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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
０．２５より大きい壁厚／直径比を有する厚肉管を圧延するための３ロール形ロールスタンドを有するレデューサのほぼ円形に孔型が形成されるロールのロール輪郭の構造であって、ロールの溝底に孔型の直径を拡大するように形成された直径拡大部を備え、圧延方向で見てその前段に配置されている孔型のロール縁部の領域で圧延された管材の範囲が、前記直径拡大部（５）内で変形されることとなることを特徴とするロール輪郭の構造。
【請求項２】
前記直径拡大部（５）は孔型の直径を基準として孔型の直径の０．５％〜１．０％にわたり広くなっており、ロール中央の両側でロール中心からの見込み角１０°〜１５°にわたり延在することを特徴とする請求項１に記載のロール輪郭の構造。
【請求項３】
直径拡大部（５）に加えてロール（１）の溝底において直径拡大部（６）がロール縁部の領域内に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のロール輪郭の構造。
【発明の詳細な説明】
本発明は、厚肉管、特に０．２５より大きい壁厚／直径比を有する厚肉管を圧延するための３ロール形ロールスタンドを有するレデューサのほぼ円形に孔型が形成されるロールのロール孔型輪郭に関する。
従来のレデューサでは薄肉管を圧延するために通常は円形ではなく３つの円弧により形成されている楕円形に類似の孔型形状が使用され、この孔型形状の楕円の短い方の半軸がロール中央部を形成している。楕円の長い方の半軸は孔型の縁部にあり、先行の孔型のロールの短い方の半軸より大きい。これにより、ロール間隙の中への圧延材料のかみ出しを防止し、ひいてはロール縁部マーキングの発生を防止しようとする。しかしこのような孔型形状は、０．１を越える壁厚比を有する管が圧延される場合には圧延技術的に限界に到達する。この場合には多角形形成が発生する、すなわち所望の円形の管の内面輪郭からのずれが発生する。この多角形形成は極端な場合にはほぼ六角形の内面横断面を形成し、このような横断面は管の使用可能性を大幅に制限する。
厚肉管を圧延する場合、公知の楕円形孔型ではほとんど可能でなく、従って円形により近い孔型形状を用いなければならない。このような孔型形状により多角形形成はより良好に抑圧されることが可能である。これに関連して"Archiv fuer das Eisenhuettenwesen"誌（第４１巻、第１１号、１９７０年１１月、１０４７〜１０５３頁）に説明されている。結果としてこの公知の従来の技術は、管圧延路の薄肉プログラム区間のためにレデューサの中の特別な孔型形状を使用することを提案する。この特別な孔型形状は圧延動作の間に管のすべての側を包囲するように働く。すなわちこの特別な孔型形状はほぼ円形の孔型形状である。このような措置は可能である、何故ならば厚肉管は、薄肉管に比して外面における圧延縁部マーキングを形成する傾向が大幅に小さいからである。この場合にロール開度の選択は、最短の接触面長と最長の接触面長との間の差が最小である、すなわちロールと管との接触面が矩形を形成するように行われる。
しかし、前述の文献からの教示を適用する場合、小さいロール開度を有する孔型列の中で管とロールとの間の均一な接触面が達成されないことが分かった。通常の孔型加工技術では、３つの接触点すなわちロール溝底の中とロール縁部とにおける３つの接触点を有する接触面が形成される。これは前述の文献の１０５２頁の図１１に示されている。ロールと圧延材との間の接触面の中の接触点は、０．２５より大きい肉厚／直径比を有する非常に厚肉の管においてはやはり管の内面の丸みからのズレを惹き起し、従って品質を大幅に劣化させる。更に摩擦が増大し、従ってロールがより強く摩耗する。
"Archiv fuer das Eisenhuettenwesen"誌（第４１巻、第１１号、１９７０年１１月）に説明されている従来の技術から出発して本発明の課題は、従来の技術のほぼ円形のロール孔型を有するロールの孔型輪郭を、圧延材とロールとの間の望ましくない接触点の発生が回避されるか又は少なくとも低減されるように改善することにある。
上記課題を解決するために本発明により、ロール中央部の領域内に直径広がり部を有し、その直径広がり部の中で、圧延方向で見てその前段に配置されている孔型のロール縁部の領域で圧延された領域が変形されることが提案される。
ロール中央部領域内の直径を的確に大きくすることにより、ロール中央部の中での接触長を短縮することが可能であり、従って均一な接触面を得ることが達成される。このようにして管はもはやロール中央部の領域内で過度な応力を印加されない、何故ならば従来の技術において明瞭に分かる接触点が大幅に平にされるからである。
直径広がりの程度はロールの直径から出発してロール直径の約０．５％〜１．０％であり、ロール中央の両側でロール中心からの見込み角約１０〜１５°にわたり延在すると特に有利である。このような寸法において管は良好な結果を示す、すなわちロールと圧延材との間にほぼ矩形の接触面が得られる。
本発明を改善する１つの措置では、ロールの溝底における直径広がり部に加えてロール縁部の領域内に直径広がり部が設けられる。この直径広がり部は例えばロールの端縁において半径を３〜５ｍｍだけに増加することにより達成される。従来の技術では３ｍｍより短かったのをこのような半径にすることによっても孔型における変形状態の大幅な改善が達成され、接触点の形成がロールの端縁領域内でも大幅に低減されることが分かった。
本発明の１つの実施の形態が図面に示され、次に説明される。
図１は管が入込んでいる本発明の孔型ロールを部分的に切断して示す前面図、図２は管と本発明の孔型ロールとの間の接触面を水平面に投影した投影図である。
図１において１により、本発明の回転軸線２を中心に回転する孔型ロールが示され、これを３個組み合わせることにより孔型全体が形成される。圧延される管が３において概略的に示されている。孔型ロール１のほぼ円形の孔型４はロール中央５の領域内の直径が広がり、すなわちロール中央の深さが増加している。更なる直径広がり部６が本発明ではロール縁部の領域内に設けられ、ロール２の端縁部における半径長増加の形で設けられている。図１において分かりやすくするために破線により従来のロール形状７が示されている。この従来のロール溝形状は、管３とロール１との間の接触面の投影を示す図２においても示されている。ロール２の両方の端縁側におけるロール１の中央部９の領域内及びロール縁部１０の領域内に従来のロールにおいて発生する接触点８が明瞭に分かる。これらの接触点８及び１０はロール２の入側に発生し、仕上り管３における前述の内面に非円形部の形成を惹き起する。
