(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を吸着するための吸着管と前記吸着管に吸着されている部品の姿勢を確認するための照明光を拡散するための拡散板とを有する複数種類のノズルを、保持するノズル保持器において、
前記複数種類のノズルを載置するように前記各ノズルの前記吸着管が挿入される載置穴が、列になって形成されたノズル載置部と、
前記ノズル載置部の両側面に沿ってスライド可能にそれぞれ形成され、それぞれ、複数の係止爪が、前記ノズル載置部の各載置穴の上方にそれぞれ突出して、スライドの初期位置で前記各ノズルの拡散板を係止するように形成され、それぞれ、スライド用の当接部が固定された２つのリセッタと、
前記２つのリセッタのそれぞれの当接部に係合するように２つの先端部にそれぞれ切欠部が形成されて回転軸が前記ノズル載置部に固定された回転板を有し、いずれか一方のリセッタが前記ノズル載置部の側面に沿ってスライドすることにより、前記一方のリセッタに固定された前記当接部が前記回転板の一方の切欠部と係合して前記回転板を回転させ、他方のリセッタに固定された当接部に前記回転板の他方の切欠部が係合して前記回転板が回転することにより、前記他方のリセッタを、前記一方のリセッタのスライド方向とは逆方向にスライドさせて、前記複数のリセッタにそれぞれ形成された前記複数の係止爪による前記各ノズルの係止を解除するリンク機構部と、を備えた、
ことを特徴とするノズル保持器。
【請求項２】
搭載対象部品を吸着するための複数の吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持器と、前記ノズル保持器に保持されている吸着ノズルを装着し、装着した吸着ノズルにより、搭載対象部品を吸着して搬送して搭載対象物に載置する作業ヘッドと、を備える、部品搭載装置であって、
前記各吸着ノズルは、部品を吸着するための吸着管と、前記吸着管に吸着されている部品の姿勢を確認するための照明光を拡散するための拡散板とを有するものであって、
前記ノズル保持器は、
前記複数種類のノズルを載置するように前記各ノズルの前記吸着管が挿入される載置穴が、列になって形成されたノズル載置部と、
前記ノズル載置部の両側面に沿ってスライド可能にそれぞれ形成され、それぞれ、複数の係止爪が、前記ノズル載置部の各載置穴の上方にそれぞれ突出して、スライドの初期位置で前記各ノズルの拡散板を係止するように形成され、それぞれ、スライド用の当接部が固定された２つのリセッタと、
前記２つのリセッタのそれぞれの当接部に係合するように２つの先端部にそれぞれ切欠部が形成されて回転軸が前記ノズル載置部に固定された回転板を有し、いずれか一方のリセッタが前記ノズル載置部の側面に沿ってスライドすることにより、前記一方のリセッタに固定された前記当接部が前記回転板の一方の切欠部と係合して前記回転板を回転させ、他方のリセッタに固定された当接部に前記回転板の他方の切欠部が係合して前記回転板が回転することにより、前記他方のリセッタを、前記一方のリセッタのスライド方向とは逆方向にスライドさせて、前記複数のリセッタにそれぞれ形成された前記複数の係止爪による前記各ノズルの係止を解除するリンク機構部と、を備えたものである、
ことを特徴とする部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品搭載装置とその吸着ノズルを保持する吸着ノズル保持器に関し、特に、複数サイズの吸着ノズルを保持することが可能な吸着ノズル保持器及びそれを備えた部品搭載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップなどの電子部品を作業ヘッドに装着されたノズルで吸着し、回路基板などに搭載する部品搭載装置（いわゆるチップマウンタ）が、電子機器の製造段階などで利用されている。
搭載対象部品の種類（サイズ、材質、重量など）は部品毎に異なっており、部品搭載装置は、搭載対象部品の種類に応じてノズルを最適なものに取り替えて搭載対象部品を吸着している。
