(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行なうための基板処理装置であって、
基板を処理するための複数の処理ユニットと、
基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを記憶するための記憶手段と、
他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピを受け取って前記記憶手段に格納するレシピコピー手段と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記レシピコピー手段は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更するユニット番号変更手段を含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理ユニットは、同一の第１の処理カテゴリが割り当てられた複数の第１種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報の中に前記第１の処理カテゴリが含まれている場合に、前記複数の第１種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第１の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含む、基板処理装置。
【請求項３】
請求項１記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理ユニットは、同一の第１の処理カテゴリが割り当てられた複数の第１種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報に含まれる前記第１の処理カテゴリとユニット番号との組合せが当該基板処理装置内における処理カテゴリとユニット番号の組合せと一致しない場合に、前記複数の第１種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第１の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含む、基板処理装置。
【請求項４】
請求項２または３記載の基板処理装置であって、
前記処理ユニット識別情報は、さらに、ユニット番号と処理カテゴリとの特定の組合せについては変更を禁止することを示す変更禁止フラグを含み、
前記ユニット番号変更手段は、他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピの搬送順序情報に前記変更禁止フラグが含まれている場合には、前記特定の組合せの変更を禁止する手段を含む、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板等の基板の処理を行なうための基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハ等の基板の処理を行なうための基板処理システムは、複数台の基板処理装置を互いに接続することによって構成されている。各基板処理装置は、レジストの塗布やウェハの洗浄、熱処理等を行なうための複数の処理ユニットを備えている。各基板処理装置においては、各処理ユニットに半導体ウェハを搬送する順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、とを規定する処理レシピが用いられる。搬送順序情報には、各処理ユニットを識別するために、各装置固有のユニット番号が用いられている。処理レシピは膨大なデータを含んでいるので、複数台の基板処理装置の間において処理レシピをコピーできれば便利である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、各基板処理装置は、処理ユニットの台数や配列に応じた固有のユニット番号を有しているので、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間では、処理レシピをコピーして利用することができないという問題があった。
【０００４】
この発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間においても処理レシピをコピーすることのできる技術を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、本発明による装置は基板の処理を行なうための基板処理装置であって、
基板を処理するための複数の処理ユニットと、
基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを記憶するための記憶手段と、
他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピを受け取って前記記憶手段に格納するレシピコピー手段と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記レシピコピー手段は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更するユニット番号変更手段を含むことを特徴とする。
