(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に対して所定の加工情報にしたがってレーザ光を照射して所定の加工を行うレーザ加工システムであって、
前記被加工物を載置させて前記レーザ加工を行わせるために、当該被加工物の周囲の所定部分を吸引固定させるための所定数の外側吸引孔が少なくとも形成され、当該外側吸引孔の内側で、上記被加工物の内側を当該外側吸引孔で吸引固定される周囲より高く載置させるステージと、
前記ステージ上の被加工物のレーザ加工時に、当該被加工物を吸引固定させるために、少なくもと前記外側吸引孔より吸引させる吸引手段と、
少なくとも、前記ステージに対して前記被加工物を搬送する搬送手段と、
前記ステージ上に位置された前記被加工物に対し、レーザ光を照射して所定の加工を行うためのレーザ照射手段と、
を有することを特徴とするレーザ加工システム。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ加工システムであって、前記ステージに形成される所定数の外側吸引孔の内側に所定の内側吸引孔が形成されると共に、前記吸引手段は、前記内側吸引孔と外側吸引孔との吸引力を異ならせる第１および第２の吸引機構で構成されることを特徴とするレーザ加工システム。
【請求項３】
請求項１または２記載のレーザ加工システムであって、前記被加工物の周囲の所定部分を吸引固定させるための前記ステージに形成される所定数の外側吸引孔は、被加工物搬送方向の対向する側部とこの方向の垂直方向の対向する前後、又は、被加工物搬送方向の対向する側部、又は、被加工物搬送方向と垂直方向の対向する前後、又は、被加工物の周囲四隅の対向する部分に形成されることを特徴とするレーザ加工システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、単一の被加工物をステージ上に搬送してレーザ光を照射することにより所定の加工を行うレーザ加工システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えばレーザにより被加工物をステージ上で加工する際、当該ステージ上に被加工物を搬送して固定し、加工情報に基づいて当該被加工物にレーザ光を照射して所定の加工を施すのが一般的である。例えば、用紙に対してレーザにより貫通孔を形成し、又は所定深さ分を削り取ることにより、当該用紙に所定の情報を形成させることも行われている。このようにレーザ加工をステージ上で行う場合の被加工物、特に用紙等の可撓性を有する被加工物を当該ステージ上で平坦化させることが必要である。
【０００３】
ここで、図１２に、従来のレーザ加工システムにおけるステージ部分の説明図を示す。図１２（Ａ）はレーザ加工システムにおけるステージ部分の概略斜視図、図１２（Ｂ）はステージ表面の一形態の説明図、図１２（Ｃ）はステージ表面の他形態の説明図である。図１２（Ａ）において、レーザ加工システム１０１は、加工を行うステージ１０２の下方には被加工物を固定するための例えば吸引手段１０３が設けられ、上方にはレーザ照射部１０４が配置される。このステージ１０２に被加工物としての例えば単葉の用紙１０５が搬送され、当該ステージ１０２上の所定位置に搬送されたときに上記吸引手段１０３により当該ステージ１０２上で吸着状態として固定させるものである。なお、ステージ１０２上に用紙１０５を搬送する搬送手段は図示していないが、例えばベルト搬送駆動により行われる。
【０００４】
上記ステージ１０２は、上記吸引手段１０３により用紙１０５を吸引固定させるために、その表面には吸引のための孔が形成される。例えば、図１２（Ｂ）に示すように、ステージ１０２の表面全面に平面円形孔１１１が等間隔又は不規則に所定数形成されたものや、図１２（Ｃ）に示すように、ステージ１０２の表面をハニカム構造としたハニカム孔１１２が形成されたものが一般的である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記ステージ１０２上で特に用紙１０５等の可撓性を有する被加工物をレーザ加工する際に、当該ステージ１０２の表面全面で円形孔１１１やハニカム孔１１２を介して吸引手段１０３により吸引固定させる場合、円形孔１１１やハニカム孔１１２部分で波打が生じることによりレーザ光の焦点が変動して高精度のレーザ加工が行われなくなる場合があるという問題がある。一方、被加工物の波打を防止するために吸引力を弱めると吸引固定が不安定となって加工精度の低下を招くという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、ステージ上の被加工物を平坦化させ、高精度のレーザ加工を可能とするレーザ加工システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明では、被加工物に対して所定の加工情報にしたがってレーザ光を照射して所定の加工を行うレーザ加工システムであって、前記被加工物を載置させて前記レーザ加工を行わせるために、当該被加工物の周囲の所定部分を吸引固定させるための所定数の外側吸引孔が少なくとも形成され、当該外側吸引孔の内側で、上記被加工物の内側を当該外側吸引孔で吸引固定される周囲より高く載置させるステージと、前記ステージ上の被加工物のレーザ加工時に、当該被加工物を吸引固定させるために、少なくもと前記外側吸引孔より吸引させる吸引手段と、少なくとも、前記ステージに対して前記被加工物を搬送する搬送手段と、前記ステージ上に位置された前記被加工物に対し、レーザ光を照射して所定の加工を行うためのレーザ照射手段と、を有する構成とする。
