(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の所定位置に形成され、少なくとも一つ以上の電極が備えられたトレンチと、
前記少なくとも一つ以上の電極との相互作用による静電力により回転して入射光を所定方向に反射させるマイクロミラーと、
前記マイクロミラーに設けられた回転軸を支持し、前記回転軸とは異なる回転軸の回りに回転して前記マイクロミラーに設けられた回転軸がトレンチ側面と同じ平面上になるように、前記マイクロミラーに設けられた回転軸の位置を調節する駆動角調節ユニットと、
を備えるマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項２】
前記駆動角調節ユニットは、
前記トレンチの両側の基板上に立設された第１のポストと、
前記第１のポストに結合された第１のトーションバーにより回転自在に支持されたプレートと、
前記プレートが水平状態である時に前記プレート面と対向して基板上に設けられた一対のベース電極と、
を備える請求項１に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項３】
前記マイクロミラーは、前記プレートに固設された第２のポストに結合された第２のトーションバーを回転軸として回転自在に支持される請求項２に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項４】
前記プレートは、前記マイクロミラーとは異なる平面に配される請求項２または３に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項５】
前記プレートは、前記トレンチを中心として両側に各々備えられる請求項４に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項６】
前記プレートは、前記第１のポストにより片持ちばりの形で支持される請求項５に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項７】
前記プレートが一体に形成されて前記マイクロミラーの下部を横切って配される請求項４に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項８】
一体型の前記プレートは、前記マイクロミラーが回転する時に接触しないように後退部を有する請求項７に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項９】
前記少なくとも一つ以上の電極は、前記トレンチの下部及び側面に設けられる下部電極及び側面電極を備える請求項１ないし３、５ないし８のうち何れか１項に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項１０】
前記マイクロミラーが水平状態である時、前記マイクロミラーと対向する基板上に静電力の発生が遮断可能な遮へい電極をさらに備える請求項９に記載のマイクロミラーアクチュエータ。
【請求項１１】
（ａ）ウェーハ上にフォトレジストを塗布してトレンチ領域をパターニングした後、エッチング工程によりトレンチを形成する段階と、
（ｂ）前記トレンチを含んだウェーハ上に第１の金属膜を蒸着し、エッチング工程により前記トレンチの下部及び側面に各々下部電極及び側面電極を形成し、前記トレンチの外側にベース電極を形成する段階と、
（ｃ）前記（ｂ）段階により形成された結果物上にフィルム状有機膜を積層し、熱及び圧力を加えてラミネートする段階と、
（ｄ）前記有機膜に第１のポスト用ホールをエッチングする段階と、
（ｅ）前記（ｄ）段階により形成された結果物上に第２の金属膜を蒸着し、エッチング工程により第１のポスト、第１のトーションバー及びプレートを形成する段階と、
（ｆ）前記第２の金属膜上にフォトレジストを塗布し、第２のポスト用ホールをエッチングする段階と、
（ｇ）前記フォトレジスト上に第３の金属膜を蒸着し、エッチング工程により第２のポスト、第２のトーションバー及びマイクロミラーをパターニングした後、前記フォトレジスト及び有機膜を除去する段階と、を含むマイクロミラーアクチュエータの製造方法。
【請求項１２】
前記（ｂ）段階において、
前記第１の金属膜に遮へい電極を形成する段階をさらに含む請求項１１に記載のマイクロミラーアクチュエータの製造方法。
【請求項１３】
前記プレートは、前記トレンチを中心として両側に各々分離されて備えられる請求項１１に記載のマイクロミラーアクチュエータの製造方法。
【請求項１４】
前記プレートが一体に形成されて前記マイクロミラーの下部を横切って配される請求項１１に記載のマイクロミラーアクチュエータの製造方法。
【請求項１５】
