(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
バックテンション装置とドライブ装置の間を通過する際に、ドライブ装置の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送が停止されるとともに、
前記バックテンション装置の逆転力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープが所定の位置に位置決めされるように構成されるとともに、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するように構成され、
前記位置決めされた状態で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの所定の処理を行うように構成された電子部品実装用フィルムキャリアテープの処理装置における電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置であって、
前記ドライブ装置、バックテンション装置のうち、少なくともいずれかが、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成され、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成された前記ドライブ装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送する一対のドライブロールと押さえロールとから構成され、前記ドライブロールの軸心と、押さえロールの軸心とが、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設され、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成された前記バックテンション装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与する、一対のバックテンションロールと押さえロールとから構成され、前記バックテンションロールの軸心と、押さえロールの軸心とが、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設されていることを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項２】
前記バックテンション装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するダンサーロールと、バックテンションロールおよび押さえロールとから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項３】
前記バックテンションロールに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅端を案内する鍔部が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項４】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールを検出して、停止・位置決めを制御する停止・位置決め制御装置を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項５】
前記停止・位置決め制御装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールの数をカウントするカウントセンサーと、スプロケットホールの位置を検出する停止センサーとから構成されることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項６】
前記停止・位置決め制御装置が、カウントセンサーのカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向後端位置よりも、後方の位置とするように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項７】
前記押さえロールが、ゴムロールから構成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項８】
前記ドライブロール、ダンサーロール、またはバックテンションロールが、合成樹脂ロールから構成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置。
【請求項９】
バックテンション装置とドライブ装置の間を通過する際に、ドライブ装置の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送が停止されるとともに、
前記バックテンション装置の逆転力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープが所定の位置に位置決めされるように構成されるとともに、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するように構成され、
前記位置決めされた状態で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの所定の処理を行うように構成された電子部品実装用フィルムキャリアテープの処理装置における電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法であって、
前記ドライブ装置、バックテンション装置のうち、少なくともいずれかが、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送する前記ドライブ装置は、互いの軸心が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設された一対のドライブロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送する前記バックテンション装置は、互いの軸心が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設された一対のバックテンションロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１０】
前記バックテンション装置において、ダンサーロールと、バックテンションロールおよび押さえロールとによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することを特徴とする請求項９に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１１】
