(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一側に位置して変位する導電体の溶融はんだとの間を離隔する非磁性体の隔壁と、
この隔壁に沿ってこの隔壁の一側で変位する前記溶融はんだの液面の変位方向に沿って平板を積層して形成されたコアと、このコアに巻回されたワイヤとを有し、前記溶融はんだの液面の変位範囲の少なくとも一部で、前記溶融はんだの液面が変位する方向に直交する方向に沿って前記隔壁の他側に対をなして並設され、前記液面の変位方向に対して交差する磁界を形成する一対の感知コイルと、
これら一対の感知コイルそれぞれと等間隔に離間されて一対配設され、一方の一端が前記一対の一方の感知コイルの一端に電気的に接続され、一方の他端が前記一対の他方の感知コイルの一端に電気的に接続され、他方の一端が前記一対の一方の感知コイルの他端に電気的に接続され、他方の他端が前記一対の他方の感知コイルの他端に電気的に接続された一対の温度補償コイルと、
前記一対の一方の感知コイルと前記一対の他方の温度補償コイルとの接続点、および前記一対の他方の感知コイルと前記一対の一方の温度補償コイルとの接続点にそれぞれ電気的に接続され、前記溶融はんだの液面の変位に伴う前記一対の感知コイル間の磁界の変化によるインダクタンスの変化を検出して、前記隔壁を介して前記溶融はんだの液面の変位を検出する検出部と
を具備していることを特徴とした変位検出装置。
【請求項２】
隔壁は、内部に溶融はんだを貯溜したはんだ槽の側壁であり、
感知コイルは、前記はんだ槽の側壁の外部に配設された
ことを特徴とした請求項１記載の変位検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、溶融はんだの変位を検出する変位検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の変位検出装置としては、例えば、図１０または図１１に示す構成が知られている。
【０００３】
そして、この図１０に示す変位検出装置1aは、はんだ付け装置２のはんだ槽３において、このはんだ槽３に貯溜した被測定物としての溶解はんだ４の液面のレベルを管理、すなわちこの液面の変位を検出するものであり、この溶解はんだ４の液面上に浮かべたフロート５の上下動に連動してスイッチ６がオンオフし、この溶解はんだ４の液面の変位を検出している。
【０００４】
また、図１１に示す変位検出装置1bは、渦電流式のセンサ部８をはんだ槽３の溶解はんだ４の液面に対面させて配設し、このセンサ部８が形成する渦電流による磁界の変化で、溶解はんだ４の液面の変位を検出している。
【０００５】
ところが、上記図１０および図１１に示す変位検出装置1a，1bでは、通常、溶解はんだ４の液面の上部ではんだ付け作業する都合があるため、溶解はんだ４の液面の変位を検出するフロート５またはセンサ部８が、この溶解はんだ４の液面上に存在していることにより、このフロート５またはセンサ部８と、はんだ付け装置２の図示しない被はんだ付け基板とが互いに干渉してしまう場合がある。そして、このような干渉を避ける場合には、はんだ槽３を大きくしなければならない。
【０００６】
特に、図１１に示す変位検出装置1bでは、渦電流を用いて溶解はんだ４の液面の変位をセンサ部８で検出しているため、このセンサ部８と溶解はんだ４の液面とを仕切部材などで隔離することが容易でない。また、溶解はんだ４の液面の変位を連続的に検出可能な範囲が限られてしまうため、この溶解はんだ４の液面の変位に対する検出可能な範囲が小さくなってしまう。さらに、溶解はんだ４は、通常、２００℃程度の高温であるため、センサ部８の耐久性の低下を防止するために、センサ部８を溶解はんだ４の液面に近接することが容易でない。
【０００７】
さらに、変位検出装置1bにより検出される溶解はんだ４の液面の変位値と、この溶解はんだ４の液面が変化した際にセンサ部８から出力される電圧値とが、必ずしも比例関係ではない。このため、センサ部８から出力される電圧に基いて、溶解はんだ４の液面の変位値を求めるための変換テーブルなどを作成する必要があるので、製造が容易でなく、さらには、例えば、ステンレス板などの導電体であるはんだ槽３の側壁としての隔壁９を介してこのはんだ槽３の外部から溶解はんだ４の液面の変位値をセンサ部８で検出することは容易でない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、上記図１０および図１１に示す変位検出装置1a，1bでは、溶解はんだ４の液面の上部ではんだ付け作業する都合があるため、はんだ槽３を大きくしなければならない。特に、変位検出装置1bでは、センサ部８と溶解はんだ４の液面とを仕切部材などで隔離することが容易でなく、溶解はんだ４の液面の変位に対する検出可能範囲が小さくなってしまい、溶解はんだ４の液面にセンサ部８を近接させることが容易でない。また、溶解はんだ４の液面の変位と、この溶解はんだ４の液面が変位した際にセンサ部８から出力される電圧とが、必ずしも比例関係ではない。
【０００９】
