(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
４つの磁気抵抗素子を有するブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に作用する磁界を発生させる磁界発生手段とを有する角度センサの温度情報検出装置において、
前記ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段と、
前記ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに取得する温度情報検出手段と、
を備えたことを特徴とする角度センサの温度情報検出装置。
【請求項２】
４つの磁気抵抗素子を有する構成されたブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に作用する磁界を発生させる磁界発生手段と、前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリッジ回路と前記磁界との相対的な位置についての情報を検出する位置情報検出手段とを備えた位置検出装置において、
前記ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段と、
前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度情報を取得する温度情報検出手段と、
温度情報検出手段が取得した温度情報をもとに検出した位置について補正する補正情報を生成する温度補正手段と
を備えたことを特徴とする位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置に関し、特に流量制御弁の弁開度の制御に用いて好適な角度センサの温度情報検出装置、およびその温度情報検出装置を用いた位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流量制御弁においてはその弁開度を角度センサで検出し、前記検出した弁開度と外部から与えられた弁開度設定値とをもとに弁開度制御装置であるポジショナー本体で弁開度の制御量を演算し、前記制御量に応じて弁開度が前記弁開度設定値に一致するように自動調整している。
【０００３】
図３は、従来の流量制御装置を示す構成図であり、図において、５１は流量制御弁、５２は空気アクチュエータ５３と流量制御弁５１とを固定するヨーク、５４は前記空気アクチュエータ５３により駆動される弁駆動軸、５５は前記弁駆動軸５４の所定位置に突設されたピンである。５６は前記ヨーク５２の一部に固定された角度センサであり、流量制御弁５１の弁開度すなわちバルブ位置に応じた位置信号を出力するものである。このような角度センサとしては、例えば特開平１１−８３４２２号公報に開示された構造のものが用いられる。また、この角度センサ５６は複数の磁気抵抗素子がブリッジ回路の形態に組まれ、一方の相対する二つの端子に入力電圧が印加され、また他方の相対する二つの端子を出力端子とする構成である。
【０００４】
５７は前記流量制御弁５１のバルブ位置に応じた開度情報を前記角度センサ５６へ入力するためのフィードバックレバーであり、角度センサ５６の回転軸へ一方の端が固定されている。また、このフィードバックレバー５７にはスリット５７ａが形成されており、そのスリット５７ａに前記ピン５５が摺動可能に係合しており、弁駆動軸５４の往復運動を回転運動に変換する。５８は前記弁開度制御装置であるポジショナー本体であり、ヨーク５２に固定されたケースの中に角度センサ５６と共に収められている。５９は温度情報検出用のセンサであり、前記ポジショナー本体５８を構成する基板上に配置されている。このポジショナー本体５８には空気アクチュエータ５３を作動させるための制御空気の源となる圧搾空気が外部から送り込まれており、また、離れた位置にあるコントローラから通信により弁開度設定値が送られてくる。また、このポジショナー本体５８には、角度センサ５６から出力された前記流量制御弁５１のバルブ位置に応じた位置信号が入力される。
【０００５】
次に動作について説明する。
ポジショナー本体５８においては、角度センサ５６により検出された流量制御弁５１のバルブ位置に応じた位置信号を、外部から与えられた弁開度設定値と比較し、この比較結果に応じて圧搾空気から生成した制御空気を空気アクチュエータ５３へ送り込み、空気アクチュエータ５３により弁駆動軸５４を駆動し、流量制御弁５１のバルブ位置が前記外部から与えられた弁開度設定値に一致するように制御し、流体の流量制御を行う。
【０００６】
