(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄するための洗浄装置であって、
前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄室と、
前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施すブラシ洗浄室と、
前記ブラシ洗浄室を経た前記液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄室と、を含んでなることを特徴とする、洗浄装置。
【請求項２】
前記ブラシ洗浄室にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該ブラシ洗浄室における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であることを特徴とする、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記アライメントマーカは十字型であることを特徴とする、請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄するための洗浄方法であって、
前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、
前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施すブラシ洗浄工程と、
前記ブラシ洗浄工程を経た前記液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄工程と、を含んでなることを特徴とする、洗浄方法。
【請求項５】
前記ブラシ洗浄工程にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該ブラシ洗浄工程における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であることを特徴とする、請求項４に記載の洗浄方法。
【請求項６】
前記アライメントマーカは十字型であることを特徴とする、請求項４または５に記載の洗浄方法。
【請求項７】
基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を含む２種類の液晶パネル用部材を、液晶層を介して貼り合わせてなる液晶表示装置の製法であって、
前記液晶パネル用部材の前記配向膜をラビングする第１工程と、
前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施す第２工程と、
前記第２工程を経た前記液晶パネル用部材を洗浄する第３工程と、
前記第１工程、前記第２工程、および前記第３工程を経た前記２種類の液晶パネル用部材を、前記アライメントマーカを基準にして位置合わせをして貼り合わせる第４工程と、を含むことを特徴とする、液晶表示装置の製法。
【請求項８】
前記第２工程にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該第２工程における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であることを特徴とする、請求項７に記載の液晶表示装置の製法。
【請求項９】
前記アライメントマーカは十字型であることを特徴とする、請求項７または８に記載の液晶表示装置の製法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高輝度かつ高精細かつ薄型軽量である液晶表示装置の製造工程において、基板表面にポリイミド樹脂などの高分子材料にて配向膜を成膜した後、導電性レーヨン原糸などを織って作られたバフ材であるラビング布でラビング処理し、そして、かかる液晶パネル用部材に対し洗浄する洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【０００２】
さらに本発明は液晶パネル用部材の基板の非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを洗浄し、これによって高い精度でもって液晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】
液晶表示装置（ＬＣＤ）を製造する場合、まず一方のガラス基板上には平行に配列した多数のインジウム・ティン・オキサイド又はインジウムスズ酸化化合物（ＩＴＯ）からなる透明電極と二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）などの絶縁性を持つ薄膜であるオーバーコート層とを順次形成する。
【０００４】
また、他方のガラス基板上には、画素ごとに赤・緑・青の各色を配したカラーフィルターと各カラーフィルター間にクロム金属もしくは感光性レジストのブラックレジストを配した遮光膜とを形成し、さらに平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とを順次形成する。
【０００５】
次にポリイミド樹脂などの配向性を持つ薄膜である配向膜にて、双方の透明電極に対し覆うように成膜し、その後、この膜面をラビング布である決まった方向に擦ってラビング処理を行っている。
