(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に設けられた複数のインク配置領域に対してインクを着弾させるための吐出部を備えるヘッド部と、
このヘッド部と前記基板とを保持すると共に、前記基板と前記吐出部との相対位置を調節するための調節保持部と、
前記ヘッド部を回転させるためのヘッド回転部と、
前記吐出部の位置を特定するための第１の撮像手段と、
前記基板の位置を特定するための第２の撮像手段と、を有するフィルタ製造装置であって、
前記第１の撮像手段が前記調節保持部に設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置。
【請求項２】
前記調節保持部は、前記ヘッド部を保持し特定の方向に移動させるヘッド移動部と、
前記基板を保持し、前記ヘッド移動部と直交する方向に移動させる基板移動部と、
を有し、
前記第１の撮像手段が、この基板移動部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ製造装置。
【請求項３】
前記特定の方向がＸ軸方向で、前記ヘッド移動部と直交する方向がＹ軸方向であり、
前記ヘッド移動部がＸ軸テーブルで、前記基板移動部がＹ軸テーブルで、あることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ製造装置。
【請求項４】
前記第１の撮像手段がヘッド部撮像用カメラであり、
前記第２の撮像手段が基板撮像用カメラであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフィルタ製造装置。
【請求項５】
前記Ｙ軸テーブルの移動方向と直交する方向の略中央部に一つの前記ヘッド部撮像用カメラ設けられていることを特徴とする請求項４に記載のフィルタ製造装置。
【請求項６】
前記ヘッド部と前記基板には、それぞれ複数のアライメントマークが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルタ製造装置。
【請求項７】
前記ヘッド部のアライメントマークが、ヘッド部の吐出部が設けられている側における長手方向の両端部にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項６に記載のフィルタ製造装置。
【請求項８】
前記ヘッド部を回転させるためのヘッド回転部と、前記Ｙ軸テーブルを回転させるためのＹ軸テーブル回転部が設けられており、
これらヘッド回転部とＹ軸テーブル回転部は、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向で形成される面に垂直なＺ軸の回転方向θに前記ヘッド部及び前記Ｙ軸テーブルを回転させることを特徴とする請求項３乃至請求項７のいずれかに記載のフィルタ製造装置。
【請求項９】
前記ヘッド部には、ヘッド部の回転中心を特定するための回転中心用カメラが複数個配置され、この複数の回転中心用カメラが撮像するマークがY軸テーブル上に載置されるガラスマスク上に複数箇所、設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに記載のフィルタ製造装置。
【請求項１０】
前記ガラスマスクには、前記Ｘ軸テーブル及び前記Ｙ軸テーブルの位置補正用の情報が備えられていることを特徴とする請求項９に記載のフィルタ製造装置。
【請求項１１】
前記基板がカラーフィルタ用基板であり、前記インク配置領域が、このカラーフィルタ用基板の表面にマトリックス状に設けられ、
前記インクが赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）若しくは青色（Ｂ）のいずれかのインクであることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のフィルタ製造装置。
【請求項１２】
基板の表面に設けられた複数のインク配置領域相互間の距離と、前記複数のインク配置領域に対してインクを着弾させるためのヘッド部に複数設けられたインクの吐出部相互間の距離を調整するため、このヘッド部を必要な角度回転させる工程と、
前記基板を保持すると共に撮像手段も備えている基板移動部を移動させ、この撮像手段で前記ヘッド部に設けられたアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像手段で撮像した前記アライメントマークの位置情報に基づき、前記ヘッド部の回転角度を検証する工程と、を有することを特徴とするフィルタ製造方法。
【請求項１３】
基板の表面に設けられた複数のインク配置領域相互間の距離と、前記複数のインク配置領域に対してインクを着弾させるためのヘッド部に複数設けられたインクの吐出部相互間の距離を調整するため、このヘッド部を必要な角度回転させる工程と、
前記基板を保持すると共に撮像手段も備えている基板移動部を移動させ、この撮像手段で前記ヘッド部に設けられたアライメントマークを撮像する工程と、
前記撮像手段で撮像した前記アライメントマークの位置情報に基づき、前記ヘッド部の回転角度を検証する工程と、により製造されたことを特徴とするフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示装置等の表示装置に用いられるカラーフィルタ等のフィルタを製造するためのフィルタ製造装置及びフィルタ製造方法並びにフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶表示装置等の表示装置に用いられるカラーフィルタ等は、基板上に多数形成されているインク配置領域のそれぞれに対して、インクを配置することにより製造される。
このインクは、赤色（Ｒ）、緑（Ｇ）若しくは青色（Ｂ）のインクでなり、これらのＲ，Ｇ，Ｂのインクを所定のパターンで、基板上に配置するようになっている。
このように、Ｒ，Ｇ，Ｂのインクは基板上のインク配置領域毎に精度良く、且つ色を違えて配置するため、インクの吐出を高精度に制御する必要があり、このような要請に適うものとして、インクジェット方式が採用されている。
インクジェット方式は、インクが収容されているインクジェットヘッドにインク吐出用のノズルが多数配置され、このノズルから吐出されるインク量は、圧電素子等の動作によって決定されるようになっている。
【０００３】
この圧電素子の動作は、外部から印加される電圧の高低によって、精度良く制御できるため、結果的にインクジェット方式は、インクの吐出量を精度良く制御できる。
