(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム供給ロールに巻装されている連続フィルムの先端部を、フィルム張出装置のスイングロールを経て、フィルム吸着手段を備えた仮付部材により吸着して、搬送手段により搬送されてくる基板の先端に導き、前記仮付部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーティングロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記フィルム張出装置は、前記ラミネーティングロールと平行な揺動軸を中心として揺動自在に支持されたフィルム幅方向一対の揺動レバーと、この揺動レバーの先端近傍に、軸方向両端が回転自在に支持された前記スイングロールと、このスイングロールが前記ラミネーティングロールから離間する方向に揺動するように、前記揺動レバーを付勢するばねと、を有してなるフィルム張付装置において、
前記揺動軸を、フィルム幅方向に分離され、各々が１本の揺動レバーを揺動自在に支持する一対の分離揺動軸とすると共に、前記スイングロールの軸方向両端と、これを支持する一対の揺動レバーとの間にスイングロール軸方向のあそびを設けることにより、前記揺動レバー及びスイングロールからなるリンク機構を、前記スイングロールの中心軸線が一定範囲内で、前記ラミネーティングロールに対して傾斜自在な柔構造とし、前記一対の揺動レバーの各々の先端近傍に、前記スイングロールがラミネーティングロール方向に揺動したとき、揺動レバーの先端近傍に当接して、その揺動を規制すると共に、揺動レバー方向の突出量を、スイングロールの軸方向両端位置で各々独立して調節可能な一対のストッパ装置を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項２】
請求項１において、前記ストッパ装置は、前記仮付部材によるフィルム仮付時に、前記揺動レバーの先端近傍に当接する仮付時ストッパと、前記ラミネーティングロールによりフィルムを基板に圧着する時に、前記揺動レバーの先端近傍に当接する本付時ストッパと、を有してなり、これら仮付時ストッパと本付時ストッパのうち、揺動レバーの揺動時に、より小さい揺動角度でこれに当接する一方を、揺動レバーから離間する方向に引き込み自在としたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項３】
請求項２において、前記引き込み自在のストッパは、エアシリンダ装置のピストンロッド先端に、突出量調節自在に取り付けられたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記ストッパ装置は、前記揺動レバーの、前記ラミネーティングロール側に隣接して配置された支持バーを有し、前記引き込み自在のストッパは、前記支持バーに形成された貫通孔を通って揺動レバー方向に突出して配置され、他のストッパは、前記支持バーに突出量調節自在に取り付けられたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項５】
請求項４において、前記支持バーは、前記揺動レバーに隣接して、前記分離揺動軸を越えて揺動レバーの他端側に延在して配置され、この他端側部分に前記揺動レバーに当接して、この揺動レバーの前記ばねによる引張り方向の一定角度以上の揺動を規制する上限ストッパを、突出量調節自在に支持することを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用の基板、液晶表示パネルの基板、プラズマディスプレイパネル用基板等に例示される基板の表面にフィルムを張り付けるためのフィルム張付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造工程において、プリント配線用基板の表面に積層体フィルムを張り付ける工程がある。
【０００３】
このような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに巻装されている連続フィルムの先端部を、フィルム張出装置のスイングロールを経て、フィルム吸着手段を備えた仮付部材により吸着して、搬送手段により搬送されてくる基板の先端に導き、前記仮付部材におけるフィルム幅方向に長い細幅の先端により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーティングロールにより、フィルムを基板に圧着しつつ基板を搬送するようにしたものである。
【０００４】
前記スイングロールは、ばねによりフィルムを引張って、前記仮付部材の先端による仮付時に該先端との間でフィルムに一定の張力を与え、又、ラミネーティングロールによる張付（本付け）時には、ラミネーティングロールとの間でフィルムに一定の張力を付与するために設けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記スイングロールは、前記仮付部材によるフィルム仮付時及びラミネーティングロールによるフィルム本付時のいずれの場合にも、フィルムにしわが発生しないように、仮付部材の先端及びラミネーティングロールと平行に配置しなければならないが、スイングロール、仮付部材の先端、及び、ラミネーティングロールの三者間の平行度を同時に出すことが困難であり、特に、幅が８００ｍｍ以上のプラズマディスプレイパネル用基板にフィルムを張り付ける場合のように、各部材が長大スパンとなるとき、その平行度を出すのは非常に困難である。
【０００６】