【０００６】
しかしながら、このラビング処理工程では、樹脂材料である配向膜を擦るために、削りかすが発生し、そのために、かかる液晶パネル用部材の表面に対し洗浄処理を行っていた。
【０００７】
このような洗浄処理においては、ラビング処理により配向膜に発生した配向特性が変化しないように洗浄することが重要であり、そのためにイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）やフロンなどの溶剤ならびに純水などを使用して基板の洗浄処理・乾燥処理が行われていた。
【０００８】
ところで、このようなラビング処理や基板の洗浄処理の後には、一対の液晶パネル用部材を貼り合わせる工程があるが、そのために双方の液晶パネル用部材における基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けている。
【０００９】
すなわち、一方の基板にＩＴＯなどで形成された雄型のアライメントマーカを、他方の基板にもＩＴＯなどで形成された雌型のアライメントマーカを形成し、そして、画像認識処理によりアライメントマーカの重心座標を読取り、その値を用いて両方の基板の高精度な位置合せを実施した後、液晶層を介してシール材により互いの基板が貼合せられていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術では、たとえばＩＰＡで基板表面の洗浄を実施しながら基板表面の濡れ性の改善処理を行い、そして、基板表面を純水に置換してから超音波（ウルトラソニック・ＵＳ）や高周波の超音波（メガソニック・ＭＳ）を使用して基板表面に付着したμｍオーダーの微小な異物の除去を行い、その後、基板表面の水分除去を行うために乾燥処理を行っても、ラビング工程にて付着したアライメントマーカの汚れが完全に除去できなかった。
【００１１】
そのために、画像処理手法を用いて、ＳＴＮタイプの液晶表示装置によれば、２種類の液晶パネル用部材である信号側基板と走査側基板に対し、各々が有するアライメントマーカの重心座標を精密に検出し、位置合せを実施しようとしても、画像認識のアルゴリズムにおいてアライメントマーカに付着している汚れをアライメントマーカの一部分と認識していた。よって、実際のパターン幅より大きい幅であると認識し、計算されたパターンの重心座標は、実際の重心座標と異なった値が得られていた。その結果、貼合せ工程にて貼合せ精度が、たとえば目的値の５μｍ以下に達しないという課題があった。
【００１２】
この課題を解消するために、特開平７−７７６７７号公報によれば、基板表面に対し純水をカーテン状に流下させて供給し、ラビング処理後の基板表面に付着した異物を除去する技術が提案されている。
【００１３】
しかしながら、基板表面に対し純水をカーテン状に流下させて洗浄能力を向上させたとしても、ラビング工程にて付着したアライメントマーカの汚れを完全に除去することがむずかしく、そのために、基板貼合せ工程にて貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しないという問題が、いまだ未解決のままであった。
【００１４】
したがって、本発明は叙上に鑑みて完成されたものであり、その目的は液晶パネル用部材の非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去できる洗浄装置および洗浄方法を提供することにある。
【００１５】
本発明の他の目的は、貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを洗浄し、高い精度でもって液晶パネル用部材を貼るようにした液晶表示装置の製法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の洗浄装置は、基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄するためのものであって、前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄室と、前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施すブラシ洗浄室と、前記ブラシ洗浄室を経た前記液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄室と、を含んでなることを特徴とする。本洗浄装置において、前記ブラシ洗浄室にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該ブラシ洗浄室における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であるのが好ましい。本洗浄装置において前記アライメントマーカは十字型であるのが好ましい。
【００１７】
本発明の洗浄方法は、基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄するための方法であって、前記液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施すブラシ洗浄工程と、前記ブラシ洗浄工程を経た前記液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄工程と、を含んでなることを特徴とする。本洗浄方法において、前記ブラシ洗浄工程にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該ブラシ洗浄工程における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であるのが好ましい。本洗浄方法において前記アライメントマーカは十字型であるのが好ましい。
