(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部に排気口が設けられたチャンバーと、該チャンバーの内部に工程ガスをそれぞれ供給する原料ガス注入管、反応ガス注入管及びパージガス注入管と、前記チャンバーの内部に設けられ、薄膜が蒸着される基板を保持するとともに、所定の熱源を提供するヒーターと、前記ヒーターの上方に配置され、前記各注入管を通じて供給される工程ガスを噴射する複数の噴射孔を有するシャワーヘッドと、を備えた化学気相蒸着装置において、
前記チャンバーの上部には、外部のＲＦ電源と接続されたＲＦ電源連結部が設けられ、
前記シャワーヘッドが第１のシャワーヘッドと第２のシャワーヘッドとに分割されており、前記第１のシャワーヘッドと第２のシャワーヘッドとの間の空間に第２のバッファ部が区画され、前記第１のシャワーヘッドは前記第２のシャワーヘッドの上方に配置され、原料ガスを均一に噴射するための複数の噴射管を有し、前記第２のシャワーヘッドは前記第１のシャワーヘッドの前記複数の噴射管がそれぞれ貫通する複数の貫通孔と、ラジカルを均一に噴射するための複数の噴射孔とを有し、
前記第１のシャワーヘッドと前記チャンバーの内側面との間を絶縁する上部絶縁部が前記チャンバーの上部内側面に配置されており、
前記第１のシャワーヘッドを前記第２のシャワーヘッド及び前記チャンバーの内側面から絶縁する下部絶縁部が前記第１のシャワーヘッド上と前記チャンバーの内側面上に配置されており、
前記外部のＲＦ電源から前記第１のシャワーヘッドに電力が供給されるように、前記ＲＦ電源連結部と前記第１のシャワーヘッドの上面はＲＦロッドにより相互接続されており、
前記第２のバッファ部でプラズマを発生させ、前記複数の噴射孔から前記基板に前記ラジカルが噴射されるように構成され、
前記上部絶縁部と前記第１のシャワーヘッドとの間に区画された第１のバッファ部に原料ガスが供給され、その原料ガスが前記第２のバッファ部と接触することなく、前記複数の噴射管を通して前記基板上に噴射されるように構成され、
前記第２のシャワーヘッドが前記チャンバーと連結され、電気的に接地されていることを特徴とする化学気相蒸着装置。
【請求項２】
前記第１のバッファ部には、少なくとも一つの原料ガス注入管と、少なくとも一つのパージガス注入管が連通しており、前記第２のバッファ部には、少なくとも一つの反応ガス注入管と、少なくとも一つのパージガス注入管が連通していることを特徴とする請求項１に記載の化学気相蒸着装置。
【請求項３】
前記第１のバッファ部には、注入された原料ガスを均一に分布させるように、複数の噴射孔が形成された板が設けられることを特徴とする請求項１に記載の化学気相蒸着装置。
【請求項４】
前記複数の噴射孔と複数の噴射管が、格子状に配列されることを特徴とする請求項１に記載の化学気相蒸着装置。
【請求項５】
前記チャンバーの上部には、チャンバーの上部温度を一定に維持させるヒーターが設けられることを特徴とする請求項１に記載の化学気相蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学気相蒸着装置（Chemical Vapor Deposition Apparatus）に関し、特に、プラズマをシャワーヘッドの内部で発生させ、または外部で発生したプラズマをシャワーヘッドからチャンバーに噴射することにより、工程ガスの時分割供給時に反応ガスのラジカルを用いる化学気相蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般の化学気相蒸着装置では、低温で優れたステップカバレッジ及び膜質特性を得るために、原料ガス及び反応ガスを時分割供給する方式を採用している。以下、従来の工程ガスを時分割供給する化学気相蒸着装置について、図１乃至図３に基づいて簡単に説明する。
【０００３】
図１は、工程ガスを時分割供給する従来の化学気相蒸着装置の各構成要素を示す概略図である。図１に示すように、従来の化学気相蒸着装置は、下部に排気口１００が設けられたチャンバー１０１と、該チャンバー１０１の中央内部へ貫通してその上面に取り付けられる少なくとも一つの原料ガス注入管１０２、少なくとも一つの反応ガス注入管１０３及び少なくとも一つのパージガス注入管１０４と、複数の噴射孔１０５が設けられ、工程ガスを噴射するシャワーヘッド１０６と、該シャワーヘッド１０６により噴射される工程ガスにより薄膜が蒸着されるウエハまたは基板１０７（以下‘基板’という）を保持するとともに、所定の熱源を提供するヒーター１０８とを備えている。
【０００４】
従来の化学気相蒸着装置を用いて、基板１０７に薄膜を形成するためには、少なくとも一つの原料ガス注入管１０２を通じて流入された原料ガスを、シャワーヘッド１０６から所定時間の間噴射して基板１０７に吸着させた後、少なくとも一つのパージガス注入管１０４を通じてパージガスを所定時間の間流入させ、シャワーヘッド１０６及びチャンバー１０１に残留した原料ガスをパージさせ、排気口１００から排気させる。その後、少なくとも一つの反応ガス注入管１０３を通じ、反応ガスをシャワーヘッド１０６から基板１０７に所定時間の間噴射することにより、基板１０７に吸着した原料ガスと反応ガスが、所定の反応を経て薄膜を形成する。さらに、原料ガスを噴射する前に、所定の時間、パージガスを用いてシャワーヘッド１０６及びチャンバー１０１に残留した反応ガス及び反応副生成ガスをパージして排気させる。このように原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスの噴射及び反応ガスのパージの過程を繰り返すことにより、基板１０７に薄膜を形成している。
【０００５】
しかし、このような従来の化学気相蒸着装置を用いた技術は、蒸着速度が極めて遅いのみならず、半導体の量産工程の適用にあたって、半導体の製造コストを上昇させる要因となる。
【０００６】
図２は、工程ガスを時分割供給する従来のプラズマ化学気相蒸着装置の各構成要素を示す概略図であり、図１に示す化学気相蒸着装置の問題点を解決するように構成されている。即ち、図２に示すように、従来のプラズマ化学気相蒸着装置は、シャワーヘッド１０６にＲＦ電源連結部１０９を設けて外部のＲＦ電源１１０を連結し、ＲＦ電源１１０が印加されるシャワーヘッド１０６を電気的に絶縁するために、シャワーヘッド１０６の上部に絶縁部１１１を設け、チャンバー１０１の内部で直接プラズマが発生するようになっている。
