(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板／第１電極／少なくとも発光層を含む有機ＬＥＤ層／第２電極からなる有機ＬＥＤ表示パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるように有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層を転写形成することからなり、
前記有機ＬＥＤ用ドナーフィルムが、光−熱変換層およびポリαメチルスチレン膜からなる熱伝播層が順次積層されたベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の少なくともベースフィルム上に直接形成される層が、有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなり、
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液が、発光材料または電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する、２０℃における表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下である水性溶液である
ことを特徴とする有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記電荷輸送材料が、ポリチオフェン誘導体またはポリアニリン誘導体からなる正孔輸送材料である請求項１に記載の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液の固形分が、０．０１〜２０重量％である請求項１または２に記載の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液の２５℃における粘度が、１〜１００ｃｐｓである請求項１〜３のいずれか１つに記載の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項５】
基板／第１電極／少なくとも発光層を含む有機ＬＥＤ層／第２電極からなる有機ＬＥＤ表示パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるように有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層を転写形成することからなり、
前記有機ＬＥＤ用ドナーフィルムが、光−熱変換層およびポリαメチルスチレン膜からなる熱伝播層が順次積層されたベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の少なくともベースフィルム上に直接形成される層が、有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなり、
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液が、発光材料または電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する、２０℃における表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下である水性溶液であり、
前記電荷輸送材料が、ポリチオフェン誘導体またはポリアニリン誘導体からなる正孔輸送材料である
ことを特徴とする有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液の固形分が、０．０１〜２０重量％である請求項５に記載の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【請求項７】
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液の２５℃における粘度が、１〜１００ｃｐｓである請求項５または６に記載の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、有機ＬＥＤ層のパターン化を必要としない有機ＬＥＤ表示パネルの形成方法としては、真空蒸着法、スピンコート法などが提案されている。また、マルチカラー、フルカラー表示パネルのように有機ＬＥＤ層のパターン化を必要とする有機ＬＥＤ表示パネルの形成方法としては、マスク蒸着法（例えば、特開平８−２２７２７６号公報）、インクジェット法（例えば，特開平１０−１２３７７号公報）などが提案されている。
【０００３】
しかし、マスク蒸着法では、大型基板を用いて素子を作製することが非常に難しいといった問題があり、インクジェット法では、大型基板を用いると非常に素子の作製時間がかかるといった問題があった。そこで、大型基板を用いることができ、かつ作製時間を大幅に短縮することが可能なパターン化方法として、転写法（例えば、特開平１０−２０８８８１号公報、特開平１１−２３７５０４号公報および特開平１１−２６０５４９号公報）が提案された。
【０００４】
しかしながら、上記の先行技術では、正孔輸送層、発光層などの転写層形成用塗液として高分子材料を溶解または分散した水溶液を用いるために、これらの塗液をベースフィルム上に塗布してドナーフィルムを形成する際に「ハジキ」が生じ、成膜性が良好な転写層を形成できないという問題があった。このようなドナーフィルムを用いた転写では、転写ムラが生じ、所望の画素パターンを形成することができず、得られた有機ＬＥＤ表示パネルでは発光ムラが起こる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、転写工程において「ハジキ」が生じず、成膜性が良好な有機ＬＥＤ層を、効率よく、かつ均一に形成し得る有機ＬＥＤ層形成用塗液および有機ＬＥＤ用ドナーフィルム、ならびにそれを用いた有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法および有機ＬＥＤ表示パネルを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
かくして、本発明によれば、基板／第１電極／少なくとも発光層を含む有機ＬＥＤ層／第２電極からなる有機ＬＥＤ表示パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるように有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層を転写形成することからなり、
前記有機ＬＥＤ用ドナーフィルムが、光−熱変換層およびポリαメチルスチレン膜からなる熱伝播層が順次積層されたベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の少なくともベースフィルム上に直接形成される層が、有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなり、
