(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記（Ａ）〜（Ｅ）成分、
（Ａ）カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体と他のエチレン性不飽和単量体との共重合体であって、重量平均分子量が70000〜130000、カルボキシル基含有量が酸価で70〜150（KOHmg/ｇ）を示すカルボキシル基含有共重合体、
（Ｂ）常圧において100℃以上の沸点を有し、1分子中に少なくとも2つのエチレン性不飽和基を有する分子量6000以下の付加重合性化合物、
（Ｃ）  下記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂、
【化１】
0004004826.tif 000011
（但し、Ｒ1は水素原子又はメチル基であり、ｎは3〜10の整数である）
（Ｄ）光重合開始剤、及び
（Ｅ）分散顔料
を必須成分として含み、上記（Ａ）成分100重量部に対して、（Ｂ）成分が30〜300重量部、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計100重量部に対して、（Ｃ）成分が10〜40重量部配合されていることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ｂ）成分が下記一般式（２）
GO−(Ar−OCH2−CH(OH)−CH2O)n−Ar−OG          （２）
（但し、Gはグリシジル基を示し、Arは２価の芳香族基を示し、ｎは0〜10の整数である）で表されるエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物を、更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物（B1）を含み、（Ｂ）成分中の（B1）の含有率が10〜60重量％である請求項1記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ｅ）分散顔料がフタロシアニンブルー顔料分散体である請求項1又は2記載の着色感光性樹脂組成物
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を塗布、硬化して得られる塗膜。
【請求項５】
請求4記載の塗膜を有するカラーフィルター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、着色感光性樹脂組成物に関し、詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルターの製造に有用な着色感光性樹脂組成物及び該着色感光性樹脂組成物から形成されたカラーフィルターに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー液晶表示装置は、光の透過量あるいは反射量を制御する液晶部とカラーフィルターを構成要素としてもち、そのカラーフィルターの製造方法としては、着色顔料微粒子が感光性樹脂組成物に分散された赤、緑、青の画素及びブラックマトリックスをガラス基板上に形成する方法が用いられるようになっている。また、この方法で製作されたカラーフィルターは耐熱性、耐光性に優れた特性を示すが、近年、ノートブックパソコン等携帯用表示装置等における低消費電力化の要求に応えるるための高開口率化が求められている。このため、カラーフィルター上の赤、青、緑の画素は200〜300μmから100μmへ、ブラックマトリックスは20μmから10μmへ細線化され、これにともなって感光性樹脂材料には高い寸法精度が求められるようになった。
【０００３】
特開平1-152449号公報には、バインダー樹脂にアルカリ溶解性を有するベンジルメタクリレート-メタクリル酸共重合物を、感光性樹脂に多官能アクリレート樹脂を用いた着色感光性樹脂組成物が開示されている。この着色感光性樹脂組成物を用い、パターンマスクをかけた上から高圧水銀ランプで紫外線露光を行えばマスクされていない露光部分は硬化塗膜となる。続いてアルカリ水溶液による現像操作を行うことで、マスクされていた未露光部分の未硬化塗膜は溶出するので所望の画素パターン形状を有するカラーフィルターを形成することができる。ところが、この着色感光性樹脂組成物は、酸素の存在下では硬化反応が不十分になりパターンの解像度や感度が低下するという問題があった。このため、露光前に酸素遮断膜を形成し、現像前に酸素遮断膜を剥離するという工程が必要となり、その製造工程の増加が新たな課題となっていた。
【０００４】
また、特公平6-95211号公報には上記課題解決を図るため、及び顔料濃度を高めて良好な色再現性を図りつつ感度低下を防止するために、高感度光重合開始剤としてハロメチルオキサジアゾール系化合物、ハロメチル-S-トリアジン系化合物の使用例が開示されている。しかし、これらの化合物は上記の酸素による反応阻害により表面平坦性低下は改善されるものの、パターン寸法精度の点では依然として満足すべき水準には達していない。優れた寸法精度を持つ微細パターンを得るには、光重合性組成物中の光重合開始剤の種類や添加量を最適化することが必要である。カラーフィルターなどの薄膜に於いては一般的にパターン細線が太った場合、光重合開始剤の量を減らし感度を低下させることで適正な線幅に調整することは可能であるが、感度低下のために表面荒れ、密着性、現像マージンの低下及びパターン形状の不良を生じやすく、光重合開始剤の面だけでは不十分であった。
【０００５】
ところで、液晶表示用のブラックマトリックスやカラーフィルター等に適した感光性樹脂組成物からなる液状現像型レジストによるパターン形成方法は、まず基板上にレジストを塗布し、塗膜中残留する溶剤を除去させる目的で、塗布板上の感光性樹脂が反応しない温度でのプレベーク、あるいは真空乾燥を経た後、塗膜にパターン形成用マスクを密着させ露光して現像するという一連の工程が採用されている。上記工程において露光を実施する前後で塗膜に粘着性があるとマスクに一部のレジストが付着して正確なパターンが再現できない、プレベーク工程から露光工程に移る過程で、触針式膜厚測定器を用いて塗膜膜厚を測定する際に正確な膜厚の値が求められない、塗布表面に異物が付着し歩留まりが低下する、といった問題があり、タックフリー性は液状現像型レジストの重要な要求特性である。
【０００６】