また、従来の部品搭載装置は、複数種類のノズルを保持するためのノズル保持器を備えている。
【０００３】
図１５に示すように、従来のノズル保持器９０は、ノズル９１が配列されるノズル載置部９６の両側面に配置されたリセッタ９５をスライドすることによって、係止爪９５ａとノズル９１の拡散板とを当接させ又は当接を解くことにより、固定又は脱着可能な状態にしている。
【０００４】
従来のノズル載置部９６では、ノズルを装着し直す際に、大きなサイズのノズルに合わせてリセッタ９５をスライドしなければならず、保持可能なノズルの本数が制限されるという問題点がある。
また、保持可能なノズルの本数が制限されるために、保持可能なノズルの種類を制限され、搭載可能な部品の種類が制限されるという問題点もある。
【０００５】
さらに、大きなサイズのノズルにリセッタ９５の移動距離を合わせる必要があり、小さなサイズのノズルの配列ピッチを大きなサイズのノズルに合わせなければならない。このため、ノズル保持器のサイズが大きくなり、部品搭載装置上で、他の装置を配置するスペースが制限されてしまう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記実状に鑑みてなされたものであり、保持可能なノズルの種類を増加することが可能なノズル保持器を提供することを目的とする。
また、搭載可能な部品の種類を増加することが可能なノズル保持器を提供することを目的とする。
さらに、小型で省スペース型のノズル保持器を提供することを他の目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明の第１の観点にかかるノズル保持器は、
部品を吸着するための吸着管と前記吸着管に吸着されている部品の姿勢を確認するための照明光を拡散するための拡散板とを有する複数種類のノズルを、保持するノズル保持器において、
前記複数種類のノズルを載置するように前記各ノズルの前記吸着管が挿入される載置穴が、列になって形成されたノズル載置部と、
前記ノズル載置部の両側面に沿ってスライド可能にそれぞれ形成され、それぞれ、複数の係止爪が、前記ノズル載置部の各載置穴の上方にそれぞれ突出して、スライドの初期位置で前記各ノズルの拡散板を係止するように形成され、それぞれ、スライド用の当接部が固定された２つのリセッタと、
前記２つのリセッタのそれぞれの当接部に係合するように２つの先端部にそれぞれ切欠部が形成されて回転軸が前記ノズル載置部に固定された回転板を有し、いずれか一方のリセッタが前記ノズル載置部の側面に沿ってスライドすることにより、前記一方のリセッタに固定された前記当接部が前記回転板の一方の切欠部と係合して前記回転板を回転させ、他方のリセッタに固定された当接部に前記回転板の他方の切欠部が係合して前記回転板が回転することにより、前記他方のリセッタを、前記一方のリセッタのスライド方向とは逆方向にスライドさせて、前記複数のリセッタにそれぞれ形成された前記複数の係止爪による前記各ノズルの係止を解除するリンク機構部と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、上記目的を達成するため、この発明の第２の観点にかかる部品搭載装置は、
搭載対象部品を吸着するための複数の吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持器と、前記ノズル保持器に保持されている吸着ノズルを装着し、装着した吸着ノズルにより、搭載対象部品を吸着して搬送して搭載対象物に載置する作業ヘッドと、を備える、部品搭載装置であって、
前記各吸着ノズルは、部品を吸着するための吸着管と、前記吸着管に吸着されている部品の姿勢を確認するための照明光を拡散するための拡散板とを有するものであって、
前記ノズル保持器は、
前記複数種類のノズルを載置するように前記各ノズルの前記吸着管が挿入される載置穴が、列になって形成されたノズル載置部と、
