(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に対向して配置される探針を備えたカンチレバーと、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光が入射される受光面を有しかつこの受光面が複数の受光部に分割されて成る光検出器とを備え、反射部を利用して前記レーザ光源から出射されるレーザ光を前記カンチレバーの背面へ導き、前記カンチレバーの背面で反射されたレーザ光を前記光検出器へ導く光てこ式光学検出系を備える走査型プローブ顕微鏡において、
前記光検出器の前記受光面を形成する複数の前記受光部の各々に、前記受光部よりも大きな面積を有する導光板を、前記受光部と導光板が部分的に重なるようにして付設し、複数の前記導光板の各々で前記カンチレバーからのレーザ光を受け、対応する前記受光部に当該レーザ光を導くように構成したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の光学調整補助装置。
【請求項２】
複数の前記導光板は互いに光学的に分離されていることを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡の光学調整補助装置。
【請求項３】
前記光検出器における複数の前記受光部で形成される前記受光面の中心部は、当該中心部に対応する領域を形成する複数の前記導光板の部分が除去されることにより、外方に開放されていることを特徴とする請求項１または２記載の走査型プローブ顕微鏡の光学調整補助装置。
【請求項４】
前記光検出器の検出出力感度特性において、前記受光面の中心での感度は０であり、かつ前記受光面の中心近傍から前記導光板の周縁に向かって感度が低下することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡の光軸調整補助装置。
【請求項５】
前記光検出器は、４分割された正方形受光部からなる正方形受光面を有する光検出器であり、前記導光板も正方形の板材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微鏡の光軸調整補助装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は走査型プローブ顕微鏡の光軸調整補助装置に関し、特に、例えば原子間力顕微鏡のごとき光てこ式光学検出系を備えた走査型プローブ顕微鏡においてレーザ光源から光検出器までの光軸調整を容易に行えるようにした光軸調整補助装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１１〜図１４を参照して走査型プローブ顕微鏡での従来の光軸調整の仕方を説明する。図示された走査型プローブ顕微鏡は原子間力顕微鏡であるとする。また光軸調整とは、原子間力顕微鏡の光てこ式光学検出系においてレーザ光源からのレーザ光が適切にカンチレバーの背面で反射して光検出器に入射するように設定することをいう。従来の光軸調整は、操作者の手動操作によって行われていた。図１１はカンチレバーおよび光てこ式光学検出系を備える原子間力顕微鏡の要部の構成を概略的に示している。
【０００３】
測定対象である試料１０１に対して、先端に探針１０２を有するカンチレバー１０３が配置されている。１０４はカンチレバーホルダの一部である。探針１０２と試料１０１の表面との距離は両者の間に原子間力が作用する程度の距離である。試料表面の凹凸形状の測定では探針１０２が試料表面に沿って移動することが必要であり、そのため探針と試料表面との距離は制御機構によって一定の距離に保持される。探針と試料表面の距離の変化はカンチレバー１０３のたわみ変形による変位によって検出される。カンチレバー１０３のたわみ変形による変位を検出する機構として光てこ式光学検出系が設けられる。光てこ式光学検出系は、レーザ光源１０５と反射作用を生じるミラー１０６，１０７と４分割光検出器１０８とから構成される。光てこ式光学検出系の光軸調整が完了し測定が行われる際には、レーザ光源１０５から出射されたレーザ光１０９はミラー１０６で反射され、カンチレバー１０３の背面に導かれ、カンチレバー背面で反射されたレーザ光１０９はさらにミラー１０７で反射され、４分割光検出器１０８の受光面に導かれる。カンチレバー１０３の変位は、４分割光検出器１０８上のレーザ光１０９の照射スポットの位置変化として検出される。またカンチレバー１０３の上方位置にはＴＶカメラ１１０を備えた光学顕微鏡１１１が配置され、光学顕微鏡１１１によってカンチレバー１０３の背面が観察されている。なお４分割光検出器１０８から出力された検出信号は制御装置に送られ、当該検出信号によって表示装置にレーザ光の受光位置を表示することができる。光学顕微鏡１１１で観察された像はＴＶカメラ１１０により映像信号として制御装置に送られ、表示装置に表示される。図１１で制御装置と表示装置の図示は説明の簡便化のため省略されている。
