(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光が伝搬するコア部と、前記コア部を囲むように形成された低屈折率のクラッド部とを含み、
前記クラッド部が気体または液体であると共に、
前記コア部が、有機重合体と金属系化合物とを含む有機無機複合体であり、かつ、前記クラッド部内に位置して、その端部で支持せしめられるように、前記コア部の端部に接続された光デバイスを含むことを特徴とする光導波路装置。
【請求項２】
前記クラッド部は空気、希ガス、窒素、酸素または二酸化炭素で構成されることを特徴とする請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項３】
前記クラッド部はアルコール、水、グリセリンまたはパラフィン油で構成されることを特徴とする請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項４】
前記コア部は板状の平面構造を持つように形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路装置。
【請求項５】
前記コア部は、線状体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路装置。
【請求項６】
前記コア部は曲げ部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光導波路装置。
【請求項７】
前記金属系化合物は、ゾルゲル法で形成された化合物であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光導波路装置。
【請求項８】
複数に分割可能な型枠を用意する工程と、
前記型枠内に形成された溝の端部に光デバイスを固定すると共に金属アルコキシドと有機重合体とを含む前駆体溶液を注入し、次いで前記前駆体溶液を加熱し硬化させる工程と、
前記型枠を取り外す工程と、
前記コア部のまわりにクラッド部となる気体または液体を配した状態で、前記光デバイスにより前記コア部を支持する工程と、
を備えたことを特徴とする光導波路装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路、光導波路装置およびその製造方法にかかり、特に、光通信分野における光スイッチ、光変調器、光分波器などに用いられる、伝送効率が高い新しい構造の光導波路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光通信分野などに用いられる通常の光導波路は、光が伝搬する屈折率の高いコア部とその周囲に配設された屈折率の低いクラッド部とから構成され、コア部に導入した光がコア部とクラッド部との界面で全反射することで光を伝搬させるようにしたものである。
【０００３】
図１４（ａ）は、平面状の光導波路を示すものであり、基板１００の表面に、順次、下部クラッド層１０１、コア層１０２、上部クラッド層１０３とが形成されてなるものである。一方、図１４（ｂ）は、線状の光導波路を示すものであり、基板１００の表面に形成されたクラッド層１０５が、線状のコア層１０４のまわりを覆うように形成されてなるものである。
【０００４】
光導波路においてはコア部とクラッド部の屈折率差が大きい方が光の閉じ込め効果が大きい。コアとクラッドとの屈折率差が大きいと光の伝搬損失（放射損失）は小さくなる。このため、特に光導波路により光の進行方向を変える場合、屈折率差の大きい光導波路を用いることにより、曲げの曲率半径を小さくすることができる。このため、光導波路の占有面積を小さくすることが出来、その結果光導波路が使用される光通信用デバイスの小型化をはかることが可能となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般的に光導波路におけるコア部とクラッド部は石英ガラスやポリマー材料などの固体材料で作成されており、例えば、可視光領域で透明な材料においてはその屈折率の範囲はおおむね１．３〜１．６台に集中しており、屈折率の差はこの範囲内に限定されてしまい、伝搬損失の低減には限界があった。
【０００６】
また、曲げ部すなわち、光伝送方向の変更部における固体材料の加工には限界があり、更なる小型化は困難であった。
【０００７】
