(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の出力機で、前記出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを前記出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するデータ変換装置であって、
前記線図データを読み込み、前記出力機の描画エリアに前記線図データを配置したとき、前記ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い前記基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成するベクトルデータ吸着処理手段と、
前記ベクトルデータ吸着処理手段で吸着処理された前記吸着ベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の前記基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成手段とを備える、データ変換装置。
【請求項２】
前記描画データ生成手段は、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１に記載のデータ変換装置。
【請求項３】
前記描画データ生成手段は、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１に記載のデータ変換装置。
【請求項４】
前記描画データ生成手段は、前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理と、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理とを切り替える選択手段をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のデータ変換装置。
【請求項５】
前記描画データ生成手段は、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成し、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１に記載のデータ変換装置。
【請求項６】
所定の出力機で、前記出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを前記出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するデータ変換方法であって、
前記線図データを読み込み、前記出力機の描画エリアに前記線図データを配置したとき、前記ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い前記基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成するベクトルデータ吸着処理ステップと、
前記ベクトルデータ吸着処理ステップで吸着処理された前記吸着ベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の前記基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成ステップとを備える、データ変換方法。
【請求項７】
前記描画データ生成ステップは、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項６に記載のデータ変換方法。
【請求項８】
前記描画データ生成ステップは、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項６に記載のデータ変換方法。
【請求項９】
前記描画データ生成ステップは、前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理と、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理とを切り替える選択ステップをさらに含むことを特徴とする、請求項６に記載のデータ変換方法。
【請求項１０】
前記描画データ生成ステップは、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成し、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成することを特徴とする、請求項６に記載のデータ変換方法。
【請求項１１】
所定の出力機で、前記出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを前記出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するコンピュータで実行されるデータ変換プログラムであって、
前記線図データを読み込み、前記出力機の描画エリアに前記線図データを配置したとき、前記ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い前記基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成する処理をするベクトルデータ吸着処理ステップと、
前記ベクトルデータ吸着処理ステップで吸着処理された前記吸着ベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の前記基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成ステップとを備える、データ変換プログラム。
【請求項１２】
前記描画データ生成ステップは、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ変換プログラム。
【請求項１３】
前記描画データ生成ステップは、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ、前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ変換プログラム。
【請求項１４】
前記描画データ生成ステップは、前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理と、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成する処理とを切り替える選択ステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載のデータ変換プログラム。
【請求項１５】
