(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に気泡を発生させるための熱エネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が表面に並列に複数設けられた素子基板と、
前記素子基板上に直接固定される固定部、及び前記吐出エネルギ発生素子に距離を隔てて対面するように設けられ、前記気泡により変位する自由端を有する複数の可動部を備える可動部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記可動部材は、各可動部の自由端が変位する際の支点となる付け根が前記固定部の隅部から前記自由端側に離れた位置にあることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記可動部材は窒化シリコンで形成される請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドを着脱自在に保持し、被記録媒体の面に沿って往復移動可能に支持されたキャリッジを有し、
前記液体吐出ヘッドから液体を吐出して被記録媒体に記録を行う液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紙、糸、繊維、布、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックなどの被記録媒体に対して記録を行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができるものである。
【０００２】
なお、本発明における「記録」とは、文字や図形などのように意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与するすることだけでなく、パターンなどのように意味を持たない画像を付与することをも意味するものである。
【０００３】
【従来の技術】
熱などのエネルギをインクに与えることで、インクに急峻な体積変化（気泡の発生）を伴う状態変化を生じさせ、このインクの状態変化に基づく作用力によって吐出口からインクを吐出し、これを被記録媒体上に付着させて画像形成を行うインクジェット記録方法、いわゆるバブルジェット記録方法が従来知られている。このバブルジェット記録方法を用いる記録装置には、米国明細書第４７２３１２９号に開示されているように、インクを吐出するための吐出口と、この吐出口に連通するインク流路と、インク流路内に配された、インクを吐出するためのエネルギ発生手段としての電気熱変換体が一般に配されている。
【０００４】
このような記録方法によれば、品位の高い画像を高速、低騒音で記録することができると共に、この記録方法を行うヘッドではインクを吐出するための吐出口を高密度に配置することができるため、小型の装置で高解像度の記録画像、さらにカラー画像をも容易に得ることができるという多くの優れた利点を有している。このため、このバブルジェット記録方法は、近年、プリンター、複写機、ファクシミリなどの多くのオフィス機器に利用されており、さらに、捺染装置などの産業用システムにまで利用されるようになってきている。
【０００５】
このようにバブルジェット技術が多方面の製品に利用されるに従って、次のような様々な要求が近年さらに高まっている。
【０００６】
例えば、エネルギ効率の向上の要求に対する検討としては、発熱体の保護膜の厚さを調整するといった発熱体の最適化が挙げられている。この手法は、発生した熱の液体への伝搬効率を向上させる点で効果がある。
【０００７】
また、高画質な画像を得るために、インクの吐出スピードが速く、安定した気泡発生に基づく良好なインク吐出を行える液体吐出方法などを与えるための駆動条件が提案されたり、また、高速記録の観点から、吐出された液体の液流路内への充填（リフィル）速度の速い液体吐出ヘッドを得るために液流路の形状を改良したものも提案されたりしている。
【０００８】
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、それぞれ従来の液体吐出ヘッドの要部上面図及び断面図である。
【０００９】
素子基板１００上に固定部１０６ｄで支持固定された可動部材１０６は、可動部１０６ｃの自由端１０６ｂが付け根１０６ａを支点として矢印Ａ方向に変位するように形成されている。
【００１０】
