(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１マークを有する基板上に、前記各第１マークにそれぞれ対応する一対の第２マークを有する電子部品を実装する部品実装装置において、
前記基板および前記電子部品のうち前記各第１マークおよび前記各第２マークを含む領域を撮像する撮像装置と、
前記各第１マークおよび前記各第２マークのパターンおよび基準位置を教示するマーク教示装置と、
前記撮像装置で得られた撮像画像と、前記マーク教示装置で教示された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記各第２マークの位置を検出するとともに、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品との位置合わせを行う位置合わせ装置と、
前記一対の第１マークおよび前記一対の第２マークのうちの少なくとも１つのマークの基準位置に対する補正量を設定する教示誤差補正量設定装置とを備え、前記位置合わせ装置は前記教示誤差補正量設定装置で設定された補正量に基づいて前記教示データを補正することを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記位置合わせ装置は前記一対の第１マークの中間位置と前記一対の第２マークの中間位置とが揃うよう前記基板と前記電子部品との位置合わせを行うものであり、前記教示誤差補正量設定装置は実装後の前記一対の第１マークの中間位置と前記一対の第２マークの中間位置との位置ずれ量に基づいて前記補正量を決定することを特徴とする請求項１記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記教示誤差補正量設定装置で設定された補正量を基板または電子部品の品種ごとに保持する記憶装置をさらに備え、
前記位置合わせ装置は前記記憶装置の保持内容に基づいて基板または電子部品の品種ごとに補正量を切り替え、この切り替えられた補正量に基づいて前記教示データを補正することを特徴とする請求項１または２記載の部品実装装置。
【請求項４】
一対の第１マークを有する基板上に、前記各第１マークにそれぞれ対応する一対の第２マークを有する電子部品を実装する部品実装方法において、
前記各第１マークおよび前記各第２マークのパターンおよび基準位置を教示するステップと、
前記基板および前記電子部品の撮像画像と、前記教示された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記各第２マークの位置を検出し、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品とを位置合わせして前記基板上に前記電子部品を仮付けするステップと、
この仮付け後の基板および電子部品について前記各第１マークとこれに対応する前記各第２マークとの相対的な位置ずれ量を検出し、
この検出された位置ずれ量に基づいて前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置との相対的な位置ずれ量を算出するステップと、
この算出された位置ずれ量に基づいて前記教示データのうち前記一対の第１マークおよび前記一対の第２マークのうちの少なくとも１つのマークの基準位置に対する補正量を算出するステップと
この算出された補正量に基づいて前記教示データを補正するステップと、
本実装の対象となる基板および電子部品の撮像画像と、前記補正された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記第２マークの位置を検出し、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品とを位置合わせして前記基板上に前記電子部品を実装するステップとを含むことを特徴とする部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板上に電子部品を実装する部品実装装置に係り、とりわけ基板と電子部品との位置合わせを正確に行うことができる部品実装装置および部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、液晶パネル等を製造するための部品実装装置として、液晶基板（以下「セル」という）上にＴＡＢ−ＩＣ（Tape Automated Bonding-Integrated Circuit、以下「ＴＡＢ」という）を実装する部品実装装置が知られている。
【０００３】
