(57)【要約】【課題】異なる光学特性を有する領域を画素と対応するように周期的に配列した光学フィルタと、撮像素子との位置ずれを抑制し、クロストークを低減し、コントラストの向上を実現する。【解決手段】異なる光学特性を有する領域が、複数の画素に対応して配置された光学フィルタ１０と、複数の受光素子２４からなる画素アレイを有し、光学フィルタ１０を通過した光を受光する撮像素子２０と、を備え、撮像素子２０は光学フィルタ１０と対向する表面に、画素ごとに光を集光するマイクロレンズ２２が画素に対応して配置されたマイクロレンズアレイを有し、光学フィルタ１０は、マイクロレンズ２２と対向する面の少なくとも一部に、マイクロレンズ２２を収容可能な凹部が形成されたアライメント構造１４を有し、アライメント構造１４の凹部にマイクロレンズ２２が収容されることにより、光学フィルタ１０と撮像素子２０とが互いに位置決めされる撮像素子パッケージ。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる光学特性を有する領域が、複数の画素に対応して配置された光学フィルタと、
複数の受光素子からなる画素アレイを有し、前記光学フィルタを通過した光を受光する撮像素子と、を備え、
前記撮像素子は、前記光学フィルタと対向する表面に、画素ごとに光を集光するマイクロレンズが画素に対応して配置されたマイクロレンズアレイを有し、
前記光学フィルタは、前記マイクロレンズと対向する面の少なくとも一部に、前記マイクロレンズを収容可能な凹部が形成されたアライメント構造を有し、
前記アライメント構造の凹部に前記マイクロレンズが収容されることにより、前記光学フィルタと前記撮像素子とが互いに位置決めされることを特徴とする撮像素子パッケージ。
【請求項２】
前記アライメント構造が、ガラスからなることを特徴とする請求項１に記載の撮像素子パッケージ。
【請求項３】
前記アライメント構造が、樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の撮像素子パッケージ。
【請求項４】
前記アライメント構造の凹部が、球面で構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項５】
前記アライメント構造の凹部が、非曲面で構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項６】
前記アライメント構造の一の凹部に対し、前記マイクロレンズが複数収容されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項７】
前記光学フィルタは、前記マイクロレンズと対向する面の全体に前記アライメント構造を有することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項８】
前記光学フィルタは、ワイヤグリッド構造の偏光子を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項９】
前記光学フィルタは、１次元フォトニック結晶の偏光子を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の撮像素子パッケージ。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の撮像素子パッケージと、撮像レンズと、信号処理手段と、を有することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子パッケージ及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の撮像領域を撮像して得た画像信号から、所望の偏光成分のみを抽出した画像情報や、所望の波長帯域のみを抽出した画像情報などを生成する撮像装置が知られている。このような撮像装置は、例えば、偏光フィルタや分光フィルタ等の光学フィルタにより、撮像領域からの光から所望の偏光成分や波長成分等（所望の光学成分）だけを、多数の受光素子を２次元配置された受光素子アレイへ受光させる。これにより、各受光素子で受光した受光量に応じて、所望の光学成分を抽出した撮像領域の画像情報を得ることができる。
【０００３】
