(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン導電性の固体電解質１と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素排出電極２と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素検知電極３と、固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯxガスに対して活性な測定用酸素排出電極５と、固体電解質に固定された参照極６を有し、酸素排出電極２と酸素検知電極３を第１室７ａに形成し、測定用酸素排出電極５を第２室７ｂに形成し、測定雰囲気と第１室および第１室と第２室との間には、それぞれガス拡散孔を備え、酸素検知電極とその対極間の起電力により酸素排出電極２を制御して第１室および第２室に供給される測定ガスの酸素濃度を一定とし、第２室の測定用酸素排出電極５とその対極間に一定の電流を通電し、ＮＯ濃度およびＮＯ2濃度の変化に基づく参照極６と測定用酸素排出電極５との間の電位の変化を検出してＮＯx濃度を検出することを特徴とする窒素酸化物検出センサ。
【請求項２】
固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯ2ガスに対して活性な複合検知電極４を第２室に形成し、測定ガス中のＮＯ2濃度に基づく起電力を複合検知極により検出し、検出したＮＯ2濃度および測定用酸素排出電極５により検出したＮＯx濃度によりＮＯ濃度およびＮＯx濃度を検出する請求項１記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項３】
固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯガスに対して活性な複合検知電極を第２室に形成し、測定ガス中のＮＯ濃度に基づく起電力を複合検知極により検出し、検出したＮＯ濃度および測定用酸素排出電極５により検出したＮＯx濃度によりＮＯ2濃度およびＮＯx濃度を検出する請求項１記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項４】
酸素排出電極２を酸素検知電極３と対向して配置して第１室とした請求項１乃至請求項３の何れか１項記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項５】
酸素検知電極を第２室に設けた請求項１又は４記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項６】
ＮＯ2濃度に基づく複合検知極の起電力を参照極を基準として起電力を検出する請求項２記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項７】
ＮＯ2濃度に基づく複合検知極の起電力を第２室内に対極を設け、対極を基準として起電力を検出する請求項２記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項８】
ＮＯ濃度に基づく複合検知極の起電力を参照極を基準として起電力を検出する請求項３記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項９】
ＮＯ濃度に基づく複合検知極の起電力を第２室内に対極を設け、対極を基準として起電力を検出する請求項３記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項１０】
複合検知極は、酸化物層と集電体とを備えた請求項２又は請求項３記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項１１】
酸化物層は、酸素およびＮＯ2あるいは酸素およびＮＯに活性な遷移金属元素の複合酸化物により形成され、集電体は白金からなる請求項１０記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項１２】
酸素排出電極２は、酸素イオン伝導体と１対の電極により構成され、陰極は第１室内に配置され、第１室内の測定ガス中の酸素を排出する請求項１乃至請求項１１の何れか１項に記載の窒素酸化物検出センサ。
【請求項１３】
測定用酸素排出電極５は、酸素イオン伝導体と１対の電極により構成され、陰極は第２室内に配置され、酸素およびＮＯxを分解して酸素イオンを排出する請求項１乃至請求項１２の何れか１項に記載の窒素酸化物検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスセンサ、特に燃焼ガス中の窒素酸化物濃度を検出する窒素酸化物センサに利用できるガスセンサに関するものである。本発明の原理は窒素酸化物以外のガス検知にも広く適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】