このようなインクジェット方式のカラーフィルタ製造装置の要部を示したのが、図１１である。
図１１に示すように、カラーフィルタ製造装置１０はベース部１１を有し、その上には、図においてＹ軸方向に移動可能なＹ軸テーブル１２が設けられている。  このＹ軸テーブル１２の上には、カラーフィルタ用基板１３が載置され、Ｙ軸テーブル１２によって、Ｙ軸方向に移動可能となっている。
一方、ベース部１１の上方には、図においてＸ軸方向に移動可能なＸ軸テーブル１５が配置されている。具体的には、このＸ軸テーブル１５は、ベース部１１上に設けられている４つの支柱１１ａと、この支柱１１ａにより保持されているＸ軸テーブル支持部１４に設けられている。
【０００４】
このようにＸ軸方向に移動可能に保持されているＸ軸テーブル１５には、インクジェットヘッド１６が配置され、Ｘ軸テーブル１５によってＸ軸方向に移動可能に配置されている。
また、これらＹ軸テーブル１２とＸ軸テーブル１５は、図においてθ方向にも回転可能になっている。
以上のようにカラーフィルタ用基板１３をＹ軸方向やθ方向に、インクジェットヘッド１６をＸ軸方向やθ方向に移動させることによって、カラーフィルタ用基板１３の所定位置にインクジェットヘッド１６を配置できるようになっている。
そして、このようにカラーフィルタ用基板１３の所定位置に、インクジェットヘッド１６を配置するには、移動前のカラーフィルタ用基板１３とインクジェットヘッド１６の位置を正確に認識する必要がある。
【０００５】
そこで、カラーフィルタ製造装置１０のベース部１１には、図１２に示すように、Ｙ軸テーブル１２の長辺に沿って４つのＣＣＤカメラが設けられている。
このうち、図においての左側の２つが基板用固定カメラ１７であり、右側の２つがインクジェットヘッド用固定カメラ１８である。なお、２つの基板固定用カメラ１７は、図示しないカメラ固定部によってベース部１１上方に位置するようにベース部１１に設けられている。
このように配置された基板用固定カメラ１７及びインクジェットヘッド用固定カメラ１８とカラーフィルタ用基板１３及びインクジェットヘッド１６等との関係を示したのが図１３である。図１３に示すように、２つの基板用固定カメラ１７は、カラーフィルタ用基板１３の一辺の表面端部を撮像するようになっている。
また、２つのインクジェットヘッド用固定カメラ１８は、インクジェットヘッド１６のノズル形成面の一方の短辺の端部を撮像するようになっている。
そして、これに対応して、カラーフィルタ用基板１３には、図１４に示すように、２つのアライメントマーク１３ａが設けられている。
【０００６】
また、図１５に示すように、インクジェットヘッド１６には、長辺の両端部にアライメントマーク１６ａが設けられている。また、このアライメントマーク１６ａは、複数のノズルで構成されるノズル列の中心線と一直線上となるような位置に配置されている。
したがって、カラーフィルタ製造装置１０のＹ軸テーブル１２上にカラーフィルタ用基板１３を配置し、このカラーフィルタ用基板１３の２つのアライメントマーク１３ａを、２つの基板用固定カメラ１７で撮像することで、各カラーフィルタ用基板１３の除給材精度によるズレを把握することができる。
したがって、このズレ情報に基づき、Ｙ軸テーブル１２をＹ軸方向やθ方向に動かし、カラーフィルタ用基板１３のズレを補正することになる。
一方、インクジェットヘッド１６は、Ｘ軸テーブル１５をＸ軸方向に動かすとともに、θ方向に９０°回転させることによって、図１３のＡ−Ａ'線上に図１５に示すインクジェットヘッド１６の２つのアライメントマーク１６ａが配置するようにした後、２つのインクジェットヘッド用固定カメラ１８でインクジェットヘッド１６の２つのアライメントマーク１６ａを撮像する。
【０００７】
この撮像データで、インクジェットヘッド１６の取り付けのズレ等を把握し、Ｘ軸テーブル１５をＸ軸方向やθ方向に動かし、インクジェットヘッド１６の位置ズレを補正することになる。
ところで、インクジェットヘッド１６には、Ｒ，Ｇ，Ｂのインクを吐出するためのノズルが図１５の斜線部分に多数配置されている。この多数のノズルは一定のノズルピッチで設けられている。
また、カラーフィルタ用基板１３にも、インクを配置し、画素を形成するための画素部が多数、マトリックス状に配置され、それぞれの画素部が一定の間隔で配置されている。
ここで、インクジェットヘッド１６のノズルピッチは、必ずしも画素部のピッチと一致しないため、図１３に示すインクジェットヘッド１６の角度（Ｙ軸方向に対し９０°）でカラーフィルタ用基板１３にインクを吐出すると、ノズルの位置と画素部の位置が合わず、画素部と画素部との間にインクを吐出してしまうことになる。
【０００８】
そこで、インクジェットヘッド１６の回転中心を予め求めた状態で、一定の角度θだけインクジェットヘッド１６が傾くように、回転させる。
このように傾かせることで、図１６に示す説明図のように、ノズルピッチをＢからＣへ変化させることができ、これによりノズルピッチと画素部のピッチとを調整することができることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このインクジェットヘッド１６を傾かせる角度は、回転中心等から算出した計算値であるため、インクジェットヘッド１６を傾かせた後、実際にインクジェットヘッド１６が計算値通りであるか否かを確かめる必要がある。
このとき、インクジェットヘッド１６の位置を確かめるには、図１３に示す２つのインクジェットヘッド用固定カメラ１８で、図１５に示すインクジェットヘッド１６のアライメントマーク１６ａを撮像する必要がある。
しかし、図１２に示す２つのインクジェットヘッド用固定カメラ１８は、ベース部１１に固定であり、且つ、インク吐出位置に配置されているインクジェットヘッド１６から離れているため、インクジェットヘッド１６の２つのアライメントマーク１６ａを撮像するのは困難であった。
【００１０】
このため、カラーフィルタ製造装置１０は、傾いた後のインクジェトヘッド１６の正確な位置を把握することができないという問題があった。
そこで、実際にカラーフィルタ用基板１３にインクの吐出をする前に、テスト用の基板を用意し、この基板にインクの吐出テストをし、吐出位置がズレているときは、その分だけさらにインクジェットヘッド１６の傾きを補正していた。
そして、補正後、再びインクの吐出テストを行い、インクの吐出位置が正しいいことを確認した後、実際のカラーフィルタ用基板１３にインクを吐出するため、テスト用の基板を準備する必要があり、コストと時間がかかってしまうという問題があった。
【００１１】