前記バックテンションロールに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅端を案内する鍔部が形成されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１２】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールを検出するように、停止・位置決め制御されることを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１３】
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、カウントセンサーによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールの数をカウントするとともに、停止センサーによって、スプロケットホールの位置を検出するように、停止・位置決め制御されることを特徴とする請求項１２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１４】
前記停止・位置決め制御の際に、カウントセンサーのカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向後端位置よりも、後方の位置とするように構成されていることを特徴とする請求項１３に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１５】
前記押さえロールが、ゴムロールから構成されていることを特徴とする請求項９から１４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【請求項１６】
前記ドライブロール、ダンサーロール、またはバックテンションロールが、合成樹脂ロールから構成されていることを特徴とする請求項９から１５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）に対して、所定の処理、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの処理を実施する際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送し、所定位置に停止することのできる電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置および搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、昨今の電子機器は、例えば携帯電話に代表されるように電子機器の小型軽量化、高機能化、高信頼性、低価格化などが要望されている。
【０００３】
このような電子機器の小型軽量化などの特性を実現するための電子部品実装方法として、ＴＡＢテープのような電子部品実装用フィルムキャリアテープにデバイスを実装するのが好適である。
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープは、ポリイミドなどの絶縁フィルムに銅箔などの導電性金属箔を貼着し、この導電性金属箔表面に感光性樹脂を塗布して所望の配線パターンに露光し現像した後、この感光した樹脂をマスキング材として導電性金属箔をエッチングして所定の配線パターンを形成することにより製造されている。
【０００４】
このような従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、絶縁フィルムの厚さが７５μｍ程度であり、導電性金属箔の厚さが３５μｍ程度であり、さらに両者を接着するための接着剤層の厚さが２０μｍ程度であり、このような構造を有する電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、全体の厚さが、１００〜１５０μｍの厚さを有しているのが一般的である。
【０００５】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープには、絶縁フィルムの長手方向の両端部に多数のスプロケットホールが形成されており、このスプロケットホールを用いて絶縁フィルムを搬送させて連続的に製造される。そして、電子部品実装用フィルムキャリアテープにおいては、このスプロケットホールは、テープを搬送すると同時にμｍ単位で位置決めをするなど、非常に重要な役割を果たしている。
【０００６】
すなわち、図７に示したように、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの処理装置１００では、その搬送方法として、バックテンションギア１０２とドライブギア１０４の間を、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴが通過する際に、ドライブギア１０２の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの送給が停止されるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴのスプロケットホールに係合するバックテンションギア1０２の逆転力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴが所定の位置に位置決めされるように構成されている。そして、このように位置決めされた状態で、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴに対して、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの所定の処理を行うように構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、最近の電子機器の小型軽量化においては、さらに電子部品実装用フィルムキャリアテープを薄く、軽量にすることが要求されている。さらに、カラー液晶デイスプレーなどの普及に伴い電子部品実装用フィルムキャリアテープにあっては、さらにファインピッチ化が急速に進行しつつある。従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープは、このような電子部品の小型軽量化およびテープのファインピッチ化に対応できなくなりつつある。
【０００８】
このような状況下、絶縁フィルム、接着剤層および導電性金属箔から形成される電子部品実装用フィルムキャリアテープとは別に、ＣＯＦ（チップオンフィルム（Chip On Film））と呼ばれる樹脂フィルムと導電性金属箔とからなる２層テープで、デバイスホールがなくＩＣが実装されるタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープが普及しつつあり、このような２層テープでは、４０〜２５μｍ厚の電子部品実装用フィルムキャリアテープも製造可能になりつつある。
