(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ上の試料より光を採取する顕微手段と、
前記顕微手段により採取された光より、前記試料の特定部位の光のみを採取するアパーチャと、
前記アパーチャにより選択されている試料の特定部位より、赤外スペクトルを検出する受光手段と、
を備えた赤外顕微鏡において、
前記アパーチャを介した前記顕微手段よりの試料像光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された試料画像を表示するための表示手段と、
前記アパーチャを介した前記顕微手段よりの試料像光を、前記受光手段または前記撮像手段へ選択的に導光する導光手段と、
実際に前記アパーチャにより選択された制御視野領域を示す枠を作成する作成手段と、
前記表示手段において、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示させる表示制御手段と、
を備えたことを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載の赤外顕微鏡において、前記作成手段は、前記撮像手段で得た画像を二値化処理し、前記アパーチャの開口部分か、または掩蔽部分かを識別する識別手段を備え、
前記作成手段は、前記識別手段で得た開口部分より掩蔽部分へ一定の幅をもつ、前記枠を作成し、
前記表示制御手段は、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示することを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項３】
請求項１又は２記載の赤外顕微鏡において、前記制御視野の画像のエッジの座標値を、該画像撮像時のアパーチャ制御情報に基づき読み取る読取手段を備え、
前記作成手段は、前記読取手段で得た各座標間を直線補完して、前記枠を作成し、
前記表示制御手段は、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示することを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段にウインドウを１つ開き、該１つのウインドウに、前記枠を含む各画像を重畳表示可能にしたことを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載の赤外顕微鏡において、前記表示手段に重畳表示可能な、前記枠を含む各画像のうち、上位画像を透過画像に加工可能な加工手段を備えたことを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項６】
請求項５記載の赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段に、同様のウインドウを２つ開き、一方のウインドウに、前記キャプチャで得たビデオ画像を表示し、
他方のウインドウを透過ウインドウにして、該透過ウインドウに、前記撮像手段で得た実画像を透過画像で表示し、
前記ビデオ画像を表示しているウインドウ上に、前記実画像を透過画像で表示している透過ウインドウをぴったり重ねて表示することを特徴とする赤外顕微鏡。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかに記載の赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段に前記試料画像を表示するための試料画像表示画面と、
前記試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に得るのに必要な、各種制御情報を表示するための制御情報表示画面と、を並べて表示することを特徴とする赤外顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、赤外顕微鏡、特に試料の極微小部位の観察および赤外スペクトル測定を行うことのできる赤外顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、固定表面に付着した有機物などの分子構造などを調べるため、各種赤外顕微鏡が用いられる。
このような赤外顕微鏡は、一般にステージに保持された試料の測定面に特定の赤外光を照射し、その透過光または反射吸収スペクトルを測定している。
ところで、試料上の特定部位のスペクトルを測定するためには、他の部分の光を制限しなければならない。
このため、光路上にアパーチャを設け、他の部分の光をカットし、測定したい箇所のみを選択して、その光を受光手段で受けて、データを取り込むようにしている。
【０００３】
従来、測定時のアパーチャの開度、角度などの状態を設定をするために、測定者は、可視筒鏡２０などの目視観察手段を覗きながら、つぎの調整作業を行う必要があった。
すなわち、焦点合わせを行った後、測定する試料部位を、可視筒鏡２０の視野の中心へもってくる。
ここで、測定者は、アパーチャを手動で開閉および回転させて、所望の開度および角度を調整していた。
【０００４】
このような調整を的確に行うためには、試料の全体像とアパーチャ像とを光学的に合成する必要があり、各種手法が用いられる。
たとえば、図１において、試料からの光をビームスプリッタ２２により二分割し、一方を、アパーチャ１６により特定部分の光のみを取り出して、受光手段１８ないし反射鏡２４、ビームスプリッタ２６を介して、可視筒鏡２０まで導光する。他方を、アパーチャ１６により光を制限せず、反射鏡２８、ビームスプリッタ２６を介して、可視筒鏡２０のみに導光する手段を採用することがあった。
これにより、可視筒鏡２０では、試料の特定部分のみならず、その周辺部分も観察可能となるのである。
【０００５】
しかしながら、このような光学系にあっても、構成が複雑である。しかも、受光手段１８にビームスプリッタ２２により導光される光が分割されて用いられるので、視野が暗いという課題が残されていた。
このような課題を解決するため、図２に示すような手法が採用されることもあった。
すなわち、同図において、アパーチャ１６とカセグレン鏡３０との間に、ビームスプリッタ２２を配置し、カセグレン鏡３０により得られる試料像光を、反射鏡２８を介して可視筒鏡２０へ導光する。
【０００６】
一方、図中、アパーチャ１６の上方には、照明手段３２が設置され、この照明手段３２の照明光は、平面鏡３４を介してアパーチャ１６に照明される。
そして、アパーチャ１６を介したアパーチャ像光のみが、ビームスプリッタ２２により反射され、平面鏡３６を介して再度ビームスプリッタ２２を通過し、結像点で前記試料像光と合成される。
