(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に樹脂のブラックマトリックスパターンを形成する工程と、該ブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加させる表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリックスパターンの間隙にインクを付与する工程とを有するカラーフィルターの製造方法であって、
該ブラックマトリックスパターンを形成する工程は、該ブラックマトリックスパターンを加熱処理する工程を有し、
該表面改質処理がドライエッチング処理であり、該表面改質処理によって基板表面を０．０５〜０．１５μｍエッチングし、該ブラックマトリックスパターンとブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面との表面エネルギー差を、該加熱処理後、該表面改質処理前の、ブラックマトリックスパターンとブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面との表面エネルギー差より大きくすることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記ブラックマトリックスパターンの形成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露光してパターニングする工程である請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記ブラックマトリックスパターンの形成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物をフォトレジストを用いてパターニングする工程である請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
表面改質処理により、ブラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差を１５°以上にする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
表面改質処理により、ブラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差を４０°以上にする請求項４に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
インクをインクジェットプリンティング方式を用いて付与する請求項１〜５のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
インクが熱硬化性を示す請求項１〜６のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法によって製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルターと該カラーフィルターに対向させて画素電極を有する対向基板とを有し、且つ、該カラーフィルターと対向電極の間隙に液晶組成物が封入されている液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルターの製造方法、特にインクジェット印刷法を用いるカラーフィルターの製造方法に関する。本発明で製造されるカラーフィルターはカラー液晶表示装置等の分野で使用される。また、本発明は、液晶表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピューターの進歩、特に携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラ一液晶ディスプレイの需要が増加している。しかしながら、さらなる普及のために大幅なコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルターのコストダウンが求められている。
【０００３】
カラーフィルターの低コスト化のための製造方法として、ガラス基板上に遮光性に優れたブラックマトリックスを形成し、インクジェット印刷機を用いてブラックマトリックスの間隙にインクを付与して着色する方法が提案されている。この方法に関して、インクがそれぞれの画素に対応するブラックマトリックスの間隙にうまく収まるようにするため、ブラックマトリックスの材料として、インクに濡れにくく、インクをはじきやすいものが検討されている。
【０００４】
例えば、特開平７−３５９１７号公報には、インキに対し２０°以上の接触角を有するブラックマトリックス材料を用いてブラックマトリックスを形成し、この間隙にインキを吐出する方法が提案されている。特開平７−３５９１５号公報には、ブラックマトリックス材料として水に対し４０°以上の接触角を有する材料を使用することが提案されている。特開平６−３４７６３７号公報には、それぞれの材料の臨界表面張力を、基板面＞インキ＞ブラックマトリックス面とし、ブラックマトリックス面＜３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、基板面≧３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、インキは両者から５ｄｙｎｅ／ｃｍ以上の差を有するように設定することが提案されている。これらの例ではいずれもブラックマトリックスの材料として、撥水性を持たせるために、フッ素化合物やケイ素化合物を含むことが提案されている。
【０００５】
また、特開平４−１２１７０２号公報には、基板と逆の親媒性を有する堤を形成し、その間にインクを注入する方法が提案されているが、材料についての詳しい記載はない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これらの例のように、ブラックマトリックス材料に撥水剤であるフッ素化合物やケイ素化合物を混ぜると、ブラックマトリックスパターンを形成するための最終工程であるポストベークの際に、ブラックマトリックス材料中の撥水剤が蒸発し、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面に薄く付着する。また、撥水剤を添加しない場合であっても、ブラックマトリックス材料等に含まれる低分子の有機物が蒸発し、同じようにガラス表面に付着する。