(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＲＧＢの発光層を仕切る下記ディメンジョンを有したストライプ形状の隔壁を形成した基板上に、ＲＧＢ各色を発光する３種類の蛍光体ペーストを５０〜２０００個の吐出孔を有する口金から連続的に押し出して前記基板上の隔壁間にそれぞれ塗布する工程、その後焼成して蛍光体層を形成する工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法。
隔壁のディメンジョン：
ピッチ：１００〜２００μｍ
線幅 ：１５〜４０μｍ
高さ ：６０〜１７０μｍ
【請求項２】
吐出孔を有する口金として、ノズルまたはニードルを用いたものである請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
蛍光体粉末と感光性有機成分とを含む感光性蛍光体ペーストを吐出孔を有する口金からガラス基板上の隔壁間に塗布した後に、パターン露光・現像処理し、焼成して蛍光体層を形成させたものである請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
隔壁間の底部は２０±６μｍの厚さの蛍光体層となるように塗布する請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
隔壁側面にも蛍光体層を有するよう塗布する請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は高アスペクト比かつ高精細な隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであり、材料効率が高くおよび工程が少ない形成方法によって蛍光体層を作製したプラズマディスプレイである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、電極、隔壁形成にスクリーン印刷法が用いられてきている。プラズマディスプレイの蛍光体層を形成する方法としてもスクリーン印刷法が多く用いられている。
【０００３】
また、特開平６−５２０５号公報に示されるようにスクリーン印刷を行った後にサンドブラストを用いる方法、特開平５−１４４３７５号公報に示されるように架橋剤を塗布した後にスクリーン印刷する方法が提案されているが、いずれもスクリーン印刷の手法が用いられている。しかしながら、スクリーン印刷は、それを繰り返すうちにスクリーン版の形状が変化するため、スクリーン印刷では精度の高いパターン形成ができないという欠点があり、スクリーン印刷版の洗浄などの管理面についても量産には問題がある。
【０００４】
高精度のパターンを得る方法として、フォトリソグラフィを用いた方法も利用されているが、この場合、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色蛍光体層を形成するために、各３回の塗布ー露光ー現像ー乾燥ー焼成などの工程が必要であり、コスト高になるという問題がある。
【０００５】
インクジェットノズルの先端から蛍光体ペーストを噴出し、蛍光体層を形成する方法も提案されているが、インクジェットの場合は、蛍光体ペーストの粘度を０．２ポイズ以下にする必要があり、ペーストの中の蛍光体粉末量を多くできないため、形成した蛍光体層の厚みが薄くなるという課題があった。また、インクジェットノズルの径が小さいため、蛍光体粉末が詰まるという問題もあった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記欠点がない高精細なプラズマディスプレイパネルの製造方法について鋭意検討した結果得られたものであり、蛍光体層を高精細な隔壁間に高精度かつ簡便に形成できるプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ピッチが１００〜２００μｍ、線幅が１５〜４０μｍ、高さが６０〜１７０μｍであるＲＧＢの発光層を仕切るためのストランド形状の隔壁を有し、ＲＧＢ各色を発光する３種類の蛍光体ペーストを５０〜２０００個の吐出孔を有する口金から連続的に押し出して前記基板上の隔壁間にそれぞれ塗布する工程、その後焼成して蛍光体層を形成する工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
