(57)【要約】【課題】回転ヘッド型の部品実装機において、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性を向上させる。【解決手段】回転ヘッド型の部品実装機において、回転ヘッド１１の周囲の０°、９０°、１８０°、２７０°の４箇所に、ノズルホルダ１２を個別に下降させるＺ軸駆動機構２８を設け、ノズルホルダ１２の旋回軌道の４箇所の停止位置で、該ノズルホルダ１２を個別に下降させるように構成する。回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域で部品の吸着や実装を行う場合は、下降対象となるノズルホルダ１２を回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させると共に、４箇所のＺ軸駆動機構２８の中から該回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置のＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を作動させて、前記下降対象となるノズルホルダ１２を下降させる。【選択図】図２
2016171347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に延びるＲ軸の回りを回転可能に設けられた回転ヘッドと、
前記回転ヘッドにその円周方向に所定間隔で下降可能に設けられた複数のノズルホルダと、
前記複数のノズルホルダにそれぞれ下向きに保持され、部品を吸着する複数の吸着ノズルと、
前記回転ヘッドを前記Ｒ軸の回りを回転させることで前記複数のノズルホルダを前記複数の吸着ノズルと一体的に該回転ヘッドの円周方向に旋回させると共に前記複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置で該ノズルホルダの旋回を停止させるＲ軸駆動機構と、
前記複数のノズルホルダをそれぞれ各ノズルホルダの軸心線の回りを回転させることで各ノズルホルダに保持された各吸着ノズルに吸着した各部品の向きを修正するＱ軸駆動機構と、
前記複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置で前記複数のノズルホルダを個別に下降させる２つ以上のＺ軸駆動機構とを備え、
前記複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置には、該旋回軌道の直径方向両側に位置する２箇所の停止位置が含まれ、
前記停止位置毎に前記Ｚ軸駆動機構が１つずつ設けられ、各Ｚ軸駆動機構に、それぞれ前記複数のノズルホルダを個別に下降させる駆動源となるＺ軸モータが設けられていることを特徴とする部品実装機。
【請求項２】
前記旋回軌道の直径方向両側に位置する２箇所の停止位置は、Ｘ方向とその反対方向又はＹ方向とその反対方向に位置する２箇所の停止位置であることを特徴とする請求項１に記載の部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転ヘッド（ロータリヘッド）にその円周方向に所定間隔で複数のノズルホルダを下降可能に設けた部品実装機に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
回転ヘッド（ロータリヘッド）型の部品実装機は、例えば特許文献１（特開２００４−３９８１８号公報）に記載されているように、回転ヘッドにその円周方向に複数のノズルホルダを所定間隔で下降可能に設けると共に、各ノズルホルダにそれぞれ吸着ノズルを下向きに保持させ、更に、Ｒ軸駆動機構により回転ヘッドをＲ軸（鉛直軸）の回りを回転させることで、複数のノズルホルダをそれらに保持した複数の吸着ノズルと一体的に該回転ヘッドの円周方向に旋回させると共に、その旋回軌道の所定位置で、Ｚ軸駆動機構により１つのノズルホルダを下降させることで部品の吸着・実装を行い、Ｑ軸駆動機構により各ノズルホルダをその軸心線の回りを回転させることで、各ノズルホルダに保持した各吸着ノズルに吸着した各部品の向き（角度）を修正するようにしたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３９８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記従来構成では、Ｚ軸駆動機構によりノズルホルダを下降させる位置（角度）が１箇所に固定されているため、部品の吸着・実装動作時に回転ヘッドを最大３６０°近く回転させる必要があり、これが部品の吸着・実装動作に要する時間を延ばして生産性（サイクルタイム）を低下させる原因となっている。