(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸を単量体単位として有するバインダーポリマー、
（Ｂ）光重合開始剤及び
（Ｃ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性不飽和化合物を含み、
前記（Ｃ）成分中に下記一般式（Ｉ）で示されるエチレン性不飽和化合物
【化１】
0003944971.tif 000005
（式中、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3はＨ又はＣＨ3であり、これらは同一であっても相違してもよい。また、Αは−ＣＨ2ＣＨ2−であり、Ｂは−ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2−又は−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−であり、ｍ1、ｍ2、ｍ3、ｎ1、ｎ2及びｎ3は、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3が６〜１０、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3が１５〜３６の範囲にある正の整数である。）
を５〜１００重量％を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）成分の使用割合が、
（Ａ）成分が４０〜８０重量部、
（Ｂ）成分が（Ａ）成分と（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対して０．１〜２０重量部及び
（Ｃ）成分が２０〜６０重量部（但し（Ａ）成分と（Ｃ）成分の合計量は１００重量部である。）
である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷回路板作製用のレジストとして支持層と光重合層からなる、いわゆるドライフィルムレジスト（以下ＤＦＲと略称）が用いられている。ＤＦＲは、一般に支持層上に光重合性組成物からなる光重合層を積層し、多くの場合、更に該光重合層上に保護用のフィルムを積層することにより調製される。
【０００３】
ＤＦＲを用いてプリント回路板を作製するには、まず保護フィルムを剥離した後、銅張積層板等の永久回路作製用基板上に、ＤＦＲを積層する。次に、必要により支持層を剥離し、配線パターンマスクフィルム等を通し、露光を行う。露光後に支持層がある場合は必要に応じて支持層を剥離し、現像液により未露光部分の光重合層を溶解、若しくは分散除去し、基板上に硬化レジスト画像を形成せしめる。光重合層としては、現像液としてアルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型と、有機溶剤を用いる溶剤現像型が知られているが、近年環境問題ないし費用の点からアルカリ現像型ＤＦＲの需要が伸びている。
【０００４】
回路を形成させるプロセスとしては現像後は両型とも同一であり、大きく二つの方法に分かれる。第一の方法は、硬化レジストによって覆われていない銅面をエッチング除去した後、レジストを更に除去するものであり、第二の方法は、同上の銅面に銅及び半田等のめっき処理を行った後、レジストの除去、更に現れた銅面をエッチングするものである。
【０００５】
また、ＤＦＲを用いて作製される印刷回路板の中で、スルーホールの内周面に付設した導電性回路形成物質層、例えば銅薄膜層によって恒久的画像形成用基板の一方の面と他方の面とを電気的に接続した形式のものがほとんどである。この種の印刷回路基板の製造方法としては、銅スルーホール法と半田スルーホール法が一般的であって、銅スルーホール法の中ではテンティング法が広く採用されるようになってきている
半田スルーホール法はスルーホールの内周面の導電性回路構成物質、例えば銅薄膜層を保護する耐エッチング金属、例えば半田めっきで被覆し、次いで基板表面の不要箇所をエッチングするものである。上述の銅めっきや半田めっき等の各種めっき工程において、レジストと基材との間にめっき液がしみ込み、めっきがもぐるとショートの原因となる。従って耐めっき性の優れたＤＦＲが要求される。
【０００６】
また、露光、現像により形成された硬化レジストはエッチング、あるいはめっき後に水酸化ナトリウム等のアルカリ水溶液の剥離液により剥離される。剥離速度は生産性の観点から速いことが好ましい。また、レジスト硬化膜の剥離液に対する溶解性が高いと、剥離液の粘度の上昇をきたし、発泡が著しくなる。そのため剥離液の処理能力は低下する。更に剥離液のＢＯＤ（生物化学的酸素要求量）やＣＯＤ（化学的酸素要求量）が増大するため、廃液処理に要する費用が高価になる。以上の点からレジスト硬化膜は剥離液に対して難溶であることが好ましい。
【０００７】
現在広く用いられているＤＦＲの光重合層は、（１）少なくとも１個のエチレン性基を有し、光重合開始剤によって重合体を形成できる不飽和化合物、（２）熱可塑性有機重合体結合剤、（３）光重合開始剤及び（４）その他の添加剤からなっている（特公昭５０−９１７７号公報、特公昭５７−２１６９７号公報）。
【０００８】
前記不飽和化合物としては脂肪族系多価アルコール酸のアクリル酸及びメタクリル酸エステルが最も一般的で、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等が知られている。また、芳香族系２価アルコールとしてビスフェノールΑにポリエチレングリコール若しくはポリプロピレングリコールを付加させてアクリル酸又はメタクリル酸エステルとして用いる例が知られている。
【０００９】
しかし、前者の脂肪族エステルを用いた場合、十分な耐めっき性が得られない。また、後者のビスフェノール系モノマーを用いた場合、良好な耐めっき性を有するが、側鎖を長くすると耐めっき性が低下するか、又は前記結合剤との相溶性が損われる。更に、アルカリ現像可能なＤＦＲにおいては近年ますますファインパターン化が進むなかで特にめっき工程において十分な耐性を有するとともに剥離工程においては速やかに剥離され、剥離液中で難溶性であるという特性を同時に満足する性能が求められている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、耐めっき性、剥離性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、トリメチロールプロパン系アクリル酸及びメタクリル酸エステルモノマーの分子中に、エチレングリコール鎖とプロピレングリコール鎖の双方を含有する化合物を光重合可能な不飽和化合物として用いると、耐めっき性、剥離性に優れた感光性樹脂組成物が得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【００１２】
