(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送面に沿って、複数の基板を間隔をもって順次搬送する工程と、透光性支持フィルムに少なくとも感光性樹脂層及びこの外側を被うカバーフィルムを積層してなる積層体フィルムをフィルムロールから巻き出し、ハーフカッターにより、前記カバーフィルムを、長手方向の適宜間隔で少なくとも透光性支持フィルムを残して幅方向に切断するハーフカット工程と、ハーフカット工程を経たカバーフィルムの長手方向少なくとも一部をハーフカット線から剥離させる剥離工程と、この剥離工程によりカバーフィルムが剥がされ、感光性樹脂層の長手方向少なくとも一部が露出された積層体フィルムを、前記露出された感光性樹脂層の側を、前記搬送されてくる基板の一方の面に向けて、これと重なるように、且つ、基板搬送方向と同方向に搬送する送り工程と、前記搬送されてくる基板及び積層体フィルムを、回転する一対のラミネーティングロール間に通して圧着する圧着工程と、を含んでなるフィルム張付方法において、前記積層体フィルムの巻き出し先端部をカバーフィルムが積層された状態のまま前記ラミネーティングロールの出口側に配置されているニップロール間に挟み込んだ後、前記フィルムロールから前記積層体フィルムの巻き出しを開始し、同時に前記ハーフカッターによりカバーフィルムを切断し、前記積層体フィルムの巻き出し先端部から最初の切断による前記適宜間隔で切断されたカバーフィルムの部分までを前記ニップロールを通過させて送るようにしたことを特徴とするフィルム張付制御方法。
【請求項２】
請求項１において、前記一対のラミネーティングロールのうち、前記搬送されてくる基板及び積層体フィルムを前記積層体フィルム側より圧着するラミネーティングロールを、積層体フィルムと離間した位置に待機させることを特徴とするフィルム張付制御方法。
【請求項３】
請求項２において、前記積層体フィルム側より圧着するラミネーティングロールを待機させるとき、前記ラミネーティングロールの入側に配置した揺動自在のフィルムガイドロールにより、前記積層体フィルムのフィルムパスを、前記一対のラミネーティングロールの両方に非接触となる中立位置に変更することを特徴とするフィルム張付制御方法。
【請求項４】
請求項１、２又は３において、前記ハーフカット工程は、前記基板搬送面上を搬送される基板間の隙間と略等しい間隔で、且つ、前記隙間と同期する位置で、カバーフィルムを切断するようにされ、前記剥離工程は、前記隙間に対応する部分を残し、前記隙間と次の隙間の間の部分に対応する部分のカバーフィルムを剥離するようにされたことを特徴とするフィルム張付制御方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記ハーフカッターの上流位置で、積層体フィルムの巻き出し量を検出し、この検出値に基づき、前記ハーフカット工程におけるハーフカット線が前記ラミネーティングロール入側近傍に到達するタイミングを予測し、この予測されたタイミングに合致するように、前記最初の基板を搬送することを特徴とするフィルム張付制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フィルム張付制御方法、特に、プリント配線盤用基板や液晶パネル用ガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板に例示される基板の表面にフィルムを張り付けるためのフィルム張付制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなフィルム張付制御方法は、例えば図５に示されるように、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム１２Ｃを積層して形成された積層体フィルム１２から、前記カバーフィルム１２Ｃを剥離させた後に、前記感光性樹脂層１２Ｂ側が基板に密着するようにして、一対のラミネーティングロール間に送り込み熱圧着するものである。
【０００３】
圧着の方式として、積層体フィルム１２を予め基板長さに応じて切断してから熱圧着するもの、及び、基板を一定間隔をもって順次搬送しつつ、これに沿ってフィルムを切断することなく連続的に重ね合わせて供給し、両者を回転する一対のラミネーティングロール間に送り込み、熱圧着する連続張りタイプのものがある。
【０００４】
連続張りタイプのフィルム張付方法においては、フィルム供給ロールから積層体フィルムを巻き出し、カバーフィルムを連続的に剥離しつつラミネーティングロール方向に送り込むことになるので、積層体フィルムの巻き出し先端部は、予めカバーフィルムを剥離した状態で、ラミネーティングロール入側のガイドロール、ラミネーティングロール、及び通常ラミネーティングロール出側に配置されているピンチロール間に通して、該ピンチロールによって挟み込んだ状態で張付作業を開始することになる。
【０００５】
なお、積層体フィルムの巻き出し先端部からカバーフィルム剥離装置までの間のリード部分は、立上げ作業中に感光性樹脂層が劣化するので、廃棄するようにしている。
【０００６】
通常、前記一対のラミネーティングロールは「開」状態とされ、上側のロールは、基板が送り込まれてこない間は上方に待機されていて、基板が入り込む直前に基板と積層体フィルムを圧着する位置に駆動される。
【０００７】
従って、前記「開」状態で積層体フィルムを通しても、ラミネーティングロールでは特に問題はないが、ニップロールは積層体フィルムを必ず挟み込まなければならない。
【０００８】
積層体フィルム１２は、前述の如く、感光性樹脂層１２Ｂが露出していて、これが粘着性を有するので、張付作業開始の際に、積層体フィルム全体がニップロールに付着してしまい、装置の運転が不能となってしまうことがあるという問題点があった。
