(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、
前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、
前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、
前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、
前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、
前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出すること、
を特徴とするテープ貼り方法。
【請求項２】
被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、
前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出すること、
を特徴とするテープ貼り装置。
【請求項３】
テープの未切断を検出した際にアラームを発し、オペレータにテープの未切断を知らせる請求項２に記載のテープ貼り装置。
【請求項４】
テープの未切断を検出した際、完全切断するまでテープカッターを作用させる請求項２または３に記載のテープ貼り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば被加工物である半導体ウェーハと、それを支持して搬送し加工等に供するためのリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウェーハとフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置は、例えば、特開平６−１７７２４３号に開示されているものが知られている。このテープ貼り装置１は、図８乃至図１０に示すように、テープ送り出し部２０とテープ巻き取り部３０と、これらの中間に存するテープ貼着領域６０と、該テープ貼着領域６０においてテープカットのために待機位置と作用位置に移動自在に設けられたテープカッター３１と、テープ貼着可動ローラ２２と、テープ剥離可動ローラ２３，２４と、前記テープ貼着領域６０に粘着テープの送り方向に直角方向に進退するテーブル４０とから概ね構成されている。
【０００３】
そして、前記テーブル４０が作業領域５０（引き出された位置）に位置付けられていて、そのフレーム載置領域４１にフレーム８０が載置されると共に、ウェーハ７０がウェーハ載置領域４２に載置される。
【０００４】
テーブル４０のボタンＡを押すと、前記フレーム８０とウェーハ７０とがテーブル４０に吸着され、該テーブル４０は矢印９０の方向に移動してテープ貼着領域６０に進出する。
【０００５】
そして、テープ貼着領域６０に位置付けられたフレーム８０とウェーハ７０に粘着テープ２を貼着すべくテープ貼着可動ローラ２２を、粘着テープ２の送り出し方向と同方向に往動させ、破線で示すテープ貼着可動ローラ２２ａの位置に達したら逆方向に復動させて、元の位置に戻す。
【０００６】
これにより、粘着テープ２が一点鎖線で示す粘着テープ２ａの状態となって前記フレーム８０とウェーハ７０に貼着される。そして、テープカッター３１が作用位置に下降され、そのカッター３２が回転軸３３を中心に３６０゜回転され、フレーム８０に沿って粘着テープ２を円形状に切断する。この後、テープカッター３１は待機領域に戻される。
【０００７】
そして、テープカッター３１により切断された使用済みの不要となった粘着テープが、テープ剥離可動ローラ２３，２４の移動によりフレーム８０から剥離され、テープ巻き取り部３０の巻き取り軸２５に巻き取られるとともに、未使用の粘着テープ２をテープ送り出し部２０からテープ貼着領域６０に引き出す。
【０００８】
テーブル４０は、作業領域５０に退出させられ、粘着テープ２で一体に貼着されたフレーム８０とウェーハ７０が、作業者によって取り出されて次の工程に移送される。このようにして、テープ貼着工程が繰り返し遂行される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記テープカッター３１によって粘着テープ２をフレーム８０に沿って切断する際に、該テープカッター３１のカッター３２の刃先が磨耗等により切れ味が悪かったり、後退していると、図１１に示すように、カッター３２の刃先とフレーム８０との間に僅かな隙間αが生じるようになり、粘着テープ２を完全に切断できないことがある。このような未切断部分があると、使用済みの不要となった粘着テープ２をテープ剥離可動ローラ２３，２４によってフレーム８０から剥がす際の障害となり、テープの未切断部分を無理に剥がしたりするとウェーハ割れの原因となると言う問題点がある。
【００１０】