【０００６】
ユニット番号と処理カテゴリとの対応関係は、各基板処理装置における処理ユニットの台数や配列に依存する。上記基板処理装置では、処理ユニット識別情報に、ユニット番号の他に処理カテゴリも含まれているので、レシピコピー手段は、コピー先の基板処理装置における各処理ユニットの処理カテゴリに合致するように、処理レシピ内のユニット番号を変更することができる。従って、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間においても、処理レシピをコピーして利用することが容易である。
【０００７】
また、前記複数の処理ユニットは、同一の第１の処理カテゴリが割り当てられた複数の第１種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報の中に前記第１の処理カテゴリが含まれている場合に、前記複数の第１種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第１の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含むようにしてもよい。
【０００８】
こうすれば、ユニット番号と処理カテゴリとの組合せをコピー先の基板処理装置の構成に合致させるようにすることができる。
【０００９】
あるいは、前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報に含まれる前記第１の処理カテゴリとユニット番号との組合せが当該基板処理装置内における処理カテゴリとユニット番号の組合せと一致しない場合に、前記複数の第１種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第１の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含むようにしてもよい。
【００１０】
こうすれば、コピー元の基板処理装置におけるユニット番号と処理カテゴリとの組合せに合わないものだけを、コピー先の基板処理装置に合致するように変更できるので、処理レシピの変更を必要最小限に抑えることができる。
【００１１】
前記処理ユニット識別情報は、さらに、ユニット番号と処理カテゴリとの特定の組合せについては変更を禁止することを示す変更禁止フラグを含み、
前記ユニット番号変更手段は、他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピの搬送順序情報に前記変更禁止フラグが含まれている場合には、前記特定の組合せの変更を禁止する手段を含むようにしてもよい。
【００１２】
こうすれば、特定の処理ユニットに関しては、ユニット番号と処理カテゴリとの組合せを一定に保つことができる。
【００１３】
【発明の他の態様】
この発明は、以下のような他の態様も含んでいる。第１の態様は、複数の処理ユニットを備えた基板処理装置を用いて基板の処理を行なうための基板処理方法であって、
（ａ）基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを準備する工程と、
（ｂ）コピー元の第１の基板処理装置とコピー先の第２の基板処理装置との間で処理レシピのコピーを行う工程と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記工程（ｂ）は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更する工程を含むことを特徴とする。
【００１４】
第２の態様は、コンピュータに上記の発明の各工程または各手段の機能を実現させるコンピュータプログラムを通信経路を介して供給するプログラム供給装置としての態様である。こうした態様では、プログラムをネットワーク上のサーバなどに置き、通信経路を介して、必要なプログラムをコンピュータにダウンロードし、これを実行することで、上記の方法や装置を実現することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
Ａ．装置の構成：
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。図１は、この発明の実施例である基板処理システムの構成を示す概念図である。この基板処理システムは、第１のネットワークサブシステム１００と、第２のネットワークサブシステム２００とを備えている。第１のネットワークサブシステム１００は、管理ステーション１１０と、複数の処理ステーション１１２，１２２，１３２と、複数の露光ステーション１１４，１２４，１３４とを備えている。また、各ステーションは互いに通信経路１４０を介して接続されてローカルエリアネットワークを構成している。第２のネットワークサブシステム２００も同様に、管理ステーション２１０と、複数の処理ステーション２１２，２２２，２３２と、複数の露光ステーション２１４，２２４，２３４とを備えており、互いに通信経路２４０を介して接続されてローカルエリアネットワークを構成している。また、２つの管理ステーション１１０，２１０は、電話回線１５０を介して互いに接続されている。
