(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクと対向する面の空気流入側端部と空気流出側端部それぞれに、磁気ディスク停止時にディスク面と接触するコンタクト面を備えた浮上用パッドを有してなる磁気ヘッドスライダとその支持体において、前記空気流入側端部の浮上用パッドのスライダ幅方向両外側に、該浮上用パッドとの間に隙間をあけて、磁気ディスク停止時にディスク面と接触するコンタクト面を備えた補助パッドを設け、かつ該補助パッドと該浮上用パッドとのそれぞれの間と、該補助パッドのそれぞれの空気流出方向側とのいずれか一方に、それぞれ大きさの異なる凹部を形成してなることを特徴とする磁気ヘッドスライダとその支持体。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッドスライダとその支持体において、前記補助パッドのコンタクト面の空気流入側末端と前記スライダの空気の流入側末端との距離をＡ、前記空気流入側端部の浮上用パッドのコンタクト面の空気流入側末端と前記スライダの空気の流入側末端との距離をＢとしたとき、Ａ＜Ｂであることを特徴とする磁気ヘッドスライダとその支持体。
【請求項３】
請求項１又は２記載の磁気ヘッドスライダとその支持体において、前記補助パッドのコンタクト面が長方形をなしており、その長手方向の長さをＬ、前記空気流入側端部の浮上用パッドのコンタクト面の空気流入側末端と前記スライダの空気の流入側末端との距離をＢとしたとき、Ｌ＞Ｂであることを特徴とする磁気ヘッドスライダとその支持体。
【請求項４】
請求項１〜３のうちのいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記補助パッドのコンタクト面の面粗さが、前記空気流入側端部の浮上用パッドのコンタクト面の面粗さに比べて大きいことを特徴とする磁気ヘッドスライダとその支持体。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気ヘッドスライダとその支持体を製造する方法において、
ａ．前記スライダ面にフォトレジストを塗布し、マスクを重ねて露光する手順と、
ｂ．露光したスライダを現像し、感光しない部分のフォトレジストを除去する手順と、
ｃ．感光しない部分のフォトレジストを除去したのち、スライダ面をイオンビームエッチングする手順と、
ｄ．前記イオンビームエッチング終了後、スライダ面に残存するフォトレジストを除去する手順と、
を含んでなることを特徴とする磁気ヘッドスライダとその支持体の製造方法。
【請求項６】
磁気ディスクと、該磁気ディスクに対してデータの読み出し／書き込みのいずれかもしくは双方を行なう磁気ヘッドスライダとその支持体とを有してなる磁気ディスク装置において、前記磁気ヘッドスライダとその支持体が、請求項１〜４のうちのいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダとその支持体であることを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ヘッドスライダとその支持体及び磁気ディスク装置に係わり、特に高記録密度化、高信頼性化に優れた磁気ヘッドスライダとその支持体及び磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置において、ヘッド・ディスクインターフェイスに対する高信頼性、浮上量微小化の要求はますます厳しいものとなってきている。そして、面記録密度が増加するにつれて磁気ヘッドスライダに要求される浮上量は低下する傾向にあり、特に浮上量が３０ｎｍ以下になると、記録媒体面と間欠接触あるいは連続接触走行する可能性がある。解決策としては、平滑媒体を使用することによって、スライダと媒体面（磁気ディスク面）とが接触を開始する浮上量を小さくし、媒体面との間欠接触を低減できる。ただし、ディスクの起動停止を、媒体面とスライダを接触させながら行なう(コンタクトスタートストップ方式)の場合、平滑媒体を使用すると起動時の媒体面との接触面積が大きくなり、媒体面とスライダ間の粘着力が増大する。最近の磁気ディスク装置では、ディスクの起動に際し、ディスクを回転させて磁気ヘッドスライダを浮上させる方式（ロードアンロード方式）が実用化されている。この方式によれば粘着力が増大する問題が解決でき、平滑媒体を使用することが可能となる。