前記一体型プレートは、前記マイクロミラーが回転する時に接触しないように後退部を有する請求項１４に記載のマイクロミラーアクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はマイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法に係り、特に、マイクロミラーの駆動角が精度良く調節可能に能動駆動し得るアクチュエータ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、光スイッチは、光信号がある入力端子から所定の出力端子に送られるように光路を選択し得る装置である。図１を参照すれば、複数のマイクロミラーアクチュエータ１０が２次元のマトリックス状に配列され、入力部の光ファイバ４３から発せられた光はマイクロレンズ４５を経て平行光に変えられる。この平行光は、垂直に立てられているマイクロミラー３１に向かって入射してそこから反射された後、出力部側のマイクロレンズ４６を通って出力側の光ファイバ４８に送られる。すなわち、光スイッチは、基板１５に対して垂直に立てられたマイクロミラー３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄにより入射する光信号を反射させ、水平状態となっているマイクロミラー３２において、入射する光信号を通させることにより、光路が選択可能となっている。例えば、１行４列３１ａ、２行３列３１ｂ、３行１列３１ｃ及び４行２列３１ｄのマイクロミラーを基板１５に対して垂直に立て、残りのマイクロミラーは水平に保持して光信号を所望の経路に送ることができる。
【０００３】
図２は、従来の静電力を用いたマイクロミラーアクチュエータ１０である。基板１５上にトレンチ５が形成され、前記トレンチ５の両側に支持ポスト２０が立設されている。そして、前記支持ポスト２０によりトーションバー（torsion bar）２５が支持され、前記トーションバー２５にマイクロミラー３０が弾力的に回転自在に結合されている。前記マイクロミラー３０は、水平状態である時に前記トーションバー２５を中心として前記トレンチ５に対向する駆動部３０ａと、前記駆動部３０ａの反対側に設けられた反射部３０ｂとを含んでなる。
【０００４】
図３は、図２のII−II線断面図である。これを参照すれば、前記トレンチ５には底面に下部電極３７が、そして一側面に側面電極４０が各々備えられて前記駆動部３０ａとの相互作用による静電力によりマイクロミラー３０を駆動する。言い換えれば、前記下部電極３７と前記駆動部３０ａとの間に静電力が働いて前記マイクロミラー３０が下方に回転し、ある程度回転してからは前記駆動部３０ａと前記側面電極４０との間に静電力が働いて連続的に回転することにより垂直に立てられる。前記マイクロミラー３０は、トーションバー２５により弾性支持されて回転可能となっており、静電駆動力が解除されてからは前記トーションバー２５の復元力によりマイクロミラー３０が水平状態に復元される。
【０００５】
前記側面電極４０は、前記マイクロミラー３０との電気的作用により静電力を生じる役割と共に、前記マイクロミラー３０が垂直に立てられる時に正確に直角を保持するストッパーの役割をも果たす。ところで、前記側面電極４０がストッパーとしての役割を正確に果たすためには、前記マイクロミラー３０の回転軸であるトーションバー２５が前記側面電極４０と同一平面に一致するように位置しなければならない。しかし、前記トーションバー２５が前記側面電極４０を含む平面の外側にあるならば、前記マイクロミラー３０が正確に垂直に立てられ難い。図４Ａは、前記トーションバー２５が前記トレンチ５の側面より外側に位置した場合であって、前記マイクロミラー３０の駆動角θ1が９０°より小さくなる。これに対し、図４Ｂは、前記トーションバー２５が前記トレンチ５の側面より内側に位置した場合であって、前記マイクロミラー３０の駆動角θ2が９０°より大きくなる。
【０００６】
前記マイクロミラー３０を正確に直立させるためには、前記トーションバー２５及びトレンチ５の側面が正確に同じ平面上に位置しなければならないが、前記マイクロミラー３０のアクチュエータの製作誤差によりトーションバー２５とトレンチ５の側面との相対的な位置差、トレンチ５の側面の直角度及びマイクロミラーの平坦度などの違いにより偏差が生じる。このような製作工程上の誤差がたとえ微小であるとしても、光スイッチ用のアクチュエータにおいて極めて重要な要素とされる挿入損失に影響を及ぼしてしまう。この理由から、マイクロミラーアクチュエータの製作完了後に、製作工程上の誤差によるトーションバーとトレンチ側面との相対的な位置差を補正することが望まれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、マイクロミラーの駆動角が精度良く調節可能に能動駆動し得るマイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法を提供するところにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータは、基板と、前記基板の所定位置に形成され、少なくとも一つ以上の電極が備えられたトレンチと、前記少なくとも一つ以上の電極との相互作用による静電力により回転して入射光を所定方向に反射させるマイクロミラーと、前記マイクロミラーに設けられた回転軸を支持し、前記回転軸とは異なる回転軸の回りに回転して前記マイクロミラーに設けられた回転軸がトレンチ側面と同じ平面上になるように、前記マイクロミラーに設けられた回転軸の位置を調節する駆動角調節ユニットと、を備える。
【０００９】
好ましくは、前記駆動角調節ユニットは、前記トレンチの両側の基板上に立設された第１のポストと、前記第１のポストに結合された第１のトーションバーにより回転自在に支持されたプレートと、前記プレートが水平状態である時に前記プレートと対向して基板上に設けられた一対のベース電極と、を備える。
