(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダと軸方向に摺動可能なプランジャよりなる液材を吐出する液材吐出装置であって、
前記液材を収容する液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、
前記液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、
前記シリンダの端部に配置され、前記供給口と前記シリンダと前記吐出口とを連通する溝を有し、前記シリンダに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置。
【請求項２】
シリンダと軸方向に摺動可能なプランジャよりなる液材を吐出する液材吐出装置であって、
前記液材を収容する液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、
前記液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、
前記シリンダの端部に配置され、前記供給口と前記シリンダとを連通する第１の溝と前記シリンダと前記吐出口とを連通する第２の溝とを有し、前記第１の溝もしくは前記第２の溝のどちらか一方、もしくは前記第１の溝と前記第２の溝の各々が前記供給口と前記シリンダと前記吐出口を連通することができ、前記シリンダに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置。
【請求項３】
液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、
液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、
前記供給口と前記吐出口の流路間に設けられたピストンと、
前記供給口と前記ピストンと前記吐出口を連通する溝が形成され、前記ピストンに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置において、
前記スライドバルブを所定の経路を形成するように位置決めするステップと、
前記ピストンを前記スライドバルブに突き当てるステップと、
前記供給口から加圧したエア又は液材を前記流路に流入させるステップと、
前記流路に流入させた前記エア又は液材により前記流路に残存するエア又は液材を前記吐出口から排出するステップとを有するエア又は液材排出方法。
【請求項４】
液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、
液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、
前記供給口と前記吐出口の流路間に設けられたピストンと、
前記供給口と前記ピストンと前記吐出口を連通する溝が形成され、前記ピストンに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置において、
前記スライドバルブを前記供給口と前記ピストンとを連通する流路を形成するように位置決めするステップと、
前記ピストンを引き出し液材を流入させるステップと、
前記ピストン内に液材を貯留したまま前記スライドバルブを前記ピストンと前記吐出口とを連通する流路を形成するように位置決めするステップと、
前記ピストンを押し入れ液材を吐出させるステップとを有する液材吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般には、液材吐出装置に関する。本発明は、例えば、チップを封止する樹脂封止装置に好適である。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器に使用される半導体チップを製造するプロセスは、リソグラフィー技術によってウェハ上に回路を形成する前工程と、かかるウェハから半導体チップを製造する後工程とを含む。このうち後工程は、チップを保護するために液材吐出装置（以下、「ディスペンサ」という。）から熱硬化性樹脂等の液材を、チップを覆う型に流し込んでチップを封止する封止工程を含む。十分な封止を確保するためには、ディスペンサからチップに供給される液材の量を所期の量に維持する必要がある。
【０００３】
以下、図１１及び図１２を参照して、従来のディスペンサ６００について説明する。ここで、図１１は、従来のディスペンサ６００の概略断面図である。また、図１２は、ディスペンサ６００の動作を示す図である。図１１に示すように、ディスペンサ６００は、液材６１２を収容してディスペンサ６００と着脱可能な液材供給容器６１０と、三つの流路６３２、６３４及び６３６を有して液材６１２の流れを制御する三方向弁６３０と、液材６１２の充填及び吐出を行うプランジャ６４０と、プランジャ６４０の支持及び液材６１２を収容するシリンダブロック６５０とを有する。ディスペンサ６００は、吐出口６２４から液材６１２を滴下して下段のチップに液材６１２を供給してこれを封止する。
【０００４】
ディスペンサ６００は吐出動作を開始する前に、図１２を参照して以下に説明するようなエア抜き動作を行う。エア抜き動作はディスペンサ６００内のエアを除去して所期の量の液材供給を確保するために行われる。
【０００５】
まず、図１１及び図１２（ａ）に示すように、液材供給容器６１０を供給口６２２に接続して、加圧エアを上部から与える。三方向弁６３０は、流路６３２が供給口６２２に連通し、流路６３４がプランジャ６４０に連通し、流路６３６が閉口するように、配置される。プランジャ６４０は最下位置に配置される。次に、図１２（ｂ）に示すように、三方向弁６３０の姿勢を維持したままでプランジャ６４０を上方に摺動し、液材６１２をディスペンサ６００内に流入させ、シリンダブロック６５０内の中空部６５１に液材６１２を充填させる。
【０００６】
液材６１２の充填後、図１２（ｃ）に示すように、三方向弁６３０を時計回りに９０度回転させてバルブの切換えを行う。これにより、流路６３２が中空部６５１に連通し、流路６３４が閉口し、流路６３６が吐出口６２４に連通する。次に、図１２（ｄ）に示すように、プランジャ６４０を下方に摺動することによって吐出口６２４から液材６１２を吐出する。この液滴は、ディスペンサ６００内にエアが混入して所期の吐出量が得られていないために廃棄される。