前記描画データ生成ステップは、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って最も近い前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成し、
前記基準ラインに対する前記吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、前記輪郭データと前記一方の方向の基準ラインとの交点を、前記一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより前記基準ラインの直交点に対応させ前記変化点を生成することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ変換プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、データ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムに関し、より特定的には、直線をベクトルデータによって表現した線図データをランレングスデータ等の描画データに変換するデータ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント基板を製造する際に用いるマスク用フィルムやマスク板は、一般にドラムスキャン型またはフラットベット型のレーザプロッタによって、感光性を有するマスク用の基材に所望のパターンをレーザ描画（露光）することによって作成される。また、近年、プリント基板の基材自体に感光性のフォトレジスト膜を形成し、このフォトレジスト膜をレーザ描画する直描方式のレーザプロッタが開発されている。
【０００３】
このレーザプロッタで描画する描画データを作成する線図データは、一般的にＣＡＤデータが用いられる。ＣＡＤシステムは、コンピュータを利用した設計用作図システムであり、様々な分野で利用されている。このＣＡＤシステムで作成されたＣＡＤデータを利用して、微細設計パターンを、上述のように描画することが行われる。しかしながら、レーザプロッタの入力データの形式は、ＣＡＤシステムの出力データの形式と異なるため、何らかのデータ変換が必要となる。
【０００４】
このデータ変換は、一般的にＣＡＤデータからランレングスデータを作成するデータ変換装置（画像処理装置）が用いられている。以下、上記データ変換についての概略を説明する。なお、図１７は上記データ変換方法を示すフローチャートであり、図１８は上記データ変換によるＣＡＤデータからランレングスデータを生成する過程を示す概略図である。
【０００５】
図１７および図１８において、上記データ変換装置は、ＣＡＤシステムから出力された軌跡ベクトルＫＶおよびアパーチャデータＡＰを含むＣＡＤデータを読み込む（ステップＳ２０１）。図１８（ａ）に示すように、軌跡ベクトルＫＶは、直線の情報を始点と終点とによって表現し、アパーチャデータＡＰは、描画に用いるペンの種類（すなわち、ペン先の形状）で表現される。さらに、データ変換装置には、フォーマット情報および配置データが与えられる。フォーマット情報は、ＣＡＤデータのフォーマットを定義するための情報を含み、配置データは、ＣＡＤデータを表示領域に配置するときの情報（位置、回転、ポジ／ネガ、拡大／縮小）を含む。
【０００６】
次に、データ変換装置は、図１８（ｂ）に示すように、上記軌跡ベクトルＫＶに基づいて上記アパーチャデータＡＰを移動させたときに生成されるアパーチャデータＡＰの軌跡の輪郭を、ベクトル（以下、輪郭ベクトルＲＶとする）で表すことにより、軌跡ベクトルＫＶおよびアパーチャデータＡＰを輪郭ベクトルＲＶに変換する（ステップＳ２０２）。なお、輪郭ベクトルＲＶは、任意の始点から順に右回りの方向に形成されるように変換される。
【０００７】
次に、データ変換装置は、図１８（ｃ）に示すように、輪郭ベクトルＲＶをＯＮベクトルＯＮ−ＶとＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとに選別する（ステップＳ２０３）。上記選別動作では、レーザプロッタの光ビームの走査方向を主走査方向、主走査方向に対して垂直な方向を副走査方向とした場合、副走査方向に向いた輪郭ベクトルＲＶをＯＮベクトルＯＮ−Ｖに、反副走査方向に向いた輪郭ベクトルＲＶをＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとし、副走査方向に垂直な輪郭ベクトルＲＶは削除する。
【０００８】
次に、データ変換装置は、図１８（ｄ）に示すように、ステップＳ２０３で作成されたＯＮベクトルＯＮ−ＶおよびＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖに対して、ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖのみの方向を反転させた後、それぞれの始点の副走査方向の昇順にソートする（ステップＳ２０４）。ここで、ソートとは、データを所定の基準で並べ替えることを意味しており、本従来例では、ソートの結果、ＯＮ−Ｖ１→ＯＦＦ−Ｖ３→ＯＦＦ−Ｖ２→ＯＮ−Ｖ２→ＯＦＦ−Ｖ１の順に並び替えられる。
【０００９】
次に、データ変換装置は、図１８（ｅ）に示すように、表示領域のレーザプロッタの分解能に対応した複数の走査ラインに対して、主走査方向の１走査ラインとステップＳ２０４で作成されたベクトルとの交点を上記ソート結果に基づいて検出し、上記ＯＮベクトルＯＮ−Ｖとの交点をＯＮ変化点、上記ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとの交点をＯＦＦ変化点に変換することにより、ランレングスデータを作成する（ステップＳ２０５）。このとき、上記交点が副走査方向の走査ラインと一致しない場合、上記交点を主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点が、上記変化点として変換される（切り捨て処理）。このランレングスデータは、表示領域の１走査ライン毎の描画データを、白領域（非露光領域）から黒領域（露光領域）への変化点（ＯＮ変化点）と黒領域から白領域への変化点（ＯＦＦ変化点）とで表したデータであるため、レーザプロッタの描画処理に適しており、レーザプロッタは、与えられるランレングスデータに従って、１ライン毎に描画を行うことができる。
【００１０】