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液が、発光材料または電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する、２０℃における表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下である水性溶液である
ことを特徴とする有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法が提供される。
【０００７】
また、本発明によれば、基板／第１電極／少なくとも発光層を含む有機ＬＥＤ層／第２電極からなる有機ＬＥＤ表示パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるように有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層を転写形成することからなり、
前記有機ＬＥＤ用ドナーフィルムが、光−熱変換層およびポリαメチルスチレン膜からなる熱伝播層が順次積層されたベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の少なくともベースフィルム上に直接形成される層が、有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなり、
前記有機ＬＥＤ層形成用塗液が、発光材料または電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する、２０℃における表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下である水性溶液であり、
前記電荷輸送材料が、ポリチオフェン誘導体またはポリアニリン誘導体からなる正孔輸送材料である
ことを特徴とする有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法が提供される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液は、有機ＬＥＤ表示パネルを製造する際に使用される有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの有機ＬＥＤ層形成用塗液であって、前記塗液が、発光材料または電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する水性溶液であることを特徴とする。
【００１１】
本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液は、発光材料と表面張力調整剤とを含有する発光層形成用塗液および電荷輸送材料と表面張力調整剤とを含有する電荷輸送層用塗液に大別できる。また、電荷輸送層用塗液は、電荷輸送材料の種類によって、正孔注入材料を含む正孔注入層用塗液、正孔輸送材料を含む正孔輸送層用塗液、電子注入材料を含む電子注入層用塗液および電子輸送材料を含む電子輸送層用塗液にさらに大別できる。これらの中でも、本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液は、正孔輸送層用塗液として好適に用いられる。
【００１２】
本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液に共通に含有する表面張力調整剤としては、界面活性剤および２０℃における表面張力６０ｍＮ／ｍ以下の溶剤が挙げられる。
【００１３】
界面活性剤としては、イオン性界面活性剤が好ましい。
界面活性剤の具体例としては、アミンオキサイド（花王株式会社製、商品名：アンヒトール２０Ｎ）、和光純薬工業株式会社製、商品名：ＮＣＷ、アルキルベンゼンスルホン酸塩（ライオン株式会社製、商品名：ライポンＬＨ−５００）、シリコーン（信越化学工業株式会社製、サーフィノール１０４ＰＡ、１０４Ｅ）などが挙げられる。
【００１４】
２０℃における表面張力６０ｍＮ／ｍ以下の溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶剤、酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル系溶剤、メチルセロソルブアセテートのようなセロソルブ系溶剤、ヘキサン、オクタンなどの炭化水素系溶剤、ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族系溶剤などが挙げられる。これらの中でも、アルコール類および芳香族系溶剤が好ましく、アルコール類が特に好ましい。
【００１５】
本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液における表面張力調整剤の含有量は、表面張力調整剤の種類によって異なるが、界面活性剤の場合には、０．０１〜５０重量％、好ましくは０．１〜１０重量％であり、２０℃における表面張力６０ｍＮ／ｍ以下の溶剤の場合には、０．０１〜５０重量％、好ましくは０．１〜１０重量％である。
【００１６】
本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液は、表面張力調整剤を含有することにより、その２０℃における表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下（好ましくは３０ｍＮ／ｍ以下）になり、転写工程において「ハジキ」が生じず、成膜性が良好な有機ＬＥＤ層を、効率よく、かつ均一に形成し得る有機ＬＥＤ層形成用塗液が得られる。
【００１７】
次に、本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液をその種類ごとに説明する。
【００１８】
発光層形成用塗液は、１種もしくは２種以上の発光材料と前記の表面張力調整剤とを水性溶媒に溶解もしくは分散させた水性溶液であり、任意に結着用樹脂、レベリング剤、発光アシスト剤、電荷注入輸送材料、添加剤（ドナー，アクセプターなど）、発光性のドーパントなどを含む。以下にそれぞれの材料を例示するが、これらは本発明を限定するものではない。
【００１９】
発光材料としては、有機ＬＥＤ用の公知の発光材料を用いることができる。このような発光材料は、低分子発光材料、高分子発光材料およびその前駆体などに分類され、これらの具体的な化合物を以下に例示するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００２０】
低分子発光材料としては、例えば、４，４’−ビス（２，２’−ジフェニルビニル）−ビフェニル（ＤＰＶＢｉ）などの芳香族ジメチリデン化合物、５−メチル−２−［２−［４−（５−メチル−２−ベンゾオキサゾリル）フェニル］ビニル］ベンゾオキサゾールなどのオキサジアゾール化合物、３−（４−ビフェニルイル）−４−フェニル−５−ｔ−ブチルフェニル−１，２，４−トリアゾール（ＴＡＺ）などのトリアゾール誘導体、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼンなどのスチリルベンゼン化合物、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体などの蛍光性有機材料、ならびにアゾメチン亜鉛錯体、（８−ヒドロキシキノリナト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３）などの蛍光性有機金属化合物などが挙げられる。