可動部材１０６の上面側はインクの流路である液流路であり、矢印Ｂはインクの流れる方向である。発熱体１０２はインクに気泡を発生させるためのエネルギを発生するものであり、気泡は発熱体２の上面に発生する。この気泡により、可動部材１０６の自由端１０６ｂは上方に変位するとともに、インクは不図示の吐出口から吐出される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、基本的に従来の気泡、特に膜沸騰に伴う気泡を液流路中に形成して液体を吐出する方式の、根本的な吐出特性を、従来では予想できない水準に高めることを主たる課題とする。
【００１２】
発明者たちは、従来では得られなかった気泡を利用した新規な液滴吐出方法、およびその方法を用いたヘッドなどを提供すべく鋭意研究を行った。このとき、液流路中の可動部材の機構の原理を解析するといった液流路中の可動部材の動作を起点とする第１技術解析、および気泡による液滴吐出原理を起点とする第２技術解析、さらには、気泡形成用の発熱体の気泡形成領域を起点とする第３解析を行い、これらの解析によって、可動部材の支点と自由端の配置関係を吐出口側つまり下流側に自由端が位置する関係にすること、また可動部材を発熱体もしくは、気泡発生領域に面して配することで積極的に気泡を制御する全く新規な技術を確立するに至った。
【００１３】
次に、気泡自体が吐出量に与えるエネルギを考慮すると気泡の下流側の成長成分を考慮することが吐出特性を格段に向上できる要因として最大であるとの知見に至った。つまり、気泡の下流側の成長成分を吐出方向へ効率よく変換させることこそ吐出効率、吐出速度の向上をもたらすことも判明した。
【００１４】
さらに、気泡を形成するための発熱領域、例えば電気熱変換体の液体の流れ方向の面積中心を通る中心線から下流側、あるいは、発泡を司る面における面積中心などの気泡下流側の成長にかかわる可動部材や液流路などに構造的要素を勘案することも好ましいということがわかった。
【００１５】
しかしながら、この液体吐出ヘッドにて耐久性を確認したところ、初期の段階で図７（ｂ）に示した、可動部１０６ｃの付け根１０６ａから破断するという問題があった。
【００１６】
そこで、本発明は、気泡の発生に基づく圧力による可動部材の自由端の変位を利用して液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、可動部材の耐久性を向上させ、吐出特性が安定した、信頼性の高い液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本願発明の液体吐出ヘッドは、液体に気泡を発生させるための熱エネルギを発生する吐出エネルギ発生素子が表面に並列に複数設けられた素子基板と、素子基板上に直接固定される固定部、及び吐出エネルギ発生素子に距離を隔てて対面するように設けられ、気泡により変位する自由端を有する複数の可動部を備える可動部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、可動部材は、各可動部の自由端が変位する際の支点となる付け根が固定部の隅部から自由端側に離れた位置にあることを特徴とする。
【００１８】
上記の通り構成された本発明の液体吐出ヘッドの可動部材は、各可動部の自由端が変位する際の支点となる付け根が固定部の隅部から自由端側に離れた位置にある。
【００１９】
可動部材は、窒化シリコンで形成されるものでもよい。
【００２１】
本発明の液体吐出装置は、本発明の液体吐出ヘッドを着脱自在に保持し、被記録媒体の面に沿って往復移動可能に支持されたキャリッジを有し、
ヘッドカートリッジの液体吐出ヘッドから液体を吐出して被記録媒体に記録を行うものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
図１は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態の基本的な構造を説明するための、液流路方向に沿った断面図である。
【００２４】
図１に示すように、この液体吐出ヘッドは、液体に気泡を発生させるための熱エネルギーを与える複数個（図１では１つのみ示す）の発熱体２が並列に設けられた素子基板１と、この素子基板１上に接合された天板３と、素子基板１および天板３の前端面に接合されたオリフィスプレート４とを有する。
【００２５】
素子基板１は、シリコン等の基体上に絶縁および蓄熱を目的とした酸化シリコン膜または窒化シリコン膜を成膜し、その上に、発熱体２を構成する電気抵抗層および配線電極をパターニングしたものである。この配線電極から電気抵抗層に電圧を印加し、電気抵抗層に電流を流すことで発熱体２が発熱する。
【００２６】
天板３は、各発熱体２に対応した複数の液流路７および各液流路７に液体を供給するための共通液室８を構成するためのもので、天井部分から各発熱体２の間に延びる流路側壁９が一体的に設けられている。天板３はシリコン系の材料で構成され、液流路７および共通液室９のパターンをエッチングで形成したり、シリコン基板上にＣＶＤ等の公知の成膜方法により窒化シリコン、酸化シリコン等の流路側壁９となる材料を推積した後、液流路７の部分をエッチングして形成することができる。
