(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）ウラン含有量が１．０ｐｐｂ以下の高純度合成シリカ粉、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基と少なくとも２個のエチレン性不飽和結合を併せ持ち、かつ、固形分酸価が５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性プレポリマー、（Ｃ）感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）エポキシ樹脂、及び（Ｆ）硬化触媒を含有する組成物であって、前記高純度合成シリカ粉（Ａ）が、１０．０μｍ以下の平均粒径を有し、かつ、上記組成物１００質量部中に５〜４０質量部含有されていることを特徴とするアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１に記載の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を基材に塗布・乾燥し、露光後、現像して基板にレジストパターンを形成する工程、パターン形成された基板に活性エネルギー線を照射後、加熱硬化する工程、もしくはパターン形成された基板を加熱硬化後、活性エネルギー線を照射する工程、又はパターン形成された基板を加熱硬化のみ行なう工程を含んで得られる硬化被膜。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リジッドプリント配線板やフレキシブルプリント配線板、あるいはＢＧＡ（ボール・グリッド・アレイ）、ＣＳＰ（チップ・サイズ・パッケージ）、ＴＣＰ（テープ・キャリアー・パッケージ）等のＬＳＩパッケージの製造に使用されるソルダーレジストとして好適に用いられる低放射線性の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に関する。さらに詳しくは、半導体素子に影響を及ぼすα線量が充分に小さく、かつ、ＩＣパッケージ用ソルダーレジストに要求される耐熱性、密着性、耐候性、耐無電解めっき性、電気特性、ＰＣＴ耐性等の特性に優れた硬化被膜が得られるアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化被膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に産業用プリント配線板のソルダーレジストには、高精度、高密度の観点から、紫外線照射後、現像することにより画像形成し、熱及び光照射で仕上げ硬化（本硬化）する液状現像型ソルダーレジストが使用されている。また、環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タイプの液状ソルダーレジストが主流になっている。さらに、近年のエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、ＱＦＰ（クワッド・フラットパック・パッケージ）、ＳＯＰ（スモール・アウトライン・パッケージ）等と呼ばれるＩＣパッケージに代わって、ＢＧＡ（ボール・グリッド・アレイ）、ＣＳＰ（チップ・スケール・パッケージ）等と呼ばれるＩＣパッケージが登場した。これら新しいパッケージは、ソルダーレジストを施したプリント配線板の片側にボール状のはんだ等の金属をエリア状に配し、もう片側に半導体素子をワイヤーボンディングもしくはバンプ等で直接接続し、封止樹脂で封止した構造をしており、これらのパッケージに好適に使用されるソルダーレジストとしては、特開平１１−３１５１０７号、特開平１１−２８８０９１号で開示されている組成物が挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記半導体封止用樹脂組成物には、従来、無機充填剤として汎用のシリカ粉が使用されていた。しかし、このようなシリカ粉は、天然シリカ粉を単に粉砕した結晶性シリカや、天然シリカ粉を溶融後、粉砕した溶融シリカ（アモルファスシリカ）であり、ウラン及びトリウムなどの放射性物質が含まれ、これらから放射されるα線によって半導体素子が誤動作を起こすという問題がある。特に、近年、集積度の向上が著しい半導体メモリ素子においては、この誤動作が問題となり易い。
【０００４】
また、プリント配線板に使用されるソルダーレジストには、歪み緩和や印刷性付与のために、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、粉状酸化珪素、無定形シリカ、タルク、クレー、焼成カオリン、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉等の無機充填剤が使用されており、これらは、天然の鉱石を粉砕、化学処理又は熱処理等したもので、特に放射性物質を取り除く高純度化処理をしていない。そのため、ソルダーレジストの無機充填剤から放射されるα線によって半導体素子が誤動作を起こすことが考えられる。このような状況から、半導体素子の誤動作を防止するため、ＢＧＡ（ボール・グリッド・アレイ）、ＣＳＰ（チップ・サイズ・パッケージ）、ＴＣＰ（テープ・キャリアー・パッケージ）等のＬＳＩパッケージに使用されるソルダーレジストにはα線放射量の少ないソルダーレジストが強く要望されている。
【０００５】
