(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、固定層を含むヘッド素子を搭載する磁気へッドと、該磁気ヘッドにより記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備える磁気ディスク装置において、
前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と該時間間隔Ｔ１より短い負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２とから成る記録パターンを記録媒体に記録すると共に、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、
前記制御回路が、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のとき、ヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと判定し、
前記ヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと判定した場合に、再生波形反転を施して波形反転によりデータを正常に再生することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、固定層を含むヘッド素子を搭載する磁気へッドと、該磁気ヘッドにより記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備える磁気ディスク装置において、
前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と該時間間隔Ｔ１より短い負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２とから成る記録パターンを記録媒体に記録すると共に、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、
前記制御回路が、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のとき、ヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと判定し、
前記ヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと判定した場合に、センス電流方向反転を施して固定層の磁化反転のイニシャライズを行うことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値とヘッド素子の抵抗値を組み合わせて、ヘッド素子の異常を評価することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気へッドの評価方法、この磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置及び磁気ディスク装置に係り、特にＧＭＲヘッドの固定層の磁気的反転を検出することができる磁気へッドの評価方法、検査装置及び磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に磁気ディスク装置は、図３に示すように、回転駆動される様に積層された複数の記録媒体１と、該記録媒体１上に位置してデータの記録再生を行う複数の磁気ヘッド２と、該磁気ヘッド２を記録媒体１上で回転的に移動するアクチュエータ３とを備え、前記記録媒体１を回転駆動した状態でアクチュエータ３が磁気ヘッド２を記録媒体１上の任意のトラックに位置決めを行ってデータの記録再生を行う様に構成されている。
【０００３】
前記磁気ヘッド２は、図４に示す如く、磁気ヘッド素子６を一端に搭載するスライダー５と、該スライダー５を弾性的に支持するバネ４とを備え、高速回転を行う記録媒体１上にスライダー５を空気力学的作用により数１０ナノメータの間隔で浮上させ、データの記録再生を行うものであり、近年は、磁気ディスク装置の小型化や大容量化に伴い、より高い再生感度が要求されるている。
【０００４】
そこで近年の磁気ヘッドは、磁気抵坑効果を用いたＭＲへッド（magneto resistive head)が採用されている。このＭＲヘッドは、図５に示す如く、コイル８及び磁気コア９とを備え、記録媒体に信号を記録するインダクティブ型の記録ヘッド素子７と、データ再生を行うＭＲ膜１１及び再生電極１２とを備えるＭＲヘッド素子とから構成されている。
【０００５】
このＭＲヘッドは、ＭＲ膜１１の膜厚が２０ｎｍと薄く、静電気によるＥＳＤ（electro static dischage：静電気放電)に対して非常に弱い特徴がある。この耐電圧は、以前の誘導型のインダクティブ型薄膜ヘッドの耐電圧がほぼ１００Ｖ以上に対し、ＭＲヘッドでは約４０Ｖと低い値であり、ＭＲヘッドが半導体の耐電圧がほぼ１００Ｖと比較しても非常にＥＳＤに対する感度の高い電子デバイスであるといえる。
【０００６】
一方ＭＲヘッドは、こまでの研究から前記ＥＳＤやＥＯＳ(Electro over stress：高電圧負荷)によって２つの破壊モードがあることが知られている。１つは高電圧による放電や高電流により発熱し、これによる物理的破壊である。この物理的破壊は、急激な発熱によりＭＲ素子自体が溶けてしまうことによって生じ、抵抗値の異常増加や異常減少を伴い、外観形状の異常によって検出することができる。また、高電界による放電破壊も抵抗値の異常増加や異常減少を伴い、外観形状の異常によって検出することができる。
【０００７】
もう１つの破壊モードは、高電流による磁界により生じる磁気的破壊である。これは、高電流による磁界によってＭＲ膜内の磁気的安定性が破壊され、物理的破壊を生じないものの、磁区が形成される現象である。この磁気的破壊は、抵抗変化や形状異常は伴わず、ＭＲ素子の再生波形の異常として現われ、例えば、再生波形の不安定や正側と負側の振幅の異常として現れる。
