(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟らかい中空円筒状部材の中空部に支持軸を挿入することで該軟らかい中空円筒状部材を該支持軸の外周部に固定する軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置であって、
前記軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入される前記支持軸を案内するための柔軟性を有する材料からなる前記中空円筒状部材より所定量長い挿入ガイドと、
前記軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入された挿入ガイドの前記支持軸が挿入される側の端部を把持し固定すると共に、該把持を解除できるガイド把持機構と、
前記支持軸を前記軟らかい中空円筒状部材の中空部に該中空部の全長に亘って前記挿入ガイドに沿って挿入する挿入機構と、
前記支持軸が挿入された軟らかい中空円筒状部材の全長外周表面を挟持し該表面の変動を抑制するとともに固定する抑制機構を具備することを特徴とする軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置。
【請求項２】
請求項１に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、
前記軟らかい中空円筒状部材が湿式洗浄用スポンジロールであることを特徴とする軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、
前記挿入ガイドは、前記支持軸の半径とほぼ同一又はわずかに大きい曲率半径で幅方向に湾曲するとともに、該挿入ガイドの幅方向の展開長さは、該支持軸の半径の１．４倍乃至２．２倍であることを特徴とする軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、
前記抑制機構の少なくとも前記軟らかい中空円筒状部材と接触する部分がポリプロピレンで形成されていることを特徴とする軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、ガラス基板、液晶パネル等の高度の清浄度が要求される被洗浄基板を洗浄する洗浄装置に洗浄治具等として用いるスポンジ等の軟らかい材料からなる軟らかい中空円筒状部材の中空部に支持軸を挿入し、該軟らかい中空円筒状部材を支持軸の外周部に固定する軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイスの高集積化が進むにつれて半導体基板上の回路の配線が微細化し、該半導体基板上に付着する微細なダストや化学的汚染の除去がますます重要となってきている。このような半導体基板の洗浄装置としては、例えば、特開平１１−２９０７８９号公報に開示されているものがある。この洗浄装置はスピンチャックに保持され且つ該スピンチャックの回転により自転している半導体基板の表面に、支持軸の外周部にスポンジ等の軟らかい部材を設けた構成の洗浄治具を支持軸回りに回転させながら接触させ、洗浄ノズルより洗浄液を半導体基板表面に供給しながら、洗浄する装置である。
【０００３】
上記洗浄装置に用いる洗浄治具はスポンジ等の軟らかい材料からなる中空円筒状の洗浄部材の中空部に支持軸を挿入し、該洗浄部材を支持軸の外周部に弾性的に嵌合させて固定した構成である。該支持軸の外周面にはローレット加工などの滑りにくい表面加工処理を施し、半導体基板の洗浄の際に該洗浄部材が支持軸に対してずれないように工夫がなされている。
【０００４】
従って、洗浄部材と支持軸の組み立て洗浄治具を構成するには、軟らかい中空円筒状の洗浄部材の中空部に外周表面を滑りにくく加工処理した支持軸を挿入する必要があり、その組み立てに多大な時間を要していた。また、このような洗浄治具においては、洗浄部材の外周に施された洗浄用突起パターンを半導体基板に対する洗浄品質向上に適するように等間隔でねじれなく配置することが重要であった。
【０００５】
