(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状ガスケット(32)の外径よりも大きい内径を有する円環部(71)と、円環部(71)に径方向内方突出状に設けられてガスケット(32)の外周面を保持するガスケット保持部(72)と、円環部の一端に軸方向突出状に設けられて継手部材(12)の端部を保持する継手部材保持部(73)と、円環部の他端に軸方向突出状に設けられた把手部(74)とよりなるリテーナ(33)に保持されたガスケット(32)を継手部材(12)の端部に着脱するガスケット着脱具であって、
径方向に拡張するように弾性部材(90)により付勢されかつ径方向に縮小させられたさいにリテーナ(33)の把手部(74)を径方向外方から保持する複数の径方向可動部材(91)よりなり先広がりの円錐台状外周面(81a) を有するクランプ(81)と、軸方向移動自在でかつクランプ(81)の外周面(81a) に係合する円錐台状内周面(93)を有しており軸先端方向に移動させられたさいにクランプ(81)を径方向に縮小させるクランプ縮径部材(88)とを備えているガスケット着脱具。
【請求項２】
クランプ(81)およびクランプ縮径部材(88)は、ボディ(82)(112) 先端部に設けられたスリーブ(89)内に納められており、スリーブ(89)に、クランプ(81)の軸方向への移動を阻止するストッパー(87a)(103)が設けられている請求項１のガスケット着脱具。
【請求項３】
スリーブ(89)の先端部に、継手部材(12)の端部に設けられたリテーナ収納凹所(37)の外周面に案内される筒状ガイド部(104) が軸方向突出状に設けられている請求項２のガスケット着脱具。
【請求項４】
リテーナ(33)の継手部材保持部(73)が、弾性変形可能な複数の継手部材保持用爪(73a) よりなり、リテーナ(33)の把手部(74)が、円環部を介して継手部材保持用爪(73a) の軸方向反対側に延びており径方向内方に弾性変形させられることにより各継手部材保持用爪(73a) を径方向外方に弾性変形させる複数の把手用爪(74a) よりなる請求項１、２または３のガスケット着脱具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガスケットを２つの継手部材間に介在させるさいに使用されるガスケット着脱具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
第１および第２の継手部材と、両継手部材の突合わせ端面間に介在させられる円環状ガスケットと、ガスケットを保持してガスケットをいずれか一方の継手部材に保持させるリテーナとを備えている流体継手は、半導体製造用流体制御装置によく用いられているが、ガスケットを継手部材に着脱するさいには、手によるのが普通で、ガスケット着脱具は全く知られていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
半導体製造用流体制御装置には、極めて厳しいクリーン度が要求され、ガスケットを着脱するさい、ガスケットと継手部材とのこすれによる微粒子の発生を極力抑える必要がある。一方、この種の流体制御装置では、各種制御機器を集積化することにより、そのコンパクト化が図られており、ガスケットを継手部材に着脱するさいには狭い場所での作業が必要となり、手による場合、作業性が悪いのに加えて、ガスケットと継手部材とのこすれを抑えるのにも限界があった。
【０００４】
この発明の目的は、ガスケットを２つの継手部材間に介在させるさいの作業性を向上させるとともに、ガスケットおよび継手部材により構成された流体継手のクリーン度も向上させるガスケット着脱具を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明によるガスケット着脱具は、円環状ガスケットの外径よりも大きい内径を有する円環部と、円環部に径方向内方突出状に設けられてガスケットの外周面を保持するガスケット保持部と、円環部の一端に軸方向突出状に設けられて継手部材の端部を保持する継手部材保持部と、円環部の他端に軸方向突出状に設けられた把手部とよりなるリテーナに保持されたガスケットを継手部材の端部に着脱するガスケット着脱具であって、径方向に拡張するように弾性部材により付勢されかつ径方向に縮小させられたさいにリテーナの把手部を径方向外方から保持する複数の径方向可動部材よりなり先広がりの円錐台状外周面を有するクランプと、軸方向移動自在でかつクランプの外周面に係合する円錐台状内周面を有しており軸先端方向に移動させられたさいにクランプを径方向に縮小させるクランプ縮径部材とを備えているものである。
