(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧加工操作のため液圧ポンプに閉回路接続され液圧ポンプからの圧液により作動する液圧シリンダと、液圧ポンプを駆動する電動機と、インバータを介して電動機を給電制御し、電動機の速度、変位が入力する設定信号に応じた値となるよう調整する電動機駆動装置と、電動機駆動装置へ設定信号を出力する制御装置とを備え、制御装置は、加圧力が目標加圧力よりも小さい前目標値に達することを検出する第１の加圧力検出機構と、第１の加圧力検出機構で加圧力が前目標値に達したことを検出して作動され、液圧シリンダの前進速度を前目標値に達する前よりも小さい速度とする第１の速度設定信号を出力する低速信号発生機構と、液圧シリンダの作動位置を保つように変位設定信号を出力する定位置信号発生機構と、低速信号発生機構からの第１の速度設定信号に基づき液圧シリンダが作動しているとき加圧力を検出してこれが目標加圧力に達したことを検出すると、このときの液圧シリンダの作動位置を保つよう定位置信号発生機構を作動させる第２の加圧力検出機構と、液圧シリンダの加圧力が目標加圧力よりも、所定より大きいときには反加圧方向への第２の速度設定信号を、また所定より小さいときには加圧方向への第３の速度設定信号を出力する補正機構と、定位置信号発生機構が作動しているとき加圧力と目標加圧力との偏差を検出し偏差が所定以上に大きくなると補正機構を作動させる第１の加圧力偏差検出機構と、補正機構が作動しているとき加圧力と目標加圧力との偏差を検出し偏差が所定より小さくなるとこのときの液圧シリンダの作動位置を保つよう定位置信号発生機構を作動させる第２の加圧力偏差検出機構とを有し、第２の速度設定信号は、第１及び第３の速度設定信号よりも、小さな液圧シリンダ速度をもたらすように選定された液圧作動加圧加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液圧ポンプからの加圧液を受けて作動する液圧シリンダを利用し、かしめ、絞り加工、圧入、粉末成形などの各種加圧加工を行う液圧作動加圧加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような加工装置が、実開平２−１１７００号公報に記載されている。そしてこのものでは、油圧シリンダへの圧油供給経路に設けた電磁比例式のリリーフ弁により供給油圧を制御して適正な加圧力を得るようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このようにリリーフ弁を用いて供給油圧を制御し加圧力を得る場合、油圧ポンプの吐出油のうち、油圧シリンダへ供給される以外はリリーフ弁からタンクに戻されるので、油圧ポンプは加圧加工に要する以上の動力を費やすこととなり、大きな動力損失が生じる問題点がある。
【０００４】
本発明は、液圧ポンプからの無駄な吐出を抑えて、動力損失の小さな液圧作動加圧加工装置を実現しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
このため本発明の液圧作動加圧加工装置は、加圧加工操作のため液圧ポンプに閉回路接続され液圧ポンプからの圧液により作動する液圧シリンダと、液圧ポンプを駆動する電動機と、インバータを介して電動機を給電制御し、電動機の速度、変位が入力する設定信号に応じた値となるよう調整する電動機駆動装置と、電動機駆動装置へ設定信号を出力する制御装置とを備えたものとした。そして、この制御装置は、加圧力が目標加圧力よりも小さい前目標値に達することを検出する第１の加圧力検出機構と、第１の加圧力検出機構で加圧力が前目標値に達したことを検出して作動され、液圧シリンダの前進速度を前目標値に達する前よりも小さい速度とする第１の速度設定信号を出力する低速信号発生機構と、液圧シリンダの作動位置を保つように変位設定信号を出力する定位置信号発生機構と、低速信号発生機構からの第１の速度設定信号に基づき液圧シリンダが作動しているとき加圧力を検出してこれが目標加圧力に達したことを検出すると、このときの液圧シリンダの作動位置を保つよう定位置信号発生機構を作動させる第２の加圧力検出機構と、液圧シリンダの加圧力が目標加圧力よりも、所定より大きいときには反加圧方向への第２の速度設定信号を、また所定より小さいときには加圧方向への第３の速度設定信号を出力する補正機構と、定位置信号発生機構が作動しているとき加圧力と目標加圧力との偏差を検出し偏差が所定以上に大きくなると補正機構を作動させる第１の加圧力偏差検出機構と、補正機構が作動しているとき加圧力と目標加圧力との偏差を検出し偏差が所定より小さくなるとこのときの液圧シリンダの作動位置を保つよう定位置信号発生機構を作動させる第２の加圧力偏差検出機構とを有したものとし、また、第２の速度設定信号は、第１及び第３の速度設定信号よりも、小さな液圧シリンダ速度をもたらすように選定している。
【０００６】
このような構成によると、液圧シリンダにより作動される加圧具がワークに当接し加工操作が開始されるとこれに応じ加圧力が増加し、この加圧力が前設定値に達するまで増加したことを第１の加圧力検出機構が検出することにより低速信号発生機構が作動して第１の速度設定信号が電動機駆動装置に出力され、電動機はこの速度設定信号に応じた低速状態で駆動され、液圧シリンダは電動機駆動状態に応じた流量の圧液を液圧ポンプから受けて加工操作を行う。そして、加工の進行により、加圧力が設定加圧力に達すると第２の加圧力検出機構によって定位置信号発生機構が作動され、このときの液圧シリンダの作動位置を保持するように、変位設定信号が電動機駆動装置へ出力される。これにより、電動機はその回転変位量を加圧力の負荷に抗してこの変位設定信号に応じた値に保つように不動の状態となり、液圧シリンダは停止状態となる。
【０００７】
この状態で、加圧力と目標加圧力との偏差が所定より大きくなると、第１の加圧力偏差検出機構により補正機構が作動され、これにより、前記偏差において、液圧シリンダの加圧力が目標加圧力よりも、所定より大きいときには反加圧方向への第２の速度設定信号が、また所定より小さいときには加圧方向への第３の速度設定信号が電動機駆動装置に出力されて電動機はこれら速度設定信号に応じた速度で逆転、あるいは正転されて液圧ポンプが反加圧方向あるいは加圧方向へ作動されて加圧力が減少あるいは増加する。
【０００８】
補正機構からの速度設定信号により電動機が駆動されているとき、第２の加圧力偏差検出機構により、加圧力と目標加圧力との偏差が所定より小さくなったことが検出されると、このときの液圧シリンダの作動位置を保つように変位設定信号が定位置信号発生機構によって出力され、再び電動機が前記のように不動の状態になる。このように、加圧力と目標加圧力の偏差の増減に応じて、第１の加圧力偏差検出機構による補正機構の作動や、第２の加圧力偏差検出機構による定位置信号発生機構の作動が繰り返され、加圧力と目標加圧力との偏差が所定範囲に保たれて目標加圧力に実質的に等しい加圧力が得られる。
【０００９】
そして、このように、加工が行われる際には、漏れ等の損失を除き、液圧ポンプは液圧シリンダを作動させるに必要な流量の圧液を吐出するのみであるので、液圧ポンプからの無駄な吐出を抑えることができ、動力損失を小さくできる。
【００１０】
【実施例】
以下本発明の実施例を図面により説明する。１は、例えばギヤポンプ、ピストンポンプ等による容積形の液圧ポンプで、電動機２の正転により流路３へ吐出し流路４から吸い込み、電動機３の逆転により流路４へ吐出し、流路３から吸い込む両回転形である。なお、この電動機３は一般的な三相交流用の誘導電動機である。５は加圧加工操作を行うための液圧シリンダであり、ピストン５Ａで区画された、ヘッド側の作動室５Ｂを流路３に、ロッド側の作動室５Ｃを流路４に接続して液圧ポンプ１に閉回路接続され、電動機２の正転、逆転に応じ、それぞれピストン５Ａ及びこれに取り付けたピストンロッド５Ｄを、図１の下方へ移動させる前進作動と、上方へ移動させる後退作動を、電動機２の回転速度に応じた速度で行うようになっている。
【００１１】
ピストンロッド５Ｄの先端には、ワーク６に対して加圧加工を行う加工具７が、加圧力検出のためのロードセル８を介在して取り付けられている。また、９は液圧シリンダ５に取り付けたリニアスケールであり、その可動子がピストンロッド５Ｄに連結されて、ピストンロッド５Ｄの作動位置を検出するようになっている。
【００１２】
