(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を印加して前記被加工物を加工する交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置において、
前記極間への交流高周波電圧の複数周期にわたる印加及び休止を所定の周期で行う交流高周波電圧間欠供給手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項２】
請求の範囲１において、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を放電の連続を分断できる所定時間としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項３】
請求の範囲１において、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を約１μｓ以下としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項４】
請求の範囲１において、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を交流高周波電圧の１０周期程度以下としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項５】
請求の範囲１において、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間及び休止時間並びに交流高周波電圧のピーク値及び周波数等による加工特性を予め保存してなり、要求仕様及び加工条件に応じて前記交流高周波電圧の印加時間及び休止時間の保存値を呼び出して前記交流高周波電圧間欠供給手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項６】
ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を印加する交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置において、
第１の所定時間における交流高周波電圧の絶対値よりも第２の所定時間における交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行う交流高周波電圧可変供給手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項７】
請求の範囲６において、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を放電の連続を分断できる所定時間としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項８】
請求の範囲６において、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を約１μｓ以下としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項９】
請求の範囲６において、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を交流高周波電圧の１０周期程度以下としたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項１０】
請求の範囲６において、前記第１の所定時間及び第２の所定時間並びに交流高周波電圧のピーク値及び周波数等による加工特性を予め保存してなり、要求仕様及び加工条件に応じて前記第１の所定時間及び第２の所定時間の保存値を呼び出して前記交流高周波電圧可変供給手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工用電源装置。
【請求項１１】
ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を供給することにより前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、
前記極間への交流高周波電圧の複数周期にわたる印加及び休止を所定の周期としたことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【請求項１２】
請求の範囲１１において、前記交流高周波電圧の印加時間及び休止時間を、要求仕様及び加工条件に応じて可変としたことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【請求項１３】
ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を供給することにより前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、
第１の所定時間における交流高周波電圧の絶対値よりも第２の所定時間における交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【請求項１４】
請求の範囲１３において、前記第１の所定時間及び第２の所定時間を、要求仕様及び加工条件に応じて可変としたことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は、ワイヤ電極と被加工物との極間に放電を発生させて被加工物の加工を行うワイヤ放電加工に用いられる前記極間に加工電力を供給するワイヤ放電加工用電源装置及びワイヤ放電加工方法の改良に関するものである。
背景技術
