(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子を振動駆動するための駆動力印加手段と、前記振動子が前記駆動力印加手段による力を受けて振動する変位を検出する駆動変位検出手段と、該駆動変位検出手段により検出された変位信号に基づき前記駆動力印加手段に出力される駆動信号を制御する振幅調節手段を有する駆動信号生成手段と、コリオリの力による振動子の角速度検出方向の変位を検出する角速度検出手段と、を備える振動型角速度センサにおいて、
前記駆動力印加手段によって駆動される前記振動子の駆動周波数と駆動振幅の比が一定となるように駆動振幅を制御すること、を特徴とする振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項２】
前記駆動力印加手段による駆動力として静電引力を用いるとともに、前記駆動信号は直流成分にバイアスされた交流成分よりなり、前期交流成分の振幅は略一定であり、前記駆動信号の直流電圧を調節することによって、前記駆動力印加手段によって駆動される駆動力を制御し、前記振動振幅の制御を行うこと、を特徴とした請求項１に記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項３】
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号と前記駆動信号の交流成分の位相差が略９０ｄｅｇであること、を特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項４】
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号の交流成分を積分した信号の振幅が一定となるように制御されること、を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項５】
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号の交流成分の振幅の設定値が駆動周波数に比例すること、を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項６】
前記駆動信号の直流電圧または前記駆動信号の交流成分の振幅は振動振幅と設定振幅との差に比例して変動すること、を特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項７】
前記駆動信号の直流電圧または前記駆動信号の交流成分の振幅は振動振幅と設定振幅との差を時間積分した値に比例して変動すること、を特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項８】
前記駆動信号の直流電圧または前記駆動信号の交流成分の振幅は振動振幅と設定振幅との差を時間積分した値と振動振幅と設定振幅との差に比例した値の和に比例して変動すること、を特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【請求項９】
前記駆動信号は互いにその交流成分が反転した対となる２つの信号を出力すること、を特徴とする請求項１から請求項８のいずれかに記載の振動型角速度センサの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば振動型角速度センサが備える振動子を振動駆動するための振動型角速度センサの駆動回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、たとえば振動型角速度センサが備える振動子を振動駆動する振動動型角速度センサとしては、図１１のブロック図に示されるものが知られている。図１１に示されるように、振動子の駆動方向の振動による変位は、駆動方向変位検出電極８１から変位信号として変位信号検出部８２に出力される。変位信号検出部８２に出力された変位信号は、同期検波回路８３において、駆動方向の変位に同期したタイミングにて同期検波されて振動振幅情報として振幅調節器８４に出力される。また同時に、振動型振動子を発振しやすくするために、変位信号検出部８２に出力された変位信号は、別に９０ｄｅｇ移相８５されて同じく振幅調節器８４に出力される。このように変位信号検出部８２に出力された変位信号を９０ｄｅｇ移相８５することで、上記振幅調節器８４において変位信号に対して略９０度の位相差を有する駆動信号の交流電圧成分を生成している。上記振幅調節器８４に出力された振動振幅情報は、振幅調節器８４において振幅設定値と比較されて、振動振幅情報が小さいときには、増加調節された振幅を有する駆動信号の交流電圧成分が生成される。