従って、本発明の目的は、半導体素子に影響を及ぼすα線量が充分に小さく、ＩＣパッケージ用ソルダーレジストに要求される耐熱性、密着性、耐候性、耐無電解めっき性、電気特性、ＰＣＴ耐性等の特性に優れた硬化被膜が得られるアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化被膜を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、前記目的を達成するために、従来の天然無機充填剤の代わりに（Ａ）ウラン含有量が１．０ｐｐｂ以下の高純度合成シリカ粉を含有すると共に、（Ｂ）１分子中にカルボキシル基と少なくとも２個のエチレン性不飽和結合を併せ持ち、かつ、固形分酸価が５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの感光性プレポリマー、（Ｃ）感光性（メタ）アクリレート化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）エポキシ樹脂、及び（Ｆ）硬化触媒を含有する組成物であって、前記高純度合成シリカ粉（Ａ）が、１０．０μｍ以下の平均粒径を有し、かつ、上記組成物１００質量部中に５〜４０質量部含有されていることを特徴とするアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物が提供される。
さらに、本発明によれば、該光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を基材に塗布・乾燥し、露光後、現像して基板にレジストパターンを形成する工程、パターン形成された基板に活性エネルギー線を照射後、加熱硬化する工程、もしくはパターン形成された基板を加熱硬化後、活性エネルギー線を照射する工程、又はパターン形成された基板を加熱硬化のみ行なう工程を含んで得られる硬化被膜が提供される。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物の各成分について詳細に説明する。
まず、（Ａ）成分の高純度合成シリカ粉は、高純度化処理を行なってウランやトリウムなどの放射性物質を取り除いた高純度溶融シリカ粉である。本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、ウラン含有量が１．０ｐｐｂ以下の高純度合成シリカ粉を用いることによってα線量を充分に小さくし、半導体素子の誤動作を防止しようとするものである。
これらの高純度合成シリカ粉の製造方法は、ケイ酸アルカリを中和、ゲル乾燥、粉砕後火炎溶融する方法、アルコキシシランを火炎分解する方法、四塩化ケイ素等の揮発性ケイ素化合物を気相加水分解する方法や、特開昭６１−４０８１１号に開示されているようなメタ珪酸ソーダを原料としてイオン交換処理して得られる湿式合成シリカを火炎溶融処理する方法などがある。
【０００８】
前記したような無機フィラー、特にシリカに起因する半導体素子の誤動作を防ぐには、高純度合成シリカ粉（Ａ）のウラン含有量は、１．０ｐｐｂ以下である必要があり、好適には０．６ｐｐｂ以下であることが好ましい。
また、高純度合成シリカ粉（Ａ）の平均粒径は、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物への分散性、印刷性、レジストパターンの解像性等の点から、１０．０μｍ以下が適当であり、好ましくは５．０μｍ以下である。また、これらの高純度合成シリカ粉の含有量は、塗膜特性の維持、印刷性の維持のため、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物１００質量部中に５〜４０質量部含有されるのが適当であり、好ましくは１０〜３０質量部である。高純度合成シリカ粉含有量が５質量部未満の場合、形成される硬化被膜が半導体などと接する面で歪みが発生したり、適切な印刷性が得られなくなるので好ましくない。一方、４０質量部を越えた場合、組成物の印刷性が低下し、また塗膜強度が低下するので好ましくない。
【０００９】
上記低α放射線性の高純度合成シリカ粉としては、龍森社製のＡｄｍａ  Ｆｉｎｅ  ＳＯシリーズ、龍森社製のＰＵＲＥＬＥＸ  ＤＥＰシリーズ、ＶＬシリーズ、ＶＬＭシリーズ、電気化学工業社製のＦＲシリーズ、ＦＢシリーズ、東燃石油化学社製のＰＰ−７Ｂなどがあり、用途に応じた粒径、粒度分布のものを単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１０】
上記感光性プレポリマー（Ｂ）としては、
（１）（ａ）１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物に、（ｂ）不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した水酸基にさらに（ｃ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性プレポリマー、及び
（２）（ａ）１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する多官能のエポキシ化合物に、（ｂ）不飽和モノカルボン酸と、（ｄ−１）１分子中に、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物、より好ましくは１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基とエポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−２）を反応させた後、（ｃ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる感光性プレポリマーなどを挙げることができる。