【０００４】
上記構成においてミラー１０６，１０７には手動で操作される位置調整機構が設けられる。光軸調整は、測定を行う操作者がミラー１０６，１０７の位置調整機構を操作することにより行われる。従来の光軸調整は下記の２つのステップから成っていた。
【０００５】
光軸調整の第１のステップは、カンチレバー１０３の背面の反射表面にレーザ光１０９の照射スポットを当てることである。カンチレバー１０３上のスポット位置の確認は、光学顕微鏡１１１で得られる像に基づいて行われる。その例を図１２に示す。図１２はカンチレバー１０３とその周辺部を光学顕微鏡１１１によって上方から見た像である。第１のステップでは、最終的にレーザ光１０９の照射スポットをカンチレバー１０３の背面に当てる。この操作は光学顕微鏡１１１による像を見ながらミラー１０６の位置調整機構を手動操作にすることにより行われる。１１２はカンチレバー１０３の背面に当てられたレーザ光の照射スポットを示している。カンチレバー１０３の背面に照射スポットを当てる前の段階では、レーザ光の照射スポットはカンチレバーホルダ１０４の上面に当てるようにすることが好ましい。１１３はカンチレバーホルダ１０４の上面に当てられた照射スポットを示している。このようにする理由は、カンチレバー１０３は空中に浮いた状態で保持さているので、照射スポットがカンチレバー１０３の背面から外れていると、スポット位置を確認することが困難であるからである。このためスポット位置を確認しやすいカンチレバーホルダ１０４の上面に当てる。第１のステップの操作では、レーザ光の照射スポットを位置１１３から位置１１２に矢印１１４のように移動させることになる。図１３は第１のステップでのレーザ光１０９の移動（矢印１１５）を示した側面図である
【０００６】
光軸調整の第２のステップは、カンチレバー１０３の背面で反射されたレーザ光１０９に基づく照射スポットを４分割光検出器１０８の受光面の中心に当てることである。４分割光検出器１０８上のスポット位置の確認は、その検出信号に基づいて行われる。４分割光検出器における照射スポットの調整を図解したものが図１４である。図１４は４分割光検出器１０８の受光面およびその周辺領域におけるスポットの移動状態▲１▼〜▲４▼を示している。第２のステップでは、最終的にレーザ光１０９の照射スポット１１６を４分割光検出器１０８の受光面の中心位置に当てる。この操作はミラー１０７の位置調整機構を手動操作することにより行われる。
【０００７】
ミラー１０７の位置調整機構を操作してレーザ光１０９を４分割光検出器１０８に導くとき、照射スポットが４分割光検出器１０８の受光面の一部に当たっていれば、受光面の中心に照射スポットを導くことは容易である。図１４において▲２▼に示される状態である。すなわち４分割光検出器１０８ではその受光面を例えば１／４円形の４つの部分ａ，ｂ，ｃ，ｄに分け、それらの検出出力信号をＳａ〜Ｓｄとし、４分割光検出器１０８の全出力信号Ｓｓ、垂直変位成分Ｓｖ、水平変位成分Ｓｈは、それぞれ、Ｓｓ＝Ｓａ＋Ｓｂ＋Ｓｃ＋Ｓｄ、Ｓｖ＝｛（Ｓａ＋Ｓｂ）−（Ｓｃ＋Ｓｄ）｝／Ｓｓ、Ｓｈ＝｛（Ｓａ＋Ｓｃ）−（Ｓｂ＋Ｓｄ）｝／Ｓｓとして得られるので、Ｓｓが最大になり、さらにＳｖとＳｈが最小になるようにミラー１０７を調整すればよい。ＳｖとＳｈが共に０になればレーザ光１０９の照射スポット１１６は受光面の中心位置に設定されたことになる。
【０００８】
