(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅の無電解メッキ方法であって、
基板を準備する工程と、
高融点金属の窒化膜を上記基板上に形成した後に、該窒化膜の表面に窒素プラズマを照射して、その表面近傍に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である該窒化膜を、該基板上に形成する窒化膜形成工程と、
銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該窒化膜に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該窒化膜上に形成する工程とを含むことを特徴とする無電解メッキ方法。
【請求項２】
上記原子数の比が、上記窒化膜の表面から深さ方向に略５ｎｍの範囲に含まれる比であることを特徴とする請求項１に記載の無電解メッキ方法。
【請求項３】
銅の無電解メッキ方法であって、
基板を準備する工程と、
高融点金属の窒化膜を上記基板上に形成した後に、該窒化膜の表面層を除去して、その表面近傍に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である該窒化膜を、該基板上に形成する窒化膜形成工程と、
銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該窒化膜に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該窒化膜上に形成する工程とを含むことを特徴とする無電解メッキ方法。
【請求項４】
銅の無電解メッキ方法であって、
基板を準備する工程と、
上記基板上に、ＣＶＤ法を用いて、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である、略化学量論的組成を有する高融点金属の窒化膜を堆積させる窒化膜形成工程と、
銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該窒化膜に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該窒化膜上に形成する工程とを含むことを特徴とする無電解メッキ方法。
【請求項５】
銅の埋め込み配線の形成方法であって、
基板を準備する工程と、
該基板に孔部を形成する工程と、
高融点金属の窒化膜を該孔部の内壁上に形成した後に、該窒化膜の表面に窒素プラズマを照射して、その表面近傍に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である該高融点金属の窒化膜からなるバリアメタル層を形成するバリアメタル層形成工程と、
銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該バリアメタル層に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該バリアメタル層上に形成し、埋め込み配線とする工程とを含むことを特徴とする埋め込み配線の形成方法。
【請求項６】
銅の埋め込み配線の形成方法であって、
基板を準備する工程と、
該基板に孔部を形成する工程と、
高融点金属の窒化膜を該孔部の内壁上に形成した後に、該窒化膜の表面に窒素プラズマを照射して、その表面近傍に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である該高融点金属の窒化膜からなるバリアメタル層を形成するバリアメタル層形成工程と、
銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該バリアメタル層に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該バリアメタル層上に形成する工程と、
該銅メッキ層上に、該銅メッキ層をシード層に用いて、銅の電解メッキ層を形成する工程とを含むことを特徴とする埋め込み配線の形成方法。
【請求項７】
銅の埋め込み配線であって、
基板と、
該基板に設けられた孔部と、
該孔部の内壁上に設けられた、高融点金属の窒化物からなるバリアメタル層と、
該バリアメタル層上に設けられた、該孔部を埋め込む銅メッキ層とを含み、
該バリアメタル層が、該銅メッキ層との界面近傍に、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である窒素安定化層を含むことを特徴とする埋め込み配線。
