(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットを隔てて互いに対向する一対のノズルブレードを備えた電気絶縁材料からなるノズルヘッドを設け、前記スリット内に１枚の導電材料からなるシムを前記一対のノズルブレードの内側に接触して配置すると共にこのシムの両側にエッチング加工されて互いに深さの異なる表面と前記各ノズルブレードの表面との間にそれぞれ被塗装体に向けて液体を吐出すべく、各吐出口の先端に一つのメニスカスを形成せしめる吐出流路群を設け、この各吐出流路群に連通する液体供給路を設けると共に各液体供給路に供給する液体供給量を制御する制御装置を設け、前記シムに被塗装体とは逆極性の電圧を印加する電極を設けてなり、前記シムの両面側の吐出流路群のうちの深さが小さい一方が少量塗布用吐出流路群で、深さが大きい他方が大量塗布用吐出流路群であることを特徴とする静電型液体塗布装置。
【請求項２】
前記各吐出流路群を、被塗装体における所要塗布幅に応じて予め選択されたグループに属する吐出流路群から液体を吐出すべく、各種塗布幅に対応する複数のグループに区分して設けてなることを特徴とする請求項１記載の静電型液体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電型液体塗布装置に関し、特に、油等の塗布液体を静電気の作用下で各種の被塗装体の表面に向けて噴霧して均等に塗布するための、静電型液体塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば図５に示されているように、従来の静電型液体塗布装置１０１においては、一対のノズルブレード１０３Ａと１０３Ｂとの間に形成されたスリット内に１枚のシム１０５が電極として配置されたノズルヘッド１０７が備えられている。ノズルブレード１０３Ａ、１０３Ｂは電気絶縁材料製であり、シム１０５は導電材料製である。
【０００３】
また、シム１０５の表面とノズルブレード１０３Ａ又は１０３Ｂの隣接表面との間には、被塗装体１０９に向けて吐出すべき液体の液体流路群１１１が形成されている。この液体流路群１１１は、例えばシム１０５の片面にエッチング加工されている。なお、上記の液体流路群１１１には液体を供給するための液体供給口１１３が連通されている。
【０００４】
また、被塗装体１０９は接地されており、正電位を有する。そのため、負電位の直流高電圧（−６０〜−７０ｋＶ前後）が電源コネクタ１１５を介してシム１０５に印加されると、液体供給口１１３から供給される液体は液体流路群１１１内を通過する間に瞬時に帯電するので、同一極性の電荷が互いに反発することとなる。この結果、液体が均一粒径の微粒子として霧化され、ノズルヘッド１０７の先端から被塗装体１０９に向けて均等に噴霧される。
【０００５】
一例として、ノズルヘッド１０７の先端と被塗装体１０９との間隔を約１７５〜３５０ｍｍとした典型的な配置において、被塗装体１０９の上における液体の拡散幅Ａは、シム１０５と直交する方向に見て約１２０〜１３０ｍｍとなる。
【０００６】
また、図６に示されているように、従来の他の静電型液体塗布装置１１７においては、一対の電気絶縁材料製の外側ブレード１１９Ａと１１９Ｂとの間に形成されたスリット内に少なくとも２枚の導電材料製のシム１２１Ａ、１２１Ｂが内側ブレード１２３を介在させた状態で配置されており、各シム１２１Ａ、１２１Ｂに互いに同一極性の電圧を印加するように構成されたノズルヘッド１２５が設けられている。
【０００７】
また、外側ブレード１１９Ａ、１１９Ｂと内側ブレード１２３との間に配置された各シム１２１Ａ、１２１Ｂと隣接する外側ブレード１１９Ａ、１１９Ｂとの間に形成する液体流路群１２７Ａ，１２７Ｂから、油等の液体が被塗装体１０９に向けて吐出される構成である。各液体流路群１２７Ａ，１２７Ｂは、例えば各シム１２１Ａ、１２１Ｂの片面にそれぞれエッチング加工されている。なお、上記の各液体流路群１２７Ａ，１２７Ｂにはそれぞれ、液体を供給するための液体供給口１２９Ａ，１２９Ｂが連通されている。
【０００８】
