(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着して装着エリアにてプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられ、装着エリアがいずれかのビームにより取得されていないときには、部品を装着可能な装着ヘッドが設けられたビームが装着エリアを取得する電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する記憶装置と、前記調停制御データが自ビーム側に設定されているか否かを判断し、設定されていると判断され、且つそのときに装着エリアが空いているときには、自ビームによる装着エリアの取得より他のビームによる装着エリアの取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項２】
駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着して装着エリアにてプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられ、装着エリアがいずれかのビームにより取得されていないときには、部品を装着可能な装着ヘッドが設けられたビームが装着エリアを取得する電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する記憶装置と、自ビームによる装着エリアの取得前に、前記調停制御データが自ビーム側に設定されているか否かを判断し、設定されていると判断されたときには、装着エリアが空いているか否かを判断し、装着エリアが空いているときには、他のビームが装着エリアを取得したか否かを判断し、他のビームが装着エリアを取得していないときには、他のビームが装着エリアを取得するまで他のビームが装着エリアを取得したか否かの判断を繰り返し、前記他のビームによる装着エリアの取得が行われて装着エリアが空いたときに、自ビームにより装着エリアが取得されるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項３】
駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着して装着エリアにてプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられ、装着エリアがいずれかのビームにより取得されていないときには、部品を装着可能な装着ヘッドが設けられたビームが装着エリアを取得する電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する第１の記憶装置と、リカバリ動作発生の履歴を記憶する第２の記憶装置と、前記第２の記憶装置に前記履歴が記憶されていない場合には、前記第１の記憶装置に記憶された調停制御データに基づいていずれかのビームに設けられた装着ヘッドによる装着エリア取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項４】
駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着して装着エリアにてプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられ、装着エリアがいずれかのビームにより取得されていないときには、部品を装着可能な装着ヘッドが設けられたビームが装着エリアを取得する電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する第１の記憶装置と、リカバリ動作発生の履歴を記憶する第２の記憶装置と、各ビームの装着エリア占有の前に第１の記憶装置に前記調停制御データが設定されていて前記第２の記憶装置に前記履歴が記憶されているか否かを判断し記憶されていない場合にはいずれかのビームに設けられた装着ヘッドによる装着エリア取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着してプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられた電子部品装着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開２０００−１３６９０４号公報に示すような多機能型電子部品装着装置、即ちＡビーム８ＡとＢビーム８Ｂの２ビームを備え１ビームにつき１つの装着ヘッド７Ａ又は７Ｂに２本の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄを有する電子部品装着装置１を例として、従来例について図１、図２、図７、図８及び図９に基づき説明する。
【０００３】
ＲＡＭ２２に記憶された図７に示す装着データで「ペアリング」の指定を行うデータ「Ｓ」があり、動作としては常に左右２つの吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄに電子部品を吸着して装着していくのと、これを２つのビーム８Ａ、８Ｂ交互の装着で動かすのが一番効率のよい方法である。
【０００４】
ここで、「Ｓ」が「２」と指定されると左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄに電子部品を吸着させて２ステップ分をまとめて処理し（吸着優先指定）、「Ｓ」に「２」と入力されたステップと次のステップがペアリング処理され、また「Ｓ」が「１」と指定されると左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄ間のピッチと部品供給ユニット３配置のピッチが同じ場合に２ステップ分処理されるもので吸着動作が左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄが同時に実施され（同時吸着指定）、「Ｓ」に「１」と入力されたステップと次のステップが「ペアリング」処理されるものである。
【０００５】
そして、ＦＤＲ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）の百の位の判定で、自動的に２つのビーム８Ａ、８Ｂの処理が振り分けられる。即ち、１００番台はＡビーム８Ａ処理で、２００番台はＢビーム８Ｂ処理であり、部品装着動作の内容は次のようになり、特に図８及び図９に従い説明する。
【０００６】
