(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック製の判別対象物が所定の３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別するプラスチック判別装置であって、
波長が、前記３種類以上のうちの少なくとも１種類のプラスチックの光吸収率が増加する吸収波長帯内にあり、かつ互いに異なっている２以上の検出光と、波長が、前記２以上の検出光の波長と異なっている参照光とを、前記判別対象物に向けて照射する光源と、
前記参照光および前記２以上の検出光の前記判別対象物からの透過光または反射光を受光し、前記参照光の受光量を表現した参照値と、前記２以上の検出光それぞれの受光量を表現した２以上の検出値とを出力する受光手段と、
前記参照値と前記２以上の検出値それぞれとの比率または差を算出し、その各算出値に基づき、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別する判別手段と、
を備えるとともに、
２種類以上のプラスチックそれぞれに対応した２以上の基準値が、検出光ごとに設定されており、
前記判定手段では、各検出光について前記２以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い基準値に対応する種類のプラスチックを前記２種類以上のプラスチックから判別することで、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれかの種類のプラスチックによって構成されているかを判別することを特徴とするプラスチック判別装置。
【請求項２】
前記光源は、
前記参照光を発光する第１の半導体発光素子と、
前記各検出光をそれぞれ発光する少なくとも１つの第２の半導体発光素子と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載のプラスチック判別装置。
【請求項３】
前記第１の半導体発光素子および前記第２の各半導体発光素子は、半導体レーザ素子によって構成されることを特徴とする請求項２に記載のプラスチック判別装置。
【請求項４】
前記第１の半導体発光素子および前記第２の各半導体発光素子は、発光ダイオードによって構成されることを特徴とする請求項２に記載のプラスチック判別装置。
【請求項５】
前記プラスチック判別装置は、
前記３種類以上のプラスチックに個別に対応した３以上の基準値が記憶された記憶手段をさらに備えており、
前記判定手段は、前記判定対象物が、前記記憶部に記憶されている前記３以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い前記基準値に対応する種類のプラスチックにより構成されていると判別することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項６】
前記プラスチック判別装置は、
前記３以上の基準値それぞれに対応する３以上の基準範囲が設けられており、
前記判別手段は、前記算出値が前記３以上の基準範囲うちのいずれの基準範囲に含まれるかを判断することにより、前記算出値が最も近い基準値を決定することを特徴とする請求項５に記載のプラスチック判別装置。
【請求項７】
前記参照光の波長は、前記３種類以上のうちのすべての種類のプラスチックの光吸収率が実質的に最低レベルになる波長領域内にあることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項８】
前記各検出光の波長は、１６００ｎｍよりも長波長の赤外光領域内にあることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項９】
前記光源が照射する検出光は、波長が１７００から１７６０ｎｍの範囲にある第１の光と、波長が１６４０から１７００ｎｍの範囲にある第２の光であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項１０】
前記光源が照射する検出光は、波長が１７１５から１７３５ｎｍの範囲にある第１の光と、波長が１６５０から１６７０ｎｍの範囲にある第２の光であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項１１】
前記光源が照射する参照光は、波長が１５００から１６００ｎｍの範囲にある光であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載のプラスチック判別装置。
【請求項１２】
前記プラスチック判別装置は、前記判別対象物が、ポリエチレンテレフタレートとそれ以外の種類のプラスチックとのいずれによって構成されているのかを判別するものであることを特徴とする請求項９に記載のプラスチック判別装置。
【請求項１３】
プラスチック製の判別対象物が所定の３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別するプラスチック判別方法であって、
所定の光源によって、波長が、前記３種類以上のうちの少なくとも１種類のプラスチックの光吸収率が増加する吸収波長帯内にあり、かつ互いに異なっている２以上の検出光と、波長が、前記２以上の検出光の波長と異なっている参照光とを、前記判別対象物に向けて照射する光照射工程と、
前記参照光および前記２以上の検出光の前記判別対象物からの透過光または反射光を所定の受光手段によって受光し、前記参照光の受光量を表現した参照値と、前記２以上の検出光それぞれの受光量を表現した２以上の検出値とを前記受光手段に出力させる受光工程と、
前記参照値と前記２以上の検出値それぞれとの比率または差を算出し、その各算出値に基づき、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別する判別工程と、
を備えるとともに、
２種類以上のプラスチックそれぞれに対応した２以上の基準値が、検出光ごとに設定されており、
前記判定工程では、各検出光について前記２以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い基準値に対応する種類のプラスチックを前記２種類以上のプラスチックから判別することで、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれかの種類のプラスチックによって構成されているかを判別することを特徴とするプラスチック判別方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、判別対象物がいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別するプラスチック判別装置および判別方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラスチック製品（特に、ＰＥＴボトル）のリサイクルが進められている。効率的なリサイクルのためには、プラスチック製品をその材料の種類ごとに判別して分別する必要があり、このプラスチック製品の判別をいかに行うかが課題となっている。