【０００６】
この発明のガスケット着脱具によると、クランプ縮径部材を軸先端方向に移動させると、クランプ縮径部材の円錐台状内周面がクランプの先広がりの円錐台状外周面に係合する。これにより、クランプを構成する複数の可動部材は、径方向内向きの力を受け、この力が弾性部材の付勢力に打ち勝って、複数の可動部材が径方向に縮小させられる。これにより、リテーナの把手部が径方向外方からクランプに保持される。この状態で、リテーナの継手部材保持部により継手部材の端部を保持し、クランプ縮径部材を軸基端方向に後退させる。すると、複数の可動部材に対する径方向内向きの力が小さくなり、複数の可動部材は、弾性部材の付勢力によって、径方向に拡張させられる。こうして、ガスケットを保持したリテーナは、ガスケット着脱具から離れ、ガスケットは継手部材の端部に装着される。上記と逆の操作により、ガスケットを継手部材から抜き取ることも可能である。
【０００７】
クランプおよびクランプ縮径部材は、ボディ先端部に設けられたスリーブ内に納められており、スリーブに、クランプの軸方向への移動を阻止するストッパーが設けられていることが好ましい。ストッパーは、例えば、クランプ外周面に設けられた段部に係合する基端方向移動阻止用ストッパーと、スリーブの開口縁部に設けられた先端方向移動阻止用内向きフランジとにより構成される。このようにすると、クランプの軸方向の移動が抑えられて、クランプが確実に作動する。
【０００８】
スリーブの先端部に、継手部材の端部に設けられたリテーナ収納凹所の外周面に案内される筒状ガイド部が軸方向突出状に設けられていることが好ましい。このようにすると、筒状ガイド部を継手部材のリテーナ収納凹所の外周面に沿って挿入することにより、リテーナの径方向の位置決めが保証され、ガスケットの径方向の位置決めが確実に行われる。
【０００９】
リテーナの継手部材保持部が、弾性変形可能な複数の継手部材保持用爪よりなり、リテーナの把手部が、円環部を介して継手部材保持用爪の軸方向反対側にのびており径方向内方に弾性変形させられることにより各継手部材保持用爪を径方向外方に弾性変形させる複数の把手用爪よりなることが好ましい。このようなリテーナと上記ガスケット着脱具とを組み合わせると、クランプ縮径時に、把手用爪が径方向内方に弾性変形させられることにより、各継手部材保持用爪が径方向外方に弾性変形するから、この状態でガスケット着脱具全体を先端方向へ移動させると、継手部材保持部が継手部材とこすれ合うことなく、リテーナは継手部材の端部を保持するので、微粒子が発生することがない。したがってガスケットおよび継手部材により構成された流体継手のクリーン度が向上する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１１】
図８から図１０までは、この発明のガスケット着脱具が使用される流体制御装置を示している。
【００１２】
図８に示す流体制御装置は、左から順に、流体流入部(1) 、第１開閉弁(2) 、マスフローコントローラ（調整器）(3) 、第２開閉弁(4) および流体流出部(5) を備えている。第１開閉弁(2) は、左向きに開口した流入路(42)および右向きに開口した流出路(50)を有するブロック状本体(6) と、両流路(42)(50)を開閉するアクチュエータ(7) とよりなる。同様に、第２開閉弁(4) は、左向きに開口した流入路(53)および右向きに開口した流出路(48)を有するブロック状本体(8) と、両流路(53)(48)を開閉するアクチュエータ(9) よりなる。
【００１３】
調整器(3) の左右側面の下端部には、左右上側通路ブロック（左右上側連結部）(10)(11)が左右に張り出して設けられている。左上側通路ブロック(10)には、調整器(3) の流入路（図示略）に連通しかつ下向きに開口した流入路(51)が設けられており、右上側通路ブロック(11)には、調整器(3) の流出路（図示略）に連通しかつ下向きに開口した流出路(54)が設けられている。調整器(3) と左右上側通路ブロック(10)(11)とは、図示省略したが、側方からねじ込まれたねじにより固定されている。
