(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に  遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えた
カラーフィルタを製造する方法であって、
前記フィルタ層に存在する欠陥部分を検出する検出工程と、
検出された欠陥部分に対し、インクジェットヘッドを用いて、黒と白の中間色１色の修正液を吐出する吐出工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記検出工程において、前記フィルタ層を撮影して得られる画像を観察することによって、前記欠陥部分を検出することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記吐出工程の後、前記修正液が吐出された欠陥部分を観察する確認工程を有し、該確認工程において前記欠陥部分内に未修正個所の存在が認められれば、該未修正個所に対して、前記インクジェットヘッドを用いて、前記修正液を再度吐出することを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する装置であって、
前記基板上のフィルタ層を観察する観察部と、
前記フィルタ層に対して、黒と白の中間色１色の修正液を吐出可能なインクジェットヘッドと、
該インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を変える駆動部を備えてなることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項５】
前記観察部が、前記フィルタ層を撮影するカメラと、該カメラで撮影された画像を表示する観察用モニターとを備えており、前記カメラと前記インクジェットヘッドとが一体的に設けられていることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項６】
基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層が設けられており、該フィルタ層の欠陥部分内に、黒と白の中間色１色の修正液からなる塗膜が形成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項７】
請求項６に記載のカラーフィルタを備えたことを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルタとその製造方法および装置、ならびにカラーフィルタを備えた電気光学装置に関するもので、特にカラーフィルタの欠陥部分を修正する技術を向上させたものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばカラー液晶ディスプレイは、基板上にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の着色層が、予め定められた配列パターンで設けられたカラーフィルタを備えている。各色の着色層はストライプ配列、デルタ配列、またはモザイク配列などの配列で並べられており、異なる色の着色層の境界には遮光層（ブラックマトリクス）が設けられている。
【０００３】
かかる構成のカラーフィルタは、例えば次のようなフォトリソグラフィを用いた方法により製造される。
まず、透明基板上に顔料を含有する感光性樹脂を塗布し、これをフォトリソグラフィ工程を経て所定の形状にパターニングすることによって、３色のうちの１色の着色層を形成する。この工程を繰り返すことによってＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色層を形成する。遮光層も同様にして形成することができる。
また、カラーフィルタを製造する他の方法として、パターニングした感光性染色基質に染色を施す染色法や、着色層をインクジェット法を用いて形成する方法等もある。
【０００４】
しかしながら、いずれの製造方法においても、着色層および遮光層を欠陥なしに製造することは困難である。特に着色層や遮光層にピンホールが形成されていると、ピンホールにおける光透過率が周囲よりも高くなるために、表示画面において、ピンホールの部分が白く明るい輝点となって非常に目立ってしまうという問題があった。
そこで、欠陥のあるカラーフィルタを修正することによって良品とする技術が提案されている。例えば特開平１１−２７１７５２号公報には、着色層に生じたピンホールを検出し、検出されたピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて、その着色層と同じ色の着色材料を吐出することにより修正を行う方法が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような修正方法では、インクジェットヘッドからの吐出液として、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色材料を用意する必要があり、また３色それぞれについてインクジェットヘッド等の吐出機構を別々に設ける必要があった。このため、吐出液およびインクジェットヘッドのメンテナンスが煩雑であるという不都合があった。また、欠陥部分に付与すべき着色材料の色が、いずれの色であるかを特定するためのシステムも必要であるので装置構成が複雑になるうえ、誤認、誤作動などによりある着色層上に異なる色の着色材料が吐出された場合には、その着色材料を除去して再修正しなければならないという問題もあった。
また遮光層を備えたカラーフィルタを製造する際には、遮光層にもピンホール等の欠陥が生じる場合があるが、遮光層の欠陥を修正するのに好適な方法は知られておらず、上記公報においても遮光層の欠陥については言及されていない。
【０００６】
したがって本発明の課題は、着色層に生じた欠陥部分および遮光層に生じた欠陥部分を簡単な構成で容易に修正できるようにした製造方法と装置、およびこの方法により得られたカラーフィルタ、ならびにこのカラーフィルタを備えた電気光学装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する方法であって、前記フィルタ層に存在する欠陥部分を検出する検出工程と、検出された欠陥部分に対し、インクジェットヘッドを用いて、黒と白の中間色１色の修正液を吐出する吐出工程を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明におけるフィルタ層の欠陥部分とは、本来着色層および／または遮光層が形成されるべき領域内において着色層および遮光層のいずれも存在していない部分、すなわちカラーフィルタに光を透過させたときに輝点となる、いわゆる白抜け部分をいう。例えばピンホールや、摩擦等によって着色層および遮光層が剥離した部分等である。
本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、このような欠陥部分を検出し、インクジェットヘッドで修正液を吐出することにより、欠陥部分が微小であっても、その部分にのみ修正液を塗布して修正を施すことが可能である。
そして、仮に欠陥部分（白抜け部分）を修正するのに黒色の修正液を用いると、表示画面においては修正部分が目立たないが、修正部分での光透過率の低下が大きいので、表示画面全体が暗くなるおそれがある。そこで本発明では、黒と白の中間色１色の修正液を用いて欠陥部分を修正することにより、修正部分における光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなくすることができるので、良好な修正状態が得られる。
