(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）メタクリル酸又はアクリル酸８〜１２重量％及び一般式（Ｉ）で表される単量体８８〜９２重量％からなるアクリル系モノマーを含むビニルモノマーを共重合して得られる重量平均分子量１０，０００〜４０，０００のアルカリ可溶なビニル系共重合物を含むバインダーポリマーを４０〜８０重量部、
ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ1）−ＣＯＯＲ2          （Ｉ）
（式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を意味し、Ｒ2は炭素数１〜１２のアルキル基を意味する。）
（Ｂ）一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物
ＣＨ2＝ＣＲＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）m（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）n−
−（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）mＣＯＣＲ＝ＣＨ2          （ＩＩ）
（式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｍ及びｎは各々１〜３０の整数である。）
を含み分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を２０〜６０重量部及び
（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜５重量部含有してなる感光性樹脂組成物。
【請求項２】
一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物の配合量が（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、１０〜９０重量部である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層してなる感光性エレメント。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、印刷配線板の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及び感光性フィルムが広く用いられている。また、印刷配線板の製造方法としては、近年印刷配線板が高密度化、パターンが細線化しているため、めっき法が主流になりつつある。
【０００３】
このめっき法は、チップ搭載のためのスルーホール及び電気回路を除いてレジストを被覆し、電気めっきによりスルーホール及び電気回路を作製し、その後、レジスト剥離、エッチングによって電気回路の作製を行う方法である。めっき法におけるめっき液には、ピロリン酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジウム、金等が用いられる。
【０００４】
耐めっき性を向上したレジストとしては、例えばスチレン系単量体を共重合したポリマーを用いたものが知られている。（特公昭５５−３８９６１号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開平２−２８９６０７号公報、特開平４−３４７８５９号公報、特開平４−２８５９６０号公報）しかしながら、このレジストにおいては、耐めっき性が不十分である。また、その他の耐めっき性向上手法として、下地金属（主に銅が用いられている）と感光性フィルムとの密着性を増大させるため、感光性樹脂組成物に添加剤を配合する方法が知られている。この添加剤としては、複素環状化合物（特開昭５３−７０２号公報）、イミダゾール又はその誘導体（特開昭５５−６５２０３号公報）、フタラゾン又はその誘導体（特開昭５５−６５２０２号公報）、テトラゾール又はその誘導体（特開昭５９−１２５７２６号公報）、ロフィン（特開昭５９−１２５７２７号公報）が知られている。
【０００５】
しかし、これらの添加剤を用いてもピロリン酸銅めっき、金めっき等のめっきとして非常に過酷な処理を行う場合には、レジスト膜のはがれ、持ち上がり、めっきのもぐり（レジストの下にめっきが析出する現象）等が発生する問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記従来技術の問題を解決し、耐めっき性（特に耐金めっき性）、耐薬品性等に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、（Ａ）メタクリル酸又はアクリル酸８〜１２重量％及び一般式（Ｉ）で表される単量体８８〜９２重量％からなるアクリル系モノマーを含むビニルモノマーを共重合して得られる重量平均分子量１０，０００〜４０，０００のアルカリ可溶なビニル系共重合物を含むバインダーポリマーを４０〜８０重量部、
ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ1）−ＣＯＯＲ2          （Ｉ）
（式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を意味し、Ｒ2は炭素数１〜１２のアルキル基を意味する。）
（Ｂ）一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物
ＣＨ2＝ＣＲＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）m（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）n−
−（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）mＣＯＣＲ＝ＣＨ2          （ＩＩ）
