(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の製造工程を含む製品の製造プロセスの工程管理方法において、前記複数の各製造工程は、それぞれ互いにネットワークで接続された工程管理用コンピュータを備え、前記各工程管理用コンピュータは、後工程（問い合わせ元）からの問い合わせに対し、前工程の工程管理用コンピュータに自動的に問い合わせを行い、その結果の情報と自工程に関する情報とを合わせて、前記問い合わせ元に返送する機能を備え、各工程に関する情報はコード化され、その詳細は各工程管理用コンピュータの内部、またはネットワークに接続された外部データベースに保存されたものとし、前記ネットワークを経由したプロセス情報に関する問い合わせに対し、最終工程から工程を逆順に遡って問い合わせを繰り返しながら、全工程の製造プロセス情報を自動的に出力することを特徴とする製造プロセスの工程管理方法。
【請求項２】
請求項１に記載の工程管理方法において、前記複数の製造工程を含む製品は、薄膜太陽電池モジュールとすることを特徴とする製造プロセスの工程管理方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の工程管理方法において、前記プロセス情報に関する問い合わせは、製造依頼に対する工程スケジュール情報、その製造指令情報、製造履歴情報の少なくとも一つの問い合わせ情報を含み、かつ最初の問い合わせ元を最終工程の工程管理用コンピュータとし、最終工程から工程を逆順に遡ってプロセス全体の情報の問い合わせを自動的に行うことを特徴とする製造プロセスの工程管理方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の工程管理方法において、前記製造プロセス情報は、製造依頼に対する工程スケジュール情報、製造指令を受けプロセスを実行した結果の完了通知情報、製造履歴情報の少なくとも一つの情報を含み、最終工程に問い合わせた結果のプロセス情報は全工程の製造プロセス情報を含むことを特徴とする製造プロセスの工程管理方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の工程管理方法において、前記工程管理用コンピュータは、複数の前工程が併置されている場合、問い合わせの失敗を認識して、バックトラックしながら問い合わせ先を選択する機能を備えることを特徴とする製造プロセスの工程管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数の製造工程を含む製品、例えば、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスの工程管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の製造工程を含む製品の製造プロセスの従来の工程管理方法に関し、薄膜太陽電池モジュールの製造プロセスをその一例として説明するに当り、まず、太陽電池モジュールの構成ならびに製造プロセスの概要について、以下に述べる。
【０００３】
薄膜太陽電池は、薄型で軽量、製造コストの安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の太陽電池の主流となると考えられている。
【０００４】
従来の薄膜太陽電池はガラス基板を用いていたが、軽量化、施工性、量産性においてプラスチックフィルムおよび金属フィルムを用いたフレキシブルタイプの太陽電池の研究開発がすすめられている。このフレキシブル性を生かし、ロールツーロール方式またはステッピングロール方式の製造方法により大量生産が可能となった。
【０００５】
上記の薄膜太陽電池は、フレキシブルな電気絶縁性フィルム基板上に金属電極層、薄膜半導体層からなる光電変換層および透明電極層が積層されてなる光電変換素子（またはセル）が複数形成されている。ある光電変換素子の金属電極と隣接する光電変換素子の透明電極を電気的に接続することを繰り返すことにより、最初の光電変換素子の金属電極と最後の光電変換素子の透明電極とに必要な電圧を出力させることができる。例えば、インバータにより交流化し商用電力源として交流１００Ｖを得るためには、薄膜太陽電池の出力電圧は１００Ｖ以上が望ましく、実際には数１０個以上の素子が直列接続される。
