(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源から出射されてハーフミラーによって分光され、視差画像列の各画像に基づいて画像変調された物体レーザ光と、この物体レーザ光に対して可干渉性を有する参照レーザ光とを記録媒体に入射させるとともに、これら物体レーザ光と参照レーザ光とによって生じる干渉縞を要素ホログラムとして上記記録媒体に記録する光学系と、
筐体に対して少なくとも上記光学系を防振支持する防振支持手段と、
少なくとも上記レーザ光源を冷却する冷却手段とを備え、
上記冷却手段は、上記筐体側に配設されることによって上記光学系に対する振動伝達が抑制された駆動部と、この駆動部と上記レーザ光源との間に配設された非剛性体からなるダクトとから構成されたことを特徴とするホログラフィックステレオグラム作製装置。
【請求項２】
上記冷却手段は、上記駆動部が一対の送風用ファンと排気ファンとによって構成され、これら送風用ファンと排気用ファンとの間を上記レーザ光源を挟んで上記ダクトによって連結して構成されたことを特徴とする請求項１に記載のホログラフィックステレオグラム作製装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、実写画像やコンピュータ生成画像等を３次元認識することができるホログラフィックステレオグラム作製装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ホログラフィックステレオグラムは、被写体を異なる観察点から順次撮像することにより得られた多数の画像を原画として、これらを１枚のホログラム用記録媒体に短冊状又はドット状の要素ホログラムとして順次記録することにより作製される。このホログラフィックステレオグラムは、使用者がこれをある位置から片方の目で見た場合に各要素ホログラムの一部分の画像情報の集合体である２次元画像が識別され、またこの位置から水平に移動した他の位置で見た場合に各要素ホログラムの別の部分の画像情報の集合体である２次元画像が識別される。したがって、ホログラフィックステレオグラムにおいては、使用者がこれを両目で見た場合に左右の目の視差により、記録画像が３次元画像として認識される。
【０００３】
上述したホログラフィックステレオグラムは、一般に図９に示すホログラフィックステレオグラム作製装置１００によって作製される。ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、単一波長で干渉性の良いレーザ光Ｌ１０を出射するレーザ光源１０１と、このレーザ光Ｌ１０を物体レーザ光Ｌ１１と参照レーザ光Ｌ１２とに分光するハーフミラー１０２と、物体レーザ光Ｌ１１の光学系を構成する光学部品１０３乃至１０７及び表示器１０８と、参照レーザ光Ｌ１２の光学系を構成する光学部品１０９乃至１１１と、物体レーザ光Ｌ１１と参照レーザ光Ｌ１２とが集光するホログラム用記録媒体１１２等によって構成されている。
【０００４】
物体レーザ光Ｌ１１の光学系は、具体的には、光軸に沿ってその入力側からそれぞれ順に配列された全反射ミラー１０３と、物体レーザ光Ｌ１１を一次元方向に拡散させる第１のシリンドリカルレンズ１０４と、拡散された物体レーザ光Ｌ１１を平行光化するコリメータレンズ１０５と、投影レンズ１０６と、物体レーザ光Ｌ１１をホログラム用記録媒体１１２に導く第２のシリンドリカルレンズ１０７とから構成される。表示器１０８は、透過型の液晶パネルによって構成され、シリンドリカルレンズ１０５と投影レンズ１０６との間に配設されている。表示器１０８には、図示しない画像処理部から出力された画像データに基づく画像が表示される。
【０００５】
参照レーザ光Ｌ１２の光学系は、具体的には、光軸に沿ってその入力側からそれぞれ順に配列された、参照レーザ光Ｌ１２を一次元方向に拡散させるシリンドリカルレンズ１０９と、拡散された参照レーザ光Ｌ１２を平行光化するコリメータレンズ１１０と、参照レーザ光Ｌ１２を反射させてホログラム用記録媒体１１２に導く全反射ミラー１１１とから構成される。ホログラム用記録媒体１１２は、例えば感光フィルムからなり、供給リール１１３から繰り出されるとともに、表示器１０８に表示される画像に応じて図示を省略する送り機構によって間欠的に送られて巻取リール１１４に巻き取られる。
【０００６】
レーザ光Ｌ１０は、レーザ光源１０１から出射されてハーフミラー１０２に入射され、このハーフミラー１０２により物体レーザ光Ｌ１１と参照レーザ光Ｌ１２とに分光される。物体レーザ光Ｌ１１は、シリンドリカルレンズ１０４、コリメータレンズ１０５を介して表示器１０８に入射されるとともに、この表示器１０８を透過する際に表示された画像に応じて画像変調される。画像変調された物体レーザ光Ｌ１１は、投影レンズ１０６、シリンドリカルレンズ１０７を介してホログラム用記録媒体１１２に入射される。また、参照レーザ光Ｌ１２は、シリンドリカルレンズ１０９、コリメータレンズ１１０及び全反射ミラー１１１の光学系を介してホログラム用記録媒体１１２に入射される。
【０００７】
したがって、ホログラム用記録媒体１１２には、表示器１０８に表示された映像が、画像変調された物体レーザ光Ｌ１１と参照レーザ光Ｌ１２との干渉によって生じる干渉縞を要素ホログラムとして短冊状又はドット状に順次露光記録される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したホログラフィックステレオグラム作製装置１００においては、ホログラム用記録媒体１１２に各要素ホログラムが露光記録される際に、振動等が加えられた場合に作製されるホログラフィックステレオグラムに影響が生じるといった問題があった。すなわち、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、レーザ光Ｌの波長程度の振動等が加えられた場合にも、ホログラム用記録媒体１１２に露光記録される干渉縞の状態が不安定となり、記録形成される要素ホログラムの一部に回折効率や明るさの低下といった現象が生じる。また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、さらに大きな振動等が加えられた場合には、ホログラム用記録媒体１１２に対する要素ホログラムの記録形成が全く行われないといった問題が生じる。
【０００９】
ホログラフィックステレオグラムは、上述したように一部の要素ホログラムがその回折効率を低い状態で記録されていると、再生時において当該要素ホログラムのみが暗くなって再生されることから画像の均一性が低下してしまう。
【００１０】
