(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子を設置するための素子設置面を有する素子載置部と、
前記素子載置部の前記素子設置面に接合された半導体素子と、
前記半導体素子の周囲を非接触状態で連続的に囲み、かつ前記素子設置面と離間した状態で配設され、平面形状が短形状のリングからなるフレームリードと、
前記半導体素子から離間した位置で前記素子載置部に対して絶縁性のリード支持部にて支持されて配設される第１および第２のインナーリードと、
少なくとも、前記インナーリードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤおよび前記フレームリードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤを含むワイヤ群と、
前記フレームリードの４隅において該フレームリードを支持するサポートバーと、
前記素子載置部、前記半導体素子、前記インナーリードの一部および前記フレームリードを封止する樹脂封止部と、を含み、
前記第１のインナーリードは、前記フレームリードと不連続の状態で配設され、
前記第２のインナーリードは、前記フレームリードと一体的に連続した状態で配設され、
前記第２のインナーリードは、隣り合う前記サポートバーの間に複数設けられ、
前記フレームリードは、前記サポートバーと前記第２のインナーリードとによって支持されることによって、前記素子載置部および前記半導体素子と非接触の状態で配置される、樹脂封止型半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記フレームリードおよび前記第２のインナーリードは電源用のリードとして用いられる樹脂封止型半導体装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記素子載置部の素子設置面は、前記第１のインナーリードの先端が平面的にみて重なる位置まで延設されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１のインナーリードは、前記素子載置部の素子設置面に対して弾性変形の範囲で接触可能な自由端を確保した状態で前記リード支持部によって支持され、かつこのリード支持部を介して前記素子載置部と前記リードとが接合されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記リード支持部は、前記素子設置面の縁周全体に沿って連続的に形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項６】
請求項４において、
前記リード支持部は、前記素子設置面の縁周に部分的に形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項７】
請求項１において、
前記素子載置部は、導電性の材質からなる樹脂封止型半導体装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記半導体素子の電極部の接地が可能な第１の導電層、および前記第２のインナーリードの接地が可能な第２の導電層の少なくとも一方が、前記素子設置面に形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記第１の導電層および第２の導電層は、銀，金，パラジウムおよびアルミニウムから選択される少なくとも１種の金属から構成された樹脂封止型半導体装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９において、
前記第１の導電層と前記第２の導電層とは離間して形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項１１】
請求項８または請求項９において、
前記第１の導電層と前記第２の導電層とは連続的に形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項１２】
請求項８または請求項９において、
前記第１の導電層および前記第２の導電層が形成された領域以外の素子載置部の表面には絶縁層が形成されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記絶縁層は前記素子載置部を構成する金属を酸化処理して得られた金属酸化膜からなる樹脂封止型半導体装置。
【請求項１４】
請求項１において、
前記素子載置部は、前記素子設置面を含む大径部とこの大径部より突出する小径部とからなる、断面形状がほぼ凸状をなす樹脂封止型半導体装置。
【請求項１５】
請求項１４において、
前記素子載置部は、その小径部が樹脂封止部より露出する状態で設置される樹脂封止型半導体装置。
【請求項１６】
請求項１において、
前記素子載置部は樹脂封止部内に埋設されている樹脂封止型半導体装置。
【請求項１７】
請求項１において、
前記フレームリードは、ワイヤボンディングの画像認識においてマーキングとして機能する認識用の突起または切欠きを有する樹脂封止型半導体装置。
【請求項１８】
請求項１において、
前記フレームリードは、その平面的にみた外径が、前記樹脂封止部の平面的にみた外径に対して、１５〜８０％の範囲内にある樹脂封止型半導体装置。
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、リード構造に特徴を有する樹脂封止型半導体装置およびその製造方法に関する。
［背景技術］
論理ＶＬＳＩ等の集積度の高い半導体装置においては、半導体チップにおける入出力用の電極（パッド）および電源用電極の数が多くなる。したがって、それぞれの電極に接続するため、この電極と同じ数のたくさんのリードが必要となる。
また、一つの半導体チップの複数箇所に電源をとろうとするときに、それぞれの接続用のワイヤの長さが異なると、その抵抗値が異なることとなる。そうすると、それぞれの電圧降下が異なることから各電極に同一の電圧を印加することが難しくなる。なお、各電極と電源とを接続するワイヤの長さを、全て等しくするためには、最も長くなるものに他のものを合わせる必要があり、ワイヤが長くなってその電圧降下が大きくなってしまう。
そこで、この問題を解決するものとして、特開平４−１７４５５１号公報に開示された半導体装置がある。この半導体装置は、半導体チップの回路形成面の上に共用インナーリードが絶縁性接着材を介して積層され、かつ、半導体チップの外側に該半導体チップと電気的に接続された複数の信号用インナーリードが設けられ、半導体チップが共用インナーリードで保持された形でモールド樹脂で封止されていることに特徴を有する。
この半導体装置によれば、半導体チップが搭載されるタブを設けていないので、ボンディングワイヤとタブとの短絡を防止できること、共用インナーリードを例えば電源用リードとして用いることにより、リードピンの共用化を容易に実現することができること、等の利点を有する。
特に、共用インナーリードを設けたことは、リードの数を減らすとともに、ワイヤの長さを短くして電圧降下を低減させることになる。
