(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填材層を有する吸収塔に、オゾン漂白排ガスを供給し、充填材層中で上昇させつつ、充填材層中を流下する吸収液に接触させるオゾン漂白排ガス処理方法であって、
充填材層中を上昇するオゾン漂白排ガスの一部を、充填材層の中間位置において回収し、他部を、充填材層を通過させて回収することを特徴とするオゾン漂白排ガス処理方法。
【請求項２】
前記充填材層が少なくとも２層であり、前記中間位置が、各充填材層の間に設けた空間部分であることを特徴とする請求項１記載のオゾン漂白排ガス処理方法。
【請求項３】
前記中間位置において、前記吸収液の再分配を行うことを特徴とする請求項２記載のオゾン漂白排ガス処理方法。
【請求項４】
充填材層を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、充填材層の中間位置において回収したオゾン漂白排ガスを添加することによって調整することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のオゾン漂白排ガス処理方法。
【請求項５】
充填材層を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、酸素ガスを添加することによって調整することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のオゾン漂白排ガス処理方法。
【請求項６】
充填材層を有する吸収塔と、該吸収塔の塔頂部に吸収液を供給する吸収液供給手段と、該吸収液を該吸収塔の塔底部から回収する吸収液回収手段と、オゾン漂白排ガスを該吸収塔の塔底部に供給するオゾン漂白排ガス供給手段とを備え、
充填材層の中間位置の少なくとも１カ所と塔頂部とに、供給したオゾン漂白排ガスを回収するオゾン漂白排ガス回収手段を備えることを特徴とするオゾン漂白排ガス処理装置。
【請求項７】
前記充填材層が少なくとも２層であり、前記中間位置が、各充填材層の間に設けた空間部分であることを特徴とする請求項６記載のオゾン漂白排ガス処理装置。
【請求項８】
前記中間位置に、前記吸収液の再分配器を備えることを特徴とする請求項７記載のオゾン漂白排ガス処理装置。
【請求項９】
前記吸収塔の塔頂部のオゾン漂白排ガス回収手段に対して該吸収塔の中間部のオゾン漂白排ガス回収手段が連結され、該塔頂部から回収したオゾン漂白排ガスに添加する中間位置から回収したオゾン漂白排ガスの量を調整するガス量調整手段と、該吸収塔の塔頂部から回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度計とを備えることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のオゾン漂白排ガス処理装置。
【請求項１０】
前記吸収塔の塔頂部から回収したオゾン漂白排ガスに酸素ガスを添加して該オゾン漂白排ガス中の酸素濃度を調整する酸素ガス供給弁と、該オゾン漂白排ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度計とを備えることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載のオゾン漂白排ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製紙工場などにおいてパルプをオゾン漂白する際に排出されるオゾン漂白排ガスの処理方法及び処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パルプのオゾン漂白では、酸素ガスを原料としたオゾン化酸素ガスが使用されており、とくにＰＳＡ式酸素発生装置で発生された酸素を原料としたオゾン化酸素でパルプをオゾン漂白した後の排ガス（以下、オゾン漂白排ガスという）中には、通常、１％未満の未反応オゾン、８０〜８３％程度の酸素ガス及び数％の炭酸ガスが含まれている。