【００１８】
本発明の液晶表示装置の製法は、基板上に電極と配向膜とを順次形成してなる表示領域外の非表示領域に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を含む２種類の液晶パネル用部材を、液晶層を介して貼り合わせてなる製法であって、前記液晶パネル用部材の前記配向膜をラビングする第１工程と、前記アライメントマーカを設けた部分を含む前記非表示領域のみにブラシ洗浄処理を施す第２工程と、前記第２工程を経た前記液晶パネル用部材を洗浄する第３工程と、前記第１工程、前記第２工程、および前記第３工程を経た前記２種類の液晶パネル用部材を、前記アライメントマーカを基準にして位置合わせをして貼り合わせる第４工程と、を含むことを特徴とする。本製法において、前記第２工程にて前記ブラシ洗浄処理を施す領域は、該第２工程における前記液晶パネル用部材の搬送方向と平行となる領域であるのが好ましい。本製法において前記アライメントマーカは十字型であるのが好ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（液晶表示装置）
最初に本発明の洗浄装置および洗浄方法に用いる液晶表示装置の一例を、図面により詳述する。
【００２０】
図１はＳＴＮ型単純マトリックスタイプのカラー液晶表示装置の要部拡大断面図を示すものである。
【００２１】
図１のカラー液晶表示装置において、１は信号側のガラス基板であり、２は走査側のガラス基板である。
【００２２】
一方の液晶パネル用部材によれば、ガラス基板１上には平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極３と、ＳｉＯ2などの絶縁性を持つ薄膜であるオーバーコート層４と、一方向に配向処理を施したポリイミド樹脂などの配向性を持つ薄膜である配向膜５とを順次形成している。
【００２３】
他方の液晶パネル用部材によれば、ガラス基板２上に画素ごとに赤・緑・青色を配したカラーフィルター６と、各カラーフィルター６間にクロム金属もしくは感光性レジストのブラックレジスト７を配した遮光膜とを形成している。
【００２４】
上記カラーフィルター６は、顔料分散方式、すなわちあらかじめ顔料により調合された感光性レジストを基板上に塗布し、フォトリソグラフィにより形成している。図中のＲ・Ｇ・Ｂの各表示はそれぞれ赤・緑・青に着色した感光性レジストであることを示す。
【００２５】
これらカラーフィルター６とブラックレジスト７の上にアクリル系樹脂などからなる表面保護層としてのオーバーコート層８と、上記透明電極３と互いに直交し、かつ平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極９と、一方向に配向処理を施したポリイミド樹脂などの配向性を持つ薄膜である配向膜１０とを順次構成している。
【００２６】
そして、一方の液晶パネル用部材と他方の液晶パネル用部材とを、たとえば２５０゜の角度で捻られたカイラルネマティック液晶からなる液晶層１１を介してシール材１２により互いに貼り合わせる。
【００２７】
さらに、両パネル部材の間には液晶層１１の厚みを一定に保持するためにプラスティックなどで作られたスペーサ１７を多数個配している。
【００２８】
なお、本例の液晶表示装置ではオーバーコート層４・８を設けているが、とくに設けなくてもよい。
【００２９】
また、ガラス基板１の外側に位相差板１３と偏光板１４とを順次設け、他のガラス基板２の上に位相差板１５と偏光板１６とを順次設ける。
【００３０】
（洗浄装置および洗浄方法）
図３は本発明の洗浄装置の概略を示す。
基本的な装置構成は、上述した液晶表示装置に関し、基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄するために、前記アルコール洗浄室と、前記ブラシ洗浄室と、前記純水洗浄室とからなるが、これらアルコール洗浄室とブラシ洗浄室は、前処理兼ブラシ洗浄室１にて共通されている。そして、前処理兼ブラシ洗浄室１に対し、純水洗浄室である洗浄液置換室２が接続されている。
【００３１】
実際には図３に示すように前処理兼ブラシ洗浄室１、洗浄液置換室２、超音波洗浄室３および水切り乾燥室４を順次連設して構成されている。
【００３２】
さらに、各室には液晶パネル用部材である基板Ｓを搬送するための搬送ローラー５が一列に配列されている。
【００３３】
そして、上記構成の洗浄装置を用いて、前記アルコール洗浄工程と、ブラシ洗浄工程と、純水洗浄工程とを順次経ることで、本発明の洗浄を達成する。
【００３４】
以下、各工程を図３に示す洗浄装置にて説明する。
【００３５】
アルコール洗浄工程：
前処理兼ブラシ洗浄室１には、搬送される基板Ｓの上方にＩＰＡシャワーヘッド６が配設されている。
【００３６】
