(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，
前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項２】
前記サーバ装置は，さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする請求項１に記載の保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項３】
前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，
前記サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする請求項１に記載の保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項４】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，
前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項５】
前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いポイントを設定することを特徴とする請求項４に記載の保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項６】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，
前記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステム。
【請求項７】
保守管理サービスを行うサーバ装置であって，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，
所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とするサーバ装置。
【請求項８】
さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする請求項７に記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，
前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする請求項７に記載のサーバ装置。
【請求項１０】
保守管理サービスを行うサーバ装置であって，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，
前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とするサーバ装置。
【請求項１１】
前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いポイントを設定することを特徴とする請求項１０に記載のサーバ装置。
【請求項１２】
保守管理サービスを行うサーバ装置であって，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，
保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を設け，
前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とするサーバ装置。
【請求項１３】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，
所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置，
として機能せしめるプログラム。
【請求項１４】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，
前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，
として機能せしめるプログラム。
【請求項１５】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，
前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，
として機能せしめるプログラム。
【請求項１６】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，
所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置，
として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１７】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，
前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，
として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１８】
顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，
コンピュータをして，
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，
前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置，
として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体。
【請求項１９】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，
前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，
前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しない，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法。
【請求項２０】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，
前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，
前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法。
【請求項２１】
保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，
前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，
前記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶する，
ことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，半導体製造装置などの保守管理ポイントサービスを提供するシステム，サーバ，端末装置，プログラム，記録媒体および保守管理ポイントサービスの処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，顧客のもつ半導体製造装置などの保守管理が必要な場合には，顧客が最最寄のサービスステーションにファックスや電話などにより連絡し，この顧客からの連絡に応じて当該サービスステーションに所属するサービスエンジニアなどのサービスマンが顧客先へ出向き，メンテナンスを行うようになっていた（オンコールサービス）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで，半導体製造装置のメンテナンスは簡単なものであれば顧客自ら行うことができる場合もあり，また簡単なものではなくてもメンテナンス方法を提示すれば顧客自ら行うことができる場合もある。
【０００４】
しかしながら，従来は顧客側で行うことができるようなメンテナンスであってもオンコールを受けてサービスマンが顧客先に出向いていたため，サービスマンに過度の負担がかかっていた。
【０００５】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，できる限り顧客自ら保守（メンテナンス）を行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる保守管理ポイントサービスシステム等を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムが提供される。
【０００７】
これによれば，保守管理の対象となる装置（例えば半導体の製造装置など）が通電状態にあるとき，例えば端末装置からの問い合わせ（要求）に対して製造装置などから何らかの応答（アクノリッジ）があるときに，一定時間ごとにポイントが加算される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【０００８】
また，前記サーバ装置はさらに顧客側から保守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましい。これによれば，保守してほしい旨の要求，例えば顧客の製造装置が故障した場合などに，電話，ＦＡＸ，端末装置からインターネットなどの回線網などを介して顧客からメンテナンス要求（オンコール）があった場合にはポイントは加算されない。これにより，顧客はできる限りオンコールしないで自らメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【０００９】
また，前記ステータス情報は，さらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記サーバ装置は，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましい。これによれば，例えば顧客の製造装置が何らかのトラブルが発生しているような異常状態にある場合にはポイントは加算されない。これにより，顧客はできる限り正常状態を保ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１０】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムが提供される。これによれば，顧客自らが行ったメンテナンスの種類に応じたポイントが発生する。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１１】
さらに前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いポイントを設定すれば，顧客はより時間がかかる難しいメンテナンスを行って，より高いポイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。
【００１２】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムが提供される。
【００１３】
これによれば，例えばくじポイント設定記憶手段にくじがはずれのときはポイントを０に設定し，くじにあたったときには所定のポイントを設定しておけば，製造装置を顧客がメンテナンスすることによりその製造装置が再起動したときにくじを行って，あたったときにはポイントが発生する。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないことを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１５】
さらに顧客側から保守してほしい旨の要求があったか否かの情報を記憶する保守要求記憶手段を設け，この保守要求記憶手段に記憶した情報に基づいて保守の要求があったと判断した場合には，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましく，また，前記ステータス情報はさらに保守管理の対象となる装置が異常状態か否かの情報を含み，前記端末装置からのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が異常状態であると判断した場合は，前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないようにすることが好ましい。これにより，顧客はできる限りオンコールしないで，またできる限り正常状態を保つように，自らメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１６】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってより多くのポイントをためようとするので，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１７】