前記ノズル載置部の両側面に沿ってスライド可能にそれぞれ形成され、それぞれ、複数の係止爪が、前記ノズル載置部の各載置穴の上方にそれぞれ突出して、スライドの初期位置で前記各ノズルの拡散板を係止するように形成され、それぞれ、スライド用の当接部が固定された２つのリセッタと、
前記２つのリセッタのそれぞれの当接部に係合するように２つの先端部にそれぞれ切欠部が形成されて回転軸が前記ノズル載置部に固定された回転板を有し、いずれか一方のリセッタが前記ノズル載置部の側面に沿ってスライドすることにより、前記一方のリセッタに固定された前記当接部が前記回転板の一方の切欠部と係合して前記回転板を回転させ、他方のリセッタに固定された当接部に前記回転板の他方の切欠部が係合して前記回転板が回転することにより、前記他方のリセッタを、前記一方のリセッタのスライド方向とは逆方向にスライドさせて、前記複数のリセッタにそれぞれ形成された前記複数の係止爪による前記各ノズルの係止を解除するリンク機構部と、を備えたものであることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態にかかる電子部品搭載装置を図面を参照して説明する。
本実施の形態の部品搭載装置１００は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、コンベア２と、支持部３と、テーブル４と、作業塔（作業ヘッド）５と、Ｘ軸部６と、Ｙ軸部７と、ノズル保持器１０を備え、制御回路によって制御される。
【００１９】
コンベア２は、コンベアベルトと移動する案内レールとを備え、部品搭載対象の基板８を矢印ＹＤ方向に搬送する。
支持部３は、一対のコンベアベルトの間に設けられ、部品を基板８に搭載する際に、基板８を一時的に保持する。
テーブル４には、搭載対象の部品を供給する複数の部品供給用カセット９が載置される。
【００２０】
Ｘ軸部６は、リニアガイド、ボールネジ、Ｘ軸モータなどを備え、Ｘ軸モータの回転によってボールネジが回転し、このボールネジの回転によって作業塔５をＸ軸方向に移動する。
【００２１】
Ｙ軸部７は、リニアガイド、ボールネジ、及びＹ軸モータを備え、Ｙ軸モータの回転によってボールネジが回転し、このボールネジの回転によってＸ軸部６をＹ軸方向に移動し、Ｘ軸部６に固定された作業塔５をＹ軸方向に移動する。
【００２２】
作業塔５は、図２（ａ）に示すように作業ヘッド５１を備え、図示しないＺ軸モータによって作業ヘッド５１をＺ軸方向（上下方向）に移動する。作業ヘッド５１は、図２（ａ）に示すように、空気の圧力をノズルに伝達する管部５２と、ノズルを把持するチャック５３とを備える。チャック５３は、管部５２の先端近傍に配置され、図２（ｂ）に示すように、バネ５４に付勢され、この付勢によってノズル６０又は７０を先端部に把持する。
【００２３】
作業ヘッド５１に装着されるノズルは、大型のノズル６０と小型のノズル７０を含む。
大型のノズル６０は、図３（ａ）に示すように、部品を吸着するための吸着管６０ａと、吸着している部品の姿勢を確認するための照明光を拡散するための拡散板６０ｂと、チャック５３に装着される装着部６０ｃとを備える。拡散板６０ｂは、一辺の長さがほぼＰＬ１の方形の平板状に形成されてる。
【００２４】
ノズル７０は、図３（ｂ）に示すように、部品を吸着するための吸着管７０ａと、照明光を拡散するための拡散板７０ｂと、チャック５３に装着される装着部７０ｃとを備える。拡散板７０ｂは、逆三角錐状に形成され、逆三角錐の底面の直径は、ＰＬ１よりも小さいＰＳ１に形成されている。
【００２５】
ノズル保持器１０は、図４に示すように、大型のノズル６０と小型のノズル７０とを保持する。
ノズル保持器１０は、図４及び図５（ａ），（ｂ）に示す様に、ノズルが載置されるノズル載置部１５と、ノズルをノズル載置部１５に固定し又は着脱可能にするリセッタ２０ａ，２０ｂと、リセッタ２０ａをノズル載置部１５に沿って矢印ＹＡ、ＹＢ方向にスライドする駆動部３０と、リセッタ２０ａのスライドに従ってリセッタ２０ｂをスライドするリンク機構部４０とを備える。
【００２６】
ノズル載置部１５は、上面に設けられた上板１５１に、ノズル６０が配置される大ノズル部１５ａと、ノズル７０が配置される小ノズル部１５ｂとを備える。