【０００９】
又、運転不能にならない場合でも、粘着性物がニップロールに付着して、これが後続の基板に張付けられるフィルムを汚し、後工程での露光不良の原因となることがあった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、積層体フィルムをフィルム供給ロールから巻き出したときの巻き出し先端部が、ニップロール等に付着しないようにした連続張り型のフィルム張付制御方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、基板搬送面に沿って、複数の基板を間隔をもって順次搬送する工程と、透光性支持フィルムに少なくとも感光性樹脂層及びこの外側を被うカバーフィルムを積層してなる積層体フィルムをフィルムロールから巻き出し、ハーフカッターにより、前記カバーフィルムを、長手方向の適宜間隔で少なくとも透光性支持フィルムを残して幅方向に切断するハーフカット工程と、ハーフカット工程を経たカバーフィルムの長手方向少なくとも一部をハーフカット線から剥離させる剥離工程と、この剥離工程によりカバーフィルムが剥がされ、感光性樹脂層の長手方向少なくとも一部が露出された積層体フィルムを、前記露出された感光性樹脂層の側を、前記搬送されてくる基板の一方の面に向けて、これと重なるように、且つ、基板搬送方向と同方向に搬送する送り工程と、前記搬送されてくる基板及び積層体フィルムを、回転する一対のラミネーティングロール間に通して圧着する圧着工程と、を含んでなるフィルム張付方法において、前記積層体フィルムの巻き出し先端部をカバーフィルムが積層された状態のまま前記ラミネーティングロールの出口側に配置されているニップロール間に挟み込んだ後、前記フィルムロールから前記積層体フィルムの巻き出しを開始し、同時に前記ハーフカッターによりカバーフィルムを切断し、前記積層体フィルムの巻き出し先端部から最初の切断による前記適宜間隔で切断されたカバーフィルムの部分までを前記ニップロールを通過させて送るようにして、上記目的を達成するものである。
【００１２】
又、請求項２のように、前記一対のラミネーティングロールのうち、前記搬送されてくる基板及び積層体フィルムを前記積層体フィルム側より圧着するラミネーティングロールを、積層体フィルムと離間した位置に待機させるようにしてもよい。
【００１３】
更に、請求項３のように、前記積層体フィルム側より圧着するラミネーティングロールを待機させるとき、前記ラミネーティングロールの入側に配置した揺動自在のフィルムガイドロールにより、前記積層体フィルムのフィルムパスを、前記一対のラミネーティングロールの両方に非接触となる中立位置に変更するようにしてもよい。
【００１４】
又、請求項４のように、前記ハーフカット工程は、前記基板搬送面上を搬送される基板間の隙間と略等しい間隔で、且つ、前記隙間と同期する位置で、カバーフィルムを切断するようにされ、前記剥離工程は、前記隙間に対応する部分を残し、隣接する隙間と隙間の間の部分に対応する部分のカバーフィルムを剥離するようにしてもよい。
【００１５】
更に又、請求項５のように、前記ハーフカッターの上流位置で、積層体フィルムの巻き出し量を検出し、この検出値に基づき、前記ハーフカット工程におけるハーフカット線が前記ラミネーティングロール入側近傍に到達するタイミングを予測し、この予測されたタイミングに合致するように、前記最初の基板を搬送するようにしてもよい。
【００１６】
この発明においては、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムの先端から従来廃棄されている範囲であるリード部を、カバーフィルムを剥がすことなくラミネーティングロール間にセットし、立ち上げ時の積層体フィルムのニップロール等への付着、絡まりを防止している。
【００１７】
又、セットの際に、積層体フィルムをラミネーティングロールに非接触とすることにより、加熱によってしわが発生することを防止できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例について図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明に係るフィルム張付制御方法を実施するためのフィルム張付装置１０を示す。
【００２０】
このフィルム張付装置１０は、基板搬送面１４Ａに沿って複数の基板１６を一定間隔で順次搬送する基板搬送装置１４と、前述のような積層体フィルム１２をロールにしてなるフィルムロール１８と、このフィルムロール１８と一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間にフィルムロール１８側から、ハーフカッター２２、カバーフィルム剥離装置２４、サクションロール２６、フリー回転のガイドロール２８Ａ、フィルムガイドロール５２をこの順で配置し、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の、カバーフィルム１２Ｃを所定位置で、前記ハーフカッター２２によって切断してハーフカット線を形成し、次に、カバーフィルム剥離装置２４によって、カバーフィルム１２Ｃの、各ハーフカット線間部分のうち基板１６に張付けるべき部分のみを間欠的に剥離し、感光性樹脂層１２Ｂを露出させた状態で、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込み、ここで、基板搬送装置１４によって搬送されてくる基板１６の対応箇所に露出された感光性樹脂層１２Ｂが重なるようにして、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂにより熱圧着するものである。
【００２１】