更に、スイングアームの平行度を出すとき、その両端を支持するレバーの剛性を高める必要があり、そのためにスイングロールと平行に、左右のレバーを連結するバーを取り付けることも考えられるが、このバーがレバーの揺動時にフィルムと干渉してしまうという問題点がある。
【０００７】
又、前述のように、長大スパンのスイングロールの場合、これを支持するレバーの剛性を増大させても、捩じれの発生を抑制できないという問題点がある。
【０００８】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、仮付部材によるフィルムの仮付時及びラミネーティングロールによるフィルムの本付時のいずれの場合にも、スイングロールの支持機構の剛性を増大することなく、フィルムにしわが発生することを確実に防止できるフィルム張付装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項１のように、フィルム供給ロールに巻装されている連続フィルムの先端部を、フィルム張出装置のスイングロールを経て、フィルム吸着手段を備えた仮付部材により吸着して、搬送手段により搬送されてくる基板の先端に導き、前記仮付部材により該基板の先端に仮付けした後、ラミネーティングロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされ、前記フィルム張出装置は、前記ラミネーティングロールと平行な揺動軸を中心として揺動自在に支持されたフィルム幅方向一対の揺動レバーと、この揺動レバーの先端近傍に、軸方向両端が回転自在に支持された前記スイングロールと、このスイングロールが前記ラミネーティングロールから離間する方向に揺動するように、前記揺動レバーを付勢するばねと、を有してなるフィルム張付装置において、前記揺動軸を、フィルム幅方向に分離され、各々が１本の揺動レバーを揺動自在に支持する一対の分離揺動軸とすると共に、前記スイングロールの軸方向両端と、これを支持する一対の揺動レバーとの間にスイングロール軸方向のあそびを設けることにより、前記揺動レバー及びスイングロールからなるリンク機構を、前記スイングロールの中心軸線が一定範囲内で、前記ラミネーティングロールに対して傾斜自在な柔構造とし、前記一対の揺動レバーの各々の先端近傍に、前記スイングロールがラミネーティングロール方向に揺動したとき、揺動レバーの先端近傍に当接して、その揺動を規制すると共に、揺動レバー方向の突出量を、スイングロールの軸方向両端位置で各々独立して調節可能な一対のストッパ装置を設けることにより、上記目的を達成するものである。
【００１０】
前記フィルム張付装置において、前記ストッパ装置は、前記仮付部材によるフィルム仮付時に、前記揺動レバーの先端近傍に当接する仮付時ストッパと、前記ラミネーティングロールによりフィルムを基板に圧着する時に、前記揺動レバーの先端近傍に当接する本付時ストッパと、を有してなり、これら仮付時ストッパと本付時ストッパのうち、揺動レバーの揺動時に、より小さい揺動角度でこれに当接する一方を、揺動レバーから離間する方向に引き込み自在としてもよい。
【００１１】
又、前記フィルム張付装置において、前記引き込み自在のストッパは、エアシリンダ装置のピストンロッド先端に、突出量調節自在に取り付けるようにしてもよい。
【００１２】
更に又、前記フィルム張付装置におけるストッパ装置は、前記揺動レバーの、前記ラミネーティングロール側に隣接して配置された支持バーを有し、前記引き込み自在のストッパは、前記支持バーに形成された貫通孔を通って揺動レバー方向に突出して配置され、他のストッパは、前記支持バーに突出量調節自在に取り付けられるようにしてもよい。
【００１３】
又、前記フィルム張付装置における支持バーは、前記分離揺動レバーに隣接して、前記揺動軸を越えて揺動レバーの他端側に延在して配置され、この他端側部分に前記揺動レバーに当接して、この揺動レバーの前記ばねによる引張り方向の一定角度以上の揺動を規制する上限ストッパを、突出量調節自在に支持するようにしてもよい。
【００１４】
この発明においては、スイングロールの支持機構を、スイングロールの中心軸線がラミネーティングロールに対して傾斜自在となるような柔構造とし、その傾斜角度をスイングロールを支持する揺動レバーが当接するストッパ装置によって調整しているので、スイングロールの支持機構の剛性、重量を増大させたりすることなく、確実にスイングロールをラミネーティングロール及び仮付部材の先端と平行にすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して説明する。
【００１６】
まず本発明に係るフィルム張付装置１０の概略構成を図１を参照して説明する。
【００１７】
このフィルム張付装置１０によって使用されるフィルム１２は、図２に示されるように、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム１２Ｃが積層された３層構造であり、フィルム供給ロール１４に連続的に巻回されている。
【００１８】
フィルム供給ロール１４から巻き出されたフィルム１２は、ガイドロール１５を経てからフィルム分離部材１６によりカバーフィルム１２Ｃが剥がされて、感光性樹脂層１２Ｂの接着面が露出された状態となり、スイングロール１８を経て仮付部材２０の一部を構成するメインバキュームプレート２２に供給されるようになっている。前記剥離されたカバーフィルム１２Ｃは、巻取りロール２３により巻き取られるように構成されている。
【００１９】