一方、振動振幅情報が大きいときには、低減調節された振幅を有する駆動信号の交流電圧成分が生成される。このように駆動信号の交流電圧成分の振幅調節は、上記振動子の駆動方向の振動振幅が一定になるように、同振動子の振動駆動力を制御するためである。このように振幅調節された駆動信号の交流電圧成分は、加算器８６に出力される。この加算器８６において、上記振幅調節された駆動信号の交流電圧成分と所定値を有する駆動信号の直流電圧成分（バイアス電圧）とが加算されて駆動信号が生成される。そして、このように生成された駆動信号が駆動電極８７に印加される。この生成された駆動信号（印加電圧）の２乗に比例し、上記振動子との間で発生する静電引力（振動駆動力）の振動により、上記振動子は駆動方向の振動振幅が一定になるように振動駆動される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記振動型角速度センサにおいては、上述したように振動駆動するために外部から駆動周波数となる交流信号を印加するため、振動状態を検出する信号やセンサの角速度を検出する信号に駆動信号が混入するという問題が発生する。この駆動信号となる交流信号が混入した成分は、センサの角速度を検出する信号と略同周波数であるため、振動状態を測定する際の誤差となる。またセンサの角速度を検出する信号に駆動信号が混入した場合、センサ出力のオフセットとなる。
【０００４】
振動型角速度センサにおいては、上記理由により駆動電圧を下げて、略駆動方向の共振周波数で振動子を振動駆動しており、駆動周波数と角速度の検出方向の共振周波数とを近づけて、コリオリの力による変位を大きくすることでセンサの角速度検出感度の向上を図っている。このように通常の振動型角速度センサにおいては、駆動方向の駆動振幅が温度変化に対して一定となるように制御されている。
【０００５】
通常、駆動方向の共振周波数を決めるばねと、検出方向の共振周波数を決めるばねは、ともに同一素材で構成されており、ばね定数の比は温度に対してほぼ一定となる。また振動子を駆動する方向の駆動周波数と角速度を検出する方向の共振周波数の比はほぼ一定であり、コリオリの力による検出方向への変位を増幅する比率もほぼ一定である。しかし、温度変化に対して駆動振幅を一定となるように制御する場合、温度変化による駆動周波数および角速度の検出方向の共振周波数の変化に対して、コリオリの力は、駆動方向の速度に比例した力が発生するので、駆動周波数に比例した力が発生する。一方、角速度の検出方向の変位は、検出方向のばね定数に反比例し、検出方向のばね定数は、検出方向の共振周波数の二乗に比例する。このため、温度変化によるばね材料の物性の温度特性により、駆動および検出の共振周波数が変動した場合には、検出方向のコリオリの力による変位は、駆動共振周波数または検出共振周波数に反比例してしまい、検出感度の温度特性劣化を招いていた。また、製造条件のばらつきにより駆動周波数がばらついた場合、従来駆動方向と検出方向の共振周波数の比を調節するだけでは、別途センサの角速度の検出感度の調節が広範囲にわたって必要となり、特に駆動周波数が高くなると検出信号が小さくなるので、Ｓ／Ｎ比の劣化を招いていた。
【０００６】
よって、本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、温度変化による感度の変動、および振動体の共振周波数のばらつきに起因するセンサ感度のばらつきを低減する手段を提供することを技術的課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために講じた請求項１の発明は、
振動子を振動駆動するための駆動力印加手段と、前記振動子が前記駆動力印加手段による力を受けて振動する変位を検出する駆動変位検出手段と、該駆動変位検出手段により検出された変位信号に基づき前記駆動力印加手段に出力される駆動信号を制御する振幅調節手段を有する駆動信号生成手段と、コリオリの力による振動子の角速度検出方向の変位を検出する角速度検出手段と、を備える振動型角速度センサにおいて、
前記駆動力印加手段によって駆動される前記振動子の駆動周波数と駆動振幅の比が一定となるように駆動振幅を制御振動型角速度センサの駆動装置とする。
【０００８】
この請求項１によれば、駆動力印加手段によって駆動される振動子の周波数と駆動振幅の比が一定となるように駆動制御されるので、振動子の駆動方向の振動振幅は駆動共振周波数に比例した振幅となる。コリオリの力は駆動方向の速度に比例し、駆動速度は駆動振幅に比例する。上記のように検出感度は駆動共振周波数に反比例するので、本発明を適用した振動型角速度センサでは、駆動周波数による検出感度の変動が駆動振幅の変動でキャンセルされるので、駆動周波数に依存されない。つまり温度変化に対して感度が安定となるので、センサ素子のばらつきに対してセンサ感度のばらつきの小さい振動型角速度センサとなる。
