(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水溜に収容した水からの水蒸気を、少なくとも検知極と対極とプロトン導電体膜とを有するセンサ本体へ供給し、検知極と対極間の電気的出力から検出対象ガスを検出するようにしたセンサにおいて、
前記水溜を、水を不透過に保持して水蒸気を所定の速度で透過させるための合成樹脂フィルムの水溜パックと、該水溜パックを保持した外ケースとで構成することを特徴とする、プロトン導電体ガスセンサ。
【請求項２】
前記合成樹脂フィルムが熱可塑性樹脂のフィルムであることを特徴とする、請求項１のプロトン導電体ガスセンサ。
【請求項３】
前記外ケースに対して水溜パックが動き回ることを防止するように、外ケースに対する水溜パックの移動を制限するための手段を設けたことを特徴とする、請求項１または２のプロトン導電体ガスセンサ。
【請求項４】
水を不透過に保持して、水蒸気を透過させるための、合成樹脂フィルムの水溜パックを外ケース内に収容すると共に、
該外ケースに、少なくとも検知極と対極とプロトン導電体膜とを有するセンサ本体を取り付けて、該水溜パックからの水蒸気でセンサ本体を加湿し、
かつ前記検知極と対極との間の電気的出力からガスを検出する、ガス検出方法。
【請求項５】
前記水溜パックの水蒸気透過性を制御することにより、水溜パックからのセンサ本体の加湿速度を所定の値に制御することを特徴とする、請求項４のガス検出方法。
【請求項６】
前記センサ本体を、検知極側が周囲雰囲気側に配置され、対極側が水溜パックに近い側に配置されるように配置し、
かつセンサ本体の対極側へ回り込んだ検出対象ガスを、前記外ケース内へ逃がすように、前記外ケースにセンサ本体を取り付けて、対極側への検出対象ガスの回り込みを防止することを特徴とする、請求項４または５のガス検出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】
この発明は、プロトン導電体膜を用いたガスセンサに関し、特にその水溜の改良に関する。
【０００２】
【従来技術】
プロトン導電体を用いたガスセンサでは、例えばプロトン導電体膜の両側に電極膜を積層し、その一方を検知極、他方を対極とする。検知極や対極は、例えば疎水性のカーボンペーパー上に形成し、カーボンペーパーは電極からの集電体として、また電極全面に検出対象ガスや酸素、水蒸気を供給するためのガスチャネルとして作用する。プロトン導電体膜と検知極及び対極の複合体をＭＥＡ（膜電極複合体）と呼び、ＭＥＡは原則として、検知極及び対極共にカーボンペーパー付きのものである。そして金属缶に水を蓄えて水溜とし、金属缶に金属ワッシャを取り付け、ＭＥＡの対極側のカーボンペーパーを金属ワッシャ上に配置し、金属ワッシャを介して対極を金属缶に導通させる。検知極側のカーボンペーパーに接触するように、上部金属板を配置し、上部金属板をＭＥＡ側へ押圧するように、ガスケットを金属缶と上部金属板との間に取り付け、ガスケットからの押圧で上部金属板と検知極側のカーボンペーパーとの導通を保ち、同時に対極側のカーボンペーパーと金属ワッシャ、及び金属ワッシャと金属缶との導通を保つ。これと同時に、ガスケットで水溜と外気との通気を遮断し、金属ワッシャに設けた細孔から，ＭＥＡへ水蒸気を供給し、上部金属板から検知極へ検出対象ガスを供給する（米国特許５６５００５４）。
【０００３】
このようなガスセンサで、金属缶を横倒しにした状態で、急激に周囲温度が増すと、金属缶内の空気が膨張し、水溜の水を加圧して細孔から水をＭＥＡ側へ押し出すことになる。そしてＭＥＡの電極は、水に濡れると特性が変化するおそれがある。このような問題は、温度変化やガスセンサの姿勢の変化などにより、水溜内の水が動き回ることにより生じる。
【０００４】
【発明の課題】
この発明の基本的課題は、水溜内の水がセンサ本体へ接触することを防止することにある（請求項１〜６）。
この発明の追加の課題は、ガスセンサに衝撃が加わった際に、水溜パックが外ケースに衝突して破れることを防止することにある（請求項３）。