前記フィルム供給ロール１４、フィルム分離部材１６、スイングロール１８、仮付部材２０、巻取りロール２３等は、基板搬送面Ｉ−Ｉの、図１において上側及び下側に、上下対称に設けられていて（下側は図示省略）、フィルム１２が、上下の仮付部材２０により仮付けされてから、上下一対のラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂにより基板２６の表面（上図）及び裏面（下面）に張付けられるようにされている。なお、以下は、特に指定がない限り、上側の装置についてのみ説明し、下側の装置の説明に代えるものとする。
【００２０】
前記メインバキュームプレート２２は、図３に示されるように、負圧が印加される多数の吸着溝２２Ａ及び吸引孔（図示省略）が表面に設けられ、カバーフィルム１２Ｃが剥されたフィルム１２（以下特に指定しなければフィルム１３とする）を吸着できるようにされ、且つ、図において上下方向のガイドレール２８に摺動自在に支持され、エアシリンダ、サーボモータ等の駆動装置３０によってガイドレール２８に沿って、フィルム張付位置に近接し、且つ、離反、即ち基板搬送面Ｉ−Ｉに対して近接、離反することができるようにされている。
【００２１】
又、前記メインバキュームプレート２２の基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプレート２２の表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィルム吸着溝（図示省略）が形成されたフィルム仮付部材本体２１が連結されている。このフィルム仮付部材本体２１のフィルム送り方向の先端部は、断面が変台形状のゴム（シリコーンゴムを含む）、発泡あるいは非発泡ポリウレタン樹脂等の弾性変形可能な材料により構成されている。
【００２２】
前記仮付部材２０は、前記基板搬送面Ｉ−Ｉ上の基板２６の上面に、その先端が接触する位置から、図１、図４において実線で示される待機位置との間で移動可能とされているが、この待機位置と前記基板搬送面Ｉ−Ｉとの間には、フィルム１３の送り面に沿って、仮付部材２０側から先端巻付用フィルム保持部材３４及びロータリーカッター３６がこの順で配置されている。
【００２３】
前記ロータリーカッター３６は、前記フィルム供給ロール１４から巻き出され、且つカバーフィルム１２Ｃが剥がされたフィルム１２の先端を切り揃えて、該先端が基板２６の先端縁と平行になるようにすると共に、フィルム１３を順次基板２６に対応した長さに切断していくようにされている。
【００２４】
又、前記先端巻付用フィルム保持部材３４は、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時に、図４において左方向に前進して、先端がフィルム通過面に到達し、切断後は後退して仮付部材２０と干渉しない待機位置となるようにされ、又、そのフィルム通過面側の端面には、負圧が印加される吸着溝及び吸引孔（共に図示省略）が設けられていて、該端面にフィルム１３の先端を吸着することができるようにされ、ロータリーカッター３６によるフィルム切断時にフィルム１２を吸着保持すると共に切り揃えられたフィルム１２の先端部を吸着し、これを図１において右方向に引張ることによって、仮付部材２０の仮付部材本体２１に巻付け、且つその先端部におけるフィルム吸着溝によって、仮付部材本体２１にフィルム先端部を吸着させるものである。
【００２５】
図３、４の符号２１Ａは、仮付部材本体２１に設けられ、前記先端巻付用フィルム保持部材３４がフィルム１３に向かって前進、後退するとき、その上面に転接することによって仮付部材本体２１と先端巻付用フィルム保持部材３４との距離を一定に維持するためのローラを示す。
【００２６】
前記ロータリーカッター３６は、フィルム通過面と平行で、且つフィルム１３の幅方向に配置された略直線状の固定刃３６Ａと、回転中心軸線が固定刃３６Ａと略平行に配置された部材（円柱又は円筒）の円筒状外周に切刃を螺旋状に巻付けた構造の回転刃３６Ｂとから構成され、固定刃３６Ａに対して、回転刃３６Ｂがフィルム通過面上で接触しつつ回転することによって、該フィルム通過面上のフィルム１３をその位置で幅方向に切断するものである。
【００２７】
ここで、前記固定刃３６Ａは、回転刃３６Ｂに対してフィルム通過面と直交する方向に進退自在とされ、フィルム供給ロール１４から巻き出され、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１２を切断するときのみ回転刃３６Ｂと接触する位置にまで前進し、常態では、回転刃３６Ｂから離間する退避位置となるようにされている（駆動機構図示省略）。
【００２８】
図４の符号４０は基板搬送機構における駆動用ローラ、４２は同従動用ローラ、４４は基板押え部材、４６は基板先端位置検出光センサをそれぞれ示す。
【００２９】
前記基板押え部材４４は、基板押えローラ４４Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂとから構成されている。
【００３０】
前記ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ、駆動用ローラ４０、基板押え部材４４及び基板先端位置検出光センサ４６の相互関係は次の如くである。
【００３１】
基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた前記基板先端位置検出光センサ４６により、図４において左から右方向に搬送されてくる先頭の基板２６の先端が検知され、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板２６が搬送されると、駆動用ローラ４０の回転が停止される。これと同時に前記基板押え部材４４により基板２６を押えるように、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂにより、基板押えローラ４４Ａが駆動される。
