(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内にウエハ保持用のステージが設けられ、該ステージの上面に第１の不活性なガスの第１噴き出し口が、ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハに覆われるように形成されてなるドライエッチング装置において、
前記ステージの上面でかつ前記第１噴き出し口よりもステージの周縁側に、第２の不活性なガスの第２噴き出し口が形成され、
前記第２噴き出し口は、前記ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハの周縁部に沿うように形成されているとともに、ウエハの周縁部に一部が覆われかつ残部が外部に露出するように形成されている
ことを特徴とするドライエッチング装置。
【請求項２】
前記第２噴き出し口は、該第２噴き出し口に第２の不活性なガスを供給する供給部と接続され、
前記供給部は、前記第２噴き出し口からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節するための調節バルブを備えている
ことを特徴とする請求項１記載のドライエッチング装置。
【請求項３】
前記ステージの略平坦に形成された上面には、該ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハの側周を前記第２噴き出し口を隔てて囲むカバーリングが着脱可能に設けられ、
前記カバーリングは、前記ステージの上面に保持されるウエハの厚みと略同じ厚みに形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のドライエッチング装置。
【請求項４】
前記ステージの略平坦に形成された上面には、該ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハの側周を前記第２噴き出し口を隔てて囲むカバーリングが着脱可能に設けられ、
前記カバーリングは、前記ステージの上面に保持されるウエハの厚みと略同じ厚みに形成されている
ことを特徴とする請求項２記載のドライエッチング装置。
【請求項５】
ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハに覆われるように該ステージの上面に形成された第１噴き出し口から該ウエハに第１の不活性なガスを吹き付けるとともに、該ステージの上面にウエハを保持した状態で該ウエハの周縁部に沿うように形成されているとともに、ウエハの周縁部に一部が覆われかつ残部が外部に露出するように形成された第２噴き出し口から該ウエハの周縁部に第２の不活性なガスを吹き付けて、ウエハ上に形成された被エッチング物のドライエッチングを行う
ことを特徴とするドライエッチング方法。
【請求項６】
前記第２の不活性なガスは、ウエハ上に形成された被エッチング物のエッチング特性あるいはエッチング条件に合わせて圧力が調節されている
ことを特徴とする請求項５記載のドライエッチング方法。
【請求項７】
前記ステージの略平坦に形成された上面に保持されたウエハの側周を、該ウエハに吹き付けている前記第２の不活性なガスより外側から囲むように該ウエハの厚みと略同じ厚みのカバーリングを設けてドライエッチングを行う
ことを特徴とする請求項５記載のドライエッチング方法。
【請求項８】
前記ステージの略平坦に形成された上面に保持されたウエハの側周を、該ウエハに吹き付けている前記第２の不活性なガスより外側から囲むように該ウエハの厚みと略同じ厚みのカバーリングを設けてドライエッチングを行う
ことを特徴とする請求項６記載のドライエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置製造のエッチング技術に用いるドライエッチング装置およびドライエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置の製造分野では、ウエハ上に形成された酸化膜や金属膜等の被エッチング物のパターニング、平坦化等を行うために、ドライエッチング技術が採用されている。図４は、ドライエッチング技術を実現するための従来のドライエッチング装置の一例を示したものである。
【０００３】
このドライエッチング装置２０は平行平板型のもので、密閉容器からなるチャンバ２１を備えている。チャンバ２１の天板には、エッチングガスの導入口２２が形成されて、導入口２２よりチャンバ２１内にエッチングガスが供給されるようになっている。チャンバ２１の天板は上部電極も兼ねており、図示しない高周波電源に接続されている。チャンバ２１内には、ウエハ保持用のステージ２３が設けられている。ステージ２３は下部電極を兼ねたもので、接地されているとともに、そのウエハの保持面がチャンバ２１の天板と略平行となるように設けられている。
