施例１〜３および５〜７、参考例１〜３、比較例１で得られたゾルＡ〜Ｊを、エタノール７０％、イソプロピルアルコール１５％、プロピレングリコールモノメチルエーテル１０％、ジアセトンアルコール５％（重量比）の混合溶媒で、固形分濃度５．０重量％まで希釈し、さらにエタノールで希釈して固形分濃度２．０重量％の塗布液を調製した。
【００８８】
この塗布液をブラウン管用１４”パネル上に塗布し、下記条件で導電性被膜を形成した。
パネル表面温度：４０℃
塗布法        ：スピナー法（１００ｒｐｍ、６０秒）
焼成条件      ：２００℃、３０分
このようにして得られた導電性被膜付基材につき、下記項目の測定・評価を行った。
【００８９】
表面抵抗：表面抵抗計（三菱化学（株）製  ＬＯＲＥＳＴＡ）で測定した。
ヘーズ  ：ヘーズコンピュータ（スガ試験機製）で測定した。
外観    ：目視観察により、白濁、微小斑点およびむらのないものを良（○）として評価した。
【００９０】
以上の結果を表２に示す。
【００９１】
【表２】
0003906933.tif 000003
【００９２】
【実施例１９〜２１および２３〜２５、参考例７〜９、比較例３】
エチルシリケート（ＳｉＯ2 ：２８重量％）１００ｇ、エタノール３９０ｇ、純水６７．２ｇ、６１％ＨＮＯ3 ２．８ｇの混合液を、エタノール６０ｇ、ブタノール２０ｇ、ジアセトンアルコール２０ｇからなる希釈液で固形分濃度０．８５重量％に希釈した被膜形成用塗布液を調製した。
【００９３】
実施例１０〜１２および１４〜１６、参考例４〜６および比較例２で得られた導電性塗布液を、ブラウン管用１４"パネル上に、その表面温度を４０℃に保持しながらスピナー法（１００ｒｐｍ、６０秒）で塗布した。
【００９４】
次いで、上記パネルの表面温度を引続き４０℃に保持しながら、得られた導電性被膜上に、上記被膜形成用塗布液を、上記と同様にして塗布した。
しかる後、得られた積層被膜付基材を２００℃で３０分間焼成して積層導電性被膜付基材を得た。
【００９５】
このようにして得られた導電性被膜付基材につき、それぞれの反射率を分光光度計（日本分光社：Ｕ−ｂｅｓｔ）で測定した。
結果を表３に示す。
【００９６】
【表３】
0003906933.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に係る酸化インジウムオルガノゾルの一例につき、その中に含まれている結晶性酸化インジウム微粒子のＸ線回折図である。
【図１】
0003906933.tif 000005