このＩＰＡシャワーヘッド６は、ＩＰＡを貯留したＩＰＡタンク７に高圧ポンプ８を介して配管接続されており、この高圧ポンプを駆動させることにより、ＩＰＡタンク７からＩＰＡシャワーヘッド６へＩＰＡが供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。
【００３７】
ＩＰＡシャワーヘッド６は、基板Ｓの搬送方向に対して直交する方向に設置されており、ＩＰＡを基板表面に対してカーテン状に噴出することができ、基板Ｓ表面全体を濡らすことができる。
【００３８】
ブラシ洗浄工程：
続いて、搬送ローラー５で基板Ｓを搬送しながら、基板搬送方向に対して平行に位置する基板端面の二辺に端面洗浄ブラシ９を回転させながら当接させる。
【００３９】
このブラッシングについては、液晶パネル用部材の基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみを対象にするが、図２に示すように、ブラシ洗浄処理を実施する領域は、基板搬送方向に対して平行となる基板Ｓ上の斜線部分１ａと斜線部分１ｂの領域である。
【００４０】
図４にて、端面洗浄ブラシ９の形状を示す。ａ、ｂ、ｃの３とおりがあるが、左側は側面図、右側は正面図である。
【００４１】
図４ａはロール形状であり、図４ｂはディスク形状であり、図４ｃは直線形状である。なお、基板Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接しないこと、且つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマーカに端面洗浄ブラシ９が当接され、汚れが除去できるのであれば、端面洗浄ブラシ９の形状は限定されるものではない。
【００４２】
また、端面洗浄ブラシ９が基板Ｓに当接している際に、回転運動や往復運動などをさせてもよい。ただし、基板Ｓの表示面内に端面洗浄ブラシ９が当接しないこと、且つ、貼り合せ工程で用いるアライメントマーカにブラシが当接され、汚れが除去できるのであれば、ブラシの回転運動、往復運動および動作方向は限定されるものではない。
【００４３】
また、端面洗浄ブラシ９の材質は、一般的にナイロンを使用すればよい。しかし、貼合せ工程で用いるアライメントマーカに付着した汚れが除去できるのであれば、端面洗浄ブラシ９の材質は限定されるものではない。
【００４４】
純水洗浄工程：
次の洗浄液置換室２には、搬送される基板Ｓの上方に置換シャワーヘッド１０が配設されている。
【００４５】
この置換シャワーヘッド１０は、純水供給配管に接続されており、置換シャワーヘッド１０から純水が供給され、搬送されてきた基板表面に噴出される。置換シャワーヘッド１０は、基板Ｓの搬送方向に対して直交する方向に設置されており、純水を基板表面に対してカーテン状に噴出することができ、基板表面に乗っているＩＰＡを純水に置換することができる。ＩＰＡを置換した純水廃液は、置換タンク１１に一時的に貯められた後、回収廃棄される。
【００４６】
次に、超音波洗浄室３には、搬送される基板Ｓの上方に超音波発生器と超音波シャワーヘッドを備えた超音波洗浄装置１２が基板Ｓの搬送方向に沿って複数個が並設されている。
【００４７】
各超音波洗浄装置１２のシャワーヘッドは、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ１４を介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４を駆動させることにより、純水タンク１３から超音波洗浄装置１２の超音波シャワーヘッドへ純水が供給され、その純水に超音波が付与され、搬送ローラー５で搬送されてきた基板表面に噴出されることで、基板表面の洗浄が実施される。
【００４８】
さらに、同じ超音波洗浄室３には、搬送される基板Ｓの上方にＭＳ発生器とＭＳシャワーヘッドを備えたＭＳ洗浄装置１５が基板Ｓの搬送方向に沿って複数個が並設されている。各ＭＳ洗浄装置１５のシャワーヘッドは、純水を貯留した純水タンク１３に高圧ポンプ１４を介して配管接続されており、この高圧ポンプ１４を駆動させることにより、純水タンク１３からＭＳ洗浄装置１５のＭＳシャワーヘッドへ純水が供給され、その純水にＭＳが付与され、搬送ローラー５で搬送されてきた基板表面に噴出されことにより、基板表面の洗浄が実施される。
【００４９】
最後に、水切り乾燥室４では、加圧空気源に接続配管されたエアーナイフ１６が複数配設されている。そして、洗浄が終了してから搬送ローラー５で搬送されてきた基板Ｓの表面に向かって加圧空気を吹きつけることにより、基板表面に残留する水滴を除去し乾燥させる。
【００５０】
【実施例】
次に、本発明のような枚葉式の洗浄方法について、以下のように評価した。
また、本例において、本発明の液晶表示装置の製法を述べる。
【００５１】
（例１）
工程（１）：
基板上に電極と配向膜とを順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を作製する。
【００５２】
詳細には、まず、信号基板としてＩＴＯ膜が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備した。
【００５３】
次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、液晶表示装置（ＬＣＤ）の表示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００５４】
