(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムの露出された前記感光性樹脂層を、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込んで送り、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法において、
前記積層体フィルムと前記基板との間に、これらと共に前記ラミネーションロール間に挟み込まれるとき、前記基板への感光性樹脂層の張付領域と張付不要領域との境界線近傍で、前記感光性樹脂層に喰い込んで、これを前記境界線近傍に沿って基板送り方向に遮断する基板幅方向の線状突起を備え、且つ、前記基板に対して容易に剥離可能な介在シートを、前記張付不要領域を被って配置することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項２】
請求項１において、前記介在シートを前記積層体シートを供給するフィルムロールから前記ラミネーションロールの間の位置で、前記感光性樹脂層に張り付けることを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項３】
請求項１において、前記介在シートを前記ラミネーションロールよりも基板搬送方向上流位置で、前記基板における前記張付不要領域を被って基板に仮付けすることを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項４】
請求項１、２又は３において、前記介在シートを、先行基板の後端側における前記境界線近傍から後行基板の先端側における前記境界線近傍まで連続する長さとしたことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記介在シートにおける前記線状突起を、前記ラミネーションロールにより挟み込まれるとき、先端が、感光性樹脂層に対して基板搬送方向に変位し、該先端の変位により感光性樹脂層を基板送り方向に掻き取るようにしたことを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記基板に張り付けられている前記積層体フィルムの前記透光性支持フィルムを、前記介在シート及びこの介在シートと透光性支持フィルムとの間の感光性樹脂層と共に、連続的に基板から剥離することを特徴とするフィルム張付方法。
【請求項７】
少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムの露出された前記感光性樹脂層を、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込んで送り、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるようにしたフィルム張付装置において、基板幅方向には、少なくとも積層体フィルムの幅と等しく、基板搬送方向には、該基板への感光性樹脂層の張付不要領域の長さよりも長く、一方の面に、前記感光性樹脂層の厚さよりも高く突出した基板幅方向の線状突起を備えた介在シートと、この介在シートを、前記基板上の感光性樹脂層の張付領域と前記張付不要領域との境界線近傍又は前記感光性樹脂層の前記境界線近傍に対応する位置で、前記線状突起が感光性樹脂層に向き、且つ、基板への重畳時に該基板における前記境界線から少なくともその近傍の基板搬送方向端部までを被うように、基板又は感光性樹脂層の一方に仮付けする介在シート張付け装置とを設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項８】
請求項７において、前記基板に張り付けられている前記積層体フィルムの前記透光性支持フィルムを、前記介在シート、及び、この介在シートが張り付いている感光性樹脂層と共に基板から剥離して、基板上の張付必要領域の感光性樹脂層から分離する支持フィルム剥離装置を設けたこと特徴とするフィルム張付装置。
【請求項９】
請求項７において、前記介在シートの前記線状突起は、基板送り方向一方の端部が、略Ｌ字状に屈曲して形成されたこと特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１０】
請求項７又は８において、前記線状突起は、基板送り方向で、且つ、シート面と直交する断面の形状が、先端先細りとされたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１１】