次に、データ変換装置は、ステップＳ２０５で変換された変化点を主走査方向の昇順にソートする（ステップＳ２０６）。そして、データ変換装置は、まだランレングスデータに変換されていないベクトルがあるか否かを判断し（ステップＳ２０７）、まだ、変換されていないベクトルが残っている場合、ステップＳ２０５の変換で対象とした主走査方向の走査ラインを副走査方向にある別の主走査方向の走査ラインを対象として（ステップＳ２０８）、ステップＳ２０５に戻る。一方、データ変換装置は、ステップＳ２０７で全てのベクトルが、ランレングスデータに変換されたと判断した場合、変換した全てのランレングスデータをレーザプロッタに送り（ステップＳ２０９）、フローを終了する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した方法で、ランレングスデータに変換し、レーザプロッタで描画した場合、ＣＡＤデータでは同じ線幅であっても、上記走査ラインに対して配置される位置により描画される線幅が変化する。図１９は、同じ線幅のＣＡＤデータをレーザプロッタで描画したとき、描画される線幅が変化する例を示す概略ビットマップ図である。なお、図１９は、上記走査ライン上に幅Ｗを有する軌跡ベクトルＫＶと輪郭ベクトルＲＶとを示しており、その時にレーザプロッタの光ビームで露光されるポイントＰを黒丸印として、ビットマップ図で示している。
【００１２】
図１９（ａ）は、幅Ｗの一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、その幅Ｗの中心を示す軌跡ベクトルＫＶが、走査ライン間の中間点付近に配置された場合に、レーザプロッタで露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。この場合、幅Ｗを表すドット数（ポイントＰの数）は、２ドットである。
【００１３】
図１９（ｂ）は、幅Ｗの一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、その幅Ｗの中心を示す軌跡ベクトルＫＶが、走査ライン上付近に配置された場合に、レーザプロッタで露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。この場合、幅Ｗを表すドット数は、３ドットである。
【００１４】
図１９（ｃ）は、幅Ｗの一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、その幅Ｗの中心を示す軌跡ベクトルＫＶが、走査ラインに対して斜めに配置された場合に、レーザプロッタで露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。この場合、幅Ｗを表すドット数は、２〜３ドットの間で変化する。
【００１５】
このように、レーザプロッタの走査ラインに対して、軌跡ベクトルＫＶの配置される位置によって、同じ幅ＷのＣＡＤデータでも露光される線幅は異なる。つまり、ＣＡＤデータを同じ線幅で設定しても、実際に露光される線幅は一定しないため、パターンの電気的抵抗の変化等、プリント基板の性能への影響も発生する場合がある。しかも、ＣＡＤデータを作成する設計者は、実際に露光される線幅を事前に予想することができず、安定した線幅を得るためのＣＡＤデータの作成は困難であった。
【００１６】
それ故に、本発明の目的は、ＣＡＤデータ等の線図データを、レーザープロッタ等の出力機によって、安定した線幅の線画像が描画できるランレングスデータ等の描画データに変換することができるデータ変換装置およびその方法、並びに当該方法を用いたプログラムを提供することである。
【００１７】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記目的を達成するために、本発明は、以下に述べるような特徴を有している。
第１の発明は、所定の出力機で、出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するデータ変換装置であって、線図データを読み込み、出力機の描画エリアに線図データを配置したとき、ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成するベクトルデータ吸着処理手段と、ベクトルデータ吸着処理手段で吸着処理された吸着ベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成手段とを備える。
【００１８】
第１の発明によれば、所定の出力機が基準ラインに対する線図データの配置位置に影響されることなく、線図データで指定された線幅に対して安定した線幅で描画できるように、線図データを描画データに変換することができる。さらに、第１の発明によれば、線図データをレーザープロッタ等の出力機で好適に使用することができる描画データであるランレングスデータに変換することができる。また、基準ラインごとの描画画素および非描画画素の変化点のみで描画データを表すため、データ変換処理時間を大幅に短縮できる。
【００２１】
第２の発明は、第１の発明に従属する発明であって、描画データ生成手段は、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００２２】
第２の発明によれば、線図データの描画画素および非描画画素領域の境界と基準ラインとの交点が、基準ラインの直交点と一致しない場合、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理により変化点を基準ラインの直交点に一致させるため、所定の出力機が線図データで指定された線幅に対して安定した線幅で描画することができるランレングスデータを容易に生成することができる。
【００２３】
第３の発明は、第１の発明に従属する発明であって、描画データ生成手段は、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００２４】
第３の発明によれば、線図データの描画画素および非描画画素領域の境界と基準ラインとの交点が、基準ラインの直交点と一致しない場合、変化点を一方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に一致させるため、所定の出力機が線図データで指定された線幅に対して安定した線幅で描画することができるランレングスデータを容易に生成することができる。
【００２５】
第４の発明は、第１の発明に従属する発明であって、描画データ生成手段は、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理と、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理とを切り替える選択手段をさらに含むことを特徴とする。
【００２６】
第４の発明によれば、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じてランレングスデータを生成する処理方法を切り替えるため、所定の出力機が線図データで指定された線幅に対して、その傾斜角度に応じてさらに安定した線幅で描画できるランレングスデータを生成することができる。
