(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを吸着するエアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔したＸ軸線方向、Ｙ軸線方向に制御動可能な穿孔装置用の作業テーブルにおいて、前記作業テーブルを、平面視矩形状に形成すると共に中央部に、スペースを介してダイを配設するダイ配設用の開口を穿設し、前記開口を囲繞する所要範囲と、各コーナー寄りの所要範囲４ヶ所、計５ヶ所に、各々ワークを吸着する前記エアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔し、且つ前記エアー吸引室を前記５ヶ所のブロックに区画していることを特徴とする穿孔装置用の作業テーブル。
【請求項２】
撮像されるワークを作業テーブルに載承し、撮像部によるワークの非円形な加工対象部の受像信号から解析される画像データと、入力されているティーチングデータとを基にして、ワークを載承する作業テーブルをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向、θ方向に制御動して芯出しして、上方に配設したパンチを下降させて加工対象部を穿孔する穿孔装置であって、前記作業テーブルは、Ｙ軸線方向に制御動可能なＹテーブル部、Ｘ軸線方向に制御動可能なＸテーブル部、θ方向に制御動可能なθテーブル部を上下多段状に重ねてなり、該作業テーブルは、下段のテーブル部に対して上段のテーブル部を所定の制御動をするように支持すると共に中央部に、パンチと同軸上にダイをスペースを介して配設する開口を穿設して、そのスペースで作業テーブルのＸ軸線、Ｙ軸線、θ方向の制御動が許容されるようにし、該最上段のテーブル部を平面視円形に形成し、該最上段のテーブル部の前記開口を囲繞する所要範囲と、その所要範囲回りに間隔をおいて４ヶ所、計５ヶ所に、各々ワークを吸着するエアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔すると共に前記エアー吸引室を前記５ヶ所のブロックに区画したことを特徴とする穿孔装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、穿孔装置用として好適な作業テーブル及びその作業テーブルを使用する穿孔装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術】
従来、穿孔装置には、作業台の上面の中央部分を、表面全面に内部のエアー吸引室に連通してエアー吸気孔が散在状に開孔された水平方向制御動可能（Ｘ・Ｙ軸線方向制御動可能）な作業テーブルとし、カメラ（ＣＣＤカメラ）で作業テーブルに載承されるワークのターゲットマークを撮像する度に、前記作業テーブルでワークを吸着すると共に画像処理してその画像データから芯出しデータを演算処理し、その芯出しデータをもってそのワークを吸着状態のまま水平方向に制御動して芯出した後、作業テーブル中央の開口に配設されているダイとその上方の穿孔具でターゲットマークを穿孔加工する構成のものがある。
この穿孔装置では、前記ワークの吸着、芯出しデータの演算処理、芯出しデータでのワークの水平方向への制御動が瞬時に行なわれる。
【０００３】
ところで、ワークは作業台の表面、作業テーブルの表面に対して高精度な平行度を有するものばかりでなく、部分的に微小に撓み変形し、作業テーブルに対して平行度が出ていないものも少なくない。
そのため、ターゲットマークをカメラに連係するモニタに収まるように移動させた後、そのワークを吸着した際、部分的な微小な撓み変形のために吸着しても真空破壊が生じるケースが多々存在する。
この真空破壊が生じたまま芯出しデータでワークを水平方向に制御動させると吸着か不確実なため、実際の制御動量に微小なズレが生じ、高精度な穿孔加工が行なえない問題があった。
また、またワークが大形な場合、作業台の表面に全体を載承できずにターゲットマークをモニタ画面に収めてもワークの一部が作業台からはみ出し、その重量でワークに部分的に微小な撓み変形を生じさせ、同様に真空破壊が生じるケースもあった。
これを防止ために高吸着力にすることも提案されるが、各エアー吸気孔で局部的にワークが歪み、この歪変形がワーク域に伝播して、ワーク全体を変形させてしまう。
【０００４】