【０００３】
光を用いた従来のプラスチック判別装置としては、特公平７−１１１３９７号公報記載のものがある。この判別装置では、近赤外線を波長領域１〜２．５μｍで連続的に走査しながらプラスチック製品に照射して、その吸収スペクトルの微分スペクトルを分析することにより、プラスチック製品を構成するプラスチックの種類を判別するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来技術では、近赤外線を波長領域１〜２．５μｍで連続的に走査しながらプラスチック製品に照射する必要があるため、光学系が複雑になるとともに、その後の信号処理にも微分スペクトルを求める等の複雑な処理が必要であり、装置構成および信号処理が複雑化するという問題があるとともに、判別に時間がかかるという問題がある。
【０００５】
また、この場合の光源には、波長領域１〜２．５μｍの近赤外線を発光するものとして白熱球や水銀ランプを用いることが多いため、光源の寿命の問題からメンテナンスに手間がかかり、全体的に装置コストが高くなるという問題もある。
【０００６】
なお、この従来技術において、光源側での走査を行わず、光源を固定して受光時にグレーティングなどの分光デバイスを用いる方法もあるが、分光デバイス自身が非常に高価であるため、高コストとなる上に、光源の寿命の問題は解決されない。
【０００７】
そこで、前記問題点に鑑み、本発明の第１の目的は、装置構成および信号処理の簡単化が図れるとともに、判別処理の迅速化が図れるプラスチック判別装置および判別方法を提供することである。
【０００８】
また、本発明の第２の目的は、メンテナンスに手間のかからないプラスチック判別装置および判別方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための技術的手段は、プラスチック製の判別対象物が所定の３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別するプラスチック判別装置であって、波長が、前記３種類以上のうちの少なくとも１種類のプラスチックの光吸収率が増加する吸収波長帯内にあり、かつ互いに異なっている２以上の検出光と、波長が、前記２以上の検出光の波長と異なっている参照光とを、前記判別対象物に向けて照射する光源と、前記参照光および前記２以上の検出光の前記判別対象物からの透過光または反射光を受光し、前記参照光の受光量を表現した参照値と、前記２以上の検出光それぞれの受光量を表現した２以上の検出値とを出力する受光手段と、前記参照値と前記２以上の検出値それぞれとの比率または差を算出し、その各算出値に基づき、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別する判別手段と、を備えるとともに、２種類以上のプラスチックそれぞれに対応した２以上の基準値が、検出光ごとに設定されており、前記判定手段では、各検出光について前記２以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い基準値に対応する種類のプラスチックを前記２種類以上のプラスチックから判別することで、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれかの種類のプラスチックによって構成されているかを判別することを特徴とする。
【００１０】
好ましくは、前記光源は、前記参照光を発光する第１の半導体発光素子と、前記各検出光をそれぞれ発光する少なくとも１つの第２の半導体発光素子と、を備えるのがよい。
【００１１】
また、好ましくは、前記第１の半導体発光素子および前記第２の各半導体発光素子は、半導体レーザ素子によって構成されるのがよい。
【００１２】
さらに、好ましくは、前記第１の半導体発光素子および前記第２の各半導体発光素子は、発光ダイオードによって構成されるのがよい。
【００１３】
また、好ましくは、前記プラスチック判別装置は、前記３種類以上のプラスチックに個別に対応した３以上の基準値が記憶された記憶手段をさらに備えており、前記判定手段は、前記判定対象物が、前記記憶部に記憶されている前記３以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い前記基準値に対応する種類のプラスチックにより構成されていると判別するのがよい。
また、好ましくは、前記プラスチック判別装置は、前記３以上の基準値それぞれに対応する３以上の基準範囲が設けられており、前記判別手段は、前記算出値が前記３以上の基準範囲うちのいずれの基準範囲に含まれるかを判断することにより、前記算出値が最も近い基準値を決定するのがよい。
【００１５】
また、好ましくは、前記参照光の波長は、前記３種類以上のうちのすべての種類のプラスチックの光吸収率が実質的に最低レベルになる波長領域内にあるのがよい。
【００１６】
さらに、好ましくは、前記各検出光の波長は、１６００ｎｍよりも長波長の赤外光領域内にあるのがよい。
【００１８】
さらに、好ましくは、前記光源が照射する検出光は、波長が１７００から１７６０ｎｍの範囲にある第１の光と、波長が１６４０から１７００ｎｍの範囲にある第２の光であるのがよい。
また、好ましくは、前記光源が照射する検出光は、波長が１７１５から１７３５ｎｍの範囲にある第１の光と、波長が１６５０から１６７０ｎｍの範囲にある第２の光であるのがよい。
【００１９】
また、好ましくは、前記光源が照射する参照光は、波長が１５００から１６００ｎｍの範囲にある光であるのがよい。
【００２０】
さらに、好ましくは、前記プラスチック判別装置は、前記判別対象物が、ポリエチレンテレフタレートとそれ以外の種類のプラスチックとのいずれによって構成されているのかを判別するものであるのがよい。
【００２１】