【００２７】
第５の発明は、第１の発明に従属する発明であって、描画データ生成手段は、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成し、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成することを特徴とする。
【００２８】
第５の発明によれば、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、ランレングスデータを生成する処理方法を切り替えるため、所定の出力機が線図データで指定された線幅に対して、さらに安定した線幅で描画できるランレングスデータを生成することができる。
【００２９】
第６の発明は、所定の出力機で、出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するデータ変換方法であって、線図データを読み込み、出力機の描画エリアに線図データを配置したとき、ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成するベクトルデータ吸着処理ステップと、吸着ベクトルデータ吸着処理ステップで吸着処理されたベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成ステップとを備える。
【００３１】
第７の発明は、第６の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００３２】
第８の発明は、第６の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００３３】
第９の発明は、第６の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理と、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理とを切り替える選択ステップをさらに含むことを特徴とする。
【００３４】
第１０の発明は、第６の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成し、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成することを特徴とする。
【００３５】
第１１の発明は、所定の出力機で、出力機の走査に用いられる互いに直交する基準ラインの複数の直交点を画素とする画像を描画するために、直線をベクトルデータによって表現した線図データを出力機で描画する処理に適合する描画データに変換するコンピュータで実行されるデータ変換プログラムであって、線図データを読み込み、出力機の描画エリアに線図データを配置したとき、ベクトルデータによって表現される直線の中心を示す軌跡ベクトルのそれぞれの始点および終点を最も近い基準ラインの直交点に移動させることにより吸着ベクトルデータを生成する処理をするベクトルデータ吸着処理ステップと、ベクトルデータ吸着処理ステップで吸着処理された吸着ベクトルデータに基づいて、当該吸着ベクトルデータによって表現される直線の輪郭を示す輪郭データを生成し、生成した輪郭データを、一方の方向の基準ラインに沿って非描画画素から描画画素への変化点と描画画素から非描画画素への変化点とを記述したランレングスデータに変換する描画データ生成ステップとを備える。
【００３７】
第１２の発明は、第１１の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００３８】
第１３の発明は、第１１の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ、変化点を生成することを特徴とする。
【００３９】
第１４の発明は、第１１の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度に応じて、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理と、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成する処理とを切り替える選択ステップをさらに含むことを特徴とする。
【００４０】
第１５の発明は、第１１の発明に従属する発明であって、描画データ生成ステップは、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って最も近い基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成し、基準ラインに対する吸着ベクトルデータの傾斜角度が４５°以外の場合、輪郭データと一方の方向の基準ラインとの交点を、一方の方向の基準ラインに沿って切り捨て処理することにより基準ラインの直交点に対応させ変化点を生成することを特徴とする。
【００４１】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の一実施形態に係るデータ変換装置を用いた露光描画システムの構成を示すブロック図である。当該データ変換装置で用いられる線図データは、典型的にＣＡＤデータが用いられる。図１において、データ変換装置１には、オンライン伝送路３を介して外部のＣＡＤシステム（図示せず）から軌跡ベクトルとアパーチャデータとを含むＣＡＤデータが与えられる。また、データ変換装置１には、ＤＡＴ等の記憶装置２に格納された軌跡ベクトルおよびアパーチャデータを含むＣＡＤデータが読み出されて与えられる。つまり、データ変換装置１には、オンラインまたはオフライン形式でＣＡＤデータが与えられる。データ変換装置１は、与えられたＣＡＤデータを、輪郭ベクトルデータに変換した後、さらにランレングスデータに変換し、レーザプロッタ４に出力する。なお、このデータ変換装置１で行われるデータ変換の詳細については、後述する。
【００４２】
図２は、図１におけるデータ変換装置１のより詳細な構成を示すブロック図である。図２において、データ変換装置１は、ＣＰＵ１１と、プログラムメモリ１２と、ＲＡＭ１３とを備えている。プログラムメモリ１２には、ＣＰＵ１１の動作プログラムが格納されており、ＣＰＵ１１は、この動作プログラムに従って、所定の処理を実行する。なお、プログラムメモリ１２は、ＲＯＭによって構成され、予めプログラムが格納されていても良いし、書き換え可能な記憶媒体（ＲＡＭ、ハードディスク、ＭＯＤ）によって構成され、出荷前にプログラムがインストールされても良い。また、オンライン伝送路３を介してプログラムメモリ１２にプログラムがダウンロードされても良い。ＲＡＭ１３は、ＣＰＵ１１が所定の処理を実行する際に必要な種々のデータを記憶する。
【００４３】