【００２１】
高分子発光材料としては、例えば、ポリ（２−デシルオキシ−１，４−フェニレン）（ＤＯ−ＰＰＰ）、ポリ［２，５−ビス−［２−（Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリエチルアンモニウム）エトキシ］−１，４−フェニル−アルト−１，４−フェニルレン］ジブロマイド（ＰＰＰ−ＮＥｔ３＋）、ポリ［２−（２’−エチルヘキシルオキシ）−５−メトキシ−１，４−フェニレンビニレン］（ＭＥＨ−ＰＰＶ）、ポリ［５−メトキシ−（２−プロパノキシサルフォニド）−１，４−フェニレンビニレン］（ＭＰＳ−ＰＰＶ）、ポリ［２，５−ビス−（ヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン−（１−シアノビニレン）］（ＣＮ−ＰＰＶ）、ポリ（９，９−ジオクチルフルオレン）（ＰＤＡＦ）などが挙げられる。
【００２２】
また、高分子発光材料の前駆体としては、例えば、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＰＶ）、ポリ（ｐ−ナフタレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＮＶ）、ポリ（ｐ−フェニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＰＰ）などが挙げられる。
【００２３】
結着用樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、ポリエステルなどが挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００２４】
水性溶媒としては、前記の発光材料を溶解または分散できる溶媒であれば、特に限定されるものではない。具体的には、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、クロロホルム、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼンなどの溶剤を含む水性溶媒が挙げられる。
【００２５】
本発明の発光層形成用塗液は、上記の各成分を用いて調製されるが、その固形分は、０．０１〜２０重量％、好ましくは０．１〜１０重量％、より好ましくは１〜５重量％である。
【００２６】
また、本発明の発光層形成用塗液の粘度（２５℃）は、１００ｃｐｓ以下が好ましく、１〜１００ｃｐｓがより好ましく、例えば１０ｃｐｓが特に好ましい。塗液の粘度が１００ｃｐｓを超えるときには、均一な膜厚の発光層が得られず、実用に適さないので好ましくない。塗液の粘度は、固形分の量などにより適宜調整することができる。
【００２７】
電荷輸送層形成用塗液は、１種もしくは２種以上の電荷輸送材料と前記の表面張力調整剤とを水性溶媒に溶解もしくは分散させた水性溶液であり、任意に結着用樹脂、レベリング剤、添加剤（ドナー、アクセプターなど）などを含む。以下にそれぞれの材料を例示するが、これらは本発明を限定するものではない。
【００２８】
電荷輸送材料としては、有機ＬＥＤ用、有機光導電体用の公知の電荷輸送材料を用いることができる。このような電荷輸送材料は、正孔注入材料、正孔輸送材料および電子輸送材料に分類され、これらの具体的な化合物を以下に例示するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００２９】
正孔輸送材料としては、例えば、無機ｐ型半導体材料；ポルフィリン化合物、Ｎ，Ｎ’−ビス−（３−メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ビス−（フェニル）−ベンジジン（ＴＰＤ）、Ｎ，Ｎ’−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニルーベンジジン（ＮＰＤ）などの芳香族第三級アミン化合物、ヒドラゾン化合物、キナクリドン化合物、スチリルアミン化合物などの低分子材料；ポリアニリン（ＰＡＮＩ）、ポリアニリン−樟脳スルホン酸（ＰＡＮＩ−ＣＳＡ）、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンサルフォネイト（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）、ポリ（トリフェニルアミン誘導体）（Ｐｏｌｙ−ＴＰＤ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＣｚ）などの高分子材料；ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＰＶ）、ポリ（ｐ−ナフタレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＮＶ）などの高分子材料の前駆体などが挙げられる。
【００３０】
電子輸送材料としては、例えば、無機ｎ型半導体材料；オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、チオピラジンジオキシド誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体などの低分子材料；ポリ（オキサジアゾール）（Ｐｏｌｙ−ＯＸＺ）などの高分子材料が挙げられる。
上記の電荷輸送材料の中でも、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳのようなポリチオフェン誘導体またはＰＡＮＩ−ＣＳＡのようなポリアニリン誘導体からなる正孔輸送材料が好ましい。
【００３１】
結着用樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、ポリエステルなどが挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００３２】
水性溶媒としては、前記の電荷輸送材料を溶解または分散できる溶媒であれば、特に限定されるものではない。具体的には、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、クロロホルム、トルエン、キシレン、トリメチルベンゼンなどの溶剤を含む水性溶媒が挙げられる。
【００３３】
本発明の電荷輸送層形成用塗液は、上記の各成分を用いて調製されるが、その固形分は、好ましくは０．０１〜２０重量％、より好ましくは０．１〜１０重量％、さらに好ましくは１〜５重量％である。
【００３４】
