(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、
前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、
前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、
前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、
前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、
絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極とを有し、
前記ゲートバスラインは前記表示部と前記屈曲部との間に位置する一対の分岐点の間が複数の配線に分岐され、前記一対の分岐点の少なくとも一方が前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記分岐点及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、
前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、
前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、
前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、
前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、
絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極と、
前記表示部と前記屈曲部との間の前記ゲートバスラインに並行して形成された補助配線とを有し、
前記補助配線はその両端部の少なくとも一方が前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記補助配線の端部及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項３】
更に、前記補助配線の両端部から前記ゲートバスラインまでの領域上に形成された一対の接続用配線を有することを特徴とする請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、
前記ゲートバスラインのうち一対の分岐点の間を複数の配線に分岐し、且つ前記一対の分岐点の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記複数の配線の少なくとも１本を残し、他の配線を前記分岐点の近傍で切断することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修復方法。
【請求項５】
表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、
前記ゲートバスラインに並行して補助配線を形成し、且つ前記補助配線の両端部の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記ゲートバスラインを短絡個所を挟む２箇所の位置で切断し、当該切断部の近傍と前記補助配線とを電気的に接続することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修復方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示部の外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を容易に修復できるようにした液晶表示装置及びその欠陥修復方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、アクティブマトリクス型液晶表示装置はパソコンを初めとするＯＡ（Office Automation ）機器に広く利用されており、さらにＥＷＳ（Engineering Work Station）などに使用するために大型化及び高精細化が進んでいる。
【０００３】
液晶表示装置の大型化及び高精細化が進むと、水平走査時間が短くなるとともに、配線負荷容量が増加するため、表示品質の低下を招くことが考えられる。これを回避するために、配線の抵抗値をより一層低減することが要求されている。特に、表示品質を向上させるために画素毎に蓄積容量が設けられているが、この蓄積容量の一方の電極となる蓄積容量バスラインの抵抗値が高いと、横ストロークなどの表示品質の重大な劣化を招くことになる。蓄積容量バスラインの抵抗値に起因する表示品質の劣化を回避するために、蓄積容量バスラインの両側から電圧を供給して時定数を低減するような工夫がなされている。
【０００４】
図１は、液晶表示装置を示す平面図である。液晶表示装置は、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）及び画素電極等が形成されたＴＦＴ基板１と、カラーフィルタ及びコモン電極等が形成されたＣＦ基板２と、これらのＴＦＴ基板１及びＣＦ基板２の間に封入された液晶とにより構成される。画素電極が水平方向及び垂直方向に配列している領域が表示部３であり、表示部３には各画素電極に所定のタイミングで表示信号を供給するためのデータバスライン及びゲートバスラインや、前述した蓄積容量バスラインなども形成されている。
【０００５】
通常、図１に示すように、ＴＦＴ基板１はＣＦ基板２よりも大きく形成される。また、ＴＦＴ基板１の４つの辺のうち、ＣＦ基板２と重ならない２つの辺に沿ってそれぞれ複数の端子群が配置される。ゲートバスラインは表示部３の外側で複数本づつ複数のゲートバスライン群４に区分けされ、一方の辺（図１では左側の辺）に沿って配置された端子群の各端子（ＴＡＢ端子）に接続されている。そして、これらの端子群にはそれぞれＴＡＢ基板６が接続され、これらのＴＡＢ基板６はプリント基板８ａに接続される。
【０００６】
これと同様に、データバスラインは表示部３の外側で複数本づつ複数のデータバスライン群５に区分けされ、他方の辺（図１では下側の辺）に沿って配置された端子群の各端子（ＴＡＢ端子）に接続されている。そして、これらの端子群にはそれぞれＴＡＢ基板７が接続され、これらのＴＡＢ基板７はプリント基板８ｂに接続される。