図３は、図１におけるデータ変換装置１の動作を示すフローチャートである。図４〜図９はデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。以下、図３および図４〜９を参照して、データ変換装置１の動作について説明する。
【００４４】
まず、データ変換装置１のＣＰＵ１１は、軌跡ベクトルＫＶおよびアパーチャデータＡＰを含むＣＡＤデータを読み込み、ＲＡＭ１３に格納する（ステップＳ１１）。図４に示すように、軌跡ベクトルＫＶは、直線の情報を始点と終点とによって表現し、アパーチャデータＡＰは、描画に用いるペンの種類（すなわち、ペン先の形状）で表現される。さらに、データ変換装置１には、フォーマット情報および配置データが与えられる。フォーマット情報は、軌跡ベクトルＫＶのフォーマットを定義するための情報を含み、配置データは、軌跡ベクトルＫＶを表示領域に配置するときの情報（位置、回転、ポジ／ネガ、拡大／縮小）を含む。
【００４５】
次に、データ変換装置１は、軌跡ベクトルＫＶの始点および終点を、もっとも近い主走査方向の走査ラインと副走査ラインとの交点に置換（吸着処理）する（ステップＳ１２）。図５に示すように、図１におけるレーザプロッタ４の描画エリアＡは、レーザプロッタ４の分解能で表される光ビームの走査方向（主走査方向）および主走査方向に対して垂直な方向（副走査方向）の複数の走査ラインで分割されており、それぞれの方向の走査ラインの交点がレーザプロッタ４によって露光されるか否かを区別することにより、画像が生成される。図５に示すように、この描画エリアＡに上記軌跡ベクトルＫＶをフォーマット情報と配置データとに基づいて配置した場合、軌跡ベクトルＫＶの始点および終点は、上記走査ラインの交点と一致しないことが多い。そのような場合、それぞれの始点および終点を、最も近い上記走査ラインの交点に置換処理する（処理では、軌跡ベクトルＫＶの始点および終点の主走査方向および副走査方向の座標に対してレーザプロッタ４のそれぞれの方向の分解能で除算し、余りを四捨五入処理する）。このような吸着処理によって、軌跡ベクトルＫＶは、最も近い走査ラインの交点に置換された吸着軌跡ベクトルＫＶ−Ｓに置換される。
【００４６】
次に、データ変換装置１は、図６に示すように、ステップＳ１２で吸着処理された軌跡ベクトルＫＶ−Ｓに基づいて上記アパーチャデータＡＰを移動させたときに生成されるアパーチャデータＡＰの軌跡の輪郭を、ベクトル（以下、輪郭ベクトルＲＶとする）で表すことにより、ベクトル変換する（ステップＳ１３）。なお、輪郭ベクトルＲＶは、任意の始点から順に右回りの方向に形成されるように変換される。
【００４７】
次に、データ変換装置１は、図７に示すように、輪郭ベクトルＲＶをＯＮベクトルＯＮ−ＶとＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとに選別する（ステップＳ１４）。上記選別動作では、副走査方向に向いた輪郭ベクトルＲＶをＯＮベクトルＯＮ−Ｖに、反副走査方向に向いた輪郭ベクトルＲＶをＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとし、副走査方向に垂直な輪郭ベクトルＲＶは削除する。
【００４８】
次に、データ変換装置１は、図８に示すように、ステップＳ１４で作成されたＯＮベクトルＯＮ−ＶおよびＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖに対して、ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖのみの方向を反転させた後、それぞれの始点の副走査方向の昇順にソートする（ステップＳ１５）。ここで、ソートとは、データを所定の基準で並べ替えることを意味している。
【００４９】
次に、データ変換装置１は、上述した描画エリアＡのレーザプロッタ４の分解能に対応した複数の走査ラインに対して、主走査方向の１走査ラインとステップＳ１５で作成されたベクトルとの交点を上記ソート結果に基づいて検出し、上記ＯＮベクトルＯＮ−Ｖとの交点をＯＮ変化点、上記ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとの交点をＯＦＦ変化点に変換することにより、ランレングスデータを作成する（ステップＳ１６）。このランレングスデータの作成方法についての詳細は、後述する。
【００５０】
次に、データ変換装置１は、ステップＳ１６で変換された変化点を主走査方向の昇順にソートする（ステップＳ１７）。そして、データ変換装置１は、まだランレングスデータに変換されていないベクトルがあるか否かを判断し（ステップＳ１８）、まだ、変換されていないベクトルが残っている場合、ステップＳ１６の変換で対象とした主走査方向の走査ラインを副走査方向にある別の主走査方向の走査ラインを対象として（ステップＳ１９）、ステップＳ１６に戻る。一方、データ変換装置１は、ステップＳ１８で全てのベクトルが、ランレングスデータに変換されたと判断した場合、変換した全てのランレングスデータをレーザプロッタ４に送り（ステップＳ２０）、フローを終了する。
【００５１】
図９および図１０は上記ステップＳ１６のランレングスデータの変換処理の過程を示す概略図であり、図１１は上記ステップＳ１６のランレングスデータの変換処理の動作をより詳細に示すフローチャートである。以下、図９〜図１１を参照して、ランレングスデータ変換処理について説明する。
【００５２】
図１１において、データ変換装置１は、上述したそれぞれの走査ラインと、ステップＳ１５でソートされた結果に基づき処理対象となったベクトルの基になっている吸着軌跡ベクトルＫＶ−Ｓとの成す角度が、４５°か否かを判断する（ステップＳ１６１）。そして、データ変換装置１は、ステップＳ１６１で４５°でないと判断された場合、ステップＳ１６２に進み、ステップＳ１６１で４５°と判断された場合、ステップＳ１６３に進む。
【００５３】
次に、データ変換装置１は、ステップＳ１６１で４５°でないと判断された場合、図９に示すように、主走査方向の１走査ラインとステップＳ１６１で処理対象となったベクトルとの交点を検出し、上記ＯＮベクトルＯＮ−Ｖとの交点をＯＮ変化点、上記ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとの交点をＯＦＦ変化点に切り捨て処理で変換することにより、ランレングスデータを作成する（ステップＳ１６２）。
【００５４】
ここで、切り捨て処理とは、上記ベクトルとの交点が副走査方向の走査ラインと一致しない場合、上記ベクトルとの交点を主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点が、上記変化点として変換されることを表している。なお、上記切り捨て処理は、副走査方向の走査ラインと上記ベクトルとの交点を反主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点を、上記変化点として変換することにしてもかまわない。当該データ処理装置１の切り捨て処理として、上記交点を移動させる方向をどちらかの１方向に設定することにより、どちらの方向に設定されてもランレングスデータを作成することができる。