また、ワークに穿孔加工される孔形状としては丸孔に限らず、矩形孔、コ型孔等の非円形孔がある。例えばフレキシブルプリント配線板等では、複数の製品が所定の配設パターンで形成されていることが多い。この場合にも前記真空破壊のため、高精度を要求される前記製品の端部外周のトリミング加工（打ち抜き加工）の歩留まりを悪くする問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来事情に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、真空破壊させずに高精度なワークの制御動が行なえる穿孔装置用の作業テーブル及びその穿孔装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために講じた技術的手段は、ワークを吸着するエアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔したＸ軸線方向、Ｙ軸線方向に制御動可能な穿孔装置用の作業テーブルにおいて、前記作業テーブルを、平面視矩形状に形成すると共に中央部に、スペースを介してダイを配設するダイ配設用の開口を穿設し、前記開口を囲繞する所要範囲と、各コーナー寄りの所要範囲４ヶ所、計５ヶ所に、各々ワークを吸着する前記エアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔し、且つ前記エアー吸引室を前記５ヶ所のブロックに区画していることを特徴とする穿孔装置用の作業テーブルである（請求項１）。
【０００７】
以上の手段によれば、従来技術の欄で記載するように部分的に微小な撓み変形が生じても、エアー吸引室をブロック化しているため、真空破壊を防止することができる。そのため、モニタ画面に収まるように加工対象部（ターゲットマーク）を移動させた後、吸着した際、撓み変形している部分に対応する部分以外のブロック化された複数のエアー吸引室に連通するエアー吸気孔からの吸気でワークを吸着固定し、芯出しデータでのワークの制御動を高精度にする。
【０００８】
また、撮像されるワークを作業テーブルに載承し、撮像部によるワークの非円形な加工対象部の受像信号から解析される画像データと、入力されているティーチングデータとを基にして、ワークを載承する作業テーブルをＸ軸線方向、Ｙ軸線方向、θ方向に制御動して芯出しして、上方に配設したパンチを下降させて加工対象部を穿孔する穿孔装置であって、前記作業テーブルは、Ｙ軸線方向に制御動可能なＹテーブル部、Ｘ軸線方向に制御動可能なＸテーブル部、θ方向に制御動可能なθテーブル部を上下多段状に重ねてなり、該作業テーブルは、下段のテーブル部に対して上段のテーブル部を所定の制御動をするように支持すると共に中央部に、パンチと同軸上にダイをスペースを介して配設する開口を穿設して、そのスペースで作業テーブルのＸ軸線、Ｙ軸線、θ方向の制御動が許容されるようにし、該最上段のテーブル部を平面視円形に形成し、該最上段のテーブル部の前記開口を囲繞する所要範囲と、その所要範囲回りに間隔をおいて４ヶ所、計５ヶ所に、各々ワークを吸着するエアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔すると共に前記エアー吸引室を前記５ヶ所のブロックに区画したことを特徴とする穿孔装置（請求項２）も有効なものである。
また、前記ティーチングデータは、撮像部でパンチの平面視形状に一致するダイの抜き孔を撮像した受像信号を解析して得られるものであり、撮像部に連係する画像処理装置の画像メモリに予め記憶されている。
【０００９】
以上の手段によれば、モニタ画面に収まるように加工対象部である、例えば製品端部外周を移動させた後、吸着した際、撓み変形している部分と相対する部分以外の他の複数のブロック化されたエアー吸引室に連通するエアー吸気孔群からの吸気でワークを吸着固定し、画像データとティーチングデータとによる芯出しデータでのワークの制御動を高精度にする。
例えば、ワークがフレキシブルプリント配線板である場合、加工対象が製品端部外周のトリミングとなる。その際、その製品端部外周をモニタ画面に収まるようにワークを移動させた後、撮像し、画像データとティーチングデータとによって芯出しデータを演算処理し、その芯出しデータで作業テーブルをＸ・Ｙ軸線方向、θ方向に制御動した後、製品端部外周をトリミングする。
