(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが２〜１２０μｍの透明なフィルム基材の一方の面に、二層からなる透明な誘電体薄膜と、さらにその上に透明な導電性薄膜が形成されており、フィルム基材の他方の面には透明な粘着剤層を介して透明基体が貼り合わされている透明導電性積層体であって、
上記フィルム基材の光の屈折率をｎ１、上記二層の誘電体薄膜の光の屈折率をフィルム基材側よりｎ２、ｎ３、上記導電性薄膜の光の屈折率をｎ４としたとき、ｎ３＜ｎ１＜ｎ２＜ｎ４の関係を満たし、
屈折率ｎ２を有する誘電体薄膜が、有機物と無機物との混合体であり、
屈折率ｎ３を有する誘電体薄膜が、無機物であることを特徴とする透明導電性積層体。
【請求項２】
導電性薄膜を有する一対のパネル板を、導電性薄膜同士が対向するように、スペーサを介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、少なくとも一方のパネル板が請求項１記載の透明導電性積層体からなることを特徴とするタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可視光線領域で透明であり、かつフィルム基材上に導電性薄膜を有する透明導電性積層体に関する。本発明の透明導電性積層体は、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイなどの新しいディスプレイ方式やタッチパネルなどにおける透明電極のほか、透明物品の帯電防止や電磁波遮断などのために用いられる。
【０００２】
【従来の技術】
従来、透明導電性薄膜としては、ガラス上に酸化インジウム薄膜を形成した、いわゆる導電性ガラスがよく知られているが、導電性ガラスは基材がガラスであるために可撓性、加工性に劣り、用途によっては好ましくない場合がある。そのため、近年では可撓性、加工性に加えて、耐衝撃性に優れ、軽量であるなどの利点から、ポリエチレンテレフタレートフィルムをはじめとする各種のプラスチックフィルムを基材とした透明導電性薄膜が賞用されている。
【０００３】
しかし、フィルム基材を用いた透明導電性薄膜は、薄膜表面の光線反射率が大きいために、透明性に劣るという問題があるほか、導電性薄膜が耐擦傷性に劣り、使用中に傷がついて電気抵抗が増大したり、断線を生じるといった問題があった。特に、タッチパネル用の導電性薄膜では、スペーサを介して対向させた一対の薄膜同士がその一方のパネル板側からの押圧打点で強く接触されるため、これに抗しうる良好な耐久特性、つまり打点特性を有していることが望まれるが、上記フィルム基材を用いた透明導電性薄膜では打点特性に劣るため、タッチパネルとしての寿命が短くなるという問題があった。
【０００４】
前記問題を解決したものとして、特開平６−２２２３５２号公報では、フィルム基材として特定膜厚のものを用い、その一方の面に光の屈折率がフィルム基材の光の屈折率よりも小さい透明誘電体薄膜と、さらにその上に透明導電性薄膜とを順次形成するとともに、フィルム基材の他方の面に透明な粘着剤層を介して別の透明基体を貼り合わせてなる透明導電性積層体が提案されている。かかる透明導電性積層体によれば、透明性および導電性薄膜の耐擦傷性を改良できるとともに、タッチパネル用としての打点特性の改良がなされている。当該透明導電性積層体はタッチパネル用等において屈曲状態で用いられることが多いため、さらに、その耐屈曲性の向上が望まれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどのフィルム基材上に導電性薄膜を設けた透明導電性積層体であって、透明性、導電性薄膜の耐擦傷性に優れ、しかも耐屈曲性にも優れたものを提供することを目的とする。さらには、当該透明導電性積層体を用いて打点特性の改良されたタッチパネルを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下に示す透明導電性積層体により上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明は、厚さが２〜１２０μｍの透明なフィルム基材の一方の面に、二層からなる透明な誘電体薄膜と、さらにその上に透明な導電性薄膜が形成されており、フィルム基材の他方の面には透明な粘着剤層を介して透明基体が貼り合わされている透明導電性積層体であって、
