(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース上面に設けた２本の平行なレールの夫々に移動部材を配置し、これら移動部材に支柱を設け、これら支柱間に門型をなす昇降フレームを係合し、この門型フレームにスリット状の吐出口を形成したノズルを取付け、ポンプとノズルとの間を配管を介して接続し、この配管の途中に設けたフィルタを通してポンプから塗布液をノズルまで圧送するようにした塗布装置において、前記配管のポンプとフィルタとの間の部分のみを、内部圧力による変形が無視できるステンレスなどの金属若しくはポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などの樹脂にて構成したことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス基板や半導体ウェーハ等の被処理基板の表面に塗膜を形成する塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶（ＬＣＤ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、半導体素子等の製造プロセスにおける塗布装置として米国特許第4,938,994号公報に開示されるものが知られている。
この塗布装置は、スリット状吐出口を有するノズルに対し、矩形状ガラス基板を水平移動せしめることで、矩形状ガラス基板の所定範囲にパッチ状の均一な厚みの塗膜を形成するというものである。
【０００３】
また、上記の塗布装置に限らず、回転塗布装置を含め、ノズルへの塗布液の供給は、ポンプで加圧し配管を介してノズルまで圧送している。そして、配管としては振動による影響を少なくしたり、取り廻しの容易さから可撓性チューブを用いている。
更に、可撓性チューブのできるだけノズルに近い位置にフィルターを設け、万一塗布液中に異物が混入していてもノズル内に入らないようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
塗布装置を使用してゆくと、経時的にフィルタが汚れ、このためフィルタ部分において抵抗が大きくなる。そして、その分、配管内の圧力が高まり、図５に誇張して示すように、配管が膨張し、この膨張した分だけノズルからの供給量が減少する。
【０００５】
特に上記の不具合は、スリットノズルを用いた塗布の開始時に顕著に現れる。即ち、スリットノズルを用いた最近の塗布方法にあっては、先ず、ノズル下端を被処理基板の表面に数１０μｍまで接近せしめ、この状態でノズルから塗布液を吐出し、ノズルと被処理基板の表面との間を塗布液で連続せしめ、この状態でノズルまたは被処理基板を水平移動させているが、塗布の開始時にフィルタの部分の抵抗が大きくなって、所定の量の塗布液がノズルから流下しないと、ノズルと被処理基板の表面との間が塗布液で連続していないまま、ノズルまたは被処理基板が水平移動を開始してしまい、その結果塗膜は筋状に塗布されてしまう。
【０００６】
また、配管が膨張することによって配管内に余分に蓄えられた塗布液は、相対移動の振動をきっかけとして一気にノズルから吐出されやすく、その結果、塗布開始位置から若干進んだ位置において、急激に膜厚が厚くなる不利が生じやすい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に係る塗布装置は、ポンプとノズルとの間を配管を介して接続し、この配管の途中に設けたフィルタを通してポンプから塗布液をノズルまで圧送するようにした塗布装置において、前記配管の少なくともポンプとフィルタとの間の部分を、内部圧力による変形が無視できる材料にて構成した。
斯かる構成とすることで、フィルタの汚れに起因して配管が膨張することがなく、所定の量の塗布液がノズルに供給される。
【０００８】
前記変形が無視できる材料としては、ステンレスなどの金属若しくはポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などの樹脂が適当である。
【０００９】
また、本発明はスリット状の吐出口を有するスリットノズルを備えた塗布装置に特に有効であり、このスリットノズルを用いた場合の無視できる配管の内部容積変化量Ｖ（cm3）としては、ノズルと被処理基板との間隔をＧ（cm）、スリット状吐出口の幅をＷ（cm）、スリット状吐出口の長さをＬ（cm）とした場合、Ｖ≦Ｇ・Ｗ・Ｌである。
【００１０】
なお、本発明にあってはフィルタよりも上流側または下流側の配管にバルブを設けてもよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明に係る塗布装置の正面図、図２は本発明に係る塗布装置の側面図、図３は同塗布装置の要部を示す図である。
