(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピューターとクライアントコンピューターとが接続され、真空処理装置を含む複数の装置を管理するコンピューターネットワークを用い、
前記真空処理装置が処理対象物を処理する条件を前記ホストコンピューター内に記憶させておき、
その処理の条件を、前記真空処理装置の動作条件を決めるクライアントコンピューターに送信する真空処理方法であって、
予め前記ホストコンピューターと前記クライアントコンピューターの記憶内容から、処理を行おうとする処理対象物の処理条件を特定できる記載を耐熱材料で構成された記録媒体に付しておき、
前記処理対象物と、それに対応する前記記録媒体とを一緒にし、
前記真空処理装置によって、前記処理対象物を処理する際、
読取り装置によって前記記録媒体の記載を読み込んで前記クライアントコンピューターの記憶内容と照合し、
処理対象物と、その処理対象物の処理条件が記載された記録媒体とを一緒に前記真空処理装置内に搬入し、
該真空処理装置内では、搬入された記録媒体が処理されないように、前記記録媒体と前記処理対象物とを前記真空処理装置内の一緒の真空雰囲気であって、異なる位置に置き、前記記録媒体を前記処理対象物より低い温度に維持しながら前記処理対象物を熱処理し、
前記熱処理の終了後、前記処理対象物と前記記録媒体とを前記真空処理装置から取り出し、一緒に後工程に送ることを特徴とする真空処理方法。
【請求項２】
前記後工程では、前記処理対象物と前記記録媒体とを一緒に受け取り、前記記録媒体の記載を読み取り、前記クライアントコンピュータから、前記処理対象物の処理結果を前記ホストコンピュータに送信させる請求項１記載の真空処理方法。
【請求項３】
前記処理対象物を載置するトレイに前記記録媒体を取り付け、
前記真空処理装置内で処理対象物とトレイとを分離させることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の真空処理方法。
【請求項４】
前記記録媒体の記載を読み込み、読み込んだ内容が示す処理条件を前記ホストコンピューターから前記クライアントコンピューターに転送しておき、該真空処理装置で処理する直前に再度記録媒体の記載を読み、前記クライアントコンピューターに記憶されている処理条件と処理対象物が処理されるべき条件とを照合することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の真空処理方法。
【請求項５】
前記真空処理装置で行われた処理内容を測定し、処理対象物と対応させて前記ホストコンピューターに送信し、該ホストコンピューターに記憶させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空処理方法。
【請求項６】
前記記録媒体の記載はバーコードであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の真空処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空処理装置を用いる真空処理方法にかかり、特に、コンピューターを使用して処理条件を管理する真空処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、真空雰囲気下で処理対象物の処理を行う真空処理装置は、前処理室や焼成室等の複数の処理室を有しており、ワーク(処理対象物)を真空処理装置の搬入室に搬入し、搬出室から取り出すまで、一貫して真空雰囲気下で熱処理を行えるように構成されている。
【０００３】
図３の符号１１２はそのような真空処理装置のうち、処理対象物の加熱処理を行うものを示しており、複数の処理室１１２1〜１１２4が直線状に配置されている。
【０００４】
符号Ａ〜Ｅは処理対象物であるワークを示しており、この真空処理装置１１２の前工程が行われるところにはシーケンサー１１４1が配置され、作業者は、ワークＡの前工程で行われた処理条件を見ながらワークＡでの熱処理条件を調節し、その処理条件をシーケンサー１１４1に入力する。入力された処理条件は、信号ライン１１５によって真空処理装置１１２付近に配置されたシーケンサー１１４2に伝送される。
その後、ワークＡは搬送系１１８によって真空処理装置１１２の搬入口まで搬送され、熱処理の待機状態に入る。
【０００５】
