(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
台車上にフレームが立設されてなる把持搬送装置本体と、この把持搬送装置本体のフレームに沿って昇降可能に設けられる把持部移動機構と、この把持部移動機構に設けられ、大径の石英炉芯管と小径の石英炉芯管を把持する把持機構とを備えた石英炉芯管の把持搬送装置において、
前記把持機構は、大径の石英炉芯管と小径の石英炉芯管を把持する把持部と、この把持部によって前記石英炉芯管を把持した状態で前記把持部を回転させる回転機構と、前記石英炉芯管を把持した前記把持部を前方へと移動させる伸縮部とを備え、
前記把持部は、伸縮部に回転機構を介して設けられるブラケットと、このブラケットの両端部に一端が枢着される把持部用アームと、この把持部用アームの他端に枢着される大径の石英炉芯管を把持する大径用把持アームと、この大径用把持アームの内側に枢着される小径の石英炉芯管を把持する小径用把持アームとを有し、前記把持部用アーム間の距離を調節する調節機構により石英炉芯管を把持するように構成されていることを特徴とする石英炉芯管の把持搬送装置。
【請求項２】
把持部用アーム間の距離を調節する前記調節機構は、ブラケットの両端部に一端が枢着される把持部用アーム間に設けられたネジシャフトと、このネジシャフトの回転によってネジシャフトの軸方向に移動するスライダと、このスライダの側面に一端部が接するバネと、このバネの他端部が接するバネ押えと、このバネ押えの外周に形成されたネジ部に螺合すると共に把持部用アームに対して揺動自在に形成され前記スライダ及びバネを収納するバネボックスとからなることを特徴する請求項１に記載された石英炉芯管の把持搬送装置。
【請求項３】
前記調節機構には、石英炉芯管の把持力を確認するための把持力確認手段が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された石英炉芯管の把持搬送装置。
【請求項４】
前記調節機構には、石英炉芯管の把持力が一定値以上になることを規制する把持力規制手段が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された石英炉芯管の把持搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、石英炉芯管の把持搬送装置に関し、さらに詳しくは、石英炉芯管を把持すると共に、把持した石英炉芯管を搬送することができる石英炉芯管の把持搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハの熱処理工程で熱処理炉に用いられる炉芯管は、ウエハの汚染を防止する観点から、不純物質の少ない石英製のものが多く用いられている。
また、熱処理工程において用いられる炉芯管は、種々のガスを炉芯管内に供給してウエハに対して熱処理を施すため、炉芯管には数種類の細管が取り付けられている。
【０００３】
これら細管の炉芯管への取付けは、酸水素ガスバーナを使用して人手によって溶着されるのが一般的である。また、細管は、供給されるガスの種類毎によっても異なり、その細管の取付け位置も異なることから、適宜、炉芯管を縦置きから９０°回転させて横置きに変更しながら溶着作業が行われる。
また、前記溶着作業によって炉芯管には熱歪みが生ずるため、前記熱歪みを緩和すべく、細管溶着後にアニール炉内に炉芯管を挿入して、熱処理を施している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように細管の溶着作業時に、炉芯管を縦置きから９０°回転させて横置きに変更する際、その炉芯管の向きの変更は作業者が人手により行う。そのため、その作業者の手袋、作業服等が炉芯管に接触すると、その接触部分が炉芯管に接触痕として残り、炉芯管の失透の原因となっていた。
また、炉芯管に細管を溶着する作業場とアニール炉との間の炉芯管の搬送、アニール炉での熱処理後の炉芯管の搬送においても、炉芯管を作業者の人手で行っているため、前記細管の溶着作業における炉芯管の向きの変更と同様、作業者の手袋、作業服等が炉芯管に接触する危険があった。
【０００５】
更に、炉芯管は滑り易く、搬送中に作業者が炉芯管を落下させて破損させてしまうことがあった。また、アニール炉での熱処理後にあっては、炉芯管は約５００℃の高温となっているため、作業者に火傷の虞れがあった。