どちらの場合でも、ガラス表面が撥水性を示すようになり、画素部となるブラックマトリックスの間隙にインクを付与したときに、インクが付着しなくなる問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、インクジェット等によってブラックマトリックスの間隙に着色インクを付与する際に、インクのはじき等がなく、間隙部分を均一に着色することで、欠陥やムラがなく、コントラストの高いカラーフィルター及び液晶表示装置並びにこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、透明基板上に樹脂のブラックマトリックスパターンを形成する工程と、該ブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加させる表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリックスパターンの間隙にインクを付与する工程とを有するカラーフィルターの製造方法であって、該ブラックマトリックスパターンを形成する工程は、該ブラックマトリックスパターンを加熱処理する工程を有し、該表面改質処理がドライエッチング処理であり、該表面改質処理によって基板表面を０．０５〜０．１５μｍエッチングし、該ブラックマトリックスパターンとブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面との表面エネルギー差を、該加熱処理後、該表面改質処理前の、ブラックマトリックスパターンとブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面との表面エネルギー差より大きくすることを特徴とするカラーフィルターの製造方法に関する。
【００１０】
また本発明は、前記ブラックマトリックスパターンの形成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露光してパターニングする工程である上記のカラーフィルターの製造方法に関する。
【００１１】
また本発明は、前記ブラックマトリックスパターンの形成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物をフォトレジストを用いてパターニングする工程である上記のカラーフィルターの製造方法に関する。
【００１９】
また本発明は、表面改質処理により、ブラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差を１５°以上にする上記のいずれかのカラーフィルターの製造方法に関する。
【００２０】
また本発明は、表面改質処理により、ブラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差を４０°以上にする上記のいずれかのカラーフィルターの製造方法に関する。
【００２１】
また本発明は、インクをインクジェットプリンティング方式を用いて付与する上記のいずれかのカラーフィルターの製造方法に関する。
また本発明は、インクが熱硬化性を示す上記のいずれかのカラーフィルターの製造方法に関する。
【００２２】
また本発明は、上記のいずれかのカラーフィルターの製造方法によって製造されたことを特徴とするカラーフィルターに関する。
また本発明は、上記のカラーフィルターと該カラーフィルターに対向させて画素電極を有する対向基板とを有し、且つ、該カラーフィルターと対向電極の間隙に液晶組成物が封入されている液晶表示装置に関する。
【００２３】
カラーフィルターの製造において、ブラックマトリックスの間隙を赤、緑、青のインクで着色する際、インクがブラックマトリックスパターンを乗り越えて隣の画素と混色しないためには、ブラックマトリックスはインクに濡れにくい材料であること、すなわち、表面エネルギーがインクの表面エネルギーより小さいことが必要である。一方、インクがブラックマトリックスパターンで囲まれた画素の間に十分拡がり、良好なコントラストのカラーフィルターを得るためには、画素部の表面が、インクに十分濡れやすいこと、すなわち、画素部の表面エネルギーが、インクの表面エネルギーより大きいことが必要である。従って、インクに対する濡れ性が、ブラックマトリックスとブラックマトリックス間隙の画素部の間で、ある程度差があることが必要である。また、濡れ性は、表面エネルギーや水に対する接触角で表すことができる。
【００２４】
本発明では、ブラックマトリックスを形成する際のポストベーク等の高温でブラックマトリックスを加熱する工程により、ブラックマトリックスとブラックマトリックスの間隙部の表面エネルギーの差が小さくなった場合であっても、表面改質処理を行うことによりブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを増加させ（水との接触角を小さくする）、ブラックマトリックスの表面エネルギーとの差を大きくすることができる。このため、本発明によれば、ブラックマトリックスの間隙に着色インクを付与する際に、インクのはじき等がなく、間隙部分を均一に着色することで、欠陥やムラがなく、コントラストの高いカラーフィルターを製造することができるのである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
本発明でブラックマトリックスを形成する材料としては、黒色の感光性樹脂組成物であっても黒色の非感光性の樹脂組成物であってもいずれでもよい。撥水性を向上させるために、樹脂の側鎖にメチル基等の後工程で分解され易い基を有する樹脂を用いることが好ましい。このような材料は通常、ブラックマトリックス形成に加熱処理を必要とするブラックマトリックス材料であって、この加熱処理中にブラックマトリックス材料から撥水剤や未反応物（例えば光開始剤やモノマー成分）、基板との密着性を向上させるために添加されるシランカップリング剤、溶媒としての有機溶剤などを蒸発し、ブラックマトリックス間隙部の撥水性を上げてインクの濡れ性を悪化させるようなものである。
【００２６】
上記の黒色の感光性樹脂組成物は、黒色の顔料または染料と感光性材料を含み、その他必要に応じて非感光性の樹脂を含んでいてもよい。また、基板に塗布する際には低沸点有機溶剤と高沸点有機溶剤からなる溶媒に分散されている。
【００２７】
黒色の顔料としては、カーボンブラックや黒色有機顔科などを用いることができる。
【００２８】
感光性材料としては、ＵＶレジスト、ＤＥＥＰ−ＵＶレジストおよび紫外線硬化型樹脂等から、適宜選択して用いることができる。
【００２９】
ＵＶレジストとしては、環化ポリイソプレン−芳香族ビスアジド系レジストおよびフェノール樹脂−芳香族アジド化合物系レジスト等のネガ型レジスト、ノボラック樹脂−ジアゾナフトキノン系レジスト等のポジ型レジストを挙げることができる。
【００３０】
また、ＤＥＥＰ−ＵＶレジストとしては、ポジ型レジストとして、例えばポリメチルメタクリレート、ポリスチレンスルホン、ポリヘキサフルオロブチルメタクリレート、ポリメチルイソプロペニルケトンおよび臭素化ポリ１−トリメチルシリルプロピン等の放射線分解型ポリマーレジスト、コール酸ｏ−ニトロベンジルエステル類等の溶解抑制剤系ポジ型レジスト等；ネガ型レジストとして、ポリビニルフェノール−３，３’−ジアジドジフェニルスルホンおよびポリメタクリル酸グリシジル等を挙げることができる。
【００３１】