【００１４】
左右上側通路ブロック(10)(11)の下方には、それぞれ左右下側通路ブロック(12)(13)が設けられ、左下側通路ブロック(12)の左面に第１開閉弁(2) の本体(6) の右面が、右下側通路ブロック(13)の右面に第２開閉弁(4) の本体(8) の左面がそれぞれ当接させられている。
【００１５】
左下側通路ブロック(12)には、第１開閉弁(2) の右向きに開口した流出路(50)と左上側通路ブロック(10)の下向きに開口した流入路(51)とを連通する流入路(49)が設けられ、右下側通路ブロック(13)には、右上側通路ブロック(11)の下向きに開口した流出路(54)と第２開閉弁(4) の左向きに開口した流入路(53)とを連通する流出路(52)が形成されている。
【００１６】
第１開閉弁(2) の本体(6) と左下側通路ブロック(12)とは、左下側通路ブロック(12)の右方よりねじ込まれたねじ(22)により連結されている。同様に、第２開閉弁(4) の本体(8) と右下側通路ブロック(13)とは、右下側通路ブロック(13)の左方よりねじ込まれたねじ(22)により連結されている。さらに、左右上側通路ブロック(10)(11)と左右下側通路ブロック(12)(13)とは、それぞれ左右上側通路ブロック(10)(11)の上方よりねじ込まれたねじ(23)により連結されている。
【００１７】
第１開閉弁(2) の本体(6) と左下側通路ブロック(12)との間、第２開閉弁(4) の本体(8) と右下側通路ブロック(13)との間、左右上側通路ブロック(10)(11)と左右下側通路ブロック(12)(13)との間および調整器(3) と左右上側通路ブロック(10)(11)との間には、それぞれ流体継手(27)が設けられている。
【００１８】
図９を参照して、左上側通路ブロック（以下、第１継手部材と称す）(10)と左下側通路ブロック（以下、第２継手部材と称す）(12)との間に設けられた流体継手(27)について説明する。
【００１９】
流体継手(27)は、第１の流路(51)を有する第１継手部材(10)と第１の流路(51)に通じる第２の流路(49)を有する第２継手部材(12)とを流体密に連結するための構成であって、後述する形状に形成された両継手部材(10)(12)の突合わせ端面と、両継手部材(10)(12)の突合わせ端面間に介在させられている円環状ガスケット(32)と、ガスケット(32)の外周面を保持してガスケット(32)を図示した例では第１の継手部材(10)に保持させているリテーナ(33)と、両継手部材(10)(12)を連結するねじ手段(23)とよりなる。
【００２０】
第１継手部材(10)および第２継手部材(12)の突き合わせ端面には、突き合わせ端面のうち軸方向に最も突出している基準面(10a)(12a)よりガスケット(32)の厚みの約半分凹まされたガスケット収納凹所(34)(35)と、ガスケット嵌め入れ凹所(34)(35)の外側にありかつこれより深い環状のリテーナ収納凹所(36)(37)とがそれぞれ設けられている。各ガスケット収納凹所(34)(35)の底面の径方向ほぼ中央に、ガスケット押さえ用環状突起(38)(39)が設けられている。これらのガスケット収納凹所(34)(35)、リテーナ収納凹所(36)(37)およびガスケット押さえ用環状突起(38)(39)は、第１継手部材(10)と第２継手部材(12)とで同一形状となるように形成されている。各継手部材(10)(12)の流路(51)(49)外周面、ガスケット収納凹所(34)(35)の底面およびリテーナ収納凹所(36)(37)の内周面とにより、リテーナ保持用円筒部(14)(15)が形成されている。ガスケット収納凹所(34)(35)の底面は、各突合わせ端面におけるガスケット押え用環状突起(38)(39)の径方向内側にありかつ軸方向に対してほぼ直角な内側平坦面(81)(82)と、ガスケット押え用環状突起(38)(39)の径方向外側にありかつ軸方向に対してほぼ直角な外側平坦面(83)(84)とに分けられるとともに、内側平坦面(81)(82)は、外側平坦面(83)(84)よりもわずかに（０．０２ｍｍ程度）軸方向に突出させられている。