図２において実線により示されている本発明によるロールへの管の接触面を観察すると、接触点８及び１０の尖りが大幅に低減されていることが分かり、従って接触長１１を有するほぼ矩形の接触面が形成される。接触面のこの変化はロール中央部の直径広がり部５及びロール縁部の領域内の直径広がり部６により惹き起される。
【図１】
0004012570.tif 000002
【図２】
0004012570.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信コストが異なる通信システムを有する電話機において、相手先１件に対して複数の電話番号が記憶されている記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている第１の電話番号を用いて呼び出し信号を発信する発信手段と、前記発信手段によって発信した電話番号による通話が可能かどうかを判別するための通話判別手段と、前記通話判別手段によって通話できないと判別されたときには前記記憶手段に記憶されている同じ相手先の次の電話番号を表示する表示手段と、前記表示手段に次の電話番号を表示した場合には自動で発信するかどうかを判別する判別手段とを備えることを特徴とする電話機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同一の相手先に複数の電話番号がメモリに記憶され、ある電話番号で通話できなかったときには次の電話番号によって通話することができる電話機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、いろいろな通信の需要が増大し、使用者により便利であるように複数のシステムが稼動している。例えば、コードレス電話システム、ＰＨＳ、セルラ電話システムなどの電波を利用したものや、一般加入者電話、ＩＳＤＮなどの有線回線を利用したものがある。これら複数の通信システムは、各々に電話番号が与えられており、個人がいくつもの電話番号を持つことが多くなってきた。しかし、一般の電話機には相手先１件に対し、１件の電話番号しか登録・記憶出来なく、同じ相手先で複数の電話番号を登録しても、その複数の電話番号が同じ相手先であることも判らない。
【０００３】
例えば、現在広く使用されているセルラ電話、ＰＨＳ、一般加入者電話等において横浜市内に在住であれば、各々 030-XXX-XXXX 、050-YYY-YYYY、045-ZZZ-ZZZZの３つの電話番号を持つことになるが、スズキ イチロウと同一の相手先で登録し、短縮番号等で３つの電話番号の内の１つ( 例えば、030-XXX-XXXX) を呼び出しても、スズキ イチロウは他の電話番号(050-YYY-YYYY 、045-ZZZ-ZZZZ) で呼び出せることが、使用者には判らない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明では、相手先１件に対して複数の電話番号を記憶・検索する機能を具備した電話機を使用することによって、相手先に確実に連絡をとる方法を使用者に教えることが出来る電話機を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明はこれらの課題を解決するためのものであり、通信コストが異なる通信システムを有する電話機において、相手先１件に対して複数の電話番号が記憶されている記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている第１の電話番号を用いて呼び出し信号を発信する発信手段と、前記発信手段によって発信した電話番号による通話が可能かどうかを判別するための通話判別手段と、前記通話判別手段によって通話できないと判別されたときには前記記憶手段に記憶されている同じ相手先の次の電話番号を表示する表示手段と、前記表示手段に次の電話番号を表示した場合には自動で発信するかどうかを判別する判別手段とを備える電話機を提供する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例について図面を用いて説明する。
図１は本発明の電話機のブロック図であり、図２は本発明の電話機に電話番号を登録するときの動作を説明したフローチャートであり、図３は本発明の電話機の動作を説明したフローチャートである。
【０００７】
図１において、２は通信コストは高いが高速移動でも通話可能なシステムに変換するセルラシステム変換部、３は高速移動では通話ができないがコストの安いシステムに変換するＰＨＳシステム変換部、１はセルラシステム変換部２およびＰＨＳシステム変換部３を制御する複数システム制御部、５は呼制御部、９はデータを入力するための操作部、６は操作部９から入力されたデータを制御する操作インタフェース、７は音声データを処理するための音声処理部、８は音声処理部からの音声データの送受信するための回線処理部、４は呼制御部５乃至操作部９を制御するためのシステム制御部とから構成されている。
次に、図１乃至図３にもとづいて動作説明を行なう。図２において、例えば、相手先（ａ）の電話番号を（Ａ、Ｂ、Ｃ）と登録することを考えるときに、まず電話番号( Ａ) と相手先( ａ) を入力し登録を要求する（ステップ１０）。そこで既に記憶されている電話番号を検索し、同じ相手先( ａ) の電話番号があるかどうか判断し（ステップ１０）、同じ相手先ａがなければそのまま電話番号( Ａ) を登録する（ステップ１５）。同じ相手先( ａ) があれば、記憶されている電話番号と登録する電話番号( Ａ) が同じかどうか判定し（ステップ１２）、同じであれば登録せずエラー音等で使用者に同じ電話番号( Ａ) があることを教える。同じでなければ、電話番号( Ａ) を登録し（ステップ１３）、同じ相手先( ａ) であることを記憶する（ステップ１４）。こうして登録することによって、相手先または複数の電話番号( Ａ，Ｂ，Ｃ等) の内の１つから検索可能になる。
図３において、相手先に電話番号を発信するときに、相手先が（ａ）であるかどうかを判定し（ステップ２０）、この相手先の（ａ）コードにもとづいて電話番号の検索処理を行なう（ステップ２１）。登録されている電話番号に（ａ）コードがあるかどうかを判定し（ステップ２２）、登録されているときには相手先が（ａ）として確定され（ステップ２３）、電話番号（Ａ）が表示される（ステップ２４）。そして、この電話番号（Ａ）が発信され（ステップ２５）、成功したときには通話が行なえる（ステップ２６）。
通話が不成功のときには、同じ相手先（ａ）の次の電話番号を検索し（ステップ２８）、次の電話番号があるかどうかを判断する（ステップ２９）。そして、次の電話番号（Ｂ）のときには、（Ｂ）を表示し発信する。
【０００８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、相手先１件に対して複数の電話番号を記憶・検索する機能を具備した電話機を使用することによって、相手先に確実に連絡をとる方法を使用者に教えることが出来る電話機を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の電話機のブロック図である。
