(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧で電気部品を吸着する吸着具と、
その吸着具を移動させる吸着具移動装置と、
前記吸着具に供給される負圧を制御する負圧制御装置と、
前記吸着具の負圧を検出する負圧検出装置と、
前記吸着具移動装置，前記負圧制御装置および前記負圧検出装置を制御することにより、前記吸着具を負圧検出装置の位置まで移動させるとともに負圧検出装置に吸着具の負圧を検出させる検査制御装置と
を含み、かつ、前記負圧検出装置が、
少なくとも負圧検出時に前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、
その負圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択的に変更可能な漏れ状態変更装置と
を含むことを特徴とする負圧吸着検査機能を有する電気部品搬送装置。
【請求項２】
電気部品を負圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査装置であって、
検査装置本体と、
その検査装置本体に形成され、少なくとも負圧検出時に前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、
その負圧検出用通路の負圧を検出する負圧センサと、
前記負圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択的に変更可能な漏れ状態変更装置と
を含むことを特徴とする負圧吸着検査装置。
【請求項３】
前記漏れ状態変更装置が、前記負圧検出用通路に連通する分岐通路に設けられ、その分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態と、その分岐通路を遮断する状態とに変更可能な連通状態変更装置を含む請求項２に記載の負圧吸着検査装置。
【請求項４】
前記連通状態変更装置が、前記分岐通路の開口部を実質的に気密に閉塞するめくらプラグと、そのめくらプラグと選択的に前記分岐通路の開口部に取り付けられ、その分岐通路を限られた流路面積で外部に連通させる絞りを有する絞り部材とを含む請求項３に記載の負圧吸着検査装置。
【請求項５】
前記連通状態変更装置が、前記分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する状態とに切換えが可能な切換装置を含む請求項３に記載の負圧吸着検査装置。
【請求項６】
前記切換装置が、前記分岐通路の開口部に一軸線まわりに回転可能に取り付けられるとともに、前記一軸線を中心とする一円周上に互いに流路面積を異にする複数の絞りを有する回転切換部材を含み、その回転切換部材の回転により、前記分岐通路を前記複数の絞りのいずれか１つを介して外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する状態とに切り換わる請求項５に記載の負圧吸着検査装置。
【請求項７】
電気部品供給装置から供給される電気部品を負圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査方法であって、
負圧検出装置と前記吸着具とを、電気部品供給時における前記電気部品供給装置と吸着具との相対移動と同様に相対移動させることにより接触させる工程と、
前記負圧検出装置により前記吸着具内の負圧を検出する工程と、
検出した負圧に基づいて、前記吸着具の負圧吸着機能の良否を判定する工程と
を含み、かつ、前記負圧の検出工程を、前記負圧検出装置の負圧検出通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と、空気漏れを実質的に許容しない状態との両方においてそれぞれ実行することを特徴とする負圧吸着検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気部品（電気・電子回路を構成する回路部品）を吸着具により負圧で吸着して搬送する電気部品搬送装置に関するものであり、特に、吸着具の吸着機能の検査に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の電気部品搬送装置は、一般に、（ａ）負圧で電気部品を吸着する吸着具と、（ｂ）その吸着具を移動させる吸着具移動装置と、（ｃ）吸着具に供給される負圧を制御する負圧制御装置とを含むように構成される。吸着具は、吸着具移動装置により部品吸着位置へ移動させられるとともに、負圧制御装置の制御に基づいて負圧が供給され、電気部品を吸着する。次いで、吸着具が吸着具移動装置により移動させられて電気部品を搬送し、例えば、プリント基板等の電気部品受取部材に電気部品を渡す。電気部品を電気部品受取部材に渡すとき、吸着具が大気に解放され、電気部品を解放する。電気部品を負圧により吸着すれば、電気部品を複数本の把持爪により把持する場合のように、把持爪により損傷する恐れなく、電気部品を保持することができる。
吸着具は電気部品搬送装置に１つ設けられる場合もあり、複数設けられる場合もある。例えば、電気部品受取部材の一種であるプリント基板等の装着対象材に電気部品を装着する電気部品装着システムにおける電気部品搬送装置の吸着具移動装置は、移動体と、移動体を移動させる移動体移動装置とを含むものとされ、移動体上に１つまたは複数の吸着具が設けられるのである。
いずれにしても、電気部品を負圧により吸着する場合、例えば、吸着具内の負圧供給通路にごみや埃等が侵入して詰まりが生ずれば、適切な高さ、すなわち電気部品を強固に吸着し得る高さの負圧が得られず、電気部品を十分強固に吸着することができないことがある。詰まりが生ずるのは吸着具の通路に限らず、例えば、吸着具を保持する吸着具保持部材に設けられ、吸着具に負圧を供給する通路に詰まりが生じても適切な高さの負圧が得られない。吸着具保持部材に負圧を供給する通路に詰まりが生じた場合も同様である。また、吸着具の電気部品を吸着する吸着面に摩耗や変形が生ずれば、吸着面が電気部品に密着せず、吸着具と電気部品との間から負圧が漏れ、適切な高さの負圧が得られないことがある。吸着具が吸着具保持部材に対して相対移動可能に保持されており、電気部品の吸着時に相対移動が生ずる場合、吸着具と吸着具保持部材との摺動面に摩耗が生じ、負圧の漏れが生ずることもある。吸着具に負圧を供給する通路の損傷等により、漏れが生ずる可能性もある。そのため、従来は、吸着具に負圧が供給された状態で作業者が吸着具に負圧センサを当てて負圧を検出し、適切な高さの負圧が得られない場合は吸着具を交換する等、適宜の処理が為され、電気部品の吸着ミスが生じないようにされていた。検出結果に基づいて異常が上記種々の異常原因のいずれによって生じているかが調べられ、異常を解消すべく、処理が行われていたのである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、作業者が吸着具に負圧センサを当てて負圧を検出すれば、検出作業に人手を要する上、面倒であり、さらに電気部品搬送工程の自動化の妨げになることがある。特に、電気部品搬送装置が多数の吸着具を有する場合、それら吸着具の一つ一つに負圧センサを当てて負圧を検出することは面倒であり、多くの人手を要し、時間がかかることを避け得ない。また、適切な高さの負圧が得られない場合にその原因を推定することが困難である。
請求項１に係る第１発明は、吸着具の負圧を自動的に検出し得るとともに、適切な高さの負圧が得られない原因を推定することが可能な電気部品搬送装置を提供することを課題とする。
請求項２に係る第２発明の課題は、第１発明に係る電気部品搬送装置に好適な負圧吸着検査装置を提供することである。
請求項７に係る第３発明の課題は、第１発明に係る電気部品搬送装置に好適な負圧吸着検査方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段，作用および発明の効果】
本発明によって、下記各態様の電気部品搬送装置、ならびにそれに好適な負圧吸着検査装置および方法が得られる。各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。各項に記載の特徴の組合わせの可能性を明示するためである。ただし、複数の項に従属する項にさらに従属する項は、それら複数の項のすべてに対して読み得るとは限らず、先行する構成要素を含む項についてのみ読まれるべきものとする。なお、以下には、特許請求の範囲の補正により本願発明またはそれの実施形態ではなくなった項もあるが、本願発明の理解のために有用であるので、そのまま残すこととする。
（１）負圧で電気部品を吸着する吸着具と、
その吸着具を移動させる吸着具移動装置と、
前記吸着具に供給される負圧を制御する負圧制御装置と、
前記吸着具の負圧を検出する負圧検出装置と、
前記吸着具移動装置，前記負圧制御装置および前記負圧検出装置を制御することにより、前記吸着具を負圧検出装置の位置まで移動させるとともに負圧検出装置に吸着具の負圧を検出させる検査制御装置と
を含むことを特徴とする負圧吸着検査機能を有する電気部品搬送装置。
この電気部品搬送装置において吸着具は、吸着具移動装置により自動的に負圧検出装置へ移動させられ、負圧制御装置の制御により負圧が供給された状態で吸着具の負圧が負圧検出装置により自動的に検出される。したがって、作業者がいちいち吸着具に負圧センサを当てて負圧を検出しなくてもよく、負圧が容易に検出されるとともに、人手を要さず、また、電気部品搬送工程の途中で負圧を検出しても、搬送工程の自動化を妨げることが少ない。作業者の手が必要であっても、例えば、検出開始指示の入力等、極く僅かであって作業は容易であり、人手も少なくて済む。特に、吸着具を複数有する電気部品搬送装置においては、負圧の検出の容易化，自動化，人手節減の効果が大きく、負圧の検出時間を大幅に短縮することができる。
（２）前記吸着具を複数個備え、かつ、前記負圧検出装置の検出結果を各吸着具に対応付けて出力する検査結果出力装置を含む (1)項に記載の電気部品搬送装置。
検査結果は、種々の態様で出力することができる。例えば、出力装置を記録装置を含むものとし、検査結果を記録用紙等の記録媒体に記録してもよく、あるいはＣＲＴ（カソードレイチューブ）ディスプレイや、液晶ディスプレイ等の表示装置を含むものとし、検査結果を画面に表示するようにしてもよく、あるいは音声出力装置を含むものとし、音声で出力してもよい。検出結果を記録媒体に記録すれば、作業者が見易く、また、保存が容易である。検出結果を磁気ディスク，光ディスク等の記憶媒体に記憶させてもよい。
（３）前記負圧検出装置が、検出装置本体と、その検出装置本体内に形成され、その装置本体の表面に開口させられた負圧検出用通路と、その負圧検出用通路内の負圧を検出する負圧センサとを含む (1)項または (2)項に記載の電気部品搬送装置。
この装置において吸着具は、負圧検出時には、負圧検出用通路の検出装置本体の表面に接触させられ、負圧検出用通路の開口が吸着具により覆われ、吸着具からの負圧の漏れが電気部品に代わって検出装置本体により実質的に防止される。この状態では、吸着具内の通路と負圧検出用通路とが連通させられ、負圧検出用通路内に吸着具に得られるのと実質的に同じ高さの負圧が得られ、負圧検出用通路の負圧を検出することにより、吸着具の負圧を検出することができる。
（４）前記検出装置本体の前記負圧検出用通路の開口周辺を形成する部分が本体部とは別体に製造され、本体部に着脱可能に取り付けられた開口形成部材により構成された (3)項に記載の電気部品搬送装置。
開口形成部材内に形成されて負圧検出用通路の開口部を構成する通路の直径がそれぞれ異なる開口形成部材を複数設け、選択的に検出装置本体に取り付ければ、発明の実施の形態において説明するように、吸着具の電気部品を吸着する部分の内径に合わせて負圧検出用通路の開口部の径を変更することができる。
開口形成部材内に直径が異なる複数の通路を設けるとともに、開口形成部材を検出装置本体に移動可能に取り付け、開口形成部材の移動により、複数の通路の１つを選択的に負圧検出用通路の開口部を形成する作用位置に位置決めするようにしてもよい。開口形成部材は、直線移動するものとしてもよく、回転あるいは回動するものとしてもよい。また、作業者の手動操作により移動させられるものとしてもよく、移動装置により自動的に移動させられるものとしてもよい。
（５）前記負圧センサが前記検出装置本体に、前記負圧検出用通路内の負圧を検出可能な状態で固定された (3)項または (4)項に記載の電気部品搬送装置。
本態様によれば、負圧検出用通路を短くすることができ、負圧検出用通路内に迅速に電気部品の吸着に適した高さの負圧を得ることができる。
（６）前記負圧センサが、前記検出装置本体に気密を保って嵌合され、前記負圧検出用通路の少なくとも一部を構成する負圧検出用通路形成部を含むアダプタにより検出装置本体に取り付けられる (5)項に記載の電気部品搬送装置。
（７）前記負圧センサのハウジングの一部が、前記検出装置本体に気密を保って嵌合され、前記負圧検出用通路の少なくとも一部を構成する負圧検出用通路形成部とされている (5)項に記載の電気部品搬送装置。
（８）前記負圧制御装置が、前記吸着具の各々に負圧を供給する状態と供給しない状態とに切り換えが可能な負圧供給切換装置を含む (1)ないし (7)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。
（９）前記負圧供給切換装置が、前記吸着具と共に移動可能に設けられ、切換部材の移動により吸着具に負圧を供給する供給状態と供給しない非供給状態とに機械的に切り換えが可能な切換弁と、前記部品受取位置に設けられ、前記切換弁を前記供給状態に切り換える部品受取位置側切換操作装置とを含み、かつ、前記負圧検出装置が、前記部品受取位置を通過した後の吸着具について切換弁を前記非供給状態に切り換える検出装置側切換操作装置を含む (8)項に記載の電気部品搬送装置。
負圧を供給しない非供給状態の代表的なものは、吸着具を大気に開放する大気開放状態であるが、吸着具による回路部品の解放を迅速にする等の目的で吸着具に正圧を供給する正圧供給状態を含むようにすることもできる。
（１０）前記切換弁の前記切換部材が吸着具の回動軸線を中心とする一円周と交差する方向に移動可能であり、前記検出装置側切換操作装置が、前記検出装置本体に取り付けられ、前記吸着具の回動方向における下流側ほど、前記切換部材の移動方向において前記切換部材に接近する形状を有する作用面を備え、その作用面において切換部材に係合して前記切換弁を前記非供給状態に切り換える切換部材駆動部材を含む (9)項に記載の電気部品搬送装置。
（１１）前記切換部材駆動部材が、前記検出装置側切換操作装置の位置における前記切換弁の回動軌跡に対する接線方向と直交し、かつ、前記切換部材の移動方向とほぼ直交する軸線のまわりに回転可能であり、外周面を前記作用面とするローラである(10)項に記載の電気部品搬送装置。
（１２）前記切換部材駆動部材が前記検出装置本体に、前記検出装置側切換操作装置の位置における前記切換部材の移動方向とほぼ平行な方向に移動可能に取り付けられており、かつ、前記検出装置側切換操作装置が、常には切換部材駆動部材を前記切換部材に係合する前進端位置に保持し、切換部材が移動限度位置まで移動した後は切換部材駆動部材が前進端位置から後退することを許容する付勢手段を含む(10)項または(11)項に記載の電気部品搬送装置。
（１３）当該電気部品搬送装置が、前記吸着具に部品供給部から電気部品を１個ずつ供給する電気部品供給装置を含み、前記負圧検出装置が前記吸着具と接触する接触部を有し、その接触部が、前記電気部品供給装置の前記部品供給部に対応する位置に設けられた (1)ないし(12)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。
この電気部品搬送装置において吸着具は、吸着具移動装置により部品供給部へ移動させられて電気部品を吸着する。負圧検出装置は、電気部品供給装置の部品供給部に対応する位置に、吸着具と接触する接触部を有しているため、負圧の検出時には、電気部品の吸着時と同様の移動動作により、負圧検出装置の接触部と吸着具とを接触させることができ、電気部品吸着時の動作を利用して容易に負圧を検出することができる。
（１４）前記検査制御装置が、前記負圧検出装置の制御の少なくとも一部を、前記電気部品供給装置の部品供給を制御する部品供給制御装置の作動に基づいて実行する部品供給装置作動対応検出制御手段を含む(13)項に記載の電気部品搬送装置。
電気部品供給装置は、多数の電気部品を保持し、それら電気部品を順次吸着具に供給する。１個の電気部品が供給されれば、次に供給される電気部品が部品供給部に位置させられるのであり、部品供給制御装置は電気部品供給装置に吸着具の吸着動作と関連付けて電気部品を供給させる。吸着具が電気部品を吸着するときには、吸着されるべき電気部品が部品供給部に位置させられるとともに、吸着具が電気部品を部品供給部から取り出すとき、取出しが許容されることが必要であるからである。したがって、部品供給制御装置の作動に基づいて負圧検出装置を制御すれば、適切な時期、すなわち吸着具が部品供給部にある電気部品を吸着し、吸着具の開口が電気部品により塞がれて負圧の漏れが実質的に防止され、吸着具に適切な高さの負圧が得られる時期に相当する時期に負圧を検出することができる。
（１５）前記部品供給装置作動対応検出制御手段が、前記負圧検出装置の検出結果の読込みを、前記電気部品供給装置の部品供給を制御する部品供給制御装置の作動に基づいて実行する読込制御手段を含む(14)項に記載の電気部品搬送装置。
この電気部品搬送装置によれば、負圧検出装置を常時負圧を検出する状態にある装置としながら、適切な時期に検出結果を読み込むことができ、無駄に読込みを行わずに済み、必要なデータのみが得られ、検出結果の処理が容易になる効果が得られる。
（１６）前記電気部品供給装置が、一定の間隔で一列に形成された保持凹部を備えた部品保持テープに１個ずつの電気部品が収容されたテープ化電気部品を１ピッチずつ送るテープ送り装置と、前記部品保持テープからカバーテープを剥がすテープ剥離装置との少なくとも一方を備え、前記部品供給装置作動対応制御手段がその少なくとも一方の作動に対応して前記負圧検出装置の制御の少なくとも一部を実行する送り対応制御手段と剥離対応制御手段との少なくとも一方を含む(14)項または(15)項に記載の電気部品搬送装置。
送り対応制御手段と剥離対応制御手段との少なくとも一方を設ければ、適切な時期に負圧を検出することができる。テープ送り装置およびテープ剥離装置は、発明の実施の形態において説明するように、吸着具を移動させる吸着具移動装置と駆動源を共用する装置としてもよく、あるいは専用の駆動源を有するものとしてもよい。
（１７）前記電気部品供給装置が、前記テープ送り装置と前記テープ剥離装置との少なくとも一方をそれぞれ備えた複数の部品供給カートリッジを含み、それら複数の部品供給カートリッジの各々が前記テープ送り装置とテープ剥離装置との少なくとも一方に対応する被駆動部材を備え、その被駆動部材が部品供給カートリッジの外に設けられた共通の駆動部材によって駆動されることにより、前記部品保持テープを送り、あるいはカバーテープを剥がすものであり、前記負圧検出装置が前記被駆動部材に相当する検査用被駆動部材を備え、前記送りまたは剥離対応制御手段が前記検査用被駆動部材の作動を検出する検査用被駆動部材作動検出装置を含む(16)項に記載の電気部品搬送装置。
検査用被駆動部材は駆動部材により、テープ送り装置とテープ剥離装置との少なくとも一方に対応する被駆動部材と同様に駆動される。テープ送り装置とテープ剥離装置との少なくとも一方に対応する被駆動部材は、吸着具による電気部品の吸着動作と関連して駆動されるため、検査用被駆動部材も吸着具による電気部品の吸着動作と関連して駆動されることとなり、検査用被駆動部材作動検出装置は、吸着具からの負圧の漏れが実質的に防止され、適切な高さの負圧が得られる時期に検査用被駆動部材を検出し、送りまたは剥離対応制御手段は、負圧検出装置に適切な時期に負圧を検出させることができる。
（１８）前記検査用被駆動部材作動検出装置が、前記検査用被駆動部材が特定の位置まで作動したことを検出する特定位置センサと、その特定位置センサと前記検査用被駆動部材との相対位置を調節する位置調節装置とを含む(17)項に記載の電気部品搬送装置。
特定位置センサによる検査用被駆動部材の検出により、適切な負圧検出時期がわかる。特定位置センサは、例えば、発光部および受光部を有する光電センサ、リミットスイッチ、近接スイッチ等、種々のセンサにより構成することができる。また、例えば、電気部品搬送装置や電気部品供給装置に組付け誤差等があれば、特定位置にずれが生ずるが、特定位置センサと検査用被駆動部材との相対位置を調節すれば、検査用被駆動部材を常に特定位置まで作動したときに検出することができ、正確に適切な負圧検出時期に負圧を検出することができる。
（１９）前記検査制御装置が、前記負圧制御装置の制御の少なくとも一部を、前記電気部品供給装置の部品供給を制御する部品供給制御装置の作動に基づいて実行する部品供給装置作動対応負圧制御手段を含む(13)ないし(18)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。