上記フィルム基材の光の屈折率をｎ１、上記二層の誘電体薄膜の光の屈折率をフィルム基材側よりｎ２、ｎ３、上記導電性薄膜の光の屈折率をｎ４としたとき、ｎ３＜ｎ１＜ｎ２＜ｎ４の関係を満たし、
屈折率ｎ２を有する誘電体薄膜が、有機物と無機物との混合体であり、
屈折率ｎ３を有する誘電体薄膜が、無機物であることを特徴とする透明導電性積層体、に関する。
【０００８】
本発明では、誘電体薄膜をフィルム基材と導電性薄膜の間に、フィルム基材の屈折率ｎ１よりも、小さな屈折率ｎ３を有する誘電体薄膜を用い、一方、フィルム基材の他方の面には透明な粘着剤層を介して透明基体を設けることにより、透明導電性積層体の透明性および導電性薄膜の耐擦傷性を向上させている。しかも、誘電体薄膜を屈折率の異なる二層構造とし、フィルム基材側の層には、その屈折率ｎ２がフィルム基材の屈折率ｎ１と同等または屈折率ｎ１よりも大きく、かつ導電性薄膜の屈折率ｎ４よりも小さいものを用いることにより光学特性を向上させることができ、誘電体薄膜として、フィルム基材の屈折率よりも、小さな屈折率を有するものを単層で用いた場合に比べて耐屈曲性を向上させたものである。
【０００９】
上記透明導電性積層体において、屈折率ｎ２を有する誘電体薄膜は、有機物と無機物との混合体である。
【００１０】
また、上記透明導電性積層体において、屈折率ｎ３を有する誘電体薄膜は、無機物である。
【００１１】
上記透明導電性積層体は、たとえば、誘電体薄膜の二層のうちのいずれか少なくとも一方に、有機物または有機物と無機物との混合体を用いることにより耐屈曲性が良好となるが、フィルム基材との密着性は有機層が良好であるため、フィルム基材側に有機物と無機物との混合体を含む誘電体薄膜を設ける。
【００１２】
さらに、本発明は、導電性薄膜を有する一対のパネル板を、導電性薄膜同士が対向するように、スペーサを介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、少なくとも一方のパネル板が前記透明導電性積層体からなることを特徴とするタッチパネル、に関する。
【００１３】
前記透明導電性積層体を用いたタッチパネルは、ペン入力耐久特性（打点特性）を向上させることができる。また、耐屈曲性にも優れている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の透明導電性積層体の一例を示したものであり、透明なフィルム基材１の一方の面に、透明な誘電体薄膜２および３と、さらに誘電体薄膜３の上に透明な導電性薄膜４とが形成され、他方の面に透明な粘着剤層５を介して透明基体６が貼り合わされている。また、図２は、本発明の透明導電性積層体の他の例を示したもので、前記図１に示す上記透明基体６の外表面にハードコート処理層７を設けたものであり、その他の構成は図１と全く同様である。
【００１５】
本発明において使用するフィルム基材１としては、特に制限されないが、透明性を有する各種のプラスチックフィルムが用いられる。たとえば、その材料として、ポリエステル系樹脂、アセテート系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂等があげられる。フィルム基材１の光の屈折率ｎ１は、通常１．４〜１．７程度となるものが好ましく用いられる。
【００１６】
これらフィルム基材１の厚みは、２〜１２０μｍの範囲にある。特に、厚みが６〜１００μｍの範囲にあるのが好適である。２μｍ未満では基材としての機械的強度が不足し、この基材をロール状にして誘電体薄膜や導電性薄膜さらには粘着剤層を連続的に形成する操作が難しくなる。一方、１２０μｍを超えると、後述する粘着剤層のクッション効果に基づく導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性の向上を図れなくなる。
【００１７】
前記フィルム基材１は、表面に予めスパッタリング、コロナ放電、火炎、紫外線照射、電子線照射、化成、酸化などのエッチング処理や下塗り処理を施して、この上に設けられる誘電体薄膜２の上記基材に対する密着性を向上させるようにしてもよい。また、誘電体薄膜２を設ける前に、必要に応じて溶剤洗浄や超音波洗浄などにより除塵、清浄化してもよい。
【００１８】