【００２７】
オリフィスプレート４には、各液流路７に対応しそれぞれ液流路７を介して共通液室８に連通する複数の吐出口５が形成されている。オリフィスプレート４もシリコン系の材料からなるものであり、例えば、吐出口５を形成したシリコン基板を１０〜１５０μｍ程度の厚さに削ることにより形成される。なお、オリフィスプレート４は本発明には必ずしも必要な構成ではなく、オリフィスプレート４を設ける代わりに、天板３に液流路７を形成する際に天板３の先端面にオリフィスプレート４の厚さ相当の壁を残し、この部分に吐出口５を形成することで、吐出口付きの天板とすることもできる。
【００２８】
さらに、この液体吐出ヘッドには、発熱体２に対面して配置され、素子基板１に直接固定された片持梁状の可動部材６が設けられている。可動部材６は、窒化シリコンや酸化シリコン等のシリコン系の材料、あるいは弾性に優れたニッケル等で形成された薄膜である。
【００２９】
この可動部材６は、液体の吐出動作によって共通液室８から可動部材６の上方を経て吐出口５側ヘ流れる大きな流れの上流側において素子基板１に固定部６ｄで支持固定され、可動部６ｃの自由端６ｂが変位する際の支点となる付け根６ａが構成されている。さらに、この付け根６ａに対して下流側に自由端６ｂを持つように、発熱体２に面した位置に自由端６ｂを発熱体２の中央付近に位置させて発熱体２から所定の距離を隔てて配されている。また、この発熱体２と可動部材６との間が気泡発生領域１０となる。
【００３０】
上記構成に基づき、発熱体２を発熱させると、可動部材６と発熱体２との間の気泡発生領域１０の液体に熱が作用し、これにより発熱体２上に膜沸騰現象に基づく気泡が発生し、成長する。この気泡の成長に伴う圧力は可動部材６に優先的に作用し、可動部材６の自由端６ｂは図１に破線で示されるように、付け根６ａを中心に吐出口５側に大きく開くように変位する。可動部材６の変位もしくは変位した状態によって、気泡の発生に基づく圧力の伝搬や気泡自身の成長が吐出口５側に導かれ、吐出口５から液体が吐出する。
【００３１】
つまり、気泡発生領域１０上に、液流路７内の液体の流れの上流側（共通液室８側）に付け根６ａを持ち下流側（吐出口５側）に自由端６ｂを持つ可動部材６を設けることによって、気泡の圧力伝搬方向が下流側ヘ導かれ、気泡の圧力が直接的に効率よく吐出に寄与することになる。そして、気泡の成長方向自体も圧力伝搬方向と同様に下流方向に導かれ、上流より下流で大きく成長する。このように、気泡の成長方向自体を可動部材によって制御し、気泡の圧力伝搬方向を制御することで、吐出効率や吐出力または吐出速度等の根本的な吐出特性を向上させることができる。
【００３２】
一方、気泡が消泡工程に入ると、可動部材６の弾性力との相乗効果で気泡は急速に消泡し、可動部材６も最終的には図１に実線で示した初期位置に復帰する。このとき、気泡発生領域１０での気泡の収縮体積を補うため、また、吐出された液体の体積分を補うために、上流側すなわち共通液室８側から液体が流れ込み、液流路７ヘの液体の充填（リフィル）が行われるが、この液体のリフィルは、可動部材６の復帰作用に伴って効率よく合理的かつ安定して行われる。
【００３３】
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、それぞれ図１に示した液体吐出ヘッドの要部上面図及び断面図である。素子基板１上に形成された可動部材６は、フォトリソグラフィやエッチングなどの半導体装置の製造工程を経て、固定部６ｄにより固定されており、発熱体２のそれぞれに対面する可動部６ｃの先端部は自由端６ｂとなっている。ここで、図２（ｂ）に示すように、付け根６ａが固定部６ｄの端部を示すラインＣに形成されずに、ラインＤの位置に形成されている。これにより、可動部材６の支点は固定部６ｄの端部ではなく、付け根６ａとなる。したがって、自由端６ｂが変位したときの隅部６ｅへの応力集中が避けられる。さらに、図２（ａ）に示すように、ラインＤの位置に支点となる付け根６ａが形成されることで、付け根６ａが隣り合う可動部６ｃと共通化されることで応力分散がなされる。これらにより、可動部材６の強度アップを図ることができ、耐久性を著しく向上させることができる。その結果、長期の使用にわたっても可動部材６が安定して変位するので、吐出特性も安定し、信頼性の高い液体吐出ヘッドが得られる。
【００３４】
