(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースを有するディスク装置のヘッドアクチュエータであって、
前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状凹部を有するアクチュエータアームと；
前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；
トランスデューサを有するヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；
前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状凹部中に回転自在に挿入された円筒状突起を有するヘッド取付プレートと；
前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；
前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられた第１コイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするヘッドアクチュエータ。
【請求項２】
ベースを有するディスク装置のヘッドアクチュエータであって、
前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状突起を有するアクチュエータアームと；
前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；
トランスデューサを有するヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；
前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状突起が回転自在に挿入された円筒状凹部を有するヘッド取付プレートと；
前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；
前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられた第１コイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするヘッドアクチュエータ。
【請求項３】
前記第２永久磁石にギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレート上に固定された第２コイルを更に具備した請求項１又は２記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項４】
前記第１及び第２コイルは前記サスペンションの長手方向と概略直交する方向に配置されている請求項３記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項５】
前記円筒状突起は合成樹脂から形成されており、前記円筒状凹部は合成樹脂により画成されている請求項１又は２記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項６】
前記円筒状凹部の側壁には環状溝が形成されており、前記円筒状突起の外周には前記環状溝中に嵌合された環状突起が形成されている請求項５記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項７】
ディスク装置であって、
ベースを有するハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；
前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；
前記ヘッドスライダを前記ディスクのトラックを横切って移動させるヘッドアクチュエータとを具備し；
前記ヘッドアクチュエータは、
前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状凹部を有するアクチュエータアームと；
前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；
前記ヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；
前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状凹部中に回転自在に挿入された円筒状突起を有するヘッド取付プレートと；
前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；
前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられたコイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするディスク装置。
【請求項８】
ディスク装置であって、
ベースを有するハウジングと；
該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；
前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；