さらには、はんだ槽３の隔壁９を介した溶解はんだ４の液面の変位を検出することが容易でないという問題を有している。
【００１０】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、隔壁を介して溶融はんだの液面の変位を容易に検出できる変位検出装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の変位検出装置は、一側に位置して変位する導電体の溶融はんだとの間を離隔する非磁性体の隔壁と、この隔壁に沿ってこの隔壁の一側で変位する前記溶融はんだの液面の変位方向に沿って平板を積層して形成されたコアと、このコアに巻回されたワイヤとを有し、前記溶融はんだの液面の変位範囲の少なくとも一部で、前記溶融はんだの液面が変位する方向に直交する方向に沿って前記隔壁の他側に対をなして並設され、前記液面の変位方向に対して交差する磁界を形成する一対の感知コイルと、これら一対の感知コイルそれぞれと等間隔に離間されて一対配設され、一方の一端が前記一対の一方の感知コイルの一端に電気的に接続され、一方の他端が前記一対の他方の感知コイルの一端に電気的に接続され、他方の一端が前記一対の一方の感知コイルの他端に電気的に接続され、他方の他端が前記一対の他方の感知コイルの他端に電気的に接続された一対の温度補償コイルと、前記一対の一方の感知コイルと前記一対の他方の温度補償コイルとの接続点、および前記一対の他方の感知コイルと前記一対の一方の温度補償コイルとの接続点にそれぞれ電気的に接続され、前記溶融はんだの液面の変位に伴う前記一対の感知コイル間の磁界の変化によるインダクタンスの変化を検出して、前記隔壁を介して前記溶融はんだの液面の変位を検出する検出部とを具備しているものである。
【００１２】
そして、この構成では、非磁性体の隔壁の一側で溶融はんだの液面が変位すると、この溶融はんだが導電体であるため、隔壁の他側に配設した感知コイルが形成する磁界が変化して、この感知コイルのインダクタンスが変化する。この状態で、このインダクタンスの変化を検出部が検出して溶融はんだの液面の変位を検出する。この結果、溶融はんだの液面が変位する隔壁の一側に配設することなく、さらには、溶融はんだに接触することなく、隔壁を介して溶融はんだの液面の変位を検出部が検出する。よって、隔壁を介した溶融はんだの液面の変位の検出が容易になる。
【００１３】
また、溶融はんだの液面の変位方向に直交する方向に沿って対をなして感知コイルを並設したことにより、これら対をなす感知コイルが形成する磁界もまた溶融はんだの液面の変位方向に対して直交する。この結果、溶融はんだの液面の変位に伴う感知コイルの磁界の変化によるインダクタンスの変化がより明確になるので、検出部による溶融はんだの液面の変位の検出がより正確になる。
【００１４】
さらに、一対の感知コイルそれぞれと等間隔に離間して一対の温度補償コイルを配設し、一方の温度補償コイルの一端を一方の感知コイルの一端、および他端を他方の感知コイルの一方に接続し、他方の温度補償コイルの一端を一方の感知コイルの他端、および他端を他方の感知コイルの他端に接続し、さらに、一方の感知コイルと他方の温度補償コイルとの接続点、および他方の感知コイルと一方の温度補償コイルとの接続点に検出部を接続したことにより、検出する溶融はんだ自体の温度が異なる場合であっても、溶融はんだの液面が変位した際に略同じインダクタンスの変化が発生する。この結果、検出部で温度の異なる溶融はんだの液面の変位を検出する際に、一対の温度補償コイルが温度誤差を補償する。このため、溶融はんだの温度が変化しても正確に変位検出が可能となる。
【００１５】
請求項２記載の変位検出装置は、請求項１記載の変位検出装置において、隔壁は、内部に溶融はんだを貯溜したはんだ槽の側壁であり、感知コイルは、前記はんだ槽の側壁の外部に配設されたものである。
【００１６】
そして、この構成では、はんだ槽内の溶融はんだの液面が変位すると、はんだ槽の側壁の外部に配設された感知コイルのインダクタンスが変化する。その後、このインダクタンスの変化を検出部が検出して溶融はんだの液面の変位を検出する。このため、はんだ槽の側壁を介した溶融はんだの液面の変位の検出が検出部により容易になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の変位検出装置の第１の実施の形態の構成を図１ないし図５を参照して説明する。
【００１８】
図１ないし図５に示すように、11aは変位検出装置で、この変位検出装置11aは、例えば、はんだ付け装置12のはんだ槽13aにおいて、このはんだ槽13aに貯溜した導電体である被測定物としての溶解はんだ14の液面の変位を検出して、この溶解はんだ14の液面のレベルを管理する。
【００１９】
