(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する処理方法であって，
処理液供給管の先端に取り付けられたノズルから処理液を吐出して，基板上に所定量の処理液を供給する工程と，
前記処理液を供給する工程の終了後，前記ノズルの先端部を前記処理液に対して不溶性の不溶液内に浸漬する工程と
その後，前記ノズル内に残存した処理液を吸引手段により前記処理液供給管側に吸引し，前記ノズル内の前記処理液の液面を後退させて，当該ノズルの先端部内に所定量の前記不溶液を吸入する工程と，
その後，当該ノズルの先端部を液体内に浸漬する工程と，
その後，吸引手段により前記ノズル内の前記処理液を前記処理液供給管側に吸引し，当該ノズル内の前記処理液の液面をさらに後退させて，所定量の前記液体を前記ノズルの先端部内に吸入する工程と，を有することを特徴とする，基板の処理方法。
【請求項２】
次に処理される基板に対して前記ノズル内の前記処理液が吐出される前に，前記ノズルの先端部の前記不溶液及び前記液体を排出することを特徴とする，請求項１に記載の基板の処理方法。
【請求項３】
前記ノズル内に吸引した前記液体を，前記ノズルの先端部内で進退させる工程を有することを特徴とする，請求項１又は２に記載の基板の処理方法。
【請求項４】
基板を処理する処理方法であって，
処理液供給管の先端に取り付けられたノズルから処理液を吐出して，基板上に所定量の処理液を供給する工程と，
前記処理液を供給する工程の終了後，前記ノズル内に残存した処理液を吸引手段により前記処理液供給管側に吸引し，前記ノズル内の前記処理液の液面を後退させる工程と，
その後，当該ノズルの先端部を液体内に浸漬する工程と，
その後，吸引手段により前記ノズル内の前記処理液を前記処理液供給管側に吸引し，当該ノズル内の前記処理液の液面をさらに後退させて，所定量の前記液体を前記ノズルの先端部内に吸入する工程と，
その後前記吸引手段と開閉弁の制御によって，前記ノズル内に吸引した前記液体を，前記ノズルの先端部内で進退させてノズル内を洗浄する工程と，
を有することを特徴とする，基板の処理方法。
【請求項５】
前記ノズルの外壁を洗浄する工程を有することを特徴とする，請求項１〜４のいずれかに記載の基板の処理方法。
【請求項６】
前記洗浄する工程は，前記ノズルの外壁に液体を供給して該外壁を洗浄する工程を含むことを特徴とする，請求項５に記載の基板の処理方法。
【請求項７】
前記洗浄する工程は，前記ノズルの外壁に窒素ガスを噴射して該外壁を洗浄する工程を含むことを特徴とする，請求項５又は６に記載の基板の処理方法。
【請求項８】
前記液体は，前記処理液の溶剤であることを特徴とする，請求項１〜７のいずれかに記載の基板の処理方法。
【請求項９】
前記ノズルの前記先端部を前記液体内に浸漬させる時間，回数又は前記液体の誘電率を測定して，前記液体を交換する工程をさらに有することを特徴とする，請求項１〜８のいずれかに記載の基板の処理方法。
【請求項１０】
処理液供給管の先端に取り付けられたノズルによって基板上に処理液を供給する塗布処理装置であって，
前記ノズル内に残存した処理液を処理液供給管側に吸引するための吸引手段と，
前記処理液を基板上に供給した後，前記ノズルの先端部を前記処理液に対して不溶性の不溶液内に浸漬するための当該不溶液の貯留部と，
前記浸漬した後に前記吸引手段によって前記不溶液を前記ノズル内に吸入した後に，前記ノズルの先端部を他の液体に浸漬して前記吸引手段の吸引によって当該液体を前記ノズル内に吸入するための前記他の液体の貯留部と，
を有することを特徴とする，塗布処理装置。
【請求項１１】
前記不溶液は純水であり，前記液体は前記処理液の溶剤であることを特徴とする，請求項１０に記載の塗布処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，基板の処理方法および塗布処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造工程においては，例えば半導体ウェハ（以下「ウェハ」とする）の表面にSOD（Spin  on  Dielectric）膜等の層間絶縁膜を形成する膜形成処理が行われる。当該膜形成処理では，層間絶縁膜となる塗布液をウェハに塗布する塗布処理が行われる。
【０００３】
この塗布処理では，例えばノズルをウェハ中心部上方に移動させ，当該ノズルからウェハの中心部に所定量の塗布液を吐出した後，当該ウェハを回転させて，その遠心力によってウェハ表面に塗布液を拡散させる。こうすることによってウェハ表面に所定の膜厚の塗布膜が形成される。
