(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１または複数の基板からなる複数の基板群を、複数の処理部に順次に搬送していくことで、前記複数の基板群のそれぞれに対して所定の処理を施す基板処理装置であって、
(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出手段と、
(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求めて、当該総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定し、前記総消費量が前記範囲内にない場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求め、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
１または複数の基板からなる複数の基板群を、複数の処理部に順次に搬送していくことで、前記複数の基板群のそれぞれに対して所定の処理を施す基板処理装置のシミュレート装置であって、
(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出手段と、
(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求めて、当該総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定し、前記総消費量が前記範囲内にない場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求め、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正手段と、
を備え、
前記基板処理装置とは別体として構成されることを特徴とする、基板処理装置のシミュレート装置。
【請求項３】
シミュレートプログラムを記録する記録媒体であって、コンピュータによる前記シミュレートプログラムの実行は、前記コンピュータに、
(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出工程と、
(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求める工程と、
(c) 前記(b)工程において求めた総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定する工程と、
(d) 前記(c)工程において前記総消費量が前記範囲内にないと判定された場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求めるとともに、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正工程と、
を実行させることを特徴とする前記コンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示用ガラス基板、プラズマディスプレイパネル等の薄板状精密基板（以下、単に「基板」という。）に対し、複数の処理部にて順次に所定の処理を施していく基板処理装置、および、そのような基板処理装置のシミュレート装置、並びに、基板処理装置のシミュレートプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、基板の大口径化に伴って、そのような基板に対して処理を行う基板処理装置も大型化する傾向にある。
【０００３】
このため、基板処理装置によって消費されるガス、純水、電力等の用力（ユーティリティ）の消費量も多大なものとなる。例えば、基板処理装置において１または複数の基板からなる基板群を所定の水洗槽に浸漬させることによって該基板群に洗浄処理を施す場合、基板の大口径化に伴って水洗槽自体が大型化し、洗浄処理に必要な純水の量が増加する。このことは純水に限ったものではなく、ガス、電力等の工場設備側から供給を受ける任意の用力についても同様である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
大口径化基板を処理する基板処理装置を導入するにあたっては、上記のような理由により、工場設備として用力の大量消費に耐えうる用力供給設備を設置する必要があり、多大な投資を要するという問題がある。
【０００５】
また、例えば、基板処理装置に複数の水洗槽が設けられている場合、全ての水洗槽に対して単位時間当たり最大の純水量を供給することを前提に装置を構築する必要があるため、装置自体に用いられる各部品も大型化し、設置スペースの増大や装置コストの増加を招くことになる。
【０００６】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、複数の基板群の投入タイミングを調整することによって用力消費量を所定の範囲内に制限することのできる基板処理装置、基板処理装置のシミュレート装置、および、そのような基板処理装置のシミュレートプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、１または複数の基板からなる複数の基板群を、複数の処理部に順次に搬送していくことで、前記複数の基板群のそれぞれに対して所定の処理を施す基板処理装置であって、(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出手段と、(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求めて、当該総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定し、前記総消費量が前記範囲内にない場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求め、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正手段とを備えている。