(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブハウジングに設けられ、バルブの貫流方向を指向する軸と周囲に弁座とを有する弁ポートと、
閉弁状態において前記弁ポートを閉塞する少なくとも１つのバルブロッドに固定された弁プレートと、
前記弁プレートを、前記弁ポートを開放する開弁位置から前記弁ポートに対面して前記弁座からリフトした位置まで変位させる少なくとも一つの第１ピストン-シリンダユニットと、
前記弁プレートを、前記弁ポートに対面して前記弁座からリフトした位置から該弁座方向に移動し該弁座に押圧する少なくとも一つの第２ピストン-シリンダユニットとを備える真空バルブにおいて、
前記第１ピストン-シリンダユニットは閉弁シリンダ室を有し、該閉弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁ポートと対面する位置方向に前記弁プレートに作用する力を発生し、
前記第２ピストン-シリンダユニットは閉弁シリンダ室を有し、該閉弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁座に押圧される位置方向に前記弁プレートに作用する力を発生し、
前記第１ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室は第１の基部を有し、前記弁プレートが前記弁ポートを完全に開放する位置にあるとき、該第１ピストン-シリンダユニットのピストンは前記第１の基部と近接した位置にあり、
前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室は第２の基部を有し、前記弁プレートが弁座から完全にリフトした位置にあるとき、該第２ピストンシリンダユニットのピストンは前記第２の基部と近接した位置にあり、
逆止弁が配設される第１連絡通路が前記第１基部と記第２基部との間を連通し、前記第１ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室内の圧力が前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室内の圧力より大きいか等しい時に前記逆止弁が閉弁し、
前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに配設された突起部材が、前記弁プレートが前記弁座から完全リフトした位置にあるときに前記逆止弁を開放することを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
前記第２ピストン-シリンダユニットの第２基部に凹部を設けると共に、前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに小径ピストンを設け、前記弁プレートが前記弁座から完全にリフトした位置にあるとき、前記小径ピストンが前記凹部に嵌入し、嵌入した小径ピストンのピストン面より下の領域における前記凹部に開口する第１制御通路を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記突起部材が前記小径ピストンに設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに設けられた前記小径ピストンが前記凹部へ嵌入されるとき、前記第２ピストン-シリンダユニットの第２基部に設けられた前記凹部と該第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室とを逆止弁機構を介して相互に連通し、該逆止弁機構は、前記凹部内の圧力が前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室内の圧力より大きいとき閉塞することを特徴とする請求項２記載の真空バルブ。
【請求項５】
前記逆止弁機構は、前記凹部と前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室との間を連通する通路によって形成され、該通路内に逆止弁が配設され、前記凹部に嵌入された前記小径ピストンをシールするシールリングが前記凹部の内面に配設されていることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項６】
