(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象の孔内面を撮影するためのカメラと、
前記観察対象の孔内面に投射するための拡散光を発生させる発光面を有する面発光手段と、
前記面発光手段から前記孔内面に投射された拡散光に関する前記孔内面からの正反射光を前記カメラへ案内する正反射光案内手段とを備え、
前記面発光手段は、前記発光面から光を拡散させる円筒体であり、前記発光面は、円周面形状をなす前記円筒体の外周面である内面観察装置。
【請求項２】
観察対象の孔内面を撮影するためのカメラと、
前記観察対象の孔内面に投射するための拡散光を発生させる発光面を有する面発光手段と、
前記面発光手段から前記孔内面に投射された拡散光に関する前記孔内面からの正反射光を前記カメラへ案内する正反射光案内手段とを備え、
前記発光面は、円周面形状であり、
前記正反射光案内手段は、コーンミラーを含み、前記円周面形状の前記発光面の軸線上に前記コーンミラーと前記カメラとを配設し、前記コーンミラーの軸線と前記発光面の軸線とを一致させ、前記発光面から前記観察対象の孔内面に投射した拡散光に関する正反射光の少なくとも一部を前記コーンミラーによって前記カメラ側へ反射案内するようにした内面観察装置。
【請求項３】
前記コーンミラーの円錐面の底角は、４５°以外の角度である請求項２に記載の内面観察装置。
【請求項４】
前記面発光手段は、光を透過する円筒体に形成されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の内面観察装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の内面観察装置を用いて孔内面を観察する内面観察方法であって、面発光によって発生させた拡散光を観察対象の孔内面に投射し、前記孔内面で正反射した前記拡散光の正反射光をカメラで捉えて撮影する内面観察方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、筒等の内面を観察する方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
筒等の内面を観察するための装置が特開平９−８９７８８号公報、特開２００１−２８１５５６号公報に開示されている。これらの従来装置では、コーンミラーに映される孔内面の鏡像をカメラで撮影している。これらの従来装置では、コーンミラーは、孔内面からの乱反射光を拾う。特開平９−８９７８８号公報の装置では、孔内面上の欠陥からコーンミラーに向かう反射光量が正常面からコーンミラーに向かう反射光量よりも多く、正常面が暗く、欠陥部分が明るいという撮影画像が得られる。特開２００１−２８１５５６号公報の装置では、正常面が明るく、欠陥部分が暗いという撮影画像が得られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、乱反射光による撮影画像では、欠陥部分と正常部分とのコントラストが低く、良質の撮影画像を得ることができない。
【０００４】
本発明は、欠陥部分と正常部分とのコントラストを高めた良質の撮影画像を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１乃至請求項４の発明は、内面観察装置を対象とし、請求項１及び２の発明では、観察対象の孔内面を撮影するためのカメラと、前記観察対象の孔内面に投射するための拡散光を発生させる発光面を有する面発光手段と、前記面発光手段から前記孔内面に投射された拡散光に関する前記孔内面からの正反射光を前記カメラへ案内する正反射光案内手段とを備えた内面観察装置を構成した。
【０００６】
拡散光を発生させる発光面から孔内面に投射される光は、孔内面で正反射や乱反射の形で反射される。正反射光案内手段は、孔内面からの正反射光をカメラへ案内する。孔内面上の欠陥部分からの正反射光がカメラへ向かう割合は、孔内面上の正常部分からの正反射光がカメラに向かう割合に対して僅かであり、カメラが捉える正常部分と欠陥部分とのコントラストが高い。従って、良質の画像を得ることができる。
【０００７】
また、請求項１及び２の発明では、前記発光面は、円周面形状とした。
円周面形状の発光面は、筒内面の観察に最適である。
