(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス列信号によりサーボモータの速度と位置を制御し、前記パルス列信号の伝送異常を、前記パルス列信号の出力を表すサーボコントローラのＲＵＮビットの変化と、サーボアンプから出力される位置決め完了信号の変化の時間的な組合わせから検出する方式のサーボコントローラにおいて、
前記サーボモータの現速度を算出する手段と、当該算出した現速度を予め設定してある監視速度と比較する手段とを設け、
前記ＲＵＮビットが変化した後、前記現速度が前記監視速度を越えていることを条件として前記伝送異常が検出されるように構成したことを特徴とするサーボコントローラ。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、
前記伝送異常の検出のための処理を繰り返し、伝送異常が少なくとも２回、検出されたとき伝送異常と判定するように構成されていることを特徴とするサーボコントローラ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の発明において、
前記サーボモータが複数台備えられ、
前記パルス列信号の伝送異常が、各サーボモータ毎に検出されるように構成したことを特徴とするサーボコントローラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス列信号によりサーボモータの速度と位置を制御する方式のサーボコントローラに係り、特に、複数台のサーボモータを備えたサーボ制御システムに好適なサーボコントローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】
工作機械や動作シミュレーション遊技システムなど、精密な位置制御と速度制御が要求される機器の移動部の駆動には、サーボ制御システム(サーボ機構)が採用される場合が多いが、このとき、サーボモータの制御に使用されるのがサーボコントローラで、この場合、サーボ制御システムは、例えば図６に示すように構成されている。
【０００３】
この図６は、複数台のサーボモータ、例えば４台のサーボモータ７〜１０を備えたサーボ制御システムの一例で、これら複数台のサーボモータ７〜１０は、サーボコントローラ２の制御のもとで、夫々のサーボアンプ３〜６により駆動されるようになっている。
【０００４】
このとき、サーボコントローラ２は、各サーボモータ７〜１０の制御のため、各伝送ライン１１〜１４を介して、各サーボアンプ３〜６にパルス列出力(パルス列からなる信号のこと)を供給するようになっており、従って、このようなサーボモータの速度制御や位置制御にパルス列出力を使った位置決めシステムの場合、パルス列出力方式と呼ばれている。
【０００５】
そして、このサーボコントローラ２は、それ自体もコンピュータを主体にして構成されているが、このとき、各サーボモータ７〜１０の制御に必要なデータとプログラムは、パソコン１によりプログラミングされ、制御に必要なデータと共にサーボコントローラ２に格納されるようになっている。
【０００６】
ところで、このようなパルス列出力方式のサーボシステムの場合、パルス列出力の伝送ライン１１〜１４に断線などの異常が発生すると、サーボモータによる駆動対象の動きが異常になって、正しいサーボ動作が得られなくなってしまうだけでは無く、安全性の保持にも問題が生じてしまう。
【０００７】
そこで、例えば駆動対象の動きを検出するエンコーダの信号など、サーボモータ側からのフィードバック信号を監視し、伝送ライン１１〜１４も含めて、パルス列出力の伝送系全体の健全性を確認し、ライン断線などの伝送異常の発生を検出する方法が従来から知られている。
【０００８】
しかし、この方法は、オープンループ制御方式のサーボ制御システムの場合、フィードバック信号が無いので適用できないが、ここで、パルス列出力方式による位置決めシステムでは、オープンループ制御方式による場合が多い。
【０００９】
そこで、オープンループ制御方式の場合は、図７に示すように、各伝送ライン１１〜１４に別途、検出回路を組込んで、ライン断線などの伝送異常の発生を検出する方法が従来技術として知られていた。この図において、１６はドライバ、１７はレシーバ、１８は終端抵抗、１９はフォトカプラ、２０はバイパス用ダイオード、そして２１は断線検出回路である。
【００１０】