そこで、本発明は、以上の点に鑑み、製造コストを上昇させずに、簡単な構成で吐出確認をする必要なく基板のインク配置領域と吐出部との相対位置を合わせることができるフィルタ製造装置及びフィルタ製造方法並びにこの製造方法によって製造されたフィルタを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
前記目的は、請求項１の発明によれば、複数のインク配置領域を有する基板と、このインク配置領域に対してインクを着弾させるための吐出部を備えるヘッド部と、このヘッド部と前記基板とを保持すると共に、前記基板と前記吐出部との相対位置を調節するための調節保持部と、前記ヘッド部を回転させるための回転部と、前記吐出部の位置を特定するための第１の撮像手段と、前記基板の位置を特定するための第２の撮像手段と、を有するフィルタ製造装置であって、前記第１の撮像手段が前記調節保持部に設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置により、達成される。
請求項１の構成によれば、前記第１の撮像手段が前記調節保持部に設けられているので、前記吐出部の位置が変化しても、その変化位置に合わして前記調節保持部を移動することで、前記第１の撮像手段を前記吐出部の移動位置まで容易に移動させることができる。
【００１３】
好ましくは、請求項２の発明によれば、請求項１の構成において、前記調節保持部は、前記ヘッド部を保持し特定の方向に移動させるヘッド移動部と、前記基板を保持し、前記ヘッド移動部と直交する方向に移動させる基板移動部と、を有し、前記第１の撮像手段が、この基板移動部に設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項２の構成によれば、前記第１の撮像手段が、前記基板移動部に設けられているので、前記基板移動部を移動させることで、前記第１の撮像手段も所望の位置に移動させることができる。
【００１４】
好ましくは、請求項３の発明によれば、請求項２の構成において、前記特定の方向がＸ軸方向で、前記ヘッド移動部と直交する方向がＹ軸方向であり、前記ヘッド移動部がＸ軸テーブルで、前記基板移動部がＹ軸テーブルであることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項３の構成によれば、前記基板移動部がＹ軸テーブルであるので、前記第１の撮像手段がこのＹ軸テーブルに設けられ、Ｙ軸方向に移動可能となっている。
【００１５】
好ましくは、請求項４の発明によれば、請求項１乃至請求項３のいずれかの構成において、前記第１の撮像手段がヘッド部撮像用カメラであり、前記第２の撮像手段が基板撮像用カメラであることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項４の構成によれば、前記第１の撮像手段がヘッド部撮像用カメラであり、前記第２の撮像手段が基板撮像用カメラであるので、このヘッド部撮像用カメラがヘッド部を撮像し、ヘッド部に関する位置情報等を得ることができる。また、基板撮像用カメラが基板を撮像し、基板に関する位置情報等を得ることができる。
【００１６】
好ましくは、請求項５の発明によれば、請求項４の構成において、前記Ｙ軸テーブルの移動方向と直交する方向の略中央部に一つの前記ヘッド部撮像用カメラ設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項５の構成によれば、前記Ｙ軸テーブルの移動方向と直交する方向の略中央部に一つの前記ヘッド部撮像用カメラ設けられているので、このヘッド部撮像用カメラの撮像対象である前記ヘッド部の最も離れている部分である前記ヘッド部の長辺の両端部の略中間部にヘッド部撮像用カメラが設けられていることになる。
したがって、前記ヘッド部の例えば両端部を１つのヘッド部撮像用カメラで撮像することが容易となる。
【００１７】
好ましくは、請求項６の発明によれば、請求項１乃至請求項５のいずれかの構成において、前記ヘッド部と前記基板には、それぞれ複数のアライメントマークが設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項６の構成によれば、前記ヘッド部と前記基板には、それぞれ複数のアライメントマークが設けられているので、前記第１の撮像手段又は前記ヘッド部用カメラが、ヘッド部の複数のアライメントマークを撮像し、ヘッド部の位置情報を得ることになる。
また、前記第２の撮像手段又は前記基板撮像用カメラが、基板のアライメントマークを撮像し、基盤の位置情報を得ることになる。
【００１８】
好ましくは、請求項７の発明によれば、請求項６の構成において、前記ヘッド部のアライメントマークが、ヘッド部の吐出部が設けられている側における長手方向の両端部にそれぞれ配置されていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項７の構成によれば、前記第１の撮像手段又は前記ヘッド部用カメラが、前記ヘッド部の吐出部が設けられている側における長手方向の両端部にそれぞれ配置されているアライメントマークを撮像し、ヘッド部の位置情報を得ることになる。
【００１９】
好ましくは、請求項８の発明によれば、請求項３乃至請求項７のいずれかの構成において、前記ヘッド部を回転させるためのヘッド回転部と、前記Ｙ軸テーブルを回転させるためのＹ軸テーブル回転部が設けられており、これらヘッド回転部とＹ軸テーブル回転部は、前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向で形成される面に垂直なＺ軸を回転する方向に前記ヘッド部及び前記Ｙ軸テーブルを回転させることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項８の構成によれば、前記ヘッド部及び前記Ｙ軸テーブルを回転させるためのヘッド部回転部及びＹ軸テーブル回転部が設けられているので、前記ヘッド部及びＹ軸テーブルを前記Ｚ軸の回転方向θに動かすことができる。したがって、より精度良くヘッド部及びＹ軸テーブルを動かすことができる。
【００２０】
好ましくは、請求項９の発明によれば、請求項１乃至請求項８のいずれかの構成において、前記ヘッド部には、ヘッド部の回転中心を特定するための回転中心用カメラが複数個配置され、この複数の回転中心用カメラが撮像するマークがガラスマスク上に複数箇所、設けられていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項９の構成によれば、前記ヘッド部には、ヘッド部の回転中心を特定するための回転中心用カメラが複数個配置され、この複数の回転中心用カメラが撮像するマークがガラスマスク上に複数箇所、設けられているので、前記複数の回転中心用カメラが例えばガラスマスク上の２つのマークを撮像し、中点を求める等してヘッド部の回転中心を把握することができる。