また、Ｘテーブル部、Ｙテーブル部、θテーブル部を多段状に積み重ねた態様にしており、コンパクトでもある。
尚、作業テーブルのθ方向の制御動範囲が、ある所定角度内に制限されている時には、画像処理装置に記憶されているティーチングデータに対して所定角度の制御動範囲内に収まるように向きを大略合わせてワークの加工対象部がモニタ画面にディスプレイされるようにワークを移動させることによって、穿孔加工（トリミングを含む）となる所定平面視形状の孔を打ち抜くことができる。
そして、ティーチングデータに対して前記θ方向の制御動範囲以上の誤差をもって加工対象部が画像解析された場合には、ワークの移動ミスとしてそれ以降の作動を停止し、更に連係する表示部でエラー表示したり、ランプ、ブザー等で警告を発するようにすると好適なものとなる。
また、ワークの吸着、芯出しデータの演算処理、芯出しデータでのワークの水平方向への制御動、パンチでの穿孔加工（トリミングを含む）は、フットスイッチやタッチスイッチ等の操作手段で行なわれるようにするのが良い。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明穿孔装置用の作業テーブル及びその作業テーブルを使用した穿孔装置の実施の形態を説明すると、図１〜図４は第１の実施の形態の使用状態を、図５〜図８は第２の実施の形態の使用状態を各々示している。まず第１の実施の形態について説明する。
【００１１】
この穿孔装置Ａは、机形状の作業台ａ１の表面中央部をＸ・Ｙ軸線方向に制御動可能な作業テーブル１で構成し、その作業台ａ１の背部から作業テーブル１の上方を至るようにパンチングユニット２を設け、そのパンチングユニット２の先端部に撮像部（ＣＣＤカメラ）３を設けると共に、その撮像部３と作業テーブル１との間で同軸となるようにスイングする首振り制御可能なスイングアーム１２を備え、そのスイングアーム１２を上下動制御可能に構成し、該スイングアーム１２にパンチＰを保持している。
【００１２】
また、この穿孔装置Ａは、作業テーブル１の中央部に穿設した案内口１’（開口）にダイホルダＤＨに支持されるダイＤを前記撮像部３と同軸上に備えている。
ダイホルダＤＨは、前記案内口１’に対して遊嵌状、即ち案内口１’の内周面との間にスペースＳを存して配置されている。
尚、符号２２は、スイングアーム１２を突設した回転部であって打動駆動源Ｍに連結され、３２は、そのスイングアーム１２を水平方向にスイングさせるエアーシリンダである。
【００１３】
そして、この穿孔装置Ａは、スイングアーム１２を撮像部３とダイＤとの同軸環境からスイングさせて逃避させた状態で撮像部３に連係する画像処理装置（図示せず）のモニタＢ画面内にターゲットマーク（加工対象部（後述では穿孔加工対象部と称する））Ｃが収まるようにワークＷを人為的に移動させた後、フットスイッチやタッチスイッチ等の操作手段を操作すると、作業テーブル１でそのワークＷを吸着して、撮像部３に連係する画像処理装置（図示せず）でその撮像を２値化し、その２値化画像をモニタＢ画面上で探査してその穿孔加工対象部Ｃの中心位置を芯出しし、芯出しデータをもってワークＷを吸着保持する作業テーブル１がＸ・Ｙ軸線方向に制御動して芯出しした後、撮像部３とダイＤとの同軸環境からスイングして逃避していたスイングアーム１２が同軸上に復帰し、打動駆動源Ｍの駆動力を受けてスイングアーム１２自体が上下動することによって、そのスイングアーム１２で支持されているパンチＰがワークＷの穿孔加工対象部Ｃを穿孔加工するように制御されている。
【００１４】
ダイホルダＤＨは、打抜きチップの落下空間を有する排除筒体４の上端に支持されており、その排除筒体４には、矩形板状、円板状等の支持板部１４が周設形成されている。
【００１５】
作業テーブル１は、図２、図３に示すように表面を作業台ａ１の表面と同面に配置されてＹ軸線方向に制御動されるＹテーブル部１１と、そのＹテーブル部１１の下位に配置されてＸ軸線方向に制御動されるＸテーブル部２１とから構成されている。
この作業テーブル１は、作業台ａ１の表面から開穴された収容スペースａ１’内に収容されている。
【００１６】
Ｘテーブル部２１は、中央部に前記排除筒体４を遊挿させる開口２１４を有し、図２、図３に示すように前記支持板部１４上面から突設状に設けたガイドレール２１１に嵌合して案内されるＸ案内部２１２を下面から突設し、作業台ａ１内に設けられた支持台６に設置したＸ用サーボモータＭ１に直結するＸ用偏心カム２１３でその外縁が押動されることによってＸ軸線方向に制御動可能になっている。