自動車を初めとした内燃機関と火力発電所、プラント等の燃焼機器から排出されるＮＯxが光化学スモックや酸性雨の原因になるほか、人間の呼吸器に有害であり、地球環境の大きな汚染源とされている。このため、ＮＯx等の有害ガスの検知は重要な課題となり、測定機器の小型化、低コスト化、さらに、各種使用環境に対応できるガスセンサが求められている。
【０００３】
近年、自動車排ガス中に直接挿入して連続検知が行える全固体型ＮＯxセンサが注目を集め、幾つかの研究結果を報告されている。例えば、自動車の高温排気ガス中のＮＯx濃度を検出できるセンサとして電流式のセンサが報告されている（SAE TECNICAL PAPER 960334）。
このセンサは、イオン伝導体に２室を設け、第１室で酸素ポンプにより測定雰囲気内の酸素濃度をほぼゼロにすると共にＮＯ2をＮＯに還元し、第２室に設けた電極に電圧を印加してＮＯ2の還元により生じたＮＯおよび測定雰囲気中のＮＯ2のＮＯへの還元により生じる酸素をイオン化して電流を検出してＮＯx濃度を検出するセンサである。
このセンサにおいてもＮＯx濃度を検出するためにＮＯ2をＮＯに還元する酸素ポンプが適用されているため、検出されるＮＯx濃度は、酸素ポンプの性能と残存する酸素濃度に大きく左右され、ＮＯとＮＯ2それぞれの濃度を検出することができない。
【０００４】
一方、各種酸化物の半導体特性を利用して電気伝導度が変化する半導体式のセンサもＮＯxセンサとして報告されている。例えば特開平６−１６０３２４号公報では、酸化錫をガス感応体に用いたセンサが提案されている。しかし、このセンサにおいてもＮＯとＮＯ2に対するガス感度が異なるため、ＮＯとＮＯ2とが共存する測定雰囲気中のＮＯx濃度を検出することはできない。
【０００５】
これとは別に、特開平４−１４２４５５号公報では、イオン伝導体に感知電極と参照電極を設置し、被検ガス中で電極間の電位差を測定する混成電位型ＮＯxセンサが提案されている。
このセンサでは、ＮＯやＮＯ2に対して感度を示すものの、ＮＯとＮＯ2に対する感度極性が相反するために、ＮＯとＮＯ2が共存する被検ガスにおいてはお互いの出力がキャンセルしあい、ＮＯxの濃度を正確に検出できない。即ち総ＮＯx濃度の検知ができないことになる。
【０００６】
その対策として、本発明者らはジルコニア固体電解質体に測定ガス雰囲気に連通する内部空所を設け、ＮＯx中のＮＯ或いはＮＯ2をどちらか一方に単ガス化して検知する総ＮＯxセンサを提案した（特願平８−８５４１９号、特願平８−１６５１０５号）。これはジルコニア固体電解質内に一室或いは二室の缶室を形成し、少なくとも一室内で電気化学的酸素ポンプ或いは触媒体によりＮＯx（ＮＯとＮＯ2が主成分）をＮＯに還元、或いはＮＯ2に酸化させ、その単ガス化されたＮＯxを検知する方式（混成電位型の総ＮＯxセンサ）である。
【０００７】
しかしながら、ＮＯxが完全に単ガス化されない場合は、ＮＯとＮＯ2が混在し、それぞれお互いに干渉しあうことは明白である。例えば、ＮＯxを単ガス化するに足る変換触媒能力が劣化してきた場合には、この劣化が直接センサ出力の変動をきたす原因となる。
【０００８】
このようにこれまでに提案されているガスセンサは、測定雰囲気中のＮＯx濃度を検出するために触媒や酸素ポンプなどを用いてＮＯの酸化あるいはＮＯ2の還元を生じさせている。
そして雰囲気中に含まれるＮＯxをＮＯあるいはＮＯ2いずれか一方に変化させてからＮＯあるいはＮＯ2いずれかを検知して総ＮＯx濃度としている。このため、ＮＯとＮＯ2との濃度をそれぞれ検出することができず、また、検出されるＮＯx濃度は、触媒や酸素ポンプの性能に大きく依存して正確なＮＯx濃度を検出することが困難であった。
【０００９】
又、これまでの混成電位型窒素酸化物センサは、酸素とともに、ＮＯとＮＯ2に、或いはこれらのいずれか一方に対して活性な電極を用いて、酸素と窒素酸化物の共存ガスの電極電位を測定するものであった。しかし、同一電極の酸素（空気）のみの電極電位に対して、ＮＯの平衡電位が負となり、ＮＯ2の平衡電位が正となっている。
このため、同一電極でＮＯとＮＯ2の和をＮＯxとして検知しようとする場合では、検知極の混成電位がＮＯの濃度に対応して負の方向に変化し、ＮＯ2の濃度に対応して正の方向に変化することとなる。従って、ＮＯとＮＯ2が同時に存在する場合では電位変化はお互いにキャンセルされて、ＮＯxの濃度を反映することは困難であるし、トータルの電位変化は小さくなるので、ノイズにも影響されやすい。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前述の如く、従来の混成電位型窒素酸化物センサは検知電極の平衡状態で高活性な電極材料が必要とされ、出力信号が必ずしも充分とは言えない。
