(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のノズル及び当該各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートと、前記各圧力室ごとに形成された第一電極及びそれに対向する第二電極により圧電シートを挟んで積層状に形成したプレート型の圧電アクチュエータとが設けられ、当該圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートにおける各圧力室を当該圧電アクチュエータにて塞ぐように前記キャビティプレートに積層された圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータの最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面には、前記電極が設けられておらず、前記最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面と反対側の面には、前記第一電極が設けられ、
前記キャビティプレート及び前記第二電極は共に共通電位の部分に接続されていることを特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータと前記キャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により接着されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータの前記キャビティプレートに当接する面は、導電層であることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
複数個のノズル及び当該各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートと、前記各圧力室ごとに形成された第一電極及びそれに対向する第二電極により圧電シートを挟んで積層状に形成したプレート型の圧電アクチュエータとが設けられ、当該圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートにおける各圧力室を当該圧電アクチュエータにて塞ぐように前記キャビティプレートに積層された圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法において、
前記キャビティプレートに当接する前記圧電アクチュエータの最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面と反対側の面に、前記第一電極を設けておき、
前記最下層の圧電シートを前記キャビティプレートに当接させて、その圧電アクチュエータをキャビティプレートに接合し、
その後、前記キャビティプレート及び第二電極と前記第一電極との間に電圧を印加して、前記第一電極と第二電極との間の圧電シート及び前記キャビティプレートと前記第一電極との間の最下層の圧電シートを分極すること
を特徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットプリンタに用いられるインクジェットプリンタヘッド１００においては、図１１に示すように、インク室１３１を複数備えたキャビティプレート１３０に、当該インク室１３１を覆うように圧電アクチュエータ１１０を接着したものが知られている。このタイプのインクジェットプリンタヘッド１００においては、インク室１３１に隣接して設けられた圧電アクチュエータ１１０を用いて、この圧電アクチュエータ１１０に電圧を印加することでインク室１３１の容積を小さくしてインクをオリフィス１３２から噴射させて印刷をするようになっている。
【０００３】
上記の圧電アクチュエータ１１０では、圧電セラミックス層１４０の表面に内部負電極層１４２を設けたものと、圧電セラミックス層１４０の表面に内部正電極層１４４ａ，１４４ｂ，１４４ｃとを設けたものとを、交互に積層して圧電アクチュエータ１１０の活性層１２０とし、その上に、駆動には関係しない圧電セラミックス層１７１を複数積層して、非活性の拘束層１５０として形成し、且つ内部正電極層１４４ａ〜１４４ｃをキャビティプレート１３０に形成されたインク室１３２ａ〜１３２ｃ対応するように分割配置している。この構造の圧電アクチュエータ１１０では、内部正電極層１４４ａ〜１４４ｃと内部負電極層１４２との間に、駆動電圧が印加されるために、活性層１２０を構成する圧電セラミックス層１４０の内の最下層の圧電セラミックス層１４０（キャビティプレート１３０に接着される圧電セラミックス層１４０）は、実際には駆動に寄与しない非活性層となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の従来のインクジェットプリンタヘッド１００では、活性層１２０を構成する圧電セラミックス層１４０の内部負電極層１４２と、内部正電極層１４４ａ，１４４ｂ，１４４ｃとの間に、駆動電圧を印加しても、キャビティプレート１３０に接着される最下層の圧電セラミックス層１４０が、実際には駆動に寄与しない非活性層となってしまうために、インク室１３１への加圧が十分に行われないという問題点があった。また、キャビティプレート１３０に接着される最下層の圧電セラミックス層１４０のキャビティプレート１３０への当接面に別途電極をスクリーン印刷により配置した場合には、当該電極を保護するために、別の絶縁被膜が必要になり、製造コストが高くなるという問題点があった。