このような感光性プレポリマー（Ｂ）の酸価は、その種類によって好適な範囲は異なるが、一般に５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲にあることが必要であり、好ましい範囲は６０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇである。酸価が５０ｍｇＫＯＨ／ｇより小さい場合にはアルカリ水溶液への溶解性が悪くなり、逆に１５０ｍｇＫＯＨ／ｇより大きすぎると、硬化被膜の耐アルカリ性、電気特性等のレジストとしての特性を下げる要因となるので、いずれも好ましくない。
【００１１】
前記（１）の感光性プレポリマーは、１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物（ａ）、好ましくは固形の多官能エポキシ化合物に、感光性の不飽和モノカルボン酸（ｂ）を反応させ、生成した水酸基に飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｃ）を付加させて得られるカルボキシ基含有感光性樹脂である。
【００１２】
前記多官能エポキシ化合物（ａ）としては、公知慣用の各種エポキシ樹脂、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡのノボラック型エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含有フェノールノボラツク型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル化合物；ダイセル化学社製のＥＨＰＥ−３１５０などの脂環式エポキシ樹脂や、グリシジル（メタ）アクリレートとエチレン性不飽和二重結合を有する化合物との共重合物などの公知慣用のエポキシ化合物が使用できる。これらの中でも、固形で多官能であるフェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂が特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１３】
前記不飽和モノカルボン酸（ｂ）の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、β−カルボキシルエチルアクリレート、β−カルボキシルエチルメタクリレートや、ヒドロキシル基含有の（メタ）アクリレートに多塩基酸無水物を付加した化合物などが挙げられる。これらの中でも、感光性、反応性、保存安定性の面から、アクリル酸又はメタクリル酸が特に好ましい。これら不飽和モノカルボン酸（ｂ）は、単独で又は２種以上を混合して用いてもよい。
これらの不飽和モノカルボン酸（ｂ）の添加量は、前記多官能エポキシ化合物（ａ）のエポキシ基１当量に対して、０．９５〜１．１０当量の割合が好ましい。不飽和モノカルボン酸の添加量が０，９５当量未満の場合、未反応のエポキシ基が残存し、飽和又は不飽和多塩基酸無水物を付加した後の保存安定性が低下するので好ましくない。一方、１．１０当量を越えた場合、未反応の不飽和モノカルボン酸が残り、臭気が強くなるので好ましくない。
【００１４】
前記飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｃ）の具体例としては、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、３，６−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸等の脂環式二塩基酸無水物；無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、オクテニル無水コハク酸、ペンタドデセニル無水コハク酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸等の脂肪族又は芳香族多塩基酸無水物などが挙げられ、これらのうち１種又は２種以上を使用することができる。これらの中でも、脂環式二塩基酸無水物が、現像性の面から特に好ましい。
これらの飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｃ）の付加量は、上記多官能エポキシ化合物（ａ）と不飽和モノカルボン酸（ｂ）の反応で生成したアルコール性水酸基１当量に対して、無水物基０．３〜０．８当量の割合が適しており、生成する感光性プレポリマー（Ｂ）の酸価が５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは６０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇとなるような付加量とする。
【００１５】
前記（２）の感光性プレポリマーは、（ａ）１分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有する多官能のエポキシ化合物、好ましくは固形の多官能エポキシ化合物に、感光性の（ｂ）不飽和モノカルボン酸と、（ｄ−１）１分子中に、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基（例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、第２級アミノ基等）を有する化合物、より好ましくは１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基とエポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−２）を反応させた後、（ｃ）飽和又は不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂である。
