(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物が走行する搬送路に沿って設けられ、上記搬送される被測定物が接触して通過する固定の当接部と、
上記搬送路を間に挟んで上記当接部と対向して設けられた可動部材と、
上記可動部材を上記当接部に対して接離する方向に変位自在に支持した支持部と、
上記当接部に接触する方向の押圧力を上記可動部材に付加した押圧部と、
上記当接部と可動部材との間を被測定物が通過する際、上記可動部材の変位量を検知する検知器と、
上記可動部材の変位速度を検知する検知手段と、この検知手段で検知した変位速度に基づいた制動力を前記可動部材に印加する駆動コイルと、を有するアクティブダンパと、
を備え上記被測定物の厚さを検知する厚さ検知装置。
【請求項２】
上記アクティブダンパは、上記可動部材に連結されているとともに、上記可動部材の変位方向に沿って移動可能に支持された可動磁石をさらに有し、
上記検知手段は、上記可動磁石に隣接して設けられ、可動磁石の変位速度に応じて誘起電圧を発生する検知コイルを有し、上記駆動コイルは、上記可動磁石に隣接して設けられ、上記検知コイルから発生した誘起電圧に基づいて上記可動磁石の変位方向と反対方向の磁界を発生し上記可動磁石に印加する請求項１に記載の厚さ検知装置。
【請求項３】
上記アクティブダンパは、上記検知コイルと駆動コイルとの間に設けられ検知コイルで発生した誘起電圧を増幅して上記駆動コイルに供給する増幅器を備えている請求項２に記載の厚さ検知装置。
【請求項４】
上記アクティブダンパは、上記検知コイルと駆動コイルとの間に設けられ検知コイルで発生した誘起電圧を微分して上記増幅器に入力する微分回路を備えている請求項３に記載の厚さ検知装置。
【請求項５】
上記アクティブダンパは、上記可動磁石の周囲に設けられ磁力により上記可動磁石を浮遊状態に支持した支持磁石を備えている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の厚さ検知装置。
【請求項６】
上記支持部は、固定のベースと、上記可動部材を支持した自由端部および上記ベースに支持された基端部を有したカンチレバーと、を備えている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の厚さ検知装置。
【請求項７】
上記カンチレバーは板ばねにより形成され、上記押圧部を構成している請求項６に記載の厚さ検知装置。
【請求項８】
上記可動部材は、上記搬送路と直交する方向に延びた枢軸の回りで回転自在に支持された可動ローラを備えている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の厚さ検知装置。
【請求項９】
上記当接部は、上記搬送路と直交する方向に延びた枢軸の回りで回転自在に支持された固定ローラを備えている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の厚さ検知装置。
【請求項１０】
被測定物が走行する搬送路を間に挟んで対向配置され、上記走行する被測定物が接触して通過する第１および第２可動部材と、
上記第１および第２可動部材を互いに接離する方向に変位自在にそれぞれ支持した第１および第２支持部と、
上記第１および第２可動部材が互いに接触する方向の押圧力を上記第１および第２可動部材にそれぞれ付加した第１および第２押圧部と、
上記第１可動部材と第２可動部材との間を被測定物が通過する際、上記第１および第２可動部材の変位量をそれぞれ検知する第１および第２検知器と、
上記第１および第２可動部材にそれぞれ連結され、上記第１および第２可動部材の変位速度に応じた制動力を上記第１および第２可動部材にそれぞれ印加する第１および第２アクティブダンパと、
上記第１および第２検知器により検知された第１および第２可動部材の変位量に応じて上記被測定物の厚さ測定する測定部と、
を備えた厚さ検知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、走行移動する被測定物の厚さを検知する厚さ検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被測定物として、例えば、ベルトに挟持された状態で搬送される紙葉類の厚みを検知する検知装置は、対向配置された固定ローラおよび可動ローラを備え、固定ローラは軸が固定され、可動ローラは上下移動可能に支持されている。また、可動ローラは、板ばね等により一定の押圧力で固定ローラに押し付けられている。そして、検知装置は、紙葉類がローラ間を通過する際、可動ローラの変位量を紙葉類の厚さとして検知する。
