(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムを、前記感光性樹脂層を少なくとも基板に張り付けられる範囲で露出させ、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに送り込み、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法において、
前記積層体フィルムの前記基板への張り付け前に、基板の先端から後端方向への一定範囲、及び、基板の後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層張付不要領域を被うように、基板から容易に剥離され得るマスク材を基板又は前記感光性樹脂層張付不要領域に対応する感光性樹脂層の一方に仮付けし、ラミネーションロールによる基板への積層体フィルム張り付け後、基板間において、前記マスク材を含むその近傍における前記透光性支持フィルムを前記マスク材と共に基板から離間させ、先行する基板の後端側に配設された前記マスク材の近傍と、後行する基板の先端側に配設された前記マスク材の近傍との２個所を切断個所として、前記透光性支持フィルムを感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断し、各基板間の隙間に対応する切断された透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を除去することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項２】
請求項１において、前記マスク材を、前記基板の幅方向両端からはみ出す長さとし、該はみ出し部分を基板から厚さ方向外側に引張り、該マスク材と共に透光性支持フィルムを基板から離間させることを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項３】
請求項１において、前記切断個所を前記マスク材上の位置とし、その切断深さを、マスク材の厚さ方向の少なくとも一部が残るように設定したことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、前記マスク材における基板搬送方向一方の端部を、基板先端側では該基板の先端と、基板後端側では該基板後端と、それぞれ一致させたことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、基板の後端側のマスク材と、該基板の後行基板における先端側のマスク材とを連続一体的に構成したことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項６】
少なくとも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してなる積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板に重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーションロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてくる複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装置において、
前記ラミネーションロールの入側で、基板搬送面に沿って配置され、搬送される基板の先端から後端方向への一定範囲、及び、基板の後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層張付不要領域を被うように、基板から容易に剥離され得るマスク材を基板又は前記感光性樹脂層張付不要領域に対応する感光性樹脂層の一方に仮付けするマスク材仮付け手段と、前記ラミネーションロールの出側に配置され、基板間において、前記マスク材を含むその近傍における前記透光性支持フィルムを前記マスク材と共に基板から離間させるマスク材離間装置と、先行する基板の後端側に配設された前記マスク材の近傍と、後行する基板の先端側に配設された前記マスク材の近傍との２個所を切断個所として、前記透光性支持フィルムを感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断するフィルム切断装置とを設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項７】
請求項６において、前記マスク材は、前記基板の幅方向両端から突出する長さとされ、前記マスク材仮付け手段は、前記マスク材における、基板の幅方向両端から突出する部分を支持して、基板又は感光性樹脂層に仮付けするようにされたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項８】
請求項６において、前記マスク材は、前記基板の幅方向両端から突出する長さとされ、前記マスク材仮付け手段は、前記マスク材離間装置を兼ね、且つ、前記マスク材における、基板の幅方向両端から突出する部分を支持して、基板に仮付け又は感光性樹脂層に張り付けし、且つ、マスク材を透光性支持フィルムと共に基板から離間するようにされたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項９】
請求項６において、前記フィルム切断装置は、前記切断個所を前記マスク材上の位置とし、その切断深さを、マスク材の厚さ方向の少なくとも一部が残るように設定したことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１０】
請求項６又は８において、前記マスク材は、先行基板の後端部から後行基板の先端部に渡って被う長さとされ、前記マスク材離間装置は、前記先行基板の後端と後行基板の先端との間に入り込み、前記透光性支持フィルムを基板から離間する方向に引張るように構成されたことを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連続張りタイプのものがある。