電気部品の吸着時に吸着具への負圧の供給は、吸着動作と関連して行われ、ひいては電気部品供給装置による電気部品の供給と関連して行われる。したがって、部品供給装置作動対応負圧制御手段を設ければ、負圧の検出時にも、電気部品の吸着時と同様に負圧が供給され、検出時に吸着具に適切な高さの負圧が遅れなく得られるようにすることができる。
（２０）前記電気部品供給装置が、各々１種類の電気部品を多数保持し、各々の部品供給部から１個ずつ供給する複数の部品供給カートリッジと、それら部品供給カートリッジをそれらの部品供給部が一線に沿って並ぶ状態で保持する部品供給テーブルと、その部品供給テーブルと前記吸着具とを相対移動させて、吸着具と前記複数の部品供給カートリッジの各部品供給部とを選択的に対向させる部品選択装置とを含み、かつ、前記負圧検出装置が、それらカートリッジと同じ取付装置により前記部品供給テーブルに取り付けられ、前記部品供給カートリッジの部品供給部に対応する位置に、前記吸着具と接触する接触部を有する検出装置本体を含む(13)ないし(19)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。
この電気部品搬送装置においては、負圧検出装置が部品供給カートリッジと同様に部品供給テーブルに取り付けられ、負圧の検出時には、負圧検出装置の接触部が、部品選択装置により、部品供給カートリッジの部品供給部と同様にして吸着具と対向させられ、電気部品の吸着時と同様にして吸着具と接触させられ、負圧検出装置が負圧を検出する。部品吸着のための動作を利用して容易に負圧の検出を行うことができるのである。
部品供給テーブルに負圧検出装置専用の取付位置を設け、その取付位置に負圧検出装置を取り付けてもよく、あるいはカートリッジ取付位置に取り付けてもよい。部品供給テーブルに負圧検出装置専用の取付位置を設ける場合、部品供給テーブルのいずれに取付位置を設けてもよいが、部品供給テーブルの端に設ける場合、部品供給テーブルに取り付けられる複数の部品供給カートリッジ群のうち、最も端の部品供給カートリッジに対してカートリッジ取付ピッチの１ピッチ分、離れた位置に設けてもよく、複数ピッチ離れた位置に設けてもよく、取付ピッチ上ではない位置に設けてもよい。
部品供給カートリッジは、例えば、電気部品を部品保持テープに保持させて供給するものでもよく、電気部品がケーシング内に１列に並んで収容され、加振装置によりケーシングに加えられる振動によって電気部品を送るものでもよく、電気部品が１列に並んで収容されたケーシングを傾斜させて設け、傾斜により電気部品を送るものでもよく、ケーシング内に１列に並んで収容された電気部品を空気流により送るものでもよい。
部品選択装置は、次項におけるように、部品供給テーブルを移動させることにより、次に供給されるべき電気部品（すなわち、次に電気部品を供給すべき部品供給カートリッジ）を選択するものとすることも、静止した部品供給テーブルに対して吸着具を移動させることにより、次に供給されるべき電気部品を選択するものとすることも可能である。後者の場合には、吸着具移動装置の、吸着具を複数の部品供給カートリッジの部品供給部と対向する位置へ移動させる部分が、部品選択装置として機能することになる。
複数の部品供給カートリッジの各部品供給部が沿って並ぶ一線は、直線でもよく、円周でもよく、円弧（部分円周）とすることもでき、円弧以外の曲線でもよく、あるいはそれらの組合わせでもよい。部品供給テーブルを移動させる場合、一線が直線であれば、部品供給テーブルは直線移動テーブルとされ、円周であれば、一軸線まわりに回転する円形（全円）テーブルとされ、円弧であれば、一軸線まわりに回転する扇形テーブルとされる。
（２１）前記部品選択装置が、前記部品供給テーブルを前記一線に沿って移動させることによってその部品供給テーブルに保持されている複数の部品供給カートリッジの部品供給部を予め定められた部品供給位置へ選択的に位置決めすることにより、各部品供給部と前記吸着具とを対向させるテーブル移動装置を含み、そのテーブル移動装置が、負圧検出時には、前記負圧検出装置の接触部を前記吸着具と対向させる(20)項に記載の電気部品搬送装置。
（２２）前記検出装置本体が、前記部品供給カートリッジの本体に対応する部材であって、部品供給カートリッジと同じ取付装置により前記部品供給テーブルに取り付けられ、かつ、前記負圧検出用通路がその検出装置本体の、前記部品供給カートリッジの本体の前記部品供給部に対応する部分に開口させられ、その開口周辺が前記接触部とされた(20)項または(21)項に記載の電気部品搬送装置。
本態様によれば、負圧検出装置本体を、部品供給カートリッジの本体と同様に取り扱うことができ、前述のように、負圧検出装置を部品供給カートリッジに代えて、あるいは部品供給カートリッジと共に部品供給テーブルに搭載することが容易になる。
（２３）前記吸着具移動装置が、前記複数の吸着具を共通の回動軸線のまわりに回動させて、前記部品供給カートリッジの前記部品供給部の上方の部品受取位置に順次停止させる吸着具回動装置を含み、その吸着具回動装置が、負圧検出時には、前記複数の吸着具を順次前記負圧検出装置の接触部に対向させる(20)ないし(22)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。
吸着具回動装置は、発明の実施の形態において説明するように、一軸線のまわりに個々に回動可能に設けられた複数の回動体と、その回動体を回動させる回動体回動装置とを含み、複数の回動体の各々に１個または複数個の吸着具を有する部品保持ヘッドが設けられ、回動体の回動により、複数の部品保持ヘッドが順次部品受取位置に停止させられる装置でもよく、あるいは、一軸線のまわりに回転可能に設けられた回転テーブルと、その回転テーブルを回転させる回転テーブル回転装置とを含み、回転テーブルに、それぞれ１個または複数個の吸着具を有する複数の部品保持ヘッドが等角度間隔に設けられ、回転テーブルが部品保持ヘッドの配設角度間隔に等しいピッチで間欠回転させられることにより、複数の部品保持ヘッドが順次部品受取位置に移動させられるものでもよい。
（２４）前記吸着具移動装置が、前記部品受取位置に停止させられた前記吸着具をその吸着具の軸線に平行に前記部品供給部に向かって下降させる吸着具下降装置を含み、その吸着具下降装置が、負圧検出時には、吸着具を前記負圧検出装置の接触部に接触させる(23)項に記載の電気部品搬送装置。
（２５）前記吸着具移動装置が、前記吸着具を複数個取り付け可能でかつ回転軸線のまわりの回転によりそれら複数個の吸着具の１つを選択的に作動位置に位置決めする回転ヘッドを複数個含み、前記吸着具回動装置がそれら複数個の回転ヘッドを前記共通の回動軸線のまわりに回動させることにより前記作動位置にある吸着具を前記部品受取位置に順次停止させる回転ヘッド回動装置を含み、その回転ヘッド回動装置が、負圧検出時には、前記複数個の回転ヘッドを、それらの前記作動位置にある吸着具が、前記負圧検出装置の接触部に対向する位置に、順次停止させる(23)項または(24)項に記載の電気部品搬送装置。
この電気部品搬送装置においては、吸着具移動装置上において回転ヘッド毎に複数の吸着具が選択して使用されるため、電気部品搬送装置とは別に複数種類の吸着具を備えた吸着具収容装置を設けたり、交換のために電気部品搬送装置の作動を停止させる必要がなく、電気部品を能率良く吸着し、搬送することができる。本電気部品搬送装置においては、回転ヘッドの回転による吸着具の交替と、回転ヘッドの前記共通の回動軸線まわりの回動とによって、全部の吸着具を負圧検出装置へ移動させ、負圧を検出することができる。
（２６）前記負圧検出装置が、少なくとも負圧検出時に前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、その負圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択的に変更可能な漏れ状態変更装置とを含む (1)ないし(25)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置（請求項１）。
空気の漏れ状態を上記２つの状態に変更すれば、いずれの状態においても適切な高さの負圧が得られる場合と、空気漏れを許容する状態では適切な高さの負圧が得られないが、空気漏れを実質的に許容しない状態では適切な高さの負圧が得られる場合と、空気漏れを許容する状態でも実質的に許容しない状態でも、適切な高さの負圧が得られない場合とが生ずる。吸着具に異常がなく、適切な高さの負圧が得られるのであれば、空気の漏れが許容された状態で負圧が供給されても、漏れ量を超える負圧が供給され、適切な高さの負圧が得られるのであり、いずれの状態においても適切な高さの負圧が得られるのであれば、吸着具に異常がないことがわかる。それに対し、後二者の場合は吸着具に異常があることがわかり、しかも、発明の実施の形態において説明するように異常の原因（例えば吸着具内の通路の詰まりや吸着面の摩耗や変形等）を推定することができる。異常の原因が異なれば、負圧検出条件（負圧の検出が空気漏れを許容する状態で行われたか否か）が同じであっても、適切な高さの負圧が得られるか否かが異なるからであり、異常原因の推定により、より早く異常原因を除去することができる。
（２７）電気部品を負圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査装置であって、
検査装置本体と、
その検査装置本体に形成され、少なくとも負圧検出時に前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、
その負圧検出用通路の負圧を検出する負圧センサと、
前記負圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択的に変更可能な漏れ状態変更装置と
を含む負圧吸着検査装置（請求項２）。
（２８）前記漏れ状態変更装置が、前記負圧検出用通路に連通する分岐通路に設けられ、その分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態と、その分岐通路を遮断する状態とに変更可能な連通状態変更装置を含む(27)項に記載の負圧吸着検査装置（請求項３）。
（２９）前記連通状態変更装置が、前記分岐通路の開口部を実質的に気密に閉塞するめくらプラグと、そのめくらプラグと選択的に前記分岐通路の開口部に取り付けられ、その分岐通路を限られた流路面積で外部に連通させる絞りを有する絞り部材とを含む(28)項に記載の負圧吸着検査装置（請求項４）。
絞りの流路面積が異なる複数種類の絞り部材を設け、それら絞り部材を吸着具の流路面積に応じて選択的に分岐通路の開口に取り付ければ、吸着具毎に精度良く吸着機能を検査することができる。
（３０）前記連通状態変更装置が、前記分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する状態とに切換えが可能な切換装置を含む(28)項に記載の負圧吸着検査装置（請求項５）。
切換装置は、手動により、分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態と、その分岐通路を遮断する状態とに切り換えられるものとしてもよく、あるいはその切換えが自動的に行われるものとしてもよい。例えば、切換装置を電磁開閉弁を含むものとし、分岐通路を絞りを有する通路に連通させる状態と、連通を遮断する状態との切換えが自動的に行われるようにしてもよい。切換えが自動的に行われれば、空気を漏らす状態と漏らさない状態との２つの状態で負圧の検出を行う負圧吸着検査の全工程の自動化が可能となる。
（３１）前記切換装置が、前記分岐通路の開口部に移動可能に設けられ、移動により、前記分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する状態とに切り換わる移動切換部材を含む(30)項に記載の負圧吸着検査装置。
移動切換部材は、直線移動するものとしてもよく、回転あるいは回動するものとしてもよい。また、作業者の手動操作により移動させられるようにしてもよく、移動装置により自動的に移動させられるようにしてもよい。
（３２）前記移動切換部材が、前記検査装置本体に一軸線まわりに回転可能に取り付けられ、その一軸線を中心とする一円周上に互いに流路面積を異にする複数の絞りを有し、回転により、それら複数の絞りの１つを介して前記分岐通路を選択的に外部に連通させる回転切換部材を含む(31)項に記載の負圧吸着検査装置（請求項６）。
回転切換部材であれば、切換え時に切換部材の移動に要するスペースが少なくて済み、負圧吸着検査装置をコンパクトに構成することができる。
（３３）前記回転切換部材が、前記検査装置本体に形成された嵌合孔に一軸線まわりに回転可能に嵌合され、前記分岐通路に常時連通するとともに、回転により、前記複数の絞りの１つを、外部に開放された開放通路と選択的に連通させるものである(32)項に記載の負圧吸着検査装置。
（３４）前記回転切換部材が、作業者の手動操作により回転させられる手動回転切換部材である(32)項または(33)項に記載の負圧吸着検査装置。
（３５）前記回転切換部材を、前記複数の絞りの各々が前記分岐通路を外部に連通させる複数の連通位置に選択的に位置決めする位置決め装置を含む(32)ないし(34)項のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装置。
位置決め装置を設ければ、負圧の検出時に回転切換部材が動くことがなく、選択された漏れ状態において正確に負圧の検出を行うことができる。
（３６）前記位置決め装置が、前記手動回転切換部材と前記検出装置本体との一方に前記複数の連通位置に対応してそれぞれ形成された複数の位置決め凹部を含む第１位置決め部と、前記手動回転切換部材と前記検出装置本体との他方に設けられ、前記複数の位置決め凹部の各々との共同により手動回転切換部材を節度感をもって前記複数の連通位置の各々に位置決めする第２位置決め部とを含み、その第２位置決め部が、前記位置決め凹部に係合することにより位置決めを行う位置決め部材と、その位置決め部材を位置決め凹部に係合する作用位置と係合しない非作用位置とに移動可能に保持する位置決め部材保持手段と、位置決め部材を前記作用位置に向かって付勢する付勢手段とを含む(35)項に記載の負圧吸着検査装置。
この装置によれば、作業者に手動回転切換部材が位置決めされたことがわかり、回転操作を容易に行うことができる。
（３７）前記負圧センサが、前記検出装置本体に気密を保って嵌合され、前記分岐通路の少なくとも一部を形成する分岐通路形成部を含むアダプタにより検出装置本体に取り付けられる(28)ないし(36)項のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装置。
（３８）前記負圧センサのハウジングの一部が、前記検出装置本体に気密を保って嵌合され、前記分岐通路の少なくとも一部を形成する分岐通路形成部とされている(27)ないし(36)のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装置。
（３９）前記吸着具が、各々１種類の電気部品を多数保持し、各々の部品供給部から１個ずつ供給する複数の部品供給カートリッジが、部品供給テーブル上に前記部品供給部が一線上に並ぶ状態で保持された電気部品供給装置から電気部品を吸着して取り出すものであり、前記検査装置本体が、前記負圧検出用通路が前記一線上に開口する状態で前記部品供給テーブルに取り付け可能である(27)ないし(38)項のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装置。
（４０）前記検査装置本体が、前記部品供給カートリッジの本体に対応する部材であって、部品供給カートリッジと同じ取付装置により前記部品供給テーブルに取り付けられる(39)項に記載の負圧吸着検査装置。
（４１）電気部品供給装置から供給される電気部品を負圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査方法であって、
負圧検出装置と前記吸着具とを、電気部品供給時における前記電気部品供給装置と吸着具との相対移動と同様に相対移動させることにより接触させる工程と、
前記負圧検出装置により前記吸着具内の負圧を検出する工程と、
検出した負圧に基づいて、吸着具の負圧吸着機能の良否を判定する工程と
を含む負圧吸着検査方法。
（４２）前記負圧の検出工程を、前記負圧検出装置の負圧検出通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状態と、空気漏れを実質的に許容しない状態との両方においてそれぞれ実行する(41)項に記載の負圧吸着検査方法（請求項７）。
前記(28)ないし(40)項に記載の各負圧吸着検査装置の特徴は(41)項あるいは(42)項に記載の負圧吸着検査方法においても採用可能である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本願の装置発明の一実施形態である負圧吸着検査装置および電気部品搬送装置を備えた電気部品装着システムを図面に基づいて説明する。なお、上記負圧吸着検査装置を用いた負圧吸着検査方法が本願の方法発明の一実施形態である。
図１において１０はベースである。ベース１０上には、電気部品搬送装着装置１２，電気部品供給装置１４およびプリント基板支持位置決め装置１６等が設けられている。電気部品供給装置１４は、部品供給テーブルたるカートリッジ支持台２０上に各部品供給部が一直線上に並んで取り付けられた多数の電気部品供給カートリッジ２２（以下、カートリッジ２２と略称する）を有する。カートリッジ支持台２０は、図示しないナットにおいてねじ軸２４に螺合されており、ねじ軸２４がカートリッジ移動用サーボモータ２６によって回転させられることにより、カートリッジ支持台２０は一対のガイドレール２８により案内されて、カートリッジ２２の並ぶ方向であるＸ軸方向（図において左右方向）に移動させられ、多数のカートリッジ２２の部品供給部が部品供給位置に選択的に位置決めされる。これら図示しないナット，ねじ軸２４およびカートリッジ移動用サーボモータ２６等がカートリッジ移動装置３０を構成している。
【０００６】
プリント基板支持位置決め装置１６は、カートリッジ２２より下側に設けられ、Ｘ軸方向に移動するＸ軸テーブル３４と、Ｘ軸テーブル３４上に設けられ、水平面内においてＸ軸と直交するＹ軸方向に移動するＹ軸テーブル３６とを有する。Ｙ軸テーブル３６上には、装着対象材たるプリント基板３８を位置決めし、保持する基板保持装置（図示省略）が設けられている。Ｘ軸テーブル３４は、ねじ軸４０がＸ軸移動用サーボモータ４２によって回転させられることにより、ガイドレール４４に案内されてＸ軸方向に移動し、Ｙ軸テーブル３６は、ねじ軸４６がＹ軸移動用サーボモータ４８によって回転させられることにより、ガイドレール５０に案内されてＹ軸方向に移動し、プリント基板３８はこれらＸ軸テーブル３４，Ｙ軸テーブル３６の移動により、多数の部品装着箇所が順次部品装着位置に位置決めされる。Ｘ軸テーブル３６は一部が電気部品搬送装着装置１２の下を通ってカートリッジ２２の下に入り込んでいる。なお、プリント基板３８は、図示しないプリント基板搬入コンベアおよびプリント基板搬出コンベアにより、上記基板保持装置に搬入され、搬出される。
【０００７】
電気部品搬送装着装置１２は、電気部品供給装置１４およびプリント基板支持位置決め装置１６の上方に設けられている。電気部品搬送装着装置１２は、電気部品供給装置１４から電気部品を受け取って搬送し、プリント基板３８に引き渡すのであるが、この引渡しがすなわち装着であり、電気部品搬送装着装置１２は電気部品搬送装置であるとともに電気部品装着装置なのである。
電気部品搬送装着装置１２の装置本体を構成するフレーム６０（図２参照）は、前記ベース１０に固定の図示しない支持部材により支持され、ベース１０の上方に配設されている。フレーム６０は、断面形状がコの字形を成す取付部材６２と、取付部材６２の一対の側壁にわたって水平に固定された支持部材６４とを有する。
【０００８】
フレーム６０の支持部材６４には、図２に示すように、円形断面の固定軸６６の上端部が固定されており、固定軸６６の下端部は、取付部材６２の底壁６７に形成された開口６９を通ってフレーム６０の外へ延び出させられるとともに、フレーム６０の下方に配設され、前記ベース１０に固定の支持板６８に固定されている。固定軸６６は上下方向に設けられているのである。固定軸６６には、図２および図３に示すように、１２個の回動体たる回動板７０が各々一対ずつの軸受７２により、固定軸６６の軸線まわりに回動可能に取り付けられている。固定軸６６の軸線が１２個の回動板７０に共通の回動軸線なのである。
【０００９】
固定軸６６の軸方向、すなわち上下方向に隔たった２箇所にはそれぞれ、１２個の軸受７２を１群とし、それら１２個の軸受７２が互いに軸方向の位置を異にする軸受群７４が取り付けられている。１２個の回動板７０はそれぞれ、図２および図４に示すように、一対の被支持アーム７６において、２つの軸受群７４の各々に属する１個ずつの軸受７２により支持されている。
