(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基板に設けられデバイスが配置される凹状のポケットと、
このポケットの底部と平行にこのポケットを通って前記ベース基板に設けられた溝と、
この溝の一方側に設けられこの溝に光を照射する光源と、
前記溝を通った光を受光し受光量を検出する受光センサと
を具備するデバイス位置検出装置において、
この受光センサからの信号を受け前記受光量が第1の所定量以下の場合前記デバイスが前記ポケットに正常に配置されていないとする信号を発する第1の信号発生手段と、
前記受光センサからの信号を受け前記受光量が第２の所定量以上の場合前記デバイスが前記ポケットに配置されていないとする信号を発する第２の信号発生手段と
を具備したことを特徴とするデバイス位置検出装置。
【請求項２】
前記第1の信号発生手段と前記第２の信号発生手段とが1個の信号発生手段として纏められていること
を特徴とする請求項1記載のデバイス位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、より正確なデバイス位置検出ができるデバイス位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図で、水平ハンドラーのロードシャトルに使用された例を示す。
水平ハンドラーにおけるロードシャトルＡは、搬送されてきたディバイスBを、ベース基板１に設けられた凹状のポケット２の中央のくぼみに入れ、必要に応じて,ディバイスBの向きを図面の紙面内で、任意の方向に回転させて、搬送する機能・動作を有する。
【０００３】
ロードシャトルＡは,図示を省略するが,空気圧シリンダー、又は電動機構により,紙面の上下方向に動く。
ロードシャトルＡは、本実施例では，４個のポケット２を有しており、必要に応じてディバイスＢの向きを変える。
【０００４】
例えば、時計方向に90°回転する。
３は、ポケット２の底部と平行に、ポケット２を通って、ベース基板１に設けられた溝である。
これらのポケット２にディバイスＢが搬送されて置かれると、ロードシャトルＡの左右に配置された透過型の光ファイバセンサヘッド４により、溝３を介して、その状態が検出される。
【０００５】
光ファイバセンサヘッド４は、光源４１と受光センサ４２とより成る。
受光センサ４２で検出された受光量に基づき、光ファイバセンサアンプ５より検出信号が出力される。
【０００６】
以上の構成において、図６においては、今、ベース基板１の紙面に対する左上のポケット２１と右上のポケット２２とには、ディバイスＢが配置されており、左下のポケット２３と右下のポケット２４とには、ディバイスＢが配置されていない状態を示す。
【０００７】
図６に示す如く、ディバイスＢが無い，または、まだ搬送されていない場合は、透過光Cは、受光センサ４２にて、ほぼ最大の光量が受光される。
また、図８，図９に示す如く、ディバイスＢが有る、即ち、ポケット２内に存在する場合は、ディバイスＢにより光が遮られ、受光センサ４２にて、減光された光量が受光される。
【０００８】
この二つの状態の光量の差により、閾値を決めて、光ファイバセンサアンプ５から信号を発する。
この場合は、図１０に示す如く、ディバイスＢがポケット２内に有るときは、オン信号を出力する。
【０００９】
ディバイスＢがポケット２内に無いときは、オフ信号を出力して、例えば、警報を発する設定となっている。
つまり、ディバイスＢの状態は、有るか、無いかの判定のみである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、
（１）ディバイスBの状態は、有るか無いかの判定のみであり、ポケット2の肩への乗り上げ状態は検出することが出来ない。
【００１１】
しかし、ディバイスBが搬送されても、ポケット２に正しく納まらずにポケット２の肩に乗り上げた状態で置かれることもある。
この時、ディバイス有無センサは有り（正常）と判定される。
従って、ディバイスBは、搬送の次の段階以降で、位置ずれを起こしたまま搬送される。
【００１２】
この結果、ディバイスBの性能を測定する個所で、このディバイスの機能・性能を測定する際に、ディバイスBがテスターのソケットに正しく入らずに、上から押されることになるので、ディバイスＢは、機械的に破壊されることになる。
【００１３】
（２）ポケット２の肩への乗り上げ状態を検出するため、新たに乗り上げ専用のセンサを追加設置すれば良いということもできるが、実際は、既存のセンサヘッドがあるため、スペース的に邪魔をして、追加設置を難しくしたり、新規設置の分、コストが余分に掛かることになる。
【００１４】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、より正確なデバイス位置検出ができるデバイス位置検出装置を提供することにある。