【００３２】
前記基板押えローラ４４Ａにより、基板２６の動きが確実に停止され、仮付部材２０の先端部であるフィルム仮付部材本体２１が基板２６に当接しても、該基板２６が動かず、フィルム１３に仮付けが確実に行われる。
【００３３】
前記基板押えローラ４４Ａによる基板２６の押えは、通常は、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂが基板２６に当接するまで行われ、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂの当接タイミングと同調して、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除作動される。
【００３４】
前記スイングロール１８は、フィルム張出装置５２の一部を構成し、フィルム供給ロール１４と前記仮付部材２０又はラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂとの間でフィルム１３の張力を制御するようにされている。
【００３５】
このフィルム張出装置５２は、図５、図６に示されるように（図５は図６における半分のみを示す）、前記ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂと平行な同一軸線上にある一対の分離揺動軸５４Ａ、５４Ｂ（図６参照）を中心として鉛直面内で揺動自在に支持されたフィルム幅方向一対の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂと、この揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの先端（図５において左端）に軸方向両端が回転自在に支持された前記スイングロール１８と、このスイングロール１８が前記ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂから離間する方向に揺動するように、前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの他端を付勢するばね５８、５８と、を含んで構成されている。
【００３６】
前記一対の分離揺動軸５４Ａ、５４Ｂがフィルム幅方向に分離され、各々が１本の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂを支持すると共に、前記スイングロール１８の軸方向両端とこれを支持する前記一対の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂとの間にスイングロール軸方向のあそびを設けることにより、前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂ及びスイングロール１８からなるリンク機構６０は、前記スイングロール１８の中心軸線が一定範囲内で、前記ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂに対して傾斜自在な柔構造とされている。
【００３７】
前記一対の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの各々の先端近傍には、スイングロール１８がラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ方向に揺動したとき、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの先端に当接して、その揺動を規制するストッパ装置６２Ａ、６２Ｂがフィルム幅方向に左右対称に設けられている。
【００３８】
前記ストッパ装置６２Ａは、仮付時ストッパ６３Ａ及び本付時ストッパ６４Ａを、又、ストッパ装置６２Ｂは仮付時ストッパ６３Ｂ及び本付時ストッパ６４Ｂをそれぞれ備えている。
【００３９】
図６に示されるように、前記一対の分離揺動軸５４Ａ、５４Ｂは、前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂを軸受５７Ａを介して装置フレーム（図示省略）と一体の一対の支持柱５７に揺動自在に固定されている。
【００４０】
前記本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂは、前記フィルム幅方向に一対の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの下側位置で、前記一対の支持柱５７に各々固定された支持バー６６、６６に取り付けられている。
【００４１】
図１、図５に示されるように、支持バー６６は上方に凸に折れ曲がった形状であり、前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂがラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ方向に一定角度以上揺動したとき当接し、又、逆方向に一定角度以上揺動したとき、その他端側が支持バー６６の反対側の端部近傍に設けられた上限ストッパ７０に当接するようにされている。
【００４２】
前記本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂは、支持バー６６の先端（図５において左端）に、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ側から螺合してその先端の突出量調節自在とされたボルト状部材から構成されている。
【００４３】
