(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波の送波および受波を行う超音波振動子が、−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマからなる保持体によって超音波振動子の振動面以外の面が覆われることで保持され、該超音波振動子とハウジングの間に該保持体が介在することで超音波振動子側面の振動をハウジングに伝わりにくくするようになし、該超音波振動子の送波または受波する時の信号を、リード線を介することによって供給されるようになしたことを特徴とする超音波センサ。
【請求項２】
超音波振動子と保持体との境界面およびハウジングと保持体との境界面の両者またはいずれか一方に突起または凹部が設けられた請求項１記載の超音波センサ。
【請求項３】
超音波振動子と保持体との境界面およびハウジングと保持体との境界面の両者またはいずれか一方で隣合う部材同士が融着されてなる請求項１または２記載の超音波センサ。
【請求項４】
超音波振動子の振動が大きな部分は厚く、振動が小さい部分は薄くなるように厚さを異ならせた保持体によって超音波振動子が保持されてなる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項５】
保持体がリブ状の形状を有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の超音波センサ。
【請求項６】
超音波の送波および受波を行う超音波振動子を、該超音波振動子と成形型面との間に隙間ができるように成形型内に取り付け、該超音波振動子と成形型面との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該超音波振動子と該熱可塑性材料からなる保持体とを一体化し、次いで、一体化された超音波振動子および保持体をハウジング内に装着することを特徴とする超音波センサの製造方法。
【請求項７】
超音波の送波および受波を行う超音波振動子と該超音波振動子を収納するハウジングとを、該超音波振動子とハウジングとの間に隙間ができるように成形型内に取り付け、該超音波振動子とハウジング面との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該超音波振動子と該熱可塑性材料からなる保持体とハウジングとを一体化することを特徴とする超音波センサの製造方法。
【請求項８】
超音波の送波および受波を行う超音波振動子が装着されるハウジングを成形型内に取り付け、ハウジング内に超音波振動子が装着される隙間を残して溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該ハウジングと該熱可塑性材料からなる保持体とを一体化し、次いで、ハウジングと一体化された保持体内に超音波振動子を装着することを特徴とする超音波センサの製造方法。
【請求項９】
熱可塑性材料が−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマである請求項６〜８のいずれか１項に記載の超音波センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波センサおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波の送波および受波を行う超音波振動子をハウジング内に収納した超音波センサが自動車のバックセンサー、コーナーセンサーなどの用途に利用されている。
【０００３】
この種の超音波センサでは、▲１▼超音波振動子の振動を妨げないこと、▲２▼超音波振動子の振動が超音波センサ外部の取付け部材（金属板など）に伝播し、これによる取付け部材の振動を超音波振動子が検知してしまわないように高い防振性を有すること、▲３▼ハウジングに加えられた外力が超音波振動子に与える影響を緩和すること、▲４▼超音波振動子を予め定められた所定の位置に保持することなどが要求される。
【０００４】
このため、図１５に示すように、一般に、シリコンゴムなどの弾性に優れた材料からなる成形体２１の内部に、超音波振動子の振動面以外の部分が該成形体２１で覆われるように超音波振動子２２を押し込んで嵌め込み、次に該成形体２１の底部がハウジング２３内部の底面に突き当たるように、該成形体２１をハウジング２３内に押し込んで嵌め込むことによって、超音波センサが製造されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の方法による超音波センサの製造方法は、二段階の組み立て工程を経る必要があることから煩雑なものである。また、超音波振動子が該成形体内に容易に押し込め、該成形体がハウジング内に容易に押し込めることが必要とされるから、超音波振動子、成形体およびハウジングの形状には制限があり、超音波センサに外力が作用した際に、超音波振動子が脱落したり、超音波振動子の位置がずれたりすることがある。