すなわち、本発明は、
（Ａ）（メタ）アクリル酸アルキルエステル及び（メタ）アクリル酸を単量体単位として有するバインダーポリマー、
（Ｂ）光重合開始剤及び
（Ｃ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性不飽和化合物を含み、
前記（Ｃ）成分中に下記一般式（Ｉ）で示されるエチレン性不飽和化合物
【化２】
0003944971.tif 000002
（式中、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3はＨ又はＣＨ3であり、これらは同一であっても相違してもよい。また、Αは−ＣＨ2ＣＨ2−であり、Ｂは−ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2−又は−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−であり、ｍ1、ｍ2、ｍ3、ｎ1、ｎ2及びｎ3は、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3が６〜１０、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3が１５〜３６の範囲にある正の整数である。）
を５〜１００重量％を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。
【００１３】
【化２】
0003944971.tif 000003
（式中、Ｒ1、Ｒ2及びＲ3はＨ又はＣＨ3であり、これらは同一であっても相違してもよい。また、Α及びＢは−ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2−若しくは−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−又は−ＣＨ2ＣＨ2−であり、Α及びＢは相異なるものであり、ｍ1、ｍ2、ｍ3、ｎ1、ｎ2及びｎ3は、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3が６〜４５、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3が３〜４５の範囲にある正の整数である。）
を５〜７０重量％を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。
【００１４】
また、本発明は、上記の感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性エレメントに関する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントにおいて、（Ｃ）成分のエチレン性不飽和化合物として上記一般式（Ｉ）で示される化合物を光重合可能な不飽和化合物として用いると、硬化後のレジストが特にめっき工程において十分な耐性を示すとともに剥離工程において良好な剥離性を示し、硬化膜が柔軟性に富んでいるという特性を示す。
【００１６】
本発明に用いる（Ｉ）式で示される光重合可能な不飽和化合物において、エチレングリコール鎖のみである場合、剥離性をよくするために側鎖を長くすると親水性が増し膨潤が起こりやすく耐めっき性が損われる。またプロピレングリコールのみである場合は、同様に剥離性をよくするために側鎖を長くするとバインダーとの相溶性が悪くなり、均一な組成物とならず、相分離を起こしてしまう。
【００１７】
（Ａ）成分として用いられるカルボキシル基含有バインダーポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［（メタ）アクリル酸とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ。］と（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これらの共重合体は、単独で又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【００１８】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００１９】
また、（メタ）アクリル酸アルキルエステルや（メタ）アクリル酸と共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
【００２０】
本発明の（Ｂ）成分として用いられる光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ−（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
本発明の（Ｃ）成分として用いられる少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物のうち、必須成分として含まれる一般式（Ｉ）で示されるエチレン性不飽和化合物としては、ｍ1、ｍ2、ｍ3、ｎ1、ｎ2及びｎ3が正の整数であり、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3が６〜４５（好ましくは９〜２４）、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3が３〜４５（好ましくは６〜２４）の範囲内にあるものであれば、特に制限はないが、構造中に含有されるプロピレングリコール基の総数がエチレングリコール基の総数より大きいことが好ましく、エチレングリコール基の総数が１０以下であることがより好ましい。一般式（Ｉ）で示されるエチレン性不飽和化合物において、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3が６未満であると硬化後の皮膜がもろくなり、４５を超えると感度、密着性、強度が劣り、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3が３未満であると、硬化後の皮膜がもろくなり、４５を超えると感度、密着性、強度が劣る。
【００２２】
