(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均粒子径が０．１〜１００ミクロンで、平滑な表面と球状の形態を持った、フラックス中での球状化ならびに粒成長を特徴とする球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法であって、
合成された不定形の窒化アルミニウム粉末を、アルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、又はアルコキシドの前駆体よりなるフラックス中で熱処理するか、又は、該フラックス成分を予め加えて合成された窒化アルミニウム系の組成物を直接熱処理することにより、窒化アルミニウムを球状化させた後、酸処理してフラックス部分を溶解して球状粒子を単離することを特徴とする球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
【請求項２】
直接窒化法、アルミナ還元窒化法、又は気相法により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末を使用する、請求項１記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
【請求項３】
使用する不定形の窒化アルミニウム粉末の初期粒径や粒度分布を変えて、又は、フラックスの種類、熟成温度、熟成時間、処理回数を変えて粒径や粒度分布を任意に制御する、請求項１記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
【請求項４】
酸処理して、フラックス部分を溶解する際に、溶液中に含まれる水により窒化アルミニウム表面を部分的に酸化処理し、酸化保護膜を付与する、請求項１記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、球状窒化アルミニウムフィラー及びその製造方法に関し、主にパワーデバイス用の封止材用フィラーとしての用途が期待される高熱伝導性窒化アルミニウム粉末を、樹脂に配合する際の流動性や充填性を高める目的で球状化した球状窒化アルミニウム粉体とその製造方法に関するものであり、更に詳しくは、本発明は、直接窒化法及びアルミナ還元窒化法等により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末をアルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる前駆体（炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、アルコキシド等）よりなる単体及び複合フラックス中で熟成して球状化した後、単離して作製した平滑な表面を持った球状結晶質窒化アルミニウムフィラー及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の多くは使用中に熱を発生するため、その部品を適切に機能させるためには、高熱伝導かつ電気絶縁性を有する窒化アルミニウムを放熱材料として利用することが期待されている。従来、封止材用窒化アルミニウムフィラーは、主に直接窒化法により合成した窒化アルミニウムを粉砕・分級することにより作製されてきた。しかし、このような破砕状フィラーは、樹脂中に配合した際の流動性に欠け、高充填化が難しかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような状況の中で、本発明者らは、樹脂に配合する際の流動性や充填性に優れた、平滑な表面と球状の形態を持った球状結晶質窒化アルミニウムフィラーとその製造法を開発することを目標として鋭意研究を重ねた結果、不定形の窒化アルミニウム粉体を単体又は複合フラックス中で熟成（熱処理）して球状化する方法を採用することにより所期の目的を達成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、樹脂、グリース、合成ゴム等のフィラーとして使用される、流動性、充填性に優れた、適当な粒径及び粒度分布を持つ球状の窒化アルミニウム粉体を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
（１）平均粒子径が０．１〜１００ミクロンで、平滑な表面と球状の形態を持った、フラックス中での球状化ならびに粒成長を特徴とする球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法であって、