この発明の追加の課題はまた、水溜パックの水蒸気透過性を制御することにより、センサ本体の加湿速度を制御し、かつ水溜パックの水の消耗を制限することにある（請求項５）。
この発明の追加の課題はまた、対極側に検出対象ガスが回り込んで、ガスセンサの出力が低下することを防止することにある（請求項６）。
【０００５】
【発明の構成】
この発明のプロトン導電体ガスセンサは、水溜に収容した水からの水蒸気を、少なくとも検知極と対極とプロトン導電体膜とを有するセンサ本体へ供給し、検知極と対極間の電気的出力から検出対象ガスを検出するようにしたセンサにおいて、前記水溜を、水を不透過に保持して水蒸気を所定の速度で透過させるための合成樹脂フィルムの水溜パックと、該水溜パックを保持した外ケースとで構成することを特徴とする（請求項１）。
【０００６】
好ましくは、前記合成樹脂フィルムを熱可塑性樹脂のフィルムとし（請求項２）、特に好ましくは、熱可塑性のポリオレフィン樹脂のフィルムとする。
また好ましくは、前記外ケースに対して水溜パックが動き回ることを防止するように、外ケースに対する水溜パックの移動を制限するための手段を設ける（請求項３）。この手段は例えば、発泡体やスポンジ、あるいは水溜パックを固定する接着剤や粘着材とする。ここで特に好ましくは、水溜パックとセンサ本体との間にガススペースが生じるように、水溜泊のおおよその位置を定める。
【０００７】
この発明のガス検出方法では、水を不透過に保持して、水蒸気を透過させるための、合成樹脂フィルムの水溜パックを外ケース内に収容すると共に、該外ケースに、少なくとも検知極と対極とプロトン導電体膜とを有するセンサ本体を取り付けて、該水溜パックからの水蒸気でセンサ本体を加湿し、かつ前記検知極と対極との間の電気的出力からガスを検出する（請求項４）。
【０００８】
好ましくは、前記水溜パックの水蒸気透過性を制御することにより、水溜パックからのセンサ本体の加湿速度を所定の値に制御する（請求項５）。
また好ましくは、前記センサ本体を、検知極側が周囲雰囲気側に配置され、対極側が水溜パックに近い側に配置されるように配置し、かつセンサ本体の対極側へ回り込んだ検出対象ガスを、前記外ケース内へ逃がすように、前記外ケースにセンサ本体を取り付けて、対極側への検出対象ガスの回り込みを防止する（請求項６）。
【０００９】
【発明の作用と効果】
この発明では、水溜パックに水を封じ込めるので、センサ本体が液体の水にさらされることがない(請求項１〜６)。ここで水溜パックの合成樹脂フィルムの水蒸気透過率を制御すると、水の蒸発速度を制限し、外ケースの気密性が低い場合などにも、水溜が作用する時間を長くできる。
【００１０】
なお水溜パックに保持する水は、液体の水に限らず、吸水性ポリマーやシリカゲルなどに吸収させてゲル化した水、グリセリン等の腐敗防止剤、あるいは塩化カルシウム等の潮解剤を添加した水などでも良い。また水溜パックに用いる合成樹脂フィルムを熱可塑性樹脂のフィルムとすると、簡単にパックの口を融着して封口できる(請求項２)。
【００１１】
ガスセンサが落下する、あるいはガスセンサに周期的な振動が加わる等により、水溜パックが外ケースに衝突すると、水溜パックが破れる恐れがある。そこで外ケースに対する水溜パックの移動を制限すると、落下や振動により水溜パックが破れることを防止できる(請求項３)。ここで好ましくは、センサ本体と水溜パックとの間で、外ケースに隙間が生じるように、水溜パックのおおよその位置を制限する。このようにすると、この隙間が水蒸気を供給するためのバッファとなり、ほぼ所定の相対湿度の水蒸気をセンサ本体へ供給できる。
【００１２】
