(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のコア部に巻回され高周波電源で駆動される励磁コイルと、
この励磁コイルと共に共振回路を形成する励磁コンデンサと、
前記第１のコア部と平行に離間して設けられる第２のコア部と、
前記第１のコア部と前記第２のコア部との一端部側に位置する又は通過する被検出体を透過する電磁界によって電圧を誘起する、前記第２のコア部に巻回された検出コイルと、
この検出コイルと共に共振回路を形成する検出側コンデンサと
を備えたことを特徴とするセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサであって、
さらに前記第１のコア部と前記第２のコア部との一端部側に、これらコア部の軸と直交する軸方向を有して、その内部に気体又は液体を充満させ又は通過させる管状体を配置したことを特徴とするセンサ。
【請求項３】
第１のコア部に巻回され高周波電源で駆動される励磁コイルと、
この励磁コイルと共に共振回路を形成する励磁コンデンサと、
前記第１のコア部の端部に間隙を介して、その端部が対向配置される第２のコア部と、
前記間隙に位置する又は通過する被検出体を透過する電磁界によって電圧を誘起する、前記第２のコア部に巻回された検出コイルと、
この検出コイルと共に共振回路を形成する検出側コンデンサと
を備えたことを特徴とするセンサ。
【請求項４】
請求項３に記載のセンサであって、
さらに前記間隙に、これらコア部の軸と直交する軸方向を有して、その内部に気体又は液体を充満させ又は通過させる管状体を配置したことを特徴とするセンサ。
【請求項５】
前記第１のコア部および／または前記第２のコア部は磁性体からなることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のセンサ。
【請求項６】
前記励磁コイルと励磁コンデンサの共振周波数と、検出コイルと検出側コンデンサの共振周波数とが等しいことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波電磁界を用い、非接触で被検出体が含んでいる水分や溶融物を測定し、あるいは液体の流量を測定するセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、被検出体（たとえば固形物、粉状物等または気体）が含有する水分（たとえば、紙、肥料等または空気等が含有する水分等）や、液体に溶融した溶融物の濃度（たとえば塩水の塩分濃度）を測定する場合、被検出体からサンプルを採取して測定することが多い。
【０００３】
たとえば、固形物、粉状物が含有する水分測定では、被検出体のサンプルを加熱乾燥で脱水し、この脱水過程で減少する被検出体の重量を測定することにより、被検出体が含有する水分を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、固形物、粉状物等が含有する水分の測定を、被検出体のサンプルを加熱乾燥し脱水して測定すると、被検出体の含有する水分をリアルタイムに測定することができないという問題がある。さらに、肥料等では、サンプル採取時や加熱乾燥時に悪臭が周囲に発散してしまうといった衛生上の問題が生じることがある。
【０００５】
同様に、液体に溶融している溶融物の濃度や、気体が含有している水分の測定を被検出体のサンプル採取により行う場合も、リアルタイムで測定できない等の問題が生じる。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、被検出体が高周波電磁界に晒されたときの特性（静電的さらには電磁的特性）に注目し、被検出体が含有する水分や、液体に溶融する溶融物が、高周波電磁界に与える影響を検出することにより、サンプル採取を行わず且つサンプルにセンサを接触することなく種々の被検出体が含んでいる水分や、液体の溶融物濃度をリアルタイムに測定することができ、さらに液体ではその流量も測定できるセンサを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明によれば、請求項１では、第１のコア部に巻回され高周波電源で駆動される励磁コイルと、この励磁コイルと共に共振回路を形成する励磁コンデンサと、前記第１のコア部と平行に離間して設けられる第２のコア部と、前記第１のコア部と前記第２のコア部との一端部側に位置する又は通過する被検出体を透過する電磁界によって電圧を誘起する、前記第２のコア部に巻回された検出コイルと、この検出コイルと共に共振回路を形成する検出側コンデンサとを備えたセンサが提供される。