静電型液体塗布装置１１７は、前述した静電型液体塗布装置１０１の場合と同様に、被塗装体１０９は接地されて正電位を有するので、シム１２１Ａ、１２１Ｂに電源コネクタ１３１を介して負電位の直流高電圧（−６０〜−７０ｋＶ前後）が印加されると、液体が各液体流路群１２７Ａ，１２７Ｂ内を通過する間に瞬時に帯電し、同一極性の電荷が互いに反発するために液体が均一粒径の微粒子として霧化され、ノズルヘッド１２５の先端から被塗装体１０９に向けて噴霧される。
【０００９】
その結果、ノズルヘッド１２５の先端と被塗装体１０９との間隔が前述した場合と同様に約１７５〜３５０ｍｍとした場合、シム１２１Ａ、１２１Ｂと直交する方向に見て被塗装体１０９における液体の拡散幅Ａは約３５０〜５００ｍｍとなる。
【００１０】
なお、上述した構成に係る既知の静電型液体塗布装置１０１，１１７は、油圧、空気圧等の圧力源や機械的要素を必要とせず、もっぱら静電原理に基づいて液体を被塗装体１０９に向けて吐出するため、スリット型ノズルにおいて不可避的と考えられていたオリフィスの目詰まりが発生せず、被塗装体に対する高い塗布効率および塗布精度を達成し得る利点を発揮するものとして広く実用に供されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前者の従来の静電型液体塗布装置１０１においては、同一ライン上で多種類の製品を生産する場合、特に多種少量生産に際しては、各種製品毎に最適の液体塗布量が相違することが一般的である。塗布量は液体の塗布幅を制御すれば変化できるが、例えば一定塗布幅を維持した状態で塗布量のみを広範囲に変化させることは、少なくとも塗布装置の単体使用時では困難である。
【００１２】
このような要求に対しては生産ラインに沿って複数台の塗布装置を配列し、塗布量の変化に応じて所要台数の塗布装置を作動させることで対処している。この場合には、塗布装置の間隔は高電圧印加時の放電を確実に回避するに必要かつ十分な値（例えば１００〜２００ｍｍ程度）に設定される必要があるので、システム全体の小型化が困難であるという問題点があった。
【００１３】
一方、後者の静電型液体塗布装置１１７の場合は、前述したように被塗装体１０９における液体の拡散幅Ａが大きくなるとしても、シム１２１Ａ、１２１Ｂの吐出流路群から、つまり２つのメニスカスから噴霧される液体微粒子が同一極性の電荷を有しているので、液体がノズルヘッド１２５の先端の２つのメニスカスから吐出された直後から互いに反発しあって拡がりつつ噴霧される。そのために、図６に示されているように塗布される範囲の中心部は両側に比較して塗布量が少なくなるという問題点があった。
【００１４】
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、その目的は、１つのノズルブレードで、極少塗布から大量塗布を均等な状態で行い得る静電型液体塗布装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１によるこの発明の静電型液体塗布装置は、スリットを隔てて互いに対向する一対のノズルブレードを備えた電気絶縁材料からなるノズルヘッドを設け、前記スリット内に１枚の導電材料からなるシムを前記一対のノズルブレードの内側に接触して配置すると共にこのシムの両側にエッチング加工されて互いに深さの異なる表面と前記各ノズルブレードの表面との間にそれぞれ被塗装体に向けて液体を吐出すべく、各吐出口の先端に一つのメニスカスを形成せしめる吐出流路群を設け、この各吐出流路群に連通する液体供給路を設けると共に各液体供給路に供給する液体供給量を制御する制御装置を設け、前記シムに被塗装体とは逆極性の電圧を印加する電極を設けてなり、前記シムの両面側の吐出流路群のうちの深さが小さい一方が少量塗布用吐出流路群で、深さが大きい他方が大量塗布用吐出流路群であることを特徴とするものである。
【００１６】