更に、詳述すれば、ディバイスBの状態を、従来の有り／無しのみの検出に加えて、乗り上げ状態も検出して、上記、異常状態での搬送を未然に防ぎ、ディバイスBの破損事故を無くすることを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１のデバイス位置検出装置においては、
ベース基板に設けられデバイスが配置される凹状のポケットと、このポケットの底部と平行にこのポケットを通って前記ベース基板に設けられた溝と、この溝の一方側に設けられこの溝に光を照射する光源と、前記溝を通った光を受光し受光量を検出する受光センサとを具備するデバイス位置検出装置において、
この受光センサからの信号を受け前記受光量が第1の所定量以下の場合前記デバイスが前記ポケットに正常に配置されていないとする信号を発する第1の信号発生手段と、前記受光センサからの信号を受け前記受光量が第２の所定量以上の場合前記デバイスが前記ポケットに配置されていないとする信号を発する第２の信号発生手段とを具備したことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項２においては、請求項1記載のデバイス位置検出装置において、
前記第1の信号発生手段と前記第２の信号発生手段とが1個の信号発生手段として纏められていることを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、水平ハンドラーのロードシャトルに使用された例を示す。
【００１７】
図において、図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図６と相違部分のみ説明する。
図において、第1の信号発生手段１１は、受光センサ４２からの信号を受け、受光量が第1の所定量１２（後述する）以下の場合、デバイスBがポケット２に正常に配置されていないとする信号を発する。
【００１８】
第２の信号発生手段１３は、受光センサ４２からの信号を受け、受光量が第２の所定量１４（後述する）以上の場合、デバイスＢがポケット２に配置されていないとする信号を発する。
この場合は、第1の信号発生手段１１と第２の信号発生手段１３とは、1個の信号発生手段１０として纏められている。
【００１９】
そして、第1の信号発生手段１１の出力に対応する出力は、ＯＵＴ１より出力され、第1の信号発生手段１３の出力に対応する出力は、ＯＵＴ２より出力される。
具体的には、２出力型の光ファイバセンサアンプ１０が使用されている。
【００２０】
以上の構成において、図１に示す如く、今、ベース基板１の紙面に対する左上のポケット２１では、ディバイスＢが乗り上げている。
一方、右上のポケット２２では、ディバイスＢが正常に配置されており、左下のポケット２３と右下のポケット２４とには、ディバイスＢが配置されていない状態を示す。
【００２１】
所で、ロードシャトルＡは、図１に示す如く、搬送されてきたディバイスBをポケット２に受け取る。
ロードシャトルAは、すべてのポケット2に正しくディバイスBが収納されているか否かを、光ファイバセンサアンプ１０と透過型光ファイバセンサヘッド４で監視する。
【００２２】
そして、以下に述べる異常があれば検知・警報し、正常に復帰するまでハンドラの動作を一旦停止させる。
ロードシャトルＡは、正しくポケット２に収納されている場合は、図示を省略するが、エアシリンダー等の駆動機構で紙面上方に移動し、次の搬送機構にディバイスＢを渡す。
【００２３】
上記の、正しくポケット２に収納されている場合とは、図６のポケット２１，２２に示す如く、ディバイスＢが納まっている状態を示す。
図２に示す如く、光源４１から出た光は、ディバイスＢの厚み分だけ減光されて、受光センサ４２に到達する。
【００２４】
光ファイバセンサアンプ１０は、減光したことによりディバイスが有る＝正常と判断する。
【００２５】
次に、ディバイスＢがポケット２に無い場合、光源４１から出た光は、図３に示す如く、殆ど減光されること無しに受光センサ４２に到達する。
次に、ディバイスＢがポケット２の肩に乗り上げた（引っかかってポケット２に正しく収納されない）場合、光源４１から出た光は、図４に示す如く、乗り上げたディバイスＢに遮光されて、殆ど，受光センサ４２に到達しない。
【００２６】
これらの3つの状態を信頼性高く検出する、具体的な調整方法を以下に説明する。
ディバイスＢが無い状態で、光源４１と受光センサ４２のセンサヘッドを、光量が最大で、かつ、センサヘッド４の高さを、溝３に対して、出来るだけ低い位置に調整・設定する。
【００２７】
一方、ディバイスが乗り上げた状態で、光量が最小に成るようにに調整・設定する。
次に、光ファイバセンサアンプ１０の出力を、図５に示す如く設定する。
【００２８】
すなわち、乗り上げを検出するために設定する「OUT１」は、上記の様に光量＝０に近い状態であるから、検出の設定点を０に近づけた値、たとえば、光量２０位置にする。
【００２９】
ディバイスＢ無しを検出するために設定する「OUT２」は、上記の様に光量＝4000（この場合では、飽和状態とする）に近い状態であるから、検出の設定点を４０００に近づけた値、たとえば、光量３９８０にする。
【００３０】
