(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つのスキージ部材と、
スキージング方向と直交し且つ印刷マスク表面と平行な方向に該２つのスキージ部材を保持するスキージ保持部材と、
該スキージ保持部材をスキージング方向に往復移動させるための第１往復移動手段とを備え、
該２つのスキージ部材の先端部を該印刷マスク表面に当接させながら該スキージ保持部材を移動させて、該印刷マスクの貫通孔又は凹部に印刷剤を充填する印刷剤充填装置において、
上記２つのスキージ部材は、互いに平行度を保ちながら下端側が揺動することが可能なように、互いに連結部材で連結するとともに上記スキージ保持部材に揺動可能に保持し、
上記スキージ保持部材は、上記第１往復移動手段で往復移動されるフレームの幅方向両側面部に穿設された上下２本のガイド溝と、上記スキージ保持部材の幅方向両側面それぞれに上下２本設けられたガイドピンとの係合により、該ガイド溝に沿って移動可能に支持し、
上記フレームに対し上記スキージ保持部材を該ガイド溝に沿って往復移動させるための第２往復移動手段を設け、
上記ガイド溝を溝中央部が両端部よりも高くなる弧状に形成するとともに、上記フレームに対する上記スキージ部材の上下方向の変位を吸収し得るフリージョイントを介して上記スキージ保持部材と上記第２往復移動手段とを連結し、
上記第１往復移動手段による移動方向の切替にあたって、上記ガイド溝の中央部を超えて反対側の溝端部に至るように上記フレームに対して上記スキージ保持部材を上記第２往復移動手段で移動させることにより、上記２つのスキージ部材の上記先端部と上記印刷マスク表面とを当接させたままの状態で上記印刷マスク表面と上記２つのスキージ部材とのなす角度を切替え、上記２つのスキージ部材の上記先端部と上記印刷マスク表面とを当接させたままの状態で往復印刷をなすように構成したことを特徴とする印刷剤充填装置。
【請求項２】
請求項１の印刷剤充填装置において、
上記２つのスキージ部材を薄板形状に構成し、且つ、
スキージング進行方向側の上記印刷マスク表面と該２つのスキージ部材とのなす角度（アタック角）が鋭角となるように、該スキージ保持部材が該２つのスキージ部材を保持することを特徴とする印刷剤充填装置。
【請求項３】
請求項２の印刷剤充填装置において、
上記スキージ保持部材が上記２つのスキージ部材のスキージング進行方向を切替えるときに、該２つのスキージ部材の上記先端部を中心として、該２つのスキージ部材の上記印刷マスク表面に対するアタック角をスキージング進行方向に合わせて逆転させるように構成したことを特徴とする印刷剤充填装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３の印刷剤充填装置において、
上記２つのスキージ部材の、スキージング方向と直交し且つ上記印刷マスク表面に平行な長さ方向の両端部側の側面をシールするシール部材を設け、且つ、上記スキージ保持部材に印刷剤充填口を形成し、
該スキージ保持部材と、該２つのスキージ部材と、該シール部材とで囲まれた印刷剤収容部を形成したことを特徴とする印刷剤充填装置。
【請求項５】
請求項４の印刷剤充填装置において、
上記２つのスキージ部材の上記先端部を上記印刷マスク表面に当接させたときに、上記印刷剤収容部が密閉されるように構成し、且つ、
上記スキージ保持部材の上記印刷剤充填口から上記印刷剤収容部内に印刷剤を圧入する印刷剤圧入手段を設けたことを特徴とする印刷剤充填装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明導電性基板などの電子回路基板等の印刷対象物の印刷面への印刷に用いる印刷マスクの貫通孔又は凹部に、導電性ペーストや感光性樹脂等の印刷剤を充填する印刷剤充填装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子回路基板上へ印刷材料としての導電性ペーストを載置させる印刷には、印刷媒体としてのマスクやスクリーンを用いるものがあるが、これらに使用される印刷剤充填装置は大別して次の二つのものが知られている。一つ目は、擦り込み型の装置である。