(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの良否を選別するウェハ選別試験器に設置されウェハのフラットゾーンを感知するウェハフラットゾーン感知装置において、前記ウェハ選別試験器上に固定設置される所定の本体部と、前記本体部から突出され相異な寸法を持つ各種ウェハが位置できるように挿入空間を形成する上部プレート及び下部プレートと、前記上部プレートに所定間隔で離隔設置され各各所定の光を放出する多数の発光手段と、前記多数の発光手段から放出された光を受光するように前記発光手段と一対一で対応されるように前記下部プレート上に設置される多数の受光手段と、前記発光手段と受光手段に接続されこれらを駆動制御して前記ウェハのフラットゾーンを判断する制御部とを含み、
前記制御部は、前記各種ウェハのいずれかのエッジが感知された場合に、当該ウェハに対応する一の表示手段を点灯させるともに、いずれのウェハのエッジが感知された場合にも、前記各種ウェハに対応する表示手段とは異なる他の表示手段を点灯させることを特徴とするウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項２】
前記相異な寸法を持つ各種ウェハは、
４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハであることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項３】
前記発光手段は、
発光ダイオードであることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項４】
前記受光手段は、
前記放出光の受光有無によってオン／オフされるフォトトランジスタであることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項５】
前記多数の発光手段及び受光手段は、
前記４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハを感知できるように配列設置されて、その設置のための離隔間隔は１インチであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項６】
前記挿入空間は、
“コ”状であることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項７】
前記上部プレート及び下部プレートは、
所定間隔で離隔され平行になることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項８】
前記受光手段は前記上部プレートに設置されて、前記発光手段は前記下部プレートに設置されることを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項９】
前記制御部は、
前記者受光手段が発光するよう電源を提供して前記受光手段から出力される信号の入力を受ける入力部と、
前記入力部に接続され前記受光手段から出力される信号を所定の基準信号と個別的に比較してウェハのフラットゾーンの位置を確認する比較部と、
前記比較部から出力される信号を微分して所定の制御信号を出力する微分制御部と、
前記微分制御部から出力される信号の入力を受けウェハのフラットゾーンを判断する判断部と、
前記判断部から出力された信号によってハイ／ロー信号を出力する出力部とを含むことを特徴とする請求項１に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項１０】
前記出力部には、
該当ウェハの各フラットゾーンが感知された状態を表示する個別表示手段と、ウェハの寸法に関係なくウェハのフラットゾーンが感知された状態を表示する統合表示手段とが含まれていることを特徴とする請求項９に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【請求項１１】
前記出力部では、