【０００６】
さらに、成形体の材料にシリコンゴムを用いたときには、その表面への塗装が困難であり、自動車のバンパーなどに超音波センサを取り付けると、外観を損ねることがある。
【０００７】
本件の発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、超音波振動子の脱落や位置ずれを抑えた超音波センサ、および、このような超音波センサを効率的に製造することが可能な超音波センサの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本件の各発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、請求項１に係る発明の超音波センサは、超音波の送波および受波を行う超音波振動子が、−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマからなる保持体で保持され、該超音波振動子および該保持体がハウジング内に収納されてなることを特徴とする。
【０００９】
ここで、貯蔵たて弾性係数（Ｅ´）とはひずみと同位相の応力をひずみで除した値（ＪＩＳ  Ｋ ６３９４参照）のことである（動的貯蔵弾性率（Ｅ´）と言うこともある。）。貯蔵たて弾性係数（Ｅ´）は動的粘弾性測定装置（例えば、（株）ユービーエム製Ｒｈｅｏｇｅｌ−Ｅ４０００）を用いて測定される。具体的には、測定温度にある熱可塑性エラストマのサンプルに対して、動電型加振器により下方から周波数と振幅とが設定された正弦波歪または合成波歪振動を加え、それによって発生した応力レスポンスを上方に設けられた水晶圧電型応力センサで検出する一方、加振器に取り付けられた変位センサによりサンプルの歪を検出し、得られた動的応力波形および動的歪波形からＦＦＴ演算等により、各々の周波数の振幅と位相差角とを求め、さらに線形粘弾性理論に基く演算式によって貯蔵たて弾性係数を求めるのである。
【００１０】
請求項２に係る発明の超音波センサは、上記請求項１の発明の超音波センサにおいて、超音波振動子と保持体との境界面およびハウジングと保持体との境界面の両者またはいずれか一方に突起または凹部が設けられたものである。
【００１１】
請求項３に係る発明の超音波センサは、上記請求項１または２の発明の超音波センサにおいて、▲１▼超音波振動子と保持体との境界面および▲２▼ハウジングと保持体との境界面の両者またはいずれか一方で隣合う部材同士（すなわち、▲１▼においては超音波振動子と保持体、▲２▼においてはハウジングと保持体。）が融着されてなるものである。
【００１２】
請求項４に係る発明の超音波センサは、上記請求項１ないし３の発明の超音波センサにおいて、超音波振動子の振動が大きな部分は厚く、振動が小さい部分は薄くなるように厚さを異ならせた保持体によって超音波振動子を保持したものである。
【００１３】
請求項５に係る発明の超音波センサは、上記請求項１ないし３の発明の超音波センサにおいて、保持体がリブ状の形状を有したものである。
【００１４】
請求項６に係る発明の超音波センサの製造方法は、超音波の送波および受波を行う超音波振動子を、該超音波振動子と成形型面との間に隙間ができるように成形型内に取り付け、該超音波振動子と成形型面との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該超音波振動子と該熱可塑性材料からなる保持体とを一体化し、次いで、一体化された超音波振動子および保持体をハウジング内に装着することを特徴とする。
【００１５】
請求項７に係る発明の超音波センサの製造方法は、超音波の送波および受波を行う超音波振動子と該超音波振動子を収納するハウジングとを、該超音波振動子とハウジングとの間に隙間ができるように成形型内に取り付け、該超音波振動子とハウジング面との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該超音波振動子と該熱可塑性材料からなる保持体とハウジングとを一体化することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項８に係る発明の超音波センサの製造方法は、超音波の送波および受波を行う超音波振動子が装着されるハウジングを成形型内に取り付け、ハウジング内に超音波振動子が装着される隙間を残して溶融させた熱可塑性材料を充填し、該熱可塑性材料を冷却固化して、該ハウジングと該熱可塑性材料からなる保持体とを一体化し、次いで、ハウジングと一体化された保持体内に超音波振動子を装着することを特徴とする。
