(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、真空ポンプと、この真空ポンプに連結された第１配管と、この第１配管と前記チャンバとを連結する第２配管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、前記第１配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配管と、前記第１配管と大気とを連結する第５配管と、前記第１配管及び第２配管に夫々介装された第１及び第２開閉弁とを有することを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項２】
チャンバと、第１真空ポンプと、第２真空ポンプと、前記第１真空ポンプに連結された第１配管と、前記第２真空ポンプに連結された第２配管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、前記第３配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配管と、前記第３配管と大気とを連結する第５配管と、前記第２配管と前記チャンバとを連結する第６配管と、前記第３配管と前記第２配管とを連結する第７配管と、前記第６配管と大気とを連結する第８配管と、前記第１配管、第２配管及び第７配管に夫々介装された第１開閉弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを有することを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項３】
被検査物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時に排気することを特徴とする漏洩試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は密閉容器の漏洩を検査する漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関し、特に、強度が低い容器の検査に好適の漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は従来の漏洩試験装置を示す。水槽１内に水２が蓄えられており、この水２内に被検査対象のワーク３が浸漬されている。このワーク３は剛性が高い補強治具４に取り囲まれており、ワーク３はこの補強治具４に複数個のスペーサ５により固定されている。これにより、ワーク３はその外面で補強治具４により補強されている。
【０００３】
ワーク３にはワークポートシール６が設けられており、このワークポートシール６を介して配管７がワーク３に連結されており、この配管７は空気供給源９に連結されている。配管７の途中に開閉弁８が介装されている。
【０００４】
この従来の漏洩検査装置においては、開閉弁８を開にして空気供給源９から空気をワーク３内に注入する。もし、ワーク３に漏洩欠陥が存在すると、ワーク３内から気泡が水２内に出てくるので、これを観察することにより、ワーク３の漏洩を検査することができる。
【０００５】
しかし、この従来装置においては、作業者が気泡を見て漏れがあるか、ないかの判断をするので、作業者の見落としにより、漏洩に気が付かないことがある。また、漏れの定量的な把握ができない。更に、ワーク３が水に濡れてしまうのでワークを乾燥させる工程が必要になるうえ、作業環境上もよくない。更にまた、ワーク３からの空気の漏洩を気泡の発生により検出するためには、ワーク３内に高圧力の空気を注入する必要があり、このため、ワーク３の内部圧力と水圧との差に起因してワーク３が変形することを防止するためには、補強治具４が必要である。この場合に、ワークの形状毎に専用の変形防止用の治具が必要になるうえ、専用の治具置場も必要となる。
【０００６】
上述の従来の漏洩試験装置の欠点を解消すべく、図４に示す真空中でのトレーサガスの漏出を検出する装置が提案されている。チャンバ１１内に検査対象のワーク１３がスペーサ１５を介して補強部材１４に補強された状態で、収納されている。このワーク１３のシール１６には配管２５ｂが気密的に連結されており、この配管２５ｂは配管２５ａを介して真空ポンプ２０に連結されている。
【０００７】
また、配管２５ｂにはＨｅガス等のトレーサガス供給源２１に接続された配管２５ｃが接続されており、更に空気源（大気源）２２に連結された配管２５ｄが接続されている。各配管２５ａ、２５ｃ、２５ｄには開閉弁２６ａ、２６ｂ、２６ｃが介装されている。
【０００８】
一方、チャンバ１１には配管２５ｆが連結されており、この配管２５ｆは配管２５ｅを介して真空ポンプ２３に連結されており、配管２５ｇを介して空気源２４に連結されている。そして、配管２５ｅ、２５ｇには、夫々開閉弁２６ｄ、２６ｅが介装されている。
【０００９】
また、チャンバ１１内には配管２５ｂが接続されており、この配管２５ｂはトレーサガス検知器（リークディテクタ）２７に連結されている。そして、配管２５ｈには、開閉弁２６ｆが介装されている。
【００１０】