紫外線硬化型樹脂としては、ベンゾフェノンおよびその置換誘導体、ベンゾインおよびその置換誘導体、アセトフェノンおよびその置換誘導体、ベンジル等のオキシム系化合物等の中から選ばれる１種または２種以上の光重合開始剤を２〜１０重量％程度含有した、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレートおよびウレタンアクリレート等を挙げることができる。
【００３２】
また、ブラックマトリックスの撥水性を高めるために、ブラックマトリックス中に撥水剤を添加しておくこともできる。
【００３３】
このような黒色の感光性組成物を用いる場合は、例えば図１（ａ）〜（ｇ）に示すような一連の工程によってカラーフィルターを製造することができる。尚、図１（ａ）〜（ｇ）は、以下の工程（ａ）〜（ｇ）に対応する。
【００３４】
工程（ａ）：透明基板１上に、黒色の感光性樹脂組成物２を塗布する。塗布の方法は、スピンコーター、ダイコーター、ディップコートなどさまざまな方法を使用することができる。また、塗布膜の厚さは、必要な遮光性を得る厚さであり、例えば１μｍ程度である。尚、透明基板は、例えばガラスが多く用いられるが、プラスチックフィルムやプラスチックシートでも構わない。また、必要に応じて、透明基板とブラックマトリックスおよび着色インクとの密着性を向上させるために、透明基板上に予め密着性を向上させる薄膜を形成しておくこともできる。
【００３５】
工程（ｂ）：塗布された層２を例えばホットプレート等を用い仮硬化し、感光性樹脂組成物の感度に合致した波長を有する露光装置と、所定のパターンを有するマスク３を使い、露光する。
【００３６】
工程（ｃ）：現像を行うことにより、ネガ型であれば、露光時にマスクで遮光された部分が現像液で溶出し、基板表面が露出し、露光された部分がブラックマトリックスパターン２として残る。現像液を洗い流すためにリンスを行う。
【００３７】
工程（ｄ）：ブラックマトリックスを本硬化させるため加熱乾燥処理（ポストベーク）を行い、ブラックマトリックスを形成する。ここで本硬化とは、ブラックマトリクス中の溶剤成分をほとんど蒸発させ、基板表面に強固にブラックマトリクスを密着させる処理をいう。
【００３８】
工程（ｅ）：ブラックマトリクス間隙部４のガラス面の表面改質処理を行う。この表面改質処理は、インク塗布の直前に行うのが好ましい。
【００３９】
工程（ｆ）：ブラックマトリックス間隙部に所定の色のインク５を付与する。インクの付与方法としては、オフセット印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷等の一般の印刷法等を用いることもできるが、特にインクジェット印刷機を用いるインクジェット印刷法によれば印刷時に版を使用しないためにインク滴径を操作すれば高精度のパターニングが可能となる点で好ましい。ここで使用されるインクは、上記のブラックマトリックスでははじかれやすく、ブラックマトリックス間隙の画素部には濡れやすいものを適宜選択して使用する。表面エネルギー（表面張力）としては、通常３０〜７０ｄｙｎｅ／ｃｍである。このようなインクは、染料系、顔料系のいずれでも良く、溶媒は水を主成分として、親水性の有機溶媒等を含んでいてもよい。
【００４０】
インクとして、熱硬化性のインクを用いることが、加熱手段以外の特別な手段を設ける必要がないため好ましい。インク中に含ませる熱硬化成分としては、ブラックマトリクスの本硬化と同程度の温度条件で硬化する材料が好ましく、アクリ系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、エンチオール系樹脂等の中から適宜使用できる。また、要求されるプロセス温度に応じて上記の樹脂に芳香族アミン系化合物、酸無水物等を導入したものも使用可能である。
【００４１】
工程（ｇ）：加熱しインクの本硬化を行う。
【００４２】
この中で、工程（ｄ）は、通常１５０〜２５０℃程度の加熱を行うため、ブラックマトリックス材料から撥水剤成分またはその他の有機成分が蒸発し、画素部のガラス表面に付着する。このためブラックマトリックス間隙は、インクに濡れにくく、インクが十分に広がらない状態になっているが、工程（ｅ）の表面改質処理を行い、ガラス表面に付着している撥水成分を除去すると濡れやすい表面になる。
【００４３】
一方、ブラックマトリックスを形成する材料として、黒色の顔料または染料と非感光性の樹脂を含む非感光性樹脂組成物を用いることもできる。この黒色の非感光性樹脂組成物は、基板に塗布する際には適当な溶媒に分散されている。
【００４４】
用いられる非感光性樹脂としては、例えばポリイミド、アクリル酸モノマー、ウレタンアクリレート等を挙げることができる。
【００４５】
この場合のカラーフィルターの製造工程は、上記の感光性樹脂組成物を用いる場合と同様に、基板上に黒色の非感光性樹脂組成物の１μｍ程度の塗膜を形成した後、フォトレジストをマスクとして用いて、ブラックマトリックス材料をエッチングして、パターンを形成することができる。また、フォトレジストを用いてリフトオフによってパターン形成しても良い。その後、上記（ｄ）以後の工程によりカラーフィルターを製造することができる。
【００４６】
本発明に係る表面改質処理とは、ブラックマトリックス間隙の表面エネルギー（通常ジスマンプロット法により求められる）を増加させるようなすべての方法をいうが、さらに詳しくは、ブラックマトリックス間隙の表面エネルギーを増加させた結果、ブラックマトリックスとブラックマトリックスの間隙部の水に対する接触角の差が１５°以上、好ましくは４０°以上となるような方法をいう。
【００４７】
このような方法としては、洗浄処理、ＵＶオゾン処理、コロナ放電処理、及び基板表面のエッチング処理を挙げることができるが、本発明においてはエッチング処理を用いる。
【００４８】
洗浄処理としては、アルカリ洗浄処理が好ましく、例えばライオン社製サンウォッシュＴＬ−３０、ネオス社製ＣＭ−１０Ｌ、第一工業製薬社製ＤＫビークリヤＣＷ−５５２４等の市販の洗浄剤およびエチレンジアミン等のアルカリ性の界面活性剤等を用いる洗浄を挙げることができる。
【００４９】
ＵＶオゾン処理とは、ＵＶによってオゾンを発生する装置を用いる処理であって、ＵＶおよび／またはオゾンの効果により、基板表面の撥水剤成分や有機物成分を除去するものである。また、この処理によってブラックマトリックス表面の撥水性もある程度減少するため、ブラックマトリックス表面の撥水性を元に戻すために、ＵＶオゾン処理後さらに熱処理を行ってもよい。また、その後さらにアルカリ洗浄を行い、この熱処理で再び付着した撥水剤成分や有機物成分を除去してもよい。この加熱処理およびその後のアルカリ洗浄処理は、いずれにしても、ブラックマトリックスとブラックマトリックス間隙の表面エネルギーの差ができるだけ大きくし、インクの表面エネルギーに対し最適の表面状態になるように必要に応じて行うものである。
【００５０】
コロナ放電処理とは、コロナ発生装置を用いて基板表面の撥水剤成分や有機物成分を除去するものである。この場合も同様に、引き続き熱処理や、さらにその後にアルカリ洗浄処理を行ってもよい。