【０００４】
又、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けして、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを基板に張り付けるようにしたものがある。
【０００５】
ここで、基板が、例えば液晶表示パネル用の場合、複数のカラーフィルタ等の感光性樹脂層を基板上に順次積層することになるが、その位置合わせのため、基板の枠状の外周部分に目印が設けられている。
【０００６】
しかしながら、ここに感光性樹脂層を連続的に張り付けると、位置合わせのための目印が見えなくなったり、又検知が困難となるという問題点がある。
【０００７】
これに対して、例えば特開平７−１１０５７５号公報に開示されるフィルム張付装置は、積層体フィルムにおける感光性樹脂層を被うカバーフィルムを剥離する前に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広めに、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられるべき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的に張り付けるようにしている。
【０００８】
従って、基板の端部から基板長手方向中央よりの一定範囲では、感光性樹脂層と基板との間に残されたカバーフィルムが介在するので、透光性支持フィルムを、不要部分の感光性樹脂層と共に剥離した後は感光性樹脂層が基板の枠状外周部に設けられている目印を被ったりすることがない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平７−１１０５７５号公報に開示されるフィルム張付装置では、基板への張付け前に、カバーフィルム及び感光性樹脂層を切断しなければならず、基板との位置合わせが難しいという問題点がある。
【００１０】
又、基板に張り付けられた透光性支持フィルムを剥離する場合、各基板間の位置で透光性支持フィルム及び残っているカバーフィルムを切断し、その端部をもって基板から引張るのであるが、この際、カバーフィルムと透光性支持フィルムの間の不要な感光性樹脂層が剥離されるとき、基板上の必要な感光性樹脂層まで連続して剥離されないように、カバーフィルムの切断時に感光性樹脂層も予め確実に切断しなければならない。
【００１１】
しかしながら、感光性樹脂層はその流動性が高いため、カッターによる切断は容易でなく、切断が不十分であるときには、透光性支持フィルム剥離の際に、基板上の必要な感光性樹脂層まで剥がされてしまうことがあるという問題点がある。
【００１２】
又、積層体フィルムを基板長さに応じて切断して、一枚ずつ各基板に張り付けるフィルム張付装置においては、切断されたフィルムの前後端に、基板への張付時に十分に引張り力を付与することができないので、張付け後に基板と感光性樹脂層との間に気泡が発生してしまうという問題点がある。
【００１３】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、積層体フィルムを予め切断（ハーフカット）したりすることなく、又基板への張付状態で基板と感光性樹脂層との間に気泡が発生したりすることなく、フィルムを基板に張り付けることができるようにしたフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、請求項１のように、少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムを、前記感光性樹脂層を少なくとも基板に張り付けられる範囲で露出させ、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに送り込み、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法において、
前記積層体フィルムの前記基板への張り付け前に、基板の先端から後端方向への一定範囲、及び、基板の後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層張付不要領域を被うように、基板から容易に剥離され得るマスク材を基板又は前記感光性樹脂層張付不要領域に対応する感光性樹脂層の一方に仮付けし、ラミネーションロールによる基板への積層体フィルム張り付け後、基板間において、前記マスク材を含むその近傍における前記透光性支持フィルムを前記マスク材と共に基板から離間させ、先行する基板の後端側に配設された前記マスク材の近傍と、後行する基板の先端側に配設された前記マスク材の近傍との２個所を切断個所として、前記透光性支持フィルムを感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断し、各基板間の隙間に対応する切断された透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を除去することを特徴とするフィルム張付方法により上記目的を達成するものである。
【００１７】
又、請求項２のように、前記マスク材を、前記基板の幅方向両端からはみ出す長さとし、該はみ出し部分を基板から厚さ方向外側に引張り、該マスク材と共に透光性支持フィルムを基板から離間させるようにしてもよい。
【００１８】
更に、請求項３のように、前記切断個所を前記マスク材上の位置とし、その切断深さを、マスク材の厚さ方向の少なくとも一部が残るように設定してもよい。
【００１９】
又、請求項４のように、前記マスク材における基板搬送方向一方の端部を、基板先端側では該基板の先端と、基板後端側では該基板後端と、それぞれ一致させるようにしてもよい。
【００２０】
又、請求項５のように、基板の後端側のマスク材と、該基板の後行基板における先端側のマスク材とを連続一体的に構成してもよい。
【００２１】
