(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの処理ステーション間で角基板を搬送する基板搬送装置において、この搬送装置は２つの処理ステーションに沿ってガイドレールが設けられ、このガイドレールに搬送方向と直交する搬送アームが取り付けられ、この搬送アームに少なくとも３本の保持部が搬送方向と平行に配置され、各保持部には少なくとも２つの吸着部が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、前記保持部は平行に伸びる一対の棒から構成されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板搬送装置において、前記保持部は上下に２段設けられ、上段の保持部と下段の保持部とは独立して駆動可能とされていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の基板搬送装置において、前記吸着部は減圧源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドからなることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の基板搬送装置において、前記長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してスケールを設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば液晶表示装置用のガラス基板等の角基板を搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置用のガラス基板は１枚の大寸法のガラス基板にホトレジストを塗布・乾燥し、更に露光、現像等の処理を施し、最終的に製品寸法のガラス基板を切り出している。
【０００３】
大寸法のガラス基板に各種処理を施すには、１つの処理ステーションでの処理が終了した後、搬送装置で他の処理ステーションへ大寸法のガラス基板を搬送するようにしている。
【０００４】
しかしながら、液晶表示装置用のガラス基板は、厚みが０．７ｍｍ程度と薄く大面積となるので、搬送中に自重によって基板周縁部や中央部が撓んで大きく垂れ下がり、支持治具に干渉して搬送できなくなったり、ガラス基板に割れが発生する。
【０００５】
そこで、本出願人は先に特開２０００−２０８５８７号公報として、基板の撓みが少なくなる搬送装置を提案している。この搬送装置は図５に示すように、水平方向に開閉動するとともに水平方向にスライド移動可能な一対の搬送アーム１００,２００のそれぞれに、搬送方向と平行な第１の保持部１０１，２０１と第２の保持部１０２，２０２を設け、ステージＳ１での処理が終了したらピン１０３でガラス基板Ｗを上昇させ、この状態で一対の搬送アーム１００,２００を接近せしめるとともにガラス基板Ｗの下に潜りこませ、ガラス基板Ｗを下降させて第１の保持部１０１，２０１と第２の保持部１０２，２０２でガラス基板Ｗの四隅を支持し、このままの状態で搬送装置によってガラス基板ＷをステージＳ２のピン１０３上方まで移動し、ピン１０３を上昇せしめてガラス基板Ｗを受け取る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述した搬送装置によれば、ガラス基板中央部の撓み量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れが防止できるが、更にガラス基板が大型化（一辺が１ｍ以上）した場合には、基板中央部の撓みが大きくなってしまう。更にガラス基板の搬送装置から食み出る寸法が大きくなると、中央部だけでなく周縁部の撓みも無視できなくなる。
【０００７】
また、上述した搬送装置にあっては、ガラス基板が大型化した場合だけでなく、基板の形状が変更されると充分に対応できない。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係る基板搬送装置は、少なくとも３本の保持部が平行に配置され、各保持部には少なくとも２つの吸着部が長手方向に沿って位置調整可能に設けられ、また中央の保持部の長手方向の中間部には吸着部が固定された構成とした。
斯かる構成とすることで、基板中央部の撓み量を抑えることができ、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【０００９】
上記の基板搬送装置において、保持部を平行に伸びる一対の棒で構成することで、保持部の軽量化と剛性アップの両方を同時に図ることができ、しかも吸着部を移動可能に取り付けやすい。