これにより、可視筒鏡２０では、試料像光とアパーチャ像光とが合成された観察視野を得ることができ、赤外スペクトルを得る部分は、アパーチャ像光成分により明るくなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図２に示す赤外顕微鏡にあっても、アパーチャの状態などの設定を行う際は、可視筒鏡２０では、試料の全体像を実際に観察しているものの、実際に赤外スペクトルを得る試料の特定部分を観察していない。
すなわち、アパーチャ１６を介したカセグレン鏡３０よりの試料像光を、実際に観察しているのでなく、アパーチャ１６を介した照明手段３２よりのアパーチャ像光、つまり、アパーチャ像の虚像を可視筒鏡２０で観察しているに過ぎないのである。
【０００８】
このため、測定者が選択した部分と異なる他の部分よりの赤外スペクトルが得られてしまうことがある。
このことは、試料の極微少部位よりの赤外スペクトルを測定する必要のある顕微赤外分析の分野では特に深刻な問題であった。
したがって、この種の分野では、試料の極微小部位の測定を、より確実に行うことのできる技術の開発が強く望まれていたものの、これを解決するための技術は未だ存在しなかった。
【０００９】
本発明は、前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、試料の特定部位の測定を、より確実に行うことのできる赤外顕微鏡を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明にかかる赤外顕微鏡は、ステージ上の試料より光を採取する顕微手段と、前記顕微手段により採取された光より、前記試料の特定部位の光のみを採取するアパーチャと、前記アパーチャにより選択された試料の特定部位より、赤外スペクトルを検出する受光手段と、を備えた赤外顕微鏡において、撮像手段と、表示手段と、導光手段と、作成手段と、表示制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
ここで、前記撮像手段は、前記アパーチャを介した前記顕微手段よりの試料像光を撮像する。
また、前記表示手段は、前記撮像手段により撮像された試料画像を表示する。
前記導光手段は、前記アパーチャを介した前記顕微手段よりの試料像光を、前記受光手段または前記撮像手段へ選択的に導光する。
前記作成手段は、実際に前記アパーチャにより選択された制御視野領域を示す枠を作成する。
前記表示制御手段は、前記表示手段において、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示させる。
【００１２】
ここにいう全視野とは、前記アパーチャを全開にして得られた試料の全体像をいう。
【００１３】
また、制御視野とは、前記アパーチャを絞って得られた特定部位の試料像をいう。
【００１４】
なお、前記赤外顕微鏡においては、前記作成手段が、識別手段を備えることが好適である。
【００１５】
ここで、前記識別手段は、前記撮像手段で得た画像を二値化処理し、前記アパーチャの開口部分か、または掩蔽部分かを識別する。
前記作成手段は、前記識別手段で得た開口部分より掩蔽部分へ一定の幅をもつ、前記枠を作成する。
前記表示制御手段は、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示する。
【００１６】
また、前記赤外顕微鏡においては、読取手段を備えることが好適である。
ここで、前記読取手段は、前記制御視野の画像のエッジの座標値を、該画像撮像時のアパーチャ制御情報に基づき読み取る。
また、前記作成手段は、前記読取手段で得た各座標間を直線補完して、前記枠を作成する。
前記表示制御手段は、前記撮像手段で得た全視野の画像上に、前記作成手段で得た枠を重畳表示する。
【００１７】
また、前記赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段に、ウインドウを１つ開き、該１つのウインドウに、前記枠を含む各画像を重畳表示可能にすることも好適である。
また、前記赤外顕微鏡において、前記表示手段に重畳表示可能な、前記枠を含む各画像のうち、上位画像を透過画像に加工可能な加工手段を備えることも好適である。
【００１８】
また、前記赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段に、同様のウインドウを２つ開き、一方のウインドウに、前記キャプチャで得たビデオ画像を表示し、
他方のウインドウを透過ウインドウにして、該透過ウインドウに、前記撮像手段で得た実画像を透過画像で表示し、
前記ビデオ画像を表示しているウインドウに、前記実画像を透過画像で表示している透過ウインドウをぴったり重ねて表示することも好適である。
【００１９】
前記赤外顕微鏡において、前記表示制御手段は、前記表示手段に、前記試料画像を表示するための試料画像表示画面と、
前記試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に得るのに必要な、各種制御情報を表示するための制御情報表示画面と、を並べて表示することも好適である。
【００２０】
【発明の実施形態】
本発明にかかる赤外顕微鏡は、前述のようにアパーチャを介した顕微手段よりの試料像光を、導光手段により受光手段ないし撮像手段へ選択的に導光している。
すなわち、赤外スペクトル測定を行う時は、導光手段により、アパーチャを介した顕微手段よりの試料像光を受光手段へ導光している。また、アパーチャの状態の確認、変更などを行う時は、前記赤外スペクトル測定時と同様の試料像光を撮像手段へ導光している。
【００２１】
この結果、測定者は、表示手段で実際にアパーチャにより選択されている試料の特定部分を確認することが可能となる。これにより、試料の特定部位の測定を、より確実に行うことが可能となる。
また、全視野の実画像をキャプチャにより取り込み、表示制御手段により、先ほどキャプチャで得た全視野のビデオ画像上に、前記撮像手段で得た制御視野の実画像を重畳表示することにより、赤外スペクトルを得る特定部分のみならず、その周辺部分も簡便に観察することが可能となる。
【００２２】
また、制御視野の実画像をキャプチャにより取り込み、表示制御手段により、撮像手段で得た全視野の実画像上に、先ほどキャプチャで得た制御視野のビデオ画像を重畳表示することにより、実際に赤外スペクトルを得る部分も観察可能となるため、測定点の指定などを、より正確におよび容易に行うことが可能となる。
また、表示制御手段により、全視野の実画像に、アパーチャにより選択されている制御視野領域を示す枠を表示することにより、全視野との重畳部分を大幅に少なくすることが可能となるので、試料画像の観察を、より良好に行うことが可能となる。
