(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム基板の巻出し用ロールと、巻取り用ロールと、薄膜太陽電池の各製造工程に応じてフィルム基板を搬送しかつフィルム基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、フィルム基板の搬送長さを検出するための搬送長検出手段と、前記巻出し用ロールにおけるフィルム基板の巻き残量または前記巻取り用ロールにおけるフィルム基板の巻き取り量を検出するための巻き量検出手段と、前記フィルム基板の搬送長さと前記巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知するための異常監視手段とを備えたことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のものにおいて、前記巻き量検出手段は、巻出し用ロールまたは巻取り用ロールに巻かれたフィルム基板の厚さを検出することにより巻き量を算出するものであることを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項３】
請求項２に記載のものにおいて、前記巻き量検出手段は、フィルム基板の厚さを超音波または光学的に検出するものであることを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項４】
請求項１に記載のものにおいて、前記フィルム基板の搬送長検出手段は、フィルム基板に所定間隔で開けられた位置検出孔の通過個数を、光学センサによりカウントすることにより検出するものであることを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項５】
フィルム基板の巻出し用ロールと、巻取り用ロールと、薄膜太陽電池の各製造工程に応じてフィルム基板を搬送しかつフィルム基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、巻出し初期または巻取り初期におけるロール軸方向へのフィルム基板の巻き擦れを光または超音波の透過量の変化により検知するための巻き擦れ検知手段を、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部両端部に臨んで設けたことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項６】
フィルム基板の巻出し用ロールと、巻取り用ロールと、薄膜太陽電池の各製造工程に応じてフィルム基板を搬送しかつフィルム基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、巻出し初期または巻取り初期におけるロール外径方向へのフィルム基板の巻き隙間を光または超音波の透過量の変化により検知するための巻き隙間検知手段を、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部に臨んで設けたことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【請求項７】
請求項１に記載のものにおいて、前記異常監視手段は、搬送長さと巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知する搬送異常監視機能に加えて、請求項５および請求項６に記載の巻き擦れ検知および巻き隙間検知などの巻き状態監視機能を備えたことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、環境保護の立場から、クリーンなエネルギーの研究開発が進められている。中でも、太陽電池はその資源（太陽光）が無限であること、無公害であることから注目を集めている。
【０００３】
薄膜太陽電池は、薄型で軽量、製造コストの安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の太陽電池の主流となると考えられる。
【０００４】
従来の薄膜太陽電池はガラス基板を用いていたが、軽量化、施工性、量産性においてプラスチックフィルムおよび金属フィルムを用いたフレキシブルタイプの太陽電池の研究開発がすすめられている。このフレキシブル性を生かし、ロールツーロール方式またはステッピングロール方式の製造方法により大量生産が可能となった。