さらに、好ましくは、前記マイクロミラーは、前記プレートに固設された第２のポストに結合された第２のトーションバーを回転軸として回転自在に支持される。
【００１０】
さらに、好ましくは、前記プレートは、前記トレンチを中心として両側に各々備えられる。
さらに、好ましくは、前記プレートは、前記第１のポストにより片持ちばりの形で支持される。
さらに、好ましくは、前記プレートが一体に形成されて前記マイクロミラーの下部を横切って配される。
さらに、好ましくは、前記一体型プレートは、前記マイクロミラーが回転する時に接触しないように後退部を有する。
【００１１】
さらに、好ましくは、前記少なくとも一つ以上の電極は、前記トレンチの下部及び側面に設けられる下部電極及び側面電極を備える。
さらに、好ましくは、前記マイクロミラーが水平状態である時、前記マイクロミラーと対向する基板上に静電力の発生が遮断可能な遮へい電極をさらに備える。
前記目的を達成するために、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造方法は、（ａ）ウェーハ上にフォトレジストを塗布してトレンチ領域をパターニングした後、エッチング工程によりトレンチを形成する段階と、（ｂ）前記トレンチを含んだウェーハ上に第１の金属膜を蒸着し、エッチング工程により前記トレンチの下部及び側面に各々下部電極及び側面電極を形成し、前記トレンチの外側にベース電極を形成する段階と、（ｃ）前記（ｂ）段階により形成された結果物上にフィルム状有機膜を積層し、熱及び圧力を加えてラミネートする段階と、（ｄ）前記有機膜に第１のポスト用ホールをエッチングする段階と、（ｅ）前記（ｄ）段階により形成された結果物上に第２の金属膜を蒸着し、エッチング工程により第１のポスト、第１のトーションバー及びプレートを形成する段階と、（ｆ）前記第２の金属膜上にフォトレジストを塗布し、第２のポスト用ホールをエッチングする段階と、（ｇ）前記フォトレジスト上に第３の金属膜を蒸着し、エッチング工程により第２のポスト、第２のトーションバー及びマイクロミラーをパターニングした後、前記フォトレジスト及び有機膜を除去する段階と、を含む。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づき、本発明の望ましい実施の形態を詳細に説明する。
図５は本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの分解斜視図、図６は図５のＡ−Ａ線断面図である。図５及び図６を参照すれば、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータは、基板１００の所定位置に少なくとも一つ以上の電極が備えられたトレンチ１０５が形成され、マイクロミラー１２５が前記トレンチ１０５の上部に前記少なくとも一つ以上の電極と対向して配され、前記マイクロミラー１２５が前記少なくとも一つ以上の電極との間に生じる静電力により回転軸を中心として回転できて入射光を反射させる。特に、本発明では、前記マイクロミラー１２５の回転軸の位置が調節可能に前記マイクロミラー１２５を支持する駆動角調節ユニットを。
【００１３】
前記駆動角調節ユニットは、前記トレンチ１０５を中心として両側の基板１００上に各々第１のポスト１１０が立設されており、前記第１のポスト１１０に連結された第１のトーションバー１１３によりプレート１１５が弾性的に回転自在に支持されている。そして、前記プレート１１５の上面に第２のポスト１２０が立設されており、前記第２のポスト１２０に連結された第２のトーションバー１２３によりマイクロミラー１２５が弾性的に回転自在に支持されている。前記マイクロミラー１２５は、前記第２のトーションバー１２３を回転軸として回転し、前記のように構成された駆動角調節ユニットにより前記第２のトーションバー１２３の位置を精度良く調節可能である。
【００１４】
ここで、前記プレート１１５とマイクロミラー１２５とは、相異なる平面に位置した２層構造となっている。一方、図８は、図５のＣ−Ｃ線断面図であって、前記プレート１１５との相互作用による静電力により前記プレート１１５を駆動するための第１及び第２のベース電極１１８，１１８’が備えられる。前記第１及び第２のベース電極１１８，１１８’は、前記プレート１１５が水平状態である時にプレート１１５面と対向して位置し、前記第１のトーションバー１１３を中心として両側に対称的に配される。
【００１５】
また、図７は図５のＢ−Ｂ線断面図であり、図７に示されたように、前記トレンチ１０５の下面及び側面には、各々下部電極１０７及び側面電極１０８が備えられて前記マイクロミラー１２５との相互作用により静電力を生じる。この静電力により、前記マイクロミラー１２５が前記第２のトーションバー１２３を中心として弾力的に駆動される。具体的には、側面電極１０８及び下部電極１０７を設けることで、マイクロミラー１２５が水平状態から垂直状態に変わるときに、まず下部電極１０７によりマイクロミラー１２５が引きつけられる。次に、マイクロミラー１２５が次第に傾くほど、マイクロミラー１２５が側面電極１０８により引きつけられ、マイクロミラー１２５が垂直状態となる。一方、前記マイクロミラー１２５は、前記マイクロミラー１２５が水平状態である時に前記トレンチ１０５と対向する駆動部１２５ａと、前記マイクロミラー１２５が直立状態である時に入射光が反射される反射部１２５ｂとを有する。ここで、前記マイクロミラー１２５が水平状態である時に前記反射部１２５ｂと対向して前記基板１００上に遮へい電極１０９がさらに備えられる。前記遮へい電極１０９は、前記駆動部１２５ａと下部電極１０７及び側面電極１０８との間の静電力とは反対となる静電力が生じることを遮断するためのものである。
