(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも二つの工程からなる一連の工程において電極基板が工程装置間の搬送を必要とする平面表示装置の製造方法において、前記電極基板が持ち運び可能な搬送器具に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載され、この搭載状態で、前記電極基板の、前記工程装置間における搬送及び前記工程装置による加工が行われることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記一連の工程中の少なくとも二つの工程において電極基板と各工程装置との位置合わせを必要とする請求項１に記載の平面表示装置の製造方法において、前記一連の工程の前段階に前記電極基板と前記搬送器具とが所定の位置関係に位置合わせされてから前記搭載が行われ、位置合わせを必要とする前記各工程において前記持ち運び可能な搬送器具が前記各工程装置に対して位置合わせされた状態に配置されることにより前記電極基板と前記各工程装置とが位置合わせされた状態に配置されることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の平面表示装置の製造方法において、前記搬送器具と前記各工程装置とが嵌合又は当接することにより両者が位置合わせされた状態に配置されることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の平面表示装置の製造方法において、バキュームチャックにより前記電極基板が前記搬送器具に搭載されることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項５】
請求項３に記載の平面表示装置の製造方法において、前記搬送器具が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具を備え、前記電極基板が前記圧締具の圧締により前記搬送器具に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載されることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の平面表示装置の製造方法において、前記圧締が前記圧締具に備えられたバネにより行われることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項７】
請求項２に記載の平面表示装置の製造方法において、電極基板及び、前記搬送器具の搭載部を一部に含んでなる電極基板載置台の所定位置に位置合わせマークが設けられ、目視により前記両位置合わせマークの指示位置を合わせることにより、前記電極基板と前記搬送器具との位置合わせがなされることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の平面表示装置の製造方法において、前記電極基板が光透過性であり、電極基板を前記電極基板載置台に対して水平移動させることにより電極基板上の位置合わせマークと前記載置台の上の位置合わせマークとが重ね合わせられることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の平面表示装置の製造方法において、前記電極基板は電極端子を含み、前記電極端子と前記位置合わせマークが同一工程で形成されて成る光不透明材料から成ることを特徴とする平面表示装置の製造方法。
【請求項１０】
平面表示装置の製造に用いる表示パネル又はその電極基板の持ち運び可能な搬送器具であって、この搬送器具と電極基板とを位置合わせした後に電極基板を脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載するための搭載保持部と、位置合わせを必要とする工程に係る工程装置と嵌合又は当接することにより、前記電極基板と前記工程装置とを位置合わせされた状態に配置するための嵌合当接部とを備えることを特徴とする搬送器具。
【請求項１１】
請求項１０に記載の搬送器具において、前記搭載保持部がバキュームチャックを備えることを特徴とする搬送器具。
【請求項１２】
請求項１１に記載の搬送器具において、前記バキュームチャックが、電極基板を搭載する搭載部中に設けられ、電極基板を下方から吸引することを特徴とする搬送器具。
【請求項１３】
請求項１０に記載の搬送器具において、前記搭載保持部が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具からなることを特徴とする搬送器具。
【請求項１４】
請求項１０に記載の搬送器具において、この搬送器具を人の手で掴んで持ち上げるための取手が備えられることを特徴とする搬送器具。