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、伝搬損失が小さく、高効率でかつ小型化の可能な光導波路を提供することを特徴とする。
【０００８】
また本発明は、小型でかつ高効率の光導波路装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明の光導波路装置は、光が伝搬するコア部と、前記コア部を囲むように形成された低屈折率のクラッド部とを含み、前記クラッド部が気体または液体であると共に、前記コア部が、有機重合体と金属系化合物とを含む有機無機複合体であり、かつ、前記クラッド部内に位置して、その端部で支持せしめられるように、前記コア部の端部に接続された光デバイスを含むことを特徴とする。
【００１０】
かかる構成によれば、気体または液体は、固体に比べて密度が小さく、屈折率が低い。また、形を自由に変えることができ、微細化が可能である上、装置の加工が容易である。さらに、光導波路に直接光デバイスが接続するように形成されているため、光デバイスからあるいは光デバイスへの伝送損失が抑制され、損失の低い光導波路装置を得ることができる。
【００１１】
例えば、前記クラッド部は空気層であることが望ましい。
【００１２】
また、クラッド層をヘリウム、アルゴンなどの希ガスあるいは、窒素などの不活性ガスとしてもよい。これにより、コア部の劣化が防止され、長寿命化をはかることが可能となる。
【００１３】
さらにまた、酸素あるいは二酸化炭素を用いることも可能である。
【００１４】
空気の屈折率は１であるが、他の気体についてもおおむね１であるため、コア部との屈折率差を大きくすることができる。
【００１５】
また、前記クラッド部はアルコールまたは水で構成されていてもよい。
【００１６】
アルコールも固体に比べて密度が小さく、液体の中でも低い屈折率を得ることができる上、反応性が少なく、クラッド材料の保存性を高めることが可能となる。
【００１７】
水の屈折率は１．３３、エタノールの屈折率は１．３６、グリセリンの屈折率は１．４７、パラフィン油の屈折率は１．４８、メタノールの屈折率は１．３３である。コア部を構成する材料の屈折率に応じてクラッド部を構成する材料を選択するようにすればよい。
【００１８】
また、前記コア部は板状の平面構造を持つように形成されてもよい。
【００１９】
前記コア部は線状体であってもよい。
【００２０】
前記コア部は曲げ部を有するように形成してもよい。
【００２２】
また、望ましくは、前記金属系化合物は、ゾルゲル法で形成された化合物である。
【００２３】
ゾルゲル法では、前駆体溶液を塗布した後、１２０〜２００℃程度で加熱し、乾燥することにより、形成することができるため、高温工程を経ることなく形成することができ、製造が容易である。
【００２６】
本発明の方法では、複数に分割可能な型枠を用意する工程と、前記型枠内に形成された溝の端部に光デバイスを固定すると共に金属アルコキシドと有機重合体とを含む前駆体溶液を注入し、次いで前記前駆体溶液を加熱し硬化させる工程と、前記型枠を取り外す工程と、前記コア部のまわりにクラッド部となる気体または液体を配した状態で、前記光デバイスにより前記コア部を支持する工程と、を備えたことを特徴とする光導波路装置を形成するようにしている。
【００２７】
この方法によれば、型枠内に、金属アルコキシドと有機重合体とを含む前駆体溶液を注入し、加熱し硬化させたのち、型枠を除去するのみで、作業性よく、金属有機ハイブリッド化合物からなるコア部と、空気層などの気相からなるクラッド部とを備えた光導波路を形成することが可能となる。また、この空気層の部分を容器で囲み、この容器の外壁とコア部との間にアルコールなどの液体を充填すれば、容易に液体をクラッドとする光導波路を形成することも可能である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００２９】
まず、各実施の形態の説明に先立ち、その動作原理と構造について説明する。
【００３０】
この光導波路は、図１に概念図を示すように、石英基板などで構成された台座１に、支持部１Ｓを介して高屈折率材料からなるコア部２を形成してなるもので、コア部２と台座１との間には空気層からなるクラッド部３が位置しており、入射光４がコア部２を通過して出射光５として光が導出されるようになっている。この構造ではコア部２の裏面の一部を台座に設けた支持部により支持している。
【００３１】