この装置は、ウレタン材等からなるスキージブレードを、印刷マスクの表面に押し当てながら該表面に沿って移動させることにより、該表面に載置した印刷剤を該印刷マスクの貫通孔又は凹部に擦り込むように充填していく装置である。尚、上記スキージブレードとほぼ同一構造のものが印刷方向（以下、「スキージング方向」ともいう）に沿って上記スキージブレードの前方に設けられた構造の装置もある。この前方に設けられたスキージブレードは、上記印刷終了後、上記印刷マスク上に載置された上記印刷剤を回収しつつ、復路印刷するためのものである。但し、上記スキージング方向に沿って前後に設けられた２つのスキージブレードはあく迄各々独立にかつ単一の機能即ち、自らの直前にある印刷材料を押し出しつつ印刷動作を行なう働きをなすものである。一方、二つ目は、圧入型の装置である。この装置は、充填部材の印刷剤収容部内の印刷剤を、該印刷剤収容部の印刷マスク側に取り付けられた１対のブレードなどで囲まれた排出口から押し出しながら、該充填部材を該印刷マスクの表面に沿って移動させる。これにより、印刷剤を印刷マスクの貫通孔又は凹部に充填していく装置である。印刷終了後は上記一対のブレードが相協力して、余剰の印刷剤を回収・収納し、それ迄接していた上記印刷マスク表面から離れて浮上し印刷始点迄戻るものである。
【０００３】
上記後者の圧入型の装置は、印刷マスクの貫通孔や凹部に印刷剤を強制的に押し込んでいるため、印刷マスクの貫通孔や凹部の内壁が荒れている場合でも十分な充填を行うことができるという利点を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記圧入型の装置では、印刷終了後に上記一対のブレードが余剰の印刷剤を回収・収容し、上記印刷マスク表面から離れるときに、導電性ペーストの粘性によりその一部がブレード先端部に付着する。すると、印刷マスクとの間に導電性ペーストが糸を引いたような状態や凹凸の激しい表面状態となる。このような状態となった導電性ペーストは、ブレード先端部と印刷マスク表面とが離れていく過程で切り離される。しかし、印刷マスク表面に残留した導電性ペースト上に折り重なるようにして落下するため、折り重なった部分にエアーを巻き込んでしまう。そして印刷マスク表面に残留した導電性ペーストは、その後の印刷過程において、上記ブレードの移動に伴って攪拌され、上記エアーは無数の小さな気泡となって導電性ペースト中に混入してしまう。この導電性ペーストが印刷に用いられると、混入した気泡の影響で、印刷不良やボイドが生じるおそれがある。特に、印刷剤としてＵＶの感光性樹脂を用いると、気泡の混入が顕著に見られる。例えば、タッチパネル基板のドットスペーサ形成用の印刷マスクでは、φ２０〜５０μｍ程度の微細な貫通孔が形成されている。この貫通孔に感光性樹脂に混入した気泡が入り込んでしまうと、印刷剤の充填不良となって、印刷不良が生じてしまう。
また、一般的に上記一対のブレードは印刷マスク表面に対して逆ハの字をした状態で当接するため、スキージング進行方向後ろ側のブレードはスキージング進行方向側の印刷マスク表面とのなす角度、いわゆるアタック角が鈍角となる。すると、この後ろ側のブレードが印刷マスクの開口部エッジや段差にぶつかって、印刷マスクやブレード先端部が傷付いてダメージを受け、印刷不良が生じてしまう場合がある。
【０００５】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、印刷剤への空気混入による気泡の発生を防いで印刷不良を防止し、良好な往復印刷をなし得る印刷剤充填装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、少なくとも２つのスキージ部材と、スキージング方向と直交し且つ印刷マスク表面と平行な方向に該２つのスキージ部材を保持するスキージ保持部材と、該スキージ保持部材をスキージング方向に往復移動させるための第１往復移動手段とを備え、該２つのスキージ部材の先端部を該印刷マスク表面に当接させながら該スキージ保持部材を移動させて、該印刷マスクの貫通孔又は凹部に印刷剤を充填する印刷剤充填装置において、上記２つのスキージ部材の上記先端部と上記印刷マスク表面とを当接させたままの状態で、上記スキージ保持部材と該２つのスキージ部材との移動方向を切替えて、往復印刷をなし得るように構成した。