しかしながら、この半導体装置においては、半導体チップ表面に共用インナーリードが積層されるため、半導体チップ表面の電極パッドの配列設計に制約があること、共用インナーリードと半導体チップとを接続する絶縁性接着材によるチップの汚染や接着材の軟化によるボンディング不良等が発生する可能性があること、等の問題があった。
また、特公平６−６６３５１号公報には、半導体チップの周囲に共用インナーリードを設けた半導体装置が開示されている。この構成によれば、半導体チップ表面に共用インナーリードを設けるのではないため、電極パッドの配列設計の制約をなくして、ボンディング不良も避けることができる。
しかし、この構成は、半導体チップを搭載するタブがリードの一つに一体的に設けられており、このタブの外周に共用リードが設けられるので、タブと共用インナーリードとの聞の絶縁を十分に図ることが難しい。また、共用インナーリードを設けるとはいうものの、その形状は、タブが一体的に設けられるリードを避けて一部が切断された形状としなければならず、形状に制約がある。そして、形状に制約があると、ボンディングを行う位置も制約を受けるという問題があった。
なお、近年、ＶＬＳＩ等の消費電力の増大に伴い、低コストで放熱性の良好なプラスチックパッケージの要求が高まっている。これに対処するために、材料の面からは、リードフレームや封止用樹脂の熱伝導性を高めることが検討され、構造の面からは、リードフレーム・デザインの変更やヒートシンクすなわち放熱体の付加による放熱性の向上が検討されている。特に、放熱体の付加によるパッケージの放熱性の改善は、消費電力が１チップあたり２Ｗ程度までのＬＳＩにおいては、もっともオーソドックスな対策と考えられている。
そこで、上述の放熱といった観点から、本願発明の発明者は、既に特開平６−５３３９０号に係る発明を創作した。この発明では、熱伝導性の高い放熱体を用いて、その放熱体にダイパッドの代わりとなる素子載置の機能をもたせた構造を採っていた。その際、インナリードの支持といった観点から放熱体上に絶縁部材を配置しその絶縁部材によりリードを支持させる構造を採っていた。
したがって、かかる構成も採用すれば、放熱性においても優れた半導体装置を得ることができる。
［発明の開示］
本発明の目的は、リードの共用化を図ることにより、リードの数を減らし、ワイヤの長さを短くして電圧降下を低減して、配線設計の自由度が高い樹脂封止型半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、高い放熱特性を有する樹脂封止型半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
本発明の樹脂封止型半導体装置は、半導体素子を設置するための素子設置面を有する素子載置部と、
この素子載置部の前記素子設置面に接合された半導体素子と、
前記半導体素子の周囲を非接触状態で連続的に囲み、かつ前記素子設置面と離間した状態で配設されるフレームリードと、
前記半導体素子から離間した位置で前記素子載置部に対して絶縁されて配設される複数のリードと、
少なくとも、前記リードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤおよび前記フレームリードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤを含むワイヤ群と、
前記素子載置部、前記半導体素子、前記リードの一部および前記フレームリードを封止する樹脂封止部と、を含み、
前記複数のリードは、
前記フレームリードと不連続の状態で配設される第１のリードと、
前記フレームリードと一体的に連続した状態で配設される第２のリードと、を含む。
この導体装置においては、半導体素子とリードとの間にフレームリードを設け、このフレームリードおよび該フレームリードと連続する第２のリードを例えば電源用リードとして用いることにより、少ない本数のリードによって半導体素子の電極部に所定の電圧を安定して供給することができ、電源ノイズを低下させながら動作速度の高速化を達成することができる。
そして、フレームリードによって共用化されたリードに相当する本数のリードは例えば信号用リードとして用いることができるため、配線設計の自由度が向上する。
前記半導体装置においては、前記リードは、前記フレームリードと不連続の状態で配設される第１のリードの他に、前記フレームリードと一体的に連続して形成される第２のリードを含む。そして、前記フレームリードは複数の箇所において第２のリードによって支持されるため、所定位置において充分な機械的強度で保持される。従って、フレームリードは自重よって多少下方に撓んだとしても、前記素子設置部との距離を充分に確保することができる。また、前記第２のリードは前記フレームリードと一体的に形成されるため、その分のワイヤボンディング工程数を減らすことができ、製造プロセス上有利である。さらに、前記リードはワイヤに比べて断面積がかなり大きく電気抵抗が小さいため、その分の電圧降下を低減することができる。
前記半導体装置においては、前記素子載置部の素子設置面は、前記第１のリードを構成するインナーリードの先端が平面的にみて重なる位置まで延設されていることが好ましい。このような構成によれば、インナーリードのワイヤボンディングに際して前記素子設置面をインナーリードの先端部を支持する台として兼用することができる。
前記半導体装置においては、前記第１のリードを構成するインナーリードは、前記素子載置部の素子設置面に対して弾性変形の範囲で接触可能な自由端を確保した状態で絶縁性のリード支持部によって支持され、かつこのリード支持部を介して前記素子載置部と前記リードとが接合されていることが好ましい。この構成によれば、ワイヤボンディングの工程において、前記インナーリードがリード支持部を支点としてその自由端が下方に変形して前記素子設置面に当接することにより、ワイヤの接続を確実かつ安定に行うことができるとともに、インナーリードはリード支持部によって確実に固定される。
また、前記素子載置部は、熱伝導性の高い材質で構成して放熱性を高めることが好ましい。
さらに、前記素子載置部は、熱伝導性に優れるだけでなく、導電性を有する材料、例えば銅，アルミニウム，金または銀等の金属、あるいはこれらの各金属を主成分とする合金によって形成されることにより、この素子載置部を接地領域として用いることができる。
例えば、素子載置部をマイナスの電位とし、フレームリードをプラスの電位とする場合に、フレームリードが素子載置部から浮いた状態で配置されるので、樹脂封止されると両者の間にコンデンサが接続されたのと同様の状態となってノイズの低減を図ることができる。
また、前記半導体装置においては、前記半導体素子の電極部の接地が可能な第１の導電層および前記第１のリードの接地が可能な第２の導電層の少なくとも一方が、前記素子設置面に形成されていることが望ましい。この構成によれば、半導体素子の電極部の接地ならびに第１のリードの接地を任意の領域において行うことができ、その結果接地用のリードを減らすことができ、この点からもリードの配線設計の自由度が向上する。
このような接地を可能とする導電層は、例えば銀，金，パラジウム，アルミニウム等の金属を例えばメッキすることによって形成される。
前記第１の導電層および第２の導電層は、互いに離間して形成されていてもよく、あるいは連続的に形成されていてもよい。