【０００７】
請求項３では、第１のコア部に巻回され高周波電源で駆動される励磁コイルと、この励磁コイルと共に共振回路を形成する励磁コンデンサと、前記第１のコア部の端部に間隙を介して、その端部が対向配置される第２のコア部と、前記第１のコア部と前記第２のコア部との間隙に位置する又は通過する被検出体を透過する電磁界によって電圧を誘起する、前記第２のコア部に巻回された検出コイルと、この検出コイルと共に共振回路を形成する検出側コンデンサとを備えたセンサが提供される。
【０００８】
このように構成されるセンサであれば、励磁コイルを駆動する高周波電源により、励磁コイルと励磁コンデンサとからなる共振回路に共振電流が流れて第１のコア部に被検出体を透過する磁束が発生し、この磁束の一部は、第２のコア部を透過して検出コイルと検出側コンデンサとからなる共振回路に高周波電流を誘起し、検出コイルの両端に電磁結合による高周波電圧を発生させる。
【０００９】
また、励磁コイルに流れる高周波電流はこの励磁コイルの両端に高周波電圧を発生させ、この高周波電圧は、浮遊静電容量で検出コイルに静電結合されて検出コイルの両端に静電結合による高周波電圧を発生させる。
したがって、第１のコア部と第２のコア部との近傍（請求項１）または第１のコア部と第２のコア部との間隙（請求項３）を通過する被検出体の誘電率により静電結合である浮遊静電容量が影響を受け、検出コイルの両端に発生する高周波電圧が変化する。また、被検出体の誘電体損失により、さらに被検出体が導電性を有している場合には渦電流損失により、励磁コイルから検出コイルに伝達されるエネルギーが減少する。
【００１０】
ここで上記被検出体の誘電率、誘電体損失、導電率は、上記被検出体に含まれる水分によって変化するので、検出コイルに発生する高周波電圧から被検出体に含まれる水分を測定できる。
また、請求項１に記載のセンサであって、さらに、前記第１のコア部と前記第２のコア部との前記一端部側に、これらコア部の軸と直交する軸方向を有して、その内部に気体又は液体を充満させ又は通過させる管状体を配置したセンサであれば（請求項２）、あるいは、請求項３に記載のセンサであって、さらに前記第１のコア部と前記第２のコア部との間隙に、これらコア部の軸と直交する軸方向を有して、その内部に気体又は液体を充満させ又は通過させる管状体を配置したセンサであれば（請求項４）、被検出体が気体の場合、その気体に含まれる水分によって、該気体の誘電率、誘電体損失、導電率が変化するので、検出コイルに発生する高周波電圧から、気体に含まれる水分を測定できる。また、同様に、被検出体が液体の場合、該液体の溶融物濃度により、被検出体の誘電率、誘電体損失、導電率が変化するので、液体の溶融物の濃度を測定できる。
【００１１】
また、請求項２、４のセンサでは、管状体の内部を通過する被検出体が液体であれば、励磁コイルが発生した磁束を横切る該液体に、該液体の導電率と流速に依存した電流が流れる。この電流は、励磁コイルから検出コイルへの磁気的結合に影響を与えて、検出コイルに発生する高周波電圧を低下させる。したがって、検出コイルの検出に発生する高周波電圧から該液体の流速を測定することができ、流速と管状体の断面積で決まる該液体の流量を測定することができる。
【００１２】
請求項５では、第１のコア部および／または第２のコア部が磁性体であるので、励磁コイルは第１のコア部に磁束密度の高い磁束を発生させることができ、第２のコア部には、磁束密度の高い磁束が透過し、検出コイルにより高い高周波電圧を誘起することができ、センサの感度を向上することができる。
請求項６では、励磁コンデンサと励磁コイルとの共振周波数と、検出側コンデンサと検出コイルとの共振周波数とが等しい。したがって、高周波電源の周波数を上記共振周波数と同一周波数とすれば、被検出体が上記それぞれの共振周波数に浮遊静電容量による静電的影響を与えて、それぞれの共振周波数を変化させ、検出コイルが検出する高周波電圧が大きく変化することになるので、センサの感度を向上することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るセンサを説明する。