ウェハのフラットゾーンが感知される時はロー信号が出力されて、ウェハのエッジ部が感知される時はハイ信号が出力されることを特徴とする請求項９に記載のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）工程、蒸着工程、注入工程等を経たウェハの良否を選別するウェハ選別試験器（Ｗａｆｅｒ  Ｐｒｏｂｉｎｇ  Ｔｅｓｔｅｒ）にあって、ウェハを装着する時、ウェハのフラットゾーン（Ｆｌａｔ  Ｚｏｎｅ）を感知するウェハフラットゾーン感知装置に係り、より詳細には、ウェハの寸法に該当する位置ごと該当ウェハ感知センサを設けて各種ウェハ、例えば、４インチウェハ（４Ｉｎｃｈ  Ｗａｆｅｒ）、５インチウェハ、６インチウェハの各フラットゾーンを自動的に容易に感知できるようにすることにより、ウェハローディンク（Ｗａｆｅｒ  Ｌｏａｄｉｎｇ）の作業性を向上させて、ウェハローディンク作業時間が短縮されるようにしたウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン（Ｗａｆｅｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）感知装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的な半導体の製造工程において、エッジング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）工程、蒸着工程、注入工程等を経たウェハは、一つずつチップ（Ｃｈｉｐ）に切断分離され組立される前にウェハの良否を選別する工程であるウェハ選別工程を経る。前記ウェハ選別工程は、甚に細い検査針（Ｐｒｏｂｅ）を有したウェハ選別試験器により行われる。即ち、前記検査針はコンピュータ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）を利用したウェハ選別試験器に連結され各チップの電気的性能を試験して不良品には黒色インク（Ｉｎｋ）等で点をとって良品と容易に区別されるようにする。このようなウェハの性能試験工程はウェハ一枚に普通チップが数百、数万個があり、チップ自体の電気的特性が複雑な場合が大部分であるから一つずつ電気的性能を試験できなくてコンピュータを用いて大量に試験するようになる。
【０００３】
前記のようなウェハ選別試験器には、装着される試験対象ウェハ１のフラットゾーン２を感知して前記ウェハ１が前記試験器内で正確にアライン（Ａｌｉｇｎ）されるようにするウェハフラットゾーン感知装置が包含される。
図１は従来のウェハフラットゾーン感知装置を概略的に示す。
図１に示すように、ウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置は、発光ダイオード１２やフォトトランジスタ（Ｐｏｒｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）１３の一対になるフラットゾーン感知センサ部と、前記発光ダイオード１２やフォトトランジスタ１３が装着され前記試験器のベースフレーム（Ｂａｓｅ  Ｆｒａｍｅ：図示せず）に取付される本体部１５と、前記発光ダイオード１２及びフォトトランジスタ１３と関連された信号をインタフェース（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）してケーブル（Ｃａｂｌｅ）１９を通して所定の制御部に接続させるインタフェース接続部１７と、前記本体部１５に形成された長孔２３を通して前記本体部１５を前記ベースフレームに固定させるねじ（Ｓｃｒｅｗ）部材２１を含んでなっている。
【０００４】
前記のように構成されたウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置は、図２に図示されるようなフラットゾーンを感知センサである発光ダイオード１２とフォトトランジスタ１３を駆動する駆動回路の動作によりウェハのフラットゾーンを感知する。
即ち、ウェハ１が“コ”状の本体部１５に挿入されウェハ選別試験器の所定の装置（図示せず）により回転されると、前記フォトトランジスタ１３は、前記発光ダイオード１２とフォトトランジスタ１３の間にウェハ１のエッジ（Ｅｄｇｅ）部が位置する時は発光ダイオード１２の光がウェハ１により遮断されて、ウェハ１のフラットゾーン２が位置する時は発光ダイオード１２の光がフォトトランジスタ１３に直接的に印加されるため、ウェハフラットゾーン２の位置によってオン／オフされこれを比較器１８に入力する。その時、フォトトランジスタ１３に発光ダイオード１２の光が印加されると、フォトトランジスタ１３のコレクタ（Ｃｏｌｌｅｃｔｏｒ）端と接続された比較器１８の入力端子（Ｐｉｎ）にはロー信号が入力されて、フォトトランジスタ１３に発光ダイオード１２の先が遮断され印加されないと、前記比較器１８の入力端子にはハイ信号が入力される。
【０００５】
