(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端にワークを加工する回転刃を備えたスピンドルを有し、前記回転刃を高速回転させてワークを所定の形状に加工するダイシング装置の前記回転刃を覆うカバーにおいて、
前記カバーにはドレス部材と当該ドレス部材を支持する支持部材とを備えたドレス手段が当該カバーに対して前記回転刃の回転軸と平行な軸で枢動するように取り付けられ、前記ドレス部材は前記回転刃に接離する方向に移動可能になっていて、切削時には前記回転刃とともに前記カバーを下降した位置にして前記支持部材を固定部材から離すことにより前記ドレス部材を前記回転刃から離れた位置にして前記ワークの加工を行い、ドレス時には前記回転刃とともに前記カバーをＺ軸に沿って上昇させて前記支持部材を前記固定部材に当接させることにより前記ドレス部材を前記回転刃の略接線付近に位置させて前記回転刃をドレスすることを特徴とするダイシング装置用カバー。
【請求項２】
前記ドレス部材は円柱形をしており、前記支持部材に対して当該円柱形の軸心を回転軸としてΘ回転可能である請求項１記載のダイシング装置用カバー。
【請求項３】
前記ドレス部材は板状体からなり、前記回転刃の回転軸と平行な軸方向に移動可能である請求項１記載のダイシング装置用カバー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置は、回転刃（ブレード）を高速回転させて半導体ウェーハをダイス状に切断する装置である。前記ブレードは、フランジカバー（カバー）によって切断部以外の部分が覆われており、また、前記フランジカバーには一対のノズルが設けられ、これらのノズルからワーク切断中のブレードの両面に向けて切削水を噴射する。
【０００３】
ブレードは使用を繰り返していると切断面が摩耗して切断性能が落ちてくるので、ブレードの切断性能を改善するために定期的にドレスという目立てを行なっている。通常、ドレスはブレードを回転させた状態でドレスボードに擦らせることによって行なう。
【０００４】
従来は、ドレスを行うためには、ワークを一旦カッティングテーブルから外し、当該カッティングテーブルにドレスボードをセットして行っており、切削工程中にはドレスを行うことはできなかった。また、切削工程中にドレスを行うために、ドレスボード用のテーブルをカッティングテーブルの近くに設置したりカッティングテーブルの端部付近に設置したりしたものもあるが、いずれもワークの切削作業を中断してブレードをドレスボードのある位置までＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に移動させなくてはならなかった。しかし、この移動を行うとカッティングラインを一旦はずすため、スピンドル位置が変わったり、カッティングテーブル位置が変わったりするので、再び切削を開始するにはＸ軸方向、Ｙ軸方向へのスピンドル位置の位置決めやカッティングテーブル位置の位置決めをやりなおす必要があり、作業的にも時間的にも大きなロスがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情を考慮し、切削工程中に、かつスピンドルやカッティングテーブルをＸ軸方向、Ｙ軸方向にあらためて位置決めすることを要しないでブレードのドレスを行うことができるダイシング装置用カバーを提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の本発明は、先端にワークを加工する回転刃を備えたスピンドルを有し、前記回転刃を高速回転させてワークを所定の形状に加工するダイシング装置の前記回転刃を覆うカバーにおいて、前記カバーにはドレス部材と当該ドレス部材を支持する支持部材とを備えたドレス手段が当該カバーに対して前記回転刃の回転軸と平行な軸で枢動するように取り付けられ、前記ドレス部材は前記回転刃に接離する方向に移動可能になっていて、切削時には前記回転刃とともに前記カバーを下降した位置にして前記支持部材を固定部材から離すことにより前記ドレス部材を前記回転刃から離れた位置にして前記ワークの加工を行い、ドレス時には前記回転刃とともに前記カバーをＺ軸に沿って上昇させて前記支持部材を前記固定部材に当接させることにより前記ドレス部材を前記回転刃の略接線付近に位置させて前記回転刃をドレスすることを特徴としている。
【０００７】
請求項１記載の本発明によれば、ドレス手段が当該カバーに対して前記回転刃の回転軸と平行な軸で枢動するように取り付けられているので、前記ドレス部材は前記回転刃に接離する方向に移動可能になっていて、ドレス時には前記回転刃の略接線付近に位置して前記回転刃をドレスし、非ドレス時には前記回転刃から離れるようになっている。このため、切削作業のときに、回転刃の位置をＺ軸方向へずらすだけで、ドレス作業のためにあらためてＸ軸方向やＹ軸方向へ変えることをしないでドレスを行うことができる。
【０００８】
請求項２記載の本発明によれば、前記ドレス部材が円柱形をしており、前記支持部材に対して当該円柱形の軸心を回転軸としてΘ回転可能であるので、当該回転によってドレスの位置を変えることができ、ドレス部材の摩耗していない部分で回転刃をドレスすることができる。