また，前記保守ポイント記憶手段は，時間がかかる保守ほど高いポイントを設定することが好ましい。これにより，顧客はより高いポイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。
【００１８】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理サービスを行うサーバ装置であって，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を設け，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とするサーバ装置が提供される。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００１９】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信することを特徴とする端末装置が提供される。これにより，ポイントを継続して発生させるか否かの判断要素である，例えば製造装置の通電状態が継続しているか否かの情報をサーバ装置に知らせることができる。
【００２０】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信することを特徴とする端末措置が提供される。メンテナンスの種類に基づくポイントを発生させるか否かの判断要素となる情報，例えば顧客自ら行ったメンテナンスの種類の情報をサーバ装置に知らせることができる。
【００２１】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置であって，保守管理サービスを行うサーバ装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信することを特徴とする端末装置が提供される。くじを行うきっかけとなる情報，例えば製造装置が再起動した旨の情報をサーバ装置に知らせることができる。
【００２２】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。
【００２３】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，メンテナンスの種類によってポイントを発生するようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。
【００２４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムであって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムが提供される。これにより，例えば製造装置が再起動したことをきっかけに行うくじの結果によりポイントを発生させるようにコンピュータを機能させることができる。
【００２５】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，前記端末装置が保守管理の対象となる装置から収集した少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を有するサーバ装置であって，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を前記回線網を介して受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。
【００２６】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを有するサーバ装置であって，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，メンテナンスの種類によってポイントを発生するようにコンピュータをサーバ装置として機能させることができる。
【００２７】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，顧客に対して保守管理ポイントサービスを行うプログラムを記録した記録媒体であって，コンピュータをして，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置が回線網を介して双方向通信可能に接続されており，保守管理の対象となる装置が再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記端末装置から受信したことをきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段を有するサーバ装置であって，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶するサーバ装置として機能せしめるプログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体が提供される。これにより，例えば製造装置が再起動したことをきっかけに行うくじの結果によりポイントを発生させるようにコンピュータを機能させることができる。
【００２８】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理サービスを行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置から少なくともその装置が通電状態か否かの情報を含むステータス情報を収集し，収集したステータス情報を前記サーバ装置からの要求に応じて前記回線網を介して送信し，前記サーバ装置は，前記ステータス情報に基づいて発生させるポイントを記憶するステータスポイント記憶手段を設け，所定時間ごとに，前記端末装置からステータス情報を受信し，そのステータス情報に基づいて保守管理の対象となる装置が通電状態にあるか否かを判断し，通電状態にあると判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントに所定ポイントを加えて更新し，通電状態にないと判断した場合は前記ステータスポイント記憶手段のポイントを更新しないことを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法が提供される。これによれば，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００２９】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，顧客側で行った保守方法の種類を含む保守情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，保守情報に基づいて発生させるポイントを記憶する保守ポイント記憶手段と，保守方法の種類に対応して設定されたポイントを記憶する保守ポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から受信した保守情報から保守方法の種類を取得し，この保守方法の種類に対応するポイントを前記保守ポイント設定記憶手段に基づいて検索し，検索したポイントを前記保守ポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法が提供される。