(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的同期リニアモータであって、規定の極パターンで配置された複数の永久磁石（３０）を備えている二次構成部材（１０）と、二次構成部材（１０）に対して相対的に移動可能で二次構成部材（１０）に対する相対的な位置が変位測定系（１６、１７）によって検出可能である一次構成部材（１５）とを有している形式のものにおいて、
二次構成部材（１０）に、永久磁石の極パターンに対する既知の位置関係を有する機械的マーキング（３１）が設けられており、二次構成部材（１０）の固定孔（３１）が直接的または間接的に機械的マーキングとして働くことを特徴とする電気的同期リニアモータ。
【請求項２】
電気的なモータ制御装置（２４）が設けられており、その中に永久磁石（３０）の極パターンに対する機械的マーキング（３１）の位置関係が不揮発性に記憶されている、請求項１記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項３】
二次構成部材（１０）に対して相対的に一次構成部材（１５）の位置を検出するための絶対変位測定系（１６、１７）が設けられている、請求項１記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項４】
二次構成部材（１０）の永久磁石（３０）の極パターンに対する同じ位置を有する複数の機械的マーキング（３１）が存在している、請求項１から３までのいずれか１項記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項５】
二次構成部材（１０）が、有利には同種の複数の二次個別構成部材（１１）から構成されており、各々の二次個別構成部材（１１）が永久磁石（３０）の極パターンに対して同じ位置を有する機械的マーキング（３１）を備えている、請求項４記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項６】
二次構成部材（１０）に、二次構成部材（１０）の長手方向に延びている１列の固定孔（３１）が設けられており、すべての固定孔（３１）が極パターンに対する同じ位置を有していて、固定孔（３１）の互いの間隔が、有利には極パターンのピッチ幅に相当している、請求項１から５までのいずれか１項記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項７】
二次構成部材（１０）の長手方向に延びている第２列の固定孔（３２）が設けられており、これらの固定孔（３２）が互いに異なる間隔を有している、請求項６記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項８】
一次構成部材にケーブル（２２）の側方出口が設けられている、請求項６記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項９】
二次構成部材（１０）に、永久磁石（３０）の極パターンに対する既知の位置関係で配置可能な機械的な基準装置（４０）が設けられていて、該基準装置（４０）が、一次構成部材（１５）からの間隔が規定可能なマーキング（４２）を有している、請求項１から８までのいずれか１項記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項１０】
二次構成部材（１０）の長手方向に対して直角に延びている、基準装置（４０）の側面（４２）におけるエッジがマーキングとして働く、請求項９記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項１１】
基準装置（４０）が二次構成部材（１０）の固定孔（３１）に対する固定した位置関係に、二次構成部材（１０）の少なくとも１つの固定孔（３１）を利用して配置可能である、請求項９記載の電気的同期リニアモータ。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれか１項記載の特徴を有する電気的同期リニアモータを備えた直線駆動装置の転流オフセットを求める方法において、
