(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台部と蓋部からなるプラズマ装置用電極板の梱包容器であって、前記台部と蓋部は内側に突起部を有し、該突起部のみでプラズマ装置用電極板の梱包時に、プラズマ装置用電極板の外周部を接触支持できるようにされており、かつプラズマ装置用電極板の側面及び中央部と梱包容器とのクリアランスを保って支持できるようにされていることを特徴とするプラズマ装置用電極板の梱包容器。
【請求項２】
前記梱包容器は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートから選択される少なくとも１種を主原料としてなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ装置用電極板の梱包容器。
【請求項３】
前記突起部は同一円周上にあり、かつ該円の直径Ｄ0が、プラズマ装置用電極板の直径をＤとすると、４Ｄ／５＜Ｄ0＜Ｄの範囲にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマ装置用電極板の梱包容器。
【請求項４】
前記プラズマ装置用電極板の中央部と梱包容器とのクリアランスが２〜５０ｍｍとなることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のプラズマ装置用電極板の梱包容器。
【請求項５】
前記突起部はプラズマ装置用電極板の取付穴と嵌合できるようにされていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のプラズマ装置用電極板の梱包容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス製造用のプラズマ装置等に用いられる電極板の梱包容器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置として、プラズマドライエッチング装置に代表されるような、被処理物であるシリコンウエーハと対向する位置にプラズマ装置用電極板を設けた平行平板型のプラズマ装置が知られている。
【０００３】
図３は、このようなプラズマドライエッチング装置の一例を示した概略図である。このプラズマドライエッチング装置２０は、チャンバー２１内に、内部ガス容器２２と下部電極板２３が上下に対向配置され、被処理物であるシリコンウエーハ２７は下部電極板２３上に載置される。内部ガス容器２２にはガス供給系２４が接続されており、またシリコンウエーハ２７と対向するようにプラズマ装置用電極板１０が、取付穴１２を介してビス・ナット等により取付られている。またチャンバー２１内の余剰ガスはガス排出系２５により排出するようにされており、プラズマ装置用電極板１０及び下部電極板２３には高周波電源２６から高周波電圧が印加されるようになっている。そしてプラズマ装置用電極板１０には、エッチングガス整流用に微小径のガス小径孔１１が多数設けられている。
【０００４】
ドライエッチング時には、プラズマ装置用電極板１０及び下部電極板２３には高周波電源２６から高周波電圧が印加され、またエッチングガスがガス供給系２４から内部ガス容器２２に供給される。エッチングガスはプラズマ装置用電極板１０のガス小径孔１１により整流されて、シリコンウエーハ２７に向けて噴出し、プラズマ装置用電極板１０とシリコンウエーハ２７との間にプラズマを発生させ、所望のドライエッチング処理が施されるようになっている。
【０００５】
このようなプラズマ装置に用いられるプラズマ装置用電極板の梱包方法は、従来ポリエチレンやポリプロピレンを主原料とした包装袋を用いて包装することが一般的であった。しかし、この方法だとプラズマ装置用電極板を包装袋から取り出す際、包装袋とプラズマ装置用電極板が擦れて静電気が発生し、雰囲気中に浮遊するパーティクルが付着してしまうという問題があった。そこで、包装袋に導電性材料を添加したり、帯電防止材を塗布して静電気の発生を防ぐようなことが行われていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性材料を添加しても静電気を皆無にすることは難しく、また真空包装を行なうと包装袋とプラズマ装置用電極板が全面で密着するため、添加した導電性材料や帯電防止材が電極板に転写してしまうという問題点も発生していた。
