(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を所定ピッチで整立収納する第１のキャリアから基板を抜き出し、
前記第１のキャリアと同じピッチで複数の基板を整立収納する第２のキャリアから基板を抜き出し、
前記第１のキャリアから抜き出した第１の基板群の基板間の各隙間に、前記第２のキャリアから抜き出した第２の基板群を、相互に接触しない状態で挿入して、第３の基板群を形成するようにした基板ピッチ変換装置であって、
複数の基板を整立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を上向きにした前記第１または第２のキャリアの下部に設けられた下部開口を通じて上昇し、前記第１のキャリア内の第１の基板群または前記第２のキャリア内の第２の基板群を保持しながら突き上げる基板受け渡し具と、
前記基板受け渡し具が前記第１のキャリアの下方にある状態と前記第２のキャリアの下方にある状態というキャリアの交換のために、前記基板受け渡し具と前記第１のキャリアおよび前記第２のキャリアとを前記第１のキャリアと前記第２のキャリアの間隔だけ相対移動させる第１の位置合わせ機構と、
回転可能な一対の保持ロッドを有し、前記保持ロッドの周方向に、基板に作用させず通過させる非作用領域と、第１のキャリアに収納される第１の基板群および第２のキャリアに収納される第２の基板群の基板のピッチと同じピッチで基板を保持する第１の基板保持溝と前記第１の基板保持溝の間に基板と作用させず通過させる部分とを有する第１の保持領域と、第１のキャリアに収納される第１の基板群および第２のキャリアに収納される第２の基板群の基板のピッチの半分のピッチで第３の基板群の基板を保持する第２の基板保持溝を有する第２の保持領域とを形成し、前記一対の保持ロッドの非作用領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の上昇に伴う第１の基板群の上昇の際に第１の基板群を通過させる第１の状態と、前記第１の保持領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の下降に伴う第１の基板群の下降の際に第１の基板保持溝に第１の基板群の基板を保持させるとともに、前記基板受け渡し具の上昇に伴う第２の基板群の上昇の際に第２の基板群を通過させる第２の状態と、前記第２の保持領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の下降に伴う第１の基板群および第２の基板群の下降の際に前記第２の基板保持溝に基板を保持して第３の基板群を形成する第３の状態とに切り換え可能で、複数の基板を整立姿勢で保持する基板保持手段と、
前記第２のキャリアおよび前記基板受け渡し具を前記基板保持手段に対して第３の基板群の基板のピッチだけ相対移動させる第２の位置合わせ機構と、
前記基板受け渡し具に付設され、前記基板受け渡し具により保持された第１の基板群または第２の基板群の整列方向に出退可能であり、退避状態では前記基板受け渡し具が前記第２のキャリアの下部開口を通過可能となり、かつ、突出状態では前記基板保持手段に保持されている第１の基板群において端に位置する基板を保持する基板保持部材と、
を備えることを特徴とする基板ピッチ変換装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板ピッチ変換装置において、
前記基板受け渡し具が、基板を保持する第１の基板受け渡し部材と、基板を保持する第２の基板受け渡し部材とから成り、
前記第１および第２の基板受け渡し部材を択一的にかつ背反的に作用状態に切り換える選択機構を備え、
かつ、基板保持部材にその出退方向に複数の基板保持部を設け、前記選択機構に連係して基板を保持すべき前記基板保持部を前記基板保持部材の出退量によって切り換え可能に構成してある基板ピッチ変換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶装置製造用のガラス基板などの電子部品製造用の基板に、各種薬液や純水などの処理液により浸漬して洗浄処理するなど、各種の処理を施すに際して、キャリアに収納された基板の並列ピッチよりも小さなピッチで基板を取り扱えるようにする基板ピッチ変換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の装置としては、従来、特開平１０−３０８４３２号公報に記載されているものがあった。
この公報例によれば、所定ピッチで複数の基板を収納したキャリアをキャリア載置ユニットに載置し、そのキャリア載置ユニットと、前洗浄部、後洗浄部および乾燥部を備えた洗浄処理ユニットとにわたって基板搬送ロボット（本願発明の基板保持手段に相当する）を移動させ、キャリア内の基板を洗浄処理し、その洗浄処理後の基板をキャリア内に戻すように構成されている。
【０００３】
