(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して上下動可能に支持された可動板と、この可動板の片面に立設されたミラーとを備え、上記ミラーが可動板と共に上下動して光の進行状態を切り換える光操作器において、
上記ミラーはその高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、該ミラーの反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているものとし、該反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させる反射量を変化させることを特徴とする光操作器。
【請求項２】
基板に対して上下動可能に支持された可動板と、この可動板の片面に立設されたミラーとを備え、上記ミラーが可動板と共に上下動して光の進行状態を切り換える光操作器において、
上記ミラーはその高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、該ミラーの反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに入射する光に対する角度と面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているものとし、該反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させ、かつ反射量を変化させることを特徴とする光操作器。
【請求項３】
上記可動板は、上記基板の中央部に形成された開口部の位置に対応させて配置され、上記基板の開口部の対向する少なくとも一対の縁部に形成された可撓性の支持部材で上下動可能に支持されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光操作器。
【請求項４】
上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面に一方の電極を形成し、この電極と対向する側に形成された他方の電極との間に電圧を印加して発生する静電力により上下に駆動されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光操作器。
【請求項５】
上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面又はこの面と対向する側のうち一方に磁界発生手段を備え、上記反対側の面又はこの面と対向する側のうち他方にコイルを備え、該コイルに電流を供給して発生する磁界と上記磁界発生手段の磁界との作用により上下に駆動されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光操作器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空間を進む光の光路を切り換え、又は進行方向の光量を減衰して光の進行状態を切り換える光操作器に関し、詳しくは、高さ方向に複数段の反射面を形成したミラーによって光の進行状態を多様に切り換えるようにした光操作器に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光操作器、例えば空間を進む光の光路を切り換える光スイッチは、特開２０００−１２１９６７号公報に示されるように、基板に対して上下動可能に支持された可動板と、この可動板の片面に立設されたミラーとを備え、上記ミラーが可動板と共に上下動して光の光路を切り換えるようになっている。そして、上記ミラーは、１枚の平板状に形成されており、その反射面が光の入射方向に対して所定の角度（例えば４５度）を付けた状態で上記可動板の片面に直立されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の光スイッチにおいては、上記ミラーが１枚の平板状に形成されており、その反射面が光の入射方向に対して所定の角度を付けた状態で可動板の片面に直立されているので、該ミラーが可動板と共に上下動して光の光路を切り換えるのは、２方向だけに限定されていた。すなわち、空間を進む光がミラーの反射面に入射して所定の角度方向に反射される場合と、ミラーの反射面に入射せずそのまま直進する場合との２方向だけであった。
【０００４】
したがって、一つの光スイッチで光路を３方向以上の多方向に切り換えることはできなかった。このことから、光の光路を多方向に切り換えるには、上記光スイッチを多数用意して複数段に用いる必要があり、構造が複雑となるものであった。また、上記ミラーは１枚の平板状に形成されているので、この一定面積の反射面では入射光に対して反射光の光量を減衰することはできず、光減衰器の機能は発揮できないものであった。