例えば、光学フィルタとして、それぞれ透過軸が異なる２つ以上の偏光子の領域に分割された偏光子アレイを用い、偏光子アレイの各領域を透過した光を独立に受光する受光素子アレイを備えた撮像装置は、１回の撮像動作で、互いに異なる２以上の偏光成分それぞれを抽出した画像情報を得ることができる。
【０００４】
互いに異なる複数の光学成分から生成される光学成分抽出画像は、例えば、撮像領域内の物体を識別する物体識別処理に好適に利用される。このような光学成分抽出画像を利用することにより、単なる輝度情報のみからなる画像情報（モノクロ画像情報）で物体識別処理を行う場合よりも、高い精度での物体識別が可能となるため、近年、車載カメラや、ロボット制御などに用いられる物体識別装置のための撮像装置などに利用されることが期待されている。
【０００５】
このような撮像装置（偏光カメラ）では、各偏光子領域を撮像画素と一対一で対応するように周期的に配列した偏光子アレイ（光学フィルタ）を用いる必要がある。偏光子アレイ（光学フィルタ）を用いて複数の偏光成分についての画像情報を適切に得るためには、その偏光子アレイの各偏光子領域と受光素子アレイ上の１個又は数個の受光素子からなる撮像画素とを一対一でアライメントする必要がある。そのため、偏光子アレイと受光素子アレイとのアライメントには、サブピクセルレベルの位置精度が要求される。
【０００６】
装置を構成する光学部品を高い位置精度で配置する技術としては、例えば、光ファイバコリメータの光ファイバとコリメータレンズとを所望の偏心量だけ偏心させる技術が提案されている（特許文献１参照）。
特許文献１には、基板の各位置決め溝にそれぞれ、光ファイバとコリメータレンズとが、いずれも溝内面に接触するように収容されることにより、煩雑な調心作業を全く必要とせずに、軸間偏心量が一定である光ファイバコリメータアレイが得られることが記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
撮像素子には、集光のためにマイクロレンズが設けられている。光学フィルタ及び撮像素子を組み合わせた撮像装置においては、接合時に光学フィルタとマイクロレンズとの位置ずれが生じる場合がある。具体的には、光学フィルタを、マイクロレンズを表面に有する撮像素子上に接着する際、画素に対してフィルタの領域がずれて接着されてしまうことがある。
撮像装置において、凸状面を有するマイクロレンズアレイ上に凹凸のない光学フィルタを搭載するという構造や、個々の画素に対する高精度な位置決めが求められるという点から、特許文献１に記載された技術のように、外部の部品を用いた位置決めを適用することは困難である。
【０００８】
画素に対して光学フィルタの領域がずれて接着されると、隣接する別の画素に一部の光が入射するクロストークが発生する。これにより、異なる偏光成分の光が一つの画素に混在してしまい、正確な偏光情報の取得ができず、撮像装置（偏光カメラ）の性能が低下するという問題がある。
【０００９】
そこで本発明は、異なる光学特性を有する領域を画素と対応するように周期的に配列した光学フィルタと撮像素子との位置ずれを抑制し、クロストークを低減し、コントラストの向上を実現可能な撮像素子パッケージを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かかる目的を達成するため、本発明に係る撮像素子パッケージは、異なる光学特性を有する領域が、複数の画素に対応して配置された光学フィルタと、複数の受光素子からなる画素アレイを有し、前記光学フィルタを通過した光を受光する撮像素子と、を備え、前記撮像素子は、前記光学フィルタと対向する表面に、画素ごとに光を集光するマイクロレンズが画素に対応して配置されたマイクロレンズアレイを有し、前記光学フィルタは、前記マイクロレンズと対向する面の少なくとも一部に、前記マイクロレンズを収容可能な凹部が形成されたアライメント構造を有し、前記アライメント構造の凹部に前記マイクロレンズが収容されることにより、前記光学フィルタと前記撮像素子とが互いに位置決めされることを特徴とする撮像素子パッケージである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、異なる光学特性を有する領域を画素と対応するように周期的に配列した光学フィルタと、撮像素子との位置ずれを抑制し、クロストークを低減し、コントラストの向上を実現可能な撮像素子パッケージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ワイヤグリッド構造の偏光子を有する光学フィルタの説明図である。