このような部品実装装置においては、セルおよびＴＡＢにそれぞれ形成されたリード同士を互いに正確に接合するため、セルとＴＡＢとの相対的な位置関係を正確に認識する必要がある。このため、従来の部品実装装置においては、実装対象となるセルおよびＴＡＢにそれぞれ形成されたセルリードおよびＴＡＢリードを撮像装置により撮像し、その撮像画像に対して画像処理を施すことによりセルおよびＴＡＢの位置を検出するようにしている。具体的には例えば、撮像装置で得られた撮像画像の中から、あらかじめ教示されたセルリードおよびＴＡＢリードの両端の端子パターン中の特徴部分（例えば十字状のパターン）をマッチング法による画像認識処理により検出することにより、セルおよびＴＡＢの位置を検出するようにしている。
【０００４】
ここで、検出対象となる端子パターンをあらかじめ教示する方法としては、セルリードおよびＴＡＢリードの撮像画像をコンピュータシステム内に取り込んだ後、その撮像画像に含まれる所望の端子パターンを含む領域とその領域中の基準位置とを人手により指定する方法が一般的である。具体的には例えば、図５に示すように、セルリードおよびＴＡＢリードの撮像画像が表示されたモニタ画面３０上でカーソル３５を移動させ、所望の端子パターン３１を含む領域を始点３２および終点３３の指定により教示する。また、このようにして指定された領域中の基準位置（ここでは端子パターン３１の重心位置）を基準点３４の指定により教示する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の部品実装装置においては、セルリードおよびＴＡＢリードの撮像画像が表示されたモニタ画面３０上でカーソル３５を移動させ、始点３２、終点３３および基準点３４の３点を指定することにより、端子パターン３１を含む領域およびその領域中の基準位置を教示している。
【０００６】
しかしながら、従来の部品実装装置では、始点３２、終点３３および基準点３４の指定をモニタ画面３０上で１画素単位で行っているので、１画素以下の細かい分解能で始点３２、終点３３および基準点３４の指定を行うことができない。
【０００７】
ここで、端子パターン３１の重心位置を教示する場合を例に挙げると、図６に示すように、モニタ画面３０上で端子パターン３１の重心位置Ｓが画素Ｐの中心に位置している場合には、上述した１画素単位の教示方法では、重心位置Ｓを直接教示することができず、重心位置Ｓに近い位置Ａ１〜Ａ４のいずれかを教示する形となる。そして、この場合には、位置Ａ１〜Ａ４のいずれを教示した場合でも、教示位置はＸ方向およびＹ方向に±０．５０画素分の教示誤差を含んだものとなる。
【０００８】
このため、仮にマッチング法による実際の画像認識処理時に１画素以下の精度（サブミクロンオーダ）を確保できたとしても、端子パターン３１の教示時に生じた教示誤差が常に加わった状態で位置検出が行われることとなり、結果としてセルおよびＴＡＢの位置検出の精度を十分に確保できない。
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、マッチング法による画像認識処理のための教示作業をモニタ画面上で１画素単位で行う場合でも、基板と電子部品との位置合わせの精度を容易かつ確実に向上させることができる部品実装装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の解決手段は、一対の第１マークを有する基板上に、前記各第１マークにそれぞれ対応する一対の第２マークを有する電子部品を実装する部品実装装置において、前記基板および前記電子部品のうち前記各第１マークおよび前記各第２マークを含む領域を撮像する撮像装置と、前記各第１マークおよび前記各第２マークのパターンおよび基準位置を教示するマーク教示装置と、前記撮像装置で得られた撮像画像と、前記マーク教示装置で教示された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記各第２マークの位置を検出するとともに、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品との位置合わせを行う位置合わせ装置と、前記一対の第１マークおよび前記一対の第２マークのうちの少なくとも１つのマークの基準位置に対する補正量を設定する教示誤差補正量設定装置とを備え、前記位置合わせ装置は前記教示誤差補正量設定装置で設定された補正量に基づいて前記教示データを補正することを特徴とする部品実装装置である。
【００１１】
なお、本発明においては、前記位置合わせ装置は前記一対の第１マークの中間位置と前記一対の第２マークの中間位置とが揃うよう前記基板と前記電子部品との位置合わせを行うものであり、前記教示誤差補正量設定装置は実装後の前記一対の第１マークの中間位置と前記一対の第２マークの中間位置との位置ずれ量に基づいて前記補正量を決定することが好ましい。また、前記教示誤差補正量設定装置で設定された補正量を基板または電子部品の品種ごとに保持する記憶装置をさらに備え、前記位置合わせ装置は前記記憶装置の保持内容に基づいて基板または電子部品の品種ごとに補正量を切り替え、この切り替えられた補正量に基づいて前記教示データを補正することが好ましい。
