(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却して回収した溶剤を再生する装置において、
上下に夫々配置された上部冷却タンク及び下部冷却タンクと、前記上部冷却タンクと下部冷却タンク間、下部冷却タンクの排出ドレン口、及び上部冷却タンクの排気口に夫々設けられたバルブと、前記上部冷却タンク，下部冷却タンクに夫々設けられた真空計と、前記下部冷却タンクに設けられた大気圧センサと、前記下部冷却タンクに設けられた回収液量センサと、前記上部冷却タンク，下部冷却タンクを冷却する冷凍機とを具備し、
前記上部冷却タンクと下部冷却タンク間に設けられた前記バルブは、下部冷却タンク内が溶剤で満たされるまで開いた状態にあり、かつ満たされると閉じた状態にあることを特徴とする回収溶剤の再生装置。
【請求項２】
請求項１記載の再生装置を用いたことを特徴とする真空乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回収溶剤の再生装置及び真空乾燥装置に関し、特に真空で蒸発した溶剤を冷却して回収して再生する装置、及びこの再生装置を用いた真空乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空で蒸発した溶剤を冷却して回収する溶剤回収装置として、図３に示すものが知られている。
図中の付番31は冷却タンク（コールドトラップ）であり、この冷却タンク31には冷凍機32が配管33を介して接続されている。前記配管33は冷凍機32から冷媒を冷却タンク31に送るためのもので、冷却タンク31では該タンク31の内壁に沿って螺旋状に配置されている。配管33により冷却タンク31内部のフィン34が冷却されるようになっている。前記冷却タンク31の頂部には、主弁（Ｖ1 ）35を介在させた配管が接続されている。
【０００３】
前記冷却タンク31の排気口には、被馳弁（Ｖ2 ）36を介在させた配管37を介して真空ポンプ（Ｒ．Ｐ）38が接続されている。前記冷却タンク31の底部には、液回収弁39（Ｖ3 ）を介在させた配管を介して液回収タンク40が接続されている。この液回収タンク40の頂部にはバイパス弁（Ｖ4 ）41を介在させた配管42が接続され、この配管42の端部は被馳弁36と真空ポンプ38を結ぶ前記配管37に接続されている。前記液回収タンク40には、液量レベルセンサ（ＳＬ）43，レベルゲージ（ＬＧ）44が設けられている。前記液回収タンク40には、リークバルブ（ＬＶ）45を介在させた配管，ドレンバルブ（Ｖ5 ）46を介在させた配管が接続されている。
【０００４】
こうした構成の溶剤回収装置の動作の手順は図４に示す通りである。まず、真空チャンバ30内に溶剤を塗布した基板をセットしゲートを閉じた後、被馳弁（Ｖ2 ）36が開の状態で真空ポンプ38を作動させると、冷却タンク31内が減圧され、真空チャンバ30内も減圧される。その結果、真空チャンバ30より溶剤を含んだ気体が冷却タンク31に導入され（エア導入）、この溶剤を含んだ気体が冷却され、溶剤が液回収タンク40に回収される。この液回収タンク40内に所定の量の溶剤が回収されると、液量レベルセンサ（ＳＬ）43がＯＮし、液回収弁（Ｖ3 ）39を閉じる。次に、リークバルブ（ＬＶ）45を開け、液回収タンク40を大気圧と同じにした後、ドレンバルブ（Ｖ5 ）46を開き、溶剤を外部に排出する。溶剤を外部に排出した後、リークバルブ（ＬＶ）45，ドレンバルブ（Ｖ5 ）46を閉じ、被馳弁（Ｖ2 ）36を閉じる。ひきつづき、バイパス弁（Ｖ4 ）41を開き、真空ポンプ38で液回収タンク40内を減圧する。液回収タンク40内が所定の圧力に減圧されたことを真空計（図示せず）等により確認した後、バイパス弁（Ｖ4 ）41を閉じ、被馳弁（Ｖ2 ）36を開け、更に液回収弁（Ｖ3 ）39を開く。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した構成の溶剤回収装置は、通常２セット用意し、一方の溶剤回収装置を稼働させている間、他方を再生稼働（ドレン，再冷却，再減圧）を行なって連続運転を行なっていた。しかしながら、従来技術では溶剤回収装置を設置するための設置スペースを広くとる必要があり、コスト高になるという問題があった。