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、１または複数の基板からなる複数の基板群を、複数の処理部に順次に搬送していくことで、前記複数の基板群のそれぞれに対して所定の処理を施す基板処理装置のシミュレート装置であって、(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出手段と、(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求めて、当該総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定し、前記総消費量が前記範囲内にない場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求め、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正手段とを備えており、前記基板処理装置とは別体として構成されることを特徴としている。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、シミュレートプログラムを記録する記録媒体であって、コンピュータによる前記シミュレートプログラムの実行は、前記コンピュータに、(a) 基板群ごとのレシピに応じて単位時間ごとの所定の用力の用力消費量を求める用力消費量算出工程と、(b) 前記複数の基板群ごとに求められる前記用力消費量を前記単位時間ごとに累積して前記用力の総消費量を求める工程と、(c) 前記(b)工程において求めた総消費量が所定の範囲内にあるか否かを判定する工程と、(d) 前記(c)工程において前記総消費量が前記範囲内にないと判定された場合に、前記総消費量が前記範囲内にない時間幅を求めるとともに、前記複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを前記時間幅だけ遅延せることにより、前記総消費量を前記範囲内となるように設定するタイミング修正工程とを実行させることを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
＜１．基板処理装置の概要＞
図１は、本実施形態の基板処理装置１の構成を示す平面図である。なお、図１にはＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸からなる３次元座標が定義されている。
【００１２】
図１に示すように、基板処理装置１は、バッファ部１０、移載ロボット２０、搬送ロボット３０、処理部群４０及び制御部ＣＬを備える。
【００１３】
バッファ部１０は、複数枚の基板Ｗを収納するキャリアＣを複数個収容し、基板処理装置１の外部装置（例えば、ＡＧＶ等）との間で、キャリアＣの搬入および搬出を行う。また、バッファ部１０の内部にはバッファ内搬送部１１が設けられており、このバッファ内搬送部１１が所定の投入順序に応じて複数のキャリアＣのうちから投入すべき基板Ｗが収納されるキャリアＣを特定し、そのキャリアＣを所定の受け渡し位置ＴＰに搬送する。
【００１４】
移載ロボット２０は、受け渡し位置ＴＰにアクセスしてキャリアＣから処理単位となる１または複数の基板Ｗからなる基板群を取り出したり、キャリアＣに基板群を収納する移載機構２０ａと、基板群の姿勢を水平姿勢と垂直姿勢との間で変換する姿勢変換機構２０ｂと、垂直姿勢の基板群を昇降させる昇降機構２０ｃとを備え、バッファ部１０と搬送ロボット３０との間で基板群の搬送を行うように構成されている。
【００１５】
搬送ロボット３０は、Ｘ軸に沿った水平移動及びＺ軸に沿った昇降移動が可能であり、一対の挟持機構３１により基板群を垂直姿勢で挟持して基板群の搬送を行う。この搬送ロボット３０は、昇降機構２０ｃとの間で基板群の受け渡しを行う。また処理部群４０に設けられている第１リフタ３５、第２リフタ３６、第３リフタ３７のそれぞれとの間での基板群の受け渡しを行うこともできる。
【００１６】
処理部群４０は、基板群に対して所定の処理を行う複数の処理部が設けられている。具体的には、基板群に対する減圧乾燥を行う乾燥処理部４１と、純水を収容する水洗槽ＷＢ１を有する第１水洗処理部４２と、薬液を収容する薬液槽ＣＢ１を有する第１薬液処理部４３と、純水を収容する水洗槽ＷＢ２を有する第２水洗処理部４４と、薬液を収容する薬液槽ＣＢ２を有する第２薬液処理部４５とを備える。これら複数の処理部はＸ方向に直線的に配列されており、この直線的配列に沿って前述の搬送ロボット３０の搬送路が形成されている。
【００１７】
乾燥処理部４１の後方側には第１リフタ３５が配置されており、この第１リフタ３５は上下動（Ｚ方向）が可能であり、搬送ロボット３０から受け取った基板群を乾燥処理部４１の内部側に搬送する。
【００１８】
また、第１水洗処理部４２及び第１薬液処理部４３の後方側には第２リフタ３６が配置されており、第２水洗処理部４４及び第２薬液処理部４５の後方側には第３リフタ３７が配置されている。第２リフタ３６及び第３リフタ３７は、上下動（Ｚ方向）および横行（Ｘ方向）が可能である。そして、第２リフタ３６は、搬送ロボット３０から受け取った基板群を第１薬液処理部４３の薬液槽ＣＢ１に浸漬したり、第１水洗処理部４２の水洗槽ＷＢ１に浸漬したりする。また、第３リフタ３７は、搬送ロボット３０から受け取った基板群を第２薬液処理部４５の薬液槽ＣＢ２に浸漬したり、第２水洗処理部４４の水洗槽ＷＢ２に浸漬したりする。
【００１９】
この実施の形態において、基板群に対する各処理部４１〜４５と、バッファ内搬送部１１、移載ロボット２０、搬送ロボット３０及び第１〜第３リフタ３５〜３７からなる基板群の搬送手段とは、基板処理装置１において基板処理を行う際に必須の機能手段を形成している。これらの機能手段の動作制御は、制御部ＣＬによって行われる。
【００２０】
なお、図示を省略するが、水洗槽ＷＢ１，ＷＢ２には工場設備側より純水の供給を受けるための配管系統が連結されており、また、各機能手段には動作に必要な工場設備側からの電力供給を受けるための配電系統が連結されている。さらに、その他のガス等の供給系統も図示を省略するが、工場設備側より連結されている。
【００２１】
このような構成により、処理対象となる各基板群は、それぞれにあらかじめ規定されたレシピに応じて各処理部に順次搬送されるとともに、各処理部において所定の処理がなされていくことになる。また、レシピに応じた処理が終了した基板群は、搬送手段によって再びバッファ部１０に戻されて、キャリアＣ内に収納されるように構成されている。また、各基板群に対して処理を行う際には、工場設備側より様々な用力の供給を受けつつ、レシピに応じた適切な処理が行われる。
【００２２】
ここで、基板処理装置１による基板処理手順の一例について説明する。バッファ内搬送部１１は、予め設定されている投入順序に従って、バッファ部１０内に収容されて待機状態にある複数のキャリアＣを順次に受け渡し位置ＴＰまで搬送する。
【００２３】
移載ロボット２０は、キャリアＣから基板Ｗを１枚又は複数枚の処理単位である基板群ごとに取り出し、水平姿勢から垂直姿勢に変換した後に、基板群を搬送ロボット３０に渡す。