【請求項８】
上記窒素安定化層の膜厚が、略５ｎｍであることを特徴とする請求項７に記載の埋め込み配線。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銅の埋め込み配線の形成方法に関し、特に、無電解メッキ法を用いた埋め込み配線の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の高集積化に伴い、平滑回路形成技術として、絶縁層に銅配線を埋め込むダマシンプロセスが用いられる。かかるダマシンプロセスでは、まず、絶縁層にホールやトレンチを形成する。次に、スパッタ法又はＣＶＤ法を用いて、ホール等の内壁にＴａＮ、ＷＮ等のバリアメタル層を形成する。更に、バリアメタル層は高抵抗であるため、その上に、膜厚が数１０ｎｍ程度の銅のシード層をスパッタ法で形成する。続いて、電解メッキ法によりシード層上に銅を堆積させて、ホール等を埋め込み銅の埋め込み配線を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、半導体装置の高集積化、微細化に伴い、ホールやトレンチ等のアスペクト比が高くなると、スパッタ法ではホール等の内壁に均一なシード層を形成するのが困難となり、特に、側壁部のカバレジ（被覆性）が低下した。このため、シード層上にメッキ層を形成する電解メッキ法では、均一な銅メッキ層で微細なホール等を埋め込むことが困難になった。
なお、高イオン化率スパッタ装置や長距離スパッタ装置のような特殊なスパッタ装置を用いることにより、シード層のカバレジ（被覆性）を向上させることができるが、かかる方法では、上記技術を一世代程度延命できるにすぎず、明らかに限界がある。
【０００４】
そこで、本発明は、高集積化、微細化されたホールやトレンチ等に銅メッキ層を埋め込んで配線を形成する配線作製方法の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そこで、発明者らは鋭意研究の結果、高融点金属、特に、表面近傍に窒素安定化層を有する高融点金属窒化物をバリアメタル層に用いることにより、触媒層を使用することなく、バリアメタル層上に無電解メッキ層を形成する方法を見出し、本発明を完成した。
【０００６】
即ち、本発明は、銅の無電解メッキ方法であって、基板を準備する工程と、高融点金属の窒化膜であって、その表面近傍に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比（窒素原子の数／酸素原子の数）が略０．４以上である該窒化膜を、該基板上に形成する窒化膜形成工程と、銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該窒化膜に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該窒化膜上に形成する工程とを含むことを特徴とする無電解メッキ方法である。
かかる無電解メッキ方法では、触媒層を用いることなく、微細化された孔部を均一に埋め込むことが可能となる。このため、高密度化、高集積化された多層配線を高い歩留りで形成することができる。また、高密度化、高集積化された多層配線を、安価に提供することができる。
【０００７】
また、本発明は、上記原子数の比は、上記窒化膜の表面から深さ方向に略５ｎｍの範囲に含まれる比であることを特徴とする無電解メッキ方法でもある。
かかる領域の原子数の比を制御することにより、良好な無電解メッキ反応を得ることができる。
【０００８】
上記窒化膜形成工程は、上記高融点金属の窒化膜を上記基板上に形成した後に、該窒化膜の表面に窒素プラズマを照射する工程を含むものであっても良い。
このように、窒化膜の表面に窒素プラズマを照射することにより、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上の、化学量論的に安定な窒素安定化層を、窒化膜の表面に形成することができる。
【０００９】
上記窒化膜形成工程は、上記高融点金属の窒化膜を上記基板上に形成した後に、該窒化膜の表面層を除去する工程を含むものであっても良い。
このように、表面層を除去することによっても、所定の原子数の比を有する表面層を得ることができる。なお、除去工程後に、銅の無電解メッキ工程を速やかに行うことが好ましい。
【００１０】
上記窒化膜形成工程は、上記基板上に、略化学量論的組成を有する上記窒化膜を堆積させる工程を含むものであっても良い。
窒化膜の堆積条件を調整することにより、かかる窒化膜を堆積させてもかまわない。
【００１１】