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってより多くのポイントをためようとするので，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００３０】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，保守管理の対象となる装置が接続された顧客側の端末装置と，保守管理を行うサーバ装置とが回線網を介して双方向通信可能に接続された保守管理ポイントサービスシステムの処理方法であって，前記端末装置は，保守管理の対象となる装置が再起動したか否かを監視し，再起動したと判断した場合に再起動した旨の情報を含む再起動情報を前記サーバ装置に送信し，前記サーバ装置は，前記再起動情報をきっかけにして行うくじに基づいて発生させるポイントを記憶するくじポイント記憶手段と，くじに使用する特定範囲の数に対応させて予め設定されたポイントを記憶するくじポイント設定記憶手段とを設け，前記端末装置から再起動情報を受信すると前記特定範囲内で乱数を発生させ，その乱数に対応したポイントを前記くじポイント設定記憶手段から検索し，検索したポイントをくじポイント記憶手段に記憶することを特徴とする保守管理ポイントサービスシステムの処理方法が提供される。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００３１】
なお，本明細書中においてポイントとは，いわゆる顧客における特典を意味し，例えば顧客はポイントが貯まるとそのポイントと同等の価値のメンテナンスなどサービスを受けられるものである。また，本明細書中においてメンテナンスとは装置などの保守を意味する。また，メンテナンス方法，すなわち保守方法としては点検，部品交換などを行って保守をする場合の他，故障に対する修理を行って保守する場合も含まれる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下，図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。ここでは半導体を製造する製造装置の保守管理ポイントサービスを提供するシステムについて説明する。この保守管理ポイントサービスシステムは，顧客に対して一定条件で特典としてのポイントを与え，できる限り顧客自らメンテナンスを行うことを促すことを可能とするものである。
【００３３】
図１は，本実施の形態に係るシステム構成図である。本実施の形態にかかる保守管理ポイントサービスシステム１０は，製造装置の顧客としての立場にある半導体を製造する工場１００Ａ，１００Ｂ…１００Ｎ，製造装置の保守管理サービスを提供するベンダ２００等が双方向通信可能に接続する回線網である例えばインターネット５００を介して接続される。
【００３４】
上記工場１００Ａ，１００Ｂ…１００Ｎは，各工場１００は，顧客側端末装置としての端末装置１１０，保守管理の対象となる装置としての製造装置１２０を備える。端末装置１１０と各製造装置１２０とはＬＡＮなどのネットワークで接続されている。なお，工場１００Ａ，１００Ｂ…１００Ｎが有する製造装置１２０は工場によってその種類，台数は様々であってよい。例えばエッチング，成膜処理，アッシング，およびスパッタリングなど種々の処理を行う装置であってもよく，また１つの装置内で複数の処理を行うことが可能な，いわゆるクラスタ装置化されたマルチチャンバ型製造装置であってもよい。なお，上記端末装置１１０は，例えばファイヤーウォールを介して図示しないプロバイタなどによりインターネット５００に接続されるものであってもよく，端末装置１１０を構成するコンピュータにサーバ機能を持たせて接続するようにしてもい。
【００３５】
上記ベンダ２００は工場１００が有する製造装置１２０の保守管理ポイントサービスを提供するベンダである。ベンダ２００はサーバ装置としてのサーバ２１０，コンピュータ２０２，２０４，２０６を有し，これらは社内ネットワークで結ばれている。コンピュータ２０２，２０４，２０６はベンダ２００の各部門，各事業所に設置されているコンピュータと考えてもよく，コンピュータの台数はこれに限定するものではない。サーバ２１０は双方向通信可能に接続する回線網である例えばインターネット５００に接続されている。
【００３６】
上記工場１００の端末装置１１０は，図２に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ，ＲＡＭなどのメモリを有する制御手段１１２，ベンダ２００のサーバ２１０から送信されたコンテンツや各種情報を表示するディスプレイなどの表示手段１１４，各種データを入力するための入力手段１１６，データ収集手段１１７，サーバ２１０から受信した情報，プログラムなどを記憶する記憶手段１１８，上記インターネット５００を介してサーバ２１０との情報（データ）の送受信を行う送受信手段１１９などから構成される。制御手段１１２のメモリは，ＣＰＵによってアクセスされるためのプログラムやデータが格納されるもので例えば必要に応じて記憶手段１１８に記憶したプログラムが読み出されて格納される。上記データ収集手段１１７は，一定時間ごと（例えば１時間ごと）に製造装置１２０のステータス情報を収集する。ステータス情報には装置の稼動状況情報および装置情報等が含まれる。
【００３７】
上記ベンダ２００のサーバ２１０は，図３に示すように，ＣＰＵ（中央処理装置），ＲＯＭ，ＲＡＭなどのメモリを有する制御手段２１２，ディスプレイなどの表示手段２１４，各種データベース２１６，上記インターネット５００を介してサーバ２１０との情報（データ）の送受信を行う送受信手段２１８，くじデータテーブル２１９などから構成される。制御手段２１２のメモリは，ＣＰＵによって，アクセスされるためのプログラムやデータが格納されるもので，例えば必要に応じて各種データベース２１６のプログラム格納データベースから読み出されて格納される。
【００３８】
上記くじデータテーブル２１９は，メンテナンスが完了して製造装置１２０が再起動されたときに行うくじで使用するものである。例えば製造装置１２０の再起動をきっかけにして１桁の乱数を発生させる場合は，図４に示すように予め０〜９の数に対応したあたりはずれを記憶し，はずれの場合にはくじポイントを０とし，あたりの場合にはくじポイントを適当な値として記憶しておく。このくじデータテーブル２１９は後で書き換えることができるように例えば書き換え可能なメモリなどの記憶手段で構成する。