前記逆止弁機構は、前記凹部内に配設された逆止弁機能を有する端部位置制動用Ｏ-リングによって形成されていることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項７】
前記第１ピストン-シリンダユニットは開弁シリンダ室を有し、該開弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁ポートを完全に開放する位置方向に前記弁プレートに作用する力が発生することを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項８】
前記第２ピストン-シリンダユニットは開弁シリンダ室を有し、該開弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁座からリフトする位置方向に弁プレートに作用する力が発生することを特徴とする請求項７記載の真空バルブ。
【請求項９】
前記第１ピストン-シリンダユニットの開弁シリンダ室と前記第２ピストン-シリンダユニットの開弁シリンダ室とを、第２制御通路が開口する第２連絡通路によって連通されていることを特徴とする請求項８記載の真空バルブ。
【請求項１０】
前記第１ピストン-シリンダユニットと前記第２ピストン--シリンダユニットとは相互に一体に結合され、前記バルブロッド及び前記弁ポートの軸に対して垂直に延出する回転軸回りに共に回転可能であることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項１１】
前記第１ピストン-シリンダユニットは、僅かな半径方向の遊びを有して軸方向に変位可能に前記バルブロッドを支持する案内面を備えることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
【請求項１２】
バルブハウジングに設けられ、バルブの貫流方向を指向する軸と周囲の弁座とを有する弁ポートと、
閉弁状態において前記弁ポートを閉塞する、少なくとも１つのバルブロッドに固定された弁プレートと、
前記弁プレートを、前記弁ポートを開放する開弁位置から前記弁ポートに対面して前記弁座からリフトした位置まで変位させる少なくとも一つの第１ピストン-シリンダユニットと、
前記弁プレートを、前記弁ポートに対面する位置から該弁座方向に移動し該弁座に押圧する少なくとも一つの第２ピストン-シリンダユニットとを備える真空バルブにおいて、
前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに配設されたラック軸で構成するピストンロッドと、少なくとも１つのバルブロッドを回転させて前記弁プレートを前記弁座に押圧するための偏心機構と連結したピニオンとが噛合することを特徴とする真空バルブ。
【請求項１３】
前記偏心機構は、前記ピニオンに結合されたピン部材により形成され、該ピン部材は前記ピニオンまたは該ピニオンが配設されたドラムの中心軸に対して偏心して配設され、前記バルブハウジングに設けられた孔部に挿入されていることを特徴とする請求項１２記載の真空バルブ。
【請求項１４】
前記バルブハウジングに設けられた孔部は長孔に形成されていることを特徴とする請求項１３記載の真空バルブ。
【請求項１５】
前記ピン部材は、ローラを回転可能に備えていることを特徴とする請求項１３記載の真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、バルブロッドに配設された弁プレートがバルブハウジングの弁ポートを閉弁する真空バルブに関する。該真空バルブは駆動装置を有し、該駆動装置によって、最初に弁プレートは開弁位置から弁ポートと対面して弁座からリフトした位置へと移動し、次に弁プレートを弁ポート周囲の弁座に押圧する。該駆動装置は第１及び第２ピストン-シリンダユニットを備えている。
【従来の技術】
弁ポート周囲の弁座に対して押圧される弁プレートにより、弁ポートを閉弁するプレートバルブ形式の真空バルブは、多くの種類の実施例により知られている。