【０００７】
図２は図１中に破線の円Ａで囲んだ部分の拡大図である。表示部３には水平方向に延びる複数本のゲートバスライン１０及び垂直方向に延びる複数本のデータバスライン１１（図２では１本のみ図示）が形成されている。これらのゲートバスライン１０及びデータバスライン１１で区画された矩形の領域がそれぞれ画素領域である。
【０００８】
各画素領域にはそれぞれＴＦＴ１２及び画素電極１３が形成されている。ＴＦＴ１２のゲート電極はゲートバスライン１０に接続され、ドレイン電極はデータバスライン１１に接続され、ソース電極は画素電極１３に接続されている。また、各画素領域の中央を横断するように、複数本の蓄積容量バスライン１４が形成されている。
【０００９】
これらの画素電極１３が配列された表示部３の外側にはガードリング１８が形成されている。このガードリング１８と各ゲートバスライン１０との間には、静電気によるＴＦＴ１２の破壊を防止するための保護素子１７が接続されている。
【００１０】
ガードリング１８の外側には蓄積容量バスライン一括電極１６（図中、太線で示す）が形成されている。各蓄積容量バスライン１４は、接続電極１５及び接続部１５ａ，１５ｂを介して蓄積容量バスライン一括電極１６に電気的に接続されている。ゲートバスライン１０は、蓄積容量バスライン一括電極１６の下方を通り、屈曲部１０ｅでＴＡＢ端子群に向けて屈曲されている。
【００１１】
なお、ＴＦＴ１２のゲート電極、ゲートバスライン１０及び蓄積容量バスライン１４は同一の導電層（第１導電層）に形成され、ＴＦＴ１２のソース電極及びドレイン電極、データバスライン１１、ガードリング１８、蓄積容量バスライン一括電極１６は同一の導電層（第２導電層）に形成され、画素電極１３及び接続電極１５は同一の導電層（第３導電層）に形成される。そして、各導電層の間には絶縁膜が形成され、導電層間の短絡を防止している。
【００１２】
ところで、ゲートバスライン１０は、図２に示すように、蓄積容量バスライン一括電極１６と交差している。図３は、ゲートバスライン１０と蓄積容量バスライン一括電極１６との交差部を示す平面図である。この部分で、製造途中に静電気又は異物などによって短絡が発生すると、ゲートバスライン１０が一定の電圧に保持されてしまうため、ゲートバスライン方向の線欠陥が発生する。
【００１３】
このような欠陥を修復する方法として、図４に示すように、ゲートバスライン１０のうち蓄積容量バスライン一括電極１６と交差する部分を、予め２本の配線１０ａ，１０ｂに分岐することが提案されている。製造途中に静電気などによってゲートバスライン１０と蓄積容量バスライン一括電極１６との交差部に短絡が発生した場合、パターン認識による検査で短絡個所を特定した後、短絡しているほうの配線（１０ａ又は１０ｂ）の両側端部近傍をレーザで切断することにより、短絡個所を表示部３のゲートバスライン１０から電気的に分離する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ゲートバスライン１０と蓄積容量バスライン一括電極１６との短絡個所をパターン認識による検査で常に検出できるわけではなく、パターン認識による検査では検出できない極めて小さな短絡が発生することも多い。電気的な検査でゲートバスライン１０と蓄積容量バスライン一括電極１６との短絡の有無を検査することもできるが、電気的な検査で短絡があることを検出しても、２本の配線１０ａ，１０ｂのどちらを切断すればよいのかを判断することはできない。
【００１５】
また、図４に示す方法では、以下に示す欠点もある。すなわち、液晶表示装置を大型化しても表示品質を良好に保つためには、蓄積容量バスライン一括電極１６の抵抗値を低く抑える必要がある。そのために、近年、蓄積容量バスライン一括電極１６の幅を広くする傾向がある。また、近年、表示部を大型化しても表示装置の全体の大きさをできるだけ小さくするために、表示部よりも外側の部分の面積を縮小することが要求されている。図４に示すような方法では、蓄積容量バスライン一括電極１６の両側にゲートバスライン１０の分岐点があるので、５０〜１５０μｍ程度のスペースが必要となる。従って、蓄積容量バスライン一括電極１６から基板の縁までの距離が大きくなり、市場の要求に合わなくなってしまう。
【００１６】
分岐した配線を屈曲部１０ｅの外側（以下、「斜め配線部」ともいう）まで延出し、斜め配線部に一方の分岐点を配置することによって蓄積容量バスラインから基板の縁までの距離を小さくすることも考えられる。しかし、例えば１５型ＸＧＡ（１０２４×７６８ピクセル）液晶パネルの場合、表示部３でのゲートバスライン１０のピッチが約３００μｍであるのに対し、斜め配線部でのゲートバスラインのピッチは約３５μｍであるので、斜め配線部に分岐点を配置することはできない。
【００１７】
本発明の目的は、表示部から基板の縁までの距離が小さく、且つ、蓄積容量バスライン一括電極とそれに交差するゲートバスラインとの短絡による欠陥が発生したときに比較的簡単に欠陥個所を修復することができる液晶表示装置及びその欠陥修復方法を提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本願請求項１に記載の液晶表示装置は、複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極とを有し、前記ゲートバスラインは前記表示部と前記屈曲部との間に位置する一対の分岐点の間が複数の配線に分岐され、前記一対の分岐点の少なくとも一方が前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記分岐点及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
本発明においては、ゲートバスラインの一部が複数の配線に分岐しており、これらの配線の両端部、すなわち一対の分岐点のうちの少なくとも一方が蓄積容量バスライン一括電極に重なる位置に配置されている。これにより、表示部から基板の縁までの間の距離を短縮することができる。
【００２０】
