(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センタヨークに貫挿して軸方向に移動自在に装着した筒状巻枠に導線を巻装してコイルを構成するリニア直流モータの１次側部材において、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成ることを特徴とするリニア直流モータのコイルを有する１次側部材。
【請求項２】
互に対向して配置され、対向面の両方または一方に界磁形成用の永久磁石を取り付けたセンタヨークとアウタヨーク、および両者を端部において磁気回路を形成するように結合するサイドヨークとから成る２次側部材と、
前記センタヨークに前記対向方向と直角な軸方向に移動自在に貫挿装着した巻枠に励磁コイルを巻装して成る１次側部材とから構成されるリニア直流モータにおいて、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、
前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成ることを特徴とするリニア直流モータ。
【請求項３】
センタヨークとこれを挟んで両側に対称に対向して配置されるアウタヨークと、両者を端部において磁気回路を形成するように結合するサイドヨークと、前記センタヨークとアウタヨークの各対向面の両方または一方に取り付けた界磁形成用の永久磁石とから成る２次側部材と、
前記センタヨークに前記対向方向と直角な軸方向に移動自在に貫挿装着した巻枠に励磁コイルを巻装して成る１次側部材とから構成されるリニア直流モータにおいて、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、
前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成ることを特徴とするリニア直流モータ。
【請求項４】
前記１次側部材は、さらに前記供給用と排出用のマニホルドが一体にして構成され、また扁平冷却管から成る巻枠の幅方向の両側にセンタヨーク貫挿開口を有する保護用側板が設けられ、そしてさらに当該１次側部材は全体を熱硬化性合成樹脂により一体にモールドして成ることを特徴とする前記請求項１、２、または３に記載のリニア直流モータ、またはその１次側部材。
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
【０００１】本発明は、センタヨークとアウタヨークとの間に形成される磁界中に配置された励磁コイルが、供給される電流に応じ、センタヨークに沿って移動するリニア直流モータ、特に前記励磁コイルを有する１次側部材の構成に関する。
【従来の技術】
【０００２】
近時、工作機械で、サドルやテーブルあるいはラムを移動軸として駆動制御するのにリニアモータの使用が増えてきている。このような軸送り装置は、従来型の回転形モータとボールねじおよびナットを使用して軸移動の制御をする軸送り装置と異なり、高応答および高加速度での高速度移動と制御が可能なものとなってきている。このため、このような被制御移動軸は、３次元測定機から各種工作機械、および各種産業の搬送装置等における軸送り装置として採用されるようになってきている。
【０００３】
このような状況の中、比較的小型の精密工作機械等は、比較的短いストロークでの高速のサーボ制御、および低トルクリップル性のリニアモータに対する要求が大きい。このような特性の要求に対するリニアモータとしては、アクチュエータとして制御しやすい特性を持っており、フィードバック要素を用いることによって高精度、高速駆動が容易に実現できる永久磁石型のリニア直流モータ（ＬＤＭ）が適していると考えられ、その中でも、
上述の要求に答えるものとして、巻回励磁コイルを有する１次側部材中に鉄芯を有しない所謂コアレスリニア直流モータが好適なものと考えられる。
【０００４】
斯種のリニア直流モータの１例として、例えば、図１１に示す励磁コイル移動型のものがある。図において、１はセンタヨーク、２はアウタヨーク（図示の場合ボトムヨーク）、３はセンタヨーク１とアウタヨーク２間に所定の磁路を形成するために両端部において両者間に狭着されてボルト止め等で結合するサイドヨーク、４はアウタヨーク２のセンタヨーク１との対向面に、一方の磁極を対向方向に揃えた磁石片を移動方向に列設した永久磁石で、これらによりリニア直流モータの２次側部材が構成され、センタヨーク１とアウタヨーク２の対向間隙にモータ界磁が形成される。５はセンタヨーク１に移動方向に可動にヨーク１を筒状に取り囲んで装着される図示しないコイル巻枠に巻装される励磁コイルで、リニア直流モータの１次側部材を構成し、図示の場合この１次側部材が移動側で、励磁コイル５に供給される直流電流の大きさに応じた推力で、供給される直流電流の極性により移動の方向が切り換わって移動する。同じ移動方向に平行に、１次側部材および２次側部材間に別途に取り付けられたリニアエンコーダ等の直線位置検出装置によって位置信号が検出フィードバックされて制御される。