このため、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００には、一般に、ホログラム用記録媒体１１２に要素ホログラムが安定した状態で露光記録されるようにするために、外部から加えられる振動等を抑制するとともに、加えられた振動等を素早く減衰させる防振装置が付設される。防振装置は、上述したレーザ光源１０１や光学系を構成する各光学部品を搭載した基板と装置筐体との間に適宜配設されたエアーダンパやスプリング等によって構成される。
【００１１】
一方、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００においては、レーザ光源１０１として、例えば半導体励起ＹＡＧレーザや、空冷アルゴンガスレーザ、空冷クリプトンレーザ等が用いられる。ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、これらレーザ装置のレーザヘッド部が高温となって光学部品等に対して悪影響を及ぼすことから、冷却装置が付設されて冷却が行われる。冷却装置は、冷却ファンによる送風によって、レーザ装置のレーザヘッド部やヒートシンク部材等を冷却する。したがって、冷却装置は、レーザ装置に近接した位置に配設することが効果的である。
【００１２】
しかしながら、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、上述したホログラム用記録媒体１１２への要素ホログラムの記録時においても冷却装置の冷却ファンが回転動作していることにより、この冷却ファンが振動源となって振動が加えられた状態となる。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１００は、外部から加えられる振動等に対しては防振装置が有効に作用するが、内蔵された冷却装置から発生する振動の影響によって高精度のホログラフィックステレオグラムの作製が困難となるといった問題があった。
【００１３】
したがって、本発明は、上述した従来のホログラフィックステレオグラム作製装置の問題点を解決してレーザ装置等の効率的な冷却を行うとともに振動等の影響が抑制されて高精度のホログラフィックステレオグラムの作製を可能としたホログラフィックステレオグラム作製装置を提供することを目的に提案されたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明にかかるホログラフィックステレオグラム作製装置は、レーザ光源から出射されてハーフミラーによって分光され、視差画像列の各画像に基づいて画像変調された物体レーザ光と、この物体レーザ光に対して可干渉性を有する参照レーザ光とを記録媒体に入射させるとともに、これら物体レーザ光と参照レーザ光とによって生じる干渉縞を要素ホログラムとして上記記録媒体に記録する光学系と、筐体に対して少なくとも光学系を防振支持する防振支持手段と、少なくともレーザ光源を冷却する冷却手段とを備て構成される。冷却手段は、筐体側に配設されることによって光学系に対する振動伝達が抑制された駆動部と、この駆動部とレーザ光源との間に配設された非剛性体からなるダクトとから構成される。
【００１５】
以上のように構成された本発明にかかるホログラフィックステレオグラム作製装置によれば、外部から振動等が加えられた場合においても光学系を防振装置によって防振支持したことにより、物体レーザ光と参照レーザ光とによる干渉縞が安定した状態となり記録媒体に対して要素ホログラムが精密に露光記録される。また、ホログラフィックステレオグラム作製装置は、冷却手段によってレーザ光源を冷却することにより、装置内の高温化が抑制される。さらに、ホログラフィックステレオグラム作製装置においては、冷却手段が筐体側に配設されるとともにこの筐体と光学系との間に防振手段を配設したことによって、この冷却手段から発生する振動の光学系に対する影響が抑制されて物体レーザ光と参照レーザ光とによる干渉縞が安定した状態となり記録媒体に対して要素ホログラムが精密に露光記録される。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置は、回析効率が高く明るい安定した要素ホログラムからなる高精度の画質のホログラフィックステレオグラムを作成する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。実施の形態のホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、短冊状の多数個の要素ホログラムに基づく物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉縞をホログラム用記録媒体３にそのまま記録してホログラフィックステレオグラムとする、いわゆるワンステップ・ホログラフィックステレオグラムの作製装置である。ホログラム用記録媒体３は、例えば感光フィルムからなり、後述する記録媒体送り機構３０によって間欠的に駆動される。
【００１７】
このホログラフィックステレオグラム作製装置１０に用いられるホログラム用記録媒体３は、図５に示すように、テープ状のフィルムベース材４上に光重合型フォトポリマからなるフォトポリマ層５が形成されるとともに、このフォトポリマ層５上にカバーシート層６が被着形成された、いわゆるフィルム塗布型記録媒体である。このホログラム用記録媒体３について、図６を参照して、要素ホログラムの記録原理を説明する。ホログラム用記録媒体３は、図６（Ａ）に示すように、初期状態においてはフォトポリマ層５を構成する光重合型フォトポリマが、マトリクスポリマ中にモノマＭが均一に分散している状態にある。
【００１８】
光重合型フォトポリマは、１０ｍＪ／ｃｍ2乃至４００ｍＪ／ｃｍ2 のパワーのレーザ光ＬＡが照射されることによって、同図（Ｂ）に示すように、露光部においてマトリクスポリマ中に均一に分散していたモノマＭが重合してポリマ化した状態となる。光重合型フォトポリマは、ポリマ化によるモノマＭの周囲からの移動によりこのモノマＭの濃度が不均一になることから露光部と未露光部とで屈折率の変調が生じる。光重合型フォトポリマは、この後同図（Ｃ）に示すように、１０００ｍＪ／ｃｍ2 程度のパワーの紫外線又は可視光ＬＢが全面に照射されることによって、マトリクスポリマ中においてモノマＭの重合が完了する。ホログラム用記録媒体３は、このようにフォトポリマ層５を構成する光重合型フォトポリマが入射されたレーザ光に応じて屈折率が変化することから、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉によって生じる干渉縞を屈折率の変化として記録する。