具体的には、上記２つのスキージ部材は、互いに平行度を保ちながら下端側が揺動することが可能なように、互いに連結部材で連結するとともに上記スキージ保持部材に揺動可能に保持し、上記スキージ保持部材は、上記第１往復移動手段で往復移動されるフレームの幅方向両側面部に穿設された上下２本のガイド溝と、上記スキージ保持部材の幅方向両側面それぞれに上下２本設けられたガイドピンとの係合により、該ガイド溝に沿って移動可能に支持し、上記フレームに対し上記スキージ保持部材を該ガイド溝に沿って往復移動させるための第２往復移動手段を設け、
上記ガイド溝を溝中央部が両端部よりも高くなる弧状に形成するとともに、上記フレームに対する上記スキージ部材の上下方向の変位を吸収し得るフリージョイントを介して上記スキージ保持部材と上記第２往復移動手段とを連結し、上記第１往復移動手段による移動方向の切替にあたって、上記ガイド溝の中央部を超えて反対側の溝端部に至るように上記フレームに対して上記スキージ保持部材を上記第２往復移動手段で移動させることにより、上記２つのスキージ部材の上記先端部と上記印刷マスク表面とを当接させたままの状態で上記印刷マスク表面と上記２つのスキージ部材とのなす角度を切替え、上記２つのスキージ部材の上記先端部と上記印刷マスク表面とを当接させたままの状態で往復印刷をなすように構成した。この印刷剤充填装置では、往路印刷から復路印刷、及び、復路印刷から往路印刷へのスキージング方向の切替えにあたって、２つのスキージ部材の先端部と印刷マスク表面とを当接させた状態でスキージング方向を切替える。このため、空気を印刷剤に巻き込むことがない。これにより、印刷剤への空気混入による印刷不良、例えば印刷マスクのドットスペーサ形成用の微細な孔に気泡が入りこんでしまうことによって発生する印刷不良やボイドを防いで、良好な往復印刷を行うことができる。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の印刷剤充填装置において、上記２つのスキージ部材を薄板形状に構成し、且つ、スキージング進行方向側の上記印刷マスク表面と該２つのスキージ部材とのなす角度（アタック角）が鋭角となるように、該スキージ保持部材が該２つのスキージ部材を保持することを特徴とするものである。この印刷剤充填装置では、スキージング進行方向側の印刷マスク表面と各スキージ部材とのなす角度、いわゆるアタック角を９０°よりも小さい鋭角とした。これにより、上記アタック角が鈍角の場合に比べ、スキージ部材の先端部が印刷マスク表面に良好に追従し、印刷マスクの開口部エッジやスキージ先端部が傷付いてダメージを受けることがなく、印刷不良の発生を低減することができる。また、上記アタック角が鈍角の場合に比べ、印刷マスクの貫通孔又は凹部に印刷剤をより確実に充填することができる。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２の印刷剤充填装置において、上記スキージ保持部材が上記２つのスキージ部材のスキージング進行方向を切替えるときに、該２つのスキージ部材の上記先端部を中心として、該２つのスキージ部材の上記印刷マスク表面に対するアタック角をスキージング進行方向に合わせて逆転させるように構成したことを特徴とするものである。この印刷剤充填装置では、スキージング方向を切替えるときに、２つのスキージ部材の先端部を中心として、２つのスキージ部材の印刷マスク表面に対するアタック角を逆転させる。これにより、スキージ進行方向に対して鋭角のアタック角となるように２つのスキージ部材の傾きを速やかに変更することができる。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１、２又は３の印刷剤充填装置において、上記２つのスキージ部材の、印刷方向と直交し且つ上記印刷マスク表面に平行な長さ方向の両端部側の側面をシールするシール部材を設け、且つ、上記スキージ保持部材に印刷剤充填口を形成し、該スキージ保持部材と、該２つのスキージ部材と、該シール部材とで囲まれた印刷剤収容部を形成したことを特徴とするものである。