(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電子センサー（３３）によって監視区域（４９）を監視する方法であって、構造光パターンに従って、照射光が、監視区域（４９）の方向に送信され、かつ、監視区域で受容され、受容された光は受信装置によって受信信号に変換され、かつ、受信信号は、監視区域（４９）における、対象物（５３）の存在に関して、または、対象物（５３）の移動に関して評価される監視法であって、前記照射光は、少なくとも二つの異なる光パターンに従って送信、および受信され、前記光パターンは、対象物が存在しない監視区域のときは最終的に、受信装置の全ての領域または要素が、受容された照射光の作用を受けるように使用されるような態様で相互に相補的やり方で構造化されることを特徴とする監視法。
【請求項２】
前記光パターンは規則的な構造であり、光パターンは等距離的に交互に交代するパターンを持つことを特徴とする請求項１に記載の監視法。
【請求項３】
前記光パターンは、互いに１８０°位相変位していることを特徴とする請求項１または２に記載の監視法。
【請求項４】
前記光パターンは、直線的か、または、マトリックス型であることを特徴とする請求項１乃至３のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項５】
前記光パターンは、明・暗パターンであることを特徴とする請求項１乃至４のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項６】
前記照射光は、少なくとも二つの異なる光パターンに従って交互に交代して送信、および／または、受信されることを特徴とする請求項１乃至５のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項７】
前記異なる光パターンは、それぞれ、関連送信装置（３５、３７）によって生成されること特徴とする請求項１乃至６のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項８】
前記異なる光パターンは、異なる光学的送信システム（３９、４１）によって生成されることを特徴とする請求項１乃至７のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項９】
前記送信光ビーム、および／または、受信光光束は偏向され、変位され、または、傾斜されて前記異なる光パターンを生成することを特徴とする請求項１乃至８のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１０】
少なくとも一つの光パターンは、回折光学要素（３９、４１）によって生成されることを特徴とする請求項１乃至９のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１１】
監視区域（４９）から反射または反転された、または、監視区域を直線状に実質的に通過した照射光が受容され、かつ、評価されることを特徴とする請求項１乃至１０のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１２】
照射光は送信パルスとして送信され、かつ、監視区域（４９）からの光の受容は、前記送信パルスの発射と同期して行われることを特徴とする請求項１乃至１１のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１３】
前記受容光の評価のために、特定の光パターンについて確定した受信信号、または、それら受信信号を処理して得たデータを、以前のある時点で同じ光パターンについて確定した受信信号またはデータと比較することを特徴とする請求項１乃至１２のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１４】
前記監視区域（４９）は、前記以前のある時点において較正状態−特に、対象物が存在しない較正状態−にあり、あるいは、前記以前のある時点は、同じ光パターンの、直前の、照射および／または受容時点であることを特徴とする請求項１３に記載の監視法。
【請求項１５】
前記監視区域（４９）を不許可介入にたいして安全確保する監視法が実行され、かつ、監視区域（４９）における対象物（５３）の存在、または、対象物（５３）の移動が、前記受信信号の評価の結果検出された場合、スイッチ切断信号または警告信号が生成されることを特徴とする請求項１乃至１４のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１６】
前記受信信号はさらに、監視区域（４９）内に配置された対象物（５３）の距離に関して、特に、三角形配置によって偏向するビーム通路を考慮することによって評価されることを特徴とする請求項１乃至１５のいづれか一項に記載の監視法。
