(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置内に搬送されて装置内に付着する異物を除去するためのクリーニングシートであって、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートにおいて、該通常の粘着剤層は、重量平均分子量が１０5 以下の成分が１０重量％以下であるアクリルポリマーを架橋構造化した層からなり、この粘着剤層は、保持力がJISZ０２３７において３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下であり、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１〜１０Ｎ／１０ｍｍであることを特徴とするクリーニングシート。
【請求項２】
クリーニング層の引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳＫ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上であることを特徴とする請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項３】
搬送部材に、請求項１もしくは２に記載のクリーニングシートが、通常の粘着剤層により設けられたクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の基板処理装置をクリーニングするクリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングに用いられるクリーニングシート及びクリーニング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼動率低下や多大な労力が必要という問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法（特開平１０−１５４６８６）や板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開平１１−８７４５８）が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では、粘着性物質と装置接触部が強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。特に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われている場合は問題である。また、板状部材を搬送することにより異物を除去する方法は、搬送は支障なくできるが、肝心の除じん性に劣るという問題がある。
【０００４】
さらに、これらクリーニングに用いられるクリーニングシートは、例えば搬送部材に通常の粘着剤層により設けられたクリーニング機能付き搬送部材（以下クリーニング部材と称す）とした場合、クリーニングシートのクリーニング層の引っ張り弾性率が大きいときやクリーニングシートを搬送部材よりも小さく内側に貼ったとき（内貼りと称す）などは、クリーニング部材製造後にクリーニングシートが搬送部材と該通常の粘着剤層間から剥れてくるという問題があった。また、装置クリーニング後にクリーニングシートを搬送部材から剥離除去する場合、搬送部材に通常の粘着剤が糊残りを生じさせ、μmオーダー又はサブμmオーダーの汚染が発生するという問題もあった。
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内を確実に搬送でき、付着している異物を簡便、確実に除去でき、さらにクリーニング部材を製造する上で搬送部材からクリーニングシートが剥れることがなく、しかもクリーニングシートを剥離除去する際に、搬送部材に糊残りを生じさせないクリーニングシートを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的に対して、鋭意検討した結果、クリーニング層を固着したシートあるいはこのシートを基板等の搬送部材に固着したクリーニング用部材を搬送することにより、基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあたり、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートにおいて、該通常の粘着剤層の保持力を特定値以下に規定することにより、クリーニングシートが搬送部材から剥れることがなく、しかもクリーニングシートを剥離除去する際に搬送部材に糊残りを生じさせず、さらに異物を簡便、かつ確実に剥離できるクリーニングシートを提供できることを見出し、この発明を完成するに至った。
【０００６】
すなわちクリーニングシートが搬送部材から剥れたり、クリーニングシートを搬送部材から剥離除去する際にμmオーダー又はサブμmオーダーの汚染が発生するのは、粘着剤の凝集力が不十分であるためであると考えた。ここで凝集力とは粘着剤層中の分子同士の寄り集まろうとする力であり、外部応力による塑性変形に対する抵抗力である。  本発明ではこれをJISZ０２３７保持力で特定することにより、上記問題点を解決できることを見出した。
【０００７】
即ち本発明は、基板処理装置内に搬送されて装置内に付着する異物を除去するためのクリーニングシートであって、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートにおいて、該通常の粘着剤層は、重量平均分子量が１０5 以下の成分が１０重量％以下であるアクリルポリマーを架橋構造化した層からなり、この粘着剤層は、保持力がJISZ０２３７において３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下であり、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１〜１０Ｎ／１０ｍｍであることを特徴とするクリーニングシート（請求項１）、クリーニング層の引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳＫ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上であることを特徴とする請求項１に記載のクリーニングシート（請求項２）、搬送部材に、請求項１もしくは２に記載のクリーニングシートが、通常の粘着剤層により設けられたクリーニング機能付き搬送部材（請求項３）、請求項３に記載の搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法（請求項４）に係るものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下本発明を詳細に説明する。