(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が加熱装置を備え、相互に外接した状態で回転自在の一対のラミネーティングロールと、この一対のラミネーティングロールの間を通る基板搬送面に沿って基板を搬送する基板搬送装置と、前記一対のラミネーティングロールの入側に、前記ラミネーティングロールの上方に配設されるフィルム通過路を通ってフィルムを供給するフィルム供給装置と、を有してなり、前記フィルムを、前記基板搬送装置によって搬送される基板の上面に沿って基板と共に回転する前記一対のラミネーティングロール間に通して、基板に熱圧着するフィルム張付装置において、前記フィルム通過路の下方位置で、前記一対のラミネーティングロールの上方を覆う遮蔽ガイド板が設けられ、該遮蔽ガイド板の下面側端部には、前記ラミネーティングロールの熱により加熱上昇した気体を吸引して排出するための上昇気体排出口が設けられ、前記遮蔽ガイド板の上面側端部には、前記ラミネーティングロール側の雰囲気と前記フィルム通過路側の雰囲気との温度差によって下降する気体を吸引して排出するための下降気体排出口が設けられることを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項２】
請求項１において、前記遮蔽ガイド板の外周に沿って下向きに上昇気体ガイド壁、上向きに下降気体ガイド壁をそれぞれ設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記遮蔽ガイド板は、水平面に対して傾斜して配置されることを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線盤用基板や液晶パネル用ガラス基板、プラズマディスプレイ用の基板に例示される、基板の表面にフィルムを張り付けるためのフィルム張付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、各々が加熱装置を備え、相互に外接した状態で回転自在の一対のラミネーティングロールと、この一対のラミネーティングロールの間を通る基板搬送面に沿って基板を搬送する基板搬送装置と、前記一対のラミネーティングロールの入側に、その上方のフィルム通過面を通ってフィルムを供給するフィルム供給装置と、を有してなり、前記フィルムを、基板搬送装置によって搬送される基板の上面に沿って基板と共に、回転する前記一対のラミネーティングロール間に通して、基板に熱圧着するフィルム張付装置がある。
【０００３】
前記一対のラミネーティングロールは、その内側に設けられた加熱装置によって、通常１００〜１５０℃に加熱され、常時回転している状態で使用される。
【０００４】
従って、これら一対のラミネーティングロールからの放熱により周囲の空気（気体）が加熱され上昇する。
【０００５】
一方、前記フィルムは、通常、例えば図５に示されるように、帯電防止性を付与されている透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム１２Ｃを積層して形成された積層体フィルム１２からなり、前記カバーフィルム１２Ｃをカバーフィルム剥離装置によって剥離させた後に、前記感光性樹脂層１２Ｂ側が基板に密着するようにして一対のラミネーティングロール間に送り込まれるようにされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の積層体フィルムにおける感光性樹脂層は粘着性があり、この粘着性によってカバーフィルムが感光性樹脂層に付着しているが、ラミネーティングロールからの放熱によって加熱された気体が下方からフィルム通過面に到達すると、感光性樹脂層が加熱され、その特性（化学的特性、粘着性等の物理特性）が変化してしまうことがある。上記のフィルム通過域の雰囲気温度が変化した場合、その変化の度合いによっては、積層体フィルムにおける感光性樹脂層の特性にむらが生じ、カバーフィルムを剥離させる際に、剥離が不均一となり、感光性樹脂層に波形の凹凸が生じ、基板に張り付けた際に皺が発生したり、露光状態が不均一になったりするという問題点を生じる。
【０００７】
又、通常、上記のようなフィルム張付装置は、クリーンルーム又はこれに準じて空気中の塵埃を除去された環境で使用され、この場合、フィルム張付装置に対しては、上方から下向きの空気流が吹き付けられ、発生した塵埃を床面から吸い出して除去するようにしている。
【０００８】
従って、カバーフィルムが剥離され、粘着性のある感光性樹脂層が露出した状態のフィルムに、その上方で発生した塵埃等が付着したり、ラミネーティングロールと透光性支持フィルムの間に入り込んで、その一方又は両方に付着してしまうことがある。
【０００９】
特に、ラミネーティングロール上方のフィルム通過面よりも更に上流側で、積層体フィルムのカバーフィルムのみが切断される、いわゆるハーフカットがなされた場合、その切り屑がフィルム通過面を通過中のフィルムから落下してくる可能性が高い。