【０００４】
ところで，塗布液の吐出の終了したノズルの先端部には，塗布液が付着する。この付着した塗布液を放置すると，やがて当該塗布液が乾燥し，結晶化してパーティクルの発生源となる。このため，塗布液の吐出が終了した後は，できる限りノズルの先端部に付着した塗布液を除去する必要がある。また，ノズルからの塗布液の吐出が停止されると，ノズル内の塗布液の先端液面がノズルの先端部付近で停止するが，このノズル内の塗布液が，空気等に触れると乾燥し，塗布液が劣化してしまう。このため，ノズルが次に使用されるまでの間，ノズル内の塗布液の乾燥を防止し，塗布液の劣化を防止する必要がある。
【０００５】
かかる問題を解決するために，例えば塗布液の吐出の終了したノズルを溶剤の貯留されたノズルバスに浸漬する方法が知られている（特開平４−２００７６８参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，かかるノズルを溶剤に浸漬する方法は，ノズルの内壁には，溶剤が十分に供給されないので，ノズルの内壁の洗浄が十分に行われない。また，ノズルを浸漬することによって，ノズル内の塗布液が乾燥することは防止できるが，ノズル内の塗布液がノズルバス内の溶剤と接触し，ノズル内の塗布液内に当該溶剤が混入するおそれがある。このように塗布液内に溶剤が混入することは，塗布液の汚染，変質，劣化を招き，次に処理されるウェハ上に適切な塗布膜が形成されないおそれがある。また，ウェハ上に純粋な塗布液を供給するために頻繁にダミーディスペンスを行うと，その分塗布液の消費量が増し，コストがかかる。
【０００７】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，ノズルに付着した塗布液等の処理液を適切に除去しつつ，ノズル内の処理液の汚染，変質，劣化を防止する基板の処理方法，および塗布処理装置を提供することをその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，基板を処理する処理方法であって，処理液供給管の先端に取り付けられたノズルから処理液を吐出して，基板上に所定量の処理液を供給する工程と，前記処理液を供給する工程の終了後，前記ノズルの先端部を前記処理液に対して不溶性の不溶液内に浸漬する工程と，その後，前記ノズル内に残存した処理液を吸引手段により前記処理液供給管側に吸引し，前記ノズル内の前記処理液の液面を後退させて，当該ノズルの先端部内に所定量の前記不溶液を吸入する工程と，その後，当該ノズルの先端部を液体内に浸漬する工程と，その後，吸引手段により前記ノズル内の前記処理液を前記処理液供給管側に吸引し，当該ノズル内の前記処理液の液面をさらに後退させて，所定量の前記液体を前記ノズルの先端部内に吸入する工程と，を有することを特徴とする，基板の処理方法が提供される。
【００１２】
この基板の処理方法によれば，前記ノズルの吐出口が所定量の溶剤等の液体で塞がれるので，前記ノズル内の処理液が外気に曝され劣化することが防止できる。また，前記ノズル内に処理液に対して不溶性を有する不溶液を吸入した後に，前記液体を吸入するので，前記液体と処理液との間に前記不溶液が介在され，前記液体と処理液が混合することが防止できる。また，ノズル内に前記液体を吸入する際に，前記ノズルの先端部を当該液体内に浸漬するので，前記ノズルの先端部を洗浄することができる。また，ノズル内に前記液体が吸入されるので，当該液体によってノズルの内側をも洗浄することができる。
【００１３】
また，前記基板の処理方法は，次に処理される基板に対して前記ノズル内の前記処理液が吐出される前に，前記ノズルの先端部の前記液体及び前記不溶液を排出するようにしてもよい。
【００１４】
以上で記載した基板の処理方法は，前記ノズル内に吸引した前記液体を，前記ノズルの先端部内で進退させる工程を有していてもよい。かかる場合，前記ノズル内の液体が，前記ノズル内を往復移動し，ノズルの内壁に付着している汚染物を洗い落とすことができるので，ノズルの内側をより綺麗に洗浄できる。
また別な観点によれば，本発明は，基板を処理する処理方法であって，処理液供給管の先端に取り付けられたノズルから処理液を吐出して，基板上に所定量の処理液を供給する工程と，前記処理液を供給する工程の終了後，前記ノズル内に残存した処理液を吸引手段により前記処理液供給管側に吸引し，前記ノズル内の前記処理液の液面を後退させる工程と，その後，当該ノズルの先端部を液体内に浸漬する工程と，その後，吸引手段により前記ノズル内の前記処理液を前記処理液供給管側に吸引し，当該ノズル内の前記処理液の液面をさらに後退させて，所定量の前記液体を前記ノズルの先端部内に吸入する工程と，その後前記吸引手段と開閉弁の制御によって，前記ノズル内に吸引した前記液体を，前記ノズルの先端部内で進退させてノズル内を洗浄する工程と，を有することを特徴としている。