【０００５】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、高さ方向に複数段の反射面を形成したミラーによって光の進行状態を多様に切り換えるようにした光操作器を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の発明による光操作器は、基板に対して上下動可能に支持された可動板と、この可動板の片面に立設されたミラーとを備え、上記ミラーが可動板と共に上下動して光の進行状態を切り換える光操作器において、上記ミラーはその高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、該ミラーの反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているものとし、該反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させる反射量を変化させるようにしたものである。
【０００７】
このような構成により、高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、その反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているミラーの反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させる反射量を変化させるように動作する。これにより、空間を進む光の光路が多方向に切り換えられ、光スイッチとして機能する。また、上記ミラーの上下動により該ミラーに入射する光を複数方向に反射させる光の進行方向の光量が変化され、面積が小さく光量が減衰する部分は光減衰器として機能する。
【０００８】
また、第２の発明による光操作器は、基板に対して上下動可能に支持された可動板と、この可動板の片面に立設されたミラーとを備え、上記ミラーが可動板と共に上下動して光の進行状態を切り換える光操作器において、上記ミラーはその高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、該ミラーの反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに入射する光に対する角度と面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているものとし、該反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させ、かつ反射量を変化させるようにしたものである。
【００１０】
このような構成により、高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、その反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに入射する光に対する角度と面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているミラーの反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させ、かつ反射量を変化させるように動作する。これにより、空間を進む光の光路が多方向に切り換えられ、光スイッチとして機能する。また、上記ミラーの上下動により該ミラーに入射する光を複数方向に反射させる光路が多方向に切り換えられると共に、光の進行方向の光量が変化され、光量が減衰する部分は光減衰器として機能する。
【００１１】
ここで、上記可動板は、上記基板の中央部に形成された開口部の位置に対応させて配置され、上記基板の開口部の対向する少なくとも一対の縁部に形成された可撓性の支持部材で上下動可能に支持されている。これにより、上記開口部の位置に対応させて可撓性の支持部材で支持された可動板が、該開口部の空間内で上下動可能とされる。
【００１２】
また、上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面に一方の電極を形成し、この電極と対向する側に形成された他方の電極との間に電圧を印加して発生する静電力により上下に駆動されるようになっている。これにより、上記可動板に形成された一方の電極と他方の電極との間の静電力により該可動板が上下に駆動される。
【００１３】