さらに、前記半導体装置においては、前記第１の導電層および第２の導電層が形成された領域以外の素子載置部の表面に、絶縁層が形成されていることが望ましい。このような絶縁層は、例えば素子載置部を構成する金属を酸化処理して得られた金属酸化膜から構成されることが好ましい。この絶縁層を形成することにより、リードおよびフレームリードと導電性を有する素子載置部との短絡を防止することができる。さらに、前記絶縁層が金属酸化膜から形成されている場合には、通常この酸化膜は黒色等の暗色を呈しているため、ワイヤボンディングにおける画像認識でのリードの認識が容易となるだけでなく、この金属酸化膜は金属に比べて樹脂封止部を構成する樹脂との密着性がよく、パッケージの機械的強度が向上する利点がある。
前記半導体装置においては、前記素子載置部は、樹脂封止部内に埋設されたタイプ、あるいは一部が露出するタイプのいずれでもよいが、放熱効率の点からすれば、露出するタイプが好ましい。
例えば、前記素子載置部は、前記素子設置面を含む大径部とこの大径部より突出する小径部とからなる、断面形状がほぼ凸状をなすことが好ましい。さらに、前記小径部の端面は樹脂封止部から露出していることが好ましい。この構成によれば、素子載置部の表面積を大きくすることができるため、半導体素子で発生した熱は、素子載置部を介して効率よく分散され、さらに、樹脂封止部より露出した面を介して外部に放出されることにより、効率のよい放熱が行われる。さらに、この素子載置部によれば、半導体素子が搭載される素子設置面と樹脂封止部から露出する面との距離を大きくすることができるため、半導体素子や配線に悪影響を与えるガスあるいは水分等の侵入を抑制することができる。また、素子載置部と樹脂封止部との接合力を高めるために、例えば、前記素子載置部の小径部にアンダーカットを形成したり、小径部の領域を除く大径部において厚さ方向に連通する樹脂連通孔を形成することが好ましい。
前記半導体装置においては、前記フレームリードは、ワイヤボンディングの画像認識においてマーキングとして機能する認識用の突起あるいは切欠きを有することが好ましい。このような認識用の突起あるいは切欠きを形成することにより、ワイヤボンディング時の画像認識によるボンディング位置の認識が正確かつ容易となる利点がある。
前記フレームリードは、平面形状がほぼ矩形状のリングからなり、このリングの４隅においてサポートバーによって支持されることが好ましい。このサポートバーにより、フレームリードはより確実に支持される。
前記フレームリードは、その平面的にみた外径が、前記樹脂封止部の平面的にみた外径に対して、好ましくは１５〜８０％、より好ましくは２０〜７０％の範囲内にあることが望ましい。前記数値範囲の下限は、主として、素子載置部に設置される半導体素子のサイズに依存する。すなわち、フレームリードの内径は、少なくとも、半導体素子と接触しないための十分な空間が確保できるように設定される。また、前記数値範囲の上限は、主として、フレームリードと不連続の前記第１のリードの配置領域を確保できるように設定される。また、フレームリードが前記上限値より大きいと、フレームリード自体が自重によって変形しやすく、フレームリードと素子設置面とが短絡しやすくなる不都合がある。
フレームリードは、実用上、その幅が、好ましくは０．１〜２ｍｍ、より好ましくは０．２〜１ｍｍに設定される。フレームリードの幅は、半導体素子の設計事項や、機械的強度、ワイヤボンディング、エッチング加工などの要因によって決定される。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、以下の工程（ａ）ないし（ｄ）を含むことが好ましい。
（ａ）  素子載置部の素子設置面の所定位置に接着剤、好ましくは導電性の接着剤によって半導体素子を接合する工程、
（ｂ）  前記素子載置部の素子設置面上に絶縁性のリード支持部を配設し、このリード支持部の上に、少なくとも、フレームリード、前記フレームリードと不連続の状態にある第１のリード、および前記フレームリードと連続した状態にある第２のリードが一体的に形成されたリードフレームを配置し、前記リード支持部を介して前記素子載置部と前記リードフレームとを接着固定する工程、
（ｃ）  少なくとも、前記第１のリードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤ、および前記フレームリードと前記半導体素子の電極部とを電気的に接続するワイヤを含むワイヤ群を、ワイヤボンディング手段によって形成する工程、および、
（ｄ）  前記工程（ａ）〜（ｃ）で形成された部材を金型にセットし、モールディングによって樹脂封止部を形成する工程。
また、前記工程（ｃ）において、前記リードと前記半導体素子の電極部とを接続するワイヤは、リード押えにより前記リードを押下してその先端部を前記素子載置部の素子設置面に当接させた状態で形成されることが好ましい。
これらの製造方法によれば、本発明の半導体装置を効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の第１実施例の要部を模式的に示す平面図である。
図２は、図１におけるII−II線に沿って切断した状態を模式的に示す断面図である。
図３は、図１に示す要部を拡大して示す断面図である。
図４は、インナーリードのワイヤボンディング工程を示す説明図である。
図５は、図４におけるワイヤボンディングが終了した状態を示す説明である。
図６は、第１実施例の半導体装置の製造において用いられたリードフレームを模式的に示す平面図である。
図７は、第１実施例の半導体装置の製造プロセスにおけるモールディングを説明するための図である。
図８は、本発明の第２実施例にかかる半導体装置の要部を模式的に示す平面図である。
図９は、図８におけるIX−IX線に沿って切断した状態を模式的に示す断面図である。
図１０Ａは、接地面の変形例を示す縦断面図、図１０Ｂはその平面図である。
図１１は、本発明の第３実施例にかかる半導体装置の要部を模式的に示す平面図である。
図１２は、本発明の第４実施例にかかる半導体装置の要部を模式的に示す平面図である。
図１３は、本発明の第５実施例にかかる半導体装置の要部を模式的に示す断面図である。
図１４Ａは、本発明の第６実施例にかかる半導体装置を模式的に示す縦断面図、図１４Ｂは図１４Ａに示す素子載置部を拡大して示す図である。
図１５Ａ〜図１５Ｄは、図１４Ａ，１４Ｂに示す素子載置部の製造プロセスを示す説明図である。
図１６は、本発明の第７実施例にかかる半導体装置を模式的に示す縦断面図である。
図１７は、本発明の第８実施例にかかる半導体装置を模式的に示す縦断面図である。
図１８は、半導体素子の電極パッドにワイヤボンディングを行う順序を説明する図である。
図１９Ａ〜図１９Ｄは、樹脂封止に関して好適な実施例を示す図である。
［発明を実施するための最良の形態］
（第１実施例）
図１は、本発明の第１実施例にかかる半導体装置を、樹脂封止部を除いた状態で模式的に示す平面図であり、図２は、図１のII−II線に沿って切断した状態を模式的に示す断面図である。
本実施例の半導体装置１００は、素子載置部１０と、この素子載置部１０の素子設置面１２に接合された半導体素子２０と、前記素子載置部１０に対してリード支持部５０を介して固定された複数のリード（リード群）３０と、前記半導体素子２０の外側に配設されたフレームリード３６と、を有している。
