(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールに案内される薄板状ワークを、その薄板状ワークに係合する爪部により移送するワークフィーダにおいて、
軸線方向に進退変位する駆動シャフト上に駆動ブロックを取付けるとともに、この駆動ブロックと、駆動シャフト上を摺動変位可能な爪部とをスプリングにより連結し、前記駆動ブロック側にパルス状の凹凸部を有する遮光板を固定するとともに、前記爪部側にもパルス状の凹凸部を有する他の遮光板を固定し、さらに、移動する前記駆動ブロックおよび爪部以外の、移動しない固定された部材側に、前記爪部が受けた負荷により生じるスプリングの伸びを検知する光学式センサを前記２つの遮光板を挟むような位置に設けると共に、その光学式センサに信号線を介して接続される制御部を設けてなる過負荷検出機能を備えるワークフィーダ。
【請求項２】
両遮光板を、薄板状ワークの定常移送下では、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凸部に重なる配置としてなる請求項１に記載の過負荷検出機能を備えるワークフィーダ。
【請求項３】
両遮光板を、薄板状ワークの定常移送下では、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凹部に重なる配置としてなる請求項１に記載の過負荷検出機能を備えるワークフィーダ。
【請求項４】
二個のセンサを、一方の遮光板の、凹部および凸部のそれぞれに対応させて配設してなる請求項１〜３のいずれかに記載の過負荷検出機能を備えるワークフィーダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、集積回路、大規模集積回路等の半導体その他の製造装置において、リードフレーム等の薄板状ワークをガイドレールに沿って移送するワークフィーダに係り、特に、薄板状ワークに加わる過負荷を検出する機能を備え耐久性および信頼性を大きく向上させたワークフィーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、半導体の製造工程では、処理もしくは加工装置間でのワークの受け渡しは、薄板状のワークを数枚ないしは数十枚位置決め収納し得るマガジンを単位として行われることが一般的であり、この場合、各装置では、前工程から運ばれたマガジンから各ワークを順次に取り出して処理位置等まで移送し、処理等を終了したワークを再びマガジンに収納することが必要になる。そこで、通常は、マガジンからのワークの取り出しにはプッシャと称される押圧機構を、そして、各ワークの移送にはフィーダと称される搬送機構をそれぞれ用いることとしている。
【０００３】
ところで、薄板状のワークのこのような移動はいずれも、それをガイドレールの案内下で、それに沿わせて行われており、これがため、マガジンから取り出されたそのワークを処理位置等にセットするに当り、または、処理等を終えたワークをマガジンに収納するに当って、ガイドレールのワーク支持面と、処理位置等との間もしくはマガジンとの間に段差が存在すると、ワークの円滑なる移送が妨げられることになって、フィーダからの外力の作用によってワークが損傷されることがあった。
【０００４】
そこで従来は、このような場合にフィーダに作用する負荷の増加を検出して、たとえばフィーダの作動を停止させることで薄板状ワークの損傷を防止するものとして、図３に示すようなワークフィーダが使用されていた。
【０００５】
これは、ガイドレール101 に案内される薄板状ワーク102 を、たとえばマガジン103 に収納する場合において、フィーダ104 の駆動シャフト105 に固定した駆動ブロック106 に、スプリング107 を介して連結されて、駆動シャフト105 上を摺動可能な爪部108 をワーク102 の後端に係合させて移送するに当って、薄板状ワーク102 の先端が、ガイドレール101 のワーク支持面と、マガジン103 のワーク収納面との間に存在する段差によってマガジン103 に当接し、この結果として、爪部108 の進行が駆動ブロック106 に対して遅れることになって、ワーク102の定常移送時には、たとえば図４(a) に示すような収縮状態にあるスプリング107 が、図４(b) に示すように伸長変形したときに、その伸長変形の発生を、爪部側に設けたたとえば当センサ109からの、駆動ブロック側に設けた遮光板110の抜け出しによって検知して、ワーク102への過負荷の作用を検出するものである。なお図中111 は、爪部108 の回止めシャフトを示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような従来技術にあっては、センサ109 が可動部材に取付けられていることから、センサ109 と制御部とを結ぶ信号線が、そのセンサ109 の繰返しの往復運動によって破断等されるおそれが高いという問題があり、このことは、センサ109 と遮光板110 との取付位置を逆にしてもまた同様であった。
【０００７】
