(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気清浄装置により空気中の特定物質を除去した環境のクリーンルームと、前記クリーンルーム内の空気を取り入れる空気採取部と、前記空気採取部より取り入れた前記クリーンルーム内の空気を特定採取空気容積毎に溶解採取する溶解部と、前記空気採取部より取り入れた前記クリーンルーム内の空気を特定採取空気容積毎に濃縮採取する濃縮部と、前記溶解部と前記濃縮部の前記クリーンルーム内の空気の採取は特定採取時間内の特定採取回数毎に前記特定採取空気容積、及び特定同時採取本数を別々に採取し、かつ前記溶解部と前記濃縮部の前記クリーンルーム内の空気の採取は別々に順送りして切替える順送り採
取部と、前記順送り採取部により順送りされた前記溶解部及び前記濃縮部の空気中の特定物質を別々の検出測定する検出部と、前記検出部の測定データを受けて演算出力する制御部と、前記制御部からの出力を受けて分配切換部が前記空気清浄装置の運転を制御してなるクリーンルームの気体清浄システム。
【請求項２】
空気清浄装置により空気中の特定物質を除去した環境のクリーンルームと、前記クリーンルーム内の空気を取り入れる空気採取部と、前記空気採取部より取り入れた空気を採取する濃縮部及び溶解部において、特定採取時間、特定採取回数、特定採取空気容積、特定同時採取本数を可変して順送り採取し、空気中の特定物質の濃度を検出部で検出測定してなる請求項１に記載のクリーンルームの気体清浄システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、含有空間内の気体を採取して、特定物質を検出し、制御部により清浄装置の運転を制御する含有空間の気体清浄システムとその清浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の含有空間（例えば、クリーンルーム）の気体清浄システムとその清浄方法は、含有空間内の気体（例えば、空気）を常に循環させて、清浄装置によって気体中の特定物質（特定の微細な粒子。例えば、ホコリなどのパーティクル、ボロン化合物、酸性物質、アルカリ性物質、有機化合物やガス状物質など）を除去した環境を維持するものである。つまり、含有空間内の特定物質による汚染状態の変化を知る検査は、検査員が逐次に気体をサンプリングして検出（測定）し、確認することが一般に知られている。
つまり、パーティクルの濃度は連続的な監視が為され得るが、他の物質（ボロン化合物、酸性物質、アルカリ性物質、有機化合物やガス状物質など）はバッチ管理が為されている。
このような本発明に関わるものとして、特開平５−２１８１７１号公報や特開平６−１９３９１１号公報等に記載の構成が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
つまり、従来の含有空間（たとえば、クリーンルーム、クリーンストッカー、クリーンボックスなどの清浄度を必要とする空間）の気体清浄システムとその清浄方法は、含有空間内の特定物質による汚染状態の変化を知る検出（バッチ管理）に日時を要し、従って、含有空間内の汚染が急変して進行した場合には汚染対策の処置遅れを生じ、生産品の品質の（特に即応的な）維持管理が困難となる問題があった。
本発明によれば、気体（たとえば、空気、窒素ガス、アルゴンガス）中の特定物質の希薄な濃度を常時、監視（検出）し、短時間にその結果を知り、素早い処置が可能となる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明のクリーンルームの気体清浄システム空気清浄装置により空気中の特定物質を除去した環境のクリーンルームと、前記クリーンルーム内の空気を取り入れる空気採取部と、前記空気採取部より取り入れた前記クリーンルーム内の空気を特定採取空気容積毎に溶解採取する溶解部と、前記空気採取部より取り入れた前記クリーンルーム内の空気を特定採取空気容積毎に濃縮採取する濃縮部と、前記溶解部と前記濃縮部の前記クリーンルーム内の空気の採取は特定採取時間内の特定採取回数毎に前記特定採取空気容積、及び特定同時採取本数を別々に採取し、かつ前記溶解部と前記濃縮部の前記クリーンルーム内の空気の採取は別々に順送りして切替える順送り採取部と、前記順送り採取部により順送りされた前記溶解部及び前記濃縮部の空気中の特定物質を別々の検出測定する検出部と、前記検出部の測定データを受けて演算出力する制御部と、前記制御部からの出力を受けて分配切換部が前記空気清浄装置の運転を制御してなるものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下に詳しく説明するが、請求項１に記載の本発明によれば、
