(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定スクロールと旋回スクロールとをかみ合わせ、旋回スクロールの軸受を固定する準備工程と、旋回スクロールの軸受を固定した状態で旋回スクロールを一定の回転角度で複数の所定回転位置に順次回転させ、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させる毎に、複数の移動手段を用いて固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させ、当接させた状態での固定スクロールのＸＹ方向の位置を逐次検出する位置検出工程と、各所定回転位置での検出結果に基づき最適中心位置を算出する計算工程と、算出した最適中心位置を位置決め中心として固定スクロールと旋回スクロールとの位置決めを行う位置決め工程とを備えたスクロールコンプレッサーの芯出し方法において、
前記位置検出工程では、複数の移動手段を予め駆動して各所定回転位置に対応する複数方向への駆動力を固定スクロールに加えるとともに、旋回スクロールの各所定回転位置への回転に応じて、各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に順次切り換え、固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ移動させることを特徴とするスクロールコンプレッサーの芯出し方法。
【請求項２】
前記各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に切り換えるとき、当該駆動力を段階的に変化させることを特徴とする請求項１記載のスクロールコンプレッサーの芯出し方法。
【請求項３】
前記各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に切り換えるとき、当該駆動力を緩やかに変化させることを特徴とする請求項１記載のスクロールコンプレッサーの芯出し方法。
【請求項４】
固定スクロールと旋回スクロールとをかみ合わせ、旋回スクロールの軸受を固定した状態で旋回スクロールを一定の回転角度で複数の所定回転位置に順次回転させ、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させる毎に、複数の移動手段を用いて固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させ、当接させた状態での固定スクロールのＸＹ方向の位置を逐次検出した後、各所定回転位置での検出結果に基づき最適中心位置を算出し、算出した最適中心位置を位置決め中心として固定スクロールと旋回スクロールとの位置決めを行うスクロールコンプレッサーの芯出し装置において、
前記複数の移動手段である複数のエアシリンダと、
前記複数のエアシリンダへ作動圧を供給する電空レギュレータと、
前記電空レギュレータによる各エアシリンダへの供給圧を制御することにより固定スクロールに加える複数方向への駆動力を制御するとともに、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させるとき、前記複数のエアシリンダを予め駆動して各所定回転位置に対応する複数方向への駆動力を固定スクロールに加え、旋回スクロールの各所定回転位置への回転に応じて、各所定回転位置に対応するエアシリンダの駆動力を他のエアシリンダの駆動力よりも相対的に強い駆動力に順次切り換える制御手段と
を備えたことを特徴とするスクロールコンプレッサーの芯出し装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スクロールコンプレッサーの固定スクロールと旋回スクロールとをかみ合わせた状態で組み立てる際における芯出し方法及び芯出し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、スクロールコンプレッサーの組み立てに際し、固定スクロールと旋回スクロールとの芯出しを行う方法としては、例えば特開平２−２２１６９３号公報に記載されたものがある。
【０００３】
