(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属粉末原料と、この金属粉末原料の主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物または複酸化物または酸素酸の塩の少なくともいずれか１つからなる被覆層粉末原料とを混合して、前記金属粉末原料の個々の粒子の凝集、および前記被覆層粉末原料の個々の粒子の凝集、をそれぞれ分散し、分散化された前記金属粉末原料の個々の粒子それぞれの外周に、前記被覆層粉末原料の複数の粒子が分散付着した複合化粒子の集合体である原料混合物を得て、
前記金属粉末原料および前記被覆層粉末原料の沸点よりも高い温度の雰囲気に、前記得られた原料混合物を供給して、前記原料混合物中の前記金属粉末原料と前記被覆層粉末原料とが共に気相状態となった混合物にした後、
この気相状態の混合物を急冷して、
前記金属粉末原料より微細化された金属微粒子を芯粒子とし、前記酸化物または複酸化物または酸素酸の塩、もしくは前記酸化物または複酸化物または酸素酸の塩と前記金属の酸化物との複酸化物または複塩からなる、前記芯粒子を被覆する被覆層を形成する酸化物被覆金属微粒子を製造することを特徴とする酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【請求項２】
前記芯粒子の平均粒径が０．０１μｍ〜１μｍであり、前記被覆層の平均厚みが１ｎｍ〜１０ｎｍである請求項１記載の酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【請求項３】
前記金属微粒子を構成する主成分となる金属元素は、Ａｌ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ｒｕ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｐｔ，ＡｕおよびＳｍよりなる群から選ばれる少なくとも１種であり、前記金属微粒子を被覆する酸化物または複酸化物または酸素酸の塩が、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化銀、酸化鉄、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化サマリウム、酸化ベリリウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、アルミン酸リチウム、バナジウム酸イットリウム、リン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸チタン鉛、酸化チタン鉄、酸化チタンコバルトおよび錫酸バリウムよりなる群から選ばれる少なくとも１種である請求項１または２に記載の酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【請求項４】
前記金属粉末原料および前記被覆層粉末原料の沸点よりも高い前記雰囲気は、熱プラズマ雰囲気である請求項１〜３のいずれかに記載の酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【請求項５】
前記金属粉末原料の平均粒径は、０．５μｍ〜２０μｍであり、前記被覆層粉末原料の平均粒径は、０．１μｍ〜１μｍである請求項１〜４のいずれかに記載の酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【請求項６】
前記金属粉末原料と前記被覆層粉末原料との混合は、高速剪断・衝撃型混合機または摩砕型混合機によって行われることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の酸化物被覆金属微粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属微粒子を芯粒子とし、この芯粒子をこの金属と異なる異種酸化物または複酸化物または酸素酸の塩、もしくはこの金属の酸化物と異種酸化物との複酸化物または複塩で被覆した酸化物被覆金属微粒子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、芯粒子をダイヤモンド粒子やセラミックス粒子などの無機材料粒子や金属粒子とし、この芯粒子に焼結助剤や溶射助剤となる種々の金属材料やセラミックスや酸化物や炭化物や窒化物等の無機材料を被覆した被覆金属粒子が、半導体基板、プリント基板、各種電気絶縁部品などの電気絶縁材料や、切削工具、ダイス、軸受などの高硬度高精度の機械工作材料や粒界コンデンサ、湿度センサなどの機能性材料や、精密焼結成形材料などの焼結体製造や、エンジンのバルブなどのような高温耐磨耗性が要求される材料などの溶射部品製造などの分野で用いられている。このような被覆粒子を用いることにより、焼結体や溶射部品などにおける異種セラミックス同士や異種金属同士の接合強度や緻密性を向上させている。
【０００３】
例えば、特開平８‐２５３８５１号公報には、Ｔｉ粉末の表面に５μｍ以上のＮｉ層を被覆し、Ｔｉ粉末の粒径とＮｉ層の厚みとの比が１０以下である平均粒径１０〜１５０μｍの溶射用複合粉末を開示している。また、特開平８‐２５３８５３号公報には、平均粒径２０〜９９μｍのＣｏ‐Ｃｒ系合金粉末の表面に、平均粒径０．５〜２０μｍのＷＣ粉末の一部が埋め込まれた状態で被覆されている溶射用複合粉末を開示している。そして、これらの溶射用複合粉末は、両原料の粉末を直接、または混合器により均一に混合した後、攪拌容器に封入して、攪拌棒で攪拌して被覆される粉末を芯粒子となる粉末に機械的に押し付け、圧着して機械的に被覆することにより製造している。
【０００４】