【０００７】
即ち、図２のプラズマ化学気相蒸着装置は、図１に示すものと同様に、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスの噴射及び反応ガスのパージのような過程を繰り返す一般の工程ガスの時分割供給方式を採用しており、反応ガスの噴射時に直接チャンバー１０１の内部でプラズマを発生させ、基板１０７に吸着した原料ガスと反応ガスプラズマの反応を誘導し、より低温で速い反応速度が得られるようになっている。
【０００８】
しかし、図２のような直接プラズマ方式は、図１のような方式に比べ、相対的に低い蒸着温度で多少速い蒸着速度が得られるが、プラズマ発生初期のアークの発生とイオン衝突（Ion Bombarding）及びイオン注入（Ion Implant）による基板及び基板に形成された回路素子に損傷をもたらして歩留まりを低下させる問題点があった。
【０００９】
図３は、工程ガスを時分割供給し、外部プラズマ供給装置を用いた従来のプラズマ化学気相蒸着装置の各構成要素を示す概略図であり、シャワーヘッド１０６から所定時間の間原料ガスを噴射した後、シャワーヘッド１０６及びチャンバー１０１に残留した原料ガスを、パージガスを用いてチャンバー１０１に設けられている排気口１００から排気させる。このような原料ガスをパージさせた後、外部のプラズマ発生装置１１２から反応ガスのプラズマを直接チャンバー１０１に噴射し、反応ガスを噴射した後、パージガスによって反応ガスと反応副生成ガスを排気させる。
【００１０】
このように外部プラズマ発生装置を備えた化学気相蒸着装置を用いた場合には、プラズマによる基板及び基板に形成された回路素子の損傷を多少減少させることができるが、直接チャンバーに流入されるプラズマのばらつきにより、大面積の基板において薄膜を均一に蒸着させることができないという問題点があった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、基板及び基板に形成された回路素子の損傷をもたらさず、低温で速い蒸着速度を確保し、優れたステップカバレッジ及び膜質特性を有する薄膜を蒸着させる化学気相蒸着装置を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、原料ガスと反応ガスがシャワーヘッドの内部で混じることを根本的に防止する化学気相蒸着装置を提供することを他の目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、本発明の一態様によると、下部に排気口が設けられたチャンバーと、該チャンバーの内部に工程ガスをそれぞれ供給する原料ガス注入管、反応ガス注入管及びパージガス注入管と、前記チャンバーの内部に設けられ、薄膜が蒸着される基板を保持するとともに、所定の熱源を提供するヒーターと、前記ヒーターの上方に配置され、前記各注入管を通じて供給される工程ガスを噴射する複数の噴射孔を有するシャワーヘッドと、を備えた化学気相蒸着装置において、
前記チャンバーの上部には、外部のＲＦ電源と接続されたＲＦ電源連結部が設けられ、
前記シャワーヘッドが第１のシャワーヘッドと第２のシャワーヘッドとに分割されており、前記第１のシャワーヘッドと第２のシャワーヘッドとの間の空間によって第２のバッファ部が区画され、前記第１のシャワーヘッドは前記第２のシャワーヘッドの上方に配置され、原料ガスを均一に噴射するための複数の噴射管を有し、前記第２のシャワーヘッドは前記第１のシャワーヘッドの前記複数の噴射管がそれぞれ貫通する複数の貫通孔と、ラジカルを均一に噴射するための複数の噴射孔とを有し、
前記第１のシャワーヘッドと前記チャンバーの内側面との間を絶縁する上部絶縁部が前記チャンバーの上部内側面に配置されており、
前記第１のシャワーヘッドを前記第２のシャワーヘッド及び前記チャンバーの内側面から絶縁する下部絶縁部が前記第１のシャワーヘッド上と前記チャンバーの内側面上に配置されており、
前記外部のＲＦ電源から前記第１のシャワーヘッドに電力が供給されるように、前記ＲＦ電源連結部と前記第１のシャワーヘッドの上面はＲＦロッドにより相互接続されており、
前記第２のバッファ部でプラズマを発生させ、前記複数の噴射孔から前記基板に前記ラジカルが噴射されるように構成され、
前記上部絶縁部と前記第１のシャワーヘッドとの間に区画された第１のバッファ部に原料ガスが供給され、その原料ガスが前記第２のバッファ部と接触することなく、前記複数の噴射管を通して前記基板上に噴射されるように構成され、
前記第２のシャワーヘッドが前記チャンバーと連結され、電気的に接地されていることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳しく説明する。
（参考例１）
図４は、本発明の参考例１による工程ガスを時分割供給するラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。尚、工程ガスは反応ガス、原料ガス、及びパージガスである。
【００１９】
参考例１の化学気相蒸着装置は、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスの噴射及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給により成膜し、反応ガスの噴射時、シャワーヘッドの内部でプラズマを発生させて噴射することができるようになっている。
【００２０】
参考例１の化学気相蒸着装置は、チャンバー２０１の上部にチャンバー２０１の一部である上部プレート２１２を設け、該上部プレート２１２に外部のＲＦ電源２１０と連結するＲＦ電源連結部２０９を設けている。ＲＦ電源連結部２０９はＲＦロード２１１と連結され、ＲＦロード２１１は、その周縁部に設けられるＲＦロード絶縁部２１３により上部プレート２１２と電気的に絶縁される。
【００２１】
前記ＲＦロード２１１は、上部プレート２１２に設けられるＲＦ電極板２１４と連結され、該ＲＦ電極板２１４によりシャワーヘッド２０６の内部でプラズマが発生する。ＲＦ電極板２１４を電気的に絶縁するために、ＲＦ電極板２１４の上部、即ちＲＦ電極板２１４と上部プレート２１２との間には、上部絶縁部２１５を設けている。また、ＲＦ電極板２１４の下部には下部絶縁部２１６を設け、下部絶縁部２１６によりＲＦ電極板２１４とその下部に位置するシャワーヘッド２０６との間に所定の間隔を有するバッファ部２１７が区区画されている。即ち、下部絶縁部２１６は、ＲＦ電極板２１４を、上部プレート２１２の内側面と絶縁させるとともに、ＲＦ電極板２１４の下部に位置するシャワーヘッド２０６との間に所定の間隔を維持させている。