【０００６】
本発明はこうした事情を考慮してなされたもので、従来と比べ、単機で連続運転が可能であるとともに、設置スペースを少なくできる低コストの回収溶剤の再生装置、及びこの回収溶剤の再生装置を用いた真空乾燥装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願第１の発明は、冷却して回収した溶剤を再生する装置において、上下に夫々配置された上部冷却タンク及び下部冷却タンクと、前記上部冷却タンクと下部冷却タンク間、下部冷却タンクの排出ドレン口、及び上部冷却タンクの排気口に夫々設けられたバルブと、前記上部冷却タンク，下部冷却タンクに夫々設けられた真空計と、前記下部冷却タンクに設けられた大気圧センサと、前記下部冷却タンクに設けられた回収液量センサ、前記上部冷却タンク，下部冷却タンクを冷却する冷凍機とを具備し、前記上部冷却タンクと下部冷却タンク間に設けられた前記バルブは、下部冷却タンク内が溶剤で満たされるまで開いた状態にあり、かつ満たされると閉じた状態にあることを特徴とする回収溶剤の再生装置である。
本願第２の発明は、第１の発明に係る再生装置を用いたことを特徴とする真空乾燥装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図１及び図２を参照して説明する。ここで、図１は回収溶剤の再生装置の説明図であり、図２はこの再生装置を作動するときのシーケンス図を示す。
【０００９】
図中の付番１，２は、上下に夫々配置された上部冷却タンク、下部冷却タンクである。前記上部冷却タンク１は、真空バルブ（Ｖ1 ）３を介在させた配管により真空チャンバ４に接続されている。上部冷却タンク１には、第１の真空計（ＰＧ1 ）５，第１の大気圧センサ（ＡＰＳ1 ）６が設けられている。第１の大気圧センサ６は、上部冷却タンク１内が大気圧に戻ったどうかを検知するものである。上部冷却タンク１の排気口には、真空バルブ（Ｖ2 ）７を介在させた配管により真空ポンプ（Ｐ1 ）８が接続されている。
【００１０】
前記上部冷却タンク１と下部冷却タンク２は、仕切弁（バルブ：Ｖ3 ）９を介在した配管により接続されている。下部冷却タンク２には、第２の真空計（ＰＧ2 ）10，第２の大気圧センサ（ＡＰＳ2 ）11，加圧バルブ（Ｖ5 ）12及び液検知センサ（Ｓ1 ）13が設けられている。ここで、第２の大気圧センサ11は下部冷却タンク２内が大気圧に戻ったどうかを検知するもので、真空状態では溶媒をドレン側に流すことができない。また、液検知センサ13は、下部冷却タンク２内の溶媒の液面のレベルを検知するものである。前記下部冷却タンク２の排出ドレン口には、ドレンバルブ（Ｖ4 ）14が設けられている。前記下部冷却タンク２には、真空バルブ（Ｖ6 ）15を介在させた配管を介して再生ポンプ（Ｐ2 ）16が接続されている。
【００１１】
前記上部冷却タンク１と下部冷却タンク２内には、冷凍機17からの配管18が設けられている。この配管18は上部冷却タンク１では溶剤を凝縮回収するために、下部冷却タンク２では回収後の溶剤の再蒸発を防止することを目的として冷却している。前記配管18を用いて冷凍機17から冷媒が送られ、冷媒の戻り側の配管18には冷媒の温度を検知するための温度センサ19が設けられている。前記下部冷却タンク２の排出ドレン口側には、ドレンタンク20が設けられている。こうした構成の再生装置において、前記上部冷却タンク１と下部冷却タンク２間に設けられた前記仕切弁９は、下部冷却タンク２内が溶剤で満たされるまでは開いた状態にあり、かつ満たされると閉じた状態にある。
【００１２】