【０００９】
そしてさらに好ましくは、請求項２に示されるように、
前記駆動力印加手段による駆動力として静電引力を用いるとともに、前記駆動信号は直流成分にバイアスされた交流成分よりなり、前期交流成分の振幅は略一定であり、前記駆動信号の直流電圧を調節することによって、前記駆動力印加手段によって駆動される駆動力を制御し、前記振動振幅の制御を行う振動型角速度センサの駆動装置とする。
【００１０】
駆動力印加手段による駆動力として具体的には静電引力を用いる。そして駆動信号は直流成分にバイアスされた交流成分よりなり、交流成分の振幅は略一定であり、前記駆動信号の直流電圧を調節するので、簡略な回路構成で実現できる。
【００１１】
さらに請求項３に示されるように、
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号と前記駆動信号の交流成分の位相差が略９０ｄｅｇである振動型角速度センサの駆動装置とする。
【００１２】
本発明では駆動信号の振幅が一定となるように制御されているので、駆動信号の交流成分の振幅も一定となる。これにより駆動方向および検出方向の変位信号に混入する駆動信号が温度変化等による駆動方向のＱ値の変動に対しても安定となる。
【００１３】
また混入する駆動信号の交流成分は一定となるように制御されているので変位信号への駆動信号の混入量の変動は抑制され、零点および感度の変動が抑制されるので高精度なセンサが実現できる。
【００１４】
そして請求項４において、
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号の交流成分を積分した信号の振幅が一定となるように制御される振動型角速度センサの駆動装置とする。
【００１５】
振動子の駆動方向の変位信号をもとに、変位信号の交流成分を積分した信号の振幅が一定となるように制御される。
【００１６】
そして請求項５において、
前記駆動変位検出手段で検出される変位信号の交流成分の振幅の設定値が駆動周波数に比例する振動型角速度センサの駆動装置とする。
【００１７】
駆動変位検出手段で検出される変位信号の交流成分の振幅の設定値と駆動周波数が比例した電圧が生成される。この生成された電圧と変位信号で駆動振幅に比例した電圧との比が一定となるように駆動力を変えるため、駆動信号が調節される。
【００１８】
そしてさらに請求項９においては、
前記駆動信号は互いにその交流成分が反転した対となる２つの信号を出力する振動型角速度センサの駆動装置とする。
【００１９】
以上請求項９に示すように、駆動信号の２出力を対とし、その交流成分が互いに反転するので、不要な力がキャンセルされるとともに、ノイズについても相殺される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず角速度センサの振動ジャイロセンサ素子について説明する。図１２には本発明の振動型角速度センサに用いる振動ジャイロセンサ素子の一例を示す。センサ素子の基板１８上に形成される可動部２５は、非晶質、多結晶、または単結晶からなる導体、または半導体よりなり、駆動電極２７、駆動変位電極９および角速度検出電極１０を具備して、梁２６およびアンカー８を介して基板上に空隙をはさんで保持されている。この可動部２５は、駆動方向(図示Ｘ方向)および検出方向(図示Ｙ方向)に変位可能となっており、駆動方向の共振周波数に対する検出方向の共振周波数の比は１よりやや高くなっている。通常、振動子の駆動方向のばね定数を決める梁と、角速度検出方向のばね定数を決める梁は同一の材料で構成する。そのため温度変化によって、上記材料の物性が変動して駆動方向と検出方向の共振周波数は変動しても、駆動方向と検出方向のばね定数の比はほとんど変動しない。また駆動方向と検出方向の共振周波数の比の変動も殆ど生じない。このため、検出方向の共振のＱ値が上記振幅増幅率に対して十分高ければ、振幅増幅率は温度変化に対して安定となる。角速度を検出する感度は、角速度を検出する振動子の駆動方向の振幅、角速度検出方向のばね定数および同検出方向の振幅増幅率で決まる。この角速度検出方向の振幅増幅率は、同検出方向の共振周波数と振動子の駆動周波数との比、および角速度検出方向のＱ値で決まるが、同検出方向の振幅増幅率に対してＱ値が充分大きければ、角速度検出方向の共振周波数と振動子の駆動周波数の比で決まると考えてよい。以下の説明においては別段の断りがない場合には、「角速度検出」と同義で「検出」を、また「振動子の駆動」は「駆動」と略して使用する。