また、図２に他の構造概念図を示すように、円柱状のコア部１２を低屈折率材料で構成された支持用平板１１ａ、１１ｂで支持し、他の部分は空気層からなるクラッド部１３となるようにし、入射光１４がこの円柱状のコア部１２を通過して出射光１５として光が導出されるようになっている。この構造ではコア部１２を平行な２枚の支持用平板１１ａ、１１ｂによって２本の線状の接触部でのみ支持した構造となっており、この接触部分をできるだけ低屈折率の材料で形成するようにすれば、より伝搬損失を低減することが可能となる。
【００３２】
光導波路におけるコア部サイズは、一般的な光導波路のコア幅あるいはコア径と同様あるいはそれ以下に設定することが可能であり、平面型光導波路において波、その厚みが５μm〜１ｍｍであることが望ましく、また線型の光導波路においては、その直径が５μm〜１ｍｍであることが望ましい。
【００３３】
光導波路を構成する材料としては特に限定されるものではなく、石英系材料または有機高分子材料を使用することが可能である。
【００３４】
また、近年、特に有機無機複合材料中の有機物領域および無機物領域をナノメータレベルあるいは分子レベルで複合したいわゆるナノコンポジット材料（有機無機ハイブリッド材料）の開発が盛んであり、有機物領域および無機物領域をナノメータレベルあるいは分子レベルで分散させることができる。したがって、材料中の有機物領域や無機物領域が光の波長よりも小さく設計できるため、光の吸収や散乱が小さく、光導波路などの材料に必要とされる光学的透明性をも付与することが可能となる。
【００３５】
また、この有機無機複合体を構成する有機重合体は、有機無機名のコンポジットあるいは有機無機ハイブリッド材料として適用可能な有機材料であればよい。例えばポリメタクリル酸メチル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリビニルピロリドン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂あるいはこれらの前駆体が使用可能である。また複数の有機重合体から構成されていてもよい。
【００３６】
さらにまた有機無機複合体を構成する無機成分としての金属系化合物については特に制限はなく、その製造方法についても制限はないが、ゾルゲル法で形成された酸化物系化合物を用いるのが望ましく、さらに望ましくは金属元素として珪素、チタン、ジルコニウム、アルミニウム、スズ、亜鉛のうち、少なくとも１元素を含む酸化物系化合物を用いるのが望ましい。
【００３７】
これらの酸化物系化合物を用いることにより、光通信波長（０．４〜１．６μｍ）における光の吸収を小さくすることができるという効果がある。
【００３８】
さらにまた本発明で用いられる有機無機複合材料に含まれる金属系化合物の割合は、有機重合体と金属系化合物がナノメートルオーダで複合化できるような範囲であればよいが、例えば金属系化合物の金属が珪素の場合では、有機無機複合材中のケイ素元素の量が０．１〜４６重量％であることが望ましい。さらに望ましくは５〜３７重量％である。
【００３９】
ここでこの組成を評価する方法としては、二次イオン質量分析法（SIMS）、X線光電子分光法（XPS）、電子線マイクロアナライザ（EPMA）、透過型電子顕微鏡（TEM）、による観察などが適用可能である。
【００４０】
さらにまた、ゾルゲル法における金属系化合物の製造に用いる出発材料としては、少なくとも２個の加水分解基を有する金属元素を含む金属アルコキシドであればよい。例えば、ケイ素を含有する金属アルコキシドとしては、テトラエトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトライソブトキシシラン、フェニルトリエトキシシランなどを上げることができる。金属アルコキシドを構成するケイ素原子をチタン、ジルコニウム、アルミニウム、すず、亜鉛原子など置換した金属アルコキシドも適用可能である。また２種以上の金属アルコキシドを組み合わせて使用することも可能である。
【００４１】
ゾルゲル法で用いる型枠としては、有機無機複合体との剥離が容易であり、有機無機複合体作成プロセスで使用される溶媒などの薬品や、プロセス温度で変形、変質しないようなもので洗えば金属、有機物などの限定はなく、有機無機複合体の構成材料をもとに選定すればよい。特に好ましくは、柔軟性に富んだ有機系ポリマー材料を用いるのが望ましく、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素系樹脂、ポリエチレンテレフタレートまたはそれらを主成分とする有機系ポリマー材料を用いるのが望ましい。