この印刷剤充填装置では、２つのスキージ部材の両端部側の側面から印刷マスク表面に流出する印刷剤をシール部材がシールし、印刷剤収容部内に印刷剤を保持するので、該シール部材を設けない場合に比べ、該印刷剤の消費量を低減することができる。また、印刷動作に伴って印刷剤収容部内の印刷剤の攪拌が促進され、該印刷剤の高粘度化を防ぐことが可能となる。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項４の印刷剤充填装置において、上記２つのスキージ部材の上記先端部を上記印刷マスク表面に当接させたときに、上記印刷剤収容部が密閉されるように構成し、且つ、上記スキージ保持部材の上記印刷剤充填口から上記印刷剤収容部内に印刷剤を圧入する印刷剤圧入手段を設けたことを特徴とするものである。この印刷剤充填装置では、印刷剤圧入手段でスキージ保持部材の印刷剤補給口から印刷剤収容部内に印刷剤を圧入することにより、２つのスキージ部材が印刷マスクに接触する部分に形成された排出口から該印刷マスクに対して該印刷剤を押し出すように排出し、該印刷マスクの貫通孔又は凹部に該印刷剤を確実に充填する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、ＩＴＯ等の透明導電性基板にドットスペーサ形成用の印刷剤としてＵＶの感光性樹脂を印刷するときに用いる印刷剤充填装置（以下、「充填装置」という。）に適用した実施形態の一例について説明する。
【００１２】
図１（ａ）は本実施形態に係る充填装置の要部構成を示す上面図であり、同図（ｂ）は同充填装置の側面図である。この充填装置は、φ２０〜５０μｍの貫通孔からなる印刷用パターンが形成された印刷マスク（以下「孔版マスク」という。）５２に接触する一対のスキージブレード１，２と、感光性樹脂５０を一対のスキージブレード１，２に圧入する圧入手段とを備えている。
【００１３】
図１（ｂ）に示すように、上記一対のスキージブレード１，２は、図中上側の端部が略円柱状に形成されており、この円柱状に形成された端部が、ブレードホルダ３の円形状の凹部と係合し、ブレードホルダ３に揺動支持される。そして、一対のスキージブレード１，２の端面に配設された連接プレート４により、各スキージブレードは互いの平行度を保ちながら揺動することができる。
【００１４】
上記ブレードホルダ３はフレーム５の内側に配設されている。そして、フレーム幅方向の両側面に穿孔されたガイド溝５ａを貫通してブレードホルダ３にネジ止めされた各２本づつで計４本のガイドピン６により、ガイド溝５ａに沿って移動可能となっている。フレーム５に対するブレードホルダ３の移動は、エアシリンダ７により行われる。エアシリンダ７のロッド先端部にはフリージョイント７ａが配設されており、ブレードホルダ３の往路位置と復路位置との移動に伴う上下方向の変位を吸収するようになっている。なお、図示の例ではブレードホルダ３を往復移動させるためにエアシリンダ７を用いているが、これに替えてモータや電磁ソレノイド等を用いてもよい。
【００１５】
図１（ｂ）の例は、ブレードホルダ３が往路印刷を行う位置にあり、往路スキージング方向Ｆ側の孔版マスク５２表面と一対のスキージブレード１，２とのなす角、いわゆるアタック角θ１が約６０°となるように設定している。なお、復路印刷時には図中二点鎖線で示す位置にブレードホルダ３及び一対のスキージブレード１，２は移動する。
【００１６】
上記一対のスキージブレード１，２は、少なくとも孔版マスク５２と接触する先端部に弾性材料（例えば、ウレタンゴム，シリコンゴムなどのエラストマ樹脂）を設けて構成している。さらに、先端部の厚みを他の部分よりも薄くすることにより、孔版マスク５２の表面凹凸に追従しやすくしている。
また、フレーム５の内側に接する、一対のスキージブレード１，２と、ブレードホルダ３との各側面には、図１（ａ）に示すように、例えばシリコンゴムからなるシール部材８が貼付されている。また、図１（ｂ）に示すように、フレーム５の孔版マスク５２に接する下面にもシール部材８が貼付されている。
【００１７】