【００２７】
大ノズル部１５ａは、連通した載置穴１８ａと、上板１５１の長手方向への拡散板の移動を規制する移動規制ピン１７ａとを備える。
各載置穴１８ａは、例えば、図６（ａ）に示すように、ノズル６０の拡散板６０ｂの一辺の長さＰＬ１よりやや長いピッチＰＬ２で配列され、ノズル６０の吸着部６０ａが挿入される。
移動規制ピン１７ａは、隣接する載置穴１８ａの間に、配列され、拡散板６０ｂに当接してノズル６０の矢印ＹＡ、ＹＢ方向への移動を規制する。
【００２８】
図４と図５に戻って、小ノズル部１５ｂは、連通した載置穴１８ｂを備え、２列に形成されている。各載置穴１８ｂはノズル７０の拡散板７０ｂの最大径ＰＳ１よりやや長いピッチＰＳ２で配列され、ノズル７０が挿入される。
載置穴１８ｂは円錐状に形成され、ノズル７０の拡散板７０ｂの傾斜面を載置する傾斜部１９と、傾斜部１９に載置されたノズル７０の回転を規制するピン１７ｂとを備える。
【００２９】
リセッタ２０ａは、ノズル載置部１５の一側面に沿って形成され、小ノズル部１５ｂでは、上板１５１の上の載置穴１８ｂの列に沿って延在し、矢印ＹＡ、ＹＢ方向にスライド可能に形成されている。リセッタ２０ａは、載置穴１８ｂの上方に突出して形成された複数の係止爪２２と、大ノズル部１５ａの上方に突出して形成された複数の係止爪２１ａとを備える。
【００３０】
係止爪２２は、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、ピッチＰＳ２で形成され、先端部に切欠部２２０を備える。
係止爪２２は、リセッタ２０ａが初期位置にある時に、図６（ａ）に示すように、載置穴１８ｂの上に位置して、ノズル７０を固定し、リセッタ２０ａのＹＡ方向へのスライドにより、図６（ｂ）に示すように、ノズル７０を避ける位置に移動してノズル７０を脱着可能にする。
【００３１】
一方、係止爪２１ａは、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、ピッチＰＬ２で形成されている。係止爪２１ａは、リセッタ２０ａが初期位置にある時、図６（ａ）に示すように、ノズル６０の拡散板６０ｂの一辺からＰＳ１／２の距離シフトした位置に配置されており、ノズル６０を上方より固定する。一方、係止爪２１ａは、リセッタ２０ａのＹＡ方向へのスライドにより、図６（ｂ）に示すように、ノズル６０の拡散板６０ｂを避ける位置に移動してノズル６０を脱着可能にする。
【００３２】
リセッタ２０ｂは、図５（ａ）に示すように、ノズル載置部１５の他側面に沿って、矢印ＹＡ及びＹＢ方向にスライド可能に形成されている。リセッタ２０ｂは、大ノズル部１５ａの上方に突出して形成された複数の係止爪２１ｂを備える。
【００３３】
係止爪２１ｂは、リセッタ２０ｂが初期位置にある場合、図６（ａ）に示すように、ノズル６０の拡散板６０ｂの他辺からＰＳ１／２の距離シフトした位置に配置されており、係止爪２１ａと共にノズル６０を上方より固定する。一方、係止爪２１ａは、リセッタ２０ｂのＹＢ方向へのスライドにより、図６（ｂ）に示すように、拡散板６０ｂを避ける位置に移動し、ノズル６０を脱着可能にする。
【００３４】
図５（ｂ）に示す駆動部３０は、エアシリンダなどを備え、供給される圧縮ガスにより、リセッタ２０ａを矢印ＹＡ方向及びＹＢ方向に移動する。
【００３５】
図４及び図５（ａ），（ｂ）に示すリンク機構部４０は、ノズル載置部１５の内部に設けられ、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、リセッタ２０ａに固定された当接部４１と、リセッタ２０ｂに固定された当接部４５と、当接部４１と４５に切欠部４４ａ，４４ｂで係合し、ノズル載置部１５に固定された回転軸４３を中心に回転する回転板４４とを備える。回転板４４は、リセッタ２０ａのスライドによる当接部４１の動きをリセッタ２０ｂの当接部４５に伝え、リセッタ２０ｂをリセッタ２０ａのスライド方向と反対方向にスライドさせる。
【００３６】