【０００６】
このような光電変換素子とその直列接続は、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングおよびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記太陽電池の構成および製造方法は、例えば特開平１０−２３３５１７号公報や特開２０００−２２３７２７号公報に記載されている。
【０００７】
前記特開２０００−２２３７２７号公報に記載された薄膜太陽電池の構成概念図を、図３に示す。図３は、プラスチックフィルムを基板とした可撓性薄膜太陽電池の斜視図を示す。基板６１の表面に形成した単位光電変換素子６２および基板６１の裏面に形成した接続電極層６３はそれぞれ複数の単位ユニットに完全に分離され、それぞれの分離位置をずらして形成されている。このため、素子６２のアモルファス半導体部分である光電変換層６５で発生した電流は、まず透明電極層６６に集められ、次に該透明電極層領域に形成された集電孔６７を介して背面の接続電極層６３に通じ、さらに該接続電極層領域で素子の透明電極層領域の外側に形成された直列接続用の接続孔６８を介して上記素子と隣り合う素子の透明電極層領域の外側に延びている下電極層６４に達し、両素子の直列接続が行われている。
【０００８】
上記薄膜太陽電池の簡略化した製造工程の一例を図４（a）から（g）に示す。プラスチックフィルム７１を基板として（工程（a））、これに接続孔７８を形成し（工程（b））、基板の両面に第１電極層（下電極）７４および第３電極層（接続電極の一部）７３を形成（工程（c））した後、接続孔７８と所定の距離離れた位置に集電孔７７を形成する（工程（d））。上記工程（c）における第１電極層７４と第３電極層７３の形成は、後述する成膜装置において、基板７１を反転させて２段階に分けて形成を行い、接続孔７８の部分は、前記両電極層７４と７３とを成長形成することにより形成する。これにより、前記両電極層の電気的な接続を得る。
【０００９】
次に、第１電極層７４の上に、光電変換層となる半導体層７５および第２電極層である透明電極層７６を順次形成するとともに（工程（e）および工程（f））、第３電極層７３の上に第４電極層（接続電極層）７９を形成する（工程（g））。この後、レーザビームを用いて、基板７１の両側の薄膜を分離加工して図３に示すような直列接続構造を形成する。なお、前記工程（d）の後、第１電極層（下電極）７４を先に、レーザパターニングした後、工程（e）および工程（f）を行なう場合もある。
【００１０】
前記薄膜太陽電池の薄膜の製造方法としては、前述のように、ロールツーロール方式またはステッピングロール方式がある。両方式共に、複数のロールによる基板搬送手段を備え、前者は各成膜室内を連続的に移動する基板上に連続的に成膜する方式であり、後者は各成膜室内で同時に停止させた基板上に成膜し，成膜の終わった基板部分を次の成膜室へ送り出す方式を採用している。
【００１１】
ステッピングロール方式の成膜装置は、隣接する成膜室間のガス相互拡散を防止できることから各薄膜の特性が安定して得られるなどの点で優れており、その装置の構成は、例えば、特開平６−２９２３４９号公報や特開平８−２５０４３１号公報に記載されている。
【００１２】
図５に、共通真空室内に成膜室を複数有するステッピングロール成膜方式の真空成膜装置の構成の一例を示す。図５に示す装置は、可撓性基板の巻出し用アンワインダー室２９０と、金属電極層（背面の接続電極層），光電変換層（ａ−Ｓｉ層）および透明電極層（ＩＴＯ層）などを形成するための複数個の独立した処理空間としてなる成膜室２８０と、巻取り用ワインダー室２９１とを備え、基板２９１はコア２８２から捲き出されコア２８３にまきとられる間に、複数の成膜室２８０で成膜されるように構成されている。共通室２８１は複数の成膜室２８０を内部に収めている。
【００１３】
成膜室ではスパッタ成膜またはプラズマ化学気相成長法（以下プラズマＣＶＤ法と記す）などにより成膜が行われる。例えば、プラズマＣＶＤ法により成膜するステッピングロール方式では、成膜室開放−基板１フレーム移動−成膜室封止−原料ガス導入−圧力制御−放電開始−放電終了−原料ガス停止−ガス引き−成膜室開放からなる操作が繰り返される。
【００１４】