【０００８】
このような磁気的破壊が起こった場合、磁気ヘッドは、正確なデータの検出が出来ず、データにエラーが生じたり、サーボ信号が再生出来きず、位置決めが出来なくる事態が起こる。
【０００９】
従来技術による前記磁気的破壊を解決する方法は、再度、磁気ヘッドのＭＲ素子に再着磁を行ない、イニシャライズを行なうことにより本来の磁気特性に戻すことが提案されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
さて近年では、更なる高記録密度化に対応して、図５に示すＭＲ素子の代わりに、さらに再生感度の高いＧＭＲ素子を用いたＧＭＲへッド（Giant MR head )が用いられている
このＧＭＲ素子は、図６に示すように、固定層１５と自由層１４と反強磁性層１６とを有し、図６（ａ）の如く固定層１５と自由層１４との磁化方向が逆方向の時に抵抗値が高くなって正出力となり、図６（ｂ）の如く磁化方向が同方向の時に抵抗が低くなって負出力となる特性を持つ。
【００１１】
また前記固定層１５は、反強磁性層１６による交換結合によりトラック幅方向と直角方向である記録媒体からの信号磁束の来る方向を向いており、自由層１４は、その両側に置かれた磁区制御用の永久磁石によりトラック幅方向と同じ方向である記録媒体からの信号磁束の来る方向と直角方向を向いているため、固定層１５の磁化方向は出力波形の正負の極性を決定する上で重要である。
【００１２】
このＧＭＲ素子のＥＳＤ耐圧は、ＭＲヘッドよりも低い１０〜３０Ｖであり、特にＥＳＤによる高電流による発熱と高磁界により、図７（ａ）に示すように固定層１５の磁化方向が正規の方向から逆転し、図７（ｂ）の如く反対方向を向いてしまうという特性を持っている。即ち、ＧＭＲ素子は、ＥＳＤにより固定層と自由層の磁化の向きの関係が逆転し、記録媒体からの磁界の向きが同じのため、再生波形の極性が正規の逆となる特性を持っている。
【００１３】
この印加磁界と再生出力の関係を図８に示す。前述した様にＧＭＲ素子は、ＥＳＤによって固定層１５の磁化の方向が逆転すると、図８に示した特性Ａから特性Ｂの如く再生出力の極性が全く逆となる。従って、磁気ヘッドの製造乃至組立工程等のプロセス中にＥＳＤが発生して固定層が逆方向となった場合、出力波形の正負の極性が逆になり、従来の検査方法では再生振幅の大きさを測定するだけのため、極性反転したものの検出はできないと言う不具合があった。
【００１４】
更に前記極性が反転したＧＭＲ素子を持つ磁気ヘッドが磁気ディスク装置に組まれた場合、装置において再生信号の極性が逆転し、データ信号やサーボ信号を誤ってしまう不具合が生じていた。
【００１５】
本発明の目的は、前記従来技術による不具合を除去することであり、ヘッド素子の固定層の磁極反転を検出することができる磁気へッドの評価方法、この磁気へッドの評価行程を含む磁気ヘッドの製造方法、前記磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置及び磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため本発明は、固定層を含むヘッド素子を備える磁気へッドの評価方法において、正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とが異なる記録パターンを記録媒体に記録し、該記録媒体から前記記録パターンを再生した再生波形の前記正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とを比較し、前記両時間間隔の差によりヘッド素子の固定層の磁化方向の反転を評価することを第１の特徴とし、この磁気へッドの評価方法において、前記正パルスから負パルスまでの時間間隔をＴ１とし、前記負パルスから正パルスまでの時間間隔を前記時間間隔Ｔ１より短い時間間隔Ｔ２とし、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のときにヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと評価することを第２の特徴とする。
【００１７】
また本発明は、記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、評価を行う磁気ヘッドを用いて記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備え、固定層を含むヘッド素子を搭載する磁気へッドの評価を行う磁気ヘッドの評価装置において、前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とが異なる記録パターンを記録媒体に記録し、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、前記制御回路が、前記再生波形の前記正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とを比較し、前記両時間間隔の差によりヘッド素子の固定層の磁化方向の反転を評価することを第３の特徴とし、該特徴の磁気へッドの評価装置において、前記データ記録再生回路が、前記正パルスから負パルスまでの時間間隔をＴ１とし、前記負パルスから正パルスまでの時間間隔を前記時間間隔Ｔ１より短い時間間隔Ｔ２とした記録パターンを記録媒体に記録し、前記制御回路が、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のときにヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと評価することを第４の特徴とする。
【００１８】