【００２４】
搬送ロボット３０は、基板群を受け取るとＸ方向に移動して第２リフタ３６又は第３リフタ３７にその基板群を渡す。第２又は第３リフタ３６，３７は、処理対象の基板群を受け取ると、基板群を下降させ、薬液層ＣＢ１，ＣＢ２内の所定の薬液中に基板群を浸漬させる。これにより基板群に対する薬液処理が開始される。なお、基板群に対する浸漬処理中においても第２又は第３リフタ３６，３７は基板群を垂直姿勢で保持した状態を持続する。
【００２５】
そしてレシピに基づいた薬液処理時間が経過すると、第２又は第３リフタ３６，３７は基板群を上昇させることによって薬液中から取り出し、水洗槽ＷＢ１，ＷＢ２上に移動した後に純水中に基板群を浸漬させる。これにより基板群に対する洗浄処理が行われる。基板群に対する洗浄過程においては、レシピに応じて単位時間ごとに工場設備側から一定の量の純水供給が行われ、水洗槽ＷＢ１，ＷＢ２での純水のオーバーフローが行われる。
【００２６】
基板群に対する薬液処理および純水処理が終了すると、搬送ロボット３０は第２又は第３リフタ３６，３７から基板群を取り出し、それを第１リフタ３５に渡す。そして、第１リフタ３５は搬送ロボット３０から受け取った基板群を乾燥処理部４１内に搬送することにより基板群を乾燥させる。
【００２７】
乾燥が終了すると、搬送ロボット３０は第１リフタ３５から乾燥の終了した基板群を取り出して、移載ロボット２０に全ての処理が終了した基板群を渡す。移載ロボット２０は処理の完了した基板群を垂直姿勢から水平姿勢に変換した後、それをバッファ部１０の受け渡し位置ＴＰにあるキャリアＣ内に収納する。
【００２８】
以上で一連の基板処理が終了することになるが、１つの基板群が特定の処理部にて処理中であるとき、他の処理部や搬送ロボット３０等に空き状態が生じるため、この実施の形態では、そのような空き状態を利用して他の基板群の搬送や処理を行うように基板処理に関するスケジュールを設定して基板処理の効率化を図るように構成される。
【００２９】
＜２．基板処理装置の制御機構＞
図２は、上記のような基板処理装置１の制御部ＣＬの詳細を示すブロック図である。図２に示すように、この制御部ＣＬには、マスタ制御部２と処理制御部３と搬送制御部４との３つの制御部が設けられている。
【００３０】
マスタ制御部２は、基板処理装置１における各部の全体的な動作を統括的に制御管理する制御部である。マスタ制御部２には、基板ごと又はロットごとに設定される処理内容に関するレシピや基板処理装置１の構成に関するデータ等を記憶するメモリ５、オペレータ（操作者）に対して基板処理状況等の幾種類もの情報を表示する表示部６、オペレータによって操作入力が行われることにより所定の情報を入力するキーボード７、処理制御部３及び搬送制御部４がそれぞれ接続されている。
【００３１】
処理制御部３は、処理部群４０における各処理部の動作に関するパラメータ等を個別に送信することによって各処理部を制御するものであり、上述した乾燥処理部４１、第１水洗処理部４２、第１薬液処理部４３、第２水洗処理部４４、第２薬液処理部４５のそれぞれと通信可能な状態で接続されている。
【００３２】
搬送制御部４は、基板処理装置１における各搬送手段に対して搬送指令等を送信することによって各搬送手段を個別に制御するものであり、上述のバッファ内搬送部１１、移載ロボット２０、搬送ロボット３０、第１リフタ３５、第２リフタ３６、第３リフタ３７のそれぞれと通信可能な状態で接続されている。
【００３３】
基板処理装置１において基板群を処理する際には、まず、処理対象の基板Ｗが複数枚収納されたキャリアＣがバッファ部１０に搬入される。このキャリアＣの搬入とほぼ同時に、当該キャリアＣに収納されている基板群の処理内容に関するレシピがデータ入力され、マスタ制御部２によってメモリ５に格納される。なお、レシピの入力は、オペレータによってキーボード７より入力されてもよく、また、図示しないデータ入力手段を介して他のコンピュータ（例えば、工場内に設けられる管理コンピュータ等）から入力されてもよい。
【００３４】
レシピには、基板群に対してどのような処理を施すかが所定のデータ形式で記述されている。例えば、乾燥処理部４１における減圧の際の圧力値や乾燥処理時間、第１水洗処理部４２および第２水洗処理部４４における水洗処理時間や純水をオーバーフロー供給する際の単位時間当たりの純水供給量、第１薬液処理部４３および第２薬液処理部４５における薬液処理時間等の基板群に対する処理手順や処理内容が詳細に記述される。
【００３５】
基板群に対する処理を行う際には、マスタ制御部２が当該基板群に関するレシピをメモリ５より読み出して、各種パラメータを処理制御部３及び搬送制御部４に与えることにより、搬送制御部４が各搬送手段に駆動指令を与えて基板群を処理手順に応じた順序での基板搬送を行わせるとともに、処理制御部３が各処理部における基板群に対する処理を適切に行わせるよう管理制御する。
【００３６】
そして、このように構成された基板処理装置１では、純水や電力等の用力に関して予め設定された許容値に基づいて、複数の基板群を順次に処理するように基板処理に先立って各基板群の投入タイミングが決定される。換言すれば、基板処理装置１は、複数の基板群を順次に処理する際に消費する用力の総消費量に予め制限を設けておき、用力の総消費量がその制限の範囲内となるように、基板ごと又はロットごとの処理単位となる基板群ごとの投入タイミングを調整するのである。なお、用力の総消費量の制限を規定する許容値は、予めメモリ５に格納されていてもよいし、また、オペレータが基板処理に先立って、工場設備側の用力供給能力や基板処理装置１の各部品の能力等を考慮しつつキーボード７より設定入力するものであってもよい。
【００３７】
図３は、マスタ制御部２によって実現される機能を模式的に示した図である。
【００３８】
マスタ制御部２は、実際の基板処理に先立ってスケジュール決定部２５として動作することにより、各基板群を処理する際に消費する基板処理装置１全体での用力の総消費量が許容値で規定される範囲内となるような各基板群の投入タイミングを決定する。
【００３９】
また、実際に基板処理を行う際、マスタ制御部２は投入管理部２６として動作することにより、各基板群ごとに予め決定された投入タイミングで各基板群の投入動作を制御する。すなわち、各基板群を決定された投入タイミングでバッファ部１０から順次に投入していくように、処理制御部３および搬送制御部４に動作指令を与えて制御するのである。
【００４０】
基板処理装置１全体での用力の総消費量を許容値の範囲内に設定するスケジュール決定部２５は、さらに、用力消費量算出部２５ａおよびタイミング修正部２５ｂとしても機能する。
