(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層し，側面の少なくとも一部を外装樹脂で覆った圧電体素子を有し，該圧電体素子は，実質的に外気と遮断され，不活性気体によって内部雰囲気が置換された密閉容器に収納し、
上記外装樹脂は２層構造であり、内側層は酸化劣化防止剤を含有せず、外側層は酸化劣化防止剤を含有しており、
かつ、上記密閉容器の内部雰囲気における不活性ガスの濃度は８５％以上であり、
１００度以上の温度雰囲気が１００時間以上継続する環境に設置されるものであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、上記外装樹脂はシリコーン，ポリイミド，ウレタン，エポキシより選択される一種以上であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれか１項において、上記密閉容器の内部雰囲気における酸素濃度は０．１％以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において、内側層はエポキシ，外側層は酸化劣化防止剤を含有したシリコーンであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項において、内側層はシリコーン，外側層は酸化劣化防止剤を含有したシリコーンであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において，燃料が流通する燃料通路に燃料に曝された状態で設置することを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，光学装置の位置決め装置，振動防止用の駆動素子，燃料噴射装置等に利用する圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来技術】
印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層構成した圧電体素子を利用する圧電アクチュエータが知られている。
圧電アクチュエータにおいて，圧電体素子が湿気や衝撃等の外部影響を受けて劣化しないように，圧電体素子の側面を外装樹脂で覆ったり，密閉容器に格納して用いる。
例えば，特公平６−２８８３２号に示すように，密閉容器に不活性ガスを封入することで，圧電体素子の内部電極層の酸化劣化を防止して，信頼性を高めることがある。また，特開平２００１−１０２６４９号に示すように，圧電体素子の側面を外装樹脂で覆って，圧電体素子の耐湿性を高めることがある。
【０００３】
【解決しようとする課題】
しかしながら，従来知られた構成では過酷な環境下で使用する圧電アクチュエータの圧電体素子の劣化を充分に防止することが難しく，より確実に外部からの悪影響を受け難く，耐久性に優れた圧電アクチュエータが求められていた。
【０００４】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，耐久性に優れる圧電アクチュエータを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題の解決手段】
第１の発明は、印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層し，側面の少なくとも一部を外装樹脂で覆った圧電体素子を有し，該圧電体素子は，実質的に外気と遮断され，不活性気体によって内部雰囲気が置換された密閉容器に収納し、
上記外装樹脂は２層構造であり、外側層は酸化劣化防止剤を含有しており、
かつ、上記密閉容器の内部雰囲気における不活性ガスの濃度は８５％以上であり、
１００度以上の温度雰囲気が１００時間以上継続する環境に設置されるものであることを特徴とする圧電アクチュエータにある（請求項１）。
【０００６】
第１の発明は，外装樹脂を設けた圧電体素子が不活性気体で充填され，実質的に外気と遮断された密閉容器に収納される。外装樹脂が直接外気に触れることがなく，また密閉容器内の酸素はないか，非常に少ないため，外装樹脂に酸化劣化が生じ難い。
また，外装樹脂で圧電体素子の側面が覆われているため，外部からの衝撃は外装樹脂が吸収し，圧電体素子のひびや割れを防ぐことができる。また，外部からの湿気が圧電体素子に届き難くなり，圧電体素子側面の沿面放電が防止される。そして，これらの効果が外装樹脂が酸化劣化し難いことから，長期に渡って維持される。