パターン認識等によりゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡を検出した場合は、分岐点の近傍で少なくとも１本の配線を残し、他の配線をレーザ等で切断する。この場合、蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置で配線を切断するために、蓄積容量バスライン一括電極には分岐点の近傍が露出するように予め開口部を設けておくことが必要である。
【００２１】
本願請求項２に記載の液晶表示装置は、複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極と、前記表示部と前記屈曲部との間の前記ゲートバスラインに並行して形成された補助配線とを有し、前記補助配線はその両端部の少なくとも一方が前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記補助配線の端部及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする。
【００２２】
本発明においては、予めゲートバスラインと並行する補助配線を設けておく。但し、補助配線の両端部の少なくとも一方は蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置する。また、蓄積容量バスライン一括電極には、補助配線の端部と、ゲートバスラインのうち補助配線の端部に対応する部分とが露出する開口部を設けておく。
【００２３】
パターン認識又は電気的な検査によりゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡を検出した場合は、ゲートバスラインのうち短絡個所の両側をレーザ等で切断し、短絡個所をゲートバスラインから電気的に切り離す。そして、補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続して、短絡箇所を迂回する経路を形成する。
【００２４】
補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続するために、補助配線の両端部からゲートバスラインまでの領域上に予め接続用配線を設けておくことが好ましい。この場合は、レーザを接続用配線と補助配線及びゲートバスラインとの重なり部分に照射することにより、接続用配線と補助配線及びゲートバスラインを接合（レーザウェルディング）することができる。
【００２５】
また、補助配線及びゲートバスラインの上の絶縁膜にレーザ等によりコンタクトホールを形成した後、レーザーＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）法により、補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続する配線を形成してもよい。
【００２６】
本願請求項４に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法は、表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、前記ゲートバスラインのうち一対の分岐点の間を複数の配線に分岐し、且つ前記一対の分岐点の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記複数の配線の少なくとも１本を残し、他の配線を前記分岐点の近傍で切断することを特徴とする。
【００２７】
本発明においては、予めゲートバスラインのうち一対の分岐点の間を複数の配線に分岐し、且つ一対の分岐点の少なくとも一方を蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておく。そして、パターン認識等によりゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡を検出したときには、レーザ等により蓄積容量バスライン一括電極と短絡している配線を切断し、短絡箇所をゲートバスラインから電気的に切り離す。これにより、欠陥が修復される。
【００２８】
本発明では、ゲートバスラインを分岐する分岐点の少なくとも一方を蓄積容量バスラインと重なる位置に配置しているので、表示部から基板の縁までの距離を短縮することができる。
【００２９】
本願請求項５に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法は、表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、前記ゲートバスラインに並行して補助配線を形成し、且つ前記補助配線の両端部の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記ゲートバスラインを短絡個所を挟む２箇所の位置で切断し、当該切断部の近傍と前記補助配線とを電気的に接続することを特徴とする。
【００３０】
本発明においては、予めゲートバスラインに並行して補助配線を形成しておく。但し、補助配線の両端部の少なくとも一方は、蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置し、蓄積容量バスライン一括電極には補助配線の端部及びその近傍が露出する開口部を設けておく。
【００３１】
そして、パターン認識又は電気的な検査によりゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡を検出したときには、レーザ等により、ゲートバスラインのうち蓄積容量バスライン一括電極に短絡している箇所の両側を切断して短絡箇所をゲートバスラインから電気的に切り離し、補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続して、短絡箇所を迂回する経路を形成する。
【００３２】
補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続するために、補助配線の両端部からゲートバスラインまでの領域上に予め接続用配線を設けておくことが好ましい。この場合は、レーザを接続用配線と補助配線及びゲートバスラインとの重なり部分に照射することにより、接続用配線と補助配線及びゲートバスラインを接合（レーザウェルディング）することができる。