本発明のクリーニングシートは、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなり、該通常の粘着剤層の保持力がJISZ０２３７において３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下であることが必要で、好ましくは７２００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下、より好ましくは１０８００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下である。該粘着剤層が上記特定値を越えると、クリーニングシートを搬送部材に貼付けて、クリーニング部材を製造した場合に、クリーニングシートが搬送部材から剥れやすくなり、またクリーニングシートを搬送部材から剥離除去する際にも、μmオーダー又はサブμmオーダーの汚染を発生させる恐れがある。ここで保持力の測定はJISZ０２３７に基づいて行った。すなわち、クリーニングシートから２５ｍｍ×７５ｍｍの測定用シートを作製し、２３℃、湿度５０％の環境下でステンレス板（ＳＵＳ３０４で♯３６０サンドペーパーで磨いたもの）に接着面積が２５ｍｍ×２５ｍｍになるように１９．６Ｎのゴムロールを１往復させて通常の粘着剤層側を圧着する。２０分以上放置した後、４０℃の恒温槽に入れ、ステンレス板の一端を留め金でとめ、さらに２０分後にせん断方向に９．８Ｎの荷重をかけ、3600秒後のズレの距離もしくは落下時間を測定して行った。
【０００９】
本発明における通常の粘着剤層は、上記範囲内の粘着剤を用いれば特に限定されないが、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力は、０．０１〜１０Ｎ／１０ｍｍ、より好ましくは０．０５Ｎ〜５Ｎ/１０ｍｍであることが望ましい。クリーニングシートの粘着力が高すぎるとクリーニングシートを剥離除去する際に、支持体としての基材フィルムが裂ける恐れがある。
【００１０】
該通常の粘着剤層は、特にその構成は限定されないが、該粘着剤層中に含まれるポリマーの重量平均分子量が１０5以下の成分が１０重量％以下であるポリマーを用いることが望ましい。前記粘着剤を構成するポリマーは水分散系で共重合されてなるアクリルポリマーや溶液、例えばトルエン中で共重合される重合される重合物であっても良い。もしくは、液体二酸化炭素又は超臨界状態の二酸化炭素中で合成されたポリマーを用いても良い。ポリマーとしては特にアクリルポリマーが好適に用いられる。
アクリルポリマーの原材料となりうる単量体混合物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、炭素数１〜１８個のアルキル基である各種のアクリル酸アルキルエステルまたはメタクリル酸アルキルエステルを使用でき、具体的にはアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２一エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、メタクリル駿ブチル、メタクリル酸２一エチルヘキシル、メタクリル酸オクチルなどを挙げることができる。このような（メタ）アクリル酸アルキルエステルはこれ単独で用いてもよいし、これを主成分としてこれと共重合可能な他のモノマーを併用してもよい。代表的な例としてはカルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体である。その例としては、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等が用いられるが、このうち特に好適なのはアクリル酸である。このカルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体は重合体に架橋結合を生じさせるのに不可欠な成分である。他のモノマーとしては、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、環状の（メタ）アクリルアミド、非環状のメタアクリルアミドなどのアクリル系感圧性接着剤の改質用モノマーとして知られる各種のモノマーをいずれも使用可能である。
これらの例として挙げられる他のモノマは前記主モノマとの合計量中５０重量％以下とするのが接着特性上好ましい。
【００１１】
重合反応は、分解してラジカルを生成させる開始剤の助けによって行なうことができ、ラジカル重合に用いられるすべての開始剤を使用することが出来る。例を挙げれば、特に４０〜１００℃の温度では、ジベンゾイルペルオキシド、ｔｅｒｔ一ブチルペルマレエート、２，２一アゾビスー（イソブチロニトリル）及びアゾビス−イソバレロニトリル等が用いられる。２０〜４０℃の温度では二元開始剤（Redox開始剤）が用いられ、例としてジベンゾイルペルオキシドとジメチルアニリンの二元系等が挙げられる。
開始剤は、上記アクリル系モノマの重合のための通常の量で使用して良い。１００重量部のモノマーあたり例えば０．００５〜１０重量部、好ましくは０．１〜５重量部の開始剤が使用される。
希釈剤として、トルエン、酢酸エチルなど使用した場合、冷却管，窒素導入管、温度計及び攪拌装置を備えた反応容器内で共重合を行うことができる。この場合、全モノマー成分１００重量部に対し、例えば希釈剤は５〜２０００重量部、好ましくは２０〜９００重量部程度で重合が可能であり、重合の温度、時間は必要に応じて設定することができる。
希釈剤として二酸化炭素を用いる場合は、全モノマー成分１００重量部に対し、上記と同様な使用量で重合が可能であり、重合の圧力、温度は必要に応じて数段階に設定されても良い。