一方、カンチレバー１０３は同じ規格のカンチレバーであっても表面のコーティングにより生じる反りや、カンチレバー自身の固定法に応じてレーザ光の反射方向が大きくばらつき、レーザ光の照射スポットが４分割光検出器１０８から大きく離れた位置に当たることもある。この状態を図１４の▲１▼に示す。１１６は照射スポットの位置である。この状態のときには、Ｓｓは０であり、４分割光検出器１０８から出力される検出信号から何の情報も得られないので、スポット位置が完全に不明である。前述のように、第２のステップではミラー１０７を操作してＳｓの信号を得るようにするのであるが、現在どの位置にあるのかが分からないので、最初にどの方向に移動させるべきかが不明である。従来、現実的には、Ｓｓを監視しながら照射スポット１１６を適当に大きく動かし、Ｓｓの出力が出た段階で止めるようにしていた。このような状態は図１４の▲２▼に対応するので、前述した通り、スポットを中心位置へ移動するように調整することができる。
【０００９】
以上のごとく第１のステップと第２のステップを実行することにより、光てこ式光学検出系に関する光軸調整が完了した。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
光てこ式光学検出系における従来の光軸調整は、測定操作者の手動で行われており、第１ステップでカンチレバーに照射スポットを合わせるときに人の目が不可欠であり、通常、第２ステップの初期段階で試行錯誤が必要なことが多い。特に第２ステップの最初の段階では、比較的に容易な試行錯誤による照射スポットの動きで運良く検出することができる場合もあるが、例えばカンチレバーの取付不良等が原因で照射スポットが光検出器の受光面の調整可能範囲の外まで大きく外れることがある。このような場合には、試行錯誤によってはほとんど検出できない。このような調整不可能な場合には、他にとる手段もなく、結果的に試行錯誤に長い時間を使った挙げ句「原因が分からなかった」ということになる。
【００１１】
本発明の目的は、上記課題を解決することにあり、光てこ式光学検出系を備えた走査型プローブ顕微鏡における光てこ式光学検出系の光軸調整作業の初期段階で、４分割光検出器の受光面において照射スポットが受光面の中心からどの方向にどの程度離れているかを測定操作者が容易に知ることができ、光軸調整作業の容易化を図ることのできる走査型プローブ顕微鏡の光軸調整補助装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段および作用】
本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の光軸調整補助装置は、上記目的を達成するため、次の通り構成される。
本発明に係る光軸調整補助装置は、試料に対向して配置される探針を備えたカンチレバーと、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光が入射される受光面を有しかつこの受光面が複数の受光部に分割されて成る光検出器とを備え、反射部を利用して、レーザ光源から出射されるレーザ光をカンチレバーの背面へ導いてここに照射させ、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光を光検出器へ導きその受光面に入射させるように構成された光てこ式光学検出系を備える走査型プローブ顕微鏡に用いられる。第１の光軸調整補助装置は、光検出器の受光面を形成する複数の受光部の各々に、受光部よりも大きな面積を有する導光板を、受光部と導光板が部分的に重なるようにして付設し、これらの大きな面積を有する複数の導光板の各々でカンチレバーからのレーザ光を受け、対応する受光部に当該レーザ光を導くように構成される。
光検出器の受光面を形成する各受光部は、導光板によって、カンチレバー側から到来するレーザ光を受ける面積が実質的に拡大され、当該レーザ光の入射を確実に行うことが可能となる。また複数の導光板の各々は、レーザ光が当たったとき、その内部で、当該レーザ光を散乱させながら伝播させる作用を生じ、レーザ光が当たったことを、光検出器の受光面における対応する受光部に検出させることが可能となる。従って光軸調整を行う操作者は、光検出器から出力される検出出力をモニタすることによって、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光の受光を確実に知ることができ、これによって従来の試行錯誤を行うことなく、光検出器の受光面へのレーザ光の入射を行うことが可能となる。
