(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のノズルとその複数個のノズルごとに形成される圧力室を有するキャビティユニットと、
前記複数の圧力室にわたって延びる圧電シートを複数積層して構成され、その圧電シート間に前記各圧力室に対応した複数の個別電極、その個別電極の配列方向にわたって延びるコモン電極を交互に有する圧電アクチュエータとからなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートに前記個別電極と検出部とを同一面上に備え、前記コモン電極を有する複数の圧電シートにおける前記検出部と積層方向に重なる部分には、電極を形成しておらず、
前記キャビティユニットは、前記圧力室のある面に位置決めマークを備え、
前記検出部によって検出された前記圧電アクチュエータの重心と、前記位置決めマークによって検出された前記キャビティユニットの重心とにもとづいて、前記圧電アクチュエータと前記キャビティユニットとが位置決めされて固定されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記検出部は、前記圧電シート上に前記個別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成されたマークであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記個別電極は、前記圧電シートの各長辺に沿って列状に配設されており、
前記検出部は、前記個別電極の列の少なくとも両端部に配設されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
前記検出部は、前記両端部の２個から前記圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を更に有することを特徴とする請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５】
前記個別電極を有する前記複数の圧電シートは、その圧電シートの端部にダミーコモン電極を備えるとともに前記検出部を前記個別電極とダミーコモン電極との間に備え、前記コモン電極を有する前記複数の圧電シートは、前記コモン電極の外の位置で前記個別電極の端部と積層方向に重なるダミー個別電極を備え、
前記コモン電極とダミーコモン電極とを積層方向に接続し、前記個別電極とダミー個別電極とを積層方向に接続したことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項６】
前記検出部は、前記個別電極を備える複数の圧電シートにそれぞれ設けられ、その複数の検出部を、圧電シートの積層方向に照射された光によって、重ねられた陰影を形成するように積層方向に配置したことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに関し、特に、圧電アクチュエータの個別電極とキャビティユニットの圧力室とを正確に対応させて、圧電アクチュエータとキャビティユニットとを組み合わせることができるインクジェットプリンタヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティユニットと、前記各圧力室ごとに形成された個別電極及び隣接する複数の圧力室に共通するコモン電極により圧電シート（セラミック材料からなるグリーンシート）を挟んで積層したプレート型の圧電アクチュエータとからなり、この圧電アクチュエータを、前記キャビティユニットに、当該圧電アクチュエータにおける各個別電極が各圧力室に対応するように重ねて構成されている。
【０００３】
ここで、該圧電アクチュエータの製造工程におけるグリーンシートの焼結工程においては、グリーンシートは収縮し、その圧電シート上に形成される個別電極のピッチが小さくなることが知られている。このため、予め収縮を見込んで圧電シートとなるグリーンシートを製作するが、それでも、グリーンシートの中央部分と周辺部分とで収縮量が異なったり、また焼結炉の中でも位置によって収縮量が異なる。したがって、圧電アクチュエータと金属材料等で作成したキャビティプレートとを組み合わせるとき、グリーンシートの外周面に予め設けたマークをキャビティプレートの所定位置と合わせても個別電極とキャビティプレートの圧力室とが合わないことが生じるという問題点があった。
【０００４】
