(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を保持する複数のキャビティが所定のパターンで形成された回転可能な第１のターンテーブル、
前記第１のターンテーブルを間欠回転させる駆動手段、
前記第１のターンテーブルの前記キャビティに前記電子部品を供給するための部品供給手段、
前記部品供給手段によって前記キャビティに供給された前記電子部品の電気的特性を前記第１のターンテーブルの回転範囲内において測定するための検査手段、
前記電子部品の順序および配列を保った状態で前記第１のターンテーブルから前記電子部品を排出する排出手段、
排出された前記電子部品を受け取って搬送するために用いられる複数のキャビティが所定のパターンで形成された間欠回転可能な第２のターンテーブルからなる搬送手段、および
前記検査手段によって検査した結果に基づいて前記電子部品を分類するために、不良品を排出するための不良品排出部と前記検査手段によって測定された電気的特性に応じて複数のランクに分類されて前記電子部品が排出されるランク分け排出部とを備えた分類手段を含み、
前記第１のターンテーブルの前記キャビティおよび前記第２のターンテーブルの前記キャビティは、それぞれ同心円上の複数の列となるように前記第１のターンテーブルおよび前記第２のターンテーブルの主面に開口を有する穴状に形成されるとともに、隣接する列の前記キャビティが前記第１のターンテーブルおよび前記第２のターンテーブルの径方向直線上に位置するように設けられ、
前記第１のターンテーブルの径方向の前記キャビティの数と前記第２のターンテーブルの径方向の前記キャビティの数とが実質的に同じとなるように形成され、
前記排出手段において、前記電子部品が前記第１のターンテーブルにおいて保持されていた順序と配列でもって前記第２のターンテーブルに保持されるように、前記電子部品が前記第１のターンテーブルの前記キャビティから前記第２のターンテーブルの前記キャビティに受け渡される、電子部品の検査装置。
【請求項２】
前記検査手段で前記電子部品の検査をしたのち、前記第１のターンテーブルの回転範囲内において前記電子部品に所要の後処理を行なうための後処理手段を含む、請求項１に記載の電子部品の検査装置。
【請求項３】
前記検査手段で前記電子部品の検査をしたのち、前記搬送手段の搬送範囲内において前記電子部品に所要の後処理を行なうための後処理手段を含む、請求項１に記載の電子部品の検査装置。
【請求項４】
前記後処理手段は、所定の時間だけ前記電子部品が加熱されるか、または前記電子部品に接触して所定の時間だけ電気的な処理が行なわれることを特徴とする、請求項２または請求項３に記載の電子部品の検査装置。
【請求項５】
前記排出手段において、前記第１のターンテーブルの径方向に並んだ前記キャビティと前記第２のターンテーブルの径方向に並んだ前記キャビティとが互いに対向するように重なって配置された状態で前記第１のターンテーブルと前記第２のターンテーブルとが停止し、重なって配置された前記第１のターンテーブルの前記キャビティから前記第２のターンテーブルの前記キャビティに、前記電子部品がその順序と配列を保ったままで受け渡される、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の電子部品の検査装置。
【請求項６】
前記第１のターンテーブルの下面側には、前記第１のターンテーブルにより搬送される前記電子部品が前記排出手段まで搬送される間に前記キャビティから落下、飛び出し、位置ずれしないように支持する支持手段が配置されたことを特徴とする、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の電子部品の検査装置。
【請求項７】