【０００４】
また図示しないが、ステージ２３の上面には、例えば不活性なガスからなる冷却ガスを噴き出す孔状あるいは溝状の噴き出し口が形成されている。この噴き出し口は、冷却ガスを噴き出してステージ２３の上面に保持されたウエハ３０の裏面に吹き付けることにより、ウエハ３０の温度を制御するためのものである。よって、ステージ２３の上面にウエハ３０を保持した状態でウエハ３０の裏面全体に配置され、かつウエハ３０に覆われるようにステージ２３に形成されている。さらにチャンバ２１の底板には、チャンバ２１内を排気するガス排気口２４が形成されている。
【０００５】
上記のドライエッチング装置２０を用いたドライエッチングでは、チャンバ２１内を所定の真空状態に保持するとともに、チャンバ２１内にエッチングガスを導入してチャンバ２１の天板とステージ２３との間に高周波電界を印加することにより、その間にエッチングガスを放電したプラズマ４０を生成する。そして、生成したプラズマ４０によって、ステージ２３の上面に保持されたウエハ３０上の被エッチング物をエッチングしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したようなドライエッチング装置を用いたドライエッチングでは、プラズマの生成状態によってウエハ上のエッチャントの分布に偏りが生じることが知られている。特にウエハ面内にて被エッチング物の割合が大きいと、エッチングガスと反応した生成物も多くなり、ウエハ上のエッチャントの偏りも大きくなる。
【０００７】
しかも従来のドライエッチング装置では、ステージの上面に冷却ガスの噴き出し口がウエハの裏面全体に配置されるように形成されているものの、ウエハのいずれの箇所においても略同じ圧力で冷却ガスが噴き出されてウエハ全面が略一定の温度に制御されるようになっているため、ウエハ上のエッチャントの偏りがそのままエッチングレートに影響する。その結果、ウエハの中央部と周縁部とでエッチングレートに偏りが生じることになって、エッチングレートのウエハ面内均一性が悪くなる。
【０００８】
そこで従来では、エッチングレートのウエハ面内均一性の悪化を抑制するために、ドライエッチングの際、図４に示すようにドライエッチング装置２０のステージ２３の上面にフォーカスリング２５が取り付けられるようになっている。通常、半導体装置製造におけるドライエッチングでは、ウエハの中央部にて反応生成物が多くなるため、ウエハの周縁部でエッチャントの割合が過剰になってエッチングレートが高くなる傾向がある。よって上記のフォーカスリング２５は、プラズマ４０をウエハ３０の中心部側に集中させてウエハ３０の周辺部でのエッチングレートを低くするようにステージ２３の上面のウエハ３０の側周を囲む状態で設けられている。これとともに、プラズマ４０をウエハ３０の中心部側に集中させるような形状、すなわち、ウエハ３０の厚みよりも厚くかつ内周縁がテーパ状に形成されている。
【０００９】
ところが、フォーカスリング２５を用いてウエハ面内均一性の最適化を図るには、エッチング対象となる被エッチング物が変わる度に、被エッチング物のエッチングプロセスに合わせた形状のフォーカスリング２５が必要になる。しかし、従来のフォーカスリング２５は、ある被エッチング物のエッチングプロセスに合わせて形成された状態でドライエッチング装置に備えられている。このため、被エッチング物が変わる度にフォーカスリングを変えられないのが現状となっている。
【００１０】
また、上述したようにフォーカスリング２５がウエハの厚みよりも厚くかつ内周縁がテーパ状に形成されているため、ウエハ３０の周縁部でエッチングガスの対流が起こり易い。よって、ウエハ周縁部の例えばウエハの周縁から３ｍｍ程度中心部寄りでは、エッチングガスの対流によりエッチングレートが極端に落ち、狙い通りにウエハ面内のエッチング均一性を最適化することができないという不具合が生じている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで上記課題を解決するために本発明のドライエッチング装置は、チャンバ内にウエハ保持用のステージが設けられ、ステージの上面に第１の不活性なガスの第１噴き出し口が、ステージの上面にウエハを保持した状態でウエハに覆われるように形成されてなるものにおいて、上記ステージの上面でかつ第１噴き出し口よりもステージの周縁側に、第２の不活性なガスの第２噴き出し口が形成され、この第２噴き出し口が、ステージの上面にウエハを保持した状態でウエハの周縁部に沿うように形成されているとともに、ウエハの周縁部に一部が覆われかつ残部が外部に露出するように形成されている構成となっている。
