(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂製シートを圧空成形又は真空成形してなり、砥石装着体の高さの略１／２の深さを有する、砥石装着体を収納する装着体収納用陥没部と、砥石装着体の取付孔に挿入する補強用隆起部とを形成し、前記装着体収納用陥没部の周囲に砥石装着体の外径に当接する位置決め用突部及び手指を挿入する手指挿入用凹部を形成し、前記補強用隆起部の周辺に砥石装着体の取付孔の内径に当接する位置決め用突部及び手指を挿入する手指挿入用凹部を形成し、前記装着体収納用陥没部の底面に砥石装着体のネジ孔に挿通する位置決め用突起を形成してなる緩衝材から構成される砥石装着体収納容器。
【請求項２】
熱可塑性樹脂製シートを所定形状に裁断した高さ調整用シートを砥石装着体と前記請求項１に記載の緩衝材との間に介在させて砥石装着体を緩衝材に収納したことを特徴とする砥石装着体収納容器。
【請求項３】
前記熱可塑性樹脂製シートは、ベック平滑度（ＪＩＳ  Ｐ−８１１９）が１００〜２０，０００秒、曲げ弾性率が８，０００〜４５，０００ｋｇ／ｃｍ2 の帯電防止性シートであることを特徴とする請求項１又は２に記載の砥石装着体収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、砥石装着体、特には、カップホイール型砥石を搬送、保管する際に使用する砥石装着体収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体ウエハの表面を高精度、高品質に仕上げるために、平面研削盤のスピンドル軸にカップホイール型砥石を取付け、これを高速度回転させて半導体ウエハの表面を研削することが行われている。
このカップホイール型砥石５１は、図４に示すように、カップホイール型基台５２の頂面部５２ａにダイヤモンド、セラミック等よりなる砥石５３を装着したものである。
【０００３】
カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際には、搬送、保管時の振動、他物体との接触等により、砥石５３の研削面を欠損しないように、緩衝材よりなる砥石装着体収納容器に収納し、それをさらに外箱に収納した上で、搬送、保管するようにしている。
このような砥石装着体収納容器としては、従来、図５に示すような、発泡ポリスチレン製の平板状緩衝材５４，５５と発泡ポリスチレン製の円筒状緩衝材５６とからなる砥石装着体収納容器５７が使用されている。そして、カップホイール型基台５２の取付孔５２ｂに円筒状緩衝材５６を挿入し、カップホイール型基台５２の上下方から平板状緩衝材５４，５５を当接し、それをさらにパルプ紙製外箱に収納した上で、搬送、保管するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の砥石装着体収納容器５７では、平板状緩衝材５４，５５は発泡ポリスチレン製であるため、表面のベック平滑度（ＪＩＳ  Ｐ−８１１９）は１秒以下と粗く、しかも、発泡ポリスチレン材料自体が脆いから、カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際に、カップホイール型砥石５１が外箱内で若干移動して砥石５３と平板状緩衝材５４，５５とが擦れ合い、平板状緩衝材５４，５５の表面が削られて、発泡ポリスチレン粉屑が生成された。
半導体ウエハの表面平坦度としては１μｍオーダーの平滑性が要求されるから、これを研削する砥石５３の表面に僅かな発泡ポリスチレン粉屑が付着していても好ましくない。そのため、研削又は研磨を開始する前に、発泡ポリスチレン粉屑を砥石５３の表面から除去しなければならなかった。
特に、研削盤又は研磨盤がクリーンルーム内に設置され、そこで半導体ウエハが研削又は研磨される場合は、発泡ポリスチレン粉屑は勿論のこと、パルプ紙製外箱から発生する紙粉がクリーンルームに搬入されることには問題があった。
【０００５】
