(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
体腔内に挿入する細長状の超音波プローブにおいて、
基本波超音波を送信する送信用圧電エレメントと、
前記基本波超音波の送信によって対象物内に誘起される高調波信号を受信する受信用圧電エレメントと
を具備し、
挿入軸方向に細長く形成した台座の上に、複数の前記送信用圧電エレメントによる合成送信超音波音場の中心軸が前記受信用圧電エレメントが有する受信超音波音場の中心軸に一致するようにほぼ密接させて配置した
ことを特徴とする超音波プローブ。
【請求項２】
前記密接させて配置した状態が先端方向より手元方向に向けて前記送信用圧電エレメント、前記受信用圧電エレメント、前記送信用圧電エレメントとなる順になっている
ことを特徴とする請求項１に記載の超音波プローブ。
【請求項３】
前記台座と反対面には、前記受信用圧電エレメントに適したダンピング特性の受信用ダンピング層を前記受信用圧電エレメントに密接固定し、２つの前記送信用圧電エレメントに適したダンピング特性を有する受信用ダンピング層を前記送信用圧電エレメントに密接固定して具備させた
ことを特徴とする請求項１または２に記載の超音波プローブ。
【請求項４】
前記送信用ダンピング層より前記台座側に前記受信用ダンピング層が入り込むと共に、前記送信用ダンピング層により前記送信用圧電エレメントと前記受信用圧電エレメントとの隙間を埋めて一体的に構成した
ことを特徴とする請求項３に記載の超音波プローブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はハーモニックイメージング超音波診断に用いられる超音波プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
内視鏡の鉗子孔を挿通させ、先端部で超音波振動子装着部を突き出し、生体組織、例えば胃壁に接触させ、胃壁の深部情報、例えば粘膜の層状構造を高い解像度で超音波像描出する超音波診断技術が重要視されつつある。
【０００３】
これに対し、例えば短冊状圧電エレメントからなり、３０ＭＨｚの中心周波数を持つ細径プローブが製品化されている。
【０００４】
この細径プローブにおいては、該中心周波数で超音波を送受信することにより、周波数相応の良好な解像度が得られているが、一方で、検出できる深さ（深達度）の低下が起こり、診断領域を狭める結果につながり、診断の質を低下させる結果となっている。従って深達度の低下を引き起こさないで、解像度をより良くする改良が望まれている。
【０００５】
一方、最近、体外用超音波診断分野での新しい診断モダリティーとして、ハーモニックイメージング診断法が脚光を浴びている。
【０００６】
ハーモニックイメージング診断法は、
（１）超音波が生体中を伝播する時に、生体組織の非線形性の影響を受け基本波超音波に重畳する高調波を種々の方法で分離し、この信号を用いて画像化するティッシューハーモニックイメージング法と、
（２）体内に造影剤バブルを注入し、送信超音波の照射によってバブルが破裂する時に発生する高調波を受信し、基本波超音波に重畳した高調波を種々の方法で分離し、この信号を用いて画像化するコントラストハーモニックイメージング法
に分類される。
【０００７】
これらはいずれも、従来のＢモード断層像では得られないほどＳ／Ｎが良く、分解能の良好な診断画像が得られることがわかり、医療診断の診断精度の向上に寄与している。高調波の特徴はＳ／Ｎの向上によるコントラスト分解能の改善効果だけでなく、周波数が整数倍で高くなる、即ち深さ方向分解能がよくなったり、ビーム幅が小さくなることによる横方向分解能が向上すること、超音波の減衰を基本波並みの低さに抑えることが可能という大きな特徴がある。
【０００８】
従来の体外用のハーモニックイメージング診断装置に用いられている超音波トランスデューサは、基本波送信も高調波受信も同一の圧電エレメントが用いられてきた。この場合、高調波信号の信号レベルが基本波に比べはるかに小さいので、ハーモニック画像の劣化に関わる基本波成分を効率よく除去する必要がある。そのために、パルスインバージョン、フェーズインバージョン、ガウシアンパルスの利用などの特殊な技術が利用されている。
【０００９】
これに対し、本出願人は、例えば特開２００１−２５８８７９号公報において、これら特殊な手法を必要としないハーモニックイメージング用の送受信分離型超音波トランスデューサを提案している。