ところで、前記図４の工程において、工程（b）および（d）の接続孔７８および集電孔７７の加工は、大気中で専用の穴あけ装置により加工が行われるが、その他の工程は、真空装置において処理され、前述以外のプロセスを含む太陽電池の全製造プロセスにおいては、種々の装置が使用される。
【００１５】
次に、図３に示したような薄膜太陽電池を用いたモジュールについて、以下に述べる。複数個の太陽電池素子を直列または並列接続した薄膜太陽電池モジュールとしては、電気絶縁性を有するフィルム基板上に形成された前記太陽電池を、電気絶縁性の保護材により封止するために、太陽電池の受光面側および非受光面側の双方に保護層を設けたものが知られている。
【００１６】
図６および図７は、従来の太陽電池モジュールおよび太陽電池パネルの模式的構造の一例を示し、図６は、太陽電池モジュールの側断面図、図７は、太陽電池モジュールを断面コ字形の金属製枠体を有するフレームに装着した状態の太陽電池パネルの側断面図を示す。
【００１７】
図６において、太陽電池２１は、複数個の太陽電池素子が直列または並列接続されており、その受光面側にガラス板（例えば、厚さ３ｍｍ）などの表面保護部材２２、非受光面側に、例えば一弗化エチレン（商品名：テドラー、デュポン社製）を両面に接着したアルミニウム箔からなる裏面保護部材３０が設けられ、接着封止性に優れかつ安価なＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂）などの接着性樹脂封止材４０により熱融着封止されている。なお、ＥＶＡは、ロールラミネータにより太陽電池の面にラミネートされ熱融着封止される。
【００１８】
また太陽電池２１は、そのプラス(＋)極とマイナス(−)極に、内部リード線５０、６０が電気的に接続され、この内部リード線５０、６０は、例えば、裏面保護部材３０に接着固定された接続端子ボックス７０に、裏面保護部材３０を貫通して導かれ、接続端子ボックス７０の内部で外部リード線としてのケーブル８０の芯線９０、１００と電気接続され、これら全体として太陽電池モジュール１１０を形成している。
【００１９】
図７は、太陽電池モジュールをフレームに装着した太陽電池パネルの一例を示し、図６において、太陽電池モジュール１１０の周縁部１３が、金属製フレーム１２０の断面コ字形の枠体１４ａを有する保持部１４の内部に挿入され、隙間を埋めるように注入された接着性シール材１５で固定保持されている。
【００２０】
以上のように、太陽電池モジュールの製造プロセスは、多数の工程を経て製作される。前述の薄膜太陽電池ならびに太陽電池モジュールの製造方法を総括し、その製造プロセスおよび各種装置を概括した一例を、図８に示す。前記の説明とプロセスおよび装置共に用語が若干異なるものがあるものの、図８の左側に各プロセスを示し、右側に各プロセスで使用される装置の概要を矢印で示す。
【００２１】
工程としては、(1)直列ホール形成、(2)金属電極形成、(3)集電ホール形成、(4)ａ−Ｓｉ・ＩＴＯ・背面電極形成、(5)レーザーパターニング、(6)特性評価・裁断、(7)エンキャプスレーション（モジュール化工程）等がある。なお、工程の順序や種類は、太陽電池モジュールの仕様によって異なる。
【００２２】
装置としては、穴あけ装置５１，スパッタ装置５２，ステッピングロール方式成膜装置５３，レーザースクライバー５４，特性評価装置５５などがあり、前記各装置は、巻出し用ロール１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅおよび巻取り用ロール２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄと、ガイドロール３、張力ロール４などを備える。
【００２３】
ところで、上記太陽電池モジュールの製造プロセスを、この発明の説明の便宜上、下記の工程からなるものとする。
【００２４】
ＰＦ→ＳＲ→ＬＰ→ＲＬ→ＳＴ→ＣＴ→ＭＡ（→出荷）
ここで、ＰＦはホール形成プロセス、ＳＲはステツピングロール製膜プロセス、ＬＰはレーザーパターンニングプロセス、ＲＬはロールラミネータプロセス、ＳＴは特性評価プロセス、ＣＴはカッタープロセス、ＭＡはモジュールアセンブルプロセスを示す。
【００２５】
