(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類の液状物を基板に吐出する吐出方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類の液状物を前記基板へ吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項２】
前記液状物の吐出幅を等しくすることを特徴とした請求項１に記載の吐出方法。
【請求項３】
前記液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に交差する方向のノズル列の寸法幅を等しくすることにより、前記液状物の吐出幅を等しくすることを特徴とした請求項２に記載の吐出方法。
【請求項４】
前記液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に交差する方向のノズル列の寸法幅を異ならしめることにより、前記液状物の吐出幅を異ならしめることを特徴とした請求項１に記載の液状物の吐出方法。
【請求項５】
前記ノズル列を用いて基板の端部を塗布する場合には、当該基板の領域以外に該当するノズル列は使用せず、当該基板の領域内に該当するノズル列を使用することを特徴とした請求項１乃至４に記載の液状物の吐出方法。
【請求項６】
複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類の液状物を基板に吐出する吐出装置であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類の液状物を前記基板へ吐出することを特徴とする吐出装置。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドを、当該液滴吐出ヘッドの走査方向に対して、斜め方向に配列することを特徴とした請求項６に記載の吐出装置。
【請求項８】
前記複数種類の液状物に対応したノズル列が、一つの液滴吐出ヘッドに配置してあることを特徴とした請求項６または７に記載の液状物の吐出装置。
【請求項９】
前記複数種類の液状物に対応したノズル列が、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設けてあることを特徴とした請求項６または７に記載の液状物の吐出装置。
【請求項１０】
複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のカラーフィルタ用材料を基板に吐出するカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記カラーフィルタ用材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のカラーフィルタ用材料を前記基板へ吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のエレクトロルミネッセンス材料を基板に吐出するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記エレクトロルミネッセンス材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のエレクトロルミネッセンス材料を前記基板へ吐出することを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項１２】
複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のプラズマ発光材料を基板に吐出するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記プラズマ発光材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のプラズマ発光材料を前記基板へ吐出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
複数種類の液状物の吐出方法であって、
複数の液滴吐出ヘッドまたは基板を所定方向に走査しながら、前記複数の液滴吐出ヘッドそれぞれから異なる種類の液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程と、
を備え、
前記走査工程において、
各前記液滴吐出ヘッドが前記基板を通過する領域が、その他の前記液滴吐出ヘッドが前記基板を通過する領域の一部に重なり、
各前記液滴吐出ヘッドにおける両端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、その他の前記液滴吐出ヘッドにおける両端部の位置と、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれていることを特徴とする液状物の吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
より詳しくは、本発明は、平面方向において均一な電気光学特性等を有する塗布物が得られる液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００３】
【従来の技術】
近年、携帯電話機や携帯型コンピュータ等の電子機器の表示部において、電気光学装置、例えば、液晶装置（以下、ＬＣＤと称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス装置（以下、ＥＬ装置と称する場合がある。）、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する場合がある。）等の表示装置が、その薄膜性や軽量性に着目されて、幅広く用いられたり、検討されたりしている。
【０００４】
また、これらの表示装置において、それぞれフルカラー表示が望まれており、例えば、ＬＣＤにおいては、液晶層によって変調される光を、進行面に配置されたカラーフィルタを通過させることによってフルカラー表示が達成されている。このカラーフィルタは、例えば、ガラス基板やプラスチック基板の表面に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応したドット状の各フィルタエレメントを、所定配列で規則的に並べることによって構成されている。
【０００５】
そして、このようなカラーフィルタを製造するにあたり、一般に、フォトリソグラフィー法が用いられているが、製造工程が複雑であることや、あるいは各色に対応したカラーフィルタ材料やフォトレジストなどを多量に消費することから、製造コストが高く、環境条件に対する負荷が大きいという問題が見られた。
【０００６】
そこで、このような製造上の問題や環境上の問題を解決するために、いわゆるインクジェット法によって、カラーフィルタのフィルタエレメントを製造する方法が提案されている。例えば、図３１（ａ）において、マザーボード３０１の表面に設定される複数のパネル領域３０２の内部領域に、図３１（ｂ）に示すように、複数のフィルタエレメント３０３をインクジェット法に基づいて形成する場合を想定する。すなわち、図３１（ｃ）に示すように、ノズル列３０４を配列した液滴吐出ヘッド３０６を準備する。次いで、この液滴吐出ヘッド３０６を、図３１（ｂ）中の矢印Ａ１および矢印Ａ２に示すように、１個のパネル領域３０２に対して、複数回（図３１に示す例では２回）主走査させながら、その間に複数のノズル３０４から選択的にカラーフィルタ用材料を吐出することによって、所定位置にフィルタエレメント３０３を形成することができる。
【０００７】
しかしながら、液滴吐出ヘッド３０６における複数のノズル３０４の位置によって、カラーフィルタ用材料の吐出量にバラツキがあることが判明している。より具体的には、図３２に示すように、ノズル列３０５のうち両端部のノズル３０４の吐出量が多く、中央部では少ないという材料吐出特性（Ｑ特性）を有していることが判明している。
【０００８】
したがって、ノズル列３０４を縦方向に複数回走査した場合、図３３（ａ）に示すように、ノズル列３０５のうち両端部にあるノズル３０４の吐出量が多く、中間部のノズル３０４の吐出量が比較的少ないという傾向があり、カラーフィルタのフィルタエレメント３０３を形成した場合、図３３（ｂ）に示すように、端部（Ｐ１）において、カラー濃度の濃いスジが認識される場合が見られた。そのため、得られたカラーフィルタは、平面方向において、光透過特性が不均一になりやすいという問題が見られた。
【０００９】
そこで、液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走査しながら、透明基板上の被着色部にカラーフィルタ用材料を付与する際に、走査領域の境界部の被着色部と、該境界部以外の被着色部との間で、付与する材料量が異なるようにして、着色部を形成することを特徴としたカラーフィルタの製造方法が開示されている（以下の特許文献１参照）。
【００１０】
より具体的には、図３４に示すように、液滴吐出ヘッド３５１ａ〜３５１ｃを、矢印３５４で示す縦方向に走査しながら、同時に複数の被着色部に材料を付与する場合に、基板３５２を、着色領域をヘッドの走査方向に平行な複数の走査領域３５３ａ、３５３ｂ、３５３ｃに分割するとともに、少なくとも、隣接する走査領域の境界部における被着色部（記号Ａで示すライン）と、当該境界部以外の被着色部（３５３ａ、３５３ｂ、３５３ｃで表される領域）とで付与する材料量が異なるように設定したカラーフィルタの製造方法を提案している。
【００１１】
【特許文献１】
特開２０００−８９０１７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のカラーフィルタの製造方法では、着色する場所によって、付与する材料量が異なるように微妙にヘッドの動作等を設定するものの、周囲の環境条件や、材料の種類や、粘度等が大きく変化した場合に、ヘッドの動作等の制御が間に合わないという問題が見られた。
【００１３】
したがって、逆に、カラーフィルタにおける走査領域の境界部の被着色部と、境界部以外の被着色部との間で、付与する材料量が大きく異なり、平面方向における光透過特性の不均一さがかえって大きくなる場合が見られた。
【００１４】
そこで、本発明の発明者は、このような問題点に鑑みて鋭意検討した結果、液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走査しながら、従来どおり実質的に同量の液状物を塗布した場合であっても、ノズル列の端部の位置等を調節することにより、液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめることによって、着色部における材料量を制御できることを見出し、本発明を完成させたものである。
【００１５】
すなわち、本発明の目的は、平面方向において均一な光透過特性等を有する塗布物が得られる液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイパネルを提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類の液状物を基板に吐出する吐出方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類の液状物を前記基板へ吐出することを特徴とした吐出方法が提供され、上述した問題点を解決することができる。
【００１７】
すなわち、液滴吐出ヘッドを用いて、従来どおり実質的に同量の液状物を塗布した場合であっても、液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置をずらすように塗布することによって、基板における複数の液状物からなる塗布領域の端部が重ならなくなったり、あるいはこれら塗布領域の端部の重なりを少なくしたりすることができる。
【００１８】
したがって、このような液状物の吐出方法によれば、平面方向における液状物の塗布量のばらつきが小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面方向において均一な光透過特性等を有する塗布物を得ることができる。
【００１９】
なお、液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置を異ならしめる手段は特に制限されるものではなく、後述する表１に示すような８つの態様が代表的ではある。ただし、図２に示すようなノズル列を備えた液滴吐出ヘッドを用い、当該ノズル列を液状物の数に対応させて、例えば、左方、中央、右方に３分割するとともに、液滴吐出ヘッドの動作制御によって、３種類の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置を異ならしめても良い。
【００２０】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、液滴吐出ヘッドを二次元の方向にずらして配置されてなることが好ましい。
【００２１】
このように実施すると、ノズル列の両端部の位置を調整するだけで、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめることができる。
【００２２】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、複数の液状物の吐出幅を等しくすることが好ましい。
【００２３】
このように実施すると、例えば、吐出幅が実質的に等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを用いるだけで、基板における液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめることができる。
【００２４】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、当該液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する方向のノズル列の寸法幅を等しくすることにより、液状物の吐出幅を等しくすることが好ましい。
【００２５】