図８は、この部品搭載装置１００の回路構成を示す。図示するように、この部品搭載装置１００は、Ｘ、Ｙ、Ｚモータ８１，８２，８３と、駆動回路８４と、駆動部３０と、記憶回路８５と、制御回路８６とを備える。
【００３７】
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸モータ８１，８２，８３は、前述のように、作業ヘッド５１をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動させる。
駆動回路８４は、駆動部３０に接続され、リセッタ２０ａをスライドさせる。
記憶回路８５は制御回路８６の動作プログラムを記憶している。
【００３８】
制御回路８６は、記憶回路８５が記憶する動作プログラムを実行し、Ｘ軸モータ８１とＹ軸モータ８２とＺ軸モータ８３とを制御して作業ヘッド５１を移動させ、さらに、ノズルの交換時、駆動回路８４を駆動してノズルを交換可能とする。
【００３９】
以下、本実施の形態の部品搭載装置１００の動作を図面を参照して説明する。
ここでは、図２（ｂ）に示すように、作業ヘッド５１にノズル６０が装着されているとする。
【００４０】
このとき、ノズル保持器１０は、図９に示すように、係止爪２１ａと２１ｂとで、方形状の拡散板６０ｂのほぼ対角線上の位置を押さえて、ノズル６０をノズル載置部１５に固定している。また、ノズル保持器１０は、対向している係止爪２２で、ノズル７０をノズル載置部１５に固定している。
【００４１】
この状態で、例えば、作業ヘッド５１に装着されているノズル６０を、ノズル７０に変更する場合、制御回路８６は、Ｘ軸部６及びＹ軸部７を制御して、大ノズル部１５ａの空いている載置穴１８ａの上方に作業ヘッド５１を移動する。
【００４２】
制御回路８６は、作業ヘッド５１の移動が完了すると、駆動部３０を制御して、リセッタ２０ａを矢印ＹＡ方向にＰＳ１／２の距離だけスライドする。リセッタ２０ａのスライドは、リンク機構部４０を介してリセッタ２０ｂに伝達され、リセッタ２０ｂは矢印ＹＢ方向、即ち、リセッタ２０ａの移動方向とは逆方向にＰＳ１／２の距離だけスライドする。
【００４３】
リセッタ２０ａ，２０ｂのスライドによって、係止爪２１ａと係止爪２１ｂはそれぞれＹＡ方向とＹＢ方向にＰＳ１／２の距離移動して、図１０に示すように、拡散板６０ｂの上から退避し、大ノズル部１５ａへのノズル６０の着脱を可能にする。また、係止爪２２は矢印ＹＡ方向にＰＳ１／２の距離移動して、ノズル７０の拡散板７０ｂ上から退避して小ノズル部１５ｂへのノズル７０の着脱を可能にする。
【００４４】
続いて、制御回路８６は、Ｚ軸モータ８３を制御して作業ヘッド５１を降下する。
【００４５】
制御回路８６は、ノズル６０が載置穴１８ａに挿入されると、駆動部３０を制御して、リセッタ２０ａを矢印ＹＢ方向にＰＳ１／２の距離スライドし、リンク機構部４０により、リセッタ２０ｂを矢印ＹＡ方向にＰＳ１／２の距離移動する。
【００４６】
リセッタ２０ａ，２０ｂのスライドによって、係止爪２１ａは矢印ＹＢ方向に、係止爪２１ｂは矢印ＹＡ方向にそれぞれＰＳ１／２の距離移動して、図１１に示すように元の位置に戻り、ノズル６０の拡散板６０ｂを、その対角線上で押さえる。また、係止爪２２はノズル７０の拡散板上に位置し、ノズル７０を固定する。
【００４７】
制御回路８６は、Ｚ軸モータ８３を制御して、作業ヘッド５１を上昇させる。拡散板６０ｂが係止爪２１ａ，２１ｂにより係止されているため、バネ５４の付勢に抗して、チャック５３による把持が解け、ノズル６０はノズル載置部１５に残留する。
【００４８】
次に、制御回路８６は、ノズル７０を作業ヘッド５１に装着するため、Ｘ軸部６及びＹ軸部７を制御して、小ノズル部１５ｂに固定されているノズル７０の上方に作業ヘッド５１を移動する。
【００４９】
制御回路８６は、ノズル７０の上方に作業ヘッド５１を移動すると、駆動部３０を制御して、リセッタ２０ａを矢印ＹＡ方向にＰＳ１／２の距離スライドする。これにともなって、リセッタ２０ｂも矢印ＹＢ方向にＰＳ１／２の距離スライドする。