【０００５】
以上のような構成のリニア直流モータによれば、被駆動の移動部分の慣性質量が小さく、かつ励磁コイルのある１次側部材に鉄芯が存在しないので、２次側磁気回路による界磁が均一に形成される限りにおいては、コギングやトルクリップルはいずれも発生せず、その結果、高応答、高加速度で、高速移動による精密サーボ制御が可能となる。
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この種のリニア直流モータにあっても、位置決め等の高速のサーボ制御を行うようにすると、１次側の励磁コイルが発熱することが避けられない。このため送り軸の制御機構が閉空間や狭い空間に閉じ込められた状態の配置になる場合には、発熱防止対策や、工夫した冷却手段等が必要となる。この種の発熱防止対策として、例えば特開平３−１６４，０５８号公報には、リニア直流モータの１つであるヴォイスコイルリニアモータのコイルとしてパイプ状の線材を用いて構成し、該パイプコイルに冷却液を流通させることが開示されている。しかしながら、現実的には、冷却液の流通を左右する内径（線径）や巻数が関係するコイル長さ等の問題があり、この目的に合う使用可能なパイプ状線材は入手が難しいものである。
【０００７】
そこで本発明は、このようなリニア直流モータにおいて、上述のようなリニア直流モータの性能利点を維持しながら高負荷状態での継続使用が可能な、１次側部材、特に励磁コイルに対する冷却効率が高い構成で、かつそれでいて製作の容易なリニア直流モータを提供すること、および、そのためのコイルを有する１次側部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の本発明の目的は、（１）センタヨークに貫挿して軸方向に移動自在に装着した筒状巻枠に導線を巻装してコイルを構成するリニア直流モータの１次側部材において、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成るリニア直流モータのコイルを有する１次側部材とすることにより達成される。
【０００９】
また、前述の本発明の目的は、（２）互に対向して配置され、対向面の両方または一方に界磁形成用の永久磁石を取り付けたセンタヨークとアウタヨーク、および両者を端部において磁気回路を形成するように結合するサイドヨークとから成る２次側部材と、
前記センタヨークに前記対向方向と直角な軸方向に移動自在に貫挿装着した巻枠に励磁コイルを巻装して成る１次側部材とから構成されるリニア直流モータにおいて、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、
前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成るリニア直流モータとすることにより達成される。
【００１０】
また、前述の本発明の目的は、（３）センタヨークとこれを挟んで両側に対称に対向して配置されるアウタヨークと、両者を端部において磁気回路を形成するように結合するサイドヨークと、前記センタヨークとアウタヨークの各対向面の両方または一方に取り付けた界磁形成用の永久磁石とから成る２次側部材と、
前記センタヨークに前記対向方向と直角な軸方向に移動自在に貫挿装着した巻枠に励磁コイルを巻装して成る１次側部材とから構成されるリニア直流モータにおいて、
前記１次側部材のコイルを冷却する冷却部材が、
前記コイル巻幅以上の幅と前記センタヨーク装着形状に沿って折り曲げ成形して外装し得る長さを有し、前記長さ方向と直角方向に冷却液が分離して流通する通孔を幅方向にわたって平行で多列に有する帯状をしたアルミニウム合金材から成る扁平冷却管であって、
該扁平冷却管の両端に設けられる冷却液の供給用と排出用のマニホルドが移動方向と直角方向の同じ側にあるように構成配置され、
前記コイルが、前記折り曲げられた扁平冷却管の長さ方向の外周を幅方向にわたり巻枠として長さ方向に沿い、前記マニホルドを囲繞して巻装されて成るリニア直流モータとすることにより達成される。
【００１１】