【０００３】
米国特許第５７７７８２５号に記載されている従来の磁気ヘッドスライダは、流入側に形成された２つの浮上用パッド、流出側に形成された浮上用パッド、磁気ヘッドスライダ両側に沿って形成された２つのサイドレールを含んで構成されている。上記特許では、これらの浮上用パッド及びサイドレールに囲まれた領域に負圧力を発生させることにより、押付荷重を大きくしなくても空気膜剛性を高くできるため、浮上量変動及び浮上バラツキを小さくできる。しかし、前記ロードアンロード方式で、従来の磁気ヘッドスライダが媒体面上で安定浮上している状態から媒体面上から引き離す（以後、アンロードと記する）時、従来の磁気ヘッドスライダは、媒体面に押し付けるように負圧力が作用しているために、アンロードが容易にできない。
【０００４】
プロシーディングス  オブ  ザシンポジュウム  オン  インターフェーステクノロジー  トワード１００ギガビット／イン２（Proceedings of the Symposium on Interface Technology Towards 100Gbit/in2(TRIB-Vol.9））pp1-9に記載されている従来の磁気ヘッドスライダは、流入側に形成された２つの浮上用パッド、流出側に形成された浮上用パッド、スライダ両側に沿って形成された２つのサイドレールを含んで構成され、これらの浮上用パッド及びサイドレールに囲まれた領域に発生する負圧力の中心位置を流出側方向に偏心させてある。この構成により、負圧力がスライダ姿勢角度変化を大きくする方向に働くため、容易にアンロードできる。しかし、スライダを高速で回転している媒体面上に降ろす（以後、ロードと記する）時に、従来の磁気ヘッドスライダのピッチング（前後）方向の空気膜剛性が低いため、流出パッド流出端が媒体面と接触した後、その接触力及び摩擦力によるモーメントによって前のめりになり、その後流入パッド流入端が媒体面と接触する可能性がある。流入パッド流入端が媒体面と接触した場合、空気流が浮上面に流入せず、浮上力がなくなり、前のめりになった状態から回復しない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の磁気ヘッドスライダでは、ロードアンロード方式において、アンロード時に、媒体面にスライダを押し付ける方向に負圧力が作用しているために、アンロードが容易にできない。またピッチング方向の空気膜剛性が低いため、ロード時に流入パッド流入端が媒体面と接触した場合、前のめりになった状態から回復しない。
【０００６】
本発明の目的は、ロードアンロード方式において、アンロードを容易にすることである。また、他の目的は、上記目的に加えロード時にスライダが前のめりになった場合においても正常な浮上量に回復させ、スライダをすみやかに安定浮上させることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的は、磁気ディスクと対向する面の空気流入側端部と空気流出側端部それぞれに、磁気ディスク停止時にディスク面と接触するコンタクト面を備えた浮上用パッドを有してなる磁気ヘッドスライダとその支持体において、スライダの幅方向両側に、かつスライダの流入端に近接させて、前記空気流入側端部の浮上用パッドとの間に隙間をあけて磁気ディスク停止時にディスク面と接触するコンタクト面を備えた補助パッドを設け、かつ該補助パッドと該浮上用パッドとのそれぞれの間と、該補助パッドのそれぞれの空気流出方向側とのいずれか一方に、それぞれ大きさの異なる凹部を形成してなることによって達成される。補助パッドのコンタクト面形状は、浮上用パッドのコンタクト面よりも幅の狭い、空気流入方向に平行あるいはある角度をなす長軸をもつ短冊状（長方形）とするのが望ましい。
【０００８】
すなわち、前記空気流入側端部の浮上用パッドと補助パッドの間のそれぞれの凹部と、補助パッドの空気流出方向側のそれぞれの凹部とのいずれか一方における、それぞれの凹部を第１、第２の凹部とすると、ディスク回転時（スライダが浮上した状態で）、それぞれの凹部でスライダをディスク面に引きつける方向の第１、第２負圧力が発生する。第１、第２の凹部の大きさが異なると、第１、第２の負圧力に差が生じる。アンロード時にスライダに作用する力はこれらの負圧力であるから、前記第１、第２の負圧力に差があると、アンロード時にスライダがローリング方向に傾斜する。スライダがローリング方向に傾斜することにより、スライダがディスク面から離れやすくなり、アンロードが容易になる。