【０００５】
上記の薄膜太陽電池は、フレキシブルな電気絶縁性フィルム基板上に金属電極層、薄膜半導体層からなる光電変換層および透明電極層が積層されてなる光電変換素子（またはセル）が複数形成されている。ある光電変換素子の金属電極と隣接する光電変換素子の透明電極を電気的に接続することを繰り返すことにより、最初の光電変換素子の金属電極と最後の光電変換素子の透明電極とに必要な電圧を出力させることができる。例えば、インバータにより交流化し商用電力源として交流１００Ｖを得るためには、薄膜太陽電池の出力電圧は１００Ｖ以上が望ましく、実際には数１０個以上の素子が直列接続される。
【０００６】
このような光電変換素子とその直列接続は、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングおよびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記太陽電池の構成および製造方法は、例えば特開平１０−２３３５１７号公報や特願平１１−１９３０６号に記載されている。
【０００７】
前記特願平１１−１９３０６号に記載された薄膜太陽電池の構成概念図を、図８に示す。図８は、プラスチックフィルムを基板とした可撓性薄膜太陽電池の斜視図を示す。基板６１の表面に形成した単位光電変換素子６２および基板６１の裏面に形成した接続電極層６３はそれぞれ複数の単位ユニットに完全に分離され、それぞれの分離位置をずらして形成されている。このため、素子６２のアモルファス半導体部分である光電変換層６５で発生した電流は、まず透明電極層６６に集められ、次に該透明電極層領域に形成された集電孔６７を介して背面の接続電極層６３に通じ、さらに該接続電極層領域で素子の透明電極層領域の外側に形成された直列接続用の接続孔６８を介して上記素子と隣り合う素子の透明電極層領域の外側に延びている下電極層６４に達し、両素子の直列接続が行われている。
【０００８】
上記薄膜太陽電池の簡略化した製造工程の一例を図９（a）から（g）に示す。プラスチックフィルム７１を基板として（工程（a））、これに接続孔７８を形成し（工程（b））、基板の両面に第１電極層（下電極）７４および第３電極層（接続電極の一部）７３を形成（工程（c））した後、接続孔７８と所定の距離離れた位置に集電孔７７を形成する（工程（d））。上記工程（c）における第１電極層７４と第３電極層７３の形成は、後述する成膜装置において、基板７１を反転させて２段階に分けて形成を行い、接続孔７８の部分は、前記両電極層７４と７３とを成長形成することにより形成する。これにより、前記両電極層の電気的な接続を得る。
【０００９】
次に、第１電極層７４の上に、光電変換層となる半導体層７５および第２電極層である透明電極層７６を順次形成するとともに（工程（e）および工程（f））、第３電極層７３の上に第４電極層（接続電極層）７９を形成する（工程（g））。この後、レーザビームを用いて、基板７１の両側の薄膜を分離加工して図８に示すような直列接続構造を形成する。
【００１０】
前記薄膜太陽電池の薄膜の製造方法としては、前述のように、ロールツーロール方式またはステッピングロール方式がある。両方式共に、複数のロールによる基板搬送手段を備え、前者は各成膜室内を連続的に移動する基板上に連続的に成膜する方式であり、後者は各成膜室内で同時に停止させた基板上に成膜し，成膜の終わった基板部分を次の成膜室へ送り出す方式を採用している。
【００１１】
ステッピングロール方式の成膜装置は、隣接する成膜室間のガス相互拡散を防止できることから各薄膜の特性が安定して得られるなどの点で優れており、その装置の構成は、例えば、特開平6-292349号公報や特開平8-250431号公報に記載されている。
【００１２】
図１０に、共通真空室内に成膜室を複数有するステッピングロール成膜方式の真空成膜装置の構成の一例を示す。図１０に示す装置は、可撓性基板の巻出し用アンワインダー室２９０と、金属電極層（背面の接続電極層），光電変換層（ａ−Ｓｉ層）および透明電極層（ＩＴＯ層）などを形成するための複数個の独立した処理空間としてなる成膜室２８０と、巻取り用ワインダー室２９１とを備え、基板２０１はコア２８２から捲き出されコア２８３にまきとられる間に、複数の成膜室２８０で成膜されるように構成されている。共通室２８１は複数の成膜室２８０を内部に収めている。