更にまた、近年、炉芯管が大型化する傾向にあり、作業者２名以上での作業が余儀なくされ、上記の弊害が一層生ずることとなった。
【０００６】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、炉芯管に細管を溶着する作業時に炉芯管の向きを容易に変更することができ、しかも炉芯管に触れることなく搬送することができる石英炉芯管の把持搬送装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を達成するために成された本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置は、台車上にフレームが立設されてなる把持搬送装置本体と、この把持搬送装置本体のフレームに沿って昇降可能に設けられる把持部移動機構と、この把持部移動機構に設けられ、大径の石英炉芯管と小径の石英炉芯管を把持する把持機構とを備えた石英炉芯管の把持搬送装置において、前記把持機構は、大径の石英炉芯管と小径の石英炉芯管を把持する把持部と、この把持部によって前記石英炉芯管を把持した状態で前記把持部を回転させる回転機構と、前記石英炉芯管を把持した前記把持部を前方へと移動させる伸縮部とを備え、前記把持部は、伸縮部に回転機構を介して設けられるブラケットと、このブラケットの両端部に一端が枢着される把持部用アームと、この把持部用アームの他端に枢着される大径の石英炉芯管を把持する大径用把持アームと、この大径用把持アームの内側に枢着される小径の石英炉芯管を把持する小径用把持アームとを有し、前記把持部用アーム間の距離を調節する調節機構により石英炉芯管を把持するように構成されていることを特徴としている。
【０００８】
ここで、把持部用アーム間の距離を調節する前記調節機構は、ブラケットの両端部に一端が枢着される把持部用アーム間に設けられたネジシャフトと、このネジシャフトの回転によってネジシャフトの軸方向に移動するスライダと、このスライダの側面に一端部が接するバネと、このバネの他端部が接するバネ押えと、このバネ押えの外周に形成されたネジ部に螺合すると共に把持部用アームに対して揺動自在に形成され前記スライダ及びバネを収納するバネボックスとからなることが望ましい。
【０００９】
また、前記調節機構には、石英炉芯管の把持力を確認するための把持力確認手段を設けられていることが好ましい。さらに、前記調節機構には、石英炉芯管の把持力が一定値以上になることを規制する把持力規制手段を設けられていることが好ましい。
更に、前記大径用把持アーム及び小径用把持アームの両端部には、把持用ローラが取り付けられていることが好ましい。また、前記把持用ローラのローラ面には、アラミド繊維またはケブラ布を巻つけ、あるいは層状に貼付けられていることが好ましい。
【００１０】
また、前記把持部には、下支え固定部材を介して炉芯管落下防止用の炉芯管下支えが設けられていることが好ましい。
更に、前記炉芯管下支えが石英炉芯管と接触する部分には、カーボン板が設けられていることが好ましい。
【００１１】
本発明は、以上のように構成されていることから、炉芯管に細管を溶着する作業時に炉芯管の向きを容易に変更することができ、作業者の手袋、作業服等が炉芯管に接触することがなく、炉芯管の失透の原因を除去することができる。また、従来のように搬送中に作業者が炉芯管を落下させて破損させてしまうこともなく。また、アニール炉での熱処理後にあっても、作業者に火傷の虞れはない。更にまた、作業は作業者１名で容易に行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
尚、図１は本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の側面図であって、把持機構の移動前の状態を仮想線で示し、移動後の状態を実線で示している。また、図２は図１に示した本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の正面図であって、図３は図１のＡ−Ａ断面図、図４は本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の把持機構の側面を示した一部断面図である。更に、図５はバネボックスの断面図である。
【００１３】
図に示すように、１は本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置を示し、前記石英炉芯管の把持搬送装置１は、床面を移動可能に構成された把持搬送装置本体１０と、前記把持搬送装置本体１０に昇降可能に設けられる把持部移動機構２０と、前記把持部移動機構２０に設けられ、石英炉芯管を把持する把持機構３０とにより構成されている。