また、本発明は、銅の無電解メッキ方法であって、基板を準備する工程と、チタン又はコバルトを主成分とする高融点金属膜を該基板上に形成する工程と、銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該高融点金属膜に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該高融点金属膜上に形成する工程とを含むことを特徴とする無電解メッキ方法でもある。
高融点金属膜にこれらの金属を用いることによっても、銅の無電解メッキが可能となる。
【００１２】
また、本発明は、銅の埋め込み配線の形成方法であって、基板を準備する工程と、該基板に孔部を形成する工程と、該孔部の内壁上に、高融点金属の窒化膜からなり、その表面近傍の、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上であるバリアメタル層を形成するバリアメタル層形成工程と、銅を含むメッキ液に該基板を浸漬して、該バリアメタル層に含まれる高融点金属と該銅とを置換して、銅メッキ層を該バリアメタル層上に形成し、埋め込み配線とする工程とを含むことを特徴とする埋め込み配線の形成方法でもある。
かかる埋め込み配線の形成方法を用いることにより、微細化された多層配線構造の形成が可能となる。
なお、基板には、例えば、シリコン酸化層が表面に形成されたシリコン基板が用いられる。また、ＧａＡｓやセラミック基板のような、他の基板にも適用できる。
【００１３】
上記バリアメタル層形成工程は、上記バリアメタル層を形成した後に、該バリアメタル層の表面に窒素プラズマを照射する工程を含むものであっても良い。
【００１４】
更に、上記銅メッキ層上に、該銅メッキ層をシード層に用いて、銅の電解メッキ層を形成する工程を含むものであっても良い。
無電解メッキ法と電解メッキ法とを併用することにより、より高品質の埋め込み配線を得ることができる。
【００１５】
また、本発明は、銅の埋め込み配線であって、基板と、該基板に設けられた孔部と、該孔部の内壁上に設けられた、高融点金属の窒化物からなるバリアメタル層と、該バリアメタル層上に設けられた、該孔部を埋め込む銅メッキ層とを含み、該バリアメタル層が、該銅メッキ層との界面近傍に、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比が略０．４以上である窒素安定化層を含むことを特徴とする埋め込み配線でもある。
【００１６】
上記窒素安定化層の膜厚は、好適には、略５ｎｍである。
また、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比は、略０．４以上であれば、略１．５以上であってもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる埋め込み配線の製造方法の工程図である。かかる製造方法は、以下の工程１〜工程４を含む。
【００１８】
工程１：図１（ａ）に示すように、表面に誘電中間層からなる絶縁層２が形成されたシリコン基板１を準備する。続いて、一般的な、リソグラフィ技術、エッチング技術を用いて、絶縁層２に、ホールやトレンチ等の孔部３を形成する。
【００１９】
工程２：図１（ｂ）に示すように、絶縁層２の表面に、ＴａＮ等の高融点金属の窒化膜のバリアメタル層４を、スパッタ法又はＣＶＤ法を用いて堆積させる。バリアメタル層４は、絶縁層２の表面上、及び孔部３の内壁上に略均一な膜厚で堆積される。なお、高融点金属には、Ｔａ、Ｍｏ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｗ等が含まれる。
【００２０】
次に、バリアメタル層４の表面を窒素プラズマ処理することにより、バリアメタル層４の表面に、化学量論的に安定な組成を有する、窒素安定化層を形成する。具体的には、Ｎ２プラズマやＮＨ３プラズマ中に、バリアメタル層４が形成されたシリコン基板１を配置して、表面に窒素安定化層を形成する。窒素安定化層には、高融点金属と窒素が、化学量論的組成に近い組成で含まれ、膜厚は、例えば５ｎｍである。なお、バリアメタル層４の形成工程と窒素プラズマ処理工程とは、一貫した真空プロセスとして行うことが好ましい。
【００２１】
後述するように、窒素安定化層中に含まれる、酸素原子に対する窒素原子の原子数の比（窒素原子の数／酸素原子の数）は略０．４以上になっている。
【００２２】
