(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材に固着されるとともに複数の磁気記録再生素子を形成したローバーを複数個位置合わせしたのち一時的に仮固定してローバー組を形成し、次いで、前記複数のローバー組をスペーサを用いて所定の間隔で保持した状態で、ローバー組毎にローバーを切断することを特徴とする磁気ヘッドスライダーの切断方法。
【請求項２】
上記のローバーの位置合わせ工程において、バネ材による平行変位手段を用いてマイクロメーターの変位を上記個々の支持部材に伝達させる位置合わせ機構でローバー位置を調整して仮固定してローバー組としたのち、前記ローバー組を切断治具に機械的に固定した状態で切断することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
【請求項３】
上記ローバーの位置合わせを、上記ローバー組を構成する複数のローバーの内の中央位置のローバーを基準として行うことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
【請求項４】
上記ローバーの仮固定を瞬間接着剤を用いて行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
【請求項５】
上記ローバー組毎に切断したのち、前記ローバー組をローバーの延在方向に対して微小角度をつけた保持手段に保持した状態でローバー組を設置し、機械的に圧力を印加して前記ローバー組を構成する支持部材を分離する工程を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ヘッドスライダーの切断方法に関するものであり、特に、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の磁気記録装置の記録再生用の磁気ヘッドスライダーを高い効率で個片の形状に切断するための構成に特徴のある磁気ヘッドスライダーの切断方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、コンピュータの外部記憶装置であるハードディスク装置等の磁気ヘッドとしては、コイルに発生する誘導電流により磁場を感知する誘導型の薄膜磁気ヘッド（インダクティブヘッド）が使用されていたが、近年のハードディスク装置等の高密度化、高速化の要請の高まりに伴い、磁場そのものを感知する磁気センサーが再生用磁気ヘッドの主流となっている。
【０００３】
この様な磁気センサーとしては、巨大磁気抵抗効果を利用したものが採用されており、巨大磁気抵抗効果を利用した再生用磁気センサと誘導型の書込ヘッドをＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板上に一体に積層して形成して磁気ヘッドスライダーとしているので、ここで、図１５を参照してこの様な磁気ヘッドの概略的構成を説明する。
【０００４】
ここで、図１５を参照して、従来の複合型薄膜磁気ヘッドの一例を簡単に説明する。
図１５参照
図１５は、従来の複合型薄膜磁気ヘッドを模式的に示した要部透視斜視図であり、スライダーの母体となるＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板（図示せず）上に、Ａｌ2 Ｏ3 膜（図示せず）を介してＮｉＦｅ合金等からなる下部シールド層６１を電解めっき法により形成し、Ａｌ2 Ｏ3 等のギャップスペーサ層（図示せず）を介してスピンバルブ構造の磁気抵抗効果素子６２をスパッタリング法によって設けて所定の形状にパターニングしたのち、磁気抵抗効果素子６２の両端にＡｕ等からなる導電膜を堆積させてリード電極６３を形成する。
【０００５】
次いで、再び、Ａｌ2 Ｏ3 等のギャップスペーサ層（図示せず）を介してＮｉＦｅ合金等からなる上部シールド層を兼ねる下部磁極層６４を電解めっき法によって設ける。勿論、場合によっては、上部シールド層と下部磁極層を別々に作製しても良い。
次いで、その上にＡｌ2 Ｏ3 等からなるライトギャップ層（図示せず）を設けたのち、レジスト等の第１層間絶縁膜（図示せず）を介して電解めっき法によってＣｕ層を水平スパイラル状のパターンに堆積させてライトコイル６５を形成するととともに、その両端にライト電極６６を設ける。
【０００６】
次いで、ライトコイル６５を覆うレジスト等からなる第２層間絶縁膜（図示せず）を設けたのち、Ｔｉ膜等からなるめっきベース層（図示せず）を設け、その上にめっきフレームとなるレジストマスク（図示せず）を利用して、選択的にＮｉＦｅ等を電解めっきすることによって上部磁極層６７及び先端部のライトポール６８を形成する。