本装置発明は、請求項６のように、少なくとも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してなる積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板に重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーションロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてくる複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装置において、
前記ラミネーションロールの入側で、基板搬送面に沿って配置され、搬送される基板の先端から後端方向への一定範囲、及び、基板の後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層張付不要領域を被うように、基板から容易に剥離され得るマスク材を基板又は前記感光性樹脂層張付不要領域に対応する感光性樹脂層の一方に仮付けするマスク材仮付け手段と、前記ラミネーションロールの出側に配置され、基板間において、前記マスク材を含むその近傍における前記透光性支持フィルムを前記マスク材と共に基板から離間させるマスク材離間装置と、先行する基板の後端側に配設された前記マスク材の近傍と、後行する基板の先端側に配設された前記マスク材の近傍との２個所を切断個所として、前記透光性支持フィルムを感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断するフィルム切断装置とを設けたことを特徴とするフィルム張付装置により、上記目的を達成するものである。
【００２３】
又、請求項７のように、前記マスク材は、前記基板の幅方向両端から突出する長さとされ、前記マスク材仮付け手段は、前記マスク材における、基板の幅方向両端から突出する部分を支持して、基板又は感光性樹脂層に仮付けするようにしてもよい。
【００２４】
更に又、請求項８のように、前記マスク材は、前記基板の幅方向両端から突出する長さとされ、前記マスク材仮付け手段は、前記マスク材離間装置を兼ね、且つ、前記マスク材における、基板の幅方向両端から突出する部分を支持して、基板に仮付け又は感光性樹脂層に張り付けし、且つ、マスク材を透光性支持フィルムと共に基板から離間するようにしてもよい。
【００２５】
更に又、請求項９のように、前記フィルム切断装置は、前記切断個所を前記マスク材上の位置とし、その切断深さを、マスク材の厚さ方向の少なくとも一部が残るように設定してもよい。
【００２６】
更に又、請求項１０のように、前記マスク材は、先行基板の後端部から後行基板の先端部に渡って被う長さとされ、前記マスク材離間装置は、前記先行基板の後端と後行基板の先端との間に入り込み、前記透光性支持フィルムを基板から離間する方向に引張るように構成してもよい。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して説明する。
【００２８】
この発明に係るフィルム張付装置１０は、図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルムロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されてくる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通して基板２０に積層体フィルム１４を圧着し、次に、フィルム切断装置２４によって、積層体フィルムの各基板２０間の不要部分を切断して除去し、各基板２０を分離するようにされている。
【００２９】
前記積層体フィルム１４は、図２に示されるように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持フィルムに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２から連続的に巻き出されるようになっている。ここで、透光性支持フィルム１４Ａにおける「透光性」とは、感光性樹脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味する。
【００３０】
前記カバーフィルム剥離装置１６は、分離部材１６Ａを経て感光性樹脂層１４Ｂから引き剥がしたカバーフィルム１４Ｃを巻き取りロール１６Ｂによって巻き取るようにされている。
【００３１】
前記基板搬送装置１８は、複数の搬送ローラを含んで構成され、各搬送ローラの上面によって構成される基板搬送面１８Ａが、前記一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂにおける下側のラミネーションロール２２Ｂの上端に接して通過するように配置されている。
【００３２】
ラミネーションロール２２Ａは、ロール開閉装置２６によって「開」状態で待機され、基板２０の先端から後端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間を通過するとき、「閉」位置にロール開閉装置２６によって駆動され、基板２０と、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４を挟み込むようにされている。
【００３３】
前記基板搬送装置１８に沿って、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側には、マスク材仮付け手段２８が配置されている。
【００３４】
このマスク材仮付け手段２８は、基板搬送面１８Ａ上を搬送されてくる基板２０の先端から後端方向への一定範囲、及び、後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被うように、マスク材３０Ａ、３０Ｂを基板２０に仮付けするように構成されている。
【００３５】