【００２３】
また、前記枠を含む各画像を、表示制御手段により、１つのウインドウに重畳表示可能にすることにより、画面を有効活用することが可能となる。
また、前記表示手段に重畳表示可能な、前記枠を含む各画像のうち、上位画像を加工手段により透過加工することにより、上位画像のみならず、下位画像も観察することが可能となる。
【００２４】
さらに、前記表示制御手段により、前記試料画像を表示するための試料画像表示画面と、試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に検出するのに必要な、測定点、アパーチャの状態の予約済み制御情報を表示するための制御情報表示画面と、を並べて表示することにより、画面に表示する予約済み制御情報が増えた場合であっても、測定者は、試料画像の観察を良好に行うことが可能となる。
【００２５】
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態を説明する。
図３には、本発明の一実施形態にかかる赤外顕微鏡の概略構成が示されている。なお、前記図１〜２と対応する部分には、符号１００を加えて示し説明を省略する。
同図に示す赤外顕微鏡１１０は、顕微手段と、アパーチャ１１６と、受光手段１１８を含む。
【００２６】
そして、前記顕微手段は、ステージ１１２とカセグレン鏡１３０を含み、ステージ１１２上には試料１１４が載置されている。
ステージ１１２に保持された試料１１４の測定面に赤外光を照射し、その透過光ないし反射光は、カセグレン鏡１３０を通り、図中上方に導光され、アパーチャ１１６を通過した後、受光手段１１８により光電変換される。
【００２７】
なお、受光手段１１８より出力される測定結果には、中央演算処理ユニット（ＣＰＵ）１３８により所望のデータ処理が行われる。
以上のようにして本実施形態にかかる赤外顕微鏡１１０によれば、アパーチャ１１６により選択されている試料の特定部位より、赤外スペクトルを測定することができる。
【００２８】
本発明において特徴的なことは、試料の特定部位の測定を、より確実に行うことを可能にしたことである。
このために、本実施形態においては、同図に示すように、アパーチャ１１６と受光手段１１８との間の光路中に、反射鏡１２４などの導光手段を、挿入または待避可能に配置している。
【００２９】
そして、アパーチャの状態の確認、変更などを行う時は、導光手段１２４を図中左方に移動して、アパーチャ１１６と受光手段１１８との間に入れている。
これにより、カセグレン鏡１３０により得られる試料像光を、アパーチャ１１６、導光手段１１８を介して、さらに反射鏡１４２、レンズ１４４によりＣＣＤカメラ１４６などの撮像手段へ導光している。ＣＣＤカメラ１４６へ導光された試料像光は、ＣＰＵ１３８などの表示制御手段によりディスプレイ１４８などの表示手段に表示される。
【００３０】
したがって、測定者は、ディスプレイ１４８で実際に全視野を観察しながら、赤外スペクトルを得る部分、すなわち測定点を指定することができる。
また、測定者は、ディスプレイ１４８で、実際にアパーチャ１１６により選択されている制御視野領域を観察しながら、アパーチャ１１６の開度、角度などの状態を確認したり、変更することができる。
【００３１】
本実施形態においては、このような測定点の指定、アパーチャの状態などの確認などをする際は、つぎの機構を用いることができる。
すなわち、本実施形態においては、指定手段１５０と、表示制御手段も含む。
前記指定手段１５０は、たとえばマウス、キーボードなどよりなり、ディスプレイ１４８に表示された全視野より、赤外スペクトルを検出する部位、測定点を指定する。
【００３２】
そして、マウスのポインタの動きやキーボードからのキー入力などに連動してステージ１１２およびアパーチャ１１６を自動的に制御している。
すなわち、本実施形態において、ステージ１１２は、たとえばＸＹの２次元またはＸＹＺの３次元制御が可能である。
たとえば、ステッピングモータなどのステージ移動手段１５４と、駆動回路１５６と、ＣＰＵ１３８などのステージ制御手段を含む。
【００３３】
そして、測定点を指定する際は、たとえばＣＰＵ１３８が指定手段１５０の移動方向および移動量に基づき、ステージ１１２の移動手段１５４を制御して、ステージ１１２を移動させる。
これにより、測定者は、ディスプレイ１４８で全視野の実画像を観察しながら、測定点を指定することができる。
【００３４】
なお、ＣＰＵ１３８は、ステージ移動手段１５４および駆動回路１５６を介してステージ１１２の現在位置などの情報を取得可能である。
また、前記アパーチャ１１６は、２軸で開閉可能でかつ回転可能である。
たとえば、アパーチャ駆動手段１５８と、駆動回路１６０と、ＣＰＵ１３８などのアパーチャ制御回路を含む。
【００３５】
そして、アパーチャ１１６の状態の確認、変更などをする際は、たとえば、指定手段１５０により測定点を指定すると、ＣＰＵ１３８がその測定点に設定されているアパーチャ１１６の開度および角度などの制御情報に基づき、アパーチャ１１６の駆動手段１５８を制御して、アパーチャ１１６を動作させてもよい。
ここで、測定者は、ディスプレイ１４８で制御視野領域を観察しながら、設定済みのアパーチャの状態を確認したり、変更をすることができる。
【００３６】
なお、ディスプレイ１４８に、全視野の実画像を表示するか、または制御視野の実画像を表示するかを、ＣＰＵ１３８などの表示制御手段により制御している。
すなわち、測定点を指定する際は、ＣＰＵ１３８がアパーチャ１１６を全開にして得られた全視野の実画像１６２（図４（ａ）参照）を、ディスプレイ１４８に表示する。
【００３７】
ここで、測定者は、指定手段１５２を用いて、全視野の実画像１６２より、赤外スペクトルを得る測定点を指定する。
これに対し、アパーチャ１１６の状態を確認したり、変更する際は、ＣＰＵ１３８が、前記実画像１６２の画面を切り替えて、アパーチャ１１６を絞って得られた制御視野の実画像１６４をディスプレイ１４８に表示する。
【００３８】
ここで、測定者は、制御視野の実画像１６４を観察しながら、前記測定点でのアパーチャ１１６の開度、角度などの状態を確認したり、変更をする。
ただし、この場合、アパーチャ１１６の掩蔽部分１６６は、ディスプレイ１４８に黒く表示されている。
【００３９】
このように本実施形態にかかる赤外顕微鏡１１０によれば、測定者は、実際に赤外スペクトルを得る部位をディスプレイ１４８で観察するため、試料の特定部位の測定を、より確実に行うこともできる。
ここで、通常、赤外スペクトルを得る部分と、アパーチャの実際の開度などの関係を予め校正しておいて、ディスプレイに表示された全視野の実画像より、赤外スペクトルを得る部分を枠などで選択するが、測定時に、先ほど枠で選択した開度、角度までアパーチャを閉める手法も考えられる。