【００１４】
まず、把持搬送装置本体１０は、自由に回転する自由車輪１２と、自由な回転を規制できる固定車輪１２ａとを下面に有する台車１１に、門型のフレーム１３が立設されて構成されている。尚、前記固定車輪１２ａは、把持搬送装置本体１０を固定して使用するときに用いるものであり、４輪中に少なくとも１輪が固定車輪１２ａであれば、台車を固定するという目的を達成することができる。
また、前記フレーム１３の長手方向外側の両側面から台車１１の間には、石英炉芯管の把持搬送装置を移動する際に作業者が把持する取手１４が左右に設けられている。
【００１５】
更に、前記フレーム１３の長手方向（高さ方向）には、後述する把持機構３０が把持部移動機構２０によって昇降可能に設けられている。
前記把持部移動機構２０には、側面視上（図１において）、前記フレーム１３を左右で挟む昇降用車輪２２、２２が把持部移動機構本体２１の上部と下部に設けられている。この昇降用車輪２２、２２により、把持部移動機構２０はフレーム１３に沿って移動することができる。
【００１６】
また、把持部移動機構本体２１の上部には上側チェーン固定部２３、下部には下側チェーン固定部２４が設けられ、後述するチェーン２５の端部が取付けられている。即ち、前記上側チェーン固定部２３に一端が取付けられたチェーン２５は、把持搬送装置本体１０の上部及び下部に設けられたスプロケット１５，１６を介して把持部移動機構２０の下側チェーン固定部２４に取付けられている。
更に、把持搬送装置本体１０の下部に設けられたスプロケット１６は、昇降用ハンドル１７を回すことによってギヤボックス１８内のベベルギヤ１９を介して回転できるように構成されている。
このように構成することによって、昇降用ハンドル１６を回すことによってベベルギヤ１９を介してスプロケット１６が回転してチェーン２５を駆動し、前記チェーン２５の移動に伴って、把持部移動機構２０を昇降させることができる。
【００１７】
なお、把持搬送装置本体１０のフレーム１３の上部及び下部には、その把持部移動機構２０の上昇あるいは下降の限界を設定するストッパ１３ａ、１３ｂが設けられている。また、昇降用車輪２２及びチェーン２５の周囲には、作業者を保護するために、安全カバー２２ａ、２５ａが設けられている。
【００１８】
次に、把持機構３０について説明する。
この把持機構３０は、石英炉芯管Ｗを把持する把持部３１と、この把持部３１を石英炉芯管Ｗが把持された状態で回転させる回転機構３２と、把持部３１によって把持された石英炉芯管Ｗを前方へと移動させる伸縮部３３とから構成されている。
まず、伸縮部３３は、図３に示すように把持部移動機構本体２１に設けられたブラケット２１ａの両端にリンク３３ａ、３３ａの一端が枢着され、このリンク３３ａ、３３ａの他端にリンク３３ｂが枢着されて第１の平行リンク３３１を構成している。これらリンク３３ａ、３３ａ、３３ｂが接続される枢着点には、更に、リンク３３ｃ、３３ｃの一端が枢着され、このリンク３３ｃ、３３ｃの他端がブラケット３３ｄに枢着されて第２の平行リンク３３２を構成している。
【００１９】
このように構成することによって、図３に示すように、第１の平行リンク３３１と第２の平行リンク３３２との枢着点で屈曲することができるパンタグラフ構造となり、後述する把持部３１によって把持された石英炉芯管Ｗを前方へと移動させることができる。
なお、ブラケット２１ａの上部には、端部に貫通孔を有する板状部材２１ｂが取り付けられている。またブラケット３３ｄには貫通孔３３ｅが形成され、平行リンクの屈折時に、板状部材２１ｂの貫通孔２１ｃとブラケット３３ｄの貫通孔３３ｅにリンク固定ストッパ２１ｄを挿入することにより、平行リンクを固定、言い換えれば、パンタグラフが開かないように固定することができる。
【００２０】
また、リンク３３ｃ、３３ｃの他端が枢着されるブラケット３３ｄの中央部には、アーム回転軸３２ａが取り付けられ、このアーム回転軸３２ａには軸受け３２ｂを介してを把持部３１のブラケット３１ａが取り付けられて回転機構３２を構成している。
また、ブラケット３１ａ，３３ｄには、図４に示すように、それぞれ板状部材３１ｂ、３２ｄが相対する面に取り付けられている。また、この２枚の板状部材３１ｂ、３２ｄにはそれぞれ貫通孔が形成され、把持部３１に把持された石英炉芯管Ｗが縦及び９０°回転して横となった状態で、これら貫通孔にアーム固定用ストッパ３２ｅを挿入することにより、把持部３１を固定することができるようになっている。