また、この変位検出装置11aは、例えばステンレスなど非磁性体で成形されたはんだ槽13aの側壁である隔壁15aを介して、このはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を感知する差動検出回路としてのセンサ部21を備えている。このセンサ部21は、はんだ槽13aの隔壁15aに向けてこのはんだ槽13aの外部に配設されている。また、このセンサ部21は、一対の感知コイル22a，22bを備えており、これら一対の感知コイル22a，22bは、図３に示すように、導電体である略平板Ｅ字状のコア23a，23bの中央に位置する中央脚鉄心24a，24bを、例えばテフロンなどの耐熱性を有する合成樹脂などで成形された略円筒状の図示しないボビンに耐熱性を有する耐熱ワイヤ25を複数回巻回したものに挿通させてそれぞれ形成されている。
【００２０】
そして、一対の感知コイル22a，22bは、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面が変位する方向、すなわち溶解はんだ14の増減方向に対して直交する方向である水平方向に沿って並設されている。また、これら一対の感知コイル22a，22bは、互いに略同一で、図１および図２に示すように、溶解はんだ14の増減範囲の略中間に配設されている。
【００２１】
さらに、これら一対の感知コイル22a，22bそれぞれと等間隔に離間されたこれら一対の感知コイル22a，22bの下方には、一対の温度補償コイル26a，26bが配設されている。これら一対の温度補償コイル26a，26bは、一対の感知コイル22a，22bにて溶解温度等の異なる溶解はんだ14の液面の変位を検出する際の温度変化などの温度影響を防止して温度誤差を補償する。また、温度補償コイル26aは、一端が感知コイル22aの一端に、他端が感知コイル22bの一端にそれぞれ電気的に接続されている。さらに、温度補償コイル26bは、一端が感知コイル22aの他端に、他端が感知コイル22bの他端にそれぞれ電気的に接続されている。
【００２２】
また、温度補償コイル26aは、感知コイル22aの下方に配設されており、温度補償コイル26bは、感知コイル22bの下方に配設されている。さらに、これら温度補償コイル26a，26bは、感知コイル22a，22bと略同一で、導電体である略平板Ｅ字状のコア27a，27bの中央に位置する中央脚鉄心28a，28bを、例えばテフロンなどの耐熱性を有する合成樹脂などで成形された略円筒状の図示しないボビンに耐熱ワイヤ29を複数回巻回したものに挿通させてそれぞれ形成されている。そして、これら一対の温度補償コイル22a，22bは、水平に並設されており、はんだ槽13a内に溶解はんだ14が常時貯溜されている位置に対向する隔壁15aの外部に配設されている。
【００２３】
ここで、感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bは、それぞれの中央脚鉄心24a，24b，28a，28bの端部をはんだ槽13aの隔壁15aに向けた状態で、これら中央脚鉄心24a，24b，28a，28bを水平にして配設されている。
【００２４】
そして、センサ部21には、周波数および波形などが安定した基本信号としての交流電圧を印加し、この交流電圧をセンサ部21の各感知コイル22a，22bおよび各温度補償コイル26a，26bそれぞれに印加する安定化基本信号発生部31が取り付けられている。
【００２５】
また、この安定化基本信号発生部31は、図４に示すように、感知コイル22aと温度補償コイル26aとの接続点、および感知コイル22bおよび温度補償コイル26bとの接続点それぞれに電気的に接続されている。さらに、この安定化基本信号発生部31は、感知コイル26a，26bそれぞれに対して互いに逆向きとなる磁界が形成されるように、これら感知コイル26a，26bに交流電圧を印加している。
【００２６】
さらに、センサ部21には、このセンサ部21の一対の感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化、すなわち差動電圧値に基き、隔壁15aを介してはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を検出する検出部41が取り付けられている。この検出部41は、一対の感知コイル22a，22b間の差動電圧を入力し、この差動電圧のノイズを除去する、または余分な信号を除去するフィルタ回路42を備えている。このフィルタ回路42は、図４に示すように、感知コイル22aと温度補償コイル26bとの接続点、および感知コイル22bと温度補償コイル26aとの接続点にそれぞれ電気的に接続されている。
【００２７】
また、このフィルタ回路42には、入力された交流電圧を整流する整流回路43が電気的に接続されている。この整流回路43は、フィルタ回路42にてノイズが除去された一対の感知コイル22a，22b間の差動電圧としての交流電流が入力され、この交流電圧を整流した後に出力する。
【００２８】
さらに、この整流回路43には、一対の感知コイル22a，22b間の差動電圧、すなわちインダクタンスの変化に基いて、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を示す変位信号を出力する出力調整回路44が電気的に接続されている。この出力調整回路44は、整流回路43にて整流された一対の感知コイル22a，22b間の差動電圧としての交流電流が入力され、この交流電流の電圧値からはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を演算して、この溶解はんだ14の液面の変位信号を出力する。