上記ブレードホルダ３には、配管９を通して感光性樹脂５０を加圧供給する加圧供給装置１０が接続されている。加圧供給装置１０によりブレードホルダ３に供給された感光性樹脂５０は、ブレードホルダ３内部に設けられた図示しない導入孔を通って、印刷剤収容部１１に補給される。この印刷剤収容部１１は、一対のスキージブレート１，２と、ブレードホルダ３と、フレーム５と、シール部材８とで形成されている。また、印刷剤収容部１１の排出口１１ａは孔版マスク５２で塞がれているため、印刷剤収容部１１は密閉されている。
なお、上記排出口１１ａは、孔版マスク５２の貫通孔（φ２０〜５０μｍ）よりも十分大きくなるように設定されている。また、上記配管９はブレードホルダ３の長手方向に沿って複数接続されており、印刷剤収容部１１内に感光性樹脂５０が均一に補給されるようになっている。
【００１８】
上記フレーム５は、直動案内とボールネジとからなる駆動機構により装置本体（いずれも図示せず）に対して図中左右方向に直線往復運動可能に保持されている。そして、一対のスキージブレード１，２、ブレードホルダ３、エアシリンダ７等が、フレーム５と一体で往復移動することができるようになっている。
【００１９】
次に、上記構成の充填装置で、透明導電性基板５１にドットスペーサ形成用の感光性樹脂を印刷する場合について説明する。
まず、一対のスキージブレード１，２を孔版マスク５２の表面に接触させた状態で、加圧供給装置１０により、感光性樹脂５０を印刷剤収容部１１に加圧供給する。そして、図１（ｂ）に示すように、印刷剤収容部１１に感光性樹脂５０が十分且つ均一に供給された後、図示しない駆動機構により、フレーム５を往路スキージング方向Ｆに移動させる。これにより、フレーム５と一体で、ブレードホルダ３や一対のスキージブレード１，２等が往路スキージング方向Ｆに移動する。一対のスキージブレード１，２は、孔版マスク５２表面とのアタック角θ１をそれぞれ約６０°に保ちながら孔版マスク５２表面を摺動しながら移動する。これにより、移動方向上流側のスキージブレード２が孔版マスク５２の貫通孔５２ａに感光性樹脂５０を擦り込んでいく。
【００２０】
そして、往路印刷の終了位置でフレーム５の移動を停止させる。
ここで、従来技術で説明した装置は、往路印刷の終了後、一対のブレードが相協力して、余剰の印刷剤を回収・収納し、それ迄接していた印刷マスク表面から離れて浮上し印刷始点迄戻るものであった。このため、一対のブレードが印刷マスクから離れるときに、印刷マスク側に残留した感光性樹脂にエアーが混入してしまうという不具合があった。
【００２１】
そこで、本実施形態に係る充填装置では、上記一対のスキージブレード１，２を孔版マスク５２表面から離さずに、アタック角を反転させて、復路印刷を行えるように構成した。
往路印刷の終了位置で、印刷中停止していたエアシリンダ７を作動させ、ブレードホルダ３を、図１（ｂ）中二点鎖線で示す復路印刷位置に移動させる。ブレードホルダ３はガイドピン６でフレーム５に保持されているため、ガイド溝５ａに沿った円弧を描きながら復路印刷位置に移動する。このとき、一対のスキージブレード１，２は、孔版マスク５２と接触している先端部を中心として、互いの平行度を保ちながら孔版マスク５２から離れることなく揺動する。これにより、感光性樹脂５０へのエアー混入を防ぐことができる。また、このとき、一対のスキージブレード１，２の先端部の印刷マスク５２に対する当接圧を略一定に保ちながら該印刷マスク表面に対する傾きを逆転させることができる。これにより、印刷マスク５２に過度の当接圧が加わることなく、該印刷マスクの損傷を防止することができる。
そして、一対のスキージブレード１，２は、図２に示すように、復路スキージング方向Ｒ側の孔版マスク５２表面とのなすアタック角θ２が約６０°となる。
【００２２】
この状態で、図示しない駆動機構によってフレーム５を往路スキージング方向Ｆと反対方向の復路スキージング方向Ｒに移動させ、復路印刷を行う。復路印刷が終わると再びブレードホルダ３を往路印刷位置に移動させ往路スキージング方向Ｆへと作業が繰り返される。このように、上記往復印刷による一連の作業が終わり、孔版マスク５２の交換あるいは感光性樹脂５０等の印刷材料の回収を行う際には、孔版マスク５２と一対のスキージブレード１，２とを離間させる。このときは印刷が終了しているので、孔版マスク５２側に残留した感光性樹脂５０にエアーが混入しても上述したような問題はない。しかし、あらかじめ排出口１１ａをシャッタで閉じるか、加圧吸引装置１０を逆に動作させて印刷剤収容部１１内の感光性樹脂５０を回収しておき、孔版マスク５２側に残留する感光性樹脂５０を減らすことが望ましい。