【００１０】
被支持アーム７６は、図４に示すように、円環状の嵌合部７８と、嵌合部７８の周方向の一部から半径方向外向きに延び出させられた腕部８０とを有し、一対の被支持アーム７６の各腕部８０は連結部８２により連結されている。一対の被支持アーム７６の各腕部８０の一部および連結部８２に回動板７０が固定されるとともに、各嵌合部７８はそれぞれ、一対の軸受７２のアウタケーシング８４に嵌合され、図示しない複数本のボルトにより固定されている。１２対の各被支持アーム７６の回動板７０に対する回動軸線に平行な方向の固定位置は回動板７０毎に異ならされ、１２個の回動板７０をそれぞれ支持する一対の軸受７２間の距離は回動板７０同士で等しくされており、図２に示すように、１２個の回動板７０は回動軸線に平行な方向において互いに干渉することなく、固定軸６６の同じ高さの位置に取り付けられている。これら１２個の回動板７０は、高さ方向、すなわち共通の回動軸線に平行な方向においては位置を変えることなく、一定の高さで回動させられるのである。なお、一対の腕部８０および連結部８２にはリブ８６が一体的に設けられているが、リブ８６は、図３に破線で示すように、固定軸６６側ほど幅が狭くされ、隣接する回動板７０のリブ８６や腕部８０との干渉が回避されている。また、回動板７０の下部は、フレーム６０の底壁６７に形成された開口６９を通って下方へ突出させられている。
【００１１】
１２個の回動板７０の固定軸６６とは反対側の端面にはそれぞれ、図２に示すように、カムフォロワたる鼓形カム用ローラ８８が固定軸６６の軸線と直交する軸線のまわりに回転可能に取り付けられるとともに、図３に示すように、前記フレーム６０に回転可能に取り付けられた４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄの各カム溝９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄに回転可能に嵌合されている。
【００１２】
４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄの各外周面９３ａ，９３ｂ，９３ｃ，９３ｄは、１２個の回動板７０に共通の回動軸線である固定軸６６の軸線を中心とする円弧を、その円弧に対して上記共通の回動軸線とは反対側に位置するとともに、その共通の回動軸線と直角に立体交差する軸線のまわりに回転させた場合にその円弧が描く軌跡を成す。これら鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄは、固定軸６６の軸線を対称軸として軸対称に配設され、４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄの全軸線を含む一平面（水平面）と、それら４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄの各外周面との交線の集合は、実質的に連続した一円周を描き、カム溝９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄは実質的につながっている。鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄにはそれぞれ、図３に示すように、回転軸９４ａ，９４ｂ，９４ｃ，９４ｄが相対回転不能に取り付けられるとともに、フレーム６０の取付部材６２に固定の一対ずつのブラケット９６ａ，９６ｂ，９６ｃ，９６ｄにより回転可能に支持されている。
【００１３】
４個の鼓形カム９０ａ〜９０ｄの各々の軸方向の両端部にはそれぞれ、かさ歯車９８ａ，１００ａ，９８ｂ，１００ｂ，９８ｃ，１００ｃ，９８ｄ，１００ｄが同軸にかつ一体的に設けられており、互いに隣接する鼓形カム９０ａ〜９０ｄのかさ歯車同士は互いに噛み合わされている。
【００１４】
鼓形カム９０ａに取り付けられた回転軸９４ａは長く、図３に示すように、フレーム６０に固定の別のブラケット１０４によって回転可能に支持されるとともに、タイミングプーリ１０６が固定されている。このタイミングプーリ１０６と、駆動源たる駆動用サーボモータ１０８の出力軸に固定のタイミングプーリ１１０とはタイミングベルト１１２によって連結されており、回転軸９４ａは駆動用サーボモータ１０８により回転させられる。それにより、鼓形カム９０ａが回転させられるとともに、かさ歯車９８ａ〜９８ｄとかさ歯車１００ａ〜１００ｄとの噛合いによって、鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄが正確に同期して一斉に回転させられ、鼓形カム用ローラ８８がカム溝９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄ内を転動し、あるいは停止し、隣接する鼓形カム間においてはカム溝を乗り移り、１２個の回動板７０が移動あるいは停止させられる。
【００１５】
本電気部品搬送装着装置１２において回動板７０は、図５に示すように、部品受取位置である部品吸着位置と、撮像位置と、部品装着位置との３つの位置で停止させられる。前記電気部品供給装置１４は、部品吸着位置が設けられた部品吸着ステーションに設けられ、プリント基板支持位置決め装置１６は、部品装着位置が設けられた部品装着ステーションに設けられ、撮像位置が設けられた撮像ステーションには、撮像装置たるＣＣＤカメラ１１４（図１５参照）が設けられている。鼓形カム９０ａは部品装着位置近傍に対応する位置に設けられ、鼓形カム９０ｃは部品吸着位置近傍に対応する位置に設けられ、鼓形カム９０ｄは撮像位置近傍に対応する位置に設けられている。そのため、カム溝９２ａ，９２ｃ，９２ｄは、回動板７０が各位置における作業の間は停止し、その前後において加，減速し、鼓形カム用ローラ８８のカム溝９２ａ，９２ｃ，９２ｄへの進入時および退出時には、一定角速度で回動するように形成されている。また、カム溝９２ｂは、回動板７０が上記一定角速度で回動するように形成されている。
【００１６】
部品装着位置と部品吸着位置との中間位置には、図示は省略するが、電気部品収容器が設けられている。この電気部品収容器は、部品保持ヘッド１２０の回動軌跡に沿って長く設けられており、部品吸着ノズルにより吸着された電気部品の姿勢が修正不可能なほどずれていたり、装着すべき電気部品とは異なる種類の電気部品が吸着される等の吸着ミスが発生したとき、電気部品がプリント基板３８に装着されず、回動板７０が部品装着位置から部品吸着位置へ移動する途中で停止することなく、電気部品が電気部品収容器に捨てられるようにされている。電気部品収容器が設けられた領域が部品排出領域である。
【００１７】
１２個の回動板７０はそれぞれ、図２に示すように部品保持ヘッド１２０を保持している。回動板７０には、一対のガイドブロック１２２が上下方向に距離を隔てて固定されて案内部を構成するとともに、昇降部材たる昇降板１２４が上下方向に摺動可能に嵌合されている。昇降板１２４の上部には、固定カム用カムフォロワたる固定カム用ローラ１２６が固定軸６６の軸線と直交する軸線のまわりに回転可能に取り付けられるとともに、下部に部品保持ヘッド１２０が取り付けられている。
【００１８】
フレーム６０の底壁６７の外面（下面）には、円筒状の固定カム１２８が固定軸６６と同心に固定されており、固定カム用ローラ１２６は、固定カム１２８の内周面に沿って形成されたカム溝１３０に回転可能に嵌合されている。カム溝１３０は、固定軸６６の軸線に平行な方向の位置、すなわち高さが周方向において滑らかに変化する部分と、高さが周方向において変化せず、一定で水平な部分とを有する。回動板７０が回動させられるとき、固定カム用ローラ１２６がカム溝１３０に沿って移動し、カム溝１３０の高さが周方向において滑らかに変化する部分を移動するとき、昇降板１２４が昇降させられ、部品保持ヘッド１２０が昇降させられる。カム溝１３０は、部品保持ヘッド１２０が部品吸着位置において上昇端に位置し、部品装着位置において下降端に位置するとともに、部品吸着位置，部品装着位置および撮像位置の前後では水平に移動するように形成されている。
【００１９】
昇降板１２４の下端部には、図６に示すように、ブラケット１３６が固定されるとともに、中空の鞘軸１３８が軸受１４０，１４２を介して相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。鞘軸１３８内には、中軸１４４が相対回転可能かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。鞘軸１３８のブラケット１３６から突出した下端部には、コの字形断面の取付部１４６が設けられており、取付部１４６の一対の側壁部１４８，１５０に両端部を固定された支持軸１５２には、ノズル保持体１５４が回転可能に嵌合されている。
【００２０】
ノズル保持体１５４には、６個のノズル嵌合穴１５６が支持軸１５２の軸線を中心とする一円周上に等角度間隔に設けられており、各ノズル嵌合穴１５６に吸着具たる部品吸着ノズル１５８が軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材としてのスプリング１６０により、ノズル嵌合穴１５６から突出する向きに付勢されている。部品吸着ノズル１５８のノズル嵌合穴１５６からの抜出しおよび回転は、部品吸着ノズル１５８に嵌合された図示しない係合ピンが、ノズル保持体１５４に設けられた図示しないピン係合溝の端に係合することにより防止されている。図２および図１０には、２個の部品吸着ノズル１５８が代表的に示されている。
【００２１】
６個の部品吸着ノズル１５８は種類が異なり、それぞれ吸着管１６２の直径が異ならされるとともに、反射板１６３の大きさが異ならされており、吸着する電気部品１６４の形状，寸法に応じて使用する部品吸着ノズル１５８が選択される。また、６個の部品吸着ノズル１５８の各吸着管１６２は長さが等しくされており、吸着管１６２の先端はノズル保持体１５４の回動軸線を中心とする一円周上に位置させられている。６個の部品吸着ノズル１５８は、ノズル保持体１５４の回転により作動位置、すなわち部品吸着ノズル１５８の軸線が鞘軸１３８の軸線と一致し、かつ吸着管１６２が下向きとなる位置に選択的に移動させられる。
【００２２】
ノズル保持体１５４の取付部１４６の側壁部１５０と対向する端面には、ノズル保持体１５４の回転軸線を中心とする一円周上に６個の位置決め穴１６５（図には２個のみ示されている）が等角度間隔に形成されている。これら位置決め穴１６５はそれぞれ、開口側ほど径が漸増するテーパ穴とされている。
【００２３】
側壁部１５０にはブラケット１６６が複数本のボルトにより固定されており、位置決めピン１６７がノズル保持体１５４の回転軸線と平行な方向に移動可能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング１６９により、ブラケット１６６からノズル保持体１５４側へ突出する向きに付勢されている。位置決めピン１６７の先端部は、位置決め穴１６５の傾斜と同じ傾斜のテーパ部とされており、位置決めピン１６７と位置決め穴１６５との係合により、部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされる。
【００２４】
部品吸着ノズル１５８は負圧により電気部品１６４を吸着する。そのため、図６に示すように、ノズル保持体１５４，支持軸１５２，側壁部１５０，中軸１４４，鞘軸１３８およびブラケット１３６にそれぞれ通路１６８，１７０，１７２，１７４，１７６，１７７が形成されるとともに、ブラケット１３６に取り付けられた切換装置１７８を介して真空装置１８１（図１５参照）に接続されている。切換装置１７８は電磁方向切換弁１７９（図１５参照）を有しており、その切換えにより、部品吸着ノズル１５８に負圧を供給する供給状態と、部品吸着ノズルを大気に解放する大気開放状態とに切り換えられ、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４を吸着し、解放する。なお、支持軸１５２に形成された通路１７０は、作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８について設けられた通路１６８に連通させられる。
【００２５】
切換装置１７８の切換えは、部品吸着時に部品保持ヘッド１２０が後述する部品保持ヘッド昇降装置により下降させられる途中であって、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４に接触する前に負圧が供給されるタイミングで行われる。部品吸着後、部品装着が終了するまで切換装置１７８は、部品吸着ノズル１５８に負圧を供給する供給状態に切り換えられたままとされ、電気部品１６４がプリント基板３８上に搭載されるとき、大気開放状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１５８が大気に連通させられる。
【００２６】
支持軸１５２には歯車１８０が回転可能に取り付けられ、ノズル保持体１５４にピン１８２によって相対回転不能に連結されるとともに、前記側壁部１４８に回転可能に取り付けられた支持軸１８４に固定の歯車１８６と噛み合わされている。歯車１８６には、かさ歯車１８８が一体的に設けられるとともに、前記中軸１４４の下端部に設けられたかさ歯車１９０に噛み合わされている。中軸１４４の上端部は、鞘軸１３８から突出させられるとともに、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２の回転出力軸１９４に連結部材１９６によって軸方向に相対移動可能かつ相対回転不能に連結されている。ノズル回転・選択用サーボモータ１９２は正，逆両方向に回転し、エンコーダ１９３（図１５参照）により回転量が検出される。
【００２７】
連結部材１９６は円筒状を成し、回転出力軸１９４に嵌合されるとともに、ピン１９８によって相対回転および軸方向の相対移動が阻止されている。連結部材１９６の下端部には、軸方向に貫通する６個の係合溝２００が等角度間隔に形成された歯車状の駆動側係合部材２０２が一体的に設けられている。連結部材１９６の直径方向に隔たった２箇所にはそれぞれ、下面に開口し、軸方向に延びる切欠２０６が形成されており、駆動側係合部材２０２は、連結部材１９６の下端部に嵌合され、固定されるとともに、切欠２０６の下側開口を塞いでいる。中軸１４４の上端部は連結部材１９６および駆動側係合部材２０２に軸方向に相対移動可能に嵌合されるとともに、中軸１４４に直径方向に嵌合された係合部材たる係合ピン２０８の両端部がそれぞれ、切欠２０６に軸方向に相対移動可能に嵌合されており、それら係合ピン２０８，切欠２０６の係合によりノズル回転・選択用サーボモータ１９２の回転が中軸１４４に常時伝達される。
【００２８】
ノズル回転・選択用サーボモータ１９２は、前記昇降板１２４に昇降可能に取り付けられたモータ保持台２１０に載置されている。モータ保持台２１０はコの字形を成し、コの字の一方の側壁部２１２に固定されて被案内部を構成するガイドブロック２１４において昇降板１２４に昇降可能に嵌合され、他方の側壁部２１６の外面には、カムフォロワたる係合ローラ２１８が固定軸６６の軸線と直交する軸線のまわりに回転可能に取り付けられている。また、側壁部２１６の下面には、小径の係合突部２２０が突設されている。
【００２９】
モータ保持台２１０は、駆動部材２０２と前記鞘軸１３８のブラケット１３６からの突出端部との間に配設された付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング２２４により上方へ、すなわち鞘軸１３８から離れる向きに付勢されている。圧縮コイルスプリング２２４の付勢によるモータ保持台２１０の上方への移動限度は、駆動側係合部材２０２が係合ピン２０８に係合することにより規定される。この位置がモータ保持台２１０の上昇端位置である。鞘軸１３８の上端部には、被駆動側係合部材２３２が固定されている。被駆動側係合部材２３２は円環状部２３４において鞘軸１３８に嵌合され、固定されるとともに、円環状部２３４の一部から昇降板２１４とは反対側へ突出させられた突出端部には、上下方向に貫通する係合切欠２３８が形成されている。
【００３０】
被駆動側係合部材２３２はまた、円環状部２３４から上方へ延び出させられたアーム部２４０を備え、アーム部２４０の鞘軸１３８側の面には、係合突部２４２が突設されている。アーム部２４０の突出端部は内歯車の一部を成す形状を有し、前記駆動側係合部材２０２と共に噛合いクラッチを構成している。
【００３１】
モータ保持台２１０が圧縮コイルスプリング２２４の付勢により上昇端位置に位置する状態では、図６に示すように、駆動側係合部材２０２の係合溝２００と被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２とが、鞘軸１３８の軸線方向に相対移動可能かつ相対回転不能に係合して、鞘軸１３８と中軸１４４との相対回転が防止されている。この状態では、モータ保持台２１０に設けられた係合突部２２０と被駆動側係合部材２３２に設けられた係合切欠２３８との鞘軸１３８の軸線まわりの位置が一致し、モータ保持台２１０の下降により、係合突部２２０と係合切欠２３８とが係合し得る状態にある。この位置が鞘軸１３８の原位置であり、部品保持ヘッド１２０の回転軸線まわりにおける原位置であって、部品保持ヘッド１２０が原位置に位置するとき、ノズル保持体１５４を支持する支持軸１５２の軸線は回動板７０の回動軸線と直交する水平軸線となる。
【００３２】
部品排出領域と部品吸着位置との間であって、回動板７０が定速回動し、かつ部品保持ヘッド１２０が水平に移動する領域には、図６および図７に示すノズル選択用カム２４８が位置を固定して設けられている。ノズル選択用カム２４８のカム面２５０は、回動板７０の回動方向に長く、回動板７０の回動軸線を中心とする円弧に沿って設けられ、回動板７０の回動方向において下流側ほど下方へ傾斜し、係合ローラ２１８に係合してモータ保持台２１０を押し下げる押下面と、押下面の最も下の位置から水平に延び出させられ、モータ保持台２１０を押し下げた状態に保つ押下状態維持面と、押下状態維持面の押下面とは反対側の端から、回動板７０の回動方向において下流側ほど上方へ傾斜し、モータ保持台２１０の押下げを解除し、モータ保持台２１０が上昇することを許容する押下解除面とを有する。ノズル選択用カム２４８は、モータ保持台２１０が上昇端位置にある状態で、押下面が係合ローラ２１８に係合する高さに設けられており、押下面の係合ローラ２１８が係合し始める部分の面は部分円筒面とされ、係合し易くされている。
【００３３】
フレーム６０の部品吸着位置近傍および部品装着位置近傍にそれぞれ対応する位置には、図２および図８に示すように、部品保持ヘッド昇降装置２６０が設けられている（図には部品装着位置近傍に対応する位置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６０が示されている）。なお、図８は部品保持ヘッド昇降装置２６０をフレーム６０の下から見た状態を示す図である。これら部品保持ヘッド昇降装置２６０の構成は同じであり、部品装着位置近傍に対応する位置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６０を代表的に説明する。
【００３４】
前記固定カム１２８のうち、部品装着位置近傍に対応する部分には、図２および図８に示すように、固定カム１２８の内周面，上面および下面に開口する嵌合溝２６２が形成され、嵌合溝２６２の底壁の上部を半径方向に貫通する開口２６４が形成されるとともに、嵌合溝２６２に昇降部材２６６が昇降可能に嵌合されている。嵌合溝２６２の底面にはガイドレール２６８が上下方向に設けられるとともに、昇降部材２６６に固定の一対のガイドブロック２７０が摺動可能に嵌合されている。
【００３５】
昇降部材２６６の下部は、嵌合溝２６２に昇降を許容する僅かな隙間を有して嵌合される幅（固定カム１２８の周方向の寸法）を有し、この下部には、固定カム１２８の内周面側に開口するとともに、水平方向に貫通する溝２７２が形成されている。昇降部材２６６は、その上端部においてレバー２７６のヨーク状の一端部にピン２７７によって回動可能に連結されている。レバー２７６は、開口２６４を通って固定カム１２８の外周面から外へ突出させられるとともに、支持部材２７８の嵌合部２８０に軸受２８２を介して長手方向に相対移動可能に嵌合されている。軸受２８２のレバー２７６の長手方向に平行な両側面にはそれぞれ、図８に示すように、支持ピン２８４が直角に突設されるとともに、嵌合部２８０の一対の側壁に回転可能に嵌合されており、レバー２７６は軸受２８２ごと支持ピン２８４の軸線まわりに回動させられる。
【００３６】
