(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記ホルダは真円度が９８％以上の円形であり、該ホルダのヤング率Ｅ、厚さｄにより規定され、スレーブ媒体とマスター担体との密着領域幅１ｍと定義した場合の曲げ堅さ＝Ｅｄ3／12が、０．１〜３０ｋＮ・ｍ2の範囲にあり、かつホルダ厚が３ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であることを特徴とする磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加と共に多くの情報を記録する大容量で安価で、さらに好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せるような、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例として高密度フレキシブルディスクが知られ、その大容量を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわるプリフォーマットとして記録されている。
【０００３】
磁気ヘッドはこのようなプリフォーマットの信号を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能に設定されている。現在のプリフォーマットは、ディスクを専用のサーボライト装置を用いて１枚ずつまた１トラックずつ記録して作成される。
【０００４】
しかしながら、サーボライト装置は高価であり、またプリフォーマット作成に時間が掛かるために、この工程が製造コストの大きな部分を占めることになっており、その低コスト化が望まれている。
【０００５】
一方、１トラックずつプリフォーマットを書くのではなく、磁気転写方法によりそれを実現する方法も提案されている。この磁気転写方法としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号公報、特開平１０−４０５４４号公報、特開平１０−２６９５６６号公報等に開示されている。磁気転写は、マスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報（例えばサーボ信号）に対応する磁化パターンの転写を行うもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間である。
【０００６】
上記磁気転写における転写品質を高めるためには、マスター担体とスレーブ媒体とをいかに均一な力でまたは隙間なく密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００７】
この課題の一つの解決手段として、我々は、特願２００１−１４４２９６号等において、前記マスター担体の背面を吸着保持する平坦面（ホルダ面）を有する吸着部材を備え、マスター担体の平坦性を高めた状態でスレーブ媒体と密着させることを提案している。
【０００８】
その方法を図１および図２で略説明する。図１はその発明の一つの実施の形態にかかる磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図、図２はホルダの分解斜視図であり、これらは本発明の基本技術を含んでいる。
【０００９】
図１および図２に示す磁気転写装置１は面内記録方式により両面同時転写を行うものであり、スレーブ媒体２の上下にマスター担体３，４を対峙密着させたホルダ１０を回転させつつ、このホルダ１０の上下に配設した磁界印加装置５（電磁石装置）によって転写用磁界を印加して、マスター担体３、４に担持した情報を磁気的にスレーブ媒体２の両面に同時に転写記録する。ここで対峙密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【００１０】
ホルダ１０は、スレーブ媒体２の下側記録面にサーボ信号等の情報を転写する下側マスター担体３と、スレーブ媒体２の上側記録面にサーボ信号等の情報を転写する上側マスター担体４と、前記下側マスター担体３を吸着保持して平坦性を矯正する下側吸着部材６を備えた下側圧接部材（下ホルダ）８と、前記上側マスター担体４を吸着保持して平坦性を矯正する上側吸着部材７（下側吸着部材６と同構成）を備えた上側圧接部材（上ホルダ）９とを備え、これらは中心位置を合わせた状態で圧接され、スレーブ媒体２の両面に下側マスター担体３と上側マスター担体４とを対峙密着させる。