キャリア載置ユニットのキャリアと基板搬送ロボットとの間で基板の受渡しを行うときに、基板を保持するピッチを変換し、基板搬送ロボットは、キャリア内に収納される基板のピッチの半分のピッチで基板を保持し、第１のキャリアと第２のキャリアの２個分の基板を保持できるように構成されている。
【０００４】
保持ピッチの変換動作は、次の通りである。なお、ここでは、本願発明と対比しやすくするために、各部材等の名称に付いて、公報の説明とは異なり、本願発明で用いた名称を用いている。また、キャリア内には、通常２５枚の基板が収納されるが、わかりやすくするために３枚の基板で説明する。
【０００５】
図３２に示すように、移動台０１上に回転可能に２個の回転台０２が設けられ、その回転台０２に第１のキャリアＣ１と第２のキャリアＣ２とが載置され、第１のキャリアＣ１内に第１の基板Ｗ１群が、そして、第２のキャリアＣ２内に第２の基板Ｗ２群がそれぞれ所定ピッチで収納されている。
【０００６】
第１および第２のキャリアＣ１，Ｃ２が反対方向に90°回転され、収納状態での鏡面の向きが、第１の基板Ｗ１群と第２の基板Ｗ２群とで正反対になるようにして静止されている。
【０００７】
第１のキャリアＣ１の下方に基板受け渡し具０３が昇降可能に設けられ、移動台０１および回転台０２に設けられた開口（図示せず）と第１のキャリアＣ１の下部開口（図示せず）を通じて昇降し、第１のキャリアＣ１（または第２のキャリアＣ２）と図３３に示す基板保持手段０４とにわたって、第１の基板Ｗ１群（または第２の基板Ｗ２群）を受け渡すようになっている。
【０００８】
基板保持手段０４は、回転可能な一対の保持ロッド０５それぞれに周方向に順に所定の基板保持溝（溝が無いものをも含む）を形成して構成され、基板に作用せずに通過させる非作用領域Ｐと、第２の基板Ｗ２群は通過させるものの第１の基板Ｗ１群の通過を阻止して第１の基板Ｗ１群を保持する第１の保持領域Ｍ１，Ｎ１と、第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群のいずれの通過をも阻止して第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持する第２の保持領域Ｍ２，Ｎ２，Ｓとが備えられている。
【０００９】
先ず、図３３に示すように、基板保持手段０４を非作用領域Ｐにしておき［図３３の（ｂ）］、その状態で基板受け渡し具０３を突き上げて第１のキャリアＣ１内の第１の基板Ｗ１群を基板受け渡し具０３に保持させ［図３３の（ａ）］、更に、図３４に示すように、基板受け渡し具０３を基板保持手段０４の上方まで突き上げ［図３４の（ａ）］、その状態で基板保持手段０４を第１の保持領域Ｍ１に切り替える［図３４の（ｂ）］。
【００１０】
次いで、図３５の（ａ）に示すように、基板受け渡し具０３を下降し、基板受け渡し具０３に保持させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段０４の第１の保持領域Ｍ１に受け渡して保持させる［図３５の（ｂ）］。
【００１１】
その後、図３６の（ａ）に示すように、移動台０１を移動するとともに、基板受け渡し具０３を、第１の基板Ｗ１群のピッチの半分（以下ハーフピッチＨＰと称する）だけ移動台０１と同じ方向に移動し、第２の基板Ｗ２群それぞれを基板保持手段０４に保持された第１の基板Ｗ１群［図３６の（ｂ）］に対して前記ハーフピッチＨＰずつズレさせておく。
【００１２】
しかる後、基板受け渡し具０３を突き上げて第２のキャリアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を基板受け渡し具０３に保持させ［図３７の（ａ）および（ｂ）］、更に、基板受け渡し具０３を基板保持手段０４の上方まで突き上げ［図３８の（ａ）］、先に基板保持手段０４に保持されていた第１の基板Ｗ１群も基板受け渡し具０３に保持させ、その状態で基板保持手段０４を第２の保持領域Ｍ２に切り替える［図３８の（ｂ）］。
【００１３】
次いで、図３９の（ａ）に示すように、基板受け渡し具０３を下降し、基板受け渡し具０３に保持させていた第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を基板保持手段０４の第２の保持領域Ｍ２に受け渡して保持させ［図３９の（ｂ）］、更に、基板受け渡し具０３を移動台０１の下方位置まで下降し［図４０の（ａ）および（ｂ）］、ピッチ変換を終了する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来例の場合、次のような欠点があった。
図３８の（ａ）に示すように、基板受け渡し具０３を突き上げて第２のキャリアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を基板受け渡し具０３に保持させ、基板受け渡し具０３を基板保持手段０４の上方まで突き上げ、先に基板保持手段０４に保持されていた第１の基板Ｗ１群を基板受け渡し具０３に保持させるときに、第１の基板Ｗ１群において一方の端に位置する１枚の第１の基板Ｗ１が第２の基板Ｗ２群よりも基板の並列載置方向の外方に位置することになる。