【００１０】
このハーモニックイメージング用の送受信分離型超音波トランスデューサは、基本波送信専用のリング状圧電エレメントと、その内円部に配置した受信専用の円板状圧電エレメントからなり、それぞれの圧電材料の組み合わせを最適に選ぶことによって、高感度でしかも高い選択性で高調波成分を抽出できるというものである。
【００１１】
以上のように、本出願人は、本出願人が提案した送受信分離型超音波トランスデューサを用いれば、高調波を高感度、高選択性で検出できることを提案しているが、実験的にもこの効果を確認している。このトランスデューサ構造を、前述した細径プローブに適用することにより、高感度で、高解像度、しかも周波数のわりには減衰が少ない超音波送受信が可能になることが推測できる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、細径プローブは、針子孔を挿通させるため外径に制限がある。例えば外径２．８ｍｍφの鉗子孔に挿通できるには、回転方向の振動子最大長はシース外径を２．４ｍｍφ、その中に配置させる圧電エレメント幅は１．５ｍｍ程度に抑える必要がある。この場合、本出願人が既に提案しているリング型送信用圧電エレメントとその内円部に円板状受信用圧電エレメントを配置したトランスデューサ構造（特開２００１−２５８８７９号公報の図１０参照）を小型化したのでは、高調波受信感度に大きな影響を及ぼす送信用超音波振動子の開口面積を大きくとれない。
【００１３】
すなわち、高調波の受信感度は送信超音波振動子の開口に比例し、受信超音波振動子の開口には関係しない。従って、最も大きな感度を示す場合は受信超音波振動子の開口が点で、送信超音波振動子の開口が全面に近い場合である。この場合において、例えば図１４（ａ）でａ ＝１．５ｍｍ（幅）、ｂ＝２．５ｍｍ（長さ）の矩形圧電エレメント１０１の場合に対して、図１４（ｂ）の開口面積に等しい円板圧電エレメント１０２の直径ＲはＲ＝２×（１．５×２．５÷３．１４）0.5＝２．２ｍｍとなり、回転中心軸１０３まわりの回転半径は約１．５倍になる。この寸法では、内視鏡の鉗子孔に挿通させることは不可能になってしまう。従って、超音波振動子の開口は矩形開口とせざるを得ない。
【００１４】
また、リング型送信用圧電エレメントとその内円部に円板状受信用圧電エレメントを配置したトランスデューサ構造では、上記のように開口長を大きくとれないことによって、音響焦点は振動子表面近くに近在化してしまい、音響焦点をバルーンシースの外側に配置することができない場合が出てくる。生体組織を診断する為には音響焦点はバルーンの外側に配置することが必要であり、それを可能とする構造が必要である。この理由からも超音波振動子の開口は矩形開口とせざるを得ない。
【００１５】
一方、図１５に示す矩形圧電エレメント１０１において、極力開口面積を大きくして感度向上を目論んだり、開口寸法を大きくして超音波の集束性を向上したり、音響焦点をシース外径より遠方にしようとすると、矩形開口の長辺と短辺の比Ａ（＝２ａ2／２ａ1）は大きくなる。
【００１６】
この比Ａが大きくなるにつれて中心軸音場の最終ピーク点、即ち音響焦点における音圧は、大きく変動する近距離音場におけるピーク点における音圧よりも小さくなることが知られている（図１６〜図１９）。
【００１７】
これは、最終ピーク点、即ち音響焦点近傍における超音波診断像の輝度が得られなかったり、近距離音場領域に存在するバルーン壁等による多重反射の影響を受け、良質のＢモード像が得られないことを意味している。従って矩形開口でありながら中心軸音場の最終ピーク点、即ち音響焦点における音圧が近距離音場領域におけるピーク音圧よりもできるだけ大きくする必要がある。
【００１８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、受信超音波を高感度、高選択性で検出でき、しかも音響焦点が生体組織の最適位置に来るようにでき、かつ、その点における音圧が近距離音場におけるピーク音圧より低下させることを防ぐことのできる超音波プローブを提供することを目的としている。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明の超音波プローブは、体腔内に挿入する細長状の超音波プローブにおいて、基本波超音波を送信する送信用圧電エレメントと、前記基本波超音波の送信によって対象物内に誘起される高調波信号を受信する受信用圧電エレメントとを具備し、挿入軸方向に細長く形成した台座の上に、複数の前記送信用圧電エレメントによる合成送信超音波音場の中心軸が前記受信用圧電エレメントが有する受信超音波音場の中心軸に一致するようにほぼ密接させて配置して構成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べる。
