(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電によりイオンを発生するイオン発生装置であって、
誘電体と、
前記誘電体上に形成された誘導電極と、
前記誘導電極との間に前記誘電体を挟み込むように、前記誘電体上に形成された複数のイオン発生電極と、
前記誘導電極との間に前記誘電体を挟み込むように、前記誘電体上に形成された磁界発生電極と、
前記誘導電極と前記イオン発生電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、
前記磁界発生電極に電流を流す電源とを備えており、
前記磁界発生電極は、前記複数のイオン発生電極の間において前記誘電体上に前記イオン発生電極と共に取り付けられていることを特徴とするイオン発生装置。
【請求項２】
前記イオン発生電極は、鋸歯状電極であることを特徴とする請求項１記載のイオン発生装置。
【請求項３】
前記電圧印加手段は、交流発生回路を含んでいることを特徴とする請求項１または２に記載のイオン発生装置。
【請求項４】
前記交流発生回路が発生させる交流電圧のデューティ比が可変であることを特徴とする請求項３記載のイオン発生装置。
【請求項５】
前記交流発生回路が発生させる交流電圧の負側の比率が、正側の比率よりも大きいことを特徴とする請求項４記載のイオン発生装置。
【請求項６】
前記交流発生回路が発生させる交流電圧の負側の振幅と正側の振幅とが互いに異なることを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項７】
前記電源が直流電源であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のイオン発生装置。
【請求項８】
前記電源が安定化電源であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のイオン発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、イオン発生装置に関し、詳しくは、放電によりイオンを発生するイオン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の社会環境は、工業生産活動によるばい煙や、自動車の排気ガスなどによって空気が汚染されており、さまざまな病気の原因となっている。それは大気中の有害物質がプラスイオンを強めるという現象が起こるからであるといわれている。
【０００３】
しかし、単独プラスイオンが強くなると、生体の活性酸素が増大し、血液・体液が酸性に傾いて、特に生命活動に重要な役割を果たす免疫力が低下する。免疫力の低下により、栄養素が、取り入れられず、老廃物や、炭酸ガスを出すことができなくなり、毒素が体内にたまることになるといわれている。そのため各組織や自律神経が不調になり、リウマチ・神経痛・慢性病などのあらゆる疾患の原因となる〈藤野、星原等。臨床検査機器・試薬２２、３９１（１９９９）〉。
【０００４】
明らかに空気の汚れたところはもちろん、梅雨時期や天気の悪い日、人混み、締め切った場所などでも、『イライラする』、『気分が悪い』、『頭痛がする』、といったことを誰でも経験しているものである。今まではそれらの原因は、気圧の変化や湿度の変化あるいは換気の悪さ、気分次第などと考えられていたが、しかし、研究が進んだ結果、こうした不快な症状はプラスイオンの増加によるものだということが明らかになっている。また、最も一般的な帯電装置の一つとして、コロナ放電を用いた帯電器が挙げられるが、これは非常に多くのオゾン、ＮＯｘを発生するという欠点を有している。このオゾン、ＮＯｘの発生は、コロナ帯電器から放出される電子の運動エネルギーがきわめて大きく、大気中のＯ２、Ｎ２を電離させることに起因している。ところで、電子写真装置における帯電器は、一般に６０ミクロン程度のワイヤーに高圧を印加して放電を発生させるコロナ放電器であるが、上記のとおり多くの放電生成物を発生するため、特開平９−１１４１９２号公報には、オゾンの発生量を低減する手段が開示されている。しかし、これらの手段では、５０％程度のオゾン量の低減しかできず、オゾン吸着剤等の併用、オゾンフィルタの交換、メンテナンス等が必要であった。また、特開平１０−９０９７４号公報には、放電電極に鋸歯状電極を使用し、オゾン発生量がさらにすくなく、画像あれの少ないコロナ帯電装置が提案されている。しかし、最近ではヨーロッパを中心に、０．０２ｐｐｍ以下までオゾンの発生量を減少させようとする運動も活発になってきている。したがって、コロナチャージャーを用いた場合には、オゾンフィルターを付加してもこれらの規格を満たすのが困難になってきている。