【００５０】
リセッタ２０ａ，２０ｂのスライドによって、図１２に示すように、係止爪２２は矢印ＹＡ方向にＰＳ１／２の距離移動して、ノズル７０上から退避し、ノズル７０の着脱を可能にする。なお、このとき、係止爪２１ａと２１ｂもそれぞれ矢印ＹＡ方向とＹＢ方向にＰＳ１／２の距離移動して、ノズル６０の拡散板６０ｂ上から退避し、ノズル６０の着脱も可能になる。
【００５１】
制御回路８６は、Ｚ軸モータ８３を制御して、作業ヘッド５１を降下し作業ヘッド５１にノズル７０装着する。続いて、制御回路８６は、Ｚ軸モータ８３を制御して、ノズル７０が装着された作業ヘッド５１を上昇させる。制御回路８６は、ノズル７０がノズル保持器１０から抜けると、駆動部３０を制御して、リセッタ２０ａと２０ｂを元の位置に戻す。
【００５２】
なお、作業ヘッド５１からノズル７０を外して、ノズル６０を装着する場合の動作も実質的に同様である。即ち、係止爪２２を載置穴１８ｂ上から退避させて、ノズル７０を空いている載置穴１８ｂに挿入する。続いて、係止爪２２を元のノズル７０上の位置に戻して、作業ヘッド５１を上昇させて、作業ヘッド５１からノズル７０を引き抜く。次に、作業ヘッド５１をノズル６０の上に移動し、係止爪２１ａ，２１ｂを拡散板６０ｂの上から退避させた後、作業ヘッド５１を降下させて、作業ヘッド５１とノズル６０を結合させ、引き上げる。
【００５３】
以上説明したように、この実施の形態のノズル保持器１０では、係止爪２１ａと２１ｂとをノズル６０の拡散板６０ｂのほぼ対角線上に位置させ、反対方向にスライドさせることにより、係止爪２１ａ、２１ｂのスライドする距離を、ノズル６０の配列ピッチの半分よりも小さく、ノズル７０の配列ピッチのほぼ半分の距離にできる。
【００５４】
また、平面が円形のノズル７０を係止する係止爪２２の先端部に切欠部２２０を設けることによって、係止爪２２のスライド量を更に小さくすることが出来る。このため、係止爪２１ａ，２１ｂ、２２がスライドする距離を更に短くすることが可能である。
【００５５】
従って、小型で省スペース型のノズル保持器を提供することができる。
また、保持可能なノズルの種類を増加することが可能となり、それに伴って、搭載可能な部品の種類を増加できる。
【００５６】
また、方形状の拡散板６０ｂの対角線上の端部を係止しているので、ノズル６０を作業ヘッド５１から引き抜く際にも、ノズル６０が傾いたりせず、安定して引き抜くことができる。
【００５７】
なお、この発明は上記実施の形態に限定されず、種々の変形及び応用が可能である。
【００５８】
各ノズルが備える拡散板のサイズ、形状及び材質は任意である。
例えば、上記実施の形態では、拡散板を備えるノズル６０と７０とをノズル保持器１０に保持する場合について説明したが、この構成に限定されず、例えば、拡散板を備えないノズルと拡散板を備えるノズルとを保持するノズル保持器でもよい。
【００５９】
例えば、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、方形の拡散板を備えるＮ種類のサイズのノズルを載置する載置装置において、各係止爪２１ａ，２１ｂ，２２を拡散板の端辺からそれぞれ距離Ｌだけ離して配置し、反対方向にスライドするように構成してもよい。この場合、サイズの異なるノズルを少ないスライド量Ｌで着脱することが可能になる。スライド量Ｌは、最小の拡散板の一辺部の長さの１／２にも制限されない。
【００６０】
また、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、平面形状が円形の拡散板を備えるＭ種類のサイズのノズルを載置する載置装置において、各係止爪２１ａ，２１ｂ，２２を拡散板のスライド方向の端部からそれぞれ距離Ｌだけ離して配置し、しかも、各係止爪２１ａ，２１ｂ，２２の先端部に切欠２２０を形成し、反対方向にスライドするように構成してもよい。この場合、サイズの異なるノズルを、スライド量Ｌ以下で着脱することが可能になる。
【００６１】