前記素子載置部１０は、図２に明らかに示すように、大径部１０ａと、この大径部１０ａより突出する小径部１０ｂとからなり、断面形状がほぼ凸状を成している。そして、大径部１０ａの下面が素子設置面１２を構成し、小径部１０ｂの上面が露出面１４を構成している。
前記素子設置面１２には、図１に示すように、半導体素子２０が設置される領域を含みこの領域より大きい表面積を有する第１の導電層１８ａと、この第１の導電層１８ａと離間した位置に複数のスポット状の第２の導電層１８ｂとが形成されている。そして、これらの導電層１８ａ，１８ｂを除く素子載置部１０の表面には絶縁層１６が形成されている。
前記素子載置部１０は、エポキシ樹脂やセラミックスからなるものでもよいが、熱伝導率が高く導電性を有する材料、例えば銅，アルミニウム，銀または金等の金属あるいはこれらの各金属を主成分とする合金から構成されることが望ましい。特に、経済性を考慮すれば銅が好ましい。
前記導電層１８ａ，１８ｂの材質としては特に制限されないが、例えば、銀，金，パラジウム，アルミニウム等を例示することができ、導電性および半導体素子２０との接着性を考慮すると、特に銀が好ましい。これらの導電層１８ａ，１８ｂは、例えばメッキ，接着等の方法によって形成することができる。これらの導電層１８ａ，１８ｂは、後に詳述するが、接地面として用いられる。
また、前記絶縁層１６は、良好な絶縁性を有する限りにおいてその材質は特に制限されないが、例えば素子載置部１０を構成する金属を酸化処理して得られた金属酸化膜であることが好ましい。例えば、素子載置部１０が銅で構成されている場合、強アルカリ性の処理液を用いて表面を酸化処理することによって絶縁層を得ることができる。また、素子載置部１０がアルミニウムで構成されている場合には、これを陽極酸化して得られる酸化膜（アルマイト（商品名））からなる絶縁層であってもよい。この絶縁層１６を設けることにより、リード３０およびフレームリード３６と素子載置部１０との短絡を防止することができる。さらに、例えば酸化銅によって構成された絶縁層１６は、通常黒色ないし茶色などの暗色を呈し、そのためワイヤボンディングにおける画像認識においてリード３０の認識が容易となるだけでなく、樹脂封止部６０を構成する樹脂との密着性がよいため、パッケージの機械的強度が向上する。
前記半導体素子２０は、前記素子載置部１０の素子設置面１２に形成された第１の導電層１８ａ上に、例えば銀ペーストによって接着固定されている。そして、半導体素子２０の表面には、所定の配列で複数の電極パッド２２が形成されている。
また、前記素子設置面１２には、その周縁に沿って連続的にリード支持部５０が接着によって固定されている。このリード支持部５０は、絶縁性を有する樹脂、例えばポリイミド樹脂，エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂等のテープ状部材から構成されている。
前記リード３０を構成するインナーリード３２は、前記フレームリード３６と不連続の状態で配置される第１のインナーリード３２ａと、前記フレームリード３６と一体的に連続した状態で配設される第２のインナーリード３２ｂとから構成されている。
前記インナーリード３２（３２ａ，３２ｂ）は、図３に拡大して示すように、第１のインナーリード３２ａの先端から所定距離Ｌ離れた位置においてリード支持部５０に接着によって固定され、したがって、インナーリード３２はリード支持部５０を介して素子載置部１０に固定されていることになる。
言い換えると、リード支持部５０は、インナーリード３２の一部だけを支持するように、素子載置部１０の外周部に比較的小さな幅Ｗで設けられている。リード支持部５０は、樹脂にて構成されており、その性質上水分を吸収するものであるが、上記のように幅を小さく構成することで、吸収する水分をできるだけ減少させることができる。さらに、リード支持部５０は、第１のインナーリード３２ａにおけるワイヤボンディングされる領域を避けて設けられている。
そして、第１のインナーリード３２ａと半導体素子２０の電極パッド２２とは、金，銀等のワイヤ４０（例えば信号用ワイヤ４２）によって電気的に接続されている。
第１のインナーリード３２ａと電極パッド２２とのワイヤボンディングの様子を、図４および図５に示す。なお、ワイヤボンディングは、ワイヤの短いものから順に行うこととすれば、ワイヤを挟持する治具がボンディング済みのワイヤを引っかけて切断してしまうことを避けられる。
まず、図４に示すように、リード押さえ１Ａ，１Ｂにより各第１のインナーリード３２ａの自由端を上方から押下すると、各インナーリード３２ａは先端がフリーの状態にあるためリード支持部５０を支点として自由端が下方に変形し、端部が素子設置面１２に当接する。この状態で、ワイヤボンディングを行うことにより、ワイヤ４０（４２）の接続を確実かつ安定に行うことができる。
つまり、リード支持部５０は、樹脂にて構成されていることからワイヤボンディングの際の熱で柔らかくなりやすいが、上述したようにリード支持部５０が、ワイヤボンディングする領域を避けて設けられているので、熱の影響を受けにくくなっている。そして、リード支持部５０がクッションになってワイヤボンディングを行いにくいという不都合を解消できる。
ワイヤボンディングが終了した後は、リード押さえ１Ａ，１Ｂを離すことにより、図５に示すように、各第１のインナーリード３２ａはその弾性により元の水平な状態に戻って支持される。そして、各インナーリード３２と素子載置部１０とは絶縁性のリード支持部５０によって電気的に絶縁されている。
このようなボンディングプロセスおよびインナーリードの機械的安定性を考慮すると、第１のインナーリード３２ａは、その自由端が、弾性変形の範囲でその端部が素子設置面１２に当接するのに充分の長さを有すること、ならびにボンディング終了後に元の水平状態に完全に復帰できる機械的強度を有すること、等が要求される。これらの条件を満足させるように、第１のインナーリード３２ａの自由端はその長さや機械的強度が設定されればよく、これらの条件はデバイスのサイズ、半導体素子の設計事項およびリードの強度などによって各種の態様を取り得る。また、リード支持部５０は、インナーリード３２を安定に支持できること、インナーリード３２と素子載置部１０とを電気的に絶縁できる十分な厚みを有すること、ならびに熱加工時に変形，変質が少ないこと、等が要求される。
以上の点を考慮すると、図３に示すように、リード支持部５０の幅をＷ、リード支持部５０の厚さをＴ、第１のインナーリード３２ａの自由端の長さをＬ、インナーリード３２の厚さをｔとすると、設計ルールの一例として以下の数値を挙げることができる。
Ｗ：０．５〜２ｍｍ
Ｔ：０．０２５〜０．１２５ｍｍ
ｔ：０．１０〜０．３０ｍｍ
Ｌ：２．Ｏｍｍ以上
次に、接地用ワイヤの接続について、図１および図３を参照しながら述べる。
前記素子載置部１０の導電層１８ａおよび１８ｂは、接地面として機能する。すなわち、第１の導電層１８ａの露出面と複数の接地用電源パッド２２とを接地用ワイヤ４４ａによって接続することにより、第１の導電層１８ａの露出面を接地用として共用化できる。また、第２の導電層１８ｂと第１のインナーリード３２ａとを接地用ワイヤ４４ｂによって接続することにより、第２の導電層１８ｂをリードの接地面として用いることができる。このように導電層１８ａおよび１８ｂは、接地用電極パッド２２および第１のインナーリード３２ａの個別または共用化された接地面としてそれぞれ機能する。その結果、接地用として共用化されたリードに相当する本数のリードを例えば信号用リードとして使用することができ、配線設計の自由度が増す。
