(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上側ヨーク上に配設された板状永久磁石と、下側ヨーク上に配設された板状永久磁石とが、磁気空隙を介して対向しているアクチュエータ用磁気回路であって、
前記板状永久磁石は極異方性が付与された一体ものであり、前記板状永久磁石における前記磁気空隙に面した平面部に複数の磁極が形成されているとともに、前記磁極の上方の磁気空隙において前記板状永久磁石からの磁力線が収束していることを特徴とするアクチュエータ用磁気回路。
【請求項２】
前記板状永久磁石が、Ｒ２Ｔ１４Ｂ型金属間化合物（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも１種であり、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏである）を主相とするＲ−Ｔ−Ｂ系希土類焼結磁石からなることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ用磁気回路。
【請求項３】
前記磁気空隙の磁束密度分布のピーク値を９３２０Ｇ以上に高めたことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ用磁気回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は改良されたアクチュエータ用磁気回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は従来のボイスコイルモータ（揺動型アクチュエータ）の例を示す要部説明図であり、（ａ）は一部破砕した平面、（ｂ）は（ａ）におけるＡ方向矢視図を示す。
図１０において、１はヨークであり、例えば軟鉄のような強磁性材料を平板状に加工し、端部に設けた支柱２を介して対向して設ける。３は永久磁石であり、略台形の平板状に形成するとともに厚さ方向に着磁し、表面にＮ、Ｓ磁極が現出したものを下側のヨーク１の表面に固着することにより磁気空隙４を形成している。５はアームであり、一端に偏平型の可動コイル６を、他端に磁気ヘッドのような機能部材（図示せず）を各々配設してある。そして、可動コイル６が磁気空隙４内に位置するように、支点である軸７を介して回動もしくは揺動自在になるように構成されている。この従来のボイスコイルモータ（以後、ＶＣＭと略す）の可動コイル６に電流を通電すると、フレミングの左手の法則に従って、可動コイル６に軸７まわりの駆動力が作用し、アーム５を回動もしくは揺動させて、アーム５の他端に設けた例えば磁気ヘッドを、磁気ディスク上の所定の記録トラックに位置決めすることができる。なお揺動方向の切り替えは可動コイル６への通電電流の向きを適宜反転させることによって行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
例えば、磁気ヘッドが円弧軌跡を描くように駆動する回転式（スイング式）アクチュエータでは、磁気ディスク面をヘッドがシークするシーク時間（アクセス時間）を短縮するための磁気回路上の有効な手段は装着されているＶＣＭのトルク（推力）を向上することである。ここで、トルクとは、 ＶＣＭ（アクチュエータ）のアームを支点（軸）を介して水平方向に揺動させるのに要するトルクである。
特公昭６１−４６９０１号公報には、磁界発生用永久磁石に沿って円弧軌跡を描く可動コイルを備えた磁気記録装置用アクチュエータにおいて、上記円弧軌跡の直角方向についての上記永久磁石の長さを上記可動コイルの移動範囲の中央部から外端部に向かって長くなるように形成したことにより、上記可動コイルに均一な力を作用できるようにした旨の記載がある。特公昭６１−４６９０１号公報の構成によれば可動コイルに作用する力の均一化（リニアリティの向上）を実現することができる。しかし、トルク（推力）を向上することは困難である。トルクを向上するために極力高性能の永久磁石材質を選択してＶＣＭの磁気回路を構成すればトルクを高めることができる。しかし、永久磁石材料の高性能化には相応の時間を要するという問題があり、トルクを顕著に向上できるようにアクチュエータ（ＶＣＭ）の磁気回路を改良することが懸案になっていた。