又、前記基板搬送面１８Ａに沿って、前記ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側には、前記フィルム切断装置２４が配置されている。
【００３６】
このフィルム切断装置２４は、前記マスク材３０Ａ、３０Ｂを含むその基板搬送方向先端近傍から後端近傍までの間の位置で、基板２０に張り付けられた状態の前記透光性支持フィルム１４Ａを感光性樹脂層１４Ｂと共にフィルム幅方向に切断するカッター２４Ａを備えている（図５参照）。
【００３７】
前記マスク材３０Ａ、３０Ｂは、図３に示されるように、基板２０の幅方向両端からはみ出す長さとされ、マスク材仮付け手段２８によって、基板２０の幅方向両端からはみ出した状態で該基板２０上に仮付けされ得るようになっている。
【００３８】
又、このマスク材３０Ａ、３０Ｂは、テープ状であって、基板２０のフィルム張付面（図１において上面）に対して非接着性又は簡単に剥離され得る材質から構成され、例えば、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、フッ素樹脂、ポリフッ化ビニリデン等のプラスチックフィルムや、合成紙、塗工紙、布等の繊維状物質等が用いられる。又、厚さは、１μｍ〜１ｍｍであって、基板２０と感光性樹脂層１４Ｂとの密着性を阻害しない範囲のものであればよい。
【００３９】
なお、マスク材３０Ａ、３０Ｂは、その基板２０側の面が基板２０に対して非接着性あるいは容易に剥離され得る性質のものであればよく、感光性樹脂層１４Ｂと接触する上面は、この感光性樹脂層１４Ｂと密着するようにしてもよい。
【００４０】
前記マスク材仮付け手段２８は、基板２０の幅方向両端から外側位置で前記マスク材３０Ａ、３０Ｂをそれぞれ厚さ方向に挟み込む先端側アーム２８Ａ及び後端側アーム２８Ｂを備えている（図３、図４参照）。
【００４１】
これら先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂは、図３、図４に示されるように、マスク材３０Ａ、３０Ｂの、基板幅方向両端を挟持した状態で、これを基板２０の先端側及び後端側上面に押し付ける図４の仮付位置と、ここから上方に揺動した図５に示される剥離位置との間で揺動自在とされている。図３の符号２８Ｃは前記先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂを駆動するためのアクチュエータを示す。又、アーム２８Ａ、２８Ｂの先端はアクチュエータ２８Ｃにより開閉自在とされている。
【００４２】
又、マスク材仮付け手段２８全体は、基板２０と同期してラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側から出側に至る進行し、且つ、原位置に戻るべく往復動できるようにされている。なお、マスク材仮付け手段２８を、基板２０と同期して駆動させ、又原位置に復帰させる機構については図示を省略する。
【００４３】
前記先端側アーム２８Ａ及び後端側アーム２８Ｂは、前記一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂと干渉しないように、これらの軸方向外端よりも更に外側位置を通過するようにされている（図３、図４参照）。
【００４４】
前記マスク材仮付け手段の先端側アーム２８Ａ及び後端側アーム２８Ｂは、それぞれ、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側位置で、図５に示されるように、マスク材３０Ａ、３０Ｂを透光性支持フィルム１４Ａと共に持ち上げ、基板２０から離間させるように構成されている。
【００４５】
又、前記フィルム切断装置２４におけるカッター２４Ａは、前記先端側アーム２８Ａ及び後端側アーム２８Ｂによって持ち上げられた状態の透光性支持フィルム１４Ａを、後端側マスク材３０Ｂにおける前端縁近傍位置で、又先端側マスク材３０Ａにおれる後端縁近傍位置で、それぞれ透光性支持フィルム１４Ａを感光性樹脂層１４Ｂと共にフィルム幅方向に切断するようにされている。又、このとき、カッター２４Ａの先端が、基板２０の上面に接触しないようにされている。
【００４６】
図１の符号３４Ａ、３４Ｂは、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側であって、フィルム切断装置２４の上流側で、積層体フィルム１４及び基板２０を挟み込むことができるようにされたピンチロールを示す。上側のピンチロール３４Ａは、下側ピンチロール３４Ｂに対して離接自在とされている。
【００４７】
次に、上記フィルム張付装置１０によって、積層体フィルム１４を基板２０に連続的に張り付ける工程について説明する。
【００４８】
まず、フィルムロール１２から積層体フィルム１４の先端を巻き出し、その先端からカバーフィルム１４Ｃを剥離して、分離部材１６Ａを介して巻き取りロール１６Ｂに巻き取り可能な状態にセットする。
【００４９】
一方、カバーフィルム１４Ｃを剥離した透光性支持フィルム１４Ａは、「開」状態のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの間を通して、先端をピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間に挟み込む。
【００５０】
この状態で、フィルム張付装置１０の運転を開始する。このとき、基板搬送装置１８により、基板２０を順次ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込む。
【００５１】
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側においては、前記マスク材仮付け手段２８によってマスク材３０Ａ、３０Ｂを、基板２０の先端及び後端に合わせた位置で基板２０の先端側及び後端側感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被うようにして仮付けする。
【００５２】