【０００９】
また、他の目的を達成するために、スライダの流入端に近い位置で、かつスライダの幅方向両側に補助パッドを設けることができる。これによれば、スライダがローリング方向に傾斜しつつ前のめりになった場合でも、浮上用パッドがディスク面に接触するよりも前に補助パッドが先に接触し、浮上用パッドはディスク面に接触しない。したがって、空気流が浮上用パッドの浮上面（コンタクト面とディスク面の間）に流入し、浮上力が確保されるために、正常な浮上量に回復し、スライダは瞬時に安定浮上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図２２に本発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置を示す。この磁気ディスク装置は、磁気記録媒体３とこれを回転させる駆動部３１、磁気ヘッドスライダ１及びその支持体２、磁気ヘッドスライダ（以下、スライダという）１を位置決めする支持アーム３０とこれの駆動部３２、スライダ１に搭載された磁気ヘッドの記録再生信号を処理する回路３４、を含んで構成されている。図２２の（ａ）に、記録媒体面３に浮上した状態でスライダ１が走行及びシークしている状態の平面図を、同(ｂ)に側面図を、それぞれ示す。磁気記録媒体（以下、磁気ディスクという）３は、その媒体面（ディスク面）の中心線平均面粗さＲａが１nm以下、中心線最大高さＲｐが５nm以下の平滑なものを用いた。
【００１１】
図５、図６にそれぞれ本実施の形態の磁気ヘッドスライダ１及びその支持体２の立体斜視図、平面図を示す。支持体２は、荷重用ビーム部２１、ジンバル部２２、荷重用突起部（以後、ディンプルと記する）２３、アンロードの過程でスライダを媒体面上から引き離す時に使用するタブ２４、フック２５から構成されている。
【００１２】
以下、本発明の第１の実施の形態を図１により説明する。なお、以下に説明する各実施の形態において、全体の構成は図２２、図５、図６と同じであるので、全体の構成については説明を省略する。
【００１３】
図１の（ａ）に第１の実施の形態の磁気ヘッドスライダの立体斜視図、図１の（ｂ）に前記磁気ヘッドスライダの浮上面形状を、それぞれ示す。スライダ１は、流入側に幅方向（空気流入方向に対して直交する方向）に並んで設けられた一対（２個）の空気軸受面になり得る浮上用パッド１１（以後、流入パッドという）と、前記２つの浮上用パッド１１の幅方向両外側に隙間をあけて形成された一対の補助パッド１２と、流出側に設けられた１個の空気軸受面になり得る浮上用パッド１３（以後、流出パッドという）と、を含んで構成される。補助パッド１２は、空気流流入方向に沿って延びる細い（流入パッド１１よりも幅が狭い）短冊状に形成されている。流出パッド１３の流出端側側面に再生用ＭＲヘッドのＭＲ素子の露出部と記録用電磁誘導型磁気ヘッドのギャップ部から構成する記録再生素子１ｂが、スライダ１の流出端側側面に磁気ヘッド１ｃ及び接続端子１ｄが、それぞれ設けられている。
【００１４】
スライダ１は、一対の流入パッド１１の間の凹部１４、流入パッド１１と補助パッド１２の間の凹部１４１、１４２にそれぞれ異なる負圧力の浮上力が発生する負圧力利用型スライダである。凹部１４の両側には流入パッド１１によりスライダを浮上させる正圧力の浮上力が発生するので、負圧力と正圧力との和の浮上力と押付荷重が釣り合い、安定した浮上姿勢を保つことができる。
【００１５】
図２、図３、図４にそれぞれ本実施の形態の磁気ヘッドスライダの流入パッド１１と補助パッド１２と流出パッド１３の立体斜視図を示す。これら各パッドのディスク停止時に媒体面と接触するパッド面１１２（以後、コンタクト面と記する）は、スライダのステップ面１１４から段差δs（ステップ深さ）だけ高くなっており、コンタクト面１１２から段差δr（リセス深さ）だけ低い位置にリセス面１１６が形成されている。前記凹部１４、１４１、１４２の底面は、リセス面１１６となっている。また、流入パッド１１の後端外側から流出側に延びるサイドレール１１７がステップ面１１４と同じ高さに形成され、補助パッド１２の後端からもステップ面１１４と同じ高さのサイドレール１１７が流出側に向かって細長く形成されている。ステップ面１１４とコンタクト面１１２の間の壁面が段差部１１３をなし、ステップ面１１４とリセス面１１６の間の壁面が段差部１１５をなしている。