したがって、シムの両面側に吐出流路群を設けたので、２つの吐出流路群から吐出される液体量を少量から大量までコントロールすることが可能となり、拡散幅も小から大まで容易にコントロールされる。しかも、２つの吐出流路群から液体が一対のノズルブレード間で各吐出口の先端に形成される一つのメニスカスから噴霧されるので、中心部の塗布量が少なくならずに均等に噴霧される。システム全体をコンパクトに構成することが可能となる。また、前記シムの両側の表面にエッチング加工されて深さが異なる前記各吐出流路群が形成されているので、液体の塗布量が高精度かつ高効率で行われる。さらに、１つのノズルブレードで、極少塗布から大量塗布を高精度かつ高効率で行うことが容易となる。
【００１７】
請求項２によるこの発明の静電型液体塗布装置は、請求項１記載の静電型液体塗布装置において、前記各吐出流路群を、被塗装体における所要塗布幅に応じて予め選択されたグループに属する吐出流路群から液体を吐出すべく、各種塗布幅に対応する複数のグループに区分して設けてなることを特徴とするものである。
【００１８】
したがって、被塗装体における所要塗布幅に応じた塗布が容易に行われる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の静電型液体塗布装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２０】
図１を参照するに、本実施の形態に係わる静電型液体塗布装置１は、一対のノズルブレード３とノズルブレード５との間に形成されたスリット７内に１枚のシム９が電極として配置されたノズルヘッド１１が備えられている。ノズルブレード３，５は例えば絶縁性プラスチックなどの電気絶縁材料製であり、シム９は厚さが例えば０．７ｍｍ程度のステンレス鋼シートなどからなる導電材料製である。
【００２１】
ノズルヘッド１１には、シム９に負電位の高電圧を印加するための電極としての例えば電源コネクタ１３を構成するコネクタピン１５がノズルブレード３又は５の側面から突出するように設けられている。
【００２２】
また、シム９の両側の表面とノズルブレード３，５の隣接表面との間には、被塗装体１７に向けて液体を吐出すべき吐出流路群としての例えば液体流路群１９，２１が形成されている。つまり、シム９の図１において左側の表面とノズルブレード３の隣接表面との間には液体流路群１９が形成されており、シム９の図１において右側の表面とノズルブレード５の隣接表面との間には液体流路群２１が形成されている。これらの各液体流路群１９，２１は、例えばシム９の両側の表面にエッチング加工されている。また、上記の各両側の液体流路群１９，２１にはそれぞれ液体を供給するための液体供給口２３，２５が連通されている。
【００２３】
例えばシム９としては、図１において左側の表面には大量塗布用の液体流路群１９が例えば０．２５ｍｍ程度の深さＣでエッチング形成されており、この大量塗布用の液体流路群１９に液体を供給する液体供給口２３には大量塗布用液体量を供給可能な大量塗布用液圧回路２７が連通されている。また、シム９の図１において右側の表面に極少塗布用の液体流路群２１が例えば０．１５ｍｍ程度の深さＤでエッチング形成されており、この極少塗布用の液体流路群２１に液体を供給する液体供給口２５には極少塗布用の液体量を供給可能な極少塗布用液圧回路２９が連通されている。
【００２４】
上記のシム９並びに各液体流路群１９，２１についてより詳しく説明する。図２（Ａ），（Ｂ）におけるシム３１は、本発明による静電型液体塗布装置に好適に使用できるシム９の一つの実施の形態を示すもので、シム３１の両面に油だめ３３と液体流路群３５，３７とがエッチング加工された金属シート、例えばステンレス鋼のシートから構成されている。
【００２５】
図２（Ａ）はシム３１の一方の表面に大量塗布用の液体流路群３５が形成された正面図を示すものであり、シム３１の他方の表面に形成される極少塗布用の液体流路群３７も同様の形状である。なお、図２（Ｂ）はシム３１を油だめ３３並びに液体流路群３５，３７に沿った断面を拡大した状態の縦断面図である。
【００２６】
図２（Ａ），（Ｂ）を参照して大量塗布用の液体流路群３５について説明すると、油だめ３３は塗布装置の液体供給口２３に連通する。液体流路群３５は油だめ３３から延在するものであり、下流側に向けて多段階的に二股分岐した倍増形態で配置されている。図示例では５段階に分岐させるため、油だめ３３に直結した２本の流路が最終的には３２本の流路に分割されている。最下流の両端に位置する流路の間隔は液体の塗布輻Ｗに対応するものであり、例えば５０ｍｍ程度とすることができる。