このように実施すると、寸法幅が実質的に等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを複数用意するだけで、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめることができる。また、液滴吐出ヘッドが複数個設けてあることから、液状物の種類に対応して、きめ細かく動作させることができるので、液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置の調整がさらに容易となる。
【００２６】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、複数の液状物の吐出幅を異ならせるとともに、液状物の吐出開始部の位置または液状物の吐出終了部の位置を実質的に一致させることが好ましい。
【００２７】
このように実施すると、基板における複数の液状物からなる塗布領域の端部の重なりを少なくすることができるとともに、液状物の非塗布部を基板の片側のみに形成することができる。
【００２８】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、液滴吐出ヘッドを複数用意するとともに、当該複数の液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する方向のノズル列の寸法幅を異ならせることにより、複数の液状物の吐出幅を異ならせることが好ましい。
【００２９】
このように実施すると、液滴吐出ヘッドの寸法幅を変えて、従来通りに液滴吐出ヘッドを動作させるだけで、基板における液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置を異ならしめることができる。
【００３０】
また、本発明の液状物の吐出方法を実施するにあたり、ノズル列を用いて基板の端部を塗布する場合には、当該基板の領域以外に該当するノズル列は使用せず、当該基板の領域内に該当するノズル列を使用することが好ましい。
【００３１】
このように実施すると、基板の端部において、複数の液状物が全て塗布されない非塗布部の形成を少なくすることができる。
【００３２】
また、本発明の別の態様は、複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類の液状物を基板に吐出する吐出装置であって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類の液状物を前記基板へ吐出することを特徴とした吐出装置である。
【００３３】
すなわち、液滴吐出ヘッドを用いて縦方向に走査しながら、従来どおり実質的に同量の液状物を塗布した場合であっても、制御部により、液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置をずらすように調整することによって、複数の液状物に対応した塗布領域の端部の位置がそれぞれ重なることがなくなったり、これらの位置の重なりを少なくしたりすることができる。
【００３４】
したがって、このような液状物の吐出装置によれば、平面方向における液状物の塗布量のばらつきが小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面方向において均一な光透過特性等を有する塗布物を得ることができる。
【００３５】
また、本発明の液状物の吐出装置を構成するにあたり、液滴吐出ヘッドを、当該液滴吐出ヘッドが移動する方向に対して、斜めに交差する方向に配列することが好ましい。
【００３６】
このように構成すると、液状物を吐出する間隔を、ノズル列の実際の間隔よりも狭くすることができ、より精細な塗布物を得ることができる。また、このように構成すると、複数の液滴吐出ヘッドを設けた場合に、隣接する液滴吐出ヘッドの間での干渉が防止され、結果として、小型化を図ることができる。さらに、このように構成すると、基板の大きさが多少変化した場合であっても、液滴吐出ヘッドの交差する角度を適宜変えることによって、基板全体を塗布することができる。
【００３７】
また、本発明の液状物の吐出装置を構成するにあたり、複数種類の液状物に対応したノズル列が、一つの液滴吐出ヘッドに配置してあることが好ましい。
【００３８】
このように構成すると、液滴吐出ヘッドの動作自身を簡略化したまま、複数の液状物に対応した吐出開始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布物が得られる簡易な構造の吐出装置を提供することができる。
【００３９】
また、本発明の液状物の吐出装置を構成するにあたり、複数種類の液状物に対応したノズル列が、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設けてあることが好ましい。
【００４０】
このように構成すると、寸法幅が実質的に等しい簡易な構成の液滴吐出ヘッドを複数用意するだけで、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布物が得られる吐出装置を提供することができる。また、液滴吐出ヘッドが複数個あることから、液状物の種類に対応して、きめ細かく動作させることができるので、複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置の調整がさらに容易となる。
【００４１】
また、本発明の別の態様は、複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のカラーフィルタ用材料を基板に吐出するカラーフィルタの製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記カラーフィルタ用材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のカラーフィルタ用材料を前記基板へ吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法、およびそれから得られるカラーフィルタである。
【００４２】
このように実施すると、平面方向におけるカラーフィルタ用材料の塗布量のばらつきが小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面方向において均一な光透過特性等を有するカラーフィルタを得ることができる。
【００４３】
また、本発明の別の態様は、上述したいずれかのカラーフィルタを設けてなる液晶表示装置である。
【００４４】
このように平面方向において均一な光透過特性等を有するカラーフィルタを用いて構成してあるため、平面方向において、輝度が安定したカラー画像を認識することができる。
【００４５】
また、本発明の別の態様は、複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のエレクトロルミネッセンス材料を基板に吐出するエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記エレクトロルミネッセンス材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のエレクトロルミネッセンス材料を前記基板へ吐出することを特徴とするエレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびそれから得られるエレクトロルミネッセンス装置である。
【００４６】
このように実施すると、平面方向におけるエレクトロルミネッセンス材料の塗布量のばらつきが小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面方向において均一なＥＬ発光特性等を有するエレクトロルミネッセンス装置を得ることができる。
【００４７】
また、本発明の別の態様は、複数の液滴吐出ヘッドにより複数種類のプラズマ発光材料を基板に吐出するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記プラズマ発光材料の種類の数で割った値だけずれて液滴吐出ユニットに配列されてなり、前記液滴吐出ユニットまたは基板を走査しながら、前記複数種類のプラズマ発光材料を前記基板へ吐出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法、およびそれから得られるプラズマディスプレイパネルである。
【００４８】
このように実施すると、平面方向におけるプラズマ発光材料の塗布量のばらつきが小さくなるため、液滴吐出ヘッドの塗布性能を変えることなく、平面方向において均一なプラズマ発光特性等を有するプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【００４９】
なお、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれから得られるプラズマディスプレイパネルについての構成については、特に制限されるものでなく、一例として、図２０に示すようなプラズマディスプレイパネル１７０の構成とすることができる。
【００５０】
また、本発明の液状物の吐出方法は、複数の液滴吐出ヘッドまたは基板を所定方向に走査しながら、前記複数の液滴吐出ヘッドそれぞれから異なる種類の液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程と、を備え、前記走査工程において、各前記液滴吐出ヘッドが前記基板を通過する領域が、その他の前記液滴吐出ヘッドが前記基板を通過する領域の一部に重なり、各前記液滴吐出ヘッドにおける両端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、その他の前記液滴吐出ヘッドにおける両端部の位置と、前記液滴吐出ヘッドの吐出幅を前記液状物の種類の数で割った値だけずれていることを特徴とする。
【００５１】
さらに、本発明の液状物の吐出方法は、複数のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、前記複数のノズル列から、それぞれに対応した互いに異なる液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程と、を備え、前記走査工程において、各前記ノズル列が前記基板を通過する領域が、その他の前記ノズル列が前記基板を通過する領域の一部に重なり、各前記ノズル列における第１の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、その他の前記ノズル列における第１の端部の位置と実質的に同じであり、各前記ノズル列における第２の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、その他の前記ノズル列における第２の端部の位置と異なることを特徴とする。
【００５２】
また、本発明の別の液状物の吐出方法は、第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列から、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程と、を備え、前記走査工程において、前記第１、第２及び第３のノズル列が前記基板を通過する領域は、互いに一部重なり、前記第１、第２及び第３のノズル列における両端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、互いに異なることを特徴とする。
【００５３】
さらに、本発明の別の液状物の吐出方法は、第１、第２及び第３のノズル列または基板を所定方向に走査しながら、前記第１、第２及び第３のノズル列から、それぞれ第１の液状物、第２の液状物及び第３の液状物を、前記基板に対して、順次に吐出する走査工程と、を備え、前記走査工程において、前記第１、第２及び第３のノズル列が前記基板を通過する領域は、互いに一部重なり、前記第１、第２及び第３のノズル列における第１の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、実質的に同じであり、前記第１、第２及び第３のノズル列における第２の端部の位置は、前記所定方向と直交する方向において、互いに異なることを特徴とする。
【００５４】
上記の液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、並びにプラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイにおいては、複数の液滴吐出ヘッドを相互に所定の配列態様に配列固定した状態でユニットとして一体に用いることが好ましい。
【００５５】
この場合、ユニット内において実質的に一体のノズル列が構成されるように配列された複数の液滴吐出ヘッドを設ける場合がある。この場合には、実質的に一体のノズル列においてノズルが連続して（等間隔に）配列される構成がある。この構成は、複数の液滴吐出ヘッドを互い違いに走査方向にずらして配列させることによって実現できる。また、実質的に一体のノズル列において所定の間隔ｓを挟んで複数の吐出幅ｔが配列される構成が挙げられる。この構成を用いる場合には、間隔ｓが吐出幅ｔと同一であることが好ましい。本発明を実施する際には、上記のようなユニットは複数設けられ、これらの複数のユニットにおける実質的に一体のノズル列間において、相互に吐出開始部及び吐出終了部、或いはそれらのいずれか一方を相互に異ならしめることが好ましい。
【００５６】
また、ユニット内に複数の液滴吐出ヘッドを設ける場合であって、各液滴吐出ヘッドに複数のノズル列を設ける場合がある。この場合、複数のノズル列間において、吐出開始部及び吐出終了部、或いは、それらの少なくとも一方を相互に異ならしめることが好ましい。
【００５７】
さらに、ユニット内に複数の液滴吐出ヘッドを設ける場合であって、各液滴吐出ヘッド間において、吐出開始部および吐出終了部、或いは、それらのいずれか一方を相互に異ならしめることが好ましい。
【００５８】
【発明の実施の形態】
本発明の液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関する実施形態を、適宜図面を参照しながらそれぞれ具体的に説明する。