また、本出願人の出願に係る特開平３−７５３０２号公報、特開平７−５３２６８号公報〜同７−５４００８号公報他には、平均粒径０．１μｍ〜１００μｍの無機材料または金属材料の粒子を、平均粒径０．００５μｍ〜０．５μｍの同種または異種の無機材料または金属材料の超微粒子で被覆した被覆粒子およびその製造方法を開示している。ここに開示された被覆粒子の製造方法は、熱プラズマ法などの気相法によってこの超微粒子を生成した後、生成された超微粒子の流れの中に被覆されるべき芯粒子を導入して、または、この超微粒子が生成される空間に被覆されるべき芯粒子を導入して、両者を流動状態で接触させることにより、超微粒子を芯粒子の表面に被覆するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特開平８−２５３８５１号公報および同８−２５３８５３号公報に開示された溶射用複合粉末は、Ｔｉ粉末やＣｏ−Ｃｒ系合金粉末などの芯粒子にＮｉ粉末やＷＣ粉末などの被覆用粉末を単に機械的に押し付け、圧着して機械的に被覆したものに過ぎず、その界面の接着は弱く、さらに、芯粒子の粒径が数μｍ〜百数十μｍと大きく、被覆用粉末も０．５〜２０μｍと大きいものに限られているという問題があった。また、芯粒子は金属であるが、被覆用粉末も金属またはその炭化物が開示されているに過ぎず、芯粒子となる金属粒子の表面を異種の酸化物で被覆するものではない。
【０００６】
また、本出願人の出願に係る特開平３−７５３０２号公報他に開示された被覆粒子は、被覆用粒子こそ、被覆用粉末を熱プラズマなどの気相法によって生成しているので、平均粒径０．００５μｍ〜０．５μｍの超微粒子であるが、芯粒子が、例えば１μｍ以下の微細な微粒子であると、凝集しやすく単分散化するのは困難であるため、個々の芯粒子にうまく被覆できないことから、芯粒子そのものは、微細化せず、平均粒径０．１μｍ〜１００μｍと大きいまま超微粒子を被覆しているに過ぎず、大きい粒径の被覆粒子しか得ることができないという問題があり、また、完全な膜状に被覆された被覆粒子を得ることができないという問題があった。
【０００７】
また、これらに開示されているのは、基本的に芯粒子が金属粒子である場合においては被覆用粒子も金属超微粒子の場合がほとんどで、金属微粒子に異種酸化物を被覆した酸化物被覆金属微粒子を得るものではない。なお、特開平７−５４００８号公報には、平均粒径４０μｍのＴｉＡｌ準微粒子を芯粒子として、この芯粒子に同種の酸化物であるアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）超微粒子を被覆したアルミナ被覆ＴｉＡｌ準微粒子が開示されているが、芯粒子は１μｍ以下の微粒子ではないし、被覆される酸化物のアルミナも芯粒子の主成分となる金属の１種であり、異種の酸化物でない。
【０００８】
このように、従来、得られている被覆粒子は、芯粒子の粒径が大きく、また金属芯粒子には金属を被覆するものであり、無機材料粒子には無機材料を被覆するもので、上述した従来の焼結体や溶射部品には有用なものであるものの、強度と生体との親和性などが問題となる人工骨や、強度と様々な無機材料との密着性が要求される燃料電池の電極材料などに用いるには適していないため、金属微粒子に異種酸化物を被覆した酸化物被覆金属微粒子が強く求められていた。
【０００９】
本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解消し、芯粒子となる金属微粒子にこの金属微粒子を構成する主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物を堅固に、好ましくは全表面完全に被覆した新規な酸化物被覆金属微粒子を、確実かつ容易に製造することができる酸化物被覆金属微粒子の製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、金属粉末原料と、この金属粉末原料の主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物または複酸化物または酸素酸の塩の少なくともいずれか１つからなる被覆層粉末原料とを混合して、前記金属粉末原料の個々の粒子の凝集、および前記被覆層粉末原料の個々の粒子の凝集、をそれぞれ分散し、分散化された前記金属粉末原料の個々の粒子それぞれの外周に、前記被覆層粉末原料の複数の粒子が分散付着した複合化粒子の集合体である、原料混合物を得て、前記金属粉末原料および前記被覆層粉末原料の沸点よりも高い温度の雰囲気に、前記得られた原料混合物を供給して、前記原料混合物中の前記金属粉末原料と前記被覆層粉末原料とが共に気相状態となった混合物にした後、この気相状態の混合物を急冷して、前記金属粉末原料より微細化された金属微粒子を芯粒子とし、前記酸化物または複酸化物または酸素酸の塩、もしくは前記酸化物または複酸化物または酸素酸の塩と前記金属の酸化物との複酸化物または複塩からなる、前記芯粒子を被覆する被覆層を形成する酸化物被覆金属微粒子を製造することを特徴とする酸化物被覆金属微粒子の製造方法を提供する。
【００１１】
ここで、前記芯粒子の平均粒径が０．０１μｍ〜１μｍであり、前記被覆層の平均厚みが１ｎｍ〜１０ｎｍであるのが好ましい。
また、前記金属微粒子を構成する主成分となる金属元素は、Ａｌ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ｒｕ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｐｔ，ＡｕおよびＳｍよりなる群から選択される少なくとも１種の金属元素であるのが好ましく、また、前記金属微粒子を被覆する酸化物または複酸化物または酸素酸の塩が、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化銀、酸化鉄、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化サマリウム、酸化ベリリウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、アルミン酸リチウム、バナジウム酸イットリウム、リン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸チタン鉛、酸化チタン鉄、酸化チタンコバルトおよび錫酸バリウムよりなる群から選択される少なくとも１種であるのが好ましい。
【００１２】
また、前記金属粉末原料および前記被覆層粉末原料の沸点よりも高い前記雰囲気は、熱プラズマ雰囲気であることが好ましい。
【００１３】