【００２７】
なお、シム３１における油だめ３３の両側に形成された比較的大きな円形開口部３９は、塗布装置全体の支持ブラケット等に対する固定ボルトを通すものである。また、シム３１の外縁部および液体流路群３５の隣接領域で各所に配置された比較的小さい小判型の開口部４１は、シム３１と隣接するノズルブレード３との間の液密性を維持しつつ装置を組立てるための止めねじを通すものである。
【００２８】
上記のように形成された液体流路群３５，３７の最終的な流路の吐出口４３，４５は四角形状をなしており、大量塗布用では例えば流路幅０．７５ｍｍ×深さ０．２５ｍｍであり、極少塗布用では例えば流路幅０．３ｍｍ×深さ０．１５ｍｍである。
【００２９】
再び図１を参照するに、大量塗布用液圧回路２７は、塗布すべき油などの液体が液体モータ４７により回転駆動される液体ポンプ４９により液体タンク５１から液体供給管路５３を経て液体供給口２３へ供給される際に、液体供給管路５３の途中に設けた可変型流量制御弁５５により液体の流量が調整されるように構成されている。なお、液体ポンプ４９と可変型流量制御弁５５との間の液体供給管路５３にはこの管路５３を開閉せしめる電磁弁５７と流体ポンプ４９の流体圧力を一定に保つためのリリーフ弁５９が介設されている。
【００３０】
また、極少塗布用液圧回路２９は、塗布すべき油などの液体が上記の液体モータ４７により回転駆動される液体ポンプ４９により液体タンク５１から液体供給管路６１を経て液体供給口２５へ供給される際に、液体供給管路６１の途中に設けた可変型流量制御弁６３により液体の流量が調整されるように構成されている。なお、液体ポンプ４９と可変型流量制御弁６３との間の液体供給管路６１にはこの管路６１を開閉せしめる電磁弁６５が介設されている。
【００３１】
また、上記の液体モータ４７、可変型流量制御弁５５，６３及び電磁弁５７，６５はそれぞれ制御装置６９により制御されるように構成されている。なお、上記の液体供給管路５３，６１には共通の液体ポンプ４９により液体を供給しているが、他の例として各液体供給路５３，６１にはそれぞれ別の液体ポンプにより液体を供給するように構成してもよい。この場合は各管路５３，６１を開閉せしめる電磁弁を設けなくても構わない。
【００３２】
上記構成により、被塗装体１７は接地されており、正電位を有する。そのため、負電位の直流高電圧（−６０〜−７０ｋＶ前後）が電源コネクタ１３を介してシム９に印加されると、例えば大量塗布用液圧回路２７で制御装置６９により電磁弁５７をＯＮせしめ、液体ポンプ４９及び可変型流量制御弁５５により大量の液体が制御装置６９により制御されて液体供給管路５３を経て液体供給口２３へ供給され、この液体供給口２３から供給される液体はシム９の大量塗布用側の液体流路群１９内を通過する間に瞬時に帯電するので、同一極性の電荷が互いに反発することとなる。この結果、液体が均一粒径の微粒子として霧化され、ノズルヘッド１１の先端から被塗装体１７に向けて均等に噴霧される。
【００３３】
極少塗布用液圧回路２９でも同様であり、制御装置６９により電磁弁６５をＯＮせしめ、液体ポンプ４９及び制御装置６９にて制御される可変型流量制御弁６３により極少量の液体が液体供給管路６１を経て液体供給口２５へ供給され、この液体供給口２５から供給される液体はシム９の極少塗布用側の液体流路群２１内を通過する間に瞬時に帯電するので、同一極性の電荷が互いに反発することとなる。この結果、液体が均一粒径の微粒子として霧化され、ノズルヘッド１１の先端から被塗装体１７に向けて均等に噴霧される。
【００３４】
なお、可変型流量制御弁５５，６３及び電磁弁５７，６５が制御装置６９により制御されることにより、上記のシム９の大量塗布用側と極少塗布用側の液体流路群１９，２１のうちの一方の液体流路群１９又は２１のみから液体を噴射することも、あるいは大量塗布用側と極少塗布用側の両方の液体流路群１９，２１から液体を噴射することもできるので、ノズルブレード３，５間で前記各吐出口４３、４５の先端に形成される一つのメニスカスに極少から大量の液体を噴射することが可能となる。