【００５９】
［第１の実施形態］
第１の実施形態は、図１に示すように、液滴吐出ヘッド２２を用いた液状物の吐出方法であって、液滴吐出ヘッド２２または基板２を縦方向に走査しながら、複数の液状物をそれぞれに対応したノズル列２７から、基板２に対して、順次に吐出させるとともに、当該液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴とした液状物の吐出方法である。
【００６０】
以下、第１の実施形態を構成する吐出機構、複数の液状物、基板および吐出方法の要件にわけて、具体的に説明する。
【００６１】
１．吐出機構および吐出方法
（１）吐出機構
第１の実施形態において使用する吐出機構としては、例えば、圧電素子を用いた方式において、複数の液状物、すなわち、同一または異種の少なくとも２つ以上の液状物を、それぞれに対応したノズル列から吐出させることが好ましい。より具体的には、図１（ａ）および（ｂ）に示すように、圧電素子４１の撓み変形を利用して複数の液状物８、例えば、ＲＧＢ画素、あるいはＹＭＣ画素に対応した３種のカラーフィルタ用材料を、図２に示すノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２によって吐出する方式が好ましい。なお、図１（ａ）は、ノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２の部分切り欠けを含む斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すＪ−Ｊ線で切断した場合のノズル列２７が設けられた液滴吐出ヘッド２２の断面図であり、さらに、図２は、図１（ａ）および（ｂ）に示す液滴吐出ヘッド２２の斜視図及びそのノズル列の一部拡大図である。
【００６２】
このような液滴吐出ヘッド２２を用いた方式であれば、図２の矢印２８の方向から液滴吐出ヘッド２２内に流入された液状物を、当該液滴吐出ヘッド２２の上方に設けてある圧電素子４１によって、液状物に含まれる溶剤等の種類にかかわらず、ノズル列２７から、微小な液滴として、安定して吐出することができる。
【００６３】
また、他の方式であっても、複数の微小な液状物を、順次に吐出することができる限り使用することができる。例えば、加熱によって発生するバブルを利用して材料を吐出するいわゆる加熱方式についても、第１の実施形態において好適に使用することができる。
【００６４】
（２）液滴吐出ヘッドおよびノズル列
□  液滴吐出ヘッド
第１の実施形態において、例えば、図３〜図６に示すように、液滴吐出ヘッド２２を複数用意し、それぞれに複数の液状物に対応したノズル列２７を設けることが好ましい。例えば、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素のカラーフィルタ用材料にそれぞれ対応した複数の液滴吐出ヘッドを用意するとともに、それぞれの液滴吐出ヘッドに、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した材料を吐出させるためのノズル列を設けるものである。
【００６５】
このように構成することにより、複数の液状物に対応したノズル列を、それに対応した液滴吐出ヘッドを適宜ＣＰＵ等により制御しながら、所定の動作をさせるだけで、極め細かく描画することができる。したがって、複数の液状物の蒸発特性等に対応させて、例えば、３つの液滴吐出ヘッドを用意した場合、１つの液滴吐出ヘッドは１回動作させて液状物を１回塗布し、別の液滴吐出ヘッドも同様に動作させて液状物を２回重ねて塗布し、さらに別の液滴吐出ヘッドも同様に動作させて液状物を３回重ねて塗布することが容易となる。
【００６６】
また、液滴吐出ヘッドを複数用意した場合、複数の液滴吐出ヘッドにおける走査方向に直交する方向の寸法幅を実質的に等しくするだけで、複数の液状物の吐出幅についても実質的に等しくすることができる。したがって、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることにより、平面方向における塗布位置の相違における塗布量のばらつきが小さくなり、いわゆるＱ特性が発現されずに、得られた塗布物において均一な電気光学的特性を得ることができる。
【００６７】
一方、第１の実施形態において、図７（ａ）〜（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２を１個用意し、それに複数の液状物に対応したノズル列２７を設けることも好ましい。
【００６８】
このように構成することにより、塗布装置を全体として、コンパクトにすることができる。例えば、１個の液滴吐出ヘッドを用意して、それに３つの液状物に対応したノズル列を３列設けることにより、３個の液滴吐出ヘッドを用意した場合と比較して、液滴吐出ヘッドの占有面積が小さくなるばかりか、液滴吐出ヘッドに対応した駆動装置等の占有面積も小さくすることができる。
【００６９】
また、液滴吐出ヘッドを１個用意し、それに複数の液状物に対応したノズル列を設けた場合、後述するように、容易に複数の液状物の吐出幅を実質的に等しくすることができる。そのため、複数の液状物に対応した吐出開始部の位置をそれぞれ重ならないようにずらすだけで、液状物の吐出終了部の位置についても容易にずらすことができる。図７（ａ）〜（ｄ）において、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ６およびＬ７の直線を傾けて表示してあるのは、このことを意味している。
【００７０】
□  吐出幅
第１の実施形態において、図３または図７（ａ）に示すように、複数の液状物に対応したノズル列における吐出幅を、それぞれ実質的に等しくすることが好ましい。
【００７１】
例えば、図３に示すように、第１の液状物用のノズル列における吐出幅をｔ１（ｍｍ）としたときに、第２の液状物用のノズル列および第３の液状物用のノズル列における吐出幅をそれぞれｔ１（ｍｍ）とするものである。
【００７２】
このように構成することにより、複数の液状物に対応した吐出開始部の位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３）をそれぞれ重ならないようにずらすだけで、液状物の吐出終了部の位置（Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６）についても、対応してずらすことができる。
【００７３】
したがって、吐出開始部および吐出終了部において、繰り返して液状物が多く塗布されることがなくなり、平面方向における複数の液状物間の塗布量のばらつきが小さくなる。よって、得られた塗布物において、均一な電気光学的特性等を得ることができる。
【００７４】
一方、第１の実施形態において、図４〜図６または図７（ｂ）〜（ｄ）に示すように、複数の液状物に対応したノズル列における吐出幅をそれぞれ異ならせることも好ましい。
【００７５】
例えば、図５に示すように、第１の液状物用のノズル列における吐出幅をｔ（ｍｍ）としたときに、第２の液状物用のノズル列における吐出幅を１．２×ｔ（ｍｍ）とし、第３の液状物用のノズル列における吐出幅を１．４×ｔ（ｍｍ）とするものである。
【００７６】
このように構成することにより、複数の液状物に対応した吐出開始部の位置（Ｐ７）を一致させたとしても、液状物の吐出終了部の位置（Ｐ８、Ｐ９、Ｐ１０）をノズル列における吐出幅に対応させてそれぞれずらすことができる。したがって、吐出終了部において、繰り返し液状物が多く塗布されることがなくなり、平面方向における液状物の塗布量のばらつきが小さくなる。そのため、隣接する走査領域の境界において色むらが観察されるのを有効に防止することができ、結果として、均一な電気光学的特性を得ることができる。
【００７７】
□  ノズル列の端部位置
第１の実施形態において、複数の液状物に対応したノズル列の両端部あるいはいずれか一方の位置を異ならせることは、後述する吐出開始部および吐出終了部の位置を異ならせる一手段であるが、例えば、図３〜図７に示すように、異ならせることが好ましい。
【００７８】
このように構成すると、ノズル列におけるすべてのノズル孔を利用して、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることができる。
【００７９】
なお、図３および図４は、複数の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル列の両端部の位置をそれぞれ異ならせた例であって、図５および図６は、複数の液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル列の片端部の位置をそれぞれ異ならせた例であって、図７は、一つの液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル列の両端部の位置をそれぞれ異ならせた例である。
【００８０】
（４）吐出開始部および吐出終了部
第１の実施形態において、図３〜図７に示すように、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴としている。例えば、図３の場合、複数の液滴吐出ヘッドの間で、吐出開始部としてのＰ１、Ｐ２、Ｐ３の位置を異ならせているとともに、吐出開始部としてのＰ４、Ｐ５、Ｐ６の位置についても異ならせている。
【００８１】
このように構成する理由は、逆に、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置が同一である場合、上述したように材料吐出特性（Ｑ特性）に起因して、複数の液状物、例えば、ＲＧＢのカラーフィルタ用材料が、吐出開始部および吐出終了部において、繰り返して多く塗布されるためである。したがって、吐出開始部および吐出終了部の位置が同一である場合、平面方向における位置の相違による塗布量のばらつきが大きくなって、隣接する走査領域の境界において色むらが観察されたり、平面方向において、光透過特性等が不均一になったりするためである。
【００８２】
また、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめる場合、例えば、そのずれの大きさを、塗布する液状物の数で吐出幅を割った値とすることが好ましい。
【００８３】
例えば、３種類の液状物、例えば、ＲＧＢ画素に対応したカラーフィルタ用材料を用意し、吐出幅をそれぞれ３ｔ（ｍｍ）とする場合、吐出幅（３ｔ）を塗布する液状物の数（３個）で割って、ずれの大きさをｔ（ｍｍ）とすることが好ましい。このように実施すると、複数の液状物における吐出開始部および吐出終了部が、塗布物においてそれぞれ均等配置することになり、平面方向における塗布量のばらつきがさらに少なくなる。
【００８４】
また、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部におけるずれの大きさを、具体的に、０．１〜５０ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。この理由は、ずれの大きさが０．１ｍｍ未満となると、隣接する走査領域の境界において色むらが観察される場合があるためであり、一方、５０ｍｍを超えると、いずれかの液状物が塗布されない非塗布部の面積が大きくなる場合があるためである。
【００８５】
したがって、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部におけるずれの大きさを、０．２〜３０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、０．３〜１５ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００８６】
なお、第１の実施形態においてはもちろんのこと、後述する他の実施形態においても、複数の液状物における吐出開始部の位置は、複数の液状物の吐出をそれぞれ開始した時点で実質的に印刷塗布された塗布物の印刷位置（始点）を意味している。また、液状物の塗布に際して、ノズル列におけるすべてのノズル孔を利用したような場合には、吐出開始部の位置は、ノズル列の端部の位置と実質的に一致することになる。
【００８７】
同様に、複数の液状物における吐出終了部の位置は、複数の液状物の吐出をそれぞれ終了した時点で実質的に印刷塗布された塗布物の印刷位置（終点）を意味している。また、液状物の塗布に際して、ノズル列におけるすべてのノズル孔を利用したような場合には、吐出終了部の位置は、ノズル列の端部の位置と実質的に一致することになる。
【００８８】
また、図３〜図７に示すように、液滴吐出ヘッドの縁部からノズル列の位置まで、通常、わずかな距離が設けてあるが、そのような場合には、吐出開始部の位置および吐出終了部の位置を、それぞれ液滴吐出ヘッドの両端の縁部とすることができる。
【００８９】
また、第１の実施形態において、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめる構成例として、液滴吐出ヘッドの数および液状物の吐出幅の関係から、以下の表１に示す態様が挙げられる。また、構成例の容易理解のために、構成例と対応した対照図面番号も併せて示す。
【００９０】
【表１】
0003988645.tif 000002
【００９１】
２．複数の液状物
（１）種類
複数の液状物の種類は特に制限されるものではないが、例えば、顔料インク、染料インク、カラーフィルタ用材料（フィルタエレメント材料と称する場合がある。）、エレクトロルミネッセンス材料（正孔輸送性材料や電子輸送性材料等を含む。）、プラズマ発光材料等が挙げられる。
【００９２】
また、複数の液状物の種類を適宜選択するとともに、溶剤量等を決定し、例えば、溶液粘度を１〜３０ｍＰａ・ｓ（測定温度：２５°、以下同様である。）の範囲内の値とすることが好ましい。
【００９３】
この理由は、かかる溶液粘度が１ｍＰａ・ｓ未満の値となると、塗布物における厚膜化が実質的に困難となる場合があるためであり、一方、かかる溶液粘度が３０ｍＰａ・ｓを超えると、ノズル部分で目つまりしたり、均一な厚さを有する塗布物を形成したりすることが困難となる場合があるためである。したがって、塗布物における厚膜化と、塗布物における厚さの均一性等のバランスがより良好となることから、複数の液状物の種類等を適宜選択して、溶液粘度を２〜１０ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましく、３〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【００９４】