更に本発明は、記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、固定層を含むヘッド素子を搭載する磁気へッドと、該磁気ヘッドにより記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備える磁気ディスク装置において、前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と該時間間隔Ｔ１より短い負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２とから成る記録パターンを記録媒体に記録すると共に、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、前記制御回路が、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のとき、ヘッド素子の固定層の磁化方向が反転したと判定することを第５の特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態による磁気へッドの評価方法、この磁気へッドの評価行程を含む磁気ヘッドの製造方法、更に前記磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置及び磁気ディスク装置を図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明による磁気へッドの評価方法の原理を説明するための図であり、磁気ディスク装置／磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置（以下、磁気へッドの評価方法等と呼ぶ）に適用される記録電流波形と記録媒体（磁気ディスク）の磁化状態乃至再生波形の関係を示す図である。
【００２１】
本実施形態による磁気へッドの評価方法は、まず、図１に示す如く、信号記録時において記録媒体に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔が異なる記録電流波形を用いてデータの記録を行う。即ち、記録電流波形の切り変え時間を非対称、具体的には正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と、負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２を時間間隔Ｔ１より短くした電流波形により記録を行い、媒体の磁化状態をハイレベルのときに黒線、ローレベルのときに白線の如く記録する。
次に本磁気へッドの評価方法は、前記非対称に記録した信号をＧＭＲへッドを用いて再生する。この再生波形は、記録媒体からの磁束により自由層が上を向き、固定層の向きと反平行となると、正パルスとなる。これは、前述のＧＭＲ効果によりＧＭＲ素子の抵抗が高くなるためである。また、記録媒体からの磁束により自由層が下を向き、固定層の向きと平行となると、負パルスとなる。これは、ＧＭＲ効果により素子の抵抗が低くなるためである。
【００２２】
次に本評価方法は、前記正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２を測定する。ＧＭＲへッドが正常な場合、その時間間隔Ｔ１−Ｔ２のアシンメトリー（Ｔ１−Ｔ２）は０より大きい値となる。
【００２３】
しかしながら磁気ヘッドの製造乃至組立工程等のプロセス中にＥＳＤが発生して固定層が逆方向となった場合、出力波形の正負の極性が逆になり、固定層の磁化の向きが反転し、正負の極性が逆転する。このためＥＳＤ発生時の再生波形は、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１’（＝Ｔ２）と負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２’（＝Ｔ１）の時間間隔のアシンメトリー（Ｔ１’−Ｔ２’）が０より小さくなることが分かる。
【００２４】
本発明による磁気ヘッドの評価方法等は、前記正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２を測定し、このアシンメトリー値が正又は負かを判定することにより、ＥＳＤが発生したか否かを評価するものである。本発明による磁気ディスク装置は、実装置そのものの制御プログラムに前記評価行程を加え、データの記録再生時以外の空き時間に例えば所定駆動時間毎に前記評価を行い、ＥＳＤの発生を検知した場合はエラーの警告や復旧処理を促す等の処理を行い、本発明による磁気ヘッドの検査装置は、同様に磁気ヘッド製造工程に前記評価行程を加えてＥＳＤ発生有無の評価を行うものである。
【００２５】
次に前記実施形態による磁気ヘッド評価方法のアルゴリズムを図２を参照して説明する。このアルゴリズムは、前記非対称の正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２の記録パターン２０１を用いて記録媒体に記録し、この記録信号を評価対象であるＧＭＲヘッドにより再生して再生波形２０２を得る。次に前記再生波形２０２から正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１（符号２０４）と負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２（符号２０５）と波形振幅Ｅ（符号２０６）を測定し、これら時間間隔Ｔ１／Ｔ２及び波形振幅Ｅを基に前述したアルゴリズム２０７を用いてＧＭＲヘッドにＥＳＤが発生したか否かを判定する。
【００２６】