また、欠陥部分の修正に黒と白の中間色１色の修正液を用いるので、各色の着色層内の欠陥部分についても、また遮光層内の欠陥部分についても、共通の修正液で修正することができる。したがって複数種類の修正液を用意する必要がなく、インクジェットヘッド等の吐出機構も１つで済む。さらに、欠陥部分に付与すべき着色材料の色が、いずれの色であるかを特定するためのシステムも不要となり、また欠陥部分以外の領域に誤って修正液が付着しても、表示画面では目立たないので、これを修正しなくてもよいなど、フィルタ層（着色層および／または遮光層）の欠陥部分を簡単な構成で容易に修正することができる。
【０００９】
本発明の製造方法において、前記修正液として、黒と白の中間色のものを用いるのが好ましい。
黒と白の中間色、いわゆるグレー系の修正液は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれの色の着色層においても、また遮光層においても、修正部分における光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなくするのに好ましい。
【００１０】
本発明の製造方法において、前記検出工程では、前記フィルタ層を撮影して得られる画像を観察することによって、前記欠陥部分を検出することが好ましい。かかる構成によれば、フィルタ層を、画像を介して目視により観察することができるので、欠陥部分を確実に、精度良く検出することができる。
【００１１】
また本発明の製造方法において、前記吐出工程の後、前記修正液が吐出された欠陥部分を観察する確認工程を有し、該確認工程において前記欠陥部分内に未修正個所の存在が認められれば、該未修正個所に対して、前記インクジェットヘッドを用いて、前記修正液を再度吐出することが好ましい。
かかる構成によれば、確認工程を設けることによって、欠陥部分の修正状態の良否を確認することができ、欠陥部分が完全に修正液で埋められておらず、未修正個所が存在している場合には、これを再修正することができる。したがって、欠陥部分の修正をより確実に行うことができ、製品の歩留まり向上に寄与することができる。
【００１２】
本発明のカラーフィルタの製造装置は、基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する装置であって、前記基板上のフィルタ層を観察する観察部と、前記フィルタ層に対して、黒と白の中間色１色の修正液を吐出可能なインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を変える駆動部を備えてなることを特徴とする。
【００１３】
かかる構成によれば、基板上のフィルタ層を観察することにより着色層または遮光層に生じている欠陥部分を確実に、精度良く検知することができる。そして、インクジェットと基板との相対位置を変えることによって、インクジェットヘッドの吐出位置に欠陥部分を配置させ、このインクジェットヘッドから基板上に黒と白の中間色１色の修正液を吐出することにより、欠陥部分に修正液からなる塗膜を形成して修正を行うことができる。
【００１４】
本発明の装置において、前記観察部が、前記フィルタ層を撮影するカメラと、該カメラで撮影された画像を表示する観察用モニターとを備えており、前記カメラと前記インクジェットヘッドとが一体的に設けられていることが好ましい。
【００１５】
かかる構成によれば、基板上のフィルタ層を撮影するカメラとインクジェットヘッドとが一体的に設けられているので、カメラおよびインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させながら基板上を観察し、カメラの撮影領域内で欠陥部分が検知されたら、この欠陥部分をインクジェットヘッドの吐出位置に移動させる。このとき、フィルタ層上において、カメラによって撮影される領域と、インクジェットヘッドからの吐出位置との位置関係は常に一定であるので、撮影領域内に位置している欠陥領域を、予め設定された所定方向へ所定距離だけ移動させることによって吐出位置へ移動させることができる。したがって欠陥部分を吐出位置へ移動させる操作を、簡単に、再現性良く、高精度に行うことができる。よって、欠陥部分に、精度良く修正インクを吐出することができる。
【００１６】
本発明の装置において、前記修正液として、黒と白の中間色のものを用いるのが好ましい。
黒と白の中間色、いわゆるグレー系の修正液は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれの色の着色層においても、また遮光層においても、修正部分における光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなくするのに好ましい。
【００１７】
本発明のカラーフィルタは、基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層が設けられており、該フィルタ層の欠陥部分内に、黒と白の中間色１色の修正液からなる塗膜が形成されていることを特徴とする。
かかる構成によれば、遮光層および／または着色層の欠陥部分内に黒と白の中間色の塗膜が形成されているので、これを用いて表示装置を構成したときに、表示画面において欠陥部分が輝点とならず、目立たなくなっている。したがって、カラー表示画面における表示不良が改善される。
【００１８】
本発明のカラーフィルタにおいて、着色層の欠陥部分内に形成された前記塗膜における光透過率が５〜９５％であることが好ましい。
欠陥部分が着色層内に存在する場合、この欠陥部分内に形成された修正液からなる塗膜における光透過率が大きすぎると、表示画面においてこの修正部分（塗膜）が明るい輝点となって目立つおそれがある。一方、修正液からなる塗膜における光透過率が小さいほど、カラーフィルタにおける透過光量が少なくなるので、表示画面は暗くなる傾向がある。したがって、この欠陥部分内の塗膜における光透過量が上記の範囲であれば、表示画面において修正部分（塗膜）が目立たず、また所期の透過光量を得るうえで好ましい。
【００１９】
本発明のカラーフィルタにおいて、前記修正液が黒と白の中間色であることが好ましい。
特に、欠陥部分内に形成された塗膜が、黒と白の中間色、いわゆるグレー系の色調であれば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれの色の着色層においても、また遮光層においても、この欠陥部分内の塗膜における光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなくするのに好ましい。
【００２０】
本発明の電気光学装置は、本発明のカラーフィルタを備えたことを特徴とする。
かかる構成によれば、カラーフィルタの遮光層および／または着色層の欠陥部分が表示画面において目立たたなくなっているので、見かけ上、欠陥による表示不良がないカラー表示特性に優れた電気光学装置が得られる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る第１実施形態を、図１から図４を参照しながら説明する。
図１は本発明のカラーフィルタの製造方法を実施するのに好適なカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示したもので、特に欠陥部分の検知および修正を行う装置の概略構成図である。
図中符号４は、透明基板上に遮光層と着色層からなるフィルタ層を作製する工程を終えた基板（本明細書では、カラーフィルタ基板という）であり、テーブル３上に固定されるようになっている。
テーブル３は、水平方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されており、Ｙ方向駆動手段１７を備えている。このＹ方向駆動手段１７は、リニアモータ、サーボモータ、パルスモータなどで構成され、テーブル３をＹ方向へ±２μｍ程度の精度で移動できるようになっている。