プラズマディスプレイパネルは、表示電極／誘電体層／保護層を形成した前面ガラス基板とアドレス電極／誘電体層／隔壁層／蛍光体層が形成された背面ガラス基板とを張り合わせ、隔壁で仕切られた放電空間にＨｅ−ＸｅまたはＮｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した構造を有している。
【０００９】
本発明は、アドレス電極／誘電体層／隔壁層が形成された背面ガラス基板に蛍光体ペーストが精度高く塗布されてなるプラズマディスプレイパネル、並びに特定の方法によって製造された上記プラズマディスプレイパネルに関するものである。
【００１０】
ＲＧＢすなわち赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）各色の蛍光体層を形成するセルは隔壁で囲まれているが、これらの隔壁は通常ストライプ状に形成されている。ＲＧＢは３本のストライプで１つの画素ラインを形成するため、ＲＧＢもしくはＲＢＧの繰り返しで形成する必要がある。
【００１１】
高精細なプラズマディスプレイパネルの隔壁は、ピッチ１００〜２００μｍ、線幅１５〜５０μｍ、高さ７０〜１７０μｍである。このような高アスペクト比かつ高精細な隔壁パターンを形成するには感光性ペースト法やサンドブラスト法が用いられるが、特に、感光性ペースト法が適している。
【００１２】
感光性ペースト法は、ガラス微粒子と感光性有機成分からなる感光性ペーストを所定の厚さにガラス基板上に塗布し乾燥した後、パターン露光し、現像して隔壁パターンを形成し、さらにこれを焼成して隔壁とするものであり、工程数が少なく簡便な方法である。一方、サンドブラスト法は、ガラス微粒子を含有するペーストを塗布し乾燥した後、その上にフォトレジストを塗布して、これにパターン露光し現像する。フォトレジスト膜を保護膜として用いて、サンドブラストでガラス微粒子を含有するペースト層をエッチングして隔壁パターンを形成する方法である。この場合、フォトレジストの塗布工程や剥離工程などが加わるので工程数が多くなったり、サンドブラストのために用いる研磨剤の処理の問題などがある。サンドブラスト法の場合も最終的に隔壁パターンを焼成して隔壁層が形成される。
【００１３】
このようにして形成された高精細な隔壁で囲まれた微細なセル内に蛍光体ペーストを精度高く塗布する方法として、従来からの蛍光体ペーストの塗布技術であったスクリーン印刷法は適用し難い。本発明では、これらの高精細隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法として、蛍光体ペーストを吐出孔を有する口金を用いて塗布する方法を提案するものである。
【００１４】
すなわち、その形成方法は、複数個の吐出孔を有する口金から、ＲＧＢの各色から選ばれた１種類の蛍光体粉末を含むペーストを吐出して塗布する工程を３回繰り返した後、乾燥工程および焼成工程を経て、蛍光体層を形成するものである。また、吐出孔としてＲＧＢを同時に吐出する吐出孔を持つ口金からＲＧＢの各色蛍光体を吐出して塗布した後、乾燥工程、焼成工程を経て、蛍光体層を形成する方法を用いてもよい。好ましくは、ＲＧＢの各色を吐出する吐出孔を１００〜２０００個有する口金から、同時に各色蛍光体ペーストを吐出する方法を用いることにより工程時間を短くすることができる。
【００１５】
本発明では、各色の蛍光体を塗布する隔壁間の間隔は、隔壁のピッチ１００〜２００μｍ、線幅１５〜５０μｍが前提なので、ピッチ２００μｍ、線幅１５μｍの場合に間隔が最大で１８５μｍとなる。ピッチが１００μｍのようにさらに高精細な場合にはディスプレイとしての輝度の確保のために隔壁線幅はできるだけ狭くして開口率をあげることが必須であり、線幅は１５μｍとしなければならないので、隔壁間の間隔は８５μｍとなる。これに限定されるものではないが、本発明で用いる蛍光体ペーストを塗布する塗布幅は大凡８５〜１８５μｍ程度になるものと考えられる。隣の色との混色を防ぐことを考慮すると、吐出孔の内径は、隔壁の間隔より小さくすることが好ましいと考えられる。