前記不良品排出部は前記ランク分け排出部に対して前記第２のターンテーブルの回転の上流側に配置される、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の電子部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子部品の検査装置に関し、特に、たとえば積層セラミックコンデンサなどの電子部品の特性を検査したり測定したり等（以下、これらを総して検査という）するための電子部品の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１０は、従来の電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。検査装置１は、円板状のターンテーブル２を含む。ターンテーブル２の外周部には、電子部品を保持するための複数のキャビティ３が形成される。ターンテーブル２は間欠回転するように駆動され、部品供給部４でキャビティ３に電子部品が供給される。キャビティ３に保持された電子部品は、ターンテーブル２の回転によって搬送され、図１１に示すように、第１の検査部５で静電容量や誘電正接などが検査される。さらに、電子部品はターンテーブル２で搬送され、第２の検査部６で耐電圧や絶縁抵抗などが検査される。
【０００３】
これらの検査が行なわれたのち、ターンテーブル２によって電子部品が不良品排出部７に搬送され、たとえば不良種別に分類して不良品が排出される。さらに、ターンテーブル２によって電子部品がランク分け排出部８に搬送され、検査部５，６における検査結果に基づいて、たとえば静電容量の違いによって電子部品がランク分けされ、それぞれのランクに分類して排出される。このような検査装置１において、図１２に示すように、ターンテーブル２に同心円状の２列あるいはそれ以上のキャビティ３を形成したものもある。
【０００４】
また、積層セラミックコンデンサなどでは、耐電圧検査によって誘電体に分極が生じ、電気的特性が変化するため、所定のランク毎に分類して排出された電子部品に加熱処理などの後処理を施して、電子部品の特性を回復させている。このような後処理は、前述の検査工程とは別工程によって行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子部品の検査装置においても、設備の高速稼働が要求されている。ところが、電子部品の耐電圧検査や絶縁抵抗検査は、その定格特性によって所定の検査時間および検査回数を要するため、１つのターンテーブルの回転範囲内に上述のような各機能を配置し、高速稼働を図ろうとして間欠回転の停止時間を短縮した場合、所定の検査時間を確保することができない。
【０００６】
また、間欠回転の回転速度を速めた場合、ターンテーブルの停止精度の悪化などの物理的な制約のため限界がある。そこで、ターンテーブルの直径を大きくすれば、間欠回転の停止時間を短くしても、電子部品の移動距離が長くなることにより検査時間を確保することができる。しかしながら、この場合、ターンテーブルの直径が大きくなることにより、慣性モーメントが増大し、ターンテーブルの停止精度の悪化という問題を解決することができない。
【０００７】
また、近年の電子部品においては、その定格特性の拡大や機能の複合化などにより、検査時間や回数、さらには検査項目数までもが増大傾向にある。そのため、１つのターンテーブルの回転範囲内に全ての検査機能を配置した場合、ターンテーブルの間欠回転の停止時間を増大させて検査時間や検査回数を確保したり、従来の検査項目の数を減らして新たな検査項目用の検査部を配置することになり、結果的には検査装置の処理能力を低下させることになる。そうかといって、複数台の検査装置を導入すると、単位時間当りの処理能力は向上するが、設備費の高騰、設置スペースの増大といった新たな問題が生じる。
【０００８】
さらに、電子部品の加熱などの後処理時間は、たとえば別設備のオーブンを用いた場合、１５０℃で３０分〜６０分もの長時間を要している。そのため、後処理作業の自動化を目的として、ランク分け排出部において排出された電子部品を収納する容器を加熱して、排出された電子部品が容器に収納されることより自動的に後処理を行なうことが考えられる。しかしながら、この場合、最初に容器に入った電子部品と最後に容器に入った電子部品とで処理時間が異なり、特性回復レベルに差が生じるという問題がある。
【０００９】
そこで、ターンテーブルの回転範囲内に後処理工程を配置して、一定の後処理時間を確保することが考えられる。しかしながら、この場合、検査・分類機能に必要なキャビティ数に加え、後処理用のキャビティが必要になり、その数に応じてターンテーブルの直径を大きくする必要があり、ターンテーブルを駆動するための駆動力の増大や、設備寸法の増大をまねく。ターンテーブルの直径を大きくせずに後処理機能をターンテーブル上に搭載しようとすると、検査機能に必要なキャビティ数を減らす必要があるが、電子部品の電気的検査には所定の時間を必要とするため、装置全体の処理能力が低下してしまう。