【００１０】
この発明は、上記問題点を解消すべくなされたものであって、ラミネーティングロールからの放熱によって加熱された気体が、フィルムを加熱しないようにすると共にラミネーティングロール上方のフィルム通過面又はその上方から落下してくる塵埃等が、露出した感光性樹脂層、ラミネーティングロール及びその周辺に到達することを防止したフィルム張付装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項１のように、各々が加熱装置を備え、相互に外接した状態で回転自在の一対のラミネーティングロールと、この一対のラミネーティングロールの間を通る基板搬送面に沿って基板を搬送する基板搬送装置と、前記一対のラミネーティングロールの入側に、前記ラミネーティングロールの上方に配設されるフィルム通過路を通ってフィルムを供給するフィルム供給装置と、を有してなり、前記フィルムを、前記基板搬送装置によって搬送される基板の上面に沿って基板と共に回転する前記一対のラミネーティングロール間に通して、基板に熱圧着するフィルム張付装置において、前記フィルム通過路の下方位置で、前記一対のラミネーティングロールの上方を覆う遮蔽ガイド板が設けられ、該遮蔽ガイド板の下面側端部には、前記ラミネーティングロールの熱により加熱上昇した気体を吸引して排出するための上昇気体排出口が設けられ、前記遮蔽ガイド板の上面側端部には、前記ラミネーティングロール側の雰囲気と前記フィルム通過路側の雰囲気との温度差によって下降する気体を吸引して排出するための下降気体排出口が設けられることにより、上記目的を達成するものである。
【００１２】
又、請求項２のように、前記遮蔽ガイド板の外周に沿って下向きに上昇気体ガイド壁、上向きに下降気体ガイド壁をそれぞれ設けるようにしてもよい。
【００１３】
この発明においては、遮蔽ガイド板によって、下方からの加熱された上昇気体流はフィルム通過面の外側に導き出され、又、上方からの下降気体流は、ラミネーティングロール上方で、ラミネーティングロールの外側に導き出され、これによって積層体フィルムが過剰に加熱されることが抑制されると共に、上方からの下降流中の塵埃がラミネーティングロールや、露出した感光性樹脂層に付着することを防止できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
図１に示されるように、本発明に係るフィルム張付装置１０は、基板搬送面１４Ａに沿って複数の基板１６を一定間隔で順次搬送する基板搬送装置１４と、前述のような積層体フィルム１２をロールにしてなるフィルムロール１８と、このフィルムロール１８と一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間にフィルムロール１８側から、ハーフカッター２２、カバーフィルム剥離装置２４、サクションロール２６、フリー回転のガイドロール２８Ａ、２８Ｂ、フィルムガイドロール５２をこの順で配置し、フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の、カバーフィルム１２Ｃを所定位置で、前記ハーフカッター２２によって切断し、次に、カバーフィルム剥離装置２４によって、カバーフィルム１２Ｃの切断線からこのカバーフィルム１２Ｃを連続的に剥離し、感光性樹脂層１２Ｂを露出させた状態で、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込み、ここで、基板搬送装置１４によって搬送されてくる基板１６の対応箇所に露出された感光性樹脂層１２Ｂが重なるようにして、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂにより熱圧着するものである。
【００１６】
前記積層体フィルム１２は、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの上方位置であって、ハーフカッター２２とカバーフィルム剥離装置２４との間のフィルム通過面１３を通るようにされている。図１の符号１３Ａ〜１３Ｃは、フィルム通過面１３を形成するためのガイドロールを示す。
【００１７】
前記フィルム通過面１３の下方位置には、フィルム通過面１３の下方を覆うと共に、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの上方を覆う略水平方向の遮蔽ガイド板３２が配置されている。
【００１８】
この遮蔽ガイド板３２は、全体形状が、高さが低い直方体であって、その幅方向両側端面位置で、図２に示されるように、ブラケット１７によりフィルム張付装置１０における左右一対のフレーム１１Ａ、１１Ｂに水平に取り付けられている。
【００１９】
この遮蔽ガイド板３２は、図１に示されるように、右端が前記左右一対のフレーム１１Ａ、１１Ｂから更にフィルムロール１８方向に水平に延在して、ハーフカット終了状態の前記ハーフカッター２２の下方をも覆うようにされ、又、左端がカバーフィルム剥離装置２４の下側まで水平に延在して、その下方を覆うようにされている。
