(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの表側の表面に位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量から、前記ワークの表側の板厚方向の位置を測定し、その平均値を前記ワーク表面の板厚方向の位置とすることを特徴とする板状のワークの表面形状測定方法。
【請求項２】
２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの裏側の表面に位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量と、前記ワークの屈折率とから、前記ワークの裏側の板厚方向の位置を測定し、その平均値を前記ワーク裏面の板厚方向の位置とすることを特徴とする板状のワークの表面形状測定方法。
【請求項３】
２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの表側の表面と裏側の表面にそれぞれ位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量と、前記ワークの屈折率とから、各焦点毎に前記ワークの表側の板厚方向の位置と前記ワークの裏側の板厚方向の位置とを測定し、得られた結果に基づいて各焦点毎に前記ワークの板厚を求め、各焦点毎に求められた板厚の平均値を前記ワークの板厚とすることを特徴とする板状のワークの板厚測定方法。
【請求項４】
ハーフミラーと、第１の凸レンズと、前記第１の凸レンズの移動手段と、第２の凸レンズと、受光手段とを設け、前記第１の凸レンズを、前記ハーフミラーから出射される光が入射する位置に配置し、前記第２の凸レンズを、ワークから出射され、前記ハーフミラーを透過した光が入射する位置に配置すると共に、前記受光手段を前記第２の凸レンズの焦点位置に配置した板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置において、
焦点距離の異なる複数の凸レンズと、選択手段とを設け、この選択手段により、前記複数の凸レンズのいずれかを前記第１の凸レンズとすることを特徴とする板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【請求項５】
前記焦点距離の異なる複数の凸レンズを、２種類の焦点距離を有する１個の２焦点レンズとすることを特徴とする請求項４に記載の板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【請求項６】
前記ハーフミラーに代えてビームスプリッタとしたことを特徴とする請求項４に記載の板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【請求項７】
前記選択手段がシャッタであることを特徴とする請求項４に記載の板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【請求項８】
前記シャッタのシャッタ機能が中心部と外周部で独立して設けられていることを特徴とする請求項７に記載の板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【請求項９】
前記シャッタを液晶シャッタとすることを特徴とする請求項７または８に記載の板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を用いて板状のワークの表側の表面形状、裏側の表面形状および板厚の少なくとも１つを測定する場合における板状のワークの表面形状および／または板厚の測定方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１４は、板状のワークの板厚を求める場合の、従来の第１の計測方法を示す図であり、図１５は、光ディテクタの出力を示す図である。ワーク１の材質がガラスである場合、ワーク１をテーブル５に載置し、ワーク１の表面側に、可視光２ａを放射する光源２と光ディテクタ３を配置する。また、光ディテクタ３の前面にスリット４ａを備えたマスク４を配置する。