電極と被加工物との極間に加工電力を供給する従来の放電加工用電源装置として、前記極間に交流高周波電圧を印加し、短い時間幅の放電を高い繰り返し頻度で発生させることにより、前記被加工物に微細な加工面が得られることが知られている。例えば、日本国特開昭６１−２６０９１５号公報には、１ＭＨｚから５ＭＨｚの交流高周波電圧を極間に印加することにより１μｍ  Ｒｍａｘ以下の加工面が得られることが開示されている。また、日本国特開平７−９２５８号公報には、７ＭＨｚから３０ＭＨｚの交流高周波電圧を極間に印加することにより０．５μｍ  Ｒｍａｘ以下の加工面が得られることが開示されている。
第１０図は、従来の交流高周波電源を用いた放電加工用電源装置の例を示すブロック図であり、図において、１は電極、２は被加工物、３は直流電源、４は高周波発振増幅回路である。外部指令により、直流電源３から一定の電圧あるいは電力を高周波発振増幅回路４に入力し、交流高周波電圧を発生させ、電極１と被加工物２との極間に交流高周波電圧Ｖｇを印加することにより、放電エネルギにより被加工物２を放電加工する。
第１１図は、従来の交流高周波電源を用いた放電加工用電源装置において、交流高周波電圧を前記極間に印加した場合の無負荷時の極間電圧波形の一例を示す図である。このような例えば１ＭＨｚ以上の周波数で、交流高周波電圧を前記極間に継続的に供給することにより、面粗さが非常に滑らかな加工面を得ることができる。
以上のような交流高周波電源を用いた放電加工用電源装置は、被加工物加工面の面粗さが非常に滑らかになるという大きな効果があるが、ワイヤ放電加工に使用した場合においては、近年の市場における厳しい要求に対応するために、いくつかの問題点があることがわかってきた。交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置の問題点を以下に示す。
▲１▼真直精度が低下する。
交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置では、極間に電圧を印加したままの状態となるため、ワイヤ電極と被加工物との間に静電力による引力が働き、被加工物の中央部分が大きく加工される、いわゆる「太鼓形状」になり、真直精度が低下するという問題点がある。
▲２▼加工面に筋が発生する。
交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工は面粗さの細かい領域の加工であるために、わずかなワイヤ電極の振動であっても加工面性状に与える影響が顕著となる。従って、ワイヤ電極と被加工物との間の静電力による引力と放電による反発力が一定しないために生じるワイヤ電極の振動により被加工物加工面に筋が発生するという問題点がある。また、このような加工面の筋は目視でも確認できるものである。
交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置による被加工物加工面は、縦方向（加工の際にワイヤ電極と平行になる方向）の面粗さと横方向（加工の際にワイヤ電極と垂直になる方向）の面粗さに大きな差異が生じることが珍しくない。例えば、前記横方向の面粗さが前記縦方向の面粗さと比較して３乃至４割程度悪い場合がある。第１２図は、従来の交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置により板厚２０ｍｍの鋼材を直径０．２ｍｍの黄銅ワイヤ電極により加工した場合における被加工物加工面の面粗さの例を示したものであり、第１２図の（ａ）は縦方向の面粗さ曲線、第１２図の（ｂ）は横方向の面粗さ曲線を示している。第１２図の場合、横方向の面粗さは１．８２μｍ  Ｒｍａｘ、縦方向の面粗さは１．２９μｍ  Ｒｍａｘであり、横方向の面粗さは縦方向の面粗さに比べて約４割粗いことがわかる。このような方向による面粗さの相違が被加工物加工面に発生する筋と関係がある。
▲３▼加工面粗さが低下する。
交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置では、電圧の極性が交代するものの、電圧が常に印加された状態であるため、放電が長期間（数周期から数十周期分）連続する現象がみられ、交流高周波の１パルス（交流の半波）の放電により得られると想定される面粗さよりも数倍粗い面粗さしか得られないという問題点がある。第１３図に、電源周波数１３．５５ＭＨｚの従来の交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置による加工実行時の極間電圧波形の例を示す。交流高周波印加電圧のピーク値が所定電圧以下に下がっていることから放電の有無を一次判断することができ、第１３図の電圧波形から交流高周波印加電圧の数十周期にわたり連続して放電している現象が見られる。荒加工において、電圧印加後すぐに放電が発生するような現象が起きているときには、放電が同じところに発生していることが多いことがわかっており、第１３図のような交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置による放電加工においても放電集中が起きていると推定され、この放電集中により加工面粗さが低下しているものと考えられる。
ワイヤ放電加工の用途として、半導体業界をはじめとして極めて高精度かつ非常に滑らかな面粗さが要求される用途が増加している。例えば、ＩＣリードフレームの金型等の加工においては、形状精度が１μｍ以下、面粗さが０．５μｍ  Ｒｍａｘ以下というような厳しい要求も見受けられる。このような厳しい要求に応えるために、前記のような問題点の解消が切迫した課題となっていた。
発明の開示
この発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、被加工物のワイヤ放電加工において、高精度かつ高品位な被加工物加工面が得られるワイヤ放電加工用電源装置及びワイヤ放電加工方法を得ることを目的とする。