【００４１】
用力消費量算出部２５ａは、処理単位である各基板群に対して規定されたレシピに基づいて、当該基板群を処理する際に各処理部にて消費する用力の消費量を単位時間ごとに求める。つまり、用力消費量算出部２５ａで求められる用力消費量は、当該基板群についての処理開始（投入）から処理終了（搬出）までの単位時間ごとに所定の用力をどれだけ消費するかを示すものであり、レシピに記述された処理内容等に基づいて複数の基板群のそれぞれについて求められるのである。
【００４２】
タイミング修正部２５ｂは、複数の基板群ごとに求められる用力消費量を所定の時間軸に沿って単位時間ごとに累積し、基板処理装置１が稼働中であるときの基板処理装置１における用力の総消費量を求める。そして、タイミング修正部２５ｂは、メモリ５（図２参照）等から用力消費量の制限を規定する許容値を取得し、単位時間ごとの用力の総消費量が許容値で規定される範囲内にあるか否かを判定する。ここで、総消費量が許容値で規定される範囲内にある場合には、投入タイミングを調整する必要はなく、異なる基板群が同一の機能手段を占有することにならない限りにおいて効率的な投入タイミングで順次に各基板群を投入していけばよい。一方、単位時間ごとの総消費量がある時間帯において許容値で規定された範囲を越えている場合には、複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを調整することにより、その時間帯での用力の消費量を他の時間帯にシフトさせ、それによって総消費量が許容値で規定される範囲内になるように修正する。
【００４３】
そして、これらの各部が密接に関係することにより、基板処理に先立って、各基板群を処理する際に基板処理装置１における単位時間ごとの用力消費量を所定の範囲内に制限することが可能な投入タイミングを決定できる。
【００４４】
以下、このようなマスタ制御部２における処理の詳細について説明する。
【００４５】
＜３．処理シーケンス＞
バッファ部１０に複数のキャリアＣが待機しており、各キャリアＣには、投入順序の予め規定された処理単位となる基板群が収納されている。なお、予め規定されている投入順序は、メモリ５に記録されているものとする（図２参照）。
【００４６】
なお、以下の説明においては、各手順を理解し易くするために、バッファ部１０内に同一の処理内容である３つの基板群Ａ，Ｂ，Ｃが待機状態にある場合を一例として説明する。また、これら各基板群Ａ，Ｂ，Ｃにはそれぞれレシピａ，ｂ，ｃが設定されているものとする。
【００４７】
図４、図５および図６は、マスタ制御部２によって行われる処理手順を示すフローチャートである。
【００４８】
図４に示すように、実際の基板処理（ステップＳ２）に先立って、マスタ制御部２がバッファ部１０に待機する基板群が複数ある場合に、それら基板群の投入タイミングを決定する（ステップＳ１）。つまり、マスタ制御部２がステップＳ１の処理を行う際には、スケジュール決定部２５（図３参照）として機能するのである。
【００４９】
投入タイミングの決定（ステップＳ１）の詳細な処理内容は図５のフロチャートである。
【００５０】
マスタ制御部２は、ステップＳ１１において複数の基板群について予め規定された投入順序を取得する。具体的には、マスタ制御部２がメモリ５にアクセスすることによって複数の基板群Ａ，Ｂ，Ｃについての投入順序を取得するのである。ここでは、基板群Ａ，Ｂ，Ｃについての投入順序が「Ａ→Ｂ→Ｃ」というように規定されていると仮定する。
【００５１】
そして、マスタ制御部２は、メモリ５にアクセスしてバッファ部１０に待機する基板群ごとに設定されたレシピを取得する（ステップＳ１２）。これにより、マスタ制御部２は各基板群に対する処理内容を解明することができる。例えば、上記例の場合、基板群Ａ，Ｂ，Ｃのそれぞれについて個別に設定されたレシピａ，ｂ，ｃを取得することになる。ただし、この例では、各基板群Ａ，Ｂ，Ｃは基板処理装置１によって同一の処理内容が行われるように設定されているので、レシピａ，ｂ，ｃの内容は実質的に同一内容となっている。
【００５２】
そして、マスタ制御部２は、基板群ごとのレシピに基づいて、各基板群を処理する際に消費する単位時間ごとの用力を算出する（ステップＳ１３）。用力とは、工場設備側より供給される純水、電力、ガス等の全てを含む概念であるが、これらのうちのいずれについての消費量を算出するかは、予めメモリ５内に格納されており、マスタ制御部２がメモリ５にアクセスすることで算出対象となる用力を特定し、レシピに記述された処理内容に基づいてその用力の消費量を算出するのである。このとき、マスタ制御部２は、用力消費量算出部２５ａとして機能することになる。
【００５３】
例えば、基板群Ａ，Ｂ，Ｃについてのレシピａ，ｂ，ｃには「第１薬液処理部４３、第１水洗処理部４２、第２薬液処理部４５、第２水洗処理部４４、乾燥処理部４１」という手順での処理内容が記述されており、用力消費量の制限対象として「純水」が特定されているとする。また、用力消費量（純水消費量）の許容値としてメモリ５には１５０（リットル／分）が設定されているとする。
【００５４】
マスタ制御部２が上記のような基板群Ａ，Ｂ，Ｃについてレシピａ，ｂ，ｃに基づいて純水の消費量を単位時間Δｔごとに求めると図７に示すようになる。つまり、図７（ａ）は基板群Ａについての単位時間Δｔごとの用力消費量ＳＡを示しており、図７（ｂ）は基板群Ｂについての単位時間Δｔごとの用力消費量ＳＢを示しており、図７（ｃ）は基板群Ｃについての単位時間Δｔごとの用力消費量ＳＣを示している。各基板群Ａ，Ｂ，Ｃは同一の処理内容であるので、単位時間Δｔごとの純水の消費量は等しい量となる。
【００５５】
図７の用力消費量ＳＡ，ＳＢ，ＳＣについて説明する。基板群Ａ，Ｂ，Ｃは処理開始（時刻０）から時刻ｔａの間に第１薬液処理部４３にて薬液処理が行われ、時刻ｔａから時刻ｔｂの間に第１水洗処理部４２にて水洗処理が行われる。基板群に対する薬液処理中は純水は使用されないので、時刻０から時刻ｔａまでの間にその基板群のために純水は消費されることはなく、用力消費量は０（リットル／分）となる。一方、水洗処理の際には、純水が水洗槽ＷＢ１に満たされて、さらに水洗処理中も純水のオーバーフロー供給が行われるので、単位時間Δｔごとの純水に関する用力消費量が求められる。ここで、純水処理の開始時には比較的多量の純水を水洗槽ＷＢ１に供給する場合があり、このために時刻ｔａからの単位時間Δｔの間は純水消費量が８０（リットル／分）となっているのに対し、それ以後は単位時間Δｔ当たりの純水消費量は３０（リットル／分）となっている。なお、単位時間Δｔは、１秒であってもよいし、１分であってもよく、また、その他の時間であってもよい。