▲１▼含有空間内の気体中の特定物質の増減変化状況をインラインでリアルタイムに自動化して監視し、一定の濃度以下に抑えて維持できる。
▲２▼従って、若し含有空間内の気体中の特定物質が何らかの原因で急変増加しても、報知・表示等の装置を連動させることにより、機敏な応急処置によって生産品の不良を最小限に抑えることができる。
【０００６】
▲３▼制御部からの出力を受けた分配切換部による各空気清浄装置毎の運転制御は、必要に応じた重点志向的な分配切替運転が可能となって、効率的な省エネ運転をすることができる。即ち、含有空間内に配置された各清浄装置毎の運転制御は、風量（出力やダンパー開閉度）制御、運転・休止の選定制御、温度・湿度制御、運転エリア（機種）の選定制御等々の選択ができるものとする。
▲４▼上述▲３▼項により、重点志向的な分配切替運転は、制御部が各清浄装置の運転時間（フィルターの累積使用時間）を積算しているので、高価なフィルター交換（寿命）時間が判り、正確な個別対応が実現できることになる。なお、ＣＩＭ（コンピュータ統合生産）機能に連動させても同効果が得られる。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明の含有空間の参考例として、例えばクリーンルームについて図面を用いて説明する。
【０００８】
図１は、クリーンルーム内の空気を清浄化する全体構成を示す模擬図である。図１において、１は外部空気（微量のＮＯx、ＳＯx等を含む。気体と総称する。以下同じ）であり、この外部空気１は、第１採取部２３から空気清浄装置（Ａ）２（第１清浄装置と総称する。以下同じ）に採り入れられる（第１採取工程と総称する。以下同じ）。採り入れられた外部空気１は、空気清浄装置（Ａ）２（第１清浄装置と総称する。以下同じ）を経過して清浄化、湿度及び温度調節され（第１清浄工程と総称する）、クリーンルーム６（含有空間と総称する。以下同じ）上部に外部空気２０（２次気体と総称する。以下同じ）として第２採取部２４から供給される（第２採取工程と総称する。以下同じ）。続いて、外部空気２０は、クリーンルーム６上部に配置された各々の空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５を経過して更に特定物質（特定の微細な粒子。例えば、ホコリなどのパーティクル、ボロン化合物、酸性物質、アルカリ性物質、有機化合物やガス状物質など）を除去して清浄化され、クリーンルーム６内に供給され、清浄化された空気の中で半導体（部品や材料）等の生産加工や組立て検査等が為される。
勿論、この生産加工・組立て検査等の過程において新たな特定の物質（主に有機溶剤等）を発生し、クリーンルーム６内の空気を汚染することもある。
【０００９】
図１において、７はクリーンルーム６内からのリターン空気であり、空気清浄装置（ａ）８、または空気清浄装置（ｆ）８fを通過し、リターン空気７'となって上記の外部空気２０と合流し、再び空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５を循環して特定物質（特定の微細な粒子。例えば、ボロン、酸性物質、アルカリ性物質、有機溶剤等の成分）が除去され、湿度及び温度調節されてクリーンルーム６内の空気２１（３次気体と総称する。以下同じ）が常に清浄に保たれている。
図において、空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５は、番号を仮に付して各々に（ｃ−１）（ｃ−２）（ｃ−３）…、（ｇ−１）（ｇ−２）（ｇ−３）…、及び（ｎ−１）（ｎ−２）（ｎ−３）…等々とする。
なお、空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５、空気清浄装置（ａ）８、及び空気清浄装置（ｆ）８fを第２清浄装置と総称する（以下同じ）。
