(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
進行方向に沿って複数のコイルが列設されたコイルブロックと、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるようにコイルブロックと対向して配設された永久磁石と、永久磁石の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用によりコイルブロック又は永久磁石を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した永久磁石の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合うコイル間隔を他の隣り合うコイル間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
コイル及び鉄心からなり進行方向に沿って複数個配列された電磁石、各電磁石を磁気的に結合する固定子ヨークで構成される固定子と、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるように電磁石と対向して配設された永久磁石、複数の磁極同士を磁気的に結合する可動子ヨークで構成される可動子と、可動子の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用により可動子を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した可動子の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合う電磁石間隔を他の隣り合う電磁石間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置するとともに該磁気センサブロックを固定子ヨークに固着したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成したことを特徴とする請求項１又は２記載のリニアモータ。
【請求項４】
複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成し、この磁気センサブロックをスペーサにより固定子ヨークとの間に間隙を設けて固定子ヨークに固着したことを特徴とする請求項２記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドア等の搬送に用いられるリニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複数のコイルが列設されたコイルブロックを磁界中に配し、可動子を移動させる向きの推力を発生させるように各コイルに電流を流して成るリニアモータとして、図５に示すように進行方向に沿って複数のコイル１１が列設された固定子（コイルブロック）１と、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるように固定子１と対向して配設された可動子（永久磁石）２と、可動子２の位置を検出する複数の磁気センサ３１と、永久磁石との相互作用により可動子２を移動させる推力を生じさせるように磁気センサ３１により検出した可動子２の位置に応じたタイミングで各コイル１１への通電を制御する制御手段（図示せず）とを備えたリニアモータが提供されている。ここで、可動子２の移動方向において隣接するコイル１１間の距離（間隔）は、可動子２の移動方向における可動子２の磁極間の距離Ｌより大きく、且つその寸法の２倍よりは小さい寸法（例えば、１０Ｌ／６）に設定される。
【０００３】
上記従来のリニアモータにおいては、可動子２の位置に応じてコイル１１への通電のタイミングを制御しているのであるが、可動子２の位置は、永久磁石２１の磁極を検出する磁気センサ３１により検出される。コイル１１の相数はたとえば３相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）であって、各相のコイル１１の中心付近にそれぞれ磁気センサ３１が配置される。つまり、磁気センサ３１は固定子１の全長に亘って等間隔で配置されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、固定子１の全長に亘って磁気センサ３１が等間隔で配置されていると、磁気センサ３１が分散して配置されることになり、配線が複雑になって製造作業が面倒になる。また、上述した従来構成では、コイル１１の中に磁気センサ３１が配置されているから、コイル１１への通電時にコイル１１の周囲に生じる磁界の影響を受けやすく、可動子２の位置を誤検出する可能性もある。
【０００５】
これに対して本出願人は、図６に示すように進行方向に複数配列されているコイル１１を一定間隔ごとに１個分をそっくり取り除き、そのスペースに集中的に磁気センサ３１を配置して磁気センサブロック３を形成することにより、配線が複雑になるのを防止して製造を容易にし、かつコイル１１の影響を受けにくい位置に磁気センサ３１を配置することにより可動子２の位置を誤検出することがないようにしたリニアモータを既に提案している（特願平１１−４４０６１号参照）。
【０００６】