そこで、本願出願人は、特願２００１−０４１１４６号（未公知）において、図１０に示すように、圧電シート５０の長辺に沿って列状に配列される複数の個別電極５１の中央部の１つの電極５２を圧電シート５０の長辺端部まで延出して、その電極５２の延出部５２ａによって、外部から個別電極５１の位置を把握することを提案している。即ち、図１１に示すように、電極５２の延出部５２ａをキャビティユニット５４に設けられた位置決めマーク５４ａと位置合わせすることによって、各個別電極５１を正確にキャビティユニット５４の圧力室５５と対応させて、圧電アクチュエータ５６とキャビティユニット５４とを組み合わせることができるとするものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の電極５２の厚さは非常に薄いため、圧電アクチュエータ５６の側面から露出された電極５２の延出部５２ａを正確に認識するのが困難であるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、インクジェットプリンタヘッドに関し、特に、圧電アクチュエータの個別電極とキャビティユニットの圧力室とを正確に対応させて、圧電アクチュエータとキャビティユニットとを組み合わせることができるインクジェットプリンタヘッドに関するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために請求項１記載のインクジェットプリンタヘッドは、複数個のノズルとその複数個のノズルごとに形成される圧力室を有するキャビティユニットと、前記複数の圧力室にわたって延びる圧電シートを複数積層して構成され、その圧電シート間に前記各圧力室に対応した複数の個別電極、その個別電極の配列方向にわたって延びるコモン電極を交互に有する圧電アクチュエータとからなり、前記圧電アクチュエータは、前記圧電シートに前記個別電極と検出部とを同一面上に備え、前記コモン電極を有する複数の圧電シートにおける前記検出部と積層方向に重なる部分には、電極を形成しておらず、前記キャビティユニットは、前記圧力室のある面に位置決めマークを備え、前記検出部によって検出された前記圧電アクチュエータの重心と、前記位置決めマークによって検出された前記キャビティユニットの重心とにもとづいて、前記圧電アクチュエータと前記キャビティユニットとが位置決めされて固定されている。
【０００８】
【０００９】
請求項２記載のインクジェットプリンタヘッドは、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記検出部は、前記圧電シート上に前記個別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成されたマークで構成されている。
【００１０】
請求項３記載のインクジェットプリンタヘッドは、請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記個別電極は、前記圧電シートの各長辺に沿って列状に配設されており、前記検出部は、前記個別電極の列の少なくとも両端部に配設されている。
【００１１】
請求項４記載のインクジェットプリンタヘッドは、請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記検出部は、前記両端部の２個から前記圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を更に有している。
【００１２】
請求項５記載のインクジェットプリンタヘッドは、請求項１から４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記個別電極を有する前記複数の圧電シートは、その圧電シートの端部にダミーコモン電極を備えるとともに前記検出部を前記個別電極とダミーコモン電極との間に備え、前記コモン電極を有する前記複数の圧電シートは、前記コモン電極の外の位置で前記個別電極の端部と積層方向に重なるダミー個別電極を備え、前記コモン電極とダミーコモン電極とを積層方向に接続し、前記個別電極とダミー個別電極とを積層方向に接続した。
請求項６記載のインクジェットプリンタヘッドは、請求項１から５のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記検出部は、前記個別電極を備える複数の圧電シートにそれぞれ設けられ、その複数の検出部を、圧電シートの積層方向に照射された光によって、重ねられた陰影を形成するように積層方向に配置した。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施例について、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明のインクジェットプリンタヘッド６を搭載したカラーインクジェットプリンタを示す斜視図である。図１において、このカラーインクジェットプリンタ１００は、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがそれぞれ充填されるインクカートリッジ６１と、用紙６２に印字するためのインクジェットプリンタヘッド６（以下ヘッド６という）を備えるヘッドユニット６３と、インクカートリッジ６１およびヘッドユニット６３が搭載されるキャリッジ６４と、このキャリッジ６４を直線方向に往復移動させる駆動ユニット６５と、キャリッジ６４の往復移動方向に延び、ヘッド６と対向配置されるプラテンローラ６６と、パージ装置６７とを備えている。
【００１４】
