(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理ガスを第１蓄熱体−燃焼室−第２蓄熱体の順に通過させる第１通気状態と、被処理ガスを前記第１通気状態とは逆向きに前記第２蓄熱体−前記燃焼室−前記第１蓄熱体の順に通過させる第２通気状態とに、被処理ガスの通気経路を交互切り換えする通気反転用の切換手段を設けた蓄熱型の燃焼式ガス処理装置であって、
前記第１通気状態において前記第２蓄熱体を通過したガス、及び、前記第２通気状態において前記第１蓄熱体を通過したガスを、排気路へ送出する排気状態とタンクへ導入する回収状態とに、それら通過ガスの導出経路を切り換える未処理ガス回収用の切換手段を設け、
前記タンクに導入したガスを、前記第１通気状態では前記第１蓄熱体へ還送し、かつ、前記第２通気状態では前記第２蓄熱体へ還送する還送手段を設け、
前記タンクの一端部に、前記回収状態においてタンク内に導入するガスのガス導入口、及び、前記還送手段により還送するガスのガス導出口を設け、
前記タンクの他端部に給排気口を設け、
前記タンクの内部に、タンク内における一端側と他端側との連通を保った状態でタンク内でのガス対流を抑止する対流抑止手段を設けてある蓄熱型の燃焼式ガス処理装置。
【請求項２】
前記還送手段として、被処理ガスを前記第１通気状態において前記第１蓄熱体に送り込み、かつ、前記第２通気状態において前記第２蓄熱体に送り込む被処理ガス供給用ファンの吸入側に、前記タンクのガス導出口を風路接続してある請求項１記載の蓄熱型の燃焼式ガス処理装置。
【請求項３】
前記第１通気状態と前記第２通気状態との切り換えに伴い、前記未処理ガス回収用の切換手段を前記排気状態の側から前記回収状態の側へ自動的に切り換え、
かつ、その後、前記第２通気状態では前記第１蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスの前記タンクへの回収導入が終了したとき、また、前記第１通気状態では前記第２蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスの前記タンクへの回収導入が終了したとき、前記未処理ガス回収用の切換手段を前記回収状態の側から前記排気状態の側へ自動的に復帰切り換えする制御手段を設けてある請求項１又は２記載の蓄熱型の燃焼式ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機溶剤を含むガスの浄化や脱臭などに用いる蓄熱型の燃焼式ガス処理装置に関し、詳しくは、被処理ガスを第１蓄熱体−燃焼室−第２蓄熱体の順に通過させる第１通気状態と、被処理ガスを第１通気状態とは逆向きに第２蓄熱体−燃焼室−第１蓄熱体の順に通過させる第２通気状態とに、被処理ガスの通気経路を交互切り換えする通気反転用の切換手段を設けた蓄熱型の燃焼式ガス処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この形式のガス処理装置では、第１通気状態（図１参照）において燃焼室６から送出される高温の処理済ガスＧ’からその保有熱を第２蓄熱体５Ｂに回収蓄熱し、この蓄熱した第２蓄熱体５Ｂにより、次の第２通気状態（図２参照）において燃焼室６へ導く被処理ガスＧを予熱する。また、第２通気状態では燃焼室６から送出される高温の処理済ガスＧ’からその保有熱を第１蓄熱体５Ａに回収蓄熱し、この蓄熱した第１蓄熱体５Ａにより、次の第１通気状態において燃焼室６へ導く被処理ガスＧを予熱する。
【０００３】
つまり、この通気経路の交互切り換えにより第１蓄熱体５Ａと第２蓄熱体５Ｂを予熱と蓄熱とに背反的に交互使用することで、処理済ガスＧ’からの熱回収とその回収熱による被処理ガスＧの予熱とを並行しながらのガス処理を連続的に行う。
【０００４】
しかし、この形式のガス処理装置では、第１通気状態と第２通気状態とで通気方向を反転させる為、通気状態の切り換えが行われた際、その切り換え時点で予熱側蓄熱体の通過過程やその近傍にあった被処理ガス（すなわち、先の通気状態での残存未処理ガス）が通気方向の反転で未処理のまま処理済ガスの取り出し側に送出されてしまう問題があった。
【０００５】
これに対し、従来、図４に示す如き改良装置が知られている。この改良装置では、３つの蓄熱体５Ａ〜５Ｃを設け、切換弁ｖによる通気経路の切り換えで、これら蓄熱体５Ａ〜５Ｃのうち、燃焼室６へ導く被処理ガスＧの予熱に用いるもの、燃焼室６からの処理済ガスＧ’を通過させて蓄熱に用いるもの、及び、休止状態とするものを順次切り換える。また、この切り換えにおいて、先の通気状態で予熱に用いた蓄熱体は次の通気状態において休止状態とする。