【００２９】
ここで、図５に示すように、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位値と、この溶解はんだ14の液面が変位した際の一対の感知コイル22a，22b間の差動電圧値とは略比例している。
【００３０】
次に、上記第１の実施の形態の動作を説明する。
【００３１】
安定化基本信号発生部31が一対の感知コイル22a，22bおよび一対の温度補償コイル26a，26bに安定化した基本信号としての交流電圧を印加している状態で、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面が変位すると、一対の感知コイル22a，22b間のインダクタンスが変化する。
【００３２】
このとき、溶解温度の異なる溶解はんだ14であっても、一対の感知コイル22a，22bに接続した一対の温度補償コイル26a，26bが温度補償する。
【００３３】
そして、この一対の感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化で発生した差動電圧をフィルタ回路42でノイズを除去した後に整流回路43で整流する。
【００３４】
その後、この差動電圧に基いて、出力調整回路44がはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を検出し、この溶解はんだ14の液面の変位を示す変位信号を出力する。
【００３５】
すると、この変位信号を受信することにより、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位が容易に検出できる。
【００３６】
上述したように、上記第１の実施の形態によれば、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面が変位すると、はんだ槽13aの隔壁15a外に配設された感知コイル22a，22b間のインダクタンスが変化し、このインダクタンスの変化に伴う差動電圧に基き、検出部41の出力調整回路44が溶解はんだ14の液面の変位に対応した変位信号を出力する。この結果、はんだ槽13a外から溶解はんだ14の液面の変位を容易に検出できる。
【００３７】
このため、はんだ槽13a内に配設することなく、さらには、溶解はんだ14に接触させることなく、はんだ槽13aの隔壁15aの外部からこのはんだ槽13a内に貯溜された溶解はんだ14の液面の変位、すなわち貯溜量が検出できるので、溶解はんだ14の液面上ではんだ付け作業する都合があっても、溶解はんだ14の液面の変位を検出する感知コイル22a，22bと、はんだ付け装置12の図示しない被はんだ付け基板とが互いに干渉する場合がなくなるので、はんだ槽13aを小型化できる。
【００３８】
また、水平方向に沿って対をなす感知コイル22a，22bを並設したことにより、これら感知コイル22a，22bによる磁界が溶解はんだ14の液面の変位方向に対して直交するので、溶解はんだ14の液面が変位した際に発生する感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化がより明確になるので、このインダクタンスの変化に基いたはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位の検出をより正確にでき、さらには、渦電流で溶解はんだ14の液面の変位を検出する場合に比べ、溶解はんだ14の液面の変位に対する検出可能範囲、すなわち検出可能ストロークを大きく確保できる。
【００３９】
さらに、水平に並設された感知コイル22a，22bの下方に一対の温度補償コイル26a，26bを水平に並設し、この温度補償コイル26aの一端を感知コイル22aの一端に、他端を感知コイル22bの一端にそれぞれ接続し、また、温度補償コイル26bの一端を感知コイル22aの他端に、他端を感知コイル22bの他端にそれぞれ接続し、さらに、感知コイル22aと温度補償コイル26bとの接続点、および感知コイル22bと温度補償コイル26aとの接続点にそれぞれ検出部41を電気的に接続したことにより、これら感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bで、ブリッジ回路を構成する。
【００４０】
このため、溶解温度の異なる溶解はんだ14の液面を検出する場合であっても、はんだ槽13a内で溶解はんだ14の液面が変位した際に、感知コイル22a，22b間に略等しいインダクタンスの変化を発生させることができる。
【００４１】
この結果、感知コイル22a，22bで溶解はんだ14の液面の変位を検出する際に、温度補償コイル26a，26bで温度誤差を補償できる。このため、溶解はんだ14の温度とは無関係に、すなわち温度の異なる溶解はんだ14の液面の変位を検出する場合であっても温度補正などすることなく、この溶解はんだ14の液面の変位を同様に検出できるので、使い勝手を向上できる。