【００１１】
図示のスレーブ媒体２は、円盤状の記録メディア２ａの中心部にハブ２ｂが固着されてなるフレキシブルディスクであり、記録メディア２ａはフレキシブルなポリエチレンテレフタレート等からなる円盤状のベースの両面に磁性体層が形成された記録面を有する。このスレーブ媒体は、ハードディスクであってもよい。
【００１２】
前記下側マスター担体３および上側マスター担体４は、円盤状ディスクに形成され、その片面に前記スレーブ媒体２の記録面に密着される微細凹凸パターンによる転写情報担持面を有し、これと反対側の面が下側吸着部材６および上側吸着部材７に真空吸着保持される。この下側マスター担体３および上側マスター担体４は、必要に応じてスレーブ媒体２との密着性を高めるために、微細凹凸パターンの形成部以外の位置でかつ後述の吸着部材６、７の吸引孔に連通しない位置に微細な孔が表裏を貫通して形成されて、スレーブ媒体２との密着面間のエアを吸引排出するように設けられる。
【００１３】
下側吸着部材６（上側吸着部材７も同様）は、マスター担体３の大きさに対応した円盤状に設けられ、その表面が平坦に仕上げられた吸着面（ホルダ面）６ａに形成されている。この吸着面６ａには、直径約２ｍｍ以下の吸引孔６ｂが約２５〜１００個ほぼ均等に開口している。図示していないが、この吸引孔６ｂには吸着部材６の内部から下側圧接部材８の外部に導出された吸引通路を経て真空ポンプに接続されて吸引され、吸着面６ａに密着されたマスター担体３の背面を真空吸着し、該マスター担体３の平坦性を吸着面６ａに沿わせて矯正する。
【００１４】
下側圧接部材８および上側圧接部材９は円盤状で一方または両方が軸方向に移動可能に設けられて図示しない開閉機構（押圧機構、締結機構等）によって開閉作動するものであり、互いに所定の圧力で圧接される。外周には鍔部８ａ，９ａを有し閉作動時には上下の圧接部材８，９の鍔部８ａ、９ａが当接して内部を密閉状態に保持する。下側圧接部材８の中心部には、スレーブ媒体２のハブ２ｂの中心孔に係合して位置決めするピン８ｂが設けられている。また、下側圧接部材８および上側圧接部材９は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動される。
【００１５】
上記ホルダ１０においては、同じ下側マスター担体３および上側マスター担体４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず下側吸着部材６および上側吸着部材７の吸着面６ａにそれぞれ中心位置を合わせて下側マスター担体３および上側マスター担体４をそれぞれ真空吸着して保持させておく。
【００１６】
そして、上側圧接部材９と下側圧接部材８とを離間した開状態で、予め初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットした後、上側圧接部材９と下側圧接部材８とを接近させて閉作動し、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を密着させる。その後、上下の磁界印加装置５の移動またはホルダ１０の移動によって、ホルダ１０の上下面に上下の磁界印加装置５を接近させ、ホルダ１０を回転させつつ磁界印加装置５によって転写用磁界を印加して、下側マスター担体３および上側マスター担体４の転写情報をスレーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録する。
【００１７】
初期磁界および転写用磁界を印加する磁界印加装置５は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石が上下に配設されてなり、上下で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。磁界印加装置５は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、磁界印加装置５を回転移動させてもよい。
【００１８】
垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をスレーブ媒体２とマスター担体３とのホルダ１０の上下に配置し、垂直方向に磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、スレーブ媒体２とマスター担体３とのホルダ１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００１９】
上記の形態によれば、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を密着させる際に、それぞれのマスター担体３，４を吸着部材６，７によって平坦度の高い吸着面に真空吸着することにより、平坦性を矯正して高めることができる。この平坦な上下のマスター担体３，４によってスレーブ媒体２を挟むように圧接して密着させるために、スレーブ媒体２とマスター担体３，４間に隙間ができることなく全面で均等に密着させることができ、マスター担体３，４に形成された凹凸パターンに正確に対応した磁化パターンをスレーブ媒体２の記録面に転写記録することができる。また、スレーブ媒体２と密着する以前にマスター担体３，４は平坦に矯正されていることで、密着時にマスター担体３、４が変形せずスレーブ媒体２との間にコスレが発生せず、ダメージの発生がなく耐久性および品質が高められるとされている。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、係るプロセスにおいては、平坦な上下のマスター担体３，４によってスレーブ媒体２を挟むように圧接して密着させるために、マスター担体を保持するホルダによる押圧が均一に行われなければならない。
【００２１】
そこで、マスター担体とスレーブ媒体との密着用に数多くのホルダを作成し、磁気転写を行ったところ、転写された信号に局所的な信号抜け、および信号品位が低下する場合があった。この密着方式に問題があると考えホルダ形状、弾性特性の検討を行った。これまで密着力印加方式として、真空吸引法（特開昭６４−８８９２１参照）などが提案されている。
【００２２】
詳細には後述の実施例で示すが、密着力の印加方式として真空吸引法を使用した場合、ホルダ全体に均一に力が働き、マスター担体およびスレーブ媒体が設置されている領域では互いのホルダの力が釣り合っているが、設置されていない領域では力が釣り合う範囲でホルダの変形が発生していることがわかった。加えてマスター担体とスレーブ媒体との密着円盤端に力が集中し、その中心部間では密着力が低減してマスター担体とスレーブ媒体間のスペーシングが増加し、信号転写不良が発生していることが判明した。
【００２３】
また、上述のホルダ１０は、磁界印加装置５によって転写用磁界が印加されるため、下側マスター担体３および上側マスター担体４の転写情報がスレーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録されるのみならず、前記ホルダ１０自体が、その材質によっては、磁化されてしまうという問題点があった。前記ホルダ１０が磁化されると、該ホルダに転写用磁界が吸い込まれ、実効的な転写用磁界が不足し、信号品位が低下するケースがあった。
【００２４】
ところで、磁気転写ではスレーブ媒体に信号を記録する際、静磁界を印加する。磁気転写の処理効率を向上するためには、磁界印加速度を高めて工程時間を短縮することが有効である。しかし、この工程時間の短縮を図ると、転写後のスレーブ媒体に記録された信号品位が、通常速度で磁気転写した際の信号レベルに達しないケースがあった。上記現象を解析した結果、工程時間を短縮したことにより、転写磁界の立ち上がり時間が急峻であるため、比電気抵抗の低い材質によるホルダでは反磁界が発生し、マスター担体とスレーブ媒体との密着面では十分な磁界強度が確保できていないことが分かった。
【００２５】
つまり、上述のホルダ１０には磁界印加装置５によって転写用磁界が印加されるため、このホルダ１０の材質によっては、磁界強度が十分に確保できず、下側マスター担体３および上側マスター担体４の転写情報がスレーブ媒体２の記録面に磁気的に転写記録される信号品位が必要なレベルに達しない場合があった。
【００２６】
さらに、上述の磁気転写装置においては、これまで、上下のホルダにおけるマスター担体の背面と接する範囲の吸着面の平面性、平坦度を高め、その面を基準としてマスター担体を真空吸引し、マスター担体自身の平坦度を向上させることで、マスター担体とスレーブ媒体との密着を確保するように検討してきた。