図３は、図１に示した素子基板１を示す平面図である。図３に示すように、素子基板１の天板３側の面には、複数の発熱体２が素子基板１の一方の縁部に沿って並列に配置されている。素子基板１のその面の中央部がヒータドライバ形成領域２１となっており、ヒータドライバ形成領域２１に、複数の発熱体２が並ぶ方向と同じ方向に並ぶ複数のヒータドライバが形成されている。また、ヒータドライバ形成領域２１の、発熱体２側と反対側の部分には、シフトレジスタラッチ２２が形成されている。
【００３５】
図４は、図３のＡ部の拡大図である。本実施形態で用いた素子基板１としては、記録画像の解像度が６００ｄｐｉ（dot per inch）以上となる高密度ヒータ配列のものを用いている。素子基板１上での配線の引き回しを考慮して、発熱体２を駆動するヒータドライバの列が一段となっている。図３に示したヒータドライバ形成領域２１には、図４に示すように、発熱体２が並ぶ方向と同じ方向に並ぶヒータドライバ３１が形成されている。ヒータドライバ３１のピッチは発熱体２のピッチと同じであり、そのピッチＰ1は、１５〜４２μｍとなっている。
【００３６】
ヒータドライバ３１は、ヒータドライバ３１が並ぶ方向に対して垂直な方向に延びるソース３２と、ソース３２と平行なドレイン３３およびゲート３４とで構成されている。ドレイン３３は発熱体２と電気的に接続されている。また、ヒータドライバ形成領域２１には、金属層で構成されたヒータ駆動電源３５およびグランド３６が形成されている。
【００３７】
ここで、ヒータドライバ３１の条件としては、高耐圧（１０〜５０Ｖ程度）であり、かつ、前記のようにピッチ１５〜４２μｍという非常に狭い幅で配置できるドライバが必要である。その条件を満足するヒータドライバ３１として、オフセットＭＯＳ型、ＬＤＭＯＳ型、ＶＤＭＯＳ型トランジスタなどを用いることができる。
【００３８】
図５は、図１に示した素子基板１の変形例を示す拡大図である。図４に示したものでは、ヒータドライバ３１のピッチと、発熱体２のピッチとが同じであったが、図５に示されるものでは、ヒータドライバ３１のピッチＰ3が発熱体２のピッチＰ2の２倍になっている。このような素子基板１を用いて１つのノズルに複数の発熱体２を配置し、１つのノズルで複数の発熱体２を駆動することによって、階調記録を行うことができる。
【００３９】
次に、図４または図５に示した構成の素子基板１において、記録画像の解像度が１２００ｄｐｉとなるように発熱体２が配列される例について説明する。この場合、発熱体２を駆動するための電源の電圧は、配線の抵抗や、電源自体のばらつき、ヒータドライバ３１のばらつきなどを考慮すると、なるべく高くすることが望ましい。本実施形態では、電源の電圧を２４Ｖにした。発熱体２のピッチは約２１μｍとなり、発熱体２の幅を、マージンを含めて１４μｍとした。１２００ｄｐｉの記録密度に必要な発熱体２の面積を確保するために、発熱体２の長さを６０μｍとした。ここで、発熱体２を数μｓの間隔で駆動するためには、発熱体２の抵抗値を大きくすることが必要であり、発熱体２のシート抵抗値としては５０Ω／□以上が要求される。
【００４０】
そこで、１２００ｄｐｉ用の発熱体２の材料としてＴａＳｉＮを用いることによって、発熱体２の抵抗値を２００Ω以上に設定した。ヒータドライバ３１としては、比較的、幅を小さくすることができるＬＤＭＯＳ型トランジスタを用いた。このように構成された液体吐出ヘッドを駆動することによって、１２００ｄｐｉの記録画像を得ることができた。
【００４１】
上記のように、発熱体２が高密度に配置された液体吐出ヘッドにおいて、ヒータドライバ３１として、オフセットＭＯＳ型、ＬＤＭＯＳ型、ＶＤＭＯＳ型トランジスタなどを用いることによって、素子基板１にヒータドライバ３１を一列（一段）に高密度に配置することでき、素子基板１で効率のよい配線のレイアウトが可能となる。その結果、素子基板１をチップサイズに小型化することができる。また、５０Ω／□以上とシート抵抗が高い材料を用いた発熱体２と、上記の種類のＭＯＳなど、１０Ｖ以上の電圧に耐えうる高耐圧のヒータドライバ３１とを組み合わせることによって、発熱体２にかかる電圧のばらつきが少ない液体吐出ヘッドの構成が実現される。
【００４２】
ここで、他の実施形態の液体吐出ヘッドについて説明する。
【００４３】
図６は本発明の液体吐出ヘッドの１つの実施の形態を液流路方向で切断した断面図で示すとともに、液流路内の特徴的な現象を（ａ）〜（ｆ）の工程に分けて示したものである。
【００４４】
本形態の液体吐出ヘッドでは、液体を吐出するための吐出エネルギー発生素子として、液体に熱エネルギーを作用させる発熱体２が平滑な素子基板１に設けられており、素子基板１上に発熱体２に対応して液流路１０が配されている。液流路１０は吐出口１８に連通していると共に、複数の液流路１０に液体を供給するための共通液室１３に連通しており、吐出口１８から吐出された液体に見合う量の液体をこの共通液室１３から受け取る。符号Ｍは吐出液が形成するメニスカスを表し、メニスカスＭは、吐出口１８及びそれに連通する液流路１０の内壁によって発生する毛細管力によって通常負圧である共通液室１３の内圧に対して、吐出口１８近傍でつり合っている。
