(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠部材を格子状に配置し、複数のフィルタ取付開口部を有するフィルタ取付部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前記枠部材の上面に、ファンフィルタユニットをシール部材を介して載置するとともに、前記ファンフィルタユニットの配置されない前記フィルタ取付開口部に、フィルタまたは盲板をシール部材を介して載置してなるクリーンルーム用天井構造において、
前記枠部材の上面に、上方に向けて吊り部を突出形成するとともに、前記吊り部の上面に沿って、入口開口の両側に突出部が形成される溝部を形成し、この溝部内部に押圧金具の一端近傍の環状の頭部を弾性的に嵌合係止し、前記押圧金具の他端により、前記フィルタまたは盲板を前記シール部材側に押圧固定してなり、
前記押圧金具は、バネ鋼を折曲して形成される支持部材および押圧部材とからなり、
前記支持部材は、前記溝部内に挿入される前記環状の頭部と、この頭部の両側に連続して形成され前記突出部の間に嵌合される首部と、前記内側の首部から前記押圧固定すべき前記フィルタまたは盲板側の上方に向けて突出形成される第１の延在部と、前記首部から前記第１の延在部と反対側に延びる第２の延在部とを有し、
前記押圧部材は、前記第１の延在部に上端を固定されるとともに中間部を前記吊り部の内面に当接され下側を前記フィルタまたは盲板に当接されるＳ字状に折曲されていることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルーム用天井構造において、
前記押圧金具の着脱時には、前記第２の延在部と前記押圧金具の上部とを挟持しながら前記頭部を前記溝部に抜き差しすることを特徴とするクリーンルーム用天井構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム用天井構造に係わり、特に、ファンフィルタユニットの配置されないフィルタ取付開口部に、フィルタまたは盲板をシール部材を介して載置してなるクリーンルーム用天井構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近時、半導体製造工場等に設置されるクリーンルームでは、例えば、特開平４−１０３９３７号公報に開示されるように、ファンとフィルタとを一体化したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を天井面に多数配置し、運転台数制御あるいは風量制御を個別に行うことにより、クリーンルームにおける清浄度の区画域を必要に応じて任意に設定することが行われている。
【０００３】
図４は、このようなファンフィルタユニットをクリーンルームの天井に支持するためのクリーンルーム用天井構造を示すもので、この天井構造では、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材１の間に、複数の副枠部材２が配置され、複数のフィルタ取付開口部３を有する格子状のフィルタ取付部材４が構成されている。
【０００４】
そして、図５に示すように、各フィルタ取付開口部３を形成する主枠部材１および副枠部材２の上面に、ファン５とフィルタ６とをユニット化したファンフィルタユニット（ＦＦＵ）７が、ガスケット等のシール部材８を介して載置されている。
主枠部材１および副枠部材２には、吊り部９が上方に向けて突出形成されており、この吊り部９が、吊りボルト１０を介して図示しない建屋の建物梁に吊り持ちされている。
【０００５】
また、主枠部材１と、この主枠部材１の両側に配置される副枠部材２とが、吊り部９の上面において、金属からなる十字状の上側継手１１によりボルト１２を介して連結されており、主枠部材１と副枠部材２との直角度、および、シール部材８が配置される主枠部材１と副枠部材２の上面、すなわちシール面１３位置の同一平面度が保持されている。
【０００６】
そして、従来、このようなクリーンルーム用天井構造では、図４に示したように、一部のフィルタ取付開口部３にのみファンフィルタユニット７を配置し、残りのフィルタ取付開口部３に、フィルタ６または盲板１４のみを配置し、クリーンルームにおける清浄度の区画域を必要に応じて任意に設定することが行われている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部３にフィルタ６または盲板１４のみを配置する場合に、フィルタ取付開口部３にフィルタ６または盲板１４を、着脱自在に、かつ、容易，確実に固定することが困難であるという問題があった。