１０は流路４からのパイロット圧で開作動するパイロット操作の逆止め弁で、液圧シリンダ５が後退作動されるとき開いて、液圧ポンプ１の吸入側へ液圧シリンダ５から導かれる、吐出流量よりも多い作動液を流路３からタンク１１へ排出させるようになっている。１２は流路３からのパイロット圧で開作動するパイロット操作の逆止め弁で、液圧シリンダ５が前進作動されるとき開いてタンク１１から流路４へ作動液が吸入されて、液圧ポンプ１の吸入側へ液圧シリンダ５から導かれる吐出流量より少ない作動液を補うようになっている。
【００１３】
１３は、制御装置１４により制御される、電動機２のための電動機駆動装置であり、詳細に図示しないが、電動機２へ給電する駆動電源周波数を変えるインバータを有し、インバータで駆動電源周波数を種々制御することによって、電動機２の正逆回転速度を入力される設定速度信号に応じた値に保つように調整する速度制御と、電動機２の回転変位量を、入力される変位設定信号に応じた値に保つように調整する変位制御を行うことができ、このため電動機２に取り付けたロータリーエンコーダ１５からの出力を取り込むようにしている。
【００１４】
制御装置１４は、詳細に図示しないが、ＣＰＵと、ＲＡＭとＲＯＭによるメモリと、入出力部と、これらを接続するバス等を備えたマイクロコンピュータにより構成され、入力信号のためのＡＤ変換器を備え、ロードセル８とリニアスケ─ル９からの出力信号がそれぞれ増幅器１６、１７を介して入力されている。そして制御装置１４は、電動機駆動装置１３へ速度、変位制御の選択信号や速度、変位の設定信号を出力して電動機駆動装置１３の作動を制御するようになっており、プログラムにより、電動機駆動装置１３を種々の態様で作動させることが可能である。なお、このような電動機駆動装置１３と制御装置１４の組み合わせは、各種市販されており、例えば株式会社キュー・エム・ソフトの商品名マイティサーボが利用できる。
【００１５】
そして、本実施例では、所定の加圧力を得るため大略、図２のように液圧シリンダ５を作動させる。すなわち、前進開始とともに、加工具７がワーク６に当接する手前のワーク６の近くに達する、作動位置がＬ１になるまでは、後記Ｖ２、Ｖ３よりも格段に大きい速度Ｖ１で液圧シリンダ５を作動させる。そして、作動位置がＬ１に達すると、Ｖ１よりも小さいＶ２となる初期加工速度で液圧シリンダ５を前進させる。このＶ２は、加工具７がワーク６に当接して良好に加工操作が開始できる速度であり、Ｌ１に達する前をより高速で作動させるのは、最初からＶ２の速度としたときには加工のサイクルタイムが大きくなってしまうので、これを防止するためである。
【００１６】
そして、加工具７がワーク６に当接し、加圧力が増加してこれが得ようとする目標加圧力として設定されるＦｓの６０パーセントに相当した前設定値Ｆｐに達すると、前進速度をＶ３へとさらに低下させる。このように速度をさらに低下させるのは、加工の進行に伴い、ピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌの増加に対する加圧力Ｆの増加の度合いが大きくなって、加工初期と同じ速度によった場合には、精密に加圧力を得ることが困難となるからである。なお、実施例ではＦｐをＦｓの６０パーセントに選定したが、この値は、ワーク６の材質、形状等に応じて適宜選定できる。
【００１７】
速度Ｖ３による前進により、加圧力Ｆが目標とするＦｓに達すると、以後は、タイマーで設定される時間内（図２でＴ１からＴ２の間）で、加圧力ＦとＦｓとの偏差を許容範囲内とする、加圧力保持のための操作が行われ、このとき、加圧力Ｆを前記のように保つ必要に応じて電動機２は微小な正転、逆転を行い、これに伴って液圧シリンダ５は、微小な前進、後退を行う（なお、この加圧力保持操作の間は、図２では、簡明に示すため作動位置Ｌが一定のように記載しているが、前進、後退に応じ作動位置Ｌは変化する）。そして、タイマーのタイムアップ（図２でＴ２のとき）で加工のための作動が終了するのである。
【００１８】