この場合、伝送ライン１１〜１４が健全なら、矢印で示すように、終端抵抗１８を通って電流が流れるから、フォトカプラ１９により信号が取出されるが、ラインが断線したときは、フォトカプラ１９から信号が出力されなくなる。
【００１１】
そこで、このフォトカプラ１９の出力を断線検出回路２１で監視してやれば、ライン断線を検出することができ、サーボコントローラ２で伝送ライン１１〜１４の健全性を確認することができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術は、ライン断線などによる伝送異常の検出に別途検出回路の付加を要する点に配慮がされておらず、コストアップに問題があった。
【００１３】
従来技術では、配線途中やサーボコントローラ若しくはサーボアンプに新たに断線検出用の回路が必要なため、容易に行えるものではなく、特に、多軸を制御する場合、各軸毎に断線検出が必要になるため、回路と工数が多大になり、従って、コストアップになってしまうのである。
【００１４】
本発明の目的は、少ないコストアップで伝送異常が確実に検出できるようにしたサーボコントローラを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、パルス列信号によりサーボモータの速度と位置を制御し、前記パルス列信号の伝送異常を、前記パルス列信号の出力を表すサーボコントローラのＲＵＮビットの変化と、サーボアンプから出力される位置決め完了信号の変化の時間的な組合わせから検出する方式のサーボコントローラにおいて、前記サーボモータの現速度を算出する手段と、当該算出した現速度を予め設定してある監視速度と比較する手段とを設け、前記ＲＵＮビットが変化した後、前記現速度が前記監視速度を越えていることを条件として前記伝送異常が検出されるようにして達成される。
【００１６】
このとき、前記伝送異常の検出のための処理を繰り返し、伝送異常が少なくとも２回、検出されたとき伝送異常と判定するようにしても上記目的がも達成でき、前記サーボモータが複数台備えられ、前記パルス列信号の伝送異常が、各サーボモータ毎に検出されるようにしても上記目的が達成できる。
【００１７】
本発明によれば、本来、位置決めに用いられる位置決め完了信号を利用している。
【００１８】
サーボアンプでは、上位から受け取った位置指令と実動作中のモータ現在値の間には追従の遅れ等により偏差があり、この位置偏差(位置指令値と位置検出値との偏差)が或る指定された値よりも小さくなると位置決め完了信号が出力される。
【００１９】
この信号は、サーボ制御システムでは一般的にサーボアンプから出力されるものであり、このため、本発明によれば、新たな信号や回路を必要とすることがなく、断線などによる伝送異常の検出が得られることになる。
【００２０】
また、この信号を入力し、その入力状態をサーボコントローラで監視することにより、断線検出時、同期しているサーボモータの軸だけを停止させることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるサーボコントローラについて、図示の実施に形態により詳細に説明する。
ここで、まず、本発明の一実施形態によるサーボコントローラにおいても、それが適用されたサーボ機構の場合、そのブロック構成については、図６で説明した従来技術の場合と同じであり、異なっているのは、サーボコントローラ２による処理だけである。
【００２２】
そこで、以下、この実施形態に係るサーボコントローラ２の動作について説明すると、ここで、まず、上記従来技術の説明に際しては特に触れなかったが、パルス列出力方式のサーボコントローラの場合、良く知られているように、パルス列出力におけるパルスの周期(１／パルス周波数)がサーボモータの速度指令値を表わし、パルスの個数が位置指令値になっている。
【００２３】
次に、これも特に触れなかったが、一般的なサーボコントローラの場合、回動期間と停止期間の繰り返しからなるサーボモータの一連の動作の中で、当該サーボモータに指令される回転動作期間と動作停止期間を表示するため、図１に示すように、ＲＵＮ(ラン)ビット２７が設定してあるのが通例であり、この実施形態におけるサーボコントローラ２も同じである。
【００２４】
この図１において、時刻ｔ0 は、サーボモータの一連の動作の中にある幾つかの回転動作期間の一つにおける開示時点を表わし、時刻ｔ2 は、その終了時点を表わしたものであり、ここで、波形２８がパルス列出力で、波形２９はサーボアンプ入力におけるパルス列出力である。
【００２５】