【００５１】
エッチング処理とは、ガラス表面に付着している撥水成分を除去し、インクに濡れやすい表面にするものである。
【００５２】
エッチング量は、透明基板表面に付着している撥水成分が除去され、インクに濡れやすい表面にすることができる０．０５〜０．１５μｍである。０．０５μｍ未満ではエッチング量が不十分であることが多く、着色の際、画素部表面の濡れが不十分で着色ムラが発生しやすい。一方、０．１５μｍを超える場合は、均一な濡れは達成できるがそれだけ時間が費やされるため、大量生産においてはコスト高を招く。
【００５３】
透明基板のエッチング方法としては、コスト的には、酸またはアルカリによるウエット法が好ましく、再現性などの点からは、反応性イオンエッチングや逆スパッター等のドライエッチングが好ましい。
【００５４】
図２に、本発明によるカラーフィルターを組み込んだＴＦＴカラー液晶表示装置の断面を示す。尚、その形態は本例に限定されるものではない。
【００５５】
カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフィルター基板１と対向基板１４を合わせ込み、液晶組成物１２を封入することにより形成される。液晶表示装置の一方の基板１４の内側に、ＴＦＴ（不図示）と透明な画素電極１３がマトリクス状に形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようにカラーフィルター９が設置され、その上に透明な対向電極（共通電極）１０が一面に形成される。ブラックマトリクスは、通常カラーフィルター基板側に形成される。さらに、両基板の面内には配向膜１１が形成されており、これをラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１５が接着されており、液晶組成物１２は、これらのガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図示）の組み合せが一般的に用いられており、液晶組成物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【００５６】
【実施例】
以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【００５７】
［参考例１］
ガラス基板を、２％水酸化ナトリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いでＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブラックを含有したレジスト材（新日鉄化学社製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５９  ＢＫ７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるよう塗布した。この基板をホットプレートで８０℃で１８０秒加熱し、レジストを仮硬化させた。
【００５８】
ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置を使用し、所定のパターンマスクを用いてプロキミティ露光し、続いて無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現像機を用いて現像し、さらに純水でリンス処理し、現像液を完全に除去し、クリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本硬化処理を行って、所定パターン形状のブラックマトリックスを得た。
【００５９】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡れにくい状態となっていた。また、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面の水に対する接触角は、６８°であり、撥水性が大きく、ブラックマトリックス表面との撥水性の差も小さかった。
【００６０】
この基板をアルカリ系界面活性剤（ヘンケル白水社製  精密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗浄剤  Ｓｉｌｉｒｏｎ  ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗浄機を用い、１０分間洗浄処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７０°とあまり変化がなく、濡れにくい状態であったが、一方ガラス表面の水に対する接触角は、３０°であり、撥水性が著しく減少し、ブラックマトリックス表面との表面エネルギーの差が大きくなっていた。
【００６１】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青それぞれの染料系インクをブラックマトリックスパターンの間隙に付与して着色した。このインクは、染料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるものである。）を樹脂（アクリル−シリコーングラフトポリマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹脂）に分散させ、溶剤（例えばイソプロピルアルコール、エチレングリコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等）で溶かしたものに表面張力調整剤（アセチレノールＥＨ；商品名、川崎ファインケミカル）を添加したものであり、表面エネルギーは、３２ｄｙｎｅ／ｃｍである。
【００６２】
インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このようにして製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性にすぐれた液晶表示装置が得られた。
【００６３】
［参考例２］
ガラス基板を、２％水酸化ナトリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いでＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブラックを含有したレジスト材（富士ハント社製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキカラーモザイクＣＫーＳ１７１）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるよう塗布した。ホットプレートで１００℃で１８０秒加熱し、仮硬化させた。
【００６４】
