(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、
該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、
該スイッチ本体部には、加工装置本体に形成された凹部内において横方向に突出させて配設した押しボタンを備え、
前記キー部には、弾性部材を介して姿勢変位可能に蓋体に取り付けられた作用部を備え、
前記蓋体を閉めることに伴い前記キー部の作用部が前記凹部内に入り該凹部の壁面に沿って下降することで前記キー部の角度が徐々に変位して前記押しボタンを横方向から押圧すること
を特徴とする加工装置のキースイッチ。
【請求項２】
加工装置は切削装置であり、作業領域は切削領域である請求項１に記載の加工装置のキースイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置等の加工装置に取り付けて使用されるものであり、該加工装置には作業領域（加工領域）と作業者との間を仕切る蓋体が設けられており、該蓋体が開状態の時は作業者の安全のために作業領域の稼働を停止させ、閉状態の時にのみ作業領域を稼働状態にする加工装置のキースイッチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、この種の蓋体が設けられている加工装置において、作業者が蓋体を開けて加工領域へアクセスできることは、即危険を意味するものであり、この危険を回避するために蓋体の開放時にオフし、閉状態の時にオンするキースイッチが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、蓋体の自由端部でスイッチ部材をオン・オフさせるようなスイッチ部材が露出した構成であると、蓋体を開いた状態で整備点検等の作業をしている時に、誤ってスイッチ部材を押圧することがあり、却って危険が伴うものである。また、スイッチ部材を上方から押圧する構成の場合は、蓋体の重さでスイッチ部材を押圧し続けることになるが、蓋体の開閉操作を容易にするため、及び蓋体の解放状態を安定して維持するために、蝶番部分に開方向に付勢するスプリング等が取り付けられており、スイッチ部材にも押しボタンがオフする方向（上方）に付勢されていることから、蓋体が常に押し上げられる方向の作用を受けており、加工装置自体が発生する振動等により、蓋体が不安定な状態になって、スイッチ部材のオン状態が維持できない場合もある。
【０００４】
そこで、スイッチ部材は、簡単には手で触れられない状態、例えば、適宜の凹部内に設けられ、そのスイッチ部材をオン・オフさせるキー部が蓋体に設けられることになるが、蓋体が蝶番等を介して開閉される構造の場合には、蓋体の自由端部が円弧状の軌跡を描いて開閉されるため、キー部を斜め方向から凹部内に挿入してスイッチ部材の押しボタンを横方向（押しボタン側から見ると正面）から押圧して作用させることが不可能な場合が生ずる。
【０００５】
このような場合に、例えば、複雑なリンク機構を用いることで、横方向から押圧することができるキースイッチにすることができるが、リンク機構を取り付けるための余分なスペースが必要であって装置として小型化できなくなると共に、大げさなキースイッチ装置が付加されることで装置全体の外観がスッキリしないこと、及びリンク機構を取り付ける分だけ製品のコストアップにつながるという問題点を有している。
【０００６】
従って、従来例のキースイッチにおいては、簡単な構成を維持しながら蓋体に対して余分な負荷を掛けず、且つ不注意に手で触れることをなくして、スイッチ部材を横方向（押しボタン側から見ると正面）から押圧できるようにすることに解決しなければならない課題を有している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記従来例の課題を解決する具体的手段として本発明は、加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、  該スイッチ本体部には、加工装置本体に形成された凹部内において横方向に突出させて配設した押しボタンを備え、前記キー部には、弾性部材を介して姿勢変位可能に蓋体に取り付けられた作用部を備え、前記蓋体を閉めることに伴い前記キー部の作用部が前記凹部内に入り該凹部の壁面に沿って下降することで前記キー部の角度が徐々に変位して前記押しボタンを横方向から押圧することを特徴とする加工装置のキースイッチを提供するものである。
【０００８】
また、本発明においては、加工装置は切削装置であり、作業領域は切削領域であること、を付加的な構成要件として含むものである。
【０００９】