【００１２】
上記ドライエッチング装置では、第２噴き出し口が、ステージの上面にウエハを保持した状態でウエハの周縁部に一部が覆われかつ残部が外部に露出するように形成されているため、ステージの上面にウエハを保持して第２噴き出し口から第２の不活性なガスを噴き出させると、この第２の不活性なガスがウエハの周縁部のステージ側の面（裏面）に吹き付けられる。その結果、ウエハの周縁部の温度が低下して被エッチング物とエッチャントとの反応性が低くなる。また、ステージの上面にウエハを保持した状態で外部に露出した第２噴き出し口の残部から上方に第２の不活性なガスが噴き出されるため、この第２の不活性なガスによってウエハの周縁部上に存在するエッチャントの濃度が低下する。よって、ウエハの周縁部にてエッチャントの割合が過剰になる傾向のあるドライエッチングプロセスにおいて、ウエハ周縁部のエッチングレートを低下させることが可能になるため、ウエハの中央部と周縁部とのエッチングレートの差が低減される。さらに第２噴き出し口は、ステージの上面にウエハを保持した状態でウエハの周縁部に沿うように形成されているため、ウエハ全周に亘ってウエハの周縁部におけるエッチングレートの低下を図れる。
【００１３】
また第２噴き出し口が、第２噴き出し口からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節するための調節バルブを備えた供給部と接続されているものでは、ドライエッチングプロセスのエッチング特性やエッチング条件に応じて第２噴き出し口からの不活性なガスの噴き出し圧力を調節することにより、ウエハの周縁部におけるエッチングレートを調整することが可能になる。
【００１４】
また上記課題を解決するために本発明のドライエッチング方法は、ステージの上面に保持したウエハのステージ側の面に第１の不活性なガスを吹き付けるとともに、ウエハの周縁部に、ウエハのステージ側の面からこの面と反対の面側に向かう第２の不活性なガスを吹き付けて、ウエハ上に形成された被エッチング物のドライエッチングを行うようにする。
【００１５】
上記のドライエッチング方法では、ウエハの周縁部にウエハのステージ側の面（裏面）からこの面と反対の面（上面）側に向かう第２の不活性なガスを吹き付けてドライエッチングを行うため、ウエハの周縁部の温度が低下して被エッチング物とエッチャントとの反応性が低くなる。また、この第２の不活性なガスによってウエハの周縁部上に存在するエッチャントの濃度が低下する。よって、ウエハの周縁部にてエッチャントの割合が過剰になる傾向のあるドライエッチングプロセスにおいて、ウエハ周縁部のエッチングレートを低下させることが可能になるため、ウエハの中央部と周縁部とのエッチングレートの差が低減される。
【００１６】
また  第２の不活性なガスが、被エッチング物のエッチング特性あるいはエッチング条件に合わせて噴き出し圧力が調節されている場合には、エッチング特性が異なる種々のエッチングプロセスでも、ウエハ周縁部のエッチングレートを低下させてウエハの中央部と周縁部とのエッチングレートの差を低減することが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るドライエッチング装置およびドライエッチング方法の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係るドライエッチング装置の一実施形態を説明するための図であり、同図（ａ）は概略構成図、同図（ｂ）は（ａ）に備えられたステージ部分の拡大平面図である。また図１（ａ）は、ステージの上面にウエハを保持した状態を示してある。
【００１８】
図１に示すように、このドライエッチング装置１は平行平板型のもので、密閉容器からなるチャンバ２を備えている。チャンバ２の天板２ａには、エッチングガスが噴き出されるガス導入口３が複数形成されており、また導入口３を介して図示しないエッチングガスの供給部が接続されている。さらにチャンバ２の天板２ａは、図示しない高周波電源（ＲＦ電源）と接続されて上部電極を兼ねたものとなっている。一方、チャンバ２の底板２ｂには、チャンバ２内のガスを排気するためのガス排気口４が形成されている。ガス排気口４には、バルブ５を介して例えばターボポンプからなる負圧源６が接続されている。よって、チャンバ２内は負圧源６により内部が排気されて所定の真空状態に維持されるようになっている。