光源２を図１４の左方から右方に水平方向に移動させることにより、光源２が座標Ｘａに位置決めされると、ワーク１の裏面で反射した可視光２ａがスリット４ａを通過して光ディテクタ３に入射し、図１５に示すように、光ディテクタ３の出力が大きくなる。さらに光源２を右方に移動させることにより、光源２が座標Ｘｂに位置決めされると、ワーク１の表面で反射した可視光２ａが光ディテクタ３に入射し、光ディテクタ３の出力が大きくなる。したがって、光ディテクタ３の座標Ｘｄと、テーブル５の表面からの高さＺｄおよび光源２のワーク載置面からの高さＺｌおよび可視光２ａの入射角θの値を固定すれば、座標Ｘａ、Ｘｂおよび座標Ｚｄからワーク１の表面高さ等を演算で求めることができる。そして、ワーク１の板厚が７０μｍから２０ｍｍである場合、この方法により測定誤差を１〜２μｍにすることができた。
【０００３】
図１６は、従来の第２の計測方法を示す図である。この方法では、２本の非接触変位計６ａ、６ｂを距離ｍを隔てて軸Ｍ上に配置しておき、両者の間にワーク１を配置する。そして、非接触変位計６ａ、６ｂとワーク１との距離ｇａ、ｇｂをそれぞれ計測し、距離ｍから距離ｇａ、ｇｂを引いた値をワーク１の板厚ｔとする。そして、ワーク１と非接触変位計６ａ、６ｂとを水平方向に相対的に移動させることにより、ワーク１の表面形状および板厚を測定することができる。この場合、非接触変位計６ａ、６ｂの先端とワーク１表面との距離が５０〜１００μｍになるように距離ｍを定めると、測定精度を向上させることができた。
【０００４】
また、特開平５−１５７７０１号公報（以下、従来の第３の計測方法という。）には、赤外線と平凸レンズを用いてシリコンウェーハの裏面を検査する技術が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記第１の従来技術の場合、半導体材料であるシリコンウェーハの表面形状と板厚の測定に適用するには、測定誤差が大きい。
【０００６】
また、上記第２の従来技術の場合、ワークを浮かせる必要があり、加工テーブルに載置した状態のワークの板厚は測定できない。しかも、板厚を高精度で測定しようとする場合、測定時に、ワーク１と非接触変位計６ａ、６ｂとが干渉しないようにワーク１を位置決めする必要があり、段取りに時間を要した。
【０００７】
また、上記第３の従来技術は、実質的にワークの表面が平坦であるとみなしており、ワークの表面形状あるいは板厚を測定することは考慮されていない。
【０００８】
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、ワークを加工テーブルに載置した状態で表面形状や板厚を測定することができ、かつ測定精度をさらに向上させることができる板状のワークの表面形状および／または板厚の測定方法および測定装置を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、板状のワークの表面形状測定方法として、２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの表側の表面に位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量から、前記ワークの表側の板厚方向の位置を測定し、その平均値を前記ワーク表面の板厚方向の位置とすることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、板状のワークの表面形状測定方法として、２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの裏側の表面に位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量と、前記ワークの屈折率とから、前記ワークの裏側の板厚方向の位置を測定し、その平均値を前記ワーク裏面の板厚方向の位置とすることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、板状のワークの板厚測定方法として、２焦点の凸レンズの焦点を各焦点毎に板状のワークの表側の表面と裏側の表面にそれぞれ位置決めしながら前記凸レンズと前記ワークとを前記ワークの板厚と直角な方向に相対的に移動させ、前記凸レンズと前記ワークとの板厚方向の相対的な移動量と、前記ワークの屈折率とから、各焦点毎に前記ワークの表側の板厚方向の位置と前記