この従来の漏洩試験装置においては、開閉弁２６ｄを開にして真空ポンプ２３によりチャンバ１１内を真空排気し、更に開閉弁２６ａを開にしてワーク１３内を真空排気する。その後、開閉弁２６ａ、２６ｄを閉にし、開閉弁２６ｂを開にしてＨｅガス等のトレーサガスをワーク１３内に注入すると共に、開閉弁２６ｆを開にして検知器２７によりチャンバ１１内のトレーサガスの有無を検知する。これにより、ワーク１３に漏洩欠陥が存在する場合には、検知器２７がトレーサガスを検出し、漏洩の存在を検出する。
【００１１】
また、試験終了後は、開閉弁２６ｂ、２６ｆを閉にし、開閉弁２６ｃ、２６ｅを開にして空気をチャンバ１１及びワーク１３内に導入する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この図４に示す漏洩試験装置においては、図３に示す実施例と同様に、ワーク１３の肉厚が薄くて内外圧力差により変形しやすい場合には、変形及び破壊を防止するためには、漏洩試験中のワーク１３を補強部材１４及びスペーサ１５により補強する必要がある。
【００１３】
また、真空排気及び空気の導入工程においては、ワークの内外圧力差を監視し、それが過大になってワークに変形が生じないようにする必要があり、操作が複雑である。
【００１４】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワークの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及び漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る漏洩試験装置は、チャンバと、第１真空ポンプと、第２真空ポンプと、前記第１真空ポンプに連結された第１配管と、前記第２真空ポンプに連結された第２配管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、前記第３配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配管と、前記第３配管と大気とを連結する第５配管と、前記第２配管と前記チャンバとを連結する第６配管と、前記第３配管と前記第２配管とを連結する第７配管と、前記第６配管と大気とを連結する第８配管と、前記第１配管、第２配管及び第７配管に夫々介装された第１開閉弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを有することを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る他の漏洩試験装置は、チャンバと、第１真空ポンプと、第２真空ポンプと、前記第１真空ポンプに連結された第１配管と、前記第２真空ポンプに連結された第２配管と、前記第１配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第３配管と、前記第３配管とトレーサガス供給源とを連結する第４配管と、前記第３配管と大気とを連結する第５配管と、前記第２配管と前記チャンバとを連結する第６配管と、前記第３配管と前記第２配管とを連結する第７配管と、前記第６配管と大気とを連結する第８配管と、前記第１配管、第２配管及び第７配管に夫々介装された第１開閉弁、第２開閉弁及び第７開閉弁とを有することを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る他の漏洩試験装置は、被検査物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時に排気することを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の第１実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。チャンバ３０内にワーク３１が収納されるようになっており、このワーク３１のワークポートシール３２には配管３６ｃが接続され、チャンバ３０には配管３６ｂが接続されている。配管３６ｂ、３６ｃはいずれも配管３６ａに接続されており、この配管３６ａは真空ポンプ３３に接続されている。また、配管３６ａには、Ｈｅ等のトレーサガス供給源３８に接続された配管３６ｄと、空気源３９に接続された配管３６ｅとが接続されている。更に、チャンバ３０には配管３６ｇが接続されており、この配管３６ｇには真空ポンプ３４に接続された配管３６ｆと空気源４０に接続された配管３６ｈが接続されている。更にまた、チャンバ３０には配管３６ｉが接続されており、この配管３６ｉにはトレーサガス検知器３５が接続されている。そして、各配管３６ａ、３６ｂ、３６ｄ、３６ｅ、３６ｆ、３６ｈ、３６ｉには、夫々開閉弁３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ、３７ｅ、３７ｆ、３７ｇが介装されている。
【００２０】
上述の如く構成された本実施例の漏洩試験装置においては、先ず、開閉弁３７ｂを開にし、その後、開閉弁３７ａを開にして、真空ポンプ３３によりワーク３１とチャンバ３０の双方を同時に真空排気する。次いで、開閉弁３７ａ及び３７ｂを閉にし、開閉弁３７ｃを開にして、ワーク３１内にＨｅ等のトレーサガスを導入すると共に、開閉弁３７ｇを開にする。もし、ワーク３１に漏洩欠陥が存在する場合は、ワーク３１からチャンバ３０内にトレーサガスが漏出してくるので、このトレーサガスを検知器３５により検出する。
【００２１】
次いで、開閉弁３７ｃ、３７ｇを閉にし、開閉弁３７ｂ、３７ｄを開にしてチャンバ３０内及びワーク３１内に同時に空気を導入し、大気圧にする。