とくに、請求項１の発明では、前記面発光手段は、光を前記発光面から拡散させる円筒体とし、前記発光面は、前記円筒体の外周面とした。
【０００８】
このような面発光手段は簡便である。
とくに、請求項２の発明では、コーンミラーを含む前記正反射光案内手段を構成し、前記円周面形状の前記発光面の軸線上に前記コーンミラーと前記カメラとを配設し、前記コーンミラーの軸線と前記発光面の軸線とを一致させ、前記発光面から前記観察対象の孔内面に投射した拡散光に関する正反射光の少なくとも一部を前記コーンミラーによって前記カメラ側へ反射案内するようにした。
【０００９】
面発光手段は、孔内面の全周に拡散光を投射し、コーンミラーは、孔内面の全周を映す。コーンミラーは、正反射光案内手段の構成部として好適である。
請求項３の発明では、請求項２において、前記コーンミラーの円錐面の底角は、４５°以外の角度とした。
【００１０】
底角が４５°のコーンミラーは、正反射光案内手段の構成部として不適当である。
請求項４の発明は、面発光手段は、光を透過する円筒体に形成されているとした。
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の内面観察装置を用いて孔内面を観察する内面観察方法であって、面発光によって発生させた拡散光を観察対象の孔内面に投射し、前記孔内面で正反射した前記拡散光の正反射光をカメラで捉えて撮影するようにした。
【００１１】
孔内面で正反射した拡散光の正反射光をカメラで捉えて撮影する方法は、正常部分と欠陥部分とのコントラストを高める。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１〜図８に基づいて説明する。
【００１３】
図１（ａ）に示すように、台１０上にはＣＣＤカメラ１１が設置されており、ＣＣＤカメラ１１の前方には支持ブロック１２が設置されている。支持ブロック１２には光源１３及び面発光装置１４が直列状態で支持されている。
【００１４】
図１（ｂ）に示すように、面発光装置１４は、透明なアクリル樹脂製のガイドロッド１５と、光拡散用の白色の樹脂からなる円筒体１６と、円筒体１６内に内蔵された円錐形状の反射鏡１７とからなる。光源１３から投射された光は、ガイドロッド１５の周面で全反射したり、あるいは反射せずにガイドロッド１５内を反射鏡１７側へ進む。ガイドロッド１５内を反射鏡１７側へ進んだ光は、ガイドロッド１５の端面から円筒体１６内に進入する。円筒体１６内への進入光の一部は、反射鏡１７によって円筒体１６の内周面側へ反射され、進入光の一部は反射鏡１７によって反射されずに円筒体１６の内周面へ向かう。円筒体１６の内周面に向かった光は、円筒体１６の壁内を拡散しながら透過し、円筒体１６を透過した光は、円筒体１６の外周面１６１から拡散してゆく。
【００１５】
円筒体１６の先端にはコーンミラー１８が止着されている。コーンミラー１８の円錐面１８３の軸線１８１とＣＣＤカメラ１１の光軸１１１とは、一致させてある。発光面としての外周面１６１の軸線１６２は、軸線１８１に一致させてある。ＣＣＤカメラ１１とコーンミラー１８との間には円筒形状の観察対象１９が配置される。観察対象１９は、往復駆動手段２０によって光軸１１１の方向に往復移動される。
【００１６】
図２（ａ）に矢印で示す投射光Ｓ１，Ｔ１は、円筒体１６の外周面１６１から観察対象１９の孔内面１９１に向けて投射された光を表す。矢印で示す正反射光Ｓ２，Ｔ２は、観察対象１９の孔内面１９１からコーンミラー１８の円錐面１８３に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｓ３，Ｔ３は、コーンミラー１８からＣＣＤカメラ１１に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｓ３，Ｔ３は、ＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行である。ＣＣＤカメラ１１は、コーンミラー１８からの反射光を取り込んでコーンミラー１８における鏡像、即ち観察対象１９の孔内面１９１を撮影する。
【００１７】