【請求項１７】
監視区域（４９）の監視用光電子センサー（３３）であって、監視区域（４９）の方向に照射光を照射するための、少なくとも１個の送信装置（３５，３７）、監視区域（４９）から受容された光を受信信号に変換するための、少なくとも１個の受信装置（４５）、および、監視区域（４９）における対象物（５３）の存在に関して、または、対象物（５３）の移動に関して、受信信号を評価するための評価装置（４７）を含み、前記送信装置（３５、３７）および／または受信装置（４５）は、構造光パターンの送信または受信のために形成され、
かつ、前記少なくとも１個の送信装置（３５、３７）、および前記少なくとも１個の受信装置（４５）は、少なくとも２個の異なって構造光パターンの送信または受信のために形成され、
かつ、対象物が存在しない監視区域のときは最終的に、受信装置の全ての領域または要素が、受容された照射光の作用を受けるように使用されるような態様で相互に相補的やり方で構造化されることを特徴とする光電子センサー。
【請求項１８】
前記送信装置（３５、３７）および／または受信装置（４５）は、異なる光パターンを、それぞれ、交互に送信または受信するために形成されることを特徴とする請求項１７に記載の光電子センサー。
【請求項１９】
それぞれ個別の送信装置（３５、３７）が、異なる光パターンの送信のために備えられていることを特徴とする請求項１７または１８に記載の光電子センサー。
【請求項２０】
それぞれ個別の光学的送信システム（３９、４１）が、異なる光パターンの送信のために備えられていることを特徴とする請求項１７乃至１９いづれか一項記載の光電子センサー。
【請求項２１】
前記受信装置（４５）は、複数の受信要素を有することを特徴とする請求項１７乃至２０いづれか一項記載の光電子センサー。
【請求項２２】
それぞれ個別の光学的受信システムが、異なる光パターンの受信のために備えられていることを特徴とする請求項１７乃至２１いづれか一項記載の光電子センサー。
【請求項２３】
移動可能な、特に変位可能なまたは傾斜可能な、光学的送信装置および／または光学的受信装置が備えられていることを特徴とする請求項１７乃至２２のいづれか一項記載の光電子センサー。
【請求項２４】
請求項１７乃至２３のいずれか一項によるセンサーであって、光学的送信システム、および／または、光学的受信システムは、少なくとも１個の回折光学要素（３９，４１）を有することを特徴とする光電子センサー。
【請求項２５】
送信装置（３５，３７）および受信装置（４７）は、反射配置または透過配置に配置されることを特徴と請求項１７乃至２４のいずれか一項に記載の光電子センサー。
【請求項２６】
ある特定の光パターンについて確定された受信信号は、その同じ光パターンについて以前のある時点で確定された受信信号と、評価装置（４７）によって比較されることが可能であることを特徴とする請求項１７乃至２５のいずれか一項に記載の光電子センサー。
【請求項２７】
光の無謬性受容診断テストのために、発射された照射光によって確定される受信信号は、照射光が照射されていない時に確定された受信信号と、評価装置（４７）によって比較されることが可能であることを特徴とする請求項１７乃至２６のいずれか一項に記載の光電子センサー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光電子センサーによって監視区域を監視する方法であって、照射光は、監視区域の方向に構造光パターンに従って照射され、監視区域において受容され、受容された光は受容信号に変換され、および、受信信号は、監視区域における対象物の存在に関して、または、対象物の移動に関して評価されることを特徴とする監視法に関する。本発明はさらに、対応する光電子センサーにも関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のような監視法、および、上記のようなセンサーは、例えば、監視区域を、許可されない介入にたいして安全確保するために、対象物の存在、または、対象物の移動が監視区域で検出された場合に、スイッチ切断信号、または、警告信号が発せられるようにする。
【０００３】
このために、監視区域は照射光によって積極的に照明され、かつ、監視区域から受容された照射光は、受信装置、例えば、ＣＣＤカメラによって記録される。この受信装置の、対応受信信号は、閾値、または、それ以前のある時点で確定・保存された受信信号と比較される。これらの信号から、介在期間において、監視区域内に変化が起こったか否かについて結論を引き出すことが可能になる。
【０００４】