【００１９】
上記のようなチャンバ２内には、上面にウエハ３０を保持するためのステージ７が設けられている。このステージ７は、接地されて下部電極を兼ねたものとなっており、チャンバ２内にその天板２ａに対してステージ７のウエハ保持面が略平行になるように設けられている。本実施形態では、ステージ７は例えば平面視略円形に形成されており、上面が略平坦に形成されてウエハ保持面となっている。そして、この上面にウエハ３０の裏面を接触させた状態でウエハ３０を保持するようになっている。
【００２０】
ステージ７の上面には、従来と同様に、例えばヘリウム（Ｈｅ）ガスや窒素（Ｎ2 ）ガス等の第１の不活性なガスを冷却ガスとして噴き出す孔状あるいは溝状の第１噴き出し口８が形成されている。図１（ｂ）では、一例として孔状の第１噴き出し口８が複数形成されている場合を示してある。第１噴き出し口８は、ステージ７の上面にウエハ３０を保持した状態で第１の不活性なガスを噴き出してウエハ３０の裏面に吹き付けることにより、ウエハ３０の温度を制御するためのものである。よって、ステージ７の上面にウエハ３０を保持した状態でウエハ３０の裏面全体に配置され、かつウエハ３０に覆われるようにステージ７に形成されている。
【００２１】
さらにこのドライエッチング装置１では、ステージ７の上面でかつ第１噴き出し口８よりもステージ７の周縁側に、第２の不活性なガスを噴き出す第２噴き出し口９が形成されている。第２噴き出し口９は、ステージ７の上面にウエハ３０を保持した状態でウエハ３０の周縁部に沿うように形成されている。これとともに、図２の要部断面図に示すように一部がウエハ３０の周縁部に覆われかつ残部が外部に露出するように形成されている。
【００２２】
なお、図１（ｂ）では、一例として孔状の複数の第２噴き出し口９が、ウエハ３０の周縁部に沿うように所定の間隔で形成されている。そしてステージ７の上面には、これら複数の第２噴き出し口９をつなぐ溝１０が平面視略円形に形成されて、第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスがウエハ３０の周縁部に略均一に吹き付けられるようになっている。
【００２３】
上記の第１噴き出し口８は、第１噴き出し口８に第１の不活性なガスを供給するための第１供給部１１と接続されており、また第２噴き出し口９は、第２噴き出し口９に第２の不活性なガスを供給するための第２供給部１２と接続されている。具体的には、例えば第１供給部１１は、第１供給管１１ａと噴き出し圧力を調節するための第１圧力調節バルブ１１ｂと第１の不活性なガスの第１供給源１１ｃとから構成されている。そして第１供給管１１ａの一端側がステージ７の内部に埋設されて第１噴き出し口８に接続され、第１供給管１１ａの他端側が第１圧力調節バルブ１１ｂを介して第１供給源１１ｃに接続されている。
【００２４】
また第２供給部１２は本発明の供給部となるものであり、第２供給管１２ａと噴き出し圧力を調節するための第２圧力調節バルブ（本発明の圧力調節バルブ）１２ｂと第２の不活性なガスの第２供給源１２ｃとから構成されている。そして第２供給管１２ａの一端側がステージ７の内部に埋設されて第２噴き出し口９に接続され、第２供給管１２ａの他端側が第２圧力調節バルブ１２ｂを介して第２供給源１２ｃに接続されている。したがって、第１噴き出し口８に第１の不活性なガスを供給する第１供給部１１と、第２噴き出し口９に第２の不活性なガスを供給する第２供給部１２とが別系統とされ、それぞれから噴き出される第１，第２の不活性なガスの噴き出し圧力を独立して調節できるようになっている。さらに図示しないが、ステージ７の内部には、ウエハ３０を所定の温度に加熱できるようにヒータ（図示省略）が埋設されている。
【００２５】
また本実施形態のドライエッチング装置１では、ステージ７の上面に、この上面にウエハ３０を保持した状態でウエハ３０の側周を第２噴き出し口９を隔てて囲む、すなわちウエハ３０の側周をウエハ３０の周縁部に吹き付けている第２の不活性なガスより外側から囲むカバーリング１３が着脱可能に設けられている。例えば、カバーリング１３は、第２噴き出し口９をつなぐ溝１０の外径と略同じがそれよりも若干大きな内径を有した環状のものであり、従来のフォーカスリングとは異なり、ステージ７の上面に保持されるウエハ３０の厚みと略同じ厚みに形成されている。
【００２６】