【０００８】
すなわち、このようなクリーンルーム用天井構造では、例えば、クリーンルーム内のレイアウトの変更により、ファンフィルタユニット７，フィルタ６または盲板１４の位置が変更されるため、このような場合に、フィルタ取付開口部３にフィルタ６または盲板１４を、着脱自在に、かつ容易，確実に固定する必要があるが、従来、このような要件を満足する固定方法が確立されておらず、フィルタ取付開口部３にフィルタ６または盲板１４を、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができるクリーンルーム用天井構造が要望されていた。
【０００９】
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされたもので、フィルタ取付開口部にフィルタまたは盲板を、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができるクリーンルーム用天井構造を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のクリーンルーム用天井構造は、枠部材を格子状に配置し、複数のフィルタ取付開口部を有するフィルタ取付部材を構成し、前記フィルタ取付開口部を形成する前記枠部材の上面に、ファンフィルタユニットをシール部材を介して載置するとともに、前記ファンフィルタユニットの配置されない前記フィルタ取付開口部に、フィルタまたは盲板をシール部材を介して載置してなるクリーンルーム用天井構造において、前記枠部材の上面に、上方に向けて吊り部を突出形成するとともに、前記吊り部の上面に沿って、入口開口の両側に突出部が形成される溝部を形成し、この溝部内部に押圧金具の一端近傍の環状の頭部を弾性的に嵌合係止し、前記押圧金具の他端により、前記フィルタまたは盲板を前記シール部材側に押圧固定してなり、前記押圧金具は、バネ鋼を折曲して形成される支持部材および押圧部材とからなり、前記支持部材は、前記溝部内に挿入される前記環状の頭部と、この頭部の両側に連続して形成され前記突出部の間に嵌合される首部と、前記内側の首部から前記押圧固定すべき前記フィルタまたは盲板側の上方に向けて突出形成される第１の延在部と、前記首部から前記第１の延在部と反対側に延びる第２の延在部とを有し、前記押圧部材は、前記第１の延在部に上端を固定されるとともに中間部を前記吊り部の内面に当接され下側を前記フィルタまたは盲板に当接されるＳ字状に折曲されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２のクリーンルーム用天井構造は、請求項１記載のクリーンルーム用天井構造において、前記押圧金具の着脱時には、前記第２の延在部と前記押圧金具の上部とを挟持しながら前記頭部を前記溝部に抜き差しすることを特徴とする。
【００１２】
（作用）
本発明のクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部にシール部材を介してフィルタまたは盲板を配置した後、枠部材の吊り部の上面に形成される溝部に、押圧金具の一端を弾性的に嵌合係止すると、押圧金具の他端により、フィルタまたは盲板が、シール部材側に押圧固定される。
【００１３】
そして、フィルタ取付開口部にシール部材を介してフィルタまたは盲板を配置した後、枠部材の吊り部の上面に形成される溝部に、押圧金具の支持部材の頭部を弾性変形して挿入すると、支持部材の首部が、溝部の入口に形成される突出部の間に弾性状態で嵌合され、支持部材が枠部材の溝部に着脱自在に固定される。
【００１４】
そして、同時に、押圧金具の延在部に固定される押圧部材の中間部が吊り部の内面に当接され、また、押圧部材の下側によりフィルタまたは盲板が、シール部材側に押圧固定される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図１は、図２の要部の詳細を示しており、図２は、本発明のクリーンルーム用天井構造の一実施形態を示している。
図２において、符号２１は、所定間隔を置いて平行に配置される複数の長尺状の主枠部材を示している。
【００１６】
この主枠部材２１の間には、複数の副枠部材２３が配置され、複数のフィルタ取付開口部２５を有する格子状のフィルタ取付部材２７が構成されている。
そして、複数のフィルタ取付開口部２５のうち所定のフィルタ取付開口部２５には、ファンフィルタユニット２９が配置され、ファンフィルタユニット２９が配置されないフィルタ取付開口部２７には、フィルタ３１または盲板３３のみが配置されている。