タックフリー性を向上させるためには、分子量を増大させることが一般的に有効である。特公昭55-16393号公報に記載されたソルダーレジスト組成物がこれにあたり、ここにはノボラック型エポキシ樹脂とアクリル酸の反応物と多塩基酸多無水物を反応させて得られた生成体を主体とするソルダーレジスト組成物が記載されているが、この場合には現像性が著しく低下する。タックフリー性と現像性の両立は極めて難しく、アルカリ現像性とタックフリー性は相反する特性であって、現像性を良好にしようとするとタックフリー化が悪化する傾向にあり、両方の重要特性を共に満足するアルカリ現像型レジスト用の感光性樹脂の出現が望まれていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、上記の問題を解決しタックフリー性を備えた上で現像性の悪化、剥離現象などが生じずパターンのエッジ形状のシャープ性が良好なパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物を提供することにある。更に、本発明の目的は、色特性の優れたインキ、特に青色インキを提供することにあり、また前記着色感光性樹脂組成物（インキ）を塗布、硬化して得られる塗膜並びにこの塗膜を有するカラーフィルターを提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、下記（Ａ）〜（Ｅ）成分、
（Ａ）カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体と他のエチレン性不飽和単量体との共重合体であって、重量平均分子量が70000〜130000、カルボキシル基含有量が酸価で70〜150（KOHmg/ｇ）を示すカルボキシル基含有共重合体、
（Ｂ）常圧において100℃以上の沸点を有し、1分子中に少なくとも2つのエチレン性不飽和基を有する分子量6000以下の付加重合性化合物、
（Ｃ）  下記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂、
【化２】
0004004826.tif 000002
（式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基であり、ｎは3〜10の整数である）
（Ｄ）光重合開始剤、及び
（Ｅ）分散顔料
を必須成分として含み、上記（Ａ）成分100重量部に対して、（Ｂ）成分が30〜300重量部、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計100重量部に対して、（Ｃ）成分が10〜40重量部配合されていることを特徴とする着色感光性樹脂組成物である。
ここで、前記（Ｂ）成分が下記一般式（２）
GO−(Ar−OCH2−CH(OH)−CH2O)n−Ar−OG          （２）
（但し、Gはグリシシジル基を示し、Arは２価の芳香族基を示し、ｎは0〜10の整数である）で表されるエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物を、更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物（B1）を含み、（Ｂ）成分中の（B1）の含有率が10〜60重量％であること、又は、（Ｅ）成分の分散顔料がフタロシアニンブルー顔料分散体であることは好ましい例である。
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を塗布、硬化して得られる塗膜である。更に、本発明は前記塗膜を有するカラーフィルターである。
【０００９】
また、前記（B1）が、下記一般式（３）
【化３】
0004004826.tif 000003
（但し、Ｒ1 及びＲ2 は水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原子のいずれかであり、Xは‐CO‐、‐SO2‐、‐C(CF3)2‐、‐Si(CH3)2‐、‐CH2‐、‐C(CH3)2‐、‐O‐、下記式で表される9,9-フルオレニル基
【化４】
0004004826.tif 000004
若しくは不存在を示し、ｎは０〜１０の整数である）で表されるエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物を更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物(B2)であることが好ましい。更に、（Ｄ）成分の光重合開始剤が4,4'-ジエチルアミノベンゾフェノンとＮ−フェニルグリシンを必須として含有するものであることがよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分のカルボキシル基含有共重合体、（Ｂ）成分の付加重合性化合物、（Ｃ）成分のエポキシ樹脂、（Ｄ）成分の光重合開始剤及び（Ｅ）成分の分散顔料を必須として含む。ここで、（Ａ）〜（Ｃ）は樹脂又は硬化して樹脂となるモノマー又はオリゴマーであるので、樹脂成分という。この樹脂成分は、硬化後にマトリックス樹脂となる。そして、上記（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）成分が、樹脂成分の主成分、好ましくは６０wt％以上、より好ましくは８０wt％以上であることがよい。
【００１１】
（Ａ）成分は、カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体と、該単量体と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体との共重合体であり、重量平均分子量が70000〜130000、カルボキシル基含有量が酸価で70〜150（KOHmg/ｇ）を示すカルボキシル基含有共重合体である。（Ａ）成分は、主に溶剤乾燥後の造膜性とアルカリ現像時の可溶性を担い、硬化処理後の耐熱性、透明性などの諸物性を左右する。
【００１２】
（Ａ）成分のカルボキシル基含有共重合体の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマト（GPC）法で求めたポリスチレン換算重量平均分子量（Mw）である。この分子量が70000以下であると塗工、乾燥後においてタックが生じたり、塗膜にひび割れが生じたりする。また、アルカリ現像液に対する溶解速度が早くなり過ぎるため、マスクサイズに対して得られたパターンの線幅が細くなり、目標とする線幅パターンが得られなかったり、パターン欠落が生じることがある。分子量の上限は、アルカリ現像液に対する溶解遅延のため、マスクサイズに対して得られたパターンが太くなり、目標とする線幅パターンが得られなかったり、コーティング剤の粘性の観点から130000以下とする。