この真空処理装置１１２に接続されたシーケンサー１１４1には、前工程に配置されたシーケンサー１１４1から処理条件が伝送されており、その処理条件は内部の記憶装置に記憶されており、シーケンサー１１４1はその記憶内容に従って各処理室１１２1〜１１２4を動作させ、各処理室１１２1〜１１２4内位置するワークＢ〜Ｅの各ワークに応じた処理条件によって熱処理を行う。
【０００６】
そして、最後段の処理室１１２4内にあったワークＥが真空処理装置１１２から搬出され、搬送系１１９によって真空処理装置１１２の後工程の装置側に搬送されると、ワークＤ、Ｃ、Ｂは順次後段の処理室１１２4〜１１２2に送り込まれ、処理室１１２1が空になった後、待機中のワークＡがその処理室１１２1に搬入される。このとき、シーケンサー１２４2は、各処理室１２２1〜１２４4の動作条件を、それぞれワークＡ〜Ｄに対応したものに切り替える。このように、各処理室１１２1空１１２4内で、各ワークに対応した加熱処理が行われるようにしていた。
【０００７】
しかしながら、このような真空処理方法では、処理条件とワークとの対応は、シーケンサー１２４2に記憶された順番とワークが並んでいる順番とで関係付けるしかない。従って、ワークの処理順序を変えた場合や、ワークを抜き取った場合等、ワークの並んでいる順番を変えた場合に対応関係に混乱が生じやすく、各処理室１２１1〜１２１4が搬入されているワークの処理条件とは異なる条件で処理してしまった場合には、不良ワークが発生してしまう。
【０００８】
かかる場合の対策は従来技術においても成されており、図３(ｂ)に示すように、金属トレイ１２１に穴を開けてトレイ番号１２３を付し、その金属トレイ１２１上にワークＡを乗せ、前工程で作業者がシーケンサー１２４1に処理条件を入力するときに光電管１２７によってトレイ番号を読み込み、信号ライン１２５によって真空処理装置１２２側のシーケンサー１２４2に処理条件と共にトレイ番号１２３を送信し、シーケンサー１２４2にトレイ番号１２３と対応付けて記憶させ、搬送系１２８によって、金属トレイ１２１上にワークＡを乗せたまま、処理室１２２1内に搬入するようにしていた。
【０００９】
このようにすれば、処理が終了したワークＥが最後段の処理室１２２4から搬出され、ワークＤ、Ｃ、Ｂが順次隣りの処理室１２２4〜１２２2に送り込まれ、ワークＡが最初の処理室１２２1に搬入される際に、真空処理装置１２２に、トレイ番号１２３と処理条件を表示させることができるので、処理条件とトレイ番号１２３とを確認することで、異なる処理条件でワークが処理されてしまうことを防止していた。
【００１０】
しかしながら上述したシステムでは、作業者が処理条件の入力を誤ると正しい処理が行われなくなってしまう。特に、各ワークの形状や、ワークを収納するバスケット等の形状が同じ様なものであった場合には入力ミスが生じやすい。
また、真空処理装置１２２で行われる処理と、前工程や後工程で行われる処理は全く異なるため、同じトレイ１２１を使用することができず、トレイ番号１２３によって処理条件とワークとの対応をとっても、前後の工程との連続性がない。
【００１１】
従って、前工程で行われた処理の内容はワークが真空処理装置１２２に搬送される際に失われ、また、折角ワークと処理条件とをトレイ番号１２３によって対応付けても、真空処理装置１２２での処理が終了し、ワークＦをトレイ１２１から抜き出し、ワークＦだけを搬送系１２９によって後工程へ搬送すると対応関係は失われる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたもので、その目的は、処理対象物と、その処理対象物の処理条件との対応が正確に維持できる真空処理方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、ホストコンピューターとクライアントコンピューターとが接続され、真空処理装置を含む複数の装置を管理するコンピューターネットワークを用い、前記真空処理装置が処理対象物を処理する条件を前記ホストコンピューター内に記憶させておき、その処理の条件を、前記真空処理装置の動作条件を決めるクライアントコンピューターに送信する真空処理方法であって、予め前記ホストコンピューターと前記クライアントコンピューターの記憶内容から、処理を行おうとする処理対象物の処理条件を特定できる記載を耐熱材料で構成された記録媒体に付しておき、前記処理対象物と、それに対応する前記記録媒体とを一緒にし、前記真空処理装置によって、前記処理対象物を処理する際、読取り装置によって前記記録媒体の記載を読み込んで前記クライアントコンピューターの記憶内容と照合し、処理対象物と、その処理対象物の処理条