【００１０】
それゆえに、この発明の主たる目的は、電子部品を搬送するためのターンテーブルを大型化したり処理能力を落とすことなく、電子部品として必要な検査および分類を行なうことができ、さらに電子部品の後処理手段も付加することができる電子部品の検査装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明は、電子部品を保持する複数のキャビティが所定のパターンで形成された回転可能な第１のターンテーブルと、第１のターンテーブルを間欠回転させる駆動手段と、第１のターンテーブルのキャビティに電子部品を供給するための部品供給手段と、部品供給手段によってキャビティに供給された電子部品の電気的特性を第１のターンテーブルの回転範囲内において測定するための検査手段と、電子部品の順序および配列を保った状態で第１のターンテーブルから電子部品を排出する排出手段と、排出された電子部品を受け取って搬送するために用いられる複数のキャビティが所定のパターンで形成された間欠回転可能な第２のターンテーブルからなる搬送手段と、検査手段によって検査した結果に基づいて電子部品を分類するために、不良品を排出するための不良品排出部と検査手段によって測定された電気的特性に応じて複数のランクに分類されて電子部品が排出されるランク分け排出部とを備えた分類手段とを含み、第１のターンテーブルのキャビティおよび第２のターンテーブルのキャビティは、それぞれ同心円上の複数の列となるように第１のターンテーブルおよび第２のターンテーブルの主面に開口を有する穴状に形成されるとともに、隣接する列のキャビティが第１のターンテーブルおよび第２のターンテーブルの径方向直線上に位置するように設けられ、第１のターンテーブルの径方向のキャビティの数と第２のターンテーブルの径方向のキャビティの数とが実質的に同じとなるように形成され、排出手段において、電子部品が第１のターンテーブルにおいて保持されていた順序と配列でもって第２のターンテーブルに保持されるように、電子部品が第１のターンテーブルのキャビティから第２のターンテーブルのキャビティに受け渡される、電子部品の検査装置である。
このような電子部品の検査装置において、検査手段で電子部品の検査をしたのち、第１のターンテーブルの回転範囲内において電子部品に所要の後処理を行なうための後処理手段が設置されてもよい。
さらに、検査手段で電子部品の検査をしたのち、搬送手段の搬送範囲内において電子部品に所要の後処理を行なうための後処理手段が設置されてもよい。
また、後処理手段としては、所定の時間だけ電子部品が加熱されるか、または電子部品に接触して所定の時間だけ電気的な処理が行なわれる。
さらに、排出手段において、第１のターンテーブルの径方向に並んだキャビティと第２のターンテーブルの径方向に並んだキャビティとが互いに対向するように重なって配置された状態で第１のターンテーブルと第２のターンテーブルとが停止し、重なって配置された第１のターンテーブルのキャビティから第２のターンテーブルのキャビティに、電子部品がその順序と配列を保ったままで受け渡されるようにすることができる。
また、第１のターンテーブルの下面側には、第１のターンテーブルにより搬送される電子部品が排出手段まで搬送される間にキャビティから落下、飛び出し、位置ずれしないように支持する支持手段が配置されることが好ましい。
さらに、不良品排出部はランク分け排出部に対して第２のターンテーブルの回転の上流側に配置することができる。
【００１２】
第１のターンテーブルとは別に第２のターンテーブルからなる搬送手段を形成し、搬送手段の搬送範囲内で電子部品を分類して不良品排出やランク分け排出を行うことにより、これまで第１のターンテーブルの回転範囲内に配置されていた分類手段を第１のターンテーブル外に配置することができる。そのため、第１のターンテーブルを大きくしたり、第１のターンテーブルの間欠回転の時間を変えることなく、検査時間を確保することができ、新たな検査項目を付加することもできる。
また、分類手段を第１のターンテーブル外に配置することにより、後処理工程を第１のターンテーブルの回転範囲内に配置することができ、後処理工程の自動化を図ることができる。
このような後処理工程を搬送手段側に配置すれば、第１のターンテーブルの回転範囲内に新たなスペースを確保することができ、検査項目を付加することもできる。