なお、複数の液状物における溶液粘度を、塗布物の用途に応じて、適宜選択することも好ましい。例えば、カラーフィルタを作成する場合には、色純度の関係で、厚膜化が望まれることから、溶液粘度を６〜８ｍＰａ・ｓの範囲内の値とすることがより好ましい。
【００９５】
（２）塗布物
また、複数の液状物から構成される塗布物の種類としての制限は特になく、例えば、後述するようなカラーフィルタ用材料（フィルタエレメント材料と称する場合がある。）からなるカラーフィルタ、エレクトロルミネッセンス装置における発光媒体、プラズマディスプレイパネルにおける発光媒体（蛍光体）等が挙げられる。
【００９６】
３．基板
液状物を塗布する基板についても特に制限されるものではないが、例えば、ポリエステルフィルム、ポリサルホンフィルム、ポリプロピレンフィルム、酢酸セルロースフィルム、ＴＡＣフィルム、ガラス基板、セラミック基板等を用いることが好ましい。
【００９７】
また、その基板の厚さについても特に制限されるものでないが、例えば、１０μｍ〜５ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
【００９８】
［第２の実施形態］
次に、図８〜図１５までを参照して、本発明に係る第２の実施形態について説明する。この実施形態は、複数の液滴吐出ヘッドを所定の態様で配列した状態で一つの液滴吐出ユニットとして用いる点に特徴がある。通常、液滴の吐出によって形成されるべき膜構造（平面パターン）の形状、配列パターン、大きさ（面積）などは、製造対象（基板など）の用途、種類、形式などによって様々であるが、このような様々な寸法構造を形成するために、個々の製造対象に応じてそれぞれに対応した液滴吐出ヘッドを用意することは、製造コストの上昇をもたらし、また、製造効率を悪化させる原因ともなる。そこで、本実施形態では、複数の液滴吐出ヘッドを所定の態様で配列して一体に用いることによって、製造対象の形状、配列パターン、大きさなどに応じたノズル配列を構成するようにしている。
【００９９】
（構成例１）
図８に示す構成例１では、サブキャリッジ２５に複数の液滴吐出ヘッド２２を搭載してある。液滴吐出ヘッド２２は、基本的に上記第１の実施形態にて説明した液滴吐出ヘッドと同様に構成されている。各液滴吐出ヘッド２２には上記と同様に複数のノズル２７が設けられ、これらのノズル２７が所定方向に配列されてノズル列２８を構成する。図示例では、液滴吐出ヘッド２２にそれぞれ２列のノズル列２８が形成された例を示してある。ここで、一つの液滴吐出ノズル２２に設けられるノズル列２８の数は、図示例のように２列である場合に限らず、１列であってもよく、３列以上であってもよい。
【０１００】
この複数の液滴吐出ヘッド２２は、それぞれサブキャリッジ２５に固定された状態で、上記第１の実施形態の図３〜図６までに示される一つの液滴吐出ヘッドと同様に用いられる。また、その使用態様においても、走査方向（主走査方向）と、この走査方向に直交する方向（副走査方向）に対する個々の液滴吐出ヘッド２２の姿勢は、上記第１の実施形態と同様に設定された状態で用いられる。また、製造対象に対して液滴吐出ヘッド２２にそれぞれ形成された複数のノズル２７の形成ピッチ（ノズル列２８のノズル周期）が適合しない場合には、ノズル列２８の配列方向を走査方向と直交する方向に対して所定の傾斜角度（通常は０度を越え９０度未満の角度、典型的には６０度以下）で傾斜させた姿勢で用いることもできる。
【０１０１】
複数の液滴吐出ヘッド２２は走査方向（図示上下方向）と直交する方向（図示左右方向）に配列されている。また、走査方向に見て異なる位置に配置される。より具体的には、走査方向に配列された液滴吐出ヘッド２２の列が走査方向に見て２列に配置されている。また、走査方向と直交する方向に見た場合には、走査方向の前後に交互に液滴吐出ヘッド２２が配置されている。そして、複数の液滴吐出ヘッド２２に設けられたノズル２７が、全体としてサブキャリッジ２５上において走査方向と直交する方向に等間隔に配置されるように構成されている。
【０１０２】
一般に、液滴吐出ヘッド２２の端部近傍には構造上の制約からノズル２７を設けることができず、仮に設けることができたとしても吐出特性が大幅に悪化する。したがって、液滴吐出ヘッド２２の端部近傍には、ノズル２７の形成されていない領域が存在することになるため、複数の液滴吐出ヘッド２２を直線的に配列させると、液滴吐出ヘッド２２の端部が隣接する部分においてノズル２７が存在しない領域ができてしまう。そこで、上記のように複数の液滴吐出ヘッド２２を互い違いに配列させることにより、複数の液滴吐出ヘッド２２に亘ってノズル２７が走査方向と直交する方向に等間隔に配列するように構成している。
【０１０３】
本実施形態においては、吐出幅ｔの液滴吐出ヘッド２２を配列させることによって、全体としては、複数の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔを全て積算した吐出幅２５ｔが得られる。図示例においては、複数の液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８の吐出幅ｔはすべて同一となっているが、相互に異なる吐出幅ｔを備えていてもかまわない。また、複数の液滴吐出ヘッド２２がそれぞれどのような構成であっても、複数の液滴吐出ヘッド２２に亘ってノズル２７が連続的に配列されるように構成されていればよい。
【０１０４】
なお、上記のように複数の液滴吐出ユニット２２を取り付けたサブキャリッジ２５は、たとえば、後述する第３実施形態のヘッドユニット２６に組み込まれ、製造対象（基板）に対するヘッドユニット２６の相対的駆動によって走査方向（主走査方向Ｘ）及びこれに直交する方向（副走査方向Ｙ）に移動される。
【０１０５】
図９は、上記のように配列された複数の液滴吐出ヘッド２２の組を複数組設けたときの、液滴吐出ヘッド２２の使用時における各組の相対的な位置関係を図示しない製造対象を基準として示すものである。ここで、図８に示す液滴吐出ヘッド２２の組を、液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃと呼ぶことにする。これらの複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、相互にノズル列２８の配列方向を同一とする姿勢で用いられる。
【０１０６】
図示例では、液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは全て同一形状の液滴吐出ヘッド２２を含み、かつ、その配列態様も同一となっている。また、それぞれの液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、全体として個々の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔ１、ｔ２、ｔ３を加算した吐出幅２５ｔ１，２５ｔ２，２５ｔ３を備えている。ここで、図示例では、個々の吐出幅ｔ１〜ｔ３が相互に同一で、したがって、吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３もまた相互に同一となるように構成されている。そして、このように構成された複数の液滴吐出ユニット２５Ａ、２５Ｂ，２５Ｃは、走査方向と直交する方向に見たときに、その吐出開始部の位置Ｐ２１〜Ｐ２３が相互に異なるように配置される。また、本実施形態では、複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、吐出終了部の位置Ｐ２４〜Ｐ２６についても相互に異なるように配置されている。
【０１０７】
上記のように構成された液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃをそれぞれ図９に示すように吐出開始部の位置Ｐ２１〜Ｐ２３と、吐出終了部の位置Ｐ２４〜Ｐ２６とが異なるように用いることによって、上記第１の実施形態と同様の効果が得られる他に、一度の走査によってより多数の液滴を吐出させることが可能になり、生産性を向上させることができる。また、製造対象に合わせて既存の液滴吐出ヘッド２２を適宜に組み合わせて用いることが可能になることから、製造対象に対する対応性を高めることもできる。
【０１０８】
なお、上記の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ、２５Ｃは、共通の製造対象（基板）に対してそれぞれ個別に適用することもできる。たとえば、液滴吐出ユニット２５Ａを備えた液滴吐出装置を用いて上記製造対象の処理を行った後に、当該製造対象を、液滴吐出ユニット２５Ｂを備えた液滴吐出装置にセットして処理を行うといった具合である。また、これらの液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを同時に上記製造対象に対して適用することもできる。たとえば、複数の液滴吐出ユニットを全て一体に装着して、同時並行して各ユニットから液滴を吐出させるといった具合である。
【０１０９】
また、上記の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、共に等しい吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３を備えているが、これらの吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３を相互に異なる幅となるように構成してもよい。この場合には、複数の液滴吐出ユニット２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃの吐出幅２５ｔ１〜２５ｔ３を、上記第１の実施形態の図４〜図６に示す複数の液滴吐出ヘッド２２の吐出幅と同様の相対的位置関係となるように配置してもよい。すなわち、吐出開始部の位置と吐出終了部の位置の双方が異なる位置関係（図４に相当）、吐出開始部の位置が同一であるが吐出終了部の位置が異なる位置関係（図５に相当）、吐出開始部の位置が異なるが吐出終了部の位置が同一である位置関係（図６に相当）である。
【０１１０】
（構成例２）
次に、図１０乃至図１２を参照して、構成例２について説明する。この構成例２では、図１０に示すように、複数の液滴吐出ヘッド２２を走査方向と直交する方向（副走査方向Ｙ）に一列に配置してある。そして、配列された各液滴吐出ヘッド２２の両端のノズル間には間隔が設けられている。すなわち、この構成例２では、構成例１とは異なり、ノズル２７が連続した一体の吐出幅を有しておらず、個々の液滴吐出ヘッド２２に設けられたノズル列２８による吐出幅ｔが間隔ｓを隔てて配置されている。この間隔ｓは、図示例のように液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔと同じであることが好ましい。なお、複数の液滴吐出ヘッド２２を共通のサブキャリッジ２５に搭載している点は上記構成例１と同様である。
【０１１１】
図１１は、上記図１０に示すようにそれぞれ構成された複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆ間の相対的位置関係を示すものである。この構成例２においても、上記構成例１と同様に、複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆは、吐出幅ｔ１、ｔ２、ｔ３及び間隔ｓ１、ｓ２、ｓ３を有する。ここで、図示例のように、液滴吐出間において吐出幅ｔ１〜ｔ３を相互に同一とし、間隔ｓ１〜ｓ３を相互に同一としてもよい。また、図示例では、走査方向と直交する方向に配列された吐出幅と間隔の数もまた各ユニット間において相互に同一である。また、吐出開始部の位置Ｐ２１〜Ｐ２３は、複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆについて相互に異なった位置に配置されている。さらに、複数の液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆの吐出終了位置Ｐ２４〜Ｐ２６についても相互に異なった位置になっている。
【０１１２】
上記のように各液滴吐出ユニット２５Ｄ，２５Ｅ，２５Ｆにおいては、それぞれ、液滴吐出ヘッド２２の間に間隔が設けられているため、図１２に示すように、製造対象の領域１１（後述するカラーフィルタ形成領域に相当する。）を走査方向に走査する走査ステップ（図中の下向きの矢印で示す）ＳＴ１において、上記間隔ｓに相当する部分ｋが未処理のまま残されることなる。このため、上記の走査ステップＳＴ１とは別に、液滴吐出ユニットを走査方向と直交する方向にδＹ＝ｔ＝ｓだけ移動させた状態で、走査ステップＳＴ２を行う。ここで、図示例では、走査ステップＳＴ１と走査ステップＳＴ２における走査の向きが相互に逆向きとされている。これによって、たとえば、往路において走査ステップＳＴ１を行った後に、復路において逆向きの走査ステップＳＴ２を行うことができる。ただし、走査ステップＳＴ２を走査ステップＳＴ１と同一の向きで行ってもかまわない。また、後述する図１７に示す方法（走査ステップを副走査方向Ｙに少しずつずらして繰り返す方法）を行う場合には、必要な走査ステップの数が増加するものの、そのままの方法で処理を行うことが可能である。
【０１１３】
（構成例３）