【００５５】
また、ランレングスデータは、描画エリアＡの１走査ライン毎の描画データを、非描画画素から描画画素への変化点であるＯＮ変化点と描画画素から非描画画素への変化点であるＯＦＦ変化点とを表したデータである。つまり、ランレングスデータは、１走査ライン毎の描画データを、白領域（非露光領域）から黒領域（露光領域）への変化点（ＯＮ変化点）と黒領域から白領域への変化点（ＯＦＦ変化点）とで表したデータであるため、レーザプロッタ４の描画処理に適しており、レーザプロッタ４は、与えられるランレングスデータに従って、１ライン毎に描画を行うことができる。なお、変換対象のベクトルの終点と走査ラインの交点とが一致した場合、当該交点をそれぞれの変化点に変換する処理は行わず、当該交点を削除する。
【００５６】
一方、データ変換装置１は、ステップＳ１６１で４５°であると判断された場合、図１０に示すように、主走査方向の１走査ラインとステップＳ１６１で処理対象となったベクトルとの交点を検出し、上記ＯＮベクトルＯＮ−Ｖとの交点をＯＮ変化点、上記ＯＦＦベクトルＯＦＦ−Ｖとの交点をＯＦＦ変化点に四捨五入処理で変換することにより、ランレングスデータを作成する（ステップＳ１６３）。
【００５７】
ここで、四捨五入処理とは、上記ベクトルとの交点が副走査方向の走査ラインと一致しない場合、上記ベクトルとの交点を近い方の副走査方向の走査ラインに向かって主走査方向に移動させることにより最初に検出される主走査方向の走査ラインと副走査方向の走査ラインとの交点が、上記変化点として変換されることを表している。つまり、データ変換装置１の処理では、上記ベクトルとの交点の主走査方向の座標をレーザプロッタ４の分解能で除算し、余りを四捨五入処理することにより得られる、主走査方向の座標に変換する。なお、変換対象のベクトルの終点と走査ラインの交点とが一致した場合、当該交点をそれぞれの変化点に変換する処理は行わず、当該交点を削除する。
【００５８】
次に、データ変換装置１は、変換対象としている上記１走査ラインに対して、まだランレングスデータに変換されていないベクトルがあるか否かを判断する（ステップＳ１６４）。まだ、上記１走査ラインに対して、変換されていないベクトルが残っている場合、ステップＳ１６１に戻る。一方、データ変換装置１は、上記１走査ラインに対して、その走査ラインと交わる全てのベクトルが、ランレングスデータに変換されたと判断した場合、フローを終了する。
【００５９】
ここで、上述した方法で、ランレングスデータに変換し、レーザプロッタ４で描画した場合、ＣＡＤデータで表される線幅と実際に描画される線幅について、実施例をあげて説明する。図１２および図１３は、ＣＡＤデータから変換されたランレングスデータに基づいてレーザプロッタ４で描画したとき、描画される線幅の例を示す概略ビットマップ図である。なお、図１２および図１３は、上記描画エリアＡ上に幅ＷのＣＡＤデータの中心を示す軌跡ベクトルＫＶとその輪郭を示す輪郭ベクトルＲＶとを示しており、その時にレーザプロッタ４の光ビームで露光されるポイントＰを黒丸印およびその光ビームスポットＢＰを白丸印として、ビットマップ図で示している。
【００６０】
図１２は、幅Ｗがレーザプロッタ４の分解能の２．６倍（以下、２．６分解能とする）の一方辺を有し、走査ラインに平行な輪郭ベクトルＲＶに対して、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。なお、図１２（ａ）は、幅Ｗが２．６分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、その幅Ｗの中心を示す軌跡ベクトルＫＶが、走査ライン間の中間点付近に配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰおよびその光ビームスポットＢＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．６の幅Ｗを表すドット数は２ドットである。また、図１２（ｂ）は、幅Ｗが２．６分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、その幅Ｗの中心を示す軌跡ベクトルＫＶが、走査ライン上に配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰおよびその光ビームスポットＢＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．６の幅Ｗを表すドット数は３ドットである。
【００６１】
上述したように、従来の方法では、図１２で示されるように、同じ分解能２．６の幅Ｗを示すＣＡＤデータであっても、実際レーザプロッタ４で露光される線幅Ｗは、ＣＡＤデータの配置位置によって２ドット（図１２（ａ））あるいは３ドット（図１２（ｂ））に変化し、不安定であった。しかし、本発明では、上述した軌跡ベクトルＫＶの吸着処理により、どのような位置に配置されても全て図１２（ｂ）の状態に置換されるため、実際レーザプロッタ４で露光される線幅Ｗは安定して３ドットで表現される。
【００６２】
図１３は、幅Ｗが２．６分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度θを有する輪郭ベクトルＲＶに対して、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰおよびその光ビームスポットＢＰを示したビットマップ図である。なお、図１３（ａ）は、幅Ｗが２．６分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、走査ラインに対して角度θを有した状態で配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰおよびその光ビームスポットＢＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．６の幅Ｗを表すドット数は２〜３ドットに変化する。また、図１３（ｂ）は、幅Ｗが２．６分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度θを有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰおよびその光ビームスポットＢＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．６の幅Ｗを表すドット数は３ドットである。