【００１６】
前記１分子中にエポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−１）を反応させることにより、前記感光性プレポリマー（１）に比べ、感光基密度は下がるが、化合物の選択により、疎水性を上げることができ、金めっき耐性やＰＣＴ耐性を上げることができる。１分子中にエポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−１）としては、ペンチルフェノール、ジペンチルフェノール、オクチルフェノール、ノニルフェノール、ドデシルフェノール、ヘキサドデシルフェノールなどのアルキルフェノール類；ｎ−ヘキサン酸、ジメチル酪酸、エチル酪酸、安息香酸、トルイル酸、エチル安息香酸などのモノカルボン酸類が挙げられる。これらの中でも、特に疎水性を有するノニルフェノール、ドデシルフェノールが金めっき耐性やＰＣＴ耐性を上げるために好ましい。
さらに、前記１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基、好ましくは第１級のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−２）を反応させることにより、前記感光性プレポリマー（１）に比べ、感光基密度は下がるが、飽和又は不飽和多塩基酸無水物（ｃ）を反応させた時、カルボキシル基が主骨格からは離れるため、酸価が低くても現像でき、柔軟性を持つ感光性プレポリマーとなる。
【００１７】
上記感光性プレポリマー（Ｂ）の合成方法としては、多官能エポキシ化合物（ａ）に不飽和モノカルボン酸（ｂ）（又は化合物（ｄ−１，ｄ−２））を反応させ、次いで化合物（ｄ−１，ｄ−２）（又は不飽和モノカルボン酸（ｂ））を反応させる第一の方法と、多官能エポキシ化合物（ａ）と不飽和モノカルボン酸（ｂ）と化合物（ｄ−１，ｄ−２）を同時に反応させる第二の方法とがある。どちらの方法でもよいが、第二の方法が好ましい。上記反応は、多官能エポキシ化合物（ａ）のエポキシ基１当量に対して、不飽和モノカルボン酸（ｂ）と前記化合物（ｄ−１，ｄ−２）の総量として０．８〜１．３モルとなる比率で反応させるのが好ましく、特に好ましくは０．９〜１．１モルとなる比率で反応させる。不飽和モノカルボン酸（ｂ）と前記化合物（ｄ−１，ｄ−２）との使用割合は、不飽和モノカルボン酸（ｂ）と化合物（ｄ−１，ｄ−２）の総量１モルに対して、化合物（ｄ−１，ｄ−２）の使用量は０．０５〜０．５モルが好ましく、特に好ましくは０．１〜０．３モルである。
【００１８】
前記１分子中に少なくとも１個のアルコール性水酸基、好ましくは第１級のアルコール性水酸基と、エポキシ基と反応するアルコール性水酸基以外の１個の反応性基を有する化合物（ｄ−２）としては、例えば、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロール酢酸、ジメチロール酪酸、ジメチロール吉草酸、ジメチロールカプロン酸等のポリヒドロキシモノカルボン酸；（ビス）ヒドロキシメチルフェノール、ヒドロキシメチル−ジ−ｔ−ブチルフェノール、ｐ−ヒドロキシフェニル−２−メタノール、ｐ−ヒドロキシフェニル−３−プロパノール、ｐ−ヒドロキシフェニル−４−ブタノール、ヒドロキシエチルクレゾール、２，６−ジメチル−４−ヒドロキシメチルフェノール、２，４−ジヒドロキシメチル−２−シクロヘキシルフェノール、トリメチロールフェノール、３，５−ジメチル−２，４，６−トリヒドロキシメチルフェノール等のヒドロキシアルキルフェノール又はヒドロキシアルキルクレゾール；ヒドロキシ安息香酸、ヒドロキシフェニル安息香酸、あるいはヒドロキシフェノキシ安息香酸等のカルボキシル基含有置換基を有するフェノールと、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセロール、ジエチレングリコールなどとのエステル化物；ビスフェノールのモノエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールのモノプロピレンオキサイド付加物；ｐ−ヒドロキシフェネチルアルコール；ジエタノールアミン、ジイソプロパノールアミン等のジアルカノールアミン類等を挙げることができる。特に好ましいものとしては、例えばジメチロールプロピオン酸、ｐ−ヒドロキシフェネチルアルコール等を挙げることができる。
【００１９】
前記感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）としては、１分子中に１個以上の（メタ）アクリロイル基を有する室温で液体、固体又は半固形の感光性（メタ）アクリレート化合物が使用できる。これら感光性（メタ）アクリレート化合物の使用目的は、組成物の光反応性を上げることにある。室温で液状の感光性（メタ）アクリレート化合物は、組成物の光反応性を上げる目的の他、組成物を各種の塗布方法に適した粘度に調整したり、アルカリ水溶液への溶解性を助ける役割も果たす。しかし、室温で液状の感光性（メタ）アクリレート化合物を多量に使用すると、塗膜の指触乾燥性が得られず、また塗膜の特性も悪化する傾向があるので、多量に使用することは好ましくない。感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の配合量は、前記感光性プレポリマー（Ｂ）１００質量部（固形分として、以下同様）に対して１０〜５０質量部が好ましい。
【００２０】