かかる場合も，前記ノズル内の液体が，前記ノズル内を往復移動し，ノズルの内壁に付着している汚染物を洗い落とすことができるので，ノズルの内側をより綺麗に洗浄できる。
【００１５】
また，前記ノズルの外壁を洗浄する工程を有していてもよい。例えば前記ノズルの外壁に液体を供給して該外壁を洗浄したり，前記ノズルの外壁に窒素ガスを噴射して該外壁を洗浄したりすることが提案できる。
こうすることにより，前記ノズルの外壁に付着した汚染物を洗い落とすことができる。かかる場合，ノズルを前記液体内に浸漬し，さらにノズルの外壁に液体や窒素ガスを供給するので，ノズルを十分に洗浄することができる。また，以上で記載した基板の処理方法で用いられる「液体」は，前記処理液の溶剤であってもよく，この場合，処理液が結晶化した汚染物を溶かして好適に洗浄することができる。
そして前記ノズルの前記先端部を前記液体内に浸漬させる時間，回数又は前記液体の誘電率を測定して，前記液体を交換する工程をさらに有するようにしてもよい。
また本発明の塗布処理装置は，処理液供給管の先端に取り付けられたノズルによって基板上に処理液を供給する塗布処理装置であって，前記ノズル内に残存した処理液を処理液供給管側に吸引するための吸引手段と，前記処理液を基板上に供給した後，前記ノズルの先端部を前記処理液に対して不溶性の不溶液内に浸漬するための当該不溶液の貯留部と，前記浸漬した後に前記吸引手段によって前記不溶液を前記ノズル内に吸入した後に，前記ノズルの先端部を他の液体に浸漬して前記吸引手段の吸引によって当該液体を前記ノズル内に吸入するための前記他の液体の貯留部と，を有することを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，本実施の形態にかかる処理方法が実施される塗布処理装置が搭載されたＳＯＤ膜形成システム１の構成の概略を示す平面図であり，図２は，ＳＯＤ膜形成システム１の正面図であり，図３は，ＳＯＤ膜形成システム１の背面図である。
【００１７】
ＳＯＤ膜形成システム１は，図１に示すように，例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部からＳＯＤ膜形成システム１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション２と，ＳＯＤ膜形成工程の中で枚葉式に所定の処理を施す各種処理装置を多段配置してなる処理ステーション３とを一体に接続した構成を有している。
【００１８】
カセットステーション２では，載置部となるカセット載置台１０上の所定の位置に，複数のカセットＣをＸ方向（図１中の上下方向）に一列に載置自在となっている。そして，このカセット配列方向（Ｘ方向）とカセットＣに収容されたウェハＷのウェハ配列方向（Ｚ方向；鉛直方向）に対して移送可能なウェハ搬送体１１が搬送路１２に沿って移動自在に設けられており，各カセットＣに対して選択的にアクセスできるようになっている。
【００１９】
ウェハ搬送体１１は，ウェハＷの位置合わせを行うアライメント機能を備えている。このウェハ搬送体１１は後述するように処理ステーション３側の第３の処理装置群G３に属するエクステンション装置３１に対してもアクセスできるように構成されている。
【００２０】
処理ステーション３では，その中心部に主搬送装置１３が設けられており，この主搬送装置１３の周辺には各種処理装置が多段に配置されて処理装置群を構成している。このＳＯＤ膜形成システム１においては，４つの処理装置群G1，G2，G3，G4が配置されており，第１及び第２の処理装置群G1，G2はＳＯＤ膜形成システム１の正面側に配置され，第３の処理装置群G3は，カセットステーション２に隣接して配置され，第４の処理装置群G4は，主搬送装置１３は挟んで，第３の処理装置群G3の反対側に配置されている。主搬送装置１３は，これらの処理装置群G1，G2，G3及びG4内に配置されている後述する各種処理装置に対して，ウェハＷを搬入出可能である。なお，処理装置群の数や配置は，ウェハＷに施される処理の種類によって異なり，処理装置群の数は，１つ以上であれば任意に選択可能である。