上に述べた形式のプレートバルブにおける第１の通常の実施例はスライドバルブである。バルブを閉弁するために、最初に、駆動手段により弁プレートは、弁ポートと対面するが弁座からリフトした位置に至るまで、シール面を横断して直線状に変位する。次に、シール面に対して垂直に、弁ポートの縦軸方向への移動が行われ、弁プレートは弁座に押圧される。“Ｖｉｔｏｎ”のような弾性材料によるシールが許容できない摩損をもたらす剪断応力に曝されないように、このような二段階の移動行程を必要とする。閉弁移動の第２行程は、前述の形式のスライドバルブにおいては種々の異なる方法、例えば、レバー機構、弁プレートと支持プレートとの間の楔形ギャップ内を案内される回転体、傾動要素などにより行われる。第２移動行程（シール面または弁ポート対して垂直な移動）の間のバルブロッドの曲がりを防止するため、通常、弁座とは反対側に位置する壁に対して同時に移動するカウンタプレートが設けられる。この形式のスライドバルブは、例えば米国特許第4,560,141 号、ドイツ特許第32 09 217号、ドイツ特許第32 24 387 号及び米国特許第3,185,435号に知られる。
プレートバルブあるいはスライドバルブの特殊な形式においては、第２移動行程、即ちシール面に基本的に垂直な移動による弁座に向かう弁プレートの移動は、バルブロッドが支点回りに回転することで実施される。この支点は、バルブロッドの側方に配設されてガイド溝内を案内されるピン又はローラによって形成される。従ってこの場合、バルブロッドは最初に直線的に変位し次に傾動するレバーの方式で構成される。この形式のバルブ構成の例は米国特許第5,415,376号、米国特許第5,641,149号、米国特許第6,045,117号、米国特許第5,934,646号、米国特許第5,755,255号、米国特許第6,082,706 号、及び米国特許第6,095,180号に開示されている。この形式の他のバルブ装置がドイツ特許公開公報第19 63 37 98号により知られる。後者の引例では、バルブを閉弁する第１及び第２移動行程は、別々のピストン-シリンダユニットによって行われる。
二つの移動行程を別々のピストン-シリンダユニットにより行う他の真空バルブは米国特許第6,056,266号に知られる。
他の形式のプレートバルブにおいては、弁プレートの第１移動行程における弁プレートの直線的変位はなく、弁ポートと対面する位置まで弁プレートを移動させるため、弁プレートは円弧に沿って回転する。かかる目的のため、バルブロッドは弁プレートと反対側の端部をシャフトに懸架され、バルブ面と垂直に延出する軸の回りに回転する。弁プレートが弁座方向に移動する閉弁移動の第二行程は前記シャフトの直線的変位によって実行される。
閉弁移動の第１及び第２移動行程を実行するために別々のピストン−シリンダユニットが用いられる場合、バルブの損傷を防ぐために、バルブを閉弁するときも開弁するときも、両ユニットは正しい順序で作動されることが保証されなければならない。正しい順序で流体コントローラ（受圧部）を制御するシーケンス制御装置が知られているが、しかしながら、通常これらは比較的複雑である。
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、単純に構成され確実に作動する上記の形式の真空バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明にかかる真空バルブは、バルブハウジングに設けられ、バルブの貫流方向を指向する軸と周囲に弁座とを有する弁ポートと、閉弁状態において前記弁ポートを閉塞する少なくとも１つのバルブロッドに固定された弁プレートと、前記弁プレートを、前記弁ポートを開放する開弁位置から前記弁ポートに対面して前記弁座からリフトした位置まで変位させる少なくとも一つの第１ピストン-シリンダユニットと、前記弁プレートを、前記弁ポートに対面して前記弁座からリフトした位置から該弁座方向に移動し該弁座に押圧する少なくとも一つの第２ピストン-シリンダユニットとを備える真空バルブにおいて、前記第１ピストン-シリンダユニットは閉弁シリンダ室を有し、該閉弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁ポートと対面する位置方向に前記弁プレートに作用する力を発生し、前記第２ピストン-シリンダユニットは閉弁シリンダ室を有し、該閉弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁座に押圧される位置方向に前記弁プレートに作用する力を発生し、前記第１ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室