導電層１８ａおよび１８ｂによる接地の態様としては種々あるが、例えば以下の場合を例示することができる。
ａ．  半導体素子２０サイドの接地がなく、１あるいは複数の第１のインナーリード３２ａが接地された場合には、半導体素子２０の裏面電位を接地電位とすることができる。
ｂ．  半導体素子２０の複数の電極パッド２２が接地され、１ないし少数の第１のインナーリード３２ａが接地された場合には、１ないし少数のリードで多くの半導体素子の接地点が得られ、かつ安定した接地電位が得られる。
ｃ．  半導体素子２０の１つの電極パッドと１つの第１のインナーリード３２ａとが接地された場合には、半導体素子の裏面、半導体素子の接地用電極パッドおよびリードの接地が共通となってこれらを同電位に設定できるため、半導体素子の電位が安定して動作が安定化する。
なお、接地用ワイヤの接続も、ワイヤボンディングと同様に、ワイヤの短いものから順に行うことが好ましい。
前記フレームリード３６は、半導体素子２０と第１のインナーリード３２ａとの間に両者と非接触の状態で設置され、好ましくは短絡を防止するために導電層１８ａ，１８ｂに対して平面的に見てずれた位置に設けられている。このフレームリード３６は、平面形状がほぼ矩形状リングをなし、その４隅においてそれぞれサポートバー３８によって安定的に支持されている。そして、サポートバー３８はそれぞれ前記リード支持部５０によってその一部が固定されている。この実施例においては、前記サポートバー３８はリードとしての機能を有していない。
また、フレームリード３６には、図１に示すように、所定の位置に複数の認識用突起３６ａが形成されている。この認識用突起３６ａは、ワイヤボンディングの際におけるボンディング位置の認識を容易とする。すなわち、ワイヤボンディングは、半導体素子２０上の電極パッド２２の基準座標と、リードフレームのボンディング位置の基準座標とをあらかじめ記憶しておき、さらに、画像認識によって実際にボンディングする電極パッドおよびリードフレームの各位置座標との差を検出して、これをもとに補正座標を計算した後、自動的かつ連続的に行われるが、前記認識用突起３６ａは画像認識によるボンディング位置の検出時のマーキングとして機能する。また、図示はしないが、認識用突起３６ａのかわりにフレームリード３６に形成した切欠き部によって同様の認識部を構成してもよい。
前記フレームリード３６およびこのフレームリード３６と連続する第２のインナーリード３２ｂは、例えば電源電圧（Ｖｃｃ）リードまたは基準電圧（Ｖｓｓ）リードとして使用される。このフレームリード３６を例えばＶｃｃリードとして用いる場合には、複数の電源用電極パッド２２とフレームリード３６とを電源用ワイヤ４６によってそれぞれ接続することにより、電源用に使用されるリードの数を大幅に減少させることができる。したがって、信号用リードとして使用できるリードを相対的に増加させることができ、半導体素子の電極パッドとリードとのワイヤ配線の自由度を高めることができ、設計上有利となる。
また、フレームリード３６を有することにより、半導体素子２０表面のどの位置においても所定の電源電圧または基準電圧を供給することができ、電源ノイズを低減した状態で動作速度の高速化を図ることができる。
さらに、フレームリード３６は半導体素子２０の外側に位置し、空間的な制約が少ないため、フレームリード３６の幅を充分大きくすることができる。したがって、フレームリード３６を電源用リードとして用いたときにはその電気的抵抗を小さくすることができ、どの位置でも安定した電圧を供給することができる。
さらに、フレームリード３６を電源用リードとして用いたときには、フレームリード３６に対して導電層１８ａおよび導電層１８ｂが向かい合っているため、コンデンサと同様の状態となり、電源ノイズの減少とともに高速対応が可能となる。
さらに特徴的なことは、フレームリード３６は、サポートバー３８以外に、複数の第２のインナーリード３２ｂによってつられた状態であるため、充分な支持強度を確保することができる。従って、フレームリード３６が自重によって下方に撓んだとしても、前記素子載置部１０とのギャップを所定値、例えば３．０μｍ以上に保持することが可能となる。また、第２のインナーリード３２ｂは、ボンディングワイヤより大きな断面積を有するため、その電気的抵抗を小さくすることができ、電圧降下が小さい状態で前記フレームリード３６に安定した電圧を供給することができる。さらに、第２のインナーリード３２ｂは前記フレームリード３６と一体的に形成されているため、両者を接続するためのワイヤボンディング工程を必要とせず、製造プロセス上有利である。
以上述べたように、第２のインナーリード３２ｂは、主として、半導体素子の設計事項およびフレームリード３６の支持強度を考慮して、その本数や配置が設定される。フレームリード３６を支持する点からすれば、第２のインナーリード３２ｂはフレームリード３６の各辺に対して対称的に配置されるのが望ましいが、これに限定されず、素子設置面１２とのギャップが確保される限りにおいて、デバイスのサイズ、形状などによって種々の態様を取り得る。つまり、第２のインナーリード３２ｂは、フレームリード３６の各辺でその本数や配置が異なっていてもよく、また、第２のインナーリード３２ｂを有しないフレームリード３６の辺があってもよい。
次に、本実施例の半導体装置１００の製造方法について説明する。
まず、図６を参照しながら、リードフレーム１０００について説明する。リードフレーム１０００は、例えば、基板フレーム７０に、第１のインナーリード３２ａおよび第２のインナーリート３２ｂからなるインナーリード３２とアウターリード３４とからなるリード３０、フレームリード３６およびサポートバー３８が所定のパターンで一体的に支持されて形成されている。そして、アウターリード３４は相互にダムバー部７２によって連結され、リードフレームの補強がなされている。インナーリード３２は中央の所定領域（デバイスホール）を残すようにアウターリード３４から延設されている。そして、この領域内にフレームリード３６が配置され、このフレームリード３６は、４隅がサポートバー３８によって支持され、さらに、各辺の複数か所において第２のインナーリード３２ｂによって支持されている。各サポートバー３８はダムバー部７２に接続されている。
一方、素子載置部１０は、図１および図２に示すように、大径部１０ａと小径部１２ｂとからなる素子載置部本体の所定領域に、例えば銀メッキによって導電層１８ａ，１８ｂが形成される。そして、これらの導電層１８ａ，１８ｂをマスキングした状態で素子載置部本体を例えばメルテックス株式会社製の「エボノール（商品名）」に数秒間浸漬して表面を酸化処理することにより絶縁層１６を形成する。このようにして形成された絶縁層は、例えば２〜３μｍの膜厚を有し、その電気抵抗率が１０13Ωｃｍ以上と、良好な絶縁性を有することが確認された。
また、上述の方法とは逆に、絶縁層１６を形成した後に導電層１８ａ，１８ｂを形成してもよいことはもちろんである。
