(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板処理装置と、情報蓄積サーバと、前記複数の基板処理装置の障害解析のためのサポートコンピュータと、をネットワークを介して接続した基板処理システムであって、
(a) 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、
(a-1) 基板に所定の処理を行う処理ユニットと、
(a-2) 基板処理装置全体を制御するシステム制御部と、
(a-3) 前記処理ユニットを個別に制御するユニット制御部と、
(a-4) 前記システム制御部および／または前記ユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点で前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して前記情報蓄積サーバに送出するバージョン情報送出部と、
を備え、
(b) 前記情報蓄積サーバは、
(b-1) 前記複数の基板処理装置の前記バージョン情報送出部から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を第１記憶部に登録するバージョン情報登録部と、
(b-2) 前記第１記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記ネットワークを介して前記サポートコンピュータから閲覧可能に公開するバージョン情報公開部と、
(b-3) 前記第１記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認する整合性確認部と、
を備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理システムにおいて、
(b) 前記情報蓄積サーバは、
(b-4) 前記第１記憶部に前記バージョン情報が登録されたときに、新規バージョンの登録を通知する電子メールを前記サポートコンピュータに送信するメール送信部、
をさらに備えることを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理システムにおいて、
前記情報蓄積サーバの前記第１記憶部には、相互に整合性を有するソフトウェアモジュールのバージョン情報を登録した整合性確認テーブルが格納され、
前記整合性確認部は、前記第１記憶部に登録されている各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報のすべてが前記整合性確認テーブルに登録されている場合には整合性有りと判断し、それ以外の場合には整合性無しと判断することを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の基板処理システムにおいて、
(c) 前記サポートコンピュータは、
(c-1) 相互に整合性を有するソフトウェアモジュールのバージョン情報を登録した整合性確認テーブルを格納する第２記憶部、
を備え、
前記整合性確認部は、前記第１記憶部に登録されている各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報のすべてが前記第２記憶部に格納された前記整合性確認テーブルに登録されている場合には整合性有りと判断し、それ以外の場合には整合性無しと判断することを特徴とする基板処理システム。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記整合性確認部が整合性無しと判断したときに、前記メール送信部は前記サポートコンピュータに不整合を通知する電子メールを送信することを特徴とする基板処理システム。
【請求項６】
基板に所定の処理を行う処理ユニットと、装置全体を制御するシステム制御部と、前記処理ユニットを個別に制御するユニット制御部と、を備えた複数の基板処理装置を管理する基板処理装置管理方法であって、
前記システム制御部および／または前記ユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点で前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して前記複数の基板処理装置とネットワークを介して接続された情報蓄積サーバに送出するバージョン情報送出工程と、
前記複数の基板処理装置から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記情報蓄積サーバの記憶部に登録するバージョン情報登録工程と、
前記記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記複数の基板処理装置および前記情報蓄積サーバと前記ネットワークを介して接続されたサポートコンピュータから閲覧可能に公開するバージョン情報公開工程と、
前記記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認する整合性確認工程と、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項７】
請求項６記載の基板処理装置管理方法において、
前記記憶部に前記バージョン情報が登録されたときに、新規バージョンの登録を通知する電子メールを前記情報蓄積サーバから前記サポートコンピュータに送信する登録メール送信工程をさらに備えることを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の基板処理装置管理方法において、
前記整合性確認工程にて整合性無しと判断されたときに、前記情報蓄積サーバから前記サポートコンピュータに不整合を通知する電子メールを送信する警告メール送信工程をさらに備えることを特徴とする基板処理装置管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネットワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板の処理は自動制御がなされており、一般に基板処理装置は装置全体を制御するシステム制御部の他に、各処理ユニットを個別に制御するユニット制御部を備えている。そして、基板処理装置に実装される制御ソフトウェアは、システム制御部およびユニット制御部のそれぞれにインストールされるソフトウェアモジュールによって構成されている。すなわち、システム制御部にインストールされたソフトウェアモジュールによって装置全体を制御するシステム制御系が構築され、各ユニット制御部にインストールされたそれぞれのソフトウェアモジュールによって各処理ユニットを個別に制御するユニット制御系が構築されているのである。
