(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部が開口した側壁部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させて複数の精密基板を起立状態で整列収容するカセットと、
上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本体と、
該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、
該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の精密基板の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基板収納容器において、
前記保持部を、前記カセットを前記据付脚部の下面により規定される据付面に対して所定角度θで傾斜させて保持可能に形成し、前記精密基板を、傾斜方向の下側に片寄せするとともに、前記蓋体の前記上部開口への嵌合方向を前記カセット内の該精密基板が延びる方向と平行にして該蓋体を前記容器本体の上部開口に嵌着させることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
上部が開口した側壁部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させて複数の精密基板を起立状態で整列収容するカセットと、上部が開口し、内底面上に前記カセットを載置して収容する略有底筒状の容器本体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の精密基板の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基板収納容器において、
前記容器本体の下部に据付脚部を設け、該据付脚部の下面により規定される据付面に対して容器本体の内底面を所定角度に傾斜させ、前記精密基板を、傾斜方向の下側に片寄せするとともに、該内底面と直交する方向に前記上部開口を開口させ、該上部開口に前記蓋体を該精密基板が延びる方向と平行にして嵌着可能としたことを特徴とする基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェハ、磁気ハードディスク基板、フォトマスク用石英ガラス等の精密基板を収容する基板収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上述した半導体ウェハ等の精密基板は脆弱であり、輸送時の衝撃や振動で破損しやすく、また、塵埃等の付着を防止することが不可欠である。このため、このような精密基板は、図２に示すような基板収納容器に収容して輸送等を行い、その破損や汚染の防止が図られる。図２において、１０はカセット、２０は容器本体、３０は蓋体であり、これらはポリエチレンやポリプロピレン等の樹脂の射出成形により成形される。
【０００３】
カセット１０は、上部および下部が開口した略直方体形状を有し、水平方向に対向する一対の側壁１１にそれぞれ水平方向に一定間隔で離間して複数の収納溝１１ａが上下に形成される（図２ｃ参照）。このカセット１０には、複数の精密基板Ｐが周縁を収納溝１１ａに遊合させて、すなわち、相当のクリアランスをもって嵌合させ、整列状態で収納される。なお、このカセット１０については、本出願人が先に提出した特願平８−１９５６５６号や特願平８−２５３９８３号の明細書等に記載されているため、図示と詳細な説明を割愛する。
【０００４】
容器本体２０は、略一定の肉厚の底壁部２１の周縁全周に側壁部２２が一体に起立する有底略直方体形状を有し、上部が底壁部２１と平行（水平）に開口（開口２３）する。この容器本体２０には、側壁部２２の外周面に開口２３と近接して受けフランジ２４が全周にわたって形成され、また、蓋体３０のロック片部（図示せず）等が形成される。この容器本体２０には、底壁部２１上、すなわち、内底面に上記カセット１０が載置され、開口２３に蓋体３０が嵌合してカセット１０を気密的に封止して収納する。
【０００５】