図１は、本発明に係るセンサの第１の実施形態における概略構成を示す図である。図１に示すように、センサ１は第１のコア部１０、第２のコア部１１、第１のコア部１０に巻回された励磁コイル１２および第２のコア部１１に巻回された検出コイル１３を主体に構成される。ここで、第１のコア部１０と第２のコア部１１はそれぞれ略同一長の円柱体の磁性体からなり、それぞれの中心軸は平行に配置され、両コア部１０，１１の両端面はそれぞれ略同一平面上に配置されている。
【００１４】
そして、励磁コイル１２に接続された励磁側コンデンサ１４は励磁コイル１２と共に励磁側共振回路Ｔ１を形成し、一方、検出コイル１３に接続された検出側コンデンサ１５は検出コイル１３と共に検出側共振回路Ｔ２を形成している。なお、励磁側コンデンサ１４は、励磁コイル１２が有する、あるいは励磁コイル１２と他の構成要素（たとえば検出コイル１３）との間に存在する浮遊静電容量を含んでおり、検出側コンデンサ１５も同様である。
【００１５】
上記センサ１では、高周波電源１６から、励磁コイル１２の両端１２ａ、１２ｂに、高周波電圧（周波数ｆｏ）が印加される。センサ１が有する検出コイル１３の両端１３ａ、１３ｂは、信号処理回路１７の信号入力端子１７ａ、１７ｂに接続されている。
両コア部１０、１１の上方で、これらコア部１０、１１に近接した位置では、被検出体５０が、たとえばベルトコンベアの搬送ベルト２０に載置されて移動する。
【００１６】
図２は、信号処理回路１７の概略構成を示す図である。図２中の１８は整流回路であり、検出コイル１３から検出される高周波電圧を整流して直流電圧を出力する。図２中の１９はアンプであり、整流回路１８の直流電圧出力を増幅して信号処理回路１７の出力端子１７ｃに出力する。
以下にセンサ１の作用を、図１〜５を用いて説明する。
【００１７】
図１に示すように、センサ１の近傍に、被検出体が存在しない場合には、高周波電源１６の周波数ｆｏに共振した励磁側共振回路Ｔ１に共振電流が流れ、この共振電流によって、第１のコア部１０には、磁束３０が発生すると共に、この磁束３０は第１のコア部１０から放射されて、磁束３０の一部磁束３０ａが第２のコア部１１を透過する。かくして、第１のコア部１０と第２のコア部１１は磁気的に結合する。そうすると、やはり高周波電源１６の周波数ｆｏに共振した検出側共振回路Ｔ２にも共振電流が流れ、検出コイル１３の両端１３ａと１３ｂとの間には高周波電圧が発生する。
【００１８】
また、励磁コイル１２の両端１２ａ、１２ｂにも共振電流で高周波電圧が発生し、この高周波電圧は、励磁側共振回路Ｔ１と検出側共振回路Ｔ２との間に存在する浮遊静電容量からなるコンデンサ４１、４２によって検出コイル１３に伝達され、検出コイル１３の両端１３ａ、１３ｂに高周波電圧を発生させる。
かくして、励磁コイル１２が発生する電磁界を検出コイル１３が検出する場合において、搬送ベルト２０に被検出体５０が載置されていないときには、両共振回路Ｔ１，Ｔ２が高周波電源１６の周波数ｆｏに共振しており、検出コイル１３の両端１３ａ、１３ｂに生じる高周波電圧（以下、「検出電圧」）は最も高くなる。
【００１９】
図３（ａ）は、励磁側共振回路Ｔ１と検出側共振回路Ｔ２が周波数ｆｏに共振した場合の検出コイル１３の検出電圧を示すものであり、高周波電源１６の周波数ｆｏで最も検出電圧が高くなる（ｅｍ（Ｖｐ−ｐ））。なお図３は横軸が周波数で、縦軸が検出コイル１３の検出電圧（Ｖｐ−ｐ）である。
次に、センサ１で、固形物若しくは粉状物又は固形物と粉状物の混合物が含有する水分を測定する場合について説明する。
【００２０】
図４に示すように、被検出体５０が搬送ベルト２０に載置され移動していると、被検出体５０は両コア部１０，１１の上方、且つ近接した位置にある。
この場合、浮遊静電容量からなるコンデンサ４１、４２が形成される空間に、被検出体５０が位置するので、被検出体５０の誘電率（空気の誘電率に比し誘電率が高い）に依存して、上記コンデンサ４１、４２の静電容量が増加する。したがって、図３（ｂ）で実線に示すように、励磁側共振回路Ｔ１，検出側共振回路Ｔ２ともに、共振周波数がたとえばｆ１まで低下する。そうすると高周波電源１６による検出コイル１３の検出電圧はｅ１（Ｖｐ−ｐ）となって、被検出体が存在しない場合（ｅｍ（Ｖｐ−ｐ））に比べて低下する。
【００２１】
ここで、被検出体５０の誘電率は被検出体５０が含んでいる水分に依存するので、上記検出コイル１３の検出電圧低下（ｅｍ−ｅ１）は被検出体５０が含んでいる水分に依存することになる。