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、回転ヘッド型の部品実装機において、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性（サイクルタイム）を向上できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、上下方向に延びるＲ軸の回りを回転可能に設けられた回転ヘッドと、前記回転ヘッドにその円周方向に所定間隔で下降可能に設けられた複数のノズルホルダと、前記複数のノズルホルダにそれぞれ下向きに保持され、部品を吸着する複数の吸着ノズルと、前記回転ヘッドを前記Ｒ軸の回りを回転させることで前記複数のノズルホルダを前記複数の吸着ノズルと一体的に該回転ヘッドの円周方向に旋回させると共に前記複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置で該ノズルホルダの旋回を停止させるＲ軸駆動機構と、前記複数のノズルホルダをそれぞれ各ノズルホルダの軸心線の回りを回転させることで各ノズルホルダに保持された各吸着ノズルに吸着した各部品の向きを修正するＱ軸駆動機構と、前記複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置で前記複数のノズルホルダを個別に下降させる２つ以上のＺ軸駆動機構とを備え、前記複数のノズルホルダの２箇所以上の停止位置には、該旋回軌道の直径方向両側に位置する２箇所の停止位置が含まれ、前記停止位置毎に前記Ｚ軸駆動機構が１つずつ設けられ、各Ｚ軸駆動機構に、それぞれ前記複数のノズルホルダを個別に下降させる駆動源となるＺ軸モータが設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
この構成によれば、回転ヘッドに保持された複数のノズルホルダの旋回軌道の２箇所以上の停止位置で、各Ｚ軸駆動機構によりノズルホルダを個別に下降させることができるため、部品の吸着・実装動作時の回転ヘッドの最大回転角度を従来より大幅に短縮することができ、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性（サイクルタイム）を向上できる。
【０００８】
この場合、前記旋回軌道の直径方向両側に位置する２箇所の停止位置は、例えば、Ｘ方向とその反対方向又はＹ方向とその反対方向に位置する２箇所の停止位置である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は本発明の実施例１の回転ヘッド駆動装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は実施例１のノズルホルダの配置と下降可能位置との関係を説明する平面図である。
【図３】図３は実施例１の回転ヘッドの移動エリアと部品実装エリアと部品吸着エリアとの位置関係を説明する図である。
【図４】図４は従来の回転ヘッドの移動エリアと部品実装エリアと部品吸着エリアとの位置関係を説明する図である。
【図５】図５は実施例１の部品実装機の制御系の構成を示すブロック図である。
【図６】図６は実施例２のノズルホルダの配置と下降可能位置との関係を説明する平面図である。
【図７】図７は実施例２の回転ヘッドの移動エリアと部品実装エリアと部品吸着エリアとの位置関係を説明する図である。
【図８】図８は実施例３の回転ヘッド駆動装置の構成を示す斜視図である。
【図９】図９は実施例４の回転ヘッド駆動装置の構成を示す斜視図である。
【図１０】図１０は実施例４の回転ヘッド駆動装置のノズルホルダ下降動作時の状態を示す斜視図である。
【図１１】図１１は実施例４の回転ヘッド駆動装置のＱ軸駆動機構の構成を示す斜視図である。
【図１２】図１２は実施例５の回転ヘッド駆動装置の構成を示す斜視図である。
【図１３】図１３は実施例５の回転ヘッド駆動装置のノズルホルダ下降動作時の状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した５つの実施例１〜５を説明する。
【実施例１】
【００１１】
本発明の実施例１を図１乃至図５に基づいて説明する。
まず、部品実装機の回転ヘッド駆動装置１０の構成を説明する。
【００１２】
回転ヘッド１１には、その円周方向に所定間隔で複数のノズルホルダ１２が下降可能に支持され、各ノズルホルダ１２には、それぞれ部品を吸着する吸着ノズル１３が下向きに交換可能に保持されている。
【００１３】