オゾンは、強い酸化力をもち、殺菌、漂白、酸化などの目的に用いられているが、毒性が強く、微量でも長時間吸入すると有害である。その許容濃度は０．１ｐｐｍ未満であるので、オゾン漂白排ガスは、加熱式又は触媒式のオゾン分解器を通す等の方法によってオゾンを分解してから排気されるか又は他の酸素利用設備で再利用されている。
【０００３】
しかしながら、加熱式分解器では、オゾン漂白排ガスを３５０℃以上に加熱するため、多くのエネルギーが必要であり、コストが高くなる。一方、触媒式分解器では、触媒が劣化するため、触媒の交換が必要となり、多大なコストを要するという問題がある。
また、酸素の再利用先の１つである酸素脱リグニン工程では、酸素濃度８５％以上の酸素ガスを用いることが効果的であるが、オゾン漂白排ガスを利用する場合には、酸素濃度が８５％よりも低いので、酸素脱リグニン効率が低下するという問題がある。
【０００４】
これらの問題を解決するために、特開平９−２９０６４号公報では、クラフトパルプ製造工程で使用される還元性物質を含有する液（以下、吸収液という）によりオゾン漂白排ガス中のオゾン分解を行う方法が提案されている。また、特開平１０−３７０８８号公報では、アルカリスクラビング処理によりオゾン漂白排ガス中の炭酸ガスを除去して酸素濃度を上げる方法が提案されている。
【０００５】
特開平９−２９０６４号公報記載の吸収液を使用した処理方法によるオゾン漂白排ガス処理設備の一例を図３に示す。
オゾン漂白排ガスは、オゾン漂白設備から同伴されるミスト等がデミスター１１１により除去された後、吸収塔１０１の下部に導入され、吸収塔１０１でオゾン及び炭酸ガスが吸収除去される。吸収塔１０１通過後の処理済み排ガスは、吸収塔１０１の上部から導出され、デミスター１１２によりミストが除去された後、排気されるか、又は、必要に応じてブロア１０５、圧縮機１０８により昇圧され、酸素脱リグニン工程、排水処理工程、キルン等において利用される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような吸収液を使用したオゾン漂白排ガス処理方法によると、吸収液によりオゾン漂白排ガス中のオゾンガスや炭酸ガスが除去されて、酸素濃度８５％以上のガスが回収されるが、オゾン漂白排ガスの全量を処理するために必要な吸収液が多量であるので、コストが高くなってしまうという問題がある。
同様に、特開平１０−３７０８８号公報記載の方法においても、炭酸ガスを除去するために多量の吸収液が必要とされる。
本発明は、上記事情を鑑みてなされたもので、吸収液の使用量が少なく、オゾン漂白排ガスの処理を低コストで行うことができるオゾン漂白排ガス処理方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究した結果、オゾン漂白排ガスを吸収塔内で吸収液と接触させて処理する際に、該吸収塔の塔頂部から回収されるオゾン漂白排ガス中の酸素濃度よりも低い酸素濃度のオゾン漂白排ガスを該吸収塔の中間部の少なくとも１カ所から回収することにより、オゾンや炭酸ガスの処理に消費される吸収液の量を減らすことができることを見出し、この知見に基づいて、本発明を完成した。
【０００８】
すなわち、本発明は、充填材層を有する吸収塔に、オゾン漂白排ガスを供給し、充填材層中で上昇させつつ、充填材層中を流下する吸収液に接触させるオゾン漂白排ガス処理方法であって、充填材層中を上昇するオゾン漂白排ガスの一部を、充填材層の中間位置において回収し、他部を、充填材層を通過させて回収することを特徴とするオゾン漂白排ガス処理方法である。
前記充填材層が少なくとも２層であり、前記中間位置が、各充填材層の間に設けた空間部分であることが好ましい。また、前記中間位置において、前記吸収液の再分配を行うことが好ましい。
さらに、本発明のオゾン漂白排ガス処理方法では、充填材層を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、充填材層の中間位置において回収したオゾン漂白排ガスを添加することによって調整することが好ましい。