先ず、プリント基板Ｐが上流装置より供給コンベア４を介して位置決め部５に搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。そして、ＲＡＭ２２に格納されたプリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置及びＦＤＲ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）等が指定された装着データに従い、電子部品の部品種に対応した吸着ノズルが装着すべき電子部品を所定の部品供給ユニット３から吸着して取出すこととなる。
【０００７】
この場合、先ず装着ヘッド７Ａ、７Ｂに装備している吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄを次の２ステップ分の電子部品の指定吸着ノズルに合わせるために吸着ノズルの交換を実施する。即ち、各装着ヘッド７Ａ、７Ｂがノズルストッカ１８、１８の所定の吸着ノズル上方に位置するよう移動するが、Ｙ方向は駆動回路２８によりＹ軸モータ９、９が駆動して一対のガイド１１に沿ってビーム８Ａ、８Ｂが移動し、Ｘ方向は駆動回路２５によりＸ軸モータ１２が駆動して装着ヘッド７Ａ、７Ｂが衝突することなく移動し、ノズルの交換動作を行う。
【０００８】
次に、装着ステップ番号０００１の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ａの吸着ノズル１７Ａは装着ステップ番号０００１の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に位置するよう移動するが、Ｙ方向は駆動回路２８によりＹ軸モータ９が駆動して一対のガイド１１に沿ってビーム８Ａが移動し、Ｘ方向は駆動回路２５によりＸ軸モータ１２が駆動して装着ヘッド７Ａが移動し、既に所定の供給ユニット３は駆動されて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるため、駆動回路３０により上下軸モータ１４が駆動して前記ノズル１７Ａが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ａは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｂが装着ステップ番号０００２の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｂが下降して電子部品を吸着し取出す。
【０００９】
このとき、装着ステップ番号０００９の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ｂの吸着ノズル１７Ｃは装着ステップ番号０００９の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、前記ノズル１７Ｃが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ｂは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｄが装着ステップ番号００１０の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｄが下降して電子部品を吸着し取出す。
【００１０】
そして、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂが各部品認識カメラ１６上方に位置するよう、前述の如くＹ軸モータ９及びＸ軸モータ１２により移動し、前記ノズル１７Ａ及び１７Ｂに吸着されている各電子部品は撮像され、更に該吸着ノズル１７Ｃ及び１７Ｄが部品認識カメラ１６上方に位置するよう移動し、前記ノズル１７Ｃ及び１７Ｄに吸着されている各電子部品は撮像され、各電子部品が当該ノズルに対してどれだけ位置ずれして吸着保持されているかＸＹ方向及び回転角度につき、部品認識処理部３３により認識結果が算出される。
【００１１】
この後ＣＰＵ２１は「装着エリアが未使用か否か」を判断し、未使用であればＢビーム８Ｂが装着エリアを占有し、その旨をＲＡＭ２２に記憶する。そして、各ビームの移動による最初の電子部品装着前に夫々のビームに基板認識処理動作をさせる。従って、Ｂビーム８Ｂが装着エリアを占有し基板認識動作をすべく、プリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するためにＹ軸モータ９及びＸ軸モータ９を駆動させて基板認識カメラ１９により該マークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＣＰＵ２１に処理結果が送出され、ＲＡＭ２２に記憶される。
【００１２】
そして、Ｂビーム８Ｂ及び装着ヘッド７Ｂを移動させて前記ノズル１７Ｃ及び１７Ｄに吸着されている各電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。このとき、ＣＰＵ２１は前記基板認識処理結果に部品認識処理結果を加えてプリント基板Ｐ上に装着する。
【００１３】
そして、Ｂビーム８Ｂの吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄによる装着ステップ番号０００９、００１０の電子部品を装着した後に、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放し（未使用状態とし）、装着ステップ番号００１１、００１２の電子部品の吸着動作及び部品認識動作に移る。
【００１４】
一方、装着エリアが開放されたので、Ａビーム８Ａが装着エリアを占有する処理をし、基板認識動作をすべく、プリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するために基板認識カメラ１９を移動させてマークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＲＡＭ２２に記憶される。
【００１５】
そして、Ａビーム８Ａ及び装着ヘッド７Ａを移動させて前記ノズル１７A及び１７Ｂに吸着されている各電子部品を前記基板認識処理結果に部品認識処理結果を加えてプリント基板Ｐ上に装着する。その後シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放し（未使用状態とし）、装着ステップ番号０００３、０００４の電子部品の吸着動作及び部品認識動作に移る。
【００１６】
この装着エリアの開放により、今度はＢビーム８Ｂ及び装着ヘッド７Ｂを移動させて、既に認識処理された前記ノズル１７Ｃ及び１７Ｄに吸着されている装着ステップ番号００１１、００１２の電子部品をＣＰＵ２１が前記基板認識処理結果に部品認識処理結果を加えてプリント基板Ｐ上に装着する。
【００１７】
