(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板との間に液晶組成物を挟持した液晶表示装置を製造するために、前記第１基板及び第２基板の少なくとも一方に印刷材料を塗布する塗布手段を備えた塗布装置において、
前記塗布手段を密閉する密閉手段と、
前記密閉手段内における前記印刷材料に含まれる溶剤が気化した溶剤ガスの溶剤ガス濃度を前記溶剤の飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度に調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記調整手段は、
前記密閉手段内における前記溶剤ガス濃度を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された溶剤ガス濃度が溶剤の飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度であるか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記密閉手段内の溶剤ガス濃度が前記飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度より低いと判断された場合には、前記密閉手段内に前記溶剤を気化させたガスを供給する供給手段と、
前記判断手段により前記密閉手段内の溶剤ガス濃度が前記飽和蒸気圧に対応した溶剤ガス濃度より高いと判断された場合には、前記密閉手段内を排気する排気手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、塗布装置に係り、特に液晶表示装置におけるアレイ基板と対向基板とを接着する接着剤を塗布する塗布装置、及びアレイ基板と対向基板との間に挟持される液晶組成物を所定の配向方向に配向する配向膜を塗布する塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は、薄型軽量、低消費電力などの利点を有することから、ノート型やサブノート型のパーソナルコンピュータのディスプレイとして広く用いられている。近年、ノート型やサブノート型のパーソナルコンピュータは、様々な用途に利用されるようになり、要求される液晶表示装置の品種も多様化してきている。これに伴い、多品種少量生産が可能な生産ラインが求められている。
【０００３】
液晶表示装置は、一般に、以下のような工程により製造されている。
すなわち、アレイ基板及び対向基板を形成する基板形成工程、アレイ基板及び対向基板を洗浄する洗浄工程、アレイ基板及び対向基板のそれぞれの一方の主面に配向膜を塗布する配向膜塗布工程、アレイ基板及び対向基板のそれぞれに塗布された配向膜をラビング処理するラビング工程、アレイ基板及び対向基板を洗浄する洗浄工程、アレイ基板または対向基板の上にスペーサ材を散布する散布工程、アレイ基板または対向基板の上にシール材を塗布するシール材塗布工程、アレイ基板と対向基板とを貼り合せる貼り合せ工程、および、アレイ基板と対向基板との間に液晶組成物を封入する封入工程などにより、液晶表示装置が製造される。
【０００４】
配向膜塗布工程では、転写印刷機が利用され、アレイ基板および対向基板のそれぞれの表面に配向膜の材料としてのポリイミドが塗布される。また、シール材塗布工程では、スクリーン印刷機が利用され、アレイ基板上または対向基板上にシール材すなわち接着剤としてエポキシ樹脂が塗布される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような多品種小量生産の生産ラインにおいては、生産量が少ないために、転写印刷機やスクリーン印刷機などにおける稼動停止時間すなわちタクトタイムが長くなる傾向にある。また、これらの印刷機による配向膜材料やシール材材料などの印刷材料を塗布する塗布工程より以前の工程で、トラブルが発生した場合、生産ラインが停止し、これにともなってこれらの印刷機も稼動が停止され、待機状態となる。
【０００６】
このように、印刷機において、稼動が停止した状態が長い時間継続されると、印刷機に取り付けられた印刷版が乾燥し、稼動が開始されたときに印刷不良、すなわち塗布された印刷材料の膜厚が不均一となったり、塗布ムラが発生しやすいといった問題が生じる。
【０００７】
このような印刷版の乾燥は、版上の印刷材料から印刷材料を溶解している溶剤が揮発するために生じる。
このような問題を解決するために、特開平５−９６８４２号公報によれば、印刷機を密閉容器で囲い、密閉容器内の湿度を調整することにより、印刷版の乾燥を防止することが提案されている。しかしながら、揮発する溶剤の蒸気圧と湿度とは独立であるため、湿度を管理しても溶剤の蒸発量を管理することはできず、印刷版の乾燥を効率よく制御することができない。