【００２１】
この角速度センサのセンサ部では、駆動方向の変位信号をもとに駆動信号の周波数、位相、交流成分の振幅が調節され、センサ部の駆動電極に供給される。このとき、センサ部の可動部２５は、供給された駆動信号により駆動方向に駆動され、その駆動された変位が駆動方向変位検出電極５、変位信号検出部６を介して駆動回路に戻り、駆動方向の共振周波数で、振幅が調節された状態で駆動される。図１において、変位信号検出部４１の出力は、振幅調節器４４で駆動信号として位相を調節され、さらに図１において検出された駆動方向の変位信号は積分回路４２で９０ｄｅｇ移相されると同時に周波数に反比例した係数が乗算される。一方、変位信号はタイミング信号生成部４８で変位信号に同期しデューティが略５０％の矩形波となり、位相が９０ｄｅｇ移相される。９０ｄｅｇ移相されたタイミング信号により積分回路の出力を同期検波することで積分回路４２の出力の振幅に比例した、すなわち変位信号を駆動周波数で割った値に比例した電圧が出力される。上記同期検波４３の出力と振幅設定値を振幅調節器４４で比較し、同期検波４３の出力を振幅設定値にあわせるように駆動信号の交流成分の振幅を調節するための増幅率が出力される。そして、上記積分回路４２の出力と上記増幅率の積である駆動信号の交流成分に所定の直流電圧成分をバイアス電圧として加算し、駆動信号が駆動電極１３に供給する。また別に、メモリ５０には、検出方向の共振周波数の温度特性を基礎データとして、検出方向の共振周波数と駆動周波数の比が一定となる駆動周波数と温度との関係が記録されている。温度センサ４９によって振動子または振動子近傍の温度が検出され、その温度センサ４９で検出された温度を基にして、メモリ５０から振動子が駆動すべき周波数情報が発振器５１に出力される。そして、発振器５１ではメモリ５０からの情報に基づく駆動周波数の交流成分が生成される。一方一部前述したように、駆動方向の変位信号は、積分回路４２で交流成分のみ積分され、同変位信号に対して、１／周波数の係数が乗算された信号となり、この信号を同期検波して積分回路４２の出力の振幅情報とする。つぎの振幅調節器４４では、同振幅情報と振幅設定値との比較がなされ、振動振幅情報が小さい場合には、増加調節された振幅を有する駆動信号の交流電圧成分が生成され、一方、同振動振幅情報が大きい場合には、低減調節された振幅を有する駆動信号の交流電圧成分が生成される。乗算器４５では、前記振幅調節器４４からの出力と発振器５１より出力された交流信号が乗算されて、振幅が調節された駆動信号の交流成分が生成される。この駆動信号を駆動電極１３に印加することにより駆動振幅が制御された駆動が可能となる。
【００２２】
以上のように検出方向の共振周波数に対する駆動周波数の比を一定とすることにより、検出方向の振幅増幅率が一定となる。駆動方向の変位信号は積分された後、同期検波され、同期検波後の振幅が一定になることにより、駆動振幅が駆動周波数に比例する。駆動方向の振動子の速度は、駆動周波数の２乗に比例し、コリオリの力が駆動方向の速度に比例することにより、コリオリの力は駆動周波数の２乗に比例する。一方、検出方向のばね定数は、駆動周波数と検出方向の共振周波数の比が一定であるので、駆動周波数の２乗に比例する。以上によって温度変化により振動子の検出方向の共振周波数が変動しても、振幅増幅率は一定であるので、角速度の検出感度は、温度変化に対して安定となる。この結果、積分回路の出力の振幅が一定となるように駆動制御されるため、駆動方向の振動振幅は駆動共振周波数に比例した振幅となる。本発明を適用した振動型角速度センサでは、駆動周波数による検出感度の変動が駆動振幅の変動でキャンセルされるので、駆動周波数に依存されない。つまり温度変化に対して感度が安定となるので、センサ素子のばらつきに対してセンサ感度のばらつきの小さい振動型角速度センサとなる。図２では図１のメモリ５０において、温度に対する駆動周波数および駆動周波数に比例した駆動振幅のデータをメモリ５２に記録し,このデータを基に駆動制御してもよい。以上のメモリ５２で構成することにより、図１における積分回路４２が不要になり、積分回路で増幅または混入する低周波ノイズによる振幅制御の誤差が低減できる。振動子を静電引力を用いて駆動を行なう場合、図３および図４では、駆動信号の交流成分の振幅を一定としたバイアス電圧を調節することによって駆動力を制御し、駆動振幅を制御してもよい。以上の構成とすることで、角速度検出電極と駆動電極間の寄生容量等を介して、角速度検出信号に混入する駆動信号の交流信号成分が低減されるので、センサ出力のオフセット変動が低減できセンサ性能の向上がはかれる。