また混成電位型の総ＮＯx検知センサでも、ＮＯxの変換能力の劣化が直接、センサ出力の低下をきたす潜在的な課題がある。
本発明はＮＯxの存在状態に関わらず、安定した出力が得られ、またＮＯxの変換能力の変動に影響されにくいＮＯx検知に有効なガスセンサを提供することを目的としている。
【００１１】
本発明は、少なくとも測定雰囲気中のＮＯ2とＮＯ濃度を検出することができ、正確にＮＯx濃度を検出できるセンサを提供することを目的とする。
【００１２】
さらに、本発明は被検ガス中のＮＯ及びＮＯ2による電極電位の変化を同一方向にし、トータルのＮＯxを検出することができ、かつセンサの感度を向上したセンサを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、前述した目的を達成するために、イオン導電性の固体電解質１と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素排出電極２と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素検知電極３と、固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯxガスに対して活性な測定用酸素排出電極５と、固体電解質に固定された参照極６を有し、酸素排出電極２と酸素検知電極３を第１室７ａに形成し、測定用酸素排出電極５を第２室７ｂに形成し、測定雰囲気と第１室および第１室と第２室との間には、それぞれガス拡散孔を備え、酸素検知電極とその対極間の起電力により酸素排出電極２を制御して第１室および第２室に供給される測定ガスの酸素濃度を一定とし、第２室の測定用酸素排出電極５とその対極間に一定の電流を通電し、ＮＯ濃度およびＮＯ2濃度の変化に基づく参照極６と測定用酸素排出電極５との間の電位の変化を検出してＮＯx濃度を検出することを特徴とする窒素酸化物検出センサを提供する。
【００１４】
ＮＯおよびＮＯ2濃度に対する測定用酸素排出電極と参照極との電位応答が異なる場合には、複合検知極によってＮＯ2あるいはＮＯ濃度を検知する手段を設けることにより測定ガス中のＮＯあるいはＮＯ2濃度が検出され、ＮＯx濃度の検出を行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の最も基本的な実施形態の図を示す。イットリア安定化ジルコニア固体電解質基板３１に少なくとも分極した状態で検知対象ガスに対して活性な第１の電極としての検知電極３２、検知対象ガスに対して不活性、或いは検知対象ガスに接しない、電位安定な第２の電極としての参照電極３３（例えばＰｔ電極）及び第３のバイアスを印加するための電極としての補助電極３４を形成する。
尚、センサ構成は固体電解質基板の代わりに固体電解質チューブを用いて構成されても、何ら本発明から逸脱するものでないことは明白である。更に、第１の電極と第３の電極の間に所定電流３５を流しながら、第１の電極と第２の電極の間の電圧変化３６を測定することによって、被検対象ガスの濃度を検知する。
ここで、バイアス電流の電流源の安定性はセンサの安定性に直接関与するので、精度と安定性の高いものを使用することが望ましい。なお、バイアス電流値は分極電位が−０．３から０．４Ｖ（０Ｖを除く）の間になるように設定すればよい。
【００１６】
一方、酸素の影響を低減することと外界ノイズに対するセンサの安定性を向上することを考慮すれば、検知電極３２の電位を０．４Ｖ〜１．２Ｖの間に設定することもできる。一方、補助電極３４を検知電極３２と同一の空間に配置することによって、電流によって生じた酸素の濃度変化を低減することができる。
【００１７】
この実施形態を自己加熱機能を付与するために、ヒータ３７と一体化した実用的な実施形態の断面図は図２に示す。補助電極３４を別空所に設けて、検知電極に対する影響を無くすことができる。
検知対象ガス雰囲気に通じる室３８と、大気に通じる室３９は、固体電解質基板３１とセラミックス基板４０、４０とにより区画され、適所にセラミックス製のスペーサ４１、４１を配置する。ヒータ３７はセラミックス基板４０内に埋設させる。
【００１８】
固体電解質は必ずしもイットリウム安定化ジルコニア固体電解質基板である必要はないが、少なくとも同一種のイオンを伝導できる、イオン電気的に接続されている必要がある。検知電極或いは参照電極は外部より強制的に電流あるいは電圧がかけられており、電気化学的に分極されている状態では少なくとも検知対象ガスに活性を有する必要がある。
言い換えれば、分極していない場合には、検知対象ガスに活性でなくともよい。補助電極３４は検知電極３２或いは参照電極３３を分極するために、分極させる電極に電流あるいは電圧を導入するための対極である。ここで補助電極３４は必ず分極する電極と固体電解質を介してイオン電気的に接続されている必要がある。