【００２１】
好ましくは、請求項１０の発明によれば、請求項９の構成において、前記ガラスマスクには、前記Ｘ軸テーブル及び前記Ｙ軸テーブルの位置補正用の情報が備えられていることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項１０の構成によれば、前記ガラスマスクには、前記Ｘ軸テーブル及び前記Ｙ軸テーブルの位置補正用の情報が備えられているので、前記ヘッド部と前記基板との相対位置を補正する前に、これらを備える前記Ｘ軸テーブル及び前記Ｙ軸テーブルの位置を補正することができる。
【００２２】
好ましくは、請求項１１の発明によれば、請求項１乃至請求項１０のいずれかの構成において、前記基板がカラーフィルタ用基板であり、前記インク配置領域が、このカラーフィルタ用基板の表面にマトリックス状に設けられ、前記インクが赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）若しくは青色（Ｂ）のいずれかのインクであることを特徴とするフィルタ製造装置である。
請求項１１の構成によれば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）若しくは青色（Ｂ）のいずれかのインクを、基板の表面にマトリックス状に設けられているインク配置領域に配置させることで、カラーフィルタ用基板が形成される。
【００２３】
前記目的は、請求項１２の発明によれば、基板の表面に設けられた複数のインク配置領域相互間の距離と、ヘッド部に複数設けられたインクの吐出部相互間の距離を調整するため、このヘッド部を必要な角度回転させる工程と、前記基板を保持すると共に撮像手段も備えている基板移動部を移動させ、この撮像手段で前記ヘッド部に設けられたアライメントマークを撮像する工程と、前記撮像手段で撮像した前記アライメントマークの位置情報に基づき、前記ヘッド部の回転角度を検証する工程と、を有することを特徴とするフィルタ製造方法により、達成される。
請求項１２の構成によれば、前記基板を保持すると共に撮像手段も備えている基板移動部を移動させ、この撮像手段で前記ヘッド部に設けられたアライメントマークを撮像する工程と、前記撮像手段で撮像した前記アライメントマークの位置情報に基づき、前記ヘッド部の回転角度を検証する工程を有するため、前記ヘッド部を必要な角度回転させた後、例えばテスト基板にインクの吐出テスト等を行うことなく、所望の位置にヘッド部を精度良く配置することができる。
【００２４】
前記目的は、請求項１３の発明によれば、基板の表面に設けられた複数のインク配置領域相互間の距離と、ヘッド部に複数設けられたインクの吐出部相互間の距離を調整するため、このヘッド部を必要な角度回転させる工程と、前記基板を保持すると共に撮像手段も備えている基板移動部を移動させ、この撮像手段で前記ヘッド部に設けられたアライメントマークを撮像する工程と、前記撮像手段で撮像した前記アライメントマークの位置情報に基づき、前記ヘッド部の回転角度を検証する工程と、により製造されたことを特徴とするフィルタにより、達成される。
請求項１３の構成によれば、フィルタ製造時にインクの吐出テストを行う必要がないので、製造工程を低減でき、低コストのフィルタを提供することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明のフィルタ製造装置の第１の実施の形態であるカラーフィルタ製造装置１００を示す概略図である。
カラーフィルタ製造装置１００は、図１に示すようにカラーフィルタ製造装置本体部１１０と、これを制御等する部分を有している。
カラーフィルタ製造装置本体部１１０は、図１に示すように直方体状のベース部１２０を備えている。このベース部１２０の上には，Ｙ軸テーブル１３０が配置されている。
Ｙ軸テーブル１３０は、全体が板状に形成されている。そして、Ｙ軸テーブル１３０は、図においてＹ軸方向に移動可能で、且つ、図においてＺ軸の回転方向（矢印方向θ）に回転可能に形成されている。また、Ｙ軸テーブル１３０上には、基板であるカラーフィルタ用基板１４０が載置され、Ｙ軸テーブル１３０の移動や回転に伴って、カラーフィルタ用基板１４０も移動や回転するようになっている。
【００２６】
カラーフィルタ用基板１４０は、例えばガラス等により形成され、図２に示すように平面が四角形の板状に形成されている。そして、図２に示すように、２つのアライメントマーク１４０ａがカラーフィルタ用基板１４０の図１において表面に相当する部分に配置されている。
この２つのアライメントマーク１４０ａは、後述のようにベース部１２０の基板撮像用カメラ配置側に相当するカラーフィルタ用基板１４０の一側に設けられている。
さらに、このカラーフィルタ用基板１４０の表面には、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれかの色のインクを配置するためのインク配置領域である略四角形の画素部１４１が、図３に示すようにバンク１４２で仕切られて多数配置されている。
【００２７】
この各画素部１４１は、インクが配置されると、それぞれが各画素となるように形成され、具体的には、図４に示すように溝部１４１ａが形成されている。
図４は、図３のＡ−Ａ'断面図であり、この溝部１４１ａ内にインクが配置されることになる。
ところで、図５は、図１のベース部１２０及びカラーフィルタ用基板１４０の表面を示す概略図であるが、図示するように、このベース部１２０の表面には、基板撮像用カメラ１６０が２つ固定状態で設けられている。
これら２つの基板撮像用カメラ１６０の上方には、上述のようにＹ軸テーブル１３０上のカラーフィルタ用基板１４０のアライメントマーク１４０が設けられている部分が配置されるように形成されている。
【００２８】
また、Ｙ軸テーブル１３０の短辺である幅方向の略中央部には、ヘッド部撮像用カメラであるヘッド撮像カメラ１６１が１つ形成されている。
これら基板撮像用カメラ１６０及びヘッド撮像用カメラ１６１は、小型のＣＣＤカメラで形成されている。
図６は、図１のカラーフィルタ製造装置本体部１１０の概略平面図を示す図であるが、図６で破線で示すようにヘッド撮像用カメラ１６１は、Ｙ軸テーブル１３０とカラーフィルタ用基板１４０との間に配置されることになる。また、２つの基板撮像用カメラ１６０は、カラーフィルタ用基板１４０のアライメントマーク１４０ａが付されている側に対応して配置される。