【０００９】
請求項３記載の本発明によれば、前記ドレス部材は板状体からなり、前記回転刃の回転軸と平行な軸方向に移動可能であるので、当該軸方向への移動によってドレスの位置を変えることができ、ドレス部材の摩耗していない部分で回転刃をドレスすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明の実施の形態に係るダイシング装置について詳説する。
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るダイシング装置１０の正面図である。
【００１２】
図１に示すダイシング装置１０は、図１で示すＸ方向に切削送りされるカッティングテーブル１２を有し、該カッティングテーブル１２上に接着シート１４を介して吸着されたワーク８をアライメントし、その後、高速回転するブレード１６でワーク８をダイス状に切断する装置である。そして、ワーク８の切断時には、ワーク８の加工精度を維持するために、一対の冷却水噴射ノズル３４、３４及び切削水噴射ノズル３２からワーク切断中のブレード１６の両面に向けて冷却水、切削水を吹き付けてブレード１６の冷却、洗浄を実施している。
【００１３】
図３に示すようにブレード１６の駆動モータ５４は、そのスピンドル５０の表面が先細のテーパ状に形成され、このスピンドル５０のテーパ面２６Ａにフランジ５８の内周テーパ面２８Ａが嵌入されてフランジ５８が取り付けられている。また、前記フランジ５８は、スピンドル５０に螺合されたフランジ固定用ナット７０を締め込むことによってスピンドル５０に固定されている。フランジ５８の外周部には、ドーナツ形に形成されたハブ６２が嵌入されており、このハブ６２の外周部に前記ブレード１６が固着され、ブレード１６はフランジ５８の支持面５８Ｂに当接されている。前記ハブ６２は、フランジ５８に螺合されたハブ固定用ナット６４を締め込むことによってフランジ５８に固定され、これによって、前記ブレード１６がハブ６２とフランジ５８の支持面５８Ｂとの間で挟持されて固定されている。
【００１４】
ブレード１６の駆動モータ５４は、図４に示すように、Ｚテーブル６６に吊り下げ状態で保持されている。Ｚテーブル６６は、Ｙテーブル５６に設けられたＺガイド６８、６８にガイドされ、図示しないボールスクリューとステッピングモータとによってＺ方向に駆動される。したがって、Ｚテーブル６６に取り付けられた駆動モータ５４もＺ方向に移動する。またＹテーブル５６はＹベース６１に設けられたＹガイド６０、６０にガイドされ、やはり図示しないボールスクリューとステッピングモータとによってＹ方向に駆動される。このような構成により、スピンドル５０の先端に取り付けられたブレード１６は、Ｚ方向に切込み送りされると共にＹ方向にインデックス送りされる。
【００１５】
ところで、前記ブレード１６は図１に示すように、フランジカバー１８によって切断部及びドレス部を除く部分が覆われている。フランジカバー１８は、駆動モータ５４等の固定部材に固定されている。したがって、駆動モータ５４がＺ方向に移動すると、フランジカバー１８も上下動する。スピンドル５０にはブレード１６に切削水を供給する切削水噴射ノズル３２と冷却水を供給する一対のＬ字状の冷却水噴射ノズル３４、３４が取付けブロック６５を介して設けられている。
【００１６】
また、フランジカバー１８には、ブレード１６の破損を検出する破損検出器２０が取り付けられている。
【００１７】
フランジカバー１８の頂部には取付けブロック６５側に板状の蝶番２４が取り付けられている。蝶番２４は回動部６３を介してフランジカバー１８に対して弧を描くように略上下方向に枢動するようになっている。蝶番２４の下部には直方体状の支持部材３６が取り付けられている。支持部材３６とフランジカバー１８との間にはスプリング２２が配設されていて、スプリング２２が支持部材３６をフランジカバー１８から離れる方向に付勢している。支持部材３６の下部には円柱形のロータリアクチュエータ２８が取り付けられている。ロータリアクチュエータ２８には下方に円柱形の支持棒５２が連結しており、ロータリアクチュエータ２８が支持棒５２をΘ方向に回転させるようになっている。支持棒５２の先端部には円柱ドレス３０が取り付けられている。円柱ドレス３０は円柱形のドレス棒である。蝶番２４の先端部付近の上部には、Ｙテーブル５６に取り付けられたＺ軸固定柱２６が位置している。Ｚ軸固定柱２６はフランジカバー１８の上昇により蝶番２４の上面に当接するようになっている。
【００１８】
第１の実施の形態の作用を説明する。
【００１９】
図１は第１の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置１０の正面図であり、図２は第１の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置１０の正面図である。