件が記載された記録媒体とを一緒に前記真空処理装置内に搬入し、該真空処理装置内では、搬入された記録媒体が処理されないように、前記記録媒体と前記処理対象物とを前記真空処理装置内の一緒の真空雰囲気であって、異なる位置に置き、前記記録媒体を前記処理対象物より低い温度に維持しながら前記処理対象物を熱処理し、前記熱処理の終了後、前記処理対象物と前記記録媒体とを前記真空処理装置から取り出し、一緒に後工程に送ることを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の真空処理方法であって、前記後工程では、前記処理対象物と前記記録媒体とを一緒に受け取り、前記記録媒体の記載を読み取り、前記クライアントコンピュータから、前記処理対象物の処理結果を前記ホストコンピュータに送信させることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の真空処理方法であって、前記処理対象物を載置するトレイに前記記録媒体を取り付け、前記真空処理装置内で処理対象物とトレイとを分離させることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の真空処理方法であって、前記記録媒体の記載を読み込み、読み込んだ内容が示す処理条件を前記ホストコンピューターから前記クライアントコンピューターに転送しておき、該真空処理装置で処理する直前に再度記録媒体の記載を読み、前記クライアントコンピューターに記憶されている処理条件と処理対象物が処理されるべき条件とを照合することを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空処理方法であって、前記真空処理装置で行われた処理内容を測定し、処理対象物と対応させて前記ホストコンピューターに送信し、該ホストコンピューターに記憶させることを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の真空処理方法であって、前記記録媒体の記載はバーコードであることを特徴とする。
【００１９】
上述した本発明の構成によれば、処理対象物の処理を行うために、ホストコンピューターとクライアントコンピューターとが接続されたコンピューターネットワークを用る。そのコンピューターネットワークは、真空処理装置を含む複数の装置を管理するために、ホストコンピューター内に真空処理装置が処理対象物を処理する際の処理条件が記憶されており、真空処理装置の動作条件を決めるクライアントコンピューターにその処理条件を送信するように構成しているので、真空処理装置の設定を自動的に行うことができる。
【００２０】
その際、記録媒体に、ホストコンピューターとクライアントコンピューターの記憶内容から処理対象物の処理条件を特定できる記載を付し、処理対象物と、その処理対象物の処理条件を特定できる記録媒体とを一緒に移動させるようにし、処理を行う前に記録媒体の記載を読取り装置によって読み込むと、作業者による入力作業を必要とせずにクライアントコンピューターの記憶内容と処理条件とを照合することができる。照合結果が不一致であった場合には、処理しようとする処理対象物に対応した処理条件をホストコンピューターからクライアントコンピューターに送信させると、真空処理装置に正しい動作を行わせることができる。
【００２１】
一般に、真空処理装置内に搬入された処理対象物は高温に加熱されたり、プラズマに曝されたりするので、記録媒体を耐熱材料で構成しておき、処理対象物と、その処理対象物の処理条件が記載された記録媒体とを一緒に真空処理装置内に搬入し、真空処理装置内では処理対象物と記録媒体とを異なる位置に置き、記録媒体が処理されないようにしておくと、記録媒体の記載は消失しないので、処理対象物と記録媒体とを真空処理装置から取り出した後も、処理対象物と記録媒体の対応を維持することができる。また、処理が終了した処理対象物と記録媒体とを一緒に後工程に送ることができる。
その真空処理装置が処理対象物の加熱処理を行う場合には、記録媒体の温度を処理対象物が加熱される温度よりも低い温度に維持しておくとよい。
【００２２】
このような処理条件をバーコードにして記録媒体へ記載するようにすれば、真空処理装置による処理を行う際にバーコードリーダーを用いて内容を簡単に読み込むことができるので、クライアントコンピューターの記憶内容との照合や、ホストコンピューターからの処理条件の呼び出しを簡単且つ確実に行うことが可能となる。
【００２３】