次に、図１３を参照して構成例３について説明する。この構成例３においては、図７に示す液滴吐出ヘッドと同様の構造を有する液滴吐出ヘッド２２を用いている。すなわち、この液滴吐出ヘッド２２は、走査方向に配置された複数のノズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃを有し、これらのノズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが走査方向と直交する方向にずれた位置に配置されている。図示例では、図７（ａ）に示す構造と同様に、ノズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが同一の吐出幅ｔａ，ｔｂ，ｔｃを有し、相互に吐出開始部と吐出終了部の双方が異なるように配置されている。もっとも、各ノズル列の吐出幅ｔａ，ｔｂ，ｔｃが相互に異なり、各ノズル列が図７（ｂ）〜（ｄ）に示すような位置関係で形成されていてもよい。すなわち、ノズル列の吐出幅が相互に異なるとともに、吐出開始部の位置と吐出終了部の位置が共に異なる構成（図７（ｂ）に相当）、吐出開始部の位置は同じであるが吐出終了部の位置が異なる構成（図７（ｃ）に相当）、吐出開始部の位置は異なるが、吐出終了部の位置が異なる構成（図７（ｄ）に相当）である。なお、この構成例３においても、各液滴吐出ヘッド２２は共通のサブキャリッジ２５に搭載されている。
【０１１４】
液滴吐出ヘッド２２は、構成例１と同様に、走査方向と直交する方向に向けて走査方向に互い違いにずれるように、配列されている。このとき、各液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８Ａ同士が相互に隙間なく走査方向と直交する方向に連続し、ノズル列２８Ｂ同士が隙間なく同方向に連続し、ノズル列２８Ｃ同士が隙間なく同方向に連続するように、複数の液滴吐出ヘッド２２が相互に配置されている。このような構成により、この構成例では、一つの液滴吐出ユニットによって、吐出開始部及び吐出終了部の位置が共に異なる吐出幅２５ｔａ，２５ｔｂ，２５ｔｃが設けられていることになる。ここで、吐出開始部と吐出終了部のいずれか一方の位置が相互に異なり、他方が同一であってもよい。
【０１１５】
この構成例３では、各液滴吐出ヘッド２２に、吐出開始部又は吐出終了部の位置が異なる複数のノズル列２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃが設けられているため、この一組の液滴吐出ヘッドを搭載した１ユニットを走査させるだけで、上記構成例と同様の効果を得ることができる。なお、この構成例３の液滴吐出ユニット２２を、上記構成例２に示す一つの液滴吐出ユニットのように、相互に間隔をもって一列に配列させてもよい。この場合でも、１ユニットだけで上記構成例と同様の効果を奏することができる。
【０１１６】
（構成例４）
次に、図１４及び図１５を参照して、構成例４について説明する。この構成例４では、複数の液滴吐出ユニット２２′を所定の位置関係で配置する点においては、上記構成例１〜３と同様であるが、これらの複数の液滴吐出ユニット２２′間において、それらの吐出開始部の位置又は吐出終了部の位置が相互に異なるように構成されている。
【０１１７】
すなわち、図１４に示す例では、複数の液滴吐出ヘッド２２′の吐出幅はすべて同一であるが、相互にノズル２７の配列方向に位置をずらして配置されていて、吐出開始部の位置及び吐出終了部の位置の双方が各液滴吐出ヘッド２２′間において相互に異なる。また、図１５に示す例では、複数の液滴吐出ヘッド２２Ａ′、２２Ｂ′、２２Ｃ′に設けられたノズル列２８Ａ′、２８Ｂ′、２８Ｃ′が相互に異なる吐出幅を有し、吐出開始部の位置は全て同一であるが、吐出終了部の位置が相互に異なるように配置されている。この場合、吐出開始部の位置は異なるが、吐出終了部の位置が同一であるように配置してもよく、或いは、吐出開始部と吐出終了部の位置の双方が異なるように配置してもよい。この構成例４においても、複数の液滴吐出ヘッド間において吐出開始部の位置又は吐出終了部の位置が相互に異なるため、上記構成例と同様の効果を得ることができる。
【０１１８】
以上説明したように、本発明は、複数の液滴吐出ノズルを有する複数のノズル列によって走査方向に相対的に走査して液滴を吐出する際に、各ノズル列の吐出開始部又は吐出終了部の位置を相互に異ならしめるものである。例えば、上記の第１の実施形態ように、それぞれがノズル列を備えた複数の液滴吐出ヘッドの端部位置を相互に異ならしめたり、一つの液滴吐出ヘッド内に設けられた複数のノズル列の端部位置を相互に異ならしめたりする。また、上記の構成例のように、複数の液滴吐出ヘッドを所定の位置関係で相対的に固定してなる一体の液滴吐出ユニットを構成する場合には、複数の液滴吐出ユニットを用いて、これらの複数の液滴吐出ユニット間の吐出開始部若しくは吐出終了部の位置を相互に異ならしめたり、一つの液滴吐出ユニット内の複数の液滴吐出ヘッドの吐出開始部若しくは吐出終了部の位置を異ならしめたり、或いは、一つの液滴吐出ユニット内の複数の液滴吐出ヘッドのそれぞれに複数のノズル列を設け、これら複数のノズル列の吐出開始部若しくは吐出終了部の位置を相互に異ならしめたりすることができる。
【０１１９】
［第３の実施形態］
第３の実施形態は、図１６にその概略を示すような液滴吐出ヘッドを有する液状物の吐出装置であって、当該液滴吐出ヘッドまたは基板を縦方向に走査しながら、複数の液状物をそれぞれ順次に吐出させ、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめるためのノズル列を、液滴吐出ヘッドに設けることを特徴とした液状物の吐出装置である。
【０１２０】
以下、第１の実施形態と同様の内容の説明は適宜省略するものとし、第３の実施形態における液状物の吐出装置として異なる点を中心に説明する。
【０１２１】
１．吐出機構方式
第３の実施形態においても、第１の実施形態と同様の方式の内容とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【０１２２】
２．液状物
第３の実施形態においても、第１の実施形態と同様の液状物の内容とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【０１２３】
３．吐出装置
第３の実施形態における吐出装置１６は、図１６に示すように、液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、ヘッド２２の位置を制御するためのヘッド位置制御装置１７と、マザー基板の位置を制御するための基板位置制御装置１８と、ヘッド２２をマザー基板に対して走査方向（主操作方向Ｘ）に主走査移動させるための主走査駆動装置１９と、ヘッド２２をマザー基板に対して走査方向と交差する方向（副走査方向Ｙ）に副走査移動させるための副走査駆動装置２１と、マザー基板を、外部から液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給するための基板供給装置（図示せず。）と、液滴吐出装置１６の全般の制御を司るコントロール装置（図示せず。）とをそれぞれ有することが好ましい。
【０１２４】
以下、主としてカラーフィルタを製造する場合を想定して、吐出装置１６の各構造や作用等を説明する。
【０１２５】
（１）液滴吐出ヘッド
□  構成
第３の実施形態において、ヘッド２２は、図１（ａ）および（ｂ）に示すような内部構造を有することが好ましい。
【０１２６】
具体的に、ヘッド２２は、例えばステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有することが好ましい。そして、ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成されるとともに、複数の材料室３３と液溜り３４との間は、通路３８を介して互いに連通することになる。
【０１２７】
また、振動板３１の適所には、材料供給孔３６が形成され、この材料供給孔３６に材料供給装置３７が接続されることになる。この材料供給装置３７は、フィルタエレメント材料（Ｍ）の一つ、例えば、ＲＧＢ画素のうちのＲ画素に対応したフィルタエレメント材料（Ｍ）や、ＹＭＣ画素のうちのＹ画素に対応したフィルタエレメント材料（Ｍ）を液状物として、材料供給孔３６へ供給する。そして、供給されたフィルタエレメント材料は、液溜り３４に充満され、さらに通路３８を通って材料室３３に充満されることになる。
【０１２８】
また、ノズルプレート２９には、材料室３３からフィルタエレメント材料（Ｍ）をジェット状に噴射するためのノズル列２７が設けられている。そして、振動板３１における材料室３３を形成した面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、図１（ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを有することが好ましい。
【０１２９】
そして、圧電素子４１は、電極４２ａおよび４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積を増大させる機能を有している。したがって、増大した容積分に相当するフィルタエレメント材料（Ｍ）が、液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入することが可能となる。
【０１３０】
次いで、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１と共に元の形状へ戻ることになる。これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にあるフィルタエレメント材料（Ｍ）の圧力が上昇し、ノズル列２７からマザー基板１２に対して、フィルタエレメント材料（Ｍ）が液滴８となって噴出することになる。
【０１３１】
□  液滴吐出ヘッドと液状物のノズル列との関係
また、第３の実施形態において、図７に示すように、複数の液状物に対応したノズル列２７が、一つの液滴吐出ヘッド２２に適宜配置してあることが好ましい。
【０１３２】
例えば、第１の液状物用のノズル列、第２の液状物用のノズル列、および第３の液状物用のノズル列を設ける場合、これら３つの液状物用のノズル列を、一つの液滴吐出ヘッド内に、それぞれに対応させて三列に配置するか、横方向に第１〜第３のノズル列を並べて配置するか、あるいは、これらの組み合わせとするものである。
【０１３３】
このように構成すると、液滴吐出ヘッドおよびその駆動系装置を一つ用意するだけで、複数の液状物に対応した吐出開始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布物を得ることができる。したがって、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置が重ならない、あるいは、これらの部位の重なりが少ない塗布物が得られる吐出装置であって、全体として簡易構造の吐出装置を提供することができる。
【０１３４】
また、このように構成すると、複数の液状物を同時に吐出する場合であっても、液滴吐出ヘッドが一つであるため、液滴吐出ヘッド同士が、動作中に接触したり、衝突したりするようなおそれがなくなる。
【０１３５】
なお、一つの液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズル列は、実質的に等間隔で配置してあることが好ましい。このように構成することにより、規則的な所定パターンを有する塗布物を、精度良く形成することができる。
【０１３６】
また、液滴吐出ヘッドを概ね長手矩形状にするとともに、その長片の縁部に沿って、複数のノズル列を配設してあることが好ましい。このように構成することにより、液滴吐出ヘッドの小型化が図られるとともに、規則的な所定パターンを有する塗布物を、精度良く形成することができる。
【０１３７】
さらに、一つの液滴吐出ヘッドに設けられた、複数の液状物に対応した複数のノズル列の形状および数に関して、それぞれ実質的に同一および同数であることが好ましい。このように構成することにより、液滴吐出ヘッド内での複数のノズル列の配置が容易になるとともに、複数の液状物の吐出量がそれぞれ均一化されて、規則的な所定パターンを有する塗布物を、精度良く形成することができる。
【０１３８】
一方、第３の実施形態において、図３〜図６に示すように、複数の液状物に対応したノズル列２７を、複数の液滴吐出ヘッド２２にそれぞれ対応させて設けることも好ましい。例えば、第１の液状物用のノズル列、第２の液状物用のノズル列、および第３の液状物用のノズル列を設ける場合、これら３つの液状物用のノズル列に対応させて第１の液滴吐出ヘッド、第２の液滴吐出ヘッド、および第３の液滴吐出ヘッドを設けるものである。
【０１３９】
このように構成すると、液状物の数に対応させて、寸法幅が実質的に等しい液滴吐出ヘッドを複数個用意するだけで、基板における複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置がそれぞれ重ならない塗布物が得られる吐出装置を提供することができる。
【０１４０】
また、液滴吐出ヘッドが複数個あることから、液状物の種類に対応して、個別に動作させることができるので、複数の液状物の吐出開始部または吐出終了部の位置の調整がさらに容易となる。
【０１４１】
なお、複数の液状物に対応したノズル列を、複数の液滴吐出ヘッドにそれぞれ対応させて設ける場合であっても、一つの液滴吐出ヘッドに設ける場合と同様に、複数のノズル列を、実質的に等間隔で配置してあることが好ましく、また、液滴吐出ヘッドを概ね長手矩形状にするとともに、その長片の縁部に沿って、複数のノズル列を配設してあることが好ましく、さらに、複数のノズル列の形状および数に関して、それぞれ実質的に同一および同数であることが好ましい。
【０１４２】
また、図１７に示すように、液滴吐出ヘッド２２を傾けて配列してあることが好ましい。すなわち、液滴吐出ヘッド２２が、移動する方向（主走査方向Ｘ）と垂直に交わる方向（副走査方向Ｙ）に対して、斜めに交差する方向に配列してあることが好ましい。具体的に、図１７に示す傾け角度（θ）を、１〜６０°の範囲内の値とすることが好ましく、１０〜５０°の範囲内の値とすることがより好ましく、２０〜４５°の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
【０１４３】
このように構成すると、一つの液状物を吐出する実際の間隔（図１７中、δと表記する。）を、一つの液状物に対応するノズル列の間隔（図１７中、Ｌ／３と表記する。）よりも狭くすることができる。したがって、図１７に示すようなカラーフィルタ等の塗布物において、より精細な描画パターンを得ることができる。
【０１４４】