また、被検出体５０の誘電体損失も、被検出体５０が含んでいる水分に依存する。ここで、被検出体５０には、第１のコア部１０と第２のコア部１１とを磁気結合している前述の一部磁束３０ａが透過している。したがって、一部磁束３０ａが透過することにより被検出体５０の内部で生じる電磁界によって、被検出体５０の誘電体損失が被検出体５０の含有水分に依存して変化する。さらに、被検出体５０が絶縁物ではなく、導電性を有している場合には、一部磁束３０ａによって、被検出体５０の内部に渦電流が発生し、この渦電流と被検出体５０の電気抵抗によって渦電流損を生じる。ここで、被検出体５０の電気抵抗は被検出体５０が含んでいる水分に依存し、したがって、渦電流損も被検出体５０が含んでいる水分に依存する。
【００２２】
上記誘電体損失と渦電流損とは、一部磁束３０ａによって、第１のコア部１０から第２のコア部１１へ伝達されるエネルギーの損失を生じ、検出コイル１３の検出電圧を低下させる。具体的には、図３（ｃ）に示すように、検出コイル１３の検出電圧は、被検出体５０が含有する水分に依存して、ｅ２（Ｖｐ−ｐ）まで低下する。そうすると、検出コイル１３の検出電圧は、前記検出コイル１３の検出電圧低下（ｅｍ−ｅ１）と共に、図３（ｄ）に示すようにｅ３（Ｖｐ−ｐ）まで低下する。
【００２３】
かくして、被検出体５０が含んでいる水分、たとえば水分の質量（％）と、上記検出コイル１３の検出電圧低下の関係（ｅｍ−ｅ３）を予め測定しておけば、検出コイル１３の検出電圧低下から被検出体５０が含んでいる水分の質量（％）をリアルタイムに求めることができる。
すなわち、検出コイル１３の検出電圧は、前述のように、信号処理回路１７によって、直流電圧へと整流・増幅されるので、信号処理回路１７の出力端子をアナログ・ディジタル変換機能を有するマイクロプロセッサ等で処理することにより、たとえば、被検出体５０が含んでいる水分の質量（％）の測定値を表示することもできる。
【００２４】
したがって、紙や肥料等、固形物、粉状物又は固形物と粉状物の混合物の乾燥工程において、粉状物又は固形物等が含有する水分をリアルタイムに測定することができる。
なお、被検出体によっては、導電性を有しないため渦電流損を生じない場合でも、誘電体損失は生じるので、上記の測定に支障はない。また、搬送ベルト２０は、磁束３０が被検出体５０に透過するのを妨げない材料からなることが好ましい。
【００２５】
次に、センサ１で気体の湿度又は気体が含む水分を測定する場合を説明する。この場合、図５に示すように、センサ１の上方、且つセンサ１に近接した位置に、両コア部１０、１１の中心軸と略直交する方向に、その中心軸を有するパイプ２１を配置し、パイプ２１の内部に被検出体５０である気体を充満又は流入させる。
【００２６】
ここで、気体である被検出体５０の誘電率、誘電体損失は、該気体に含まれる水分に依存する。したがって、該気体に含まれる水分によって、図４の場合と同様に、励磁側共振回路Ｔ１，検出側共振回路Ｔ２の共振周波数低下と、励磁側共振回路Ｔ１から検出側共振回路Ｔ２へ伝達されるエネルギーの損失とを生じるので、たとえば、被検出体５０の湿度（％）または被検出体に含まれる水分の質量（％）と、上記検出コイル１３の検出電圧低下の関係（ｅｍ−ｅ３）を予め測定しておけば、検出コイル１３の検出電圧低下から、被検出体５０の気体の湿度（たとえば空気の湿度（％））、または被検出体５０に含まれる水分の質量（％）を測定できる。
【００２７】
次に、センサ１で液体に溶融している溶融物の濃度を測定する場合について説明する。この場合も、図５に示すように、パイプ２１の内部に液体である被検出体５０を流入させる。
ここで、上記液体である被検出体５０の誘電率、誘電体損失は、該液体の溶融物濃度に依存する。したがって、図４の場合と同様に、上記被検出体５０により、励磁側共振回路Ｔ１，検出側共振回路Ｔ２の共振周波数低下および励磁側共振回路Ｔ１から検出側共振回路Ｔ２へ伝達されるエネルギーの損失が生じるので、該液体の溶融物濃度と、上記検出コイル１３の検出電圧低下の関係（ｅｍ−ｅ３）を予め測定しておけば、検出コイル１３の検出電圧低下から被検出体５０である液体の溶融物濃度（たとえば塩水の塩分濃度（たとえば質量（％）））をリアルタイムに求めることができる。
【００２８】
なお、パイプ２１は、磁束３０が被検出体５０に透過するのを妨げない材料からなることが好ましい。
