(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより単一の装置に組み込まれた複数の制御対象の制御処理を行う制御装置であって、前記制御プログラムを実行することにより、（１）当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力機能と、（２）当該制御プログラムの停止を示す停止コードを出力する停止コード出力機能と、（３）同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止機能と、の各機能を果たす制御処理手段と、これらの制御プログラムによって出力された前記エラーコードを含むエラー情報を記憶するエラー情報記憶部と、各制御プログラムによって出力された前記停止コードを含む動作情報を記憶する動作情報記憶部と、全ての制御プログラムが停止状態にあることを確認した上で、前記エラー情報および動作情報に基づいて前記エラーコードに対応するエラー表示を行う表示手段とを備えたことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより単一の装置に組み込まれた複数の制御対象を制御する制御方法であって、前記複数の制御プログラムは、それぞれが、（１）当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力ステップと、（２）当該プログラムが停止したことを示す停止コードを出力する停止コード出力ステップと、（３）同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止ステップと、を含み、これらの制御プログラムを実行することによって出力される前記エラーコードを含むエラー情報、前記停止コードを含む動作情報をそれぞれエラー情報記憶部、動作情報記憶部に記憶させておき、全ての制御プログラムが停止状態にあることを確認した上で、前記エラー情報および動作情報に基づいて前記エラーコードに対応するエラー表示を行うことを特徴とする制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＦＡ装置などに用いられ複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより単一の装置に組み込まれた複数の制御対象の制御処理を行う制御装置および制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＦＡ（Ｆａｃｔｏｒｙ  Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）装置においては、動作制御はコンピュータ化され、装置各部の動作や処理はコンピュータの制御プログラムを実行することにより行われる。通常、ＦＡ装置は複数の構成要素（制御対象）が同時並行的に動作することにより機能し、このような動作の制御は複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより行われる。
【０００３】
ところでこれらの制御プログラムの実行においては、何らかの外部要因や装置自体に起因する不正常な動作によって、プログラム上でのエラーが発生する場合がある。このようなエラーはプログラム自体によってその発生が検出され、一般にその旨の報知がなされる。この報知は、操作盤の表示モニタ上での表示や、また警報灯の点灯などによって行われる。そしてこの報知を承けてオペレータはエラー原因の除去など必要な対処を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来の制御装置では、複数の制御プログラムが同時並行的に実行されている途中でいずれかの制御プログラムにエラーが発生すると、このエラー発生源の制御プログラムによって検知され直ちにエラーが報知されていた。このとき、同時並行的に実行されている他の制御プログラムの実行状態は考慮されていなかったため、オペレータがエラー対処のために装置にアクセスする際に、他の制御プログラムによって実行されている動作が継続中のままエラー報知が行われていた。
【０００５】