また、本発明のオゾン漂白排ガス処理方法では、充填材層を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、酸素ガスを添加することによって調整することが好ましい。
【０００９】
また、本発明は、充填材層を有する吸収塔と、該吸収塔の塔頂部に吸収液を供給する吸収液供給手段と、該吸収液を該吸収塔の塔底部から回収する吸収液回収手段と、オゾン漂白排ガスを該吸収塔の塔底部に供給するオゾン漂白排ガス供給手段とを備え、該充填材層の中間位置の少なくとも１カ所と塔頂部とに、供給したオゾン漂白排ガスを回収するオゾン漂白排ガス回収手段を備えることを特徴とするオゾン漂白排ガス処理装置である。
前記充填材層は、少なくとも２層であり、前記中間位置が、各充填材層の間に設けた空間部分であることが好ましい。また、前記中間位置に、前記吸収液の再分配器を備えることが好ましい。
さらに、本発明のオゾン漂白排ガス処理装置は、前記吸収塔の塔頂部のオゾン漂白排ガス回収手段に対して該吸収塔の中間部のオゾン漂白排ガス回収手段が連結され、該塔頂部から回収したオゾン漂白排ガスに添加する中間位置から回収したオゾン漂白排ガスの量を調整するガス量調整手段と、該吸収塔の塔頂部から回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度計とを備えることが好ましい。
また、本発明のオゾン漂白排ガス処理装置は、前記吸収塔の塔頂部から回収したオゾン漂白排ガスに酸素ガスを添加して該オゾン漂白排ガス中の酸素濃度を調整する酸素ガス供給弁と、該オゾン漂白排ガス中の酸素濃度を測定する酸素濃度計とを備えることが好ましい。
【００１０】
吸収液を供給した充填材層にオゾン漂白排ガスを通すと、該オゾン漂白排ガス中のオゾンや炭酸ガスが、該吸収液に吸収され、ガス中の酸素濃度が高められる。
本発明のオゾン漂白排ガス処理方法では、充填材層を通過した後の高い酸素濃度のオゾン漂白排ガス（以下、高Ｏ2回収ガスという）よりも酸素濃度が低いオゾン漂白排ガス（以下、低Ｏ2回収ガスという）の一部を、充填材層の中間位置から回収するので、オゾン漂白工程で生じたオゾン漂白排ガスの全量をアルカリ処理して酸素濃度を高める必要がなく、吸収液消費量を低減させることができる。
なお、「充填材層の中間位置」とは、充填材層の上下方向の中間位置、すなわち、充填材層の上端部と下端部との間の位置をいう。
回収した低Ｏ2回収ガスは、そのまま、排水処理、キルン等の比較的低濃度の酸素ガスが利用できる工程へ供給して再利用することができる。
【００１１】
本発明の好ましい実施態様では、少なくとも２層の充填材層の間に空間部分を設け、該空間部分において、その位置より下部の充填材層でアルカリ処理されたオゾン漂白排ガスの回収を行う。これにより、ガス回収をより容易且つ迅速に行うことができる。
また、前記空間部分において、流下してきた吸収液の再分配を行うことにより、吸収液が均一に分散して下部の充填材層に供給され、排ガスと吸収液との気液接触の効率が向上して、オゾンや炭酸ガスの吸収効率が向上する。
【００１２】
本発明においては、吸収塔から回収したガスを他の工程に送って再利用する際に、ガス中の酸素濃度を測定して、その値に応じて、高Ｏ2回収ガス中に低Ｏ2回収ガスを混合して酸素濃度を低下させたり、高Ｏ2回収ガス中に高純度の酸素ガスを混合して酸素濃度を上昇させる等の簡単な方法により、ガス中の酸素濃度を望ましい値に調整することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図１を用いて本発明のオゾン漂白排ガスの処理方法及び装置をより詳細に説明するが、これは本発明を限定するものではない。
図１は、本発明のオゾン漂白排ガス処理装置の一実施形態を示すものである。
ここに示す処理装置は、２層の充填材層２，３を有する吸収塔１と、該吸収塔１の塔頂部に吸収液を供給する吸収液ノズル９（吸収液供給手段）と、該吸収液を該吸収塔１の塔底部から回収するポンプ２５（吸収液回収手段）と、オゾン漂白排ガスを吸収塔１の塔底部に供給する排ガスノズル１０（オゾン漂白排ガス供給手段）とを備えている。