この発明は、従来技術が抱えるこのような問題点を解決することを課題とするものであり、それの目的とするところは、爪部の相対遅れ、即ち、爪部と駆動ブロックとの相対的変位を検出する検知機構部としてのセンサを、移動する駆動ブロックおよび爪部以外の、移動しない固定された部材側に設けることよって、センサと制御部とを結ぶ信号線の破断等のおそれを十分に除去して装置の耐久性および信頼性を大きく向上させた、過負荷検出機能を備えたワークフィーダを提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の、過負荷検出機能を備えるワークフィーダは、ガイドレールに案内される薄板状ワークを、その薄板状ワークの後端に係合する爪部によって移送するワークフィーダにおいて、軸線方向に進退変位する駆動シャフト上に駆動ブロックを取付けるとともに、ガイドレールに案内される薄板状ワークを、その薄板状ワークに係合する爪部により移送するワークフィーダにおいて、
軸線方向に進退変位する駆動シャフト上に駆動ブロックを取付けるとともに、この駆動ブロックと、駆動シャフト上を摺動変位可能な爪部とをスプリングにより連結し、前記駆動ブロック側にパルス状の凹凸部を有する遮光板を固定するとともに、前記爪部側にもパルス状の凹凸部を有する他の遮光板を固定し、さらに、移動する前記駆動ブロックおよび爪部以外の、移動しない固定された部材側に、前記爪部が受けた負荷により生じるスプリングの伸びを検知する光学式センサを前記２つの遮光板を挟むような位置に設けると共に、その光学式センサに信号線を介して接続される制御部を設けたものである。
【０００９】
このワークフィーダでは、薄板状ワークが、爪部による移送途中で、従来技術で述べたように段差部に当接し、これによって、駆動ブロックと爪部とを連結するスプリングに伸長変形が生じた場合に、その伸長変形の発生を、前記駆動シャフト、駆動ブロック、爪部などの移動する部材以外の固定された部材側に設けたセンサによって検知することができるので、センサと制御部とを接続する信号線に、繰返しの曲げ応力等が作用することがなく、これがため、装置の耐久性を大きく向上させて、ワークへの過負荷の作用をすぐれた信頼性の下で確実に検出することができる。
【００１０】
この装置において好ましくは、センサを光学式のセンサとするとともに、そのセンサを、駆動ブロック側に固定した、パルス状の凹凸部を有する遮光板と、爪部側に固定した同様の凹凸部を有する遮光板とを挟んで配設する。
【００１１】
これによれば、二枚の遮光板を隔てて位置する、発光部と受光部とからなるセンサにおいて、ワークの定常放送状態では、遮光板によって遮られる発光部から光線が受光部に到達したことを検知すること、または、通常は遮光板によって遮られることのない発光部からの光線が受光部に入射されなくなったことを検知することにより、簡単な構造の下で、スプリングへの伸長変形の発生を正確に検知することができる。
【００１２】
ここでたとえば前者の場合において、ワークの定常移送状態の下で既にスプリングの幾分の伸長変形が生じるときは、それぞれの遮光板の、ともに等ピッチで形成される凹凸部にあって、凹部の幅を凸部のそれより狭く設定することで、定常移送時の不測の光線洩れに対処することができる。
【００１３】
かくして、この装置では、両遮光板を、薄板状ワークの定常移送下で、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凸部に重なる配置とすることの他、両遮光板の凹部どうしが相互に重なる配置とすることもできる。
また好ましくは、二個のセンサを、一方の遮光板の、凹部および凸部のそれぞれに対応させて配設する。
【００１４】
スプリングの伸長変形に起因する、受光部への光線の到達を検知する場合には、二個のセンサのそれぞれをともに、一方の遮光板の遮光機能だけに依存させて配設した場合には、他方の遮光板が移動してなお、その一方の遮光板が移動しない場合、すなわち、スプリングが伸長変形している場合にも、受光部に光線が到達しない不都合が生じることになるところ、センサの上述のような配置によって、両遮光板のそれぞれに遮光機能を分散させた場合には、いずれか一方の遮光板の変位によって、一方のセンサの受光部には光線が必ず到達するので、誤検知のおそれを十分に取り除くことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下にこの発明の実施の形態を図面に示すところに基づいて説明する。図１は、この発明の実施の形態を示す正面図および平面図であり、図２は図１（ａ）の左側面図および右側面図である。
図中１は、軸線方向に進退変移する駆動シャフトを、２は、駆動シャフト１に固定した駆動ブロックをそれぞれ示す。
ここでは、駆動シャフト１が貫通する爪部３のベース部４を、その駆動シャフト上で摺動変位可能とするとともに、駆動シャフト１の下方にそれと平行に延びる回止めシャフト５をもって回り止めし、かかる爪部３を、図ではコイルスプリング６によって駆動ブロック２に連結する。
【００１６】