また、（Ｃ）成分として用いられる、前記必須成分の化合物以外の少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールΑジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールΑトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールΑデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレート等のビスフェノールΑポリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノールΑジグリシジルエーテルアクリレート等のグリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物とのエステル化物、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等の（メタ）アクリル酸のアルキルエスエル、トリメチロールプロパンエトキシトリアクリレートなどが挙げられる。
【００２３】
本発明において、（Ａ）成分の配合量は、（Α）成分及び（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対して４０〜８０重量部の範囲とすることが好ましい。より好ましくは４５〜７０重量部の範囲とする。４０重量部未満では光硬化物が脆くなり易く、また感光性エレメントとして用いた場合、塗膜性に劣る傾向があり、８０重量部を超えると感度が不十分となる傾向がある。
【００２４】
また、（Ｃ）成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対し、２０〜６０重量部の範囲とすることが好ましい。より好ましくは３０〜５５重量部の範囲とする。この配合量が２０重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、６０重量部を超えると光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００２５】
なお、（Ｃ）成分中の必須成分である一般式（Ｉ）で示されるエチレン性不飽和化合物の配合量は、（Ｃ）成分中５〜７０重量％、好ましくは１０〜５０％の範囲とする。この配合量が５重量％未満では剥離時間が長くなり、７０重量％を超えるとテント強度が弱くなる。
【００２６】
（Ｂ）成分の光重合開始剤の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対して０．１〜２０重量部の範囲とすることが好ましい。より好ましくは０．２〜１０重量部の範囲とする。０．１重量部未満では感度が不十分となる傾向があり、２０重量部を超えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不十分となる傾向がある。
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物には、染料、発色剤、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤、密着性付与剤を必要に応じて添加してもよい。
【００２８】
本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分を、これらを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、メチレンアルコール、エチルアルコール等に溶解、混合させることにより、均一な溶液とすることができる。溶液中の溶剤の量は好ましくは１０〜７０重量％である。
【００２９】
本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持体上に塗布、乾燥し、感光層を形成し、感光性エレメントとして使用することもできる。支持体としては、重合性フィルム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等からなるフィルムが用いられ、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような材質であったり、表面処理が施されものであってはならない。これらの重合体フィルムの厚さは、通常５〜１００μｍ、好ましくは１０〜３０μｍである。これらの重量体フィルムの一つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。また、感光層の厚さは１０〜１００μｍとすることが好ましい。
【００３０】
本発明の感光性エレメントを用いてフォトレジスト画像を製造するに際しては、前記保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層する。積層される表面は、通常、金属面であるが、特に制限はない。感光層の加熱、圧着は通常、９０〜１３０℃、圧着圧力１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2で行われるが、これらの条件には特に制限はない。感光層を前記のように加熱すれば予め基板を予熱処理することは必要でないが、積層性を更に向上させるために基板の予熱処理を行うことができる。
【００３１】
このようにして積層が完了した感光層は、次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光により画像的に露光される。この際感光層上存在する重合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよく、また、不透明の場合には、当然除去する必要がある。感光性の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光することが好ましい。
【００３２】
活性光は、公知の活性光源、例えば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、その他から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光重合開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するものにすべきである。もちろん、光重合開始剤が可視光線に感受するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合には、活性光としては可視光が用いられ、その光源としては前記のもの以外に写真用フラッド電球、太陽ランプなども用いられる。
【００３３】
次いで、露光後、感光層上に重合体フィルムが存在している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露光部を除去して現像する。アルカリ水溶液の塩基としては、リチウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、好ましくは９〜１１の間であり、また、その温度は感光層の現像性に合わせて調節される。該アルカリ水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤などを混入させてもよい。