【０００４】
本発明の課題は、トルクを顕著に向上したアクチュエータ（ＶＣＭ）に好適な、改良されたアクチュエータ用磁気回路を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決した本発明のアクチュエータ用磁気回路は、上側ヨーク上に配設された板状永久磁石と、下側ヨーク上に配設された板状永久磁石とが、磁気空隙を介して対向しており、前記板状永久磁石は極異方性が付与された一体ものであり、前記板状永久磁石における前記磁気空隙に面した平面部に複数の磁極が形成されているとともに、前記磁極の上方の磁気空隙において前記板状永久磁石からの磁力線が収束していることを特徴とする。
【０００６】
前記板状永久磁石が、Ｒ２Ｔ１４Ｂ型金属間化合物（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも１種であり、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏである）を主相とするＲ−Ｔ−Ｂ系焼結磁石からなることが好ましい。この場合は前記磁気空隙の磁束密度分布のピーク値を９３２０Ｇ以上に高めることができる。
本発明の磁気回路の採用により、従来に比べてトルクを顕著に向上することができ、シーク時間の短縮を実現できる。
【０００７】
Ｒ２Ｔ１４Ｂ型金属間化合物を主相とするＲ−Ｔ−Ｂ系希土類焼結磁石を用いる場合は、主成分のＲとＢとＴとの総計を１００重量％として、Ｒ：２７〜３４％、Ｂ：０．５〜２％、残部Ｔとすることが好ましい。さらに、前記Ｒ−Ｔ−Ｂ系希土類焼結磁石の総重量を１００重量％として、不可避不純物成分として０．６％以下の酸素、０．２％以下の炭素、０．０８％以下の窒素、０．０２％以下の水素、０．２％以下のＣａの含有が許容される。
Ｒとして（Ｎｄ、Ｄｙ）またはＤｙまたは（Ｄｙ、Ｐｒ）または（Ｎｄ、Ｄｙ、Ｐｒ）が実用上選択される。Ｒ量は２７〜３４％が好ましい。 Ｒが２７％未満では保磁力ｉＨｃが大きく低下し、３４％を超えると残留磁束密度Ｂｒが大きく低下する。
Ｂ量は０．５〜２％が好ましく、０．８〜１．５％がより好ましい。Ｂ量が０．５％未満では十分なｉＨｃが得られず、２％超ではＢｒが大きく低下する。
磁気特性を改善するために、Ｎｂ，Ａｌ，Ｃｏ，Ｇａ，Ｃｕの少なくとも１種を適量含有することが好ましい。Ｎｂの含有量は０．１〜２％とされる。Ｎｂの添加により焼結過程でＮｂのほう化物が生成し、結晶粒の異常粒成長を抑制する。Ｎｂ含有量が０．１％未満では添加効果が認められず、２％超ではＮｂのほう化物の生成量が多くなりＢｒが大きく低下する。Ａｌの含有量は０．０２〜２％とされる。Ａｌ含有量が０．０２％未満では添加効果が認められず、２％超ではＢｒが急激に低下する。Ｃｏ含有量は０．３〜５％とされる。Ｃｏ含有量が０．３％未満ではキュリー点、Ｎｉめっきとの密着性の向上効果が顕著でなく、５％超ではＢｒ、ｉＨｃが低下する。Ｇａ含有量は０．０１〜０．５％とされる。Ｇａ含有量が０．０１％未満ではｉＨｃの向上効果がほぼ認められず、０．５％超ではＢｒの低下が顕著になる。Ｃｕ含有量は０．０１〜１％とされる。Ｃｕの微量添加はｉＨｃの向上をもたらすが、Ｃｕ含有量が１％を超えると添加効果は飽和し、０．０１％未満では添加効果が認められない。
【０００８】
Ｒ−Ｔ−Ｂ系希土類ボンド磁石を用いる場合は、Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石粉末（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも１種であり、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏである）は磁気異方性を有し、 Ｒ２Ｔ１４Ｂ型金属間化合物を主相とし、平均結晶粒径が０．０１〜０．５μｍであり、粉末の平均粒径が１〜１０００μｍであるＲ−Ｔ−Ｂ系合金粉末またはＲ−Ｔ−Ｂ−Ｇａ系合金粉末が好適である。