【図２】  本発明の電話機に電話番号を登録するときの動作を説明したフローチャートである。
【図３】  本発明の電話機の動作を説明したフローチャートである
【符号の説明】
１    複数システム制御部
２    セルラシステム変換部
３    ＰＨＳシステム変換部
４    システム制御部
５    呼制御部
６    操作インタフェース
【図１】
0004012583.tif 000002
【図２】
0004012583.tif 000003
【図３】
0004012583.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信機器を収納するためのラック内部の前面側左右に立設したマウントレール間に分電盤を取り付け、該分電盤の前面に配線オオイを取り付ける構造において、前記マウントレール間の上下に取付ステイを固定し、該取付ステイは前記分電盤の内機を固定するための背板部と、前記マウントレールに固定するために前記背板部の左右両端から前面側に折曲形成した側板部と、前記背板部の長手方向の一辺を前面側に折曲形成した支持板部とで成り、該支持板部に配線オオイ支持部材を固定し、該配線オオイ支持部材に前記配線オオイを固定したことを特徴とするラックの分電盤配線オオイ取り付け構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信機器を収納するためのラックの内部に取り付けられた分電盤の内機の前面を被覆するための配線オオイの取り付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ラック１１に取り付けられる分電盤は、図４及び図５に示すようにラック１１の前面側左右に立設されたマウントレール１２に穿設された複数の取付孔１２ａを利用し、分電盤１３をボックス１４ごと螺着して固定され、分電盤の内機の前面を被覆する配線オオイ１５はボックス１４に固定されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来のラックの分電盤配線オオイ取り付け構造は、分電盤をボックスごとラックに取り付けるのでラックの総重量が重くなり、コストも高くなるという欠点があった。また、配線オオイは、ボックスの背面板の四隅近傍から前面方向に立設した配線オオイ支持部材に取り付けられるが、配線の際に邪魔になるという欠点があった。
【０００４】
そこで上記問題点に鑑み、本発明の目的は、分電盤内の配線作業がしやすく、ラックを大幅に軽量化するとともに、コストを低減することができるラックの分電盤配線オオイ取り付け構造を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、通信機器を収納するためのラック内部の前面側左右に立設したマウントレール間に分電盤を取り付け、該分電盤の前面に配線オオイを取り付ける構造において、マウントレール間の上下に取付ステイを固定し、取付ステイは分電盤の内機を固定するための背板部と、マウントレールに固定するために背板部の左右両端から前面側に折曲形成した側板部と、背板部の長手方向の一辺を前面側に折曲形成した支持板部とで成り、支持板部に配線オオイ支持部材を固定し、配線オオイ支持部材に配線オオイを固定したことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
ラックの前面側左右のマウントレール間の上下に取付ステイを固定する。取付ステイは分電盤の内機が固定される背板部と、マウントレールに固定するために背板部の左右両端から前面側に折曲形成した側板部と、背板部の長手方向の一辺を前面側に折曲形成した支持板部とで成り、側板部に穿設した透孔に取付ネジを挿通させてマウントレールの取付孔に螺着して固定される。この取付ステイの背板部に垂設した内機取付ボルトに分電盤の内機をナットで締め付け固定し、支持板部の左右両端部近傍に穿設した挿通孔に固定ネジを挿通させて配線オオイ支持部材を螺着固定し、この配線オオイ支持部材に配線オオイを固定する。
【０００７】
【実施例】
本発明に係るラックの分電盤配線オオイ取り付け構造の一実施例を図１〜図３の添付図面に基づいて説明する。
【０００８】
通信機器を収納するためのラック１は、機器を固定するために複数の取付孔２ａが穿設されたマウントレール２がラック１の前面側左右に立設され、マウントレール２，２間には分電盤の内機３を取り付けるための取付ステイ４が上下に間隔をおいて取り付けられる。
【０００９】
取付ステイ４は、分電盤の内機３が固定される背板部４ａと、マウントレール２に固定するために背板部４ａの左右両端から前面側に折曲形成した側板部４ｂと、背板部４ａの長手方向の一辺を前面側に折曲形成した支持板部４ｃで成り、背板部４ａは左右両端近傍に内機取付ボルト４ｄが垂設され、側板部４ｂはマウントレール２の形状に合わせ折曲形成されて前面側端部近傍にマウントレール２の取付孔２ａに対向する複数の透孔４ｅが穿設され、支持板部４ｃは左右両端部近傍に挿通孔４ｆが穿設され、この挿通孔４ｆに固定ネジ５を挿通させて配線オオイ６を固定するための配線オオイ支持部材７が螺着固定されている。
【００１０】
取付ステイ４は、マウントレール２，２間に上下に配置され、側板部４ｂの透孔４ｅに取付ネジ８を内側から貫通させ、マウントレール２の取付孔２ａに螺着して固定される。分電盤の内機３は内機取付ボルト４ｄにナット９によって締め付け固定される。
【００１１】
内機を固定した後、配線オオイ６を配線オオイ支持部材７に固定する。
【００１２】
尚、分電盤の内機の縦寸法が大きい場合は、内機の縦方向の中間部を支持するための取付ステイを追加設置して補強すると良い。このときの取付ステイは支持板部の形成されていないものを使用する。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように通信機器を収納するためのラック内部の前面側左右に立設したマウントレール間に分電盤を取り付け、該分電盤の前面に配線オオイを取り付ける構造において、マウントレール間の上下に取付ステイを固定し、取付ステイは分電盤の内機を固定するための背板部と、マウントレールに固定するために背板部の左右両端から前面側に折曲形成した側板部と、背板部の長手方向の一辺を前面側に折曲形成した支持板部とで成り、支持板部に配線オオイ支持部材を固定し、配線オオイ支持部材に配線オオイを固定したことにより、配線支持部材が邪魔にならないので分電盤内の配線作業がしやすく、分電盤のボックスを必要としないのでラックを大幅に軽量化してコストも低減することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る取付ステイをラックのマウントレールに取り付ける様子を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る取付ステイに分電盤の内機を設置し、配線オオイ支持部材を取り付ける様子を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る分電盤の内機を取り付けたラックの斜視図である。