【００２０】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、蝶番２４の上面はＺ軸固定柱２６に当接していないので、支持部材３６はスプリング２２の付勢力によりフランジカバー１８から離れる方向に付勢されている。すると、支持棒５２、円柱ドレス３０はブレード１６から離れたところに位置する。すなわち、切削中はブレード１６のドレスは行われない。
【００２１】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇することによって蝶番２４の上面がＺ軸固定柱２６に当接し、蝶番２４は回動部６３を回動軸として下方向に弧を描きつつスプリング２２の付勢力に抗して回動する。すると、蝶番２４に固着されている支持部材３６が回動し、当該支持部材３６にロータリアクチュエータ２８を介して取り付けられている支持棒５２はブレード１６の接線方向に移動して、円柱ドレス３０がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００２２】
このドレス作業は、ブレード１６がワーク８を１ライン切削した後、ブレード１６がＺ軸方向に上昇してＹ軸方向にステップ移動しカッティングテーブル１２がＸ軸方向に戻るまでの間に行うのが一般的である。ゆえに切削工程の途中でドレス作業を行うことができ、切削工程を中断しなくて済む。ただ、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、上記Ｚ軸固定柱２６の位置を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させてＺ軸固定柱２６に当接させる。
【００２３】
なお、円柱ドレス３０のブレード１６への切り込み量は、円柱ドレス３０がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはフランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときはフランジカバー１８の上方向への移動量を大きくし、浅く切り込みたいときは移動量を小さくすればよいので、フランジカバー１８の上方向への移動量を調節することによって切り込み量を調整できる。
【００２４】
円柱ドレス３０のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、ロータリアクチュエータ２８を駆動させて支持棒５２を回転させることにより、円柱ドレス３０の別の箇所でブレード１６をドレスすることができる。これによって円柱ドレス３０の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。このロータリアクチュエータ２８はエアーで駆動させてもよく、ロータリアクチュエータ２８の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００２５】
なお、円柱ドレス３０を備えた支持棒５２は複数設けてもよい。この場合、対応する複数のロータリアクチュエータ２８を支持部材３６に装着することになるが、この複数のロータリアクチュエータ２８をＹ軸方向に沿って移動可能にさせる機構を支持部材３６に取り付けて、最適な支持棒５２を選択できるようにすることができる。
【００２６】
本発明の第２の実施の形態に係るダイシング装置８０を図５、図６を用いて説明する。第１の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００２７】
第２の実施の形態では、第１の実施の形態で用いた蝶番２４、回動部６３、スプリング２２の代わりにロータリアクチュエータ３８を使用する。
【００２８】
フランジカバー１８の頂部には取付けブロック６５側に支持部材３６がロータリアクチュエータ３８を介して取り付けられている。支持部材３６はロータリアクチュエータ３８を介してフランジカバー１８に対して弧を描くように略上下方向に枢動するようになっている。支持部材３６の下部には円柱形のロータリアクチュエータ２８が取り付けられている。ロータリアクチュエータ２８には下方に円柱形の支持棒５２が連結しており、ロータリアクチュエータ２８が支持棒５２をΘ方向に回転させるようになっている。支持棒５２の先端部には円柱ドレス３０が取り付けられている。円柱ドレス３０は円柱形のドレス棒である。
【００２９】
第２の実施の形態の作用を説明する。
【００３０】
図５は第２の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置８０の正面図であり、図６は第２の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置８０の正面図である。
【００３１】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材３６はロータリアクチュエータ３８によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、支持棒５２、円柱ドレス３０はブレード１６から離れたところに位置する。