【０００７】
また，第２の発明は，印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層し，側面の少なくとも一部を外装樹脂で覆った圧電体素子を有し，
該圧電体素子は，実質的に外気と遮断された密閉容器に収納し，
上記外装樹脂は酸化劣化防止剤を含有することを特徴とする圧電アクチュエータにある。
【０００８】
第２の発明は，密閉容器に収納した圧電体素子の側面に外装樹脂を設け，この外装樹脂に酸化劣化防止剤を含有させる。よって，外装樹脂に入り込む酸素は酸化劣化防止剤によってトラップされ，外装樹脂が酸素によって劣化しない。
また，圧電体素子は密閉容器に収納されているため，酸化劣化防止剤でトラップしきれないほどの大量の酸素が密閉容器内に入り込むことも防止できる。
【０００９】
また，外装樹脂で圧電体素子の側面が覆われているため，外部からの衝撃は外装樹脂が吸収し，圧電体素子のひびや割れを防ぐことができる。また，外部からの湿気が圧電体素子に届き難くなり，圧電体素子側面の沿面放電が防止される。そして，これらの効果が外装樹脂が酸化劣化し難いことから，長期に渡って維持される。
【００１０】
また，第３の発明は，印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層と印加電圧供給用の内部電極層とを交互に積層し，側面の少なくとも一部を外装樹脂で覆った圧電体素子を有し，
該圧電体素子は，実質的に外気と遮断され，不活性気体によって内部雰囲気が置換された密閉容器に収納し，
上記外装樹脂は酸化劣化防止剤を含有することを特徴とする圧電アクチュエータにある。
第３の発明は，外装樹脂を設けた圧電体素子が不活性気体で充填され，実質的に外気と遮断された密閉容器に収納される。外装樹脂が直接外気に触れることがなく，また密閉容器内の酸素はないか，非常に少ないため，そもそも外装樹脂に酸化劣化が生じ難い。
さらに，外装樹脂に酸化劣化防止剤が含まれるため，外装樹脂に入り込む酸素は酸化劣化防止剤によってトラップされ，外装樹脂が酸素によって劣化しない。
【００１１】
また，外装樹脂で圧電体素子の側面が覆われているため，外部からの衝撃は外装樹脂が吸収し，圧電体素子のひびや割れを防ぐことができる。また，外部からの湿気が圧電体素子に届き難くなり，圧電体素子側面の沿面放電が防止される。そして，これらの効果が外装樹脂が酸化劣化し難いことから，長期に渡って維持される。
【００１２】
以上，本発明によれば，耐久性に優れる圧電アクチュエータを提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
上記第１〜３の発明において，外装樹脂は圧電体素子の側面全体に設けることが好ましい。多くの場合，後述する図１〜図４に示すごとく，内部電極層は圧電体素子側面に露出しており，外装樹脂で側面を覆うことで，側面に露出した内部電極層からの沿面放電を防止することができる。なお，上記外装樹脂は圧電体素子の側面を部分的に覆うように設けることもできる。
また，上記外装樹脂は通電により伸縮する圧電体素子の動きに追従する必要があるため，柔らかく，弾性のある材料より構成することが好ましい。また，圧電アクチュエータの使用環境によっては耐熱性が必要である。
【００１４】
また，上記密閉容器も圧電体素子の伸縮に対応し，圧電体素子を実質的に外気と遮断できる構成を有する。また，密閉容器の気密性は，例えば，シール材，Ｏリング，グロメット等を用いて，実現することができる（実施例１〜４参照）。
また，上記密閉容器は，圧電アクチュエータの使用環境に応じて，耐熱性，耐油性，耐酸化性等の耐久性に優れた材料で構成することが好ましい。
【００１５】
また，第１の発明において，上記外装樹脂はシリコーン，ポリイミド，ウレタン，エポキシより選択される一種以上であることが好ましい（請求項２）。
これらの樹脂は熱に強いため，耐熱性に優れる圧電アクチュエータを得ることができる。
【００１６】
また，第１の発明において，上記密閉容器の内部雰囲気における不活性ガスの濃度は８５％以上である。
この場合，密閉容器内での酸素量が充分少なくなるため，外装樹脂の酸化劣化をよりいっそう防止することができる。
不活性ガスの濃度が８５％未満である場合は，外装樹脂が酸化劣化して，長時間の使用に耐えない，または酸化劣化が進行しやすい高温での使用が困難な圧電アクチュエータとなるおそれがある。