このようにして得られた素子載置部１０の素子設置面１２の所定位置に銀ペースト等の導電性接着剤を用いて半導体素子２０を接合する。その後、素子載置部１０、リード支持部５０およびリードフレーム１０００を位置合わせして重ね合わせ、３者を例えばエポキシ樹脂等の接着剤を用いて熱圧着し、相互を固定する。次いで、通常の手法により、ワイヤボンディング装置を用いて信号用ワイヤ４２、接地用ワイヤ４４ａ，４４ｂおよび電源用ワイヤ４６を所定のパターンでボンディングする。
このワイヤボンディングにおいては、例えば、接地用ワイヤのボンディング、電源用ワイヤのボンディング、続いて信号用ワイヤのボンディングというように、ボンディング距離の短い箇所からボンディングを行うことにより、例えば隣接するワイヤとの接触をボンディングプロセスにおいて防ぐことができ、その結果確実なワイヤボンディングを行うことができる。
さらに、通常用いられているモールディングプロセスによってエポキシ系樹脂等を用いて樹脂封止部６０を形成する。このとき、素子載置部１０の露出面１４が樹脂封止部６０より露出する状態でモールドが行われる。
図７は、モールディングプロセスにおける金型８０と素子載置部１０およびリード支持部５０との関係の一例を示す模式図である。同図に示すように、素子載置部１０の高さｈ１とリード支持部５０の高さ（厚さ）ｈ２との和ｈ１＋ｈ２は、下金型８２のキャビティ８４の深さＨとほぼ等しいことが好ましい。具体的には、例えばリード支持部５０の厚さｈ２が０．０５〜０．５ｍｍである場合には、キャビティ８４の深さＨと素子載置部１０の高さｈ１との差Ｈ−ｈ１は０〜０．５ｍｍであることが好ましい。このように素子載置部１０の高さｈ１、リード支持部５０の厚さｈ２およびキャビティ８４の深さＨを設定することにより、半導体素子２０およびリードフレーム１０００を正確に位置決めした状態で樹脂のモールディングが可能となり、かつ素子載置部１０の露出面１４が樹脂封止部６０より確実に露出した状態で形成されることになる。
ついで、図６に示す基板フレーム７０およびダムバー部７２が切断され、さらに必要に応じてアウターリード３４の成形が行われる。
本実施例の半導体装置１００の主要な機能あるいは作用をまとめると、以下のようになる。
（１）  この半導体装置１００においては、半導体素子２０で発生した熱は熱伝導性の高い素子載置部１０を介して効率よく分散され、しかも樹脂封止部６０より露出する露出面１４を介して外部に放出される。そして、素子載置部１０の形状を断面ほぼ凸状の形状とすることにより、素子載置部１０の表面積を増大させることができ、放熱効果を高めることができる。
また、半導体素子２０が搭載された素子設置面１２と反対側の面を段差構造とすることにより、露出面１４から素子設置面１２に至る距離を大きくすることができ、外部からのガスあるいは水分等の侵入による素子特性の劣化を抑制することができる。
さらに、素子載置部１０の表面に絶縁層１６を有することにより、リード３０およびフレームリード３６と素子載置部１０との短絡を防止することができる。また、絶縁層１６は暗色を呈することからワイヤボンディングにおけるリード認識が容易になるばかりでなく、絶縁層１６は樹脂封止部６０との密着を高める効果も有している。
（２）  半導体素子２０とリード３０との間にフレームリード３６を設け、このフレームリード３６を例えば電源用リード（ＶｃｃあるいはＶｓｓリード）として用いることにより、少ないリード３０によって半導体素子２０の任意の位置に形成された電源用電極パッド２２に所定の電圧を安定に供給することができ、電源ノイズを低下させ、動作速度の高速化を達成することができる。
また、フレームリード３６によって電源用リードを共有化することができ、その共有化された分のリードを例えば信号用リードとして用いることができるため、配線設計の自由度が向上する。
（３）  フレームリード３６は、サポートバー３８以外に、複数の第２のインナーリード３２ｂによってつられた状態であるため、充分な支持強度を確保することができる。従って、フレームリード３６は自重によって下方に撓んだとしても、前記素子載置部１０とのギャップを所定値に保持することが可能となる。また、第２のインナーリード３２ｂは、ボンディングワイヤに比べて、その電気的抵抗が小さく、電圧降下が小さい状態で前記フレームリード３６に安定した電圧を供給することができる。さらに、第２のインナーリード３２ｂは前記フレームリード３６と一体的に形成されているため、ワイヤボンディングの工程を必要とせず、製造プロセス上有利である。
（４）  素子載置部１０の素子設置面１２に、導電性を有する素子載置部本体と電気的に接続された導電層１８ａまたは１８ｂを設けることにより、接地用ワイヤ４４ａ，４４ｂを介して半導体素子２０の接地用電極パッド２２あるいはリード３０と前記導電層１８ａあるいは１８ｂとをそれぞれ接続することにより、接地を任意の領域において行うことができる。その結果、接地用のリードを減らすことができるため、その分のリードを例えば信号用リードとして利用することができ、この点からもリードの配線設計の自由度が向上する。
（第２実施例）
本実施例の半導体装置２００について、図８および図９を参照しながら説明する。なお、これらの図において、前記第１実施例の半導体装置１００と実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
本実施例の半導体装置２００が、前記第１実施例の半導体装置１００と異なる第１の点は、素子載置部１０の平面形状が長辺と短辺とからなる長方形状であって、リード支持部が短辺側、つまり長辺に対して対向する一対のリード支持部５２，５４から構成されている点である。
このように、部分的に支持リード部５２，５４を設けた理由は、半導体素子２０およびフレームリード３６を設けるための領域を確保するためには、短辺方向のインナーリード３２の長さを長辺方向のインナーリード３２より短く形成せざるをえないからである。すなわち、短辺方向のインナーリード３２に対してリード支持部を設けると、ワイヤボンディングにおいて必要とされる第１のインナーリード３２ａの自由端の長さＬ（図３参照）を確保できず、したがって確実なワイヤボンディングを行うことができないおそれがある。ただし、図９に明らかに示すように、短辺方向のインナーリード３２は長辺方向のインナーリード３２に比べてその長さが短いため、リードフレームおよびリード自身の有する機械的強度によってリード支持部に相当する構成がなくとも、ワイヤボンディング時の安定性を充分確保することができる。
本実施例の半導体装置２００が前記第１実施例と異なる第２の点は、第１のインナーリード３２ａの接地面を構成する第２の導電層１８ｂがスポット状ではなく、フレームリード３６の辺に沿って連続的にのびるベルト形状を有していることである。このような細長い形状を有する第２の導電層１８ｂによれば、接地用ワイヤ４４ｂの形成領域が拡大し、配線設計がより容易となる利点がある。
本実施例の半導体装置２００が前記第１実施例と異なる第３の点は、小径部１０ｂの領域を除く大径部１０ａにおいて、厚さ方向に連通する樹脂連通孔６２を形成したことである。この樹脂連通孔６２を形成することにより、樹脂封止部６０を構成する樹脂がこの樹脂連通孔６２に流入することにより、素子載置部１０と樹脂封止部６０との接合強度が強固となり、パッケージの機械的強度がより大きくなる。