【００１６】
流入パッド１１のコンタクト面１１２の流入側先端は、スライダのステップ面１１４の流入側先端からＬ１１１だけ後退した位置にあり、補助パッド１２のコンタクト面１１２の流入側先端は、スライダのステップ面１１４の流入側先端からＬ１２１だけ後退した位置にある。Ｌ１２１をほぼ０にするかもしくはＬ１２１＜Ｌ１１１とすることによって、スライダ１の流入端が媒体面と接触した場合、必ず補助パッド１２のコンタクト面１１２から接触し、流入パッド１１のコンタクト面１１２は接触しない。
【００１７】
また、補助パッド１２のコンタクト面１１２のスライダ前後方向長さＬ１２２をＬ１１１より大きくすることによって、補助パッド１２のコンタクト面１１２の加工ばらつきによる浮上ばらつきを小さくできる。
【００１８】
また、スライダ１は、凹部１４、１４１、１４２の大きさを変えて凹部１４、１４１、１４２に発生する負圧力をそれぞれ異なる大きさとしている。ローリング方向の浮上姿勢は媒体面に対して平行にする必要があるため、凹部１４１の大きさが凹部１４２に比べて大きい場合、凹部１４１の両側に設けた流入パッド１１のコンタクト面１１２、補助パッド１２のコンタクト面１１２の大きさは大きく、凹部１４２の両側に設けた流入パッド１１のコンタクト面１１２、補助パッド１２のコンタクト面１１２の大きさは小さくしている。
【００１９】
本実施の形態の磁気ヘッドスライダ及びその支持体の効果を図７、図８、図９を用いて説明する。
【００２０】
本実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上走行時の側面図を図７の（ａ）に、正面図を図７の（ｂ）に、それぞれ示す。ディンプル２３は、荷重用ビーム部２１から押し付けられた荷重Ｆをスライダ１に負荷させる荷重作用点として作用する。ディンプル２３はまた、そこを支点として、スライダ１を並進(上下)、ピッチング(前後)、ローリング(シーク)方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように設けられている。荷重作用点であるディンプル２３の位置（Ｘｐ，Ｙｐ）は、ピッチング方向に対してはＸｐ＝ｘｐ／Ｌ、ローリング方向に対してはＹｐ＝ｙｐ／ｗの無次元化した値として表わす。ただし、ｘｐはスライダ１の流入端とディンプル２３との距離、ｙｐはスライダ１の幅方向の端とディンプル２３との距離、Ｌはスライダ１の長手方向（流入方向）の長さ、ｗはスライダ１の幅方向（流入方向に直交する方向）の長さである。
【００２１】
スライダ１は、磁気ディスク回転時、ディンプル２３の位置で押付荷重Ｆと各パッドに発生する正圧力の総和Ｑ1と凹部から発生する負圧力の総和Ｑ2とが釣り合い、ピッチング方向、ローリング方向の浮上姿勢を表わすピッチング姿勢角度θp、ローリング姿勢角度θr、流入端浮上量ｈ１、流出端浮上量ｈ２を一定に保ちながらディスク面上で安定浮上している。ピッチング姿勢角度θpは、スライダ長手方向断面におけるコンタクト面１１２と媒体面がなす角度であり、ローリング姿勢角度θrは、スライダ幅方向断面におけるコンタクト面１１２と媒体面がなす角度である。
【００２２】
また、凹部１４１から発生する負圧力をＱ2in、凹部１４１の両側に設けた流入パッド１１のコンタクト面１１２及び補助パッド１２のコンタクト面１１２から発生する正圧力をＱ1in、凹部１４１から発生する負圧力をＱ2 in、凹部１４２の両側に設けた流入パッド１１のコンタクト面１１２及び補助パッド１２のコンタクト面１１２から発生する正圧力をＱ1out、凹部１４２から発生する負圧力をＱ2out、とすると、Ｑ2inとＱ2outは異なるが、Ｑ2in−Ｑ1in及びＱ2out−Ｑ1outはほぼ同じ値になっている。
【００２３】
本実施の形態の磁気ヘッドスライダのアンロード時の側面図を図８の（ａ）に、正面図を図８の（ｂ）に、それぞれ示す。アンロードの過程で、タブ２４を持ち上げ、ディンプル２３とスライダ１とが離れ、フック２５は荷重用ビーム部２１と接触した状態でスライダを媒体面上から引き離す時、スライダに作用する外力は負圧力Ｑ2in、Ｑ2outのみである。本実施の形態のスライダ１は、このようにローリング方向に負圧力の大きさに勾配をもつために、スライダ１のローリング姿勢角度θrが大きくなり、フック２５と接触するタイミングがずれる。つまり、２つあるフック２５が２つ同じではなくひとつづつ接触するため、アンロードが容易になる。