【００１６】
ＲＧＢ各色はその繰り返しで塗布されるため、１つの蛍光体ペーストを塗布する吐出孔の配列ピッチは、形成されている隔壁のピッチの３倍となり、３００〜６００μｍとなる。このようなピッチで吐出孔を１００〜２０００個有する口金を用いて、口金またはガラス基板を直線的に移動しながら蛍光体ペーストを塗布することができる。ＲＧＢの３色を塗布することが必須であり、隔壁のピッチに整合させて、この塗布工程を３回行う必要がある。
【００１７】
ＲＧＢ３色を塗布するそれぞれの吐出孔を有する口金を同時に設定して、３色を口金またはガラス基板の１回の移動で３色の蛍光体層を形成する方法を用いることもできる。吐出孔の数によりカバーできる範囲が決まってくるので、全領域の作業を完了するためには、口金またはガラス基板の横方向への正確な移動が必要であり、これらの塗布作業は精度の高い作業台の上で行う必要がある精密作業である。
【００１８】
吐出孔から蛍光体ペーストを吐出するためには、一定範囲の圧力で連続的にペーストを加圧して、その圧力でペーストを吐出することが好ましい。これにより、ペーストの吐出量を一定に保つことができ、障壁間の底部に２０±６μｍの
安定した塗布厚みの蛍光体層を得ることができる。
【００１９】
本発明において、蛍光体ペーストを吐出孔から吐出した後、乾燥工程、焼成工程などの加熱工程を経て、水や有機溶媒を蒸発し、有機成分を熱分解して除去することによって蛍光体粉末のみで構成される蛍光体層を形成することができる。この加熱工程において、蛍光体塗布面を下側にすることによって、蛍光体ペーストが隔壁側面を伝って流れることにより、隔壁側面に２０±６μｍ厚さの蛍光体層を形成することができる。蛍光体層を隔壁間の底部のみでなく隔壁側面にも形成することによって、蛍光体塗布面を大きくしてプラズマディスプレイの輝度が向上するという効果がある。
【００２０】
蛍光体ペーストは、通常、蛍光体粉末と熱分解しやすい有機ポリマ成分とからなるものを用いるが、感光性有機成分と蛍光体粉末からなる感光性蛍光体ペーストを用いることもできる。感光性蛍光体ペーストを用いた場合、塗布工程で隔壁上部や塗布始点・終点などの不要な部分に形成された蛍光体ペーストを取り除くことが簡便に行なえるので有効である。すなわち、ＲＧＢ各色の感光性蛍光体ペーストを吐出孔から吐出して塗布した後、フォトマスクを介して露光し、露光部分のペーストを現像液に対して可溶化または不溶化することにより、現像工程で不要な部分を取り除き、必要部分にのみ蛍光体層を形成することが簡便にできる。
【００２１】
感光性有機成分には露光により不溶化するタイプと可溶化するタイプがあり、本発明の目的にはいずれのタイプも使用することができる。露光により不溶化する感光性蛍光体ペーストを用いた場合にはセル内に塗布されたペーストを現像液に対して不溶化し、隔壁頂部や塗布始点・終点などにあるペーストを現像液で溶解して除去することができる。一方、露光で可溶化するタイプの感光性蛍光体ペーストの場合は、隔壁頂部や塗布始点・終点に光が照射されるようなフォトマスクを用いて、これを現像液可溶化して取り除くことができる。
【００２２】
スクリーン印刷法に比べて精度の高い塗布が可能な本発明の吐出孔を有する口金を用いた塗布法においてもセル内のみにペーストを塗布し、隔壁頂部や塗布始点・終点などに全くペーストを付着させないことは不可避であり、付随して隔壁頂部や塗布始点・終点などから簡便に不要なペーストを取り除く技術を有することは非常に重要な条件となる。
【００２３】