【００２１】
ガスケット(32)は、ステンレス鋼製で、両継手部材(10)(12)の流路(51)(49)径に等しい内径を有しており、小径部(61)とこれよりも外径の大きい大径部(62)とよりなる。
【００２２】
リテーナ(33)は、ステンレス鋼板で一体的に形成されたもので、図１０に詳しく示すように、骨格となる円環部(71)と、ガスケット(32)の外周面を保持するためのガスケット保持部(72)と、継手部材(10)(12)の端部を保持するための継手部材保持部(73)と、指でつかみやすくするための把手部(74)とを備えている。
【００２３】
円環部(71)は、断面Ｌ形であり、指で押さえる程度の力では径方向に変形しないようになされている。
【００２４】
ガスケット保持部(72)は、円環部(71)の内周面に等間隔で設けられかつ径方向内方に突出した４つのガスケット保持用爪(72a) よりなる。各爪(72a) は、それぞれ若干の弾性を有しており、各爪(72a) の先端が軸方向に折曲げられて、この折曲げ部(72b) の内周面がガスケット(32)の小径部(61)の外周面を弾性力によって押圧するようになされている。これにより、ガスケット(32)のリテーナ(33)内における径方向および軸方向への移動が阻止されている。ガスケット(32)をリテーナ(33)に嵌め入れるさいには、ガスケット(32)の大径部(62)がガスケット保持用爪(72a) に当たって抜止めが果たされ、ガスケット(32)はリテーナ(33)から脱落することがない。
【００２５】
継手部材保持部(73)は、円環部(71)の内周面に径方向内方に突出して対向状に設けられた２つの内方突出縁部(71a) の各先端より軸方向にのびる２つの継手部材保持用爪(73a) よりなる。各継手部材保持用爪(73a) は、ガスケット保持用爪(72a) よりも大きくなされて、２つのガスケット保持用爪(72a) の間に、それぞれ若干の隙間をおいて位置させられている。各継手部材保持用爪(73a) は、それぞれ若干の弾性を有しており、２つの爪(73a) が第１継手部材(10)のリテーナ保持用円筒部(14)の外周面を弾性力によって挾みつけることにより、リテーナ(33)が第１継手部材(10)に保持されている。
【００２６】
把手部(74)は、継手部材保持用爪(73a) が設けられている円環部(71)の部分の外周に設けられかつ継手部材保持用爪(73a) と軸方向反対側に突出させられた２つの把手用爪(74a) よりなる。
【００２７】
２つの把手用爪(74a) を指で持って径方向内方に力を作用させると、この力は、継手部材保持用爪(73a) と把手用爪(74a) との連結部分にある円環部(71)を支点として、各継手部材保持用爪(73a) をそれぞれ径方向外方に変形させる。すなわち、継手部材保持用爪(73a) が開いて、リテーナ(33)の継手部材(10)への着脱が容易になる。継手部材(10)に装着後、把手用爪(74a) から指を離すと、継手部材保持用爪(73a) は元の状態に戻って、継手部材(10)のリテーナ保持用円筒部(14)を弾性力によって保持する。この弾性力を適切な値にしておくことにより、継手部材(10)を十分に保持することができる。
【００２８】
上記流体継手(27)によると、リテーナ(33)は、第１および第２の継手部材(10)(12)のどちらでも保持できるから、図８に示す流体制御装置を組立てるさいに、各部材(3)(6)(8)(10)(11)(12)(13) の突き合わせ端面が雄型か雌型かを区別せずに、これらを順次連結していくことができる。また、リテーナ(33)が、ガスケット(32)の小径部(61)が当接している第１継手部材(10)のリテーナ保持用円筒部(14)を保持することにより、第１継手部材(10)のガスケット押さえ用環状突起(38)に対するガスケット(32)の位置決めが正確に行われる。また、第２継手部材(12)については、ガスケット(32)の大径部(62)が当接させられるから、ねじ(23)締め付けにさいして、両継手部材(10)(12)の間に軸方向に対して直角な方向へのずれ（軸ずれ）が生じ、第２継手部材(12)のガスケット押さえ用環状突起(39)がガスケット(32)に対してずれたときでも、ガスケット(32)の端面の面積が大きい分だけ、ガスケット(32)の端面からガスケット押さえ用環状突起(39)が外れにくく、ずれによるシール性の悪化を防ぐことができる。また、流体継手(27)を締付けたときのガスケット(32)の変形が４つのガスケット保持用爪(72a) の変形によって吸収されるので、継手部材保持部(73)は影響を受けることがなく、リテーナ(33)を継手部材(10)に保持する力が低下しない。上記の効果は、流体継手(27)を分解して再組立てする時にも持続され、再組立て時のシール性も確保される。