は第１基部を有し、前記弁プレートが前記弁ポートを完全に開放する位置にあるとき、該第１ピストン-シリンダユニットのピストンは前記第１基部と近接した位置にあり、前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室は第２基部を有し、前記弁プレートが弁座から完全にリフトした位置にあるとき、該第２ピストンシリンダユニットのピストンは前記第２基部と近接した位置にあり、チェックバルブまたは逆止弁が配設される第１連絡通路が前記第１基部と記第２基部との間を連通し、前記第１ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室内の圧力が前記第２ピストン-シリンダユニットの閉弁シリンダ室内の圧力より大きいか等しい時に前記逆止弁が閉弁し、前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに配設されたピンまたは突起部材が、前記弁プレートが前記弁座から完全リフトした位置にあるときに前記逆止弁を開放することを特徴とする。
かかる構成により、実施形態を参照した図面に関する記載において詳細に説明するように、真空バルブを開弁するとき正確な順序で移動行程が実行される。
本発明の好ましい実施形態においては、前記第２ピストン-シリンダユニットの第２基部に凹部を設けると共に、前記第２ピストン-シリンダユニットのピストンに突起部（小径ピストン）を設け、前記弁プレートが前記弁座から完全にリフトした位置にあるとき、前記突起部（小径ピストン）が前記凹部に嵌入し、嵌入した突起部（小径ピストン）のピストン面より下の領域における前記凹部に開口する第１制御通路を設ける。更に、第１ピストン-シリンダユニットの開弁シリンダ室（該開弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁ポートを完全に開放する位置方向に前記弁プレートに作用する力が発生する）と、第２ピストン-シリンダユニットの開弁シリンダ室（該開弁シリンダ室に圧力が作用すると、前記弁座から完全にリフトする位置方向に弁プレートに作用する力が発生する）とを第２制御通路が開口する第２連絡通路により相互に連通する。かかる構成により、実施形態を参照した図面に関する記載で詳細に述べるように、バルブの閉弁移動のための非常に単純な構成のシーケンス制御機構が実現できる。本発明の種々の特徴や構成は特許請求の範囲に示す。
【発明の実施の形態】
本発明の更なる利点及び詳細について、図面に示す実施の形態を参照して以下に説明する。本発明の更なる目的もそれらの記載による。図1乃至図3は、図４に示す真空バルブのＡ−Ａ線に沿った概略断面図で、開弁状態と閉弁状態とを示す。図４は本発明にかかる真空バルブの一実施形態を部分的に示す図で、部分的に断面（弁ポートを備えるハウジング壁と弁プレートとの間の弁プレートの領域を延出する線に沿う断面）を示す。図５は図1乃至図3に対応する真空バルブの一部の詳細を示す概略断面図である。
真空バルブは、バルブの貫流方向を指向する軸３を有する弁ポート２を備えるバルブハウジング１を有する。弁ポート２は閉弁状態のとき弁プレート５が押圧される弁座４が周囲に配置される。バルブをシールするため、（例えば「Ｖｉｔｏｎ」製の）閉じられた外周を有するシール６を弁プレート５に固定し、閉弁状態において、弁座４のシーリング面に押圧される。シール６を弁座４に配設して、シーリング面を弁プレート５に配してもよい。
弁プレート５は、第１のピストン-シリンダユニット８によって軸方向に変位可能なバルブロッド７に固定する。かかる目的のため、バルブロッド７をピストン-シリンダユニット８のピストン９に固定する。即ち、バルブロッド７はこれらピストン９のピストンロッド７と同時に形成される。ここに示す実施形態においては、弁プレート５は２つのバルブロッド７に支持され、各バルブロッド７はピストン-シリンダユニット８によって駆動される。この種の真空バルブにおける他の実施形態においては、弁プレート５のサイズに応じて単一のバルブロッド、あるいは２つ以上のバルブロッドとしてもよい。
ピストン１１を有する第２のピストン-シリンダユニット１０は、第１ピストン-シリンダユニット８と一体に結合している。第１及び第２ピストン-シリンダユニット８，１０は、２つのシリンダを形成する中間壁１３を備える共通のハウジング１２によって形成されている。