光不溶化タイプの感光性有機成分の代表的なものは、感光性塗料や感光性凸版印刷版などに用いられるものであり、分子内に不飽和基などを１つ以上有する官能性モノマ、オリゴマまたはポリマを含有するものである。また、光可溶化タイプの代表例はＬＳＩなどの製造に用いられ、ポジ型フォトレジストとして衆知のものであり、キノンジアジド類を適当なポリマバインダーと結合させた構造を有している。本発明で用いる感光性有機成分は、上記の代表例を含めて、いずれのタイプのものを使用してもよい。
【００２４】
本発明の感光性蛍光体ペーストは、通常１０〜６０重量％の感光性有機成分と９０〜４０重量％の蛍光体粉末から構成されることが好ましい。感光性有機成分が１０重量％以下では感光度が不足であり、６０重量％以上では、焼成時の脱バインダー性が悪く、蛍光体層の特性が低下する。このような蛍光体粉末と混合して簡便に用いることができる感光性有機成分としては光不溶化タイプのものが好ましい。
【００２５】
光不溶化タイプの感光性有機成分には、感光性モノマ、感光性オリゴマ、感光性ポリマのうちから選ばれた少なくとも１種の感光性成分の他に、バインダー成分、光重合開始剤、増感剤、可塑剤、増粘剤、分散剤、その他の添加剤を必要に応じて加えることができる。
【００２６】
感光性モノマとしては、活性な炭素ー炭素二重結合を有する化合物を用いるが、官能基として、ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基などを有する単官能および多官能化合物が応用される。本発明で用いる感光性蛍光体ペーストには、多官能アクリレート化合物および／または多官能メタクリレート化合物を用いることが好ましい。
【００２７】
感光性蛍光体ペーストを構成する有機成分として、光反応で形成される硬化物の物性の向上やペーストの粘度の調整などの役割を果たす成分としてオリゴマもしくはポリマが用いられる。これらのオリゴマもしくはポリマは、炭素ー炭素二重結合を有する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得られた炭素連鎖の骨格を有するものである。共重合するモノマとしては、不飽和カルボン酸などが有用であり、感光後に未露光部分をアルカリ水溶液で現像できる感光性蛍光体ペーストを与えることができる。不飽和カルボン酸の具体的な例は、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸またはこれらの酸無水物などである。
【００２８】
こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸基を有するオリゴマもしくはポリマの酸価は５０〜１８０、好ましくは７０〜１４０の範囲になるようにコントロールするのが好ましい。
【００２９】
感光性オリゴマもしくはポリマとして使用するには、分子内にカルボキシル基と不飽和二重結合を含有する重量平均分子量５００〜１０万のものが好ましい。不飽和二重結合を導入するには、カルボキシル基を側鎖に有するオリゴマもしくはポリマに、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドを付加反応させる方法が適用される。アルカリ水溶液現像性のためのカルボキシル基数とオリゴマもしくはポリマを感光性にするエチレン性不飽和基数とは、反応条件により自由に選択することができる。
【００３０】
上記のような感光性成分を有する感光性蛍光体ペーストに光を照射した場合、露光された部分の感光性成分がラジカル重合および架橋反応して現像液に不溶性となる。そのためには活性ラジカルを発生してラジカル重合や架橋反応を開始する成分として光重合開始剤が必要である。光開始剤には、1分子系直接開裂型、イオン対間電子移動型、水素引き抜き型、2分子複合系など機構的に異なる種類があるが、本発明で好ましく用いられる光重合開始剤は、主として1分子系直接開裂型から選ばれた化合物である。例えば、ベンゾインアルキルエーテル類、α，α−ジメトキシ−α−モルフォリノアセトフェノン、α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノンなどが実用的に広く用いられている。また、過酸化物、ホスフィンオキシド、硫黄化合物、ハロゲン化合物なども公知である。これらを１種または２種以上使用することができる。