前記フィルム基材１の一方の面に形成される透明な誘電体薄膜２、３はそれぞれ光の屈折率ｎ２、ｎ３を有する。誘電体薄膜２、３の屈折率ｎ２、ｎ３はいずれも、誘電体薄膜３上に設けられる導電性薄膜４の光の屈折率ｎ４よりも小さいものであり、通常、導電性薄膜４の光の屈折率ｎ４は約２程度であるため、その場合には誘電体薄膜２、３の光の屈折率ｎ２、ｎ３としては、通常、１．３〜１．９程度である。また屈折率ｎ２、ｎ３は、ｎ３＜ｎ１＜ｎ２＜ｎ４の関係を満足するものであり、フィルム基材１の光の屈折率ｎ１が、前述の通り、通常１．４〜１．７程度であるため、誘電体薄膜２については、その屈折率ｎ２が、１．６〜２．４程度、誘電体薄膜３については、その屈折率ｎ３が、１．３〜１．６程度のものを用いるのが好ましい。この誘電体薄膜２、３の形成により、主に透明性および導電性薄膜の耐擦傷性を向上させるとともに、耐屈曲性が大幅に向上し、またタッチパネル用としての打点特性の向上にも好結果が得られる。
【００１９】
このような誘電体薄膜２、３の材料としては、たとえば、ＮａＦ（１．３）、Ｎａ3 ＡｌＦ6 （１．３５）、ＬｉＦ（１．３６）、ＭｇＦ2 （１．３８）、ＣａＦ2 （１．４）、ＢａＦ2 （１．３）、ＳｉＯ2 （１．４６）、ＬａＦ3 （１．５５）、ＣｅＦ3 （１．６３）、Ａｌ2 Ｏ3 （１．６３）、ＣｅＯ2 （２．３）、Ｎｄ2 Ｏ3 （２．１５）、Ｓｂ2 Ｏ3 （２．１）、ＴｉＯ2 （２．３５）、Ｔａ2 Ｏ5 （２．１）、ＺｒＯ2 （２．０５）、ＺｎＯ（２．１）、ＺｎＳ（２．３）などの無機物〔上記各材料の（  ）内の数値は光の屈折率である〕や、光の屈折率が１．４〜１．６程度のアクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、シロキサン系ポリマー、アルキド樹脂、メラミン樹脂などの有機物があげられる。これらのなかから材料を適宜に選択しまたは組み合わせて、前記屈折率ｎ２、ｎ３を満足する誘電体薄膜２、３を形成する。
【００２０】
誘電体薄膜２、３の総厚は、特に制限されるものではないが、誘電体薄膜２に関しては、連続被膜とするためには１０ｎｍ以上とするのが好ましい。また屈曲性を考慮すると、より好ましくは１０〜３０００ｎｍである。誘電体薄膜３に関しては、連続被膜とし、透明性や耐殺傷性を向上させるためには１０ｎｍ以上とするのが好ましく、より好ましくは１０〜３００ｎｍ、特に好ましくは２０〜１２０ｎｍである。なお、誘電体薄膜３が厚くなりすぎると透明性の向上が期待できなくなり、またクラックを生じるおそれがあり好ましくない。
【００２１】
誘電体薄膜２、３の形成方法としては、たとえば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、塗工法などがあり、上記の材料の種類および必要とする膜厚に応じて適宜の方法を採用することができる。誘電体薄膜２、３は、フィルム基材１上に順次に形成される。
【００２２】
上記の如く透明な誘電体薄膜２、３を形成したのち、さらに誘電体薄膜３上に透明な導電性薄膜４を形成する。導電性薄膜４の形成方法としては、誘電体薄膜２、３の場合と同様の技術を採用できる。用いる薄膜材料もとくに制限されるものではなく、たとえば、酸化スズを含有する酸化インジウム、アンチモンを含有する酸化スズなどが好ましく用いられる。
【００２３】
これら材料からなる導電性薄膜４の光の屈折率ｎ４は、フィルム基材１の光の屈折率ｎ１より大ききものであり、通常、約２程度である。また、誘電体薄膜２、３の屈折率ｎ２、ｎ３とは前記関係を有する。すなわち、各層の屈折率の関係は、ｎ３＜ｎ１＜ｎ２＜ｎ４の関係を満足するものである。
【００２４】
導電性薄膜４の厚さは特に制限されないが、その表面抵抗を１０3 Ω／□以下の良好な導電性を有する連続被膜とするには、厚さ１０ｎｍ以上とするのが好ましい。また、あまり厚くしすぎると透明性の低下などをきたすため、とくに好適な厚さとしては、１０〜３００ｎｍ程度とするのがよい。
【００２５】
このような透明な誘電体薄膜２、３と透明な導電性薄膜４とが順次形成されたフィルム基材１の他方の面には、透明な粘着剤層５を介して透明基体６が貼り合わされる。透明基体６の貼り合わせは、透明基体６の方に粘着剤層５を設けておき、これにフィルム基材１を貼り合わせてもよいし、逆にフィルム基材１の方に粘着剤層５を設けておき、これに透明基体６を貼り合わせてもよい。後者の方法では、粘着剤層５の形成をフィルム基材１をロール状にして連続的に行うことができ、生産性の面でより有利である。
【００２６】