【００１７】
Ｙテーブル部１１は、同図２、図３に示すようにＸテーブル部２１の上面に突設状に設けたＹガイドレール１１１に嵌合して案内されるＹ案内部１１２を下面から突設し、Ｘテーブル部２１に設置したＹ用サーボモータＭ２に直結するＹ用偏心カム１１３で、外縁から突設した突部１１４の外縁が押動されることによってＹ軸線方向に制御動可能になっている。
【００１８】
また、Ｙテーブル部１１は、平面視矩形状を呈してなり、内部中空状に形成すると共に、その中空部を複数にブロック化して複数のエアー吸引室５…に区画形成し、その各エアー吸引室５…の表面には各エアー吸引室５…に連通してエアー吸気孔１５…が多数開孔され、各エアー吸引室５…にエアー吸引手段（図示せず）に連絡するバキュームホース２５…が連通状に連結されている。
本実施の形態では、前記案内口１’を囲繞する所要範囲と、各コーナー寄りの所要範囲との５ヶ所にエアー吸引室５…をブロック化している。
【００１９】
尚符号Ｓ１は、Ｙテーブル部１１の外縁と作業台ａ１表面端部との間に確保されたスペース、Ｓ２は、Ｘテーブル部２１の開口２１４と排除筒体４外周面との間に確保されたスペースで、前記するスペースＳ、Ｓ１、Ｓ２が、前記Ｙテーブル部１１をＸ軸線方向に、Ｘテーブル部２１をＹ軸線方向に制御動させる際の空間として利用される。
【００２０】
斯様に構成された穿孔装置用の作業テーブル１では、ワークＷの吸着機能を有するＹテーブル部１１の内部を数ブロック化したエアー吸引室５…で構成しているため、ワークＷに部分的に微小な撓み変形が生じていても、真空破壊を発生させずにそのワークＷを確実に吸着して、芯出しデータでのワークＷの制御動（Ｘ・Ｙ軸線方向）を高精度に行なうことができる。
尚、この実施の形態において、Ｘテーブル部とＹテーブル部との上下を逆転し、且つそのＸテーブル部のエアー吸引室を数ブロック化し、各エアー吸引室にエアー吸気孔を開孔した作業テーブルをも本発明は包含している。
【００２１】
次に図５〜図８に示す第２の実施の形態を説明すると、この実施の形態は、非円形の穿孔装置Ａ、詳細にはフレキシブルプリント配線板に多数平行状に形成されている製品端部外周（加工対象部）をトリミングする穿孔装置Ａを示している。
この穿孔装置Ａは、前記第１の実施の形態と同様に机形状の作業台ａ１の表面中央部をＸ・Ｙ軸線方向及びθ方向に制御動可能な作業テーブル１とし、その作業台ａ１の背部から作業テーブル１の上方に至るようにパンチングユニット２を設け、そのパンチングユニット２先端部に撮像部（ＣＣＤカメラ）３を設けると共に、その撮像部３と作業テーブル１との間で同軸となるようにスイングする首振り制御可能なスイングアーム１２を備え、そのスイングアーム１２を上下動制御可能に構成し、該スイングアーム１２にパンチＰを保持していること前記する実施の形態と同様であるため、同一符号を付して具体的な説明は省略する。
尚、パンチＰは横断面視コ字状を呈している。
【００２２】
前記作業テーブル１は、図６、図７に示すようにその表面を、作業台ａ１の表面と同面に配置されてＹ軸線方向に制御動されるＹテーブル部３１と、そのＹテーブル部３１の下位に配置されてＸ軸線方向に制御動されるＸテーブル部４１と、そのＸテーブル部４１の下位に配置されてθ方向に制御動されるθテーブル部５１とで構成されている。
前記作業テーブル１は、前記実施の形態と同様に作業台ａ１の表面から開穴された収容スペースａ１’内に収容されている。
【００２３】
θテーブル部５１は、上下両端を開放した筒状部５１１の上端開放部から矩形板状をもって折曲形成してなり、作業台ａ１内の支持台６に開口したセット縦口１６の上端開放縁に設けたリングベアリング２６でその筒状部５１１を支持すると共に筒状部５１１の内周面と前記するダイホルダＤＨを上端に支持する排除筒体４との間にリングベアリング３６を介在することによって、筒状部５１１を中心にして回転可能するようになっている。
【００２４】
更、このθテーブル部５１は、図６、図７に示すように一外縁部の端部からその長さ方向に向けてθ用延設部５１２を延設し、そのθ用延設腕５１２の前記一外縁部と連続する外縁部分を、前記支持台６に設置したθ用サーボモータＭ３で回転させるθ用偏心カム５１３で外側から押動することによってθ方向にその角度が可変する構成であり、また上面に、前記排除筒体４を挟んでＸ軸線方向を向く一対のＸガイドレール４１１、４１１を設け、そのＸガイドレール４１１、４１１各々にＸテーブル部４１下面から突設状に設けたＸ案内部４１２、４１２が移動可能に嵌合させてある。