上記のようにカバーリング１３を設けるのは、第２噴き出し口９から第２の不活性なガスを噴き出させた際に、第２噴き出し口９のウエハ３０で覆われない残部から噴き出されたガスが外方へとリークしてウエハ３０の周辺部に吹き付けられる量が減少し、第２の不活性なガスがウエハ３０の周辺部に吹き付けられることによる後述の効果が低減するおそれがあるためである。よって、第２噴き出し口９のウエハ３０で覆われない残部からの第２の不活性なガスがウエハ３０の裏面から上面側へと側周を効率良く噴き上がるように、ウエハ３０と略同じ厚みのカバーリング１３をウエハ３０の側周を第２噴き出し口９を隔てて囲むように設けているのである。
【００２７】
このように構成されたドライエッチング装置１では、チャンバ２内に導入口３からエッチングガスが導入されるともに、チャンバ２の天板２ａとステージ７との間にＲＦ電界が印加されることによりエッチングガスのプラズマ４０を発生し、ステージ７の上面に保持されたウエハ３０上の被エッチング物をエッチングするようになっている。またこの際、第１噴き出し口８から第１の不活性なガス、第２噴き出し口９から第２の不活性なガスをそれぞれ噴き出してウエハ３０に吹き付けるようになっている。
【００２８】
したがって、第１噴き出し口８から第１の不活性なガスが噴き出されることにより、ステージ７の上面に保持されたウエハ３０の裏面にガスが吹き付けられてウエハ３０を所定の温度に冷却できる。また第２噴き出し口９から第２の不活性なガスが噴き出されることにより、このガスが吹き付けられたウエハ３０の周縁部をさらに冷却できる。この結果、ウエハ３０の周縁部にて、ウエハ３０の被エッチング物とエッチャントとの反応性を低下させることができる。
【００２９】
また、ステージ７の上面にウエハ３０を保持した状態で第２噴き出し口の外部に露出した残部から上方に第２の不活性なガスが噴き出されるため、この第２の不活性なガスによってウエハ３０の周縁部の上に存在するエッチャントの濃度を低下させることができる。その際、ウエハ３０を囲むカバーリング１３によって、第２噴き出し口９の残部からの第２の不活性なガスをウエハ３０の側周からウエハ３０の周辺部の上へと効率良く噴き上げることができる。よって、チャンバ２内に生成されたプラズマ４０の状態によりウエハ３０の中心部よりも周縁部でエッチャントの割合が過剰になるのを抑制することができる。
【００３０】
したがって、ウエハ３０の被エッチング物とエッチャントとの反応性の低下およびウエハ３０の周縁部の上に存在するエッチャントの濃度の低下により、ウエハ３０の周縁部のエッチングレートを低下させることができるため、ウエハ３０の中央部と周縁部とのエッチングレートの差を低減できる。さらに第２噴き出し口９が、ステージ７の上面にウエハ３０を保持した状態でウエハ３０の周縁部に沿うように形成されているため、ウエハ３０全周に亘ってウエハ３０の周縁部におけるエッチングレートの低下を図ることができる。したがって、ウエハ３０面内のエッチング均一性の良いドライエッチングを行うことができる。
【００３１】
また、第２噴き出し口９が、第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節するための調節バルブ１２ｂを備えた供給部１２と接続されているので、ドライエッチングプロセスの反応生成物の蒸気圧やエッチングの進行等のエッチング特性や温度、圧力等のエッチング条件に応じて第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節して、ウエハ３０の周縁部におけるエッチングレートを調整することができる。
したがって、このドライエッチング装置１によれば、異なるエッチング特性のドライエッチングプロセスでもエッチング条件の最適化の自由度を広げることができるので、異なる種類の被エッチング物をこれ一台で、ウエハ３０面内のエッチング均一性良くドライエッチングすることができる。
【００３２】
また、異なる種類の被エッチング物を一台のドライエッチング装置１でエッチングできることから、異なる種類の被エッチング物の連続エッチングが可能である。よって、スループットの向上を図ることができる。しかも、ドライエッチングの途中でウエハ３０の表面が外気にさられないので、ウエハ３０が外気にさらされることによる弊害、例えば酸化反応等の化学反応や、ダストによる汚染等を防止することができ、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。さらに、異なる種類の被エッチング物を一台のドライエッチング装置１でエッチングできるため、設備の規模を縮小化することも可能になる。
【００３３】
なお、本実施形態では、平行平板型のドライエッチング装置に本発明のドライエッチング装置を適用したが、この例に限定されず、その他、ＥＣＲ（Electron Cyclotron Resonance) 型のドライエッチング装置や誘導結合型のドライエッチング装置等に適用できるのはもちろんである。