かかる芯出し方法では、まず固定スクロールと旋回スクロールとを互いにかみ合わせ、旋回スクロールの軸受を固定し、かつ固定スクロールをＸＹテーブル上に固定するとともに固定スクロールを基準位置に移動する準備作業を行い、しかる後、図９の（ａ〜ｄ）に示した位置検出作業を行う。位置検出作業では、固定スクロール１とかみ合っている旋回スクロール２のシャフトを一定の回転角度で複数の所定回転位置、すなわち０°、９０°、１８０°、２７０°に順次回転させる。また、その間には、ＸＹテーブルの周囲に配置した複数の押圧手段、すなわちＸテーブルを一方側及び他方側に個別に押圧する１組の押圧手段と、Ｙテーブルを一方側及び他方側に個別に押圧する１組の押圧手段を順に駆動し、各回転位置で固定スクロール１をＹ１方向、Ｘ１方向、Ｙ２方向、Ｘ２方向へ順に移動させて旋回スクロール２に当接させる。そして、旋回スクロール２に当接した状態の固定スクロール１におけるＸＹ方向の位置を逐次検出する。
【０００４】
引き続き、各所定回転位置での検出結果に基づき固定スクロール１のＸＹ方向の最適中心位置を算出し、算出した最適中心位置を固定スクロール１と旋回スクロール２との位置決め中心として固定スクロール１の位置決めを行った後（図９（ｅ））、固定スクロール１と旋回スクロール２の軸受とを固定する。これにより、固定スクロール１と旋回スクロール２との間に良好なクリアランスが確保できるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、スクロールコンプレッサーの組み立てに際しては、固定スクロール１と旋回スクロール２との芯出し精度のみならず、芯出し作業の高速化が望まれている。これを実現するには、前述した各作業をより短時間で行う必要があるが、前述した方法にあっては、前記位置検出作業の作業時間を短縮することが難しかった。
【０００６】
すなわち、位置検出作業を短時間で行おうとすると、旋回スクロール２（シャフト）を所定の回転位置（０°、９０°、１８０°、２７０°）に回転させる毎に、固定スクロール１を移動する複数の押圧手段の駆動速度を上げることとなるが、駆動速度をあまり上げると、各押圧手段から固定スクロール１に加わる駆動力、つまり固定スクロール１を旋回スクロール１に押し当てる力が大きくなり、位置検出精度つまり芯出し精度を低下させる要因となるためである。かかることから、芯出し作業の高速化には限界があった。
【０００７】
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、固定スクロールと旋回スクロールとの芯出し作業を高速かつ精密に行うことが可能となるスクロールコンプレッサーの芯出し方法及び芯出し装置を提供すること目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために請求項１の方法にあっては、固定スクロールと旋回スクロールとをかみ合わせ、旋回スクロールの軸受を固定する準備工程と、旋回スクロールの軸受を固定した状態で旋回スクロールを一定の回転角度で複数の所定回転位置に順次回転させ、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させる毎に、複数の移動手段を用いて固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させ、当接させた状態での固定スクロールのＸＹ方向の位置を逐次検出する位置検出工程と、各所定回転位置での検出結果に基づき最適中心位置を算出する計算工程と、算出した最適中心位置を位置決め中心として固定スクロールと旋回スクロールとの位置決めを行う位置決め工程とを備えたスクロールコンプレッサーの芯出し方法において、前記位置検出工程では、複数の移動手段を予め駆動して各所定回転位置に対応する複数方向への駆動力を固定スクロールに加えるとともに、旋回スクロールの各所定回転位置への回転に応じて、各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に順次切り換え、固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向への移動するようにした。
【０００９】
かかる方法においては、位置検出工程で固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させるとき、複数の移動手段は、その全てが固定スクロールに駆動力を加えた状態にある。したがって、旋回スクロールを各定回転位置に回転したとき、それに伴う固定スクロールの移動を瞬時に行うことができる。しかも、固定スクロールに衝撃を加えることなくそれを行うことができる。