【０００８】
そこで、この発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、印刷不良を改善し、高品質な液晶表示装置を製造できる印刷材料の塗布装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記問題点に基づきなされたもので、
請求項１によれば、
第１基板と第２基板との間に液晶組成物を挟持した液晶表示装置を製造するために、前記第１基板及び第２基板の少なくとも一方に印刷材料を塗布する塗布手段を備えた塗布装置において、
前記塗布手段を密閉する密閉手段と、
前記密閉手段内における前記印刷材料に含まれる溶剤が気化した溶剤ガスの溶剤ガス濃度を所定値に調整する調整手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置が提供できる。
【００１０】
この発明の塗布装置によれば、印刷材料を液晶表示装置の第１基板及び第２基板の少なくとも一方に塗布する塗布手段を密閉手段によって密閉し、調整手段により、密閉手段内における印刷材料に含まれる溶剤が気化した溶剤ガスの溶剤ガス濃度が、溶剤の飽和蒸気圧に対応した所定値に調整されている。
【００１１】
すなわち、仕切り内における印刷材料に含まれる溶剤の溶剤ガス濃度を測定しつつ、溶剤ガス濃度が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気圧付近のガス濃度となるように仕切り内の溶剤ガス濃度を調整することにより、溶剤が平行状態となり、溶剤の揮発が抑制される。
【００１２】
このため、溶剤が揮発することによる印刷版の乾燥を防止することが可能となり、印刷版の乾燥による印刷材料の印刷不良が改善され、高品質な液晶表示装置を製造可能な印刷装置を提供することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明に係る塗布装置の実施の形態について詳細に説明する。
この塗布装置は、例えば、液晶表示装置を製造する製造工程において、配向膜材料やシール材などの印刷材料を塗布する印刷装置に適用されるものである。
【００１４】
図１は、この塗布装置が適用される液晶表示装置の構造を概略的に示す断面図である。
この塗布装置が適用される液晶表示装置は、図１に示すように、画像を表示する表示エリア１０２、及び配線パターンが形成された周辺エリア１０４を含む第１基板としてのアレイ基板１００と、このアレイ基板１００に対向配置された第２基板としての対向基板２００と、アレイ基板１００と対向基板２００との間に配置された液晶組成物３００とを備えている。表示エリア１０２は、アレイ基板１００と対向基板２００とを貼り合わせるシール材１０６によって囲まれた領域内に形成され、周辺エリア１０４は、シール材１０６の外側の領域に形成されている。
【００１５】
アレイ基板１００の表示エリア１０２は、透明な絶縁性基板、例えば厚さが０．７ｍｍのガラス基板１０１上に互いに直交するように配設された図示しない１０２４×３本の信号線、及び７６８本の走査線を備えている。
【００１６】
また、アレイ基板１００は、各信号線と各走査線との各交点部毎の近傍に配設されたスイッチング素子としての薄膜トランジスタすなわちＴＦＴ１２１と、このＴＦＴ１２１を介して接続された画素電極１５１とを備えている。画素電極１５１は、透過性の導電性部材、例えばインジウム−ティン−オキサイドすなわちＩＴＯによって形成されている。
【００１７】
ＴＦＴ１２１は、走査線の一部分をゲート電極とし、ゲート絶縁膜を介して順に積層された半導体膜およびチャネル保護膜を有し、さらに、半導体膜に低抵抗半導体膜を介して接続されたソース電極およびドレイン電極を有している。ソース電極は、画素電極１５１に電気的に接続され、ドレイン電極は、信号線に電気的に接続されている。
【００１８】
また、アレイ基板１００の表面は、対向基板２００との間に介在される液晶組成物３００を配向させるための配向膜１４１によって覆われている。
対向基板２００の表示エリア１０２は、透明な絶縁性基板、例えば厚さが０．７ｍｍのガラス基板２０１上に配設された遮光膜２０２を備えている。この遮光膜２０２は、アレイ基板１００における配線パターン上、すなわちアレイ基板１００のＴＦＴ１２１、画素電極１５１、図示しない信号線及び走査線にそれぞれ対向する位置や、各隙間にそれぞれ対向する位置を遮光するように設けられている。
【００１９】