【０００７】
これら静電気の発生あるいは導電性材料や帯電防止材の転写は、プラズマ装置用電極板表面にパーティクルや異物として付着し、作製するデバイスの歩留りを著しく低下させるという重大な問題を引き起こしてしまう恐れがある。また、プラズマ装置用電極板のウエーハと対向するガス穴が設けられているエリアにパーティクル、異物が付着するとプラズマ装置用電極板自身の消耗分布が一様でなくなり、プラズマ装置用電極板の寿命が短くなったり、そのパーティクル、異物がウエーハ上に落下して、例えばエッチングの均一性が損なわれるといった欠陥が発生して半導体デバイス製造の歩留りの低下を引き起こすという問題もあった。
【０００８】
そこで本発明は、プラズマ装置用電極板の梱包を行なう場合において、パーティクルの付着を抑制し、半導体デバイス製造歩留りを向上させることができるプラズマ装置用電極板の梱包容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の請求項１に記載した発明は、台部と蓋部からなるプラズマ装置用電極板の梱包容器であって、前記台部と蓋部は内側に突起部を有し、該突起部のみでプラズマ装置用電極板の梱包時に、プラズマ装置用電極板の外周部を接触支持できるようにされており、かつプラズマ装置用電極板の側面及び中央部と梱包容器とのクリアランスを保って支持できるようにされていることを特徴とするプラズマ装置用電極板の梱包容器である。
【００１０】
このように、台部と蓋部は突起部を有し、該突起部はプラズマ装置用電極板の梱包時に、プラズマ装置用電極板の外周部を接触支持できるようにされており、かつプラズマ装置用電極板の側面及び中央部と梱包容器とのクリアランスを保って支持できるようにされているプラズマ装置用電極板の梱包容器は、プラズマ装置用電極板と容器の接触部は容器の台部、蓋部に設けられた突起部のみであり、またプラズマ装置用電極板を取り出す際にも、プラズマ装置用電極板とこすれることなく蓋部を取り外すことができるので静電気が発生することもない。したがって、プラズマ装置用電極板にパーティクル等の異物が付着することを防ぎ、清浄な状態を維持して梱包、保管することができる。
【００１１】
この場合、請求項２に記載したように、前記梱包容器は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートから選択される少なくとも１種を主原料としてなるものとすることが好ましい。
このように、梱包容器がポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートから選択される少なくとも１種を主原料としてなるものであれば、プラズマ装置用電極板に傷がついたり、表面が重金属等で汚染されるようなことがない。また、このような原料からなる梱包容器は、射出成形や真空成形で簡単に作製することができるという利点もある。
【００１２】
また、請求項３に記載したように、前記突起部は同一円周上にあり、かつ該円の直径Ｄ0が、プラズマ装置用電極板の直径をＤとすると、４Ｄ／５＜Ｄ0＜Ｄの範囲にあることが好ましい。
突起部がこのような位置にあれば、台部および蓋部に設けられた突起部はプラズマ装置用電極板の外周部のみを支持する位置に設けられているので、プラズマ装置用電極板のウエーハと対向するガス小径穴が設けられているエリアは非接触のままで保持することができるから、プラズマ装置用電極板自身の消耗分布が一様でなくなりプラズマ装置用電極板の寿命が短くなることや、被処理物にエッチングむら等が生じることを防止することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載したように、前記プラズマ装置用電極板の中央部と梱包容器とのクリアランスが２〜５０ｍｍとなることが好ましい。
これは、プラズマ装置用電極板の中央部と梱包容器とのクリアランスを２〜５０ｍｍとなるようにすれば、プラズマ装置用電極板を梱包した梱包容器を重ねて多少の撓みや変形が生じても、プラズマ装置用電極板の表面と梱包容器とが接触するのを防ぐことができ、また多数にプラズマ装置用電極板を保管するのに小さなスペースで済むというメリットがあるからである。
【００１４】
さらに、請求項５に記載したように、前記突起部はプラズマ装置用電極板の取付穴と嵌合できるようにされていることが好ましい。