【００３１】
光開始剤とともに増感剤を使用して、感度を向上させたり(化学増感)、反応に有効な波長範囲を拡大する(分光増感)ことができる。増感剤の作用機構にも種々のものがあるが、三重項増感剤と称されるものが最もよく使われる。それらの中には、炭化水素系化合物、アミノ・ニトロ化合物、キノン類、キサントン類、アンスロン類、ケトン類、有機色素類などがある。これらの中には光重合開始剤としての作用を有するものも含まれる。
【００３２】
本発明のプラズマディスプレイパネルの蛍光体層の塗布に用いる感光性蛍光体ペーストにはＲＧＢ各色に発光する蛍光体粉末が加えられている。使用される蛍光体粉末は特に限定されない。例えば、赤色発光の蛍光体としては、Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ，ＹＶＯ4：Ｅｕ，（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ，Ｙ2Ｏ3Ｓ：Ｅｕ，γ-Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍｎ，（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ2Ｏ3などがある。緑色発光の蛍光体では、Ｚｎ2Ｇｅ2：Ｍ，ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ，Ｚｎ2ＳｉＯ：Ｍｎ，ＬａＰＯ4：Ｔｂ，ＺｎＳ：Ｃｕ．Ａｌ，ＺｎＳ：Ａｕ．Ｃｕ．Ａｌ，（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ｃｕ．Ａｌ，Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ．Ａｓ，Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｃｅ，ＣｅＭｇＡｌ11Ｏ19：Ｔｂ，Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ，Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｔｂ，ＺｎＯ：Ｚｎなどが用いられる。
【００３３】
青色発光の蛍光体では、Ｓｒ5（ＰＯ4）3Ｃｌ：Ｅｕ，ＢａＭｇＡｌ14Ｏ33：Ｅｕ，ＢａＭｇＡｌ16Ｏ27：Ｅｕ，ＢａＭｇ2Ａｌ14Ｏ24：Ｅｕ，ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色顔料，Ｙ2ＳｉＯ3：Ｃｅなどがある。
【００３４】
また、チリウム（Ｔｍ）、テルビウム（Ｔｂ）およびユーロピウム（Ｅｕ）からなる群から選ばれた少なくとも１つの元素で、イットリウム（Ｙ）、ガドリウム（Ｇｄ）およびルテチウム（Ｌｕ）から選ばれた少なくとも１つの母体構成希土類元素を置換したタンタル酸希土類蛍光体が利用できる。好ましくは、タンタル酸希土類蛍光体で組成式Ｙ1-XＥｕXＴａＯ4(式中、Ｘはおよそ０．００５〜０．１である)で表されるユーロピウム付活タンタル酸イットリウム蛍光体である。赤色蛍光体には、ユーロピウム付活タンタル酸イットリウムが好ましい。緑色蛍光体には、組成式Ｙ1-XＴｂXＴａＯ4(式中、Ｘはおよそ０．００１〜０．２である)で表されるテルビウム付活タンタル酸イットリウムが好ましい。青色蛍光体には、組成式Ｙ1-XＴｍXＴａＯ4(式中、Ｘはおよそ０．００１〜０．２である)で表されるツリウム付活タンタル酸イットリウムが好ましい。
【００３５】
また、緑色蛍光体には、Ｍｎが珪酸亜鉛（Ｚｎ2ＳｉＯ4）母体量に対して０．２重量％以上、０．１重量％未満付活された平均粒子系２μm以上、８μm以下のマンガン付活亜鉛蛍光体（Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ）および一般式が（Ｚｎ1-XＭｎX）Ｏ・αＳｉＯ2(式中、Ｘおよびαは、０．０１≦Ｘ≦０．２、０．５＜α≦１．５の範囲の値である)で表されるマンガン付活珪酸亜鉛蛍光体が好ましい。