この一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂは、金属製ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成され、又、ヒーター（図示省略）を内蔵し、装置の運転開始に先立って、表面が１００°〜１５０℃にまで加熱され、運転中は常時回転されている。
【００２２】
前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの出側には、第１ニップロール３０、フルカッター３２、及び、第２ニップロール３４が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ側からこの順で基板搬送方向に配置されている。
【００２３】
前記フィルムロール１８の出側近傍には上下一対のフリーロール３６Ａ、３６Ｂが配置され、上側のフリーロール３６Ａの上端と、前記サクションロール２６の上端とがほぼ同一水平面上に位置するようにされている。
【００２４】
又、前記サクションロール２６は、その表面に多数の吸引孔（図示省略）が形成され、ここに印加される負圧によって、巻き掛けられている積層体フィルム１２を吸着し、前記フリーロール３６Ａ、３６Ｂとの間及びラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間で積層体フィルム１２に所定の張力を付与できるようにされている。
【００２５】
なお、前記フィルムロール１８に、トルクモータ１８Ａによりフィルム巻取り方向のトルクがかけられた状態で積層体フィルム１２が巻き出されることにより、積層体フィルム１２に引張力（後述のサクションロール２６との間での張力は、積層体フィルム１２の幅が１０００ｍｍのとき、２〜１０Ｋｇ好ましくは５Ｋｇ前後がよい）が発生するようにされている。
【００２６】
又、前記フリーロール３６Ａには、ロータリエンコーダ３８が接続され、積層体フィルム１２がサクションロール２６方向に送られるときのフリーロール３６Ａの回転数に応じたパルスを制御装置４０（図２参照）に出力するようにされている。
【００２７】
前記ハーフカッター２２は、図３及び図４に示されるように、前記サクションロール２６とフリーロール３６Ａとの間で水平に送られる積層体フィルム１２の送り面とほぼ一致する吸着面４２Ａを備えたカッター台４２と、このカッター台４２の上面に沿ってフィルム幅方向に往復動自在の一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂとを有して構成され、これらカッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを、積層体フィルム１２と等速でその送り方向に移動させつつ、該ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に移動して、積層体フィルム１２の図において上面側のカバーフィルム１２Ｃを、透光性支持フィルム１２Ａを残して切断するようにされている。
【００２８】
前記一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂは、積層体フィルム１２の送り方向に離間して設けられ、且つその距離は、図５に示されるように、前記基板搬送面１４Ａを搬送される先行基板１６の後端と後行基板１６の先端間の距離よりもわずかに大きくなるようにされている。
【００２９】
前記カッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの、積層体フィルム送り方向の往復動はラックアンドピニオン機構４６により、又、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂのフィルム幅方向の往復動は、一軸ロボット４８によってそれぞれなされ、これらラックアンドピニオン機構４６及び一軸ロボット４８は、前記制御装置４０によって制御される。
【００３０】
前記ラックアンドピニオン機構４６は、カッター台４２と一体のラック４６Ａと、このラック４６Ａをフィルム送り方向、且つ、水平に往復動自在に支持するレール４６Ｂと、前記ラック４６Ａと噛み合って、これをレール４６Ｂに沿って駆動するピニオン４６Ｃと、を含んで構成されている。
【００３１】
前記カッター台４２はフィルム幅方向に長く配置され、その上面に、前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの刃先を受ける、例えば合成樹脂からなる棒状のカッター受け４５Ａ、４５Ｂがフィルム幅方向に埋込み配置されている。
【００３２】
前記ラック４６Ａ上には前記一軸ロボット４８が配置され、この一軸ロボット４８はボールねじ機構（図示省略）を有し、前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを支持する支持台４５をフィルム幅方向に駆動するようにされている。
【００３３】
前記カバーフィルム剥離装置２４は、図１、図６に示されるように、前記ハーフカッター２２とサクションロール２６の間の位置で、フィルム通過面１３における積層体フィルム１２の下側に接触する受けロール２４Ａ、２４Ｂと、サクションロール２６に近い側の前記受けロール２４Ｂに上方から離接自在のタッチロール２４Ｃと、片面に粘着層が形成され、その粘着層を図１、図６において下側にして、前記タッチロール２４Ｃに巻き掛けられた粘着テープ２４Ｄと、この粘着テープ２４Ｄの先端を巻き取る巻取り装置２４Ｅと、を備えている。
【００３４】