また、ポジショナー本体５８においては、流量制御弁５１により流量制御される流体の温度が常温と大きく異なっているような場合、熱伝導によって流量制御弁５１からヨーク５２を介してポジショナー本体５８および角度センサ５６自体の温度が影響を受けて常温と大きく異なることになり、角度センサ５６を構成している磁気抵抗素子の温度特性の変化により該角度センサの出力が変動する。このため、ポジショナー本体５８の基板上に配置されたサーミスタなどの温度補償用の温度センサ５９による検出信号に基づいて、前記角度センサ５６の出力の変動を補償するための温度特性補償演算を行うようになっている。例えば、特開平１１−１９４１６０号公報に開示された磁気抵抗素子用増幅回路を用いることができる。なお、この場合、ポジショナー本体５８と角度センサ５６とが同一ケース内に設置されているために、このケース内の温度は一様になっているとみなすことができる。また、温度センサ５９はポジショナー本体５８に搭載されている回路素子の温度補償にも兼用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の構成においては、ポジショナー本体５８と角度センサ５６とが同一のケースに収められて、ヨーク５２に固定されており、ケース内の温度を計るために温度センサ５９が必要であった。また、設置環境によってはポジショナー本体５８のみを分離して、別の場所へ設置したいという要請がある。ところがポジショナー本体５８が角度センサ５６と分離された構造においては、前記温度センサ５９で検出する温度はポジショナー本体５８の基板上の温度であり、設置場所の異なる角度センサ５６の温度と同じとはみなすことができない。
【０００８】
そのため、ポジショナー本体５８が角度センサ５６と分離された構造において、前記温度補償用のセンサ５９と同様な温度センサ（図示せず）を角度センサ５６の磁気抵抗素子により構成されるブリッジ回路近傍に新たに配置する必要が生じる。そうすると角度センサ５６から出力される流量制御弁５１のバルブ位置に応じた位置信号をポジショナー本体５８へ伝達するためのケーブルと、新たに設けた温度センサから出力される角度センサ５６近傍の温度情報をポジショナー本体５８へ伝達するためのケーブルとがそれぞれ必要になり温度センサも２つ必要になるので構成が複雑化するという課題があった。
【０００９】
また、角度センサ５６から送られてきた前記位置信号や、前記温度補償用のセンサ５９から出力される温度情報などについてポジショナー本体５８で行う信号処理は、前記位置信号や温度情報をＡ／Ｄ変換器によりアナログ信号からディジタル信号へ変換し、ディジタル信号処理により行う場合が一般的になっていることから、Ａ／Ｄ変換する入力信号の種類が多くなることはチャネル数の多いＡ／Ｄ変換器を用いることになって、コスト的に高価になるという課題もあった。
【００１０】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、温度センサを別途設けることなく、角度センサの温度を直接的に求めることが可能になる角度センサの温度情報検出装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る角度センサの温度補償装置は、ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段と、前記ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに取得する温度情報検出手段とを備えるようにしたものである。
好ましくは、温度情報検出手段は、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度に応じた温度情報を取得することを特徴とする。
【００１２】
この発明に係る位置検出装置は、ブリッジ回路に定電流を供給する定電流供給手段と、前記ブリッジ回路のブリッジ中点電位をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度情報を取得する温度情報検出手段とを備えるようにしたものである。
好ましくは、温度情報検出手段は、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果をもとに前記ブリッジ回路周囲の温度情報を取得することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態について説明する。
実施の形態１．
この実施の形態１では、流量制御弁の弁開度を定電流が供給された角度センサの出力をもとに検出する。そして、前記検出した弁開度と外部から与えられた弁開度設定値とをもとに、前記流量制御弁の弁開度が前記弁開度設定値に一致するように自動調整する。さらにこのときの温度補償を、温度センサを別途設けることなく前記角度センサの出力を利用して行う。