この処理装置には、充填材層２，３の中間位置すなわち吸収塔中間部２１に、下部充填材層３を通過したオゾン漂白排ガスの一部を回収する中間部排ガス回収経路Ｌ１（オゾン漂白排ガス回収手段）が接続されている。また、吸収塔の塔頂部には、上部充填材層２を通過したオゾン漂白排ガスを回収する塔頂部排ガス回収経路Ｌ２（オゾン漂白排ガス回収手段）が接続されている。
充填材層２，３は、セラミック、合成樹脂、金属等の材料によって構成されるものである。
吸収液としては、白液（ＮａＯＨ水溶液）、酸化白液、緑液、弱液、黒液、排煙脱硫液等を挙げることができ、特に白液が好ましく用いられる。
【００１４】
次に、上記処理装置を使用した場合を例として、本発明のオゾン漂白排ガス処理方法の一実施形態を説明する。
吸収液は、吸収液タンク２３から、ポンプ２４によって吸収塔１の塔頂部へ送液され、吸収液ノズル９から上部充填材層２の上部に噴射され、吸収塔１内の充填材層２，３を流下する。
【００１５】
オゾン漂白装置（図示せず）から回収されたオゾン漂白排ガスは、デミスター１１でミスト等を除去した後、吸収塔１の塔底部に導入する。
排ガスノズル１０から吸収塔１の塔底部に導入されたオゾン漂白排ガスは、まず、下部充填材層３で吸収液と向流接触する。このとき、オゾン漂白排ガス中に含まれるオゾンのほぼ全量と炭酸ガスの一部が吸収液に吸収され、排ガス中から除去される。
【００１６】
下部充填材層３で吸収液によりオゾンを除去されたオゾン漂白排ガスの一部は、下部充填材層３と上部充填材層２との間に設けられた空間部分、すなわち吸収塔中間部２１から、中間部回収ガス止め弁８を経由して回収される。
回収されたガスは、デミスター１２を通し、必要に応じてブロア１５で昇圧された後、中間部回収ガス供給弁７より、排水処理、キルン等の比較的低濃度の酸素ガスが利用できる工程へ供給されるか又は排気弁４を経て排気される。
【００１７】
一方、吸収塔中間部２１で回収されなかったオゾン漂白排ガスは、さらに、上部充填材層２で吸収液と向流接触し、炭酸ガスの一部が除去される。充填材層２，３を通過した排ガスは、塔頂部排ガス回収経路Ｌ２から回収され、デミスター１３でミスト等が除去された後、塔頂部回収ガス供給弁６を経由して、圧縮機１４により昇圧されて、パルプの酸素脱リグニン工程等の比較的高濃度の酸素を必要とする工程に供給される。
【００１８】
パルプ処理において、酸素脱リグニン工程で使用される酸素の量は、一般的に、オゾン漂白排ガスとして排出される酸素量の約半分である。したがって、下部充填材層３で処理されたオゾン漂白排ガスの約半分を吸収塔中間部２１から回収し、上部充填材層２で処理する排ガス量を減らすことにより、上部充填材層２で消費される吸収液量を減らすことができる。
【００１９】
また、吸収塔１の塔底部に導入されるオゾン漂白排ガスは、オゾン漂白設備の運転状況によっては、そのガス組成が安定しない場合がある。
本装置では、酸素脱リグニン工程に供給する回収ガス中の酸素濃度を酸素濃度計２２で検出し、この検出値に基づいて、予め設定された酸素濃度になるように、塔頂部からの回収ガス（高Ｏ2回収ガス）に対して酸素ガス供給弁２０から供給する酸素ガスの供給量を制御することができる。
また、本装置では、酸素濃度計２２で検出した酸素濃度の値に基づいて、予め設定された酸素濃度になるように、回収ガスバイパス弁１６から供給する吸収塔中間部２１からの回収ガス（低Ｏ2回収ガス）量を制御し、酸素濃度を低下させることもできる。吸収塔中間部２１からの回収ガスを用いて処理ガスの希釈を行った場合には、上部充填材層２での排ガス処理量が減少するため、吸収液消費量をさらに減らすことができる。
【００２０】
また、排気弁４から排気されるガス中のオゾン濃度を常時モニターし、装置異常、あるいはオゾン漂白排ガスの流量ならびにオゾン濃度の変動等によって、排気されるガス中に許容濃度以上のオゾンが検知された場合には、中間部回収ガス止め弁８を閉じ、通常運転中は閉じている回収ガス切替弁５を開いて、オゾン漂白排ガス全量を吸収塔上部から回収する。これによって、許容濃度以上のオゾンの排出を防止することができる。