ここで、前記比較器１８の入力端子（Ｐｉｎ）に入力されるハイ信号の電圧を前記比較器１８の他の入力端子に入力される基準電圧（Ｖｒｅｆ）と同一か大きくすると、比較器１８の出力、即ち、ウェハ選別試験器のＭＰＵ（図示せず）に入力される信号（Ｓｏｕｔ）は、図３に図示されるように、ウェハ１のフラットゾーンが感知される時はローになり、ウェハ１のエッジ部が感知される時はハイになる。図３において、前記信号中ローになる区間Ｔがウェハのフラットゾーンが感知される区間である。この区間Ｔは、製品名“ＥＧ２００１Ｘ”選別試験器（ＲＲＯＢＥ  ＳＴＡＴＩＯＮ）では大略２５０ｍｓ程度になる。また、ウェハフラットゾーン感知表示ランプ（Ｌａｍｐ）１６は、前記比較器１８の出力がハイである時、即ち、ウェハのエッジ部が感知される時は点灯されて、比較器１８の出力がローである時、即ち、ウェハのフラットゾーンが感知される時は消灯される。したがって、前記比較器１８の出力信号と表示ランプ１６の点灯有無を判別することによりウェハのフラットゾーンを感知できるようになる。未説明符号Ｒは、バイアス（Ｂｉａｓ）抵抗、電流／電圧調整用抵抗であり、これら各各の抵抗は固有の抵抗値を持つ。また、Ｖｃｃは電源を示し、Ｖｄはグラウンド（Ｇｒｏｕｎｄ）を示す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記のような従来のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置は、多様な寸法のウェハ、例えば、４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハに対して不良の有無を選別しようとする時、ウェハのフラットゾーンを感知するためには各ウェハの寸法に適合するように前記フラットゾーン感知センサ部１２、１３を移動させ固定して、正確なセッティング（Ｓｅｔｔｉｎｇ）のため前記表示ランプ１６の動作状態を確認しながら調整しなければならないという課題があった。
即ち、寸法が相異なウェハに対する不良の有無を選別できるようにウェハのフラットゾーンを感知するためにはフラットゾーン感知センサ（即ち、発光ダイオードやフォトトランジスタ）の位置を手作業で移動させ固定して調整しなければならない等のウェハの寸法変化による長時間の準備作業時間が必要であった。
【０００７】
したがって、本発明は、前記のような問題点を解決すべく案出されたもので、ウェハ寸法の該当位置ごと各各該当ウェハのフラットゾーンを感知する感知センサを設けて各種ウェハ、例えば、４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハの各フラットゾーンを自動的に容易に感知できるようにすることにより、ウェハのローディンク作業性を向上させて、ウェハの寸法変化による準備作業時間を短縮させたウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するための本発明の第１の好ましい特徴によると、本発明のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置は、ウェハの良否を選別するウェハ選別試験器に設置されウェハのフラットゾーンを感知するウェハフラットゾーン感知装置において、
前記ウェハ選別試験器上に固定設置される所定の本体部と、前記本体部から突出され相異な寸法を持つ各種ウェハが位置されるように挿入空間を形成する上部プレート及び下部プレートと、前記上部プレートに所定間隔で離隔設置され各各所定の光を放出する多数の発光手段と、前記多数の発光手段から放出された光を受光するように前記発光手段と一対一で対応されるように前記下部プレート上に設置される多数の受光手段と、前記発光手段と受光手段に接続されこれらを駆動制御して前記ウェハのフラットゾーンを判断する制御部とを含む。
本発明の第２の好ましい特徴によると、前記相異な寸法を持つ各種のウェハは４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハである。
本発明の第３の好ましい特徴によると、前記発光手段は発光ダイオードであり、前記受光手段は前記放出光の受光有無によってオン／オフされるフォトトランジスタである。
本発明の第４の好ましい特徴によると、前記発光手段及び受光手段は前記４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハを感知できるように配列設置されて、その設置のための離隔間隔は１インチである。
本発明の第５の好ましい特徴によると、前記挿入空間は“コ”状である。
本発明の第６の好ましい特徴によると、前記上部プレート及び下部プレートは所定間隔で離隔され平行になっている。