本発明は、かかる従来の問題点を解決すべく為されたものであり、その目的とするところは、砥石装着体、特に、カップホイール型砥石を搬送、保管する際に、砥石と緩衝材とが擦れ合って、プラスチック粉屑を生成させることがなく、半導体ウエハの表面を研削又は研磨する前に余計な作業をする必要のない砥石装着体収納容器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、砥石装着体収納容器を、熱可塑性樹脂製シートを圧空成形又は真空成形してなり、砥石装着体の高さの略１／２の深さを有する、砥石装着体を収納する装着体収納用陥没部と、砥石装着体の取付孔に挿入する補強用隆起部とを形成し、前記装着体収納用陥没部の周囲に砥石装着体の外径に当接する位置決め用突部及び手指を挿入する手指挿入用凹部を形成し、前記補強用隆起部の周辺に砥石装着体の取付孔の内径に当接する位置決め用突部及び手指を挿入する手指挿入用凹部を形成し、前記装着体収納用陥没部の底面に砥石装着体のネジ孔に挿通する位置決め用突起を形成してなる緩衝材から構成したものである。
【０００７】
砥石装着体と前記緩衝材との間には、熱可塑性樹脂製シートを所定形状に裁断した高さ調整用シートを介在させてもよい。
【０００８】
そして、前記緩衝材、前記高さ調整用シートの素材である熱可塑性樹脂製シートとしては、ベック平滑度（ＪＩＳ  Ｐ−８１１９）が１００〜２０，０００秒、曲げ弾性率が８，０００〜４５，０００ｋｇ／ｃｍ2 の帯電防止性シートを使用するのが好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の砥石装着体収納容器の実施形態について、以下、図面を参照して詳細に説明する。
砥石装着体収納容器１は、図１乃至図３に示すように、緩衝材２，３及び高さ調整用シート４とからなる。
【００１０】
緩衝材２，３は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアミド、高密度ポリエチレン等の熱可塑性樹脂よりなる、肉厚が３００〜１，５００μｍの単体シート又はそれらの積層体シートを圧空成形又は真空成形によって所定形状としたものである。
【００１１】
これらシートの中でも、無延伸樹脂フィルム（Ａ）の片面又は両面に複層合成紙（Ｂ）を貼着一体化した積層体シートであって、肉厚が４００〜１，１００μｍ、ベック平滑度（ＪＩＳ  Ｐ−８１１９）が１００〜２０，０００秒、曲げ弾性率が８，０００〜４５，０００ｋｇ／ｃｍ2 の帯電防止性シートを使用するのが好ましい。帯電防止性シートの表面固有抵抗値は、１×１０13Ω／□以下、好ましくは、１×１０8 〜１×１０12Ω／□がよい。
【００１２】
無延伸樹脂フィルム（Ａ）としては、無機微細粉末を８〜５５重量％含有する肉厚が６０〜８００μｍの無延伸樹脂フィルムが好ましい。
無機微細粉末を含有させることにより、緩衝材２，３の剛性を高めることができる。そして、無延伸樹脂フィルムの肉厚は６０μｍ以上とするのが好ましい。
【００１３】
複層合成紙（Ｂ）としては、空孔（ボイド）を有する二軸延伸樹脂フィルムよりなる基材層（Ｂ1 ）の片面又は両面に、無機微細粉末を８〜６５重量％含有する一軸延伸樹脂フィルムよりなる紙状層（Ｂ2 ）を積層した、肉厚が３０〜３００μｍの複層合成紙が好ましい。
ここで、紙状層（Ｂ2 ）の表面には、ポリエチレンイミン、ポリアミドのエピクロルヒドリン付加物、水溶性アクリル系樹脂等の帯電防止剤を塗布するのが好ましい。
【００１４】
そして、紙状層（Ｂ2 ）側が外表面となるように、無延伸樹脂フィルム（Ａ）に複層合成紙（Ｂ）を溶着、接着等により貼着一体化し、肉厚が４００〜１，１００μｍの上記積層体シートを構成する。
尚、このような帯電防止性積層体シートは、王子油化合成紙（株）社よりα−ＹＵＰＯという商品名で販売されている。
【００１５】
緩衝材２，３は、図１に示すように、略正方形状を呈し、図４に示すカップホイール型砥石５１の外径Ｄ1 と略同一の内径Ｄ2 、その高さＨ1 の略１／２の深さＨ2 を有する円形状の装着体収納用陥没部５を形成してあり、その底面は若干底上げしてある。
又、装着体収納用陥没部５の内側には、取付孔５２ｂの内径Ｄ3 と略同一の外径Ｄ4 を有する補強用隆起部６を形成してあり、その頂面は緩衝材２，３の上面と面一となるようにしてある。