前記感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）としては、例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートなどの水酸基含有のアクリレート類；ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレートなどの水溶性のアクリレート類；トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの多官能アルコールのアクリレートエステル類；トリメチロールプロパン、水添ビスフェノールＡ等の多官能アルコールもしくはビスフェノールＡ、ビフェノールなどの多官能フェノールのエチレンオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物のアクリレート類；上記水酸基含有アクリレートのイソシアネート変成物である多官能もしくは単官能ポリウレタンアクリレート；ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、水添ビスフェノールＡジグリシジルエーテル又はフェノールノボラックエポキシ樹脂の（メタ）アクリル酸付加物であるエポキシアクリレート類、及び上記アクリレート類に対応するメタクリレート類などが挙げられ、これらは単独で又は２種以上を使用することができる。これらの中でも、１分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物が好ましい。
【００２１】
前記光重合開始剤（Ｄ）としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類；アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシ−２−フェニルアセトフェノン、１，１−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類；２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノアミノプロパノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノアセトフェノン等のアミノアセトフェノン類；２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン等のアントラキノン類；２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類；アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類；ビイミダゾール類；ベンゾフェノン、４，４’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類又はキサントン類；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。これら公知慣用の光重合開始剤は、単独で又は２種以上の混合物として使用でき、さらにはＮ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類などの光開始助剤を加えることができる。また可視光領域に吸収のあるＣＧＩ−７８４等（チバスペシャリティケミカルズ社製）のチタノセン化合物等も、光反応を促進するために添加することもできる。特に好ましい光重合開始剤は、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノアミノプロパノン−１、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン等であるが、特にこれらに限られるものではなく、紫外光もしくは可視光領域で光を吸収し、（メタ）アクリロイル基等の不飽和基をラジカル重合させるものであれば、光重合開始剤、光開始助剤に限らず、単独であるいは複数併用して使用できる。そして、その使用量は前記感光性プレポリマー（Ｂ）１００質量部に対して０．５〜２５質量部が好ましい。
【００２２】
前記エポキシ樹脂（Ｅ）としては、公知慣用の各種エポキシ樹脂、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡのノボラック型エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含有フェノールノボラツク型エポキシ樹脂などのグリシジルエーテル化合物；テレフタル酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステルなどのグリシジルエステル化合物；ダイセル化学社製のＥＨＰＥ−３１５０などの脂環式エポキシ樹脂；トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂；Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルメタキシレンジアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリンなどのグリシジルアミン類や、グリシジル（メタ）アクリレートとエチレン性不飽和二重結合を有する化合物との共重合物などの公知慣用のエポキシ化合物が使用できるが、指触乾燥性、耐熱性の面から、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型もしくはビキシレノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物やトリグリシジルイソシアヌレートが特に好ましい。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２３】