また，内部雰囲気のすべてが不活性ガスで置換されていることがもっとも好ましい。
【００１７】
また，第１の発明において，上記密閉容器の内部雰囲気における酸素濃度は０．１％以下であることが好ましい（請求項３）。
この場合，内部雰囲気での酸素量が充分少なくなるため，外装樹脂の酸化劣化を防止することができる。
酸素濃度が０．１％より大である場合は，外装樹脂が酸化劣化して，長時間の使用に耐えない，または酸化劣化が進行しやすい高温での使用が困難な圧電アクチュエータとなるおそれがある。
また，内部雰囲気の酸素濃度が０となる場合がもっとも好ましい。
【００１８】
また，第２の発明において，上記外装樹脂はシリコーンよりなり，上記酸化劣化防止剤は酸化鉄，酸化セリウム，酸化チタン，炭素より選択される一種以上であることが好ましい。
シリコーンは耐熱性に優れると共に柔軟性が高い。よって，耐熱性に優れる圧電アクチュエータを得ることができる。また，シリコーンは圧電体素子の伸縮に追従可能で，圧電体素子の伸縮が阻害されない。
また，上述した酸化劣化防止剤は，いずれもシリコーンと反応し難い物質であるため，外装樹脂を劣化させ難い。
【００１９】
また，第２の発明において，上記外装樹脂はポリイミド，ウレタン，エポキシより選択される一種以上よりなり，上記酸化劣化防止剤は酸化鉄，酸化セリウム，酸化チタン，炭素より選択される一種以上であることが好ましい。
上述した各樹脂は耐熱性に優れると共に柔軟性が高い。よって，耐熱性に優れる圧電アクチュエータを得ることができ，外装樹脂が圧電体素子の伸縮に追従できて，圧電体素子の伸縮が阻害されない。
また，上述した酸化劣化防止剤は，いずれも各樹脂と反応し難い物質であるため，外装樹脂を劣化させ難い。
【００２０】
また，第２の発明において，上記外装樹脂における酸化劣化防止剤の含有量は１〜３０重量％であることが好ましい。
これにより，外装樹脂の酸化劣化を確実に防止することができる。
１重量％未満である場合は，酸化劣化防止剤の量が少なすぎて，外装樹脂の酸化劣化が発生するおそれがある。３０重量％より大である場合は，外装樹脂の柔軟性が損なわれ，圧電体素子の駆動により，外装樹脂がひび割れたり，圧電体素子から脱落する等の問題が生じるおそれがある。
【００２１】
第３の発明において，上記外装樹脂は２層構造であり，内側層はエポキシ，外側層は酸化劣化防止剤を含有したシリコーンであることが好ましい。
内側層はエポキシよりなるため，圧電体素子と密着性に優れ，圧電体素子の伸縮に対する追従性に優れている。外側層は酸化劣化防止剤を含んだシリコーンであるため，酸化劣化し難い。そして，酸素は外側層の酸化劣化防止剤によって不活性化されるため，内側層も酸化劣化し難い。
なお，上記シリコーンに含ませる酸化劣化防止剤としては，上述したごとく，酸化鉄，酸化セリウム，酸化チタン，炭素等を用いることができる。
【００２２】
第３の発明において，上記外装樹脂は２層構造であり，内側層はシリコーン，外側層は酸化劣化防止剤を含有したシリコーンであることが好ましい。
内側層はシリコーンよりなるため，柔軟性が高く，圧電体素子と密着性に優れ，圧電体素子の伸縮に対する追従性に優れている。外側層は酸化劣化防止剤を含んだシリコーンであるため，酸化劣化し難い。そして，酸素は外側層の酸化劣化防止剤によって不活性化されるため，内側層も酸化劣化し難い。
なお，上記シリコーンに含ませる酸化劣化防止剤としては，上述したごとく，酸化鉄，酸化セリウム，酸化チタン，炭素等を用いることができる。
【００２３】
また，本発明にかかる圧電アクチュエータは，１００度以上の温度雰囲気が１００時間以上継続する環境に設置することができる。
また，燃料が流通する燃料通路に燃料に曝された状態で設置することができる（請求項７）。
このような特質を備えるため，本発明にかかる圧電アクチュエータは，自動車や各種車両のエンジンに設置する燃料噴射装置の駆動源として用いることができる。圧電アクチュエータは，電磁式を代表とする従来のアクチュエータに比較して高速応答，高精度変位，および高分解能であるため，燃料噴射装置の駆動源として用いることで，低燃費や低排出ガス，高出力という性能を得ることができる。
なお，上記燃料は，元素組成は主として炭素からなり，これに水素，酸素が結合しているものが多い。このほかに窒素，硫黄，灰分などを含むものもある。具体的には，ガソリン，灯油，軽油，重油，アルコールなどである。