駆動ユニット６５は、キャリッジ６４の下端部に配置されプラテンローラ６６と平行に延びるキャリッジ軸７１と、キャリッジ６４の上端部に配置されキャリッジ軸７１に平行に延びるガイド板７２と、そのキャリッジ軸７１とガイド板７２との間であって、キャリッジ軸７１の両端部に配置される２つのプーリー７３および７４と、これらのプーリー７３および７４の間に掛け渡されるエンドレスベルト７５とからなる。
【００１５】
そして、一方のプーリ７３が、モータの駆動により正逆回転されると、エンドレスベルト７５に接合されているキャリッジ６４が、キャリッジ軸７１およびガイド板７２に沿って、直線方向に往復移動される。
【００１６】
用紙６２は、インクジェットプリンタ１００の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給紙され、ヘッド６と、プラテンローラ６６との間に導入されて、ヘッド６から吐出されるインクにより所定の印字がなされ、その後、排紙される。なお、図１においては、用紙６２の給紙機構および排紙機構の図示を省略している。
【００１７】
パージ装置６７は、プラテンローラ６６の側方に設けられ、ヘッドユニット６３がリセット位置にある時に、ヘッド６に対向するように配置されている。このパージ装置６７は、ヘッド６の後述する複数のノズルを覆うように当該ノズルの開口面に対し当接するパージキャップ８１と、ポンプ８２およびカム８３と、インク貯留部８４と、を備えており、ヘッドユニット６３が、リセット位置にある時に、ヘッド６のノズルをパージキャップ８１で覆い、ヘッド６の内部に溜まる気泡などを含んだ不良インクを、カム８３の駆動によりポンプ８２によって吸引することにより、ヘッド６の回復を図るようにしている。なお、吸引された不良インクは、インク貯留部８４に貯められる。
【００１８】
キャップ８５は、インクの乾燥を防止するため、印字が終了するとリセット位置に戻されるキャリッジ６４に搭載されたヘッド６の複数のノズル１５（図２参照）を覆うものである。
【００１９】
図２は、ヘッドユニット６３のノズル１５側を上にした斜視図を示すものである。ヘッドユニット６３は、図２に示すように、上面開放の略箱状に形成されており、その上方から４つのインクカートリッジ６１を着脱自在に装着できる搭載部を有し、該搭載部の一側部位には、各インクカートリッジ６１のインク放出部に接続できるインク供給通路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄがヘッドユニット６３の底板５の下面まで連通して形成されている。なお、このインク供給通路４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄには、後述するインク供給孔１９ａと密接できるようにしたゴム製等のパッキング４７が配置されている。
【００２０】
底板５の下面側には、ヘッド６を４つ並列させて配置するための４つの支持部８を段付き状に形成する。該各支持部８には、ヘッド６をＵＶ接着材にて固定するための複数の空所９ａ、９ｂが上下に貫通するように形成されている。
【００２１】
図３は、ヘッド６の斜視図を示すものである。ヘッド６は、図３に示すように、積層型のキャビティユニット１０と、該キャビティユニット１０に対して接着剤または接着シートを介して接着、積層されるプレート型の圧電アクチュエータ２０と、その上面に外部機器との電気的接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が重ね接合されて構成されており、キャビティユニット１０の下面側に開口されたノズル１５から下向きにインクが吐出する。なお、圧電アクチュエータ２０については、図７ないし図９において詳細に説明する。
【００２２】
図４は、キャビティユニット１０の分解斜視図を示すものである。図５は、キャビティユニット１０の分解拡大斜視図（図３のＶ−Ｖ方向断面）を示すものである。キャビティユニット１０は、図４に示すように、ノズルプレート１１、２枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２Ｙ、スペーサプレート１３、ベースプレート１４の５枚の薄い金属板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造である。本実施形態では、これらの各プレート１１〜１４は、４２％ニッケル合金鋼板（４２合金）製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有している。なお、これらの各プレート１１〜１４は、金属製に限られず、例えば、樹脂により形成してもよい。
【００２３】
ベースプレート１４には、図５に示すように、ベースプレート１４の長手方向に対して直交する方向に延びる細幅の複数の圧力室１６が千鳥状配列で２列に穿設されている。また、ベースプレート１４のスペーサプレート１３側には、各圧力室１６と接続される絞り部１６ｄと、当該絞り部１６ｄと接続されるインク供給孔１６ｂとが凹設されている。各インク供給孔１６ｂは、スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された各インク供給孔１８を介して、マニホールドプレート１２Ｘにおける共通インク室１２ａに連通している。ここで、各絞り部１６ｄにおけるインクが流れる方向と直交する断面積は、各圧力室１６における当該断面積より小さい構造となっている。これは、絞り部１６ｄの断面積を小さくすることにより、流路抵抗を増すためである。