【００１６】
装着体収納用陥没部５の周囲には、所定間隔で複数の位置決め用突部７，７，…，７を形成してあり、これら位置決め用突部７，７，…，７の頂面７ａ，７ａ，…，７ａは円弧状とし、これら頂面７ａ，７ａ，…，７ａを結ぶことにより形成される円の外径Ｃ1 がカップホイール型砥石５１の外径Ｄ1 と略同一となるようにしてある。
又、装着体収納用陥没部５の周囲には、所定間隔で複数の手指挿入用凹部８，８，…，８を形成してある。
【００１７】
補強用隆起部６の周辺には、所定間隔で複数の位置決め用突部９，９，…，９を形成してあり、これら位置決め用突部９，９，…，９の頂面９ａ，９ａ，…，９ａは円弧状とし、これら頂面９ａ，９ａ，…，９ａを結ぶことにより形成される円の外径Ｃ2 がカップホイール型砥石５１の取付孔５２ｂの内径Ｄ3 と略同一となるようにしてある。
又、補強用隆起部６の周辺には、所定間隔で複数の手指挿入用凹部１０，１０，…，１０を形成してある。
【００１８】
さらに、前記装着体収納用陥没部５の底面には位置決め用突起１１を形成してあり、カップホイール型砥石５１の中心からネジ孔５８，５８，…，５８までの距離Ｌ1 と装着体収納用陥没部５の中心から位置決め用突起１１までの距離Ｌ2 とが略同一となるようにしてある。
【００１９】
高さ調整用シート４は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリアミド、高密度ポリエチレン等の熱可塑性樹脂よりなる適宜肉厚の単体シート又はそれらの積層体シートを所定形状に裁断したものである。
【００２０】
これらシートの中でも、無延伸樹脂フィルム（Ａ）の片面又は両面に複層合成紙（Ｂ）を貼着一体化した積層体シートであって、肉厚が１８０〜１，１００μｍ、ベック平滑度（ＪＩＳ  Ｐ−８１１９）が１００〜２０，０００秒、曲げ弾性率が８，０００〜４５，０００ｋｇ／ｃｍ2 の帯電防止性シートを使用するのが好ましい。
【００２１】
高さ調整用シート４は、図２に示すように、中央部を円形状の打抜孔１２とした薄肉円環体シートであり、その外径Ｄ5 を前記砥石収納用陥没部５の内径Ｄ2 と略同一とし、打抜孔１２の内径Ｄ6 を前記補強用隆起部６の外径Ｄ4 と略同一としてある。
又、前記補強用隆起部６の手指挿入用凹部１０，１０，…，１０に対応した位置に、打抜孔１２内に突出部１３，１３，…，１３を形成してあり、前記装着体収納用陥没部５の位置決め用突起１１に対応した位置に、打抜孔１２から切欠部１４を形成してある。
【００２２】
本発明の砥石装着体収納容器１は、以上のような構成であり、以下のように使用し、以下のような作用効果を奏する。
【００２３】
先ず、補強用隆起部６の手指挿入用凹部１０，１０，…，１０に突出部１３，１３，…，１３を、装着体収納用陥没部５の位置決め用突起１１に切欠部１４を位置させて、緩衝材２の装着体収納用陥没部５の底面上に高さ調整用シート４を載置する。
同様にして、緩衝材３の装着体収納用陥没部５の底面上にも高さ調整用シート４を載置しておく。
【００２４】
次に、図３（Ａ）に示すように、位置決め用突起１１を取付孔５８，５８，…，５８の何れかに挿通させるとともに、補強用隆起部６を取付孔５２ｂに挿通させて、カップホイール型砥石５１を緩衝材２の装着体収納用陥没部５の底面上に高さ調整用シート４を介して載置する。
【００２５】
そして、図３（Ｂ）に示すように、カップホイール型砥石５１が装着体収納用陥没部５内に位置するように、高さ調整用シート４を載置した緩衝材３の頂面をカップホイール型砥石５１を載置した緩衝材２の頂面に当接させれば、カップホイール型砥石５１を収納することができる。
【００２６】
本発明の砥石装着体収納容器１によれば、緩衝材２，３を重合した時、装着体収納用陥没部５，５の合計高さがカップホイール型砥石５１の高さと略同一となるから、カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際に、上下方向にカップホイール型砥石５１が移動することは殆どない。