【０００８】
請求項２、３の発明では、「前記ステージに形成される所定数の外側吸引孔の内側に所定の内側吸引孔が形成されると共に、前記吸引手段は、前記内側吸引孔と外側吸引孔との吸引力を異ならせる第１および第２の吸引機構で構成される」構成であり、
「前記被加工物の周囲の所定部分を吸引固定させるための前記ステージに形成される所定数の外側吸引孔は、被加工物搬送方向の対向する側部とこの方向の垂直方向の対向する前後、又は、被加工物搬送方向の対向する側部、又は、被加工物搬送方向と垂直方向の対向する前後、又は、被加工物の周囲四隅の対向する部分に形成される」構成である。
【０００９】
このように、搬送手段で搬送されてきた被加工物がステージ上に載置されたときに、外側吸引孔の内側で、上記被加工物の内側を当該外側吸引孔で吸引固定される周囲より高く載置させて当該外側吸引孔を介して当該被加工物の外周の所定部分を吸引手段により吸引固定させ、レーザ照射手段で所定のレーザ加工を行わせる。すなわち、ステージ上で外側吸引孔の内側が高く載置された被加工物の外周部分を吸引固定することから、その内側部分に波打が生じることなく、ステージ上の被加工物を平坦化させることが可能となり、高精度のレーザ加工を可能とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図により説明する。本実施形態では、被加工物を用紙とし、これに文字、図形を適宜印字する場合として説明するもので、レーザによる加工形態を貫通または表面切削の何れにも適用することができるものである。このことは、被加工物が用紙に限らず、また加工形態に限らず、本発明におけるステージ上での波打を防止し、確実な吸引固定を行うという効果を奏するものであれば何れのものであってもよいことはもちろんである。
【００１１】
図１に、本発明に係るレーザ加工システムの第１実施形態の構成図を示す。図１に示すレーザ加工システム１１は、その主要部を示したもので、ステージ１２、搬送手段であるベルト搬送部１３，１４、レーザ照射手段１５および吸引手段としての第１および第２の吸引機構１６，１７を有して構成される。上記ステージ１２は、被加工物である用紙の載置面に開口部２２が形成され、当該開口部２２内に当該用紙の少なくとも搬送方向に回転自在な回転部材であるローラ２１が所定数設けられたものである。また、各ローラ２１の上位部分はステージ１２の表面上より高く配置される（図２で説明する）。この開口部２２内における各ローラ２１の隙間部分が当該用紙の内側部分（上記外側吸引孔２３の内側部分）に対する内側吸引孔の役割をなす。
【００１２】
また、上記ステージ１２上であって、載置される用紙の周囲の所定部分を吸引固定させるための所定数の外側吸引孔２３が形成される。図１においては、用紙搬送方向の対向する側部でそれぞれ７個形成されると共に、この方向と垂直方向の対向する前後で２個形成される。すなわち、後述の図２で示されるように、これら１８個の外側吸引孔２３で用紙の周囲を吸引固定するものである。
【００１３】
上記ベルト搬送部１３はステージ１２に対して用紙を搬送するためのもので、ベルト搬送部１４はステージ１２上でレーザ加工された用紙を排出するためのものである。なお、各ベルト搬送部１３，１４は、被加工物の用紙を載置した状態で搬送させるように図示してあるが、当該用紙を挟持して搬送させるように各２段で構成してもよい。また、用紙のベルト搬送部１４への排出機構は省略してあり、例えば、ベルト搬送１４側の所定数の回転部材２１を回転駆動させることで排出することができる。
【００１４】
上記レーザ照射手段１５は、ステージ１２上に位置された用紙に対し、図示しない制御手段より送信されてくる加工情報に基づいてレーザ光を照射して所定の加工を行うためのものである。なお、このレーザ照射手段１５によるレーザ照射は、図示しない駆動制御手段によりレーザ照射範囲で用紙上をスキャニングされるものである。
【００１５】
上記第１の吸引機構１６は、レーザ加工時におけるステージ１２の加工位置上の用紙の内側部分を、各ローラ２１間の隙間部分（内側吸引孔）より吸引して固定することにより、レーザ加工時の用紙位置ずれを防止させるためのものである。この場合、吸引される用紙が各ローラ２１で波打たないように、当該用紙（被加工物）の厚さ、堅さ等に応じて吸引力が適宜調整される。また、吸引機構１６は、レーザ加工時に発生する煙を排出する役割をも果たすものである。