【００１３】
（Ａ）成分のカルボキシル基含有共重合体の酸価は、樹脂１ｇ中のカルボキシル基を中和するに必要なＫＯＨのミリグラム数であり、画像パターン形成時の現像処理時間やパターン形状、硬化膜の密着性の観点から70〜150（KOHmg/ｇ）、好ましくは80〜130（KOHmg/ｇ）である。70を下回るとアルカリ現像液によるパターン形成ができなくなり、また、架橋剤を用いる場合は、架橋剤とするエポキシ樹脂との架橋が不十分になり、耐熱性の低下、有機溶剤中での密着性不良などが生じる。そして、酸価が150を越えると、アルカリ現像時の表面荒れ、細線パターンの現像密着不良並びに硬化膜の耐湿性が問題となる。
【００１４】
このカルボキシル基含有共重合体は、カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体(a)及び該単量体と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体(b)と共重合することにより得られる。ここで、上記他のエチレン性不飽和単量体(b)は、カルボキシル基（-COOH)又は酸無水物基を有さない。また、前記不飽和単量体(a)と他のエチレン性不飽和単量体(b)の共重合体のモル比は上記酸価を示すように調整される。
【００１５】
上記カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体(a)としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、エタクリル酸、けい皮酸などの不飽和モノカルボン酸類：マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸などの不飽和ジカルボン酸(無水物)類：3価以上の不飽和多価カルボン酸(無水物)類などを挙げることができる。これらカルボキシル基含有のエチレン性不飽和単量体は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。
【００１６】
また、上記単量体と共重合可能な他のエチレン性不飽和単量体単量体(b)としては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、クロルスチレン、メトキシスチレンなどの芳香族ビニル化合物；メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、プロピルアクリレート、プロピルメタクリレート、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、テトラデシルメタクリレート、セチルメタクリレート、ステアリルメタクリレート、オクタデシルメタクリレート、ドコシルメタクリレート、エイコシルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類；アミノエチルアクリレート、アミノエチルメタクリレート、アミノプロピルアクリレート、アミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類；ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、メタリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物；アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルメタクリルアミド、マレイミドなどの不飽和アミド或いは不飽和イミド類；1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類；ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルアクリレート、ポリブチルメタクリレート、ポリシリコーンなどの重合体分子鎖末端又は側鎖にモノアクリロイル基或いはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらの他の不飽和単量体は、単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
【００１７】
上記カルボキシル基含有の共重合体としては、（メタ）アクリル酸と、メチル（メタ）アクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、スチレン、ポリスチレンマクロ単量体及びポリメチルメタクリレートマクロ単量体の群から選ばれる少なくとも1種の他の不飽和単量体との共重合体が好ましい。なお、本明細書において（メタ）アクリル酸は、アクリル酸又はメタクリル酸又は両者を意味する。
【００１８】
好ましいカルボキシル基含有の共重合体の具体例としては、アクリル酸／ベンジルアクリレート共重合体、アクリル酸／ベンジルアクリレート／スチレン共重合体、アクリル酸／メチルアクリレート／スチレン共重合体、アクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、アクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリル酸／メチルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、アクリル酸／メチルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、アクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、アクリル酸／メチルメタクリレート／スチレン共重合体、アクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、アクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリル酸／メチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、アクリル酸／メチルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、アクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、アクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルアクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルアクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／メチルアクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルアクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体などを挙げることができる。