次に、センサ１で液体の流量を測定する場合について説明する。この場合も、図５において、パイプ２１の内部に液体である被検出体５０を流入させる。
そうすると、被検出体５０は、第１のコア部１０が生じる一部磁束３０ａを、該液体の流速で横切ることになる。ここで被検出体５０が有する導電率によって、被検出体５０は、一部磁束３０ａを横切る導体として作用し、被検出体５０の導電率と流速とに依存した電流が流れる。この電流はさらなる新たな磁束を発生するので、第１のコア部１０と第２のコア部１１とを磁気的に結合する一部磁束３０ａに影響を与え、第１のコア部１０と第２のコア部１１との磁気的結合を変化させる。そうすると、第１のコア部１０から第２のコア部１１へ伝達される磁気エネルギーが減少し、図３（ｃ）のように、検出コイル１３の検出電圧が低下する。
【００２９】
上記、第１のコア部１０と第２のコア部１１との磁気的結合の変化は、被検出体５０の流速（たとえば、ｍ／秒）に依存しており、したがって、流速とパイプ２１の断面積との関係から、被検出体５０の流量（たとえば、立方ｍ／秒）を測定できる。ここで、予め、被検出体５０の流量と検出コイル１３の検出電圧低下を測定しておけば、検出コイル１３の検出電圧低下から、被検出体５０の流量をリアルタイムに測定できる。
【００３０】
次に、図６を用いて、本発明に係るセンサの第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付してその説明を省略する。
図６に示すように、センサ２は第１のコア部１０、第２のコア部１１、励磁コイル１２および検出コイル１３を主体に構成される。ここで、第１のコア部１０と第２のコア部１１はそれぞれ略同一長の円柱体をなし、それぞれの中心軸が一致して、第１のコア部の端部が第２のコア部の端部に間隙を介して配置されている。
【００３１】
上記間隙では、第１のコア部１０の上方、且つ第１のコア部１０に近接した位置で、被検出体５０が、たとえばベルトコンベアの搬送ベルト２０に載置されて移動し、被検出体５０が上記間隙を通過できるようになっている。
図６に示すように、搬送ベルト２０に被検出体５０が載置されていない場合、高周波電源１６（周波数ｆｏ）で駆動される周波数ｆｏに共振した励磁側共振回路Ｔ１には、共振電流が流れ、第１のコア部１０には、磁束３０が発生すると共に、この磁束３０の一部磁束３０ａが第２のコア部１１を透過する。かくして、第１のコア部１０と第２のコア部１１は磁気的に結合し、ｆｏに共振した検出側共振回路Ｔ２の検出コイル１３の両端には高周波電圧が発生する。
【００３２】
また、励磁コイル１２の両端１２ａ、１２ｂに発生した高周波電圧は、浮遊静電容量からなるコンデンサ４１、４２によって検出コイル１３に伝達され、検出コイル１３の両端１３ａ、１３ｂに高周波電圧を発生させる。
かくして、励磁コイル１２が発生する電磁界を検出コイル１３が検出する場合、搬送ベルト２０に被検出体５０が載置されていないときには、検出コイル１３の両端１３ａ、１３ｂに生じる検出電圧が最も高くなる（ｅｍ（Ｖｐ−ｐ））。
【００３３】
次に、センサ２で固形物若しくは粉状物、又は固形物と粉状物の混合物が含有する水分の測定について説明する。
ここで、図７に示すように、搬送ベルト２０に被検出体５０が載置され移動していると、被検出体５０は両コア部１０，１１の間の隙部を搬送される。そうすると、浮遊静電容量からなるコンデンサ４１、４２が形成され空間に、被検出体５０が位置する。また、一部磁束３０ａが、第１のコア部１０から被検出体５０を透過して、さらに第２のコア部１１へと透過する。
【００３４】
したがって、前記センサ１と同様に、被検出体５０の誘電率によって、上記コンデンサ４１、４２の静電容量が増加する。また被検出体５０の誘電体損失が生じ、さらに被検出体５０が絶縁物ではなく導電性を有している場合には、渦電流損も生じる。
かくして、センサ２でも、センサ１と同様に、検出コイル１３の検出電圧が、図３（ｄ）に示すようにｅ３（Ｖｐ−ｐ）まで低下し、センサ１と同様に、たとえば、被検出体５０が含んでいる水分の質量（％）をリアルタイムに求めることができる。
【００３５】
次に、センサ２で気体の湿度の測定する場合を説明する。この場合も、図８に示すように、両コア部１０，１１の間隙に、両コア部１０、１１の中心軸と略直交する方向に、その中心軸を有するパイプ２１を配置し、パイプ２１の内部に被検出体５０である気体を流入させる。