【００１５】
その１枚の第１の基板Ｗ１を基板受け渡し具０３に保持させるために、基板受け渡し具０３の基板の並列載置方向における長さを、前記ハーフピッチＨＰ分だけ長くせざるを得ない。
【００１６】
上述のような基板受け渡し具０３を第２のキャリアＣ２の下部開口を通じて昇降するには、第２のキャリアＣ２の端の第２の基板Ｗ２と、それに対向する第２のキャリアＣ２の内周壁面との間に、前記ハーフピッチＨＰ分以上の隙間が必要になり、キャリアを小型化できない欠点があった。
【００１７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、キャリアに収納された基板を、そこでの収納ピッチよりも小さいピッチで別の基板保持手段に保持させるために保持ピッチを変換できるものでありながら、キャリアを小型化できるようにすることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、
複数の基板を所定ピッチで整立収納する第１のキャリアから基板を抜き出し、
前記第１のキャリアと同じピッチで複数の基板を整立収納する第２のキャリアから基板を抜き出し、
前記第１のキャリアから抜き出した第１の基板群の基板間の各隙間に、前記第２のキャリアから抜き出した第２の基板群を、相互に接触しない状態で挿入して、第３の基板群を形成するようにした基板ピッチ変換装置であって、
複数の基板を整立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を上向きにした前記第１または第２のキャリアの下部に設けられた下部開口を通じて上昇し、前記第１のキャリア内の第１の基板群または前記第２のキャリア内の第２の基板群を保持しながら突き上げる基板受け渡し具と、
前記基板受け渡し具が前記第１のキャリアの下方にある状態と前記第２のキャリアの下方にある状態というキャリアの交換のために、前記基板受け渡し具と前記第１のキャリアおよび前記第２のキャリアとを前記第１のキャリアと前記第２のキャリアの間隔だけ相対移動させる第１の位置合わせ機構と、
回転可能な一対の保持ロッドを有し、前記保持ロッドの周方向に、基板に作用させず通過させる非作用領域と、第１のキャリアに収納される第１の基板群および第２のキャリアに収納される第２の基板群の基板のピッチと同じピッチで基板を保持する第１の基板保持溝と前記第１の基板保持溝の間に基板と作用させず通過させる部分とを有する第１の保持領域と、第１のキャリアに収納される第１の基板群および第２のキャリアに収納される第２の基板群の基板のピッチの半分のピッチで第３の基板群の基板を保持する第２の基板保持溝を有する第２の保持領域とを形成し、前記一対の保持ロッドの非作用領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の上昇に伴う第１の基板群の上昇の際に第１の基板群を通過させる第１の状態と、前記第１の保持領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の下降に伴う第１の基板群の下降の際に第１の基板保持溝に第１の基板群の基板を保持させるとともに、前記基板受け渡し具の上昇に伴う第２の基板群の上昇の際に第２の基板群を通過させる第２の状態と、前記第２の保持領域どうしを対向させて、前記基板受け渡し具の下降に伴う第１の基板群および第２の基板群の下降の際に前記第２の基板保持溝に基板を保持して第３の基板群を形成する第３の状態とに切り換え可能で、複数の基板を整立姿勢で保持する基板保持手段と、
前記第２のキャリアおよび前記基板受け渡し具を前記基板保持手段に対して第３の基板群の基板のピッチだけ相対移動させる第２の位置合わせ機構と、
前記基板受け渡し具に付設され、前記基板受け渡し具により保持された第１の基板群または第２の基板群の整列方向に出退可能であり、退避状態では前記基板受け渡し具が前記第２のキャリアの下部開口を通過可能となり、かつ、突出状態では前記基板保持手段に保持されている第１の基板群において端に位置する基板を保持する基板保持部材と、
を備えることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項２に記載の発明は、
請求項１に記載の基板ピッチ変換装置において、
前記基板受け渡し具は、処理後の基板を保持する第１の基板受け渡し部材と、処理前の基板を保持する第２の基板受け渡し部材とを備え、
前記第１および第２の基板受け渡し部材を択一的にかつ背反的に作用状態に切り換える選択機構をさらに備えることを特徴としている。
【００２０】
【作用】
本発明の作用は次のとおりである。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板受け渡し具を上昇させることにより第１のキャリア内の基板を突き上げ保持して第１の基板群を抜き出し、その上方の第１の状態の基板保持手段を通過して上昇させ、基板保持手段を第２の状態に切り替えた後に基板受け渡し具を下降し、第１の基板群を基板保持手段に受け止めて載置保持する。
