(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数層の熱可塑性樹脂粉体を基にした焼結体であり、未焼結時にその主成分中で、原料粉体の成分、粒度分布、かさ密度の条件内の少なくとも１条件を各層で変えることで、吸着側層の圧力損失を他層に対して大きくした焼結体壁とする焼結体フィルタを製造する方法であって、通気性を有する自己支持性のネット或いは境界板により金型内を各層用の空間に仕切り、熱可塑性樹脂粉体を原料とし各層に特定な成分の原料粉体を各層同士で成分が混合しないように各対応空間に供給し、一度の焼結で多層構造の焼結体壁を形成することを特徴とする焼結体フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、産業用集塵器や分離器における固気分離或いは固液分離用のフィルタ装置に関し、微細粒子を捕集するのに好適な焼結フィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来フィルタ濾材としては、バグフィルタに代表される繊維(織布或いは不織布)濾材と並び、樹脂や無機物或いは金属の粉体を用いた適当な孔径の連結多孔を有する焼結多孔体が多く用いられている。
フィルタに用いるべく製作される焼結多孔体は通常、自形が保たれるような強度に設計されており、自己形状支持体となっている。従って、バグフィルタ等に用いられる形状支持体いわゆるリテーナが不要であり、エレメントの脱着や交換等の取扱いがバグフィルタに比べて非常に容易である。
また、焼結体では表面形状を波形やひだ状など任意に成形することができるため、フィルタエレメントの単位濾過面積を大きくとることができ、従って装置全体がコンパクトになるという利点もある。
【０００３】
これら焼結多孔体は通常、一定の孔径分布と強度を有する均一の組織で成り立っている。つまり、構成成分等が単一或いは複数であるかどうかに関わらず、その構成成分がほぼ均等に拡散された原料粉体を焼結した物である。従って、この焼結体のどの部分をとっても、それらが誤差範囲或いは制御可能な範囲で、略同一の孔径分布と強度を有する。
焼結体を均一の組織で構成することは、フィルタエレメントとして用いる場合に重要な要素である。つまり、どの部分の圧力損失も強度も同一であるから、フィルタエレメントとして各部分で均等に濾過性能を発揮することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年、大気汚染や環境汚染に対する社会的監視が強まる中、フィルタ装置への要求、特に濾過性能についての要求がより高い物となっている。即ちフィルタには、1)圧力損失は現状のままあるいは小さく、2)更に微細粒子の捕捉性能が高いものが求められている。
【０００５】
ここで図７は従来の焼結多孔体で圧力損失を低くした場合の粉塵等の捕集形態を表す模式図である。この構成のように、濾材１００の構成成分のかさ密度を小さくして孔径を大きくすることで、圧力損失ΔＰを小さくすることはできる。しかし、孔径が大きくなると粉塵粒子の捕捉は困難になり、粒子が孔を通り抜ける「目抜け」、或いは濾材中に滞留してしまう「目詰まり」を生じてしまい、フィルタとしての濾過性能の低下は免れないという問題がある。
【０００６】
一方、図８は従来の焼結多孔体で捕捉性能を高めた場合の粉塵等の捕集形態を表す模式図である。この構成のように、濾材２００の構成成分のかさ密度を大きくして孔径を小さくすることで、粉塵粒子の捕捉性能を高めることは可能である。しかし、同時に濾材の圧力損失ΔＰは大きくなってしまう。そしてこれに対処するには、濾過面積を大きくして、つまりフィルタ装置全体の容量を大きくして濾過風速を落とすか、送風機の動力を大きくするかなど、いすれにせよ装置の大型化が必要となってくる。
【０００７】
従って、本発明の第１の目的は、上記要求を満たすものであり、圧力損失を上げることなく、より微細な粒子の捕捉性能を高めた焼結体フィルタを提供することにある。