またテーブル３は、その垂直中心軸を軸として回転する方向（θ方向）に移動可能に構成されており、θ方向駆動手段２を備えている。このθ方向駆動手段２はステッピングモータ等で構成される。
【００２２】
テーブル３の上方には、このテーブル３上のカラーフィルタ基板４を撮影するカメラ７と、カラーフィルタ基板４上に対して修正液を吐出するインクジェットヘッド１６とが固定された支持部材１１が設けられている。
支持部材１１は、水平方向であってテーブル３の移動方向（Ｙ方向）に対して垂直なＸ方向に移動可能に構成されており、Ｘ方向駆動手段９を備えている。このＸ方向駆動手段９は、リニアモータ、サーボモータ、パルスモータなどで構成され、支持部材１１をＸ方向へ±２μｍ程度の精度で移動できるようになっている。
また、支持部材１１上において、垂直方向（Ｚ方向）におけるインクジェットヘッド１６の位置が調整可能に構成されており、そのための位置制御機構６を備えている。このインクジェットヘッド１６の位置制御機構６は、例えば垂直方向のガイドレールとマイクロメーターで構成される。
また支持部材１１が移動するＸ方向と、テーブル３の面方向とが、常に平行に保たれるように高精度に構成されることが好ましい。
【００２３】
インクジェットヘッド１６は、修正液を吐出するノズル（図示略）を備えており、ノズルに修正液を供給する機構およびノズルから所定量の修正液を吐出する吐出機構を備えたヘッドユニット５が設けられている。吐出機構は、例えば電圧を印加すると変形するピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力波で液体を吐出させるように構成される。
なお、インクジェットヘッド１６としては、ピエゾ素子方式の他に、熱エネルギーを利用した方式も利用できる。またこれら以外であっても５０ｐｌ以下の液体を±３０μｍ以内の着弾位置精度で吐出できる方式であればよく、任意の方式のものを用いることができる。
符号１０はインクジェットヘッド１６から吐出される修正液の重量を測定するための電子天秤である。インクジェットヘッド１６をＸ方向に沿って移動させて電子天秤１０の上方に位置させ、電子天秤１０上に修正液を吐出させることにより吐出量を測定することができる。
以上の各構成部品は、図１に示すように、カバー８を備えたケース内に収容されている。
【００２４】
本実施形態の装置において、観察部は、前記カメラ７と、このカメラ７で撮影された画像を表示する観察用モニター１を備えている。
また、インクジェットヘッド１６とカラーフィルタ基板４との相対位置を変えるための駆動部としては、Ｘ方向駆動手段９と、Ｙ方向駆動手段１７と、θ方向駆動手段２を備えており、これらの駆動手段は制御装置１３により制御できるようになっている。制御装置１３は、記憶手段を備えたコンピュータ装置１５と、これに接続されたキーボード１４およびモニター装置１２を備えている。
また、インクジェットヘッド１６のヘッドユニット５の操作も、この制御装置１３で制御できるように構成されている。
【００２５】
修正液は、インクジェットヘッド１６より吐出可能な物性を有し、硬化して塗膜を形成するもので、色調が中間色のものが使用される。例えば、熱硬化性樹脂に染料または顔料を分散させ、適宜の溶剤で希釈したものが好ましく用いられる。
修正液の粘度は２〜２０ｍＰａ・ｓ程度が好ましい。また、インクジェットヘッドから吐出された修正液が欠陥部分にのみ精度良く充填され、着色層上に不要な修正液が付着しないように、着色層の上面と修正液との濡れ性が小さい方が好ましい。そのために、修正液の着色層に対する接触角が３０°以上と大きいことが好ましい。
例えば、修正液としてヘキサフルオロポリプロピレン等のフッ素樹脂を含有する溶剤系の顔料インクを用いると、このものはカラーフィルタの着色層に対して撥水性を有するので好ましい。
あるいは、修正液の吐出工程に先立って、着色層に対して撥液処理を施すことによって、着色層の上面と修正液との濡れ性を小さくすることもできる。
【００２６】
着色層に対する撥液処理は、周知の手法を適宜用いて行うことができる。例えば以下のようなプラズマ重合による方法を用いて行うことができる。
すなわち、まず撥液処理のための原料液を用意する。撥液処理用原料液としては、Ｃ4Ｆ10やＣ8Ｆ16などの直鎖状ＰＦＣからなる液体有機物が好適に用いられる。そして、撥液処理用原料液の蒸気をプラズマ処理装置においてプラズマ化する。このようにして直鎖状ＰＦＣの蒸気がプラズマ化されると、直鎖状ＰＦＣの結合が一部切断されて活性化する。活性化されたＰＦＣが着色層の表面に到達すると、着色層上でＰＦＣが互いに重合し、撥液性を有するフッ素樹脂重合膜を形成する。
【００２７】
また撥液処理用原料液として、例えばデカトリエンを用いることもできる。その場合、プラズマ処理によって活性化されたＣＦ4または酸素を添加することにより、得られる重合膜に撥液性を付与することができ、これによって撥液性のフッ素樹脂重合膜を形成することができる。
また、撥液処理用原料液として、フルオロカーボンを用いることもできる。その場合、プラズマ処理によって活性化したＣＦ4を添加することにより、原料液をプラズマ化した際に原料液であるフルオロカーボン中のフッ素の一部が離脱したとしても、前記の活性なフッ素を重合膜中に取り込むことができる。これにより、得られるフッ素樹脂重合膜の撥液性を高めることができる。
【００２８】
また、その他の撥液処理方法としては、波長１７０〜４００ｎｍ程度の紫外線を照射する方法、オゾン雰囲気中に曝す方法、ＨＭＤＳ処理（(ＣＨ3)3ＳｉＮＨＳｉ(ＣＨ3)3を蒸気状にして塗布する方法）、あるいは、例えば紫外線を照射しながらオゾン雰囲気に曝すなど、複数の手法を組み合わせた方法等を用いることもできる。
【００２９】
修正液の色調は、中間色であればよいが、特に黒と白の中間色、すなわちグレー系が好ましい。
また修正液の色の濃淡は、修正液に含まれる染料および顔料の種類および含有量を変えることによって制御可能であるが、着色層の欠陥部分内にこの修正液を吐出したときに、その修正液が硬化して形成される塗膜における光透過率が５〜９５％程度となるように調製することが好ましい。なお、ここでの光透過率は、欠陥部分内の修正液が硬化した直後、すなわち修正後の欠陥部分上に他の層（例えばオーバーコート層等）を形成する前に測定した値とする。
一般的に、カラーフィルタの着色層における光透過率は、着色層形成直後において、１５〜８５％程度であるので、着色層の欠陥部分内に形成された塗膜における光透過率が上記の範囲であれば、修正部分（塗膜）とこれに隣接する着色層とで光透過率の差が小さく抑えられる。したがって、表示画面において着色層内の修正部分（塗膜）が目立ち難く、また、この修正部分（塗膜）は本来着色層が形成されるべき領域であったので、設計値に近い透過光量を得ることができる。
【００３０】
好ましいグレー系の修正液の例としては、着色剤としてのカーボンブラックと、例えばカルボキシル基を含有するポリマー類などからなるバインダー樹脂と、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートなどの高沸点溶剤とを配合してなるものが挙げられる。
【００３１】
図２は本実施形態におけるカラーフィルタの製造方法を工程順に示した断面図である。
まず図２（ａ）に示すように、透明基板２１上に、フォトリソグラフィ工程を用いて遮光層２２を格子状に形成する。具体的には、例えばクロムからなる層をスパッタ法等の薄膜形成方法を用いて透明基板２１の全面上に形成し、このうえにレジスト層を形成する。そしてこのレジスト層に対して所定形状のフォトマスクを介して露光した後、現像してパターン化されたレジスト層を得る。さらにこのパターン化されたレジスト層をエッチングマスクとしてクロム層をエッチングし、しかる後にレジスト層を除去することによって、格子状にパターン化された遮光層（ブラックマトリクス）２２が得られる。