さらに、空気清浄装置（Ａ）２、空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５、空気清浄装置（ａ）８、及び空気清浄装置（ｆ）８fを清浄装置と総称する。
図１において、９はクリーンルーム６内の空気２１を採取する（第３採取工程と総称する。以下同じ）空気採取部（第３採取部と総称する。以下同じ）であり、つぎの第４採取部２５を経て空気２２（４次気体と総称する。以下同じ）が、採取検出部１０（検出部と総称する。以下同じ）に採り入れられる（第４採取工程と総称する）。この空気２２中の特定物質の微細粒子量（濃度）を検出・測定し（検出工程と総称する。以下同じ）、次の制御部１１はこの検出（測定データ）を演算、検定して分配切替部１２へ出力し（制御工程と総称する。以下同じ）、配置された各々の空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４、空気清浄装置（ｎ）５、空気清浄装置８の
▲１▼分配や切替え（分配切替工程と総称する。以下同じ）、
▲２▼ＯＮ／ＯＦＦ、
▲３▼ファンの駆動出力、温度・湿度等々の運転制御をする。
【００１０】
さらに、制御部１１は、採取検出部１０でクリーンルーム６内の空気２１の湿度や温度を検出（測定データ）し、空気清浄装置（ａ）８、空気清浄装置（ｆ）８fの運転制御をする。
なお、空気採取部９は、同じクリーンルーム６内に複数箇所に設ければ更に良い。
【００１１】
図２は本発明の参考例のクリーンルーム６内の空気を清浄化する空気清浄装置２，空気清浄装置３，空気清浄装置４の構成を示す概要図である。図２−（Ａ）において、空気清浄装置（Ａ）２は別称エアー・ウォッシャーとも呼称されるもので、純水１３を噴霧状態（例えば、シャワーやスプレー状態）にして外部空気１を接触させ、特定の微細粒子やガス状物質を溶解・除去すると同時に湿度調節し、さらに図示しないが、温度調節（エアコンの熱交換器等による）も行う。フィルター１４は、純水１３に溶解除去できない他の物質（成分）を濾過して除去する。ファン１５ａは、外部空気１を取り入れるとともに、空気清浄装置（Ａ）２内を通過させて、外部空気２０をクリーンルーム６内上部へ送風する。
【００１２】
なお、空気清浄装置（ａ）８（図１）は、空気清浄装置（Ａ）２とほぼ同構成・作動であり、図示・説明はしない。
空気清浄装置（ｆ）８fは、例えばファンのみ（図示しない）の構成であり、空気清浄装置（ａ）８と並設され、清浄化された空気２１の状態に対応してリターン空気７の風路が選択（運転制御）される。
空気清浄装置（ａ）８に用いられる純水１３は、純水１３に既に溶解している成分による新たな汚染を防ぐため、少なくとも１５ＭΩ・ｃｍ（at２５℃）以上の比抵抗とする。
【００１３】
図２−（Ｂ）において、空気清浄装置（ｃ）３は、別称ケミカルフィルターとも総称されるもので、ケミカルフィルター１６、活性炭フィルター１７、ＰＴＦＥ製のボロンレスフィルター１８の３層構成にした一実施例であり、外部空気２０及びリターン空気７'を通過させて、特定物質（微細粒子等）を除去する。
【００１４】
ケミカルフィルター１６は、酸・アルカリ・有機化合物等の特定成分を除去するアニオン除去ケミカルフィルター、カチオン除去ケミカルフィルター等のうち少なくとも一つ以上を用いたものである。
【００１５】
なお、ファン１５ｂは外部空気２０、リターン空気７'を取り入れて空気清浄装置（ｃ）３を通過させ、クリーンルーム６内へ送風する。
【００１６】
さらに、空気清浄装置（ｃ）３においては、フィルターを３層構成にした一実施例を示したが、状況に応じてケミカルフィルター１６とＰＴＦＥ製のボロンレスフィルター１８、或いは活性炭フィルター１７とＰＴＦＥ製のボロンレスフィルター１８の２層構成の組合せ（いずれも図示しない）にしてもよい。
【００１７】
図２−（Ｃ）において、空気清浄装置（ｇ）４は、採取した空気２０をＰＴＦＥ製のボロンレスフィルター１８を通過させて、特定の微細粒子を除去する。
なお、ファン１５ｃは外部空気２０、リターン空気７'を取り入れて空気清浄装置（ｇ）４を通過させ、クリーンルーム６内へ送風する。
【００１８】
上記の空気清浄装置（ｃ）３、及び空気清浄装置（ｇ）４に用いるＰＴＦＥ製のボロンレスフィルター１８は、空気中のボロン除去を目的としない場合は、ガラス繊維のＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air filter），ＵＬＰＡフィルター（Ultra Low Penetration Air filter）に変えて使用しても良い。