前記ヘッドスライダを前記ディスクのトラックを横切って移動させるヘッドアクチュエータとを具備し；
前記ヘッドアクチュエータは、
前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状突起を有するアクチュエータアームと；
前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；
前記ヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；
前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状突起が回転自在に挿入された円筒状凹部を有するヘッド取付プレートと；
前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；
前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられたコイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータに関する。
近年、コンピュータ用外部記憶装置の一種である磁気ディスク装置の小型化、薄型化が進んでおり、更に低消費電力化が求められている。また、磁気ディスク装置の高密度記録化が要求されている。
【０００２】
磁気ディスク装置の高密度記録化のためには、磁気ディスクの単位長さ当たりのトラックの数を大きくすること、即ちトラックの幅を狭くすることが不可欠である。
【０００３】
狭いトラックに磁気ヘッドを位置決めしなければならないため、ヘッドの位置決め精度を向上する必要がある。
ヘッドの位置決め精度の向上のために必要なことは、以下の通りである。
【０００４】
（１）サーボトラックライト時のスライダ残留振動等の振動を抑えること。
（２）スピンドルモータの振動を低減すること。
（３）ヘッド位置決め時のヘッドアクチュエータの振動を抑えること。
【０００５】
（４）サーボゲインを上げてサーボ帯域を向上させること。
上記（３）のヘッドアクチュエータの振動を抑えるには、軸受剛性起因の並進モード及びアーム等の構造体の共振周波数を高くすることが有効である。また（３），（４）の手段として二重アクチュエータは極めて有効な手段である。本発明は特に二重アクチュエータのトラッキングアクチュエータに関する。
【０００６】
【従来の技術】
一般的な磁気ディスク装置では、アクチュエータアームが回転可能にベースに取り付けられており、アクチュエータアームの一端にはロードビーム（サスペンション）の基端部が固定されている。ロードビームの先端部には磁気ヘッドを担持したスライダが取り付けられている。
【０００７】
アクチュエータアームの他端部にはコイルが取り付けられており、磁気ディスク装置のベースに固定された磁気回路とコイルとの組み合わせによりボイスコイルモータを構成する。コイルに通電することによりコイルが力を受け、アクチュエータアームが回転する。
【０００８】
このような一般的なヘッドアクチュエータでの問題点としては、以下のことが挙げられる。
（ａ）一般的な２．５インチ或いは３．５インチ磁気ディスク装置に使用されるヘッドアクチュエータでは、１０ｋＨｚ以下にアクチュエータアームの剛性に起因する共振が表れる。ヨー角の条件や消費電力などを含んださまざまな制約から、大幅にこの共振周波数を高くすることは困難である。
【０００９】
（ｂ）軸受剛性に起因するアクチュエータ並進モードの共振周波数も１０ｋＨｚ以下、例えば４ｋＨｚ〜５ｋＨｚに表れる。軸受与圧を変化させても剛性はさほど大きくならず、共振周波数を高めることは困難である。
【００１０】
従来の一般的な磁気ディスク装置では上記した（ａ），（ｂ）の共振があるため、サーボ帯域をせいぜい１ｋＨｚ程度にしか高くすることはできない。このため、追従誤差を十分に圧縮できないので、トラックピッチを向上させることは極めて困難であった。
【００１１】
そこで、いわゆる二重アクチュエータのトラッキングアクチュエータとして、圧電素子を利用してヘッドの正確な位置決めを達成しようとするアクチュエータが提案されている。例えば、２つの圧電素子をアクチュエータアームの両側に配置し、一方の側の圧電素子が伸びる方向に、他方の側の圧電素子が縮む方向に電圧を印加する。すると、縮む方向に電圧を印加した圧電素子方向にヘッドが回転する。
【００１２】
しかし、圧電素子を利用した従来のアクチュエータでは、圧電素子にその分極方向と逆方向の電圧が印加されたり、圧電素子が高温雰囲気にさらされたり、或いは経時変化等により、圧電素子の消極が起こり、単位電圧あたりの変位が徐々に小さくなってしまう。このため、ある程度長時間使用すると所望のストロークが得られなくなるという問題がある。
【００１３】
さらに、圧電素子の駆動に高い電圧（例えば±３０Ｖ程度）が必要であるため、高電圧を供給する回路が必要であり、更に駆動電圧によりノイズが信号線に乗ってしまうことが懸念される。
【００１４】
さらに、圧電素子を利用した従来のアクチュエータは製造性が悪く、コスト高であるという欠点がある。このように数多くの問題点を有しているため、圧電素子を利用したアクチュエータは未だ実用化されていない。
【００１５】