【００２９】
ところで、図１に示すようにカラーフィルタ用基板１４０の上方には、４つの支柱１７０を介してＸ軸テーブル１８０が配置されている。このＸ軸テーブル１８０には、ヘッド保持部１８１を介してヘッド部であるインクジェットヘッド１９０が備えられている。
このようなＸ軸テーブル１８０は、図１のＸ軸方向に移動可能に形成されている。
上記インクジェットヘッド１９０は、具体的には図７（ａ）（ｂ）に示すように形成されている。図７（ａ）は、図１のインクジェットヘッド１９０の概略平面であり、図７（ｂ）は、図１のインクジェットヘッド１９０の概略底面図である。
【００３０】
図７に示すように、インクジェットヘッド１９０は、ヘッド回転部であるヘッドＺ軸１９１を有しており、このヘッドＺ軸１９１によりインクジェット１９０は、図１のＺ軸回転方向θに回転するようになっている。
また、インクジェットヘッド１９０の底面には、ノズル形成部１９２が図７に示すように６個形成されている。このノズル形成部１９２には、吐出部であるノズルが、例えば１８０個形成されている。このノズルから赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれかのインクが所望の量だけ吐出されることになる。
このインク量は、インクジェットヘッド１９０内に備えられている圧電素子の動きによって制御される。
【００３１】
そして、インクジェットヘッド１９０の底面の長辺の両端部で、ノズル形成部１９２の外側には、アライメントマーク１９３が全部で２つ形成されている。この２つのアライメントマーク１９３は、上述のＹ軸テーブル１３０に備えられているヘッド撮像カメラ１６１により撮像されることになる。
このとき、ヘッド撮像カメラ１６１は、インクジェットヘッド１９０の両端部に設けられた２つのアライメントマーク１９３の中間部に配置されることになるので、ヘッド撮像カメラ１６１により効率良く２つのアライメントマーク１９３を撮像することができる。
また、この２つのアライメントマーク１９３の近傍には、図７（ｂ）に示すように、回転中心用カメラ１９４が設けられている。この回転中心用カメラ１９４は、例えば小型のＣＣＤカメラにより形成されている。
【００３２】
回転中心用カメラ１９４は、図７（ｂ）に示すように全部で２つ設けられており、この２つの回転中心用カメラ１９４でＹ軸テーブル１３０上に載置されるガラスマスク１９５上の特定の部分を撮像し、インクジェットヘッド１９０をヘッドＺ軸を回転させる際の回転中心を算出することになる。
このガラスマスク１９５は、上述のカラーフィルタ用基板１４０とは異なり、インクを吐出する対象となるものではなく、インクジェットヘッド１９０の回転中心を調整したり、後述するようにカラーフィルタ製造装置１００のＸ軸テーブル１８０及びＹ軸テーブル１３０を調整するために用いられるものである。
【００３３】
図１に示すカラーフィルタ装置本体部１１０は、以上のように構成されており、このカラーフィルタ装置本体部１１０を動作等させるために、以下のような構成が設けられている。
先ず、図１に示すようにＸ軸テーブル１８０には、例えばモータ等で構成されるＸ軸テーブル駆動部１０１が接続されている。このＸ軸テーブル駆動部１０１により、Ｘ軸テーブル１８０は、Ｘ軸方向に移動させられることになる。
そして、Ｘ軸テーブル駆動部１０１は、その駆動を制御するコンピュータ等から成るＸ軸テーブル制御部１０２が接続されている。したがって、Ｘ軸テーブル１８０の移動量は、このＸ軸テーブル制御部１０２により制御される。
さらに、このＸ軸テーブル制御部１０２は、これに接続されているコンピュータ等からなる中央制御部１０３に接続され、制御されている。
【００３４】
また、図１に示すＹ軸テーブル１３０もＹ軸テーブル駆動部１１５により、Ｙ軸方向やＺ軸回転方向θに移動させられるようになっている。そして、Ｙ軸テーブル駆動部１１５は、Ｙ軸テーブル制御部１１６により制御され、このＹ軸テーブル制御部１１６は、中央制御部１０３により制御されている。
また、インクジェットヘッド１９０には、図１に示すように、インクジェットヘッド１９０のヘッドＺ軸１９１をθ方向に回転させるモータ等から成るインクジェットヘッド駆動部１０４が接続されている。
そして、このインクジェットヘッド駆動部１０４を制御するコンピュータ等から成るインクジェットヘッド制御部１０５が設けられており、このインクジェットヘッド制御部１０５も中央制御部１０３により制御されている。
【００３５】
ところで、インクジェットヘッド１９０の底面に設けられている図７（ｂ）に示す回転中心用カメラ１９４に関しては、これを駆動するための回転中心用カメラ駆動部１０６と、この回転中心用カメラ駆動部１０６を制御する回転中心用カメラ制御部１０７が設けられている。また、回転中心用カメラ制御部１０７は、中央制御部１０３で制御されるようになっている。
さらに、Ｙ軸テーブル１３０に設けられているヘッド撮像用カメラ１６１に関しては、これを駆動するためのヘッド撮像用カメラ駆動部１０８と、このヘッド撮像用カメラ駆動部１０８を制御するヘッド撮像用カメラ制御部１０９が設けられている。また、ヘッド撮像用カメラ制御部１０９は、中央制御部１０３で制御されるようになっている。
【００３６】
そして、図５に示すベース部１２０に設けられている基板撮像用カメラ１６０に関しても、これを駆動するための基板撮像用カメラ駆動部１１１と、この基板撮像用カメラ駆動部１１１を制御する基板撮像用カメラ制御部１１２が設けられている。また、基板撮像用カメラ制御部１１２も、中央制御部１０３で制御されている。
上述の回転中心用カメラ１９４、ヘッド撮像用カメラ１６１及び基板撮像用カメラ１６０で撮像したデータは、図１の撮像データ送信部１１３より中央制御部１０３を経てテータ管理部１１４に格納される。
【００３７】
本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置１００は、以上のように構成されるが、以下、その動作等ついて説明する。
カラーフィルタ製造装置１００は、カラーフィルタ製造装置１００で、実際にカラーフィルタ用基板１４０の画素部１４１に（赤色）Ｒ、（緑色）Ｇ、（青色）Ｂのいずれかのインクを吐出する前にカラーフィルタ製造装置本体部１１０の調整を行う。
このカラーフィルタ製造装置本体部１１０の調整は、アライメント前準備作業と装置本体のアライメント作業とがあるため、それぞれについて説明する。
【００３８】
（アライメント前準備作業）