支持部材２７８は、図８に示すように、嵌合部２８０から水平に延び出させられた腕部２８８を有し、この腕部２８８の延出端部は、フレーム６０に形成された長穴２８６を通ってフレーム６０内へ突出させられている。この突出部にはナット２９２が固定されるとともに、ねじ軸２９４に螺合されており、ねじ軸２９４がヘッド昇降ストローク変更用サーボモータ２９６によって回転させられることにより、支持部材２７８がレバー２７６に対して長手方向に移動させられる。それにより軸受２８２および支持ピン２８４がレバー２７６に対して移動し、レバー２７６の回動軸線の位置が変更され、昇降部材２６６の昇降ストロークが変更され、昇降部材２６６に支持された部品保持ヘッド１２０の昇降ストロークが変更される。ねじ軸２９４，ヘッド昇降ストローク変更用サーボモータ２９６等が移動ストローク変更装置を構成しているのである。なお、嵌合部２８０にはガイドブロック２９８が固定されるとともに、フレーム６０に固定のガイドレール２９９に摺動可能に嵌合されており、支持部材２７８の移動が案内される。図２においては、ガイドブロック２９８，ガイドレール２９９の図示は省略されている。
【００３７】
前記フレーム６０には、図２に示すように、くの字形のレバー３００が軸３０２によって回動可能に取り付けられている。レバー３００の一方のアーム部３０３の突出端部にはロッド３０４の上端部がピン３０６によって回動可能に、かつロッド３０４の軸方向における連結位置が調節可能に連結され、ロッド３０４の下端部は、取付部材６２に形成された長穴３０５を通って下方へ突出させられるとともに、前記レバー２７６の昇降部材２６６が連結された側とは反対側の端部にピン３０８によって回動可能に連結されている。レバー３００の他方のアーム部３１２の突出端部にはカムフォロワたる係合ローラ３１４が回転可能に取り付けられている。係合ローラ３１４は、レバー３００が付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング３１６によって付勢されることにより、フレーム６０に回転可能に支持されたヘッド昇降用カム３１８のカム面３２０に追従させられる。
【００３８】
ヘッド昇降用カム３１８を相対回転不能に支持する支持軸３２２は、フレーム６０により回転可能に支持されており、支持軸３２２にはタイミングプーリ３２４（図３参照）が固定されるとともに、前記駆動用サーボモータ１０８の出力軸に固定のタイミングプーリ１１０に前記タイミングベルト１１２によって連結されている。ヘッド昇降用カム３１８は、前記鼓形カム９０ａ〜９０ｄと共通の駆動用サーボモータ１０８により回転させられるのであり、タイミングプーリ３２４の径は、部品装着位置への回動板７０の到達時間間隔である１到達時間ピッチ毎にヘッド昇降用カム３１８が１回転する大きさに設定されている。
【００３９】
ヘッド昇降用カム３１８のカム面３２０は、実際には断面形状がハート形を成し、ヘッド昇降用カム３１８の回転によりレバー３００が回動させられ、ロッド３０４が昇降させられるとともに、レバー２７６が回動させられ、昇降部材２６６が昇降させられる。ロッド３０４と昇降部材２６６とは、支持ピン２８４を挟んでレバー２７６の両端部にそれぞれ連結されており、互いに昇降方向は逆である。ロッド３０４の下降端位置および上昇端位置はカム面３２０により決まり、一定であり、ロッド３０４の下降端位置は、昇降部材２６６の溝２７２と固定カム１２８のカム溝１３０との高さが一致して連続する水平な溝を形成し、レバー３００がねじ軸２９４およびガイドレール２９９と平行となる位置に設定されている。昇降部材２６６は上昇端位置において、固定カム１２８の部品装着位置近傍において部品保持ヘッド１２０を水平状態に保つ部分の一部を構成するのであり、部品装着時以外は上昇端位置に位置し、部品装着時に昇降させられる。
【００４０】
前記ねじ軸２９４および支持部材２７８の移動を案内するガイドレール２９９と、ロッド３０４が下降端位置へ移動させられ、昇降部材２６６が上昇端位置へ移動させられた状態でのレバー２７６とが平行になるようにされているため、この状態で支持部材２７８が移動させられるとき、支持部材２７８がガイドレール２９９に平行に移動させられてレバー２７６の回動軸線の位置が変更され、昇降部材２６６の上昇端位置を変えることなく、昇降ストロークが変えられ、昇降部材２６６の下降端位置が変えられる。
【００４１】
前記電気部品供給装置１４のカートリッジ２２により供給される電気部品１６４は、図９に示すように、テープ化電気部品４００とされている。テープ化電気部品４００は、図示しない部品保持テープとカバーテープ４０２とによって、電気部品１６４がテーピングされたものである。部品保持テープは、幅方向の両側において長手方向に延びる被支持部と、それら両被支持部間において両支持部より下方へ突出した電気部品収容部とを備えたエンボスタイプの部品保持テープである。電気部品収容部は、部品保持テープの一対の被支持部の間の部分が一対の被支持部より下方へ長手方向に連続して突出させられるとともに、その突出部に上方に開口する多数の保持凹部が等間隔に形成され、それら保持凹部の各々に電気部品が収容され、保持凹部の開口が部品保持テープに貼り付けられたカバーテープ４０２により覆われている。テープ化電気部品４００は、電気部品保持器としてのリール４０６に巻き付けられており、リール保持具４１０により保持されてカートリッジ本体４０８の後部（電気部品搬送装着装置１２とは反対側の端部）に取り付けられている。
【００４２】
カートリッジ本体４０８は概して細長い板状を成し、カートリッジ支持台２０上に長手方向と厚さ方向とが水平となる姿勢で立てて設置される。テープ化電気部品４００は、部品保持テープの一対の被支持部がカートリッジ本体４０８により下方から支持されるとともに、カバー４１２が被せられ、テープ送り装置４１４により、カートリッジ本体４０８の長手方向であるＹ軸方向に一定ピッチずつ送られる。部品保持テープの電気部品収容部は、カートリッジ本体４０８の部品保持テープの被支持部を支持する部分の間に設けられた溝内を移動し、部品保持テープの上面の高さは、電気部品の大きさによらず、一定である。
【００４３】
カートリッジ本体４０８にはまた、カバーテープ巻取装置４２０がブラケット４２２によって取り付けられている。テープ送り装置４１４およびカバーテープ巻取装置４２０は、前記駆動用サーボモータ１０８を駆動源とする駆動装置により駆動される。駆動用サーボモータ１０８の回転が、図示しないカム，カムフォロワ等により構成される運動変換機構により駆動部材たる昇降部材４２８（図１０参照）の昇降運動に変換され、昇降部材４２８の昇降によりブラケット４２２を介して取り付けられた駆動バー４３０が昇降させられて、テープ送り装置４１４およびカバーテープ巻取装置４２０が作動させられるのである。
【００４４】
昇降部材４２８の下端部には、図１０に示すように、ブラケット４３２がねじ部材４３４により固定されるとともに、ブラケット４３２の昇降部材４２８より下方へ突出させられた下端部には、ローラ４３６が軸受４３８，４３９を介してＹ軸方向に平行な軸線のまわりに回転可能に取り付けられている。
【００４５】
テープ送り装置４１４およびカバーテープ巻取装置４２０は既に知られており、簡単に説明する。
駆動バー４３０は、図９に示すように、ブラケット４２２に回動可能に取り付けられた支持バー４４０に回動可能に取り付けられており、昇降部材４２８の下降により駆動バー４３０が押し下げられ、それにより駆動バー４３０に回動可能に連結された駆動レバー４４２が回動させられ、駆動レバー４４２に回動可能に連結されたカバー駆動バー４４４および回動板駆動バー４４６が移動させられる。それによりカバー駆動バー４４４に連結されたカバー４１２が後退させられるとともに、回動板駆動バー４４６に回動可能に連結された回動板４４８が支持軸４５０の軸線のまわりに逆方向（図９において時計方向）に回動させられ、回動板４４８に回動可能に取り付けられた図示しないラチェット爪がラチェットホイール４５２の歯を乗り越え、テープ送り装置４１４において送りのための準備が行われる。テープ化電気部品４００は送られず、停止したままであり、カバー４１２の後退により、テープ化電気部品送り方向において部品取出位置の上流側に位置し、カバーテープ４０２が剥がされた電気部品１６４がカバー４１２に設けられた後述する舌片により覆われた状態となる。
【００４６】
このとき、カバーテープ巻取装置４２０においては、巻取レバー４５６が付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング４５８の付勢力により、支持軸４６０のまわりに回動させられる。巻取レバー４５６と、支持軸４６０により回転可能に支持された巻取リール４６２との間には、巻取レバー４５６の巻取リール４６２に対するカバーテープ巻取方向の相対回転は阻止するが、逆向きの相対回転は許容する第１一方向クラッチ（図示省略）が設けられ、巻取リール４６２と支持軸４６０との間には、巻取リール４６２のカバーテープ巻取方向の回転は許容するが、逆向きの回転は阻止する第２一方向クラッチ（図示省略）が設けられている。したがって、巻取レバー４５６が引張コイルスプリング４５８の付勢力に基づいてカバーテープ巻取方向へ回転させられるとき、巻取リール４６２が回転させられ、カバー４１２の後退と共にカバーテープ４０２を部品保持テープから剥がして巻き取るとともに、可動ガイドローラ４６４，４６６が下方へ回動して、可動ガイドローラ４６４と巻取リール４６２との距離を増し、一定長さのカバーテープ４０２を繰り込む。カバーテープ巻取装置４２０は、カバーテープ剥離装置でもあるのである。
【００４７】
逆に、昇降部材４２８が上昇すれば、駆動バー４３０は、駆動レバー４４２の下端部とカートリッジ本体４０８との間に設けられた引張コイルスプリング４７０の付勢力により昇降部材４２８に追従して上昇させられる。また、駆動レバー４４２の回動によりカバー駆動バー４４４および回動板駆動バー４４６が前進させられ、回動板４４８が正方向（図９において反時計方向）に回動させられるとともにラチェットホイール４５２およびラチェットホイール４５２と相対回転不能に連結されたスプロケット４６８が回転させられ、テープ化電気部品４００がカバー４１２と共に１ピッチ分送られる。この際、駆動レバー４４２の回動に伴って巻取レバー４５６が巻取方向とは逆向きに回動させられるが、巻取リール４６２は回転せず、カバーテープ巻取装置４２０においては巻取リール４６２が静止しており、可動ガイドローラ４６４が上方へ回動して可動ガイドローラ４６４と巻取リール４６２との距離を減じることにより、先に繰り込んでおいたカバーテープ４０２を繰り出し、テープ化電気部品４００が１ピッチ分送られることを許容する。
【００４８】
テープ化電気部品４００は、テープ送り装置４１４により送られ、多数の電気部品保持凹部に収容された電気部品のうち、先頭の電気部品が予め設定された部品取出位置へ移動させられる。部品取出位置は、部品保持ヘッド１２０において作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が部品吸着位置に停止させられたとき、その部品吸着ノズル１５８の真下に位置する位置である。カートリッジ２２の部品取出位置の近傍部分が部品供給部であり、多数のカートリッジ２２は各部品供給部がＸ軸方向に一直線状に並ぶ状態でカートリッジ支持台２０に取り付けられている。
【００４９】
昇降部材４２８を昇降させる運動変換機構のカムは、部品吸着ノズル１５８が下降させられて電気部品１６４を吸着するとき、部品吸着ノズル１５８の下降と並行して昇降部材４２８が下降させられ、カバー４１２が後退させられるが、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４に接触し、吸着するときには、カバー４１２の後述する舌片が電気部品１６４を覆っていて、電気部品１６４の立上がりを防止しており、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４を吸着した後、カバー４１２に設けられた舌片が電気部品１６４上から退避して、部品吸着ノズル１５８が部品保持テープの保持凹部から電気部品１６４を取り出すことを許容し、取出し後、テープ化電気部品４００がカバー４１２の前進と共に送られるように構成されている。
【００５０】
カバーテープ４０２は、テープ化電気部品４００の送り方向において部品取出位置より上流側において部品保持テープから剥がされ、カバー４１２に形成された図示しないスリットから引き出される。カバーテープ４０２が剥がされた後、保持凹部の開口は、カバー４１２により覆われて電気部品の飛出しが防止される。カバー４１２には、上記スリットよりテープ化電気部品４００の送り方向において下流側の位置に、電気部品１６４を取出し可能な大きさの開口が設けられるとともに、開口のテープ化電気部品送り方向において上流側の部分には、上記送り方向において下流側に開口し、吸着管１６２の外径より大きいが、電気部品の幅方向の寸法（カートリッジ本体４０８の幅方向に平行な方向の寸法）より小さい幅のＵ字形の切欠を有する舌片が設けられており、吸着管１６４はこの切欠を通って電気部品を吸着する。この際、舌片が電気部品１６４の幅方向の両端部を覆っていて、電気部品１６４の立上がりを防止する。吸着後、カバー４１２の後退により、舌片が電気部品１６４上から退避し、吸着管１６４が開口を通って電気部品を取り出す。
【００５１】
カートリッジ２２においては、テープ化電気部品４００が送られた状態で、次の電気部品の取出しに備えて待機している。カートリッジ２２の交替時には、テープ化電気部品４００の送り後、カートリッジ支持台２０が移動させられ、次に電気部品を供給するカートリッジ２２の部品供給部が部品供給位置に位置決めされる。部品供給位置は、部品吸着位置に停止させられた部品保持ヘッド１２０の真下に部品供給部が位置する位置である。
【００５２】
複数のカートリッジ２２はそれぞれ、取付装置４８０によってカートリッジ支持台２０に取り付けられる。カートリッジ本体４０８の下面には、図９に示すように、嵌合体４８２が固定され、カートリッジ本体４０８と一体の嵌合部を構成している。嵌合体４８２の前後方向、すなわちカートリッジ２２をカートリッジ支持台２０に取り付けた状態でＹ軸方向と平行となる方向に隔たった２箇所にそれぞれ、嵌合体４８２より幅（Ｘ軸方向の寸法）が小さく、Ｙ軸方向に延びる図示しない第１位置決め突部が設けられている。また、嵌合体４８２の前部（Ｙ軸方向において電気部品搬送装着装置１２側の部分）の上面には、先端ほど下方へ傾斜する係合面４８４が形成されている。さらに、嵌合体４８２の後端部（Ｙ軸方向において電気部品搬送装着装置１２とは反対側の端部）には、第２位置決め突部４９０が嵌合体４８２からカートリッジ本体４０８とは反対側へ直角に延び出す向きに突設されている。第２位置決め突部４９０の下部には、下方ほど前方へ傾斜する案内面４９２が形成されている。また、第２位置決め突部４９０の案内面４９２より基端部側には、部分円筒面状の係合凹面４９４が形成されている。
【００５３】
カートリッジ支持台２０の上面の前部と後部とにはそれぞれ、位置決め板４９８，５００がＸ軸方向に平行に延びて固定されている。位置決め板４９８，５００にはそれぞれ、Ｙ軸方向に延びる複数の位置決め溝（図示省略）がカートリッジ２２の取付間隔に等しいピッチで形成されている。また、カートリッジ支持台２０の前面には、ストッパ板５０２が固定されており、ストッパ板５０２には、前記嵌合体４８２に形成された係合面４８４と対応する傾斜のストッパ面５０４が形成されている。
【００５４】
カートリッジ支持台２０の電気部品搬送装着装置１２とは反対側の面である後面には、取付板５１０が固定されている。取付板５１０の複数のカートリッジ２２の各取付位置に対応する位置にはそれぞれ、上面および後面に開口する位置決め溝５１２が形成されるとともに、取付板５１０の後面には、ねじ部材５１４が立設されている。各ねじ部材５１４には係合レバー５１６がねじ部材５１４の軸心方向に移動可能に、かつＸ軸方向に平行な軸線のまわりに回動可能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイルスプリング５１８により、取付板５１０に接近する向きに付勢されている。係合レバー５１６の上端部には、ローラ５２０がＸ軸方向に平行な軸線のまわりに回転可能に取り付けられている。
【００５５】
カートリッジ２２のカートリッジ支持台２０への取付け時には、カートリッジ２２の前部（テープ送り装置４１４が設けられた側）を下にし、後部（リール４０６が取り付けられた側）を上にした状態で、前記２個の第１位置決め突部のうち、前側の第１位置決め突部を位置決め板４９８の位置決め溝に嵌合し、係合面４８４がストッパ面５０４に接触するまでカートリッジ２２を前進させる。接触後、カートリッジ２２の後部をカートリッジ支持台２０上へ降ろす。このとき、第２位置決め突部４９０の突出端部がローラ５２０とカートリッジ支持台２０との間に進入し、案内面４９２の斜面の作用により、係合レバー５１６が圧縮コイルスプリング５１８の付勢力に抗して、ローラ５２０が第２位置決め突部４９０から離れる向きに回動させられ、第２位置決め突部４９０の進入を許容する。
【００５６】
カートリッジ２２が更に降ろされれば、第２位置決め突部４９０は位置決め溝５１２内に嵌入させられるとともに、係合凹面４９４にローラ５２０が係合する。カートリッジ２２は、２個の第１位置決め突部と位置決め板４９８，５００にそれぞれ形成された位置決め溝との嵌合と、第２位置決め突部４９０と位置決め溝５１２との嵌合とにより、幅方向（Ｘ軸方向）において位置決めされる。また、カートリッジ２２は圧縮コイルスプリング５１８により付勢され、係合面４８４がストッパ面５０４に係合させられて長手方向において位置決めされるとともに、斜面の作用により嵌合体４８２の前部がカートリッジ支持台２０に押し付けられる。さらに、ローラ５２０と係合凹面４９４との斜面の作用により、第２位置決め突部４９０に下向きの力が作用するとともに、係合面４８４とストッパ面５０４との接触位置と、ローラ５２０と係合凹面４９４との係合位置との間の上下方向における距離を腕の長さとする回転モーメントにより、嵌合体４８２の後部がカートリッジ支持台２０に押し付けられ、カートリッジ２２はカートリッジ支持台２０に強固に取り付けられる。位置決め溝５１２，位置決め板４９８および５００にそれぞれ形成された位置決め溝，ストッパ面５０４が位置決め装置を構成し、ストッパ面５０４，係合レバー５１６および圧縮コイルスプリング５１８等が固定装置を構成し、これらが取付装置４８０を構成しているのである。第１位置決め突部，第２位置決め突部４９０および係合面４８４は被位置決め部であり、第２位置決め突部４９０および係合面４８４は被取付部でもある。
【００５７】
前記電気部品供給装置１４のカートリッジ支持台２０のＸ軸方向、すなわちカートリッジ支持台２０の移動方向における一方の端には、図１０に示すように、負圧検出装置５３０が取り付けられている。負圧検出装置５３０の検出装置本体５３２は、カートリッジ２２のカートリッジ本体４０８と同様に構成されており、概して細長い板状を成し、下面には嵌合体５３４が固定されて検出装置本体５３２と一体的な嵌合部を構成するとともに、カートリッジ本体４０８に設けられた第１位置決め突部と同様の第１位置決め突部５３６，５３８および第２位置決め突部４９０と同様の第２位置決め突部５４０が設けられている。第１位置決め突部５３６には係合面５４２が形成され、第２位置決め突部５４０には案内面５４４および係合凹面５４６が形成されている。
【００５８】
カートリッジ支持台２０の端には、負圧検出装置５３０を取り付ける取付位置が設けられ、その取付位置には、検出装置本体５３２用の係合レバー５１６および圧縮コイルスプリング５１８等が設けられるとともに、位置決め板４９８，５００，ストッパ板５０２，取付板５１０は検出装置本体５３２の取付位置にわたって設けられており、検出装置本体５３２は、カートリッジ２２と同様に、取付装置４８０により、カートリッジ２２の取付ピッチと同じピッチでカートリッジ支持台２０に取り付けられている。
【００５９】
検出装置本体５３２内には、負圧検出用通路５５０が形成されている。負圧検出用通路５５０の一端部は、検出装置本体５３２の表面である上面５５４のうち、カートリッジ２２の部品供給部に対応する部分に開口させられている。この開口の周辺が部品吸着ノズル１５８と接触する接触部である。
【００６０】
負圧検出用通路５５０の上面５５４への開口部分は、検出装置本体５３２とは別体の開口形成部材５５６により形成されている。開口形成部材５５６は、図１１および図１２に示すように円形断面の段付状を成し、通路５５８が軸線方向に貫通して形成されている。検出装置本体５３２には、上面５５４に開口し、検出装置本体５３２を幅方向（カートリッジ支持台２０に取り付けられた状態でＸ軸方向に平行となる方向）に貫通する嵌合溝５７０が形成されるとともに、嵌合溝５７０の底面に開口する段付状の嵌合穴５６０が形成されている。開口形成部材５５６は、大径部５６２において、嵌合穴５６０の大径嵌合穴部５６４に嵌合されるとともに、小径部５６６に嵌合された抜出防止部材たる抜出防止板５６８が嵌合溝５７０に嵌合され、固定手段の一種であるねじ５７２によって検出装置本体５３２に固定されることにより、開口形成部材５５６は検出装置本体５３２に抜出し不能かつ着脱可能に取り付けられ、小径部５６６の端面が上面５５４の一部を構成している。なお、小径嵌合穴部５７４内にはＯリング５７６が配設され、負圧の漏れが防止されている。