（式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｍ及びｎは各々１〜３０の整数である。）
を含み分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を２０〜６０重量部及び
（Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して０．０１〜５重量部含有してなる感光性樹脂組成物に関する。
【０００８】
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層してなる感光性エレメントに関する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳述する。
【００１０】
本発明に（Ａ）成分として用いられるバインダポリマーとしては、メタクリル酸又はアクリル酸８〜１２重量％及び前記一般式（Ｉ）で表される単量体８８〜９２重量％からなるアクリル系モノマーを含むビニルモノマーを共重合して得られる重量平均分子量１０，０００〜４０，０００のアルカリ可溶なビニル系共重合物を含むものである。ビニル系共重合物の重量平均分子量が１０，０００未満では硬化後の膜強度が低下し、４０，０００を超えると現像時間及び剥離時間が長くなる。好ましい重量平均分子量は２０，０００〜３５，０００である。なお重量平均分子量はＧＰＣを用いて標準ポリスチレン換算で測定したものを用いた。
【００１１】
ビニル系共重合物の共重合に用いられる前記アクリル系モノマーにおけるメタクリル酸又はアクリル酸の使用割合は８〜１２重量％であり、この割合が８重量％未満であると、現像時間や剥離時間が長くなり、現像残りや剥離残りが生じ、１２重量％を超えると耐金めっき性が低下する。
【００１２】
ビニル系共重合物の共重合に用いられる前記一般式（Ｉ）で表される単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［（メタ）アクリル酸とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ］が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００１３】
また、ビニル系共重合物の共重合にはメタクリル酸又はアクリル酸と一般式（Ｉ）で表される単量体からなるアクリル系モノマーと共重合しうる他のビニルモノマーを用いることができる。このような他のビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。これらの他のビニルモノマーは、ビニル系共重合物の共重合に用いられるビニルモノマー中に好ましくは０〜２０重量％用いられる。
【００１４】
上記ビニル系共重合物は、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができ、（Ａ）成分のバインダーポリマー中に５０〜１００重量％含まれていることが好ましい。
【００１５】
本発明に（Ｂ）成分として用いられる分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物は、一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物を含むものである。
ＣＨ2＝ＣＲＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）m（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）n−
−（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）mＣＯＣＲ＝ＣＨ2          （ＩＩ）
（式中、Ｒは水素原子又はメチル基を示し、ｍ及びｎは各々１〜３０の整数である）
一般式（ＩＩ）中、ｍは２〜１０とすることが好ましく、３〜８とすることがより好ましく、５〜６とすることが特に好ましい。ｍが２未満ではレジスト形状が悪化する傾向があり、１０を超えると解像度が悪化する傾向にある。また、ｎは１〜１０とすることが好ましく、４〜９とすることがより好ましく、５〜８とすることが特に好ましい。ｎが１未満では解像度が悪化する傾向があり、１０を超えるとレジスト形状が悪化する傾向がある。
【００１６】
よって、ｍとｎの和は５〜３０とすることが好ましく、１０〜２５とすることがより好ましく、１５〜２０とすることが特に好ましい。ｍとｎの和が５未満ではレジスト形状が悪化する傾向があり、３０を超えると解像度が悪化する傾向がある。また、ｍ及びｎが３０を超えると、得られるレジストが脆くなる傾向がある。
【００１７】
一般式（ＩＩ）における（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）及び（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）は、必ずしもそれぞれこの位置でｍ個連続及びｎ個連続して存在する必要はなく、すなわち、ランダムに存在してもよい。
【００１８】
一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物の具体例としては、例えば２つのＲがメチル基、ｍが６、ｎが６であるメタクリレート化合物（新中村化学工業社製、商品、ＰＥＧ−７００−６Ｅ）及び２つのＲが水素原子、ｍが２、ｎが２であるアクリレート化合物（第一工業製薬社製、商品名、ＥＰ−２２）等が挙げられる。
【００１９】
本発明における（Ｂ）分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物は、必ず一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物を含有していれば、それ以外の成分を含有していてもよい。
【００２０】
