(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性を有するシート状床仕上げ材が壁下地面に延長するように取付けられ、導電性を有するシート状壁仕上げ材と壁下地面に延長するシート状床仕上げ材とが導通するように構成されたとともに、壁下地面と床下地面との境界部付近に壁下地面と床下地面とを繋ぐ傾斜面を形成するための傾斜面形成部材を設け、シート状床仕上げ材を上記傾斜面上に沿わせるようにして壁下地面に延長させたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
シート状壁仕上げ材の表面に一端側が取付けられるとともに壁下地面に延長するシート状床仕上げ材の表面に他端側が取付けられる導通接続部材を介してシート状壁仕上げ材とシート状床仕上げ材とを導通状態に接続したことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
導通接続部材の一端とシート状壁仕上げ材の表面との間及び導通接続部材の他端と壁下地面に延長するシート状床仕上げ材の表面との間のシーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤で施したことを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造等に使用されるクリーンルーム、特にクリーンルームの壁と床の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、手術室等のクリーンルームが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のクリーンルームにおいては壁や床の帯電防止対策が万全とは言えず、壁や床に電荷が蓄積され、静電気により埃がたまったり、静電気スパークにより有機物反応を起こすことによってガスが発生してしまい、半導体製造等においてトラブルの原因となるという課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るクリーンルームは、導電性を有するシート状床仕上げ材が壁下地面に延長するように取付けられ、導電性を有するシート状壁仕上げ材と壁下地面に延長するシート状床仕上げ材とが導通するように構成されたとともに、壁下地面と床下地面との境界部付近に壁下地面と床下地面とを繋ぐ傾斜面を形成するための傾斜面形成部材を設け、シート状床仕上げ材を上記傾斜面上に沿わせるようにして壁下地面に延長させたことを特徴とする。
請求項２は、シート状壁仕上げ材の表面に一端側が取付けられるとともに壁下地面に延長するシート状床仕上げ材の表面に他端側が取付けられる導通接続部材を介してシート状壁仕上げ材とシート状床仕上げ材とを導通状態に接続した。
請求項３は、導通接続部材の一端とシート状壁仕上げ材の表面との間及び導通接続部材の他端と壁下地面に延長するシート状床仕上げ材の表面との間のシーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤で施すようにした。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１，図２に基づき説明する。まず、本実施の形態における半導体製造工場のクリーンルームの概要を図２に基づいて説明する。
クリーンルームは３層構造となっている。即ち、半導体製造や検査などに必要な精密機器が設置されるプロセスエリア１０と、床下エリア２０と、天井エリア３０とを備える。プロセスエリア１０の床は有孔床（グレーチング）１１となっており、プロセスエリア１０の天井は有孔天井１２となっている。天井エリア３０には、空調機３１と空気洗浄フィルタ３２が設けられている。プロセスエリア１０の横には空気循環空間１０Ａが設けられ、これにより、空気が空気洗浄フィルタ３２で浄化されて、矢示のように各エリア１０，２０，３０を循環する構造となっている。また、出入口４０と外部との間にはエアーシャワーが装備された前室が設けられており、クリーンルームへの入室者は前室で空気洗浄を行った後にクリーンルーム内に入る。前室は、クリーンルーム側のドア４０ａと外部側のドアとで密閉空間となる。尚、４１は空気循環空間１０Ａとプロセスエリア１０との間の出入口、４１ａはこの出入口４１のドア、４２は柱、４３、４４は耐火被覆梁、４５は二重窓、４６は廊下、４７は配線を収納する配線ピットである。
【０００６】
次に、クリーンルームの壁と床の構造について、図２の床下エリア２０のＡ部分における壁と床の構造を例にして図１に基づいて説明する。