また、このように構成することにより、複数の液滴吐出ヘッドを設けた場合であっても、隣接する液滴吐出ヘッドの間での干渉を防止することができる。したがって、液滴吐出ヘッドの小型化を図ることができる。
【０１４５】
さらに、このように構成することにより、基板の大きさが多少変化した場合であっても、液滴吐出ヘッドの交差する角度を適宜変えることによって、基板全体を塗布することができる。すなわち、基板の大きさが比較的大きい場合には、傾け角度θを、比較的小さくすることにより、複数の液状物を、基板全体に塗布することが可能となる。一方、基板の大きさが比較的小さい場合であっても、傾け角度θを、比較的大きくすることにより、液滴吐出ヘッドを交換することなく、複数の液状物を、基板全体に塗布することが可能となる。
【０１４６】
（２）基板位置制御装置および基板供給装置
□  基板位置制御装置
また、第３の実施形態において、図１６に示す基板位置制御装置１８は、マザー基板を載置するためのテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるためのθモータ５１と、を有することが好ましい。
【０１４７】
また、図１６に示す主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３と、を有することが好ましい。このように構成すると、Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときに、Ｘガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動することが可能となる。
【０１４８】
また、図１６に示す副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６と、を有することが好ましい。このように構成することにより、Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動する際に、Ｙガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動することが可能となる。
【０１４９】
□  基板供給装置
また、第３の実施形態において、図示しないが、基板供給装置を設けるとともに、当該基板供給装置は、マザー基板を収容する基板収容部と、マザー基板を搬送するロボットと、を有することが好ましい。
【０１５０】
ここで、ロボットは、床、地面などといった設置面に置かれる基台と、基台に対して昇降移動する昇降軸と、昇降軸を中心として回転する第１アームと、第１アームに対して回転する第２アームと、第２アームの先端下面に設けられた吸着パッドと、を有することが好ましい。
【０１５１】
（３）制御部
また、第３の実施形態において、制御部としてのコントロール装置は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部と、入力装置としてのキーボードと、表示装置としてのＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）ディスプレイと、を有することが好ましい。
【０１５２】
ここで、プロセッサは、図１８に示すように、演算処理を行うためのＣＰＵ（Central Processing Unit）６９と、各種情報を記憶するメモリ、すなわち情報記憶媒体７１と、を有することが好ましい。そして、かかるＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板における所定位置にインク、すなわちフィルタエレメント材料１３を吐出するための制御を行うものである。
【０１５３】
また、図１６に示すヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、副走査駆動装置２１、およびヘッド２２内の圧電素子４１を駆動するためのヘッド駆動回路の各装置は、図１８に示すように、入出力インターフェース７３およびバス７４を介して、ＣＰＵ６９に接続されていることが好ましい。
【０１５４】
さらに、制御が容易となることから、基板供給装置２３、入力装置６７、ＣＲＴディスプレイ６８、電子天秤７８、クリーニング装置７７およびキャッピング装置７６の各機器についても、入出力インターフェース７３およびバス７４を介して、ＣＰＵ６９に接続されていることが好ましい。
【０１５５】
そして、このようなＣＰＵ６９は、具体的な機能実現部として、図１８に示すように、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、電子天秤を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部と、液滴吐出によって材料を描画するための演算を行う描画演算部とを有することが好ましい。
【０１５６】
すなわち、描画演算部は、ヘッド２２を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部と、ヘッド２２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部と、マザー基板を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらすための制御を演算する副走査制御演算部と、ヘッド２２内の複数のノズル列２７のうちのいずれを作動させてインクすなわちフィルタエレメント材料を吐出するか否かを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部と、を有することが好ましい。
【０１５７】
（４）他の構成装置
また、第３の実施形態において、主走査駆動装置によって駆動されて主走査移動するヘッドの軌跡下であって、副走査駆動装置の一方の脇位置に、キャッピング装置およびクリーニング装置を配設することが好ましい。また、副走査駆動装置の他方の脇位置には、電子天秤を配設することが好ましい。
【０１５８】
ここで、クリーニング装置は、ヘッドを洗浄するための装置である。また、電子天秤は、ヘッド内の個々のノズル列から吐出される材料の液滴の重量を、ノズル毎に測定する機器である。そして、キャッピング装置は、ヘッドが待機状態にあるときに、ノズル列の乾燥を防止するための装置である。
【０１５９】
また、ヘッドの近傍には、そのヘッドと一体に移動する関係で、位置合わせを容易にするためのヘッド用カメラが配設してあることが好ましい。また、ベース上に設けた支持装置に支持された基板用カメラが、マザー基板を撮影できる位置に配設してあることが好ましい。
【０１６０】
［第４の実施形態］
第４の実施形態は、カラーフィルタの製造方法であって、複数のカラーフィルタ材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させるとともに、当該複数のカラーフィルタ材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴としている。
【０１６１】
以下、第１乃至第３の実施形態と同様の内容の説明は適宜省略するものとし、第４の実施形態におけるカラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタとして異なる点を中心に説明する。
【０１６２】
１．カラーフィルタの製造方法
（１）隔壁の形成
図１９に、カラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式的に示す。そして、第４の実施形態において、まず、マザー基板１２の表面に、透光性を有しない樹脂材料によって、矢印Ｂ方向から見て、隔壁６を格子状パターンに形成する。
【０１６３】
この格子状パターンにおける格子穴の部分７は、フィルタエレメント３が将来的に形成される領域、すなわちフィルタエレメント形成領域に対応している。したがって、良好な解像度が得られるように、隔壁６によって形成される個々のフィルタエレメント形成領域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法を、一例として、３０μｍ×１００μｍの大きさとすることが好ましい。
【０１６４】
また、隔壁６は、フィルタエレメント形成領域７に供給される液状体としてのフィルタエレメント材料１３の流動を阻止する機能、およびブラックマスクの機能を併せて有することが好ましい。
【０１６５】
したがって、隔壁６を精度良く作成するとともに、その機械的強度を高めるために、例えば、フォトリソグラフィー法を用いて形成するとともに、必要に応じてヒータやオーブン等を用いて加熱して、フィルタエレメント材料１３を熱硬化等させることが好ましい。
【０１６６】
（２）フィルタエレメントの形成
次いで、第４の実施形態においても、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素等に対応したフィルタエレメント材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させるともに、これら複数のカラーフィルタエレメント材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめるものである。
【０１６７】
すなわち、図１９（ｂ）に示すように、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素等に対応したフィルタエレメント材料１３の液滴８を、吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置が異なるように、それぞれの液滴８をフィルタエレメント形成領域７に供給し、各フィルタエレメント形成領域７をフィルタエレメント材料１３で埋めることによって、フィルタエレメントを形成するものである。
【０１６８】
なお、吐出開始部および吐出終了部の位置を変える好ましい手段としては、液滴吐出ヘッドの数および吐出幅の関係から、第１の実施形態で説明した表１に示す８種の態様が挙げられる。
【０１６９】
次いで、各フィルタエレメント形成領域７に、所定量のフィルタエレメント材料１３が充填されると、ヒータによってマザー基板１２を例えば７０°程度に加熱して、フィルタエレメント材料１３の溶媒を蒸発させることになる。
【０１７０】
この溶媒の蒸発により、図１９（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１３の体積が減少して、表面が平坦化することになる。一方、体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタ１として十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返して実行することが好ましい。例えば、図１９の製造方法の場合、３回繰り返すことを例示している。
【０１７１】
（３）加熱処理および保護膜の形成
次いで、形成したフィルタエレメント３を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行することが好ましい。
【０１７２】
その後、さらにスピンコート法、ロールコート法、ディッピング法、またはインクジェット法などといった公知の手法を用いて、図１９（ｄ）に示すように、保護膜４を形成することが好ましい。この保護膜４は、フィルタエレメント３などの保護、およびカラーフィルタ１の表面における平坦化のために形成されることになる。
【０１７３】
２．カラーフィルタ
（１）構成
第４の実施形態におけるカラーフィルタ１は、ガラス、プラスチックなどによって形成された方形状の基板２の表面に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、本実施の形態ではドットマトリックス状に形成してあることが好ましい。
【０１７４】
ここで、フィルタエレメント３は、透光性を有しない樹脂材料を用いて格子状パターンに形成された隔壁６によって区画されているとともに、ドットマトリックス状に並んだ複数の方形状の領域を、フィルタエレメント材料（カラーフィルタ用材料）で埋めることによって形成してある。
【０１７５】
また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色、あるいはＹ（黄）、Ｍ（マゼンダ）、Ｃ（シアン）のうちのいずれか１色のフィルタエレメント材料によって形成され、それらの各色のフィルタエレメント３が、所定の配列に並べられていることが好ましい。
【０１７６】
このようなフィルタエレメント３の配列としては、例えば、図２０（ａ）に示すように、いわゆるストライプ配列であって、マトリクスの縦列が全て同色になる配列であることが好ましい。また、図２０（ｂ）に示すように、いわゆるモザイク配列であって、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメント３がＲＧＢ画素からなる３色の配色であることが好ましい。さらに、図２０（ｃ）に示すようないわゆるデルタ配列であって、フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３が、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素からなる３色の配色であることも好ましい。
【０１７７】
また、第４の実施形態におけるカラーフィルタ１の大きさについては特に制限されるものではないが、例えば、対角線の長さが１．８インチ（４．５７ｃｍ）の長方形とすることが好ましい。また、１個のフィルタエレメント３の大きさについても特に制限されるものではないが、例えば、横１０μｍ〜１００μｍ、縦５０μｍ〜２００μｍの長方形とすることができる。そして、各フィルタエレメント３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチを例えば、５０μｍや７５μｍとすることができる。
【０１７８】
また、第４の実施形態のカラーフィルタ１を、液晶表示装置等においてフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した３個のフィルタエレメント３を１つのユニットとして１つの画素を形成することが好ましい。そして、１画素内のＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素のいずれか１つ、またはそれらの組み合わせに対して、液晶表示装置等から発せられた光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行うことが好ましい。