合成された不定形の窒化アルミニウム粉末を、アルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、又はアルコキシドの前駆体よりなるフラックス中で熱処理するか、又は、該フラックス成分を予め加えて合成された窒化アルミニウム系の組成物を直接熱処理することにより、窒化アルミニウムを球状化させた後、酸処理してフラックス部分を溶解して球状粒子を単離することを特徴とする球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
（２）直接窒化法、アルミナ還元窒化法、又は気相法により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末を使用する、前記（１）記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
（３）使用する不定形の窒化アルミニウム粉末の初期粒径や粒度分布を変えて、又は、フラックスの種類、熟成温度、熟成時間、処理回数を変えて粒径や粒度分布を任意に制御する、前記（１）記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
（４）酸処理して、フラックス部分を溶解する際に、溶液中に含まれる水により窒化アルミニウム表面を部分的に酸化処理し、酸化保護膜を付与する、前記（１）記載の球状結晶質窒化アルミニウム粒子の製造方法。
【０００５】
【発明の実施の形態】
続いて、本発明について更に詳細に説明する。
本発明の目的は、上述のように、直接窒化法及びアルミナ還元窒化法等により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末をアルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる前駆体（炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、アルコキシド等）よりなる単体及び複合フラックス中で熟成（熱処理）して球状化した後、酸処理してフラックス部分を溶かし、球状粒子を単離することにより達成された。また、原料粉末の初期粒径、熟成の際の温度及び処理時間を調整することにより得られる球状粒子の粒径を制御し、更に、粒径制御された数種類の粉体を混合することにより、適当な粒度分布を持った球状窒化アルミニウムフィラーを作製することが可能である。
【０００６】
本発明は、主にパワーデバイス用の封止材用フィラーとしての用途が期待される高熱伝導性窒化アルミニウム粉末を、樹脂に配合する際の流動性や充填性を高める目的で球状化した窒化アルミニウム粒子とその製造方法に関するものである。
本発明においては、直接窒化法及びアルミナ還元窒化法により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末をフラックス中で熟成し、球状化させる。この場合、上記不定形の窒化アルミニウム粉末をアルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる前駆体（炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、アルコキシド等）より成るフラックスと混合するが、好適には、上記不定形の窒化アルミニウム粉末を上記フラックスと９５〜２０：５〜８０のモル比で混合する。
次に、これらを熟成（熱処理）し、球状化するが、この場合、好適には、窒素又はアルゴン雰囲気中、１６００〜２０００℃で熱処理して得られた凝集体を、粉砕した後、塩酸、硝酸等の適宜の酸性溶液中で攪拌しながらフラックス部分を溶かし、平滑な表面を持った球状窒化アルミニウムを単離する。
また、上記方法と同等の方法として、上記フラックス成分を予め加えて合成された窒化アルミニウム系の組成物を直接熱処理することにより、球状化することも適宜可能である。
【０００７】
上記方法において、添加したフラックス成分（例えば、酸化カルシウム）は、窒化アルミニウム表面の酸化アルミニウム及び一部の窒化アルミニウムと反応して溶融物（Ｃａ−Ａｌ−Ｏ−（Ｎ）系融体）を形成する。この溶融物中で窒化アルミニウムの溶解・析出が起こり、窒化アルミニウムが球状化して行く。冷却後、固化及び結晶化したフラックス部分（ＣａＡｌ2 Ｏ4 、Ｃａ−Ａｌ−Ｏ−（Ｎ）系ガラス）は、酸に容易に溶解し、球状窒化アルミニウムが単離される。また、本発明において、初期粒径、熟成の際の温度、処理時間、処理回数を調整することにより任意に粒径を制御し、更に、粒径制御された数種類の粉体を混合することにより、適当な粒度分布を持った高密度充填に適した球状窒化アルミニウムフィラーが作製できる。
具体的には、例えば、２粒径成分を混合して高密度充填を目指す場合、一般的な粒子の充填性の向上化方法に準じて、微粒に対する粗粒の粒径を７倍以上とし、微粒成分０．３（粗粒０．７）程度の組成比で混合することにより充填性を高めることが可能である（例えば、R. K. McGreary, J. Am. Ceram. Soc., 44, 513-22 (1961) 、伊賀武雄，セラミックス協会誌，１０３，８５０−５６（１９９５））。