【０００３】
搬送方向に直角な方向に沿った紙葉類の厚さ分布を測定する場合、複数の上記ローラ対を搬送方向に直角な方向に並べて配置し、紙葉類の複数箇所の測定をする。
【０００４】
また、他の検知方法として、被測定物の上下に配置された光学式距離計により被測定物までの距離をそれぞれ測定し、両測定結果の差を厚さとして検知する方法が知られている。更に、特開平１１−１１０６０５号公報に開示された検知装置によれば、先端にプリントコイルを設置した弾性帯状体により被測定物を両側から挟み、被測定物に接触したコイルのインピーダンス変化を、測定物の厚さとして検出している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
固定ローラおよび可動ローラにより紙葉類を挟持し可動ローラの変位によって厚さを検知する方式では、可動ローラを押し付ける力が弱いと、走行する被測定物の先端突入時や後端の抜け時、あるいは紙葉類にテープが貼付されているような急激な厚み変化が生じた場合等、可動ローラは振動状態となり紙葉類に対する追従性が低下する．そのため、正確な厚み検知が困難となる。
【０００６】
一方、可動ローラの押圧力が強すぎると、紙葉類がローラ間を押し広げて通過することができずに詰まってしまい、厚み測定ができなくなる。したがって、通常、可動ローラを支持する部材を板ばねとし、その押圧力は、可動ローラの振動を押さえ、且つ、紙葉類が可動ローラを押し広げて通過できる限界に近い値に設定されている。
【０００７】
しかしながら、紙葉類の剛性にはばらつきがあるため、剛性の弱い紙葉類はローラ間を通過できず詰まってしまうことが多々ある。また、被測定物が走行中に厚み方向に強く揺動すると、検知装置は、この揺動を可動ローラの変位量として測定してしまう。その結果、測定精度が低下するなどの問題がある。
【０００８】
また、光学式距離計を用いて厚さを検知する方式では、被測定物の色彩によって光の反射光量が異なるため、測定結果に誤差を生じる。色彩による影響のない光学式距離計は高価で且つ外形寸法が大きいため、設置場所が限られるなどの問題がある。
【０００９】
更に、特開平１１−１１０６０５号公報に開示された検知装置は、弾性帯状体を用いた接触方式であり、可動部が軽量で厚みの変化に対する追従性は良いが、接触部に耐摩耗性を持たせるため特殊薄膜やセラミックスチップなどを設置する必要があり、用途が限定されてしまう。
【００１０】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、詰まりを生じることなく被測定物の厚さを高い精度で検知可能な厚さ検知装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の態様に係る厚さ検知装置は、被測定物が走行する搬送路に沿って設けられ、上記搬送される被測定物が接触して通過する固定の当接部と、上記搬送路を間に挟んで上記当接部と対向して設けられた可動部材と、上記可動部材を上記当接部に対して接離する方向に変位自在に支持した支持部と、上記当接部に接触する方向の押圧力を上記可動部材に付加した押圧部と、上記当接部と可動部材との間を被測定物が通過する際、上記可動部材の変位量を検知する検知器と、上記可動部材の変位速度を検知する検知手段と、この検知手段で検知した変位速度に基づいた制動力を前記可動部材に印加する駆動コイルと、を有するアクティブダンパと、を備え、上記被測定物の厚さを検知する。
【００１２】
上記のように構成された厚さ検知装置によれば、被測定物が可動部材と当接部との間を通過すると、可動部材が被測定物の厚みにより変位し、その変位量を検知器により検知する。可動部材は被測定物の先端が衝突したときの衝撃力により跳ね上がろうとするが、アクティブダンパにより可動部材の跳ね上がりを抑制し、衝突力による可動部材の振動を直ちに減衰することができる。これにより、被測定物の厚さおよび厚さ変化を安定して検知することができる。また、被測定物が走行中に厚み方向に強く揺動した場合でも、アクティブダンパにより可動部材の揺動を抑制することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態に係る厚さ検知装置について詳細に説明する。