Ｒは不可避のＲ成分を除いてＮｄまたはＮｄとＰｒまたはＮｄとＤｙまたはＮｄとＰｒとＤｙとからなる場合が実用性に富んでいる。主成分は、Ｒ：１１〜１８ａｔ％、Ｂ：４〜１１ａｔ％、必要に応じて３０ａｔ％以下のＣｏおよび／または５ａｔ％以下のＧａ、残部Ｆｅからなるものが好ましい。さらに、磁気特性を改善するために、Ｎｂ，Ｗ，Ｖ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｐ，Ｃ，Ｚｎの少なくとも１種を合計で０．００１〜３ａｔ％含有することがより好ましい。異方性を付与する手段としては温間の塑性加工による方法（特許第２５３０６４１号公報、特許第２７３１１５０号公報を参照）あるいは水素化・分解・再結合・再結晶により異方性を付与する方法（特公平６−８２７２５号公報、特公平７−６８５６１号公報等を参照）を用いることができる。
【０００９】
Ｒ−Ｔ−Ｎ系磁石粉末を用いる場合は、ａｔ％で示される主成分が、ＲαＴ１００−α−βＮβ、（ＲはＹを含む希土類元素の１種または２種以上でありＳｍを必ず含み、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏである）、α、βはそれぞれ５≦α≦２０、５≦β≦３０である。前記磁石粉末としてＴｈ２Ｚｎ１７型および／またはＴｈ２Ｎｉ１７型の硬質磁性相を磁気特性発現相とするものがよい。
Ｒ含有量は５〜２０ａｔ％が好ましい。５ａｔ％未満ではｉＨｃが大きく低下し、２０％超ではＢｒが劣化する。ＲにはＳｍを除いてＹを含む希土類元素の少なくとも１種を不可避に含有することが許容されるが、５ｋＯｅ以上の保磁力ｉＨｃを確保するために、ＲがＳｍとＬａからなるのが好ましく、Ｒに占めるＳｍ比率を５０ａｔ％以上、さらに好ましくは９０ａｔ％以上、特に好ましくは９８ａｔ％以上にするのがよい。
窒素は５〜３０ａｔ％が好ましい。５ａｔ％未満では実用に耐えるｉＨｃ、最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘが得られず、３０ａｔ％超でもｉＨｃ、（ＢＨ）ｍａｘが劣化する。
ＳｍまたはＦｅの一部をＣｏ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｈｆ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒの少なくとも1種で置換できるが、
これらの総添加量はＣｏを除いてＳｍとＦｅの合計量に対して約１０ａｔ％以下である。
これより多くなると飽和磁化が顕著に小さくなる。Ｃｏ置換の場合は飽和磁化の低下は小さく、Ｆｅ量に対し０．１〜７０ａｔ％の置換が可能で、キュリー温度を高めることができる。
また、Ｎの一部をＣ、Ｐ、Ｓｉ、Ｓ、Ａｌ等に置換することも可能である。その添加量はＮ含有量に対し約１０ａｔ％（原子％）以下であり、これより多い添加量では保磁力が低下するため好ましくない。
【００１０】
前記Ｒ−Ｔ−Ｂ系磁石粉末および／または前記Ｒ−Ｔ−Ｎ系磁石粉末を用いて上記板状永久磁石（ボンド磁石）を作製する場合、異方性付与手段として異方性射出成形法または異方性圧縮成形法を用いることができる。このボンド磁石は前記磁石粉末と結着樹脂とを主体にして構成され（例えば磁石粉末：結着樹脂＝５０〜７０体積％：５０〜３０体積％）、その他表面改質剤（シランカップリング剤等）、潤滑剤（金属石鹸等）、酸化防止剤等をボンド磁石の総重量に対して２重量％以下添加してもよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下実施例により本発明を具体的に説明するが、それらの実施例により本発明が限定されるものではない。
（実施例１）