【００１６】
２つの管理ステーション１１０，２１０は、同じネットワーク・サーバ用オペレーションシステム（例えばWindows NT Server （マイクロソフト社の商標））で動作するコンピュータシステムである。また、各処理ステーションと各露光ステーションは、ネットワーク・ステーション用オペレーションシステム（例えばWindows NT Station（マイクロソフト社の商標））で動作するコンピュータシステムを備えている。
【００１７】
図２は、図１に示す各ステーションの機能を示すブロック図である。第１の管理ステーション１１０は、ネットワーク管理手段３００と、通信手段３０２と、レシピ・アップロード／ダウンロード手段３０４と、装置ステータス表示手段３０６と、装置運転情報記録手段３０８と、装置アプリケーションインストール手段３１０と、外部記憶装置としての磁気ディスク３１２と、を備えている。第２の管理ステーション２１０も同様である。処理ステーション１１２は、装置間レシピコピー手段４００と、外部記憶装置としての磁気ディスク４０２と、を備えている。他の処理ステーションも同様である。これらの各手段の機能は、ＣＰＵ等のマイクロプロセッサがコンピュータプログラムを実行することによって実現される。各手段の機能については後述する。
【００１８】
これらの各手段の機能を実現するコンピュータプログラムは、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録された形態で提供される。コンピュータは、その記録媒体からコンピュータプログラムを読み取って内部記憶装置または外部記憶装置に転送する。あるいは、通信経路を介してコンピュータにコンピュータプログラムを供給するようにしてもよい。コンピュータプログラムの機能を実現する時には、内部記憶装置に格納されたコンピュータプログラムがコンピュータのマイクロプロセッサによって実行される。また、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムをコンピュータが読み取って直接実行するようにしてもよい。
【００１９】
この明細書において、コンピュータとは、ハードウェア装置とオペレーションシステムとを含む概念であり、オペレーションシステムの制御の下で動作するハードウェア装置を意味している。また、オペレーションシステムが不要でアプリケーションプログラム単独でハードウェア装置を動作させるような場合には、そのハードウェア装置自体がコンピュータに相当する。ハードウェア装置は、ＣＰＵ等のマイクロプロセッサと、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムを読み取るための手段とを少なくとも備えている。コンピュータプログラムは、このようなコンピュータに、上述の各手段の機能を実現させるプログラムコードを含んでいる。なお、上述の機能の一部は、アプリケーションプログラムでなく、オペレーションシステムによって実現されていても良い。
【００２０】
なお、この発明における「記録媒体」としては、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ、光磁気ディスク、ＩＣカード、ＲＯＭカートリッジ、パンチカード、バーコードなどの符号が印刷された印刷物、コンピュータの内部記憶装置（ＲＡＭやＲＯＭなどのメモリ）および外部記憶装置等の、コンピュータが読取り可能な種々の媒体を利用できる。
【００２１】
図３は、処理ステーションの一例を示す斜視図である。この処理ステーションは、半導体ウェハＷに一連の処理（この実施例では塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理）を行うための複数の処理ユニットを備えている。前面に配列された第１の処理ユニット群Ａは、塗布処理を行うスピンコータＳＣと、現像処理を行うスピンデベロッパＳＤとで構成されている。
【００２２】
また、第１の処理ユニット群Ａに対向する後方側の位置には、第２の処理ユニット群Ｂが設けられている。第２の処理ユニット群Ｂは、各種熱処理を行うホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３及びクールプレートＣＰ１〜ＣＰ３を備えている。
【００２３】
さらに、この装置には、第１の処理ユニット群Ａと第２の処理ユニット群Ｂに挟まれた位置に、第１の処理ユニット群Ａに沿って延びる搬送領域Ｃが設けられている。この搬送領域Ｃには搬送ロボット１０が移動自在に配置されている。この搬送ロボット１０は、半導体ウェハＷをそれぞれ支持するための２本のアームを有する把持部材１１（図中ではひとつのアームのみが見えている）を有する移動体１２を備えている。
【００２４】