このように、突起部がプラズマ装置用電極板の取付穴と嵌合できるようにされていれば、プラズマ装置用電極板の保持、固定をより容易かつ確実に行なうことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
図１は、本発明に係る梱包容器を用いてプラズマ電極板を梱包する様子を示した説明図である。本発明のプラズマ装置用電極板の梱包容器１は、台部２および蓋部３からなり、これらは内側に突起部４を有している。突起部４はプラズマ装置用電極板１０の外周部を接触支持できるようにされており、かつプラズマ装置用電極板１０の側面および中央部と梱包容器１とのクリアランスを保って支持できるようにされている。
【００１６】
つまり、梱包容器１とプラズマ装置用電極板１０は突起部４のみで接触し、支持されるので、梱包容器１からパーティクル等の異物がプラズマ装置用電極板１０に付着することを最小限に防ぐことができる。
なお、図１の実施形態では、台部２の突起部４と蓋部３の突起部４は、プラズマ装置用電極板１０を間に介して上下で一致した対向位置に配置され、プラズマ装置用電極板１を挟むようにして支持しているが、本発明の梱包容器１ではプラズマ装置用電極板１０を安定して支持できるのであれば、台部２の突起部４と蓋部３の突起部４が必ずしも上下で一致して対向する位置関係になくともかまわない。
【００１７】
また、突起部４は、必ずしも全周にわたって形成されている必要はなく、上下で少なくとも２点支持ができるようにされていればよい。確実な支持をするには３点以上でプラズマ装置用電極板１０を支持するようにするのが望ましい。
そして突起部４はプラズマ装置用電極板１０の外周部を接触支持するが、本発明で言うプラズマ装置用電極板の外周部とは、図１からわかるように、電極板の両主面周辺領域のことを示しており、プラズマ装置用電極板の側面（エッジ部）と中央部は、梱包容器と接触していない。
【００１８】
また、台部２と蓋部３とを閉める方法はいかなる方法によってもよい。単に台部２に蓋部３をはめ込むだけでもよいが、搬送中の開き防止のため、繋止部を設けるようにしてもよい。この場合、突起部４とプラズマ装置用電極板１０とのこすれを防止するため、蓋部３を螺合により台部２にねじ込む方式は好ましくない。
あるいは、台部２と蓋部３との間にパッキングを設けて両者を閉鎖し、梱包容器１の密閉性を高めても良い。
【００１９】
梱包容器１は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレートから選択される少なくとも１種を主原料とするのが好ましい。このような主原料から梱包容器を製造すると、プラズマ装置用電極板１０の表面に傷がついたり、金属等で汚染されたりすることを防ぐことができる。これらの原料から梱包容器を製造するには、例えばプラズマ装置用電極板の形状に合わせた所望の金型を作製し、射出成形や真空成形を行なうことで容易に作製することができる。
【００２０】
図１に示した例では、台部２および蓋部３に設けられた突起部４は、プラズマ装置用電極板１０を安定して支持するために同一円周上にある。また、この円の直径Ｄ0はプラズマ装置用電極板の直径をＤとすると、４Ｄ／５＜Ｄ0＜Ｄの関係にあるようにされている。このような位置に突起部４が配置されているため、突起部４はプラズマ装置用電極板１０の中央領域にあるガス小径孔１１に接触することはなく、梱包容器１からガス小径孔１１にパーティクルが付着することを防ぎ、プラズマ装置用電極板１０の消耗分布が一様でなくなりプラズマ装置用電極板の寿命が短くなることや、被処理物にエッチングむら等が生じることを防止することができる。
【００２１】
また、プラズマ装置用電極板１０の中央部と梱包容器１とのクリアランスは２〜５０ｍｍとなるようにされている。本発明の梱包容器を用いてプラズマ装置用電極板を梱包して保管あるいは搬送する場合には、この梱包容器を重ねて保管、搬送することも多くなるが、プラズマ装置用電極板の中央部と梱包容器とのクリアランスが小さすぎると梱包容器を重ねた際に蓋部の中央が撓み、プラズマ装置用電極板と接触してしまうおそれがある。一方、クリアランスを大きくとり過ぎると、今度は保管するのに大きなスペースが必要になり、経済的ではなくなる。そこで、本発明の梱包容器ではクリアランスを２〜５０ｍｍとなるようにして、電極板と梱包容器との接触を防ぎ、かつ小さなスペースで電極板を保管するようにすることが好ましい。