【０００９】
ところが、上記のように電子部品実装用フォルムキャリアテープが次第に薄くなるにしたがって、上記スプロケットホールが形成されている絶縁フィルムの厚さも薄くなってきている。例えば、上記の２層テープでは、絶縁フィルムの厚さが１８μｍよりもさらに薄くなりつつあり、このような絶縁フィルムは、従来の電子部品実装用フォルムキャリアテープの絶縁フィルムの１／４程度になってきている。
【００１０】
このため、このような薄い絶縁フィルムにスプロケットホールを形成してテープを搬送して電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造しようとしても、このスプロケットホール近傍の機械的強度が不充分であり、この部分の破断、変形が大きくなり、安定して電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することができず、製造される電子部品実装用フィルムキャリアテープに形成される配線パターンの精度を高くすることが極めて困難である。
【００１１】
また、このようなスプロケットホール部分の破断、変形を防止するために、搬送速度を通常より遅くして、搬送しているのが現状であり、生産性が低くなり、コストも高くなっている。
本発明は、このような現状に鑑み、電子部品実装用フィルムキャリアテープを搬送する際に、従来のようにスプロケットホールにバックテンションギア、ドライブギアなどのギアを使用することなく、極薄な電子部品実装用フィルムキャリアテープであっても、高速で且つ精度良く搬送できるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの所定の処理を行うために、搬送、停止、位置決めを極めて正確に行うことが可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置は、バックテンション装置とドライブ装置の間を通過する際に、ドライブ装置の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送が停止されるとともに、
前記バックテンション装置の逆転力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープが所定の位置に位置決めされるように構成されるとともに、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するように構成され、
前記位置決めされた状態で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの所定の処理を行うように構成された電子部品実装用フィルムキャリアテープの処理装置における電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置であって、
前記ドライブ装置、バックテンション装置のうち、少なくともいずれかが、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成され、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成された前記ドライブ装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送する一対のドライブロールと押さえロールとから構成され、前記ドライブロールの軸心と、押さえロールの軸心とが、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設され、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するように構成された前記バックテンション装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与する、一対のバックテンションロールと押さえロールとから構成され、前記バックテンションロールの軸心と、押さえロールの軸心とが、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法は、バックテンション装置とドライブ装置の間を通過する際に、ドライブ装置の駆動が一時停止されて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送が停止されるとともに、
前記バックテンション装置の逆転力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープが所定の位置に位置決めされるように構成されるとともに、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するように構成され、
前記位置決めされた状態で、電子部品実装用フィルムキャリアテープの所定の処理を行うように構成された電子部品実装用フィルムキャリアテープの処理装置における電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法であって、
前記ドライブ装置、バックテンション装置のうち、少なくともいずれかが、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送する前記ドライブ装置は、互いの軸心が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設された一対のドライブロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送し、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送する前記バックテンション装置は、互いの軸心が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設された一対のバックテンションロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することを特徴とする。
【００１４】
このように構成することによって、ドライブ装置、バックテンション装置のうち、少なくともいずれかが、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するので、従来のようにスプロケットホールにバックテンションギア、ドライブギアなどのギアを使用することがないので、ＣＯＦのような極薄な電子部品実装用フィルムキャリアテープであっても、スプロケットホール部分の破断、変形が生じることがない。