本発明の第７の好ましい特徴によると、前記受光手段は前記上部プレートに設置されて、前記発光手段は前記下部プレートに設置されている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添附図面によって本発明のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置の好ましい実施形態について詳細に説明する。
説明中従来枝術で使用された構成部材と同一な作用をする構成部材については同一部材番号を用いて、これに対する詳細な説明は省略する。
本発明によるウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置は、ウェハ寸法の該当位置ごと各各該当ウェハのフラットゾーンを感知する感知センサを設けて各種のウェハ、例えば、４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハの各フラットゾーンを自動的に容易に感知できるようにすることにより、ウェハの寸法変化による準備作業時間が短縮できるようにしたもので、ウェハ選別試験器（図示せず）上にねじ部材２１により固定設置される所定の本体部７０と、前記本体部７０から突出され相異な寸法を持つ各種ウェハ、例えば、４インチウェハ４０、５インチウェハ５０、６インチウェハ６０が位置されるように挿入空間１００を形成する上部プレート８０及び下部プレート９０と、前記上部プレート８０に所定間隔で離隔設置され所定の光を放出する第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６と、前記第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６から放出された光を受光するように前記第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６と一対一で対応されるように前記下部プレート９０上に設置される第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６及び前記第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６と、前記第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６に接続されこれらを駆動制御して、前記４インチウェハ４０、５インチウェハ５０、６インチウェハ６０の該当フラットゾーン４１、５１、６１を判断する制御部２００とで構成される。
【００１０】
ここで、前記上部プレート８０及び下部プレート９０により形成される挿入空間１００は、好まにくには“コ”状に形成されて、前記第１発光ダイオード８２と第１フォトトランジスタ９２は、各各前記上部プレート８０及び下部プレート９０の最終端に付着設置されて、第２発光ダイオード８４と第２フォトトランジスタ９４は、前記第１発光ダイオード８２と第１フォトトランジスタ９２から各各１インチ離隔された後端部に設けて、第３発光ダイオード８６と第３フォトトランジスタ９６は、前記第２発光ダイオード８４と第２フォトトランジスタ９４から各各１インチ離隔された後端部に設けられる。
【００１１】
また、前記制御部２００は、第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６が発光するように電源を印加して前記第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６から出力される信号の入力を受ける入力部２１０と、前記入力部２１０に接続され前記第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６から出力される信号を所定の基準信号と個別的に比較してウェハのフラットゾーンの位置を確認する比較部２３０と、前記比較部２３０から出力される信号を微分して所定の制御信号を出力する微分制御部２５０と、前記微分制御部２５０から出力される信号の入力を受けウェハのフラットゾーンを判断する判断部２７０と、前記判断部２７０から出力された信号によってハイ／ロー信号を出力する出力部２９０とで構成される。
【００１２】