先ず、図１に示すカラーフィルタ製造装置本体部１１０のＹ軸テーブル１３０上に、上述のガラスマスク１９５を載置する。このとき、環境温度を、所定の使用環境温度、又はこの温度±０．５℃に設定する。
ところで、ガラスマスク１９５には、Ｘ軸テーブル１８０及びＹ軸テーブル１３０の位置補正用の情報である、所定のマークが形成されている。また、上述のようにインクジェットヘッド１９０の回転中心を算出するためのマークも形成されている。
このようなガラスマスク１９５は、具体的には、図８に示すように例えば短辺３７０ｍｍ、長辺４７０ｍｍの板状となっており、厚みは例えば０．７ｍｍと成っている。このガラスマスク１９５の表面に図８に示すように上述マークが例えばＣｒ（クロム）で形成されている。
【００３９】
このマークは、図８において符号Ｄ乃至符号Ｈで示す位置に形成されている。そして、符号Ｄ乃至符号Ｈで示す各マークは、それぞれ異なる構成となっている。図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図１０（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、符号Ｄ、Ｅ，Ｆ，Ｇ及びＨで示す各マークの構成を示す概略拡大図である。
また、図８に示すガラスマスク１９５上には、符号Ｄで示すマークが４ヶ所、符号Ｅで示すマークが４ヶ所、符号Ｆで示すマークが１９１ヶ所、符号Ｇで示すマークが８ヶ所、そして符号Ｈで示すマークが２ヶ所、それぞれ配置されている。
このようなガラスマスク１９５上のマークのうち、先ず、Ｘ軸テーブル位置補正用のマークをインクジェットヘッド１９０の回転中心用カメラ１９４（図７（ｂ））で撮像する。そして、この撮像データは図１の撮像データ送信部１１３から中央制御部１０３を介してデータ管理部１１４に一旦、保存される。
【００４０】
一方、ガラスマスク１９５上のマークのうち、Ｙ軸テーブル位置補正用のマークを図２に示す基板撮像用カメラ１６０等で撮像し、撮像データは、撮像データ送信部１１３から中央制御部１０３を介してデータ管理部１１４に一旦、保存される。
このようにデータ管理部１１２に一旦、保存されたＸ軸テーブル位置補正用のマークとＹ軸テーブル位置補正用のマークは、後述するカラーフィルタ製造工程のインク吐出前の初期設定時に参照されるデータとなる。
すなわち、カラーフィルタ製造工程のインク吐出前の初期設定時には、ガラスマスク１９５が載置され、そのとき、取り込まれた撮像データが、上記参照されるデータと異なるときは、参照データと同様になるように補正動作を行うことになる。
この補正動作は、図１の中央制御部１０３の指示により、Ｘ軸テーブル制御部１０２、Ｘ軸テーブル駆動部１０１を介してＸ軸テーブル１８０をＸ軸方向に必要量移動することにより行われる。
【００４１】
また、補正動作には、中央制御部１０３の指示により、Ｙ軸テーブル制御部１１６、Ｙ軸テーブル駆動部１１５を介してＹ軸テーブル１３０をＹ軸方向等に必要量移動することも含まれる。
このような補正動作を将来、行うためのＸ軸テーブル１８０及びＹ軸テーブル１３０誤差データが、ここでデータ管理部１１４に登録される。
次に、インクジェットヘッド１９０の回転中心データの登録が行われる。
すなわち、先ず、図１に示す、中央制御部１０３の指示により、回転中心用カメラ制御部１０７、回転中心用カメラ駆動部１０６を介して、図７（ｂ）に示す２つの回転中心用カメラ１９４を動かし、ガラスマスク１９５上の２点を撮像する。
【００４２】
そして、その撮像データは、中央制御部１０３の指示により撮像データ送信部１１３を介してデータ管理部１１４に保存される。
中央制御部１０３は、このデータ管理部１１４に保存された撮像データから前記２点の中点を求め、これを第１の中点データとしてデータ管理部１１４に保存する。
次に、中央制御部１０３は、インクジェットヘッド制御部１０５、インクジェットヘッド駆動部１０４を介してインクジェットヘッド１９０のヘッドＺ軸１９１を１８０度θ方向に回転させる。
【００４３】
そして、中央制御部１０３は、再び、回転中心用カメラ制御部１０７、回転中心用カメラ駆動部１０６を介して、２つの回転中心用カメラ１９４を動かし、ガラスマスク１９５上の２点を撮像する。そして、撮像データは、上述と同様に、データ管理部１１４に保存され、中央制御部１０３により、２点の中点が求められ、第２の中点データとして、データ管理部１１４に保存される。
これら第１及び第２の中点データが異なっている場合は、これらの中点を中央制御部１１４が求め、インクジェットヘッド１９０の回転中心値として、データ管理部１１４に登録される。
この回転中心値は、実際のカラーフィルタ用基板１４０の画素部１４１間の距離とインクジェットヘッド１９０のノズルピッチとを合わせるため、インクジェットヘッド１９０を傾ける際のデータとして用いられる。
【００４４】
以上で、アライメント前準備作業が終了し、ガラスマスク１９５がＹ軸テーブル１３０から取り外される。そして、次に実際の図２に示す、カラーフィルタ用基板１４０がＹ軸テーブル１３０上に載置され、装置本体のアライメント作業が行われる。
【００４５】
（装置本体のアライメント作業）
先ず、中央制御部１０３は、図１に示す、Ｙ軸テーブル制御部１１６、Ｙ軸テーブル駆動部１１５を介して、Ｙ軸テーブル１３０を動かす。このときのＹ軸テーブル１３０の移動は、Ｙ軸テーブル１３０上のカラーフィルタ用基板１４０に付されている２つアライメントマーク１４０ａ（図２参照）を、ベース部１２０上の２つの基板撮像用カメラ１６０で撮像できるような移動となる。
これと同時に、中央制御部１０３は、基板撮像用カメラ制御部１１２、基板撮像用カメラ駆動部１１１を介して、２つの基板撮像用カメラ１６０を駆動させ、上記２つのアライメントマーク１４０ａを撮像する。
【００４６】
中央制御部１０３は、撮像データ送信部１１３により、撮像データをデータ管理部１１４に保存し、予め保存されているカラーフィルタ用基板の理論値と比較し、当該カラーフィルタ用基板１４０の補正データを計算し、データ管理部１１４に登録する。
このように当該カラーフィルタ用基板１４０の補正データを得るのは、各カラーフィルタ用基板毎に、製造上の誤差が生じ、必ずしも各カラーフィルタ用基板がすべて同じ大きさではないからである。すなわち、例えばカラーフィルタ用基板の除給材精度によって各カラーフィルタ用基板毎にズレが生じることがあるからである。
【００４７】
一方、中央制御部１０３は、ヘッド撮像用カメラ制御部１０９、ヘッド撮像用カメラ駆動部１０８を介し、Ｙ軸テーブル１３０上の１つのヘッド撮像用カメラ１６１を動作させる。このとき、この１つのヘッド撮像用カメラ１６１が、インクジェットヘッド１９０の２つのアライメントマーク１９３（図７（ｂ）参照）を撮像できるように、中央制御部１０３は、Ｙ軸テーブル制御部１１６、Ｙ軸テーブル駆動部１１５を介してＹ軸テーブル１３０をＹ軸方向に動かす。