ｉ線露光装置を使用し、所定のパターンマスクを用いてプロキミティ露光し、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬し現像を行った後、純水を高圧噴射し、リンス処理を行いつつパターンを完全な形にした。次いでクリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本硬化処理を行い、所定パターン形状のブラックマトリックスを得た。
【００６５】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５５°であった。また、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面の水に対する接触角は、５０°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんどなく、場所によってはブラックマトリックス表面接触角の方が小さいところもあった。この基板をアルカリ系界面活性剤（ヘンケル白水社製  精密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗浄剤  Ｓｉｌｉｒｏｎ  ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗浄機を用い、１０分間洗浄処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５２°となっていた。また、一方ガラス表面の水に対する接触角は、３６°と撥水性が小さくなっており、ブラックマトリックス表面と表面エネルギーの差が大きくなっていた。
【００６６】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与した。このインクは、染料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるものである。）を樹脂（自己架橋性アクリル酸−アクリル酸エステルエマルジョン）に分散させ、溶剤（イソプロピルアルコール、エチレングリコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等）で溶かしたものに表面張力調整剤（アセチレノール）を添加したものであり、表面エネルギーは、４８ｄｙｎｅ／ｃｍである。
【００６７】
インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００６８】
［参考例３］
参考例１と同様の材料および方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００６９】
ブラックマトリックス表面及び間隙のガラス基板の水に対する接触角はそれぞれ７５°、６８°であった。
【００７０】
この基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産業社製、ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて３分間ＵＶオゾン処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、４５°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は２０°となり、ブラックマトリックス表面と表面エネルギーの差が大きくなっていた。
【００７１】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与して着色した。このインクは、染料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるものである。）を樹脂（アクリル−シリコーングラフトポリマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹脂）に分散させ、溶剤（例えばイソプロピルアルコール、エチレングリコール、Ｎーメチル−２−ピロリドン等）で溶かしたものであり、表面エネルギーは５８ｄｙｎｅ／ｃｍである。
【００７２】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００７３】
［参考例４］
参考例１と同様の材料および方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００７４】
この基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産業社製  ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５分間ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の熱処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５３°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、1１°となり、ブラックマトリックス表面と表面エネルギーの差が大きくなっていた。
【００７５】
次に、インクジェット装置を用い、参考例３で用いたインクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与して着色した。
【００７６】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００７７】
［参考例５］
参考例２と同様の材料および方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００７８】
基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産業社製  ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５分間ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の熱処理を行い、さらにアルカリ系界面活性剤３％の洗浄液で超音波洗浄１０分間行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５５°であった。また、ブラックマトリックス間隙のガラス表面の水に対する接触角は、５°であり、ブラックマトリックス表面とのかなりの表面エネルギーの差を得ることができた。
【００７９】
次に、インクジェット装置を用い、参考例３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００８０】
この場合も実施例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００８１】
［参考例６］