このような作動は、制御装置１４においてのプログラムによって実現され、その手順を図３に基づき説明する。すなわち、このような加工作動が開始されると、まず手順２０により電動機駆動装置１３で速度制御を行うことを選択し、手順２１で、速度設定値として電動機２を正転方向に駆動して、液圧シリンダ５を速度Ｖ１で前進させるための値がセットされ、これが速度設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。そして、手順２２でピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌが読み込まれ、手順２３でこれがＬ１に達するか否かが判別され、達しないときには、これら手順２２、２３を反復する。
【００１９】
手順２３で、ＬがＬ１に達することが判別されると、手順２４に移行して、電動機２を正転方向に駆動し、液圧シリンダ５を初期加工速度Ｖ２で前進させるための値がセットされ、これが速度設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。次いで、手順２５で加圧力Ｆが読み込まれ、手順２６でこれが前設定値Ｆｐに達するか否かが判別され、達しないときには、これら手順２５、２６が反復される。手順２６で、加圧力ＦがＦｐに達することが判別されると、手順２７に移行して、速度設定値として、電動機２を正転方向に駆動し、液圧シリンダ５を速度Ｖ３で前進させるための値がセットされ、これが速度設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。そして、手順２５、２６により、本発明においての第１の加圧力検出機構が構成され、また、手順２７により本発明においての低速信号発生機構が構成される。
【００２０】
次いで、手順２８で加圧力Ｆが読み込まれ、手順２９でこれが目標加圧力Ｆｓに達するか否かが判別され、達しないときには、これら手順２８、２９が反復される。手順２９で、加圧力ＦがＦｓに達することが判別されると、手順３０に移行してタイマーの計時が開始され、次いで手順３１でピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌが読み込まれ、手順３２で電動機駆動装置１３に変位制御を行うことを選択して手順３３で、変位設定値として手順３１で読み込んだＬの位置にピストンロッド５Ｄを保つための値がセットされ、これが変位設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。そして、手順２８、２９、３１、３２により本発明においての第２の加圧力検出機構が構成され、また、手順３３により、本発明においての定位置信号発生機構が構成される。
【００２１】
次いで手順３４で加圧力Ｆが読み込まれ、手順３５でタイムアップが判別されないとき手順３６へ移行して加圧力Ｆと目標加圧力Ｆｓの偏差が許容値Ｅより小さいか否かが判別されて許容値Ｅより小さいときには手順３４、３５、３６が反復され、この間に手順３５でタイムアップが判別されると加工作動は終了する。また、手順３６で、偏差が許容値Ｅより大きいことが判別されると、手順３７へ移行し電動機駆動装置１３で速度制御を行うことが選択される。手順３８によりＦがＦｓより大きいときには手順３９へ移行して、速度設定値として電動機２を逆転方向に駆動し、液圧シリンダ５を速度Ｖ４で後退させるための値がセットされ、これが速度設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。また、手順３８によりＦがＦｓより大きくないときには手順４０へ移行して、速度設定値として電動機２を正転方向に駆動し、液圧シリンダ５を前記速度Ｖ３で前進させるための値がセットされ、これが速度設定信号として電動機駆動装置１３へ出力される。そして、手順３４、３６、３７により本発明においての第１の加圧力偏差検出機構が構成され、手順３８、３９、４０により、本発明においての補正機構が構成される。
【００２２】
ここで、手順４０でセットされる値は、実施例ではＶ３に等しくしたが、Ｖ３に等しくする必要はなく、例えばＶ３よりも小さい速度で液圧シリンダ５を前進させるための値をセットしても良い。しかしこの値が、Ｖ３よりもあまり大きいと、ピストンロッド５Ｄ前進に伴い加圧力Ｆが瞬時に大きく増加し、またＶ３よりもあまり小さいと、ピストンロッド５Ｄ前進に伴い加圧力Ｆが素早く増加せず、加圧力を精密にＦｓ近傍に保つことが困難となるので、ほぼＶ３に近い値が選ばれる。これに対し、手順３９によるＶ４は、手順４０によりセットされる値よりも、またＶ３よりも一層小さい速度で液圧シリンダ５を後退作動させるように選定されている。これは、作動位置Ｌの変化に対する加圧力Ｆの変化が、前進作動時よりも後退作動時の方が一層大きいので、Ｖ３や手順４０でセットされる速度設定信号と同程度の速度をＶ４が与えるようにしたときには、ピストンロッド５Ｄ後退に伴い加圧力Ｆが瞬時に大きく低下することとなって精密に加圧力をＦｓの近傍に保つことが困難となるからである。