【０００７】
その後、三方向弁６３０を反時計回りに９０度回転させて、図１２（ｅ）に示す状態にする。図１２（ｅ）に示す状態は、図１２（ａ）に示す状態と比較すると、流路６３４に液材６１２が充填されている点、供給口６２２から流路６３２手前の流路６２０まで液材６１２が充填されている点で異なっている。次に、図１２（ｂ）と同様に、三方向弁６３０の姿勢を維持したままで、図１２（ｆ）に示すように、プランジャ６４０を上昇させて液材６１２を中空部６５１内に充填させる。図１２（ｅ）は、上述したように、図１２（ａ）よりもエア抜きがなされているので、図１２（ｆ）は図１２（ｂ）よりも多量の液材６１２が中空部６５１内に充填されている。
【０００８】
次に、図１２（ｃ）と同様に、液材６１２の充填後、図１２（ｇ）に示すように、三方向弁６３０を時計回りに９０度回転させてバルブの切変えを行う。次に、図１２（ｄ）と同様に、図１２（ｈ）に示すように、プランジャ６４０を下方に摺動することによって吐出口６２４から液材６１２を吐出する。この液滴も、ディスペンサ６００内にエアが混入して所期の吐出量が得られていないために廃棄される。図１２（ｉ）に示す状態は、図１２（ｅ）に示す状態と比較すると、流路６３６に液材６１２が充填されている点で異なっている。図１２（ｉ）に示す状態でエア抜きがようやく終了して封止工程が開始する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のディスペンサ６００は、エア抜き動作に時間がかかり、エア抜きで生じる廃液が多く、所期の量の液材を迅速にチップに供給することができなかった。また、上述のエア抜き動作を行っても、図１２（ｉ）に示すように、停留エア６３７及び６３８が発生してエア抜きが不確実である。更に、液材の種類を交換する場合にはディスペンサ内の停留液材の排出を行う必要があるが、プランジャ動作だけではエアの圧縮性のために完全に排出することができない。また、エア排出を行ったとしても停留液材があるため完全に液材を排出することが困難であり時間もかかってしまう。また、液材の排出直前のエアによって液材が飛散する問題もある。これに対してディスペンサを分解すれば液材を確実に排出することができるが、これは煩雑である。
【００１０】
そこで、本発明は、所期の量の液材を短時間で確実に吐出することができると共に液材を迅速、容易且つ確実に交換可能とすることができる液材吐出装置を提供することを例示的目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての液材吐出装置は、シリンダと軸方向に摺動可能なプランジャよりなる液材を吐出する液材吐出装置であって、前記液材を収容する液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、前記液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、前記シリンダの端部に配置され、前記供給口と前記シリンダと前記吐出口とを連通する溝を有し、前記シリンダに対して摺動可能なスライドバルブとを有する。かかる液材吐出装置によれば、供給口から吐出口までを溝を介して連通することで流路に液材が引っかかることがなく停留液材の発生を防止することができるので、所定量の液材を確実に吐出することができる。また、連通状態とすることで所期動作時に流路内に停留するエアや余分な液材を容易に排出することも可能であり、所期の量の液材を短時間で確実に吐出することができると共に液材を迅速、容易且つ確実に交換可能とすることができる液材吐出装置を提供することができる。
【００１２】
上述した液材吐出装置において、前記スライドバルブは、例えば、前記溝が連通する方向に対して垂直方向に摺動可能である。これにより、液材供給容器に常時加圧エアを与えることができ、加圧エア付与及び／又は停止の制御が不要となる。また、前記溝は、前記プランジャの径よりも大きな径を有し、スライドバルブとプランジャを接触しないで当該溝上面もしくは当該溝内に前記プランジャの端部を位置することが可能である。これによりプランジャ下端に停留するエアを逃がすことができるとともにスライドバルブとプランジャの制御が容易になる。
【００１３】
本発明の別の側面としての液材吐出装置は、シリンダと軸方向に摺動可能なプランジャよりなる液材を吐出する液材吐出装置であって、前記液材を収容する液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、前記液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、前記シリンダの端部に配置され、前記供給口と前記シリンダとを連通する第１の溝と前記シリンダと前記吐出口とを連通する第２の溝とを有し、前記第１の溝もしくは前記第２の溝のどちらか一方、もしくは前記第１の溝と前記第２の溝の各々が前記供給口と前記シリンダと前記吐出口を連通することができ、前記シリンダに対して摺動可能なスライドバルブとを有する。かかる液材吐出装置によれば、スライドバルブの切換えを行う吐出動作時において、液材供給容器に常時加圧エアを与えることができる。また、第１の溝もしくは第２の溝が供給口とシリンダと吐出口とを連通することが可能であるため、エア又は液材の排出動作が容易となる。
【００１４】
本発明の更に別の側面としてのエア又は液材排出方法は、液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、前記供給口と前記吐出口の流路間に設けられたピストンと、前記供給口と前記ピストンと前記吐出口を連通する溝が形成され、前記ピストンに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置において、前記スライドバルブを所定の経路を形成するように位置決めするステップと、前記ピストンを前記スライドバルブに突き当てるステップと、前記供給口から加圧したエア又は液材を前記流路に流入させるステップと、前記流路に流入させた前記エア又は液材により前記流路に残存するエア又は液材を前記吐出口から排出するステップとを有する。かかるエア又は液材排出方法によれば、流路が連通した状態となるのでエア又は液材を流路に流入させることで流路内に残存するエア又は液材を排出することができる。また、エア抜き時に廃液が少なくて済み、流路を洗浄液でクリーニングすることも容易となる。