【０００６】
そして、掃気用弁ｖｓの操作により、各通気状態において、そのときの休止蓄熱体に対し、蓄熱側蓄熱体を通過した後の処理済ガスＧ’の一部を掃気用ガスＳとして通気することで、その休止蓄熱体及びその近傍における先の通気状態での残存未処理ガスＧ”を燃焼室６へ送り出して被処理ガスＧとともに処理し、これにより、残存未処理ガスＧ”が未処理のままで処理済ガスＧ’の取り出し側の排気路１０に送出されるのを防止する。８はバーナ、２は通気用ファンである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この改良装置では、一つの蓄熱体を休止させて掃気により未処理ガスを処理するため蓄熱体の装備数が多くなり、また、それに伴い装置が大型化するとともに、通気状態の切り換えが複雑になって装置が複雑化し、この為、装置コストが嵩む問題があった。
【０００８】
また、装置の大型化や複雑化で高温部の表面積が大きくなって放熱ロスが大きくなり、しかも、装置の大型化や複雑化に伴い装置内（特に燃焼室）での気流の偏りや温度ムラが大きくなって処理効率が低下する問題もあった。
【０００９】
そしてまた、蓄熱体及びその近傍の残存未処理ガスを燃焼室の側へ確実に送り出すには、かなりの量の掃気用ガスの吹き込みを要し、この大量に吹き込む掃気用ガスが装置にとって大きな処理負荷になることで、被処理ガスの処理効率がさらに低下する問題もあった。
【００１０】
この実情に対し、本発明の主たる課題は、通気状態の切り換え時における残存未処理の回収及び処理を合理的に行うことにより、上記の如き問題を効果的に解消する点にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１に係る発明では、基本構成として、被処理ガスを第１蓄熱体−燃焼室−第２蓄熱体の順に通過させる第１通気状態と、被処理ガスを第１通気状態とは逆向きに第２蓄熱体−燃焼室−第１蓄熱体の順に通過させる第２通気状態とに、被処理ガスの通気経路を交互切り換えする通気反転用の切換手段を設けるのに対し、
第１通気状態において第２蓄熱体を通過したガス、及び、第２通気状態において第１蓄熱体を通過したガスを、排気路へ送出する排気状態とタンクへ導入する回収状態とに、それら通過ガスの導出経路を切り換える未処理ガス回収用の切換手段を設け、
タンクに導入したガスを、第１通気状態では第１蓄熱体へ還送し、かつ、第２通気状態では前記第２蓄熱体へ還送する還送手段を設ける。
また、前記タンクについて、タンクの一端部に、前記回収状態においてタンク内に導入するガスのガス導入口、及び、前記還送手段により還送するガスのガス導出口を設け、
タンクの他端部に給排気口を設け、
タンクの内部に、タンク内における一端側と他端側との連通を保った状態でタンク内でのガス対流を抑止する対流抑止手段を設ける。
【００１２】
すなわち、この構成では、第１通気状態では燃焼室から送出される高温の処理済ガスからその保有熱を第２蓄熱体に回収蓄熱し、この蓄熱した第２蓄熱体により、次の第２通気状態において燃焼室へ導く被処理ガスを燃焼による処理に先立ち予熱する。また、第２通気状態では燃焼室から送出される高温の処理済ガスからその保有熱を第１蓄熱体に回収蓄熱し、この蓄熱した第１蓄熱体により、次の第１通気状態において燃焼室へ導く被処理ガスを燃焼による処理に先立ち予熱する。
【００１３】
つまり、通気反転用の切換手段をもって第１通気状態と第２通気状態との交互切り換えを行うことで、第１蓄熱体と第２蓄熱体を予熱と蓄熱とに背反的に交互使用し、これにより、処理済ガスからの熱回収とその回収熱による被処理ガスの予熱とを並行しながらのガス処理を連続的に行う。
【００１４】
そして、第１通気状態と第２通気状態との切り換えの際、第１通気状態から第２通気状態への切り換えの場合では、それまで予熱に用いていた第１蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスが燃焼室での処理済ガスに先立ち第１蓄熱体の側から送出され、また、第２通気状態から第１通気状態への切り換えの場合では、それまで予熱に用いていた第２蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスが燃焼室での処理済ガスに先立ち第２蓄熱体の側から送出されるのに対し、未処理ガス回収用の切換手段を回収状態の側に切り換えることで、これら通気状態の切り換え際に送出される残存未処理ガスをタンクに導入回収する。