また、前記目的を達成するための技術的手段は、プラスチック製の判別対象物が所定の３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別するプラスチック判別方法であって、所定の光源によって、波長が、前記３種類以上のうちの少なくとも１種類のプラスチックの光吸収率が増加する吸収波長帯内にあり、かつ互いに異なっている２以上の検出光と、波長が、前記２以上の検出光の波長と異なっている参照光とを、前記判別対象物に向けて照射する光照射工程と、前記参照光および前記２以上の検出光の前記判別対象物からの透過光または反射光を所定の受光手段によって受光し、前記参照光の受光量を表現した参照値と、前記２以上の検出光それぞれの受光量を表現した２以上の検出値とを前記受光手段に出力させる受光工程と、前記参照値と前記２以上の検出値それぞれとの比率または差を算出し、その各算出値に基づき、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれの種類のプラスチックによって構成されているかを判別する判別工程と、を備えるとともに、２種類以上のプラスチックそれぞれに対応した２以上の基準値が、検出光ごとに設定されており、前記判定工程では、各検出光について前記２以上の基準値のうちの前記算出値が最も近い基準値に対応する種類のプラスチックを前記２種類以上のプラスチックから判別することで、前記判別対象物が前記３種類以上のうちのいずれかの種類のプラスチックによって構成されているかを判別することを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
＜第１実施形態＞
まず、図１ないし図１０に基づいて、本実施形態に係るプラスチック判別装置の判別対象の一例となるプラスチックの光吸収特性について説明する。
【００２３】
図１はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の光透過特性を示すグラフであり、図２は高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）の光透過特性を示すグラフであり、図３は塩化ビニル（ＰＶＣ）の光透過特性を示すグラフであり、図４は低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の光透過特性を示すグラフであり、図５はポリプロピレン（ＰＰ）の光透過特性を示すグラフであり、図６はポリスチレン（ＰＳ）の光透過特性を示すグラフであり、図７は塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）の光透過特性を示すグラフである。
【００２４】
また、図８および図９に示すグラフＧ１ａ〜Ｇ７ａおよびＧ１ｂないしＧ７ｂは、図１ないし図７に示すグラフを重ね合わせ、約１６５０〜約１７５０ｎｍの範囲および約１５４０〜約１５６０ｎｍの範囲を拡大して示すものである。
【００２５】
なお、図１ないし図９のグラフにおいて、横軸は各プラスチックに入射させた光の波長を示し、縦軸は各波長の光の各プラスチックに対する透過率を示している。すなわち、図１ないし図９のグラフにおいて、グラフの値が小さくなるほど、各プラスチックの光吸収率が増大するようになっている。
【００２６】
図１ないし図８のグラフが示すように、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣの光吸収率が増加する吸収波長帯が、１６００ｎｍよりも長波長の赤外光領域内にあることが分かる。さらに、詳細には、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣの吸収波長帯は、１７００〜１７６０ｎｍの範囲内にあり、ＰＥＴおよびＰＳの吸収波長帯は、実質的に１６４０〜１７００ｎｍの範囲内にあることが分かる。
【００２７】
一方、図１ないし図７および図９のグラフから、１５００〜１６００ｎｍの範囲内では、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣの光吸収率が実質的に最低レベルでほぼ平坦に推移しているのが分かる。
【００２８】
これにより、本実施形態では、波長がこの１５００〜１６００ｎｍの範囲内にある光を基準となる参照光Ｌ１（図１１参照）として用い、その参照光Ｌ１をプラスチック製の判別対象物４（図１１参照）に照射したときに得られる参照光Ｌ１の透過光または反射光の受光強度で、波長が１７００〜１７６０ｎｍまたは１６４０〜１７００ｎｍの範囲にある光（検出光Ｌ２（図１１参照））を判別対象物４に照射したときに得られる検出光Ｌ２の透過光または反射光の受光強度を割算し、その得られた算出値に基づいて、判別対象物４を構成するプラスチックの種別を判別するようになっている。
【００２９】
ここで、図１０のグラフＧ１ｃ〜Ｇ７ｃは、各プラスチックの１５５０ｎｍでの光透過率を基準（１００％）としたときの各プラスチックの各波長での光透過率の大きさを示している。
【００３０】
次に、図１１に基づいて、本発明の第１実施形態について説明する。図１１は、本実施形態に係るプラスチック判別装置の構成を示すブロック図である。
【００３１】
このプラスチック判別装置１は、図１１に示すように、主要な構成要素として、参照光Ｌ１を照射する半導体発光素子２と、検出光Ｌ２を照射する半導体発光素子３と、判別対象物４からの参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の透過光を受光する受光素子（受光手段）５と、記憶部（記憶手段）６と、マイクロプロセッサ（判別手段）７とを備えている。ここで、半導体発光素子２，３が本発明に係る光源に対応している。また、判別対象物４は、上記の７種類のプラスチックのうちのいずれかのプラスチックで構成されているものとする。
【００３２】
半導体発光素子２，３には、狭い波長幅で発光が可能な半導体レーザ素子が使用され、特に半導体発光素子３には、ＩｎＧａＡｓＰ系半導体レーザ素子が使用される。
【００３３】
半導体発光素子２は、波長が１５００〜１６００ｎｍの範囲にある参照光Ｌ１を判別対象物４に向けて照射する。ここでは、参照光Ｌ１のピーク波長は、約１５５０ｎｍに設定されている。半導体発光素子２によって発光された参照光Ｌ１は、ダイクロイックミラー８およびレンズ９を介して判別対象物４に照射される。ダイクロイックミラー８には、１５５０ｎｍの波長の光を選択して透過させるものが用いられる。なお、ここでは、効率よく参照光Ｌ１の光軸と検出光Ｌ２の光軸とを重ね合わせるための手段として、ダイクロイックミラー８を用いたが、プリズムあるいはグレーディング等の他の手段を用いてもよい。あるいは、参照光Ｌ１の光軸と検出光Ｌ２の光軸とを重ね合わせるためだけの目的に使用する場合には、ダイクロイックミラー８の代わりにハーフミラーを用いてもよい。
【００３４】