そしてこのような場合に、オペレータが即座にそのエラーに対する対処を行おうとすれば、動作中の可動機構部にオペレータがアクセスする可能性があり、オペレータの安全が確保されない事態が発生していた。このように従来の制御装置には、エラー発生時の処置に関して安全面での配慮が十分でないという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、エラー発生時の処置においてオペレータの安全が確保される制御装置および制御方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の制御装置は、複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより単一の装置に組み込まれた複数の制御対象の制御処理を行う制御装置であって、前記制御プログラムを実行することにより、（１）当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力機能と、（２）当該制御プログラムの停止を示す停止コードを出力する停止コード出力機能と、（３）同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止機能と、の各機能を果たす制御処理手段と、これらの制御プログラムによって出力された前記エラーコードを含むエラー情報を記憶するエラー情報記憶部と、各制御プログラムによって出力された前記停止コードを含む動作情報を記憶する動作情報記憶部と、全ての制御プログラムが停止状態にあることを確認した上で、前記エラー情報および動作情報に基づいて前記エラーコードに対応するエラー表示を行う表示手段とを備えた。
【０００８】
請求項２記載の制御方法は、複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより単一の装置に組み込まれた複数の制御対象を制御する制御方法であって、前記複数の制御プログラムは、それぞれが、（１）当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力ステップと、（２）当該プログラムが停止したことを示す停止コードを出力する停止コード出力ステップと、（３）同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止ステップと、を含み、これらの制御プログラムを実行することによって出力される前記エラーコードを含むエラー情報、前記停止コードを含む動作情報をそれぞれエラー情報記憶部、動作情報記憶部に記憶させておき、全ての制御プログラムが停止状態にあることを確認した上で、前記エラー情報および動作情報に基づいて前記エラーコードに対応するエラー表示を行うようにした。
【０００９】
本発明によれば、同時並行的に実行される複数の制御プログラムを実行することによって出力されるエラーコードを含むエラー情報、停止コードを含む動作情報をそれぞれエラー情報記憶部、動作情報記憶部に記憶させておき、エラー情報および動作情報に基づいてエラーコードに対応するエラー表示を行うことにより、エラー発生時には他の制御プログラムの停止を確認した上でエラー報知を行うことができ、エラー処置時のオペレータの安全を確保することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の制御装置を内蔵したチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図、図２は本発明の一実施の形態の制御装置の処理機能を示す機能ブロック図、図３は本発明の一実施の形態の制御プログラムの処理ステップを示すフロー図である。
【００１１】
まず図１を参照して半導体チップのピックアップ装置の構成について説明する。図１において部品供給部１は、ＸＹテーブル２に立設されたブラケット３上にウェハ保持テーブル４を結合して構成されている。ウェハ保持テーブル４には半導体チップ６（以下、単に「チップ６」と略記する）が多数貼着されたウェハシート５が装着されている。ウェハ保持テーブル４の下方にはエジェクタユニット７が配設されている。エジェクタユニット７はチップ６のピックアップ位置に位置合わせされており、内蔵されたピン（図示省略）を上方に突出させることにより、ウェハシート５上のチップ６を突き上げる。
【００１２】
チップ供給部１の上方には、移動テーブル９に装着された搭載ヘッド８が水平動自在に配設されており、ピンによって突き上げられたチップ６は搭載ヘッド８のノズル８ａによって真空吸着によりピックアップされる。ピックアップされたチップ６は移動テーブル９によって移動し、基板保持テーブル１０に載置された基板１１上に実装される。
【００１３】
ウェハ保持テーブル４の上方には、カメラ１３を備えた撮像部１２が配設されている。撮像部１２はウェハシート５上のチップ６を撮像し、撮像によって取得された画像データは画像認識部１４に伝達される。画像認識部１４は画像データを画像処理し、チップ６の位置を検出する。演算部１５は全体制御部であり、画像認識部１４の認識結果を受け取る他、以下に説明する各制御プログラムを実行して各部を制御するための演算処理を行う。