図１および図２に示すように、被測定物として、例えば、紙葉Ｐの厚さを検知する厚さ検知装置は、紙葉Ｐの搬送路１８に隣接して設けられている。ここで、紙葉Ｐは、搬送路１８に沿って上下に配設された複数の搬送ベルト１７により両端部が挟持された状態で、矢印Ａ方向に沿ってほぼ水平に搬送される。
【００１４】
厚さ検知装置は、搬送路１８の下方に設けられた固定ユニット３４と、搬送路の上方に設けられた検知ユニット３６とを備えている。固定ユニット３４は、搬送路１８の下方に配置された固定の第１ベース２を有している。第１ベース２にはブラケット５を介して固定ローラ４が設けられ、搬送ベルト１７間に位置している。当接部として機能する固定ローラ４は、搬送路１８と直交する方向に延びた枢軸６により回転自在に支持され、搬送路に沿って配置されている。そして、搬送路１８を走行する紙葉Ｐは固定ローラ４に接触して通過する。
【００１５】
一方、検知ユニット３６は、搬送路１８の上方に配置された固定の第２ベース３を備えている。第２ベース３には、可動部材として機能する可動ローラ７、検知器として機能する渦電流式の変位センサ１２、可動ローラの振動を減衰するアクティブダンパ１３が取り付けられている。
【００１６】
詳細に述べると、可動ローラ７は、搬送路１８を間に挟んで固定ローラ４と対向して配置され、カンチレバー１０によって支持されている。カンチレバー１０は、その基端部がホルダ１１を介して第２ベース３に固定され、ほぼ水平に、且つ、第２ベースと所定の隙間を置いて設けられている。可動ローラ７はブラケット８を介してカンチレバー１０の自由端部に取り付けられている。そして、可動ローラ７は、搬送路１８と直交する方向に延びた枢軸９により回転自在に支持され、搬送路に沿って配置されている。
【００１７】
カンチレバー１０は板ばねにより形成されている。従って、可動ローラ７は、このカンチレバー１０により、固定ローラ４に対して接離する方向、つまり、枢軸９とほぼ直交する方向に沿って変位自在に支持されている。同時、可動ローラ７は、カンチレバー１０のばね特性により、固定ローラ４と接触する方向の押圧力を付加され、通常、固定ローラ４に接触している。
このように、カンチレバー１０は、可動ローラ７を変位自在に支持した支持部、および可動ローラに所定の押圧力を付加する押圧部として機能する。なお、ブラケット８は、カンチレバー１０と一体に形成されていてもよい。
【００１８】
変位センサ１２は、第２ベース２に固定されカンチレバー１０と所定の隙間を置いて対向している。そして、カンチレバー１０は導電体で形成されている。そのため、可動ローラ７の変位に応じてカンチレバー１０が変位すると、渦電流が変化し、変位センサ１２はこの渦電流の変化を検出してカンチレバーの変位量、すなわち、可動ローラ７の変位量を検知する。
【００１９】
なお、カンチレバー１０を導電体で形成する代わりに、カンチレバーの表面に導電性の薄板等を貼り付ける構成としてもよい。また、検出器は、渦電流型の変位センサに限らず、可動ローラ７の変位に伴うカンチレバーの歪を検出する歪ゲージ、カンチレバーの変位を光学的に検知する光学変位計等を用いることができる。
【００２０】
図１および図３に示すように、アクティブダンパ１３は、ほぼ円筒状に形成されたコイルユニット２５、およびコイルユニットの内側に配設された円柱形状の可動磁石２３を備えている。コイルユニット２５は第２ベース３に取り付けられ、可動ローラ７の上方に位置している。可動磁石２３は永久磁石で形成され、軸方向一端側がＮ極、他端側がＳ極に着磁されている。
【００２１】
また、可動磁石２３は、この可動磁石と同軸的に延びた連結ロッド１４を介してカンチレバー１０の自由端部に連結されている。そして、コイルユニット２５、可動磁石２３、および連結ロッド１４は、その中心軸Ｃが可動ローラ７の中心を通り可動ローラの移動方向とほぼ一致するように配置されている。これにより、可動磁石２３は、可動ローラ７の変位に連動して、かつ、可動ローラの変位方向に沿ってコイルユニット２５内を移動自在に支持されている。
【００２２】
一方、コイルユニット２５は、ほぼ円筒形状のコイルボビン２０を有し、その外周には検知コイル２１および駆動コイル２２が巻装されている。また、コイルボビン２０の外周は、円筒状のカバー２６によって覆われている。
【００２３】