【００１４】
図１は、この実施の形態１による角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置が適用される、ポジショナー本体が角度センサと分離された構造の流量制御弁を示す構成図である。前述の従来例図３と比較すると、図１に示す本発明の実施の形態では、ポジショナー本体８のケースが角度センサ６のケースから分離して設けられている点およびポジショナー本体８の内部の構成が異なるが、その他の構成のおいては一致している。図において、１は流量制御弁、３は空気アクチュエータ、２は流量制御弁１と空気アクチュエータ３とを互いに結合固定するヨーク、４は前記空気アクチュエータ３により直線的に駆動される弁駆動軸である。弁駆動軸４の上下動の位置に応じて流量制御弁１の弁開度が変化し、液体の流量が調整される。５は前記弁駆動軸４の所定位置に突設されたピン、６は前記ヨーク２の一部に固定された角度センサであり、流量制御弁１の上下動の位置すなわち弁開度に応じた位置信号を出力する。また、この角度センサ６は複数の磁気抵抗素子がブリッジ回路の形態に組まれ、一方の相対する二つの端子に対しては定電流供給手段から定電流が供給され、また他方の相対する二つの端子を出力端子とする構成である。
【００１５】
７は流量制御弁１のバルブ位置に応じた角度に角度センサ６の回転軸を回転させるためのフィードバックレバーであり、角度センサ６の前記回転軸へ一方の端が固定されている。また、このフィードバックレバー７にはスリット７ａが構成されており、そのスリット７ａに前記ピン５が摺動可能に係合している。このフィードバックレバー７と、そのスリット７ａに弁駆動軸４のピン５が係合する機構により、弁駆動軸４の直線的な往復動が、角度センサ６の前記回転軸の回転運動に変換される。
【００１６】
図４は角度センサを示す要部斜視図である。図示しない取付手段に固定された角度センサ４０は、磁路形成体６５に取付けた磁石６１，６３を配置し、この磁路形成体６５の中央を回転軸６７に固定している。ここで角度センサ４０はその両方向に印加される磁力線の方向がその面内において変化すると抵抗値が変化する機能を有する磁気センサである。また両磁石６１，６３のＮ，Ｓ極は、その磁力線が角度センサ４０の両面に対して平行に入射するように配置されている。そして回転軸６７を回転すると、磁路形成体６５と共に両磁石６１，６３が角度センサ４０の周囲を回転し、これによって角度センサ４０に入射される磁力線の方向が変化して該角度センサの抵抗値が変化し、回転軸６７の回転角度が検出できる。
【００１７】
図５は磁気抵抗素子４０を示す平面図である。この磁気抵抗素子４０は、ジグザグに形成された４つの磁気抵抗素子パターンｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４のジグザグ方向が交互に直交するように点対称に基板４９上に形成されている。そして例えば図５に示す矢印Ａ方向に磁界が印加されると、これに平行な磁気抵抗素子パターンｒ１，ｒ４の抵抗値は最大となり、同時にこれに垂直な磁気抵抗素子パターンｒ２，ｒ３の抵抗値は最小となる。また図５に示す矢印Ｂ方向に磁界が印加されるとこれと逆になる。これら４つの磁気抵抗素子パターンｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４にて図２に示したブリッジ回路１３を構成すると共に、磁気抵抗素子４０の一方の相対する２端子５１，５５に入力電流を印加し、他方の相対する２端子５３，５７を出力端子としている。そして例えば図４に示すように、前記磁気抵抗素子４０の両側に永久磁石６１，６３を配設して該永久磁石６１，６３を固定した磁路形成体６５の回転軸６７を回転すれば、両永久磁石６１，６３が磁気抵抗素子４０の周囲を回転して各磁気抵抗素子パターンｒ１〜ｒ４の抵抗値が変化する。
【００１８】
８は前記弁開度制御装置であるポジショナー本体である。このポジショナー本体８には空気アクチュエータ３を作動させるための制御空気の源となる圧搾空気が外部から送り込まれており、また、遠隔位置にあるコントローラから通信により弁開度設定値が送られてくる。また、角度センサ６の前記ブリッジ回路の前記入力端子に電力供給を行うと共に前記出力端子からの出力であるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が入力される。