【００６３】
上述したように、従来の方法では、図１３で示されるように、分解能２．６の幅Ｗを示す角度θで傾いたＣＡＤデータに対しては、実際レーザプロッタ４で露光される線幅Ｗは、２〜３ドットに変化し（図１３（ａ））、不安定であった。しかし、本発明では、上述した軌跡ベクトルＫＶの吸着処理により、図１３（ｂ）の状態に置換されるため、実際レーザプロッタ４で露光される線幅Ｗは安定して３ドットで表現される。
【００６４】
次に、上述した方法で、ランレングスデータに変換し、レーザプロッタ４で描画した場合、ステップＳ１６１で選択されるランレングスデータの処理方法の違いによる実際に描画される線幅について、実施例をあげて説明する。図１４〜１５は、ＣＡＤデータをレーザプロッタ４で描画したとき、描画される線幅の例を示す概略ビットマップ図である。なお、図１４〜１５は、上記描画エリアＡ上に幅ＷのＣＡＤデータの中心を示す軌跡ベクトルＫＶとその輪郭を示す輪郭ベクトルＲＶとを示しており、その時にレーザプロッタ４の光ビームで露光されるポイントＰを黒丸印、その光ビームスポットＢＰを白丸印として、ビットマップ図で示している。
【００６５】
図１４は、本発明のデータ変換装置１によって、ＣＡＤデータの幅Ｗが１．８分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して平行に配置される輪郭ベクトルＲＶおよび角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。なお、図１４（ａ）は、幅Ｗが１．８分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、走査ラインに対して平行に配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能１．８の幅Ｗを表すドット数は１ドットで安定する。また、図１４（ｂ）は、幅Ｗが１．８分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６３で四捨五入処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能１．８の幅Ｗを表すドット数は２ドットで安定する。また、図１４（ｃ）は、幅Ｗが１．８分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６２で切り捨て処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能１．８の幅Ｗを表すドット数は３ドットで安定する。
【００６６】
ここで、図１４（ｂ）および（ｃ）で示されるように、ステップＳ１６２で切り捨て処理をするかステップＳ１６３で四捨五入処理をするかによって、分解能１．８の幅Ｗを表すドット数が変化する。また、実際にレーザプロッタ４で露光される線幅も、１ドットに対してレーザプロッタ４で露光される光ビームスポットＢＰの直径を１分解能とすると、図１４（ａ）では露光線幅１．０分解能となり、図１４（ｂ）では露光線幅１．５７分解能となり、図１４（ｃ）では露光線幅２．１４となる。しかしながら、本実施形態では、上記ステップＳ１６１で説明したように、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対しては、ステップＳ１６３が選ばれ四捨五入処理される（図１４（ｂ）の線幅）ため、切り捨て処理より平行に配置された輪郭ベクトルＲＶでの分解能１．０の露光線幅に近くなる。つまり、本実施例では、４５°で配置される輪郭ベクトルＲＶに対してはステップＳ１６３の四捨五入処理が望ましいことがわかる。
【００６７】
図１５は、本発明のデータ変換装置１によって、ＣＡＤデータの幅Ｗが２．５分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して平行に配置される輪郭ベクトルＲＶおよび角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。なお、図１５（ａ）は、幅Ｗが２．５分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、走査ラインに対して平行に配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．５の幅Ｗを表すドット数は３ドットで安定する。また、図１５（ｂ）は、幅Ｗが２．５分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６３で四捨五入処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．５の幅Ｗを表すドット数は４ドットで安定する。また、図１５（ｃ）は、幅Ｗが２．５分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６２で切り捨て処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．５の幅Ｗを表すドット数は３ドットで安定する。
【００６８】
ここで、図１５（ｂ）および（ｃ）で示されるように、ステップＳ１６２で切り捨て処理をするかステップＳ１６３で四捨五入処理をするかによって、分解能２．５の幅Ｗを表すドット数が変化する。また、実際にレーザプロッタ４で露光される線幅も、１ドットに対してレーザプロッタ４で露光される光ビームスポットＢＰの直径を１分解能とすると、図１５（ａ）では露光線幅３．０分解能となり、図１５（ｂ）では露光線幅２．７１分解能となり、図１５（ｃ）では露光線幅２．１４となる。しかしながら、本実施形態では、上記ステップＳ１６１で説明したように、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対しては、ステップＳ１６３が選ばれ四捨五入処理される（図１５（ｂ）の線幅）ため、切り捨て処理より平行に配置された輪郭ベクトルＲＶでの分解能３．０の露光線幅に近くなる。つまり、本実施例でも、４５°で配置される輪郭ベクトルＲＶに対してはステップＳ１６３の四捨五入処理が望ましいことがわかる。
【００６９】
このように、本発明の一実施形態に係るデータ変換装置を用いた露光描画システムでは、レーザプロッタで露光するとき、ＣＡＤデータの線幅に対して安定した露光線幅を得ることができる。また、走査ラインに対して４５°に配置されるＣＡＤデータに対しても、使用する露光線幅が予め複数種に決まっており、それら全てが四捨五入処理の方が走査ラインに平行な配置の露光線幅に近いことが検証されている場合、走査ラインに対して４５°に配置されるＣＡＤデータに対しては、ステップＳ１６３の四捨五入処理に固定することにより安定した露光線幅を得ることができる（上述したステップＳ１６１〜Ｓ１６４の方法）。