半導体発光素子３は、波長が１７００〜１７６０ｎｍの範囲にある検出光Ｌ２を判別対象物４に向けて照射する。ここでは、検出光Ｌ２の波長幅は、１７１５〜１７３５ｎｍ付近に設定されている。半導体発光素子３によって発光された検出光Ｌ２は、ダイクロイックミラー８によって反射されて参照光Ｌ１と光軸が一致され、レンズ９を介して判別対象物４に照射される。
【００３５】
これらの半導体発光素子２，３は、投光回路１０，１１によって駆動され、この投光回路１０，１１を介してマイクロプロセッサ７によって駆動制御される。
【００３６】
受光素子５は、参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光をレンズ１２を介して順次受光し、その受光量に応じた出力値を示す電気信号を出力する。受光素子５から出力された電気信号は、受光回路１３およびＡ／Ｄ変換回路１４を介してマイクロプロセッサ７に入力される。このプラスチック判別装置１では、参照光Ｌ１と検出光Ｌ２は、時間をずらせて順次発光されるようになっており、これに対応して、受光素子５は、参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光を順次受光し、参照光Ｌ１の受光量に対応した参照値を示す電気信号、および検出光Ｌ２の受光量に対応した検出値を示す電気信号を順次出力するようになっている。
【００３７】
記憶部６には、予め選択された複数種類のプラスチックに個別に対応する複数の基準値が、その複数種類のプラスチックに個別に対応付けられて予め記憶されている。ここでは、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣに対応する７つの基準値が記憶されている。
【００３８】
マイクロプロセッサ７は、入出力回路１５を介して入力される判別指令に応答して、投光回路１０を介して半導体発光素子２をパルス状に所定の微小時間だけ点灯させた後、投光回路１１を介して半導体発光素子３をパルス状に所定の微小時間だけ点灯させる一方、これに同期して受光素子５から順次出力される参照値および検出値を受光回路１３およびＡ／Ｄ変換回路１４を介して読み込む。
【００３９】
そして、マイクロプロセッサ７は、検出値を参照値で割算し、その算出値が、記憶部６に記憶されている複数の基準値のうちのいずれの基準値に最も近いかを判定することにより、判別対象物４が上記の７種類のプラスチックのうちのいずれのプラスチックによって構成されているかを判別する。すなわち、判別対象物４が、複数の基準値のうちの算出値と最も近い基準値に対応するプラスチックによって構成されていると判定されるようになっている。判別結果は、入出力回路１５を介して外部に出力されるようになっている。
【００４０】
ここで、算出値がいずれの基準値に最も近いかを判断するにあたり、各基準値に対応する複数の基準範囲を設けておき、算出値がいずれの基準範囲に含まれるかを判断することによって、最も近い基準値を決定するようにしてもよい。
【００４１】
また、記憶部６に記憶されている複数の基準値は、別の装置の測定結果を用いてもよく、あるいは、このプラスチック判別装置１の測定結果を用いてもよい。
【００４２】
別装置の測定結果を用いる場合には、基準値を作成してプラスチック判別装置１に入力する必要がある。これを順に説明すると、まず、その別装置によって、参照光Ｌ１および検出光Ｌ２を上記の各種類のプラスチックで構成された複数の判別対象物４に順に照射し、その参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光（あるいは反射光）を受光し、その参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の受光量を表現した参照値および検出値を得る。そして、その得られた参照値で検出値を割算することにより、各種類のプラスチックに対応する複数の基準値を作成し、その作成した複数の基準値を、各種類のプラスチックに対応付けて入出力回路１５を介してプラスチック判別装置１に入力する。入力された複数の基準値は、マイクロプロセッサ７によって、各種類のプラスチックに対応付けられて記憶部６に登録される。
【００４３】
これに対し、このプラスチック判別装置１の測定結果を基準値として使用する場合には、このプラスチック判別装置１に対してティーチングを行う必要がある。このティーチングは、入出力回路１５を介してモード切替指令を入力することにより、このプラスチック判別装置１をプラスチック判別を行う通常モードからティーチングモードに切り替え、このプラスチック判別装置１に、上述のプラスチック判別の場合と同様に、各種類のプラスチックで構成された判別対象物４に対して参照光Ｌ１および検出光Ｌ２を照射させ、その参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光を受光させ、その参照光Ｌ１に対応する参照値で検出光Ｌ２に対応する検出値を割算させることにより、各種類のプラスチックに対応する複数の基準値を作成し、その作成した複数の基準値を、複数種類のプラスチックに対応付けて記憶部６に記憶させることによって行われる。ティーチングモードから通常モードへの復帰は、入出力回路１５を介して復帰指令を入力することによって行われる。このようなティーチング処理は、マイクロプロセッサ７の制御によって行われる。
【００４４】
このように構成されるプラスチック判別装置１は、リサイクル処理施設等のプラスチック製品の分別を行う分別処理ライン等に設置され、プラスチック製品の分別等に利用される。この場合、プラスチック判別装置１は、そのラインを司る中央制御装置と接続され、その中央制御装置から与えられる判別指令に応答して、判別処理を順次行い、その判別結果を中央制御装置に順次出力するようになっている。
【００４５】
すなわち、中央制御装置からプラスチック判別装置１に判別指令が与えられると、半導体発光素子２，３によって参照光Ｌ１および検出光Ｌ２が判別対象物４に順次照射され、その参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光が受光素子５によって受光され、その参照光Ｌ１の受光量を表現する参照値および検出光Ｌ２の受光量を表現する検出値を示す電気信号が、受光回路１３およびＡ／Ｄ変換回路１４を介してマイクロプロセッサ７に入力される。
【００４６】
そして、マイクロプロセッサ７によって、検出値が参照値で割算され、その算出値が、記憶部６に記憶されている複数の基準値のうちのいずれの基準値に最も近いかが判定されることにより、判別対象物４を構成するプラスチックの種類が判別され、その判別結果が、入出力回路１５を介して中央制御装置に出力される。
【００４７】