観察対象１９の孔内面１９１の一部が図３に傾線Ｌ１で示すようにＣＣＤカメラ１１の光軸１１１（従って、コーンミラー１８の軸線１８１）に対して傾いているとする。図３に矢印で示す投射光Ｕ１は、円筒体１６の外周面１６１から孔内面１９１に投射された光であり、矢印で示す正反射光Ｕ２は、傾線Ｌ１にてコーンミラー１８の円錐面１８３に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｕ３は、コーンミラー１８からＣＣＤカメラ１１に向けて正反射された光を表す。反射光Ｕ３がＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行であれば、反射光Ｕ３は、ＣＣＤカメラ１１に確実に捉えられる。光軸１１１に平行な反射光Ｕ３が存在するためには、投射光Ｕ１は、図３に示す外周面１６１上の範囲〔ｕ１，ｕ２〕から投射されればよい。
【００１８】
観察対象１９の孔内面１９１の一部が図４に傾線Ｌ２で示すようにＣＣＤカメラ１１の光軸１１１（従って、コーンミラー１８の軸線１８１）に対して傾いているとする。図４に矢印で示す投射光Ｙ１は、円筒体１６の外周面１６１から孔内面１９１に投射された光であり、矢印で示す正反射光Ｙ２は、傾線Ｌ２にてコーンミラー１８の円錐面１８３に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｙ３は、コーンミラー１８からＣＣＤカメラ１１に向けて正反射された光を表す。反射光Ｙ３がＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行であれば、反射光Ｙ３は、ＣＣＤカメラ１１に確実に捉えられる。光軸１１１に平行な反射光Ｙ３が存在するためには、投射光Ｙ１は、図４に示す外周面１６１上の範囲〔ｙ１，ｙ２〕から投射されればよい。
【００１９】
図３及び図４に示す入射角θｏは、孔内面１９１に対する投射光Ｓ１，Ｔ１の入射角である。投射光Ｓ１，Ｔ１に関する反射光Ｓ３，Ｔ３が存在するためには、投射光Ｓ１，Ｔ１は、図３及び図４に示す外周面１６１上の範囲〔ｚ１，ｚ２〕から投射されればよい。
【００２０】
図５は、図３及び図４に示す範囲〔ｕ１，ｕ２〕，〔ｙ１，ｙ２〕，〔ｚ１，ｚ２〕をまとめて表している。
反射光Ｕ３がＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行であるとき、孔内面１９１に対する投射光Ｕ１の入射角θ１は、図３に示すようになる。傾角αは、孔内面１９１に対する傾線Ｌ１の傾角である。
【００２１】
入射角θ１は、次式（１）で表される。
θ１＝θｏ＋２α・・・（１）
反射光Ｙ３がＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行であるとき、孔内面１９１に対する投射光Ｙ１の入射角θ２は、図４に示すようになる。傾角βは、孔内面１９１に対する傾線Ｌ２の傾角である。入射角θ２は、次式（２）で表される。
【００２２】
θ２＝θｏ−２β・・・（２）
図５において、範囲〔ｙ１，ｕ２〕の長さＨは、次式（３）で表される。
Ｈ＝Ｉ＋ｄ／tanθ2−（Ｉ−Ｍ＋ｄ・tanγ）・・・（３）
但し、図５に示すように、ｄは、外周面１６１と孔内面１９１との距離、Ｍは、範囲〔ｚ１，ｚ２〕の長さである。Ｉは、孔内面１９１に直交する平面Ｐ（図５に図示）からコーンミラー１８の底１８２に至る距離を表す。γ（図５に図示）は、（９０°−θ１）の角度である。Ｍは、次式（４）で表される。
【００２３】
Ｍ＝ｈ−Ｗ／tan〔２（９０°−δ）〕・・・（４）
ｈ（図５に図示）は、コーンミラー１８の長さを表し、Ｗ（図５に図示）は、コーンミラー１８の幅を表す。δ（図５に図示）は、コーンミラー１８の底角を表す。本実施の形態では、底角δは４５°よりも大きくしてある。
【００２４】
式（３）で表される長さＨは、次式（５）に整理される。
Ｈ＝ｄ／tanθ2＋Ｍ−ｄ・tanγ・・・（５）
範囲〔ｚ１，ｚ２〕とコーンミラー１８の底１８２との間隔Ｄ（図５に図示）は、次式（６）で表される。
【００２５】
Ｄ＝Ｉ＋ｄ／tanθｏ−Ｍ・・・（６）
第１の実施の形態では以下の効果が得られる。