【０００５】
本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑み、誘電体１１とこの誘電体１１を挟む誘導電極１２及びイオン発生電極１３を有し、この誘導電極１２及びイオン発生電極１３の間に直流または、交流の高電圧を印加することにより気中放電を起こし、更に、イオン発生電極間に磁界発生用の電極１４を設け、発生するイオンや電子は磁力線に沿って螺旋運動をし、イオンや電子が空気中の原子などに衝突する頻度が多くなり、イオン発生量が飛躍的に増加することを特徴としている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来のイオン発生装置から発生するイオンは、負イオンと正イオンとがあり、浄化や消臭あるいは殺菌の効果に関しては、負イオンの方が優れているといわれている。また、電子写真装置では、帯電方式に応じて負イオンまたは、正イオンが利用されている。ところが、表面放電（または、コロナ放電）を利用する上記従来のイオン発生装置では、特に環境変化に応じて（例えば、高温、低湿）負イオンの発生量が少なく、負イオンに基づく浄化や消臭等の効果はあまり期待できないといわれている。他方コロナ放電は、無声放電の一種であり、空気中ではオゾンを発生しやすい問題がある。オゾンは酸化力が強く、殺菌力や有機物等への酸化分解力にも優れているが、発生量が多くなると不快な刺激臭が強くなってしまう欠点と共に人体にも悪影響を及ぼすことがよく知られている。
本発明の課題は、広範囲の環境変化に対応でき、高濃度かつ均一のイオンを発生させ、中でも特に高濃度の負イオンの発生が主体となり、空気清浄効果あるいは浄化・殺菌効果に優れ、かつオゾンの発生量を可及的に小さくすることが出来るイオン発生器を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
［１］
上記目的を達成するため、請求項１のイオン発生装置は、放電によりイオンを発生するイオン発生装置であって、誘電体と、前記誘電体上に形成された誘導電極と、前記誘導電極との間に前記誘電体を挟み込むように、前記誘電体上に形成された複数のイオン発生電極と、前記誘導電極との間に前記誘電体を挟み込むように、前記誘電体上に形成された磁界発生電極と、前記誘導電極と前記イオン発生電極との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記磁界発生電極に電流を流す電源とを備えている。そして、前記磁界発生電極は、前記複数のイオン発生電極の間において前記誘電体上に前記イオン発生電極と共に取り付けられている。
［２］
これにより、請求項１の特徴によると、放電によりイオンを発生するイオン発生装置では、複数のイオン発生電極から放出されるイオンの量が磁界発生電極の周囲に現れる磁界により、増加される。
［３］
請求項１の特徴によると、イオン発生装置に複数のイオン発生電極とイオン発生電極の間に設けられた磁界発生電極が誘導電極が形成された誘電体上で一体的に備えられているので、イオン発生装置において、イオン発生電極を支持する部材と磁界発生電極を支持する専用の部材を備える必要がない（磁界発生電極を支持する専用の部材を備えたとしても、小規模の部材でよい）。
［４］
請求項１の特徴によると、誘電体とこの誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を構成した場合、複数のイオン発生電極の間に磁界発生電極を備えてイオン発生器を構成している。これによって、同一の誘電体上に同様な部材を利用し、誘導電極並びに磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成しているので、イオン発生電極を支持する誘電体と磁界発生電極を支持する誘電体とを別々に備える必要はない。
［５］
請求項２の特徴によると、請求項１の場合と同様に記載の「作用」を備えており、これに加えて以下のような「作用」を備えている。