図１の符号２４Ｆは、前記受けロール２４Ａの上側位置で、受けロール２４Ａと共に自重により、積層体フィルム１２を挟み込み、カバーフィルム１２Ｃが上向きに引張られるときに積層体フィルム１２が浮き上がることを防止するためのニップロール、２４Ｇは、粘着テープ２４Ｄの供給源であるテープロール２４Ｈに巻取り方向のトルクを付与することによって、粘着テープ２４Ｄに張力を与えるためのテープブレーキ、２４Ｉ、２４Ｊは、タッチロール２４Ｃと巻取り装置２４Ｅとの間で粘着テープ２４Ｄを挟み込むニップロール、２４Ｋは、ニップロール２４Ｊを前記積層体フィルム１２の送り速度と等速で、粘着テープ２４Ｄを巻取る方向に駆動させるモータ、２４Ｌは、巻取り装置２４Ｅにおける巻取りロールを駆動するためのモータ、図６の符号２４Ｍは、前記タッチロール２４Ｃを受けロール２４Ｂに離接自在に支持する揺動レバー、２４Ｎは揺動レバー２４Ｍを駆動するためのタッチシリンダをそれぞれ示す。
【００３５】
前記ニップロール２４Ｉは、その表面が粗面下された（通常、表面粗さＲａが１０μｍ程度）ロールであり、詳細には、外周が金属であり、且つ、この金属表面がブラスト処理されると共にフッ素樹脂、シリコーン樹脂等の離型性コーティングがなされていて、粘着テープ２４の粘着層、カバーフィルム１２Ｃに付着している感光性樹脂が粘着しないようにされている。
【００３６】
前記タッチシリンダ２４Ｎは、前記制御装置４０によって制御され、前記ハーフカッター２２によって切断されたカバーフィルム１２Ｃの、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間部分の、フィルム送り方向（図６の矢印方向）の略前半部には粘着テープ２４が接触しないようにし、且つ、フィルム送り方向の略後半部から、後側のディスクカッター４４Ａのハーフカット線４９Ａ（図６において右側）を含む部分に接触して、該ハーフカット線４９Ａからカバーフィルム１２Ｃの剥離を開始し、次のディスクカッター４４Ｂのハーフカット線４９Ｂの手前までの間、カバーフィルム１２Ｃに粘着テープ２４Ｄを粘着させるように揺動レバー２４Ｍを介してタッチロール２４Ｃを駆動するようにされている。
【００３７】
粘着テープ２４Ｄは、これに粘着されたカバーフィルム１２Ｃと共にニップロール２４Ｉ、２４Ｊを経て巻取り装置２４Ｅにより巻き取られることにより、カバーフィルム１２Ｃを感光性樹脂層１２Ｂから剥離するようにされている。
【００３８】
従って、透光性支持フィルム１２Ａ上には、図５、図６に示されるように、基板１６の搬送ピッチと等しいピッチで、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間に等しい長さのカバーフィルム１２Ｃが残されることになる。
【００３９】
なお、図７に示されるように、タッチロール２４Ｃは受けロール２４Ｂの頂点よりも図においてわずかに左側にずれた位置で、積層体フィルム１２の進行方向前方からカバーフィルム１２Ｃを押圧するようにされている。
【００４０】
図６の符号２４Ｐはニップロール２４Ｉを揺動自在に支持するレバー、２４Ｑは、レバー２４Ｐを、ニップロール２４Ｉがニップロール２４Ｊに圧接する方向に付勢するためのばね、２４Ｒはガイドロール、２４Ｓは、粘着テープ２４Ｄに剥離されたカバーフィルム１２Ｃが付着しているか否かを確認するための剥離確認センサ、２４Ｔは前記揺動レバー２４を揺動自在に支持する支持軸、２４Ｕは支持軸２４Ｔに回転自在に支持され、テープロール２４Ｈから巻き出された粘着テープ２４Ｄの非粘着面側が巻き掛けられるガイドロールをそれぞれ示す。
【００４１】
又、符号２４Ｘは両端が装置フレーム（図示省略）に取付けられ、前記受けロール２４Ａ、２４Ｂ等と平行に配置された支持バーを示す。この支持バー２４Ｘは、前記タッチシリンダ２４Ｎを支持すると共に、略Ｕ字形状の板ばね２４Ｙを介して前記ガイドロール２４Ｒを回転自在に支持している。
【００４２】
ガイドロール２４Ｒは、板ばね２４Ｙが弾力的に変形することにより、粘着テープ２４Ｄにたるみが生じないようにしている。
【００４３】
前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂのうち、上側のラミネーティングロール２０Ａは、ロールクランプシリンダ５０によって、下側のラミネーティングロール２０Ｂに押圧される「閉」位置、及び、両者間を通る基板１６及び積層体フィルム１２に非接触となり得るように上方に離間した「開」位置との間で駆動されるようになっている。
【００４４】
前記第１及び第２ニップロール３０、３４は、それぞれ第１クランプシリンダ３０Ａ、第２クランプシリンダ３４Ａによって下側の搬送ロール１５Ａに対して上方から離接自在とされ、搬送ロール１５Ａとの間に積層体フィルム１２又は積層体フィルム１２と基板１６を挟み込んだとき、搬送ロール１５Ａの回転によってこれらを図１において右方向に搬送できるようにされている。
【００４５】
図１、図８の符号１５Ｂは、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの前後に配置され、前記搬送ロール１５Ａと同期して等速で回転される搬送ロールを示す。
【００４６】
前記フルカッター３２は、前記第１及び第２ニップロール３０、３４との間の位置で、基板搬送装置１４によって搬送される基板と同期して移動しつつ、各基板間の位置で積層体フィルム１２をその幅方向に切断するものである。
【００４７】
フルカッター３２は、基板搬送面１４Ａの下側に沿って基板搬送方向に同期して移動すると共に、反対方向に戻るように往復動されるカッター台３２Ａと、このカッター台３２Ａと共に基板搬送方向に往復動し、且つ、基板搬送面１４Ａに沿って搬送される基板１６に対してカッター台３２Ａが同期して走行する間に、フィルム幅方向に走行して、カッター台３２Ａとの間で積層体フィルム１２を切断するカッター刃３２Ｂと、このカッター刃３２Ｂを基板幅方向に走行させるための走行駆動装置３２Ｃと、前記カッター台３２Ａ、カッター刃３２Ｂ、走行駆動装置３２Ｃを、基板搬送方向に同期して走行（往動）させるラックアンドピニオン機構（図示省略）、及び、急速に復動させる走行シリンダ３２Ｄと、を備えて構成されている。