【００２９】
上記流体制御装置においては、図８からわかるように、マスフローコントローラ(3) と開閉弁(2)(4)との間には、手を入れるスペースがわずかしかなく、ガスケット(33)を着脱する作業は極めてやりにくいものとなっている。
【００３０】
この発明のガスケット着脱具は、このような状況であってもガスケット(33)を着脱する作業を極めて容易に行い得るものであり、以下に図１から図６までを参照して説明する。
【００３１】
図１および図２に示すように、ガスケット着脱具(80)は、リテーナ(33)の把手部(74)を径方向外方から保持する先広がり円錐台状のクランプ(81)と、これを先端部に保持するボディ(82)と、ボディ(82)に軸方向移動自在に支持されているスライド軸(83)とを備えている。
【００３２】
ボディ(82)は、電池(84)および制御ボックス(85)を収納する基端側収納部(82a) と、スライド軸(83)の基端側半部(83a) およびスライド軸駆動機構(86)を収納する先端側収納部(82b) とよりなる。
【００３３】
ボディ(82)の先端側収納部(82b) の先端に、スライド軸(83)の先端側半部(83b) を案内する小径スリーブ(87)が突出状に設けられ、小径スリーブ(87)のさらに先端に、大径スリーブ(89)が突出状に設けられている。大径スリーブ(89)には、クランプ(81)およびこれを縮径させるクランプ縮径部材(88)が納められている。
【００３４】
小径スリーブ(87)は、その基端部に設けられたおねじ部が、ボディ(82)の先端側収納部(82b) の先端部に設けられためねじ部にねじ合わされることにより固定されている。スライド軸(83)の基端側半部(83a) と先端側半部(83b) とは、別体で凹凸嵌合により一体化されており、その基端側半部(83a) は、小径スリーブ(87)とともにボディ(82)の先端側収納部(82b) から取り外し可能とされている。したがって、マスフローコントローラ(3) と開閉弁(2)(4)との間のように、狭くて長い隙間があるところでは、スライド軸(83)の基端側半部(83a) と小径スリーブ(87)とを長いものに交換することができる。
【００３５】
クランプ(81)は、径方向に拡張するように圧縮コイルばね(90)により付勢された３つの径方向可動部材(91)よりなり、クランプ(81)の先端面に、リテーナ保持凹所(92)が設けられている。
【００３６】
クランプ縮径部材(88)は、先端面に先広がり円錐台状の凹所(93)を有する短円柱状であり、スライド軸(83)の先端に一体的に設けられている。クランプ縮径部材(88)の軸は、スライド軸(83)と同心とされている。
【００３７】
スライド軸駆動機構(86)は、スイッチ(93)によりオン・オフされるソレノイド(94)と、スライド軸(83)に嵌め被せられてソレノイド(94)のオン・オフに伴って軸方向に移動する筒状可動鉄心(95)と、スライド軸(95)を基端方向へ付勢する圧縮コイルばね(96)と、可動鉄心(95)が基端方向へ移動したときにスライド軸(83)を圧縮コイルばね(96)に抗して先端方向に移動させる一対の揺動爪(97)とを備え可動鉄心(95)は、基端フランジ(95a) および先端フランジ(95b) を有し、基端フランジ(95a) の外周縁部には、基端向き環状突出部(95c) が設けられている。圧縮コイルばね(96)は、可動鉄心(95)の先端においてボディ(82)に設けられた中空部(98)に嵌め入れられ、中空部(98)の先端側の面とスライド軸(83)に固定されたフランジ(99)とに受け止められている。揺動爪(97)は、可動鉄心(95)の基端において揺動中心軸となるピン(100) によりボディ(82)に揺動自在に取り付けられるとともに、その外側端部(97a) が可動鉄心(95)の基端向き突出部(95c) と係合している。
