(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを収納する収納部を上下左右に複数配列した保管棚の一対が通路を挟んで向かい合わせに配置され、前記通路に、前記ワークを前記収納部に出し入れする移載ロボットを有するスタッカクレーンが走行自在に配置され、前記保管棚の厚み方向を横切って前記通路に至る開閉自在な扉が前記保管棚に設けられたストッカであって、前記扉は前記収納部を有する前記保管棚の一部として設けられ、前記扉は片開き式であり、閉じた位置を再現する位置決め手段が設けられ、前記収納部と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されているストッカ。
【請求項２】
前記通路の一端が閉鎖され、閉鎖された側の前記保管棚に前記扉が設けられ、前記通路の他端に第二の扉が設けられている請求項１に記載のストッカ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハーキャリア等のワークを保管するストッカに係り、特に、人がストッカ内に立ち入るための開閉自在な扉（メンテナンス扉）の技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ストッカには、メンテナンスや異常時・停電時などに人がストッカ内に出入りするために開閉自在な扉が設けられているのが一般的である。最近では、ストッカの無駄なスペースを省略し、ワークの収納効率を増加するため、収納部にワークを出し入れする移載ロボットを有するスタッカクレーンが走行する通路の幅とスタッカクレーンの幅とがほぼ同等となっている。即ち、スタッカクレーンが通路を塞ぐこととなり、作業者がストッカ内に出入りする際、スタッカクレーンの通路の一方から入った場合にスタッカクレーンの反対側の通路にまわりこむのが困難になっていた。
【０００３】
そこで、従来は、図４に示すストッカ１１のように、ワーク１６を移載するスタッカクレーン１４により通路１３が塞がれていたとしてもスタッカクレーン１４の前後いずれの通路１３にも出入りすることができるように、スタッカクレーン１４の通路１３の両側に開閉自在な扉１５が設置されていた。また、ストッカの設置条件によっては、他装置や建屋のパーティションと干渉し、スタッカクレーンの通路の両側に扉を設置することができない場合があるが、かかる場合は、図５（ａ）に示すストッカ２１のようにストッカ２１の保管棚２２厚み方向を横切って通路２３に至る扉２５が設置され、図５（ｂ）に示すようにワーク２６を移載するスタッカクレーン２４により通路２３が塞がれていたとしても通路２３に出入りすることができるように構成されていた。
【０００４】
【発明の解決しようとする課題】
ところが、ストッカの保管棚厚み方向を横切って通路に至る扉を設置した場合、扉からストッカ内の通路に至るまで、作業員が出入りするためのスペースが必要となる。従って、かかるスペースを確保するため、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、扉２５の内側の部分においては保管棚２２を設けることができず、収納効率の低下へとつながっている。
【０００５】
本発明の目的は、人がストッカ内に出入りすることができるメンテナンス扉のストッカへの設置を確保しつつ、ストッカ内の無駄なスペースを排除し、ワークの収納効率を向上させることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本発明の請求項１に記載のストッカは、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配列した保管棚の一対が通路を挟んで向かい合わせに配置され、前記通路に、前記ワークを前記収納部に出し入れする移載ロボットを有するスタッカクレーンが走行自在に配置され、前記保管棚の厚み方向を横切って前記通路に至る開閉自在な扉が前記保管棚に設けられたストッカであって、前記扉は前記収納部を有する前記保管棚の一部として設けられ、前記扉は片開き式であり、閉じた位置を再現する位置決め手段が設けられ、前記収納部と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１の構成によれば、保管棚の厚み方向を横切って通路に至る扉を設置したとしても扉に収納部を有する保管棚の一部を設けることができるため、扉の内側のスペースが無駄にならない。このため、ワークの収納効率を増加させることができる。
また、扉が収納部と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されているため、メンテナンスや異常時・停電時などに人がストッカ内に出入りする手段が確保される。また、位置決め手段により扉の閉じた位置を再現することができ、ワーク移載のためにティーチングされているスタッカクレーンに対して位置再現性を確保することができる。
【０００８】
請求項２に記載のストッカは、請求項１に記載のストッカであって、前記通路の一端が閉鎖され、閉鎖された側の前記保管棚に前記扉が設けられ、前記通路の他端に第二の扉が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２の構成によれば、ストッカの設置条件によって、他装置や建屋のパーティションと干渉し、スタッカクレーンの通路の両側に扉を設置することができない場合についても、保管棚の厚み方向を横切って通路に至る扉を設置することができる。これによって、扉に収納部を有する保管棚の一部を設けることができるため、ワークの収納効率を向上させることができる。