【００３４】
次に、上記のようなドライエッチング装置１を用いたドライエッチング方法に基づき、本発明に係るドライエッチング方法の一実施形態を説明する。
図３（ａ）〜（ｃ）は実施形態のドライエッチング方法を工程順に示す断面図であり、タングステンプラグ形成プロセスにおいて、タングステン膜とこの下層の密着層とを被エッチング物としたエッチバック工程に本発明のドライエッチング方法を適用した例を示したものである。
【００３５】
まずこの実施形態では、タングステン膜および密着層のエッチバックの実施に先立ち、従来と既知の方法によって、図３（ａ）に示すようにウエハ３０上に密着層３３とタングステン膜３４とを形成する。すなわち、ウエハ３０上に絶縁膜３１を形成し、絶縁膜３１にウエハ３０に達する状態にコンタクトホール３２を形成する。続いて、絶縁膜３１上にコンタクトホール３２の内を埋め込むことなくコンタクトホール３２の内面を覆うように密着層３３を形成する。この際、密着層３３を窒化チタン（ＴｉＮ）膜とチタン（Ｔｉ）膜との積層膜で形成する。さらに絶縁膜３１上に例えば、密着層３３を介してコンタクトホール３２内を埋め込むようにしてブランケットタングステン膜３４を成膜する。
【００３６】
上記のように密着層３３およびタングステン膜３４を形成した後は、次いでタングステン膜３４と密着層３３とをドライエッチングするエッチバック工程を行う。このエッチバック工程では、上記ドライエッチング装置１にてまずタングステン膜３４のドライエッチングを行う。このドライエッチングは、図３（ｂ）に示すように、絶縁膜３１の上面に位置する密着層３３の表面が露出するまで行う。また、ステージ７の上面のウエハ３０の裏面に第１噴き出し口８からの第１の不活性なガスを吹き付けるとともに、ウエハ３０の周縁部に、ウエハ３０の裏面から上面側に向かう第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスを吹き付けつつ行う。タングステン膜３４のエッチング条件の一例を以下に示す。
【００３７】
エッチングガスおよびその流量：ＳＦ6 ／Ａｒの混合ガス；２００ｓｃｃｍ
ＲＦパワー    ：６００Ｗ
雰囲気圧力    ：３５Ｐａ
ステージ温度  ：１５℃
第１の不活性なガスの噴き出し圧力：８００Ｐａ
第２の不活性なガスの噴き出し圧力：１２００Ｐａ
【００３８】
タングステン膜３４のドライエッチングでは、タングステン膜３４とエッチングガスとの反応性が良い。またタングステン膜３４とエッチングガスとの反応生成物も蒸気圧が高いため、反応生成物を除去しやすい。よって、ウエハ３０上のエッチャントの分布の偏りがエッチング均一性に影響を与えやすい。つまり、ウエハ３０の中央部にて反応生成物が多くなることにより、ウエハ３０の周縁部でエッチャントの割合が過剰になってエッチングレートが高くなりやすい。
【００３９】
したがって、ウエハ３０の周縁部でエッチャントの割合が過剰になることによよるエッチング均一性の崩れを防止するために、第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を大きくする。これによって、前述したようにウエハ３０の周縁部をさらに冷却しかつその周縁部の上に存在するエッチャントの濃度を低下させて、ウエハ３０の周縁部におけるエッチングレートを低下させ、エッチング均一性の安定化を図る。
【００４０】
タングステン膜３４のエッチングを終了した後は、引き続き、ウエハ３０の密着層３３を、図３（ｃ）に示すように絶縁膜３１の上面が露出するまでドライエッチングする。このドライエッチングは、タングステン膜３４のドライエッチングの場合と同様に、ウエハ３０の裏面に第１の不活性なガスを吹き付けるとともに、ウエハ３０の周縁部に第２の不活性なガスを吹き付けつつ行う。これによって、コンタクトホール３２内に密着層３３を介してタングステン膜３４を残した状態でタングステンプラグ３５が形成される。密着層３３のエッチング条件の一例を以下に示す。
【００４１】
エッチングガスおよびその流量：Ｃｌ2 ／Ａｒの混合ガス；１００ｓｃｃｍ
ＲＦパワー    ：３００Ｗ
雰囲気圧力    ：５Ｐａ
ステージ温度  ：３５℃
第１の不活性なガスの噴き出し圧力：４００Ｐａ
第２の不活性なガスの噴き出し圧力：５００Ｐａ
【００４２】