【００３８】
図２は、スイッチ(93)がオフの状態を示し、この状態でスイッチ(93)をオンにすると、可動鉄心(95)が基端方向に移動し、可動鉄心(95)の基端向き突出部(95c) により揺動爪(97)の外側端部(97a) が基端方向に移動させられて、揺動爪(97)がピン(100) を中心として揺動し、揺動爪(97)の内側端部(97b) が先端方向に移動させられる。これによって、揺動爪(97)の内側端部(97b) は、スライド軸(83)に設けられた段部(101) を圧縮コイルばね(96)の付勢力に抗して先端方向に押圧する。こうして、可動鉄心(95)のストロークに対応する分だけスライド軸(83)したがってクランプ縮径部材(88)が先端方向に移動させられる。
【００３９】
次いで、図３から図６までを参照して、ガスケット着脱具(80)の先端部分の詳細を説明する。以下では、リテーナ(33)に保持されたガスケット(32)を継手部材(12)に上から装着する場合を例にして説明する。
【００４０】
図３に示すように、小径スリーブ(87)には、大径スリーブ(89)の内面にちょうど嵌まり合う大径先端部(87a) が設けられている。そして、この先端大径部(87a) の基端部分に形成された肉厚部(87b) に、大径スリーブ(89)の外側からねじ(102) がねじ込まれることにより、小径スリーブ(87)と大径スリーブ(89)とが接合されている。
【００４１】
大径スリーブ(89)の先端開口縁部には、クランプ(81)の先端方向への移動を阻止するストッパーとなる内向きフランジ(103) が設けられている。内向きフランジ(103) の内周縁部には、先端向きに突出する短円筒状ガイド部(104) が設けられている。短円筒状ガイド部(104) の外径は、継手部材(12)のリテーナ収納凹所(37)の外径と同じ大きさとされており、ガスケット着脱具(80)を差し込んでいくときの案内部となる。
【００４２】
クランプ(81)を構成する可動部材(91)は、水平断面共通の中心を有する円弧状で、その両側面にそれぞればね受け用の凹所(105) が設けられている。そして、可動部材(91)同士の隣り合う凹所(105) 間にそれぞれ圧縮コイルばね(90)が受け止められることにより、可動部材(91)同士が各圧縮コイルばね(90)により互いに離れる方向に付勢されている。また、クランプ(81)の外周面の先端部には、基端側からのびるテーパ面(81a) に水平段部(81b) を介して連なる垂直面(81c) が形成されている。この垂直面(81c) が大径スリーブ(89)の内周面に当接したところで、クランプ(81)がさらに径方向に拡張することが防止されている。こうして、クランプ(81)を構成する可動部材(91)は、共通の中心軸を囲むようにかつ相互に適当な間隙をおいて位置させられ、クランプ(81)は、全体として、クランプ縮径部材(88)の軸線を中心とし、かつこの軸線を基準として外径が縮小可能な略円錐台状の形状を保持している。
【００４３】
小径スリーブ(87)の大径先端部(87a) は、水平段部(81b) に当接させられており、クランプ(81)の基端方向への移動を阻止するストッパーとなっている。
【００４４】
クランプ縮径部材(88)は、小径スリーブ(87)の大径先端部(87a) 内周面に案内されて軸方向に移動するようになされている。クランプ縮径部材(88)の基端方向への移動は、基端面が肉厚部(87b) に当接することにより阻止されている。
【００４５】
クランプ(81)の外周面テーパ部分(81a) とクランプ縮径部材(88)の凹所(93)内周面とは、同心の円錐台とされている。そして、クランプ縮径部材(88)の凹所(93)の先端口径が、クランプ(81)の基端外径よりも大きく、クランプ縮径部材(88)の凹所(93)の基端径が、クランプ(81)の基端外径よりも小さくなされている。これにより、クランプ縮径部材(88)が軸先端方向に移動させられたさいには、クランプ(81)の円錐台状外周面(81a) とクランプ縮径部材(88)の円錐台状内周面(93)とが係合して、クランプ(81)を構成する可動部材(91)が、それぞれ径方向内方に移動させられ、クランプ(81)のリテーナ保持凹所(92)の径が小さくなる（図６参照）。