従って、この図１は、時刻ｔ0 でＲＵＮビット２７がローレベルからハイレベルに変わり、この時点からパルス列出力２８が発生し、これがサーボアンプにパルス列出力２９として入力され、この後、時刻ｔ2 でＲＵＮビット２７がローレベルに落ち、これに伴ってパルス列出力２８、２９が消滅している状態が示されていることになる。
【００２６】
更に、これも特に触れなかったが、一般的なサーボコントローラの場合、そのサーボアンプは、パルス列出力２８が入力されてから、このとき指令された位置に対して所定の偏差内でサーボモータが位置決めされたとき、位置決め完了信号を発生し、サーボコントローラ側に出力するように構成されているのが通例であり、この実施形態におけるサーボアンプ３〜６も同じである。
【００２７】
ここで、図１では、波形３０が位置決め完了信号で、ここではハイレベルが位置決め完了状態を表わし、ローレベルでは位置決めが完了していない状態を表わす。
【００２８】
従って、この位置決め完了信号３０は、パルス列出力２９がサーボアンプに入力され、サーボモータが正常に回転動作したとすると、図示のように、まず、ＲＵＮビット２７が時刻ｔ0 で立ち上がった後、所定の遅れ時間τD 経過後、時刻ｔ1 でハイレベルからローレベルに落ちる。
【００２９】
そして、この時刻ｔ1 以後、サーボアンプにパルス列出力２９が入力されている間、位置決め完了信号３０はローレベルを保ち、この後、時刻ｔ2 でＲＵＮビット２７がローレベルに落ちたとき、今度は所定の遅れ時間τU 経過後、ハイレベルに立ち上がることになる。
【００３０】
何故なら、このようなサーボ駆動系では、サーボモータが回り始め、回転している間は、指令された位置に追従している状態になるだけであり、指令された位置に近づいて位置決めされるのは、パルス列出力２９が無くなった後になってしまうからである(詳細は後述)。
【００３１】
このときの遅れ時間τD、τU の永さは、サーボモータのトルク、慣性モーメント(ＧＤ2)、それに駆動部分のイナーシャなどにより決り、従って、各サーボモータ毎に特有の定数となる。
【００３２】
ここで、いま、伝送ライン(例えば図６の伝送ライン１１〜１４の何れか)に断線が発生したなどの理由により、パルス列出力の伝送系に異常が発生し、パルス列出力２８がサーボコントローラ２から出力されたにもかかわらず、パルス列出力２９が最初からサーボアンプに入力されなかったり、サーボモータが回転動作中に途切れたとする。
【００３３】
まず、パルス列出力２９が最初からサーボアンプに入力されなかった場合は、図２に示すように、時刻ｔ0 でＲＵＮビット２７が立ち上がった後、所定の遅れ時間τD 経過後の時刻ｔ1 になっても、位置決め完了信号３０はハイレベルのままで変化しない。
【００３４】
何故なら、この場合は、最初からパルス列出力２９がサーボアンプに入力されないので、サーボモータも回転動作を開始せず、前に指令された位置にそのまま停止され、位置決め完了された状態にあるからである。
【００３５】
次に、パルス列出力２９が途切れた場合は、図３に示すようになる。ここで、時刻ｔE が伝送異常発生時点であり、従って、この時点以降、パルス列出力２９はサーボアンプの入力から消滅し、この結果、遅れ時間τU 経過後の時刻ｔ3 で位置決め完了信号３０はローレベルからハイレベルに変わる。
【００３６】
何故なら、時刻ｔE 以降、パルス列出力２９が途切れるので、これによる指令位置も、時刻ｔE までに与えられた位置となり、サーボモータは、時刻ｔ3 で、この時刻ｔE までに与えられた位置に停止し、位置決め完了状態になるからである。
【００３７】
ここで、これら図１〜図３におけるＲＵＮビット２７と位置決め完了信号３０の関係についてみると、次のことが判る。
まず、図１では、ＲＵＮビット２７が変化したときは、その後、所定の遅れ時間τD、τU 経過後、必ず位置決め完了信号３０も変化している。つまり、パルス列出力の伝送系に異常が発生していないときは、ＲＵＮビット２７の変化と位置決め完了信号３０の変化が、遅れ時間τD、τU をおいて、セットになって現われている。
【００３８】
一方、図２と図３では、このようなＲＵＮビット２７と位置決め完了信号３０のセットになった変化がみられない。
まず、図２の場合は、時刻ｔ0 でＲＵＮビット２７が変化(この場合はローレベルからハイレベルになる)してから遅れ時間τU が経過した後も、位置決め完了信号３０はそのまま(この場合はハイレベルのまま)で変化していない。
【００３９】
