(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に沿って敷設した走行レールを走行する走行台車と、該走行台車に昇降機構により昇降可能に吊り下げた荷台とを備え、前記走行台車に、荷台が水平方向に振れるのを防止する昇降可能な支持機構を介して、荷台を支持するとともに、前記支持機構の発塵部を設けた空間内に外気を吸引し、フィルタを通して排気する集塵装置を配設した無人搬送車の荷台支持装置において、荷台を上昇させることによって、走行台車に支持される本体内に荷台を格納するとともに、荷台の底板により本体の開口を閉鎖するようにしたことを特徴とする無人搬送車の荷台支持装置。
【請求項２】
昇降機構の発塵部を、前記支持機構の発塵部を設けた空間内に配設したことを特徴とする請求項１記載の無人搬送車の荷台支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無人搬送車の荷台支持装置に関し、天井に沿って敷設した走行レールを走行する走行台車と、この走行台車に昇降機構により昇降可能に吊り下げた荷台とを備えた無人搬送車の荷台支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場等のクリーンルームにおいては、カセット等の搬送物（以下、単に「搬送物」という。）を搬送する際の発塵を抑制するために、無人搬送車を用いるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
近年、クリーンルームを効率的に利用するために、無人搬送車が走行する走行レールを天井に沿って敷設し、無人搬送車の走行台車に昇降機構により昇降可能に荷台を吊り下げ、ステーションの位置で、荷台を昇降機構により昇降することにより、搬送物の積み降ろしを行うようにした無人搬送設備が提案されている。
【０００４】
ところで、この荷台を昇降可能に吊り下げる昇降機構には、通常、ベルトやワイヤからなる昇降機構を用いるようにしているが、ベルトやワイヤには、水平方向に剛性がないため、無人搬送車がステーションの位置で停止しても、昇降機構により吊り下げられた荷台は停止せず、このため、荷台の振れが止まるまでの間、搬送物の積み降ろしを行うことができず、搬送効率が低下するという問題があった。
【０００５】
この問題に対処するため、荷台の水平方向の振れを防止しながら、昇降可能に荷台を支持する支持機構を配設することも考えられるが、荷台を昇降する際の支持機構からの発塵により、クリーンルーム内が汚染されるという問題があった。
【０００６】
また、荷台を昇降可能に吊り下げる昇降機構からも、荷台を昇降する際に発塵があり、クリーンルーム内が汚染されるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の無人搬送車の有する問題点に鑑み、荷台を昇降する際の発塵を、集塵装置により捕集することにより、クリーンルーム内が汚染されるのを防止するようにした無人搬送車の荷台支持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の無人搬送車の荷台支持装置は、天井に沿って敷設した走行レールを走行する走行台車と、該走行台車に昇降機構により昇降可能に吊り下げた荷台とを備え、前記走行台車に、荷台が水平方向に振れるのを防止する昇降可能な支持機構を介して、荷台を支持するとともに、前記支持機構の発塵部を設けた空間内に外気を吸引し、フィルタを通して排気する集塵装置を配設した無人搬送車の荷台支持装置において、荷台を上昇させることによって、走行台車に支持される本体内に荷台を格納するとともに、荷台の底板により本体の開口を閉鎖するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
この無人搬送車の荷台支持装置は、荷台を、昇降機構により昇降可能に吊り下げるとともに、荷台が水平方向に振れるのを防止する昇降可能な支持機構を介して支持することにより、無人搬送車がステーションの位置で停止したとき、走行台車に対して、昇降機構により吊り下げられた荷台が水平方向に振れるのを防止し、搬送物の積み降ろしを迅速に行うことができ、さらに、支持機構の発塵部を設けた空間内に外気を吸引し、フィルタを通して排気する集塵装置を配設することにより、荷台を昇降する際の支持機構からの発塵を、集塵装置により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを防止することができる。
また、荷台の底板により本体の開口を閉鎖するようにすることにより、無人搬送車の走行時に、本体内や搬送物に塵埃が付着することを防止することができる。
【００１０】
この場合において、昇降機構の発塵部を、支持機構の発塵部を設けた空間内に配設することができる。
【００１１】
これにより、支持機構からの発塵を併せて、荷台を昇降する際の昇降機構からの発塵を、集塵装置により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを防止することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送車の荷台支持装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１〜図３に、本発明の無人搬送車の荷台支持装置を適用した無人搬送設備の一実施例を示す。