均一対象物の場合、これは、それ自体および背景にたいして低い視覚的対比しか持たない対象物のことであるが、下記の問題の生ずる可能性がある。すなわち、そのような対象物の監視区域への進入の認識は必ず誤差を伴うということである。この問題を回避するために、構造光パターンが工夫されている。すなわち、照射光が、ある明・暗パターンに従って照射され、および／または、同照射光は、その明・暗パターンに従って受信側に記録される。このような光パターンを、例えば、送信装置と受信装置の三角形配置と共に使用した場合、均一対象物の変位をも認識することが可能になる。しかしながら、今度は、この方法が、受信装置に関して、その機能性について十分なチェックができないという欠点をもたらす可能性がある（図３から５を参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
監視法、または、構造光パターンによって作動する光電子センサーにおいて、均一対象物の検出に関しても、および、受信装置の機能性のチェックに関しても信頼性を向上させることが本発明の目的である。
【０００６】
この目的は、冒頭に名指した種類の方法において、照射光は、少なくとも二つの異なる光パターンに従って送信され、および／または、受信されることによって達成される。
【０００７】
この目的は、光電子センサーにおいて、独立請求項２３の構成によって達成される。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明では、複数の異なる光パターンが使用される。これにより、監視区域の観察を高い正確度の下に実施することが可能になる。すなわち、本発明によれば、最終的に受信装置の全ての領域または要素が、複数の異なる光パターンによって使用されることになるので、センサーを、対応するより高い空間的解像度で動作させることが可能となる。複数の光パターンについて受信信号を評価するに際して、これら受信画像または受信信号−またはそれらの特徴−を、下記に説明するように、この目的のために同じパターンについて記録されたものとそれぞれ相互に比較することが可能になる。
【０００９】
同じ監視動作において複数の異なる光パターンを用いることによって、監視区域における均一対象物の認識が可能になるばかりではない（期待通りに）。むしろ、受信装置の機能性についても、複数の光パターンがテストの基礎として使用されるという点で完全に試験することが可能である。この目的のために、様々な光パターンを下記を実現するように選択することが可能となる。すなわち、最終的に受信装置の全ての領域または個別要素が受容された照射光の作用を受け、それによって、全ての領域または要素について、受信信号が何らかの量として出力されたか否かに関してテストすることが可能となるように選択することである。これに反して、既知の監視法では、このようなテストを同じ信頼性では実施することはできない。なぜなら、単一の構造化光パターンを使用しているために、受信装置のある領域または要素は、照射光の作用を受けることができず、従って、これらの領域または受信要素の機能性については何ら明言することが不可能だからである。
【００１０】
光パターンとは、監視区域の対象物、または、センサーの受信装置が照射光の作用を受けるという程度に応じて、明・暗パターンである。このパターンの明領域と暗領域の間の移行部は、本発明では、実質的に連続的に延長することも可能であるし、あるいは、実質的に明確に区画することも可能である。
【００１１】
さらに本発明に関連して注意しなければならないのは、光は、可視光範囲の照射光には限定されず、動作は、赤外線または紫外線範囲においても可能であるということである。
【００１２】
可能なかぎり完全で、かつ、解像度を向上させる受信装置テストの前述の利点について言うと、光パターンは相互に完全に相補的となるように構造化されていることが好ましい。言い換えると、光パターン−送信側、および／または、受信側において−は、全ての光パターンの連続的使用によって−特に、対象物が存在しない監視区域では−最終的に、受信装置の全ての領域または要素が、監視区域からの照射光の作用を受けるように使用される。
【００１３】
光パターンは、規則的な構造を持っていても、不規則な構造を持っていてもよい。さらに、本光パターンにおいては、直線的形態、あるいは、マトリックス形態が可能である。さらに、本光パターンは、多角形によって画成されてもよいし、自由な形態を持つことも可能である。
【００１４】
さらに、様々な光パターンを、交互に採用または使用することが好ましい。言い換えると、評価のために必要な記録された画像、または、受信された信号は一定の順序で確定されなければならない。これは、その記録画像または受信信号を、以前に記録された画像、または、以前に処理されたデータまたは受信信号と連続的に比較することを可能にするためである。さらに、様々な光パターンを交互に使用することによって、下記が実現される。すなわち、同じそれぞれの光パターンの使用の間の時間間隔は、全ての光パターンについて同じであるのだから、監視区域における対象物の動きは、それぞれの受信信号の評価の場合と実質的に同じやり方で自ずから注目されることになる。