【００１６】
前記形態では、前記プレート１１５が図５に示されたように２つに分離されて前記トレンチ１０５を中心として両側に各々配された場合を説明した。この場合には、前記プレート１１５が各々に対応する第１のポスト１１０及び第１のトーションバー１１３により片持ちばりの形で支持されている。プレート１１５を片持ちばりの形で形成するのは、マイクロミラー１２５と向かい合う領域に空間が形成されるようにするためのものである。このような空間を設けることで、マイクロミラー１２５の回転駆動時に、マイクロミラー１２５がプレート１１５に接触しないようにすることができる。しかし、これとは異なって、図９に示されたように、プレート１１６を一体に形成して前記マイクロミラー１２５の下部を横切らせて位置させることもできる。このように、プレート１１６を一体に形成し、その両側を前記第１のポスト１１０により支持することにより、一層安定した構造を有することができる。ここで、図５に示された構成要素と同じ機能及び作用をする要素には同じ参照番号を使用した。前記一体型プレート１１６は、前記マイクロミラー１２５が回転する時に前記マイクロミラー１２５と接触しないように後退部１１７を備える。
【００１７】
前記のように構成されたマイクロミラーアクチュエータの作用について説明すれば、下記の通りである。
まず、図６を参照すれば、前記マイクロミラー１２５、第２のトーションバー１２３、第２のポスト１２０、プレート１１５、第１のトーションバー１１３及び第１のポスト１１０はいずれも金属材質よりなって電気的に通電される。従って、前記基板１００の内部に設けられた駆動電源（図示せず）により所定の基準電圧が加えられれば、前記第１のポスト１１０から前記マイクロミラー１２５まで等電位をなす。このため、前記下部電極１０７及び側面電極１０８に前記基準電圧より高電圧または低電圧を印加すれば、前記マイクロミラー１２５と前記下部電極１０７及び側面電極１０８との間に静電引力が働く。従って、前記マイクロミラー１２５が前記下部電極１０７及び側面電極１０６側に引っ張られて前記第２のトーションバー１２３を中心として回転する。結局、前記マイクロミラー１２５は、前記側面電極１０８にくっついて直立する。
【００１８】
ここで、前記遮へい電極１０９は、前記反射部１２５ｂと前記下部電極１０７または側面電極１０８との間に静電力が発生可能な通路上に設けられ、これらの間に静電力が生じることを防止する。前記遮へい電極１０９がない場合、前記マイクロミラー１２５と前記電極１０７，１０８との間に静電力が生じる時、前記駆動部１２５ａと電極１０７，１０８との間に静電力が生じるだけではなく、前記反射部１２５ｂと電極１０７，１０８との間にも静電力が生じる。ところで、前記反射部１２５ｂと電極１０７，１０８との間に働く静電力は、前記駆動部１２５ａと電極１０７，１０８との静電力とは反対方向に働いて前記駆動部１２５ａの駆動力を減衰させる。従って、前記反射部１２５ｂと前記側面電極１０８または下部電極１０７との相互作用による反対静電力が生じることを遮断するために、前記反射部１２５ｂと前記側面電極１０８及び下部電極１０７との間の通路上に遮へい電極１０９を設けることが好ましい。
【００１９】
前記過程により前記マイクロミラー１２５が回転して前記トレンチ１０５の側面に支持されつつ直立する。しかしながら、前述のように、製作工程上の誤差によって前記マイクロミラー１２５が正確に直立しない場合がある。具体的に、前記マイクロミラー１２５が正確に直立するためには、前記側面電極１０８があるトレンチ１０５の側壁と前記マイクロミラー１２５の回転中心軸である第２のトーションバー１２３とが同じ平面上にあらなければならない。すなわち、前記トレンチ１０５の側壁を上部に延びた平面上に前記第２のトーションバー１２３が正確に一致するように位置しなければならない。しかし、製作工程上の誤差によって前記マイクロミラー１２５の回転軸である第２のトーションバー１２３が前記トレンチ１０５の側壁より外側に偏って位置（図１０Ａ参照）した場合、前記マイクロミラー１２５の駆動角θ1が９０°より小さくなる。あるいは、前記第２のトーションバー１２３が前記トレンチ１０５の側壁より内側に偏って位置（図１１Ａ参照）した場合、前記マイクロミラー１２５の駆動角θ2が９０°より大きくなる。この場合、前記マイクロミラー１２５を正確に直立させるために前記プレート１１５を駆動する。
【００２０】
前記プレート１１５，１１６は、前記第１及び第２のベース電極１１８，１１８’に電圧を印加することにより回転可能である。例えば、前記第２のトーションバー１２３が前記トレンチ１０５の側壁より外側に位置する場合には、図１０Ｂに示されたように、前記第１のベース電極１１８に電圧を印加して前記プレート１１５を時計回り方向に回転させる。前記プレート１１５が所定角度α1だけ時計回り方向に回転すれば、前記プレート１１５上に結合された第２のポスト１２０により支持されたマイクロミラー１２５が共に移動する。これにより、前記マイクロミラー１２５の回転中心軸である第２のトーションバー１２３の位置が時計回り方向に移動して前記トレンチ１０５の側壁を延ばした平面上に一致して位置するように補正される。