イオン発生装置には一般に、イオン発生電極として、針状、ワイヤ状、グリッド状などの電極を備えて構成されたものが多くあるので、請求項２の特徴によると、誘電体とこの誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を構成した場合、前記イオン発生電極を鋸歯状に形成している。
これにより、電界が電極の尖った部分に集中し、放電が生じ易いため、低い電圧でも高濃度のイオンを発生させることに加え、放電の際、副次的に発生するオゾン濃度を可及的に抑制することが可能である。
［６］
請求項３の特徴によると、請求項１または２の場合と同様に前項［１］乃至［５］に記載の「作用」を備えており、これに加えて以下のような「作用」を備えている。
イオン発生装置の電圧印加手段としては一般に、誘導電極とイオン発生電極との間に交流発生回路を備えて構成されたものが多くあるので、請求項３の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、誘導電極とイオン発生電極との間に電圧を印加する交流発生回路を備える。
これにより、低い印加電圧で高濃度のイオンを発生されることが出来、また、必要に応じて、均一に異なった極性のイオンを発生させることが可能になる。
［７］
請求項４の特徴によると請求項３の場合と同様に記載の「作用」を備えており、これに加えて以下のような「作用」を備えている。
請求項４の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、交流発生回路が発生させる交流電圧のデューティ比が可変である、すなわち、誘導電極とイオン発生電極との間に印加される交流波形信号の正、負部分のデューティ電圧比を変化させる回路を備える。これにより、所望濃度のイオンを効率よく発生させることが可能である。
請求項５の特徴によると、交流発生回路が発生させる交流電圧の負側の比率が、正側の比率よりも大きい。これにより、高濃度のイオンが発生可能となる。
［８］
請求項６の特徴によると、請求項３乃至５の場合と同様に記載の「作用」を備えており、これに加えて以下のような「作用」を備えている。
請求項６の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、交流発生回路が発生させる交流電圧の負側の振幅と正側の振幅とが互いに異なる、すなわち、誘導電極とイオン発生電極との間に直流オフセット電圧を加える回路を備える。
これにより、誘導電極とイオン発生電極との間に印加される交流波形の正または、負領域の振幅が反対側、つまり、負または、正領域の振幅よりも大きくなることで、負または、正側の瞬時電力が大きくなり、高濃度の負イオンまたは、正イオンの選択が可能となる。
［９］
請求項７の特徴によると、請求項１乃至６の場合と同様に前項［１］乃至［５］に記載の「作用」を備えており、これに加えて以下のような「作用」を備えている。
請求項７の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、前記電源が直流電源である。
これにより、低い印加電圧で高濃度のイオンを発生されることが可能になる。
［１０］
請求項８の特徴によると、前記電源が安定化電源であり、前記磁界発生電極に安定化電源が接続される。
これにより、磁界発生部分の安定度と信頼性を高めるとともに、負荷変動があっても一定の電流または電圧の供給により、均一な磁界の発生が可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、本発明の実施例であるイオン発生装置１０の構成の概略を示す側面及び表面図である。実施例のイオン発生装置１０は、図１に示すように、絶縁性基板上１７に誘導電極１２とイオン発生電極１３に挟まれた誘電体１１とイオン発生電極間に磁界発生用の電極１４と、誘導電極とイオン発生電極間に直流又は、交流電圧を印加する電圧印加手段１５と、磁界発生電極に電流を流すよう安定化電源１６とを備える。
【０００９】
絶縁性基板１７は、セラミック性材料により形成されている。誘電体１１は、セラミック性材料（誘電率３．０以上、非磁性）により形成されており、図示するようにその片面に設けられている誘導電極１２は、アルミニウム、銅、金、タンタル、タングスタンなどの単独金属又は、合金で形成されている。
誘導電極に対向する側に、複数の鋸歯状のイオン発生電極１３が形成されている。鋸歯状のイオン発生電極は、アルミニウム、銅、金、タンタル、タングスタンなどの単独金属又は、合金で形成されている。イオン発生電極間に設けられた磁界発生用電極１４は、アルミニウム、銅、金、タンタル、タングスタンなどの単独金属又は、合金で形成されている。