【００１０】
また、請求項２の方法にあっては、前記各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に切り換えるとき、当該駆動力を段階的に変化させるようにした。かかる方法においては、固定スクロールが旋回スクロールに当接する時点に発生する衝撃を低減させることができる。
【００１１】
また、請求項３の方法にあっては、前記各所定回転位置に対応する移動手段の駆動力を他の移動手段の駆動力よりも相対的に強い駆動力に切り換えるとき、当該駆動力を緩やかに変化させるようにした。かかる方法においても、固定スクロールが旋回スクロールに当接する時点に発生する衝撃を低減させることができる。
【００１２】
また、請求項４の装置にあっては、固定スクロールと旋回スクロールとをかみ合わせ、旋回スクロールの軸受を固定した状態で旋回スクロールを一定の回転角度で複数の所定回転位置に順次回転させ、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させる毎に、複数の移動手段を用いて固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させ、当接させた状態での固定スクロールのＸＹ方向の位置を逐次検出した後、各所定回転位置での検出結果に基づき最適中心位置を算出し、算出した最適中心位置を位置決め中心として固定スクロールと旋回スクロールとの位置決めを行うスクロールコンプレッサーの芯出し装置において、前記複数の移動手段である複数のエアシリンダと、前記複数のエアシリンダへ作動圧を供給する電空レギュレータと、前記電空レギュレータによる各エアシリンダへの供給圧を制御することにより固定スクロールに加える複数方向への駆動力を制御するとともに、旋回スクロールを各所定回転位置に回転させるとき、前記複数のエアシリンダを予め駆動して各所定回転位置に対応する複数方向への駆動力を固定スクロールに加え、旋回スクロールの各所定回転位置への回転に応じて、各所定回転位置に対応するエアシリンダの駆動力を他のエアシリンダの駆動力よりも相対的に強い駆動力に順次切り換える制御手段とを備えたものとした。
【００１３】
かかる構成によれば、固定スクロールを各所定回転位置に対応する方向へ順次移動させて旋回スクロールに当接させるとき、それに伴う固定スクロールの移動を瞬時に、かつ固定スクロールに衝撃を加えることなく行うことができる。
【００１４】
また、固定スクロールに加える旋回スクロールの各所定回転位置に対応する方向の駆動力を他の方向の駆動力よりも相対的に強い駆動力に順次切り換えるとき、容易にそれを段階的に変化させたり、緩やかに変化させたりすることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図にしたがって説明する。図１は、本発明にかかるスクロールコンプレッサーの芯出し装置１１の概略構成を示す正面図、図２は、同芯出し装置１１の左側面図である。
【００１６】
芯出し装置１１は、固定スクロール１と旋回スクロール２（図６参照）とを互いにかみ合わせた状態でセットするものであって、装置本体１２にはＸＹテーブル１３が設けられている。ＸＹテーブル１３は、装置本体１２に支持されたＹテーブル１３ｂと、Ｙテーブル１３ｂに支持されたＸテーブル１３ａとから構成されている。Ｘテーブル１３ａ上には、θテーブル１４と、θテーブル１４をパルス制御により回転駆動するθ軸モータ１５を有するθテーブル回転ユニット１６とが設けられている。θテーブル１４には、固定スクロール１を固定するための第１のクランプ１７ａ，１７ａを有する第１の固定ユニット１７，１７が設けられている。また、装置本体１２にはベース台１８が設けられており、ベース台１８の下部には、固定スクロール１にかみ合った状態にある旋回スクロール２の軸受３を固定するための第２のクランプ１９ａ，１９ａを有する第２の固定ユニット１９，１９が設けられている。また、装置本体１２にはコラム２０が立設されており、コラム２０には、旋回スクロール２のシャフト４を回転させるシャフト回転モータ２１ａを有するシャフト回転ユニット２１が上下方向に駆動可能に設けられている。