この無人搬送設備は、クリーンルームを効率的に利用するために、無人搬送車３が走行する走行レール２を天井１に沿って敷設し、無人搬送車３の走行台車３Ａに昇降可能に荷台６を吊り下げ、任意のステーションＳの位置で、荷台６を昇降することにより、カセット等の搬送物Ｋの積み降ろしを行うように構成している。
【００１４】
この場合において、無人搬送車３は、走行台車３Ａと、この走行台車３Ａに、剛性を有する中空角筒状の連結部材３Ｃを介して、走行レール２の下方位置で支持される本体３Ｂとより構成する。
【００１５】
走行台車３Ａは、断面略コ字状に形成した走行レール２の凹部内に挿入された状態で走行するボギー台車３０に、走行レール２のレール片２１ａ上を移動する走行車輪３１と、レール片２１ａ，２１ｂの側面を挟持し、安定して走行できるようにするガイド車輪３２ａ，３２ｂと、走行車輪３１の駆動モータ３３と、給電線Ｗから非接触で給電を受けるための集電コイル３４とを備えている。
また、走行台車３Ａには、必要に応じて、走行台車３Ａの走行を制御するための、電源装置、コントローラ、ドライバ、通信装置、衝突防止センサ等を備えるようにする。
【００１６】
走行レール２には、走行台車３Ａのボギー台車３０が走行する際に発生する塵が飛散しないようにカバー２２を配設するとともに、発生した塵を、走行レール２の背面に形成した空間２０を介して吸引し、ダクト７からクリーンルーム外へ排出するようにする。
また、給電線Ｗは、走行レール２の凹部内に突設したステー２３を介して走行レール２に固定し、給電線Ｗには、高周波の励磁電流を供給する電源装置（図示省略）を接続するようにする。
【００１７】
本体３Ｂは、下面が開口した箱形に形成し、先端部に気流の乱れを緩和する形状に形成した乱流防止フード３５を装着するとともに、荷台６を上昇させたとき、本体３Ｂ内に、搬送物Ｋを搭載した荷台６を格納することができるように構成する。
【００１８】
この場合において、本体３Ｂ内に荷台６を格納したとき、図３に示すように、荷台６の底板６１により、本体３Ｂの開口を閉鎖するように構成し、これにより無人搬送車３の走行時に、本体３Ｂ内や搬送物Ｋに塵埃が付着することを防止することができる。
【００１９】
また、乱流防止フード３５は、図１に示すように、水平方向の断面形状が変化しない（鉛直方向の形状が同一）の流線型に形成することが望ましく、これにより、無人搬送車３の前方の気流が無人搬送車３の両側に分かれるようにしてクリーンルーム内の気流（ダウンフロー）を乱さないようにする。
なお、乱流防止フード３５は、本実施例においては、無人搬送車３の前後の端部に装着するようにしているが、無人搬送車３を高速で後退させる必要がない場合には、無人搬送車３の前端部のみに装着するように構成することもできる。
これにより、無人搬送車３による気流の乱れをなくし、発塵を防止して、クリーンルーム内の空気が汚染されることがないようにすることができるとともに、無人搬送車３を高速走行させることができる。また、乱流防止フード３５を装着することにより、無人搬送車３や搬送物Ｋ等に塵埃を付着しにくくし、これによっても、クリーンルーム内の空気が汚染されることがないようにすることができる。
【００２０】
走行台車３Ａと本体３Ｂとを接続する剛性を有する中空角筒状の連結部材３Ｃには、剛性を有する昇降可能な摺動部材４３，４６からなる支持機構４を介して、荷台６の底板６１を、所要の距離だけ昇降可能に支持するようにする。
摺動部材４３，４６は、無人搬送車３がステーションＳの位置で停止したとき、荷台６が、走行台車３Ａ、連結部材３Ｃ等に対して、少なくとも、水平方向に振れるのを防止することができる程度の剛性を有する中空角筒状又は中実角状の部材でもって構成するようにする。
この摺動部材４３，４６は、上下方向に円滑に摺動するようにように、摺動部材４３は、連結部材３Ｃの上下方向に配設したリニアガイドレール４１に、昇降体４２を介して案内されるようにし、また、摺動部材４６は、摺動部材４３の上下方向に配設したリニアガイドレール４４に、昇降体４５を介して案内されるようにする。
なお、摺動部材４３，４６は、本実施例においては、２個の部材で以て構成したが、荷台６を所要の距離だけ昇降可能に支持するものであれば、１個の部材又は３個以上の部材で以て構成することもできる。
【００２１】
そして、下方の摺動部材４６の上端には、昇降機構５を構成する索条５１の一端を係止し、索条５１の他端を、無人搬送車３側に配設した巻取ドラム５２に巻収し、巻取ドラム５２を操作することにより、索条５１を巻き取って、摺動部材４６及びリニアガイドレール４４の上端に形成したストッパ４４ａに昇降体４５が当接することにより摺動部材４３を順に上昇させ、一方、索条５１を巻き出して、摺動部材４３及び摺動部材４６を順に下降させて、荷台６を所要の距離だけ昇降するようにしている。
なお、本実施例においては、昇降機構５を、索状５１と、巻取ドラム５２とにより構成し、簡易な機構により、荷台６を迅速に昇降することができるとともに、荷台を昇降する際の発塵を抑制することができるようにしたが、昇降機構５としては、このほか、ラック・ピニオン機構等、摺動部材４３，４６を昇降させることができる任意の駆動機構を用いることができる。
また、本実施例においては、昇降機構５を、連結部材３Ｃに形成した空間３０Ｃ内に配設するようにしたが、昇降機構５の発塵部となる巻取ドラム５２等を、走行台車３Ａ側に配設し、荷台６を昇降する際の昇降機構５からの発塵を、走行レール２の背面に形成した空間２０を介して吸引し、ダクト７からクリーンルーム外へ排出するように構成することもできる。