従って、図５に示す如く、デバイスＢが、正常に配置されていない状態と、正常配置状態と、ポケット２に配置されていない状態とが判別出来る。
【００３１】
この結果、
（１）受光センサ４２からの信号を受け、受光量が第1の所定量１２以下の場合、デバイスがポケットに正常に配置されていないとする信号を発する第1の信号発生手段１１と、受光センサ４２からの信号を受け、受光量が第２の所定量１４以上の場合、デバイスBがポケット2に配置されていないとする信号を発する第２の信号発生手段１３とが設けられた。
【００３２】
これにより、従来の、ディバイスＢが有るか無いかのみの検出に加え、ディバイスＢがポケット２に正常に配置されていない場合の検出も可能になる。
従って、従来のディバイスＢ有り無し検出のセンサ４に、新たにディバイスＢがポケット２に正常に配置されていない場合を検出するセンサを、追加しなくても、前記３つの状態を検出することができる。
【００３３】
（２）第1の信号発生手段１１と第２の信号発生手段１３とが、1個の信号発生手段１０として纏められているので、信号発生手段１１，１３の構成部品の兼用が可能となり、一つの検出手段で、ディバイスが無い状態、正常に有る状態、及び乗り上げた状態を検出できるので、安価に、３つの状態を検出することができるデバイス位置検出装置が得られる。
【００３４】
従って、本発明によれば、より正確なデバイス位置検出ができるデバイス位置検出装置を実現することが出来る。
【００３５】
なお、前述の実施例においては、ロードシャトルについて説明したが、これに限る事は無く、たとえば、アンロードシャトルでも良く、要するに、ディバイス収納部を有するものであれば良い。
【００３６】
また、前述の実施例においては、２個、２列のポケット２配置の例について説明したが、これに限る事は無く、要するに、ポケット２は少なくとも１個以上であれば良い。
【００３７】
また、前述の実施例においては、ディバイスの乗り上げを紙面の上方向で説明したが、これに限る事は無い。
【００３８】
なお、前述の実施例においては、ディバイスBに対して、センサヘッド4の上下位置を調整・設定する方法を示したが、これに限る事は無く、たとえば、センサヘッド４の移動の代わりに、光線をディバイスＢの検出に有効な範囲だけ通す機構を有するスリットを使用しても良い。
【００３９】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
受光センサからの信号を受け受光量が第1の所定量以下の場合デバイスがポケットに正常に配置されていないとする信号を発する第1の信号発生手段と、受光センサからの信号を受け受光量が第２の所定量以上の場合デバイスがポケットに配置されていないとする信号を発する第２の信号発生手段とが設けられた。
【００４１】
これにより、従来の、ディバイスが有るか無いかのみの検出に加え、ディバイスがポケットに正常に配置されていない場合の検出も可能になる。
従って、従来のディバイス有り無し検出のセンサに新たにディバイスがポケットに正常に配置されていない場合を検出するセンサを追加しなくても前記３つの状態を検出することができる。
【００４２】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
第1の信号発生手段と第２の信号発生手段とが1個の信号発生手段として纏められているので、信号発生手段の構成部品の兼用が可能となり、一つの検出手段で、ディバイスが無い状態、正常に有る状態、及び乗り上げた状態を検出できるので、安価に、３つの状態を検出することができるデバイス位置検出装置が得られる。
【００４３】
従って、本発明によれば、より正確なデバイス位置検出ができるデバイス位置検出装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【図７】図６の動作説明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】図６の動作説明図である。
【図１０】図６の動作説明図である。
【符号の説明】
１          ベース基板
２          ポケット
２１        ポケット
２２        ポケット
２３        ポケット
２４        ポケット
３          溝
４          光ファイバセンサヘッド
４１        光源
４２        受光センサ
５          光ファイバセンサアンプ
１０        信号発生手段
１１        第1の信号発生手段
１２        第1の所定量
１３        第２の信号発生手段
１４        第２の所定量
Ａ          ロードシャトル
Ｂ          ディバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004013488.tif 000010
【図１０】
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