【００２１】
第１の処理装置群G1では，例えば図２に示すように本実施の形態にかかる処理方法が実施される塗布処理装置１７及び塗布処理装置１８が下から順に２段に配置されている。第２の処理装置群G2には，例えば塗布処理装置１７等で用いられる塗布液や塗布液の溶剤等が貯蔵され，当該塗布液等の薬液の供給源となる薬液キャビネット１９と，塗布処理装置２０とが下から順に２段に配置されている。
【００２２】
第３の処理装置群G3では，例えば図３に示すように，ウェハＷを冷却処理するクーリング装置３０，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンション装置３１，ウェハＷをキュア処理するＤＣＣ（Dielectric  Cure  and  Cooling−off）処理装置３２，３３，ウェハＷを低温で加熱処理する低温加熱処理装置３４が下から順に例えば５段に積み重ねられている。
【００２３】
第４の処理装置群G4では，例えばクーリング装置４０，４１，低温加熱処理装置４２，ウェハＷを低酸素雰囲気に維持して加熱処理する低酸素加熱処理装置４３，４４が下から順に例えば５段に積み重ねられている。
【００２４】
次に，上述した塗布処理装置１７の構成について詳しく説明する。図４は，塗布処理装置１７の構成の概略を示す縦断面の説明図であり，図５は，塗布処理装置１７の横断面の説明図である。
【００２５】
塗布処理装置１７は，例えば図４に示すようにケーシング１７ａを有し，このケーシング１７ａ内の中央部には，ウェハＷを保持し，回転させるためのスピンチャック５０が設けられている。スピンチャック５０の上面は，水平に形成されており，当該上面には，例えばウェハＷを吸着するための図示しない吸引口が設けられている。これにより，スピンチャック５０は，ウェハＷを水平に吸着保持することができる。
【００２６】
スピンチャック５０は，このスピンチャック５０を所定の速度で回転させるための回転駆動部５１を有している。回転駆動部５１は，例えばスピンチャック５０の下方に設けられ，例えばモータ等を備えている。
【００２７】
スピンチャック５０の外方には，ウェハＷから飛散した塗布液等を受け止め，回収するためのカップ５２が設けられている。カップ５２は，上面が開口した略円筒形状を有し，スピンチャック５０上のウェハＷの外方と下方とを囲むように形成されている。カップ５２の下面５２ａには，回収した塗布液等を排液する排液管５３とカップ５２内の雰囲気を排気する排気管５４とが設けられている。
【００２８】
また，カップ５２内であって，スピンチャック５０に保持されたウェハＷの下方側には，図示しない洗浄液供給ノズル５５が設けられており，ウェハＷの裏面にシンナー等の洗浄液を供給してウェハＷの裏面を洗浄することができる。
【００２９】
塗布処理装置１７は，ウェハＷにＳＯＤ膜となるポリフェニレン等の処理液としての塗布液を吐出するノズルとしての塗布液吐出ノズル６０を備えている。塗布液吐出ノズル６０は，ノズルアーム６１に保持されている。ノズルアーム６１は，鉛直方向に延びる支持柱６２に支持されている。ノズルアーム６１は，例えば図示しない駆動機構により支持柱６２に対して上下動可能に構成されている。これにより，塗布液吐出ノズル６０は，上下方向に移動でき，ウェハＷとの距離を調節したり，後述する貯留部８０の溶剤内に塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａを浸漬したりすることができる。また，ノズルアーム６１は，図示しない駆動機構によりＸ方向（図４の左右方向）に水平移動可能に構成されている。これにより，塗布液吐出ノズル６０は，Ｘ方向に移動することができる。
【００３０】
塗布処理装置１７の底面には，図５に示すように一方向（図５のＹ方向）に沿って案内レール６３が敷設されており，支持柱６２は，当該案内レール６３上を移動自在に設けられている。支持柱６２には，図示しない駆動機構が設けられており，これにより支持柱６２は，案内レール６３上の任意の位置に移動できる。したがって，塗布液吐出ノズル６０は，後述する待機部８１からウェハＷの中心部上方まで移動し，ウェハＷに塗布液を吐出することができる。
【００３１】
塗布液吐出ノズル６０には，図４に示すように処理液供給管としての塗布液供給管６４が接続されており，塗布液供給管６４は，塗布液の供給源となる塗布液タンク６５に連通接続されている。塗布液供給管６４には，例えば塗布液タンク６５に貯留されている塗布液を塗布液吐出ノズル６０に圧送するポンプ６６と，塗布液供給管６４内の流路を開閉する開閉弁６７が設けられている。これにより，塗布液タンク６５内からポンプ６６により圧送された塗布液が，開閉弁６７を開放することによって塗布液吐出ノズル６０から吐出され，開閉弁６７を閉鎖することによって塗布液の吐出が停止される。