【請求項１５】
一連の工程中の少なくとも二つの工程において電子デバイス又は光デバイスが各工程装置との位置合わせを必要とし、かつ工程装置間に搬送されることを必要とする電子デバイス又は光デバイスの製造方法において、前記一連の工程の前段階において電子デバイス又は光デバイスが持ち運び可能な搬送器具に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載され、このとき前記電子デバイス又は光デバイスと前記搬送手段とが位置合わせされ、前記位置合わせを必要とする各工程において前記搬送器具と前記工程装置とが嵌合又は当接により所定位置関係に配置されることにより、前記電子デバイス又は光デバイスと前記工程装置とが位置合わせされた状態に配置されることを特徴とする電子デバイス又は光デバイスの製造方法。
【請求項１６】
請求項１５記載の電子デバイス又は光デバイスの製造方法において、前記搬送器具が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具を備え、前記電極基板が前記圧締具の圧締により前記搬送手段に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載されることを特徴とする電子デバイス又は光デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ノートＰＣ、ＴＶモニター等に用いられる平面表示装置の製造方法及びそのための表示パネル搬送器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の平面表示装置の製造方法及び装置について、図１１〜１４に基づいて説明する。
【０００３】
平面表示装置の表示領域をなす表示パネルは、２枚の絶縁基板の間に、外部からの制御に従って光の透過又は反射の程度を調整することのできる複数の画素を備えてなるものである。多数の加工工程により各絶縁基板の片面に電極領域、カラーフィルター等が形成され、その後液晶物質等をサンドイッチ状に挟むセル構造体即ち表示パネルが形成される。次いで、さらに多数の工程を経て、表示パネルの端縁部には駆動回路等が電気的に接続される。
【０００４】
このように平面表示装置の製造のためには、表示パネル及び絶縁基板が多数の加工工程及び工程装置で処理されなければならない。
【０００５】
まず、従来の技術における、表示パネル又は絶縁基板と工程装置の加工部との位置合わせについて図１１〜１２の概念図を用いて説明する。以下の説明では表示パネルを液晶セルとする。
【０００６】
図１１は粗い位置合わせについて示す。液晶セル１０１がローラーコンベアー１０３上を搬送され又は作業者の手で運ばれて工程装置の加工ステージ１３４上に搬入されるが、このときガイドローラー１３２に案内されて液晶セル１０１の外端縁とガイドピン１３３とが当接するまで押し込まれる。このような突き当てにより、粗い位置合わせが行われる。位置合わせの精度は約０．３ｍｍ又はこれより粗いものである。ガイドピンの寸法及び突き当ての精度を向上したとしても、液晶セル１０１に用いられるガラス基板の寸法精度にばらつきがある、更にはガラス基板の端縁と電極端子との位置精度にばらつきがあるため、より精度の高い位置合わせを行うことは困難であるからである。又、ガイドピン１３３について寸法精度を確保するために比較的剛直な材料で構成するならば突き当ての際にガラス基板の端縁を破損することがあった。
【０００７】
図１２は精密な位置合わせについて示す。精密な位置合わせはＣＣＤカメラ１０６及びＮＣ（数値制御）テーブル１０３を備えた画像処理装置により行われる。
【０００８】
略長方形の角部に位置合わせマーク１１１を備えた液晶セル１０１がＮＣテーブルに載置される。この位置合わせマーク１１１がＣＣＤカメラ１０６の視野に入った場合に、画像処理制御装置により位置ずれの向き及び距離が算出されて位置合わせに必要なＮＣテーブル１０３の動きが算出される。これに従いモータードライバ１３０によりＮＣテーブル１０３が駆動され、液晶セル１０１が位置合わせされる。２台のＣＣＤカメラ１０６を用いると、精密な位置合わせが可能で、通常０．０１〜０．０２ｍｍ（１０〜２０μｍ）程度、最も粗い場合にも約０．０５ｍｍ（５０μｍ）の精度が容易に得られる。この様な精密な位置合わせは例えば後述するＴＣＰ仮圧着工程において必要とされる。
【０００９】
従来の技術では、必要な精度が０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍである場合（例えば後述のＡＣＦ加熱工程）に適した簡易な位置合わせ方法がなく、この場合にも高価な画像処理装置を用いると設備投資が過大となり設備の変更も容易でなかった。
【００１０】