【図４】従来の分電盤を取り付けたラックを示す斜視図である。
【図５】従来のラックのマウントレールに分電盤を取り付ける様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
１    ラック
２    マウントレール
２ａ  取付孔
３    内機
４    取付ステイ
４ａ  背板部
４ｂ  側板部
４ｃ  支持板部
４ｄ  内機取付ボルト
４ｅ  透孔
４ｆ  挿通孔
５    固定ネジ
６    配線オオイ
７    配線オオイ支持部材
８    取付ネジ
９    ナット
【図１】
0004012750.tif 000002
【図２】
0004012750.tif 000003
【図３】
0004012750.tif 000004
【図４】
0004012750.tif 000005
【図５】
0004012750.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する側壁にそれぞれ流入側開口部（８）及び流出側開口部（９）が設けられた筒状体（１）と、前記筒状体（１）内に浮沈可能に収納された浮力体（２）と、前記筒状体（１）と同軸方向に設けられ、前記浮力体（２）の浮力で押し上げられる棒体部（４）と、前記棒体部（４）が貫通する穴（６）を備え、前記筒状体（１）内の前記流入側開口部（８）の下側と流出側開口部（９）の下側とを橋渡すように設けられたガイド部（５）と、前記筒状体（１）内において前記流入側開口部（８）と流出側開口部（９）とを接続するホース（３）とを備え、前記浮力体（２）の浮力で前記棒体部（４）が押し上げられると前記ホース（３）が屈曲するようにしたことを特徴とする浮力体が流水をとめる装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、水田と取水口のあいだに取り付けることによって、水田が満水になると、浮力体が流水をとめる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流水をとめるには、取水口へ行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、次のような問題があった。
水田が満水になるまでの拘束時間、流水をとめに取水口へ行く時間などムダがあった。
本発明は、これらの問題を解決するためになされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
対向する側壁にそれぞれ流入側開口部（８）及び流出側開口部（９）が設けられた筒状体（１）と、前記筒状体（１）と同軸方向に設けられ、前記浮力体（２）の浮力で押し上げられる棒体部（４）と  、前記棒体部（４）が貫通する穴（６）を備え、前記筒状体（１）内の前記流入側開口部（８）の下側と流出側開口部（９）の下側とを橋渡すように設けられたガイド部（５）と、前記筒状体（１）内において前記流入側開口部（８）と流出側開口部（９）とを接続するホース（３）とを備え、前記浮力体（２）の浮力で前記棒体部（４）が押し上げられると前記ホース（３）が屈曲するようにしたことを特徴とする浮力体が流水をとめる装置である。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
筒状体（１）に、浮力体（２）を入れる。
ガイド部（５）の中央に穴（６）を設け、穴（６）に棒体部（４）を通し、棒体部（４）の上端にホースガイド（１１）を取り付け、棒体部（４）の中ほどに孔（７）を設け、孔（７）にストッパーピン（１２）を差し込み、ガイド部（５）を筒状体（１）内の開口部（８）と開口部（９）の下に橋渡す。
ホース（３）の両端を筒状体（１）内の開口部（８）と開口部（９）に接続する。
筒状体（１）外の開口部（８）と取水口（１３）を接続し、筒状体（１）の水田側に開口部（１０）を設ける。
本発明は、以上のような構造でこれを使用するときは、取水口（１３）の水をホース（３）と筒状体（１）内に張り込み、棒体部（４）の長さとストッパーピン（１２）の位置出しをし、ホース（３）内で流水がとまるようホース（３）を屈曲させる。
水田（１４）に水を入れるときは、筒状体（１）内の貯水をホースポンプなどで排出する。
すると、屈曲していたホース（３）がフラットになり、取水口（１３）の水はホース（３）内を流れ、水田（１４）にはいる。
水田（１４）が満水になり、開口部（１０）から排水が筒状体（１）内に貯水されると、浮力体（２）の浮力で棒体部（４）が押し上げられ、ホース（３）が屈曲する。
すると、取水口（１３）の水面よりホース（３）が高い位置に保持され、流水がとまる。
再度、水田（１４）に水を入れるときは、筒状体（１）内の貯水を排出すると、屈曲していたホース（３）がフラットになり、取水口（１３）の水はホース（３）内を流れ、水田（１４）にはいる。
【０００６】
【発明の効果】
本発明を使用することによって、水田が満水になると浮力のはたらきで流水がとまるので、水田の水管理に関わる時間が半減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の流水がとまる状態を示す断面図である。
【図２】本発明の流水がはいる状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１、筒状体
２、浮力体
３、ホース
４、棒体部
５、ガイド部
６、穴
７、孔
８、流入側開口部
９、流出側開口部
１０、開口部
１１、ホースガイド
１２、ストッパーピン
１３、取水口
１４、水田
【図１】
0004012942.tif 000002
【図２】
0004012942.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タバコを喫煙するための喫煙具において、既成のタバコを取り付けるための吸引口と、
気化したタバコの煙を膨張または圧縮状態で貯留する喫煙専用容器と、前記吸引口と喫煙専用容器との間に設けられ吸引口に取り付たタバコの煙を喫煙専用容器へ送るためのポンプと、吸引口とポンプとを連結する吸引用の筒と、ポンプと喫煙専用容器とを着脱可能に連結する送風用の筒と、喫煙専用容器の前記送風用の筒との連結部に設けられるとともに逆流防止弁を介して送風用の筒と連結する吸飲口とから構成され、前記吸引口に取り付けられたタバコの煙をポンプの作動により吸引用の筒から送風用の筒を介して喫煙専用容器に貯留した後、喫煙専用容器を送風用の筒から切り離し、気体化したタバコを膨張又は圧縮して吸飲口から喫煙することを特徴とする安全喫煙具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は喫煙する既成のタバコの煙を吸引装置で気体化し、膨張又は圧縮して喫煙用の