第２の光学調整補助装置は、上記の構成において、好ましくは、複数の導光板が互いに光学的に分離されて形成されており、その結果、ある導光板に入射した光が他の導光板に入ることを防止している。この構成によって、レーザ光、どの受光部の導光板に入射したかを正確に知ることができ、光軸調整の作業を正確に行うことが可能となる。
第３の光軸調整補助装置は、さらに、光検出器における複数の受光部で形成される受光面の中心部は、当該中心部に対応する領域を形成する複数の導光板の部分が除去されることにより、外方に開放される。通常、導光板の角部が切り欠かれ、例えば全体として円形の孔のごとき形状をしたスペースが形成される。受光面の中心部は当該スペースを介してレーザ光の到来方向に臨んでいる。
第４の光軸調整補助装置は、好ましくは、光検出器の検出出力感度特性において、受光面の中心での感度がほぼ０であり、かつ受光面の中心近傍から導光板の周縁に向かって感度が低下するように設定される。その結果、レーザ光が光検出器によって検出されているとき、当該レーザ光の入射位置を、検出出力に基づいて知ることができ、そのために、レーザ光を受光面の中心位置に位置合わせすることが可能となる。このように容易に光軸調整を行うことが可能となる。
第５の光軸調整補助装置は、好ましくは、前述の分割型光検出器が４分割の受光面を有する場合に対応して構成され、４枚の導光板からなり、各導光板は正方形の板材によって形成されている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１と図２は本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の光てこ式光学検出系に使用される光検出器の一例を示し、この光検出器は一例としてその受光面が４分割された形態を有している。走査型プローブ顕微鏡は、従来技術に関して図１１で示された原子間力顕微鏡を想定している。原子間力顕微鏡に関しては従来技術の箇所で説明したので、先の記述を参照することとし、ここでは図示および説明を省略する。また光てこ式光学検出系は、前述の通り、レーザ光源、先端に探針を備え背面に反射部を有するカンチレバー、上記光検出器、および必要な反射ミラーとから構成されている。光てこ式光学検出系も、従来技術の箇所で説明されているので、先の記述を参照することとし、ここではその図示および説明を省略する。光検出器は、その受光面が４分割されているので、以下、４分割光検出器という。図１は正面図であり、図２は側面図である。正面図に示される通り、４分割光検出器１１の上面に、受光面１２が形成されている。受光面１２は、好ましくは正方形の形状を有する小形の４つの受光部（または受光区画）１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄから構成される。受光面１２は全体として例えば正方形の形状を有し、当該正方形面積を有する受光面は、互いに分割されかつ検出部として互いに独立した小さい部分面積を有する受光部１２ａ〜１２ｄから形成されている。なお、４分割光検出器１２には、通常、市販のものが使用される。例えば、浜松ホトニクス社製の多素子型Ｓｉフォトダイオード（Ｓ５９８１）が使用される。このような光検出器に関しては受光面の面積が大きいものも市販されているが、小型化の観点から比較的に面積が小さいものが使用される。その結果、反対に、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光が４分割光検出器の受光面に当たることに関しては、困難性が増すことになる。そこで、本発明による光軸調整補助装置を利用することによって、受光面が比較的に小さい４分割光検出器を用いても、光軸調整の作業を容易に行うことができるようになる。
【００１５】
図１に示すように、４分割光検出器１１の頭部１１ａは、外観が偏平円柱城の形態を有する金属容器（センサパッケージ）で形成されている。内部に、受光面１２の各受光部１２ａ〜１２ｄで受光されたレーザ光を電気に変換し、かつ所定のレベルに増幅する増幅器が内蔵されている。また図２に示すように、４分割光検出器１１の下側には頭部１１ａの下面から引き出されたピン状の複数の電気配線１３が設けられている。電気配線１３の本数は任意であって、特に限定されない。４分割光検出器１１が原子間力顕微鏡の光てこ式光学検出系の一部として設けられるとき、４分割光検出器はカンチレバーおよび探針の斜め上方位置に配置され、かつその受光面１２がカンチレバーの背面に向うように配置される。