次に従来の技術における平面表示装置の製造工程の流れについて、液晶セルにＴＣＰ（Tape  Carrier  Package、ＴＡＢとも呼ばれる）を装着するための一連の工程を例にとり説明する。図１３に工程図を示す。
【００１１】
ＴＣＰは、液晶セルに駆動電圧等を供給するための駆動ＩＣがフレキシブル基板上に搭載されて成る。
【００１２】
液晶セルにＴＣＰを取り付ける工程は、図示のようにＡＣＦ（Anisotropic  conductive  film）貼り付け、ＡＣＦ加熱、ＴＣＰ仮圧着、ＴＣＰ本圧着及びＰＣＢ（プリント基板）のはんだ付けの５工程からなり、各工程において上記の粗い位置合わせが行われる。工程間で次の装置への移送が液晶セル単独でゴムローラー又は手作業により搬送されるため繰り返し位置合わせの操作を行う必要があった。
【００１３】
上記５工程中にあって精密な位置合わせを必要とするＴＣＰ仮圧着工程の位置合わせ操作に関しても以下に説明する問題点があった。
【００１４】
図１４に示すように、液晶セル１０１は、仮圧着装置のセル載置台１６３上に搬入され、このときに粗い位置合わせが行われる。液晶セル１０１がセル載置台１６３から手前に棚状に突き出すように載置される。この棚状部分の下方には２台のＣＣＤカメラが設置されており、セル載置台１６３の後方には光源１６０、２台のモニターディスプレイ１６１が備えられている。
【００１５】
まず、液晶セル１０１端縁部のＴＣＰ取付位置の両端の端子が各々２台のＣＣＤカメラの視野に入るかどうかモニターディスプレイ１６１で確かめられ視野に入らない場合には、粗い位置合わせを繰り返すことになる。次に、セル載置台１６３に備えられたピッチ送りプレート１６２により両端端子部がそれぞれのＣＣＤカメラの視野の中心付近に来るよう調節される。
【００１６】
ＴＣＰは、ＴＣＰ用ＮＣテーブル上に回動自在に取り付けられたＴＣＰ取付アーム１１３の先端にセットされてその回動により液晶セル１０１の端縁部まで運ばれる。次いで、ＴＣＰ端子部の両端と液晶セルの取付位置の両端端子とが画像処理装置の指令によるＴＣＰ用ＮＣテーブルの動きにより精密に位置合わせされる。そして、精密な位置合わせをモニターディスプレーで確認した後に加圧ヘッドがＴＣＰ圧着部にあてがわれる。
【００１７】
このような位置合わせ方法では、それぞれの液晶セル１０１に対して上記粗い位置合わせによる０．３ｍｍ程度の位置合わせの後、０．０１〜０．０２ｍｍ（１０〜２０μｍ）程度の精度をもつ高機能の装置により更に位置合わせを行うため、その処理時間が長くなる。又、精密な位置合わせ装置のＣＣＤカメラの視野を大きくとる必要がある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
上記の様な従来の技術では、表示パネルと工程装置の加工部との粗い位置合わせを、各工程において繰り返し行わなければならないため、それだけ工程ステップ及び工程時間が増大する。
【００１９】
また、精密な位置合わせまで必要が無い場合にも画像処理装置といった複雑で高価な装置を用いるため位置合わせに関連した設備費用が過大となっていた。画像処理装置が何らかのトラブルで停止した場合には復旧に手間取りこの間に製造工程の流れが停止する。
【００２０】
また、粗い位置合わせが表示パネルの外端縁とガイドピンとの突き当てによって行われるため、特にガラス製の表示パネルの場合にその端縁部が破損することがあり、破損すると再利用できないため生産コストの上昇を招く。また、基板の幅が変更された場合には、搬送を停止しガイドローラー又はその幅設定を変更する必要があるため、生産効率向上の妨げとなっていた。
【００２１】
本発明は、上記問題点に鑑み、平面表示装置の製造効率を向上させるとともに設備投資を少なく抑えることのできる製造方法及び装置を提供するものである。また、基板の幅等の仕様が変化しても連続して製造を行うことのできるものを提供する。
【００２２】
本発明は、また、表示パネル又はその電極基板の搬送を安全かつ簡便に行うことが出来、工程装置との嵌合又は当接により位置合わせ状態に係る所定の位置関係を再現できる表示パネル搬送器具をも提供するものである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の平面表示装置の製造方法によれば、少なくとも二つの工程からなる一連の工程において電極基板が工程装置間の搬送を必要とする平面表示装置の製造方法において、前記電極基板が搬送手段に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載され、この搭載状態で、前記電極基板の、前記工程装置間における搬送及び前記工程装置による加工が行われることを特徴としている。
【００２４】
上記構成により、電極基板の搬送が容易であり、工程装置の電極基板加工台への搬入及び加工台からの搬送が容易である。又、搬送の際の破損を防止することができる。
