(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの床に形成され、床に沿って延長するピット穴の上を蓋で覆って成る配線収納ピットであって、
ピット穴の内面がコンクリート床を形成するためのコンクリート打ち込み型枠を構成する導体板により形成され、コンクリート打ち込み型枠により形成されたピット穴の内面とコンクリート打ち込み型枠の外側に構築されたコンクリート床の表面に形成された導電処理層とが導通され、蓋の表面とピット穴の内面とが導電性ゴムを介して導通されたことを特徴とするクリーンルームの配線収納ピット。
【請求項２】
クリーンルームの床に形成され、床に沿って延長するピット穴の上を蓋で覆って成る配線収納ピットであって、
ピット穴の内面がコンクリート床を形成するためのコンクリート打ち込み型枠を構成する導体板により形成され、コンクリート打ち込み型枠により形成されたピット穴の内面とコンクリート打ち込み型枠の外側に構築されたコンクリート床の表面に形成された導電処理層とが導通され、コンクリート打ち込み型枠が蓋を受けるための受け枠部を備え、蓋が保持部を備え、保持部と受け枠部とが導電性ゴムを介して導通されたことを特徴とするクリーンルームの配線収納ピット。
【請求項３】
ピット穴の内面の壁面及び蓋の表面に導電処理層が設けられたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーンルームの配線収納ピット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等に使用されるクリーンルームの配線収納ピットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場等のクリーンルームの床下エリアの床には、電気機器などの配線を収納するための配線収納ピットが設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
配線収納ピットにおいては電荷が溜まりやすいが、従来のクリーンルームの配線収納ピットにおいては、帯電防止対策が万全とは言えず、半導体製造においてトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係るクリーンルームの配線収納ピットは、ピット穴の内面がコンクリート床を形成するためのコンクリート打ち込み型枠を構成する導体板により形成され、コンクリート打ち込み型枠により形成されたピット穴の内面とコンクリート打ち込み型枠の外側に構築されたコンクリート床の表面に形成された導電処理層とが導通され、蓋の表面とピット穴の内面とが導電性ゴムを介して導通されたことを特徴とする。
請求項２は、ピット穴の内面がコンクリート床を形成するためのコンクリート打ち込み型枠を構成する導体板により形成され、コンクリート打ち込み型枠により形成されたピット穴の内面とコンクリート打ち込み型枠の外側に構築されたコンクリート床の表面に形成された導電処理層とが導通され、コンクリート打ち込み型枠が蓋を受けるための受け枠部を備え、蓋が保持部を備え、保持部と受け枠部とが導電性ゴムを介して導通されたことを特徴とする。
請求項３は、ピット穴の内面の壁面及び蓋の表面に導電処理層が設けられたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図３に基づき説明する。まず、本実施の形態における配線収納ピットが採用される半導体製造工場のクリーンルームの概要を図３に基づいて説明する。クリーンルームは３層構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設けられており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗浄を行った後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のドア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重サッシュ窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線収納ピットである。
【０００６】
次に、実施の形態による上記配線収納ピット４７の詳細を図１，２に基づき説明する。配線収納ピット４７の施工方法は次のとおりである。まず、床下エリア２０の床２１を施工する際に、配線収納ピット４７を設ける位置に配線収納ピット４７の内面を構成する導体板であるガルバリウム鋼板でコンクリート打ち込み型枠１を形成し、型枠１の外側に鉄筋を配置した後に当該外側にコンクリートを打ち込んで床下エリア２０のコンクリート床２１を構築する。これにより、コンクリート床２１に形成されるピット穴２２の内面が上記型枠１で形成されることになる。型枠１の壁１００と底１０１はコンクリートビス１０２でコンクリートに固定する。上記型枠１の上部には、蓋２を受けるための受け枠部１Ａが形成されている。蓋２は鋼板より成り、受け枠部１Ａの受け面１ｄに載置されて蓋上面２ａを床面２１ａとほぼ同一面上に維持する保持部２ｂを備える。床２１の床面２１ａには受け枠部１Ａの上端１ｔまで被るように導電性塗装が施されて成る導電処理層３が設けられ、受け枠部１Ａと導通するように構成されている。尚、図示しないが、蓋２の表面及び型枠１の内面における壁面１ａにも導電性塗料が施されて成る導電処理層が設けられている。また、保持部２ｂは長ビス４により受け面１ｄに固定され、受け面１ｄと蓋２との導通を確保するためと防振のために、保持部２ｂの下部あるいは受け面１ｄ上に導電性ゴム５を設けている。また、上記各導電処理層は、ガス発散の少ない導電性塗料を用いて形成している。
また、図２に示すように、型枠１の壁面１ａの底側と底面１ｂとがガルバリウム鋼板で形成された導体板６で接続され、傾斜面７が形成されている。尚、導体板６は長尺なもので巾木のような機能を果たすものであり、ビス１０３で壁１００と底１０１に固定される。
【０００７】
以上によれば、ガルバリウム鋼板で形成された型枠１と表面に導電処理層が設けられた床２１の表面と蓋２の表面とが導通するので、例えば、導電処理層３や型枠１をアースすることで、型枠１と導電処理層とが均一電位となり、型枠１や導電処理層の帯電電流をアースに素早く逃がすことができるようになる。また、最も電荷が帯電しやすい型枠１の内面の壁面１ａにも導電処理層を設けたので配線収納ピット４７内の帯電防止効果を向上させることができる。また、静電気による埃の付着も防止でき、クリーンルームの埃汚染を少なくできる。
また、型枠１の内面の底側に傾斜面７を設けたので、ピット底隅の埃たまりを防止でき、クリーンルームの埃汚染を防止できる。
また、以上の帯電防止及び埃防止構造により、静電気スパークによる有機物反応により生じるガスの発生も防止でき、クリーンルーム内のガス汚染を少なくできる。
また、導電処理層をガス発散の少ない導電性塗料を用いて形成しているので、導電処理層からのガス発散、及びコンクリートからのガス発生を抑えることができるので、半導体製造においてトラブルの原因となるガスを抑えることができる。即ち、クリーンルームのガス汚染を少なくできる。
【０００８】
【発明の効果】
本発明の請求項１、２によれば、穴の内面をコンクリート床を形成するためのコンクリート打ち込み型枠を構成する導体板で形成し、コンクリート打ち込み型枠により形成されたピット穴の内面とコンクリート打ち込み型枠の外側に構築されたコンクリート床の表面に形成された導電処理層とを導通させ、蓋の表面とピット穴の内面とを導電性ゴムを介して導通させたので、帯電防止効果に優れたクリーンルームの配線収納ピットを得ることができる。
請求項３によれば、ピット穴の内面の壁面及び蓋の表面に導電処理層を設けたので、ピット内の帯電防止効果を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態によるクリーンルームの配線収納ピットの断面図。
【図２】  実施の形態による配線収納ピットの底部の拡大断面図。
【図３】  実施の形態による配線収納ピットを採用するクリーンルームの概要を示す断面図。
【符号の説明】
１  型枠（導体板）、１ａ  壁面、１ｂ  底面、７  傾斜面、２２  ピット穴。
【図１】
0003933942.tif 000002
【図２】
0003933942.tif 000003
【図３】
0003933942.tif 000004