(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された画像データを処理して、設定されたエッジ検出領域内の前記被検物のエッジの位置を測定する画像処理部と、
前記被検物のエッジを形成する図形要素のデータが格納される図形要素データテーブルと、
前記被検物を前記撮像部で撮像する際の条件データであって、複数の図形要素の任意の点においてオペレータによってエッジ検出が確認された時の条件データが入力される測定条件入力部と、
前記図形要素のデータから前記エッジ検出領域の位置と角度を求め、前記エッジ検出領域の位置と角度のデータに、前記条件データを加えた測定手順データを作成する測定手順データ作成部とを備え、
前記画像処理部は、前記測定手順データに従って前記被検物のエッジの位置を自動測定することを特徴とする画像測定機。
【請求項２】
請求項１に記載の画像測定機において、
前記被検物を前記撮像部で撮像する際の条件データは、前記撮像部で撮像する際の倍率であることを特徴とする画像測定機。
【請求項３】
請求項１に記載の画像測定機において、
前記被検物を前記撮像部で撮像する際の条件データは、前記撮像部で撮像する際の照明の条件であることを特徴とする画像測定機。
【請求項４】
同一の測定条件で測定可能な被検物内の複数の図形要素を選択する工程と、
前記選択された複数の図形要素の任意の位置のエッジについてエッジ検出がオペレータによって確認された時の測定条件を設定する工程と、
前記選択された複数の図形要素のエッジ検出領域の位置及び角度を、前記図形要素の設計データから求める工程と、
前記エッジ検出領域の位置及び角度データと前記測定条件とを有する測定手順データに従って、撮像された前記被検物の画像から前記被検物のエッジ位置を自動測定する工程とを有し、
前記測定条件は、前記被検物を撮像する際の条件であることを特徴とする画像測定方法。
【請求項５】
請求項４に記載の画像測定方法において、
前記被検物を撮像する際の条件は、撮像する際の倍率であることを特徴とする画像測定方法。
【請求項６】
請求項４に記載の画像測定方法において、
前記被検物を撮像する際の条件は、撮像する際の照明の条件であることを特徴とする画像測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検物の寸法を測定する座標測定機に係り、特に被検物をカメラで捉えた画像から被検物の寸法を測定する画像測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
画像測定機は、移動可能なステージ上に載置された被検物をＣＣＤカメラ等で捉え、その画像を処理して被検物の寸法を測定する。即ち、画像測定機のモニター画面には、被検物と共にモニター上のエッジ検出領域であるキャリパーが表示され、そのキャリパーが表示された箇所のエッジ座標が測定される。
【０００３】
また、オペレータが、予め被検物の測定すべきエッジ位置と測定条件をティーチング工程により指定すると、キャリパーが被検物の指定されたエッジ位置を自動的にスキャンしながら、それぞれのエッジ位置の座標を測定する自動測定モードが知られている。即ち、被検物の測定箇所、測定条件、測定順等を指定する測定手順データがティーチング工程で作成され、自動測定モードでその測定手順データに従ってキャリパーが自動的にスキャンされ測定が行われる。
【０００４】
この測定手順データの作成工程では、オペレータが、マニュアル操作で被検物の測定に必要な箇所毎にキャリパーを移動させ、エッジ座標を測定できるか否かを確認しながら測定条件を指定する。
【０００５】
また、他の測定手順データの作成方法として、被検物の設計データを利用してオフラインで作成する方法がある。この場合は、画像測定機で被検物の測定箇所を測定しながら測定手順データを作成するのではなく、オフライン即ち机上で、設計データに従って被検物の測定箇所、測定条件等を指定しながら測定手順データを作成する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来は、被検物を自動測定するための測定手順データを作成するのに、被検物の測定箇所、測定条件、測定順等をマニュアルで一点づつ指定していた。即ち、被検物の測定箇所がＣＣＤカメラの所定の光学系の条件でモニター画面に表示されるようにＸＹステージを移動させ、キャリパーを被検物の測定箇所のエッジに直角になるように設定し、更に、所定の照明条件、画像処理条件の下でエッジ検出ができるか否かを確認して、その時の光学系、照明系の条件、画像処理条件、及びそのエッジ位置を測定手順データとして記憶させる。