【００５６】
そして、基板群Ａ，Ｂ，Ｃは時刻ｔｂから時刻ｔｃの間に第２薬液処理部４５にて薬液処理が行われ、時刻ｔｃから時刻ｔｄの間に第２水洗処理部４４にて水洗処理が行われる。時刻ｔｂから時刻ｔｃの間は薬液処理であるので、純水消費量は０（リットル／分）であるのに対し、時刻ｔｃから時刻ｔｄの間は水洗処理であるので、最初の単位時間Δｔの間は８０（リットル／分）、それ以後は３０（リットル／分）の純水を消費する。
【００５７】
そして基板群Ａ，Ｂ，Ｃは、時刻ｔｄから時刻ｔｅの間に乾燥処理部４１にて減圧乾燥が行われて該基板群に対する処理が終了する。時刻ｔｄから時刻ｔｅの間も乾燥処理であるので、該基板群のために純水が消費されることはなく、単位時間Δｔごとの用力消費量は０（リットル／分）となっている。
【００５８】
なお、厳密には、基板群を処理するためには搬送手段による基板の搬送中の時間も考慮に入れて単位時間ごとの用力消費量を表現したスケジュールを考慮することが好ましいが、この実施の形態では説明を簡単にするためにそれらについては無視するものとする。
【００５９】
そして、ステップＳ１４では、ステップＳ１１で取得した投入順序において最初に投入対象となる基板群の用力消費量を時間軸上の所定位置に設定する。上記例の場合は、最初の投入対象は基板群Ａであるので、基板群Ａについての用力消費量ＳＡを時間軸上の所定位置（例えば、時間軸原点位置ｔ＝０）に設定する。
【００６０】
図８は、時間軸上に設定される用力消費量を示す図である。図８に示すように、ステップＳ１４では基板群Ａについての用力消費量ＳＡが投入開始時を時間軸原点ｔ＝０に一致させて時間軸上に設定される。
【００６１】
そして、ステップＳ１５に進み、マスタ制御部２は投入順序に応じて順次に各期板群の用力消費量を時間軸上に追加設定していくとともに、追加された基板群の投入タイミングを修正していくことで単位時間ごとの用力の総消費量が許容値で規定される範囲内となるようにする。つまり、ステップＳ１５においてマスタ制御部２はタイミング修正部２５ｂとして機能するのである。
【００６２】
このステップＳ１５の詳細な処理内容は図６に示すフローチャートである。
【００６３】
ステップＳ１５１では、ステップＳ１１で取得された投入順序に基づいて次に投入される基板群を特定し、その基板群についての用力消費量を時間軸上の所定位置に追加設定する。上記例の場合であると、基板群Ａの次に投入されるのは基板群Ｂである。したがって、基板群Ｂについての用力消費量ＳＢを、基板群Ａの用力消費量が設定されている時間軸上に追加する。
【００６４】
このとき、基板群Ｂの投入開始時は、基板群Ａの処理と干渉しないように設定される。なぜなら、基板群Ａ，Ｂは共に「第１薬液処理部４３→第１水洗処理部４２→第２薬液処理部４５→第２水洗処理部４４→乾燥処理部４１」という順序で処理が行われていくため、基板群Ａが第１薬液処理部４３および第１水洗処理部４２にて処理中である場合には第２リフタ３６が基板群Ａによって使用中となっている。したがって、第１薬液処理部４３および第１水洗処理部４２での基板群Ａの処理が終了しない限り、次の基板群Ｂを投入することはできない。このことから、基板群Ｂの投入開始時は、基板群Ａの処理と干渉しないようなタイミングで設定されることになるのである。
【００６５】
この結果、図８に示すように基板群Ａの第１水洗処理部４２での処理が終了したタイミング（時刻ｔ１）で基板群Ｂが投入されるように時間軸上に追加設定される。
【００６６】
次に、ステップＳ１５２においてマスタ制御部２は基板処理装置全体での単位時間ごとの用力の総消費量を求める。つまり、時間軸に対して設定された各基板群について消費される用力消費量を単位時間ごとに累積し、基板処理装置全体として単位時間ごとに消費される用力の総消費量を求めるのである。例えば、図８の場合であると、時間軸に沿って時刻ｔ＝０から単位時間ごとに基板群Ａおよび基板群Ｂの用力消費量を累積していき、単位時間ごとの総消費量ＳＴ１を求める。
【００６７】
図８において、時刻０から時刻ｔ１までは基板処理装置１において基板群Ａのみが処理されるだけであるので、単位時間ごとの用力（純水）の総消費量は基板群Ａについて用力消費量に一致する。一方、時刻ｔ１以降の時間であって基板群Ａ，Ｂが基板処理装置１において並行的にそれぞれの処理が行われる間は、基板群ＡとＢとの用力消費量の累積値が基板処理装置１における総消費量となる。
【００６８】
次に、ステップＳ１５３においてマスタ制御部２はメモリ５から用力消費量に関する許容値を読み出し、単位時間ごとの総消費量が許容値で規定される範囲内にあるか否かを判定する。例えば、上記例の場合、マスタ制御部２がメモリ５から用力消費量に関する許容値を読み出すと、許容値が１５０（リットル／分）であると判明するので、マスタ制御部２は単位時間ごとの総消費量が１５０（リットル／分）以下であるか否かを判定する。図８に示す総消費量ＳＴ１において、時間軸０から時間軸に沿って順次に単位時間ごとの総消費量が１５０以下であるか否かを判定していくと、時刻ｔ３と時刻ｔ４との間の総消費量が１６０となっており、許容値で規定される範囲を超えている。したがって、ステップＳ１５３においてはＮＯと判定され、ステップＳ１５４に進むことになる。なお、ステップＳ１５３における判定の際には、単位時間ごとの総消費量が全て許容値で規定される範囲内にある場合に限り「ＹＥＳ」と判断されてステップＳ１５６に進み、少なくとも１つの時間帯に範囲を超える値があれば「ＮＯ」と判断される。
【００６９】
そしてステップＳ１５４では、総消費量において許容値で規定される範囲内にない時間幅を求める。例えば、図８の場合であると、時刻ｔ３から時刻ｔ４までの時間幅は単位時間Δｔに等しいため、ステップＳ１５４で求められる時間幅はΔｔとなる。なお、ここでの時間幅は、時間軸に沿って総消費量が許容値で規定される範囲を連続的に越えている場合の連続的時間幅である。
【００７０】
次に、ステップＳ１５５に進み、マスタ制御部２はステップＳ１５４で求めた時間幅に応じて、追加された基板群の投入タイミングを時間軸に沿ってシフトさせる。すなわち、総消費量が許容値を超えている時間幅に相当する時間分だけ、後に追加した基板群の投入タイミングを遅延させることにより、基板群の処理スケジュールを修正し、同一時間帯で多量の用力を消費することがないようにするのである。
【００７１】
図８の場合、総消費量が１６０となっている時間幅は単位時間Δｔに一致するため、ステップＳ１５５においては基板群Ｂの投入タイミングがΔｔだけ遅延される。図９は、図８の投入タイミングを修正した結果を示す図である。図９に示すように、マスタ制御部２はステップＳ１５５の処理を行うことによって基板群Ｂの投入タイミングをΔｔだけ時間軸後方側にシフトさせ、基板群Ｂが時刻ｔ２に投入されるように修正する。この結果、時刻ｔ３と時刻ｔ４との間の総消費量は８０（リットル／分）となり、許容値で規定される範囲内の用力消費量となる。