ＭＡ（モジュールアセンブル）が最終工程であり、ここで製品が完成する。前記各工程は、原材料の選択、工程プロセス条件の設定、工程プロセスの実行の機能からなり、それらは工程毎の管理コンピュータによって制御される。この工程管理用コンピュータは、自身の工程について、工程スケジュールの作成、工程プロセス実行、履歴管理を自動的に行うことができる。
【００２６】
工程スケジュールの作成においては、後工程からの要求仕様に基づき、前工程への要求仕様の作成、工程実行に必要な原材料と工程プロセス条件などを決定し、工程プロセス実行の準備を行う。必要に応じて、決定内容をドキュメントとして出力することができ、ネットワークを経由して他のコンピュータに通知する機能を持つている。
【００２７】
工程プロセス実行においては、前工程の完了通知、原材料の準備完了通知を受けて、工程プロセス条件の確立と工程実行を自動的に行う。実行結果はデータベースに保存し、必要に応じてドキュメントとして出力することができ、ネットワークを経由して他のコンピュータに通知することができる。実行結果を保存するデータベースは、必ずしも自身のコンピュータに持つ必要はなく、ネットワークに接続されたデータベースであってもよい。重要な点は自身の工程のプロセスに関する実行結果を取り出す方法を備えていることである。履歴管理は、問い合わせに応じてこの実行結果をドキュメントとして出力することができ、ネットワークを経由して他のコンピュータに通知する機能である。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記太陽電池モジュールを製造する各工程は、前記各工程管理用コンピュータにより、それぞれ独立して管理実行できるが、モジュールを完成させるためには、全工程を連携させて実行する必要がある。そのため、顧客の要求仕様に基づいて各工程の詳細仕様を決定し、プロセススケジュールの作成、プロセスの実行、プロセス履歴の管理を統括する機能が必要である。
【００２９】
これを自動的に行うためには、プロセス全体を管理するための専用コンピュータを導入し、各工程管理用のコンピュータとネツトワークで接続し、一括して管理するソフトウェアを導入するのが通常である。しかしながら、この方法は多様な要求仕様を満足させるために、膨大なソフトウェアを必要とし、プロセスの変更に柔軟に対応することが困難である。
【００３０】
前記太陽電池モジュールの場合、例えば、前記アモルファス半導体部分である光電変換層を、ｐ，ｉ，ｎの単層ではなく、２層のタンデム型にするか、または３層のトリプル型にするなどの要求仕様の相違がある。さらに、同一型式の太陽電池であっても、パターニング工程の相違や基板の事前熱処理工程の追加など、要求仕様に基づく工程上の相違など、種々のバリエーションがあり、プロセスの変更に柔軟に対応することが要請される。
【００３１】
従って、太陽電池モジュールを製造する場合、顧客の要求仕様に基づいて、要求仕様に応じた製造プロセス全体のスケジュールを作成し、プロセスの実行、履歴のトータル管理を行う必要がある。
【００３２】
この発明は、上記のような点に鑑みてをなされたもので、本発明の課題は、要求仕様に基づく工程変更に対する柔軟性を持ったトータルプロセス管理を自動的に行うために、プロセス全体を管理する専用コンピュータを導入することなく、ネットワークで接続された各工程管理用コンピュータの機能を活用して実現可能な製造プロセスの工程管理方法を提供することにある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため、この発明は、複数の製造工程を含む製品の製造プロセスの工程管理方法において、前記複数の各製造工程は、それぞれ互いにネットワークで接続された工程管理用コンピュータを備え、前記各工程管理用コンピュータは、後工程（問い合わせ元）からの問い合わせに対し、前工程の工程管理用コンピュータに自動的に問い合わせを行い、その結果の情報と自工程に関する情報とを合わせて、前記問い合わせ元に返送する機能を備え、各工程に関する情報はコード化され、その詳細は各工程管理用コンピュータの内部、またはネットワークに接続された外部データベースに保存されたものとし、前記ネットワークを経由したプロセス情報に関する問い合わせに対し、最終工程から工程を逆順に遡って問い合わせを繰り返しながら、全工程の製造プロセス情報を自動的に出力することとする（請求項１の発明）。