【００３９】
上記各種データベース２１６は，図５に示すように顧客情報管理データベース２１６ａ，ステータスポイント情報管理データベース（ステータスポイント記憶手段）２１６ｂ，メンテナンスポイント情報管理データベース（保守ポイント記憶手段，保守ポイント設定記憶手段）２１６ｃ，くじポイント情報管理データベース（くじポイント記憶手段，くじポイント設定記憶手段）２１６ｄ，累積ポイント情報管理データベース２１６ｅ，メンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆ，コンテンツ情報管理データベース２１６ｇなどを備える。
【００４０】
顧客情報管理データベース２１６ａには，例えば図６に示すように会社名（工場名を含めてもよい）などの顧客名，その顧客のＩＤ，パスワード，住所，その顧客が所有する装置情報が記憶されている。所有する装置は，メンテナンスの対象となる製造装置１２０などであり，例えば所有する装置がシリアル番号で記憶されている。
【００４１】
ステータスポイント情報管理データベース２１６ｂは，上記製造装置１２０の稼働状況情報などのステータス情報に基づいて発生させるポイント情報を管理するものである。このステータスポイント情報管理データベース２１６ｂには，例えば図７に示すように顧客名，ＩＤ，顧客が所有する装置，その装置のステータス情報，ポイント，オンコール情報（保守してほしい旨の情報），備考などが記憶されている。所有する装置は，メンテナンスの対象となる製造装置１２０などであり，例えば所有する装置がシリアル番号で記憶されている。
【００４２】
またステータス情報には，稼働状況情報として例えば「異常なし（ＯＫ）」は異常なく稼働している状態を示し，「異常あり（ＮＧ）」は異常があって停止している状態を示す。「アイドル状態」は，異常はないが停止している状態を示す。これら「異常なし（ＯＫ）」，「異常あり（ＮＧ）」，「アイドル状態」の場合には製造装置１２０へのステータス情報の問い合わせに対する応答（アクノリッジ）があり，通電状態にある。これに対して製造装置１２０が通電状態にないためステータス情報の問い合わせに対する応答がない場合には「応答なし」としてもよい。このステータス情報は一定時間（例えば１時間ごと）ごとにサーバ２１０がインターネット５００を介して端末装置１１０に接続して問い合わせる。すなわちステータス情報要求（保守管理情報送信要求に相当）をサーバ２１０に送信する。端末装置１１０はステータス情報要求を受信するとこれに応じて各製造装置１２０のステータス情報をサーバ２１０に送信する。
【００４３】
またオンコール情報は，メンテナンスなどのサービスを提供するベンダ側のサービスステーションに顧客から電話，ＦＡＸ，メール，ホームページなどを介してメンテナンスの要求があったか否かの情報である。例えばメンテナンス要求がない場合にはオンコール「なし」の情報が記憶され，メンテナンス要求があった場合にはオンコール「あり」が記憶される。
【００４４】
またステータスポイントには，顧客の所有する製造装置１２０が正常に動作しているなど製造装置１２０の通電が継続している場合に所定時間ごと（例えば１時間ごと）に所定ポイントずつ（例えば１ポイントずつ）加算されるポイントの現在値を記憶する。
【００４５】
なお，上記ステータスポイント情報管理データベース２１６ｂに記憶されたステータスポイント情報は，図８に示すように表示手段２１４に表示することができる。この場合，ステータス情報にはステータスの内容に応じて青丸，黄丸，赤丸を表示してもよい。例えば異常なし（ＯＫ）の場合には青丸，アイドル状態の場合には黄丸，異常あり（ＮＧ）の場合には赤丸を表示してもよい。また，備考にはエラーメッセージを表示できるようにしてもよい。これにより，例えば顧客がメンテナンスを行って後述するメンテナンス完了情報を送信した場合にその信憑性を確認することができ，不正を防止できる。
【００４６】
メンテナンスポイント情報管理データベース２１６ｃは，顧客自らが行ったメンテナンス情報（保守情報）に基づいて発生させるポイント情報を管理するものである。メンテナンスポイント情報管理データベース２１６ｃには例えば図９に示すように，顧客名，ＩＤ，メンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類，メンテナンスポイントなどが記憶されている。メンテナンスした装置は顧客自らがメンテナンスした装置をシリアル番号で記憶したものであり，メンテナンス方法の種類（保守情報の種類）は顧客自らが行ったメンテナンス方法の種類である。メンテナンスポイントは顧客自らが行ったメンテナンス方法の種類に応じて予め設定されたポイントが記憶される。メンテナンス方法の種類とそのメンテナンスポイントはメンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆに予め記憶されている。
【００４７】
くじポイント情報管理データベース２１６ｄは，顧客自らがメンテナンスを行うことにより上記製造装置１２０が再起動したときに行うくじによって発生するポイント情報を管理するものである。くじポイント情報管理データベース２１６ｄには，例えば図１０に示すように顧客名，ＩＤ，再起動した装置，くじポイント，再起動日などが記憶されている。再起動した装置は，顧客自らがメンテナンスして再起動した製造装置をシリアル番号で記憶したものである。くじポイントは，再起動したときに行うくじの結果に応じて発生するポイントである。くじポイントは，例えばくじの結果がはずれの場合はくじポイントは０とし，当たった場合はそのポイント数とする。
【００４８】
累積ポイント情報管理データベース２１６ｅは，顧客ごとに上記各ポイントを加算した累積ポイント情報を管理するものである。この累積ポイント情報は一定期間ごと例えば月ごとにデータを残しておくようにしてもよい。累積ポイント情報管理データベース２１６ｅには，例えば図１１に示すように顧客名，ＩＤ，月，累積ポイントなどが記憶されている。この累積ポイントとしては上述したステータスポイント，メンテナンスポイント，くじポイント，合計が記憶されている。合計は当月のステータスポイント，メンテナンスポイント，くじポイントを加算したものである。
【００４９】
メンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆは，顧客自らがメンテナンスを行うための手順などのメンテナンス方法指示情報を管理するものである。このメンテナンス方法指示情報は，顧客に対するメンテナンス指示書情報となる。メンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆには，例えば図１２に示すように，メンテナンス方法の種類，メンテナンス所要時間，メンテナンスポイント，メンテナンス方法の説明などが記憶されている。
【００５０】
ここでいうメンテナンス方法の種類は階層項目になっており，大項目，中項目，小項目に分けられる。大項目にはチャンバ，搬送系など最も広い概念が記憶されている。中項目にはチャンバであれば上部電極，下部電極などが記憶され，搬送系であればトランスファーアーム，大気側アーム，インデクサーなどが記憶されている。小項目には具体的なメンテナンス方法の種類が記憶されている。例えばチャンバの上部電極であれば交換方法，洗浄方法，黙視方法などが記憶されており，搬送系のトランスファーアームであれば調整方法，洗浄方法などが記憶されている。
【００５１】
またメンテナンス所要時間は，その具体的なメンテナンスを行うための所要時間である。例えばチャンバの上部電極であれば，その交換方法は２時間，洗浄方法は１時間，目視検査は３０分，また搬送系のトランスファーアームであれば，その調整方法は２．５時間，洗浄方法は１時間などとする。
【００５２】
またメンテナンスポイントは，そのメンテナンスを顧客自らが行った場合に与えられるポイントで，メンテナンスの難度に応じて設定される。例えば通常はメンテナンスの難度が高いほどメンテナンスに時間がかかることを考慮して，上記所要時間に応じて設定される。この場合，時間がかかるメンテナンスほど高いメンテナンスポイントを設定してもよい。例えばメンテナンスにかかる時間で１時間当たりのポイントで設定する。例えば１時間当たり１００ポイントとすれば，チャンバの上部電極であれば，その交換方法は所要時間２時間より２００ポイント，洗浄方法は所要時間１時間より１００ポイント，目視検査は所要時間３０分より５０ポイント，また搬送系のトランスファーアームであれば，その調整方法は所要時間２．５時間より２５０ポイント，洗浄方法は所要時間１時間より１００ポイントなどとする。なお，顧客が獲得したポイントを利用する場合には，ここで設定されているメンテナンスポイントに相当するメンテナンスのサービスを受けることができる。
【００５３】
コンテンツ情報管理データベース２１６ｇは，サーバ２１０が提供するＨＴＭＬファイル，ＧＩＦファイルなどのグラフィカル・アイコン・ファイル，音声，画像オブジェクトなどのハイパーテキストオブジェクトなどのコンテンツが格納され，例えばインターネット５００を介して，これらのオブジェクトが各端末装置１１０に提供され，端末装置１１０の表示手段２１４で表示等される。
【００５４】
次に，本実施形態にかかる最適サービスの選択支援システムの動作フローについて図１３〜図１９を参照しながら説明する。なお，本システムの動作は，典型的にはハードディスク装置などの記録媒体に記録されたプログラムによって実施することができる。
【００５５】
図１３はステータスポイントを与える場合の動作フローを示す。ステータスポイントは，顧客の所有する製造装置１２０が継続して通電されているときに所定時間ごと（例えば１時間ごと）に所定ポイント（例えば１ポイント）ずつ与えるものである。但し，オンコールがあった場合又はステータス情報が異常あり（ＮＧ）又は応答なしの場合にはこれらが回復するまではポイントは加算されない。なお，この動作フローは各顧客の有する装置ごとに行う。
【００５６】
具体的には図１３に示すように，ステップＳ１００にてサーバ２１０はステータスポイント情報管理データベース２１６ｂのオンコール情報に基づいてオンコール情報があったか否かを判断し，オンコールなしと判断した場合は，ステップＳ１１０にて１時間経過したかを判断する。この時間は例えばサーバ２１０を構成するコンピュータの時計機能などを利用してもよい。
【００５７】
ステップＳ１１０にて１時間経過したと判断した場合は，ステップＳ１２０にてステータスポイント情報管理データベース２１６ｂのステータス情報に基づいてステータス情報が応答なし又は異常あり（ＮＧ）か否かを判断し，ステータス情報が応答なし又は異常あり（ＮＧ）と判断した場合は，ステップＳ１３０にてステータスポイントを更新する。具体的にはステータスポイント情報管理データベース２１６ｂのステータスポイント情報に記憶されているステータスポイントに所定ポイント（例えば１ポイント）を加えて新たなステータスポイントとする。
【００５８】
上記ステップＳ１００にてオンコールがあったと判断した場合，ステップＳ１２０にてステータス情報が異常あり（ＮＧ）であると判断した場合は，ともにステップＳ１００の処理に戻る。従って，これらの場合にはステータスポイント情報管理データベース２１６ｂのステータスポイントは更新されない。
【００５９】
このように，例えば顧客の製造装置が故障した場合など，ステータス情報が異常あり（ＮＧ）のとき又は故障の有無を問わずに保守してほしい旨の要求（オンコール）ありのときを除き（例外），保守管理の対象となる製造装置１２０が通電状態にあるとき，すなわち原則として端末装置からの問い合わせ（要求）に対して製造装置などから何らかの応答（アクノリッジ）があるときには一定時間ごとにポイントが加算され，ポイントがたまっていく。これにより，顧客はできる限りオンコールしないで自らメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００６０】
なお，例外を設けずに，製造装置１２０が通電状態にあるとき，例えばステータス情報が異常なし（ＯＫ），異常あり（ＮＧ），アイドル状態など端末装置１１０からの問い合わせ（要求）に対して製造装置１２０から何らかの応答（アクノリッジ）があれば一定時間ごとにステータスポイントを加算し，応答がなければステータスポイントを加算しないようにしてもよい。これによっても，例えば製造装置の通電状態が継続していれば特典としてのポイントがたまっていくので，顧客は自らメンテナンスを行ってポイントをためようとする。これにより，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００６１】
図１４はメンテナンスポイントを与える場合の動作フローを示す。メンテナンスポイントは顧客が自らメンテナンスを実行した場合にそのメンテナンス方法の種類に応じて設定されたポイントを与えるものである。
【００６２】
具体的には図１４に示すようにステップＳ２００にて端末装置１１０は例えばインターネット５００を介してサーバ２１０に接続する。例えばプロバイダコンテンツページその他ネット上のサイトから本実施形態にかかるベンダ２００のサーバ２１０が提供するサイトにアクセスして接続してもよい。このとき例えば端末装置１１０の表示手段２１４にメンテナンス方法の説明を含む図１５に示すようなメニュー画面が表示される。メニュー画面には，例えば半導体製造装置の説明，提供するサービスの説明，メンテナンス方法の説明などがある。