水溜パックの水蒸気透過性は、広い範囲で制御できる。例えば多孔質のポリオレフィン樹脂を用いると、極めて大きな水蒸気透過率を得ることができ、外ケース内の相対湿度を、水溜パックの外側でもほぼ１００％に保つことができる。これに対して熱可塑性樹脂の材料を、塩化ビニルや塩化ビニリデン等の水蒸気透過率の小さなポリオレフィン樹脂とすると、外ケース内の相対湿度を例えば６０〜８０％程度に保つことができる。外ケース内の水溜パックの外側での相対湿度を１００％よりも低くすると、水溜パックの寿命はそれに応じて長くなる。また外ケースからセンサ本体へ水蒸気を供給するための部位をより大きくでき、小さな部位からセンサ本体を加湿する場合よりも、センサ本体を均一に加湿できる。このため水溜パックの水蒸気透過性を制御することにより、水溜パックからセンサ本体への加湿速度を所定の値に制御できる(請求項５)。
【００１３】
水を水溜パックに封じてあるので、外ケース内とセンサ本体の対極側の周囲との通気性を高めることができる。すると、検知極側からプロトン導電体膜の反対側へ回り込んだ検出対象ガスを、外ケース内に逃がし、外ケースを余分の検出対象ガスに対するバッファとして用いることができる。このようにすると、検知極の反対側に検出対象ガスが回り込んだ場合でも、ガスセンサの出力の低下を防止あるいは小さくできる(請求項６)。
【００１４】
【実施例】
図１〜図６に、実施例のプロトン導電体ガスセンサを示す。図１〜図３に最初の実施例を示すと、２はプロトン導電体を用いたガスセンサで、４はスチールやステンレス等を用いた金属缶で、６は水溜パックである。水溜パック６の材料には熱可塑性の合成樹脂の袋を用い、例えば水蒸気透過率の高い袋では、ポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルムを延伸して多孔質としたフィルムの袋がある。またポリエチレンやポリプロピレンに限らず、多孔質のフッ素樹脂ポリマーのフィルム等を用いても、水蒸気透過性の高い水溜パック６が得られる。水溜パック６からの水の蒸発速度を小さくするためには、ポリ塩化ビニルやポリ塩化ビニリデン等の水蒸気透過率の低い樹脂のフィルムを用いれば良く、極端な場合、ポリ塩化ビニルやポリ塩化ビニリデン等のフィルムにアルミニウムフィルムなどを積層してもよい。これらの樹脂はいずれも、熱可塑性のポリオレフィン樹脂である。そして水を水溜パック６内に収容することにより、液体の水がプロトン導電体膜やその電極に触れることがなくなり、水や水への添加物による被毒を防止し、水溜パック６からの水蒸気の蒸発速度を制御できる。水溜パック６の合成樹脂フィルムの融着部７は、水溜パック６を閉じるためのものである。なお水溜パック６内には水のないエアスペースが実質的に残らないようにし、水溜パック６内で水が動いてパックのフィルムを破らないようにする。
【００１５】
８は発泡ポリスチレン等の発泡体で、水溜パック６から見てセンサ本体側（上側）に配置して、水溜パック６の位置を金属缶４の下側にほぼ固定する。なお発泡体８で水溜パック６の位置をほぼ固定する代わりに、水溜パック６の底部や側部を金属缶４に粘着剤や接着剤等で取り付けても良い。さらに発泡体８に代えて、スポンジ状のクッション等を配置しても良い。水溜パック６の上部の発泡体８が占めるスペースは、水溜パック６から蒸発した水蒸気で加湿された空気のバッファとなる。
【００１６】
金属缶４の上部に水蒸気導入孔１０を設け、１２はＭＥＡで、センサ本体に対応する。ＭＥＡ１２の構造を図２に示すと、１４はプロトン導電体膜で、１５は検知極、１６は対極で、１７,１８はカーボンペーパーである。プロトン導電体膜１４や電極１５,１６及びカーボンペーパー１７,１８の膜厚は例えば各２０μｍとし、プロトン導電体膜１４にはＳＰＥ(固体高分子プロトン導電体)を用いる。検知極１５や対極１６の組成は例えば、Ｐｔを担持したカーボン(重量比で、Ｐｔ：カーボン＝１：４)６０重量％に、２０重量％のＳＰＥと、粘結剤のフッ素樹脂２０重量％とを混練したものとする。対極１６の触媒活性を検知極１５よりも低下させて、対極１６側へ回り込んだ検出対象ガスの解離反応が生じないようにしても良い。カーボンペーパー１７,１８は、炭素繊維の方向がＭＥＡ１２の厚さ方向と直角で、ＭＥＡ１２の厚さ方向と直角な方向に対して通気性や導電性が高く、炭素繊維に少量のフッ素樹脂を添加して疎水化したものを用いる。好ましくは、対極側のカーボンペーパー１８にＰｔ等の触媒を担持させ、金属缶４内へ拡散した検出対象ガスを、プロトン導電体膜内のプロトン移動を生じさせずに除去する。ここではプロトン導電体膜１４の一方に検知極１５を、反対側に対極１６を配置した２極のものとしたが、検知極と対極と参照極の３極を設けたものとしても良い。