乳化重合の方法は特に限定されず、水に乳化分散した単量体混合物を一括仕込み、あるいは滴下法など、目的や用途に応じて任意の手法で乳化重合できる。この乳化重合において、乳化剤としては、ノニオン系界面活性剤およびまたはアニオン系活性剤を利用することが望ましい。使用する量は、要求する粒子径により、全単量体量１００重量部に対し、ノニオン系界面活性剤あるいはアニオン系界面活性剤単独の場合、0.3〜30重量部であり、両者を併用する場合は、前者が0.2〜20重量部、後者が0.1〜10重量部である。ノニオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン−ポリオキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステルなどが含まれる。一方アニオン系界面活性剤としては、アルキル硫酸エステル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルスルホ琥珀酸塩、ポリオキシエチレンアルキル硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステルなどが用いられる。
【００１２】
上記手法により合成された粘着剤はそのまま用いられても良いが、通常は粘着剤の凝集力を向上させる目的で架橋剤を配合して用いる。粘着剤の架橋構造化は、アクリル系重合体を得る際に内部架橋剤として多官能（メタ）アクリレ―トなどを添加するか、あるいはアクリル系重合体を得たのちに外部架橋剤として多官能のエポキシ系化合物やイソシアネ―ト系化合物などを添加することにより実施できる。その他、放射線照射による架橋処理を施してもよい。好ましくは、多官能性エポキシ化合物や多官能性イソシアネ―ト化合物が使用される。ここでいう多官能性とは２官能性以上のことである。
多官能性エポキシ化合物は、分子中に２個以上のエポキシ基を有するもので、ソルビト―ルテトラグリシジルエ―テル、トリメチロ―ルプロパングリシジルエ―テル、テトラグリシジル−１，３−ビスアミノメチルシクロヘキサン、テトラグリシジルメタキシレンジアミン、トリグリシジル−ｐ−アミノフエノ―ルなどがある。多官能性イソシアネ―ト化合物は、分子中に２個以上のイソシアネ―ト基を有するもので、ジフエニルメタンジイソシアネ―ト、トリレンジイソシアネ―ト、ヘキサメチレンジイソシアネ―トなどがある。
これらの架橋剤は、アクリル系共重合体の組成や分子量などに応じて、粘着剤のゲル分率が前記範囲となる使用割合で、その１種または２種以上が用いられる。その際、反応を促進させるために、粘着剤に通常用いられるジブチルスズラウレ―トなどの架橋触媒を加えるようにしてもよい。
粘着剤層の厚みは特に限定されないが、５〜１００μｍ、好ましくは１０〜５０μｍ程度である。
【００１３】
本発明のクリーニングシートにおけるクリーニング層は特に限定されないが、その引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上、より好ましくは１０Ｍｐａ〜２０００Ｍｐａであることが望ましい。この引っ張り弾性率が２０００Ｍｐａを越えると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下し、１０Ｍｐａよりも小さいと搬送時に装置内の被クリーニング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。
また、かかるクリーニング層は、引っ張り弾性率が上記範囲であれば材質等は特に限定されないが、紫外線や熱などの活性エネルギーで硬化、架橋してその分子構造が三次元網状化して粘着力が低下あるいは消失した粘着剤層が好ましい。クリーニング層に重合硬化する粘着剤を用いると、クリーニング層が実質的に粘着性がなくなり、搬送する際に装置接触部と強く接着することがなく、確実に搬送できるという効果が得られる。
この粘着剤層の硬化に用いる活性エネルギー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが、紫外線が好ましい。
【００１４】
前記クリーニング層は、活性エネルギー源により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有する限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧接着性ポリマーに分子内に不和飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含有させてなるものが好ましい。かかる感圧接着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリルポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与させるようにすることもできる。
【００１５】
ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の接着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
ここで， 重合性不飽和化合物としては，不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく，特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率よくなされるように，５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。このような重合性化合物としては、たとえば、フエノキシポリエチレングリコ―ル（メタ）アクリレ─ト、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレ─ト、ポリエチレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、ポリプロピレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、トリメチロ─ルプロパントリ（メタ）アクリレ─ト、ジペンタエリスリト─ルヘキサ（メタ）アクリレ─ト、ウレタン（メタ）アクリレ─ト、エポキシ（メタ）アクリレ─ト、オリゴエステル（メタ）アクリレ─トなどが挙げられ、これらの中から、１種または２種以上が用いられる。
また粘着剤層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネルギーに熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α―ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