一方、スライダのみを電磁力により微小に移動するヘッドアクチュエータも提案されている。しかし、一般的に電磁力では、サイズが小さくなるにつれて力も小さくなり、可動部の質量を大幅に縮小しない限り、駆動力の発生に大きな電流を必要とすることになる。故に、消費電力の点から考えて、スライダのみを駆動する方法は不利である。
【００１６】
また、磁気回路の製造も容易でないし、ヘッド素子（トランスデューサ）から１ｍｍ程度の場所に磁束発生機構があるため、駆動時の漏洩磁束により信号にノイズが乗ることが懸念される。
【００１７】
さらに、スライダを移動させる駆動力が磁気吸引力であるため、電流に対して発生する力が線形でなく、広い可動範囲での位置決め制御が容易でないという問題がある。
【００１８】
これらの問題を解決した二重ヘッドアクチュエータを、本発明者は先に特願平７−３１５６７１号（特開平９−１６１４２５号）で提案した。この出願の記載されている二重ヘッドアクチュエータは、マイクロアクチュエータの駆動力を電磁力から得ており、マイクロアクチュエータの可動部は十字バネ或いはヒンジによりアクチュエータアームの先端に取り付けられている。
【００１９】
十字バネを採用した取付手段によると、マイクロアクチュエータ可動部の回転剛性を小さくでき、同時に横方向・上下方向への並進剛性を大きく設計できる。回転剛性が小さいことにより、小さい電流で大変位を得ることができる利点がある。
【００２０】
従って、ショートストロークのシークにはマイクロアクチュエータのみでのシークが可能である。また、横方向及び上下方向への並進剛性が大きいため、アクチュエータのサーボ帯域を大きくでき、位置決め精度を高めることができる。更に、電磁モータは長期信頼性が高く、コストが安いという利点もある。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、マイクロアクチュエータの取付手段として十字バネを用いた上述した二重ヘッドアクチュエータは、十字バネと、それを支持するヘッドマウンティングブロックの構造が複雑であるため、製造性が悪いという問題を有している。
【００２２】
よって本発明の目的は、簡単な構造で信頼性が高く、ヘッドの正確な位置決めを達成できるヘッドアクチュエータを提供することである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの側面によると、ベースを有するディスク装置のヘッドアクチュエータであって、前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状凹部を有するアクチュエータアームと；前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；トランスデューサを有するヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状凹部中に回転自在に挿入された円筒状突起を有するヘッド取付プレートと；前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられた第１コイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするヘッドアクチュエータが提供される。
【００２４】
代替案として、アクチュエータアームの先端部に円筒状突起を形成し、ヘッド取付プレートにこの円筒状突起が回転自在に挿入される円筒状凹部を設けるようにしてもよい。
【００２７】
本発明の他の側面によると、ディスク装置であって、ベースを有するハウジングと；該ハウジング内に回転可能に取り付けられたディスクと；前記ディスクに対してデータをライト／リードするトランスデューサを有するヘッドスライダと；前記ヘッドスライダを前記ディスクのトラックを横切って移動させるヘッドアクチュエータとを具備し；前記ヘッドアクチュエータは、前記ベース上に回転可能に取り付けられた、先端部に円筒状凹部を有するアクチュエータアームと；前記アクチュエータアームを回転する第１駆動手段と；前記ヘッドスライダを先端部で支持するサスペンションと；前記サスペンションの基端部に固定された、前記円筒状凹部中に回転自在に挿入された円筒状突起を有するヘッド取付プレートと；前記ヘッド取付プレートを前記アクチュエータアームに対して揺動させる第２駆動手段とを具備し；前記第２駆動手段は前記アクチュエータアームの厚さ方向に着磁されて該アクチュエータアームに固定された第１永久磁石と、該第１永久磁石とギャップをもって対向するように前記ヘッド取付プレートの先端部に取り付けられたコイルと、前記アクチュエータアームの前記円筒状凹部又は前記円筒状突起に対して、前記アクチュエータアームに固定された前記第１永久磁石と概略対称に配置されるように前記アクチュエータアームの先端部に固定された第２永久磁石とから構成されることを特徴とするディスク装置が提供される。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１を参照すると、本発明のヘッドアクチュエータを具備した磁気ディスク装置の平面図が示されている。磁気ディスク装置のベース２にはシャフト４が固定されており、シャフト４の周りにはインナーハブモータによって回転される図示しないスピンドルハブが設けられている。
【００２９】
スピンドルハブには磁気ディスク６と図示しないスペーサーが交互に挿入され、ディスククランプ８をスピンドルハブに対してネジ締結することにより、複数枚の磁気ディスク６が所定間隔離間してスピンドルハブに取り付けられる。
