(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を形成する細管の内部に電子放出膜を有したガス放電管において、前記細管と独立した支持部材に、脂肪酸マグネシウムの溶液が塗布されて焼成されることで電子放出膜があらかじめ形成された後、当該支持部材が前記細管の内部に挿入されて放電空間内に配置されてなるガス放電管。
【請求項２】
支持部材が細管よりも短い複数の筒形状の部材からなる請求項１記載のガス放電管。
【請求項３】
前記細管と独立した支持部材に形成された蛍光体層をさらに備え、当該蛍光体層の支持部材が前記電子放出膜の筒形支持部材の内部に挿入されて放電空間内に配置されてなる請求項２記載のガス放電管。
【請求項４】
支持部材が筒を長手方向に割った半筒形状の部材からなる請求項１記載のガス放電管。
【請求項５】
前記細管と独立した支持部材に形成された蛍光体層をさらに備え、当該蛍光体層の支持部材が筒を長手方向に割った半筒形状の部材からなり、それぞれ半筒形の電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材が、筒形となるように両者が向き合わされ、前記細管の内部に挿入されて放電空間内に配置されてなる請求項４記載のガス放電管。
【請求項６】
細管の肉厚と支持部材の肉厚との合計が２０〜３００μｍであることを特徴とする請求項１、２または４記載のガス放電管。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載のガス放電管を、支持基板上に複数本並設し、前記支持基板のガス放電管設置面に、当該ガス放電管の外壁面と接してその長手方向に沿う複数の信号電極を形成し、前記ガス放電管の表面側の外壁面に接して各ガス放電管を横切る方向の表示電極対を設けてなる表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電管に関し、さらに詳しくは、直径０．５〜５ｍｍ程度の細管を用いたガス放電管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガス放電管を並列に複数配列して、任意の画像を表示する表示装置が知られている。この表示装置のガス放電管では、直径０．５〜５ｍｍ程度の細管を用いる。
【０００３】
従来、このような細管を用いたガス放電管では、細管の内面に、ある値以上のエネルギーを有する放電ガスとの衝突により荷電粒子を発生し、放電開始電圧を下げる機能をもつ電子放出膜、例えばＭｇＯ膜を形成する場合、細管の内面に、例えば脂肪酸マグネシウムの溶液をスピンコート法などで塗布し、その塗布層を焼成することで形成するようにしている。
【０００４】
この場合、細管が短かければ（ほぼ３００ｍｍ以下）、細管の内面にＭｇＯ膜を比較的均一に塗布することができる。また、塗布層の焼成を行う際、細管の内径が十分に大きい（４ｍｍ以上）と、細管内への空気導入に対して抵抗が少なく（通気コンダクタンスが高い）、焼成を行いやすい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、細管の長さが３００ｍｍを超えるものになると、スピンコート法で細管の内面にＭｇＯ膜を均一に塗布することは困難である。また、細管の内径が２ｍｍ以下になると、塗布層の焼成を行う際、細管の内部で脂肪酸マグネシウムの有機成分の燃焼に必要な酸素が不足し、このため有機成分が完全に除去されず、ＭｇＯ膜の光透過率が低下する。
【０００６】
したがって、内径が２ｍｍ以下、あるいは長さが３００ｍｍ以上の細管であっても、細管の内面に電子放出膜を容易に形成できるような技術の出現が望まれていた。
【０００７】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、電子放出膜を細管とは別体の支持部材に形成し、この支持部材を細管の内部に配置することで、電子放出膜の形成を容易にすることを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、放電空間を形成する細管の内部に電子放出膜を有したガス放電管において、前記細管と独立した支持部材に、脂肪酸マグネシウムの溶液が塗布されて焼成されることで電子放出膜があらかじめ形成された後、当該支持部材が前記細管の内部に挿入されて放電空間内に配置されてなるガス放電管である。