【００１９】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、ホログラム用記録媒体３として上述した光重合型フォトポリマによってフォトポリマ層５を構成したフィルム塗布型記録媒体を用いたことにより、露光後にこのホログラム用記録媒体３に特別な現像処理を施す工程が不要とされる。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、現像装置等が不要とされることによってその構成が簡易化されるとともにホログラフィックステレオグラムを迅速に作製することが可能とされる。
【００２０】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、図１に示すように、記録対象の画像データの処理を行う画像データ処理部１１と、この装置全体の制御を行う制御用コンピュータ１３を有する制御部１２と、ホログラフィックステレオグラム作製用の光学系１５を有するホログラフィックステレオグラム作製部１４とから構成されている。画像データ処理部１１は、画像処理用コンピュータ１６及び記憶装置１７を備え、多眼式カメラや移動式カメラ等を備えた視差画像列撮像装置１から供給される視差情報を含む多数の撮像画像データＤ１や、画像データ生成用コンピュータ２によって生成された視差情報を含む多数のコンピュータ画像データＤ２等の要素ホログラム画像データに基づいて視差画像データ列Ｄ３を生成する。
【００２１】
画像データ処理部１１は、これら視差画像データ列Ｄ３に対して画像処理用コンピュータ１６によってホログラフィックステレオグラム用の所定の画像処理を施すとともに、画像処理が施されたホログラム画像データＤ４をコンピュータのメモリーやハードディスク装置等の記憶装置１７に一時格納する。なお、撮像画像データＤ１は、例えば多眼式カメラによる同時撮影或いは移動式カメラによる連続撮影により得られた複数画像分の画像データであり、視差情報が含まれてなる。また、コンピュータ画像データＤ２は、例えば、ＣＡＤ装置（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）やＣＧ装置（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ｇｒａｐｈｉｃｓ）によって作製された視差情報を含む複数の画像データからなる。
【００２２】
画像データ処理部１１は、後述するようにホログラム用記録媒体３に要素ホログラム画像を記録する際に、記憶装置１７に格納されたホログラム画像データＤ４から１画像分毎の要素ホログラム画像データＤ５を順番に読み出して、これら要素ホログラム画像データＤ５を制御部１２の制御用コンピュータ１３に送出する。制御用コンピュータ１３は、ホログラフィックステレオグラム作製部１４を駆動して、データ処理部１１から供給された要素ホログラム画像データＤ５に基づく画像を、ホログラフィックステレオグラム作製部１４内にセットされたホログラム用記録媒体３に、短冊状の要素ホログラムとして順次記録する。
【００２３】
制御用コンピュータ２は、後述するようにホログラフィックステレオグラム作製部１４の各機構の動作を制御する。ホログラフィックステレオグラム作製部１４は、図１に示すように、光学系１５を構成する各部材が支持基板１８に配設支持されるとともにこの支持基板１８をダンパ１９を介して装置筐体２０に支持してなる。光学系１５は、図１及び図２に示すように、入射レーザ光学系１５Ａと、物体レーザ光学系１５Ｂ及び参照レーザ光学系１５Ｃとからなる。物体レーザ光学系１５Ｂと参照レーザ光学系１５Ｃとは、その光路長がほぼ同一となるように構成されている。なお、装置筐体２０は、感光材であるホログラム用記録媒体３を用いることから、少なくとも光学系１５の遮光性を保持した構造とされている。
【００２４】
入射レーザ光学系１５Ａは、レーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源２１と、このレーザ光Ｌ１を分光するハーフミラー２２とから構成されている。なお、入射レーザ光学系１５Ａには、図示しないがレーザ光Ｌ１を適宜屈折反射させる全反射ミラーやシャッタ機構を設けてもよい。レーザ光源２１は、例えば単一波長でかつ干渉性の良いレーザ光Ｌ１を出射する半導体励起ＹＡＧレーザ装置や、空冷アルゴンガスレーザ装置、空冷クリプトンレーザ装置等のレーザ装置によって構成される。ハーフミラー２２は、入射されたレーザ光Ｌ１を、透過成分の物体レーザ光Ｌ２と反射成分の参照レーザ光Ｌ３とに分光する。
【００２５】
物体レーザ光学系１５Ｂは、具体的には、光軸に沿ってその入力側からそれぞれ順に配列された、全反射ミラー２３と、第１のシリンドリカルレンズ２４と、コリメータレンズ２５と、投影レンズ２６及び第２のシリンドリカルレンズ２７等の光学部品によって構成される。第１のシリンドリカルレンズ２４は、凸レンズとピンホールとが組み合わされてなり、ハーフミラー２２を透過して全反射ミラー２３によって屈折された物体レーザ光Ｌ２を後述する液晶表示器２８の表示面幅に対応して一次元方向に拡散させる。コリメータレンズ２５は、第１のシリンドリカルレンズ２４によって拡散された物体レーザ光Ｌ２を平行レーザ光化して液晶表示器２８へと導く。投影レンズ２６は、物体レーザ光Ｌ２を第２のシリンドリカルレンズ２７へと投影する。第２のシリンドリカルレンズ２７は、平行レーザ光化された物体レーザ光Ｌ２について、横方向に対して集光する作用を奏する。
【００２６】
物体レーザ光学系１５Ｂには、コリメータレンズ２５と投影レンズ２６との間に位置して透過型液晶表示器２８が配設されるとともに、ホログラム用記録媒体３の前方に位置してシャッタ機構２９が配設されている。透過型液晶表示器２８には、制御用コンピュータ１３から出力された要素ホログラム画像データＤ５に基づいて要素ホログラム画像が順次表示される。また、シャッタ機構２９は、詳細を省略するがホログラム用記録媒体３に短冊状の要素ホログラムが記録されることから、短冊状のシャッタ片を備えている。シャッタ機構２９は、要素ホログラム画像データＤ５の出力タイミングに対応して制御用コンピュータ１３から出力された制御出力Ｓ１によって開閉動作され、物体レーザ光Ｌ２をホログラム用記録媒体３に入射させるとともに物体レーザ光Ｌ２のホログラム用記録媒体３への入射を遮断する。
【００２７】
なお、制御用コンピュータ１３は、要素ホログラム画像データＤ５の出力タイミングに対応して駆動出力Ｓ２をホログラム用記録媒体３の記録媒体送り機構３０に送出して、その供給ローラ３１及び巻取ローラ３２の動作制御を行うことによりホログラム用記録媒体３の送り動作を制御する。
【００２８】