【００２２】
このように下部絶縁部２１６により所定の間隔で区切られた下部には、シャワーヘッド２０６を設けており、該シャワーヘッド２０６には工程ガスを均一に噴射するための複数の噴射孔２０５が設けられている。また、シャワーヘッド２０６は、上部プレート２１２と連結され、電気的に接地処理されている。参考例１の化学気相蒸着装置は、上部プレート２１２に設けられたＲＦ電極板２１４、下部絶縁部２１６及びシャワーヘッド２０６により所定の間隔で区切られているバッファ部２１７でプラズマを発生させる。
【００２３】
上部プレート２１２の下部に設けられ、供給される工程ガスにより反応が行われるチャンバー２０１の内部には、実際に成膜されるウエハまたは基板２０７（以下‘基板’という）が、ヒーター２０８により保持されるとともに所定の熱エネルギーを供給されている。
【００２４】
また、上部プレート２１２には、少なくとも一つの原料ガス注入管２０２、少なくとも一つの反応ガス注入管２０３及び少なくとも一つのパージガス注入管２０４が接続されている。そして、上部プレート２１２の内部には、上部プレート２１２の温度を一定に維持させるヒーター２１８が設けられている。即ち、このヒーター２１８によりチャンバー２０１の上部の温度を一定に維持させることができる。
【００２５】
以下、参考例１の化学気相蒸着装置を用いた基板への成膜過程について詳述する。
上部プレート２１２に接続された少なくとも一つの原料ガス注入管２０２を通じて所定時間の間原料ガスをシャワーヘッド２０６に噴射し、基板２０７に原料ガスを吸着させる。このような所定時間の原料ガスの噴射後、上部プレート２１２に接続された少なくとも一つのパージガス注入管２０４を通じて注入されるパージガスを用いて、シャワーヘッド２０６とチャンバー２０１の内部に残留した原料ガスをチャンバー２０１に接続された排気口２００から所定時間の間排気させる。
【００２６】
その後、上部プレート２１２に接続された少なくとも一つの反応ガス注入管２０３を通じて所定時間の間反応ガスをシャワーヘッド２０６から基板２０７に噴射し、基板２０７に吸着した原料ガスと反応ガスの反応を誘導して、基板２０７に成膜させる。このとき、ＲＦ電極板２１４にＲＦ電源２１０を印加し、バッファ部２１７にプラズマを発生させ、反応ガスラジカルをシャワーヘッド２０６から噴射することにより、基板２０７に吸着した原料ガスと反応ガスの反応をさらに活性化させる。
【００２７】
この反応ガスのラジカルを所定時間の噴射後、パージガス注入管２０４を通じて注入されるパージガスを用いて、シャワーヘッド２０６とチャンバー２０１に残留した反応ガスを所定時間の間排気させる。参考例１の化学気相蒸着装置は、このように原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給を繰り返すことにより、基板２０７に所定の膜厚で成膜する。
【００２８】
このように、参考例１の化学気相蒸着装置は、バッファ部２１７で発生するプラズマを通じて基板２０７に吸着した原料ガスと反応ガスの反応をさらに活性化させることにより、より低温で速い蒸着速度が得られるのみならず、優れたステップカバレッジ及び膜質特性の薄膜を基板２０７に形成することができる。また、参考例１の化学気相蒸着装置は、プラズマがチャンバー２０１と基板２０７に直接露出しないので、プラズマ発生の際に生じるアークとイオン衝突及びイオン注入のような現象による基板２０７、及び基板２０７に形成された回路素子の物理的な損傷を防止することができる。
【００２９】
図５は、図４に示した化学気相蒸着装置のシャワーヘッド２０６の内部でプラズマを発生させ、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給を示すタイミングチャートである。
【００３０】
まず、図５の（ｉｉ）のように、所定時間の間シャワーヘッド２０６からパージガスを噴射し、シャワーヘッド２０６及びチャンバー２０１の内部を不活性ガス雰囲気とした後、図５の（ｉ）のように、所定時間の間原料ガスを噴射し、基板２０７に原料ガスを吸着させる。その後、図５の（ｉｉ）のように、所定時間の間パージガスを用いてシャワーヘッド２０６及びチャンバー２０１に残留した原料ガスを排気させた後、図５の（ｉｉｉ）、（ｉｖ）のように、反応ガスを所定時間の間シャワーヘッド２０６に注入するとともに、シャワーヘッド２０６の内部にプラズマを発生させ、反応ガスラジカルを基板２０７に噴射する。このように、所定時間の間反応ガスラジカルを噴射し、基板２０７に所定膜厚で成膜した後、反応ガスの注入を遮断し、ＲＦ電極板２１４に供給されるＲＦ電源２１０を遮断してプラズマを消滅させた後、パージガスを用いてシャワーヘッド２０６とチャンバー２０１の内部に残留した反応ガス及び反応副生成ガスを排気させる。このような所定の過程を繰り返し、基板２０７に所定の膜厚で成膜する。
【００３１】
図６は、図４に示した化学気相蒸着装置のシャワーヘッド２０６の内部でプラズマを発生させて工程ガスを時分割供給し、パージガスを常時注入しつつ、原料ガスと反応ガスのみを時分割供給することにより、シャワーヘッド２０６及びチャンバー２０１で原料ガスと反応ガスが混じることを防止する過程を示すタイミングチャートである。
【００３２】
図６に示すように、パージガスを常時注入し、原料ガスと反応ガスのみを時分割注入するとき、チャンバー２０１の圧力変化を最小化することができ、工程の再現性を向上させることができる。
【００３３】
（参考例２）
図７は、本発明の参考例２による工程ガスを時分割供給し、所定の間隔で区切られたシャワーヘッド３０９、３１３の上部でプラズマを発生させるラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。
【００３４】
参考例２の化学気相蒸着装置は、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスの噴射及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給により成膜し、シャワーヘッド３０９、３１３を所定の間隔で区切って二重に分離し、原料ガスはシャワーヘッド３０９、３１３の一方から供給噴射し、反応ガスは他方から供給噴射することにより、原料ガスと反応ガスがシャワーヘッド３０９、３１３の内部で混じることを根本的に防止し、反応ガスの噴射時、反応ガスが供給噴射されるシャワーヘッド３０９、３１３の一方の内部でプラズマを発生させて反応ガスラジカルを噴射することができるようになっている。