【０００９】
本発明によれば、細管の外部で電子放出膜を支持部材に形成し、その支持部材を細管の内部に挿入して放電空間内に配置することができる。したがって、例えば、支持部材を、細管よりも短い複数の筒形状の部材で構成したり、半筒形状の部材で構成することにより、電子放出膜形成用の塗布液を均一に塗布することができる。また、その塗布膜の焼成の際の酸素不足による焼きむらを防止することができる。これにより良好な電子放出膜を容易に形成することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明のガス放電管は、どのような径の細管を用いて形成されてもよいが、特に直径０．５〜５ｍｍ程度の細管を用いて好ましくは形成される。この細管は、円形の断面を有していることが好ましいが、扁平楕円状の断面を有していてもよい。
【００１１】
本発明は、例えば細管の両端を封止することによって細管の内部に放電空間を形成し、その放電空間内に電子放出膜を配置した構成である。そして、その電子放出膜の配置においては、電子放出膜を細管と独立した支持部材に形成し、その支持部材を細管の内部に挿入することによって、電子放出膜を放電空間内に位置付ける。
【００１２】
細管の内径が小さい場合、細管の内部の通気性が悪く、細管の内面に電子放出膜を形成しようとしても、細管の内面に塗布した電子放出膜形成用の塗布膜の焼成時に十分に空気が供給されない。そこで、本発明では、細管の内部に挿入できるような支持部材に電子放出膜を形成する。つまり、電子放出膜を細管内で形成するのではなく、細管の外部で形成して、その後細管の内部に導入できる構造としている。
【００１３】
本発明において、支持部材には電子放出膜が形成される。この電子放出膜は、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等からなる。
支持部材は、細管と独立した形状であればよく、特に限定されないが、細管よりも短い複数の筒形状の部材、または筒を長手方向に割った半筒形状（以下、ボート形状ともいう）の部材とすることが望ましい。この支持部材は、電子放出膜の形成面で放電を発生させるため、誘電体で構成することが望ましい。
【００１４】
本発明においては、細管と独立した支持部材に形成された蛍光体層をさらに備えていてもよく、この場合、電子放出膜の支持部材が筒形状であれば、この蛍光体層の支持部材を電子放出膜の支持部材の内部に挿入して放電空間内に配置した構成とすることが望ましい。
【００１５】
また、電子放出膜の支持部材が、筒を長手方向に割った半円形の断面を有するボート形状で、蛍光体層の支持部材もそれと同じ形状であれば、それぞれ半筒形の電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材を、円筒形となるように両者を向き合わせ、細管の内部に挿入して放電空間内に配置した構成とすることが望ましい。この場合、電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材とが向き合わされた断面は円形であり、両者はともに半分の円弧の断面形状であるが、これに限定されず、一方の円弧が大きく、他方の円弧が小さい形状であってもよい。
【００１６】
支持部材の材料としては、ガラスを用いることが望ましい。ガラスを用いた場合には、細管がガラス等であれば、細管内に放電ガスを導入して細管の端部を封止する際に、支持部材を細管と一緒に溶融させてチップオフ（溶断）することで、支持部材を細管内に固定することができる。この場合、互いのガラスがなじむため、細管のリーク等の発生を防止することができる。支持部材の細管内への固定については、この他に低融点ガラスのような接着剤を用いて固定するようにしてもよい。
【００１７】
本発明は、また、上記したガス放電管を、支持基板上に複数本並設し、前記支持基板のガス放電管設置面に、当該ガス放電管の外壁面と接してその長手方向に沿う複数の信号電極を形成し、前記ガス放電管の表面側の外壁面に接して各ガス放電管を横切る方向の表示電極対を設けてなる表示装置である。
【００１８】
以下、図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳述する。なお、この発明はこれによって限定されるものではなく、各種の変形が可能である。