工程３：バリアメタル層４が形成されたシリコン基板１を、銅メッキ液に浸漬させ（図示せず）、無電解メッキ工程を行う。実験においては、７．６ｇ／リットルのCuSO4・5H2Oと、７０．０ｇ／リットルのエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）と、１４．０ｇ／リットルの還元剤としてのグリオキシル酸と、追加的な試薬とから構成された無電解導メッキ液が用いられた。またメッキ液のｐＨは、水酸化テトラメチルアンモニウムを用いて約１２．３に調製され、メッキ液の温度は、７０℃に保持された。メッキ工程は、バリアメタル層４中の高融点金属がイオン化し、メッキ液中の銅が還元されてこれと置き換わることにより進行する（置換メッキ工程）。
この結果、図１（ｃ）に示すように、孔部３を埋め込むように、バリアメタル層４の上に銅メッキ層（無電解メッキ層）５が形成される。
【００２３】
工程４：図１（ｄ）に示すように、銅メッキ層５の表面から、ＣＭＰ法を用いて絶縁層２上の銅メッキ層５、バリアメタル層４を除去し、絶縁層２の孔部３内にのみ、銅メッキ層５とバリアメタル層４とを残す。これにより、銅を配線材料に用いた埋め込み配線１０が完成する。
なお、埋め込み配線１０は、例えば、還元性雰囲気中で、３００℃で３０分間、熱処理することが好ましい。これにより、バリアメタル層４と銅メッキ層５との密着性が向上する。
【００２４】
次に、図２を用いて、本実施の形態にかかる他の埋め込み配線の製造工程について説明する。かかる製造工程は、以下の工程１〜工程５を含む。
【００２５】
工程１、２：図１（ａ）（ｂ）に示す、上述の工程１、２と同じ工程を行い、シリコン基板１上に設けられた酸化シリコンからなる絶縁層２に孔部３を設け、絶縁層２の表面上、及び孔部３の内壁上に、高融点金属の窒化膜からなるバリアメタル層４を形成する。
【００２６】
工程３：図２（ｃ）に示すように、上述の工程３と同様に、無電解メッキ（置換メッキ）法を用いて、バリアメタル層４の上に銅メッキ層５を堆積させる。かかる工程では、銅メッキ層５だけでは、孔部３を埋めてしまわない。
【００２７】
工程４：図２（ｄ）に示すように、銅メッキ層５をシード層に用いて、電解メッキ工程を行う。この結果、銅メッキ層５の表面上に、孔部３を埋め込むように、電解メッキ層６が形成される。
【００２８】
工程５：図２（ｅ）に示すように、ＣＭＰ法を用いて、絶縁層２上のバリアメタル層４、銅メッキ層５、６を除去し、銅の埋め込み配線２０が完成する。
【００２９】
このように、本実施の形態にかかる方法を用いることにより、Ｐｄ等の触媒層を用いることなく、無電解メッキ工程により銅の埋め込み配線を形成することができる。この結果、微細な孔部等でも完全に銅を埋め込むことが可能になり、高集積化、微細化された多層配線構造を、高い歩留りで形成することができる。
【００３０】
また、高価なスパッタ装置等を使用する必要がなく、製造コストの低減も可能となる。
【００３１】
なお、かかる埋め込み配線の形成方法は、シングルダマシンプロセス及びデュアルダマシンプロセスの、双方のダマシンプロセスに適用することができる。これは、実施の形態２以下についても同様である。
【００３２】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２にかかる埋め込み配線の製造方法では、図１（ａ）と同様に、シリコン基板１上に設けた絶縁層２に、孔部３を形成する。
【００３３】
次に、図１（ｂ）と同様の工程で、ＣＶＤ法を用いて、高融点金属の窒化膜からなるバリアメタル層４を形成する。
本実施の形態では、バリアメタル層４に窒素安定化処理を行う代わりに、バリアメタル層４の表面をエッチングして除去する。バリアメタル層４のエッチングは、例えば、約１％の希フッ酸に約３０秒間浸漬することにより行われる。
【００３４】
次に、図１（ｃ）と同様の工程を用い、無電解メッキ工程で銅メッキ層５を形成する。上述のエッチング工程の後、速やかに無電解メッキ工程を行うことが好ましい。
続いて、図１（ｄ）と同様の工程で、ＣＭＰ法を用いて、孔部３内にのみバリアメタル層４、銅メッキ層５を残し、銅の埋め込み配線１０が完成する。
【００３５】
図３は、バリアメタル層４のエッチング処理（約１％の希フッ酸で約１０分間処理）の前後における、バリアメタル層４の表面のＸＰＳ分析法（Ｘ線光電子分析法）を用いた分析結果である。ここでは、バリアメタル層４として、ＴａＮ層を用いた。
図３（ａ）は、エッチング処理前のＸＰＳ分析結果であり、図３（ｂ）は、エッチング処理後のＸＰＳ分析結果である。エッチング処理前／後ともに、バリアメタル層４中に、酸素が存在している。窒素原子の酸素原子に対する比（窒素原子の数／酸素原子の数）は、エッチング処理前は約０．２４であるが、エッチング処理後は約０．７６となっている。