蓋体３０は、略平板状の被蓋部３１と、この被蓋部３１の周縁全周から一体に垂下して下端が被蓋部３１と平行に開口する筒状の嵌合部３２とを有し、被蓋部３１の内面に押さえ部材３９が固着される。押さえ部材３９は、エラストマ等から成形され、その下部に上述したカセット１０の収納溝と対応した複数の押さえ溝３９ａが精密基板Ｐの周縁と遊合可能に形成される。この蓋体３０は、上述したように嵌合部３２が容器本体２０の開口２３に嵌合して開口２３を閉止し、開口２３を閉止した状態で嵌合部３２の下端が受けフランジ２４に当接し、また、押さえ部材３９が押さえ溝３９ａにカセット１０内の精密基板Ｐの周縁上部を遊合させて精密基板Ｐのガタツキを押さえる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した基板収納容器にあっては、精密基板Ｐが周縁を収納溝１１ａに遊合させてカセット１０内に収容され、収納溝１１ａと精密基板Ｐとの間に相当のクリアランスが形成されるため、その反射的な効果として精密基板Ｐがカセット１０内で傾きを生じることがあった。そして、図２ａ，ｂに示すように、これら精密基板Ｐの傾き方向が個々に異なると、容器本体２０の開口２３に蓋体３０を嵌着させて押さえ部材３９の押さえ溝３９ａに精密基板Ｐの周縁を遊合させる際に押さえ溝３９ａと精密基板Ｐの周縁との位置が定まらず、押さえ溝３９ａ間の山部が精密基板Ｐの周縁に押し当てられ、基板Ｐの損傷を招くことがあるという問題があった。
【０００７】
そこで、上述した問題の解決を目的に、図３に示す基板収納容器が提案されている（便宜上、先行技術と称する）。この基板収納容器は、容器本体２０の底壁部２１に三角板状の脚２１ａを形成し、底壁部２１を脚２１ａの下面で規定される面（据付面）に対して所定の角度θだけ傾斜させ、また、蓋体３０に押さえ部材３９を底壁部２１と同一の角度θ傾斜させて固着する。この基板収納容器は、カセット１０が底壁部２１上に載置されると傾斜し、カセット１０内の精密基板Ｐが全て同一方向に傾斜、すなわち、全ての精密基板Ｐが一方向に片寄るため、押さえ部材３９の山部が精密基板Ｐに押し付けられることがなく、山部の押し当てに起因した基板Ｐの破損が防止される。
【０００８】
ところが、上述した先行技術にかかる基板収納容器にあっては、図３ｂに示すように、容器本体２０の開口２３に蓋体３０を嵌着させる際に、基板Ｐの周縁上部が押さえ部材３９の押さえ溝３９ａと完全に遊合する前に基板Ｐの周縁が押さえ溝３９ａの側面と当接するため、続いて、蓋体３０を嵌合部３２の下端が受けフランジ２４と当接するまで押し込むと、精密基板Ｐには押さえ溝３９ａの側面によって斜め方向の力が作用し、精密基板Ｐが歪みや破損を引き起こすという欠点があった。
この発明は、上記問題および欠点に鑑みなされたもので、蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が作用することを防止でき、また、輸送時等において収納した精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容器を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明は、上部が開口した側壁部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させて複数の精密基板を起立状態で整列収容するカセットと、上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の精密基板の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基板収納容器において、
前記保持部を、前記カセットを前記据付脚部の下面により規定される据付面に対して所定角度θで傾斜させて保持可能に形成し、前記精密基板を、傾斜方向の下側に片寄せするとともに、前記蓋体の前記上部開口への嵌合方向を前記カセット内の該精密基板が延びる方向と平行にして該蓋体を前記容器本体の上部開口に嵌着させることを特徴とする基板収納容器である。なお、前記保持部は、前記カセットが前記据付脚部により規定される据付面に対して所定角度θ、望ましくは、所定角度θを３°〜３０°として傾斜した状態で保持可能に形成されているとともに、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カセットの傾斜方向と直角な方向に一致させている。
【００１０】
そして、この発明は、請求項２に記載されるように具体化される。すなわち、上部が開口した側壁部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させて複数の精密基板を起立状態で整列収容するカセットと、上部が開口し、内底面上に前記カセットを載置して収容する略有底筒状の容器本体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の精密基板の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基板収納容器において、