【００１２】
本発明の第２の解決手段は、一対の第１マークを有する基板上に、前記各第１マークにそれぞれ対応する一対の第２マークを有する電子部品を実装する部品実装方法において、前記各第１マークおよび前記各第２マークのパターンおよび基準位置を教示するステップと、前記基板および前記電子部品の撮像画像と、前記教示された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記各第２マークの位置を検出し、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品とを位置合わせして前記基板上に前記電子部品を仮付けするステップと、この仮付け後の基板および電子部品について前記各第１マークとこれに対応する前記各第２マークとの相対的な位置ずれ量を検出し、この検出された位置ずれ量に基づいて前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置との相対的な位置ずれ量を算出するステップと、この算出された位置ずれ量に基づいて前記教示データのうち前記一対の第１マークおよび前記一対の第２マークのうちの少なくとも１つのマークの基準位置に対する補正量を算出するステップと、この算出された補正量に基づいて前記教示データを補正するステップと、本実装の対象となる基板および電子部品の撮像画像と、前記補正された教示データとに基づいて、前記基板および前記電子部品がそれぞれ有する前記各第１マークおよび前記第２マークの位置を検出し、前記一対の第１マークの位置と前記一対の第２マークの位置とに基づいて前記基板と前記電子部品とを位置合わせして前記基板上に前記電子部品を実装するステップとを含むことを特徴とする部品実装方法である。
【００１３】
本発明によれば、教示誤差補正量設定装置により、基板および電子部品にそれぞれ形成された各第１マークおよび各第２マークの基準位置に対する補正量を設定することができるので、マッチング法による画像認識処理のための教示作業をモニタ画面上で１画素単位で行う場合でも、基板と電子部品との位置合わせの精度を容易かつ確実に向上させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図４は本発明による部品実装装置の一実施の形態を説明するための図である。
【００１５】
図１に示すように、部品実装装置は、セル（基板）１上にＴＡＢ（電子部品）４を実装するためのものであり、セル１とＴＡＢ４との位置合わせを行う位置合わせ装置１０として、セル１をＸ，Ｙ，θ方向に移動させる第１ステージ６と、ＴＡＢ４をＸ，Ｙ方向に移動させる第２ステージ７と、第１ステージ６および第２ステージ７の駆動を制御する駆動制御装置８とを備えている。なお、セル１およびＴＡＢ４にはそれぞれセルリード３およびＴＡＢリード５が形成されており、これらセルリード３とＴＡＢリード５とが異方性導電膜（図示せず）等を介して互いに接合されることにより、セル１上にＴＡＢ４が実装される。
【００１６】
ここで、駆動制御装置８には、第１撮像装置２０、第２撮像装置２１および第３撮像装置２２が接続されている。このうち、第１撮像装置２０は、セル１の一辺にある左右２箇所のセルマーク２を順次撮像するものである。また、第２撮像装置２１および第３撮像装置２２は、セル１およびＴＡＢ４にそれぞれ形成されたセルリード３およびＴＡＢリード５の左側および右側の端部領域をそれぞれ撮像するものである。なおここでは、第２撮像装置２１は左側セルリード部の特徴部分（以下単に「左側セルリード部」という）（一方の第１マーク）ＣＬとこれに対応するＴＡＢ４の左側ＴＡＢリード部の特徴部分（以下単に「左側ＴＡＢリード部」という）（一方の第２マーク）ＴＬとを含む左側の端部領域を撮像し、第３撮像装置２２はセル１の右側セルリード部の特徴部分（以下単に「右側セルリード部」という）（他方の第１マーク）ＣＲとこれに対応するＴＡＢ４の右側ＴＡＢリード部の特徴部分（以下単に「右側ＴＡＢリード部」という）（他方の第２マーク）ＴＲとを含む右側の端部領域を撮像する。
【００１７】
また、駆動制御装置８には、マーク教示装置１１、教示誤差補正量設定装置１２および上位コンピュータ９が接続されている。このうち、マーク教示装置１１は、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのパターンおよび基準位置を教示するものである。なお、マーク教示装置１１による教示作業はモニタ画面３０上で１画素単位で行われる（図５および図６参照）。また、教示誤差補正量設定装置１２は、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのうちの少なくとも１つの特徴部分の教示された基準位置に対する補正量を設定するものである。さらに、上位コンピュータ９は、ライン全体を統括するパーソナルコンピュータであり、教示誤差補正量設定装置１２で設定された補正量をセル１またはＴＡＢ４の品種ごとに保持する記憶装置１３を有している。