【００６１】
開口形成部材５５６の通路５５８の直径は、部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と等しくされている。部品吸着ノズル１５８は６種類あり、ノズル毎に吸着管１６２の内径が異なるため、６種類の吸着管１６２の各内径に等しい直径の通路５５８を有する開口形成部材５５６が６種類作られており、負圧が検出される部品吸着ノズル１５８に応じて交換される。なお、負圧検出用通路５５０の開口形成部材５５６により構成される部分以外の部分の直径は、最も大きい吸着管１６２の内径と同じ大きさとされている。
【００６２】
負圧検出用通路５５０の他端部は、検出装置本体５３２の側面に開口させられるとともに、図１０および図１３に示すように、継手部材５８２によって負圧センサ５８４が接続されている。負圧センサ５８４は、検出装置本体５３２のカートリッジ２２に隣接する側とは反対側の側面に取り付けられている。負圧センサ５８４は大気圧を０として負圧を正の値で出力するものであり、検出される圧力が負の圧力である場合に検出値が正の値となる。したがって、負圧センサ５８４の出力値が大きいことは負圧が大きいことを表し、負圧が大きければ大きい吸着力が得られることとなる。
【００６３】
検出装置本体５３２内には、図１０に示すように、検出装置本体５３２の長手方向（前後方向）に延び、負圧検出用通路５５０に連通する分岐通路５８０が設けられ、分岐通路５８０の開口部には連通状態変更装置５９０が設けられている。検出装置本体５３２には、分岐通路５８０の負圧検出用通路５５０が接続された部分より後部側へ延び出させられた部分に、幅方向に貫通する嵌合穴５９２が形成されるとともに、図１４に示すように、アダプタ５９４が嵌合され、固定されている。アダプタ５９４はシール部材たるＯリング５９６，５９８によりシールされて嵌合穴５９２に嵌合されるとともに、半径方向外向きのフランジ部６００において検出装置本体５３２に当接させられ、固定手段の一種である複数本のねじ６０２により検出装置本体５３２に固定されている。
【００６４】
アダプタ５９４の軸方向においてＯリング５９６，５９８の間の部分には、外周面に開口する円環状通路６０４が形成されており、分岐通路５８０は円環状通路６０４に連通させられている。アダプタ５９４にはまた、フランジ部６００の端面に開口する有底の嵌合穴６０６が同心に形成されるとともに、嵌合穴６０６の底側の部分は、アダプタ５９４に形成された複数本の半径方向通路６０８により円環状通路６０４と連通させられている。アダプタ５９４には、６個の絞り部材６１０および図示しないめくらプラグが選択的に取り付けられる。絞り部材６１０はそれぞれ、軸部６１２と頭部６１４とを有し、頭部６１４の端面に開口する絞り６１６が形成されている。絞り部材６１０内にはまた、軸部６１２の端面に開口し、絞り６１６に連通する連通路６１８が形成されている。
【００６５】
絞り部材６１０は、軸部６１２において嵌合穴６０６に気密に嵌合され、頭部６１４がフランジ部６００の端面に当接させられるとともに、アダプタ５９４のフランジ部６００に半径方向に螺合されたねじ部材６２２により回転および抜出しが防止されている。軸部６１２には、軸方向に延びる切欠６２４が形成されており、この切欠６２４にねじ部材６２２の先端部が嵌入させられるとともに、切欠６２４の底面に係合させられているのである。
【００６６】
絞り部材６１０がアダプタ５９４に取り付けられた状態では、分岐通路５８０が絞り６１６を経て外部に連通させられ、負圧検出用通路５５０への空気の漏れが許容されるのであるが、６個の絞り部材６１０の各絞り６１６の流路面積はそれぞれ、部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の流路面積に応じた大きさとされている。
吸着管１６２の内部にごみや埃等が侵入して空気の流通を妨げる詰まりが生じておらず、かつ、漏れも生じていない状態では、吸着管１６２内に真空装置１８１の性能によって決まる最大負圧が得られ、この最大負圧が電気部品１６４を吸着するのに十分な負圧であることは勿論であるが、それより負圧が小さくても、電気部品１６４を吸着することが可能である。吸着管１６２内の負圧が最大負圧より所望量だけ小さい状態は、適当な絞りを経て空気を漏らすことにより得られる。そして、６種類の絞り部材６１０の各絞り６１６の径は、６種類の吸着管１６２のそれぞれについて、詰まりがない状態で空気を漏らしたときに各吸着管１６２が電気部品１６４を吸着し得る負圧のうちで最小の負圧（最小吸着可能負圧と称する）が得られる大きさに設定されている。吸着管１６２に実質的な詰まりが僅かに生じたのみで、吸着管１６２および負圧検出用通路５５０の負圧が減少し、詰まりが敏感に検出されるようにされているのである。吸着管１６２に最小吸着可能負圧が得られる際の絞り６１６の流路面積は、吸着管１６２の流路面積によって異なり、吸着管１６２の流路面積が大きいほど両者の比（絞り６１６の流路面積を吸着管１６２の流路面積で割った商）が大きくなる。
【００６７】
めくらプラグは、図示は省略するが、内部に絞り６１６および連通路６１８が形成されていないことを除いて絞り部材６１０と同様に構成され、絞り部材６１０と同様にしてアダプタ５９４に取り付けられる。
【００６８】
検出装置本体５３２には、図１０に示すように、ブラケット６３０を介して検査用被駆動レバー６３２が軸６３４によってＸ軸方向に平行な軸線のまわりに回動可能に取り付けられている。検査用被駆動レバー６３２はＬ字形を成し、ブラケット６３０の上端部に設けられたＬ字形の嵌合凹部６３６内に収容されるとともに、ブラケット６３０に固定されたカバー６３８により覆われている。軸６３４の両端部は、ブラケット６３０とカバー６３８とにより支持されている。
【００６９】
検査用被駆動レバー６３２の一方のアーム部６４２は、ブラケット６３０とカバー６３８との間から前方へ突出させられている。アーム部６４２の突出端部には、円柱状の当接部材６４４が検査用被駆動レバー６３２の回動軸線に平行な向きに固定されるとともに、外周面の一部がアーム部６４２から上方に突出させられている。当接部材６４４は熱処理が施され、耐摩耗性が高くされている。検査用被駆動レバー６３２は、負圧検出装置５３０がカートリッジ支持台２０に取り付けられ、部品供給位置に位置決めされた状態で、アーム部６４２の突出端部が、部品供給位置に位置決めされたカートリッジ２２の駆動バー４３０に対応する位置に位置し、昇降部材４２８の下方に位置するように検出装置本体５３２に取り付けられている。
【００７０】
検査用被駆動レバー６３２の他方のアーム部６４８は、ブラケット６３０とカバー６３８との間から下方へ突出させられるとともに、突出端部とブラケット６３０との間には、付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング６５０が設けられ、検査用被駆動レバー６３２は当接部材６４４が上方へ移動する向きに付勢されている。
【００７１】
引張コイルスプリング６５０の付勢による検査用被駆動レバー６３２の回動端位置は、ブラケット６３０に位置調節可能に取り付けられたストッパ６５４により規定される。ストッパ６５４は板状を成し、ブラケット６３０にＹ軸方向（負圧検出装置５３０の前後方向であって長手方向）に延びる向きに形成された嵌合溝６５６に長手方向に移動可能に嵌合されるとともに、長穴６５８が長手方向に平行に形成されており、長穴６５８を通って２本のボルト６６０がブラケット６３０に螺合されることにより、ブラケット６３０にＹ軸方向の位置調節可能に固定されている。
【００７２】
検査用被駆動レバー６３２の回動端位置の調節時には、ボルト６６０を緩め、ブラケット６３０に固定の取付板６６２に螺合されたねじ部材６６４を、取付板６６２により深く螺合される方向へ回転操作すれば、ストッパ６５４がねじ部材６６４により押されて前進させられ、それにより検査用被駆動レバー６３２のアーム部６４８の引張コイルスプリング６５０の付勢力に基づく回動端位置が取付板６６２から遠くなり、当接部材６４４と、上昇端位置に位置する昇降部材４２８との間の距離が長くなる。調節後、ボルト６６０が締め付けられ、ストッパ６５４がブラケット６３０に固定される。逆に、ねじ部材６６４を取付板６６２への螺合が浅くなる向きに回転操作すれば、検査用被駆動レバー６３２が、アーム部６４８が引張コイルスプリング６５０の付勢力により取付板６６２に接近する向きに回動させられ、ストッパ６５４がねじ部材６６４に追従して移動させられて、当接部材６４４と、上昇端位置に位置する昇降部材４２８との間の距離が短くなる。検査用被駆動レバー６３２の回動端位置は、当接部材６４４と、上昇端位置に位置する昇降部材４２８のローラ４３６とがそれらの間に小距離、例えば０．５mmの隙間を隔てた状態となる位置に設定される。昇降部材４２８は、前述のように、カム，カムフォロワ等により構成される運動変換機構により所定量昇降させられるため、検査用被駆動レバー６３２の回動端位置が上記のように調節されれば、昇降部材４２８の昇降に伴う検査用被駆動レバー６３２の回動角度が調節されることとなる。
【００７３】
ブラケット６３０にはまた、特定位置センサ６７０が取り付けられている。ブラケット６３０の上記ストッパ６５４が取り付けられた部分の下側には、Ｙ軸方向に貫通する嵌合溝６７２が形成されるとともに、取付板６７４が長手方向に移動可能に嵌合されており、取付板６７４に長手方向に形成された長穴６７６を通って２本のボルト６７８がブラケット６３０に螺合されることにより、取付板６７４がブラケット６３０にＹ軸方向の位置調節可能に取り付けられている。
【００７４】
取付板６７４の一端部は、ブラケット６３０から後方（検出装置本体５３２の後側）へ突出させられるとともに、突出端部に特定位置センサ６７０が固定されている。特定位置センサ６７０は、フォトマイクロセンサにより構成されており、図１３に示すように、発光部６８０と受光部６８２とが検出装置本体５３２の幅方向において、前記検査用被駆動レバー６３２の進入を許容する距離を隔てて設けられている。上記取付板６７４の位置を変えれば、特定位置センサ６７０の検査用被駆動レバー６３２に対する位置が調節される。特定位置センサ６７０の位置の調節については、後に説明する。
【００７５】
本電気部品搬送装着装置は、図１５に示す制御装置３３０により制御される。制御装置３３０は、ＣＰＵ３３２，ＲＯＭ３３４，ＲＡＭ３３６およびそれらを接続するバス３３８を備えたコンピュータ３４０を主体とするものである。バス３３８には、入力インタフェース３４２が接続され、ＣＣＤカメラ１１４，エンコーダ１９３，負圧センサ５８４，特定位置センサ６７０が接続されている。バス３３８にはまた、出力インタフェース３４４が接続され、駆動回路３４６，３４８，３５０，３５２，３５４，３５６，３５８，３６０，３６２を介してカートリッジ移動用サーボモータ２６，Ｘ軸移動用サーボモータ４２，Ｙ軸移動用サーボモータ４８，駆動用サーボモータ１０８，ノズル回転・選択用サーボモータ１９２，ヘッド昇降ストローク変更用サーボモータ２９６，電磁方向切換弁１７９，真空装置１８１，プリンタ６９０等が接続されている。また、ＲＯＭ３３４には、電気部品１６４の吸着，装着，撮像、部品吸着ノズル１５８の負圧の検出，検出値の判定等に必要な種々のプログラムが格納されている。なお、これらサーボモータ２６，４２，４８，１０８，１９２，２９６は、駆動源たる電動モータの一種であって、回転角度の制御可能なモータである。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。
【００７６】
以上のように構成された電気部品装着システムにおいて電気部品１６４をプリント基板３８に装着する場合には、駆動用サーボモータ１０８により４個の鼓形カム９０ａ〜９０ｄが同期して一斉に回転させられ、１２個の回動板７０が別々に加速，減速，定速回動，あるいは停止させられる。回動板７０は、部品吸着位置，撮像位置および部品装着位置においてそれぞれ停止し、吸着，撮像，装着が行われる。
【００７７】
電気部品１６４の吸着を説明する。回動板７０が部品吸着位置へ回動させられるとき、固定カム用ローラ１２６がカム溝１３０から、部品吸着位置近傍に対応する位置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６０の昇降部材２６６の溝２７２内へ乗り移ったならば、回動板７０が部品吸着位置に到達する前に昇降部材２６６が下降を開始させられる。それにより固定カム用ローラ１２６が追従して下降し、昇降板１２４が下降させられるとともに部品保持ヘッド１２０が下降させられ、作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４に当接させられて電気部品１６４を吸着する。当接前に電磁方向切換弁１７９が切り換えられて切換装置１７８が供給状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１５８に負圧が供給される。部品吸着ノズル１５８は電気部品１６４を吸着するのに十分な距離下降させられ、余分な下降距離は部品吸着ノズル１５８を付勢するスプリング１６０の圧縮により吸収される。
【００７８】
回動板７０は部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４を吸着する前に部品吸着位置に到達して停止しており、部品吸着ノズル１５８は正確に電気部品１６４を吸着することができる。吸着後、昇降部材２６６が上昇させられ、固定カム用ローラ１２６が上昇させられるとともに、昇降板１２４，部品保持ヘッド１２０が上昇させられて部品吸着ノズル１５８が部品保持テープの保持凹部から電気部品１６４を取り出すが、回動板７０は、昇降部材２６６が上昇端位置へ到達する前に回動を開始させられ、昇降部材２６６が上昇端位置へ到達した後、固定カム用ローラ１２６は迅速にカム溝１３０内へ乗り移る。
【００７９】
次に回動板７０は撮像位置へ回動させられる。電気部品１６４の軸線まわりの位置（回転位置と称する）が吸着時と装着時とで異なるのであれば、回動板７０が部品吸着位置から撮像位置へ回動するまでの間に電気部品１６４を保持した部品吸着ノズル１５８が回転させられ、電気部品１６４の回転位置が変更される。図５に示すように、部品吸着位置と部品装着位置との間の領域が電気部品回転位置変更領域なのである。電気部品１６４の回転位置の変更角度は、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４を吸着する際に生ずる軸線まわりの位置誤差、すなわち回転位置誤差とは異なり、例えば、９０度あるいは１８０度というように大きい角度である。電気部品１６４の回転位置の変更の有無，変更角度は、装着プログラムから得られる電気部品１６４の種類および装着位置等によりわかる。
【００８０】
電気部品１６４の回転位置の変更時には、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動される。部品吸着ノズル１５８の選択時を除いて、図６に示すように、駆動側係合部材２０２の係合溝２００と被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２とが係合しており、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動されれば、中軸１４４が回転させられるとともに、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２の回転が連結部材１９６，駆動側係合部材２０２，被駆動側係合部材２３２を介して鞘軸１３８に伝達され、鞘軸１３８が回転させられる。鞘軸１３８と作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８との軸線は一致させられており、鞘軸１３８が回転させられるとき、電気部品１６４を保持した部品吸着ノズル１３８は自身の軸線まわりに回転させられ、電気部品１６４の回転位置が変更される。
【００８１】
鞘軸１３８の回転時に中軸１４４も回転させられることにより、かさ歯車１８８，１９０は噛み合ったままで噛合い位置は変わらず、かさ歯車１８８は回転せず、ノズル保持体１５４が支持軸１５２の軸線のまわりに回転させられて、後述するように部品吸着ノズル１５８の選択が行われることがない。
【００８２】
電気部品１６４の姿勢変更（回転位置変更）は、回動板７０が撮像位置へ到達する前に終了し、撮像位置において回動板７０は停止させられ、部品吸着ノズル１５８に吸着された電気部品１６４が静止し、かつ水平な状態でＣＣＤカメラ１１４により撮像される。次に回動板７０は部品装着位置へ回動させられるのであるが、この間にノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動され、鞘軸１３８が電気部品１６４の回転位置の変更時と同様に回転させられ、電気部品１６４を保持した部品吸着ノズル１５８が自身の軸線まわりに回転させられて電気部品１６４の軸線まわりの回転位置誤差が修正される。この修正量は、撮像位置におけるＣＣＤカメラ１４４の撮像データに基づいて算出され、電気部品１６４の回転位置誤差は、回動板７０が撮像位置から部品装着位置へ移動するまでの間に修正される。図５に示すように、撮像位置と部品装着位置との間の領域が電気部品回転位置誤差修正領域なのである。
【００８３】
回動板７０が部品装着位置へ回動するとき、固定カム用ローラ１２６が固定カム１２８のカム溝１３０から、部品装着位置近傍に対応する位置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６０の昇降部材２６６の溝２７２へ乗り移る。昇降部材２６６は、固定カム用ローラ１２６が溝２７２内へ入れば、回動板７０が部品装着位置へ到達する前に下降を開始させられ、部品保持ヘッド１２０が下降させられる。電気部品１６４がプリント基板３８に装着されるときには、回動板７０は部品装着位置に至って停止しており、電気部品１６４はプリント基板３８の部品装着箇所に正確に装着される。この際、電気部品１６４の高さに応じて部品保持ヘッド１２０の昇降ストロークが変更される。電気部品１６４の高さが大きいほど、昇降ストロークが小さくされるとともに、電気部品１６４を確実にプリント基板３８に装着し得る大きさとされ、余分な下降距離はスプリング１６０の圧縮により吸収される。また、電気部品１６４の装着開始に先立ってプリント基板３８に設けられた基準マークが撮像され、撮像データに基づいて、多数の部品装着箇所の各々についてＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差が演算されている。この部品装着箇所の位置誤差および電気部品１６４の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差は、プリント基板３８のＸ軸，Ｙ軸方向の移動距離の修正により修正される。電気部品１６４の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差は、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４を吸着する際に生ずる中心位置誤差と、電気部品１６４の回転位置誤差の修正により生ずる中心位置の変化との和である。
【００８４】
電気部品１６４がプリント基板３８の部品装着位置に装着されるとき、切換装置１７８が大気開放状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１５８への負圧の供給が遮断されて大気に解放され、電気部品１６４を解放する。電気部品１６４の装着後、昇降部材２６６が上昇させられ、部品保持ヘッド１２０が上昇させられる。回動板７０は昇降部材２６６が上昇端位置に到達する前に回動を開始させられ、昇降部材２６６が上昇端位置へ移動した後、固定カム用ローラ１２６は迅速にカム溝１３０内へ乗り移る。なお、吸着ミス等があり、部品吸着ノズル１５８が保持する電気部品１６４がプリント基板３８に装着されない場合には、部品吸着ノズル１５８には負圧が供給されたままの状態に保たれ、プリント基板３８に装着されず、後に部品排出領域を通過するとき、切換装置１７８が大気開放状態に切り換えられ、電気部品１６４が電気部品収容器に捨てられる。
【００８５】
回動板７０が部品装着位置から部品吸着位置へ回動するとき、部品排出領域へ到達するまでの間に、鞘軸１３８が回転させられ、鞘軸１３８，部品保持ヘッド１２０が係合突部２２０と係合切欠２３８との回転軸線まわりの位置が一致する原位置へ戻される。図５に示すように、部品装着位置と部品排出領域との間の領域が部品保持ヘッド姿勢戻し領域である。
【００８６】