処理ステーションの端部には、カセット２０からの半導体ウェハＷの搬出とカセット２０への半導体ウェハＷの搬入とを行うインデクサＩＮＤが設けられている。このインデクサＩＮＤに設けられた移載ロボット４０は、カセット２０から半導体ウェハＷを取り出し、搬送ロボット１０に送り出したり、逆に一連の処理が施された半導体ウェハＷを搬送ロボット１０から受け取り、カセット２０に戻す作業を行なう。なお、図１には図示が省略されているが、インデクサＩＮＤの反対側（図面右側）の端部には、半導体ウェハＷを露光ステーションとの間で受け渡しするインターフェースユニットが設けられている。実施例の処理ステーションと他の処理装置との間の半導体ウェハＷの受渡しは、インターフェースユニットに設けられた移動ロボット（図示省略）と搬送ロボット１０とが協働することによって行なわれる。
【００２５】
図３において各処理ユニットの符号の後にカッコで示されている番号＃０〜＃９は、ユニット番号である。各処理ユニットには互いに異なるユニット番号が割り当てられている。なお、インデクサＩＮＤはウェハの処理を行わないので、厳密な意味では処理ユニットでは無いので、インデクサＩＮＤには必ずしもユニット番号を割り当てなくてもよい。しかし、図３の例のように、インデクサＩＮＤにユニット番号を割り当てることも可能である。
【００２６】
図３に示す複数の処理ユニットによる処理は、回転式塗布処理（スピンコータＳＣによる処理）と、回転式現像処理（スピンデベロッパＳＤによる処理）と、加熱処理（ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３による処理）と、冷却処理（クールプレートＣＰ１〜ＣＰ３による処理）の４種類に分類される。この明細書では、ウェハに関する同一種類の処理を「処理カテゴリ」または「カテゴリ」と呼ぶ。
【００２７】
図４は、図３に示す処理ステーションのブロック図である。図４において、コントローラ５０は、演算部（ＣＰＵ）やメインメモリ（ＲＡＭおよびＲＯＭ）を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ５１およびキーボード５２が接続されている。コントローラ５０は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット１０や移載ロボット４０（インデクサＩＮＤのロボット）、および、各処理ユニットＳＣ，ＳＤ，ＨＰ１〜ＨＰ３，ＣＰ１〜ＣＰ３の動作を制御する。コントローラ５０は、さらに、装置間レシピコピー手段４００（図２）としての機能を有している。
【００２８】
なお、コントローラ５０による各種の機能を実現するコンピュータプログラム（アプリケーションプログラム）は、フレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体からコントローラ５０のメインメモリまたは磁気ディスク４０２（図２）に転送される。
【００２９】
Ｂ．レシピデータの構成：
図５（ａ），（ｂ）は、磁気ディスク３１２，４０２（図２）に格納されている処理レシピのデータ構造を示す説明図である。処理レシピは、図５（ａ）に示すフローレシピデータ６０と、図５（ｂ）に示す処理データライブラリ６１〜６４とを含んでいる。処理データライブラリ６１〜６４は、各処理カテゴリ毎の処理条件を格納している。この例では、図３の処理ステーションにおける４つの処理カテゴリに対応する４つの処理データライブラリ６１〜６４が準備されている。各処理データライブラリ６１〜６４を、以下ではそれぞれ、「ＳＣライブラリ６１」、「ＳＤライブラリ６２」、「ＨＰライブラリ６３」、「ＣＰライブラリ６４」と呼ぶ。ＳＣライブラリ６１は、スピンコータＳＣのための９９通りの処理条件（例えば回転数、処理時間、薬液吐出量等）を格納している。また、ＳＤライブラリ６２は、スピンデベロッパＳＤのための９９通りの処理条件（例えば回転数、処理時間等）を格納している。ＨＰライブラリ６３とＣＰライブラリ６４は、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ３とクールプレートＣＰ１〜ＣＰ３のための９９通りの処理条件（プレート温度、処理条件等）をそれぞれ格納している。
【００３０】
図５（ａ）に示すフローレシピデータ６０は、フローＮｏ．（「フロー番号」とも呼ぶ）と、処理ユニット識別情報と、処理データＮｏ．（「処理データ番号」とも呼ぶ）とを含んでいる。フローＮｏ．は、処理ステーション内のウェハの搬送の順序を示している。処理ユニット情報は、ウェハの搬送先の処理ユニットのユニット番号と、その処理ユニットの処理カテゴリと、変更禁止フラグＦとを含んでいる。処理カテゴリの欄の「ＩＤ］はインデクサを示し、「ＳＣ」は回転式塗布処理（スピンコータによる処理）を、「ＳＤ」は回転式現像処理（スピンデベロッパによる処理）を、「ＨＰ」は加熱処理（ホットプレートによる処理）を、「ＣＰ」は冷却処理（クールプレートによる処理）を、それぞれ意味している。変更禁止フラグＦについては後述する。
【００３１】
処理データＮｏ．は、処理データライブラリ６１〜６４の中の１つの処理データを示している。例えば、「ＳＣＬ１」は、ＳＣライブラリ６１の１番目の処理データを示しており、「ＨＰＬ１」はＨＰライブラリ６３の１番目の処理データを示している。なお、フローレシピデータ６０には、９９種類の異なる処理フローを規定したフローレシピデータを登録することができる。