ここで、好ましくには、前記入力部２１０は３個の抵抗器Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３になり、前記比較部２３０は３個の比較器４３、５３、６３と基準電圧を提供する多数の抵抗器になり、前記微分制御部２５０は多数のコンデンサ（Ｃｏｎｄｅｎｓｅｒ）と抵抗器Ｒと変換器（Ｉｎｖｅｒｔｅｒ）４６〜４９、５６〜５９、６６〜６９及び一個のＡＮＤゲート（Ｇａｔｅ）２５５になり、前記判断部２７０は３個のフリップフロップ４５、５５、６５になり、前記出力部２９０は多数のＯＲゲート２９７、２９８、２９９と表示ランプ（表示ＬＥＤ：２９４、２９５、２９６）４５６からなる。制御部２００を構成する素子中、受動素子（抵抗器、コンデンサ）の部材番号の記載は省略する。
【００１３】
前記のように構成された本発明によるウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置の作用及び動作を図４〜図９を参照して説明する。
まず、図４に図示されるように、本体部７０の上部プレート８０及び下部プレート９０上に４インチウェハ４０、５インチウェハ５０、６インチウェハ６０の該当位置にこれら４インチウェハ４０、５インチウェハ５０、６インチウェハ６０のフラットゾーン４１、５１、６１を感知できるセンサである第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６と第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６を付着設置して、これらセンサを駆動制御して、センサから出力される信号を認識してウェハのフラットゾーンを確認判断する制御部２００を図６に図示されるように構成する。
【００１４】
ここで、前記第１発光ダイオード８２と前記第１フォトトランジスタ９２は４インチウェハ４０のフラットゾーン４１を感知する作用をして、第２発光ダイオード８４と前記第２フォトトランジスタ９４は５インチウェハ５０のフラットゾーン５１を感知する作用をして、前記第３発光ダイオード８６と第３フォトトランジスタ９６は６インチウェハ６０のフラットゾーン６１を感知する作用をする。
【００１５】
本発明のウェハ選別試験器のフラットゾーン感知装置において、第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６及び第１フォトトランジスタ９２、第２フォトトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６によるウェハのフラットゾーンまたはウェハエッジの感知信号は、入力部２１０の各抵抗器を経由してから比較部２３０の各比較器４３、５３、６３を経る。また、前記比較部２３０を通過した信号は、微分制御部２５０に入力され所定の信号処理を受ける。微分制御部２５０で信号処理された信号は、判断部２７０の各フリップフロップ４５、５５、６５のクロックピン（ＣＬＫ）に入力されて、前記フリップフロップ４５、５５、６５の出力は出力部２９０のＯＲゲート２９７、２９８、２９９を経由して出力される。したがって、出力部２９０のＯＲゲート２９９出力信号を確認することにより、容易にウェハのフラットゾーンを認識できるようになる。ここで、各フリップフロップ４５、５５、６５の出力は該当センサ、即ち、第１発光ダイオード８２、第２発光ダイオード８４、第３発光ダイオード８６及び第１フォトトランジスタ９２、第２ポ一トトランジスタ９４、第３フォトトランジスタ９６が動作した時出力されるようにする。
【００１６】
前記の内容をウェハの寸法により分類してより詳細に説明すると次のようになる。
まず、４インチウェハ４０のフラットゾーン４１を感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作について説明する。
４インチウェハ４０のフラットゾーン４１は４インチウェハ感知センサである第１発光ダイオード８２と第１フォトトランジスタ９により感知される。これのための信号（図７Ａ）は第１フォトトランジスタ９２から出力され入力部２１０を経由した後、比較部２３０の第１比較器４３の入力ピンＩ１に入力されて、この信号は第１比較器４３の他の入力ピンＩ２に入力される基準電圧と比較された後、第１比較器４３の出力ピンＯ４を通して出力される。ここで、前記第１比較器４３の出力信号がローである時は、４インチウェハ４０のフラットゾーン４１が感知される状態であり、ハイである時は、４インチウェハ４０のエッジ部が感知される状態である。第１比較器４３の出力信号（図７Ａ）は微分制御部２５０を通して判断部２７０の第１フリップフロップ４５のクロックピンに入力される。前記微分制御部２５０で処理される信号波形を図７Ｂ〜図７Ｆに示す。
【００１７】