つづけて、導電性レーヨン原糸を織って作られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一部分に異物２が付着していることを確認した。
【００５５】
工程（２）と工程（３）：
前記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブラッシングする。その後、前記液晶パネル用部材を洗浄する。
【００５６】
すなわち、図４ａに示すようなローラー形状の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に対し、前記基板（液晶パネル用部材）を投入し、前述したようにブラッシングを行って、洗浄処理を実施した。
【００５７】
ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると、図５ｂに示すようにアライメントマーカ３に付着していた異物が除去されていること確認した。
【００５８】
工程（４）：
（１）〜（３）の各工程を経た２種類の液晶パネル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わせして貼り合わせる。
【００５９】
以下、この工程を詳細に述べる。
信号基板に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
【００６０】
次に、基板の膜面同士を当接させ、画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００６１】
この結果、信号基板と走査基板とのアライメントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ方向は＋４μｍ、Ｙ方向は＋２μｍであった。基板内の電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達した。
【００６２】
（例２）
まず、信号基板としてＩＴＯ膜が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備した。
【００６３】
次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００６４】
次いで、導電性レーヨン原糸を織って作られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ａのようにアライメントマーカ１の一部分に異物２が付着していることを確認した。
【００６５】
そして、図４ｂに示すようなディスク形状の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板を投入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると、図５ｂのようにアライメントマーカ３に付着していた異物が除去されていること確認した。
【００６６】
その後、信号基板に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。
【００６７】
しかる後、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００６８】
この結果、信号基板と走査基板とのアライメントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ方向は−３μｍ、Ｙ方向は＋１μｍであった。基板内の電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達した。
【００６９】
（例３）
まず、信号基板としてＩＴＯ膜が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備した。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００７０】
次に、導電性レーヨン原糸を織って作られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一部分には異物２が付着していることを確認した。
【００７１】
そして、図４ｃに示すような直線形状の端面洗浄ブラシが設置されている洗浄装置に前記基板を投入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ｂのようにアライメントマーカ３に付着していた異物が除去されていること確認した。
【００７２】
次いで、信号基板に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００７３】
この結果、信号基板と走査基板とのアライメントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ方向は＋２μｍ、Ｙ方向は−３μｍであった。基板内の電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せずれはなく、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達した。
【００７４】
（比較例）