後処理としては、電子部品を加熱することにより検査時に変化した特性を回復させたり、電気的な処理を行なうことができる。
また、排出手段において、第１のターンテーブルの径方向に並んだキャビティと第２のターンテーブルの径方向に並んだキャビティとが互いに対向するように重なって配置された状態で第１のターンテーブルと第２のターンテーブルとが停止することにより、第１のターンテーブルのキャビティから排出された電子部品を順序や配列を変えることなく第２のターンテーブルのキャビティで受け取ることができる。
また、不良品排出部はランク分け排出部に対して第２のターンテーブルの回転の上流側に配置することができる。
さらに、第１のターンテーブルの下面に支持手段を設けることにより、搬送途中に電子部品がキャビティから落下したりすることを防止することができる。
そして、ターンテーブルで搬送された電子部品が、その順序および配列を変えることなく搬送手段に受け渡されることにより、検査手段で検査した結果に対応して電子部品の分類を行なうことができる。
【００１３】
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。検査装置１０は、円板状の第１のターンテーブル１２を含む。第１のターンテーブル１２の外周部には、複数の溝状のキャビティ１４が形成される。第１のターンテーブル１２は、駆動手段としての駆動装置に取り付けられ、この駆動装置によって間欠回転させられる。つまり、第１のターンテーブル１２は、例えば連続して、あるいは所定の角度だけ回転したのち、所定時間だけ停止し、再び所定の角度だけ回転するという動作が繰り返される。
【００１５】
第１のターンテーブル１２の外周部には、部品供給手段としての部品供給部１６が設けられる。部品供給部１６においては、第１のターンテーブル１２のキャビティ１４に、たとえば積層セラミックコンデンサなどの電子部品が供給される。なお、第１のターンテーブル１２から電子部品が落下したり、飛び出したり、位置ずれが発生する恐れがある場合には、支持手段として、第１のターンテーブル１２の下面に支持板が設けられる。
【００１６】
また、第１のターンテーブル１２の回転範囲内において、部品供給部１６の下流側に、検査手段として、第１の検査部１８、第２の検査部２０および第３の検査部２２が設けられる。電子部品として積層セラミックコンデンサが用いられる場合、第１の検査部１８においては、たとえば静電容量と誘電正接の検査が行なわれる。また、第２の検査部２０においては、耐電圧と絶縁抵抗の検査が行なわれる。さらに、第２の検査部２０において検査時間が不足する場合には、第３の検査部２２において、引き続き耐電圧と絶縁抵抗の検査が行なわれる。また、上述のような検査以外の追加検査項目があれば、この第３の検査部２２において、追加項目の検査を行なうことができる。
【００１７】
第１のターンテーブル１２に隣接して、搬送手段としての第２のターンテーブル２４が設けられる。第２のターンテーブル２４も、外周部に複数のキャビティ２６が形成され、間欠回転させるための駆動装置に取り付けられる。第１のターンテーブル１２と第２のターンテーブル２４とは、同期して間欠回転されられ、これらの外周部のキャビティ１４，２６が隣接する部分において、所定の時間だけターンテーブル１２，２４が停止するように運転される。
【００１８】
第１のターンテーブル１２と第２のターンテーブル２４のキャビティ１４，２６が隣接する場所には、排出手段としての排出装置２８が設けられる。この排出装置２８においては、第１のターンテーブル１２のキャビティ１４に保持された電子部品が排出され、第２のターンテーブル２４のキャビティ２６に受け渡される。このとき、第１のターンテーブル１２のキャビティ１４から第２のターンテーブル２４のキャビティ２６に、１つずつ電子部品が受け渡されることにより、第１のターンテーブル１２における電子部品の順序と第２のターンテーブル２４における電子部品の順序とを同じにすることができる。
【００１９】
第２のターンテーブル２４の外周部には、分類手段として、不良品排出部３０とランク分け排出部３２とが設けられる。不良品排出部３０では、たとえば第１の不良品排出部が形成され、検査部１８，２０，２２で検査した結果に基づいて、不良原因などにより分類排出される。また、ランク分け排出部３２では、たとえば静電容量などの特性によって５つのランクに分類されて、電子部品が排出される。なお、これらの分類の数は、適宜変更することができる。