更に、本発明の第２の目的は、上記要求を満たすものであり、圧力損失を上げることなく、より微細な粒子の捕捉性能を高めた焼結体フィルタを製作する方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を本発明は、以下の構成により達成する。
（１）  複数層の熱可塑性樹脂粉体を基にした焼結体であり、未焼結時にその主成分中で、原料粉体の成分、粒度分布、かさ密度の条件内の少なくとも１条件を各層で変えることで、吸着側層の圧力損失を他層に対して大きくした焼結体壁とする焼結体フィルタを製造する方法であって、通気性を有する自己支持性のネット或いは境界板により金型内を各層用の空間に仕切り、熱可塑性樹脂粉体を原料とし各層に特定な成分の原料粉体を各層同士で成分が混合しないように各対応空間に供給し、一度の焼結で多層構造の焼結体壁を形成することを特徴とする焼結体フィルタの製造方法。
つまり、例えば、粒子吸着側となる表面付近の組織層のかさ密度を大きくして孔径を小さくして微細粒子を捕捉し、その層で圧力損失が上がった分を、反対面付近の層のかさ密度を小さくして圧力損失を下げ、全体としての圧力損失と強度の維持を提供するものである。
【００１０】
つまり、上記のようなネット或いは境界板により金型内を各層用の空間に仕切ることで、隣り合う層の成分が混ざり合うことを抑え、更に、一度に焼結を行うことで隣り合う層の樹脂が絡み合い、ボルト、ビス、接着剤等の媒体を使用することなく、各層で異なった通気性を保ちつつ一体となった焼結体フィルタを成形することができる。
【００１１】
ここで、各層構成の好ましい物性としては：
構成各層の、厚さが0.5〜15[mm]、通気度(フラジール法：圧損12.7mm水柱時)が0.3〜100[cm3/cm2/sec]、気孔率が5〜60[%]、引張強さが0.2〜3.0[kgf/mm2]の範囲内にあることが本発明として好ましい。
この際の層の成分としては、焼結体の母材原料粉体が、ポリエチレンやポリプロピレンなどに代表されるポリオレフィン系樹脂やポリスルフォン系樹脂の粉体が好ましい。
焼結体の母材原料粉体に含む成分材料としては、鉱石或いはセラミックスなどの鉱物性無機材料の粒子や繊維を1%〜45%の重量割合で混合した粉体を構成層中の少なくとも一層に混入することが好ましい。
【００１２】
上記ネットの形態としては、そのまま残置して焼結する構成が可能で、その場合、ネットの構成としては、熱可塑性樹脂粉体原料を、例えば水平面に対して垂直方向に層面を有する多層に構成する為に、その境界として樹脂或いは金属製の、目開きが接触する２種の層の原料粉体のうち大きい方の平均粒度の50〜150％で且つ開口率が10〜50％且つ厚さが最少層厚の1/10〜1/100の自己支持性のネットを用いることが好ましい。
【００１３】
また、原料粉体を金型に投入後、層間の境界板を取り除いて焼結する構成も可能で、その場合、境界板の構成としては、異なる熱可塑性樹脂粉体原料を、例えば水平面に対して垂直な方向に層面を有する多層に構成する為に、その境界として最少層厚の1/100〜1/1000の厚さの樹脂或いは紙或いは金属製の板を用いることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態として、角筒形の二層樹脂焼結体フィルタについて説明する。
図１は本発明の焼結体フィルタの局所を拡大して粉塵等の捕集形態を示す模式図である。
この実施形態では、焼結体フィルタ１０の吸着側層である外層１２の構成成分のかさ密度を大きくして、外層１２において気流が通り抜けるための平均的な孔径を小さくし、外層１２の圧力損失ΔＰを大きくしている。そして、内層１４の構成成分のかさ密度を小さくして、内層１４において気流が通り抜けるための平均的な孔径を大きくすることで、圧力損失ΔＰを小さくしている。
【００１５】
つまり、外層１２では塵等の吸着面で孔径が小さいので、微細粒子を捕捉し易くなる。その一方で外層１２自体の単位面積当たりの圧力損失は大きな物となってしまう。そこで、外層１２の厚さをそれ単独ではフィルタとして不十分な程度に薄くし、焼結体フィルタ１０の厚み方向を考慮した場合の圧力損失の上昇を抑える。その上で、構成成分のかさ密度を小さくした内層１４を備えることで、外層１２と内層１４とを合わせた値がフィルタとしての所望の圧力損失となるように各層の厚さを設定し、圧力損失の上昇を抑える。
