(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の少なくとも一面側に反射防止膜が設けられたガラス板の前記反射防止膜が設けられている面に所定のカッティングラインに沿って前記ガラス基板の厚さ未満の深さの第１ダイシング溝を形成する第１ダイシング工程と、
前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した面に粘着テープを貼着する貼着工程と、
前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した反対側の面に前記第１ダイシング溝に沿って第２ダイシング溝を形成し、前記ガラス板を前記カッティングラインに沿って分割する第２ダイシング工程と
前記第２ダイシング工程前に、前記粘着テープが貼着されている前記ガラス板に、前記第２ダイシング溝を設けるアンカット側面から光を照射し、前記ガラス板からの反射光により前記第１ダイシング溝の位置を検出する検出工程
を有することを特徴とするガラス板の分割方法。
【請求項２】
請求項１記載のガラス板の分割方法において、
前記ガラス板に位置合わせの基準となるアライメントマークが設けられていないことを特徴とするガラス板の分割方法。
【請求項３】
請求項１記載のガラス板の分割方法において、
前記ガラス基板の一方の面にのみ反射防止膜が設けられたガラス板を分割する際に、前記第１ダイシング溝又は第２ダイシング溝を形成したダイシングブレードを用いてガラス板表面に反射防止膜が設けられている面を示す表裏識別標識を形成することを特徴とするガラス板の分割方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板の分割方法に関し、特に、反射防止膜が設けられているガラス板をチッピングを発生させずに分割できるガラス板の分割方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータの画面を壁面に拡大投射するための液晶プロジェクターが汎用されている。図４に示すように、液晶プロジェクター４００は、光源４１０の光を赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの三原色に分光し、それぞれの光を同じ液晶画面が表示されるライトバルブ４２０と呼ばれる液晶表示装置に通し、ライトバルブ４２０を通ったそれぞれの光を合成し、投射レンズ４３０で投射するものである。
【０００３】
液晶プロジェクターに用いられるライトバルブ４２０の構造の一例を図５に示す。このライトバルブ４２０は、四角筒状のケース４２１内に、液晶表示装置として、入射側に対向基板４２２、出射側にＴＦＴ液晶基板４２３が配置され、フレキシブル配線４２４がケース外と液晶表示装置を接続している。対向基板４２２の入射側表面に防塵カバーガラス４２５が接着され、ＴＦＴ液晶基板４２３の出射側の面にも防塵カバーガラス４２５が接着されている。ケース４２１には入射側の開口部をやや狭める見切り４２６が設けられている。見切り４２６は、外周部のコントラストの向上、配線部の光漏れを防止のために設けられている。
【０００４】
防塵カバーガラス４２５は、ゴミが対向基板４２２とＴＦＴ基板４２３の外面に付着するとゴミが拡大投影表示されてしまうのを防止するため、ゴミを液晶表示面から離間させてアウトフォーカスとすることによって、ゴミの付着を目立たなくする機能を有する。そのため、防塵カバーガラス４２５は、厚みが１．１ｍｍ程度と厚くなっており、ＴＦＴ液晶基板４２３や対向基板４２２に用いられているガラスと同じ材質の石英ガラスやネオセラムのようなガラスが用いられる。また、光線透過量を良好にするために、外面に反射防止膜が設けられている。
【０００５】
防塵カバーガラス４２５の製造工程は、ベースとなるガラス基板に反射防止膜を真空蒸着で形成した後、ガラス基板の一方の面に粘着テープを貼着し、ダイシングブレードで所定のカッティングラインに沿ってガラス基板を粘着テープに達するように切断し、複数の区画に分割して、所定の形状の防塵カバーガラスを切り出して得るものである。
【０００６】
ところが、ガラス基板をダイシングブレードで１回で切断する方法は、ガラス基板の切断面にチッピングが発生し、切断面に欠けが生じ、不良になってしまうという問題がある。