【００１５】
また、その後、残存未処理ガスのタンクへの導入回収が終了すると、未処理ガス回収用の切換手段を回収状態の側から排気状態の側に復帰切り換えし、これにより、第２通気状態では残存未処理ガスに続き第１蓄熱体の側から送出される処理済ガスを、また、第１通気状態では残存未処理ガスに続き第２蓄熱体の側から送出される処理済ガスを、夫々、処理済ガスの取り出し側である排気路へ導く状態にする。
【００１６】
回収した未処理ガスについては、還送手段による還送により、第１通気状態では被処理ガスととも第１蓄熱体−燃焼室−第２蓄熱体の順に通過させて処理し、また、第２通気状態では被処理ガスととも第２蓄熱体−燃焼室−第１蓄熱体の順に通過させて処理する。また、この還送によりタンクを次の通気状態の切り換え時における残存未処理ガスの回収導入に備えさせる。
【００１７】
したがって、請求項１に係る発明によれば、通気状態の切り換え時に生じる残存未処理ガスが未処理のままで処理済ガスの取り出し側（前記排気路）に送出されてしまうことを、前記した従来の改良装置の如き蓄熱体の増設や掃気用ガスの吹き込みを不要にしながら確実に防止でき、これにより、装置を小型化するとともに装置構造を簡単にして装置コストを安価にすることができる。
【００１８】
また、その小型化及び装置構造の簡単化により高温部の表面積を小さくして放熱ロスを小さくすることができ、しかも、装置の小型化及び装置構造の簡単化により装置内（特に燃焼室）での気流の偏りや温度ムラも小さくして処理効率を向上させることができる。
【００１９】
そしてまた、従来の改良装置の如く、大量に吹き込む掃気用ガスが大きな処理負荷になることで被処理ガスの処理効率が低下するといったもこともなく、この点からも被処理ガスの処理効率を効果的に向上できる。
【００２０】
さらに、請求項１に係る発明では、前記タンクについて、タンクの一端部に、前記回収状態においてタンク内に導入するガスのガス導入口、及び、前記還送手段により還送するガスのガス導出口を設け、タンクの他端部に給排気口を設け、タンクの内部に、タンク内における一端側と他端側との連通を保った状態でタンク内でのガス対流を抑止する対流抑止手段を設ける。
【００２１】
すなわち、この構成では、未処理ガスの回収の際、タンク一端部のガス導入口から未処理ガスをタンク内に導入するのに対し、タンク他端部の給排気口からタンク内気体を排出させながら、タンク内でのガス対流を対流抑止手段により抑止することで、タンク内における未処理ガスの流動をタンクの他端部側へ向けてのピストン流的なものにし、これにより、タンク内における未処理ガスの占有領域をタンクの一端部側から逐次拡大させる形態で、未処理ガスをタンク内に受け入れ回収する。
【００２２】
また、回収した未処理ガスの還送の際、タンク一端部のガス導出口からタンク内の回収未処理ガスを取り出すのに対し、タンク他端部の給排気口からタンク外気体をタンク内に流入させながら、タンク内でのガス対流を対流抑止手段により抑止することで、タンク内における未処理ガスの流動をタンクの一端部側へ向けてのピストン流的なものにし、これにより、タンク内における未処理ガスの占有領域をタンクの他端部側から逐次縮小させる形態で、未処理ガスをタンク外に取り出す。
【００２３】
したがって、請求項１に係る発明によれば、通気状態の切り換え際に送出される残存未処理ガスをその処理に先立ち一旦受け入れ貯留するアキュムレータ機能を備えさせるのに、タンク他端部に給排気口を設ける開放型タンクを用いるだけの簡単な装置構成としながらも、上記の如きタンク内における未処理ガスのピストン流的な流動により回収未処理ガスとタンク外気体との混合を効果的に防止することができ、これにより、回収未処理ガスとタンク外気体との混合による処理負荷の増大を防止して処理効率の向上を効果的に達成しながら、装置構造の簡略化による装置コストの低減を一層効果的に達成できる。
【００２４】
〔２〕請求項２に係る発明では、前記還送手段として、被処理ガスを第１通気状態において第１蓄熱体に送り込み、かつ、第２通気状態において第２蓄熱体に送り込む被処理ガス供給用ファンの吸入側に、前記タンクのガス導出口を風路接続する。