以上のように、前記Ａビーム８Ａ、Ｂビーム８Ｂは、それぞれ自分の装着指定部品を順次装着していくが、各々のビームが自分で処理するステップを割出し、動作を行う。この際に、各ビームは電子部品を吸着し、認識カメラ１６による部品位置認識を終えたタイミングで、装着エリアの取得可否を判定し、未使用状態を待って、自ビームを装着エリア占有にした後、吸着部品の装着を行う。
【００１８】
そして、部品装着が完了し、装着エリアを開放するタイミングで、装着エリアを開放して未使用状態にして、次のステップの処理に移行する。このため、部品認識完了後に速やかに装着エリアに入れるか否か（装着エリア取得バッティング有無）が、２ビームの運転効率を左右することになる。
【００１９】
最適化処理において、２つのビームの装着ステップのペアリング方法、吸着ノズル交換頻度(装着順序)、ペアリングされたステップの動作時間、２ビーム間の組合せ(処理時間の長短をうまく整合させて装着エリア取得バッティングを回避)の考慮等が重要な要因になる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の従来例では、個々のビームのペアリング処理等は無駄なく作成されているにも関わらず、装着エリア取得タイミングのズレにより、Ａビーム８Ａの装着エリア未使用までの待機が多く発生し、結果として基板仕上げ時間が長くなってしまっている。即ち、図９に示すようなシーケンスの流れとなり、装着待ちにより２つのビームの協調動作が崩れ、２つのビームの全部品終了タイミングが大きくズレてしまい、これが基板仕上げ時間を余計に伸ばしてしまっているのが問題となる。
【００２１】
特に、２つのビームの割振りが偏っているような場合（部品荷姿の絡みで生じる）に、装着点数（総所要時間）の多いビーム側で装着待ちロスが発生すると、その影響は基板仕上げ時間の伸びとして顕著に現れる。
【００２２】
そこで本発明は、前記偏りからくる装着点数の多い（総所要時間の長い）側のビームの装着待ちを、強制的に回避させることにより、言いかえると、所要時間の少ないビーム側に装着待ちを集中させて、結果としてプリント基板の仕上げ時間を短縮することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
このため第１の発明は、駆動源により一方向に移動可能な一対のビームにこれに沿った方向に駆動源により夫々移動可能な装着ヘッドを設け、該装着ヘッドに電子部品を吸着して装着エリアにてプリント基板上に装着する吸着ノズルが設けられ、装着エリアがいずれかのビームにより取得されていないときには、部品を装着可能な装着ヘッドが設けられたビームが装着エリアを取得する電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する記憶装置と、前記調停制御データが自ビーム側に設定されているか否かを判断し、設定されていると判断され、且つそのときに装着エリアが空いているときには、自ビームによる装着エリアの取得より他のビームによる装着エリアの取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする。
【００２４】
また第２の発明は、同電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する記憶装置と、自ビームによる装着エリアの取得前に、前記調停制御データが自ビーム側に設定されているか否かを判断し、設定されていると判断されたときには、装着エリアが空いているか否かを判断し、装着エリアが空いているときには、他のビームが装着エリアを取得したか否かを判断し、他のビームが装着エリアを取得していないときには、他のビームが装着エリアを取得するまで他のビームが装着エリアを取得したか否かの判断を繰り返し、前記他のビームによる装着エリアの取得が行われて装着エリアが空いたときに、自ビームにより装着エリアが取得されるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする。
【００２５】
第３の発明は、同電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する第１の記憶装置と、リカバリ動作発生の履歴を記憶する第２の記憶装置と、前記第２の記憶装置に前記履歴が記憶されていない場合には、前記第１の記憶装置に記憶された調停制御データに基づいていずれかのビームに設けられた装着ヘッドによる装着エリア取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする。
【００２６】
更に第４の発明は、同電子部品装着装置において、いずれかのビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データを記憶する第１の記憶装置と、リカバリ動作発生の履歴を記憶する第２の記憶装置と、各ビームの装着エリア占有の前に第１の記憶装置に前記調停制御データが設定されていて前記第２の記憶装置に前記履歴が記憶されているか否かを判断し記憶されていない場合にはいずれかのビームに設けられた装着ヘッドによる装着エリア取得を優先させるように制御する制御装置とから成ることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図に基づき、本発明の実施の形態を以下説明するが、従来例と同一の符号・番号は同一又は類似の機能を果たすものとする。図１は電子部品装着装置１の平面図で、該装置１の基台２上には種々の電子部品を夫々その部品取出し部（部品吸着位置）に１個ずつ供給する部品供給ユニット３が複数並設されている。対向するユニット３群の間には、供給コンベア４、位置決め部５及び排出コンベア６が設けられている。供給コンベア４は上流より受けたプリント基板Ｐを前記位置決め部５に搬送し、位置決め部５で図示しない位置決め機構により位置決めされた該基板Ｐ上に電子部品が装着された後、排出コンベア６に搬送される。
【００２８】
８Ａ、８ＢはＸ方向に長い一対のビームであり、夫々Ｙ軸モータ９の駆動によりネジ軸１０を回転させ、左右一対のガイド１１に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニット３の部品取出し部（部品吸着位置）上方を個別にＹ方向に移動する。
【００２９】
各ビーム８Ａ、８Ｂにはその長手方向、即ちＸ方向にＸ軸モータ１２によりガイド(図示せず)に沿って移動する装着ヘッド７Ａ、７Ｂが夫々設けられている。各装着ヘッド７Ａ又は７Ｂには２本の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄを上下動させるための上下軸モータ１４が２個搭載され、また鉛直軸周りに回転させるためのθ軸モータ１５が２個搭載されている。したがって、２個の装着ヘッド７Ａ、７Ｂの各吸着ノズルはＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、かつ上下動可能となっている。尚、吸着ノズルを垂直線回りに回転可能とするθ軸モータを１個設け、また吸着ノズルを上下動させる上下軸モータを１個設けることにより、結果として選択された吸着ノズルのみを上下動させることも可能である。