検知コイル２１は、可動磁石２３の外側に隣接して設けられ、可動磁石の変位速度に応じた誘起電圧を発生する。また、駆動コイル２２は、可動磁石２３の外側に隣接して設けられ、検知コイル２１で発生した誘起電圧に基づいて可動磁石の変位方向と反対方向の磁界を発生し、可動磁石２３に印加する。検知コイル２１および駆動コイル２２は、コイルボビン２０の軸方向に沿って互いに離間して設けられている。
【００２４】
なお、図４に示すように、アクティブダンパ１３の駆動回路は、検知コイル２１と駆動コイル３３との間に設けられたアンプ３０およびパワーアンプ３１を備え、これらのアンプおよびパワーアンプは、検知コイルで発生した誘起電圧を増幅して駆動コイルに供給する。
【００２５】
図３、図５および図６に示すように、アクティブダンパ１３は、磁力により可動磁石２３を浮遊状態に支持した複数の支持磁石２４を備えている。これらの支持磁石２４は、コイルボビン２０の外周に固定され、可動磁石２３の外側に位置している。支持磁石２４は、３個以上、例えば、４個設けられ、コイルボビン２０の円周方向に沿って互いに等間隔離間して配置されている。
【００２６】
各支持磁石２４は、可動磁石２３に対向する面が同極性になるように配置する。例えば、各支持磁石２４は、コイルボビン２０の内側がＳ極、外側がＮ極となるように着磁されている。そして、可動磁石２３は、この可動磁石および支持磁石２４から発生する磁力の相互作用により、周囲から反発力あるいは吸着力を受けている。これにより、可動磁石２３は、浮遊状態で、つまり、コイルボビン２０の内周面に非接触の状態で、コイルボビン２０の内側に支持されている。従って、可動磁石２３は、摩擦抵抗等を受けることなく円滑に移動することができる。
【００２７】
次に、以上のように構成された厚さ検知装置の厚さ検知動作について説明する。
図１に示すように、非検知状態において、検知ユニット３６の可動ローラ７は、固定ローラ４と接触した状態にある。この際、可動ローラ７は、カンチレバー１０のばね特性により、可動ローラ７と固定ローラ４との間を走行する紙葉Ｐが詰まらない程度に設定された弱い押圧力で固定ローラに接触している。可動ローラ７の押圧力は、ホルダ１１の厚みや傾斜を予め調整することにより、任意の値に設定される。
【００２８】
厚さ検知時、紙葉Ｐは、搬送ベルト１７により挟持された状態で厚さ検知装置に搬送されて来る。紙葉Ｐが固定ローラ４と可動ローラ７との間に入ると、固定ローラおよび可動ローラは紙葉Ｐに押され枢軸６、９の回りでそれぞれ回転する。同時に、可動ローラ７は、紙葉Ｐの厚さ分だけ上側に持ち上げられる。可動ローラ７と共にカンチレバー１０が変位すると、渦電流が変化し、変位センサ１２はこの渦電流の変化を検出してカンチレバーの変位量、すなわち、可動ローラ７の変位量を検知する。そして、検知された変位量から、紙葉Ｐの厚さを測定することができる。
【００２９】
ここで、紙葉Ｐが所定の速度を有していると、紙葉Ｐは固定ローラ４および可動ローラ７に衝突する形となる。この衝撃力がカンチレバー１０の押圧力よりも大きいと、可動ローラ７は跳ね上げられて紙葉Ｐの厚さ以上に変位し、更には振動状態となる。そのため、アクティブダンパを備えていないと、図７（ａ）に示すように、検知開始後、変位センサ１２の検出出力が大きく変動し、この変動が減衰して安定するまでの減衰時間ｔが長くなってしまう。従って、検知装置の応答性が低く、紙葉Ｐの厚さを安定して、かつ、紙葉Ｐの全長に亘って正確に測定することが困難となる。
【００３０】
これに対して、本実施の形態に係る検知装置によれば、可動ローラ７が上側に変位すると、この変位は連結ロッド１４を介してアクティブダンパ１３の可動磁石２３に伝達され、可動磁石２３が可動ローラ７に連動して移動する。すると、可動磁石２３から発する磁力線が検知コイル２１を横切り、検知コイル２１は可動磁石２３の変位速度に比例した誘起電圧を発生する。この誘起電圧は、アンプ３０およびパワーアンプ３１により増幅された後、駆動コイル２２に帰還印加される。これにより、駆動コイル２２から磁界が発生する。
【００３１】
そして、発生した磁界は可動磁石２３に作用し、可動磁石の変位方向と反対方向の力を発生して、可動磁石の変位を押さえるように作用する。この反対方向の力は、可動ローラ７の制動力として作用するため、可動ローラの振動を直ちに減衰することができる。従って、図７（ｂ）に示すように、変位センサ１２における検出出力の振動減衰時間ｔは、アクティブダンパを持たない場合の減衰時間に比較して大幅に短縮される。
【００３２】