【００６３】
上記メニュー画面でメンテナンス方法の説明が選択されると図１６に示すようなメンテナンス方法一覧画面が表示される。この画面にはメンテナンス方法の種類の大項目，中項目，小項目がツリー状に表示される。ここで大項目が例えばポイントデバイスなどによりクリックされるとその大項目に下の項目である中項目があればその内容が表示され，中項目をクリックするとその中項目に下の項目である小項目があればその内容が表示される。そして，小項目又は下の項目がない大項目や中項目の１つをクリックすると図１７に示すようなメンテナンス方法説明画面が表示される。この画面にはメンテナンスの所要時間，メンテナンスポイントも表示される。これにより，顧客はメンテナンス方法の説明を取得することができ，顧客自らメンテナンスを実行することができるようになる。このとき，そのメンテナンスについてのメンテナンスポイントも表示されるので，顧客はそのメンテナンスを実行した場合に取得できるポイントも把握できる。
【００６４】
また図１７に示すようにメンテナンス方法説明画面にはそのメンテナンスを実行した装置のシリアル番号の入力欄，メンテナンス完了ボタンも表示される。このメンテナンス完了ボタンは，顧客自らが行ったメンテナンスが完了したときにサーバ２１０にメンテナンス完了情報を送信するためのものである。すなわち，メンテナンスした装置がシリアル番号で入力され，メンテナンス完了ボタンが押されると（例えばポイントデバイスなどによりクリックされると），ステップＳ２１０にて端末装置１１０はメンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類を含むメンテナンス完了情報をサーバ２１０に送信する。
【００６５】
次いで，ステップＳ３００にてサーバ２１０は端末装置１１０からのメンテナンス完了情報を受信すると，ステップＳ３１０にてメンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆからそのメンテナンス方法の種類に対応するポイントを検索する。次いでステップＳ３２０にてメンテナンスポイント情報管理データベース２１６ｃにメンテナンスした装置，メンテナンス方法の種類，メンテナンスポイント，メンテナンス日を記憶する。
【００６６】
このように，顧客自らが行ったメンテナンスの種類に応じたポイントが発生する。これにより，顧客はできる限りメンテナンスを行ってポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００６７】
特に時間がかかる保守ほど高いポイントを設定すれば，顧客はより時間がかかる難しいメンテナンスを行って，より高いポイントをためようとするため，難しいメンテナンスであっても顧客自らが行うことを促すことができ，サービスマンの負担を一層軽減することができる。
【００６８】
図１８はくじポイントを与える場合の動作フローを示す。くじポイントはメンテナンスなどで製造装置１２０を再起動させた場合にくじを行い，くじが当たったときに予め設定してあるくじポイントを与えるものである。
【００６９】
具体的には図１８に示すようにステップＳ４００にて端末装置１１０は製造装置１２０が再起動したか否かを判断する。すなわち，顧客自らメンテナンスを行って製造装置１２０が再起動した場合にくじを行うために，製造装置１２０が再起動したか否かをチェックする。再起動したと判断した場合はステップＳ４１０にて再起動した旨，製造装置のシリアル番号などを含む再起動情報をインターネット５００を介してサーバ２１０に送信する。そして，ステップＳ５００にてサーバ２１０は端末装置１１０からの再起動情報を受信すると，ステップＳ５１０にてサーバ２１０は乱数を発生させる。例えば１桁の乱数を発生させる。次いでステップＳ５２０にてサーバ２１０は発生した乱数に対応するくじポイントを上記くじデータテーブル２１９から検索する。続いてステップＳ５３０にて検索したくじポイント，再起動した製造装置のシリアル番号，再起動日など必要な情報をくじポイント情報管理データベース２１６ｄに記憶する。
【００７０】
このように，くじがはずれのときはポイントを０に設定し，くじにあたったときには所定のポイントを予め設定しておき，製造装置１２０を顧客がメンテナンスすることによりその製造装置１２０が再起動したときにくじを行って，あたったときにはポイントが発生する。これにより，顧客はくじをあててポイントをためようとするため，顧客自らがメンテナンスを行うことを促すことができ，サービスマンの負担を軽減することができる。
【００７１】
図１９は累積ポイントを算出するための動作フローを示す。この処理は各顧客ごとに実行する。また，この処理は必要に応じて実行してもよく，また定期的に例えば月ごとに実行してもよい。
【００７２】
具体的には図１９に示すようにステップＳ６００にてサーバ２１０はステータスポイントを合計して記憶する。すなわち図７に示すステータスポイント情報管理データベース２１６ｂの各製造装置のステータスポイントを合計し，その合計値を図１１に示す累積ポイント情報管理データベース２１６ｅのステータスポイント欄に記憶する。
【００７３】
次いでステップＳ６１０にてサーバ２１０はメンテナンスポイントを合計して記憶する。すなわち図９に示すメンテナンスポイント情報管理データベース２１６ｃのメンテナンスポイントを合計し，その合計値を図１１に示す累積ポイント情報管理データベース２１６ｅのメンテナンスポイント欄に記憶する。
【００７４】
続いてステップＳ６２０にてサーバ２１０はくじポイントを合計して記憶する。すなわち図１０に示すくじポイント情報管理データベース２１６ｄのくじポイントを合計し，その合計値を図１１に示す累積ポイント情報管理データベース２１６ｅのくじポイント欄に記憶する。
【００７５】
次にステップＳ６３０にてサーバ２１０は累積ポイントの合計を算出する。すなわち累積ポイント情報管理データベース２１６ｅのステータスポイント，メンテナンスポイント，くじポイントの各欄のポイントを合計したものを累積ポイントの合計欄に記憶する。従って，累積ポイントの合計欄に記憶されたポイントがこの処理を実行した時点におけるその顧客の全ポイントである。
【００７６】
このようにメンテナンスの対象となる製造装置が原則として継続して稼働できる状態にある場合，顧客が自らメンテナンスを実行した場合，製造装置の再起動によるくじであたった場合などに，顧客に対する特典となるポイントを顧客に与えることにより，顧客自らが進んで製造装置のメンテナンスを行うことを促すことができる。これにより，メンテナンスを行うサービスマンの負担を軽減することができる。従って，より少ない人数のサービスマンでより多くの製造装置を担当することができるようになり，メンテナンスサービスの効率化を図ることができる。