【００２３】
以上、本実施形態によれば、一対のスキージブレードのブレードホルダを、片道印刷の終了時点で、孔版マスクと接触しているスキージブレードの先端部を中心として、円弧を描くようにして移動させる。よって、スキージブレード先端部を孔版マスクから離間させることなく孔版マスク表面上への傾きを逆転させることができる。これにより、スキージブレードの傾きの逆転に伴う感光性樹脂へのエアー混入を防ぎ、印刷時の充填不良を防止できると共に、速やかな往復印刷を可能にする。
【００２４】
なお、上記実施形態では、加圧供給装置を設けて印刷剤を加圧しながら孔版マスクに擦り込む構成について説明したが、孔版マスクの孔径等によっては、印刷剤を加圧せずに供給する構成としてもよい。
【００２５】
また、上記実施形態においては、貫通孔からなる印刷用パターンを有する印刷マスク（孔版マスク）に印刷剤を充填する場合について説明した。しかし本発明は、孔版マスクに印刷剤を充填する場合に限らず、凹部からなる印刷用パターンを有する印刷マスク（凹版マスク）に印刷剤を充填する場合にも適用できるものである。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１乃至５の発明によれば、スキージング方向の切替えにあたって、空気を印刷剤に巻き込むことがない。これにより、印刷剤への空気混入による印刷不良、例えば印刷マスクのドットスペーサ形成用の微細な孔に気泡が入りこんでしまうことによって発生する印刷不良やボイドを防いで、良好な往復印刷を行うことができるという優れた効果がある。
【００２７】
特に、請求項２の発明によれば、スキージング進行方向側の印刷マスク表面と各スキージ部材とのなす角度、いわゆるアタック角を鋭角とした。これにより、上記アタック角が鈍角の場合に比べ、印刷マスクの開口部エッジやスキージ先端部が傷付いてダメージを受けることがなく、印刷不良の発生を低減することができるという優れた効果がある。また、印刷マスクの貫通孔又は凹部に印刷剤をより確実に充填することができるという優れた効果もある。
【００２８】
特に、請求項３の発明によれば、スキージング方向を切替えるときに、スキージ進行方向に対して鋭角のアタック角となるように２つのスキージ部材の傾きを速やかに変更することができるという優れた効果がある。
【００２９】
特に、請求項４の発明によれば、シール部材が印刷剤収容部内に印刷剤を保持するので、該シール部材を設けない場合に比べ、該印刷剤の消費量を低減することができるという優れた効果がある。また、印刷動作に伴って印刷剤収容部内の印刷剤の攪拌が促進され、該印刷剤の高粘度化を防ぐことが可能となるという優れた効果もある。
【００３０】
特に、請求項５の発明によれば、印刷剤圧入手段により、２つのスキージ部材が印刷マスクに接触する部分に形成された排出口から該印刷マスクに対して該印刷剤を押し出すように排出し、該印刷マスクの貫通孔又は凹部に該印刷剤を確実に充填することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係る充填装置の要部構成を示す上面図。
（ｂ）は同充填装置に用いた充填部材等の側面図。
【図２】復路印刷を行う場合の充填装置の側面図。
【符号の説明】
１，２  スキージブレード
３      ブレードホルダ
４      連接プレート
５      フレーム
５ａ    ガイド溝
６      ガイドピン
７      エアシリンダ
７ａ    フリージョイント
８      シール部材
９      配管
１０    加圧供給装置
１１    印刷剤収容部
１１ａ  排出口
５０    感光性樹脂
５１    透明導電性基板
５２    孔版マスク
５２ａ  貫通孔
θ１，θ２  アタック角
【図１】
0003924470.tif 000002
【図２】
0003924470.tif 000003