また、前記金属粉末原料の平均粒径は、０．５μｍ〜２０μｍであり、より好ましくは全粒径が２０μｍ以下であり、前記被覆層粉末原料の平均粒径は、０．１μｍ〜１μｍであることが好ましい。また、前記金属粉末原料と前記被覆層粉末原料との混合は、高速剪断・衝撃型混合機または摩砕型混合機によって行われることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明に係る酸化物被覆金属微粒子の製造方法を添付の図面に示す好適な実施の形態に基づいて、以下に詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法によって製造された酸化物被覆金属微粒子の一例の構成を示す模式的断面図である。同図に示すように、酸化物被覆金属微粒子（以下、単に被覆粒子という）１０は、芯粒子となる金属微粒子１２と、この金属微粒子１２を構成する主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物またはこの酸化物とこの金属元素の酸化物との複合酸化物からなる酸化物被覆層１４とを有する。
【００１６】
ここで、金属微粒子１２は、被覆粒子１０の芯粒子となるもので、１種の金属の微粒子であっても、複数の金属の合金の微粒子であってもよく、被覆粒子１０の用途に合わせて適宜選択することができる。例えば、金属微粒子１２を構成する主成分となる金属元素は、Ａｌ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｍｎ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ｒｕ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｐｔ，ＡｕおよびＳｍよりなる群から選択される少なくとも１種の金属元素をあげることができる。より具体的には、上記の金属元素などの単体金属やこれらの金属元素の種々の金属間化合物やこれらの金属元素の２種以上の合金、例えば、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金、Ｎｉ−Ｃｕ合金、Ｎｉ−Ｍｎ合金、Ｉｎ−Ｎｉ合金、Ａｌ−Ｔｉ合金、Ｔｉ−Ｃｕ合金などの種々の合金ならびにこれらの複合材料などを挙げることができる。特に、人工骨の用途ではＴｉが好ましく、化粧品添加物や触媒の用途ではＦｅが好ましく、燃料電池等の電極材料への用途ではＮｉが好ましい。
【００１７】
また、この金属微粒子１２は、微粒子であればその平均粒径は、特に制限的ではないが、平均粒径が０．０１μｍ〜１μｍの範囲である微粒子がよく、より好ましくは、０．１μｍ〜０．５μｍの範囲である微粒子がよい。
また、この金属微粒子１２の粒度分布は、特に制限的ではなく、粒度のバラツキは少ない、すなわち粒度分布の半値幅は狭いほうがよい。
【００１８】
また、酸化物被覆層（以下、単に被覆層という）１４は、金属微粒子１２を芯粒子としてその外周面を、好ましくは全外周面を完全に被覆するもので、この金属微粒子１２を構成する主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物、すなわち異種酸化物の層または複酸化物の層または酸素酸の塩の層、もしくはこの異種酸化物または複酸化物または酸素酸の塩を構成する元素と金属微粒子１２を構成する金属元素と酸素との複酸化物の層または複塩の層である。
【００１９】
ここで、本発明において酸化物被覆層１４に用いられる異種酸化物または複酸化物または酸素酸の塩、もしくはその複酸化物または複塩（以下、これらを総称して単に酸化物と称することもある）は、特に制限的ではなく、どのような酸化物、複酸化物、酸素酸の塩、複塩であってもよく、被覆される金属微粒子１２や被覆粒子１０に対して適宜選択すればよい。例えば、酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化珪素（ＳｉＯ2 ）、酸化アルミニウム（アルミナ：Ａｌ2 Ｏ3 ）、酸化銀（Ａｇ2 Ｏ）、酸化鉄、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化マンガン（Ｍｎ2 Ｏ7 ）、酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化セリウム、酸化サマリウム、酸化ベリリウム（ＢｅＯ）などの酸化物、（メタ）チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3 ）、アルミン酸リチウム、バナジウム酸イットリウム、リン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸チタン鉛、酸化チタン鉄（ＦｅＴｉＯ3 ）、酸化チタンコバルト（ＣｏＴｉＯ3 ）、錫酸バリウム（ＢａＳｎＯ3 ）などの複酸化物または酸素酸の塩などを挙げることができるが、特に、人工骨の用途ではＴｉに対してＣａＯまたはＳｉＯ2 またはリン酸カルシウムが好ましく、化粧品添加物や触媒の用途ではＦｅに対してＴｉＯ2 が好ましく、燃料電池等の電極材料への用途ではＮｉまたはＣｕに対してＺｒＯ2 またはＢａＴｉＯ3 が好ましい。
【００２０】
また、この被覆層１４の平均厚みは、特に制限的ではなく、金属微粒子１２の平均粒径や被覆粒子１０のサイズや用途などに応じて適宜選択すればよいが、１ｎｍ〜１０ｎｍであるのが好ましく、より好ましくは、３ｎｍ〜５ｎｍの範囲がよい。なお、本発明においては、この被覆層１４の厚みは、金属微粒子１２の全外周面全体で均一または略均一であることを特徴の１つとするものであり、均一であればあるほど、または均一に近ければ近いほど、もちろん好ましいが、本発明はこれに限定されず、厚さに多少のムラがあってもよく、この場合にも全外周面全体での平均厚さが上記範囲を満足するようにするのがよい。
本発明に係る酸化物被覆金属微粒子は、基本的に以上のように構成される。
【００２１】
次に、図２〜図５を参照して、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法について以下に説明する。
図２は、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法の一例を示すブロック図である。図３は、図２に示す酸化物被覆金属微粒子の製造方法の混合処理ブロックの一例を示すブロック図である。図４は、図３に示す混合処理ブロックで実施される粒子が複合化される状態を説明する説明図である。図５は、図２に示す本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法の熱プラズマ処理を実施する酸化物被覆金属微粒子製造装置の一実施例の線図的断面図である。本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法は、これらの図示例に限定されるわけではない。