【００１９】
このような電極と固体電解質３１との基本構成からなる状態で、分極された検知電極３２或いは参照電極３３との間で起電力に起因する電位差を測定すると従来の単なる混成電位検出方法に比べて非常に大きな出力が得られることが見い出された。
また、従来と全く異なることは、ＮＯとＮＯ2を検知する場合、ＮＯxの種類に関係なく全て同一の感度極性を持つことである。すなわち、従来ではＮＯとＮＯ2ではそれぞれ逆方向の出力を持ち、混在している場合はお互いにキャンセルしあい、総ＮＯx濃度はおろかＮＯやＮＯ2濃度も検出できなかった。
【００２０】
本発明法によれば、感度が増大し、その出力方向は同一になり、さらに感度の大きさも殆ど大差のないものが得られる。従って、本発明法によるＮＯx検知で容易に総ＮＯx濃度を検出することができる。この検出方式のガスセンサを用いれば、対象ガスは特にＮＯxに限定されることはないことは明白である。
【００２１】
図３の（ａ）に本発明のガスセンサの構造を簡略化した実施形態を示す。ジルコニア固体電解質基板３１に図３の（ａ）のように少なくとも分極した状態で被検ガス種に対して活性な第１の電極としての検知電極３２と、大気中で電位安定な参照電極と補助電極としての機能を兼ね備える兼用電極４２を配置し、更に、電極３２と電極４２の間に定電流電源を用いて所定電流を流し、電極３２と電極４２の間の電圧変化を測定することによって、被検ガス種の濃度を検知する。
電流、或いは電位の設定は前述のように行うことが好ましい。このようにすれば、センサの構成を簡素化することが可能である。
【００２２】
図３の（ｂ）は、検知電極３２検知対象ガスに不活性な兼用電極４２とを検知対象ガス雰囲気に通じるガス室３８内に配したものである。
【００２３】
図４に示す例は、検知電極、参照電極及び補助電極としての機能を兼ね備える兼用電極４３、４３をガス室３８に配されるよう固体電解質基板３１に固定させたものである。
バイアス電流を両電極４３、４３でそれぞれ０．０５〜０．５Ｖと−０．０３〜−０．５Ｖの領域に調節すれば、一方の電極４３が他方の電極４３と逆方向の応答の出現によって、センサの感度が更に向上される。これと共に、検知機能をなす電極とこれの対極としての参照電極の表面の酸素濃度が両電極の酸素の酸化、還元反応によって、分極による酸素濃度の変化がより小さくなる。
【００２４】
図５に別の例を示す。本例では検知電極と参照電極との機能を兼ね備える複合電極４４、４４をガス室３８側に且つ対極としての補助電極３４を大気室３９側に位置するよう固体電解質基板３１に固定させる。
一方の感知電極４４の近傍に配置した他方の電極４４と電極３４の間に所定のバイアス電流を流すことによって、参照電極とした第２の電極４４に被検対象ガスに対する、検知電極４４と相反する電位応答を現出させるとともに、電解質中の検知電極近傍の酸素イオンポテンシャルを変化させ、センサの感度を更に向上させる。
【００２５】
即ち、この例では、ジルコニア固体電解質基板３１に図５のように平衡状態で被検ガス種に対して活性な検知電極４４と、分極した状態でＮＯxに活性な参照電極４４及び対極３４を配置する。参照電極４４と対極としての補助電極３４間に電流を流しながら、少なくとも検知電極と参照電極を被検ガスに曝した際の検知電極と参照電極間の電位変化を測定する。検知電極と参照電極がそれぞれ正と負の方向に応答しその絶対値の和をセンサの出力として検知され、高いセンサ感度を得ることが可能となる。
【００２６】
本発明のもう一つ実施形態を図６を参照して述べる。更なるセンサ出力の改善と干渉ガスの影響を排除するには、検知電極と参照電極との機能を兼ね備える一方の電極４４と他方の電極４４とを同時に異なる電流を用いて分極させる方法がある。
実施形態２の中に、電極３２と電極４２の間に電流を流して、その際の相反する感度を検出する方法を述べたが、同一電流で必ずしもそれぞれの最適分極状態が得られるとは限らない。
【００２７】
本実施形態は二つの電源を用いて、電極４４と電極４４をそれぞれ最適分極状態（同方向あるいは逆方向）に分極し、この時のＮＯxによる電極４４と電極４４間の電位差変化を測定し、総ＮＯxの濃度を検出する。即ち、少なくとも分極された状態において検知対象ガスに活性を有する一方の電極４４と、少なくとも分極された状態において検知対象ガスに活性を有し且つ前記電極と同一雰囲気中にある他方の電極４４とが、イオン伝導性固体電解質３１に固定された構成からなり、且つこの一方の電極４４及び他方の電極４４を同時にそれぞれの電源によって分極させる。対極としての補助電極３４を大気室３９側に配す。
【００２８】