【０００７】
このような欠けの発生を回避するため、ＬＣＤ用のガラス板のカットをする際に、１回目のダイシングでガラス基板にある程度溝を形成し、溝を形成した面に粘着テープを貼り、反対側から２回目のダイシングで１回目で形成した溝に達する溝を形成して両面からガラス板を切断する方法が提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、防塵カバーガラスは、ＬＣＤ用のガラス基板と異なり、単に反射防止膜が形成されたガラス板であり、ガラス板自体に位置合わせ用の目印となるものが形成されていないため、２回目のダイシングを行う際に、１回目のダイシングで形成した溝の位置を検出することが困難で、正確なダイシングが困難であるという問題がある。
【０００９】
この場合、ガラス板の周縁部近傍に複数の位置合わせ用のアライメントマークを設け、このアライメントマークを基準として１回目と２回目のダイシングを行うことも可能であるが、アライメントマークを設けた部分のガラスは製品として使えないため、歩留まりが悪くなるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、反射防止膜のみが設けられたガラス板を分割する際に、アライメントマークを設けずにガラス板の両面から正確に分割できるガラス板の分割方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記目的を達成するため、鋭意検討を重ねた結果、反射防止膜に粘着テープを貼着すると、反射防止膜はその機能を失ってかえって増反射膜となり、反射防止膜がある部分とない部分との差が明確になることを知見した。そして、１回目のダイシングで反射防止膜が設けられている側に溝を設け、ダイシングを行った反射防止膜が設けられている面に粘着テープを貼着し、ガラス板に光を照射し、その反射光又は透過光から１回目のダイシングで設けた溝によって反射防止膜が削られているためにこの溝を明瞭に検出でき、反対面から正確に２回目のダイシングを行うことができることを見い出した。
【００１２】
このガラスの分割方法では、１回目のダイシングで設けた溝を光学的に検出してアライメントマークとして利用するため、位置合わせ用のアライメントマークは特に必要がなく、製造の歩留まりを向上させることができる。
【００１３】
また、一方の面にのみ反射防止膜が設けられているガラス板を分割して得られた分割ガラス板は、ガラス板に反射防止膜が設けられているだけであるため、一見しただけではどちらの面に反射防止膜が設けられているかの判定が困難である。そのため、ライトバルブを組み立てるときの目印として、ダイシングブレードで表裏識別標識を設けることが有効である。
【００１４】
従って、請求項１記載の発明は、ガラス基板の少なくとも一面側に反射防止膜が設けられたガラス板の前記反射防止膜が設けられている面に所定のカッティングラインに沿って前記ガラス基板の厚さ未満の深さの第１ダイシング溝を形成する第１ダイシング工程と、前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した面に粘着テープを貼着する貼着工程と、前記ガラス板の前記第１ダイシング溝を形成した反対側の面に前記第１ダイシング溝に沿って第２ダイシング溝を形成し、前記ガラス板を前記カッティングラインに沿って分割する第２ダイシング工程と前記第２ダイシング工程前に、前記粘着テープが貼着されている前記ガラス板に、前記第２ダイシング溝を設けるアンカット側面から光を照射し、前記ガラス板からの反射光により前記第１ダイシング溝の位置を検出する検出工程を有することを特徴とするガラス板の分割方法を提供する。
【００１６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のガラス板の分割方法において、前記ガラス板に位置合わせの基準となるアライメントマークが設けられていないことを特徴とするガラス板の分割方法を提供する。
【００１７】