以上のように、本実施形態によれば、所定波長の参照光Ｌ１および検出光Ｌ２を判別対象物４に照射し、その参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの透過光を受光することによって判別を行うようになっているため、従来のように所定の波長領域内で照射光を走査する必要がなく、光学系等の装置構成および受光後の信号処理の簡単化が図れるとともに、判別の迅速化が図れる。
【００４８】
また、参照光Ｌ１の受光量を表現した参照値で、検出光Ｌ２の受光量を表現した検出値を割算して得られる算出値に基づいて判別を行うようになっているため、判別対象物４の形状、あるいは汚れや傷等の表面の状態等のプラスチックの種類以外の要因によって変動する不要な変動要素を除去して判別を行うことができ、その結果、正確な判別を行うことができる。
【００４９】
さらに、参照値で検出値を割算することによって、検出値の大きさが参照値によって規格化されるようになっているため、半導体発光素子２，３の参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の発光強度等をわざわざ規格化しなくてもこれらの設定条件によらずに判別を行うことができるという利点がある。
【００５０】
また、本実施形態では、光源に長寿命の半導体発光素子２，３が用いられるため、実質的に光源の交換を行う必要がなく、メンテナンスに手間がかからない。
【００５１】
さらに、本実施形態では、半導体発光素子２，３として半導体レーザ素子が用いられており、半導体レーザ素子は、狭い波長幅で光を発光するため、発光された光を波長選択用のフィルタを介さずにそのまま判別対象物４に照射することができ、その結果、光源の構成の簡単化およびエネルギー消費の無駄防止が図れる。
【００５２】
また、参照光Ｌ１の波長が、上記の７種類のうちのすべての種類のプラスチックの光吸収率が最低レベルになる波長領域内（ここでは、１５００〜１６００ｎｍの範囲内）にあるため、参照光Ｌ１に対応した参照値と検出光Ｌ２に対応した検出値との差を大きくすることができ、これによって、その参照値で検出値を割算して得られる算出値が、その算出値が対応するプラスチックの種類の相違に応じて大きな変動幅で変化するようにすることができ、判別を容易にかつ正確に行うことができる。
【００５３】
さらに、本実施形態では、参照光Ｌ１にピーク波長が約１５５０ｎｍの光が用いられており、この波長帯は光通信に用いられるため、半導体発光素子の入手が容易であるという利点がある。
【００５４】
また、本実施形態では、検出光Ｌ１に波長が１７００〜１７６０ｎｍの範囲内にある光（ここでは、波長幅が１７１５〜１７３５ｎｍ付近の光）が用いられていおり、この１７００〜１７６０ｎｍの波長領域内には、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣの吸収波長帯が１７００〜１７６０ｎｍの範囲にあるため、この波長領域内に吸収波長帯がないＰＥＴおよびＰＳと、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣとを容易に判別することができる。
【００５５】
＜第２実施形態＞
図１２は、本発明の第２実施形態に係るプラスチック判別装置の構成を示すブロック図である。この図１２の構成において、図１１の構成と対応する部分には同一の参照符号を付して説明を省略する。
【００５６】
本実施形態に係るプラスチック判別装置２１では、第１実施形態に係る半導体発光素子３の代わりに、互いに異なる波長の検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂを照射する２つの半導体発光素子３ａ，３ｂが備えらている。そして、各半導体発光素子３ａ，３ｂは、投光回路１１ａ，１１ｂを介してマイクロプロセッサ７によって駆動制御されるようになっている。また、半導体発光素子３ａ，３ｂには、半導体レーザ素子が用いられる。
【００５７】
半導体発光素子３ａは、第１実施形態に係る半導体発光素子３と同様なものであり、第１実施形態に係る検出光Ｌ２と同様な光である第１の検出光Ｌ２ａを判別対象物４に向けて照射する。
【００５８】
ここで、本実施形態では、半導体発光素子３ｂの設置に伴って、ダイクロイックミラー８とレンズ９との間にダイクロイックミラー２２が設置されており、ダイクロイックミラー８を透過した参照光Ｌ１、およびダイクロイックミラー８によって反射された第１の検出光Ｌ２ａは、ダイクロイックミラー２２に透過され、レンズ９を介して判別対象物４に照射されるようになっている。
【００５９】
半導体発光素子３ｂは、波長が１６４０〜１７００ｎｍの範囲にある検出光Ｌ２ｂを判別対象物４に向けて照射する。ここでは、検出光Ｌ２ｂの波長幅は、１６５０〜１６７０ｎｍ付近に設定されている。半導体発光素子３ｂによって発光された第２の検出光Ｌ２ｂは、ダイクロイックミラー２２によって反射されて参照光Ｌ１および第１の検出光Ｌ２ａと光軸が一致され、レンズ９を介して判別対象物４に照射される。
【００６０】
受光素子５は、参照光Ｌ１および各検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂの判別対象物４からの透過光をレンズ１２を介して順次受光し、参照光Ｌ１の受光量を表現する参照値を示す電気信号、第１の検出光Ｌ２ａの受光量を表現する第１の検出値を示す電気信号、および第２の検出光Ｌ２ｂの受光量を表現する第２の検出値を示す電気信号を順次出力する。
【００６１】
記憶部６には、下記の表１および表２に示すように、予め選択された複数種類のプラスチックに個別に対応する複数の基準値が、各種類のプラスチックに対応付けられて各検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂごとに記憶されている。ここで、表１に示す基準値群が、第１の検出光Ｌ２ａに対応するものであり、表２に示す基準値群が、第２の検出光Ｌ２ｂに対応するものである。
【００６２】
【表１】
0003908879.tif 000002
【００６３】
【表２】
0003908879.tif 000003
【００６４】
ここでは、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣに対応する７組の基準値が、各検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂごとに予め記憶されている。各組の基準値は、中間値と最大値と最小値とからなっている。その最大値および最小値は、後述するようにマイクロプロセッサ７が各検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂに対応する算出値と各基準値（ここでは、各中間値）とを比較してプラスチックの判別を行う際の許容誤差範囲を示すものであり、ここでは、中間値を基準としてその中間値の上下数％（ここでは、上下５％）の値に設定されている。