コンクリートによる床下地面１と壁下地面２との境界部付近には壁下地面２と床下地面１とを繋ぐ傾斜面３ｆを形成するための傾斜面形成部材３が設けられている。この傾斜面形成部材３は、断面が直角二等辺三角形状の長尺材である。よって、傾斜面形成部材３の直角部分を壁下地面２と床下地面１の境界部の角に対応させて二等辺部分を壁下地面２と床下地面１に接着することにより、壁下地面２と床下地面１とを繋ぐ４５°の傾斜面３ｆが形成される。そして、導電性を有するシート状床仕上げ材として導電性塩化ビニルシート４が床下地面１に取付けられている。この導電性塩化ビニルシート４は上記傾斜面３ｆ上に沿って壁下地面２に延長するように接着剤で取付けられている。即ち、上記傾斜面３ｆ及び壁下地面２に沿って導電性塩化ビニルシート４を立ち上げる。壁下地面２には導電性を有するシート状壁仕上げ材として導電性クロス５がクロスのりで取付けられている。この導電性クロス５は、壁下地面２に延長する塩化ビニルシートの上端４ｔに下端５ｕが突き合わされるように取付けられる。これにより導電性クロス５と導電性塩化ビニルシート４とが導通状態となる。６は長尺なガルバリウム鋼板から成る導通接続部材であり、これは、短手方向の一端６ａ側がコンクリートビス７Ａにより導電性クロス５の表面５ａに取付けられるとともに、短手方向の他端６ｂ側がコンクリートビス７Ｂにより導電性塩化ビニルシート４の上端４ｔ側の表面４ａに取付けられて、導電性塩化ビニルシート４と導電性クロス５とを確実に導通状態に接続するものである。この導通接続部材６の一端６ａと導電性クロス５の表面５ａとの間及び導通接続部材６の他端６ｂと導電性塩化ビニルシート４の表面４ａとの間は、ガス発散の少ないウレタン系，シリコン系等のシーリング剤８でシーリング処理される。
【０００７】
以上によれば、導電性塩化ビニルシート４と導電性クロス５との突き合わせにより、導電性塩化ビニルシート４と導電性クロス５との導通が図られるので、導電性塩化ビニルシート４により導電処理された導電処理床１４と導電性クロス５により導電処理された導電処理壁１５の導電性が確保され、導電処理床１４や導電処理壁１５をアースすることで、導電処理床１４と導電処理壁１５が均一電位となるので、帯電電流をアースに素早く逃がすことができるようになる。よって、半導体製造においてトラブルの原因となる静電気の蓄積を防止できる帯電防止効果の優れた壁床を備えたクリーンルームが得られる。さらに、導電性塩化ビニルシート４と導電性クロス５との導通は金属製のコンクリートビス７Ａ，７Ｂ及び導通接続部材６によっても図られるので、導電処理床１４と導電処理壁１５の導電性がさらに良くなり、さらに帯電防止効果の優れた壁床が得られる。尚、導電処理床１４と導電処理壁１５の導電性が確保されていない場合は、導電処理床１４と導電処理壁１５とを均一電位にできないので、本実施の形態に比べて、帯電電流をアースに素早く逃がすことができない。
また、傾斜面形成部材３の傾斜面３ｆにより、導電処理床１４と導電処理壁１５との境界部付近のほこりだまりを防止でき、かつ、清掃作業も容易となる。
また、ガス発散の少ないシーリング剤８を用いているので、半導体製造においてトラブルの原因となるガスの発生を抑えることができる。
【０００８】
尚、導電性塩化ビニルシートの上端４ｔと導電性クロスの下端５ｕとを重ね合わせるようにして導通させてもよい。
また、上記では、コンクリート壁下地の場合について説明したが、ボード壁下地に本発明を採用する場合は、導通接続部材６をビス止めする下地材にベニヤ合板等を設ければよい。また、ＡＬＣ（軽量気泡コンクリート）等の成形コンクリートの表面側にＧＬ工法などで取付けたボード壁下地の場合は、成形コンクリートまで届く長い金属製のビスを用いればよい。
また、上記では図２の床下エリア２０の壁床構造部分を例にして説明したが、本発明は前室の壁床構造部分にも適用できる。
また、本発明は、金属製のグレーチング床が採用されていないプロセスエリア１０の壁床構造にも適用できる。
また、本発明は、手術室のようなクリーンルームの壁床構造にも適用でき、これにより、手術室のコンピュータ機械の誤動作の原因となる静電気やガスを少なくできる。
【０００９】
【発明の効果】
本発明の請求項１によれば、クリーンルームの導電処理壁と導電処理床の導電性を確保したので、帯電防止効果の優れたクリーンルームが得られるとともに、傾斜面形成部材を設けたので、導電処理壁と導電処理床との境界部付近のほこりだまりを防止でき、かつ、清掃作業も容易となる。
請求項２によれば、導通接続部材を介してシート状壁仕上げ材とシート状床仕上げ材とを確実に導通する状態に接続したので、導電処理壁と導電処理床の導電性がさらに良くなり、さらに帯電防止効果の優れたクリーンルームが得られる。
請求項３によれば、シーリング処理をガス発散の少ないシーリング剤で施したので、ガス発生防止効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態によるクリーンルームの壁と床の構造を示す断面図。
【図２】  実施の形態によるクリーンルームの概要を示す断面図。
【符号の説明】
１  床下地面、２  壁下地面、３  傾斜面形成部材、３ｆ  傾斜面、４  導電性塩化ビニルシート（導電性を有するシート状床仕上げ材）、５  導電性クロス（導電性を有するシート状壁仕上げ材）、６  導通接続部材、６ａ  導通接続部材の一端、６ｂ  導通接続部材の他端、８  シーリング剤。
【図１】
0003898517.tif 000002
【図２】
0003898517.tif 000003