【００２０】
前記遮蔽ガイド板３２は、図３に拡大して示されるように、水平面に対して、前記フィルムロール１８側端部が高く、カバーフィルム剥離装置２４側が低くなるように傾斜して（約１５°）配置された板部材３２Ａと、この板部材３２Ａの外周に沿って鉛直下向きに形成された上昇気体ガイド壁３２Ｂと、鉛直上向きに形成された下降気体ガイド壁３２Ｃと、を備えて構成されている。前記板部材３２Ａは、断熱材、例えばセラミック系繊維からなる発塵性の小さい不織布パネルにより形成するのが好ましい。
【００２１】
前記上昇気体ガイド壁３２Ｂの下端及び下降気体ガイド壁３２Ｃの上端は、それぞれ水平になるようにされている。
【００２２】
前記上昇気体ガイド壁３２Ｂにおける、フィルムロール１８側端面の上面近傍位置には上昇気体排出口３２Ｄが、又下降気体ガイド壁３２Ｃのカバーフィルム剥離装置２４側端面の下端近傍位置には、下降気体排出口３２Ｅがそれぞれ設けられている。
【００２３】
前記上昇気体排出口３２Ｄ及び下降気体排出口３２Ｅは、それぞれパイプ３２Ｆを介して前記フレーム１１Ａ、１１Ｂ外側に配置されたブロア３２Ｇの吸入口に連設されている。
【００２４】
ここで、前記積層体フィルム１２における透光性支持フィルム１２Ａは、帯電防止剤を、フィルム成形過程で練り込む、あるいは、フィルム成形後にコーティングすることにより、帯電防止性を付与しておくことが好ましい。
【００２５】
前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂは、金属製ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成され、又、ヒーター（図示省略）を内蔵し、装置の運転開始に先立って、表面が１００〜２００℃にまで加熱され、運転中は常時回転されている。
【００２６】
図２の符号２１Ａ、２１Ｂは、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの軸方向両端を回転自在に支持するための軸受を示す。
【００２７】
前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂは、図２に示されるように、前記左右一対の鉛直方向のフレーム１１Ａ、１１Ｂの間の位置で水平方向に配置され、同期して反対方向に回転するように噛み合っている歯車２３Ａ、２３Ｂ、及び、自在継手２１を介してモータ２３の回転力を、それぞれの軸方向片側（左側）端から伝達されるようになっている。
【００２８】
前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの軸方向両端はフレーム１１Ａ、１１Ｂに形成された縦長の貫通孔１１Ｃを通ってフレーム１１Ａ、１１Ｂの外側に突出して配置され、上側のラミネーティングロール２０Ａを支持する軸受２１Ａは、前記フレーム１１Ａ、１１Ｂの外側に配置されたロールクランプシリンダ５０によって、下側のラミネーティングロール２０Ｂに対して一定範囲で上下動され得るようになっている。
【００２９】
図２の符号３１Ａはラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの中心に挿入された非回転パイプを示す。この非回転パイプ３１Ａ内には、図において右端から電力線３１Ｂが配線され、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの加熱（例えば電磁誘導加熱）用の電力が供給されるようになっている。
【００３０】
前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの出側には、ニップロール３０が、配置されている。このニップロール３０は、クランプシリンダ３０Ａによって下側の搬送ロール１５Ａに対して上方から離接自在とされ、搬送ロール１５Ａとの間に積層体フィルム１２又は積層体フィルム１２と基板１６を挟み込んだとき、搬送ロール１５Ａの回転によってこれらを図１において右方向に搬送できるようにされている。
【００３１】
前記フィルムロール１８の出側近傍には上下一対のフリーロール３６Ａ、３６Ｂが配置され、上側のフリーロール３６Ａの上端と、前記サクションロール２６の上端とがほぼ同一水平面上に位置するようにされている。
【００３２】
又、前記サクションロール２６は、その表面に多数の吸引孔（図示省略）が形成され、ここにパイプ２６Ａを介して印加される負圧によって、巻き掛けられている積層体フィルム１２を吸着し、前記フリーロール３６Ａ、３６Ｂとの間及びラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間で積層体フィルム１２に所定の張力を付与できるようにされている。
【００３３】