二次構成部材（１０）に存在している機械的マーキング（３１）と一次構成部材（１５）における規定の箇所との間の間隔を求め、この求められた間隔がモータ制御装置（２４）に入力され、もしくは自動的に読み込まれ、マーキング（３１）の極パターンに対する位置と、一次構成部材（１５）における規定の箇所からのマーキング（３１）の求められた間隔とから、モータ制御装置（２４）において転流オフセットが算出される、請求項１から１１までのいずれか１項記載の特徴を有する電気的同期リニアモータを備えた直線駆動装置の転流オフセットを求める方法。
【発明の詳細な説明】
本発明はまず請求項１に記載の、電気的同期リニアモータであって、規定の極パターンで配置された複数の永久磁石を備えている二次構成部材と、二次構成部材に対して相対的に移動可能で二次構成部材に対する相対的な位置が変位測定系によって検出可能である一次構成部材とを有している形式のものに関する。
さらに本発明は、請求項１２に記載の、電気的同期リニアモータにおける転流オフセットを求める方法に関する。
同期リニアモータの時間的に一定の力を保証するために、一次構成部材の磁界ベクトルと二次構成部材の磁界ベクトルとの間に９０度の角度が調節されなければならない。このことは、一次構成部材のモータ制御が、二次構成部材の永久磁石の位置の現在位置に依存して行われねばならないことを意味している。それゆえモータ制御は、二次構成部材に対する一次構成部材のその都度現在位置の実際値を必要とする。このために、これらの情報をモータ制御のために提供する変位測定系が存在している。
同期モータ一般において、機械的な組付け後に一次構成部材の磁界ベクトルと二次構成部材の磁界ベクトルとの間にさしあたり一義的な位置関係は存在しない。この位置関係は駆動装置の最初の運転開始時に、いわゆる転流オフセットを求めることによって一義的に形成される。
本発明の課題は、電気的同期リニアモータが安価に製造され、確実に機能し、簡単に運転され得るように形成することである。また、高い組付け確実性が保証されることが望ましい。さらに、簡単な運転開始のための方法が提供される。
簡単な運転開始は、請求項１記載のすべての特徴を有する電気的同期リニアモータによって可能である。つまり、そのような電気的同期リニアモータにおいては、永久磁石の極パターンに対する既知の位置関係を有する機械的マーキングが二次構成部材に存在している。このようなマーキングにより、二次構成部材の永久磁石に対する一次構成部材の位置が規定され、したがって転流オフセットが規定される。転流オフセットと、変位測定系によって瞬間的に把握された一次構成部材の位置との関係が形成された後で、モータ制御装置は、一次構成部材と二次構成部材との磁界ベクトルの間に９０度の角度が調節されるように、一次構成部材の巻成層を制御する。
請求項１２に記載の方法は、転流オフセットを求めるために特に好都合である。この方法によると、二次構成部材における機械的マーキングと一次構成部材との間の求められた間隔と、極パターンに対するマーキングの位置とから、モータ制御装置の内部で転流オフセットが計算される。
電気的同期リニアモータの有利な構成が、請求項２〜１２に記載されている。
請求項２により、永久磁石の極パターンに対する機械的マーキングの位置関係が、電気的モータ制御装置内に不揮発性的に記憶されていることが好ましい。
請求項３によれば、変位測定系として絶対変位測定系が用いられることが有利である。この場合、モータ制御装置を遮断する度に転流オフセットを新たに求める必要はなく、変位測定系で変更が行われるか、一次構成部材または二次構成部材の固定条件の変化を伴う機械的な組み替えが行われた場合のみ求めればよい。
電気的同期リニアモータの二次構成部材には通常、二次構成部材を機械台に固定する働きをする固定孔が存在している。請求項１によれば、二次構成部材の固定孔が直接または間接に機械的マーキングとして用いられると好都合である。
二次構成部材の永久磁石の極パターンに対する同じ位置を有する複数の機械的マーキングが存在してもよい。この場合、極パターンに対する同じ位置とは、機械的マーキングがすべて、たとえば二次構成部材のＮ極のちょうど中心に存在することを意味する。複数のマーキングの利点は、比較的小さい間隔が測定されればよく、場合によって一次構成部材の移動を省けることにある。しかし、転流オフセットを求めるために、どのマーキングを用いるかは基本的に重要ではない。マーキングが１つしか存在していない場合とまったく同じように、最初に極パターンのピッチ幅、すなわち二次構成部材の２つの同名の極の間隔の何整数倍が、測定された間隔に含まれているかが、外部計算により、または制御装置内で自動的に確認される。その余りが、転流オフセットを求めるための基準となる。