【００３２】
また，塗布液供給管６４には，吸引手段としてのサックバックバルブ６８が設けられている。サックバックバルブ６８は，塗布液吐出ノズル６０からの吐出を停止させた際に塗布液吐出ノズル６０内に残溜する塗布液の先端液面を塗布液供給管６４側に後退（サックバック）させるためのものである。
【００３３】
サックバックバブル６８は，例えばベローズ６８ａを備え，ベローズ６８ａ内には，塗布液供給管６４に連通する吸引室６８ｂが形成されている。そして，このベローズ６８ａを伸張させ，吸引室６８ｂの容積を増大させることにより，塗布液供給管６４内を負圧にして，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液を塗布液供給管６４側に後退させることができる。また，サックバックバルブ６８には，図示しないニードルが設けられており，このニードルで吸引室６８ｂの最大容積を変えることによって塗布液の先端液面の後退する距離を調節することができる。
【００３４】
前記ポンプ６６，開閉弁６７及びサックバックバルブ６８は，例えば制御部６９により制御されている。つまり，制御部６９により，ポンプ６６の動停止，開閉弁６７の開閉，サックバックバルブ６８のベローズ６８ａの伸縮が制御される。したがって，塗布液の吐出やサックバック等は，制御部６９に設定された処理プログラムに沿って行われる。
【００３５】
図５に示すように，例えばカップ５２のＹ方向負方向側（図５の下方側）の外方には，液体としての塗布液の例えばシクロヘキサノン，メシチレン，ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）等の溶剤を貯留する貯留部８０が設けられている。貯留部８０は，例えば塗布液吐出ノズル６０を収容できるような略箱型形状に形成されており，また，塗布液吐出ノズル６０の移動可能範囲内に設けられている。これにより，塗布液吐出ノズル６０を貯留部８０まで移動させ，溶剤塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａを貯留部８０の溶剤内に浸漬することができる。また，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａを溶剤内に浸漬した状態でサックバックし，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａに溶剤を吸入させることができる。
【００３６】
貯留部８０の更に外方には，例えば塗布液吐出ノズル６０の待機部８１が設けられており，塗布液の吐出工程の行われていない間は，塗布液吐出ノズル６０が，待機部８１で待機できるようになっている。
【００３７】
一方，ケーシング１７ａの上面には，温度及び湿度が調節され，清浄化された窒素ガス，不活性気体，エア等の気体をカップ５２内に供給するダクト８２が接続されており，ウェハＷの塗布処理時に当該気体を供給し，カップ５２内を所定の雰囲気に維持することができる。
【００３８】
次に，以上のように構成された塗布処理装置１７で実施されるウェハＷの処理方法について，ＳＯＤ膜形成システム１で行われるＳＯＤ膜形成工程のプロセスと共に説明する。
【００３９】
先ず，ウェハ搬送体７によりカセットＣから未処理のウェハＷが１枚取り出され，第３の処理装置群G3に属するエクステンション装置３１に搬送される。次いで，ウェハＷは主搬送装置１３によってクーリング装置３０に搬送され，所定の温度に冷却される。所定温度に冷却されたウェハＷは，主搬送装置１３によって，塗布処理装置１７に搬送される。
【００４０】
塗布処理装置１７において塗布膜が形成されたウェハＷは，主搬送装置１３によって低温加熱処理装置３４又は４２，低酸素加熱処理装置４３又は４４，ＤＣＣ処理装置３２又は３３，クーリング装置３０に順次搬送され，各装置で所定の処理が施される。クーリング装置３０で冷却処理の終了したウェハＷは，エクステンション装置３１に戻され，その後ウェハ搬送体１１によってカセットＣに戻されて，一連のＳＯＤ膜形成処理が終了する。
【００４１】
次に，上述の塗布処理装置１７で実施されるウェハＷの処理方法について詳しく説明する。先ず，ウェハＷが塗布処理装置１７内に搬入される前に，ダクト８２から，例えば清浄なエアが供給され，排気管５４からは排気が行われて，カップ５２内が所定の雰囲気に置換，維持される。