鞘軸１３８，部品保持ヘッド１２０の姿勢戻し後、回動板７０は電気部品収容器上を通り、必要があれば電気部品１６４を電気部品収容器に捨てる。回動板７０が部品排出領域から部品吸着位置へ回動するとともに、水平に定速で移動しているとき、モータ保持台２１０に設けられた係合ローラ２１８がノズル選択用カム２４８のカム面２５０に係合し、モータ保持台２１０が下降させられて鞘軸１３８と中軸１４４との係合が解かれる。そして、使用する部品吸着ノズル１５８が変更されるならば、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動され、ノズル保持体１５４が回転させられる。図５に示すように、部品排出領域と部品吸着位置との間の領域が部品吸着ノズル選択領域である。
【００８７】
回動板７０が回動中、係合ローラ２１８はまず、カム面２５０の押下面に係合し、それにより圧縮コイルスプリング２２４の付勢力に抗して押し下げられ、モータ保持台２１０が下降させられる。それにより、図７に示すように、被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２が駆動側係合部材２０２の係合溝２００から離脱し、鞘軸１３８と中軸１４４との係合が解かれるが、被駆動側係合部材２３２と駆動側係合部材２０２との係合が完全に解かれる前に、モータ保持台２１０に設けられた係合突部２２０の先端部が被駆動側係合部材２３２に形成された係合切欠２３８に嵌入し、鞘軸１３８の回転を阻止し、鞘軸１３８を原位置に保つ。鞘軸１３８は、電気部品１６４の装着後、回転させられて原位置に戻されており、モータ保持台２１０が下降するとき、係合突部２２０は係合切欠２３８に嵌入することができる。被駆動側係合部材２３２と駆動側係合部材２０２との係合が解かれた後、係合ローラ２１８はカム面２５０の押下状態維持面に係合する状態となり、この状態で回動板７０が回動する間、両係合部材２０２，２３２は係合を解かれ、鞘軸１３８と中軸１４４とが係合を解かれた状態に保たれる。
【００８８】
この状態でノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動されれば、中軸１４４のみが回転させられ、かさ歯車１８８，１９０，歯車１８０，１８６が回転させられてノズル保持体１５４が回転させられ、６個の部品吸着ノズル１５８のうちの１個が作動位置に位置決めされる。作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８の種類は、中軸１４４の回転角度からわかり、また、次に作動位置に位置決めする部品吸着ノズル１５８の種類は装着プログラムからわかり、それら部品吸着ノズル１５８の種類に基づいてノズル回転・選択用サーボモータ１９２の回転角度，回転方向が求められ、所定の部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされる。中軸１４４のみの回転時には、鞘軸１３８は係合突部２２０と係合切欠２３８との係合により原位置に保たれていて、鞘軸１３８が中軸１４４とつれ回ることはなく、ノズル保持体１５４が回転させられて６個の部品吸着ノズル１５８のうちの１個が作動位置に位置決めされる。
【００８９】
ノズル保持体１５４が回転させられるとき、位置決めピン１６７は、位置決め穴１６５および位置決めピン１６７の先端のテーパ部の斜面の作用により、圧縮コイルスプリング１６９の付勢力に抗して後退させられ、位置決め穴１６５から離脱してノズル保持体１５４の回転を許容する。ノズル保持体１５４が回転し、位置決めピン１６７のテーパ部と位置決め穴１６５との位置がほぼ一致すれば、位置決めピン１６７はスプリングの付勢力により前進して位置決め穴１６５に嵌入し、ノズル保持体１５４は、部品吸着ノズル１５８の１つが作動位置に位置決めされた回転位置に精度良く位置決めされる。
【００９０】
部品吸着ノズル１５８の選択が行われる間、モータ保持台２１０は係合ローラ２１８とカム面２５０の押下状態維持面との係合により下降端位置に位置する状態に保たれ、中軸１４４と鞘軸１３８とは係合が解除された状態に保たれる。部品吸着ノズル１５８の選択時には、ノズル保持体１５４は、正方向または逆方向に最大１８０度ずつ回転させられるが、ノズル保持体１５４が回転させられる間、回動板７０は回動しており、押下状態維持面は、回動板７０の回動軸線を中心とする円周方向において、ノズル保持体１５４が必要な角度回転させられる間、係合ローラ２１８が係合してモータ保持台２１０を下降端位置に保ち、鞘軸１３８と中軸１４４とを係合が解除された状態に保つのに十分な長さを有する。
【００９１】
部品吸着ノズル１５８の選択が終了すれば、係合ローラ２１８がカム面２５０の押下解除面に係合するに至り、モータ保持台２１０が圧縮コイルスプリング２２４の付勢力により上昇させられる。それにより、被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２が駆動側係合部材２０２の係合溝２００に嵌入するとともに、係合突部２２０が係合切欠２３８から離脱し、鞘軸１３８と中軸１４４とが相対回転不能に係合させられるとともに、鞘軸１３８とモータ保持台２１０との係合が解かれる。これら係合突部２４２，係合溝２００は、係合突部２２０が係合切欠２３８から離脱する前であって、鞘軸１３８が原位置に位置させられている状態で係合し、確実に係合することができる。部品吸着ノズル選択のために中軸１４４が回転させられ、係合突部２４２は別の係合溝２００に係合させられることとなるが、中軸１４４の回転中、鞘軸１３８はモータ保持台２１０に係合させられて原位置に保たれており、また、係合時にも原位置に保たれているため、係合突部２４２は中軸１４４と共に回転させられた駆動側係合部材２０２の係合溝２００に確実に係合することができる。そして、部品吸着ノズル１５８の選択後、回動板７０は部品吸着位置に到達し、電気部品１６４を吸着する。
【００９２】
部品吸着ノズル１５８の負圧吸着機能の検査を説明する。この検査は、電気部品１６４のプリント基板３８への装着開始前、あるいは全部のプリント基板３８への電気部品の装着終了時、あるいは装着の途中等、適宜の時期に行われる。装着の途中とは、例えば、予め設定された枚数のプリント基板３８への電気部品１６４の装着が終了したとき、あるいは部品吸着ノズル１５８による電気部品の吸着ミスが予め定められた条件を満たす状態で発生したとき等である。ここでは、電気部品１６４のプリント基板３８への装着に先立って検査が行われる場合を説明する。
【００９３】
まず、部品吸着ノズル１５８の負圧が検出される。この検出は、部品吸着ノズル１５８の各々について、連通状態変更装置５９０のアダプタ５９４に絞り部材６１０を取り付けて分岐通路５８０を絞り６１６を経て外部に連通させ、負圧検出用通路５５０への空気の漏れを許容する状態と、めくらプラグを取り付けて分岐通路５８０を遮断し、空気の漏れを実質的に許容しない状態との２種類の状態において行われる。１２個の部品保持ヘッド１２０がそれぞれ有する６個ずつの部品吸着ノズル１５８の種類は、部品保持ヘッド１２０同士で同じであり、同じ種類の部品吸着ノズル１５８については、共通の絞り部材６１０を用いて負圧の検出が行われる。また、種類が同じ部品吸着ノズル１５８の負圧の検出時には、共通の開口形成部材５５６が用いられる。同じ種類の部品吸着ノズル１５８に共通の開口形成部材５５６が検出装置本体５３２に取り付けられた状態で、１２個の部品保持ヘッド１２０がそれぞれ保持する６個の部品吸着ノズル１５８のうち、種類が同じである１個ずつの部品吸着ノズル１５８について、２種類の状態で負圧の検出が行われるのである。
【００９４】
負圧検出装置５３０は、カートリッジ支持台２０に取り付けられていて、カートリッジ２２による電気部品の供給時にもカートリッジ２２と共に移動させられ、負圧の検出開始時には、負圧検出装置５３０はカートリッジ支持台２０の移動により部品供給位置に位置決めされる。負圧検出装置５３０においては、６種類の部品吸着ノズル１５８のうち、最初に負圧が検出される部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と同じ径の通路５５８を有する開口形成部材５５６および吸着管１６２の流路面積に応じた流路面積の絞り６１６を有する絞り部材６１０が検出装置本体５３２に取り付けられている。なお、負圧検出装置５３０に取り付けられている開口形成部材５５６および絞り部材６１０に応じた部品吸着ノズル１５８から負圧の検出を開始してもよい。
【００９５】
次いで、駆動用サーボモータ１０８が起動され、回動板７０が回動させられて電気部品１６４の吸着時と同様に１２組の部品保持ヘッド１２０が順次部品吸着位置へ移動させられ、各部品保持ヘッド１２０の６個の部品吸着ノズル１５８のうち、作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が部品取出位置上へ、すなわち部品供給位置に位置決めされた負圧検出装置５３０の負圧検出用通路５５０の開口に対向する位置へ移動させられ、負圧検出装置５３０の接触部に対向させられる。
【００９６】
部品保持ヘッド１２０は、電気部品１６４の吸着時と同じタイミングで部品保持ヘッド昇降装置２６０により下降させられるとともに、下降中であって、吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触する前に電磁方向切換弁１７９が切り換えられ、接触前に部品吸着ノズル１５８に負圧が供給される。検出装置本体５３２の上面５５４の高さは、カートリッジ支持台２０に取付装置によって取り付けられた状態でカートリッジ２２のカートリッジ本体４０８の上面の高さと同じになるようにされており、吸着管１６２は電気部品１６４の吸着時に電気部品１６４に接触するタイミングとほぼ同じタイミングで開口形成部材５５６に接触する。それにより負圧供給用通路５５０の上面５５４への開口が吸着管１６２により覆われれば、部品吸着ノズル１５８内の通路と負圧検出用通路５５０とが連通させられるとともに、吸着管１６２と開口形成部材５５６との隙間からの空気の漏れが実質的に防止され、負圧検出用通路５５０内に負圧が供給される状態となる。
【００９７】
吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触した後も部品保持ヘッド１２０は更に小距離下降させられるが、この下降量は圧縮コイルスプリング１６０の圧縮により吸収される。電気部品１６４の吸着時と同様に、部品吸着ノズル１５８の下降と並行して昇降部材４２８が下降させられる。このとき、部品供給位置に位置決めされているのは、負圧検出装置５３０であるため、昇降部材４２８に取り付けられたローラ４３６は検査用被駆動レバー６３２の一方のアーム部６４２に設けられた当接部材６４４に当接し、検査用被駆動レバー６３２を引張コイルスプリング６５０の付勢力に抗して、図１０に二点鎖線で示すように回動させ、アーム部６４８が特定位置センサ６７０の発光部６８０と受光部６８２との間へ進入させられる。
【００９８】
特定位置センサ６７０の位置は、吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触し、負圧検出用通路５５０に吸着管１６２内と実質的に同じ負圧が得られる状態となってから所定の小時間が経過したとき、検査用被駆動レバー６３２のアーム部６４８が発光部６８０と受光部６８２との間に進入し、受光部６８２の受光を妨げる位置に調節される。アーム部６４８が発光部６８０と受光部６８２との間に進入すれば、特定位置センサ６７０の検出信号に基づいて負圧センサ５８４の検出値の読込みが開始されるとともにタイマによる計時が開始され、タイマの計時時間が設定時間に達するまでの間、一定微小時間（例えば５ms）毎に繰り返されるのであるが、この読込みが繰り返し行われる期間が、吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触して負圧の漏れが実質的に防止されるとともに、負圧検出用通路５５０内の負圧が実質的に吸着管１６２内の負圧と等しくなっていることが保証されるべき期間を確実に包含するように、特定位置センサ６７０の位置調節が行われる。換言すれば、特定位置センサ６７０の位置の調節は、負圧センサ５８４の検出値が繰り返し読み込まれる期間を、負圧検出用通路５５０内の負圧が実質的に吸着管１６２内の負圧と等しくなっていることが保証されるべき期間に適合させるために行われるものなのである。
【００９９】
昇降部材４２８は、電気部品の吸着時には、カバー４１２を部品吸着ノズル１５８の下降および電気部品の吸着と連動して後退させるように昇降させられるものであり、この昇降部材４２８の昇降を利用して検査用被駆動レバー６３２を回動させるとともに、特定位置センサ６７０による検査用被駆動レバー６３２の検出時期を調節すれば、吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触して吸着管１６２の開口が開口形成部材５５６により覆われ、負圧検出用通路５５０に吸着管１６２と実質的に同じ負圧が得られる時期（この時期は、電子部品装着作業時に部品吸着ノズル１５８が部品保持テープ内の電気部品１６４を吸着する時期に対応する）に、負圧センサ５８４の検出値が読み込まれるようにすることができる。
【０１００】
電気部品１６４の吸着時には、部品保持ヘッド１２０は部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４に接触した後、更に小距離下降させられるとともに、カバー４１２に設けられた舌片が電気部品１６４上から退避するまでは下降端位置にある。部品吸着ノズル１５８の電気部品１６４への接触後、電気部品１６４が部品保持テープの保持凹部から取り出されるまで時間があるのであり、したがって、負圧検出時に部品吸着ノズル１５８が開口形成部材５５６に接触（部品吸着ノズル１５８の電気部品１６４への接触に相当）して吸着管１６２が負圧検出用通路５５０に連通させられてから、吸着管１６２が開口形成部材５５６から離間（部品吸着ノズル１５８の上昇による電気部品１６４の保持凹部からの取出しに相当）して吸着管１６２が開放されるまでの間に時間があり、この時間より短い時間中、検出値の読込みが繰り返されるようにすることができるのである。
【０１０１】
制御装置３３０においては、繰り返し読み込まれた負圧センサ５８４の検出値の最小値が、部品吸着ノズル１５８の種類を表すデータ，負圧が検出された部品吸着ノズル１５８を有する部品保持ヘッド１２０を表すデータおよび検出条件、すなわち絞り部材６１０を取り付けて検出が行われたか、めくらプラグを取り付けて検出が行われたかを表すデータと共にＲＡＭ３３６に格納される。部品保持ヘッド１２０は吸着管１６２が開口形成部材５５６に当接させられた後、電気部品１６４の吸着時と同じタイミングで上昇させられるとともに、回動板７０が回動させられる。電磁方向切換弁１７９は、吸着管１６２が負圧検出用通路５５０の開口から離間した後、部品吸着ノズル１５８を大気に連通させる状態に切り換えられる。
【０１０２】
負圧の検出時には、切換装置１７８に設けられた電磁方向切換弁１７９の切換えにより、部品吸着位置に停止させられた部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８についてのみ、負圧が供給され、他の部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８は、いずれも大気に連通させられるのである。電気部品１６４の装着時には、１２個の部品保持ヘッド１２０の各作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８のうちの半分は部品吸着位置から部品装着位置へ至る経路にあって電気部品１６４を保持しており、部品吸着位置に位置決めされた部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８以外の部品吸着ノズル１５８も真空装置１８１に連通させられ、負圧が供給される。しかし、負圧の検出時には、いずれの部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８も電気部品１６４を吸着しておらず、吸着管１６２の開口が覆われていないため、負圧が供給されても漏れてしまい、負圧が検出される部品吸着ノズル１５８に適切な高さの負圧が得られないこととなる。そのため、負圧の検出時には、部品吸着位置に停止させられて負圧が検出される部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８のみ、真空装置１８１に連通させられ、負圧が供給されるようにされているのである。
【０１０３】
昇降部材４２８は電気部品１６４の吸着時と同じタイミングで上昇させられ、検査用被駆動レバー６３２は引張コイルスプリング６５０の付勢力により回動させられ、図１０に実線で示す原位置に復帰させられて、次に部品吸着位置へ移動させられる部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８の負圧の検出に備えて待機させられる。
【０１０４】
１２個の部品保持ヘッド１２０がそれぞれ保持する６個の部品吸着ノズル１５８のうち、種類が同じ１個ずつの部品吸着ノズル１５８の全部、合計１２個の部品吸着ノズル１５８について絞り部材６１０を用いた状態での負圧の検出が行われたならば、駆動用サーボモータ１０８が停止させられ、負圧検出装置５３０が部品供給位置に位置決めされたままの状態で絞り部材６１０に代えてめくらプラグがアダプタ５９４に取り付けられる。取付け後、駆動用サーボモータ１０８が起動され、先に絞り部材６１０が用いられて空気の漏れが許容された状態で負圧が検出された１２個の部品吸着ノズル１５８について、空気の漏れが実質的に許容されない状態で負圧の検出が行われる。
【０１０５】
めくらプラグを用いた状態での負圧の検出が終了したならば、次に部品保持ヘッド１２０が保持する別の種類の部品吸着ノズル１５８について、絞り部材６１０が用いられて空気の漏れを許容する状態と、めくらプラグが用いられて空気の漏れを実質的に許容しない状態とで負圧の検出が行われる。各種類の負圧検出の間には、負圧検出装置５３０がカートリッジ支持台２０の移動により部品供給位置から外れた作業位置へ移動させられ、作業者により開口形成部材５５６が交換され、部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と等しい直径の通路５５８を有する開口形成部材５５６が検出装置本体５３２に取り付けられる。また、吸着管１６２の流路面積に応じた流路面積の絞り６１６を有する絞り部材６１０がアダプタ５９４に取り付けられ、取付け後、負圧検出装置５３０が部品供給位置へ移動させられ、負圧の検出が行われる。
【０１０６】
２種類の状態での負圧の検出が終了した部品吸着ノズル１５８を有する部品保持ヘッド１２０においては、その部品保持ヘッド１２０を保持する回動板７０が部品排出位置から部品吸着位置へ移動するとき、ノズル保持体１５４が回転させられ、次に負圧が検出される部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされる。そして、開口形成部材５５６の交換および絞り部材６１０の取付け後、部品保持ヘッド１２０の移動により、作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が順次部品吸着位置へ移動させられて負圧が検出される。絞り部材６１０を用いて負圧が検出された後、絞り部材６１０に代えてめくらプラグが取り付けられ、負圧の検出が行われる。
【０１０７】
１２個の部品保持ヘッド１２０が保持する６個ずつの部品吸着ノズル１５８の各々について２種類の検出値が得られたならば、制御装置３３０においては、それら検出値に基づいて、部品吸着ノズル１５８の各々について適切な高さの負圧が得られているか否かの判定が行われる。ＲＡＭ３３６に格納されている検出値は、前述のように、複数回読み込まれた検出値の最小値であるため、空気の漏れが許容された状態と、許容されない状態との２種類の最小値が共に予め設定されたしきい値以上であれば、漏れも詰まりもなく、検出値の読込みが行われていた期間全体において電気部品を十分な力で吸着するに適した負圧が供給されていたと判定される。しきい値が、そのような負圧よりやや大きい値に設定されているのである。判定後、検出値および判定結果がプリンタ６９０により記録され、出力される。これら検出値および判定結果は、部品吸着ノズル１５８の種類、部品吸着ノズル１５８を保持する部品保持ヘッド１２０の番号および検出条件と共に、それらと対応付けて記録される。そして、作業者は、負圧が正常に供給されていない場合には、２種類の検出値に基づいて、その原因を推定することができる。
【０１０８】
めくらプラグを用いた検出時の値は適切であるが、絞り部材６１０を用いた検出時の値が適切でなければ、例えば、吸着管１６２に詰まりが生じていると推定される。詰まりが生じた場合、めくらプラグにより分岐通路５８０の開口部が塞がれていれば、十分な負圧が得られるが、絞り部材６１０が用いられ、負圧検出用通路５５０内へ空気が漏らされていれば、適切な高さの負圧が得られないからである。