また、対向基板２００は、ガラス基板２０１の画素電極１５１に対向する位置であって、遮光膜２０２の間に配置されたカラー表示を実現するための赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色で構成されるカラーフィルタ２０３Ｒ、２０３Ｇ、２０３Ｂを備えている。
【００２０】
このカラーフィルタ２０３Ｒ、２０３Ｇ、２０３Ｂの表面は、画素電極１５１との間で電位差を形成するＩＴＯによって形成された対向電極２０４によって覆われている。また、この対向電極２０４の表面は、アレイ基板１００との間に介在される液晶組成物３００を配向させるための配向膜２０５によって覆われている。
【００２１】
上述したようなアレイ基板１００及び対向基板２００は、表示エリア１０２の周囲を区画するように塗布されたシール材１０６によって貼り合わされている。この時、アレイ基板１００と対向基板２００との間に散布されたスペーサにより、あれ基板１００と対向基板２００との間に所定間隔のギャップが形成される。
【００２２】
液晶組成物３００は、シール材１０６の一部によって形成された注入口から注入され、この注入口が封止されることによりアレイ基板１００と対向基板２００との間に挟持される。
【００２３】
図２は、図１に示した液晶表示装置の製造工程を概略的に示すフローチャートである。
すなわち、図１に示したような液晶表示装置は、図２に示す製造工程にしたがって形成される。
【００２４】
基板形成工程ＳＴ１では、ガラス基板１０１上に互いに直交するように配置される走査線及び信号線などの各種配線パターン、走査線と信号線との交差部近傍に配置されるＴＦＴ１２１、ＴＦＴ１２１に接続される画素電極１５１などを形成することによりアレイ基板１００を形成する。また、ガラス基板２０１上に遮光膜２０２、カラーフィルタ２０３Ｒ、２０３Ｇ、２０３Ｂ、対向電極２０４を形成することにより対向基板２００を形成する。
【００２５】
基板洗浄工程でＳＴ２は、基板形成工程ＳＴ１でそれぞれ形成されたアレイ基板１００及び対向基板２００を洗浄する。
配向膜塗布工程ＳＴ３では、洗浄されたアレイ基板１００及び対向基板２００のそれぞれの一方の主面、すなわち、アレイ基板１００におけるＴＦＴ１２１及び画素電極１５１が配置された主面の表面と、対向基板２００における対向電極が配置された主面の表面とにそれぞれ配向膜材料、例えばポリイミドを塗布する。この配向膜塗布工程では、後述する塗布装置としての転写印刷装置により各基板表面に印刷材料としてのポリイミドが塗布される。
【００２６】
ラビング工程ＳＴ４では、アレイ基板１００及び対向基板２００のそれぞれ表面に塗布された配向膜材料を所定の方向にラビング処理し、配向膜１４１、２０５をそれぞれ形成する。
【００２７】
基板洗浄工程ＳＴ５では、ラビング処理工程において、配向膜材料をラビング処理した際に発生した配向膜材料片を除去するために、アレイ基板１００及び対向基板２００をそれぞれ洗浄する。
【００２８】
スペーサ散布工程ＳＴ６では、アレイ基板１００または対向基板２００の配向膜１４１または２０５上にスペーサ材を散布する。
シール材塗布工程ＳＴ７では、アレイ基板１００または対向基板２００の表示エリア周辺にシール材１０６としての接着剤、例えばエポキシ樹脂を塗布する。このシール材塗布工程では、後述する塗布装置としてのスクリーン印刷装置によりいずれかの基板に印刷材料としてのエポキシ樹脂が塗布される。このとき、液晶組成物３００を注入するための注入口が確保される。
【００２９】
貼り合せ工程ＳＴ８では、アレイ基板１００または対向基板２００に塗布されたシール材１０６により、両基板を貼り合せる。このとき、両基板の間には、スペーサ材により所定の間隙が形成される。
【００３０】
液晶組成物封入工程ＳＴ９では、アレイ基板１００と対向基板２００との間に、注入口から液晶組成物３００を注入し、注入口を紫外線硬化型樹脂などで封止することにより、両基板間に液晶組成物を封入する。
【００３１】
以上のような工程ＳＴ１乃至ＳＴ９により、液晶表示装置を形成する。
次に、アレイ基板及び対向基板の表面に配向膜材料を塗布する転写印刷装置の構成について説明する。
【００３２】
図３は、転写印刷装置の一例を概略的に示す図である。
この転写印刷装置１は、アレイ基板１００または対向基板２００を載置するステージ２と、ステージ２上に載置された基板の表面に印刷材料としての配向膜材料、例えばポリイミド（ＰＩ）を塗布する塗布手段としての塗布ユニット３と、ステージ２上に載置された基板及び塗布ユニット３を密閉する密閉手段としての仕切り４とを備えている。塗布ユニット３は、印刷版５が巻き付けられた版胴６、印刷版５に印刷材料としてのポリイミドすなわちＰＩを供給するアニロックスロール７、および、アニロックスロール７に付着した印刷材料を均一化するドクターロール８を有している。印刷材料としてのポリイミドは、溶剤、例えばガンマブチロラクトンにより溶解されている。