請求項３記載の発明は、請求項１記載のガラス板の分割方法において、前記ガラス基板の一方の面にのみ反射防止膜が設けられたガラス板を分割する際に、前記第１ダイシング溝又は第２ダイシング溝を形成したダイシングブレードを用いてガラス板表面に反射防止膜が設けられている面を示す表裏識別標識を形成することを特徴とするガラス板の分割方法を提供する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のガラス板の分割方法の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００１９】
本発明のガラス板の分割方法は、例えばガラス基板の少なくとも一面側に反射防止膜が設けられたガラス板の反射防止膜が設けられている面に第１ダイシング溝を形成する第１ダイシング工程、第１ダイシング溝を形成した面に粘着テープを貼着する貼着工程、粘着テープが貼着されているガラス板に光を照射し、ガラス板からの反射光又は透過光により第１ダイシング溝の位置を検出する検出工程、ガラス板の第１ダイシング溝を形成した反対側の面に第１ダイシング溝に沿って第２ダイシング溝を形成し、ガラス板をカッティングラインに沿って分割する第２ダイシング工程を有する。
【００２０】
本発明のガラス板の分割方法に用いられるベースとなるガラス板としては、ガラス基板の少なくとも一面側に反射防止膜が形成されている必要がある。典型的には、液晶プロジェクターのライトバルブに用いられている防塵カバーガラスを製造するためのガラス板であり、ガラス基板の一方の面にのみ反射防止膜が設けられているガラス板を例示することができる。その他に、ＣＲＴや液晶表示装置の前面板などを例示することができる。この場合、反射防止膜はガラス基板の両面に設けられていてもよく、また、ハードコート膜等が反射防止膜とガラス基板との間に介在していてもよい。ガラス基板は、ライトバルブなどに用いる場合は熱膨張率が小さい石英ガラスやホウケイ酸ガラスを用いるが、通常のソーダ石灰ガラスや無アルカリガラス等でもよい。反射防止膜は、単層又は多層の有機膜又は無機膜で構成されるが、特に限定されるものではない。防塵カバーガラスを得るためのガラス板には、反射防止膜が設けられている他は、位置合わせの基準となるアライメントマークは設けられていない。
【００２１】
図１は、本発明のガラス板の分割方法の一実施形態を示すフローチャートである。このフローチャートでは、ガラス板１０として、ガラス基板１１の一面側にのみ反射防止膜１２が設けられているものを用いている。
【００２２】
まず、図１（ａ）に示すように、ガラス基板１１の反射防止膜１２が設けられている面と反対面に第１粘着テープ２１を粘着剤層２１１を介して貼着する第１貼着工程を行う。この第１粘着テープ２１としては、粘着剤層２１１が通常は強力な粘着力を有するが、例えば紫外線、電子線等を照射することにより、硬化して粘着力が大幅に低下し、剥離し易くできる特性を有するものを用いることが好ましい。
【００２３】
次に、図１（ｂ）に示すように、所定のカッティングラインに沿って反射防止膜１２が設けられている面に対して図示しないダイシングブレードを用いて第１ダイシング溝３１を設ける第１ダイシング工程を行う。この第１ダイシング溝３１の深さは、ガラス板１０を切断しないように、ガラス板１０の厚さ未満とする。
【００２４】
次に、図１（ｃ）に示すように、第１粘着テープ２１に紫外線等を照射し、粘着剤層２１１を硬化させて粘着力を低下させる。そして、第１粘着テープ２１と同様の特性を有する第２粘着テープ２２を反射防止膜１２の上に粘着剤層２２１を介して貼着した後、第１粘着テープ２１を剥離する第２貼着工程を行う。
【００２５】
次に、検出工程を行う。図１（ｃ）は検出工程を行う時のガラス板１０を示している。図１（ｃ）に示すように、ガラス板１０には、第１ダイシング溝３１が設けられ、その部分で反射防止膜１２が消失している。反射防止膜１２には、第２粘着テープ２２が粘着剤層２２１を介して貼着されている。
【００２６】
反射防止膜１２は、空気との界面での反射を抑制して透過光量を多くするように設計されている。反射防止膜１２は、空気側からガラス基板１１に光が入射するときに空気側への反射を抑制する場合と、ガラス基板１１を通過した光が空気側に抜けていくときに、ガラス基板１１側への反射を抑制する場合の両方に有効である。ところが、反射防止膜１２の表面に第２粘着テープ２２の粘着剤層２２１が密着していると、粘着剤層２２１は空気より屈折率が高いために、反射防止膜１２は反射防止膜としての機能が失われ、かえって反射防止膜がない場合よりも反射が増加し、増反射膜として機能する。
【００２７】