また、２種類の検出値が共に適切な値でなければ、実用上問題となる漏れが生じていると推定される。例えば、吸着管１６２の電気部品１６４に接触する接触面に摩耗や変形が生じて吸着管１６２が開口形成部材５５６の負圧検出用通路５５０の開口周縁部に密着できず、それらの間に隙間が生じて空気の漏れが生じている場合には、絞り部材６１０が用いられ、負圧検出用通路５５０内への空気の漏れが許容された場合に適切な高さの負圧が得られないことは勿論、めくらプラグにより分岐通路５８０の開口部が塞がれていても、吸着管１６２の開口が開口形成部材５５６により覆われず、空気が大流量で漏れるため、適切な高さの負圧が得られないのである。
さらに、全部の部品保持ヘッド１２０の各部品吸着ノズル１５８の全部について、めくらプラグを用いた状態でも適切な高さの負圧が得られなければ、例えば、全部の部品吸着ノズル１５８に共通に負圧を供給する通路に詰まりや漏れが生じていると推定される。
【０１０９】
作業者は、適切な高さの負圧が得られない原因を推定し、確認して、部品吸着ノズル１５８全体を交換したり、吸着管１６２を交換したり、吸着管１６２を清掃して詰まっているものを除去したり、全部の部品吸着ノズル１５８に負圧を供給する共通の通路の詰まりを解消したり、通路構成部材を交換したりする等により異常原因を除去し、その後、電気部品１６４のプリント基板３８への装着を開始する。それにより部品吸着ノズル１５８に適切な高さの負圧が供給されない状態で電気部品１６４の装着作業が行われて吸着ミス等が生ずることがない。
また、連通状態変更装置５９０において、絞り部材６１０およびめくらプラグがアダプタ５９４を介して検出装置本体５３２に取り付けられるようにされており、めくらプラグ，絞り部材６１０の着脱により、嵌合穴６０６が摩耗しても、アダプタ５９４のみを交換すればよく、検出装置本体５３２全部を交換する場合に比較して交換コストが少なくて済む。
【０１１０】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、部品吸着ノズル１５８が吸着具を構成し、移動体たる回動板７０，鼓形カム用ローラ８８，鼓形カム９０ａ〜９０ｄ，駆動用サーボモータ１０８，部品保持ヘッド昇降装置２６０等が吸着具移動装置を構成し、電磁方向切換弁１７９が負圧制御装置を構成し、制御装置３３０の電磁方向切換弁１７９を制御して所定の時期に部品吸着ノズル１５８に負圧を供給させ、供給を遮断させる部分、鼓形カム９０ａ〜９０ｄおよび部品保持ヘッド昇降装置２６０のヘッド昇降用カム３１８、部品保持テープの送りおよびカバーテープ４０２を送るための昇降部材４２８を昇降させるカム、制御装置３３０の特定位置センサ６７４の出力信号に基づいて負圧の読込みを行う部分が検査制御装置を構成している。鼓形カム９０ａ〜９０ｄ，ヘッド昇降用カム３１８は部品吸着ノズル１５８を移動，昇降させる駆動部であるとともに、その移動，昇降を制御する制御部を兼ねているのであり、昇降部材４２８を昇降させるカムも、昇降部材４２８を駆動する駆動部であるとともに、昇降部材４２８を所定の時期に昇降させる制御部を兼ねている。また、負圧検出装置５３０および制御装置３３０の負圧センサ５８４の検出値の読込み，部品吸着ノズル１５８について適切な高さの負圧が得られているか否かの判定を行う部分等が負圧吸着検査装置を構成している。負圧検出装置５３０の検出装置本体５３２は、負圧吸着検査装置の検査装置本体でもある。
【０１１１】
本発明の別の実施形態を図１６ないし図２０に基づいて説明する。
本実施形態においては、図１７および図１８に示すように、負圧センサ７２０がアダプタ７２２により負圧検出装置７２４の検出装置本体７２６に近接して取り付けられるとともに、連通状態変更装置が手動回転切換部材７３２を有する切換装置７３４とされている。なお、図示は省略するが、負圧検出装置７２４は、上記実施形態の負圧検出装置５３０と同様に、取付装置によってカートリッジ支持台に取り付けられ、検査用被駆動レバーおよび特定位置センサ等が設けられている。
【０１１２】
検出装置本体７２６には、前記実施形態におけると同様に、開口形成部材７３８が抜出防止板７４０により検出装置本体７２６からの抜出しを防止されて取り付けられ、開口形成部材７３８内部に開口形成部材７３８を軸線方向に貫通して形成された通路７４４の検出装置本体７２６の表面側の部分が負圧検出用通路７４６の開口部を形成している。抜出防止板７４０は、固定手段たる複数本のねじ７４２により検出装置本体７２６に固定されている。開口形成部材７３８は、通路７４４の負圧検出用通路７４６の開口を形成する部分の直径がそれぞれ、６種類の部品吸着ノズルの各吸着管の内径と等しいものが６種類準備されており、負圧が検出される部品吸着ノズルの吸着管の内径に応じて選択的に検出装置本体７２６に取り付けられる。
【０１１３】
前記アダプタ７２２は、図１８に示すように、接続部７４８と、接続部７４８の中心に突設された円形断面の通路形成部７５０とを有し、接続部７４８には、負圧センサ７２０のハウジング７５２から突出させられた接続突部７５４がシール部材７５６により気密を保持されて同心に嵌合され、通路形成部７５０は検出装置本体７２６に嵌合されている。
【０１１４】
検出装置本体７２６には、検出装置本体７２６の前後方向に平行な一方の側面に開口し、検出装置本体７２６の前後方向と直角な幅方向に延びる有底の嵌合孔７５８が形成されており、アダプタ７２２の通路形成部７５０がシール部材７６０により気密を保持されて嵌合されている。アダプタ７２２および負圧センサ７２０は、固定手段の一種である複数本のボルト７６２により一体的に検出装置本体７２６に固定されている。
【０１１５】
アダプタ７２２の通路形成部７５０内には、通路７６６が同心に形成され、前記負圧センサ７２０の接続突部７５４内の通路７６８に連通させられるとともに、通路７６６の延出端部からは別の通路７７０が上向きに延び出させられ、検出装置本体７２６内に形成された通路７７２に連通させられている。通路７７２は、開口形成部材７３８に形成された通路７４４に連通させられており、これら通路７４４，７７２，７７０，７６６が負圧検出用通路７４６を構成している。通路７６６の途中からは、別の通路７７４が検出装置本体７２６の前後方向に平行であって、前方へ突出させられ、検出装置本体７２６内に形成された通路７７６（図１７参照）と共に分岐通路７７８を構成している。
【０１１６】
切換装置７３４の手動回転切換部材７３２は、断面形状が円形の段付状を成し、検出装置本体７２６の前端面（電気部品供給装置側の端面）に開口する有底の段付状の嵌合孔７８０に回転可能に嵌合されている。嵌合孔７８０は検出装置本体７２６の前後方向に平行に設けられ、小径孔部７８２に手動回転切換部材７３２の小径部７８４が回転可能に嵌合されるとともに、大径孔部７８６に大径部７８８が回転可能に嵌合されている。手動回転切換部材７３２が嵌合孔７８０に嵌合された状態で、検出装置本体７２６の前端面にカバー７９０が固定手段としての複数本のねじ部材７９２によって固定されることにより、手動回転切換部材７３２が軸方向において位置決めされている。
【０１１７】
手動回転切換部材７３２の小径部７８４には、図１７に示すように、小径部７８４の端面に開口し、軸方向に延びる通路７９４が同心に形成され、前記分岐通路７７８に連通させられるとともに、図１８に示すように、６本の絞り７９６ａ〜７９６ｆが通路７９４から放射状に延び出させられている。これら絞り７９６ａ〜７９６ｆは４５度間隔で形成されるとともに、それぞれ直径が異にされており、通路７９４から延び出させられた延出端部は小径部７８４の外周面に開口させられている。絞り７９６ａ〜７９６ｆの各流路面積は、前記実施形態におけると同様に、複数の部品保持ヘッドがそれぞれ保持する６種類の部品吸着ノズルの各吸着管の流路面積に応じた大きさとされている。
【０１１８】
検出装置本体７２６には、手動回転切換部材７３２の回転軸線と直交し、６個の絞り７９６ａ〜７９６ｆを含む平面内に位置し、小径孔部７８２と外部とをつなぐ開放通路８００が形成されている。絞り７９６ａ〜７９６ｆのうちの１つが開放通路８００と一致させられた状態では、分岐通路７７８がその絞りを経て外部に連通させられる。８０２，８０４はシール部材である。
【０１１９】
手動回転切換部材７３２の大径部７８８の外周面には、８個の位置決め凹部８０６が等角度間隔に形成され、検出装置本体７２６には位置決め具８０８が取り付けられており、これら位置決め凹部８０６および位置決め具８０８がクリップストップ装置の一種である位置決め装置８１４を構成している。位置決め具８０８はボールスプリングと称されているもので、検出装置本体７２６に、手動回転切換部材７３２の回転軸線と直交し、垂直な方向に螺合された位置決め部材保持手段たるケーシング８１０と、ケーシング８１０内に軸方向に移動可能かつ離脱不能に嵌合された位置決め部材たるボール８１２と、ケーシング８１０内に収容され、ボール８１２をケーシング８１０から突出する向きに付勢する付勢手段の一種である弾性部材としてのスプリング（図示省略）とを有する。位置決め装置８１４は、ボール８１２が位置決め凹部８０６の１つに嵌入することにより、手動回転切換部材７３２を、６個の絞り７９６ａ〜７９６ｆの各々が前記分岐通路７７８を外部に連通させる６個の連通位置、および手動回転切換部材７３２の小径部７８４の絞り７９６ａと７９６ｆとの間にあって、絞りが形成されていない部分が開放通路８００を塞ぎ、分岐通路７７８と開放通路８００との連通を遮断する２個の遮断位置に節度感をもって選択的に位置決めする。遮断位置は、絞りの面積が０である特殊な連通位置であると考えることもできる。
【０１２０】
手動回転切換部材７３２の大径部７８８には、図１７に示すように、工具係合部たる六角形断面の工具係合穴８１６が同心に形成されるとともに、工具係合穴８１６に連通する工具係合部たるねじ穴８１８が同心に形成されている。カバー７９０には円形の開口８２０が設けられており、開口８２０から工具係合穴８１６に工具を係合させ、手動回転切換部材７３２を回転させる。また、ねじ穴８１８に雄ねじ部材を螺合し、検出装置本体７２６から離れる向きに引っ張ることにより、手動回転切換部材７３２を嵌合孔７８０から抜き出すことができる。
【０１２１】
図示は省略するが、手動回転切換部材７３２のカバー７９０の開口８２０に臨む端面には、８個の絞り指示マークが等角度間隔に設けられ、カバー７９０の開口８２０の周縁部には連通位置指示マークが１個設けられている。８個の絞り指示マークは、手動回転切換部材７３２の６個の連通位置および２個の遮断位置を表し、連通位置指示マークは、手動回転切換部材７３２が８個の位置のうちのいずれか１つに位置する状態で絞り指示マークのうちの１個と一致する位置に設けられている。８個の絞り指示マークはそれぞれ、そのマークが表す連通位置の１つあるいは遮断位置に手動回転切換部材７３２が位置するとき、連通位置指示マークと一致するように設けられている。そのため、いずれの絞り指示マークが連通位置指示マークと一致しているかにより、手動回転切換部材７３２の位置が作業者にわかり、手動回転切換部材７３２の回転操作を容易に行うことができる。
【０１２２】
本実施形態の電気部品装着システムにおいては、部品保持ヘッド８３０（図１６参照）は前記実施形態におけると同様に、回動板の回動により部品吸着位置，撮像位置および部品装着位置へ回動させられて停止させられ、部品吸着ノズル８３２が電気部品を負圧により吸着し、プリント基板に装着するが、部品吸着ノズル８３２への負圧の供給と大気への開放との切換えは機械的に行われ、図１６に示すように、昇降板８３３に固定のブラケット８３４には、機械的に作動する切換弁８３６が設けられている。なお、部品保持ヘッド８３０は６種類の部品吸着ノズル８３２を有するが、図１６には代表的に２個の部品吸着ノズル８３２が図示されている。
【０１２３】
切換弁８３６は、部品保持ヘッド８３０の回動軸線を中心とする一円周と直交する方向の一例である上下方向に移動可能に設けられた切換部材８３８を有し、切換部材８３８の移動により、部品吸着ノズル８３２に負圧を供給する供給状態と、負圧を供給せず、部品吸着ノズル８３２を大気に開放する大気開放状態とに切り換えられる。切換部材８３８は、切換弁８３６を供給状態に切り換えた位置（切換部材８３８の一方の移動限度位置であって下降限度位置）と、大気開放状態に切り換えた位置（切換部材８３８の他方の移動限度位置であって上昇限度位置）とにそれぞれ保たれるように構成されている。
【０１２４】
切換弁８３６を切り換えるために、ブラケット８３４には、切換補助部材８４２が上下方向に移動可能に設けられるとともに、付勢手段の一種である弾性部材としてのスプリング８４４により下方へ付勢されている。
【０１２５】
また、部品吸着位置には、切換操作部材たる切換レバー８５０が部品保持ヘッド８３０の回動軸線に直角で、部品吸着位置における切換弁８３６の回動軌跡に対する接線方向に延びる水平な軸線のまわりに回動可能に設けられ、部品吸着位置側切換操作装置を構成している。切換レバー８５０の先端部は、部品保持ヘッド８３０が回動板の回動により部品吸着位置へ移動させられるとき、切換補助部材８４２と切換部材８３８との間に位置する状態となる位置に設けられており、部品保持ヘッド８３０が部品保持ヘッド昇降装置によって下降させられるとき、切換補助部材８４２が切換レバー８５０に係合して先端部を下方へ回動させる。切換レバー８５０のレバー比は、切換レバー８５０の先端部の下降距離が部品保持ヘッド８３０の下降による切換補助部材８４２の下降距離より大きくなるように決定されており、部品保持ヘッド８３０の下降の途中で切換レバー８５０が切換部材８３８に係合して下方へ移動させ、切換弁８３６が供給状態に切り換えられる。ブラケット８３４は、切換レバー８５０が切換部材８３８を下降限度位置まで押し下げた後も下降させられるが、その余分の下降量は切換補助部材８４２がスプリング８４４の付勢力に抗して移動することにより吸収される。切換補助部材８４２は、部品吸着ノズル８３２側に設けられて、切換レバー８５０による切換弁８３６の切換えを補助するのである。
【０１２６】
電気部品の吸着後、昇降板８３３，ブラケット８３４および部品保持ヘッド８３０が上昇を開始させられるが、その上昇が終了する以前にこれらが回動を開始させられるため、切換補助部材８４２も切換レバー８５０に係合したまま回動を開始する。そして、切換補助部材８４２が切換レバー８５０から外れれば、切換レバー８５０は図示しない付勢手段たるスプリングにより原位置に戻され、次の部品保持ヘッド８３０に対応する切換補助部材８４２と切換部材８３８との間への進入に備えて待機する状態となる。なお、図示は省略するが、部品装着位置には、プリント基板への電気部品の装着時に切換部材８３８を移動させ、切換弁８３６を大気開放状態に切り換える部品装置位置側切換操作装置が設けられている。
【０１２７】
負圧検出装置７２４の検出装置本体７２６には、図１６に示すように、切換弁８３６を大気開放状態に切り換える検出装置側切換操作装置８６０が設けられている。検出装置側切換操作装置８６０は、図１６および図１９に示すように、検出装置本体７２６にブラケット８６２を介して取り付けられたローラ８６４を有する。なお、図１９においては、負圧検出装置７２４の負圧検出用通路５５０、抜出防止板７４０等の図示は省略されている。ブラケット８６２は、検出装置本体７２６から部品保持ヘッド８３０の回動方向において下流側へ延び出させられた後、上方へ突出させられ、突出端部に板状の保持部材８６６が軸８６８（図２０参照）により回動可能に取り付けられている。
【０１２８】
保持部材８６６の軸８６８から延び出させられた延出端部には、図１９に示すように、ローラ８６４が軸８７０により回転可能に取り付けられており、ローラ８６４の外周面が作用面８７２を構成している。ローラ８６４は、負圧検出装置７２４が部品供給位置に位置決めされた状態で、ちょうど部品吸着位置と、部品吸着位置に対して部品保持ヘッド８３０の回動方向において下流側へ、３６０度を電気部品装着装置の回動板の数で除した角度離れた位置との間であって、部品保持ヘッド８３０の回動軸線と直交する方向において、切換弁８３６の切換部材８３８の回動経路（図１９に一点鎖線で示す）と一致する位置に設けられるとともに、その位置における切換弁８３６の回動軌跡に対する接線方向と切換部材８３８の移動方向とに直交する軸線のまわりに回転可能に取り付けられている。保持部材８６６の回動軸線は、ローラ８６４の回転軸線と平行とされている。
【０１２９】
保持部材８６６の軸８６８から延び出させられた別の延出端部とブラケット８６２との間には、図２０に示すように、付勢手段の一種である弾性部材としての引張コイルスプリング８７４が設けられており、保持部材８６６をローラ８６４が上方へ移動する向きに付勢している。保持部材８６６の引張コイルスプリング８７４の付勢力に基づく回動限度は、ブラケット８６２に螺合されたストッパたるねじ部材８７６に保持部材８６６が当接することにより規定される。この回動限度は、ねじ部材８７６の螺合量を調節することにより調節することができ、ローラ８６４の上方への移動限度位置である前進端位置を調節することができる。ローラ８６４の前進端位置は、部品保持ヘッド８３０の回動と共に切換弁８３６が回動するとき、供給状態に切り換えられている切換弁８３６の切換部材８３８の下端より上側にローラ８６４の上端面が位置し、切換弁８３６を大気開放状態に切り換える位置（上昇限度位置）へ切換部材８３８を移動させるのに十分な位置に設定されている。
【０１３０】
負圧検出装置７２４は、前記実施形態におけると同様に、前記カートリッジと共にカートリッジ支持台上に取り付けられているが、本実施形態においては、カートリッジ支持台の部品保持ヘッド８３０の回動方向において下流側に位置することとなる端であって、カートリッジ支持台上に取り付けられた複数のカートリッジのうち、最も負圧検出装置７２４に近いカートリッジに対して、そのカートリッジが部品供給位置に位置決めされた状態で電気部品の取出しが行われ、部品吸着ノズル８３２が電気部品を吸着した後、上昇させられ、回動させられるとき、切換弁８３６の切換部材８３８にローラ８６４が干渉することのない距離を隔てて設けられている。
【０１３１】
本実施形態において負圧の検出は、前記実施形態におけると同様に行われ、通路７４４の負圧検出用通路７４６の開口を形成する部分の直径が、負圧が検出される部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０の内径と等しい開口形成部材７３８が検出装置本体７２６に取り付けられ、複数の部品保持ヘッド８３０が保持する６種類の部品吸着ノズル８３２のうち、種類が同じ部品吸着ノズル８３２について、分岐通路７７８を絞りを経て外部に連通させた状態と、遮断した状態との２つの状態において負圧の検出が行われる。６個の絞り７９６ａ〜７９６ｆのうち、いずれを用いて分岐通路７７８を外部に連通させるかは、部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０の直径に応じて選択され、吸着管８８０の径が大きいほど直径の大きい絞りにより分岐通路７７８が外部に連通させられる。
【０１３２】
負圧の検出時には、電気部品の吸着時と同様に、複数の部品保持ヘッド８３０が順次部品吸着位置へ移動させられるるとともに下降させられ、下降の途中で切換弁８３６が供給状態に切り換えられる。部品保持ヘッド８３０の下降により部品吸着ノズル８３２が開口形成部材７３８に接触させられ、吸着管８８０が負圧検出用通路７４６に連通させられた後、負圧センサ７２０の検出値が読み込まれる。前記実施形態におけると同様に、図示しない特定位置センサが検査用被駆動レバーを検出してから設定時間の間、負圧センサ７２０の検出値が繰り返し読み込まれるのである。負圧センサ７２０は継手部材を介することなく、検出装置本体７２６に嵌合されたアダプタ７２２により検出装置本体７２６に近接して取り付けられているため、負圧検出用通路７４６が短く、吸着管８８０の開口形成部材７３８への接触後、負圧検出用通路７４６内に短時間で吸着管８８０内の負圧と同じ高さの負圧が得られ、検出値の読込み開始時期を早くすることができる。
【０１３３】
負圧の検出後、部品保持ヘッド８３０は上昇，回動させられる。部品保持ヘッド８３０の回動時に検出装置側切換操作装置８６０のローラ８６４が切換弁８３６の切換部材８３８に係合し、その円筒状の作用面８７２の斜面の作用により、切換部材８３８が上方へ移動させられ、切換弁８３６が大気開放状態に切り換えられる。切換部材８３８は、ローラ８６４の上端面に係合する状態となる前に、上昇限度位置に至って切換弁８３６が大気開放状態に切り換えられ、その後、ローラ８６４は引張コイルスプリング８７４の付勢力に抗して回動させられて下方へ退避する。そのため、切換部材８３８に上昇限度位置から更に上昇する向きの力が加えられて損傷することがなく、確実に上昇限度位置へ移動させられて切換弁８３６が大気開放状態に切り換えられる。更に部品吸着ノズル８３２が回動させられ、切換弁８３６の切換部材８３８がローラ８６４から外れれば、ローラ８６４は引張コイルスプリング８７４の付勢力により前進端位置へ戻される。
【０１３４】
このように、負圧の検出後、検出装置側切換操作装置８６０によって切換弁８３６が大気開放状態に切り換えられることにより、複数個の部品保持ヘッド８３０のうち、負圧が検出される部品保持ヘッド８３０の部品吸着ノズル８３２のみについて負圧が供給され、部品吸着位置と部品装着位置との間に位置する他の部品保持ヘッド８３０の部品吸着ノズル８３２に負圧が供給されて、電気部品を吸着していない吸着管８８０から負圧が漏れることがない。