各ピストンロッド７は案内面１５によって軸方向に案内され、案内面１５は、第１ピストン−シリンダユニット８から弁プレート５の方向に延出するスリーブ状突部１４の内面又はインナージャケットによって形成されている。バルブロッド７の直線状の案内を形成するために、突部１４の内面とピストンロッド７の外周面との間に、図示されないシーリングリングが１つ又はそれ以上知られている方法で配設される。ハウジング１２は回転軸１６を軸として回転可能に支持されている。この回転軸１６は、バルブロッド７及び真空バルブの軸３に対して垂直に延出している。回転軸１６は、ハウジング１２の両側から突出し、バルブハウジング１内に設けた対応する凹部１８へ嵌入する円筒型突起部１７によって形成されている。
各ハウジング１２は、結合された第２ピストン−シリンダユニット１０により、回転軸１６を軸として回転する。かかる目的のため、図示の実施形態においては、ピストンロッドとしてラック１９がピストン１１に固定されている。ラック１９は、ドラム２１のピニオン２０と噛合ている。円筒形ピン２２（ピン部材）がドラム２１の側方、即ちドラム２１の縦軸２３に偏心して固定されている。このため、円筒形ピン２２の軸は、縦軸２３から距離ｄだけオフセットしている（図１参照）。ローラ２４は円筒形ピン２２上に回転可能に支持される。これらのローラ２４はバルブハウジング１の壁部２６に設けられた凹部（孔部）２５内を案内される。ローラ２４は弁ポート２の軸３方向の遊びはほとんどなく、バルブロッド７の縦軸２７方向の遊びを有して凹部２５内に支持され、この遊びはドラム２１の縦軸２３と円筒形ピン２２の軸との距離ｄにほぼ対応する。
図１に示す完全開弁位置から引き続いて真空バルブを閉弁するとき、最初に、第１ピストン-シリンダユニット８のピストン９が作動し、弁プレート５を弁ポート２と対面しているが弁座４からリフトしている図２に示す位置へと変位する。次に、第２ピストン‐シリンダユニット１０が作動し、各ドラム２１がラック１９により全体で１８０°回転する。円筒形ピン（ピン部材）２２は凹部２５内で偏心しているので、ハウジング１２は回転軸１６を軸として傾動し、弁プレート５は図３に示すように弁座４に押圧される。
ピストン-シリンダユニット８及び１０のハウジング１２とバルブハウジング１との間をシールするために、ハウジング１２のシール面と、該面と互いに対面して軸方向に押圧されるバルブハウジング１との間にＯ-リング２８を配置する。Ｏ-リング２８は傾斜していないバルブロッド７（図１及び２に対応する位置における）の縦軸２７に対して直角な平面で、かつ回転軸１６の高さの位置に載置される。回転軸１６はＯ-リング２８の材料の中央を貫通して延出するのが好ましい。図３に相当するバルブロッド７の傾斜位置においては、図３におけるＯ-リング２８の右側（弁ポート２から離れた側）は、バルブロッド７が傾斜しない位置にある場合よりも強く押圧され、一方、図３における左側はより弱く押圧される。このようにして、非常に単純な構成の傾動案内装置が提供される。かかる傾動案内装置は原理的に異なる構成、例えばダイアフラム式ベローズまたは折り畳み式ベローズの一側をスリーブ状突部１４に他側を弁プレート５に気密に固定して構成することもできる。
バルブロッド７を傾斜させるために、他の駆動機構を設けることもできる。例えば、ピストン１１に固定されたピストンロッドを、ピストン１１が作動するときに傾斜するようにガイドリンクにより案内してもよい。また、ピストン-シリンダユニット１０の縦軸を弁ポート２の軸３に平行に配置し、ピストン１１が作動したとき、ピストン１１に固定されたピストンロッド１９をバルブハウジング１の壁面に作用させて、ハウジング１２を傾斜させることもできる。
ピストン９及びピストン１１の正確な順次作動のためのシーケンス制御について以下に記載する。
ピストン-シリンダユニット８及び１０は開弁時の作動シリンダ室と閉弁時の作動シリンダ室を有する。第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９に圧力が作用すると、弁プレート５に作用して弁ポート２と対面する位置方向へ移動させる力が発生する。開弁シリンダ室３０に圧力が作用すると反対方向の力が発生する。同様に、第２ピストン-シリンダユニット１０の閉弁シリンダ室３１に圧力が作用すると、弁プレート５に作用して弁座４に押圧する位置方向（図３参照）へ移動させる力が発生する。第２ピストン-シリンダユニット１０の開弁シリンダ室３２に圧力が作用すると、反対方向の力が発生する。