【００２１】
その後、基板保持手段および基板受け渡し具に対して第２のキャリアを相対移動するとともに、基板保持手段に対して第２のキャリアおよび基板受け渡し具を相対移動し、基板保持部材を退避させた状態で基板受け渡し具を上昇させることにより第２のキャリア内の基板を突き上げ保持して第２の基板群を抜き出す。
【００２２】
第２のキャリアと基板保持手段との中間位置で、基板受け渡し具から基板保持部材を突出させ、その突出状態で基板受け渡し具を上昇させ、第２の基板群を上昇するとともに、第１の基板群の基板間の各隙間に相互に接触しない状態で挿入して、先に基板保持手段に載置保持されていた第１の基板群を基板受け渡し具と基板保持部材とに保持させて第３の基板群を形成し、その状態で基板保持手段を通過して上昇させる。
【００２３】
基板保持手段を第３の状態に切り替えた後に基板受け渡し具を下降し、第３の基板群を基板保持手段に受け止めて載置保持させる。その下降の際に、第３の基板群を基板保持手段に受け渡した後の第２のキャリアと基板保持手段との中間位置で、基板受け渡し具から基板保持部材を退避させ、その退避状態で基板受け渡し具を下降させ、第２のキャリアならびにその下部開口を通過させて第２のキャリアの下方に位置させ、第１および第２のキャリアから基板保持手段に基板ピッチを変換した状態で基板を受け渡すことができる。
【００２４】
また、請求項２に記載の発明は、例えば、洗浄などの処理前には、第２の基板受け渡し部材によって基板を保持する。
処理後には、第１の基板受け渡し部材によって基板を保持する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る基板ピッチ変換装置を用いた基板処理装置の実施例を示す全体斜視図であり、基板処理装置１が、複数の基板Ｗを所定ピッチで整立収納したキャリアＣを載置するキャリア載置ユニット２と、基板Ｗを洗浄処理する洗浄処理ユニット３と、キャリア載置ユニット２と洗浄処理ユニット３との間で基板Ｗの保持ピッチを変換する基板ピッチ変換装置４とから構成されている。
【００２６】
キャリア載置ユニット２には、装置外部から搬入されるキャリアＣを載置するキャリア載置部５と、キャリアＣを移載するキャリア移載ロボット６と、キャリアＣを洗浄するキャリア洗浄部７とが備えられている。
【００２７】
洗浄処理ユニット３には、前工程の洗浄処理を行う前洗浄部３ａと、後工程の洗浄処理を行う２つの後洗浄部３ｂと、洗浄処理後の基板Ｗを乾燥処理する乾燥部３ｃとが備えられ、基板Ｗを前洗浄部３ａ、いずれか一方の後洗浄部３ｂ、乾燥部３ｃと順に搬送して処理するようになっている。
【００２８】
基板ピッチ変換装置４は、キャリアＣに収納される基板Ｗのピッチの半分のピッチ、いわゆるハーフピッチＨＰで、基板Ｗを整列した立姿勢（整立姿勢と略称する）で水平方向に並列載置保持する保持する基板保持手段８と、図２の斜視図に示すように、２個のキャリアＣを回転および水平方向に移動可能に載置する移動台９と、移動台９の下方から昇降してキャリアＣと基板保持手段８との間で基板Ｗの受け渡しを行う基板受け渡し具１０とから構成されている。
【００２９】
移動台９は、図示しないが、電動モータとボールネジによる駆動機構によって移動可能に構成され、基板保持手段８および基板受け渡し具１０に対して、基板を出し入れするキャリアＣを交換するために移動するとともに、更に、基板保持手段８に対して、基板受け渡し具１０とともにハーフピッチＨＰだけ移動できるようになっている。
【００３０】
上述のキャリアＣの交換のために移動する構成が、特許請求の範囲に記載の「第１の位置合わせ機構」に相当する。この第１の位置合わせ機構としては、基板保持手段８および基板受け渡し具１０をキャリアＣに対して移動するように構成するものでも良い。
また、上記ハーフピッチＨＰだけ移動する構成が、後述する第１のエアシリンダ１５によって基板受け渡し具１０を移動する構成と併せて、特許請求の範囲に記載の「第２の位置合わせ機構」に相当する。この第２の位置合わせ機構としては、基板保持手段８をキャリアＣおよび基板受け渡し具１０に対して移動するように構成するものでも良い。
【００３１】
基板保持手段８は、図３の斜視図および図４の正面図に示すように、回転可能な一対の保持ロッド１１それぞれに周方向に順に所定の基板保持溝（溝が無いものをも含む）を形成して６通りの基板保持状態が得られるように構成されている。
【００３２】
すなわち、基板に作用せずに通過させる非作用領域Ｐどうしを対向させることにより、後述する第１の基板Ｗ１群が上昇通過するのを許容する第１の状態が得られるようになっている。
【００３３】
キャリアＣに収納される基板Ｗのピッチと同じピッチで基板を保持する第１の基板保持溝を形成した第１の保持領域Ｍ１，Ｎ１どうしを対向させることにより、後述する第２の基板Ｗ２群が上昇通過するのを許容するものの第１の基板Ｗ１群が下降するのを受け止めて第１の基板Ｗ１群を保持する第２の状態が得られるようになっている。