【００６５】
ここで、注意すべきは、表１に示す各種類のプラスチックの許容誤差範囲において、ＰＶＣの許容誤差範囲（４３．６２〜４８．２２）とＰＳの許容誤差範囲（４８．０７〜５３．１４）とが４８．０７〜４８．２２の領域で部分的に重なり合っている点である。これは、第１の検出光Ｌ２ａの波長帯でのＰＶＣとＰＳとの光吸収率が近似しているためである。このため、第１の検出光Ｌ２ａのみでは、ＰＶＣとＰＳとの正確な判別が困難な状態となっている。
【００６６】
そこで、本実施形態では、後述するように、第１の検出光Ｌ２ａに対応する第１の検出値を参照値で割算して得られる第１の算出値が、第１の検出光Ｌ２ａに対応する複数の許容誤差範囲が重なり合う領域内（ここでは、４８．０７〜４８．２２の範囲内）にあるときは、その領域内では、第１の算出値による判別を行わず、第２の検出光Ｌ２ｂに対応する第２の検出値を参照値で割算して得られる第２の算出値を用いて判別を行うようになっている。
【００６７】
なお、本実施形態では、許容誤差範囲を中間値の上下５％に設定したため、このような許容誤差範囲の重複が生じたが、測定精度を向上させ、許容誤差範囲をさらに狭く（例えば、中間値の上下３％）設定することにより、上記の７種類のプラスチックを第１の検出光Ｌ２ａのみで判別できるようにしてもよい。
【００６８】
マイクロプロセッサ７は、入出力回路１５を介して入力される判別指令に応答して、投光回路１０，１１ａ，１１ｂを介して半導体発光素子２，３ａ，３ｂをパルス状に所定の微小時間だけ順次点灯させる一方、これに同期して受光素子５から順次出力される参照値、および第１および第２の検出値を受光回路１３およびＡ／Ｄ変換回路１４を介して読み込む。
【００６９】
そして、マイクロプロセッサ７は、第１および第２の検出値を参照値で割算して第１および第２の算出値を得、その第１および第２の算出値および記憶部６の記憶データに基づいて判別を行い、その判別結果を入出力回路１５を介して外部に出力する。
【００７０】
その判別動作を詳説すると、第１の算出値が４８．０７〜４８．２２の範囲内にない場合には、第１の算出値が、表１に示す各プラスチックに対応する複数の中間値のうちのいずれの中間値に最も近いかが判断されることにより、判別対象物４が上記の複数種類のプラスチックのうちのいずれのプラスチックによって構成されているかが判断される。あるいは、この場合の変形例として、第１の算出値が、表１に示す各プラスチックに対応する複数の許容誤差範囲のうちのいずれの許容誤差範囲内にあるかを判断することによって種別判断を行うようにしてもよい。
【００７１】
一方、第１の算出値が４８．０７〜４８．２２の範囲内にある場合には、第２の判別値が、表２に示すＰＶＣに対応する中間値（７７．２３）とＰＳに対応する中間値（３５．９２）とのいずれにより近いかが判断されることにより、判別対象物７がＰＶＣおよびＰＳのいずれによって構成されているかが判断される。あるいは、この場合の変形例として、第２の算出値が、表２に示すＰＶＣに対応する許容誤差範囲（７３．３７〜８１．０９）とＰＳに対応する許容誤差範囲（３４．１２〜３７．７２）とのいずれの範囲内にあるかを判断することにより、判別対象物７がＰＶＣおよびＰＳのいずれによって構成されているかを判断するようにしてもよい。
【００７２】
以上のように、本実施形態によれば、第１実施形態による効果に加え、下記のような効果が得られる。
【００７３】
すなわち、波長が１７００〜１７６０ｎｍの範囲内にある第１の検出光Ｌ２ａの他に、波長が１６４０〜１７００ｎｍの範囲内にある第２の検出光Ｌ２ｂを用いて判別が行われるため、第１の検出光Ｌ２ａの波長帯において複数のプラスチック（ここでは、ＰＶＣおよびＰＳ）の光吸収率が互いに近似しており、第１の検出光Ｌ２ａだけでは正確な判別が困難な場合には、第２の検出光Ｌ２ｂを用いることによって、そのようなプラスチックも正確に判別することができる。
【００７４】
＜変形例＞
図１３は、第１および第２実施形態に係るプラスチック判別装置１，２１（特に、プラスチック判別装置２１）の変形例を示すブロック図である。上述のプラスチック判別装置２１等では、各半導体発光素子２，３ａ，３ｂを順次点灯させるようにしたが、本変形例に係るプラスチック判別装置３１では、各半導体発光素子２，３ａ，３ｂに個別に対応して３つの受光素子５ａ，５ｂ，５ｃが備えられ、各半導体発光素子２，３ａ，３ｂが同時点灯可能な構成となっている。
【００７５】
この図１３の構成において、受光レンズ１２の後方の受光光路上には、第１および第２の２つのダイクロイックミラー３２，３３が設置されている。そして、判別対象物４を透過し受光レンズ１２を介して入射した参照光Ｌ１は、２つのダイクロイックミラー３２，３３を透過して受光素子５ａに受光される。同様に受光レンズ１２を介して入射した第１の検出光Ｌ２ａは、第１のダイクロイックミラー３２を透過した後、第２のダイクロイックミラー３３によって反射されて受光素子５ｂに受光される。同様に受光レンズ１２を介して入射した第２の検出光Ｌ２ｂは、第１のダイクロイックミラー３２によって反射されて受光素子５ｃに受光される。各受光素子５ａ〜５ｃから出力される出力信号は、各受光素子５ａ〜５ｃに対応して設けられる受光回路１３ａ〜１３ｃおよびＡ／Ｄ変換回路１４ａ〜１４ｃを介してマイクロプロセッサ７に入力される。また、各受光素子５ａ，５ｂ，５ｂには、必要に応じて受光すべき参照光Ｌ１および各検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂの波長に対応したダイクロイックミラーが設けられる。
【００７６】
なお、図１１ないし図１３の図示例では、プラスチック判別装置１，２１，３１を一つのユニットに一体に構成した場合が示されているが、プラスチック判別装置１，２１，３１を、例えば、投光ユニットおよび受光ユニット等に複数（例えば、２つ）のユニットに分割して構成してもよい。この場合、例えば、投光ユニットには、各判別装置１，２１，３１の構成要素のうちの投光素子２，３，３ａ，３ｂ，投光回路１０，１１，１１ａ，１１ｂおよびダイクロイックミラー８，２２，レンズ９が備えられ、受光ユニットには、各判別装置１，２１，３１のうちのそれ以外の構成要素が備えられる。
【００７７】