【００３３】
また、この転写印刷装置１は、仕切り４内の雰囲気を調整する自己循環式空調機１０を備えている。この自己循環式空調機１０は、仕切り４内から雰囲気を吸気する吸気口１１、吸気口１１から吸気した雰囲気をフィルタ１２を介して清浄化して吹出す吹出し口１３、仕切り４内の雰囲気を必要に応じて外部に排気する排気手段としての排気装置１５、および、必要に応じて仕切り４内に外気を取り込む吸気手段としての吸気装置１６を有している。
【００３４】
さらに、この転写印刷装置１は、仕切り４内において、溶剤が気化した溶剤ガスの濃度を検知する検知手段としてのガス濃度測定装置２０と、溶剤を収容するとともに溶剤ガスを供給する供給手段としてのガス供給装置３０とを備えている。
【００３５】
ガス濃度測定装置２０は、仕切り４内の溶剤ガスの濃度を測定するものであり、ガスクロマトグラフィ法を利用した測定装置や、周知の蒸気圧測定装置を利用した測定装置などが適用可能である。すなわち、仕切り４内において、溶剤が気化することによって発生する溶剤ガスの濃度が高くなると、仕切り４内における溶剤ガスの圧力が高くなる。そして、仕切り４内の溶剤ガスの圧力が、溶剤の飽和蒸気圧（蒸気圧）に達すると、気体としての溶剤ガスと液体としての溶剤とが平衡状態となり、液体の溶剤から溶剤ガスが気化しにくくなる。
【００３６】
つまり、仕切り４内の溶剤ガスの濃度が飽和蒸気圧に対応するガス濃度に達すると、仕切り４内の溶剤は、気化しにくい状態となり、溶剤の揮発を抑制することが可能となる。一方、溶剤ガスの濃度が飽和蒸気圧より低いガス濃度である場合、仕切り４内の溶剤は、気化しやすい状態となる。また、溶剤ガスの濃度が飽和蒸気圧より高いガス濃度である場合、仕切り４内の溶剤ガスが結露しやすい状態となる。
【００３７】
ガス供給装置３０は、印刷材料を溶解する溶剤と同一の溶剤を収容する容器３１と、この容器３１を密閉する蓋３２と、この蓋３２を開閉する開閉手段としての開閉機構３３とを備えている。
【００３８】
この転写印刷装置１は、図４に示すような構成要素により調整手段として機能するガス濃度制御部４０を構成している。すなわち、ガス濃度制御部４０は、仕切り４内における雰囲気中の溶剤ガス濃度を溶剤の飽和蒸気圧付近に制御する判断手段としての主制御部４１と、雰囲気中の溶剤ガス濃度を測定するガス濃度測定装置２０と、仕切り４内に溶剤ガスを供給するガス供給装置３０と、仕切り４内から溶剤ガスを含む雰囲気を排気する排気装置１５と、仕切り４内に外気を取り入れる吸気装置１６とによって構成される。
【００３９】
すなわち、主制御部４１により、ガス濃度測定装置２０によって測定された仕切り４内における雰囲気中の溶剤ガス濃度が溶剤の飽和蒸気圧より低いと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０の蓋開閉機構３３を駆動させて、溶剤を収容している容器３１の蓋３２を開放させる。このとき、排気装置１５及び吸気装置１６は、外気から仕切り４内の空間を遮断し、仕切り４内を密閉する。
【００４０】
容器３１の蓋３２が開放されることにより、容器３１内に収容されている溶剤が気化して溶剤ガスが発生し、仕切り４内に溶剤ガスが充満する。
そして、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０の蓋開閉機構３３を駆動させて、蓋３１を閉塞させる。このとき、仕切り４内は、依然として密閉された状態に維持されている。
【００４１】
また、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より高いと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０の蓋開閉機構３３を駆動させて、蓋３１を閉塞させる。さらに、主制御部４１は、排気装置１５を駆動させて、自己循環式空調機１０の吸気口１１から吸気した仕切り４内の溶剤ガスを含む雰囲気を排気するとともに、吸気装置１６を駆動させて、外気を吹出し口１３から仕切り４内に取り入れる。
【００４２】
そして、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合には、主制御部４１は、排気装置１５及び吸気装置１６の駆動を停止させ、仕切り４内を外気から遮断させて密閉する。
【００４３】
この転写印刷装置の場合、印刷材料としての配向膜材料すなわちポリイミドを溶解する溶剤として使用したガンマブチロラクトンの飽和蒸気圧は、７９℃において１０ｍｍＨｇである。
【００４４】