ここで、一方の第１の保持領域Ｍ１を対向させるときは、処理前の第１の基板Ｗ１群を保持する場合であり、他方の第１の保持領域Ｎ１を対向させるときは、処理後の第１の基板Ｗ１群を保持する場合である。
【００３４】
前記ハーフピッチＨＰで基板を保持する第２の基板保持溝を形成した第２の保持領域Ｍ２，Ｎ２，Ｓどうしを対向させることにより、後述する第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群が下降するのを受け止めて第３の基板群を形成するようにして基板を載置保持する第３の状態が得られるようになっている。
ここで、一方の第２の保持領域Ｍ２を対向させるときは、処理前の第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持する場合であり、他方の第２の保持領域Ｎ２を対向させるときは、処理後の第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持する場合であり、更に、別の第２の保持領域Ｓを対向させるときは、前述した前洗浄部３ａで処理した後、乾燥部３ｃまで搬送するときに第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持する場合である。
【００３５】
図５の縦断側面図に示すように、基板受け渡し具１０は、図示しない電動モータとボールネジによる昇降機構によって昇降される支持フレーム１２に、処理後の基板を保持する第１の基板受け渡し部材１３と、処理前の基板を保持する第２の基板受け渡し部材１４とを設けて構成されている。第１および第２の基板受け渡し部材１３，１４それぞれには、前述のハーフピッチＨＰを隔てて基板保持溝が形成されている。
【００３６】
支持フレーム１２に、第１のエアシリンダ１５を介して、前述のハーフピッチＨＰだけ水平方向に移動可能に第１の支持ブラケット１６が設けられ、その第１の支持ブラケット１６に第１の基板受け渡し部材１３が取り付けられている。
【００３７】
また、第１の支持ブラケット１６に、選択機構としての第２のエアシリンダ１７を介して昇降可能に第２の支持ブラケット１８が設けられ、その第２の支持ブラケット１８に第２の基板受け渡し部材１４が取り付けられ、第１の基板受け渡し部材１３よりも上方に突出して基板を保持する作用位置と、第１の基板受け渡し部材１３よりも下方に退避して第１の基板受け渡し部材１３に基板を保持させる非作用位置とに変位できるように、すなわち、第１および第２の基板受け渡し部材１３，１４を択一的にかつ背反的に作用状態に切り換えるように構成されている。
【００３８】
第１の支持ブラケット１６に、第３のエアシリンダ１９を介して前記第１または第２の基板受け渡し部材１３，１４による基板の並列載置方向に移動出退可能に基板保持部材２０が設けられている。これにより、図７の（ａ）に示すように、基板保持部材２０を退避させた状態では、キャリアＣの下部開口を通過できるようになっている。
【００３９】
基板保持部材２０には、それぞれ基板を保持する第１および第２の基板保持部２１ａ，２１ｂが付設され、図７の（ｂ）または（ｃ）に示すように、突出状態において、第１および第２の基板保持部２１ａ，２１ｂのいずれかに一枚の基板Ｗを保持できるようになっている。
【００４０】
第３のエアシリンダ１９と前記選択機構としての第２のエアシリンダ１７とが連係され、第１の基板受け渡し部材１３が作用状態のときには、基板保持部材２０を大きく突出させて第１の基板保持部２１ａに基板を保持させ［図７の（ｃ）］、第２の基板受け渡し部材１４が作用状態のときには、基板保持部材２０を少し突出させて第２の基板保持部２１ｂに基板を保持させるように構成されている［図７の（ｂ）］。
【００４１】
次に、上記基板ピッチ変換装置の動作について説明する。なお、キャリア内には、通常２５枚の基板が収納されるが、わかりやすくするために３枚の基板で説明する。
【００４２】
図８に示すように、移動台９上に回転可能に２個の回転台２２が設けられ、その回転台２２に第１のキャリアＣ１と第２のキャリアＣ２とが上部開口を上向きにした状態で載置され、第１のキャリアＣ１内に第１の基板Ｗ１群が、そして、第２のキャリアＣ２内に第２の基板Ｗ２群がそれぞれ所定ピッチで収納されている。
【００４３】
図９に示すように、第１および第２のキャリアＣ１，Ｃ２を反対方向に90°回転し、収納状態での鏡面の向きが、第１の基板Ｗ１群と第２の基板Ｗ２群とで正反対になるとともに、第１のキャリアＣ１の下方に基板受け渡し具１０が位置するようにして静止する。
【００４４】
図１０に示すように、基板保持手段８を非作用領域Ｐにしておき［図１０の（ｂ）］、その状態で移動台９および回転台２２に設けられた開口（図示せず）と第１のキャリアＣ１の下部開口（図示せず）を通じ、第２の基板受け渡し部材１４を作用状態にした基板受け渡し具１０を突き上げて第１のキャリアＣ１内の第１の基板Ｗ１群を第２の基板受け渡し部材１４に保持させ［図１０の（ａ）］、更に、図１１に示すように、基板受け渡し具１０を基板保持手段８の上方まで突き上げ［図１１の（ａ）］、その状態で基板保持手段８を第１の保持領域Ｍ１に切り替える［図１１の（ｂ）］。