【００２２】
図２に示すように、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法を実施する酸化物被覆金属微粒子製造過程２０は、芯粒子となる金属微粒子１２を形成するための金属粉末原料２２と酸化物被覆層１４を形成するための酸化物粉末原料２４とを混合する混合処理工程２６と、この混合工程２６で得られた芯粒子金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との混合物を熱プラズマ処理して、金属粉末原料２２から微細化された金属微粒子１２を緻密な被覆層１４で被覆した本発明の被覆粒子１０を製造する熱プラズマ処理工程２８とによって構成される。
【００２３】
本発明に用いられる金属粉末原料２２は、被覆粒子１０の芯粒子となる金属微粒子１２を構成する金属を供給するもので、上述した金属微粒子１２の金属の粉末原料であれば、特に制限的ではない。この金属粉末原料２２の平均粒径は、特に制限的ではないが、金属微粒子１２の平均粒径が０．０５μｍ〜１μｍの範囲である場合には、０．５μｍ〜２０μｍの範囲であるのが好ましく、より好ましくは、全粒子が２０μｍ以下の範囲であるのがよい。
【００２４】
本発明に用いられる酸化物粉末原料２４は、被覆粒子１０の酸化物被覆層１４を構成する上記金属粉末原料２２の主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物または複酸化物または酸素酸の塩を供給するもので、上述した酸化物または複酸化物または酸素酸の塩の粉末原料であれば、特に制限的ではない。この酸化物粉末原料２４の平均粒径は、特に制限的ではないが、被覆層１４の平均厚みが１ｎｍ〜１０ｎｍの範囲である場合には、０．１μｍ〜１μｍの範囲であるのが好ましく、より好ましくは、０．２μｍ〜０．５μｍの範囲であるのがよい。
【００２５】
図２に示す混合処理工程２６は、芯粒子１２となる金属粉末原料２２と被覆層１４となる酸化物粉末原料２４とを混合する工程である。この混合処理工程２６においては、両粉末原料２２と２４とを混合できればどのように混合してもよいが、両粉末原料２２と２４とを均一に混合するのが好ましい。ここで、この混合処理工程２６において用いられる混合機は、特に制限的ではないが、高速剪断・衝撃型混合機、摩砕型混合機などの従来公知の混合機を挙げることができる。
【００２６】
特に、本混合処理工程２６においては、両粉末原料２２と２４とを複合化処理して、金属粉末原料２２の個々の粒子が分散され、分散された金属粉末原料２２の個々の粒子の全外周に酸化物粉末原料２４の多数の粒子が均一に被覆されるように分散付着した複合化粒子とするのがより好ましい。
ここで、図３に、複合化粒子を得るための混合処理工程ブロックの一例を示すブロック図を示す。
同図に示すように、混合処理工程２６は、複合化処理に先立って、予め金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とを予備混合する、好ましくは均一に混合する予備混合処理工程３０と、予備混合された粉末原料混合物を複合化して、複合化粒子３４を製造する粒子複合化処理工程３２とから構成される。
【００２７】
予備混合処理工程３０は、金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とを予め均一に混合するための工程である。この予備混合処理工程３０では、例えば、Ｖ型混合機、二重円錐型混合機などを用いることができるが、この他、従来公知のどのような混合機も用いることができる。
ところで、予備混合処理工程３０においては、金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とを上述した混合機によって混合することにより、図４（ａ）に示すように、金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とは、いわゆる通常の混合の如く均一に混合されるが、金属粉末原料２２同士、特に微細な粒子である酸化物粉末原料２４同士が多少凝集している状態で両原料２２と２４とが均等に混合した状態となる。
【００２８】
次に、予備混合処理工程３０において均一混合された金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との原料混合物は、粒子複合化処理工程３２において両粉末原料２２および２４を複合化して、複合化粒子３４を製造する。
本発明において、複合化とは、図４（ｂ）に示すように、金属粉末原料２２同士が凝集することなく、金属粉末原料２２の個々の粒子の全外周に酸化物粉末原料２４の多数の粒子が分散して単に付着した状態で被覆される複合化粒子３４ａ、または図４（ｃ）に示すように、酸化物粉末原料２４の粒子の一部分または全体が金属粉末原料２２の個々の粒子の内部に埋設されるように酸化物粉末原料２４の多数の粒子が金属粉末原料２２の個々の粒子の全外周に分散して、好ましくは均等に分散して固着した状態で被覆、好ましくは均一に被覆される複合化粒子３４ｂ、もしくはこれらの中間の種々の状態の複合化粒子３４を製造することをいう。
【００２９】
なお、本発明の粒子複合化処理工程３２においては、全ての両粉末原料２２および２４を複合化して、全てを複合化粒子３４にするのがよいが、本発明はこれに限定されず、一部に複合化されない粉末原料混合物が含まれていてもよいことはもちろんである。
この粒子複合化処理工程３２では、剪断力や衝撃力、あるいは摩砕力を利用して粒子複合化を行うものであれば、特に制限的ではなく、例えば、高速剪断・衝撃型混合機、摩砕型混合機などを用いることができる。
【００３０】
こうして混合処理工程２６で得られた粉末原料混合物（複合化粒子３４を含むものが好ましい）は、熱プラズマ処理工程２８に送られる。
熱プラズマ処理工程２８は、図５に示す酸化物被覆金属微粒子製造装置において実施される。
図５に示す酸化物被覆金属微粒子製造装置４０は、プラズマ室４２ａを持つプラズマトーチ４２と、石英二重管４４と、冷却二重管４６と、急冷管４８と、粉末原料混合物供給装置５０と、製品回収部５２とを有する。
