(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主油圧ポンプと、この主油圧ポンプから吐出される圧油によって駆動する油圧アクチュエータと、操作レバーを有し該操作レバーの操作に応じた電気的な操作信号を出力する電気レバー装置と、パイロットポンプと、このパイロットポンプから出力される圧力を減圧して出力する電気油圧変換器と、前記電気レバー装置から出力される操作信号を入力し、前記電気油圧変換器を駆動させる駆動信号を出力する制御手段と、前記電気油圧変換器から出力されるパイロット圧力によって切り換え操作され、前記油圧アクチュエータに供給する圧油の流量を制御するパイロット操作式流量制御弁とを備える油圧機械の制御装置において、
前記電気油圧変換器より出力されるパイロット圧力を検出する圧力センサと、
前記電気レバー装置から出力される操作信号に応じた目標パイロット圧力を演算し、その目標パイロット圧力にローパスフィルタ処理を行い、処理後の値を記憶する信号変換手段と、
前記信号変換手段により所定時間前にローパスフィルタ処理され記憶された目標パイロット圧力と前記圧力センサにより検出されたパイロット圧力とを比較し、両者が同等でないときに前記電気油圧変換器が異常であると判断する比較・判断手段と、
前記比較・判断手段で前記電気油圧変換器が異常であると判断されたとき、前記電気油圧変換器への出力指令を制限する異常時出力制限手段とを備えることを特徴とする油圧機械の制御装置。
【請求項２】
請求項１記載の油圧機械の制御装置において、前記比較・判断手段は、比較する２つのパイロット圧力の差が予め設定された値以上になった場合に２つのパイロット圧力が同等でないと判断することを特徴とする油圧機械の制御装置。
【請求項３】
請求項１記載の油圧機械の制御装置において、前記比較・判断手段は、比較する２つのパイロット圧力が同等でない状態が所定時間連続で続いた場合に前記電気油圧変換器が異常状態であると判断することを特徴とする記載の油圧機械の制御装置。
【請求項４】
請求項１記載の油圧機械の制御装置において、前記異常時出力制限手段は、前記比較・判断手段により前記電気油圧変換器が異常状態であると判断された後、所定時間経過後に前記電気油圧変換器への出力指令を制限する処理を開始することを特徴とする油圧機械の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、油圧ショベルの等の油圧機械の制御装置に係わり、特に電気レバー装置の操作レバーを操作することにより油圧アクチュエータを駆動する油圧機械において、電気油圧変換器の異常を検出する制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気レバー装置を備えた油圧ショベル等の油圧機械の油圧駆動回路では、電気レバー装置から出力された電気的な操作信号を制御ユニットを介して電磁比例減圧弁などの電気油圧変換器を作動することで油圧信号（パイロット圧力）に変換し、この油圧信号により流量制御弁を切り換え操作し、油圧アクチュエータの動作を制御している。このような油圧機械の油圧駆動回路において、電磁比例減圧弁などの電気油圧変換器の異常を検出するものとして、特開平７−１９２０７号公報に記載のものがある。これは、電磁比例減圧弁より出力され圧力センサにより検出されたパイロット圧力と、電気レバー装置から出力される電気的な操作信号に基づいて演算された目標パイロット圧力とを比較し、両者が同等でないときに電磁比例減圧弁が異常状態であると判断し、アクチュエータの停止処理を行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
油圧ショベル等の油圧機械にあっては、油圧駆動回路を構成する油圧機器の部品から金属微小片が剥げ落ちて油圧回路の圧油中に混入したり、大気中のゴミが摺動部のシール部分を介して油圧回路の圧油中に混入することがあり、これらの金属微小片又はゴミ等が混ざった圧油が電磁比例減圧弁に送られると、それら金属微小片又はゴミが電磁比例減圧弁のスプールの摺動隙間に入り込み、スプールが固着して作動不良となる場合がある。このような現象は一般に弁スプールのスティックと呼ばれており、このような現象が発生すると、例えば油圧アクチュエータを停止させようとして操作レバーを中立位置に復帰させても、スプールは中立位置に戻らず、電磁比例減圧弁から油圧信号が出力され続け、流量制御弁が中立位置に戻らず、油圧アクチュエータを停止制御することができなくなる。
