(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ内に設置されたベースと、前記ベース上に固定されたＸ軸ガイドレールと、前記Ｘ軸ガイドレールに載置されたＸ軸テーブルと、前記Ｘ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｘ軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するＸ軸リニアモータと、前記Ｘ軸テーブル上に敷設されたＹ軸ガイドレールと、前記Ｙ軸ガードレール上に載置されたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｙ軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するＹ軸リニアモータとを備えた搬送装置において、
それぞれの前記Ｘ軸ガイドレールの反Ｘ軸リニアモータ側の傍らに、前記Ｘ軸ガイドレールと平行にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、
前記循環路近傍の前記ベースの上面に設けられるとともに、循環路の両側に形成された受熱面と、
前記受熱面に対向する前記Ｘ軸テーブルの下面に設け、前記受熱面にＸ軸リニアモータの損失熱を熱放射により放出する放熱面と、
を設けたことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置など真空中において稼働する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の真空装置内の搬送装置は、図３に示すように構成されている。
図において、３０は真空チャンバで、この真空チャンバ３０内に搬送装置のテーブル３１が載置されている。３２はテーブル３１上にＸ軸方向に敷設されたＸ軸ガイドレール、３３は前記Ｘ軸ガイドレール３２に載置されたＸ軸テーブルで、Ｘ軸方向にＸ軸ガイドレール３２に沿って移動できるように構成している。３４は前記Ｘ軸テーブル３３を駆動するＸ軸リニアモータで、そのＸ軸リニアモータ３４の固定子３５をＸ軸ガイドレール３２間に取付け、可動子３６を前記固定子３５に対向させて前記Ｘ軸テーブル３３の下面に取付けている。３７はＸ軸テーブル３３上に載置され、Ｙ軸方向に敷設されたＹ軸ガイドレール、３８は前記Ｙ軸ガイドレール３７に載置されたＹ軸テーブルで、Ｙ軸方向にＹ軸ガイドレール３７に沿って移動できるように構成している。３９は前記Ｙ軸テーブル３８を駆動するＹ軸リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ３９の固定子４０をＹ軸ガイドレール３７間に取付け、可動子４１を前記固定子４０に対向させて前記Ｙ軸テーブル３８の下面に取付けている。
つぎに、このように構成した搬送装置の動作について説明する。
Ｘ軸リニアモータ３４の固定子３５を励磁すると、Ｘ軸テーブル３３がＸ軸ガイドレール３２に沿ってＸ軸方向に移動する。つぎに、Ｙ軸リニアモータ３９の固定子４０を励磁すると、Ｙ軸テーブル３８がＹ軸ガイドレール３７に沿ってＹ軸方向に移動して、Ｙ軸テーブル３８に載置した搬送物を所定位置に搬送して、停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の真空装置内の搬送装置は、真空チャンバ３０において発生したＸ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３９から発生した熱は周囲に空気がないため放熱できず、搬送装置取付け部から真空チャンバへの熱伝導しか熱の逃げ場がない。しかし、搬送装置のＸ軸テーブル３３あるいはＹ軸テーブル３８はリニアガイドで支持されており、リニアガイドはボールあるいはコロを介して支持されているため、伝熱面積はボールあるいはコロとこれら軌道面との接触面積が極めて小さいため、真空チャンバ等の壁面への熱伝導効果は小さく搬送装置の可動部で発生した熱は無限に蓄積されてしまう。このため、リニアガイドが熱変形を生じ機械精度に悪影響をもたらすほか、Ｘ軸リニアモータ３４あるいはＹ軸リニアモータ３９の固定子３５、４０のコイルを焼損するという問題があった。
そこで、本発明は真空チャンバ内で作動する搬送装置の可動部を冷却し、搬送装置の位置決め精度を低下することなく、Ｘ軸リニアモータあるいはＹ軸リニアモータの固定子のコイルを焼損しないようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、真空チャンバ内に設置されたベースと、前記ベース上に固定されたＸ軸ガイドレールと、前記Ｘ軸ガイドレールに載置されたＸ軸テーブルと、前記Ｘ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｘ軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するＸ軸リニアモータと、前記Ｘ軸