【００２４】
図９の（ａ）、（ｂ）に本実施の形態の磁気ヘッドスライダのロード時の側面図を示す。ロードの過程で、タブ２４を持ち上げ、ディンプル２３とスライダ１とが離れ、フック２５は荷重用ビーム部２１と接触した状態で、スライダを高速で回転している媒体面上に高速で降ろす時、スライダと媒体間に十分に空気膜が形成されず、スライダに浮上力が作用していない場合、流出パッド流出端が媒体面と接触した後、その接触力及び摩擦力によるモーメントによってスライダが前のめりになり、流入パッド流入端が媒体面と接触する可能性がある。本実施の形態のスライダ１は、前のめりになっても補助パッド１２から接触し、流入パッド１１は接触しない。したがって、空気流が流入パッド１１の浮上面に流入し、浮上力が確保されるために、正常な浮上量に回復し、瞬時に安定浮上する。
【００２５】
図９の（ｃ）に従来技術の磁気ヘッドスライダのロード時の側面図を示す。従来のスライダ１の流出パッド流出端が媒体面と接触したのち、その接触力および摩擦力によるモーメントによって前のめりになったとき、浮上用パッド１１の流入端が媒体面と接触する。その結果、空気流が浮上面に流入しないため、浮上力が確保されず、前のめりになったまま、浮上用パッド１１の流入端が媒体面と連続接触してしまう。
【００２６】
図１１に、本実施の形態の磁気ヘッドスライダの別の浮上面形状（以後、ＡＢＳ１と記する）を、図１０に、従来の磁気ヘッドスライダの浮上面形状（以後、ＡＢＳ０と記する）を示す。
【００２７】
図１２に、浮上面形状ＡＢＳ１と浮上面形状ＡＢＳ０を用いて、ディスク定格回転時の、ディスク最内周、中周、最外周条件の流出端浮上量ｈ２を高度０ｍ及び高度３０００ｍについて計算した結果を示す。計算は、押付荷重Ｆ２６．５ｍＮ、ディンプル位置Ｙp０．５を一定とし、浮上面形状ＡＢＳ１では、ステップ深さδsとリセス深さδrとの比δs／δr：０．１５及びディンプル位置Ｘp：０．５の場合、δs／δr：０．１２３及びＸp：０．０８５の場合、浮上面形状ＡＢＳ０では、δs／δr：０．１５、ディンプル位置Ｘp：０．５の場合、の３種類について行なった。
【００２８】
図１２に示されるように、本発明の実施の形態である浮上面形状ＡＢＳ１を備えたスライダのディスク最内周から最外周までの浮上量変化及びスライダ周辺の気圧変化による浮上量変化については、本発明のスライダは従来のスライダと同程度に小さい。特に、浮上面形状ＡＢＳ１の、δs／δr＝０．１５でＸp＝０．０８５の場合、気圧変化による浮上量変化は０．３ｎｍ以下になる。また、浮上面形状ＡＢＳ１でＸp＝０．０８５の場合、スライダ１が前方に傾斜して媒体面と接触したとき、補助パッド１２から接触し、浮上用パッド１１は接触しないため、空気流が浮上面に進入し、浮上力が確保され、正常な浮上量に回復する。
【００２９】
図１３の（ａ）に従来の浮上面形状ＡＢＳ０、図１３の（ｂ）に本発明の実施の形態の浮上面形状ＡＢＳ１についての、前記計算での最内周条件における圧力分布を示す。矢印が空気流流入方向を示し、紙面から盛り上がって見える部分が正圧力を示す。図示のように、ＡＢＳ１の凹部１４２に負圧力が発生している。
【００３０】
図１４に本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。本実施の形態の浮上面形状は、補助パッド１２のコンタクト面１１２長手方向中心線（云いかえるとコンタクト面１１２の長手方向側面）を、図１４に示すように、スライダの流入側端部に角度αをなすように傾けて設けたものである。この結果、補助パッド１２のコンタクト面１１２の長手方向の空気流入側の側面が、スライダ１の流入側の幅方向両端の角に対向するようになり、補助パッド１２のコンタクト面１１２の幅方向端部の一方はスライダの流入端に平行し、他方はスライダの空気流入方向に平行になる。そして、補助パッド１２のコンタクト面１１２のスライダの流入端に平行な端部は、浮上用パッド１１の流入側端部よりもスライダの流入端に近い位置にあり、スライダの空気流入方向に平行な端部は、浮上用パッド１１の幅方向外側端部よりも外側に位置する。また、凹部１４１、１４２の大部分は、図１４に示すように、補助パッド１２よりも、空気流下流側方向に位置するようになる。
【００３１】