アクティブダンパ１３は、可動ローラ７の変位量が小さい場合でも変位速度が速ければ大きな制動力を発生させることができ、紙葉類のように厚さの小さい被測定物でも効果的に作用して可動ローラの振動を押さえることができる。従って、可動ローラ７は、測定開始後、直ちに紙葉Ｐの厚さに応じた変位となり、検知装置は、紙葉Ｐの厚さおよび厚さ変化を安定して、かつ、紙葉Ｐの全長に亘って正確に測定することが可能となる。また、カンチレバー１０によって可動ローラ７に付加する押圧力を小さく設定することが可能となり、紙葉Ｐの詰まりをなくすことができる。更に、厚さ検知時、走行中の紙葉Ｐが厚さ方向に強く揺動した場合でも、アクティブダンパ１３の作用により可動ローラ７の揺動を抑制し、安定した厚さ検知を維持することができる。
【００３３】
次に、この発明の第２の実施の形態に係る厚さ検知装置について説明する。図８に示すように、本実施の形態によれば、被測定物に当接する当接部は、固定ローラの代わりにブロック状あるいは板状の支持部材３２を備え、また、可動部材は、可動ローラの代わりに、例えば、半球状あるいは半円筒状の接触子３３を備えている。紙葉Ｐに接触する支持部材３２の当接面は、搬送路１８側を凸とする曲面に形成されている。ただし、この当接面は、曲面に限らず、平面としてもよい。
【００３４】
他の構成は、前述した第１の実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。そして、このように構成された第２の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。また、第２の実施の形態において、当接部として第１の実施の形態と同様の固定ローラを用い、上記接触子３３と組み合わせてもよく、あるいは、可動部材として第１の実施の形態と同様の可動ローラを用い、上記支持部材３２と組み合わせてもよい。
【００３５】
図９に示すように、第３の実施の形態に係る検知装置は、搬送路１８の両側に対向して設けられた一対の検知ユニット３６ａ、３６ｂを備え、各検知ユニットは、前述した第１の実施の形態に係る検知ユニット３６と同様に構成されている。
【００３６】
すなわち、検知ユニット３６ａは、可動部材として機能する第１可動ローラ７ａ、第１可動ローラを支持しているとともに押圧部として機能する第１カンチレバー１０ａ、第１可動ローラの変位量を検知する第１変位センサ１２ａ、第１連結ロッド１４ａを介して第１可動ローラに連結され、第１可動ローラの変位速度に応じた制動力を第１可動ローラに印加する第１アクティブダンパ１３ａを備えている。そして、第１カンチレバー１０ａの基端部はホルダ１１ａを介してベース３ａに固定され、同様に、第１変位センサ１２ａおよび第１アクティブダンパ１３ａもベース３ａに取り付けられている。
【００３７】
検知ユニット３６ｂも同様に、ベース３ｂ、第２可動ローラ７ｂ、第２カンチレバー１０ｂ、ホルダ１１ｂ、第２変位センサ１２ｂ、第２アクティブダンパ１３ｂ、連結ロッド１４ｂ等を備えて構成されている。
【００３８】
各検知ユニット３６ａ、３６ｂの詳細な構成は、第１の実施の形態における検知ユニット３６と同一であり、その説明は省略する。
これら検知ユニット３６ａ、３６ｂは搬送路１８に対して対称に配置され、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂは、搬送路を間に挟んで対向配置されている。また、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂは、第１および第２カンチレバー１０ａ、１０ｂにより、互いに接離する方向に変位自在に支持されているとともに、互いに接触する方向の押圧力を受けている。
また、厚さ検知装置は、第１および第２変位センサ１２ａ、１２ｂにより検知された変位量の差から紙葉Ｐの厚さを測定する測定部３８を備えている。
【００３９】
以上のように構成された厚さ検知装置によれば、非検知状態において、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂは第１および第２カンチレバー１０ａ、１０ｂにより押圧され、互いに接触した状態にある。厚さ検知時、紙葉Ｐが第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂの間を通過すると、これらの可動ローラは紙葉Ｐに押され枢軸９ａ、９ｂの回りでそれぞれ回転する。同時に、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂは、紙葉Ｐの厚さ分だけ上方あるいは下方に移動される。