【００２５】
すなわち、この構成では、第１通気状態及び第２通気状態の夫々において、被処理ガス供給用ファンにより被処理ガスを送り込むのに伴い、その被処理ガス供給用ファンの吸引機能により、吸入側に接続の風路を介してタンクにおける回収未処理ガスをタンクから取り出し、そして、その取り出し未処理ガスを被処理ガス供給用ファンの送風機能により、第１通気状態では被処理ガスとともに第１蓄熱体−燃焼室−第２蓄熱体の順に通過させ、第２通気状態では被処理ガスとともに第２蓄熱体−燃焼室−第１蓄熱体の順に通過させる。
【００２６】
また、通気状態の切り換え時には、未処理ガス回収用の切換手段を回収状態の側に切り換えるのに対し、第２通気状態では、この被処理ガス供給用ファンの送風機能により、被処理ガスの第２蓄熱体への送り込みに伴い、第１蓄熱体の側から残存未処理ガスを送出させて、その残存未処理ガスをタンクに送り込み、また、第１通気状態では、この被処理ガス供給用ファンの送風機能により、被処理ガスの第１蓄熱体への送り込みに伴い、第２蓄熱体の側から残存未処理ガスを送出させて、その残存未処理ガスをタンクに送り込む。
【００２７】
したがって、請求項２に係る発明によれば、回収未処理ガスのタンクからの還送、及び、通気状態の切り換え時における残存未処理ガスのタンクへの回収を、被処理ガス供給用のファンだけで行うことができ、これにより、装置構造の簡略化による装置コストの低減を一層効果的に達成できる。
【００２８】
〔３〕請求項３に係る発明では、第１通気状態と第２通気状態との切り換えに伴い、未処理ガス回収用の切換手段を排気状態の側から回収状態の側へ自動的に切り換え、
かつ、その後、第２通気状態では第１蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスのタンクへの回収導入が終了したとき、また、第１通気状態では第２蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスのタンクへの回収導入が終了したとき、未処理ガス回収用の切換手段を回収状態の側から排気状態の側へ自動的に復帰切り換えする制御手段を設ける。
【００２９】
すなわち、この構成では、第１通気状態から第２通気状態への切り換えの際に処理済ガスに先立ち第１蓄熱体の側から送出される第１蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガス、並びに、第２通気状態から第１通気状態への切り換えの際に処理済ガスに先立ち第２蓄熱体の側から送出される第２蓄熱体及びその近傍における残存未処理ガスの夫々を、上記制御手段による未処理ガス回収用切換手段の回収状態の側への自動切り換えにより自動的かつ確実にタンクに回収し、残存未処理ガスが不用意に処理済ガスの取り出し側である排気路に送出されるのを防止する。
【００３０】
また、切り換え後の第２通気状態において残存未処理ガスに続き第１蓄熱体の側から送出される処理済ガス、並びに、切り換え後の第１通気状態において残存未処理ガスに続き第２蓄熱体の側から送出される処理済ガスの夫々を、上記制御手段による未処理ガス回収用切換手段の排気状態の側への自動復帰切り換えにより自動的かつ確実に排気路へ導き、これら処理済ガスが不必要にタンクに回収されるのを防止する。
【００３１】
したがって、請求項３に係る発明によれば、未処理ガス回収用切換手段の自動切り換えにより装置操作を容易にし得るとともに、未処理ガスが処理済ガスの取り出し側である排気路に送出されてしまうことを一層確実に防止できる。また、処理済ガスが不必要にタンクに回収されて回収未処理ガスに混入することで処理負荷が増大するのを確実に防止し、これにより、被処理ガスの処理効率を一層向上できる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明によるガス処理装置の構成例を示し、ガス供給路１により導かれる被処理ガスＧは被処理ガス供給用ファン２により処理塔３に導入する。
【００３３】
ｖ１〜ｖ４は通気反転用切換手段としての第１〜第４の弁であり、第１及び第３弁ｖ１，ｖ３を閉じて第２及び第４弁ｖ２，ｖ４を開くことにより、第１通気状態として、同図１及び図３に示す如く被処理ガスＧを下部環状室４−第１蓄熱体５Ａ−燃焼室６−第２蓄熱体５Ｂ−下部中央室７の順に通過させる。
【００３４】