【００４２】
そして，クーリング処理の終了したウェハＷが塗布処理装置１７内に搬入され，スピンチャック５０上に吸着保持されると，ノズルアーム６１及び支持柱６２により，待機部８１の塗布液吐出ノズル６０が，ウェハＷの中心部上方まで移動される。そして，例えば開閉弁６７が開放され，塗布液吐出ノズル６０から所定量の例えばポリフェニレン等の塗布液がウェハＷの中心部に吐出される。塗布液吐出ノズル６０から所定量の塗布液が吐出されると，開閉弁６７が閉じられ，塗布液の吐出が停止される。このとき，図６に示すように塗布液吐出ノズル６０内の塗布液の先端液面Ａは，塗布液吐出ノズル６０の開口部付近に位置する。次いで，サックバックバルブ６８が作動し，図７に示すように先端液面Ａが塗布液供給管６４側に移動される。このとき，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａにケーシング１７ａ内の気体（揮発した溶剤）Ｈが吸入される。なお，かかる先端液面Ａの移動距離は，例えば１．０〜５．０ｍｍ程度が好ましく，これ以上先端液面Ａを引き上げると気体Ｈ内に気泡が生じ，次のウエハＷの塗布処理に支障を来すおそれがある。
【００４３】
一方，塗布液が供給されたウェハＷは，直ちに所定の回転速度，例えば１５００ｒｐｍで回転され始め，ウェハＷ上の塗布液がウェハＷの外周部に拡散される。ウェハＷ全面に塗布液が拡散されると，ウェハＷの回転速度は，例えば２０００ｒｐｍに加速され，ウェハＷ上に所定膜厚の塗布膜が形成される。
【００４４】
例えば，ウェハＷの塗布膜形成工程が行われている時に塗布液吐出ノズル６０は，案内レール６３に沿って貯留部８０上まで移動する。貯留部８０上方まで達すると，ノズルアーム６１が下降し，図８に示すように塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａが溶剤Ｓ内に浸漬される。これにより，塗布液吐出ノズル６０の外壁が洗浄される。次いで，サックバックバルブ６８により，図９に示すように塗布液吐出ノズル６０内の塗布液が吸引され，塗布液の先端液面Ａがさらに塗布液供給管６４側に後退し，それに伴って貯留部８０内の所定量の溶剤Ｓが塗布液吐出ノズル６０内に吸入される。これにより，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａの内壁が洗浄されると共に，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液が溶剤Ｓによって閉じこめられ，ケーシング１７ａ内の他の雰囲気から隔離される。これにより，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液の乾燥を防止できる。なお，このときの先端液面Ａの移動距離は，例えば１．０〜５．０ｍｍ程度が好ましい。
【００４５】
その後，塗布液吐出ノズル６０は，ノズルアーム６１により上昇され，図１０に示すように先端部６０ａに溶剤Ｓを滞留した状態で，貯留部８０から出される。そして，塗布液吐出ノズル６０は，待機部８１まで移動され，次のウェハ処理が開始されるまでその状態で待機する。これにより，待機中に塗布液吐出ノズル６０内の塗布液が大気に触れて乾燥することが防止される。
【００４６】
一方，塗布膜が形成されたウェハＷは，例えば５００ｒｐｍに減速され，ウェハＷの裏面にシンナーが供給されて，ウェハＷの裏面洗浄が行われる。所定時間の裏面洗浄が終了すると，シンナーの供給が停止され，ウェハＷが振り切り乾燥される。ウェハＷの乾燥処理が終了すると，ウェハＷの回転が停止され，ウェハＷはスピンチャック５０から主搬送装置１３に受け渡され，塗布処理装置１７から搬出される。
【００４７】
そして，例えば次の処理ウェハが塗布処理装置１７内に搬入された後であって，塗布液吐出ノズル６０がウェハの中心部に移動する前に，例えば待機部８２上で塗布液吐出ノズル６０の試し出しが行われる。これにより，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａ内の溶剤が排出される。
【００４８】