【００４５】
次いで、図１２の（ａ）に示すように、基板受け渡し具１０を下降し、第２の基板受け渡し部材１４に保持させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段８の第１の保持領域Ｍ１に受け渡して保持させる［図１２の（ｂ）］。更に、図１３の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板受け渡し具１０を移動台９の下方まで下降しておく。
【００４６】
その後、第１および第２の位置合わせ機構により、移動台９を移動するとともに、基板受け渡し具１０を、第１の基板Ｗ１群のピッチの半分（以下ハーフピッチＨＰと称する）だけ移動台９と同じ方向に移動し、第２の基板Ｗ２群それぞれを基板保持手段８に保持された第１の基板Ｗ１群［図１４の（ｂ）］に対して前記ハーフピッチＨＰずつズレさせておく。
【００４７】
しかる後、基板受け渡し具１０を突き上げて第２のキャリアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を第２の基板受け渡し部材１４に保持させる［図１５の（ａ）および（ｂ）］。
【００４８】
第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中間位置で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２０を少し突出させ、第２の基板保持部２１ｂに基板を保持可能にし［図１６の（ａ）および（ｂ）］、その突出状態で基板受け渡し具１０を上昇させ、第２の基板Ｗ２群を上昇するとともに、第１の基板Ｗ１群の基板間の各隙間に相互に接触しない状態で挿入して、先に基板保持手段８に載置保持されていた第１の基板Ｗ１群を第２の基板受け渡し部材１４と第２の基板保持部２１ｂとに保持させて第３の基板群を形成し、その状態で基板保持手段８を通過して基板保持手段８の上方まで突き上げ、その状態で基板保持手段８を第２の保持領域Ｍ２に切り替える［図１７の（ａ）および（ｂ）］。このとき、第２の基板保持部２１ｂには、第１の基板Ｗ１群のうちの一方の端の１枚の基板Ｗ１が保持される。
【００４９】
次いで、図１８の（ａ）に示すように、基板受け渡し具１０を下降し、第２の基板受け渡し部材１４および第２の基板保持部２１ｂに保持させていた第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を基板保持手段８の第２の保持領域Ｍ２に受け渡して保持させる［図１８の（ｂ）］。
【００５０】
図１９の（ａ）および（ｂ）に示すように、第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中間位置で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２０を退避させ、基板保持部材２０が第２のキャリアＣ２に当たらない状態にしてから、図２０の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板受け渡し具１０を移動台９の下方位置まで下降するとともに、第２の基板受け渡し部材１４を非作用状態に切り換えて第１の基板受け渡し部材１３を作用状態にし、ハーフピッチＨＰへのピッチ変換を終了する。
【００５１】
第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持した基板保持手段８は、前洗浄部３ａに移動し、昇降台２３ａの上昇により第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を昇降台２３ａに受け渡し、昇降台２３ａを上昇させた状態で、基板保持手段８を非作用領域Ｐどうしが対向するように切り替え、その後に下降して第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を前洗浄部３ａで処理する。
【００５２】
前洗浄部３ａでの処理が済むと、昇降台２３ａを基板保持手段８の上方まで上昇させ、その状態で、基板保持手段８を第２の保持領域Ｓどうしが対向するように切り替え、その後に昇降台２３ａを下降して第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を基板保持手段８に受け渡す。
【００５３】
その後、同様にして後洗浄部３ｂと基板保持手段８との間で第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を受け渡すとともに、基板保持手段８から乾燥部３ｃに第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を受け渡す。
【００５４】