【００１６】
図３と図４は、本発明に係る光軸調整補助装置の要部構成を示し、光軸調整補助具を前述の４分割光検出器１２に設けた構成を示す。図３は正面図、図４は側面図である。図３は図１に対応し、図４は図２に対応している。図５は光軸調整補助装置の作用を説明するための図である。以下において光軸調整補助具のことを説明の便宜上単に補助具という。
【００１７】
補助具１４は、４分割光検出器１１の受光面１２の４つの受光部１２ａ〜１２ｂに対応する４枚の板材１４ａ〜１４ｄから形成されている。これらの板材１４ａ〜１４ｄは導光板としての機能を有する。すなわち、導光板とは、板材の１つの面にレーザ光等の光が入射されると、板材そのものがその内部で光を散乱させて伝播させるものであり、外部から見ると、光が当たるとき全体が明るくなるような部材である。このような導光作用を生じる板材としては、任意の材質を使用でき、例えばアクリル等の樹脂板のごとき半透明の板材、あるいは背面側に遮光面を有する透明板材、その他ガラスファイバ等の光伝送体などを使用することができる。従って、上記の板材の一部の明るさ状態を監視するとき、他の部分で光が当たったか否かを検出することが可能となる。以下、板材１４ａ〜１４ｄを導光板という。
【００１８】
４枚の導光板１４ａ〜１４ｄの各々は同じ形態を有する。正面形状は、ほぼ正方形であり、かつ望ましい厚みを有する板状形態である。その厚みは任意に決めることができる。また正面形状における面積も任意に決めることができる。４枚の導光板１４ａ〜１４ｄの各々は、４分割光検出器１１の受光面１２の前面位置に、隙間をあけてあるいは接触させて、図３および図４に示すような位置関係で固定されている。図では、固定構造は示されていないが、任意の固定構造を採用することができる。特に図３に示されるごとく、受光部１２ａに対しては導光板１４ａが、受光部１２ｂに対しては導光板１４ｂが、受光部１２ｃに対しては導光板１４ｃが、受光部１２ｄに対しては導光板１４ｄがそれぞれ一定の隙間１８を設けて配置されている。正方形の受光部１２ａ〜１２ｄと正方形の導光板１４ａ〜１４ｄのそれぞれは、導光板の内側に位置する角部位置で部分的に重なるように位置が決められている。導光板１４ａ〜１４ｄの内側に位置する角部は、先端頂部がほぼ１／４円の形状に切り欠かれている。その結果、４枚の導光板１４ａ〜１４ｄの内側角部の部分によってほぼ円形のスペース１５が形成される。この円形のスペース１５を介して、受光面１２を形成する４つの受光部１２ａ〜１２ｄの各々の一部がレーザ光が到来する方向に臨んでいる。各受光部１２ａ〜１２ｄは、各々の切り欠き部で形成される孔状のスペース１５を通してレーザ光を受光することが可能となる。一方、各受光部１２ａ〜１２ｄは、各導光板１４ａ〜１４ｄの当該切り欠きが形成された角部の近傍で部分的に重なっているために、対応する導光板１４ａ〜１４ｄに光が当たって当該導光板で光を伝播するとき当該光を受光し、検出することができる。
【００１９】
受光面１２を形成する各受光部１２ａ〜１２ｄの面積と対応する導光板１４ａ〜１４ｄの面積との比は、必要に応じて任意に定められる。すなわち、受光部１２ａ〜１２ｄに対してどの程度大きな導光板１４ａ〜１４ｄを設けるかということについては、経験的に得られた知見に基づいて、容易な光軸調整を可能にする適切な大きさの導光板が決定される。導光板の好ましい寸法として、上限は１０ｍｍ程度である。
【００２０】
図５に一例として導光板１４ｂの作用を示す。レーザ光１６がカンチレバーの背面で反射されて４分割光検出器１１の側へ到来するときにおいて、レーザ光１６の位置が４分割光検出器１１の受光面１２の外側の位置にあったとしても、４枚の導光板１４ａ〜１４ｄからなる補助具１４の範囲であって例えば導光板１４ｂに入射したとすると、当該レーザ光１６は、実質的に矢印１７のごとく導光板１４ｂの中を伝播し、対応する受光部１２ｂによって、レーザ光１６の導光板１４ｂへの入射を検出することが可能となる。図５に示した矢印１７では、導光板１４ｂに入射したレーザ光１６があたかも反射を繰り返しながら進行するようなイメージで示されているが、実際には、導光板１４ｂにレーザ光１６が入射することによってその明るさが、対応する受光部１２ｂによって検出されるというイメージである。図５に示された、４分割光検出器１１の受光面１２の受光部１２ｂと導光板１４ｂとの間に生じる作用の関係は、他の受光部１２ａ，１２ｃ，１２ｄと、対応する導光板１４ａ，１４ｃ，１４ｄとの関係においても同じである。従って、光軸の調整の際において、４つの受光部１２ａ〜１２ｄから出力される信号に基づいてレーザ光がどの位置に存在するかを知ることができる。