【００１５】
本発明の別の側面としての液材吐出方法は、液材供給容器を接続可能な供給口を有する供給部と、液材を吐出する吐出口を有する吐出部と、前記供給口と前記吐出口の流路間に設けられたピストンと、前記供給口と前記ピストンと前記吐出口を連通する溝が形成され、前記ピストンに対して摺動可能なスライドバルブとを有する液材吐出装置において、前記スライドバルブを前記供給口と前記ピストンとを連通する流路を形成するように位置決めするステップと、前記ピストンを引き出し液材を流入させるステップと、前記ピストン内に液材を貯留したまま前記スライドバルブを前記ピストンと前記吐出口とを連通する流路を形成するように位置決めするステップと、前記ピストンを押し入れ液材を吐出させるステップとを有する。かかる液材吐出方法は、上述した液材吐出装置の液材吐出方法であり、装置と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００１６】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の例示的一態様である液材吐出装置について説明する。但し、本発明はこれらの実施例に限定するものではなく、本発明の目的が達成される範囲において、各構成要素が代替的に置換されてもよい。
【００１８】
ここで、図１は、本発明に係る液材吐出装置１００の概略断面図である。液材吐出装置１００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、図１に示すように、液材供給容器１１０と、流路１２０と、ピストン１３０と、スライドバルブ１６０とを有する。かかる構成において、液材１１２は液材供給容器１１０から順番に供給口１２２、溝１６２、吐出口１２４を介して通過することができる。
【００１９】
液材供給容器１１０は、たとえば半導体素子を封止するための熱硬化性樹脂等の液材１１２を収容するものであり、上部１１０ａに加圧エアを送るための口１１４と、下部１１０ｂに供給部１４４の供給口１２２と接続するための口１１６とを有している。下部１１０ｂに設けられた口１１６は、流路１２０に接続可能となるよう同一の断面積に形成されるが、継ぎ手などを利用することで任意の大きさの口を接続することもできる。
【００２０】
流路１２０は、液材吐出装置１００において液材供給容器１１０から半導体素子まで液材１１２を通過させる部位であり、その端部に供給口１２２と吐出口１２４とを有する。また、流路１２０は、液材停溜のない（凹凸のない）形状を有している。本実施例においては、流路１２０は断面形状が円形をしているが、これに限定されず、多角形などとして実現されてもよい。供給口１２２は、液材供給容器１１０を接続し流路１２０に液材１１２を供給する部位であり、吐出口１２４は流路１２０を介し押し出された液材１１２を吐出する部位である。吐出口１２４は、補助部材として先端ノズルを接続することもできる。先端ノズルは、吐出口１２４と液材１１２を塗布されるべき基板との距離が遠い場合等に使用する。但し、本実施例において、吐出口１２４は、先端ノズルを接続することを想定して同図横方向を向いているが、真下方向に向けてもよい。
【００２１】
ピストン１３０は、液材１１２をシリンダブロック（又はシリンダ）１４０に充填させたり、液材１１２を吐出させたりするものである。ピストン１３０は、シリンダブロック１４０と、プランジャ１５０とを有し、シリンダブロック１４０の中空部１４２にプランジャ１５０を挿入した構造をしている。
【００２２】
シリンダブロック１４０は、プランジャ１５０を支持するものである。また、シリンダブロック１４０は、中空円筒形をしており、プランジャ１５０を挿入するための中空部１４２を有し、軸と平行に位置する円筒面１４０ａに１８０度の間隔をあけて供給部１４４と、吐出部１４６とを有している。
【００２３】
供給部１４４は、端部に供給口１２２が設けられた流路１２０が貫通しており、シリンダブロック１４０の軸に垂直に位置する底面１４０ｂに孔１４４ａを有する。吐出部１４６は、端部に吐出口１２４が設けられた流路１２０が貫通しており、シリンダブロック１４０の軸に垂直に位置する底面１４０ｂに孔１４６ａを有する。即ち、２つの孔１４４ａ及び１４６ａは、それぞれ供給口１２２及び吐出口１２４と連通している。なお、中空部１４２と、孔１４４ａと、孔１４６ａは、シリンダブロック１４０の底面１４０ｂにおいて、一直線上に並んでいる。
【００２４】
プランジャ１５０は、液材１１２を装置内（即ち、シリンダブロック１４０の中空部１４２）に充填させたり、液材１１２を押して吐出させたりするものである。また、プランジャ１５０は、シリンダブロック１４０の中空部１４２に挿入され、軸方向に摺動することができる。
【００２５】
スライドバルブ１６０は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを切替えるものであり、シリンダブロック１４０の端部に配置されている。スライドバルブ１６０は、シリンダブロック１４０が当接する面に溝１６２を有する。溝１６２は、図２（ａ）に示すように、孔１４４ａとシリンダブロック１４０の中空部１４２と孔１４６ａとを連通する。即ち、溝１６２は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。ここで、図２は、液材吐出装置１００の要部概略図であって、図２（ａ）は、スライドバルブ１６０の概略上方透視図、図２（ｂ）は、溝１６２の連通方向からの液材吐出装置１００の概略断面図である。また、溝１６２は、図２（ｂ）に示すように、プランジャ１５０の径と等しい径もしくは狭い径を有し、プランジャ１５０を完全にシリンダブロック１４０に押し入れた時に、溝１６２の上端１６２ａにプランジャ１５０の下端１５０ａが位置するようになっている。また、スライドバルブ１６０は、少なくとも、溝１６２の形成方向、即ち、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する方向（Ｘ方向）に摺動することができる。更に、スライドバルブ１６０は、かかる連通方向に対して垂直方向（Ｙ方向）にも摺動することができる構成としてもよい。