【００３２】
図５（ａ）の最上部のフローレシピデータ１に従って処理を行う場合には、ウェハは、インデクサＩＤ、スピンコータＳＣ、ホットプレートＨＰ、クールプレートＣＰの順に搬送されて処理される。フローＮｏ．３（３番目の搬送先ユニット）におけるユニット番号は＃７であり、これは第３のホットプレートＨＰ３（図３）を意味している。また、フローＮｏ．４におけるユニット番号は＃８であり、これは第３のクールプレートＣＰ３を意味している。このように、ユニット番号は、この処理ステーションの中の１台の処理ユニットに関連付けられているので、この処理ステーション内で処理レシピを使用する限りでは、処理カテゴリは不要である。後述するように、処理カテゴリは、処理レシピが複数の処理ステーションの間でコピーされる時に使用される。
【００３３】
なお、フローＮｏ．と処理ユニット識別情報は、ウェハを複数の処理ユニットに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報に相当する。また、処理データＮｏ．とライブラリ６１〜６４は、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報に相当する。
【００３４】
Ｃ．各手段の機能：
図６は、処理ステーションの装置間レシピコピー手段４００（図２）の処理手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明においては処理ステーションを単に「装置」と呼ぶ。装置間レシピコピーとは、２つの処理ステーション（装置Ａ，Ｂと呼ぶ）の間で処理レシピをコピーする処理である。ステップＳ１では、装置Ａのプロセススタート画面において、使用したい処理レシピを有する装置Ｂと、そのフローレシピの番号とを指定する。プロセススタート画面とは、その処理ステーションでの処理を開始させるための画面であり、この画面の上で処理レシピの設定を行なうことができる。ステップＳ１の具体的な手順では、作業者が他の装置Ｂを指定すると、その装置Ｂが有する処理レシピの一覧の画面が表示される。そして、作業者は、表示された処理レシピの中から所望のフローレシピの番号を指定する。
【００３５】
ステップＳ２において作業者によって処理レシピのコピーが指示されると、装置Ａは、指定された装置Ｂから処理レシピをコピーする。具体的には、装置Ａの装置間レシピコピー手段４００が処理レシピの転送を装置Ｂの装置間レシピコピー手段４００に要求し、装置Ｂの装置間レシピコピー手段４００がこれに応じてその処理レシピを磁気ディスクから読出して装置Ａに転送する。なお、転送される処理レシピは、図５（ａ）に示すフローレシピの１つと、このフローレシピにおいて処理データＮｏ．で特定されている処理条件とを含んでいれば良く、各ライブラリ６１〜６４は転送する必要はない。
【００３６】
ステップＳ３では、装置Ｂから転送された処理レシピのフローレシピ中における処理ユニットＮｏ．が、装置Ａにおけるユニット構成に合わせて調整される。ステップＳ３の処理内容については後述する。ステップＳ４において、作業者が装置Ａのプロセススタート画面で１ロット（複数のウェハを含む１つの処理単位）の処理の開始を指示すると、コピーされた処理レシピに応じた処理が実行される。
【００３７】
図７は、ステップＳ３の詳細手順を示すフローチャートである。ステップＳ１１では、コピーされた処理レシピに含まれる処理ユニット識別情報を１つ選択する。前述した図５（ａ）に示すように、１つの処理ユニット識別情報には、ユニットＮｏ．と、処理カテゴリと、変更禁止フラグＦとが含まれている。ステップＳ１２では、変更禁止フラグＦが１か否かが判断され、Ｆ＝１の場合には、ユニットＮｏ．の調整を行わずにステップＳ１１に戻り、次の処理ユニット識別情報が選択される。すなわち、変更禁止フラグＦが１に設定されている処理ユニットに関しては、ユニット番号は変更が禁止される。例えば、図５（ａ）に示すフローレシピ１では、インデクサＩＤとスピンコータＳＣに関して変更禁止フラグＦが１に設定されているので、これらの処理ユニットのユニット番号は変更されない。変更禁止フラグＦは、特定の処理ユニットに対して常に一定のユニット番号を割り当てておきたい場合に使用される。
【００３８】
変更禁止フラグＦが１でない場合には、次のステップＳ１３において、コピー先の装置Ａにおいて、同一の処理カテゴリに属する複数の処理ユニットが存在するか否かが判断される。同一の処理カテゴリに属する複数の処理ユニットが存在する場合には、その中の特定の処理ユニットのユニット番号が割り当てられる（ステップＳ１４）。一方、コピー先の装置Ａに同一の処理カテゴリの処理ユニットが１つしか存在しない場合には、その処理ユニットのユニット番号が割り当てられる（ステップＳ１５）。
【００３９】
図８は、装置間のレシピコピーの一例を示す説明図である。図８（Ｂ−１）はコピー元の装置Ｂのユニット構成を示し、図８（Ａ−１）はコピー先の装置Ａのユニット構成を示している。また、図８（Ｂ−１）はコピー前のフローレシピ１の内容を示しており、図８（Ａ−１）は装置Ａにコピーされて図７の手順で調整された後のフローレシピ１の内容を示している。コピー元の装置Ｂは、＃０〜＃８までの９台のユニットを有しており、ホットプレートＨＰとクールプレートＣＰがそれぞれ３台ずつ設けられている。一方、コピー先の装置Ａは、＃０〜＃６までの７台のユニットを有しており、ホットプレートＨＰとクールプレートＣＰがそれぞれ２台ずつしか設けられていない。