なお、本発明とは直接関係しないが、ポジショナー本体８は、上記遠隔のコントーラーと、４−２０ｍＡ電流伝送方式により通信を行うと共に、遠隔のコントローラーから電力供給を受けている。このような回路（図示せず）の温度特性を補償するために温度センサ９が設けられている。
【００１９】
図２は、この実施の形態１による角度センサ６の温度情報検出装置および位置制御装置を含む流量制御弁１の弁開度を制御するためのシステム構成図である。なお、図２において図１と同一または相当の個所については同一の符号を付し説明を省略する。
図において、１２は角度センサ６に作用する磁界を発生させる磁界発生手段であり、例えば永久磁石であり、磁気抵抗素子により構成された前記ブリッジ回路に対し相対的に回転可能に構成されている。１３は角度センサ６の前記ブリッジ回路であり、一方の相対する辺には磁気抵抗素子１４，１７が配置され、他方の相対する辺には磁気抵抗素子１５，１６が配置されている。また、一方の相対する二つの端子に定電流供給手段２０から定電流が供給され、また他方の相対する二つの端子が出力端子となる。
【００２０】
この角度センサ６では、磁界発生手段１２が発生させた磁束が各磁気抵抗素子１４，１５，１６，１７と交差する角度に応じて、それら各磁気抵抗素子の抵抗値が変化し、このときのブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が前記出力端子から取り出される。このため、前記磁界発生手段１２が前記ブリッジ回路１３に対して流量制御弁１の弁開度に応じて相対的に回転するような機構を設けておく。この機構は、角度センサ６の回転軸に一端が固定されたフィードバックレバー７と、そのスリット７ａに弁駆動軸４のピン５が係合する構成であり、これにより弁駆動軸４の直線的な往復動が角度センサ６の前記回転軸の回転運動に変換され、磁界発生手段１２が前記ブリッジ回路１３に対し相対的に回転する。
【００２１】
ポジショナー本体８は、４−２０ｍＡ通信線を介して外部から電力供給を受けると共に、外部との通信を行う。信号変換手段２９は、４−２０ｍＡ入力信号から通信用の信号を取り出すものである。図２においては、設定値ＳＰが取り出されて制御手段２６に与えられる。また、定電圧発生源２８は４−２０ｍＡ入力信号から定電圧Ｖｃｃの電源を作り出すものである。図示は省略してあるが、ポジショナー本体内８内部にある電気的な構成は、定電圧発生源２８からの電力供給を受けて動作するものである。定電流供給手段２０は、角度センサ６のブリッジ回路１３に定電流を供給するものである。具体例としては差動アンプの出力をブリッジ回路１３の一端に与え、他端Ａを差動アンプの反転入力側へフィードバックすると共に、差動アンプの非反転側には基準電圧Ｖｒを入力する構成を採る。電流Ｉｃはブリッジ回路１３および抵抗器Ｒｃを通って接地されるので、ブリッジ回路１３と抵抗器Ｒｃとの接続Ａ（差動アンプの反転入力）の電位はＲｃ・Ｉｃである。差動アンプはこの接地Ａの電圧を基準電圧Ｖｒに保つように出力を調整するので、Ｖｒ＝Ｒｃ・Ｉｃが成り立つ。ＶｒおよびＲｃが一定なのでＩｃも一定となる。２１はＡ／Ｄ変換器であり、角度センサ６からアナログ信号として出力された前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に変換するものである。２２は前記ディジタル信号へ変換されたブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を求めるための減算手段、２３は前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を加算するための加算手段（温度情報検出手段）である。２４は弁開度が制御される流量制御弁１のバルブ位置を前記減算手段２２の出力をもとに検出するための位置情報検出手段である。２５は前記加算手段２３の出力をもとに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度を検出し、前記検出した温度に応じて前記位置情報検出手段２４が検出した流量制御弁１のバルブ位置を補償する温度補正手段（温度情報検出手段）である。２６は前記位置情報検出手段２４が出力する流量制御弁１のバルブ位置と、外部のコントローラから与えられる流量制御弁１のバルブ位置についての外部設定値とをもとに、前記流量制御弁１のバルブ位置についての制御量を演算し制御信号として出力する制御手段である。なお、この実施の形態では２２〜２６の手段は全てＣＰＵ上で動作するプログラムによって実現されている。２７は前記制御信号をもとにノズル・フラッパー機構を制御し、圧搾空気から制御空気を生成し、空気アクチュエータ３へ供給する電空変換手段である。
【００２２】
次に動作について説明する。