スライダが前のめりになったとき、補助パッド１２のコンタクト面１１２の先端が媒体面に接触するが、スライダが前のめりになったとき、スライダは同時にローリング方向にも傾斜する。したがって、前記第１の実施の形態の場合、補助パッド１２のコンタクト面１１２の先端部外側のコーナー部が媒体面と点で接触する惧れがある。
【００３２】
前記角度αは、スライダがローリング方向に傾斜しつつ前のめりになり、補助パッド１２のコンタクト面１１２のコーナー部が媒体面と接触した時、点でなく線で接触するような角度に設定してある。補助パッド１２がこのような位置、方向に配置されているので、スライダがローリング方向に傾斜しつつ前のめりになったとき、補助パッド１２のコンタクト面１１２は、その側辺（長軸に沿う辺）の線で媒体面と接触する。このため、コンタクト面１１２のコーナ部が点で接触した時に比べて接触面積が大きくなり、接触応力が小さくなる。したがって、媒体面に致命的な損傷を与えない。また、補助パッド１２のコンタクト面１１２の周縁をラッピング加工して、コンタクト面１１２と段差１１３がなす角部を面取りすることにより、さらに、媒体面に対して与える損傷を低減させることができる。
【００３３】
図１５に本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。本実施の形態のスライダ１は、浮上用パッド１１を流入側に一つ設け、この浮上用パッド１１のスライダの幅方向両外側に、浮上用パッド１１との間に隙間をあけて一対の短冊状の補助パッド１２を形成し、流出側に浮上用パッド１３を一つ設けて構成されている。この構成のスライダ１が図１に示す第１の実施の形態のスライダと異なるのは、第１の実施の形態の２つの流入パッド１１がつながって１個になっている点であり、本実施の形態のスライダ１は第１の実施の形態のスライダと同様な効果がある。
【００３４】
図１６に本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。本実施の形態のスライダ１は、浮上用パッド１１を流入側に一つ設け、この浮上用パッド１１のスライダの幅方向両外側に、浮上用パッド１１との間に隙間をあけて一対の短冊状の補助パッド１２を形成し、流出側両外側に一対の浮上用パッド１３を設けて構成されている。本実施の形態のスライダ１も、第１の実施の形態のスライダと同様な効果がある。
【００３５】
図１７に本発明の第５の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。図１７の（ａ）は本実施の形態の浮上面形状の平面図を示し、図１７の（ｂ）は、図１７の（ａ）のＡ−ＡＡ線矢視断面を示す。本実施の形態は、第１の実施の形態の浮上面形状において、流入パッド１１の両側に設けた短冊状の補助パッド１２のコンタクト面１１２に微小突起部１２ａを形成して、コンタクト面１１２の面粗さを、流入パッド１１のコンタクト面１１２の面粗さに比べて大きくしたものである。微小突起部１２ａの高さＨ１２ａをステップ面１１４からの高さと定義すると、Ｈ１２ａ≦δsである。この構成により、補助パッド１２が媒体面と接触したとき、真実接触面積が小さくなるため、接触力および摩擦力、それらによるモーメントが小さくなる。このため、平滑媒体との接触によるスライダ振動は低減され、スライダおよび媒体面が致命的な損傷を受けることがなくなる。
【００３６】
図１８の（ａ）〜（ｄ）に前記第５の実施の形態の磁気ヘッドスライダの微小突起部１２ａのリソグラフィ技術を応用した作成方法の１例を示す。
（ａ）まず、浮上用パッド１１および補助パッド１２を形成した磁気ヘッドスライダの浮上面（コンタクト面１１２およびステップ面１１４）にフォトレジスト１２ｂを塗布し、マスク１２ｃを重ねて露光する。
（ｂ）露光後、マスク１２ｃを外して現像し、感光しない部分（補助パッド１２のコンタクト面１１２）のフォトレジスト１２ｂを除去する。
（ｃ）イオンビームエッチングを行なう。現行のスライダ材にはアルミナチタンカーバイドが使われている。イオンビームエッチングにより、軟質なアルミ相が多くエッチングされ、硬質なチタンカーバイド相が微小突起部１２ａとして残る。エッチング時間によって微小突起部１２ａの高さＨ１２ａを制御する。
（ｄ）フォトレジスト１２ｂを除去する。
【００３７】