【００１３】
成膜室ではスパッタ成膜またはプラズマ化学気相成長法（以下プラズマＣＶＤ法と記す）などにより成膜が行われる。例えば、プラズマＣＶＤ法により成膜するステッピングロール方式では、成膜室開放−基板１フレーム移動−成膜室封止−原料ガス導入−圧力制御−放電開始−放電終了−原料ガス停止−ガス引き−成膜室開放からなる操作が繰り返される。
【００１４】
ところで、前記図９の工程において、工程（b）および（d）の接続孔７８および集電孔７７の加工は、大気中で専用の穴あけ装置により加工が行われるが、その他の工程は、真空装置において処理され、前述以外のプロセスを含む太陽電池の全製造プロセスにおいては、種々の装置が使用される。また孔加工は、図１１に示すように、上記以外にも行われ、複数個の接続孔ｈ１および集電孔ｈ２以外に、フィルム基板１ａには、位置検出孔ｈ３が開けられる。この位置検出孔ｈ３は、太陽電池の所定のユニットパターンの長さ間隔毎に開けられ、フィルム基板搬送の位置決めに用いられる。
【００１５】
前述の薄膜太陽電池の製造方法を総括し、かつロール搬送にスポットを当てた薄膜太陽電池の製造プロセスおよび各種装置の一例を、図１２に示す。前記の説明とプロセスおよび装置共に用語が若干異なるものがあるものの、図１２の左側に各プロセスを示し、右側に各プロセスで使用される装置の概要を矢印で示す。
【００１６】
装置としては、穴あけ装置５１，スパッタ装置５２，ステッピングロール方式性膜装置５３，レーザースクライバー５４，特性評価装置５５などがあり、前記各装置は、巻出し用ロール１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅおよび巻取り用ロール２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、ガイドロール３、張力ロール４などを備える。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の薄膜太陽電池の製造装置においては、量産性の観点から下記のような問題があった。
【００１８】
巻出しロ-ルに巻かれた製造開始プロセス対象フイルム基板のロール巻き状態と、製作終了時の次工程へ渡すフイルム基板巻取り状態に不具合が発生することがあり、そのため、不具合が発生したまま次工程のプロセスを開始した場合には、当該工程でセルを損傷し、また前工程が無駄となり、全体として製品歩留りが低下するトラブルが発生している。上記問題点について、図５ないし図７により詳述する。
【００１９】
図５は、巻出し又は、巻取り開始部の異常を示す図である。通常は、フイルム基板の先端部８をロールコア５の表面に粘着止めテープ７をもちいて張りつけて(又は、スリットにはめ込み、)ロール表面をすべらないように数ターンまいて、ロール巻が確かに行われる様にして、ロール間での途中のたわみがないようにフイルム基板を搬送している。しかしながら、図５のように、フイルム基板先端部８が当初の貼り付け等の不具合でテープ７から外れることがある。
【００２０】
まず、巻だし側で外れると、張力がフイルム基板にかからない状態で装置内の高温度製造ラインをフイルム基板が搬送され、そのため、太陽電池セル表面が傷ついたり、また、搬送を計画していないダミーフイルム先端が外れ、図５のフイルム基板８の状態となるまで巻取りロ-ルで巻かれて、太陽電池セルの不良品が生ずるとともに、また、次工程に問題を発生させる。
【００２１】
次に、巻取り側で外れると、搬送途中でフイルムがたわみ、折れ重なりが発生してセルを破壊させてしまい、やはり不良品となるとともに、また、次工程に問題を残す。
【００２２】
図６は、ロールコアー５を芯として、巻かれたフイルム基板６が側面９ａ，９ｂよりロールコアー軸方向に巻き位置の擦れをおこした状態を示す。製造装置内での位置擦れは、２〜３ｍｍ以内はこれを検出してフイードバックし、真空成膜装置における位置決め制御を行うようにしている。しかし巻出しロールと巻取りロールで数ｍｍ以上の巻擦れが発生すると，まともな位置決めによる成膜が出来ず、また、搬送異常が生じ、装置が停止するとともに、フイルム基板側面を傷つけ・皺を発生させる損傷事故につながる。