遮光層２２は、クロム層と酸化クロム層を積層した構造としてもよく、あるいは遮光層２２を形成する材料として、例えばポリイミド系樹脂やアクリル系樹脂に黒色染料、黒色顔料、またはカーボンブラック等を分散させた樹脂材料を用いることもできる。
【００３２】
次に、図２（ｂ）に示すように遮光層２２を形成した領域上に、３色の着色層のうちの１色、例えば赤の顔料が分散された感光性樹脂を塗布して赤色樹脂層２３を形成する。そして図２（ｃ）に示すように、フォトマスク２４を介して、赤（Ｒ）の着色層を形成する領域のみを露光した後現像して、露光されていない領域の赤色樹脂層２３を除去することにより、図２（ｄ）に示すように、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを形成する。
【００３３】
このようにして赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを形成した後、３色の着色層のうちの他の１色、例えば緑の顔料が分散された感光性樹脂を、遮光層２２が形成されている領域全面に塗布して緑色樹脂層（図示略）を形成し、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒを形成する手順と同様にして、露光および現像を行うことにより、図２（ｅ）に示すように、緑（Ｇ）の着色層２３Ｇを形成する。さらに同様の手順で青（Ｂ）の着色層２３Ｂを形成する。
【００３４】
このようにして、透明基板２１上に、遮光層２２および３色の着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂからなるフィルタ層２５を形成してカラーフィルタ基板３０を得た後、図１に示した装置を用いて、このカラーフィルタ基板３０に対して、フィルタ層２５の欠陥部分の検出および修正を行う。
なお、後述する修正液の吐出工程に先立って、着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂの上面と修正液との濡れ性を小さくすることを目的として撥液処理を行う場合には、フィルタ層２５を形成した後、カラーフィルタ基板３０を図１に示した装置にセットする前に撥液処理を行うことが好ましい。
【００３５】
図３は、カラーフィルタ基板３０の一例を示したもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は図３（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。本実施形態では、遮光層２２が格子状に形成され、３色の着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂがストライプ状に配列されているが、着色層の配列は、これに限らずモザイク配列、デルタ配列等と適宜変更可能である。
この例では、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒにピンホールが形成されており、このピンホールが白抜けの欠陥部分３１となっている。
【００３６】
まず、図１に示す装置のテーブル３上にカラーフィルタ基板３０を固定し、カメラ７でカラーフィルタ基板３０のフィルタ層２５を撮影して、その画像を観察用モニター１に表示して観察を行う。
このとき制御装置１３で、Ｘ方向駆動手段９、Ｙ方向駆動手段１７、およびθ方向駆動手段２を適宜駆動させながら、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０との相対位置を変えてスキャンしながら、フィルタ層２５における欠陥部分の有無を観察する。また、フィルタ層２５に生じている欠陥部分３１の位置が予めわかっている場合には、その部分だけを観察してもよい。
【００３７】
そして、観察用モニター上で欠陥部分３１の存在が認められたら、この欠陥部分３１が、カメラ７の撮影領域内の予め設定された特定位置に位置するように、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０とを相対的に移動させる。具体的には、例えば観察用モニター１に表示されるカメラ７の撮影領域に対して、モニター画面上で座標軸を設定しておき、所定の座標に欠陥部分３１を位置させる。
次いで、欠陥部分３１を、カメラ７の撮影領域内の特定位置に位置決めしたら、制御装置１３で、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０とを、所定方向に所定距離だけ相対的に移動させて、欠陥部分３１をインクジェットヘッド１６の吐出位置に一致させる。このときの移動方向および移動距離は、予め、支持部材１１に固定されているカメラ７とインクジェットヘッド１６との位置関係に応じて、カメラ７の撮影領域内の前記特定位置から、インクジェットヘッド１６の吐出位置への移動方向および移動距離を求めておき、これを制御装置１３の記憶手段に記憶させておく。
【００３８】
そして、図３（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド１６の吐出位置に欠陥部分３１が一致したときに、制御装置１３で、ヘッドユニット５の吐出機構を操作してインクジェットヘッド１６から修正液３２を吐出させる。
また、修正液３２を吐出させる前に、必要に応じて、位置制御機構６により、インクジェットヘッド１６のＺ方向における位置を調整してもよい。修正液３２を吐出するときに、インクジェットヘッド１６のノズル先端からフィルタ層２５の上面までの距離Ｌが、大きすぎると吐出精度が悪くなり、小さすぎるとノズル先端がフィルタ層２５の上面に接触して外傷を与えるおそれがある。したがって、吐出時においては、インクジェットヘッド１６のノズル先端からフィルタ層２５の上面までの距離Ｌを０．２〜２ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００３９】
修正液３２の吐出量は、欠陥部分３１に充填された修正液３２が、後工程で乾燥、硬化されて図２（ｆ）に示すような塗膜３１ａを形成したときに、その塗膜３１ａの上面が、その周囲の着色層、本例においては着色層２３Ｒの上面と面一になるように設定することが好ましい。また塗膜３１ａの上面が、その周囲の着色層の上面より若干低くて多少の段差が生じてもよいが、この段差が大きすぎると、その後の工程でフィルタ層２５上にオーバーコート層２６を形成したときに、良好な平坦性が得られないおそれがある。したがって、修正液３２からなる塗膜３１ａの上面と、その周囲の着色層２３Ｒの上面との段差は０．５μｍ以下であることが好ましい。
なお、欠陥部分３１を、カメラ７の撮影領域内の特定位置に位置決めする工程において、欠陥部分３１の大きさを測定し、これに応じて修正液３２の吐出量を制御してもよい。
【００４０】
修正液３２を吐出した後、再び、制御装置１３で支持部材１１とカラーフィルタ基板３０の相対位置を変化させて、修正液３２が吐出された欠陥部分３１をカメラ７の撮影領域内に移動させる。このときの移動方向および移動距離は、前工程において、欠陥部分３１をカメラ７の撮影領域内の前記特定位置からインクジェットヘッド１６の吐出位置へ移動させたときと、逆向きの移動方向で等しい移動距離とすればよく、予め制御装置１３の記憶手段に記憶させておく。
そして、観察用モニター１で、修正液３２が吐出された欠陥部分３１を観察し、欠陥部分３１に白抜けしている箇所が残っていないかを確認する。
【００４１】