【００３３】
また、補助配線及びゲートバスラインの上の絶縁膜にレーザ等によりコンタクトホールを形成した後、レーザーＣＶＤ法により、補助配線とゲートバスラインとを電気的に接続する配線を形成してもよい。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、添付の図面を参照して説明する。
【００３５】
（第１の実施の形態）
図５は本発明の第１の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。この液晶表示装置は、ＴＦＴ及び画素電極等が形成されたＴＦＴ基板２１と、カラーフィルタ及びコモン電極等が形成されたＣＦ基板２２と、これらのＴＦＴ基板２１及びＣＦ基板２２の間に封入された液晶とにより構成される。
【００３６】
画素電極が水平方向及び垂直方向に配列されている領域が表示部２３であり、表示部２３には各画素電極に所定のタイミングで表示信号を供給するためのデータバスライン及びゲートバスラインや、表示品質を向上させるための蓄積容量バスラインなども形成されている。
【００３７】
ＴＦＴ基板２１はＣＦ基板２２よりも大きく形成されており、ＴＦＴ基板２１の４つの辺のうち、ＣＦ基板２２と重ならない２つの辺に沿ってそれぞれ複数の端子群が配置されている。ゲートバスラインは表示部２３の外側で複数本づつ複数のゲートバスライン群２４に区分けされ、一方の辺（図５では左側の辺）に沿って配置された端子群の各端子（ＴＡＢ端子）に接続されている。そして、これらの端子群にはそれぞれＴＡＢ基板２６が接続され、これらのＴＡＢ基板２６はプリント基板２８ａに接続される。
【００３８】
これと同様に、データバスラインは表示部２３の外側で複数本づつ複数のデータバスライン群２５に区分けされ、他方の辺（図１では下側の辺）に沿って配置された端子群の各端子（ＴＡＢ端子）に接続されている。そして、これらの端子群にはそれぞれＴＡＢ基板２７が接続され、これらのＴＡＢ基板２７はプリント基板２８ｂに接続される。
【００３９】
図６は図５中に破線の円Ｂで囲んだ部分を拡大して示す平面図、図７は図６に示すゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６との交差部を示す模式図である。なお、図７では図６に示した蓄積容量バスライン３４及び接続端子３５等の図示を省略している。
【００４０】
表示部２３には水平方向に延びる複数本のゲートバスライン３０及び垂直方向に延びる複数本のデータバスライン３１（図６では１本のみ図示）が形成されている。これらのゲートバスライン３０及びデータバスライン３１で区画された矩形の領域がそれぞれ画素領域である。各画素領域にはそれぞれＴＦＴ３２及び画素電極３３が形成されている。また、各画素領域の中央を横断するように、複数本の蓄積容量バスライン３４が形成されている。ＴＦＴ３２のゲート電極はゲートバスライン３０に接続され、ドレイン電極はデータバスライン３１に接続され、ソース電極は画素電極３３に接続されている。
【００４１】
表示部２３の外側には蓄積容量バスライン一括電極３６（図中、太線で示す）が形成されている。各蓄積容量バスライン３４は、接続電極３５及び接続部３５ａ，３５ｂを介して蓄積容量バスライン一括電極３６に電気的に接続されている。ゲートバスライン３０は、蓄積容量バスライン一括電極３６の下方を通り、屈曲部３０ｅでＴＡＢ端子群に向けて屈曲されている。
【００４２】
ＴＦＴ２２のゲート電極、ゲートバスライン３０及び蓄積容量バスライン３４は同一の導電層（第１導電層）に形成され、ＴＦＴ３２のソース電極及びドレイン電極、データバスライン３１、蓄積容量バスライン一括電極３６は同一の導電層（第２導電層）に形成され、画素電極３３及び接続電極３５は同一の導電層（第３導電層）に形成される。そして、各導電層間には絶縁膜が形成されており、導電層間の短絡を防止している。
【００４３】
なお、本実施の形態においても、表示部２３と蓄積容量バスライン一括電極３６との間に、図２に示すようなガードリング及び保護素子を形成してもよい。
【００４４】
ゲートバスライン３０は、蓄積容量バスライン一括電極３６の下方に位置する屈曲部３０ｅでＴＡＢ端子群に向けて屈曲されている。そして、ゲートバスライン３０は、屈曲部３０ｅと表示部２３との間の２つの分岐点３０ｃ，３０ｄの間が２本の配線３０ａ，３０ｂに分岐されている。一方の分岐点３０ｃは蓄積容量バスライン一括電極３６と表示部２３との間に配置され、他方の分岐点３０ｄは蓄積容量バスライン一括電極３６の下方に配置されている。
【００４５】
蓄積容量バスライン一括電極３６には、ゲートバスライン３０の分岐点３０ｄ及びその近傍が露出するように、開口部３９が設けられている。
【００４６】
開口部３９は、配線３０ａ，３０ｂの一方をレーザで選択的に切断できる大きさであることが必要である。例えば、配線３０ａ，３０ｂの幅が１０μｍ、配線３０ａ，３０ｂの間隔が５０μｍ、レーザによる配線切断時に要求されるスペースマージンが１０μｍであるとすると、開口部３９の大きさは９０×９０μｍとすればよい。
【００４７】
本実施の形態は１９型ＳＸＧＡ（１２８０×１０２４ピクセル）液晶パネルの例であり、表示部２３におけるゲートバスライン３０のピッチは約３００μｍであり、ＴＡＢ端子のピッチは約１４０μｍである。また、屈曲部３０ｅからＴＡＢ端子までのゲートバスライン３０の斜め配線のピッチは約４５μｍ、ゲートバスライン３０の斜め配線部における線幅は約２０μｍであり、ゲートバスライン間の間隔は２５μｍ程度である。更に、蓄積容量バスライン一括電極３６の幅は５００μｍ〜１ｍｍ程度である。
【００４８】
図８は、本実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。この図では、図中Ｐに示す位置で、ゲートバスライン３０（配線３０ａ）と蓄積容量バスライン一括電極３６とが短絡している。
【００４９】
まず、パターン認識による検査で短絡個所Ｐを特定する。その後、配線３０ａを分岐点３０ｃ，３０ｄの近傍の図中Ｒ１，Ｒ２で示す位置で切断することにより、短絡個所を表示部２３のゲートバスライン３０から電気的に分離する。配線３０ａの切断にはレーザを使用する。また、配線３０ａをＲ２の位置で切断する際には、開口部３９を介して配線３０ａにレーザを照射する。このように短絡が発生した配線３０ａを切断しても、ＴＡＢ端子と表示部２３のゲートバスライン３０とは配線３０ｂを介して電気的に接続されているので、欠陥となることはない。このようにして、欠陥修復が完了する。