【図２】撮像装置を構成する撮像素子パッケージの構造の一例を示す模式図である。
【図３】光学フィルタと撮像素子との接着を説明する模式図である。
【図４】光学フィルタと撮像素子との位置ずれと偏光コントラストとの関係を示すグラフである。
【図５】本実施形態の撮像素子パッケージを構成する光学フィルタの偏光子の上面図、断面図、及び撮像素子パッケージの位置ずれ補正を示す模式図である。
【図６】本実施形態の撮像素子パッケージの一例を示す構成の模式図と部分拡大図である。
【図７】本実施形態の撮像素子パッケージを構成する光学フィルタの一例を模式的に示す斜視図と、撮像素子パッケージの部分拡大図である。
【図８】本実施形態の撮像素子パッケージの一例を示す部分拡大図である。
【図９】本実施形態の撮像素子パッケージの一例を示す構成の模式図と部分拡大図である。
【図１０】本実施形態の撮像装置の構成の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る撮像素子パッケージ及び撮像装置について、図面を参照して説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
【００１４】
〔撮像装置〕
本発明の撮像装置は、後述する本発明の撮像素子パッケージと、撮像レンズと、信号処理手段と、を有する。
【００１５】
図１０は、本実施形態における撮像装置の概略構成を示す説明図である。
撮像装置１００は、集光手段としての撮像レンズ４０と、光学フィルタ１０と、画素アレイを有する撮像素子（イメージセンサ）２０が搭載された撮像素子基板（センサ基板）３０と、信号処理手段５０とを有する。
【００１６】
撮像素子基板３０は、撮像素子２０の出力信号を外部の回路基板へ出力するための基板として機能している。撮像素子２０と撮像素子基板３０との間は電気的に接続されている。
【００１７】
信号処理手段５０は、撮像素子基板３０から出力されるアナログ電気信号（撮像素子２０上の各受光素子が受光した受光量）をデジタル電気信号（画素信号）に変換するＡ／Ｄ変換部と、Ａ／Ｄ変換部から出力されるデジタル電気信号に対して画像処理を行って各偏光成分についての画像データ（画像情報）を生成して出力する信号処理部とから構成される。
【００１８】
本実施形態では、撮像レンズ４０よりも後段側の部品をパッケージ化しているが、撮像装置１００を構成する撮像レンズ４０、光学フィルタ１０、撮像素子２０及び撮像素子基板３０等の組み付け方法に制限はなく、カメラ筐体に個々に組みつけても良いし、一部又は全部をパッケージ化しても良い。
【００１９】
光学フィルタ１０は、所望の光学機能を付与する構造（光学機能構造）が選択的に形成された領域と、撮像素子２０の受光面と対向する面にアライメント構造を有する。
光学フィルタとしては特に限定されないが、例えば、偏光フィルタ、カラーフィルタ、赤外線フィルタなどが挙げられる。
【００２０】
以下、光学フィルタとして偏光フィルタ（偏光分離素子）を備える偏光カメラを一実施形態として説明する。
偏光カメラは、カラー画像や白黒画像では取得不可能な情報を、偏光フィルタを撮像素子上に搭載することにより取得可能とする。偏光フィルタは、撮像素子の個々の画素に対応する分割された領域を有し、一つの領域はある一定方向の偏光成分の光を透過させる。偏光フィルタは直交する０°、９０°の偏光方向を持つ領域を有し、一つの領域に対応する一つの画素にはいずれか一方向の偏光成分が入射する。このように、画素ごとに異なる偏光成分を得られるように偏光フィルタを配置することで、偏光成分に基づく不可視情報を得ることができる。
【００２１】
図１に基づき、ワイヤグリッド構造の偏光子を有する光学フィルタ（偏光フィルタ）について説明する。
撮像素子直上に図１（Ａ）に示す偏光フィルタを搭載した構成の偏光カメラが知られている。このような構成により、カメラは輝度情報や色情報のみならず、偏光情報の取得が可能になる。被写体の偏光反射率が材質や形状によって異なることを利用し、従来のカメラでは正確に捉えられなかった黒色体のエッジや透明体の輪郭などを認識可能なセンシングカメラを実現することができる。図１（Ａ）中、Ｌａは入射光、Ｌｂは出射光をあらわす。
【００２２】