【００１７】
上記の超音波センサの製造方法に関する各発明において、熱可塑性材料として、−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマを利用することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
（超音波センサの製造方法の実施形態１）
本件発明の超音波センサの製造方法について、図１〜３により説明する。図１は本件の超音波センサの製造方法に用いられる射出成形機の一例の構成を、図２はこの射出成形機の金型の構成を、図３は超音波センサの製造工程の中間段階の状態をそれぞれ示している。
【００１９】
本件発明の超音波センサの製造方法に用いられる射出成形機は金型１とシリンダー２とを備えた標準的なものであり、熱可塑性材料のペレット３がシリンダー内で溶融されて、金型内の空隙（キャビティ）に押し出され、該熱可塑性材料を冷却固化した後に金型が開いて成形体が取り出される。
【００２０】
図２に示すように、この実施形態１では、金型１内に超音波振動子４が取り付けられており、超音波振動子４の振動面５以外の面と金型鏡面６との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料７が充填される。熱可塑性材料が冷却固化した後に金型を開くと、図３に模式的に示すように、超音波振動子の振動面以外の面を覆うように熱可塑性材料からなる保持体８が形成される。このようにして得られた超音波振動子と保持体とが一体化された成形物を所定のハウジング（図示しない）内に装着することによって超音波センサが製造される。これによって、従来の超音波センサの製造方法によれば、２段階の嵌め込み工程が必要であったものが、１回の嵌め込み工程で済み、製造工程を簡略化することができる。また、この超音波センサの製造方法によれば、超音波振動子と保持体との境界面を密着させることができ、超音波センサの防滴性を向上させることができる。さらに、超音波振動子の振動面と保持体のつら位置を揃えることもできる。
（超音波センサの製造方法の実施形態２）
本件発明の超音波センサの製造方法の他の実施形態を図４により説明する。図４はこの実施形態における射出成形機の金型の構成を示している。射出成形機は図１に示すような標準的なものである。
【００２１】
図４に示すように、この実施形態２では、金型１内に超音波振動子４とハウジング９とが取り付けられており、超音波振動子４の振動面５以外の面とハウジング９との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料７が充填される。熱可塑性材料が冷却固化した後に金型を開くと、超音波振動子の振動面５が露出され、超音波振動子と該熱可塑性材料からなる保持体とハウジングとが一体化された超音波センサが得られる。これによって、従来の超音波センサの製造方法によれば、２段階の嵌め込み工程が必要であったものが、嵌め込み工程が不要となり、製造工程を大幅に簡略化することができる。また、この超音波センサの製造方法によれば、超音波振動子、保持体およびハウジングの各境界面を密着させることができ、超音波センサの防滴性を向上させることができる。さらに、超音波振動子の振動面、保持体およびハウジングのつら位置を揃えることもできる。
（超音波センサの製造方法の実施形態３）
本件発明の超音波センサの製造方法の他の実施形態を図５により説明する。図５はこの実施形態における射出成形機の金型の構成を示している。射出成形機は図１に示すような標準的なものである。
【００２２】
図５に示すように、この実施形態３では、金型１内にハウジング９が取り付けられており、超音波振動子を後から嵌め込む空間が残るように、金型表面１０とハウジング９との間にある隙間に溶融させた熱可塑性材料７が充填される。熱可塑性材料が冷却固化した後に金型を開くと、超音波振動子を嵌め込む空間を残して、該熱可塑性材料からなる保持体とハウジングとが一体化された成形物が得られる。この空間に超音波振動子（図示しない）を装着することによって超音波センサが製造される。これによって、従来の超音波センサの製造方法によれば、２段階の嵌め込み工程が必要であったものが、１回の嵌め込み工程で済み、製造工程を簡略化することができる。また、この超音波センサの製造方法によれば、超音波振動子の保持体とハウジングとの境界面を密着させることができ、超音波センサの防滴性を向上させることができる。さらに、保持体とハウジングとのつら位置を揃えることもできる。
【００２３】