本発明のガス放電管は、ガス放電管を複数本並列に配置して、任意の画像を表示する表示装置に好適に用いられる。この表示装置の一例を説明する。
【００１９】
図１は本発明のガス放電管を用いた表示装置の一例を示す説明図である。
図において、３１は前面側の基板、３２は背面側の基板、１はガス放電管、２は表示電極対（主電極対）、３は信号電極（データ電極ともいう）である。
【００２０】
細管状のガス放電管１の内部（放電空間）には、電子放出膜を形成した支持部材（以下、電子放出膜の支持部材という）と蛍光体層を形成した支持部材（以下、蛍光体層の支持部材という）とが挿入されて配置され、放電ガスが導入されて、両端が封止されている。信号電極３は背面側の基板３２に形成され、ガス放電管１の長手方向に沿って設けられている。表示電極対２は前面側の基板３１に形成され、信号電極３と交差する方向に設けられている。表示電極対２と表示電極対２との間には、非放電領域（非放電ギャップ）２１が設けられている。
【００２１】
信号電極３と表示電極対２は、組み立て時にガス放電管１の下側の外周面と上側の外周面にそれぞれ密着するように接触させるが、その密着性を良くするために、表示電極とガス放電管面との間に接着剤を介在させて接着してもよい。
【００２２】
この表示装置を平面的にみた場合、信号電極３と表示電極対２との交差部が単位発光領域となる。表示は、表示電極対２のいずれか一本を走査電極として用い、その走査電極と信号電極３との交差部で選択放電を発生させて発光領域を選択し、その発光に伴って当該領域の管内面に形成された壁電荷を利用して、表示電極対２で表示放電を発生させることで行う。選択放電は、上下方向に対向する走査電極と信号電極３との間のガス放電管１内で発生される対向放電であり、表示放電は、平面上に平行に配置される２本の表示電極間のガス放電管１内で発生される面放電である。
【００２３】
図の電極構造では、一つの発光部位に３つの電極が配置された構成であり、表示電極対によって表示放電が発生される構造であるが、この限りではなく、表示電極２と信号電極３との間で表示放電が発生される構造であってもよい。
【００２４】
すなわち、表示電極対２を一本とし、この表示電極２を走査電極として用いて信号電極３との間に選択放電と表示放電（対向放電）を発生させる形式の電極構造であってもよい。
【００２５】
図２はガス放電管の実施形態１の構成を示す説明図である。図はガス放電管の長手方向に直交する断面を示している。図において、１ａはガス放電管となる細管、４は電子放出膜の支持部材、５は蛍光体層の支持部材である。
【００２６】
本形態では、細管１ａは、円形の断面を有しており、ホウケイ酸ガラスを用い、管の外径１０００μｍ、肉厚６０μｍ、長さ４００ｍｍで作製している。細管１ａの内部には、電子放出膜の支持部材４が配置され、この電子放出膜の支持部材４の内部には、蛍光体層の支持部材５が配置されている。電子放出膜の支持部材４と蛍光体層の支持部材５もホウケイ酸ガラスで作製している。
【００２７】
細管１ａは、細管１ａと相似形の大形の母材をダンナー法で作製し、それを加熱して軟化させながら、リドロー（引き伸ばし）することにより作製する。電子放出膜の支持部材４と蛍光体層の支持部材５も同様の方法で作製する。なお、これらはリドローではなく、最終的な形状のものを加熱プレスで直接形成するようにしてもよい。
【００２８】
電子放出膜の支持部材４は、細管１ａよりもひと回り小さい円形の断面を有しており、管の外径８６０μｍ、肉厚６０μｍ、長さ２００ｍｍで作製している。電子放出膜の支持部材４の内面には、電子放出膜としてのＭｇＯ膜４ａを０．１〜１μｍの膜厚で形成している。ＭｇＯ膜４ａは、細管１ａ内に電子放出膜の支持部材４を挿入する前に、支持部材４の内面に形成しておく。
【００２９】
このＭｇＯ膜４ａは、支持部材４の内面に脂肪酸マグネシウムの溶液をスピンコート法で塗布して乾燥させた後、その塗布層を焼成することで形成する。
【００３０】
電子放出膜の支持部材４は、長さが２００ｍｍであるので、支持部材４の内面に脂肪酸マグネシウム溶液を均一に塗布することができる。また、この長さであれば、焼成時に、支持部材４の内部で、脂肪酸マグネシウムの有機成分の燃焼に必要な酸素が不足することがないので、焼成後のＭｇＯ膜に光透過率の低下がない。これにより、支持部材４の内面に良好なＭｇＯ膜を均一に形成することができる。