【０００５】
この発明は上記課題を解決するものであり、キャビティプレートに接着される最下層の圧電セラミックス層も活性層として駆動することが可能な圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、請求項１に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、複数個のノズル及び当該各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートと、前記各圧力室ごとに形成された第一電極及びそれに対向する第二電極により圧電シートを挟んで積層状に形成したプレート型の圧電アクチュエータとが設けられ、当該圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートにおける各圧力室を当該圧電アクチュエータにて塞ぐように前記キャビティプレートに積層された圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータの最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面には、前記電極が設けられておらず、前記最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面と反対側の面には、前記第一電極が設けられ、前記キャビティプレート及び前記第二電極は共に共通電位の部分に接続されていることを特徴とする構成となっている。
【０００７】
この構成の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、圧電アクチュエータの最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面には、電極が設けられておらず、最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面と反対側の面には、第一電極が設けられ、キャビティプレート及び第二電極は共に共通電位の部分に接続されているので、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。
【０００８】
また、請求項２に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの構成に加えて、前記圧電アクチュエータと前記キャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により接着されていることを特徴とする構成となっている。
【０００９】
この構成の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの作用に加えて、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により接着されているので、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により導通され、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。
【００１０】
また、請求項３に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１又は２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの構成に加えて、前記圧電アクチュエータの前記キャビティプレートに当接する面は、導電層であることを特徴とする構成となっている。
【００１１】
この構成の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１又は２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの作用に加えて、圧電アクチュエータの前記キャビティプレートに当接する面は、導電層であるので、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導通され、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。
【００１２】
また、請求項４に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法では、複数個のノズル及び当該各ノズルごとの圧力室を備えたキャビティプレートと、前記各圧力室ごとに形成された第一電極及びそれに対向する第二電極により圧電シートを挟んで積層状に形成したプレート型の圧電アクチュエータとが設けられ、当該圧電アクチュエータは、前記キャビティプレートにおける各圧力室を当該圧電アクチュエータにて塞ぐように前記キャビティプレートに積層された圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記キャビティプレートに当接する前記圧電アクチュエータの最下層の圧電シートの前記キャビティプレートに当接する面と反対側の面に、前記第一電極を設けておき、前記最下層の圧電シートを前記キャビティプレートに当接させて、その圧電アクチュエータをキャビティプレートに接合し、その後、前記キャビティプレート及び第二電極と前記第一電極との間に電圧を印加して、前記第一電極と第二電極との間の圧電シート及び前記キャビティプレートと前記第一電極との間の最下層の圧電シートを分極することを特徴とする構成となっている。