【００１９】
なお、空気清浄装置（ｎ）５（図１）は目的に応じて任意にフィルターを各種選択して構成したものであり、空気清浄装置（ｃ）３、空気清浄装置（ｇ）４等に類した構成・作動であり、図示・説明は省略する。
【００２０】
図３，４は、本発明の一実施例のクリーンルーム６内の空気２１を自動的に採取されて検出（測定）する採取検出部１０の構成を示す概要図であり、図５は、同採取検出部１０の処理流れ図である。
この図３及び図４は、クリーンルーム６内の空気２１を特定採取空気容積毎に純水中に溶解採取する溶解部と、この溶解部とは別々に特定採取空気容積毎に濃縮採取する濃縮部とで採取し、順送りして切替える順送り採取部は、溶解部と濃縮部の採取及び検出・測定を順送りして空気２２中の特定物質を次の制御部１１で演算・検定するものである。
【００２１】
まず図３−（Ａ）順送り採取の実施例は、クリーンルーム６内の空気２１を例えば溶解部において、特定同時採取本数４本（図示しないが、例えば特定採取空気容積１リッターずつ）毎に順送り採取している方法を示したものであり、
図３−（Ｂ）採取方法の実施例は、クリーンルーム６内の空気を例えば溶解部において、特定採取時間１時間内に特定採取回数４回、特定同時採取本数４本（図示しないが、例えば特定採取空気容積１リッターずつ）毎に順送り採取している方法を図示したものである。即ち、図において
▲１▼採取Ｎo.３，４，５，６が同時に4本採取（即ち特定同時採取本数。横の黒丸印。特定採取空気容積は、図示しないが例えば１リッターずつ）され、
▲２▼採取Ｎo.３は特定採取時間１時間内に4回既に採取（即ち特定採取回数。縦の黒丸印）され、次の５回目は検定（測定。黒四角印）に回される。
【００２２】
即ち、この実施例では、クリーンルーム６内の空気２１中の特定物質の特定採取時間１時間当りの濃度変化（特定採取回数４回の累積）を順送りして監視するものであるが、この採取の特定採取時間（１時間）、特定採取回数（4回）や特定採取空気容積（１リッター）、特定同時採取本数（４本）は状況（生産活動内容やそのタイムスケジュール等）に応じて臨機応変に可変して設定すれば良い。
【００２３】
つまり、この条件設定は状況に応じて、例えば
▲１▼特定同時採取本数（特定採取空気容積を多くして）を少なく採取すれば、一定時間の大まかな特定物質の濃度変化が把握でき、
▲２▼特定同時採取本数（特定採取空気容積を少なくして）を増やして、こまめに採取すれば、短時間に刻々の特定物質の濃度変化が把握できる。
【００２４】
なお、上記は溶解部の採取方法の一例について述べたが、濃縮部についても同じ方法で採取されるが溶解部とは別々に採取され、かつ、状況に応じて溶解部とは異なる設定（例えば、特定同時採取本数５本、及び特定採取空気容積２リッターずつ等）としても良い。
【００２５】
具体的には、クリーンルーム６内の生産稼動の有無や生産数量の多少、生産品種によって要求される最適環境（特定物質の濃度等）条件等に応じて、一日、週間、月間、季節や行事、年間のタイムスケジュールを策定し、自在に溶解部及び濃縮部の順送りの空気採取を可変・設定させるものである。
なお、溶解部と濃縮部のこれらの各条件設定は、別々に可変・設定される。
また順送り採取する理由は、リアルタイム、インラインでクリーンルーム６内の汚染状態を継続的、且つ自動的に検出・測定が出来、従って万一の異常発生時にも即時に対策が打てるものとなる。
【００２６】
溶解部の実施例について、図４−（A）溶解部の採取・検出の内容は、
▲１▼採取（溶解）は、クリーンルーム６内の空気２１を吸引aポンプＰで特定採取空気容積（流積計Ｆによる）だけ、インピンジャー（バブリング）内の純水に吸引aする。
この採取（溶解）は、所定の特定採取時間内の特定採取回数を累積して吸引aする。
▲２▼検出（測定）は、例えばロボット等によりインピンジャー内の溶解水が吸引sされ、
▲３▼次に、空気２２中の特定物質の検定が為される。
▲４▼一方、洗浄（エージング）は上記▲３▼と並行（上記▲２▼の後に）して行われ、次の採取（溶解）に備えてインピンジャー内を清浄に復元させる。
▲５▼充填（純水）は、順送りされて次の特定採取空気容積の採取（溶解）に備える。
以上で採取（溶解）の１サイクルが終わるが、次々と同内容が順送りされ、自動的に繰り返される。