【００３４】
請求項１に記載の工程管理方法において、前記複数の製造工程を含む製品は、薄膜太陽電池モジュールとする（請求項２の発明）。
【００３５】
また、上記請求項１または２の発明の実施態様としては、下記請求項３ないし５の発明が好ましい。
【００３６】
即ち、前記請求項１または２に記載の工程管理方法において、前記プロセス情報に関する問い合わせは、製造依頼に対する工程スケジュール情報、その製造指令情報、製造履歴情報の少なくとも一つの問い合わせ情報を含み、かつ最初の問い合わせ元を最終工程の工程管理用コンピュータとし、最終工程から工程を逆順に遡ってプロセス全体の情報の問い合わせを自動的に行うこととする（請求項３の発明）。
【００３７】
また、前記請求項１ないし３のいずれか１項に記載の工程管理方法において、前記製造プロセス情報は、製造依頼に対する工程スケジュール情報、製造指令を受けプロセスを実行した結果の完了通知情報、製造履歴情報の少なくとも一つの情報を含み、最終工程に問い合わせた結果のプロセス情報は全工程の製造プロセス情報を含むこととする（請求項４の発明）。
【００３８】
さらに、前記請求項１ないし４のいずれか１項に記載の工程管理方法において、前記工程管理用コンピュータは、複数の前工程が併置されている場合、問い合わせの失敗を認識して、バックトラックしながら問い合わせ先を選択する機能を備えることとする（請求項５の発明）。
【００３９】
（前記発明の工程管理機能）
前記請求項１ないし５の発明の工程管理機能について、総括的に以下に述べる。前記発明によれば、製造プロセスが複数の工程から構成されており、各工程の管理用コンピュータをPCi、最終工程の管理コンピュータをPCnとして、それぞれネットワークで接続されている。
【００４０】
各PCiは、次工程のPCi+1からの問い合わせ（または指令）に対して、情報展開、自工程の情報作成（または実行）、前工程のPCi-1への問い合わせ（または指令）、通知情報（自工程および前工程）の作成と通知の一連の機能を持つ。PCnの通知先は問い合わせ元である。前工程の情報が不要な場合、通知情報は自工程の作成情報のみである。また、問い合わせ結果の返送先が指定された場合は、前工程ではなく、指定の返送先へ通知する。
【００４１】
このように構成された製造プロセスに対し、問い合わせ元が最終工程のPCnに問い合わせると、プロセス全体の工程情報を自動的に取得することができる。あるPCiで自工程の情報が作成できなかった場合、前工程への問い合わせは省略され、エラー情報を通知する。これは問い合わせの失敗であり、このプロセスでは実行できないかまたは存在しない情報を問い合わせたことを意味する。プロセス実行指令の場合は、スケジュールの問い合わせ結果に基づいて問い合わせるので、このようなエラーは発生しない。
【００４２】
このように製造プロセスの管理コンピュータを構成することで、次のような効果がある。
１）工程iと工程i+1の順序を交換した場合、PCiとPCi+1の問い合わせ先を変更すればよく、それぞれの機能を変更する必要はない。
２）工程iを他の工程iaに置き換えた場合、PCi+1の問い合わせ先をPCiaに変更すればよく、それぞれの機能を変更する必要はない。
３）工程iと工程iaを併置する場合、PCi+1はPCiまたはPCiaに問い合わせを行う。具体的には、PCiに問い合わせた結果失敗したとする。そこで問い合わせ先をPCiaに変更して再度問い合わせると必要な情報が得られる。即ちこれは、所謂バックトラツク手法である。
【００４３】
前記この発明の工程管理方法の最大の特徴は、プロセス全体を管理するために専用のコンピュータを必要とせず、各工程管理用コンピュータをネットワークで接続することで管理機能を実現できることにある。各工程管理用コンピュータの機能を変更する必要はなく、ネットワーク上における情報（または指令）の問い合わせ先および返送先の組み合わせを適正に行うことで、工程変更に対する柔軟性を持ったプロセス管理が実現できる。
【００４４】
【発明の実施の形態】
図１および図２に基づき、本発明の実施の形態について以下に述べる。
【００４５】