【０００７】
次いで、レジストマスクを除去したのち、Ａｒイオンを用いたイオンミリングを施すことによってめっきベース層の露出部を除去し、次いで、全面にＡｌ2 Ｏ3 膜を設けて保護膜（図示せず）としたのち、基板を切断し、ライトポール２８の長さ、即ち、ギャップ深さを調整するための研削、研磨等を含めたスライダー加工を行うことにより磁気抵抗効果素子６２を利用した再生用、即ち、リード用のＭＲヘッドと、記録用、即ち、ライト用の誘導型の薄膜磁気ヘッドとを複合化した磁気ヘッドスライダーが得られる。
【０００８】
この様な磁気ヘッドスライダーは、磁気記録用素子を形成したウェハをバー（ｒｏｗｂａｒ）の形に切断し、ついで、このバーを個片状のスライダーに切断して完成される。
【０００９】
このローバーよりスライダーに切断加工する際には、切断位置に高い精密さが求められるが、これは、スライダー上での記録再生用磁気ヘッド素子の位置を精密に定めて磁気記録媒体面上で記録／再生する位置を高精度にし、磁気ヘッド素子と磁気記録媒体の間隙であるスライダーの浮上量を精密に制御するためである。
【００１０】
磁気ヘッドスライダーを高能率に切断するには、多数のローバーを予め精密に位置合わせしてから一度に切断すれば良いが、多数のローバーを精密に位置合わせするには、多くの人手作業を要したり、精密な機械設備の導入が必要になる。
【００１１】
しかし、従来、各ローバーを精密に位置合わせる方法がなかったため、各ローバーを所定の間隔に配置し、１本毎に位置を合わせながら切断する方法がとられており、通常は、ローバーをトランスファーツールに接着した状態でスライダーに切断する方法が採られていたので、ここで、図１６乃至図１８を参照して、従来の磁気ヘッドスライダーの切断方法を説明する。
【００１２】
図１６（ａ）参照
まず、複数の記録再生（Ｒｅａｄ／Ｗｒｉｔｅ）素子を形成したウェハを切断して複数のローバーを形成する。
この場合、ローバー７０は、上述のように、例えば、４０ｍｍ×１．２ｍｍ×０．３ｍｍのＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板７１上に３０個の記録再生素子７２が形成されており、破線で示す切断線７３によって切断されることになる。
なお、符号７４は４つの端子を示している。
【００１３】
図１６（ｂ）参照
次いで、このローバー７０を切断位置用溝８１を設けたセラミックス製のトランスファーツール８０にワックスを用いて接着する。
この場合、トランスファーツール８０の厚さは、例えば、４ｍｍである。
【００１４】
図１７（ｃ）参照
次いで、長さＬが２０８ｍｍの切断治具９０に厚さが、例えば、１６ｍｍのスペーサ９１を用いてローバー７０を所定の間隔で配置する。
このスペーサ９１は、下記の図１８（ｅ）に示すように、切断時に隣のローバー７０にキズをつけないようにするために介在させるために用いる。
【００１５】
図１８（ｄ）及び（ｅ）参照
次いで、ダイヤモンドカッター９２を用いて各ローバー７０を切断することになるが、各ローバー７０毎に破線で示す切断線７３を機械が自動測定し、ダイヤモンドカッター９２の位置を微調整しながら切断する。
この時、スペーサ９１を設けているので切断時に隣接するローバー７０が傷つけられることがない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述のように、切断に際しては、トランスファーツールの厚さより厚いスペーサを用いているので、長さが２０８ｍｍ程度の切断治具の場合には、８本程度のローバーを配列するのが限界であり、生産性が低いという問題がある。
【００１７】
したがって、本発明は、磁気ヘッドスライダーの切断工程を効率化することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理的構成の説明図であり、この図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図１参照
上述の目的を達成するため、本発明は、磁気ヘッドスライダーの切断方法において、支持部材３に固着されるとともに複数の磁気記録再生素子を形成したローバー２を複数個位置合わせしたのち一時的に仮固定してローバー組１を形成し、次いで、前記複数のローバー組１をスペーサ４を用いて所定の間隔で保持した状態で、ローバー組１毎にローバー２を切断することを特徴とする。