これらのカルボキシル基含有共重合体のうち、特にメタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メ��クリル酸／メチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／メチルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／2−ヒドロキシエチルメタクリレート／ベンジルメタクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体が挙げられる。
【００１９】
（Ｂ）成分の付加重合性化合物は、常圧において１００℃以上の沸点を有し、且つ、１分子中に少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物であり、モノマーであっても、分子量が6000以下、好ましくは3000以下のオリゴマーであってもよい。また、アルカリ現像性を向上させるため、カルボキシル基を有することも有利である。（Ｂ）成分は、樹脂組成物に対して光硬化性を与えるため、光重合性を有する。
【００２０】
このような化合物としては、多価アルコールとα，β−不飽和カルボン酸とを結合して得られるものがある。例えばジエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、 1,3-プロパンジオール（メタ）アクリレート、 1,3-ブタンジオール（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、2,2-ビス（４−アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパンの混合物〔新中村化学（株）製商品名:BEP-500〕等がある。
【００２１】
また、グリシル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られるものがある。例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フルオレン環を有するジグリシジルエーテルのアクリル酸付加体〔新日鐵化学（株）製商品名:ASF400 〕等がある。
更に、メチレンビスアクリロアミド、1,6-ヘキサメチレンビスアクリルアミド等の不飽和アミド類や、ジビニルサクシネート、ジビニルアジベート、ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン−1,3-ジスルホネート等のビニルエステル類がある。
【００２２】
また、上記一般式（２）で表されるエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸との反応物を、更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物（B1）が（Ｂ）成分として好ましく挙げられる。一般式（２）で、Arは２価の芳香族基を示すが、芳香族環を２つ有し、各芳香族環が一般式（２）のＯと直接結合している基であることが好ましい。より好ましいArは、一般式（３）中に含まれる構造の２つのベンゼン環と１つのＸからなる２価の芳香族基である。一般式（３）において、Ｒ1 及びＲ2 は独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基、ハロゲン原子のいずれかであり、Ｘは−CO−、−SO2−、−C(CF3)2 −、−Si(CH3)2 −、−CH2 −、−C(CH3)2−、−O−、9,9-フルオレニル基若しくは不存在を示す。
また、ｎは０〜１０の整数を示すが、好ましい平均の繰返し数は１〜２の範囲である。
上記エポキシ化合物のエポキシ基と（メタ）アクリル酸と反応させて（メタ）アクリレートとする反応、この反応で得られた（メタ）アクリレートと多塩基酸カルボン酸又はその無水物とを反応させて酸付加体又はそのオリゴマー、すなわち不飽和基含有化合物（B1）とする反応は公知であり、公知の方法を採用することもできるし、市販品を使用することもできる。かかる不飽和基含有化合物（B1）やその製法については、以下に記載する他、特開平7-3122号公報等が参照される。この不飽和基含有化合物（B1）を、（Ｂ）成分として用いることが有利であり、これは、光重合性樹脂組成物に優れた解像度、硬化性、パターニング特性を与えるという点で好ましい。
【００２３】
この不飽和基含有化合物（B1）は、エチレン性不飽和二重結合とカルボキシル基とを併せ持つ化合物であり、具体的には次のようなものが挙げられる。先ずエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸とを反応させ、得られたヒドロキシ基を有する化合物に多塩基酸カルボン酸又はその無水物を反応させて得られるエポキシ（メタ）アクリレート酸付加物である。
【００２４】
この反応に用いられるエポキシ化合物の具体例としては、種々の芳香族エポキシ化合物が挙げられ、例えば、そのビスフェノール成分として、ビス（４−ヒドロキシフェニル）ケトン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）ケトン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）ケトン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）スルホン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）スルホン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）ジメチルシラン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）ジメチルシラン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）ジメチルシラン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）メタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）メタン、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジブロモフェニル）メタン、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−ヒドロキシ−３−クロロフェニル）プロパン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）エーテル、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）エーテル、ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）エーテル等を含む化合物や、フルオレン環を有する９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−メチルフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−クロロフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−ブロモフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−フルオロフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−メトキシフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジクロロフェニル）フルオレン、９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３，５−ジブロモフェニル）フルオレン等を含む化合物や、更には４，４'−ビフェノール、３，３'−ビフェノール等を含む化合物が挙げられる。また、フェノールノボラック型エポキシ化合物や、クレゾールノボラック型エポキシ化合物等も使用することができる。これらには、グリシジルエーテル化の際に、オリゴマー単位が混入することになるが、本樹脂組成物の性能には問題はない。
【００２５】
また、このようなエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸とを反応させて得られたエポキシ（メタ）アクリレート分子中のヒドロキシ基と反応し得る多塩基酸カルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸等やその酸無水物、更には、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸等の芳香族多価カルボン酸やその酸二無水物等が挙げられる。具体的には、新日鐵化学株式会社製商品名：V259ME及びＶ301がある。
これらエチレン性不飽和二重結合とカルボキシル基とを有する光重合性の不飽和基含有化合物（B1）成分については、その１種のみを単独で使用できるほか、２種以上の混合物を使用することもできる。そして、この際に使用される酸無水物、酸二無水物の使用割合については、露光、アルカリ現像操作によって微細なパターンを形成するのに適した任意の割合を選択することができる。
【００２６】
エポキシ（メタ）アクリレートと多塩基酸又はその酸無水物を反応させて（B1）成分である不飽和基含有化合物の一般式の一例を下記一般式（４）に示す。
【化５】
0004004826.tif 000005
（但し、Ａｒは2価の芳香族基であり、Ｏは芳香族環に直接結合している。Ｚは１種又は2種以上の多価カルボン酸の残基を示し、ｍは0〜3であり、ｎは1〜20である）
【００２７】
また、これを製造する方法については、特に限定されるものではなく、一般式（４）においてAｒがフルオレン環である不飽和基含有化合物を例にして示せば、下記反応式のようにして製造することができる。すなわち、先ず、９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンとエピクロロヒドリンとを反応させてビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物を合成し、このビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物と（メタ）アクリル酸とを反応させてビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂を合成し、次いでエチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系溶媒中でビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂と上記多塩基酸又はその酸無水物とを加熱下に反応させ、目的の不飽和基含有化合物を製造する。
【化６】
0004004826.tif 000006
【００２８】
なお、この際の反応については、酸無水物がエポキシアクリレート樹脂のＯＨ基１モル当たり１／２モルとなるように定量的に反応させることが望ましく、そのために反応温度としては９０〜１３０℃、好ましくは９５〜１２５℃である。この反応については、一般式（２）の単位構造を有するエポキシ化合物から誘導される化合物全体について同様である。
【００２９】
（Ｂ）成分の使用量は、（Ａ）成分100重量部に対して、30〜300重量部であるが、（B1）成分を含有しない場合に限っては、30〜100重量部であることが好ましい。（B1）成分を配合する場合、（B1）成分が樹脂成分（Ｂ）の中に占める割合は、0〜60重量％の範囲であり、好ましくは20〜50重量％である。（B1）成分の配合割合が60重量％より多いと、感度不足によるパターンの欠落、あるいは、アルカリ現像液に対する溶解性が低下するため、マスクサイズに対してパターンが太くなり、目標とする線幅パターンが得られなかったりして、フォトレジストとしての十分な物性が得られないという問題が生ずる。
なお、（Ｂ）成分中の（B1）成分は酸無水物付加体なのでカルボキシル基必須の化合物である。（B1）以外の成分は、カルボキシル基を有しないか、酸価７０〜１２０の範囲である化合物であることがよい。
【００３０】
（Ｃ）成分のエポキシ樹脂は、フェノールノボラック樹脂、あるいはクレゾールノボラック樹脂から誘導される上記一般式（１）で表されるエポキシ樹脂である。ｎは3〜10の整数であるが、平均のｎの数は４〜１０の範囲が好ましい。