【００２１】
更に、ブラケット３１ａの両端部には２本の把持部用アーム３１ｃ、３１ｃの一端が枢着されている。この把持部用アーム３１ｃ、３１ｃは、他端で石英炉芯管Ｗを把持する関係から、図３に示すように逆ハの字形状、言い換えれば、端部に向かうに連れて２本のアーム３１ｃ、３１ｃの間の距離が広くなるように構成されている。
また、把持部用アーム３１ｃ、３１ｃの直線部分には、ネジシャフト３１ｄが設けられている。またネジシャフト３１ｄの所定位置にバネ３１ｐを収納したバネボックス３１ｆが設けられている。
【００２２】
このバネボックス３１ｆは、図５に示すように、前記把持部用アーム３１ｃに対してピン３１ｒを介して揺動自在に連結されている。このようにバネボックス３１ｆが、前記把持部用アーム３１ｃに対してピン３１ｒを介して揺動自在に連結されているため、アーム３１ｃ、３１ｃ間の距離が変化しても、ネジシャフト３１ｄを定位置に置くことができる。
また、前記バネボックス３１ｆ内に収納されたバネ３１ｐの一端は、ネジシャフト３１ｄの所定位置に配されたバネ押え３１ｓにワッシャ等の部材を介して接している。このバネ押え３１ｓの外周面にはネジ部が形成され、前記ネジ部には把持力及びアーム３１ｃ、３１ｃの開度を調整する調整部材３１ｕが噛合している。
なお、バネボックス３１ｆはバネ押え３１ｓの外周に形成されたネジ部と螺合している。このように、バネボックス３１ｆをバネ押え３１ｓの外周に形成されたネジ部と螺合させ、調整部材３１ｕに当接する位置に配することにより、バネボックス３１ｆの内部に収納されたバネ３１ｐの長さを調整することができる。
【００２３】
また、前記バネ３１ｐの他端は、前記ネジシャフト３１ｄの回転によってネジシャフト３１ｄの軸方向に移動するスライダ３１ｔの側面と接している。なお、前記バネボックス３１ｆに取り付けられた螺子３１ｖが、前記スライダ３１ｔに形成された溝に移動可能に嵌合しているため、スライダ３１ｔは、スライダ３１ｔ自体、回転することなく、ネジシャフト３１ｄの軸方向に移動する。
【００２４】
更に、前記バネボックス３１ｆにはバネのたわみ量から把持力を換算してシャフト移動距離を測定するダイヤルゲ−ジ３１ｇが固定され、ダイヤルゲ−ジ３１ｇの測定部がスライダ３１ｔの側面に接触することによって、把持部用アーム３１ｃの移動量を測定するように構成されている。前記ダイヤルゲージ３１ｇは、把持部３１の石英炉芯管Ｗに対する把持力を確認するための把持力確認手段となる。
【００２５】
このように構成されたバネボックスにあっては、予め調整部材３１ｕをバネ押え３１ｓの所定位置に移動し、把持力及びアーム３１ｃ、３１ｃの開度を調整する。前記調整部材３１ｕの調整後、前記回転ハンドル３１ｅを回すことにより、スライダ３１ｔはネジシャフト３１ｄの内側（把持部用アーム３１ｃ間が狭くなる方向）に移動する。このとき、アーム３１ｃが石英炉芯管Ｗを把持するまで、スライダ３１ｔはバネボックス３１ｆ全体を移動させる。
そして、アーム３１ｈあるいはアーム３１ｉが石英炉芯管Ｗを把持した状態において、スライダ３１ｔが更に移動すると、前記スライダ３１ｔはバネ３１ｐを圧縮する。
この圧縮力は、バネ押え３１ｓ、バネボックス３１ｆと伝わり把持力となる。
したがって、スライダ３１ｔの移動量（バネ３１ｐの圧縮長さ）をダイヤルゲージ３１ｇによって測定することによって、把持部３１の石英炉芯管Ｗに対する把持力を確認することができる。
【００２６】
なお、回転ハンドル３１ｅの内側にトルクリミッタ等の把持力が一定値以上とならないように規制する把持力規制手段を設けることもできる。また、回転ハンドル３１ｅは、作業性等の観点から、取りはずして左右どちらにも取り付けることができるように構成されていることが好ましい。この場合、図３に示すように、バネボックス３１ｆ及びダイヤルゲージ３１ｇを左右両側に設ける必要がある。
【００２７】
更に、把持部用アーム３１ｃの端部には図３に示すように、コの字形状の大径用把持アーム３１ｈが枢着されている。この大径用把持アーム３１ｈの内側には、更に弓型形状の小径用把持アーム３１ｉが枢着されている。
このため、大径用把持アーム３１ｈ及び小径用把持アーム３１ｉは、枢着点を支点として首振り可能となっている。尚、図示するように、この大径用把持アーム３１ｈは、石英炉芯管Ｗの径が比較的大きい場合に用いられ、小径用把持アーム３１ｉは炉芯管Ｗの径が比較的小さい場合に用いられる。