このコイルスプリング６のばね力は所要に応じて適宜に選択することができるものとし、ここでは、爪部３への負荷が無い状態ではもちろん、薄板状ワークの後述する定常移送状態の下でも、ベース部４を駆動ブロック２に接触させ得るばね力を有するものとする。しかるに、爪部３に作用するワーク移送力が、定常移送時のそれより増加したときは、コイルスプリング６は伸長変形する。
【００１７】
またここでは、駆動ブロック２および爪部３、ひいては、そのベース部４のそれぞれに、相互に隣接して下方へ突出するそれぞれの遮光板７，８を設け、これらの両遮光板７，８の、ともに等しい高さの下端部分に、いずれもパルス状をなし、かつ、共通の配設ピッチを有するそれぞれの凹凸部を形成し、そして、それぞれの遮光板７，８を、一方の遮光板の凹部が他方の遮光板の凸部に重なる初期姿勢とする。
【００１８】
この一方で、上記移動する部材以外の固定された部材９に、前記凹凸部と対応して位置する二個の光学式センサ１０、１１を所定の間隔をおいて取付け、図２に示すように、これらのセンサ１０、１１のそれぞれの発光部１２、１３および受光部１４、１５の相互を、両遮光板７、８を隔てて対向させて位置させる。ここで、二個の光学式センサ１０、１１のそれぞれは、一方の遮光板の凹部および凸部のそれぞれと対応する。
【００１９】
以上のように構成したところにおいて、薄板状ワークの、ガイドレールに沿う移送は、駆動シャフト１および駆動ブロック２の進出変位に基き、爪部３の垂下係合片16をもって、そのワークの後端を従来技術で述べたように押圧することにより行われ、この場合、ワークがガイドレールに沿って円滑に移動する定常移送時には、爪部３は、コイルスプリング６の作用下で、それの伸長変形なしに、駆動ブロック２と等しい速度で前進変位する。
【００２０】
従って、この定常移送時には、それぞれの光学式センサ10, 11の発光部12, 13から照射されたたとえばレーザ光線は、それぞれの遮光板７，８のそれぞれの凸部によって遮光されることになり、受光部14, 15には到達しない。
【００２１】
これに対し、薄板状ワークが段差部等に当接して、それの前進変位が拘束されると、垂下係合片16、ひいては、爪部３の前進変位もまた拘束されることになり、この結果として、一定速度で定常時に前進する駆動ブロック２に対する爪部３の遅れが生じ、コイルスプリング６に伸長変形が発生することになる。そして、コイルスプリング６のこのような伸長変形、より直線的は、爪部３の上述したような遅れは、そこに取付けた遮光板８の、駆動ブロック側の遮光部７に対する遅れをもたらし、これにより、ワークの定常移送時には隙間なく重なり合っていた一方の遮光板の凹部と他方の遮光板の凸部との間に隙間が発生し、センサ10, 11の発光部から常時照射されているレーザ光線が受光部14, 15に到達することになる。
【００２２】
そこでこの場合は、センサ10, 11から制御部へ信号を出力し、これに基いて駆動シャフト１の前進変位を速かに停止することで、薄板状ワークに、それが損傷等するほどの大きな負荷が作用するのを未然に防止することができる。
【００２３】
ここでこの装置では、センサ１０、１１および信号線を介してこれに接続される制御部を、上記移動する部材以外の固定された部材９に取付けていることから、駆動ブロック２および爪部３の進退変位にかかわらず、信号線に曲げ、捩り等の応力が一切作用することがなく、これがため、信号線の破断等を十分に防止して、常にすぐれた過負荷検出を行うことができる。
【００２４】
またここでは、遮光板７，８の凹凸部を、駆動ブロック等の進退方向の一定長さにわたって形成することで、ワーク移送経路のどの位置でワークに過負荷が作用しても、それを確実に検出することができる。
【００２５】
さらに、二個のセンサ10, 11を、前述したような相対関係の下に配設することで、一方のセンサのみにては、ワークへの過負荷の作用を検出し得ない事態が生じても、他方のセンサをそれを十分に検出することができる。
【００２６】
【発明の効果】
かくして、この発明によれば、駆動ブロックおよび爪部の進退変位にかかわらず、信号線に曲げ、捩り等の応力が一切作用することがなく、これがため、信号線の破断等を十分に防止して、常にすぐれた過負荷検出を行うことができるとともに、簡単な構造の下に、耐久性を大きく向上させ、併せて信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態を示す正面図および平面図である。
【図２】図１(a) の左側面図および右側面図である。
【図３】従来技術を示す平面図および右側面図である。
【図４】過負荷の検出態様を示す図である。
【符号の説明】
１  駆動シャフト
２  駆動ブロック
３  爪部
４  ベース部
５  回止めシャフト
６  コイルスプリング
７，８  遮光板
９  固定部材
１０，１１ センサ
１２，１３ 発光部
１４，１５ 受光部
１６  垂下係合片
【図１】
0003943293.tif 000002
【図２】
0003943293.tif 000003
【図３】
0003943293.tif 000004
【図４】
0003943293.tif 000005