【００２７】
濃縮部の実施例について、図４−（B）濃縮部の採取・検出の内容は、
▲１▼採取（濃縮）は、クリーンルーム６内の空気２１を吸引bポンプＰで特定採取空気容積（流積計Ｆによる）だけ、採取器内の吸着剤に吸着する。
吸着剤は、金属酸化物（ゼオライト、アルミナ、シリカゲル等）、活性炭、活性白土などが使用される。
この採取（濃縮）は、所定の特定採取時間内の特定採取回数を累積して吸引b する。
▲２▼脱着は、採取器内に不活性ガスを通じ、加熱して採取nされて、
▲３▼検出（測定）され、
▲４▼次に、空気２２中の特定物質の検定が為される。
▲５▼一方、洗浄（エージング）は上記▲３▼、▲４▼と並行（上記▲２▼の後に）し、採取器内に不活性ガスを通じ、加熱して行われ、次の採取（濃縮）に備えて採取器内を清浄に復元し、順送りされて次の特定採取空気容積の採取（濃縮）に備える。
以上で採取（濃縮）の１サイクルが終わるが、次々と同内容が順送りされ、自動的に繰り返される。
【００２８】
溶解部、及び濃縮部の検出（測定）項目は、クリーンルーム６内の最適環境条件に基づいて指定される特定物質により決められる。
また、検出（測定）の試験機（又は試験器具）は、その測定能力や測定容量等により、台数（や器具数）などが決められる。
【００２９】
図５は、本発明の一実施例のクリーンルーム６内の空気採取部９、採取検出部１０、及び制御部１１の各処理を示す流れ図である。
その順送り採取部による同時採取は、Ｎo.１，２が同時に採取（即ち特定同時採取本数。――線。次記の図５も同じ）される一実施例を示す。
また、制御部１１は、採取・検出部１０による空気２２中の特定物質の検出（測定データ）を得て演算し、その基準（規格）値との差異を検定し、各々の空気清浄装置３、４、５、８へ出力するものである。
【００３０】
図６は本発明の一実施例のクリーンルーム６内の空気２１を清浄化する清浄方法の構成を示すブロック図である。
【００３１】
その分配切替部１２による各々の空気清浄装置３、４、５、８の各運転制御は、この例では、例えば空気清浄装置３の（ｃ−１）、及び（ｃ−３）、空気清浄装置４の（ｇ−１）、空気清浄装置５の（ｎ−１）、及び（ｎ−２）、空気清浄装置８の各運転が選定（――線。他の空気清浄装置は運転しない）された。
【００３２】
つまり、制御部１１は、選定された各空気清浄装置３、４、５、８の
▲１▼運転のＯＮ／ＯＦＦ制御、
▲２▼送風量（ファン１５駆動出力や風路・吹出し口のダンパー開閉度等の制御）、
▲３▼温度や湿度等の運転制御を行う。
【００３３】
また、図６の実施例において、制御部１１は、分配切替部１２の各空気清浄装置３、４、５、８への運転制御出力以外に、例えば、
▲１▼空気中の特定物質の検出（測定）値、
▲２▼空気の汚染状態、
▲３▼修理点検（各フィルターの運転時間や交換時期）等の報知や表示も併せて行うことが出来る。
【００３４】
図７は、本発明の一実施例のクリーンルーム６内の空気２１を清浄化する清浄方法の処理流れ図である。
説明は、上記に重複するので省略する。
【００３５】
なお、以上の本発明の一実施例の説明において、空気採取部９の溶解部と濃縮部との特定採取時間、及びその特定採取回数を同一に設定しているが、状況に応じて溶解部と濃縮部との特定採取時間、及びその特定採取回数を別々に違えて設定（図示はしない）しても良いことは明白である。
【００３６】
他の実施例（図示はしない）について述べると、
即ち、上記の一実施例では、クリーンルーム６内の空気２１の採取を、特定採取時間（１時間）、特定採取回数（4回）、特定採取空気容積（１リッター）、特定同時採取本数（４本）を状況に応じて臨機応変に可変して設定するとしたが、他に、特定採取時刻（午前１０時）、採取時間間隔（１５分毎）、特定採取空気容積（１リッター）、特定同時採取本数（４本）を状況に応じて臨機応変に可変して設定しても、同効果を得ることは明白である。
【００３７】
本発明の参考例によれば、クリーンルーム６内の空気２１を採取する濃縮部と溶解部において、特定採取時間、特定採取回数、特定採取空気容積、特定同時採取本数を可変して順送りし、特定物質の濃度を検出部で検出測定するので、
１、一日、週間、月間、季節や行事、年間等を通じて、クリーンルーム６内の生産稼動の有無、生産数量の多少・変動、生産品種毎のタイムスケジュールに応じた最適環境条件等の検出項目等によって、空気採取部９の採取条件を自在に可変させて選定し、最適な生産稼動が実現できる。