このとき、マスク材仮付け手段２８の先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂは、図４に示される状態となり、マスク材３０Ａ、３０Ｂの、基板２０の幅方向両端からはみ出した端部を保持して、マスク材３０Ａ、３０Ｂを基板２０の上面に押え付けている。
【００５３】
この状態で、基板２０及びこれに同期するマスク材仮付け手段２８がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込まれる。
【００５４】
基板２０の先端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの位置に到達したとき、上側のラミネーションロール２２Ａはロール開閉装置２６によって「閉状態」となり、基板２０及び透光性支持フィルム１４Ａがラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に挟み込まれ、その状態で、図１において右方向に送られる。
【００５５】
このとき、マスク材３０Ａ、３０Ｂは、図４に示されるように、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間を通ってこれらの軸方向端部から外側に延在され、その端部を先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂが保持している状態であるので、マスク材仮付け手段２８はラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂと干渉することなく、その出側にまで通過できる。
【００５６】
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側位置では、ピンチロール３４Ａ、３４Ｂを通過したとき、マスク材仮付け手段２８の先端側アーム２８Ａ及び後端側アーム２８Ｂが順次図６に示される状態に揺動され、マスク材３０Ａ、３０Ｂが透光性支持フィルム１４Ａと共に、基板２０の上面から離間された状態となる。
【００５７】
この状態で、前記フィルム切断装置２４のカッター２４Ａが基板幅方向に走行し、透光性支持フィルム１４Ａを、前側のマスク材３０Ａの後端近傍及び後側のマスク材３０Ｂの前端近傍でそれぞれ感光性樹脂層１４Ｂと共に切断する。
【００５８】
切断後、先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂを開放することによって、切断された不要の透光性支持フィルム１４Ａ及びこれに付着しているマスク材３０Ａ、３０Ｂは下方に落下され、回収される。
【００５９】
一方、先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂによって若干捲り上げられた透光性支持フィルム１４Ａの前後端部は、フィルム切断装置２４の下流側に配置された副ラミネーションロール３６Ａ、３６Ｂによって、再び基板２０に張り付けられるようになっている。
【００６０】
なお、上記実施の形態の例においては、マスク材３０Ａ、３０Ｂは、マスクテープ仮付け手段２８における先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂによって基板２０に押え付けられた状態で、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂを通過し、且つ通過後に、マスク材３０Ａ、３０Ｂが透光性支持フィルム１４Ａと共に先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂによって持ち上げられ、基板２０から離間した状態でフィルム切断装置２４によって切断され得るようになっているが、本発明はこれに限定されるものでなく、マスク材３０Ａ、３０Ｂは、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂを通過する際に、基板２０の前端部及び後端部における感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被って取り付けられていればよく、又、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側においては、基板２０を損傷することなく不要部分の透光性支持フィルム１４Ａが切断されるものであればよい。
【００６１】
従って、例えばマスク材を容易に剥離され得る程度に基板２０に仮付け（軽く粘着）しておいて、これを、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側で基板２０から剥離するようにしてもよい。この場合、マスク材を基板２０に押え付けるための先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂは不要となる。
【００６２】
又、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側で、マスク材を透光性支持フィルム１４Ａと共に基板２０から離間させるための手段は、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側に別途設ければよい。
【００６３】
この場合、例えば、図６に示されるように、各基板間の隙間位置で、該隙間に下方から上方に突出し、突出時に前記マスク材３０Ａ、３０Ｂ及び不要部分の透光性支持フィルム１４Ａを持ち上げるマスク材離間装置３８を設ける。
【００６４】
又、上記マスク材は、基板２０の先端側及び後端側それぞれの感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂにのみ取り付けられる幅（基板搬送方向の長さ）とされているが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板２０の先端及び後端からはみ出すようにしてもよい。