（参考の形態１）
この光導波路は、図３に示すように、有機無機複合体を用いた平板状のコア部３２が、石英で構成された台座３１に、スペーサ３０Ｓを介して支持せしめられたもので、コア部３２と台座３１との間には空気層からなるクラッド部３３が位置しており、入射光３４がコア部３２を通過して出射光３５として光が導出されるようになっている。この構造ではコア部３２の裏面の端部をスポット的に台座３１に設けたスペーサ３０Ｓにより空間的に支持している。
【００４２】
この光導波路の製造に際しては、まず、ゾルゲル法でコア部を形成するための前駆体溶液を調整する。
【００４３】
まず、テトラエトキシシラン３９.６ｗｔ％、0.05規定の塩酸（塩化水素の水溶液）６.８ｗｔ％、イソプロピルアルコール５３.６ｗｔ％の割合で混合した溶液を２６℃に保持しながら約２４時間ビーカＢで攪拌を行ない、テトラエトキシシランの加水分解、重縮合反応を進行させて形成した溶液Ａ３８ｇと、ポリビニルピロリドン１７.５ｗｔ％、イソプロピルアルコール８２.５ｗｔ％の割合で、混合した溶液Ｂ１２ｇを混合することで適度な粘度を有する溶液を得る。
【００４４】
次に、図4に示すように、底部４１と第1乃至第4の側面部４２、４３、４４、４５との5枚のポリテトラフルオロエチレンからなる板状体で構成された型枠を用意し、この型枠内に、前述のようにして形成された前駆体溶液２０を流し込む（図４（ｂ））。
【００４５】
そして、大気中で乾燥し、型枠の底部４１を除去し、ついで第1乃至第4の側面部４２、４３、４４、４５を除去し、図４（ｃ）に示すような幅１０ｍｍ、長さ（光の伝播方向）３０ｍｍ、厚み０.５ｍｍの平板状の光導波路（コア部３２）を形成する。
【００４６】
このとき、サンプル５０個作成し、割れの状況を確認した結果、このサンプルでは５０個中４個のサンプルでわれが発生した。これに対し、型枠を前記第１の参考の形態のように分割構造にせず、一体で形成した場合、サンプル５０個作成し、割れの状況を確認した結果、このサンプルでは５０個中４３個のサンプルでわれが発生した。これらの比較から型枠を分割構造にすることにより、割れの発生が低減され製造歩留まりが大きく向上することがわかる。
【００４７】
このようにして形成したコア部３２をスペーサ３０Ｓを介して台座３１に固定することにより、光導波路を形成した。
【００４８】
そしてこの光導波路を、図５に示すように、波長６３２．８ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザ装置の光路上に、このレーザ光を入射光３４として導入できるように実装して光導波路装置を形成し、反対側の端面から導出される出射光３５を光学系３６で拡大したのちスクリーン３７に投影した。その結果シャープなスポットが観察され、吸収や分散がなく良好に光が伝播していることがわかる。
【００４９】
（参考の形態２）
この光導波路は、図６（ａ）および（ｂ）に示すように、円柱状のコア部５２を低屈折率材料で構成された支持用平板６１ａ、６１ｂで支持し、他の部分は空気層からなるクラッド部６３となるようにし、入射光６４がこの円柱状のコア部５２を通過して出射光６５として光が導出されるようになっている。この構造ではコア部５２を平行な２枚の支持用平板６１ａ、６１ｂに支持された低屈折率材料からなるスペーサ６０Ｓによって２点の接触部でのみ支持した構造となっており、この接触部分をできるだけ低屈折率の材料で形成するようにすれば、より伝搬損失を低減することが可能となる。
【００５０】
この光導波路の形成に際しては、図７（ａ）に示すように、前記第１の参考の形態と同様にして形成した前駆体溶液を液溜５０の底面に形成された所望の径の開口部を有するダイス５１を通して線引きし、乾燥し、所定の長さに切断することで、図７（ｂ）に示すように、直径０.５ｍｍの線状のコア部５２を形成する。
【００５１】
このようにして形成されたコア部５２をスペーサ６０Ｓを介して平行な２枚の支持用平板６１ａ、６１ｂで支持することによって本発明の第２の参考の形態の光導波路が形成される。
【００５２】