【００１５】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープを、高速で且つ精度良く搬送できるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの所定の処理を行うために、搬送、停止、位置決めを極めて正確に行うことが可能である。
これによって、安定して電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することができ、製造される電子部品実装用フィルムキャリアテープに形成される配線パターンの精度を高くすることができる。
【００１７】
また、ドライブ装置において、一対のドライブロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送するので、従来のようにスプロケットホールにドライブギアなどのギアを使用することがないので、ＣＯＦのような極薄な電子部品実装用フィルムキャリアテープであっても、スプロケットホール部分の破断、変形が生じることがない。
【００１８】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープを、高速で且つ精度良く搬送できるとともに、停止、位置決めを極めて正確に行うことが可能である。
【００２０】
また、バックテンション装置において、一対のバックテンションロールと押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープを所定の位置に正確に位置決めでき、しかも、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することができる。
さらに、ドライブ装置におけるドライブロールの軸心と押さえロールの軸心、あるいは、バックテンション装置におけるバックテンションロールの軸心と押さえロールの軸心が、電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設されているので、搬送時に、電子部品実装用フィルムキャリアテープがこれらのロールの間に巻き付けられることになり、確実な搬送が確保される。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置は、前記バックテンション装置が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与するダンサーロールと、バックテンションロールおよび押さえロールとから構成されていることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法は、前記バックテンション装置において、ダンサーロールと、バックテンションロールおよび押さえロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することを特徴とする。
このように構成することによって、ダンサーロールによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを所定の位置に正確に位置決めでき、しかも、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して所定のバックテンションを付与することができるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープが蛇行するのを防止することができ、その停止、位置決めを正確に行うことができる。
【００２２】
また、本発明では、前記バックテンションロールに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅端を案内する鍔部が形成されていることを特徴とする。
このようにバックテンションロールに、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅端を案内する鍔部が形成されているので、電子部品実装用フィルムキャリアテープが蛇行するのを防止することができ、その停止、位置決めを正確に行うことができる。
【００２３】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールを検出して、停止・位置決めを制御する停止・位置決め制御装置を備えることを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、
電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールを検出するように、停止・位置決め制御されることを特徴とする。
【００２５】
このように構成することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールを検出して、停止・位置決めを制御するので、正確な停止、位置決め精度を得ることができる。また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールの数をカウントするカウントセンサーと、スプロケットホールの位置を検出する停止センサーとから構成される停止・位置決め制御装置を備えることを特徴とする。
【００２６】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの停止、位置決めの際に、
カウントセンサーによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールの数をカウントするとともに、
停止センサーによって、スプロケットホールの位置を検出するように、停止・位置決め制御されることを特徴とする。
【００２７】
このように構成することによって、スプロケットホールのカウントミスを防止でき、正確な位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを停止、位置決めすることができる。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置は、前記停止・位置決め制御装置が、カウントセンサーのカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向後端位置よりも、後方の位置とするように構成されていることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送方法は、前記停止・位置決め制御の際に、カウントセンサーのカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向後端位置よりも、後方の位置とするように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、スプロケットホールのカウントミスをより防止でき、正確な位置に電子部品実装用フィルムキャリアテープを停止、位置決めすることができる。
【００２９】