一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物以外の光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、２，２−ビス［４−（アクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、ウレタンアクリレート等が挙げられる。
【００２１】
多価アルコールとしては、例えば、オキシエチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジアクリレート、オキシエチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレート、オキシプロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジアクリレート、オキシプロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等が挙げられる。
【００２２】
α，β−不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
【００２３】
２，２−ビス［４−（アクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパンとしては、例えば、２，２−ビス［４−（アクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシトリエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシペンタエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（アクリロキシデカエトキシ）フェニル］プロパン等が挙げられる。
【００２４】
２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパンとしては、例えば、２，２−ビス［４−（メタクリロキシジエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタクリロキシトリエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（メタクリロキシデカエトキシ）フェニル］プロパン等が挙げられ、２，２−ビス［４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル］プロパンとしては、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業社製）等が挙げられる。
【００２５】
グリシジル基含有化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリメタクリレート、ビスフェノールＡビス（ジグリシジルエーテルアクリレート）、ビスフェノールＡビス（ジグリシジルエーテルメタクリレート）等が挙げられる。
【００２６】
アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、アクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００２７】
メタクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、メタクリル酸メチルエステル、メタクリル酸エチルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、メタクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００２８】
ウレタンアクリレートとしては、例えば、ウレタンアクリレートビスコート＃８３１（大阪有機化学工業社製）、ポリエーテル型ウレタンアクリレートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製）、ポリエステル型ウレタンアクリレート（共栄社油脂化学工業社製）、ウレタンアクリレートフォトマー６００８（サンノプコ社製）、ウレタンジアリレートケムリンク９５０３（サートマ社製）等のウレタン（メタ）アクリレートが挙げられる。これらは単独で又は、２種類以上を組み合わせて使用される。
【００２９】
また、下記一般式（ＩＩＩ）で表される化合物が挙げられる。
【００３０】
【化１】
0003988233.tif 000002
（式中、２つのＲ3はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基であり、Ｘは−ＣＨ2ＣＨ2Ｏ−、Ｙは−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ−を表し、ｎ、ｐ、ｑ、ｍはそれぞれ独立に１〜１４の整数である。）
本発明における（Ｃ）成分として用いられる光重合性開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーズケトン）、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレキノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−１，２′−ビイミダゾール、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体等が挙げられる。これらは単独で又は、２種類以上組み合わせて使用される。
【００３１】
本発明の感光性樹脂組成物において、（Ａ）成分の配合量は、塗膜性と光硬化性のバランスの点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、４０〜８０重量部であり、５０〜７０重量部とすることが好ましく、５５〜６５重量部とすることがより好ましい。
【００３２】
この配合量が、４０重量部未満では、得られる感光性エレメントが塗膜性に劣り、８０重量部を超えると、光硬化性が不十分となる。
【００３３】