【００７０】
一方、図１６は、本発明のデータ変換装置１によって、ＣＡＤデータの幅Ｗが２．０分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して平行に配置される輪郭ベクトルＲＶおよび角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図である。なお、図１６（ａ）は、幅Ｗが２．０分解能の一方辺を有する輪郭ベクトルＲＶを、走査ラインに対して平行に配置された場合に、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．０の幅Ｗを表すドット数は２ドットで安定する。また、図１６（ｂ）は、幅Ｗが２．０分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６３で四捨五入処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．０の幅Ｗを表すドット数は平行と同じ２ドットで安定する。また、図１６（ｃ）は、幅Ｗが２．０分解能の一方辺を有し、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対して、上記吸着処理をした後、上記ステップＳ１６２で切り捨て処理をし、レーザプロッタ４で露光されるポイントＰを示したビットマップ図であり、この場合、分解能２．０の幅Ｗを表すドット数は３ドットで安定する。
【００７１】
ここで、図１６（ｂ）および（ｃ）で示されるように、ステップＳ１６２で切り捨て処理をするかステップＳ１６３で四捨五入処理をするかによって、分解能２．０の幅Ｗを表すドット数が変化する。また、実際にレーザプロッタ４で露光される線幅も、１ドットに対してレーザプロッタ４で露光される光ビームスポットＢＰの直径を１分解能とすると、図１６（ａ）では露光線幅２．０分解能となり、図１６（ｂ）では露光線幅１．５７分解能となり、図１６（ｃ）では露光線幅２．１４となる。しかしながら、本実施形態では、上記ステップＳ１６１で説明したように、走査ラインに対して角度４５°を有する輪郭ベクトルＲＶに対しては、ステップＳ１６３が選ばれ四捨五入処理される（図１６（ｂ）の線幅）ため、ドット数は同じ２ドットになるものの、切り捨て処理のほうが平行に配置された輪郭ベクトルＲＶでの分解能２．０の露光線幅に近くなる。つまり、本実施例では、４５°で配置される輪郭ベクトルＲＶに対しては、ステップＳ１６３の四捨五入処理はドット数では平行配置と同じになるが、露光線幅はステップＳＳ１６２の切り捨て処理が望ましいことがわかる。
【００７２】
このように、走査ラインに対して４５°に配置されるＣＡＤデータに対して、ステップＳ１６２の切り捨て処理が望ましい場合、ステップＳ１６１の選択ステップで切り捨て処理を選択するようにしてもかまわない。つまり、走査ラインを基準に４５°に配置されるＣＡＤデータに対して、上述したような検証を予め実施することにより、切り捨て処理または四捨五入処理のいずれが望ましいのかを、線幅をパラメータとして求めておき、このパラメータを基に切り替えてもいいし、選択手段によって、その都度露光線幅を算出し望ましいほうを選択するようにしてもかまわない。なお、走査ラインに対して４５°以外の角度を有した状態で配置されるＣＡＤデータに対しては、ここでは説明を省略するが、上述と同様に予め検証することにより処理することができる。
【００７３】
なお、上述したデータ変換装置は、露光描画システムに用いられる例を示したが、本発明に係るデータ変換装置から出力されるランレングスデータを用いて、他のシステムに適用してもかまわない。例えば、上記ランレングスデータを用いて描画し、その描画データを用いてパターンマッチングすることによりプリント基板の回路検査等を行う検査装置にも、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るデータ変換装置を用いた露光描画システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１におけるデータ変換装置１の構成を示すブロック図である。
【図３】図１におけるデータ変換装置１の動作を示すフローチャートである。
【図４】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図５】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図６】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図７】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図８】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図９】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図１０】図１におけるデータ変換装置１が行うデータ変換の過程を示す概略図である。
【図１１】図３におけるステップＳ１６のランレングスデータの変換処理の動作をより詳細に示すフローチャートである。
【図１２】描画される線幅の実施例を示す概略ビットマップ図である。
【図１３】描画される線幅の別の実施例を示す概略ビットマップ図である。
【図１４】図１におけるレーザプロッタ４で描画したとき、描画される線幅の例を示す概略ビットマップ図である。
【図１５】図１におけるレーザプロッタ４で描画したとき、描画される線幅の別の例を示す概略ビットマップ図である。
【図１６】図１におけるレーザプロッタ４で描画したとき、描画される線幅のさらに別の例を示す概略ビットマップ図である。
【図１７】従来のデータ変換方法を示すフローチャートである。
【図１８】従来のデータ変換によるＣＡＤデータからランレングスデータを生成する過程を示す概略図である。
【図１９】従来の同じ線幅のＣＡＤデータをレーザプロッタで描画したとき、描画される線幅が変化する例を示す概略ビットマップ図である。
【符号の説明】
１…データ変換装置
１１…ＣＰＵ
１２…プログラムメモリ
１３…ＲＡＭ
２…記憶装置
３…オンライン伝送路
４…レーザプロッタ
Ａ…描画エリア
ＡＰ…アパーチャデータ
ＢＰ…光ビームスポット
ＫＶ…軌跡ベクトル
ＯＦＦ−Ｖ…ＯＦＦベクトル
ＯＮ−Ｖ…ＯＮベクトル
Ｐ…ポイント
ＲＶ…輪郭ベクトル
Ｗ…幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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