このような構成とすることで、強度を落とすことなく、全体としての圧力損失の上昇を抑えつつ、微細粒子の捕捉性能をより高いものとすることができる。
【００１６】
このような圧力損失の調整に関与する主な項目としては、熱可塑性樹脂粉体の未焼結時のその主成分中での、原料粉体の成分、粒度分布、かさ密度等である。特に、要求される微細粒子の捕捉性能に関しては、吸着側層のこれらの調整により単位面積当たりの圧力損失を大きくする側に設定する。そして、フィルタ全体として圧力損失の上昇を抑えるためには、フィルタの強度維持のために吸着側層の厚みとそれ以外の層の厚みとをバランスを取りつつ、吸着側層以外の層の原料粉体の成分、粒度分布、かさ密度等の設定により圧力損失を調整する。
【００１７】
この焼結体フィルタ１０の実際の使用形態として、図２を参照して説明する。この図２は本発明の焼結体フィルタの内の１形態を使用する捕集装置の１つの実施形態を示す概略図である。
この捕集装置１は略角形状の密閉されたケーシング２を有し、その内部は区画壁である上部天板３によって下部の捕集室４と上部の清浄空気室５とに分けられている。また、ケーシング２の中腹に下部の捕集室４に連通する含塵空気の供給口６が設けられている。また、ケーシング２の上部に清浄空気室５に連通する清浄空気の排出口７が設けられている。そして、上部天板３の下面には本発明の焼結体フィルタの内の１形態である中空扁平状の複数のフィルタエレメント８が所定の間隔で取り付けられている。フィルタエレメント８は上端に大径部９が形成され、そして、この大径部９が締め付けボルト１１により上部天板３に取り付けられている。
【００１８】
供給口６からケーシング２の捕集室４内に供給された含塵空気は、中空に形成されたフィルタエレメント８の濾過体を通過して内側に流れ込む。この時粉塵はフィルタエレメント８の表面に付着・堆積して捕集され、フィルタエレメント８の内側に流れ込んだ清浄空気は、ケーシング２の上部の清浄空気室５に入り、その排出口７から所定の場所に導かれる。噴射管１３は通常の空気流とは逆の空気流を瞬間的にフィルタエレメント８内に噴射する物で、フィルタエレメント８の表面に付着・堆積した粉塵等をトレー１５上に払い落とす作用を備えている。
【００１９】
図３は図２に示したフィルタエレメント８に対するＰ−Ｐ断面図である。フィルタエレメントは捕集能力、払い落とし能力等を考慮して形状が決定され、図３の装置では、フィルタエレメント８の断面は波形形状ないし蛇腹形状としている。
なお、本発明の焼結体フィルタは上記のような中空形態に限らず、円板等の平板形状とすることもできる。
【００２０】
焼結原料は、例えばポリエチレン樹脂粉の平均粒径の異なる二種を用いる。基本的には、ポリエチレン樹脂粉で粒子径が大きいＸは内層(圧力損失小)に、粒子径の小さいＹは外層(圧力損失大)の原料とする。とにかくこの二種の平均粒径に差があれば、圧力損失の異なる複数層の焼結体フィルタを作成することが可能であるが、使用において都合の良い粒径としては、Ｘ：平均粒子径300〜600μm，Ｙ：平均粒子径100〜200μmである。
この際、各層に用いる原料は単種である必要性は無く、例えばＸとＹをそれぞれの層に適当な粉体かさ密度に調整した混合物でもよい。また、ＸとＹが同種或いは同グレードの樹脂である必要もない。要は、目的とするフィルタエレメントとして必要な圧力損失と強度を得ることができる材料で、焼結可能な材料であるものなら、どのような組合わせでも構わない。
【００２１】
次に、本発明の焼結体フィルタの製造方法について記載する。
まず、以下では中空の角筒状の焼結体フィルタを製造する場合を述べるもので、図３の物とは形状が異なるが、同様の工程で製造することができる。
始めに原料の金型２０への充填の前工程について説明する。
図４は本発明の焼結体フィルタを製造するための金型の１実施形態を示す斜視図である。焼結体の外形を形成する為の外金型２２内に内形を形成する内金型２４を所望の距離を保って設置する。外金型２２と内金型２４で形成する空間に、樹脂製のネット２６を設置する。