【００３１】
ここで、プラズマトーチ４２は、内部に熱プラズマ（プラズマ焔）４３を発生させるプラズマ室４２ａを構成する石英管４２ｂと、この石英管４２ｂの外側に取り付けられる高周波発信用コイル４２ｃと、この高周波発信用コイル４２ｃの外側に設けられる冷却用外套管４２ｄと、この石英管４２ｂの上部に設けられ、噴出方向が接線方向、軸方向および半径方向の３方向にプラズマ用ガスを噴出するガス噴出口４２ｅと、プラズマ室４２ａ内に形成された熱プラズマ４３に粉末原料混合物を供給する供給口４２ｆとを有する。
プラズマトーチ４２は、石英管４２ｂと外套管４２ｄとの二重管で、その間にコイル４２ｃを介挿する構成となっているが、本発明はこれに限定されず、コイル４２ｃは外側に巻回してもよいし、３以上の多重管構成であってもよく、またそのサイズも特に制限的ではない。また、ガス噴出口４２ｅのプラズマ用ガスの噴出方向も３方向に限定されず、種々の方向に噴出させるようにしてもよい。
【００３２】
ガス噴出口４２ｅは、プラズマトーチ４２の外上側で１つまたは複数のガス供給源４２ｇに接続される。
ガス供給源４２ｇからガス噴出口４２ｅにプラズマ用ガスが供給されると、ガス噴出口４２ｅからプラズマ室４２ａに上記３方向からプラズマ用ガスが噴出し、この噴出したプラズマ用ガスは、高周波（ＲＦ）電源から高周波電圧が印加された高周波発信用コイル４２ｃによってプラズマ化され、プラズマトーチ４２のプラズマ室４２ａ内に熱プラズマ４３を形成する。
なお、ガス噴出口４２ｅから供給されるプラズマ用ガスは、アルゴン、ヘリウム等の希ガス、水素、窒素などのガス、およびこれらの混合ガスに制限される。また、ガス噴出口４２ｅから供給される上記ガスの供給量は、プラズマ室４２ａのサイズや、熱プラズマ４３の性状や、粉末原料混合物の処理量などに応じて適宜選択すればよい。
また、高周波発信用コイル４２ｃに印加される高周波電圧の高周波（周波数）および電圧（または電力）は、特に制限的ではなく、熱プラズマ４３の温度などの性状などに応じて適宜選択すればよい。
【００３３】
ここで、こうして形成される熱プラズマ４３の温度は、金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との粉末原料混合物を気相化する必要があるので、これらの粉末原料２２および２４の混合物の共沸点以上である必要がある。なお、熱プラズマ４３の温度が高いほど両粉末原料２２および２４の混合物の気相化が容易となるので、熱プラズマ４３の温度は高ければ高いほど好ましいが、特に制限的ではない。例えば、金属粉末原料２２および酸化物粉末原料２４の沸点以上でもよいし、金属粉末原料２２および酸化物粉末原料２４に応じて適宜選択すればよい。例えば、具体的には、熱プラズマ４３の温度を６０００℃以上とすることも可能である。一方、上限も特に制限はなく、計測が困難であるので、上限を決めることは困難であるが、理論上は１００００℃程度に達するものと考えられる。
また、熱プラズマ４３の雰囲気は、特に制限的ではないが、大気圧以下の雰囲気、すなわち大気圧雰囲気または減圧雰囲気であるのが好ましい。熱プラズマ４３の大気圧以下の雰囲気としては、特に制限的ではないが、２００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒであるのが好ましい。
【００３４】
粉末原料混合物の供給口４２ｆも、プラズマトーチ４２の外上側で粉末原料混合物供給装置５０に接続される。
粉末原料混合物供給装置５０から供給口４２ｆに粉末原料混合物、例えばＦｅ−ＴｉＯ2 粉末混合物、好ましくは複合化粒子３４は、キャリアガスに担持されて、熱プラズマ中に導入される。粉末原料混合物の担持用キャリアガスは、アルゴン、ヘリウム等の希ガス、水素、窒素などのガス、およびこれらの混合ガスに制限される。なお、プラズマ用ガスまたはその一部（混合前のガスの１つまたは２つ以上）を粉末原料混合物の担持用キャリアガスとして用いてもよい。
こうして、熱プラズマ４３中に導入された粉末原料混合物は、熱プラズマ４３の熱によって加熱されて、一瞬の内に気体化し、熱プラズマ４３中では、粉末原料混合物の金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とは共に気相状態で存在することになる。ここで、供給口４２ｆから供給される粉末原料混合物の供給量、および粉末原料混合物を担持するキャリアガスの種類や供給量も、特に制限的ではなく、熱プラズマ４３の性状や、粉末原料混合物の処理量などに応じて適宜選択すればよい。
【００３５】
石英二重管４４は、プラズマトーチ４２の下側に設けられ、内部に、熱プラズマ４３によって気相化された金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との混合ガスを熱プラズマ４３から導出させ、第１次冷却する冷却室４４ａを構成する、プラズマトーチ４２の石英管４２ｂより少し大径の石英管４４ｂと、この石英管４４ｂの外側に設けられる冷却用外套管４４ｃとを有する。
冷却二重管４６は、石英二重管４４の下側に設けられ、内部に、石英二重管４４において第１次冷却された気相、液相または固相の金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とをさらに第２次冷却する冷却室４６ａを構成する、石英二重管４４の石英管４４ｂと略同径の内管４６ｂと、この内管４６ｂの外側に設けられる冷却用外套管４６ｃとを有する。
【００３６】
急冷管４８は、冷却二重管４６の下側に設けられ、内部に、冷却二重管４６において第２次冷却された気相、液相または固相の金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とを急冷却して、本発明の被覆粒子１０を生成する被覆粒子生成室４８ａを構成する、冷却二重管４６の石英管４６ｂより大幅に大径の内管４８ｂと、この内管４８ｂの外側に設けられる冷却用外套管４８ｃとを有する。