前記容器本体の下部に据付脚部を設け、該据付脚部の下面により規定される据付面に対して容器本体の内底面を所定角度に傾斜させ、前記精密基板を、傾斜方向の下側に片寄せするとともに、該内底面と直交する方向に前記上部開口を開口させ、該上部開口に前記蓋体を該精密基板が延びる方向と平行にして嵌着可能としたことを特徴とする基板収納容器である。
【００１１】
カセットは、前述した特願平８−１９５６５８号等で提案されるもの等、例えば、上部、下部および一側が開口したフレーム状の部材を有し、この部材の対向する内側面に上下に延びる複数の収納溝を一定の間隔で形成したもの等が用いられる。このカセットは、通常、収納溝が形成された対向する壁部分をそれぞれ下方の開口側で接近するように精密基板の周縁とほぼ等しい曲率で湾曲させ、湾曲部分の収納溝で精密基板を受け止め保持する。
【００１２】
容器本体は、載置台等の水平な載置面に据付脚部により載置され、上部の開口によりカセットの収納や取出が行われる。この容器本体は、内底面を保持部として該内底面上に載せてカセットを収納し、あるいは、内側面等に段差状若しくはフランジ状等に形成された保持部でカセットを保持して収納する。保持部は、据付脚部により規定される据付面、すなわち、載置状態を基準とすれば載置台の載置面に対して所定角度傾斜し、カセットを基板が一方向に片寄った傾斜状態で保持する。開口は、蓋体により開閉され、この蓋体の装着、取外方向が保持部と直交する角度で傾斜する。
【００１３】
蓋体は、前述した特願平８−２５３９８３号の明細書等に記載されたものが用いられ、内面に押さえ部材が押さえ溝の形成部分を保持部と平行に位置させて（蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で）設けられる。この蓋体は容器本体の開口に保持部と直交する方向から嵌着され、蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で押さえ部材は押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板を押さえ、基板のガタツキ等を防止する。
【００１４】
【作用】
この発明にかかる基板収納容器は、複数の基板を周縁が収納溝に遊合した状態でカセットに整列保持し、このカセットを容器本体内に保持部により傾斜させて収容し、容器本体の開口に蓋体を嵌着させ、蓋体内面の押さえ部材の押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板を押さえる。このため、輸送時等において衝撃や振動が加わっても、基板がガタツキを生じることがなく、基板の破損等が防止される。そして、蓋体を容器本体の開口に嵌着させる際には、カセットが傾斜状態で容器本体内に収容されて全ての基板が一方向に片寄り、また、蓋体を基板の収納方向と同一方向から嵌合させるため、基板の周縁上部が押さえ部材の押さえ溝側面に当接することがなく、基板に力が作用せず、基板に歪みが生じること、また、基板の破損を防止できる。
【００１５】
【実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の一の実施の形態にかかる基板収納容器を示し、図１ａが分解状態の模式断面図、図１ｂが容器本体に蓋体を嵌着させた状態の模式断面図である。
なお、上述した図２および図３と同一の部分には同一の符号を付して、一部の説明を割愛する。
【００１６】
この実施の形態は、容器本体２０の下部（下面）に略三角形板状の脚２１ａを一体成形あるいは接着等で固定して設け、容器本体２０の底壁部２１を脚２１ａの下面で規定される据付面Ｌに対して３°〜３０°の角度（所定角度θ）傾斜させるとともに、開口２３を底壁部２１と直交する方向に指向させて開口させる。すなわち、容器本体２０は、底壁部２１と側壁部２２からなる部分（便宜上、収納部分と称する）が脚２１ａにより全体として所定角度θ傾斜する。
【００１７】
また、蓋体３０は、前述した図２に示したものと同一のもの、すなわち、被蓋部３１の内面に押さえ部材３９が押さえ溝３９ａを被蓋部３１の内面と平行に位置させて固着されたものが用いられる。同様に、カセット１０も、前述した図１，２に示したものと同一のもの、すなわち、特願平７−３２９４３６号、特願平８−１９５６５６号あるいは特願平８−２５３９８３号等の明細書および図面に記載されたものが用いられる。
【００１８】
なお、図示と説明は省略するが、容器本体２０と蓋体３０には蓋体３０を容器本体２０に固定するロック機構と、容器本体２０と蓋体３０の周方向の位置決めを行う位置決め機構とが設けられ、また、容器本体２０にはカセット１０の位置決めを行う位置決め部等が形成され、この位置決め部や位置決め機構によりカセット１０の精密基板Ｐ配列方向と押さえ部材３９の押さえ溝３９ａの延在方向とが整合される。