【００３０】
符号１０は粗動アクチュエータ１２と、粗動アクチュエータ１２上に搭載されたマイクロアクチュエータ２４とから構成されるロータリー二重ヘッドアクチュエータを示している。
【００３１】
粗動アクチュエータ１２は、ベース２に固定したシャフト１６周りにベアリングを介して回転可能に取り付けられたアクチュエータブロック１７を含んでいる。
【００３２】
アクチュエータブロック１７には複数のアクチュエータアーム１８が一体的に形成されている。回転中心であるシャフト１６に対してアクチュエータアーム１８と反対側にはコイル支持部材１９がアクチュエータブロック１７と一体的に形成されている。
【００３３】
フラットコイル２０がコイル支持部材１９により支持されている。ベース２上には磁気回路２２が取り付けられており、フラットコイル２０と磁気回路２２とでボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１４を構成する。
【００３４】
マイクロアクチュエータ２４はアクチュエータアーム１８の先端部に搭載されている。マイクロアクチュエータ２４はサスペンション２６と、サスペンション２６の基端部にスポット溶接されたヘッド取付プレート２８を含んでおり、このヘッド取付プレート２８が後述する取付手段によりアクチュエータアーム１８の先端部に回動可能に取り付けられている。
【００３５】
サスペンション２６の先端部にはフレクシャー２７が形成されており、このフレクシャー２７上に図３に示すように電磁トランスデューサを有するヘッドスライダ３０が取り付けられている。
【００３６】
図６に最も良く示されているように、ヘッド取付プレート２８には円筒状突起３４が一体的に形成されている。突起３４の高さは約０．２〜０．３ｍｍである。
【００３７】
ヘッド取付プレート２８は鋼等の磁性体から形成されており、約０．２ｍｍ程度の厚さを有している。サスペンション２６はステンレス鋼から形成されており、約２５μｍの厚さを有している。また、アクチュエータアーム１８は約１．０〜１．１ｍｍの厚さを有している。
【００３８】
円筒状突起３４には樹脂キャップ３６が被せられて、図４及び図５に示されるようにシャフト３２を形成する。樹脂キャップ３６の先端は球面状に丸められている。
【００３９】
ヘッド取付プレート２８上にはコイル４２が接着剤等により固定されており、ヘッド取付プレート２８のサスペンション固定部と反対側には一対の突起２８ａ，２８ａが形成されており、その間にＵ形状切欠き２９を画成している。
【００４０】
図５に示すように、４個の端子５２を有するフレキシブル端子プレート５０がサスペンション２６と一体的に形成されており、各端子５２はサスペンション２６上に形成された図示しない配線パターンに接続されている。
【００４１】
一対のリード線４２ａ，４２ｂがコイル４２に接続されている。図５及び図６に示すマイクロアクチュエータ２４の可動部２５の重さは約８０〜９０ｍｇである。
【００４２】
図４に最も良く示されているように、アクチュエータアーム１８の先端部には穴３８が形成されており、この穴３８中に合成樹脂性のレセプタクル４０が圧入されている。
【００４３】
レセプタクル４０はシャフト３２を受け入れるための凹部４１を画成している。レセプタクル４０を穴３８中に圧入するのに代えて、レセプタクル４０を接着等により穴３８中に固定するようにしてもよい。
【００４４】
図３及び図４に示されるように、ヘッド取付プレート２８に固定されたシャフト３２をアクチュエータアーム１８に固定されたレセプタクル４０の凹部４１中に挿入することにより、ヘッド取付プレート２８が回動可能にアクチュエータアーム１８の先端部に取り付けられる。シャフト３２の外周と凹部４１の内周との間には約数μｍ〜１０数μｍの隙間が画成されている。
【００４５】
コイル４２に対向するアクチュエータアーム１８の部分には穴４３が形成されており、この穴４３中に永久磁石４４が挿入されて接着等により固定されている。磁石４４上にはヨーク４６が搭載され、磁石４４に磁気的に引きつけられている。永久磁石４４はアクチュエータアーム１８の厚さ方向に着磁されている。
【００４６】
ヘッド取付プレート２８のＵ形状切欠き２９中には、アクチュエータアーム１８に形成された穴４７中に挿入固定されたストッパ４８が挿入されている。ストッパ４８が突起２８ａに当接することにより、マイクロアクチュエータ２４の可動範囲が規制される。
【００４７】
再び図５を参照すると、符号５４は中継フレキシブルプリント配線板（中継ＦＰＣ）であり、その端子５６がサスペンション２６の端子５２に接合されるように、中継ＦＰＣ５４はアクチュエータアーム１８の側面に取り付けられる。
【００４８】
中継ＦＰＣ５４は、磁気ディスク装置外部に設けられた電子回路ユニットへ配線を引き出すための図示しないメインフレキシブルプリント配線板（メインＦＰＣ）に接続されている。
【００４９】
しかして、コイル４２に通電すると、磁石４４とヨーク４６とから構成される磁気回路によりコイル４２が力を受け、マイクロアクチュエータ２４の可動部２５が図５で矢印５８方向に揺動される。
【００５０】
マイクロアクチュエータ２４の可動部２５がシャフト３２周りに揺動するため、マイクロアクチュエータ２４の可動部２５の重心はシャフト３２の中心に一致していることが望ましい。
【００５１】