ところが上記出願に開示したリニアモータにおいては、コイル１１を取除いた部分で相順が入れ替わるため、図７に示すように永久磁石２１の位置による推力（縦軸のＦ）のリプルが大きくなるという欠点がある。すなわち、図７（ａ）〜（ｆ）は可動子２を図中左方向に移動させる場合に各相のコイル１１の通電を切り替える様子を示し、同図（ｇ）は各状態（ａ）〜（ｆ）に対応した推力の変化を示しており、この図から明らかなように磁気センサブロック３が配置された部分で相順が入れ替わることにより、推力に生じるリプルが非常に大きくなっている。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、複数個の磁気センサを集中的に配置することによって配線が複雑になるのを防止して製造を容易にし、かつコイルの磁界の影響を受け難い位置に磁気センサを配置することにより永久磁石の位置を誤検出しないようにするとともに、永久磁石の位置による推力リプルに影響を与えないリニアモータを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、進行方向に沿って複数のコイルが列設されたコイルブロックと、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるようにコイルブロックと対向して配設された永久磁石と、永久磁石の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用によりコイルブロック又は永久磁石を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した永久磁石の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合うコイル間隔を他の隣り合うコイル間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置したことを特徴とし、永久磁石の位置を検出するための複数個の磁気センサを磁気センサブロックとして一箇所にまとめているから、分散して配置された磁気センサに個々に配線を施す場合に比較すると配線が簡単になって製造が容易になる。また、進行方向に列設されたコイルブロックのうち、少なくとも一つの隣り合うコイル間隔を他の隣り合うコイル間隔と比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍だけ長くしてあるところに磁気センサブロックを配置しているから、コイル内に磁気センサを配置する場合のような誤検出が発生せず、しかも磁気センサブロックを配置した位置を挟んでもコイルの相順が入れ替わらないため、コイル１個分を取り除いて磁気センサブロックを配置した場合に比べて、推力のリプルを小さくすることができる。
【０００９】
請求項２の発明は、上記目的を達成するために、コイル及び鉄心からなり進行方向に沿って複数個配列された電磁石、各電磁石を磁気的に結合する固定子ヨークで構成される固定子と、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるように電磁石と対向して配設された永久磁石、複数の磁極同士を磁気的に結合する可動子ヨークで構成される可動子と、可動子の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用により可動子を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した可動子の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合う電磁石間隔を他の隣り合う電磁石間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置するとともに該磁気センサブロックを固定子ヨークに固着したことを特徴とし、可動子の位置を検出するための複数個の磁気センサを磁気センサブロックとして一箇所にまとめているから、分散して配置された磁気センサに個々に配線を施す場合に比較すると配線が簡単になって製造が容易になる。また、進行方向に列設された電磁石のうち、少なくとも一つの隣り合う電磁石間隔を他の隣り合う電磁石間隔と比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍だけ長くしてあるところに磁気センサブロックを配置しているから、コイル内に磁気センサを配置する場合のような誤検出が発生せず、しかも磁気センサブロックを配置した位置を挟んでもコイルの相順が入れ替わらないため、コイル１個分を取り除いて磁気センサブロックを配置した場合に比べて、推力のリプルを小さくすることができる。さらに、固定子ヨークを介して磁気センサブロックと複数個の電磁石を一体化できるので、電磁石の位置と磁気センサの位置の相対的なずれが生じず、各電磁石を構成するコイルへの通電をより高い精度で切り替えることができる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成したことを特徴とし、別途磁気センサブロックとして部品実装機等により組み立てたものを所定位置に取り付けるだけの作業となり、より組立性が向上する。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項２の発明において、複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成し、この磁気センサブロックをスペーサにより固定子ヨークとの間に間隙を設けて固定子ヨークに固着したことを特徴とし、磁気センサブロックの位置を容易に可動子に近接させることができるため、各電磁石を構成するコイルへの通電をより高い精度で切り替えることができ、なお且つスペーサによって固定子ヨークと磁気センサブロックの間に隙間を設けることにより、両者の電気的絶縁が容易に行える。