【００１３】
この構成の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法では、キャビティプレートに当接する圧電アクチュエータの最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面と反対側の面に、第一電極を設けておき、最下層の圧電シートをキャビティプレートに当接させて、その圧電アクチュエータをキャビティプレートに接合し、その後、キャビティプレート及び第二電極と第一電極との間に電圧を印加して、第一電極と第二電極との間の圧電シート及びキャビティプレートと第一電極との間の最下層の圧電シートを分極する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの構造及びインクジェットプリンタヘッドの製造方法を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は、本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド１の分解斜視図であり、図２は、インクジェットプリンタヘッド１に用いられるプレート型圧電アクチュエータ２０の平面図である。
【００１６】
図１に示すように、インクジェットプリンタヘッド１は、略長方形に形成された導電性金属板の積層構造からなるキャビティプレート１０の表面に、キャビティプレート１０の長手方向と直交する方向に溝が延設されて形成された圧力室１６が、キャビティプレート１０の長手方向に複数平行に配列されている。そして、キャビティプレート１０上に、略長方形の板状に形成されたプレート型圧電アクチュエータ２０が、キャビティプレート１０に形成された各圧力室１６を塞ぐように接着され、プレート型圧電アクチュエータ２０の上部には、外部機器との接続のためにプレート型圧電アクチェータ２０に対して重ねて接合されるフレキシブルフラットケーブル３０が設けられている。
【００１７】
また、図１及び図２に示すように、プレート型圧電アクチュエータ２０のキャビティプレート１０に接着される面と反対側の表面（図１におけるプレート型圧電アクチュエータ２０の上面）（以下、「プレート型圧電アクチュエータ２０の上面」という。）には、後述する駆動電極３６と接続された表面電極３１と、後述するコモン電極３５と接続された表面電極３２が設けられ、さらに、プレート型圧電アクチュエータ２０の表面には、後述する擬似電極４０が２列に配列されている。
【００１８】
次に、図３乃至図６を参照して、上記のように構成されたインクジェットプリンタヘッドの構造の詳細について説明する。図３は、キャビティプレート１０からプレート型圧電アクチュエータ２０を離した状態を示す分解斜視図であり、図４は、プレート型圧電アクチュエータ２０の分解斜視図であり、図５は、図３のＩ−Ｉ線における矢視方向のプレート型圧電アクチュエータ２０の断面図であり、図６は、プレート型圧電アクチュエータ２０をキャビティプレート１０に接着した状態を示す断面図である。
【００１９】
図３乃至図５に示すように、プレート型圧電アクチュエータ２０は、１０枚の圧電シート２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０を積層した構造に形成されている。また、各圧電シート２１〜３０の内、圧電シート２６，２８，３０は、全て同じ構造に形成され、各圧電シート２６，２８，３０の上面には、前記キャビティプレート１０に設けられた各圧力室１６に対応する位置に細幅の駆動電極３６が各々形成されている。各駆動電極３６の端部３６ａは、圧電シート２６の側面２６ａ、２６ｂに各々露出するように形成され、各圧電シート２６〜３０の上面には、圧電シートの変形には関与しない単なるランドパターンである捨てパターン電極３６’が形成されている。
【００２０】
また、図４及び図５に示すように、圧電シート２３，２４，２５，２７，２９は、全て同じ構造に形成され、圧電シート２３，２４，２５，２７，２９の上面には、複数個の圧力室１６の複数個に対して共通の電極となる帯状のコモン電極３５が形成されている。また、各コモン電極３５の端部３５ａは、圧電シート２３の側面２３ａ、２３ｂに各々露出するように形成され、各圧電シート２３，２４，２５，２７，２９の上面には、圧電シートの変形には関与しない単なるランドパターンである捨てパターン電極３５’が形成されている。
【００２１】
さらに、図４に示すように、最上段の圧電シート２１の上面には、前記各駆動電極３６の各々に対する表面電極３１と、前記コモン電極３５に対する表面電極３２とが、圧電シート２１の側面２１ａ、２１ｂに沿って並ぶように設けられている。また、圧電シート２１の側面２１ａに沿って並ぶ表面電極３１と、圧電シート２１の側面２１ｂに沿って並ぶ表面電極３１との間には、キャビティプレート１０に設けられている前記圧力室１６を隔てる桁１６ｅ（図３参照）の位置に対応して、略長方形で、表面電極３１と同じ厚みに形成された擬似電極４０が設けられている。
【００２２】
この擬似電極４０は、コモン電極３５や駆動電極３６には、一切接続されておらず、キャビティプレート１０へのプレート型圧電アクチュエータ２０の接着時に、図示外の接着治具の平面状の底面に当接する部分である。また、圧電シート２１の下の圧電シート２２は、最上段の圧電シート２１と同一の材質で形成されているが、電極等は一切設けられていない。
【００２３】