また、本発明の電荷輸送層形成用塗液の粘度（２５℃）は、１００ｃｐｓ以下が好ましく、１〜１００ｃｐｓがより好ましく、例えば１０ｃｐｓが特に好ましい。塗液の粘度が１００ｃｐｓを超えるときには、均一な膜厚の電荷輸送層が得られず、実用に適さないので好ましくない。塗液の粘度は、固形分の量などにより適宜調整することができる。
【００３５】
本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムは、光−熱変換層、任意に熱伝播層および／またはガス発生層が積層されたベースフィルム上に単層または多層の転写層が積層されてなり、前記転写層の少なくとも１層が、上記の有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いてウエットプロセスで形成されてなることを特徴とする。
【００３６】
本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムは、転写層の種類によって、発光層形成用ドナーフィルム、電荷輸送層形成用ドナーフィルム（正孔注入層形成用ドナーフィルム、正孔輸送層形成用ドナーフィルム、電子注入層形成用ドナーフィルムおよび電子輸送層形成用ドナーフィルム）などとも称する。
【００３７】
次に、本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの各構成要素について説明する。
【００３８】
ベースフィルム６は、基材フィルム１上に少なくとも光−熱変換層２が形成されたものである（図１（ａ）参照）。また、必要に応じて、光−熱変換層２上に熱伝播層４が形成されていてもよく（図１（ｂ）参照）、さらにガス発生層５が形成されていてもよい（図１（ｃ）参照）。
【００３９】
（１．基材フィルム）
基材フィルムは、透明高分子フィルムからなる。例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエステル、ポリアクリル、エポキシ樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリエーテルスルフォンなどが挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。これらの中でも、ＰＣ、ＰＥＴが特に好ましい。また、基材フィルムの膜厚としては、１０〜６００μｍが好ましく、５０〜２００μｍが特に好ましい。
【００４０】
（２．光−熱変換層）
光−熱変換層（「光吸収層」ともいう）は、光を吸収し効率よく熱を発生させる性質を有する物質から構成される。例えば、アルミニウム、その酸化物および／またはその硫化物からなる金属膜、カーボンブラック、黒鉛または赤外線染料などを高分子材料（例えば、熱硬化型エポキシ樹脂）に分散した有機膜が挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００４１】
金属膜は、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などの公知の方法により形成することができ、その膜厚は、５０〜１０，０００Åが好ましく、１００〜５，０００Åが特に好ましい。
また、有機膜は、公知のコーティング法により形成することができ、その膜厚は、０．０１〜５０μｍが好ましく、０．１〜１０μｍが特に好ましい。
【００４２】
（３．熱伝播層）
熱伝播層（「剥離層」ともいう）は、転写を効率よく行うために熱を伝播させる層である。例えば、ポリαメチルスチレンなどの高分子材料が挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではない。
熱伝播層は、公知の成膜法により形成することができ、その膜厚は、０．００１〜１０μｍが好ましく、０．００５〜５μｍが特に好ましい。
【００４３】
（４．ガス発生層）
ガス発生層は、光または熱を吸収すると分解反応を起こして、例えば、窒素ガスまたは水素ガスを放出し、転写のためのエネルギーを提供する、すなわち、転写効率の向上に寄与する層である。ガス発生層を構成する材料としては、例えば、四硝酸ペンタエリトリトール、トリニトロトルエンなどが挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
ガス発生層は、公知の成膜法により形成することができ、その膜厚は、０．００１〜１０μｍが好ましく、０．００５〜５μｍが特に好ましい。
【００４４】
（５．転写層）
転写層は、転写工程により実際に転写される層であり、有機ＬＥＤ層のみの構造でも電極層と有機ＬＥＤ層を組合わせた構造でもよい。具体的には、下記の構成が挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
(1)有機ＬＥＤ層
(2)第１電極／有機ＬＥＤ層
(3)有機ＬＥＤ層／第２電極
(4)第１電極／有機ＬＥＤ層／第２電極
なお、ベースフィルムに対する転写層の積層順は限定されない。
【００４５】
（５−１．有機ＬＥＤ層）
有機ＬＥＤ層は、単層構造でも多層構造でもよく、具体的には、下記の構成が挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
▲１▼正孔輸送層／発光層
▲２▼正孔輸送層／発光層／電子輸送層
▲３▼正孔注入層／正孔輸送層／発光層／電子輸送層
ここで、発光層、正孔注入層、正孔輸送層および電子輸送層の各層は、それぞれ単層構造でも多層構造でもよい。
【００４６】
本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムは、転写層となる発光層、正孔輸送層、電子輸送層および正孔注入層などの有機ＬＥＤ層が、本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いて、公知のウエットプロセスで形成（成膜）されてなる。
ウエットプロセスとしては、スピンコート法、ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、スプレーコート法などの塗布法、インクジェット法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート法などの印刷法などが挙げられ、中でも膜厚の均一性、材料の利用効率の点から、マイクログラビアコート法が好ましい。
【００４７】
転写層となる有機ＬＥＤ層が多層構造の場合には、少なくとも１層が本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液を用いて、公知のウエットプロセスで形成されていればよく、他の有機ＬＥＤ層は、本発明の有機ＬＥＤ層形成用塗液から溶媒を除いた材料を用いて、真空蒸着法、ＥＢ法、ＭＢＥ法、スパッタ法、ＯＶＰＤ法などの公知のドライプロセスにより形成（成膜）されていてもよい。
【００４８】
上記の各有機ＬＥＤ層の膜厚は、通常１〜１０００ｎｍ程度である。
有機ＬＥＤ層を成膜する際の環境は特に限定されるものではないが、形成した膜の吸湿、用いた有機材料の変質を防止する観点から、不活性ガス中もしくは真空中で行うのが好ましい。