また、前述の本発明の目的は、（４）前記１次側部材は、さらに前記供給用と排出用のマニホルドが一体にして構成され、また扁平冷却管から成る巻枠の幅方向の両側にセンターヨーク貫挿開口を有する保護用側板が設けられ、そしてさらに当該１次側部材は全体を熱硬化性合成樹脂により一体にモールドして成る前記（１）、（２）、または（３）に記載のリニア直流モータ、またはその１次側部材とすることにより達成される。
【発明の実施の形態】
【００１２】
図１乃至図５で示す一実施例のリニア直流モータにより本発明を説明するに、図１の平面図と図２の側面図によって示すリニア直流モータの界磁形成用の磁気回路を形成する永久磁石側の２次側部材２０は従来より公知の構成のもので、図３の平面図、図４の一部断面を含む側面図、および前記図４のＡ−Ａ線に沿う図５の矢視断面図によって示すリニア直流モータの励磁コイルがある１次側部材１０は、本発明の実施例構成の説明図となっている。
【００１３】
図１および図２で示す磁気回路を形成する２次側部材２０は、前述従来例の１つとして示した図１１の２次側部材が、片側アウタヨークの構成であったのに対し、センタヨーク１を上下に挟んで上下アウタヨーク２Ａ、２Ｂが対称に対向して配置され、両者の両端部は勿論サイドヨーク３により磁気回路を形成するように結合して成り、センタヨーク１のアウタヨーク２Ａ、２Ｂとの対向両面と前記アウタヨーク２Ａ、２Ｂのセンタヨーク１との対向面には、それらの空隙間に界磁を形成するための永久磁石４Ａ、または４Ｂが設けられている。
【００１４】
図示の２次側部材２０の場合、永久磁石４Ａと４Ｂとは、意図的に異なった形態のものとして図示されているが、リニアモータが特に短いストロークのものあれば、上アウタヨーク２Ａとこれに対向するセンタヨーク１の各対向面に異極を向かい合わせて接着してある永久磁石４Ａのように、比較的薄手で長尺に形成した永久磁石材を板厚方向に着磁して使用し得るが、通常のストロークであれば下アウタヨーク２Ｂとセンタヨーク１の各対向面の永久磁石４Ｂのように、適宜の大きさの磁石片を隣り合う磁石片の同極が同一方向に向くように接着配置することによっても、所望磁場の界磁を形成させることができる。
【００１５】
そして、このようなリニア直流モータの発生推力（Ｆ）は、界磁の磁束密度（Ｂ）、コイル電流（Ｉ）、磁界中に置かれたコイルの有効長さ（Ｌ）、およびコイルの巻数（ｎ）との積に比例するので、使用する永久磁石の種類や特性、およびモータとしての使用目的等に合わせて種々の磁気回路が用いられるものである。例えば、以下に説明する本発明において、前記２次側部材２０として、上述図２に示したアウタヨーク対称形のものに代えて、図１１の片側アウタヨーク形のものを使用し得ること勿論である。
【００１６】
図３乃至図５の１次側部材１０に於いて、７は長さ方向に冷却液が流通する通孔７ａを、幅方向に多列でほぼ平行に有する全体としほぼ帯状をした、通常アルミニウム合金材の扁平冷却管で、前記幅としては好ましくは励磁コイル５を巻回する１次側部材１０としてのコイル捲き幅以上を有し、センタヨーク１が貫挿して装着するようにヨーク１外周に沿って折り返されて、縦幅Ｈ、横幅Ｂの断面が長方形の筒状に形成される。そして、その扁平冷却管７の両端は、該１次側部材１０の一方の側にあって、冷却液の供給口９Ａと排出口９Ｂが形成された、図示実施例では一体で、１つの供給用および排出用のマニホルド９にロウ付け等して連結され、上記扁平冷却管７は、励磁コイル５、即ち１次側部材１０の冷却手段とコイル手段の巻枠を兼ねた構成となっている。
【００１７】
この図示実施例の場合、上述のように、上記扁平冷却管７としては、最良の実施の形態と思推されるものとして、冷却液が流通する通孔７ａが、幅方向に多列で、互いにほぼ平行の分離した複数の通孔として形成されている場合のものを例示しているが、前記通孔７ａは冷却液が全体的にほぼ均一に流れ得る状況にあれば、他の形態の扁平状通孔であっても良い。この通孔が扁平状の単一のものの場合、扁平冷却管を折り曲げるときに管が潰れないように、例えば、砂等の詰め物をする必要が生じたりするが、幅方向に多列に通孔７ａを有するものの場合はその必要がなく、冷却能も幅方向にほぼ均等を保ちやすく好ましいものである。なお、本発明は、リニア直流モータおよびそのコイルを有する１次側部材を対象としているが、励磁コイル５に対して、オン・オフされる直流電流値が大きく、或いは更にそのオン・オフが高い周波数で繰り返されるような場合には、扁平冷却管７の冷却性能を増大させる必要があることは勿論、扁平冷却管７の通電発熱の防止に、冷却液の供給側と出口側の各マニホルドを別個に構成して、相互に離隔絶縁した配置構成とすることもあるものである。
【００１８】