また、第１及び第３弁ｖ１，ｖ３を開き第２及び第４弁ｖ２，ｖ４を閉じることにより、第２通気状態として、図２及び図３に示す如く被処理ガスＧを第１通気状態とは逆に、下部環状室４−第２蓄熱体５Ｂ−燃焼室６−第１蓄熱体５Ａ−下部中央室７の順に通過させる。
【００３５】
第１通気状態及び第２通気状態の夫々において、被処理ガスＧは燃焼室６の通過過程でバーナ８による燃焼をもって処理し、被処理ガスＧに含まれる汚染物質（例えば溶剤蒸気や粉塵など）を焼却することで浄化や脱臭を行う。
【００３６】
第１通気状態では燃焼室６から送出される高温処理済ガスＧ’の保有熱を第２蓄熱体５Ｂに回収蓄熱し、この蓄熱した第２蓄熱体５Ｂを次の第２通気状態において燃焼室６へ導く被処理ガスＧの予熱に用いる。また、第２通気状態では燃焼室６から送出される高温処理済ガスＧ’の保有熱を第１蓄熱体５Ａに回収蓄熱し、この蓄熱した第１蓄熱体５Ａを次の第１通気状態において燃焼室６へ導く被処理ガスＧの予熱に用いる。
【００３７】
すなわち、第１通気状態と第２通気状態との交互切り換えを行うことにより、第１蓄熱体５Ａと第２蓄熱体５Ｂを予熱と蓄熱とに背反的に交互使用し、これにより、処理済ガスＧ’からの熱回収とその回収熱による被処理ガスＧの予熱とを並行しながらガス処理を連続的に行う。
【００３８】
９は未処理ガス回収用切換手段としての三方弁であり、この三方弁９の切り換え操作により、第１及び第２通気状態の夫々において下部中央室７から送出されるガスを排気路１０へ排出する排気状態とタンク１１に導入する回収状態とに、処理塔３からのガス導出経路を切り換える。
【００３９】
つまり、第１通気状態と第２通気状態との切り換えの際、第１通気状態から第２通気状態への切り換えでは、それまで予熱に用いていた第１蓄熱体５Ａ及びその近傍における残存未処理ガスＧ”が燃焼室６での処理済ガスＧ’に先立ち下部中央室７から送出され、また、第２通気状態から第１通気状態への切り換えでは、それまで予熱に用いていた第２蓄熱体５Ｂ及びその近傍における残存未処理ガスＧ”が燃焼室６での処理済ガスＧ’に先立ち下部中央室７から送出されるが、これに対し、この三方弁９を排気状態の側から回収状態の側に切り換えることで、これら通気状態の切り換え際に送出される残存未処理ガスＧ”をタンク１１に導入回収する。
【００４０】
また、残存未処理ガスＧ”のタンクへの導入回収が終了すると、三方弁９を回収状態の側から排気状態の側に復帰切り換えし、これにより、切り換え後の第１及び第２通気状態の夫々において、残存未処理ガスＧ”に続き下部中央室７から送出される処理済ガスＧ’を排気路１０へ導く状態にする。
【００４１】
タンク１１に回収した未処理ガスＧ”は、回収の後、徐々にタンク１１から取り出して還送路１２を通じガス供給路１の被処理ガスＧに合流させ、これにより、ガス供給路１から処理塔３へ供給する後続の被処理ガスＧとともに燃焼室６で処理する。また、このように回収未処理ガスＧをタンク１１から還送することで、タンク１１を次の通気状態の切り換え時における残存未処理ガスＧ”の回収に備えさせる。
【００４２】
タンク１１の一端部にはガス導入口１３及びガス導出口１４を形成し、タンク１１の他端部には給排気口１５を形成し、また、タンク１１の内部には、タンク内における一端側と他端側の連通は保った状態でタンク内でのガス対流を抑止する対流抑止手段として、タンク内を横断面視で多数の細分領域に仕切るハニカム状の仕切材１６を設けてあり、未処理ガスＧ”の回収の際、タンク一端部のガス導入口１３から未処理ガスＧ”をタンク内に導入するのに対し、タンク他端部の給排気口１５からタンク内気体を排出させながら、タンク内でのガス対流を仕切材１６により抑止することで、タンク内における未処理ガスＧ”の流動をタンク１１の他端部側へ向けてのピストン流的なものにし、これにより、タンク内における未処理ガスＧ”の占有領域をタンク１１の一端部側から逐次拡大させる形態で、未処理ガスＧ”をタンク内に受け入れ回収する。
【００４３】
また、回収未処理ガスＧ”を還送路１２を通じて還送する際、タンク一端部のガス導出口１４からタンク内の回収未処理ガスＧ”を還送路１２へ取り出すのに対し、タンク他端部の給排気口１５からタンク外気体をタンク内に流入させながら、タンク内でのガス対流を仕切材１６により抑止することで、タンク内における未処理ガスＧ”の流動をタンク１１の一端部側へ向けてのピストン流的なものにし、これにより、タンク内における未処理ガスＧ”の占有領域をタンク１１の他端部側から逐次縮小させる形態で、未処理ガスＧ”をタンク外に取り出す。