【００２７】
しかし、高平面性、高平坦度に吸着面を形成した場合、この吸着面とマスター担体背面との間に排出されないで残留したエア溜まりが発生し、マスター担体に局所的な変形が起こる問題があった。特に、吸着面の吸引孔の数が少ないか設けない構造とした場合には、上記エア溜まりが発生しやすくなる。
【００２８】
また、エア溜まりができない場合でも、平坦面同士の密着により吸着面にマスター担体が吸着してしまい、マスター担体の交換またはクリーニング等のためにマスター担体を吸着面から引き剥がすことが困難となり、その際にマスター担体を変形させる問題があった。
【００２９】
また、上述の磁気転写装置においては、ホルダ１０を回転させる駆動手段が必須であるが、図１からあきらかなように、前記ホルダ１０を回転させる駆動手段を設置するスペースが、磁界印加装置５や、図示しない真空吸引ポンプへの吸引経路等との取り合いで、確保しにくくなっていた。また仮に、設置スペースが確保できたとしても、装置周りが複雑な構造となり、実験装置ならともかく一般量産設備とした場合には、保守性、作業性等の観点で問題が生じていた。
【００３０】
また、上述のホルダ１０は、合わせ面構造であり、しかも密着力を増加させるため、ホルダ自体に大きな外圧がかかるものであるから、その表面の一部が粒状欠落物となったり、磨耗粉が発生したりして、塵埃発生原因とる恐れがある。
【００３１】
本発明はこのような問題に鑑み、マスター担体とスレーブ媒体を対峙密着させてホルダに収納した状態で転写用磁界を印加して磁気転写を行う際に、均一な力で密着させて信号抜けなどの転写不良の発生を防止し、転写信号品位を向上した磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【００３５】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、
前記ホルダは真円度が９８％以上の円形であり、該ホルダのヤング率Ｅ、厚さｄにより規定され、スレーブ媒体とマスター担体との密着領域幅１ｍと定義した場合の曲げ堅さ＝Ｅｄ3／12が、０．１〜３０ｋＮ・ｍ2の範囲にあり、かつホルダ厚が３ｍｍ以上、１５ｍｍ以下であることを特徴とするものである。
【００３６】
つまり、前述の密着方式の検討から、ホルダ形状に対し局所的および対称的に信号抜けが発生していることから、均一な力を印加できる形状が必要であり、ホルダを円形に設計することで、局所的・対称的な信号抜けは発生しなくなった。ホルダの真円度を９８％以上に設定することで信号抜けはより大幅に減少した。より信号抜けを低減させるためにはホルダの機械強度を向上させる必要があり、機械剛性を向上させるにはヤング率Ｅの高い材料を用いる、構造体の厚さｄを上げることが重要である。そこで材質、厚さをパラメーターとした信号抜け評価の結果、ホルダ厚を３ｍｍ未満に設定するとホルダ変形が大きく、マスター担体とスレーブ媒体との密着面で均一な密着を得るのが困難であった。
【００３７】
一般的には剛性を上げれば上げるほどホルダ変形が小さくなり、信号抜けが低減し、信号品位も向上すると考えられる。しかしホルダ厚を１５ｍｍを越えて設計すると、信号抜けは殆ど発生しないものの、信号品位が低下していることが分かった。ホルダの厚さをパラメーターとした解析を行った結果、ホルダ厚さによって磁界印加装置（電磁石）からホルダに印加される磁界分布が大きくなり、磁気転写レベルが低下することが分かった。よってホルダ厚さを３ｍｍ以上、１５ｍｍ以下に設定することで密着および磁界分布均一性が確保できた。
【００３８】
なお、上記ヤング率は、振動リード法により測定して得られる値を用いる。ホルダの素材から長さＬ＝50mm、厚さｄの短冊状の試料を切り出し、一端を固定する。この一端を固定した状態で短冊状試料に対して振動を与え、共鳴周波数ｆを測定する。ヤング率Ｅは共鳴周波数ｆと
Ｅ＝３ρｆ2（４πＬ2／αｄ）2
の関係にあることが知られており、この関係式からヤング率Ｅを算出する。ここで、ρは密度、αは定数（1.875）である。このヤング率Ｅと、試料片幅ｂ、試料厚さｄを、
曲げ堅さ＝Ｅｂｄ3／12