次に、図３の場合、今度は、時刻ｔ3 で位置決め完了信号３０が変化(この場合はローレベルからハイレベルになる)したにもかかわらず、このときから遅れ時間τD が経過しても、ＲＵＮビット２７はそのまま(この場合はハイレベルのまま)で変化していない。
【００４０】
ここで、これら図２と図３は、何れもパルス列出力の伝送系に異常が発生してしまった場合であり、従って、このことから、パルス列出力の伝送系に異常がないときは、ＲＵＮビット２７の変化と位置決め完了信号３０の変化がセットになって現われるが、パルス列出力の伝送系に異常が発生したときは、ＲＵＮビット２７と位置決め完了信号３０のセットになった変化が見られなくなってしまうことが判る。
【００４１】
つまり、このことは、ＲＵＮビット２７の状態と位置決め完了信号３０の状態をみるだけで、パルス列出力の伝送系が正常な状態にあるか、異常が発生してしまっているかが判定できることを意味する。
【００４２】
そこで、この実施形態によるサーボコントローラ２は、ＲＵＮビット２７の状態と、位置決め完了信号３０の状態を取込み、これらが以下に示す関係になったとき、伝送ライン断線などに伝送異常が発生したものとする。
【００４３】
▲１▼ＲＵＮビット２７が変化した後、所定の判定時間τED が経過した後も、位置決め完了信号３０が変化しなかったとき(図２の場合)。
▲２▼位置決め完了信号３０が変化した後、所定の判定時間τED が経過した後も、ＲＵＮビット２７が変化しなかったとき(図３の場合)。
【００４４】
ここで、判定時間τED は、異常の判定に必要な待ち時間を設定するために設けたもので、異常になったことが確実に判定できるように、遅れ時間τD、τU を見越して、図示のように、τED＞τD、τED＞τU にしてある。
【００４５】
このときの信号の監視と異常発生の検出に対処するための命令を発生するのがサーボコントローラ２であり、この実施形態では、このためにラダープログラムが用いられる。
【００４６】
ここで、上記したように、これらＲＵＮビット２７と位置決め完了信号３０については、従来技術によるサーボ機構の場合でも、一般的に備えている機能により得られるものであり、従って、この実施形態によれば、別途、検出回路などを設けることなく、伝送ライン断線などによる伝送異常の発生を容易に、しかも確実に検出することができる。
【００４７】
ところで、ここで説明した位置決め完了信号３０は各サーボアンプ３〜６で発生されるが、このとき、上記したように、パルス列出力２８が入力されてから、このとき指令された位置に対して所定の偏差内でサーボモータが位置決めされたとき発生(変化)するものである。そこで、以下、このときの発生動作の詳細について説明する。
【００４８】
各サーボアンプ３〜６では、上記したように、上位の機器、つまりサーボコントローラ２から供給されるパルス列出力２８におけるパルスの周期(１／パルス周波数)がサーボモータの速度指令値を表わし、パルスの個数が位置指令値になっている。
【００４９】
そこで、いま、パルス列出力２８のパルス周期による速度指令が、例えば図４(a)の速度指令２２に示すようになっていたとすると、各サーボモータ７〜１０は、これに対して回転速度特性２３で示すように追従する。
【００５０】
この場合、パルス列出力２８のパルス個数による位置指令は、図４(b)に位置指令２４で示すようになるが、これに対して各サーボモータ７〜１０は、位置特性２５で示すように、所定の位置偏差ΔＰをもって追従し、位置偏差ΔＰが０になったとき停止し、位置決めが完了する。
【００５１】
そこで、各サーボアンプ３〜６は、この位置偏差ΔＰが０のとき、位置決め完了信号３０を発生するようにすればよいが、実際には、位置検出の精度に限度が有るなどの理由により、サーボモータが停止しても位置偏差ΔＰが０に収斂しない場合がある。
【００５２】
そこで、上記したように、各サーボアンプ３〜６は、図４(b)、(c)に示すように、この位置偏差Δが予め設定してある位置決め幅ΔＰMIN 以下になったとき、位置決め完了信号３０が発生(変化)するようになっているのである。
【００５３】
ところで、このとき、指令速度が遅くなると、相対的に各サーボモータ７〜１０の追従性が良くなって、位置指令に対して小さな位置偏差ΔＰで追従するようになり、この結果、サーボモータが回転しているときでも、位置偏差ΔＰが位置決め幅ΔＰMIN 以下になって、位置決め完了信号３０が常時、位置決め完了になってしまう虞れがある。
【００５４】