なお、前記フィルムロール１８に、トルクモータ１８Ａによりフィルム巻取り方向のトルクがかけられた状態で積層体フィルム１２が巻き出されることにより、積層体フィルム１２に引張力が発生するようにされている。
【００３４】
又、前記フリーロール３６Ａには、ロータリエンコーダ３８が接続され、積層体フィルム１２がサクションロール２６方向に送られるときのフリーロール３６Ａの回転数に応じたパルスを制御装置４０（図２参照）に出力するようにされている。
【００３５】
前記ハーフカッター２２は、図４に示されるように、前記サクションロール２６とフリーロール３６Ａとの間で水平に送られる積層体フィルム１２の送り面とほぼ一致する支持平面４２Ａを備えたカッター台４２と、このカッター台４２の上面に沿ってフィルム幅方向に往復動自在の一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂとを有して構成され、これらカッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを、積層体フィルム１２と等速でその送り方向に移動させつつ、該ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に移動して、積層体フィルム１２の図において上面側のカバーフィルム１２Ｃを、透光性支持フィルム１２Ａを残して切断するようにされている。
【００３６】
前記一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂは、積層体フィルム１２の送り方向に離間する平行な鉛直面内にあるように、カッター支持装置４５に支持して設けられ、両者間の距離は、図５に示されるように、前記基板搬送面１４Ａ上を搬送される先行基板１６の後端と後行基板１６の先端間の距離よりもわずかに大きくなるようにされている。
【００３７】
前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂは、それぞれ円盤状部材の外周に切刃を形成したものであり、この円盤を含む鉛直面に対して直交する前記支持平面４２Ａ上の積層体フィルム１２に対して切刃を押し付けつつ、非回転状態に固定されたままカバーフィルム１２Ｃを幅方向に切断するようにされている。
【００３８】
前記カッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの、積層体フィルム送り方向の往復動はラックアンドピニオン機構４６により、又、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂのフィルム幅方向の往復動は、一軸ロボット４８によってそれぞれなされ、これらラックアンドピニオン機構４６及び一軸ロボット４８は、前記制御装置４０によって制御される。
【００３９】
前記ラックアンドピニオン機構４６は、カッター台４２と一体の走行台４９に取り付けられたラック４６Ａと、走行台４９をフィルム送り方向、且つ、水平に往復動自在に支持するレール４６Ｂと、前記ラック４６Ａと噛み合って、これをレール４６Ｂに沿って駆動するピニオン４６Ｃと、を含んで構成されている。
【００４０】
前記走行台４９上には前記一軸ロボット４８が配置され、この一軸ロボット４８は、前記走行台４９上に水平に固定されたフィルム幅方向のレール部４８Ａと、このレール部４８Ａ上を摺動する移動部材４８Ｂと、この移動部材４８Ｂに支持されると共に、前記カッター支持装置４５を支持する支持アーム４８Ｃと、移動部材４８Ｂを駆動するボールねじ機構（図示省略）とを有し、前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを支持するカッター支持装置４５をフィルム幅方向に往復動するようにされている。
【００４１】
前記カバーフィルム剥離装置２４は、図１、図６に示されるように、前記ハーフカッター２２とサクションロール２６の間の位置で、積層体フィルム１２の下側に接触する前記ガイドロール１３Ｃ、フリーロール２４Ｂと、サクションロール２６に近い側の前記フリーロール２４Ｂに上方から離接自在のタッチロール２４Ｃと、片面に粘着層が形成され、その粘着層を図１において下側にして、前記タッチロール２４Ｃに巻き掛けられた粘着テープ２４Ｄと、この粘着テープ２４Ｄの先端を巻き取る巻取り装置２４Ｅと、を備えている。
【００４２】
図１において、符号２４Ｆは、前記ガイドロール１３Ｃの上側位置で、自重により、ガイドロール１３Ｃと共に積層体フィルム１２を挟み込み、カバーフィルム１２Ｃが上向きに引張られるときに積層体フィルム１２が浮き上がることを防止するためのニップロール、２４Ｈは粘着テープ２４Ｄの供給源であるテープロール、２４Ｉ、２４Ｊは、タッチロール２４Ｃと巻取り装置２４Ｅとの間で粘着テープ２４Ｄを挟み込むニップロール、２４Ｋは、外周が非粘着性樹脂からなり、テープロール２４Ｈからの粘着テープ２４Ｄの供給を円滑にし、且つ、タッチロール２４Ｃにおける粘着テープ２４Ｄの巻き付け角を大きくするためのテープガイドロール、２４Ｌは、巻取り装置２４Ｅにおける巻取りロールを駆動するためのモータ、をそれぞれ示す。前記タッチロール２４Ｃは揺動レバー２４Ｍに支持され、この揺動レバー２４Ｍをタッチシリンダ２４Ｎにより水平軸２４Ｇを中心として揺動させることにより、フリーロール２４Ｂに離接自在とされている。