【００５０】
本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極３６に開口部３９を設け、この開口部３９の下方にゲートバスライン３０を分岐した配線３０ａ，３０ｂを配置しているので、配線３０ａ，３０ｂのいずれか一方と蓄積容量バスライン一括電極３６とが短絡した場合であっても、短絡したほうの配線（３０ａ又は３０ｂ）をレーザで切断することにより、欠陥を修復することができる。
【００５１】
また、本実施の形態では、蓄積容量バスライン一括電極３６の下方にデータバスライン３０の屈曲部３０ｅを配置しているので、表示品質を向上させるために蓄積容量バスライン一括電極３６の幅を広くしても、表示部２３から基板の縁までの距離を小さくすることができる。
【００５２】
更に、本実施の形態においては、図２に示す従来の液晶表示装置と比べてゲートバスライン及び蓄積容量バスライン一括電極のパターン形状が異なるだけであるので、製造工程数を増加させることなく実施することができる。
【００５３】
なお、本実施の形態において、蓄積容量バスライン一括電極３６に、１本のゲートバスライン３０毎に１つの開口部３９を設けているが、図９に示すように、複数本のゲートバスライン３０毎に、これらのゲートバスライン３０の分岐点３０ｄが露出する大きさの開口部を設けてもよい。図９では、３本のゲートバスライン３０毎に１つの開口部３９ｃを設けている。
【００５４】
（第２の実施の形態）
図１０は本発明の第２の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。なお、本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、蓄積容量バスライン一括電極とゲートバスラインとの交差部のパターン形状が異なることにあり、その他の構成は基本的に第１の実施の形態と同様であるので、図１０において図６と同一物には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００５５】
本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの下方に、ゲートバスライン３０を分岐した２本の配線３０ａ，３０ｂの全体が配置されている。そして、蓄積容量バスライン一括電極３６ａには、一方の分岐点３０ｃ及びその近傍が露出する開口部３９ａと、他方の分岐点３０ｄ及びその近傍が露出する開口部３９ｂとが設けられている。
【００５６】
本実施の形態においても、配線３０ａ，３０ｂのいずれか一方と蓄積容量バスライン一括電極３６ａとが短絡した場合に、パターン認識による検査で短絡個所を特定する。そして、例えば配線３０ａと蓄積容量バスライン一括電極３６ａとが短絡している場合、開口部３０ｃ，３０ｄを介しレーザを照射して配線３０ａを切断し、短絡個所を表示部２３のゲートバスライン３０から電気的に分離する。これにより、欠陥修復が終了する。
【００５７】
本実施の形態においては、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのに加えて、第１の実施の形態に比べて蓄積容量バスライン一括電極３６ａの幅を太くできるので、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの抵抗に起因する表示品質の劣化をより確実に回避できるという効果がある。また、本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの下方にゲートバスライン３０を分岐した配線３０ａ，３０ｂの全体を配置するので、表示部２３から基板の縁までの距離をより一層小さくすることができるという効果もある。
【００５８】
（第３の実施の形態）
図１１は本発明の第３の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図、図１２は図１１に示すゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６との交差部を示す模式図である。なお、本実施の形態が第１の実施の形態と異なる点は、表示部２３の外側におけるゲートバスラインのパターン形状が異なることにあり、その他の構成は基本的に第１の実施の形態と同様であるので、図１１，図１２において図６，図７と同一物には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。また、図１２では、図１１に示した蓄積容量バスライン３４及び接続端子３５等の図示を省略している。
【００５９】
本実施の形態においては、表示部２３の外側のゲートバスライン３０の近傍に、ゲートバスライン３０と平行に欠陥修復用補助配線３０ｆが形成されている。また、補助配線３０ｆの両端部の上方からゲートバスライン３０の上方までの領域に、それぞれ接続用配線３７ａ，３７ｂが形成されている。接続用配線３７ａは表示部２３と蓄積容量バスライン一括電極３６との間に配置され、接続用配線３７ｂは蓄積容量バスライン一括電極３６に開口された開口部３９の内側に配置されている。
【００６０】
補助配線３０ｆはゲートバスライン３０と同じ配線層（第１配線層）に形成され、接続用配線３７ａ，３７ｂは蓄積容量バスライン一括電極３６と同じ配線層（第２配線層）に形成されている。従って、補助配線３０ｆと接続用配線３７ａ，３７ｂとの間には絶縁膜があり、これらの補助配線３０ｆと接続用配線３７ａ，３７ｂは電気的に分離されている。
【００６１】
図１３は、本実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。この図では、図中Ｐに示す位置でゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６とが短絡している。
【００６２】
まず、パターン認識又は電気的な検査により、蓄積容量バスライン一括電極３６に短絡しているゲートバスライン３０を特定する。その後、短絡個所Ｐを挟む位置Ｒ１，Ｒ２にレーザを照射し、ゲートバスライン３０を切断する。このとき、Ｒ２の切断の際には、開口部３９を介してレーザを照射する。