本実施の形態ではθテーブル部５１の前記θ方向への制御動範囲は３０度程度に設定されている。
【００２５】
また、前記θテーブル部５１には、前記θ用延設腕５１２を突設する一外縁部中間部から水平状に突設した突部５１４の上面にＸ用サーボモータＭ４が設けられ、そのＸ用サーボモータＭ４でＸ用偏心カム４１３が回転するようになっている。
【００２６】
Ｘテーブル部４１は、中央部に前記排除筒体４を挿通する開口４１４を有する矩形状を呈してなり、その開口４１４を挟んで下面に前記Ｘ案内部４１２、４１２に取付けると共に上面に同開口４１４を挟んでＹ軸線方向を向く一対のＹガイドレール３１１、３１１を設け、そのＹガイドレール３１１、３１１にＹ案内部３１２、３１２をＹ軸線方向に移動可能に嵌合させてあり、Ｙガイドレール３１１、３１１と平行な一外縁部分を、前記Ｘ用偏心カム４１３で押動することによって、Ｘ軸線方向に制御動可能になっている。
また、このＸテーブル部４１には、前記Ｘ用偏心カム４１３で押動される一外縁部分に突部４１５を水平状に突設し、その突部４１５の上面にＹ用サーボモータＭ５を設け、その上方にＹ用サーボモータＭ５で回転されるＹ用偏心カム３１３を配置している。
【００２７】
Ｙテーブル部３１は、同じく図６、図７に示すように円板状を呈し、前記開口４１４と同芯にしてその開口４１４よりも小径で且つダイホルダＤＨよりも大径な案内口１’（開口）を穿設すると共に前記Ｙ案内部３１２、３１２を下面に取付けてなり、前記Ｙ用偏心カム３１３に対応する一外縁部分から水平状に突設した突部３１４のＸ軸線方向と平行な外縁部分をそのＹ用偏心カム３１３で押動することによって、Ｙ軸線方向に制御動可能になっている。
【００２８】
また、Ｙテーブル部３１は、平面視円形状を呈し、前記する実施の形態と同様に内部中空部を複数にブロック化して複数のエアー吸引室５…に区画形成し、その各エアー吸引室５…の表面には各エアー吸引室５…に連通してエアー吸気孔１５…を多数開孔され、各エアー吸引室５…にエアー吸引手段（図示せず）に連絡するバキュームホース２５…が連通状に連結されている。この実施の形態でも、前記案内口１’を囲繞する所要範囲と、その所要範囲回りの間隔をおいた４ヶ所の計５ヶ所にエアー吸引室５…をブロック化している。
【００２９】
尚符号Ｓ３は、Ｙテーブル部３１の外縁と作業台ａ１表面端部との間に確保されたスペース、Ｓ４は、Ｘテーブル部４１の開口４１４と排除筒体４外周面との間に確保されたスペース、Ｓは、Ｙテーブル部３１の案内口’内周面とダイホルダＤＨとの間に確保されたスペースであり、このスペースＳ、Ｓ３、Ｓ４が、前記Ｘテーブル部４１をＸ軸線方向に、Ｙテーブル部３１をＹ軸線方向に制御動させる際の空間として利用される。
【００３０】
画像処理装置（図示せず）は、ダイＤの抜き孔ｄ１のティーチングデータ（グレー処理された画像データ）や、撮像部３での受像信号から解析される画像データを記憶する画像メモリ、芯出しデータを演算処理する比較演算回路、駆動部へのインターフェース等を具備している。
【００３１】
斯様に構成された穿孔装置用の作業テーブルは、ワークＷの各加工対象部Ｃ…を、撮像部（ＣＣＤカメラ）３の視野内にティーチングデータの向きに大略合わせて人為的に移動させてモニタＢ画面にディスプレイさせる（図８（ｂ））
そして、フットスイッチ、タッチスイッチ等の操作手段を操作すると、ワークＷを吸着固定し、グレー処理された画像データとティーチングデータから芯出しデータを演算する。
図８（ａ）がティーチングデータであるダイＤの抜き孔ｄ１をモニタＢ画面にディスプレイした場合を参考に示している。
そして、パターンマッチング法でダイＤの抜き孔ｄ１と製品端部外周（後述では加工対象部と称する）とが符合するように作業テーブル１をＸ軸線方向、Ｙ軸線方向、θ方向に制御動させた後、スイングアーム１２がダイＤ、撮像部３と同軸上に復帰し、下動してトリミングを行なう（図８（ｃ））。
尚、前記芯出しデータがθテーブル部５１のθ制御動範囲（本実施の形態では３０度）を超えた値である場合には、その芯出しデータ通りに加工対象部を制御動させることができない。その時には、表示手段でエラー表示したり、ランプ表示、ブザー警報等でオペレータに伝達し、更にそれ以降の作動を停止する。