【００２０】
この検査装置１０を用いて電子部品の検査を行なう様子を図２に示す。この検査装置１０では、部品供給部１６において、第１のターンテーブル１２のキャビティ１４に電子部品が供給され、キャビティ１４に電子部品が保持される。第１のターンテーブル１２は、駆動装置によって間欠回転し、停止しているときに電子部品が供給される。
【００２１】
第１のターンテーブル１２によって、第１の検査部１８、第２の検査部２０および第３の検査部２２の順序に電子部品が搬送される。検査部は３箇所以上が好ましく、４〜５箇所以上となればより好ましいが、あまり多すぎるとターンテーブルの大型化を招き好ましくない。これらの検査部１８，２０，２２において、静電容量、誘電正接、耐電圧、絶縁抵抗、その他の項目についての検査が行なわれ、電子部品は排出装置２８に搬送される。検査された結果に関するデータは、不良品排出部３０およびランク分け排出部３２に転送される。
【００２２】
排出装置２８では、第１のターンテーブル１２から電子部品が排出され、第２のターンテーブル２４のキャビティ２６に電子部品が保持される。このとき、電子部品は、第１のターンテーブル１２で保持されていた順序で第２のターンテーブル２４に受け渡される。排出装置２８においては、たとえば圧縮空気、重力、吸引などにより強制的に電子部品の排出が行なわれ、第２のターンテーブル２４側においても、吸引などの方法により確実に電子部品が捕捉される機構が用いられる。
【００２３】
第２のターンテーブル２４によって、電子部品は不良品排出部３０に搬送され、検査部１８，２０，２２から送られてきた検査データに基づいて、不良種別によって分類され排出される。さらに、不良品排出部３０で排出されなかった電子部品は、ランク分け排出部３２に搬送され、検査部１８，２０，２２の検査データに基づいて、たとえば静電容量などの特性に応じてランク分けされ排出される。このとき、第１のターンテーブル１２に保持されていた電子部品の順序と同じ順序で、第２のターンテーブル２４に電子部品が受け渡されていることにより、検査部１８，２０，２２の検査データに対応して電子部品を分類することができる。
【００２４】
このように、この検査装置１０では、第２のターンテーブル２４側に不良品排出部３０およびランク分け排出部３２があるため、第１のターンテーブル１２側において、検査部を設ける範囲を広くすることができる。そのため、第１のターンテーブル１２を大型化することなく、電子部品の検査時間や検査回数を充分に確保することができる。それにより、第１のターンテーブル１２の停止時間を短くしても、所定の検査時間を確保したままで、高速稼働を図ることができる。また、第１のターンテーブル１２を大型化する必要がないため、停止精度の悪化などの物理的な制約の限界まで第１のターンテーブル１２の回転速度を上げることができ、この点においても高速稼働を図ることができる。
【００２５】
さらに、電子部品の定格特性の拡大や機能の複合化により、検査時間や検査回数、検査項目が増大した場合でも、従来では不良品排出やランク分け排出をしていたスペースにおいて検査を行なうことができ、検査装置１０の処理能力の低下を防止することができる。また、電子部品の検査を行なう部分を有する第１のターンテーブル１２とは別に、不良品排出部３０およびランク分け排出部３２を有する第２のターンテーブル２４を別設するという比較的簡単な構成によって、検査装置１０の高速稼働を図ることができる。そのため、設備費の高騰や設置スペースの増大という問題を極小に抑えることができる。
【００２６】
図３は、この発明の電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。この検査装置１０においては、図１に示す検査装置に比べて、第１のターンテーブル１２のキャビティ１４が、同心円上の２列に形成される。この場合、隣接する列の穴状のキャビティ１４は、第１のターンテーブル１２の径方向の直線上に位置するように配置される。このようなキャビティ１４の配置とすることにより、部品供給部１６における電子部品の供給を容易にすることができる。
【００２７】