以上のように構成された物体レーザ光学系１５Ｂにおいては、入射レーザ光学系１５Ａから分光されて入射される点光源状態の物体レーザ光Ｌ２が第１のシリンドリカルレンズ２４によって拡散レーザ光化されるとともにコリメータレンズ２５に入射されて平行レーザ光化される。物体レーザ光学系１５Ｂは、コリメータレンズ２５を介して透過型液晶表示器２８に入射された物体レーザ光Ｌ２を、この透過型液晶表示器２８に表示された要素ホログラム画像に応じて画像変調するとともに、投影レンズ２６を介して第２のシリンドリカルレンズ２７へと入射する。物体レーザ光学系１５Ｂは、シャッタ機構２９が開放動作されている間、画像変調された物体レーザ光Ｌ２をホログラム用記録媒体３に入射させて要素ホログラム画像に対応してこれを露光する。
【００２９】
一方、参照レーザ光Ｌ３の光学系１５Ｃは、具体的には、光軸に沿ってその入力側からそれぞれ順に配列されたシリンドリカルレンズ３３と、コリメータレンズ３４と、全反射ミラー３５とから構成される。シリンドリカルレンズ３３は、上述した物体レーザ光学系１５Ｂの第１のシリンドリカルレンズ２４と同様に、凸レンズとピンホールとが組み合わされてなりハーフミラー２２によって屈折分光された参照レーザ光Ｌ３を所定幅、すなわち液晶表示器２８の表示面幅に対応して一次元方向に拡散させる。コリメータレンズ３４は、シリンドリカルレンズ３３によって拡散された参照レーザ光Ｌ３を平行レーザ光化する。全反射ミラー３５は、参照レーザ光Ｌ３を屈折反射させてホログラム用記録媒体３の後方へと導いて入射させる。
【００３０】
また、参照レーザ光学系１５Ｃには、ホログラム用記録媒体３の後方に位置して上述した物体レーザ光学系１５Ｂのシャッタ機構２９と対向してシャッタ機構３６が配設されている。シャッタ機構３６は、シャッタ機構２９のシャッタ片と同様に短冊状のシャッタ片を備えており、このシャッタ片が要素ホログラム画像データＤ５の出力タイミングに対応して制御用コンピュータ１３から出力された制御出力Ｓ１によって物体レーザ光学系１５Ｂのシャッタ機構２９と同期して開閉動作される。シャッタ機構３６は、この開閉動作によって参照レーザ光Ｌ３をホログラム用記録媒体３に入射させるとともに参照レーザ光Ｌ３のホログラム用記録媒体３への入射を遮断する。
【００３１】
参照レーザ光学系１５Ｃは、シャッタ機構３６が開放動作されている間、参照レーザ光Ｌ３をホログラム用記録媒体３に入射させる。参照レーザ光学系１５Ｃは、シャッタ機構３６が物体レーザ光Ｌ２の光学系のシャッタ機構２９と同期して開閉動作されることから、詳細を後述するように要素ホログラム画像に対応して参照レーザ光Ｌ３と物体レーザ光Ｌ２との干渉縞をホログラム用記録媒体３に記録する。シャッタ機構２９，３６は、例えばシャッタ片を機械的に駆動するように構成したものや、音響光学変調器（ＡＯＭ：ａｃｏｕｓｔｏ−ｏｐｔｉｃ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）を用いた電子シャッタによって構成したものであってもよい。これらシャッタ機構２９，３６は、要するに物体レーザ光Ｌ２或いは参照レーザ光Ｌ３を遮蔽可能とする開閉自在なものであれば良い。
【００３２】
以上のように構成された光学系１５においては、レーザ光源２１から出射されてハーフミラー２２によって分光された物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とが、物体レーザ光学系１５Ｂ及び参照レーザ光学系１５Ｃとに常時入射されるとともにシャッタ機構２９，３６の開放動作によってホログラム用記録媒体３に入射されるように構成されている。したがって、光学系１５は、例えば記録動作に伴って入射レーザ光Ｌ１が出射されるように構成された場合と比較して、構成各光学部品の熱変形が防止された構成となっている。光学系１５は、これによって構成各光学部品が安定した状態に保持されて安定した状態の物体レーザ光Ｌ２及び参照レーザ光Ｌ３とがホログラム用記録媒体３に入射されることから、良好な状態の干渉縞がホログラム用記録媒体３に露光形成され、回析効率に優れ、明るいホログラフィクステレオグラムを作製する。
【００３３】
また、光学系１５は、上述したようにハーフミラー２２によって分光された物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とのそれぞれの光学系の光路長がほぼ同一に構成されている。したがって、光学系１５は、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉性の向上が図られて、より鮮明な再生像が得られるホログラフィクステレオグラムを作製する。
【００３４】
光学系１５には、振動等によって良好な状態のホログラフィックステレオグラムが作製されない虞が生じた場合に、ホログラム用記録媒体３の露光記録を停止させる干渉縞検出部３７が備えられている。干渉縞検出部３７は、上述した各光学系を介してそれぞれホログラム用記録媒体３に入射される物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とにより露光形成される干渉縞の状態を検出する。干渉縞検出部３７は、例えばＣＣＤカメラ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅカメラ）によって構成され、ホログラム用記録媒体３のホログラフィックステレオグラムの形成領域と異にする検出領域に露光形成される干渉縞の揺らぎ状態をレーザ光源２１から出射される入射レーザ光Ｌ１の波長オーダで検出する。
【００３５】
干渉縞検出部３７は、検出領域に所定値以上の揺らぎ状態の干渉縞の出現を検出したときには、制御用コンピュータ１３に対して検出出力を送出する。制御用コンピュータ１３は、この検出出力に基づいて各シャッタ機構２９，３６を不動作状態とする。したがって、ホログラム用記録媒体３には、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との入射が遮断されることにより、ホログラフィックステレオグラムの作製が停止される。また、干渉縞検出部３７は、検出領域に形成される干渉縞が所定値の揺らぎ状態となったときには、制御用コンピュータ１３に対する検出出力の送出を停止する。制御用コンピュータ１３は、これによって各シャッタ機構２９，３６を動作状態として、ホログラム用記録媒体３に物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とが入射されるようにしてホログラフィックステレオグラムが作製されるようにする。
【００３６】
このように、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、干渉縞検出部３７を備えるによって、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とによる干渉縞が安定な状態でホログラム用記録媒体３にホログラフィックステレオグラムが露光記録されることを可能とし、回折効率が高く、明るいホログラフィックステレオグラムを作製する。また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、干渉縞検出部３７を備えることにより、設置場所に制限を受けることが無く使い勝手が向上する。