【００１７】
図３は、ファンフィルタユニット２９のフィルタ取付開口部２７への配置構造を示すもので、フィルタ取付開口部２５を形成する主枠部材２１および副枠部材２３の上面であるシール面３５には、ファン３７とフィルタ３１とをユニット化したファンフィルタユニット２９が、ガスケット等のシール部材３９を介して載置されている。
【００１８】
主枠部材２１および副枠部材２３には、吊り部４１が上方に向けて突出形成されており、この吊り部４１が、吊りボルト４３を介して図示しない建屋の建物梁に吊り持ちされている。
また、主枠部材２１と、この主枠部材２１の両側に配置される副枠部材２３とが、十字形状の上側継手４５により連結されている。
【００１９】
図１は、図２に示した盲板３３のフィルタ取付開口部２５への配置構造を示すもので、フィルタ取付開口部２５を形成する主枠部材２１および副枠部材２３の上面であるシール面３５には、盲板３３が、ガスケット等のシール部材３９を介して載置されている。
【００２０】
この実施形態では、主枠部材２１および副枠部材２３は、アルミニウムの押し出し成形により形成され、断面形状を同一形状とされている。
そして、主枠部材２１および副枠部材２３は、断面矩形形状の本体部４７と、この本体部４７から上方に向けて突出する吊り部４９とを有している。
吊り部４９の上面には、長手方向に沿って、入口開口の両側に突出部５１が形成される溝部５３が形成されている。
【００２１】
そして、溝部５３に押圧金具５５の一端が弾性的に嵌合係止され、押圧金具５５の他端により、盲板３３が、シール部材３９側に押圧固定されている。
この実施形態では、押圧金具５５は、支持部材５７と押圧部材５９により構成されている。
支持部材５７および押圧部材５９は、帯状のバネ鋼を折曲して形成されている。
【００２２】
支持部材５７は、頭部５７ａと首部５７ｂと延在部５７ｃ，５７ｄとを有している。
頭部５７ａは、環状に形成され、吊り部４９の上端に形成される溝部５３内に挿入されている。
また、頭部５７ａの先端は、溝部５３への挿入性を良好にするため三角形状に形成されている。
【００２３】
首部５７ｂは、頭部５７ａの両側に連続して形成され、突出部５１の間に弾性的に嵌合されている。
延在部５７ｃは、内側の首部５７ｂから押圧固定すべき盲板３３側の上方に向けて突出形成されている。
一方、押圧部材５９は、Ｓ字状をしており上端を、例えば、スポット溶接Ｗにより延在部５７ｃの先端に固定されている。
【００２４】
また、中間部５９ａが吊り部４９の内面に当接され、下側を盲板３３に当接されている。
上述したクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部２５にシール部材３９を介して盲板３３を配置した後、主枠部材２１または副枠部材２３の吊り部４９の上面に形成される溝部５３に、押圧金具５５の支持部材５７の頭部５７ａを弾性変形して挿入すると、支持部材５７の首部５７ｂが、溝部５３の入口に形成される突出部５１の間に弾性状態で嵌合され、支持部材５７が主枠部材２１または副枠部材２３の溝部５３に着脱自在に固定される。
【００２５】
そして、同時に、押圧金具５５の延在部５７ｃに固定される押圧部材５９の中間部５９ａが吊り部４９の内面に当接され、また、押圧部材５９の下側により盲板３３が、シール部材３９側に押圧固定される。
以上のように構成されたクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部２５にシール部材３９を介して盲板３３を配置した後、主枠部材２１または副枠部材２３の吊り部４９の上面に形成される溝部５３に、押圧金具５５の一端を弾性的に嵌合係止すると、押圧金具５５の他端により、フィルタまたは盲板３３が、シール部材３９側に押圧固定されるため、フィルタ取付開口部２５に盲板３３を、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができる。
【００２６】
そして、上述したクリーンルーム用天井構造では、押圧金具５５の支持部材５７を、溝部５３内に挿入される環状の頭部５７ａと、この頭部５７ａの両側に連続して形成され突出部５１の間に嵌合される首部５７ｂとから形成したので、主枠部材２１または副枠部材２３の吊り部４９の上面に形成される溝部５３に、支持部材５７の頭部５７ａを弾性変形して挿入すると、首部５７ｂが、溝部５３の入口に形成される突出部５１の間に弾性状態で嵌合されるため、押圧金具５５の支持部材５７を、主枠部材２１または副枠部材２３の溝部５３に、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができる。