そして図８に示すように、この光導波路を波長６３２．８ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザ光（ビーム断面：円形）の光路上に、このレーザ光を入射光８４として導入できるように実装して光導波路装置を形成し、反対側の端面から導出される出射光８５を光学系８６で拡大したのち、スクリーン８７に投影した。その結果シャープなスポットが観察され、吸収や分散がなく良好に光が伝播していることがわかる。
【００５３】
なお、前記第１および第２の参考の形態ではテトラエキシシラン、ポリビニルピロリドン系の有機無機複合体前駆体溶液を用いたが、フェニルトリエトキシシラン、アクリル系でもよい。
【００５４】
この場合は以下のようにして形成される。
【００５５】
まず、フェニルトリエトキシシラン３９.６ｗｔ％、0.05規定の塩酸（塩化水素の水溶液）６.８ｗｔ％、Ｎ−メチル−2−ピロリドン５３.６ｗｔ％の割合で混合した溶液を２６℃に保持しながら約２４時間ビーカで攪拌を行ない、フェニルエトキシシランの加水分解、重縮合反応を進行させて形成した溶液Ａ３８ｇと、ポリメタクリル酸メチル１７.５ｗｔ％、Ｎ−メチル−2−ピロリドン８２.５ｗｔ％の割合で、混合した溶液Ｂ１２ｇを混合することで適度な粘度を有する溶液を得る。
【００５６】
このようにして調整した有機無機複合体前駆体溶液を用いても同様のコア部を形成することができる。
【００５７】
（実施の形態１）
この光導波路は、図９に断面図、図１０に斜視図を示すように、シリコン基板で構成された台座９１に、とりつけられた中空の容器９９に支持部９１Ｓを介して高屈折率材料からなるコア部９２を形成してなるもので、コア部９２と台座９１との間には空気層からなるクラッド部９３が存在しており、支持部９１Ｓに取り付けられたレーザ装置９４から発せられた光がコア部９２を通過し、他端にとりつけられた光コネクタ９５を介して出射光として光が導出されるようになっている。この構造ではコア部９２の両端の台座への支持部の機能を光コネクタ９５およびレーザ装置９４が有するとともに、光が直接入出射するため、伝播損失の低減をはかることができる。
【００５８】
次にこの光導波路の製造工程について説明する。
【００５９】
まず図１１（ａ）に示すように、シリコンゴムからなる型枠１１０１に形成された溝１１０２Ｓの１端部にレーザ９４を固定する。
【００６０】
この状態で図１１（ｂ）に示すように、レーザ装置９４を含む前記溝１１０２Ｓ内に前記第１および第２の参考の形態で調整したのと同様の前駆体溶液を流し込み、乾燥して硬化させ、有機無機複合体からなるコア部１１０２を形成する。
【００６１】
そして図１１（ｃ）に示すように、この型枠１１０１を取り外し、端面にレーザ装置９４の装着されたコア部１１０２が形成される。
【００６２】
このコア１１０２を図９および図１０に示すように容器９９にとりつけられた支持部９１Ｓを介してレーザ装置９４を固定するとともに、他端には光ファイバ９７に接続された光コネクタ９５が支持部に固定されており、コア部１１０２の他端を光コネクタ９５に接続することにより、コア部１１０２が枠体に支持される構造となっている。したがって光接続部でのもれや減衰がなく高効率の伝播が可能となる。
【００６３】
かかる構成によれば、コア部は有機無機複合材料で構成されているため柔軟性があり、型枠からはずした後も曲げることもでき、形状加工が自在である。
【００６４】
また、コア部の形成に際し、溝自体を曲線形状にしておくことにより、曲線状に曲がったコアを形成することも可能である。
【００６５】
なお、この本発明の第１の実施の形態では光コネクタと光ダイオードとは１直線状をなすように形成したが、光導波路を自由に曲げることができるため、配置に自由度が得られ、設計が自由となる。
【００６６】
また、基板としてもシリコン基板に限定されることなくサファイア基板などを用いることも可能であり、光電変換素子、半導体レーザなどの発光素子を同一基板上に集積化することも可能であり、小型でより高速動作の可能な、光集積回路装置を提供することが可能となる。
（第２の実施の形態）
また、前記第１の実施の形態によれば、コア部は有機無機複合材料で構成されているため柔軟性があり、型枠からはずした後も曲げることもでき、形状加工が自在である。
【００６７】
そこで、この例では、図１２（ａ）に示すように、前記第2の参考の形態で形成した円柱状のコア部をダイスを用いて前駆体溶液を供給しながら線引し、円柱状のコア部１２０２を形成した後、図１２（ｂ）に示すように、これを曲げ部Ｒでほぼ９０度湾曲させた導波路を形成するものである。