【００１０】
電圧印加手段１５は、誘導電極１２とイオン発生電極１３との間に電圧を印加することができる電源であり、実施例では、電圧０．８２ｋＶ（実効値）、周波数、３ｋＨｚの交流電圧電源として構成されている。また、図２に示す、安定化電源１６は、磁界発生電極１４の両端子に接続されて磁界発生電極１４に一定の電流を流すことができる電源であり、実施例では、電圧２Ｖ、電流値１．０Ａの直流安定化電源として構成されている。
このような条件において、イオン発生装置から発生するイオンを発生源から１００ｃｍ距離に設置したダン科学製空気イオンカウンター（型番８３−１００１Ｂ−２）によって測定し、移動度０．７ｃｍ２／Ｖ・ｓ以上のイオンを検出した。複数の鋸歯状のイオン発生電極を備えることから、高電圧印加しなくても電界を各鋸歯状電極の先端に集中させることにより放電を開始させることができる。しかも、複数の電極を備えることにより、単独電極を備えるものに比して、空気との接触面積を大きくしてイオン発生量を多くすることができる。また、実施例のイオン発生装置１０では、イオン発生電極１３間に設けられた磁界発生用電極１４に一定の電流を流すことによって電極周囲に磁界（トロイダル）を生じさせ、発生させたイオンや電子を磁力線に沿って螺旋運動をさせると、磁界が存在しない場合と比してその軌跡は長くなるから、空気中の他の分子や原子と衝突する機会が多くなる。イオンや電子と衝突した原子などはイオンとなるから、この螺旋運動を行わせることにより低電圧でイオン発生量を多くすることができる。また、これにより、オゾンなどのガスの生成を抑えることができる。オゾンの発生濃度測定には、荏原実業（株）のオゾンモニタ（型番ＥＧ−２００１Ｆ）を使用した。
【００１１】
図３は、誘導電極とイオン発生電極との間に印加する電圧と負イオン濃度との関係の一例を示す説明図である。図中、曲線Ａは磁界を発生させず、誘導電極とイオン発生電極間に高電圧を印加したときの実施例のイオン発生装置１０における電圧とイオン濃度との関係を示し、曲線Ｂは、磁界を発生させたときの実施例のイオン発生装置１０における電圧とイオン濃度との関係を示し、曲線Ｃは、従来例として、鋸歯状の電極を備えたイオン発生装置における電圧とイオン濃度との関係を示している。曲線Ａと曲線Ｃとの比較から、実施例のイオン発生装置１０は、磁界発生しなくても従来例のイオン発生装置に比べて倍程度のイオンを発生する。曲線Ｂと曲線Ｃと比較すれば、実施例のイオン発生装置１０は、従来例のイオン発生装置に比して低い電圧でもイオンを発生することができる。図４は、安定化電源１６より流す電流と負イオン濃度の関係の一例を示す説明図である。尚、図中の安定化電源１６より流す電流の軸は、磁界強度目盛である。図示するように、実施例のイオン発生装置１０は、磁界を発生させなくてもイオンを発生するが、磁界を発生させるとイオン発生量を５倍以上にすることができる。この磁界による影響について、図５に説明する。磁界を発生させることにより、イオンや電子は磁力線に沿って螺旋運動をし、イオンや電子が空気中の原子などに衝突する頻度が多くなり、イオン発生量が飛躍的に増加する。
誘導電極及びイオン発生電極の間に交流電圧を印加することにより、沿面放電を起こしてイオンを発生するイオン発生装置では、放電が生じたときにイオン発生電極付近では正と負両極性のイオンが発生している。しかし、空気清浄効果あるいは浄化・殺菌効果、または、誘電体の帯電を目指した場合、正と負の両極性のイオンを必要とせず、どちらか一方のイオンのみを必要とする。つまり、正と負の両極性のイオンを同量必要としている訳ではない。
【００１２】
そこで、請求項４に係わる発明の実施の形態では、請求項３に係わる発明の実施の形態において、誘導電極及びイオン発生電極間に電圧印加手段１５により印加する交流電圧にはデューティーがあるものを用いる。これにより、どちらか一方のイオンを取り出すとき、効率よくイオンを取り出すことができる。そこで、本実施例では、電圧印加手段１５として、図６に示すようにデューティーをつけた交流電圧を印加させ、負側が正側より比率が大きくなるような波形の交流電圧を用いる。負側のデューティーを正側のデューティーよりも大きくすることで、誘導電極とイオン発生電極間に印加する交流電圧の平均値は大きくなる。