又、カップホイール型砥石５１のネジ孔５８に位置決め用突起１１を挿通し、位置決め用突部７，７，…，７によってカップホイール型砥石５１の外径Ｄ1 を押圧し、位置決め用突部９，９，…，９によってカップホイール型砥石５１の取付孔５２ｂの内径Ｄ3 を押圧するから、カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際に、円周方向にカップホイール型砥石５１が移動することも殆どない。
よって、カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際に、砥石５３と緩衝材２，３とが擦れ合うことがないから、プラスチック粉屑が生成されることがない。
【００２７】
又、カップホイール型砥石５１、緩衝材２，３の寸法精度等によっては、カップホイール型砥石５１を搬送、保管する際に、砥石５３と緩衝材２，３とが多少擦れ合う場合もあるが、この場合でも、緩衝材２，３は、表面の平滑性が高く、しかも剛性も高いから、緩衝材２，３の表面が削られて、プラスチック粉屑が生成されることはない。
【００２８】
砥石装着体収納容器１からカップホイール型砥石５１を取り出すには、上記と全く逆の手順を実行すればよい。
この時、カップホイール型砥石５１を緩衝材２の装着体収納用陥没部５から取り出す際には、装着体収納用陥没部５の周囲に形成した手指挿入用凹部８，８，…，８及び補強用隆起部６の周辺に形成した手指挿入用凹部１０，１０，…，１０に手指を挿入すれば、カップホイール型砥石５１を確実に把持して取り出すことができる。
【００２９】
さらに、緩衝材２，３、高さ調整用シート４の素材として帯電防止性シートを使用すれば、砥石５３の表面に微細な異物が付着するすることを防止でき、より好ましい。
【００３０】
上記実施例においては、高さ調整用シート４をカップホイール型砥石５１と緩衝材２，３との間に介在させたが、必ずしも高さ調整用シート４を介在させる必要はなく、一方、同一形状の緩衝材２，３で多種形状のカップホイール型砥石５１に適用するべく、肉厚の異なる高さ調整用シート４を多種用意しておいてもよい。
【００３１】
【発明の効果】
本発明の砥石装着体収納容器によれば、砥石装着体を搬送、保管する際に、砥石と緩衝材とが擦れ合って、プラスチック粉屑を生成させることがなく、半導体ウエハの表面を研削又は研磨する前に余計な作業をする必要がない。
又、本発明の砥石装着体収納容器は、砥石装着体を搬送する際に、プラスチック粉屑、紙粉等が発生しないので、砥石装着体を砥石装着体収納容器に収納したままでクリーンルーム内に搬入することができ、都合が良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の砥石装着体収納容器の緩衝材の（Ａ）は平面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図２】本発明の砥石装着体収納容器の高さ調整用シートの平面図である。
【図３】（Ａ）は緩衝材にカップホイール型砥石を載置した状態を示す平面図、（Ｂ）は砥石装着体収納容器にカップホイール型砥石を収納した状態を示す縦断面図である。
【図４】カップホイール型砥石の（Ａ）は平面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図５】従来の砥石装着体収納容器にカップホイール型砥石を収納する方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  砥石装着体収納容器
２，３  緩衝材
４  高さ調整用シート
５  装着体収納用陥没部
６  補強用隆起部
７  位置決め用突部
８  手指挿入用凹部
９  位置決め用突部
１０  手指挿入用凹部
１１  位置決め用突起
５１  カップホイール型砥石
５２ｂ  取付孔
５８  ネジ孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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