【００３５】
大量塗布用側と極少塗布用側の両方の液体流路群１９，２１から液体が吐出されるときであっても、液体が一つのメニスカスから噴射されるので、図１に示されているように同一極性の電荷に帯電した均一粒径の微粒子が互いに反発しあって霧化状態となってノズルヘッド１１の先端から被塗装体１７に向けて真下に均等に噴霧される。被塗装体１７の上における液体の拡散幅Ａは液体の噴射量に応じて均等に拡がることとなる。
【００３６】
したがって、従来の塗布装置のように２つのメニスカスから噴射されるときのように塗布幅Ａの中心部が両側に比して塗布量が少なくなるという現象が生じることなく、しかも液体の噴射量を極少から大量に制御することにより上記の拡散幅Ａを自在にコントロールすることが可能となる。
【００３７】
図３（Ａ），（Ｂ）を参照するに、シム７１は、本発明による静電型液体塗布装置に好適に使用できるシム９の他の実施の形態を示すもので、シム７１の両面に油だめ７３Ａ，７３Ｂと液体流路群７５Ａ，７５Ｂと７７Ａ，７７Ｂとがエッチング加工された金属シート、例えばステンレス鋼のシートから構成されている。
【００３８】
図３（Ａ）はシム７１の一方の表面に大量塗布用の液体流路群７５Ａ，７５Ｂが形成された正面図を示すものであり、シム７１の他方の表面に形成される極少塗布用の液体流路群７７Ａ，７７Ｂも同様の形状である。なお、図３（Ｂ）はシム７１を油だめ７３Ａ並びに液体流路群７５Ａと７７Ａに沿った断面を拡大した状態の縦断面図である。
【００３９】
以下、大量塗布用の液体流路群７５Ａ，７５Ｂについて説明し、大量塗布用の液体流路群７７Ａ，７７Ｂについては同様であるので説明を省略する。
【００４０】
油だめ７３Ａ，７３Ｂは塗布装置のノズルブレード３における一対の液体供給口２３に連通させ、これら液体供給口２３は図１に示されているように開閉バルブ（図示省略）、マニホルド（図示省略）並びに可変型流量調整弁を介して液体ポンプ４９に接続されるものとする。
【００４１】
液体流路群７５Ａ，７５Ｂは細管抵抗として作用するものであり、その抵抗値は流路の長さに比例し、流量は長さの二乗に反比例する。液体流路群７５Ａ，７５Ｂから吐出される流体の塗布幅は、それぞれＷＡ、ＷＢである。したがって、各液体流路群７５Ａ，７５Ｂの上流側の開閉バルブを開閉することにより、シム７１の全体としての塗布幅を、被塗装体１７に応じてＷＡ，ＷＢ，ＷＡ＋ＷＢと変化させることが可能である。
【００４２】
シム７１における油だめ７３Ａ，７３Ｂの両側に形成された比較的大きな円形開口部７９は、塗布装置全体の支持ブラケット等に対する固定ボルトを通すものである。また、油だめ７３Ａ，７３Ｂの隣接領域に配置された比較的小さい円形開口部８１は、シム７１と隣接するノズルブレード３，５との間の液密性を維持しつつ装置を組立てるための止めねじを通すものである。
【００４３】
図３（Ａ），（Ｂ）における実施の形態に係るシム７１は、両面に各液体流路群７５Ａ，７５Ｂと７７Ａ，７７Ｂがエッチング加工されたので高い形状精度を有し、しかも抵抗式による均等分配方式を採用したことにより、以下のような利点が発現される。
【００４４】
先ず、形状精度が高く、しかも流路が複雑な分岐を伴わないために止めねじの総数を、例えば図２（Ａ），（Ｂ）の実施の形態と対比して約１／４程度に減少することが可能である。本発明の静電型液体塗布装置１が、例えば食品用液体ノズルとして使用される場合には、吐出すべき液体に各種の添加物が含有されているために使用時の温度条件が保守に重要な影響を及ぼすものであり、長期の使用に対して定期的に内部を清掃する必要がある。この場合、静電型液体塗布装置１における止めねじの総数が減少できれば清掃の作業能率を大幅に向上することができ、工場全体として生産性の顕著な改善となる。
【００４５】
また、抵抗式による均等分配方式は流路の長さを変化させることにより抵抗値および流量を変化させることができ、用途に応じた設計変更がきわめて容易である。
【００４６】