【００３２】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、ロータリアクチュエータ３８を駆動して支持部材３６を下方向に回動させる。支持部材３６は弧を描くように回動する。当該支持部材３６にロータリアクチュエータ２８を介して取り付けられている支持棒５２はブレード１６の接線方向に移動して、円柱ドレス３０がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００３３】
本形態においても、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、ドレス時のブレード１６（フランジカバー１８）のＺ軸方向の上昇度を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させる。
【００３４】
なお、円柱ドレス３０のブレード１６への切り込み量は、円柱ドレス３０がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはロータリアクチュエータ３８の回動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときは図示しない回動量調整手段によってロータリアクチュエータ３８の回動量を大きくし、浅く切り込みたいときは回動量を小さくすればよいので、ロータリアクチュエータ３８の回動量を調節することによって切り込み量を調整できる。第２の実施の形態では、フランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量にかかわらず、切り込み量を調整できるという利点がある。なお、支持棒５２を回転させてドレスを行う場所を変えることができる点は第１の実施の形態と同様である。ロータリアクチュエータ２８、３８はエアーで駆動させてもよい。また、ロータリアクチュエータ２８の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００３５】
また、第１の実施の形態と同様に、円柱ドレス３０を備えた支持棒５２は複数設けてもよい。この場合、対応する複数のロータリアクチュエータ２８を支持部材３６に装着することになるが、この複数のロータリアクチュエータ２８をＹ軸方向に沿って移動可能にさせる機構を支持部材３６に取り付けて、最適な支持棒５２を選択できるようにすることができる。
【００３６】
本発明の第３の実施の形態に係るダイシング装置９０を図７、図８を用いて説明する。第１の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００３７】
第３の実施の形態では、第１の実施の形態で用いた蝶番２４、回動部６３、スプリング２２、円柱ドレス３０の代わりにロータリアクチュエータ４０、軸棒４８、長孔４９、平板ドレス４４を使用する。
【００３８】
フランジカバー１８の頂部付近には取付けブロック６５方向に突出した屋根部３９が形成されている。屋根部３９の先端には軸棒４８がブレード１６の回転軸と平行な軸に沿って挿通している。軸棒４８の外周にはネジ山が形成されており、挿通されている屋根部３９も軸棒４８のネジ山と螺合するようにネジ溝が形成されている。軸棒４８はさらに側面略Ｌ字形で平板状の支持部材４６に遊びをもって挿通している。支持部材４６には正面に軸棒４８が挿通するための長孔４９が形成されている。長孔４９は、軸棒４８を基に支持部材４６がブレード１６に接離する方向に枢動できるようにカーブ状に形成されている。軸棒４８の支持部材４６側の端部は抜け防止のための径大部５１が形成されている。軸棒４８には屋根部３９と支持部材４６との間に固定リング５３が固着されている。支持部材４６の上端部にはロータリアクチュエータ４０が取り付けられている。ロータリアクチュエータ４０が駆動して支持部材４６を当該ロータリアクチュエータ４０を基点にして枢動させる。
【００３９】
支持部材４６は上述のように略Ｌ字形の平板状であり、平板状の面がブレード１６の側面に向いている。当該向いている面には平板ドレス４４が装着されている。
【００４０】
第３の実施の形態の作用を説明する。
【００４１】
図７（ａ）は第３の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置９０の正面図であり、図７（ｂ）はフランジカバー１８と支持部材４６との接続部付近をブレード１６側からみた側面図である。図８は第３の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置９０の正面図である。
【００４２】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材４６はロータリアクチュエータ４０によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、平板ドレス４４はブレード１６から離れたところに位置する。
【００４３】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、ロータリアクチュエータ４０を駆動して支持部材４６をブレード１６方向に回動させる。支持部材４６はブレード１６の接線付近に移動して、平板ドレス４４がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００４４】