チタン系からなる密着層３３のドライエッチングでは、反応生成物の蒸気圧が低いため、ウエハ３０上にこの反応生成物が残渣として残ることを抑制する目的で、ステージ７の温度を先のタングステン膜３４のドライエッチング時よりも高温にする。また低圧のエッチング条件であり、物理的に削るスパッタリング性の強いドライエッチング条件である。このため、タングステン膜３４のドライエッチング時のようにウエハ３０の中央部と周縁部とで（第１噴き出し口８と第２噴き出し口９とで）噴き出し圧力に差をつけなくても、エッチング均一性はあまり影響を受けない。
【００４３】
このように実施形態のドライエッチング方法では、エッチング特性が異なるドライエッチングプロセスを実施できる前述した実施形態のドライエッチング装置１を用いるため、タングステン膜３４および密着層３３のドライエッチングを外気にさらすことなく連続して行うことができる。よって、前述した実施形態の効果と同様に、スループットの向上を図ることができるとともに、ウエハ３０が外気にさらされることによる弊害を防止することができる。
【００４４】
また、第２噴き出し口９からの第２の不活性なガスの噴き出し圧力を、タングステン膜３４、密着層３３のそれぞれのエッチング特性あるいはエッチング条件に合わせて調節してタングステン膜３４、密着層３３のドライエッチングを行うため、いずれのエッチングでも、ウエハ３０の中央部と周縁部とのエッチングレートの差の少ない、ウエハ面内のエッチング均一性の良いドライエッチングを実現できる。
したがって、上記したドライエッチング方法を用いれば、信頼性が高くしかも歩留りの良い半導体装置の製造が可能になる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るドライエッチング装置よれば、ウエハの周縁部に第２の不活性なガスを吹き付ける第２噴き出し口がステージの上面に形成されているので、ウエハの周縁部にてエッチングレートを低下させることができる。よって、ウエハの周縁部にてエッチングレートが高くなりやすいドライエッチングプロセスにおいて、ウエハ面内におけるエッチング均一性を向上させることができる。また、第２噴き出し口が第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節するための調節バルブを備えた供給部と接続されたものによれば、エッチング特性やエッチング条件に合わせて第２噴き出し口からの噴き出し圧力を調整できて、異なる種類の被エッチング物のドライエッチングをこの一台の装置で実施できることになる。したがって、設備の規模の縮小化を図ることができるとともに、外気にさらすことなく連続エッチングを行えることによりスループットの向上と製造される半導体装置の信頼性との向上を図ることができる。
【００４６】
また本発明に係るドライエッチング方法によれば、ウエハの周縁部にウエハのステージ側の面からこの面と反対の面側に向かう第２の不活性なガスを吹き付けてドライエッチングを行うので、ウエハの周縁部にてエッチングレートが高くなりやすいドライエッチングプロセスにおいて、ウエハ面内におけるエッチング均一性を向上させることができる。また、被エッチング物のエッチング特性あるいはエッチング条件に合わせて第２の不活性なガスの噴き出し圧力を調節してドライエッチングを行う場合では、種々の被エッチング物に対してウエハ面内のエッチング均一性の良いドライエッチングを行うことができる。また異なる種類の被エッチング物のドライエッチングを外気にさらすことなく連続して行うことができるため、上記の発明と同様にスループットの向上と製造される半導体装置の信頼性との向上を図れるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るドライエッチング装置の一実施形態を説明するため図であり、（ａ）は概略構成図、（ｂ）は（ａ）に備えられたステージ部分の拡大平面図である。
【図２】実施形態におけるステージの上面付近の要部断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係るドライエッチング方法の一実施形態を工程順に示す要部断面図である。
【図４】従来のドライエッチング装置の一構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
１…ドライエッチング装置、２…チャンバ、７…ステージ、８…第１噴き出し口、９…第２噴き出し口、１２…第２供給部、１２ｂ…第２圧力調節バルブ、１３…カバーリング、３３…密着層、３４…タングステン膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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