【００２７】
また、支持部材５７に、内側の首部５７ｂから押圧固定すべき盲板３３側の上方に向けて突出する延在部５７ｃを形成し、この延在部５７ｃに押圧部材５９の上端を固定したので、押圧部材５９を下方に向けて確実に付勢することができる。
さらに、押圧部材５９の中間部５９ａを吊り部４９の内面に当接したので、支持部材５７の首部５７ｂと押圧部材５９の中間部５９ａにより吊り部４９を挟持することが可能になり、押圧金具５５を吊り部４９に確実に固定することができる。
【００２８】
また、押圧部材５９をＳの字状に形成し、押圧部材５９の下側により盲板３３をシール部材３９側に押圧するようにしたので、押圧部材５９の弾性により盲板３３をシール部材３９に確実に押圧することができる。
そして、押圧部材５９の弾性変形を比較的大きく設定することが容易に可能になるため、盲板３３の厚みが多少変化した場合にも同一の押圧金具５５を使用することができる。
【００２９】
なお、上述した実施形態では、押圧金具５５により盲板３３を固定した例について詳細に説明したが、フィルタ３１も同様にして押圧金具により固定されるため、詳細な説明を省略する。
【００３０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のクリーンルーム用天井構造では、フィルタ取付開口部にシール部材を介してフィルタまたは盲板を配置した後、枠部材の吊り部の上面に形成される溝部に、押圧金具の一端を弾性的に嵌合係止すると、押圧金具の他端により、フィルタまたは盲板が、シール部材側に押圧固定されるため、フィルタ取付開口部にフィルタまたは盲板を、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができる。
【００３１】
そして、押圧金具の支持部材を、溝部内に挿入される環状の頭部と、この頭部の両側に連続して形成され突出部の間に嵌合される首部とから形成したので、枠部材の吊り部の上面に形成される溝部に、支持部材の頭部を弾性変形して挿入すると、首部が、溝部の入口に形成される突出部の間に弾性状態で嵌合されるため、押圧金具の支持部材を、枠部材の溝部に、着脱自在に、かつ容易，確実に固定することができる。
【００３２】
また、支持部材に、内側の首部から押圧固定すべきフィルタまたは盲板側の上方に向けて突出する延在部を形成し、この延在部に押圧部材の上端を固定したので、押圧部材を下方に向けて確実に付勢することができる。
さらに、押圧部材の中間部を吊り部の内面に当接したので、支持部材の首部と押圧部材の中間部により吊り部を挟持することが可能になり、押圧金具を吊り部に確実に固定することができる。
【００３３】
また、押圧部材をＳの字状に形成し、押圧部材の下側によりフィルタまたは盲板をシール部材側に押圧するようにしたので、押圧部材の弾性によりフィルタまたは盲板をシール部材に確実に押圧することができる。
そして、押圧部材の弾性変形を比較的大きく設定することが容易に可能になるため、フィルタまたは盲板の厚みが多少変化した場合にも同一の押圧金具を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２の盲板の固定構造の詳細を示す断面図である。
【図２】本発明のクリーンルーム用天井構造の一実施形態を示す上面図である。
【図３】図２のファンフィルタユニットの配置構造の詳細を示す断面図である。
【図４】従来のクリーンルーム用天井構造を示す上面図である。
【図５】従来のクリーンルーム用天井構造の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
２１  主枠部材
２３  副枠部材
２５  フィルタ取付開口部
２７  フィルタ取付部材
２９  ファンフィルタユニット
３１  フィルタ
３３  盲板
３５  シール面
３９  シール部材
４９  吊り部
５１  突出部
５３  溝部
５５  押圧金具
５７  支持部材
５７ａ  頭部
５７ｂ  首部
５７ｃ  延在部
５９  押圧部材
５９ａ  中間部
【図１】
0003872573.tif 000002
【図２】
0003872573.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003872573.tif 000005
【図５】
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