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本実施形態は、図１〜図３に示すように、コイル１１及び鉄心１２からなり進行方向に沿って複数個配列された電磁石、各電磁石を磁気的に結合する固定子ヨーク１３で構成される固定子１と、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるように電磁石と対向して配設された永久磁石２１、永久磁石２１の磁極２２同士を磁気的に結合する可動子ヨーク２３で構成される可動子２と、固定子１に対する可動子２の相対的な位置を検出する複数の磁気センサ３１を具備した磁気センサブロック３と、永久磁石２１との相互作用により可動子２を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロック３により検出した可動子２の位置に応じたタイミングで各コイル１１への通電を制御する制御回路ブロック４とを備えている。
【００１３】
固定子ヨーク１３は軟磁性材料により可動子２の移動方向に沿った長尺形状に形成され、電磁石を固着するための複数の穴（図示せず）が一定間隔で列設されている。また、コイル１１は合成樹脂等の絶縁性材料により形成されたコイルボビン１４の周囲に巻回されており、このコイルボビン１４の中央部に設けた円筒形の穴に鉄心１２を挿着することで電磁石が構成されている。そして、このように構成された複数個の電磁石を、固定子ヨーク１３に設けた穴に鉄心１２の一端部を嵌合し、かしめ等の適宜の方法で固着することによって固定子１が構成してある。本実施形態ではコイル１１の相数を３相としてあり、これらのコイル１１をＹ結線し、２相ずつ通電する方式を採用している。
【００１４】
可動子２を構成する永久磁石２１は移動方向において複数の磁極２２が交互に異極になるように設けられており、隣接する磁極２２の間の距離（間隔）は一定となっている。この可動子２は１つの磁性体に複数の磁極２２ができるように着磁して形成するか、図２に示すように複数個の永久磁石２１を可動子ヨーク２３に取り付けることによって形成される。なお、複数個の永久磁石２１を可動子ヨーク２３に取り付けた構造においては、各永久磁石２１がそれぞれ１つの磁極２２を構成する。
【００１５】
ここで、本実施形態では固定子１において隣接する一対の電磁石間の距離（間隔）を一定として配列してあり、さらに可動子２の長さと移動距離に応じた一定間隔毎に、電磁石の間隔を上記一定距離よりも永久磁石２１の磁極２２の２極分だけ広くした空間が設けてあって、この空間に磁気センサブロック３が配置される。
【００１６】
磁気センサブロック３は、プリント基板３２上にホール素子等の磁気センサ３１を３個配置してなり、絶縁材料製のスペーサ３３を介して固定子ヨーク１３にネジ止め等により固着されており、スペーサ３３によって鉄心１２とほぼ同じ高さに配置されている。而して、固定子ヨーク１３を介して磁気センサブロック３と複数個の電磁石を一体化しているので、電磁石の位置と磁気センサ３１の位置の相対的なずれが生じず、各電磁石を構成するコイル１１への通電をより高い精度で切り替えることができる。また、複数の磁気センサ３１をプリント基板３２上に配置することで磁気センサブロック３を構成しているため、別途磁気センサブロック３として部品実装機等により組み立てたものを所定位置に取り付けるだけの作業となり、より組立性が向上するという利点がある。さらに、磁気センサブロック３をスペーサ３３により固定子ヨーク１３との間に間隙を設けて固定子ヨーク１３に固着したので、磁気センサブロック３の位置を容易に可動子２に近接させることができ、各電磁石を構成するコイル１１への通電をより高い精度で切り替えることができるとともにスペーサ３３によって固定子ヨーク１３と磁気センサブロック３の間に隙間を設けることで両者の電気的絶縁が容易に行えるという利点がある。
【００１７】
一方、制御回路ブロック４０は、図３に示すように、直流電源から成る電源部４１と、例えば逆起防止用ダイオードＤが逆並列に接続された６つのスイッチ素子Ｑのブリッジ回路で構成されコイル１の各相（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相の３相）を切り換える出力部４２と、出力部４２の各スイッチ素子Ｑをスイッチング制御する制御部４３とを備えている。また、制御部４３は、例えばＣＰＵを主構成要素とし、磁気センサ３１からの位置検出信号を入力し、所定のプログラムに基づいて出力部４２のスイッチ素子Ｑを順次オンオフする。この制御回路ブロック４０により、固定子１の３相のコイル１１の内の２つの相のコイル１１に常時電流を流すことにより、永久磁石２１を有する可動子２との間で可動子２の長手方向に沿って移動する進行磁界を発生し、この進行磁界によって永久磁石２１との間で大略直線的な長手方向に向けて移動し得る推力を得ることができる。
【００１８】
本実施形態では、固定子１において磁気センサブロック３に隣接す電磁石以外は、隣接する各一対の電磁石の間隔を一定として配列してあり、また、可動子２の磁極２２の間隔も一定としてある。可動子２の磁極２２の１極分の長さをＬとすると、電磁石を一定ピッチで配置してある部位における電磁石間の距離は、１０Ｌ／６になるように構成してある。また、磁気センサブロック３における隣接した磁気センサ３１同士の間隔を２Ｌ／３としてある。