【００４０】
しかしながら、このような手法を用いたのでは、あらかじめアパーチャの実際の開度、角度など、さらには、枠と全視野の実画像との関係もあらかじめ校正しておかなければならず、面倒であった。
また、アパーチャの位置、角度情報を得るのに、温度、長期ドリフトを含むセンサなどを用いると、長期的に精度を維持することができない。
【００４１】
さらに、枠でアパーチャの状態などを設定している時は、実際にアパーチャは閉まっておらず、測定を開始して始めて、先ほど設定しておいた開度までアパーチャを閉めるようにしていたため、測定時のアパーチャの状態を確認することができなかった。この初期校正値に誤差があると、試料の特定部位の測定を、正確に行うことができなかった。
【００４２】
そこで、本実施形態においては、前述のようにしてアパーチャ１１６を介したカセグレン鏡１３０よりの制御視野領域を、ディスプレイ１４８で、観察可能にしているのである。
この結果、ディスプレイ１４８で実際に赤外スペクトルを得る部分を観察しているので、そのような工夫のないものに比較し、試料の特定部位の測定を、より確実に行うことができる。
【００４３】
また、前記校正などが必要ないので、そのような工夫のないものに比較し、操作容易化を図ることもできる。
なお、本発明の赤外顕微鏡としては、前記実施形態に限定されるものでなく、発明の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。
たとえば、ディスプレイに制御視野の実画像を表示しながら、アパーチャの開度および角度などの状態を確認したのち、試料のある特定部分に、アパーチャを移動させる。
【００４４】
つぎに、前記制御視野の実画像より、アパーチャの現在位置を取得して、得られた現在位置が、指定手段により指定された測定点となるように、負帰還制御でステージを移動させる。
そして、この測定点での制御視野の実画像を、キャプチャにより取り込む。キャプチャで得た制御視野のビデオ画像を、その後、全視野の実画像に重畳表示してもよい。
【００４５】
このために、本実施形態においては、前記キャプチャは、たとえば、ＣＰＵ１３８と、メモリ１５２などよりなり、ＣＣＤカメラ１４６により撮像された試料画像を、ＣＰＵ１３８を介してメモリ１５２に取り込む。
ここで、ＣＰＵ１３８は、ＣＣＤカメラ１４６で得た実画像と、メモリ１５２に取り込んでおいたビデオ画像を合成する。
【００４６】
具体的には、ＣＰＵ１３８は、試料のある測定点の指定およびアパーチャ１１６の状態の確認などをした後、図５（ａ）に示すようなアパーチャ画像１６８をメモリ１５２に取り込む。
そして、他の測定点を指定する際は、アパーチャ１１６を全開にして得られた同図（ｂ）に示すような全視野の実画像１６２を得る。
【００４７】
つぎに、同図（ｃ）に示すように、全視野の実画像１６２上に、先ほどメモリ１５２に取り込んでおいた制御視野のビデオ画像１６８を重畳表示する。
このような画像より、測定者は、指定手段１５２により測定点を指定してもよい。
このように本実施形態においては、制御視野の画像を、ＣＰＵ１３８、メモリ１５２などのキャプチャにより取り込む。ＣＰＵ１３８などの制御手段により、ＣＣＤカメラ１４６で得た全視野の実画像上に、先ほど取り込んでおいた制御視野のビデオ画像を重畳表示することにより、実際に赤外スペクトルを得る部分も観察可能となるため、測定点の指定を、正確におよび容易に行うことができる。
【００４８】
ここで、前記制御視野の画像１６８などの試料画像を、ＣＰＵ１３８などの加工手段により二値化処理して、得られた制御視野の透過画像１６９を、全視野の体実画像１６２上に重ねて表示してもよい（同図（ｄ）参照）。
この結果、ディスプレイ１４８に表示されている全視野の実画像のうち、制御視野の画像と重なっている部分も観察することができる。このため、ステージ操作、試料上サーチなどを、制御視野の画像を表示したまま行うことができるので、そのような工夫のないものに比較し、測定点の指定などを、より正確におよび容易に行うことができる。
【００４９】
なお、前記透過画像の具体的な作成方法として、先ず、制御視野の画像を取得して、アパーチャ１１６の掩蔽部分の暗い部分と、開口部分の試料画像が見えている部分を、明るさ情報などで分離して、アパーチャ開口部分を透過させる情報に置き換える。
また、アパーチャの掩蔽部分の画像データを、１対１、１対２などの割合で、画素ごとに互い違いにして、透過情報に置き換える。透過しない部分の画像を、そのままにしたり、異なる色に変えてもよい。
【００５０】
これに対し、アパーチャ１１６の状態の確認、変更などをする際は、アパーチャ１１６を全開にして得られる図６（ａ）に示すような全視野の実画像１７０を、メモリ１５２により取り込む。アパーチャ１１６を絞って得られた、同図（ｂ）に示すような制御視野の実画像１６４を得る。
【００５１】
つぎに、同図（ｃ）に示すように、メモリ１５２に取り込んでおいた全視野のビデオ画像１７０上に、制御視野の実画像１６４を重畳表示することにより、測定者は、ディスプレイ１４８で、制御視野の実画像１５６、すなわち、実際に赤外スペクトルを得る部分を観察しながら、アパーチャ１１６の開度および角度の確認などを行うことができる。
【００５２】
この場合も、取り込まれた全視野のビデオ画像１７０を、ＣＰＵにより二値化処理して、得られた全視野の透過画像１７２を、制御視野の実画像１６４上に重ねて表示してもよい（同図（ｄ）参照）。
この結果、試料の特定部分のみならず、その周辺部分も観察しながら、アパーチャの状態の確認などを行うことができる。
【００５３】
また、本実施形態においては、つぎのようにしてもよい。
すなわち、先ず、ＣＰＵ１３８により、ディスプレイに、たとえば、制御視野のビデオ画像１６８を表示する（図７（ａ）参照）。
つぎに、ＣＰＵ１３８等の識別手段により、同図に示す画面を識別レベルで二値化処理して、アパーチャ１１６の開口部分か、または掩蔽部分かを識別する。
ここで、開口部分の制御視野の中にも、暗い部分があり、前記画面を識別レベルで二値化処理しただけでは、アパーチャの実際の掩蔽部分のみならず、制御視野のある部位も誤って掩蔽部分と識別してしまう事もある。
【００５４】
また、この場合、同図（ｂ）に示すように、制御視野領域を示す枠１７４を線で表示すると、アパーチャの実際の開口部分と掩蔽部分との実際の境界１７３は直線であるにも拘わらず、波状となってしまう場合が多い。
そこで、本実施形態においては、ＣＰＵ１３８により、同図（ｃ）に示すように、得られた開口部分より掩蔽部分へ一定の幅Ａをもつ、枠１７４を作成している。
【００５５】
そして、ＣＰＵ１３８により、同図（ｄ）に示すように、ＣＣＤカメラ１４６で得た全視野の実画像１６２上に、先ほど得た枠１７４を重畳表示してもよい。