この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を印加する交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置において、前記極間への交流高周波電圧の印加及び休止を行う交流高周波電圧間欠供給手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を放電の連続を分断できる所定時間としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を約１μｓ以下としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間を交流高周波電圧の１０周期程度以下としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧間欠供給手段による交流高周波電圧の印加時間及び休止時間並びに交流高周波電圧のピーク値及び周波数等による加工特性を予め保存してなり、要求仕様及び加工条件に応じて前記交流高周波電圧の印加時間及び休止時間の保存値を呼び出して前記交流高周波電圧間欠供給手段を制御する制御手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を印加する交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置において、第１の所定時間における交流高周波電圧の絶対値よりも第２の所定時間における交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行う交流高周波電圧可変供給手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を放電の連続を分断できる所定時間としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を約１μｓ以下としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記交流高周波電圧可変供給手段による交流高周波電圧の第１の印加時間を交流高周波電圧の１０周期程度以下としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置は、前記第１の所定時間及び第２の所定時間並びに交流高周波電圧のピーク値及び周波数等による加工特性を予め保存してなり、要求仕様及び加工条件に応じて前記第１の所定時間及び第２の所定時間の保存値を呼び出して前記交流高周波電圧可変供給手段を制御する制御手段を備えたものである。
この発明に係るワイヤ放電加工方法は、ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を供給することにより前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、前記極間への交流高周波電圧の印加を間欠的に行うものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工方法は、前記交流高周波電圧の印加時間及び休止時間を、要求仕様及び加工条件に応じて可変としたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工方法は、ワイヤ電極と被加工物との極間に交流高周波電圧を供給することにより前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、第１の所定時間における交流高周波電圧の絶対値よりも第２の所定時間における交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行うものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工方法は、前記第１の所定時間及び第２の所定時間を、要求仕様及び加工条件に応じて可変としたものである。
この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置及びワイヤ放電加工方法は以上のように構成されているため、被加工物加工面の真直精度を向上することができる。また、被加工物加工面に形成される筋を無くすことができる。さらに、被加工物加工面の面粗さを小さくすることができる。さらにまた、被加工物の所期の形状精度及び面粗さを確保しながら、加工生産性の低下を抑制することができる。
発明を実施するための最良の形態
実施の形態１．
第１図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工用電源装置のブロック図であり、図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、４は高周波発振増幅回路、５はパルス電源である。パルス電源５から間欠的な電圧Ｖを高周波発振増幅回路４へ入力することにより、ワイヤ電極１ａと被加工物２との極間に電圧Ｖｇ１の交流高周波電圧が印加される。
第２図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるパルス電源５の電圧波形Ｖ及び極間電圧波形Ｖｇ１を説明するための概念図である。パルス電源５から出力されるパルス電圧Ｖが印加される所定時間Ｔ１と、パルス電圧Ｖが印加されない所定時間Ｔ２とに同期して、極間に間欠的に交流高周波電圧を印加する。
パルス電源５が極間への交流高周波電圧の印加（所定時間Ｔ１）及び休止（所定時間Ｔ２）を行う交流高周波電圧間欠供給手段に相当する。
第３図は、１３．５５ＭＨｚの周波数の交流高周波電圧を前記所定時間Ｔ１＝１．７μｓ、前記所定時間Ｔ２＝２μｓで間欠的に印加した場合の極間電圧波形Ｖｇ１の例を示したものである。第２図の概念図に比べ、極間電圧波形Ｖｇ１の振幅が一定でないのは、立ち上がり及び立ち下がりの時定数の影響等によるものである。