【００１９】
図１並びに図２におけるＵ、Ｖ、Ｗの記号は各電磁石（コイル１１）の相（励磁相）を示している。ここで、アポストロフィが付加されている相のコイル１１は、アポストロフィが付加されていない同相のコイル１１と巻線方向が逆向きになっていることを意味している。例えば、Ｕに対応するコイル１１に上から見て右回りに通電されるときは、Ｕ’に対応するコイル１１には左回りに通電される。図示例ではコイル１１をＵ，Ｖ’、Ｗ、Ｕ’、Ｖ、Ｗ’の順で配列してあり、２相ずつ順次通電することにより、Ｕ，Ｖ→Ｖ，Ｗ→Ｗ，Ｕ→Ｕ，Ｖというように循環的に通電する。また、それぞれのコイル１１はＹ結線されていることから、アポストロフィが付加されていないもの同士またはアポストロフィが付加されているもの同士の２相は逆向きに通電される。例えば、図１においてＵ，Ｗが励磁されるときに、Ｕに対応するコイル１１とＷに対応するコイル１１とは逆向きに通電される。言い換えると、固定子１において隣接している２個ずつのコイル１１が同時に同じ向きに通電され、通電されている２個のコイル１１の組の左右に隣接しているコイル１１には通電されず、通電されないコイル１１を挟んで左右両側のコイル１１の組は互いに逆向きに通電されることになる。
【００２０】
このように２相同時に通電を行う際に、どのタイミングで励磁相を切り換えればよいかを説明する。ここで、固定子１における最左端に配置された電磁石の左端を原点Ｏとしたときの各電磁石の位置を横軸にとり、個々の電磁石で生じる推力のピーク値Ｆで正規化した場合に固定子１で生じる推力を縦軸にとった波形図を図４に示す。可動子２が走行していく際に一つのコイル１１が発生する推力は、永久磁石２１のＮ，Ｓの２極分の長さ、すなわち磁極２２の２つ分の長さ２Ｌで１周期となる正弦波状の波形となる。なお、ここでは上記推力の波形を便宜上正弦波と仮定する。本実施形態においては隣接する電磁石の間隔を１０Ｌ／６としているから、Ｕ，Ｖ，Ｗの各相の電磁石によって発生する推力Ｆは図４に示すような波形となり、周期２Ｌの正弦波が１０Ｌ／６ずつずれているということは、２Ｌ／６ずれているということと同義である。また、隣り合う２相（ＵとＶ’、ＷとＵ’、ＶとＷ’）の電磁石で発生する合計の推力は、各相の電磁石で発生する推力を足し合わせればよく、この足し合わせた推力を図４に太線で示す。この波形のうち隣り合う２線が交差する点で励磁相を切り換えれば最も効率がよいことになる。
【００２１】
さて、１相の電磁石が発生する推力はその相の電磁石の中央と永久磁石２１の磁極２２が切り替わる点とが進行方向に対して一致したときに最も大きくなる。図４においてそれぞれの波形を見ると、例えばＷの相の電磁石で発生する推力の頂点がＶ’とＷ並びにＷとＵ’の各２相の電磁石で発生する推力の切り替え点と一致していることがわかる。すなわち、ある相の電磁石の中央と永久磁石２１の磁極２２の切り替え点が一致したときに励磁相を切り換えればよいということになる。通常磁気センサ３１は磁極２２の切り替え点を検知するので、電磁石の中央に磁気センサ３１を配置すれば最も効率よい位置で励磁相を切り換えることができる。もちろん周期が２Ｌであるから、電磁石の中心から２Ｌの整数倍だけ移動した位置に磁気センサ３１を配置しても同様の効果が得られる。このような位置で切り替わったときの推力波形が図４の太線のようになる。
【００２２】
本実施形態においては、一部の隣接する電磁石の間隔を他の隣接する電磁石の間隔よりも磁極２２の２極分２Ｌだけ長く構成して磁気センサブロック３を配置するための空間を設けている。つまり２つの電磁石を１０Ｌ／６＋２Ｌ＝２２Ｌ／６の距離で配置して設けた空間に磁気センサブロック３を配置しているのである。ここで、上記磁気センサ３１の最適配置条件に基づき、図１に示すように左隣りのＷ相の電磁石から可動子２の移動方向に沿って１２Ｌ／６（＝２Ｌ）の間隔で磁気センサ３１を配置するとともに、この磁気センサ３１から可動子２の移動方向に沿って各々２Ｌ／３の間隔を空けて残りの２つの磁気センサ３１を配置すれば、各電磁石の中央に磁気センサ３１を分散配置したときと同様の位置で励磁相の切り替えを行うことができる。このとき、コイル１１の無い空間が２Ｌ分できるので、コイル１１を一定間隔に配置して磁気センサ３１を分散配置したときと比べて、２Ｌの長さ分の永久磁石２１、すなわち２極分の磁極２２を余分に配置することで、全く同じ推力を得ることができる。
【００２３】
また、本実施形態においては、磁気センサブロック３を配置した空間の隣接する電磁石の距離は他の部分の距離より２Ｌだけ長くしており、Ｌの整数倍の距離だけ離れた位置のコイル１１同士は同相となるので、図２に示すように、他の部分で連続している相順のまま入れ替わることなしに、磁気センサブロック３を配置したことになる。
【００２４】
ここで、従来技術で説明したように相順が入れ替わると推力のリプルが大きくなり、さらに推力リプルが大きくなると制御性が悪くなるという欠点がある。図６に示すようにコイル１１を一個分取り除いてセンサブロックを配置した構成では、磁気センサブロック３を挟んだ両端で相順が入れ替わっており、永久磁石２１の７極分としたときの推力波形は図７に示すがごとくになる。これに対して本実施形態では、磁極２２の７極分としたときは図４の太線に示すがごとくの推力波形となり、推力リプルが抑制されて制御性の高いリニアモータを構成することができる。
【００２５】