【００１７】
２０は金属蓋で、２２は金属板で、２４はガス導入用の細孔、２６は活性炭やゼオライト等のフィルタ材で、金属蓋２０と金属板２２との間に充填し、２８はＭＥＡ１２の検知極１５側へ検出対象ガスを導入するためのガス導入孔である。３０はガスケットで、金属蓋２０と金属缶４との間の気密性を確保し、３２はかしめ部で、金属蓋２０を金属缶４に対してかしめて固定すると共に、金属蓋２０と検知極１５との電気的接続と、対極１６と金属缶４との間の電気的接続を確保するためのものである。ＭＥＡ１２とガスケット３０との間には、隙間３１が生じやすく、これはガスケット３０の内径とＭＥＡ１２の外径とを正確に一致させることが難しいためである。
【００１８】
実施例の動作を説明する。ＣＯ等の検出対象ガスは、細孔２４からフィルタ材２６を介してガス導入孔２８を通り、ガス導入孔２８、あるいは細孔２４で通気性を制限し、ＭＥＡ１２へ供給する。このためＭＥＡ１２では、検出対象ガスの供給は拡散律速になっている。細孔２４を金属板２２の側面部に複数個設け、ガス導入孔２８をＭＥＡ１２の中心部に１個設ける、あるいはガス導入孔２８をＭＥＡ１２の周辺部に複数個設け、細孔２４を金属板２２の頂部に１個設ける等により、検出対象ガスがフィルタ材２６の各部分をまんべんなく通過するようにし、フィルタ材２６の寿命を延ばす。このため、細孔２４とガス導入孔２８とを、ガスセンサ２の上下方向（軸方向）に関して、一直線上に揃わない様に配置する。ＭＥＡ１２に達した検出対象ガスは、検知極１５側のカーボンペーパー１７に沿って図１の左右方向（軸方向と直角な半径方向）に拡散し、検知極１５に供給される。これに伴って検知極１５では、ＣＯのＨ2Ｏによる酸化が生じ、ＣＯの酸化反応で生じたプロトンがプロトン導電体膜１４を移動し、対極１６で酸素と反応してＨ2Ｏに再生する。そして金属缶４と金属板２２との間を小さな負荷抵抗を介して接続すると、プロトン導電体膜１４を流れる電流は負荷抵抗を流れ、これはＣＯ濃度に比例した出力となる。
【００１９】
水蒸気は、水溜パック６を透過して、この時合成樹脂フィルムの水蒸気透過性により透過速度が定まり、水蒸気導入孔１０から対極１６側のカーボンペーパー１８に入り、カーボンペーパー内をＭＥＡ１２の厚さ方向と直角な方向に拡散し、対極１６に供給される。そして水蒸気は対極１６から、プロトン導電体膜１４や検知極１５まで拡散し、外気との湿度差に応じて、ガス導入孔２８から外気側へと放出される。
【００２０】
水蒸気導入孔１０の通気性を、ガス導入孔２８の通気性よりも大きくする。また水溜パック６の外側での相対湿度を１００％付近に保つように、水溜パック６の水蒸気透過性を定めても良いが、水溜パック６の外側での相対湿度を６０〜８０％程度に保つように、水蒸気透過性を定めることもできる。すると発泡体８を収容した部分での相対湿度も約６０〜８０％に保たれ、ＭＥＡ１２での相対湿度も６０〜８０％程度に保たれる。このように、大きな水蒸気導入孔１０から、相対湿度が１００％よりも低い加湿空気をＭＥＡ１２に均一に供給でき、これに伴って水の消費量を小さくできる。何れの場合も、水溜パック６を用いることにより、水蒸気の蒸発速度は減少し、これに伴って水溜として作用する寿命を長くできる。
【００２１】
プロトン導電体ガスセンサでの問題点として、検知極１５側のカーボンペーパー１７内を拡散したＣＯ等の検出対象ガスが、隙間３１から対極１６側へと拡散することがある。これに対して実施例では、水蒸気導入孔１０を大きくできるので、水溜パック６の上部の発泡体８を収容した空間へ、隙間３１から拡散した検出対象ガスを逃がすことができる。このため発泡体８の部分の空間が、余分の検出対象ガスに対するバッファとなり、余分の検出対象ガスは金属缶４内へ拡散して、対極へ回り込んだガスにより出力が低下することを防止できる。また発泡体８を収容した空間の空気は、ＭＥＡ１２へ供給する加湿空気のバッファでもあり、水溜パック６のフィルムが直接水蒸気導入孔１０に接触する場合よりも、均一に加湿空気（水蒸気）を供給できる。