このように、従来例に係るテープ貼り装置には、粘着テープの完全切断を遂行する上において解決すべき課題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るテープ貼り方法の上記課題を解決するための要旨は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出するテープ貼り方法である。
【００１２】
本発明に係るテープ貼り装置の要旨は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出することである。
【００１３】
また、前記テープの未切断を検出した際にアラームを発し、オペレータにテープの未切断を知らせること；テープの未切断を検出した際、完全切断するまでテープカッターを作用させることも付加要件として含むものである。
【００１４】
本発明のテープ貼り方法によれば、粘着テープを切断するためのテープカッターの刃先が、切断作用中に常にフレームの表面に当接して、完全に粘着テープの切断が遂行されたか否かを回路の非導通によって直ちに判断することが出来る。
また、本発明のテープ貼り装置により、粘着テープを不完全に切断したことが直ぐに判り、完全に切断されるまでテープカッターによってテープ切断を遂行することができるようになり、テープ未切断のままテープ剥離作業がテープ剥離ローラによって行われるのを防止することが出来る。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るテープ貼り方法と装置について図面を参照して説明する。なお、発明の理解容易のため従来例に対応する部分には従来例と同一の符号を付けて説明する。
テープ貼り装置１０は、図１に示すように、未使用の粘着テープ２を供給するテープ供給ローラ１１と、粘着テープ２を送るテープ送りローラ１２と、使用済み粘着テープを巻き取るテープ巻き取りローラ１３と、粘着テープ２の送り方向に直角に進退するテーブル４０と、テープ貼着領域６０においてフレーム８０に沿って粘着テープ２を切断するテープカッター３１と、を概ね備えて構成されている。
【００１６】
作業領域５０のテーブル４０には、図２に示すように、リング状のフレーム８０を載置するフレーム載置領域４１と、ウェーハ７０を保持する被加工物保持部が形成されたウェーハ載置領域４２とが設けられている。前記フレーム８０は、図２及び図７に示すように、ウェーハ７０の外側周囲を間隙を置いて囲繞している。そして、該テーブル４０は、矢印４４で示すように、粘着テープ２の送り方向に対して直角方向に進退するように構成され、作業領域５０とテープ貼着領域６０との間を正面側から往復移動されるものである。
【００１７】
また、前記フレーム載置領域４１には、その周縁部にフレーム８０を吸着して支持する吸引孔４１ａが適宜間隔を置いて複数配設されているとともに、フレーム８０に接触し該フレーム８０を介してテープカッター３１と電気的導通を図る電気導通部４１ｂが配設されて、フレーム保持部が形成されている。この電気導通部４１ｂを含む回路構成については後述する。
【００１８】
装置本体を正面側から見てテープ貼着領域６０の右側には、図３に示すように、テープ送り方向に沿って往復移動可能な貼着ローラ２２が配設されている。該貼着ローラ２２は、略隣接状態にテープ剥離ローラ２２ａを備えており、テープ送り方向と順方向に移動することで、テープ貼着領域６０においてフレーム８０とウェーハ７０とを粘着テープ２で一体に貼着し、テープ送り方向と逆方向に移動することで、フレームに沿って切断された部分以外の使用済みの粘着テープ２をフレーム８０から剥離させるものである。
【００１９】
前記テープ貼着領域６０におけるテーブル４０と対向配置したテープカッター３１が、装置本体の上部に配設されている。該テープカッター３１には、図３に示すように、カッター基台３１ｄに垂下された上下動自在な回転軸３１ａと、その回転軸３１ａの下端部に水平に設けられた支持部材３１ｅと、該支持部材３１ｅの端部にカッター３１ｂとフレームローラ３１ｃとが設けられている。
【００２０】
そして、前記テープカッター３１とテーブル４０の電気導通部４１ｂとが、粘着テープ２の切断作業中に、導電性（例えば、ステンレス製）のフレーム８０が介在することで、テープ未切断検出用の回路３５が形成されている。
【００２１】
そのテープ未切断検出用の回路３５の構成は、図４に示すように、例えば、テープカッター３１のカッター基台３１ｄから回転軸３１ａ，支持部材３１ｅ及びカッター３１ｂへと電気的に導通を図り、カッター３１ｂが粘着テープ２を突き破ってフレーム８０に接触することで、更にカッター基台３１ｄと、フレーム８０及びこれに接触する電気導通部４１ｂと、電源部４１ｃと、リレー３７とが電気的に導通して閉回路が構成される。
【００２２】
又、前記テープ未切断検出用の回路３５のリレー３７に、電源部３９とアラーム３８を有するアラーム回路３６の一部が接続されている。よって、例えば、前記回路３５の一部において非導通となって前記リレー３７が作動したときに、そのリレー３７の作動によってアラーム回路３６が閉回路となって通電状態となる。