の式に代入することにより、曲げ堅さの値が得られる。本発明は試料片幅を１ｍと定義した場合の曲げ堅さの最適な範囲を規定している。
【００３９】
また、本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダの材質の比透磁率が、１０以下、好ましくは５以下であることが望ましい。
【００４０】
このとき、ホルダの材料としては、係る特性を有するものであれば特に限定はなく、金属、プラスチック、セラミック等の中から適宜選択されるが、工業規模で考えた場合は、アルミニウム系合金、ステンレス系合金等が好適である。
【００４１】
また、本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダの表面が、表面硬化処理を施したものであることが望ましい。
【００４２】
係る表面処理により、上記のホルダ表面の一部が粒状欠落物となったり、磨耗粉が発生し、塵埃発生原因となるという問題点が解消できる。このとき、ホルダの材質は、一般的に非磁性材のアルミニウムやステンレス、であるので、表面処理としては、ホルダがアルミニウムであれば、アルマイト処理等が好適である。ホルダがステンレスの場合は、いわゆるハードクロムめっき処理、タフトライト処理、高周波焼入れ等が好適である。また、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜を表面に成膜することも良い。これらの処理条件は、ホルダの使用環境（外圧条件等）により適宜選択すれば良い。
【００４３】
また、本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダの材質の比電気抵抗が、２．０×１０-8Ω・ｍ以上、２０×１０-8Ω・ｍ以下であることが望ましい。
【００４４】
例えば、図１および図２に示す実施形態では、ホルダ１０における、下側吸着部材６および上側吸着部材７を含む下側圧接部材８および上側圧接部材９の材質の比電気抵抗を、上記の範囲に設定してなる。このとき、ホルダの材料としては、係る特性を有するものであれば特に限定はなく、各種材質の中から適宜選択されるが、工業規模で考えた場合は、アルミニウム系合金、ステンレス系合金等が好適である。
【００４５】
また、本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを対峙密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダの前記マスター担体の背面が接する範囲の吸着面は、中心線平均表面粗さＲａが０．１μｍ以上、１μｍ以下であり、表面微細突起の先端の変動幅が０．０１μｍ以下であり、かつ平坦度が１μｍ以下であることが望ましい。
【００４６】
図４は、吸着面６ａの断面模写図である。表面には微細な凹凸が形成され、この凹凸表面の微細突起の高さａに対応する中心線平均表面粗さＲａが０．１〜１μｍであり、微細突起における各突起の先端の変動幅ｂが０．０１μｍ以下であり、疑似表面の平坦度すなわち最も高い位置と低い位置との差ｃが１μｍ以下となるように形成されている。
【００４７】
上記のような吸着面の形成は、平坦度が１μｍ以下となるように形成した表面を、ロレット加工またはブラスト加工等によって、中心線平均表面粗さＲａが０．１〜１μｍ、表面微細突起の先端の変動幅が０．０１μｍ以下となるように、粗面化処理を施してなる。
【００４８】
なお、上側圧接部材および下側圧接部材の形態は、前述の図２のような矯正作用を有する吸着部材の吸着面によるホルダ面に構成されるほか、吸着力の弱い吸着面構造、または、吸引孔を有しない平坦面に構成される。また、少なくともマスター担体の背面が接する範囲が上記のような表面特性に形成されていればよいものである。
【００４９】
また、本発明の磁気転写装置は、転写情報を担持したマスター担体と、転写を受けるスレーブ媒体とを密着させてホルダに収納後に、転写用磁界を印加し磁気転写を行う磁気転写装置において、前記ホルダが、その外周に摺接する回転手段によって回転することが望ましい。
【００５０】
