(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を搬入する洗浄室内に紫外線ランプを設け、この紫外線ランプの紫外線（ＵＶ）照射によって有機物の分子鎖を分断し、ついでこの紫外線ランプの紫外線（ＵＶ）照射によって洗浄室内にオゾンを発生させ、このオゾンの分解・生成反応過程の酸化力の強い発生期の酸素（Ｏ）と有機物との反応により被洗浄物の表面有機物を除去するように構成したＵＶ洗浄装置において、前記洗浄室内に前記被洗浄物を搬入搬出する搬入口と搬出口とを設け、この搬入口若しくは搬出口を覆う補助室としての外装室を設け、この外装室に搬入口と搬出口とを設けて、前記被洗浄物を前記洗浄室内に前記搬入口を順次通過して搬送し、前記搬出口を順次通過させて搬出し得るように構成し、この外装室に排気部を設け、この排気部からの排気によって前記外装室の搬入口及び搬出口から外気が吸入されこの外装室の搬入口及び搬出口にエアーカーテンが生ずるように構成することで、前記洗浄室の搬入口若しくは搬出口を介して洗浄室内からこの外装室内へ漏れ出るオゾン雰囲気を、この外装室の搬入口若しくは搬出口からこの外装室外の前記本装置の設置周囲へ漏れ出さずにこの外装室の排気部から本装置の設置周囲より外方部へ排出するように構成して、本装置の設置周囲のオゾン雰囲気漏れを防止した上で、前記洗浄室内のオゾン濃度を高く保持し得るように構成したことを特徴とするＵＶ洗浄装置。
【請求項２】
搬入口と搬出口とを有する搬入収納部内に前記搬入口と搬出口とを残して仕切区画する仕切部を設けて、この搬入収納部内に前記洗浄室と前記外装部とを設けたことを特徴とする請求項１記載のＵＶ洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶，カラーフィルタ，ＰＤＰなどの基板を洗浄するＵＶ洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器部品などでは非常に高い洗浄度が要求されている。汚れを大別すると塵，切粉などの無機質と、切削油，フラックス，指紋などの有機質とに分けられ、この無機質の汚れは、主に水洗浄によって取り除くことができるが、有機質の汚れは、水洗浄では完全に取り除けないため、水，溶剤などで事前に洗浄してから紫外線洗浄による精密洗浄が行われている。
【０００３】
即ち、この紫外線洗浄を行うＵＶ洗浄装置を、例えば製作ラインに配置し、精密洗浄を行っている。
【０００４】
従来のこのようなＵＶ洗浄装置は、例えば図３に示すように、被洗浄物１（例えばカラーフィルタなどの基板）を搬入口４から紫外線ランプ３を複数並設したＵＶ洗浄室２内に搬入し、洗浄後反対側の搬出口５より搬出する構成で、順次搬送機構により被洗浄物たる基板を送り込み紫外線洗浄するように構成している。
【０００５】
この紫外線洗浄は、簡単に説明すると、この紫外線ランプ３の紫外線（ＵＶ）照射によって有機物の分子鎖を分断し、ついでこの紫外線ランプ３の紫外線（ＵＶ）照射によって洗浄室２内にオゾンを発生させ、このオゾンの分解・生成反応過程の酸化力の強い発生期の酸素（Ｏ）と有機物との反応により被洗浄物１の表面有機物を蒸発気化させて洗浄するもので、乾式洗浄とも称されている。
【０００６】
一方、従来のＵＶ洗浄装置は、洗浄室２内のオゾン濃度を調整すると共に、洗浄室２の搬入口４や搬出口５から本装置ａの周囲にオゾン雰囲気が漏れ出ないように洗浄室２内に排気部15を設けて、常時洗浄室２内のオゾン雰囲気をダクトを介して外方部へ排気している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、本来洗浄力を高めるには洗浄室内のオゾン濃度を高くする必要があるが、従来のＵＶ洗浄装置では、例えば図３に示す前述のような構成のため、オゾン濃度を高めようとすると、それだけ高濃度のオゾン雰囲気が本装置周囲に漏れ出るおそれがあり、安全許容値を超えたり悪臭を放つなど周囲環境を悪化させる。