この急冷管４８の被覆粒子生成室４８ａにおいては、冷却二重管４６において第２次冷却された気相または液相の金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との原料混合物を急冷却して、気相または液相金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との原料混合物から一気に、固相の金属粉末原料２２より微細化された、すなわち金属粉末原料２２の粒子の粒径より小さい、好ましくは数分の１から数十分の１の粒径の金属微粒子１２を芯粒子とし、この芯粒子を酸化物粉末原料２４から形成される緻密で均一な厚みの酸化物の被覆層１４で被覆した本発明の被覆粒子１０が生成される。ここで、被覆層１４は、金属微粒子１２の主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物または複酸化物または酸素酸の塩の層であるが、これらとともに緻密に接合（接着）または被覆していれば、同時に金属微粒子１２の主成分となる金属元素の酸化物または複酸化物または酸素酸の塩を含んでいてもよい。
【００３７】
ここで、気相または液相状態の原料混合物を急冷する急冷管４８の被覆粒子生成室４８ａ内の雰囲気は、芯粒子となる金属微粒子の酸化、すなわちその構成金属元素の酸化物の生成を抑制もしくは防止するため、不活性雰囲気あるいは還元性雰囲気であるのが好ましい。ここで、不活性雰囲気あるいは還元性雰囲気としては、特に制限的ではないが、例えば、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）、窒素（Ｎ2 ）の少なくとも１種の不活性ガス雰囲気、またはこれらの不活性ガスに水素（Ｈ2 ）を含む雰囲気、具体的には、アルゴン雰囲気やヘリウム雰囲気などの希ガス雰囲気を始めとして、窒素ガス雰囲気やアルゴンまたはヘリウムと窒素ガスの混合ガス雰囲気などの不活性雰囲気や、水素を含むアルゴン雰囲気、水素を含むヘリウム雰囲気、水素を含む窒素ガス雰囲気などの還元性雰囲気を挙げることができ、また、その還元性の度合いも制限的ではない。
さらに、石英二重管４４、冷却二重管４６および急冷管４８も、プラズマトーチ４２と同様に二重管構成となっているが、本発明はこれに限定されず、３以上の多重管構成であってもよく、またそのサイズも特に制限的ではない。
【００３８】
製品回収部５２は、急冷管４８の被覆粒子生成室４８ａにおいて生成された本発明の被覆粒子１０を回収する部分で、急冷管４８の外側下部に設けられ、被覆粒子生成室４８ａに連通する回収室５２ａと、回収室５２ａと被覆粒子生成室４８ａの連通部との間に設けられ、本発明の被覆粒子１０をキャリアガスやプラズマ用ガスなどの流動化ガスと分離して、回収するフィルタ５２ｂと、被覆粒子生成室４８ａ内の本発明の被覆粒子１０を上記流動化ガスとともに吸引し、フィルタ５２ｂによって分離された上記流動化ガスのみを吸引排出するガス吸引排出口５２ｃとを有する。
【００３９】
このガス吸引排出口５２ｃは、製品回収部５２の外上側でガス吸引源５２ｄに接続される。
ガス吸引源５２ｄによってガス吸引口５２ｃを経て吸引される流動化ガスは、熱プラズマ４３を発生するのに用いられたアルゴンや窒素などのプラズマ用ガスおよびアルゴンなどの粉末原料混合物のキャリアガスからなり、被覆粒子生成室４８ａから本発明の被覆粒子１０とともに製品回収部５２に吸引されるが、被覆粒子生成室４８ａで生成される粒子が、本発明の被覆粒子１０の他に完全な被覆粒子でないもの、金属粒子、酸化物粒子等を含んでいたとしても、これらの粒子は、フィルタ５２ｂによって回収室５２ａに完全に回収され、ガス吸引口５２ｃからは、フィルタ５２ｂによって分離された流動化ガスのみが排出される。
【００４０】
粉末原料混合物供給装置５０は、図示しないが、混合処理工程２６の種々の混合装置によって混合された金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との粉末原料混合物をアルゴンなどのキャリアガスに担持させてプラズマトーチ４２の熱プラズマ４３に供給するためのもので、粉末原料混合物を貯留する貯留室と、この貯留室に貯留された粉末原料混合物をキャリアガスに担持させる混合室と、この混合室にキャリアガスを供給するガス供給源等とを有する。
図示例の酸化物被覆金属微粒子製造装置４０は、金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との粉末原料混合物を気相化するプラズマトーチ４２と気相の粉末原料混合物を急冷して本発明の被覆粒子１０を生成する急冷管４８との間に中間冷却を行うための第１次および第２次冷却の２段冷却を行う石英二重管４４および冷却二重管４６を有しているが、本発明はこれに限定されず、これらの中間冷却手段を全く有していなくても良いし、１段の中間冷却を行う手段を有していてもよいし、３段以上の中間冷却を行う手段を有していてもよい。
【００４１】
本発明の酸化物被覆金属微粒子製造過程の熱プラズマ処理工程２８を実施する酸化物被覆金属微粒子製造装置は基本的に以上のように構成されるが、以下にその作用および本発明の酸化物被覆金属微粒子製造のための熱プラズマ処理工程２８について説明する。
【００４２】
始めに、混合処理工程２６で得られた粉末原料混合物（好ましくは複合化粒子３４）が熱プラズマ処理工程２８に送られ、図５に示す酸化物被覆金属微粒子製造装置４０の粉末原料混合物供給装置５０に供給される。この時、酸化物被覆金属微粒子製造装置４０においては、プラズマトーチ４２の高周波発信用コイル４２ｃには所定の高周波電圧が印加され、ガス噴出口４２ｅからはガス供給源４２ｇより供給されたプラズマ用ガスが噴出しており、プラズマ室４２ａ内には熱プラズマ（プラズマ焔）４３が発生し、維持されている。
【００４３】
続いて、粉末原料混合物供給装置５０から供給口４２ｆを通ってプラズマ室４２ａ内に形成された熱プラズマ４３に粉末原料混合物が供給されると、粉末原料混合物中の金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４とが蒸発して共に気相状態となる。
こうして熱プラズマ４３によって気相状態になった金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との両原料は、プラズマ室４２ａから下降して熱プラズマ４３から抜け出し、石英二重管４４の冷却室４４ａに入り、第１次冷却され、さらに下降して冷却二重管４６の冷却室４６ａに入り、第２次冷却される。
【００４４】