（１−１）拡散光を発生させる発光面としての外周面１６１から孔内面１９１に投射される光は、孔内面１９１で正反射や乱反射の形で反射される。正反射光案内手段としてのコーンミラー１８は、孔内面１９１からの正反射光をＣＣＤカメラ１１へ案内する。図２（ｂ）に示すように、孔内面１９１上に欠陥部分Ｋからの正反射光がカメラへ向かう割合は、孔内面１９１上の正常部分からの正反射光Ｓ２，Ｔ２がカメラに向かう割合に対して僅かである。その結果、ＣＣＤカメラ１１が捉える正常部分と欠陥部分Ｋとのコントラストが高くなり、良質の画像を得ることができる。
【００２６】
（１−２）筒形状の観察対象１９の孔内面１９１の観察は、孔内面１９１の全周を均等に照らすことによって良好に行われる。円筒体１６の外周面１６１は、円周面形状の発光面である。円周面形状の発光面は、円筒形状の観察対象１９の孔内面１９１の全周をほぼ均等に照らす上で最適である。即ち、円周面形状の発光面は、内面の観察に最適である。
【００２７】
（１−３）円筒体１６は、光を透過して発光面としての外周面１６１から拡散させる面発光手段を構成する。白色樹脂製の円筒体１６を用いて発光面を形成する構成は、簡便である。
【００２８】
（１−４）コーンミラー１８は、孔内面１９１の全周を映し、コーンミラー１８における孔内面１９１の全周の鏡像がＣＣＤカメラ１１によって撮影される。孔内面１９１の全周を映すコーンミラー１８は、正反射光案内手段の構成部として好適である。
【００２９】
（１−５）コーンミラー１８の円錐面１８３の底角δは、４５°以外の角度である。底角δが４５°のコーンミラーは、円周面形状の孔内面１９１からの正反射光をＣＣＤカメラ１１の光軸１１１に平行な状態でＣＣＤカメラ１１に向けて反射できない。即ち、底角δが４５°のコーンミラーは、円周面形状の孔内面１９１に対しては正反射光案内手段の構成部として不適当であり、底角δが４５°以外のコーンミラー１８を備えた内面観察装置は、円周面形状の孔内面を備えた観察対象に関して好適である。
【００３０】
（１−６）孔内面１９１からの正反射光をコーンミラー１８によってＣＣＤカメラ１１に向けて効率良く案内するには、コーンミラー１８の幅Ｗ全体に孔内面１９１からの正反射光を送る必要がある。図５に示す範囲〔ｚ１，ｚ２〕の長さＭは、孔内面１９１からの正反射光をコーンミラー１８によってＣＣＤカメラ１１に向けて効率良く案内するために必要な発光面の長さである。又、範囲〔ｚ１，ｚ２〕がコーンミラー１８の底１８２から距離Ｄだけ離れた構成は、コーンミラー１８の幅Ｗ全体に孔内面１９１からの正反射光を送る上で必要である。即ち、コーンミラー１８の底１８２から距離Ｄだけ離れた位置に長さＭの範囲〔ｚ１，ｚ２〕の面発光領域を備えた構成は、ＣＣＤカメラ１１によって良好な画像を得る上で重要である。
【００３１】
（１−７）図５に示すように、孔内面１９１を切削加工した場合にツールマークＪが生じる場合がある。傾線Ｌ１，Ｌ２で示す傾角α，βの面からなるツールマークＪは、加工具の切削加工の際に生じる僅かな凹みであるが、このツールマークＪが欠陥部分として観察されてしまう場合がある。ツールマークＪと本来の欠陥部分とを区別するには、ツールマークＪと正常部分とのコントラストを弱くした画像を得る必要がある。傾線Ｌ１で示す傾角αの面が孔内面１９１に存在する場合には、範囲〔ｚ２，ｕ２〕は、傾線Ｌ１で示す傾角αの面と正常部分との間のコントラストの低減に寄与する。傾線Ｌ２で示す傾角βの面が孔内面１９１に存在する場合には、範囲〔ｙ１，ｚ１〕は、傾線Ｌ２で示す傾角βの面と正常部分との間のコントラストの低減に寄与する。即ち、コーンミラー１８の底１８２から距離Ｄだけ離れた長さＭの範囲〔ｚ１，ｚ２〕に範囲〔ｚ２，ｕ２〕，〔ｙ１，ｚ１〕を付加した構成は、ツールマークＪと正常部分とのコントラストを弱くした画像を得る上で有効である。
【００３２】
（１−８）図６に示すように、観察対象１９Ａが変更されて孔内面１９２の径が変更される場合にも、円筒体１６及びコーンミラー１８を備えた本実施の形態の内面観察装置によって孔内面１９２の観察が可能である。
【００３３】
（１−９）円筒体１６及びコーンミラー１８を備えた本実施の形態の内面観察装置は、図７に示すように、テーパ１９３を有する観察対象１９Ｂの孔内面１９４の観察を可能にする。
【００３４】
次に、図８（ａ），（ｂ）の第２の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