このエポキシ樹脂は、固体のエポキシ樹脂でありこれらを樹脂中に添加することで、タックが生じにくくなる。また、熱焼成後の架橋密度が上がり、塗膜強度が上昇し、耐薬品性、耐熱性にすぐれたカラーフィルターが得られる。
【００３１】
（Ｃ）成分の使用量は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分とを合わせた100重量部に対して、10〜40重量部、好ましくは、15〜25重量部である。10重量部に満たないとタックレス化の効果がなくなり、また、エポキシ樹脂との架橋が不十分になり、耐熱性の低下、有機溶剤中での密着性不良などが生じる。そして、40重量部を越えると、感度不足によるパターンの欠落、あるいは、アルカリ現像液に対する溶解性が低下するため、マスクサイズに対してパターンが太くなり、目標とする線幅パターンが得られなかったりして、フォトレジストとしての十分な物性が得られないという問題が生ずる。
【００３２】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、上記（Ｂ）成分として光重合性の不飽和基含有化合物を含むものであるが、これを光硬化させるために（Ｄ）成分として光重合開始剤を含む。これらは、紫外線光照射によりラジカル種を発生し、付加重合性化合物（Ｂ）に付加してラジカル重合を開始させ、樹脂又は樹脂形成成分を硬化させるものである。
本発明において使用する光重合開始剤（Ｄ）はベンゾフェノン系化合物とグリシン系化合物とを併用することが好ましい。ベンゾフェノン系化合物としては、例えばベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、3,3',4,4'-テトラ（tert-ブチル-ペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、4,4'-ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4'-ジエチルアミノベンゾフェノン等がある。また、グリシン系化合物としては、例えば、N-フェニルグリシン、N-フェニルグリシンエチルエステル、N-フェニルグリシンメチルエステル、N-フェニルグリシンブチルエステル、N-フェニルグリシンエチルエステル等がある。これらのものの中から、4,4'-ジエチルアミノベンゾフェノンとN-フェニルグリシンを併用した光重合開始剤の組み合わせが好ましい。
【００３３】
本発明においては上記4,4'-ジエチルアミノベンゾフェノンとN-フェニルグリシンとを組み合わせると共に例えば、アセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ｐ−ジメチルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モンフォリノプロパノン-1、1,2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モノフォリノフェニル）-ブタノン-1、ビス（2,4,6-トリメチルベンゾイル）フェニル−ホスファイン-オキサイド等のα-アミノアルキルフェノン類、2,4-トリクロロメチル-（ピピロニル）-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-（4'-メチキシスチリル）-6-トリアジン、2,4-トリクロロメチル-（4'-メトキシスチリル）-6-トリアジン等のトリアジン類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２−イソプロピルチオキサンソン、等のイオウ化合物、アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド、3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等の有機過酸化物、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等を添加してもよい。中でも4,4'-ジエチルアミノベンゾフェノンとN-フェニルグリシンと3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンの3種類を必須として含む組み合わせが、感度、線幅パターン精度、現像性良好な感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００３４】
上記光重合開始剤（Ｄ）の使用量は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の合計100重量部を基準として5〜20重量部が適している。（Ｄ）成分の配合割合が5重量部未満の場合には、光重合の速度が遅くなって、感度が低下し、一方、20重量部を超える場合には、感度が強すぎて、パターン線幅がパターンマスクに対して太った状態になり、マウクに対して忠実な線幅が再現できない、又は、パターンエッジがぎざつきシャープにならないといった問題が生じるおそれがある。
【００３５】
分散顔料（Ｅ）は、赤・橙色系では縮合多環芳香族に属するアントラキノニルレッド、アンタントロンレッド、テトラクロルチオインジゴ、ペリレンレッド、ペリレンスローレッド、ペリレンマルーン、キナクリドンレッド、キナクリドンマゼンタ、ジケトピロロピロールレッド、不溶性アゾ系に属するパーマネントレッドR、ジアニオリンオレンジ、ブリリアントカーミンFB、パーマネントレッドF5RK、ピラゾロンオレンジ、ピラゾロンレッド、溶性アゾ系に属するパーマネントレッド2B、レーキレッドR、ボルドー10B、ボンマルーンメジウム、ボンマルーンライト等、黄色系ではモノアゾ系に属するファーストイエローG、ベンツイミダゾロンイエローHG、ジスアゾ系に属するパーマネントイエロー、スレン系に属するアントラピリミジンイエロー、フラバントロンイエロー、金属錯体系に属するアゾメチン系銅錯体イエロー、ニトロソ系ニッケル錯体イエロー、ニッケルアゾイエロー、キノフタロン系に属するキノフタロンイエロー等、緑色系では塩素化フタロシアニングリーン、塩臭素化フタロシアニングリーン等、青色系ではフタロシアニンブルー、銅フタロシアニンブルー、インダンスレンブルー等、紫色系ではジオキサジンバイオレット、キナクリドンバイオレット等の顔料を分散剤を用いて溶剤もしくは前記樹脂成分溶液中に分散もしくは共分散させたものの中から選ばれる1種以上の組み合わせが使用できるが、青色系分散顔料を使用すること、特にフタロシアニンブルー分散顔料を使用することが好ましい。
【００３６】