続いて、第２次冷却されて気相状態または一部液相状態になった金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との両原料は、さらに下降して急冷管４８の被覆粒子生成室４８ａに入る。被覆粒子生成室４８ａのサイズは、冷却二重管４６の冷却室４６ａサイズに比べて極めて大きいので、被覆粒子生成室４８ａに入った気相状態または一部液相状態になった金属粉末原料２２と酸化物粉末原料２４との両原料は、急冷され、一気に凝固して、金属粉末原料２２より微細化された、すなわち金属粉末原料２２の粒子の粒径より小さい、例えば十数分の１の粒径の金属微粒子１２を芯粒子とし、この芯粒子を酸化物粉末原料２４から形成される緻密な、かつ均一な厚みの酸化物の被覆層１４で被覆した本発明の被覆粒子１０が生成される。
【００４５】
こうして、微細化された芯粒子の金属微粒子１２の全外周に、金属微粒子１２の主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物または複酸化物または酸素酸の塩からなり、さらには必要に応じてこれらに金属微粒子１２の主成分となる金属元素の酸化物または複酸化物または酸素酸の塩を含む被覆層１４が緻密に被覆された本発明の酸化物被覆金属微粒子１０を得ることができる。
なお、熱プラズマ処理工程２８において、酸化物被覆金属微粒子製造装置４０の粉末原料混合物供給装置５０から供給される粉末原料混合物を、上述した混合処理工程２６の粒子複合化処理工程３２にて製造した複合化粒子３４にすることにより、生成される本発明の被覆粒子１０の歩留りを著しく向上させることができる。
上述したように、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法においては、石英二重管４４および冷却二重管４６による２段の中間冷却に限定されず、１段の中間冷却でも、３段以上の中間冷却であってもよい。
本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法は、基本的に以上のように構成される。
【００４６】
【実施例】
以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
（実施例１）
平均粒径５μｍのＦｅ粉末原料２２と平均粒径１μｍのＴｉＯ2 粉末原料２４とを、図１および図３に示す酸化物被覆金属微粒子製造過程２０に従い、図５に示す酸化物被覆金属微粒子製造装置４０を用いて、ＴｉＯ2 で被覆されたＦｅ微粒子１０を製造した。
ここで、図３に示す混合処理工程２６の予備混合処理工程３０では高速撹拌型混合機Ｈｉ−Ｘ（日清エンジニアリング（株）製）を、粒子複合化処理工程３２では粒子複合化装置シータ・コンポーザ（（株）徳寿工作所製）を用いた。
また、図５に示す酸化物被覆金属微粒子製造装置４０において、プラズマトーチ４２の石英管４２ｂ、石英二重管４４の石英管４４ｂ、冷却二重管４６の内管４６ｂおよび急冷管４８の内管４８ｂの寸法は、それぞれ内径５５ｍｍで長さ２２０ｍｍ、内径１２０ｍｍで長さ２５０ｍｍ、内径１２０ｍｍで長さ１００ｍｍおよび内径４００ｍｍで長さ９００ｍｍであった。
【００４７】
また、ＴｉＯ2 粉末原料２４とＦｅ粉末原料２２との供給比率は、ＴｉＯ2 粉末原料２４の混合割合として４．５ｗｔ％（８ｖｏｌ％）であった。
また、プラズマトーチ４２の高周波発信用コイル４２ｃには、約４ＭＨｚ、約６ｋＶの高周波電圧を印加し、ガス噴出口４２ｅから噴出されるプラズマ用ガスには、アルゴン１００リットル／分、水素１０リットル／分の混合ガスを用いた。この時、プラズマトーチ４２のプラズマ室４２ａに形成された熱プラズマ４３の雰囲気は約４５０Ｔｏｒｒの減圧雰囲気であった。
また、粉末原料混合物（Ｆｅ−ＴｉＯ2 複合化粒子３４）は、プラズマトーチ４２の供給口４２ｆからキャリアガスである５リットル／分のアルゴンに担持されて、１０ｇ／時の割合で熱プラズマ４３中に供給された。
また、急冷管４８の被覆粒子生成室４８ａ内の雰囲気は水素を含むアルゴンからなる還元性雰囲気とした。
【００４８】
こうして、酸化物被覆金属微粒子１０を歩留り良く製造することができた。
こうして製造された酸化物被覆金属微粒子１０は、芯粒子となるＦｅ微粒子１２の平均粒径が０．３μｍであり、酸化物被覆層１４の平均厚みが５ｎｍであり、Ｆｅ微粒子１２の外周面と酸化物被覆層１４とは緻密かつ強固（堅固）に接合された酸化物被覆金属微粒子であった。
本実施例で得られた酸化物被覆金属微粒子１０のＴＥＭ（走査型透過電子顕微鏡）写真を図６に示し、図６のＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子１０のポイントＮｏ．５およびＮｏ．６のＥＤＸ（エネルギー分散形Ｘ線分析法）分析チャートを図７および図８に示す。
図６から１つの被覆粒子は、核部分（芯粒子）と数ｎｍの被覆層（膜）部分で構成されていることが分かり、図８のＮｏ．６のＥＤＸ分析チャートから核部分（芯粒子）は、数十ｎｍのＦｅ粒子であり、ＴｉやＯは含まれていないことが分かり、さらに、図７のＮｏ．５のＥＤＸ分析チャートには、Ｆｅ，Ｔｉ，Ｏが現れていることから、膜部分（被覆層）は、数ｎｍのＦｅおよびＴｉの酸化物、すなわち単なるＦｅの酸化物層ではなく、主として芯粒子の成分Ｆｅと被覆酸化物ＴｉＯ2 とが融合した複酸化物からなる層であるものと結論される。
【００４９】
その結果、本実施例によれば、得られた酸化物被覆金属微粒子１０は、Ｆｅ微粒子１２の全外周がＦｅ−Ｔｉ−Ｏ複酸化物を主として含む被覆層１４で緻密かつ均一に被覆され、Ｆｅ−Ｔｉ−Ｏ複酸化物の被覆層１４の厚みが極めて均一であることがわかる。
また、本発明によって、図６に示すような本発明の酸化物被覆金属微粒子１０を極めて確実かつ容易に、歩留り良く製造することができることがわかる。
【００５０】
（実施例２）
平均粒径６μｍのＮｉ粉末原料２２と平均粒径０．５μｍのＢａＴｉＯ3 粉末原料２４とを、実施例１と同様な酸化物被覆金属微粒子製造過程２０に従い、実施例１と同様な酸化物被覆金属微粒子製造装置４０を用い、実施例１と同様にして、ＢａＴｉＯ3 で被覆されたＮｉ微粒子１０を製造した。
ここで、ＢａＴｉＯ3 粉末原料２４とＮｉ粉末原料２２との供給割合は、ＢａＴｉＯ3 粉末原料２４の混合比率として５ｗｔ％（７．３ｖｏｌ％）であった。また、本実施例における上記以外の製造条件は、実施例１と全く同様にした。
【００５１】
こうして、酸化物被覆金属微粒子１０を歩留り良く製造することができた。