つまり、負イオンは、交流電圧にデューティーがないときよりもより強い力で高濃度のイオンが発生可能となる。交流電圧の負側のデューティーＴ２は交流電圧の一周期Ｔの６０〜８０％が望ましい。負側のデューティーＴ２が５０％に近づくと、交流電圧にデューティーをつけた効果が得られない。気体放電により電荷（イオン）を発生する従来の技術では、数ｋＶの直流高電圧や数ｋＶ、１０ｋＨｚ程度の交流電圧を印加して大きな空間において放電を起こすため電気的エネルギーの大半が空間に消費され不要な放電生成物（オゾン、窒素酸化物など）の発生を招いている。従って、出来るだけ低電圧で放電を生起し、必要な荷電粒子だけを効率的に生成することが、オゾン等の放電生成物を減らすために必要である。本実施例では、電気エネルギーと共に磁気エネルギーも応用することにより、従来より低い印加電圧で放電が可能となりかつ可及的にオゾン等の濃度を低減させる（０．０５ｐｐｍ以下）ことができる。
また、請求項６に係わる発明の実施の形態では、請求項４または、５に係わる発明の実施の形態において、誘導電極及びイオン発生電極間に電圧印加手段により印加する交流電圧にオフセットがあるものを用いる。これにより、負イオンまたは正イオンどちらかの一方のイオンのより高濃度に発生させ、とりだすことが可能になる。そこで、本実施例では、電圧印加手段１５として、図７に示すようにオフセット電圧をつけた交流電圧を印加させ、正または、負領域の振幅が反対側、つまり、負または、正領域の振幅よりも大きくなるような波形の交流電圧を用いる。どちらかの振幅を大きくすることで、負または、正側の瞬時電力が大きくなる。つまり、必要に応じて、高濃度の負イオン又は、正イオンの選択が可能となる。オフセットつき交流電圧のオフセット電圧の大きさは、±１００Ｖが望ましい。
【００１３】
【発明の実施の第１別形態】
前述の発明の実施の形態において、イオン発生装置１０を図８に示すように構成してもよい。図８に示すように、磁界発生電極１４を誘導電極１２の両側に設け、イオン発生装置を構成する。
【００１４】
【発明の実施の第２別形態】
前述の発明の実施の形態及び発明の実施の第１別形態において、イオン発生装置１０を図９に示すように構成してもよい。図９に示すように、磁界発生電極１４の両側に設けられた誘導電極１２の数を増やし、イオン発生装置を構成する。
【００１５】
以上、本発明の実施の形態について実施例を用いて説明したが、本発明は、こうした実施例に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。
【００１６】
【発明の効果】
請求項１の特徴によると、放電によるイオンを発生するイオン発生装置において、空気の浄化や、誘電体の帯電にイオン発生装置を使用した場合、同一誘電体上に複数のイオン発生電極の間に磁界発生電極を誘電体上で一体的に備えることによって、前記イオン発生電極及び磁界発生電極を支持するための専用の部材を備える必要がなく、均一に高濃度のイオンを発生させることによって、イオン発生装置の性能を高めることができた。
【００１７】
さらに、請求項１の特徴によると、イオン発生装置としては、誘電体とこの誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極を備えて構成されており、さらに、複数のイオン発生電極間に磁界発生電極を設けることにより、前記イオン発生電極から放出されるイオンを増加させることができた。
【００１８】
請求項２の特徴によると、請求項１の場合と同様に前述の請求項１の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項２の特徴によると、誘電体と誘電体を挟む誘導電極及び複数のイオン発生電極と前記イオン発生電極間に磁界発生電極を備えて構成するイオン発生装置において、前記複数のイオン発生電極を鋸歯状に形成することにより、電界を集中させ、低い印加電圧により高濃度のイオンを発生させることができる点によって、放電の際、副次的に発生するオゾン濃度を可及的に抑制することができた。
【００１９】
請求項３の特徴によると、請求項１または２の場合と同様に前述請求項１または２の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項３の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極と複数のイオン発生電極とイオン発生電極間に設けられた磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、誘導電極と複数のイオン発生電極の間に交流発生回路を備えることにより、均一に異なった極性のイオンを効率よく発生させることができた。