【００２１】
また、吸収塔１塔底部から回収される吸収液は、ポンプ２５によって吸収液回収弁１９を通じ、他の工程（苛性化工程、蒸解工程、白液酸化装置、酸素脱リグニン工程等）へ送液し、再利用することもできる。
その際、回収した吸収液の一部を吸収液バイパス弁１７から吸収液タンク２３に戻して吸収液を循環させ、その循環量と吸収液補給弁１８からの吸収液補給量を調節することで、各工程に適したアルカリ濃度の吸収液とすることができる。
【００２２】
本実施態様のオゾン漂白排ガス処理装置では、充填材層２，３中を上昇するオゾン漂白排ガスの一部を、吸収塔中間部２１（充填材層２，３の中間位置）において回収するので、排ガス処理に必要な吸収液の使用量を低減できる。したがって、オゾン漂白排ガス処理に要するコストが低減される。
本実施態様のオゾン漂白排ガス処理装置では、充填材層を２層とし、前記中間位置を各充填材層の間に設けた空間部分（吸収塔中間部２１）とすることにより、ガス回収をより容易且つ迅速に行うことができる。
また、充填材層２，３を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、吸収塔中間部２１で回収したオゾン漂白排ガスを添加して調整することにより、アルカリ処理される排ガス量が少なくなるので、吸収液の使用量をさらに低減することができる。
また、充填材層２，３を通過させて回収したオゾン漂白排ガス中の酸素濃度を、酸素ガスを添加して調整することにより、酸素濃度の低いガスが酸素脱リグニン工程に供給されるのを防ぐことができ、従って、酸素脱リグニン効率の低下を防ぐことができる。
【００２３】
図２には、本発明のオゾン漂白排ガス処理装置の別の実施態様として、上部充填材層２と下部充填材層との間の空間部分に再分配器２６を配した装置を示す。再分配器２６を配することにより、上部充填材層２から流下する吸収液が、偏ることなく均一に分散して下部充填材層３に供給されるので、排ガスと吸収液との気液接触の効率が向上し、オゾンや炭酸ガスの吸収効率が向上する。
【００２４】
なお、図１には、充填材層を２層設け、その間の一カ所から低Ｏ2回収ガスを回収する例を示しているが、本発明においては、充填材層は１層としてもよいし３層以上設けてもよい。また、充填材層を３層以上設ける場合には、各充填材層間の任意の数カ所から低Ｏ2回収ガスを回収してもよい。
【００２５】
【実施例】
以下、実施例を示して本発明およびその効果を具体的に説明するが、これらは本発明を限定するものではない。
実施例１
図２に示す装置を用い、オゾン漂白排ガスの処理を行った。
本実施例では、塔径３００ｍｍ、上部充填材層２の高さ９００ｍｍ、下部充填材層３の高さ３００ｍｍの吸収塔１を用いた。
オゾン漂白排ガスを吸収塔１の塔底部から５０Ｎｍ3／ｈで供給し、液温５０℃の吸収液を吸収塔１の塔頂部から１．２ｍ3／ｈで供給した。このとき用いた吸収液の組成は、ＮａＯＨ  １０８ｇ／Ｌ、Ｎａ2ＣＯ3  ４７．７ｇ／Ｌ、Ｎａ2Ｓ  ３２．７ｇ／Ｌ、Ｎａ2Ｓ2Ｏ3  ３．６ｇ／Ｌ、Ｎａ2ＳＯ3  ４．７ｇ／Ｌ、Ｎａ2ＳＯ4  １１．７ｇ／Ｌであった。
吸収塔中間部２１からの回収ガス（以下、中間部回収ガスという。）と塔頂部からの回収ガス（以下、塔頂部回収ガスという。）とが同量となるように、中間部ガス止め弁８を調整した。
表１に、処理前のオゾン漂白排ガス、中間部回収ガス及び塔頂部回収ガスの組成を示す。
【００２６】
【表１】
0003914820.tif 000002
【００２７】
中間部回収ガス中のオゾン濃度は、検出下限未満であり、下部充填材層３においてほぼ完全に除去されたことが確認された。また、未処理ガス中に４．８％存在した炭酸ガスは、中間部回収ガス中においては４．１％にまで除去され、酸素濃度は８３．０％となった。この酸素濃度は、排水処理工程、キルン等での使用には十分な酸素濃度である。
一方、塔頂部回収ガス中の炭酸ガスは０．５％にまで除去され、酸素濃度は８６．１％となった。この酸素濃度は、酸素脱リグニン工程での使用においても支障はない。
【００２８】