【００４２】
そして、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位値に対して感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化に基いた差動電圧値が略比例する。このため、溶解はんだ14の液面が変位した際に発生する感知コイル22a，22bを用いた検出部41による溶解はんだ14の液面の変位の検出を容易にできる。
【００４３】
よって、感知コイル22a，22b間の差動電圧値に基いて、溶解はんだ14の液面の変位値を求めるための変換テーブルなどを作成する必要がない。この結果、検出部41の構成を簡略化できるので製造性を向上でき、さらには、製造コストを削減できる。
【００４４】
また、耐熱性を有するボビンに耐熱性を有する耐熱ワイヤ25，29を巻回した感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bであるため、高温な溶解はんだ14の液面の変位を検出する際に、はんだ槽13aが高温に加熱された場合であっても、感知コイル22a，22b間のインダクタンスが的確に変化する。
【００４５】
この結果、感知コイル22a，22bでの溶解はんだ14の温度に対する検出可能範囲を拡大できるので、高温環境下であっても使用できる。さらには、感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bそれぞれを、加熱されたはんだ槽13aに近接させることもできるので、感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化がより正確になり、検出部41による溶解はんだ14の液面の変位がより正確に検出できる。
【００４６】
また、センサ部21の感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bそれぞれのコア23a，23b，27a，27bをＥ型にしたため、これら各コア23a，23b，27a，27bの中央脚鉄心24a，24b，28a，28bの端部から磁界が発散または、これら中央脚鉄心24a，24b，28a，28bの端部に磁界が収束する。このため、これら感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bで形成される磁界がはんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面と略平方になる。この結果、溶解はんだ14の液面の変位による感知コイル22a，22b間の磁界、すなわちインダクタンスがより正確かつ感度良く変化するので、センサ部21の感度を向上できる。
【００４７】
さらに、感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化に基いた差動電圧を、フィルタ回路42でノイズを除去し、さらに整流回路43で整流した後に、出力調整回路44ではんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を検出してこの液面の変位信号を出力するので、これらフィルタ回路42および整流回路43などを設けない場合に比べ、溶解はんだ14の液面の変位がより正確に検出できる。
【００４８】
次に、本発明の第２の実施の形態の構成を図６を参照して説明する。
【００４９】
この図６に示す変位検出装置11bは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同一であるが、はんだ槽13b内の溶解はんだ14にフロート51を浮かべたものである。
【００５０】
そして、このフロート51は、磁性体であり、略直方体に成形されている。さらに、このフロート51は、上方が密閉されたはんだ槽13bの隔壁15bを介した一対の感知コイル22a，22bそれぞれと対向する位置に配設されており、また、溶解はんだ14の液面の変位に伴って、この溶解はんだ14の液面の変位方向、すなわち上下方向に向けて同様に変位する。
【００５１】
次に、上記第２の実施の形態の作用を説明する。
【００５２】
この図６に示す変位検出装置11bは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aの作用と同様である。
【００５３】
そして、溶解はんだ14の液面が変位した際には、この液面の変位に伴ってフロート51が変位する。
【００５４】
この状態で、感知コイル22a，22b間のインダクタンスが変化する。そして、このインダクタンスの変化に基いて、検出部41がはんだ槽13b内の溶解はんだ14の液面の変位を検出する。
【００５５】
上述したように、上記第２の実施の形態では、はんだ槽13b内の溶解はんだ14の液面の変位を、感知コイル22a，22bおよび検出部41で検出するので、図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同様の効果を奏することができる。
