(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記憶装置を有し、その記憶装置に記憶された作業工程順序と作業内容とからなる加工条件データに基づいて、複数の作業工程を経て複数の製品を形成する製造ラインを制御する装置に接続され、前記記憶装置に記憶された前記加工条件データを変更するための装置において、
補助記憶装置と、
前記記憶装置に記憶されている前記加工条件データを前記補助記憶装置に複写する複写手段と、
前記補助記憶装置に複写された加工条件データに対して補正を行う補正手段と、
前記加工条件データに関するルールを記憶するルール記憶手段と、
前記補助記憶装置において補正された加工条件データを前記ルールと照合させて、補正の正誤を警告する警告手段と、
前記補助記憶装置において補正された加工条件データを前記記憶装置に書き込む書込手段と
から成る製造ラインにおける加工条件データの変更装置。
【請求項２】
前記記憶装置に記憶されている前記加工条件データと前記補助記憶装置に記憶されている加工条件データとを比較して、不一致部分の表示を行う表示手段を有することを特徴とする請求項１に記載の製造ラインにおける加工条件データの変更装置。
【請求項３】
前記表示手段は、前記警告手段において補正に誤りが発見された場合には、前記補助記憶装置に記憶されている加工条件データの前記ルールに不適合である部分の表示を行うことを特徴とする請求項２に記載の製造ラインにおける加工条件データの変更装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、物品の製造工程に適用されている加工条件データの変更装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
従来、製造ラインを制御するための加工条件データを変更する装置として、例えば、特開平4-146613号公報などに記載されたものがある。この装置において、ロット進行・装置制御サブシステムは、プロセスフローデータベースに基づきロットの進行管理及び各種装置の制御をすることにより、良好なレスポンス性能を確保し、柔軟性に富んだプロセスフロー編集を可能にするものである。
【０００３】
個々に用意されるプロセスフロー編集の際、共通のプロセスフローデータベースでなく、個々に用意されるプロセスフローファイルに対し出力を行うので、プロセスフローデータベースへのアクセス集中を避け、良好なレスポンス性能を確保することができる。また、プロセスフローコンパイラの定める自由度の高い記述形式、例えば、フリーカラム、コメント記述、別ファイルのインクルード等を可能とする言語仕様を設定することができ、プロセス設計者は、より正確に速く、プロセスフローを編集することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の装置では、工程手順・加工条件が相互に関連性があり、一箇所の変更でその影響の範囲が大きい場合にも、現実に制御に用いている加工条件・工程手順を記載したデータベースを直接に変更・修正していた。現実に制御のために参照されているデータベースを書き換えるため、誤ってデータベースを変更・修正した場合に、現実の製造ラインが間違えた加工条件データに従って運転されることになり、不良品が大量発生したり、又は、製造装置が故障したりした。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために成されたものであり、その目的は製造ラインに欠陥を発生させることなく、現実に運用されている加工条件データの補正を容易にすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための発明の構成は、記憶装置を有し、その記憶装置に記憶された作業工程順序と作業内容とからなる加工条件データに基づいて、複数の作業工程を経て複数の製品を形成する製造ラインを制御する装置に接続され、記憶装置に記憶された加工条件データを変更するための装置において、
補助記憶装置と、記憶装置に記憶されている加工条件データを補助記憶装置に複写する複写手段と、補助記憶装置に複写された加工条件データに対して補正を行う補正手段と、加工条件データに関するルールを記憶するルール記憶手段と、補助記憶装置において補正された加工条件データをルールと照合させて、補正の正誤を警告する警告手段と、補助記憶装置において補正された加工条件データを記憶装置に書き込む書込手段とを設けたことを特徴とする。
【０００７】
又、他の発明は、上記発明に加えて、記憶装置に記憶されている加工条件データと補助記憶装置に記憶されている加工条件データとを比較して、不一致部分の表示を行う表示手段を設けた。
更に他の発明は、表示手段は、警告手段において補正に誤りが発見された場合には、補助記憶装置に記憶されている加工条件データの、ルールに不適合である部分の表示を行うことを特徴とする。
【０００８】
【作用及び発明の効果】
記憶装置には、製造ラインを制御するために、作業工程順序と作業内容とからなる加工条件データが記憶されている。又、ルール記憶装置には製造工程の順序に関するルールや、工程毎に温度や圧力等の制御量の適正範囲がルールとして記憶されている。この記憶装置に記憶されている加工条件データに基づいて、製造ラインが制御され、製品が各製造工程を経て製造される。
【０００９】
このような運用状態において、複写手段により、記憶装置に記憶されている加工条件データが補助記憶装置に複写される。そして、補正手段により、補助記憶手段に記憶されている加工条件データにおいて、例えば、工程順序の変更、温度、圧力、ガス流量等の制御量の変更等の補正が行われる。次に、警告手段が作動して、補正が完了した加工条件データに対して、ルール記憶手段に記憶されているルールが適用される。例えば、ルールに適合しない製造工程順序になっていないか、各工程の制御量がルールに適合しない値になっていないかが判定される。適合しない加工条件データが存在する場合には、補正の正誤が作業者への警告として行われる。補正に誤りが無ければ、作業者の指令に応答して、書込手段により補助記憶手段に記憶されている補正が完了した加工条件データが記憶手段に書き込まれる。