このように本実施形態においては、ＣＰＵ１３８により、全視野の実画像１６２上に、前述のようにして得た一定の幅Ａをもつ枠１７４を重畳表示しても、前記図５、６と同様に、アパーチャの状態の確認などを正確におよび容易に行うことができる。
【００５６】
ここで、前記枠１７４をＣＰＵ１３８により透過枠１７５に加工したのち、同図（ｅ）に示すように、前記全視野の実画像１６２上に重畳表示しても、枠の下に表示されている試料画像も観察可能となるので、前記図５（ｄ）、６（ｄ）と同様に、前記観察などを、より良好に行うこともできる。
【００５７】
また、本実施形態においては、メモリ１５２に取り込んでおいた制御視野のビデオ画像より、エッジの座標値を読み取り、読み取った座標値を基に、制御視野領域を示す枠を作成して、全視野の実画像上に重畳表示してもよい。
たとえば、図８（ａ）に示すように、メモリ１５２に取り込んでおいた制御視野のビデオ画像１６８より、アパーチャ開口部分のエッジの座標値ｐ１〜ｐ４を、読取手段でもあるアパーチャ駆動部１５８、駆動回路１６０を介してＣＰＵ１３８により読み取る。
【００５８】
ＣＰＵ１３８は、読み取った座標値ｐ１〜ｐ４を基に、同図（ｂ）に示すような前記アパーチャ開口部分を示す枠１７４を作成する。
つぎに、ＣＰＵ１３８は、同図（ｃ）に示すように、前記枠１７４を、ＣＣＤカメラ１４６で得た全視野の実画像１６２上に重畳表示してもよい。
【００５９】
このようにアパーチャ開口部分を示す枠のみを、全視野の実画像１６２上に重畳表示することにより、制御視野の画像をそのまま重畳表示した場合に比較し、全視野の画像への重畳部分を大幅に低減することができるので、全視野の観察を良好に行うこともできる。
【００６０】
ここで、前述のようにして得た枠１７４を、前記図７（ｅ）と同様に、ＣＰＵ１３８により透過枠に加工したのち、全視野の実画像１６２上に重畳表示することにより、枠の下位にある試料画像も観察することができるので、前記観察を、より良好に行うこともできる。
また、本実施形態において、アパーチャの状態を変更する際は、つぎのようにしてもよい。
【００６１】
すなわち、メモリ１５２に取り込んでおいた制御視野の画像をディスプレイに表示して、指定手段によりアパーチャの開度および角度を制御視野の画像を基に、変化分を指定する。たとえば、キー操作により変化分を数値入力して、その場所の表示に、ソフトまたはハード的に生成描画した、前記枠を用いて、次回からの測定に用いてもよい。
【００６２】
たとえば、ＣＰＵ１３８が図９（ａ）に示すようにメモリ１５２に格納しておいた制御視野の画像１６８をディスプレイ１４８に表示している時は、このアパーチャ画像１６８を基に、アパーチャ１１６の開度および角度を、このアパーチャ画像１６８に対する変更量で指定手段などにより入力する（同図（ｂ）参照）。
入力された変更量を基に、同図（ｃ）に示すような、枠１７６を作成して、これを次回からの測定に用いてもよい。
【００６３】
このように、各測定点でのアパーチャの状態を変更するのに、開度、角度などの状態を最初から変更し直すのでなく、すでに取得してある制限視野の画像１６８を基に、変更量のみを入力するのみで、変更可能にすることにより、アパーチャの状態の変更などを行う際は、操作容易化を図ることもできる。
【００６４】
また、本実施形態においては、ディスプレイ１４８の画面に開いた１つのウインドウに、前記枠を含む各画像などを重畳表示してもよい。
たとえば、ＣＰＵ１３８は、図１０に示すように、ディスプレイに、１つのウインドウ１７８を開き、このウインドウ１７８に、前記全視野の実画像、制御視野の実画像、メモリに取り込んでおいたビデオ画像、これを透過加工して得られた透過画像などの各画像１６２を重畳表示してもよい。これにより、画面を有効活用することもできる。
【００６５】
また、本実施形態においては、ＣＰＵ１３８が２つのウインドウを開き、一方のウインドウ１８０には、キャプチャに取り込まれた制御視野の画像、さらには、これを透過画像に加工した透過画像１８１などを表示する（図１１（ａ）参照）。
一方、同図（ｂ）に示すような他方のウインドウ１８２には、ＣＣＤカメラで得た実画像を表示して、このウインドウ１８２自身の属性に、トランスペアレントの属性を設定して、このウインドウ１８２の下に重なっている画像などが透過して見えるようにしている。
【００６６】
そして、同図（ｃ）に示すように、透過ウインドウ１８２を、ウインドウ１８０の上にぴったり重ねて表示し、下位ウインドウ１８０に表示されているビデオ画像１８１を観察しながら、透過ウインドウ１８２で実画像の観察を行ってもよい。
このようにしても、画面を有効活用することができる。
【００６７】
ここで、上位ウインドウ１８２をマウスなどで移動させる時は、下位ウインドウ１８０の表示を一旦消して、上位ウインドウ１８２の移動した場所にて、下位、上位の順に各ウインドウを描画させると、上位、下位ウインドウを、前記移動前と同様にぴったり重ねて表示することもできる。
【００６８】
なお、前記各透過画像、透過ウインドウは、ＣＰＵ１３８により、透過率を適宜変更することもできる。
ところで、従来のアパーチャ像と試料の全体像とを合成する手法では、観察可能な範囲よりステージの移動可能な範囲が遥かに広いので、測定点などの指定を行うに際し、種々の制限を受けることもあった。
【００６９】
このために、本実施形態においては、ＣＰＵ１３８が、ディスプレイ１４８に、前記試料画像を表示するための試料画像表示画面と、試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に検出するのに必要な各種制御情報、たとえば、予約済みの測定点、各測定点で予約済みのアパーチャの状態などを表示するための制御情報表示画面と、を並べて表示してもよい。
【００７０】
すなわち、図１２において、試料画像表示画面１８４には、ＣＰＵ１３８により、全視野、制御視野などの試料画像を表示している。
一方、指定手段により指定された測定点ｐ１〜ｐ４、ステージの現在位置ｐ０などは、ＣＰＵ１３８により制御情報表示画面１８６のみに表示している。
さらに、図１３に示すように、制御情報表示画面１８６には、前記各測定点ｐ１〜ｐ４で予約済みのアパーチャの開度および角度ａ１〜ａ４などを表示可能にしてもよい。
【００７１】
たとえば、ＣＰＵ１３８により、アパーチャ１１６の中心部分と、それに対応する測定点とが一致するように、アパーチャ１１６の開度、角度などの状態を示す枠ａ１〜ａ４を、各対応測定点ｐ１〜ｐ４に重ねて表示している。
そして、測定の開始を指示する信号が、指定手段などよりＣＰＵ１３８へ入力されると、ＣＰＵ１３８は、制御情報表示画面１８６上に予約済みの測定点ｐｎ、アパーチャの状態ａｎなどの各種制御情報に従い、順次アパーチャ制御、ステージ制御をして、前記各測定点よりの赤外スペクトル測定を自動的に行う。