図４（Ａ），（Ｂ）を参照するに、シム８３は、本発明による静電型液体塗布装置１に好適に使用できるシム９のさらに他の実施の形態を示すもので、シム８３の両面に油だめ８５と液体流路群８７，８９とがエッチング加工された金属シート、例えばステンレス鋼のシートから構成されている点で、図３（Ａ），（Ｂ）の実施の形態と基本的に同一である。
【００４７】
図４（Ａ）はシム８３の一方の表面に大量塗布用の液体流路群８７が形成された正面図を示すものであり、シム８３の他方の表面に形成される極少塗布用の液体流路群８９も同様の形状である。なお、図４（Ｂ）はシム８３を油だめ８５並びに液体流路群８７，８９に沿った断面を拡大した状態の縦断面図である。
【００４８】
以下、大量塗布用の液体流路群８７について説明し、極少塗布用の液体流路群８９については同様であるので説明を省略する。
【００４９】
本実施の形態では液体流路群８７がシム８３の中央部から両側に向けて順次に配置されており、上流側の開閉バルブを適宜開閉することにより液体の塗布幅は、例えばＷ１＝２０ｍｍからＷ７＝８０ｍｍまで１０ｍｍ間隔で順次に増加させることが可能である。なお、図４（Ａ）において固定ボルトを通すための開口部９１が設けられており、止めねじを通すための開口部９３も設けられている。
【００５０】
図４（Ａ），（Ｂ）の実施の形態に係るシム８３においては、液体流路群８７，８９が各種塗布幅に対応する複数のグループに区分されており、上流側の開閉バルブを適宜開閉することにより、被塗装体１７についての所要塗布幅に応じて予め選択されたグループに属する流路群から液体を吐出することが可能である。
【００５１】
なお、この発明は前述した実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他の態様で実施し得るものである。
【００５２】
【発明の効果】
以上のごとき発明の実施の形態の説明から理解されるように、請求項１の発明によれば、シムの両面側にエッチング加工されて深さの異なる吐出流路群を設けたので、２つの吐出流路群から吐出される液体量を少量から大量までコントロールすることができ、拡散幅も小から大まで容易にコントロールできる。しかも、液体を２つの吐出流路群から吐出するとしても一対のノズルブレード間で各吐出口の先端に形成される一つのメニスカスから噴霧されるので、中心部の塗布量が少なくならずに均等に噴霧できる。したがって、システム全体をコンパクトに構成することができる。また、エッチング加工により高精度な吐出流路群を形成できるので、液体の塗布量を高精度かつ高効率で行うことができる。さらに、１つのノズルブレードで、極少塗布から大量塗布を高精度かつ高効率で容易に行うことができる。
【００５３】
請求項２の発明によれば、被塗装体における所要塗布幅に応じた塗布を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を示す静電型液体塗布装置の概略的な断面図である。
【図２】  静電型液体塗布装置に使用するシムの実施の形態を示す正面図である。
【図３】  静電型液体塗布装置に使用するシムの他の実施の形態を示す正面図である。
【図４】  静電型液体塗布装置に使用するシムの別の実施の形態を示す正面図である。
【図５】  従来の静電型液体塗布装置の概略的な断面図である。
【図６】  従来の他の静電型液体塗布装置の概略的な断面図である。
【符号の説明】
１  静電型液体塗布装置
３，５  ノズルブレード
９  シム
１１  ノズルヘッド
１３  電源コネクタ
１７  被塗装体
１９，２１  液体流路群（吐出流路群）
２３，２５  液体供給口
２７  大量塗布用液圧回路
２９  極少塗布用液圧回路
３１  シム
３３  油だめ
３５，３７  液体流路群
４９  液体ポンプ
５３  液体供給管路
５５  可変型流量制御弁
５７，６５  電磁弁
６１  液体供給管路
６３  可変型流量制御弁
６９  制御装置
【図１】
0003908450.tif 000002
【図２】
0003908450.tif 000003
【図３】
0003908450.tif 000004
【図４】
0003908450.tif 000005
【図５】
0003908450.tif 000006
【図６】
0003908450.tif 000007