電気的同期リニアモータの二次構成部材は通常、複数の二次個別構成部材から構成されている。これらの二次個別構成部材により、二次個別構成部材の数と長さに応じて種々異なる長さの移動距離が実現され得る。請求項５に従い、各々の二次個別構成部材は極パターンに対する同じ位置を有する機械的マーキングを備えていることが有利である。
請求項６に記載の二次構成部材が、二次構成部材の長手方向に延びている１列の固定孔を有し、すべての固定孔が極パターンに対して同じ位置を有していると、これらすべての固定孔は機械的マーキングとして用いられ得る。固定孔の間隔が極パターンのピッチ幅に相応していることが好都合である。二次構成部材の長手方向に延びている第２列の固定孔が、互いに種々異なる間隔を有していることが有利である。したがって、両列は互いに明瞭に識別可能であり、それによって複数の二次個別構成部材から二次構成部材を構成することが簡単になる。いずれかの列ですべての固定孔が互いに同じ間隔を有しないと、直ちにその構成は正しくなくなる。さらに、両列の固定孔を識別できることにより、二次構成部材に対して一次構成部材を適切に対応させることが容易になる。一次構成部材における目安として、側方にケーブル出口が設けられていることが好都合である。
二次構成部材と一次構成部材との間に高さのずれがあるので、二次構成部材の機械的マーキング自体が間隔の測定に用いられると、場合によって不都合である。請求項９に従い、永久磁石の極パターンに対する既知の位置関係で二次構成部材に配置可能で、一次構成部材からの間隔が規定可能な機械的マーキングを有している基準装置を用いることがより好都合である。二次構成部材の長手方向に対して直角に延びている、基準装置の側面におけるエッジがマーキングとして働くと合理的である。存在するすべての二次構成部材は、極配置に関して互いに同一に構成されている。二次個別構成部材の個別長さは種々異なることができる。本質的な特徴は、二次構成部材の長手方向に進んでＮ極とＳ極が交互に続いていることである。
本発明による電気的同期リニアモータの実施例を図面に示されている。以下にこれらの図面の図に基づき、本発明を詳しく説明する。
第１図は、実施例を示す斜視図であって、第２図は、二次構成部材上に配置された機械的な基準装置の実施例を示す平面図であって、第３図は、一次構成部材と二次構成部材との間隔を拡大した両構成部材を示す断面図であって、第４図は、第２図から機械的な基準装置だけを拡大して示す平面図であって、第５図は、第４図のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
第１図から、ある機械における電気的同期リニアモータの配置が分かる。第２図に示されているように、互いに同一の複数の二次個別構成部材１１から構成された二次構成部材１０が、機械台１２で２つのガイドレール１３の間に固定されている。これらのガイドレール１３上にブリッジ状の機械スキッド１４が案内されている。機械スキッド１４はリニアモータの二次構成部材１０に面した下面で一次構成部材１５を支持している。機械台にはガイドレール１３とリニアモータの二次構成部材１０の長手方向に延びている、絶対変位測定系の絶対スケール１６が固定されている。これに付属する変位センサ１７が機械スキッド１４上にある。変位センサの原理は逆の配置形式で行われてもよい。すなわちスケールが動き、プロービングヘッドが停止している部分に固着されていてもよい。
一次構成部材１５はブロック２０を有している。ブロック２０内には電気コイルと導線（詳細に図示しない）が収容されている。ブロック上には冷却プレート２１が載置されている。ケーブル２２が、リニアモータの長手方向延在の方向に向いている一次構成部材１５の端面で一次構成部材１５から側方に出て、フレキシブルなケーブルダクト２３を貫通してモータ制御装置２４に続いている。