角度センサ６のブリッジ回路１３を構成する磁気抵抗素子の抵抗値は、磁気抵抗素子１４，１７についてはＲ／２＋（ΔＲ・ｃｏｓ２θ）／２、磁気抵抗素子１３，１５についてはＲ／２−（ΔＲ・ｃｏｓ２θ）／２により示される。ここで、Ｒは磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値の和、ΔＲは前記磁気抵抗素子の抵抗値の最大値と最小値との差、θは磁気抵抗素子の長手方向と磁束とが交差する角度である。また、このブリッジ回路１３では、（磁気抵抗素子１４の抵抗値）＋（磁気抵抗素子１６の抵抗値）＝（磁気抵抗素子１５の抵抗値）＋（磁気抵抗素子１７の抵抗値）となっており、ブリッジ回路１３の磁気抵抗素子１４，１６により構成される回路と磁気抵抗素子１５，１７により構成される回路にはそれぞれＩｃ／２の電流が流れる。
【００２３】
この結果、角度センサ６からは、磁気抵抗素子の温度に依存する成分と、磁界発生手段１２により発生させた磁束と磁気抵抗素子とが交差する角度θに依存する成分とを含む次式により示されるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２、すなわち、Ｖ１＝（Ｒ・Ｉｃ／４）−（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４、Ｖ２＝（Ｒ・Ｉｃ／４）＋（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４で示されるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２が出力される。ここで、Ｒ・Ｉｃ／４が前記磁気抵抗素子の温度に依存する成分、（ΔＲ・Ｉｃ・ｃｏｓ２θ）／４が前記磁気抵抗素子の温度と前記磁気抵抗素子の温度と前記角度θに依存する成分である。
【００２４】
このブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２はＡ／Ｄ変換器２１によりディジタル信号に変換され、減算手段２２により前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２間の差を演算することで角度θに依存する成分を求め、この減算結果Ｖ１−Ｖ２を位置情報検出手段２４へ入力する。位置情報検出手段２４では、この減算結果Ｖ１−Ｖ２をもとに流量制御弁１の現在のバルブ位置情報を求める。
【００２５】
一方、角度センサ６から出力され、ディジタル信号に変換された前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２は加算手段２３へも供給され、加算手段２３では前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の和を演算することで角度θに依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２を求める。この角度θに依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２はＲ・Ｉｃ／２となり、前記角度θに依存せず、温度依存性のある磁気抵抗素子の平均抵抗値Ｒ／２の温度変化のみに依存する電圧値であり、前記平均抵抗値Ｒ／２に従って変化し、これは一般的な金属抵抗に定電流を流したときと見かけ上同じである。
【００２６】
この角度θに依存しない加算結果Ｖ１＋Ｖ２は温度補正手段２５へ供給され、前記電圧値Ｒ・Ｉｃ／２をもとに角度センサ６のブリッジ回路１３の温度が求められる。そして、この角度センサ６のブリッジ回路１３の温度に対応する補正値が決定される。前記補正値は、位置情報検出手段２４において流量制御弁１の現在の弁開度を求める際の補正に使用され、角度センサ６のブリッジ回路１３の温度に応じて生じる前記弁開度についての誤差を相殺する。
【００２７】
位置情報検出手段２４からは、各磁気抵抗素子の温度に応じて生じている誤差が相殺されたバルブ位置情報ＰＶが制御手段２６へ出力される。制御手段２６には、外部のコントローラから外部設定値が与えられている。制御手段では、前記外部設定値と前記バルブ位置情報ＰＶとの差をもとに制御信号を生成し、前記制御信号を電空変換手段２７へ出力する。電空変換手段２７では、前記制御信号をもとに電磁エアーバルブを制御し、別途供給されている圧搾空気から制御空気を生成し空気アクチュエータ３へ供給する。空気アクチュエータ３では前記制御空気により弁駆動軸４を押し下げ、または引き上げ、流量制御弁１のバルブ位置を前記外部設定値に対応する弁開度へ自動調整する。
【００２８】