【００２４】
各圧力室１６の一端部１６ａは、ノズルプレート１１における千鳥状配列のノズル１５に、スペーサプレート１３および二枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２Ｙに同じく千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している。
【００２５】
また、ベースプレート１４およびスペーサプレート１３には、図４に示すように、共通のインクカートリッジからインクをマニホールドプレート１２における２つの共通インク室１２ａに供給するための２つのインク供給孔１９ａ、１９ｂがそれぞれ穿設されている。
【００２６】
ベースプレート１４のインク供給孔１９ａは、インクジェットヘッドを小型にするため、複数の圧力室１６のなす列の端部に接近して穿設されている。また、２つのインク供給孔１９ａに供給されるインクは、共通のインクカートリッジから供給されるので、２つのインク供給孔１９ａは、互いに接近して配置さている。なお、２つのインク供給孔１９ａは、スペーサプレート１３に穿設された２つのインク供給孔１９ｂを介して、対応する２つの共通インク室１２ａにインクを供給するため、スペーサプレート１３上のインク供給孔１９ｂが２つ穿設されておれば、ベースプレート１４上のインク供給孔１９ａは、１つであっても良い。
【００２７】
２枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２Ｙには、図４に示すように、それぞれ２つの共通インク室１２ａ、１２ｂが、ノズルプレート１１における複数のノズル１５のなす列を挟んで設けられている。この共通インク室１２ａ、１２ｂは、ベースプレート１４における複数の圧力室１６がなす面と平行な面内に位置し、かつ当該複数の圧力室１６よりも、ノズルプレート１１における複数のノズル１５開口面側に配置されている。
【００２８】
２枚のマニホールドプレートのうちスペーサプレート１３側のマニホールドプレート１２Ｘには、該マニホールドプレート１２Ｘを貫通して共通インク室１２ａが形成され、ノズルプレート１１側のマニホールドプレート１２Ｙには、前者のマニホールドプレート１２Ｘ側にのみ開放するように凹設されている。そして、２枚のマニホールドプレート１２Ｘ、１２Ｙとスペーサプレート１３とを積層することにより、上下に重なった共通インク室１２ａ、１２ｂが、貫通孔１７の列の両側に１つずつの共通インク室をそれぞれ形成する。これにより、複数の圧力室１６に対し供給するインク量を十分に確保することができる。貫通孔１７の列の両側に２列の共通インク室を設けたのは、２列に配置された圧力室１６に対応させるためである。
【００２９】
ノズルプレート１１には、図４に示すように、微小径（本実施形態では、２５μｍ程度）の複数のインク吐出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向に沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列で穿設されている。
【００３０】
以上のキャビティユニット１０の構成により、ベースプレート１４およびスペーサプレート１３の一端部に穿設されたインク供給孔１９ａ、１９ｂから共通インク室１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、共通インク室１２ａから各インク供給孔１８、各インク供給孔１６ｂ、絞り部１６ｄを通って各圧力室１６に分配される。そして、各圧力室１６の一端部１６ａの方向にインクが流れ、各貫通孔１７を通って、各圧力室１６に対応するノズル１５に至ることとなる。
【００３１】
次に前記圧電アクチュエータ２０について、図６ないし図９を参照しつつ説明する。圧電アクチュエータ２０は、図６及び図８に示すように、９枚の圧電セラミックスシート（以下単に圧電シートという）２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２２，２３を積層した構造で、各圧電シートは全圧力室１６にわたる大きさを有している。なお、最上段と最下段のシート２３，２２２は圧電セラミックス材料でなく、絶縁材料であっても良い。
【００３２】
図６及び図７に示すように、前記各圧電シートのうち圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上面（広幅面）には、個別電極２４、ダミーコモン電極２７、ダミー電極２８が形成されている。個別電極２４は、前記キャビティユニット１０における各圧力室１６の箇所ごとに細幅状に形成されており、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に配設され、各個別電極２４は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って矩形に形成されている。尚、実施形態においては、前記各個別電極２４の幅寸法は対応する圧力室１６における広幅部より平面視で少し狭く設定されている。ダミーコモン電極２７は、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅ等の各短辺の端部を覆うように、略平面視矩形状に形成されている。