【００４５】
液流路１０は、発熱体２を備えた素子基板１と天板５０が接合されることで構成されており、発熱体２と吐出液との接する面の近傍領域には、発熱体２が急速に加熱されて吐出液に発泡を生じさせる気泡発生域１１が存在する。この気泡発生領域１１を有する液流路１０に可動部材３１の少なくとも一部が発熱体２と対面するように配されている。この可動部材３１は吐出口１８に向かう下流側に自由端３２を有すると共に、上流側に配置された支持部材３４に支持されている。特に本形態では、上流側へのバック波及び液体の慣性力に影響する、気泡の上流側半分の成長を抑制するため、自由端３２が気泡発生領域１１の中央付近に配されている。そして可動部材３１は気泡発生領域１１で発生する気泡の成長に伴い、支持部材３４に対して変位可能である。この変位するときの支点３３は支持部材３４との境界よりも自由端３２側に位置する。
【００４６】
気泡発生領域１１の中央上方にはストッパ（規制部）６４が位置していて、気泡の上流側半分の成長を抑制するために可動部材３１の変位をある範囲で規制している。共通液室１３から吐出口１８への流れにおいて、ストッパ６４を境に上流側に、液流路１０と比較して相対的に流路抵抗の低い低流路抵抗領域６５が設けられている。この領域６５における流路構造は上壁がなかったり流路断面積が大きいことなどで、液の移動に対し流路から受ける抵抗を小さくしている。
【００４７】
本発明の液体吐出ヘッドで採用した可動部材は、図１の破線に示すような状態において、該可動部材が発生した気泡に伴って、大きくたわむ際の支点の強度アップを図ることができる。
【００４８】
次に、図６（ａ）〜（ｃ）に本発明に適用可能な固定部６ｆ〜６ｈの上面透視図を示す。
【００４９】
図２に示した固定部６ｄの隅部６ｅ側の端面が直線であったのに対し、図６（ａ）に示すような凹型形状や、図６（ｂ）に示すような凸型形状や、図６（ｃ）に示すような波型形状であってもよい。これら図６（ａ）〜（ｃ）に示す曲線形状とすることで可動部６ｃへの応力がより広範に分散される。これにより特定の可動部６ｃに応力が集中するのを防止している。
【００５０】
なお、特定の可動部６ｃへの応力集中が防止されるのであれば、図６（ａ）〜（ｃ）に示した形状以外であっても構わない。
【００５１】
図７は、上述した液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置を示す斜視図である。本実施形態では、特に吐出液体としてインクを用いた液体吐出装置ＩＪＲＡを用いて説明する。図７に示すように、液体吐出装置ＩＪＲＡに備えられたキャリッジＨＣは、インクを収容する液体容器９０と液体吐出ヘッド２００とが着脱可能なヘッドカートリッジ２０２を搭載している。また、液体吐出装置ＩＪＲＡには被記録媒体搬送手段が備えられており、その被記録媒体搬送手段で搬送される記録紙などの被記録媒体１５０の幅方向（矢印ａ，ｂ方向）に、キャリッジＨＣが往復運動する。液体吐出装置ＩＪＲＡでは、不図示の駆動信号供給手段からキャリッジＨＣ上の液体吐出ヘッド２００に駆動信号が供給されると、この駆動信号に応じて液体吐出ヘッド２００から被記録媒体１５０に対して記録液体が吐出される。
【００５２】
さらに、液体吐出装置ＩＪＲＡは、被記録媒体搬送手段およびキャリッジＨＣを駆動するための駆動源としてのモータ１１１、モータ１１１からの動力をキャリッジＨＣに伝えるためのギア１１２，１１３、およびキャリッジ軸８５ａ，８５ｂなどを有している。この液体吐出装置ＩＪＲＡによって、各種の被記録媒体に対して液体を吐出させることで良好な画像の記録物を得ることができた。
【００５３】
図８は、本発明の液体吐出ヘッドを適用したインク吐出記録装置を動作させるための装置全体のブロック図である。
【００５４】
図８に示すように、記録装置は、ホストコンピュータ３００より印字情報を制御信号４０１として受ける。印字情報は記録装置内部の入出力インターフェイス３０１に一時保存されると同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるＣＰＵ３０２に入力される。ＣＰＵ３０２は、ＲＯＭ３０３に保存されている制御プログラムに基づき、ＣＰＵ３０２に入力されたデータをＲＡＭ３０４などの周辺ユニットを用いて処理し、印字するデータ（画像データ）に変換する。
【００５５】