【０００７】
従って、被検物の測定箇所が多い場合は、それぞれの箇所で測定条件等の設定を行わなければならず、すべての測定手順データを作成するのに非常に時間がかかっていた。
【０００８】
また、オフラインで測定手順データを作成する場合は、比較的短時間で測定手順データを作成できるが、実際に被検物を測定して測定手順データを作成しないので、自動測定モード時に光学系、照明系の条件、画像処理条件などが被検物に対して不適合となる場合があり、その修正のためにかえって全体の作成時間が長くなる場合が多かった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記の課題を解決し、被検物の測定箇所が多い場合でも、短時間に、かつ被検物に適合した測定条件となる測定手順データの作成方法及びそれを実施する画像測定機を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、本発明によれば、被検物を撮像した画像データを処理して、設定されたエッジ検出領域内の前記被検物のエッジを検出し、前記エッジの位置を測定する画像測定機において、前記被検物のエッジを形成する図形要素のデータが格納される図形要素データテーブルと、前記図形要素のデータから前記エッジ検出領域の位置と角度を求め、前記エッジ検出領域の位置と角度のデータに複数の図形要素の任意の点における測定条件データを加えた測定手順データを作成する測定手順データ作成部と、前記測定手順データに従って前記被検物のエッジの位置を自動測定する測定部とを有することを特徴とする画像測定機を提供することにより達成される。
【００１１】
本発明によれば、被検物のエッジを形成する図形要素のデータと、測定点のうちの任意の１点で測定可能な測定条件とから、測定手順データを自動作成するので、測定手順データを短時間で作成可能な画像測定機を提供できる。
【００１２】
また、上記の目的は、同一の測定条件で測定可能な被検物内の複数の図形要素を選択する工程と、前記選択された複数の図形要素の任意の位置のエッジについて測定条件を設定する工程と、前記選択された複数の図形要素のエッジ検出領域の位置及び角度を、前記図形要素の設計データから求める工程と、前記エッジ検出領域の位置及び角度データと前記測定条件とを有する測定手順データに従って、前記被検物のエッジ位置を自動測定する工程とを有する画像測定方法を提供することによっても達成される。
【００１３】
本発明の画像測定方法によれば、測定点のうちの任意の１点で測定可能な測定条件を、他のすべて測定点の測定条件として共通に使用するので、測定手順データを非常に短時間で作成できる。また、被検物のエッジの一点で実際に測定可能な測定条件から測定手順データを作成するので、確実に測定可能な測定手順データを作成することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の例について図面に従って説明する。しかしながら、かかる実施の形態例が本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１５】
図１は、本発明の実施の形態による画像測定機の概略構成を示す。本発明の実施の形態による画像測定機１は、水平二軸方向に駆動可能なＸＹステージ２を有する。このＸＹステージ２上には直線、円、円弧等の図形要素を持つ被検物３が載置され、透過照明光学系４又は落射照明光学系５により照明される。
【００１６】
ＸＹステージ２の上方には、ＸＹステージ２上に載置された被検物３を、撮像する撮像部７が設けられる。この撮像部７は、被検物３の像を結像させる光学倍率が可変の光学系６と、結像された画像を撮像するＣＣＤカメラ８とを備える。
【００１７】