【００３６】
上記において使用される蛍光体粉末粒子径は、塗布しようとする蛍光体層の隔壁間隔(セルのスペース)および厚みを考慮して選ばれるが、粉末は、５０重量％平均粒子径が０．５〜１５μｍ、好ましくは０．５〜６μｍ、比表面積０．１〜２ｍ2／ｇであることが好ましい。この範囲にあると高精度な塗布が可能である。また、蛍光体の発光効率がよく、高寿命になるので好ましい。
【００３７】
蛍光体粉末の形状としては、多面体状(粒状)のものが使用できるが、凝集のない粉末が好ましい。その中でも球状の粉末は露光時に散乱の影響を少なくできるので好ましい。
【００３８】
本発明では、蛍光体粉末および感光性有機成分からなるＲＧＢ各色の蛍光体ペーストを、吐出孔を有する口金として、ノズルまたはニードルを用いる方法で隔壁間（セル）に塗布した後、隔壁のピッチおよび線幅に対応したフォトマスクを介して露光し、セル内の蛍光体ペーストを光硬化させ、続いて、現像する工程で隔壁頂部や塗布始点・終点の不要なペーストを溶解除去して、蛍光体ペーストの塗布状態を良好にすることができる。さらに、セル内の蛍光体ペーストが露光による光重合と架橋反応により3次元化した硬化状態にあるので、次の焼成する工程のための昇温過程で隔壁側面などに塗布されているペーストが溶融してダレルなどの不都合な状態が生じることを避けることができる。蛍光体ペーストは輝度の向上のために、セルの底部のみでなく隔壁側面にも一定の厚さで塗布されていることが好ましいが塗布工程で形成された塗膜の状態を固定しておいて、昇温過程で流れることを防止するのにペーストを光硬化しておくことは非常に有効である。
【００３９】
セル内の感光性蛍光体ペーストを光硬化した後、全体を現像液のアルカリ水溶液で処理すると、隔壁頂部など不要な部分のペーストが溶解し、除去される。
【００４０】
本発明の方法により、セル内への蛍光体ペーストの塗布が明確に実施されるとともに、焼成工程でのトラブルを防止することが可能となり、良好なプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【００４１】
以下に本発明を実施例を用いて具体的に説明するが、これらに限定されるものではない。なお、濃度(%)は特に断らない限り重量％である。
【００４２】
【実施例】
(隔壁パターンの形成)
実施例に使用する隔壁パターンの形成は、ガラス微粒子成分と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストを用いる方法で行った。感光性ペーストは次のように調製した。
【００４３】
ガラス微粒子成分は、酸化リチウム９％、酸化珪素２２％、酸化ホウ素３３％、酸化バリウム４％、酸化アルミニウム２３％、酸化亜鉛２％、酸化マグネシウム７％の組成のガラス粉末を用いた。アトラクターで微粉末にし、平均粒径２．６μｍ、屈折率１．５８の非球状粉末を用いた。 ガラス粉末は紫外線吸光剤スダンIVで処理して用いられる。ガラス粉末に対して０．１％のスダンIVをアセトンに溶解させ、分散剤を加えてホモジナイザで均質に攪拌し、この溶液中にガラス粉末を添加して均質に分散・混合後、ロータリーエバポレーターを用いて、１５０〜２００℃の温度で乾燥し、アセトンを蒸発させる。このようにしてスダンIVをガラス粉末の表面に均質にコーティングした粉末を作製した。
【００４４】
感光性モノマは、キシリレンジアミン１モルとグリシジルメタクリレート４モルとの反応で得られる４官能性のメタクリレート化合物を用いた。
【００４５】
感光性ポリマは、４０％のメタクリル酸、３０％のメチルメタクリレートおよび３０％のスチレンからなる共重合体のカルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリレートを付加反応させた重量平均分子量４３，０００、酸価９５の側鎖にカルボキシル基と反応性のメタクリレート基を有するものを用いた。
【００４６】