そこで、この実施形態では、図５に示す処理により、断線などによる伝送異常発生を判定するように構成してあり、以下、このフローチャートにより、伝送異常発生の検出処理について説明する。
【００５５】
この図５による処理は、プログラム可能なサーボコントローラ２により実行され、サーボコントローラ２が動作を立ち上げたとき開始される。そして、まず、処理ステップＳ１で、ＲＵＮビット２７の発生を監視し、サーボアンプ３〜６にパルスが出力されているか否かを判定する。
【００５６】
従って、ＲＵＮビット２７が発生していないとき、つまりローレベルになっている間は処理ステップＳ１に留まり、ＲＵＮビット２７がハイレベル(High)に変わったとき、次の処理ステップＳ２に進む。
【００５７】
処理ステップＳ２では、サーボコントローラ２からサーボアンプ３〜に指令される速度、つまり現速度を算出する。この現速度は、一定周期ΔＴS 毎にサーボコントローラ２で管理している現在位置を格納することにより、
現速度＝(現在速度−前回に格納した現在位置)／ΔＴS
として算出できる。
【００５８】
次に、処理ステップＳ３に進み、いま算出した現速度を予め設定してある監視速度と比較し、現速度が監視速度より大きいが否かを判断する。そして、判定結果がＮ(否定)のときは処理ステップＳ４に進み、リトライカウント値をクリアする。
【００５９】
このときの監視速度は、図４で説明したサーボモータの追従動作中での位置偏差ΔＰが位置決め幅ΔＰMIN よりも大きくなっているときのサーボモータの速度とする。すなわち、
監視速度→(位置偏差ΔＰ＞位置決め幅ΔＰMIN)となる速度
とする。
【００６０】
何故なら、位置決め完了信号３０は、サーボモータの速度が或る程度以下の遅い場合は、図４で説明したように、常時、位置決め完了状態(ハイレベル)になってしまい、この位置決め完了信号３０ではサーボモータが停止している状態と同じになって区別できなくなってしまうからである。
【００６１】
一方、処理ステップＳ３での判定結果がＹ(肯定)のときは処理ステップＳ５に進み、今度は位置決め完了信号３０がハイレベル(High)か否かを判断する。そして、判定結果がＮ(否定)のときは処理ステップＳ４に進み、同じくリトライカウント値をクリアする。
【００６２】
そして、この処理ステップＳ５での判定結果がＹになったとき、処理ステップＳ６に進み、ここでリトライカウントＵＰ、すなわちカウント値を１カウント上げ、次いで処理ステップＳ７に進む。
【００６３】
処理ステップＳ７ではリトライカウント値を調べ、それが規定リトライカウント値以上あるか否かを判断する。そして、結果がＮのときは処理ステップＳ１に戻り、Ｙのとき、伝送異常検出とするのである。
【００６４】
ここで、上記したように、ＲＵＮビット２７がハイレベルで、且つ、サーボモータの速度が上記した監視速度以上なら、位置決め完了信号３０はローレベルになる。
【００６５】
従って、処理ステップＳ２から処理ステップＳ６に進んだときは、一応、断線などの伝送異常が発生しているものとみることができる。しかしながら、上記したように、追従遅れなどにより実際のサーボモータの速度が監視速度以下になっている可能性も否定できない。
【００６６】
そこで、この実施形態では、ＲＵＮビット２７がハイレベルでサーボモータの速度が監視速度以上、且つ、位置決め完了信号３０がハイレベルであっても、つまり、処理ステップＳ２から処理ステップＳ６に進んだときでも、この状態が或る時間Ｔm 継続したとき、初めて伝送異常発生が検出されるようにしたものである。
【００６７】
ここで、この時間Ｔm が、サーボモータが監視速度以上に達するのに要する時間で、これを規定しているのが、図５の処理ステップＳ７における規定リトライカウント値である。何故なら、この図５の処理は、上記した一定周期ΔＴS でプログラムが回っており、従って、時間Ｔm は、この一定周期ΔＴS と規定リトライカウント値の積、すなわち、Ｔm ＝ΔＴS ×(規定リトライカウント値)で設定されるからである。
【００６８】
従って、図５において、処理ステップＳ３、Ｓ５の条件を満たしたとき、処理ステップＳ６でリトライカウントＵＰした上で、リトライカウント値が規定リトライカウント値以上になったとすると、時間Ｔm 以内に上記した条件、つまりＲＵＮビット２７がハイレベルでサーボモータの速度が監視速度以上、且つ、位置決め完了信号３０がハイレベルであるという条件が満たされたことになり、正確に伝送異常発生が検出できることになる。
【００６９】