【００７２】
このように追加された基板群の投入タイミングをシフトさせた後は、修正後の処理内容に基づいて再び総消費量を求めるべく、ステップＳ１５２に戻る。
【００７３】
そして、ステップＳ１５２では、マスタ制御部２が修正後の用力消費量に基づいて、基板処理装置全体での単位時間ごとの用力の総消費量を求める。例えば、図９の場合であると、時間軸に沿って時刻ｔ＝０から単位時間ごとに基板群Ａおよび基板群Ｂの用力消費量を累積していき、単位時間ごとの総消費量ＳＴ２を求める。
【００７４】
そして、ステップＳ１５３においてマスタ制御部２は、単位時間ごとの総消費量ＳＴ２が許容値で規定される範囲内にあるか否かを判定する。図９の場合、総消費量ＳＴ２において、時間軸０から時間軸に沿って順次に単位時間ごとの総消費量が１５０以下であるか否かを判定していくと、全ての時間帯で総消費量が１５０以下となっており、ステップＳ１５３では「ＹＥＳ」と判定されて、ステップＳ１５６に進むことになる。
【００７５】
ステップＳ１５６では、マスタ制御部２はステップＳ１５１にて追加設定された基板群の投入タイミングを確定させる。つまり、図９に示すように用力の総消費量が全ての時間帯で許容値で示される範囲内となったときの投入タイミングを追加した基板群の投入開始時刻として確定させるのである。この結果、基板群Ｂは基板群Ａの投入開始から時間ｔ２が経過した後に投入すれば、基板処理装置１で消費される用力が所定の範囲内に制限される。
【００７６】
そしてステップＳ１５７に進み、マスタ制御部２は次に投入される基板群があるか否かを判定し、ＹＥＳであればステップＳ１５１からの処理を繰り返し、ＮＯであれば、準備された全ての基板群に対する投入タイミングが決定されたことになるので投入タイミングの決定（図４のステップＳ１）の処理を終了し、実際の基板処理の開始（ステップＳ２）に進む。上記例の場合であると、さらに次に投入される基板群Ｃが存在するため、ステップＳ１５１からの処理が繰り返される。
【００７７】
そしてステップＳ１５１にて、次に投入される基板群Ｃを特定し、その基板群Ｃについての用力消費量ＳＣを時間軸上の所定位置に追加設定する。このとき、基板群Ｃの投入開始時は、基板群ＡおよびＢの処理と干渉しないように設定されるため、図１０に示すように基板群Ｂの第１水洗処理部４２での処理が終了したタイミング（時刻ｔ６）で基板群Ｂが投入されるように時間軸上に追加設定される。
【００７８】
そしてステップＳ１５２にて、図１０に示すように時間軸に対して設定された各基板群Ａ，Ｂ，Ｃについて消費される用力消費量ＳＡ，ＳＢ，ＳＣを単位時間ごとに累積し、基板処理装置１全体として単位時間ごとに消費される用力の総消費量ＳＴ３を求める。
【００７９】
そしてステップＳ１５３においてマスタ制御部２は単位時間ごとの総消費量が１５０（リットル／分）以下であるか否かを判定する。図１０に示す総消費量ＳＴ３において、時間軸０から時間軸に沿って順次に単位時間ごとの総消費量が１５０以下であるか否かを判定していくと、時刻ｔ８と時刻ｔ９との間の総消費量が１６０となっており、許容値で規定される範囲を超えている。したがって、ステップＳ１５４に進み、時刻ｔ８から時刻ｔ９までの時間幅を求める。
【００８０】
次に、ステップＳ１５５に進み、総消費量が１６０となっている時間幅に相当する時間だけ、基板群Ｃの投入タイミングをシフトさせる。図１１は、図１０の投入タイミングを修正した結果を示す図である。図１１に示すように、マスタ制御部２はステップＳ１５５の処理を行うことによって基板群Ｃの投入タイミングをΔｔだけ時間軸後方側にシフトさせ、基板群Ｃが時刻ｔ７に投入されるように修正する。この結果、時刻ｔ８と時刻ｔ９との間の総消費量は８０（リットル／分）となり、許容値で規定される範囲内の用力消費量となる。
【００８１】
そして、ステップＳ１５２に戻り、マスタ制御部２が修正後の各基板群Ａ，Ｂ，Ｃの用力消費量ＳＡ，ＳＢ，ＳＣに基づいて、基板処理装置１全体での単位時間ごとの用力の総消費量ＳＴ４を求める。
【００８２】
そして、ステップＳ１５３においてマスタ制御部２が、単位時間ごとの総消費量ＳＴ４が許容値で規定される範囲内にあるか否かを判定すると、図１１の総消費量ＳＴ４において、全ての時間帯で総消費量が１５０以下となっており、ステップＳ１５３では「ＹＥＳ」と判定されて、ステップＳ１５６に進むことになる。
【００８３】
そしてステップＳ１５６にてマスタ制御部２が基板群Ｃについての投入タイミングを確定させると、次に投入される基板群は存在しないので、全ての基板群についての投入タイミングが確定されたことになり、ステップＳ１の処理が終了する。
【００８４】
したがって、上記例の場合であると、各基板群Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ図１１に示すような投入タイミングで確定される。図１１に示すように、基板処理装置１にて各基板群に対する処理を並行させるような場合であっても、上記のような処理を行うことによって、基板処理に先立って、基板処理装置１によって消費される所定の用力の単位時間ごとの総消費量を所定の範囲内に制限することが可能になる。
【００８５】
そして、図４のステップＳ２に進み、実際の基板処理が開始されると、ステップＳ１にて決定された投入タイミングに基づいて各基板群を投入していけば、それらの基板群を処理する際に消費される基板処理装置１全体での総消費量を所定の範囲内に制限した状態で、基板処理装置１を稼働させることができる。このとき、マスタ制御部２は図３に示す投入管理部２６として機能し、ステップＳ１で決定された投入タイミングに基づいて各基板群を順次に投入していくことで、用力の総消費量を所定の範囲内に制限しつつ、適切な基板処理を施すことができる。
【００８６】
上記の処理手順においては、基板処理装置１における実際の基板処理に先立って、用力消費量を所定の範囲に制限することができるように構成されているため、工場設備として用力の大量消費に耐えうる用力供給設備を設置せずとも、既存の用力供給設備の用力供給能力に応じた基板処理を行うことが可能になる。
【００８７】