図１は本発明の実施例に関わる工程管理上の諸手続きを説明する図、図２は工程の追加または変更の場合の問い合わせ手続きを説明する図である。図１（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ、工程管理用コンピュータPCiのプロセススケジュール作成機能，プロセス実行機能，履歴情報の作成機能を説明する図である。
【００４６】
まず図１（ａ）により、プロセススケジュール作成機能について説明する。
【００４７】
太陽電池モジュールの製品仕様の情報を与えて、前記ＭＡ工程の管理用コンピュータにプロセススケジュールの問い合わせを行う。ＭＡ管理用のコンピュータはそれに基づき、自身のプロセスのスケジュールを作成する。このとき、ＣＴ以前の工程のスケジュールはＭＡ管理用のコンピュータでは作成できないので、ＣＴ管理用のコンピュータに対して問い合わせを行う。ＭＡはＣＴからの問い合わせ結果と自身で作成したスケジュールを合わせて、自身に対する問い合わせ結果（工程情報）を返す。ＣＴは、同様に、自身で作成したスケジュールと、前工程STから返された問い合わせの結果を合わせてＭＡに返す。
【００４８】
以下、同様に、ＳＴ，ＲＬ，ＬＰ，ＳＲと問い合わせが実行される。ＰＦに達したところで、前工程への問い合わせは必要がなく、全体のプロセススケジュールの作成が完了する。各工程で作成されたスケジュールは問い合わせとは逆の順序で返される。結局、ＭＡから返された工程情報は製造プロセス全体のスケジュール情報を含んでいる。この工程情報は、それぞれの工程毎にコード化されており、その詳細は各工程管理用コンピュータの内部かまたはネツトワークに接続されたデータベースに保存される。
【００４９】
次に、プロセス実行機能について、図１（ｂ）により説明する。既に得られた工程情報を与えて、ＭＡに製造の指令を与える。ＭＡはその工程情報に基づいてプロセス情報に展開し、プロセスの実行準備を行う。プロセスを実行するためには、前工程ＣＴからの完了通知が必要である。そのため、ＭＡはＣＴに対して製造指令をあたえる。同様に、ＳＴ，ＲＬ，ＬＰ，ＳＲと続き、ＰＦに達するまで製造指令の連鎖ができる。
【００５０】
ＰＦのプロセスが完了すると、ＳＲに完了通知が返され、ＳＲのプロセスが実行される。同様に、ＬＰ，ＲＬ，ＳＴ，ＣＴ，ＭＡの順に完了通知とプロセス実行の連鎖ができる。ＭＡの完了通知が製品完成情報になる。この完了通知には全工程のプロセス実行結果の情報が含まれる。このプロセス実行結果情報は、それは、それぞれの工程毎にコード化されており、その詳細は各工程管理用コンピュータの内部、またはネットワークに接続されたデータベースに保存される。
【００５１】
次に、履歴情報の作成機能について、図１（ｃ）により説明する。製品完成情報（ＭＡ完了通知）と、回答の通知先を与えて、ＭＡに履歴情報の問い合わせを行う。ＭＡは自身のプロセスに関する履歴情報については、保存された履歴情報をデータベースから取り出して、要求されたフオーマットに変換し返送する。他の工程の履歴情報は、ＭＡがＣＴに問い合わせを行う。同様に、ＳＴ，ＲＬ，ＬＰ，ＳＲ，ＰＦと問い合わせの連鎖ができる。各工程管理用コンピュータは、自身の工程に関する履歴情報をＭＡと同様に作成し返送する。返送先が印刷装置の場合もあるが、その場合は帳票を作成する。
【００５２】
上記のようにして、複数の各製造工程の工程管理用コンピュータは、ネットワークを経由したプロセス情報に関する問い合わせを行い、最終工程から工程を逆順に遡って問い合わせを繰り返しながら、全工程の製造プロセス情報を自動的に出力することができる。
【００５３】
（実施例）
前記図３および図４に示す薄膜太陽電池をモジュールとした場合の実施例について、以下に述べる。実施例の太陽電池モジュールは下記の工程から構成される。
【００５４】
ＰＦ１→ＳＲ１→ＰＦ２→ＬＰ１→ＳＲ２→ＬＰ２→ＲＬ→ＳＴ→ＣＴ→ＭＡ
上記に示すローマ字のプロセス名は前述のとおりであり、１または２の数字は、同様のプロセスが２回あることを示す。上記プロセスの具体的な内容は、図４において説明したとおりである。即ち、薄膜を形成するための基板が、最初の工程ＰＦ１から順に送られて、ホール形成、製膜、パターンニング、特性評価と太陽電池が基板上に形成され、必要な寸法にカットされた後、組み立てられて太陽電池モジュールが完成する。
【００５５】