【００２１】
上記において、上記実施形態で示された構成によれば４つの導光板１４ａ〜１４ｄは別々に作られ、かつ隙間を設けて配置されるので、或る導光板の内部の光が漏れて他の導光板の中に入るということは生じない。
【００２２】
光軸調整補助具については、図６または図７に示すような変形例を用いることもできる。図６に示した補助具１１４は一枚状の導光板の中央に孔１１５をあけると共に、十字形状に切れ目１１６を形成して領域１１４ａ〜１１４ｄを形成している。領域１１４ａ〜１１４ｄはそれぞれ上記導光板１４ａ〜１４ｄに対応している。かかる構造を採用することにより、作り方、組立て方が容易となる。また図７に示した補助具２１４は、前述の導光板１４ａ〜１４ｄを遮光板２１５を介して結合し、一体として形成したものである。かかる補助具によれば、４分割光検出器に補助具を取り付ける際に、取付方を容易にすることができる。
【００２３】
次に、図８〜図１０を参照して上記補助具１４を備える４分割光検出器１１を利用した光軸調整の仕方を説明する。
【００２４】
光てこ式光学検出系を備えた走査型プローブ顕微鏡の当該光てこ式光学検出系における光軸調整の作業の全体は、従来技術の箇所で述べた通りである。ここで要約的に述べると、まずレーザ光源から出射されたレーザ光の位置を制御しながら導いてカンチレバーの背面に形成された反射領域に当てる第１ステップと、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光を４分割光検出器の受光面に入射するようにレーザ光の位置を調整する第２ステップとからなっている。第１ステップが終了し、第２ステップを行う段階で、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光が４分割光検出器１１の受光面の近傍に照射された状態にする。最初からレーザ光の照射スポットが受光面１２に入射されるのであれば、第２ステップは終了し、何の問題もなく短時間で第２ステップを終えることができる。このようなことが起きるのは希であり、通常、レーザ光の照射スポットは受光面１２の外側の位置であって受光面の近傍に位置するのが、経験的に一般的に認められている。
【００２５】
一方、前述の通り、本実施形態による４分割光検出器１１の受光面１２の４つの受光部１２ａ〜１２ｄの各々には補助具１４を構成する４枚の導光板１４ａ〜１４ｄが付設されている。従って、カンチレバーからの反射で到来したレーザ光は、受光面１２から外れていても、一般的には補助具１４の４枚の導光板１４ａ〜１４ｄのいずれかによって捕捉される。すなわち、４枚の導光板１４ａ〜１４ｄのいずれかに入射するであろうと考えられる。またかかる入射が高い確率で起きることを想定して、導光板１４ａ〜１４ｄの面積が設定される。その結果、図８に示される例では、レーザ光１６の照射スポット１６ａが導光板１４ｂに形成された状態を示している。このような導光板１４ｂにおけるレーザ光の入射状態が生じることによって、レーザ光１６を、４分割光検出器１１の受光面１２に容易に入射させることが可能となる。
【００２６】
図８において、導光板１４ｂにレーザ光１６が入射するとき、当該レーザ光によって導光板１４ｂの内部では散乱光が生じる。その散乱光は、４分割光検出器１１の受光面１２の受光部１２ｂによって感知される。
【００２７】
図８の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、導光板１４ｂの外側位置に入射したレーザ光の照射スポット１６ａがその位置を調整されて（Ａ）から（Ｃ）のごとく受光面１２の中心位置に導かれる状態を示す。また図９は、図８の（Ａ）〜（Ｃ）に示された状態に対応させて、（Ａ）ではレーザ光１６の照射スポット１６ａの強度分布の例を示し、（Ｂ）は照射スポットの位置に対応する４分割光検出器１１の検出出力（水平方向の検出感度）Ｓｈのレベル（感度）を示している。