また、修正液３２を吐出した後に、必要に応じて、位置制御機構６により、インクジェットヘッド１６のＺ方向における位置を調整してもよい。インクジェットヘッド１６とカラーフィルタ基板３０とが相対的に移動されるときに、インクジェットヘッド１６のノズル先端からフィルタ層２５の上面までの距離Ｌが小さすぎると、ノズル先端がフィルタ層２５の上面に接触して外傷を与えるおそれがある。インクジェットヘッド１６が移動するＸ方向とテーブル３の面方向との平行度が精密に制御されている場合は、上記距離Ｌが小さい状態で、インクジェットヘッド１６とカラーフィルタ基板３０との相対移動を行っても構わないが、これらの移動時においては、上記距離Ｌを５〜１０ｍｍ程度としておくことが好ましい。
【００４２】
観察の結果、欠陥部分３１に白抜けしている未修正個所が残っていることが認められたら、この未修正個所に対して、前工程と同様の操作を繰り返してインクジェットヘッド１６から修正液３２を再度吐出する。すなわち、未修正個所をカメラ７の撮影領域の特定位置に位置決めした後、支持部材１１とカラーフィルタ基板３０とを、予め設定された所定方向に所定距離だけ相対的に移動させて、未修正個所をインクジェットヘッド１６の吐出位置に一致させ、インクジェットヘッド１６から修正液３２を吐出させる。
また観察の結果、修正液３２が吐出された欠陥部分３１の修正状態が良好で未修正個所がなければ、引き続きフィルタ層２５の他の欠陥部分について、同様の操作で検出および修正を行う。
【００４３】
すべての欠陥部分の修正が終わったら、テーブル３上からカラーフィルタ基板３０を取り外して、フィルタ層２５に吐出された修正液３２の乾燥・硬化を行う。これにより、図２（ｆ）に示すように、欠陥部分３１内に中間色の塗膜３１ａが形成される。
修正液３２を乾燥・硬化させる方法は特に限定されないが、例えば、５０〜１００℃のホットプレート上で３〜１０分間程度加熱し、その後オーブン中にて１５０〜２３０℃、３０〜９０分間程度加熱する方法を用いることができる。
【００４４】
修正液３２を硬化させた後、図２（ｆ）に示すように、カラーフィルタ基板３０上の全面に、例えばアクリル系樹脂からなる透明樹脂を塗布してオーバーコート層２６を形成する。また、必要であれば、オーバーコート層２６上に、例えばＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）膜等の透明導電膜からなる電極層２７を形成した後、パターン化してなるストライプ状の電極２７ａを形成し、さらに必要であれば、その上面に配向膜２８を形成してカラーフィルタ２００が得られる。
なお、前工程において着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂ上面に対して撥液処理を施した場合、必要に応じてオーバーコート層２６の形成に先立って、着色層に対して紫外線照射等の親液処理を施してもよい。
【００４５】
このようにして得られたカラーフィルタ２００は、基板２１上に、マトリクス状に配された画素を備えており、画素と画素の境目は、遮光層（ブラックマトリクス）２２によって区切られている。１つ１つの画素にはＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれかの着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂが形成されており、遮光層２２および着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂからなるフィルタ層２５の全体を覆うようにオーバーコート層２６が形成されている。オーバーコート層２６上には電極層２７および配向膜２８が順に形成されている。また、フィルタ層２５の欠陥部分３１内には、中間色の修正液３２からなる塗膜３１ａが形成されている。
【００４６】
本実施形態によれば、Ｒ（赤）の着色層２３Ｒに生じていた欠陥部分３１が、中間色の修正液３２からなる塗膜３１ａによって埋められたので、このカラーフィルタ２００に光を透過させたときに、欠陥部分３１が輝点とならず目立たない。また、欠陥部分３１に形成されている塗膜３１ａは中間色であるので、ある程度光を透過させることができる。したがって、欠陥部分３１が良好な状態に修正されるとともに、光透過率の低下が小さく抑えられたカラーフィルタ２００が得られる。
また、本実施形態では、観察用モニター１を介して、フィルタ層２５の欠陥部分３１を目視により観察できるので、確実に欠陥部分３１を検知することができる。また目視により観察しながら欠陥部分３１の位置特定を行い、インクジェットヘッド１６の吐出位置への移動開始を手動で操作することができ、このときの移動距離、移動方向の設定も変更可能であるので、欠陥部分３１を高精度に吐出位置に移動させることができる。
さらに、一度、修正液３２を吐出した直後に、簡単な操作で欠陥部分３１を再度観察することができる。また未修正個所が残っていて再度の修正が必要な場合も、簡単な操作で欠陥部分３１を、再度、吐出位置に高精度に、かつ容易に移動させることができる。
【００４７】
なお本実施形態では、欠陥部分３１が、着色層２３Ｒが一部欠落したことによるピンホールである場合を例に挙げて説明したが、この例に限らず、白抜けを生じさせる各種の欠陥部分についても同様にして修正を行うことができる。
例えば、着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂや遮光層２２の厚さが不足しているために、白抜けを生じるような欠陥部分に対しても、同様にして、欠陥部分内に中間色の修正液を吐出して塗膜を形成することによって、修正を行うことができる。
あるいは、摩擦によって、着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂや遮光層２２の一部が剥がれて生じたような、比較的広面積の欠陥部分に対しても、同様にして、欠陥部分内に中間色の修正液を吐出して塗膜を形成することによって、修正を行うことができる。
特に、本発明では、中間色の修正液を用いるので、１つの欠陥部分が異なる色の着色層にまたがっている場合、あるいは１つの欠陥部分が着色層と遮光層とにまたがっている場合なども含めて、あらゆる欠陥部分に対して中間色の修正液を吐出して塗膜を形成することによって、良好な修正を行うことができるという利点を有する。
【００４８】
次に、本発明に係るカラーフィルタを備えた電気光学装置について説明する。
図４は、本実施形態で得られたカラーフィルタ２００を備えた液晶装置の一例を示す要部断面図である。この例の液晶装置２０１はパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）であり、この液晶装置２０１に、液晶駆動用ＩＣ、支持体、バックライト、配線類などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。
【００４９】
本例の液晶装置２０１は、上記第１の実施形態で説明したカラーフィルタ２００を備えており、カラーフィルタ２００を下側（観測者側の反対側）に配置したものである。尚、カラーフィルタ２００については、図２（ｆ）と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
この例の液晶装置２０１は、カラーフィルタ２００とガラス基板等からなる対向基板２０２との間にＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶等からなる液晶層２０３が挟持されて概略構成されている。
【００５０】