第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９は第１基部３３を有し、弁ポート２が完全に解放される弁プレート５の位置（図１参照）において、第１ピストン-シリンダ８のピストン９はこの第１基部３３と近接している。第２ピストン-シリンダ１０の閉弁シリンダ室３１は第２基部３４を有し、弁プレート５が弁座４から完全にリフトしている位置（図１及び２参照）において、第２ピストン-シリンダユニット１０のピストン１１はこの基部３４と近接している。シーケンス制御の詳細を示す図５から分かるように（不明瞭となるため、図１〜４には図示しない）、第１ピストン-シリンダユニット８の第１基部３３と第２ピストン‐シリンダユニット１０の第２基部３４との間を第１連絡通路３５で連通し、連絡通路３５に逆止弁３６を配設する。第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９内の圧力が第２ピストン-シリンダユニット１０の閉弁シリンダ室３１内の圧力より大きいか又は等しい場合、この逆止弁３６は閉弁する。
第２ピストン-シリンダユニット１０の第２基部３４に凹部３７が形成され、ピストン１１が第２基部３４と近接する時、即ち弁プレート５が弁座４から完全にリフトした位置にある時、ピストン１１の突起部（小径ピストン）３８はこの凹部３７に嵌入する。Ｏ-リング３９が凹部３７の内面に環状に配設され、凹部３７に嵌入された突起部３８をシールする。第１制御通路４０は凹部３７、更に特定すると凹部３７に嵌入した突起部３８の下の領域に連通する。この突起部（小径ピストン）３８の端面はピストン面４１を形成している。凹部３７の底部に設けた開口部４３内へ貫入する芯棒（突起部材）４２がピストン１１、即ち突起部（小径ピストン）３８に配設さる。そのため、ピストン１１が第２基部３４の方に充分に変位すると、即ち弁プレート５が弁座４から完全にリフトした位置のとき、逆止弁３６を開放する。
更に、逆止弁機構４４が、第２ピストン-シリンダユニット１０の閉弁シリンダ室３１と凹部３７との間に設けられている。図５に示す実施形態においては、この逆止弁機構４４は、閉弁シリンダ室３１と凹部３７との間の連通路によって形成され、逆止弁４４はこの連通路に配置されている。凹部３７内の圧力が閉弁シリンダ室３１の残余空間内の圧力より大きいか等しい場合、この逆止弁４４は閉弁する。閉弁シリンダ室３１の残余空間内の圧力が凹部３７と比較して僅かに高い場合、逆止弁４４が開弁する。
第２制御通路４６が開口している第２の連絡通路４５が、第１ピストン-シリンダユニット８の開弁シリンダ室３０と第２ピストン-シリンダユニット１０の開弁シリンダ室３２との間を連通する。
真空バルブが図３に相当する完全に閉弁した位置から図１相当する完全に開弁した位置へ駆動されるとき、第２制御通路４６に圧縮空気を給気し、第１制御通路４０を排気する、即ち大気圧と連通する。圧縮空気は第２ピストン-シリンダユニット１０の閉弁シリンダ室３１から第１制御通路４０を介して流出するので、ピストン１１は図３に示した位置から下方へと移動する。一方、第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９は、始めは逆止弁３６によって閉鎖されているので、ピストン９はまだ移動しない。シリンダ室３０に面するピストン９のピストン面は、シリンダ室２９に面するピストン面の僅か半分ほどのサイズである。ピストン１１の突起部（小径ピストン）３８が凹部３７に嵌入すると、閉弁シリンダ室３１の残余空間に残存する空気は逆止弁４４を介して制御通路４０へと流入できる。弁プレート５が弁ポート２と対面する位置へ到達するやいなや（図２参照）、芯棒（突起部材）４２が逆止弁３６を開放するので、第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９は排気され、ピストン９は図１に示すバルブの完全開弁位置に達するまで上方へと移動する。