以上の実施の形態によれば，塗布液の吐出が終了した後に，塗布液吐出ノズル６０内に残存する塗布液の先端液面Ａを後退させて，その後気体Ｈ（揮発した溶剤）を介して当該塗布液吐出ノズル６０を貯留部８０の溶剤Ｓ内に浸漬するようにしたので，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液と貯留部８０内の溶剤Ｓとが混ざることが防止できる。したがって，次に処理されるウェハに対して吐出される塗布液の変質，劣化を防止できる。また，この塗布液吐出ノズル６０の溶剤内への浸漬により，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａの外壁に付着した塗布液を洗い落とすことができる。塗布液吐出ノズル６０を溶剤Ｓ内に浸けた状態で，さらに塗布液の先端液面Ａを後退させ，貯留部８０内の溶剤Ｓを吸い上げるようにしたので，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液が当該溶剤によって封鎖され，当該塗布液が大気と触れて乾燥することが防止できる。また，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液と溶剤との間には，初めのサックバックにより吸入した雰囲気Ｈが介在するので，塗布液と溶剤とが混合することが防止される。さらに，塗布液吐出ノズル６０の先端部６０ａに吸入した溶剤Ｓによって，先端部６０ａの内壁が洗浄できる。
【００４９】
また，次のウェハの吐出が開始される前に，塗布液吐出ノズル６０の試し出しが行われるので，塗布液吐出ノズル６０内の溶剤Ｓが排出され，次のウェハに所定の塗布液のみを供給することができる。
【００５０】
前記実施の形態で行っていた塗布液吐出ノズル６０の溶剤内への浸漬は，一枚のウェハＷ処理が終了する度に行わなくても，所定の処理枚数毎，所定時間毎又はロット毎に行ってもよく，またレシピが変更される時に行ってもよく，さらに塗布処理装置１７を停止させる時に行ってもよい。塗布液吐出ノズル６０の溶剤内への浸漬を行わない場合は，塗布液吐出ノズル６０は，吐出が終了した後ウェハＷの上方から直接待機部８１に移動し，次のウェハが搬入されるまで待機する。
なお貯留槽８０内の溶剤Ｓは適宜交換する必要があるが，塗布液吐出ノズル６０を溶剤Ｓに浸漬させる回数，浸漬させる時間，又はこの浸漬処理により変化する溶剤Ｓの誘電率等をセンサにより測定して，それに基づいて適宜交換するようにしてもよい。
【００５１】
また，以上の実施の形態において，塗布液吐出ノズル６０内に吸引した溶剤Ｓを当該塗布液吐出ノズル６０内で移動させるようにしてもよい。かかる溶剤Ｓの移動は，例えばサックバックバルブ６８と開閉弁６７を制御することにより行う。例えば，サックバックバルブ６８により，塗布液吐出ノズル６０内の塗布液の先端液面Ａを後退させることによって溶剤Ｓを塗布液供給管６４側に移動させ，開閉弁６７を一瞬開放することにより，溶剤Ｓを先端部６０ａ側に移動させる。このような溶剤Ｓの往復移動を所定回数繰り返して行う。こうすることにより，溶剤Ｓが塗布液吐出ノズル６０内で往復移動し，塗布液吐出ノズル６０の内壁に付着した汚れを洗い落とすことができる。なお，繰り返す回数は，任意に選択できる。
【００５２】
以上で記載した実施の形態において，塗布液吐出ノズル６０の外壁に液体としての塗布液の溶剤を供給する工程を追加するようにしてもよい。かかる例を実施するために，例えば図１１に示すように塗布液吐出ノズル６０には，塗布液吐出ノズル６０の外壁に対して溶剤を供給する複数の溶剤供給ノズル９０が設けられる。各溶剤供給ノズル９０は，例えば塗布液吐出ノズル６０の上部であって，塗布液吐出ノズル６０の外壁表面に等間隔で取付られる。溶剤供給ノズル９０は，図示しない溶剤供給源に連通接続された溶剤供給管９１に接続されている。そして，例えば塗布液吐出ノズル６０が上昇され，貯留部８０の溶剤内から出された後に，溶剤供給ノズル９０から塗布液吐出ノズル６０の外壁に溶剤が供給される。供給された溶剤は，塗布液吐出ノズル６０の外壁を伝って流れ，この際に当該外壁の汚れが洗い落とされる。そして，外壁を伝って流れた溶剤は，例えば貯留部８０内に落下する。かかる例によれば，塗布液吐出ノズル６０の外壁に付着した汚れを適切に落とすことができる。また，塗布液吐出ノズル６０の溶剤への浸漬では落ちない汚れを落とすこともできる。なお溶剤供給ノズル９０を利用して溶剤の代わりに窒素ガスを噴射して塗布液吐出ノズル６０の外壁を洗い落とすようにしてもよい。
【００５３】