本発明の感光性樹脂組成物において、（Ｂ）成分中の一般式（ＩＩ）で表されるアクリレート化合物の配合量は、（Ｂ）成分の総量１００重量部に対し、１０〜９０重量部とすることが好ましく、２５〜７５重量部とすることがより好ましく、４０〜６０重量部とすることが特に好ましい。この配合量が、１０重量部未満では、レジスト形状が悪化する傾向があり、９０重量部を超えると、解像度が悪化する傾向にある。
【００３４】
本発明における感光性樹脂組成物において、（Ｂ）成分の配合量の総量は、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、２０〜６０重量部であり、３０〜５０重量部とすることが好ましく、３５〜４５重量部とすることがより好ましい。
【００３５】
この配合量が２０重量部未満では、光硬化性が不十分となり、６０重量部を超えると、塗膜性が悪化する。
【００３６】
本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）成分の配合量は、感度と解像度バランスの点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、０．０１〜５重量部であり、０．０５〜４重量部とすることが好ましく、０．１〜３重量部とすることがより好ましい。この配合量が０．０１重量部未満では、感度が不十分となり、５重量部を超えると解像度が悪化する。
【００３７】
本発明の感光性樹脂組成物には、上記した（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分以外に、必要に応じて、染料、顔料、発色剤、可塑剤、安定剤、密着性付与剤等の添加剤を含有させてもよい。染料、顔料、発色剤としては、例えば、ロイコクリスタルバイオレット、マラカイトグリーン等が挙げられる。可塑剤としては、例えば、ｐ−トルエンスルホン酸アミド等が挙げられる。安定剤としては、例えば、アンテージ５００（川口化学工業社製）等が挙げられる。密着性付与剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール等が挙げられる。これらの添加量は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００３８】
本発明の感光性エレメントは、前記本発明の感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層したものである。
【００３９】
本発明の感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層する方法としては、例えば、前記本発明の感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解させ、支持体上に塗布し、乾燥させる方法が挙げられる。有機溶剤としては、例えば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、メタノール、エタノール等が挙げられ、これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００４０】
支持体としては、感光性エレメントの製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有しているものであれば特に限定されず、公知のフィルムを使用できる。このような支持体としては、例えば、重合体フィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンフィルム等）などが挙げられ、これらの重合体フィルムの中では、透明性の点からポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これらの重合フィルムは、後の工程で感光層（感光性樹脂組成物）から除去可能でなくてはならないため、使用される重合体フィルムは、除去が不可能となるような材質であったり、表面処理が施されていないことが必要である。
【００４１】
塗工方法としては特に制限はなく公知の方法が使用でき、例えば、ナイフコート法、ローリーコート法、スレーコート法等が挙げられる。乾燥は、例えば、支持体上への塗布操作の後、乾燥機を用いて加熱することによって行うことができる。加熱温度は、５０〜１７５℃とすることが好ましく、７０〜１１０℃とすることがより好ましい。加熱温度が、５０℃未満では、感光層の中に多量の有機溶剤が残存する傾向があり、１７５℃を超えると感光層が変色する傾向がある。加熱時間は、３０〜９００秒とすることが好ましく、３０〜６００秒とすることがより好ましい。加熱時間が３０秒未満では、感光層の中に多量の有機溶剤が残存する傾向があり、９００秒を超えると感光層が変色する傾向がある。また、感光層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以下とすることが好ましい。
【００４２】
感光層の厚さは、用途により適宜選択されるが感光層の厚さで、１０〜１００μｍ程度とされる。
【００４３】
本発明の感光性エレメントは、支持体上の感光層に対する外部からの損傷や異物の付着等を防止するため、感光層が保護フィルム等で被覆されたものであることが好ましい。保護フィルムとしては、感光層と支持体との接着よりも、感光層と保護フィルムとの接着力の方が小さいものであれば特に限定はなく、公知のものが使用でき、例えば、ポリオレフィンフィルム（ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等）、ポリエステルフィルムなどが挙げられる。
【００４４】
本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを用いることにより、本発明の感光性樹脂組成物の層を基板上に積層することができる。本発明の感光性樹脂組成物の層を基板上に積層する方法としては、本発明の感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解させ、直後基板に塗布し乾燥させる方法。本発明の感光性エレメントを用いて保護フィルムが存在する場合には、それを除去した後、感光層を加熱しながら基板に圧着させる方法等が挙げられる。