回転ヘッド１１は、上下方向に延びるＲ軸１４の下端に嵌着され、該Ｒ軸１４の上端には、Ｒ軸駆動機構１５のＲ軸ギア１６が嵌着されている。このＲ軸ギア１６には、Ｒ軸モータ１７の回転軸１８に固定されたギア１９が噛み合い、Ｒ軸モータ１７のギア１９の回転によりＲ軸ギア１６が回転して、回転ヘッド１１がＲ軸１４を中心にして回転することで、複数のノズルホルダ１２が複数の吸着ノズル１３と一体的に該回転ヘッド１１の円周方向に旋回するようになっている。
【００１４】
Ｒ軸１４には、Ｑ軸駆動機構２０の上下２段のＱ軸ギア２１，２２が回転可能に挿通され、下段のＱ軸ギア２２には、各ノズルホルダ１２の上端に嵌着されたギア２３が噛み合っている。上段のＱ軸ギア２１には、Ｑ軸モータ２４の回転軸２５に固定されたギア２６が噛み合い、Ｑ軸モータ２４のギア２６の回転によりＱ軸ギア２１，２２が一体的に回転して各ギア２３が回転して、各ノズルホルダ１２がそれぞれ各ノズルホルダ１２の軸心線の回りを回転させることで、各ノズルホルダ１２に保持された各吸着ノズル１３に吸着した各部品の向き（角度）を修正するようになっている。
【００１５】
更に、本実施例１では、回転ヘッド１１の周囲の例えば４箇所（４方向）に、ノズルホルダ１２を個別に下降させるＺ軸駆動機構２８が設けられ、各Ｚ軸駆動機構２８により、ノズルホルダ１２の旋回軌道の４箇所の停止位置で、各ノズルホルダ１２を個別に下降させるように構成されている。４箇所のＺ軸駆動機構２８の位置は、回転ヘッド１１の回転角度で、０°、９０°、１８０°、２７０°の位置である。ここで、０°と１８０°はＸ方向（基板搬送方向）とその反対方向であり、９０°と２７０°はＹ方向（基板搬送方向と直角な方向）とその反対方向である。尚、図２、図３に図示されたノズルホルダ１２の本数は、４本となっているが、４本以上（例えば８本又は１２本）のノズルホルダ１２を配列した構成としても良い。
【００１６】
各Ｚ軸駆動機構２８は、それぞれアクチュエータとしてＺ軸モータ２９を用い、このＺ軸モータ２９により送りねじ３０を回転させてＺ軸スライド３１を上下方向に移動させることで、ノズルホルダ１２の上端に設けられた係合片３２に該Ｚ軸スライド３１を係合させて該ノズルホルダ１２を上下動させるようになっている。尚、Ｚ軸モータ２９としてリニアモータを用いてＺ軸スライド３１を上下方向に移動させるようにしても良い。或は、リニアモータに代えて、リニアソレノイド、エアーシリンダ等を用いても良い。
【００１７】
以上のように構成した回転ヘッド駆動装置１０は、部品実装機のＸＹ方向移動装置３３（図５参照）に支持されてＸ方向とＹ方向に移動するようになっている。部品実装機の制御装置３４（制御手段）は、生産プログラムに従って、ＸＹ方向移動装置３３、回転ヘッド駆動装置１０のＲ軸モータ１７、Ｑ軸モータ２４及び各Ｚ軸モータ２９を制御して、複数のフィーダ３５から部品吸着エリアに供給される部品を吸着して基板上の部品実装エリアに実装する動作を制御する。
【００１８】
従来構成では、図４に示すように、Ｚ軸駆動機構２８によりノズルホルダ１２を下降させる位置（旋回角度）が１箇所に固定されているため、ノズルホルダ１２（Ａ）の吸着ノズル１３で部品吸着エリア内の部品を吸着して、基板上の部品実装エリアの境界付近（端縁付近）に該部品を実装する場合に、それらの境界の３方向（３辺）で、それらの境界から回転ヘッド１１を大きく食み出させる必要がある。このため、回転ヘッド１１の移動エリアを部品実装エリアや部品吸着エリアのサイズよりかなり大きく確保する必要があり、これが回転ヘッド型の部品実装機の小型化を妨げる原因となっている。しかも、回転ヘッド１１の移動エリアのサイズが大きくなれば、その分、部品の吸着・実装動作に必要な回転ヘッド１１のＸＹ方向の往復移動距離が長くなり、これが部品の吸着・実装動作に要する時間を延ばして生産性（サイクルタイム）を低下させる原因となっている。
【００１９】
そこで、本実施例１では、部品実装機の制御装置３４は、回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域で部品の吸着や実装を行う場合は、下降対象となるノズルホルダ１２を当該境界に最も近い位置へ旋回させると共に、４箇所のＺ軸駆動機構２８の中から当該境界に最も近い位置のＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を作動させて、前記下降対象となるノズルホルダ１２を下降させるようにしている。
【００２０】