また、ウエットプロセスにより有機ＬＥＤ層を形成した後には、残留溶媒を除去する目的で、加熱乾燥を行うのが好ましい。加熱乾燥を行う環境は特に限定されるものではないが、用いた有機材料の変質を防止する観点から、不活性ガス中、好ましくは減圧下で行うのが好ましい。
【００４９】
図２および図３は、本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの製造におけるベースフィルム上への有機ＬＥＤ層の成膜工程を示す概略断面図である。これらの図では、マイクログラビア法でベースフィルム６上に有機ＬＥＤ層を成膜している。また、図３では、２層の有機ＬＥＤ層を連続的に成膜している。図中、６はベースフィルム、８はロール、９はマイクログラビアロール、１０は乾燥機、１１は冷却機である。
【００５０】
（５−２．第１電極および第２電極）
第１電極および第２電極を形成する電極材料としては、公知の電極材料を用いることができる。陽極を形成する電極材料としては、仕事関数が高い金属（Ａｕ、Ｐｔ、Ｎｉなど）および透明電極材料（ＩＴＯ、ＩＤＩＸＯ、ＳｎＯ2など）などが挙げられる。また、陰極を形成する電極材料としては、仕事関数の低い金属を少なくとも含有するもの（Ｃａ、Ｃｅ、Ｃｓ、Ｂａ、Ａｌ、Ｍｇ：Ａｇ合金、Ｌｉ：Ａｌ合金）および薄膜の絶縁層と金属電極とを組み合わせたもの（ＬｉＦ／Ａｌ、Ｌｉ2Ｏ／Ａｌ、ＬｉＦ／Ｂａ／Ａｌなど）などが挙げられる。
各電極は、これらの材料を用いてＥＢ法、スパッタ法、抵抗加熱蒸着法などの公知の方法により形成することができるが、本発明はこれらに限定されるものではない。その膜厚は、通常０．５〜１０００ｎｍ程度である。また、フォトリソグラフフィー法により、形成した電極をパターニングすることもできる。
【００５１】
図１は、本発明のドナーフィルムの部分概略断面図である。（ａ）は基材フィルム１と光−熱変換層２からなるベースフィルム６および転写層３から構成されるドナーフィルム７であり、（ｂ）は基材フィルム１と光−熱変換層２と熱伝播層４からなるベースフィルム６および転写層３から構成されるドナーフィルム７であり、（ｃ）は基材フィルム１と光−熱変換層２と熱伝播層４とガス発生層５からなるベースフィルム６および転写層３から構成されるドナーフィルム７である。
【００５２】
本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法は、基板／第１電極／少なくとも発光層を含む有機ＬＥＤ層／第２電極からなる有機ＬＥＤ表示パネルを製造するに当り、基板上または基板上に形成した所要の積層物上に、ベースフィルムが外側になるように上記の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを貼り付け、次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し、転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層を転写形成することを特徴とする。
【００５３】
有機ＬＥＤ表示パネルは、基本的に第１電極、少なくとも１層の発光層を有する有機ＬＥＤ層（有機層）および第２電極が順次積層された有機ＬＥＤ素子を一画素として、複数配置（パターン化）することにより製造される。
【００５４】
次に、図４を用いて、本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法を具体的に説明するが、これにより本発明が限定されるものではない。
【００５５】
図４では、転写層３が形成されたベースフィルム６（本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルム）と第１電極１５が形成された基板１２とを、ベースフィルム６と基板１２とが外側になるように貼り付け、ベースフィルム側（ベースフィルムの基材フィルム側）から光（例えば、レーザー光）を照射もしくは熱を放射する。次いで、転写層３の一部もしくはすべてを残して、ドナーフィルムを剥離することにより転写が完了する。その後、基板１２を真空乾燥または加熱乾燥するのが好ましく、一連の転写工程は、形成層（膜）の吸湿や材料の変質を考慮して、不活性ガス中で行うのが好ましい。
【００５６】
転写層は、前記のように単層構造、多層構造のいずれであってもよい。転写層が有機ＬＥＤ素子の構成層をすべて含む多層構造である場合には、転写工程は１回で完了するが、転写層が有機ＬＥＤ素子の構成層の一部を含む単層または多層構造である場合には、前記の転写工程を繰り返せばよい。すなわち、転写層として、異なる特性をもつ有機層をそれぞれ別々のベースフィルム上に成膜したものを用いて、転写工程を繰り返して、基板上に有機層の多層膜を形成してもよい。
【００５７】
また、本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムを用いた転写法と、公知のドライプロセスおよび／またはウエットプロセスとを組み合せて、有機ＬＥＤパネルを製造してもよい。公知のドライプロセスとしては、真空蒸着法、ＥＢ法、ＭＢＥ法、スパッタ法などが挙げられ、公知のウエットプロセスとしては、スピンコート法、ディップコート法、ドクターブレード法、吐出コート法、スプレーコート法などの塗布法、インクジェット法、凸版印刷法、凹版印刷法、スクリーン印刷法、マイクログラビアコート法などの印刷法が挙げられる。
【００５８】
上記のような転写層として、例えば、正孔輸送層／赤色発光層からなる有機赤色発光多層膜、正孔輸送層／緑色発光層からなる有機緑色発光多層膜、および正孔輸送層／青色発光層からなる有機青色発光多層膜を有する３種類のドナーフィルムを用いて、基板上に転写工程を繰り返すことにより、赤色、緑色および青色の発光多層膜を有する有機ＬＥＤ表示パネルを得ることができる。
【００５９】
第１電極または第２電極を有するドナーフィルムを用いて転写法で各電極を形成した場合には、転写工程後に各電極を形成しなくてもよいが、転写形成された第１電極または第２電極上にさらに金属膜を形成して、第１電極または第２電極としてもよい。
【００６０】
本発明で用いられる基板としては、例えば、ガラス、石英などの無機材料；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などのプラスティック；アルミナなどのセラミックスなどの絶縁性基板；アルミニウム、鉄などの金属基板にＳｉＯ2、有機絶縁材料などの絶縁物をコートした基板；アルミニウムなどの金属基板の表面を陽極酸化などの方法で絶縁化処理を施した基板など挙げられるが、本発明はこれらにより限定されるものではない。
【００６１】
また、基板上には、薄膜トランジスタなどのスイッチング素子および／または隔壁が形成されていてもよい。
低温プロセスで形成したポリシリコンＴＦＴを用いて薄膜トランジスタを形成するためには、５００℃以下の温度で融解せず、かつ歪みが生じない基板が好ましい。また、高温プロセスで形成したポリシリコンＴＦＴを用いて薄膜トランジスタを形成するためには、１０００℃以下の温度で融解せず、かつ歪みが生じない基板が好ましい。