前記のようなエポキシ樹脂（Ｅ）は、熱硬化することにより、ソルダーレジストの密着性、耐熱性等の特性を向上させる。これらの配合量は、前記感光性プレポリマー（Ｂ）のカルボキシル基１当量に対して、エポキシ基が０．８〜２．０当量、好ましくは、１．０〜１．８当量がである。エポキシ樹脂の配合量が、エポキシ基０．８当量未満の場合、未反応のカルボキシル基が残存し、硬化被膜の吸湿性が高くなってＰＣＴ耐性が低下し易くなり、また、はんだ耐熱性や耐無電解めっき性も低くなり易い。また、エポキシ樹脂の配合量が、エポキシ基２．０当量を越えた場合、塗膜の現像性や硬化被膜の耐無電解めっき性が悪くなり、またＰＣＴ耐性も劣ったものとなる。
【００２４】
前記硬化触媒（Ｆ）としては、例えば、イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−エチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、４−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体；ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４−（ジメチルアミノ）−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、４−メトキシ−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン、４−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等の有機酸ヒドラジド類；トリフェニルホスフィン等のリン化合物など、また市販されているものとしては、例えば四国化成工業（株）製の２ＭＺ−Ａ、２ＭＺ−ＯＫ、２ＰＨＺ、２Ｐ４ＢＨＺ、２Ｐ４ＭＨＺ（いずれもイミダゾール系化合物の商品名）、サンアプロ社製のＵ−ＣＡＴ３５０３Ｘ、Ｕ−ＣＡＴ３５０２Ｘ（いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名）、ＤＢＵ、ＤＢＮ、Ｕ−ＣＡＴＳＡ１０２、Ｕ−ＣＡＴ５００２（いずれも二環式アミジン化合物及びその塩）などがある。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂の硬化触媒、もしくはエポキシ基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は２種以上を混合して使用してもかまわない。また、密着性付与剤としても機能するグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、２，４−ジアミノ−６−メタクリロイルオキシエチル−Ｓ−トリアジン、２−ビニル−４，６−ジアミノ−Ｓ−トリアジン、２−ビニル−４，６−ジアミノ−Ｓ−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、２，４−ジアミノ−６−メタクリロイルオキシエチル−Ｓ−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のＳ−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記硬化触媒と併用する。上記硬化触媒の配合量は通常の量的割合で充分であり、例えば前記感光性プレポリマー（Ｂ）１００質量部に対して０．１〜２０質量部、好ましくは０．５〜１５．０質量部の割合である。
【００２５】
また、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、前記感光性プレポリマー（Ｂ）や感光性（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）を溶解させ、また組成物を塗布方法に適した粘度に調整するために、有機溶剤を配合することができる。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類；セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類；酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類；エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類；オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素；石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、有機溶剤の配合量は、塗布方法に応じた任意の量とすることができる。
【００２６】
本発明の組成物は、さらに必要に応じてフタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの公知慣用の着色剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｔ−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び／又はレベリング剤、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