請求項７、８又は９において、前記線状突起は、前記介在シートの基板への張付状態でラミネーションロールに挟み込まれるとき、先端が基板搬送送り方向に一定範囲で変位するように構成されたことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項１２】
請求項７乃至１０のいずれかにおいて、前記介在シートは、搬送される先行基板の後端から後行基板の先端までの基板間の隙間を被う長さとされ、その両端近傍に、前記先行基板の後端側の境界線近傍に喰い込む線状突起、及び、前記後行基板の先端側の境界線近傍に喰い込む線状突起を備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連続張りタイプのものがある。
【０００４】
又、フィルムロールから巻き出した積層体フィルムを、対応する基板の長さに応じて切断し、切断された各積層体フィルムの先端を基板の先端に仮付けして、ラミネーションロール間に通して積層体フィルムを基板に張り付けるようにしたものがある。
【０００５】
ここで、基板が、例えば液晶表示パネル用の場合、複数のカラーフィルタ等の感光性樹脂層を基板上に順次積層することになるが、その位置合わせのため、基板の枠状の外周部分に目印が設けられている。
【０００６】
しかしながら、ここに感光性樹脂層を連続的に張り付けると、位置合わせのための目印が見えなくなったり、又検知が困難となるという問題点がある。
【０００７】
これに対して、例えば特開平７−１１０５７５号公報に開示されるフィルム張付装置は、積層体フィルムにおける感光性樹脂層を被うカバーフィルムを剥離する前に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広めに、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられるべき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的に張り付けるようにしている。
【０００８】
従って、基板の端部から基板長手方向中央よりの一定範囲では、感光性樹脂層と基板との間に残されたカバーフィルムが介在するので、透光性支持フィルムを、不要部分の感光性樹脂層と共に剥離した後は感光性樹脂層が基板の枠状外周部に設けられている目印を被ったりすることがない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平７−１１０５７５号公報に開示されるフィルム張付装置では、基板への張付け前に、カバーフィルム及び感光性樹脂層を切断しなければならず、基板との位置合わせが難しいという問題点がある。
【００１０】
又、基板に張り付けられた透光性支持フィルムを剥離する場合、各基板間の位置で透光性支持フィルム及び残っているカバーフィルムを切断し、その端部をもって基板から引張るのであるが、この際、カバーフィルムと透光性支持フィルムの間の不要な感光性樹脂層が剥離されるとき、基板上の必要な感光性樹脂層まで連続して剥離されないように、カバーフィルムの切断時に感光性樹脂層も予め確実に切断しなければならない。
【００１１】
しかしながら、感光性樹脂層はその流動性が高いため、カッターによる切断は容易でなく、切断が不十分であるときには、透光性支持フィルム剥離の際に、基板上の必要な感光性樹脂層まで剥がされてしまうことがあるという問題点がある。
【００１２】
又、積層体フィルムを基板長さに応じて切断して、一枚ずつ各基板に張り付けるフィルム張付装置においては、切断されたフィルムの前後端に、基板への張付時に十分に引張り力を付与することができないので、張付け後に基板と感光性樹脂層との間に気泡が発生してしまうという問題点がある。
【００１３】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、積層体フィルムを予め切断（ハーフカット）したりすることなく、又基板への張付状態で基板と感光性樹脂層との間に気泡が発生したりすることなく、フィルムを基板に張り付けることができるようにしたフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、請求項１のように、少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムの露出された前記感光性樹脂層を、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込んで送り、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法において、前記積層体フィルムと前記基板との間に、これらと共に前記ラミネーションロール間に挟み込まれるとき、前記基板への感光性樹脂層の張付領域と張付不要領域との境界線近傍で、前記感光性樹脂層に喰い込んで、これを前記境界線近傍に沿って基板送り方向に遮断する基板幅方向の線状突起を備え、且つ、前記基板に対して容易に剥離可能な介在シートを、前記張付不要領域を被って配置することを特徴とするフィルム張付方法により上記目的を達成するものである。