【００２１】
これとは逆に、図１１Ａに示されたように、前記第２のトーションバー１２３が前記トレンチ１０５の側壁より内側に位置する場合には、前記第２のベース電極１１８’に電圧を印加する。この時、図１１Ｂに示されたように、前記プレート１１５が逆時計回り方向にα2だけ回転する。これにより、前記第２のトーションバー１２３が前記トレンチ１０５の側壁に対して偏った分だけ反対方向に移動し、前記トレンチ１０５の側壁を延長上の平面に一致して位置するように補正される。
【００２２】
以上のように、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータは、マイクロミラーの駆動角を能動的に精度良く調節することにより、前記マイクロミラー１２５を正確に直立できるので、挿入損失を最小化させられる。
次に、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造方法について述べる。
本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程は、図５のＡ−Ａ線、Ｂ−Ｂ線及びＣ−Ｃ線断面図に分けて示した。
【００２３】
図１２Ａ、図１３Ａ及び図１４Ａを参照すれば、ウェーハ１３０上にフォトレジスト１３２を塗布した後、写真エッチング工程によりトレンチが形成される領域をパターニングする。前記ウェーハ１３０としては、結晶方向が＜１１０＞であるウェーハが用いられるが、＜１１０＞ではないウェーハが用いられても良い。結晶方向が＜１１０＞である場合にはドライエッチングを行い、＜１１０＞ではない場合にはシリコン深反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）によりドライエッチングを行ってトレンチ１３３を形成する（図１２Ｂ及び図１３Ｂ参照）。次に、絶縁膜１３４を通常の蒸着方法により蒸着する。前記絶縁膜１３４上に第１の金属膜１３５を蒸着し、写真エッチング工程及びエッチング工程を用いて前記トレンチ１３３の下部及び側面に各々下部電極１３７及び側面電極１３８を形成し、前記トレンチ１３３の外側に遮へい電極１３６を形成する。また、前記絶縁膜１３４上の所定位置にベース電極１３９を形成する（図１４Ｂ及び図１３Ｃ参照）。
【００２４】
次に、前記結果物上に絶縁膜（図示せず）を蒸着した後、その上に図１２Ｃ、図１３Ｄ及び図１４Ｃに示されたように、フィルム状の有機膜１４０を積層し、温度及び圧力を加えてラミネートする。この時、前記有機膜１４０はフィルム状であって前記トレンチ１３３が中空状態で残っており、平坦化を図ることができる。前記有機膜１４０に写真エッチング工程により第１のポスト用ホール１４３をパターニングし、深ＲＩＥ（deep RIE）工程によりホール１４３を形成する。その上に第２の金属膜１４５を蒸着した後に写真エッチング工程及びエッチング工程を用いて第１のポスト１４７、第１のトーションバー１４８及びプレート１５０を形成する。ここで、前記プレート１５０は、前記トレンチ１３３を中心として両側に各々分離されて形成されるか、あるいは一体型に形成される。次に、フォトレジスト１５１を塗布した後、図１４Ｄに示されたように、エッチング工程を用いて第２のポスト用ホール１５３を形成する。
【００２５】
前記結果物上に図１２Ｆ、図１３Ｅ及び図１４Ｅに示されたように、第３の金属膜１５５を蒸着した後、写真エッチング工程及びエッチング工程を通じて第２のポスト１５７、第２のトーションバー１５８及びマイクロミラー１６０を形成する。最終的に等方性エッチング工程により前記有機膜１４０及びフォトレジスト１５１を除去してマイクロミラーアクチュエータを完成する（図１２Ｇ、図１３Ｆ及び図１４Ｆ参照）。
【００２６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明に係るマイクロミラーアクチュエータ及びその製造方法は、製作工程上の誤差によってマイクロミラーが正確に直立できない場合、マイクロミラーの駆動角を能動的に精度良く調節できる。すなわち、誤差補正のための別途のアクチュエータ無しにマイクロミラーを正確に直立させることにより、挿入損失を低減できる。さらに、本発明におけるマイクロミラーの駆動角調節ユニットは、既存のマイクロミラーアクチュエータの製作工程に簡単な単位工程のみを追加して製作できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】複数のマイクロミラーがマトリックス状に配列された構造を示す図。
【図２】従来のマイクロミラーアクチュエータの斜視図。
【図３】図２のII−II線断面図。
【図４Ａ】従来のマイクロミラーアクチュエータにおいてマイクロミラーとトレンチの側面とが一致しない場合を示す図（１）。
【図４Ｂ】Ａ及びＢは、従来のマイクロミラーアクチュエータにおいてマイクロミラーとトレンチの側面とが一致しない場合を示す図（２）。
【図５】本発明の好ましい実施の形態によるマイクロミラーアクチュエータの分解斜視図。