図１９の（ａ）、（ｂ）に、本発明の参考例１の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。図１９の（ａ）は本参考例の浮上面形状の平面図を示し、図１９の（ｂ）は、図１９の（ａ）のＢ−ＢＢ線矢視断面を示す。本参考例の浮上面形状は、第１の実施の形態の浮上面形状において、流出パッド１３の両側に補助パッド１５を設け、この補助パッド１５のコンタクト面１１２に微小突起部１５ａを形成して、コンタクト面１１２の面粗さを、流入パッド１１のコンタクト面１１２の面粗さに比べて大きくしたものである。微小突起部１５ａの高さＨ１５ａをステップ面１１４からの高さと定義すると、Ｈ１５ａ≦δsである。この構成により、補助パッド１２が媒体面と接触したとき、真実接触面積が小さくなるため、接触力および摩擦力、それらによるモーメントが小さくなる。このため、磁気的スペーシング（記録再生素子１ｂから媒体内の磁性膜までの距離）を増加しなくても、平滑媒体との接触によるスライダ振動は低減され、スライダおよび媒体面が致命的な損傷を受けることがなくなる。
【００３８】
図２０に、本発明の参考例２の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。本参考例の浮上面形状は、第１の実施の形態の浮上面形状において、流出パッド１３の流出端の両端コーナ部に補助パッド１６を設け、この補助パッド１６のコンタクト面１１２に微小突起部１６ａを形成して、コンタクト面１１２の面粗さを、流入パッド１１のコンタクト面１１２の面粗さに比べて大きくしたものである。微小突起部１６ａの高さＨ１６ａをステップ面１１４からの高さと定義すると、Ｈ１６ａ≦δsである。この構成からなる本参考例のスライダ１の効果は、参考例１の効果と同じである。図２０のＢ−ＢＢ断面は、図１９の（ｂ）と同じである。
【００３９】
図２１に、本発明の第６の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す。本実施の形態の浮上面形状は、図１４に示す第２の実施の形態の浮上面形状において、流入パッド１１の両側に設けた補助パッド１２のコンタクト面１１２に微小突起部１２ａを形成して、コンタクト面１１２の面粗さを、流入パッド１１のコンタクト面１１２の面粗さに比べて大きくしたものである。微小突起部１２ａの高さＨ１２ａをステップ面１１４からの高さと定義すると、Ｈ１２ａ≦δsである。この構成からなる本実施の形態のスライダ１の効果は、第５の実施の形態の効果と同じである。
【００４０】
上記各実施の形態は、スライダの流入パッド１１を２個もしくは１個、流出パッド１３を１個、それぞれ備えたものであるが、本発明は、流入パッド１１を１個、流出パッド１３を２個としたスライダに対しても同様に適用できる。この場合も、流入パッド１１の両側に間隔をおいて補助パッド１２を配置すればよい。この場合も、補助パッド１２の流入側先端とスライダの流入側先端の距離を、流入パッド１１の流入側先端とスライダの流入側先端の距離よりも小さくするのが望ましい。
【００４１】
なお、前記各実施の形態においてスライダの両側に配置した補助パッドの幅や長さは、前記図７を用いて説明した条件が満たされていれば、必ずしも同一である必要はなく異なっていても差し支えない。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダのアンロードを容易にでき、かつロード時に流入パッド流入端が媒体面と接触した場合においても正常な浮上量に回復し、瞬時に安定浮上することができる。したがって、高信頼性化、高記録容量化に優れた磁気ヘッドスライダ及びその支持体及び磁気ディスク装置を提供するのに効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す立体斜視図である。
【図２】図１に示す磁気ヘッドスライダの流入パッドの立体斜視図である。
【図３】図１に示す磁気ヘッドスライダの補助パッドの立体斜視図である。
【図４】図１に示す磁気ヘッドスライダの流出パッドの立体斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの支持体の立体斜視図である。
【図６】図５に示す磁気ヘッドスライダの支持体の平面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダおよびその支持体の浮上走行時の側面図と正面図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダおよびその支持体のアンロード時の側面図と正面図である。