【０００４】
特開平７−１９２０７号公報に記載の従来技術では、弁スプールのスティックが生じ、比較する２つの信号（操作信号に基づく目標パイロット圧力と電磁比例減圧弁より出力される検出パイロット圧力）が同等でなくなると、電磁比例減圧弁が異常状態であると判断してアクチュエータの停止処理を行うため、上記問題を解決できる。
【０００５】
しかし、この従来技術では、２つの信号を比較・判断するとき、電気油圧変換器である電磁比例減圧弁の応答遅れを考慮していないため、異常状態かどうかの検出精度が悪く、特に操作レバーを速く動かしたときは正常動作しているのにも係わらず異常であると判断し、アクチュエータを停止させてしまう可能性がある。
【０００６】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、電気レバー装置から出力される操作信号で電気油圧変換器を駆動しパイロット操作式流量制御弁を操作するとき、電気油圧変換器に発生した異常状態を確実に検出すことができる油圧機械の制御装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、主油圧ポンプと、この主油圧ポンプから吐出される圧油によって駆動する油圧アクチュエータと、操作レバーを有し該操作レバーの操作に応じた電気的な操作信号を出力する電気レバー装置と、パイロットポンプと、このパイロットポンプから出力される圧力を減圧して出力する電気油圧変換器と、前記電気レバー装置から出力される操作信号を入力し、前記電気油圧変換器を駆動させる駆動信号を出力する制御手段と、前記電気油圧変換器から出力されるパイロット圧力によって切り換え操作され、前記油圧アクチュエータに供給する圧油の流量を制御するパイロット操作式流量制御弁とを備える油圧機械の制御装置において、前記電気油圧変換器より出力されるパイロット圧力を検出する圧力センサと、前記電気レバー装置から出力される操作信号に応じた目標パイロット圧力を演算し、その目標パイロット圧力にローパスフィルタ処理を行い、処理後の値を記憶する信号変換手段と、前記信号変換手段により所定時間前にローパスフィルタ処理され記憶された目標パイロット圧力と前記圧力センサにより検出されたパイロット圧力とを比較し、両者が同等でないときに前記電気油圧変換器が異常であると判断する比較・判断手段と、前記比較・判断手段で前記電気油圧変換器が異常であると判断されたとき、前記電気油圧変換器への出力指令を制限する異常時出力制限手段とを備えるものとする。
【０００８】
このように信号変換手段と比較・判断手段を設け、信号変換手段で操作信号に応じた目標パイロット圧力を演算し、その目標パイロット圧力にローパスフィルタ処理を行い、処理後の値を記憶し、比較・判断手段で、所定時間前にローパスフィルタ処理され記憶された目標パイロット圧力と圧力センサにより検出されたパイロット圧力とを比較することにより、電気レバー装置の操作レバーを急操作した場合に電気油圧変換器の出力に応答遅れがあっても、信号変換手段により所定時間前にローパスフィルタ処理され記憶された目標パイロット圧力は圧力センサにより検出されたパイロット圧力に対して概ね同じ時刻で立ち上がる、同様になまった波形となるため、電気油圧変換器が故障していないにも係わらず異常状態であるという誤った判断により電気油圧変換器への出力指令を制限し、油圧アクチュエータが停止してしまうような誤動作を防ぐことができ、電気油圧変換器に発生した異常状態を確実に検出することができる。
【００１１】
（２）また、上記（１）において、好ましくは、前記比較・判断手段は、比較する２つのパイロット圧力の差が予め設定された値以上になった場合に２つのパイロット圧力が同等でないと判断する。
【００１２】