【００２２】
本実施例においては、チャンバ３０内及びワーク３１内を同時に真空排気し、また同時に空気導入により真空破壊するので、ワーク３１の強度が低い場合でも、このワーク３１が変形したり、破壊したりする虞がない。このように、強度が低いワーク（例えば、ワークの許容できるワーク内外の差圧が１ｋｇｆ／ｃｍ2未満）を漏洩検査（Ｈｅ漏れ検査）する場合に、チャンバとワークの中を一旦真空排気する必要があるが、本実施例においては、チャンバとワークを同時に一つの系列のポンプで真空引するようにしたので、強度が低いワークでもワーク内外の差圧を真空排気中に監視する必要がない上、専用の補強用治具も不要である。
【００２３】
なお、ワーク３１の内容積とチャンバ３０の内容積の比によっては、ワークの内外で圧力差が生じることがある。例えば、チャンバ内の圧力がワーク内の圧力より高くなるときには、真空ポンプ３３を動作させた状態で、開閉弁３７ｅを開にし、真空ポンプ３４によりチャンバ３０内を真空排気する。これにより、チャンバ３０は２個の真空ポンプ３３，３４により排気され、チャンバ３０内とワーク３１内との圧力差が解消される。また、真空破壊する場合は、開閉弁３７ｆを開にすることにより、大気をチャンバ３０内に導入する。一方、ワーク３１の方が圧力が高くなる場合は、配管３６ｇを配管３６ｃと同様に、ワーク３１に接続し、真空ポンプ３４によりワーク３１内を真空排気するように構成すればよい。
【００２４】
次に、本発明の第２実施例について説明する。図２は本第２実施例を示す図である。チャンバ４０内にワーク４１が装入され、ワーク４１のシール４２に配管４９ｂが接続されている。配管４９ｂには、真空ポンプ４３に接続された配管４９ａ、トレーサガス供給源４６に接続された配管４９ｃ、空気源４７に接続された配管４９ｄが接続されている。一方、チャンバ４０には、配管４９ｇが接続されており、この配管４９ｇには真空ポンプ４４に接続された配管４９ｆと、空気源４８に接続された配管４９ｈが接続されている。また、チャンバ４０には配管４９ｉが接続されており、この配管４９ｉはトレーサガス検知器４５が接続されている。そして、配管４９ａ、４９ｃ、４９ｄ、４９ｅ、４９ｆ、４９ｈ、４９ｉには夫々開閉弁５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ、５０ｅ、５０ｆ、５０ｇが介装されている。
【００２５】
本実施例においては、先ず、開閉弁５０ａ、５０ｄ、５０ｅを同時に開にし、真空ポンプ４３，４４により同時にチャンバ４０内及びワーク４１内を真空排気する。次に、開閉弁５０ａ、５０ｄ、５０ｅを閉にし、開閉弁５０ｂを開にしてトレーサガスをワーク４１内に注入する。そして、開閉弁５０ｇを開にして、検知器４５とチャンバ４０とを接続する。もし、ワーク４１に欠陥が存在する場合には、ワーク４１内のトレーサガスがチャンバ４０内に漏出してくるので、これが検知器４５により検出される。
【００２６】
次いで、開閉弁５０ｂ、５０ｇを閉にし、開閉弁５０ｃ、５０ｆを開にして、ワーク４１内及びチャンバ４０内に同時に大気を導入して真空破壊する。
【００２７】
本実施例においても、ワーク４１に対する真空排気及び空気導入による真空破壊は、チャンバ内の真空排気及び空気導入による真空破壊と同時に行われるので、ワーク４１が変形しやすいものであっても、補強部材等を必要としない。
【００２８】
なお、本発明は上記各実施例に限定されず、種々の変形が可能である。例えば図１に示す実施例ではチャンバ３０とワーク３１の双方に連結されている配管３６ａに接続された真空ポンプ３３からチャンバ３０とワーク３１とを同時に真空排気するように構成したが、真空ポンプ３３、配管３６ａ、開閉弁３７ａを使用せず、開閉弁３７ｃ、３７ｄを閉にし、開閉弁３７ｂを開にした状態で、開閉弁３７ｅを開にして真空ポンプ３４により真空排気することにより、先ず、チャンバ３０内の空気を排気しながら、連通している配管３６ｂ、３６ｃを介して、ワーク３１内を排気することとしても良い。この場合も、チャンバ内の空気の排気抵抗が小さければ、チャンバ３０内とワーク３１内とは実質的に同時に真空排気される。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、チャンバ内に装入された被検査容器内と、チャンバ内とを同時に真空排気し、また同時に空気導入をするので、被検査対象の容器の強度が低い場合であっても、補強治具等を設ける必要がなく、容器の変形及び破壊を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。
【図２】本発明の第２実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。
【図３】従来の漏洩試験装置を示す図である。
【図４】従来の他の漏洩試験装置を示す図である。
【符号の説明】
３０，４０：チャンバ
３１，４１：ワーク
３３、４３、４４：真空ポンプ
３６ａ〜３６ｉ、４９ａ〜４９ｉ：配管
３７ａ〜３７ｇ、５０ａ〜５０ｇ：開閉弁
３８、４６：トレーサガス供給源
３９、４０、４７、４８：空気源
４５：トレーサガス検知器
【図１】
0003921867.tif 000002
【図２】
0003921867.tif 000003
【図３】
0003921867.tif 000004
【図４】
0003921867.tif 000005