また、扉が収納部と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されているため、メンテナンスや異常時・停電時などに人がストッカ内に出入りする手段が確保される。
【００１２】
ストッカは、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配列した保管棚の一対が通路を挟んで向かい合わせに配置され、前記通路に、前記ワークを前記収納部に出し入れする移載ロボットを有するスタッカクレーンが走行自在に配置され、前記保管棚の厚み方向を横切って前記通路に至る開閉自在な扉が前記保管棚に設けられたストッカであって、前記扉は前記ストッカクレーンを制御するための制御盤を有するものとして設けられ、前記扉は前記制御盤と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
この場合、扉の内側のスペースが無駄にならない。
また、扉が収納部と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されているため、メンテナンスや異常時・停電時などに人がストッカ内に出入りする手段が確保される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明のストッカの実施形態例について説明する。
【００１５】
［第一実施形態］図１及び図２は、本発明に係るストッカの実施形態の一例を示した概略斜視図である。図１において、第一実施形態におけるストッカ１は、保管棚２と、通路３と、スタッカクレーン４と、扉５と、図示されない制御盤とを備えてなる。ストッカ１は、通路３の一端がパーティション７によって閉鎖され、更にパーティション８によって通路３の一端の隣接する面も閉鎖される状態で設置されている。
【００１６】
保管棚２は、通路３を挟んで一対に設けられている。また、保管棚２は、収納部２ａを構成する棚板と、柱２ｂと、背面板２ｃと、側面板２ｄとから構成されている。収納部２ａは、保管棚２の一対に通路３を挟んで向かい合わせに上下左右複数列配列されている。また、収納部２ａは、スタッカクレーン４の移載ロボット４ａによるワーク６の出し入れのため、前面が開放されている。柱２ｂは保管棚２の骨格を形成している。また、棚板は柱２ｂに固定されており、収納部２ａにワーク６を収納する。保管棚２の背面側に設けられた背面板２ｃおよび保管棚２の側面側に設けられた側面板２ｄは、ストッカ１と外部との仕切りを形成している。なお、図１の例では、パーティション７が側面板２ｄ及びパーティション８が背面板２ｃを兼用している。
【００１７】
通路３は、一対に設けられた保管棚２の間に設けられている。通路３にはスタッカクレーン４が走行するための走行レール３ａを備えている。スタッカクレーン４は走行レール３ａ上をレール方向に往復自在に走行することができる。また、走行レール３ａは保管棚２と平行に敷設されている。
【００１８】
スタッカクレーン４は、ワーク６を収納部２ａに出し入れする移載ロボット４ａと、移載ロボット４ａを維持し上下に移動させる支柱４ｂと、走行レール３ａ上を走行する走行部４ｃとを有している。スタッカクレーン４は制御盤により制御されている。また、スタッカクレーン４は、ワーク６移載のためティーチングされている。移載ロボット４ａは位置決め座標に基づいてワーク６をハンドリングし、保管棚２に移載したり、保管棚２から取り出したりするものである。なお、制御盤は収納部２ａに設置することもできるが、スペースの効率化のためにはスタッカクレーン４のデッドスペースを利用してスタッカクレーン４のデッドスペースに設置することが好ましい。
【００１９】
扉５は、ストッカ１に二つ設けられており、一つの扉５ａは通路３の一端に設けられており、もう一つの扉５ｂは通路３の他端側に保管棚２の厚み方向を横切って通路３に至るように設けられている。扉５ａは、開閉自在な扉であり、通路３へ人の出入りが可能となるように構成されている。また、扉５ｂは、開閉自在な扉であり、保管棚２の一部として設けられている。扉５ｂは、収納部２ａと共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されている。
【００２０】
扉５ａ、５ｂはヒンジを用いた片開き式であり、扉の５ａ、５ｂの側面部の上下に設けられたヒンジによって扉を開閉することができる。扉５ｂは図２に示すように、上下に二つ設けられたヒンジ１０を有し、片側に開閉することができる。また、扉５ｂ側に設置されたピン（または孔）９ａと、背面板２ｃ側に設置された孔（又はピン）９ｂの組み合わせによる位置決め手段９を有する。即ち、扉５ｂを閉める場合にピン（または孔）９ａが孔（又はピン）９ｂに嵌合することにより、扉５ｂの閉じた位置、即ち保管棚２の位置が再現される。
【００２１】