上記ＣＣＤカメラ８で撮像された画像は、画像処理部９に取り込まれ、得られた画像をモニター１０に表示する。モニター１０の画面上には、被検物３と共に任意に移動および回転可能なエッジ検出領域を示すキャリパーが表示され、キャリパー上にある被検物３の画像のエッジの座標値の検出が行われる。
【００１８】
上記の構成を備えた画像測定機１は、ＸＹステージ２を移動させ、ＣＣＤカメラ８で被検物３を撮像する。そして、被検物３のエッジをモニター１０の画面に表示し、キャリパーをそのエッジに合わせその座標を測定する。このエッジの座標の測定を、直線、円、円弧等の図形要素毎に指定した点数だけ繰り返し行い、被検物３の測定が行われる。
【００１９】
上記の測定は、予め作成された測定手順データに従った自動測定により行われるが、本実施の形態では、この測定手順データを新規な方法で作成する。測定手順データは、測定する被検物３に含まれる図形要素に対して、モニター画面に表示する領域を設定するためのＸＹステージ２の位置、キャリパーの位置及び角度、照明系及び光学系の条件、画像処理の条件などで構成される。
【００２０】
図２は、画像測定機で測定が行われる被検物の例を示す。この被検物３は、プレス加工で打抜かれた板やプリント基板等の板状体で、要求される寸法形状に加工されている。被検物３は直線、円、円弧等の図形要素のデータに従って加工され、画像測定機では、これらの図形要素毎に被検物３が規定された寸法に加工されているか否かを測定する。
【００２１】
図３は、本実施の形態において、図２の被検物３を画像測定機のモニター画面２０に表示した様子を示す。モニター画面２０には、被検物３と共にキャリパー２１から２９が表示されている。被検物３のどの箇所のエッジを測定するかは任意に指定できるが、図３は、キャリパーが表示された９箇所のエッジ座標を測定する場合を示す。
【００２２】
図３の例では、直線３０に対しては、キャリパー２１と２２の２点でエッジ座標の測定が行われる。また円３１に対しては、キャリパー２３、２４、２５、２６の４点でエッジ座標の測定が行われ、円弧３２に対しては、キャリパー２７、２８、２９の３点でエッジ座標の測定が行われる。
【００２３】
図４は、本発明の実施の形態における画像測定機１の機能ブロック図を示す。画像測定機１は、被検物に含まれる図形要素の設計値が格納された図形要素データテーブル５０と、照明条件等の測定条件を入力する測定条件入力部５１と、測定条件入力部５１から入力された測定条件を測定手順データ作成部５３に出力する測定条件設定部５２とを有する。
【００２４】
また、図形要素データテーブル５０から出力される図形要素データと、測定条件設定部５２で設定される測定条件とから測定手順データを作成する測定手順データ作成部５３と、作成された測定手順データを記憶する測定手順データテーブル５４とを有する。
【００２５】
更に、測定手順データテーブル５４に記憶された測定手順データに従って被検物の測定を繰り返すリプレイ測定部５５と、モニター画面に表示されたキャリパー部分の被検物の画像を処理しエッジ座標を測定する画像処理部５６とを有する。
【００２６】
更に、各ブロックについて詳細に説明する。図形要素データテーブル５０は、被検物に含まれる円、直線、円弧などの図形要素の設計値が格納されているテーブルである。これらの設計値は、円要素なら中心と直径、直線要素なら始点と終点、円弧要素なら中心と半径と始角と終角を有する。被検物はこれらの設計値に従って加工されている。
【００２７】
図５は、これらの図形要素の設計値の例を示す。図５（１）は円の設計値を示し、中心座標（ｘ１，ｙ１）と直径Ｄ１を有する。図５（２）は直線の設計値を示し、始点座標（ｘ２，ｙ２）と終点座標（ｘ２’，ｙ２’）とを有する。図５（３）は円弧の設計値を示し、中心座標（ｘ３，ｙ３）と半径Ｒ３及び始角θ３と終角θ３’とを有する。
【００２８】
図６は、図２に示した被検物３の図形要素データテーブル５０の例を示す。図６（１）は、図２に示した被検物３を円、直線、円弧の３種類の図形要素の集合として示したものである。このように、被検物３の形状は、円２００から円２０６、直線３００から直線３３０、及び円弧４００から円弧４０６の集合である。
【００２９】
図６（２）は、被検物３の図形要素データテーブル５０の例を示す。上述のように、被検物３の図形要素データテーブル５０には、円２００から円２０６までの中心座標及び直径、直線３００から直線３３０までの始点座標及び終点座標、円弧４００から円弧４０６までの中心座標、半径、始角及び終角等の設計値が格納されている。