これにより２つのパイロット圧力が実質的に同等でないときにのみ電気油圧変換器が異常であると判断されるようになる。
【００１３】
（３）更に、上記（１）において、好ましくは、前記比較・判断手段は、比較する２つのパイロット圧力が同等でない状態が所定時間連続で続いた場合に前記電気油圧変換器が異常状態であると判断する。
【００１４】
これにより確実に故障かどうかを判断でき、誤検出防止の精度が更に向上する。
【００１５】
（４）また、上記（１）において、好ましくは、前記異常時出力制限手段は、前記比較・判断手段により前記電気油圧変換器が異常状態であると判断された後、所定時間経過後に前記電気油圧変換器への出力指令を制限する処理を開始する。
【００１６】
これによっても、誤検出防止の精度が更に向上する。また、異常状態であると判定してから一定時間継続することにより、例えば軌跡制御などの他の制御をしていた場合は、その間、その判定結果に基づいて当該制御をバックアップ定数で行うなどのバックアップ処理をし、制御の安全性を図ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の油圧機械の制御装置の実施形態を図面を用いて説明する。以下の実施形態は、油圧機械として油圧ショベルを例に取った場合のものである。
【００１８】
図１は本発明の一実施形態による油圧ショベルの制御装置を油圧駆動装置と共に示す図である。図１において、本実施形態に係わる油圧ショベルの油圧駆動装置は、原動機３と、この原動機３によって駆動する主油圧ポンプ１及びパイロットポンプ２と、主油圧ポンプ１から吐出される圧油によって駆動する油圧アクチュエータ（例えばブームシリンダ）９と、主油圧ポンプ１から油圧アクチュエータ９に供給される圧油の流れを制御するパイロット操作式流量制御弁８と、流量制御弁８を切り換え操作する操作レバー１３ａ及びこの操作レバー１３ａの操作量を検出しそれに応じた電気的な操作信号Ｘ１を出力する機械・電気変換器１３ｂを含む電気レバー装置１３と、パイロットポンプ２から吐出されるパイロット圧力を減圧して出力する電磁比例減圧弁１０，１１と、電気レバー装置１３から出力される操作信号Ｘ１を入力し、電磁比例減圧弁１０，１１を駆動させる駆動信号を出力する制御ユニット１２とを備えている。
【００１９】
油圧ショベルの油圧駆動装置は良く知られているように、ブームシリンダ以外の油圧アクチュエータとしてアームシリンダ、バケソトシリンダ、走行モータ、旋回モータ等を備え、これに対応してそれぞれの油圧アクチュエータの駆動を制御する複数のパイロット操作式流量制御弁及びこれらパイロット操作式流量制御弁に油圧信号（パイロット圧力）を出力する電磁比例減圧弁を備えている。図１はこのような油圧ショベルの油圧アクチュエータを油圧アクチュエータ９で代表するものであり、油圧アクチュエータ９はブームシリンダ以外のいずれのアクチュエータであってもよい。
【００２０】
電気レバー装置１３は、例えば図１の紙面に沿う左右方向に操作レバー１３ａを操作することにより油圧アクチュエータ９を伸長方向又は収縮方向に駆動することができ、同じく図１の紙面と直交する前後方向に操作レバー１３ａを動かすことによりバケットシリンダ等の図示しない別のアクチュエータを駆動することができ、また図示を省略した別の電気レバー装置の操作レバーを操作することにより、図示しない別のアクチュエータを駆動することができるものである。
【００２１】
主油圧ポンプ１は可変容量型のポンプであり、その吐出量を変える斜板１ａを備え、この斜板１ａには斜板位置調節器５が連結されている。また、斜板１ａの傾転位置を検出する斜板位置検出器４及び主油圧ポンプ１の吐出圧力を検出する圧力検出器６が設けられている。斜板位置検出器４及び圧力検出器６からの信号は制御ユニット１５に入力され、制御ユニット１５は圧力検出器６によって検出された主油圧ポンプ１の吐出圧力と、斜板位置検出器４によって検出された斜板１ａの傾転位置とに基づいて所定の演算を行い、主油圧ポンプ１の斜板位置調節器５に制御信号を出力し、斜板１ａの位置を調整し、主油圧ポンプ１の押しのけ容積即ち吐出流量を制御する。
【００２２】