このように、本実施形態例に係るストッカ１では、保管棚２の厚み方向に横切って通路３に至って設けられている開閉自在な扉５ｂが収納部２ａを有する保管棚２の一部として設けられており、かつ、収納部２ａと共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されているため、従来のように人の出入りスペース確保のため、扉部分の収納部２ａを排除する必要がなくなる。このため、通路３への人の出入りを確保できると共に、扉５ｂの部分の収納部２ａも利用することが可能となり、収納効率を良くすることができる。
【００２２】
また、位置決め手段９によって、扉５ｂの閉じた位置、即ち保管棚２の位置を再現するため、ワーク６移載のためティーチングされているスタッカクレーン４に対して位置再現性を確保することができる。
【００２３】
［第二実施形態例］図３は、本発明に係るストッカの実施形態の一例を示したストッカの縦断面図である。第二実施形態例に係るストッカ１０１では、第一実施形態例に係るストッカと比較して保管棚１０２の厚み方向に横切って通路１０３に至って設けられている開閉自在な扉１０５ｂが収納部を有する保管棚１０２の一部としてではなく、扉１０５ｂのスペースを利用してスタッカクレーン１０４を制御する制御盤１０６が設置されていることを特徴としている。
【００２４】
したがって、制御盤１０６はストッカ内の保管棚１０２に設置される場合は、制御盤１０６を設置するために保管棚１０２にスペースを確保する必要があるが、本実施形態例に係るストッカ１０１の場合は、扉１０５ｂのスペースを利用することができ、ストッカ１０１内の無駄なスペースの排除及びワークの収納効率を向上することができる。
【００２５】
なお、本発明に係るストッカは、前記第一実施形態及び第二実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、前記第一実施形態及び第二実施形態例においては、扉５ｂ（又は扉１０５ｂ）は片開き式であったが、人の出入りが確保できる開閉自在な扉であれば良く、ストッカの背面板と平行状態を保ったまま背面板と近づいたり離れたりすることができるスライド式の扉であってもよい。即ち、人が出入りする際に、扉５ｂ（又は扉１０５ｂ）が保管棚からレールやマジックハンドによってスライドして分離するような構成であってもよい。なお、この場合、扉５ｂ（又は扉１０５ｂ）については保管棚と共に人の出入りが可能となるまで開くように構成されていることが必要である。
【００２６】
更に、前記第一実施形態例における扉５ｂをスライド式の扉にする場合においても、ピンと孔の組み合わせによる位置決め手段を有するのが好ましい。位置決め手段により扉の閉じた位置、即ち保管棚の位置を再現するため、ワーク移載のためティーチングされているスタッカクレーンに対して位置再現性を確保することができる。
【００２７】
なお、前記第一実施形態例及び第二実施形態例については、パーティション７及び８によりストッカの通路の一端が閉鎖されていたが、パーティション７及び８等の壁により通路の一端が閉鎖されている場合ではなく、他の装置が存在する等によりストッカの通路の一端にある扉を十分に開けることができない場合においても本発明に係るストッカは有効である。
【００２８】
【発明の効果】
請求項１に記載のストッカでは、保管棚の厚み方向を横切って通路に至る開閉自在な扉について、人の出入りスペースを確保するために収納部を削減することなく、扉と一体化した収納部を設置することができる。このため、ストッカのスペースを無駄にすることなく、収納効率を向上することができる。また、ワークを収納部の決められた位置に正確に移載する必要があるため、スタッカクレーンがティーチングされていることにより正確に閉じた位置を再現する必要がある扉に対して、位置決め手段により位置再現性を確保することができる。
【００２９】
請求項２に記載のストッカでは、ストッカの設置条件によって、他装置や建屋のパーティションと干渉し、通路の両端に扉を設置することができない場合であっても、閉鎖された通路側の保管棚の厚み方向を横切って通路に至る開閉自在な扉を設置することができ、かつ、その扉について、人の出入りスペースを確保するために収納部を削減することなく、扉を一体化した収納部を設置することができ、請求項１の構成による前記効果が得られる利点がある。
【００３１】
本実施の形態におけるストッカでは、保管棚の厚み方向を横切って通路に至る開閉自在な扉について制御盤を配置することにより、人の出入りのために確保されたスペースを有効に利用することができる。このため、ストッカのスペースの無駄を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るストッカの第一実施形態例を示す斜視断面図である。
【図２】図１における側面板側のストッカの側面図である。
【図３】本発明に係るストッカの第二実施形態例を示す縦断面図である。
【図４】従来のストッカの一例を示す斜視断面図である。
【図５】従来のストッカの一例を示す概略図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【符号の説明】
１  ストッカ
２  保管棚
２ａ  収納部
３  通路
４  スタッカクレーン
４ａ  移載ロボット
５  扉
６  ワーク
９  位置決め手段
【図１】
0003900923.tif 000002
【図２】
0003900923.tif 000003
【図３】
0003900923.tif 000004
【図４】
0003900923.tif 000005
【図５】
0003900923.tif 000006