上述したように、印刷材料を転写印刷する転写印刷装置において、印刷材料を塗布する塗布ユニットを仕切りによって密閉し、仕切り内における印刷材料を溶解している溶剤の溶剤ガス濃度を測定しつつ、溶剤ガス濃度が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気圧付近のガス濃度となるように仕切り内の溶剤ガス濃度を調整することにより、溶剤の揮発が抑制され、溶剤が揮発することによる印刷版の乾燥を防止することが可能となる。
【００４５】
このため、印刷版の乾燥による印刷材料の印刷不良が改善され、高品質な液晶表示装置を製造可能な印刷装置を提供することが可能となる。
次に、アレイ基板または対向基板の表示エリア周辺にシール材を塗布するスクリーン印刷装置の構成について説明する。
【００４６】
図５は、スクリーン印刷装置の一例を概略的に示す図である。なお、図３に示した転写印刷装置と同一の構成要素については、同一の参照番号を付与して詳細な説明を省略する。
【００４７】
この印刷装置は、基板を載置するステージ２と、ステージ２上に載置された基板の表面に印刷材料としてのシール材材料、例えばエポキシ樹脂（ＥＰ）を塗布する塗布手段としての塗布ユニット５０と、ステージ２上に載置された基板及び塗布ユニット３を密閉する密閉手段としての仕切り４とを備えている。塗布ユニット５０は、スクリーン印刷版５１を支持するフレーム５２、および、スクリーン印刷版５１上を加圧摺動して印刷材料としてのエポキシ樹脂すなわちＥＰをスクリーン印刷版５１の開口部から流出させるスキージ５３を有している。印刷材料としてのエポキシ樹脂は、溶剤、例えばメチルカルビトールにより溶解されている。
【００４８】
また、このスクリーン印刷装置は、仕切り４内の雰囲気を調整する排気装置１５及び吸気装置１６を有する自己循環式空調機１０と、仕切り４内において、溶剤が気化した溶剤ガスの濃度を検知する検知手段としてのガス濃度測定装置２０と、溶剤を収容するとともに溶剤ガスを供給する供給手段としてのガス供給装置３０とを備えている。
【００４９】
ガス供給装置３０は、印刷材料を溶解する溶剤と同一の溶剤を収容する容器３１と、この容器３１を密閉する蓋３２と、この蓋３２を開閉する開閉手段としての開閉機構３３とを備えている。
【００５０】
このようなスクリーン印刷装置においても、ガス濃度制御部４０により、仕切り４内における雰囲気中の溶剤ガス濃度を調整している。
このスクリーン印刷装置の場合、印刷材料としてのシール材材料すなわちエポキシ樹脂を溶解する溶剤として使用したメチルカルビトールの飽和蒸気圧は、２５℃において０．１８ｍｍＨｇである。
【００５１】
上述したように、印刷材料をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置において、印刷材料を塗布する塗布ユニットを仕切りによって密閉し、仕切り内における印刷材料を溶解している溶剤の溶剤ガス濃度を測定しつつ、溶剤ガス濃度が所定値すなわち溶剤の飽和蒸気圧付近のガス濃度となるように仕切り内の溶剤ガス濃度を調整することにより、溶剤の揮発が抑制され、溶剤が揮発することによる印刷版の乾燥を防止することが可能となる。
【００５２】
このため、印刷版の乾燥による印刷材料の印刷不良が改善され、高品質な液晶表示装置を製造可能な印刷装置を提供することが可能となる。
上述した転写印刷装置及びスクリーン印刷装置に適用されるガス供給装置３０は、容器３１、蓋３２、および、蓋開閉機構３３によって構成されたが、この例に限らず、他の構成であってもよい。
【００５３】
例えば、図６に示すガス供給装置３５は、溶剤を収容する容器３１、容器３１に巻き付けられて容器３１を加熱する加熱手段としてのヒータ線３６、ヒータ線３６による加熱を制御するヒータコントローラ３７、および、容器３１から気化した溶剤ガスを仕切り内に拡散させる拡散手段としての拡散用ファン３８を備えている。
【００５４】
このようなガス供給装置３５を含むガス濃度制御部４５は、主制御部４１と、ガス濃度測定装置２０と、ガス供給装置３０と、排気装置１５と、吸気装置１６とによって構成される。
【００５５】
すなわち、主制御部４１により、ガス濃度測定装置２０によって測定された仕切り４内における雰囲気中の溶剤ガス濃度が溶剤の飽和蒸気圧より低いと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０のヒータコントローラ３７を制御してヒータ線３６を介して容器３１を加熱させ、積極的に溶剤を気化させる。さらに、主制御部４１は、拡散用ファン３８を駆動させて仕切り４内に積極的に気化させた溶剤ガスを拡散させる。このとき、排気装置１５及び吸気装置１６は、外気から仕切り４内の空間を遮断し、仕切り４内を密閉する。これにより、仕切り４内に溶剤ガスが充満する。