本実施形態の制御装置は上記のような油圧ショベルの油圧駆動装置に設けられるものであり、電磁比例減圧弁１０，１１とパイロット操作式流量制御弁８のパイロット操作部８Ｌ，８Ｒとを連絡する管路１４Ｌ，１４Ｒに設けられ、電磁比例減圧弁１０，１１から出力されるパイロット圧力を検出して電気信号Ｐ１，Ｐ２に変換するパイロット圧力センサ１６，１７を有し、パイロット圧力センサ１６，１７から出力された信号Ｐ１，Ｐ２は上記の制御ユニット１２に入力され、制御ユニット１２は電磁比例減圧弁１０，１１が異常状態であると判断すると電磁比例減圧弁１０，１１への出力指令を０にする処理を行う。
【００２３】
図２に制御ユニット１２の構成を示す。制御ユニソト１２は、制御・故障診断手順のプログラムや制御・故障診断処理に必要な定数を格納するリードオンリーメモリー（ＲＯＭ）２１、時間管理を行うタイマ２２、中央演算処理装置（ＣＰＵ）２３、電気レバー装置１２の機械・電気変換器１３ｂの出力Ｘ１及びパイロット圧力センサ１６，１７の出力信号Ｐ１，Ｐ２をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器２４、演算結果あるいは演算途中の数値を一時的に記憶するランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）２５、ディジタル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器２６を含むマイクロコンピュータ２０と、このマイクロコンピュータ２０のＤ／Ａ変換器２６からの信号を電磁比例減圧弁１０，１１に出力するための増幅器３０，３１とで構成されている。
【００２４】
制御ユニット１２の処理内容を図３のフローチャートにより説明する。以下の処理は制御ユニット１２のＲＯＭ２１に制御・故障診断手順のプログラムとして格納されているものであり、制御ユニット１２に内蔵されるタイマ２２によって１０ｍｓ毎に演算実行される。
【００２５】
処理Ｓ１において、電気レバー装置１３からの操作信号Ｘ１とパイロット圧力センサ１６，１７からの出力信号Ｐ１，Ｐ２を制御ユニット１２のＡ／Ｄ変換器２４を用いて入力する。
【００２６】
処理Ｓ２において、操作信号Ｘ１から、レバー操作量に応じた電磁比例減圧弁１０，１１が出力すべきパイロット圧力（以後、目標パイロット圧力という）を演算する。
【００２７】
処理Ｓ３において、パイロソト圧センサ１６，１７の出力信号Ｐ１，Ｐ２から、電磁比例減圧弁１０，１１から現在出力されているパイロット圧力を求める。
【００２８】
処理Ｓ４において、処理Ｓ２で演算した目標パイロット圧力にローパスフィルタ処理を行い、処理後の値をＲＡＭ２５に記憶する。フィルタ処理は、入力をＸ，出力をＹとする伝達関数で示すと、
Ｙ／Ｘ＝１／（１＋Ｔｓ）
で表せる。Ｔはフィルタの時定数であり、この時定数Ｔは、電磁比例減圧弁１０，１１の特性（応答遅れ）を考慮して予め設定しておく。また、既にＲＡＭ２５に格納されていた値は１０ｍｓ前に演算された値であるので、前回値として別に記憶しておく。
【００２９】
処理Ｓ５で、センサ信号から求めたパイロット圧力と処理Ｓ４で求めたフィルタ処理後の値の前回値（１０ｍｓ前の指令）を比較する。２つの値の差が、予め設定した２つの値を同等とみなす許容差、例えば５Ｋｇ／ｃｍ2以上であれば、処理Ｓ８で電磁比例減圧弁１０又は１１に異常が発生していると判定し、処理９で異常状態の電磁比例減圧弁への指令を０にする。処理Ｓ５の比較により２つの値の差が２つの値を同等とみなす許容差、例えば５Ｋｇ／ｃｍ2以上でなければ、正常状態であるので、処理Ｓ６において電磁比例減圧弁１０又は１１への指令電圧を演算し、処理Ｓ７で出力を行う。
【００３０】
処理Ｓ５では圧力センサ１６，１７の値と１０ｍｓ前の操作信号Ｘ１の指令値（フィルタ処理後の値）を比較しているが、これは電磁比例減圧弁１０，１１の特性（応答遅れ）や制御ユニット２の演算能力などを考慮して予め設定しておくこともできるし、油圧機器の遅れに影響をあたえる作動油の温度を測定し、これを考慮しながら可変にしても良い。
【００３１】