このとき、前記回転手段は、円盤形状のものが採用され、前記ホルダの円盤形状部分に、互いに摺接回転させればよく、前記摺接部分は、ギアのかみ合い構造や、ゴム等の弾性部材による摩擦接触構造が採用される。また、前記の回転手段の１８０度対角には、スラスト方向の力を相殺する支持手段が設けられていることが望ましい。更に、支持手段は、前記回転手段からみて左右１２０度方向に２箇所設置されていたほうが好ましい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明の磁気転写装置によれば、マスター担体とスレーブ媒体との密着状態を実現するホルダは真円度が９８％以上の円形であり、材料のヤング率Ｅ、ホルダ厚さｄ等で定義されるホルダの曲げ堅さ＝Ｅｄ3／12を０．１〜３０ｋＮ・ｍ2の範囲とし、ホルダ厚を３〜１５ｍｍとしたことにより、均一な力でマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて密着不良を解消し、信号抜けなどの転写不良の発生を防止し、転写信号品位を向上することができた。
【００５２】
また、本発明において、磁気転写装置のホルダの材質の比透磁率を１０以下としたものでは、磁気転写時の転写用磁界によってホルダ自体が磁化されることがなく、所望の転写磁界を印加して良好な転写品質を得ることができる。
【００５３】
また、本発明において、磁気転写装置のホルダの材質の比電気抵抗を２．０×１０-8Ω・ｍ以上の値に調整したものでは、転写磁界の立ち上がり時間が急峻であっても、反磁界の発生を大幅に抑制でき、磁気転写に必要な磁界強度を確保することができ、工程時間を短縮して処理効率を高めることができる。また、比電気抵抗を高くした場合、ホルダ自身が帯電し、塵埃を引きつけて信号抜け等が発生する問題があるが、ホルダの材質の比電気抵抗を２０×１０-8Ω・ｍ以下としたことにより、帯電の問題も解決できた。
【００５４】
また、本発明において、磁気転写装置のホルダにおける、マスター担体の背面が接する範囲のホルダ面を、中心線平均表面粗さＲａが０．１μｍ以上、１μｍ以下とし、表面微細突起の先端の変動幅が０．０１μｍ以下とし、かつ平坦度が１μｍ以下であるようにしたものでは、エア溜まりの改善と、マスター担体の引き剥がし性の両立が可能となった。
【００５５】
つまり、ホルダ面の平坦度を１μｍ以下、微細突起の先端変動幅を０．０１μｍ以下と高精度としたことにより、マスター担体の平坦度を確保し、スレーブ媒体との密着性を高めて信号抜けの発生を防止する。また、中心線平均表面粗さＲａを０．１〜１μｍの範囲に、多少粗く設けたことにより、その表面の凹凸によって形成される空間により、エアの流入・排出を容易とし、マスター担体との密着における残留エアによるエア溜まりが形成されるのを防止し、密着後の引き剥がしを容易に行うことができる。中心線平均表面粗さＲａが０．１μｍ未満では、エア溜まりおよび引き剥がし性の面で困難となり、また中心線平均表面粗さＲａが１μｍを越えると、表面が粗くなって、マスター担体の局所的な変形が発生し、密着不良の要因となる。
【００５６】
また、本発明において、磁気転写装置のホルダに表面硬化処理を施したものでは、該ホルダ表面の一部が粒状欠落物となったり、磨耗粉が発生し、塵埃発生原因となるという問題点が解消でき、安定した磁気転写を行うことができる。
【００５７】
また、本発明において、磁気転写装置のホルダをその外周に摺接する回転手段によって回転するものとした場合は、駆動手段を設置するスペースは、磁界印加装置や、真空吸引ポンプへの吸引経路等との取り合いを考慮せずに設計でき、一般生産設備としての保守性、作業性等の観点での問題も解消できる。
【００５８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一つの実施の形態を詳細に説明する。本発明の磁気転写装置の基本形態は前述の図１、図２およびその説明の通りであり、そのホルダの形状材質を前述のように設定してなるものである。また、図３は磁気転写装置のホルダの回転駆動方式にかかる実施形態の転写状態を示す要部正面図である。なお、マスター担体、スレーブ媒体等、ホルダの内部に装着された部材は前述の通りである。
【００５９】
図３に示す磁気転写装置２０は面内記録方式により両面同時転写を行うものであり、スレーブ媒体の上下にマスター担体を対峙密着させたホルダ２２（図１のホルダ１０と同様）を回転させつつ、このホルダ２２の上下に配設した磁界印加装置２３（電磁石装置）によって転写用磁界を印加して、マスター担体に担持した情報を磁気的にスレーブ媒体の両面に同時に転写記録する。