【００１９】
この実施の形態にかかる基板収納容器は、半導体ウェハ等の精密基板Ｐを輸送や保管する際等に用いる。そして、精密基板Ｐの輸送等に際しては、先ず、カセット１０内に複数の精密基板Ｐを整列させて収納する。すなわち、カセット１０内に複数の精密基板Ｐを周縁が収納溝１１ａと遊合した状態で整列して収容する（図２（ｃ）参照）。ここで、カセット１０内の精密基板Ｐは、周縁と収納溝１１ａとの間にクリアランスが存在するため、傾き等の変位が許容される。
【００２０】
次に、精密基板Ｐが収納されたカセット１０を容器本体２０内の保持部に収容する。すなわち、容器本体２０内の底壁部２１上にカセット１０を載置する。ここで、底壁部２１は３°〜３０°の角度で傾斜しているため、カセット１０も傾斜し、カセット１０内の精密基板Ｐも傾斜方向下側に片寄せられる。すなわち、カセット１０内の精密基板Ｐは、収納溝１１ａのピッチに等しい間隔で、底壁部２１と直交する方向に延びた状態で整列される。なお、底壁部２１の傾斜角度が３°未満の場合、カセット１０内の精密基板Ｐが傾斜方向に片寄せられない可能性がある。
【００２１】
この後、容器本体２０の開口２３に蓋体３０を嵌着し、容器本体２０内の精密基板Ｐを気密的に封止する。ここで、蓋体３０は開口２３の開口方向から開口２３に嵌着され、また、上述したようにカセット１０内の精密基板Ｐは所定のピッチで整列されて蓋体３０の嵌着方向と平行に延びる。このため、押さえ部材３９の押さえ溝３９ａの側面等が精密基板Ｐの上縁に当接して精密基板Ｐを押圧することがなく、蓋体３０を嵌着する際の精密基板Ｐの破損や歪みの発生が防止される。なお、底壁部２１が３０°を超える角度で傾斜していると、蓋体３０を嵌着する際に容器本体３０が横にずれるため作業が煩わしくなる可能性がある。
【００２２】
また、蓋体３０を容器本体２０の開口２３に嵌着した被蓋状態においては、押さえ部材３９が押さえ溝３９ａに精密基板Ｐの上縁を遊合させて押さえるため、輸送等に際してのガタツキも防止できる。すなわち、カセット１０に精密基板Ｐを収納した状態では収納溝１１ａと精密基板Ｐ周縁との間にクリアランスがあるため、精密基板Ｐのガタツキが生じやすいが、精密基板Ｐは押さえ部材３９により上方から押さえられるためガタツキが防止される。
【００２３】
なお、上述した実施の形態では、容器本体２０の底壁部２１の上面、すなわち、内底面にカセット１０を載置し、内底面を保持部として用いるが、容器本体２０の側壁部２２等に突起やフランジ等の保持部を、また、この保持部に掛止可能な掛止部をカセット１０に形成し、カセット１０は掛止部を容器本体２０の保持部に掛止させて傾斜状態で容器本体２０内に収容することも可能である。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明にかかる基板収納容器によれば、複数の精密基板を周縁が収納溝に遊合した状態でカセットに収容し、このカセットを容器本体内に傾斜状態で収容して精密基板を片寄せし、蓋体をカセット内の精密基板が延びる方向から容器本体の開口に嵌着させ、蓋体の押さえ部材の押さえ溝を精密基板の上縁に遊合させて精密基板を押さえるため、蓋体の被蓋時に精密基板に押さえ部材によって力が加わることがなく精密基板の破損や歪みの発生が防止でき、また、被蓋した状態では精密基板が押さえ部材により押さえられてガタツキも防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一の実施の形態にかかる基板収納容器を示し、ａが開き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図である。
【図２】従来の基板収納容器を示し、ａが開き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図、ｃがカセットの模式平面図である。
【図３】先行技術にかかる基板収納容器を示し、ａが開き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図である。
【符号の説明】
１０    カセット
１１ａ  収納溝
２０    容器本体
２１    底壁部（保持部）
２１ａ  脚
２２    側壁部
２３    開口
３０    蓋体
３９    押さえ部材
３９ａ  押さえ溝
Ｐ      精密基板
Ｌ      載置面（据付面）
θ      傾斜角度
【図１】
0003880131.tif 000002
【図２】
0003880131.tif 000003
【図３】
0003880131.tif 000004