ワークの裏側の板厚方向の位置とを測定し、得られた結果に基づいて各焦点毎に前記ワークの板厚を求め、各焦点毎に求められた板厚の平均値を前記ワークの板厚とすることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置として、ハーフミラーと、第１の凸レンズと、前記第１の凸レンズの移動手段と、第２の凸レンズと、受光手段とを設け、前記第１の凸レンズを、前記ハーフミラーから出射される光が入射する位置に配置し、前記第２の凸レンズを、ワークから出射され、前記ハーフミラーを透過した光が入射する位置に配置すると共に、前記受光手段を前記第２の凸レンズの焦点位置に配置した板状のワークの表面形状および／または板厚の測定装置において、焦点距離の異なる複数の凸レンズと、選択手段とを設け、この選択手段により、前記複数の凸レンズのいずれかを前記第１の凸レンズとすることを特徴とする。
【００１３】
この場合、前記第１の凸レンズを２種類の焦点距離を有する２焦点レンズにしてもよい。また、選択手段としてシャッタを用いてもよい。そして、シャッタとしては、中心部と外周部が独立して開閉できる、例えば液晶シャッタが使用できる。また、前記ハーフミラーに代えてビームスプリッタを使用することもできる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
【００１５】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る測定装置の構成図であり、図１４と同じものまたは同一機能のものは同一符号を付して説明を省略する。コリメータレンズ（以下、凸レンズという。）１０の一方の側には、凸レンズ１０の中心軸Ｏ上の焦点の位置に半導体レーザ光源１１が配置されている。半導体レーザ光源１１は点光源であり、波長が１〜２μｍの赤外光線を出力する。凸レンズ１０の他方の側には、ハーフミラー１２が配置され、中心軸Ｏと直交する軸Ｐには、円形の穴を持つ絞り１３、凸レンズ（以下、対物レンズという。）１４がそれぞれの中心軸が中心軸Ｐと同軸になるようにして配置されている。対物レンズ１４は移動装置１５に保持され、中心軸Ｐの軸方向に移動自在であり、位置センサ１６により基準位置からの移動量を知ることができる。中心軸Ｐ上のハーフミラー１２の裏側には、凸レンズ（以下、結像レンズという。）１７が配置され、結像レンズ１７の焦点位置にはフォトダイオード１８が配置されている。なお、ハーフミラー１２は、図の上方向から入射する光の半分をＰ軸方向に反射させ、残りの半分を透過させる。
【００１６】
次に、本実施の形態の動作を説明する。なお、ワーク１はシリコンウェーハである。
【００１７】
半導体レーザ光源１１から出力された光２ａは凸レンズ１０を透過することにより平行光線２ａｐとなり、ハーフミラー１２で反射して対物レンズ１４により集光され、ワーク１に入射する。ワーク１で反射された反射光２ａｒはハーフミラー１２に入射し、ハーフミラー１２を透過した光りは結像レンズ１７を透過してフォトダイオード１８に入射する。
【００１８】
図２は動作を説明するワークの断面図、図３はフォトダイオードの出力を示す波形図である。対物レンズ１４をワーク１に近い側に位置決めしておき、図１の左方に移動させる。波長が１〜２μｍの赤外光線はシリコンを透過するから、図２に実線で示すように、対物レンズ１４の焦点がワーク１の裏面１ｂに一致したとき（対物レンズ１４の座標はＺ１）フォトダイオード１８の出力が大きくなる。さらに対物レンズ１４を図１の左方に移動させると、図２に一点鎖線で示すように、対物レンズ１４の焦点がワーク１の表面１ａに一致したとき（対物レンズ１４の座標はＺ２）フォトダイオード１８の出力が再び大きくなる。
【００１９】
ここで、座標Ｚ１と座標Ｚ２の距離をＬとすると、距離Ｌは、図２に点線で示すように、光が屈折しない場合の裏面１ｂの位置である。したがって、入射角をθ1、屈折角をθ2、ワーク１の材質で決まる屈折率をｎとすると、
ｓｉｎθ1＝ｎｓｉｎθ2
であるから、板厚ｔは式１で求めることができる。
【００２０】
ｔ＝Ｌ×√｛（ｎ2−ｓｉｎ2θ1）／（１−ｓｉｎ2θ1）｝    式１