【００１５】
又、請求項２のように、前記介在シートを前記積層体シートを供給するフィルムロールから前記ラミネーションロールの間の位置で、前記感光性樹脂層に張り付けるようにしてもよい。
【００１６】
更に、請求項３のように、前記介在シートを前記ラミネーションロールよりも基板搬送方向上流位置で、前記基板における前記張付不要領域を被って基板に仮付けするようにしてもよい。
【００１７】
又、請求項４のように、前記介在シートを、先行基板の後端側における前記境界線近傍から後行基板の先端側における前記境界線近傍まで連続する長さとするようにしてもよい。
【００１８】
又、請求項５のように、前記介在シートにおける前記線状突起を、前記ラミネーションロールにより挟み込まれるとき、先端が、感光性樹脂層に対して基板搬送方向に変位し、該先端の変位により感光性樹脂層を基板送り方向に掻き取るようにしてもよい。
【００１９】
更に、請求項６のように、前記基板に張り付けられている前記積層体フィルムの前記透光性支持フィルムを、前記介在シート及びこの介在シートと透光性支持フィルムとの間の感光性樹脂層と共に、連続的に基板から剥離するようにしてもよい。
【００２０】
本装置発明は、請求項７のように、少なくとも透光性支持フィルムと感光性樹脂層とを積層してなる積層体フィルムの露出された前記感光性樹脂層を、基板搬送面上を間欠的に連続して搬送されてくる基板のフィルム張付面に向けた状態で基板搬送面に沿って供給し、基板に重ねた状態でラミネーションロールに挟み込んで送り、複数の基板に連続的に積層体フィルムを張り付けるフィルム張付装置において、基板幅方向には、少なくとも積層体フィルムの幅と等しく、基板搬送方向には、該基板への感光性樹脂層の張付不要領域の長さよりも長く、一方の面に、前記感光性樹脂層の厚さよりも高く突出した基板幅方向の線状突起を備えた介在シートと、この介在シートを、前記基板上の感光性樹脂層の張付領域と前記張付不要領域との境界線近傍又は前記感光性樹脂層の前記境界線近傍に対応する位置で、前記線状突起が感光性樹脂層に向き、且つ、基板への重畳時に該基板における前記境界線から少なくともその近傍の基板搬送方向端部までを被うように、基板又は感光性樹脂層の一方に仮付けする介在シート張付け装置とを設けたことを特徴とするフィルム張付装置により、上記目的を達成するものである。
【００２１】
又、請求項８のように、前記基板に張り付けられている前記積層体フィルムの前記透光性支持フィルムを、前記介在シート、及び、この介在シートが張り付いている感光性樹脂層と共に基板から剥離して、基板上の張付必要領域の感光性樹脂層から分離する支持フィルム剥離装置を設けるようにしてもよい。
【００２２】
更に、請求項９のように、前記介在シートの前記線状突起は、基板送り方向一方の端部が、略Ｌ字状に屈曲して形成するようにしてもよい。
【００２３】
更に又、請求項１０のように、前記線状突起は、基板送り方向で、且つ、シート面と直交する断面の形状が、先端先細りとするようにしてもよい。
【００２４】
又、請求項１１のように、前記線状突起は、前記介在シートの基板への張付状態でラミネーションロールに挟み込まれるとき、先端が基板搬送送り方向に一定範囲で変位するように構成するようにしてもよい。
【００２５】
又、請求項１２のように、前記介在シートは、搬送される先行基板の後端から後行基板の先端までの基板間の隙間を被う長さとされ、その両端近傍に、前記先行基板の後端側の境界線近傍に喰い込む線状突起、及び、前記後行基板の先端側の境界線近傍に喰い込む線状突起を備えるようにしてもよい。
【００２６】
本発明においては、基板及び感光性樹脂層がラミネーションロールにより挟み込まれて張り付けられ前に、予め両者間の感光性樹脂層張付不要領域に介在シートを配置し、且つ、この介在シートに、基板上における感光性樹脂層張付領域及び張付不要領域との境界線近傍上で感光性樹脂層に喰い込む線状突起を設けることにより、ラミネーションロール通過の際に該線状突起が感光性樹脂層に喰い込んで、これを遮断し、透光性支持フィルムを張付不要領域の感光性樹脂層と共に基板から剥離させる際に、該張付不要領域の感光性樹脂層に連続して基板上の張付領域における感光性樹脂層が剥離されることがない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して説明する。