以上において、制御ユニット１２の処理Ｓ４の機能は、電気レバー装置１３から出力される操作信号を電磁比例減圧弁１０，１１が追従可能な信号に変換する信号変換手段を構成し、処理Ｓ５，Ｓ６は、信号変換手段により変換された後の信号とその操作信号が信号変換手段に入力されてから所定時間後の圧力センサ１６，１７の出力信号とを比較し、両者が同等でないときに電磁比例減圧弁１０，１１が異常であると判断する比較・判断手段を構成し、処理Ｓ９は、比較・判断手段で電磁比例減圧弁１０，１１が異常であると判断されたとき、電磁比例減圧弁１０，１１への出力指令を制限する異常時出力制限手段を構成する。
【００３２】
本実施形態の制御装置の作用効果を図４を用いて説明する。図４中、（ａ）は電気レバー装置１３から出力される電気的な操作信号（符号Ａを付す）の時間変化を示し、（ｂ）は制御ユニット１２において図３の処理２で操作信号から求めた目標パイロット圧力（符号Ｂ１を付す）と、処理Ｓ４でフィルタ処理された目標パイロット圧力（符号Ｂ２を付す）と、所定時間（１０ｍｓ）前にフィルタ処理された目標パイロット圧力（符号Ｂ３を付す）の時間変化を示し、（ｃ）は制御ユニット１２から出力される、図３の処理Ｓ２，Ｓ６で処理された駆動信号（符号Ｃを付す）の時間変化を示し、（ｄ）は電磁比例減圧弁１０，１１から出力される油圧信号（パイロット圧力）（符号Ｄを付す）の時間変化を示す。
【００３３】
操作レバー１３ａを急操作し、（ａ）に示すように時刻ｔ１において操作信号Ａがステップ状に立ち上がった場合を考える。制御ユニット１２はその操作信号Ａを入力し、上記のような所定の演算処理を行い、目標パイロット圧力Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３を求め、通常は目標パイロット圧力Ｂ１に対応した駆動信号Ｃを電磁比例減圧弁１０，１１に出力する。このとき、制御ユニット１２の演算能力には限りがあるため、演算処理に微少時間を要し、（ｃ）に示すように時刻ｔ１から微少時間経過したｔ２の時点で駆動信号Ｃが出力される。電磁比例減圧弁１０又は１１は駆動信号Ｃにより動作し、油圧信号Ｄを出力する。このとき、電磁比例減圧弁１０，１１には応答遅れがあり、ステップ状の駆動信号Ｃに対する追従性に限度があるため、出力される油圧信号Ｄは（ｄ）に示すように更に所定時関経過後の時刻ｔ３から立ち上がる、なまった波形となる。
【００３４】
従来の電磁比例減圧弁１０，１１の故障診断は、操作信号から求まる（ｂ）の目標パイロット圧力Ｂ１と電磁比例弁圧弁１０，１１から出力される（ｄ）のパイロット圧力Ｄとを比較していたため、操作レバー１３ａを急操作した場合は電磁比例弁圧弁１０，１１が正常であるにも係わらず目標パイロット圧力Ｂ１と出力パイロット圧力Ｄが同等でなくなり、電磁比例弁圧弁１０，１１が異常状態であるという誤った判断により油圧アクチュエータ９を停止させてしまう可能性があった。
【００３５】
本実施形態では、制御ユニット１２の図３に示す処理Ｓ４において、操作信号から求めた（ｂ）の目標パイロット圧力Ｂ１をフィルタ処理し、その値を目標パイロット圧力Ｂ２として記憶し、処理Ｓ５で所定時間（１０ｍｓ）前にフィルタ処理された目標パイロット圧力Ｂ３と電磁比例弁圧弁１０，１１から出力される（ｄ）のパイロット圧力Ｄとを比較する。目標パイロット圧力Ｂ３は時刻ｔ１に対し出力パイロット圧力Ｄと大体同じΔｔ後の時刻ｔ３から立ち上がる、出力パイロット圧力Ｄと同様になまった波形となる。このため、操作レバー１３ａを急操作した場合でも、目標パイロット圧力Ｂ３と出力パイロット圧力Ｄは同等となり、電磁比例弁圧弁１０，１１が故障していないにも係わらず異常状態であるという誤った判断により油圧アクチュエータ９が停止してしまうような誤動作を防ぐことができる。
【００３６】
以上のように本実施形態によれば、電磁比例減圧弁１０又は１１に弁スプールのスティックなどの異常が生じた場合、その異常を検出することができ、油圧ショベルの誤動作を未然に防ぐことができる。
【００３７】