【００１６】
上記第２の吸引機構１７は、上記外側吸引孔２３より用紙を吸引固定させるためのもので、上記各ローラ２１の上位部分の高さと相俟って当該用紙の内側領域（少なくともレーザ加工領域）を平坦化させるためのものである。これら第１および第２の吸引機構１６，１７は、図示しない吸引駆動制御手段によりそれぞれ制御されるもので、各外側吸引孔２３による吸引力を内側吸引孔による吸引力より大とさせるように異ならせるものである。
【００１７】
ここで、図２に、図１のステージの構成図を示す。図２（Ａ）はステージの平面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）において、ステージ１２は、内部が空間領域であり、上面（表面）に開口部２２が形成される。そして、開口部２２内の対向する側部間で、同図では一例として８本のローラ２１が軸２１Ａにより用紙搬送方向で軸回転自在に軸支されたものである。各ローラ２１は、例えば外径６ｍｍ、長さ１５０ｍｍのアルミニウム製でレーザ光の反射を防止するために表面を陽極酸化して黒色の耐食性酸化皮膜を形成する処理が施される。これらローラ２１は、単に加えられる力によって回転するものでもよく、また図示しない駆動手段により回転制御を行ってもよい。
【００１８】
また、各ローラ２１は、その上位部分がステージ１２の表面上より例えば０．５ｍｍ高く配置され、これらがステージ１２上に占める範囲として、レーザ照射手段１５によるレーザ照射範囲より大に設けられるものである。これらローラ２１は、例えば軸２１Ａ内にバネを設ける等して１本ずつ取り外し可能とさせることもできる。なお、図では一例としての８本のローラ２１を配置した場合を示しているが、例えばＡ４サイズの用紙を使用する場合として、上記寸法のローラ２１が７ｍｍピッチで２１本配置される。
【００１９】
そして、ステージ１２上には二点鎖線で示される用紙３１が位置されるものとして、各外側吸引孔２３で当該用紙３１の周囲を吸引固定し、開口部２２内に設けられた各ローラ２１の隙間部分が内側吸引孔となって当該用紙３１の内側領域を吸引固定させることとなるものである。また、ステージ１２上における上記レーザ照射手段１５によるレーザ照射の範囲３２が一点鎖線で示され、上記各ローラ２１は、そのステージ１２上で占める範囲がレーザ照射範囲３２より大に設けられるものである。
【００２０】
すなわち、図２（Ｂ）に示されるように、ステージ１２上に用紙３１が対応するローラ２１の回転（および／またはローラ２１表面上の滑り）で加工位置に位置されたときに、第２の吸引機構１７の吸引駆動による外側吸引力１７Ａ（例えば、用紙３１が普通紙の場合に各孔毎で１ＫＰａ）で用紙３１の周囲を吸引固定し、第２の吸引機構１６の吸引駆動による各ローラ２１間での内側吸引力１６Ａ（例えば、各隙間部分毎で０．１ＫＰａ）により、当該用紙３１の各ローラ２１表面上の少なくともレーザ照射範囲３２で平坦に吸引固定させるものである。
【００２１】
そこで、図３に、図１におけるレーザ加工システムの加工時状態の説明図を示す。図３において、ベルト搬送部１３で用紙３１が搬送されて、ステージ１２上に搬入されるもので、その際、対応するローラ２１の回転（および／または表面滑り）で何れにも引っ掛かることなくスムーズにステージ１２上に搬入され、加工位置まで搬送されて載置される。そのとき、第２の吸引機構１７が吸引駆動を行い、外側吸引孔２３を介して外側吸引力１７Ａで用紙３１の周囲を吸引固定すると共に、第１の吸引機構１６が吸引駆動を行い、各ローラ２１の隙間部分の内側吸引孔を介して内側吸引力１６Ａで当該用紙３１の内側領域を吸引固定することにより、少なくとも当該用紙３１のレーザ照射範囲３２を平坦化させる。
【００２２】
そして、所定の加工情報に基づいてレーザ照射手段１５によりレーザ光１５Ａが用紙３１上の所定位置に順次照射されてレーザ加工が行われるものである。レーザ加工後は、第１および第２の吸引機構１６，１７による吸引が解除され、加工済の用紙３１は、ベルト搬送部１４に排出されてスタッカ等に搬送されるものである。
【００２３】
このように、搬入された用紙３１がステージ１２上に載置されたとき、外側吸引孔２３で用紙３１の外周部分を吸引固定すると共に、内側吸引孔部分で内側領域を吸引固定することから、その内側領域に波打が生じることなく、ステージ１２上の用紙３１を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。なお、用紙３１のステージ１２上への搬入の際、対応のローラ２１の回転等で当該用紙３１が何れにも引っ掛かることなく、スムーズにステージ１２上に位置されることから搬送障害が防止され、用紙３１をステージ１２上に安定して搬送させることができるものである。また、各ローラ２１と用紙３１との接触面積が小さく、レーザによる貫通加工時に当該ローラ２１に与えるダメージを軽減させることができると共に、各ローラ２１をそれぞれ取り外し可能とさせることでダメージを受けたローラ２１の交換を容易とすることができるものである。