本実施形態において、カラーフィルタ２００の電極層２７は、所定の間隔でストライプ状に形成された複数の電極２７ａからなっており、対向基板２０２のカラーフィルタ２００と対向する面上（液晶層側）には、カラーフィルタ２００の電極２７ａと直交する方向に延在する複数の電極２０４が、所定の間隔でストライプ状に形成され、その上面を覆うように配向膜２０５が形成されている。そして、カラーフィルタ２００の電極２７ａと、対向基板２０２の電極２０４と交差する部位が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ２００の着色２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂが位置するように構成されている。
カラーフィルタ２００および対向基板２０２外面側には偏光板２０６，２０７がそれぞれ設置されている。
また、符号２０８は基板間の間隔（セルギャップという）を基板面内で一定に保持するためのスペーサである。
【００５１】
かかる構成の液晶装置２０１によれば、カラーフィルタ２００のフィルタ層２５における欠陥部分が、中間色の塗膜３１ａで埋められているので、このカラーフィルタ２００の透過光を利用して表示される画面において、欠陥部分が目立たなくなっており、また、欠陥部分での透過率の低下も小さい。したがって、見かけ上は欠陥のない良好な液晶表示画面が得られる。
【００５２】
なお、本例では、カラーフィルタ２００を下側（観察者側と反対側）に配置した透過型のパッシブマトリックス型液晶装置を例に挙げたが、カラーフィルタ２００を上側（観察者側）に設けた構成とすることもできる。また、パッシブマトリックス型の液晶装置に限らず、電極形状やスイッチング素子等の構成を変更すれば、同様のカラーフィルタ２００を用いてアクティブマトリックス型の液晶装置を構成することもできる。さらに、適宜の位置に反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置を構成することもできる。
【００５３】
また、カラーフィルタ２００を備えた電気光学装置としては、液晶表示装置に限らず、例えばプラズマアドバンス型ディスプレイ等を挙げることができる。
【００５４】
なお、上記第１の実施形態では、観察用モニター１を介して、フィルタ層２５の欠陥部分３１を目視により観察しながら、欠陥部分３１の検知、位置決め、および修正後の確認を行ったが、目視による観察をせずに、欠陥部分の検知および修正を自動的に行うこともできる。
以下、本発明の第２の実施形態を説明する。
【００５５】
図５は本発明のカラーフィルタの製造方法を実施するのに好適なカラーフィルタ製造装置の第２の実施形態を示したもので、特に欠陥部分の検知および修正を行う装置の概略構成図である。図中符号３０は、前記第１の実施形態と同様にして基板２１上に、遮光層２２および着色層２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂからなるフィルタ層２５を形成したカラーフィルタ基板である。
本実施形態の装置は、インクジェットヘッド１０１、Ｘ方向駆動軸１０４、Ｙ方向ガイド軸１０５、制御装置１０６、テーブル１０７、検出装置１０８、基台１０９を備えている。
テーブル１０７は、Ｙ方向ガイド軸１０５上を移動可能に構成されており、カラーフィルタ基板３０を基準位置に固定する機構を備えている。
インクジェットヘッド１０１には、修正液をテーブル１０７上のカラーフィルタ基板３０に向かって吐出するノズル（吐出口）が設けられている。
【００５６】
Ｘ方向駆動軸１０４には、Ｘ方向駆動モータ１０２が接続されている。Ｘ方向駆動モータ１０２は、ステッピングモータ等であり、制御装置１０６からＸ軸方向の駆動信号が供給されるとＸ方向駆動軸１０４を回転させる。Ｘ方向駆動軸１０４が回転するとインクジェットヘッド１０１がＸ軸方向に移動する。
Ｙ方向ガイド軸１０５は、基台１０９に対して動かないように固定されており、Ｙ方向ガイド軸１０５上のテーブル１０７はＹ方向駆動モータ１０３に接続されている。Ｙ方向駆動モータ１０３は、ステッピングモータ等であり、制御装置１０６からＹ軸方向の駆動信号が供給されると、テーブル１０７をＹ軸方向に移動させる。
【００５７】
検出装置１０８は、発光装置と受光素子を備えたスキャニング装置であり、テーブル１０７のＹ方向の移動に伴って、カラーフィルタ基板３０の欠陥部分の検出を行う。具体的には、カラーフィルタ基板３０の裏面側から光を照射し、カラーフィルタ基板３０の表面側に設けた受光素子で、光が高度に透過している箇所、すなわち白抜けによる欠陥部分を検出するように構成されている。
【００５８】
制御装置１０６は、検出装置１０８で検出された欠陥部分の位置情報を受信し、これに基づいて、Ｘ方向駆動モータ１０２に対して、インクジェットヘッド１０１のＸ軸方向の移動を制御するための駆動パルス信号（Ｘ軸方向の駆動信号）を供給するとともに、Ｙ方向駆動モータ１０３に対して、テーブル１０７のＹ軸方向の移動を制御するための駆動パルス信号（Ｙ軸方向の駆動信号）を供給する。
また制御装置１０６は、インクジェットヘッド１０１に対して修正液の吐出制御用の電圧を供給する。
本実施形態において、修正液は、前記第１の実施形態と同じものが用いられる。
【００５９】
かかる構成の装置を用いてカラーフィルタを製造するには、まず、図２に示すように、前記第１の実施形態と同様の手順で透明基板２１上に、遮光層２２および着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂを順に形成する。このようにして、図３に示すような、透明基板２１上に遮光層２２および着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂからなるフィルタ層２５を備えたカラーフィルタ基板３０を得た後、図５に示した装置を用いて、このフィルタ層の欠陥部分３１の検出および修正を行う。ここでは、前記第１の実施形態と同様に、赤（Ｒ）の着色層２３Ｒにピンホールからなる欠陥部分３１が形成されている例を挙げて説明する。
なお、予め、着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂの上面と修正液との濡れ性を小さくすることを目的として撥液処理を行う場合には、フィルタ層２５を形成した後、カラーフィルタ基板３０を図５に示した装置にセットする前に撥液処理を行うことが好ましい。
【００６０】
欠陥部分３１の修正を行うには、まず、図５に示す装置のテーブル１０７上にカラーフィルタ基板３０を固定し、テーブル１０７を検出装置１０８の下方で移動させることにより、検出装置１０８でフィルタ層２５をスキャンする。
検出装置１０８の受光素子は、欠陥部分３１を周囲よりも明るい輝点として認識し、テーブル１０７上における、この輝点の座標を検出して制御装置１０６に送信する。
制御装置１０６は、欠陥部分３１の位置情報（座標）を記憶手段に記憶させる。
【００６１】
カラーフィルタ基板３０のフィルタ層２５の全面について、検出装置１０８によるスキャンが終わったら、テーブル１０７をインクジェットヘッド１０１の下方に移動させ、制御装置１０６の記憶手段に記憶された欠陥部分３１の位置情報（座標）に基づいて、欠陥部分３１に、インクジェットヘッド１０１から修正液を吐出する。すなわちＸ方向駆動モータ１０２およびＹ方向駆動モータ１０３を駆動させ、インクジェットヘッド１０１とテーブル１０７とを相対的に移動させ、インクジェットヘッド１０１が、欠陥部分３１に対して修正液を吐出可能な位置に到達したときに、図３（ｂ）に示すように、制御装置１０６からインクジェットヘッド１０１に電気信号を供給して、修正液３２を吐出させる。
【００６２】
なお検出装置１０８で、欠陥部分３１の位置を検出すると同時に、欠陥部分３１の大きさも検出して、その情報を制御装置１０６に送信し、制御装置１０６では、この情報に基づいてインクジェットヘッド１０１から吐出される修正液３２の量を制御することもできる。
【００６３】