【００３０】
１６は部品位置認識用の部品認識カメラで、前記各吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄに対応して４個設けられ、電子部品が吸着ノズルに対してどれだけ位置ずれして吸着保持されているかＸＹ方向及び回転角度につき、位置認識するために電子部品を撮像するが、それぞれ同時に２個の電子部品を撮像可能である。１８、１８は種々の吸着ノズルを収納するノズルストッカで、最大１０本収納可能であるが９本収納している。
【００３１】
１９、１９は基板認識カメラで、前記装着ヘッド７Ａ、７Ｂにそれぞれ設けられ、プリント基板Ｐに付されたマークＭの位置を認識するために該マークＭを撮像する。
【００３２】
図２は本電子部品装着装置１の制御ブロック図であり、便宜上Ｘ軸モータ１２、Ｙ軸モータ９、θ軸モータ１５及び上下軸モータ１４などは、各１個のみ図示して以下説明する。
【００３３】
本装着装置１の電子部品装着に係る動作を統括制御する制御部としてのＣＰＵ２１、記憶装置としてのＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）２２及びＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）２３などから構成されている。前記ＲＡＭ２２には、図３に示すように、電子部品の装着順序毎にプリント基板Ｐ内でのＸ方向、Ｙ方向及び角度位置情報や、ＦＤＲ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）情報や、「ペアリング」の指定を行うデータ「Ｓ」情報や、装着点毎の基板個々認識の指定データ及びビーム調停制御データである「Ｖ」情報等から成る装着データが格納されている。
【００３４】
即ち、「ペアリング」の指定を行うデータ「Ｓ」情報において、「Ｓ」が「２」と指定されると左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄに個別に電子部品を吸着させて２ステップ分をまとめて処理し（吸着優先指定）、「Ｓ」に「２」と入力されたステップと次のステップが「ペアリング処理（組として処理）」され、また「Ｓ」が「１」と指定されると左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄ間のピッチと部品供給ユニット３配置のピッチが同じ場合に２ステップ分処理されるもので吸着動作が左右の吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ又は１７Ｃ、１７Ｄが同時に実施され（同時吸着指定）、「Ｓ」に「１」と入力されたステップと次のステップが「ペアリング」処理されるものである。
【００３５】
そして、ＦＤＲ番号の百の位の判定で、自動的に２つのビーム８Ａ、８Ｂの処理が振り分けられる。即ち、１００番台はＡビーム８Ａが処理し、２００番台はＢビーム８Ｂが処理する。
【００３６】
また、装着点毎の基板個々認識の指定データ及びビーム調停制御データである「Ｖ」情報について説明すると、「Ｖ」情報は２桁からなり、一の位は前者の指定データで、十の位は後者のビーム調停制御データである。
【００３７】
「Ｖ」情報の一の位の「０」は「個々基板認識の指定なし」を意味し、「１」は「個々基板認識で１点認識」を意味し装着点に対してＸＹ位置補正をピンポイントチューニングし、「２」は「個々基板認識で２点認識」を意味し装着点に対しＸＹθ位置補正をピンポイントチューニングする。この個々認識は、基板パターン印刷の局部的な伸縮を吸収したり、ＸＹビーム系精度の自浄作用に効果がある。
【００３８】
「Ｖ」情報の十の位の「１」は「装着エリア譲りモード」が設定されたことを意味する。即ち、電子部品の吸着後、部品認識カメラ１６がある位置へ移動し部品認識が終了した後の装着エリア取得判定シーケンスにおいて、部品認識完了後に装着エリアが空いている場合、装着エリアの取得をせず、一回だけ相手ビームに装着エリアの取得を譲る。これにより、装着エリアへの２ビーム乗入れ動作を強制的に是正できる。
【００３９】
ビーム調停制御データは、ビームの装着エリア取得タイミングで作用させるものであるため、単独ステップ及びペアリングステップに対して、１回有効にする。単独ステップの場合は、そのステップの「Ｖ」情報（十の位）に「１」を設定し、ペアリングステップの場合には先頭ステップ（主側ステップ）の「Ｖ」情報（十の位）に「１」を設定する。
【００４０】
尚、ここで装着エリアは、プリント基板Ｐ上に電子部品を装着する場合に各装着ヘッド７Ａ、７Ｂがバッティング（衝突）しないように、いずれかの装着ヘッドのみが装着できるようにいずれかの装着ヘッドのみが取得できるものである。
【００４１】
そして、ＣＰＵ２１は前記ＲＡＭ２２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ２３に格納されたプログラムに従い、電子部品装着装置１の部品装着動作に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ２１は、駆動回路２５を介して前記Ｘ軸モータ１２の駆動を、駆動回路２８を介して前記Ｙ軸モータ９の駆動を、また駆動回路３２を介して前記θ軸モータ１５の駆動を、更に駆動回路３０を介して前記上下軸モータ１４の駆動を制御している。
【００４２】
３３はインターフェース２４を介して前記ＣＰＵ２１に接続される部品認識処理部で、前記部品認識カメラ１６により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理部３３にて行われ、ＣＰＵ２１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ２１は、部品認識カメラ１６に撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を部品認識処理部３３に出力すると共に、認識処理結果を認識処理部３３から受取るものである。
【００４３】
即ち、前記部品認識処理部３３の認識処理により位置ずれ量が把握されると、その結果がＣＰＵ２１に送られ、ＣＰＵ２１はビーム８Ａ又は８ＢがＹ軸モータ９の駆動によりＹ方向に、装着ヘッド７Ａ又は７ＢがＸ軸モータ１２の駆動によりＸ方向に移動させることにより、またθ軸モータ１５によりθ回転させ、Ｘ，Ｙ方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正がなされるものである。