【００２４】
続いて、図４に、本発明に係るレーザ加工システムの他の実施形態の構成図を示す。図１〜図３に示すレーザ加工システム１１のステージ１２に設けられるローラ２１では、上記外側吸引孔２３の内側領域で用紙搬送方向に対して１列で設けた場合を示したが、図４に示すレーザ加工システム１１ではステージ１２上に形成された外側吸引孔２３の内側領域で例えば２つの開口部２２Ａ，２２Ｂを形成し、各ローラ２１Ａを２列で配置した場合を示している。この場合のローラ２１Ａは長さが異なるだけであり、ステージ１２上で各ローラ２１Ａ全体の占める範囲がレーザ照射範囲３２により大であることは前記と同様である。
【００２５】
すなわち、各ローラ２１Ａが設けられる開口部２２Ａ，２２Ｂ内における当該各ローラ２１Ａの隙間部分が内側吸引孔とさせるもので、このように用紙搬送方向に対して２列に配置することとしても、上記同様に、第１および第２の吸引機構１６，１７により吸引固定することにより、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙３１を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００２６】
次に、図５に本発明に係るレーザ加工システムの第２実施形態の構成図を示すと共に、図６に図５のステージの構成図を示す。なお、図５および図６は、単独の実施形態として示されているが、前記第１の実施形態における回転部材と混在させたものであってもよい。図５に示すレーザ加工システム１１は、ステージ１２上の外側吸引孔２３の内側領域に回転部材として、図６（Ｂ）に示すような保持体４１Ａ内に、被加工物である用紙３１の少なくとも搬送方向に回転自在な所定数の転がり部材である球状のコロ４１が設けられると共に、当該各コロ４１の設けられる領域内の所定箇所に所定数の内側吸引孔４２が設けられたものであって（図５、図６（Ａ））、他の構成は図１および図４と同様であり、説明を省略する。なお、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【００２７】
すなわち、球状の各コロ４１は、例えば外径６ｍｍのステンレス球製でレーザ光の反射を防止するために表面を黒色処理し、その上位部分がステージ１２表面上より例えば５ｍｍの高さとなるように設けたものである。このような球状の各コロ４１は、図６（Ｂ）に示すように、ステージ１２上部に保持体４１Ａが対応数設けられて、当該保持体４１Ａ内に離脱されないように何れの方向にも回転自在に保持されたものである。
【００２８】
そして、上記同様に、外側吸引孔２３は第２の吸引機構１７により載置された用紙３１の周囲を吸引力１７Ａで吸引固定する。また、上記内側吸引孔４２は、第１の吸引機構１６により用紙３１の内側領域であるレーザ照射範囲３２を吸引力１６Ａで吸引固定すると共に、貫通加工のレーザ照射により発生した煙を排出させるためのもので、その個数および配置は適宜設定される。なお、少なくとも、上記各球状のコロ４１のステージ１２上での占める範囲は、上記同様にレーザ照射範囲３２より大に設けられるものである。
【００２９】
すなわち、図６（Ｂ）に示すように、ステージ１２上に搬入される用紙３１に対し、対応する球状のコロ４１が回転（および／または表面滑り）することによって、当該用紙３１が何れにも引っ掛かることなく、スムーズに加工位置まで搬送され、第１および第２の吸引機構１６，１７で当該用紙３１を吸引固定してレーザ照射範囲３２を平坦化させた後に、加工情報にしたがってレーザ照射手段１５よりレーザ光１５Ａが照射されてレーザ加工が行われるものである。なお、図５および図６では、回転部材としての転がり部材を球状のコロ４１とした場合を示したが、用紙搬送方向に回転自在な棒状の転がり部材を用いてもよい。
【００３０】
上記のように、ステージ１２上に、外側吸引孔２３の他に、内側吸引孔４２を所定数形成することによっても、上記同様に、第１および第２の吸引機構１６，１７により吸引固定することにより、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙３１を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。なお、各球状のコロ４１（転がり部材）を設けることにより、これらと用紙３１との接触面積が小さく、レーザによる貫通加工時に当該コロ４１（転がり部材）に与えるダメージを軽減させることができるものである。
【００３１】