【００２３】
そして、アラーム回路３６中のアラーム３８が作動し、警報音・光点滅等の警報手段でオペレータ等に知らせるようになっている。
尚、前記アラーム回路３６は、テープカッター３１がテープ切断作業中においてのみ作動状態になるものである。よって、テープカッター３１がテープ切断の作用位置に位置付けられた直後に制御装置によってアラーム回路３６が作動状態にされ、テープ切断作業が完全に遂行された後でテープカッター３１を非作用位置に後退させる直前に制御装置によって当該アラーム回路３６が非作動状態にされるものである。
【００２４】
このようにして、テーブル４０のフレーム載置領域４１とテープカッター３１とに、テープ未切断検出用の回路３５を設けたテープ貼り装置１０によって、粘着テープ２の切断が完全に遂行される様子を説明する。
【００２５】
図１乃至図２を参照して説明すると、テープ貼り装置１０において作業領域５０にあるテーブル４０に、フレーム８０をフレーム載置領域４１に載置して吸着支持させ、ウェーハ７０を回路面を下にしてウェーハ載置領域４２に載置して吸着支持させ、該テーブル４０をテープ貼着領域６０に進出させる。
【００２６】
テープ貼着領域６０において、図３に示す状態から貼着ローラ２２及びテープ剥離ローラ２２ａをテープ送り方向と同一方向に移動させて、テーブル４０上のフレーム８０とウェーハ７０とを粘着テープ２で一体に貼着する。
【００２７】
そして、図５に示すように、テープカッター３１をテープ切断の作用位置に位置付ける。これにより、テープカッター３１におけるカッター３１ｂの先端部が粘着テープ２に押圧し、図６に示すように、粘着テープ２を突き破ってフレーム８０に接触し、図４に示したテープ未切断検出用の回路３５が閉回路となる。
【００２８】
その直後に、アラーム回路３６を制御装置により作動状態にして、テープカッター３１の回転軸３１ａを矢印方向に１回転させる。カッター３１ｂがフレーム８０に沿って回転し、粘着テープ２を切断する。
【００２９】
このカッター３１ｂによる粘着テープ２の切断中において、例えば、カッター３１ｂの刃先が磨耗し切れ味が悪かったり、フレーム８０の平坦度のバラツキ（不陸）があったりすると、カッター３１ｂの刃先とフレーム８０の表面との間に僅かな間隙が生じる。
【００３０】
すると、図４に示したテープ未切断検出用の回路３５において、カッター３１ｂとフレーム８０との間で電気的導通が遮断され、該回路３５のリレー３７が働き、それに連動してアラーム回路３６が閉回路となり、アラーム３８が直ちに作動して、例えば、警報を発する。
【００３１】
そして、オペレータは、カッター３１ｂの１回転中において、粘着テープ２を完全に切断することが出来なかったことを知らされるので、再度、カッター３１ｂを１回転させるべくテープ貼り装置１０を操作して粘着テープ２を完全に切断するか、又は、刃先の磨耗が著しい場合には古いカッター３１ｂを新しいカッター３１ｂに交換してから、粘着テープ２を完全に切断するものである。
【００３２】
このように、テープ未切断検出用の回路３５とアラーム回路３６とにより、粘着テープの切断作業中に未切断部分が発生したときに、それを回路の非導通によって検出し、当該粘着テープ２の完全切断が確実に達成されるものである。
【００３３】
テープカッター３１により完全に粘着テープ２を切断した後に、アラーム回路３６を制御装置によって非作動状態にしてから、該テープカッター３１を非作用位置に後退させる。そして、貼着ローラ２２及びテープ剥離ローラ２２ａをテープ送り方向と逆方向に移動させてテープ貼着領域６０における使用済みの不要となった粘着テープ２をフレーム８０から剥離させ、その後、該粘着テープ２をテープ送りローラ１２によりテープ送り方向に送り出し、粘着テープ２の弛みを取るテープテンション調整部１９を介してテープ巻き取りローラ１３に巻き取らせる。
【００３４】
そして、図７に示すように、フレーム８０に沿って完全に切断された粘着テープ２で一体に貼着されたフレーム８０とウェーハ７０を取り出すべく、テーブル４０をテープ貼着領域６０から作業領域５０へと後退させて、当該フレーム８０とウェーハ７０とを次の作業工程、例えばダイシング工程に移送させるものである。
【００３５】
なお、本発明に係るテープ貼り方法において、テープカッター３１のカッター３１ｂを１回転させて粘着テープ２を切断させたときに、アラーム回路３６のアラーム３８が警報を発した場合には、自動的にカッター３１ｂをもう１回転させるように設定したり、完全切断するまでテープカッターを切断作用させるようにしたりすることが出来るものである。そして、再度の切断を遂行しても未切断部分があってアラームが発生する場合には、カッター３１ｂの交換を促すようにすることもできるものである。