【００４６】
次いで、図５を参照して、リテーナ(33)に保持されたガスケット(32)を着脱するさいの作用について説明する。
【００４７】
スイッチ(93)をオンにすると、上述したようにスライド軸(83)が軸先端方向に移動し、これに伴ってクランプ縮径部材(88)が軸先端方向に移動し、これにより、クランプ縮径部材(88)の先広がりの円錐台状凹所(93)の内周面がクランプ(81)の先広がりの円錐台状外周面(81a) に係合する。これにより、クランプ(81)を構成する複数の可動部材(91)は、径方向内向きの力を受け、この力が圧縮コイルばね(90)の付勢力に打ち勝って、複数の可動部材(91)が径方向内方に移動する。これにより、図６に示すように、クランプ(81)のリテーナ保持凹所(92)の径が小さくなり、リテーナ(33)の把手部(74)が径方向外方からクランプ(81)に保持される。この状態で、リテーナ(33)の継手部材保持部(73)により継手部材(12)の端部を保持し、クランプ縮径部材(88)を軸基端方向に後退させる。すると、各可動部材(91)に対する径方向内向きの力が小さくなり、可動部材(91)は、圧縮コイルばね(90)の付勢力によって、径方向に拡張させられる。ここで、リテーナ(33)は、把手部(74)の径が０．６ｍｍ小さくなったときに継手部材保持部(73)の径が０．３ｍｍ大きくなるようになされている。そして、大きくなったときの継手部材保持部(73)の径が、継手部材(12)の端部の外径より大きく、継手部材保持部(73)の元の径が、継手部材(12)の端部の外径より小さくなされている。したがって、ガスケット(32)を保持したリテーナ(33)は、ガスケット着脱具(80)から離れ、ガスケット(32)は継手部材(12)の端部に装着される。上記と逆の操作により、ガスケット(32)を継手部材(12)から抜き取ることも可能である。
【００４８】
なお、上記ガスケット着脱具(80)は、図１０に示したリテーナ(33)およびガスケット(32)以外の場合についても、リテーナが、円環状ガスケット(32)の外径よりも大きい内径を有する円環部と、円環部に径方向内方突出状に設けられてガスケットの外周面を保持するガスケット保持部と、円環部の一端に軸方向突出状に設けられて継手部材の端部を保持する継手部材保持部と、円環部の他端に軸方向突出状に設けられた把手部とよりなるものであれば、使用可能である。上記のように、リテーナ(33)の把手部(74)の径が小さくなったときに継手部材保持部(73)の径が大きくなるようになされている場合には、継手部材保持部(73)と継手部材(12)とのこすれをなくすことができ、ガスケット(32)および継手部材(12)により構成された流体継手のクリーン度が向上するという効果を奏する。
【００４９】
また、上記ガスケット着脱具(80)は、スライド軸(83)をソレノイド(94)により移動させる電動式であるが、スライド軸駆動機構(86)は、上記のものに限られるものではない。図７には、ガスケット着脱具を手動式とする場合の一例を示す。
【００５０】
図７において、ガスケット着脱具(110) は、円筒状ボディ(112) と、ボディ(112) の先端に突出状に設けられた小径スリーブ(87)と、小径スリーブ(87)の先端に突出状に設けられた大径スリーブ(89)と、ボディ(112) および小径スリーブ(87)に軸方向移動自在に支持されているスライド軸(113) と、大径スリーブ(89)内に納められかつリテーナ(33)の把手部(74)を径方向外方から保持するクランプ(81)と、スライド軸(113) の先端に設けられかつ先端方向に移動することによりクランプ(81)を縮径させるクランプ縮径部材(88)とを備えている。
【００５１】
クランプ(81)、小径スリーブ(87)、クランプ縮径部材(88)および大径スリーブ(89)は、上記電動式のガスケット着脱具(80)と同じ構成であり、同じものに同じ符号を付して説明を省略する。
【００５２】
ボディ(112) は、基端側半部(112a)および先端側半部(112b)よりなる。基端側半部(112a)の先端部外周におねじ部(113) が設けられ、先端側半部(112b)の基端部内周にめねじ部(114) が設けられ、両ねじ部(113)(114)がねじ合わされることにより、ボディ(112) が形成されている。