なお，１００度未満の温度環境であったり，１００度以上での耐久性が１００時間未満である場合は，耐久性が低く，燃料噴射装置の駆動源として使用することが困難となるおそれがある。
【００２４】
【実施例】
以下に，図面を用いて本発明の実施例について説明する。
（実施例１）
本発明にかかる圧電アクチュエータについて，図１〜図４より説明する。
本例の圧電アクチュエータ１は，図１〜図４に示すごとく，印加電圧に応じて伸張する複数の圧電層２１，２２と印加電圧供給用の内部電極層２１０，２２０とを交互に積層し，側面（符号２０１や符号２０２等）の全体を外装樹脂２５で覆った圧電体素子２を有し，該圧電体素子２は，実質的に外気と遮断され，不活性気体によって内部雰囲気１９が置換された密閉容器１１に収納する。
【００２５】
以下，詳細について説明する。
本例の圧電アクチュエータ１の圧電体素子２は，図２〜図４に示すごとく，圧電層２１，２２の層間に内部電極層２１０，２２０を交互に形成し，圧電層２１，２２を交互に正負に印加できるようにする。
図２に示すごとく，圧電層２１に隣接する内部電極層２１０は図面左側に電極未形成部２１１が，図３に示すごとく，圧電層２２に隣接する内部電極層２２０は図面右側に電極未形成部２２１を持つ。
一方の内部電極層２１０は圧電体素子２の一方の側面２０１に露出するように配設し，他方の内部電極層２２０は他方の側面２０２に露出するように配設する。
【００２６】
そして，図１に示すごとく，圧電体素子２の側面２０１，２０２には，露出した内部電極層２１０，２２０の端部をそれぞれ導通させるように銀等の貴金属よりなる側面電極２３，２４をそれぞれ形成する。
上記側面電極２３，２４上には，ステンレス棒製の断面円形の外部電極２３１，２４１をエポキシ樹脂製の導電性接着剤２３０，２４０を用いて接合する。上記外部電極２３１，２４１は図示を省略した駆動電源に接続する。
【００２７】
そして，図１に示すごとく，圧電体素子２の側面２０１，２０２，また図１からは図示されない側面の全体を，ディッピング法により形成し，シリコーンよりなる平均厚さ０．５ミリの外装樹脂２５によって被覆する。また，上記側面電極２３，２４，外部電極２３１，２４１の一部分は外装樹脂２５の内部に埋設する。
【００２８】
上記圧電体素子２を収納する密閉容器１１について説明する。
上記密閉容器１１は，断面が円型で筒状の金属ケース１２，上板１４，下板１３とよりなり，上記上板１４及び下板１３は金属ケース１２に対し溶接にて密閉接合する。
また，図１に示すごとく，金属ケース１２は圧電体素子２の伸縮を阻害しないように，符号１２９にかかる部分をベローズ構造としている。
また，上記上板１４は外部電極２３１，２４１用の挿通穴１４０を有する。この挿通穴１４０の断面形状は円形である。そして，上記挿通穴１４０と外部電極２３１，２４１の側面との間の隙間はシリコーン樹脂製等のシール材１５１で封止する。
【００２９】
また，本例の密閉容器１１に対し圧電体素子２を組み付けて圧電アクチュエータとするには，まず金属ケース１２に下板１３を溶接固定し，金属ケース１２内に圧電体素子２を収納する。その後，上板１４の挿通穴１４０に外部電極２３１，２４１を挿通しながら金属ケース１２の所定位置に上板１４を仮止めする。
【００３０】
その後，上板１４と金属ケース１２とを溶接固定し，挿通穴１４０と外部電極２３１，２４２との隙間から空気を真空ポンプで吸出し，その後窒素ガスを入れるという方法で金属ケース１２（すなわち密閉容器１１内）の内部雰囲気１９を窒素ガスで置換する。その後，挿通穴１４０と外部電極２３１，２４１との間の隙間にシール材１５１を充填する。
【００３１】
これにより，密閉容器１１の内部が不活性ガスである窒素ガスに置換され，かつ溶接とシール材１５１により実質的に外気と遮断された内部雰囲気１９の中に圧電体素子２が収納された圧電アクチュエータ１を得た。
【００３２】
本例の構成の圧電アクチュエータ１に以下に記載する耐久試験を行った。
圧電アクチュエータ１を温度１００℃に保持し，外部電極２３１，２４１から電圧を印加して，積層方向の変位率が０．０１％となるように圧電体素子を１００時間駆動した。
耐久試験の前後で圧電体素子１に沿面放電は発生しなかった。また，外装樹脂２５の酸化劣化も生じなかった。また，外装樹脂２５の破断伸びは耐久試験前は１８０％で，耐久試験後は１７０％であった。
【００３３】