【０００４】
システム制御部およびユニット制御部にインストールされている各ソフトウェアモジュールのそれぞれは固有のバージョンを有している。そして、各ソフトウェアモジュールには計画的にバージョンアップが行われる。また、基板処理装置を設置する工場において、サポートの都合上一時的に特定のソフトウェアモジュールについてのバージョン変更が行われることもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このようなソフトウェアモジュールのバージョン変更を行うときに重要なことは、１つの基板処理装置にインストールされている全てのソフトウェアモジュール間での整合性を保つことである。ソフトウェアモジュール間での整合性が保たれていない場合には、制御系のトラブルに起因して基板処理装置が誤作動をしたり停止したりする。従って、ソフトウェアモジュールの計画的なバージョンアップを行うときには、各ソフトウェアモジュール間での整合性を維持するように計画される。
【０００６】
しかしながら、ソフトウェアモジュールをバージョンアップする時のインストールの操作ミスにより誤ったバージョンのソフトウェアモジュールがインストールされることもある。また、サポート現場において一時的に特定のソフトウェアモジュールについてのバージョン変更を行ったときには、計画されたモジュール構成と異なる場合もある。これらの場合には、必ずしもソフトウェアモジュール間での整合性が保たれていないこともあり、誤作動や停止等の装置の障害が発生するという問題があった。
【０００７】
また、基板処理装置に障害が発生した場合には、装置に実装されているソフトウェアモジュールのバージョン情報を迅速かつ正確に把握しないと、障害の原因解析に予想外の長時間を要するという問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板処理装置にソフトウェアモジュールがインストールされたときの各ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害を未然に防止することができる技術を提供することを目的とする。
【０００９】
また、本発明は、基板処理装置にインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を迅速かつ正確に把握することができる技術を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板処理装置と、情報蓄積サーバと、前記複数の基板処理装置の障害解析のためのサポートコンピュータと、をネットワークを介して接続した基板処理システムにおいて、(a) 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、(a-1) 基板に所定の処理を行う処理ユニットと、(a-2) 基板処理装置全体を制御するシステム制御部と、(a-3) 前記処理ユニットを個別に制御するユニット制御部と、(a-4) 前記システム制御部および／または前記ユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点で前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して前記情報蓄積サーバに送出するバージョン情報送出部と、を備え、(b) 前記情報蓄積サーバは、(b-1) 前記複数の基板処理装置の前記バージョン情報送出部から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を第１記憶部に登録するバージョン情報登録部と、(b-2) 前記第１記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記ネットワークを介して前記サポートコンピュータから閲覧可能に公開するバージョン情報公開部と、(b-3) 前記第１記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認する整合性確認部と、を備えることを特徴としている。
【００１１】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明にかかる基板処理システムにおいて、(b) 前記情報蓄積サーバは、(b-4) 前記第１記憶部に前記バージョン情報が登録されたときに、新規バージョンの登録を通知する電子メールを前記サポートコンピュータに送信するメール送信部、をさらに備えることを特徴としている。
【００１３】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明にかかる基板処理システムにおいて、前記情報蓄積サーバの前記第１記憶部には、相互に整合性を有するソフトウェアモジュールのバージョン情報を登録した整合性確認テーブルが格納され、前記整合性確認部は、前記第１記憶部に登録されている各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報のすべてが前記整合性確認テーブルに登録されている場合には整合性有りと判断し、それ以外の場合には整合性無しと判断することを特徴としている。
【００１４】
また、請求項４の発明は、請求項１または請求項２の発明にかかる基板処理システムにおいて、(c) 前記サポートコンピュータは、(c-1) 相互に整合性を有するソフトウェアモジュールのバージョン情報を登録した整合性確認テーブルを格納する第２記憶部、を備え、前記整合性確認部は、前記第１記憶部に登録されている各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報のすべてが前記第２記憶部に格納された前記整合性確認テーブルに登録されている場合には整合性有りと判断し、それ以外の場合には整合性無しと判断することを特徴としている。