ここで、上記の超音波センサの製造方法の各実施形態において、熱可塑性材料としては、超音波振動子の振動を妨げないように弾性に優れた材料が用いられる。このような材料として、熱可塑性エラストマ（例えば、オレフィン系のもの）が挙げられ、−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマが好適に用いられる。
【００２４】
保持体やハウジングに相溶性の材料を選んで（例えば、保持体にオレフィン系熱可塑性エラストマを用い、ハウジングにポリプロピレン（ＰＰ）を用いる。）、上記のように超音波センサを製造すれば、射出成形時の熱エネルギーによって超音波振動子と保持体（あるいは超音波振動子とハウジング）とが融着し、両者をより強固に一体化することができる。このように超音波振動子と保持体との境界面およびハウジングと保持体との境界面の両者またはいずれか一方で隣合う部材同士を融着させることにより、超音波センサに外力が加わった場合に、超音波振動子が脱落したり、位置がずれたりする可能性をより一層小さくすることができる。
【００２５】
また、後述するように、超音波振動子の振動面以外の面あるいはハウジングの内部に凹部または凸部（突起）を設けておき、射出成形法を利用して、保持体を形成することによっても、超音波センサに外力が加わった場合に、超音波振動子が脱落したり、位置がずれたりする可能性をより一層小さくすることができる。この場合において、保持体やハウジングに相溶性の材料を選ぶことも可能である。
【００２６】
従来の超音波センサの製造方法によれば、超音波振動子やハウジングに突起を設けると超音波振動子を保持体に嵌め込む際、あるいは保持体をハウジングに嵌め込む際に保持体に変形が生じて、所定の位置に超音波振動子を保持することが困難になる。しかし、射出成形法を利用した上記の各方法によって超音波センサを製造するのであれば、超音波振動子の振動面以外の面あるいはハウジングの内部に凹部または凸部（突起）を設けることも容易である。
【００２７】
さらに、上述の方法で超音波センサを製造するにあたり、後述のように、保持体を小型化したり、超音波振動子と保持体との接触部をリブ状の構造にしたりすることによって、超音波振動子側面と保持体との接触面積、保持体とハウジングとの接触面積を減少させ、超音波送信時の超音波振動子からハウジンへの振動伝達を低減させることができる。また、やはり後述するように、振動が大きな部分については厚く、振動が小さい部分については薄くなるように保持体の厚さを異ならせることによっても、超音波送信時の超音波振動子からハウジンへの振動伝達を低減させることができる。
（超音波センサの実施形態１）
本件発明の超音波センサの一例の概略構成を図６に示す。図６（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は背面図である。
【００２８】
この超音波センサでは、超音波の送波および受波を行う超音波振動子１１の振動面１１ｂ以外の面が、−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマからなる保持体１２で覆われており、超音波振動子１１および保持体１２がハウジング１３内に収納されている。超音波振動子１１が送波または受波する時の信号はリード線１１ａを介して供給される。
【００２９】
このように、超音波振動子１を−５０〜１００℃の温度範囲で５ＧＰａ以下の貯蔵たて弾性係数をもつ熱可塑性エラストマからなる保持体１２で保持することによって超音波振動子側面１１ｃの振動をハウジング１３に伝わりにくくすることができる。このような超音波センサを上述のように射出成形法を利用して製造すれば、振動面１１ｂ、保持体１２の上面およびハウジング１３の上面（すなわち、３つの部品のつら位置）を同じ高さに揃えることが容易である。
【００３０】
本件発明の超音波センサは必要により表面に塗装を施しても良い。例えば、自動車のバンパーにバックセンサー用、コーナーセンサー用などの超音波センサを取り付けるにあたり、そのバンパーと同色の塗装を超音波センサ表面に施すような場合である。塗装は、超音波振動子の塗装面と保持体の塗装面１２ａとの継ぎ目がなくなるように施しても（図７（ａ））、保持体の塗装面１２ａとハウジングの塗装面１３ａとの継ぎ目がなくなるように施しても（同図（ｂ））、超音波振動子の塗装面と保持体の塗装面１２ａ、保持体の塗装面１２ａとハウジングの塗装面１３ａとのそれぞれの継ぎ目がなくなるように施しても（同図（ｃ））、いずれでも良い。このように継ぎ目なく塗装することで、美観を向上させ、防滴性を向上させることができる。また、継ぎ目に汚れが溜まることも防止することができる。従来のように、シリコンゴムの成形体によって超音波振動子をハウジング内に固定するのではなく、熱可塑性エラストマを利用すれば、一般に、塗装が容易である。