そこで、上記公報に開示されているように、洗浄部材の中空部に支持軸を挿入する際、予め該中空部にへら状で摩擦係数の低いへら体を２本対向させて挿入した後、該へら体間に支持軸を挿入することで、組立時間の短縮を図っていた。しかし、洗浄部材の洗浄用突起パターンを等間隔でねじれなく配置することには、さらなる改善が求められていた。また、洗浄部材と支持軸の組み立ての際、洗浄部材の汚染防止などのため、該洗浄部材の表面に触れる回数を極力低減する必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、軟らかい中空円筒状部材の中空部に表面が滑りにくい加工処理された支持軸を挿入し、該軟らかい中空円筒状部材を支持軸の外周部に固定させて組み立てる際、該軟らかい中空円筒状部材の表面の変動を抑制し、その表面に触れる回数を低減し、且つ、組立時間を短縮することができる軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、軟らかい中空円筒状部材の中空部に支持軸を挿入することで該軟らかい中空円筒状部材を該支持軸の外周部に固定する軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置であって、軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入される前記支持軸を案内するための柔軟性を有する材料からなる中空円筒状部材より所定量長い挿入ガイドと、軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入された挿入ガイドの支持軸が挿入される側の端部を把持し固定すると共に、該把持を解除できるガイド把持機構と、支持軸を軟らかい中空円筒状部材の中空部に該中空部の全長に亘って挿入ガイドに沿って挿入する挿入機構と、支持軸が挿入された軟らかい中空円筒状部材の全長外周表面を挟持し該表面の変動を抑制するとともに固定する抑制機構を具備することを特徴とする。
【０００８】
上記のように軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入される支持軸を案内するための柔軟性を有する材料からなる中空円筒状部材より所定量長い挿入ガイドと、軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入された挿入ガイドの支持軸が挿入される側の端部を把持し固定すると共に、該把持を解除できるガイド把持機構と、支持軸を軟らかい中空円筒状部材の中空部に該中空部の全長に亘って挿入ガイドに沿って挿入する挿入機構と、支持軸が挿入された軟らかい中空円筒状部材の全長外周表面を挟持し該表面の変動を抑制するとともに固定する抑制機構を具備するので、軟らかい中空円筒状部材の中空部に表面を滑りにくく加工処理した支持軸を挿入して組み立ての際、該軟らかい中空円筒状部材の表面の変動を抑制し、軟らかい中空円筒状部材の表面に触れる回数を低減し、且つ、組立時間を短縮することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、軟らかい中空円筒状部材が湿式洗浄用スポンジロールであることを特徴とする。
【００１０】
上記のように軟らかい中空円筒状部材が湿式洗浄用スポンジロールであることにより、該湿式洗浄用スポンジロールの表面に設けられた洗浄用突起パターンを洗浄品質向上に適するように等間隔でねじれなく配置することができる。
【００１１】
請求項３に記載は、請求項１又は２に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、挿入ガイドは、支持軸の半径とほぼ同一又はわずかに大きい曲率半径で幅方向に湾曲するとともに、該挿入ガイドの幅方向の展開長さは、該支持軸の半径の１．４倍乃至２．２倍であることを特徴とする。また、挿入ガイドは典型的には２本使用する。
【００１２】
上記のように挿入ガイドが支持軸の半径とほぼ同一又はわずかに大きい曲率半径で幅方向に湾曲し、該挿入ガイドの幅方向の展開長さが、該支持軸の半径の１．４倍乃至２．２倍であるので、支持軸を軟らかい中空円筒状部材の表面を変動させることなく該挿入ガイドの内側に沿って軟らかい中空円筒状部材の中空部に容易に挿入することができるとともに、抑制機構に固定された軟らかい中空円筒状部材と支持軸の間から挿入ガイドを容易に引き抜くことができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立装置において、抑制機構の少なくとも軟らかい中空円筒状部材と接触する部分がポリプロピレンで形成されていることを特徴とする。
【００１４】
上記のように抑制機構の少なくとも軟らかい中空円筒状部材と接触する部分がポリプロピレンで形成されており、該ポリプロピレンは適度の摩擦係数を有するとともに金属溶出が少ないため、該軟らかい中空円筒状部材の表面の変動を確実に抑制することができ、且つ、その表面の汚染を防止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基いて説明する。図１は本発明に係る組立装置の構成例を示す図で、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）は平面図である。同図に示すように組立装置１は、取付台１０上にガイドクランプ（把持機構）２０、押し具（挿入機構）３０、ロールクランプ（抑制機構）４０、支持軸ガイド機構５０を設けた構成である。本組立装置１は、スポンジロール２に支持軸３を挿入して洗浄治具を組み立てるものである。なお、４は支持軸３をスポンジロール２に挿入する際に用いられる挿入ガイドである。また、図１において、図示の都合上、スポンジロール２は断面で記載している。