存在しているすべての二次個別構成部材１１は、磁極配置に関して互いに同一に構成されており、それぞれ４つの永久磁石３０を有している。二次構成部材の長手方向に進んでＮ極とＳ極がそれぞれ交互に続いている。極パターンのピッチ幅、すなわち同名の２つの極の間の間隔は、二次個別構成部材１１の半分の長さに等しい。永久磁石３０の両側には、各々の二次構成部材１１は２つの固定孔３１もしくは３２を有している。固定孔３１もしくは３２は永久磁石３０に対する支持体３３にある。一方の側における両固定孔３１の間隔は、極パターンのピッチ幅に相応している。さらに各々の固定孔３１は、二次個別構成部材１１の隣接する端面から、極パターンのピッチ幅の半分に等しい間隔を有している。したがって、固定孔がすべて同じ側に存在するように二次個別構成部材１１を組み付けると、すべて互いに等しい間隔を有する１列の固定孔が生じる。極パターンに対するすべての固定孔３１の相対的位置も等しい。各々の固定孔３１は、二次構成部材１０の長手方向で見て、Ｓ極と、それぞれこのＳ極の同じ側に存在するＮ極とのちょうど間にある。
二次個別構成部材１１の他方の側にある固定孔３２も、それぞれ隣接する端面から等しい間隔を有している。しかし、この間隔は極パターンの半分のピッチ幅より小さいので、それに相応して二次個別構成部材１１の２つの固定孔３２の間の間隔は極パターンのピッチ幅より大きい。したがって、二次構成部材１０の一方の側では、２つの固定孔の間隔がそれぞれ交互に比較的大きい、または比較的小さい１列の固定孔が生じる。このように二次個別構成部材１１の両側で固定孔を異なるように配置することによって、二次個別構成部材１１を１つの長い二次構成部材に適切にまとめることが容易になる。一方の側では、相前後する２つの固定孔がそれぞれ互いに等しい間隔を有している１列の固定孔が形成さればならない。他方の側では、相前後する固定孔の間隔は交互に比較的大きく、または比較的小さい。
一次構成部材１５はケーブル２２が固定孔３２の側から出るように、二次構成部材１０に対して配置されている。
永久磁石３０は、第３図に示したカバープレート３４によって覆われている。カバープレート３４は、固定孔３１および３２に貫入されて二次個別構成部材１１を機械台１２内に固定している同じねじ３５で支持体３３に固定されている。
各々の固定孔３１は、機械的マーキングとして利用可能である。これを利用して、リニアモータの運転開始時に二次構成部材に対する一次構成部材の転流オフセットを求めることができる。その目的のために、固定孔３１の軸線と、ケーブル出口を有していない、一次構成部材１５の端面との間の間隔が規定される。このことはスケールを利用して、その他の補助手段を用いずに行われ得る。間隔測定に対して過度に高い寸法精度が要求されない場合でも、固定孔３１と一次構成部材１５との高さのずれのために、間隔を十分正確に求めることが難しいことがある。それゆえ、二次構成部材１０における固定孔３１に対する固定した位置に固定可能な基準装置４０を利用すると好都合であろう。基準装置４０は、一貫した段付き孔４１を有する、たとえばアルミニウムからなる縦長の成形材である。段付き孔４１は、二次構成部材１０に基準装置４０を固定するために、固定孔３１と合致して設けられる。この固定孔３１にはねじ３５がまだ入っていないか、固定孔３１からねじ３５が取り外されている。次いでねじ３５が、段付き孔４１と固定孔３１に貫入されて、機械台のねじ孔にねじ込まれる。基準装置４０は、二次構成部材１０の長手方向に対して直角に延びている基準装置４０の端面４２に位置している、隣接する固定孔３１の軸線まで達している。端面４２の凹部４３内には、隣接する固定孔内にあるねじ３５の頭部が収容され得る。一次構成部材１０からの端面４２の間隔は、相応の固定孔３１の間隔と等しい。
したがって、同期リニアモータの運転開始時に転流オフセットを求めるために、基準装置４０の端面４２と、これに向き合わされた一次構成部材１５の端面との間隔が測定される。測定中は測定値を次に入力するまで、一次構成部材は二次構成部材に対する位置を確実に維持しなければならない。測定された間隔はモータ制御装置に入力される。モータ制御装置は、永久磁石３０に対する固定孔３１の記憶された相対的位置から転流オフセットを計算する。この場合、あらかじめ極パターンのピッチ幅をできるだけ多数回差し引いた間隔の余りだけが考慮される。二次構成部材１０に対するほかに、変位測定系に対する一次構成部材１５の位置も関係づけられる。そうすると、モータ制御装置は、変位測定系によって把握された一次構成部材１５の規定の位置におけるように、一次構成部材を制御し得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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