【００３７】
なお、上述した干渉縞検出部３７は、ホログラム用記録媒体３の近傍に配設されてその検出領域に露光形成される干渉縞の一部を検出するように構成したがかかる構成に限定されるものでは無い。干渉縞検出部３７は、例えばミラー等を用いて物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３の一部を別の位置へと導いて干渉縞を形成するようにして、この干渉縞を検出するように構成してもよい。また、干渉縞検出部３７は、ハーフミラー等を用いて物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とに分光した検出レーザ光によって干渉縞を形成し、この干渉縞を検出するように構成してもよい。さらに、干渉縞検出部３７は、レーザ光源２１から出射された入射レーザ光Ｌ１の一部を直接取り出して振動検出用の干渉縞を形成し、この干渉縞を検出するように構成してもよい。また、干渉縞検出部３７としては、光学系１５とは別の振動検出用の光学系を設け、この光学系による干渉縞を検出して振動を検出するように構成してもよい。
【００３８】
上述したようにホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、ホログラム用記録媒体３を１要素ホログラム分だけ間欠送りする記録媒体送り機構３０を備えている。記録媒体送り機構３０は、制御用コンピュータ１３から送出される駆動出力Ｓ２に基づいて、供給ローラ３１と巻取ローラ３２とが連動して回転動作し、ホログラム用記録媒体３を間欠的に駆動する。また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、この記録媒体送り機構３０の動作に連動して制御用コンピュータ１３から送出される制御出力Ｓ１に基づいて、上述した物体レーザ光学系１５Ｂ側のシャッタ機構２９と参照レーザ光学系１５Ｃ側のシャッタ機構３６がそれぞれ動作されてそれぞれの光路を解放する。
【００３９】
記録媒体送り機構３０は、図７及び図８に示すように、フィルムカートリッジ３８内に回転自在に備えられるとともにホログラム用記録媒体３を巻回した供給ローラ３１と、フィルムカートリッジ３８から繰り出されたホログラム用記録媒体３を間欠的に走行させる巻取ローラ３２と、ホログラム用記録媒体３に所定の走行テンションを付与する図示しないトーションスプリング等によって構成されている。記録媒体送り機構３０は、供給ローラ３１と巻取ローラ３２とにより、図８に示すように、ホログラム用記録媒体３の感光面を物体レーザ光学系１５Ｂと参照レーザ光学系１５Ｃの光軸に対してそれぞれ垂直となるように支持している。
【００４０】
記録媒体送り機構３０は、巻取ローラ３２が図示しない駆動用のステッピングモータによって間欠的に回転駆動される。ステッピングモータは、制御部１２の制御用コンピュータ１３から送出される駆動出力Ｓ２によって１画像分の露光終了毎に１要素ホログラムに対応した所定角度だけ回転駆動される。したがって、ホログラム用記録媒体３は、このステッピングモータによって回転駆動される巻取ローラ３２を介して１画像分の露光毎に１要素ホログラム分だけ間欠的に走行駆動されて物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉縞によるホログラフィックステレオグラムが露光記録される。
【００４１】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０には、図７に示すように、記録媒体送り機構３０の後段に位置してホログラム用記録媒体３の走行路に沿って紫外線ランプ３９が配設されている。紫外線ランプ３９は、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉縞によるホログラフィックステレオグラムが露光記録されたホログラム用記録媒体３に対して、１０００ｍＪ／ｃｍ2 程度のパワーの紫外線ＬＢを照射することにより、マトリクスポリマ中においてモノマＭの重合を完了させる。
【００４２】
また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０には、紫外線ランプ３９の後段に位置してヒートローラ４０と、一対の排出用送りローラ４１，４２及びカッター４３とが順次配設されている。ヒートローラ４０は、その外周部にホログラム用記録媒体３を約半周の巻付角を以って掛け合わせて走行させる。また、ヒートローラ４０は、図示を省略するが内部にヒータが備えらて約１２０℃程度の温度に保持されることにより、ホログラム用記録媒体３を加熱してそのフォトポリマ層５の屈折率変調度を増加させる。
【００４３】
排出用送りローラ４１，４２は、制御部１２の制御用コンピュータ１３から送出される駆動出力Ｓ２によって駆動される図示しないステッピングモータによって回転駆動される。また、排出用送りローラ４１，４２は、上述した記録媒体送り機構３０の巻取ローラ３２と同期して回転駆動されることにより、ホログラム用記録媒体３を１画像分の露光終了毎に１要素ホログラムに対応して間欠的に送り出す。したがって、ホログラム用記録媒体３は、これら排出用送りローラ４１，４２により巻取ローラ３２との間において撓むことなくヒートローラ４０の外周部に密着した状態で走行される。
【００４４】
カッター４３は、制御用コンピュータ１２から送出される駆動出力Ｓ２によって駆動され、走行するホログラム用記録媒体３を一定長さ、すなわちホログラム用記録媒体３に視差画像列の各画像データに基づく各ホログラフィックステレオグラムが全て露光記録されるとともに、この記録部分が外部に排出された状態においてこれを切断する。
【００４５】
記録媒体送り機構３０には、ホログラム用記録媒体３に物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉縞に基づく各要素ホログラムを露光形成中に、このホログラム用記録媒体３を保持する保持機構４４が付設されている。保持機構４４は、図８に示すように、ホログラム用記録媒体３に対する露光記録部を構成する供給ローラ３１と巻取ローラ３２との間に位置して配設され、互いにほぼ同一曲率を以って湾曲形成されるとともに一体に貼り合わされた１次元拡散板４５とルーバフィルム４６とからなる。保持機構４４は、図示しない駆動機構によってホログラム用記録媒体３に対して接離動作される。
【００４６】