図９（Ａ）における照射スポット１６ａの位置▲１▼，▲２▼，▲３▼はそれぞれ図８の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）のそれぞれに対応している。図９（Ｂ）で横軸は図８に示した２次元座標系（Ｘ，Ｙ）のＸ軸を示しており、図から明らかなように、受光面１２の中心位置に照射スポット１６ａが当たるときにはレベルは０であって検出出力Ｓｈの変化特性が顕著になる。受光部１２ｂと導光板１４ｂとの境界部に照射スポット１６ａがあるときには、検出出力Ｓｈは中間的レベルとなり、かつ中間的な変化割合で変化している。照射スポット１６ａが導光板１４ｂの周縁の位置にあるときには、周縁に近付くに従って検出出力Ｓｈの特性は緩やかに低下していく。従って、Ｘ軸方向に関する照射スポット１６ａの位置は、４分割光検出器１１の例えば受光部１２ａ，１２ｂに関する検出出力のレベルを調べることによって知ることができる。換言すれば、４分割光検出器１１から出力される信号のレベルおよびその変化状態を得ることによって、レーザ光１６が導光板１４ａ〜１４ｄに入射したとき、当該入射位置から内側に移動させ、さらに４分割光検出器１１の受光面１２の中心位置に調整することを容易に行うことが可能となる。以上の検出出力に関する特性は、水平方向であっても同じである。
【００２８】
レーザ光１７が導光板１４ａ〜１４ｄで捕捉されたとき、通常は、図８の（Ａ）に示されるごとく各導光板における外側位置であって周縁部で捕捉されるので、その検出出力は弱いものとなるが、当該検出出力が強くなるように光軸を手動で調整することにより、反射レーザ光を受光面１２の中心位置の方向に移動させることが可能となる。
【００２９】
図８の（Ｂ）に示すような位置に照射スポット１６ａが移動すると、レーザ光の半分は、導光板経由ではなく直接に受光部１２ｂに入射するので、前述のごとく検出出力は増す。これにより、４分割光検出器１１の出力をモニタする測定操作者は、照射スポットが受光面の中心に接近しつつあることを知ることができる。そこで、さらに操作者は、４分割光検出器１１の検出出力が増加し、最終的に大きく変化して０になるように調整を行う。４分割光検出器１１の検出出力が０になると、光軸調整作業は完了することになる。
【００３０】
以上のごとく、４分割光検出器１１の受光面１２に対して、前述のごとき構成に基づいて補助具１４を付設することにより、カンチレバーの背面から反射されるレーザ光１６の照射スポット１６ａを比較的に高い確率で補助具１４により捕捉させ、その後、４分割光検出器１１からの出力特性を観察しながら、容易にその受光面の中心位置にレーザ光を移動させ、光軸調整の作業を容易にかつ短時間に終了させることが可能となる。カンチレバーの変換は、原子間力顕微鏡による測定作業では比較的に頻繁に生じ、カンチレバーを変換した初期段階で、補助具１４を構成する導光板１４ａ〜１４ｄを経由してレーザ光を入射させることができるため、従来のごとき４分割光検出器単体では不可能であった検出器周辺へのレーザ光入射も検出することができる。さらに、周辺のレーザ光の入射がどのような方角でどの位離れた位置であるのかを知ることができるという利点も有している。このことは、光軸調整の作業者にとっては、光軸の調整の仕方を決定する有用な情報である。従来の光軸調整の仕方と比較して、本実施形態による方法は試行錯誤の過程が全く必要ない、あるいは少なくなるので、経験に依存する部分が低減され、熟練でない操作者にも容易に行うことができる。
【００３１】
また光軸調整が完了した後に、光てこ式光学検出系を用いて原子間力顕微鏡による測定が行われる。この測定では、４分割光検出器１１の検出出力の特性において０の近傍部分の感度が最大である部分にのみが使用される。図９の（Ｂ）で１９が測定で使用される範囲である。従って、補助具１４を４分割光検出器１１に付設したとしても、前述のごとく円形のスペースが受光面１２の中央部に形成されて、レーザ光の入射を可能にしているので、測定時の４分割光検出器１１の検出作動に対して補助具１４は全く影響を与えることはない。
【００３２】