また、このとき、中央制御部１０３は、Ｘ軸テーブル制御部１０２、Ｘ軸テーブル駆動部１０１を介してＸ軸テーブル１８０をＸ軸方向に動かす。
このようにＹ軸テーブル１３０とＸ軸テーブル１８０を動かすことで、ヘッド撮像用カメラ１６１は、インクジェットヘッド１９０の２つのアライメントマーク１９３を撮像できることになる。
【００４８】
このように撮像された撮像データは、撮像データ送信部１１３により送信されデータ管理部１１４に保存される。そして、中央制御部１０３は、予め保存されているインクジェットヘッドのアライメントマークの理論値と比較し、当該インクジェットヘッド１９０の取り付け精度やアライメントマーク１９３の位置精度のズレ等を認識し、理論上の位置に補正するための補正データを算出し、データ管理部１１４に登録する。
以上のようにして、カラーフィルタ製造装置１００のＹ軸テーブル１３０上のカラーフィルタ用基板１４０のズレと、Ｘ軸テーブル１３０のインクジェトヘッド１９０のズレとを把握し、理論値に合わせるための補正データをデータ管理部１１４に登録する。
【００４９】
そして、中央制御部１０３は、この補正データに基づき、Ｘ軸テーブル１８０、Ｙ軸テーブル１３０及びヘッドＺ軸１９１を所定量、θ方向に動かすことで、インクジェットヘッド１９０とカラーフィルタ用基板１４０の位置を理論値に合致させる。
具体的には、中央制御部１０３は、この補正データに基づき、Ｘ軸テーブル制御部１０２、Ｘ軸テーブル駆動部１０１を介してＸ軸テーブル１８０をＸ軸方向に必要量、動かす。また、この補正データに基づき、Ｙ軸テーブル制御部１１６、Ｙ軸テーブル駆動部１１５を介してＹ軸テーブル１３０をＹ軸方向又はθ方向に必要量、動かす。さらに、前記補正データに基づき、インクジェットヘッド制御部１０５、インクジェットヘッド駆動部１０１を介してヘッドＺ軸１９１を必要量、θ方向に回転させる。
【００５０】
このとき、カラーフィルタ用基板１４０上の画素部１４１のピッチと、インクジェットヘッド１９０のノズル形成部１９２（図７（ｂ）参照）に形成されているノズルのノズルピッチの値に基づき、ノズルが正確に画素部１４１内にインクを吐出することができる位置に配置される必要がある。
そこで、図１６に示すように、このような位置にノズルが配置されるようにインクジェットヘッド１９０をカラーフィルタ用基板１４０に対して傾ける必要がある。このとき、図においてＢの長さは例えば１４１．１μｍであり、Ｃの長さは例えば１１２．５μｍである。
この傾け角度は、データ管理部１１４内に予め登録されており、この登録されている傾け角度になるように、中央制御部１１４は、ヘッドＺ軸１９１をθ方向に回転させる。
【００５１】
この状態で、一応理論上の位置に各部分が配置されることになるが、各部分の位置は、理論上の位置であり、実際は、若干ズレることがある。特にインクジェットヘッド１９０の回転中心値は、実際の位置とズレが生じ易い傾向がある。
このインクジェットヘッド１９０の理論上の位置と実際上の位置のズレが生じると、ノズルから吐出される各色のインクが正確にカラーフィルタ用基板１４０の画素部１４１内に配置されず、カラーフィルタ用基板１４０が不良品となってしまう。
そこで、本実施の形態では、理論上の位置に、カラーフィルタ製造装置１００が配置された後、この理論上の位置にインクジェットヘッド１９０の各ノズルが配置されているか否かを確認するため中央制御部１１４は、以下の動作を指示する。
すなわち、中央制御部１１４は、ヘッド撮像用カメラ制御部１０９、ヘッド撮像用カメラ駆動部１０８を介し，Ｙ軸テーブル１３０のヘッド撮像用カメラ１６１を動作させ、続いて、Ｙ軸テーブル１３０とＸ軸テーブル１８０を上記のように動かす。
【００５２】
そして、このヘッド撮像用カメラ１６１で、再び図７（ｂ）に示すインクジェットヘッド１９０の２つのアライメントマーク１９３を撮像する。このとき、ヘッド撮像用カメラ１６１は、Ｙ軸テーブル１３０上に設けられているため、アライメントマーク１９３が当初の位置からＺ軸の回転方向θに移動していても、容易にその位置まで移動して撮像することができることになる。
また、ヘッド撮像用カメラ１６１は、Ｙ軸テーブル１３０の短辺方向の中間に配置されているため、この位置はインクジェットヘッド１９０の図７（ｂ）に示す２つのアライメントマーク１９３の中間位置にもなる。
このため、ヘッド撮像用カメラ１６１が、２つのアライメントマーク１９３を撮像するための移動距離は最も少なくなり、且つ、最も効果的な位置となる。
したがって、ヘッド撮像カメラを複数個、配置する必要がなく、コストダウンを図ることができる。
【００５３】
ところで、ヘッド撮像用カメラ１６１で撮像された撮像データは、再びデータ管理部１１４に保存され、中央制御部１１４によって、理論値と比較される。
このとき誤差があるときは、再び補正データが作製され、この補正データによって、再びヘッドＺ軸１９１等が動かされる。
このように、ヘッドＺ軸１９１等を動かし、ヘッド撮像用カメラ１６１でアライメントマーク１９３を撮像し、理論値と比べ、誤差を補正データとする工程を繰り返し、設定精度が±２μｍ以内に成るまで続けられる。
設定精度が±２μｍ以内に成ったところで、実際にインクジェットヘッド１９０のノズルから赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のいずれかのインクがカラーフィルタ用基板１４０の図３に示す画素部１４１に吐出される。
具体的には、図４に示す画素部１４１の溝部１４１ａ内にインクが載置される。
【００５４】
このように、一のカラーフィルタ用基板１４０に対するインクの吐出が終了すると、この一のカラーフィルタ用基板１４０は、Ｙ軸テーブル１３０から取り外される。そして、別のカラーフィルタ用基板１４０がＹ軸テーブル１３０に載置され、装置本体のアライメント作業及びインクの吐出が行われる。
以上のように本実施の形態によれば、従来のように装置のアライメント作業の後、ノズルの吐出テストを行う必要がないので、テスト用基板等が必要なく製造コストを低下させることができ、且つ、短時間でインクジェトヘッド１９０の傾き角度等の調節ができることができる。
【００５５】
なお、本実施の形態では、ヘッド撮像用カメラ１６１をＹ軸テーブル１３０の短辺方向の中央部に設置したが、これに限らず、例えばＹ軸テーブル１３０の角部の一つ等に設けても構わない。