また、記録媒体の記載を読み込み、読み込んだ内容が示す処理条件を前記ホストコンピューターから前記クライアントコンピューターに転送しておくと、真空処理装置をすぐに動作させることができて好ましいが、真空処理装置での処理待ち状態のときに処理の順番が変更されることもあるので、真空処理装置で処理する直前に再度記録媒体の記載を読み、クライアントコンピューターに記憶されている処理条件と処理対象物が処理されるべき条件とを照合するようにすれば、処理対象物が別の処理対象物の条件で処理されてしまうことを防止できる。
【００２４】
真空処理装置が、処理対象物をトレイ上に乗せた状態で搬入するように構成されている場合には、処理対象物に対応した記録媒体を、その処理対象物を乗せるトレイに取り付け、搬入後は真空処理装置内で処理対象物とトレイとを分離させるようにすれば、記録媒体が紛失したり、処理対象物と記録媒体との対応が不明になったりすることがなくなる。
【００２５】
その真空処理装置で実際に行われた処理の状況を測定し、測定結果を処理対象物と対応させてホストコンピューターに記憶させるようにすれば、工程管理や装置の稼働状態の管理が容易になる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明を図面を用いて説明する。図１を参照し、符号２は、本発明の真空処理方法に用いることができるコンピューターネットワークの一例であり、真空熱処理システム３と、その前工程及び後工程の管理・制御のために構築されている。このコンピューターネットワーク２には信号の高速な送受信ができる信号ライン５０が設けられており、ホストコンピューターであるファイルサーバー５１と、前工程管理用コンピューター５２1、５２2と、システムモニタ５３と、データ管理用コンピューター５４と、後工程管理用コンピューター５５1、５５2との各コンピューターが信号ライン５０に接続され、相互にデータを送受信できるように構成されている。
【００２７】
ファイルサーバー５１には、各種ワーク(処理対象物)の生産情報や、真空熱処理システム３の動作条件等の種々のデータが記憶されており、データ管理用コンピューター５４から転送要求があった場合には、その要求のあったデータをデータ管理用コンピューター５４に送信できるようにされている。
【００２８】
データ管理用コンピューター５４とシステムモニタ５３とは真空熱処理システム３の管理、運営を行うクライアントコンピューターであり、データ管理用コンピューター５４は、前述したように、ファイルサーバー５１と通信を行い、ファイルサーバー５１内の記憶内容から所望のデータを呼び出して、データ管理用コンピューター５４に設けられたハードディスク内に記憶できるように構成されている。
【００２９】
システムモニタ５３には、搬送系制御用シーケンサー５６が接続されており、該搬送系制御用シーケンサー５６は、真空熱処理システム３からの要求や、データ管理用コンピューター５４からの指示に基いて搬送系３０を制御し、ワークを所望位置に移動さられるように構成されている。
【００３０】
一般に、真空処理システムには、最小構成で一台の真空処理装置が設けられるが、この真空熱処理システム３には、真空雰囲気下でワークの高温加熱処理を行う真空処理装置２１が設けられている他、同様に真空雰囲気下でワークの高温加熱処理を行う真空処理装置２２〜２４が増設されている。搬送系制御用シーケンサー５６には、真空処理装置２１の制御を行う真空処理装置制御用シーケンサー６１と、増設された真空処理装置２２〜２４の制御を行う真空処理装置制御用シーケンサー６２〜６４が接続されており、各真空処理装置制御用シーケンサー６１〜６４は独立に動作して、各真空処理装置２１〜２４は並列運転できるように構成されている。
【００３１】
各真空処理装置２１〜２４の動作状況は、搬送系制御用シーケンサー５６や真空処理装置制御用シーケンサー６１〜６４の動作状況と共にシステムモニタ５３によってモニタできるようにされており、それによって真空熱処理システム３の稼働状況を把握できるようにされている。
【００３２】
また、各真空処理装置制御用シーケンサー６１〜６４にはレコーダー７１〜７４が接続されており、各真空処理装置２１〜２４の動作状況は、システムモニタ５３によってモニタするだけではなく、各レコーダー７１〜７４によってリアルタイムで記録できるように構成されている。
【００３３】
前工程管理用コンピューター５２1、５２2は、真空熱処理システム３で行われる工程の第１の前工程と第２の前工程を管理するためのコンピューターであり、後工程管理用コンピューター５５1、５５2は、真空熱処理システム３で行われる工程の、第１の後工程と第２の後工程を管理するためのコンピューターである。