【００２３】
次いで手順４１で加圧力Ｆが読み込まれ、手順４２でタイムアップが判別されないとき手順４３へ移行して加圧力Ｆと目標加圧力Ｆｓの偏差が許容値Ｅより小さいか否かが判別されて許容値Ｅより大きいときには手順３８、３９又は４０、４１、４２、４３が反復され、この間に手順４２でタイムアップが判別されると加工作動が終了する。また、手順４３で、偏差が許容値Ｅより大きくないことが判別されると、手順３１へ移行する。そして、手順４１、４３、３１、３２により本発明においての第２の加圧力偏差検出機構が構成される。
【００２４】
次にこの実施例の作動を説明する。液圧シリンダ５のピストン５Ａを後退端に位置させた状態より、加圧作動を開始すると、Ｖ１に基づく速度設定信号により電動機２が、そして液圧ポンプ１が駆動されて、液圧シリンダ５のピストン５Ａ、ピストンロッド５ＤはＶ１の速度で前進する。これにより、ピストンロッド５Ｄの作動位置がＬ１に達すると、電動機２の速度がＶ２に基づく速度設定信号に応じて減速され、液圧シリンダ５のピストン５Ａ、ピストンロッド５Ｄの前進速度は初期加工速度Ｖ２に減速される。この状態より、加工具７がワーク６に当接し、ワーク６への加工操作が開始され、これに応じ加圧力Ｆが目標加圧力Ｆｓに達すると、タイマーの計時が開始されるとともに、このときのピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌを保持するよう電動機２の変位制御が開始される。
【００２５】
この状態においては、電動機２は加圧力Ｆに抗したトルクを作用したまま不動の状態となり、液圧ポンプ１からの吐出はなく、ピストン５Ａは移動せず、前記作動位置Ｌが保持される。この間、液圧ポンプ１の内部漏れによる流路３側の圧力低下等により加圧力Ｆが目標加圧力Ｆｓよりも許容値Ｅを越えて低下したり、ワーク６からのスプリングバック等で加圧力Ｆが目標加圧力Ｆｓよりも許容値Ｅを越えて増加すると、手順３６、３７を経て、加圧力Ｆの補正作動が開始される。これにより、加圧力Ｆが許容値Ｅを越えて低下したときには、手順４０によりセットされたＶ３の前進速度を与えるよう電動機２が正転されて加圧力Ｆを増加させ、また、加圧力Ｆが許容値Ｅを越えて増加したときには、手順３９でセットされたＶ４の後退速度を与えるよう電動機２が逆転されて加圧力Ｆを減少させ、再び加圧力Ｆと目標加圧力Ｆｓの偏差が許容値Ｅ以内となると、このときのピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌを保持するよう、電動機２の前記変位制御を行う状態に復帰する。
【００２６】
このような補正作動が、変位制御の間、加圧力Ｆと目標加圧力Ｆｓの偏差が許容値Ｅを越えることが検出される都度行われる。そして、この間で、手順３５、４２でタイムアップが検出されると加工作動が終了される。これにより、タイマー計時開始からタイムアップするまでの所定時間の間、加圧力Ｆは目標加圧力Ｆｓ近傍に保たれ、実質的に目標加圧力Ｆｓが保持される。そして加工作動の終了により、電動機２は、制御装置１４及び電動機駆動装置１３により液圧シリンダ５を後退作動させるため逆転駆動されるようになっており、ピストン５Ａが後退端に達すると電動機２は停止され、次の加圧作動開始に備えるのである。なお、この後退速度はＶ１程度、あるいはそれより一層大きい、Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４よりも大きな速度で行い、ピストン５Ａが後退端に到達する少し前で減速させることで緩やかにピストン５Ａを停止させることができる。
【００２７】