【００３０】
本実施の形態の画像測定機は、この図形要素データテーブル５０のデータをもとに、測定手順データの一部であるキャリパーの位置及び角度を、後述するアルゴリズムにより測定手順データ作成部５３にて自動作成する。尚、この図形要素データテーブル５０を作成する方法としては、被検物のＣＡＤ図面データから入力する方法や、各図形要素データをキー入力する方法などがある。
【００３１】
次に測定条件設定部５２について説明する。測定条件設定部５２は、測定条件入力部５１からオペレータにより入力される測定条件を、測定手順データ作成部５３に出力する。測定条件には、測定に使用する光学系、照明系の条件、エッジ検出のための画像処理条件等がある。モニター画面上のキャリパー内の画像信号を処理することにより被検物のエッジ検出が行われるので、光学条件、照明条件及び画像処理条件が適切でないと、被検物のエッジは正確に検出されない。
【００３２】
従って、オペレータは、同一の測定条件でエッジ検出可能な複数の図形要素のうち、任意の代表するエッジに対してエッジ検出可能な光学条件、照明条件及び画像処理条件を見出して設定する。そしてこの設定した条件が、測定手順データの測定条件のデータとなる。
【００３３】
光学系の条件には、例えば、被検物をＣＣＤカメラで撮像する時の倍率がある。倍率によりエッジ検出の精度が変わり、また倍率を変えると焦点深度が変わり、被検物にｚ方向の厚さがある場合等に被検物のエッジ検出の感度が変わる。
【００３４】
照明系の条件には、透過照明、落射照明、４方向斜め照明及びそれらの光量等がある。エッジ検出は、モニター画面上のエッジの像が黒から白等に変化する点を検出するため、これらの照明条件によって、エッジが検出できるか否かが決まる。
【００３５】
画像処理条件には、キャリパーの大きさ、しきい値Ｖｔｈの指定、強調処理の指定等がある。キャリパーは、モニター画面上で測定すべきエッジに直角に設定されるが、その大きさもエッジ検出の感度に影響する。また、エッジ検出は、ＣＣＤカメラで受光する光量変化の微分波形のピーク位置で行われるが、被検物の表面の状況により検出するピークの最低高さを決めるしきい値Ｖｔｈを調整して、被検物の表面のキズ等によるノイズを除くことができる。また、強調処理（エンハンスモード）は、モニター画面上の黒はより黒く白はより白くする画像処理であり、コントラストの低いエッジに対して強調処理を行うことでそのエッジの検出感度を向上させることができる。
【００３６】
次に測定手順データ作成部５３について説明する。測定手順データ作成部５３は、図形要素データを図形要素データテーブル５０から取り込み、測定に使用する光学系、照明系の条件、及び画像処理条件を測定条件設定部５２から取り込んで、測定手順データを自動作成する。
【００３７】
同一の加工条件で加工された多数の図形要素を有する被検物を画像測定機で自動測定する場合は、その多数の図形要素を同一の測定条件で測定出来る場合が多い。本実施の形態による測定手順データ作成方法は、この点に着目している。
【００３８】
測定手順データを作成するには、まず、同一の測定条件で測定できる複数の図形要素を１グループとする。そして、そのグループ内の任意のエッジを選び、測定条件設定部５２で設定された測定条件で、そのエッジ座標が測定できるか否かを確認するために実際に測定を行う。測定出来ない場合は、測定条件を変えて確実にエッジ座標が測定できる測定条件を見出す。
【００３９】
エッジ座標が測定できた場合は、その時の測定条件が測定手順データ作成部５３に取り込まれ、その被検物の同一グループ内のすべての図形要素の測定箇所の測定条件として共通に使用される。従って、従来のように測定箇所毎に測定条件を設定する必要はなく、測定手順データが短時間で作成できる。しかも、この測定条件は、被検物のエッジ座標が実際に測定できた条件であるため、被検物の加工状態や形状に適合し確実なエッジ座標の測定が可能になる。
【００４０】
測定条件が設定されると、次に、被検物の測定箇所に対応して、キャリパーの位置と角度が設定される。本実施の形態では、キャリパーの位置と角度は、上述の図形要素データテーブル５０の図形要素データから後述するアルゴリズムにより自動作成される。