【００７２】
このように本実施形態においては、ＣＰＵ１３８により、試料画像表示画面１８４と、制御情報表示画面１８６と、を重畳せずに並べて表示している。
すなわち、ディスプレイ１４８で、各種予約済み制御情報を観察可能にした機構では、従来の可視筒鏡などの目視観察手段を用いたものに比較して、測定者が、測定点、アパーチャの状態などの各種予約済み制御情報を、ディスプレイで簡便に確認することができる点では優れているものの、試料画像上に予約済み制御情報を重ね過ぎると、試料画像の観察を良好に行えず、予約などを正確に行えないこともあった。
【００７３】
そこで、本実施形態においては、ＣＰＵ１３８により、試料画像を表示するための試料画像表示画面１８４と、試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に得るのに必要な、予約済みの測定点、アパーチャの状態などの各種制御情報を表示するための制御情報表示画面１８６と、を重畳せずに並べて表示している。
そして、予約済みの測定点ｐｎならびにアパーチャの開度および角度などの状態を示す枠ａｎなどを、制御情報表示画面１８６のみに表示させることにより、全視野、制御視野などの試料画像の観察を良好に行いながら、試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に得るのに必要な各種制御情報を正確に確認したり、変更することもできる。
【００７４】
これにより、測定点などの調整を行う際は、時間短縮を図ることもできる。
さらに、たとえば、画面のバックグラウンドに官能基のマッピングデータなどを表示可能にすることにより、マッピング測定の結果に従い、さらに測定点の指定、アパーチャの状態の変更などが可能となり、測定時間を、より短縮化することもできる。
【００７５】
なお、制御情報表示画面１８６では、マッピングを行う際の自動ステージ制御に関する予約も可能である。
また、手動ステージを用いた場合には、この制御情報表示画面１８６は、表示しなくてもよい。
また、同図においては、試料画像表示画面１８４と制御情報表示画面１８６を横に並べて表示した例について説明したが、これに限られるものでなく、縦や斜めなどでもよい。
【００７６】
また、制御表示表示画面１８６は、最大でステージの動作範囲をカバーしてもよい。また、必要に応じて拡大表示ないし縮小表示を可能にしてもよい。このような拡大、縮小モードでは、自動ステージの全動作範囲、試料画像表示画面１８４と同一サイズ、さらには任意にカーソルで操作可能な領域を表示させてもよい。
【００７７】
さらに、測定点の指定とアパーチャの状態の確認などをする際は、マウスなどの指定手段により、ファンクションボタンなどを操作して、試料画像表示画面１８４に表示された全視野の画像、制御視野の画像のうち、一方の画像をアクティブにしたときは、他方の画像をフリーズして、全視野と制御視野との間で簡便に切り換えられるようにしてもよい。
【００７８】
たとえば、本実施形態のように、自動ステージを用いた場合は、ステージの移動を指示する信号がＣＰＵ１３８に入力されると、ＣＰＵ１３８が全視野の実画像をアクティブにしてもよい。
これに対し、手動ステージを用いた場合は、アパーチャの動作が終了したのち、ＣＰＵ１３８が全視野の実画像をアクティブにしてもよい。
また、アパーチャ操作の命令を実行する前は、全視野の実画像をフリーズにしておいてもよい。
【００７９】
また、前記画像をアクティブにするか、またはフリーズかの選択は、前述のようにＣＰＵ１３８が自動的に行うのでなく、測定者により、手動的に選択可能としてもよい。
さらに、アパーチャの状態の確認、変更時には、全視野の画像を画面上でインチングでずらしてもよい。
つぎに、試料画像表示画面１８４と制御情報表示画面１８６を、より具体的に示す。
【００８０】
試料画像表示画像
（１）標準画像（スタンダード）：視野領域＊＊μｍ×＊＊μｍ
たとえば、アパーチャ半開時の制御視野の画像を、試料画像表示画面の表示領域全面に、標準画像表示してもよい（図１４参照）。
（２）広視野画像（ワイド）：視野領域＊＊μｍ×＊＊μｍ
たとえば、アパーチャ全開時の全視野の画像を、前記同様の表示領域全面に、標準画像表示してもよい（図１５参照）。
【００８１】
（３）連結画像(マルチ)：視野領域ｎ（＊＊μｍ）×ｍ（＊＊μｍ）
たとえば、前記標準画像をメモリ１５２に縦ｎ枚、横ｍ枚取り込み、ＣＰＵ１３８により、前記同様の表示領域に連結して表示してもよい（図１６参照）。
ただし、前記ｎは、たとえば縦２〜＊＊までの整数倍、前記ｍは、たとえば横２〜＊＊までの整数倍としてもよい。
なお、このような連結画像を表示する時は、制御情報表示画面１８６を図１７に示すような全面マップとしてもよい。
【００８２】
制御情報表示画面
最大表示領域は、ステージの移動範囲、最小領域は前記視野領域＊＊としてもよい。
また、前記図１４〜１７に示したスタンダードマップ、ワイドマップ、マルチマップ、最大マップの表示を、マウスなどを用いてツールボタンなどより選択可能にしてもよい。
この制御情報表示画面１８６では、以下のコントロールも可能にする。
【００８３】
（１）自動ステージのコントロール
▲１▼多点測定：１点〜３０点、もしくは現在のマッピングソフトに順ずる。
▲２▼格子測定：測定領域と設定した測定点数とより算出されるアパーチャサイズによる格子測定を可能にする。
▲３▼直線測定：始点と終点とを制御情報表示画面上で指定して、分割点数とアパーチャサイズを選択して直線上の測定を可能にする。
【００８４】
（２）選択した測定点とステージの現在位置を表示可能にする。
（３）測定済みの測定点のスペクトルも表示可能にする。
（４）アパーチャ設定
▲１▼多点測定：各測定点において独立にアパーチャの状態の予約をすることができるようにする。
▲２▼格子測定：測定領域と設定した測定点数とより算出されるアパーチャサイズによる格子測定を可能にする。
▲３▼直線測定：直線測定時のアパーチャの状態予約を可能にする。
【００８５】
（５）アパーチャの設定方法
アパーチャの設定では、制御情報表示画面よりＸ，Ｙ，θの２軸の設定、回転の設定もできるようにしてもよい。
このような設定は、制御情報表示画面に、アパーチャの現在位置より算出した制御視野の画像を表示して、これを基に設定することができるようにしてもよい。
【００８６】
ここで、アパーチャの座標を表示可能にし、数値入力を可能にしてもよい。
また、アパーチャは、９０°回転で設定可能にする。
また、アパーチャの開度および角度などの状態は、制御視野の画像上に直接マウス・ポインタなどを置いて操作することにより変更可能にしてもよい。