偏光フィルタは、図１（Ｂ）に示すワイヤグリッド構造の偏光子１１を備えた偏光領域と、ワイヤグリッド構造が形成されていない非偏光領域を有する。偏光領域は、異なる複数のパターンを有する偏光子が画素ごとに配置されている。ワイヤグリッドを構成する材料としては、特に限定されず、アルミニウムが主に利用されるが、金、銀、タングステン等も利用することができる。
【００２３】
図１（Ｃ）に示すように、電場がワイヤに垂直な直線偏光（ＴＭ波）は、振動方向Ｄの線幅が小さいため、自由電子の動きが制限されて透過する。これに対し、電場がワイヤに水平な方向な直線偏光（ＴＥ波）は、自由電子が電場に平行に振動できるため、自由電子から散乱される光波と入射波の干渉により大部分が打ち消しあって見かけ上０となる。これにより、入射光Ｌａは受光領域２１ごとに異なる特定の偏光成分のみが透過する。
【００２４】
偏光カメラの構造を図２に示す。
偏光カメラは、図２（Ａ）に示すように、撮像レンズ４０と、偏光フィルタである光学フィルタ１０と、撮像素子２０を有する。偏光情報にもとづく画像情報を取得するには、偏光フィルタの偏光領域と、それに対応する撮像素子の受光領域を高精度にアライメントし、接着する必要がある。すなわち、図２（Ｂ）に示すように、偏光フィルタの領域はそれに対応する撮像素子２０領域の直上に位置する。
入射光Ｌａのうち一定方向の偏光成分のみが偏光子１１を有する偏光領域を透過し、マイクロレンズ２２により集光され、配線層２３を透過して受光領域（受光部）２１に至る。一つの受光領域２１には一方向の偏光成分のみが入射し、隣接する受光領域２１には異なる偏光成分が入射する。各々の受光領域２１に入射する光量によって、偏光情報を取得することができる。
【００２５】
光学フィルタ１０を撮像素子２０上に接着する際、画素に対してフィルタの領域がずれて接着されると、隣接する別の画素に一部の光が入射するクロストークが発生する。
クロストークの発生について、図３に基づき説明する。
図３（Ａ）に示すように、撮像素子２０の画素に対して偏光フィルタの偏光子１１がずれることなく実装されている場合、フィルタ直下の画素の受光領域（受光部）２１には、特定方向の偏光Ｌｄのみ、もしくは偏光領域を透過しない無偏光Ｌｃのみが入射する。
しかし、図３（Ｂ）に示すように、偏光フィルタの偏光子１１がずれて実装されている場合、本来特定方向の偏光Ｌｄのみが入射する受光素子（画素）２４に、他方向の偏光Ｌｃが入射するクロストークが発生し、異なる偏光成分の光が一つの画素に混在してしまうことにより、正確な偏光情報の取得ができず、偏光カメラの性能が低下する。
【００２６】
図４は、光学フィルタと撮像素子との位置ずれと偏光コントラストとの関係を示したグラフである。画素一辺のサイズ４．４μｍ、受光部一辺のサイズ２μｍの撮像素子上に、図１（Ｂ）のような４方向の偏光領域を有し、ＴＭ波とＴＥ波の透過率比が１００：１である偏光フィルタをギャップ０μｍで搭載し、０°及び９０°のいずれかの偏光方向を持つ一様な光を入射させた場合について示したものである。入射光は波長５５０ｎｍ程度の可視光とし、ワイヤグリッドは厚みを無視できる２００ｎｍ程度の厚さとし、入射角０となる領域において、ずれの増加に伴う偏光コントラストの変化の様子を示している。
【００２７】
図４に示すように、位置ずれによるクロストークが一切発生しない場合、偏光コントラストは１８程度である。フィルタの位置ずれに伴ってクロストークが発生し、偏光コントラストが低下する。ずれ量１．５μｍでは、偏光コントラストが６程度まで劣化する。
そこで、本発明の撮像素子パッケージは、撮像素子との位置ずれを抑制し、クロストークを低減し、偏光コントラストの向上を実現する。
【００２８】
〔撮像素子パッケージ〕
本実施形態の撮像素子パッケージは、複数の画素に対応し、異なる光学特性を有する領域が複数の画素ごとに配置された光学フィルタ１０と、複数の受光素子２４からなる画素アレイを有し、光学フィルタ１０を通過した光を受光する撮像素子２０と、を備え、撮像素子２０は、光学フィルタ１０と対向する表面に、画素ごとに光を集光するマイクロレンズ２２が画素に対応して配置されたマイクロレンズアレイを有し、光学フィルタ１０は、マイクロレンズ２２と対向する面の少なくとも一部に、マイクロレンズ２２を収容可能な凹部が形成されたアライメント構造を有し、前記アライメント構造の凹部にマイクロレンズ２２が収容されることにより、光学フィルタ１０と撮像素子２０とが互いに位置決めされる。