【００１６】
スポンジロール２は、スポンジ材からなり半導体基板等の被洗浄基板の被洗浄面を洗浄するための中空円筒状の洗浄部材であり、その表面には図示しない複数の洗浄用突起パターンが等間隔に配置されている。また、該スポンジロール２の中空部２ａの径と支持軸３の径は、その嵌め合い公差が小さく又はマイナスになるように設定されている。
【００１７】
支持軸３は、円柱状で一端に洗浄装置の洗浄治具駆動装置に取り付けるためのフランジ３ａが設けられ、該フランジ３ａの端面には円錐台形状の凹部３ｂが設けられている。また、支持軸の外周表面には図示しないがローレット加工などの滑りにくい表面加工処理を施されている。
【００１８】
図２は、挿入ガイド４の構成例を示す図で、図２（ａ）は側面図、図２（ｂ）は正面図である。同図に示すように挿入ガイド４は、へら状に構成され、一方の端部は、図２（ａ）に示すようにスポンジロール２の中空部２ａに挿入しやすいように尖った形状であり、正面は図２（ｂ）に示すように幅方向に湾曲（円弧）している。挿入ガイド４の湾曲の曲率半径Ｒ´は支持軸３の半径Ｒとほぼ同一又はわずかに大きくなっている。また、挿入ガイド４の幅方向の展開長さＷは、該支持軸３の半径Ｒの１．４倍乃至２．２倍としている。また、挿入ガイド４は、柔軟性を有する材料により構成されており、その材料には例えばフッ素樹脂材が好適である。
【００１９】
図３は、ガイドクランプ２０の構成例を示す図で、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図、図３（ｃ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｄ）は同図（ｃ）のＢ−Ｂ断面図、図３（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）は同図（ｃ）のＣ−Ｃ断面図である。同図に示すようにガイドクランプ２０は、ガイドクランプ本体２１、クランプハンドル２２、回転軸２３、偏心軸２４、ボールプランジャ２５より構成されている。なお、２６はクランプハンドル２２の可動域を制限するストッパーである。
【００２０】
ガイドクランプ本体２１は、所定の位置に上面から下面まで連通する開口２１ａ及び挿入ガイド４をクランプするクランプ壁２１ｂが設けられており、該開口２１ａに回転軸２３が挿入されている。クランプハンドル２２は回転軸２３の上端にボルト２７で固定されており、該クランプハンドル２２は回転軸２３と一体に該回転軸２３を中心に回転する。回転軸２３の下端には、ボールプランジャ２５のボール２５ａが嵌り込む凹部２３ａが回転軸２３回りに９０°の角度間隔をおいて２箇所設けられている。
【００２１】
偏心軸２４はクランプハンドル２２とともに回転するように回転軸２３の中央部に嵌合されており、該偏心軸２４とガイドクランプ本体２１のクランプ壁２１ｂの間に挿入ガイド４を挿入する隙間２１ｃが設けられている。ボールプランジャ２５は、中空円筒状であり、その中空部には該ボールプランジャ２５の先端に取り付けられたボール２５ａを回転軸２３方向に付勢するバネ２５ｂが挿入されている。
【００２２】
上記ガイドクランプ２０は、図３（ｅ）に示す状態で挿入ガイド４を隙間２１ｃに挿入する。クランプハンドル２２を矢印Ｄ方向に回転させると、図３（ｆ）に示す状態で偏心軸２４とクランプ壁２１ｂの間隔が最も狭くなる。さらにクランプハンドル２２を回転させ、図３（ｇ）に示す状態で挿入ガイド４を偏心軸２４とクランプ壁２１ｂで把持することでクランプを完了する。
【００２３】
なお、挿入ガイド４のクランプ前状態とクランプ後状態においては、図３（ｄ）に示すように回転軸２３の凹部２３ａ、２３ａのそれぞれにボールプランジャ２５のボール２５ａが嵌り込むことで、クランプハンドル２２がクリックストップする。また、偏心軸２４とクランプ壁２１ｂの間隔が最も狭くなる状態（図３（ｆ）参照）で挿入ガイド４のクランプを完了しないのは、挿入ガイド４をガイドクランプ２０にクランプした後に支持軸３をスポンジロール２に挿入する際、該クランプする力に抗して支持軸３に引っ張られ挿入ガイド４が支持軸３の挿入方向に移動することを防止するためである。
【００２４】