例えば、図３の例において、ノズルホルダ１２（Ａ）の吸着ノズル１３で部品吸着エリアの境界付近の部品を吸着して、基板上の部品実装エリアの境界付近で該ノズルホルダ１２（Ａ）を下降させて該部品を実装する場合に、該ノズルホルダ１２（Ａ）を当該部品実装エリアの境界に最も近い位置へ旋回させると共に、当該部品実装エリアの境界に最も近い位置のＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を作動させて、該ノズルホルダ１２（Ａ）を下降させる。
【００２１】
このようにすれば、部品吸着エリアの境界付近の部品を吸着する場合や部品実装エリアの境界付近に部品を実装する場合に、それらの境界から食み出す回転ヘッド１１の食み出し量を大幅に縮小することが可能となり、その分、回転ヘッド１１の移動エリアのＸＹ方向の幅を縮小して部品実装機を小型化できる（又は実装可能な基板のサイズを大型化できる）。しかも、回転ヘッド１１の移動エリアのＸＹ方向の幅が小さくなることで、部品の吸着・実装動作に必要な回転ヘッド１１の水平方向（ＸＹ方向）の往復移動距離を短くすることができ、その分、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性（サイクルタイム）を向上できる。
【００２２】
また、本実施例１では、回転ヘッド１１に保持された複数のノズルホルダ１２の旋回軌道の４箇所の停止位置で、各Ｚ軸駆動機構２８により各ノズルホルダ１２を個別に下降させることができるため、部品の吸着・実装動作時の回転ヘッド１１の最大回転角度を従来より大幅に短縮することができ、上述した回転ヘッド１１の水平方向（ＸＹ方向）の往復移動距離を短縮する効果と相俟って、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性（サイクルタイム）を向上させる効果を大きくできる。
【実施例２】
【００２３】
上記実施例１では、回転ヘッド１１の周囲の４箇所（４方向）に、ノズルホルダ１２を個別に下降させるＺ軸駆動機構２８を設けるようにしたが、図６及び図７に示す本発明の実施例２では、回転ヘッド１１の周囲の２箇所（２方向）に、ノズルホルダ１２を個別に下降させるＺ軸駆動機構２８を設け、該Ｚ軸駆動機構２８により、ノズルホルダ１２の旋回軌道の２箇所の停止位置で、該ノズルホルダ１２を個別に下降させるように構成している。２箇所のＺ軸駆動機構２８の位置は、回転ヘッド１１の回転角度で、例えば９０°と２７０°の位置（Ｙ方向両側の位置）である。前述したように、Ｙ方向は、基板搬送方向と直角な方向である。
【００２４】
本実施例２では、回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域のうち、Ｙ方向両側の境界（図６において上側と下側の境界）では、Ｙ方向両側の２箇所のＺ軸駆動機構２８の中から当該境界に近い方のＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を作動させて、当該境界に最も近い位置のノズルホルダ１２を下降させる。
【００２５】
例えば、図７に示すように、ノズルホルダ１２（Ａ）の吸着ノズル１３で部品吸着エリアの境界付近の部品を吸着して、基板上の部品実装エリアのＹ方向の境界付近で該ノズルホルダ１２（Ａ）を下降させて該部品を実装する場合に、該ノズルホルダ１２（Ａ）を部品実装エリアのＹ方向の境界に最も近い位置へ旋回させると共に、該部品実装エリアのＹ方向の境界に近い方のＺ軸モータ２９を作動させて、該ノズルホルダ１２（Ａ）を下降させる。
【００２６】
尚、ノズルホルダ１２（Ａ）の吸着ノズル１３で部品吸着エリアの境界付近の部品を吸着して、基板上の部品実装エリアのＸ方向の境界付近で該ノズルホルダＡを下降させて該部品を実装する場合には、回転ヘッド１１のＸ方向側にはＺ軸駆動機構２８が無いため、該ノズルホルダ１２（Ａ）を旋回させず（又は１８０°旋回させて）、該ノズルホルダ１２（Ａ）に対応するＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を作動させて、該ノズルホルダ１２（Ａ）を下降させるようにすれば良い。
【００２７】
以上説明した本実施例２では、回転ヘッド１１のＹ方向両側の２箇所にＺ軸駆動機構２８を設けたので、回転ヘッド１１の移動エリアのＹ方向両側の境界付近で部品の吸着や実装を行う場合に、部品吸着エリアや部品実装エリアのＹ方向両側の境界から食み出す回転ヘッド１１の食み出し量を大幅に縮小することが可能となり、部品実装機の小型化を実現できる（又は実装可能な基板のサイズを大型化できる）。しかも、回転ヘッド１１の移動エリアのＹ方向のサイズを小型化できるため、部品の吸着・実装動作に必要な回転ヘッド１１のＹ方向の往復移動距離を短くすることができ、その分、部品の吸着・実装動作に要する時間を短縮して生産性（サイクルタイム）を向上できる。