【００３３】
ダミー電極２８は、個別電極２４と同様の材料で構成され、各個別電極列の両端部であって、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って配設されている。また、ダミー電極２８は、ほぼ個別電極２４と同様に細幅状に形成されているが、その細幅状の途中に、第１の方向と平行に２箇所の切れ目２９，２９が形成されており、その２箇所の切れ目２９，２９によって、３つに分離して形成されている。そして、その３つに分離されているダミー電極２８のうち、切れ目２９，２９に挟まれるダミー電極２８が、後述する位置決めマーク２８ａとして作用する。この位置決めマーク２８ａは、前記２箇所の切れ目２９，２９と、隣接する個別電極２４と、ダミーコモン電極２７とに囲まれて、平面視略矩形状に形成されている。
【００３４】
他方、圧電シート２２，２１ｂ，２１ｄ，２１ｆ，２１ｇの上面（広幅面）には、全圧力室１６に対して共通のコモン電極２５、ダミー個別電極２６、第２ダミー個別電極２６ａが形成されている（図６参照）。コモン電極２５は、圧力室１６が前記のベースプレート１４の短辺の中央部側で、前記第１の方向（長辺）に沿って２列状に配列されているので、その２列の圧力室１６、１６を一体的に覆うように、各圧電シート２２等の短辺方向の中央において長辺に沿って延びる平面視略矩形状に形成されると共に、短辺の端縁部近傍では当該端縁部のほぼ全長にわたって延びる引き出し部２５ａが一体的に形成されている。
【００３５】
ダミー個別電極２６は、個別電極２４と幅寸法は同等であって長さは短く形成されている。また、コモン電極２５が形成されていない長辺の端縁部近傍であって、前記各個別電極２４と同じ上下位置（対応する位置）に配設されている。尚、この場合、各ダミー個別電極２６の端部は、前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁に対して適宜の隙間寸法の切れ目があるように隔てる。
【００３６】
第２ダミー個別電極２６ａは、ダミー電極２８と同じ上下位置（対応する位置）に配設されている。そのダミー電極２８と幅寸法は同等であって長さは短く形成されている。また、第２ダミー個別電極２６ａの長さは、ダミー個別電極２６の長さより短く形成されており、第２ダミー個別電極２６ａの端部と前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁との隙間寸法Ｌ２は、位置決めマーク２８ａを挟む切れ目２９，２９の外側の幅寸法Ｌ１より大きく構成されている（図８参照）。尚、隙間寸法Ｌ２と幅寸法Ｌ１とは略同等に構成しても良い。
【００３７】
従って、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上面に形成された位置決めマーク２８ａを圧電シート２２，２１ｂ，２１ｄに投影した場合、位置決めマーク２８ａの陰影は、第２ダミー個別電極２６ａの端部と前記コモン電極２５の第１の方向（長辺に沿う方向）の側縁との隙間２８ｂに形成される（図６及び図８参照）。
【００３８】
また、最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記各個別電極２４の各々に対する表面電極３０と、前記コモン電極２５の引き出し部２５ａに対する表面電極３１とが設けられている。
【００３９】
さらに、前記最下段の圧電シート２２を除いて、他の全ての圧電シート２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３とには、前記各表面電極３０と、それに対応する位置（同じ上下位置）の個別電極２４並びにダミー個別電極２６とが互いに連通するように、スルーホール３２を穿設する。同様に、前記表面電極３１と、それに対応する位置（同じ上下位置）のコモン電極２５の引き出し部２５ａとダミーコモン電極２７とが互いに連通するように、スルーホール３３を穿設し、スルーホール３２、３３内に充填された導電性材料を介して、積層方向の個別電極２４同士及びそれと対応する位置の表面電極３０とが電気的に接続されているように構成し、同じく、積層方向のコモン電極２５同士及びそれと対応する位置の表面電極３１とが電気的に接続されているように構成するものである。
【００４０】
これにより、上下に積層された複数枚の圧電シート２１とトップシート２３とは上下同じ位置の前記個別電極２４及びダミー個別電極２６が表面電極３０の箇所と電気的に接続され、同じく上下複数枚のコモン電極２５及びダミーコモン電極２７が表面電極３１の箇所と電気的に接続されることになる。
【００４１】