【００３１】
また、上述のように射出成形法を利用して超音波センサを製造すれば、超音波振動子振動面１１ｂ、保持体１２およびハウジング１３のつら位置を揃えることが容易であり、表面塗装も容易である。
（超音波センサの実施形態２）
本件発明の超音波センサの他の一例の概略構成を図８に示す。図８（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は背面図である。なお、図８において、図６と同様の部分については同じ符号を付し、その詳しい説明を省略する。
【００３２】
この超音波センサでは、超音波振動子側面１１ｃに環状の突起部１１ｆが設けられている。環状の突起部１１ｆを設けることによって、超音波振動子１１が保持体１２から脱落することがなくなり、超音波センサに急激に外力が加わることによって、超音波振動子１１の保持位置がずれる可能性を小さくすることができる。
【００３３】
超音波振動子を確実に保持するため、超音波振動子側面に環状の突起部を設けることは、超音波振動子をシリコンゴムからなる成形体の内部に押し込んで嵌め込み、これをハウジングに押し込んで嵌め込む従来の製造方法では困難であるが、上述のような射出成形法を利用した製造方法によれば、容易に実現することができる。
【００３４】
超音波振動子の脱落、ずれを抑えるためには、図９（ａ）に示すように、ハウジング３に環状のハウジング突起部１３ｂを設けても良く、同図（ｂ）に示すように、超音波振動子側面１１ｃに環状の突起部１１ｆを、ハウジング１３に環状のハウジング突起部１３ｂをそれぞれ設けても良い。これら各突起部は、環状に複数あっても良く、途中に切れ目があっても良い。また突起を設けることに替えて、凹部を設けても良い。
（超音波センサの実施形態３）
本件発明の超音波センサの他の一例を図１０を用いて説明する。この超音波センサでは、▲１▼超音波振動子１１と保持体１２との境界面１４および▲２▼保持体１２とハウジング１３との境界面１５の両者またはいずれか一方において、隣合う部材どうしが融着している。このようにすることによって、超音波センサに外力が加わった場合に、超音波振動子が脱落したり、位置がずれたりする可能性をより一層小さくすることができる。
【００３５】
保持体やハウジングに相溶性の材料を選んで、射出成形法を利用して超音波センサを製造すれば、射出成形時の熱エネルギーによって超音波振動子と保持体と（あるいは超音波振動子とハウジング）を融着させることができる。上記の各境界面を加熱したり、上記の各境界面にエネルギー波を照射したり、超音波により加振したりすることなどによっても、各境界面を融着させることができる。
（超音波センサの実施形態４）
本件発明の超音波センサの他の一例の概略側面図を図１１に示す。この超音波センサでは、超音波送信時の超音波振動子側面からハウジング側面への振動伝達を低減させるため、保持体１２を小型化して、超音波振動子側面と保持体１２との接触面積、保持体１２とハウジング１３との接触面積を減少させている。
（超音波センサの実施形態５）
本件発明の超音波センサの他の一例の概略側面図を図１２に示す。この超音波センサでは、振動が大きな部分については厚く、振動が小さい部分については薄くなるように軸Ｐ１（図中）方向に保持体１２の厚さを異ならせている。このような厚さ分布を採用することによって、超音波送信時に、超音波振動子側面からハウジング側面への振動伝達を低減することができる。
（超音波センサの実施形態６）
本件発明の超音波センサの他の一例の概略構成を図１３に示す。図１３（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は背面図である。なお、図１３において、図６と同様の部分については同じ符号を付し、その詳しい説明を省略する。この超音波センサでは、超音波振動子側面１１ｃと保持体１２との接触部をリブ状の構造にしており、これにより超音波送信時の超音波振動子側面１１ｃからハウジング側面１３ｃへの振動伝達を低減することができる。
【００３６】
上記の超音波センサの実施形態４〜６においても、▲１▼超音波振動子と保持体との境界面および▲２▼保持体とハウジングとの境界面の両者またはいずれか一方において、隣合う部材どうしを融着させることによって、超音波センサに外力が加わった場合に、超音波振動子が脱落したり、位置がずれたりする可能性を小さくすることができる。
【００３７】
以上説明した本件各発明の超音波センサは、図１４（ａ）に正面図、（ｂ）に側面図、（ｃ）に背面図をそれぞれ示すように、金属製やプラスチック製の板材１６などの外部取り付け部材に取り付けられて、自動車のバックセンサー、コーナーセンサーなどの用途に利用される。
【００３８】
【発明の効果】