そして、このときの時間Ｔm が、図３における判定時間τED と遅れ時間τU の差(τED−τU)で、伝送異常発生時点ｔE から伝送異常発生検出時点ｔED までの遅れ時間となる。
【００７０】
ここで、リトライカウントＵＰを実行する条件が満たされない場合、つまりサーボモータの速度が監視速度以下のとき、又は位置決め完了信号がローレベルのときは処理ステップＳ４でリトライカウントはクリアされてしまう。従って、これにより、上記の条件が連続して満たされた場合だけ、リトライカウントＵＰされることが保証される。
【００７１】
従って、上記したように、この実施形態によれば、別途、検出回路などを設けることなく、伝送ライン断線などによる伝送異常の発生を容易に、しかも確実に検出することができる。
【００７２】
また、この実施形態によれば、サーボアンプからフィードバック信号が無いオープンループサーボ制御システムにおいも、別途、検出回路などを設けることなく、伝送ライン断線などによる伝送異常の発生を容易に、しかも確実に検出することができる。
【００７３】
更に、この実施形態によれば、断線などによる伝送異常の発生を検出した際、そのときのサーボ系の運転内容に応じて軸を指定した停止命令やエラーを出力するプログラムとすることにより、問題のない軸の運転まで止めることなく、必要な軸だけ停止させることができ、また、同期している軸については、共に停止されることができる。
【００７４】
また、複数の軸を備えたサーボ系で同期運転している場合には、１軸だけがパルス断線し停止すると暴走に近い動きになる。しかし、上記実施形態によれば、各軸それぞれの断線を検出し、パルス列出力サーボコントローラで同期運転している軸全てをコントローラから停止でき、かつその他軸の非同期で運転するものには支障をきたさない安全かつ効率のよい制御ができる。
【００７５】
【発明の効果】
本発明によれば、伝送異常発生の検出に、別途、検出用の回路や配線を追加することなく、容易に断線などの伝送異常の発生を検出することができる。
また、本発明によれば、サーボアンプからフィードバック信号が無いオープンループサーボ制御システムにおいも、別途、検出回路などを設けることなく、伝送ライン断線などによる伝送異常の発生を容易に、しかも確実に検出することができる。
【００７６】
更に、本発明によれば、サーボコントローラにより、指令側と受け側の双方の監視ができるため、断線など伝送異常発生検出時、運転内容に応じて任意に停止軸の指定ができ、エラー出力などにも柔軟な対処することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るサーボコントローラの動作を説明するためのタイミング図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るサーボコントローラによる伝送異常発生検出動作を説明するためのタイミング図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るサーボコントローラによる伝送異常発生検出動作を説明するためのタイミング図である。
【図４】サーボ制御システムにおけるサーボモータの動作特性を説明するための特性図である。
【図５】本発明の一実施形態による伝送異常発生検出動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明によるサーボコントローラが適用対象とするサーボ制御システムの一例を示すブロック構成図である。
【図７】従来技術による断線検出回路の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
１  プログラミング装置(パソコン)
２  サーボコントローラ
３〜６  サーボアンプ
７〜１０  サーボモータ
１１〜１４  ケーブル(位置決め完了信号線を含む)
１６  送信機
１７  受信機
２０  終端抵抗
１９  フォトカプラ
２０  バイパス用ダイオード
２１  断線検出回路
２７  ＲＵＮビット
２８  パルス列出力
２９  サーボアンプ入力
３０  位置決め完了信号
【図１】
0003881882.tif 000002
【図２】
0003881882.tif 000003
【図３】
0003881882.tif 000004
【図４】
0003881882.tif 000005
【図５】
0003881882.tif 000006
【図６】
0003881882.tif 000007
【図７】
0003881882.tif 000008