本実施例によっても、前記第１実施例と基本的に同様の機能を達成できる。すなわち、第１に、素子載置部１０を設けることにより、良好な放熱効果を有すること、素子載置部１０の表面に絶縁層１６を設けることにより、リード３０およびリードフレーム３６と素子載置部１０との短絡を防止することができること、第２に、フレームリード３６を設けることにより、例えば電源リードを共有化できること、半導体素子２０の電源用電極パッド２２に所定の電圧を安定的に供給することができること、第３に、フレームリード３６と第２のインナーリード３２ｂとを一体的に連続させることにより、フレームリード３６を安定に保持し、かつフレームリード３６に効率よく所定の電圧を供給することができること、第４に、素子載置部１０に導電層１８ａ、１８ｂを設けることにより、共有化された接地面を形成することができ、少数のリードで多くの接地点を確保することができること、等の作用効果を有する。
（接地面の変形例）
接地面を構成する素子載置部１０の導電層のパターンは前記実施例に限定されず、種々の態様を取り得る。例えば、図１０Ａおよび１０Ｂに示すように、半導体素子２０の接地領域とインナーリード３２の接地領域とを連続的に形成してなる導電層１８ｃによって接地面を構成してもよい。この実施例の場合には、フレームリード３６が導電層１８ｃ上に形成されることになるので、両者の短絡が防止されるように、例えばフレーム３６の支持を強固とする等の配慮が行われることが望ましい。
（第３実施例）
図１１は、本発明の第３実施例にかかる半導体装置３００の要部を模式的に示す平面図である。この半導体装置３００は、フレームリードの形状において、図１に示す第１実施例の半導体装置１００と異なる。そして、フレームリード以外の構成は、図１に示す半導体装置１００と同様であるので、同一の符号を付して説明する。
図１１において、フレームリード３３６は、図１におけるフレームリード３６の認識用突起３６ａを有さないものである。上述したように、この認識用突起３６ａは、ボンディング位置の認識を容易にするためのものであるが、これを省略してもフレームリード自体の機能としては何ら劣るものではない。
ただし、ボンディング位置の認識はしにくくなるので、他の手段でこれを補うことが好ましい。例えば、まず、ボンディング位置を認識しやすい箇所として、半導体素子１０の電極パッド２２と第１のインナーリード３２ａとを先に接続しておいて、このワイヤを基準にしてフレームリード３３６におけるボンディング位置を認識するなどの手段がある。
（第４実施例）
図１２は、本発明の第４実施例にかかる半導体装置４００の要部を模式的に示す平面図である。この半導体装置４００は、第２の導電層の形状において、図１１に示す第３実施例の半導体装置３００と異なる。そして、第２の導電層以外の構成は、図１１に示す半導体装置３００と同様であるので、同一の符号を付して説明する。
図１１において、複数の第２の導電層１８ｂがスポット状に形成されていたのに対して、図１２において、第２の導電層４１８ｂは、第１のインナーリード３２ａとフレームリード３３６との聞の領域で、矩形リング状に形成されている。
こうすることで、複数箇所で第２の導電層を形成するよりも簡単に、フレームリード３３６の周囲を囲む形状の導電層を形成することができる。
（第５実施例）
図１３は、本発明の第５実施例にかかる半導体装置５００の要部を模式的に示す断面図である。この半導体装置５００は、第１の導電層の形状において、図２に示す半導体装置１００と異なる。そして、第１の導電層以外の構成は、図２に示す半導体装置１００と同様であるので、同一の符号を付して説明する。
図２において、第１の導電層１８ａが、半導体素子２０が設置される領域より大きい表面積となっているのに対して、図１３において、第１の導電層５１８ａは、半導体素子２０が設置される領域より小さい表面積となっている。
このようにしたのは次の理由からである。つまり、上述したように第１の導電層１８ａは銀メッキ等により形成されるが、この銀メッキ等は、樹脂封止部６０を構成する樹脂との接着性が悪いものである。なお、逆に、絶縁層１６は、酸化処理によって形成されたもので、樹脂との接着性が良いものである。したがって、図２に示すように、第１の導電層１８ａが半導体素子２０の外側にはみだすように形成されると、この部分において樹脂封止部６０との接着性がやや劣る。
そこで、図１３に示すように、第１の導電層５１８ａを、半導体素子２０が設置される領域より小さい表面積として、第１の導電層５１８ａが半導体素子２０からはみ出さないようにした。こうすることで、樹脂封止部６０が第１の導電層５１８ａに接触しないため、樹脂封止をより完全に行うことができる。
なお、第１の導電層５１８ａをこのように構成すると、接地用ワイヤ４４ａを接続できないので、この第１の導電層５１８ａとは別の導電層５１８ｂ（図１３参照）を形成することが好ましい。この導電層５１８ｂは、半導体素子２０の裏面から隔たった領域にして、樹脂封止部６０との接着不良の影響を半導体素子２０に与えないように形成されるものである。
（第６実施例）
図１４Ａおよび１４Ｂは、本発明の第６実施例にかかる半導体装置６００を模式的に示す断面図である。この半導体装置６００において、前記第１実施例の半導体装置１００と実質的に同一の機能を有する部材には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施例において、半導体装置１００と異なる特徴的な部分は、素子載置部１０の形状が異なっている点である。具体的には、小径部１０ｂは、露出面１４の幅Ｘがそれより下方に位置する前記露出面１４と平行な面の幅Ｙより大きく形成され、いわゆるアンダーカット状に構成されている点にある。このようなアンダーカット形状に構成することにより、この小径部１０ｂが樹脂封止部６０の抜け止めとして機能し、パッケージの機械的強度がさらに向上する。
また、アンダーカット形状となっていることから、露出面１４から大径部１０ａに至る距離が長くなって、水分の侵入を多少なりとも防止できる。
なお、本実施例においては、素子載置部１０の表面に導電層ならびに絶縁層は形成されていない。
次に、本実施例の素子載置部１０の製造方法の一例を図１５Ａ〜１５Ｄを参照しながら説明する。
まず図１５Ａに示すように、形成しようとする素子載置部１０と同じ厚さを有する銅等の金属板８０の一面に、素子載置部１０の露出面１４に相当する部分に第１レジスト膜８２を所定の間隔で配設し、さらに金属板８０の下面に第２レジスト膜８４を形成する。
ついで、図１５Ｂに示すように、前記レジスト膜８２，８４をマスクとして、例えば塩化第二鉄を主成分とするエッチング液を用いた湿式エッチングにより、金属板８０を素子載置部１０の小径部１０ｂの厚さに相当する深さまでエッチングを行う。
さらに、図１５Ｃに示すように、前記レジスト膜８２および８４を除去した後、図１５Ｄに示すように、素子載置部１０の大径部１０ａに相当する所定の間隔で金属板８０をプレス加工あるいは切削加工等の機械加工により分割して、素子載置部１０を形成する。
以上に述べた工程においては、湿式エッチングにおいて等方的なエッチングが行われるので、エッチング側面は曲面状に抉られたアンダーカット形状を構成する。
また、上記のような湿式エッチングを行うことで、エッチングされた表面には酸化膜が形成されて、絶縁膜となるとともに樹脂封止部６０を構成する樹脂との密着性の高い膜となる。
（第７実施例）