【００２２】
保管されるプラズマ装置用電極板が取付穴を有するプラズマ装置用電極板であれば、梱包容器の突起部をプラズマ装置用電極板の取付穴と嵌合するようにしても良い。図２はプラズマ装置用電極板の取付穴に梱包容器の突起部を嵌合させて、プラズマ装置用電極板を支持して梱包する形態を示した図である。この実施形態では、プラズマ装置用電極板１０の取付穴１２の位置に、梱包容器１の台部２及び蓋部３の突起部４を合わせることにより、取付穴１２と突起部４とが嵌合されるようにされている。このような構造であれば、プラズマ装置用電極板１０の保持、固定をより容易かつ確実に行なうことができる。
【００２３】
なお、この場合、図２のように全ての突起部４を取付穴１２と嵌合させる必要はない。例えば、台部２の突起部４と蓋部３の突起部４の両方を取付穴１２と嵌合させる必要はなく、台部２の突起部４のみ、あるいは蓋部３の突起部４のみを取付穴１２と嵌合させるようにしても良い。また、台部２の突起部４の内の一部を嵌合させたり、蓋部３の突起部４の内の一部を取付穴１２と嵌合させるようにしても良い。
【００２４】
【実施例】
次に本発明の実施例と比較例について説明する。
（実施例１〜４）
図１に示すようなプラズマ装置用電極板の梱包容器を、ポリエチレンテレフタレートを真空成形することにより４ヶ作製した。この梱包容器に、それぞれ直径２００ｍｍのプラズマ装置用電極板を梱包し、２４時間後にプラズマ装置用電極板を取り出して、梱包前後の表面のパーティクル数を測定した。
【００２５】
このパーティクル数の測定方法は、プラズマ装置用電極板の表面をＫＬＡ／Ｔｅｎｃｏｒ社製ＳＰ１パーティクル測定装置にて、サイズ０．１３μｍ以上のパーティクルを測定することにより行なった。測定結果を表１に示す。
【００２６】
【表１】
0003929638.tif 000002
【００２７】
表１より、実施例の本発明の梱包容器に梱包されたプラズマ装置用電極板は、梱包前と梱包後で、電極板表面のパーティクル数がほとんど増加していないことが判る。したがって、本発明の梱包容器を用いれば、静電気などによるプラズマ装置用電極板へのパーティクル付着を確実に防ぐことが可能になる。
【００２８】
（比較例１〜４）
実施例と同じ直径２００ｍｍのプラズマ装置用電極板４ヶを、従来からある半導体製品対応のポリエチレン製の包装袋に梱包し、２４時間後に取り出して実施例と同様に梱包前後の電極板表面のパーティクル数を測定した。
測定結果を表１に併記した。
【００２９】
表１より、従来の包装袋を用いてプラズマ装置用電極板を梱包した場合は、梱包前と梱包後で、電極板表面のパーティクル数が大幅に増加していることが判る。したがって、このような包装袋を用いてプラズマ装置用電極板を梱包した場合は、プラズマ装置用電極の寿命が短くなったり、半導体デバイス製造の歩留りが低下することが予想される。
【００３０】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のプラズマ装置用電極の梱包容器によって電極板を梱包することにより、パーティクルの付着を抑制し、プラズマ装置用電極板を用いた半導体デバイス製造時の歩留り向上が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプラズマ装置用電極板の梱包容器によって電極板を梱包する形態を示した説明図である。
【図２】本発明のプラズマ装置用電極板の梱包容器によって電極板を梱包する際に、取付穴に梱包容器の突起部を嵌合させて、プラズマ装置用電極板を支持して梱包する形態を示した説明図である。
【図３】プラズマドライエッチング装置の一例を示した概略図である。
【符号の説明】
１…梱包容器、  ２…台部、  ３…蓋部、  ４…突起部、
１０…プラズマ装置用電極板、  １１…ガス小径孔、  １２…取付穴、
２０…プラズマドライエッチング装置、  ２１…チャンバー、
２２…内部ガス容器、  ２３…下部電極板、  ２４…ガス供給系、
２５…ガス排出系、  ２６…高周波電圧源、  ２７…シリコンウエーハ。
【図１】
0003929638.tif 000003
【図２】
0003929638.tif 000004
【図３】
0003929638.tif 000005