【０１７９】
このとき、透光性を実質的に有していない樹脂材料によって隔壁６を形成することにより、ブラックマスクとして作用させることができるので、混色を防止したり、コントラストが向上したりすることから好ましい態様である。
【０１８０】
また、上述したカラーフィルタ１は、製造コストが安く、経済的に有利となることから、図２１に示すような基板である大面積のマザー基板１２から切り出すことが好ましい。
【０１８１】
具体的には、マザー基板１２内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１１において、それぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成する。次いで、カラーフィルタ形成領域１１の周りに切断用の溝を形成し、それらの溝に沿ってマザー基板１２を切断することが好ましい。これにより、個々の基板２（図１９（ａ）参照。）上にカラーフィルタ１が形成されてなるカラーフィルタ基板が形成される。
【０１８２】
（２）光透過率の吸収ピークの位置
第４の実施形態におけるカラーフィルタ１において、図２２（ａ）に示すように、複数のフィルタエレメント材料（カラーフィルタ用材料）に対応した光透過率の吸収ピークの位置（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を、液滴吐出ヘッドの塗布幅内において、それぞれ異ならしめることが好ましい。
【０１８３】
なお、図２２（ａ）は、横軸に測定位置を示してあり、横軸の始点から６点目までが、液滴吐出ヘッドの一回の走査における塗布幅に対応している。また、縦軸にカラーフィルタ１の光透過率Ｔ（％）を採って示してあり、輝度計で測定した値である。
【０１８４】
また、図２２（ｂ）には、複数のフィルタエレメント材料に対応した光透過率の吸収ピークの位置（Ｓ４）が、液滴吐出ヘッドの塗布幅内において、それぞれ一致した場合、すなわち、従来のカラーフィルタの測定結果を比較のため示してある。
【０１８５】
このように光透過率のバラツキの位置を異ならしめることにより、平面方向における膜厚の分布が小さくなり、結果として、平面方向において均一な光透過特性等を有するカラーフィルタを得ることができる。また、このように構成することにより、隣接する塗布領域における境界線での混色も少なくすることができる。
【０１８６】
なお、ノズル列の端部等の位置を調節し、吐出開始部または吐出終了部の位置を変えるだけで、このように複数のフィルタエレメント材料に対応した光透過率のバラツキの位置（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）を異ならしめることが可能である。すなわち、塗布領域の端部である吐出開始部または吐出終了部で、複数のフィルタエレメント材料、例えば、ＲＧＢ画素に対応したフィルタエレメント材料がそれぞれ重ねて厚塗りされることが少なくなり、平面方向において比較的均一に分布するため、均一な光透過特性等を有するカラーフィルタを得ることができる。
【０１８７】
３．カラーフィルタの製造装置の変形例
また、第４の実施形態におけるカラーフィルタの製造装置の変形例として、上述した構成と異なり、マザー基板１２の移動によって主走査を実行し、ヘッド２２の移動によって副走査を実行することも好ましい。
【０１８８】
また、第４の実施形態において、ヘッド２２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、ヘッド２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動可能な構成とすることも好ましい。
【０１８９】
さらに、ノズル列２７の構成については、略等間隔で略直線上であって、かつ２列に設けたヘッド２２が好ましいが、ノズル列の配列数は２列に制限されるものでなく、例えば、ジグザク状であって、非等間隔の３列以上の複数列とすることも好ましい。
【０１９０】
４．カラーフィルタの使用例
また、得られたカラーフィルタを用いて、液晶表示装置を構成することが好ましい。
【０１９１】
かかる液晶表示装置の構成や製造方法は、公知の一般的な内容とすることができるが、一例として、図２３に示すような、液晶表示装置１７０とすることが好ましい。すなわち、液晶表示装置１７０は、下方から、第１の偏向板１７５と、第１の基板１７４と、反射膜１８２と、第１の電極１８１と、第１の配向板１８０と、液晶１７９と、第２の配向板１７８と、第２の電極１７７と、カラーフィルタ１７６と、第２の基板１７２と、第１の偏向板１７１とを積層し、シール材１７３で、周囲を封止した構造であることが好ましい。そして、液晶表示装置１７０の周囲に搭載されたドライブＩＣ１８３によって、単純マトリックスのパッシブ方式またはＴＦＤ（Thin Film Diode）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式や、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子をスイッチング素子としたアクティブ方式等により、液晶１７９を動作させて、フルカラー表示を行うことが好ましい。また、より鮮明な画像等が得られるように、第１の偏向板１７５の下方にバックライト１８６、１８７を設けることがより好ましい。
【０１９２】
さらに、液晶表示装置１７０の構成としては、図２３に示すように、半透過反射型であっても良く、あるいは、基板に光透過部を設けた透過型であっても良く、さらには、完全反射型であっても良い。
【０１９３】
［第５の実施形態］
第５の実施形態は、液滴吐出ヘッドを用いたエレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、複数のエレクトロルミネッセンス材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させるとともに、当該複数のエレクトロルミネッセンス材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめることを特徴としている。
【０１９４】
以下、第１〜第４の実施形態と同様の内容の説明は適宜省略するものとし、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびそれから得られるエレクトロルミネッセンス装置として異なる点を中心に説明する。
【０１９５】
１．エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
図２４に概略の駆動回路を示すように、アクティブマトリックス型のエレクトロルミネッセンス表示装置を製造する工程手順について説明する。
【０１９６】
（１）前処理
まず、図２５（Ａ）に示すように、透明の表示基板１０２に対して、テトラエトキシシラン（tetraethoxysilane：ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により、シリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず。）を形成することが好ましい。
【０１９７】
その際、下地保護膜の厚さを約２、０００〜５、０００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。
【０１９８】
次いで、表示基板１０２の温度を約３５０°に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により、オングストロームの非晶質のシリコン膜である半導体膜１２０ａを形成する。その際、シリコン膜の厚さを約３００〜７００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。
【０１９９】
この後、半導体膜１２０ａに対して、レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半導体膜１２０ａをポリシリコン膜に結晶化することが好ましい。
【０２００】
（２）ＴＦＴの形成
次いで、第５の実施形態においては、図２５（Ｂ）に示すように、半導体膜１２０ａをパターニングして、島状の半導体膜１２０ｂを形成する。
【０２０１】
すなわち、半導体膜１２０ｂが設けられた表示基板１０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガスとして、プラズマＣＶＤ法により、シリコン酸化膜あるいは窒化膜からなるゲート絶縁膜１２１ａを形成する。その際、ゲート絶縁膜の厚さを約６００〜１５００オングストロームの範囲内の値とすることが好ましい。
【０２０２】
なお、半導体膜１２０ｂは、カレント薄膜トランジスタ１１０のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ１０９のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。すなわち、図２５に示す製造工程では二種類のスイッチング薄膜トランジスタ１０９およびカレント薄膜トランジスタ１１０が同時に形成されるが、同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トランジスタ１１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ１０９については説明を省略するものとする。
【０２０３】
次いで、図２５（Ｃ）に示すように、アルミニウムやタンタル等の導電膜をスパッタ法により形成し、その後にパターニングして、ゲート電極１１０Ａを形成する。
【０２０４】
この状態で、不純物、例えば、高温度のリンイオンを注入し、半導体膜１２０ｂにゲート電極１１０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域１１０ａ，１１０ｂを形成することが好ましい。なお、不純物が導入されなかった部分が、チャネル領域１１０ｃとなる。
【０２０５】
次いで、図２５（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜１２２を形成した後、コンタクトホール１２３，１２４を形成し、これらコンタクトホール１２３，１２４内に中継電極１２６，１２７を埋め込み形成する。
【０２０６】
さらに、図２５（Ｅ）に示すように、層間絶縁膜１２２上に、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３（図２５中には図示しない）を形成する。
【０２０７】
そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜１３０を形成し、中継電極１２６に対応する位置にコンタクトホール１３２を形成することが好ましい。このコンタクトホール１３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成した後、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線１０４、共通給電線１０５および走査線１０３に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域１１０ａに電気的に接続する画素電極１１１を形成することになる。
【０２０８】
（３）エレクトロルミネッセンス材料の吐出
次いで、第５の実施形態においては、図２６に示すように、前処理が実施された表示基板１０２に、複数のエレクトロルミネッセンス材料を吐出する。
【０２０９】
すなわち、複数のエレクトロルミネッセンス材料をそれぞれに対応したノズル列から順次に吐出させるとともに、当該複数のエレクトロルミネッセンス材料の吐出開始部および吐出終了部の位置、あるいはいずれか一方の位置を異ならしめるように、例えば、ノズル列の両端部の位置、あるいはいずれか一方の位置を一次元または二次元の方向に異ならしめて、エレクトロルミネッセンス材料を吐出させる。
【０２１０】
このようにエレクトロルミネッセンス材料から発光層を形成することにより、吐出開始部および吐出終了部の重なりがなくなるか、少なくなり、平面方向において均一なエレクトロルミネッセンス特性、例えば、膜厚の相違による色変化が少ないエレクトロルミネッセンス表示装置を構成することができる。
【０２１１】
ここで、図２６（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板１０２の上面を上方に向けた状態で、発光素子１４０の下層部分に当たる正孔注入層１１３Ａを形成するためのエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａ、例えば、ポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を、インクジェット方式の塗布装置を用いて吐出し、段差１３５で囲まれた所定位置の領域内に選択的に塗布する。
【０２１２】
なお、かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ａは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の前駆体であることが好ましい。
【０２１３】
次いで、図２６（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ａに含まれる溶媒を蒸発させ、画素電極１１１上に固形の薄い正孔注入層１１３Ａを形成する。そして、図２６（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り返し、図２６（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正孔注入層１１３Ａを形成することが好ましい。
【０２１４】