又、前記仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂは、前記支持バー６６の、前記本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂの、支持柱５７側に隣接して形成された貫通孔６７を、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ側から貫通して配置されたボルト状部材であって、エアシリンダ６８の作動ロッド６８Ａにねじ込み固定されていて、作動ロッド６８Ａへのねじ込み量によって、前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂ方向への突出量が調節されるようになっている。
【００４４】
図の符号６３Ｃは仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂの、作動ロッド６８Ａに対する位置を固定するためのロックナット、又符号６４Ｃは本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂの、支持バー６６に対する位置を固定するためのロックナットをそれぞれ示す。
【００４５】
又、前記上限ストッパ７０は、前記支持バー６６の、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂと反対側の端部に螺合して取り付けられたボルト状部材であって、その支持バー６６へのねじ込み量を調節することによって、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの後端側への当接点が調節されるようになっている。
【００４６】
この当接によってスイングロール１８の、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂから離間する方向への揺動角度が規制され、スイングロール１８にフィルム１２が巻き掛けられていないとき等に、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂがばね５８によって大きく揺動され、前記フィルム分離部材１６等に衝突することが防止される。この上限ストッパ７０の支持バー６６へのねじ込み量は、ロックナット７０Ａの締付けによって固定されるようになっている。
【００４７】
前記スイングロール１８は、図６に拡大して示されるように、フィルム幅方向一対の揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの先端をフィルム幅方向に貫通する軸１８Ａにより、軸受１８Ｂを介して回転自在に支持されている。このスイングロール１８の長手方向両端と前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂとの間にはカラー１８Ｃが嵌装され、このカラー１８Ｃと前記揺動レバー５６Ａ、５６Ｂ及びスイングロール１８の軸方向両端との間に隙間１９が形成されるようになっている。
【００４８】
又、前記ばね５８の引張力は、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂによるフィルム１２の基板２６への圧着が行われている状態（本付状態）では、該ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂの引張力によって、スイングロール１８が揺動レバー５６Ａ、５６Ｂを介して本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂに押し付けられ、又、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂによるフィルム圧着がなされていない状態では、フィルム１２に緩みがある時にこれを図１、図５において上方に張出すように、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂを時計方向に付勢できる程度とされている。
【００４９】
前記フィルム張出装置５２における一方の揺動レバー５６Ａの、スイングロール１８と反対側の他端位置には、図１に示されるように揺動レバー５６Ａが本付時ストッパ６４Ａに当接した時にこれを検出するためのフィルム戻りセンサ７１が設けられている。
【００５０】
このフィルム戻りセンサ７１は、揺動レバー５６Ａが本付時ストッパ６４Ａに反時計方向に当接した時の他端により光路が遮断される光センサである。
【００５１】
図４の符号Ｓ１は幅寄せ開始位置センサ、Ｓ２は基板後端検出センサ、Ｓ３は基板通過検出センサ、７２は前記先端巻付け用フィルム保持部材３４に対して、フィルム１３の経路を間に反対側に配置され、且つ、仮付部材本体２１方向に圧縮空気流を吹き付けるためのエアーブロー管をそれぞれ示す。
【００５２】
又、図４の符号７４は、ロータリーカッター３６の下流側に近接して配置されたフィルムガイドロール、７６はエアーブロー管をそれぞれ示す。なお、前記フィルムガイドロール７４は、前記先端巻付用フィルム保持部材３４及び固定３６と共に同一部材（図示省略）に支持され、同期してフィルム通過面に対して進退し、且つ、仮付部材２０の下降時には図４において右方向に退避するようにされている。
【００５３】
前記エアーブロー管７６はラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ側に設けられたフィルム後端用の吸着バー７８方向に圧縮空気を噴出して、ロータリーカッター３６により切断されたフィルム１３の後端を吸着バー７８方向になびかせるものである。吸着レバー７８の動作タイミング等は特開平５−１６９５４８号公報に開示されるものと同様である。