このような作動において、電動機２で駆動される液圧ポンプ１は、漏れを無視すれば液圧シリンダ５を作動させるに要する量の圧液しか吐出しないので、従来例と比較するときわめて動力損失を少なくできる。また、液圧シリンダ５は閉回路で液圧ポンプ１に接続され、前進、後退作動は電動機２による液圧ポンプ１の正転、逆転駆動で得るようにしているので、作動方向切換用の切換弁が要らず液圧回路が簡単になる。
【００２８】
そして、加工作動においては、開始から作動位置がＬ１に達するまで、液圧シリンダ５のピストンロッド５Ｄは高速のＶ１で作動し、Ｌ１に達すると初期加工速度Ｖ２に減速されるようになっているので、加工具７がワーク８近傍に素早く到達してサイクルタイムを小さくできる。
【００２９】
また、初期加工速度Ｖ２で前進しているピストンロッド５Ｄは、加工具７がワーク６に当接し加工操作が始まり、これに応じて加圧力Ｆが、目標加圧力Ｆｓより小さな前目標値Ｆｐに達するとＶ３に減速されるようになっているので、加工の進行に伴い、作動位置Ｌの増加に対し加圧力Ｆが大きく増加するようになっても、時間変化に対する加圧力Ｆの増加を小さく抑えることができて加圧力Ｆが目標加圧力Ｆｓを越えて大きく増加するような事態の発生を良好に抑えることができる。そして、補正作動においてピストンロッド５Ｄを後退させる際のＶ４はＶ３よりも小さくされているので、後退作動時においては、若干のピストンロッド５Ｄの作動位置Ｌの減少で加圧力Ｆがきわめて大きく減少して作動位置の変化に対する加圧力Ｆの変化が、前進作動時よりも一層大きいのにも係わらず、時間変化に対しての加圧力の変化（減少）を小さく抑えることができ、加圧力Ｆが目標加圧力Ｆｓを越えて大きく減少するような事態の発生を良好に抑えることができる。このため、加圧力Ｆを目標加圧力Ｆｓ近傍に、精密に保つことができる。
【００３０】
なお、実施例では、加圧力Ｆをロードセル８により直接的に検出しているが、さほどの精密さを期待しなくてよい場合には、流路３或いは作動室５Ｂの圧力が加圧力と略比例的な関係となるので、この圧力を検出して加圧力に代用することができる。
【００３１】
【発明の効果】
このように本発明の液圧作動加圧加工装置では、電動機で駆動される液圧ポンプは、漏れを無視すれば液圧シリンダを作動させるに要する量の圧液しか吐出しないので、従来例と比較するときわめて動力損失を少なくできる。また、液圧シリンダは液圧ポンプに閉回路で接続され、前進、後退作動は電動機による液圧ポンプ１の正転、逆転駆動で得るようにしているので、作動方向切換用の切換弁が要らず液圧回路が簡単になる。
【００３２】
また、液圧シリンダの前進速度は、加圧力が、目標加圧力より小さな前目標値に達すると第１の速度設定信号により減速されるようになっているので、加工の進行に伴い、作動位置の増加に対し加圧力が大きく増加するようになっても、時間変化に対する加圧力の増加を小さく抑えることができ、加圧力が目標加圧力を越えて大きく増加するような事態の発生を良好に抑えることができるとともに、補正機構において液圧シリンダを後退させる際の第２の速度設定信号は、第１、第３の速度設定信号よりも小さい液圧シリンダ速度をもたらすように選定したので、後退作動時においては、作動位置の変化に対する加圧力の変化が、前進作動時よりも一層大きいのに係わらず、時間変化に対しての加圧力の変化を小さく抑えることができて、加圧力が目標加圧力を越えて大きく減少するような事態の発生を良好に抑えることができ、加圧力を目標加圧力近傍に、精密に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の構成を説明する説明図。
【図２】本発明の実施例での加工作動の概要を説明する説明図。
【図３】本発明の実施例の加工作動を行う際の手順を示す流れ図。
【符号の説明】
１  液圧ポンプ
２  電動機
５  液圧シリンダ
１３  電動機駆動装置
１４  制御装置
２５、２６  第１の加圧力検出機構
２７  低速信号発生機構
２８、２９、３１、３２  第２の加圧力検出機構
３３  定位置信号発生機構
３４、３６、３７  第１の加圧力偏差検出機構
３８、３９、４０  補正機構
４１、４３、３１、３２  第２の加圧力偏差検出機構
【図１】
0003926427.tif 000002
【図２】
0003926427.tif 000003
【図３】
0003926427.tif 000004