ガラス基板を、ＵＶオゾン処理し、次いで２％水酸化ナトリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄した後、ガラス基板上に、カーボンブラックを含有したレジスト材（東京応化工業製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＣＦＰＲ  ＢＫ−７２９Ｓ）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗布した。この基板をホットプレートで９０℃、１８０秒間加熱処理し、仮硬化させた。この状態でブラックマトリックス表面及び間隙のガラス基板の水に対する接触角はそれぞれ８０°、６８°であった。
【００８２】
この基板を、コロナ放電装置（春日電気製  高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、３分間コロナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、６０°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、１５°であり、ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギーの差が生じていた。
【００８３】
次に、インクジェット装置を用い、実施例２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与して着色した。
【００８４】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明電極を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００８５】
［参考例７］
参考例１と同様の材料および方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００８６】
この基板を、コロナ放電装置（春日電機製  高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、５分間コロナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行い、その後２２０℃１０分間の熱処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７２°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、８°であり、ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギーの差が生じていた。
【００８７】
次に、インクジェット装置を用い、実施例２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００８８】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００８９】
［参考例８］
参考例１と同様の材料および方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００９０】
この基板を、参考例７と同様にコロナ放電装置を用いて、５分間コロナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行い、引き続き２２０℃１０分間の熱処理を行った後、さらにアルカリ系界面活性剤（ヘンケル白水社製  精密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗浄剤  Ｓｉｌｉｒｏｎ  ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗浄を１０分間行った。
【００９１】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、４６°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、６°であり、ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギーの差が生じた。
【００９２】
次に、インクジェット装置を用い、参考例３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与して着色した。
【００９３】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００９４】
［参考例９］
参考例１において、ブラックマトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５７  ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用いた以外は、同様の操作により参考例１の表面改質処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【００９５】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れにくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにくい状態になっていた。
【００９６】
その後参考例７と同様にコロナ放電処理による表面改質処理を行い、引き続き２２０℃、１０分間の熱処理を行ったところ、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角は７０°で、ガラス面の接触角は４１°と両者の表面エネルギーには十分な差が生じた。
【００９７】
次に、インクジェット装置を用い、実施例１で用いた表面エネルギー３２ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマトリックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００９８】
この場合も参考例１と同様に、インクは、ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。このように製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００９９】
［比較例１］
参考例１において、表面改質処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。この状態でのブラックマトリックス表面およびブラックマトリックス間隙のガラス表面の水に対する接触角は、参考例１で表面改質処理をする前と同じで、それぞれ７５°、６８°であり、表面エネルギーの差は小さかった。
【０１００】
この基板の、ブラックマトリックスの間隙をインクジェット装置を用いて、参考例２と同じインクで着色しようとしたが、間隙部のガラス表面でインクがはじかれ、画素の中に十分濡れ拡がらなかった。
【０１０１】
［比較例２］