また、ＣＰＵ３０２は、前記画像データを記録用紙上の適当な位置に記録するために、画像データに同期して記録用紙および液体吐出ヘッド２００を移動させる駆動用モータ３０６を駆動するための駆動データを作る。画像データがヘッドドライバ３０７を介して液体吐出ヘッド２００に伝達されると共に、モータ駆動データがモータドライバ３０５を介して駆動用モータ３０６に伝達される。これにより、液体吐出ヘッド２００および駆動用モータ３０６がそれぞれ、制御されたタイミングで駆動されることで画像が形成される。
【００５６】
上述のような記録装置に適用でき、インクなどの液体の付与が行われる被録媒体としては、各種の紙やＯＨＰシート、コンパクトディスクや装飾板などに用いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅などの金属板、牛皮、豚皮、人工皮革などの皮革材、木、合板などの木材、竹材、タイルなどのプラスチック材、スポンジなどの三次元構造体などを対象とすることができる。
【００５７】
また、上述の記録装置として、各種の紙やＯＨＰシートなどに対して記録を行うプリンタ装置、コンパクトディスクなどのプラスチック材に記録を行うプラスチック用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、皮革に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木材用記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミックス用記録装置、スポンジなどの三次元網状構造体に対して記録を行う記録装置、また布帛に記録を行う捺染装置などをも含むものである。
【００５８】
また、これらの液体吐出装置に用いる吐出液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に合わせた液体を用いればよい。
【００５９】
以上説明したように本願発明によれば、可動部材は、各可動部の自由端が変位する際の支点となる付け根が固定部の隅部から自由端側に離れた位置にあるため、可動部が変位する際の応力集中が避けられる。これにより、可動部材の耐久性が向上するため、吐出特性が安定し、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の液体吐出ヘッドの基本的な構造を説明するための、液流路方向に沿った断面図である。
【図２】本発明の液体吐出ヘッドの要部上面図及び断面図である。
【図３】図１に示した素子基板を示す平面図である。
【図４】図３のＡ部の拡大図である。
【図５】図１に示した素子基板の変形例を示す拡大図である。
【図６】本発明に適用可能な固定部を示す透視図である。
【図７】本発明の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置を示す斜視図である。
【図８】本発明の液体吐出ヘッドを適用したインク吐出記録装置を動作させるための装置全体のブロック図である。
【図９】従来の液体吐出ヘッドの要部上面図及び断面図である。
【符号の説明】
１    素子基板
２    発熱体
３    天板
４    オリフィスプレート
５    吐出口
６    可動部材
６ａ    付け根
６ｂ    自由端
６ｃ    可動部
６ｄ、６ｆ、６ｇ、６ｈ    固定部
６ｅ    隅部
７    液流路
８    共通液室
９    流路側壁
１０    気泡発生領域
２１    ヒータドライバ形成領域
２２    シフトレジスタラッチ
３１    ヒータドライバ
３２    ソース
３３    ドレイン
３４    ゲート
３５    ヒータ駆動電源
３６    グランド
９０    液体容器
８５ａ、８５ｂ    キャリッジ軸
１０１    ＰＳＧ膜
１０２、１０４    ＳｉＮ膜
１０３    耐エッチング保護膜
１１１    モータ
１１２、１１３    ギア
１５０    被記録媒体
２００    液体吐出ヘッド
２０２    ヘッドカートリッジ
３００    ホストコンピュータ
３０１    入出力インターフェース
３０２    ＣＰＵ
３０３    ＲＯＭ
３０４    ＲＡＭ
３０５    モータドライバ
３０６    駆動用モータ
３０７    ヘッドドライバ
４０１    制御信号
【図１】
0003907329.tif 000002
【図２】
0003907329.tif 000003
【図３】
0003907329.tif 000004
【図４】
0003907329.tif 000005
【図５】
0003907329.tif 000006
【図６】
0003907329.tif 000007
【図７】
0003907329.tif 000008
【図８】
0003907329.tif 000009
【図９】
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