【００６２】
図５は、本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法における転写工程の一例を示す概略図である。図５では、光または熱１４によって、ロール１３に巻き取られたドナーフィルム７上に形成された転写層（図示しない）が基板１２上に転写されている。ここでは、フィルムの巻取りにより、ドナーフィルムの剥離が連続して行なわれている。また、基板１２が左から右に移動することにより、同様の転写工程が３回繰り返されている。これにより、例えば、赤色、緑色、青色発光画素を同一の工程で形成することができる。
【００６３】
図６の（ａ）〜（ｊ）は、本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法における他の転写工程の一例を示す概略工程図である。
この工程では、まず、（ａ）第１電極１５および隔壁１６が形成された基板１２上に、転写層として赤色発光層１７が形成されたベースフィルム６（有機ＬＥＤ用ドナーフィルム）をベースフィルム６が外側になるように貼り付け、（ｂ）次いでベースフィルム側から光を照射または熱を放射し（図番１４）、（ｃ）転写層の一部もしくはすべてを残してドナーフィルムを剥離して、有機ＬＥＤ層として赤色発光層を転写形成する。引き続き、緑色発光層１８が形成されたベースフィルムおよび青色発光層１９が形成されたベースフィルムをそれぞれ用いて、工程（ａ）〜（ｃ）と同様にして、工程（ｄ）〜（ｆ）および工程（ｇ）〜（ｉ）で緑色発光層および青色発光層を転写形成する。（ｊ）次いで、転写形成した各発光層の全面に公知の方法で第２電極２０を形成する。
【００６４】
本発明の有機ＬＥＤ表示パネルには、発光を取り出す側の電極上に、偏光板を設けるのが好ましい。用いられる偏光板としては、従来の直線偏光板と１／４λ板を組み合わせたものが好ましい。これにより、有機ＬＥＤ素子としてのコントラストを向上させることができる。
【００６５】
本発明の有機ＬＥＤ表示パネルには、発光を取り出す側の電極上に、封止膜、封止基板を設けるのが好ましい。用いられる封止膜または封止基板としては、公知の封止材料および封止方法を用いて形成したものが好ましい。具体的には、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスをガラス、金属などで封止する方法、および不活性ガス中に酸化バリウムなどの吸湿剤などを混入する方法が挙げられるが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、対向電極上に樹脂を直接スピンコートもしくは貼り合わせて封止膜とすることもできる。この封止膜により、外部から素子内への酸素や水分の混入を防止することができ、素子の寿命が向上する。
【００６６】
本発明によれば、上記の製造方法により製造された有機ＬＥＤ表示パネルが提供される。その駆動方法としては、パッシブマトリックス駆動、アクティブマトリックス駆動などの従来の有機ＬＥＤ表示パネルの駆動方法を用いることができ、本発明ではこれらに限定されるものではない。
【００６７】
【実施例】
本発明を実施例および比較例に基づいてさらに具体的に説明するが、これらの実施例により本発明が限定されるものではない。
実施例および比較例で得られた塗液の２０℃における表面張力を、表面張力測定機（協和界面科学株式会社製、型式：ＣＡ−Ａ）を用いて測定した（単位：ｍＮ／ｍ）。
また、実施例および比較例で得られた塗液の２５℃における粘度を、粘度測定機（ファンギラブ社製、型式：ビスコベーシック）を用いて測定した（単位：ｃｐｓ）。
【００６８】
（比較例１）
基材フィルムとして膜厚０．１ｍｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が５μｍになるようにコーティングして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層（剥離層）として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が１μｍになるようにコーティング形成して、ベースフィルムを得た。
【００６９】
次いで、ベースフィルム上に、正孔輸送層形成用塗液を用いて、スピンコーターで正孔輸送層となる膜厚５０ｎｍの転写層を形成した。ここで、正孔輸送層形成用塗液としては、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンサルフォネイト（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を純水に固形分１ｗｔ％で溶かしたものを用いた。この正孔輸送層形成用塗液の表面張力および粘度は６３．８ｍＮ／ｍおよび８．４ｃｐｓであった。
なお、転写層を形成したベースフィルム上に「ハジキ」があるかどうかを光学顕微鏡で観察した。観察の結果を「ハジキ」の有無として、用いた正孔輸送層形成用塗液の表面張力と共に表１に示す。
【００７０】
（実施例１）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、メタノールを１０重量％添加すること以外は比較例１と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７１】
（実施例２）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、メタノールを５０重量％添加すること以外は比較例１と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７２】
（実施例３）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、エタノールを５０重量％添加すること以外は比較例１と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７３】
（実施例４）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、界面活性剤  サーフィノール１０４ＰＡ（信越化学工業株式会社製）を０．１重量％添加すること以外は比較例１と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７４】
（実施例５）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、界面活性剤  サーフィノール１０４Ｅ（信越化学工業株式会社製）を０．１重量％添加すること以外は比較例１と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７５】
（比較例２）