図２は、４層の多層膜で構成される反射防止膜の反射率の分光スペクトルを示すグラフである。実線は粘着テープが貼着されていない空気との界面を有する場合の反射率（％）を示し、破線は粘着テープを貼着した場合の反射率を示している。粘着テープを貼着することによって反射率が顕著に増加している。４００ｎｍから７００ｎｍの分光反射率の平均値は、空気に対して０．６２％であるが、粘着テープを貼着した場合は３．１７％と増加する。
【００２８】
図１（ｃ）に示したガラス基板１１に形成した第１ダイシング溝３１の検出を行うには、第２粘着テープ２２を反射防止膜１２の上に貼着したガラス基板１１に対して、第２ダイシング溝を設けるアンカット面側から又は粘着テープ２２側からガラス基板１２に対して垂直方向の光を照射し、その反射光又は透過光を例えばＣＣＤカメラ等の撮像手段で撮像する。
【００２９】
反射光が撮像された画像は、反射防止膜１２での反射量が第１ダイシング溝３１の部分より多く、第１ダイシング溝３１の部分で暗くなるため、第１ダイシング溝３１を暗部として検出することができる。また、透過光が撮像された画像は、反射防止膜１２が存在する部分で反射が大きく、透過光量が少なくなっており、一方第１ダイシング溝３１の部分で反射量が少なく、透過光量が多いため、第１ダイシング溝３１の部分で周囲より明るくなり、第１ダイシング溝３１を明部として検出することができる。このようなＣＣＤ画像を例えば２値化処理して第１ダイシング溝３１の位置をコンピュータで演算することができる。
【００３０】
そして、図１（ｄ）に示すように、位置を検出した第１ダイシング溝３１に対応するガラス基板１１の対向面をダイシングブレードで第１ダイシング溝３１と正確に重なる第２ダイシング溝３２を形成し、第１ダイシング溝３１と第２ダイシング溝３２とを連通させて、ガラス基板１１を分割する第２ダイシング工程を行う。
【００３１】
その後、第２粘着テープ２２に紫外線等を照射し、粘着剤層２２１を硬化させて粘着剤層２２１の粘着力を弱め、粘着テープ２２から分割した各分割ガラス板１００を剥離する。その後、分割ガラス板１００の寸法検査、洗浄等を行って製品として出荷する。
【００３２】
このようなガラス板の分割方法は、ガラス板１０を両面から溝を形成して切断しているため、切断面に欠けが生じ難く、不良品の発生を抑制し、歩留まりを向上させることができる。
【００３３】
また、粘着テープ２１、２２にはダイシングを行っていないため、粘着テープの粘着剤がダイシングブレードに付着し、ガラスの切削片の付着によるガラス基板１１への損傷及び汚れ等の不都合が生じない。
【００３４】
更に、第１ダイシング溝３１の位置を光学的に読み取り、第１ダイシング溝３１をアライメントマークとして利用するので、ガラス基板１１には正確に位置合わせするためのアライメントマークを形成しなくてもよい。そのため、アライメントマークを形成した部分の無駄がなく、ベースとなったガラス板１０の全体を分割して製品化することが可能であり、歩留まりが良く、生産コストを低減することができる。
【００３５】
上記説明では、第１ダイシング溝３１と第２ダイシング溝３２とも断面矩形のダイシングブレードで形成し、切断面を垂直方向に形成しているが、ダイシング溝の形状は問わず、例えばＶ字状の溝であってもよく、第１ダイシング溝３１の幅と第２ダイシング溝３２の幅とが異なっていてもよい。
【００３６】
なお、反射防止膜がガラス基板の両面に設けられていても、第１ダイシング溝を光学的に検出する方法には影響がないため、反射防止膜はガラス基板の両面に設けられていてもよい。
【００３７】
次に、防塵カバーガラスを製造する際にガラス板に形成する表裏識別標識について説明する。
【００３８】
液晶プロジェクター４００のライトバルブ４２０に用いられる防塵カバーガラス４２５には、一方の面にのみ反射防止膜が設けられており、ライトバルブ４２０を組み立てる際にガラス基板１１の反射防止膜１２が設けられていない方の面を液晶表示装置の対向電極４２２又はＴＦＴ液晶基板４２３面に接着剤で貼り付ける。防塵カバーガラスを貼り付ける際に、平らな矩形状の透明ガラス板である防塵カバーガラスのどちらの面に反射防止膜が形成されているかを目視で判定することは困難である。そのため、本実施形態のガラス板の分割方法では、ガラス板に表裏識別標識を形成し、反射防止膜が設けられている面を識別できるようにしている。