【００２１】
図１ないし図１３は本発明の一実施の形態に係わり、図１は超音波プローブの構成を示す構成図、図２は図１の超音波プローブに採用可能なフレキシブルシャフトを示す図、図３は図１の超音波振動子の構成を示す構成図、図４は図３の超音波振動子の形状を示す図、図５は図３の超音波振動子の音場特性を示す第１の特性図、図６は図３の超音波振動子の音場特性を示す第２の特性図、図７は図３の超音波振動子の電極接続を説明する図、図８は図３の超音波振動子の電極接続の変形例を説明する図、図９は図３の超音波振動子の製造方法を説明する第１の図、図１０は図３の超音波振動子の製造方法を説明する第２の図、図１１は図３の超音波振動子の製造方法を説明する第３の図、図１２は図３の超音波振動子の製造方法を説明する第４の図、図１３は図３の超音波振動子の製造方法を説明する第５の図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施の形態の超音波プローブ１は、例えば内視鏡の鉗子チャンネルに挿通され体腔内に挿入されるプローブであって、送信基本波超音波２を送信し高調波を含む受信超音波３を受信する超音波振動子４を内設した体腔壁に密着可能なバルーン５と、このバルーン５に連設されたシース６とからなり、シース６のシース内空間７には超音波振動子４を先端に配した超音波振動子４に接続され信号を送受するための２芯同軸ケーブル８が設けられている。
【００２３】
バルーン５内には音響カプラ液９が充填されており、また２芯同軸ケーブル８は、ボールベアリング等からなる回転支持部材１０を介して超音波振動子４に接続され、バルーン５とシース６は回転支持部材１０により水密に接続される（すなわち、音響カプラ液８がバルーン５のみに充填・保持されている）。そして、２芯同軸ケーブル８が回転することにより超音波振動子４が回転軸１１を中心に回転可能となっている。
【００２４】
なお、２芯同軸ケーブル８の代わりに、図２に示すように、中空密着コイル１２からなり２本の１芯同軸ケーブル１３ａ，１３ｂをスプライン状に巻いて収納しているフレキシブルシャフト１４を設けてもよい。
【００２５】
本実施の形態の超音波振動子４は、送受信分離型構造として感度を向上させる構造としている。そのため、図３に示すように、一対の基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂと、これらに挟まれるように配置させる高調波検出目的の受信用圧電エレメント２２を直線状に配列させ、一対の基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂからの送信基本波超音波２を音響レンズ２３を介して送信させている。
【００２６】
なお、一対の基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂには送信圧電エレメント用ダンピング層２５が設けられ、また受信用圧電エレメント２２には受信圧電エレメント用ダンピング層２６が設けられている。音響レンズ２３の裏面と基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂ及び受信用圧電エレメント２２の裏面に電極があり、音響レンズ２３の裏側はＧＮＤ側電極になっている。
【００２７】
ここで、図４に示すように、それぞれの基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂ及び受信用圧電エレメント２２の一辺は等しい寸法に揃えられ、その辺の中心線を回転軸とする。さらに、一対の基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂによって形成される超音波送信音場の中心軸と受信用圧電エレメント２２による超音波受信音場の中心軸が一致するように構成させ、該中心軸上に音響焦点２４を結ばせている。
【００２８】