【００４３】
又、図６の符号２４Ｐはニップロール２４Ｉを揺動自在に支持するレバー、２４Ｑは、レバー２４Ｐを、ニップロール２４Ｉがニップロール２４Ｊに圧接する方向に付勢するためのばね、２４Ｒはガイドロールをそれぞれ示す。
【００４４】
なお、前記水平軸２４Ｇはフィルム通過面上を幅方向に横断して配置され、前記揺動レバー２４Ｍは、フィルム通過面の幅方向両外側に一対、水平軸２４Ｇに支持され、前記テープガイドロール２４Ｋは、フィルム通過面上で水平軸２４Ｇに回転自在に支持されている。
【００４５】
前記タッチシリンダ２４Ｎは、前記制御装置４０によって制御され、前記ハーフカッター２２によって切断されたカバーフィルム１２Ｃの、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間部分には粘着テープ２４が接触しないようにし、且つ、ディスクカッター４４Ａの切断線４９Ａのすぐ近くの前方位置（図６において左側）ないしすぐ近くの後方位置（図６において右側）の部分に接触し、更に、ひき続いて、そこから後側の部分に接触して、該切断線４９Ａからカバーフィルム１２Ｃを剥離し、次のディスクカッター４４Ｂの切断線４９Ｂまでの間のカバーフィルム１２Ｃに粘着テープ２４Ｄを粘着させ、これをニップロール２４Ｉ、２４Ｊを経て巻取り装置２４Ｅにより巻き取ることにより、感光性樹脂層１２Ｂから剥離するようにされている。
【００４６】
従って、透光性支持フィルム１２Ａ上には、図５、図６に示されるように、基板１６の搬送ピッチと等しいピッチで、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間に等しい長さのカバーフィルム１２Ｃが残されることになる。
【００４７】
図１の符号２５は静電気除去装置を示す。この静電気除去装置２５は、非接触又は接触により、前記カバーフィルム１２Ｃ剥離直後に、積層体フィルム１２の静電気を除去するものであり、非接触式では、放電ブラシを接近して配置したもの、イオン風を吹き付けるもの等があり、接触式では除電ローラを接触させるもの等がある。
【００４８】
前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂのうち、上側のラミネーティングロール２０Ａは、前記のように、ロールクランプシリンダ５０によって、下側のラミネーティングロール２０Ｂに押圧される「閉」位置、及び、両者間を通る基板１６及び積層体フィルム１２に非接触となり得るように上方に離間した「開」位置との間で駆動されるようになっている。
【００４９】
図１の符号１５Ｂは、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの前後に配置され、前記搬送ロール１５Ａと同期して等速で回転される搬送ロールを示す。
【００５０】
又、図１の符号５４は、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの入側で、ガイドロール２８Ｂとフィルムガイドロール５２との間の位置に配置され、積層体フィルム１２を加熱するためのフィルムヒータを示す。前記フィルムガイドロール５２は、前記フィルムヒータ５４とラミネーティングロール２０Ａとの間の位置でエアシリンダ５２Ａにより上下動自在に支持され、下降時に積層体フィルム１２のフィルムパスを、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの両方に非接触となる中立位置に変更すると共に、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによりフィルム張付動作中は上昇されて積層体フィルム１２と非接触となるようにされている。
【００５１】
又、前記ガイドロール２８Ｂは、本体フレーム（図示省略）側に上下方向に形成された長孔２９Ａに、ボルト２９Ｂを介して支持され、上下方向位置を変更することにより、積層体フィルム１２のラミネーティングロール２０Ａへの巻き付け角を調整できるようにされている。
【００５２】
図１の符号１４Ｂは、基板搬送装置１４におけるコンベアロール、１４Ｃは、搬送ロール１５Ｂとコンベアロール１４Ｂの間に配置され、基板搬送面１４Ａの一部を構成するフリーロールをそれぞれ示す。
【００５３】
ここで、前記ニップロール３０は金属製ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成されている。
【００５４】
なお、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂよりも下流側の搬送ロール１５Ａと、上流側のコンベアロール１４Ｂとは相互に別個独立して、その回転、停止を制御装置４０により制御されるようになっている。