【００１８】
次に、図１、図２（ａ）（ｂ）および図３（ａ）（ｂ）により、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。なおここでは、セル１およびＴＡＢ４に形成された左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのパターンおよび基準位置がマーク教示装置１１を介してあらかじめ教示され、その教示データが駆動制御装置８に入力されているものとする。また、図２（ａ）（ｂ）および図３（ａ）（ｂ）においては、図面を簡略化するため、セルリード３およびＴＡＢリード５の特徴部分である左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのパターンのみを表している。
【００１９】
この状態で、セル１上にＴＡＢ４を実装する場合には、まず、第１撮像装置２０によりセル１の一辺にある左右２箇所のセルマーク２を順次撮像し、その撮像画像に基づいて画像処理によりセルマーク２の位置を検出する。そして、このようにして検出されたセルマーク２の位置に基づいて第１ステージ６によりセル１の平行位置出しを行う。
【００２０】
その後、このようにして平行位置出しが行われたセル１に対して第２ステージ７によりＴＡＢ４を近づけ、セル１とＴＡＢ４とが互いに対向するよう配置する（図２（ａ）参照）。
【００２１】
そして、第２撮像装置２１および第３撮像装置２２によりセルリード３およびＴＡＢリード５の左側および右側の端部領域をそれぞれ撮像する。具体的には、第２撮像装置２１によりセル１の左側セルリード部ＣＬとこれに対応するＴＡＢ４の左側ＴＡＢリード部ＴＬとを含む左側の端部領域を撮像し、第３撮像装置２２によりセル１の右側セルリード部ＣＲとこれに対応するＴＡＢ４の右側ＴＡＢリード部ＴＲとを含む右側の端部領域を撮像する。
【００２２】
その後、駆動制御装置８は、第２撮像装置２１および第３撮像装置２２で得られた撮像画像と、マーク教示装置１１で教示された教示データとに基づいて、セル１およびＴＡＢ４にそれぞれ形成された左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの位置をマッチング法による画像認識処理により検出し、この検出結果に基づいて第１ステージ６および第２ステージ７を駆動してセル１とＴＡＢ４との位置合わせを行う。具体的には、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲの中間位置ＣＣと、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの中間位置ＴＣとが揃うようセル１とＴＡＢ４との位置合わせを行う（図２（ｂ）参照）。
【００２３】
最後に、このようにして位置合わせが行われたセル１とＴＡＢ４とを圧着装置（図示せず）により異方性導電膜等を介して圧着する。
【００２４】
ここで、マーク教示装置１１による教示作業時に教示誤差が生じ、右側セルリード部ＣＲのパターンの教示位置が実際の位置に対してＸ方向に＋０．５０画素（図２（ａ）（ｂ）および図３（ａ）（ｂ）に示す距離ａに相当）分だけずれた位置にあるものとして教示された場合を想定する。なおここでは、説明を簡略化するため、右側セルリード部ＣＲ以外の左側セルリード部ＣＬ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲには教示誤差が生じていないものとする。
【００２５】
図２（ａ）（ｂ）は教示誤差を補正することなくセル１上にＴＡＢ４を圧着する場合の位置合わせ動作を説明するための図である。
【００２６】
図２（ａ）に示すように、右側セルリード部ＣＲのパターンの教示位置に教示誤差が生じている場合には、マッチング法による画像認識処理が行われた時点で、右側セルリード部ＣＲが正規の位置にあったとしても得られる位置情報としては、右側セルリード部ＣＲはＸ方向に＋ａだけずれた符号ＣＲ′の位置にあるものとして検出される。そして、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲ（ＣＲ′）の中間位置ＣＣはＸ方向に＋ａ／２だけずれた符号ＣＣ′の位置にあるものとして認識される。
【００２７】
このため、この状態で、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲ（ＣＲ′）の中間位置ＣＣ′と、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの中間位置ＴＣとが揃うようセル１とＴＡＢ４との位置合わせを行うと、図２（ｂ）に示すように、ＴＡＢ４がＸ方向に＋ａ／２だけずれた状態でセル１上に圧着されることとなる。