【００４０】
コピー元装置Ｂからコピー先装置Ａにフローレシピ１がコピーされるときには、処理ユニット識別情報の中で、処理カテゴリが加熱処理（ＨＰ）である処理ユニットのユニットＮｏ．は、すべて＃３（装置Ａの第１のホットプレートＨＰ１を示す）に変更される。また、処理カテゴリが冷却処理（ＣＰ）である処理ユニットのユニットＮｏ．は、すべて＃４（装置Ａの第１のクールプレートＣＰ１を示す）に変更される。こうすれば、コピー元の装置Ｂとコピー先の装置Ａとのユニット構成が異なる場合にも、コピー先装置Ａのユニット構成に合致した処理レシピになるように、コピーされた処理レシピを調整することができる。なお、図７の処理は、装置間レシピコピー手段４００によって自動的に実行される。こうして調整された処理レシピは、必要に応じて作業者によって再度修正することができる。
【００４１】
なお、ステップＳ１４における調整の仕方を以下のように変更してもよい。すなわち、処理レシピ内の処理カテゴリとユニット番号との組合せが、コピー先装置Ａにおける組合せに合致する場合には、その組合せを変更しないようにしてもよい。例えば、図８の例では、コピー元装置Ｂのユニット番号＃０〜＃６のユニットと、コピー先装置Ａのユニット番号＃０〜＃６のユニットとは、処理カテゴリとユニット番号の組合せが互いに等しい。従って、これらのユニットに関しては、処理レシピのコピーの際にもユニット番号を変更しなくてもよい。この場合には、図８（Ｂー２）の処理レシピの中で、第３のホットプレートＨＰ３と第３のクールプレートＣＰ３を示すユニット番号のみが、コピー先装置Ａにおける同一の処理カテゴリの所定の処理ユニットのユニット番号に（例えば＃３，＃４に）変更される。このような調整方法を採用すれば、ユニット番号の変更を最小限にすることができるという利点がある。
【００４２】
以上のようなレシピコピー機能を利用すると、処理ステーション間で処理レシピのコピーを行なえるので、フレキシブルディスク等に処理レシピを格納して処理ステーション間を作業者が持ち運ぶ必要がない。また、処理を実行する処理ステーションから他の処理ステーションに対して処理レシピの転送を要求することができるので、作業者は、処理を実行する処理ステーションにおいて所望の処理レシピを容易に設定することができる。
【００４３】
なお、処理ユニット識別情報にユニット番号と処理カテゴリとを含むようにすれば、フレキシブルディスク等の携帯型記録媒体を用いて処理レシピを装置間でコピーする場合にも、コピー先の装置に合わせた処理レシピを容易に得ることができる。
【００４４】
図２の管理ステーション１１０，２１０の各種の手段の機能については、本出願人より公開された特開平９ー１５３４４１号公報に記載されているので、ここではその説明を省略する。
【００４５】
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例である基板処理システムの構成を示す概念図。
【図２】図１に示す各ステーションの機能を示すブロック図。
【図３】処理ステーションの一例を示す斜視図。
【図４】処理ステーションのブロック図。
【図５】フローレシピデータ６０とユニット処理データ６２との構成を示す説明図。
【図６】装置間レシピコピー手段４００の処理手順を示すフローチャート。
【図７】ステップＳ３の詳細手順を示すフローチャート。
【図８】装置間のレシピコピーの一例を示す説明図。
【符号の説明】
１０…搬送ロボット
１１…把持部材
１２…移動体
２０…カセット
４０…移載ロボット
５０…コントローラ
５１…ディスプレイ
５２…キーボード
６０…フローレシピデータ
６１〜６４…処理データライブラリ
１００，２００…ネットワークサブシステム
１１０，２１０…管理ステーション
１１２，１２２，１３２…処理ステーション
１１４，１２４，１３４…露光ステーション
１４０…通信経路
１５０…電話回線
２１２，２２２，２３２…処理ステーション
２１４，２２４，２３４…露光ステーション
２４０…通信経路
３００…ネットワーク管理手段
３０２…通信手段
３０４…レシピ・アップロード／ダウンロード手段
３０６…装置ステータス表示手段
３０８…装置運転情報記録手段
３１０…装置アプリケーションインストール手段
３１２…磁気ディスク
４００…装置間レシピコピー手段
４０２…磁気ディスク
４１２…磁気ディスク
【図１】
0003892553.tif 000002
【図２】
0003892553.tif 000003
【図３】
0003892553.tif 000004
【図４】
0003892553.tif 000005
【図５】
0003892553.tif 000006
【図６】
0003892553.tif 000007
【図７】
0003892553.tif 000008
【図８】
0003892553.tif 000009