基材フィルムとして膜厚０．１ｍｍのＰＥＴフィルムを用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が５μｍになるようにコーティングして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層（剥離層）として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が１μｍになるようにコーティング形成して、ベースフィルムを得た。
【００７６】
次いで、ベースフィルム上に、正孔輸送層形成用塗液を用いて、スピンコーターで正孔輸送層となる膜厚５０ｎｍの転写層を形成した。ここで、正孔輸送層形成用塗液としては、ポリアニリン−樟脳スルホン酸（ＰＡＮＩ−ＣＳＡ）を純水に固形分１ｗｔ％で溶かしたものを用いた。この正孔輸送層形成用塗液のおよび粘度は６７．６ｍＮ／ｍおよび６．４ｃｐｓであった。
比較例１と同様にして、得られたベースフィルムを評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７７】
（実施例６）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、メタノールを１０重量％添加すること以外は比較例２と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７８】
（実施例７）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、メタノールを５０重量％添加すること以外は比較例２と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００７９】
（実施例８）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、エタノールを５０重量％添加すること以外は比較例２と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００８０】
（実施例９）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、界面活性剤  ライポンＬＨ−５００（ライオン株式会社製）を０．１重量％添加すること以外は比較例２と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００８１】
（実施例１０）
正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤として、界面活性剤  アンヒトール２０Ｎ（花王株式会社製）を０．１重量％添加すること以外は比較例２と同様にして、ベースフィルムを得、評価した。得られた結果を表１に示す。
【００８２】
【表１】
0004004255.tif 000002
【００８３】
表１の結果から、正孔輸送層形成用塗液に表面張力調整剤を添加した場合には、表面張力が６０ｍＮ／ｍ以下になり、正孔輸送層となる転写層に「ハジキ」が起こらず、ベースフィルム上に効率よく、かつ均一な転写層を形成できることがわかる。
【００８４】
（実施例１１）
（ＴＦＴ基板の作製）
ガラス基板上に、Ｓｉ2Ｈ6の分解によるＬＰ−ＣＶＤ法により、膜厚５０ｎｍのα−Ｓｉ膜を成膜し、その後、エキシマレーザアニール法によりα−Ｓｉを多結晶化した。次に、チャンネル部、ソース・ドレイン部からなるＰｏｌｙ−Ｓｉ膜をエッチング加工し、ゲート絶縁膜としてＰｏｌｙ−Ｓｉを１０００℃以上で熱酸化して、膜厚５０ｎｍのＳｉＯ2を形成した。この後、ゲート電極として膜厚１００ｎｍのＡｌをスパッタリングで成膜した。そして、ゲート電極をパターニングした。また、コンデンサーの下部電極を加工した。この後、ゲート電極側面を陽極酸化し、オフセット部を形成し、その後、イオンドーピング法によりソース・ドレイン部にリンを高濃度にドープした。走査線を形成し、この後、更にソース・ドレインメタル、共通電極を形成した。次いで、コンデンサーの上部電極を形成し、低温プロセスによりＰｏｌｙ−Ｓｉ  ＴＦＴを形成した。
【００８５】
次に、平坦化膜として膜厚３μｍのＳｉＯ2膜を形成した。次に、この平坦化膜上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィー法によりコンタクトホール部分が貫けたパターンを形成した後、エッチングによりコンタクトホールを開口させ、レジストを洗い流した。
次に、絶縁膜上に、スパッタ法により膜厚４μｍのアルミニウムを成膜した。次に、これを研磨することで絶縁膜上に形成されたアルミニウムを除去すると同時に、絶縁膜とコンタクトホール中の接続配線を平坦化した。
【００８６】
そして、この平坦化された膜上にコンタクトホールを介してドレイン電極と電気的に接続するように、スパッタ法により膜厚１５０ｎｍのアルミニウムを成膜した。その後、エッチングして画素電極とした。成膜した透明電極は、面抵抗＜１０Ω／□、透過率＞８７％（５５０ｎｍ）、平坦性±２％であった。次に、フォトリソグラフィー法により、画素電極を所定の形状にパターン化した。
次に、絶縁膜として膜厚２００ｎｍのＳｉＯ2を成膜した。その上にレジストを塗布し、所定の形状にパターン化した。次に、ドライエッチングにより画素間にテーパー状になるような形にＳｉＯ2をエッチングし、絶縁膜を画素間に形成した。これにより、画素電極のエッジ部での電界集中による素子の劣化を防止することができる。また、テーパー状にすることにより、転写法により有機ＬＥＤ層を形成した場合に、ドナーフィルム（転写層である有機ＬＥＤ層）が完全に基板に密着するので、有機ＬＥＤ層の転写されない部分が生ずることを防止できる。
【００８７】
以下の赤色、緑色、青色の各発光画素形成用ドナーフィルムの作製からそれらのパターニング転写、対向電極および封止膜の形成までの工程は、有機層、電極の劣化を防止するために不活性ガス中または真空中で行った。
【００８８】
（赤色発光画素形成用ドナーフィルムの作製）
基材フィルムとして膜厚０．１ｍｍのＰＥＴフィルムを用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が５μｍになるようにコーティングして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層（剥離層）として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が１μｍになるようにコーティング形成して、ベースフィルムを得た。
【００８９】
次いで、ベースフィルム上に、実施例３で用いた正孔輸送層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで正孔輸送層となる膜厚５０ｎｍの転写層を形成した。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。
【００９０】