粘着剤層５としては、透明性を有するものであればとくに制限なく使用でき、たとえば、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤などが用いられる。この粘着剤層５は、透明基体６の接着後に、そのクッション効果により、フィルム基材１の一方の面に設けられた導電性薄膜４の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性を向上させる機能を有する。この機能をより良く発揮させる観点から、その弾性係数を１〜１００Ｎ／ｃｍ2 の範囲、厚さを１μｍ以上、通常５〜１００μｍの範囲に設定するのが望ましい。
【００２７】
上記の弾性係数が１Ｎ／ｃｍ2 未満となると、粘着剤層５は非弾性となるため、加圧により容易に変形してフィルム基材１、ひいては導電性薄膜４に凹凸を生じさせ、また加工切断面からの粘着剤のはみ出しなどが生じやすくなり、そのうえ導電性薄膜４の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性の向上効果が低減する。一方、弾性係数が１００Ｎ／ｃｍ2 超えると、粘着剤層が硬くなり、そのクッション効果を期待できなくなるため、導電性薄膜の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性上好ましくない。
【００２８】
また、粘着剤層５の厚さが１μｍ未満となると、そのクッション効果をやはり期待できないため、導電性薄膜４の耐擦傷性やタッチパネル用としての打点特性の向上を望めない。厚くしすぎると、透明性を損なったり、粘着剤層５の形成や透明基体の貼り合わせ作業性さらにコストの面で好結果を得にくい。
【００２９】
このような粘着剤層５を介して貼り合わされる透明基体６は、フィルム基材１に対して良好な機械的強度を付与し、とくにカールなどの発生防止に寄与するものであり、これを貼り合わせたのちにおいても可撓性であることが要求される場合は、通常６〜３００μｍ程度のプラスチックフィルムが用いられ、可撓性が特に要求されない場合は、通常０．０５〜１０ｍｍ程度のガラス板やフィルム状ないし板状のプラスチックが、それぞれ用いられる。プラスチックの材質としては、前記したフィルム基材と同様のものが挙げられる。
【００３０】
また、必要に応じて、上記透明基体６の外表面（粘着剤層とは反対側の面）に、視認性の向上を目的とした防眩処理層や反射防止処理層を設けたり、外表面の保護を目的としたハードコート処理層７を設けるようにしてもよい。後者のハードコート処理層７としては、たとえば、メラニン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂などの硬化型樹脂からなる硬化被膜が好ましく用いられる。
【００３１】
図３は、前記本発明の透明導電性積層体（図２）を用いたタッチパネルの例を示したものである。すなわち、導電性薄膜Ｐ1d，Ｐ2dを有する一対のパネル板Ｐ１，Ｐ２を、互いに直交する縞状に形成した導電性薄膜Ｐ1d，Ｐ2d同士が対向するように、スペーサＳを介して対向配置してなるタッチパネルにおいて、一方のパネル板Ｐ１として、上記図２に示す透明導電性積層体を用いたものである。
【００３２】
このタッチパネルは、パネル板Ｐ１側より、入力ペンＭにてスペーサＳの弾性力に抗して押圧打点したとき、導電性薄膜Ｐ1d，Ｐ2d同士が接触して、電気回路のＯＮ状態となり、上記押圧を解除すると、元のＯＦＦ状態に戻る、透明スイッチ構体として機能する。その際、パネル板Ｐ１が上記の透明導電性積層体からなるために、導電性薄膜の耐擦傷性や打点特性などにすぐれ、長期にわたつて上記機能を安定に維持させることができる。
【００３３】
なお、図３において、パネル板Ｐ１は、図１に示す透明導電性積層体であってもよい。また、パネル板Ｐ２は、プラスチックフィルムやガラス板などからなる透明基体６´に導電性薄膜Ｐ2dを設けたものであるが、上記のパネル板Ｐ１と同様の図１または図２に示す透明導電性積層体を用いてもよい。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、誘電体薄膜のハード効果および粘着剤層のクッション効果に基づいて、導電性薄膜の耐擦傷性およびタッチパネルとしての打点特性が改良され、しかも、特定の二層の誘電体薄膜を設けたことにより導電性薄膜の耐屈曲性を向上させている。さらに、誘電体薄膜および導電性薄膜の組み合わせに基づく反射防止効果により透明性が改良された透明導電性積層体を提供でき、またこれを用いたタッチパネルを提供することができる。
【００３５】
【実施例】