【００６０】
ホルダ２２は上下に分離し、それぞれ図面上下方向に移動可能な上側および下側の支持アーム２４，２４の先端に、回転自在に支持された上側および下側の駆動部材２５，２５の下端および上端に一体支持されている。上側および下側の支持アーム２４，２４は、上下方向に延びるガイドロッド４０に保持され、上下方向に摺動自在である。
【００６１】
また駆動部材２５，２５の内部には、真空吸引通路が設けられており、ロータリジョイント２６，２６を通じて真空ポンプ吸引経路２７，２７に繋がっている。
【００６２】
ここで、ホルダ２２は、その外周で、円盤形状の回転手段２８と摺接しており、前記回転手段２８は、減速機一体型の駆動用モータ２９と連結され、独立架台３０に保持されている。
【００６３】
磁気転写処理を行う際には、回転手段２８が回転し、それに連れ回りする形で、ホルダ２２が回転する。また回転手段２８の対角には、スラスト力を相殺する、同じく円盤形状の支持部材１１が、前記ガイドロッド４０に回転自在に設置され、前記ホルダ２２の回転安定化を図っている。
【００６４】
なお、前記摺接部分の詳細は図示しないが、ホルダ２２、回転体２８の双方にギアを設けて、互いのかみ合いを利用する方式や、ゴム等の弾性体を接触させる方式が適宜選択される。
【００６５】
図１〜図３では、ホルダにマスター担体およびスレーブ媒体を水平に収容して磁気転写を行う態様を示しているが、ホルダを縦向きとしてマスター担体およびスレーブ媒体を鉛直方向に収容して磁気転写を行うようにしてもよい。
【００６６】
【実施例】
ここで、磁気転写装置のホルダの実施例と比較例を示し、その形状寸法、材質等を前述のような範囲とする実験結果を説明する。実験に使用したマスター担体、スレーブ媒体および評価方法は次の通りである。
【００６７】
＜マスター担体＞
中心から半径方向２０ｍｍ〜４０ｍｍの位置までの領域に、ビット長が０．３μｍ、トラック幅が２．５μｍ、トラックピッチが２．６μｍ、溝深さが０．２μｍの転写パターンを有するマスター担体を使用した。マスターの作成にはスタンパー作成法を用いた。Ｎｉ基板上に、磁性層（ＦｅＣｏ３０ａｔ％層）を基板温度が２５℃で作成した。Ａｒスパッタ圧は１．５×１０-1Ｐａ（１．０８ｍＴｏｒｒ）とした。投入電力は２．８０Ｗ／ｃｍ2とした。
【００６８】
＜スレーブ媒体＞
真空成膜装置（芝浦メカトロニクス社：Ｓ−５０Ｓスパッタ装置）において、室温にて１．３３×１０-5Ｐａ（１０-7Torr）まで減圧した後に、アルゴンを導入して０．４Ｐａ（３×１０-3Torr）とした条件下で、ガラス板を２００℃に加熱し、ＣｒＴｉ６０ｎｍ、ＣｏＣｒＰｔ２５ｎｍ、磁束密度Ｍｓ：５．７Ｔ（４５００ガウス）、保磁力Ｈcs:１９９ｋＡ／ｍ（２５００Ｏｅ）の３．５インチ型の円盤状磁気記録媒体（ハードディスク）を作成し、スレーブ媒体として使用した。
【００６９】
＜ホルダ＞
実験例１（表１）は、ホルダの曲げ堅さ、厚さの特性を判定したものである。これに使用した実施例１のホルダは、ジュラルミン製であり、円形でその真円度が９９％、ホルダ厚さが５ｍｍであり、曲げ堅さは表１に示すとおりである。この曲げ堅さの調整には、使用する材質を変更することで対応可能である。具体的にはジュラルミン、マグネシウム合金、ステンレス合金などが使用可能である。
【００７０】
実施例２のホルダはホルダ厚さを３ｍｍ、実施例３のホルダはホルダ厚さを１５ｍｍに変更した点を除き実施例１と同様である。比較例１のホルダはホルダ厚さを２ｍｍに、比較例２のホルダはホルダ厚さを４５ｍｍに変更した点を除き実施例１と同様である。比較例３のホルダは、ホルダ形状を四角形に変更した点を除き実施例１と同様である。比較例４のホルダは、ホルダの真円度を９６％に変更した点を除き実施例１と同様である。これらの曲げ堅さも表１に示すとおりである。
【００７１】
実験例２（表２）は、ホルダの比透磁率の特性を判定したものである。これに使用した実施例１のホルダは上記のものであり、ジュラルミン製であって、その比透磁率は表２に示すように０．８である。実施例４のホルダは材質をステンレス３０４（比透磁率：２．０）に、実施例５のホルダは材質をステンレス３１６（比透磁率：８．０）に変更した点を除き実施例１と同様である。
【００７３】