本形態においても、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、ドレス時のブレード１６（フランジカバー１８）のＺ軸方向の上昇度を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させる。
【００４５】
なお、平板ドレス４４のブレード１６への切り込み量は、平板ドレス４４がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはロータリアクチュエータ４０の回動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときは図示しない回動量調整手段によってロータリアクチュエータ４０の回動量を大きくし、浅く切り込みたいときは回動量を小さくすればよいので、ロータリアクチュエータ４０の回動量を調節することによって切り込み量を調整できる。なお、平板ドレス４４がブレード１６に深く切り込めるように長孔４９の孔の長さは通常の支持部材４６の移動量分よりも長めにとってある。第３の実施の形態では、フランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量にかかわらず、切り込み量を調整できるという利点がある。
【００４６】
平板ドレス４４のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、軸棒４８を回転させることにより、軸棒４８を屋根部３９に対して移動させる。支持部材４６は固定リング５３と径大部５１とで挟まれているので、軸棒４８の、屋根部３９に対する位置が変わると支持部材４６の、屋根部３９に対する位置が変わる。すなわち、支持部材４６がＹ軸方向にずれる。これによって、平板ドレス４４のドレス部分を変えることができるので、平板ドレス４４の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。
【００４７】
ロータリアクチュエータ４０はエアーで駆動させてもよい。また、ロータリアクチュエータ４０の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００４８】
本発明の第４の実施の形態に係るダイシング装置１００を図９、図１０を用いて説明する。第３の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００４９】
第４の実施の形態では、第３の実施の形態で用いたロータリアクチュエータ４０の代わりにカム機構、板ばね５５を使用する。
【００５０】
軸棒４８は側面略Ｌ字形で平板状の支持部材４６に軸棒４８が回動できるように挿通している。支持部材４６の上端部は側面視でＵ字形に溝が形成されていて、このＵ字溝の両側の支持部材４６を貫通するようにカム軸８４が取り付けられ、Ｕ字溝にカム車８２が回動可能にカム軸８４を貫通させて配設されている。屋根部３９の下側と支持部材４６のブレード１６側とを渡すように板ばね５５が取り付けられている。支持部材４６は軸棒４８を基点にして回動する。カム車８２の上方にはＺ軸固定柱４２が設けられている。Ｚ軸固定柱４２はカム車８２に向いた面に斜面が形成されている。
【００５１】
第４の実施の形態の作用を説明する。
【００５２】
図９（ａ）は第４の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置１００の正面図であり、図９（ｂ）はフランジカバー１８と支持部材４６との接続部付近をブレード１６側からみた側面図である。図１０は第４の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置１００の正面図である。
【００５３】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材４６は板ばね５５の付勢力によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、平板ドレス４４はブレード１６から離れたところに位置する。
【００５４】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる。すなわち、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、カム車８２がＺ軸固定柱４２の斜面に当り、回転しつつＺ軸固定柱４２の斜面に接しながら上がっていく。上がっていく間、支持部材４６は軸棒４８を回動点にして板ばね５５の付勢力に抗してブレード１６方向に回動する。支持部材４６はブレード１６の接線付近に移動して、平板ドレス４４がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。
【００５５】