また、本発明では、前記押さえロールが、ゴムロールから構成されていることを特徴とする。
これにより、ドライブロール、バックテンションロールとの間で、摩擦力によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを挟持して搬送する際に、搬送が良好であり、搬送精度が高くなる。
【００３０】
また、本発明では、前記ドライブロール、ダンサーロール、またはバックテンションロールが、合成樹脂ロールから構成されていることを特徴とする。これによって、ロールが軽量であり、しかも磨耗損傷が少なく、ロール慣性力を小さくでき、搬送、停止、位置決めを正確に行うことができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置の第１の実施例の概略図、図２は、図１の搬送装置の搬送制御の方法を示す概略図、図３は、図１の搬送装置の搬送パターンを示すグラフ、図４は、バックテンションロールの断面図である。
【００３２】
図１において、１０は、全体で、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置（以下、単に「搬送装置」と言う）を示している。
搬送装置１０は、図１に示したように、図示しないリールに巻装された送り出し装置から、例えば、ＣＯＦ、ＣＳＰ、ＢＧＡのようなタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープ（以下、単に「ＴＡＢテープと言う」）Ｔが、案内ロール１２、ＴＡＢテープＴにテンション（張力）を付加する送り出し用ダンサーロール１４、案内ロール１６、バックテンションロール１８を介して、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの所定の処理を行う処理部２０に搬送供給されるようになっている。
【００３３】
この処理部２０に供給されたＴＡＢテープＴは、バックテンションロール１８とドライブ装置２２との間を通過する際に、ドライブ装置２２の駆動が一時停止されて、ＴＡＢテープＴの送給が停止されるとともに、バックテンションロール１８の逆転によって、ＴＡＢテープＴに対して一定のバックテンション（張力）が付与されて、ＴＡＢテープＴが正確に所定の位置に位置決めされるようになっている。
【００３４】
このように、処理部２０において、所定の処理がなされたＴＡＢテープＴは、案内ロール２４、ＴＡＢテープＴに対して一定のテンションを付加する巻き取り用ダンサーロール２６を介して、図示しないリールなどの巻き取り装置に巻き取られるようになっている。
なお、図示しないが、送り出し用ダンサーロール１４、巻き取り用ダンサーロール２６の位置をセンサーで制御することによって、ＴＡＢテープＴに対して、ダンサーロールの重力によって、常に一定のテンションが付加されるようになっている。
【００３５】
また、このように送り出し用ダンサーロール１４、巻き取り用ダンサーロール２６を用いて、ＴＡＢテープＴに対して、ダンサーロールの重力によって、常に一定のテンションが付加することによって、ＴＡＢテープＴが蛇行するのを防止することができ、その停止、位置決めを正確に行うことができるようになっている。
【００３６】
この場合、ドライブ装置２２は、図１に示したように、ＴＡＢテープＴを挟持して搬送する一対のドライブロール２８と押さえロール３０とから構成されている。
ドライブロール２８としては、ゴム製のロールとするのが、押さえロール３０との間で、摩擦力によって、ＴＡＢテープＴを挟持して搬送する際に、搬送が良好であり、搬送精度を高くするためには好ましい。このようなゴムとしては、特に限定されるものではないが、高硬度のシリコンゴムから構成するのが、加工性が良く、製作の精度が良好であり、湿式設備にも使用でき、劣化しにくく、表面の摩擦係数の経年変化が少なく、温度、湿度に対して許容範囲が広いために好ましい。
【００３７】
しかしながら、ドライブロール２８としてロールが軽量であり、しかも磨耗損傷が少なく、ロール慣性力を小さくできるなどを考慮すれば、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステルなどの合成樹脂製としてもよく、特に限定されるものでない。
また、押さえロール３０としては、ロールが軽量であり、しかも磨耗損傷が少なく、ロール慣性力を小さくできるなどを考慮すれば、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステルなどの合成樹脂製とするのが好ましく、特に限定されるものでない。
【００３８】
また、このドライブロール２８と押さえロール３０は、図６に示したように、ドライブロール２８の軸心Ｐ１と、押さえロール３０の軸心Ｐ２とを、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの搬送方向に偏位するとともに、相互に接近する方向に偏位した位置に配設するのが望ましい。
このようにドライブロール２８と押さえロール３０を配設することによって、図６に示したように、搬送時に電子部品実装用フィルムキャリアテープＴが、これらのドライブロール２８と押さえロール３０との間に巻き付けられることになり確実な搬送が確保されることになる。
【００３９】
その結果、たとえ、ドライブロールのゴムが劣化したり、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの側部が波打った状態になった際にも、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの搬送が確実に行われることになる。
この場合、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの巻き付け角を確保するためには、ドライブロール２８の軸心Ｐ１と、押さえロール３０の軸心Ｐ２とを、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの搬送方向に、角度θ偏位させればよい。この角度θとしては、５°〜１５°程度とするのが望ましいが、ドライブロール２８と、押さえロール３０の径によって適宜選択すればよく、特に限定されるものではない。
【００４０】
すなわち、角度θは、大きくなるほど保持力が大きくなるが、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴを損傷しやすくなる。従って、（径が小さくなるほど、）電子部品実装用フィルムキャリアテープＴを傷つけないで、保持力を保持できる角度を選択する必要がある。
以上のことは、図示しないが、バックテンションロール１８も、ドライブロール２８との間においても同様に適用することが可能である。
【００４１】