【００２９】
前記アライメント構造は、ガラスからなる構造であってもよく、樹脂からなる構造であってもよい。ガラスからなる構造とすることにより、光学フィルタ１０の屈折率が表裏で変化しない。一方、樹脂からなる構造とすることにより、加工が容易になる。
前記アライメント構造を設ける領域が小さい場合は、材料の選択の自由度が高くなる。
【００３０】
前記アライメント構造の凹部は、球面で構成することができる。凹部を球面とすることで、球面のマイクロレンズ２２との隙間が少なくなり、高い精度で中空接着時の光路ずれを低減することができる。なお、凹部の球面とマイクロレンズ２２の球面とは、全面が密着するように係合する態様であってもよく、一部（例えば、外周部分）のみが当接し、球面間に隙間を有する態様であってもよい。
一方、前記アライメント構造の凹部を非曲面で構成することにより、マイクロレンズ２２の形状によらず、マイクロレンズ２２を凹部内に収容することが可能となる。
【００３１】
また、前記アライメント構造は、一つの凹部に一つのマイクロレンズ２２を収容するものであってもよく、一つの凹部に複数のマイクロレンズ２２を収容するものであってもよい。複数のマイクロレンズ２２を収容する凹部とすることにより、加工が容易になる。
【００３２】
光学フィルタ１０は、マイクロレンズ２２と対向する面の全体に前記アライメント構造が形成されていてもよい。全体にアライメント構造を設けることにより、全面において位置ずれの補正が可能になる。
【００３３】
異なる光学特性を有する領域とは、本実施形態においては、例えば、異なる複数のパターンを有する偏光子が画素ごとに配置された領域、偏光子が配置されていない領域、及びカラーフィルタを用いる場合において異なるカラーフィルタが画素毎に配置された領域である。
【００３４】
偏光子１１としては、例えば、ワイヤグリッド構造、１次元フォトニック結晶などが挙げられる。
光学フィルタ１０が、ワイヤグリッド構造の偏光子１１を有する態様では、広波長域に対応可能となる。
光学フィルタ１０が、１次元フォトニック結晶の偏光子１１を有する態様では、特定波長域の入射光に対して高偏光コントラストを実現可能となる。
【００３５】
［第１の実施形態］
図５及び図６に、第１の実施形態にかかる撮像素子パッケージの例を示す。
図５（Ａ）は光学フィルタ１０の偏光子１１の上面図、図５（Ｂ）は光学フィルタ１０の断面図、図５（Ｃ）は撮像素子パッケージの位置ずれ補正を示す説明図である。また、図６は、撮像素子パッケージの構成の模式図と部分拡大図である。
【００３６】
上述のように、撮像素子２０の画素に対応する偏光領域である偏光子１１がずれると、クロストークが発生し、偏光コントラストが低下する。ワイヤグリッド構造の偏光子を有する従来の偏光フィルタは、ワイヤグリッド作製後にＳｉＯ２等で表面の保護層を形成しているため、表面が平滑であった。そのため、撮像素子２０に対する光学フィルタ１０のずれ量は、実装環境の精度に依存していた。
【００３７】
これに対し、本実施形態の撮像素子パッケージにおいては、図５（Ｂ）に示すように、光学フィルタ１０の保護層に、マイクロレンズ２２を収容可能な凹部が形成されたアライメント構造を設けることにより、ずれ量を低減することができる。
具体的には、マイクロレンズ２２と対になるような球面構造の凹部を、ガラス面にグレースケール露光とドライエッチングのような工法によって作製する。
【００３８】
図５（Ｃ）に示すように、実装時に光学フィルタ１０を撮像素子２０に対して押し下げると、アライメント構造１４の端部（突出した部分）とマイクロレンズ２２とが接触する。従来の光学フィルタは対向面が平面であるため、マイクロレンズと接触したところからさらに押し下げることは不可能であった。しかしながら、本実施形態の撮像素子パッケージでは、光学フィルタ１０にアライメント構造１４を設けることにより、マイクロレンズ２２との接触状態から更に押し下げることができ、マイクロレンズ２２の形状を利用した受動的な位置決めが可能となる。
位置決めされた状態の撮像素子パッケージについて、模式図と部分拡大図を図６に示す。
【００３９】
［第２の実施形態］
図７に、第２の実施形態にかかる撮像素子パッケージの例を示す。
図７（Ａ）は光学フィルタの１画素の構造を模式的に示す斜視図であり、図７（Ｂ）は撮像素子パッケージの構成の模式図と部分拡大図である。