【００２３】
図７は、巻出しロール・巻取りロールで、フイルム基板６がある程度巻かれた状態で、ロールコアー５の表面はりつけテープが剥がれて、巻き層間に空隙ができて膨らんだ状態を示す。このような巻き隙間１０が生じた場合には、搬送スピードが脈動したり、斜め搬送になり、正常な位置による成膜ができず、特性バラツキや不良品の発生原因となる。
【００２４】
この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、本発明の課題は、ロール搬送異常やフィルム基板のロールへの巻き状態の異常を監視し、各製造プロセスにおける仕損の低減と量産コストの低減を図った薄膜太陽電池の製造装置を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため、請求項１の発明は、フィルム基板の巻出し用ロールと、巻取り用ロールと、薄膜太陽電池の各製造工程に応じてフィルム基板を搬送しかつフィルム基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、フィルム基板の搬送長さを検出するための搬送長検出手段と、前記巻出し用ロールにおけるフィルム基板の巻き残量または前記巻取り用ロールにおけるフィルム基板の巻き取り量を検出するための巻き量検出手段と、前記フィルム基板の搬送長さと前記巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知するための異常監視手段とを備えたものとする。
【００２６】
また上記において、前記巻き量検出手段は、巻出し用ロールまたは巻取り用ロールに巻かれたフィルム基板の厚さを検出することにより巻き量を算出するものとする（請求項２）。さらに、上記請求項２のものにおいて、前記巻き量検出手段は、フィルム基板の厚さを超音波または光学的に検出するものとする（請求項３）。さらにまた、前記請求項１のものにおいて、前記フィルム基板の搬送長検出手段は、フィルム基板に所定間隔で開けられた位置検出孔の通過個数を、光学センサによりカウントすることにより検出するものとする（請求項４）。
【００２７】
上記構成により、ロール搬送異常を監視し、製造プロセスにおける仕損を低減して、歩留りの向上を図ることができる。
【００２８】
また、請求項５の発明によれば、ロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、巻出し初期または巻取り初期におけるロール軸方向へのフィルム基板の巻き擦れを光または超音波の透過量の変化により検知するための巻き擦れ検知手段を、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部両端部に臨んで設けたものとする。上記構成により、フィルム基板の巻き擦れ異常を検知して、製造プロセスにおける仕損を低減して、歩留りの向上を図ることができる。
【００２９】
さらに、請求項６の発明によれば、ロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、巻出し初期または巻取り初期におけるロール外径方向へのフィルム基板の巻き隙間を光または超音波の透過量の変化により検知するための巻き隙間検知手段を、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部に臨んで設けたものとする。上記構成により、フィルム基板の巻き隙間異常を検知して、製造プロセスにおける仕損を低減して、歩留りの向上を図ることができる。
【００３０】
さらにまた、請求項７の発明のように、請求項１に記載のものにおいて、前記異常監視手段を、搬送長さと巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知する搬送異常監視機能に加えて、請求項５および請求項のような巻き擦れ検知および巻き隙間検知などの巻き状態監視機能を備えたものとすることにより、製造プロセスにおける仕損を最小限に抑えて、歩留りの向上を最大限に図ることができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図面に基づき、本発明の実施の形態について以下に述べる。