【００４８】
なお、復動時には、上記ピニオンと駆動モータとの間のクラッチ（ともに図示省略）が切られるようになっている。
【００４９】
又、図１の符号５４は、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの入側に配置され、積層体フィルム１２を加熱するためのフィルムヒータを示す。前記フィルムガイドロール５２は、前記フィルムヒータ５４の上流側に配置され、積層体フィルム１２のフィルムパスを、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの両方に非接触となる中立位置に変更すると共に、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによりフィルム張付動作中は積層体フィルム１２と非接触となるように、揺動自在に配置されている。
【００５０】
前記基板搬送面１４Ａの下側には、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの入側近傍位置に基板後端センサを兼ねる後続基板スタートセンサ５６及びこれより上流側に離間した位置に基板先端センサを兼ねる基板待機センサ５８が、更に、後続基板スタートセンサ５６の上流側に基板搬送面１４Ａの一部を構成するフリーロール５９が配置されている。
【００５１】
図１の符号６０は、基板搬送装置１４におけるコンベアロール１４Ｃ及びその上流の搬送ロール列１４Ｂを駆動するためのコンベアロール駆動用のサーボモータ、６２は、コンベアロール１４Ｃとの間に基板１６を挟み込んで基板の搬送を安定させるためのニップロール、６２Ａは、ニップロール６２を開閉させるためのシリンダ、６４は、基板搬送面１４Ａ上を搬送中の基板１６が過剰に温度低下しないように加熱するための保温ヒータをそれぞれ示す。
【００５２】
前記基板搬送面１４Ａに沿って、前記保温ヒータ６４の上流側には、図９に示されるように、基板幅寄せ装置６８が配置され、更に上流側には基板ヒータ（図示省略）が配置されている。
【００５３】
前記基板幅寄せ装置６８は、搬送ロール列６８Ａ、この搬送ロール列６８Ａ上に搬送されてきた基板１６を持ち上げてから前記保温ヒータ６４の下方に水平に送り込み、下降して搬送ロール列１４Ｂ上に基板１６を移載し、搬送ローラ列６８Ａの下側位置に戻るロボット６８Ｂと、前記ロボット６８Ｂにより搬送ロール列６８Ａの上方に持ち上げられている基板１６を、左右から押すことにより幅方向のセンタリングをする幅寄せロール列６８Ｃと、を有して構成されている。
【００５４】
図９の符号６８Ｄは搬送ロール列６８Ａの入側に配置された基板位置検出センサ、６８Ｅは出側に配置された基板位置検出センサをそれぞれ示す。
【００５５】
前記ロボット６８Ｂは、基板１６を載置するための、基板搬送方向に長い水平の基板載置面を備え、この基板載置面には、負圧が印加され、基板１６を吸着して水平に保持する複数の吸着孔（図示省略）が設けられると共に、基板１６の部分的冷却を抑制するためにヒーター（図示省略）が設けられている。
【００５６】
前記基板載置面は金属面とされ、必要であれば、その金属面をフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆してもよい。
【００５７】
ここで、前記第１、第２ニップロール３０、３４及び、ニップロール６２は金属性ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成されている。
【００５８】
前記ニップロール６２は、前記基板待機センサ５８が基板の先端を検出したときの出力信号に基づいて、前記制御装置４０を介して、シリンダ６２Ａによって下降され、コンベアロール１４Ｃとの間で基板１６を挟持できるようにされている。
【００５９】
前記サーボモータ６０は後続基板スタートセンサ５６が、基板搬送面１４Ａ上に送り込まれた基板の先端を検出したとき、制御装置４０により速度「零」とされ、一時基板を停止させ、次に、基板１６が積層体フィルム１２と同期するようなタイミング及び速度で回転されるようになっている。
【００６０】
なお、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂよりも下流側の搬送ロール１５Ａと、上流側のコンベアロール１４Ｃ及び搬送ロール列１４Ｂと、搬送ロール列６８Ａとは相互に別個独立して、その回転、停止を制御装置４０により制御されるようになっている。
【００６１】
又、前記サクションロール２６の負圧は、ガイドロール２８Ａに加わる力をロードセル２７により検出して、この検出値、即ち積層体フィルム１２にかかる張力が一定になるように制御装置４０により調整される。
【００６２】
図１の符号１８Ｂは、フィルムロール１８のフィルム残量センサ、２４Ｖは巻き取り装置２４Ｅにおけるフィルム巻き取り量センサを示す。これらのセンサ１８Ｂ、２４Ｖはともに、ロールの半径方向に複数の光センサを配置してなるラインセンサであり、フィルム残量、フィルム巻き取り量に対応して信号を出力するようにされている。
【００６３】
次に、上記フィルム張付装置１０において、積層体フィルム１２の先端をフィルムロール１８から巻き出してラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に通してセットする過程について説明する。
【００６４】