【００２８】
この発明に係るフィルム張付装置１０は、図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルムロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されてくる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通して基板２０に積層体フィルム１４を圧着し、次に、支持フィルム剥離装置２４によって、積層体フィルムを剥離して各基板２０を分離するようにされている。
【００２９】
前記積層体フィルム１４は、図２に示されるように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持フィルム１４Ａに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２から連続的に巻き出されるようになっている。ここで、透光性支持フィルム１４Ａにおける「透光性」とは、感光性樹脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味する。
【００３０】
前記カバーフィルム剥離装置１６は、分離部材１６Ａを経て感光性樹脂層１４Ｂから引き剥がしたカバーフィルム１４Ｃを巻き取りロール１６Ｂによって巻き取るようにされている。
【００３１】
積層体フィルム１４は、カバーフィルム１４Ｃが剥離されて感光性樹脂層１４Ｂが露出した状態で、該感光性樹脂層１４Ｂ側を基板２０に向けて圧着されるが、基板２０上面の搬送方向先端側及び後端側の一定範囲は、パターンが焼付けられない感光性樹脂層１４Ｂの張付不要領域２０Ａ、２０Ｂとされている。
【００３２】
前記基板搬送装置１８は、複数の搬送ローラを含んで構成され、各搬送ローラの上面によって構成される基板搬送面１８Ａが、前記一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂにおける下側のラミネーションロール２２Ｂの上端に接して通過するように配置されている。
【００３３】
ラミネーションロール２２Ａは、ロール開閉装置２６によって「開」状態で待機され、基板２０の先端から後端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間を通過するとき、「閉」位置にロール開閉装置２６によって駆動され、基板２０と、カバーフィルム１４Ｃが剥離された積層体フィルム１４とを挟み込むようにされている。
【００３４】
前記基板搬送装置１８に沿って、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側には、介在シート仮付け手段２８が配置されている。
【００３５】
この介在シート仮付け手段２８は、基板搬送面１８Ａ上を搬送されてくる基板２０の先端から後端方向への一定範囲、及び、後端から先端方向への一定範囲の感光性樹脂層の張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被うように、介在シート３０Ａ、３０Ｂを基板２０に仮付けするように構成されている。
【００３６】
前記介在シート３０Ａ、３０Ｂは、図３に示されるように、それぞれの、基板２０中央側端部、即ち前記介在シート３０Ａの後端及び介在シート３０Ｂの前端には、図において上向きの線状突起３１Ａ及び３１Ｂがそれぞれ設けられている。
【００３７】
これら線状突起３１Ａ、３１Ｂは介在シート３０Ａ、３０Ｂの基板２０の先端部及び後端部への仮付状態で、前記張付不要領域２０Ａ、２０Ｂと、パターン形成領域である感光性樹脂層１４Ｂの張付領域２０Ｃとの境界線３６Ａ、３６Ｂと一致するようされている。
【００３８】
ここで介在シート３０Ａ、３０Ｂは、テープ状であって、基板２０のフィルム張付面（図１において上面）に対して非接着性又は簡単に剥離され得る材質から構成され、例えば、ポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、フッ素樹脂、ポリフッ化ビニリデン等のプラスチックフィルムや、合成紙、塗工紙、布等の繊維状物質等が用いられる。又、厚さは、１μｍ〜１ｍｍであって、基板２０と感光性樹脂層１４Ｂとの密着性を阻害しない範囲のものであればよい。
【００３９】
前記線状突起３１Ａ、３１Ｂは、上記のようなテープ状の介在シート３０Ａ、３０Ｂ上に該介在シートを構成する材料と一体的に形成するか、又は別体の線状材料をシート状の材料に固着して形成する。