こうして製造された酸化物被覆金属微粒子１０は、芯粒子となるＮｉ微粒子１２の平均粒径が０．３μｍであり、酸化物被覆層１４の平均厚みが３ｎｍであり、Ｎｉ微粒子１２の外周面と酸化物被覆層１４とは緻密かつ強固（堅固）に接合された酸化物被覆金属微粒子であった。
本実施例で得られた酸化物被覆金属微粒子１０のＴＥＭ（走査型透過電子顕微鏡）写真を図９に示し、図９のＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子１０のポイントＢ１およびＢ６のＥＤＸ（エネルギー分散形Ｘ線分析法）分析チャートを図１０および図１１に示す。
図９から１つの被覆粒子は、核部分（芯粒子）と数ｎｍの被覆層（膜）部分で構成されていることが分かり、図１０のＢ１のＥＤＸ分析チャートから核部分（芯粒子）は、数百ｎｍのＮｉ粒子であり、ＢａやＴｉやＯは含まれていないことが分かり、さらに、図１１のＢ６のＥＤＸ分析チャートには、Ｂａ，Ｔｉ，Ｏが現れていることから、膜部分（被覆層）は、数ｎｍのＢａおよびＴｉの酸化物、すなわち芯粒子のＮｉ成分を含まない被覆酸化物のみのＢａＴｉＯ3 の複酸化物層であることが分かる。
【００５２】
その結果、本実施例によれば、得られた酸化物被覆金属微粒子１０は、Ｎｉ微粒子１２の全外周がＢａ−Ｔｉ−Ｏ複酸化物の被覆層１４で緻密かつ均一に被覆され、Ｂａ−Ｔｉ−Ｏ複酸化物の被覆層１４の厚みが極めて均一であることがわかる。
また、本発明によって、図９に示すような本発明の酸化物被覆金属微粒子１０を極めて確実かつ容易に、歩留り良く製造することができることがわかる。
【００５３】
以上、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法について詳細に説明したが、本発明は以上の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのはもちろんである。
【００５４】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法によれば、芯粒子となる金属微粒子にこの金属微粒子を構成する主成分となる金属元素を主成分として含まない酸化物（普通の酸化物または複酸化物または酸素酸の塩を含む）からなる酸化物被覆層が堅固に、好ましくは全表面を完全に被覆された新規な酸化物被覆金属微粒子を提供することができるという効果を奏する。その結果、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法によって製造された酸化物被覆金属微粒子は、人工骨や化粧品添加物あるいは触媒の用途等のように金属の持つ機能（強度、磁性等）と酸化物の持つ機能（環境適正、光活性等）との融合や、燃料電池等の電極材料への用途等のように金属と酸化物との密着性等が必要となる分野への用途を開くことができるという効果も奏する。
【００５５】
また、本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法によれば、このような多大な効果を持つ新規な酸化物被覆金属微粒子を確実かつ容易に、好ましくは歩留り良く製造することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の酸化物被覆金属微粒子の一例の構成を示す模式的断面図である。
【図２】  本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法の一例を示すブロック図である。
【図３】  図２に示す酸化物被覆金属微粒子の製造方法の混合処理ブロックの一例を示すブロック図である。
【図４】  （ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、それぞれ図３に示す混合処理ブロックで実施される粒子が複合化される状態を説明する説明図である。
【図５】  図２に示す本発明の酸化物被覆金属微粒子の製造方法の熱プラズマ処理を実施する酸化物被覆金属微粒子製造装置の一実施例の線図的断面図である。
【図６】  本発明の実施例１で得られた酸化物被覆金属微粒子の一例のＴＥＭ写真である。
【図７】  図６に示すＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子のポイントＮｏ．５のＥＤＸ分析チャートである。
【図８】  図６に示すＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子のポイントＮｏ．６のＥＤＸ分析チャートである。
【図９】  本発明の実施例２で得られた酸化物被覆金属微粒子の一例のＴＥＭ写真である。
【図１０】  図９に示すＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子のポイントＢ１のＥＤＸ分析チャートである。
【図１１】  図９に示すＴＥＭ写真の酸化物被覆金属微粒子のポイントＢ６のＥＤＸ分析チャートである。
【符号の説明】
１０  酸化物被覆金属微粒子
１２  金属微粒子
１４  酸化物被覆層
２０  酸化物被覆金属微粒子製造過程
２２  金属粉末原料
２４  酸化物粉末原料
２６  混合処理工程
２８  熱プラズマ処理工程
３０  予備混合処理工程
３２  粒子複合化処理工程
３４，３４ａ，３４ｂ  複合化粒子
４０  酸化物被覆金属微粒子製造装置
４２  プラズマトーチ
４２ａ  プラズマ室
４２ｂ  石英管
４２ｃ  高周波発信用コイル４２ｃ
４２ｄ  冷却用外套管
４２ｅ  ガス噴出口
４２ｆ  供給口
４２ｇ  ガス供給源
４３  熱プラズマ（プラズマ焔）
４４  石英二重管
４４ａ  冷却室
４４ｂ  石英管
４４ｃ  冷却用外套管
４６  冷却二重管
４６ａ  冷却室
４６ｂ  内管
４６ｃ  冷却用外套管
４８  急冷管
４８ａ  被覆粒子生成室
４８ｂ  内管
４８ｃ  冷却用外套管
５０  粉末原料混合物供給装置
５２  製品回収部
５２ａ  回収室
５２ｂ  フィルタ
５２ｃ  ガス吸引排出口
５２ｄ  ガス吸引源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004004675.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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