磁石４４と磁性体から形成されたヘッド取付プレート２８との間には磁気吸引力が働いているため、シャフト３２がレセプタクル４０の凹部４１から抜け出さないように与圧を与える働きをしている。つまり、１つの磁石４４によりマイクロアクチュエータ２４の駆動と与圧付与との２つの役割を果たしている。
【００５２】
永久磁石４４とヘッド取付プレート２８との間の吸引力は、例えば、２ｍｍ×２ｍｍ×０．５ｍｍの磁石４４を２つ横に並べて、その時の磁束密度が４ｋガウスであるとすると、約５１０ｍＮの力を定常的に発生していることになる。
【００５３】
マイクロアクチュエータ２４の可動部２５の質量は上述したように８０〜９０ｍｇであるため、５００Ｇ程度の衝撃まで耐えることができる。代案として、板バネにより与圧を与えるようにしてもよい。
【００５４】
更に、図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すようなシャフトの抜け防止構造を設けるようにしてもよい。図７（Ａ）に示すように、ヘッド取付プレート２８に形成されたシャフト３２′の樹脂性キャップ３６′は、環状突起３７を有している。一方、アクチュエータアーム１８の穴３８中に固定された樹脂性レセプタクル４０の凹部４１には、環状溝４３が形成されている。
【００５５】
シャフト３２′をレセプタクル４０の凹部４１中に押し込むと、図７（Ｂ）に示すように環状突起３７が環状溝４３中に嵌合される。これにより、磁石４４による磁気吸引力以上の衝撃がマイクロアクチュエータに加わった場合にも、ヘッド取付プレート２８に固定したシャフト３２′がアクチュエータアーム１８に固定したレセプタクル４０の凹部４１から抜け出すことが防止される。
【００５６】
図８を参照すると、本発明第２実施形態の一部断面側面図が示されている。本実施形態は、アクチュエータアーム１８の先端部に２つのマイクロアクチュエータ２４を取り付けた場合である。
【００５７】
アクチュエータアーム１８の先端部に形成された穴３８中に縦断面がＨ形状のレセプタクル６０が圧入されている。レセプタクル６０は隔壁６２で仕切られた２つの凹部６１，６１を有している。各凹部６１中には、それぞれ上側及び下側のヘッド取付プレート２８のシャフト３２が回動可能に挿入されている。
【００５８】
この実施形態の場合には、各ヘッド取付プレート２８が磁性体から形成されているため、アクチュエータアーム１８には永久磁石４４を固定するのみでよく、ヨークは必要としない。
【００５９】
上側のマイクロアクチュエータ２４のコイル４２に通電すると、上側のコイル４２のみが力を受けるため、上側のマイクロアクチュエータ２４のみがシャフト３２周りを揺動する。
【００６０】
一方、下側のマイクロアクチュエータ２４のコイル４２に通電すると、下側のマイクロアクチュエータ２４のみがシャフト３２周りに揺動する。よって、上下のマイクロアクチュエータ２４をそれぞれ単独で制御することができる。
【００６１】
図９はスライダ３０側より見た磁石４４の着磁方向及び磁気回路を示している。磁石４４は左右でその極性が逆極性となるようにアクチュエータアーム１８の厚さ方向に着磁されている。矢印Ａはマイクロアクチュエータ２４の揺動方向を示している。
【００６２】
図１０を参照すると、本発明第３実施形態の斜視図が示されている。本実施形態は、ヘッド取付プレート２８のシャフト３２を受け入れるレセプタクル４０からアクチュエータアーム１８の長手方向概略等距離に、２つの永久磁石４４，６４をアクチュエータアーム１８に固定したものである。
【００６３】
即ち、レセプタクル４０に対してアクチュエータアーム１８の長手方向概略対称位置に２つの穴４３，６３を形成し、これらの穴４３，６３中に磁石４４，６４をそれぞれ固定する。各磁石４４，６４にはそれぞれヨーク４６，６６が磁気的に吸着されている。
【００６４】
磁石４４は、ヘッド取付プレート２８に固定されたコイル４２とギャップをもって対向している。ヘッド取付プレート２８は鋼等の磁性体から形成されている。
【００６５】
本実施形態によれば、ヘッド取付プレート２８のシャフト３２とレセプタクル４０の凹部４１を画成する側壁との間には約数μｍ〜１０数μｍ程度の隙間があるが、２つの磁石４４，６４によるヘッド取付プレート２８の磁気吸引力がシャフト３２に対して概略対称に発生するため、レセプタクル４０中でのシャフト３２の傾きを低減することができる。また、磁気吸引力も第１実施形態に比較して２倍になるため、より強い衝撃にも耐えることができる。
【００６６】
図１１を参照すると、本発明第４実施形態の一部断面側面図が示されている。本実施形態は図８に示した第２実施形態に類似しており、アクチュエータアーム１８の先端に固定した磁石６４を有する点が第２実施形態と相違する。
【００６７】
即ち本実施形態は、図１０に示したアクチュエータアーム１８の先端部に上下方向から２つのマイクロアクチュエータの可動部２５を取り付けたものである。各ヘッド取付プレート２８が磁性体から形成されているため、図８に示した第２実施形態と同様にヨーク４６，６６を省略することができる。磁石６４に対向して、各ヘッド取付プレート２８上にそれぞれコイルを配置してもよい。この場合、単位電流あたりの駆動力が２倍となり低消費電力に向く。
【００６８】