【００１５】
様々な光パターンの生成のために、それぞれ別々に関連する送信装置であって、交互に調節が可能な複数の送信装置を設けることが可能である。
【００１６】
また別態様として、異なる光パターンにたいして、異なる光学的送信システム、および／または、光学的受信システムを設けることも可能である。これらは、それぞれ、交互に、監視区域への照射光を、または、監視区域からの照射光を画像化する。
【００１７】
さらに、１個以上の光学的送信システム−および／または、１個以上の光学的受信システム−を、その各々が一つの光パターンに対応する、異なる位置に移動させることも可能である。例えば、それぞれの光学システムの変位または傾斜の使用が可能である。さらに、様々な光パターンの生成のために、送信側および／または受信側において、照射光ビームを、例えば傾斜可能な鏡を用いて、様々の光軸に向きを変える事も可能である。
【００１８】
いずれの場合においても、異なる光パターンの実現のために、別々に関連する受信装置を設けることが可能である。
【００１９】
既に説明したように、受信装置が、特に、受信装置の全ての領域または要素がエラー無く作動しているかどうかについてテストを行うことが可能である。このために、受信信号を、一方では活性化された送信装置によって、他方では非活性化送信装置によって確定し、次に、これらの受信信号を相互に比較する、または、適当なアルゴリスムによって処理することが可能である。もしもそのような比較が、前記受信信号は互いに違ってはいない、または、十分なほどに違ってはいないことを示す場合は、受信装置の対応領域または要素の欠陥を結論することが可能となる。既に説明したように、このようなテストが、複数の異なる光パターンに関して実行され、それによって、受信装置の全ての領域または要素が検出されるならば、それは特に有利である。
【００２０】
本発明の、他の実施態様は従属請求項に記載される。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明は、下記に、図を参照しながら実施例に基づいて説明される。
【００２２】
図３は、送信装置１３、および、複数の受信要素を備えた受信装置１５を有する公知の光電子センサー１１を示す。送信装置１３は、監視区域１７の方向に、構造光パターンに従って照射光を発射する。
【００２３】
監視区域１７は、背景１９によって区画される。対象物２１が、監視区域１７内に配置される。監視区域１７から、すなわち、対象物２１から、または、背景１９から反射された照射光は、受信装置１５によって検出される。
【００２４】
図４は、受信装置１５が、対象物が存在しない監視区域に関して記録し、対応する受信信号に変換する画像である。この画像の図示の走査は、送信装置１３の対応する分割によって得られる。監視区域１７に対象物２１がない場合、受信装置１５は、陰影形として描かれたパターン領域２３から２９を有する（図３から５において）構造化光パターンに従って反射光の作用を受ける。
【００２５】
この対象物が存在しない状態の監視区域１７において受信装置１５の機能性をテストする必要がある場合、そのテストは、最終的に、パターン領域２３から２９に基づいてのみ信頼性をもって実施することが可能である。このようにして、非活性化送信装置１３によって確定される受信信号と、その配置において、パターン領域２３から２９に対応する、または、パターン領域２３から２９を画像化する受信装置１５の受信要素に関して、比較の実施が可能である。問題の受信要素が曲がりなりにも受容光を、対応する受信信号に変換しているかどうかに関する情報は、これらの受信要素についてのみ獲得することが可能である。
【００２６】
これに反して、図３に示すように、対象物２１が監視区域１７内に配置される場合、照明されるパターン領域、従って、受信装置１５の対応受信要素の露光は変位される。これは、センサー１１は三角法の原理に従って作動しているからであり、同法においては、照射光ビームの光軸と、受容光の光軸とは平行には延長せず、互いにある角度を持って延長するがために、反射性対象物２１の距離における変化は、受信側において光点の変位をもたらす。
【００２７】
このような状況のために、図３に示す、監視区域１７内における対象物２１の存在は、図５に示すような光パターンをもたらすことが可能である。この場合、隣接パターン領域３１において、照射光の作用を受けるのは、パターン領域２８ではなくて、背景１９となる。この作用は一般的には望ましい。なぜなら、監視区域１７における対象物２１の存在は、この変化から、例えば、図４に示すような以前の画像と比較することによって検出可能となるからである。
【００２８】