【００１２】
塗布装置はベース１の上面に高さ調整機構を備えた脚２を介してテーブル３を設けている。このテーブル３上面に載置したガラス基板などの被処理基板Ｓの水平度を正確に出すために、脚２に設けたナットを廻してテーブル３の各部の高さの微調整を行う。
【００１３】
またベース１の上面には上下方向のシリンダユニット４を設け、このシリンダユニット４のロッドに水平プレート５を取り付け、この水平プレート５に被処理基板Ｗをテーブル３から持ち上げるためのピン６を取り付けている。尚、テーブル３にはピン６が貫通する穴７を形成している。
【００１４】
一方、ベース１の上面には左右方向に延びるレール８，８を平行に２本設け、このレール８に沿って移動部材９を移動可能に配置している。
即ち移動部材９の下面にはレール８を跨ぐ浮上手段としてのエアベアリング１０を固着し、各レール８の外側には移動手段としてのリニアモータ１１を配置している。
【００１５】
一方、各移動部材９には左右の支柱１２、１２を立設し、この支柱１２、１２間に門型をなす昇降フレーム１３を係合し、支柱１２の内側に取り付けたサーボモータ１４を駆動することで昇降フレーム１３が昇降する構造になっている。
【００１６】
昇降フレーム１３の下面には塗布ノズル２０が取り付けられている。この塗布ノズル２０にはテーブル３上に載置された被処理基板Ｓの表面に向かって開口するスリット状の吐出口２１が幅方向に形成されている。
【００１７】
また、昇降フレーム１３の一端側上面には送液ポンプ２２が取り付けられている。送液ポンプ２２には配管２３を介して塗布液タンクから塗布液が供給され、また、配管２４を介して塗布ノズル２０に塗布液が供給される。
【００１８】
前記配管２４は継ぎ手２５によってポンプ２２に接続され、また途中にはフィルタ２６が設けられている。そして配管２４はフィルタ２６が汚れて配管の内部圧が高くなっても変形が無視できる材料、例えば、ステンレスなどの金属若しくはポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などの樹脂にて構成されている。
【００１９】
なお、図示例では配管２４全体を変形が無視できる材料にて構成したが、フィルタ２６よりも上流部分のみをステンレスやＰＰＳで構成してもよい。
【００２０】
ここで、配管２４の許容できる内部容積変化量Ｖ（cm3）としては、図３に示すように、ノズルと被処理基板との間隔をＧ（cm）、スリット状吐出口の幅をＷ（cm）、スリット状吐出口の長さをＬ（cm）とした場合、Ｖ≦Ｇ・Ｗ・Ｌである。
即ち、Ｖ＞Ｇ・Ｗ・Ｌであると塗布開始時にノズルと被処理基板Ｓとの間に連続した塗布液の幕を形成することができなくなるので、上記範囲とするのが好ましい。
【００２１】
また、図４は別実施例を示す図３と同様の図であり、この図に示すように、フィルタ２６よりも上流位置の配管２４の途中にバルブ２７を設けるようにしてもよい。また、バルブ２７はフィルタ２６よりも下流位置に設けてもよい。
【００２２】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、スリットノズルなどのノズルとポンプとの間をつなぐ配管の材料を、ステンレスやＰＰＳなどの膨張しにくいものにしたので、経時的にフィルタが汚れも、それを原因として配管が膨張（変形）することがなく、一定量の塗布液がノズルに供給される。
その結果、塗布開始時にノズルから被処理基板表面に供給される塗布液が設定値より少なくなったり、逆に大幅に多くなることがないので、従来問題となっていた塗布開始時の塗膜の厚さの不均一を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る塗布装置の正面図
【図２】同塗布装置の側面図
【図３】同塗布装置の要部を示す図
【図４】別実施例を示す図
【図５】従来の問題点を説明した図
【符号の説明】
1…ベース、２…脚、３…テーブル、４…シリンダユニット、５…水平プレート、６…ピン、７…穴、８…レール、９…移動部材、１０…エアベアリング、１１…リニアモータ、１２…支柱、１３…昇降フレーム、１４…サーボモータ、２０…塗布ノズル、２１…スリット状吐出口、２２…送液ポンプ、２３、２４…配管、２５…継ぎ手、２６…フィルタ、２７…バルブ、Ｓ…被処理基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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