【００３１】
蛍光体層の支持部材５は、外径７２０μｍの円筒を長手方向に２つに割ったボート形状で、半円形の断面を有しており、肉厚６０μｍ、長さ２００ｍｍで作製している。蛍光体層の支持部材５の凹部には、蛍光体層５ａを２０〜３０μｍの厚みで形成している。蛍光体層５ａは、蛍光体層の支持部材５を電子放出膜の支持部材４内に挿入する前に、支持部材５の凹部に形成しておく。
【００３２】
蛍光体層５ａは、フルカラーの表示に必要なＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の蛍光体の内のいずれか一色の蛍光体で形成する。この蛍光体層５ａは、当該分野で公知の蛍光体を用い、この蛍光体を含むペーストを支持部材５の凹部に塗布して乾燥させた後、焼成することにより形成する。
【００３３】
蛍光体層５ａは、細管１ａと電子放出膜の支持部材５の外部で形成するので、蛍光体を含むペーストを支持部材５の凹部に塗布した後、焼成しても、酸素不足になることがなく、有機成分を完全に焼失させることができる。
【００３４】
このガス放電管では、構造が、細管１ａと電子放出膜の支持部材４との二重構造であるので、細管と電子放出膜の支持部材との合計の肉厚を、一重構造の場合の細管の肉厚と同じ程度にする必要がある。
【００３５】
図３はガス放電管の実施形態２の構成を示す説明図である。図はガス放電管の長手方向に直交する断面を示している。図において、６は電子放出膜の支持部材、７は蛍光体層の支持部材である。
【００３６】
本形態において、細管１ａは実施形態１と同じものである。細管１ａの内部には、電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７が配置されている。電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７もホウケイ酸ガラスを用い、リドローにより作製している。
【００３７】
電子放出膜の支持部材６は、外径８６０μｍの円筒を長手方向に２つに割ったボート形状であり、肉厚６０μｍ、長さ２００ｍｍで作製している。電子放出膜の支持部材６の凹部には、電子放出膜としてのＭｇＯ膜６ａを０．１〜１μｍの膜厚で形成している。ＭｇＯ膜６ａは、細管１ａ内に電子放出膜の支持部材６を挿入する前に、支持部材６の凹部に形成しておく。
【００３８】
このＭｇＯ膜６ａは、支持部材６の凹部に脂肪酸マグネシウムの溶液をスロットコート法やスピンコート法などで塗布して乾燥させた後、その塗布層を焼成することで形成する。
【００３９】
電子放出膜の支持部材６は、ボート形状であるので、３００ｍｍを超えるような長さの支持部材であっても脂肪酸マグネシウム溶液の均一な塗布が可能である。また、脂肪酸マグネシウムの塗布層の焼成時に酸素不足となることがないので、焼成後のＭｇＯ膜に光透過率の低下がない。これにより、支持部材６の凹部に良好なＭｇＯ膜を均一に形成することができる。
【００４０】
さらに、電子放出膜の支持部材６がボート形状であるので、脂肪酸マグネシウム溶液のような塗布液を用いた熱分解法でＭｇＯ膜を形成するのではなく、蒸着などの方法でもＭｇＯ膜を形成することができる。
【００４１】
蛍光体層の支持部材７は、電子放出膜の支持部材６と同じ形状であり、蛍光体層の支持部材７の凹部には、実施形態１と同じ方法で、蛍光体層７ａを２０〜３０μｍの厚みで形成している。蛍光体層７ａは、蛍光体層の支持部材７を細管１ａ内に挿入する前に、支持部材７の凹部に形成しておく。
【００４２】
本形態でも、蛍光体層７ａは、細管１ａの外部で形成するので、蛍光体を含むペーストを支持部材７の凹部に塗布した後、焼成しても、酸素不足になることがなく、有機成分を完全に焼失させることができる。
【００４３】
このガス放電管でも、構造が、細管１ａと、電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７とで形成される管構造との二重構造であるので、細管と電子放出膜の支持部材との合計の肉厚を、一重構造の場合の細管の肉厚と同じ程度にする必要がある。
【００４４】
図４は上述のガス放電管を用いて表示装置を構成した例を示す説明図である。この図は、図１で示した表示装置を平面的に見た状態を示している。