主成分のＮｄ，Ｄｙ，Ｂ，Ｆｅの総計を１００重量％として、主成分組成が重量比率で３０．５％Ｎｄ−１．５％Ｄｙ−１．１％Ｂ−残Ｆｅである合金を粗粉砕後、不活性ガス中でジェットミル微粉砕して平均粒径が４．５μｍの原料粉を作製した。次に、図９（ａ）に示す成形装置の略台形の平板型キャビティ１４に前記原料粉を充填後、図９（ｂ）に示す上パンチ側に設けた偏平楕円型コイル１５ａ，１５ｂに通電してキャビティ１４に平面２極異方性を付与する配向磁場を印加しつつ上パンチ１２、下パンチ１１により１ｔｏｎ／ｃｍ２で圧縮成形した。得られた成形体を約５×１０−４Ｔｏｒｒの真空中で１１００℃で２時間加熱して焼結後、室温まで冷却した。次に、所定寸法に機械加工後、Ａｒ雰囲気中において９００℃で２時間加熱後さらに６００℃で２時間加熱する熱処理を行い、室温まで冷却した。こうしてＲ２Ｔ１４Ｂ型金属間化合物を主相とする平面多極異方性焼結磁石体を得た。次に、Ｎｉめっきを施して本発明に用いる平面２極異方性を有するＶＣＭ用の永久磁石が得られた。
次に、磁気特性が飽和する条件で前記磁石を着磁し、磁力線の発生状況および磁気特性を調べた。その結果、図１（ａ）、（ｂ）の模式図とほぼ同傾向の磁力線の発生が確認されて、平面２極異方性を有することが確認された。また、この磁石の厚み方向の室温の磁気特性を測定した結果、Ｂｒ＝１２.０ｋＧ、ｉＨｃ＝１７.０ｋＯｅ、（ＢＨ）ｍａｘ＝３４.２ＭＧＯｅだった。
次に、前記ＶＣＭ用磁石を用いてＶＣＭを構成した一例を以下に説明する。図３は本発明のアクチュエータの一態様を示す側面図であり、２２は前記ＶＣＭ用磁石（厚み：ｔｍ＝４．１５ｍｍ）、２３は強磁性の上側ヨーク（厚み：ｔｙ＝２．１５ｍｍ）、２５は強磁性の下側ヨーク（厚み：ｔｙ＝２．１５ｍｍ）、２４は強磁性の支柱であり、いずれもＳＰＣＣ製である。４０は磁気空隙（厚みｔｇ＝２．９ｍｍ）であり、磁気空隙４０内の所定位置を可動コイル（図示省略）が揺動するように構成されている。
図３のＡ−Ａ線矢視断面図を図４（ａ）に示す。図４（ａ）において、２６は可動コイル、２７はアーム、３０はアーム２７の支点である軸、２８は接続部材、２９は力センサーである。可動コイル２６の揺動角度：θは、ＶＣＭ磁石２２の磁極境界線２０を平行に延長してその延長線３２上に軸３０の中心を配置したとき、軸３０の中心と可動コイル２６の中心とを結ぶ線３１と延長線３２とのなす角度で定義した。
トルクは、力センサー２９により可動コイル２６に作用する水平方向の推力を測定し、軸３０の中心から接続部材２８の中心までの距離（ｌ）を乗じて算出した。トルクの測定結果を図８に示す。
磁気空隙４０の磁束密度分布の測定は、ＶＣＭ用磁石２２の外円弧２２ａと内円弧２２ｂとの中間の円弧軌跡３５上を測定した。すなわち、図４（ｂ）に示すように、円弧軌跡３５と磁極境界２０とが交差する位置を基準位置Ｑ（γ＝０°）とし、円弧軌跡３５の中心角γを変化させたときの磁気空隙４０の磁束密度分布との関係を測定した。測定結果を図７に示す。
【００１２】
（比較例１）
略平行な配向磁場を印加する方式の成形装置（キャビティ形状は実施例１と略同様）のキャビティに実施例１で作製した原料粉を充填し、略平行な配向磁場（配向磁場強度は実施例１と略同様）を印加しつつ１ton/cm２で圧縮成形した。以降は実施例１と同様にして比較例のＶＣＭ用永久磁石を作製した。この比較例のＶＣＭ用磁石に磁気特性が飽和する条件で平面２極着磁を施し、磁力線の発生状況を観察したところ、ほぼ図２（ａ）、（ｂ）の模式図に示すようになっていた。また、この磁石の厚み方向の室温の磁気特性はＢｒ＝１３.１ｋＧ、ｉＨｃ＝ １６．２ｋＯｅ、（ＢＨ）max＝ ４０.９ ＭＧＯｅ  だった。以降は、この比較例のＶＣＭ用磁石を用いた以外は実施例１と同様にして図３に示す構成のＶＣＭを作製し、空隙磁束密度分布およびトルクを測定した。結果を図７、８にそれぞれ示す。
【００１３】
（実施例２）
Ｔｍ＝３．１５ｍｍ、Ｔｙ＝３．１５ｍｍとした以外は実施例１と同様にしてＶＣＭ用磁石を作製した。この磁石は実施例１と同様に平面２極異方性を有しており、この磁石の厚み方向の室温の磁気特性はＢｒ＝１２．０ｋＧ、ｉＨｃ＝１７．０ｋＯｅ、（ＢＨ）max＝３４.２ＭＧＯｅ  だった。この磁石を用いた以外は実施例１と同様にしてＶＣＭを作製し、評価した結果を図７、８にそれぞれ示す。
（比較例２）