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテープ貼り方法は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り方法であって、前記被加工物を保持する被加工物保持部と、前記フレームを保持するフレーム保持部とがあり、前記フレーム保持部はその周縁部に前記リング状のフレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、前記被加工物保持部に被加工物を吸着保持させ、前記フレーム保持部にフレームを吸着支持させ、その後前記被加工物とフレームとに粘着テープを貼着し、前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとフレーム保持部で保持されたフレームとが接触することで通電する回路を構成し、前記テープカッターによるテープ切断中において前記回路が非導通となったことでテープの未切断を検出することにより、カッターの磨耗等で粘着テープに未切断部分があると確実に検出され、テープカッターによる切断作業を完全に遂行することが出来るようになるという優れた効果を奏するものである。
【００３７】
本発明に係るテープ貼り装置は、被加工物と該被加工物の外側周囲を間隙を置いて囲繞するリング状のフレームとを粘着テープによって一体にするテープ貼り装置であって、該テープ貼り装置は、未使用テープを供給するテープ供給ローラと、テープを送るテープ送りローラと、使用済みテープを巻き取るテープ巻き取りローラと、被加工物保持部とフレーム保持部とを含み被加工物とフレームとを粘着テープによって一体貼着するテープ貼り部と、作用位置と非作用位置とに位置付けられ作用位置に位置付けられた際に前記リング状のフレームに沿って粘着テープを切断するテープカッターとを備え、前記フレーム保持部にはその周縁部にリング状の前記フレームを吸着して支持する吸引孔が適宜間隔を置いて複数配置されるとともに、前記フレームに接触し該フレームを介して前記テープカッターと電気的導通を図る電気導通部が形成されており、該テープカッターが作用位置に位置付けられフレームに沿ってテープを切断する際にテープの未切断を電気の非導通によって検出するので、粘着テープに未切断部分があるにもかかわらずテープ剥離を遂行してウェーハ割れを引き起こす不都合を防止できるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るテープ貼り装置の斜視図である。
【図２】同本発明のテープ貼り装置におけるテープ貼着領域と作業領域の概略平面図である。
【図３】同本発明のテープ貼り装置の概略構成配置を示す正面図である。
【図４】同本発明のテープ貼り装置における、テープ未切断検出用の回路３５とアラーム回路３６との概略構成を示す説明図である。
【図５】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープをテープカッターで切断する様子を示す説明図である。
【図６】同本発明のテープ貼り装置で粘着テープを切断する際の、粘着テープを突き破ってカッターとフレームとが接触する様子を示す説明図である。
【図７】同本発明のテープ貼り装置において、本発明のテープ貼り方法で完全に粘着テープを切断した後、テーブルを作業領域に後退させて、粘着テープによって一体化したフレームとウェーハを取り出す様子を示す説明図である。
【図８】従来例に係るテープ貼り装置の斜視図である。
【図９】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ貼着の様子を示す説明図である。
【図１０】同従例に係るテープ貼り装置によるテープ切断の様子を示す説明図である。
【図１１】従来例に係るテープ貼り装置において、テープカッターによる粘着テープの切断中に、カッターの刃先とフレームとの間に間隙が生じて未切断部分が生じる様子を示す説明図である。
【符号の説明】
２  粘着テープ、１０  テープ貼り装置、１１  テープ供給ローラ、
１２  テープ送りローラ、  １３  テープ巻き取りローラ、
２２  貼着ローラ、２２ａ  テープ剥離ローラ、３１  テープカッター、
３１ｂ  カッター、３１ｄ  カッター基台、３１ｅ  支持部材、
３５  テープ未切断検出用の回路、３６  アラーム回路、３７  リレー、
３８  アラーム、３９，４１ｃ  電源部、４０  テーブル、
４１  フレーム載置領域、４１ｂ  電気導通部、４２  ウェーハ載置領域、
５０  作業領域、６０  テープ貼着領域、７０  ウェーハ、８０  フレーム。
【図１】
0003982567.tif 000002
【図２】
0003982567.tif 000003
【図３】
0003982567.tif 000004
【図４】
0003982567.tif 000005
【図５】
0003982567.tif 000006
【図６】
0003982567.tif 000007
【図７】
0003982567.tif 000008
【図８】
0003982567.tif 000009
【図９】
0003982567.tif 000010
【図１０】
0003982567.tif 000011
【図１１】
0003982567.tif 000012