本発明の第７実施例にかかる半導体装置７００を、図１６を参照しながら説明する。図１６において、前記第６実施例と実質的に同一な部分には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
本実施例において特徴的なことは、素子載置部１０の表面に例えばハンダからなる導電層６４が形成されていることである。この導電層６４は、例えばアウターリード３４の表面に形成されるハンダメッキ層３４ａの形成時に同一の工程で形成される。このような導電層６４を形成することにより、素子載置部１０の露出面１４の防蝕作用を高めることができる。また、導電層６４を有することにより素子載置部１０に接地電位を含む所定の電位を付与する場合の配線接続や、図示しない放熱フィンの取り付けが容易となる利点がある。
放熱フィンの取り付けに関して詳しくいうと、接着剤にて放熱フィンを取り付けると熱で剥がれやすく、クリップで放熱フィンを取り付けると素子載置部１０と放熱フィンとの接触面積が小さくなるので、ハンダからなる導電層６４を形成して放熱フィンを取り付けることは有効な取付手段となる。
具体的には、予め放熱フィンにもハンダを付けておき、導電層６４側を１８０℃程度に加熱し、放熱フィン側を３００℃程度に加熱して、両者を接触させれば１８０℃程度でハンダが溶けて両者の取り付けが完了する。そして、放熱フィン側のみを高温とし半導体装置７００側を比較的低温とするので、半導体素子２０を熱から守ることができる。
（第８実施例）
本発明の第８実施例にかかる半導体装蹟８００を図１７を参照しながら説明する。
図１７において、前記第１実施例と実質的に同一な部分には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。なお、図１７においては、接地用ワイヤの記載を省略してある。
本実施例において特徴的なことは、素子載置部１０が樹脂封止部６０より露出しておらず、樹脂封止部６０内に封入された状態で設置されていることである。このように素子載置部１０を内蔵しているタイプの半導体装置においては、放熱効率は露出タイプのものよりも劣るが、樹脂封止部６０によって半導体素子およびその周辺の配線部分がほぼ完全に封入され、これら半導体素子や配線等に悪影響を与える物質の侵入をより効果的に防止できる利点を有する。
さらに、本実施例においては、リード３０に一体的に形成された支持アーム３０ａを有するため、リード３０が確実に支持がされ、その変形が防止される。なお、前記支持アーム３０ａは、導電性を有するため、その先端が接触する素子載置部１０の領域には少なくとも絶縁層１６が形成されている必要がある。
この素子載置部１０を内蔵するタイプの半導体装置においては、前記支持アーム３０ａを有することが望ましいが、リードフレームの強度を高めることなどによって支持アームを必ずしも必要としない。
（ワイヤボンディング）
次に、図１８は、半導体素子の電極パッドにワイヤボンディングを行う順序を説明する図である。
図１等に示されるように、半導体素子２０の表面の周端部には複数の電極パッド２２が設けられており、この電極パッド２２に接続されるワイヤ４０は、半導体素子２０の中心から放射状に配設される。
つまり、平面が正方形をなす半導体素子２０の一辺において、中央付近の電極パッド２２に接続されるワイヤ４０は、辺に対してほぼ直角方向に配設されるのに対して、コーナー付近の電極パッド２２に接続されるワイヤ４０は、辺に対して斜めに配設される。しかも、一辺の中央からコーナーに近づくほど、その斜めの傾斜が大きくなる。
逆に言うと、ワイヤ４０は、コーナー付近において大きく傾斜して配設され、電極パッドの配列に沿って中央方向に向かうに従って傾斜が小さくなってきて、中央付近では前記配列に対してほぼ直角にワイヤが配設される。
そこで、これを多少誇張して示すのが図１８である。
ここで、提案しようとするワイヤボンディングの順序は、コーナーに近いものから中央方向へ順に行うというものである。言い換えると、電極パッドの配列に対して大きく傾斜して配設されるワイヤ（コーナーに近いもの）から、前記配列に対して直角に近い角度で配設されるワイヤ（中央に近いもの）へ、という順で、かつ、傾斜から直角方向に起き上がっていく方向に、ワイヤボンディングを行うというものである。具体的には、図１８において、電極パッド２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、…の順で、ワイヤ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、…を接続していくのである。
このようにする理由は、逆の方向にワイヤボンディングを行うと、ワイヤ４０を挟持する治具が、既に接続されたワイヤ４０に当たってしまい切断してしまうことがあり得るからである。
例えば、電極パッド２２を、中央からコーナー方向に２２ｃ、２２ｂ、２２ａの順でワイヤ４０ｃ、４０ｂ、４０ａを接続する場合を考える。そうすると、まず、ワイヤ４０ｃを接続した後にワイヤ４０ｂを接続するときに、ワイヤを挟持する治具（同図において破線の円で示す）が、ワイヤ４０ｃに接触してしまう。同様に、ワイヤ４０ｂを接続した後にワイヤ４０ａを接続するときに、ワイヤを挟持する治具が、ワイヤ４０ｂに接触することとなる。
このように、半導体素子２０の一辺において、中央からコーナー方向にワイヤボンディングを行うと、既設のワイヤに治具が当たってしまうようになる。
これに対して、半導体素子２０の一辺において、コーナーから中央方向にワイヤボンディングを行う場合には、かかる問題は生じない。つまり、まず、ワイヤ４０ａを接続した後にワイヤ４０ｂを接続するときに、このワイヤ４０ｂを挟持する治具（同図において破線の円で示す）は既設のワイヤ４０ａに接触することはない。同様に、ワイヤ４０ｂを接続した後にワイヤ４０ｃするときに、このワイヤ４０ｃを挟持する治具は既設のワイヤ４０ｂに接触することはない。こうして、良好なワイヤボンディングを行うことができる。
（樹脂封止プロセス）
次に、図１９Ａ〜１９Ｄは、樹脂封止に関して好適な実施例を示す図である。
（ａ）まず、図１９Ａに示すように、素子載置部１０、半導体素子２０、リード支持部５０およびリード３０を所定の配置で接合し、さらに半導体素子２０とリード３０とをワイヤ４０によって接続しておく。
（ｂ）次に、図１９Ｂに示すように、半導体素子２０、リード３０、およびワイヤ４０を覆う領域のみに、溶融あるいは溶液状態の樹脂をポッティングして樹脂封止部９０を形成する。このようなポッティングによれば、樹脂を注入するときの圧力でワイヤ４０を切断してしまうことがない。
（ｃ）次に、図１９Ｃに示すように、リード３０を挟んだ状態で金型９２、９４内に、上記部材を備えた素子載置部１０を配置し、樹脂を注入する。ここで、ワイヤ４０は既にポッティングによる樹脂封止部９０内に封止されているので、通常の樹脂注入を行っても注入時の圧力からワイヤ４０が守られ、切断を防止できるようこととなる。
こうして、図１９Ｄに示すように、樹脂封止部９６を形成して、半導体装置１００が製造される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図１９Ｄ】
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