参考例１において、ブラックマトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５９  ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用いた以外は、参考例１の表面改質処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【０１０２】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れにくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにくい状態になっていた。
【０１０３】
インクジェット装置を用い、参考例１で用いた赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスパターンの間隙部に付与しようとしたところ、全面にインクが拡がってしまい、画素の中のみにインクを充填させることはできなかった。
【０１０４】
［比較例３］
参考例１において、ブラックマトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５９  ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社製、フロラードＦＣ４３０）を０．５重量％入れた材料を用いた以外は、参考例１の表面改質処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成した。
【０１０５】
この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、８０°と水に濡れにくい状態となっていた。ガラス面の接触角は７４°であった。インクジェット装置を用い、参考例３で用いた赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスパターンの間隙部に着色したところ、間隙部のガラス表面でインクがはじく部分が観察された。
【０１０６】
［参考例１０］
アルカリ洗浄後にＵＶＯ3処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジスト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＢＫ７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗布した。
【０１０７】
次に、ホットプレートにより８０℃で１８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターンマスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加熱して本硬化処理を行なった。
【０１０８】
上記工程後において、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は６８°であり、ブラックマトリックス表面との差は小さかった。
【０１０９】
次の工程として、ガラス基板表面を５０℃に保持した２％ＮａＯＨ水溶液で１０分間エッチング処理した。この処理により、ガラス基板が表面から約０．１μｍエッチングされた。
【０１１０】
このエッチング後、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７０°と濡れにくい状態のままであった。これに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角は１０°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくなっていた。
【０１１１】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹脂に分散させて溶剤で溶かしたものであり、表面エネルギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１１２】
その後、加熱処理してインクを硬化させ、保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜た。膜の密着性は優れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１１３】
以上のようにして製造されたカラーフィルターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示装置が得られた。
【０１１４】
［参考例１１］
アルカリ洗浄後にＵＶＯ3処理をしたガラス基板上に、黒色材科を含有したレジスト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ製、フロラードＦＣ−４３０）を１重量％混合した材料を、スピンコーターで膜厚１μｍになるよう塗布した。
【０１１５】
次に、ホットプレートにより８０℃で１８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターンマスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加熱して本硬化処理を行なった。
【０１１６】
上記工程後において、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、８０°と濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は７１°であり、ブラックマトリックス表面との差は小さかった。
【０１１７】
次の工程として、ガラス基板表面を４０℃に保持した１０％フッ化水素水溶液で３分間エッチング処理した。この処理により、ガラス基板が表面から約０．１５μｍエッチングされた。
【０１１８】
このエッチング後、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡れにくい状態のままであった。また、ガラス表面の水に対する接触角は１３°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくなっていた。
【０１１９】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネルギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１２０】
その後、加熱処理してインクを硬化させ、保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は優れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１２１】
以上のようにして製造されたカラーフィルターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示装置が得られた。
【０１２２】