一対の基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂからなる送信主面の縦横比（ｂ／ａ＝）Ａを１．５〜２．０程度になるようにして、音圧、焦点位置、近距離音場におけるピーク音圧の低減をはかり、良好な超音波診断像を得るようにしている。
【００２９】
これにより高調波を用いることによって、空間分解能やコントラスト分解能が基本波で送受信する場合に比べ改良される。高調波を用いることの更に大きなメリツトは近距離音場におけるピーク音圧を低減できることである。これによって音響焦点における音圧の方が大きくなり、実質的に超音波の深達度が改良される。
【００３０】
図５はその様子を示したもので、主面の長辺と短辺の比Ａが３程度になっても基本波の場合（図６）と異なり、近距離音場におけるピーク音圧の方が大きくなることは無い。また音響焦点も遠方になり、深達度が良くなることが分かる。
【００３１】
しかし一方で、音響焦点におけるピーク音圧は円形開口や主面の長辺と短辺の比Ａが１の場合に比較して半減することになる（図５：Ａ＝３）。そこで、それぞれの基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂの主面の長辺と短辺の比Ａ（＝ｃ／ａ）を略１とすることで（図４参照）、本実施の形態では、基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂの基本波の音響焦点における合成ピーク音圧を大きくすると共に、受信超音波を高感度、高選択性で検出でき、しかも音響焦点が生体組織の最適位置に来るようにでき、かつ、その点における音圧が近距離音場におけるピーク音圧より低下させるを防ぐことを可能としている。
【００３２】
なお、基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂは、例えば、ジルコンチタン酸鉛ＰＺＴやビスマス層状構造体等の圧電セラミクスまたは水晶、ニオブ酸リチウム、ＫＮｂＯ3（ニオブ酸カリウム）等の単結晶からなる圧電素子である。受信用圧電エレメント２２は、例えば、ポリ弗化ビニリデン、シアン化ビニリデン等の高分子樹脂からなる高分子圧電素子、またはエポキシ樹脂等に柱状圧電セラミクスを分布させた複合圧電素子である。
【００３３】
また、２つの基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂのＧＮＤ電極と、受信用圧電エレメント２２のＧＮＤ電極の３つのＧＮＤ電極は同電位とする必要がある。この３つのＧＮＤ電極を同電位とする手段として、図７に示すように、片面に２芯同軸ケーブル８のシールド線３１が接続された電極が形成された樹脂膜（図示せず）の電極側に３つのＧＮＤ電極を接着剤で接合した構造にする。この樹脂膜は後で凹面加工し、音響レンズ２３として用いても良いし、また、樹脂膜だけを除去し、電極膜として残しても良い。樹脂膜を音響整合層として用いてもよい。
【００３４】
また、受信用圧電エレメント２２の駆動電圧入力側の入力電極３２は２芯同軸ケーブル８の一方の信号線３３に半田にて接続され、例えば基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａの駆動電圧入力側の入力電極３４は２芯同軸ケーブル８の他方の信号線３５に半田にて接続されている。ここで、基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ，２１ｂの駆動電圧入力側の入力電極３４，３６は同電位にする必要があるため、同電位設定用配線３７にて半田により入力電極３４，３６が接続されている。
【００３５】
なお、これらの基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ、２１ｂは受信用圧電エレメント２２を挟むように隔離されているので、これらを同電位にするために、上記の如く接続すると、両者間をワイヤで接続すると２つの基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ、２１ｂの片方はワイヤ接続点が１つだが、他の基本波送信用矩形開口圧電エレメントは同軸ケープルヘの接続を含めて２つとなる。
【００３６】