押し具３０は、図１に示すように押し具本体３１、ハンドル３２、リニアガイド３３、押し具固定部材３４により構成されている。押し具本体３１の先端には、上記支持軸３の凹部３ａと遊嵌する突起３１ａが設けられ、下部には後述する支持軸ガイド機構５０の受け部材５１を押し下げるくさび部３１ｂが設けられている。押し具本体３１はリニアガイド３３上を直進運動でき、また該押し具本体３１が右端に位置するときは、押し具固定部材３４にボールキャッチの作用により固定される。なお、該固定する力は、押し具本体３１に設けられたハンドル３２を矢印Ｅ方向に押すことで容易に解除される程度である。
【００２５】
図４は、ロールクランプ４０の構成例を示す図で、図４（ａ）は開いた状態、図４（ｂ）は閉じた状態を示す図である。同図に示すように、ロールクランプ４０は、ロールクランプ上４１、取付台１０に設置されたロールクランプ下４２、ヒンジ４３、ファスナ４４により構成されている。ロールクランプ上４１はヒンジ４３により開位置又は閉位置に回転自在に支持されている。該ロールクランプ上４１を開位置から矢印Ｆ方向に回転し、閉位置とした後、ファスナ４４によりロールクランプ下４１に固定する。
【００２６】
また、ロールクランプ上４１及びロールクランプ下４２には、それぞれ半円より若干浅い溝４１ａ、４２ａが設けられている。該溝４１ａ、４２ａは、該ロールクランプ上４１が閉位置の状態で形成される筒状の断面積（支持軸３の断面積を除く）がスポンジロール２の断面積（中空部２ａの断面積を除く）より小さくなるよう設けられている。これにより、該溝４１ａと４２ａの間に支持軸３が挿入されたスポンジロール２を固定した際、該スポンジロール２はロールクランプ上４１及びロールクランプ下４２により圧縮された状態となる。
【００２７】
なお、ロールクランプ上４１及びロールクランプ下４２の長さは、スポンジロール２の長さと同一である。また、該ロールクランプ上４１及びロールクランプ下４２は、スポンジロール２に接触する部分である溝４１ａ、４２ａを有するため、その材質はポリプロピレンが望ましい。これは、ポリプロピレンは適度の摩擦係数を有するとともに金属溶出が少ないため、スポンジロール２の表面の変動を確実に抑制することができるとともにその表面の汚染を防止することができるからである。
【００２８】
図５は、支持軸ガイド機構５０の断面図であり、図５（ａ）は支持軸挿入前、図５（ｂ）は支持軸挿入後を示す図である。支持軸ガイド機構５０は、同図に示すようにロールクランプ下４２の支持軸３が挿入される側の下部に設けられており、受け部材５１、レバー５２、ブロック５３により構成されている。
【００２９】
受け部材５１はブロック５３の一方の端部に取り付けられており、該受け部材５１の上面には、支持軸３を支持する円弧状の凹部５１ａが設けられている。また、該受け部材５１の下部には、押し具本体３１のくさび部３１ｂが貫通する開口５１ｂが設けられている。レバー５２は、ブロック５３に軸５４により回転自在に支持されており、該レバー５２の端部の一方にはローラー５２ａ、他方にはバネ５２ｂが設けられている。なお、５２ｃは、受け部材５１の凹部５１ａの高さを調整するための止めネジである。ブロック５３には、上記レバー５２の端部に設けられたバネ５２ｂの先端を挿入する開口部５３ａが設けられている。該レバー５２とブロック５３に挟まれている該バネ５２ｂにより、レバー５２が反時計回りに付勢されている。
【００３０】
図５（ａ）に示すように、上記受け部材５１の凹部５１ａが支持軸３を水平に保持している状態で、押し具本体３１を図１に示す矢印Ｅ方向に直進させると、該支持軸３が凹部３ａの表面を滑りながら、スポンジロール２の中空部２ａに挿入される。このとき、支持軸３の一方の端部にフランジ３ａが設けられているため、受け部材５１を下方に逃がす必要がある。
【００３１】
そこで、フランジ３ａが受け部材５１上を通過する直前に、押し具本体３１のくさび部３１ｂが受け部材５１の開口５１ｂに進入するとともに、レバー５２のローラー５２ａを下方に押し下げる。該ローラー５１ａが下方に押されるとともに、レバー５２が軸５４を中心に時計回りに回転し、図５（ｂ）に示すように受け部材５１が下方に押し下げられる。これにより、支持軸３は、フランジ３ａが受け部材５１にぶつかることなく、スポンジロール２の中空部２ａに挿入することができる。
【００３２】
次に上記組立装置を用いて洗浄治具を組み立てる組立方法を説明する。図６及び図７は、本発明にかかる組立装置の動作説明図である。まず、予め２本の挿入ガイド４をスポンジロール２の中空部に挿入する。
【００３３】
図４に示すようにロールクランプ４０のロールクランプ上４１を開位置に回転し、図１に示すように挿入ガイド４、４が挿入されたスポンジロール２をロークランプ下４２の溝４２ａ上に、その表面に設けられた複数の洗浄用突起パターンが等間隔でねじれがないように載置する。このとき、該挿入ガイド４、４の両端がスポンジロール２から突出するように配置する。
【００３４】