さらに、上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面又はこの面と対向する側のうち一方に磁界発生手段を備え、上記反対側の面又はこの面と対向する側のうち他方にコイルを備え、該コイルに電流を供給して発生する磁界と上記磁界発生手段の磁界との作用により上下に駆動されるものとしてもよい。これにより、上記可動板のミラーの立設された面と反対側の面及びこれに対向する側にそれぞれ備えられた磁界発生手段とコイルとの間に作用する電磁力により該可動板が上下に駆動される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明による光操作器の実施の形態を示す平面図であり、図２はそのＡ−Ａ線断面図である。この光操作器は、空間を進む光の光路を切り換え（光スイッチの機能）、又は進行方向の光量を減衰して（光減衰器の機能）光の進行状態を切り換えるもので、図１に示すように、基板１と、可動板２と、ミラー３とを備えて成る。
【００１７】
上記基板１は、この光操作器のベース部材となると共に、半導体製造技術を利用して光操作器を作り込む際の材料となるもので、例えばシリコン層を含む矩形状の半導体基板から成り、その中央部には矩形状の開口部４が穿設されている。
【００１８】
上記基板１には、可動板２が上下動可能に支持されている。この可動板２は、後述のミラー３を保持して上下に移動するもので、上記開口部４よりも小さい矩形状に形成され、該開口部４の位置に対応させて可撓性の支持部材５，５で支持されている。この支持部材５，５は、図２に示すように、上記開口部４の対向する一対の縁部にそれぞれのアンカー部６が連接して形成されており、これらの支持部材５，５の内側の端部に上記可動板２が連接して支持されている。したがって、上記可動板２は、開口部４の位置で２点の支持部材５，５によって両持ち式に支持され、該支持部材５の可撓性により上下動可能とされている。
【００１９】
上記可動板２の片面には、ミラー３が立設されている。このミラー３は、空間を進む光を入射して所定方向に反射するもので、上記可動板２の例えば上面に反射面が垂直に立った状態とされ、入射する光の方向に対し該反射面の向きが所定の角度だけ傾いて設置されている。
【００２０】
上記可動板２のミラー３の立設された面と反対側の面、すなわち下面には、図２に示すように、例えば矩形状の一方の電極７ａが形成されている。そして、この電極７ａと対向する側にて上記基板１が取付け固定される台部材８には、例えば矩形状の他方の電極７ｂが形成されている。この状態で、上記電極７ａと７ｂとの間に電圧を印加して、両電極７ａ，７ｂ間に発生する静電力により上記可動板２が上下に駆動される。すなわち、両電極７ａ，７ｂ間に印加される電圧が同極性の場合は互いに反発して可動板２が上昇し、異極性の場合は互いに吸引して可動板２が下降する。
【００２１】
このような状態で、上記ミラー３が静電駆動により可動板２と共に上下動して光の進行状態を切り換えるようになっている。
【００２２】
なお、図１においては、可動板２を基板１に支持する支持部材５は、細長い棒状に形成したが、可動板２を撓んで支持できるものならばそれ以外の形状であってもよい。また、上記支持部材５は、開口部４の対向する一対の縁部に形成したものとしたが、本発明はこれに限られず、互いに直交する方向にて対向する二対の縁部に形成してもよい。この場合は、上記可動板２は、周囲４点の支持部材５で支持され、その上下動の動作が傾いたりせず、安定させることができる。
【００２３】
ここで、本発明においては、上記ミラー３は、その高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有するものとし、該反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラー３を上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させるように構成されている。すなわち、図３に示すように、ミラー３は、例えば一つの立方体状に形成され、光Ｂが入射する側の面がその高さ方向に複数段の階段状に形成され、その一段一段がニッケルめっき等により反射面とされ、全体で複数段の反射面９ａ，９ｂ，９ｃが形成されている。また、各段の反射面９ａ，９ｂ，９ｃは、互いに平行な面とされている。そして、上記ミラー３は、各段の反射面９ａ〜９ｃの向きが入射する光Ｂの方向に対し所定の角度（例えば４５度、それ以外の角度でもよい）だけ傾いて設置されている。これにより、入射光Ｂに対し反射の法則により所定方向に光Ｃを反射するようになる。
【００２４】