【００４５】
基板としては、例えば、銅基板、ニッケル基板、クロム基板等が挙げられる。
【００４６】
本発明の感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶解させ、直後、基板に塗布し乾燥させる方法において、使用される有機溶剤としては、前記感光性エレメント作製時に使用される有機溶剤等が挙げられる。
【００４７】
塗布方法としては、特に制限はなく公知の方法が使用でき、例えば、ディップコート法、フローコート法等が挙げられる。
【００４８】
乾燥は、例えば基板上への塗布操作の後、乾燥機を用いて加熱することによって行うことができる。加熱温度及び時間は、前記感光性エレメント作製時の塗布操作後の乾燥操作での加熱温度及び時間に従うことができる。また、感光層の厚さや感光層中の残存有機溶剤量も、前記感光性エレメント作製時の感光層の厚さや、感光層中の残存有機溶剤量と同様である。更に、得られた感光層には、前記感光性エレメント作製の場合と同様に、感光層を保護フィルム等で被覆することが好ましい。
【００４９】
本発明の感光性エレメントを用いて、保護フィルムが存在する場合には、それを除去した後、感光層を加熱しながら基板に圧着させる方法において、感光層の加熱温度は、通常、９０〜１３０℃とされ、圧着圧力は、通常、３ｋｇｆ／ｃｍ2とされるが、これらの条件には特に制限はない。
【００５０】
感光層を前記のように加熱すれば、予め基板を予熱処理することは必要でないが、積層性を更に向上させるために、基板を予熱処理することが好ましい。
【００５１】
基板上に積層された感光層は、ネガフィルム又はポジフィルムを通じて活性光線で画像的に露光される。その際、感光層上に存在する支持体が透明である場合は、そのまま露光してもよいが、不透明である場合は、露光前に支持体を除去することが必要である。なお、感光層の保護という点からは、支持体は透明でこの支持体を残存させたまま、それを通じて感光層を露光させることが好ましい。
【００５２】
活性光線としては公知の活性光線が利用でき、通常、波長３００〜４５０ｎｍの光が使用される。光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、キセノンアーク灯等が使用される。
【００５３】
なお、感光層に含まれる光重合性開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるので、紫外線領域において感受性の高い光重合性開始剤を用いる場合は、活性光源として紫外線を有効に放射するものであることが好ましい。これに対し、可視光線において感受性の高い光重合性開始剤を組み合わせて用いる場合（例えば、９，１０−フェナンスレンキノン）は、活性光源としては可視光が好ましく、その光源としては、前記のもの以外に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等が挙げられる。
【００５４】
露光後、感光層上に支持体が存在している場合には、これを除去した後現像する。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものであれば特に制限はないが、環境への影響が少ない点から、アルカリ性水溶液を使用することが好ましい。
【００５５】
アルカリ性水溶液としては、例えば、水酸化アルカリ（リチウムの水酸化物、ナトリウムの水酸化物、カリウムの水酸化物）、炭酸アルカリ（リチウムの炭酸塩又は重炭酸塩、ナトリウムの炭酸塩又は重炭酸塩、カリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカリ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等）などが用いられ、その中でも炭酸ナトリウムが好ましい。アルカリ性水溶液のｐＨは、未露光部の感光層が除去され、露光部の感光層がレジストとして基板上に残る適切なｐＨの範囲とする必要があることから、９〜１１とすることが好ましく、また、その温度は、感光層の現像性に合わせて調整される。また、アルカリ性水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させてもよい。
【００５６】
現像方法は、特に限定されるものではなく、公知の現像方法が使用できる。このような現像方法としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、高圧スプレー方式、ブラッシング、スクラッビング等が挙げられるが、解像度が良好という点から、高圧スプレー方式が好ましい。
【００５７】
現像後に行われるめっき法としては、例えば、銅めっき（硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等）、はんだめっき（ハイスローはんだめっき等）、ニッケルめっき（ワット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファミン酸ニッケルめっき等）、金めっき（ハード金めっき、ソフト金めっき等）などが挙げられる。
【００５８】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５９】
実施例１〜４及び比較例１〜４
表１に示す材料（（Ｃ）成分、添加剤及び溶剤）を配合し、これに表２に示す（Ａ）成分、（Ｂ）成分を溶解させ、感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【００６０】
【表１】
0003988233.tif 000003
【００６１】
【表２】
0003988233.tif 000004
＊１  メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝１０／６０／３０  重量平均分子量３０，０００