さらに、アパーチャの設定動作中は、試料画像表示画面の制御視野の実画像をアクティブにして、設定状況をリアルタイムに表示可能にしてもよい。
【００８７】
（５）制御情報表示画面１８６には、格子測定を行った場合の官能基マップをバックグラウンドに表示してもよい。このマップ表示において、測定点を選択すると、その測定点より得られたスペクトルを表示してもよい。
また、この時、リファレンススペクトルも表示して、任意の波数位置を選択することができるようにしてもよい。
【００８８】
また、前記実施形態においては、測定点の選択、アパーチャの調整などを行うに際し、制御情報表示画面上で選択した例について説明したが、これに限られるものでなく、試料画像表示画面上でもよい。
たとえば、前記連結画像を表示して測定点が複数ある場合には、画像表示画像上で選択することが好ましい。
すなわち、試料画像表示画面に表示されている試料画像のある位置にマウス・ポインタを合わせてマウスをクリックすると、ＣＰＵ１３８がその位置に相当する点ないし座標などが、制御情報表示画面に表示する。
【００８９】
このようにして測定点を制御情報表示画面に表示したのち、測定者は、試料画像表示画面の標準画像を見ながら、測定点の観察およびアパーチャの状態の確認、変更などを行ってもよい。
さらに、本実施形態においては、メモリ１５２などに、以下に示す機能を実行可能なプログラムを格納しておくことにより、多機能化を図ることもできる。
【００９０】
スケッチ
本実施形態においては、図１８（ａ）に示すように試料画像表示画面１８４に表示された実画像１８８を基に、制御情報表示画面１８６に、テンポラリなマーカＭ１〜Ｍ８を作成してもよい。
そして、このような機能を用いると、試料のコーナなどの試料形状を表す任意な点に対してステージを移動させ、実画像を見て位置を確認しながら、テンポラリなマーカＭｎを設定する。
【００９１】
このような操作を繰り返して試料の概略形状を表すのに十分なマーカＭｎを置いたところで、ＣＰＵ１３８は、制御情報表示画面の各マーカＭｎ間を線で結ぶことにより、試料の概略形状１９０をスケッチしてもよい（同図（ｂ）参照）。
【００９２】
スペクトルデータとの連動
本実施形態においては、多点測定およびマッピング測定の後、制御情報表示画面に測定点を表示させてもよい。
ここで、各測定点のうち、所望の測定点上にカーソルを合せてマウス・ボタンを押すと、ＣＰＵ１３８が新しいウインドウを開いて、その測定点で得たスペクトルデータを表示してもよい。
【００９３】
スケール
本実施形態においては、試料の大きさを容易に把握するため、試料画像表示画面と制御情報表示画面に、図１９（ａ）に示すようなスケール１９２を表示させてもよい。
同図において、スケール１９２は、画面右下に表示されているが、マウスなどでドラッグ・アンド・ドロップすることにより、画面上の任意の位置に移動してもよい。
【００９４】
また、スケールの幅Ｌは、自由に設定できるようにしてもよい。
また、スケールの種類は、たとえば、同図（ｂ）〜（ｄ）より、選択することができるようにしてもよい。
さらに、スケールの文字、たとえば４０μｍなどは、表示するか、または表示しないかを選択することができるようにしてもよい。
このようにスケールを表示することにより、試料のサイズを、容易に把握することも可能となる。
【００９５】
目盛線の種類
本実施形態においては、試料画像観察画面と制御情報表示画面の間で、試料の位置を容易に対比するため、つぎのような目盛線を表示させてもよい。
たとえば試料画像の観察時に、センタの位置を強調するため、たとえば、図２０に示すような縦横の目盛線１９４ａを表示してもよい。
【００９６】
または、試料画像表示部分と制御情報表示画面の位置関係を容易に対比するため、図２１に示すような縦横の目盛線１９４ｂを表示してもよい。
または、アパーチャ設定時の角度の対比を容易にするため、図２２に示すような放射状の目盛線１９４ｃを表示してもよい。
【００９７】
ツールボタン
本実施形態においては、使用するツールを、図２３に示すようなツールボタンより選択してもよい。
たとえば測定者は、このウインドウ上の矢印ボタン１９６ａをマウス・クリックすると、測定点の選択をすることができる。
また、定規ボタン１９６ｂをクリックすると、試料画像のある部分の測長をすることができる。
【００９８】
具体的には試料画像表示画面に表示された試料画像上における測長部位の始点にマウスのカーソルを合わせてそのボタンを押し、終点で離すと、ＣＰＵ１３８が２点間の距離を数値で表示してもよい。
さらに、前記標準画像、広視野画像、連結画像などの表示の切り換えを、同図に示すようなツールボタンより行ってもよい。
【００９９】
偏光子設定
本実施形態にかかる機構に、たとえば偏光子などのように光路中に入れたり待避させたりする部品を設けた場合は、偏光子設定を、図２４に示すようなウインドウ上で行うことができる。
たとえば測定者が、ＩＮの項目をチェックすると、ＣＰＵ１３８により偏光子を光路中に入れさせる。逆にＯＵＴの項目をチェックすると、それを待避させる。
また、このようなウインドウ上で偏光子の角度を選択してもよい。
【０１００】
アパーチャ設定
本実施形態においては、図２５に示すようなウインドウ上で、アパーチャ設定を行ってもよい。
たとえば測定者が、このウインドウ上で、アパーチャの縦および横の開口並びに角度を入力し、適用ボタン１９８を押すと、ＣＰＵ１３８が設定された開口および角度でアパーチャを動作させてもよい。
【０１０１】
観察／測定設定
本実施形態においては、図２６に示すようなウインドウ上で観察／測定設定をすることができる。
たとえば、測定の項目２０１がチェックされた状態で、選択欄２０３にて反射かまたは透過かを選択すると、ＣＰＵ１３８はその設定内容で測定を行う。
【０１０２】
また、観察２０５の項目がチェックされた状態で、同様にして反射かまたは透過かを選択すること、その内容で観察を行うこともできる。
さらに、このウインドウの照明調整では、インジケータ２０７にマウス・カーソルを合わせてマウス・ドラッグすることにより、照明の輝度を、０から最大の間で調節することができる。
【０１０３】
対物鏡選択
本実施形態においては、対物鏡選択を、図２７に示すようなウインドウ上で設定してもよい。
たとえば測定者がオートの項目２０９をチェックすると、ＣＰＵ１３８が透過フォーカスをオートにしたり、チェック２０９を外すと、ボタン２１１、選択欄２１３より０から１００までの間で固定することができる。
また、このウインドウ上では、対物鏡の欄２１５で使用している対物鏡の種類を選択することができる。たとえば、１６倍のカセグレン鏡を選択することができる。
【０１０４】
ＸＹＺステージ制御