バルブを閉弁するためには、第１制御通路４０に圧縮空気を給気し、第２制御通路４６を排気、即ち大気と連結する。第１制御通路４０に圧縮空気を給気すると、圧縮空気は第１ピストン-シリンダユニット８の閉弁シリンダ室２９へ圧入し、ピストン９は下方に押し下げられる。このため第１ピストン‐シリンダユニット８の開弁シリンダ室３０から押し出される空気は、第２制御通路４６の断面積が規制されているため、第２連通路４５（開弁シリンダ室３０と開弁シリンダ室３２との間を連通する）に背圧として導入される。この背圧は第２ピストン-シリンダユニット１０の開弁シリンダ室３２内に至り、開弁方向に作用する力をピストン１１に作用する。制御通路４０に現存する圧力は、最初ピストン１１のピストン面４１にのみ作用する。このピストン面４１は開弁シリンダ室３２に面するピストン１１のピストン面より実質的に小さいので、ピストン１１は最初は移動しない。
第２連絡通路４５内、従って第２ピストン-シリンダユニット１０の開弁シリンダ室３２内の背圧は、ピストン９がその下方端部位置（図２に相当）に到達するまで低下しない。ピストン面４１に作用する圧力は、突起部３８が凹部３７から脱出すまで、ピストン１１を幾分上方へと移動させる。いまや、ピストン１１の全面が閉弁シリンダ室３１に面して有効となり、ピストン１１は全閉弁力を受け、図３で示す端部位置に到達するまで上方へ移動する。突起部３８が凹部３７内に位置するとき、ピストン１１の最初の移動期間は、ドラム２１及びピン２２によって形成される偏心機構はこの段階で上死点に位置するので、ピストン１１により加えられる力は小さな力で済むことが利点である。
以上記載した逆止弁機構４４は以下のように構成することもできる。Ｏ-リング３９に逆止弁機能を付与することができるので、閉弁シリンダ室３１と凹部３７との間の逆止弁４４が配設された分離通路は省くことができる。逆止弁機能を有するこの種のＯ-リングは、ピストンの端部位置のダンピング用としてしばしば用いられている。このような、通常知られている逆止弁機能付きＯ-リングを用いてもよいが、装着方向は端部位置ダンピング用の場合とは全く逆方向で、凹部３７内部の圧力が閉弁シリンダ室３１内の圧力を上回る場合にＯ-リングはシールする。この種の逆止弁機能付きＯ-リングを使用することによりシーケンス制御に必要な部品の量を最小限にできる。
バルブは、本発明の技術範囲から逸脱することなく、種々の方法で変更が可能である。例えば、図に示した弁プレートのハウジングを設けるか否かは本発明にとって重要ではない。
上述したシーケンス制御も、第１及び第２ピストン-シリンダユニットの他の配置も用いることができる。例えば、第２ピストン-シリンダユニットが空間的に分離していても、第１及び第２ピストン-シリンダユニットが相互に強固に結合していなくとも、第１制御通路３５を相応する長さに構成すれば使用することができる。
本発明の範囲はここに示した実施形態に限られるものではなく、可能な均等の全範囲を考慮した特許請求の範囲と関連して理解されるべきものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】開弁状態、一部開弁状態及び閉弁状態にある真空バルブの図４のＡ−Ａ線に沿った略断面図。
【図２】開弁状態、一部開弁状態及び閉弁状態にある真空バルブの図４のＡ−Ａ線に沿った略断面図。
【図３】開弁状態、一部開弁状態及び閉弁状態にある真空バルブの図４のＡ−Ａ線に沿った略断面図。
【図４】本発明にかかる真空バルブの部分的断面（弁ポートを備えるハイジング壁と弁プレートとの間の弁プレートの領域を延出する線に沿う断面）図。
【図５】図１乃至図３に対応する真空バルブの一部の詳細を示す概略断面図。
【符号の説明】
１…バルブハウジング、  ２…弁ポート、  ４…弁座、  ５…弁プレート、６…シール、  ７…バルブロッド、  ８…第１ピストンーシリンダユニット、９,１１…ピストン、  １０…第２ピストンーシリンダユニット、
１２…    ハウジング、  １７…円筒型突起部、  １９…ラック、
２０…ピニオン、２１…ドラム、  ２２…円筒形ピン、  ２８…Ｏ-リング、
２９，３１…    閉弁シリンダ室、  ３０，３２…開弁シリンダ室、
３３…第１基部、        ３４…第２基部、  ３５…第１連絡通路、
３６…逆止弁、  ３７…凹部、３８…突起部（小径ピストン）、
４０…第１制御通路、  ４２…芯棒（突起部材）、  ４４…逆止弁、
４５…第２連絡通路、  ４６…第２制御通路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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