さらに、本発明は、上記実施の形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。そして、上記実施の形態の構成は、その一部を省略したり、上述していない他の任意の組み合わせに変更することができる。
【００５６】
本発明のフィルタ製造装置及びフィルタ製造方法は、液晶表紙装置用のカラーフィルタの製造に限定されるものではなく、例えば、本発明をＥＬ（エレクトロルミネッセンス）の表示素子の製造に適用することもできる。ＥＬ表示素子は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、この薄膜に電子及び正孔（ホール）を注入して再結合させることにより励起子（エキシトン）を生成させ、このエキシトンが失活する際の光の放出（蛍光・燐光）を利用して発光させる素子である。
こうしたＥＬ表示素子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑及び青色の発光色を呈する材料を、本発明の製造装置又は製造方法を用いてＴＦＴ等の素子基板上にインクジェットパターニングすることで、自発光フルカラーＥＬ表示素子を製造することができる。
【００５７】
本発明を用いて製造したＥＬ表示素子は、セグメント表示や全面同時発光の静止画表示、例えば絵、文字、ラベル等といったローインフォーメーション分野への応用、または、点、線、面形状をもった光源としても使用することができる。さらにパッシブ駆動の表示素子をはじめ、ＴＦＴ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、高輝度で応答性に優れたフルカラー表示素子を得ることが可能となる。本発明におけるフィルタの範囲には、このようなＥＬ表示素子の基板をも含むものである。
【００５８】
また、発明に実施の形態で一例として説明したインクジェットヘッド１９０は、Ｒ，Ｇ，Ｂのうち一つの種類のインクを吐出することができるようになっているが、このうちの２種類あるいは３種類のインクを同時に吐出することももちろん可能である。
【００５９】
【発明の効果】
本発明によれば、製造コストを上昇させずに、簡単な構成で吐出確認をする必要なく基板のインク配置領域と吐出部との相対位置を合わせることができるフィルタ製造装置及びフィルタ製造方法並びにこの製造方法によって製造されたフィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置を示す概略図である。
【図２】図１のカラーフィルタ用基板を示す概略図である。
【図３】図２のカラーフィルタ用基板の画素部の形成状態を示す概略図である。
【図４】図３の画素部のＡ−Ａ'断面図を示す概略図である。
【図５】図１の基板撮像用カメラとヘッド撮像用カメラの配置状態を示す概略斜視図である。
【図６】図１の基板撮像用カメラとヘッド撮像用カメラの配置状態を示す概略平面図である。
【図７】（ａ）図１のインクジェットヘッドを示す概略平面図である。（ｂ）図１のインクジェットヘッドを示す概略底面図である。
【図８】ガラスマスクを示す概略図である。
【図９】（ａ）図８のガラスマスク上に形成されている符号Ｄで示すマークの構成を示す概略拡大図である。（ｂ）図８のガラスマスク上に形成されている符号Ｅで示すマークの構成を示す概略拡大図である。（ｃ）図８のガラスマスク上に形成されている符号Ｆで示すマークの構成を示す概略拡大図である。
【図１０】（ａ）図８のガラスマスク上に形成されている符号Ｇで示すマークの構成を示す概略拡大図である。（ｂ）図８のガラスマスク上に形成されている符号Ｈで示すマークの構成を示す概略拡大図である。
【図１１】従来のカラーフィルタ製造装置の要部を示す概略図である。
【図１２】図１１の基板用固定カメラとインクジェットヘッド用固定カメラの状態を示す概略斜視図である。
【図１３】図１１の基板用固定カメラとインクジェットヘッド用固定カメラの配置状態を示す概略平面図である。
【図１４】  図１３のカラーフィルタ用基板のアライメントマークを示す概略斜視図である。
【図１５】図１１のインクジェットヘッドの２つのアライメントマーク１６ａの形成状態等を示す概略図である。
【図１６】インクジェットヘッドの傾きを状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１００・・・カラーフィルタ製造装置
１０１・・・Ｘ軸テーブル駆動部
１０２・・・Ｘ軸テーブル制御部
１０３・・・中央制御部
１０４・・・インクジェットヘッド駆動部
１０５・・・インクジェットヘッド制御部
１０６・・・回転中心用カメラ駆動部
１０７・・・回転中心用カメラ制御部
１０８・・・ヘッド撮像用カメラ駆動部
１０９・・・ヘッド撮像用カメラ制御部
１１０・・・カラーフィルタ製造装置
１１０・・・カラーフィルタ製造装置本体部
１１１・・・基板撮像用カメラ駆動部
１１２・・・基板撮像用カメラ制御部
１１３・・・撮像データ送信部
１１５・・・Ｙ軸テーブル駆動部
１１６・・・Ｙ軸テーブル制御部
１２０・・・ベース部
１３０・・・Ｙ軸テーブル
１４０・・・カラーフィルタ用基板
１４０ａ・・・アライメントマーク
１４１・・・画素部
１４１ａ・・・溝部
１６０・・・基板撮像用カメラ
１６１・・・ヘッド撮像用カメラ
１７０・・・支柱
１８０・・・Ｘ軸テーブル
１８１・・・ヘッド保持部
１９０・・・インクジェットヘッド
１９１・・・ヘッドＺ軸
１９２・・・ノズル形成部
１９３・・・アライメントマーク
１９４・・・回転中心用カメラ
１９５・・・ガラスマスク
【図１】
0003982185.tif 000002
【図２】
0003982185.tif 000003
【図３】
0003982185.tif 000004
【図４】
0003982185.tif 000005
【図５】
0003982185.tif 000006
【図６】
0003982185.tif 000007
【図７】
0003982185.tif 000008
【図８】
0003982185.tif 000009
【図９】
0003982185.tif 000010
【図１０】
0003982185.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0003982185.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
0003982185.tif 000015
【図１５】
0003982185.tif 000016
【図１６】
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