本実施形態においては、ＸＹＺステージ制御を、図２８に示すようなマウス操作またはキー操作のウインドウ上で行うことができる。
たとえば、同図に示すようなマウス操作のウインドウでは、測定者は、ジョイステック２１７上の任意の位置でマウス・ボタンをクリックすることにより、ステージを移動する方向および速度を選択することができる。
【０１０５】
すなわち、原点に対しマウス・クリックした方向で、ステージを移動する方向を選択する。たとえば、Ｘ方向をクリックすると、ステージは＋Ｘ方向へ移動する。
また、クリックした原点からの距離により、ステージを移動する際の速度を選択する。
すなわち、Ａ点と、それより遠い場所に位置するＢ点を比較すると、Ｂ点をマウス・クリックすると、Ａ点をクリックした場合に比較し速い速度でステージが移動する。
【０１０６】
また、同図に示すウインドウ上のキー操作２１９のボタンを押すと、図２９に示すようなキー操作の表示に切り替わるので、このウインドウ上で、測定者は、キーボードより入力欄２２１に数値を入力することにより、ステージ制御をする。
このような偏光子、対物鏡選択、ステージ制御などの部品の操作などを画面上で可能にすることにより、そのような工夫のないものに比較し、操作容易化を図ることもできる。
【０１０７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にかかる赤外顕微鏡によれば、前述のようにアパーチャを介した顕微手段よりの試料像光を、導光手段により受光手段ないし撮像手段へ選択的に導光している。
すなわち、赤外スペクトル測定を行う時は、導光手段により、アパーチャを介した顕微手段よりの試料像光を受光手段へ導光している。また、アパーチャの状態の確認、変更などを行う時は、前記赤外スペクトル測定時と同様の試料像光を撮像手段へ導光している。
この結果、測定者は、表示手段で実際にアパーチャにより選択されている試料の特定部分を確認することができる。これにより、試料の特定部位の測定を、より確実に行うことができる。
また、全視野の実画像をキャプチャにより取り込み、表示制御手段により、先ほどキャプチャで得た全視野のビデオ画像上に、前記撮像手段で得た制御視野の実画像を重畳表示することにより、赤外スペクトルを得る特定部分のみならず、その周辺部分も簡便に観察することができる。
また、制御視野の実画像をキャプチャにより取り込み、表示制御手段により、撮像手段で得た全視野の実画像上に、先ほどキャプチャで得た制御視野のビデオ画像を重畳表示することにより、実際に赤外スペクトルを得る部分も観察することができるため、測定点の指定などを、より正確におよび容易に行うことができる。
また、表示制御手段により、全視野の実画像に、アパーチャにより選択されている制御視野領域を示す枠を表示することにより、全視野との重畳部分を大幅に少なくすることができるので、試料画像の観察を、より良好に行うことができる。
また、前記枠を含む各画像を、表示制御手段により、１つのウインドウに重畳表示可能にすることにより、画面を有効活用することができる。
また、前記表示手段に重畳表示可能な、前記枠を含む各画像のうち、上位画像を加工手段により透過加工することにより、上位画像のみならず、下位画像も観察することができる。
さらに、前記表示制御手段により、前記試料画像を表示するための試料画像表示画面と、試料の特定部位より赤外スペクトルを自動的に検出するのに必要な、測定点、アパーチャの状態の予約済み制御情報を表示するための制御情報表示画面と、を並べて表示することにより、画面に表示する予約済み制御情報が増えた場合であっても、測定者は、試料画像の観察を良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のView In View法を用いた赤外顕微鏡の概略構成の説明図である。
【図２】従来のATOS照明法を用いた赤外顕微鏡の概略構成の説明図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる赤外顕微鏡の概略構成の説明図である。
【図４】前記図３に示した赤外顕微鏡の表示手段による表示画面の一例である。
【図５】，
【図６】，
【図７】，
【図８】，
【図９】，
【図１０】，
【図１１】前記図４に示した表示画面の変形例である。
【図１２】，
【図１３】前記図３に示した赤外顕微鏡において好適な試料画像表示画面と制御情報表示画面との説明図である。
【図１４】，
【図１５】，
【図１６】，
【図１７】前記図１２、１３に示した表示画面のより詳細な例である。
【図１８】，前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能なスケッチ機能の説明図である。
【図１９】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能なスケール機能の説明図である。
【図２０】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能な目盛線機能の説明図である。
【図２１】，
【図２２】，前記図２０に示した目盛線の変形例である。
【図２３】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能なツールボタン機能の説明図である。
【図２４】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能な偏光子設定機能の説明図である。
【図２５】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能なアパーチャ設定機能の説明図である。
【図２６】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能な機能の観察／測定設定機能の説明図である。
【図２７】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能な対物鏡選択機能の説明図である。
【図２８】前記図３に示した赤外顕微鏡に付加可能なステージ制御機能の説明図である。
【図２９】前記図２８に示したステージ制御機構の変形例である。
【符号の説明】
１１０…赤外顕微鏡
１１４…ステージ（顕微手段）
１１６…アパーチャ
１１８…受光手段
１２４…導光手段
１３０…カセグレン鏡（顕微手段）
１３８…ＣＰＵ（表示制御手段、キャプチャ、加工手段など）
１４６…ＣＣＤカメラ（撮像手段）
１４８…ディスプレイ（表示手段）
１５０…指定手段
１５２…メモリ（キャプチャ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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