【００４０】
そして、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂと共に第１および第２カンチレバー１０ａ、１０ｂが変位すると、渦電流が変動する。第１および第２変位センサ１２ａ、１２ｂはこの渦電流の変動をそれぞれ検出して第１および第２カンチレバー１０ａ、１０ｂの変位量、すなわち、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂの変位量を検知する。
【００４１】
例えば、搬送路１８に対して上方への変位量をプラス、下方への変位量をマイナスとした場合、測定部３８は、第１および第２変位センサ１２ａ、１２ｂによって検知された変位量の差から紙葉Ｐの厚さを測定する。
【００４２】
また、厚さ検知時、第１および第２アクティブダンパ１３ａ、１３ｂは、第１の実施の形態と同様の作用により、第１および第２可動ローラ７ａ、７ｂの変位速度に応じた制動力をそれぞれ第１および第２可動ローラに与え、可動ローラの振動を直ちに減衰する。
【００４３】
以上のように構成された第３の実施の形態においても、厚さ検知装置は、紙葉Ｐの厚さおよび厚さ変化を安定して、かつ、紙葉Ｐの全長に亘って正確に測定することができる。また、第１および第２可動ローラに付加する押圧力を小さく設置することが可能となり、紙葉Ｐの詰まりをなくすことができる。更に、厚さ検知時、走行中の紙葉Ｐが厚さ方向に強く揺動した場合でも、第１および第２アクティブダンパの作用により第１および第２可動ローラ７の揺動を抑制し、安定した厚さ検知を維持することができる。
【００４４】
なお、この発明は上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、図１０に示すように、アクティブダンパ１３の駆動回路は、微分回路４０を備えていてもよい。この微分回路４０は、検知コイル２１と駆動コイル２２との間に接続され、検知コイルで発生した誘起電圧を微分してパワーアンプ３１に入力する。この場合、微分回路４０により、可動部材の変位加速度に比例して誘起電圧を増大することができ、アクティブダンパの感度を向上することができる。
【００４５】
また、アクティブダンパ１３において、可動磁石２３を浮遊支持する支持磁石２４は、検知コイル２１あるいは駆動コイル２２の内側に配置してもよく、更に、検知コイル２１あるいは駆動コイル２２の外側に配置しても浮動支持の効果が得られる。検知コイル２１と駆動コイル２２は同心状に重ねて設置してもよい。
また、この発明に係る厚さ検知装置は、被測定物は紙葉類に限らず、種々の被測定物の厚さ検知に適用することできる。
【００４６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、可動部材の振動を抑制し、詰まりを生じることなく被測定物の厚さを高い精度で検知可能な厚さ検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る厚さ検知装置を示す側面図。
【図２】上記厚さ検知装置の一部を示す平面図。
【図３】上記厚さ検知装置のアクティブダンパを示す断面図。
【図４】上記アクティブダンパの駆動回路を示す図。
【図５】図３の線Ｂ−Ｂに沿った断面図。
【図６】上記アクティブダンパの浮遊支持構造を拡大して示す断面図。
【図７】上記厚さ検知装置の厚さ検知特性を従来装置の検知特性と比較して示す図。
【図８】この発明の第２の実施の形態に係る厚さ検知装置を示す側面図。
【図９】この発明の第３の実施の形態に係る厚さ検知装置を示す側面図。
【図１０】アクティブダンパの駆動回路の変形例を示す図。
【符号の説明】
Ｐ…紙葉、  ２…第１ベース、３…第２ベース、  ４…固定ローラ、
７…可動ローラ、  １０…カンチレバー、  １２…変位検知部、
１８…搬送路、  １３…アクティブダンパ、  ２１…検知コイル、
２２…駆動コイル、  ２３…可動磁石、  ２４…支持磁石、
２５…コイルユニット、  ３０…アンプ、  ３１…パワーアンプ、
３６、３６ａ、３６ｂ…検知ユニット、  ４０…微分回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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