そして、前記励磁コイル５は、折り屈げてほぼ長方形の筒状に形成された扁平冷却管７の外周に適宜の絶縁材を介装させた状態で、図示のように扁平冷却管７の長さの方向に沿うとともに、一方の端部にある断面蒲鉾形の柱またはブロック状マニホルド９を囲繞して所望に巻き重ねられる。そして励磁コイル５両端のリード線は、図示の場合、前記冷却管７のマニホルド９がある側と反対側に導出される。そして、さらに上述励磁コイル５と巻枠状とされた扁平冷却管７を有する１次側部材１０は、扁平冷却管７の幅方向の両側に、
センタヨーク１の貫挿開口１１Ａ、１２Ａを有する、通常アルミニウム合金材製の保護用側板１１，１２が設けられ、一方の側板１１の巻枠外の端部領域に、前述コイル５両端のリード線が引き出される引出孔１６が設けられる。なお、上述１次側部材１０の各所の隙間部分にハッチングを施し、符号１３が付してあるのは、後述するように全体をモールドして一体化する熱硬化性樹脂等の充填材である。なお、また、上記励磁コイルの導線としては、通常銅線の表面に樹脂を焼きつけたエナメル線を用いるものである。
【００１９】
次に、さらに図６を付加参照しつつ前述１次側部材１０、さらにはリニア直流モータの製作方法につき説明する。
先ず所定の長さに切断された扁平冷却管７が、センタヨーク１挿通口に合わせて形成された型に型合わせされて、特に縦幅Ｈ寸法を所望に精密に折り曲げ成形される。そして、予め冷却液の供給口９Ａと排出口９Ｂが空けられた断面蒲鉾状で柱状のマニホルド９に前記成形された冷却管７の両端部が位置決めロウ付け連結される。
【００２０】
マニホルド９と冷却管７の廻りに励磁コイル５を絶縁紙等を介装させながら所定回数巻き重ね、端部のリード線２本と、保護接地線１本の計３本をマニホルド９の反対側に所定長引き出しておく。
【００２１】
次に、扁平冷却管７とマニホルド９とから成るコイル巻枠に励磁コイル５を巻いた１次側コイル体の両側部に保護用側板１１、１２を取り付けるに当たり、コイル体のセンターヨーク１に対する挿通口に図で見て上部が所定コイル体から突出した状態に後で取り外す中子１４を挿設しておき、相対位置決めして固定する。図示の場合前述マニホルド９の上端（一方の側部）がコイル体から突出し、該突出部が一方の側板１２の穴１２Ｂに嵌合するように、また中子１４の上部も側板１２の開口１２Ａに嵌合するようにして、側板１２の各開口穴１２Ａ、１２Ｂが塞がるように位置決めする。さらに供給口９Ａと排出口９Ｂのある図示下側のマニホルド９と前記中子１４の下端部は、図３に示すように下部側板１１に形成した各開口と穴１１Ａ、１１Ｂに嵌着し、モールド用の位置決めと閉塞をしているのである。こうして、コイル体は、側板１１、１２および中子１４とともに組み合わされる。そして、一方の側板１１の端部に設けたリード線は引き出しておく。
【００２２】
以上の組み立て体を、側板１１もしくは１２の外径寸法に一致する内寸法の矩形枠体である樹脂モールド用外枠１５に挿入嵌着させ、両側板１１、１２を前記外枠１５の側面からボルト１５Ｂをねじ込んで仮止めする。
【００２３】
次いで、外枠１５の適宜の位置に形成した注入孔１５Ａを上部位置とした状態で、熱硬化性樹脂、例えば、伝熱性も優れているエポキシ樹脂を注入し、コイル体と隙間との間に隙間なく行きわたらせ充填し、樹脂を熱硬化させる。次いで、中子１４と外枠１５とを取り外すことにより１次側部材は出来上がることになる。
【００２４】
また、モータアッセンブリとしての組み立ては、２次側部材２０のセンタヨーク１に、
１次側部材１０を貫挿装着し、センタヨーク１にサイドヨーク３を取り付け、さらにアウタヨーク２Ａ、２Ｂを取り付けることによりリニア直流モータが得られるものである。
【００２５】
なお、実際の装置に搭載する際に、コイル体の１次側部材１０が永久磁石の固定側２次側部材２０に対して可動の場合は、励磁コイル５に給電するケーブルとマニホルド９を介しての扁平冷却管７への冷却液の給排配管は、可動体と固定側部材との間に連結されることになるが、可繞性のある支持部材によって保持される公知の手法によって容易に目的を達成することができる。また、上述の場合マニホルド９は、磁束が通る磁場中に位置するので、扁平冷却管７と同様磁束に殆ど影響を与えない常磁性体のアルミニウム合金材が用いられるが、冷却管７とマニホルド９の両方または一方を、極めて小さい負の磁化率のために磁束に殆ど影響を与えない反磁性体の銅合金等を用いることもできる。
【００２６】
図７乃至図１０は、前述の如きリニア直流モータを、工作機械や測定装置等のベッド、サドル等の固定側部材とサドル、テーブル等の移動側部材間に組み込み構成した場合の一実施例で、図７は要部の平面図、図８は図７のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図、図９および図１０は、図８のＣ−Ｃ線とＤ−Ｄ線に沿う各矢視断面図と矢視側面図である。なお、この組み込みの形態は、特にテーブル等の移動体が小さい場合に、テーブル等が軸受等を備えず、リニア直流モータ廻りで自立組み立てられる構成を例示しているものである。従ってテーブル等が軸支されていれば、この構造は不要である。