また好ましくは、修正液３２を吐出した後、再び、テーブル１０７を検出装置１０８の下方に移動させ、再スキャンして欠陥部分の有無を確認する。
そして、白抜けしている未修正個所が残っていることが認められたら、この未修正個所に対して、同様の操作を繰り返してインクジェットヘッド１から修正液３２を吐出する。
再スキャンの結果  白抜けしている個所ががなければ、カラーフィルタ基板３０を、前記第１の実施形態と同様にして乾燥・硬化工程に供し、修正液３２を硬化させて中間色の塗膜３１ａを形成する。
【００６４】
修正液３２を硬化させた後、図２（ｆ）に示すように、前記第１の実施形態と同様にして、カラーフィルタ基板３０上の全面に、例えばアクリル系樹脂からなる透明樹脂を塗布してオーバーコート層２６を形成する。また、必要であれば、オーバーコート層２６上に、例えばＩＴＯ（酸化インジウムスズ）膜等の透明導電膜をパターン化してなる電極層２７を形成し、さらに必要であれば、その上面に配向膜２８を形成してカラーフィルタ２００が得られる。
なお、前工程において着色層２３Ｒ、２３Ｇ，２３Ｂの上面に対して撥液処理を施した場合、必要に応じてオーバーコート層２６の形成に先立って、着色層に対して紫外線照射等の親液処理を施してもよい。
【００６５】
このような方法によっても、前記第１の実施形態と同様の構成を有するカラーフィルタ２００が得られる。
また得られたカラーフィルタ２００を用いて、前記第１の実施形態と同様に、各種の電気光学装置を構成することができ、同様の作用効果が得られる。
【００６６】
本実施形態によれば、Ｒ（赤）の着色層２３Ｒに生じていた欠陥部分３１が、中間色の修正液３２からなる塗膜３１ａによって埋められたので、このカラーフィルタ２００に光を透過させたときに、欠陥部分３１が輝点とならず目立たない。また、欠陥部分３１に形成されている塗膜３１ａは中間色であるので、ある程度光を透過させることができる。したがって、欠陥部分３１が良好な状態に修正されるとともに、光透過率の低下が小さく抑えられたカラーフィルタ２００が得られる。
特に本実施形態においては、フィルタ層２５の欠陥部分の検知および修正を行う装置に、フィルタ層２５を目視により観察するための観察部が設けられていない。そして、欠陥部分の検知、位置特定、修正液の吐出位置への移動、修正液の吐出、および修正部分の確認を、機械的に自動で行うので、これらの操作を目視により観察しながら行う場合に比べて、精度的にはやや劣るものの、人手を要さず、効率的に欠陥部分の修正作業を行うことができる。また、目視による観察を行う場合に比べて、誤認や誤作動が生じる可能性は高く、欠陥部分ではない着色層の正常な領域に修正液３２が塗布される場合も生じ得る。しかしながら、本実施形態では、中間色の修正液３２を使用するので、正常な領域に形成された修正液３２からなる塗膜を除去しなくても、画面表示においてこの塗膜は目立たない。
したがって、本実施形態によっても、着色層に生じた欠陥部分および遮光層に生じた欠陥部分を簡単な構成で容易に修正することができる。
【００６７】
なお本実施形態においても、欠陥部分３１が、ピンホールである場合だけでなく、着色層２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂや遮光層２２の厚さ不足による白抜けや、比較的広面積の欠陥部分に対しても、また１つの欠陥部分が異なる色の着色層にまたがっている場合、あるいは１つの欠陥部分が着色層と遮光層とにまたがっている場合なども含めて、あらゆる欠陥部分に対して中間色の修正液を吐出して塗膜を形成することによって、良好な修正を行うことができる。
【００６８】
また、上記第１および第２の実施形態では、透明基板２１上にフィルタ層２５を形成するのにフォトリソグラフィ法を用いたが、本発明においてフィルタ層２５の形成方法および構成は適宜変更可能である。
例えば、透明基板上に着色層を形成するのに、以下に説明するようなインクジェット法を用いてもよい。
【００６９】
図６（ａ）〜（ｄ）は、本発明の第３の実施形態を示したもので、インクジェット法を用いてカラーフィルタ基板を製造する方法を工程順に示した模式断面図である。
まず、図６（ａ）に示すように、透明基板１１１上に、前記第１の実施形態と同様にしてフォトリソグラフィ工程を経て遮光層２２を格子状に形成する。
【００７０】
続いて、遮光層１１２上にバンク１１３を形成する。すなわち、図６（ｂ）に示すように、透明基板１１１および遮光層１１２を覆うように、ネガ型の透明な感光性樹脂組成物からなるレジスト層１１７を形成し、その上面に、格子状に形成されたマスクフィルム１１８を密着させた状態で露光処理を行う。そして、図６（ｃ）に示すように、レジスト層１１７の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層１１７をパターニングして、バンク１１３を形成する。
このバンク１１３とその下の遮光層１１２は、この後の工程において、インクジェット法により着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを形成する際にインクの広がりを規制する土手の役割を果たす仕切り１１４となる。
【００７１】
次に、図６（ｄ）に示すように、仕切り１１４で囲まれた領域内、すなわち画素に着色層用塗布液（インク）を塗布し、これを乾燥させて着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを形成する。
例えば、３台のインクジェット装置を備えた着色層形成装置を用い、次のようにして３色の着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを順に形成する。３色の着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂの形成順序は限定されない。
【００７２】
まず、仕切り１１４が形成された透明基板１１１を第１のインクジェット装置に導入し、多数の画素のうちＲ（赤）の着色層１１５ｒからなる画素が形成される領域のみに対して、インクジェットヘッド（図示略）から赤色のインクを吐出する。この後、第１の乾燥装置に搬送し、ここでインクを乾燥させてＲ（赤）の着色層１１５ｒを形成する。
続いて、Ｒ（赤）の着色層１１５ｒが形成された透明基板１１１を第２のインクジェット装置に搬送し、多数の画素のうちＧ（緑）の着色層１１５ｇからなる画素が形成される領域のみに対して、インクジェットヘッド（図示略）から緑色のインクを吐出する。そして、第２の乾燥装置に搬送し、ここでインクを乾燥させてＧ（緑）の着色層１１５ｇを形成する。
続いて、Ｒ（赤）の着色層１１５ｒおよびＧ（緑）の着色層１１５ｇが形成された透明基板１１１を第３のインクジェット装置に搬送し、多数の画素のうちＢ（青）の着色層１１５ｂからなる画素が形成される領域のみに対して、インクジェットヘッド（図示略）から青色のインクを吐出する。この後、第３の乾燥装置に搬送し、ここでインクを乾燥させてＢ（青）の着色層１１５ｂを形成する。
なお、第１〜第３のインクジェット装置内において、透明基板１１１を精密に位置決めできるように、例えば遮光層１１２を形成する際に、位置合わせ用のマークを形成しておくことが好ましい。
【００７３】
このようにして、インクジェット法により着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂを形成することにより、透明基板１１上に、遮光層１１２とバンク１１３と着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂからなるフィルタ層１２５が形成されたカラーフィルタ基板１３０が得られる。