以上のように、この実施の形態１によれば、流量制御弁１の弁開度を検出するための角度センサ６から出力されるブリッジ回路１３のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検出できるため、角度センサ６がポジショナー本体８と分離した構成の流量制御弁１に適用した場合においても、角度センサ６の温度情報を検出する温度センサを別途設けることなく、角度センサ６の温度を直接的に検出でき、ポジショナー本体８の構成としても簡略化が実現できる効果がある。また、前記温度情報を前記ポジショナー本体８へ伝達するためのケーブルが不要にでき、配線を含む構成が簡略化できる効果がある。
【００２９】
また、角度センサ６から出力されるブリッジ回路１３のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を直接検出できる構成であるため、精度の高い温度補償が実現できる角度センサの温度補償装置が得られ、また精度の高い流量制御を可能にする位置検出装置が得られる効果がある。
【００３０】
また、流量制御弁１のバルブ位置を検出するための角度センサ６から出力されるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検出できるため、ポジショナー本体８に設けられたＡ／Ｄ変換器２１は、前記ブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に変換するチャネルだけを有していればよく、従来のように角度センサ６から出力されるブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２をディジタル信号に変換するチャネルと、温度センサから出力される温度情報をディジタル信号に変換するチャネルとを必要とせず、コスト的にも安価に構成できる角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置が得られる効果がある。
【００３１】
また、流量制御弁１のバルブ位置を検出するための角度センサ６から出力されるブリッジ回路１３のブリッジ中点電位Ｖ１，Ｖ２の加算結果を利用し、前記ブリッジ回路１３の温度を検出できるため、温度センサなどのハードウェアによらず演算プログラムなどのソフトウェアのみにより処理できることから、装置としての柔軟性、汎用性が増加する効果がある。
なお、上述の実施の形態１においては、図１のごとくポジショナー本体８が角度センサ６とは別のケースに収納されて、分離配置された構成に対して本発明を適用した例を説明したが、本発明の適用範囲はこれに留まるものではない。図３のようにポジショナー本体５８と角度センサ５６とを同一ケースに配置した構成に本発明を適用すれば、角度センサ５６をより正確に計測できる。また、角度センサ５６を温度センサとしても兼用し温度センサ５９を省略することも可能である。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように、第１の発明によれば、温度センサを別途設けることなく、角度センサの磁気抵抗素子の温度情報を得ることができる効果がある。
【００３３】
第２の発明によれば、温度センサを別途設けることなく、ブリッジ回路の二つのブリッジ中点電位の加算結果から直接的に求めた温度情報をもとに前記角度センサの出力について精度の高い温度補償を行える効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１による角度センサの温度情報検出装置および位置検出装置が適用される、ポジショナー本体が角度センサと分離された構造の流量制御弁を示す構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１による角度センサの温度情報検出装置および位置制御装置を含む流量制御弁１の弁開度を制御するためのシステム構成図である。
【図３】ポジショナー本体が角度センサと分離された構造の流量制御弁を示す構成図である。
【図４】角度センサを示す要部斜視図である。
【図５】磁気抵抗素子の平面図である。
【符号の説明】
６  角度センサ
１２  磁界発生手段
１３  ブリッジ回路
２０  定電流供給手段
２３  加算手段（温度情報検出手段）
２４  位置情報検出手段
２５  温度補正手段（温度情報検出手段）
【図１】
0003877998.tif 000002
【図２】
0003877998.tif 000003
【図３】
0003877998.tif 000004
【図４】
0003877998.tif 000005
【図５】
0003877998.tif 000006