【００１５】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、前記整合性確認部が整合性無しと判断したときに、前記メール送信部は前記サポートコンピュータに不整合を通知する電子メールを送信することを特徴としている。
【００１６】
また、請求項６の発明は、基板に所定の処理を行う処理ユニットと、装置全体を制御するシステム制御部と、前記処理ユニットを個別に制御するユニット制御部と、を備えた複数の基板処理装置を管理する基板処理装置管理方法において、前記システム制御部および／または前記ユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点で前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して前記複数の基板処理装置とネットワークを介して接続された情報蓄積サーバに送出するバージョン情報送出工程と、前記複数の基板処理装置から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記情報蓄積サーバの記憶部に登録するバージョン情報登録工程と、前記記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を前記複数の基板処理装置および前記情報蓄積サーバと前記ネットワークを介して接続されたサポートコンピュータから閲覧可能に公開するバージョン情報公開工程と、前記記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置の前記システム制御部および前記ユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認する整合性確認工程と、を備えることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項７の発明は、請求項６の発明にかかる基板処理装置管理方法において、前記記憶部に前記バージョン情報が登録されたときに、新規バージョンの登録を通知する電子メールを前記情報蓄積サーバから前記サポートコンピュータに送信する登録メール送信工程をさらに備えることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項８の発明は、請求項６または請求項７の発明にかかる基板処理装置管理方法において、前記整合性確認工程にて整合性無しと判断されたときに、前記情報蓄積サーバから前記サポートコンピュータに不整合を通知する電子メールを送信する警告メール送信工程をさらに備えることを特徴としている。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００３１】
＜１．システム全体構成＞
まず、本発明に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１の障害の解析を行う障害解析担当者が配置されるサポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続された構成となっている。
【００３２】
基板処理システム１０においては、基板処理装置１に実装されるソフトウェアモジュールのバージョン情報が情報蓄積サーバ２に蓄積されるようになっており、蓄積されたバージョン情報はネットワーク６を介してサポートコンピュータ３において閲覧することができるようになっている。
【００３３】
基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００３４】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００３５】
＜２．基板処理装置＞
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００３６】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００３７】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフトウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００３８】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００３９】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００４０】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００４１】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用プログラムであるソフトウェアモジュールが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこのソフトウェアモジュールに従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムであるソフトウェアモジュールが記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこのソフトウェアモジュールに従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００４２】
すなわち、基板処理装置１に実装される制御用プログラムはいくつかのソフトウェアモジュールに分割してシステム制御部１００の記憶部１０４またはユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納されているのであり、ソフトウェアモジュールとはそのような基板処理装置１の制御用ソフトウェアの分割体である。
【００４３】
なお、これらのソフトウェアモジュールは、読取装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダウンロードによって取得及び更新することが可能となっている。
【００４４】
＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ＞
次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００４５】
情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバー等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶されたプログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。すなわち、このプログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３としての動作を行うこととなる。
【００４６】
＜４．システムの機能および処理内容＞
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図５は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。また、図６は、基板処理システム１０における処理手順を示すフローチャートである。なお、図５において、バージョン情報送出部１２５はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラム（ソフトウェアモジュール）を実行することによって実現される処理部であり、バージョン情報登録部２３１、メール送信部２３２、整合性確認部２３５および情報公開部２３６は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部であり、メール受信部３１１およびＷＥＢブラウザ３１２はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部である。
【００４７】
まず、図６のステップＳ１にて、基板処理装置１にソフトウェアモジュール１２８のインストールが行われる。上述したように、ソフトウェアモジュール１２８は基板処理装置１の制御用ソフトウェアの分割体であり、基板処理装置１のシステム制御部１００および／またはユニット制御部１１５にインストールされる。より具体的には、ソフトウェアモジュール１２８のインストールは基板処理装置１の読取装置１５０を介して行われ、システム制御部１００にインストールされるソフトウェアモジュール１２８は記憶部１０４に格納され、ユニット制御部１１５にインストールされるソフトウェアモジュール１２８は記憶部１１４に格納される。
【００４８】
ここで、本実施形態におけるソフトウェアモジュール１２８のインストールには、新たにソフトウェアモジュール１２８の導入を行う場合の他、既に実装されているソフトウェアモジュール１２８の更新（バージョンアップ）を行う場合も含まれる。また、ソフトウェアモジュール１２８のインストールは、１台の基板処理装置１に含まれる全てのシステム制御部１００およびユニット制御部１１５に対して一斉に行うようにしても良いし、それらのうちのいずれか（単数または複数）に対して行うようにしても良い。
【００４９】
少なくともシステム制御部１００またはユニット制御部１１５のいずれかにソフトウェアモジュール１２８がインストールされると、バージョン情報送出部１２５がバージョン情報を集約して情報蓄積サーバ２に送出する（ステップＳ２）。すなわち、システム制御部１００にソフトウェアモジュール１２８がインストールされると、バージョン情報送出部１２５は直接インストールを認識する。また、ユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされると、ユニット制御部１１５からの自己申告を受けたバージョン情報送出部１２５がインストールを認識する。そして、ある基板処理装置１において、少なくともシステム制御部１００またはユニット制御部１１５のいずれかにソフトウェアモジュール１２８がインストールされたことを認識したバージョン情報送出部１２５は、その時点で該基板処理装置１に含まれるシステム制御部１００および全てのユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して、情報蓄積サーバ２のバージョン情報登録部２３１に送出するのである。
【００５０】
送出を受けたバージョン情報登録部２３１は、上記の基板処理装置１に含まれるシステム制御部１００および全てのユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を固定ディスク２４に登録する（ステップＳ３）。固定ディスク２４内では基板処理装置１のそれぞれについてのバージョン情報がバージョン管理テーブル２４１として格納される。
【００５１】
図７は、バージョン管理テーブル２４１の一例を示す図である。同図において、「装置」は各基板処理装置１に付与された識別番号を示し、「システムバージョン」は基板処理装置１が実装するシステム全体のバージョンを示し、「インストール日時」は少なくともシステム制御部１００またはユニット制御部１１５のいずれかにソフトウェアモジュール１２８がインストールされた日時を示している。また、「カテゴリー」はインストールされているソフトウェアモジュール１２８の種別を示し、「バージョン区分」はインストールされているソフトウェアモジュール１２８が標準仕様のものであるか特注仕様のものであるかを示し、「バージョン」はインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を示している。
【００５２】
図７に示すように、バージョン管理テーブル２４１には、基板処理工場４に配置された基板処理装置１ごとにバージョン情報が登録されている。例えば、装置番号”８１０１”の基板処理装置１については、システムバージョン”１．００”として２００１年４月１２日にソフトウェアモジュール１２８のインストールが行われたことが記録されている。そして、装置番号”８１０１”の基板処理装置１のシステム制御部１００にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”システム制御”）のバージョン情報として該ソフトウェアモジュール１２８のバージョンが”１．０．０．１”であることが登録されている。さらに、該ソフトウェアモジュール１２８のバージョン区分が”標準”であることも登録されている。