太陽電池モジュールを製作するためのプロセス全体スケジュールを自動作成するには、最終工程ＭＡの工程管理コンピュータに仕様を与えて問い合わせを行う。ＭＡから工程の逆順にＰＦ１まで、各工程管理用コンピュータ間で問い合わせの連鎖ができる。各工程管理用コンピュータで作成された工程スケジュールは、問い合わせの順を遡って、最終的にＭＡでまとめられて、プロセス全体のスケジュールがＭＡからの工程情報として得られる。同様に、プロセスの実行がプロセス実行指令を、履歴情報取得が履歴情報問い合わせをＭＡの工程管理用コンピュータに与えることによって、プロセス全体の実行あるいは情報取得ができる。
【００５６】
次に、工程の追加や変更が必要な場合について、図２に基づき説明する。例えば、ＬＰ１を省略した場合、ＳＲ２の問い合わせ先を、破線（ルート変更）で示すように、ＰＦ２に変更するだけでよい。また、旧工程と新工程を併用する場合、ＳＲ２は前記バックトラック手法を使つてＬＰ１かＰＦ２を選択することができる。
【００５７】
さらに、ＳＲ２の代わりに新しい工程として、例えば、ロールツーロール製膜プロセスＲＲを導入する場合、ＳＲ２と併置することになる。ＬＰ２はバックトラック手法を使つて、破線で示すように問い合わせ先をルート選択することができる。ＲＲは、例えば、前記２層のタンデム型または３層のトリプル型にするなどの要求仕様の相違による工程併置が、これに該当する。
【００５８】
さらにまた、工程の最初に脱ガス処理プロセスＰＨを追加した場合、ＰＦ１の問い合わせ先を、破線（ルート追加）のように追加する。ＰＨは、例えば、前記基板の事前熱処理工程の追加が、これに該当する。
【００５９】
【発明の効果】
この発明によれば前述のように、複数の製造工程を含む製品の製造プロセスの工程管理方法において、前記複数の各製造工程は、それぞれ互いにネットワークで接続された工程管理用コンピュータを備え、前記各工程管理用コンピュータは、後工程（問い合わせ元）からの問い合わせに対し、前工程の工程管理用コンピュータに自動的に問い合わせを行い、その結果の情報と自工程に関する情報とを合わせて、前記問い合わせ元に返送する機能を備え、各工程に関する情報はコード化され、その詳細は各工程管理用コンピュータの内部、またはネットワークに接続された外部データベースに保存されたものとし、前記ネットワークを経由したプロセス情報に関する問い合わせに対し、最終工程から工程を逆順に遡って問い合わせを繰り返しながら、全工程の製造プロセス情報を自動的に出力することとしたので、
要求仕様に基づく工程変更に対する柔軟性を持ったトータルプロセス管理を自動的に行うために、プロセス全体を管理する専用コンピュータを導入することなく、ネットワークで接続された各工程管理用コンピュータの機能を活用して実現することができ、工程管理の柔軟性の向上とコストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例に関わる工程管理上の諸手続きを説明する図
【図２】  本発明の実施例に関わり工程の追加または変更の場合の問い合わせ手続きを説明する図
【図３】  薄膜太陽電池の概略構成を示す斜視図
【図４】  薄膜太陽電池の簡略化した製造工程の一例を示す図
【図５】  ステッピングロール成膜方式の真空成膜装置の構成の一例を示す図
【図６】  太陽電池モジュールの側断面図
【図７】  太陽電池モジュールを断面コ字形の金属製枠体を有するフレームに装着した状態の太陽電池パネルの側断面図
【図８】  太陽電池モジュールの製造プロセスおよび各種装置の一例を概括的に示す図
【符号の説明】
ＰＨ：脱ガス処理プロセス、ＰＦ１，ＰＦ２：ホール形成プロセス、ＳＲ１，ＳＲ２：ステツピングロール製膜プロセス、ＲＲ：ロールツーロール製膜プロセス、ＬＰ１，ＬＰ２：レーザーパターンニングプロセス、ＲＬ：ロールラミネータプロセス、ＳＴ：特性評価プロセス、ＣＴ：カッタープロセス、ＭＡ：モジュールアセンブルプロセス、ＰＣｉ：工程管理用コンピュータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003981867.tif 000006
【図６】
0003981867.tif 000007
【図７】
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【図８】
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