【００２２】
ところで、この無人搬送車３においては、支持機構４の発塵部となるリニアガイドレール４１，４４及び昇降体４２，４５や昇降機構５の発塵部となる巻取ドラム５２を配設した連結部材３Ｃに形成した空間３０ａ及び摺動部材４３に形成した空間４３ａ内を負圧にすることにより、これらの空間３０ａ，４３ａ内に、各部材間に形成した間隙３０ｂ，４３ｂから外気を吸引し、ＨＥＰＡフィルタ等のフィルタを通してクリーンルーム内に排気する集塵装置８を配設するようにしている。
なお、集塵装置８は、特に限定されるものではないが、連結部材３Ｃに形成した空間３０ａの上部に配設することが好ましい。
これにより、荷台６を昇降する際の支持機構４及び昇降機構５からの発塵を、集塵装置８により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを防止することができる。
【００２３】
次に、上記の無人搬送車の荷台支持装置の動作について説明する。
まず、給電線Ｗから集電コイル３４を介して非接触で給電を受けながら、走行レール２に沿って無人搬送車３を走行させる。
無人搬送車３が、所定のステーションＳの位置に達したとき、無人搬送車３を停止させる。
【００２４】
そして、昇降機構５を構成する巻取ドラム５２を操作することにより、索条５１を巻き出して、摺動部材４３及び摺動部材４６を順に下降させて、荷台６を所要の距離だけ下降させる。
この操作は、無人搬送車３の停止させる直前に行うこともできる。
このとき、荷台６は、剛性を有する昇降可能な摺動部材４３，４６からなる支持機構４を介して支持されているため、無人搬送車３がステーションＳの位置で停止したとき、走行台車３Ａに対して、水平方向に振れるのを防止することができ、搬送物Ｋの積み降ろしを迅速に行うことができる。
【００２５】
その後、昇降機構５を構成する巻取ドラム５２を操作することにより、索条５１を巻き取って、摺動部材４６及びリニアガイドレール４４の上端に形成したストッパ４４ａに昇降体４５が当接することにより摺動部材４３を順に上昇させて、荷台６を所要の距離だけ上昇させ、本体３Ｂ内に、搬送物Ｋを搭載した荷台６を格納する。
このとき、荷台６の底板６１により、本体３Ｂの開口が閉鎖され、これにより無人搬送車３の走行時に、本体３Ｂ内や搬送物Ｋに塵埃が付着することを防止することができる。
【００２６】
また、支持機構４及び昇降機構５の発塵部を設けた空間３０ａ，４３ａ内に外気を吸引し、フィルタを通して排気する集塵装置８を配設することにより、荷台６を昇降する際の支持機構４及び昇降機構５からの発塵を、集塵装置８により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを防止することができる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明の無人搬送車の荷台支持装置によれば、荷台を、昇降機構により昇降可能に吊り下げるとともに、荷台が水平方向に振れるのを防止する昇降可能な支持機構を介して支持することにより、無人搬送車がステーションの位置で停止したとき、走行台車に対して、昇降機構により吊り下げられた荷台が水平方向に振れるのを防止し、搬送物の積み降ろしを迅速に行うことができ、これにより、搬送効率を著しく向上することができる。
また、支持機構の発塵部を設けた空間内に外気を吸引し、フィルタを通して排気する集塵装置を配設することにより、荷台を昇降する際の支持機構からの発塵を、集塵装置により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを防止し、クリーンルーム内の清浄度を維持することができる。
さらに、荷台の底板により本体の開口を閉鎖するようにすることにより、無人搬送車の走行時に、本体内や搬送物に塵埃が付着することを防止することができる。
【００２８】
また、昇降機構の発塵部を、支持機構の発塵部を設けた空間内に配設することにより、支持機構からの発塵を併せて、荷台を昇降する際の昇降機構からの発塵を、集塵装置により捕集することができ、クリーンルーム内が汚染されるのを確実に防止し、クリーンルーム内の清浄度を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の無人搬送車の荷台支持装置を適用した無人搬送設備の一実施例を示す斜視図である。
【図２】  本発明の無人搬送車の荷台支持装置の断面図である。
【図３】  本発明の無人搬送車の荷台支持装置を適用した無人搬送設備の一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
１    天井
２    走行レール
３    無人搬送車
３Ａ  走行台車
３Ｂ  本体
３Ｃ  連結部材
３０  ボギー台車
３１  走行車輪
３２ａ  ガイド車輪
３２ｂ  ガイド車輪
３３  駆動モータ
３４  集電コイル
３５  乱流防止フード
４    支持機構
４１  リニアガイドレール
４２  昇降体
４３  摺動部材
４４  リニアガイドレール
４５  昇降体
４６  摺動部材
５    昇降機構
５１  索状
５２  巻取ドラム
６    荷台
７    ダクト
８    集塵装置
Ｋ    搬送物
Ｓ    ステーション
Ｗ    給電線
【図１】
0003999326.tif 000002
【図２】
0003999326.tif 000003
【図３】
0003999326.tif 000004