以上のように間欠的に交流高周波電圧を印加することにより、交流高周波電圧が印加されない所定時間Ｔ２において極間に発生する静電力が低減され、ワイヤ電極１ａの振動を抑制することが可能となり、高精度な加工を実現することができる。
第４図は、被加工物加工面の形状曲線、真直精度及び面粗さの計測結果を示したものであり、第４図の（ａ）は１３．５５ＭＨｚの交流高周波電圧を連続的に印加した場合、第４図の（ｂ）は１３．５５ＭＨｚの交流高周波電圧を間欠的に印加した場合（Ｔ１＝１．７μｓ、Ｔ２＝２μｓ）の形状曲線等を示している。また、第４図の（ａ）及び（ｂ）共に、被加工物が板厚２０ｍｍの鋼材、ワイヤ電極が直径０．２ｍｍの黄銅である場合の計測結果である。
第４図の（ａ）の交流高周波電圧を連続的に印加した場合の形状曲線を見ると、被加工物の中央部分が大きく凹んで、いわゆる「太鼓形状」となっており、真直精度が２．３９μｍと悪いが、第４図の（ｂ）の交流高周波電圧を間欠的に印加した場合の真直精度は０．１９μｍであり、交流高周波電圧の間欠的印加により真直精度を大きく改善できることが確認できた。
また、第４図の（ｂ）の交流高周波電圧を間欠的に印加した場合は、第４図の（ａ）の交流高周波電圧を連続的に印加した場合と比較して、被加工物加工面の横方向の面粗さと縦方向の面粗さとの差が小さいことがわかり、第４図の（ｂ）の交流高周波電圧を間欠的に印加した場合には、ワイヤ電極の振動により発生する被加工物加工面の筋が無くなることも確認できた。
しかし、第４図の（ｂ）の交流高周波電圧の間欠的な印加条件では、被加工物加工面の面粗さを大きく改善することはできないことがわかる。
この原因としては、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１が長いため、放電の連続という点に関しては連続交流高周波電圧の印加とあまり変わらないためであると考えられる。そこで、交流高周波による放電の連続を分断するために、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１を短くしていったところ、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１がある値以下になると被加工物加工面の面粗さを非常に小さくできることがわかった。
第５図は、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１による被加工物加工面の縦方向面粗さの変化を示したものであり、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１を約１μｓ程度（交流高周波電圧の１０乃至１０数周期程度に相当）以下とすることにより、被加工物加工面の面粗さが非常に小さくなり、高品位の面性状が得られることがわかる。例えば交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１が０．６μｓの場合において、被加工物加工面の縦方向面粗さは０．７６μｍ  Ｒｍａｘ（横方向面粗さは０．８９μｍ  Ｒｍａｘ）であり、第４図に示した被加工物加工面の面粗さの計測結果と比較して、面粗さを大きく改善できることがわかる。
以上のように、交流高周波電圧の間欠的な印加及び交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１の選定により、被加工物の真直精度及び面粗さ等の加工特性が大きく改善できることがわかったが、交流高周波電圧の連続的な印加による場合と比較して加工効率は低下することになる。従って、前記所定時間Ｔ１及びＴ２並びに交流高周波電圧のピーク値及び周波数等による加工特性を予め実験により求めて図示しない制御手段に保存しておき、要求仕様及び加工条件に応じて前記制御手段により前記所定時間Ｔ１及びＴ２を設定することにより、所期の形状精度及び面粗さを確保しながら、加工生産性の低下を抑制することができる。
例えば、被加工物の板厚が大きくなると静電力による影響が大きくなるため、前記所定時間Ｔ２を大きくして前記所定時間Ｔ１の割合を下げることで静電力を小さくすることにより、真直精度を向上させることができる。また、内側コーナ部の加工等加工量が大きくなる場合には、前記所定時間Ｔ２を小さくして前記所定時間Ｔ１を大きくすることにより、加工能力を大きくして安定した加工を実現することができる。
以上のような間欠的な交流高周波電圧を極間に印加するためには、交流高周波電圧間欠供給手段として第１図のようなパルス電源５を用いる他にも様々な方法がある。例えば、パルス電源５の代わりに直流電源を用いて、高周波発振増幅回路４に入る電圧をスイッチング素子によりオン・オフしてもよいし、電源としては連続した交流高周波電圧を発生させておき、極間を強制的に周期的に短絡させる構成としてもよい。
また、以上のような交流高周波電源に休止を入れる概念に関連するものとして、例えば日本国特開昭５９−２３２７２６号公報に開示された発明がある。この発明は、交流高周波電圧を印加する第１の電源と、放電開始時点から所定幅のパルス電流を流す第２の電源とを備え、極間に交流高周波電圧を印加して放電が発生したときにパルス電流により放電加工を行うものであり、交流高周波電圧を放電を誘発させるために用い、放電を検出した後に直流電流を印加する方式の電源に関するものである。従って、加工速度及び電極消耗が前記パルス電流によって決まるものであり、この発明とは技術思想が全く異なるものである。
実施の形態２．