また、図３に示すように、プレート型圧電アクチェータ２０における圧電シート２１〜３０を後述するように積層した後、その上面又は下面と直交する左右両側面には、各駆動電極３６と表面電極３１とを電気的に接続する側面電極３３及びコモン電極３５と表面電極３２とを電気的に接続する側面電極３４とが各々形成されている。
【００２４】
なお、上記の実施の形態の、プレート型圧電アクチェータ２０には、駆動電極３６を設けた圧電シートは、圧電シート２６，２８，３０の３層であるが、駆動電極３６を設けた圧電シートは、１層、２層、５層等任意の枚数としても良く、その枚数に対応してコモン電極３５を設けた圧電シートも設けても良い。
【００２５】
次に、圧電シート２１〜３０の製造方法を説明する。圧電シート２１〜３０は、以下の製造方法により製造される。まず、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ３・ＰｂＺｒＯ３））系のセラミックス粉末、バインダ、溶剤を混合して粘度１０，０００〜３０，０００ＣＰＳに調整した混合液を調製し、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等のプラスチックフィルム上に広げて乾燥させ１０枚の圧電シートを形成する。この圧電シートの厚さはおよそ２２．５〜３０μｍである。さらに、この内の３枚の圧電シート上には、駆動電極３６，捨てパターン電極３６’となる部分に金属材料をスクリーン印刷する。この３枚の圧電シートは、上記の圧電シート２６，２８，３０となる。
【００２６】
また、上記１０枚の圧電シートの内に、５枚の圧電シート上には、コモン電極３５及び捨てパターン電極３５’となる部分に金属材料をスクリーン印刷する。この５枚の圧電シートは、上記の圧電シート２３，２４，２５，２７，２９となる。さらに、上記１０枚の圧電シートの内に、１枚の圧電シート上には、表面電極３１，３２と疑似電極４０となる部分に金属材料をスクリーン印刷する。この圧電シートは、上記の圧電シート２１となる。また、残りの１枚の圧電シートには、電極の印刷は行われず、この圧電シートが圧電シート２２となる。
【００２７】
そして、上記の圧電シート２１〜３０を、圧電シート３０を一番下にして、下から上に向けて、圧電シート３０，２９，２８，２７，２６，２５，２４，２３，２２，２１の順に１０枚積層する。次に、このように構成された１０枚の圧電シート２１〜３０の全体を加熱プレスし、脱脂した後に、焼結する。そして側面に側面電極３３，３４を形成して、圧電セラミックスのブロックから構成されたプレート型圧電アクチュエータ２０を形成する。
【００２８】
上記のように構成されたプレート型圧電アクチュエータ２０のブロックを図６に示すように圧電シート３０とキャビティプレート１０の上面とを当接させて導電性を有する接着剤により接着後に、圧電シート２５のコモン電極３５と圧電シート２６の駆動電極３６との間と、圧電シート２７のコモン電極３５と圧電シート２８の駆動電極３６との間と、圧電シート２９のコモン電極３５と圧電シート３０の駆動電極３６と、キャビティプレート１０と最下層の圧電シート３０の駆動電極３６との間に、各々２．５ｋｖ／ｍｍ程度の電圧を印加し、活性層を構成する各圧電シート２５〜３０を分極処理を施す。尚、この処理により最下層の圧電シート３０も分極され活性層となる。具体的には、コモン電極３５とキャビティプレート１０を共通に接地し、駆動電極３６に上記電圧を印加する。
【００２９】
上記のように構成された圧電シート２１〜３０の内、圧電シート２５のコモン電極３５と圧電シート２６の駆動電極３６との間と、圧電シート２７のコモン電極３５と圧電シート２８の駆動電極３６との間と、圧電シート２９のコモン電極３５と圧電シート３０の駆動電極３６との間と、キャビティプレート１０と最下層の圧電シート３０の駆動電極３６との間に、各々、駆動電圧を印加することにより、圧電シート２５〜３０が変形して、キャビティプレート１０の圧力室１６内のインクに圧力を加えることができる。好ましくは、コモン電極３５とキャビティプレート１０とを共通に接地し、駆動電極３６に対応する表面電極３１に選択的に駆動電圧を印加する。
【００３０】
これにより、キャビティプレート１０内のインクに不所望に電圧が印加するのを防止することができる。よって、上記のように構成された圧電シート２１〜３０の内、圧電シート２５〜３０が活性層を構成することになる。圧電シート２１〜３０を焼成する場合に、圧電セラミックスと電極を構成する金属材料では焼成した場合の収縮率が異なるので、圧電シート２１〜２４は、焼成後に活性層である圧電シート２１〜３０が反ったり、あるいは波打ったりしてその平面性が損なわれないようにし、また図１０に示すように、活性層２６〜３０が圧力室１６側にのみ変形するようにするための拘束層として機能する。
【００３１】
次に、図７及び図８を参照して、キャビティプレート１０について説明する。図７は、キャビティプレート１０の分解斜視図であり、図８は、図７に示すII−II線での矢視方向でのキャビティプレート１０を分解した状態の断面図である。図７及び図８に示すように、キャビティプレート１０は、略長方形の金属板の板材から構成された５層構造になっており、下層から、ノズルプレート１１、二枚のマニホールドプレート１２，１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の５枚の薄い金属板を積層した構造となっている。
【００３２】