【００２５】
請求項２記載の平面表示装置の製造方法によれば、前記一連の工程中の少なくとも二つの工程において電極基板と各工程装置との位置合わせを必要とする請求項１に記載の平面表示装置の製造方法において、前記一連の工程の前段階に前記電極基板と前記搬送手段とが所定の位置関係に位置合わせされてから前記搭載が行われ、位置合わせを必要とする前記各工程において前記搬送手段が前記各工程装置に対して位置合わせされた状態に配置されることにより前記電極基板と前記各工程装置とが位置合わせされた状態に配置されることを特徴としている。
【００２６】
上記構成により、繰り返し位置合わせを行った場合に要する工程設備及び工程時間を不要とする。したがって、製造時間及び設備投資を少なくすることができる。
【００２７】
請求項３記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項２に記載の平面表示装置の製造方法において、前記搬送手段と前記各工程装置とが嵌合又は当接することにより両者が位置合わせされた状態に配置されることを特徴としている。
【００２８】
上記のような構成により、搬送手段と工程装置との位置合わせが搬送操作とほぼ同時に完了する。
【００２９】
請求項４記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項３に記載の平面表示装置の製造方法において、バキュームチャックにより前記電極基板が前記搬送手段に搭載されることを特徴としている。
【００３０】
バキュームチャックを用いるため脱着が極めて容易であり、電極基板の片面だけを用いて搬送手段に固定することができるため、他面の全面を用いて加工又はその検査を行うことができる。
【００３１】
請求項５記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項３に記載の平面表示装置の製造方法において、前記搬送手段が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具を備え、前記電極基板が前記圧締具の圧締により前記搬送手段に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載されることを特徴とする。
【００３２】
請求項６記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項５に記載の平面表示装置の製造方法において、前記圧締が前記圧締具に備えられたバネにより行われることを特徴とする。
【００３３】
上記のような構成により、搬送器具に対して圧縮空気もしくは減圧空気の配管ホースまたは電気配線コードを接続する必要がない。したがって、配管ホースまたは配線コードに制限されることなく自由に移送することができる。
【００３４】
請求項７記載の平面表示装置の製造方法によれば、電極基板と工程装置との位置合わせを必要とする平面表示装置の製造方法において、電極基板及び電極基板載置台の所定位置に位置合わせマークが設けられ目視により両位置合わせマークの指示位置を合わせることにより位置合わせがなされることを特徴としている。
【００３５】
上記のような構成により、表示パネルの５０〜１００μｍ程度の精度の位置合わせが簡便、確実かつ迅速に行うことができる。
【００３６】
請求項８記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項２に記載の平面表示装置の製造方法において、電極基板及び電極基板載置台の所定位置に位置合わせマークが設けられ、目視により前記両位置合わせマークの指示位置を合わせることにより、前記電極基板と前記搬送手段との位置合わせがなされることを特徴としている。
【００３７】
請求項９記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項８に記載の平面表示装置の製造方法において、前記電極基板載置台の少なくとも一部が前記搬送手段の少なくとも一部であることを特徴としている。
【００３８】
上記の様な構成により、位置合わせされた位置関係のまま搭載することが容易に行え、位置合わせ操作から搬送操作への移行が極めて容易である。
【００３９】
請求項１０記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項７又は８に記載の平面表示装置の製造方法において、前記電極基板が光透過性であり、電極基板を前記電極基板載置台に対して水平移動させることにより電極基板上の位置合わせマークと前記載置台の上の位置合わせマークとが重ね合わせられることを特徴としている。
【００４０】
請求項１１記載の平面表示装置の製造方法によれば、請求項７に記載の平面表示装置の製造方法において、前記電極基板は電極端子を含み、前記電極端子と前記位置合わせマークが同一工程で形成されて成る光不透明材料から成ることを特徴としている。