【００５４】
図４の符号８０は、下側のラミネーティングロール２４Ｂとその直前の駆動用ローラ４０との間で、基板搬送面Ｉ−Ｉの下側に接近して配置された一対のフリーローラを示す。このフリーローラ８０は、基板先端位置検出光センサ４６が基板２６の先端を検出したとき、エアシリンダ（図示省略）により基板送り方向に移動され、基板２６の先端をラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂ間に導くようにされている。又基板２６へのフィルム張付けが終了したとき原位置に復帰される。この動作タイミング等は特公平３−２７３３４号公報に開示されるものと同様である。
【００５５】
次に前記フィルム張付装置の制御系の信号経路を、図７を参照して説明する。
【００５６】
この制御系においては、各センサ４６、７１、Ｓ１〜Ｓ３と共に、各シリンダ前・後端の検出センサ（図示省略）はフィルム巻径の各センサに従って、制御装置５０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を出力するようになっている。又、カウンタやタイマの機能も有している。
【００５７】
この制御装置５０は、所定の手順に従って前記フィルム張付装置１０を制御するように構成されている。この制御装置５０は、例えばプログラマブルコントロールやリレーシーケンス回路により構成することができる。
【００５８】
次に上記フィルム張付装置１０の作用について説明する。
【００５９】
まず、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂは図４の実線に示される退避位置、先端巻付用フィルム保持部材３４はその先端面がフィルム通過面上の位置、ロータリーカッター３６の回転刃３６Ｂがフィルム通過面から離間した位置にそれぞれセットし、フィルム１２を供給ローラ１４から引き出し、先端からカバーフィルム１２Ｃを剥離して、巻き取りロール２３に巻き取らせつつ、フィルム１３を、仮付部材２０及び先端巻付用フィルム保持部材３４の図において左側のフィルム通過面に沿って引き下げ、且つロータリーカッター３６の固定刃３６Ａと回転刃３６Ｂの間を通す。
【００６０】
次に、負圧が印加されている仮付部材２０によりフィルム１３を吸着すると共に、既にフィルム通過面位置まで前進され、且つ、負圧が印加されている先端巻付用フィルム保持部材３４によりフィルム１３を吸着する。
【００６１】
この状態で回転刃３６Ａをフィルム通過面まで前進させてから回転させることにより、フィルム通過面上でフィルム１３を切断して、その先端を切り揃える。ロータリーカッター３６よりも先端側の切断されたフィルム１３は廃棄する。
【００６２】
次に、先端巻付用フィルム保持部材３４は、その先端面にフィルム１３の先端部を吸着したまま図４において右方向に移動させ、先端巻付用フィルム保持部材３４と共に同一部材に支持される固定刃３６Ａを回転刃３６Ｂから離間させる。
【００６３】
このとき、仮付部材本体２１の先端部におけるフィルム吸着溝には予め負圧を印加しておき、先端巻付用フィルム保持部材３４が図において右方向に移動すると、吸着されているフィルム１３の先端部が、仮付部材本体２１における先端部に沿って巻き付けられ、そのフィルム吸着溝、吸引孔の負圧により吸着され、先端巻付用フィルム保持部材３４から離間する。
【００６４】
フィルム１３の先端部が仮付部材本体２１における先端部に巻き付けられる際に、前記エアーブロー管７２から吹き出された圧縮空気流がフィルム１３の先端を前記先端部方向に吹き付けるので、先端巻付け用フィルム保持部材３４から離間したフィルム先端部は、垂れ下ったり、折れ曲ったりすることなく、確実に仮付部材本体２１の先端部に吸着されることになる。
【００６５】
前記基板２６は、基板搬送機構により搬送され、仮付位置で駆動用ローラ４０の回転が停止されることによって停止される。
【００６６】
次に、仮付部材本体２１の先端部にフィルム１３の先端部を吸着したまま、駆動装置３０により、仮付部材２０をガイドレール２８に沿って、その先端部がフィルム１２の先端部を介して仮付け位置に停止している先頭の基板２６の先端位置上面に当接するまで降下させる。又、これと同期して下側の仮付部材２０も上昇される。
【００６７】
これにより、先頭の基板２６の先端表面及び裏面にフィルム１３の先端部を仮付けし、しかる後、仮付部材２０は、仮付部材本体２１を含み負圧が解除される。
【００６８】
前記仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂ及び本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂは、共にその揺動レバー５６Ａ、５６Ｂ方向への突出量を予め小さくしておく。
【００６９】
次に、前記仮付部材２０の負圧が解除されたとき、前記仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂを、エアシリンダ６８によって突出させ、且つこの突出状態で、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂの、エアシリンダ６８における作動ロッド６８Ａへのねじ込み量を調節し、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂを押して、これら揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの先端に支持された前記スイングロール１８の、前記仮付けされたフィルム１２の先端部からの距離を、該フィルム１３にしわが発生しない状態となるまで調整する。