本発明の実用的な実施形態について図７を参照して述べる。被検ガス中の酸素酸化或いは還元によって、分極された電極電位が変化し、ＮＯx濃度が正確に検出できないため、酸素濃度を一定に制御する必要がある。又、電極材料の違いによって電極触媒能も変化し、ＮＯとＮＯ2に対する感度の差異も予想される。このため、被検ガス中の酸素濃度及びＮＯとＮＯ2の存在比をできるだけ一定にすることが望ましい。
【００２９】
図７にこれらのことを考慮したセンサ構成を示す。酸素センサ電極４５とその対極４６を測定空間内と大気側に電解質を介在して配置し、酸素ポンプの両電極４７、４８をそれぞれ測定空間内と測定空間外に電解質を介在して形成する。更に、酸素センサを用いて測定空間中酸素濃度を検出し、得られた起電力信号を基づいて酸素ポンプの印加電圧を調節することによって、酸素の汲み込み量或いは吐き出し量を変化させ、酸素の濃度を一定に制御する。
一方、ＮＯとＮＯ2に対する感度の違いについて、ＮＯをＮＯ2に変換する或いはＮＯ2をＮＯに変換するための酸素に不活性な電極４９、５０を測定空間中に配置し、これの対極５０を測定空間外に電解質を介在して配置する。このように、酸素濃度及びＮＯとＮＯ2の存在比を一定にした上で、検知電極によって総ＮＯxを正確に検出する。
【００３０】
（実施例１）
図１に示すような構造を有するＮＯxセンサを下記の方法により作製して、本測定原理を実証した。イオン伝導性固体電解質３１の上表面に白金検知電極３２、大気側に参照電極３３と対極３４をそれぞれ形成した。
センサを６００℃に加熱し、窒素バランス４％の酸素中、及びこれに２００ppmのＮＯ2或いは４００ppmのＮＯ2を添加し、ポテンシオスタットを用いて分極曲線を測定した。
その結果を図８に示す。０〜０．３Ｖの電位領域にＮＯ2の濃度に依存する酸化電流が明確に観測された。通常電流を流さない場合では、白金電極はＮＯ2に対して電極電位の応答は全く示さないが、一定の電流を検知電極に流し、電極電位が大きく変化することが分かる。
例えば、検知電極に０．３６mAの一定な電流を流し、４%酸素を含むガス中にＮＯ2の濃度を０、２００及び４００ppmの順に切り換えると、電極電位が濃度の変化に対応して、０．２４７Ｖ、０．１６３Ｖ、０．１０８Ｖの順で変化することを確認した。
【００３１】
（実施例２）
ジルコニア固体電解質３１の上面にＮｉＣｒ2Ｏ4の金属酸化物電極を作製して検知電極３２とし、反対面に白金参照電極３３と対極３４を形成し、図１のような構造を有するセンサを作製した。
検知電極３２と対極３４の間に検知電極の方が正、対極の方が負になるように直流電圧安定化電源を用いて電圧をかけておく。一方、検知電極３２と参照極３３の間に電位を測定するための高抵抗電圧計を接続する。
センサを５５０℃に加熱し、空気ベースの２００ppmのＮＯ或いは２００ppmのＮＯ2を被検ガスとして導入する。検知電極３２と対極３４との間の印加電圧を表１に示す各所定値に調整してから、検知電極の電極電位を参照電極に対して測定する。このようにして得られた果を表１に示す。
【００３２】
【表１】
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【００３３】
印加電圧の変化によって、空気中における検知電極の電位は変化するが、２００ppmのＮＯ及びＮＯ2の導入することによって電極電位は更に変化する。この電位値から空気のみの場合で測定した電位値を引いて得た値を感度とし、この感度が検知電極３２と対極３４間に印加した電圧に依存して変化することが明らかである。
例えば、印加電圧が０mVの時のＮＯ及びＮＯ2に対する感度はそれぞれ−７mVと２２．６mVに対し、３００mVの電圧を検知極と対極の間に印加すると、感度が−２３．５mVと−２１．３mVとなった。即ち、ＮＯに対する感度を高めたとともに、ＮＯ2に対する感度を正方向から負に変えることもできた。
このことを利用して、従来のＮＯとＮＯ2に対して異なる方向の応答は同一方向にすることができ、トータルＮＯxの測定に有利であることが明らかである。
【００３４】
（実施例３）
ジルコニア固体電解質３１の上面にＰｔ−Ｒｈ合金電極で作製した検知電極４４と白金参照電極４４とを配し、反対面に対極３４を形成し、図５のような構造を有するセンサを作製した。
センサを６００℃に加熱し、対極３４と参照電極４４の間に対極の方が正、参照電極側が負になるように所定の電圧を印加し、４％の酸素中でいろいろな濃度のＮＯ或いはＮＯ2ガスを導入し、又は電気抵抗を介して安定化電源を用いて電極４４と電極３４の間に所定電圧を印加し、電極４４と電極４４の間の電位差変化を測定した。
【００３５】
得られた結果を図９に示す。この結果から、分極させる前の平衡状態（Ｅ＝０Ｖ）に比べると、分極した状態（Ｅ＝０．４Ｖ，Ｅ＝１Ｖ）のＮＯとＮＯ2に対する感度とその傾きが大幅に増加したことが確認された。ＮＯとＮＯ2に対して感度は異なるが、これはセンサに付加するガス変換部によって単ガス化してから測定すれば解決することが可能である。