【００５３】
また、装置番号”８１０１”の基板処理装置１のユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”スピン制御”、”薬液制御”等）のバージョン情報として該ソフトウェアモジュール１２８のバージョンがそれぞれ”１．１．０．１”、”１．０．０．３”であることが登録されている。さらに、該ソフトウェアモジュール１２８のバージョン区分が”標準”、”特注Ｅ”であることも登録されている。
【００５４】
同様に、装置番号”８１００”の基板処理装置１については、システムバージョン”１．００”として２００１年４月１２日にソフトウェアモジュール１２８のインストールが行われたことが記録されるとともに、その後システムバージョン”１．１０”として２００１年４月２０日にソフトウェアモジュール１２８のインストールが行われたことが記録されている。すなわち、バージョン管理テーブル２４１には、その時点での基板処理装置１ごとバージョン情報のみならず、過去のバージョン履歴も記録されているのである。換言すれば、本実施形態の固定ディスク２４は、システム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を蓄積するバージョン情報蓄積手段として機能しているのである。
【００５５】
図７に示す如きバージョン管理テーブル２４１は、基板処理装置１にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、その時点でのシステム制御部１００および全てのユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を蓄積した結果として構築されるものである。例えば、装置番号”８１０１”の基板処理装置１について２００１年４月１２日に、薬液制御のための新たなソフトウェアモジュール（バージョン”１．０．０．３”）がユニット制御部１１５にインストールされたとすると、４月１２日時点で装置番号”８１０１”の基板処理装置１に含まれるシステム制御部１００および全てのユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報が固定ディスク２４に蓄積されて図７に示す如きバージョン管理テーブル２４１が構築される。
【００５６】
一方、バージョン情報登録部２３１は、ソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を固定ディスク２４に登録するとともに、その登録した旨をメール送信部２３２に伝達する。ソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を固定ディスク２４に登録したことを認識したメール送信部２３２は、新規バージョンの登録があったことを記載した電子メールをサポートセンター５のサポートコンピュータ３にネットワーク６を経由して送信する（図６のステップＳ４）。サポートコンピュータ３のメール受信部３１１が新規バージョン登録に関する電子メールを受信することにより、サポートセンター５にいる担当者は基板処理装置１にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたことをサポートコンピュータ３から知ることができる。
【００５７】
次に、図６のステップＳ５に進み、情報蓄積サーバ２の整合性確認部２３５が新たにインストールされたソフトウェアモジュール１２８の整合性チェックを行う。より正確には、システム制御部１００またはユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、固定ディスク２４に蓄積されたシステム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を参照して、その時点（インストール直後）でシステム制御部１００およびユニット制御部１１５のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュール１２８の相互の整合性を整合性確認部２３５が確認するのである。ソフトウェアモジュール１２８の一部更新が行われた場合には、当該インストールされたソフトウェアモジュール１２８とシステム制御部１００およびユニット制御部１１５に既にインストール済のソフトウェアモジュール１２８との相互の整合性を整合性確認部２３５が確認することとなる。この確認手法についてさらに具体的に説明する。
【００５８】
ある基板処理装置１のシステム制御部１００またはユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、その時点（インストール直後）でのシステム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報については整合性確認部２３５がバージョン管理テーブル２４１を参照することによって認識することができる。例えば、装置番号”８１０１”の基板処理装置１のユニット制御部１１５にカテゴリー”薬液制御”のための新たなソフトウェアモジュール（バージョン”１．０．０．３”）がインストールされたとすると、整合性確認部２３５は図７のバージョン管理テーブル２４１を参照することによって、その時点でシステム制御部１００にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”システム制御”）のバージョン情報がバージョン”１．０．０．１”であることを認識し、ユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”スピン制御”、”薬液制御”等）のバージョン情報がそれぞれバージョン”１．１．０．１”、バージョン”１．０．０．３”等であることを認識することができる。
【００５９】
また、情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４には、確認テーブル２４２が格納されている。図８は、確認テーブル２４２の一例を示す図である。同図において、「システムバージョン」、「カテゴリー」、「バージョン区分」、「バージョン」の意味については図７にて説明したのと同じである。また、「リリース情報」は、各システムバージョンについてのコメント文である。確認テーブル２４２はシステムバージョンごとに用意されており、図８ではシステムバージョン”１．００”についての確認テーブル２４２を示している。