【００２７】
以上のような組成を有する本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じて希釈して塗布方法に適した粘度に調整し、これを例えば、回路形成されたプリント配線板にスクリーン印刷法、カーテンコート法、プレーコート法、ロールコート法等の方法により塗布し、例えば６０〜１００℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥させることにより、タックフリーの塗膜を形成できる。
【００２８】
あるいは下記のように前記組成物をドライフィルム化し、回路形成されたプリント配線板にラミネートする。
ドライフィルム化に際しては、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を適切な粘度に前記有機溶剤で希釈し、支持体フィルム上にフィルムコーター等で塗布・乾燥して作製することができる。塗布膜厚としては、乾燥後で、通常１５〜８０μｍ、好ましくは２０〜６０μｍである。
【００２９】
支持体に上記組成物を塗布する方法としては、例えば、ナイフコーター塗布、コンマコーター塗布、ダイコーター塗布、グラビアコーター塗布、ロールコータ塗布、スプレーコーター塗布等で行なうことができる。また、支持体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等のフィルムを用いることができる。
【００３０】
支持体上に上記組成物を塗布した後、通常、５０〜１３０℃の温度で１〜３０分間乾燥して膜を得ることができる。さらに、膜の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィルムを積層することが望ましい。
剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができ、カバーフィルムを剥離するときに膜と支持体との接着力よりも膜とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
【００３１】
その後、上記いずれかの方法で作製した塗膜を、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液により現像してレジストパターンを形成でき、さらに、活性エネルギー線を照射後加熱硬化、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、又は、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化（本硬化）させることにより、密着性、硬度、はんだ耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性、電気絶縁性、耐電蝕性、解像性、耐めっき性、ＰＣＴ耐性、及び耐吸湿性に優れた硬化被膜（ソルダーレジスト被膜）が形成される。特に、活性エネルギー線を照射後加熱硬化、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射する工程を取ることにより、未反応の感光基が反応し、耐電触性、耐めっき性、耐吸湿性に優れた硬化被膜を得ることができる。
【００３２】
上記現像に用いるアルカリ水溶液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。また、光硬化させるための照射光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプなどが適当である。その他、レーザー光線なども活性エネルギー線として利用できる。
【００３３】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」とあるのは、特に断りのない限り全て「質量部」を示す。
【００３４】
合成例１
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂のＥＰＰＮ−２０１（日本化薬社製、エポキシ当量＝１９０）１９０部を撹拌機及び還流冷却器の付いた四つ口フラスコに入れ、カルビトールアセテート２１５部を加え、加熱溶解した。次に、重合禁止剤としてメチルハイドロキノン０．４６部と、反応触媒としてトリフェニルホスフィン１．３８部を加えた。この混合物を９５〜１０５℃に加熱し、アクリル酸５７．６部（０．８当量）、ｎ−ノニルフェノール４４．０部（０．２当量）を徐々に滴下し、約３２時間反応させ、酸価が０．９ｍｇＫＯＨ／ｇの反応生成物を得た。この反応生成物（水酸基：１当量）を、８０〜９０℃まで冷却し、テトラヒドロフタル酸無水物９１．２部（０．６当量）を加え、約８時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られた感光性プレポリマーは、不揮発分６５％、固形物の酸価８４ｍｇＫＯＨ／ｇであった。以下、このワニスを、Ｂ−１ワニスと称す。
【００３５】
実施例１〜５及び比較例１〜４
上記Ｂ−１ワニスを用いて、表１に示す配合割合で各成分を配合し、３本ロールミルを用いて混練して、各光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を調製した。次いで、後述する方法で各種特性についてその評価を行なった。その結果を表２に示す。
【表１】
0003996802.tif 000002
【００３６】
【表２】
0003996802.tif 000003