【００６３】
次に、接続用配線３７ａ，３７ｂとゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとが重なっている部分にレーザを照射し、接続用配線３７ａ，３７ｂとゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとを電気的に接続（レーザウェルディング）する。図中、３８はレーザ照射により接続された接続用配線３７ａ，３７ｂとゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとの接続部を示す。この場合も、接続用配線３７ｂとゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとの接続の際には、開口部３９を介してレーザを照射する。このようにして、欠陥が修復される。
【００６４】
本実施の形態においては、第１の実施の形態と同様の効果を得ることができるのに加えて、電気的な検査により蓄積容量バスライン一括電極３６と短絡しているゲートバスライン３０を特定すればよく、パターン認識によって短絡個所を特定する必要がないという利点がある。
【００６５】
なお、ゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとが重なる部分は、レーザ照射により一部が消失することを考慮して、他の部分よりも若干太く形成することが好ましい。
【００６６】
また、本実施の形態においては、補助配線３０ｆを第１導電層に形成し、接続用配線３７ａ，３７ｂを第２導電層に形成するとしたが、補助配線３０ｆ及び接続用配線３７ａ，３７ｂを形成する導電層はこれに限定するものではない。例えば、補助配線３０ｆを第２導電層に形成し、接続用配線３７ａ，３７ｂを第３導電層に形成してもよい。
【００６７】
本実施の形態においても、蓄積容量バスライン一括電極３６に、１本のゲートバスライン３０毎に１つの開口部３９を設けているが、複数本のゲートバスライン３０毎に１個の開口部３９ａを設けてもよい。
【００６８】
（第４の実施の形態）
図１４は本発明の第４の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。なお、本実施の形態が第３の実施の形態と異なる点は、蓄積容量バスライン一括電極とゲートバスラインとの交差部のパターン形状が異なることにあり、その他の構成は基本的に第３の実施の形態と同様であるので、図１４において、図１１と同一物には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００６９】
本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの下方に、補助配線３０ｆの全体が配置されている。そして、蓄積容量バスライン一括電極３６ａには、補助配線３０ｆの両端部及びその近傍並びにゲートバスライン３０のうち補助配線３０ｆの両端部に対応する部分が露出する開口部３７ａ，３７ｂが設けられている。また、これらの開口部３７ａ，３７ｂの内側には、その両端部が補助配線３０ｆ及びゲートバスライン３０の上に位置する接続用配線３７ａ，３７ｂがそれぞれ形成されている。これらの接続用配線３７ａ，３７ｂは、蓄積容量バスライン一括電極３６ａと同じ配線層に形成されている。
【００７０】
本実施の形態においても、パターン認識又は電気的な検査によりゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６ａとが短絡した場合に、開口部３９ａ，３９ｂを介してゲートバスライン３０を切断する。そして、接続用配線３７ａ，３７ｂの両端部にレーザを照射して、接続用配線３７ａ，３７ｂと補助配線３０ｆ及びゲートバスライン３０とを電気的に接続（レーザウェルディング）する。このようにして欠陥が修復される。
【００７１】
本実施の形態においては、第３の実施の形態と同様の効果を得ることができるのに加えて、第３の実施の形態に比べて蓄積容量バスライン一括電極３６ａの幅を太くできるので、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの抵抗に起因する表示品質の劣化をより確実に回避できるという効果がある。また、本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極３６ａの下方に補助配線３０ｆの全体を配置するので、表示部２３から基板の縁までの距離をより一層小さくすることができるという効果もある。
【００７２】
（第５の実施の形態）
図１５は本発明の第５の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。本実施の形態が第３の実施の形態と異なる点は、接続用配線が設けられていないことにあり、その他の構成は基本的に第３の実施の形態と同様であるので、図１５において、図１１と同一物には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００７３】
本実施の形態においては、第３の実施の形態と同様に、予めゲートバスライン３０に並行して補助配線３０ｆを形成しておく。但し、接続用配線３７ａ，３７ｂは形成しない。
【００７４】
図１６は、本実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。この図では、図中Ｐに示す位置でゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６とが短絡している。
【００７５】
ゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極３６との短絡が発生した場合は、ゲートバスライン３０を短絡個所Ｐを挟む位置Ｒ１，Ｒ２でレーザにより切断する。
【００７６】
その後、接続用配線３７ａ，３７ｂの両端部の上、及びゲートバスライン３０の接続用配線３７ａ，３７ｂの両端部に対応する部分の上にレーザを照射して、絶縁膜にコンタクトホール４０を形成する。このレーザ照射では、ゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆを溶融することなくコンタクトホール４０を形成することが目的であるので、短波長のレーザを使用する。例えば、ＹＡＧレーザの第３高調波（波長３５５ｎｍ）又は第４高調波（波長２６６ｎｍ）を使用する。