【００６０】
確認テーブル２４２は、相互に整合性を有するソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を登録した整合性確認テーブルであり、固定ディスク２４はそのような整合性確認テーブルを保持するテーブル保持手段としても機能している。図８の確認テーブル２４２によれば、システムバージョン”１．００”において、カテゴリー”システム制御”のソフトウェアモジュール１２８（バージョン”１．０．０．１”）についてはカテゴリー”スピン制御”のソフトウェアモジュール１２８（バージョン”１．１．０．１”、”１．１．０．２”）およびカテゴリー”薬液制御”のソフトウェアモジュール１２８（バージョン”１．０．０．３”）等が相互に整合性を有していることが確認される。同時に、それらはカテゴリー”システム制御”のソフトウェアモジュール１２８（バージョン”１．０．０．２”）に対しても相互に整合性を有している。すなわち、ある基板処理装置１のシステム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報のすべてが確認テーブル２４２に登録されていれば、それらは相互に整合性を有することとなるのである。
【００６１】
なお、このような確認テーブル２４２は基板処理装置１のメーカー側が作成して配布するものであり、本実施形態ではサポートセンター５のサポートコンピュータ３からネットワーク６を経由して基板処理工場４の情報蓄積サーバ２に配信される。
【００６２】
整合性確認部２３５は、ある基板処理装置１のシステム制御部１００またはユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、バージョン管理テーブル２４１を参照することによって認識したシステム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報の全てが図８の如き確認テーブル２４２に登録されているか否かを確認する。その結果、システム制御部１００およびユニット制御部１１５のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報の全てが確認テーブル２４２に登録されている場合は整合性有りと判断し、１つでも確認テーブル２４２に登録されていない場合は整合性無しと判断する（図６のステップＳ６）。
【００６３】
例えば、上述した装置番号”８１０１”の基板処理装置１のユニット制御部１１５にカテゴリー”薬液制御”のための新たなソフトウェアモジュール（バージョン”１．０．０．３”）がインストールされた例では、該基板処理装置１のシステム制御部１００にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”システム制御”）のバージョン情報がバージョン”１．０．０．１”であり、ユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”スピン制御”、”薬液制御”等）のバージョン情報がそれぞれバージョン”１．１．０．１”、バージョン”１．０．０．３”等である（図７）。これらのバージョン情報は全て図８の確認テーブル２４２（システムバージョン”１．００”）に登録されているため、整合性確認部２３５は新たにインストールされたソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”薬液制御”、バージョン”１．０．０．３”）がシステム制御部１００またはユニット制御部１１５に既にインストール済のソフトウェアモジュール１２８と整合すると判断する。
【００６４】
上記の例の如く、整合性有りと判断された場合には、新たなソフトウェアモジュール１２８のインストールに伴う一連の処理は終了する。一方、整合性確認部２３５が整合性無しと判断する場合もある。
【００６５】
例えば、装置番号”８１０１”の基板処理装置１のユニット制御部１１５にカテゴリー”薬液制御”のための新たなソフトウェアモジュール（バージョン区分”特注Ｆ”、バージョン”１．０．０．４”）がインストールされたとする。このときには、上記と同様に、インストール時点で装置番号”８１０１”の基板処理装置１に含まれるシステム制御部１００および全てのユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報が固定ディスク２４に蓄積されて図９に示す如きバージョン管理テーブル２４１が構築される。
【００６６】
この場合、整合性確認部２３５は図９のバージョン管理テーブル２４１を参照することによって、システム制御部１００にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”システム制御”）のバージョン情報がバージョン”１．０．０．１”であることを認識し、ユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”スピン制御”、”薬液制御”等）のバージョン情報がそれぞれバージョン”１．１．０．１”、バージョン”１．０．０．４”等であることを認識する。そして、整合性確認部２３５は、これらのバージョン情報のうちユニット制御部１１５にインストールされているソフトウェアモジュール１２８（カテゴリー”薬液制御”）のバージョン”１．０．０．４”が図８の確認テーブル２４２（システムバージョン”１．００”）に登録されていないため、新たにインストールされたソフトウェアモジュール１２８がシステム制御部１００またはユニット制御部１１５に既にインストール済のソフトウェアモジュール１２８と整合しないと判断する。
【００６７】
このように、整合性確認部２３５が整合性無しと判断した場合には、メール送信部２３２にその旨を伝達し、不整合通知を記載した電子メールをサポートセンター５のサポートコンピュータ３にネットワーク６を経由して送信する（図６のステップＳ７）。サポートコンピュータ３のメール受信部３１１が不整合通知を記載した電子メールを受信することにより、サポートセンター５にいる担当者は基板処理装置１にインストールされたソフトウェアモジュール１２８が整合していないことを認識する。
