(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステンレススチールで構成され、内周に段差を有する筒部材と、
前記筒部材の内周に気密に接合されたセラミック絶縁材料からなる板部材であって、その一方の板面が前記筒部材の段差に当接し、その他方の板面の周縁が削られて斜めになっている板部材と、
前記板部材を貫通する導電材料からなるピンであって、前記板部材を貫通する部分が金属の管の内側にありこの管を介して前記板部材に気密にロウ付けにより接合されたピンとを具備する貫通端子であって、
前記筒部材の内周と前記板部材の斜めになっている部分とで形成される前記ピンの長手方向に切断した断面における三角領域、及び、前記板部材の一方の板面と前記筒部材の段差とで形成される前記断面における三角領域にロウ材を付けてロウ付けすることにより前記筒部材と前記板部材とを気密に接合したことを特徴とする貫通端子。
【請求項２】
前記ロウ付けに用いるロウは銀ロウであることを特徴とする請求項１に記載の貫通端子。
【請求項３】
前記ピンの金属の管は、少なくとも鉄、ニッケル及びコバルトを成分とする合金からなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の貫通端子。
【請求項４】
電気接続用の貫通端子を有するＸ線管であって、
前記貫通端子は、請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載の貫通端子であることを特徴とするＸ線管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、貫通端子およびＸ線管に関し、とくに、気密容器の内と外を電気的に接続する貫通端子、および、そのような貫通端子を有するＸ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線管の内部は真空に保たれている。Ｘ線管の内部電極への電圧および電流の供給は貫通端子を通じて行われる。貫通端子は気密構造になっている。そのような貫通端子は、筒部材と、その内周に気密に接合された電気絶縁性の板部材と、この板部材を気密に貫通する導電性のピン（ｐｉｎ）とで構成される。気密性を付与するための各部材の接合は、ロウ付けよって行われる。ロウ付けは高温を印加して行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
Ｘ線管における貫通端子は、板部材がガラス（ｇｌａｓｓ）で構成されているので、ロウ付け後の残留応力等の影響で気密性が損なわれやすい。
【０００４】
そこで、本発明の課題は、気密性を安定的に維持する貫通端子、および、そのような貫通端子を有するＸ線管を実現することである。なお、本発明の貫通端子は、気密容器の内と外を電気的に接続する用途に広く適用可能である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するための発明は、筒部材と、前記筒部材の内周に気密に接合されるセラミック絶縁材料からなる板部材と、前記板部材を貫通する導電材料からなるピンであって、前記板部材を貫通する部分が金属の管の内側にありこの管を介して前記板部材に気密に接合されるピンと、を具備することを特徴とする貫通端子である。
【０００６】
本発明では、板部材をセラミック絶縁材料で構成し、この板部材を貫通する導電材料からなるピンを、板部材を貫通する部分が金属の管の内側にありこの管を介して板部材に気密に接合されるピンとしたので、気密性を安定的に維持する貫通端子を実現することができる。
【０００７】
前記筒部材は、前記板部材の板面が当接する段差を内周に有することが、位置決めを容易にする点で好ましい。
前記筒部材は、少なくとも鉄、ニッケルおよびコバルトを成分とする合金からなることが、板部材の接合を容易にする点で好ましい。
【０００８】
前記筒部材は、ステンレススチールからなることが、板部材の接合を容易にする点で好ましい。
Ｘ線管は、上記のような構成の貫通端子を有することが、気密性を安定的に維持する点で好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本発明は実施の形態に限定されるものではない。図１に貫通端子の構造を断面図によって示す。本貫通端子は本発明の実施の形態の一例である。本貫通端子の構成によって、本発明の貫通端子に関する実施の形態の一例が示される。