【００７７】
次いで、レーザＣＶＤ法により、接続用配線３７ａ，３７ｂの両端部とゲートバスライン３０とを接続する配線４１を形成する。具体的には、Ｗ（タングステン）有機金属、Ｍｏ（モリブデン）有機金属又はＣｒ（クロム）有機金属を含むＡｒ（アルゴン）ガスを局所的にフローさせながら、波長が３５５ｎｍのＹＡＧレーザを連続照射して、配線４１を形成する。本実施の形態においても、第３の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００７８】
なお、本実施の形態においても、蓄積容量バスライン一括電極３６に、１本のゲートバスライン３０毎に１つの開口部３９を設けているが、図９に示すように、複数本のゲートバスライン３０毎に１つの開口部３９ｃを設けてもよい。
【００７９】
（第６の実施の形態）
図１７は本発明の第６の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。本実施の形態が第３の実施の形態と異なる点は、蓄積容量バスライン一括電極が２つの帯状の電極で構成されていることにあり、その他の構成は基本的に第３の実施の形態と同様であるので、図１７において、図１１と同一物には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００８０】
本実施の形態においては、蓄積容量バスライン一括電極が、２本の相互に並行する帯状電極３６ｂ，３６ｃにより構成されている。但し、これらの帯状電極３６ｂ，３６ｃは図示しないところで相互に電気的に接続されている。すなわち、本実施の形態においては、全てのゲートバスライン３０に対し開口部を１個だけ設けた例である。
【００８１】
表示部２３に近い側に配置された帯状電極３６ａの下方には欠陥修復用の補助配線３０ｆが形成されている。この補助配線３０ｆの一方の端部は表示部２３と帯状電極３６ａとの間に配置され、他方の端部は帯状電極３６ａ，３６ｂ間に配置される。また、補助配線３０ｆの両端部の上方からゲートバスライン３０の上方までの領域に、それぞれ接続用配線３７ａ，３７ｂが形成されている。
【００８２】
本実施の形態においても、パターン認識又は電気的な検査によりゲートバスライン３０と蓄積容量バスライン一括電極（帯状電極３６ａ）との短絡が検出された場合に、帯状電極３６を挟む位置でレーザによりゲートバスライン３０を切断し、接続用配線３７ａ，３７ｂとゲートバスライン３０及び補助配線３０ｆとを接続（レーザウェルディング）することにより、欠陥を修復できる。本実施の形態においても第３の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００８３】
（付記１）複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極とを有し、前記ゲートバスラインは前記表示部と前記屈曲部との間に位置する一対の分岐点の間が複数の配線に分岐され、前記一対の分岐点の少なくとも一方が前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記分岐点及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【００８４】
（付記２）前記屈曲部が、前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置されていることを特徴とする付記１に記載の液晶表示装置。
【００８５】
（付記３）複数の画素がマトリクス状に並んだ表示部と、前記表示部の外側に配置された複数の外部接続端子と、前記画素毎に形成された薄膜トランジスタ、画素電極及び蓄積容量と、前記表示部内に相互に平行に配置されて前記薄膜トランジスタのゲートに接続され、前記表示部の外側に延出し屈曲部で屈曲して前記外部接続端子に接続する複数のゲートバスラインと、前記表示部内に前記ゲートバスラインと並行して配置されて前記蓄積容量に接続し、前記表示部の外側に延出する複数の蓄積容量バスラインと、絶縁膜を挟んで前記複数のゲートバスラインと交差し、前記複数の蓄積容量バスラインに共通接続された蓄積容量バスライン一括電極と、前記表示部と前記屈曲部との間の前記ゲートバスラインに並行して形成された補助配線とを有し、前記補助配線はその両端部の少なくとも一方が前記蓄積容量バスラインと重なる位置に配置され、前記蓄積容量バスライン一括電極には前記補助配線の端部及びその近傍が露出する開口部が設けられていることを特徴とする液晶表示装置。
【００８６】
（付記４）更に、前記補助配線の両端部から前記ゲートバスラインまでの領域上に形成された一対の接続用配線を有することを特徴とする付記３に記載の液晶表示装置。
【００８７】
（付記５）前記接続用配線が、前記蓄積容量バスライン一括電極と同じ配線層に形成されていることを特徴とする付記４に記載の液晶表示装置。
【００８８】
（付記６）前記屈曲部が、前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置されていることを特徴とする付記３に記載の液晶表示装置。
【００８９】
（付記７）表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、前記ゲートバスラインのうち一対の分岐点の間を複数の配線に分岐し、且つ前記一対の分岐点の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記複数の配線の少なくとも１本を残し、他の配線を前記分岐点の近傍で切断することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９０】
（付記８）前記ゲートバスラインが前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる屈曲部で屈曲していることを特徴とする付記７に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９１】