【００２８】
また、この大径用把持アーム３１ｈ及び小径用把持アーム３１ｉの両端部には、把持用ローラ３１ｊ、３１ｊが取り付けられている。この把持用ローラ３１ｊ、３１ｊのローラ面には、図４に示すように石英炉芯管Ｗに接触痕を残さないために、耐熱性に優れた布３１ｋが巻かれ、あるいは層状に貼付けらている。この布３１ｋとしては、アラミド繊維またはケブラ布を用いることができる。そしてこの布３１ｋは、接触痕を残さないために４ｍｍ以上の厚さをもって、把持用ローラ３１ｊ、３１ｊのローラ面に形成するのが良い。
【００２９】
また、この把持部３１には、図１に示すように下支え固定部材３１ｌを介して炉芯管Ｗの落下防止用の炉芯管下支え３１ｍが設けられている。この下支え固定部材３１ｌには回転、上下動操作をさせるための下支え操作用取手３１ｎが設けられている。さらに、炉芯管Ｗと接触する部分には、石英炉芯管Ｗに接触痕を残さないためにカーボン板３１ｏが取り付けられている。
【００３０】
次に、石英炉芯管Ｗを把持部３１により把持する動作について説明する。
まず、回転ハンドル３１ｅを回して２本の把持部用アーム３１ｃ、３１ｃ間の距離を調節する。このとき、スライダ３１ｔはネジシャフト３１ｄの内側（把持部用アーム３１ｃ間が狭くなる方向）に移動し、前記スライダ３１ｔの移動に伴いバネボックス３１ｆ全体も移動する。
そして、石英炉芯管Ｗの径が小径の場合には小径用把持アーム３１ｉにより、大径の場合には大径用把持アーム３１ｈにより石英炉芯管Ｗの周面を把持した状態において、スライダ３１ｔが更に移動すると、前記スライダ３１ｔはバネ３１ｐを圧縮する。この圧縮力は、バネ押え３１ｓ、バネボックス３１ｆと伝わり把持力となる。
この際、バネ３１ｐにはバネのたわみ量から把持力を換算するダイヤルゲージ３１ｇが取り付けられているため、回転ハンドル３１ｅを回しながら石英炉芯管Ｗに対する把持力を確認することができる。
また、トルクリミッタ等を設けている場合には、石英炉芯管Ｗに対する把持力が一定値以上になったら、それ以上ハンドル３１ｅは回転しても、石英炉芯管Ｗに必要以上の把持力が加わらず、石英炉芯管Ｗの歪み、破損を防止することができる。
更に、把持用ローラ３１ｊのローラ面には布３１ｋとして、アラミド繊維またはケブラ布が厚さ４ｍｍ程度に巻かれ、あるいは層状に貼付けられているため、石英炉芯管Ｗを把持しても接触痕が残ることがない。
【００３１】
次に、本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置１を用いて、石英炉芯管Ｗに細管を取り付ける作業、及びアニール炉への石英炉芯管Ｗを搬送する作業について説明する。
まず、把持搬送装置本体１０に設ける固定車輪１２ａで把持搬送装置１を固定した後、昇降ハンドル１７により、把持部３１によって把持された石英炉芯管Ｗの高さを作業の行い易い所定位置に調節して、細管の溶着作業を行う。溶着作業においては、上述したように石英炉芯管を横置きにして溶着作業を行う場合があるため、下支え操作用取手３１ｎにより把持部３１を９０°回転させて、石英炉芯管Ｗを横向きにして作業を行う。そのため、人手によって石英炉芯管Ｗを横置きにして作業を行う従来の場合に比べ、作業者の手袋、作業服等が炉芯管に接触することがなく、その接触部分が炉芯管に接触痕として残り、炉芯管の失透の原因となることはない。
なお、作業において、石英炉芯管Ｗを把持した把持部３１が回転機構３２により自由に回転してしまうことを防止するため、アーム固定用ストッパ３２ｅにより固定する。
【００３２】
石英炉芯管Ｗへの細管の溶着作業が終了したら、把持搬送装置本体１０に設けられる取手１４を持ち、石英炉芯管Ｗをアニール炉まで搬送する。
ここで、アニール炉では、石英炉芯管Ｗの比較的強度の高いフランジ側を下面とした縦置きとするため、アーム操作用取手３１ｂ又は下支え操作用取手３１ｎにより把持部３１を回転させ、石英炉芯管Ｗのフランジ側が下面となるようにした後、搬送する。
そして、アニール炉の床面の高さに合わせて、昇降ハンドル１７を回すことにより、把持部移動機構２０を昇降させ、床面から石英炉芯管Ｗの位置を調節する。
搬送の後、アニール炉内へ石英炉芯管Ｗを挿入し、回転ハンドル３１ｅを回して石英炉芯管Ｗの把持を解除し、熱処理を開始する。
【００３３】