【０００８】
このようにして得られた窒化アルミニウムは、例えば、平均粒子径が０．１〜１００ミクロンで、平滑な表面と球状の形態を持つ。更に、数種類の粉体を混合し、適当な粒度分布を持った球状粉末は、高い流動性と高密度充填可能な高熱伝導性封止材等のフィラーとして最適である。
【０００９】
【実施例】
次に、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、以下の実施例は本発明の好適な一例を示すものであり、本発明は、当該実施例によって何ら限定されるものではない。
実施例１
アルミナ還元窒化法により合成された窒化アルミニウム微粉末（平均一次粒径０．５ミクロン）を炭酸カルシウムと８０：２０のモル比で混合した後、窒素雰囲気中、１７００〜１９００℃で２〜１２時間熱処理して得られた凝集体を、粉砕した後、（１＋１）塩酸溶液中で攪拌しながらフラックス部分を溶かし、球状化した窒化アルミニウムを単離した。
単離した窒化アルミニウムの平均粒径を図１に示す。熱処理温度を１７００から１９００℃まで、処理時間を１２時間まで延ばすことにより、平均粒径を４ミクロンまで任意に制御することができた。また、フラックス中での溶解再析出反応により球状化が進むため、処理時間が長くなるほど、粒径が均一化した。
図２に１８００℃で６時間熟成させて作製した球状窒化アルミニウム粒子のＳＥＭ写真を示す。粒径の揃った平滑な表面を持った球状窒化アルミニウム粒子であることが分かる。
【００１０】
実施例２
直接窒化法により合成された粒径の異なる３種類（ａ，ｂ，ｃ；初期平均粒径２，７，１３ミクロン）の破砕状窒化アルミニウム粉末を炭酸カルシウムと８０：２０のモル比で混合した後、窒素雰囲気中、１８００℃で１２時間熱処理して得られた凝集体を、粉砕した後、（１＋１）塩酸溶液中で攪拌しながらフラックス部分を溶かし、球状化した窒化アルミニウムを単離した。
熟成後の各球状窒化アルミニウムのＳＥＭ写真を図３に示す。１８００℃、１２時間の熟成により、破砕状の角張った形状をした粒子は、尖った部分或いは粒径の小さな粒子が選択的に溶解し、凹んだ部分に再析出した結果、すべて球状化された。このように初期粒径を変えることによっても粒径制御が可能である。特にフィラーとして有用な１０ミクロン以上粒径を持つ粒子についても、初期粒径の大きな出発原料を選択することにより、比較的短時間で作製ができる。
【００１１】
実施例３
アルミナ還元窒化法により合成された窒化アルミニウム微粉末（平均一次粒径０．５ミクロン）を炭酸カルシウム及び酸化イットリウム（Ｙ2 Ｏ3 ）と８０：１０：１０、８０：２０：１０、及び８０：０：２０のモル比で混合した後、窒素雰囲気中、１８００℃で６時間熱処理し、球状窒化アルミニウムフィラーの作製を行った。８０：１０：１０及び８０：２０：１０の組成比においては、炭酸カルシウムのみをフラックスとして用いた場合と同様に（１＋１）塩酸溶液中で攪拌しながらフラックス部分を溶かし、球状化した窒化アルミニウムを単離することが可能であった。しかし、酸化イットリウムのみを使用した場合、Ｙ2 Ｏ3やＹ4 Ａｌ2 Ｏ9 等が残留し易い。フラックス中に析出したこれらの結晶相は、窒化アルミニウムに比べて粒径が非常に小さいので、酸処理後に分級処理をすることにより球状窒化アルミニウムを単離することができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明は、直接窒化法及びアルミナ還元窒化法等により合成された不定形の窒化アルミニウム粉末をアルカリ土類元素、希土類元素、アルミニウム、イットリウム、リチウムの酸化物又は窒化物、乃至は加熱中の分解により上記のものを生じる前駆体（炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物、ハロゲン化物、アルコキシド等）よりなる単体及び複合フラックス中で熟成（熱処理）して球状化した窒化アルミニウムとその製造方法に関するものであり、本発明により、得られた球状窒化アルミニウムは、任意に粒径が制御されており、更に、得られた数種類の球状粉体を混合することにより、適当な粒度分布を持った粉末とすることが可能である。従って、この球状窒化アルミニウムは、高い流動性と高密度充填性が期待でき、高熱伝導性封止材等のフィラーとして最適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】単離した窒化アルミニウムの平均粒径を示す。
【図２】１８００℃で６時間熟成させて作製した球状窒化アルミニウム粒子のＳＥＭ写真を示す。
【図３】熟成後の各球状窒化アルミニウムのＳＥＭ写真を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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