また、粘着剤層の厚みは特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度である。
【００１６】
また、かかるクリーニング層を支持する支持体としては、特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂や ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリカルボジイミド、ナイロンフィルムなどのプラスチックフィルムや金属箔などが挙げられる。これら支持体は１種又は２種以上を組み合わせて使用しても良く、また片面又は両面にコロナ処理などの表面処理を施したものであっても良い。支持フィルムの厚みは通常１０μｍ〜１００μｍ程度である。
【００１７】
通常の粘着剤層及びクリーニング層には保護フィルムとしてセパレータフィルムを設けてもいい。この場合セパレータフィルムは特に限定されないが、例えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムなどが挙げられる。また、セパレータフィルムの厚みは通常１０〜１００μmである。
【００１８】
本発明は、支持体の片面に上記のクリーニング層が設けられ、他面に特定の保持力を有する通常の粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能な状態で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニング機能付ラベルシートについても提供する。
【００１９】
クリーニングシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウェハ、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディクス、MRヘッドなどの基板などがあげられる。
【００２０】
実施例
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以下、部とあるのは重量部、％とあるのは重量％をそれぞれ意味するものとする。また、粘着保持力、対シリコン粘着力、対ウェハ有機異物汚染は下記の方法にて評価を行ったものである。
＜粘着保持力＞
JISZ０２３７に基づいて行った。すなわち、実施例及び比較例で作製したクリーニングシートから２５ｍｍ×７５ｍｍの測定用シートを作製し、通常の粘着剤層を２３℃湿度５０％の環境下でステンレス板（ＳＵＳ３０４で♯３６０サンドペーパーで磨いたもの）に接着面積が２５ｍｍ×２５ｍｍになるように１９．６Ｎのゴムロールを１往復させて圧着する。２０分以上放置した後、４０℃の恒温槽に入れ、ステンレス板の一端を留め金でとめ、さらに２０分後にせん断方向に９．８Ｎの荷重をかけ、１時間後のズレの距離もしくは落下時間を測定して行った。
【００２１】
＜対シリコン粘着力＞
実施例及び比較例で作製したクリーニングシートの通常の粘着剤層をシリコンウェハ（ミラー面）に１９．６Ｎのローラを１往復して圧着し、３０分間放置した後、常態での対シリコンウェハへの１８０度引き剥がし粘着力（Ｎ／１０ｍｍ幅）を測定した。尚、引き剥がし速度は３００ｍｍ／ｍｉｎ．とした。
【００２２】
＜対ウェハ有機物汚染＞
実施例及び比較例で作製したクリーニングシートの通常の粘着剤層をシリコンウェハ（ミラー面）に貼付け、４０℃中に１日放置後、シート片を剥離し、ウェハ上に転写した有機物をESCA（model５４００アルバックファイ社製）を用いて測定した。全くシートを貼り付けていなウェハも同様に分析し、検出された炭素原子の増加量により有機物の転写量を評価した。
【００２３】
（参考例１）
温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルへキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部、重合開始剤として２，２‘−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、参考例１の粘着剤ポリマー溶液を得た。
このポリマーのゲルパーミュエーションクロマトグラフ法により測定される重量平均分子量は９３万であり、重量平均分子量が１０万以下の成分は７．５重量％であった。
【００２４】
（参考例２）
温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸ｎ−ブチル１００部、アクリル酸５部、２、２'−アゾビスイソブチロニトリル０．１部、酢酸エチル２００部を、全体が２００ｇとなるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。
その後内部の温度を６０℃にし、この状態で約６時間保持して重合を行ない、参考例２の粘着剤ポリマー溶液を得た。
このポリマーのゲルパーミュエーションクロマトグラフィ法により測定される重量平均分子量は１65万であり、重量平均分子量が１０万以下の成分は１３．１重量％であった。
【００２５】
実施例1
アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ポリエチレングリコール２００ジメタクリレート（新中村化学製：商品名：Ｎｋエステル４Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スぺシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化型粘着剤溶液を調整した。
参考例１で作製した粘着剤ポリマー溶液１００部にポリイソシアネート化合物３部を添加して均一によるように攪拌した。その溶液を幅２５０mm、厚み２５μｍの長尺ポリエステル製支持フィルムの片面に、乾燥後の厚みが１５μｍになるよう塗布して通常の粘着剤層を設け、その表面に厚み３８μｍのシリコーン処理されたポリエステル系剥離フィルムＡを貼った。支持フィルムのもう一方の側に、前記の紫外線硬化型粘着剤溶液を乾燥後の厚み３０μｍになるように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面に同様の長尺剥離フィルムを貼り合わせた。次に中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射しクリーニングシート１を作製した。
【００２６】