第６図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工用電源装置の回路図であり、図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、３は直流電源、４は高周波発振増幅回路、６は抵抗装置、７ａ及び７ｂは抵抗、８ａ及び８ｂはダイオード、９ａ及び９ｂはＦＥＴである。直流電源３から所定の電圧を高周波発振増幅回路４へ入力することにより、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に電圧Ｖｇ２の交流高周波電圧が印加される。極間に並列に接続された抵抗装置６内の、ＦＥＴ９ａ及び９ｂは、外部信号Ｓ１及びＳ２によりそれぞれ独立に駆動可能な構成となっている。また、ダイオード８ａはワイヤ電極１ａがマイナス、被加工物２がプラスの極性（正極性）時に電流が流れる向きに抵抗７ａと直列に接続され、ダイオード８ｂはワイヤ電極１ａがプラス、被加工物２がマイナスの極性（逆極性）時に電流が流れる向きに抵抗７ｂと直列に接続されている。
第７図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるＦＥＴ９ａとＦＥＴ９ｂそれぞれの入力信号Ｓ１、Ｓ２と極間電圧波形Ｖｇ２を説明するための概念図である。ＦＥＴ９ａとＦＥＴ９ｂのオン・オフを第７図の（ａ）のように同期して動作させた場合、第７図の（ｂ）のように、外部信号Ｓ１及びＳ２がオフである所定時間Ｔ４（第１の所定時間）よりも外部信号Ｓ１及びＳ２がオンである所定時間Ｔ３（第２の所定時間）の方が、極間に印加される交流高周波電圧Ｖｇ２の絶対値が小さくなる。
第６図の抵抗装置６が、前記第１の所定時間よりも前記第２の所定時間の交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行う交流高周波電圧可変供給手段に相当する。
このような交流高周波電圧を極間に印加することにより、前記所定時間Ｔ３におけるワイヤ電極１ａと被加工物２間に発生する静電力を低減させることができるため、ワイヤ電極１ａの振動を抑制することが可能となり、より高精度な加工を実現することができる。
実施の形態３．
第８図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工用電源装置の回路図であり、実施の形態２の第６図と同一符号は同一又は相当部分を示している。第８図において、５はパルス電源、１０は抵抗装置、１１は抵抗、１２ａ及び１２ｂはダイオード、１３ａ及び１３ｂはＦＥＴである。直流電源３から所定の電圧を高周波発振増幅回路４へ入力することにより、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に交流高周波電圧Ｖｇ３が印加される。極間に並列に接続された抵抗装置１０内のＦＥＴ１３ａ及び１３ｂは、パルス電源５により同時に駆動可能な構成となっており、逆極性時にはＦＥＴ１３ａとＦＥＴ１３ｂのダイオード１２ｂを通り、正極性時にはＦＥＴ１３ａのダイオード１２ａとＦＥＴ１３ｂを介して抵抗１１に電流が流れる。
第９図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるＦＥＴ１３ａとＦＥＴ１３ｂそれぞれの入力信号Ｓ３、Ｓ４と極間電圧波形Ｖｇ３を説明するための概念図である。ＦＥＴ１３ａとＦＥＴ１３ｂを第９図の（ａ）のように同期してオン・オフすることにより、第９図の（ｂ）のように実施の形態２の第７図の（ｂ）と同様の極間電圧波形を得ることができ、実施の形態２と同様の効果を奏する。
また、この場合は、第８図の抵抗装置１０が、前記第１の所定時間よりも前記第２の所定時間の交流高周波電圧の絶対値を所定の割合で小さくして極間への供給を行い、このような可変電圧供給を繰り返し行う交流高周波電圧可変供給手段に相当する。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明に係るワイヤ放電加工用電源装置及びワイヤ放電加工方法は、特に高精度かつ高品位なワイヤ放電加工に用いられるのに適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工用電源装置のブロック図である。
第２図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるパルス電源の電圧波形及び極間電圧波形を説明するための概念図である。
第３図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工用電源装置による間欠的な交流高周波電圧を印加した場合の極間電圧波形の例を示す図である。
第４図は、被加工物加工面の形状曲線、真直精度及び面粗さの計測結果を示す図である。
第５図は、交流高周波電圧の所定印加時間Ｔ１による被加工物加工面の縦方向面粗さの変化を示す図である。
第６図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工用電源装置の回路図である。
第７図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるＦＥＴの入力信号と極間電圧波形を説明するための概念図である
第８図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工用電源装置の回路図である。
第９図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工用電源装置におけるＦＥＴの入力信号と極間電圧波形を説明するための概念図である。
第１０図は、従来の放電加工用電源装置の例を示すブロック図である。
第１１図は、従来の交流高周波電源を用いた放電加工用電源装置において、交流高周波電圧を極間に印加した時の無負荷電圧波形の一例を示す図である。
第１２図は、従来の交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置による被加工物の加工面の面粗さの例を示す図である。
第１３図は、従来の交流高周波電源を用いたワイヤ放電加工用電源装置による加工実行時の極間電圧波形の例を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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