専用容器に詰め込み気体化したタバコを喫煙する安全喫煙具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の既成のタバコは喫煙するその場で直接火をつけて喫煙するため周囲に煙と吸殻等
をまき散らす状態になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、健康管理の面から受動喫煙が問題になり、公共の場や家庭内において禁煙を望む
声が増えてきた。喫煙愛好家にとって安心して人前で喫煙できるように煙を減量もしくは
無くすることが課題、その上喫煙中は常にタバコに火のついた状態で吸殻などの火の危険
から免れない、そのためにも火を持ち歩かないという安全を重視することが最も重要であ
る。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題の目的を達成するために本発明に係る請求項１に記載されているように、タバコを喫煙するための喫煙具において、既成のタバコを取り付けるための吸引口と、気化したタバコの煙を膨張または圧縮状態で貯留する喫煙専用容器と、前記吸引口と喫煙専用容器との間に設けられ吸引口に取り付たタバコの煙を喫煙専用容器へ送るためのポンプと、吸引口とポンプとを連結する吸引用の筒と、ポンプと喫煙専用容器とを着脱可能に連結する送風用の筒と、喫煙専用容器の前記送風用の筒との連結部に設けられるとともに逆流防止弁を介して送風用の筒と連結する吸飲弁とから構成され、前記吸引口に取り付けられたタバコの煙をポンプの作動により吸引用の筒から送風用の筒を介して喫煙専用容器に貯留した後、喫煙専用容器を送風用の筒から切り離し、気体化したタバコを膨張又は圧縮して吸飲口から喫煙することを特徴とする。本発明では煙を一度吸い込んで吐く分量のみの排出で極めて排出量を微量に抑えることができる。従って喫煙できる気体タバコにするため安全喫煙具を使用する手段として、先ず喫煙するために喫煙室もしくは周囲の環境に差し支えない安全な場所において.従来の既成のタバコを安全喫煙具に取り付けて火をつけ.気体化し.喫煙専用容器に詰めて.完了後.喫煙専用容器を取り外して喫煙したい場所で使用する。容器は膨張させる場合はビニ−ルやナイロン又はゴム製を使用する。また、金属・アルミ・プラスチックでも圧縮式で可能である。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の安全喫煙具は今迄と違い喫煙場所ではタバコに火もつけず.吸殻等も出さない
画期的なもので次世代のライフスタイルといえる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の実施の形態については図面を参照して具体的に説明する。
図１は本発明の安全喫煙具の実施の形態を示すもので、既成のタバコを気体化するために
吸引口６に既成タバコ７を取り付け火をつけて電源スイッチを入れてモ−タ−３を作動さ
せるとポンプ４が連動して働き吸引と送風を同時にすることで火がつけられた既成のタバ
コ７の煙は吸引用の筒5（ホ−ス又はパイプ）を通り送風用の筒８(ホ−ス又はパイプ）に
送られ.逆流防止弁付き吸飲口９を通り更に吸飲用の筒1０(ホ−ス又はパイプ）を通じて
喫煙専用容器1１に入れる、もしくは吸飲用の筒1０を使用せず送風用の筒8から直接喫煙
専用容器1１に入れてもよい。
【０００７】
図2は本発明の安全喫煙具の使用における実施の形態に係る一例を示すもので使用につ
いては先の図１に表示した、送風用筒８（ホ−ス又はパイプ）と逆流防止弁付き吸飲口９
とを切り離して喫煙専用容器1１の中の喫煙用の気体タバコ（膨張又は圧縮されたもの）
を吸飲用の筒1０（ホ−ス又はパイプ）を通して逆流防止弁付き吸飲口９から喫煙する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る安全喫煙具の実施の形態を示す全体のブロック図である。
【図２】本発明に係る安全喫煙具の実施の形態の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０００９】
１    電源スイッチ
２    電池
３    モ−タ−
４    ポンプ
５    吸引用の筒
６    吸引口
７    既製タバコ
８    送風用の筒
９    逆流防止弁付き吸飲口
10  吸飲用の筒
11  喫煙専用容器
【要約】
【課題】近年、タバコの吸い過ぎで健康を損なうことが社会問題の一つとなっている。中でも受動喫煙という自分が吸うタバコの煙の害が他人にも影響を与えると指摘されている。更に喫煙は火を扱う行為であるため常に安全が大事で、寝タバコや歩行中の喫煙、またタバコのポイ捨てなどは、迷惑はもちろん.重大な過失になる。
【解決手段】喫煙室など環境に差し支えない比較的安全な場所を選び火をつけた既成のタバコを安全喫煙具の吸引装置で気体化して喫煙専用容器に詰め込み.喫煙専用容器のみ取り外して携帯し、必要な時と場所で自由に吸飲弁から喫煙する。
【選択図】  図１【図１】
0003969668.tif 000002
【図２】
0003969668.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックスと合金の直接接合体において、前記合金が銅−ニッケル−マンガン系の合金であることを特徴とする、セラミックスと合金の接合体。
【請求項２】
セラミックス基板上に抵抗体として銅−ニッケル−マンガン系の合金を直接接合した、抵抗用電子部材。
【発明の詳細な説明】
【発明が属する技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックスに全率固溶型の合金を直接接合した接合体であり、また、合金が銅系合金である接合体に関するものである。更には抵抗体として、銅−ニッケル系合金、銅−ニッケル−マンガン系合金等をセラミックスに直接接合した抵抗用電子部材に関する。
【従来の技術】
【０００２】
セラミックスと金属を直接接合する方法としては、例えば銅と酸素の共晶融体を利用し酸化物系セラミックス（例えばアルミナ等）と直接的に接合する方法が知られており、電子回路基板等として製品化されている。（米国特許公開番号３９９４４３０）この技術は、ある金属と共晶を形成する元素を添加あるいは接合雰囲気中から取り込む等により、その金属の融点以下且つ共晶点以上の温度で、その共晶融体を接合結合剤として利用し、接合体としている。
【０００３】
また、金属とセラミックスとの間に中間材としてろう材をはさんで接合する方法があり、例えばセラミックスと銅の接合の場合、銀−銅系ろう材に活性金属であるチタンやジルコニウム等を添加し接合する方法が知られており、これも電子回路基板その他の構造体として製品化されている。（特開平１０−２５１０７５）ろう材の成分中の活性金属であるチタンやジルコニウム等の元素と、セラミックスの成分がその界面において反応生成物を生じ接合している。よって活性金属がないと接合しない。