まず、信号基板としてＩＴＯ膜が全面に成膜された厚さ０．７ｍｍの４２０ｍｍ×５３０ｍｍのガラス基板と、走査基板としてカラーフィルター上にＩＴＯ膜が全面に成膜されたガラス基板とを準備した。次に、フォトリソグラフィ手法にて電極パターンを形成し、ロール印刷手法を用いて、ＬＣＤの表示部分に配向膜を成膜した後、２４０℃で焼成を行った。
【００７５】
次に、導電性レーヨン原糸を織って作られたラビング布で前記基板をラビング処理した。ここで、貼り合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ａに示すようにアライメントマーカ１の一部分には異物２が付着していることを確認した。
【００７６】
次に、基板端面の洗浄ローラーが設置されていない洗浄装置に前記基板を投入し、洗浄処理を実施した。ここで、貼合せ工程で使用するアライメントマーカを顕微鏡観察すると図５ａと同様にアライメントマーカ１に異物２が付着したままであったことを確認した。
【００７７】
次に、信号基板に液晶の漏れを防止するためのエポキシ樹脂などで作られた周辺シール材を形成し、走査基板に液晶層の厚みを一定に保持するためのプラスティックなどで作られたスペーサを多数個配した。次に、基板の膜面どうしを当接させ、画像処理手法を用いて、信号基板と走査基板が有するアライメントマーカの精密な位置合せを実施した。
【００７８】
この結果、信号基板と走査基板とのアライメントマーカの重心座標の距離差を測定したところ、Ｘ方向は＋１１μｍ、Ｙ方向は＋１５μｍであり、画像処理によるアライメントマーカの重心座標検出が正常にできなかった。さらに、基板内の電極パターンの位置ずれ具合を観察したところ、透明電極と遮光膜の位置合せずれが生じ、貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達しないために、光漏れが生じ、表示特性不良が発生した。
【００７９】
本発明者が繰り返しおこなった実験によれば、基板端面から２５ｍｍ以内をブラシ洗浄処理する枚葉式基板洗浄方法により、基板端面に付着した汚れ、とくにアライメントマーカに付着した汚れを完全に除去でき、貼合せ工程での貼合せ精度が目的値の５μｍ以下に達したことを確認した。そして、従来においては、平行に配列した多数のＩＴＯからなる透明電極とブラックレジストを配した遮光膜の位置合せずれが原因で光漏れなどの表示特性不良が発生していたが、貼り合せ精度が目的値の５μｍ以下に達することにより表示特性不良が消失したことも確認した。
【００８０】
【発明の効果】
以上のとおり、本発明によれば、洗浄装置として、基板上に電極とラビング処理した配向膜とを順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材を洗浄する装置構成において、液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄室と、前記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄室と、このブラッシング洗浄後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄室とからなることを特徴とし、そして、本発明の洗浄方法によれば、液晶パネル用部材をアルコール液にて洗浄するアルコール洗浄工程と、上記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブラッシングするブラシ洗浄工程と、このブラッシング処理後の液晶パネル用部材を純水液にて洗浄する純水洗浄工程とからなることで、液晶パネル用部材の非表示領域上に設けた、貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカに付着した汚れを、さらに効果的に除去できた。
【００８１】
また、本発明の液晶表示装置の製法によれば、基板上に電極と配向膜とを順次形成して表示領域を成し、かつこの基板の非表示領域上に貼り合わせ位置決め用のアライメントマーカを設けた液晶パネル用部材に対し、（１）液晶パネル用部材の配向膜をラビングする、（２）前記基板のアライメントマーカが形成された非表示領域の部分のみにブラッシングする、（３）前記液晶パネル用部材を洗浄する、（４）２種類の液晶パネル用部材を、アライメントマーカを基準にして位置合わせして貼り合わせる、いう各工程を経ることで、高い精度でもって液晶パネル用部材を貼ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＳＴＮ型単純マトリックスタイプのカラー液晶表示装置における要部拡大断面図である。
【図２】本発明に係る基板表面の端面部分においてブラシ洗浄処理を行う領域を示す概略図である。
【図３】本発明の洗浄装置の概略を示す図である。
【図４】ａ、ｂおよびｃは本発明に係る基板端面洗浄ブラシの概略構成例を示し、左図はその正面図であり、右図はその側面図である。
【図５】ａは洗浄前のアライメントマーカの状態図であり、ｂは洗浄後のアライメントマーカの状態図である。
【符号の説明】
１・・・前処理兼ブラシ洗浄室
２・・・洗浄液置換室
３・・・超音波洗浄室
４・・・水切り乾燥室
５・・・搬送ローラー
９・・・端面洗浄ブラシ
１２・・・超音波洗浄装置
Ｓ・・・基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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