一方、バックテンションロール１８も、ドライブロール２８と同様に、ゴム製のロールとするのが、押さえロール３０との間で、摩擦力によって、ＴＡＢテープＴを挟持して搬送する際に、搬送が良好であり、搬送精度を高くするためには好ましい。このようなゴムとしては、特に限定されるものではないが、高硬度のシリコンゴムから構成するのが、加工性が良く、製作の精度が良好であり、湿式設備にも使用でき、劣化しにくく、表面の摩擦係数の経年変化が少なく、温度、湿度に対して許容範囲が広いために好ましい。
【００４２】
しかしながら、バックテンションロール１８も、ロールが軽量であり、しかも磨耗損傷が少なく、ロール慣性力を小さくできるなどを考慮すれば、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステルなどの合成樹脂製としてもよく、特に限定されるものでない。
また、バックテンションロール１８には、図４に示したように、ＴＡＢテープＴの幅端Ｔ１を案内する鍔部１８ａ、１８ａが形成されているのが好ましい。これによって、ＴＡＢテープＴが蛇行するのを防止することができ、その停止、位置決めを正確に行うことができる。
【００４３】
また、搬送装置１０には、ＴＡＢテープＴの停止、位置決めの際に、ＴＡＢテープＴに長手方向に所定間隔離間して穿設されているスプロケットホールＳを検出して、停止・位置決めを制御する停止・位置決め制御装置３２を備えている。この停止・位置決め制御装置３２は、図２に示したように、ＴＡＢテープＴのスプロケットホールＳの数をカウントするカウントセンサー３４と、スプロケットホールの位置を検出する停止センサー３６とを備えている。
【００４４】
このようなカウントセンサー３４、停止センサー３６として、本発明では、反射型のファイバーセンサーを用いている。
このような反射型のファイバーセンサーは、図示しないが、投光部と受光部とから構成されており、ファイバーセンサー自体から常時光を照射して、その光が物体によって遮られた際に反射して帰ってくる光を受光部で検知して、信号を出力するものである。
【００４５】
このような反射型のファイバーセンサーを用いて、光を遮る物体としてＴＡＢテープＴのスプロケットホールＳのない箇所として応用して、カウント・停止信号を得るようにしている。
すなわち、スプロケットホールＳが、センサー上にある時は、センサーから照射される光が、スプロケットホールＳを通過して、センサーに帰ってこないので、スプロケットホール通過中の信号（ＯＦＦ）出力が得られる。逆に、スプロケットホールＳが、センサー上にない時は、すなわち、センサーがスプロケットホールＳ以外の部分にある時には、ＯＮ信号出力が得られることになる。
【００４６】
このＯＮ−ＯＦＦ信号をカウンターユニット４６でカウントすることで、テープの送り量を、カウント数をテープの送りＰＦ（パーフォレーション）として、認識することができる。
また、停止位置は、このカウント数（テープの送りＰＦ）が設定値に達したことを条件に、スプロケットホールＳの後方近傍に位置するＯＦＦ−ＯＮの境目、すなわち、スプロケットホールＳの端部を低速でスキャン検知して、その信号を瞬時にＮＣコントローラ４０へフィードバックすることで、ドライブモータ４４を正確な位置で停止することができるようになっている。
【００４７】
このような原理によって、カウントセンサーは、停止センサーを兼ねることも可能であるが、停止位置（信号）がＯＮ−ＯＦＦの境目に達した時にテープが停止することにより、信号（ＯＮ−ＯＦＦ）が安定しない状態となる。
すなわち、装置の微振動や、テープの検査処理による外部張力によってテープが停止していても、僅かなずれでＯＮ−ＯＦＦを繰り返すいわゆるチャタリング現象が発生する。このような状態では、この信号がカウントされることになり、次のテープ搬送量が設定値よりも小さくなるおそれがあり、正確な搬送、停止が得られないことになる。
【００４８】
このような現象を防止するために、本発明では、図２に示したように、カウントセンサー３４と、停止センサー３６とを独立させ、テープ停止時のスプロケットホールＳの端が、カウントセンサー３４から十分離れた位置になるように設定している。
従って、この場合、カウントセンサー３４のカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向の後端Ｓ１位置よりも、後方の位置とするように構成されているのが好ましい。このようなスプロケットホールの搬送方向の後端Ｓ１位置よりも後方の距離Ｌとしては、装置の微振動や、テープの検査処理による外部張力によってチャタリング現象が発生せず、カウントミスがないようにする距離であれば良いが、スプロケットホールＳの間の略中央近傍とするのが最も望ましい位置である。
【００４９】
このようにカウントセンサー３４のカウント位置を、スプロケットホールの搬送方向の後端Ｓ１位置よりも、後方の位置とすることによって、スプロケットホールＳのカウントミスを防止でき、正確な位置にＴＡＢテープＴを停止、位置決めすることができる。
このような停止・位置決め制御装置３２では、搬送装置１０の主プラグラムのシーケンサー（ＰＬＣ）３８から、スタート信号が、ＮＣコントロール４０に入力されて、ドライバー４２から、ドライブロール２８の駆動源であるステッピングモータ４４に搬送開始が指示される。
【００５０】
そして、図３に示したようなテープ搬送運転パターンによって搬送、停止制御が行われるようになっている。
すなわち、図３は、ＴＡＢテープＴの搬送開始から停止までのテープ速度と時間の関係を示すグラフである。そして、図３において、傾斜した線は、時間とともにテープ速度が変化する度合い、すなわち、加減速度を示している。
【００５１】
予め設定されたテープ搬送の条件下で、（１）送り量、（２）加減速度、（３）到達最高搬送速度、（４）減速ポイント（停止予定カウント数−α）の情報が、スタート信号として、主プラグラムのシーケンサー（ＰＬＣ）３８からＮＣコントロール４０に入力される。
そして、ＴＡＢテープＴは設定された加速度、速度で搬送され、その間、リアルタイムでカウントセンサー３４からの検出信号が、カウンターユニット４６に送り量が監視（モニター）される（図３の高定速域）。
【００５２】
送り量（カウント値）が、減速ポイント値に到達すると（図３のＡ）、カウンターユニット４６から、ＮＣコントロール４０に、減速信号が出力されて、ＴＡＢテープＴは設定された減速度で減速して、低速で搬送される（図３の低定速域）。
この状態で、さらに搬送が進み、累積送り量（カウント値）が、カウントアップポイント値に到達し（図３のＢ）、かつ停止センサー３６がスプロケットホールＳの端部を検知した時点で（図３のＣ）、カウンターユニット４６から、ＮＣコントロール４０に停止信号が出力され、ＴＡＢテープＴの搬送が停止される。
【００５３】
なお、この場合、ＴＡＢテープＴを高速搬送状態から、いっきに停止させない理由は、停止時の衝撃でＴＡＢテープＴが破損しないようにするとともに、各制御信号の通信時間や処理時間分のＴＡＢテープＴの移動距離をできるだけ少なくして、停止精度を確保するためである。従って、減速ポイントＡは、停止位置位置Ｃよりも手前で、且つ必要減速時間と制御時間の遅れを考慮した位置に設定される。