つぎに図５には本発明の別の実施例についてブロック図を用いて説明する。図１は温度センサによりセンサもしくはセンサ近傍の温度を検出してその情報をもとに制御される構成であるが、図５においては、積分回路６２の出力と振幅調節器６６における増幅率の積である駆動信号の交流成分に所定の直流電圧成分をバイアス電圧として加算し駆動電極１３に供給している。この結果、積分回路の出力の振幅が一定となるように駆動制御される。そしてその結果、振動振幅は、駆動共振周波数に比例した振幅となる。図６は、図５の実施例においては駆動方向の変位信号によりタイミング信号を生成して、上記タイミング信号の位相を移相器により９０ｄｅｇ移相して同期検波のタイミング信号としていたが、図６では、積分回路の出力より同期検波のタイミング信号を生成している。これにより回路構成の簡略化が可能となるので、構成回路のコスト低減が可能となる。図７では、駆動信号の交流成分は積分回路の出力を増幅または減衰させて生成し、振幅調節器（ＡＧＣ）で駆動のバイアス電圧を生成し、加算器で駆動のバイアス電圧と上記駆動信号の交流成分を加算して駆動信号を生成している。本発明の駆動回路では積分回路の出力の振幅が��定となるように制御されているので、駆動信号の交流成分の振幅も一定となる。これにより駆動方向および検出方向の変位信号に混入する駆動信号が温度変化等による駆動方向のＱ値の変動に対しても安定となる。駆動方向および検出方向の変位信号に混入する駆動信号は、誤差成分となり特に検出方向の変位信号への混入量が変動すると、零点が変動してセンサ特性の劣化を招く。そして駆動方向の変位信号への駆動信号の混入量の変動は、検出信号の同期検波のタイミングの変動の要因となり感度の変動を引き起こしセンサ性能の劣化を招く。図３に示す実施例によれば、混入する駆動信号の交流成分は一定となるように制御されているので変位信号への駆動信号の混入量の変動は抑制され、零点および感度の変動が抑制されるので高精度なセンサが実現できる。図８においては、駆動方向の変位信号をもとに、変位信号をＦ／Ｖコンバータにより駆動周波数に比例した電圧を生成し、この生成された電圧を増幅または減衰させて駆動周波数に比例した基準電圧を生成し、変位信号を同期検波して駆動振幅に比例した電圧を生成し、これを上記基準電圧に合うように駆動力を変えるために駆動信号のバイアス電圧を調節しており別途変位信号を積分および増幅または減衰させた駆動信号の交流成分と上記駆動信号のバイアス電圧を加算して駆動信号を生成する。これにより、図７の実施例と同等の効果が得られる。図９においては、駆動方向の変位信号をもとにこれをＦ／Ｖコンバータによって駆動周波数に比例した電圧を生成し、この駆動周波数に比例した電圧と変位信号を同期検波して駆動振幅に比例した電圧との比が一定となるようにに駆動力を変えるために駆動信号のバイアス電圧を調節している。また別に変位信号検出部を経た変位信号を積分および増幅または減衰させ、駆動信号の交流成分と上記駆動信号のバイアス電圧を加算して駆動信号を生成する。つぎに本発明を適用した駆動回路の振幅調節器の実施例をブロック図を用いて図１３、図１４、および図１５に示す。図１３においては、同期検波された振動振幅信号と振幅設定値の差に比例した電圧がバイアス電圧として出力される。これにより駆動力の位相遅れが抑えられ、応答性の良い制御が可能となる。また図１４においては、駆動振幅信号と振幅設定値の差の時間積分値に比例した電圧が、バイアス電圧として出力される。これにより駆動振幅信号と振幅設定値の差が零になるように制御され精度の良い制御が可能となる。図８においては、駆動振幅信号と振幅設定値の差の時間積分値に比例した電圧と、駆動振幅信号と振幅定値の差に比例した電圧の和がバイアス電圧として出力される。これにより応答性が良く精度の良い制御が可能となる。図１０に、本発明を適用した駆動回路の実施例のブロック図を示す。図７の駆動回路に対して同じバイアス電位上に反転した交流成分を重畳した駆動信号を生成し、振動子に働く静電引力が反対になる電極に供給することにより駆動信号混入源として反転した信号で打ち消し合い、図７の場合に比べて混入する駆動信号を低減することが可能となる。また、駆動電極の構成を反転する駆動信号に対して同一構成とすることにより交流成分の２乗に比例して働く力の成分および直流電圧の２乗に比例して働く��の成分が打ち消し合い不要な動きを低減することが可能となる。図１３に、本発明を適用した駆動回路の実施例のブロック図を示す。図６の駆動回路に対して、同じバイアス電位上に反転した交流成分を重畳した駆動信号を生成し、振動子に働く静電引力が反対になる電極に供給することにより、駆動信号混入源として反転した信号で打ち消し合い図６の場合に比べて混入する駆動信号を低減することが可能となる。また、駆動電極の構成を反転する駆動信号に対して同一構成とすることにより、交流成分の２乗に比例して働く力の成分および直流電圧の２乗に比例して働く力の成分が打ち消し合い、不要な動きを低減することが可能となる。