【００５３】
スライド軸(113) は、ボディ(112) の基端部側にあってその基端がボディ(112) の基端よりも突出している基端側部分(113a)と、小径スリーブ(87)に案内されている先端側部分(113b)と、ボディ(112) の先端部側にあって基端側部分(113a)および先端側部分(113b)とを連結する中間部分(113c)とよりなる。基端側部分(113a)と中間部分(113c)とは、基端側部分(83a) の先端に突出状に設けられたおねじ部(115) が中間部分(113c)の基端部に設けられためねじ部(116) にねじ合わされることにより一体化されている。また、中間部分(113c)と先端側部分(83b) とは、電動式のガスケット着脱具(80)と同様に凹凸嵌合により一体化されている。基端側部分(113a)の基端には、端部フランジ(117) が設けられており、このフランジ(117) がスライド軸(113) を軸方向に移動させるさいの把手となる。中間部分(113c)の中程には、中間フランジ(118) が設けられている。この中間フランジ(118) に対応して、ボディ(112) の先端側半部(112b)の基端部には、基端方向に開口したフランジ案内用凹所(119) が設けられている。フランジ案内用凹所(119) は、中間フランジ(118) と同じ径を有しかつその厚みよりも大きい深さを有している。そして、中間フランジ(118) がフランジ案内用凹所(119) に案内されることにより、スライド軸(113) はがたつくことなくボディ(112) 内を移動することができる。スライド軸(113) の基端方向への移動は、中間フランジ(118) がボディ(112) の基端側半部(112a)のおねじ部(113) に当たることにより阻止されている。
【００５４】
上記手動式のガスケット着脱具(110) によると、手動によりボディ(112) に対してスライド軸(113) を移動させることにより、電動式のガスケット着脱具(80)と同様にして、ガスケット(32)の着脱ができる。しかも、ボディ(112) およびスライド軸(113) は、それぞれねじ合わせまたは凹凸嵌合により組み立てられるので、製造が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるガスケット着脱具の第１実施形態の外観を示す図である。
【図２】図１のII-II 線に沿う断面図である。
【図３】図２の要部のを示す拡大断面図である。
【図４】図３のIV-IV 線に沿う断面図であり、クランプ拡径時の状態を示している。
【図５】図４に対応したクランプ縮径時の状態を示す断面図である。
【図６】ガスケットの装着作用を示す要部の拡大断面図である。
【図７】この発明によるガスケット着脱具の第２実施形態を示す縦断面図である。
【図８】この発明によるガスケット着脱具を使用してガスケットが着脱される流体制御装置の一例を示す図である。
【図９】図８のシール部を拡大して示す要部の拡大断面図である。
【図１０】シール部を構成するガスケットおよびリテーナの分解斜視図である。
【符号の説明】
(12)      継手部材
(32)      円環状ガスケット
(33)      リテーナ
(37)      リテーナ収納凹所
(71)      円環部
(72)      ガスケット保持部
(73)      継手部材保持部
(73a)     継手部材保持用爪
(74)      把手部
(74a)     把手用爪
(80)(110) ガスケット着脱具
(81)      クランプ
(81a)     円錐台状外周面
(82)(112) ボディ
(88)      クランプ縮径部材
(87a)     軸方向移動阻止ストッパー
(89)      大径スリーブ
(90)      圧縮コイルばね（弾性部材）
(91)      径方向可動部材
(93)      円錐台状凹所
(103)     軸方向移動阻止ストッパー
(104)     筒状ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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