【００５６】
また、磁性体であるフロート51をはんだ槽13bに浮かべたことにより、このはんだ槽13b内の溶解はんだ14の液面が変位した際に、この液面の変位に伴ってフロート51が同様に変位する。このため、溶解はんだ14の液面が変位した際に、フロート51による磁界も同様に変化するので、感知コイル22a，22b間に発生するインダクタンスの変化をより増幅できる。
【００５７】
この結果、溶解はんだ14が含有する酸化物などの影響を受け難くなるので、感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化をより明確にでき、感知コイル22a，22bの感度を向上でき、さらには、溶解はんだ14の液面の変位を検出する際のエネルギコストを低減でき、感知コイル22a，22bの精度を向上できる。
【００５８】
この場合、上方が密閉されたはんだ槽13bであっても、このはんだ槽13bが非磁性体であるため、溶解はんだ14の液面の変位を感知コイル22a，22b間のインダクタンスの変化で検出できる。
【００５９】
次に、本発明の第３の実施の形態の構成を図７を参照して説明する。
【００６０】
この図７示す変位検出装置11cは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同一であるが、はんだ槽13a内に磁性を有する磁性板61を配設したものである。
【００６１】
この磁性板61は、略平板状に成形されたバックアイアンであり、はんだ槽13aの隔壁15aを介した感知コイル22a，22bと対向する側、すなわちこのはんだ槽13a内に、このはんだ槽13aの隔壁15aに対して略平行に固定して並設されている。また、この磁性板61は、感知コイル22a，22bおよび温度補償コイル26a，26bと対向できる大きさに形成されている。
【００６２】
次に、上記第３の実施の形態の作用を説明する。
【００６３】
この図７に示す変位検出装置11cは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aの作用と同様である。
【００６４】
上述したように、上記第３の実施の形態では、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を、感知コイル22a，22bおよび検出部41で検出するので、図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同様の効果を奏することができる。
【００６５】
また、はんだ槽13aの隔壁15aを介した感知コイル22a，22bと対向する側に磁性板61を並設したことにより、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面が変位した際に、磁性板61による磁性の影響で、より増幅されたインダクタンスの変化が感知コイル22a，22b間に発生する。
【００６６】
このため、溶解はんだ14の液面が変位した際の感知コイル22a，22bの感度を向上でき、溶解はんだ14の液面の変位を検出する際のエネルギコストを低減できる。
【００６７】
次に、本発明の第４の実施の形態の構成を図８を参照して説明する。
【００６８】
この図８に示す変位検出装置11dは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同一であるが、平板略Ｅ字状のＥ型コア71で一対の感知コイル22a，22bを形成したものである。
【００６９】
このＥ型コア71は、導電体であり、中央に位置する中央脚鉄心72の両側には、側脚鉄心73a，73bが位置している。また、これら側脚鉄心73a，73bには、略円筒状の耐熱性を有する図示しないボビンに耐熱ワイヤ25を巻回したものが取り付けられている。そして、これら耐熱ワイヤ25を取り付けた部分がそれぞれ感知コイル22a，22bとなる。
【００７０】
次に、上記第４の実施の形態の作用を説明する。
【００７１】
この図８に示す変位検出装置11dは、基本的には図１ないし図５に示す変位検出装置11aの作用と同様である。
【００７２】
上述したように、上記第４の実施の形態では、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を、感知コイル22a，22bおよび検出部41で検出するので、図１ないし図５に示す変位検出装置11aと同様の効果を奏することができる。
【００７３】
また、Ｅ型コア71の各側脚鉄心73a，73bに耐熱ワイヤ25をそれぞれ巻回した感知コイル22a，22bであるため、これら感知コイル22a，22bの構成を簡略化でき、製造性を向上できるとともに、感知コイル22a，22bが一体であるため、これら感知コイル22a，22bを配設する際の手間を削減できる。
【００７４】
次に、本発明の第５の実施の形態の構成を図９を参照して説明する。
【００７５】