【００４１】
請求項１２記載の搬送器具によれば、平面表示装置の製造に用いる表示パネル又はその電極基板の搬送器具であって、この搬送器具と電極基板とを位置合わせした後に電極基板を脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載するための搭載保持部と、位置合わせを必要とする工程に係る工程装置と嵌合又は当接することにより、前記電極基板と前記工程装置とを位置合わせされた状態に配置するための嵌合当接部とを備えることを特徴としている。
【００４２】
請求項１３記載の搬送器具によれば、請求項１２に記載の搬送器具において、前記搭載保持部がバキュームチャックを備えることを特徴としている。
【００４３】
請求項１４記載の搬送器具によれば、請求項１３に記載の搬送器具において、前記バキュームチャックが、電極基板を搭載する搭載部中に設けられ、電極基板を下方から吸引することをを特徴としている。
【００４４】
請求項１５記載の搬送器具によれば、請求項１２に記載の搬送器具において、前記搭載保持部が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具からなることを特徴としている。
【００４５】
請求項１６記載の搬送器具によれば、請求項１２に記載の搬送器具において、この搬送器具を人の手で掴んで持ち上げるための取手が備えられることを特徴としている。
【００４６】
請求項１７記載の電子デバイス又は光デバイスの製造方法によれば、一連の工程中の少なくとも二つの工程において電子デバイス又は光デバイスが各工程装置との位置合わせを必要とし、かつ工程装置間に搬送されることを必要とする電子デバイス又は光デバイスの製造方法において、前記一連の工程の前段階において電子デバイス又は光デバイスが搬送手段に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載され、このとき前記電子デバイス又は光デバイスと前記搬送手段とが位置合わせされ、前記位置合わせを必要とする各工程において前記搬送手段と前記工程装置とが嵌合又は当接により所定位置関係に配置されることにより、前記電子デバイス又は光デバイスと前記工程装置とが位置合わせされた状態に配置されることを特徴としている。
【００４７】
請求項１８記載の電子デバイス又は光デバイスの製造方法によれば、請求項１７記載の電子デバイス又は光デバイスの製造方法において、前記搬送手段が、電極基板を搭載する搭載部と、前記搭載部とともに電極基板を挟持するための圧締具を備え、前記電極基板が前記圧締具の圧締により前記搬送手段に脱着可能かつ位置ずれ不能に搭載されることを特徴とする。
【００４８】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施例を図１〜７に基づき説明する。
【００４９】
図１に、本実施例に係る液晶セル１の搬送器具２及び位置合わせ用ステージ３を示す。
【００５０】
略長方形の液晶セル１は、その四隅には１ｍｍの長さを持つ略十字形の位置合わせマーク１１を有する。この位置合わせマーク１１は液晶セル１の電極基板における電極端子の形成と同一マスクで形成された光不透過な金属薄膜から成るものであるため、電極端子に対する位置関係は精密かつ一定である。この実施例では略十字形の位置合わせマーク１１を用いたが、各種マークが使用できる。
【００５１】
搬送器具２は、扁平な直方体からなる搭載部２ａを有し、この搭載部２ａの一側面から接続口２４を介して可撓性のバキューム配管２２が接続されている。また、搭載部２ａの上面にはバキュームチャック２１が複数個開口し、バキューム配管２２からの吸引力によって搭載部２ａの上面に搭載する液晶セル１を吸引して固定する。さらに、搭載部２ａの上面端部からは逆Ｌ字状の取手２３が突出して、搬送器具２を作業者の手で持ち運び可能となっている。
【００５２】
位置合わせ用ステージ３は、液晶セル１より縦横の寸法が大きい略長方形の厚板からなり、その上面に液晶セル１の位置合わせマーク１１に対応したφ１．２ｍｍの黒色リング状で、その内部は例えば白色に着色された位置合わせマーク３１が埋め込まれている。ここでは、位置合わせマーク１１との関係、加工精度及び位置合わせの容易性等を考慮して位置合わせマーク３１をリング状としたが、位置合わせマーク１１との関係で各種形状が使用でき、また高いコントラストが得られるように種々着色してかまわない。
【００５３】
そして、搬送器具２の外面と嵌合し搬送器具２を収納する搬送器具受入部３２を有し、搬送器具２がこのように嵌挿されたときに、搬送器具２の上面と位置合わせ用ステージ３の上面とが連続した平面を形成する。搬送器具２と位置合わせ用ステージ３の嵌合をさらに確実にするために、搬送器具受入部３２の底面には円筒状突起３３が、対応する搬送器具２の底面にはこれに嵌合する円筒状凹部２４がそれぞれ２個設けられる。