このアルゴリズム２０７は、▲１▼図示した様に間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＞０、且つ振幅Ｅ＞Ｅ０、且つリード（Ｒ）が成功（ＯＫ）のときはＧＭＲヘッドにＥＳＤが発生していないと判定し、▲２▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＞０、且つ振幅Ｅ＜Ｅ０、且つリード（Ｒ）が成功（ＯＫ）のときはＥＳＤが発生してＧＭＲ素子が固定層反転２１１と判定し、▲３▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＞０、且つ振幅Ｅ＜Ｅ０、且つリード（Ｒ）が不成功（ＮＧ）のときはＥＳＤが発生していないもののリードエラーのためエラー（ＮＧ）発生と判定し、▲４▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＝０、且つリード（Ｒ）が成功（ＯＫ）のときはＥＳＤが発生してＧＭＲ素子が固定層反転２１１と判定し、▲５▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＝０、且つリード（Ｒ）が不成功（ＮＧ）のときはＥＳＤが発生していないもののリードエラーのためエラー（ＮＧ）発生と判定し、▲６▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＜０、且つリード（Ｒ）が成功（ＯＫ）のときはＥＳＤが発生していないもののリードエラーのためエラー（ＮＧ）発生と判定し、▲７▼間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＜０、且つリード（Ｒ）が不成功（ＮＧ）のときはＥＳＤが発生し且つリードエラーのためエラー（ＮＧ）発生と判定する。尚、前記Ｅ０は正常なＧＭＲヘッドの標準の波形振幅、Ｅは観測したＧＭＲヘッドの波形振幅を示す。
【００２７】
これにより本アルゴリズム２０７は、ＥＳＤが発生せず正常（ＯＫ）と、ＥＳＤが発生していないもののリードエラー（ＮＧ）と、ＥＳＤにより固定層の磁化の向きが反転した異常ヘッドを判定することができる。
【００２８】
前記固定層反転２１１を判定したＧＭＲヘッドに対して本実施形態は、固定層磁化反転矯正２０８して正常な磁化に戻す、又は再生波形反転２０９を施してＧＭＲ素子判定があるものの波形反転によりデータを正常に再生する、又はセンス電流方向反転２１０を施して固定層の磁化反転をイニシャライズを行うことにより、ＧＭＲヘッドの異常に対して対処することができる。尚、前記固定層磁化反転矯正２０８を施した場合は、その矯正を確認するため、再び再生波形２０２を得、フィードバックしてＧＭＲヘッドの磁化反転矯正の程度を調整することができる。
【００２９】
尚、前記▲２▼〜▲５▼の場合は、間隔Ｔ１−間隔Ｔ２が正又は等しくても出力の低いものは部分的な反転が起きており出力等と組み合わせることによりＧＭＲヘッドの異常の前兆を評価することができる。例えば、抵抗値に異常が無く、間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＝０に近い値の場合、固定層が反転途中で自由層と同じ横方向（トラック幅方向）を向いていると再生出力が無くなり、間隔Ｔ１−間隔Ｔ２＝０に近い値を示すため異常の前兆を評価することができる。
【００３０】
本発明による磁気ヘッド評価方法は、非対称の間隔Ｔ１及び間隔Ｔ２を書き込み、該書き込んだ間隔Ｔ１及び間隔Ｔ２を再生し、これら間隔及び再生波形振幅をファクターとする前記図２に示したアルゴリズム２０７他を、磁気ディスク装置、磁気ヘッドの製造装置及び検査装置に組み込むことにより、実装置、製造工程、評価行程においてＧＭＲヘッドの異常を評価することができる。
【００３１】
この磁気ディスク装置は、通常の磁気ヘッド、磁気ディスク、スピンドルモータ（駆動機構）、アクチュエータ及び制御回路から成り、前記制御回路の制御プログラムに図２に示したアルゴリズム２０７他を組み込むものであり、磁気ヘッドの検査装置は、前記磁気ディスク装置同様の構成を持ち、評価対象となる磁気ヘッド又は該磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドアッセンブリを交換可能なものであり、その制御プログラムに図２に示したアルゴリズム２０７他を組み込むものである。
【００３２】
具体的に述べると、本発明による固定層を含むＧＭＲ素子を搭載する磁気へッドの評価を行う磁気ヘッドの評価装置は、記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、評価を行う磁気ヘッドを用いて記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備え、固定層を含むＧＭＲ素子を搭載する磁気へッドの評価を行う磁気ヘッドの評価装置において、前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とが異なる記録パターンを記録媒体に記録し、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、前記制御回路が、前記再生波形の前記正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とを比較し、前記両時間間隔の差によりＧＭＲ素子の固定層の磁化方向の反転を評価し、前記正パルスから負パルスまでの時間間隔をＴ１、前記負パルスから正パルスまでの時間間隔を前記時間間隔Ｔ１より短い時間間隔Ｔ２としたとき、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負の場合にＧＭＲ素子の固定層の磁化方向が反転したと評価するものである。
【００３３】