また、この場合、第２のターンテーブル２４のキャビティ２６も同心円上の２列に形成され、隣接する列のキャビティ２６が第２のターンテーブル２４の径方向の直線上に位置するように配置される。そして、同心円方向に隣接するキャビティ２６の間隔は特にこだわりはないが、径方向に隣接する穴状のキャビティ２６の間隔は、第１のターンテーブル１２の径方向に隣接するキャビティ１４の間隔と同じとなるように配置される。このようにすれば、排出装置２８において、２つのターンテーブル１２，２４のキャビティ１４，２６が重なった状態で停止させることができ、容易に電子部品の受け渡しを行なうことができる。そして、第１のターンテーブル１２に保持された電子部品が、その順序と配列を保ったままで、第２のターンテーブル２４に受け渡される。それにより、検査部１８，２０，２２における検査データに基づいて、電子部品の分類を行なうことができる。
【００２８】
このように、２つのターンテーブル１２，２４のキャビティ１４，２６が２列に形成された場合においても、上述のような効果を得ることができるとともに、電子部品の検査の高速化を図ることができる。もちろん、これらのターンテーブル１２，２４の同心円上に、３列以上のキャビティ１４，２６を形成してもよい。この場合においても、隣接する列のキャビティ１４，２６は、それぞれのターンテーブル１２，２４の径方向の直線上に位置するように配置される。
【００２９】
さらに、図１に示す第３の検査部２２に代えて、第１のターンテーブル１２の回転範囲内に後処理手段としての後処理部３４を設けた例が、図４に示されている。後処理部３４では、図５に示すように、たとえば検査部１８，２０における検査によって特性が変化した電子部品に後処理が行われ、電子部品の特性が回復させられる。積層セラミックコンデンサの検査を行なう場合、耐電圧検査のために印加された電圧により、誘電体に分極が生じて特性が変化する。そこで、後処理部３４において加熱処理することにより、誘電体の分極が取り除かれる。このような後処理としては、たとえば端子を電子部品に接触させて電気的な処理を施すなど、電子部品の種類によって後処理方法を選択することができる。
【００３０】
この検査装置１０においては、不良品排出部３２およびランク分け排出部３４を第２のターンテーブル２４側に配置することにより、第１のターンテーブル１２の回転範囲内に後処理部３４を配置することができる。それにより、後処理工程を自動化することができ、全ての電子部品を所定の時間だけ処理することができる。このように、従来別工程のオーブンなどで費やされていた３０分〜６０分の加工時間をインライン化することにより、数秒の増加のみに抑えることができ、全体としての生産リードタイムを短縮することができる。
【００３１】
さらに、全ての電子部品を一定の処理時間で後処理を行うことができるため、後処理での特性回復レベルのばらつきを小さくすることができる。このような検査装置１０では、電子部品の検査を行なう部分を有する第１のターンテーブル１２とは別に、不良品排出部３０およびランク分け排出部３２を有する第２のターンテーブル２４を別設するという比較的簡単な構成によって、加熱などの後処理機能を第１のターンテーブル１２の回転範囲内に配置することができる。したがって、第１のターンテーブル１２の径を変えることなく、後処理を同一装置内で行なうことができ、第１のターンテーブル１２の駆動力の増大や設備寸法の増大を回避することができる。さらに、不良品排出部３０およびランク分け排出部３２を第２のターンテーブル２４側に設置することにより、静電容量、誘電正接の検査および耐電圧、絶縁抵抗の検査の時間や回数を変えることなく、後処理を同一装置内で行なうことができる。
【００３２】
図６は、この発明の電子部品の検査装置の他の例を示す図解図である。この検査装置１０では、第１のターンテーブル１２および第２のターンテーブル２４に、同心円上の２列に穴状のキャビティ１４，２６が形成されるが、図４に示す検査装置１０と同様に、第１のターンテーブル１２の回転範囲内に後処理部３４が設けられる。この場合においても、隣接する列のキャビティ１４，２６は、ターンテーブル１２，２４の径方向の直線上に配置される。このようなキャビティ１４，２６を形成することにより、多数の電子部品の検査を行なうことができる。もちろん、各ターンテーブル１２，２４に、同心円上の３列以上にキャビティ１４，２６を形成することができる。このような検査装置１０においても、図４に示す検査装置１０と同様の効果を得ることができる。
【００３３】