本例では、表示電極対２は、それぞれ透明電極２ａとバス電極２ｂで構成している。信号電極は示していない。細管１ａは、Ｒ用、Ｇ用、Ｂ用のものを順番に並列配置している。
【００４５】
細管１ａは４００ｍｍの長さであり、この細管１ａ内に、実施形態１の電子放出膜の支持部材４と蛍光体層の支持部材５を配置する場合、２本の電子放出膜の支持部材４と２本の蛍光体層の支持部材５とを、細管１ａ内にそれぞれ直列に挿入する。蛍光体層の支持部材５は４００ｍｍの長さのものであってもよい。そして、電子放出膜の第１の支持部材４と第２の支持部材４との継ぎ目が、非放電領域２１に位置するように配置する。また、蛍光体層の第１の支持部材５と第２の支持部材５との継ぎ目も、非放電領域２１に位置するように配置することが望ましい。
【００４６】
図５は実施形態１における非放電領域の継ぎ目の状態を示す説明図である。
電子放出膜の第１の支持部材４と第２の支持部材４との継ぎ目は、非放電領域２１の位置で突き合わせにしているが、電子放出膜の支持部材４どうしを加熱溶融させて接着してもよいし、低融点ガラスのような接着剤を用いて接着してもよい。この接続は、支持部材４の内面にＭｇＯ膜を形成した後、その支持部材４を細管１ａ内に挿入する前に行う。２００ｍｍの蛍光体層の支持部材５を２本用いる場合も同様の方法で直列に接続してもよい。
【００４７】
細管１ａ内に、実施形態２の電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７を配置する場合も同様であり、２本の電子放出膜の支持部材６と２本の蛍光体層の支持部材７とを、細管１ａ内にそれぞれ直列に挿入する。この挿入に際しては、電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７が筒形となるように両者を向き合わせて、細管１ａの内部に挿入する。電子放出膜の支持部材６はボート形状であるので、４００ｍｍの長さのものであってもよい。蛍光体層の支持部材７も同様である。
【００４８】
そして、電子放出膜の第１の支持部材６と第２の支持部材６との継ぎ目が、非放電領域２１に位置するように配置する。また、蛍光体層の第１の支持部材７と第２の支持部材７との継ぎ目も、非放電領域２１に位置するように配置することが望ましい。
【００４９】
図６は実施形態２における非放電領域の継ぎ目の状態を示す説明図である。
電子放出膜の第１の支持部材６と第２の支持部材６との継ぎ目についても、非放電領域２１の位置で突き合わせにしているが、溶着、接着のいずれを用いてもよい。この接続も、支持部材６の凹部にＭｇＯ膜を形成した後、その支持部材６を細管１ａ内に挿入する前に行う。２００ｍｍの蛍光体層の支持部材７を２本用いる場合も同様の方法で直列に接続してもよい。
【００５０】
このようにして、細管１ａ内に、実施形態１の電子放出膜の支持部材４と蛍光体層の支持部材５、あるいは実施形態２の電子放出膜の支持部材６と蛍光体層の支持部材７を挿入し、固定を行うことで、細管１ａ内（放電空間内）に電子放出膜と蛍光体層を配置する。その後、細管１ａの内部の排気を行った後、細管１ａ内に放電ガスを封入し、細管１ａの両端を封止する。
【００５１】
この封止の際には、電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材を細管と共にチップオフして、細管の端部を封止することにより、電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材を細管内に固定することができる。
【００５２】
細管はガラス製であり、ガラス製の電子放出膜の支持部材および蛍光体層の支持部材となじみがよいため、封止の際に電子放出膜の支持部材と蛍光体層の支持部材を細管の端部と一緒に溶融して固定しても、細管のリーク等の発生が生じにくい。
【００５３】
このように、細管、電子放出膜の支持部材、蛍光体層の支持部材のアセンブリによって、ガス放電管を形成することにより、それぞれの工程で良品となったものを組み合わせて、１つのガス放電管とすることができるので、ガス放電管全体の歩留まりを向上させることができる。
【００５４】
図７は誘電体層の厚さを示す説明図である。ここでは実施形態２の例で説明する。図４で示した表示装置では、表示の際、表示電極対２間で面放電が発生される。このため、電極上の誘電体層、つまり細管１ａの厚さＨｔと電子放出膜の支持部材６の厚さＳｔとの合計の厚さが、表示電極対２間の放電開始電圧に影響を及ぼす。