以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明する。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味する。光の屈折率は、アッベ屈折率計により測定した値である。
【００３６】
実施例１
（誘電体薄膜の形成）
厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムという）からなるフィルム基材１（光の屈折率ｎ１＝１．６６）の一方の面に、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物＝２：２：１（重量比）からなる熱硬化型樹脂（光の屈折率ｎ＝１．５４）にＴｉＯ2 （光の屈折率ｎ＝２．３５）の微粒子を混合し、屈折率ｎ２＝１．６８となるように配合比を調整した厚さ１００ｎｍの誘電体薄膜２を形成した。次いで、ＳｉＯ2 （光の屈折率ｎ３＝１．４６）を電子ビーム加熱法により、１×１０-2〜３×１０-2Ｐａの真空度で真空蒸着して、厚さ約５０ｎｍからなる透明な誘電体薄膜３（以下、ＳｉＯ2 薄膜ともいう）を形成した。
【００３７】
（導電性薄膜の形成）
次いで、上記のＳｉＯ2 薄膜上に、アルゴンガス８０％と酸素ガス２０％とからなる０．５Ｐａの雰囲気中で、インジウム−スズ合金を用いた反応性スパッタリング法により、厚さ３０ｎｍの酸化インジウムと酸化スズとの複合酸化物（光の屈折率ｎ４＝２．００）からなる透明な導電性薄膜４（以下、ＩＴＯ薄膜ともいう）を形成した。
【００３８】
（透明導電性積層フィルムの作成）
次いで、上記ＰＥＴフィルムの他方の面に、弾性係数が１０Ｎ／ｃｍ2 に調整されたアクリル系の透明な粘着剤層５（アクリル酸ブチルとアクリル酸と酢酸ビニルとの重量比１００：２：５のアクリル系共重合体１００部にイソシアネート系架橋剤を１部配合してなるもの）を約２０μｍの厚さに形成し、この上に厚さが１２５μｍのＰＥＴフィルムからなる透明基体６を貼り合わせて、図１に示す構造の透明導電性積層フィルムを作製した。
【００３９】
（タッチパネルの作製）
この透明導電性積層フィルムを一方のパネル板とし、他方のパネル板として、ガラス板上に厚さ３０ｎｍのＩＴＯ薄膜を上記と同様の方法で形成したものを用い、この両パネル板を、ＩＴＯ薄膜同士が対向するように、厚さ１００μｍのスペーサを介して対向配置して、スイッチ構体としてのタッチパネルを作製した。なお、両パネル板の各ＩＴＯ薄膜は、上記の対向配置に先立って、予め互いに直交するように形成した。
【００４０】
実施例２
（ハードコート処理層の形成）
厚さが１２５μｍのＰＥＴフィルムの一方の面に、アクリル・ウレタン系樹脂（大日本インキ化学（株）製のユニディック１７−８０６）１００部に光重合開始剤としてのヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバスペシャルティケミカルズ社製のイルガキュア１８４）５部を加えて、５０重量％濃度に希釈してなるトルエン溶液を塗布し、１００℃で３分間乾燥したのち、ただちにオゾンタイプ高圧水銀灯（８０Ｗ／ｃｍ、１５ｃｍ集光型）２灯で紫外線照射を行い、厚さ５μｍのハードコート処理層７を形成した。
【００４１】
（透明導電性積層フィルムの作成、タッチパネルの作製）
実施例１において、このハードコート処理層７を形成したＰＥＴフィルムを、透明基体６として用い、この透明基体６のハードコート処理層とは反対側の面より粘着剤層５を介して貼り合わせるようにした以外は、実施例１と同様にして、図２に示す構造の透明導電性積層フィルムを作製した。また、この透明導電性積層フィルムを用いて、実施例１と同様にして、図３に示す構造のタッチパネルを作製した。
【００４２】
実施例３
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、誘電体薄膜３の厚さを２μｍとした以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４３】
実施例４
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、フィルム基材１（光の屈折率ｎ１＝１．６６）の一方の面に、メラミン樹脂：アルキド樹脂：有機シラン縮合物＝２：２：１（重量比）からなる熱硬化型樹脂（光の屈折率ｎ＝１．５４）にＴｉＯ2 （光の屈折率ｎ＝２．３５）の微粒子を混合し、屈折率ｎ２＝１．６６となるように配合比を調整した厚さ１００ｎｍの誘電体薄膜２を形成した以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４４】