実験例３（表３）は、ホルダの比電気抵抗の特性を判定したものである。これに使用した実施例１のホルダは上記のものであり、ジュラルミン製であって、その比電気抵抗は表３に示すように３．４×１０-8Ω・ｍである。実施例６のホルダは材質をクロム（比電気抵抗：１８×１０-8Ω・ｍ）に変更した点を除き実施例１と同様である。
【００７４】
＜転写不良個所の測定＞
実験例における信号抜けの測定および評価は次のようにした。磁気転写を行ったスレーブ媒体を磁気現像液（シグマハイケミカル社製：シグマーカーＱ）を１０倍に希釈し、スレーブ媒体上に滴下、乾燥させ、現像された磁気転写信号を目視で観測し、信号抜けがない場合が良（○）、１箇所以上の信号抜けが確認された場合を不良（×）として評価した。
【００７５】
＜信号品位評価方法＞
実験例における信号品位の測定および評価は次のようにした。電磁変換特性測定装置（協同電子社製ＳＳ−６０）によりスレーブ媒体の転写信号の評価を行った。ヘッドには、再生ヘッドギャップ：０．２９μｍ、再生トラック幅：１．２μｍ、記録ヘッドギャップ：０．５μｍ、記録トラック幅：１．８μｍであるＭＲヘッドを使用した。読み込み信号をスペクトロアナライザーで周波数分解し、１次信号のピーク強度（Ｃ）と変調ノイズ（Ｎ）の差（Ｃ／Ｎ）を測定した。従来方法として同ヘッドで記録再生し、算出したＣ／Ｎ値を０ｄＢとし、相対値（ΔＣ／Ｎ）で評価を行った。相対Ｃ／Ｎ値が−０．３ｄＢ以上でであれば良（○）、−０．３ｄＢ未満であれば不良（×）として評価した。
【００７６】
上記測定評価結果を表１〜表３に示す。表１から分かるように、曲げ堅さが０．１〜３０ｋＮ・ｍ2の範囲にあり、かつホルダ厚が３ｍｍ以上、１５ｍｍ以下である実施例１〜３のホルダが、均一な力でマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて、良好な転写結果が得られた。さらに、ホルダを円形で真円度を９８％以上に設定することが良好である。
【００７７】
比較例１のようにホルダ厚を３ｍｍ未満に設定すると曲げ堅さが低くホルダ変形が大きく、転写不良が発生した。また、比較例２のようにホルダ厚を１５ｍｍを越えて設計すると、信号抜けは発生しないものの、信号品位が低下した。さらに、比較例３および４のようにホルダが非円形または真円度が９８％未満のものでは、信号抜けが顕著に増大した。
【００７８】
また、表２から分かるように、ホルダ材質の比透磁率が１０以下である実施例１，４，５では、ホルダ自体が磁化されることなく、強い転写磁界を得ることができ良好な磁気転写が行えた。比透磁率が１０より大きくなると信号品位が低下する。
【００７９】
さらに、表３から分かるように、ホルダ材質の比電気抵抗が２．０〜２０×１０-8Ω・ｍである実施例１，６では、反磁界の発生を抑制でき、転写に必要な磁界強度が確保でき良好な磁気転写が行えた。比電気抵抗が小さいと信号品位が低下し、比電気抵抗が過大となると信号抜けが発生する。
【００８０】
【表１】
0003977154.tif 000002
【００８１】
【表２】
0003977154.tif 000003
【００８２】
【表３】
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【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基本形態を含む磁気転写装置の転写状態を示す要部斜視図
【図２】図１のホルダの分解斜視図
【図３】ホルダの回転駆動方式についての実施形態に係る磁気転写装置の転写状態を示す要部正面図
【図４】一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダ面の断面模写図
【符号の説明】
1,20    磁気転写装置
2    スレーブ媒体
3,4    マスタ担体
5,23    磁界印加装置
6,7    吸着部材
6a    ホルダ面
8,9    圧接部材
10,22    ホルダ
24    支持アーム
25    駆動部材
26    ロータリジョイント
27    真空ポンプ吸引経路
28    回転手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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