【００５５】
図８は誘電体層の厚さ（μｍ）と放電開始電圧（Ｖ）との関係を示すグラフである。
誘電体層の厚さは、放電開始電圧を決めるパラメータの１つであり、細管１ａの内部に封入する放電ガスの組成や、圧力によっても放電開始電圧が変化する。このため、例えば、誘電体層が細管と電子放出膜の支持部材からなり、これらにホウケイ酸ガラスを用いた場合、表示電極対２間の面放電ギャップを２００μｍとし、封入する放電ガスをＮｅ（９６％）＋Ｘｅ（４％）とし、封入ガス圧を３５０Ｔｏｒｒとすると、誘電体層の厚さと放電開始電圧の関係は、このグラフに示すようになる。
【００５６】
グラフには示されていないが、たとえば誘電体層の厚さが３００μｍ以上になると、放電開始電圧は１０００Ｖを超えてしまい、電圧印加用のドライバのコストや、電子回路の耐圧を考慮すると実用的ではない。
【００５７】
したがって、放電開始電圧の制限からは、細管と電子放出膜の支持部材との合計の厚さ（Ｈｔ＋Ｓｔ）は、３００μｍ以下にすることが望ましい。また、細管１ａと電子放出膜の支持部材６との合計の厚さ（Ｈｔ＋Ｓｔ）は、機械的強度の面から、最低でも２０μｍ程度は必要である。したがって、細管１ａと電子放出膜の支持部材６との合計の厚さ（Ｈｔ＋Ｓｔ）は、２０〜３００μｍ程度の範囲とすることが望ましい。これは、実施形態１のガス放電管であっても同じである。
【００５８】
実施形態１と実施形態２のガス放電管では、細管と電子放出膜の支持部材との合計の厚さ（Ｈｔ＋Ｓｔ）は７０〜１２０μｍ程度であり、この厚さであれば、放電開始電圧は約４００〜５００Ｖとなり、実用的な放電開始電圧とすることができる。
【００５９】
このようにして、細管の外部で電子放出膜を支持部材に形成し、その支持部材を細管の内部に挿入して放電空間内に配置する。これにより、円筒状の支持部材を用いた場合には、支持部材の長さを短くして、電子放出膜形成用の塗布液を支持部材の内部に均一に塗布することができ、塗布膜の焼成時の酸素不足も解消することができる。また、ボート形状の支持部材を用いた場合には、電子放出膜形成用の塗布液を容易にかつ均一に塗布することができ、塗布膜の焼成時の酸素不足も解消することができる。しかも、電子放出膜を蒸着などの他の方法で形成することもできる。したがって、良好な電子放出膜を容易に形成することが可能となる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、電子放出膜が細管と独立した支持部材に形成された構成であるので、ガス放細管の外部で電子放出膜を支持部材に形成し、その支持部材を細管の内部に挿入して放電空間内に配置することができる。したがって、電子放出膜形成用の塗布液を均一に塗布することが可能となる。また、その塗布膜の焼成が容易となる。これにより良好な電子放出膜を容易に形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス放電管を用いた表示装置の一例を示す説明図である。
【図２】ガス放電管の実施形態１の構成を示す説明図である。
【図３】ガス放電管の実施形態２の構成を示す説明図である。
【図４】本発明のガス放電管を用いて表示装置を構成した例を示す説明図である。
【図５】実施形態１における非放電領域の継ぎ目の状態を示す説明図である。
【図６】実施形態２における非放電領域の継ぎ目の状態を示す説明図である。
【図７】誘電体層の厚さを示す説明図である。
【図８】誘電体層の厚さと放電開始電圧との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  ガス放電管
１ａ  細管
２  表示電極対
２ａ  バス電極
２ｂ  透明電極
３  信号電極
４，６  電子放出膜の支持部材
４ａ，６ａ  電子放出膜
５，７  蛍光体層の支持部材
５ａ，７ａ  蛍光体層
２１  非放電領域
３１  前面側の基板
３２  背面側の基板
【図１】
0003877618.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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