図７及び図８に示すように、ノズルプレート１１には、微小径のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰの間隔で多数個穿設されている。また、二枚のマニホールドプレート１２，１２には、インク通路１２ａが、ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、インク通路１２ａは、両マニホールドプレート１２，１２に対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造となっている。
【００３３】
また、ベースプレート１４には、その長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａは、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通している一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記スペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２ａに連通している。
【００３４】
これにより、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａ，１９ｂからインク通路１２ａ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから各圧力室１６内に各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力室１６内から貫通孔１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００３５】
なお、各圧力室１６には、その他端１６ｂに隣接する部分に板厚さを部分的に薄くした流量規制用の絞り部１６ｃが設けられ、また、その略中央の部分に補強のために板厚さを部分的に薄くした繋ぎ片１６ｄが一体的に設けられている。また、図７に示すように、ベースプレート１４の各圧力室１６の間には、各圧力室１６を隔てる桁１６ｅが設けられている。
【００３６】
そして、上記のように構成されたプレート型の圧電アクチェータ２０は、キャビティプレート１０に対して、当該プレート型の圧電アクチェータ２０における下側の圧電プレート３０の下面により前記キャビティプレート１０の各圧力室１６を塞ぐように接着される。また、このプレート型の圧電アクチェータ２０の上側の圧電プレート２１の上面には、前記フレキシブルフラットケーブル３０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３１，３２に電気的に接合される。
【００３７】
さらに、図７及び図８に示すように、ベースプレート１４の両長辺と圧力室１６の間には、溝部４１が形成されており、その溝部４１により、圧電アクチェータ２０の側面に設けられた側面電極３３の下端部が、キャビティプレート１０と電気的に短絡しないようになっている。尚、図３に示すように、コモン電極３５に接続された側面電極３４の下端部は、キャビティプレート１０の最上層のベースプレート１４の上面の接触部４２と接触して、電気的に接続されるようになっている。また、接触部４２に側面電極３４の下端部を半田付けしても良い。
【００３８】
次にキャビティプレート１０とプレート型圧電アクチュエータ２０との接着について説明する。まず、上記の構成のキャビティプレート１０の上へ位置合わせをして、圧電シート３０の下面に導電性（電気伝導性）を有する接着剤を塗布したプレート型圧電アクチュエータ２０を搭載する。次いで、プレート型圧電アクチュエータ２０の上から、底面が平面の接着治具により、約１０ｋｇ重の力を加えて、キャビティプレート１０とプレート型圧電アクチュエータ２０との接着を行う。
【００３９】
この時に、プレート型圧電アクチュエータ２０の上面には、表面電極３１及び表面電極３２と擬似電極４０とが設けられているので、接着治具の押圧力は、表面電極３１及び表面電極３２と擬似電極４０とを介して、プレート型圧電アクチュエータ２０の上面に加えられることになる。従って、プレート型圧電アクチュエータ２０の一部にうねりがあっても、プレート型圧電アクチュエータ２０は、その中央部に設けられた擬似電極４０に、接着治具６０から加えられる力が伝達されるので、プレート型圧電アクチュエータ２０のうねりを押し延ばすことができる。従って、キャビティプレート１０上へは、プレート型圧電アクチュエータ２０が隙間無く確実に接着される。
【００４０】
次に、図９を用いて、上記のインクジェットプリンタヘッド１の電気的接続関係を説明する。図９は、インクジェットプリンタヘッド１の電気的接続関係を示す概念図である。図９に示すように、圧電シート２５に設けられているコモン電極３５と、圧電シート２７に設けられているコモン電極３５と、圧電シート２９に設けられているコモン電極３５と、キャビティプレート１０とは、共通の電極６０に接続されている。従って、圧電シート２６，２８，３０の駆動電極３６に正の電位が付加される場合には、共通の電極６０は、アース電極（負極）に接続され、圧電シート２６，２８，３０の駆動電極３６に負の電位が付加される場合には、共通の電極６０は、アース電極（正極）に接続されることになる。
【００４１】