２、クリーンルーム６内の空気２１中の希薄な特定物質の濃度検出及びその変化の監視は、特に特定採取空気容積、及び特定同時採取本数の２条件を可変選定して制御するので、最適の生産の環境管理の実現ができる。
【００３８】
そして、クリーンルーム６内に空気２１，２２を濃縮採取する濃縮部を有するので、
▲１▼クリーンルーム６内の特定物質の濃縮成分の検出をインラインで自動化し、リアルタイムにその濃度検出及びその変化を監視でき、表示・警報装置等を併設すれば、急変時の応急処置対策も速やかに行うことができる。
【００３９】
また、クリーンルーム６内に空気２１，２２を溶解採取する溶解部を有するので、
▲１▼クリーンルーム６内の特定物質の溶解成分の検出をインラインで自動化し、リアルタイムにその濃度検出及びその変化を監視でき、表示・警報装置等を併設すれば、急変時の応急処置対策も速やかに行うことができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上詳細に説明したとおり、本発明によれば、
▲１▼含有空間内の気体中の特定物質の増減変化状況をインラインでリアルタイムに自動化して監視し、一定の濃度以下に抑えて維持できる。
▲２▼従って、若し含有空間内の気体中の特定物質が何らかの原因で急変増加しても、報知・表示等の装置を連動させることにより、機敏な応急処置によって生産品の不良を最小限に抑えることができる。
【００４１】
▲３▼制御部からの出力を受けた分配切換部による各空気清浄装置毎の運転制御は、必要に応じた重点志向的な分配切替運転が可能となって、効率的な省エネ運転をすることができる。即ち、含有空間内に配置された各清浄装置毎の運転制御は、風量（出力やダンパー開閉度）制御、運転・休止の選定制御、温度・湿度制御、運転エリア（機種）の選定制御等々の選択ができるものとする。
▲４▼上述▲３▼項により、重点志向的な分配切替運転は、制御部が各清浄装置の運転時間（フィルターの累積使用時間）を積算しているので、高価なフィルター交換（寿命）時間が判り、正確な個別対応が実現できることになる。なお、ＣＩＭ（コンピュータ統合生産）機能に連動させても同効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の参考例のクリーンルーム内の空気を清浄化する全体構成を示す模擬図
【図２】  本発明の参考例のクリーンルーム内の空気を清浄化する空気清浄装置の構成を示す概要図で、
（Ａ）は空気清浄装置（Ａ）を示す図
（Ｂ）は空気清浄装置（ｃ）を示す図
（Ｃ）は空気清浄装置（ｇ）を示す図
【図３】    本発明の一実施例のクリーンルーム内の空気を検出する採取検出部の構成を示す概要図で、
（Ａ）は順送り採取を示す図
（Ｂ）は採取方法を示す図
【図４】    本発明の一実施例のクリーンルーム内の空気を検出する採取検出部の構成を示す概要図で、
（Ａ）は溶解部の採取・検出を示す図
（Ｂ）は濃縮部の採取・検出を示す図
【図５】    本発明の一実施例のクリーンルーム内の空気を検出する採取検出部の処理流れ図
【図６】    本発明の一実施例のクリーンルーム内の空気を清浄化する清浄方法の構成を示すブロック図
【図７】    本発明の一実施例のクリーンルーム内の空気を清浄化する清浄方法の処理流れ図
【符号の説明】
１…外部空気（気体）
２…空気清浄装置（Ａ）（第１清浄装置）
３…空気清浄装置（ｃ）（第２清浄装置）
４…空気清浄装置（ｇ）（第２清浄装置）
５…空気清浄装置（ｎ）（第２清浄装置）
６…クリーンルーム（含有空間）
８…空気清浄装置（ａ）（第２清浄装置）
８ｆ…空気清浄装置（ｆ）（第２清浄装置）
９…空気採取部（第３採取部）
１０…採取検出部（検出部）
１１…制御部
１２…分配切替部
２１…空気（３次気体）
２２…空気（４次気体）
２５…第４採取部
【図１】
0003900906.tif 000002
【図２】
0003900906.tif 000003
【図３】
0003900906.tif 000004
【図４】
0003900906.tif 000005
【図５】
0003900906.tif 000006
【図６】
0003900906.tif 000007
【図７】
0003900906.tif 000008