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図。
【図７】図５のＢ−Ｂ線断面図。
【図８】図５のＣ−Ｃ線断面図。
【図９】本発明の他の実施の形態によるマイクロミラーアクチュエータの分解斜視図。
【図１０Ａ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータによりマイクロミラーの位置が補正される作動関係を説明するための図（１）。
【図１０Ｂ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータによりマイクロミラーの位置が補正される作動関係を説明するための図（２）。
【図１１Ａ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータによりマイクロミラーの位置が補正される作動関係を説明するための図（１）。
【図１１Ｂ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータによりマイクロミラーの位置が補正される作動関係を説明するための図（２）。
【図１２Ａ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（１）。
【図１２Ｂ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（２）。
【図１２Ｃ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（３）。
【図１２Ｄ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（４）。
【図１２Ｅ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（５）。
【図１２Ｆ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（６）。
【図１２Ｇ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＡ−Ａ線断面図（７）。
【図１３Ａ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（１）。
【図１３Ｂ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（２）。
【図１３Ｃ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（３）。
【図１３Ｄ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（４）。
【図１３Ｅ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（５）。
【図１３Ｆ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＢ−Ｂ線断面図（６）。
【図１４Ａ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（１）。
【図１４Ｂ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（２）。
【図１４Ｃ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（３）。
【図１４Ｄ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（４）。
【図１４Ｅ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（５）。
【図１４Ｆ】本発明に係るマイクロミラーアクチュエータの製造工程図であって、図５のＣ−Ｃ線断面図（６）。
【符号の説明】
１００      基板
１０５      トレンチ
１０７      下部電極
１０８      側面電極
１１０      第１のポスト
１１３      第１のトーションバー
１１５      プレート
１１８，１１８’      第１及び第２のベース電極
１２０      第２のポスト
１２３      第２のトーションバー
１２５      マイクロミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１２Ｅ】
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【図１２Ｆ】
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【図１２Ｇ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【図１３Ｅ】
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【図１３Ｆ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【図１４Ｅ】
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【図１４Ｆ】
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