【００３５】
参考例２の化学気相蒸着装置は、チャンバー３００の上部にチャンバー３００の一部である上部プレート３０１を設け、この上部プレート３０１に外部のＲＦ電源３０２と連結するＲＦ電源連結部３０３を設けている。ＲＦ電源連結部３０３はＲＦロード３０４と連結され、ＲＦロード３０４は、その周縁部に設けられるＲＦロード絶縁部３０５により上部プレート３０１と電気的に絶縁される。
【００３６】
前記ＲＦロード３０４は、上部プレート３０１の内側に設けられるＲＦ電極板３０６と連結され、このＲＦ電極板３０６によりプラズマが発生する。ＲＦ電極板３０６を電気的に絶縁するために、ＲＦ電極板３０６の上部、即ちＲＦ電極板３０６と上部プレート３０１との間には、上部絶縁部３０７を設けている。また、ＲＦ電極板３０６の下部には下部絶縁部３０８を設け、下部絶縁部３０８によりＲＦ電極板３０６とその下部に位置する第１のシャワーヘッド３０９との間に所定の間隔を有する第１のバッファ部３１０が区画されている。即ち、下部絶縁部３０８は、ＲＦ電極板３０６を、上部プレート３０１の内側面と絶縁させるとともに、ＲＦ電極板３０６の下部に位置する第１のシャワーヘッド３０９と所定の間隔を維持させている。
【００３７】
このようにＲＦ電極板３０６の下部に設けられた第１のシャワーヘッド３０９には反応ガスラジカルを均一に噴射するための複数のラジカル噴射管３１１が設けられている。また、第１のシャワーヘッド３０９は、上部プレート３０１と連結され、電気的に接地処理されている。
【００３８】
参考例２の化学気相蒸着装置は、上部プレート３０１に設けられたＲＦ電極板３０６、下部絶縁部３０８及び第１のシャワーヘッド３０９により所定の間隔で区切られた第１のバッファ部３１０でプラズマが発生する。
【００３９】
そして、第１のシャワーヘッド３０９の下部には、所定の高さを有するチャンバー３００の一部である下部プレート３１２を設け、この下部プレート３１２の下部には第２シャワーヘッド３１３を設けている。即ち、第１のシャワーヘッド３０９と第２のシャワーヘッド３１３は、下部プレート３１２により所定の間隔を置いて対応して上下に位置する。このように配設された第２のシャワーヘッド３１３には複数のラジカル噴射管３１１をそれぞれ受承する複数の貫通孔３１４と、原料ガスを均一に噴射するための複数の原料ガス噴射孔３１５が設けられている。このような第１のシャワーヘッド３０９と第２のシャワーヘッド３１３を定位置に配置し、第２のシャワーヘッド３１３の貫通孔３１４に、第１のシャワーヘッド３０９のラジカル噴射管３１１がそれぞれ嵌挿される。第１のシャワーヘッド３０９と第２シャワーヘッド３１３との間に所定の間隔が形成されて第２のバッファ部３１６が区区画されている。
【００４０】
そして、少なくとも一つの反応ガス注入管３１７と第１のパージガス注入管３１８が上部プレート３０１に接続されており、この反応ガス注入管３１７と第１のパージガス注入管３１８を通じて第１のバッファ部３１０に反応ガスとパージガスがそれぞれ供給される。また、少なくとも一つの原料ガス注入管３１９と第２のパージガス注入管３２０が下部プレート３１２に接続されており、この原料ガス注入管３１９と第２のパージガス注入管３２０を通じて第２のバッファ部３１６に原料ガスとパージガスがそれぞれ流入される。
【００４１】
また、下部プレート３１２の下部に設けられ、供給される工程ガスにより反応が行われるチャンバー３００の内部には、実際に成膜されるウエハまたは基板３２２（以下‘基板’という）が、ヒーター３２３により保持されるとともに所定の熱エネルギーを供給されている。さらに、上部プレート３０１の内部には、上部プレート３０１の温度を一定に維持させる他のヒーター３２１が設けられている。即ち、このヒーター３２１によりチャンバー３００の上部温度を一定に維持することができる。
【００４２】
図８は、第２のシャワーヘッド３１３を示す背面図であり、複数のラジカル噴射管３１１の孔３２５と複数の原料ガス噴射孔３１５が格子状に配列されている。
【００４３】
以下、参考例２の化学気相蒸着装置を用いた基板３２２への成膜過程について詳述する。
下部プレート３１２に設けられた原料ガス注入管３１９を通じて第２のバッファ部３１６に所定時間の間原料ガスを注入する。原料ガスは、第２のシャワーヘッド３１３に設けられた原料ガス噴射孔３１５から噴射され、基板３２２に吸着する。原料ガスの噴射後、第２のシャワーヘッド３１３とチャンバー３００の内部に残留した原料ガスは、第２のパージガス注入管３２０を通じてパージガスを注入することにより、チャンバー３００に設けられた排気口３２４から所定時間の間排気される。残留した原料ガスを排気した後、上部プレート３０１に設けられた反応ガス注入管３１７を通じて反応ガスを所定時間の間第１のバッファ部３１０に供給し、第１のシャワーヘッド３０９に設けられたラジカル噴射管３１１を通じて反応ガスを基板３２２に噴射し、基板３２２に吸着した原料ガスと反応ガスの反応を誘導して、基板３２２に成膜する。このとき、ＲＦ電極板３０６にＲＦ電源３０２を印加して、第１のバッファ部３１０にプラズマを発生させ、反応ガスラジカルを第２のシャワーヘッド３１３の貫通孔３１４に嵌挿されたラジカル噴射管３１１を通じてチャンバー３００内に噴射することにより、基板３２２に吸着した原料ガスと反応ガスの反応をさらに活性化させる。
【００４４】
反応ガスラジカルの噴射後、第１のパージガス注入管３１８を通じてパージガスを注入することにより、第１のシャワーヘッド３０９とチャンバー３００に残留した反応ガスを所定時間の間排気させる。参考例２では、このように原料ガスと反応ガスをそれぞれ分離して注入し、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給を繰り返すことにより、基板３２２に所定の膜厚で成膜する。
【００４５】