積層体フィルム１２の巻き出しに先立ち、前記カバーフィルム剥離装置２４のタッチロール２４Ｃは、カバーフィルム１２Ｃに接触しない位置としておき、又、前記フィルムガイドロール５２は、積層体フィルム１２がラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに非接触となる位置に揺動しておく。又、トルクモータ１８ＡをＯＮとし、積層体フィルム１２の巻き出し時に引張力が生じるようにしておく。
【００６５】
更に、フィルムヒータ５４、前記保温ヒータ６４を所定温度に昇温させ、又、その上流側の基板ヒータにより基板１６を所定温度（１００〜１５０℃）に加熱しておき、ラミネーティングロールロール２０Ａ、２０Ｂも同程度に昇温させると共に常時回転状態としておく。
【００６６】
フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の先端は、図８に示されるように、予め開かれているラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間を通って第１及び第２ニップロール３０、３４の位置まで引張り、この状態で第１及び第２クランプシリンダ３０Ａ、３４Ａにより、第１、第２ニップロール３０、３４を下降させて、搬送ロール１５Ａとの間に挟み込む。
【００６７】
フィルム張付作業の開始に際しては、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの下流側の搬送ローラ１５Ａ、サクションロール２６を駆動させ、積層体フィルム１２をフィルムロール１８から巻き出して送りをかける。
【００６８】
同時に、ハーフカッター２２を積層体フィルム１２と同期して走行させつつ、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に駆動し、カバーフィルム１２Ｃを切断する。
【００６９】
なお、このとき、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるカバーフィルム１２Ｃの切断を完全にするためには、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを感光性樹脂層１２Ｂも切断し、更に透光性支持フィルム１２Ａにもわずかに食い込むようにするとよい。
【００７０】
前記ハーフカッター２２によるカバーフィルム１２Ｃのハーフカット線の位置は、ロータリエンコーダ３８から出力されるパルス信号の数によって分かり、又、このパルス信号によって図１において右側のディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａが、前記カバーフィルム剥離装置２４におけるタッチロール２４Ｃの位置に到達するタイミングが分かる。
【００７１】
従って、このタイミングで制御装置４０により、タッチシリンダ２４Ｎを介してタッチロール２４Ｃを下降させ、該タッチロール２４Ｃに巻き掛けられている粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付けを、カバーフィルム１２Ｃにおける剥離部のフィルム送り方向中央位置から前記ディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａの直前位置までの間で開始する。
【００７２】
前記受けロール２４Ｂの回転中心軸は、この受けロール２４Ｂの外周に積層体フィルム１２及び粘着テープ２４Ｄを介して接触する状態の前記タッチロール２４Ｃの中心軸線よりも、積層体フィルム送り方向後側にわずかにずれているので、受けロール２４Ｂに接触する積層体フィルム１２は、カバーフィルム１２Ｃ側が凸の湾曲面となり、ハーフカット線４９Ａ部分が開かれるようになる。
【００７３】
従って、このハーフカット線４９Ａの前方側から粘着テープ２４Ｄの粘着面が接触してくると、カバーフィルム１２Ｃは、前記ディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａの位置から容易に剥離が開始され、粘着テープ２４Ｄと共に巻取り装置２４Ｅに巻き取られる。
【００７４】
ここで、前記粘着テープ２４Ｄは、モータ２４Ｋによって駆動されるニップロール２４Ｊにより、積層体フィルム１２Ｃと等速で且つ、タッチロール２４Ｃの位置では同方向に引張られているので、粘着テープ２４Ｄがカバーフィルム１２Ｃに離接することにより積層体フィルム１２に与えられる張力変動を極めて小さくすることができる。
【００７５】
なお、粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付け開始タイミングが、上記より早すぎると非剥離部のカバーフィルム１２Ｃが剥がされてしまい、又、遅すぎると剥離不能となる。
【００７６】
次に、前記粘着テープ２４Ｄと共に剥離されたカバーフィルム１２Ｃが前記ニップロール２４Ｉ、２４Ｊに挟み込まれるタイミングから、ハーフカッター２２による次の切断によって生じた、ディスクカッター４４Ｂによるハーフカット線４９Ｂがタッチロール２４Ｃの位置に到達する直前までの間に、制御装置４０によってタッチロール２４Ｃは積層体フィルム１２から離間する方向に駆動され、粘着テープ２４Ｄに粘着したカバーフィルム１２Ｃは、ディスクカッター４４Ｂによるハーフカット線位置で積層体フィルム１２から離れる。
【００７７】
これにより、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるハーフカット線４９Ａ、４９Ｂ間部分のカバーフィルム１２Ｃは、剥離されることなく透光性支持フィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂ上に残され、サクションロール２６を経てラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ方向に送られる。
【００７８】