【００２３】
なお、変位信号検出部の初段にはチャージアンプを用いてもよい。また、駆動の交流成分は実施例では変位信号を積分して形成しているが図５、図６、図７、図１０、および図１６においては、同期検波のタイミング信号から矩形波の駆動信号の交流成分を生成してもよい。
【００２４】
なお、図１２および実施例では説明していないが、検出方向の共振周波数を調整するための調律電極および調律回路、駆動時の可動部側検出電極１０を具備した可動部２５の振動方向を調節するためのサーボ電極およびサーボ回路を追加することによりセンサ性能の向上が図れる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、積分回路の出力の振幅が一定となるように駆動制御されるため、駆動方向の振動振幅は駆動共振周波数に比例した振幅となる。コリオリの力は駆動方向の速度に比例し、駆動速度は駆動振幅に比例する。上記のように検出感度は駆動共振周波数に反比例するので、本発明を適用した振動型角速度センサでは、駆動周波数による検出感度の変動が駆動振幅の変動でキャンセルされるので、駆動周波数に依存されない。つまり温度変化に対して感度が安定となるので、センサ素子のばらつきに対してセンサ感度のばらつきの小さい振動型角速度センサとなる。本発明の駆動回路では積分回路の出力の振幅が一定となるように制御されているので、駆動信号の交流成分の振幅も一定となる。これにより駆動方向および検出方向の変位信号に混入する駆動信号が温度変化等による駆動方向のＱ値の変動に対しても安定となる。混入する駆動信号の交流成分は一定となるように制御されているので、変位信号への駆動信号の混入量の変動は抑制される。そして、零点および感度の変動が抑制されるので高精度なセンサ制御が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図２】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図３】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図４】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図５】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図６】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図７】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図８】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図９】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図１０】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図１１】本発明の実施の形態における駆動回路の一実施例である。
【図１２】本発明が適用される振動ジャイロセンサ素子の一例である。
【図１３】本発明を適用した駆動回路のＡＧＣ部の一実施例である。
【図１４】本発明を適用した駆動回路のＡＧＣ部の一実施例である。
【図１５】本発明を適用した駆動回路のＡＧＣ部の一実施例である。
【図１６】本発明を適用した駆動回路の一実施例である。
【符号の説明】
５：駆動方向変位検出用電極
６：角速度検出方向変位検出用電極
７：駆動力印加用電極
８：アンカー（梁と基板の接続部）
９：可動部側駆動変位検出電極
１０：可動部側角速度検出電極
１３：電極
１４：角速度検出方向の変位を検出するための固定電極の電極パッド
１５：駆動方向の変位を検出するための固定電極の電極パッド
１６：駆動方向に力を印加するための固定電極の電極パッド
１７：駆動力を印可するための固定電極と電極パッドをつなぐ配線
１８：基板
２５：可動部
２６：梁
【図１】
0003988505.tif 000002
【図２】
0003988505.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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