【００５５】
次に、上記フィルム張付装置１０において、積層体フィルム１２の先端をフィルムロール１８から巻き出してラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に通してセットし、基板１６に張り付ける過程について説明する。
【００５６】
積層体フィルム１２の巻き出しに先立ち、前記カバーフィルム剥離装置２４のタッチロール２４Ｃは、カバーフィルム１２Ｃに接触しない位置としておき、又、前記フィルムガイドロール５２は、エアシリンダ５２Ａにより下降させ、積層体フィルム１２がラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに非接触となる位置にしておく。又、トルクモータ１８ＡをＯＮとし、積層体フィルム１２の巻き出し時に引張力が生じるようにしておく。
【００５７】
更に、フィルムヒータ５４を所定温度に昇温させ、又、その上流側の基板ヒータ（図示省略）により基板１６を所定温度（１００〜２００℃）に加熱しておき、ラミネーティングロールロール２０Ａ、２０Ｂも同程度に昇温させると共に常時回転状態としておく。
【００５８】
フィルムロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の先端は、図６に示されるように、予め開かれているラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間を通ってニップロール３０の位置まで引張り、この状態でクランプシリンダ３０Ａにより、ニップロール３０を下降させて、搬送ロール１５Ａとの間に挟み込む。
【００５９】
フィルム張付作業の開始に際しては、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの下流側の搬送ローラ１５Ａ、サクションロール２６を駆動させ、積層体フィルム１２をフィルムロール１８から巻き出して送りをかける。
【００６０】
同時に、ハーフカッター２２を積層体フィルム１２と同期して走行させつつ、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に駆動し、カバーフィルム１２Ｃを切断する。
【００６１】
前記ハーフカッター２２が積層体フィルム１２と同期したとき、支持平面４２Ａ上に積層体フィルム１２を負圧により吸着した状態でディスクカッター４４Ａ、４４Ｂにより、そのカバーフィルム１２Ｃが切断される。
【００６２】
なお、このとき、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるカバーフィルム１２Ｃの切断を完全にするためには、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを感光性樹脂層１２Ｂも切断し、更に透光性支持フィルム１２Ａにもわずかに食い込むようにするとよい。
【００６３】
ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂは切断中は回転されないが、１回の切断のための往復動毎に僅かに回転され（回転機構図示省略）、切り刃における積層体フィルム１２を切断する部位が少しづつずらされる。
【００６４】
ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるカバーフィルム１２Ｃの切断が終了した後は、ハーフカッター２２の、積層体フィルム１２と同期した走行が停止され、積層体フィルム１２は支持平面４２Ａから離間して、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ方向に送られ、ハーフカッター２２は原位置に戻る。
【００６５】
前記ハーフカッター２２によるカバーフィルム１２Ｃの切断線の位置は、ロータリエンコーダ３８から出力されるパルス信号の数によって分かり、又、このパルス信号によって図１において右側のディスクカッター４４Ａによる切断線４９Ａが、前記カバーフィルム剥離装置２４におけるタッチロール２４Ｃの位置に到達するタイミングが分かる。
【００６６】
従って、このタイミングで制御装置４０により、タッチシリンダを介してタッチロール２４Ｃを下降させ、該タッチロール２４Ｃに巻き掛けられている粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付けを前記ディスクカッター４４Ａによる切断線４９Ａの直前位置から開始する。
【００６７】
このため、カバーフィルム１２Ｃは、前記ディスクカッター４４Ａによる切断線４９Ａの位置から剥離が開始され、粘着テープ２４Ｄと共に巻取り装置２４Ｅに巻き取られる。
【００６８】