そして、このようにして作製されたカラーフィルタ基板１３０について、前記第１の実施形態または第２の実施形態と同様にして、フィルタ層１２５の欠陥部分１３１の検出および修正を行い、すべての欠陥部分の修正が終わったら、フィルタ層１２５に吐出された修正液の乾燥・硬化を行って、欠陥部分１３１内に中間色の塗膜１３１ａを形成する。
【００７４】
修正液を硬化させた後、図示していないが、カラーフィルタ基板１３０上の全面に、例えばアクリル系樹脂からなる透明樹脂を塗布してオーバーコート層を形成する。また、必要であれば、オーバーコート層上に、例えばＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）膜等の透明導電膜からなる電極層を形成した後、パターン化して電極を形成し、さらに必要であれば、その上面に配向膜を形成してカラーフィルタが得られる。
【００７５】
本実施形態のカラーフィルタは、フィルタ層が、遮光層１１２とバンク１１３と着色層１１５ｒ、１１５ｇ、１１５ｂとで構成される点で、前記第１および第２の実施形態と異なるが、前記第１および第２の実施形態と同様に、白抜けを生じる欠陥部分を検出し、ここにインクジェットヘッドを用いて中間色の修正液を吐出することにより欠陥部分を修正でき、同様の作用効果が得られる。
また本実施形態のカラーフィルタも、前記第１および第２の実施形態のカラーフィルタ２００と同様にして液晶装置を構成することができ、同様の作用効果を得ることができる。
【００７６】
なお、カラーフィルタの製造上の欠陥としては、上記で述べたような白抜けを生じるものの他に、例えば着色層上に異物が付着している場合など、表示画面において黒点となる欠陥もある。このような黒点を生じる不良個所については、局所的にレーザ照射を行うことによって異物を除去することができる。そして、レーザ照射によって異物周囲の着色層も損傷を受けるが、このような着色層の損傷部分は白抜けを生じる欠陥部分とみなすことができ、本発明における欠陥部分の修正方法と同様にして修正を行うことができる。
【００７７】
次に、本発明の液晶装置を備えた電子機器の実施形態について説明する。
図７（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は液晶表示部を示している。
図７（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。符号７００は情報処理装置、符号７０１はキーボードなどの入力部、符号７０３は情報処理装置本体を示し、符号７０２は液晶表示部を示している。
図７（ｃ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。符号８００は時計本体を示し、符号８０１は液晶表示部を示している。
これらの電子機器において、液晶表示部６０１、７０２、８０１は、前記第１または第２の実施形態のカラーフィルタ２００を備えた液晶装置、あるいは前記第３の実施形態のカラーフィルタ基板１３０用いてなるカラーフィルタを備えた液晶装置を用いて構成されている。
【００７８】
これらの実施形態の電子機器にあっては、液晶表示部６０１、７０２、８０１において、カラーフィルタの欠陥部分が、中間色の修正液を用いて修正されて目立たなくなっており、また欠陥部分での透過率の低下も小さく抑えられているので、見かけ上は欠陥のない良好な液晶表示画面が得られる。
【００７９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、透明基板上に、遮光層および着色層からなるフィルタ層を備えたカラーフィルタを製造する工程において、フィルタ層に存在する欠陥部分を検出し、インクジェットヘッドで中間色の修正液を吐出して該欠陥部分内に塗膜を形成することにより、この欠陥部分内の塗膜における光透過率の低下を抑えつつ、表示画面において欠陥部分を目立たなくすることができるので、良好な修正状態が得られる。
また、各色の着色層内の欠陥部分についても、また遮光層内の欠陥部分についても、１色の中間色の修正液で修正することができるので、カラーフィルタのフィルタ層（着色層および／または遮光層）の欠陥部分を簡単な構成で容易に修正することができる。
【００８０】
また、本発明のカラーフィルタの製造装置によれば、透明基板上のフィルタ層を観察する観察部と、前記フィルタ層に対して、中間色の修正液を吐出可能なインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドと前記透明基板との相対位置を変える駆動部を備えているので、着色層または遮光層に生じている欠陥部分を確実に、精度良く検知することができ、この欠陥部分に対してインクジェットヘッドから中間色の修正液を吐出することにより、欠陥部分に修正液からなる塗膜を形成して修正を行うことができる。したがって、カラーフィルタのフィルタ層（着色層および／または遮光層）の欠陥部分を簡単な構成で容易に修正することができる。
【００８１】
また、本発明のカラーフィルタによれば、フィルタ層（遮光層および／または着色層）の欠陥部分内に、中間色の修正液からなる塗膜が形成されているので、このカラーフィルタのに光を透過させたときに欠陥部分が目立たなくなっており、見かけ上、欠陥のない良好なカラー表示特性が得られる。
【００８２】
さらに、本発明の電気光学装置によれば、カラーフィルタの遮光層および／または着色層の欠陥部分が表示画面において目立たたなくなっているので、見かけ上、欠陥による表示不良がないカラー表示特性に優れた電気光学装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るカラーフィルタの製造装置の一実施形態を示した概略構成図である。
【図２】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法の一実施形態を工程順に示した断面図である。
【図３】  本発明に係るカラーフィルタ基板の例を示したもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）中のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】  本発明に係るカラーフィルタを備えた液晶装置の例を示す要部断面図である。
【図５】  本発明に係るカラーフィルタの製造装置の他の実施形態を示した概略構成図である。
【図６】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法の他の実施形態を工程順に示した断面図である。
【図７】  本発明に係る電子機器の例を示したもので（ａ）は携帯電話の斜視図であり、（ｂ）は携帯型情報処理装置の斜視図であり、（ｃ）は腕時計型電子機器の斜視図である。
【符号の説明】
１…観察用モニター
２…θ方向駆動手段
４，３０，１３０…カラーフィルタ基板
７…カメラ
９…Ｘ方向駆動手段
１１…支持部材
１３…制御装置
１６，１０１…インクジェットヘッド
１７…Ｙ方向駆動手段
２１，１１１…透明基板
２２，１１２…遮光層
２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂ，１１５ｒ，１１５ｇ，１１５ｂ…着色層
２５，１２５…フィルタ層
３１，１３１…欠陥部分
３１ａ，１３１ａ…修正液からなる塗膜
３２…修正液
１０８…検出装置
１１３…バンク
１１４…仕切り
２００…カラーフィルタ
２０１…液晶装置
６０１，７０２，８０１…液晶表示部
【図１】
0003969039.tif 000002
【図２】
0003969039.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003969039.tif 000005
【図５】
0003969039.tif 000006
【図６】
0003969039.tif 000007
【図７】
0003969039.tif 000008