【０１３５】
複数個の部品保持ヘッド８３０の各１個ずつの部品吸着ノズル８３２について、分岐通路７７８を絞りを経て外部に連通させた状態での負圧の検出が行われたならば、カートリッジ支持台の移動により負圧検出装置７３２が部品供給位置から外れた作業位置へ移動させられ、その作業位置において作業者が手動回転切換部材７３２を操作し、遮断位置に位置決めする。作業者は工具係合穴８１６に工具を係合させ、所望の連通位置に対応して設けられた絞り指示マークが連通位置指示マークと一致する位置へ手動回転切換部材７３２を回転させる。位置決め後、負圧検出装置７３２が部品供給位置へ移動させられ、先に分岐通路７７８を絞りを経て外部に連通させた状態で負圧の検出が行われた部品吸着ノズル８３２について、分岐通路７７８を遮断した状態での負圧の検出が行われる。
【０１３６】
同一種類の部品吸着ノズル８３２について、２種類の状態での負圧の検出が終了したならば、負圧検出装置７３２が作業位置へ移動させられ、開口形成部材７３８が交換される。通路７４４の負圧検出用通路７４６の開口を形成する部分の直径が、次に負圧の検出が行われる部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０の内径と等しい開口形成部材７３８が検出装置本体７２６に取り付けられるのであり、また、手動回転切換部材７３２が回転させられ、吸着管８３２の径に応じた径の絞りが分岐通路７７８を外部に連通させる連通位置に位置決めされる。
【０１３７】
複数の部品保持ヘッド８３０に設けられた複数の部品吸着ノズル８３２の全部について、２種類の状態での負圧の検出が行われたならば、前記実施形態におけると同様に、部品吸着ノズル８３２に適切な負圧が得られるか否かが判定され、判定結果および検出値等がプリンタにより記録され、出力される。６種類の部品吸着ノズル８３２のそれぞれについて、吸着管の径に応じた径を有する絞りが用いられて負圧が検出されるため、部品吸着ノズル８３２のそれぞれについて正確に詰まりの発生を検出することができる。
【０１３８】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、切換弁８３６，切換補助部材８４２，切換レバー８５０を含む部品吸着位置側切換操作装置が負圧制御装置を構成し、部品保持ヘッド８３０を昇降させ、所定の時期に切換レバー８５０に切換弁８３６を切り換えさせる部品保持ヘッド昇降装置のヘッド昇降用カムが検査制御装置の一部を構成している。
【０１３９】
連通状態変更装置は、図２１に概略的に示すように、電磁開閉弁７００を含む切換装置７０１としてもよい。負圧検出用通路７０２に連通する分岐通路７０４に絞り７０６を設け、電磁開閉弁７００を絞り７０６と負圧検出用通路７０２との間に設ける。電磁開閉弁７００が閉じた状態では、分岐通路７０４が遮断され、開いた状態では分岐通路７０４が絞り７０６を介して外部に連通させられる。部品吸着ノズルの負圧の検出は、電磁開閉弁７００が閉じられて空気の漏れが実質的に許容されない状態と、電磁開閉弁７００が開かれて空気の漏れが許容される状態とにおいて行われる。
【０１４０】
上記各実施形態において負圧検出装置５３０，７２４の開口形成部材５５６，７３８には、負圧検出用通路５５０，７４６の開口部を構成する通路が１本ずつ形成され、吸着管１６２，８８０の内径に応じて開口形成部材５５６，７３８が交換されていたが、図２２および図２３に示す負圧検出装置８９８のように、１個の開口形成部材９００に、それぞれ６種類の部品吸着ノズルの吸着管の内径と等しい径を有する６本の通路９０２ａ〜９０２ｆを設け、開口形成部材９００を回転させて、通路９０２ａ〜９０２ｆのうちの１つを負圧検出用通路９０４の開口部を構成する作用位置に選択的に位置決めするようにしてもよい。
【０１４１】
開口形成部材９００は断面形状が円形を成し、軸線方向の一方の端部に設けられた大径部９０６において、検出装置本体９０８に形成された嵌合穴９１０に嵌合されている。開口形成部材９００には抜出防止部材たる抜出防止板９１２が嵌合され、抜出防止板９１２は検出装置本体９０８に形成された嵌合溝９１４に嵌合されるとともに、固定手段たる複数本のねじ部材９１６により検出装置本体９０８に固定されており、それにより開口形成部材９００が検出装置本体９０８に回転可能かつ抜出し不能に取り付けられている。
【０１４２】
開口形成部材９００には、その軸線を中心とする一円周上に通路９０２ａ〜９０２ｆが等角度間隔に、かつ軸線と平行な方向に貫通して形成されている。開口形成部材９００は、検出装置本体９０８に、自身の軸線のまわりに回転可能であって、検出装置本体９０８に形成されて負圧検出用通路９０４を構成する通路９１８が、６本の通路９０２ａ〜９０２ｆが設けられた上記一円周上に位置する位置に嵌合されている。通路９１８の直径は、６種類の吸着管のうち、最も径が大きい吸着管の内径と等しくされており、シール部材９２０により気密が保持されている。また、開口形成部材９００の中心には、工具係合穴９２２が形成されている。
【０１４３】
開口形成部材９００にはさらに、外周面に開口し、軸線方向に貫通する６個の位置決め凹部たるノッチ９２４が等角度間隔に形成されている。抜出防止板９１２には、位置決め具９２８が取り付けられてノッチ９２４と共に位置決め装置９３０を構成している。この位置決め具９２８は、前記手動回転切換部材７３２を位置決めする位置決め具８０８と同様に構成されており、開口形成部材９００の回転軸線と直交する向きに取り付けられている。位置決め部材たるボール９３２が図示しない付勢手段の一種であるスプリングにより付勢されてノッチ９２４に嵌入することにより、開口形成部材９００が、６本の通路９０２ａ〜９０２ｆの各々が、通路９１８に連通し、負圧検出用通路９０４の開口部を形成する作用位置に位置する６個の停止位置に選択的に位置決めされる。
【０１４４】
負圧を検出する部品吸着ノズルの種類が変わる場合には、負圧検出装置８９８が部品供給位置から外れた作業位置へ移動させられ、作業者は工具係合穴９２２に工具を係合させ、開口形成部材９００を回転させて所望の径の通路を作用位置に位置させる。作業者は、通路９０２ａ〜９０２ｆのうちいずれが作用位置へ移動させられたかを見ながら開口形成部材９００を回転させ、開口形成部材９００は、負圧検出用通路９０４の開口部を形成する通路が作用位置に位置する停止位置に位置決め装置９３０により位置決めされる。
【０１４５】
前記各実施形態において負圧の検出は、絞り部材を取り付けた状態とめくらプラグを取り付けた状態とにおいてそれぞれ、全部の部品吸着ノズルについて行うようにされていたが、これは不可欠ではなく、例えば、まず、絞り部材を取り付けた状態で同一種類の部品吸着ノズルについて負圧を検出し、正常な負圧が得られなかった部品吸着ノズルについてのみ、めくらプラグを取り付けた状態で負圧を検出してもよい。手動回転切換部材により、分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状態と、遮断する状態とに切り換える場合も同様である。
また、電気部品装着中に吸着ミスが生じた部品吸着ノズルについてのみ負圧の検出を行ってもよい。吸着ミスが生じたか否かは、撮像位置における部品吸着ノルの電気部品の保持姿勢の撮像結果からわかる。
【０１４６】
また、前記実施形態において、複数の部品保持ヘッド１２０，８３０の各６個の部品吸着ノズル１５８，８３２の各々について、吸着管１６２，８８０の径（流路面積）に応じた径（流路面積）を有する６種類の絞りが設けられていたが、吸着管１６２，８３０の径が異なる部品吸着ノズル１５８，８３２毎に専用の絞りを設けることは不可欠ではなく、絞りは、複数種類の部品吸着ノズルに共通としてもよい。例えば、６種類の部品吸着ノズル１５８，８３２に対して２個あるいは３個の絞りを設けるのである。１個の絞りを複数種類の部品吸着ノズルに共通に使用すれば、すべての部品吸着ノズルについて僅かの詰まりでも検出し得るとは言い得なくなるが、最大負圧と最小吸着可能負圧との間には相当の差があるのが普通であるため、実際に回路部品を部品吸着ノズルに吸着させて搬送するのに支障がない範囲で詰まりを検出することは可能なのである。
【０１４７】
さらに、複数の部品吸着ノズル８３２の各々について、手動回転切換部材７３２を複数の連通位置に位置させ、空気の漏れ状態を複数種類に変えて負圧を検出し、部品吸着ノズル８３２毎に複数種類のデータを取得してもよい。例えば、詰まりがないことが明らかな各種類の部品吸着ノズル８３２の各々を、複数の絞りに順次連通させて負圧を検出し、各種類の部品吸着ノズル８３２はどの絞りにより詰まりを検出するのが適当であるかを調べたり、実際に各種類の部品吸着ノズル８３２に詰まりを生じさせ、それらの各々を複数種類の絞りに順次連通させて負圧を検出し、各部品吸着ノズル８３２にどの程度の詰まりが生じた場合に、その詰まりをどの絞りによって検出し得るかを調べたりするのである。また、複数の部品吸着ノズル８３２の各々を複数の絞りの各々に順次連通させて負圧を検出し、各部品吸着ノズル８３２についてどの程度の漏れが許容されるかを調べることもできる。
絞り部材６１０によって分岐通路５８０を外部に連通させる場合も同様である。複数の部品吸着ノズル１５８の各々について、複数種類の絞り部材６１０を用いて負圧を検出するのである。
【０１４８】
また、前記実施形態においては、分岐通路を外部に連通させる絞りの流路面積は、段階的に変えられるようにされていたが、絞りの流路面積が連続的に変えられる可変絞り弁を設けて、絞りの流路面積を吸着管の流路面積に応じた大きさとしてもよい。可変絞り弁は断面積が漸減する弁子を有し、その弁子を弁孔に対して軸方向に相対移動させることにより、流路面積を変えることができるものであり、弁子は自動で移動させられるようにしてもよく、手動により移動させられるようにしてもよい。
【０１４９】
さらに、前記実施形態においては、６種類の部品吸着ノズル１５８，８３２の吸着管１６２，８８０の各々とそれぞれ同じ径の通路を有する開口形成部材５５６，７３８が６種類設けられ、あるいは１つの開口形成部材９００に６種類の通路９０２ａ〜９０２ｆが設けられ、開口形成部材５５６，７３８の交換により、あるいは開口形成部材９００の回転操作により、負圧検出用通路５５０，７４６，９０４の開口部の直径が吸着管１６２，８８０の内径と同じになるようにされていたが、負圧検出用通路の開口部の直径を全部の種類の吸着管の内径と同じにすることは不可欠ではなく、負圧検出用通路の開口部の直径は、複数種類の部品吸着ノズルの吸着管の内径に対して共通の大きさとしてもよい。例えば、６種類の部品吸着ノズルのうち、吸着管の内径の差が小さい２種類あるいは３種類の部品吸着ノズルについて、それら複数種類の部品吸着ノズルの吸着管のうち、最も小さい吸着管の内径と同じ大きさを有する負圧検出用通路の開口部を共用させるのである。負圧検出用通路の開口部を共用する複数種類の吸着管のうち、内径が最も大きい吸着管については負圧検出用通路の開口部の直径は最適とは言えないが、負圧を検出することができる。
【０１５０】
また、前記実施形態においては、予め定められた期間の間に繰り返し読み込まれた検出値のうち最小のものがしきい値と比較されることによって、適切な負圧が得られているか否かの判定が行われるようになっていたが、予め定められた時点から予め定められた回数の読込みが行われ、取得された複数の検出値に基づいて、適切な負圧が得られているか否かの判定が行われるようにすることも可能である。例えば、それら複数の検出値のうちの最小値、あるいは複数の検出値の平均値がしきい値と比較されることにより判定が行われるようにしてもよいのである。平均値が求められる場合、全部の検出値の平均値が求められるようにしてもよく、最大値および最小値を除いた検出値の平均値が求められるようにしてもよい。
【０１５１】
さらに、開口形成部材５５６，７３８の交換，開口形成部材９００の回転操作，手動回転切換部材７３２の回転操作は、部品供給位置から外れた作業位置において行われるようにされていたが、負圧検出装置５３０，７２４，８９８を部品供給位置に位置決めした状態において行うことが可能であれば、部品供給位置において行ってもよい。
【０１５２】
漏れ状態変更装置を設けることも不可欠ではない。例えば、吸着ノズルにおける負圧不足の原因が、漏れであるか詰まりであるかの推定ができなくてもよいのであれば、絞りを経て適量の漏れが生じている状態で負圧の検出を行えばよく、分岐通路を遮断することは不可欠ではないのであり、逆に、詰まりによる負圧不足を検出する必要がないのであれば、分岐通路を遮断するのみでよく、絞りを設けることは不可欠ではないのである。
また、複数種類の吸着ノズルの検査をする場合に、空気を漏らすための絞りを変更することも不可欠ではない。絞りは１種類であっても、吸着ノズルの種類に合わせてしきい値を変更すれば、各種類の吸着ノズルに許容限度以上の詰まりが生じているか否かを判定することができるのである。
上記のようにしきい値を変更することは、前述のように、２，３種類の吸着ノズルに１個の絞りを共用する場合にも有効であり、１個の吸着ノズルに専用の絞りを設ける場合であっても、意図した絞り機能を正確に実現できないときには、しきい値を適切な値に変更することによって、所望の詰まり状態の発生を正確に検出することが可能になる。
なお、空気を漏らしつつ検査する場合と、空気を漏らさないで検査する場合とでしきい値を変更することが望ましい場合もある。
【０１５３】
また、前記実施形態において部品吸着ノズルの吸着検査は、電気部品のプリント基板への装着に先立って行われていたが、電気部品のプリント基板への装着終了時に行われるようにしてもよい。装着終了時に、カートリッジ支持台に取り付けられた多数のカートリッジのうち、カートリッジ支持台移動方向において端に設けられ、負圧検出装置に隣接するカートリッジが部品供給位置にあり、負圧検出装置がカートリッジ支持台上に、カートリッジ移動方向において端に設けられたカートリッジに対して、カートリッジの取付ピッチと等しいピッチで取り付けられていれば、部品供給時におけるカートリッジの交替時と同様にカートリッジ支持台をカートリッジの取付ピッチに等しい距離移動させれば、負圧検出装置を部品供給位置に位置決めできる。そのため、カートリッジ支持台を移動させ、負圧検出装置を部品供給位置に位置決めすることにより、電気部品の装着終了時に駆動用サーボモータを停止させることなく、電気部品の装着に続いて負圧の検出を行うことができる。負圧検出装置がカートリッジの取付ピッチの倍数のピッチで取り付けられ、あるいは端のカートリッジから取付ピッチとは関係のない距離離れた位置に設けられていれば、カートリッジ支持台は、負圧検出装置を部品供給位置に位置決めするのに必要な距離、移動させられる。
【０１５４】
さらに、負圧検出装置は、電気部品の供給中は部品供給テーブルから取り外し、負圧の検出時のみに部品供給テーブルに取り付けてもよい。負圧検出装置は、部品供給テーブルのいずれの位置に取り付けてもよく、カートリッジ取付位置に空きがあれば、その位置に取り付けてもよく、取り付けられているカートリッジを外して取り付けてもよく、あるいは部品供給テーブルに負圧検出装置専用の取付位置を設けておいてもよい。カートリッジ取付位置に負圧検出装置を取り付けた場合、取付位置の指示により部品供給テーブルが移動させられて負圧検出装置が部品供給位置へ移動させられる。負圧検出装置は、負圧の検出後、部品供給テーブルから外される。
【０１５５】
また、本発明は、エンボスタイプのテープ化電気部品に限らず、紙タイプのテープ化電気部品、すなわち紙製の部品保持テープに、厚さ方向に貫通する複数の貫通穴が一定の間隔で一列に形成され、それら貫通穴の一方の開口が、部品保持テープの一方の側に貼り付けられたボトムテープにより塞がれて保持凹部が形成されるとともに、電気部品が収容され、部品保持テープの他方の側に貼り付けられたカバーテープにより保持凹部が塞がれて成るテープ化電気部品であって、電気部品の高さに応じてカートリッジ本体上における部品保持テープの上面の高さが異なるテープ化電気部品の保持凹部から電気部品を取り出して搬送する装置や、部品保持ヘッドに設けられた複数の部品吸着ノズルが互いに吸着管の長さを異にし、ヘッド保持体の回転軸線からの距離を異にする電気部品搬送装置等に適用することができる。電気部品の吸着時に部品吸着ノズルの種類や部品保持テープの上面の高さに応じて部品保持ヘッドの昇降ストロークを調節するのであれば、負圧の検出時にも調節すればよい。必要であれば、ストッパ６５４および特定位置センサ６７０の位置を調節してもよい。
【０１５６】
さらに、本発明は、間欠回転する回転テーブルに部品保持ヘッドが設けられた電気部品搬送装置や、１個または複数個の吸着具を有し、１方向あるいは一平面内において互いに直交する２方向への直線移動により電気部品を搬送する電気部品搬送装置等、種々の態様の電気部品搬送装置に適用することができる。直線移動により電気部品を搬送する電気部品搬送装置において負圧の検出時には、吸着具は直線移動により負圧検出装置の接触部に対向させられる。
その他、特許請求の範囲を逸脱することなく、当業者の知識に基づいて種々の形，改良を施した態様で本発明を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である負圧吸着検査装置および電気部品搬送装着装置を備え、本発明の負圧吸着検査方法が実施される電気部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電気部品搬送装着装置を示す正面断面図である。
【図３】上記電気部品搬送装着装置をフレームのカバーを除いて示す平面図である。
【図４】上記電気部品搬送装着装置の回動板が固定軸により支持された状態を示す正面断面図である。
【図５】上記電気部品搬送装着装置に設けられた作業位置および作業領域を示す図である。
【図６】上記電気部品搬送装着装置の部品保持ヘッドを示す正面断面図である。
【図７】上記部品保持ヘッドにおいて部品吸着ノズルの選択が行われる状態を示す正面断面図である。
【図８】上記電気部品搬送装着装置を構成する部品保持ヘッド昇降装置および固定カムを下側から見た状態を示す図である。
【図９】図１に示す電気部品装着システムを構成する電気部品供給装置を構成するカートリッジの要部を示す正面図である。
【図１０】上記電気部品搬送装着装置に設けられた負圧検出装置を示す正面図（一部断面）である。
【図１１】上記負圧検出装置の負圧検出用通路が設けられた部分を拡大して示す正面断面図である。
【図１２】上記負圧検出装置の負圧検出用通路が設けられた部分を示す平面図である。
【図１３】上記負圧検出装置を示す右側面図である。
【図１４】上記負圧検出装置に設けられた連通状態変更装置を示す正面断面図である。
【図１５】図１に示す電気部品装着システムを制御する制御装置のうち、本発明に関連の深い部分を示すブロック図である。
【図１６】本発明の別の実施形態である電気部品搬送装着装置に設けられた負圧検出装置の要部を示す正面図である。
【図１７】図１６に示す負圧検出装置の切換装置が設けられた部分を示す正面断面図である。
【図１８】図１６に示す負圧検出装置の負圧センサが取り付けられた部分を示す側面図（一部断面）である。
【図１９】図１６に示す負圧検出装置の検出装置側切換操作装置を示す平面図（一部断面）である。
【図２０】上記検出装置側切換操作装置のローラが設けられた部分を示す側面図である。
【図２１】本発明の更に別の実施形態である電気部品搬送装着装置の負圧検出装置の切換装置を概略的に示す図である。
【図２２】本発明の更に別の実施形態である電気部品搬送装着装置の負圧検出装置の開口形成部材の別の態様を概略的に示す平面図である。
【図２３】図２２に示す開口形成部材およびその近傍部分を概略的に示す正面断面図である。
【符号の説明】
１２  電気部品搬送装着装置
１４  電気部品供給装置
２０  カートリッジ支持台
２２  電気部品供給カートリッジ  ７０  回動板
８８  鼓形カム用ローラ
９０ａ〜９０ｄ  鼓形カム
１０８  駆動用サーボモータ
１５８  部品吸着ノズル            ４８０  取付装置
５３０  負圧検出装置
５５０  負圧検出用通路            ５８０  分岐通路
５９０  連通状態変更装置          ６１０  絞り部材
６３２  検査用被駆動レバー
６７０  特定位置センサ            ６９０  プリンタ
７００  電磁開閉弁          ７０１  切換装置
７０２  負圧検出用通路      ７０４  分岐通路
７０６  絞り                ７２０  負圧センサ
７２４  負圧検出装置
７３２  手動回転切換部材    ７３４  切換装置
７４６  負圧検出用通路      ７７８  分岐通路
７９６ａ〜７９６ｆ  絞り
８９８  負圧検出装置
９０４  負圧検出用通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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