【００６８】
この場合、サポートセンター５の担当者はＷＥＢブラウザ３１２を使用してバージョン情報の確認を行う（図６のステップＳ８）。すなわち、情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に蓄積されているバージョン管理テーブル２４１は、情報公開部２３６によってネットワーク６を介して閲覧可能に公開されている。サポートセンター５の担当者はＷＥＢブラウザ３１２を使用して固定ディスク２４に蓄積されているバージョン管理テーブル２４１を閲覧し、基板処理装置１にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を確認するのである。そして、サポートセンター５の担当者は整合していないソフトウェアモジュール１２８を見つけ出し、それを基板処理工場４のオペレータやフィールドサポートの担当者に電子メール等によって連絡し、不整合を解消するようにする。
【００６９】
以上のようにすれば、ある基板処理装置１のシステム制御部１００またはユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、その時点でシステム制御部１００およびユニット制御部１１５のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認するようにしているため、ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害（基板処理装置１の誤作動や停止等）を未然に防止することができる。また、一部のソフトウェアモジュール１２８が更新されたときには、その新たにインストールされたソフトウェアモジュール１２８とシステム制御部１００およびユニット制御部１１５に既にインストール済のソフトウェアモジュール１２８との整合性を確認することとなるため、ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害を未然に防止することができる。
【００７０】
また、ソフトウェアモジュール１２８の整合性の有無に関わらず、ある基板処理装置１に含まれるシステム制御部１００およびユニット制御部１１５にインストールされている全てのソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報をバージョン管理テーブル２４１として蓄積し、それをネットワーク６を介して閲覧可能に公開しているため、サポートセンター５側から基板処理装置１にインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を迅速かつ正確に把握することができ、障害発生時にも効率良く原因解析を行うことができる。
【００７１】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるようになっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワーク６に接続されて基板処理装置１及びサポートコンピュータ３と通信可能になっていればどこに配置されていても良い。
【００７２】
また、上記実施形態においては、確認テーブル２４２をサポートコンピュータ３から配信して情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に格納するようにしていたが、確認テーブル２４２はサポートコンピュータ３の固定ディスク３４に格納するようにしておいても良い。図１０は、確認テーブル２４２をサポートコンピュータ３の固定ディスク３４に格納したときの基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。この場合、基板処理装置１のメーカー側は作成した確認テーブル２４２を配布するのではなく、サポートコンピュータ３の固定ディスク３４に格納し、ネットワーク６を介して閲覧可能に公開する。情報蓄積サーバ２の整合性確認部２３５は、ネットワーク６経由にて確認テーブル２４２を参照しつつ、上述したソフトウェアモジュール１２８の整合性チェックを行う。なお、これ以外の点については上記実施形態と同じである。このようにしても、上記実施形態と同じ効果を得ることができる。
【００７３】
また、情報蓄積サーバ２による処理機能を基板処理装置１に持たせてもよい。図１１は、情報蓄積サーバ２による処理機能を基板処理装置１に持たせたときの基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。また、図１１において、バージョン情報送出部１２５、バージョン情報登録部１３１、メール送信部１３２、整合性確認部１３５および情報公開部１３６はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラム（ソフトウェアモジュール）を実行することによって実現される処理部である。
【００７４】
図１１のようにした場合は、システム制御部１００の記憶部１０４にソフトウェアモジュール１２８の他にバージョン管理テーブル２４１および確認テーブル２４２が格納されることとなる。そして、システム制御部１００のバージョン情報登録部１３１、メール送信部１３２、整合性確認部１３５および情報公開部１３６は、それぞれ上記実施形態の情報蓄積サーバ２のバージョン情報登録部２３１、メール送信部２３２、整合性確認部２３５および情報公開部２３６と同様の機能を有し、同様の処理を行う。このようにしても、上記実施形態と同じ効果を得ることができる。
【００７５】