また、上記の処理手順を行うことによって、この実施の形態で示した基板処理装置１のように複数の処理部が設けられている場合に、各処理部に対して単位時間当たり最大の用力を供給することを前提に装置を構成する必要もなくなる。上記例の場合であると、１つの水洗槽に対して単位時間当たり最大８０（リットル／分）の純水が供給される場合があるため、水洗槽が２槽設けられていることに鑑みると、基板処理装置１全体では１６０（リットル／分）の純水供給能力を有するように配管系統を構築することが本来的に必要であるかのように思われる。しかしながら、この実施の形態では単位時間当たりに基板処理装置１全体にて消費される用力の総消費量を許容値で規定される範囲内に制限するように各基板群の投入タイミングを決定することができるため、配管系統の純水供給能力は１６０（リットル／分）以下であってもよいのである。換言すれば、この実施の形態では、複数の処理部が同時に最大用力を消費することがないように、各基板群の投入タイミングが決定されるのである。したがって、基板処理装置１を構築する際に、比較的小型の部品を用いて構築してもよく、設置スペースの小型化や装置コストの削減を図ることができる。
【００８８】
また、例えば、工場内に基板処理装置１が複数台設置されるような場合には、その設置台数の増加に伴って、工場設備側の用力供給設備が１台の基板処理装置１に対して供給することのできる用力が減少する。このような場合であっても、用力に関する許容値を設置台数に応じて変動させることにより、複数台の基板処理装置１を何ら問題なく同時に稼働させることが可能になるのである。
【００８９】
さらに、上記処理手順によって各基板群の投入タイミングを調整することで、基板処理装置１全体として用力の総消費量を所定の範囲内に制限することにより、基板処理装置１に供給される用力変動（最大と最小の差）を小さくすることができるので、基板処理プロセスの安定化を図ることも可能になる。つまり、基板処理装置１において複数の基板群を安定して処理するためには、様々な条件を安定化させることが望ましく、用力消費量についてもその変動を小さくすることが望ましいのである。
【００９０】
なお、処理対象となる基板群に対応づけられたレシピ等に基づいて用力の総消費量が所定の範囲内となるような各基板群の投入タイミングを決定するまでの処理は、実際の基板処理装置１の稼働（物理的動作）は伴わないため、基板群の処理手順や処理内容に基づいて所定の用力の消費状況のシミュレート処理を行うことに相当する。
【００９１】
また、上記処理手順で示した例では、純水が制限対象の用力である場合について説明したが、ガス、電力等のその他の用力についても同様に許容値で規定される範囲内に制限することが可能であることは勿論である。この場合、いずれの用力を制限対象とするかは、例えば上記処理手順の最初の段階でモード選択等を行うようにしてもよい。また、全ての用力（すなわち、純水、電力、ガス等の全て）について各消費量が所定の範囲内となるように制限するように構成してもよいし、任意の用力の組み合わせが所定の範囲内となるように制限するように構成してもよい。
【００９２】
また、上記処理手順の説明では、処理内容が同一の基板群Ａ，Ｂ，Ｃについて基板処理を行う際の用力の総消費量を所定の範囲内に制限する例を説明したが、処理内容が異なる場合であっても上記と同様の処理手順を行うことによって単位時間ごとの用力の総消費量を所定の範囲内に制限することは可能である。すなわち、上記図４、図５および図６に示したフローチャートは、各基板群で異なるレシピが設定されている場合であっても適用することができ、基板処理装置１全体で消費される用力の総消費量を所定の範囲内に制限するような各基板群の投入タイミングを決定することができる。
【００９３】
＜４．基板処理装置のシミュレート装置＞
上述した投入タイミングの決定（ステップＳ１）に関する処理は、実際の基板処理装置１の動作を伴わないため、装置の物理的構成を有していなくとも複数の基板群についての投入タイミングの決定を行うことは可能である。
【００９４】
すなわち、基板群ごとのレシピに関するデータ、基板処理装置の構成に関するデータ、および、用力に関する許容値があれば、基板処理装置１とは別体として構成される一般的なコンピュータにおいても各基板群の投入タイミングの決定を行うことは可能である。
【００９５】
そして、基板処理装置とは別体として構成されたコンピュータを使用して投入タイミングの決定を行うことにより、基板処理装置１から離れた場所であっても複数の基板群を処理する際に必要な用力の総消費量をレシピデータ等に基づいてシミュレート処理を行うことが可能となり便利である。
【００９６】
なぜなら、コンピュータでシミュレート処理を行うことにより、基板処理装置１を導入する前の時点で、既存の用力供給設備で基板処理装置１を稼働させた場合にどの程度のスループットが実現できるかを仮想的にシミュレートすることができるからである。
【００９７】
ここでは、このような観点から基板処理装置１の本体とは別体として構成される基板処理装置のシミュレート装置について説明する。
【００９８】
図１２は、この実施の形態における基板処理装置のシミュレート装置２００の構成の一例を示す図である。図１２に示すように、入出力装置２０１，ＣＰＵ２０２，メモリ２０３，記憶部２０４，インタフェース２０５，２０６，２０９がバスライン２１０を介して相互に接続されている。入出力装置２０１は、フレキシブルディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭなどのコンピュータ読み取り可能な可搬性記録媒体２１１からデータを読み込んだり、それらに対してデータを書き込んだりする装置である。ＣＰＵ２０２は演算処理を行う処理部である。メモリ２０３はデータを一時的に記憶保持しておくための装置である。記憶部２０４は磁気ディスクなどのコンピュータ読み取り可能な固定の記録媒体であり、オペレーティングシステム（ＯＳ）、シミュレート装置を実現するシミュレートプログラム、基板処理装置の構成に関するデータ、レシピデータ、用力に関する許容値等が格納される。
【００９９】
そして、インタフェース２０５にはさらにＣＲＴや液晶ディスプレイ等の表示装置２０７が接続されており、インタフェース２０６にはキーボード２０８が接続されている。さらに、インタフェース２０９は、外部装置（例えば、基板処理装置１等）と通信等を行うためのインタフェースである。
【０１００】
このような構成からも明らかなように、この基板処理装置のシミュレート装置２００は基板処理装置１とは別体として構成されている。
【０１０１】
そして、シミュレート装置２００は、処理対象となる基板群のレシピに関するデータや基板処理装置の各機能手段の配置構成に関するデータ等をインタフェース２０９又は入出力装置２０１を介して取得する。そして、これらのデータをメモリ２０３又は記憶部２０４に格納保存しておく。
【０１０２】