また本発明による磁気ディスク装置は、記録媒体と、該記録媒体を回転駆動するスピンドルモータと、固定層を含むＧＭＲ素子を搭載する磁気へッドと、該磁気ヘッドにより記録媒体にデータの記録再生を行うデータ記録再生回路と、これらを制御する制御回路とを備え、前記データ記録再生回路が、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１と該時間間隔Ｔ１より短い負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２とから成る記録パターンを記録媒体に記録すると共に、該記録媒体から前記記録パターンを再生して再生波形を得、前記制御回路が、前記時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のとき、ＧＭＲ素子の固定層の磁化方向が反転したと判定するものである。
【００３４】
また前記磁気ヘッドの評価装置及び磁気ディスク装置は、時間間隔Ｔ１から時間間隔Ｔ２を引いた値が負のときにＧＭＲ素子の固定層の磁化方向が反転したと判定することに限らず、前述の実施形態でも説明した様に、間隔Ｔ１−間隔Ｔ２が正又は等しくても再生波形の振幅が低いものは部分的な反転が起きており前記振幅や出力等と組み合わせることによりＧＭＲヘッドの異常の前兆を評価することもできる。更に前記説明ではＧＭＲヘッドを例にとって説明したが、同様の効果はスピンバルブ型のＧＭＲヘッド以外のＧＭＲヘッドやトンネル効果型ＭＲヘッド、超格子型ＭＲヘッド等にも適用することができる。
【００３５】
この様に本実施形態による磁気へッドの評価方法、該磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置及び磁気ディスク装置は、正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とが異なる記録パターンを記録媒体に記録し、該記録媒体から前記記録パターンを再生した再生波形の前記正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とを比較し、前記両時間間隔の差によりＧＭＲ素子の固定層の磁化方向の反転を検知して評価することができる。
【００３６】
尚、前記実施形態においては、図１の如く、正パルスから負パルスまでの時間間隔Ｔ１が負パルスから正パルスまでの時間間隔Ｔ２に比して長くした記録電流波形を用いてデータの記録を行う例を説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、前記時間間隔を逆にＴ２＞Ｔ１とし、図２のアルゴリズム２０７中の（Ｔ１−Ｔ２）を（Ｔ２−Ｔ１）の如く逆にしてＧＭＲヘッドの異常を検出する様に構成しても良い。更に前記実施形態においては、時間間隔の検出をピーク時間間隔としたが、ピークでなくとも任意の波形位置でも時間間隔を求めることができる。
【００３７】
また、本発明は次に述べる実施形態としても表すことができる。
＜実施形態１＞  信号記録時において、記録媒体に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔の異なる記録機能を有し、再生時に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔を測定し、その時間間隔のアシンメトリーによる極性判定機能。
＜実施形態２＞  信号記録時において、記録媒体に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔の異なる記録機能を有し、再生時に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔を測定し、その時間間隔のアシンメトリーによる極性判定機能を有する磁気ヘッド検査装置。
＜実施形態３＞  信号記録時において、記録媒体に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔の異なる記録機能を有し、再生時に正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔を測定し、その時間間隔のアシンメトリーによる極性判定機能を有する磁気記録装置。
【００３８】
【発明の効果】
以上述べた如く本発明による磁気へッドの評価方法、該磁気ヘッド評価機能を備えた検査装置及び磁気ディスク装置は、正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とが異なる記録パターンを記録媒体に記録し、該記録媒体から前記記録パターンを再生した再生波形の前記正パルスから負パルスまでの時間間隔と負パルスから正パルスまでの時間間隔とを比較し、前記両時間間隔の差によりＧＭＲ素子の固定層の磁化方向の反転を評価することができる。特に本発明の機能を有する磁気ヘッド検査装置を用いることにより、磁気的に異常の無い信頼性の高いＧＭＲヘッドを提供することが出来る。また本発明の機能を有する磁気記録装置（磁気ディスク装置）は、磁気的に異常の無い信頼性の高いＧＭＲヘッドを搭載し、信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を説明するための記録パターンと再生波形の関係を示す図。
【図２】本発明による磁気ヘッド評価手法のアルゴリズムを説明するための図。
【図３】磁気ディスク装置を説明するための図。
【図４】磁気ヘッドを説明するための図。
【図５】ＭＲヘッドを説明するための図。
【図６】ＧＭＲ効果を説明するための図。
【図７】固定層の磁化方向の反転を説明するための図。
【図８】固定層の反転による出力極性の反転を説明するための図。
【符号の説明】
１：記録媒体、２：磁気ヘッド、３：アクチュエータ、４：バネ、５：スライダ、６：素子、７：記録用インダクティブヘッド、８：コイル、９：磁気コア、１０：記録媒体上の記録磁化、１１：ＭＲ膜、１２：再生電極、１３：外部磁界、１４：自由層、１５：固定層、１６：反強磁性膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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