ネット２６、外金型２２、内金型２４それぞれの距離は、所望の圧力損失と微細粒子捕集能力に対して必要とされる外層・内層のそれぞれの厚さに対応するように設定される。
【００２２】
図５は金型への原料の投入形態を示す模式図である。
この図では、金型２０内にネット２６を設置後、上記二種の原料をそれぞれの隙間、Ｘは内層(ネット２６と内金型２４の間)にＹは外層(ネット２６と外金型２２の間)に、投入充填用ホッパ３０により原料を金型２０内の全ての間隙について同時に投入充填していく。同時に投入充填することで常に金型２０内のいずれの間隙についても原料粉ＸとＹの充填高さを同じくし、充填時のネット２６と金型２２又は２６と間の距離が変化しないようにする。
また原料投入に際しては、ネットと金型間距離つまり焼結後にそれぞれの層となる部分の厚さに応じた排出幅を有するホッパ形状の投入口を用いるのが好ましい。
【００２３】
図６は中空状底付きの焼結体フィルタとする場合の金型への原料の投入形態を示す模式図である。
中空状底付きの焼結体フィルタとする場合は、予め外金型２２ａ底部に所定厚さｄ１で外層用の原料Ｙを投入充填し、その上にネット２６ａ枠内に内層用の原料Ｘを所定厚さｄ２に充填する。内金型２４ａはこの底部に充填された原料Ｘまでの挿入で停止される。その後は、図５と同様に、投入充填用ホッパ３０により原料を金型２０ａ内の全ての間隙について同時に原料を投入充填していく。
【００２４】
そして、このように原料充填した金型を炉に入れ(天地無用)、それぞれの層を同時に220〜230℃で約２時間加熱し、50〜60℃前後まで冷却し（加熱時間・温度、冷却温度については、使用する原料により異なる。）、これら二層を一体に焼結する。その後、外金型２２から内金型２４及び焼結体の順に引き抜く。尚、外金型２２は分割式であるほうが焼結体を取出し易く望ましい。このようにして、外側と内側に異なる組織の二層を有する、二層樹脂焼結多孔体を得る。
ネットを用いる場合そのネットはそのまま残置することになるが、ネットを用いずに鉄板のような薄い無孔材料を用いて、原料を投入充填した後、その無孔材料を各層が混じり合わないように引き抜くことも可能である。この際の鉄板の厚さは、焼結体を構成する層のうち最少厚さの1/100〜1/1000であることが望ましい。
【００２５】
また、焼結時にネットを残置する場合、これに使用するネット２６の目開きは、層境界で各層の粒子が混じり合わないことが条件であり、粒子径が大きい方の原料の平均粒子径の50〜150％が可能で、100％以下であることがより望ましい。ネットの開口率は、低すぎると圧力損失の上昇となるので、各層の圧力損失に影響を与えない程度以上が好ましく、更にはより開口率の高い方が好ましいが、層境界で各層の粒子が混じり合わないようにすることが必要である。従って、ネットの開口率は25〜75％程度の範囲となる。ネットの厚さは、焼結体を構成する層の最少厚さに対して、1/10〜1/100であることが望ましい。また、ネットの素材はできれば焼結原料と同種で、焼結時に原料と融着することが焼結体の強度上好ましいが、特に必要条件ではなく、金属等のネットを使用しても構わない。
【００２６】
なお、得られた焼結体の表面にフッ素樹脂粉体からなるコーティング層を付加して、特に精密濾過に最適な濾材として提供することもできる。
【００２７】
更に、各層を別々に焼結の後、外層となる焼結体フィルタの中に内層となるフィルタを挿入固定することもできる。この場合には固定するための部材若しくは接着剤などが必要となるが、それぞれの層の原料が混じることはあり得なくなる。また、外層と内層との組み合わせを焼結後であっても容易に変更することができる。
【００２８】
【実施例】
上記、少なくとも２層の異なる組織の層を有するの焼結体フィルタとその製造方法を、以下に実施例を示して説明する。しかし本発明は、以下の実施例によって制限されるものではない。
以下の実施例の焼結体フィルタの形状は、簡略化及び実験の容易性から図２の複雑な形態とはせず、中空の角筒状とし、２層及び３層について検討する。
【００２９】
（実施例１）
原料Ａ：超高分子量ポリエチレン粉体(平均粒子径130μm、真密度0.935g/cm3、粉体かさ密度0.51g/cm3)