【００３４】
この真空熱処理システム３によって粉体を焼結処理する場合について説明する。第２の前工程において、原料となる粉体は所望の形状に固められており、その粉体９０1、９０2は皿９１1、９１2にそれぞれ収納され、各皿９１1、９１2を段積みにして真空熱処理システム３で処理すべきワーク９２が構成される。
【００３５】
このとき、粉体９０1、９０2の種類、加工履歴、加熱条件等を耐熱材料(セラミックや耐熱テープ等種々の材料がある)が板状に成形されて成る記録媒体にバーコード印刷したものをワーク９２と一緒に真空熱処理システム３内のストッカ位置まで搬送する。
【００３６】
真空熱処理システム３の拡大図を図２に示すと、ストッカ位置は、作業台１２のところにある。そのストッカ位置でワーク９２とそのワーク９２に対応した記録媒体とを一緒に受け取り、ワーク９２をステンレス・スチール製(ＳＳ(鉄)でも可)製のトレイ１１上に乗せる際に、その記録媒体に記載されたバーコードをバーコードリーダー(図示せず)で読み取り、データ管理用コンピューター５４内の記憶内容と照合する。
【００３７】
照合結果が一致していれば、システムモニタにはその旨の表示されるが、不一致の場合、即ち、データ管理用コンピューター５４内のハードディスクに記録され、ワーク９２の処理を行う際に真空熱処理システム３が処理する条件が、バーコードを読み込んだワーク９２に対する処理条件でなかった場合には、ファイルサーバー５１から記録媒体に対応するワークの処理条件を呼び出し、データ管理用コンピューター５４に転送させ、そのハードディスクに記録する。
【００３８】
この読み取り作業の後、記録媒体を、その記録媒体に対応するワーク９２を乗せるトレイ１１に取り付け、作業台１３にて、ワーク９２をトレイ１１ごとストッカ１４1〜１４4(ストッカ１４1、１４2は図示せず)に振り分ける。
【００３９】
このストッカ１４1〜１４4は、それぞれ真空処理装置２１〜２４で加熱処理を行うワークを蓄積しておく作業台であり、真空処理装置２１〜２４からのワーク挿入要求があると、要求に適合したワークをトレイ上に乗せたまま積み込み作業台１５上に移載させる。
【００４０】
図２には、この真空熱処理システム３に設けられている真空処理装置のうち、２台の真空処理装置２３、２４が示してある。真空処理装置２３は、挿入側ストッカ２３1と、脱ワックス室２３2と、第１焼結室２３3と、第２焼結室２３4と、冷却室２３5と、取り出し側ストッカ２３6とがこの順で直線状に配置されて構成されており、挿入側ストッカ２３1から脱ワックス室２３2内に搬入され、真空雰囲気に置かれたものは、大気に曝されることなく搬送され、冷却室２３5から取り出し側ストッカ２３6に搬出されるようにされている。
【００４１】
また、真空処理装置２４は、挿入側ストッカ２４1と、脱ワックス室２４2と、焼結室２４3と、冷却室２４4と、取り出し側ストッカ２４5とが、この順で配置されて構成されており、同様に、脱ワックス室２４2に搬入され、真空雰囲気に置かれたものは、大気に曝されることなく搬送され、冷却室２４4から取り出し側ストッカ２４5上に搬出できるようにされている。
【００４２】
ここで、真空処理装置２４がワーク挿入要求を行った場合について説明すると、搬送系制御用シーケンサー５６は、そのワーク挿入要求に従って自走式搬送車３１を移動させ、積み込み作業台１５の前面に停車させる。その自走式搬送車３１上に、要求に適合したワーク９２をトレイ１１ごと移載すると、搬送系制御用シーケンサー５６は自走式搬送車３１を移動させ、ワーク９２とトレイ１１とを乗せた自走式搬送車３１を挿入要求があった真空処理装置２４の挿入側ストッカ２４1の前面で停車させる。
【００４３】
そのトレイ１１には、ワーク９２の処理条件をホストコンピューター５１とデータ管理用コンピューター５４の記憶内容から呼び出せる記録媒体が取り付けられており、トレイ１１に乗せられた状態でワーク９２が挿入側ストッカ２４1上に移載されると、その位置で自動的に記録媒体上のバーコードが読み取られ、データ管理用コンピューター５４内に読み取り結果が伝送される。データ管理用コンピューター５４は、読み取り結果と、ハードディスクに記録され、実行しようとしている処理条件と照合する。照合結果が一致しなかった場合には、ファイルサーバ５１からワーク９２に適合した処理条件が呼び出され、データ管理用コンピューター５４内のハードディスクに記録される。
【００４４】