接続点は圧電振動に対する質量負荷となり、２つの基本波送信用矩形開口圧電エレメントの振動振幅に差が発生してしまい、超音波音場の対称性に悪影響する。また半田つけによる接続だと、半田点のぱらつきによって質量負荷の大きさに差異を生ずる。低周波用で圧電エレメントの厚さが厚い時や、面積が大きい時は前記質量負荷のわずかな差異が生じても音場に対する影響は少ない。しかしながら、本発明が目的とする、高周波で、細径プローブに適用する場合、圧電エレメントの厚さは薄くなり、また寸法も小さくなる。圧電エレメントの厚さが薄くなり、また寸法も小さくなってもワイヤ配線の影響を極力低減する手段が必要である。
【００３７】
その手段として、図８に示すように、配線は超音波ワイヤボンディングで行い、かつ、圧電エレメント近傍の隔絶した位置に中継用基板４１を設け、この中継用基板４１に形成された電極パッドにそれぞれの圧電エレメントからの配線を中継する。即ち１つの圧電エレメントにはいずれも半田を用いず、一点のワイヤ接続点４２，４３，４４が一本の細く腰の無いワイヤ４５，４６，４７により中継用基板の電極パッド４８，４９，５０に中継される。なお、２芯同軸ケーブル８のシールド線３１もまた中継用基板のＧＮＤ電極パッド５１に接続される。
【００３８】
ここで、本実施の形態の超音波振動子４の製造方法について説明する。
【００３９】
図９に示すように、片面全面電極形成した受信用圧電板６１の電極形成面側に複数の溝６２を形成し、最終的に音響レンズ２３に加工される樹脂性台板６３に受信用圧電板６１の電極形成面を接合する。この樹脂性台板６３は、超音波プローブ内の圧電エレメントと超音波伝達媒体との音響整合を行う音響整合層を兼ねる。
【００４０】
次に図１０に示すように、切削加工面にて受信用圧電板６１の上面より切削を行い、図１１に示すような受信用圧電エレメント２２を形成し、受信用圧電エレメント２２の表面に対してマスクを用いて部分電極を形成する。
【００４１】
続いて、図１２に示すように、電極形成面側に複数の溝６５を形成した片面全面電極形成した送信用圧電板６４を、該溝６５中央部に受信用圧電エレメント２２が収まるように樹脂性台板６３に送信用圧電板６４の電極形成面を接合する。そして、切削加工面にて送信用圧電板６４の上面より切削を行い、図１３に示すような基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ、２１ｂを形成し、基本波送信用矩形開口圧電エレメント２１ａ、２１ｂの表面に対してマスクを用いて部分電極を形成する。その後、切断部７０にて切断することで、音響レンズ２３に加工される前の超音波振動子４の処理前構造体７１が形成される。この処理前構造体７１の樹脂性台板６３に音響レンズ２３を加工することで、容易且つ安価に複数の超音波振動子４を製造することが可能となる。
【００４２】
［付記］
（付記項１）  前記台座は、２つの前記送信用圧電エレメントを所望の位置にフォーカスできるように構成した音響レンズを兼ねる
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００４３】
（付記項２）  前記台座は、超音波プローブ内の圧電エレメントと超音波伝達媒体との音響整合を行う音響整合層を兼ねる
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００４４】
（付記項３）  前記台座に配線を中継するための中継板が接続されている
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００４５】
（付記項４）  各圧電エレメントヘの信号送受用の配線が、ひとつの圧電エレメントに対し単一の接続がされている
ことを特徴とする付記項３に記載の超音波プローブ。
【００４６】
（付記項５）  前記配線と接続はワイヤボンディングによって形成された
ことを特徴とする付記項３または４に記載の超音波プローブ。
【００４７】
（付記項６）  前記台座には各圧電エレメントの超音波送信側電極の電位をいずれも接地電位にさせるための共通電極が形成されている
ことを特徴とする請求項１ないし４付記項１ないし５のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００４８】
（付記項７）  前記中継板は両面に電極が形成された基板であり、片方の電極は共通電極に接続され、他方の面には一対の電極パッドが形成されている
ことを特徴とする付記項３ないし６のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００４９】