次に、図７に本発明に係るレーザ加工システムの第３実施形態の構成図を示すと共に、図８に図７のステージの構成図を示す。図７に示すレーザ加工システム１１は、上述の回転部材に代えて、ステージ１２上の外側吸引孔２３の内側領域に内側吸引孔構造体５１を、その上面が当該ステージ１２表面上より例えば０．５ｍｍの高さとなるように設けたもので、ベルト搬送部１３，１４、レーザ照射手段１５、第１および第２の吸引機構１６，１７は上記同様であり、説明を省略する。この内側吸引孔構造体５１の側部断面が図８（Ａ）に示される。なお、図８（Ｂ）、（Ｃ）は内側吸引孔構造体５１における吸引孔の平面形状を示した平面図である。
【００３２】
図８（Ｂ）に示す内側吸引孔構造体５１は、略全面に平面円形孔５１Ａが規則的（不規則的でもよい）に所定数形成されたものであり、図８（Ｃ）に示す内側吸引孔構造体５１は、略全面を平面ハニカム構造としたハニカム孔５１Ｂが形成されたものである。
【００３３】
すなわち、ステージ１２上に平面円形孔５１Ａまたはハニカム孔５１Ｂが形成された内側吸引孔構造体５１を設け、第１の吸引機構１６により載置された用紙３１の内側領域を吸引固定し、外側吸引孔２３を介して第２の吸引機構１７により外周部分を吸引固定することにより、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙３１を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００３４】
次に、図９に、本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第４実施形態の構成図を示す。図９に示すステージ１２は、その表面上に上記同様の第２の吸引機構１７で吸引駆動される外側吸引孔２３が設けられると共に、当該外側吸引孔２３の内側領域であってレーザ照射範囲（３２）より大な台座枠５２が当該ステージ１２表面上より例えば０．５ｍｍの高さで設けられたものである。この台座枠５２の内側が内側吸引孔となり、第１の吸引機構１６により吸引駆動される。
【００３５】
すなわち、ステージ１２の表面上より高く設けられた台座枠５２上に用紙（３１）が載置され、第２の吸引機構１７の吸引駆動による外側吸引孔２３で用紙（３１）の周囲を吸引力１７Ａで吸引固定すると共に、上記台座枠５２で形成された内側吸引孔を第１の吸引機構１６の吸引駆動により当該用紙（３１）の内側領域を吸引力１６Ａで吸引固定することによっても、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙（３１）を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００３６】
次に、図１０に、本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第５実施形態の構成図を示す。図１０に示すステージ１２は、その表面上に上記同様の外側吸引孔２３が設けられると共に、当該外側吸引孔２３の内側領域であってレーザ照射範囲（３２）より大な台座板５３が当該ステージ１２表面上より例えば０．５ｍｍの高さで設けられたものである。すなわち、上述の内側吸引孔による吸引固定を行わずに、第２の吸引機構１７で吸引する外側吸引孔２３のみでステージ１２上の用紙（３１）を吸引固定させるものであり、これに伴って第１の吸引機構１６が省略される。
【００３７】
上記のようにステージ１２の表面上より高く設けられた台座板５３上に用紙（３１）が載置され、第２の吸引機構１７で吸引駆動させて外側吸引孔２３のみで吸引固定を行うものである。この場合、加工対象の用紙（３１）の堅さ（重量）に応じて吸引力１７Ａが調整されるものである。
【００３８】
このように外側吸引孔２３のみで加工対象の用紙（３１）を吸引固定することによっても、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙（３１）を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００３９】
次に、図１１に、本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第６実施形態の構成図を示す。本実施形態は、第１実施形態で示されたステージ１２に適用させた場合を示すが、上述の第２〜第５実施形態で示されたステージ１２に適用することができることはもちろんである。
【００４０】
図１１（Ａ）に示すレーザ加工システムにおけるステージ１２は、当該ステージ１２に載置される用紙（３１）の外周を吸引固定するための外側吸引孔２３が、用紙搬送方向の対向する側部でそれぞれ７個形成されたもので、この方向と垂直方向の対向する前後での孔形成を省略したものである。すなわち、加工対象の用紙（３１）の堅さ（重量）に応じて吸引力１７Ａを調整することにより、これら１４個の外側吸引孔２３のみであっても、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙（３１）を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００４１】