【００７７】
以上，添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれぱ，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００７８】
例えば，本実施の形態においては，各種データベース２１６内の顧客情報管理データベース２１６ａ，ステータスポイント情報管理データベース２１６ｂ，メンテナンスポイント情報管理データベース２１６ｃ，くじポイント情報管理データベース２１６ｄ，累積ポイント情報管理データベース２１６ｅ，メンテナンス方法指示情報管理データベース２１６ｆは，すべてサーバ装置に相当するサーバ２１０内に設けるようにした場合について説明したが，これらをサーバ装置に相当するサーバとは独立して設け，サーバ装置と社内ネットワークで接続してもよいし，インターネットなどの公衆回線で接続してもよい。
【００７９】
また，例えば図１５に示すようなコンテンツメニューに「ポイント順位表を表示する」を加え，これを選択すると，サーバ２１０はホームページ上の累積ポイント情報管理データベース２１６ｅに記憶された各顧客ごとの累積ポイントを，累積ポイントが多い順に並べ替え（ソート）を行い，顧客と累積ポイントとの順位表を作成し，これを端末装置１１０の表示手段１１４で表示できるようにしてもよい。
【００８０】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば，例えば保守管理の対象となる装置のステータス情報，顧客が行った保守方法の種類の情報，顧客が行った保守により装置が再起動したことをきっかけにして行うくじなどに基づいて顧客に対する特典であるポイントを発生させ記憶しておくことにより，できる限り顧客自ら保守（メンテナンス）を行うことを促すことができ，保守サービスを提供するサービスマンの負担を軽減することができる。これにより，より少ない人数のサービスマンでより多くの製造装置を担当することができるようになり，メンテナンスサービスの効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる保守管理ポイントサービスシステムの構成を示すブロック図である。
【図２】本実施の形態にかかる端末装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本実施の形態にかかるサーバの構成を示すブロック図である。
【図４】本実施の形態にかかるくじデータテーブルの１例を示す図である。
【図５】本実施の形態にかかる各種データベースの構成を示す図である。
【図６】本実施の形態にかかる顧客情報管理データベースの１例を示す図である。
【図７】本実施の形態にかかるステータスポイント情報管理データベースの１例を示す図である。
【図８】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるステータスポイント情報画面の１例を示す図である。
【図９】本実施の形態にかかるメンテナンスポイント情報管理データベースの１例を示す図である。
【図１０】本実施の形態にかかるくじポイント情報管理データベースの１例を示す図である。
【図１１】本実施の形態にかかる累積ポイント情報管理データベースの１例を示す図である。
【図１２】本実施の形態にかかるメンテナンス方法指示情報管理データベースの１例を示す図である。
【図１３】本実施の形態にかかるステータスポイントの発生に関するサーバの処理の動作フローを示す図である。
【図１４】本実施の形態にかかるメンテナンスポイントの発生に関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作フローを示す図である。
【図１５】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるコンテンツメニュー画面の１例を示す図である。
【図１６】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるメンテナンス方法一覧画面の１例を示す図である。
【図１７】本実施の形態にかかるサーバの表示手段に表示されるメンテナンス方法の説明画面の１例を示す図である。
【図１８】本実施の形態にかかるくじポイントの発生に関する端末装置の処理及びサーバの処理の動作フローを示す図である。
【図１９】本実施の形態にかかるサーバが行う累積ポイントの算出処理の動作フローを示す図である。
【符号の説明】
１０…保守管理ポイントサービスシステム
１００…工場
１１０…端末装置
１１２…制御手段
１１４…表示手段
１１６…入力手段
１１７…データ収集手段
１１８…記憶手段
１１９…送受信手段
１２０…製造装置
２００…ベンダ
２０２，２０４，２０６…コンピュータ
２１０…サーバ
２１２…制御手段
２１４…表示手段
２１６…各種データベース
２１６ａ…顧客情報管理データベース
２１６ｂ…ステータスポイント情報管理データベース
２１６ｃ…メンテナンスポイント情報管理データベース
２１６ｄ…ポイント情報管理データベース
２１６ｅ…累積ポイント情報管理データベース
２１６ｆ…メンテナンス方法指示情報管理データベース
２１６ｇ…コンテンツ情報管理データベース
２１８…送受信手段
２１９…データテーブル
５００…インターネット
【図１】
0003987741.tif 000002
【図２】
0003987741.tif 000003
【図３】
0003987741.tif 000004
【図４】
0003987741.tif 000005
【図５】
0003987741.tif 000006
【図６】
0003987741.tif 000007
【図７】
0003987741.tif 000008
【図８】
0003987741.tif 000009
【図９】
0003987741.tif 000010
【図１０】
0003987741.tif 000011
【図１１】
0003987741.tif 000012
【図１２】
0003987741.tif 000013
【図１３】
0003987741.tif 000014
【図１４】
0003987741.tif 000015
【図１５】
0003987741.tif 000016
【図１６】
0003987741.tif 000017
【図１７】
0003987741.tif 000018
【図１８】
0003987741.tif 000019
【図１９】
0003987741.tif 000020