（付記項８）  前記送信用圧電エレメントは、その２辺の比が１以上２以内にある
ことを特徴とする請求項１ないし４付記項１ないし７のいずれか１つに記載の超音波プローブ。
【００５０】
（付記項９）  前記台座上に圧電エレメントを接続配置させる方法が、
その片面に電極が形成され、その面が最終的に受信用圧電エレメントの短辺の長さとなる寸法を残し、最終的な受信用圧電エレメントの厚さとなる深さの複数の溝が形成された受信用圧電エレメント材料板を製造する第１の工程と、
その片面に電極が形成され、その面が最終的に送信用圧電エレメントの短辺の長さとなる寸法を残し、最終的な送信用圧電エレメントの厚さとなる深さを上回る深さの複数の溝が形成された送信用圧電エレメント材料板を製造する第２の工程と、
前記第１の工程で作成した受信用圧電エレメント材料板をその電極側面が台座上に形成した電極に向き合う様に接合する第３の工程と、
接合された前記受信用圧電エレメント材料板の電極が形成されていない面を研削して、最終的な受信用圧電エレメントの厚さに加工する第４の工程と、
前記のように研削して得られる受信用圧電エレメントの電極未形成面に、その側面がコートされないように電極形成する第５の工程と、
前記第２の工程で作成した送信用圧電エレメント材料板をその電極側面が台座上に形成した電極に向き合い  かつその満都が前記第５の工程までの工程で形成した受信用圧電エレメントを跨ぐ様に配置させ接合する第６の工程と、
接合された前記送信用圧電エレメント材料板の電極が形成されていない面を研削して、最終的な送信用圧電エレメントの厚さに加工する第７の工程と、
前記第７の工程のように研削して得られる送信用圧電エレメントの電極未形成面に、その側面がコートされないように電極形成する第８の工程と
を用いたことを特徴とする超音波プローブの製造方法。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、受信超音波を高感度、高選択性で検出でき、しかも音響焦点が生体組織の最適位置に来るようにでき、かつ、その点における音圧が近距離音場におけるピーク音圧より低下させることを防ぐことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る超音波プローブの構成を示す構成図
【図２】図１の超音波プローブに採用可能なフレキシブルシャフトを示す図
【図３】図１の超音波振動子の構成を示す構成図
【図４】図３の超音波振動子の形状を示す図
【図５】図３の超音波振動子の音場特性を示す第１の特性図
【図６】図３の超音波振動子の音場特性を示す第２の特性図
【図７】図３の超音波振動子の電極接続を説明する図
【図８】図３の超音波振動子の電極接続の変形例を説明する図
【図９】図３の超音波振動子の製造方法を説明する第１の図
【図１０】図３の超音波振動子の製造方法を説明する第２の図
【図１１】図３の超音波振動子の製造方法を説明する第３の図
【図１２】図３の超音波振動子の製造方法を説明する第４の図
【図１３】図３の超音波振動子の製造方法を説明する第５の図
【図１４】送受信分離型超音波トランスデューサの送信用超音波振動子の開口面積を説明する図
【図１５】  矩形圧電エレメントの形状を示す図
【図１６】図１５の矩形圧電エレメントの音場特性を示す第１の特性図
【図１７】図１５の矩形圧電エレメントの音場特性を示す第２の特性図
【図１８】図１５の矩形圧電エレメントの音場特性を示す第３の特性図
【図１９】図１５の矩形圧電エレメントの音場特性を示す第４の特性図
【符号の説明】
１…超音波プローブ
２…送信基本波超音波
３…受信超音波
４…超音波振動子
５…バルーン
６…シース
７…シース内空間
８…２芯同軸ケーブル
９…音響カプラ液
１０…回転支持部材
１１…回転軸
１２…中空密着コイル
１３ａ，１３ｂ…１芯同軸ケーブル
１４…フレキシブルシャフト
２１ａ，２１ｂ…基本波送信用矩形開口圧電エレメント
２２…受信用圧電エレメント
２３…音響レンズ
２４…音響焦点
２５…送信圧電エレメント用ダンピング層
２６…受信圧電エレメント用ダンピング層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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