【００６５】
更には、図７に示されるように、先行する基板２０の後端及び後行する基板２０における先端、それぞれの感光性樹脂層張付不要領域を１枚のマスク材３１により連続して被うようにしてもよい。
【００６６】
このマスク材３１を使用する場合は、各基板２０間の隙間位置で感光性樹脂層１４Ｂが露出することがないので、例えば前述のマスク材離間装置３８により透光性支持フィルム１４Ａを持ち上げる場合、該マスク材離間装置３８に感光性樹脂層１４Ｂが粘着したりすることがない。
【００６７】
更に、マスク材は、図８に示されるように、基板２０の幅方向両端と一致する長さで張り付けるようにしてもよい。この場合、マスク材仮付け手段２８における先端側及び後端側アーム２８Ａ、２８Ｂによるマスク材の押圧をすることができないので、マスク材３１Ａは、基板２０に軽く粘着するようにしておく。
【００６８】
更に又、上記各実施の形態の例においては、マスク材を透光性支持フィルム１４Ａと共に基板２０から離間した状態で、フィルム切断装置２４によって切断しているが、本発明はこれに限定されるものでなく、要すれば、基板２０をカッターの刃先によって損傷したりすることなく、不要部分の透光性支持フィルム１４Ａを感光性樹脂層１４Ｂと共に除去できるものであればよい。
【００６９】
従って、例えば図９に示されるように、マスク材３０Ａ、３０Ｂを基板２０上に仮付けした状態のまま、該マスク材３０Ａ、３０Ｂ上で、透光性支持フィルム１４Ａを感光性樹脂層１４Ｂと共に、フィルム切断装置４０によって切断するようにしてもよい。
【００７０】
この場合、フィルム切断装置４０のカッター４０Ａ、４０Ｂの刃先は、透光性支持フィルム１４Ａ及び感光性樹脂層１４Ｂのみを切断するか、あるいは、マスク材３０Ａ、３０Ｂの厚さ方向一部にまで喰い込むように設定する。
【００７１】
これによって、基板２０が損傷されることなく、透光性支持フィルム１４Ａが感光性樹脂層１４Ｂと共に容易確実に切断される。
【００７２】
又、この実施の態様の例においては、マスク材離間装置や、マスク材を透光性支持フィルム１４Ａと共に基板２０から離間させるためのアーム等の手段が不要となる。
【００７３】
なお、フィルム切断装置４０のカッターは１個のみとして、この１個のカッターにより、基板２０の先端側と後端側で順次、透光性支持フィルム１４Ａを切断するようにしもよい。
【００７４】
又、マスク材上で透光性支持フィルム１４Ａを切断する方法は、前記基板間を被うマスク材３１（図７参照）を用いる場合についても適用されるものである。
【００７５】
更に、上記各実施の形態の例では、マスク材を基板２０に仮付けするものであるが、マスク材は基板２０の感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂで感光性樹脂層１４Ｂが基板２０に張付くことを阻止するものであればよく、従って、図１０に示されるように、基板２０への張付け前に、感光性樹脂層１４Ｂにおける前記感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂに対応する個所に、マスク材３０Ａ、３０Ｂあるいは３１を張付けるようにしてもよい。この場合、図１０に示されるようにマスク材張付装置４２によりマスク材を張付ける。
【００７６】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、積層体フィルムにおける感光性樹脂層を切断するハーフカットを行うことなく、積層体フィルムを基板に張り付け、且つ、不要部分を切断・分離することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す略示側面図
【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けられる積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置によって積層体フィルムが張り付けられる基板とマスク材との関係を示す平面図
【図４】同フィルム張付装置におけるマスク材仮付け手段とラミネーションロールとの関係を示す略示斜視図
【図５】同マスク材仮付け手段とフィルムカッターを示す斜視図
【図６】フィルム張付装置の他の実施の形態の例におけるマスク材離間装置を示す略示側面図
【図７】本発明の更に他の実施の形態の例に係るマスク材を拡大して示す側面図
【図８】本発明の他の実施の形態の例における基板とマスク材との関係を示す平面図
【図９】本発明の更に他の実施の形態の例に係るフィルム切断装置を示す略示側面図
【図１０】本発明の、マスク材を感光性樹脂層側に張付ける実施の形態を示す略示側面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…フィルムロール
１４…積層体フィルム
１４Ａ…透光性支持フィルム
１４Ｂ…感光性樹脂層
１４Ｃ…カバーフィルム
１６…カバーフィルム剥離装置
１８…基板搬送装置
１８Ａ…基板搬送面
２０…基板
２０Ａ、２０Ｂ…感光性樹脂層張付不要領域
２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール
２４、４０…フィルム切断装置
２８…マスク材仮付け手段
２８Ａ…先端側アーム
２８Ｂ…後端側アーム
３０Ａ、３０Ｂ、３１…マスク材
２４Ａ、４０Ａ、４０Ｂ…カッター
３８…マスク材離間装置
【図１】
0003905605.tif 000002
【図２】
0003905605.tif 000003
【図３】
0003905605.tif 000004
【図４】
0003905605.tif 000005
【図５】
0003905605.tif 000006
【図６】
0003905605.tif 000007
【図７】
0003905605.tif 000008
【図８】
0003905605.tif 000009
【図９】
0003905605.tif 000010
【図１０】
0003905605.tif 000011