次いで、図２７（Ａ）に示すように、表示基板１０２の上面を上に向けた状態で、発光素子１１３の上層部分に、有機半導体膜１１３Ｂを形成するためのエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂ、例えば、シアノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキルフェニレンを、インクジェット方式により吐出し、これを段差１３５で囲まれた領域内に選択的に塗布する。
【０２１５】
なお、かかるエレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂは、機能性液状体として、溶媒に溶かされた状態の有機蛍光材料であることが好ましい。
【０２１６】
次いで、図２７（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射等を実施することにより、エレクトロルミネッセンス材料１４０Ｂに含まれる溶媒を蒸発させ、正孔注入層１１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜１１３Ｂを形成する。
【０２１７】
なお、図２７（Ａ）、（Ｂ）に示す操作を複数回繰り返し、図２７（Ｃ）に示すように、十分な厚さを有する有機半導体膜１１３Ｂを形成し、正孔注入層１１３Ａおよび有機半導体膜１１３Ｂによって、エレクトロルミネッセンス発光素子１１３を構成することが好ましい。
【０２１８】
（３）反射電極の形成
最後に、第５の実施形態では、図２７（Ｄ）に示すように、表示基板１０２の表面全体、若しくはストライプ状に反射電極（対向電極）１１２を形成する。すなわち、このように反射電極を形成することにより、サンドイッチ構造のエレクトロルミネッセンス装置１０１を製造することができる。
【０２１９】
３．エレクトロルミネッセンス装置の変形例
第５の実施形態におけるエレクトロルミネッセンスの製造装置の変形例として、ＲＧＢ画素あるいはＹＭＣ画素に対応した３種類の発光画素が、帯状に形成されるストライプ型や、上述したように、ドライブＩＣによって、画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成も好適に採用することができる。
【０２２０】
［第６の実施形態］
次に、図面を参照して本発明の第６の実施形態の表示装置を説明する。図２９は、プラズマディスプレイパネル５００の分解斜視図を示し、図３０は、本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００の基本概念図を示す。本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００は、カラーフィルタ１として先の第３の実施形態で説明したカラーフィルタ１と同等のものを備えており、このカラーフィルタ１を観察側に配置して構成されている。すなわち、このカラーフィルタ１は、基板２、フィルタエレメント（着色層）３、隔壁６、及び、保護層４を備えている。
【０２２１】
プラズマディスプレイパネル５００は、互いに対向して配置されたガラス基板５０１と上記のカラーフィルタ１と、これらの間に形成された放電表示部５１０とから概略構成される。放電表示部５１０は、複数の放電室５１６が集合されてなり、複数の放電室５１６のうち、３つの放電室５１６が対になって１画素を構成するように配置されている。従って、先のカラーフィルタ１の各フィルタエレメント３（３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ）にそれぞれ対応するように各放電室５１６が設けられる。
【０２２２】
前記（ガラス）基板５０１の上面には所定の間隔でストライプ状にアドレス電極５１１が形成され、それらアドレス電極５１１と基板５０１の上面とを覆うように誘電体層５１９が形成され、更に、誘電体層５１９上においてアドレス電極５１１、５１１間に位置して各アドレス電極５１１に沿うように隔壁５１５が形成されている。なお、隔壁５１５においてはその長手方向の所定位置においてアドレス電極５１１と直交する方向にも所定の間隔で仕切られており（図示略）、基本的にはアドレス電極５１１の幅方向左右両側に隣接する隔壁と、アドレス電極５１１と直交する方向に延設された隔壁により仕切られる長方形状の領域が形成され、これら長方形状の領域に対応するように放電室５１６が形成され、これら長方形状の領域が３つ対になって１画素が構成される。また、隔壁５１５で区画される長方形状の領域の内側には蛍光体５１７が形成されている。
【０２２３】
次に、カラーフィルタ１側には、先のアドレス電極５１１と直交する方向に複数の表示電極５１２がストライプ状に所定の間隔で形成され、これらを覆って誘電体層５１３が形成され、更に、ＭｇＯなどからなる保護膜５１４が形成されている。なお、図３０では、図示の都合上、表示電極５１２の延長方向が実際と相違している。前記基板５０１とカラーフィルタ１の基板２は、前記アドレス電極５１１…と表示電極５１２…を互いに直交させるように対向させて相互に貼り合わされ、基板５０１と隔壁５１５とカラーフィルタ１側に形成されている保護膜５１４とで囲まれる空間部分を排気して希ガスを封入することで放電室５１６が形成されている。なお、カラーフィルタ１側に形成される表示電極５１２は各放電室５１６に対して２本ずつ配置されるように形成されている。
【０２２４】
アドレス電極５１１と表示電極５１２は図示略の交流電源に接続され、各電極に通電することで必要な位置の放電表示部５１０において蛍光体を励起発光させて白色発光させ、この発光をカラーフィルタ１を介して見ることでカラー表示ができるようになっている。
【０２２５】
なお、本実施形態において各放電室５１６内の蛍光体５１７を上述の液滴吐出方法又は液滴吐出装置を用いて形成してもよい。また、本実施形態のプラズマディスプレイパネル５００においては、第２実施形態に示したカラーフィルタ１を装備している例を示したが、このカラーフィルタ１を設ける代わりに、各放電室５１６内の蛍光体５１７を、たとえばＲ，Ｇ，Ｂのような着色された蛍光を発するものとしてもよい。この場合にも、上記の液滴吐出方法或いは液滴吐出装置により、隔壁５１５によって区画された領域（放電室５１６になるべき部分）に蛍光体を形成するための液状材料を吐出させていくことによって、プラズマ型表示装置用基板を形成することができる。
【０２２６】
［他の実施の形態］
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記第１〜６の実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形例をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状を有する実施の形態も提供することができる。
【０２２７】
すなわち、本発明の吐出方法等が適用されるのは、上述したカラーフィルタ及びその製造装置、カラーフィルタを備えた液晶表示装置及びその製造装置、エレクトロルミネッセンス装置及びその製造装置、あるいは、プラズマ型表示装置及びその製造装置に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Field Emission Display:フィールドエミッションディスプレイ）、電気泳動装置、薄型ブラウン管、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube）など様々な電気光学装置に用いることができる。
【０２２８】
また、本発明の吐出方法等は、電気光学装置に含まれる各種基板の製造工程においても用いることができる。
【０２２９】
例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料などを吐出して金属配線を形成する製造工程、微細なマイクロレンズを形成する製造工程、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布する工程、透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどを形成する製造工程、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ribonucleic acid:リボ核酸）を吐出して蛍光標識プローブを作成する製造工程、基板に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）などを吐出してバイオチップを形成する製造工程にも利用できる。
【０２３０】
本発明によれば、複数の液状物をそれぞれのノズル列から順次に吐出するとともに、当該複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部、あるいはいずれか一方の位置を異ならせることから、平面方向において均一な電気光学特性等が得られるカラーフィルタ、それを用いた液晶表示装置、蛍光媒体の厚さが均一なエレクトロルミネッセンス装置、および発光媒体の厚さが均一なプラズマディスプレイパネル等を効率的に提供することが可能となった。
【０２３１】
したがって、本発明により得られた液晶表示装置等は、パーソナルコンピュータ、携帯電話、ＰＨＳ（Personal Handyphone System）、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Point of Sales）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネル装置、時計、ゲーム機器等の電気光学装置に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の液滴吐出ヘッドの概略図である。
（ａ）部分切り欠け部を含む斜視図である。
（ｂ）Ｊ−Ｊ断面図である。
【図２】  本発明の液滴吐出ヘッドにおけるノズル列を説明するために供する図である。
【図３】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係を説明するために供する図である（その１）。
【図４】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係を説明するために供する図である（その２）。
【図５】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係を説明するために供する図である（その３）。
【図６】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係を説明するために供する図である（その４）。
【図７】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）と、複数の液状物の吐出開始部および吐出終了部の位置の関係を説明するために供する図である（その５）。
【図８】  第２実施形態の構成例１を示す液滴吐出ユニットの構成図である。
【図９】  構成例１の使用態様を示す説明図である。
【図１０】  第２実施形態の構成例２を示す液滴吐出ユニットの構成図である。
【図１１】  構成例２の使用態様を示す説明図である。
【図１２】  構成例２の走査方法を示す説明図である。
【図１３】  第２実施形態の構成例３を示す液滴吐出ユニットの構成図である。
【図１４】  第２実施形態の構成例４を示す液滴吐出ユニットの構成図である。
【図１５】  構成例４の他の例を示す構成図である。
【図１６】  液晶表示装置の一例を示す図である。
【図１７】  本発明の装置の概略図である。
【図１８】  本発明の液滴吐出ヘッド（ノズル列）の変形例の概略図である。
【図１９】  本発明の装置の動作を説明するために供する図である。
【図２０】  カラーフィルタの製造工程を説明するために供する図である。
【図２１】  カラーフィルタにおけるカラーエレメントの配置例を示す図である。
【図２２】  カラーフィルタの製造工程におけるマザー基板を説明するために供する図である。
【図２３】  カラーフィルタにおける測定位置と、光透過率の関係を示す図である。
（ａ）本発明のカラーフィルタにおける測定例である。
（ｂ）従来のカラーフィルタにおける測定例である。
【図２４】  アクティブマトリックス型のエレクトロルミネッセンス表示装置における駆動回路を示す図である。
【図２５】  エレクトロルミネッセンス装置の製造工程を説明するために供する図である（その１）。
【図２６】  エレクトロルミネッセンス装置の製造工程を説明するために供する図である（その２）。
【図２７】  エレクトロルミネッセンス装置の製造工程を説明するために供する図である（その３）。
【図２８】  ＰＤＰの構造の概略を説明するために供する図である。
【図２９】  第６実施形態のプラズマディスプレイパネルの構造を示す分解斜視図である。
【図３０】  第６実施形態の縦断面図である。
【図３１】  従来のカラーフィルタの製造工程における、液滴吐出ヘッド（ノズル列）の動作を説明するために供する図である。
【図３２】  従来の液滴吐出ヘッド（ノズル列）における内部構造を説明するために供する図である。
【図３３】  従来の液滴吐出ヘッド（ノズル列）におけるＱ特性を説明するために供する図である。
【図３４】  従来のカラーフィルタの製造工程における、液滴吐出ヘッド（ノズル列）の動作と、境界線との関係を説明するために供する図である。
【符号の説明】
１：  カラーフィルタ
８  ：液滴
１２：基板（マザー基板）
１６：吐出装置（液滴吐出装置）
１７：ヘッド位置制御装置
１８：基板位置制御装置
１９：主走査駆動装置
２１：副走査駆動装置
２２：液滴吐出ヘッド
２３：基板供給装置
２７：ノズル列
４１：圧電素子
１０１：アクティブマトリックス型の駆動回路
１７０：液晶表示装置
１８３：ドライブＩＣ
１８６，１８７：バックライト
【図１】
0003988645.tif 000003
【図２】
0003988645.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003988645.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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