ハーフカッター２２による次の切断によって生じた、ディスクカッター４４Ｂによる切断線４９Ｂがタッチロール２４Ｃの位置に到達する直前に、制御装置４０によってタッチロール２４Ｃは積層体フィルム１２から離間する方向に駆動され、粘着テープ２４Ｄに粘着したカバーフィルム１２Ｃは、ディスクカッター４４Ｂによる切断線位置で積層体フィルム１２から離れる。
【００６９】
これにより、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによる切断線４９Ａ、４９Ｂ間部分のカバーフィルム１２Ｃは、剥離されることなく透光性支持フィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂ上に残され、サクションロール２６を経てラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ方向に送られる。
【００７０】
前記最初の切断によるカバーフィルム１２Ｃ上のディスクカッター４４Ａによる切断線４９Ａが、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに接近する前に、先頭の基板１６をコンベアロール１４Ｃの位置まで搬送しておく。
【００７１】
コンベアロール１４Ｃはサーボモータ（図示省略）により、搬送速度「零」とされた後、前記カバーフィルム１２Ｃ上の切断線４９Ａが先頭基板１６の送り方向先端からわずかに後ろ寄りの位置に一致するタイミング及び速度で積層体フィルム１２に同期して基板１６が基板搬送装置１４によりラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込まれる。
【００７２】
又、この先頭の基板１６の先端が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに到達するタイミングで、ロールクランプシリンダ５０によって上側のラミネーティングロール２０Ａが下降され、下降したラミネーティングロール２０Ａと下側のラミネーティングロール２０Ｂ間に先頭の基板１６の先端が積層体フィルム１２と共に挟み込まれ、且つラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの回転によって、熱圧着されつつ、図１において右方向に送られる。
【００７３】
上記上側のラミネーティングロール２０Ａを下降するタイミングで、前記フィルムガイドロール５２は図１において積層体フィルム１２から離間する方向（上方）に駆動される。これによって、積層体フィルム１２はラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによって挟持されるようになる。
【００７４】
上記のようなフィルム張付過程において、一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂは、常時１００〜２００℃に加熱されているので、その周囲の気体（空気あるいはＮ2 ガス等）はラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂから放射される熱によって加熱され、上昇する。
【００７５】
加熱された気体は、前記遮蔽ガイド板３２の下側面に到達し、傾斜した板部材３２Ａに沿って図１、図３の右方向に移動し、上昇気体排出口３２Ｄから、ブロア３２Ｇによって吸い出され、処理される。
【００７６】
このため、上昇した加熱気体によって、フィルム通過面１３上の積層体フィルム１２が加熱されることがない。
【００７７】
又、前述の如く、積層体フィルム１２におけるカバーフィルム１２Ｃは、ハーフカッター２２により切断されるので、その切り屑、あるいはディスクカッター４４Ａ、４４Ｂに付着した感光性樹脂層１２Ｂの一部が、フィルム通過面１３を通り過ぎる際に、上方からの下降気流によって振り落とされたり、あるいは自然落下する。更に、カバーフィルム剥離装置２４によりカバーフィルム１２Ｃを剥離する際にも、切屑、感光性樹脂層１２Ｂの一部等が落下する。
【００７８】
これらの切り屑等は、下降気流に乗って、前記遮蔽ガイド板３２の板部材３２Ａ上に到達し、ここで、該板部材３２Ａの傾斜に沿って前記下降気体排出口３２Ｅ方向に移動し、ブロア３２Ｇによって外部に排出される。
【００７９】
従って、上方から落下してきたフィルムの切り屑等がラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ、積層体フィルム１２上に落下して付着することがない。
【００８０】
特に、この実施の形態の例における遮蔽ガイド板３２は、板部材３２Ａの周囲が下向きの上昇気体ガイド壁３２Ｂ、及び上向きの下降気体ガイド壁３２Ｃによって横方向に上昇気体及び下降気体が洩れ出さないようにされているので、これらの上昇気体及び下降気体をより確実に捕捉して、積層体フィルム１２の加熱及び切り屑等の落下を確実に防止することができる。
【００８１】