挿入ガイド４、４の一方の端部（図１において右側）をガイドクランプ２０、２０のそれぞれの隙間２１ｃ、２１ｃに挿入し、クランプハンドル２２、２２を矢印Ｄ方向に回転させる。これにより、挿入ガイド４、４の端部は、ガイドクランプ２０、２０のそれぞれの偏心軸２４とクランプ壁２１ｂの間でクランプされる。このとき、挿入ガイド４、４は、図４（ａ）に示すようにスポンジロール２の中空部２ａの中心軸に対向するように配置する。
【００３５】
支持軸３の一方の端部（図１において左側）を受け部材５１の凹部５１ａに載せ、フランジ３ａの凹部３ｂを押し具本体３１の突起３１ａに遊嵌させることで、該支持軸３を水平にするとともにスポンジロール２の中空部２ａに挿入可能な高さに保持する。該押し具本体３１のハンドル３２を左方向（図１（ａ）参照）に押すことで、押し具本体３１が矢印Ｅ方向に直進するとともに、支持軸３がスポンジロール２の中空部２ａ内の２本の挿入ガイドの内側に沿って挿入される。このとき、押し具本体３１のくさび部３１ｂがレバー５２のローラー５２ａを下方に押し下げることで、受け部材５１を下方に押し下げるので、フランジ３ａに受け部材５１にぶつかることなく、支持軸３がスポンジロール２の中空部２ａに挿入される（図５（ｂ）参照）。
【００３６】
支持軸３をスポンジロール２の中空部２ａに挿入後、図６（ａ）に示すように押し具本体３１のハンドル３２を右方向に押すことで、押し具本体３１が矢印Ｇ方向に直進する。なお、支持軸３のフランジ３ａの凹部３ｂと押し具本体３１の突起３１ａは、該押し具本体３１が矢印Ｇ方向に直進する際、簡単に離れるようになっている。
【００３７】
上記押し具本体３１は、リニアガイド３３上を直進し、図７に示すようにボールキャッチで押し具固定部材３４に固定される。ロールクランプ４０のロールクランプ上４１を開位置から図４に示すように矢印Ｆ方向に回転し、閉位置とした後、ファスナ４４によりロールクランプ下４２に固定することで、支持軸３が挿入されたスポンジロール２をロールクランプ上４１とロールクランプ下４２で挟み込み固定する。
【００３８】
ガイドクランプ２０、２０のクランプハンドル２２、２２を図７に示す矢印Ｈ方向に回転させることで、挿入ガイド４、４の端部のクランプを解除する。該挿入ガイド４、４を矢印Ｉ方向に手で１本ずつ又は２本まとめて引き抜く。このとき、ロールクランプ上４１とロールクランプ下４２が支持軸３が挿入されたスポンジロール２を拘束する力は、挿入ガイド４、４が位置しない該スポンジロール２の上部と下部であるため、該挿入ガイド４、４を簡単に引き抜くことができる。
【００３９】
上記挿入ガイド４、４を引き抜いた後、ロールクランプ４０のファスナ４４を解除し、ロールクランプ上４１を開位置に回転し、支持軸３が挿入されたスポンジロール２を取り出す。なお、必要に応じてスポンジロール２の表面の洗浄用突起パターンの配置を微調整して、スポンジロール２と支持軸３の組立を終了する。
【００４０】
上記のようにスポンジロール２の中空部２ａに挿入ガイド４、４を挿入し、該挿入ガイド４、４の端部をガイドクランプ２０、２０にクランプし、支持軸３を挿入ガイド４、４の内側に沿って該スポンジロール２の中空部２ａに挿入し、該支持軸３が挿入されたスポンジロール２をロールクランプ４０に固定し、該固定した後、スポンジロール２と支持軸３の間の挿入ガイド４、４を引き抜くので、スポンジロール２と滑りにくい支持軸３の組み立ての際、該スポンジロール２の表面の変動を抑制し、該スポンジロールの表面に触れる回数を低減し、且つ、組立時間を短縮することができる。
【００４１】
また、挿入ガイド４、４の幅方向の湾曲の曲率半径を支持軸３の半径とほぼ同一又はわずかに大きくするとともに、該挿入ガイド４、４の幅方向の展開長さを支持軸３の半径の１．４倍乃至２．２倍の範囲で好適に選択したので、支持軸３をスポンジロール２の表面に設けられた複数の洗浄用突起パターンが等間隔でねじれがない状態で、スポンジロール２の中空部２ａに容易に挿入することがでるとともに、挿入ガイド４、４をスポンジロール２と支持軸３の間から容易に引き抜くことができる。
【００４２】
なお、上記実施形態例では、スポンジロール２の中空部２ａに支持軸３して洗浄治具を組み立てる例を示したが、本発明にかかる軟らかい中空円筒状部材と支持軸の組立方法及び組立装置は、洗浄治具の組立に限定されるものではなく、軟らかい中空円筒状部材の中空部に支持軸を挿入する組立体の組立に広く利用できる。また、上記組立装置では、２本の挿入ガイド４、４を対向して配置した例を示したが、挿入ガイドは２本に限定されるものではなく、挿入される支持軸３を軟らかい中空円筒状部材の中空部にスムースに案内でき、且つ引き抜きが容易であれば、１又は３本以上でもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上、説明したように各請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【００４４】