【００２８】
そこで、本実施の形態においては、セル１上にＴＡＢ４を試験的に実装（仮実装）した後、セル１とＴＡＢ４との位置ずれ量を検出し、この位置ずれ量に基づいて教示誤差を補正するようにする。
【００２９】
具体的には、まず、仮実装後のセル１およびＴＡＢ４について、左側セルリード部ＣＬと左側ＴＡＢリード部ＴＬとの間の位置ずれ量（左側端部位置ずれ量）、および右側セルリード部ＣＲと右側ＴＡＢリード部ＴＲとの間の位置ずれ量（右側端部位置ずれ量）を顕微鏡等を用いて観察する。なおこのとき、顕微鏡の分解能は、マーク教示装置１１による教示作業の分解能（１画素）よりも高い測定精度が得られるものを用いる。また、顕微鏡の代わりに、教示作業に用いる撮像装置２１，２２よりも高い分解能を有する撮像装置を用いて位置ずれ量を測定するようにしてもよい。
【００３０】
次に、この検出された位置ずれ量に基づいて、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲ（ＣＲ′）の中間位置ＣＣ′と、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの中間位置ＴＣとの間の相対的な位置ずれ量（左側端部位置ずれ量と右側端部位置ずれ量との平均値）を算出する。
【００３１】
その後、この算出された位置ずれ量に基づいて、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのうちいずれか１つの特徴部分の教示された基準位置に対する補正量を算出する。
【００３２】
ここで例えば、図２（ｂ）に示すように、仮実装後のＴＡＢ４がセル１に対してＸ方向に＋ａ／２だけずれていた場合には、ＴＡＢ４の右側ＴＡＢリード部ＴＲの教示データ（基準位置）をＸ方向に＋ａだけ補正するようにする。この場合には、図３（ａ）に示すように、マッチング法による画像認識処理が行われた時点で、右側セルリード部ＣＲが正規の位置にあったとしても、Ｘ方向に＋ａだけずれた符号ＣＲ′の位置にあるものとして検出されるとともに、右側ＴＡＢリード部ＴＲも同様に符号ＴＲ″の位置にあるものとして検出される。そして、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲの中間位置ＣＣがＸ方向に＋ａ／２だけずれた符号ＣＣ′の位置にあるものとして認識されるとともに、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの中間位置ＴＣがＸ方向に＋ａ／２だけずれた符号ＴＣ″の位置にあるものとして認識される。
【００３３】
このため、この状態で、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲ（ＣＲ′）の中間位置ＣＣ′と、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲ（ＴＲ″）の中間位置ＴＣ″とが揃うようセル１とＴＡＢ４との位置合わせを行うと、図３（ｂ）に示すように、ＴＡＢ４がセル１上の正しい位置に圧着される。
【００３４】
なお、上述したようにして算出される補正量は、教示誤差補正量設定装置１２を介して人手により設定することができる。図４は教示誤差補正量設定装置１２の設定画面の一例を示す図である。図４に示すように、設定画面４０上にはタッチパネル式のテンキー４１が設けられており、このテンキー４１を介して、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのそれぞれについて、基準位置のＸ方向およびＹ方向の補正量を数値（実際の距離または画素単位）により設定することができる。
【００３５】
なお、このようにして設定された補正量は、補正量表示フィールド４２上に確認のために表示されるとともに、駆動制御装置８に入力され、駆動制御装置８により、教示誤差補正量設定装置１２で教示された教示データが補正される。
【００３６】
また、このようにして設定された補正量は、セル１またはＴＡＢ４の品種ごとに上位コンピュータ９の記憶装置１３に保持され、上位コンピュータ９の操作パネル（図示せず）にて入力されるセル１またはＴＡＢ４の品種情報（型式番号や品種名等）に基づいて、駆動制御装置８により、記憶装置１３の保持内容の中から対応する補正量を選択して補正量の設定切換えを行い、この切り替えられた補正量に基づいて教示データを補正するようにすることも可能である。
【００３７】
このように本実施の形態によれば、教示誤差補正量設定装置１２により、セル１およびＴＡＢ４にそれぞれ形成された左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲの基準位置に対する補正量を設定することができるので、マッチング法による画像認識処理のための教示作業をモニタ画面３０上で１画素単位で行う場合でも、セル１とＴＡＢ４との位置合わせの精度を容易かつ確実に向上させることができる。