【０００８】
また、被洗浄物を搬入搬出する必要のある洗浄室内を気密保持することは容易ではない。
【０００９】
そのため、従来のＵＶ洗浄装置においては、図３に示すようにオゾンを多量に発生させつつも本装置ａ周囲にオゾン雰囲気が漏れ出ないように、排気部15より常時多量にオゾン雰囲気を排気して、搬入口４，搬出口５から外気を吸引してオゾン雰囲気の漏気を完全に防止しなければならない。そのために結局、洗浄室２内のオゾン濃度は十分に高い濃度とすることができず、また、オゾン濃度も不均一となり易く、洗浄力はまだまだ十分とはいえない。
【００１０】
本発明は、従来のＵＶ洗浄装置にこのような問題点を見い出し、従来通りオゾン雰囲気が周囲に完全に漏れないようにして周囲環境を悪化させずに、洗浄室内は従来よりも高いオゾン濃度とすることができ、洗浄力を向上できる画期的なＵＶ洗浄装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１２】
被洗浄物１を搬入する洗浄室２内に紫外線ランプ３を設け、この紫外線ランプ３の紫外線（ＵＶ）照射によって有機物の分子鎖を分断し、ついでこの紫外線ランプ３の紫外線（ＵＶ）照射によって洗浄室２内にオゾンを発生させ、このオゾンの分解・生成反応過程の酸化力の強い発生期の酸素（Ｏ）と有機物との反応により被洗浄物１の表面有機物を除去するように構成したＵＶ洗浄装置ａにおいて、前記洗浄室２内に前記被洗浄物１を搬入搬出する搬入口４と搬出口５とを設け、この搬入口４若しくは搬出口５を覆う補助室としての外装室６を設け、この外装室６に搬入口４Ａと搬出口５Ａとを設けて、前記被洗浄物１を前記洗浄室２内に前記搬入口４Ａ，４を順次通過して搬送し、前記搬出口５，５Ａを順次通過させて搬出し得るように構成し、この外装室６に排気部７を設け、この排気部７からの排気によって前記外装室６の搬入口４Ａ及び搬出口５Ａから外気が吸入されこの外装室６の搬入口４Ａ及び搬出口５Ａにエアーカーテンが生ずるように構成することで、前記洗浄室２の搬入口４若しくは搬出口５を介して洗浄室２内からこの外装室６内へ漏れ出るオゾン雰囲気を、この外装室６の搬入口４Ａ若しくは搬出口５Ａからこの外装室６外の前記本装置ａの設置周囲へ漏れ出さずにこの外装室６の排気部７から本装置ａの設置周囲より外方部へ排出するように構成して、本装置ａの設置周囲のオゾン雰囲気漏れを防止した上で、前記洗浄室２内のオゾン濃度を高く保持し得るように構成したことを特徴とするＵＶ洗浄装置に係るものである。
【００１３】
また、搬入口４Ａと搬出口５Ａとを有する搬入収納部内に前記搬入口４と搬出口５とを残して仕切区画する仕切部10を設けて、この搬入収納部内に前記洗浄室２と前記外装部６とを設けたことを特徴とする請求項１記載のＵＶ洗浄装置に係るものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
好適と考える本発明の実施の形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいてその作用効果を示して簡単に説明する。
【００１５】
洗浄室２を覆う又は前記洗浄室２の被洗浄物１の搬入口４若しくは搬出口５を覆う補助室としての外装室６を設け、この外装室６に排気部７を設けて前記洗浄室２内からこの外装室６内へ漏れ出るオゾン雰囲気を排気部７によって本装置ａの設置周囲より外方部へ排出する。
【００１６】