【００２６】
次に、図３を参照して、液材吐出装置１００の動作について説明する。ここで、図３は、本発明に係る液材吐出装置１００の動作を示す概略図である。液材吐出装置１００内にエアが混入していると、液材１１２が均一な量吐出されなかったり、吐出時にエアにより液材１１２が飛散したりするなどの問題が起こるため、液材吐出装置１００を使用する前には液材吐出装置１００内のエアを取り除くエア抜きの作業を行う必要がある。
【００２７】
そこで、本発明の液材吐出装置１００は、図３（ａ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する方向に摺動させて、孔１４４ａとシリンダブロック１４０の中空部１４２と孔１４６ａの全てがスライドバルブ１６０に設けられた溝１６２上にそれぞれ一致するように配置し、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する。また、ピストン１３０のプランジャ１５０をスライドバルブ１６０に突き当てプランジャ１５０とスライドバルブ１６０との間に中空部１４２が無い状態にする。そして、ＩＣチップを封止するための液材１１２を収容している液材供給容器１１０を供給口１２２に接続して、液材供給容器１１０の上部１１０ａの口１１４に加圧エアを与えながら液材１１２を液材吐出装置１００内に流入させ、液材吐出装置１００内に混入していたエアを液材１１２によって外に押し出すという工程によりエア抜きを行う。
【００２８】
この時、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する流路は、凹凸の無い流路を有しているので粘性を持った液材１１２であったとしても液材１１２が引っかかり停溜してしまうということがない。よって、液材によって閉じ込められてしまうエアが発生しないので、エア抜きに要する液材１１２も少量ですみ、要する時間も短くすることができる。
【００２９】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、図３（ｂ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）側に摺動させて、吐出口１２４（孔１４６ａ）が溝１６２と連通しないようにずらしスライドバルブ１６０の表面で流路を塞ぐ。その際、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２は溝１６２と連通させ、プランジャ１５０をスライドバルブ１６０に突き当てた状態にしている。
【００３０】
そして、図３（ｃ）に示すように、液材供給容器１１０の上部１１０ａの口１１４より加圧エアを与えつつ、ピストン１３０のプランジャ１５０を引き出すように軸方向に摺動させることで液材１１２をシリンダブロック１４０（の中空部１４２）に充填させる。このように供給口１２２及びシリンダブロック１４０の中空部１４２のみに溝１６２を連通させることで、液材１１２を充填時に吐出口１２４から液材１１２が漏れないようにする。次の工程から液材吐出装置１００が常時エア加圧可仕様であるか常時エア加圧不可仕様かで異なる。
【００３１】
常時エア加圧不可仕様の時は、必要量の液材１１２を充填したら加圧エアを停止し、図３（ｄ）に示すように、スライドバルブ１６０を吐出口１２４（孔１４６ａ）側に摺動させて、供給口１２２（孔１４４ａ）が溝１６２と連通しないようにずらし、スライドバルブ１６０の表面で流路１２０を塞ぐ。その際、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）は溝１６２と連通した状態にしている。図３（ｃ）に示す状態から図３（ｄ）に示す状態へのスライドバルブ１６０の切換え時においては、溝１６２が供給口１２２（孔１４４ａ）と吐出口１２４（孔１４６ａ）を連通させてしまうために、加圧エアを与えた状態で行うと液材１１２が瞬間吐出してしまう。従って、スライドバルブ１６０の切換えは、必ず、加圧エアを停止してから行う。
【００３２】
次に、図３（ｅ）に示すように、ピストン１３０のプランジャ１５０を押すように軸方向に摺動させ、液材１１２を吐出口１２４から吐出させる。充填後、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）のみに溝１６２を合わせることで、液材１１２が供給口１２２へ漏れるのを防ぎ、充填した液材１１２を確実に吐出口１２４から吐出させることができるようにしている。
【００３３】
再び、液材１１２の充填を行う際には、図３（ｆ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）側に摺動させて、溝１６２を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と連通させる。以下図３（ｂ）乃至図３（ｅ）の工程を繰り返す。
【００３４】
一方、常時エア加圧仕様の時は、必要量の液材１１２を充填したら加圧エアを与えたまま、図３（ｇ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する方向（Ｘ方向）に対して垂直方向（Ｙ方向）に摺動させる。その後、図３（ｈ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通しないようにＸ方向に水平に摺動させて、供給口１２２（孔１４４ａ）が溝１６２と連通しない位置にずらす。更に、図３（ｉ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する方向に対して垂直方向（−Ｙ方向側）に摺動させて、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）は溝１６２と連通した状態にする。その際、供給口１２２（孔１４４ａ）が溝１６２と連通しないようにする。このようなスライドバルブ１６０の動作により、スライドバルブ１６０の切換え時において、溝１６２が供給口１２２（孔１４４ａ）と吐出口１２４（孔１４６ａ）を連通することがなくなり、常時加圧エアを与えた状態でスライドバルブ１６０の切変えを行うことができる。