本実施形態の撮像素子パッケージは、第１の実施形態と同様、アライメント構造１４を設けることにより、マイクロレンズ２２の形状を利用した受動的な位置決めが可能となる。
本実施形態におけるアライメント構造１４の凹部は、図７（Ａ）に示すように非曲面で構成されるが、図７（Ｂ）に示すように位置ずれを抑制した実装が可能である。
【００４０】
このように、アライメント構造１４の凹部は、マイクロレンズ２２の表面と角度を伴って接触し、光学フィルタ１０を押し下げることによりずれ量を補正可能な構造であれば凹部の形状を問わず、撮像素子２０との位置ずれを抑制し、クロストークを低減し、偏光コントラストを向上させることができる。
【００４１】
［第３の実施形態］
図８に、第３の実施形態にかかる撮像素子パッケージの例を示す。
本実施形態の撮像素子パッケージは、第１の実施形態と同様、アライメント構造１４を設けることにより、実装時の画素に対するずれを抑制することができる。
本実施形態の撮像素子パッケージは、アライメント構造１４の一つの凹部にマイクロレンズ２２が複数収容される。
このように、アライメント構造１４の凹部は必ずしも画素と同じピッチで設ける必要はなく、図８に示すように２画素を収容する構造であってもよい。
【００４２】
［第４の実施形態］
図９に、第４の実施形態にかかる撮像素子パッケージの例を示す。
本実施形態の撮像素子パッケージは、光学フィルタ１０の一部にアライメント構造１４を有する。
光学フィルタ１０の偏光子１１の領域は、撮像素子２０の画素と同サイズ同ピッチで分割されているため、任意の２点以上の領域で光学フィルタ１０のずれが０となれば、全領域においてずれを抑制することが可能となる。
例えば、図９に示すように光学フィルタ１０の端部にのみアライメント構造１４を設けることにより、撮像素子２０の有効画素の最外周におけるずれが抑制され、結果として全面におけるずれが抑制されるため、偏光コントラストが向上する。
【００４３】
本発明の撮像素子パッケージは、光学フィルタ１０がマイクロレンズ２２を収容可能な凹部が形成されたアライメント構造１４を有し、アライメント構造１４の凹部にマイクロレンズ２２が収容されることにより、光学フィルタ１０と撮像素子２０とが互いに位置決めされる原理を有するものであれば、その構造は上述の実施形態に限定されない。
撮像素子パッケージは、例えば、樹脂センサパッケージやセラミックパッケージ、積層型パッケージも使用可能である。
【００４４】
位置決めされた光学フィルタ１０と撮像素子２０とを接着する方法は、特に限定されず、公知の方法により接着することができる。
また、光学フィルタ１０のワイヤグリッド面の保護層を、ＳｉＯ２の代わりにガラスと屈折率が近い樹脂で作製し、アライメント構造１４を形成することで同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１０      光学フィルタ
１１      偏光子（ワイヤグリッド）
１２      透明基板（ガラス）
１３      カラーフィルタ
１４      アライメント構造
２０      撮像素子（イメージセンサ）
２１      受光領域
２２      マイクロレンズ
２３      配線層
２４      受光素子
３０      撮像素子基板（センサ基板）
４０      撮像レンズ
Ｌａ      入射光
Ｌｂ      出射光
Ｌｃ      透過光（９０°偏光）
Ｌｄ      透過光（４５°偏光）
Ｄ        振動方向
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４６】
【特許文献１】特開２０１０−２６１７５号公報
【図２】
2016219500.tif 000003
【図４】
2016219500.tif 000004
【図１０】
2016219500.tif 000005
【図１】
2016219500.tif 000006
【図３】
2016219500.tif 000007
【図５】
2016219500.tif 000008
【図６】
2016219500.tif 000009
【図７】
2016219500.tif 000010
【図８】
2016219500.tif 000011
【図９】
2016219500.tif 000012