乾燥部３ｃでの乾燥処理後は、基板保持手段８を第２の保持領域Ｎ２どうしが対向するように切り替え、その第２の保持領域Ｎ２により第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持し、第２のキャリアＣ２の上方箇所に搬送する。
上述の基板処理の間に、第１および第２のキャリアＣ１，Ｃ２はカセット洗浄部７に搬送して洗浄処理しておく。
【００５５】
一方、基板受け渡し具１０において、第１の基板受け渡し部材１３を作用状態にしておき、その状態で基板受け渡し具１０を上昇する［図２１の（ａ）および（ｂ）］。第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中間位置で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２０を大きく突出させ、第１の基板保持部２１ａに基板を保持可能にし［図２２の（ａ）および（ｂ）］、その突出状態で基板受け渡し具１０を更に上昇させ、第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を第１の基板受け渡し部材１３および第１の基板保持部２１ａに保持させるとともに、基板保持手段８を第１の保持領域Ｎ１どうしが対向するように切り替える［図２３の（ａ）および（ｂ）］。
【００５６】
その後、基板受け渡し具１０を下降し、第１の基板受け渡し部材１３および第１の基板保持部２１ａに保持させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段８に保持させる［図２４の（ａ）および（ｂ）］。
【００５７】
次いで、図２５の（ａ）および（ｂ）に示すように、第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中間位置で、基板保持部材２０を退避させ、基板保持部材２０が第２のキャリアＣ２に当たらない状態にしてから、図２６の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板受け渡し具１０を移動台９の下方位置まで下降し、第１の基板受け渡し部材１３に保持された第２の基板Ｗ２群を第２のキャリアＣ２内に収納する。
【００５８】
その後、図２７の（ａ）および（ｂ）に示すように、第１および第２の位置合わせ機構により、移動台９を移動するとともに、基板受け渡し具１０を、ハーフピッチＨＰだけ移動台９と同じ方向に移動し、基板保持手段８に保持された第１の基板Ｗ１群の下方の所定位置に第１のキャリアＣ１を位置させる。
【００５９】
しかる後、図２８の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板受け渡し具１０を第１のキャリアＣ１を通じて上昇させ、更に、図２９の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板保持手段８の上方まで上昇させ、基板保持手段８に保持されていた第１の基板Ｗ１群を第１の基板受け渡し部材１３に保持させるとともに、基板保持手段８を非作用領域Ｐどうしが対向するように切り替える。
【００６０】
図３０の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板保持手段８を通過して基板受け渡し具１０を下降し、図３１に示すように、第１の基板受け渡し部材１３に保持された第１の基板Ｗ１群を第１のキャリアＣ１内に収納し、一連の洗浄処理を完了する。
【００６１】
その後、洗浄処理を完了した基板Ｗを収納したキャリアＣは、キャリア移載ロボット６によってキャリア載置部５に搬送し、別のキャリア移載ロボットなどによって装置外に搬出し、次の処理工程に搬送する。
【００６２】
上記実施例によれば、洗浄処理前の基板は、第２の基板受け渡し部材１４、第２の基板保持部２１ｂ、基板保持手段８の第１および第２の保持領域Ｍ１，Ｍ２によって保持させ、一方、洗浄処理後の基板は、第１の基板受け渡し部材１３、第１の基板保持部２１ａ、基板保持手段８の第１および第２の保持領域Ｎ１，Ｎ２によって保持させ、洗浄処理したキャリアに収納していくため、基板から保持部に転移したパーティクルが洗浄処理後の基板に再付着することを良好に防止できる利点を有している。
【００６３】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、第３の基板群を形成するときに、第２のキャリアから第２の基板群を抜き出した後で、基板受け渡し具から基板保持部材を突出させ、その基板保持部材によって第１の基板群の端の基板を保持させ、第１および第２のキャリアを通過するときには、基板受け渡し具から基板保持部材を退避させるので、第３の基板群の形成時に第１の基板群の端の基板を保持させる構成に起因して必要としていた、キャリア内に収納された端の基板と、それに対向するキャリアの内周壁面との間の隙間を不要にでき、キャリアに収納された基板を、そこでの収納ピッチよりも小さいピッチで別の基板保持手段に保持させるために保持ピッチを変換できるものでありながら、キャリアを小型化できる。このようなキャリアの小型化は、例えば、基板を収納したキャリアを薬液などに浸漬して処理するような場合に、処理槽を小型化できるとともに処理薬液の消費量を減少でき、極めて経済的である。