図８（ａ）に示すように、台１０上にはＣＣＤカメラ１１が設置されており、ＣＣＤカメラ１１の前方には支持筒２１が設置されている。支持筒２１には光源１３が支持されている。支持筒２１の筒内には一対の透明なガラス円板２２，２３が嵌め込まれており、ガラス円板２２，２３には透明なアクリル樹脂製のガイドロッド２４が支持されている。ガイドロッド２４の一端は、４５°の全反射面２４１に形成されている。図８（ｂ）に示すように、ガイドロッド２４の他端部にはコーンミラー２５及び光拡散用の白色の樹脂からなる円筒体２６が止着されており、円筒体２６の端面には反射鏡２７が止着されている。コーンミラー２５の円錐面２５２の軸線２５１とＣＣＤカメラ１１の光軸１１１とは、一致させてある。
【００３５】
光源１３から投射された光〔図８（ａ）に矢印Ｆ１で示す〕は、ガイドロッド２４の全反射面２４１にて反射鏡２７側に向けて反射される。全反射面２４１にて反射した光〔図８（ａ）に矢印Ｆ２で示す〕は、ガイドロッド２４の周面で全反射したり、あるいは反射せずにガイドロッド２４内を反射鏡２７側へ進む。ガイドロッド２４内を反射鏡２７側へ進んだ光は、ガイドロッド２４の端面から円筒体２６内に進入する。円筒体２６内への進入光の一部は、反射鏡２７によって円筒体２６の内周面側へ反射され、進入光の一部は反射鏡２７によって反射されずに円筒体２６の内周面へ向かう。円筒体２６の内周面に向かった光は、円筒体２６の壁内を拡散しながら透過し、円筒体２６を透過した光は、円筒体２６の外周面２６１から拡散してゆく。
【００３６】
円筒体２６の外周面２６１は、観察対象の孔内面に投射するための拡散光を発生させる発光面となる。ガイドロッド２４、円筒体２６及び反射鏡２７は、発光面を有する面発光手段を構成する。
【００３７】
観察対象２８は、往復駆動手段２０によって光軸１１１の方向に往復移動される。
図８（ａ）に矢印で示す投射光Ｇ１は、円筒体２６の外周面２６１から観察対象２８の孔内面２８１に向けて投射された光を表し、矢印で示す正反射光Ｇ２は、観察対象２８の孔内面２８１からコーンミラー２５の円錐面２５２に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｇ３は、コーンミラー２５からＣＣＤカメラ１１に向けて正反射された光を表す。反射光Ｇ３は、ＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行である。ＣＣＤカメラ１１は、コーンミラー２５からの反射光を取り込んでコーンミラー２５における鏡像、即ち観察対象２８の孔内面２８１を撮影する。
【００３８】
ＣＣＤカメラ１１側における支持筒２１の筒内端にはガラス円板２９が嵌め込まれており、ガラス円板２９には円板形状の遮蔽体３０が支持されている。遮蔽体３０の径は、ガイドロッド２４の径よりも若干大きくしてある。全反射面２４１の周縁は、光源１３から全反射面２４１に投射された光によって全反射面２４１の周縁でハレーションが発生するおそれがある。このようなハレーションが撮影されると、良好な撮影画像が得られない。遮蔽体３０は、全反射面２４１の周縁で発生するハレーションの撮影を阻止する。
【００３９】
第２の実施の形態では、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。しかも、第２の実施の形態では、行き止まり孔の孔内面２８１の撮影が可能である。又、観察対象２８の配置位置がＣＣＤカメラ１１と支持筒２１との間ではないため、観察対象２８のサイズに制限を設ける必要がない。
【００４０】
次に、図９の第３の実施の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。
円筒形状の支持筒３１は、透明な材質（樹脂あるいはガラス）で形成されており、支持筒３１の軸線３１１は、ＣＣＤカメラ１１の光軸１１１に一致させてある。支持筒３１の外周面には発光筒３２が嵌合されている。発光筒３２の外周面は、拡散光を発生させる発光面３２１となっている。発光筒３２は、発光面を有する面発光手段となる。
【００４１】
支持筒３１の筒内にはコーンミラー３３が取り付けられている。コーンミラー３３の円錐面３３２の軸線３３１は、支持筒３１の軸線３１１に一致させてある。コーンミラー３３の底角δは、４５°よりも小さくしてある。