【００１０】
同図に示すように、本貫通端子は筒部材１１を有する。筒部材１１は概ね円筒状の部材である。なお、円筒に限らず適宜の断面形状を持つ筒であってよい。筒部材１１は、本発明における筒部材の実施の形態の一例である。
【００１１】
筒部材１１の材料としては、例えばＫｏｖａｒ（商品名）が用いられる。Ｋｏｖａｒは、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）およびその他の成分からなる合金である。Ｋｏｖａｒは後述のセラミック（ｃｅｒａｍｉｃｓ）製板部材との接合性が優れている点で好ましい。なお、筒部材１１はＫｏｖａｒに限らずステンレススチール（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌ）で構成してもよい。ステンレススチールもセラミックとの接合性が良く、しかもＫｏｖａｒより安価である。
【００１２】
筒部材１１の内部に板部材１３が取り付けられている。板部材１３の材料としては、電気絶縁性のセラミックが用いられる。板部材１３は、その輪郭が筒部材１１の内周に適合するように形成されている。ここでは、筒部材１１の内周が円であり、それに対応して板部材１３は円板となっている。板部材１３は、本発明における板部材の実施の形態の一例である。
【００１３】
板部材１３は、その一方の板面が筒部材１１の内周の段差１１１に当接した状態で取り付けられている。段差１１１は、筒部材１１の内壁面から内側に突出する棚状構造によって形成される。この段差１１１によって、筒部材１１の内部における板部材１３の位置が一義的に定まる。段差１１１は、本発明における段差の実施の形態の一例である。
【００１４】
筒部材１１の内部における板部材１３の位置が、板部材１３の一方の板面を段差１１１に当接するだけで定まるので、特別な治具等を用いることなく容易に位置決めを行うことができる。
【００１５】
筒部材１１に対する板部材１３の接合は、ロウ付けによって行われる。ロウ付けは、板部材１３の周縁部において行われる。すなわち、塗りつぶしの三角形で示すように、板部材１３の両面の周縁部が筒部材１１の内周にロウ付けされる。
【００１６】
ロウの材料としては、例えば銀ロウ等適宜のロウ材が用いられる。ロウ材は１０００゜Ｃ超の高温で溶解して板部材１３と筒部材１１を接合する。そして、常温に冷えたとき両者を強固に接合する。ロウ付けによる接合部は高い気密性を有する。
【００１７】
板部材１３には、それを貫通するピン１５が設けられれている。ここでは、ピンが３本ある例を示すが、ピンの本数は３本に限らず適宜でよい。いずれのピン１５も、板部材１３を貫通する部分が管１７の内側にありこの管を介して板部材１３に接合されている。ピン１５と管１７との接合および管１７と板部材１３との接合は、いずれも、ロウ付けによって行われる。ピン１５は、本発明におけるピンの実施の形態の一例である。管１７は、本発明における管の実施の形態の一例である。
【００１８】
管１７は金属製の管である。管の材料としては例えばＫｏｖａｒ等が用いられる。ピンは導電材料からからなるピンである。導電材料としては例えば銅等が用いられる。
【００１９】
Ｋｏｖａｒは、ロウ付けによる接合性がセラミックおよび導電材料のいずれに対しても優れている。このため、板部材１３と管１７との接合および管１７とピン１５との接合を強固にかつ気密性良く行うことができる。
【００２０】
このように、板部材１３の材料としてセラミックを用い、この板部材に、電気的接続用のピン１５を、金属の管１７を介在させて貫通させるようにしたので、ロウ付け後の残留応力等にかかわらず気密性を安定的に維持することができる。
【００２１】
このような貫通端子がＸ線管に取り付けられる。Ｘ線管に取り付けた状態では、板部材１３を境にして、向かって左側が真空側、右側が大気側となる。このような貫通端子を用いることにより、Ｘ線管の気密性が安定的に維持される。
【００２２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、気密性を安定的に維持する貫通端子、および、そのような貫通端子を有するＸ線管を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１１  筒部材
１３  板部材
１５  ピン
１７  管
【図１】
0004012764.tif 000002