この紫外線硬化型粘着剤について、引っ張り弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７）を測定したところ、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm2照射した後で４９Ｍｐａであった。
このクリーニングシート１の通常の粘着剤層のセパレータフィルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表１に示した。
【００２７】
次にこのクリーニングシート１を用いて、ウェハへのシートの貼付を行い、クリーニング部材を作製した。クリーニングシート１を８インチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニング機能付搬送用クリーニング部材１を作製した。このクリーニング部材1を50℃の恒温室に7日間保管し、経時観察を行ったが外観上の不具合は発生せず、全く問題なかった。
【００２８】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８インチシリコンウェハ４枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、１枚は８個、２枚目は１１個、３枚目は９個、４枚目は５個であった。これらのウェハを別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置で、０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチウエハサイズのエリア内で１つ目は２８５５９個、２つ目は３０１１５個、３つ目は２７８６５個、4つ目は３１７３２個であった。
次いで前記で得たクリーニング部材１のクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の２８５５９個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。  その後に新品の８インチシリコンウェハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施し、その後の除じん性（％）を表１に示した。
【００２９】
実施例２
通常の粘着剤側の剥離フィルムとしてシリコーン処理されたポリエステル系剥離フィルムＢを用いた以外は、実施例１と同様にしてクリーニングシート２を作製した。クリーニングシート2の粘着剤層のセパレータフィルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表１に示した。
【００３０】
次にこのクリーニングシート２を用いて、実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリーニング部材を作製した。クリーニングシート２を８インチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニング機能付搬送用クリーニング部材２を作製した。このクリーニング部材２を50℃の恒温室に7日間保管し、経時観察を行ったが外観上の不具合は発生せず、全く問題なかった。
【００３１】
次いで前記で得た搬送用クリーニング部材２のクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の３０１１５個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。  その後に８インチシリコンウェハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施した。
【００３２】
比較例１
通常の粘着剤層として参考例2の粘着剤ポリマーを用いた以外は実施例１と同様にして、クリーニングシート３を作製した。クリーニングシート３の粘着剤層のセパレータフィルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表１に示した。
【００３３】
次にこのクリーニングシート３を用いて、実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリーニング部材を作製した。クリーニングシート３を８インチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニング機能付搬送用クリーニング部材３を作製した。このクリーニング部材３を50℃の恒温室に7日間保管し、経時観察を行ったところ、１日経過後でクリーニングシートの端部がウェハから５ｍｍ程度剥れており、外観不良が発生していた。
クリーニング部材３はクリーニング部材として利用できないと判断し、クリーニングは中止した。
【００３４】
比較例２
通常の粘着剤層として参考例2の粘着剤ポリマー、通常の粘着剤層のセパレータフィルムとしてシリコーン処理されたポリエステル系剥離フィルムＢを用いた以外は実施例１と同様にして、クリーニングシート４を作製した。クリーニングシート４の粘着剤層のセパレータフィルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表１に示した。
【００３５】
次にこのクリーニングシート４を用いて、実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリーニング部材を作製した。クリーニングシート４を８インチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニング機能付搬送用クリーニング部材４を作製した。このクリーニング部材４を50℃の恒温室に7日間保管し、経時観察を行ったところ、１日経過後でクリーニングシートの端部がウェハから５ｍｍ程度剥れており、外観不良が発生していた。
クリーニング部材４はクリーニング部材として利用できないと判断し、クリーニングは中止した。
【００３６】
0003970019.tif 000002
【００３７】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニングシートによれば、クリーニングシートが搬送部材から剥れることなく、しかも剥離除去した後の搬送部材への汚染も抑えることができると共に、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニングシートを提供できる。