原料Ｂ：高密度ポリエチレン粉砕粉体(平均粒子径350μm、真密度0.934g/cm3、粉体かさ密度0.26g/cm3)
上記原料Ａと原料Ｂを用い、焼結体フィルタの二層の原料とした。粒子径の小さい方の原料Ａはそのまま外層の原料とし、内層には原料Ａと原料Ｂを重量比４対６で混合した原料Ｃ(粉体かさ密度0.36g/cm3)を用いた。
内寸法：縦100mm、横100mm、幅30mmの片端閉塞で二つ割の外金型に、寸法：縦120mm、横80mm、幅10mmの内金型を設置し、外金型と内金型の間に10mm幅の隙間を形成するようにした。この隙間の中間に、高密度ポリエチレン製の縦120mmのネット(目開き350μm、線径0.5mm)を設置し外部から仮固定した。この際、このネットには予めアイロンをかけ、90mm×90mmの矩形断面の筒形態に成形しておいた。
【００３０】
次に、投入口外径寸法：9mm×90mmの投入充填用ホッパＭ（外層及び内層用の２つの投入口が一体となっている。）を２つ、同9mm×20mmの同ホッパＮ（外層及び内層用の２つの投入口が一体となっている。）を２つ、計４つの投入充填用ホッパを用意し、金型の長辺の隙間にはホッパＭで、同短辺にはホッパＮで、ネットと外金型の隙間(外層)には原料Ａを、ネットと内金型の隙間(内層)には原料Ｃを同時に投入充填した。
なお、ホッパＭ、Ｎそれぞれの断面形状としては内金型に近い辺を短辺とした台形形状が好ましく、これらを組み合わせることで内金型上方を除く外層及び内層の上方全体をホッパで覆うことができ、各層への原料投入を全体で均等にできる。
これをそのまま電気炉内に移し、常温から昇温し、220℃で２時間保持した後、50℃まで冷却したのち電気炉から取出し、内金型を引き抜いた後、外金型を分解して、角筒状の二層ポリエチレン樹脂焼結多孔体を得た。これに端部処理を施せば、実施例１のフィルタエレメントとなる。
【００３１】
（実施例２）
原料Ｇ：ポリサルフォン樹脂粉砕粉体(平均粒子径150μm、真密度1.24g/cm3、メルトフロー指数6.5(ASTM D1238)、粉体かさ密度0.51g/cm3)
原料Ｈ：ポリサルフォン樹脂粉砕粉体(平均粒子径250μm、粉体かさ密度0.29g/cm3)
上記原料Ｇと原料Ｈを用い、二層の焼結体フィルタの原料とした。粒子径が小さい方の原料Ｇを外層の原料とし、内層には原料Ｈを用いた。
【００３２】
金型、ネット及び投入充填用ホッパについては、実施例１と同様の物を使用し、ネットと外金型の隙間(外層)には原料Ｇを、ネットと内金型の隙間(内層)には原料Ｈを同時に投入充填した。
これをそのまま電気炉内に移し、常温から昇温し、230℃で２時間保持した後、150℃まで冷却したのち電気炉から取出し、内金型を引き抜いた後、外金型を分解して、角筒状のポリサルフォン製二層樹脂焼結多孔体を得た。これに端部処理を施せば、実施例２のフィルタエレメントとなる。
【００３３】
（実施例３）
実施例１に示した原料Ａと原料Ｂを用い、焼結体フィルタの三層の原料とした。粒子径の小さい方の原料Ａはそのまま外層の原料とし、中間層には原料Ａと原料Ｂを重量比４対６で混合した原料Ｃ(粉体かさ密度0.36g/cm3)を用い、内層には原料Ａと原料Ｂを重量比２対８で混合した原料Ｄ(粉体かさ密度0.31g/cm3)を用いた。
【００３４】
金型については実施例１と同様の物を使用し、外金型と内金型の間に10mm幅の隙間を形成するようにした。この間隙幅をほぼ三等分するように、高密度ポリエチレン製の縦120mmのネット(目開き350μm、線径0.5mm)を二枚設置し外部から仮固定した。この際、このネットには予めアイロンをかけ、それぞれ93mm×93mm,96mm×96mmの矩形断面の筒形態に成形しておいた。
【００３５】
次に、金型内の全ての間隙に対向する位置に投入充填用ホッパを用意し、原料を金型内の全ての間隙について同時に投入充填した。この際、ネットと外金型の隙間(外層)には原料Ａを、ネット間の隙間(中間層)には原料Ｃを、ネットと内金型の隙間(内層)には原料Ｄを同時に投入充填する。