【００５４】
図２及び３を用いて本実施例における、液晶セル１と位置合わせ用ステージ３及び搬送器具２との位置合わせ操作について説明する。
【００５５】
搬送器具２が嵌挿された略水平の位置合わせ用ステージの上面に、液晶セルが作業者によって載置され、このとき肉眼目視により液晶セルの位置合わせマーク１１の位置及び位置合わせ用ステージの位置合わせマーク３１の位置が確認され、その位置ずれが認識される（図２）。液晶セル１が透明であり、マーク１１は不透明、マーク３１は黒色リング内が白色に着色されてコントラストの良い色彩で明瞭にマーキングされているため、作業者は容易に位置ずれを認識できる。作業者は、両手で素早く液晶セル１の位置を補正し、位置合わせマーク３１内に位置合わせマーク１１が納まるようにする。数時間のトレーニングを経た作業者であれば、１〜３秒程度の作業時間内に０．０５〜０．０７ｍｍ（５０〜７０μｍ）、更には０．０３ｍｍ（３０μｍ）の精度で位置合わせ操作を行うことができる。
【００５６】
上記のような位置合わせ方法であると、精密な位置合わせに用いる高価で複雑な装置を用いることなく、安価で信頼性の高い装置でもって５０〜１００μｍ精度の位置合わせが迅速に達成される。
【００５７】
位置合わせマークは、色彩及び形状が上記のようであるのが好ましいが、例えばくさび形の組み合わせその他の位置指定に適した形状でも良く、濃紺等の他のコントラストの強い色彩であっても良い。
【００５８】
上記位置合わせの完了後直ちに搬送器具２のバキューム機構を作動させてバキュームチャック２１により液晶セル１を搬送器具２の搭載部２ａに固定する。この状態で取手２３を掴み液晶セル１を搭載した搬送器具を工程装置にまで搬送する。
【００５９】
工程装置４０のセルステージ４の上面は、図４の例に示すように前記位置合わせ用ステージ３上面の形状と合同形状に形成され、受入部４２及び円柱突起４３によって、搬送された搬送器具２と嵌合する。液晶セル１と搬送器具２との所定の位置関係は上記位置合わせがなされたときの状態に保持されているため、工程装置のセルステージ４に搬送器具２が嵌挿されると搬送器具２上の液晶セル１はセルステージ４上の所定位置に配置される。すなわち、液晶セル１と工程装置４０とが位置合わせ（５０〜１００μｍ精度）された状態に配置される。
【００６０】
このような位置合わせ方法を、ＴＣＰ仮圧着工程のための精密な位置合わせの前の予備位置合わせとする場合について図５を用いて説明する。５０〜１００μｍ精度の位置合わせが既になされているため、視野の狭いＣＣＤカメラ６を用いても液晶セル１の端子群１５の両端がＣＣＤカメラ６の視野から外れることはなく、ＣＣＤカメラ等を用いた液晶セル１とのセルステージ４との位置合わせが不要になるためそれだけ位置合わせが迅速に行える。ＴＣＰアームによりＴＣＰ１３が搬送された後に両端子群１５，１６についての精密な位置合わせのみを行えば足りる。
【００６１】
次に本実施例における平面表示装置の製造工程図について、液晶表示パネルにＴＣＰを装着する一連の工程を例にとり説明する。まず、図６の模式図でこの一連の工程について概念的に示す。
【００６２】
第１工程において、粗い位置合わせが行われてからテープ状のＡＣＦ１２（Anisotropic  conductive  film）が液晶セル１の縁部上面の接続端子部に貼り付けられ、第２工程において、ヒーターツール４１の当接によりＡＣＦ１２が加熱される。第３工程及び第４工程において、ＴＣＰ１３の仮圧着及び本圧着が行われる。仮圧着は単なる加圧ヘッドにより、本圧着はパルス電流により制御されるヒーターツール５１により行われる。最後に第５工程においてＴＣＰ１３とドライバーＰＣＢ１４とのはんだ付けが別のヒーターツール４１の熱圧により行われる。ＰＣＢ１４には予めはんだがプレソルダーとして塗布されている。
【００６３】
上記一連の工程に係る本実施例の工程図を図７に示す。
【００６４】
上記の５工程の前段階で上記のような本実施例の方法による位置合わせ操作が行われ、ＡＣＦの貼り付け及び加熱、ＴＣＰの仮圧着及び本圧着、ならびにＰＣＢはんだ付けの各工程においては同様の位置合わせを行わない。より高い精度が要求されるＴＣＰ仮圧着及びＰＣＢはんだ付け工程においてだけ画像認識及びＮＣテーブルによる精密な位置合わせを行う。液晶セルは、一連の工程を経た後に搬送器具から取り外される。
【００６５】
本実施例の製造方法によると、一連の工程の前段階でだけ位置合わせ操作を行えば足り、各工程ではより高い精度を要求する位置合わせ以外の位置合わせ操作を行う必要がない。そのため、ほぼ同一精度の位置合わせ操作を繰り返し行う従来の技術に比べて、一連の工程のための装置及び時間を節減できる。