そうすると、センサ１と同様に、該気体に含まれる水分によって、励磁側共振回路Ｔ１，検出側共振回路Ｔ２の共振周波数低下と、励磁側共振回路Ｔ１から検出側共振回路Ｔ２へ伝達されるエネルギーの損失とを生じるので、検出コイル１３の検出電圧低下から、被検出体５０の気体の湿度（％）、または被検出体５０に含まれている水分の質量（％）を測定できる。
【００３６】
次に、センサ２で液体に溶融している溶融物の濃度の測定について説明する。この場合も、図８に示すように、パイプ２１の内部に溶融物を含んだ液体である被検出体５０を流入させる。
そうすると、センサ１と同様に、該気体に含まれる水分によって、励磁側共振回路Ｔ１，検出側共振回路Ｔ２の共振周波数低下と、励磁側共振回路Ｔ１から検出側共振回路Ｔ２へ伝達されるエネルギーの損失とを生じるので、検出コイル１３の検出電圧低下から被検出体５０の溶融物濃度（たとえば質量（％））をリアルタイムに求めることができる。
【００３７】
次に、センサ２で液体の流量を測定する場合について説明する。この場合も、図８に示すように、パイプ２１の内部に溶融物を含んだ液体である被検出体５０を流入させる。
そうすると、センサ１と同様に、該液体が、第１のコア部１０と第２のコア部１１との磁気的結合に寄与する一部磁束３０ａを横切ることにより電流が発生し、この電流が一部磁束３０ａに影響を与え、検出コイル１３の検出電圧が低下する。かくして、検出コイル１３の検出電圧低下から、被検出体５０である該液体の流量をリアルタイムに測定できる。
【００３８】
なお、第１および第２に実施形態共に、被検出体を、搬送ベルトに載置してセンサの近傍を搬送することとして説明したが、搬送ベルトの変わりに、被検出体を搬送せず載置するだけの手段であってもよいし、また、被検出体の重量を測定する秤をセンサと共に用いてもよい。
また、被検出体は、固形物、粉状物若しくはこれらの混合物、又は気体であっても、上記のように、センサの検出コイルの出力電圧の低下から含有水分や溶融物濃度が測定できるものならば、紙、肥料、空気に限定されるものではない。
【００３９】
さらに、上述のセンサでは、測定に適した高周波電源の周波数を選択する。上記実施形態においては、たとえば１０ｋＨｚ〜５０ＭＨｚの範囲で周波数を選択している。
以上、本発明にかかるセンサは、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で、各種変形して実施することができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上、本発明のセンサによれば、被検出体が高周波電磁界に晒されたときの特性（静電的さらには電磁的特性）に注目し、被検出体が含有する水分や、液体に溶融する溶融物が、高周波電磁界に与える影響を検出することにより、サンプル採取を行わず且つサンプルにセンサを接触することなく種々の被検出体が含んでいる水分や、液体の溶融物濃度をリアルタイムに測定でき、さらに液体ではその流量も測定できるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るセンサの第１の実施形態における概略構成を示す図である。
【図２】信号処理回路１７の概略構成を示す図である。
【図３】励磁側共振回路、検出側共振回路の変化とセンサの検出コイルの検出電圧特性を示す図である。
【図４】図１のセンサで被検出体の含有水分等を測定するときの概略構成を示す図である。
【図５】図１のセンサで気体の含有水分、液体の溶融物濃度を測定するときの概略構成を示す図である。
【図６】本発明に係るセンサの第２の実施形態における概略構成を示す図である。
【図７】図６のセンサで被検出体の含有水分等を測定するときの概略構成を示す図である。
【図８】図１のセンサで気体の含有水分、液体の溶融物濃度を測定するときの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
１、２  センサ
１０    第１のコア部
１１    第２のコア部
１２    励磁コイル
１３    検出コイル
１４    励磁側コンデンサ
１５    検出側コンデンサ
１６    高周波電源
２１    パイプ
５０    被検出体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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