【００２０】
請求項４の特徴によると、請求項５の場合と同様に前述請求項３の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項４の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極と複数のイオン発生電極とイオン発生電極間に設けられた磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、誘導電極と複数のイオン発生電極の間に交流波形信号の正、負部分のデューティ電圧比を変化させる回路を備えることにより、所望濃度のイオンを効率よく発生させることができた。
請求項５によると、高濃度のイオンが発生可能となる。
【００２１】
請求項６の特徴によると、請求項４または５の場合と同様に前述請求項４または５の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項６の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極と複数のイオン発生電極とイオン発生電極間に設けられた磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、誘導電極と複数のイオン発生電極の間に直流オフセット電圧を加える回路を備えることにより、選択的に高濃度の負イオンまたは、正イオンを発生させることができた。
【００２２】
請求項７の特徴によると、請求項２または３の場合と同様に前述請求項２または３の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項７の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極と複数のイオン発生電極とイオン発生電極間に設けられた磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、複数のイオン発生電極の間に設けられた磁界発生電極に直流発生回路を接続することにより、低い印加電圧で高濃度のイオンを発生させることができた。
【００２３】
請求項８の特徴によると、請求項２乃至７の場合と同様に前述請求項２または３の「発明効果」を備えており、この「発明効果」に加えて以下のような「発明効果」を備えている。請求項８の特徴によると、誘電体を挟む誘導電極と複数のイオン発生電極とイオン発生電極間に設けられた磁界発生電極を備えてイオン発生装置を構成した場合、磁界発生電極に安定化電源を接続することにより、磁界発生部分の信頼性を高める点、並びに負荷変動があっても一定の電流または電圧供給により、均一な磁界を発生させることができた。
【００２４】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例のイオン発生装置の構造を示す側面図である。（実施形態１）
【図２】本発明の実施例のイオン発生装置の構造を示す表面図である。
【図３】同イオン発生装置の印加電圧に対して出力イオン濃度の関係を示す説明図である。
【図４】安定化電源より流す電流（磁界強度として表示）と負イオン濃度の関係の一例を示す説明図である。
【図５】本発明のイオン発生部の表面に設けられた磁界発生電極に直流電圧印加による、磁界発生方法の説明図である。
【図６】本発明の実施例のイオン発生装置に印加するデューティーつき交流電圧波形を示す波形図である。
【図７】本発明の実施例のイオン発生装置に印加するオフセットつき交流電圧波形を示す波形図である。
【図８】本発明実施の第１別形態におけるイオン発生装置の表面図。
【図９】本発明実施の第２別形態におけるイオン発生装置の表面図。
【符号の説明】
１０イオン発生装置
１１誘電体
１２誘導電極
１３イオン発生電極
１４磁界発生電極
１５交流電圧電源
１６安定化電源
１７絶縁基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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