なお前記スルーホール３２、３３を形成しない場合には、積層した全ての圧電シートシート２２、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇとトップシート２３とからなる圧電アクチュエータ２０の一側面に全てのコモン電極２５の引き出し部２５ａを露出させ、この全ての上下位置のコモン電極２５に接続する接続電極（図示せず）を圧電アクチュエータ２０の厚さ方向に延びるように塗布して、これらの接続電極をトップシート２３における表面電極３１の箇所に電気的に接続するように連接させる。また、同様に、全ての個別電極２４の端部を圧電アクチュエータ２０の一側面に露出させ、上下方向に同じ位置の個別電極２４に接続する接続電極（同じく図示せず）を当該圧電アクチュエータ２０の一側面に塗布し、接続電極をトップシート２３における各対応する表面電極３０の箇所に電気的に接続するように連接させても良い。
【００４２】
上記の各電極２４，２５，２６，２７，２８，２８ａ，３０，３１は、焼結前の圧電材料のシート（グリーンシート）に公知のスクリーン印刷によって形成される。電極が形成された複数のグリーンは、上述のように上下方向の各電極の位置が相互に位置決めされた状態で積層され、脱脂された後、焼結されて一体化される。表面電極３０，３１は、焼結後の圧電アクチュェータ２０の上面に形成することもできる。圧電アクチュェータ２０の側面に上記の接続電極を設ける場合は、焼結後に、その接続電極を形成することになる。
【００４３】
このように構成された圧電アクチュエータ２０は、その下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シートが予め貼着される。次いで、前記キャビティユニット１０に対して、当該圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４が前記キャビティユニット１０における各圧力室１６の各々に対応するように接着、固定される。
【００４４】
しかし、前述したように圧電アクチュエータ２０を製造する際の焼結工程における圧電シートの収縮によって、圧電シートの内部に形成された個別電極２４のピッチ間隔も収縮しているため、積層した圧電シートの内部にある個別電極の位置を外部から正確に把握することが困難である。
【００４５】
そこで、図８に示すように、上述した構成の圧電アクチュエータ２０のトップシート２３側から光源装置９０によって、位置決めマーク２８ａに対して光線９１ａを照射する。位置決めマーク２８ａの周縁であって、その積層方向への延長上には、光線９１ａの進行を妨げるような電極等は形成されておらず、光線９１ａは、圧電シート２３等と、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上面（広幅面）に形成された位置決めマーク２８ａの周縁（切れ目２９，２９）とを透過して、最下段の圧電シート２２側に設置された受像装置９２に受像される。
【００４６】
そして、画像処理装置（図示せず）によりマーク２８ａの形状、位置が認識される。この際、受像装置９２には、圧電シート２１ａ，２１ｃ，２１ｅの上に形成された３つの位置決めマーク２８ａの陰影２８ｃが図９に示すように形成される。画像処理装置により四隅に形成された位置決めマーク２８ａのそれぞれの陰影２８ｃにおける最も濃い部分２９の重心が検出される。得られた４点の重心は対角線上に結ばれ、その交点Ｐが圧電アクチュェータ２０の重心とされる。
【００４７】
また、ベースプレート１４についても、その四隅に形成された位置決めマーク１４ａを撮像装置（図示せず）により撮影して、上記のように４点のマークの重心Ｑが求められる。そして、圧電アクチュェータ２０を保持する治具（図示せず）と、キャビティユニット１０を保持する治具（図示せず）とを、相対移動して両者の重心Ｐ、Ｑが一致したところで、両者の相対角度が補正され両者が接着固定される。ここで、位置決めマーク２８ａは、個別電極２４と同様な材料で構成されているため、個別電極２４の位置を正確にあらわす。
【００４８】
更に、位置決めマーク２８ａは、１つの個別電極列の両端部と、その両端部の位置からさらに圧電シートの短辺方向に離れた位置で、他の個別電極列の両端部との４箇所にあるので、４点の重心を正確に検出することができる。
【００４９】
また、圧電シートの収縮は一般的に圧電シートの両端部においてその収縮率が大きい上、各個別電極列の両端部に位置決めマーク２８ａは、各個別電極列の両端部に配設されているので、個別電極２４の相互の位置ズレを平均化することができる。よって、キャビティユニット１０の圧力室１６と圧電アクチュエータ２０の個別電極２４を対応させて、キャビティユニット１０と圧電アクチュエータ２０とを接続することができる。
【００５０】
こうして、キャビティユニット１０と接続された圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ねられて、フレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。そして、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することにより、圧電シートのうち前記電圧を印加した個別電極２４に対応する部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、その個別電極２４に対応する圧力室１６内のインクを、ノズル５４から液滴状に吐出することができる。