１次元拡散板４５は、入射される物体レーザ光Ｌ２を縦方向、すなわち作製される各要素ホログラムの長軸方向に拡散させて作製されるホログラフィックステレオグラムに縦方向の視野角を付与するように作用する。また、ルーバフィルム４６は、微細な簾状の格子を有する光学部品であり、ホログラム用記録媒体３を透過した参照レーザ光Ｌ３が１次元拡散板４５によって反射されて再びホログラム用記録媒体３に入射して不正な干渉縞が記録されることを防止する。
【００４７】
保持機構４４は、ホログラム用記録媒体３に干渉縞が露光記録されている間、図示しない駆動機構によってこのホログラム用記録媒体３を押圧保持する。保持機構４４は、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との干渉縞が露光記録されている間に加えられるレーザ光Ｌ１の波長オーダー程度の微小な振動の影響を排除するとともに走行されたホログラム用記録媒体３を速やかに安定した状態で停止させて干渉縞の露光記録を行い得るように作用する。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、ホログラム用記録媒体３に物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３との安定した干渉縞が露光記録されることから、回折効率の高いホログラフィックステレオグラムの作製が可能となる。
【００４８】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、図１及び図３，図４に示すように、上述した光学系１５の構成各部材や部品等をアルミ板やアルミ合金板等によって形成された支持基板（光学定盤）１８に搭載して構成されている。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、上述したように振動等が加えられた場合に、物体レーザ光Ｌ２及び参照レーザ光Ｌ３とが安定した状態でホログラム用記録媒体３に入射されないためにこのホログラム用記録媒体３に良好な状態の干渉縞が露光形成されないといった事態が生じる。このため、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、光学系１５等に対するかかる振動等の影響を抑制するために支持基板１８を複数個のダンパ１９によって支持している。
【００４９】
各ダンパ１９は、詳細を省略するが例えば空気ばねやゴム、コイルバネ等の弾性部材によって構成されており、一端部が支持基板１８に結合されてこれを保持するとともに他端部が装置筐体２０のベース部材２０Ａ上に固定されている。これらダンパ１９は、光学系１５に加えられる振動等を、物体レーザ光Ｌ２及び参照レーザ光Ｌ３の波長（約１μｍ）以下、より好ましくは１／５以下に抑制するように作用する。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、外部から振動等が加えられた場合においても、光学系１５が安定した状態で保持されることから物体レーザ光Ｌ２及び参照レーザ光Ｌ３とが揺るぎの無い安定した状態でホログラム用記録媒体３に入射されるようにする。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、これによって回析効率に優れ、明るいホログラフィクステレオグラムの作製を可能としている。
【００５０】
ところで、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０においては、上述したように物体レーザ光Ｌ２及び参照レーザ光Ｌ３を出射するレーザ光源２１として半導体励起ＹＡＧレーザ装置や空冷アルゴンガスレーザ装置、空冷クリプトンレーザ装置等が用いられている。レーザ光源２１は、レーザヘッド部が高熱となって装置内の温度を上昇させてしまうことから、図３及び図４に示すように詳細を省略するヒートシンク部材４７等からなる冷却手段が付設されている。そして、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０には、このヒートシンク部材４７を冷却するために、冷却装置が付設されている。
【００５１】
冷却装置は、図４に示すように、装置筐体２０に取り付けられた送風用ファン４８及び排気用ファン４９と、送風用ダクト５０及び排気用ダクト５１、連結ダクト５２等によって構成されている。送風用ファン４８は、詳細を省略するが装置筐体２０に設けた取付孔に組み付けられており、筒状筐体に回転自在に支持されたファン及びこのファンを回転するモータ等によって構成されている。送風用ファン４８は、ファンの回転によって外気を装置筐体２０の内部へと取り込む。同様に、排気用ファン４９も、詳細を省略するが装置筐体２０に設けた取付孔に組み付けられており、筒状筐体に回転自在に支持されたファン及びこのファンを回転するモータ等によって構成されている。排気用ファン４９は、ファンの回転によって装置筐体２０から高温となった空気を外部へと放出する。
【００５２】
送風用ダクト５０、排気用ダクト５１及び連結ダクト５２は、例えばジャバラ状のゴムパイプ材によってそれぞれ形成されている。送風用ダクト５０は、一端部が送風用ファン４８に接続されるとともに、他端部がレーザ光源２１のレーザヘッド部に臨ませられている。連結ダクト５２は、レーザ光源２１のレーザヘッド部とヒートシンク部材４７との間に接続されている。排気用ダクト５１は、一端部が排気用ファン４９に接続されるとともに他端部がヒートシンク部材４７に接続されている。なお、これら送風用ダクト５０、排気用ダクト５１及び連結ダクト５２については、ジャバラ状のゴムパイプ材に限定されるものでは無いが、振動等の伝達を抑制するために可撓性を有する合成樹脂材等の非剛性体によって形成される。
【００５３】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０においては、上述した送風用ファン４８及び排気用ファン４９によって装置筐体２０内において空気の対流が生じて塵埃等を舞い上がらせ無いようにするために構成部材によっていわゆる閉ループによる冷却回路が構成されている。すなわち、冷却回路は、送風用ファン４８−送風用ダクト５０−レーザ光源２１−連結ダクト５２−ヒートシンク部材４７−排気用ダクト５１−排気用ファン４９からなる。装置筐体２０内を対流する塵埃は、光学系１５内に進入した場合に、物体レーザ光Ｌ２や参照レーザ光Ｌ３を不安定な状態とし、干渉縞を揺るがせて均一性を損なわせる原因となる。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、閉ループからなる冷却回路を備えることによって、塵埃等の対流を抑制するとともに、取り込んだ冷却用空気がヒートシンク部材４７へと効率よく送られてこれを冷却するとともに、熱交換された空気が外部へと排気されることから冷却効率の向上が図られている。