このように、参考例２の化学気相蒸着装置は、ラジカル噴射管３１１を通じて噴射される反応ガスラジカルにより、基板３２２に吸着した原料ガスと反応ガスの反応をさらに活性化させることにより、より速い反応速度が得られるのみならず、優れたステップカバレッジ及び膜質特性の薄膜を基板３２２に形成することができる。また、参考例２の化学気相蒸着装置は、プラズマが、原料ガスが噴射される第２のシャワーヘッド３１３と分離されているため、パージガスを用いたパージによっても完全に除去されなかった原料ガスが、シャワーヘッドの内部で反応ガスプラズマと反応することを根本的に防止することができ、パーティクルの発生及びステップカバレッジの低下を防止することができる。また、参考例２の化学気相蒸着装置は、プラズマが、チャンバーと基板３２２に直接露出して発生されないので、プラズマ発生の際に生じるアークとイオン衝突及びイオン注入現象による基板３２２、及び基板３２２に形成された回路素子の物理的な損傷を防止することができる。
【００４６】
（参考例３）
図９は、本発明の参考例３による工程ガスを時分割供給する外部プラズマ発生装置を有する化学気相蒸着装置の概略図である。
【００４７】
参考例３の化学気相蒸着装置は、下部に排気口４００が設けられたチャンバー４０１と、複数の噴射孔４０５が設けられ、工程ガスを噴射するシャワーヘッド４０６と、このシャワーヘッド４０６から噴射される工程ガスにより薄膜が蒸着されるウエハまたは基板４０７（以下‘基板’という）を保持するとともに、所定の熱源を提供するヒーター４０８とを備えている。
【００４８】
前記チャンバー４０１の上部には、チャンバー４０１の一部である上部プレート４０９が設けられており、この上部プレート４０９の外部には、外部プラズマ発生装置４１０がチャンバー４０１と連通して結合されている。この外部プラズマ発生装置４１０には、少なくとも一つの反応ガス注入管４０３と、少なくとも一つのパージガス注入管４０４（第２のパージガス注入管）が貫設され、外部プラズマ発生装置４１０の内部でのプラズマ発生の際に反応ガスプラズマ及びラジカルが形成されるようにする。
【００４９】
このように外部プラズマ発生装置４１０により発生したプラズマまたはラジカルは、上部プレート４０９に接続されたプラズマ誘導管４１１を通じ、上部プレート４０９とシャワーヘッド４０６との間に所定の間隔で区切られたバッファ部４１２に注入される。プラズマまたはラジカルが導体と衝突してリコンビネーション（ｒｅｃｏｍｂｉｎａｔｉｏｎ）現象によりバッファ部４１２に到達するまでに消滅することを防止するために、プラズマ誘導管４１１の内面は絶縁部４１３で覆われている。
【００５０】
また、プラズマ誘導管４１１の途中には、少なくとも一つの原料ガス注入管４０２と、少なくとも一つのパージガス注入管４１４（第１のパージガス注入管）が連通している。そして、上部プレート４０９の内部には、上部プレート４０９の温度を一定に維持させるヒーター４１５が設けられている。ヒーター４１５によりチャンバー４０１の上部温度を一定に維持することができる。
【００５１】
参考例３の化学気相蒸着装置は、注入管４０２，４０３，４０４，４１４を通じて供給される工程ガス、及び外部プラズマ発生装置４１０を通じた、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスパージの時分割工程ガスの供給により、基板４０７に所定の膜厚で成膜する。
【００５２】
以下、参考例３の化学気相蒸着装置を用いた基板への成膜過程について詳述する。
所定時間の間、外部プラズマ発生装置４１０に接続された第２のパージガス注入管４０４を通じ、上部プレート４０９の内部に所定の間隔で区切られたバッファ部４１２及びこのバッファ部４１２の下部に位置するシャワーヘッド４０６からパージガスを噴射し、シャワーヘッド４０６及びチャンバー４０１の内部を不活性ガス雰囲気とする。その後、プラズマ誘導管４１１に接続された原料ガス供給管４０２を通じて所定時間の間原料ガスを噴射して基板４０７に原料ガスを吸着させる。その後、プラズマ誘導管４１１に接続された第１のパージガス注入管４１４を通じて所定時間の間パージガスを供給し、シャワーヘッド４０６及びチャンバー４０１に残留した原料ガスを排気させる。
【００５３】
次いで、外部プラズマ発生装置４１０に接続された反応ガス注入管４０３を通じ、所定時間の間、反応ガスを外部プラズマ発生装置４１０に注入するとともに、外部プラズマ発生装置４１０でプラズマを発生させ、反応ガスプラズマをプラズマ誘導管４１１を通じてバッファ部４１２に注入し、シャワーヘッド４０６から反応ガスラジカルを基板４０７に所定時間の間噴射する。このように所定時間の間反応ガスラジカルを噴射し、基板４０７に所定の膜厚で成膜した後、反応ガスの注入を遮断し、外部プラズマ発生装置４１０のプラズマを消滅させた後、第２のパージガス注入管４０４を通じてパージガスを注入し、シャワーヘッド４０６とチャンバー４０１の内部に残留した反応ガス及び反応副生成ガスを排気させる。このような所定の過程を繰り返し、基板４０７に所定の膜厚で成膜する。
【００５４】
（参考例４）
図１０は、本発明の参考例４による工程ガスを時分割供給し、所定の間隔で区切られたシャワーヘッドの上部にプラズマが流入されるように、外部プラズマ発生装置を備えたラジカル化学気相蒸着装置の各構成要素を示す概略図である。
【００５５】
参考例４の化学気相蒸着装置は、チャンバー５００の上部にこのチャンバー５００の一部である上部プレート５０１が設けられており、この上部プレート５０１には、外部プラズマ発生装置５０３がチャンバー５００と連通して結合されている。この外部プラズマ発生装置５０３には、少なくとも一つの反応ガス注入管５１７と第１のパージガス注入管５１８が接続される。外部プラズマ発生装置５０３の内部でのプラズマ発生の際に反応ガスプラズマ及びラジカルが形成される。
【００５６】
外部プラズマ発生装置５０３により発生したプラズマまたはラジカルは、プラズマ誘導管５０４を通じ、上部プレート５０１と第１のシャワーヘッド５０９との間に所定の間隔で区切られた第１のバッファ部５１０に注入される。プラズマまたはラジカルが導体と衝突してリコンビネーション現象により第１のバッファ部５１０に到達する前に消滅するのを防止するために、プラズマ誘導管５０４の内面は絶縁部５０５で覆われている。
【００５７】
また、第１のバッファ部５１０の下部には第１のシャワーヘッド５０９が設けられる。第１のシャワーヘッド５０９には、反応ガスラジカルを均一に噴射するための複数のラジカル噴射管５１１が設けられている。
【００５８】