本発明に係るキースイッチは、スイッチ本体部の押しボタンをオン・オフさせるキー部は弾性部材を介して蓋体に取り付けたものであって、そのキー部の姿勢が所定の角度範囲で変位できるので、スイッチ本体部の押しボタンを横方向に向けて、且つ指などが入らない凹部内に配設した場合でも、キー部の姿勢が変位することで、横方向から押しボタンを押圧させることができるのである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を図示の実施の形態により更に詳しく説明する。まず、キースイッチが適用される加工装置として例えば切削装置、即ち、ダイシング装置が挙げられる。この代表的なダイシング装置を図１に示してある。
【００１１】
一般的に、ダイシング装置１は、少なくとも半導体ウェーハ等の被加工物を吸着保持し、切削加工に供するための支持手段であるチャックテーブル２と、切削加工を遂行するための切削手段となるブレード３が装備されたスピンドルユニット４とを備えている。
【００１２】
また、ダイシング装置１には、被加工物を多数搭載したカセット５から、順序良く一枚づつ取り出すと共に元の位置に収納する搬出手段６と、その搬出手段６によって載置領域７まで搬出された被加工物をチャックテーブル２まで搬送する旋回アーム８と、加工済みの被加工物をチャックテーブル２から洗浄領域９まで搬送して洗浄に供する搬送アーム１０とを装備している。
【００１３】
そして、ダイシング装置１は、装置本体から延設した延設部１ａに撮影装置１１が設けられ、チャックテーブル２上に載置した被加工物を撮像し、パターンマッチングなどの画像処理によって切削すべき領域のアライメントが完了した後、被加工物をブレード３で切削加工するものである。
【００１４】
この切削加工において、図示していないがノズル等からなる切削液供給手段を介して被加工物の切削部位に所定の切削液（純水）を噴射供給しながら、ブレード３によって切削が遂行されており、ブレード３の周辺、即ち、切削領域に切削屑を含む切削液の飛沫が霧状に発生する。この飛沫が外部に飛散しないように、透明な樹脂製の保護カバー１２がダイシング装置１の上部に設けられている。
【００１５】
そして、この保護カバー１２において、切削領域Ａ、被加工物の支持領域Ｂ及び被加工物の出し入れ領域Ｃに開閉カバー１３、１４、１５がそれぞれヒンジ部材１３ａ、１４ａ、１５ａを介し、且つ把持部材１３ｂ、１４ｂ、１５ｂによって開閉できるように設けられている。なお、ダイシング装置１において、切削領域Ａ及び支持領域Ｂの前面側には操作パネル１６が配設されている。
【００１６】
また、切削領域Ａに設けられた開閉カバー１３の内側に、透明な樹脂板で形成された飛沫防止板１７がヒンジ部材１８を介して垂設され、その飛沫防止板１７の動きを規制またはガイドするために、帯板状のガイド板１９が切削領域Ａの壁面に配設されている。
【００１７】
飛沫防止板１７は、図２に示したように、自重で垂れ下がった状態に設けられており、開閉カバー１３の開閉に追従できるようになっている。そして、ガイド板１９は飛沫防止板１７の開閉に伴う移動をガイドするものであって、その上半部が上端に行くに従って内側に位置するように略「く」の字状に折り曲げて形成されている。このように形成することで、飛沫防止板１７を開閉カバー１３の円弧状の開閉に伴った動きに追従して無理なくガイドできる。
【００１８】
切削領域Ａにおいて、開閉カバー１３の内側に飛沫防止板１７が設けられていることにより、切削手段であるブレード３でウェーハをダイシングする際に、周囲に飛散する水滴（切削液）が飛沫防止板１７で受け止められ、開閉カバー１３の内側面には水滴がほとんど付着しないのである。
【００１９】
従って、切削領域Ａの開閉カバー１３は、被加工物の切削状態をチェックしたり或いはブレード３を交換する際等に、前面側から把持部材１３ｂを持ちヒンジ部材１３ａを軸にして上方に持ち上げるように回転させて開放した時に、自重で垂れ下がっている飛沫防止板１７は開閉カバー１３に追従して上方に引き上げられるが、飛沫防止板１７はガイド板１９によってガイドされるので、その下端部が不安定な状態でブラブラすることなく引き上げられ、ガイド板１９に付着している水滴は、切削領域Ａ内に確実に落下し、操作パネル１６や床面に落下することがなくなる。
【００２０】
特に、飛沫防止板１７が、単に垂下状態で取り付けられていると、その下端部がブラブラした不安定な状態にあって、開閉カバー１３の開閉時または外的要因によって揺れ動き、著しい時にはブレードにぶつかって破損させたり、または開閉カバー１３を閉じる際に飛沫防止板１７が内側に揺動して切削手段に引っ掛かり開閉カバー１３が閉じない等の不都合も生ずるが、ガイド板１９によってその動きが規制された状態になっているので、開閉カバー１３の開け閉めなどの外的要因等によってブラブラと揺れ動いたりすることが全くないのであり、安全性及び確実性が高いものとなっている。
【００２１】