こうした構成の溶剤回収装置の通常の動作は、真空バルブ（Ｖ2 ）７が“開”の状態かつ仕切弁（Ｖ3 ）９が“開”の状態で真空ポンプ（Ｐ1 ）８を用いて上部冷却タンク１内及び下部冷却タンク２内が減圧された状態で、真空チャンバ４内に溶剤を塗布した基板をセットしゲートを閉じた後、真空バルブ（Ｖ1 ）３を開ける。その結果、真空チャンバ４内も減圧され、真空チャンバ４から溶剤を含んだ気体が上部冷却タンク１内で冷却され凝縮された溶剤が下部冷却タンク２へ流れる。こうして、真空チャンバ４内の溶剤を塗布した基板は真空乾燥される。その後、真空乾燥が終了した溶剤を塗布した基板は真空バルブ（Ｖ1 ）３を閉じた後、真空チャンバ４のゲートを開け外部に搬出される。上記動作を繰り返し複数の基板が真空乾燥される。
【００１３】
回収した溶剤が下部冷却タンク２内を満たした場合の動作は図２に示す通り、液検知センサ（Ｓ1 ）13がＯＮすると、上部冷却タンク１と下部冷却タンク２間の仕切弁（Ｖ3 ）９を閉じる。次に、下部冷却タンク２に設けた加圧バルブ（Ｖ5 ）12を開き、下部冷却タンク２内が大気圧と同じになったことを第２の大気圧センサ（ＡＰＳ2 ）11で確認した後、ドレンバルブ（Ｖ4 ）14を開く。そして、下部冷却タンク２内に回収した溶剤を、液検知センサ（Ｓ1 ）13のＯＦＦによりドレンタンク20に排出したことを確認する。つづいて、加圧バルブ（Ｖ5 ）12を閉じ、ドレンバルブ（Ｖ4 ）14を閉じる。
【００１４】
次に、下部冷却タンク２に接続された真空バルブ（Ｖ6 ）15を開き、再生ポンプ（Ｐ2 ）16により下部冷却タンク２内を減圧する。つづいて、この下部冷却タンク２内の圧力が上部冷却タンク１内の圧力と略同一になったことを第２の真空計（ＰＧ2 ）10で確認した後、真空バルブ（Ｖ6 ）15を閉じ、仕切弁（Ｖ3 ）９を開き、前記通常の動作に戻る。
【００１５】
上記実施例に係る回収溶剤の再生装置において、前記仕切弁９は、下部冷却タンク２内が溶剤で満たされるまでは開いた状態にあり、かつ満たされると閉じた状態にあるため、下部冷却タンク２内の回収溶剤を排出している間でも上部冷却タンク１のみで溶剤の回収を行うことができるので、従来のように溶剤回収装置を２セットを用いなくても、単機で再生装置の連続運転が可能となる。従って、装置をセットするスペースを従来と比べて著しく少なくできるとともに、コスト低減を図ることができる。また、再生ポンプ16は下部冷却タンク２内を減圧するだけに用いるため、真空ポンプ８と競べ小さいものでよく、設置スペースをあまり必要としない。
【００１６】
なお、上記実施例では、上部冷却タンクに大気圧センサを設けた場合について述べたが、必ずしも設ける必要はない。また、冷凍機に接続された配管に温度センサを設けたが、必ずしも設ける必要はない。
【００１７】
また、図示しないが、図１の回収溶剤の再生装置を組み込んむことにより本願第２の発明に係る真空乾燥装置が得られる。こうした真空乾燥装置によれば、真空チャンバを減圧した状態で基板に塗布した溶剤を蒸発できるので、蒸発速度を速くできる。また、大気中で乾燥する場合と比べ、ゴミの付着が少ない状態で乾燥でき、装置をクリーンに維持できる。
【００１８】
【発明の効果】
以上詳述した如くこの発明によれば、従来と比べ、単機で連続運転が可能であるとともに、設置スペースを少なくできる低コストの回収溶剤の再生装置、及びこの回収溶剤の再生装置を用いた真空乾燥装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る回収溶剤の再生装置の説明図。
【図２】図１の再生装置を作動させる時のシーケンス図。
【図３】従来の溶剤回収装置の説明図。
【図４】図３の溶剤回収装置の動作を示すシーケンス図。
【符号の説明】
１…上部冷却タンク、
２…下部冷却タンク、
３，15…真空バルブ、
４…真空チャンバ、
５，10…真空計、
６，11…大気圧センサ、
８…真空ポンプ、
９…仕切弁（バルブ）、
12…加圧バルブ、
13…液検知センサ、
14…ドレンバルブ、
16…再生ポンプ、
17…冷凍機、
18…配管、
19…温度センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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