そして、第１のシャワーヘッド５０９の下部には、所定の高さを有するチャンバー５００の一部である下部プレート５１２を設け、この下部プレート５１２の下部には第２シャワーヘッド５１３を設けている。即ち、第１のシャワーヘッド５０９と第２のシャワーヘッド５１３は、下部プレート５１２により所定の間隔を置いて対応して上下に位置する。第２のシャワーヘッド５１３には、第１のシャワーヘッド５０９に設けられた複数のラジカル噴射管５１１をそれぞれ受承する複数の貫通孔５１４と、原料ガスを均一に噴射するための複数の原料ガス噴射孔５１５が設けられている。第１のシャワーヘッド５０９と第２のシャワーヘッド５１３を定位置に配置し、第２のシャワーヘッド５１３の貫通孔５１４に、第１のシャワーヘッド５０９のラジカル噴射管５１１をそれぞれ嵌挿し、第１のシャワーヘッド５０９と第２シャワーヘッド５１３との間に所定の間隔が形成されて、第２のバッファ部５１６が区画されている。また、第２のシャワーヘッド５１３は、下部プレート５１２と連結され、電気的に接地処理されている。
【００５９】
そして、少なくとも一つの原料ガス注入管５１９と第２のパージガス注入管５２０が下部プレート５１２に貫設されており、この原料ガス注入管５１９と第２のパージガス注入管５２０を通じて原料ガスとパージガスが第２のバッファ部５１６にそれぞれ流入される。
【００６０】
また、下部プレート５１２の下部に設けられ、供給される工程ガスにより反応が行われるチャンバー５００の内部には、実際に成膜されるウエハまたは基板５２２（以下‘基板’という）が、ヒーター５２３により保持されるとともに所定の熱エネルギーを供給されている。さらに、上部プレート５０１の内部には、上部プレート５０１の温度を一定に維持させる他のヒーター５２１が設けられている。即ち、このヒーター５２１によりチャンバー５００の上部温度を一定に維持させることができる。
【００６１】
以下、参考例４の化学気相蒸着装置を用いた基板への成膜過程について詳述する。
下部プレート５１２に設けられた原料ガス注入管５１９を通じて第２のバッファ部５１６に所定時間の間原料ガスを注入し、第２のシャワーヘッド５１３に設けられた原料ガス噴射孔５１５から噴射して基板５２２に原料ガスを吸着させる。原料ガスの噴射後、第２のシャワーヘッド５１３とチャンバー５００の内部に残留した原料ガスを、第２のパージガス注入管５２０を通じてパージガスを注入することにより、チャンバー５００に設けられた排気口５２４から所定時間の間排気させる。
【００６２】
その後、外部プラズマ発生装置５０３に設けられた反応ガス注入管５１７を通じて所定時間の間反応ガスを外部プラズマ発生装置５０３に注入するとともに、外部プラズマ発生装置５０３でプラズマを発生させ、反応ガスプラズマをプラズマ誘導管５０４を通じて第１のバッファ部５１０に注入し、第１のシャワーヘッド５０９のラジカル噴射管５１１を通じて反応ガスラジカルを基板５２２に所定時間の間噴射する。
【００６３】
反応ガスラジカルの噴射後、第１のパージガス注入管５１８を通じてパージガスを注入して、第１のシャワーヘッド５０９とチャンバー５００に残留した反応ガスを所定時間の間排気させる。参考例４では、このように原料ガスと反応ガスをそれぞれ分離して注入し、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスパージの時分割工程ガスの供給を繰り返すことにより、基板５２２に所定の膜厚で成膜する。
【００６４】
（実施の形態１）
図１１は、本発明の実施の形態１による工程ガスを時分割供給し、所定の間隔で区切られたシャワーヘッドの下部でプラズマを発生させるラジカル化学気相蒸着装置の各構成要素を示す概略図である。
【００６５】
実施の形態１の化学気相蒸着装置は、チャンバー６００の上部にチャンバー６００の一部である上部プレート６０１を設け、この上部プレート６０１に外部のＲＦ電源６０２と接続されるＲＦ電源連結部６０３を設けている。ＲＦ電源連結部６０３はＲＦロード６０４と接続され、ＲＦロード６０４は、その周縁部に設けられるＲＦロード絶縁部６０５により上部プレート６０１と電気的に絶縁される。
【００６６】
前記ＲＦロード６０４は、上部プレート６０１の内部に設けられる第１のシャワーヘッド６０９と連結され、この第１のシャワーヘッド６０９の上部には、第１のシャワーヘッド６０９を上部プレート６０１と電気的に絶縁させるために、所定の間隔を置いて上部プレート６０１の上部内側面と密着して上部絶縁部６０７を設けている。このように配置される第１のシャワーヘッド６０９と上部絶縁部６０７により所定の間隔で第１のバッファ部６１０が区区画されている。
【００６７】
また、第１のシャワーヘッド６０９の下部には、所定の高さを有するチャンバー６００の一部である下部絶縁部６０８を設け、この下部絶縁部６０８の外部には下部プレート６１２を設けている。そして、下部絶縁部６０８と下部プレート６１２の下部に第２のシャワーヘッド６１３を設けることにより、第１のシャワーヘッド６０９と第２のシャワーヘッド６１３を所定の間隔を置いて相互対応する位置に配置させる。これによって、第１のシャワーヘッド６０９と第２のシャワーヘッド６１３により所定の間隔を有する第２のバッファ部６１６が区区画される。第２のシャワーヘッド６１３は、下部プレート６１２と連結され、電気的に接地処理される。
【００６８】
実施の形態１では、第１のシャワーヘッド６０９と下部絶縁部６０８及び第２のシャワーヘッド６１３により、所定の間隔を有して区切られた第２のバッファ部６１６でプラズマが発生する。
【００６９】
前記第１のバッファ部６１０には、注入された原料ガスを均一に分布させるための複数の噴射孔を有する中間板６０６が設けられている。この中間板６０６は、下部に設けられた支持ピン６２６により第１のシャワーヘッド６０９に固定されている。また、第１のシャワーヘッド６０９には、原料ガスを均一に噴射するための複数の原料ガス噴射管６１１が設けられている。
【００７０】
前記第２のシャワーヘッド６１３には、第１のシャワーヘッド６０９に設けられた複数の原料ガス噴射管６１１をそれぞれ受承する複数の貫通孔６１４と、第２のバッファ部６１６で発生するプラズマによる反応ガスラジカルを均一に噴射するための複数のラジカル噴射孔６１５が設けられている。このような第１のシャワーヘッド６０９と第２のシャワーヘッド６１３を定位置に配置し、第２のシャワーヘッド６１３の貫通孔６１４に、第１のシャワーヘッド６０９の原料ガス噴射管６１１をそれぞれ嵌挿し、第１のシャワーヘッド６０９と第２シャワーヘッド６１３との間に所定の間隔を置くことで、第２のバッファ部６１６が区画されている。