【００４１】
図７は、図形要素毎のキャリパーの位置と角度を、図形要素の設計値から自動的に作成するアルゴリズムの説明図である。図７（１）は、円６０のエッジ測定のためのキャリパー８０、８１、８２の位置と角度を示す。自動作成アルゴリズムは、円６０を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に、前述の測定条件（光学系、照明系の条件、画像処理条件）と同じ条件を持つキャリパーを作成する。この時、キャリパーの向きは、円の中心から放射方向に向かうように設定される。１つの円に対して必要なキャリパーの数は、図７（１）に示すように通常３点であるが、任意に指定可能であり、真円度等の測定のためには更に多数のキャリパーが必要となる。
【００４２】
図７（２）は、直線６３のエッジ測定のためのキャリパー８３、８４の位置と角度を示す。自動作成アルゴリズムは、直線６３の両端から、例えば、全長の１／１０の測定可能マージンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に、前述の測定条件と同じ条件を持つキャリパーを作成する。この時、キャリパーの向きは、直線６３の進行方向に対して、左方向になるように設定される。１つの直線に対して必要なキャリパーの数は、通常２点であるが、任意に指定可能であり、直線性等の測定のためには更に多数のキャリパーが必要となる。
【００４３】
図７（３）は、円弧のエッジ測定のためのキャリパー８５、８６、８７の位置と角度を示す。自動作成アルゴリズムは、円弧の両端から全長の１／１０の測定可能マージンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に、前述の測定条件と同じ条件を持つキャリパーを作成する。この時、キャリパーの向きは、円弧の中心から放射方向になるように設定される。１つの円弧に対して必要なキャリパーの数は、通常３点であるが、任意に指定可能である。以上のように、図形要素毎に、設計データからキャリパーの位置と角度のデータが自動作成され、それに対応する測定条件と共に夫々の図形要素に対する測定手順データとなる。
【００４４】
図８は、図７のそれぞれの図形要素毎の測定手順データの一部を示す。上記の通り、それぞれの図形要素に対するキャリパーの位置と角度は、図形要素データテーブル５０に格納された図形要素データから自動作成され、光学条件、照明条件、画像処理条件は、測定条件設定部５２で同一グループ毎に設定した測定条件が共通に使用される。図８に示すデータに、更にＸＹステージ２の位置データ等を加えて測定手順データが作成される。
【００４５】
図９は、被検物３の測定箇所の指定の一例を示す。測定箇所は、同一の測定条件で測定できるグループ毎にオペレータにより予め指定されるが、図９では、グループ５００として円２００から２０６及び直線３０５と３１３と３２８を指定し、グループ５０１として直線３１５と円弧４０３と４０４が指定された場合を示す。
【００４６】
同一のグループ内のエッジ座標の測定は、同一の測定条件で行われるため、被検物のエッジの加工条件や、要求される測定精度によっては、別グループでの測定が必要になる。例えば、被検物のエッジに段差があり光学系の条件を変える必要がある場合や、図形要素の大きさに対応して検出感度を変える場合等は、測定条件を変えた別グループでの測定が行われる。
【００４７】
また図９では、円に対しては４箇所のキャリパーで、直線に対しては２箇所のキャリパーで、円弧に対しては３箇所のキャリパーでエッジ測定を行うように指定しているが、各図形要素に対して何箇所のキャリパーで測定するかは任意に指定できる。その場合も別のグループに分けてそれぞれ指定する必要がある。
【００４８】
図１０は、本発明の実施の形態における測定手順データの例を示す。前述のように、測定手順データは、測定する被検物に含まれる図形要素に対して、画像測定機で自動測定するためのＸＹステージの位置座標、キャリパーの位置座標及び角度、光学倍率等の光学条件、照明の種類及び光量等の照明条件及び画像処理の条件等からなる。
【００４９】