【００４０】
例えば、シート材料がポリエチレンテレフタレート等の硬い材料の場合はその端部又は一部を折り曲げあるいは突出させて、線状突起３１Ａ、３１Ｂを介在シート３０Ａ、３０Ｂと一体的に形成するとよい。合成紙、布等の軟質の材料の場合は、その上に硬質の線状材料からなる線状突起を固定させる。
【００４１】
又、前記線状突起３１Ａ、３１Ｂの介在シート３０Ａ、３０Ｂ表面からの突出高さは、前記感光性樹脂層１４Ｂを貫通できる程度とされる。通常感光性樹脂層１４Ｂは数μｍ以内であり、従って、線状突起３１Ａ、３１Ｂの突出高さは、数μｍ〜１０μｍ以上であって、感光性樹脂層１４Ｂを貫通する際に、その外側の透光性樹脂層を破断しない程度であればよく、透光性樹脂層は、通常、数十〜１００μｍ程度であるので、線状突起３１Ａ、３１Ｂの最大高さは３０〜４０μｍとなる。
【００４２】
なお、介在シート３０Ａ、３０Ｂは、その基板２０側の面が基板２０に対して容易に剥離され得る程度に軽粘着する軽粘着層３１Ｃを有するものであればよく、感光性樹脂層１４Ｂと接触する上面は、この感光性樹脂層１４Ｂに粘着するようにしてもよい。
【００４３】
前記介在シート仮付け手段２８は、前記基板搬送面１８Ａ上を搬送される基板２０に沿って、これと同期して移動し、又、原位置に戻ることができる押圧部材２８Ａと、この押圧部材２８Ａに対して、前記介在シート３０Ａ、３０Ｂを順次供給するシート供給装置２８Ｂとを備えて構成されている。
【００４４】
押圧部材２８Ａは、シート供給装置２８Ｂから順次供給される介在シート３０Ａ、３０Ｂを、この順で負圧により吸着し、且つ、基板搬送装置１８によって搬送されてくる基板２０の先端又は後端位置で、対応する介在シート３０Ａ又は３０Ｂを、その線状突起３１Ａ、３１Ｂが図において上向きの状態で基板２０の感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂに順次押し付けて、軽粘着層３１Ｃにより仮付けできるようにされている。
【００４５】
図１の符号３４Ａ、３４Ｂは、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側であって、支持フィルム剥離装置２４の上流側で、積層体フィルム１４及び基板２０を挟み込むことができるようにされたピンチロールを示す。上側のピンチロール３４Ａは、下側のピンチロール３４Ｂに対して離接自在とされている。
【００４６】
次に、上記フィルム張付装置１０によって、積層体フィルム１４を基板２０に連続的に張り付ける工程について説明する。
【００４７】
まず、フィルムロール１２から積層体フィルム１４の先端を巻き出し、その先端からカバーフィルム１４Ｃを剥離して、分離部材１６Ａを介して巻き取りロール１６Ｂに巻き取り可能な状態にセットする。
【００４８】
一方、カバーフィルム１４Ｃを剥離した透光性支持フィルム１４Ａは、「開」状態のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの間を通して、先端をピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間に挟み込み、更に支持フィルム剥離装置２４により巻取り可能にセットする。
【００４９】
この状態で、フィルム張付装置１０の運転を開始し、基板搬送装置１８により、基板２０を順次ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込む。
【００５０】
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側においては、前記介在シート仮付け手段２８によって介在シート３０Ａ、３０Ｂを、基板２０の先端及び後端に合わせた位置で基板２０の先端側及び後端側感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被うようにして仮付けする。
【００５１】
このとき、介在シート３０Ａ、３０Ｂは、その裏面の軽粘着層３１Ｃによって基板２０の感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂに、線状突起３１Ａ、３１Ｂを上向きにして軽く粘着される。
【００５２】
この状態で、図４に示されるように、基板２０がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ方向に送り込まれると、基板２０の先端がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの位置に到達したとき、上側のラミネーションロール２２Ａはロール開閉装置２６によって「閉状態」となり、基板２０及び透光性支持フィルム１４Ａがラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に挟み込まれ、圧着されつつ、図１において右方向に送られる。