【００６６】
本実施例において、搬送器具を透明材料で構成するならば、搬送器具に装着したまま液晶セルの画素の点灯テストを行うことも可能である。
【００６７】
本実施例においては、目視下に手で触れてずらすことにより位置合わせを行ったが、必要な精度又は作業者のレベルにより実体顕微鏡での観察下に行うこともでき、マイクロメーター式の螺圧式機構による押圧や位置調整つまみを備えた可動ステージにより行うこともできる。又、自動アライメント装置を用いることもでき、この場合にも一連の工程に対して１回の使用で足りるため、繰り返し自動アライメント装置を用いる従来の方法に比べて有利である。
【００６８】
図８には、搬送器具２及びセルステージの形状の異なる第１の変形例について示す。ＡＣＦ加熱用の工程装置４０が載置された台は右側に張り出して、位置合わせ作業スペースが設けられている。この作業スペースには、位置合わせステージ兼用の搬送器具である搬送盤２５１が載置される。搬送盤２５１は上面にバキュームチャックを備え、工程装置４０からのバキューム配管２２が接続している。上記実施例と同様、液晶セル１位置合わせマーク１１が搬送盤２５１の位置合わせマーク２６１に重ねられると、バキュームチャックされる。搬送盤２５１の左右の端部には取手２３が備えられ、作業員が両手で持ち上げることができる。又、搬送盤２５１の下面には、工程装置４０のセルステージ４に設けられた左右二つの円柱形突起４３と嵌合する円柱形凹部を備える。
【００６９】
図８では搬送盤２５１が工程装置４０に付属しているように描かれているが、上記の実施例と同様に、搬送盤２５１が一連の工程を通して用いられることもできる。
【００７０】
この変形例によっても、位置合わせが簡便、確実かつ迅速に行われる。
【００７１】
図９には、第２の変形例を示す。第１の変形例におけるセルステージ４に嵌合用の突起４３が設けられる代わりに、前後両端にガイドレール５２ａ、５２ｂが設けられ奥側のすなわち加工部側のガイドレール５２ａには位置合わせ線５３が引かれている。本変形例における搬送盤２５１は第１の変形例と同様のものにあって、底面に嵌合用凹部が設けられる代わりに前後の端面の精度が採られており、奥側の端縁部上方には位置合わせ線２７１が引かれている。
【００７２】
液晶セル１を位置合わせされた状態に固定して搭載した搬送盤２５１がガイドレール５２ａ、５２ｂの間にセットされる。そしてガイドレール側及び搬送盤側の位置合わせ線２７１，５３が互いに位置合わせされる。本変形例によっても、上記の実施例及び変形例とほぼ同様に位置合わせが簡便、確実かつ迅速に行われる。
【００７３】
なお、図９に示された装置はＴＣＰ本圧着装置５０であり、シリンダー５５を備えた加圧ヘッド５１及びパルス電源５４が描かれているが、液晶セル１に対する加圧ヘッド５１の位置をずらして複数回圧着する必要がある場合には、搬送盤２５１に第２、第３の位置合わせ線２８１を設けるだけで良い。
【００７４】
本変形例において、ガイドレール５２を前後の工程装置へと延在し、搬送盤２５１がガイドレールに案内されて工程装置間を搬送される構成とすることも出来る。
【００７５】
本発明の第２の実施例を図１０に基づき説明する。
【００７６】
本実施例においては、第１の実施例と同様の構成において、搬送器具２として図１０に示すようなものを用いた。
【００７７】
本実施例における搬送器具２は、扁平な直方体からなる搭載部２ａと、搭載部２ａの上面端部から逆Ｌ字状に突出するクランプ棒保持部材２６とからなる。
【００７８】
そして、クランプ棒保持部材２６には、搭載部２ａに搭載された液晶セル１を上方から圧締し搭載部２ａとともに液晶セル１を挟持するための２本の垂直のクランプ棒２５が設けられている。垂直に配されたクランプ棒２５，２５の上部は、クランプ棒保持部材２６の水平部分の通孔に挿通され上下動可能に案内されている。２本のクランプ棒２５の下部は１枚の水平板２９を貫通し、この水平板２９とクランプ棒２５，２５とは互いに上下動不能に接続されている。クランプ棒２５，２５にはコイルバネ２８が巻き付けられ、クランプ棒保持部材２６の水平部分と水平板２９との間で圧縮されて保持されている。このコイルバネ２８によりクランプ棒２５はクランプ棒保持部材２６から下方へと付勢され、搭載部２ａに搭載された液晶セル１を上方から圧締する。クランプ棒２５の下面２５ａにはゴムシートが貼り付けられていて、液晶セル１の損傷及び横ずれを防止する。
【００７９】