この図９に示す変位検出装置11eは、基本的には図８に示す変位検出装置11dと同一であるが、平板略コの字状の凹型コア81で一対の感知コイル22a，22bを形成したものである。
【００７６】
この凹型コア81は、導電体であり、両側に位置する側脚鉄心82，83には、略円筒状の耐熱性を有する図示しないボビンに耐熱ワイヤ25を巻回したものがそれぞれ取り付けられている。そして、これら耐熱ワイヤ25を取り付けた部分がそれぞれ感知コイル22a，22bとなる。
【００７７】
次に、上記第５の実施の形態の作用を説明する。
【００７８】
この図９に示す変位検出装置11eは、基本的には図８に示す変位検出装置11dの作用と同様である。
【００７９】
上述したように、上記第５の実施の形態では、はんだ槽13a内の溶解はんだ14の液面の変位を、感知コイル22a，22bおよび検出部41で検出するので、図８に示す変位検出装置11dと同様の効果を奏することができる。
【００８０】
また、凹型コア81の各側脚鉄心82，83に耐熱ワイヤ25をそれぞれ巻回して感知コイル22a，22bを形成したため、Ｅ型コア71の場合に比べると、感知コイル22a，22bの構成が簡略になるので、感知コイル22a，22bに対する製造コストを削減できる。
【００８１】
なお、上記各実施の形態では、感知コイル22a，22b間の差動電圧で溶解はんだ14の液面または物体91の変位を検出する構成について説明したが、感知コイル22a，22b間の和動電圧であっても、溶解はんだ14の液面または物体91の変位を検出できる。
【００８２】
【発明の効果】
請求項１記載の変位検出装置によれば、感知コイルを隔壁の他側に配設したため、隔壁の一側での溶融はんだの液面の変位で変化した感知コイルの磁界の変化によるインダクタンスの変化を検出部が検出して溶融はんだの液面の変位を検出することにより、隔壁を介した溶融はんだの液面の変位の検出を容易にできる。
【００８３】
また、溶融はんだの液面の変位方向に対する直交方向に沿って対をなして感知コイルを並設すると、これら対をなす感知コイルの磁界が溶融はんだの液面の変位方向に直交するので、溶融はんだの液面の変位に伴う感知コイルの磁界の変化によるインダクタンスの変化がより明確になり、検出部による溶融はんだの液面の変位量の検出をより正確にできる。
【００８４】
さらに、検出する溶融はんだ自体の温度が異なる場合であっても、溶融はんだの液面が変位した際に略同じインダクタンスの変化が発生するので、検出部で温度の異なる溶融はんだの液面の変位を検出する際に、一対の温度補償コイルで温度誤差を補償できるため、変位が検出可能な溶融はんだの温度範囲を拡大できる。
【００８５】
請求項２記載の変位検出装置によれば、請求項１記載の変位検出装置の効果に加え、はんだ槽内の溶融はんだの液面が変位すると、はんだ槽の側壁外に配設した感知コイルのインダクタンスが変化して、このインダクタンスの変化を検出部が検出して溶融はんだの液面の変位を検出するので、検出部によるはんだ槽の側壁を介した溶融はんだの液面の変位の検出を容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の変位検出装置の第１の実施の形態の一部を示す側面図である。
【図２】  同上変位検出装置の一部を示す断面図である。
【図３】  同上変位検出装置の一部を示す断面図である。
【図４】  同上変位検出装置を示す説明図である。
【図５】  同上変位検出装置の溶融はんだの液面の変位値と感知コイル間の差動電圧値との関係を示すグラフである。
【図６】  本発明の第２の実施の形態の一部を示す断面図である。
【図７】  本発明の第３の実施の形態の一部を示す断面図である。
【図８】  本発明の第４の実施の形態の一部を示す断面図である。
【図９】  本発明の第５の実施の形態の一部を示す断面図である。
【図１０】  従来の変位検出装置の一部を示す一部を切り欠いた側面図である。
【図１１】  従来の変位検出装置の一部を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【符号の説明】
11a，11b，11c，11d，11e 変位検出装置
13a，13b    はんだ槽
14    溶融はんだ
15a，15b 隔壁
22a，22b    感知コイル
23a，23b コア
25    ワイヤとしての耐熱ワイヤ
26a，26b    温度補償コイル
41    検出部
【図１】
0003908885.tif 000002
【図２】
0003908885.tif 000003
【図３】
0003908885.tif 000004
【図４】
0003908885.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003908885.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
0003908885.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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