上記表２に示される結果から明らかなように、本発明の各実施例の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化被膜は、半導体素子に影響を及ぼすα線量が０．００１ｃ／ｃｍ2・ｈ未満で充分に小さく、また、印刷性、はんだ耐熱性、密着性、耐無電解めっき性、耐薬品性、ＰＣＴ耐性、耐熱衝撃性等の特性に優れていた。これに対して、汎用の無機フィラーを含有する比較例の組成物では、特性面では問題のない硬化被膜が得られたが、α線量が高く、半導体素子の誤動作を起こす可能性が高くなる。
【００３７】
なお、上記表２中の特性試験の方法は以下の通りである。
（１）印刷性
上記各実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布した。印刷された基板を目視で、印刷性の評価を行なった。
○：印刷に問題なし。
△：一部にカスレ、はじきを発生している。
×：全体的にカスレ、はじきを発生している。
【００３８】
上記各実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、８０℃で２０分乾燥し、室温まで放冷する。なお、α線測定試料については同条件で２回印刷を行なった。この基板にネガフィルムを当て、ソルダーレジストパターンを露光量６００ｍＪ／ｃｍ2の条件で露光し、３０℃の１ｗｔ％Ｎａ2ＣＯ3水溶液をスプレー圧２ｋｇ／ｃｍ2の条件で６０秒間現像を行ない、レジストパターンを得た。この基板を、ＵＶコンベア炉にて積算露光量１０００ｍＪ／ｃｍ2の条件で紫外線照射した後、１５０℃で６０分加熱して硬化して評価基板を作製し、以下の試験に供した。
【００３９】
（２）はんだ耐熱性
ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め２６０℃に設定したはんだ槽に浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ・剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
○：１０秒間浸漬を３回以上繰り返しても剥がれ認められない。
△：１０秒間浸漬を３回以上繰り返すと少し剥がれる。
×：１０秒間浸漬を３回以内にレジスト層に膨れ、剥がれがある。
【００４０】
（３）密着性
上記の評価基板をＪＩＳ Ｄ ０２０２の試験法に従い碁盤目状にクロスカットを入れ、粘着テープによるピールテストを行ない、レジスト層の剥がれについて評価した。判定基準は以下のとおりである。
○：全く剥がれが認められないもの
△：ほんの僅か剥がれたもの
×：レジスト層に剥がれがあるもの
【００４１】
（４）耐無電解めっき性
市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴を用いて、ニッケル０．５μｍ、金０．０３μｍの条件でめっきを行ない、テープピーリングにより、レジスト層の剥がれの有無やめっきのしみ込みの有無を評価した後、前記（４）密着性の試験法に従い碁盤目状にクロスカットを入れ、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○：全く剥がれが認められないもの
△：ほんの僅か剥がれたもの
×：レジスト層に剥がれがあるもの
【００４２】
（５）耐溶剤性
上記の評価基板をプロピレングリコールメチルエーテルアセテートに室温で３０分浸漬し、前記（４）密着性の試験法に従い碁盤目状にクロスカットを入れ、テープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○：全く剥がれが認められないもの
△：ほんの僅か剥がれたもの
×：レジスト層に剥がれがあるもの
【００４３】
（６）耐酸性
上記の評価基板を１０ｖｏｌ％濃度の硫酸水溶液中に室温で３０分浸漬し、前記（４）密着性の試験法に従い碁盤目状にクロスカットを入れテープピーリングによりレジスト層の剥がれの有無を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○：全く剥がれが認められないもの
△：ほんの僅か剥がれたもの
×：レジスト層に剥がれがあるもの
【００４４】
（７）ＰＣＴ耐性
上記の評価基板を、ＰＣＴ装置（ＴＡＢＡＩ ＥＳＰＥＣ ＨＡＳＴ ＳＹＳＴＥＭ ＴＰＣ−４１２ＭＤ）を用いて１２１℃、２気圧の条件で１６８時間処理し、硬化被膜の状態を評価した。
○：剥がれ、変色そして溶出なし。
△：剥がれ、変色そして溶出のいずれかあり。
×：剥がれ、変色そして溶出が多く見られる。
【００４５】
（８）サーマルショック（ＴＣ）耐性
上記の評価基板を、サーマルショック試験器に入れ、−４５℃，１５分と１２５℃，１５分のヒートサイクル試験を、１０００サイクル行ない、試験終了後の基板の顕微鏡で観察し、クラックの発生の有無を調べた。
○：クラック等の異常なし。
△：一部にクラック発生。
×：全体にクラック発生。
【００４６】
（９）α線量
ＰＥＴフィルム上に上記条件でソルダーレジスト硬化被膜を作成し、ＰＥＴフィルムから硬化被膜を剥離し、以下の条件でα線量を測定した。
測定条件
装置：低レベルα線測定装置  ＬＡＣＳ−４０００
印加電圧：１．９ｋＶ
計数ガス：ＰＲ−１０ガス（Ａｒ９０％、ＣＨ4１０％）、１００ｍｌ／ｍｉｎ
試料面積：４０００ｃｍ2
全計数時間：９９時間
計数効率：８０％
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物から形成される硬化被膜は、半導体素子に影響を及ぼすα線量が充分に小さく、ＩＣパッケージ用ソルダーレジストに要求される耐熱性、密着性、耐候性、耐無電解めっき性、電気特性、ＰＣＴ耐性等の特性に優れるため、誤動作を起こさない信頼性の高いＬＳＩパッケージの製造が可能になる。