【００４２】
光源としての発光筒３２から投射された光（図９に矢印Ｎ１で示す）は、観察対象１９の孔内面１９１へ向かう。矢印で示す正反射光Ｎ２は、観察対象１９の孔内面１９１からコーンミラー３３の円錐面３３２に向けて正反射された光を表す。矢印で示す反射光Ｎ３は、コーンミラー３３からＣＣＤカメラ１１に向けて正反射された光を表す。反射光Ｎ３は、ＣＣＤカメラ１１の光軸１１１と平行である。ＣＣＤカメラ１１は、コーンミラー３３からの反射光を取り込んでコーンミラー３３における鏡像、即ち観察対象１９の孔内面１９１を撮影する。
【００４３】
第３の実施の形態では、第１の実施の形態における（１−１）項、（１−２）項、（１−４）〜（１−９）項と同じ効果が得られる。
本発明では以下のような実施の形態も可能である。
【００４４】
（１）第１の実施の形態において、コーンミラー１８の底１８２から間隔Ｄだけ離れた長さＭの範囲〔ｚ１，ｚ２〕の発光面のみを備えた面発光手段を用いること。
【００４５】
（２）第１の実施の形態において、コーンミラー１８の底１８２から間隔Ｄだけ離れた長さＭの範囲〔ｚ１，ｚ２〕に範囲〔ｚ２，ｕ２〕，〔ｙ１，ｚ１〕を付加した範囲の発光面のみを備えた面発光手段を用いること。
【００４６】
（３）第１の実施の形態において、円筒体１６内に光源を収容した面発光手段を用いること。
（４）図５に示すように、コーンミラー１８の円錐面１８３のうちの一部の範囲〔ω１，ω２〕（位置ω１と位置ω２との間の範囲）の反射光のみを撮影に用いること。あるいは範囲〔ω１，ω２〕のみがミラーになっているコーンミラーを用いること。
【００４７】
（５）第１の実施の形態において、観察対象１９及びＣＣＤカメラ１１を固定し、ＣＣＤカメラ１１において焦点、倍率を合わせながら光源１３、円筒体１６及びコーンミラー１８を一体的に移動して撮影を行うこと。
【００４８】
（６）第１の実施の形態において、観察対象１９を固定し、ＣＣＤカメラ１１とコーンミラー１８との距離を保ったままＣＣＤカメラ１１、光源１３、円筒体１６及びコーンミラー１８を一体的に移動して撮影を行うこと。
【００４９】
この場合、ＣＣＤカメラ１１とコーンミラー１８との距離が一定のため、ＣＣＤカメラ１１の焦点調整が不要である。
【００５０】
【発明の効果】
本発明では、面発光によって発生させた拡散光を観察対象の内面に投射し、前記内面で正反射した前記拡散光の正反射光をカメラで捉えて撮影するようにしたので、欠陥部分と正常部分とのコントラストを高めた良質の撮影画像を得ることができるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は、側断面図。（ｂ）は、要部拡大側断面図。
【図２】（ａ），（ｂ）は、要部拡大側断面図。
【図３】光の反射を説明するための要部拡大側面図。
【図４】光の反射を説明するための要部拡大側面図。
【図５】光の反射を説明するための要部拡大側面図。
【図６】要部拡大側断面図。
【図７】要部拡大側断面図。
【図８】第２の実施の形態を示し、（ａ）は、側断面図。（ｂ）は、要部拡大側断面図。
【図９】第３の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【符号の説明】
１１…カメラとしてのＣＣＤカメラ。１６，２６…面発光手段を構成する円筒体。１６１，２６１…面発光面としての外周面。１６２…面発光面の軸線。１８，２５，３３…正反射光案内手段を構成するコーンミラー。１８１，２５１，３３１…コーンミラーの軸線。１８３，２５２，３３２…円錐面。１９，１９Ａ，１９Ｂ，２８…観察対象。１９１，１９２，１９４，２８１…孔内面。３２…面発光手段としての発光筒。３２１…発光面。
【図１】
0004000890.tif 000002
【図２】
0004000890.tif 000003
【図３】
0004000890.tif 000004
【図４】
0004000890.tif 000005
【図５】
0004000890.tif 000006
【図６】
0004000890.tif 000007
【図７】
0004000890.tif 000008
【図８】
0004000890.tif 000009
【図９】
0004000890.tif 000010