（付記９）表示部外側でのゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復する液晶表示装置の欠陥修復方法において、前記ゲートバスラインに並行して補助配線を形成し、且つ前記補助配線の両端部の少なくとも一方を前記蓄積容量バスライン一括電極に設けられた開口部の内側に配置しておき、前記ゲートバスラインと前記蓄積容量バスライン一括電極との短絡が検出されたときに、前記ゲートバスラインを短絡個所を挟む２箇所の位置で切断し、当該切断部の近傍と前記補助配線とを電気的に接続することを特徴とする液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９２】
（付記１０）前記切断部の近傍と前記補助配線との接続は、前記蓄積容量バスラインと同じ配線層に予め形成された接続用配線と前記補助配線との重なり部にレーザを照射することにより行うことを特徴とする付記９に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９３】
（付記１１）前記切断部の近傍と前記補助配線との接続は、レーザＣＶＤ法で前記ゲートバスラインと前記補助配線とを接続する配線を形成することにより行うことを特徴とする付記９に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９４】
（付記１２）前記ゲートバスラインが前記蓄積容量バスライン一括電極と重なる屈曲部で屈曲していることを特徴とする付記９に記載の液晶表示装置の欠陥修復方法。
【００９５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ゲートバスラインの一部を複数の配線に分岐する一対の分岐点の少なくとも一方、又は補助配線の両端部の少なくとも一方を蓄積容量バスライン一括電極と重なる位置に配置し、蓄積容量バスライン一括電極には分岐点とその近傍又は補助配線の端部とその近傍が露出する開口部が設けられているので、表示部から基板の縁までの距離を短くすることができるとともに、ゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との短絡による欠陥を修復することができる。
【００９６】
これにより、表示部の面積が大きく、且つ表示部から基板の縁までの間隔が短い液晶表示装置の製造歩留まりを向上させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、液晶表示装置を示す平面図（従来技術）である。
【図２】図２は図１中に破線の円Ａで囲んだ部分の拡大図（従来技術）である。
【図３】図３は、ゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との交差部を示す平面図（従来技術）である。
【図４】図４は従来の液晶表示装置の欠陥修復方法の一例を示す平面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【図６】図６は図５中に破線の円Ｂで囲んだ部分を拡大して示す平面図である。
【図７】図７は図６に示すゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との交差部を示す模式図である。
【図８】図８は、第１の実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。
【図９】図９は、第１の実施の形態の液晶表示装置の変形例を示す平面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第３の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【図１２】図１２は、図１１に示すゲートバスラインと蓄積容量バスライン一括電極との交差部を示す模式図である。
【図１３】図１３は、第３の実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。
【図１４】図１４は、本発明の第４の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【図１５】図１５は、本発明の第５の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【図１６】図１６は、第５の実施の形態の液晶表示装置の欠陥修復方法を示す模式図である。
【図１７】図１７は、本発明の第６の実施の形態の液晶表示装置を示す平面図である。
【符号の説明】
１，２１…ＴＦＴ基板、
２，２２…ＣＦ基板、
３，２３…表示部、
４，２４…ゲートバスライン群、
５，２５…データバスライン群
６，７，２６，２７…ＴＡＢ基板、
８ａ，８ｂ，２８ａ，２８ｂ…プリント基板、
１０，３０…ゲートバスライン、
１０ｅ，３０ｅ…屈曲部
１１，３１…データバスライン、
１２，３２…ＴＦＴ、
１３，３３…画素電極、
１４，３４…蓄積容量バスライン、
１５，３５…接続電極、
１５ａ，１５ｂ，３５ａ，３５ｂ…接続部、
１６，３６，３６ａ…蓄積容量バスライン一括電極、
１７…保護素子、
１８…ガードリング、
３０ａ，３０ｂ…配線、
３０ｃ，３０ｄ…分岐点
３０ｆ…補助配線、
３６ｂ，３６ｃ…帯状電極（蓄積容量バスライン一括電極）、
３７ａ，３７ｂ…接続用配線、
３９，３９ａ，３９ｂ，３９ｃ…開口部、
４０…コンタクトホール、
４１…配線。
【図１】
0003977061.tif 000002
【図２】
0003977061.tif 000003
【図３】
0003977061.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003977061.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003977061.tif 000008
【図８】
0003977061.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0003977061.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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