【００６４】
また、請求項２に記載の発明によれば、基板受け渡し具において、例えば、洗浄などの処理前に基板に接触した箇所を処理後の基板に接触させないので、パーティクルの再付着による汚染を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板ピッチ変換装置を用いた基板処理装置の実施例を示す全体斜視図である。
【図２】キャリアを載置した移動台の斜視図である。
【図３】基板保持手段の斜視図である。
【図４】基板保持手段の正面図である。
【図５】基板受け渡し具の縦断側面図である。
【図６】基板受け渡し具の一部切欠正面図である。
【図７】基板保持部材の要部の断面図である。
【図８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図である。
【図９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図である。
【図１０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１２】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１３】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１４】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１５】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１６】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１７】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図１９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２２】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２３】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２４】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２５】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２６】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２７】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図２９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側面図である。
【図３２】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図である。
【図３３】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３４】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３５】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３６】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３７】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３８】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図３９】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【図４０】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する概略側面図および概略背面図である。
【符号の説明】
４…基板ピッチ変換装置
８…基板保持手段
１０…基板受け渡し具
１１…保持ロッド
１３…第１の基板受け渡し部材
１４…第２の基板受け渡し部材
１７…第２のエアシリンダ（選択機構）
２０…基板保持部材
２１ａ…第１の基板保持部
２１ｂ…第２の基板保持部
Ｃ１…第１のキャリア
Ｃ２…第２のキャリア
Ｍ１、Ｎ１…第１の保持領域
Ｍ２、Ｎ２…第２の保持領域
Ｐ…非作用領域
Ｗ１…第１の基板
Ｗ２…第２の基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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