分散顔料の配合率は、用いる顔料の種類や要求されるカラーフィルターの色純度によっても異なるが、一般的には樹脂成分（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）の総量に対する比率、即ち、顔料重量／樹脂成分総重量比で0.3〜0.8の範囲とするのが好ましい。
【００３７】
本発明の着色感光性樹脂組成物においては、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分の他に溶剤を使用することが好ましい。溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキスルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチテングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル等の各種のグリコールエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、ペントキノン、N-メチルピロリドン、γ-ブチロラクトン等のケトン類、ブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類、メトキシブタノール、ジアセトンアルコール、ブタノール、イソプロパノール等のアルコール類、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸エチル等のエステル類等の溶剤が挙げられ、これらを用いて溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。
【００３８】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物には、発明の効果を阻害しない範囲において、必要に応じて界面活性剤、カップリング剤、充填剤、可塑剤、接着促進剤、ラジカル捕捉剤などの添加物を加えることができる。
【００３９】
次に、着色感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルターの製造法について説明する。まず、着色感光性樹脂組成物を、ガラス等の基板上にスピンコーター、バーコーター、スプレー等の塗工機もしくは印刷法等により所定厚みに塗布、乾燥して着色塗板を得る。この塗板にフォトマスクを介して、超高圧水銀灯、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂を光硬化させる。次に、露光済み塗板を炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸化物、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機塩基などのアルカリ水溶液の流れ又はシャワー中にさらしてアルカリ現像及び水洗浄を行って基板上にパターンを形成する。次に、パターン形成基板をベーキングしてパターン中の樹脂成分を加熱硬化させる。これを赤、緑、青の各着感光性樹脂組成物について3回繰り返すことでカラーフィルターが作製される。
【００４０】
【実施例】
以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明の実施形態を具体的に説明する。ここで、実施例、比較例のカラーフィルターの製造で用いた配合成分は以下の通りである。また、略号は次のとおり。
ＭＡ：メタクリル酸
ＭＭＡ：メチルメタクリレート
ＢＭＡ：ベンジルメタクリレート
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
【００４１】
A-1：Ｍｗ104000、酸価90のＭＡ／ＢＭＡ（0.24／0.76）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=39.8重量％）
A-2：Ｍｗ102000、酸価120のＭＡ／ＢＭＡ（0.31／0.69）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=35.3重量％）
A-3：Ｍｗ103000、酸価90のＭＡ／ＭＭＡ／ＢＭＡ（0.24／0.26／0.50）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=29.8重量％）
A-4：Ｍｗ75000、酸価90のＭＡ／ＭＭＡ／ＢＭＡ（0.20／0.48／0.32）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=30．0重量％）
A-5：Ｍｗ96000、酸価60のＭＡ／ＢＭＡ（0.17／0.83）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=39.5重量％）
A-6：Ｍｗ66000、酸価０のＭＭＡ／グリシジルメタクリレート（0.70／0.30）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=34.9重量％）
A-7：Ｍｗ31000、酸価104であるＭＡ／ＢＭＡ（0.28／0.72）共重合体のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=34.9重量％）
【００４２】
B-1：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物（日本化薬（株）製 商品名 DPHA）
B-2：フルオレン骨格を有するエポキシアクリレートの酸無水物重縮合物のＰＧＭＥＡ溶液（樹脂固形分濃度=56.1重量％、新日鐵化学（株）製 商品名V259ME）
【００４３】
C-1：テトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂（油化シェル（株）製  商品名  XY4000H）
C-2：一般式（１）でn＝約7〜8のｏ−クレゾールノボラックタイプの多官能エポキシ樹脂（日本化薬（株）製  商品名  EOCN-104S）
C-3：一般式（１）でn＝約5のフェノールノボラックタイプの多官能エポキシ樹脂（日本化薬（株）製  商品名  EPPN-201H）
【００４４】
D-1：2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モノフォリノプロパン-1-オンD-2：p,p-ジエチルアミノベンゾフェノン
D-3：2-（4-メトキシスチリル）-4,6-ビス（トリクロロメチル）-1,3,5-トリアジン