【００３５】
次に、図３（ｊ）に示すように、ピストン１３０のプランジャ１５０を押すように軸方向に摺動させ、液材１１２を吐出口１２４から吐出させる。再び、液材１１２の充填を行う際には、加圧エアを与えたまま、図３（ｋ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する方向（Ｘ方向）に対して垂直方向（Ｙ方向）に摺動させる。その後、図３（ｌ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通しないように−Ｘ方向に水平に摺動させて、吐出口１２４（孔１４６ａ）が溝１６２と連通しない位置にずらす。更に、図３（ｍ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する方向に対して垂直方向（−Ｙ方向）に摺動させて、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と溝１６２を連通させる。以下、図３（ｃ）、図３（ｇ）乃至図３（ｍ）を繰り返す。
【００３６】
作業終了時や液材１１２の種類を交換する時は、図３（ａ）に示すように、スライドバルブ１６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダ１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する方向に摺動させて、孔１４４ａとシリンダブロック１４０の中空部１４２と孔１４６ａの全てがスライドバルブ１６０に設けられた溝１６２上にそれぞれ一致するように配置し、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する。また、ピストン１３０のプランジャ１５０をスライドバルブ１６０に突き当てプランジャ１５０とスライドバルブ１６０との間に中空部１４２が無い状態にする。そして、供給口１２２からエアまたは交換液材を流して、エアまたは交換液材によって液材吐出装置１００内に残留している液材１１２を押し出す。
【００３７】
以上のように、本発明の液材吐出装置１００は、供給口１２２と吐出口１２４の間にピストン１３０を設け、供給口１２２、吐出口１２４及びピストン１３０に連通する溝１６２が設けられたスライドバルブ１６０を有することで、流路１２０内に残留しているエア及び液材１１２を容易に取り除くことができる。また、プランジャ１５０を完全にシリンダブロック１４０に押し入れた時に、プランジャ１５０の下端１５０ａが溝１６２の上端１６２ａに位置するように摺動可能にすることで液材１１２を完全に吐出することができるようにしている。また、溝１６２を介して流路１２０を供給口１２２から吐出口１２４まで連通させることで、充填した一定量の液材１１２を確実に吐出することができる。
【００３８】
次に、図４を参照して、本発明の液材吐出装置１００の変形例である液材吐出装置２００について説明する。ここで、図４は、本発明に係る液材吐出装置２００の概略断面図である。図４の液材吐出装置２００は、図１の液材吐出装置１００と同様であるが、スライドバルブ２６０の構成が異なる。その他、図１に示すのと同一の参照符号を付したものはその参照符号の表す部材と同一であるものとし、重複説明は省略する。
【００３９】
本実施例の液材吐出装置２００は、図４に示すように、スライドバルブ１６０の代わりにスライドバルブ２６０を有し、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置である。
【００４０】
スライドバルブ２６０は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを切替えるものであり、シリンダブロック１４０の端部に配置されている。スライドバルブ２６０は、シリンダブロック１４０が当接する面に溝２６２を有する。溝２６２は、図５（ａ）に示すように、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する。即ち、溝２６２は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。ここで、図５は、液材吐出装置２００の要部概略図であって、図５（ａ）は、スライドバルブ２６０の概略上方透視図、図５（ｂ）は、溝２６２の形成方向からの液材吐出装置２００の概略断面図である。また、溝２６２は、図５（ｂ）に示すように、プランジャ１５０の径よりも大きな径を有し、プランジャ１５０を完全にシリンダブロック１４０に押し入れた時に、溝２６２内にプランジャ１５０の下端１５０ａを位置することができる。従って、プランジャ１５０をスライドバルブ２６０に接触させずに溝２６２内に進入させることが可能となり、プランジャ１５０の下端１５０ａに停留するエアを逃がすことができる。更に、プランジャ１５０やスライドバルブ２６０の駆動制御も容易となる。また、スライドバルブ２６０は、溝２６２の形成方向、即ち、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する方向に摺動することができる。
【００４１】
次に、図６を参照して、液材吐出装置２００の動作について説明する。ここで、図６は、本発明に係る液材吐出装置２００の動作を示す概略図である。液材吐出装置２００の使用を開始する際には、液材吐出装置２００内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図６（ａ）に示すように、スライドバルブ２６０を供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する方向に摺動させて、孔１４４ａとシリンダブロック１４０の中空部１４２と孔１４６ａの全てがスライドバルブ２６０に設けられた溝２６２上にそれぞれ一致するように配置し、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する。また、ピストン１３０のプランジャ１５０の下端１５０ａを溝２６２の上端２６２ａもしくは溝２６２内に位置させ、プランジャ１５０とスライドバルブ２６０との間に中空部１４２が無い状態にする。そして、供給口１２２から液材１１２を流し入れることで、液材１１２によって液材吐出装置２００内に混入していたエアを押し出すことができる。