なお、上記実施の形態の例においては、遮蔽ガイド板３２における板部材３２Ａは、フィルム送り方向にわずかに傾斜して配置されているが、この板部材３２Ａは、上昇気体及び下降気体をそれぞれ１箇所に集めることができるようにするものであればよく、例えば、図７に示されるように、２方向に傾斜した板部材３２Ｈを設け、平面視で長方形の角部に上昇気体排出口３２Ｄ及び下降気体排出口３２Ｅを設けるようにしてもよい。これは、上昇気体排出口及び下降気体排出口を各々１個設ける場合に好都合である。
【００８２】
又、板部材は平板状であるが、これは上昇気体及び下降気体を一方に導くものであればよく、例えば図８（Ａ）に示されるように、途中で屈曲した板部材３２Ｊ、図８（Ｂ）のように波形断面の板部材３２Ｋ等であってもよい。
【００８３】
更に、前記板部材は一枚板状であるが、これは、図９（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、間に空気層（気体層）が介在する複層構造であってもよい。
【００８４】
図９（Ａ）に示される遮蔽ガイド板６０は、上昇気体ガイド用の板部材６２Ａ、その外周から下向きに形成された上昇気体ガイド壁６２Ｂからなる下側遮蔽ガイド板６２と、下降気体ガイド用の板部材６４Ａ、その外周から上向きに形成された下降気体ガイド壁６４Ｂからなる上側遮蔽ガイド板６４と、を板部材６２Ａと６４Ａとが平行に離間するように上下に重ねて、結合部材６６により一体的に結合して構成したものである。
【００８５】
前記板部材６２Ａと６４Ａ間に隙間があるので板部材６２Ａ、６４Ａを断熱材としなくても、上昇気体の熱が下降気体に伝達されることがない。又、前記隙間は周囲の大部分が開放されていて熱がこもることがない。
【００８６】
更に、下側及び上側遮蔽ガイド板６２と６４は上下対称に配置された同一形状であるので製造コストを低減させることができる。
【００８７】
図９（Ｂ）に示される遮蔽ガイド板７０は、図９（Ａ）の遮蔽ガイド板６０における２枚の板部材６２Ａと６２Ｂとを、隙間をもって平行に、一体的にしたと同一構成の複層パネル７２を備えたものである。
【００８８】
この複層パネル７２は、内部空間を真空にして対流による熱伝導を抑制している。
【００８９】
又、上記実施の形態の例では、積層体フィルム１２のカバーフィルム１２Ｃをハーフカッター２２によって切断するようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、ハーフカッターを用いることなく、カバーフィルム１２Ｃを、積層体フィルム１２のフィルムロール１８からの巻き出し先端から連続的に剥離して用いる場合についても適用されるものである。
【００９０】
又、上記フィルム張付装置１０は、積層体フィルム１２を連続して基板１６に張り付けるようにされているが、本発明は、積層体フィルム１２を基板１６の長さに対応して予め切断してから張り付けるタイプのフィルム張付装置にも適用され得るものである。
【００９１】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、ラミネーティングロールから放射される熱によって積層体フィルムが過剰に加熱されること、及び、上方から落下してくるフィルム切り屑等がラミネーティングロールや積層体フィルムに付着することを確実に防止することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す一部ブロック図を含む略示側面図
【図２】同フィルム張付装置の要部を示す断面図
【図３】同フィルム張付装置における遮蔽ガイド板を拡大して示す斜視図
【図４】同フィルム張付装置におけるハーフカッターを拡大して示す略示側面図
【図５】同フィルム切断装置による切断位置と基板との位置関係を拡大して示す側面図
【図６】上記フィルム張付装置におけるカバーフィルム剥離装置の作用を拡大して示す略示側面図
【図７】遮蔽ガイド板の他の実施の形態の例を示す斜視図
【図８】遮蔽ガイド板の更に他の実施の形態の例を示す斜視図
【図９】遮蔽ガイド板の更に又他の実施の形態の例を示す斜視図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…積層体フィルム
１２Ａ…透光性支持フィルム
１２Ｂ…感光性樹脂層
１２Ｃ…カバーフィルム
１３…フィルム通過面
１４…基板搬送装置
３２、６０、７０…遮蔽ガイド板
３２Ａ、３２Ｈ、３２Ｊ、３２Ｋ、６２Ａ、６４Ａ…板部材
３２Ｂ、６２Ｂ…上昇気体ガイド壁
３２Ｃ、６４Ｂ…下降気体ガイド壁
３２Ｄ…上昇気体排出口
３２Ｅ…下降気体排出口
３２Ｇ…ブロア
１６…基板
１８…フィルムロール
２０Ａ、２０Ｂ…ラミネーティングロール
２２…ハーフカッター
４０…制御装置
４２…カッター台
４２Ａ…支持平面
４４Ａ、４４Ｂ…ディスクカッター
７２…複層パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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