これをそのまま電気炉内に移し、常温から昇温し、220℃で２時間保持した後、50℃まで冷却したのち電気炉から取出し、内金型を引き抜いた後、外金型を分解して、角筒状の三層ポリエチレン樹脂焼結多孔体を得た。これに端部処理を施せば、実施例３のフィルタエレメントとなる。
【００３６】
（比較例１）
実施例１に示した原料Ａ，Ｂを用い、原料Ａ，Ｂを重量比７対３で混合した原料(粉体かさ密度0.41g/cm3)を用い、単層の焼結体フィルタを製作した。
金型及び投入充填用ホッパについては、実施例１と同様の物を使用し、原料Ａと原料Ｂを重量比７対３で混合した原料を投入充填用ホッパにより投入充填した。
これをそのまま電気炉内に移し、常温から昇温し、220℃で２時間保持した後、50℃まで冷却したのち電気炉から取出し、内金型を引き抜いた後、外金型を分解して、角筒状の単層ポリエチレン樹脂焼結多孔体を得た。これに端部処理を施せば、比較例１のフィルタエレメントとなる。
【００３７】
（比較結果）
上記各実施例及び比較例によるフィルタエレメントを試験用粉塵負荷装置にかけて、比較実験を行った。それぞれの初期圧力損失値を表１に、粉塵負荷試験における圧力損失値と清浄排気中の含塵濃度のデータを表２に示す。尚、負荷試験の条件は、粉塵は炭酸カルシウム粉(平均粒径15μm)で、負荷量は10g/m3N、濾過風速は１m/minである。
【００３８】
【表１】
0003990498.tif 000002
【００３９】
【表２】
0003990498.tif 000003
【００４０】
表１，２から解るように、圧力損失は比較例１と同等若しくは低くなっているにも拘わらず、本発明のフィルタによれば清浄排気中の含塵濃度を非常に低くすることができる。
【００４１】
【発明の効果】
複数層の熱可塑性樹脂粉体を基にした焼結体の少なくとも１つの成分条件を各層で変えることで、吸着側層の圧力損失を他層に対して大きくした焼結体フィルタにより、フィルタ全体としての圧力損失の上昇を抑えつつ、捕集面付近だけを緻密構造にして微細粉塵を捕集する効果を高めることができ、また、その設定を用途に合わせてより細かく設定することができる。
更に、それぞれの層を別々に焼結の後、組み付ける場合には、それぞれの層の原料が混じることはあり得なくなり、また、外層と内層との組み合わせを焼結後であっても容易に変更することができる。
一方、一度機に一体の焼結体とする場合には、張り合わせや接合などフィルタとして好ましくない工程が不要となって、性能が安定し、製造工程も少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の焼結体フィルタの局所を拡大して粉塵等の捕集形態を示す模式図である。
【図２】本発明の焼結体フィルタの内の１形態を使用する捕集装置の１つの実施形態を示す概略図である。
【図３】図２に示したフィルタエレメント８に対するＰ−Ｐ断面図である。
【図４】本発明の焼結体フィルタを製造するための金型の１実施形態を示す斜視図である。
【図５】図４に示した金型への原料の投入形態を示す模式図である。
【図６】中空状底付きの焼結体フィルタとする場合の図４に示した金型への原料の投入形態を示す模式図である。
【図７】従来の焼結多孔体で圧力損失を低くした場合の粉塵等の捕集形態を表す模式図である。
【図８】従来の焼結多孔体で捕捉性能を高めた場合の粉塵等の捕集形態を表す模式図である。
【符号の説明】
１  捕集装置
３  上部天板
５  清浄空気室
６  供給口
７  排出口
８  フィルタエレメント
１０  焼結体フィルタ
１２  外層
１４  内層
２０，２０ａ  金型
２２，２２ａ  外金型
２４，２４ａ  内金型
２６，２６ａ  ネット
１００  濾材
２００  濾材
【図１】
0003990498.tif 000004
【図２】
0003990498.tif 000005
【図３】
0003990498.tif 000006
【図４】
0003990498.tif 000007
【図５】
0003990498.tif 000008
【図６】
0003990498.tif 000009
【図７】
0003990498.tif 000010
【図８】
0003990498.tif 000011