比較として，実施例１と同様の構成であるが，金属ケースと上板との間が密閉されていない，また上板の挿通穴と外側電極との間が密閉されていない圧電アクチュエータを準備し，これについて同様の耐久試験を行った。
その結果，外装樹脂は酸化劣化し，破断伸びが試験前の１８０％から試験後は１２０％に低下した。また，外装樹脂の劣化により，外装樹脂の一部が圧電体素子から剥がれるという問題が発生した。
【００３４】
また，外装樹脂のない圧電体素子を，実施例１にかかる密閉容器に収納した圧電アクチュエータを準備し，同様の耐久試験を行った。その結果，試験開始後０．５時間で沿面放電が発生し，圧電体素子の駆動が不可能となった。
つまり圧電アクチュエータとして機能しなくなった。
【００３５】
本例の作用効果について説明する。
本例の圧電アクチュエータ１は，外装樹脂２５を設けた圧電体素子２が不活性気体で充填され，実質的に外気と遮断された密閉容器１１に収納される。外装樹脂２５が直接外気に触れることがなく，また密閉容器２５内の酸素はないか，非常に少ないため，外装樹脂２５に酸化劣化が生じ難い。
【００３６】
また，外装樹脂２５で圧電体素子２の側面全体が覆われているため，外部からの衝撃は外装樹脂２５が吸収し，圧電体素子２のひびや割れを防ぐことができる。また，外部からの湿気が圧電体素子２に届き難くなり，圧電体素子２側面での沿面放電が防止される。そして，これらの効果は外装樹脂２５が酸化劣化し難いことから，長期に渡って維持される。
【００３７】
以上，本例にかかる圧電アクチュエータによれば，耐久性に優れる圧電アクチュエータを効果が得られることがわかった。
【００３８】
また，本例にかかる外部電極はステンレス棒より構成したが，図５に示すごとく，樹脂被覆リード線（撚り線）２３２，２４２を外部電極として使用することができる。樹脂被覆内の撚り線間には隙間があるが，樹脂被覆で周囲が覆われているため，該樹脂被覆リード線２３２，２４２を上板１４の挿通穴１４０に配置し，シール材１５２でシールすることで密閉容器１１は実質的に外気と遮断される。
【００３９】
（実施例２）
本例の圧電アクチュエータ１は，実施例１と同様の構成であるが，上板１４の挿通穴１４０を密閉する構成が異なる。
図６に示すごとく，挿通穴１４０は環状で，ここにＯリング１５２が嵌合される。その他，詳細は実施例１と同様の構成を有する。
このように密閉容器１１がＯリング構成であっても，該密閉容器１１は実質的に外気と遮断される。よって，外装樹脂２５の酸化劣化が生じ難い。
【００４０】
（実施例３）
本例の圧電アクチュエータ１は，実施例１と同様の構成であるが，上板１４の挿通穴１４０を密閉する構成が異なる。
図７に示すごとく，挿通穴１４０は環状で，ここにグロメット２５４がはめ込まれる。その他，詳細は実施例１と同様の構成を有する。
このように密閉容器１１がグロメット構成であっても，該密閉容器１１は実質的に外気と遮断され，外装樹脂２５の酸化劣化が生じ難い。
【００４１】
（実施例４）
本例の圧電アクチュエータ１は，実施例１と同様の構成であるが，図８に示すごとく，上板１４及び下板１３と金属ケース１２との間にＯリング１３５，１４５を配置した密閉容器１１に圧電体素子２が収納される構成である。
図８に示すごとく，上記密閉容器１１は，Ｏリング１３５，１４５によって上板１４，下板１３が金属ケース１２に対し固定される。このため，上板１４，または下板１３はアクチュエータの伸縮に追従して動くことができるように構成する。その他，詳細は実施例１と同様の構成を有する。
【００４２】
本例にかかるＯリング構成で上板１４及び下板１３と金属ケース１２間が密閉することでも，密閉容器１１は実質的に外気と遮断され，外装樹脂２５の酸化劣化が生じ難い。
また，図９に示すごとく，Ｏリング１３５，１４５に代えて，シール材（接着剤）１３６，１４６を用いて，上板１４及び下板１３と金属ケース１２とを接着して，実質的に外気と遮断された密閉容器１１となし，外装樹脂２５の酸化劣化を生じ難くすることができる。
【００４３】
（実施例５）
本例の圧電アクチュエータは，実施例１と同様の構成であるが，外装樹脂として酸化劣化防止剤を含有したものを用いた。
本例の外装樹脂はシリコーンが８０重量％，酸化鉄の微粉末２０重量％よりなる。そして，シリコーンの中に酸化鉄の微粉末が分散している。なお，酸化鉄は二価である。その他，圧電アクチュエータの構成としては実施例１と同様であるが，密閉容器内は通常の大気雰囲気である。
【００４４】