比較例１
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、誘電体薄膜２の形成をＺｒＯ2 （２．０５）により行った以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４５】
比較例２
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、ＰＥＴフィルムとして厚さ１７５μｍのものを用いた以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４６】
比較例３
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、ＰＥＴフィルムとして厚さ１７５μｍのものを用い、誘電体薄膜３の厚さを２０００ｎｍとした以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４７】
比較例４
実施例１（誘電体薄膜の形成）において、誘電体薄膜２を形成しなかったこと以外は、実施例１と同様にして、誘電体薄膜を形成した。以降は実施例１と同様にして、導電性薄膜を形成し、透明導電性積層フィルムを作成した。また実施例１と同様にしてタッチパネルを作製した。
【００４８】
実施例１〜４および比較例１〜４の各透明導電性積層フィルムにつき、フィルム抵抗、光の透過率、導電性薄膜の耐擦傷性および耐屈曲性を、下記の方法で測定した。また、上記の実施例１〜４および比較例１〜４の各タッチパネルについて、下記の方法で打点特性を測定した。これらの結果を表１に示す。
【００４９】
＜フィルム抵抗＞
二端子法を用いて、フィルムの表面電気抵抗（Ω／□）を測定した。
【００５０】
＜光の透過率＞
島津製作所製の分光分析装置ＵＶ−２４０を用いて、光波長５５０ｎｍにおける可視光線透過率を測定した。
【００５１】
＜導電性薄膜の耐擦傷性＞
新東科学社製のヘイドン表面性測定機ＴＹＰＥ−ＨＥＩＤＯＮ１４を用いて、（１）擦傷子：ガーゼ（日本薬局方タイプＩ）、（２）荷重：１００ｇ／ｃｍ2 、（３）擦傷速度：３０ｃｍ／分、（４）擦傷回数：１００回（往復５０回）の条件で、導電性薄膜表面を擦ったのちにフィルム抵抗（Ｒｓ）を測定し、初期のフィルム抵抗（Ｒｏ）に対する変化率（Ｒｓ／Ｒｏ）を求めて、耐擦傷性を評価した。
【００５２】
＜打点特性＞
透明導電性積層フィルムで構成したパネル板側から、硬度４０度のウレタンゴムからなるロッド（鍵先７Ｒ）を用いて荷重１００ｇで１００万回のセンター打点を行ったのち、フィルム抵抗（Ｒｄ）を測定し、初期のフィルム抵抗（Ｒｏ）に対する変化率（Ｒｄ／Ｒｏ）を求めて、打点特性を評価した。なお、上記フィルム抵抗の測定は、対向配置した導電性薄膜同士の打点時の接触抵抗について行い、その平均値で表したものである。
【００５３】
＜耐屈曲性＞
太佑機材株式会社製ガードナー式マンドレル屈曲試験器を用いて、直径７．９３ｍｍ」、ロッドに作成したサンプルを導電面を外側にして約１秒かけて１８０°に折り曲げた。これを１０回繰り返し、フィルム抵抗（Ｒｄ）を測定し、初期のフィルム抵抗（Ｒｏ）に対する変化率（Ｒｄ／Ｒｏ）を求めて耐屈曲性を評価した。
【００５４】
【表１】
0004004025.tif 000002
上記表１の結果から、この発明の透明導電性積層フィルムは、導電性および透明性が良好で、かつ導電性薄膜の耐擦傷性にすぐれており、しかも、屈曲性にも優れている。また、この透明導電性積層フィルムを用いることにより、打点特性にすぐれたタッチパネルを作製できることが認められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の透明導電性積層体の一例を示す断面図である。
【図２】この発明の透明導電性積層体の他の例を示す断面図である。
【図３】この発明のタッチパネルの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１  フィルム基材
２  誘電体薄膜
３  誘電体薄膜
４  導電性薄膜
５  粘着剤層
６  透明基体
７  ハードコート層
【図１】
0004004025.tif 000003
【図２】
0004004025.tif 000004
【図３】
0004004025.tif 000005