また、アニール炉内の炉芯管の設置位置と把持搬送装置本体１０との距離がある場合には、アーム操作用取手３１ｂを炉芯管の設置位置の方向へと押すことにより、伸縮部３３が伸長して、アニール炉内へ石英炉芯管Ｗを挿入し設置することができる。この際、伸縮部３３は、縮時にリンク固定ストッパ２１ｃにより固定されているため、固定状態を解除する必要がある。
そして、熱処理が終了したら、上述と同様にして、把持部３１によりアニール炉内の石英炉芯管Ｗを把持し、把持搬送装置１を後退させ、所定位置へと石英炉芯管Ｗを搬送して作業を終了する。
【００３４】
尚、上記実施形態においては、石英炉芯管の把持に際し、回転ハンドルを手動により回転させる構成のものについて説明したが、これはモータによってネジシャフトを回転させ、圧縮バネのバネ長さを変化させる構成のものであっても良い。
また、把持力の測定に際しては、バネのたわみ量から換算して測定しているが、把持部用アームの先端部にロードセルを設けたものであっても良い。
【００３５】
【発明の効果】
本発明による石英炉芯管の把持搬送装置は、台車上にフレームが立設されてなる把持搬送装置本体と、この把持搬送装置のフレームに沿って昇降可能に設けられる把持部移動機構と、この把持部移動機構に設けられ、石英炉芯管を把持する把持機構とを有し、従来のように人手により石英炉芯管を搬送することによる弊害を防止することができる。
また、前記把持機構は、石英炉芯管を把持する把持部と、この把持部によって炉芯管が把持された状態で把持部を回転させる回転機構と、石英炉芯管を把持した把持部を前方へと移動させる伸縮部とにより構成されているため、回転機構により、把持部によって把持した石英炉芯管を縦、横向きに９０°回転させることができると共に、把持搬送装置が石英炉芯管に近づけない状況であっても伸縮部により炉芯管を把持することができる。
【００３６】
また把持部は、伸縮部に回転機構を介して設けられるブラケットと、このブラケットの両端部に枢着ピンを介して設けられる把持部用アームと、この把持部アームの他端に枢着される大径の石英炉芯管を把持する大径用把持アームと、この大径用把持アームの内側に枢着される小径の石英炉芯管を把持する小径用把持アームとを備えているとともに、前記把持部アーム間の距離を調節する調節機構を備えているため、石英炉芯管を適切に把持することができ、また径の異なる石英炉芯管にも対応することができる。
さらに、調節機構には把持力確認手段を設けることにより、炉芯管の把持力を確認することができる。さらにまた、調節機構に把持力規制手段を設けることにより、石英炉芯管に対する把持力が一定値以上になった場合に把持力を規制することができる。
【００３７】
また、大径用把持アーム及び小径用把持アームの端部には、把持用ローラが取り付けられ、把持用ローラのローラ面には、アラミド繊維またはケブラ布を層状に巻かれ、あるいは貼付けられているため、石英炉芯管に接触痕が残ることがない。
さらに、把持部には、下支え固定部材を介して炉芯管落下防止用の炉芯管下支えが設けられ、炉芯管下支えが炉芯管と接触する部分には、カーボン板が設けられているため、炉芯管が把持部から落下することを防止できると共に、石英炉芯管に接触痕が残ることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の実施形態を示す側面図である。
【図２】図２は、本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の実施形態を示す正面図である。
【図３】図３は、図１のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図４は本発明にかかる石英炉芯管の把持搬送装置の把持機構の側面を示した一部断面図である。
【図５】図５はバネボックスの断面図である。
【符号の説明】
１    把持搬送装置
１０  把持搬送装置本体
１１  台車
１２  自由車輪
１２ａ  固定車輪
１４  取手
１５、１６  スプロケット
１７  昇降用ハンドル
２０  把持部移動機構
２１  把持部移動機構本体
２２  昇降用車輪
２３  上部チェーン固定部
２４  下部チェーン固定部
２５  チェーン
３０  把持機構
３１  把持部
３２  回転機構
３３  伸縮部
【図１】
0003865514.tif 000002
【図２】
0003865514.tif 000003
【図３】
0003865514.tif 000004
【図４】
0003865514.tif 000005
【図５】
0003865514.tif 000006