その後、シミュレート装置２００のＣＰＵ２０２は、記録媒体２１１または記憶部２０４からシミュレートプログラムを読み出して、それを実行することにより、図３に示したスケジュール決定部２５として機能する。この結果、ＣＰＵ２０２は、図５および図６に示したフローチャートの処理手順に沿った処理を行い、複数の基板群のレシピに応じた用力消費量を求めて、基板処理装置にて消費される用力の総消費量が許容値で規定される範囲内となるように各基板群の投入タイミングが決定される。
【０１０３】
このように、基板処理装置１とは別体として構成される一般的なコンピュータによってシミュレート装置２００を実現すれば、クリーンルーム内以外の場所でも複数の基板群を処理する際に消費される用力の総消費量を所定の範囲内に制限した基板処理状況をシミュレートすることが可能になる。この結果、例えば工場内に設けられた管理コンピュータ等においても、基板処理装置１における複数の基板群の投入タイミングを決定することが可能になる。
【０１０４】
なお、上記のシミュレートプログラムは、図５および図６のフローチャートに示した処理シーケンスを実行させるためのプログラムであり、可搬性記録媒体２１１から読み込まれても良いし、予め記憶部２０４に記憶させておいても良い。すなわち、このシミュレートプログラムが格納される対象は、可搬性記録媒体であるか、固定の記録媒体であるかを問わない構成となっている。そして、ＯＳ等の基本ソフトウェアによってＣＰＵ２０２がそれら記録媒体からプログラムを読み出して実行することができるように構成された一般的なコンピュータにおいて、シミュレートプログラムを実行することにより、基板処理装置１のシミュレート装置２００として動作するのである。
【０１０５】
＜５．変形例＞
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記説明した内容に限定されるものではない。
【０１０６】
例えば、基板処理装置１における処理形態は、枚葉式処理形態であってもよいし、また、バッチ式処理形態であってもよい。また、処理対象の基板群を液中に浸漬させるものに限定されない。すなわち、基板処理装置は、それぞれが１または複数の基板からなる複数の基板群を複数の処理部に順次に搬送していくことで、レシピに応じた処理を各基板群に施す基板処理装置であればよいのである。
【０１０７】
また、上記説明においては、主として、基板処理のために消費される用力を制限する場合について説明したが、それ以外の用力の制限に基づいて投入タイミングを決定するようにしてもよい。例えば、工場設備側の排液能力に応じて基板処理装置１から排液される液量を所定の範囲内に制限するように各基板群の投入タイミングを制限するようにしてもよい。
【０１０８】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に記載の基板処理装置によれば、複数の基板群ごとに求められる用力消費量を単位時間ごとに累積して用力の総消費量を求め、該総消費量が所定の範囲内にない場合に、総消費量が範囲内にない時間幅を求め、複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを時間幅だけ遅延せることにより、総消費量を範囲内となるように設定するため、各基板群に適切な基板処理を施しつつも単位時間ごとの用力の総消費量を制限することができる。
【０１０９】
請求項２に記載の基板処理装置のシミュレート装置によれば、複数の基板群ごとに求められる用力消費量を単位時間ごとに累積して用力の総消費量を求め、該総消費量が所定の範囲内にない場合に、総消費量が範囲内にない時間幅を求め、複数の基板群のうちの少なくとも１つの基板群の投入タイミングを時間幅だけ遅延せることにより、総消費量を範囲内となるように設定するための構成が、基板処理装置とは別体として構成されているため、基板処理装置から離れた場所においても各基板群を処理する際に消費される用力の総消費量についてのシミュレート処理を行うことが可能となる。
【０１１０】
請求項３に記載のシミュレートプログラムを記録する記録媒体によれば、コンピュータに基板処理装置のシミュレート装置と同様の処理を実行させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態における基板処理装置の構成を示す平面図である。
【図２】基板処理装置の制御部の詳細を示すブロック図である。
【図３】マスタ制御部によって実現される機能を模式的に示した図である。
【図４】この発明の実施の形態における処理手順を示すフローチャートである。
【図５】この発明の実施の形態における処理手順を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施の形態における処理手順を示すフローチャートである。
【図７】複数の基板群についての単位時間ごとの用力消費量の一例を示す図である。
【図８】この発明の実施の形態における処理概念を示す図である。
【図９】この発明の実施の形態における処理概念を示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態における処理概念を示す図である。
【図１１】この発明の実施の形態における処理概念を示す図である。
【図１２】基板処理装置のシミュレート装置の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
２  マスタ制御部
２５  スケジュール決定部
２５ａ  用力消費量算出部（用力消費量算出手段）
２５ｂ  タイミング修正部（タイミング修正手段）
１０  バッファ部
３０  搬送ロボット
３５  第１リフタ
３６  第２リフタ
３７  第３リフタ
４１  乾燥処理部
４２  第１水洗処理部
４３  第１薬液処理部
４４  第２水洗処理部
４５  第２薬液処理部
ＳＡ，ＳＢ，ＳＣ  用力消費量
ＳＴ１〜ＳＴ４  総消費量
２００  シミュレート装置
２１１  記録媒体
【図１】
0003977554.tif 000002
【図２】
0003977554.tif 000003
【図３】
0003977554.tif 000004
【図４】
0003977554.tif 000005
【図５】
0003977554.tif 000006
【図６】
0003977554.tif 000007
【図７】
0003977554.tif 000008
【図８】
0003977554.tif 000009
【図９】
0003977554.tif 000010
【図１０】
0003977554.tif 000011
【図１１】
0003977554.tif 000012
【図１２】
0003977554.tif 000013