【００７０】
スイングロール１８によってフィルム１３が適当な張力で引張られ、且つしわが発生しない状態となったとき、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂをロックナット６３Ｃによって、その突出量を固定する。
【００７１】
このとき、スイングロール１８の長手方向両端における仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂの突出量が異なり、従って、スイングロール１８が分離揺動軸５４Ａ、５４Ｂを通る直線に対してねじれ状態となることもあるが、スイングロール１８は揺動レバー５６Ａ、５６Ｂと共に分離揺動軸５４Ａ、５４Ｂを中心とした柔構造のリンク機構６０を構成しているので、スイングロール１８のねじれも許容される。
【００７２】
この状態でロックナット６３Ｃによる仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂのセッティングが終了した後は、エアシリンダ６８によって仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂを引き込み、同時に仮付部材２０を上昇させ、仮付部材本体２１の先端をフィルム１３の先端部から離間させる。これにより、フィルム１３の仮付設定が終了する。
【００７３】
フィルム１３を仮付けした状態の先端部２６Ａに対して、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂは図４の実線位置から二点鎖線の位置にまで駆動され、フィルム１３の先端を基板２６に押し付ける。なお、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂは、図４の実線で示される待機中及び２点鎖線で示される圧着中、常時その回転が維持されている。
【００７４】
次に、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂと基板２６との間に先端が挟み込まれた状態のフィルム１３に対して、前記本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂを突出させ、その支持バー６６に対するねじ込み量を調整することによって突出させ、スイングロール１８がフィルム１３を引張るようにする。
【００７５】
フィルム１３が、スイングロール１８によってラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂとの間でしわがなく、且つ最適な張力で張られたとき、ロックナット６４Ｃにより本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂを固定する。
【００７６】
前述の様に、スイングロール１８は柔構造のリンク機構６０の一部を構成しているので、本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂのフィルム幅方向の突出量が相違しても、これを吸収するようにねじれることができる。
【００７７】
なお、この本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂのセット状態での突出量は、エアシリンダ６８によって突出された仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂのセット状態におけるスイングロール１８の位置が、本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂに揺動レバー５６Ａ、５６Ｂが当接しているときよりもラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂから離間するようにしておく。
【００７８】
この状態で、前記基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除される。次に、ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂは基板２６の搬送装置の駆動用ローラ４０と同期して、該基板２６を図１の左側から右方向に駆動するよう回転され、回転しつつフィルム１３を基板２６の両面に圧着する。
【００７９】
ここで、上記のように、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂ及び本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂの調整に用いた結果、フィルム１３及び基板２６が不良品となるようなものであれば、基板ストッパ装置調整用の基板はダミーを用いてもよい。又、その際のフィルム１３は廃棄する。
【００８０】
ラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂを常時回転状態とし、間欠的に搬送されてくる基板２６に、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１３が、ロータリーカッター３６により上記のような定寸で切断され、順次仮付部材２０により仮付けされてからラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂにより圧着（本付け）されていく。
【００８１】
これらのフィルム張付過程では、各基板２６に対応する仮付作業毎に、エアシリンダ６８によって仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂを突出させることにより、スイングロール１８を、フィルム１３にしわが寄らず、且つ最適な張力を得られる位置に規制する。