【００４４】
１３は基板認識処理部で、前記基板認識カメラ１９により撮像して取込まれた画像の認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＣＰＵ２１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ２１は、基板認識カメラ１９に撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を基板認識処理部１３に出力すると共に、認識処理結果を基板認識処理部１３から受取るものである。
【００４５】
即ち、前記基板認識処理部１３の認識処理により位置ずれ量が把握されると、その結果がＣＰＵ２１に送られ、ＣＰＵ２１はビーム８Ａ又は８ＢがＹ軸モータ９の駆動によりＹ方向に、装着ヘッド７Ａ又は７ＢがＸ軸モータ１２の駆動によりＸ方向に移動させることにより、またθ軸モータ１５によりθ回転させ、Ｘ，Ｙ方向及び鉛直軸線回りへの回転角度位置の補正が可能となる。
【００４６】
尚、上述の基板認識処理動作は、夫々のビームによる最初の電子部品装着前に限り、行なわれる。それは、プリント基板Ｐの特性ばかりか、各ビーム、各装着ヘッドなどの特性を部品装着の位置補正に反映するためである。
【００４７】
３４はキーボードドライバー３５及びインターフェース２４を介して前記ＣＰＵ２１に接続される入力手段としてのキーボードで、３６は認識部品画像等の画像を表示するモニターである。尚、前記入力手段としてのキーボード３４に代えてタッチパネルなどの入力手段でも良い。
【００４８】
以上の構成により、以下特に図３、図４及び図５に基づき動作について説明する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアにより上流装置より供給コンベア４を介して位置決め部５に搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。
【００４９】
そして、ＲＡＭ２２に格納されたプリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置及びＦＤＲ番号（各部品供給ユニット３の配置番号）等が指定された装着データに従い、電子部品の部品種に対応した吸着ノズルが装着すべき電子部品を所定の部品供給ユニット３から吸着して取出すこととなる。
【００５０】
この場合、先ず装着ヘッド７Ａ、７Ｂに装備している吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄを次の２ステップ分の電子部品の指定吸着ノズルに合わせるために吸着ノズルの交換を実施する。即ち、各装着ヘッド７Ａ、７Ｂがノズルストッカ１８、１８の所定の吸着ノズル上方に位置するよう移動するが、Ｙ方向は駆動回路２８によりＹ軸モータ９、９が駆動して一対のガイド１１に沿ってビーム８Ａ、８Ｂが移動し、Ｘ方向は駆動回路２５によりＸ軸モータ１２が駆動して装着ヘッド７Ａ、７Ｂが衝突することなく移動し、ノズルの交換動作を行う。
【００５１】
次に、装着ステップ番号０００１の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ａの吸着ノズル１７Ａは装着ステップ番号０００１の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に位置するよう移動するが、Ｙ方向は駆動回路２８によりＹ軸モータ９が駆動して一対のガイド１１に沿ってビーム８Ａが移動し、Ｘ方向は駆動回路２５によりＸ軸モータ１２が駆動して装着ヘッド７Ａが移動し、既に所定の供給ユニット３は駆動されて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるため、駆動回路３０により上下軸モータ１４が駆動して前記ノズル１７Ａが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ａは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｂが装着ステップ番号０００２の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｂが下降して電子部品を吸着し取出す。
【００５２】
このとき、装着ステップ番号０００９の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ｂの吸着ノズル１７Ｃは装着ステップ番号０００９の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、前記ノズル１７Ｃが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ｂは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｄが装着ステップ番号００１０の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｄが下降して電子部品を吸着し取出す。
【００５３】
そして、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂが各部品認識カメラ１６上方に位置するよう、前述の如くＹ軸モータ９及びＸ軸モータ１２により移動し、前記ノズル１７Ａ及び１７Ｂに吸着されている各電子部品は撮像され、また該吸着ノズル１７Ｃ及び１７Ｄが部品認識カメラ１６上方に位置するよう移動し、前記ノズル１７Ｃ及び１７Ｄに吸着されている各電子部品は撮像され、各電子部品が当該ノズルに対してどれだけ位置ずれして吸着保持されているかＸＹ方向及び回転角度につき、部品認識処理部３３により認識結果が算出される。
【００５４】
そして、ＣＰＵ２１が他方のビームの部品装着が全て終了していなくて、かつ調停制御データの設定があるか否かがＲＡＭ２２に記憶された内容に基づき判断するが、Ｂビーム８Ｂにとっては設定されているので、次に装着エリアが未使用か否かが判断され、未使用なのでＡビーム８Ａが装着エリアを取得したかを判断し取得していなければこの判断を繰り返す。一方、前述の他方のビームの部品装着が全て終了していなくて、かつ調停制御データの設定があるか否かがＲＡＭ２２に記憶された内容に基づき判断されたときに、Ａビーム８Ａにとっては設定されていないので、装着エリアが未使用か否かが判断され、未使用なのでＡビーム８Ａが装着エリアをＢビーム８Ｂより優先して取得する。