【０００４】
更には、非酸化性雰囲気中で金属を溶かしてセラミックスに直接接触させ、移動させることにより表面の酸化被膜等を取り直接接合させる、いわゆる溶湯接合法がある。（特開平７−１７６０３５）原理的には金属の新鮮な表面を溶湯を非酸化性雰囲気中で移動させることにより、その活性な面をセラミックスと接触させ、直接接合をもたらすものである。
またこの技術においては、接合する金属は最初に全て溶融させるため、接合後に目的とする所定形状の鋳型やダイス等を予め作製しておく必要がある。この方法でも電子回路基板等の製品化がなされている。
【０００５】
一方、抵抗体としては銅−ニッケル系の合金が知られており、コンスタンタンやマンガニン等は精密抵抗体として、電位差計や補償導線、圧抵抗応力計等に使用されている。これらの合金は線材として又は有機系のフィルムに張り付けゲージ化される等で使用されてきた。
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の技術では以下のような問題があった。
１）セラミックスと固体として直接接合できる金属或いは合金は、共晶融体を作るものに限られる。
２）溶湯接合は金属を溶かし鋳造といった形をとるため、極細かい抵抗のような電子材料の作製は加工が難しく、製造コストも上昇する。
３）ろう接はろう材に銀等貴金属の材料を用いたり、高真空等で製造する必要があり製造コストが比較的高くなる。また、抵抗体用電子部材の接合としては、ろう材との合金化により抵抗が変わるため適用できない。
４）抵抗体において、発熱が問題となり正確な測定が困難になる。
【０００７】
これらの課題を解決するため、セラミックス基板と固体の合金を溶かさず且つろう材を用いずに直接接合することで、低コストで成形性の良い接合体を提供する。更には、セラミックスを放熱材として抵抗体としての銅合金を直接接合し安定した特性持つ抵抗用電子部材を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、接合の温度や雰囲気の制御および合金の表面を処理することにより、目的とする接合体を得ることを見出し本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、セラミックスと全率固溶型の合金を直接接合した、セラミックスと合金の接合体である。また、前記直接接合体において、セラミックスと合金の界面に酸化物を有することが好ましい。また、前記合金は銅合金であることが好ましく、さらには銅−ニッケル系、または銅−ニッケル−マンガン系の合金であることが好ましい。
また、セラミックス基板上に抵抗体として銅合金を直接接合した抵抗用電子部材であり、前記抵抗体が銅−ニッケル系、銅−ニッケル−マンガン系の合金であることが好ましい。
【発明の実施の形態】
【０００９】
合金としては状態図において全率固溶を呈する合金系のものが用いられ、例えば銅系の合金があげられ、銅−ニッケル系のコンスタンタンや銅−ニッケル−マンガン系のマンガニン等の合金がある。これらをセラミックスに直接接触させ、非酸化性雰囲気中で融点より低い温度で接合させる。合金の表面を接合前に酸化しておくと、接合条件としての温度許容範囲が広くなるので好ましい。この酸化は合金を大気中で加熱する等で簡単に行える。非酸化性雰囲気中で加熱するのは、接合後の表面の酸化による電気特性等の劣化を防ぐためである。接合の機構についてははっきりしないが、合金の表面を酸化することで接合しやすくなることから、合金の酸素が結合に関与している可能性がある。
セラミックス基板に抵抗体用銅合金を直接接合して、抵抗用の電子部材とすることができる。これはセラミックスを放熱材とみなすので、放熱性の良いセラミックスとの接合が望ましい。接合界面に熱伝導を大きく阻害する物質がないため、十分な放熱性得られるとともに、簡単な工程で製造可能なため、コスト面でも有利である。
【実施例】
【００１０】
（実施例１）セラミックスとして０．６３５ｍｍ厚の電子材料用９６％アルミナ基板、合金として銅−ニッケル−マンガン系合金の０．１ｍｍ厚のマンガニンを材料とし、該アルミナ基板の上に該マンガニンを直接接触配置させ、窒素雰囲気中（酸素濃度１０ｐｐｍ以下）で加熱、最高温度を１０００℃×１０分とし、除冷後、取り出したところ、接合されていた。また、合金板の変質は認められなかった。
【００１１】
（実施例２）マンガニンを予め大気中で加熱し酸化した以外は、実施例１と同様の条件で接合を試みたところ、５ｋｇ／ｃｍ以上のピール接合強度があり、強固に接合していた。また、合金板の変質は認められなかった。
【００１２】
（実施例３）接合温度が９９０℃である以外は実施例２記載の方法で接合を試みたところ、５ｋｇ／ｃｍ以上のピール接合強度があり、強固に接合していた。また、合金板の変質は認められなかった。
【００１３】
（実施例４）接合温度が９８５℃である以外は実施例２記載の方法で接合を試みたところ、５ｋｇ／ｃｍ以上のピール接合強度があり、強固に接合していた。また、合金板の変質は認められなかった。
【００１４】
（比較例１）実施例１記載のセラミックスと合金の間に、活性金属としてチタンを含む銀ろうを配置し、接合温度を８５０℃として、すなわち両者を直接接合でない、ろう接法で接合を試みた。この結果、両者は強固に接合したが、ろう材の合金板への拡散による変質が見られた。
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、セラミックスと合金を容易に直接接合することができ、更には、抵抗体用電子部材を合金の変質なく安価に提供することができる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
含水汚泥を、直接、セメント原料を焼成してセメントクリンカーを製造する乾式キルンの窯尻部分又は仮焼炉に導入して焼却することを特徴とする汚泥処理方法。
【請求項２】
上記含水汚泥は、下水汚泥であることを特徴とする請求項１に記載の汚泥処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は汚泥処理方法に係り、特に、下水汚泥等の含水汚泥を、乾燥、添加剤添加等の前処理を施すことなく、効率的に最終処分する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
下水処理場から排出される下水汚泥等の汚泥の処理法としては、古来、肥料として利用される場合もあったが、汚泥に重金属類が含有されていること、及び、肥料としての利用では処理量があまりに少ないことなどの理由から、最近では、陸上埋立て及び海上投棄が主流となっている。