なお、タッチロール２４Ｃを積層体フィルム１２から離間させるタイミングが前記よりも早すぎると、粘着テープ２４Ｄに粘着していたカバーフィルム１２Ｃが積層体フィルム１２に引張られて、粘着テープ２４Ｄから剥離してしまうことがある。又、遅すぎると、粘着テープ２４Ｄが次の非剥離部のカバーフィルム１２Ｃに粘着して、これを剥がしてしまうことがある。
【００７９】
前記最初の切断によるカバーフィルム１２Ｃ上のディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａが、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに接近する前に基板幅寄せ装置６８を経て保温ヒータ６４下方の搬送ローラ列１４Ｂ上に先頭の基板１６を搬送しておく。基板１６の先端が基板待機センサ５８により検出されると、基板１６の先端に合致するタイミングでニップロール６２が制御装置４０により下降されて基板１６をコンベアロール１４Ｃとの間に挟持する。
【００８０】
搬送ロール列１４Ｂ及びコンベアロール１４Ｃはサーボモータ６０により、搬送速度「零」とされた後、前記カバーフィルム１２Ｃ上のハーフカット線４９Ａが先頭基板１６の送り方向先端からわずかに後ろ寄りの位置に一致するタイミング及び速度で積層体フィルム１２に同期して基板１６が基板搬送装置１４によりラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込まれる。
【００８１】
この先頭の基板１６の先端部分が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに到達するタイミングは、前記基板待機センサ５８の位置とラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間の距離、及び、サーボモータ６０による搬送速度との関係から割り出される。
【００８２】
又、このようにして割り出された基板１６の先端が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに到達するタイミングで、ロールクランプシリンダ５０によって上側のラミネーティングロール２０Ａが下降され、下降したラミネーティングロール２０Ａと下側のラミネーティングロール２０Ｂ間に先頭の基板１６の先端が積層体フィルム１２と共に挟み込まれ、且つラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの回転によって、熱圧着されつつ、図１において右方向に送られる。
【００８３】
上記上側のラミネーティングロール２０Ａを下降するタイミングで、前記フィルムガイドロール５２は図１において積層体フィルム１２から離間する方向に駆動される。これによって、積層体フィルム１２はラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによって挟持されるようになる。
【００８４】
なお、基板１６に張り付けられた部分よりも送り方向先端側の積層体フィルム１２は、カバーフィルム１２Ｃが張り付けられたまま第２ニップロール３４の位置から基板搬送面１４Ａよりも下側に送られ、先頭基板１６の先端よりもやや前方位置で、積層体フィルム１２が前記フルカッター３２によって切断されるとき、第２ニップロール３４から下方に廃棄される。
【００８５】
以上のように、このフィルム張付装置１０によるフィルム張付制御方法においては、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の巻き出し先端から、これを第２ニップロール３４を通った位置にセットしたときのハーフカッター２２によるカット位置までの間の部分を、カバーフィルム１２Ｃが張り付けられたままとしているので、感光性樹脂層１２Ｂが露出することがなく、露出した感光性樹脂層１２Ｂがニップロール等に付着して、運転開始後にこれに巻き付いたりすることがない。
【００８６】
従来は、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の巻き出し先端からカバーフィルム１２Ｃを剥離し、感光性樹脂層１２Ｂを露出した状態でセットしていたが、感光性樹脂層１２Ｂは、カバーフィルム１２Ｃを剥離した後、３０秒程度経過すると空気中の酸素によって変質してしまうので、この範囲では、基板１６に張り付けたりすることなく廃棄していた。
【００８７】
又、このフィルム張付装置１０によるフィルム張付方法においては、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の、ハーフカット線間部分を残して、基板１６に張り付けられる部分のカバーフィルム１２Ｃを粘着テープ２４Ｄによって確実に剥離させると共に、積層体フィルム１２に与える引張力の変動が少なく、従って、積層体フィルム１２を基板１６に張り付けた際における皺の発生を抑制することができる。
【００８８】
なお、上記フィルム張付装置１０において、粘着テープ２４Ｄをカバーフィルム１２Ｃに押し付けて剥離を開始させた後、剥離を終了させる際にタッチロール２４Ｃが受けロール２４Ｂから離間することによって、積層体フィルム１２全体が、受けロール２４Ａとニップロール２４Ｊとによって挟み込まれる位置を中心として、図６において上方に揺動されるように引張られる。
【００８９】
従って、フィルム１２に張力変動を与えるが、この張力変動が過大の場合は、基板１６に張り付けられた積層体フィルム１２に皺を発生させる。
【００９０】
この場合、図７において二点鎖線で示されるように、前記タッチロール２４Ｃよりもフィルム送り方向後側に隣接した位置で、積層体フィルムを図において水平状のフィルム通過面１３に維持するような押えロール２４Ｗを設けるとよい。