次に、図１０を参照しながら、本実施形態による補助具１６を付設する構成が、大きな受光面積を有する４分割光検出器よりも、光軸調整にとってはより有効な働きを発揮するということを説明する。図１０において、この４分割光検出器では、導光板が付設されず、前述の受光部１２ａ〜１２ｄと導光板１４ａ〜１４ｄを加えてなる面積とほぼ同等な受光面積を有する受光部を備えて構成されている。この受光部は、図１０において２つだけが示され、２０ａ，２０ｂという符号が付されている。かかる受光部２０ａ，２０ｂを有する４分割光検出器で、例えば照射スポット１６ａが受光部２０ｂに入射したと仮定する。この場合、図１０の▲１▼〜▲３▼に示されるごとく、照射スポットが移動して周縁部から中心部に移動したとしても、その検出出力の特性２１から明らかなように、中心部を除くどの位置（この例ではＸ軸方向での位置）でも出力レベルが同じ、すなわち位置に応じて出力レベルが異ならないので、光軸調整の作業者はどの方向へ移動させるように調整したらよいか全く判断を持つことができないという問題を生じる。結局は、前述の本発明の実施形態のように、光軸調整を行うことができないのである。以上の説明により、本発明の光軸調整補助具を備えた４分割光検出器を利用した光てこ式光学検出系によれば、光軸調整を有効に行うことができるという利点が発揮される。
【００３３】
上記実施形態では原子間力顕微鏡について説明したが、これに限定されず、光てこ式光学検出系を備える走査型プローブ顕微鏡に本発明による光軸調整補助装置を適用できるのは勿論である。また光軸調整補助装置は４分割光検出器に使用されたが、これに限定されず、その他の分割数の光検出器に対しても変形して使用できるのは勿論である。かかる光軸調整補助装置は、多素子型光検出器の受光領域を実質的に拡大することができる。
【００３４】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように本発明によれば、光てこ式光学検出系を備えた走査型プローブ顕微鏡において、分割型光検出器の受光面の近くに各分割素子に対応する導光板からなる光軸調整補助具を設けることにより、光検出器の受光面を実質的に広範囲化したため、カンチレバーの背面で反射されたレーザ光の入射を容易に行うことができる。さらに小さい面積の受光素子と大きな面積の導光板を組み合わせることにより、光検出器の検出出力特性（感度特性）を位置に応じて異ならせるように構成したため、導光板における外側周縁で捕捉したレーザ光を光検出器の受光面の中心位置に容易にかつ確実に移動させることができる。かかる光軸調整補助具を備えた分割型光検出器を用いたため、従来では経験の少ない測定操作者であっても、光軸調整を、光検出器から出力される検出信号を監視することによって容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光軸調整補助装置が適用される４分割光検出器の正面図である。
【図２】図１に示した４分割光検出器の側面図である。
【図３】図１に示した４分割光検出器に本発明に係る光軸調整補助装置を適用した正面図である。
【図４】図３に示した４分割光検出器の側面図である。
【図５】光軸調整補助具の導光板の作用を説明するための図である。
【図６】光軸調整補助具の他の例を示す正面図である。
【図７】光軸調整補助具の他の例を示す正面図である。
【図８】本発明に係る光軸調整補助装置に基づく光軸調整の仕方を説明するための図である。
【図９】光軸調整補助具を備えた４分割光検出器の検出出力特性を説明する図である。
【図１０】大きな受光面積を有する受光部を用いて構成された４分割光検出器の検出出力特性を説明する図である。
【図１１】従来の光軸調整を説明するための概略側面図である。
【図１２】カンチレバー部分の拡大平面図である。
【図１３】カンチレバー部分の拡大側面図である。
【図１４】４分割光検出器の受光面でスポット位置を中心に移動させる制御状態を示す図である。
【符号の説明】
１１                  ４分割光検出器
１２                  受光面
１２ａ〜１２ｄ        受光部
１４                  光軸調整補助具
１４ａ〜１４ｄ        導光板
１５                  スペース
１６                  レーザ光
１６ａ                照射スポット
１１４，２１４        光軸調整補助具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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