図７Ｂの波形は、第１比較器４３の出力信号がコンデンサと抵抗器により微分されて変換器４６の入力ピンに入力される波形であり、図７Ｃの波形は変換器４７から出力され後端の第１フリップフロップ４５に入力される波形であり、図７Ｄの波形は第１比較器４３の出力信号を反転させた波形で変換器４８の出力波形であり、図７Ｅの波形は変換器４８の出力信号がコンデンサと抵抗器により微分され変換器４９に入力される波形であり、図７Ｆの波形はＡＮＤゲート２５５から出力され第１フリップフロップ４５のクリアー（Ｃｌｅａｒ）ピン（ＣＬＲ）に入力される波形である。
判断部２７０の第１フリップフロップ（Ｆｌｉｐ  Ｆｌｏｐ）４５のクロックピン（ＣＬＫ）に４インチウェハのエッジが感知される時は、図７Ｃに図示されるように、ハイ信号が入力されて、第１フリップフロップ４５のクリアーピン（ＣＬＲ）に４インチウェハ４０のフラットゾーン４１が感知される時は、図７Ｆに図示されるように、ロー信号が入力されて、第１フリップフロップ４５の出力ピンＱでは図７Ｇのような波形が出力される。第１フリップフロップ４５の出力ピンＱを通して出力された信号は、出力部２９０のＯＲゲート２９７、２９８、２９９を通して最終出力され未図示されたウェハ選別試験器のＭＰＵに入力されて、４インチウェハのフラットゾーンが容易に感知されるようになる。
【００１８】
ここで、出力部２９０の第１表示ＬＥＤ２９４は、４インチウェハ４０のエッジ（Ｅｔｃｈ）部が感知される時点灯されて、４インチウェハ４０のフラットゾーン４１が感知される時消灯されて肉眼で４インチウェハフラットゾーン４１の感知状態が認識できるように作用する。また、第４表示ＬＥＤ４５６は、ウェハの寸法に関係なくウェハのエッジ部が感知される時点灯されて、ウェハのフラットゾーンが感知される時消灯されて肉眼でウェハフラットゾーンの感知状態が認識できるように作用する。
次に、５インチウェハのフラットゾーンを感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作を図６及び図８を参照して説明する。
５インチウェハ５０のフラットゾーン５１を感知する場合には、第１発光ダイオード８２の放出光が前記５インチウェハ５０により遮断され第１フォトトランジスタ９２に到達できなくなる。したがって、第１比較器４３の入力ピン１１にはハイ電圧５Ｖが継続的に入力されて出力ピンＯ４では継続的にハイ信号が出力される（図８Ａ）。第１比較器４３の出力信号は、微分制御部２５０を通して判断部２７０の第１フリップフロップ４５のクロックピン（ＣＬＫ）に入力されその出力ピンＱの状態をハイにする。
【００１９】
前記のような状態で、５インチウェハ５０のフラットゾーン５１は、５インチウェハ感知センサである第２発光ダイオード８４と第２フォトトランジスタ９４により感知される。
これのための信号（図８Ｂ）は、？２フォトトランジスタ９４から出力され入力部２１０を経由した後、比較部２３０の第２比較器５３の入力ピンＩ１に入力されて、この信号は、第２比較器５３の他の入力ピンＩ２に入力される基準電圧と比較された後、第２比較器５３の出力ピンＯ５を通して出力される。ここで、前記第２比較器５３の出力信号がローである時は５インチウェハ５０のフラットゾーン５１が感知される状態であり、ハイである時はは５インチウェハ５０のエッジ部が感知される状態である。第２比較器５３の出力信号（図８Ｂ）は微分制御部２５０を通して判断部２７０の第２フリップフロップ５５のクロックピン（ＣＬＫ）に入力される。
【００２０】
前記微分制御部２５０で処理される信号波形を図８Ｃ〜図８Ｆに示す。
図８Ｃの波形は、４インチウェハ感知センサ（第１発光ダイオード、第１フォトトランジスタ）と関連され変換器４７から出力されて後端の第１フリップフロップ４５に入力される波形であり、図８Ｄの波形は、変換器５７から出力され後端の第２フリップフロップ５５に入力される波形であり、図８Ｅの波形は、ＡＮＤゲート２５５から出力され第２フリップフロップ５５のクリアーピン（ＣＬＲ）に入力される波形であり、図８Ｆの波形は、前記４インチウェハ感知センサと関連され第１フリップフロップ４５から出力される信号波形である。ここで、図７に図示された波形と図８に図示された波形は、その波形の出力始点だけが相異であり類似な形態を形成していることがわかる。
判断部２７０の第２フリップフロップ５５のクロックピン（ＣＬＫ）には、５インチウェハ５０のエッジが感知される時、図８Ｄに図示されるようなハイ信号が入力されて、第２フリップフロップ５５のクリアーピン（ＣＬＲ）には、５インチウェハのフラットゾーン５１が感知される時図８Ｅに図示されるようなロー信号が入力されて、第２フリップフロップ５５の出力ピンＱでは、図８Ｇのような波形が出力される。