テーブル上に敷設されたＹ軸ガイドレールと、前記Ｙ軸ガードレール上に載置されたＹ軸テーブルと、前記Ｙ軸ガイドレール間に設けられた固定子と前記Ｙ軸テーブルの下面に前記固定子に対向させて設けた可動子を有するＹ軸リニアモータとを備えた搬送装置において、それぞれの前記Ｘ軸ガイドレールの反Ｘ軸リニアモータ側の傍らに、前記Ｘ軸ガイドレールと平行にした部分を前記ベースに埋設した冷媒の循環路と、前記循環路近傍の前記ベースの上面に設けられるとともに、循環路の両側に形成された受熱面と、前記受熱面に対向する前記Ｘ軸テーブルの下面に設け、前記受熱面にＸ軸リニアモータの損失熱を熱放射により放出する放熱面とを備えている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すもので、（ａ）は搬送装置の斜視図、（ｂ）は要部の拡大断面図である。
図において、１は真空チャンバで、この真空チャンバ１内に搬送装置のベース２が載置されている。前記ベース２上にＸ軸ガイドレール３が敷設され、このＸ軸ガイドレール３上にＸ軸テーブル４がＸ軸方向に移動しうるように取付けられている。５はＸ軸テーブル４を駆動するＸ軸リニアモータで、そのＸ軸リニアモータ５の固定子６をＸ軸ガイドレール３間に取付け、可動子７を前記固定子６に対向させて前記Ｘ軸テーブル４の下面に取付けている。８はＹ軸ガイドレールで、前記Ｘテーブル４上にＹ軸方向に敷設している。９は前記Ｙ軸ガイドレール８に載置したＹ軸テーブルで、このＹ軸テーブル８上に搬送物を載置してＹ軸方向に移動できるようにしてある。１０はＹ軸テーブル９を駆動するＹ軸リニアモータで、そのＹ軸リニアモータ１０の固定子１１をＹ軸ガイドレール８間に取付け、可動子１２を前記固定子１１に対向させてＹ軸テーブル９の下面に取付けている。前記固定子１１はＸテーブル４に設けた凹部４ａに嵌め込み、Ｘテーブル４の下面に放熱面４ｂを設け、この放熱面４ｂを前記ベース２に埋設した循環路１３の両側に形成した受熱面２ａに対向させてある。１４は前記循環路１３に接続する管路で、真空チャンバ１の壁面に取付けた管路継ぎ手１４を介して真空チャンバ１外に導出してある。１５は前記循環路１３に接続し循環路１３内を流通する冷媒を冷却する冷却手段、１６は前記循環路１３に接続し循環路内の冷媒を圧送する循環手段である。
このように構成された搬送装置のＸ軸リニアモータ５の固定子６を励磁すると、Ｘ軸テーブル４がＸ軸ガイドレール３に沿ってＸ軸方向に移動する。さらに、Ｙ軸リニアモータ１０の固定子１１を励磁すると、Ｙ軸テーブル９がＹ軸ガイドレール８に沿ってＹ軸方向に移動してＹ軸テーブル９上の搬送物を所定位置に搬送する。前記Ｘ軸リニアモータ５あるいはＹ軸リニアモータ１０を励磁するとＸ軸リニアモータ５の固定子６あるいはＹ軸リニアモータ１０の固定子１１に損失熱が発生する。この損失熱はＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４ｂからこの放熱面４ｂに対向するベース２の受熱面２ａに損失熱を熱放射により放出する。受熱面２ａには循環路９が設けられ、この循環路９を流れる冷媒により受熱面２ａが冷却される。このように固定子６、１１で発生した損失熱をＸ軸テーブル４を伝導して放熱面４ｂから受熱面２ａに放射して冷却するので固定子６、１１のコイルの焼損がなく、ガイドレールが熱変形を生じなく、機械精度を低下することがない。
図２は、本発明の第２の実施例を示すもので、放熱面４ｂに複数の凹部４ｃおよび受熱面２ａに複数の凸部２ｂを形成することで対向面積を増大させて冷却効果を向上している。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、真空チャンバ内で作動する搬送装置に発生した損失熱を、放熱面から受熱面へさらに受熱面近傍に流れる冷媒へ、熱放射と熱伝導を利用して伝えるので、空気のない真空中であっても、搬送装置に発生する損失熱を効果的に冷却でき、位置決め精度を低下することなく、また固定子のコイルの焼損を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例を示すもので、（ａ）は搬送装置の斜視図、（ｂ）は搬送装置の要部拡大図である。
【図２】  本発明の第２の実施例を示す搬送装置の要部拡大図である。
【図３】  従来例を示す搬送装置の斜視図である。
【符号の説明】
１  ベース、  ２  ベース、  ２ａ  受熱面、  ３  Ｘ軸ガイドレール、
４  Ｘ軸テーブル、  ４ａ  放熱面、５  Ｘ軸リニアモータ、
６  固定子、  ７  可動子、  ８  Ｙ軸ガイドレール、
９  Ｙ軸テーブル、  １０  Ｙ軸リニアモータ、  １１  固定子、
１２  可動子、  １３  循環路、  １４  管路継ぎ手、  １５  冷却手段、
１６  循環手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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