【図９】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダおよびその支持体と、従来技術の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の、ロード時の側面図である。
【図１０】従来の磁気ヘッドスライダの浮上面形状ＡＢＳ０を示す図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの別の浮上面形状ＡＢＳ１を示す図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態に係る磁気ヘッドスライダの浮上面形状ＡＢＳ１と従来技術の浮上面形状ＡＢＳ０の浮上量計算結果を対比して示す図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状ＡＢＳ１の、浮上時における圧力分布を示す図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図１５】本発明の第３の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図１６】本発明の第４の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図１７】本発明の第５の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図および断面図である。
【図１８】図１７に示す磁気ヘッドスライダの微小突起部の形成方法を示す断面図である。
【図１９】本発明の参考例１の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図および断面図である。
【図２０】本発明の参考例２の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図２１】本発明の第６の実施の形態の磁気ヘッドスライダの浮上面形状を示す平面図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置を示す平面図および側面図である。
【符号の説明】
２  支持体
３  磁気記録媒体
１１  流入パッド
１２  補助パッド
１２ａ  微小突起部
１３  流出パッド
１４  負圧力が発生する凹部
１５  補助パッド
１５ａ  微小突起部
１６  補助パッド
１６ａ  微小突起部
２１  荷重用ビーム部
２２  ジンバル部
２３  ディンプル
２４  タブ
２５  フック
３０  支持アーム
３１  磁気記録媒体３を回転させる駆動部
３２  支持アームの駆動部
３４  記録再生信号処理回路
１１２  コンタクト面
１４１、１４２  負圧力が発生する凹部
【図１】
0003921584.tif 000002
【図２】
0003921584.tif 000003
【図３】
0003921584.tif 000004
【図４】
0003921584.tif 000005
【図５】
0003921584.tif 000006
【図６】
0003921584.tif 000007
【図７】
0003921584.tif 000008
【図８】
0003921584.tif 000009
【図９】
0003921584.tif 000010
【図１０】
0003921584.tif 000011
【図１１】
0003921584.tif 000012
【図１２】
0003921584.tif 000013
【図１３】
0003921584.tif 000014
【図１４】
0003921584.tif 000015
【図１５】
0003921584.tif 000016
【図１６】
0003921584.tif 000017
【図１７】
0003921584.tif 000018
【図１８】
0003921584.tif 000019
【図１９】
0003921584.tif 000020
【図２０】
0003921584.tif 000021
【図２１】
0003921584.tif 000022
【図２２】
0003921584.tif 000023