【００３８】
また本実施の形態によれば、教示誤差補正量設定装置１２で設定された補正量をセル１またはＴＡＢ４の品種ごとに記憶装置１３に保持し、駆動制御装置８により、記憶装置１３の保持内容の中から対応する補正量を選択し、補正量の設定換えを行うようにしているので、同じ品種のセル１またはＴＡＢ４について教示誤差の補正量を繰り返し設定する必要がなくなり、作業効率を向上させることができる。
【００３９】
なお、上述した実施の形態においては、ＴＡＢ４の右側ＴＡＢリード部ＴＲの基準位置を補正しているが、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲまたは左側ＴＡＢリード部ＴＬのいずれの基準位置を補正することによっても同様の作用効果を奏することができる。具体的には例えば、左側セルリード部ＣＬあるいは右側セルリード部ＣＲの基準位置を補正する場合であれば、これらをＸ方向に−ａだけずらすような補正量を設定する。また、左側ＴＡＢリード部ＴＬの基準位置を補正する場合であれば、これをＸ方向に＋ａだけずらすような補正量を設定する。
【００４０】
また、上述した実施の形態においては、左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのうちのいずれか１つの特徴部分の基準位置を補正しているが、２つ以上の特徴部分の基準位置を補正することによっても同様の作用効果を奏することができる。具体的には例えば、２つの特徴部分（例えば左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲ）の基準位置を補正する場合であれば、これらをそれぞれＸ方向に＋ａ／２ずつずらすような補正量を設定する。また、４つの特徴部分の全ての基準位置を補正する場合であれば、左側セルリード部ＣＬおよび右側セルリード部ＣＲをそれぞれＸ方向に−ａ／４ずつずらし、かつ左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲをそれぞれＸ方向に＋ａ／４ずつずらすような補正量を設定する。
【００４１】
さらに、上述した実施の形態においては、セルリード部３およびＴＡＢリード５の特徴部分である左側セルリード部ＣＬ、右側セルリード部ＣＲ、左側ＴＡＢリード部ＴＬおよび右側ＴＡＢリード部ＴＲのパターンを用いてセル１およびＴＡＢ４の位置を検出しているが、これに限らず、セル１およびＴＡＢ４上に専用に設けたマークを用いてセル１およびＴＡＢ４の位置を検出するようにしてもよい。
【００４２】
なお、上述した実施の形態においては、セル１とＴＡＢ４との間の位置ずれ量として一次元的な状態量（Ｘ方向の変位量）を検出するようにしているが、これに限らず、多次元的な状態量（Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の変位量等）を検出することも可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、マッチング法による画像認識処理のための教示作業をモニタ画面上で１画素単位で行う場合でも、基板と電子部品との位置合わせの精度を容易かつ確実に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による部品実装装置の一実施の形態を示すブロック図。
【図２】教示誤差を補正することなくセル上にＴＡＢを圧着する場合の位置合わせ動作を説明するための概念図。
【図３】教示誤差を補正した上でセル上にＴＡＢを圧着する場合の位置合わせ動作を説明するための概念図。
【図４】図１に示す教示誤差補正量設定装置の設定画面の一例を示す図。
【図５】図１に示すマーク教示装置のモニタ画面上で所望の端子パターンを教示する様子を説明するための図。
【図６】図５のＶ部分を拡大して示す図。
【符号の説明】
１  セル（基板）
２  セルマーク
３  セルリード
４  ＴＡＢ（電子部品）
５  ＴＡＢリード
６  第１ステージ
７  第２ステージ
８  駆動制御装置
１０  位置合わせ装置
１１  マーク教示装置
１２  教示誤差補正量設定装置
１３  記憶装置
２０，２１，２２  撮像装置
３０  モニタ画面
３１  端子パターン
３２  始点
３３  終点
３４  基準点
４０  設定画面
４１  テンキー
４２  補正量表示フィールド
ＣＬ  左側セルリード部（第１マーク）
ＣＲ  右側セルリード部（第１マーク）
ＴＬ  左側ＴＡＢリード部（第２マーク）
ＴＲ  右側ＴＡＢリード部（第２マーク）
【図１】
0003907348.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003907348.tif 000007