【００７１】
そして、少なくとも一つの原料ガス注入管６１９と第１のパージガス注入管６１８が、上部プレート６０１に接続されており、この原料ガス注入管６１９と第１のパージガス注入管６１８を通じて第１のバッファ部６１０に原料ガスとパージガスがそれぞれ供給される。また、少なくとも一つの反応ガス注入管６１７と第２のパージガス注入管６２０が上部プレート６０１に接続されている。反応ガス注入管６１７と第２のパージガス注入管６２０を通じて流入された反応ガスとパージガスは、第１のシャワーヘッド６０９に形成された円形の反応ガスバッファ部６２７を通じて均一に分布され、反応ガス分配孔６２８から反応ガス注入口６２９に流入される。このように反応ガス注入口６２９から流入された反応ガスとパージガスは、第２のバッファ部６１６に流入される。
【００７２】
また、下部プレート６１２の下部に設けられ、供給される工程ガスにより反応が行われるチャンバー６００の内部には、実際に成膜されるウエハまたは基板６２２（以下‘基板’という）が、ヒーター６２３により保持されるとともに所定の熱エネルギーを供給される。さらに、上部プレート６０１の内部には、上部プレート６０１の温度を一定に維持させる他のヒーター６２１が設けられている。即ち、このヒーター６２１によりチャンバー６００の上部温度を一定に維持させることができる。
【００７３】
図１２は、第２のシャワーヘッド６１３を示す背面図であり、複数のラジカル噴射孔６１５と複数の原料ガス噴射管６１１の孔６２５が格子状に配列されている。
【００７４】
以下、実施の形態１の化学気相蒸着装置を用いた基板への成膜過程について詳述する。
上部プレート６０１に接続された原料ガス注入管６１９を通じて第１のバッファ部６１０に所定時間の間原料ガスを注入し、第１のシャワーヘッド６０９に設けられた複数の原料ガス噴射孔６１１から噴射して基板６２２に原料ガスを吸着させる。原料ガスの噴射後、第１のシャワーヘッド６０９とチャンバー６００の内部に残留した原料ガスを、第１のパージガス注入管６１８を通じてパージガスを注入することにより、チャンバー６００に設けられた排気口６２４から所定時間の間排気させる。残留した原料ガスを排気した後、上部プレート６０１に設けられた反応ガス注入管６１７を通じて反応ガスを所定時間の間第２のバッファ部６１６に供給し、第２のシャワーヘッド６１３に設けられた複数のラジカル噴射孔６１５から基板６２２に噴射し、基板６２２に吸着した原料ガスと反応ガスの反応を誘導し、基板６２２に成膜する。このとき、第１のシャワーヘッド６０９にＲＦ電源６０２を印加し、第２のバッファ部６１６にプラズマを発生させ、反応ガスラジカルを第２のシャワーヘッド６１３のラジカル噴射孔６１５から噴射することにより、基板６２２に吸着した原料ガスと反応ガスの反応をさらに活性化させる。
【００７５】
反応ガスラジカルの噴射後、第２のパージガス注入管６２０を通じてパージガスを注入することにより、第２のシャワーヘッド６１３とチャンバー６００に残留した反応ガス及び反応副生成ガスを所定時間の間排気させる。実施の形態１では、原料ガスと反応ガスをそれぞれ分離して注入し、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給を繰り返すことにより、基板６２２に所定の膜厚で成膜する。
【００７６】
以下、上述した本発明に係る実施の形態１の化学気相蒸着装置において、工程ガスとラジカルを時分割供給する過程について詳述する。
図１３及び図１４は、本発明による化学気相蒸着装置において、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給過程を示すタイミングチャートである。
【００７７】
図１３に示すように、所定時間の間、第１のシャワーヘッドと第２のシャワーヘッドからパージガスを噴射し、シャワーヘッド及びチャンバーの内部を不活性ガス雰囲気とした後、所定時間の間、原料ガスを噴射し、基板に原料ガスを吸着させる。その後、所定時間の間、パージガスを用いて、シャワーヘッド及びチャンバーに残留した原料ガスを排気させた後、反応ガスを所定時間の間シャワーヘッドに注入するとともに、シャワーヘッドの内部にプラズマを発生させ、反応ガスラジカルを基板に噴射する。
【００７８】
このように所定時間の間、反応ガスラジカルを噴射し、基板に所定の膜厚で成膜した後、反応ガスの注入を遮断し、ＲＦ電源（または外部プラズマ発生装置の電源）を遮断してプラズマを消滅させた後、パージガスを用いてシャワーヘッドとチャンバーの内部に残留した反応ガス及び反応副生成ガスを排気させる。このような所定の過程を繰り返し、基板に所定の膜厚で成膜する。このとき、図１４に示すように、第１のパージガスと第２のパージガスを常時注入することにより、原料ガスのパージ時間と反応ガスのパージ時間を最小化することができ、チャンバーの圧力変化を最小化して工程の再現性を向上させることができる。
【００７９】
図１５及び図１６は、本発明による化学気相蒸着装置において、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給過程を示すものであり、より安定したプラズマの状態を維持するための過程を示すタイミングチャートである。
【００８０】
図１５に示すように、低電力のＲＦ電源（または外部プラズマ発生装置に低電力の電源）を印加し、シャワーヘッドの内部にプラズマを発生させた状態を維持し、極めて低いエネルギーのプラズマ状態を維持し、ラジカル噴射孔の内壁との衝突によるリコンビネーション現象により消滅するように制御し、チャンバーにラジカルが流入されないように制御する。このようにシャワーヘッドの内部にはプラズマの状態を維持し、チャンバーにラジカルが流入されないようにすることにより、工程ガスが時分割供給される工程反応に影響を及ぼさず、また反応ガスラジカルの時分割供給の際は、より安定したプラズマの状態を維持させることができる。そして、図１６に示すように、第１のパージガスと第２のパージガスを常時注入することにより、原料ガスのパージ時間と反応ガスのパージ時間を最小化することができ、チャンバーの圧力変化を最小化し、工程の再現性を向上させることができる。
【００８１】
図１７は、本発明による化学気相蒸着装置において、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給過程を示すものであり、より低温で蒸着されない原料ガスと反応ガスの供給時、チャンバーの圧力をより安定に維持するための過程を示すタイミングチャートである。