【００８２】
又、本付時には、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂをエアシリンダ６８によって引き込み、本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂが揺動レバー５６Ａ、５６Ｂに当接するようにする。
【００８３】
これらの仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂ及び本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂの突出量の調整は、仮付部材２０の先端及び／又はラミネーティングロール２４Ａ、２４Ｂの変更毎に行う。
【００８４】
なお、上記実施の形態の例において、本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂは、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂよりも、揺動レバー５６Ａ、５６Ｂの先端側位置に設けられているが、これは上記実施の形態の例に限定されるものでなく、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂを先端側に位置させるようにしてもよい。
【００８５】
但し、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂを突出させるときは、必ず本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂよりも先に揺動レバー５６Ａ、５６Ｂに当接するように設定しなければならない。
【００８６】
又、仮付時ストッパ６３Ａ、６３Ｂ、本付時ストッパ６４Ａ、６４Ｂはボルト状部材とされ、そのねじ込み量によって突出量が調節されるようになっているが本発明はこれに限定されるものでなく、カム状部材等の他の手段でもよい。
【００８７】
又、上記フィルム張付装置１０に用いるフィルム１２は、透光性支持フィルム１２Ａに感光性樹脂層１２Ｂを積層し、これをカバーフィルム１２Ｃで被ってなるものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、基板２６の表面に予め感光性樹脂を塗布しておき、これをフィルムで被うようにして張付ける場合、あるいは感光性樹脂以外の粘着剤を基板あるいはフィルム側に塗布して、この状態で基板にフィルムを張付ける場合、更には、感光性樹脂層、粘着剤等を用いることなく、フィルムを基板に圧着する場合のいずれにも本発明は適用されるものである。
【００８８】
更に又、上記各実施の形態の例では、フィルム１３をロータリーカッター３６によって基板２６の長さに応じて各基板毎に切断したものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板を搬送手段により一定間隔で連続的に搬送しつつ、該基板の表面及び裏面に沿ってフィルムを供給し、そのまま、ラミネーティングロール間に通して、フィルムを途中で切断することなく基板に連続的に張り付けるいわゆる連続張りについても、その一連の基板のうち先頭基板に、仮付部材により仮付けする場合について適用されるものである。
【００８９】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、スイングロールの剛性あるいはその支持機構の剛性を大幅に増大させることなく、フィルムの仮付時及び本付時に、スイングロールの位置を最適に制御して、フィルムのしわの発生を防止することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置の要部を示す略示側面図
【図２】上記フィルム張付装置により張付けられるフィルムの、カバーフィルム剥離前の状態を拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置における仮付部材を拡大して示す斜視図
【図４】同フィルム張付装置における仮付部材、基板、及びラミネーティングロールの関係を示す略示側面図
【図５】同フィルム張付装置におけるフィルム張出装置近傍を更に拡大して示す斜視図
【図６】上記装置におけるスイングロールを含むリンク機構を示す断面図
【図７】同フィルム張付装置における制御系を示すブロック図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２、１３…フィルム
１２Ａ…透光性支持フィルム
１２Ｂ…感光性樹脂層
１２Ｃ…カバーフィルム
１４…供給ロール
１６…フィルム分離部材
１８…スィングロール
１８Ｃ…カラー
１９…隙間
２０…仮付部材
２１…フィルム仮付部材本体
２２…メインバキュームプレート
２４Ａ、２４Ｂ…ラミネーティングロール
２６…基板
３６…ロータリーカッター
５０…制御装置
５２…フィルム張出装置
５４Ａ、５４Ｂ…分離揺動軸
５６Ａ、５６Ｂ…揺動レバー
５７Ａ…軸受
５８…ばね
６０…リンク機構
６２Ａ、６２Ｂ…ストッパ装置
６３Ａ、６３Ｂ…仮付時ストッパ
６４Ａ、６４Ｂ…本付時ストッパ
６６…支持バー
６７…貫通孔
６８…エアシリンダ
７０…上限ストッパ
Ｉ−Ｉ…基板搬送面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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