【００２２】
図３に、ガスセンサ２を横倒しにした姿を示す。水溜パック６を用いず、金属缶４内に直接水を蓄えると、水面は水蒸気導入孔１０よりも上に達し、ここでガスセンサ２の温度が急激に上昇した場合、水面よりも上の空気が膨張するので、水は水蒸気導入孔１０からＭＥＡ１２側へ押し出され、ＭＥＡ１２が水で濡れることがある。このようなことは、検知極１５や対極１６の活性を変動させ、かつ水を消耗する。しかしながら水を水溜パック６内に収容すると、ガスセンサ２を横倒しにしても、液体の水が水蒸気導入孔１０からＭＥＡ１２側へ流れ出すことがない。また発泡体８を設けると、周囲温度が急激に低下した場合に、水溜パック６内の水温が下がるのに時間がかかっても、過飽和の水蒸気がＭＥＡ１２に結露するのを防止できる。
【００２３】
図４に変形例のガスセンサ４２を示すと、４６は隙間３１の付近に設けた細孔で、ＭＥＡ１２から隙間３１へ回り込んだ検出対象ガスを水溜パック６の上側のバッファスペースへ逃がすためのものである。また４４は両面テープ等を用いた粘着部で、水溜パック６を金属缶４の下側にほぼ固定するためのものである。
【００２４】
図５,図６に、第２の実施例のガスセンサ５２を示す。５４は非透湿パックで、例えば図６に示す様に、ポリエチレンやポリプロピレン等の熱可塑性フィルム５５にアルミニウムフィルム５６等をラミネートして、水蒸気透過性を極端に小さくしたたフィルムの袋である。そして非透湿パック５４の内部に、水溜パック６を収容する。非透湿パック５４は水蒸気透過性が低いが、それでも液体の水に直に接触した場合、僅かな水蒸気透過性があり、これはアルミニウムフィルム５６の小さな細孔を介して水蒸気が逃げるのを防止し難いためである。このため、非透湿パック５４内に例えば５ｃｍ３の水を直接保持した場合、砂漠等の乾燥した雰囲気では、３年以内に水が失われる可能性がある。そこで、水溜パック６を非透湿パック５４内に収容し、水溜パック６の水蒸気透過性を制限し、水溜としての寿命を延長する。
【００２５】
水溜パック６は、粘着部４４で非透湿パック５４の内側下部に取り付けられ、その上部に隙間６０が残る。６２は透湿部で、図６に示すように、アルミニウムフィルム５６をカットした開口６３と、それに連通する熱可塑性フィルム５５の開口６４とからなっている。なお開口６３,６４は同径でもよく、あるいは熱可塑性フィルム５５自体の水蒸気透過性を利用し、開口６４は設けなくても良い。
【００２６】
６６はセンサ本体で、図６に示すようにＭＥＡ１２の両側にリード６７,６８を配置し、これらを熱収縮フィルム７２,７３で挟み込んで、熱収縮フィルム７２,７３の収縮により、リード６７とＭＥＡ１２及びリード６８とＭＥＡ１２との導電性が得られるようにする。コンタクト部７４,７６は、例えばＭＥＡ１２と同じサイズの板状で、リード６７，６８とＭＥＡ１２との電気的コンタクトを得る部分である。そしてセンサ本体６６は、例えば非透湿パック５４側の熱収縮フィルム７３を、熱可塑性フィルム５５に融着あるいは接着すること等により、取り付ける。熱収縮フィルム７２,７３は、リード６８とＭＥＡ１２とのコンタクト並びにＭＥＡ１２とリード６７とのコンタクトを確保し、かつガスや水蒸気の導入経路を規制するためのもので、これらのコンタクトや導入経路を別の手法で得る場合には設けなくても良い。７０はフィルタで、活性炭やシリカゲルあるいはゼオライト等からなり、被毒性のガスやエタノール，ＮＯx等の干渉ガスを除去する。
【００２７】