【００３６】
（実施例４）
ジルコニア固体電解質の上面にＰｔ−Ｒｈ合金電極を作製して検知電極とし、反対面に白金参照電極を形成し、図３の（ａ）のような構造を有するセンサを作製した。
これを５５０℃に加熱し、検知電極と参照電極の間に検知電極の方が正、対極の方が負になるように定電流電源を用いて０．１μAの一定の電流を流し、検知電極を分極させる。４％の酸素中でいろいろな濃度のＮＯ或いはＮＯ2ガスを導入し、センサの出力変化を測定した。
【００３７】
得られた結果を図１０に示す（直線１，２）。又、Ｐｔ−Ｒｈ合金電極と白金参照電極を被検ガスに接する側の同一面形成し、図４に示す構造のＮＯxセンサを作製し、前述の測定と同様な条件で測定した。結果を図１０に示す（直線３，４）。
【００３８】
さらに図６のような構造を有するＮＯxセンサを作製し、検知電極１と２にそれぞれ０．１μAと−０．３μAの電流を流し、先と同様な温度、酸素濃度及びＮＯx濃度などの条件で測定した。結果を図１０に示す（直線５，６）。この結果から、このセンサはＮＯとＮＯ2に対してほぼ同様な活性を持ち、感度曲線の傾きは増大したことが確かめられた。
尚、前述した例において、極知電極として、Ｐｔ−Ｒｈを用いることができ、参照電極と対極としての補助電極としてＰｔを用いるとよい。兼用電極の一方をＰｔ−Ｒｈとし、他方をＣｒ2Ｏ3とさせるとよい。
【００３９】
以下、本発明による窒素酸化物センサのさらなる実施形態を図１１及び図１２について説明する。
【００４０】
図１１は、本発明による窒素酸化物センサの発展的な構成を示す。本発明による窒素酸化物センサは、イオン伝導性の固体電解質１と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素排出電極２と、固体電解質に固定されかつ酸素に対して活性な酸素検知電極３と、固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯ2ガスに対して活性な複合検知電極４と、固体電解質に固定されかつ酸素およびＮＯxガスに対して活性な測定用酸素排出電極５と、固体電解質に固定された参照極６とよりなり酸素排出電極２と酸素検知電極３とが第１室７ａの中に形成され、複合検知極４と測定用酸素排出電極５とが第２室７ｂの中に形成され、測定雰囲気と第１室および第１室と第２室とは、セラミックススペーサ１１とセラミックス基板９に覆われ、それぞれ拡散孔８ａ、８ｂが形成される。尚、図１１の構成の原理的な基本構成は図１に相当する。
【００４１】
酸素排出電極２は酸素のみに活性な材料で構成されることが好ましい。また、ＮＯやＮＯ2に対して活性であっても印加される電極によりＮＯやＮＯ2の還元反応が生じない電圧以下で第１室７ａ内の酸素分圧を一定にできるだけの酸素排出量が得られるように第１室に形成される。
もう一方の電極２ａは測定雰囲気と接触しないようにセラミックススペーサ１１とセラミックス基板１０により覆われ、一端の開放部１２を介して大気雰囲気と接触位置に配置される。酸素検知電極３は、第１室７ａ内に形成し、もう一方の電極３ａは、大気雰囲気に接触する位置に形成される。
複合検知極４は、酸素およびＮＯ2に対して活性な遷移金属の酸化物により形成され、集電体は、白金により形成される。複合検知極４に対する対極は、第２室に形成される測定用酸素排出電極５に対する参照極６を共有する。
測定用酸素排出電極５は第２室内に形成され、白金により形成する。測定用酸素排出電極に対する対極５ａは白金により形成され、大気雰囲気と接する位置に形成される。また、同様に白金による参照極６も大気雰囲気に接する位置に形成される。
【００４２】
イオン伝導体１は、酸素イオン伝導体であり、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、酸化トリウムなどの酸化物に安定化剤を添加した固体電解質あるいは酸化ビスマスなどが適用でき、熱的な安定性や化学的な安定性の点で酸化イットリウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウムなどの安定化剤を用いた安定化ジルコニアが好ましい。
測定ガスは、拡散孔８ａを介して第１室７ａに流入し、さらに拡散孔８ｂを介して第２室７ｂに流入する。ここで拡散孔は、微細な孔が１つ形成されていても良く複数であってもよい。また、多孔体であってもよい。
【００４３】
少なくとも第１室７ａ内に流入した測定ガス中の酸素が酸素排出電極２によって排出され、第１室７ａ内の酸素分圧が一定となるようなもので有ればよい。
さらに第１室７ａ内の酸素分圧は、第１室７ａ内に形成した酸素検知電極３により検出され、第１室内の酸素分圧が一定となるように酸素排出電極２の電圧を制御する手段を備える。この場合、酸素検知電極は第２室７ｂに形成されていても良い。