ワーク９２に対応した処理条件がデータ管理用コンピューター５４内に記録されると、ワーク９２はトレイ１１上に乗せられた状態で脱ワックス室２４2内に搬入され、真空排気される。
【００４５】
脱ワックス室２４2内では、トレイ１１はワーク９２と共に真空雰囲気に置かれるが、トレイ１１はワーク９２とは異なる位置に置かれており、真空処理装置制御用シーケンサー６４がデータ管理用コンピューター５４内のワーク９２の脱ワックス処理条件に基いて脱ワックス室２４2を動作させると、ワーク９２だけが加熱され、脱ワックス処理される。このとき、トレイ１１は搬送位置に置かれており、トレイ１１はワーク９２よりも低い温度に維持されている。このワーク９２を脱ワックス処理する際の温度や真空度等の測定データは真空処理装置制御用シーケンサー６４によって収集されており、レコーダー７４に出力されると共に、処理中のワーク９２と対応付けてシステムモニタ５４に表示される。また、収集された測定データはデータ管理用コンピューター５３内のハードディスクにもワーク９２と対応付けて記録される。
【００４６】
ワーク９２の脱ワックス処理中は、脱ワックス室２４2の次段にあたる焼結室２４3内には、脱ワックス処理が終了した先行するワークが搬入されているが、データ管理用コンピューター５４のハードディスクにはその先行するワークの焼結室２４3における熱処理の条件も記録されており、真空処理装置制御用シーケンサー６４は、データ管理用コンピューター５４に記録された処理条件に基き、先行するワークに適合した処理条件に従って焼結室２４3を動作させている。
【００４７】
また、焼結室２４3の次段に当たる冷却室２４4には、焼結室２４3での加熱処理が終了したワークが搬入されているが、データ管理用コンピューター５４のハードディスクには、そのワークの冷却条件も記録されており、真空処理装置制御用シーケンサー６４は、その冷却条件に従って冷却室２４4を動作させ、ワークに適した冷却を行っている。
【００４８】
冷却室２４4での冷却処理が終了すると、そのワークは、対応する記録媒体が取り付けられたトレイに乗せられた状態で取り出し側ストッカ２４5上に搬出される。
冷却室２４4内が空になり、焼結室２４3での加熱処理が終了すると、そのワークは、対応する記録媒体が取り付けられたトレイと共に冷却室２４4に搬入される。
【００４９】
焼結室２４3内が空になり、前記ワーク９２の脱ワックス処理が終了すると、そのワーク９２はトレイ１１と共に焼結室２４3に搬入される。この焼結室２４3内でも、ワーク９２とトレイ１１は真空雰囲気に置かれるが、ワーク９２は焼結位置に、トレイ１１は搬送位置に置かれ、ワーク９２だけが高温まで加熱できるようにされる。このとき、ワーク９２に対応する記録媒体はトレイ１１に取り付けられたままである。
【００５０】
この焼結室２４3も真空処理装置制御用シーケンサー６４によって制御されており、搬入されたワーク９２は、そのワークに適合した昇温曲線、焼結温度、焼結時間によって加熱処理され、粉体９０1、９０2の焼結が行われる。
【００５１】
焼結室２４3内におけるワーク９２の熱処理状況は、焼結室２４3に設けられた測定装置によって測定され、真空処理装置制御用シーケンサー６４を介してレコーダー７４に出力されており、また、真空処理装置制御用シーケンサー６４を介してシステムモニタ５３に送信されている。システムモニタ５３は、ワーク９２と対応付けて処理状況を表示すると共に、収集した測定データをデータ管理用コンピューター５４に転送し、そのハードディスクに、ワーク９２と対応づけて記録されている。
【００５２】
焼結室２４3での熱処理が終了すると、ワーク９２は、トレイ１１と共に冷却室２４4に搬入され、冷却室２４4と焼結室２４3との間の仕切が閉じられる。データ管理用コンピューター５４のハードディスクに記録された処理条件に基いて真空処理装置制御用シーケンサー６４が冷却室２４4を動作させ、ワーク９２に対応する冷却条件で冷却させる。このときの冷却状況もシステムモニタ５４に表示され、また、レコーダー７４によって出力されると共に、データ管理用コンピューター５３によって、測定データはワーク９２と対応付けて記録される。
【００５３】
ワーク９２が室温まで冷却されると真空処理装置２４はワーク取り出し要求を発し、ワーク９２をトレイ１１上に乗せた状態で、冷却室２４2内から搬出側ストッカ２４5上に搬出する。
【００５４】
搬送系制御用シーケンサー５６は、そのワーク取り出し要求に応じ、自走式搬送車３１を移動させ、搬出側ストッカ２４5の前面で停車させる。