【００１０】
また、前記保持部を上下に２段とし、上段の保持部と下段の保持部とを独立して駆動可能とすることで、例えば同一のステーションにおいて処理済ガラス基板の受け取りと、未処理ガラス基板の受け渡しを連続して行うことが可能になる。
【００１１】
また、前記吸着部は真空ポンプなどの減圧源につながるフレキシブルチュ−ブとこのフレキシブルチュ−ブを覆うパッドから構成することで、ガラス基板を傷つけることなく確実に吸着することができる。なお、パッドの材質としてはＰＰＳ（ポリフェニレンスルフィド）などが好ましい。
【００１２】
更に、長手方向に位置調整可能な吸着部に隣接してスケールを設けることで、微調整が容易になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図、図２は同基板搬送装置の平面図、図３は同基板搬送装置の側面図、図４は吸着部の分解斜視図である。
【００１４】
実施例の搬送装置の構成は、処理ステーションＳ１，Ｓ２に沿ってガイドレール１が設けられ、このガイドレール１に搬送方向と直交する方向に搬送アーム２、２が取り付けられている。なお、実施例の搬送装置は同一構成の機構が上下２段に設けられているので、上段について詳述し下段については説明を省略する。
【００１５】
搬送アーム２には搬送方向と平行に伸びる３つの保持部３，４，５が等間隔で設けられている。各保持部３，４，５はそれぞれ一対の棒材６，６にて構成され、また保持部３，４，５の先端部と基端部には保持部の長手方向に沿って位置調整可能な吸着部７…が設けられている。
【００１６】
前記吸着部７は、図４に示すように、棒材６，６間にスライド可能に架設されたプレート８に開口９が形成され、この開口９に真空ポンプなどにつながるフレキシブルチューブ１０の先端部が止着され、更にこの先端部をＰＰＳ製のパッド１１で覆う構成としている。
【００１７】
プレート８の棒材６に対する移動機構は任意であるが、図示例のようにプレート８のスプリング作用によって棒材６に取り付けるようにすれば、構造が簡単になる。
【００１８】
また、吸着部７の側方にはスケール１２を取り付け、吸着部７の微調整の目安にし、更に保持部４の中間部には固定の吸着部１３を設けている。
【００１９】
以上の搬送装置を用いた搬送方法について説明すると、先ず処理ステーションＳ１のピン１４が上昇している図１の待機状態から、搬送アーム２が図中左方へ移動し、ガラス基板Ｗの下側に保持部３，４，５が潜り込む。
【００２０】
次いで、ピン１４が下降しガラス基板Ｗを保持部３，４，５上に移載する。すると、ガラス基板Ｗの四隅と中央部は吸着部７、１３によって吸引保持される。なお、吸着部７の位置はガラス基板Ｗの寸法に合わせて予め位置が微調整されている。
【００２１】
次いで、搬送装置はガラス基板Ｗを吸着保持したまま処理ステーションＳ２のピン１５上方まで移動して停止する。そしてピン１５が上昇し、保持部３，４，５からガラス基板Ｗを受け取る。なお、このとき吸着部７，１３による吸引状態は解除しておく。
【００２２】
また、図示例の搬送装置は上下２段になっているので各段にガラス基板Ｗを保持し、処理ステーションＳ２へのガラス基板の受け渡しが終了した後、図示しない他の処理ステーションに残りのガラス基板を搬送することもできる。
【００２３】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明に係る角基板を搬送する基板搬送装置によれば、３本の保持部を平行に配置し、各保持部の先端と基端に吸着部を長手方向に沿って位置調整可能に設け、また中央の保持部の長手方向の中間部に吸着部を固定した構成にしたので、基板の大きさ及び形状に関わりなく、搬送中の基板中央部及び周縁部の撓み量を抑え、他の部材との干渉や基板の割れが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の待機状態を示す斜視図
【図２】同基板搬送装置の平面図
【図３】同基板搬送装置の側面図
【図４】吸着部の分解斜視図
【図５】従来の搬送装置の斜視図
【符号の説明】
１…ガイドレール、２…搬送アーム、３，４，５…保持部、６…棒材、７…位置調整可能な吸着部、８…プレート、９…開口、１０…フレキシブルチューブ、１１…パッド、１２…スケール、１３…固定された吸着部、１４，１５…ピン、Ｓ１，Ｓ２…処理ステーション、Ｗ…ガラス基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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