Ｔｍ＝３．１５ｍｍ、Ｔｙ＝３．１５ｍｍとした以外は比較例１と同様にしてＶＣＭ用磁石を作製した。この磁石は比較例１と同様に略平行に配向しており、この磁石の厚み方向の室温の磁気特性はＢｒ＝ １３．１ｋＧ、ｉＨｃ＝１６.２ｋＯｅ、（ＢＨ）max＝４１.０ＭＧＯｅ  だった。この磁石を用いた以外は比較例１と同様にしてＶＣＭを作製し、評価した結果を図７、８にそれぞれ示す。
【００１４】
図７において、実施例１と比較例１、実施例２と比較例２との比較から、平面２極異方性の付与により、比較例１（ピーク値：7,900Ｇ）に比べて実施例１（ピーク値：10,190Ｇ）が、比較例２（ピーク値：7,700Ｇ）に比べて実施例２（ピーク値：9,320Ｇ）が顕著に向上していることがわかる。また、前記の通り、Ｔｍ＝4.15ｍｍ、Ｔｙ＝2.15ｍｍである実施例１のＶＣＭ用磁石に比べてＴｍ＝3.15ｍｍ、Ｔｙ＝3.15ｍｍである実施例１のＶＣＭ用磁石ではピーク値がやや低下していた。
次に、図８より、θ＝−１０°〜＋１０°の範囲において、比較例１（ピーク値：０．０００５９７２（Ｎｍ/Ａ回数））、比較例２（ピーク値：０．０００５８２１（Ｎｍ/Ａ回数））に比べて実施例１のトルク（ピーク値：０．０００６５５１７（Ｎｍ/Ａ回数））が顕著に向上していることがわかる。また、θ＝−５°〜＋５°の範囲において、比較例１、２に比べて実施例２のトルク（ピーク値：０．０００６０７７３（Ｎｍ/Ａ回数））が向上していることがわかる。
図５は実施例１で作製したＶＣＭ５０の磁力線が形成する磁路を、図６は比較例１で作製したＶＣＭ５０’の磁力線が形成する磁路を、各々模式的に示す図である。図５、６に示されるように、図５のＶＣＭは図６のＶＣＭに比べて可動コイルが揺動する磁気空隙４０の領域において可動コイルの推力の増大に寄与する有効な磁力線の密度が高いことが特徴である。
また、実施例１、２の磁石は比較例１、２の磁石に比べて厚み方向の単体磁気特性（Ｂｒ、（ＢＨ）max）が低いがトルクが高くなっていることがわかる。
【００１５】
（実施例３）
ＭＱＩ社製の磁気異方性を有するボンド磁石用のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石粉末（商品名：ＭＱＡ−Ｔ材）を用いて表１の配合で混合し、Ａｒ雰囲気で所定の混練機により混練してコンパウンドを作製した。次に、略台形状平板型のキャビティに平面２極異方性磁場を発生させる射出成形用金型を有しておりＡｒ雰囲気に保持されている射出成形機を用いて、そのホッパーに前記コンパウンドを投入し、ほぼ２８０℃で前記キャビティに射出成形し、冷却した。得られた射出成形品の表面を清浄化後、蒸着により平均厚み５μｍのＮｉメッキを被覆した。こうして、略実施例１と同一形状を有し、平面２極異方性が付与されたＶＣＭ用ボンド磁石を得た。
次に、このＶＣＭ用ボンド磁石を用いた以外は実施例１と同様にしてＶＣＭを作製し、評価した。結果を表１に示す。
（比較例３）
実施例３で作製したコンパウンドを用いて、ほぼ平行な磁場（印加磁場強度は実施例３と同等）とした以外は実施例３と同様にして射出成形を行い、その後Ｎｉメッキして比較例のボンド磁石を作製した。次に、この比較例のボンド磁石に磁気特性が飽和する条件で平面２極着磁を施した後、実施例３と同様にしてＶＣＭに組み込んだ。このＶＣＭの評価結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
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【００１７】
表１より、平面２極異方性を付与したＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系異方性ボンド磁石を用いてＶＣＭを構成すれば、従来の平行配向せしめたものよりもトルクを顕著に向上できることがわかる。
【００１８】
（実施例４）