【００５５】
具体的には、ＣＰＵ２１がＲＡＭ２２にＡビーム８Ａが装着エリアを占有した旨を書き込み、装着エリアを占有する処理をしたＡビーム８Ａにとっての基板認識動作をすべく、Ａビーム８Ａ及び装着ヘッド７Ａを移動させてプリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するために基板認識カメラ１９により各マークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＲＡＭ２２に記憶させ、再びＡビーム８Ａ及び装着ヘッド７Ａを移動させ、吸着ノズル１７Ａがプリント基板Ｐ上に前記基板認識結果に部品認識結果を加味して位置ずれを補正しつつ装着ステップ番号０００１の電子部品を装着し、次いでノズル１７Ｂも同じく装着ステップ番号０００２の電子部品を装着し、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放する（未使用状態とする）。
【００５６】
このとき、Ｂビーム８Ｂにとっては前述したように相手のＡビーム８Ａが装着エリアを取得したかの判断を繰り返していたが、Ａビーム８Ａが取得した後は装着エリアが未使用か否かが判断され、装着動作中は使用中なのでＡビーム８Ａが装着を終了して未使用となるまで未使用か否かの判断を繰り返し、Ａビーム８Ａにより装着ステップ番号０００１、０００２の電子部品が装着されて、Ａビーム８Ａによる装着エリアの開放後にＢビーム８Ｂが装着エリアを占有する。
【００５７】
従って、装着エリアを占有する処理をしたＢビーム８Ｂにとっての基板認識動作をすべく、Ｂビーム８Ｂ及び装着ヘッド７Ｂを移動させてプリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するために基板認識カメラ１９により各マークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＲＡＭ２２に記憶させ、吸着ノズル１７Ｃがプリント基板Ｐ上に前記基板認識結果に部品認識結果を加味して位置ずれを補正しつつ装着ステップ番号０００９の電子部品を装着し、次いでノズル１７Ｄも同じく装着ステップ番号００１０の電子部品を装着し、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放する（未使用状態とする）。
【００５８】
このＢビーム８Ｂが装着エリア占有している間に、前記吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００３及び０００４の電子部品の吸着動作に移り、認識カメラ１６により電子部品を撮像し認識処理に移り、Ｂビーム８Ｂの吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄによる装着ステップ番号０００９、００１０の電子部品の装着を終えて、装着エリアが未使用となればＡビーム８Ａが装着エリア占有する。
【００５９】
このため、吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂはプリント基板Ｐ上に装着ステップ番号０００３、０００４の電子部品を装着し、装着エリアを開放する（未使用状態とし）。この装着動作中前記吸着ノズル１７Ｃ及び１７Ｄによる装着ステップ番号００１１及び００１２の電子部品の吸着動作に移り、部品認識カメラ１６により電子部品を撮像し認識処理に移る。そして、Ａビーム８Ａの吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂが装着ステップ番号０００３、０００４の電子部品を装着し、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放したとき、Ｂビーム８Ｂが装着エリアを占有する処理をし、吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄはプリント基板Ｐ上に装着ステップ番号００１１、００１２の電子部品を装着する。
【００６０】
この装着動作中に装着ステップ番号０００５の「Ｓ」に「１」とあるので前記吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００５及び０００６の電子部品の同時吸着動作に移り、認識カメラ１６により電子部品を撮像し認識処理に移る。この認識処理を終了しても、Ｂビーム８Ｂが装着エリアを占有した状態のままであり、装着エリアが開放されるまで待機する。やがて、前記吸着ノズル１７Ｄがプリント基板Ｐ上に装着ステップ番号００１２の電子部品を装着し終えて装着エリアが開放されると、Ａビーム８Ａが装着エリアを占有し、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００５及び０００６の電子部品の装着に移る。
【００６１】
このＡビーム８Ａが装着エリアを占有し、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着動作中に装着ヘッド７Ｂのノズルの交換動作及び交換後の吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄにより装着ステップ番号００１３及び００１４の電子部品の吸着動作に移り、その後認識カメラ１６により電子部品を撮像し認識処理に移る。
【００６２】
そして、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００５及び０００６の電子部品の装着動作が終わって、シーケンスデータを歩進し次ステップを切出し装着エリアを開放しても、Ｂビーム８Ｂの吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄにより吸着された装着ステップ番号００１３及び００１４の電子部品の認識処理が終了していないため、装着エリアは開放されたままとなる。また、この開放状態のとき装着ヘッド７Ａに装備している吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂを次の２ステップ分の電子部品の指定吸着ノズルに合わせるために吸着ノズルの交換を実施する。
【００６３】
やがて、装着ステップ番号００１３及び００１４の電子部品の認識処理が終了すると、Ｂビーム８Ｂが装着エリアを占有し、吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄにより吸着された装着ステップ番号００１３及び００１４の電子部品の装着が行われる。
【００６４】