図１４および図１５は、第１および第２実施形態に係るプラスチック判別装置１，２１の他の変形例をそれぞれ示すブロック図である。上述のプラスチック判別装置１，２１は、透過型の光学系を採用しているのに対して、図１４および図１５の変形例に係るプラスチック判別装置４１，５１では、反射型の光学系を採用している。
【００７８】
すなわち、プラスチック判別装置４１では、ダイクロイックミラー８とレンズ９との間の光路上にハーフミラー４２が設置されており、これによって、ハーフミラー４２およびレンズ９を介して判別対象物４に照射された参照光Ｌ１および検出光Ｌ２の判別対象物４からの反射光が、レンズ９を介して受光され、ハーフミラー４２によって反射されて受光素子５で受光されるようになっている。また、プラスチック判別装置５１では、受光素子５への反射光の取り込み用のハーフミラー４２が、ダイクロイックミラー２２とレンズ９との間の光学経路上に配設されている。
【００７９】
ここで、判別対象物４に光が照射されると、その光の一部は、判別対象物４の表面で反射されるが、その残りは判別対象物４の内部に侵入し、その侵入した光の一部が判別対象物４に吸収され、その残りの部分が、判別対象物４を透過し、あるいは判別対象物４の内部で散乱により反射されるようになっている。よって、判別対象物４からの反射光の全体の光量は、照射光の判別対象物４による吸収の割合により変動するようになっており、これによって、反射光に基づいてプラスチックの判別が可能となっている。
【００８０】
なお、このプラスチック判別装置４１では、判別対象物４への照射光の光軸と判別対象物４から受光する反射光の光軸とを同軸に設定した同軸光学系を採用したが、照射光の光軸と受光する反射光の光軸とを異軸に設定する異軸光学系を採用してもよい。
【００８１】
また、上述の第１および第２実施形態では、各検出値を参照値で割算することにより各検出値の補正を行うようにしたが、さらに他の変形例として、各検出値と参照値との差を取ることにより、各検出値の補正を行うようにしてもよい。
【００８２】
さらに、上述の第２実施形態では、２つの検出光Ｌ２ａ，Ｌ２ｂを用いてプラスチック判別を行うようにしたが、さらに他の変形例として、上記の各プラスチックの吸収波長帯に対応した波長をそれぞれ有する３つ以上の検出光を用いてプラスチック判別を行うようにしてもよい。
【００８３】
また、上述の第１および第２実施形態では、７種類のプラスチックに対する判別を行うようにしたが、判別対象物４がＰＥＴで構成されているか、それともそれ以外の種類（ここでは、上記の６種類）のプラスチックで構成されているかをを２者択一的に判別するようにしてもよい。
【００８４】
このようにすることによって、１７００〜１７６０ｎｍの波長範囲では、ＰＥＴの光吸収率が低レベルで推移するのに対して、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣは、吸収波長帯を持っており、また、１６４０〜１７００ｎｍの範囲では、ＰＥＴおよびＰＳが吸収波長帯を持つが、ＰＳの光吸収率の方がＰＥＴよりも高レベルで推移するとともに、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣ等のプラスチックの光吸収率が低レベルで推移するため、波長が１７００〜１７６０ｎｍまたは１６４０〜１７００ｎｍの範囲にある検出光を用いることによって、ＰＥＴとそれ以外のプラスチックとを容易にかつ正確に判別することができる。
【００８５】
さらに、上述の第１および第２実施形態では、プラスチック判別のみを行う構成としたが、判別対象物４の色を光学的に検出するカラーセンサを付設し、プラスチック判別と色検出とを同時に行うようにしてもよい。これによって、１台の装置により、プラスチック判別と色検出とを行うことができる。
【００８６】
また、上述の第１および第２実施形態では、参照光Ｌ１と各検出光Ｌ２，Ｌ２ａ，Ｌ２ｂとが同軸で照射される同軸光学系を採用したが、異軸光学系を採用してもよい。
【００８７】
さらに、図１１ないし図１３に示すプラスチック判別装置１，２１，３１のさらなる変形例として、投光レンズ９および受光レンズ１２と判別対象物４との間の光路中に光ファイバを介装し、その区間の光路において照射光および透過光をその光ファイバにより伝達するようにしてもよい。
【００８８】
また、図１４および図１５に示すプラスチック判別装置４１，５１のさらなる変形例として、投受光レンズ９と判別対象物４との間の光路中に光ファイバを介装し、その区間の光路において照射光および反射光をその光ファイバにより伝達するようにしてもよい。
【００８９】
なお、上述の各実施形態および各変形例に係るプラスチック判別装置１，２１，３１，４１，５１によれば、上述の７種類のプラスチックなどの現存するプラスチックだけでなく、将来作られる新規なプラスチックについても判別を行うことができる。
【００９０】
【発明の効果】
請求項１ないし１３に記載の発明によれば、参照光および２以上の検出光を判別対象物に照射し、その参照光および２以上の検出光の判別対象物からの反射光および透過光を受光することによって判別を行うようになっているため、従来のように所定の波長領域内で照射光を走査する必要がなく、光学系等の装置構成および受光後の信号処理の簡単化が図れるとともに、判別の迅速化が図れる。
【００９１】
また、参照光の受光量を表現した参照値と、２以上の検出光それぞれの受光量を表現した検出値との比率または差を算出し、その算出値に基づいて判別を行うようになっているため、判別対象物の形状、あるいは汚れや傷等の表面の状態等のプラスチックの種類以外の要因によって変動する不要な変動要素を除去して判別を行うことができ、その結果、正確な判別を行うことができる。
【００９２】
さらに、参照値と２以上の検出光それぞれとの比率を用いて判別を行う場合には、その比率を求める際に２以上の検出光それぞれの大きさが参照値によって規格化されるようになっているため、光源の参照光および各検出光の発光強度等をわざわざ規格化しなくてもこれらの設定条件によらずに判別を行うことができるという利点がある。
【００９３】
請求項２ないし４に記載の発明によれば、光源に長寿命の半導体発光素子が用いられるため、実質的に光源の交換を行う必要がなく、メンテナンスに手間がかからない。
【００９４】
請求項３に記載の発明によれば、半導体レーザ素子は、狭い波長幅で光を発光するため、発光された光を波長選択用のフィルタを介さずにそのまま判別対象物に照射することができ、その結果、光源の構成の簡単化およびエネルギー消費の無駄防止が図れる。
【００９５】
請求項１ないし１３に記載の発明によれば、２以上の検出光を用いて判別が行われるため、仮に、１つの検出光の波長において複数の種類のプラスチックの光吸収率が互いに近似しており、１つの検出光だけでは正確な判別が困難な場合であっても、その１つの検出光以外の他の検出光に対応した算出値を用いることによって、複数の種類のプラスチックの判別を正確に行うことができる。