しかしながら、パターン領域３１に一致し、それ故今度は光の作用を受ける受容要素は、対象物が存在しない監視区域１７の場合には、前述のやり方では信頼度の高い機能性テストを実行することの不可能であった受信要素の内の一つである。言い換えると、今度光の作用を受ける、この受信要素は故障している可能性もあるのであるが、その場合、故障は、センサー１１の実際の監視操作を実行するまでは認識不可能である。このことは次の結果をもたらす可能性がある。すなわち、図４および５に示す、パターン領域２８からパターン領域３１への露光変位が認識されず、従って、対象物２１の存在が誤って無視される結果をもたらす可能性である。
【００２９】
この欠陥は、下記に図１ａおよび図２ａ・２ｂを参照しながら説明されるように、本発明によって除去される。
【００３０】
図１に示す光電子センサー３３は、２個の送信装置３５、３７を有し、これらにはそれぞれ、回折光学要素３９、４１が、光学的送信システムとして関連する。送信装置３５、３７は、例えば、レーザーダイオードによって形成される。
【００３１】
センサー３３はさらに、送信装置３５、３７とは隔壁４３によって隔てられて、例えば、ＣＣＤカメラによって形成される受信装置４５を有する。さらに、センサー３３は、調節・評価装置４７を含む。
【００３２】
照射光は、送信装置３５、３７によって、背景５１によって区画される監視区域４９の方向に送信される。これに関して、それぞれに関連する回折光学要素３９または４１は、照射光が、光パターンに応じて構造化される作用を持つ。この照射光は、監視区域４９内に位置づけられる背景５１と対象物５３によって反射され、光学的受容システム（図示せず）を介して、受信装置４５によって検出される。
【００３３】
受信装置４５は、図４および５を参照しながら説明したように、光パターンの内の一つ一つ毎に、照射され、反射され、かつ、検出された照射光の構造を解明することが可能である。受信装置４５は、受容光を−受信要素ごとに−受信信号に変換し、それらを、制御・評価装置４７に進める。
【００３４】
図２ａと２ｂは、それぞれ、回折光学要素３９と４１によって創成される二つの光パターンであって、それらが、対象物が存在しない監視区域４９の場合の背景５１において呈する外見、または、反射後、受信装置４５において呈する外見を示す。これらの光パターンは等距離的に交互交代する直線的なパターンである。この二つの光パターンは、図２ａと２ｂによる比較が示すように、互いに１８０°の位相変位を示す。従って、それらは、正確に互いに相補的に構造化される。
【００３５】
図１によるセンサー３３は、下記の二つの機能を可能とする。
【００３６】
先ず、監視区域４９内の対象物５３の存在の検出が可能である。このために、照射光が、二つの送信装置３５、３７の内の一つによって、対応する光パターンに従って監視区域４９内に照射され、反射後、受信装置４５によって検出される。ここで確定された受信信号、または、その処理データは、調節・評価装置４７によって、同じ送信装置３５または３７によって−従って、同じ光パターンを用いて−以前のある時点で、それぞれ送信され保存されていた受信信号またはそのデータと比較される。この比較値は、較正操作時に−センサー３３の実際の監視動作の前に−まだ監視区域４９内部に対象物５３が配置されていない時点で確定が可能である。対象物５３の存在はこのようにして検出が可能である。
【００３７】
別態様として、前記以前のある時点は、問題の送信装置３５または３７が−従って、対応する光パターンが−対応する受信信号を確定するのに活性化された最後の時点であってもよい。この方法では、その介在期間に起こった、監視区域４９内における対象物５３の移動を認識することが可能である。
【００３８】
いずれの場合も、調節・評価装置４７による、受信信号の、較正値または前回確定値との比較の基礎として、それぞれの閾値の使用が可能であり、それによって、十分に大きな変化があった場合には、警告信号、スイッチ切断信号、または、品目検出信号が出力される。
【００３９】
センサー３３の、この監視操作は、送信装置３５によって照射される照射光と、送信装置３７によって照射される照射光の両方に基づいて実行され、いずれの場合も、同じ光パターンに関して、以前の受信信号との前述の比較が行われる。
【００４０】
第二に、受信装置４５の全ての関連受信要素の完全テストを、図１に従って、センサー３３について実行することが可能である。このために、受信装置４５の受信信号は、一方では、照射光が、送信装置３５、３７の内の一つによって照射され、反射後、受信装置４５に作用する際に、確定される。これは、特に−といって必ずしもこれに限定されるわけではない−対象物が存在しない監視区域４９の場合に行われる。他方、受信装置４５の受信信号は、さらに、送信装置３５、３７のいずれも照射光を発射していない間も、確定が可能である。相互に対応するそれぞれ受信された信号は、すなわち、いずれの場合も受信装置４５の同じ受信要素によって受信された信号は相互に比較される。もしも十分な違いがあるならば、問題の受信要素は機能的であるという結論を引き出すことが可能である。