ワーク９２がトレイ１１上に乗せられた状態で自走式搬送車３１上に移送されると自走式搬送車３１は移動を開始し、後工程位置でもある取り出し位置で停車する。
【００５５】
真空処理装置２４内では、ワーク９２に対応する記録媒体はトレイ１１に取り付けられたままであり、作業者によってワーク９２とが受け取られ、トレイ１１から記録媒体が取り外される。その記録媒体のバーコードがバーコードリーダーで読み取られると、データ管理用コンピューター５４は、ハードディスク内に記録していたワーク９２に対する真空処理装置２４の稼働データや熱処理の際の測定データをファイルサーバー５１に送信する。記録媒体が取り外されたトレイ１１は、自走式搬送車３１によって作業台１２があるストッカ位置まで搬送される。
【００５６】
ファイルサーバー５１は受信したデータをデータベース内に記録し、真空処理装置２１〜２４の稼働日報、稼働月報、トレンドグラフ、稼働履歴等のレポートの作成に備える。
【００５７】
作業者は、記録媒体のバーコードを読み取った後、ワーク９２を収容するバスケット内にその記録媒体を入れ、ワーク９２と一緒に後工程に送るので、後工程においてもワーク９２と、そのワーク９２の処理条件を記録した記録媒体との対応は維持できる。
【００５８】
このように、真空処理装置２４内での処理を含め、ワーク９２と、そのワーク９２の処理条件が記載された記録媒体とが、トレイ１１と一緒に前工程から後工程まで一貫して一緒に移動するので、ワーク９２と処理条件との対応が混乱することはない。
【００５９】
以上説明した上記真空処理装置２１〜２４はインライン型であるが、搬入側ストッカと搬出側ストッカとが同じ位置にあるマルチチャンバー型の真空熱処理装置についても本発明を適用することは可能である。
【００６０】
更に、本発明の真空処理方法は、粉体の焼結を行う真空熱処理システム３を用いる場合に限定されるものではなく、スパッタリング装置、真空蒸着装置、ＣＶＤ装置、その他の真空処理装置に広く適用することが可能である。
【００６１】
また、バーコードには、ファイルサーバー５１やデータ管理用コンピューター５４内の記憶内容からワークの熱処理の条件を特定できる情報の他、ワークの種類や管理情報等、所望の内容を盛り込むことができるし、そのバーコードの記録媒体への印刷は、真空処理装置で行う工程の前工程の終了後に行うようにすれば、粉体９０1、９０2等の処理対象物の尻履歴等、前工程の種々の情報も記載することができる。
【００６２】
それらの情報は、読取り装置で読み取ることができればよく、バーコードの他、算用数字や種々のコードを用いることができる。また、それらのコードは記録媒体に印刷する場合に限定されるものではなく、耐熱材料で構成された記録媒体に溝、穴等を開けて付してもよい。
【００６３】
【発明の効果】
処理対象物の処理条件を記録しておく記録媒体を耐熱材料で構成したので、真空装置内にワークと一緒に搬入することができ、その真空槽値内を一緒に移動させることができる。従って、処理対象物と記録媒体とが分離し、対応が不明確になってしまうようなことがない。
【００６４】
また、処理対象物と、その処理対象物の処理条件を特定できる記録媒体が一緒に移動するので、処理する順番を変えても、正しい処理条件で処理することが可能となる。
【００６５】
特に、真空処理装置が処理対象物を加熱処理する場合、記録媒体の温度が処理対象物よりも低くなるようにしておくと、処理対象物の記載が消失してしまうことなない。
【００６６】
処理の直前で記録媒体の記載を読み込み、処理条件を確認するようにすれば、別の処理対象物の処理条件で処理されてしまい、不良品が発生するようなことがなくなる。
【００６７】
このような記録媒体への記録をバーコードによって行えば、バーコードリーダーを使用して、記載内容を簡単に読み込むことができて都合がよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を用いることができる熱処理システムの一例
【図２】  本発明の工程を説明するための図
【図３】(ａ)：従来技術の真空処理方法の一例
(ｂ)：従来技術の真空処理方法の他の例
【符号の説明】
２……コンピューターネットワーク    １１……トレイ
２１〜２４……真空処理装置
５１……ホストコンピューター(ファイルサーバー)
５３、５４……クライアントコンピューター    ９２……処理対象物(ワーク)
【図１】
0003872136.tif 000002
【図２】
0003872136.tif 000003
【図３】
0003872136.tif 000004