【００１７】
図３は、主として前記ＸＹテーブル１３を示す平面図である。図示したようにＸＹテーブル１３の周囲には、Ｘ軸方向の両端側に、Ｘテーブル１３ａを移動して位置決めを行うためのＸ軸用リニアアクチュエータ２２とＸ軸用押し付けシリンダ２３とが配設されている。Ｘ軸用リニアアクチュエータ２２は、Ｘテーブル１３ａを移動する駆動ロッド２４、及びそれをパルス制御により駆動するＸ軸モータ２５とを有している。同様に、Ｙ軸方向の両端側には、Ｙテーブル１３ｂを移動して位置決めを行うためのＹ軸用リニアアクチュエータ２６とＹ軸用押し付けシリンダ２７とが配設されている。Ｙ軸用リニアアクチュエータ２６は、Ｙテーブル１３ｂを移動する駆動ロッド２８、及びそれをパルス制御により駆動するＹ軸モータ２９とを有している。
【００１８】
また、ＸＹテーブル１３の周囲には、前記Ｘ軸用押し付けシリンダ２３が配置された側を基点として時計回り順に、本発明の移動手段である第１のＸ軸用押圧シリンダ３０、第１のＹ軸用押圧シリンダ３１、第２のＸ軸用押圧シリンダ３２、第２のＹ軸用押圧シリンダ３３が配設されている。第１のＸ軸用押圧シリンダ３０と第２のＸ軸用押圧シリンダ３２とは、Ｘテーブル１３ａを相対向して押圧するアクチュエータであり、第１のＹ軸用押圧シリンダ３１と第２のＹ軸用押圧シリンダ３３とは、Ｙテーブル１３ｂを相対向して押圧するアクチュエータである。さらに、前記Ｘ軸用押し付けシリンダ２３の側部には、Ｘテーブル１３ａの基準位置からの移動量を検出するＸ軸用位置検出器３４が配設されており、前記Ｙ軸用押し付けシリンダ２７の側部には、Ｙテーブル１３ｂの基準位置からの移動量を検出するＹ軸用位置検出器３５が配設されている。
【００１９】
なお、図１においては、前述したＹ軸用押し付けシリンダ２７、第１のＹ軸用押圧シリンダ３１、Ｙ軸用位置検出器３５を省略し、図２においては、Ｙ軸用押し付けシリンダ２７、第２のＸ軸用押圧シリンダ３２を省略してある。また、ＸＹテーブル１３の下部には、Ｘテーブル１３ａの移動時におけるＹテーブル１３ｂの移動を規制するＹテーブル規制機構３６と、逆にＹテーブル１３ｂの移動時におけるＸテーブル１３ａの移動を規制するＸテーブル規制機構３７とが設けられている。
【００２０】
図４は、前述した芯出し装置１１の電気的構成の概略を示すブロック図である。芯出し装置１１は制御装置４１を有している。制御装置４１は、図示しないＣＰＵ、プログラムが格納された各種の記録媒体（例えばＲＯＭやハードディスク）、ワーキングメモリであるＲＡＭ、及び入出力装置等を備えたものであり、前記プログラム及び事前入力された各種の設定データに基づき前述した各種のアクチュエータを制御する。制御装置４１には、前述したＸ軸用位置検出器３４とＹ軸用位置検出器３５がそれぞれ接続されており、後述する位置検出作業時には、両検出器の検出信号が制御装置４１に入力される。
【００２１】
また、制御装置４１には、前述したθ軸モータ１５、シャフト回転モータ２１ａ、Ｘ軸モータ２５、Ｙ軸モータ２９の各モータと、Ｘ軸用押し付けシリンダ２３、Ｙ軸用押し付けシリンダ２７、第１及び第２のＸ軸用押圧シリンダ３０，３２、第２のＹ軸用押圧シリンダ３１，３３の各シリンダをオンオフ制御するための第１〜第６のシリンダスイッチ４２と、電空レギュレータ４３がそれぞれ接続されている。電空レギュレータ４３は、第１及び第２のＸ軸用押圧シリンダ３０，３２、第１及び第２のＹ軸用押圧シリンダ３１，３３に供給する駆動用の圧縮空気の圧力を個別に調整するものであって、制御装置４１から送られる制御電圧の変化に応じて、上記各シリンダ３０，３２，３１，３３へ供給される空気圧が変化するようになっている。
【００２２】
次に、以上の構成からなる芯出し装置１１による固定スクロール１と旋回スクロール２との芯出し作業について説明する。本実施の形態においても、芯出し作業に際しては、固定スクロール１と旋回スクロール２とを互いにかみ合わせ、旋回スクロールの軸受３を固定し、かつ固定スクロール１をＸテーブル１３ａに固定する。そして、θテーブル１４を回転して固定スクロール１を所定の回転位置に回転させるとともに、Ｘ軸用押し付けシリンダ２３とＹ軸用押し付けシリンダ２７とによって固定スクロール１を基準位置に移動する準備作業を行った後、位置検出作業を行う。
【００２３】