【００８２】
図１７に示すように、低温で原料ガスと反応ガスが反応しない工程において、反応ガスを常時流入させることにより、チャンバーの圧力変化を最小化することができ、工程の再現性を向上させることができる。
【００８３】
工程ガスを時分割供給する化学気相蒸着装置の蒸着速度を決定する主要要因の一つは、原料ガスの基板に対する吸着率である。反応ガスをプラズマが発生しない状態においても供給することにより、原料ガスの吸着率を向上させることができる。原料ガスを遮断し、原料ガスをパージした後、プラズマを発生させ、基板に吸着した原料ガスと反応ガスとが反応ガスラジカルにより活性化されて薄膜を形成することにより、薄膜の蒸着速度を向上させることができる。
【００８４】
図１８は、本発明による化学気相蒸着装置において、原料ガスの噴射、原料ガスのパージ、反応ガスラジカルの噴射、及び反応ガスのパージの時分割工程ガスの供給過程を示すものであり、より低温と低いエネルギーのプラズマの状態で蒸着されない原料ガスと反応ガスの供給時、チャンバーの圧力とプラズマの状態をより安定に維持するための過程を示すタイミングチャートである。
【００８５】
図１８に示すように、低温で原料ガスと反応ガスが反応しない工程において、反応ガスを常時流入させ、低電力のＲＦ電源（または外部プラズマ発生装置に低電力の電源）を印加し、シャワーヘッドの内部にプラズマを発生させた状態を維持し、極めて低いエネルギーのプラズマ状態を維持し、プラズマまたはラジカルがラジカル噴射孔の内壁との衝突によるリコンビネーション現象により消滅するように制御して、チャンバーに反応ガスラジカルが流入されないように制御する。このように反応ガスを常時注入し、低電力のプラズマをシャワーヘッドの内部に発生させた状態においても、工程ガスが時分割供給される工程反応に影響を及ぼさず、また工程ガスの時分割供給時、より安定したチャンバーの圧力とプラズマの状態を維持させることができる。
【００８６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の化学気相蒸着装置は、従来の時分割工程ガスの供給方式を用いた化学気相蒸着装置の問題点であった、低い蒸着速度を向上させることができるのみならず、プラズマのアーク、イオン衝突及びイオン注入等の問題を防止することができ、化学気相蒸着法により蒸着された薄膜内に含まれる炭素（Ｃ）、水素（Ｈ）、塩素（Ｃｌ）、ブロム（Ｂｒ）、ヨード（Ｉ）及び酸素（Ｏ）のような不純物と多量のパーティクルの混入を抑制することができる。
【００８７】
また、本発明の化学気相蒸着装置は、低温工程で高品質の薄膜を形成することができ、工程の信頼性を向上させ、優れたステップカバレッジ特性の確保は勿論のこと、速い蒸着速度が得られるので、製品の歩留まりを向上させる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来の化学気相蒸着装置の概略図である。
【図２】  第２の従来のプラズマ化学気相蒸着装置の概略図である。
【図３】  外部プラズマ供給装置を有する第３の従来のプラズマ化学気相蒸着装置の概略図である。
【図４】  参考例１によるラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。
【図５】  図４に示した化学気相蒸着装置のシャワーヘッドの内部でプラズマを発生させ、工程ガスとラジカルを時分割供給する過程を示すタイミングチャートである。
【図６】  図５の変更例のタイミングチャートである。
【図７】  参考例２によるラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。
【図８】  図７に示した化学気相蒸着装置のシャワーヘッドの背面図である。
【図９】  参考例３による外部プラズマ発生装置を有する化学気相蒸着装置の概略図である。
【図１０】  参考例４による外部プラズマ発生装置を備えたラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。
【図１１】  本発明の実施の形態１によるラジカル化学気相蒸着装置の概略図である。
【図１２】  図１１に示した化学気相蒸着装置のシャワーヘッドの背面図である。
【図１３】  実施の形態１の化学気相蒸着装置において、工程ガスとラジカルを時分割供給する過程を示すタイミングチャートである。
【図１４】  図１３のタイミングチャートの変更例である。
【図１５】  図１３のタイミングチャートの変更例である。
【図１６】  図１３のタイミングチャートの変更例である。
【図１７】  図１３のタイミングチャートの変更例である。
【図１８】  図１３のタイミングチャートの変更例である。
【符号の説明】
３０２…ＲＦ電源
３０３…ＲＦ電源連結部
３０４…ＲＦロード
３０６…ＲＦ電極板
３０９、３１３…シャワーヘッド
３１０、３１６…バッファ部
３１１…ラジカル噴射管
３１４…貫通孔
３１５…原料ガス噴射孔
３１７…反応ガス注入管
３１８、３２０…パージガス注入管
３１９…原料ガス注入管
【図１】
0003924483.tif 000002
【図２】
0003924483.tif 000003
【図３】
0003924483.tif 000004
【図４】
0003924483.tif 000005
【図５】
0003924483.tif 000006
【図６】
0003924483.tif 000007
【図７】
0003924483.tif 000008
【図８】
0003924483.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0003924483.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0003924483.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0003924483.tif 000016
【図１６】
0003924483.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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