【００３２】
図１ないし図４は本発明の請求項１ないし請求項７に関わる実施例の概略構成を示し、図１は斜視図を、図２は図１を上面からみた要部平面図を示す。また、図３は実施例の原理説明用の概略図で、便宜上、（ａ），（ｂ），（ｃ）の各ブロックに分けて示す。図４は、後述する巻き擦れ検知手段の原理説明図である。
【００３３】
図１および図２において、５はロールコアー、６はフィルム基板、１５ａ，１５ｂは巻き擦れ検知手段としての光学式または超音波式のセンサ対、１５ｃ，１５ｄも同様のセンサ対、１６ａ，１６ｂはフィルム基板の巻き厚さを検出する目的と巻き隙間を検出する目的の光学式または超音波式のセンサ対、１６ｃは前記と同様の目的の異なる実施例としての径方向に設けた超音波式センサ、１９ａ，１９ｂはフィルム基板の搬送長さ検出用の光学センサである。また、２１はロール駆動用モータ、２２はモータ支持台、２３は軸受けである。
【００３４】
１５ａ，１５ｂおよび１５ｃ，１５ｄの光学式または超音波式のセンサ対は、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部両端部に臨んで設けられ、光または超音波はロール外周部をほぼ中心として所定の径で走査されるように配置される。また、１６ａ，１６ｂの光学式または超音波式のセンサ対は、巻出し用ロールおよび巻取り用ロールのフィルム基板巻取り部に臨んで設けられ、光または超音波はロール外周部をほぼ中心として、フィルム基板全巻き厚さにまたがるような所定の径で走査されるように配置される。
【００３５】
次に、上記実施例の原理について、図３により以下に説明する。
【００３６】
図３（ａ）部は、１５ａ，１５ｂの巻き擦れ検知手段としてのセンサ対に関わる部分を示すが、センサ１５ａは、同時にフイルム基板６の厚さ０状態を検出するセンサでもある。ベースセンサユニット１１は、電源と信号を作り、発信センサ１５ａに光、又は、超音波を送信する。センサの取り付け位置は、ロールコアー５の裸体面の円周位置を境にして対向する位置に、発信センサと反射センサを兼ねた発信センサ１５ａと受信センサ１５ｂとを配し固定装着する。信号の透過位置は、正規のフイルム基板側面端となるような位置に固定する。
【００３７】
図４に示すように、フイルム基板に巻き擦れが無い正常な状態のときは、発信センサ１５ａの信号３０は、受信センサ１５ｂにてそのまま受信される。巻き擦れが生じたり、巻出しロ-ラや巻取りロ-ラが異常偏芯すると、受信センサ１５ｂで受信出来ない信号（図４のハッチング部３０ａ）を、ベースセンサーユニット１１に返信し、ローラ監視ユニット１４に異常信号を送信する。
【００３８】
また発信センサ１５ａには、常時ロールコアー５の表面よりの反射信号を受信して、フイルム基板６の厚さ０距離信号を常時受信して、ベースセンサーユニット１１に送信し、フイルム基板６の厚さ検出信号の０点とする。
【００３９】
図３（ｂ）部は、計画搬送長さに対して、巻出しロ-ル搬送と巻取りロ-ルの搬送状態が正常に行われているか否かを監視検出するセンサ対１６ａ，１６ｂに関わる部分である。
【００４０】
フイルム基板センサユニット１２は、電源と信号を作り、発信センサ１６ａに光、又は、超音波を送信する。取り付け位置は、巻かれたフイルム基板の厚さが０となるロールの裸体面の円周位置相当を境にして、発信センサと反射センサを兼ねた発信センサ１６ａに対向する線上位置に受信センサ１６ｂを配し固定装着する。信号が透過する位置は、巻出しロールまたは巻取りロールのフイルム基板の前記巻き隙間の発生異常を検出できる位置とする。
【００４１】
巻き隙間なしの正常な状態のときは、発信センサ１６ａの信号は、フイルム基板の表面の反射信号を検出して、フイルム基板の巻厚さ信号となる。受信センサ１６ｂが、ローラとフイルム基板との間に隙間が発生した異常事態において信号を受信したときには、隙間の部分でのフイルム基板面の反射波が重畳され、異常信号を検出することとなる。この場合、フイルム基板センサユニット１２にこの異常信号を送信し、当該ユニット１２よりローラ監視ユニット１４に異常信号を発信し、当該ユニット１４は、装置を保護する異常信号２４を発信する。
【００４２】