そして、図２に示す電極７ａ，７ｂ間に発生する静電力により、図４に示すように、可動板２が矢印Ｄ，Ｅのように上下に駆動されて、この可動板２と共にミラー３も上下動して該ミラー３に入射する光Ｂが複数方向に反射されるようになっている。すなわち、図４において、可動板２が矢印Ｄのように上昇した状態を初期状態とすると、この状態では、ミラー３に入射する光Ｂは最も低い段の反射面９ａに入射して所定の方向に光Ｃを反射する。次に、上記電極７ａ，７ｂ間の静電力により可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に少し下降されると、光Ｂは一点鎖線で示すようにミラー３の中段の反射面９ｂに入射して所定の方向に光Ｃを反射する。次に、上記静電駆動により可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に更に下降されると、光Ｂは二点鎖線で示すようにミラー３の上段の反射面９ｃに入射して所定の方向に光Ｃを反射する。さらに、上記静電駆動により可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に最も下降されると、光Ｂは破線で示すようにミラー３の上方をそのまま通過して行く。
【００２５】
このようなミラー３を備えた光操作器を製造するには、例えばシリコン基板を原材料基板として使用し、これに対して薄膜形成技術、フォトリソグラフィ技術、エッチング技術等を適用した半導体製造技術を利用して、基板１に対して支持部材５及び可動板２を形成し、開口部４を形成し、上記可動板２の上面にミラー３を形成し、該ミラー３に対して反射面９ａ〜９ｃを形成して、全体として一体的に形成すればよい。
【００２６】
次に、このように構成された光操作器の動作について、図１〜図５を参照して説明する。まず、図１において、基板１の一側方にてミラー３の前方側には例えば光ファイバ等の光出射部１０が設けられ、基板１の外側方にて上記光出射部１０と直交する方向には例えば光ファイバ等の光入射部１１が設けられ、上記光出射部１０と対向しミラー３の後方側には他の光入射部１２が設けられている。
【００２７】
そして、図２に示す状態は、前記両電極７ａ，７ｂ間に電圧が印加されず、可動板２が上昇した位置で停止している初期状態であり、光出射部１０から射出された光が空間を伝播し、ミラー３の最も低い段の反射面９ａに入射して所定の方向に反射される定常状態を示している。この状態を、上記ミラー３を上面側から見た図５で示すと、光Ｂがミラー３の最も低い段の反射面９ａに入射し、反射の法則によりその光Ｂを反射して、その反射光がＣ1方向に進んで図１に示す第１の光入射部１１に入射する。
【００２８】
この定常状態から、図示外の駆動回路により前記両電極７ａ，７ｂ間に電圧を印加し、両電極７ａ，７ｂ間に吸引方向の静電力を発生させると、図４において可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に少し下降する。すると、図５に示すように、光Ｂは今度はミラー３の中段の反射面９ｂに入射し、反射の法則によりその光Ｂを反射して、その反射光がＣ2方向に進んで第２の光入射部（図１に示す第１の光入射部１１の隣）に入射する。
【００２９】
次に、この状態から、前記両電極７ａ，７ｂ間に更に電圧を印加して吸引方向の静電力を発生させると、図４において可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に更に下降する。すると、図５に示すように、光Ｂは今度はミラー３の上段の反射面９ｃに入射し、反射の法則によりその光Ｂを反射して、その反射光がＣ3方向に進んで第３の光入射部（上記第２の光入射部の隣）に入射する。
【００３０】
さらに、この状態から、前記両電極７ａ，７ｂ間に更に電圧を印加して吸引方向の静電力を発生させると、図４において可動板２及びミラー３が矢印Ｅ方向に最も下降する。すると、図５に示すように、光Ｂは今度は破線で示すようにミラー３の上方をそのまま通過して、矢印Ｆ方向に直進して図１に示す他の光入射部１２に入射する。
【００３１】
このように、前記両電極７ａ，７ｂ間の静電駆動によりミラー３が矢印Ｄ，Ｅのように上下動し、該ミラー３に入射する光Ｂを矢印Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３のように例えば３方向に反射させ、或いは矢印Ｆ方向に直進させることができ、空間を進む光の光路を多方向に切り換えて光スイッチとして機能する。
【００３２】
図６は、本発明による光操作器の第２の実施形態を示す断面図（図１のＡ−Ａ線断面図に相当する）である。この実施形態は、可動板２のミラー３の立設された面と反対側の面（下面）に磁界発生手段としての薄膜磁石１４を備え、上記反対側の面（下面）と対向する側にて前記基板１が取付け固定される台部材８には平面コイル１５を備え、該平面コイル１５に電源回路１６から電流を供給して発生する磁界と上記薄膜磁石１４の磁界との作用により上記可動板２を上下に駆動させるようにしたものである。この場合、上記平面コイル１５に供給する電流の向きを制御することにより、該平面コイル１５と薄膜磁石１４との間に吸引力又は反発力が発生し、両者間に作用する電磁力により上記可動板２が上下に駆動される。このような状態で、上記ミラー３が電磁駆動により前述と同様に可動板２と共に上下動して光の進行状態を切り換える。