図５は、位置検出作業における、シャフト回転モータ２１ａ、第１及び第２のＸ軸用押圧シリンダ３０，３２、第１及び第２のＹ軸用押圧シリンダ３１，３３の動作を示すタイミングチャート、図６（ａ〜ｄ）は各時における固定スクロール１と旋回スクロール２との状態を示す説明図である。
【００２４】
位置検出作業においては、まず、シャフト回転モータ２１ａを回転させて、旋回スクロール２を基準となる０°の回転位置とする。また、電空レギュレータ４３から第１及び第２のＸ軸用押圧シリンダ３０，３２、第１及び第２のＹ軸用押圧シリンダ３１，３３に供給する圧縮空気の供給圧を制御し、第１のＹ軸用押圧シリンダ３１の駆動圧を高圧に設定し、それ以外の押圧シリンダ３０，３２，３３の駆動圧を低圧に設定するとともに、全ての押圧シリンダ３０〜３３を前進させる。これにより固定スクロール１をＹ１方向へ移動し、旋回スクロール２に当接させた後、Ｙ軸用位置検出器３５の検出結果に基づき固定スクロール１のＹ１方向の位置を検出する。なお、「低圧」とは、押圧シリンダ３０，３２，３３をＸテーブル１３ａ及びＹテーブル１３ｂに当接する状態の維持に必要な駆動力を確保する圧力であり、「高圧」とは、その圧力よりも大きく、かつ固定スクロール１を移動させることができる駆動力を確保する圧力であって、双方の圧力は、ワークの重さに応じて事前に設定された圧力である。
【００２５】
引き続き、旋回スクロール２を９０°の回転位置とするとともに、第１のＹ軸用押圧シリンダ３１の設定圧を低圧に、かつ第１のＸ軸用押圧シリンダ３０の設定圧を高圧に切り換え、これにより固定スクロール１をＸ１方向へ移動して旋回スクロール２に当接させた後、Ｘ軸用位置検出器３４の検出結果に基づき固定スクロール１のＸ１方向の位置を検出する。次に、旋回スクロール２を１８０°の回転位置とするとともに、第１のＸ軸用押圧シリンダ３０の設定圧を低圧に、かつ第２のＹ軸用押圧シリンダ３３の設定圧を高圧に切り換え、これにより固定スクロール１をＹ２方向へ移動して旋回スクロール２に当接させた後、固定スクロール１のＹ２方向の位置を検出する。次に、旋回スクロール２を２７０°の回転位置とするとともに、第２のＹ軸用押圧シリンダ３３の設定圧を低圧に、かつ第２のＸ軸用押圧シリンダ３２の設定圧を高圧に切り換え、これにより固定スクロール１をＸ２方向へ移動して旋回スクロール２に当接させた後、固定スクロール１のＹ２方向の位置を検出する。
【００２６】
また、かかる位置検出作業の終了後には、旋回スクロール２を０°の回転位置へ戻すとともに、全ての押圧シリンダ３０〜３３を後退させる。次に、旋回スクロール２の各回転位置で検出した固定スクロール１の位置に固定スクロール１のＸＹ方向の最適中心位置を算出する。そして、算出した最適中心位置を固定スクロール１と旋回スクロール２との位置決め中心として固定スクロール１の位置決めを行い（図６（ｅ））、固定スクロール１と旋回スクロール２の軸受とを固定する。これにより、固定スクロール１と旋回スクロール２との間に良好なクリアランスが確保できる。
【００２７】
ここで、前述した位置検出作業においては、前述した各押圧シリンダ３０〜３３の全てをＸテーブル１３ａ及びＹテーブル１３ｂに当接させた状態で位置検出を行うことから、旋回スクロール２を各回転位置に回転した後における固定スクロール１の移動を瞬時に行うことができる。したがって、従来のように、旋回スクロール２を各回転位置に回転する毎に、各押圧シリンダ３０〜３３等の押圧手段を順番に駆動する方法に比べると、位置検出作業の所要時間Ｔが短くなる。しかも、固定スクロール１の移動開始時点において固定スクロール１に衝撃を加えることなくそれを行うことができる。よって、従来に比べ固定スクロール１と旋回スクロール２との芯出し作業を高速かつ精密に行うことができる。
【００２８】
また、本実施の形態においては、位置検出作業に先立ち各押圧シリンダ３０〜３３をＸテーブル１３ａ及びＹテーブル１３ｂに当接させる時点で、固定スクロール１を最初に押圧する第１のＹ軸用押圧シリンダ３１の駆動圧だけを予め高圧に設定しておくことから、これによっても、固定スクロール１と旋回スクロール２との芯出し作業の高速化を図ることができる。
【００２９】
なお、上記の位置検出作業においては、旋回スクロール２の回転位置を０°、９０°、１８０°、２７０°とし、それに応じて固定スクロール１を４方向に移動させ位置検出を行う場合について説明したが、例えば旋回スクロール２の回転位置を０°、４５°、９０°、・・・３１５°とし、それに応じて固定スクロール１を８方向に移動させ位置検出を行う場合においても、各回転位置に応じて固定スクロール１を移動する押圧手段を固定スクロール１に常に当接した状態とすることにより同様の効果が得られる。