【００４４】
第１室７ａで一定の酸素分圧とされた測定ガスは、第２室７ｂに流入し、第２室に設けた複合検知極４によりＮＯあるいはＮＯ2濃度が検出される。ＮＯあるいはＮＯ2濃度は、参照極６との電位差として検知される。さらに第２室７ｂに設けた測定用酸素排出電極５とその対極５ａ間には一定の電流が流れるように電圧が印加され、測定用酸素排出電極５と参照極６との間の電位が測定される。
ここで、測定用酸素排出電極５と対極との間に設定される一定の電流値は、少なくとも第２室内の酸素に対する電流電位曲線において限界電流値とならない電流値および電圧値の範囲であり、ＮＯとＮＯ2の還元反応が生じるのに十分な電圧値となるように設定される。
参照極６は酸素濃度が一定の大気中と接しているためその電位は一定である。
【００４５】
一方、測定用酸素排出電極５は、酸素およびＮＯxに対して活性であり、酸素濃度が一定の第２室７ｂ内でその電位はＮＯとＮＯ2の濃度に依存する。ＮＯとＮＯ2濃度に対する電位の変化が同じであれば複合検知極４を用いることなく測定雰囲気中のＮＯx濃度を検出することができる。
さらにＮＯあるいはＮＯ2それぞれの濃度を検知したい場合、あるいは測定用酸素排出電極５と参照極６との電位の変化がＮＯとＮＯ2とで異なる場合には、複合検知極４で検知したＮＯあるいはＮＯ2濃度と測定用酸素排出電極５と参照極６のＮＯおよびＮＯ2濃度に基づく電位から、測定ガス中のＮＯおよびＮＯ2濃度を検知でき、ＮＯx濃度を検出する。
【００４６】
本発明の別法として図１２に示すように第１室７ａおよび第２室７ｂを覆うセラミックス基板９をイオン伝導性の固体電解質１と同じ材質で構成し、酸素排出電極２とその対極２ａあるいは複合検知電極４とその対極をイオン導電性の固体電解質基板９上に形成しても本発明のセンサの動作上問題とするところはない。
【００４７】
本発明の窒素酸化物センサは、固体電解質を用いていることから所定温度に加熱することが必要とされるが、高温の排気ガスにより加熱しても良く、自己加熱装置を付加して所定温度に加熱させて動作することもできる。特に安定した性能を得るためには、自己加熱装置による加熱が好ましい。
たとえば、セラミックス基板９上に直接自己加熱のためのヒーターを形成しても良く、さらにセラミックス等でヒーターを埋め込んだ基板をセラミックス９上に張り合わせてもよい。
【００４８】
また、図１１に示す構造では、セラミックス基板１０上に自己加熱装置を張り合わせることもできる。
【００４９】
（実施例５）
図１１に示す窒素酸化物センサを下記の方法により作製してその性能を評価した。４×５０×０.２mmの８mol％イットリア安定化ジルコニア基板１を用いた。ジルコニア基板１上にガラスフリットの添加されたＰｔペーストを用いそれぞれの電極のリード部をスクリーン印刷法により形成して焼成しＰｔ線を溶接してリード線とした。
その後、ジルコニア基板１にスパッタリング法によりＣｒ2Ｏ3膜を形成してさらにその上にＰｔを固着して複合検知極４を形成した。また、酸素排出電極２、酸素検知極３、測定用酸素排出電極５、参照極６、およびそれぞれの電極の対極２ａ、３ａ、５ａをガラスフリットの入っていない微粉のＰｔペーストを用いたスクリーン印刷法により形成し焼成した。
【００５０】
なお、複合検知電極の対極は図１１に示した参照極を用いず、第２室７ｂ内に新たに設けた図１２の構造とした。さらにジルコニア基板１とセラミックス基板９、１０をセラミックススペーサ１１および拡散孔８ａ、８ｂを高融点のガラスを用いて張り合わせた。さらにセラミックス基板９にヒーターを埋め込んだセラミックス基板をガラスにより貼り付けた。
【００５１】
センサ温度を６００℃に設定した各種測定ガス中で酸素排出電極２の作動の有無の時のＮＯ2濃度と複合検知電極間の起電力との関係を図１３に示す。図中、測定ガス中の酸素濃度を０.１％一定とした場合のＮＯ2濃度と複合検知電極間の起電力との関係を○印で示す。
また、測定ガス中の酸素濃度を０.５％一定とし、第１室内の酸素濃度が０.１％になるように酸素検知電極３および濃度酸素排出電極２により制御したＮＯ2濃度と複合検知電極間の起電力の関係を●印、さらに同様な条件で１００ppmのＮＯを共存させた場合のＮＯ2濃度と複合検知電極間の起電力の関係を■印で示す。
【００５２】
酸素排出電極および酸素検知電極を動作させて第１室内の酸素濃度を制御しても酸素排出電極を動作させない場合とほとんど同じＮＯ2濃度に対する起電力の変化を示し、ＮＯ2濃度の対数に比例した起電力変化が得られた。
また、１００ppmのＮＯを共存させた場合も同様な起電力のＮＯ2濃度依存性が得られた。このことから、酸素排出電極の動作およびＮＯ共存の有無に関わらず複合検知極によってＮＯ2濃度が検知できることを確認した。また、この時のＮＯ2濃度と起電力との関係は次式で表せる。