【００２１】
第２フリップフロップ５５の出力ピンＱを通して出力された信号は、出力部２９０のＯＲゲート２９７、２９８、２９９を通して最終出力され（図８Ｈ）、未図示されたウェハ選別試験器のＭＰＵに入力されて、５インチウェハ５０のフラットゾーン５１が容易に感知できるようになる。ここで、出力部２９０の第２表示ＬＥＤ２９５は、５インチウェハ５０のエッジ部が感知される時点灯されて、５インチウェハのフラットゾーン５１が感知される時消灯されて肉眼で５インチウェハフラットゾーン５１の感知状態が認識できるように作用して、第４表示ＬＥＤ４５６は、ウェハの寸法に関係なくウェハのエッジ部が感知される時点灯されて、ウェハのフラットゾーンが感知される時消灯されて肉眼でウェハフラットゾーンの感知状態が認識できるように作用する。
【００２２】
最終的に、６インチウェハのフラットゾーンを感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作を図６及び図９を参照して説明する。
６インチウェハ６０のフラットゾーン６１を感知する場合には、第１発光ダイオード８２と第２ダイオード８４の放出光が各各前記６インチウェハ６０により遮断され第１フォトトランジスタ９２と第２フォトトランジスタ９４に到達できないようになる。したがって、第１比較器４３と第２比較器５３の各入力ピンＩ１にはハイ電圧５Ｖが継続的に入力されて、各出力ピンＯ４、Ｏ５では継続的にハイ信号が出力される（図９Ａ、図９Ｂ）。第１比較器４３及び第２比較器５３の各各の出力信号は、微分制御部２５０を通して判断部２７０の第１フリップフロップ４５及び第２フリップフロップ５５のクロックピン（ＣＬＫ）に入力されてその出力ピンＱの状態をハイにする。
前記のような状態で、６インチウェハ６０のフラットゾーン６１は、６インチウェハ感知センサである第３発光ダイオード８６と第３フォトトランジスタ９６により感知される。これのための信号（図９Ｃ）は、第３フォトトランジスタ９６から出力され入力部２１０を経由した後、比較部２３０の第３比較器６３の入力ピンＩ１に入力されて、この信号は、第３比較器６３の他の入力ピンＩ２に入力される基準電圧と比較された後、第３比較器６３の出力ピンＯ６を通して出力される。ここで、前記第３比較器６３の出力信号がローである時は、６インチウェハ６０のフラットゾーン６１が感知される状態であり、ハイである時は、６インチウェハ６０のエッジ部が感知される状態である。第３比較器６の出力信号（図９Ｃ）は、微分制御部２５０を通して判断部２７０の第３フリップフロップ６５のクロックピン（ＣＬＫ）に入力される。
【００２３】
前記微分制御部２５０で処理される信号波形を図９Ｄ〜図９Ｈに示す。
前記図９Ｄと図９Ｅの波形は、各各４インチウェハ感知センサと５インチウェハ感知センサ（第１発光ダイオードと第２発光ダイオード及び第１フォトトランジスタと第２フォトトランジスタ）と各各関連され変換器４７、５７から出力され後端の第１フリップフロップ４５と第２フリップフロップ５５に入力される波形であり、図９Ｆの液形は、変換器６７から出力され後端の第３フリップフロップ６５に入力される波形であり、図９Ｇの波形は、ＡＮＤゲート２５５から出力され第３フリップフロップ６５のグリアーピン（ＣＬＲ）に入力される波形であり、図９Ｈと図９Ｉの波形は、各各４インチウェハ感知センサ及び５インチウェハ感知センサと関連され第１フリップフロップ４５及び第２フリップフロップ５５から出力される信号波形である。ここで、図７及び図８に図示された波形と図９に図示された波形は、その波形区間でだけ相異であり類似な形態を形成していることがわかる。
【００２４】
判断部２７０の第３フリップフロップ６５のクロックピン（ＣＬＫ）には、６インチウェハ６０のエッジが感知される時、図９Ｆに図示されるようなハイ信号が入力されて、第３フリップフロップ６５のクリアーピン（ＣＬＲ）には、６インチウェハのフラットゾーン６１が感知される時、図９Ｇに図示されるようなロー信号が入力されて、第３フリップフロップ６５の出力ピンＱでは図９Ｉのような波形が出力される。第３フリップフロップ６５の出力ピンＱを通して出力された信号は、出力部２９０のＯＲゲートを通して最終出力され（図９Ｋ）未図示されたウェハ選別試験器のＭＰＵに入力されて、６インチウェハ６０のラットゾーン６１が容易に感知される。ここで、出力部２９０の第３表示ＬＥＤ２９６は、６インチウェハ６０のエッジ部が感知される時点灯されて、６インチウェハのフラットゾーン６１が感知される時消灯されて肉眼で６インチウェハフラットゾーンの感知状態が認識できるように作用して、第４表示ＬＥＤ４５６は、ウェハの寸法に関係なくウェハのエッジ部が感知される時点灯されて、ウェハのフラットゾーンが感知される時消灯されて肉眼でウェハフラットゾーンの感知状態が認識できるように作用する。