また，本例の圧電アクチュエータについて，実施例１と同様の耐久試験を行った。その結果，外装樹脂の酸化劣化は殆ど生じず，破断伸びは試験前が１８０％で，試験後も１８０％と変化がなかった。
【００４５】
つまり，従来の圧電アクチュエータであれば，密閉容器内の酸素がシリコーンに触れた場合，酸素がシリコーンの主鎖を切断し，シリコーンを劣化させ，外装樹脂の弾性を低下させる。
しかしながら，本例の圧電アクチュエータのように酸化鉄が外装樹脂に含まれている場合，酸素のラジカルは酸化鉄が吸収するため，酸素によるシリコーン主鎖の切断が生じない。このように，酸化劣化防止剤が酸素を不活性化させるため，外装樹脂の劣化を防止できる。
その他詳細は実施例１と同様の作用効果を有する。
【００４６】
また，上記密閉容器内の雰囲気を，実施例１と同様に不活性の窒素ガスなどで置換することもできる。
また，上記外装樹脂として，ポリイミドを，酸化劣化防止剤として炭素の微粉末を用いることもできる。
双方の圧電アクチュエータについて，上述と同様の耐久試験を行った場合，外装樹脂の酸化劣化が殆ど発生せず，破断伸びは試験前と後で共に１１０％と変化が殆どなかった。
【００４７】
（実施例６）
本例の圧電アクチュエータ１は，図１０に示すごとく，二層構造の外装樹脂２５を有し，内側層２５２はエポキシ，外側層２５１は酸化劣化防止剤の酸化鉄を含有したシリコーンよりなる。その他詳細は実施例１と同様の構成である。
【００４８】
内側層２５２はエポキシよりなるため，ヤング率が低く，圧電体素子２との密着性に優れ，圧電体素子２の伸縮に対する追従性に優れている。外側層２５１は酸化劣化防止剤を含んだシリコーンであるため，酸化劣化し難い。さらに，酸素は外側層２５１の酸化劣化防止剤によって不活性化されるため，内側層２５２の酸化劣化を防止することができる。
また，内側層２５２をシリコーンより構成し，外側層２５１を酸化劣化防止剤の酸化鉄を含むシリコーンで構成した場合も，上述と同じ効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１における，圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【図２】実施例１における，圧電層と内部電極層との平面図。
【図３】実施例１における，図２にかかる圧電層と隣接して積層する圧電層と内部電極層との平面図。
【図４】実施例１における，圧電体素子の斜視展開説明図。
【図５】実施例１における，外部電極として樹脂被覆リード線を用いた圧電アクチュエータの説明図。
【図６】実施例２における，Ｏリングで挿通穴を密閉した密閉容器を有する圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【図７】実施例３における，グロメットで挿通穴を密閉した密閉容器を有する圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【図８】実施例４における，上板及び下板と金属ケースとの間をＯリングで密閉した気密容器を有する圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【図９】実施例４における，上板及び下板と金属ケースとの間をシール材で密閉した気密容器を有する圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【図１０】実施例６における，二層構造の外装樹脂を有する圧電体素子を備えた圧電アクチュエータの縦断面説明図。
【符号の説明】
１．．．圧電アクチュエータ，
２．．．密閉容器，
２１，２２．．．圧電層，
２０１，２０２．．．外側，
２１０，２２０．．．内部電極層，
２５．．．外装樹脂，
２５１．．．外側層，
２５２．．．内側層，
【図１】
0003900918.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003900918.tif 000004
【図４】
0003900918.tif 000005
【図５】
0003900918.tif 000006
【図６】
0003900918.tif 000007
【図７】
0003900918.tif 000008
【図８】
0003900918.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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