実施例２
図２に示す装置において、実施例１で使用したのと同様の吸収塔を用い、オゾン漂白排ガスを吸収塔１の塔底部から５０Ｎｍ3／ｈで供給し、液温５０℃の吸収液（実施例１で使用したのと同じ組成のもの）を吸収塔１の塔頂部から１．２ｍ3／ｈで供給した。そして、下部充填材層３で処理したオゾン漂白排ガスの半量（約２５Ｎｍ3／ｈ）を吸収塔中間部２１から回収した。
【００２９】
比較例
オゾン漂白排ガスの処理に必要な吸収液量を比較するために、実施例２に対する比較例として、以下の操作を行った。
図２に示す装置において、実施例１で使用したのと同様の吸収塔を用い、オゾン漂白排ガスを吸収塔１の塔底部から５０Ｎｍ3／ｈで供給し、液温６５℃の吸収液（実施例１で使用したのと同じ組成のもの）を吸収塔１の塔頂部から１．２ｍ3／ｈで供給した。そして、中間部回収ガス止め弁８は閉とし、オゾン漂白排ガスの全量を塔頂部から回収した。（このとき、吸収液の液温を６５℃としたのは、実施例２よりも上部充填材層で処理するオゾン漂白排ガス量が増えるので、処理効率を上げるためである。）
【００３０】
表２に、処理前のオゾン漂白排ガス組成、実施例２の中間部回収ガス及び塔頂部回収ガス組成、並びに、比較例の塔頂部回収ガス組成を示す。
【００３１】
【表２】
0003914820.tif 000003
【００３２】
実施例２の場合、下部充填材層３で除去された炭酸ガスは０．５Ｎｍ3／ｈであり、上部充填材層２で除去された炭酸ガスは０．８８Ｎｍ3／ｈであった。すなわち、除去された炭酸ガスは１．３８Ｎｍ3／ｈであった。
一方、比較例の場合、除去された炭酸ガスは２．２５Ｎｍ3／ｈであった。
なお、５０Ｎｍ3／ｈで供給されたオゾン漂白排ガス（未処理ガス）中の炭酸ガスは、２．５Ｎｍ3／ｈであった。
ここで、吸収塔で消費された吸収液中のＮａＯＨ量は、除去された炭酸ガス量に比例すると考えられる。
したがって、排ガス全量を塔頂部から回収した比較例の場合の炭酸ガス吸収量すなわち吸収液消費量を１００とすると、中間部及び塔頂部から同量のガス量を回収した実施例２の場合のＮａＯＨ消費量は約６１であり、吸収液消費量が削減できたことは明らかである。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の処理方法によると、充填材層中を上昇するオゾン漂白排ガスの一部を、充填材層の中間位置において回収するので、排ガス処理に必要な吸収液の使用量を低減できる。
したがって、オゾン漂白排ガス処理に要するコストを低減できる。
また、オゾン漂白排ガス処理を１基の吸収塔で行いながら、排水処理、キルン等で使用できる比較的低純度の酸素ガスと、酸素脱リグニン工程等で使用できる比較的高純度の酸素ガスとを得ることができるので、設置スペースが小さいオゾン漂白排ガス処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のオゾン漂白排ガス処理装置の一実施態様を示す概略図である。
【図２】  本発明のオゾン漂白排ガス処理装置の一実施態様を示す概略図である。
【図３】  従来のオゾン漂白排ガス処理装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
１…吸収塔、２…上部充填材層、３…下部充填材層、４…排気弁、５…回収ガス切替弁、６…塔頂部回収ガス供給弁、７…中間部回収ガス供給弁、８…中間部回収ガス止め弁、９…吸収液ノズル、１０…排ガスノズル、１１、１２及び１３…デミスター、１４…圧縮機、１５…ブロア、１６…回収ガスバイパス弁、１７…吸収液バイパス弁、１８…吸収液補給弁、１９…吸収液弁、２０…酸素ガス供給弁、２１…吸収塔中間部、２２…酸素濃度計、２３…吸収液タンク、２４，２５…ポンプ、２６…再分配器
【図１】
0003914820.tif 000004
【図２】
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【図３】
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