【００３９】
図３は、ガラス基板にカッティングラインに沿って第１ダイシング溝を設けると共に、表裏識別標識を設けた例を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は一部の断面図である。
【００４０】
このガラス板１０には、図３（ｂ）に示すように、ガラス板１０の反射防止膜１２を設けた面と反対面に第１粘着テープ２１が貼着され、図１（ｂ）に示したと同じ方法でガラス板１０にダイシングブレードを用いて第１ダイシング溝３１が形成され、更に、同じダイシングブレードを用いて、表裏識別標識として、ガラス板１０表面を削った浅い表裏識別溝４１が形成されている。
【００４１】
表裏識別溝４１は、図３（ａ）に示すように、ガラス板１０の縦方向に延伸する第１ダイシング溝３１ａ及び右側縁をそのままわずかに図面左側に平行移動した位置に設けられた縦方向表裏識別溝４１ａと、ガラス基板１１の幅方向に延伸する第１ダイシング溝３１ｂ及び下縁をそのままわずか図面上側に平行移動させた位置に形成されている横方向表裏識別溝４１ｂとの２本の溝を有する。
【００４２】
そのため、第２ダイシング溝３２を形成して第１ダイシング溝３１にそってガラス板１０を分割した分割ガラス板１００には、分割ガラス板１００の右側面に接近した縦方向表裏識別溝４１ａと下側面に接近した横方向表裏識別溝４１ｂの２本の表面溝が形成されている。分割ガラス板１００の反射防止膜１２が設けられている面を識別するには、縦方向表裏識別溝４１ａを右側に、横方向表裏識別溝４１ｂを下側に配置すると、反射防止膜１２が設けられている面が上になっていることになり、反射防止膜１２が設けられている面を識別することができる。
【００４３】
表裏識別溝４１は、図５に示したライトバルブ４２０に入射側の開口部をやや狭める見切り４２６が設けられているため、ライトバルブ４２０に装着したときには、光学系に影響を与えることはない。図３では、分かり易くするため表裏識別溝４１を第１ダイシング溝３１と離れているようになっているが、実際にはかなり接近して形成される。
【００４４】
このような表裏識別溝４１をダイシングブレードで設ける方法は、第１ダイシング溝３１を設けた位置からややずれた位置に同じ間隔で同じダイシングブレードを用いて、第１ダイシング溝３１を設ける条件をわずかに変えるだけで形成できるため、特別な装置が不要であり、容易に形成できる。
【００４５】
表裏識別標識は、図示のものに限られず、ガラス板の表裏を判別できれば足り、例えば反射防止膜が設けられていない面に、第２ダイシング溝３２と共に設けてもよく、形状も溝に限定されるものではない。
【００４６】
【発明の効果】
本発明のガラス板の分割方法によれば、アライメントマークが設けられていなくても、反射防止膜が設けられた面に形成されたダイシング溝に沿って反対面に正確にダイシング溝を形成してガラス板を両面ダイシングによって分割することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス板の分割方法の工程を示すフローチャートである。
【図２】反射防止膜の界面に粘着テープが貼着されている場合といない場合の反射率の違いを示すグラフである。
【図３】（ａ）は表裏識別溝を設けた例を示す平面図であり、（ｂ）は一部の断面図である。
【図４】液晶プロジェクターの概略構成を示す構成図である。
【図５】液晶プロジェクターに用いられているライトバルブの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
１０                ガラス板
１１                ガラス基板
１２                反射防止膜
２１                第１粘着テープ
２２                第２粘着テープ
３１                第１ダイシング溝
３２                第２ダイシング溝
１００              分割ガラス板
【図１】
0003988410.tif 000002
【図２】
0003988410.tif 000003
【図３】
0003988410.tif 000004
【図４】
0003988410.tif 000005
【図５】
0003988410.tif 000006