【００１０】
このように、本発明は、製造ラインが現実に運用されていても、その加工条件データを記憶した記憶装置に対して、データの補正が実行されるのではなく、補助記憶装置に記憶されている同一内容の加工条件データに対して補正が実行される。従って、例え、加工条件データを誤って補正しても、現実に運用されている製造ラインにおいて、不良製品が製造されることは防止される。
【００１１】
又、補正の良否は、補助記憶装置に記憶されている補正された加工条件データに対してルール適合を実行することで、行われる。従って、誤った補正箇所は、本システムの記憶装置に書き込まれる前に、作業者に警告されるため、その補正が極めて容易となる。
【００１２】
【実施例】
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。図１は、半導体装置の製造ラインに関する加工条件データの変更装置の構成を示している。ＣＰＵ１０により製造ラインを形成する加工装置３１、搬送装置３２が制御される。この製造ラインの制御は、主記憶装置１１に記憶されている工程順序、各工程の温度、圧力、流量等の制御量等から成る加工条件データに基づいて実行される。即ち、半導体装置のロットの進行管理と各ステーションにおける各種装置の制御が実行される。
【００１３】
補助記憶装置２１は、複写装置１２、書込装置１３を介して主記憶装置１１と接続されている。又、補助記憶装置２１にはＣＰＵ２０が接続され、ＣＰＵ２０にはＲＯＭ２４、表示装置２２、出力装置２３が接続されている。補助記憶装置２１は主記憶装置１１に記憶されている加工条件データを記憶するための装置である。又、ＲＯＭ２４には補正された加工条件データの適否を判定するためのルールを記憶したルール記憶部２４１が形成されている。このルールは、（１）フォトレジスト塗布工程と拡散工程の間には、レジスト除去工程があること、（２）成膜工程の後には膜厚測定工程があること、（３）気相成長工程の前は、ウエハの洗浄工程であること、（４）気相成長工程の成長温度は、 600〜699 °C であること、（５）レジスト除去工程の処理時間は60分であること、（６）気相成長工程の圧力は、20〜29Paであること、（７）メタル工程の後には酸化工程がないことのように、工程順序や各工程における温度、圧力、ガス流量等の制御量の適正範囲を規定したものである。
【００１４】
ＣＰＵ２０は、補助記憶装置２１に記憶されている加工条件データを変更、修正、削除等の補正を行い、又、ルールの適用を行って補正された加工条件データの適否判定を行い、誤りがある場合に表示装置２２に誤り表示を行い、補助記憶装置２１と主記憶装置１１に記憶されているそれぞれの加工条件データを比較して、異なる部分を出力装置２３に出力するためのものである。
【００１５】
次に、本装置の作動をＣＰＵ２０の処理手順を示した図２のフローチャートに基づいて説明する。主記憶装置１１に記憶され、現在、製造ラインの制御に使用されている加工条件データの補正が必要となった場合に、図２の処理が実行される。ステップ１００において、複写装置１２が駆動されて、主記憶装置１１に記憶されている現在の加工条件データが補助記憶装置２１に複写される。次に、ステップ１０２において、複写された補助記憶装置２１上の加工条件データに対して、削除、変更、追加等の補正が行われる。これは、表示装置２２のキーボードを用いて作業者により実行される。この補正の内容は、表示装置２２に表示され確認が可能である。
【００１６】
次に、ステップ１０４において、補正された補助記憶装置２１の加工条件データと主記憶装置１１に記憶されている加工条件データとが比較されて、異なる部分のデータが異なる旨の表示と共に表示装置２２に表示され、出力装置２３に出力される。この補正の内容は、表示装置２２に表示され確認が可能である。次に、ステップ１０６において、上記の加工条件データの変更内容が適正か否かが判定され、適正でない場合には、ステップ１０２に戻り、さらに、加工条件データの補正が実行される。
【００１７】
ステップ１０６で、加工条件データの補正が適正であると判定されると、ステップ１０８で、補助記憶装置２１上に作成された全加工条件データに対して、ＲＯＭ２４のルール記憶部２４１に記憶されている上記のルールが適用され、ルール違反の加工条件データがあるか無いかが判定される。ルール違反の加工条件データが存在する場合には、ステップ１１０でルール不適合部分が表示装置２２に警報と共に表示され、出力装置２３から出力される。この場合には、ステップ１０２に戻り、再度、加工条件データの補正が繰り返される。
【００１８】
全ての加工条件データがルール適合した場合には、ステップ１０８の判定がYes となり、ステップ１１２で、書込装置１３が起動され補助記憶装置２１に作成された加工条件データが主記憶装置１１に書き込まれる。
このように、主記憶装置１１には、ルール適合が適正な場合にのみ、加工条件データが転送されるので、不良品の大量発生または各種装置の故障が発生することが防止される。又、主記憶装置１１上ではデータの補正を行わないので、製造ラインを運転しながら、次の製品のための加工条件データを準備することが可能となる。尚、上記実施例ではＲＯＭ２４としたが、書き込み可能な記憶装置（ハードディスク）でも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の具体的な一実施例に係る加工条件データの変更装置を示した構成図。
【図２】  同実施例装置のＣＰＵの処理手順を示したフローチャート。
【符号の説明】
１０…ＣＰＵ
１１…主記憶装置
２０…ＣＰＵ
２１…補助記憶装置
２４…ＲＯＭ
２４１…ルール記憶部
【図１】
0003978788.tif 000002
【図２】
0003978788.tif 000003