本実施の形態における測定手順データは、同一の測定条件で測定するグループ毎に作成され、ＸＹステージの位置座標、キャリパーの位置座標及び角度は、図形要素データテーブル５０の図形要素データから自動作成され、光学条件、照明条件及び画像処理の条件は測定条件設定部５２で設定された測定条件が同一グループ内で共通に使用される。図１０の例では、第１グループ５００の図形要素に対する測定条件は、Ｋ、Ｌ、Ｍであり、第２グループ５０１の図形要素に対する測定条件は、Ｐ、Ｑ、Ｒである。
【００５０】
測定手順データ作成部５３で作成された測定手順データは、測定手順データテーブル５４に格納される。そして、リプレイ測定部５５で、測定手順データテーブル５４にある測定手順データどおりに、順々に被検物の寸法測定を行う。
【００５１】
図１１は、本発明の実施の形態により測定手順データを作成する処理のフローチャートを示す。ステップ１０１では、図形要素データテーブル５０の中から、測定したい図形要素で、かつ同じ測定条件で測定できる図形要素をすべて選択する。例えば、図９に示したように、グループ５００として円２００から２０６、及び直線３０５と３１３と３２８を選択あるいは、グループ５０１として直線３１５と円弧４０３と４０４を選択する。
【００５２】
ステップ１０２では、測定条件設定部５２において、同一グループ内の被検物の測定点の任意の一点に対し、被検物のエッジ座標が測定できる光学系、照明系の条件、画像処理条件などの測定条件を設定して、エッジ座標を測定する。
【００５３】
ステップ１０３で、オペレータはステップ１０２で設定した測定条件でエッジ座標が測定できたか否かを確認する。測定条件によりエッジ座標の測定が出来ない場合は、ステップ１０４で測定条件を変えてエッジ座標を再度測定する（ステップ１０２）。オペレータは、同一グループ内の被検物の適当なエッジに、キャリパーを手操作であわせてエッジ座標を測定する。
【００５４】
ステップ１０５では、測定条件設定部５２から測定手順データ作成部５３に、ステップ１０３でエッジ座標の測定が可能だった測定条件が入力される。この測定条件が、同一グループ内の他のすべての測定箇所における測定条件となる。
【００５５】
ステップ１０６から、図形要素データテーブル５０内の図形要素の中から、選択した図形要素について測定手順データの作成が開始される。まず、ステップ１０６では、ステップ１０１でグループ１として被検物の図形要素のうち円、直線、円弧を選択している場合は、まずそのグループ中の円が選択される。
【００５６】
ステップ１０７では、被検物の中に選択した図形要素があるか否かを判別し、あればステップ１０９に進み、なければステップ１０８に進む。この場合は、最初なので選択した図形要素があるのでステップ１０９に進む。
【００５７】
ステップ１０９では、選択した図形要素に対して、設計データからキャリパーの位置と角度を自動作成し、ステップ１０５で与えた測定条件を加えて測定手順データを作成する処理を行う。この処理を図１２のフローチャートにより説明する。
【００５８】
図１２は、図１１のステップ１０９の詳細フローチャートを示す。ステップ１２１では、使用する図形要素が円か否かを判別する。円の場合にはステップ１２２に進み、円でなければステップ１２３に進む。ステップ１２２では、円の測定手順データを作成して、図１１のフローチャートに戻る。
【００５９】
円の測定手順データの作成では、図７（１）に示したように、円を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に放射状の角度をもち、前述の測定条件（光学系、照明系の条件、画像処理条件）と同じ条件を持つキャリパーを設定する。同様に、同一グループ内で測定が必要なすべての円に対して同様にキャリパーを設定して測定手順データを作成する。
【００６０】
ステップ１２３では、使用する図形要素が直線か否かを判別する。直線の場合にはステップ１２４に進み、直線でなければステップ１２５に進む。ステップ１２４では、直線の測定手順データを作成して、図１１のフローチャートに戻る。
【００６１】
直線の測定手順データの作成では、図７（２）に示したように、直線の両端から測定可能マージンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に、直線の始点から終点への方向に対し左方向の角度をもち、前述の測定条件と同じ条件を持つキャリパーを設定する。同様に、同一グループ内で測定が必要なすべての直線に対して同様にキャリパーを設定して測定手順データを作成する。