【００５３】
介在シート３０Ａ、３０Ｂが、基板２０、透光性支持フィルム１４Ａ及び感光性樹脂層１４Ｂと共にラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に挟み込まれると、介在シート３０Ａ、３０Ｂにおける線状突起３１Ａ、３１Ｂが前記感光性樹脂層１４Ｂに喰い込み、これを、図５に示されるように、基板搬送方向に分離、遮断する。同時に、介在シート３０Ａ、３０Ｂは感光性樹脂層１４Ｂに強く圧着されることによって、軽粘着層３１Ｃによる粘着力よりも強く透光性支持フィルム１４Ａ側に接着される。
【００５４】
ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの出側位置では、ピンチロール３４Ａ、３４Ｂを通過したとき、支持フィルム剥離装置２４によって透光性支持フィルム１４Ａが基板２０から剥がされて巻き取られる。
【００５５】
このとき、基板２０上の張付領域２０Ｃに張り付けられている感光性樹脂層１４Ｂは基板２０側に残る。
【００５６】
又、感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂにおける感光性樹脂層１４Ｂは、介在シート３０Ａ、３０Ｂが強く粘着していて、この介在シート３０Ａ、３０Ｂと基板２０とは低粘着層３１Ｃを介して軽く粘着しているに過ぎないので、透光性支持フィルム１４Ａを剥離する際に、介在シート３０Ａ、３０Ｂと共に基板２０から容易に連続的に剥離される（図６参照）。
【００５７】
このとき、介在シート３０Ａ、３０Ｂと透光性支持フィルム１４Ａとの間の感光性樹脂層１４Ｂは、介在シート３０Ａ、３０Ｂの線状突起３１Ａ、３１Ｂによって、基板２０側の張付領域２０Ｃにおける感光性樹脂層１４Ｂと遮断されているので、該介在シート３０Ａ、３０Ｂが剥離されるとき、その内側の感光性樹脂層に連続して基板２０側の感光性樹脂層の一部でも剥がされてしまうことがない。
【００５８】
上記のように、介在シート３０Ａ、３０Ｂと共に透光性支持フィルム１４Ａが基板２０から剥離されることにより、各基板２０は分離されることになる。
【００５９】
なお、上記実施の形態の例においては、介在シート３０Ａ、３０Ｂは、介在シート仮付け手段２８によって基板２０に仮付けされた状態で、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ通過するようになっているが、本発明はこれに限定されるものでなく、介在シート３０Ａ、３０Ｂは、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂを通過する際に、基板２０の前端部及び後端部における感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂを被って取り付けられていればよい。
【００６０】
従って、上記介在シートは、基板２０の先端側及び後端側それぞれの感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂのみを被う幅（基板搬送方向の長さ）とされているが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板２０の先端及び後端からはみ出すようにしてもよい。
【００６１】
又、図７に示されるように、先行する基板２０の後端及び後行する基板２０における先端、それぞれの感光性樹脂層張付不要領域を１枚の介在シート３２により連続して被うようにしてもよい。
【００６２】
この介在シート３２を使用する場合は、各基板２０間の隙間位置で感光性樹脂層１４Ｂが露出することがないので、例えば下側のピンチロール３４Ｂに感光性樹脂層１４Ｂが粘着したりすることがない。
【００６３】
又、介在シートにおける線状突起の形状、位置は、線状突起が、ラミネーションロールに押圧されるとき感光性樹脂層１４Ｂに喰い込み、これを基板送り方向に遮断できるものであれば前記実施の形態の例に限定されるものでない。
【００６４】
例えば図８（Ａ）〜（Ｆ）に示される各種形態がある。図８（Ａ）の線状突起４１は先端先細りで感光性樹脂層１４Ｂへの喰い込みがよく、又、ラミネーションロールに押圧されると、先端が図の矢印方向に倒れて、その際、先端が感光性樹脂層１４Ｂを透光性支持フィルム１４Ａから掻き取るので、感光性樹脂層１４Ｂは確実に遮断される。