起電力(ＥＭＦ)＝57.63log(NO2濃度(ppm))−49.37…………（１）
【００５３】
センサ温度６００℃として酸素濃度０.５％の測定ガス中で酸素排出電極２および酸素検知電極３を動作させて第１室内の酸素濃度を０.１％に制御し、測定用酸素排出電極５と５ａに０.０５mAの電流が流れるように電圧を印加した時のＮＯx濃度と測定用酸素排出電極５と参照極６間の電位との関係を図１４に示す。
測定ガス中に含まれるＮＯxがＮＯ2のみの場合を○印、ＮＯのみの場合を●印、一定濃度のＮＯ（５０ppm）が含まれる場合を□印、一定濃度のＮＯ2（５０ppm）が含まれる場合を■印で示した。
ＮＯ、ＮＯ2濃度の対数に電極間の電位変化は比例して変化した。また、一定量のＮＯあるいはＮＯ2共存下においてもＮＯ2あるいはＮＯ濃度の対数に比例した電位変化を示している。
【００５４】
これらの結果から、ＮＯx濃度と電位との関係は次式で表すことができる。
電位(ｍＶ)＝−11.25log(NO濃度(ppm))−13.57log(NO2濃度(ppm))＋62.78……（２）
【００５５】
さらにセンサ温度６００℃として酸素濃度０.５％の各種ＮＯx濃度の測定ガス中で酸素排出電極２および酸素検知電極３を動作させて第１室内の酸素濃度を０.１％に制御し、測定用酸素排出電極５と５ａに０.０５mAの電流が流れるように電圧を印加し、複合検知電極の起電力および測定用酸素排出電極５と参照極６間の電位を測定した。
その時の測定ガス中でのＮＯ2、ＮＯ濃度と起電力及び電位、さらに（１）および（２）から求めたＮＯ、ＮＯ2濃度を表２に示す。
【００５６】
【表２】
0003871497.tif 000003
【００５７】
複合検知電極での起電力はＮＯ2濃度に対応し、さらに測定用酸素排出電極５と参照極間の電位と複合検知電極により求めたＮＯ2濃度より求めたＮＯ濃度は、測定ガス中の濃度とほとんど一致した。このように２つ出力値を検出してマイコン等によって演算処理することにより排気ガス中のＮＯ2濃度、ＮＯ濃度を検出でき正確にＮＯx濃度を検出できることを確認した。
【００５８】
本発明による窒素酸化物センサでは、ＮＯやＮＯ2を酸化あるいは還元してＮＯあるいはＮＯ2いずれかのガス種に変換することなく１個の素子で排気ガス中の総ＮＯx量とＮＯとＮＯ2それぞれの濃度を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１の断面図である。
【図２】本発明の実施形態１にヒータを配した断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の実施形態２の断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の変形例である。
【図４】本発明の実施形態３の断面図である。
【図５】本発明の実施形態４の断面図である。
【図６】本発明の実施形態５の断面図である。
【図７】本発明の実施形態６の断面図である。
【図８】実施例１における白金電極の電流−電位曲線である。
【図９】実施例４におけるＮＯxセンサ出力のＮＯx濃度依存性を示す図である。
【図１０】実施例４におけるＮＯxセンサ出力のＮＯx濃度依存性を示す図である。
【図１１】本発明による窒素酸化物センサの断面図である。
【図１２】本発明による他の窒素酸化物センサの断面図である。
【図１３】複合検知極の起電力のＮＯ2濃度依存性を示す図である。
【図１４】酸素排出電極と参照極間の電位のＮＯx濃度依存性を示す図である。
【符号の説明】
１  固体電解質
２  酸素排出電極
３  酸素検知電極
４  複合検知電極
５  測定用酸素排出電極
６  参照極
７ａ，７ｂ  室
８ａ  拡散孔
９，１０  基板
【図１】
0003871497.tif 000004
【図２】
0003871497.tif 000005
【図３】
0003871497.tif 000006
【図４】
0003871497.tif 000007
【図５】
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【図６】
0003871497.tif 000009
【図７】
0003871497.tif 000010
【図８】
0003871497.tif 000011
【図９】
0003871497.tif 000012
【図１０】
0003871497.tif 000013
【図１１】
0003871497.tif 000014
【図１２】
0003871497.tif 000015
【図１３】
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【図１４】
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