【００４１】
互いに相補的な、図２ａ、２ｂによる光パターン設計のお陰で、受信装置４５の全ての受信要素が、その機能性に関してテストされ、その結果はさらに、センサー３３の実際の監視操作にも使用される。
【００４２】
下記の行程は、例えば、センサー３３の二つの前述の機能（監視動作とテスト）について可能である。
ａ）先ず、テスト相では、受信装置４５の受信要素が、その機能性に関してテストされる。これは、対象物が存在しない監視区域４９について、受信信号を、活性化送信装置３５、または、非活性化装置３５と３７によって確定し、それらを互いに前述のやり方で比較することによって行う。従って、送信装置３５と３７−従って、図２ａと２ｂによる異なる光パターン−が交互に活性化され、かつ、送信装置３５，３７の各活性化後に、この確定受信信号と、それぞれ同じ送信装置３５または３７の以前の活性化によって確定された受信信号との比較が行われる、実際の監視操作が実施される。
ｂ）または、受信信号は、監視操作時を通じて、活性化送信装置３５、活性化送信装置３７、および、非活性化送信装置３５と３７によって、連続的に確定される。活性化送信装置３５によって確定された受信信号は、同じ送信装置３５の最終活性化時に確定された受信信号と比較される。同様の比較を、他方の送信装置３７の各活性化後にも実施する。非活性化送信装置３５と３７による、その受信信号の各検出後に、受信要素に関する前述のテストを行う。すなわち、制御・評価装置３７は、これらの受信信号を、それぞれ、活性化送信装置３５、または、活性化送信装置３７によって確定された受信信号と比較する。
【００４３】
従って、この例示のために挙げる二つのルーチンでは、連続データが画像内容について生成され、それによって、有意な差においては、品目検出信号、警告またはスイッチ切断信号が生成される。
【００４４】
いずれの場合も、照射光は、好ましくは、送信パルスとして送信され、受信装置４５による受信信号の発生は、この送信パルスの送信と同期する。この制御は、制御・評価装置４７が担当する。
【００４５】
図２ｃは、同様に可能な、光パターンの２次元的実現を示す。従って、本発明はさらに、前述したように、３次元領域の監視についても同様の利点において使用することが可能である。このためには、相補的な２次元光パターンが供給されることが好ましい（図示せず）。
【００４６】
本発明に関してはさらに次のことを銘記しなければならない。すなわち、受信信号はさらに、監視区域４９内に検出された対象物５３の距離に関しても評価され、それによって、対応する距離情報を出力することが可能であることである。この距離情報は、受信光点パターンの、それぞれの発射光パターンとの差に基づいて、送信装置３５，３７および受信装置４５の三角形配置から入手することが可能である。背景５１のセンサー３３からの距離を確定し、かつ、考慮するならば、それは、ある対応的に符号化される背景をセンサー３３の近くに配備し、それによって、この「偽りの」背景の背後で不許可行為を、それは、実際、センサー３３を免れる筈のものであるが、そのような行為を可能とする悪戯を回避するのに役立つ。
【００４７】
最後に注意しなければならないことは、図１に示す反射配置の代わりに、一方では送信装置３５，３７の、他方では受信装置４５の照射光配置は、照射光が、監視区域４９を、直線で、実質的に貫通するように供給することも可能であることである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光電子センサーの概略斜視図である。
【図２】２ａ、２ｂおよび２ｃは異なる光パターンを示す図である。
【図３】従来技術によるセンサーを示す図である。
【図４】本センサーの光パターンを示す図である。
【図５】本センサーの光パターンを示す図である。
【符号の説明】
１１  光電子センサー
１３  送信装置
１５  受信装置
１７  監視区域
１９  背景
２１  対象物
２３  パターン領域
２４  パターン領域
２５  パターン領域
２６  パターン領域
２７  パターン領域
２８  パターン領域
２９  パターン領域
３１  パターン領域
３３  光電子センサー
３５  送信装置
３７  送信装置
３９  回折光学要素
４１  回折光学要素
４３  隔壁
４５  受信装置
４７  調節・評価装置
４９  監視区域
５１  背景
５３  対象物
【図１】
0003999609.tif 000002
【図２】
0003999609.tif 000003
【図３】
0003999609.tif 000004
【図４】
0003999609.tif 000005
【図５】
0003999609.tif 000006