図１２を参照すると、本発明第５実施形態の斜視図が示されている。本実施形態は、サスペンション２６の長手方向と概略直交する方向にシャフト３２に対して対称となるように２つのコイル６８，７０をヘッド取付プレート２８′に固定したものである。コイル６８，７０に対向して図示しないアクチュエータアームに磁石７２，７４がそれぞれ固定される。
【００６９】
図１０に示した第３実施形態と同様に、２つの磁石７２，７４により磁性体から成るヘッド取付プレート２８′をアクチュエータアーム１８に引きつけるための与圧が掛かるため、より耐衝撃性に優れる。
【００７０】
また、２つのコイル６８，７０をヘッド取付プレート２８′に固定したため、消費電力の低減及びコイルの薄型化が可能となる。このような２つのコイル６８，７０による駆動では、回転力のみを発生し、シーク方向に力を発生しないように駆動することが可能であるため、駆動時のマイクロアクチュエータのガタツキを抑制することができる。
【００７１】
マイクロアクチュエータ可動部の重心をシャフト３２の中心と一致させるためには、ヘッド取付プレート２８′の基端部にバランスウェイト等を取り付ければよい。
【００７２】
図１３を参照すると、本発明第６実施形態の一部断面側面図が示されている。本実施形態は、第１乃至第５実施形態のシャフトとレセプタクルの関係を逆にして、アクチュエータアーム１８にシャフトを取り付け、ヘッド取付プレート２８にレセプタクルを固定したものである。
【００７３】
即ち、アクチュエータアーム１８の先端部に形成した穴７６中にシャフト７８が固定されている。一方、ヘッド取付プレート２８には円筒状突起８８が一体的に形成されており、この円筒状突起８８の内周穴８９中に樹脂性レセプタクル９０が圧入されている。レセプタクル９０は凹部９１を画成しており、この凹部９１中にシャフト７８が回動可能に挿入されている。
【００７４】
更に本実施形態では、アクチュエータアーム１８に形成した穴８０中にコイル８２とヨーク８４が固定されている。一方、ヘッド取付プレート２８上にはコイル８２に対向して永久磁石８６が固定されている。
【００７５】
アクチュエータアーム１８の穴８０中にヨーク８４が設けられているため、磁石８６とヨーク８４との間に磁気吸引力が働き、シャフト７８がレセプタクル９０から抜け出さないように与圧を与えることができる。
【００７６】
本実施形態では、アクチュエータアーム１８にコイル８２が取り付けられているため、コイル８２のリード線の引回しが容易である。勿論上述した第１乃至第５実施形態と同様に、コイル８２をヘッド取付プレート２８に固定し、磁石８６をアクチュエータアーム１８に固定するようにしてもよい。
【００７７】
図１４を参照すると、本発明第７実施形態の一部断面側面図が示されている。本実施形態は、アクチュエータアーム１８の上下面に図１３に示したヘッド取付プレート２８を回動可能に取り付けたものである。
【００７８】
即ち、アクチュエータアーム１８の先端部には上下に突出するようにシャフト９２が固定されている。このシャフト９２に回動可能に上下のヘッド取付プレート２８に固定されたレセプタクル９０が嵌合されている。
【００７９】
本実施形態の場合にはヨークを省略することができ、上下の磁石８６，８６間の磁気吸引力のために各ヘッド取付プレート２８をアクチュエータアーム１８に引きつけるのに必要な与圧を与えることができる。
【００８０】
図１５はスライダ側より見た２個の磁石８６の着磁方向を示しており、２個の磁石８６の対向する面の極性は逆極性である必要がある。
【００８１】
【発明の効果】
本発明によると、信頼性が高く簡単な構造でヘッドの正確な位置決めを達成できる二重ヘッドアクチュエータを提供することができる。更に、マイクロアクチュエータの取付構造を簡単化することにより、ヘッドアクチュエータの製造性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のヘッドアクチュエータを具備した磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態平面図である。
【図３】第１実施形態の一部断面側面図である。
【図４】第１実施形態の拡大断面図である。
【図５】第１実施形態の斜視図である。
【図６】第１実施形態のマイクロアクチュエータの可動部分を示す斜視図である。
【図７】図７（Ａ）及び図７（Ｂ）はシャフトの抜け防止構造を示す図である。
【図８】本発明第２実施形態の一部断面側面図である。
【図９】図８に示した第２実施形態のスライダ側より見た磁石の着磁方向と磁気回路を示す図である。
【図１０】本発明第３実施形態の斜視図である。
【図１１】本発明第４実施形態の一部断面側面図である。
【図１２】本発明第５実施形態の斜視図である。
【図１３】本発明第６実施形態の一部断面側面図である。
【図１４】本発明第７実施形態の一部断面側面図である。
【図１５】図１４に示した第７実施形態のスライダ側より見た磁石の着磁方向と磁気回路を示す図である。
【符号の説明】
１０  二重ヘッドアクチュエータ
１８  アクチュエータアーム
２４  マイクロアクチュエータ
２６  サスペンション
２８  ヘッド取付プレート
３０  ヘッドスライダ
３２  シャフト
４０  レセプタクル
４２  コイル
４４  永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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