【００６２】
ステップ１２５では、使用する図形要素が円弧か否かを判別する。円弧の場合にはステップ１２６に進み、円弧でなければ、測定手順データ作成不能として図１１のフローチャートに戻る。ステップ１２６では、円弧の測定手順データを作成して、図１１のフローチャートに戻る。
【００６３】
円弧の測定手順データの作成では、図７（３）に示したように、円弧の両端から測定可能マージンを除き、その領域を測定に必要な数で分割した等間隔の位置に、円弧の外側向きの角度をもち、前述の測定条件と同じ条件を持つキャリパーを設定する。同様に、同一グループ内で測定が必要なすべての円弧に対して同様にキャリパーを設定して測定手順データを作成する。
【００６４】
このように、図１１のステップ１０９で測定しようとする図形要素の測定手順データを作成した後、ステップ１１０では、作成した測定手順データを測定手順データテーブル５４に格納する。そして、ステップ１１１では、測定手順データの作成対象を、図形要素データテーブル５０内の次に選択されている図形要素に変更してステップ１０７に戻る。
【００６５】
ステップ１０７では、再び次の図形要素があるか判別し、選択された図形要素がある限りステップ１０７からステップ１１１までを繰り返し行い、すべての選択された図形要素に対して測定手順データの作成が行えたらステップ１０８に進む。ステップ１０８では、エッジ検出の測定条件が異なる他のグループがあるか否かを判断し、あればステップ１０１に戻り、なければ測定手順データの作成処理を終了する。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、被検物に含まれる図形要素のエッジ座標を自動測定する測定手順データを作成する場合に、キャリパーの位置、角度等は被検物の図形要素データを利用して自動作成し、測定条件は被検物の任意の１点で測定できた測定条件を共通に使用するので、測定手順データの作成を非常に短時間で行うことができる。
【００６７】
また、被検物の状態に応じて、実際に測定できた測定条件を取り込むので、確実に測定可能な測定手順データを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による画像測定機の概略構成図である。
【図２】被検物の例を示す図である。
【図３】被検物を表示するモニター画面の図である。
【図４】本発明の実施の形態における画像測定機の機能ブロック図である。
【図５】図形要素の設計値を示す図である。
【図６】被検物３の図形要素データテーブルの構造図である。
【図７】図形要素ごとにキャリパーの位置と角度を作成するアルゴリズムの説明図である。
【図８】図形要素毎の測定手順データの一部を示す図である。
【図９】被検物の測定箇所を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態における測定手順データの例である。
【図１１】本発明の実施の形態における測定手順データテーブル作成処理のフローチャート図である。
【図１２】本発明の実施の形態におけるステップ１０９の詳細フローチャート図である。
【符号の説明】
１    画像測定機
２    ＸＹテーブル
３    被検物
８    ＣＣＤカメラ
１０  モニター
５０  図形要素データテーブル
５２  測定条件設定部
５３  測定手順データ作成部
５４  測定手順データテーブル
５５  リプレイ測定部
５６  画像処理部
【図１】
0003924855.tif 000002
【図２】
0003924855.tif 000003
【図３】
0003924855.tif 000004
【図４】
0003924855.tif 000005
【図５】
0003924855.tif 000006
【図６】
0003924855.tif 000007
【図７】
0003924855.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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