前記実施の形態では，塗布液吐出ノズル６０の塗布液の先端液面Ａを後退させることによって，塗布液吐出ノズル６０内に雰囲気Ｈが流入していたが，塗布液に対して不溶性の不溶液としての純水を流入させてもよい。かかる例を実施するために，例えば図１２に示すように貯留部８０に隣接して純水Ｊの貯留された純水貯留部１００が設けられている。そして，塗布液の吐出の終了した塗布液吐出ノズル６０は，先ず純水貯留部１００に移動され，浸漬される。そして，サックバックバルブ６８により吸引され，塗布液吐出ノズル６０内に前記雰囲気Ｈに代えて所定量の純水Ｊが吸入される。その後，塗布液吐出ノズル６０は，貯留部８０に移動され，溶剤Ｓ内に浸漬され，前記実施の形態と同様に溶剤Ｓが吸入される。こうすることにより，図１３に示すように塗布液と溶剤Ｓとの間に純水Ｊが介在され，塗布液と溶剤Ｓとが混ざることが防止されるとともに，塗布液が乾燥することが防止できる。なお，塗布液と溶剤との間に介在する液体は，純水に限られず，不溶性の不溶液であればよく，塗布液と溶剤に応じて適宜選択される。
【００５４】
以上の実施の形態では，ウェハ中心部に滴下された塗布液を，ウェハの回転によって拡散させて，ウェハ上に塗布膜を形成する塗布方法に本発明を適用して記載したが，本発明は，塗布液吐出ノズルをウェハに対して相対的に移動させながら，例えば矩形波状に塗布液を供給し，ウェハ上に塗布膜を形成する，いわゆる一筆書き塗布方法にも適用できる。さらに塗布液を帯状に供給するスリットタイプのノズルを用いた塗布方法にも本発明は適用できる。
【００５５】
また，以上の実施の形態は，本発明をＳＯＤ膜を形成する際の処理方法に適用したものであったが，本発明は，他の種の膜，例えば絶縁膜であるＳＯＧ膜，保護膜であるポリイミド膜，レジスト膜等を形成する際の処理方法にも適用できる。また，本発明を塗布処理時の処理方法に適用したが，塗布処理以外の，例えば現像処理等にも適用できる。さらに，本発明は，ウェハＷ以外の基板例えばＬＣＤ基板，マスク基板，レクチル基板等の処理にも適用できる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば，ノズル内の処理液の変質，劣化を防止できるので，処理液供給前のダミーディスペンスを減らすことができ，コストダウンが図られる。また，ノズルから吐出される処理液に不純物が混ざるのを防止できるので，基板の歩留まりの向上も図られる。さらに，ノズルの汚染によるパーテククルの発生を防止できるので，基板を清浄な雰囲気内で処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態におけるＳＯＤ膜形成システムの構成の概略を示す平面図である。
【図２】図１のＳＯＤ膜形成システムの正面図である。
【図３】図１のＳＯＤ膜形成システムの背面図である。
【図４】塗布処理装置の構成の概略を示す縦断面の説明図である。
【図５】図４の塗布処理装置の横断面の説明図である。
【図６】塗布液の吐出を停止したときの塗布液吐出ノズル内の状態を示す塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【図７】塗布液吐出ノズル内の塗布液の先端液面を後退させた状態を示す塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【図８】溶剤内に浸漬した際の塗布液吐出ノズル内の状態を示す塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【図９】溶剤を吸引した際の塗布液吐出ノズル内の状態を示す塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【図１０】図９の塗布液吐出ノズルが待機している時の塗布液吐出ノズル内の状態を示す塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【図１１】塗布液吐出ノズルに複数の溶剤供給ノズルを取り付けた場合の塗布液吐出ノズルの側面図である。
【図１２】純水貯留部を設けた場合の塗布処理装置の横断面の説明図である。
【図１３】塗布液と溶剤との間に純水を介在させた場合の塗布液吐出ノズルの縦断面の説明図である。
【符号の説明】
１    ＳＯＤ膜形成システム
１７    塗布処理装置
６０    塗布液吐出ノズル
６０ａ  先端部
６７    開閉弁
６８    サックバックバルブ
８０    貯留部
Ａ    先端液面
Ｈ    雰囲気
Ｓ    溶剤
Ｗ    ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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