次に、図９及び図１０を参照して、インクジェットプリンタヘッド１の動作を説明する。図１０は、インクジェットプリンタヘッド１の動作を示す概念図である。圧電シート２６，２８，３０に各々設けられている駆動電極３６に駆動電圧が印加された場合には、図１０に示すように、圧電シート２６〜３０が活性層として圧電効果により変形する。このときに、圧電シート３０の駆動電極３６とキャビティプレート１０との間にも駆動電圧が印加されて、圧電シート３０も活性層として変形することができる。従って、インク室１６内に十分な圧力を生じることができる。
【００４２】
尚、本発明は上述した実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更をすることが可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、圧電アクチュエータの最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面には、第二電極が設けられておらず、最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面と反対側の面には、第一電極が設けられ、キャビティプレート及び第二電極は共に共通電位の部分に接続されているので、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。従って、インク室のインクに十分な圧力を付加することができる。また、最下層の圧電シートに別の絶縁被膜を設ける必要もなく、製造コストも高くならない。
【００４４】
また、請求項２に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの効果に加えて、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により接着されているので、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導電性を有する接着剤により導通され、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。
【００４５】
また、請求項３に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドでは、請求項１又は２に記載の圧電式インクジェットプリンタヘッドの効果に加えて、圧電アクチュエータの前記キャビティプレートに当接する面は、導電層であるので、圧電アクチュエータとキャビティプレートとは、導通され、最下層の圧電シートも活性層として機能することができる。
【００４６】
また、請求項４に係る発明の圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法では、キャビティプレートに当接する圧電アクチュエータの最下層の圧電シートのキャビティプレートに当接する面と反対側の面に、第一電極を設けておき、最下層の圧電シートをキャビティプレートに当接させて、その圧電アクチュエータをキャビティプレートに接合し、その後、キャビティプレート及び第二電極と第一電極との間に電圧を印加して、第一電極と第二電極との間の圧電シート及びキャビティプレートと第一電極との間の最下層の圧電シートを分極することができる。従って、最下層の圧電シートも活性層として機能し、インク室のインクに十分な圧力を付加することができる圧電式インクジェットプリンタヘッドを製造することができる。また、最下層の圧電シートに別の絶縁被膜を設ける必要もなく、製造コストも高くならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本実施の形態のインクジェットプリンタヘッド１の分解斜視図である。
【図２】図２は、インクジェットプリンタヘッド１に用いられるプレート型圧電アクチュエータ２０の平面図である。
【図３】図３は、キャビティプレート１０からプレート型圧電アクチュエータ２０を離した状態を示す分解斜視図である。
【図４】図４は、プレート型圧電アクチュエータ２０の分解斜視図である。
【図５】図５は、プレート型圧電アクチュエータ２０の断面図である。
【図６】図６は、プレート型圧電アクチュエータ２０をキャビティプレート１０に接着した状態を示す断面図である。
【図７】図７は、キャビティプレート１０の分解斜視図である。
【図８】図８は、キャビティプレート１０を分解した状態の断面図である。
【図９】図９は、インクジェットプリンタヘッド１の電気的接続関係を示す概念図である。
【図１０】図１０は、インクジェットプリンタヘッド１の動作を示す概念図である。
【図１１】図１１は、従来のインクジェットプリンタヘッド１の断面図である。
【符号の説明】
１    インクジェットプリンタヘッド
１０    キャビティプレート
１１    ノズルプレート
１２    マニホールドプレート
１２ａ  インク通路
１３    スペーサプレート
１４    ベースプレート
１６    圧力室
１６ｅ  桁
１７    貫通孔
１８    貫通孔
２０    プレート型圧電アクチュエータ
２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０  圧電シート
３１    表面電極
３２    表面電極
３３，３４  側面電極
３５    コモン電極
３５ａ  端部
３５’  捨てパターン電極
３６    駆動電極
３６ａ  端部
３６’  捨てパターン電極
４０    擬似電極
４１    溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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