【００４２】
次に吐出動作について説明する。上記手順によってエア抜きが行われたら、図６（ｂ）に示すように、スライドバルブ２６０を供給口１２２（孔１４４ａ）側に摺動させて、吐出口１２４（孔１４６ａ）が溝２６２と連通しないようにずらしスライドバルブ２６０の表面で孔１４６ａを塞ぐ。その際、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２は溝２６２と連通させ、プランジャ１５０の下端１５０ａを溝２６２の上端２６２ａもしくは溝２６２内に位置させる。
【００４３】
そして、図６（ｃ）に示すように、液材供給容器１１０の上部１１０ａの口１１４より加圧エアを与えつつ、ピストン１３０のプランジャ１５０を引き出すように軸方向に摺動させることで液材１１２をシリンダブロック１４０（の中空部１４２）に充填させる。このように供給口１２２及びシリンダブロック１４０の中空部１４２のみに溝２６２を連通させることで、液材１１２を充填時に吐出口１２４から液材１１２が漏れないようにする。
【００４４】
必要量の液材１１２を充填したら加圧エアを停止し、図６（ｄ）に示すように、スライドバルブ２６０を吐出口１２４（孔１４６ａ）側に摺動させて、供給口１２２（孔１４４ａ）が溝２６２と連通しないようにずらし、スライドバルブ２６０の表面で孔１４４ａを塞ぐ。その際、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１２６ａ）は溝２６２と連通した状態にしている。上述したように、図６（ｃ）に示す状態から図６（ｄ）に示す状態へのスライドバルブ２６０の切換え時においては、溝２６２が供給口１２２（孔１４４ａ）と吐出口１２４（孔１４６ａ）を連通させてしまうために、加圧エアを与えた状態で行うと液材１１２が瞬間吐出してしまう。従って、スライドバルブ２６０の切換えは、必ず、加圧エアを停止してから行う。
【００４５】
次に、図６（ｅ）に示すように、ピストン１３０のプランジャ１５０を押すように軸方向に摺動させ、液材１１２を吐出口１２４から吐出させる。充填後、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）のみに溝２６２を合わせることで、液材１１２が供給口１２２へ漏れるのを防ぎ、充填した液材１１２を確実に吐出口１２４から吐出させることができるようにしている。
【００４６】
再び、液材１１２の充填を行う際には、図６（ｆ）に示すように、スライドバルブ２６０を供給口１２２（孔１４４ａ）側に摺動させて、溝２６２が供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２と連通するようにする。以下、図６（ｂ）乃至図６（ｅ）の工程を繰り返す。
【００４７】
また、作業終了時や液材１１２の種類を交換する時は、スライドバルブ２６０の溝２６２によって供給口１２２と吐出口１２４とを連通させ、供給口１２２からエアまたは交換液材を流すことで液材吐出装置２００内に残留している液材１１２を押し出すことができる。
【００４８】
次に、図７を参照して、本発明の別の実施形態である液材吐出装置４００について説明する。ここで、図７は、本発明に係る液材吐出装置４００の概略断面図である。なお、図１に示すのと同一の参照符号を付したものはその参照符号の表す部材と同一であるものとし、重複説明は省略する。
【００４９】
液材吐出装置４００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、図７に示すように、液材供給容器１１０と、流路１２０と、ピストン１３０と、スライドバルブ４６０とを有する。
【００５０】
スライドバルブ４６０は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを切替えるものであり、シリンダブロック１４０の端部に配置されている。スライドバルブ４６０は、シリンダブロック１４０が当接する面に第１の溝４６２及び第２の溝４６４を有する。第１の溝４６２は、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する。即ち、第１の溝４６２は、液材１１２を供給口１２２からシリンダブロック１４０に送る流路、又は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。第２の溝４６４は、液材１１２をシリンダブロック１４０から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。また、スライドバルブ４６０は、第１の溝４６２の連通方向及び第２の溝４６４の連通方向に摺動することができる。
【００５１】
ここで、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する長さをｂ、シリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する長さをｃ、第１の溝４６２の長さをｌ、第２の溝４６４の長さをｍ、プランジャ１５０（即ち、中空部１４２）の径をｄ、第１の溝４６２と第２の溝４６４との距離をｅとするとき、第１の溝４６２、第２の溝４６４及びプランジャ１５０は、以下の式を満たす。
【００５２】
【数１】
0003898558.tif 000002
【００５３】
数式１を満たすように、第１の溝４６２、第２の溝４６４及びプランジャ１５０を構成することで、吐出動作におけるスライドバルブ４６０の切換え時に、液材供給容器１１０に常時加圧エアを与えることができる。これにより、加圧エアの付与及び／又は停止の制御が不要となる。更に、液材１１２に常時加圧エアを与えることで混入エアを圧縮することができるため液材１１２の量を一定にでき、吐出精度を向上することが可能となる。また、第１の溝４６２は、供給口１２２と吐出口１２４とを連通することができる長さを有しているので、エア又は液材１１２の排出動作が容易となる。