【００６５】
図８（Ｂ）の線状突起４２は、介在シートの端部を斜めに折曲げて形成しているので、製造が簡単で、且つ、ラミネーションロールにより押圧させる際に図８（Ａ）の線状突起４１と同様に感光性樹脂層１４Ｂを掻き取る。
【００６６】
図８（Ｃ）の線状突起４３は先端が二股であり、ラミネーションロールによって押圧されるとき開いて、感光性樹脂層１４Ｂを掻き取る。
【００６７】
図８（Ｄ）の線状突起４４は、介在シートの材料の途中部分を逆Ｖ字形状に折り曲げて形成したものである。
【００６８】
図８（Ｅ）の線状突起４５は、介在シートの材料が、軟質の場合これに硬質の線状材料を固着したものである。
【００６９】
更に、上記各実施の形態の例では、介在シートを基板２０に仮付けするものであるが、介在シートは基板２０の感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂで感光性樹脂層１４Ｂが基板２０に張付くことを阻止するものであればよく、従って、図９に示されるように、基板２０への張付け前に、感光性樹脂層１４Ｂにおける前記感光性樹脂層張付不要領域２０Ａ、２０Ｂに対応する個所に、介在シート３０Ａ、３０Ｂあるいは３２を張付けるようにしてもよい。この場合、図９に示されるように介在シート張付装置４２により介在シートを張付ける。この場合、介在シートは感光性樹脂層１４Ｂに粘着して位置決めされるので、裏面には軽粘着層３１Ｃを設ける必要がない。
【００７０】
又、上記各実施の形態の例においては、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂを通過した後に、支持フィルム剥離装置２４によって、透光性支持フィルム１４Ａを介在シート３０Ａ、３０Ｂと共に基板２０から連続的に剥離しているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば介在シート３０Ａ、３０Ｂと共に、又はこれらの隙間位置で透光性支持フィルム１４Ａをカッターにより切断し、基板２０を透光性支持フィルム１４Ａで被ったまま各基板２０を分離するようにしてもよい。
【００７１】
この場合、カッターによる透光性支持フィルム１４Ａの切断位置は、上記の他に、基板の端面位置、介在シート３０Ａ、３０Ｂ上の位置、先行基板２０の後端と後行基板２０の先端との間で介在シート３０Ａ、３０Ｂの中間位置、又は連続した介在シート３２の中央位置としてもよい。
【００７２】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、積層体フィルムにおける感光性樹脂層を切断するハーフカットを行うことなく、積層体フィルムを基板に張り付け、且つ、不要部分を容易、確実に分離することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装置を示す略示側面図
【図２】同フィルム張付装置によって基板に張り付けられる積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置によって積層体フィルムが張り付けられる基板と介在シートとの関係を示す断面図
【図４】同フィルム張付装置における基板とラミネーションロールとの関係を示す略示斜視図
【図５】積層体フィルムを基板に張付けた状態を示す拡大断面図
【図６】同フィルム張付装置における支持フィルルム剥離装置の要部を示す略示側面図
【図７】本発明の他の実施の形態の例に係る介在シートを基板に張付けた状態を拡大して示す側面図
【図８】本発明の更に他の実施の形態の例における介在シートを拡大して示す側面図
【図９】本発明の、介在シートを感光性樹脂層側に張付ける他の実施の形態を示す略示側面図
【符号の説明】
１０…フィルム張付装置
１２…フィルムロール
１４…積層体フィルム
１４Ａ…透光性支持フィルム
１４Ｂ…感光性樹脂層
１４Ｃ…カバーフィルム
１６…カバーフィルム剥離装置
１８…基板搬送装置
１８Ａ…基板搬送面
２０…基板
２０Ａ、２０Ｂ…感光性樹脂層張付不要領域
２０Ｃ…張付領域
２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール
２４…支持フィルム剥離装置
２８…介在シート仮付け手段
３０Ａ、３０Ｂ、３２…介在シート
３１Ａ、３１Ｂ、４１〜４５…線状突起
３６Ａ、３６Ｂ…境界線
５０…介在シート張付装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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