従って、本装置ａの周囲に漏れ出ないように洗浄室２の外側の外装室６から排気するため、紫外線ランプ３によって生じるオゾン雰囲気が洗浄室２を充満した上で洗浄室２外の外装室６へ漏れ出て、本装置ａ周囲に漏らすことなくこの外装室６内で排気するため、本装置ａの設置周囲に漏れ出ないように洗浄室２内から直接強力に排気する従来例とは異なり、洗浄室２内のオゾン濃度を高く保持することができることとなる。
【００１７】
即ち、本装置ａの設置周囲のオゾン雰囲気漏れを従来例よりも完全に防止できる上、前記洗浄室２内のオゾン濃度は、従来例に比して同じＵＶ照射量であっても高く保持できることとなる。
【００１８】
尚、後述する実施例においては、洗浄室２内にオゾン濃度検知装置８（オゾンチェックポート）を複数設け、このオゾン濃度検知装置８に基づき、洗浄室２内のオゾン濃度調整や不均一な場合の濃度分布調整のために、外装室６だけでなく洗浄室２内にもオゾン雰囲気を排気する（主に濃度分布調整用の）排気部９を設けている。
【００１９】
即ち、本発明は、洗浄室２内に一切排気部を設けない発想に限定される創作ではない。
【００２０】
【実施例】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００２１】
本実施例は、紫外線ランプ３を多数並設した洗浄室２の両端に、（被洗浄物１としての）薄板状の大型基板１を多数並設したローラ11上に水平架設状態にして送り込み搬送する搬入口４と搬出口５とを設け、この洗浄室２はこの搬入口４と搬出口５を残して封止状態に構成している。
【００２２】
この搬入口４と搬出口５とを覆う外装室６を夫々搬送方向に沿って連設状態に設け、この外装室６に夫々搬入口４Ａ，搬出口５Ａを設け、被洗浄物１が前記洗浄室２に搬入される場合は、搬入口４Ａ，外装室６，搬入口４を順次通過して搬入され、紫外線洗浄後搬出される場合は、搬出口５，外装室６，搬出口５Ａを順次通過して搬出されるように構成している。
【００２３】
更に具体的に説明すれば、本実施例では、搬入口４Ａと搬出口５Ａとを有する（開閉上蓋13によって開放可能な）搬入収納部内に前記搬入口４と搬出口５とを残して仕切区画する仕切部10を突設して、この搬入収納部内に前記洗浄室２とその左右に夫々前記外装部６とを設けた構成とし、いわば従来の洗浄室２の搬入口４と搬出口５の夫々の外側に更に補助室として外装室６を連設し、いわゆる全体として二重室構造に構成している。
【００２４】
そしてこのような二重室構造とした上で従来例のように搬入搬出口４，５から外部へ多量に漏れることを恐れて洗浄室２からオゾン雰囲気を直接強力に排気する構成とせずに、洗浄室２はあくまでオゾン雰囲気が十分に充満できる構成とし、この洗浄室２の搬入口４，搬出口５から一旦必ず外装室６に漏れ出るオゾン雰囲気を排気するように外装室６に排気部７を設けている。
【００２５】
従って、本装置ａの周囲に漏れ出ないように洗浄室２の外側の外装室６から排気するため、紫外線ランプ３によって生じるオゾン雰囲気が洗浄室２を充満した上で洗浄室２外の外装室６へ漏れ出て、本装置ａ周囲に漏らすことなくこの外装室６内で排気するため、本装置ａの設置周囲に漏れ出ないように洗浄室２内から直接強力に排気する従来例とは異なり、洗浄室２内のオゾン濃度を高く保持することができることとなる。
【００２６】
即ち、本装置ａの設置周囲のオゾン雰囲気漏れを従来例よりも完全に防止できる上、前記洗浄室２内のオゾン濃度は、従来例に比して同じＵＶ照射量であっても高く保持できることとなる。
【００２７】