【００３３】
なお、上記薄膜磁石１４と平面コイル１５とは、その取付位置関係を逆転して、薄膜磁石１４を台部材８側に設け、平面コイル１５を可動板２のミラー３の立設された面と反対側の面（下面）に設けてもよい。この場合でも、上記と同様にミラー３が電磁駆動により可動板２と共に上下動して光の進行状態を切り換えることができる。
【００３４】
図７は、本発明の光操作器の第３の実施形態を示すミラー３の上面図である。この実施形態は、ミラー３の反射面を、複数段の高さ方向にて各段ごとに入射する光Ｂの方向に対する角度を異なるものとしたものである。すなわち、最も低い段の反射面９ａと、中段の反射面９ｂ′と、上段の反射面９ｃ′とが互いに平行ではなく、所定の角度ずつ変化して形成されている。したがって、前記両電極７ａ，７ｂ間の静電駆動により上記ミラー３が上下動し、該ミラー３に入射する光Ｂを複数方向に反射する際には、矢印Ｃ1，Ｃ2′，Ｃ3′のように互いに平行にはならず、空間を進む光の光路を多様に切り換えて光スイッチとして機能する。
【００３５】
図８は、本発明の光操作器の第４の実施形態を示すミラー３′の斜視図である。この実施形態は、ミラー３′の反射面を、複数段の高さ方向にて各段ごとに面積を異なるものとしたものである。すなわち、低い段の反射面１３ａの面積に対し、上の段の反射面１３ｂの面積が小さく形成されている。この場合は、低い段の反射面１３ａと上の段の反射面１３ｂとが互いに平行とされているので、図９においてミラー３′の上下動により該ミラー３′に入射する光Ｂを矢印Ｃ1，Ｃ2のように複数方向に反射させるのは、図５で説明したのと全く同様となる。
【００３６】
しかし、図８の実施形態では、上の段の反射面１３ｂの面積が小さく形成されているので、図９においてこの反射面１３ｂに入射した光線束はその断面積よりも小さい面積で反射されて、矢印Ｃ２方向に反射する光の光量が減衰する。すなわち、矢印Ｃ１方向に反射する光量と矢印Ｃ２方向に反射する光量とを変化させて、光スイッチとして機能すると共に、光減衰器として機能する。
【００３７】
図１０は、本発明の光操作器の第５の実施形態を示すミラー３′の上面図である。この実施形態は、ミラー３′の反射面を、複数段の高さ方向にて各段ごとに入射する光に対する角度と面積を異なるものとしたものである。すなわち、低い段の反射面１３ａと上の段の反射面１３ｂ′とが互いに平行ではなく、所定の角度変化して形成されると共に、低い段の反射面１３ａの面積に対し上の段の反射面１３ｂ′の面積が小さく形成されている。この場合は、ミラー３′の上下動により該ミラー３′に入射する光Ｂを矢印Ｃ1，Ｃ2′のように複数方向に反射させるのが互いに平行にならず、空間を進む光の光路を多様に切り換えて光スイッチとして機能すると共に、光減衰器として機能する。
【００３８】
また、図８及び図１０の実施形態において、ミラー３′を、複数段の高さ方向にて各段ごとに周囲の各面が反射面となるように構成してもよい。この場合は、例えば周囲の４面が反射面１３ａ，１３ｂとなり、ミラー３′に対する光の入射方向と光の出射方向とを多方向に設定することができ、多様に光の光路を切り換えて光スイッチとして機能すると共に、光減衰器として機能する。
【００３９】
図１１は、本発明の光操作器の第６の実施形態を示すミラー３″の斜視図である。この実施形態は、ミラー３″の全体形状を四角錐状に形成すると共に、周囲に複数段の反射面を形成したものである。この場合は、上記ミラー３″で多様に光の光路を切り換えて光スイッチとして機能すると共に、光減衰器として機能する。
【００４０】
なお、上記ミラー３，３′，３″の形状は、図示の形状に限られず、三角柱状又は三角錐状、その他の形状であってもよい。また、反射面の高さ方向の段数は、２段又は３段に限らず、４段以上であってもよい。
【００４１】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項１に係る発明によれば、高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、その反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているミラーの反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させる反射量を変化させることができる。すなわち、ミラーに入射する光を入射方向と所定の角度で交差する方向にて、基板面に平行な面内で横方向にずれた複数方向に反射させる反射量を変化させることができる。したがって、空間を進む光の光路を多方向に切り換えることができ、光スイッチとして機能させることができる。このことから、一つの光スイッチで光路を２以上の反射方向と、直進方向とに切り換えて、３方向以上の多方向に切り換えることができ、光スイッチを用いる装置の構造を簡単とすることができる。また、上記ミラーの上下動により該ミラーに入射する光を複数方向に反射させる光の進行方向の光量を変化することができ、光量が減衰する部分は光減衰器として機能させることができる。