［実施例１］
アルカリ洗浄後にＵＶＯ3処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジスト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキ  カラーモザイクＣＫ−Ｓ  １７１）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗付した。
【０１２３】
次に、ホットプレートにより１００℃で１８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターンを完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加熱して本硬化処理を行なった。
【０１２４】
上記工程後において、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であった。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんどなく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触角の方が小さいところもあった。
【０１２５】
次の工程として、反応性イオンエッチング装置を使用して、ガラス基板表面部分のエッチング処理を行った。エッチング条件としては、投入パワー：５００Ｗ、ＣＦ4：２０SCCM、処理時間：５分間とし、この条件におけるエッチング深さは約０．１２μｍであった。
【０１２６】
このエッチング後、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ５２°であった。これに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角は８°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくなっていた。
【０１２７】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネルギーが５８ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１２８】
その後、加熱処理してインクを硬化させ、保護膜を塗付し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は優れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１２９】
以上のようにして製造されたカラーフィルターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示装置が得られた。
【０１３０】
［実施例２］
アルカリ洗浄後にＵＶＯ3処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジスト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキ  カラーモザイクＣＫ−Ｓ  １７１）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗布した。
【０１３１】
次に、ホットプレートにより１００℃で１８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターンを完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加熱して本硬化処理を行った。
【０１３２】
上記工程後において、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であった。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんどなく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触角の方が小さいところもあった。
【０１３３】
次の工程として、逆スパッターによりガラス基板表面部分のエッチング処理を行った。逆スパッター条件としては、投入パワー：８００Ｗ、Ａｒ：３０SCCM、処理時間：７．５分間とし、この条件におけるエッチング深さは約０．０９μｍであった。
【０１３４】
上記工程後、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定したところ４９°であった。これに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角は１０°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくなっていた。
【０１３５】
次に、インクジェット装置を用い、赤、緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリックスの間隙に付与し着色を行った。インクは、実施例１と同じ表面エネルギー５８ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１３６】
その後、加熱処理してインクを硬化させ、保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は優れ、なんら不具合は発生しなかった。すなわち、この場合も画素部のガラス基板表面をエッチングすることにより、再現性良くインクで均一に着色することができる。
【０１３７】
以上のようにして製造されたカラーフィルターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示装置が得られた。
【０１３８】
【発明の効果】
本発明によれば、インクジェット装置等によってブラックマトリックスの間隙に着色インクを付与する際に、インクのはじき等がなく間隙部分を均一に着色することで、欠陥やムラ、混色がなく、コントラストの高いカラーフィルターを容易に製造することができる。また、このカラーフィルターを用いることにより、欠陥のない、色特性の優れた液晶表示装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルターの製造工程を示す図である。
【図２】本発明の液晶表示装置の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１    透明基板
２    感光性樹脂組成物（ブラックマトリックス）
３    マスク
４    間隙部（着色部）
５    インク
６    保護膜
９    カラーフィルター
１０  共通電極
１１  配向膜
１２  液晶組成物
１３  画素電極
１４  ガラス基板
１５  偏光板
１６  バックライト光
【図１】
0003996979.tif 000002
【図２】
0003996979.tif 000003