【００９６】
請求項７に記載の発明によれば、参照光の波長が、３種類以上のうちのすべての種類のプラスチックの光吸収率が最低レベルになる波長領域内にあるため、参照光に対応した参照値と各検出光に対応した検出値との差を大きくすることができ、これによって、その参照値と各検出値との比率または差である算出値が、その算出値が対応するプラスチックの種類の相違に応じて大きな変動幅で変化するようにすることができ、判別を容易にかつ正確に行うことができる。
【００９７】
請求項８および９に記載の発明によれば、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣ等のプラスチックの吸収波長帯が１６００ｎｍよりも長波長の赤外光領域内にあるため、本発明に係る検出光を用いることよって、これらのプラスチックの判別を的確に行うことができる。
【００９８】
請求項９に記載の発明によれば、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣの吸収波長帯が１７００から１７６０ｎｍの範囲にあり、ＰＥＴおよびＰＳの吸収波長帯が１６４０から１７００ｎｍの範囲にあるため、本発明に係る検出光を用いることによって、これらのプラスチックの判別を的確に行うことができる。
【００９９】
請求項９に記載の発明によれば、波長が１７００から１７６０ｎｍの範囲にある第１の光と、波長が１６４０から１７００ｎｍの範囲にある第２の光とが検出光として用いられるため、第１または第２の光だけでは正確な判別が困難な場合でも、第１および第２の光を用いることによって正確に判別を行うことができる。
【０１００】
例えば、第１の光だけでは、ＰＶＣとＰＳとの正確な判別が困難な場合があるのであるが、第２の光を用いることよって、ＰＶＣとＰＳとを正確に判別することができる。
【０１０１】
請求項１１に記載の発明によれば、１５００から１６００ｎｍの波長領域では、ＰＥＴ、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰ、ＰＳおよびＰＶＤＣ等のプラスチックの光吸収率が最低レベルで平坦に推移しているため、本発明に係る参照光を用いることによって、これらのプラスチックの判別を正確に行うことができる。
【０１０２】
請求項１２に記載の発明によれば、１７００から１７６０ｎｍの範囲では、ＰＥＴの光吸収率が低レベルで推移するのに対して、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣは、吸収波長帯を持っており、また、１６４０から１７００ｎｍの範囲では、ＰＥＴおよびＰＳが吸収波長帯を持つが、ＰＳの光吸収率の方がＰＥＴよりも高レベルで推移するとともに、ＨＤＰＥ、ＰＶＣ、ＬＤＰＥ、ＰＰおよびＰＶＤＣ等のプラスチックの光吸収率が低レベルで推移するため、波長が１７００から１７６０ｎｍまたは１６４０から１７００ｎｍの範囲にある検出光を用いることによって、ＰＥＴとそれ以外のプラスチックとを容易にかつ正確に判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の光透過特性を示すグラフである。
【図２】高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）の光透過特性を示すグラフである。
【図３】塩化ビニル（ＰＶＣ）の光透過特性を示すグラフである。
【図４】低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）の光透過特性を示すグラフである。
【図５】ポリプロピレン（ＰＰ）の光透過特性を示すグラフである。
【図６】ポリスチレン（ＰＳ）の光透過特性を示すグラフである。
【図７】塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）の光透過特性を示すグラフである。
【図８】図１ないし図７に示すグラフを重ね合わせ、約１６５０〜約１７５０ｎｍの範囲拡大して示す図である。
【図９】図１ないし図７に示すグラフを重ね合わせ、約１５４０〜約１５６０ｎｍの範囲を拡大して示す図である。
【図１０】各プラスチックの１５５０ｎｍでの光透過率を基準（１００％）としたときの各プラスチックの各波長での光透過率の大きさを示すグラフである。
【図１１】本発明の第１実施形態に係るプラスチック判別装置の構成を示す図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係るプラスチック判別装置の構成を示す図である。
【図１３】第１および第２実施形態に係るプラスチック判別装置の変形例を示す図である。
【図１４】第１実施形態に係るプラスチック判別装置の他の変形例を示す図である。
【図１５】第２実施形態に係るプラスチック判別装置の他の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１，２１，３１，４１，５１  プラスチック判別装置
２  半導体発光素子
３，３ａ，３ｂ  半導体発光素子
４  判別対象物
５，５ａ，５ｂ，５ｃ  受光素子
６  記憶部
７  マイクロプロセッサ
８，２２，３２，３３  ダイクロイックミラー
９，１２  レンズ
１０，１１，１１ａ，１１ｂ  投光回路
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  受光回路
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  Ａ／Ｄ変換回路
１５  入出力回路
４２  ハーフミラー
Ｌ１  参照光
Ｌ２，Ｌ２ａ，Ｌ２ｂ  検出光
【図１】
0003908879.tif 000004
【図２】
0003908879.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003908879.tif 000010
【図８】
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【図９】
0003908879.tif 000012
【図１０】
0003908879.tif 000013
【図１１】
0003908879.tif 000014
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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