【００９１】
このようにすると、タッチロール２４Ｃが受けロール２４Ｂから離間する方向に移動したとき、積層体フィルム１２がタッチロール２４Ｃと共に上方に移動することを、押えロール２４Ｗにより押えて、防止できる。従って、積層体フィルム１２に与える張力変動をわずかにすることができる。
【００９２】
更に、前記押さえロール２４Ｗは、タッチロール２４Ｃ、粘着テープ２４Ｄと干渉しなければ、図７において２点鎖線２４Ｚで示されるように、前記受けロール２４Ａの直上位置までの範囲なら前進させて設けてもよい。この場合、フィルム幅方向に間欠的に配置されたタッチロール２４Ｃ、粘着テープ２４Ｄのフィルム幅方向の隙間であって、これらに隣接する位置に押さえロールを配置するとよい。
【００９３】
又、積層体フィルム１２を、その水平なフィルム通過面１３に維持するものはロールに限定されず、図７において符号７０で示されるような押え部材としてもよい。
【００９４】
この押え部材７０は、前記フィルム通過面１３と平行なステンレスチール板７０Ａの下側に、下向きに凸の樹脂７０Ｂを接着してなり、前記支持バー２４Ｘから板ばね７０Ｃを介して弾力的に支持され、フィルム通過面１３からわずかに上方に離れた状態とされている。
【００９５】
又、上記フィルム張付装置１０の場合、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の巻き出し先端部分をニップロールにより挟持してセットしているが、これは上側のラミネーティングロール２０Ａを下降して、ラミネーティングロール２０Ｂとの間に積層体フィルム１２を挟持させてもよい。
【００９６】
又、フィルムガイドロール５２はラミネーティングロール２０Ａの直前上流側に設けてもよい。更に、カバーフィルム１２Ｃの剥離手段は粘着テープに限定されるものでなく、粘着性ロールあるいは負圧による吸引装置、例えば負圧が印加される多数の吸引孔が形成された吸引ロールを用いたものであってもよい。
【００９７】
又、上記フィルム張付装置１０は、ハーフカッター２２によってカバーフィルム１２Ｃを切断してから、間欠的にカバーフィルム１２Ｃを剥離するようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、全部のカバーフィルム１２Ｃを連続的に剥離して基板１６に張り付ける場合についても適用されるものである。
【００９８】
この場合、ハーフカッター２２はフィルムセット後の最初の１回の切断動作により、カバーフィルム１２Ｃを１個所で幅方向に切断して、剥離開始線を形成し、且つこの切断は、１本のフィルムロール１８について１回のみである。
【００９９】
又、上記フィルム張付装置１０の場合、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の巻き出し先端部分をセットする場合についてのものであるが、これは、フィルム張付装置１０が途中で何等かのトラブルにより停止して、運転を再開する場合についても適用されるものである。
【０１００】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムをフィルム張付装置にセットする際に、感光性樹脂層が露出されることなく、従って感光性樹脂層が後続基板や周囲を汚したり、ニップロールに巻き付いて運転を停止させてしまうようなことがないという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るフィルム張付制御方法を実施するためのフィルム張付装置を示す一部ブロック図を含む略示側面図
【図２】同フィルム張付装置における制御系を示すブロック図
【図３】同フィルム張付装置におけるハーフカッターを拡大して示す平面図
【図４】図３のIV−IV線視図
【図５】同ハーフカッターによる切断位置と基板と位置関係を拡大して示す略示側面図
【図６】同フィルム張付装置におけるカバーフィルム剥離装置の作用を拡大して示す略示側面図
【図７】同カバーフィルム剥離装置におけるタッチロールと積層体フィルムとの関係を拡大して示す側面図
【図８】同フィルム張付装置における積層体フィルムの巻き出し先端部のセット状態を示す略示側面図
【図９】同フィルム張付装置における基板幅寄せ装置及び保温ヒータを示す略示側面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…積層体フィルム
１２Ａ…透光性支持フィルム
１２Ｂ…感光性樹脂層
１２Ｃ…カバーフィルム
１４…フィルム剥離装置
１４Ａ…基板搬送面
１４Ｃ、１５Ａ…搬送ロール
１６…基板
１８…フィルムロール
２０Ａ、２０Ｂ…ラミネーティングロール
２２…ハーフカッター
２４…カバーフィルム剥離装置
２４Ｃ…タッチロール
２４Ｄ…粘着テープ
２４Ｅ…巻取り装置
２６…サクションロール
３０…第１ニップロール
３２…フルカッター
３２Ａ…カッター台
３４…第２ニップロール
３８…ロータリエンコーダ
４０…制御装置
４２…カッター台
４４Ａ、４４Ｂ…ディスクカッター
４９Ａ、４９Ｂ…ハーフカット線
５０…ロールクランプシリンダ
５２…フィルムガイドロール
【図１】
0003905628.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003905628.tif 000004
【図４】
0003905628.tif 000005
【図５】
0003905628.tif 000006
【図６】
0003905628.tif 000007
【図７】
0003905628.tif 000008
【図８】
0003905628.tif 000009
【図９】
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