しかしながら、下水処理場からの下水汚泥排出量は、首都圏を中心に、近年、増々増加傾向にあり、陸上埋立てや海上投棄処分のための処分場の不足、更には、環境汚染防止上の制約を受けて、汚泥処理は焼却処分に移行しているのが現状である。この汚泥の焼却方法としては、既にいくつかの方法が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の焼却炉による汚泥焼却方法では、焼却に先立ち汚泥を乾燥する必要がある。また、乾燥排ガスを脱臭する必要もある。このため、焼却コスト、乾燥コスト及び脱臭コストが嵩み、処理コストが高くつくという欠点がある。
【０００４】
汚泥の乾燥に生石灰を用い、汚泥中の水分と生石灰との反応で消石灰を生成させると共に、反応熱を利用して残留水分を乾燥させることにより汚泥を空気圧送可能な状態に乾燥させ、乾燥物をセメント原料として利用する方法も提案されているが、この方法でも、汚泥の乾燥のために生石灰を添加する必要があるという不具合がある。
【０００５】
本発明は上記従来の問題点を解決し、下水汚泥等の含水汚泥を、乾燥、添加剤添加等の前処理を施すことなく、効率的に最終処分する汚泥処理方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の汚泥処理方法は、含水汚泥を、直接、セメント原料を焼成してセメントクリンカーを製造する乾式キルンの窯尻部分又は仮焼炉に導入して焼却することを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に記載の汚泥処理方法は、上記含水汚泥は、下水汚泥であることを特徴とするものである。
【０００８】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
【０００９】
図１は本発明の汚泥処理方法の一実施例方法を示す模式的な断面図である。
【００１０】
本実施例においては、含水汚泥（例えば、下水処理場の沈降汚泥）を、含水スラリー状のまま、乾式キルンの窯尻部分に直接投入して焼却する。即ち、下水処理場から排出された下水汚泥等の含水汚泥は、まず、汚泥受入設備から一旦、圧送ポンプＰ1 を備える配管１１を経て汚泥タンク１に貯留し、この汚泥タンク１から随時圧送ポンプＰ2 を備える配管１２を経て乾式ロータリーキルン２の窯尻部分２Ａよりキルン１内に直接投入する。
【００１１】
このロータリーキルン２の窯尻部分の上部には、サスペンションプレヒータ３が連設されており、図示しない原料ミルで粉砕されたセメント原料を、このプレヒータ３で予熱した後、ロータリーキルン２の窯尻部分２Ａに投下し、キルン２内で焼成してセメントクリンカーを製造するように構成されている。
【００１２】
従って、ロータリーキルン２の窯尻部分２Ａに投入された含水汚泥は、加熱されたセメント原料と共に焼成され、セメントクリンカーとして排出される。
【００１３】
このように、含水汚泥を配管圧送して直接焼却処理する場合には、臭気等の問題が生起することもない。
【００１４】
なお、仮焼炉を有するセメント焼成設備の場合にあっては、含水汚泥を仮焼炉に投入して焼却するようにしても良い。
【００１５】
本発明の方法においては、既存の乾式キルンに、その運転条件を特に変更することなく含水汚泥を投入して焼却処分するのが好ましく、この点からは、投入する含水汚泥を所定値以下とする必要がある。
【００１６】
例えば、９０〜１００ｔ／ｈｒの割合でセメントクリンカーを生産しているロータリーキルンに通常の下水汚泥を導入して焼却処分する場合、下水汚泥の投入量は９〜１０ｔ／ｈｒとし、製造されるセメントクリンカーの重量に対して１／９〜１／１１程度の含水汚泥を投入するようにするのが好ましい。
【００１７】
【作用】
本発明によれば、含水汚泥を、乾燥することなく、また、添加剤を用いて前処理することなく、直接、既存の簡易な焼却設備である乾式キルンに投入してセメント原料と共に焼却処理することができる。キルンに投入された含水汚泥は、その殆どが水分と有機成分であるため、焼却により残留する灰分はごく微量であり、セメントクリンカーの品質に影響を及ぼすこともなく、通常運転を行える。
【００１８】
【実施例】
以下に具体的な実施例を挙げて、本発明をより詳細に説明する。
【００１９】
実施例１
下記表１に示す組成の下水汚泥を、図１に示す如く、乾式キルン（９０〜１００ｔ／ｈｒのセメントクリンカーを生産している乾式キルン）の窯尻部分から１〜１０ｔ／ｈｒの量で投入して、通常運転を行ったところ、セメントクリンカーの品質に何ら影響を及ぼすことなく、安定な運転を行うことができ、汚泥を含水スラリーのまま、前処理することなく、直接最終処分することができた。
【００２０】
【表１】
0003969018.tif 000002
【００２１】
なお、仮焼炉に導入した場合も同様にセメントクリンカーの品質に何ら影響を及ぼすことなく、安定な運転を行うことができ、汚泥を含水スラリーのまま、前処理することなく、直接最終処分することができた。
【００２２】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の汚泥処理方法によれば、下水汚泥などの含水汚泥を、乾燥や添加剤添加等の前処理を施すことなく、また、環境汚染の問題もなく、既存の乾式キルンで直接焼却処理することにより、効率的かつ低コストに最終処分することができるとともに、汚泥焼却灰はセメントクリンカーとして経済的に最終処理することができる。
【００２３】
請求項２の汚泥処理方法によれば、汚泥焼却灰はセメントクリンカーとして経済的に最終処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の汚泥処理方法の一実施例方法を示す模式的な断面図である。
【符号の説明】
１  汚泥タンク
２  ロータリーキルン
２Ａ  窯尻部分
３  プレヒータ
【図１】
0003969018.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
式ＺｎｙＣｄ１−ｙＳｅ（０＜ｙ＜０．４）、ＺｎｙＣｄ１−ｙＴｅ（０＜ｙ＜０．４）、またはＧａｘＧｅ１−ｘＴｅ（０．６＜ｘ＜１）で表わされる化学組成を有する薄膜であって、強誘電体であることを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜。
【請求項２】
請求項１の薄膜において、Ｓｉ基板上に配設されていることを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜。
【請求項３】
請求項１または２の薄膜からなることを特徴とするメモリー媒体。
【請求項４】
請求項１または２の薄膜の製造法であって、気相成膜により製造することを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜の製造法。
【請求項５】