受信センサ１６ａは、フイルム基板６よりの反射信号をフイルム基板センサユニット１２経由でローラ監視ユニット１４に発信し、０厚さ信号も１５ａから当該ユニット１４に送信されているので、その差で厚さを算出し、後述する搬送距離を検出したフイルム基板長さセンサユニット１３の信号と比較して、搬送距離に比例したフイルム基板厚さであるか否かを判定する。その値が許容値にたいして(+)ならば、巻出し・巻取りローラとも、ローラ巻芯貼り付粘着テ-プ７が剥がれているか、搬送異常が発生しフイルム基板が途中で弛んでいるまたは切断を、巻だしローラ側で検出する。(-)側は、巻取り側で検出され、途中でフイルム切断なり、搬送異常が発生していることを検出する。センサ１５ａ，１６ａは、巻出しおよび巻取りの両ローラとも、ローラの裸体表面より同じ距離離れた位置に固定される。
【００４３】
図３（ｃ）部は、フイルム基板の搬送長検出手段に関わる。フイルム基板６の位置検出孔２０（図１１におけるｈ３）を検出すべくフイルム基板６をまたぐように、光学センサ１９ａ，１９ｂが固定される。フイルム基板長さユニット１３よりフイルム基板送り検出用の光学センサ１９ａが発光するように通電され、位置検出孔２０が通過するごとに、受光センサ１９ｂが通過信号を受信して、当該ユニット１３に送信する。当該ユニット内で搬送距離に演算されて、ローラ監視ユニット１４に送信して、前記ベースセンサユニット１１およびフィルム基板センサユニット１２の信号と比較して搬送異常監視ができるように、ローラ監視ユニット１４を構成している。
【００４４】
発信センサ１５ａ，１６ａと受信センサ１５ｂ，１６ｂには、信号の精度をあげるために、発信信号ゲート２５ａ，２６ａと受信信号ゲ-ト２５ｂ，２６ｂを設けて、カメラのピント・絞りのような機能を装着してある。前記した超音波センサ１６ｃにも、信号ゲ-ト２６ｃを設ける。
【００４５】
以上説明した構成によれば、フィルム基板の搬送長さと、ロールにおけるフィルム基板の巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知することができ、また、上記搬送異常監視に加えて、巻き擦れ検知および巻き隙間検知などのロールへのフィルム基板の巻き状態を監視することができ、各製造プロセスにおける搬送や巻き状態に起因する仕損を低減することができる。
【００４６】
【発明の効果】
この発明によれば前述のように、フィルム基板の巻出し用ロールと、巻取り用ロールと、薄膜太陽電池の各製造工程に応じてフィルム基板を搬送しかつフィルム基板に所定の張力をかけるための搬送手段とを備えたロール搬送方式の薄膜太陽電池の製造装置において、フィルム基板の搬送長さと巻き残量または巻取り量とを比較して搬送異常の有無を検知する搬送異常監視機能を備えたものとすること、また、フィルム基板のロールへの巻き擦れ検知および巻き隙間検知などの巻き状態監視機能を備えたものとすることにより、各製造プロセスにおける仕損の低減と量産コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の概略構成図
【図２】図１の要部平面図
【図３】本発明の実施例の原理説明用の概略図
【図４】本発明の巻き擦れ検知手段の原理説明図
【図５】巻出し又は巻取り開始部の異常を示す図
【図６】巻き擦れ異常を示す図
【図７】巻き隙間異常を示す図
【図８】薄膜太陽電池の概略構成を説明する斜視図
【図９】薄膜太陽電池の概略製造工程の一例を示す図
【図１０】ステッピングロール方式の成膜装置の一例の概略構成を示す図
【図１１】薄膜太陽電池の加工孔の平面図
【図１２】薄膜太陽電池の製造プロセスおよび各種装置の一例を総括的に示す図
【符号の説明】
５：ロールコアー、６：フィルム基板、１１：ベースセンサユニット、１２：フイルム基板センサユニット、１３：フイルム基板長さセンサユニット、１４：ローラ監視ユニット、１５ａ，１５ｂおよび１５ｃ，１５ｄ：巻き擦れ検知手段としての光学式または超音波式のセンサ対、１６ａ，１６ｂ：フィルム基板の巻き厚さを検出する目的と巻き隙間を検出する目的の光学式または超音波式のセンサ対、１６ｃ：超音波式センサ、１９ａ，１９ｂ：フィルム基板の搬送長さ検出用の光学センサ、２０：位置検出孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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