【００２７】
図に於いて、前述２次側部材２０は、着脱を容易にするベースプレート１７を介してベッド等の固定側部材１８に取り付けられ、他方の１次側部材１０は２次側部材２０との干渉を防止する接続部材１９を介してサドル等移動側部材２１に連結される。前記接続部材１９は、固定側部材１８上に固定して取り付けられたリニアレール２２Ａと該レールに嵌挿案内されて移動するボールまたはローラ内臓の軸受２２Ｂとから成る一対の直動軸受２２にブラケット２３を介して支持案内される。２４は前記ブラケット２３に取り付けられたリニアエンコーダ２４Ａと固定側取り付け部材に取り付けられたリニアスケール２４Ｂとからなるリニア位置検出装置で、検出位置信号をＮＣ装置にフィードバックし、ＮＣ装置が位置指令との偏差に応じ、リニアモータの１次側励磁コイルの電流を制御して、所定位置への移動を制御するものである。そしてかかる構成のものは、実際に取り付けられる装置においてはカバーの奥深くに装備されていて励磁コイル５を有する１次側部材１０は奥まった、閉じた空間中の狭い隙間部分に配置されるから、充分な冷却手段なしでは、発熱条件で使用することは出来なかったのである。
【００２８】
なお、特開平９−１５４，２７２号公報には、リニアモータの冷却構造として、可動子側の突磁極部と、この突磁極部に巻回されるコイルとの間に、該突磁極部より熱伝導率が高いアルミニウム等の非磁性合金からなるボビンを介在させ、コイルからボビンに伝達された熱を冷却部材内の冷却用配管を流れる冷却液を介して外部に逃すように構成すること、そしてさらに、上記ボビン部を厚肉に構成して内部に冷却液流路を形成することも開示されているが、これは可動子の移動方向に並ぶ複数個の突磁極部がある型式のリニアモータに適用可能な構成であって、前述本発明のリニア直流モータのコイルを有する１次側部材の構成等を開示しているものではない。
【本発明の効果】
【００２９】
以上詳述したように、本発明のリニア直流モータ、またはリニア直流モータのコイルを有する１次側部材によれば、所定の幅のある扁平冷却管を筒状の所定コイル巻枠形状に形成した冷却管上に励磁コイルを巻装する構成であるので、コイルが冷却管に広い領域で直接接触して冷却され、冷却効率が高く、高負荷で連続使用の可能な高性能のリニア直流モータ、またはそのコイルを有する１次側部材を得ることができる。そして、このコイルを有する1次側部材の構成は特に冷却に合目的的であって、製作も容易であり、短いストロークおよび低リップルでの高速サーボ制御用のリニア直流モータを得るのに適している。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】  リニア直流モータの２次側部材の１例の説明用平面図。
【図２】  同説明用側面図。
【図３】  リニア直流モータの１次側部材に係わる本発明実施例の平面図。
【図４】  同実施例の一部断面を含む側面図。
【図５】  図４のＡ−Ａ線に沿う矢視断面図。
【図６】  本発明の一実施例の１次側部材の組み立ておよびモールドの状況を示す説明図。
【図７】  リニア直流モータを工作機械等に直線送り駆動手段として組み込んだ実施例送り機構の要部平面図。
【図８】  図７のＢ−Ｂ線に沿う矢視断面図。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う矢視断面図。
【図１０】  図８のＤ−Ｄ線側からの矢視側面図。
【図１１】  従来型のリニア直流モータの一例の要部を示す斜視図。
【符号の説明】
【００３１】
１０    １次側部材
２０    ２次側部材
１    センタヨーク
２，２Ａ、２Ｂ    アウタヨーク
３    サイドヨーク
４，４Ａ、４Ｂ    永久磁石
５    励磁コイル
７    扁平冷却管
７ａ    通孔
９    マニホルド
９Ａ    供給口
９Ｂ    排出口
１１、１２    保護用側板
１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ    開口
１３    充填材
１４    中子
１５    外枠
１６    リード線引き出し孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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