このような構成の加工装置、即ちダイシング装置１において、切削領域Ａ、被加工物の支持領域Ｂ及び被加工物の出し入れ領域Ｃにそれぞれ設けられている開閉カバー１３、１４、１５は、所謂、作業領域と作業者との間を仕切る蓋体であって、特に、切削領域Ａにおいては、精密切削のためのブレード３が駆動している危険な領域であることから、その蓋体を構成するの開閉カバー１３の開閉位置には、キースイッチ２０が取り付けられる。
【００２２】
このキースイッチ２０は、スイッチ本体部２１とキー部２２とから構成されており、スイッチ本体部２１はダイシング装置１側に装備されており、該スイッチ本体部２１のオン・オフによってダイシング装置１の駆動が稼働状態または停止状態になる。
【００２３】
スイッチ本体部２１は、押しボタン２３が横方向（スイッチ本体から見ると正面側）に突出しており、その押しボタン２３が簡単には触れられないように、ダイシング装置１に設けた凹部２４内に収納され、押しボタン２３が凹部２４内の略中間部に突出した状態で装備される。
【００２４】
キー部２２は、蓋体、即ち開閉カバー１３側の端部に装備されるものであり、その具体的構成の一例を、図３〜４に示してある。
【００２５】
キー部２２は、板状の作用部２５と、その上部に略直角方向に折り曲げて形成されたヘッド部２６とから構成されており、該ヘッド部２６には複数の取付孔２７が形成されている。
【００２６】
そして、このキー部２２は蓋体に対して弾性部材２８を介して取り付けられるものであり、その弾性部材２８は、側面から見て略コ字状を呈しており、そのコ字状における各部は、実質的にベース部２９と、バネ作用部３０と、キー部２２の取付部３１とから構成されている。
【００２７】
ベース部２９は、蓋体に対して取り付けるための取付穴３２が形成されると共に、キー部２２の挿通と位置規制を行う窓穴３３が設けられており、該窓穴３３はバネ作用部３０まで延長して形成することで、バネ作用部３０における窓穴３３の両サイドの部分３０ａが効果的なバネ作用を発揮することになる。なお、図示の実施例では、窓穴３３がバネ作用部３０に僅かに入り込んでいるだけであるが、それを更に延長して中間部または取付部３１との境界部位近傍まで入り込ませて形成することができる。このように形成することで、バネ作用部３０の全体が更に効果的なバネ作用を発揮する。
【００２８】
取付部３１は、バネ作用部３０から上方に僅かに傾斜した状態で連接されており、キー部２２のヘッド部２６を取り付けるためのビス穴３４が設けられ、該ビス穴３４はヘッド部２６に設けた取付孔２７に対応するものである。
【００２９】
そして、キー部２２を窓穴３３に挿通し、ヘッド部２６を取付部３１の下面側に当接させ、ビス３５及び力板またはナット３６等の取付部材により取り付けることで、図４に示したように、キー部２２が窓穴３３を通して傾斜した状態で取り付けられることになる。なお、取付部３１に対するキー部２２の取り付けは、前記のような取付部材を使用しないで、例えば溶接手段等によっても良い。
【００３０】
このようにキー部２２が、バネ部材または弾性部材２８に取り付けられることで、キー部２２は窓穴３３の前面側の端縁３３ａに当接して傾斜状態が略一定に維持されることになり、作用部２５の自由端縁が略一定の位置関係を維持することになる。なお、図示したバネ部材または弾性部材２８の構成形状は、一例であってこれに限定されるものではない。要するに、キー部２２が弾性的に支持されてその作用部２５が所定の方向に変位できれば良いのである。
【００３１】
キー部２２が取り付けられた弾性部材２８は、蓋体である開閉カバー１３に取り付けられるものであるが、その開閉カバー１３の取付位置には、図５に示したように、所定の突出部３７が設けられており、該突出部３７に突起または穴等の取付手段３８が設けられ、弾性部材２８のベース部２９が取付孔３２を介して加締めまたはビス等の適宜の手段により一体的に取り付けられ、実質的にキー部２２が弾性部材２８を介して蓋体に装備されることになる。
【００３２】
そして、蓋体、即ち開閉カバー１３は、図２に示したように、ヒンジ部材１３ａを軸にして上方に持ち上げるように回転させて開放するものであるから、閉動作においては、キー部２２が装備されている自由端部は、加工装置における前面側で、下方向および背面方向に作用または移動する状態になる。
【００３３】
そこで、図６を用いてキースイッチの動作を説明する。開閉カバー１３を開けた状態においては、当然のこととしてスイッチ本体部２１の押しボタン２３は何等の作用も受けていないので、突出した状態にあってスイッチ本体部２１はオフ状態にあり、加工装置の駆動が停止されているので作業者が加工領域または作業領域に安全にアクセスできる。
【００３４】
開閉カバー１３を閉めるように自由端部側を下降させると、仮想線で示したように、完全に閉まる直前に、キー部２２の作用端２５が凹部２４内に入り、その作用端２５が凹部２４の壁面に沿って下降することで、キー部２２の角度が徐々に垂直状態に変位する。