図４は、本発明に係る測定装置とワークの配置例を示す図である。同図に示すように、ワーク１を回転可能に支持すると共に対物レンズ１４を半径方向に移動可能に支持しておく。所要の位置で上記の動作を繰り返すことにより、ワーク１の面形状すなわち表面および裏面の起伏状態を線あるいは面の情報として得ることができる。また、所要の位置におけるワーク１の表面座標と裏面座標とからその位置におけるワーク１の板厚を求めることができる。
【００２１】
また、移動装置１５の駆動源を、例えばボイスコイルやピエゾ素子にすると、対物レンズ１４を高速に往復移動させることができ、測定時間を短縮することができる。
【００２２】
なお、公称板厚がｔであるワークを測定する場合に必要な移動装置１５の移動ストローク（範囲）は、上記式１から予め推定できる。すなわち、例えば、公称板厚ｔが０．７ｍｍのシリコンウェーハを測定する場合、屈折率ｎはｎ＝３．４８であるから、例えば入射角θ1を３０°とすると、Ｌ＝０．１７６ｍｍとなる。したがって、移動装置１５の移動ストロークを例えば０．２ｍｍにすれば良い。
【００２３】
図５は本発明の第２の実施の形態に係る測定装置の構成図、図６は４分割光センサの平面図であり、図１と同じものまたは同一機能のものは、同一符号を付して説明を省略する。
【００２４】
この実施の形態では、フォトダイオード１８に代えて、中心を中心軸Ｐに合わせた４分割光センサ２０が配置されている。４分割光センサ２０は、４個の受光面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄがそれぞれ独立して光の強度に応じた電圧を出力する。結像レンズ１７と４分割光センサ２０との間には、円筒レンズ２１が配置されている。そして、４分割光センサ２０は、結像レンズ１７と円筒レンズ２１からなる複合レンズの焦点（以下、合焦点という。）に配置されている。
【００２５】
次に、本実施の形態の動作を説明する。
【００２６】
この実施の形態では、結像レンズ１７と４分割光センサ２０との間に円筒レンズ２１が配置されているので、対物レンズ１４の焦点がワーク１の表面１ａまたは裏面１ｂに位置決めされると、４分割光センサ２０に入射する光の断面は、同図（ａ）に示すように、円形になり、受光面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄに均等に入射する。この結果、受光面Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの出力はそれぞれ等しい。また、対物レンズ１４の焦点が表面１ａの手前に位置決めされると、４分割光センサ２０に入射する光の断面は、同図（ｂ）に示すように、横長の楕円形になり、受光面Ｃ、Ｄに入射する光量が受光面Ａ、Ｂに入射する光量よりも多くなる。また、対物レンズ１４の焦点がワーク１の後方に位置決めされると、４分割光センサ２０に入射する光の断面は、同図（ｃ）に示すように、縦長の楕円形になり、受光面Ａ、Ｂに入射する光量が受光面Ｃ、Ｄに入射する光量よりも多くなる。そこで、評価値Ｖを、
Ｖ＝（Ａ＋Ｂ−Ｃ−Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）
として求める。なお、Ａ〜Ｄは受光面Ａ〜Ｄからそれぞれ出力される出力値である。
【００２７】
図７は、評価値Ｖの出力を示す波形図である。対物レンズ１４をワーク１から離れた位置に位置決めしておき、徐々にワーク１近づける。すると、評価値Ｖは徐々に減少した後、反転してプラスに転じる。そして、評価値Ｖが０になったときの座標Ｚ１は、対物レンズ１４の焦点が裏面１ｂに一致した時の座標である。さらに対物レンズ１４をワーク１に近づけると、評価値Ｖは再び徐々に減少した後、反転してプラスに転じる。そして、評価値Ｖが０になったときの座標Ｚ２は対物レンズ１４の焦点が表面１ａに一致した時の座標である。そして、座標Ｚ１と座標Ｚ２とから距離Ｌが求められ、式１により板厚ｔを求めることができる。
【００２８】
この実施の形態では、評価値Ｖを監視することにより、対物レンズ１４の焦点が表面１ａまたは裏面１ｂに一致した時の対物レンズ１４の位置を容易に特定することができる。
【００２９】
この第２の実施の形態の場合も、上記第１の実施の形態の場合と同様に、ワーク１を回転可能に支持すると共に対物レンズ１４を半径方向に移動可能に支持しておき、所要の位置で上記の動作を繰り返すことにより、ワーク１の面形状すなわち表面および裏面の起伏状態を線あるいは面の情報として得ることができる。また、所要の位置におけるワーク１の表面座標と裏面座標とからその位置におけるワーク１の板厚を求めることができる。