【００３６】
エッチング処理前の試料、エッチング処理後の試料、双方に対して無電解メッキ工程を行った結果、エッチング処理前の試料には、銅メッキ層５が形成できなかった。これに対して、エッチング処理後の試料には、良好な銅メッキ層５が形成された。
【００３７】
このように、高融点金属の窒化膜からなるバリアメタル層４の表面近傍の組成は、酸素を含まない化学量論的組成に近いことが好ましい。これは、バリアメタル層４の表面近傍に含まれる酸素量が増加すると、バリアメタル層４の酸化還元電位が、銅メッキ層５の酸化還元電位より高くなるためと考えられる。
図３の結果では、窒素原子の酸素原子に対する原子数の比が約０．７６の場合（図３（ｂ））に、良好な銅メッキ層５が得られたが、バリアメタル層４の表面近傍において、窒素原子の酸素原子に対する原子数の比が約０．４以上であれば、良好な銅メッキ層５が得られることを確認している。
【００３８】
実施の形態３．
本発明の実施の形態３にかかる埋め込み配線の製造方法では、図１（ａ）と同様の工程で、シリコン基板１上に設けた絶縁層２に、孔部３を形成する。
続いて、絶縁層２の上、及び孔部３の内壁上に、略化学量論的組成の高融点金属窒化物からなるバリアメタル層４を、例えばＣＶＤ法で形成する。略化学量論的組成の高融点金属窒化物の形成は、ＣＶＤ装置の導入されるＡｒガスとＮ２ガスの流量比等のＣＶＤ条件を最適化することにより行われる。
【００３９】
略化学量論的組成の高融点金属窒化物からなるバリアメタル層４は、表面近傍が安定であり、大気中で取り扱っても、バリアメタル層４中に酸素が混入しにくく、窒素原子の酸素原子に対する原子数の比は、略０．４以上となる。
【００４０】
次に、図１（ｃ）（ｄ）と同様の工程を行い、銅の埋め込み配線が形成される。なお、バリアメタル４の形成した後、速やかに無電解メッキ工程を行うことが好ましい。
【００４１】
実施の形態４．
図４は、本発明の実施の形態４にかかる埋め込み配線の製造方法の工程図であり、図４中、図１と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。かかる製造方法は、以下の工程１〜工程４を含む。
【００４２】
工程１：図４（ａ）に示すように、実施の形態１と同様に、シリコン基板１上に設けた絶縁層２に、孔部３を形成する。
【００４３】
工程２：図４（ｂ）に示すように、絶縁層２の表面上、及び孔部３の内壁上に、チタン又はコバルトを主成分とする高融点金属（チタン、コバルト、チタンとコバルトの合金等）からなるバリアメタル層１４を、ＣＶＤ法で形成する。
これらのこれらの高融点金属は安定であり、特に窒素プラズマ処置等は行わない。
【００４４】
工程３：バリアメタル層４が形成されたシリコン基板１を、銅メッキ液に浸漬させ（図示せず）、無電解メッキ工程（置換メッキ工程）を行う。この結果、図４（ｃ）に示すように、孔部３を埋め込むように、バリアメタル層１４の上に銅メッキ層５が形成される。
【００４５】
工程４：図４（ｄ）に示すように、銅メッキ層５の表面から、ＣＭＰ法を用いて銅メッキ層５、バリアメタル層１４を除去し、絶縁層２の孔部３内にのみ、銅メッキ層５とバリアメタル層４とを残す。これにより、銅を配線材料に用いた埋め込み配線３０が完成する。
【００４６】
なお、上述のように、無電解メッキ工程と電解メッキ工程とを併用しても構わない。
【００４７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明にかかる無電解メッキ方法では、触媒層を用いることなく、微細化された孔部の埋め込みが可能となり、高密度化、高集積化された多層配線の形成が可能となる。
【００４８】
また、高密度化、高集積化された多層配線を、安価に提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１にかかる埋め込み配線の製造工程図である。
【図２】  本発明の実施の形態１にかかる他の埋め込み配線の製造工程図である。
【図３】  バリアメタル層のＸＰＳ分析の結果である。
【図４】  本発明の実施の形態４にかかる埋め込み配線の製造工程図である。
【符号の説明】
１  シリコン基板、２  絶縁層、３  孔部、４、１４  バリアメタル層、５、６  銅メッキ層、１０、２０、３０  埋め込み配線。
【図１】
0003944437.tif 000002
【図２】
0003944437.tif 000003
【図３】
0003944437.tif 000004
【図４】
0003944437.tif 000005