【００５４】
ところで、上述した送風用ファン４８及び排気用ファン４９は、ファンの回転によって振動が生じ、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０において内部振動源を構成する。これら送風用ファン４８及び排気用ファン４９は、従来のホログラフィックステレオグラムプリンタ装置において、動作状態における光学系１５に対する振動の影響をレーザドップラー振動計によって測定したところ１０μｍ（ｐ−ｐ）のレベルに達していた。
【００５５】
勿論、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、上述したように感光材であるホログラム用記録媒体３が用いられることから、遮光性を有して構成された装置筐体２０に対して送風用ファン４８や排気用ファン４９が遮光性を保持した状態で取り付けられる。
【００５６】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、上述したように送風用ファン４８及び排気用ファン４９が装置筐体２０に配設されるとともに、光学系１５の構成部材等を支持する支持基板１８がダンパ１９を介して装置筐体２０のベース部材２０Ａに支持されて構成されている。換言すれば、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０においては、内部振動源となる送風用ファン４８や排気用ファン４９に対して、光学系１５がダンパ１９を介して振動伝達を抑制されるようにして装置筐体２０に支持された構成となっている。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、かかる構成から送風用ファン４８及び排気用ファン４９の動作状態における光学系１５に対する振動の影響をレーザドップラー振動計によって測定したところ、０．１μｍ（ｐ−ｐ）のレベルにまで低減されている。
【００５７】
したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、外部から加えられる振動等がダンパ１９によって吸収されるとともに、レーザ光源２１を冷却するために設けられた送風用ファン４８及び排気用ファン４９から発生する振動等も光学系１５に直接影響を及ぼすことが無い。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、上述したように振動等がレーザ光Ｌ１の波長の１／５以下にまで低減された状態に保持されて物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とがホログラム用記録媒体３に入射されることから、これら物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とによる干渉縞が安定した状態となってホログラム用記録媒体３に対して要素ホログラムの精密な露光記録が可能となり、回析効率が高くかつ明るいホログラフィックステレオグラムを作製する。
【００５８】
以上のように構成されたホログラフィックステレオグラム作製装置１０によるホログラフィックステレオグラムの作製動作について説明する。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０においては、画像データ処理部１１から制御部１２に要素ホログラム画像データＤ５が供給されることによって制御用コンピュータ１２から制御出力Ｓ１及び駆動出力Ｓ２が各部に送出される。また、透過型液晶表示器２８には、要素ホログラム画像データＤ５に基づいて対応する要素ホログラム画像が順次表示される。一方、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、レーザ光源２１から入射レーザ光Ｌ１が出射され、この入射レーザ光Ｌ１がハーフミラー２２によって物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とに分光されてそれぞれ物体レーザ光学系１５Ｂと参照レーザ光学系１５Ｃとに導かれる。
【００５９】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、制御用コンピュータ１２から送出された駆動出力Ｓ２によってシャッタ機構２９，３６が透過型液晶表示器２８に表示された１要素ホログラム画像分の露光に必要な間それぞれ開放動作されることにより、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とがホログラム用記録媒体３に入射されてこれを露光する。物体レーザ光Ｌ２は、透過型液晶表示器２８を透過する際に画像変調された状態でホログラム用記録媒体３に入射される。ホログラム用記録媒体３には、要素ホログラム画像に対応して画像変調された物体レーザ光Ｌ２と物体レーザ光Ｌ２とによる干渉縞が露光記録される。
【００６０】
また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、干渉縞検出部３７によって所定値以上の振動が検出されたときには、制御用コンピュータ１２から送出された駆動出力Ｓ２によってシャッタ機構２９，３６がそれぞれ閉鎖動作してホログラム用記録媒体３に対する要素ホログラム画像の露光記録が行われないようにする。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、所定時間が経過してホログラム用記録媒体３に要素ホログラム画像の露光記録が行われると、制御用コンピュータ１２から送出された駆動出力Ｓ２によってシャッタ機構２９，３６がそれぞれ閉鎖動作してホログラム用記録媒体３に対して物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とが入射されないようにする。しかる後、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、制御用コンピュータ１２から送出された駆動出力Ｓ２によって記録媒体送り機構３０が駆動されてホログラム用記録媒体３が所定量走行される。
【００６１】
ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、画像データ処理部１１から供給される次の要素ホログラム画像データＤ５に基づいて上述した動作と同様の動作が行われて、この要素ホログラム画像データＤ５に対応した要素ホログラムがホログラム用記録媒体３に露光記録される。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、要素ホログラムが露光記録されたホログラム用記録媒体３に紫外線ランプ３９によって紫外線ＬＢを照射することにより、これを定着する。ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、以下順次この動作が繰り返されて、ホログラム用記録媒体３に視差画像列の各要素ホログラム画像データＤ５に基づいて横方向に連続する短冊状の要素ホログラムからなるホログラフィックステレオグラムが全て露光記録されると、制御用コンピュータ１２から送出された駆動出力Ｓ２によってカッター４３が駆動されてホログラム用記録媒体３が所定の長さに切断される。
【００６２】
したがって、切断されたホログラム用記録媒体３は、視差画像データ列Ｄ３に対応して横方向の視差を有する要素ホログラムが連続して露光記録されたホログラフィックステレオグラムを構成する。
【００６３】
上述したホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、ホログラム用記録媒体３に要素ホログラム画像をモノクロで露光記録する装置であるが、本発明はかかるホログラフィックステレオグラム作製装置に限定されるものではない。ホログラフィックステレオグラム作製装置は、例えば赤、緑、青の３原色のレーザ光源を備えるとともにこれらレーザ光源に対応して各光学系と液晶表示装置とを備えることによって、ホログラム用記録媒体３に合成された要素ホログラム画像をカラーで露光記録する装置であってもよい。
【００６４】
また、ホログラフィックステレオグラム作製装置１０は、横方向の視差情報のみを有するホログラフィックステレオグラム（いわゆるＨｏｒｉｚｏｎｔａｌ  Ｐａｒａｌｌａｘ  Ｏｎｌｙ）を露光記録する装置であるが、本発明は、横方向及び縦方向の視差情報を有するホログラフィックステレオグラム（いわゆるＦｕｌｌ  Ｐａｒａｌｌａｘ）にも適用可能であることは勿論である。かかるホログラフィックステレオグラム作製装置においては、物体レーザ光Ｌ２と参照レーザ光Ｌ３とをシリンドリカルレンズ２４，３３で短冊状に集光する代わりにドット状に集光させるとともに、ホログラム用記録媒体３を集光位置に対して相対的に２次元的に移動させて全面露光を行うように構成される。また、かかるホログラフィックステレオグラム作製装置には、円形の開口部を有するシャッタが用いられる。さらに、ホログラフィックステレオグラム作製装置は、各レーザ光源を冷却する冷却手段を独立に設けてもよく、また送風用ファン４８と排気用ファン４９からそれぞれ送風用ダクト５０と排気用ダクト５１とを分岐接続して構成してもよい。
【００６５】
なお、送風用ファン４８と排気用ファン４９については、その電源スイッチをレーザ光源２１の電源スイッチと共通接続することによって、レーザ光源２１からレーザ光Ｌ１が出射された状態においてその冷却を行うように構成されるが、独立に制御するようにしてもよい。さらに、送風用ファン４８と排気用ファン４９は、レーザ光源２１に例えばサーモスタットスイッチを付設し、レーザ光源２１が所定の温度以上となった場合に電源が投入されてその冷却を行うように構成してもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明にかかるホログラフィックステレオグラム作製装置によれば、筐体に対して少なくとも光学系を防振支持する防振支持手段と少なくともレーザ光源を冷却して装置内の高温化を抑制する冷却手段とを備え、この冷却手段を筐体側に配設することによって光学系に対する振動伝達が抑制された駆動部とこの駆動部とレーザ光源との間に配設された非剛性体からなるダクトとから構成したことにより、外部から加えられる振動等ばかりでなく冷却手段の駆動部等から発生する内部振動に対しても光学系への影響を確実に抑制される。したがって、ホログラフィックステレオグラム作製装置は、物体レーザ光と参照レーザ光とを記録媒体に対して安定した状態で入射させることによってこれら物体レーザ光と参照レーザ光とによる干渉縞からなる要素ホログラムが安定した状態で記録媒体に対して精密に露光記録されるようにし、回折効率が高くかつ明るいホログラフィックステレオグラムの作製を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図１】ホログラフィックステレオグラム作製装置の全体構成を模式的に説明した図である。
【図２】同ホログラフィックステレオグラム作製装置の光学系を模式的に説明した図である。
【図３】同ホログラフィックステレオグラム作製装置の概略構成図である。
【図４】同ホログラフィックステレオグラム作製装置に備えられた冷却機構の概略構成を説明する図である。
【図５】同ホログラフィックステレオグラム作製装置に用いられるホログラム用記録媒体を説明する要部断面図である。
【図６】同ホログラム用記録媒体の感光プロセスの説明図であり、同図（Ａ）は初期状態を示し、同図（Ｂ）は露光状態を示し、同図（Ｃ）は定着状態を示す。
【図７】同ホログラフィックステレオグラム作製装置に備えられた記録媒体送り機構の構成を模式的に説明する図である。
【図８】同ホログラフィックステレオグラム作製装置の露光記録部の構成を模式的に説明する図である。
【図９】従来のホログラフィックステレオグラム作製装置の光学系をを模式的に説明した図である。
【符号の説明】
３  ホログラム用記録媒体、１０  ホログラフィックステレオグラム作製装置、１１  画像データ処理部、１２  制御部、１３  制御用コンピュータ、１４  ホログラフィックステレオグラム作製部、１５  光学系、１５Ａ  入射レーザ光学系、１５Ｂ  物体レーザ光学系、１５Ｃ  参照レーザ光学系、１６  画像処理コンピュータ、１７  記憶装置、１８  光学系の支持基板、１９  ダンパ（防振支持手段）、２０  装置筐体、２１  レーザ光源、２２  ハーフミラー、２８  透過型液晶表示器、４７  ヒートシンク部材、４８  送風用ファン（冷却手段）、４９  排気用ファン（冷却手段）、５０  送風用ダクト、５１  排気用ダクト、５２  連結用ダクト、Ｌ１  レーザ光、Ｌ２  物体レーザ光、Ｌ３  参照レーザ光
【図１】
0003900612.tif 000002
【図２】
0003900612.tif 000003
【図３】
0003900612.tif 000004
【図４】
0003900612.tif 000005
【図５】
0003900612.tif 000006
【図６】
0003900612.tif 000007
【図７】
0003900612.tif 000008
【図８】
0003900612.tif 000009
【図９】
0003900612.tif 000010