磁石粉末として平均粉末粒径が約１５μｍであり、かつａｔ％でＳｍ９．１Ｆｅ７７．３Ｎ１３．６ の主成分組成を有する窒化磁石粉末を準備した。続いて、ジェットミルにて平均粉末粒径４．０μｍまで微粉砕し、さらにヘキサンを用いた湿式ボールミル微粉砕により平均粉末粒径１．９μｍの微粉を得た。この微粉末１００重量部に対し、２.６重量部の液状エポキシ樹脂および２.６重量部の硬化剤（ＤＤＳ：ジアミノジフェニルスルフォン）、ならびに有機溶媒として液状エポキシ樹脂と同重量（２.６重量部）のメチルエチルケトン（沸点７９.５℃）を配合して混練物を作製した。この混練物はミキサーの混練槽に前記重量部の液状エポキシ樹脂とＤＤＳとメチルエチルケトンからなる混合液を投入後、前記重量部の磁石粉末を添加し２０分間撹拌しスラリー化したものである。
このスラリーを用いて配向磁場強度１０ｋＯｅ、６ｔｏｎ／ｃｍ２の成形圧力で室温で圧縮成形した。得られた成形体を８５℃で１時間加熱保持して脱溶媒後、さらに１２０℃で１時間の加熱処理を施して結着樹脂をやや硬化させた。次に、このものを無磁場の乾式圧縮成形機の金型キャビティに投入後１０ｔｏｎ／ｃｍ２の成形圧力を約０．３秒間加圧するコイニング処理を行い高密度化した。その後、１７０℃で２時間加熱硬化して本発明の平面２極異方性を付与した磁気異方性ボンド磁石を得た。
次に、このボンド磁石を用いた以外は実施例１と同様にしてＶＣＭを作製し、評価した、結果を表２に示す。
（比較例４）
実施例４で作製したスラリーを用いて、ほぼ平行な磁場（印加磁場強度は実施例４と同等）とした以外は実施例４と同様にして異方性ボンド磁石を作製した。次に、この比較例のボンド磁石の磁気特性が飽和する条件で平面２極着磁を施した後、実施例４と同様にしてＶＣＭに組み込んだ。このＶＣＭの評価結果を表２に示す。
【００１９】
【表２】
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【００２０】
表２より、平面２極異方性を付与したＲ−Ｔ−Ｎ系異方性ボンド磁石を用いてＶＣＭを構成すると、比較例４の略平行配向せしめたものよりもトルクを顕著に向上できることがわかる。
【００２１】
上記実施例では平面２極異方性の場合を記載したが、３極以上の平面多極異方性を付与した場合でも、従来に比べてトルクを顕著に向上したアクチュエータが実現できる。例えば２〜２０極、より好ましくは２〜１０極、特に好ましくは２〜８極の平面多極異方性を付与した一体ものの永久磁石は可動磁石型または可動コイル型のリニアモータ等に好適であり、上記以外の他のアクチュエータの用途にも有用である。
また、上記実施例の表面処理に限定されず、本発明の平面多極異方性を有する永久磁石には公知の表面処理を適用可能である。
【００２２】
本発明に用いる板状永久磁石は上記実施例の永久磁石に限定されず、一体構造でかつ板状のフェライト磁石等の公知の磁石材質に適用することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上記述の通り、本発明によれば、従来に比べてトルクを顕著に向上したアクチュエータに好適な磁気回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に用いる板状永久磁石の配向度を模式的に示す斜視図（ａ）、断面図（ｂ）である。
【図２】  従来の永久磁石の配向度を模式的に示す斜視図（ａ）、断面図（ｂ）である。
【図３】  本発明によるＶＣＭの一例を示す側面図である。
【図４】  図３のＡ−Ａ線矢視断面図を示す図（ａ）、磁気空隙の磁束密度分布の測定方法を説明する図（ｂ）である。
【図５】  本発明によるＶＣＭの磁路を模式的に説明する図である。
【図６】  比較例のＶＣＭの磁路を模式的に説明する図である。
【図７】  空隙磁束密度分布の測定結果の一例を示す図である。
【図８】  トルクの測定結果の一例を示す図である。
【図９】  成形装置の一例を示す要部断面図（ａ）、コイルの配置の一例を示す図（ｂ）である。
【図１０】  従来のＶＣＭを示す一部破砕した図（ａ）、要部断面図（ｂ）である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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