【００３０】
なお、この実施の形態では、円筒レンズを用いて非点収差法により焦点を特定する方法について説明したが、円筒レンズに代えて、例えば臨界角プリズムを用いて臨界角法により焦点を特定してもよいし、ナイフエッジを用いてナイフエッジ法により焦点を特定してもよいし、ウエッジプリズムを用いてフーコーテスト法により焦点を特定してもよい。
【００３１】
図８は本発明の第３の実施の形態に係る測定装置の構成図、図９は液晶シャッタの平面図であり、図１および図５と同じものまたは同一機能のものは、同一符号を付して説明を省略する。
【００３２】
対物レンズ３０は２焦点レンズであり、外形が円形の中心レンズ３０ａと、リング状の外周レンズ３０ｂとが一体に組み合わされている。中心レンズ３０ａの焦点距離はｆ１、外周レンズ３０ｂの焦点距離はｆ２（ただし、ｆ２＞ｆ１）である。絞り１３と対物レンズ３０との間には、液晶シャッタ３１が配置されている。液晶シャッタ３１は、外形が円形の中心部３１ａと、リング状の外周部３１ｂとが一体に組み合わされている。そして、中心部３１ａと外周部３１ｂに個別に電圧を印加することにより、それぞれを独立して開閉、すなわち光を透過させる開の状態と光を透過させない閉の状態、を設定できるように構成されている。
【００３３】
次に、本実施の形態の動作を説明する。
【００３４】
先ず、制御ブロック図である図１０により、電気的な制御手順を説明する。図示を省略する起動ボタンがオンされると、マイクロコンピュータ４２は、位置センサ１６を参照して移動装置１５を動作させ、対物レンズ３０を予め定める位置（ここでは、対物レンズ３０をワーク１から離れた位置）に位置決めする。そして、外周部の３１ｂを開き、中心部３１ａを閉じた状態で移動装置１５を動作させる。４分割光センサ２０から出力された電圧は、フィルタ４０を通り、Ａ／Ｄ変換器４１によりＡ／Ｄ変換されて、マイクロコンピュータ４２に入力される。
【００３５】
マイクロコンピュータ４２は、Ａ／Ｄ変換された信号を用いて評価値Ｖを演算すると共に、演算した評価値Ｖを監視し、後述するように、中心レンズ３０ａまたは外周レンズ３０ｂの焦点が表面１ａまたは裏面１ｂに一致した時の対物レンズ３０の座標を位置センサ１６から読み取り、その座標を記憶する。この記憶された座標の変化からワークの表面の変位の状態が分かる。
【００３６】
次に、表面１ａまたは裏面１ｂの座標決定手順を説明する。
【００３７】
図１１は、評価値Ｖの出力を示す波形図である。対物レンズ３０をワーク１から離れた位置に位置決めしておき、外周部の３１ｂを開き、中心部３１ａを閉じた状態で徐々にワーク１近づける。すると、先ず、図１２に実線で示すように、外周レンズ３０ｂの焦点が裏面１ｂに一致し（図１１における座標Ｚ２１）、次に、図１２に１点鎖線で示すように、外周レンズ３０ｂの焦点が表面１ａに一致する（図１１における座標Ｚ２２）。外周レンズ３０ｂの焦点が表面１ａに一致した後、外周部の３１ｂを閉じ、中心部３１ａを開いた状態でさらにワーク１近づける。すると、先ず、図１３に実線で示すように、中心レンズ３０ａの焦点が裏面１ｂに一致し（図１１における座標Ｚ１１）、次に、図１２に１点鎖線で示すように、中心レンズ３０ａの焦点が表面１ａに一致する（図１１における座標Ｚ１２）。
【００３８】
そして、Ｚ２２とＺ２１との距離Ｌ１と、Ｚ１２とＺ１１との距離Ｌ２とから、この位置における板厚ｔを、式１により、それぞれ算出する。そして、得られた結果を平均し、板厚ｔとする。
【００３９】
この実施例では、板厚ｔを実質的に２回測定し、その平均値を板厚ｔとするから、測定結果のばらつきを減らすことができ、精度に優れる結果を得ることができる。
【００４０】
また、対物レンズ３０の位置に応じて中心部３１ａと外周部３１ｂを開閉するから、中心レンズ３０ａと、外周レンズ３０ｂを透過した光が混じらず、精度の良い結果を得ることができる。
【００４１】
なお、上記では外周レンズ３０ｂの焦点が裏面１ｂに一致た後、直ちに外周部３１ｂを閉じ、中心部３１ａを開くようにしたが、例えば、評価値Ｖがプラス側からマイナス側に移る時（評価値Ｖ＝０。図１１における座標Ｑ）としても良い。