【００３０】
また、本実施の形態では、旋回スクロール２の回転位置に応じた各押圧シリンダ３０〜３３の設定圧を低圧から高圧に切り換え、固定スクロール１に４方向への駆動力を順に加えるようにしたが、これとは逆に、旋回スクロール２の回転位置に応じた所定の押圧シリンダの設定圧を高圧としたままで、他の押圧シリンダの設定圧を高圧から低圧に切り換えることにより、固定スクロール１に４方向への駆動力を順に加えるようにしても構わない。
【００３１】
また、本実施の形態では、旋回スクロール２の回転位置に応じ、それと対応する所定の押圧シリンダの設定圧を単に低圧から高圧に切り換える場合について説明したが、これとは別に、図７に示したように設定圧を段階的に低圧から高圧へ変化させたり、図８に示したように設定圧を緩やかに低圧から高圧へ変化させたりしてもよい。その場合、固定スクロール１が旋回スクロール２に当接する時点で発生する衝撃を低下させることができることから、図５に示した方法に比べると、位置検出作業の所要時間Ｔを短縮する効果についてはやや低下するが、芯出し精度を向上させることができる。また、かかる方法は、前述した芯出し装置１１のように電空レギュレータ４３を用いて各押圧シリンダ３０〜３３の設定圧を制御する構成においては容易に実施することができる。
【００３２】
なお、図７及び図８に示した方法においても、旋回スクロール２の回転位置に応じた所定の押圧シリンダの設定圧を高圧としたままで、他の押圧シリンダの設定圧を高圧から低圧に切り換えることにより、固定スクロール１に４方向への駆動力を順に加えるようにしても構わない。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の芯出し方法及び芯出し装置においては、固定スクロールと旋回スクロールとの位置決めに際して、旋回スクロールを各定回転位置に回転したとき、それに伴う固定スクロールの移動を瞬時に行うことができ、しかも、固定スクロールに衝撃を加えることなくそれを行うことができるようにした。よって、固定スクロールと旋回スクロールとの芯出し作業を高速かつ精密に行うことが可能となる。また、固定スクロールが旋回スクロールに当接した時点に発生する衝撃を低減させることができ、芯出し精度をより一層向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す芯出し装置の正面図である。
【図２】同芯出し装置の左側面図である。
【図３】ＸＹテーブルを示す平面図である。
【図４】芯出し装置の電気的構成の概略を示すブロック図である。
【図５】本実施の形態の位置検出作業の手順を示すタイミングチャートである。
【図６】同位置検出作業を示す説明図である。
【図７】他の位置検出作業の手順を示すタイミングチャートである。
【図８】他の位置検出作業の手順を示すタイミングチャートである。
【図９】従来技術の位置検出作業の手順を示す説明図である。
【符号の説明】
１    固定スクロール
２    旋回スクロール
３    軸受
４    シャフト
１１    芯出し装置
１３    ＸＹテーブル
２２    Ｘ軸用リニアアクチュエータ
２３    Ｘ軸用押し付けシリンダ
２６    Ｙ軸用リニアアクチュエータ
２７    Ｙ軸用押し付けシリンダ
３０    第１のＸ軸用押圧シリンダ
３１    第１のＹ軸用押圧シリンダ
３２    第２のＸ軸用押圧シリンダ
３３    第２のＹ軸用押圧シリンダ
３４    Ｘ軸用位置検出器
３５    Ｙ軸用位置検出器
４１    制御装置
４３    電空レギュレータ
【図１】
0003967533.tif 000002
【図２】
0003967533.tif 000003
【図３】
0003967533.tif 000004
【図４】
0003967533.tif 000005
【図５】
0003967533.tif 000006
【図６】
0003967533.tif 000007
【図７】
0003967533.tif 000008
【図８】
0003967533.tif 000009
【図９】
0003967533.tif 000010