請求項１に係る超音波センサの発明によれば、超音波振動子の振動を妨げず、超音波振動子の振動が超音波センサ外部の取付け部に伝播することを防止するとともに、ハウジングに強い外力が加えられたような場合であっても、超音波振動子の脱落や位置ずれを抑えることができる。また、熱可塑性エラストマの表面は、一般に、塗装が簡単であり、自動車のバンパーにバックセンサー用、コーナーセンサー用などとして当該発明の超音波センサを取り付けるにあたり、そのバンパーと同色の塗装を施すことが容易である。
【００３９】
請求項２に係る超音波センサの発明によれば、超音波振動子の脱落や位置ずれの発生をより一層低減することができる。
【００４０】
請求項３に係る超音波センサの発明によれば、超音波振動子の脱落や位置ずれの発生をより一層低減することができるとともに、超音波振動子、成形体およびハウジングの境界部の防滴性を向上させることができる。
【００４１】
また、請求項４または５に係る超音波センサの発明によれば、超音波振動子の振動が超音波センサ外部の取付け部に伝播することをより一層防止することができる。
【００４２】
本件の請求項６〜８に係る超音波センサの製造方法の発明によれば、超音波振動子の振動を妨げず、超音波振動子の振動が超音波センサ外部の取付け部に伝播することを防止するとともに、ハウジングに強い外力が加えられたような場合であっても、超音波振動子の脱落や位置ずれを抑えることができる超音波センサを簡便な工程で効率的に製造することができる。また、この発明によれば、超音波振動子、成形体およびハウジングの形状に制限が少なく、超音波振動子が脱落したり、超音波振動子の位置がずれたりし難い超音波センサを容易に製造することができる。さらに、超音波振動子、成形体およびハウジングのつら位置を同じ高さに揃えることが容易であり、超音波センサ表面に塗装を施すことによって、防滴性を向上させ、また、各境界を目立たなくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本件の超音波センサの製造方法の発明に用いられる射出成形機の一例の概略構成図である。
【図２】本件の超音波センサの製造方法の発明に用いられる射出成形機の金型の一例の概略構成図である。
【図３】超音波センサの製造工程の中間段階の状態を示す図である。
【図４】本件の超音波センサの製造方法の発明に用いられる射出成形機の金型の他の一例の概略構成図である。
【図５】本件の超音波センサの製造方法の発明に用いられる射出成形機の金型の他の一例の概略構成図である。
【図６】本件の超音波センサの発明の一例の概略構成図である。
【図７】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図８】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図９】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図１０】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図１１】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図１２】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図１３】本件の超音波センサの発明の他の一例の概略構成図である。
【図１４】本件の発明の超音波センサを外部取り付け部材に取り付けた状態を示す図である。
【図１５】従来の超音波センサの製造工程を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１…金型、４，１１…超音波振動子、５，１１ｂ…超音波振動子振動面、８，１２…保持体、９，１３…ハウジング
【図１】
0004007002.tif 000002
【図２】
0004007002.tif 000003
【図３】
0004007002.tif 000004
【図４】
0004007002.tif 000005
【図５】
0004007002.tif 000006
【図６】
0004007002.tif 000007
【図７】
0004007002.tif 000008
【図８】
0004007002.tif 000009
【図９】
0004007002.tif 000010
【図１０】
0004007002.tif 000011
【図１１】
0004007002.tif 000012
【図１２】
0004007002.tif 000013
【図１３】
0004007002.tif 000014
【図１４】
0004007002.tif 000015
【図１５】
0004007002.tif 000016