【００３４】
更に、印刷配線板を製造するに際しては、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露出している基板の表面をエッチング、めっき等の公知方法で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現像に用いたアルカリ水溶液より更に強アルカリ性の水溶液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が用いられる。
【００３５】
【実施例】
次に、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３６】
実施例１〜２及び比較例１〜３
メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル／メタクリル酸エチル（重合比２２／４５／２７／６（重量比）、重量平均分子量１１万）の４０重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１５０ｇ（固形分６０ｇ）（（Ａ）成分）、トリブロモメチルフェニルスルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１ｇ、マラカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチルケトン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベンゾフェノン４．５ｇ（（Ｂ）成分）及びＮ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（（Ｂ）成分）０．２ｇを配合し溶液を得た。
【００３７】
この溶液に表１に示す（Ｃ）成分を溶解させて感光性樹脂組成物の溶液を得た。次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布し、１１０℃の熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
【００３８】
一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を♯６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。
【００３９】
次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク（株）製）ＨＭＷ−２０１Ｂを用いてネガとしてストーファー２１段ステップタブレットを試験片の上に置いて６０ｍＪ／ｃｍ2露光した。次にポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を６０秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することにより、感光性樹脂組成物の光感度を評価した。その結果を表１に示す。光感度は、ステップタブレットの段数で示され、このステップタブレットの段数が高いほど光感度が高いことを示す。
【００４０】
また、５ｃｍ×５ｃｍの試験片を６０ｍＪ／ｃｍ2で露光後６０秒現像した後５０℃に加温した３重量％ＮａＯＨに浸漬し、レジストが剥離する時間を測定し、剥離片の大きさも同時に測定した。
【００４１】
また、上述の方法で銅張り積層基板にラミネートした積層体に、ポジパターンマスクフィルムを通して超高圧水銀灯により６０ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を照射した。次いでポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後１重量％炭酸ナトリウム水溶液で現像を行い下記条件で前処理、硫酸銅めっき及び半田めっきを行った。得られた画像の細線部分にセロテープを張り、十分圧着した後テープを剥離した。テープ剥離の判定基準を以下に示す。
【００４２】
［前処理条件］
５０℃  ＰＣ−４５５（メルテック社製）２５重量％溶液３分浸漬→水洗→２０重量％過硫酸アンモニウム水溶液１分浸漬→１０重量％硫酸水溶液→水洗
［硫酸銅めっき条件］
メルテックス社製、商品名「硫酸銅コンク」を１９％硫酸で３．６倍に希釈しためっき液中で２．５Α／ｄｍ2の電流密度で室温下３０分めっきを行う。
【００４３】
［半田めっき条件］
マクダーミッド社製の半田めっき液（錫／鉛＝６／４）を用い、２．０Α／ｄｍ2の電流密度で室温下１０分間めっきを行う。
【００４４】
［テープ剥離判定基準］
ａ  レジストの剥れが全くない。
【００４５】
ｂ  画像の両側に１００μｍ未満の幅で１ｍｍ未満の長さの部分が処々剥離した。
【００４６】
ｃ  画像の両側に１００μｍ以上の幅で１ｍｍ以上の長さの部分が処々剥離した。
【００４７】
ｄ  ほぼ全部のレジストが剥離した。
これらの結果をまとめて表１に示した。
【００４８】
【表１】
0003944971.tif 000004
＊１：  一般式（Ｉ）でＲ1＝Ｈ、Α＝−ＣＨ2ＣＨ2−、Ｂ＝−ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2−、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3＝６、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3＝１５の化合物
＊２：  一般式（Ｉ）でＲ1＝Ｈ、Α＝−ＣＨ2ＣＨ2−、Ｂ＝−ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2−、ｍ1＋ｍ2＋ｍ3＝６、ｎ1＋ｎ2＋ｎ3＝３６の化合物
＊３：  ビスフェノールΑポリオキシエチレンジメタクリレート（新中村化学工業社製商品名）
＊４：  ２，２−ビス［（４−メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル］プロパン（サートマ社製商品名）
表１から明らかなように、一般式（Ｉ）で示される化合物を含有させることにより、耐めっき性に優れ、剥離特性も良好な感光性樹脂組成物を得ることができた。
【００４９】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、耐めっき性、剥離性に優れたものであり、その工業的価値は極めて大である。