また、リセッタ２０ａと２０ｂとを反対方向にスライドさせるための構成は、リンク機構を用いる構成に限定されず、任意である。例えば、リセッタ２０ａと２０ｂとにそれぞれラックを設け、両ラックに噛み合うギアを配置し、リセッタ２０ａのスライドをギアを介してリセッタ２０ｂに伝達してもよい。
【００６２】
係止爪２２に形成された切欠部２２０は、係止爪２２の一側面に形成される構成に限定されず、ノズルの形状やリセッタのスライド量に応じて形成され、例えば、両側面に形成されてもよい。
【００６３】
ノズルの載置ピッチ及びリセッタのスライド量は、ノズルの形状、サイズ、係止爪の幅、長さ、先端の切欠部のサイズ・形状などに応じて任意に変更可能である。
【００６４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、部保持可能なノズルの種類を増加することが可能である。
また、搭載可能な部品の種類を増加することが可能である。
さらに、部品搭載装置上での他の装置を配置するスペースを広くすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態に係る部品搭載装置の斜視図である。
（ｂ）は図１（ａ）の部品搭載装置の平面図である。
【図２】（ａ）は図１（ａ）の作業塔が備える作業ヘッドの部分断面図である。
（ｂ）はノズルが装着された状態での作業ヘッドの部分断面図である。
【図３】（ａ）と（ｂ）は、ノズルの例を示す図である。
【図４】図１（ａ）のノズル保持器の斜視図である。
【図５】（ａ）は図３のノズル保持器の平面図、（ｂ）は図３のノズル保持器の側面図である。
【図６】（ａ）はノズルが固定されている状態のノズル保持器の平面模式図である。
（ｂ）はノズルが脱着可能な状態のノズル保持器の平面模式図である。
【図７】（ａ）はノズルが固定されている状態のリンク機構部の部分平面図である。
（ｂ）はノズルが脱着可能な状態のリンク機構部の部分平面図である。
【図８】図１の部品搭載装置の回路構成を示すブロック図である。
【図９】ノズルが固定された状態のノズル保持器の平面図である。
【図１０】ノズルを脱着可能な状態のノズル保持器の平面図である。
【図１１】ノズルが固定された状態のノズル保持器の平面図である。
【図１２】ノズルを脱着可能な状態のノズル保持器の平面図である。
【図１３】（ａ）はノズルが固定された状態のノズル保持器の変形例を示す図である。
（ｂ）はノズルを脱着可能な状態のノズル保持器の変形例を示す図である。
【図１４】（ａ）はノズルが固定された状態のノズル保持器の変形例を示す図である。
（ｂ）はノズルを脱着可能な状態のノズル保持器の変形例を示す図である。
【図１５】従来のノズル保持器の平面図である。
【符号の説明】
１００                  部品搭載装置
２                      コンベア
３                      支持部
４                      テーブル
５                      作業塔
６                      Ｘ軸部
７                      Ｙ軸部
８                      基板
９                      部品供給用カセット
１０                    ノズル保持器
１５                    ノズル載置部
１８ａ、１８ｂ          載置穴
２０ａ、２０ｂ          リセッタ
２１ａ、２１ｂ、２２    係止爪
２２０                  切欠部
３０                    駆動部
４０                    リンク機構部
５１                    作業ヘッド
６０、７０              ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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