次いで、正孔輸送層上に、赤色発光層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで赤色発光層となる膜厚７５ｎｍの転写層を形成した。ここで、赤色発光層形成用塗液としては、ポリ［２，５−ビス−（ヘキシルオキシ）−１，４−フェニレン−（１−シアノビニレン）］（ＣＮ−ＰＰＶ）をクロロホルムに固形分２ｗｔ％で溶かしたものを用いた。なお、このときの塗液の表面張力は１６．７ｍＮ／ｍで、粘度は２．６ｃｐｓであった。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去して、赤色発光画素形成用ドナーフィルムを得た。
【００９１】
（緑色発光画素形成用ドナーフィルムの作製）
基材フィルムとして膜厚０．１ｍｍのＰＥＴフィルムを用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が５μｍになるようにコーティングして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層（剥離層）として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が１μｍになるようにコーティング形成して、ベースフィルムを得た。
【００９２】
次いで、ベースフィルム上に、実施例３で用いた正孔輸送層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで正孔輸送層となる膜厚５０ｎｍの転写層を形成した。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。
【００９３】
次いで、正孔輸送層上に、緑色発光層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで緑色発光層となる膜厚７５ｎｍの転写層を形成した。ここで、緑色発光層形成用塗液としては、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）前駆体（Ｐｒｅ−ＰＰＶ）をメタノールに固形分２ｗｔ％で溶かしたものを用いた。なお、このときの塗液の表面張力は１７．２ｍＮ／ｍで、粘度は３．６ｃｐｓであった。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去すると同時にＰｒｅ−ＰＰＶをＰＰＶに変換して、緑色発光画素形成用ドナーフィルムを得た。
【００９４】
（青色発光画素形成用ドナーフィルムの作製）
基材フィルムとして膜厚０．１ｍｍのＰＥＴフィルムを用い、このフィルム上に光−熱変換層として、カーボン粒子を混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚が５μｍになるようにコーティングして室温硬化させた。次に、その上に熱伝播層（剥離層）として、ポリαメチルスチレン膜を膜厚が１μｍになるようにコーティング形成して、ベースフィルムを得た。
【００９５】
次いで、ベースフィルム上に、実施例３で用いた正孔輸送層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで正孔輸送層となる膜厚５０ｎｍの転写層を形成した。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去した。
【００９６】
次いで、正孔輸送層上に、青色発光層形成用塗液を用いて、マイクログラビアコーターで青色発光層となる膜厚７５ｎｍの転写層を形成した。ここで、青色発光層形成用塗液としては、ポリ（９，９−ジオクチルフルオレン）（ＰＤＡＦ）をキシレンに固形分１ｗｔ％で溶かしたものを用いた。なお、このときの塗液の表面張力は１７．８ｍＮ／ｍで、粘度は６．６ｃｐｓであった。次に、このフィルムを１１０℃で５分間、高純度窒素雰囲気中で加熱し、転写層中の溶媒を除去して、青色発光画素形成用ドナーフィルムを得た。
【００９７】
（パターニング転写）
ｐ−Ｓｉ  ＴＦＴを形成した基板に、赤色発光画素形成用ドナーフィルムを貼り付けて、１３ＷのＹＡＧレーザーを所望の位置に走査し、ベースフィルムを剥離して、ｐ−Ｓｉ  ＴＦＴを形成した基板に、赤色発光画素形成用ドナーフィルム中の正孔輸送層と赤色発光層（赤色発光画素）をパターニング転写した。
次に、緑色発光画素形成用ドナーフィルムおよび青色発光画素形成用ドナーフィルムをそれぞれ用い、赤色発光画素と同様にして、緑色発光画素および青色発光画素を、ｐ−Ｓｉ  ＴＦＴを形成した基板にパターニング転写した。
【００９８】
（対向電極および封止膜の形成）
各発光画素を形成した基板を、真空中、１００℃で３０分間加熱することにより、有機膜中に吸着した水分を完全に除去した。
次に、前記の真空状態を保持し、基板を金属蒸着用チャンバーに固定し、室温でのスパッタ法により、対向電極（透明電極）として膜厚１５０ｎｍになるように透明導電膜（出光興産株式会社製、商品名：ＩＤＩＸＯ）を全面に成膜した。この対向電極上の全体に、スピンコート法により、封止膜として膜厚が１μｍになるようにエポキシ樹脂を成膜し、有機ＬＥＤ表示パネルを完成した。
【００９９】
完成した有機ＬＥＤ表示パネルを駆動回路に接続し、信号線に電源を接続し、走査線に順次走査信号を入力したところ、全画素から発光ムラのない発光が観測された。
【０１００】
【発明の効果】
本発明によれば、転写法で有機ＬＥＤ表示パネルを製造する際に用いるベースフィルムの転写層を、効率よく、かつ均一に形成することができる。また、得られた転写層は成膜性が良好であるので、発光ムラのない有機ＬＥＤ表示パネルを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの部分概略断面図である。
【図２】本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの製造におけるベースフィルム上への有機ＬＥＤ層の成膜工程を示す概略断面図である。
【図３】本発明の有機ＬＥＤ用ドナーフィルムの製造におけるベースフィルム上への有機ＬＥＤ層の他の成膜工程を示す概略断面図である。
【図４】本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法を示す概略断面図である。
【図５】本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法における転写工程の一例を示す概略図である。
【図６】本発明の有機ＬＥＤ表示パネルの製造方法における他の転写工程の一例を示す概略工程図である。
【符号の説明】
１  基材フィルム
２  光−熱変換層
３  転写層
４  熱伝播層
５  ガス発生層
６  ベースフィルム
７  ドナーフィルム
８、１３  ロール
９  マイクログラビアロール
１０  乾燥機
１１  冷却機
１２  基板
１３  ロール
１４  光（レーザー）または熱
１５  第１電極
１６  隔壁
１７  赤色発光層
１８  緑色発光層
１９  青色発光層
２０  第２電極
【図１】
0004004255.tif 000003
【図２】
0004004255.tif 000004
【図３】
0004004255.tif 000005
【図４】
0004004255.tif 000006
【図５】
0004004255.tif 000007
【図６】
0004004255.tif 000008