【００６８】
上記構成により、容易に曲げ部Ｒを有する導波路を形成することが可能となる。
【００６９】
このようにして形成したコア部を容器（図示せず）内に保持し、容器内に気体または液体を充填しコア部の壁面が容器に接触しないように気体または液体で覆うようにすればよい。
【００７０】
また常に流体を流しながらコア部を流路の中心に保持するようにし、壁面へのコア部の接触を防止するようにした構造も有効である。
（第３の実施の形態）
また、コア部の形成に際し、溝自体を曲線形状にしておくことにより、曲線状に曲がったコアを形成することも可能である。
【００７１】
この例では、図１３（ａ）に示すように、前記第３の実施の形態で形成したのど同様に溝部１３０２Ｓを有する型枠１３０１および１３０３を用い、この溝部１３０２Ｓに同様の前駆体溶液を供給し、乾燥硬化後型枠１３０１および１３０３を除去し、コア部１３０２を形成するものである。
【００７２】
この例では、溝部１３０２Ｓが曲げ部Ｒを有しているため、図１３（ｂ）に示すように、曲げ部Ｒを有する円柱状のコア部が形成される。
【００７３】
このように、この方法によっても容易に曲げ部Ｒでほぼ９０度湾曲させたコア部からなる導波路を形成することができる。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、クラッドとして気体または液体を用いているため、コア部とクラッド部との屈折率差を大きくすることができ、光閉じ込め効果が向上し、伝播損失の小さい光導波路を得ることが可能となる。
【００７５】
また、クラッドが気体または液体であるため、形状変化が自在であり、加工性が良好である。
【００７６】
また、クラッドの屈折率を小さくすることができるため、コア部にどのような材料を使っても良く、設計が自由で低コストの光導波路装置を得ることが可能となる。
【００７７】
型枠内に、前駆体溶液を流し込み、ゾルゲル法でコア部を形成し、型枠を除去したのち、気体中あるいは液体中に固定すれば良く、製造歩留まりが高く、製造が容易な光導波路の製造方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の光導波路装置の動作原理を示す説明図である。
【図２】  本発明の光導波路装置の動作原理を示す説明図である。
【図３】  本発明の第１の参考の形態の光導波路を示す図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ-Ａ断面図である。
【図４】  図４（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第１の参考の形態の光導波路の製造工程を示す図である。
【図５】  本発明の第１の参考の形態の光導波路装置を示す図である。
【図６】  本発明の第２の参考の形態の光導波路を示す図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ-Ａ断面図である。
【図７】  図７（ａ）および（ｂ）は、本発明の第２の参考の形態の光導波路の製造工程を示す図である。
【図８】  本発明の第２の参考の形態の光導波路装置を示す図である。
【図９】  本発明の第１の実施の形態の光導波路装置を示す図である。
【図１０】  本発明の第１の実施の形態の光導波路装置を示す図である。
【図１１】  図１１（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態の光導波路の製造工程を示す図である。
【図１２】  本発明の第２の実施の形態の光導波路の製造工程で用いられるコア部の製造工程を示す図である。
【図１３】  図１３（ａ）および（ｂ）は、本発明の第３の実施の形態の光導波路の製造工程で用いられるコア部の製造工程を示す図である。
【図１４】  従来の光導波路を示す説明図である。
【符号の説明】
１  土台
１Ｓ  支持部
２  コア部
３  クラッド部
４  入射光
５  出射光
１１ａ、１１ｂ  支持用平板
１２ コア部
１３  クラッド部
１４  入射光
１５  出射光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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