このドレス作業は、ブレード１６がワーク８を１ライン切削した後、ブレード１６がＺ軸方向に上昇してＹ軸方向にステップ移動しカッティングテーブル１２がＸ軸方向に戻るまでの間に行うのが一般的である。ゆえに切削工程の途中でドレス作業を行うことができ、切削工程を中断しなくて済む。ただ、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、上記Ｚ軸固定柱４２の位置を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させてＺ軸固定柱４２に当接させる。
【００５６】
なお、平板ドレス４４のブレード１６への切り込み量は、平板ドレス４４がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはフランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときはフランジカバー１８の上方向への移動量を大きくし、浅く切り込みたいときは移動量を小さくすればよいので、フランジカバー１８の上方向への移動量を調節することによって切り込み量を調整できる。
【００５７】
平板ドレス４４のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、軸棒４８を回転させることにより、軸棒４８を屋根部３９に対して移動させる。支持部材４６は固定リング５３と径大部５１とで挟まれているので、軸棒４８の、屋根部３９に対する位置が変わると支持部材４６の、屋根部３９に対する位置が変わる。すなわち、支持部材４６がＹ軸方向にずれる。これによって、平板ドレス４４のドレス部分を変えることができるので、平板ドレス４４の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。
【００５８】
上述の第１、第２、第３、第４の実施の形態によれば、ブレード１６をＺ軸方向へずらすだけで、すなわち切削工程中に、ブレード１６やカッティングテーブル１２をＸ軸方向やＹ軸方向へあらためて位置決めすることをしないで、ドレスを行うことができ、ドレス作業及び切削作業が時間的にも作業的にも非常に効率よく行うことができる。
【００５９】
【発明の効果】
請求項１記載の本発明によれば、回転刃の位置をＺ軸方向へずらすだけで、すなわち切削工程中に、回転刃やカッティングテーブルをＸ軸方向やＹ軸方向へあらためて位置決めすることをせずにドレスを行うことができるので、作業的にも時間的にも非常に効率が良くなる。
【００６０】
請求項２記載の本発明によれば、ドレスするときに摩耗していないドレス面を使用することができ、回転刃を効果的にドレスできる。
【００６１】
請求項３記載の本発明によれば、ドレスするときに摩耗していないドレス面を使用することができ、回転刃を効果的にドレスできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
【図２】本発明の第１の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図３】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の側断面図
【図４】本発明の実施の形態に係るダイシング装置のＹ方向及びＺ方向の駆動機構を説明する斜視図
【図５】本発明の第２の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
【図６】本発明の第２の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図７】（ａ）は第３の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
（ｂ）はフランジカバーと支持部材との接続部付近をブレード側からみた側面図
【図８】本発明の第３の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図９】（ａ）は第４の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
（ｂ）はフランジカバーと支持部材との接続部付近をブレード側からみた側面図
【図１０】本発明の第４の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【符号の説明】
８…ワーク、１０、８０、９０、１００…ダイシング装置、１６…ブレード、１８…フランジカバー、２２…スプリング、２４…蝶番、２８…ロータリアクチュエータ、３０…円柱ドレス、３６…支持部材、３８…ロータリアクチュエータ、３９…屋根部、４０…ロータリアクチュエータ、４２…Ｚ軸固定柱、４４…平板ドレス、４６…支持部材、４８…軸棒、４９…長孔、５０…スピンドル、５２…支持棒、５４…駆動モータ、５５…板ばね、６３…回動部、８２…カム車、８４…カム軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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