【００１４】
記憶部１６は各部の動作に必要な制御プログラム、すなわち搭載ヘッド制御プログラム２１、基板搬送制御プログラム２２、部品供給部制御プログラム２３、チップ突き上げ制御プログラム２４などの各種プログラムを記憶する。搭載ヘッド制御プログラム２１を実行することにより、搭載ヘッド８および移動テーブル９の動作が機構制御部１７を介して制御される。
【００１５】
同様に、基板搬送制御プログラム２２、部品供給部制御プログラム２３、チップ突き上げ制御プログラム２４を実行することにより、基板１１を保持する基板保持テーブル１０の動作、部品供給部１のＸＹテーブル２の動作、エジェクタユニット７の動作がそれぞれ機構制御部１７を介して制御される。すなわち、これらの制御プログラムを同時並行的に実行することにより、半導体チップのピックアップ装置が稼働する。本実施の形態では、搭載ヘッド８、移動テーブル９、基板保持テーブル１０、ＸＹテーブル２、エジェクタユニット７のそれぞれが制御対象となっている。
【００１６】
また、記憶部１６には動作情報記憶部１６ａ、エラー情報記憶部１６ｂが設けられている。動作情報記憶部１６ａは、各制御プログラムによって出力された停止コード、すなわち当該制御プログラムの実行・停止状態を示す動作情報を記憶する。エラー情報記憶部１６ｂは、各制御プログラムによって出力されたエラーコード、すなわち制御プログラムの実行時において発生したエラーの有無を少なくとも示す情報を含むエラー情報を記憶する。
【００１７】
機構制御部１７は、ＸＹテーブル２、搭載ヘッド８および搭載ヘッドを移動させる移動テーブル９、エジェクタユニット７を駆動する。表示部１８は、撮像されたチップ６の画像や操作・入力時の画面を表示する。操作部１９はキーボードなどの入力装置であり、操作入力やデータ入力を行う。
【００１８】
次に図２、図３を参照して半導体チップのピックアップ装置に用いられる制御装置の諸機能のうち、エラー発生時の処理機能について説明する。図２において、搭載ヘッド制御プログラム２１、基板搬送制御プログラム２２、部品供給部制御プログラム２３、チップ突き上げ制御プログラム２４は、同時並行的に実行されて各部の動作制御を行う。そしてこれらの制御プログラムを実行することにより、すなわち演算部１５によって各制御プログラムに従った演算処理を行うことにより、当該制御プログラム実行時にエラーが発生した場合には、当該エラーについてのエラーコードが出力される。出力されたエラーコードは、エラー情報記憶部１６ｂのエラー情報格納フレーム２５に書き込まれる。
【００１９】
このエラーコードの出力と共に、当該制御プログラムの停止を示す停止コードが出力され、出力された停止コードは動作情報記憶部１６ａの停止コード書き込みフレーム２７に書き込まれる。例えば当該制御プログラムが動作中であれば０（ゼロ）、停止中であれば１が該当するフレームに書き込まれる。そして同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードがエラー情報格納フレーム２５に書き込まれている場合には、当該制御プログラムの実行を停止する処理が行われる。
【００２０】
すなわち演算部１５は、制御プログラムを実行することにより、当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力機能と、当該制御プログラムの停止を示す停止コードを出力する停止コード出力機能と、同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止機能の各機能を果たす制御処理手段となっている。
【００２１】
表示処理部２８は、エラー情報格納フレーム２５に書き込まれたエラーコードに対応したエラーメッセージをエラーメッセージ記憶部２６から読み出し、停止コード書き込みフレーム２７の書き込み内容を確認した上で、すなわち全ての制御プログラムが停止状態にあることを確認した上で、読み出したエラーメッセージを表示部１８に表示させる。表示処理部２８および表示部１８は、エラー情報および動作情報に基づいてエラーコードに対応するエラー表示を行う表示手段となっている。
【００２２】
この半導体チップのピックアップ装置は上記のように構成されており、以下本実施の形態の制御方法におけるエラー発生時のエラー表示処理について説明する。装置稼働時には、それぞれの制御プログラムが同時並行的に実行されるが、これらの制御プログラムは共通した処理ステップ、すなわち各制御プログラムを実行する過程でエラーが発生した場合の処理のためのステップを含んでいる。
【００２３】