さらに、第２のターンテーブル２４側に後処理部３４を配置した例が、図７に示されている。この場合、図８に示すように、排出装置２８によって第１のターンテーブル１２から電子部品が排出され、第２のターンテーブル２４に受け渡されたのちに、後処理部３４において電子部品に加熱処理などの後処理が施される。そして、不良品排出部３０で不良品が排出され、ランク分け排出部３２でランク分けされて、電子部品が分類される。このような検査装置１０では、第１のターンテーブル１２側に後処理部がないため、第１のターンテーブル１２側において検査部１８，２０のスペースを大きくすることができる。なお、図７においては、第１の検査部１８および第２の検査部２０のみが示されているが、図１に示すような第３の検査部２２が形成されてもよい。このように、後処理部３４を第２のターンテーブル２４側に配置すれば、検査のための時間を確保したり、電子部品についての新たな検査項目を増やすことが容易である。
【００３４】
また、後処理部３４を第２のターンテーブル２４側に配置することにより、検査部１８，２０，２２を有する第１のターンテーブル１２の温度上昇が抑えられるため、常に常温において検査を行なうことができる。
【００３５】
図９は、この発明の電子部品の検査装置の別の例を示す図解図である。図９に示すように、第１のターンテーブル１２および第２のターンテーブル２４に、同心円上に２列のキャビティ１４，２６を形成した場合においても、後処理部３４を第２のターンテーブル２４側に配置することにより、図７に示す検査装置１０と同様の効果を得ることができる。もちろん、第１のターンテーブル１２および第２のターンテーブル２４には、３列以上のキャビティを形成することができる。
【００３６】
【発明の効果】
この発明によれば、第１のターンテーブルから別の搬送手段に電子部品を受け渡し、この搬送手段側で電子部品の分類を行なうことにより、設備コストや設備寸法の大幅な増大を防止しながら、電子部品の検査時間を確保することができ、しかも高速稼働を実現することができる電子部品の検査装置を得ることができる。また、第１のターンテーブル側から電子部品の分類手段をなくすことにより、電子部品の後処理のためのスペースを確保することができ、後処理の自動化を図って、高速稼働を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。
【図２】  図１に示す検査装置における各工程を示すブロック図である。
【図３】  この発明の電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。
【図４】  電子部品の検査装置の他の例を示す図解図である。
【図５】  図４に示す検査装置における各工程を示すブロック図である。
【図６】  この発明の電子部品の検査装置の他の例を示す図解図である。
【図７】  電子部品の検査装置のさらに他の例を示す図解図である。
【図８】  図７に示す検査装置における各工程を示すブロック図である。
【図９】  この発明の電子部品の検査装置の別の例を示す図解図である。
【図１０】  従来の電子部品の検査装置の一例を示す図解図である。
【図１１】  図１０に示す従来の検査装置の各工程を示すブロック図である。
【図１２】  図１０に示す従来の検査装置の変形例を示す図解図である。
【符号の説明】
１０  検査装置
１２  第１のターンテーブル
１４  キャビティ
１６  部品供給部
１８  第１の検査部
２０  第２の検査部
２２  第３の検査部
２４  第２のターンテーブル
２６  キャビティ
２８  排出装置
３０  不良品排出部
３２  ランク分け排出部
３４  後処理部
【図１】
0003900876.tif 000002
【図２】
0003900876.tif 000003
【図３】
0003900876.tif 000004
【図４】
0003900876.tif 000005
【図５】
0003900876.tif 000006
【図６】
0003900876.tif 000007
【図７】
0003900876.tif 000008
【図８】
0003900876.tif 000009
【図９】
0003900876.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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