このとき、装着ステップ番号０００７の「Ｓ」に「１」とあるので吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００７及び０００８の電子部品の同時吸着動作に移り、認識カメラ１６により電子部品を撮像し認識処理に移るが、該認識処理が終了しても、吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄによる装着動作が終了しておらず装着エリアが開放していないため、開放（未使用状態）するまでＡビーム８Ａは待機する。
【００６５】
やがて、吸着ノズル１７Ｃ、１７Ｄによる装着動作が終了すると、Ｂビーム８Ｂによる装着エリアが開放され、Ａビーム８Ａにより装着エリアが占有され、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂによる装着ステップ番号０００７及び０００８の電子部品の装着動作が行われ、一方Ｂビーム８Ｂは次ステップデータが無いため原点に移動する。
【００６６】
そして、吸着ノズル１７Ｂによる装着ステップ番号０００８の電子部品の装着動作が終了すると、次ステップデータが無いため、Ａビーム８Ａも原点に移動する。
【００６７】
尚、両ビームによる装着についてシュミレーションを行なって、いずれかのビームの装着待機がどこで生じて、その待機が基板仕上げ時間（ＡビームとＢビームの終了のずれ）に影響しているかを見つけ、作業者が任意のステップ番号の位置に、更には自動的に適切な箇所に調停制御データを設定するような最適化ツールの構築により自動決定可能なシステムを用いることもできる。
【００６８】
次に、第２の実施形態について図６に基づき説明する。先ず、第１の実施形態では、部品吸着後、部品認識カメラ位置へ移動し、部品認識が終了した後の装着エリア取得判定シーケンスで、部品認識完了後に装着エリアが空いている場合、装着エリアの取得をせず、一回だけ他方のビームに装着エリアの取得を譲り、これにより、装着エリアへの２ビーム乗入れ動作を強制的に是正できるようにした。
【００６９】
通常起こり得る装着バッティング現象では、２ビーム間の協調動作繰返しの中で、部分的にある装着ステップで、大きな装着待ちロスが起こり、このズレが、その後の２ビーム運転に作用してしまい、結果として、基板仕上げ時間を長くしてしまう原因になる。このステップのポイントで、強制的に装着エリア取得をコントロールして協調運転の是正を図り、基板仕上げ時間を短くするのが、前記第１の実施形態の狙うところである。
【００７０】
しかし、そのため、吸着異常（吸着できなかったり、いわゆる立ち吸着等）によるリカバリ動作や、部品切れ異常等で、正規の２ビーム運転の協調進行が狂った場合、その後の運転に対しても、設定された調停制御データ通りに遵守していくと、かえって、その効果が仇となって現れる場合がある。
【００７１】
即ち、２ビームの処理時間が、結構均衡している場合に、本機能の運用で、装着エリア取得を強制的に是正して基板仕上げ時間短縮を図るケースでは、リカバリ動作等の例外処理が発生した場合は、それ以降の調停制御データ内容を反映しない方が適する場合があり、また逆にＡビーム８ＡとＢビーム８Ｂの装着点数の隔たりが極端な場合には、リカバリ動作等の例外処理が起ころうとも、その後の装置運転に対し、恒久的に、調停制御データを遵守して、進行を早めたいビームの装着動作を最優先に実施することが有利な場合もある。
【００７２】
そこで、第２の実施形態では、これら２つのケースに対応するため、「Ｖ」情報として次の２通りの設定パターンを設ける。即ち、「Ｖ」情報の十の位が「１」の場合には、調停制御データが恒久的に維持される設定であり、前述の説明におけるＡビーム８ＡとＢビーム８Ｂの装着点数の隔たりが極端な場合に、この設定が適する。また、「Ｖ」情報の十の位が「２」の場合には、調停制御データが、リカバリ動作等の例外処理が発生するまで継続される設定である。即ち、吸着異常等により、リカバリ動作等が発生すると、その時点で、それ以降の残りの装着ステップ中の「Ｖ」情報の十の位のデータは、その基板の仕上げが完了するまでは、未設定状態と同じ処理にして、ＣＰＵ２１はデータ設定を無視する。
【００７３】
尚、このリカバリ動作は、当該吸着動作後であればいずれの装着ステップにおいて行なっても良い。
【００７４】
以下図６に基づき、ステップ番号０００９の「Ｖ」情報の十の位が「２」と設定されているものとして動作につき説明する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアにより上流装置より供給コンベア４を介して位置決め部５に搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。そして、ＲＡＭ２２に格納された装着データに従い、電子部品の部品種に対応した吸着ノズルが装着すべき電子部品を所定の部品供給ユニット３から吸着して取出すこととなる。
【００７５】
この場合、先ず装着ヘッド７Ａ、７Ｂに装備している吸着ノズル１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ、１７Ｄを次の２ステップ分の電子部品の指定吸着ノズルに合わせるために吸着ノズルの交換を実施する。
【００７６】
次に、装着ステップ番号０００１の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ａの吸着ノズル１７Ａは装着ステップ番号０００１の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に位置するよう移動し、既に所定の供給ユニット３は駆動されて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるため、上下軸モータ１４が駆動して前記ノズル１７Ａが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ａは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｂが装着ステップ番号０００２の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｂが下降して電子部品を吸着し取出す。
【００７７】
このとき、装着ステップ番号０００９の「Ｓ」に「２」とあり、装着ヘッド７Ｂの吸着ノズル１７Ｃは装着ステップ番号０００９の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、前記ノズル１７Ｃが下降して電子部品を吸着し取出し、次に装着ヘッド７Ｂは上昇すると共に吸着ノズル１７Ｄが装着ステップ番号００１０の装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット３上方に移動し、同じく前記ノズル１７Ｄが下降して電子部品を吸着し取出す。