【００４４】
つまり、通気状態の切り換え際に送出される残存未処理ガスＧ”をその処理に先立ち一旦受け入れ貯留するアキュムレータ機能を備えさせるのに、タンク他端部に給排気口１５を設ける開放型タンク１１を用いるだけの簡単な装置構成としながらも、上記の如きタンク内における未処理ガスＧ”のピストン流的な流動により回収未処理ガスＧ”とタンク外気体との混合を防止する。
【００４５】
なお、本例では、タンク他端部の給排気口１５を排気路１０に接続し、回収未処理ガスＧ”をタンク１１から取り出す際には、排気路１０における処理済ガスＧ’の一部を給排気口１５からタンク内に導入するようにしてある。
【００４６】
回収未処理ガスＧ”をタンク１１から取り出してガス供給路１の被処理ガスＧに合流させる還送手段については、前記還送路１２を被処理ガス供給用ファン２の吸入側に接続する構造にしてあり、これにより、第１通気状態及び第２通気状態の夫々において、被処理ガス供給用ファン２による被処理ガスＧの送り込みに伴い、その被処理ガス供給用ファン２の吸引機能によりタンク１１における回収未処理ガスＧ”をタンク１１から徐々に取り出し、そして、その取り出し未処理ガスＧ”を被処理ガス供給用ファン２の送風機能により被処理ガスＧとともに処理塔３に送り込む。
【００４７】
また、通気状態の切り換え時には、三方弁９を回収状態の側に切り換えるのに対し、この被処理ガス供給用ファン２の送風機能により、被処理ガスＧの処理塔３への送り込みに伴い下部中央室７から残存未処理ガスＧ”を送出させて、その残存未処理ガスＧ”をタンク１１に送り込む。
【００４８】
つまり、この還送構造により、回収未処理ガスＧ”のタンク１１からの還送、及び、通気状態の切り換え時における残存未処理ガスＧ”のタンク１１への回収を被処理ガス供給用のファン２だけで行えるようにしてある。
【００４９】
１７は制御器であり、この制御器１７は、第１〜第４弁ｖ１〜ｖ４を自動操作して設定時間毎に第１通気状態と第２通気状態との切り換えを自動的に行い、また、その第１通気状態と第２通気状態との切り換えの際、三方弁９を排気状態の側から回収状態の側へ自動的に切り換えて、残存未処理ガスＧ”のタンク１１への回収を自動的に開始する。
【００５０】
また、その後、設定回収時間が経過すると、三方弁９を回収状態の側から排気状態の側へ自動的に復帰切り換えし、残存未処理ガスＧ”のタンク１１への回収を自動的に終了する。なお、設定回収時間には、予熱に用いた蓄熱体５Ａ，５Ｂ及びその近傍における残存未処理ガスＧ”をタンク１１へ回収導入のに要する時間を設定してある。
【００５１】
〔別の実施形態〕
対流抑止手段は、前記の如きハニカム状の仕切材に限定されるものではなく、例えば、繊維材の充填層を対流抑止手段としてタンクに内蔵するなど、種々の構造を採用できる。
【００５２】
被処理ガスは、溶剤蒸気を含むガスや粉塵を含むガスなど、燃焼による処理が可能なものであれば、どのようなガスであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１通気状態を示す装置構成図
【図２】第２通気状態を示す装置構成図
【図３】処理塔構造を示す平面視断面図
【図４】従来例を示す装置構成図
【符号の説明】
２                      被処理ガス供給用ファン
５Ａ                    第１蓄熱体
５Ｂ                    第２蓄熱体
６                      燃焼室
９                      未処理ガス回収用切換手段
１１                    タンク
２，１２                還送手段
１３                    ガス導入口
１４                    ガス導出口
１５                    給排気口
１６                    対流抑止手段
１７                    制御手段
Ｇ                      被処理ガス
ｖ１〜ｖ４              通気反転用切換手段
【図１】
0003973292.tif 000002
【図２】
0003973292.tif 000003
【図３】
0003973292.tif 000004
【図４】
0003973292.tif 000005