【００５４】
以下、図８を参照して、液材吐出装置４００の動作について説明する。ここで、図８は、本発明に係る液材吐出装置４００の動作を示す概略図である。まず、液材吐出装置４００の使用開始する際には、液材吐出装置４００内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図８（ａ）に示すように、スライドバルブ４６０を摺動させて、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）の全てがスライドバルブ４６０に設けられた第１の溝４６２上に一致するように配置し、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する。また、ピストン１３０のプランジャ１５０をスライドバルブ４６０に突き当てた状態にする。そして、供給口１２２から液材１１２を流し入れることで、液材１１２によって液材吐出装置４００内に混入していたエアを押し出すことができる。
【００５５】
次に、吐出動作について説明する。なお、以下に説明する液材吐出装置４００の吐出動作時は、常に液材供給容器１１０に加圧エアを与えている。上記手順によりエア抜きが行われたら、図８（ｂ）に示すように、スライドバルブ４６０を摺動させて、第１の溝４６２によって、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２を連通させる。この際、第２の溝４６４は、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通していない。
【００５６】
そして、図８（ｃ）に示すように、ピストン１３０のプランジャ１５０を引き出すように軸方向に摺動させることで液材１１２をシリンダブロック１４０（の中空部１４２）に充填させる。このように、第１の溝４６２により、供給口１２２とシリンダブロック１４０の中空部１４２のみを連通させることで、液材１１２を充填時に吐出口１２４から液材１１２が漏れないようにする。
【００５７】
必要量の液材１１２を充填したら、図８（ｄ）に示すように、スライドバルブ４６０を摺動させて、第２の溝４６４によって、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４（孔１４６ａ）を連通させる。この際、第１の溝４６２は、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２とを連通していない。
【００５８】
次に、図８（ｅ）に示すように、ピストン１３０のプランジャ１５０を押すように軸方向に摺動させ、液材１１２を吐出口１２４から吐出させる。充填後、第２の溝４６４により、シリンダブロック１４０の中空部１４２と吐出口１２４のみを連通させることで、液材１１２が供給口１２２へ漏れるのを防ぎ、充填した液材１１２を確実に吐出口１２４から吐出させることができるようにしている。
【００５９】
再び、液材１１２の充填を行う際には、図８（ｆ）に示すように、スライドバルブ４６０を摺動させて、第１の溝４６２が供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０の中空部１４２とを連通するようにして、以下、図８（ｂ）乃至図８（ｅ）の工程を繰り返す。
【００６０】
液材１１２の排出を行う時も、エア抜きと同様の位置関係にし、供給口１２２からエアを流すことで液材吐出装置４００内に残留している液材１１２を確実に押し出すことができる。
【００６１】
次に、図９を参照して、本発明の液材吐出装置４００のスライドバルブ４６０の変形例であるスライドバルブ４６０Ａについて説明する。ここで、図９は、スライドバルブ４６０Ａの概略断面図である。図９のスライドバルブ４６０Ａは、図７のスライドバルブ４６０と同様であるが、図７に示すのと同一の参照番号を付したものはその参照符号の表す部材と同一であるものとし、重複説明は省略する。
【００６２】
スライドバルブ４６０Ａは、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを切替えるものであり、シリンダブロック１４０の端部に配置されている。スライドバルブ４６０Ａは、シリンダブロック１４０が当接する面に第１の溝４６２Ａ及び第２の溝４６４Ａを有する。第１の溝４６２Ａは、液材１１２を供給口１２２からシリンダブロック１４０に送る流路の役目をしている。第２の溝４６４Ａは、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する。即ち、第２の溝４６４Ａは、液材１１２をシリンダブロック１４０から吐出口１２４に送る流路、又は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。また、スライドバルブ４６０Ａは、第１の溝４６２Ａの連通方向及び第２の溝４６４Ａの連通方向に摺動することができる。
【００６３】
ここで、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）とを連通する長さをａ´、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する長さをｂ´、第１の溝４６２Ａの長さをｌ´、第２の溝４６４Ａの長さをｍ´、プランジャ１５０（即ち、中空部１４２）の径をｄ´、第１の溝４６２Ａと第２の溝４６４Ａとの距離をｅ´とするとき、第１の溝４６２Ａ、第２の溝４６４Ａ及びプランジャ１５０は、以下の式を満たす。
【００６４】
【数２】
0003898558.tif 000003
【００６５】
数式２を満たすように、第１の溝４６２Ａ、第２の溝４６４Ａ及びプランジャ１５０を構成することで、吐出動作におけるスライドバルブ４６０Ａの切換え時に、液材供給容器１１０に常時加圧エアを与えることができる。これにより、加圧エアの付与及び／又は停止の制御が不要となる。更に、液材１１２に常時加圧エアを与えることで混入エアを圧縮することができるため液材１１２の量を一定にでき、吐出精度を向上することが可能となる。また、第２の溝４６４Ａは、供給口１２２と吐出口１２４とを連通することができる長さを有しているので、エア又は液材１１２の排出動作が容易となる。