D-4：N-フェニルグリシン
D-5：3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノンの25重量％トルエンに溶液（日本油脂（株）製  商品名  BTTB-25）
【００４５】
E-1：ε型フタロシアニンブルー顔料（C.I.ピグメントナンバーPB-15：6）の濃度14.2重量％のＰＧＭＥＡ分散液
【００４６】
F-1：ＰＧＭＥＡ
F-2：ジエチレングリコールジメチルエーテル
G-1：シランカップリング剤
H-1：界面活性剤
【００４７】
また、実施例、比較例におけるカラーフィルターの評価項目と方法は以下の通りである。
（膜厚）
触針式膜厚計（東京精密（株）製 商品名サーフコム）を用いて測定した。
（タック）
スピンコーターを用いてガラス基板上に膜厚が1.25μmとなるように塗布した後、25℃の温度、湿度50％の雰囲気下、4分間経過した時、塗膜表面を指で一定圧で押さえつけ指紋痕が形成しないとき○、指紋痕が形成したときを×と判定した。
（線幅）
測長顕微鏡（（株）ニコン製 商品名XD-20）を用い、図1に示したカラーフィルター画素パターンの箇所の線幅を測定し、マスク幅100μmに対して線太り率が±6％未満のときを○、それ以上のときを×と判定した。
（密着性）
現像後の画素パターンを顕微鏡観察し、基板に対する剥離やパターンエッジ部分のギザツキが認められないものを○<良好>、認められるものを×<不良>と評価した。
（表面荒れ）
現像後の塗膜の表面粗度（Ｒａ）の値が、80Å以下を○<良好>、80Å以上を×<不良>と評価した。
【００４８】
実施例1〜８
上記配合成分を表1に記載の割合で配合した。表1において、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｄ）成分の（  ）内の数字は固形分重量部を示す。なお、(Ｅ)成分のE-1は586gに、溶剤その他の成分のＦ-1は50gに、Ｆ-2は250gに、Ｇ-1は1.0gに、及びＨ-1は0.7gに、全実施例において一定としたので表１への記載を省略した。
【００４９】
【表１】
0004004826.tif 000007
【００５０】
これを均一に混合して得た着色感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125ｍｍ×125ｍｍのガラス基板上に乾燥後の膜厚が1.25μmとなるように塗布し、25℃、湿度50％の雰囲気下、４分間放置し、タックテストを実施した。
続いてタックが生じない乾燥塗膜の上に、ライン/スペース=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを被せ、露光ギャップを175μmに調整した上で、I線照度25mW/cm2（ウシオ電機（株）製照度計、商品名：UIT-101/受光器UVD-365PDで測定した値の超高圧水銀ランプ（大日本スクリーン（株）製商品名：MA-1400）を用いて200mj/cm2の紫外線を照射し感光部分の光硬化反応を行った。
次に、この露光済み塗板を0.4％炭酸ナトリウム水溶液中、25℃にて50秒又は80秒のデイップ現像及び2kgf/cm2圧のスプレー水洗（基板とスプレー噴射部を10cm離した状態）を行い、ガラス基板上に青色の画素パターンを形成、パターン線幅及び塗膜表面荒れ、ガラス基板との密着性を評価した。
結果を表２及び表３に示す。各表において、各実施例の左欄は現像時間50秒の例であり、右欄は80秒の例の結果である。表２〜３に示した通りいずれも良好であった。
【００５１】
【表２】
0004004826.tif 000008
【００５２】
【表３】
0004004826.tif 000009
【００５３】
比較例1〜６
配合組成を表４に示すようにした他は、実施例1と同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。結果を表４に示す。なお、露光、現像条件や、表の説明は実施例に係る表の説明と同じである。また、(Ｅ)成分のE-1は586gに、溶剤その他の成分のＦ-1は50gに、Ｆ-2は250gに、Ｇ-1は1.0gに、及びＨ-1は0.7gに、全比較例において一定としたので表４への記載を省略した。
【００５４】
比較例1では、（Ｃ）成分を除去した以外は、実施例1と同様の条件でカラーフィルターを製造して評価を行った。タック判定は×、さらにパターンのボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良となった。
比較例2では、（Ｃ）成分の配合率（（Ａ）、（Ｂ）成分の合計固形分100重量部に対して）を45重量部にしたものであるが、ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良となった。さらに、表面粗度、密着性判定も×であった。
比較例3では、（Ｃ）成分の種類を（C-1）にしたものであるが、タック判定は×であった。
【００５５】
比較例4では、（Ａ）成分の種類を（A-6）にしたものであるが、80秒間現像しても全く現像することができず、パターン像を形成することができなかった。
比較例5では、（Ａ）成分の種類を（A-7）にしたものであるが、タック判定は×であった。さらに80秒間現像後の画素パターンはパターンエッジ部分のギザツキが×であった。
比較例6では、（Ａ）成分の種類を（A-5）にしたものであるが、ボトム線幅に6％以上の線太りが認められたため、線幅判定は×の不良となった。さらに50秒および80秒間現像後の画素パターンはパターンエッジ部分のギザツキが×であった。
【００５６】
【表４】
0004004826.tif 000010
【００５７】
【発明の効果】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、塗膜のタックフリー性を備えた上で、現像性の悪化、剥離現象などが生じず、解像度やパターン密着性、現像マージン、表面及び内部硬化性、及びパターン寸法精度に優れ、パターンのエッジ形状のシャープ性が良好なパターンを形成することが出来る。このため、本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルター用インキ、並びにこれらを用いた液晶カラーディスプレー、液晶プロジェクション、半導体素子、カラーイメージセンサー等に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  トップ線幅とボトム線幅の測定方法を示す図
【符合の説明】
１  トップ線幅
２  ボトム線幅
【図１】
0004004826.tif 000012