請求項１に記載の発明によれば、軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入される支持軸を案内するための柔軟性を有する材料からなる中空円筒状部材より所定量長い挿入ガイドと、軟らかい中空円筒状部材の中空部に挿入された挿入ガイドの支持軸が挿入される側の端部を把持し固定すると共に、該把持を解除できるガイド把持機構と、支持軸を軟らかい中空円筒状部材の中空部に該中空部の全長に亘って挿入ガイドに沿って挿入する挿入機構と、支持軸が挿入された軟らかい中空円筒状部材の全長外周表面を挟持し該表面の変動を抑制するとともに固定する抑制機構を具備するので、軟らかい中空円筒状部材の中空部に表面を滑りにくく加工処理した支持軸を挿入して組み立ての際、該軟らかい中空円筒状部材の表面の変動を抑制し、軟らかい中空円筒状部材の表面に触れる回数を低減し、且つ、組立時間を短縮することができる。
【００４５】
請求項２に記載の発明によれば、軟らかい中空円筒状部材が湿式洗浄用スポンジロールであることにより、該湿式洗浄用スポンジロールの表面に設けられた洗浄用突起パターンを洗浄品質向上に適するように等間隔でねじれなく配置することができる。
【００４６】
請求項３に記載の発明によれば、挿入ガイドが支持軸の半径とほぼ同一又はわずかに大きい曲率半径で幅方向に湾曲し、該挿入ガイドの幅方向の展開長さが、該支持軸の半径の１．４倍乃至２．２倍であるので、支持軸を軟らかい中空円筒状部材の表面を変動させることなく該挿入ガイドの内側に沿って軟らかい中空円筒状部材の中空部に容易に挿入することができるとともに、抑制機構に固定された軟らかい中空円筒状部材と支持軸の間から挿入ガイドを容易に引き抜くことができる。
【００４７】
請求項４に記載の発明によれば、抑制機構の少なくとも軟らかい中空円筒状部材と接触する部分がポリプロピレンで形成されており、該ポリプロピレンは適度の摩擦係数を有するとともに金属溶出が少ないため、該軟らかい中空円筒状部材の表面の変動を確実に抑制することができ、且つ、その表面の汚染を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明にかかる組立装置の構成例を示す図で、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）は平面図である。
【図２】  本発明にかかる組立装置に用いる挿入ガイドの構成例を示す図で、図２（ａ）は側面図、図２（ｂ）は正面図である。
【図３】  本発明にかかる組立装置に用いるガイドクランプの構成例を示す図で、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図、図３（ｃ）は同図（ｂ）のＡ−Ａ断面図、図３（ｄ）は同図（ｃ）のＢ−Ｂ断面図、図３（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）は同図（ｃ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図４】  本発明にかかる組立装置に用いるロールクランプの構成例を示す図で、図４（ａ）は開いた状態、図４（ｂ）は閉じた状態を示す図である。
【図５】  本発明にかかる組立装置に用いる支持軸ガイド機構の要部断面図であり、図５（ａ）は支持軸挿入前、図５（ｂ）は支持軸挿入後を示す図である。
【図６】  本発明にかかる組立装置の動作説明図である。
【図７】  本発明にかかる組立装置の動作説明図である。
【符号の説明】
１        組立装置
２        スポンジロール
３        支持軸
４        挿入ガイド
１０      取付台
２０      ガイドクランプ（挟持機構）
２１      ガイドクランプ本体
２２      クランプハンドル
２３      回転軸
２４      偏心軸
２５      ボールプランジャ
３０      押し具（挿入機構）
３１      押し具本体
３２      ハンドル
３３      リニアガイド
３４      押し具固定部材
４０      ロールクランプ（抑制機構）
４１      ロールクランプ上
４２      ロールクランプ下
４３      ヒンジ
４４      ファスナ
５０      支持軸ガイド機構
５１      受け部材
５２      レバー
５３      ブロック
５４      軸
【図１】
0003999502.tif 000002
【図２】
0003999502.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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