上記のスダンIV処理したガラス粉末６０重量部、感光性有機成分(感光性モノマ２８％、感光性ポリマ４５％、光重合開始剤１６％、増感剤１０％）２５重量部および溶媒(γ-ブチロラクトン)１５重量部の割合になるように添加し、３本ローラで混合・分散して感光性ペーストを作製した。ここで用いた光重合開始剤は２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１であり、増感剤は２，４−ジエチルチオキサントンである。
【００４７】
ストライプ状のデータ電極と白色誘電体層を形成した１００ｍｍ角ガラス基板上に上記の感光性ペーストをスリットダイコーターにより均一に塗布した。その後、８０℃で１時間保持して乾燥した。続いて、クロムマスクを介して５０ｍＷ／ｍ2出力の超高圧水銀灯で１Ｊ／ｍ2の紫外線露光を行った。次に、３５℃に保持したモノエタノールアミンの０．５％水溶液をシャワーで９０秒間かけることにより現像し、光硬化していないスペース部分を除去してガラス基板上にストライプ状の隔壁パターンを形成した。この隔壁パターンが形成されたガラス基板を５６０℃で２０分間焼成して白色を呈する隔壁を形成した。
【００４８】
（蛍光体層の形成）
蛍光体粉末５０ｇおよびバインダポリマ(メチルメタクリレート３０％／メタクリル酸４０％／スチレン３０％共重合体のカルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリレートを付加させた重量平均分子量４３，０００、酸価９５の感光性ポリマ)２０ｇ、トリメチロールプロパントリアクリレート２０ｇ、溶媒(γ−ブチロラクトン)３０ｇと分散剤４ｇ、光重合開始剤（Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７，チバガイギー社製)からなる感光性蛍光体ペーストを作製した。蛍光体粉末は、赤色発光には（Ｙ，Ｇｄ，Ｅｕ）ＢＯ3、緑色発光には（Ｚｎ，Ｍｎ）ＳｉＯ4、青色発光には（Ｂａ，Ｅｕ）ＭｇＡｌ10Ｏ17を用いた。ペーストの作製は、有機系各成分を加熱しながら溶解し、その後に蛍光体粉末を添加し、混練機で混練することによって行った。粘度は０．３Ｐになるようにγ-ブチロラクトンの量によって調整した。
【００４９】
この感光性蛍光体ペーストをピッチ１５０μｍ、高さ１２０μｍ、線幅３０μｍの隔壁２０００本が形成されたガラス基板上にＲＧＢ各色のペーストをストライプ状に塗布した。塗布は、孔内径８０μｍの吐出口６４０個をピッチ４５０μｍで形成した口金を用いて行った。塗布は赤色蛍光体ペースト、緑色蛍光体ペーストそして青色蛍光体ペーストの順に吐出した後、塗布面を下にして８０℃で６０分乾燥した。このようにしてＲＧＢ３色の蛍光体層塗布・乾燥して形成したプラズマディスプレイ用基板に対して、図１に示すような配置で露光工程を行って基板を製造する。ピッチ１５０μｍ、光が透過する開口部線幅１００μｍのネガ型フォトマスク(図１の６)を介してアライメント露光した後、０．５％炭酸ナトリウム水溶液で現像した後、５００℃で３０分焼成した。
【００５０】
側面厚み、底部厚みを電子顕微鏡により観察したところ、各色蛍光体が側面に２０±６μｍ、底部に２０±６μｍの厚みでストライプ状に形成されたプラズマディスプレイパネルが得られた。
【００５１】
【発明の効果】
ピッチ１００〜２００μｍ、線幅１５〜５０μｍ、高さ７０〜１７０μｍの隔壁が形成されたガラス基板に感光性蛍光体ペーストを、吐出孔を有する口金を用いて塗布し、パターン露光および現像を行った後、焼成することにより、隔壁頂部や塗布始点・終点などにペーストによる汚染などがなく、焼成工程においてペーストの流れなどの問題のないプラズマディスプレイ用基板が形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のプラズマディスプレイ用基板の製造方法における工程を示す図である。
【符号の説明】
1  ガラス基板
2  ノズル
3  赤色蛍光体ペースト（Ｒ）
4  緑色蛍光体ペースト（Ｇ）
5  青色蛍光体ペースト（Ｂ）
6  フォトマスク
【図１】
0003921755.tif 000002