【００７８】
そして、吸着ノズル１７Ａ及び１７Ｂが各部品認識カメラ１６上方に位置するよう移動し、前記ノズル１７Ａ及び１７Ｂに吸着されている各電子部品は撮像され、また該吸着ノズル１７Ｃ及び１７Ｄが部品認識カメラ１６上方に位置するよう移動し、前記ノズル１７Ｃ及び１７Ｄに吸着されている各電子部品は撮像され、各電子部品が当該ノズルに対してどれだけ位置ずれして吸着保持されているかＸＹ方向及び回転角度につき、部品認識処理部３３により認識結果が算出される。
【００７９】
そして、ＣＰＵ２１が他方のビームの部品装着が全て終了していなくて、かつ調停制御データが「２」と設定されているかをＲＡＭ２２に記憶された内容に基づき判断するが、Ｂビーム８Ｂにとっては設定されているので、次にリカバリ動作発生履歴がＲＡＭ２２にメモリされているかが判断され、吸着異常がなくてメモリされていなければ、次に装着エリアが未使用か否かが判断され、未使用なのでＡビーム８Ａが装着エリアを取得したかを判断し取得していなければこの判断を繰り返す。一方、前述の他方のビームの部品装着が全て終了していなくて、かつ調停制御データが設定されているか（「２」と設定されているか）をＲＡＭ２２に記憶された内容に基づき判断されたときに、Ａビーム８Ａにとっては設定されていないので、装着エリアが未使用か否かが判断され、未使用なのでＡビーム８Ａが装着エリアを取得する。
【００８０】
具体的には、ＣＰＵ２１がＲＡＭ２２にＡビーム８Ａが装着エリアを占有した旨を書き込み、装着エリアを占有する処理をしたＡビーム８Ａにとっての基板認識動作をすべく、Ａビーム８Ａ及び装着ヘッド７Ａを移動させてプリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するために基板認識カメラ１９により各マークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＲＡＭ２２に記憶させ、再びＡビーム８Ａ及び装着ヘッド７Ａを移動させ、吸着ノズル１７Ａがプリント基板Ｐ上に前記基板認識結果に部品認識結果を加味して位置ずれを補正しつつ装着ステップ番号０００１の電子部品を装着し、次いでノズル１７Ｂも同じく装着ステップ番号０００２の電子部品を装着し、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放する（未使用状態とする）。
【００８１】
このとき、Ｂビーム８Ｂにとっては前述したように相手のＡビーム８Ａが装着エリアを取得したかの判断を繰り返していたが、Ａビーム８Ａが取得した後は装着エリアが未使用か否かが判断され、装着動作中は使用中なのでＡビーム８Ａが装着を終了して未使用となるまで未使用か否かの判断を繰り返し、Ａビーム８Ａにより装着ステップ番号０００１、０００２の電子部品が装着されて、Ａビーム８Ａによる装着エリアの開放後にＢビーム８Ｂが装着エリアを占有する。
【００８２】
従って、装着エリアを占有する処理をしたＢビーム８Ｂにとっての基板認識動作をすべく、Ｂビーム８Ｂ及び装着ヘッド７Ｂを移動させてプリント基板Ｐ上のマークＭの位置を認識するために基板認識カメラ１９により各マークＭを撮像し、その認識処理が該基板認識処理部１３にて行われ、ＲＡＭ２２に記憶させ、吸着ノズル１７Ｃがプリント基板Ｐ上に前記基板認識結果に部品認識結果を加味して位置ずれを補正しつつ装着ステップ番号０００９の電子部品を装着し、次いでノズル１７Ｄも同じく装着ステップ番号００１０の電子部品を装着し、シーケンスデータを歩進して次ステップを切出して、次のステップデータがあるので、装着エリアを開放する（未使用状態とする）。
【００８３】
以下、第１の実施形態で説明した動作と同様な動作となるので、以下省略するが、吸着異常等により、リカバリ動作等が発生すると、その時点で、それ以降の残りの装着ステップ中の「Ｖ」情報の十の位のデータ「２」は、その基板の仕上げが完了するまでは、未設定状態と同じ処理にして、ＣＰＵ２１はデータ設定を無視することとなる。
【００８４】
尚、リカバリ動作発生すると、その履歴がＲＡＭ２２にメモリされるが、どちらかのビームでリカバリ動作が発生したらメモリされ、前記プリント基板Ｐへの装着が終了し、次のプリント基板Ｐが当該装着装置の位置決め部５に搬送され、位置決め機構により位置決め固定され、電子部品の装着動作開始により前記メモリがクリアされるものである。
【００８５】
【発明の効果】
以上のように本発明は、他ビームによる装着エリアの取得を優先するための調停制御データが自ビーム側に設定されているか否かを判断し、調停制御データの設定の有無に基づいて他ビームによる装着エリアの取得を優先し、全体の２ビーム協調度を調整又は是正可能にして、結果としてプリント基板の仕上げ時間を短縮することができる。また、吸着異常によるリカバリ動作等で、２ビーム運転の協調進行が狂った場合、その後の運転に対しても、設定された調停制御データ通りに遵守していくと、かえって基板の仕上げ時間が遅れることになるが、特に第３及び第４の発明によればそのようなことが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子部品装着装置の平面図である。
【図２】電子部品装着装置の制御ブロック図である。
【図３】装着データを示す図である。
【図４】概略フローチャートを示す図である。
【図５】電子部品装着に関する動作を示す図である。
【図６】第２の実施形態の電子部品装着に関する動作を示す図である。
【図７】従来の装着データを示す図である。
【図８】従来の概略フローチャートを示す図である。
【図９】従来の電子部品装着に関する動作を示す図である。
【符号の説明】
１                  電子部品装着装置
７Ａ、Ｂ            装着ヘッド
８Ａ、Ｂ            Ａビーム、Ｂビーム
１３                基板認識カメラ
１６                部品認識カメラ
１７Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  吸着ノズル
２１                ＣＰＵ
２２                ＲＡＭ
【図１】
0003898443.tif 000002
【図２】
0003898443.tif 000003
【図３】
0003898443.tif 000004
【図４】
0003898443.tif 000005
【図５】
0003898443.tif 000006
【図６】
0003898443.tif 000007
【図７】
0003898443.tif 000008
【図８】
0003898443.tif 000009
【図９】
0003898443.tif 000010