【００２５】
前記の判断部２７０の第１フリップフロップ４５、第２フリップフロップ５５、第３フリップフロップ６５の作用において、これら各クロックピン（ＣＬＫ）には該当寸法のウェハエッジが感知される時ハイ信号が入力されて、クリアーピン（ＣＬＲ）には該当ウェハのフラットゾーンが感知される時ハイ信号が入力される。また、前記第１フリップフロップ４５、第２フリップフロップ５５、第３フリップフロップ６５の各出力ピンＱは、クロックピン（ＣＬＫ）にハイ信号が入力された場合にはハイ信号を出力して、クリアーピン（ＣＬＲ）にハイ信号が入力された場合にはロー信号を出力する。前記製１フリップフロップ４５、第２フリップフロップ５５、第３フリップフロップ６５の各出力信号は、出力部２９０のＯＲゲートを通して最終出力されて、その出力信号がローである時該当ウェハのフラットゾーンが感知されるようにする。前記の微分制御部２５０で抵抗器とコンデンサになった微分回路部は、好ましくには、大略３０ｍｓの時間区間を持つ信号を出力するようにした。
【００２６】
本発明において、好ましくには、第１比較器４３、第２比較器５３、第３比較器６３は汎用ＩＣＬＭ３３９になり、図示された変換器４６〜４９、５６〜５９、６６〜６９は汎用ＩＣ７４ＨＣ０５になり、第１フリップフロップ４５、第２フリップフロップ５５、第３フリップフロップ６５は汎用ＩＣ７４ＬＳ７４になり、ＡＮＤゲート２５５は汎用ＩＣ７４ＨＣ１１になり、図示されたＯＲゲート２９７、２９８、２９９は汎用ＩＣ７４ＬＳ３２になる。また、図示された抵抗器とコンデンサは商業上利用可能な一般的な抵抗器とコンデンサになる。
【００２７】
【発明の効果】
以上のような発明によるウェハ選別試験器のウェハフラットゾーンの感知装置は、ウェハの寸法に該当する位置ごと該当ウェハ感知センサを設置して各種ウェハ、例えば、４インチウェハ、５インチウェハ、６インチウェハの各フラットゾーンを自動的に容易に感知できるようにすることにより、ウェハローディングの作業性を向上させて、ウェハローディング作業時間が短縮させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来のウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置を概略的に示す構成図である。
【図２】  従来のウェハフラットゾーン感知装置の駆動制御部を示す回路図である。
【図３】  図２の動作タイミング図である。
【図４】  本発明によるウェハ選別試験器のウェハフラットゾーン感知装置を示す構成図である。
【図５】  本発明によるウェハフラットゾーン感知装置の駆動制御部を示すブロック構成図である。
【図６】  図５の詳細回路図である。
【図７】  ４インチウェハのフラットゾーンを感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作を示す動作タイミング図である。
【図８】  ５インチウェハのフラットゾーンを感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作を示す動作タイミング図である。
【図９】  ６インチウェハのフラットゾーンを感知するための本発明のウェハフラットゾーン感知装置の動作を示す動作タイミング図である。
【符号の説明】
１：ウェハ
２：フラットゾーン
１２：発光ダイオード
１３：フォトトランジスタ
１５：本体部
１６：表示ランプ
１７：インタフェース接続部
１８：比較器
１９：ケーブル
２１：ねじ部材
２３：長孔
４０：４インチウェハ
４１：４インチウェハフラットゾーン
５０：５インチウェハ
５１：５インチウェハフラットゾーン
６０：６インチウェハ
６１：６インチウェハフラットゾーン
８２：第１発光ダイオード
８４：第２発光ダイオード
８６：第３発光ダイオード
９２：第１フォトトランジスタ
９４：第２フォトトランジスタ
９６：第３フォトトランジスタ
２００：制御部
２１０：入力部
２３０：比較部
２５０：微分制御部
２７０：判断部
２９０：出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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