【実施例３】
【００２８】
次に、図８を用いて本発明の実施例３を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。
【００２９】
前記実施例１，２では、ノズルホルダ１２を下降させるＺ軸駆動機構２８のＺ軸モータ２９を複数設けたが、本実施例３では、ノズルホルダ１２を下降させるＺ軸駆動機構４０のＺ軸モータ４１（アクチュエータ）を１個のみとし、該Ｚ軸モータ４１を該ノズルホルダ１２の旋回方向に旋回させて２箇所以上の停止位置で選択的に停止させることで、該Ｚ軸モータ４１によりノズルホルダ１２の旋回軌道の２箇所以上の停止位置でノズルホルダ１２を個別に下降させるようにしている。
【００３０】
以下、本実施例３のＺ軸駆動機構４０の構成を説明する。
Ｚ軸モータ４１を旋回させるギア４２がＲ軸１４に回転可能に挿通支持され、該ギア４２に取付部材４３を介してＺ軸モータ４１が下向きに取り付けられ、このＺ軸モータ４１により送りねじ４４を回転させてＺ軸スライド４５を上下方向に移動させることで、ノズルホルダ１２の上端の係合片３２に該Ｚ軸スライド４５を係合させて該ノズルホルダ１２を上下動させるようになっている。尚、Ｚ軸モータ４１としてリニアモータを用いてＺ軸スライド４５を上下方向に移動させるようにしても良い。或は、リニアモータに代えて、リニアソレノイド、エアーシリンダ等を用いても良い。
【００３１】
Ｚ軸モータ４１を旋回させるギア４２には、モータ４６の回転軸４７に固定されたギア４８が噛み合い、該モータ４６のギア４８の回転によりギア４２を回転させてＺ軸モータ４１を旋回させる。
【００３２】
以上のように構成した本実施例３では、回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域で部品の吸着や実装を行う場合は、モータ４６によりギア４２を回転させてＺ軸モータ４１を回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させると共に、下降対象となるノズルホルダ１２を該回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させた後、該Ｚ軸モータ４１を作動させて、前記下降対象となるノズルホルダ１２を下降させる。このようにすれば、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。
【実施例４】
【００３３】
次に、図９乃至図１１を用いて本発明の実施例４を説明する。但し、前記実施例１と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。
【００３４】
本実施例４では、前記実施例３と同様に、Ｚ軸駆動機構５０のＺ軸モータ５１（アクチュエータ）を１個のみとし、該Ｚ軸モータ５１と、該Ｚ軸モータ５１により回転される送りねじ５４と、該送りねじ５４の回転により上下方向に移動するＺ軸スライド５５とがノズルホルダ１２の旋回方向に旋回して２箇所以上の停止位置で選択的に停止するようになっている。尚、Ｚ軸モータ５１としてリニアモータを用いてＺ軸スライド５５を上下方向に移動させるようにしても良い。或は、リニアモータに代えて、リニアソレノイド、エアーシリンダ等を用いても良い。
【００３５】
Ｚ軸モータ５１を旋回させるギア５２には、モータ５６の回転軸５７に固定されたギア５８が噛み合い、該モータ５６のギア５８の回転によりギア５２を回転させてＺ軸モータ５１を旋回させるようにしている。
【００３６】
Ｚ軸駆動機構５０は、Ｒ軸ギア１６の上方に配置され、Ｚ軸スライド５５にプッシャ５９が下向きに設けられ、該プッシャ５９の下端部でノズルホルダ１２を押し下げるようになっている。各ノズルホルダ１２は、それぞれスプリング等の付勢手段（図示せず）により上方に付勢されている。
【００３７】
本実施例４では、Ｑ軸駆動機構２０のＱ軸モータ２４の回転軸２５をＲ軸１４に直交する方向に向けて配置し、該Ｑ軸モータ２４の回転軸２５に固定された傘歯車２６ａがＱ軸ギア２２の上面部に形成された傘歯車２１ａに噛み合うことで、Ｑ軸モータ２４の回転がＱ軸ギア２２に伝達されるようになっている。尚、Ｑ軸駆動機構２０は、前記実施例１（図１）と同じ構成としても良い。
【００３８】