二つのクランプ棒２５から略等距離の位置にはボルト２７が配され、クランプ棒保持部材２６に設けられたネジ孔と水平板２９に設けられた孔とを挿通する。ボルト２７は、クランプ棒２５を引き上げるためのもの、すなわち、液晶セル１に対する圧締状態を解除するためのものである。ボルト２７の上端にはボルト２７を手で回転するための回転レバー２７ａが設けられる。ボルト２７の下端の、水平板２９より下方に突き出る部分にはフランジ２７ｂが取り付けられ、回転レバー２７ａの回転によりボルト２７が引き上げられると、このフランジ２７ｂの上面が水平板２９の下面と係合するようになる。ボルト２７が逆方向の回転により引き下げられると、ボルト下端のフランジ部分２７ｂと水平板２９との係合は解消され、コイルバネ２８のバネ力が液晶セル１に作用し圧締状態となる。
【００８０】
クランプ棒保持部２６の垂直部分は、取手２３をなしており、搬送器具２を作業者の手で容易に持ち運べるようにする。
【００８１】
また、位置合わせ操作の完了後には、直ちに搬送器具２の回転レバー２７ａを回転してクランプ棒２５、２５を引き下げる。これによりクランプ棒２５、２５がコイルバネ２８のバネ力で液晶セル１を圧締し、液晶セル１を搬送器具２の搭載部２ａに固定する。
【００８２】
本実施例においては、位置ずれ防止のための圧締がコイルバネのバネ力により行われるため、搬送器具に対して圧縮空気もしくは減圧空気の配管ホースまたは電気配線コードを接続する必要がない。したがって、配管ホースまたは配線コードに制限されることなく自由に移送することができ、また、一時収納や搬送を行うための棚や箱に自由に収納することができる。
【００８３】
また、液晶セルを圧締する圧力は、作業者や作業回数によってばらつくことがなく、バネの設定により常に一定とすることができる。したがって、位置ずれ防止の信頼性が確保されるとともに、過剰な圧締力による液晶セルの損傷も確実に防止されている。
【００８４】
本実施例において液晶セルを挟持するための圧締とその解除とはボルトの回転により行ったが、長尺のてこ及びその係止具により行うこともできる。
【００８５】
また、機械的なバネに代えて空気ばねを用いることもでき、圧縮空気による駆動シリンダーを用いて圧締及びその解除を行うこともできる。
【００８６】
搬送器具２を持ち運ぶための取手は、別途、適当な形状のものを搭載部２ａまたはクランプ棒保持部２６に取り付けることもできる。
【００８７】
【発明の効果】
本発明の平面表示装置の製造方法であると、一連の工程の前段階で予め位置合わせを行うと、より高い精度を要求する位置合わせ以外には位置合わせ操作を各工程で行う必要がない。
【００８８】
本発明の製造方法により表示パネルの位置合わせを行うならば、精密な位置合わせに用いるような複雑で高価な装置を用いることなく、５０〜１００μｍ精度の位置合わせが確実かつ迅速に達成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の搬送器具及び位置合わせ用ステージを示す斜視図である。
【図２】位置合わせマークの重ね合わせを模式的に示す斜視図である。
【図３】位置合わせ用ステージ上における液晶セルの位置合わせ操作を模式的に示す斜視図である。
【図４】工程装置に対する液晶セルの搬送及び配置ついて模式的に示す斜視図である。
【図５】ＴＣＰ仮圧着工程における精密な位置合わせについて模式的に示す斜視図である。
【図６】液晶セルに対するＴＣＰの取付及び接続のための一連の工程について概念的に示す模式図である。
【図７】実施例におけるＴＣＰの取付及び接続のための一連の工程についての工程図である。
【図８】第１の変形例における工程装置と液晶セルとの位置合わせについて模式的に示す斜視図である。
【図９】第２の変形例における工程装置と液晶セルとの位置合わせについて模式的に示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施例の搬送器具及び位置合わせ用ステージを示す斜視図である。
【図１１】従来の技術における液晶セルの粗い位置合わせについて模式的に示す斜視図である。
【図１２】従来の技術にける精密な位置合わせについて模式的に示す斜視図である。
【図１３】従来の技術におけるＴＣＰの取付及び接続のための一連の工程についての工程図である。
【図１４】ＴＣＰ仮圧着工程について模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
１  液晶セル
11  液晶セル側の位置合わせマーク
２  搬送器具
21  バキュームチャック
22  バキューム配管
23  取手
25  クランプ棒
26  クランプ棒保持部材
27  ボルト
27a  回転レバー
28  コイルバネ
29  水平板
2a  搭載部
３  位置合わせ用ステージ
31  ステージ側の位置合わせマーク
32  搬送器具受入部
33  嵌合用突起
４  工程装置のセルステージ
42  搬送器具受入部
43  嵌合用突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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