また、図１１（Ｂ）に示すレーザ加工システムにおけるステージ１２は、当該ステージ１２に載置される用紙（３１）の外周を吸引固定するための外側吸引孔２３が、用紙搬送方向と垂直方向の対向する前後でそれぞれ４個形成されたもので、この用紙搬送方向の対向する側部での孔形成を省略したものである。すなわち、加工対象の用紙（３１）の堅さ（重量）に応じて吸引力１７Ａを調整することにより、これら８個の外側吸引孔２３のみであっても、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙（３１）を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００４２】
また、図１１（Ｃ）に示すレーザ加工システムにおけるステージ１２は、当該ステージ１２に載置される用紙（３１）の外周を吸引固定するための外側吸引孔２３が、当該用紙（３１）の周囲四隅に対応する部分に対向させて４個形成させたもので、これ以外の用紙搬送方向の対向する側部およびこの方向の垂直方向の対向する前後での孔形成を省略したものである。すなわち、加工対象の用紙（３１）の堅さ（重量）に応じて吸引力１７Ａを調整することにより、これら４個の外側吸引孔２３のみであっても、上記同様に、外側吸引孔２３の内側領域に波打を生じさせることなく、ステージ１２上の用紙（３１）を平坦化させることができ、高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００４３】
ところで、上記第１〜第６実施形態では、ステージ１２上に用紙（被加工物）を載置させる際、ローラ２１，２１Ａ、コロ４１、台座枠５２および台座板５３を、その上面を当該ステージ１２表面より所定量高く設けた場合を示したが、加工対象の用紙（３１）の堅さ（重量）に応じて当該ステージ表面上と同一面としてもよく、外側吸引孔２３および／または内側吸引孔によって吸引固定することで、上記同様に、レーザ照射範囲３２で波打を生じさせないようにすることができ、ステージ１２上の用紙（３１）の平坦化による高精度のレーザ加工を行うことができるものである。
【００４４】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、搬送手段で搬送されてきた被加工物がステージに載置されたときに、外側吸引孔の内側で、上記被加工物の内側を当該外側吸引孔で吸引固定される周囲より高く載置させて当該外側吸引孔を介して当該被加工物の外周の所定部分を吸引手段により吸引固定させ、レーザ照射手段で所定のレーザ加工を行わせるようにすることにより、ステージ上の被加工物を平坦化させることができ、高精度なレーザ加工を行わせることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るレーザ加工システムの第１実施形態の構成図である。
【図２】図１のステージの構成図である。
【図３】図１におけるレーザ加工システムの加工時状態の説明図である。
【図４】本発明に係るレーザ加工システムの他の実施形態の構成図である。
【図５】本発明に係るレーザ加工システムの第２実施形態の構成図である。
【図６】図５のステージの構成図である。
【図７】本発明に係るレーザ加工システムの第３実施形態の構成図である。
【図８】図７のステージの構成図である。
【図９】本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第４実施形態の構成図である。
【図１０】本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第５実施形態の構成図である。
【図１１】本発明に係るレーザ加工システムにおけるステージの第６実施形態の構成図である。
【図１２】従来のレーザ加工システムにおけるステージ部分の説明図である。
【符号の説明】
１１                レーザ加工システム
１２                ステージ
１３，１４          ベルト搬送部
１５                レーザ照射手段
１６                第１の吸引機構
１７                第２の吸引機構
２１                ローラ
２２                開口部
２３                外側吸引孔
３１                用紙
３２                レーザ照射範囲
４１                コロ
４２                内側吸引孔
５１                内側吸引孔構造体
５２                台座枠
５３                台座板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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