【００３５】
この場合に、キー部２２は弾性部材２８に取り付けられていることから、凹部２４の内壁面に沿って変位し易く、その変位はバネ作用部３０がベース部２９に対して徐々に傾倒することで遂行される。そして、傾倒による変位でキー部２２が略垂直状態になり、凹部２４内にあるスイッチ本体部２１の押しボタン２３を横方向から無理なく押圧して、仮想線で示したように、押しボタン２３を後退させスイッチをオンにして、加工装置の駆動が可能になるのである。
【００３６】
また、凹部２４の形状に関して、一般的には縦長の箱形状に形成してあれば足りるが、好ましくは、キー部２２の作用端２５が接触する壁面の下部側にテーパー面を形成するかまたは曲面２４ａを形成して全体を狭くすることで、挿着されるキー部２２の作用端２５をスイッチ本体部２１側に近づけて垂直度を維持し、押しボタン２３の押圧を確実にすることができる。
【００３７】
いづれにしても、キースイッチは、そのスイッチ本体部が加工装置側の凹部内に取り付けられ、しかもその押しボタンが安全性を考慮して横方向に突出していることから、蓋体に設けられたキー部が押しボタンを横方向から押圧しなければならないのであり、特に、蓋体の閉まる方向が加工装置の前面側から見て、下方向及び背面方向であるにも拘わらず、キー部は弾性部材を介して取り付けられていることから逆に背面側への傾斜から前面側への垂直状態にその姿勢が変位し、その姿勢の変位によって所謂、押しボタンを横方向から押圧するようになるのである。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る加工装置のキースイッチは、加工装置における作業領域と作業者との間を仕切り、蝶番を介して開状態と閉状態とに位置づけられる蓋体を有し、該蓋体が開状態の時に作業領域の稼働を停止し、蓋体が閉状態の時に作業領域を稼働状態にするキースイッチであって、該キースイッチは蓋体側に取り付けられたキー部と、加工装置本体側に取り付けられたスイッチ本体部とからなり、前記キー部は、弾性部材を介して蓋体に取り付けられている構成にしたことにより、キー部の姿勢が弾性部材によって姿勢の変位が可能になり、スイッチ本体部の取付状態に対応して姿勢変位することで、スイッチ本体部の押しボタンを横方向から押圧してスイッチのオン・オフを行なわせることができ、簡単な構成でありながら確実なスイッチ操作が可能になると共に、押しボタンが簡単には触れることができない状態及び位置にスイッチ本体部を配設できるので、蓋体を開状態にしたときに、作業者が作業領域に安全にアクセスでき、安心して作業が遂行できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る加工装置を示す斜視図である。
【図２】同加工装置において、蓋体である開閉カバーの開閉状況を説明するための略示的側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るキースイッチを構成するキー部と弾性部材とを分解して示した斜視図である。
【図４】同キー部を弾性部材に取り付けた状態を示す斜視図である。
【図５】同弾性部材が取り付けられる蓋体の取付部位の一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るキースイッチの動作状態を説明するための要部のみの略示的側面図である。
【符号の説明】
１……ダイシング装置、  １ａ……延設部、  ２……チャックテーブル、
３……ブレード、  ４……スピンドルユニット、  ５……カセット、
６……搬出手段、  ７……載置領域、  ８……旋回アーム、  ９……洗浄領域、
１０……搬送アーム、  １１……撮像装置、  １２……保護カバー、
１３、１４、１５……開閉カバー（蓋体）、
１３ａ、１４ａ、１５ａ……ヒンジ部材、
１３ｂ、１４ｂ、１５ｂ……把持部材、  １６……操作パネル、
１７……飛沫防止板、  １８……ヒンジ部材、  １９……ガイド部材、
２０……キースイッチ、  ２１……スイッチ本体部、  ２２……キー部、
２３……押しボタン、  ２４……凹部、  ２４ａ……テーパー面または曲面、
２５……作用端、  ２６……ヘッド部、  ２７……取付孔、
２８……弾性部材、  ２９……ベース部、  ３０……バネ作用部、
３０ａ……両サイドの部分、  ３１……取付部、 ３２……取付穴、
３３……窓穴、  ３３ａ……縁部、  Ａ……切削領域、  Ｂ……支持領域、
Ｃ……被加工物の出し入れ領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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