レーザーアブレーションにより成膜する請求項４の製造法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この出願の発明は、カルコゲナイド系強誘電体薄膜に関するものである。さらに詳しくは、不揮発性メモリデバイスへの応用も可能とされるカルコゲナイド系強誘電体薄膜に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】
従来より、カルコゲナイド系化合物は、ＰｂＴｅやＣｄＴｅが各々赤外線センサーや太陽電池に利用される等、広範な応用が期待されている物質である。また、近年では、Ｍｎを含むＴｅ系化合物は希薄磁性体としても注目されている。
このようなカルコゲナイド系化合物については、この出願の発明者らによって結晶成長について検討されてきているところでもある。
【０００３】
ただ、カルコゲナイド系化合物は、その特性が注目されながらも、実際的利用については必ずしも充分に拡がっていないのも確かである。
一方、この出願の発明者らは、メモリー媒体としての強誘電体メモリー（ＦＲＡＭ）について検討を続けてきており、ＤＲＡＭと同じ高速、大容量、低電力性を保ちながら不揮発性を備えたメモリーとしてのＦＲＡＭに注目し、その性能高度化のための方策として非酸化物系強誘電体の利用を探索してきた。それと言うのも、不揮発性メモリにおいては、Ｓｉ基板への直接的成膜が必須となるが、従来では、ほとんどの強誘電体が酸化物であるために、界面に酸化シリコンが形成されて低誘電層になるという深刻な問題があったからである。
【０００４】
非酸化物系強誘電体としては、トリグリシン硫化物やポリビニリデン弗化物も知られているが、Ｓｉ基板上に薄膜として形成されることが知られているのはＢａＭｇＦ4 にとどまっている。しかし、このＢａＭｇＦ4 もその特性、安定性、さらには製造の点において難点があることから、新しいＳｉ基板上への成膜が可能な非酸化物系強誘電体の実現が望まれていた。
【０００５】
そこで、以上のような事情に鑑みて、この発明の発明者は、Ｓｉ基板上への成膜も可能な非酸化物系強誘電体として前記カルコゲナイド系薄膜を提供することを課題としてきた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、式ＺｎｙＣｄ１−ｙＳｅ（０＜ｙ＜０．４）、ＺｎｙＣｄ１−ｙＴｅ（０＜ｙ＜０．４）、またはＧａｘＧｅ１−ｘＴｅ（０．６＜ｘ＜１）で表わされる化学組成を有する薄膜であって、強誘電体であることを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜を提供する。
【０００７】
そして、この出願の発明は、Ｓｉ基板上に配設されていることを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜を提供する。
また、この出願の発明は、上記薄膜からなることを特徴とするメモリー媒体も提供する。
さらに、この出願の発明は、以上の薄膜の製造法であって、気相成膜により製造することを特徴とするカルコゲナイド系強誘電体薄膜の製造法と、その代表例としての、レーザーアブレーションにより成膜する製造法をも提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
この出願の発明は、以上のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。まず、この出願の発明の薄膜は、その化学組成としては、式ＺｎｙＣｄ１−ｙＳｅ（０＜ｙ＜０．４）、ＺｎｙＣｄ１−ｙＴｅ（０＜ｙ＜０．４）、またはＧａｘＧｅ１−ｘＴｅ（０．６＜ｘ＜１）で表わされる。
【００１０】
これらのカルコゲナイド系化合物は、Ｓｉ基板上に成膜することができ、強誘電体薄膜として特徴のあるものとなる。
【００１１】
なお、現状においては、不揮発性メモリーへの応用のためにはＳｉ基板が用いられるが、その用途、目的によってはそれ以外の各種のものであってもよい。チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム等の各種のものが考慮される。
薄膜の形成には、気相成膜法の各種のものが考慮される。真空蒸着法、スパッタリング法、レーザーアブレーション法等である。ＣＶＤ法であってもよい。
【００１２】
なかでも、この発明においては、室温という低温条件での成膜も可能とする方法として、レーザーアブレーション法が好適なものの一つとして採用されるターゲット物質にレーザー光を照射して基板上に成膜する方法である。この方法においては、より好ましくは、希ガス（Ａｒ等）の不活性雰囲気下、もしくは高真空下において行うのが適当である。
【００１３】
成膜されたこの発明のカルコゲナイド系強誘電体薄膜は、たとえばＳｉ基板上においては不揮発性メモリーとして有用なものとなる。
以下、実施例を示し、さらに詳しく説明する。
【００１４】
【実施例】
実施例１
水素終端したｐ型Ｓｉ（１００）を基板として用い、室温において、ＡｒＦエキシマレーザーの照射によりターゲットのレーザーアブレーションを行い、対向する基板上に（Ｚｎ、Ｃｄ）Ｔｅ、（Ｚｎ、Ｃｄ）Ｓｅの薄膜を各々成膜した。
【００１５】
なお、成膜は、Ａｒ雰囲気（１０-3Ｔｏｒｒ以下）において行った。
図１は、Ｚｎ0.1 Ｃｄ0.9 Ｔｅ／Ｓｉ（１００）およびＺｎ0.1 Ｃｄ0.9 Ｓｅ／Ｓｉ（１００）のＸＲＤパターンを示した図である。また、図２は、Ｚｎ0.2 Ｃｄ0.8 Ｔｅ／Ｓｉ（１００）およびＺｎ0.1 Ｃｄ0.9 Ｓｅ／Ｓｉ（１００）の場合のＣ−Ｖ曲線を示したものである。ヒステリシスが観測され、強誘電体であることが確認された。
実施例２
実施例１と同様にレーザーブレーション法によってＧａx Ｇｅ1-x Ｔｅの薄膜を形成した。
【００１６】
図３はＧｅの含有量と抵抗との関係を示したものである。
また、図４は、Ｇａ0.85Ｇｅ0.15Ｔｅ／Ｓｉ（１００）の薄膜のＤ−Ｅ特性を示した図である。
Ｇａ−Ｇｅ−カルコゲナイド系強誘電体薄膜の薄膜が確認された。
【００１７】
【発明の効果】
以上詳しく説明したとおり、この出願の発明によって、不揮発性メモリー（ＦＲＡＭ）への応用としても有用な、非酸化物系のカルコゲナイド系強誘電体薄膜が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｚｎ−Ｃｄ−Ｔｅ／Ｓｉ（１００）、Ｚｎ−Ｃｄ−Ｓｅ／Ｓｉ（１００）のＸＲＤパターンを示した図である。
【図２】Ｚｎ−Ｃｄ−Ｔｅ／Ｓｉ（１００）、Ｚｎ−Ｃｄ−Ｓｅ／Ｓｉ（１００）のＣ−Ｖ曲線を示した図である。
【図３】Ｇａ−Ｇｅ−Ｆｅ／Ｓｉ（１００）の含有量と抵抗との関係を示した図である。
【図４】Ｇａ−Ｇｅ−Ｔｅ／Ｓｉ（１００）のＤ−Ｅ特性を示した図である。
【図１】
0003969834.tif 000002
【図２】
0003969834.tif 000003
【図３】
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【図４】
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