【００５６】
そして、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０のヒータコントローラ３７による容器３１の加熱を停止させるとともに、拡散用ファン３８の駆動を停止させる。
【００５７】
また、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より高いと判断された場合には、主制御部４１は、ガス供給装置３０のヒータコントローラ３７による容器３１の加熱および拡散用ファン３８の駆動を停止させる。さらに、主制御部４１は、排気装置１５を駆動させて、仕切り４内の溶剤ガスを含む雰囲気を排気するとともに、吸気装置１６を駆動させて、仕切り４内に外気を取り入れる。
【００５８】
そして、主制御部４１により、仕切り４内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧に達したと判断された場合には、主制御部４１は、排気装置１５及び吸気装置１６の駆動を停止させ、仕切り４内を外気から遮断させて密閉する。
【００５９】
このようなガス供給装置を適用することにより、仕切り内の溶剤ガス濃度が飽和蒸気圧より低い場合には、迅速に溶剤を気化させることが可能となるとともに、迅速に仕切り内に溶剤ガスを拡散することが可能となるため、迅速に仕切り内の溶剤ガス濃度を飽和蒸気圧に対応したガス濃度に到達させることができる。このため、印刷版からの溶剤の気化を効率的に抑制することが可能となり、印刷版の乾燥による印刷不良を防止できる。
【００６０】
なお、この発明は、上述した例で使用した溶剤に限らず、他の溶剤を使用した場合であっても、仕切り内の雰囲気中の溶剤ガス濃度を各溶剤の飽和蒸気圧に調整することにより適用可能である。
【００６１】
他の溶剤として、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテートを使用した場合、飽和蒸気圧は、２０℃において１．７ｍｍＨｇであり、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＤＰＭＥ）を使用した場合、飽和蒸気圧は、２５℃において０．３ｍｍＨｇであり、ブチルセロソルブを使用した場合、飽和蒸気圧は、２５℃において０．８５２ｍｍＨｇであり、Ｎ−メチルピロリドンを使用した場合、飽和蒸気圧は、１００℃において２４ｍｍＨｇ、６０℃において４ｍｍＨｇである。
【００６２】
仕切り内の溶剤ガス濃度を溶剤の飽和蒸気圧に合わせて調整することにより、溶剤の揮発を抑制することが可能となり、印刷版の乾燥を抑制し、印刷版の乾燥による印刷不良を改善することが可能となる。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、印刷不良を改善し、高品質な液晶表示装置を製造できる印刷材料の塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の印刷装置によって印刷材料が塗布される液晶表示装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２】図２は、図１に示した液晶表示装置の製造工程を概略的に示すフローチャートである。
【図３】図３は、この発明の印刷装置としての転写印刷装置の構成を概略的に示す図である。
【図４】図４は、図３に示した転写印刷装置のガス濃度制御部の構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、この発明の印刷装置としてのスクリーン印刷装置の構成を概略的に示す図である。
【図６】図６は、この発明の印刷装置に適用可能なガス供給装置の他の例を概略的に示す図である。
【図７】図７は、図６に示したガス供給装置を含む他のガス濃度制御部の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１…転写印刷装置
３…塗布ユニット
４…仕切り
１０…自己循環式空調機
１５…排気装置
１６…吸気装置
２０…ガス濃度測定装置
３０…ガス供給装置
３１…容器
３２…蓋
３３…蓋開閉機構
３５…ガス供給装置
３７…ヒータコントローラ
３８…拡散用ファン
４０…ガス濃度制御部
４１…主制御部
５０…塗布ユニット
【図１】
0003999330.tif 000002
【図２】
0003999330.tif 000003
【図３】
0003999330.tif 000004
【図４】
0003999330.tif 000005
【図５】
0003999330.tif 000006
【図６】
0003999330.tif 000007
【図７】
0003999330.tif 000008