＊２  メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸ブチル＝１０／６０／３０  重量平均分子量３０，０００
＊３  メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝２５／４０／２５  重量平均分子量８０，０００
＊４  ポリ（エチレン・プロピレングリコール）変性ウレタンメタアクリレート（新中村化学工業社製）
【００６２】
【化２】
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次いで、レジストが残る基板からレジストを剥離させる。レジストを剥離させるためには、例えば、この基板を、現像に用いたアルカリ性水溶液よりも更に強アルカリ性の水溶液中に浸漬させればよい。このような強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が挙げられる。
【００６３】
次いで、ナイフコート法を用い、感光性樹脂組成物の溶液を２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（帝人社製、ＧＳタイプ）上に均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は２０μｍであった。
【００６４】
次いで、銅箔（厚さ３５μｍ）を片面に積層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化成工業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６７）の銅表面を＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥させ、得られた銅張積層板を８０℃に加温した後、上記で得られた感光性エレメントを用いて、銅表面上に前記感光性樹脂組成物の層を１２０℃、４ｋｇｆ／ｃｍ2でラミネートした。
【００６５】
ラミネート後、銅張積層板を冷却し、銅張積層板の温度が２３℃になった時点で、ポリエチレンテレフタレート面にフォトツール（ストーファーの２１段ステプタブレット）を密着させ、オーク社製露光機（形式ＨＭＷ−２０１Ｂ、３ＫＷ超高圧水銀灯）を用い、ストーファーの２１段ステップタブレットとライン／スペースが３０／４００から２５０／４００（密着性、単位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを密着させ、ストーファーの２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光した。
【００６６】
露光後、室温で１５分間放置し、続いて銅張積層板からポリエチレンテレフタレートフィルムをはがし、３０℃、１．０重量％の炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより現像した。
【００６７】
その後、５μｍ毎のくし形パターンを用い、残存したレジストから解像度を求めた。この値が小さいほど解像度が優れる。
【００６８】
次に、上記エネルギー量で５０μｍ／５０μｍ＝ライン／スペースを露光し、２０秒間の現像を行い、得たレジストパターンの形状を走査型電子顕微鏡で観察した。
【００６９】
レジスト形状においてマウスバイト（語源は、ネズミのかみ傷）とは、レジストの形状がストレートではなく、ギザツキがあって（特にレジストが基材と接着している側の部分）好ましくない状態をいう。
【００７０】
次いで、現像処理したものを、脱脂後、流水水洗を１分間行い、次いで２５０ｇ／リットル過硫酸アンモニウム水溶液中に２分間浸漬した。更に流水水洗を１分間行った後、１０％硫酸水溶液浴に１分間浸漬し、再び流水水洗を１分間行った。次いで、ニッケルめっき浴（硫酸ニッケル３５０ｇ／リットル、塩化ニッケル４５ｇ／リットル、ホウ酸４５ｇ／リットル、ナイカルＰＣ−３（メルテックス社製）３０ミリリットル／リットル及びニッケルグリームＮＡＷ−４（メルテックス社製）０．１ミリリットル／リットル）に入れ、ニッケルめっきを５０℃、３Ａ／ｄｍ2で１０分間行った。
【００７１】
ニッケルめっき終了後直ちに水洗し、続いて金ストライクめっき（オーロボンド−ＴＮ（日本エレクトロプレーティングエンジニヤーズ社製））を４０℃、５Ａ／ｄｍ2で２０秒間行った。
【００７２】
金ストライク終了後直ちに水洗し、引き続き金めっき（オートロネクスＣｌ（日本エレクトロプレーティングエンジニヤーズ社製））を３０℃、１Ａ／ｄｍ2で６分間行った。金めっき終了後水洗を行い、乾燥した。
【００７３】
耐めっき性を調べるため乾燥後直ちにセロハンテープを貼り、これを垂直方向に引き剥がして（９０°ピールオフ試験）、レジストの剥がれの有無を調べた。その後、上方から光学顕微鏡で金めっきのもぐりの有無を観察した。金めっきのもぐりを生じた場合は透明なレジストを介してその下部にめっきにより析出した金が観察される。これらの結果をまとめて表３に示した。
【００７４】
【表３】
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＊１  ○：マウスバイト無し    ×：マウスバイト有り
表３から明らかなように、比較例１、２で使用された感光性樹脂組成物は、耐金めっき性が悪く、めっき工程には不適当であることが予想された。また、比較例３で使用された感光性樹脂組成物は、耐金めっき性が悪く、かつ、解像度も悪化した。比較例４で使用された感光性樹脂組成物は、解像度、レジスト形状、耐金めっき性全てにおいて悪化した。
【００７５】
これに対し、実施例１〜４で使用された感光性樹脂組成物は、耐金めっき性に優れており、また、レジスト形状、解像度を悪化させることなく、良好な形状を有していた。
【００７６】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントは、耐めっき性（特に耐金めっき性）、耐薬品性等に優れたものである。