【００６６】
次に、図１０を参照して、本発明の液材吐出装置４００のスライドバルブ４６０の変形例であるスライドバルブ４６０Ｂについて説明する。ここで、図１０は、スライドバルブ４６０Ｂの概略断面図である。図１０のスライドバルブ４６０Ｂは、図７のスライドバルブ４６０と同様であるが、第１の溝４６２Ｂ及び第２の溝４６４Ｂの構成が異なる。その他、図７に示すのと同一の参照番号を付したものはその参照符号の表す部材と同一であるものとし、重複説明は省略する。
【００６７】
スライドバルブ４６０Ｂは、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを切替えるものであり、シリンダブロック１４０の端部に配置されている。スライドバルブ４６０Ｂは、シリンダブロック１４０が当接する面に第１の溝４６２Ｂ及び第２の溝４６４Ｂを有する。第１の溝４６２Ｂは、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する。即ち、第１の溝４６２Ｂは、液材１１２を供給口１２２からシリンダブロック１４０に送る流路、又は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。第２の溝４６４Ｂは、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）とを連通する。即ち、第２の溝４６４Ｂは、液材１１２をシリンダブロック１４０から吐出口１２４に送る流路、又は、液材１１２を供給口１２２から吐出口１２４に送る流路の役目をしている。また、スライドバルブ４６０Ｂは、第１の溝４６２Ｂの連通方向及び第２の溝４６４Ｂの連通方向に摺動することができる。
【００６８】
ここで、供給口１２２（孔１４４ａ）とシリンダブロック１４０（の中空部１４２）と吐出口１２４（孔１４６ａ）が連通する長さをｂ´´、第１の溝４６２Ｂの長さをｌ´´、第２の溝４６４Ｂの長さをｍ´´、プランジャ１５０（即ち、中空部１４２）の径をｄ´´、第１の溝４６２Ｂと第２の溝４６４Ｂとの距離をｅ´´とするとき、第１の溝４６２Ｂ、第２の溝４６４Ｂ及びプランジャ１５０は、以下の式を満たす。
【００６９】
【数３】
0003898558.tif 000004
【００７０】
数式３を満たすように、第１の溝４６２Ｂ、第２の溝４６４Ｂ及びプランジャ１５０を構成することで、吐出動作におけるスライドバルブ４６０Ｂの切換え時に、液材供給容器１１０に常時加圧エアを与えることができる。これにより、加圧エアの付与及び／又は停止の制御が不要となる。更に、液材１１２に常時加圧エアを与えることで混入エアを圧縮することができるため液材１１２の量を一定にでき、吐出精度を向上することが可能となる。また、第１の溝４６２Ｂ及び第２の溝４６４Ｂは、供給口１２２と吐出口１２４とを連通することができる長さを有しているので、エア又は液材１１２の排出動作が容易となる。
【００７１】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれらに限定されずその要旨の範囲内で様々な変形や変更が可能である。
【００７２】
【発明の効果】
本発明の液材吐出装置によれば、エア抜きにかかる時間を短縮し、且つ、均一な量の液材を吐出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る液材吐出装置の概略断面図である。
【図２】  図１に示す液材吐出装置の要部概略図である。
【図３】  図１に示す液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図４】  本発明に係る液材吐出装置の概略断面図である。
【図５】  図４に示す液材吐出装置の要部概略図である。
【図６】  図４に示す液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図７】  本発明に係る液材吐出装置の概略断面図である。
【図８】  図７に示す液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図９】  図７に示す液材吐出装置のスライドバルブの変形例であるスライドバルブの概略断面図である。
【図１０】  図７に示す液材吐出装置のスライドバルブの変形例であるスライドバルブの概略断面図である。
【図１１】  従来の液材吐出装置の概略断面図である。
【図１２】  従来の液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【符号の説明】
１００                      液材吐出装置
１１０                      液材供給容器
１２０                      流路
１２２                      供給口
１２４                      吐出口
１３０                      ピストン
１４０                      シリンダブロック
１４２                      中空部
１４４ａ、１４６ａ          孔
１５０                      プランジャ
１６０                      スライドバルブ
１６２                      溝
【図１】
0003898558.tif 000005
【図２】
0003898558.tif 000006
【図３】
0003898558.tif 000007
0003898558.tif 000008
【図４】
0003898558.tif 000009
【図５】
0003898558.tif 000010
【図６】
0003898558.tif 000011
【図７】
0003898558.tif 000012
【図８】
0003898558.tif 000013
【図９】
0003898558.tif 000014
【図１０】
0003898558.tif 000015
【図１１】
0003898558.tif 000016
【図１２】
0003898558.tif 000017