【００４２】
また、請求項２に係る発明によれば、高さ方向に複数段の階段状に形成された反射面を有し、その反射面は複数段の階段状の高さ方向にて各段ごとに入射する光に対する角度と面積が異なっており、そのうち少なくとも一段の面積は入射する光線束の断面積よりも小さく形成されているミラーの反射面に対し所定の角度で入射する光を、そのミラーを上下動させて上記階段状の反射面により基板面に平行な面内にて横方向にずれた複数方向に反射させ、かつ反射量を変化させることができる。すなわち、ミラーに入射する光を入射方向と所定の角度で交差する方向にて、基板面に平行な面内で横方向にずれた複数方向に反射させ、かつ反射量を変化させることができる。したがって、空間を進む光の光路を多方向に切り換えることができ、光スイッチとして機能させることができる。このことから、一つの光スイッチで光路を２以上の反射方向と、直進方向とに切り換えて、３方向以上の多方向に切り換えることができ、光スイッチを用いる装置の構造を簡単とすることができる。また、上記ミラーの上下動により該ミラーに入射する光を複数方向に反射させる光路を多方向に切り換えると共に、光の進行方向の光量を変化することができ、光量が減衰する部分は光減衰器として機能させることができる。
【００４４】
そして、請求項３に係る発明によれば、可動板は、上記基板の中央部に形成された開口部の位置に対応させて配置され、上記基板の開口部の対向する少なくとも一対の縁部に形成された可撓性の支持部材で上下動可能に支持されたことにより、上記開口部の位置に対応させて可撓性の支持部材で支持された可動板を、該開口部の空間内で上下動可能とすることができる。なお、上記支持部材を、基板の開口部の互いに直交する方向にて対向する二対の縁部に形成した場合は、上記可動板の上下動の動作を安定させることができる。
【００４５】
また、請求項４に係る発明によれば、上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面に一方の電極を形成し、この電極と対向する側に形成された他方の電極との間に電圧を印加して発生する静電力により上下に駆動させることにより、上記可動板に形成された一方の電極と他方の電極との間の静電力により該可動板を上下に駆動することができる。
【００４６】
さらに、請求項５に係る発明によれば、上記可動板は、上記ミラーの立設された面と反対側の面又はこの面と対向する側のうち一方に磁界発生手段を備え、上記反対側の面又はこの面と対向する側のうち他方にコイルを備え、該コイルに電流を供給して発生する磁界と上記磁界発生手段の磁界との作用により上下に駆動させることにより、上記可動板のミラーの立設された面と反対側の面及びこれに対向する側にそれぞれ備えられた磁界発生手段とコイルとの間に作用する電磁力により該可動板を上下に駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による光操作器の実施の形態を示す平面図である。
【図２】  図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】  上記光操作器のミラーの形状を示す斜視図である。
【図４】  上記ミラーの上下動による複数段の反射面への光の入射状態を示す側面説明図である。
【図５】  上記ミラーの上下動による複数段の反射面への光の入射及び反射状態を示す上面説明図である。
【図６】  本発明による光操作器の第２の実施形態を示す断面図である。
【図７】  本発明の光操作器の第３の実施形態を示すミラーの上面図である。
【図８】  本発明の光操作器の第４の実施形態を示すミラーの斜視図である。
【図９】  第４の実施形態によるミラーの上下動による複数段の反射面への光の入射及び反射状態を示す上面説明図である。
【図１０】  本発明の光操作器の第５の実施形態を示すミラーの上面図である。
【図１１】  本発明の光操作器の第６の実施形態を示すミラーの斜視図である。
【符号の説明】
１…基板
２…可動板
３，３′，３″…ミラー
４…開口部
５…支持部材
７ａ，７ｂ…電極
８…台部材
９ａ，９ｂ，９ｃ，１３ａ，１３ｂ…反射面
１０…光出射部
１１，１２…光入射部
１４…薄膜磁石
１５…平面コイル
１６…電源回路
【図１】
0003929797.tif 000002
【図２】
0003929797.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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