以上のように構成した本実施例４では、回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域で部品の吸着や実装を行う場合は、モータ５６によりギア５２を回転させてプッシャ５９を回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させると共に、下降対象となるノズルホルダ１２を該回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させた後、該Ｚ軸モータ５１を作動させて、図１０に示すように、プッシャ５９を下降させて前記下降対象となるノズルホルダ１２を押し下げる。このようにすれば、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。
【実施例５】
【００３９】
次に、図１２及び図１３を用いて本発明の実施例５を説明する。但し、前記実施例１，４と実質的に同一部分には同一符号を付して説明を省略又は簡略化し、主として異なる部分について説明する。
【００４０】
本実施例５では、前記実施例４と同様に、Ｚ軸駆動機構６０のＺ軸モータ６１（アクチュエータ）を１個のみとし、該Ｚ軸モータ６１をＲ軸ギア１６の上方に配置している。Ｚ軸モータ６１により送りねじ６２を回転させてプッシャユニット６３を上下方向に移動させるようにしている。尚、Ｚ軸モータ６１としてリニアモータを用いてプッシャユニット６３を上下方向に移動させるようにしても良い。或は、リニアモータに代えて、リニアソレノイド、エアーシリンダ等を用いても良い。
【００４１】
プッシャユニット６３には、回転ヘッド１１に保持された複数のノズルホルダ１２をそれぞれ選択的に押し下げる複数のプッシャ６４が保持されている。各プッシャ６４は、各ノズルホルダ１２の上方にそれぞれ１本ずつ配置され、各プッシャ６４にそれぞれ設けたエアーシリンダ等のアクチュエータ（図示せず）により各プッシャ６４が個別に下降するようになっている。尚、同時に下降可能なプッシャ６４の本数は１本に限らず、２本以上のプッシャ６４を同時に下降させるようにしても良い。各ノズルホルダ１２は、それぞれスプリング等の付勢手段（図示せず）により上方に付勢されている。
【００４２】
以上のように構成した本実施例５では、回転ヘッド１１の移動エリアの境界付近の領域で部品の吸着や実装を行う場合は、下降対象となるノズルホルダ１２を該回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置へ旋回させると共に、プッシャユニット６３の複数のプッシャ６４の中から回転ヘッド１１の移動エリアの境界に最も近い位置のプッシャ６４を選択して、該選択したプッシャ６４を下方に突出させた状態とする。この状態で、Ｚ軸モータ６１を作動させてプッシャユニット６３を下降させることで、該選択したプッシャ６４で前記下降対象となるノズルホルダ１２を押し下げる。このようにすれば、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。
【００４３】
尚、本発明は、上記各実施例１〜５に限定されず、Ｒ軸駆動機構、Ｑ軸駆動機構、Ｚ軸駆動機構等の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４４】
１０…回転ヘッド駆動装置、１１…回転ヘッド、１２…ノズルホルダ、１３…吸着ノズル、１４…Ｒ軸、１５…Ｒ軸駆動機構、１６…Ｒ軸ギア、１７…Ｒ軸モータ、２０…Ｑ軸駆動機構、２１，２２…Ｑ軸ギア、２４…Ｑ軸モータ、２８…Ｚ軸駆動機構、２９…Ｚ軸モータ（アクチュエータ）、３１…Ｚ軸スライド、３２…係合片、３３…ＸＹ方向移動装置、３４…制御装置（制御手段）、３５…フィーダ、４０…Ｚ軸駆動機構、４１…Ｚ軸モータ（アクチュエータ）、４５…Ｚ軸スライド、４６…モータ、５０…Ｚ軸駆動機構、５１…Ｚ軸モータ（アクチュエータ）、５５…Ｚ軸スライド、５６…モータ、５９…プッシャ、６０…Ｚ軸駆動機構、６１…Ｚ軸モータ（アクチュエータ）、６３…プッシャユニット、６４…プッシャ
【図１】
2016171347.tif 000003
【図２】
2016171347.tif 000004
【図３】
2016171347.tif 000005
【図４】
2016171347.tif 000006
【図５】
2016171347.tif 000007
【図６】
2016171347.tif 000008
【図７】
2016171347.tif 000009
【図８】
2016171347.tif 000010
【図９】
2016171347.tif 000011
【図１０】
2016171347.tif 000012
【図１１】
2016171347.tif 000013
【図１２】
2016171347.tif 000014
【図１３】
2016171347.tif 000015