なお、本実施形態では複数個の電磁石で固定子１を構成しているが、電磁石の代わりに空芯コイルを用いても同様の効果を奏することが可能である。
【００２６】
【発明の効果】
請求項１の発明は、進行方向に沿って複数のコイルが列設されたコイルブロックと、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるようにコイルブロックと対向して配設された永久磁石と、永久磁石の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用によりコイルブロック又は永久磁石を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した永久磁石の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合うコイル間隔を他の隣り合うコイル間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置したので、永久磁石の位置を検出するための複数個の磁気センサを磁気センサブロックとして一箇所にまとめているから、分散して配置された磁気センサに個々に配線を施す場合に比較すると配線が簡単になって製造が容易になり、また、進行方向に列設されたコイルブロックのうち、少なくとも一つの隣り合うコイル間隔を他の隣り合うコイル間隔と比べて磁石１極分の整数倍だけ長くしてあるところに磁気センサブロックを配置しているから、コイル内に磁気センサを配置する場合のような誤検出が発生せず、しかも磁気センサブロックを配置した位置を挟んでもコイルの相順が入れ替わらないため、コイル１個分を取り除いて磁気センサブロックを配置した場合に比べて、推力のリプルを小さくすることができるという効果がある。
【００２７】
請求項２の発明は、コイル及び鉄心からなり進行方向に沿って複数個配列された電磁石、各電磁石を磁気的に結合する固定子ヨークで構成される固定子と、進行方向に沿って複数の磁極が交互に異極となるように電磁石と対向して配設された永久磁石、複数の磁極同士を磁気的に結合する可動子ヨークで構成される可動子と、可動子の位置を検出する複数の磁気センサを具備した磁気センサブロックと、前記永久磁石との相互作用により可動子を移動させる推力を生じさせるように磁気センサブロックにより検出した可動子の位置に応じたタイミングで各コイルへの通電を制御する制御手段とを備え、少なくとも一つの隣り合う電磁石間隔を他の隣り合う電磁石間隔に比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍の長さだけ長くした空間を設け、この空間に前記磁気センサブロックを配置するとともに該磁気センサブロックを固定子ヨークに固着したので、可動子の位置を検出するための複数個の磁気センサを磁気センサブロックとして一箇所にまとめているから、分散して配置された磁気センサに個々に配線を施す場合に比較すると配線が簡単になって製造が容易になり、また、進行方向に列設された電磁石のうち、少なくとも一つの隣り合う電磁石間隔を他の隣り合う電磁石間隔と比べて永久磁石の磁極の１極分の整数倍だけ長くしてあるところに磁気センサブロックを配置しているから、コイル内に磁気センサを配置する場合のような誤検出が発生せず、しかも磁気センサブロックを配置した位置を挟んでもコイルの相順が入れ替わらないため、コイル１個分を取り除いて磁気センサブロックを配置した場合に比べて、推力のリプルを小さくすることができ、さらに、固定子ヨークを介して磁気センサブロックと複数個の電磁石を一体化できるので、電磁石の位置と磁気センサの位置の相対的なずれが生じず、各電磁石を構成するコイルへの通電をより高い精度で切り替えることができるという効果がある。
【００２８】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成したので、別途磁気センサブロックとして部品実装機等により組み立てたものを所定位置に取り付けるだけの作業となり、より組立性が向上するという効果がある。
【００２９】
請求項４の発明は、請求項２の発明において、複数の磁気センサをプリント基板上に配置することで磁気センサブロックを構成し、この磁気センサブロックをスペーサにより固定子ヨークとの間に間隙を設けて固定子ヨークに固着したので、磁気センサブロックの位置を容易に可動子に近接させることができるため、各電磁石を構成するコイルへの通電をより高い精度で切り替えることができ、なお且つスペーサによって固定子ヨークと磁気センサブロックの間に隙間を設けることにより、両者の電気的絶縁が容易に行えるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態の要部を示す概略構成図である。
【図２】同上の全体構成を示す概略構成図である。
【図３】同上の回路構成を示す概略回路構成図である。
【図４】同上の動作説明用の波形図である。
【図５】従来例の要部を示す概略構成図である。
【図６】他の従来例の要部を示す概略構成図である。
【図７】同上の動作説明図である。
【符号の説明】
１  固定子
２  可動子
３  磁気センサブロック
１１  コイル
１２  鉄心
１３  固定子ヨーク
２１  永久磁石
２２  磁極
３１  磁気センサ
３２  プリント基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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