コンタクト部７４には小径のガス導入孔７８があり、ＭＥＡ１２が拡散律速となるように検出対象ガスを導入する。コンタクト部７６には例えば複数個の水蒸気導入孔７９があり、ＭＥＡ１２に均一に加湿した空気を導入する。複数個の水蒸気導入孔７９をＭＥＡ１２の周辺部に設けることに代えて、ＭＥＡ１２の中心部に、ガス導入孔７８よりも大径の水蒸気導入孔を設けても良い。８０は細孔で、ガス導入孔７８に連通し、細孔８１は水蒸気導入孔７９に連通している。なおセンサ本体６６は、図５の鎖線で示すように、非透湿パック５４の内側で、水溜６の上側に配置してもよい。
【００２８】
第２の実施例の作用を示す。非透質パック５４は僅かな水蒸気透過性があり、水溜パック６を用いないと、短時間で水を消耗することがある。これに対して水溜パック６で水蒸気透過性を制限すると、水溜としての寿命を例えば３年以上に延長できる。検出対象ガスは、フィルタ７０から細孔８０,ガス導入孔７８を介してＭＥＡ１２に接触し、ＭＥＡ１２の側面から対極側へ流れ込むことがある。そこで対極側へ流れ込んだ検出対象ガスを、開口６４から、非透湿パック５４の隙間６０へ流れ込ませ、この部分をバッファとする。
【００２９】
実施例では、対極側のカーボンペーパー１８にＰｔ等の触媒を担持し、対極側へ回り込んだ検出対象ガスを除去する。しかしながら検出対象ガスの除去用の触媒は、水溜パック６の上部のスペース等に設けてもよい。実施例では、液体の水が動き回りＭＥＡ１２に接触することを防止でき、また水溜パック６の水蒸気透過性を制御（選択）し、図５，図６の非透湿パック５４のように、外ケースの気密性が不十分な場合でも、水溜の寿命を延ばすことができる。またＭＥＡ１２に供給する水蒸気の相対湿度を１００％よりも低くでき、相対湿度が例えば６０〜８０％程度の空気をより広い範囲からＭＥＡ１２へ均一に供給し、ＭＥＡ１２全体を均一に加湿できる。水溜パック６に加わる衝撃等は発泡体８で吸収し、あるいは粘着部４４で水溜パック６を固定し、水溜パック６が破損するのを防止できる。隙間３１等により対極側へ回り込む検出対象ガスは、水溜パック６の上部の発泡体８の空間や隙間６０等に逃がすことができ、検出対象ガスが対極側に回り込むことによる出力の低下を防止できる。水は水溜パック６に収容しているので、ＭＥＡ１２が液体の水で濡れることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例のガスセンサの鉛直方向断面図
【図２】  実施例で用いたＭＥＡの断面図
【図３】  実施例のガスセンサが横倒れになった際の状態を示す断面図
【図４】  変形例のガスセンサの鉛直方向断面図
【図５】  第２の実施例のガスセンサの水平方向断面図
【図６】  第２の実施例のガスセンサの要部拡大断面図
【符号の説明】
２          ガスセンサ
４          金属缶
６          水溜パック
７          融着部
８          発泡体
１０        水蒸気導入孔
１２        ＭＥＡ
１４        プロトン導電体膜
１５        検知極
１６        対極
１７，１８  カーボンペーパー
２０        金属蓋
２２        金属板
２４        細孔
２６        フィルタ材
２８        ガス導入孔
３０        ガスケット
３１        隙間
３２        かしめ部
４２        ガスセンサ
４４        粘着部
４６        細孔
５２        ガスセンサ
５４        非透湿パック
５５        熱可塑性フィルム
５６        アルミニウムフィルム
６０        隙間
６２        透湿部
６３，６４  開口
６６        センサ本体
６７，６８  リード
７０        フィルタ
７２，７３  熱収縮フィルム
７４，７６  コンタクト部
７８        ガス導入孔
７９        水蒸気導入孔
８０，８１  細孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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