すなわち、本発明に係る技術内容を集約すると、ある基板処理装置１のシステム制御部１００またはユニット制御部１１５にソフトウェアモジュール１２８がインストールされたときに、その時点（インストール直後）でのシステム制御部１００およびユニット制御部１１５のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を蓄積してバージョン管理テーブル２４１を構築するとともに、相互に整合性を有するソフトウェアモジュール１２８のバージョン情報を登録した確認テーブル２４２を参照しつつバージョン管理テーブル２４１からシステム制御部１００およびユニット制御部１１５のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュール１２８の相互間の整合性を確認するような形態であれば、各処理を基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のいずれにおいて行っても良い。また、整合性の確認作業自体は、新規バージョン登録の通知を電子メールにて知ったサポートセンター５の担当者が行うようにしても良い。
【００７６】
さらに、上記実施形態の基板処理装置１は、基板にレジストの塗布処理および現像処理を行うものであっったが、これに限定されるものではなく、例えば光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、基板を回転させつつパーティクルを除去する洗浄処理を行う洗浄処理装置や、フッ酸等の処理液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処理を行う基板処理装置であればどのようなものであっても本発明に係る技術を適用することが可能である。
【００７７】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１から請求項５の発明によれば、システム制御部および／またはユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点でシステム制御部およびユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して情報蓄積サーバに送出し、情報蓄積サーバ側では、複数の基板処理装置から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を第１記憶部に登録するとともに、その登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報をネットワークを介してサポートコンピュータから閲覧可能に公開しているため、基板処理装置にインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報をサポートコンピュータから迅速かつ正確に把握することができ、障害発生時にも効率良く原因解析を行うことができる。また、第１記憶部に登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置のシステム制御部およびユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認するため、基板処理装置にソフトウェアモジュールがインストールされたときの各ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害を未然に防止することができる。
【００７９】
また、請求項６から請求項８の発明によれば、システム制御部および／またはユニット制御部にソフトウェアモジュールがインストールされたときに、その時点でシステム制御部およびユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報を集約して複数の基板処理装置とネットワークを介して接続された情報蓄積サーバに送出し、複数の基板処理装置から送出されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を情報蓄積サーバの記憶部に登録するとともに、その登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を複数の基板処理装置および情報蓄積サーバとネットワークを介して接続されたサポートコンピュータから閲覧可能に公開しているため、基板処理装置にインストールされているソフトウェアモジュールのバージョン情報をサポートコンピュータから迅速かつ正確に把握することができ、障害発生時にも効率良く原因解析を行うことができる。また、登録されたソフトウェアモジュールのバージョン情報を参照して、各基板処理装置のシステム制御部およびユニット制御部のそれぞれにインストールされているソフトウェアモジュールの相互の整合性を確認するため、基板処理装置にソフトウェアモジュールがインストールされたときの各ソフトウェアモジュール間の不整合に起因した障害を未然に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の基板処理システムを構成する基板処理装置の概略平面図である。
【図３】図２の基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】図１の基板処理システムの機能構成の一例を示す機能ブロック図である。
【図６】図１の基板処理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。
【図７】バージョン管理テーブルの一例を示す図である。
【図８】確認テーブルの一例を示す図である。
【図９】バージョン管理テーブルの他の例を示す図である。
【図１０】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【図１１】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
２  情報蓄積サーバ
３  サポートコンピュータ
４  基板処理工場
５  サポートセンター
６  ネットワーク
１０  基板処理システム
２４，３４  固定ディスク
９１  記録媒体
１００  システム制御部
１０４，１１４  記憶部
１１５  ユニット制御部
１２８  ソフトウェアモジュール
１３１，２３１  バージョン情報登録部
１３１，２３２  メール送信部
１３５，２３５  整合性確認部
１３６，２３６  情報公開部
２４１  バージョン管理テーブル
２４２  確認テーブル
３１１  メール受信部
３１２  ＷＥＢブラウザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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