本実施例においては、洗浄室２内にオゾン濃度検知装置８（オゾンチェックポート）を所定間隔を置いて多数並設し、このオゾン濃度検知装置８に基づき、洗浄室２内のオゾン濃度の微調整や不均一な場合の濃度分布調整のために、外装室６だけでなく洗浄室２内にもオゾン雰囲気を排気する濃度分布調整用の排気部９を複数か所に配設し、この各排気部９を前記オゾン濃度検知装置８に基づきコンピュータ制御作動させてオゾン濃度が洗浄室２内で均一となるように構成している。
【００２８】
即ち、本発明は、この実施例のように洗浄室２内に一切排気部を設けない発想に限定される創作ではない。
【００２９】
また、前記外装室６の前記排気部７からの排気によって前記外装室６の搬入口４Ａ並びに搬出口５Ａから外気が吸入されるため、いわゆるエアーカーテンが生じて、前記外装室６外の前記本装置ａの設置周囲へこの搬入口４Ａ並びに搬出口５Ａから外装室６内のオゾン雰囲気が確実にシャットアウトされる。
【００３０】
以上のように本実施例では、二重室構造ゆえにＵＶ洗浄装置ａの周囲へのオゾン雰囲気漏れを防止でき周囲環境を悪化させることない上、図３に示すような本実施例での仕切部10を有しなく外装室６を有しない従来例では、洗浄室２内のオゾン濃度が２０〜４０ＰＰＭでしかも不均一であるのに対し、図１，図２に示す本実施例では同じ紫外線の累積照度に対して１００〜１５０ＰＰＭと洗浄室２内を高いオゾン濃度に保持でき、接触角を約１.５倍小さくでき、しかも均一な濃度となり洗浄効果が飛躍的に向上したことが確認できた。しかも、前述のように本実施例ではオゾン濃度検知装置８によって検知しつつ複数配設した洗浄室２内の排気部９による排気調整によって一層洗浄室２内のオゾン濃度分布を均一化できるため、極めて高い洗浄能力が発揮されることとなる。
【００３１】
また、そのため高価な大出力ランプや紫外線照射時間を長くする必要がないため、製作コストやランニングコストの削減を図ることも可能となる。
【００３２】
また、本実施例の紫外線ランプ３は、低圧水銀ランプを使用し、処理温度をＩＲヒータによって１００〜２５０℃とし、洗浄室２内のオゾン濃度を５００〜１０００ＰＰＭとし、例えば数百ｍｍ角の大型基板をＵＶ照射，高濃度オゾン，温度加熱の相乗効果によって良好な乾式洗浄ができるように構成している。
【００３３】
尚、図中符号12は温度検知装置（温度チェックポート）である。
【００３４】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成したから、本装置の周囲に漏れ出ないように洗浄室の外側の外装室から排気するため、紫外線ランプによって生じるオゾン雰囲気が洗浄室を充満した上で洗浄室外の外装室へ漏れ出てこの外装室で排気するため、本装置の設置周囲に漏れ出ないように洗浄室内から直接強力に排気する従来例とは異なり、周囲にはオゾン雰囲気を漏らすことなく洗浄室内のオゾン濃度を高く保持することができると共に、本装置の設置周囲にオゾン雰囲気が漏れ出ることが確実に防止できる画期的なＵＶ洗浄装置となる。
【００３５】
また、請求項２記載の発明においては、一層簡易な構成で前記作用効果を確実に発揮するＵＶ洗浄装置を容易に実現できる極めて実用性に秀れたＵＶ洗浄装置となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施例の概略構成説明断面図である。
【図２】  本実施例の洗浄室並びに外装室を蓋を持ち上げて開放した状態での説明斜視図である。
【図３】  従来例の概略構成説明断面図である。
【符号の説明】
１  被洗浄物（大型基板）
２  洗浄室
３  紫外線ランプ
４  搬入口
４Ａ  搬入口
５  搬出口
５Ａ  搬出口
６  外装室
７  排気部
10  仕切部
ａ  ＵＶ洗浄装置（本装置）
【図１】
0004014729.tif 000002
【図２】
0004014729.tif 000003
【図３】
0004014729.tif 000004