そして、仮にワークＷであるフレキシブルプリント配線板が部分的に撓み変形していようともそれに相対しない他の複数のブロック化されたエアー吸引室５…に連通するエアー吸気孔１５群でそのフレキシブルプリント配線板は吸着固定されるため、真空破壊が生じることはなく、フレキシブルプリント配線板の制御動を高精度に実行することができる。
【００３２】
また、図示しないが、各加工対象部Ｃ…を、撮像部３直下に移動させてモニタＢ画面にディスプレイすると所定時間（数秒後）、自動的に芯出しデータを演算処理し、ワークＷであるフレキシブルプリント配線板を吸着固定してパターンマッチング法でダイＤの抜き孔ｄ１と符合するようにＸ・Ｙ軸線方向及びθ方向に制御動させて、トリミングする制御方式にするのも自由なものである。
【００３３】
また、本実施の形態のように前記するθテーブル部５１がθ用偏心カム５１３を使用した制限された、ある範囲内にそのθ制御範囲が限定されるものではなく、例えばθテーブル部５１を１８０度回動できる構造とした場合には、敢えて加工対象部Ｃをティーチングデータの向きに大略合わせてモニタＢ画面にディスプレイさせずとも、モニタＢ画面に加工対象部Ｃ…を収めることで、Ｘ・Ｙ軸線方向、θ方向に制御動させてパンチＰの横断面形状通りの打ち抜きを行なうことも可能である。
その場合には、作業性が大幅に向上する。
【００３４】
【発明の効果】
本発明は以上のように、ワークを吸着するエアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔したＸ軸線方向、Ｙ軸線方向に制御動可能な穿孔装置用の作業テーブルにおいて、前記作業テーブルを、平面視矩形状に形成すると共に中央部に、スペースを介してダイを配設するダイ配設用の開口を穿設して、そのスペースで作業テーブルのＸ軸線、Ｙ軸線の制御動が許容されるようになし、前記開口を囲繞する所要範囲と、各コーナー寄りの所要範囲４ヶ所、計５ヶ所に、各々ワークを吸着する前記エアー吸気孔を内部のエアー吸引室に連通して多数開孔し、且つ前記エアー吸引室を前記５ヶ所のブロックに区画して真空破壊が生じないように構成しており、部分的に微小な撓み変形が生じた可撓性を有するワークであっても、しっかり吸着固定して制御動を高精度にする穿孔装置用の作業テーブルを新規に提供することができる。
その上、Ｘ・Ｙ軸線方向及びθ方向に制御動可能にした穿孔装置であっても、丸孔以外の非円形孔が加工対象となるワークであっても、真空破壊を起こすことなく、ワークを吸着して高精度に制御動することができる。
しかも、各テーブル部を多段状に積み重ねた形態にしているため、Ｘ・Ｙ軸線方向、θ方向に制御動を必要とする穿孔装置であっても小型化を図ることができる。
例えばフレキシブルプリント配線板に平行に形成された多数の製品端部外周をトリミングする場合でも、高精度にトリミングできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態である穿孔装置用の作業テーブルの使用状態を示す斜視図。
【図２】要部である作業テーブルの縦断面図。
【図３】同作業テーブルの分解斜視図。
【図４】モニタ画面の正面図を示し、加工対象物を撮像部の視野内に収め、その画像データを２値化した状態を示す。
【図５】第２の実施の形態である穿孔装置を示す斜視図。
【図６】要部である作業テーブルの縦断面図。
【図７】同作業テーブルの分解斜視図。
【図８】モニタ画面の正面図を示し、（ａ）は、画像処理装置の画像メモリに記憶されているティーチングデータ（グレー処理された画像データ）をモニタ画面に表示した場合を示す。（ｂ）は、加工対象物を撮像部の視野内に収めグレー処理された画像データを表示したモニタ画面。（ｃ）は、パターンマッチング法でワークを制御動して符合させた状態を示す。
【符号の説明】
１：作業テーブル          Ａ：穿孔装置
５：エアー吸引室        １５：エアー吸気孔
３：撮像部                Ｗ：ワーク
Ｃ：加工対象部（ターゲットマーク、製品端部外周）
２１、４１：Ｘテーブル部
１１、３１：Ｙテーブル部        ５１：θテーブル部
１’、２１４、４１４：開口
Ｓ、Ｓ２、Ｓ４：スペース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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