以下、図３を参照してこれらの処理ステップについて説明する。図３は、各種の処理Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ・・・を実行する過程でエラーが発生した場合のステップを示している。例えば処理Ｂに後続して、エラー発生の有無を確認するステップ（ＳＴ１）が設定されており、ここでエラー発生無しの場合にはそのまま後続の処理Ｃに移行する。そしてエラー発生が確認されたならば、エラー情報を記憶する（ＳＴ２）。すなわち、当該制御プログラムの実行上においてエラーが発生した旨のエラーコードを出力する。そして当該制御プログラムの実行を停止し（ＳＴ３）、エラー情報記憶部１６ｂにプログラムが停止状態であることを示す停止情報を記録した後（ＳＴ４）、停止状態のまま待機する（ＳＴ５）。
【００２４】
また、エラー発生無しの場合に引き続いて行われる処理Ｅに後続してエラー情報確認のステップ（ＳＴ６）が設定されている。すなわち、同時並行的に実行されている他の制御プログラムからのエラーコードの有無を、動作情報記憶部１６ａのエラー情報格納フレーム２５を参照することにより確認する（ＳＴ７）。ここで他制御プログラムのエラー無しの場合にはそのまま後続の処理Ｆに移行する。また他制御プログラムのエラー有りが確認されたならば、即座に当該制御プログラムの実行を停止し（ＳＴ８）、エラー情報記憶部１６ｂにプログラムが停止状態であることを示す停止情報を記録した後（ＳＴ９）、停止状態のまま待機する（ＳＴ１０）。
【００２５】
上記処理ステップは各制御プログラムに共通して含まれており、したがって複数の制御プログラムを同時並行的に実行する過程において、いずれの制御プログラムでエラーが発生した場合でも同様のエラー処理がなされる。すなわち、エラー発生を検出した場合には、エラー表示に先だって常に同時並行的に実行されている他の制御プログラムの実行状態を確認し、全ての制御プログラムの実行停止を確認して初めてエラー表示がなされる。
【００２６】
上記説明したように、本実施の形態に示す制御方法は、複数の制御プログラムを同時並行的に実行することにより半導体チップのピックアップ装置を制御する制御方法であって、複数の制御プログラムは、それぞれが、（１）当該制御プログラム実行時に発生したエラーについてのエラーコードを出力するエラーコード出力ステップと、（２）当該プログラムが停止したことを示す停止コードを出力する停止コード出力ステップと、（３）同時並行的に実行されている他の制御プログラムから出力されたエラーコードに基づいて当該制御プログラムの実行を停止させる実行停止ステップとを含んでいる。
【００２７】
そして、これらの制御プログラムを実行することによって出力されるエラーコードを含むエラー情報、停止コードを含む動作情報をそれぞれエラー情報記憶部１６ｂ、動作情報記憶部１６ａに記憶させておき、表示部１８に報知のためのエラー表示を行う際には、記憶されたエラー情報および動作情報に基づいて、他の制御プログラムによる動作が停止状態にあることを確認した上で、当該エラーコードに対応するエラー表示を行うようにしたものである。
【００２８】
したがって、オペレータがエラー報知を承けてエラー対処のために装置各部にアクセスする際には、可動機構部の動作は全て停止した状態にあり、予期しない動作によってオペレータの安全が損なわれる事態が発生せず、装置の安全性を格段に向上させることができる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、同時並行的に実行される制御プログラムによって出力されるエラーコードおよび各制御プログラムの実行・停止を示す動作情報をそれぞれエラー情報記憶部、動作情報記憶部に記憶させておき、エラーコードおよび動作情報に基づいてエラーコードに対応するエラー表示を行うようにしたので、エラー発生時には他の制御プログラムの停止を確認した上でエラー報知を行うことができ、エラー処置時のオペレータの安全を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の制御装置を内蔵したチップのピックアップ装置の構成を示すブロック図
【図２】本発明の一実施の形態の制御装置の処理機能を示す機能ブロック図
【図３】本発明の一実施の形態の制御プログラムの処理ステップを示すフロー図
【符号の説明】
１５  演算部
１６  記憶部
１６ａ  動作情報記憶部
１６ｂ  エラー情報記憶部
１８  表示部
１９  操作部
２１  搭載ヘッド制御プログラム
２２  基板搬送制御プログラム
２３  部品供給部制御プログラム
２４  チップ突き上げ制御プログラム
２８  表示処理部
【図１】
0003911976.tif 000002
【図２】
0003911976.tif 000003
【図３】
0003911976.tif 000004