【００５１】
以上、上記実施例に基づき本発明を説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものでなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変形が可能であることは容易に推察できるものである。
【００５２】
上記実施形態においては、圧電シート２１ａ等の四隅に位置決めマーク２８ａを設けたが、このうち３つの位置決めマーク２８ａのみであっても良い。
【００５３】
【発明の効果】
請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドによれば、圧電アクチュエータ自体の中に、個別電極と検出部とが同一面上に形成されているので、圧電アクチュエータの個別電極とキャビティユニットの圧力室とを、積層方向においてごく近い位置で正確に対応させて、圧電アクチュエータとキャビティユニットとを組み合わせることができるという効果がある。
【００５４】
請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドによれば、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、圧電シート上に個別電極と同じ材料で、その個別電極と同時に形成されたマークで構成されるので、個別電極の位置をマークに正確に反映させることができると共に、検出部を圧電シート上に容易に配設することができるという効果がある。
【００５５】
請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドによれば、請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、個別電極の列の少なくとも両端部に配設されているので、平均した個別電極の位置を検出することができるという効果がある。
【００５６】
請求項４に記載のインクジェットプリンタヘッドによれば、請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドの奏する効果に加え、検出部は、両端部の２個から圧電シートの短辺方向に離れた少なくとも１個を更に有しているので、それら複数の点の重心位置を正確に検出することができるという効果がある。
【００５７】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のインクジェットプリンタヘッドの実施の形態であるカラーインクジェットプリンタを示す斜視図である。
【図２】  ヘッドユニットのノズル側を上にした斜視図である。
【図３】  インクジェットプリンタヘッドの各部品の斜視図である。
【図４】  キャビティユニットの分解斜視図である。
【図５】  図３のキャビティユニットのＶ−Ｖ断面線における分解拡大斜視図である。
【図６】  圧電アクチュエータの分解拡大斜視図である。
【図７】  圧電シートにおける個別電極のパターンを示す平面図である。
【図８】  図６における圧電アクチュェータのＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である。
【図９】  圧電アクチュエータに検出部が投影されている状態を示す模式図である。
【図１０】  従来の圧電シートにおける個別電極のパターンを示す平面図である。
【図１１】  従来のインクジェットプリンタヘッドの各部品の斜視図である。
【符号の説明】
６                          インクジェットプリンタヘッド
１０                        キャビティユニット
１５                        ノズル
２０                        圧電アクチュエータ
２２，２１ａ〜２１ｇ，２３  圧電シート
２４                        個別電極
２５                        コモン電極
２６                        ダミー個別電極
２７                        ダミーコモン電極
２８                        ダミー電極
２８ａ                      位置決めマーク
３０，３１                  表面電極
３２，３３                  スルーホール
９１                        光源装置
９１ａ                      光線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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