【００４２】
なお、この実施の形態では、２焦点レンズとしたが、焦点距離の異なる複数の凸レンズと、選択手段（例えば、シャッタあるいは移動手段）とを設け、この選択手段により、前記複数の凸レンズのいずれかを前記第１の凸レンズとしてもよい。
【００４３】
また、シャッタは、電気的に開閉する液晶シャッタに限らず、機械的に開閉するシャッタを使用することもできる。
【００４４】
この第３の実施の形態の場合も、上記第１、第２の実施の形態の場合と同様に、ワーク１を回転可能に支持すると共に対物レンズ１４を半径方向に移動可能に支持しておき、所要の位置で上記の動作を繰り返すことにより、ワーク１の面形状すなわち表面および裏面の起伏状態を線あるいは面の情報として得ることができる。また、所要の位置におけるワーク１の表面座標と裏面座標とからその位置におけるワーク１の板厚を求めることができる。
【００４５】
そして、上記第１から第３の実施の形態のいずれにおいても、約０．４〜１ｍｍのシリコンウェーハの板厚および表面形状を、０．０４μｍの精度で測定することができた。
【００４６】
なお、上記では、半導体レーザ光源１１の波長を１〜２μｍとしたが、シリコンウェーハを測定する場合には、波長を１〜８μｍとすればよい。また、材質がガラスの場合には、可視光線とすれば良い。
【００４７】
また、光源としては、半導体レーザ光源に代えて、他の光源を用いても良い。
【００４８】
また、ハーフミラーに代えてビームスプリッタを用いてもよい。ビームスプリッタを用いる場合、図１における凸レンズ１０と半導体レーザ光源１１を、図１における凸レンズ１７とフォトダイオード１８の側に配置すると共に、図１における凸レンズ１７とフォトダイオード１８を、図１における凸レンズ１０と半導体レーザ光源１１の側に配置することもできる。図５、図８においても同様である。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ワークを例えばテーブルに載置した状態で、表面および裏面の起伏および板厚を精度良く測定できることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る測定装置の構成図である。
【図２】動作を示すワークの断面図である。
【図３】フォトダイオードの出力を示す波形図である。
【図４】本発明に係る測定装置とワークの配置例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る測定装置の構成図である。
【図６】４分割光センサの平面図である。
【図７】評価値Ｖの出力を示す波形図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る測定装置の構成図である。
【図９】液晶シャッタの平面図である。
【図１０】本発明に係る制御ブロック図である。
【図１１】評価値Ｖの出力を示す波形図である。
【図１２】動作を示すワークの断面図である。
【図１３】動作を示すワークの断面図である。
【図１４】従来の第１の計測方法を示す図である。
【図１５】従来の光ディテクタの出力を示す図である。
【図１６】従来の第２の計測方法を示す図である。
【符号の説明】
１  ワーク
１２  ハーフミラー
１４  凸レンズ
１６  位置センサ
１７  凸レンズ
１８  受光手段
【図１】
0003967058.tif 000002
【図２】
0003967058.tif 000003
【図３】
0003967058.tif 000004
【図４】
0003967058.tif 000005
【図５】
0003967058.tif 000006
【図６】
0003967058.tif 000007
【図７】
0003967058.tif 000008
【図８】
0003967058.tif 000009
【図９】
0003967058.tif 000010
【図１０】
0003967058.tif 000011
【図１１】
0003967058.tif 000012
【図１２】
0003967058.tif 000013
【図１３】
0003967058.tif 000014
【図１４】
0003967058.tif 000015
【図１５】
0003967058.tif 000016
【図１６】
0003967058.tif 000017