【００５４】
このようにして、これらのカウントセンサー３４、停止センサー３６からのカウント情報が、図２に示したように、カウンターユニット４６を介して、ＮＣコントロール４０に入力され、このＮＣコントロール４０の制御によって、所定の位置でドライバー４２から、ドライブロール２８の駆動源であるステッピングモータ４４に搬送停止が指示されるようになっている。
【００５５】
これとともに、ＮＣコントロール４０から搬送装置１０の主プラグラムのシーケンサー（ＰＬＣ）３８に、搬送完了信号が送られ、処理部２０の処理が開始されるようになっている。
このように、テープ搬送制御を、主プラグラムのシーケンサー（ＰＬＣ）３８と独立させて制御することによって、ＴＡＢテープＴの搬送、停止を高速でおこなうことが可能となる。
【００５６】
このように構成される本発明の搬送装置１０によれば、ドライブ装置２２において、一対のドライブロール２８と押さえロール３０によって、ＴＡＢテープＴを挟持して搬送するので、従来のようにスプロケットホールにドライブギアなどのギアを使用することがないので、ＣＯＦのような極薄な電子部品実装用フィルムキャリアテープであっても、スプロケットホール部分の破断、変形が生じることがない。
【００５７】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープを、高速で且つ精度良く搬送できるとともに、停止、位置決めを極めて正確に行うことが可能である。
さらに、従来のようにエンコーダや画像処理を用いた場合には、ある程度ＴＡＢテープＴとの距離を離さなければならず、検出精度が低下することとなるが、本発明では、カウントセンサー３４、停止センサー３６として、反射型のファイバーセンサーを用いることによって、センサーのサイズが小さいので、ＴＡＢテープＴにかなり接近させることができるので、検出精度を向上することができる。
【００５８】
なお、上記実施例では、センサーとして、反射型のファイバーセンサーを用いた例を示したが、本発明では、反射型のファイバーセンサーだけでなく、透過型センサー、色抽出型（カラーセンサー）センサーなども使用可能であり、特に限定されるものではない。
図５は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置の第２の実施例の概略図である。
【００５９】
この実施例の搬送装置は、図１に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例の搬送装置１０では、バックテンション装置として、ＴＡＢテープＴを挟持して、ＴＡＢテープＴに対して所定のバックテンションを付与する、一対のバックテンションロール１８と押さえロール１９とから構成した点が、図１に示した第１の実施例の搬送装置１０と相違する。
【００６０】
このように構成することによって、ＴＡＢテープを所定の位置に正確に位置決めでき、しかも、ＴＡＢテープＴに対して所定のバックテンションを付与することができる。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置を、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの処理を実施する際を示したが、本発明は何らこれに限定されることはなく、その他のフォトレジスト塗布工程、現像工程、エッチング剥離工程、メッキ工程などの湿式処理を実施する際に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを位置精度良く、正確に停止する必要がある場合に適用することができるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６１】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープをロールにて搬送するので、従来のようにスプロケットホールにバックテンションギア、ドライブギアなどのギアを使用することがないので、ＣＯＦのような極薄な電子部品実装用フィルムキャリアテープであっても、スプロケットホール部分の破断、変形が生じることがない。
【００６２】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープを、高速で且つ精度良く搬送できるとともに、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対して、例えば、スクリーン印刷、電気検査、外観検査などの所定の処理を行うために、搬送、停止、位置決めを極めて正確に行うことが可能である。
これによって、安定して電子部品実装用フィルムキャリアテープを製造することができ、製造される電子部品実装用フィルムキャリアテープに形成される配線パターンの精度を高くすることができるとともに、その生産性が向上し、低コスト化が図れるなどの幾多の作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置の第１の実施例の概略図である。
【図２】図２は、図１の搬送装置の搬送制御の方法を示す概略図である。
【図３】図３は、図１の搬送装置の搬送パターンを示すグラフである。
【図４】図４は、バックテンションロールの断面図である。
【図５】図５は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの搬送装置の第２の実施例の概略図である。
【図６】図６は、ドライブロール２８と押さえロール３０の位置関係を示す概略図である。
【図７】図７は、従来の搬送方法を示す概略図である。
【符号の説明】
１０  搬送装置
１２  案内ロール
１４  送り出し用ダンサーロール
１６  案内ロール
１８  バックテンションロール
１８ａ      鍔部
１９  押さえロール
２０  処理部
２２  ドライブ装置
２４  案内ロール
２６  巻き取り用ダンサーロール
２８  ドライブロール
３０  押さえロール
３２  制御装置
３４  カウントセンサー
３６  停止センサー
４０  コントロール
４２  ドライバー
４４  ステッピングモータ
４６  カウンターユニット
Ｓ    スプロケットホール
Ｔ  ＴＡＢテープ
Ｓ１  後端
Ｔ１  幅端
【図１】
0003881204.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003881204.tif 000006
【図６】
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【図７】
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