また、電磁比例減圧弁１０，１１の異常の検出には電磁比例減圧弁１０，１１の応答の遅れが考慮されているため、電磁比例減圧弁１０，１１の正常動作時に誤って異常状態であると判断することで、油圧ショベルが動作しなくなるという不具合が回避でき、電磁比例減圧弁１０，１１に発生した異常状態を確実に検出することができる。
【００３８】
制御ユニット１２の処理内容の他の例を図５及び図６に示す。
【００３９】
図５は、処理Ｓ５と処理Ｓ８の間にカウント値を加算する処理Ｓ１０と所定時間経過したかどうかを判断する処理Ｓ１１を追加し、処理Ｓ５で２つの信号が同等でないと判断された状態が連続して一定時間（確実に故障と判断するための時間で例えば０．５ｓ程度）継続したら異常状態と判断するものである。これにより、誤検出防止の精度が更に向上する。
【００４０】
図６は、処理Ｓ８と処理Ｓ９の間にカウント値を加算する処理Ｓ１２と所定時間経過したかどうかを判断する処理Ｓ１３を追加して一定時間（確実に故障と判断するための時間で例えば０．５ｓ程度）の時間差を設け、故障状態が確実になってから出力を制限するものである。これによっても、誤検出防止の精度が更に向上する。また、処理Ｓ８で異常状態であると判定してから一定時間継続することにより、例えば軌跡制御などの他の制御をしていた場合は、その間、その判定結果に基づいて当該制御をバックアップ定数で行うなどのバックアップ処理をし、制御の安全性を図ることができる。
【００４１】
図５及び図６のフローチャートを組み合わせ、処理１０，１１と処理１２，１３の両方を追加してもよい。この場合、処理１１での継続時間は例えば０．２ｓ程度とし、処理１３での継続時間は例えば０．５程度とする。これにより処理１２，１３と並行して他の制御のバックアップ処理をする場合、処理１１である程度故障であることが確実になってからバックアップ処理が行われるようになり、バックアップ処理による制御の中断頻度を低減できる。
【００４２】
また、いずれの場合も、電磁比例減圧弁１０又は１１に弁スプールのスティックなどの異常を精度良く検出し、電磁弁の故障による機械の誤動作、あるいは正常動作時に誤って故障状態であると判断することで機械が動作しなくなるという不具合が回避できる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、電気レバー装置の操作レバーの操作量に応じた油圧信号を出力する電気油圧変換器の異常を検出することができ、油圧機械の誤動作等を未然に防ぐことができる。
【００４４】
また、電気油圧変換器の異常の検出には電気油圧変換器の応答の遅れが考慮されているため、電気油圧変換器が故障していないにも関わらず異常状態であるという誤った判断により油圧機械が停止してしまうような誤動作を防ぐことができ、電気油圧変換器に発生した異常状態を確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による油圧機械の制御装置を油圧駆動装置と共に示す図である。
【図２】制御ユニットの構成を示す図である。
【図３】制御ユニットの処理内容を示すフローチャートである。
【図４】電気レバー装置から出力される操作信号、制御ユニット内で演算される目標パイロット圧力、制御ユニットから出力される駆動信号、電磁比例減圧弁から出力される油圧信号の時間的変化を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態による制御ユニットの処理内容を示すフローチャートである。
【図６】本発明の差らに他の実施形態による制御ユニットの処理内容を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  主油圧ポンプ
２  パイロットポンプ
３  原動機
８  パイロット操作式流量制御弁
９  アクチュエータ
１０，１１  電磁比例減圧弁
１２  制御ユニット
１３  電気レバー装置
１３ａ  操作レバー
１３ｂ  機械・電気変換器
１６，１７  パイロット圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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