【００１９】
この様に、ローバー組１を形成してから複数のローバー組１をスペーサ４により所定の間隔で保持した状態で一括してローバー２をカッター５によって切断することによって切断効率を向上することができるとともに、予め各ローバー２間の位置合わせを行っているので切断位置ズレを少なくすることができる。
【００２０】
この場合、ローバー２の位置合わせ工程において、バネ材による平行変位手段を用いてマイクロメーターの変位を上記個々の支持部材３に伝達させる位置合わせ機構を用いることによって、各ローバー２間の位置合わせを精度良く行うことができる。
【００２１】
また、各ローバー２の位置合わせは、ローバー組１を構成する複数のローバー２の内の中央位置のローバー２を基準として行うことが望ましく、それによって、位置合わせ時の角度誤差の影響を低減することができる。
【００２２】
なお、ローバー２の仮固定を行う場合には、瞬間接着剤を用いて行えば良く、それによって、切断時の固定を十分に行うことができるとともに、切断後の各支持部材３への分離を容易に行うことができる。
【００２３】
また、切断後に、ローバー組１を各支持部材３へ分離する場合、ローバー２の延在方向に対して微小角度をつけた保持手段に保持した状態でローバー組１を設置し、機械的に圧力を印加すれば良く、それによって、ローバー組１を各支持部材３へ分離することができる。
【００２４】
また、装置構成としては、仮固定を行うローバー組形成装置において、所定間隔で配置された複数マイクロメータ、複数のマイクロメータの変位を前記所定間隔より狭い間隔に伝達して前記支持部材３を押圧するバネ材による平行変位手段を用いることが望ましく、それによって、薄い各支持部材３に対して精度良く変位を与えることができる。
【００２５】
また、切断後に各支持部材３に寸利する場合には、切断されたローバー組１を挿入する溝を有するとともに、溝の中心軸に対して２〜５°程度の微小角度傾いた方向の機械的力を印加する手段を備えたローバー組の剥離装置を用いることが望ましく、それによって、簡単な装置構成によって剥離が可能になる。
なお、角度が浅いと一本の支持部材３へ力の集中が曖昧になり、角度が大きすぎると一本の支持部材３へ過度の力が集中することになる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下において、図２乃至図１４を参照して、本発明の実施の形態の磁気ヘッドスライダーの切断方法を説明する。
図２参照
図２は、本発明の実施の形態に用いるローバー組形成装置の概念的構成図であり、Ｘ−Ｙステージ２０上に設けられたプリセッタ治具２１からなり、このプリセッタ治具２１を用いて、ローバー１１をワックスによって固定した複数のトランスファーツール１２の位置合わせを顕微鏡１０を覗きながらマニュアルで行う。
【００２７】
この場合、後述するように、例えば、顕微鏡１０のカーソル線を実際の切断線１３と仮想して位置合わせの基準線として用い、この基準線にローバー１１の表面に設けたマーカーの位置合わせを行う。
【００２８】
図３（ａ）乃至（ｃ）参照
図３（ａ）は、プリセッタ治具２１の平面図であり、図３（ｂ）は正面図、図３（ｃ）は側面図であり、基板２２の中央部にはローバー１１（図示を省略）を固着した５本のトランスファーツール１２を横方向から加圧するＹ方向の加圧板２３、トランスファーツール１２の一端をスプリング２４で押圧方向に抗して加圧するＸ方向の加圧板２５が設けられているとともに、基板２２の一方の端部の設けられた側板２６には４本のマイクロメータ２７が固定されている。
【００２９】
この４本のマイクロメータ２７の先端部の押圧部は、１対の圧力受部３１を有するとともに、固定ネジ部３２によって基板２２に固定された２つの平行変位バネ部材３０が配置されている。
【００３０】
この場合、５本のトランスファーツール１２の内の１本を基準として他の４本のトランスファーツール１２の位置合わせを行うものであり、図においては、一番下側のトランスファーツール１２を基準として上側の４本のトランスファーツール１２の位置合わせを行うように図示している。
【００３１】
この場合、トランスファーツール１２の厚さは４ｍｍと薄いため、複数のマイクロメータ２７の変位をマイクロメータ２７の間隔より狭く配置されたトランスファーツール１２に導く必要があり、そのため、平行に変位する平行変位バネ部材３０を用いてマイクロメータ２７の変位を集める構成としたので、ここで、平行変位バネ部材３０の構成・原理を説明する。
【００３２】
図４（ａ）参照
図４（ａ）は上述の平行変位バネ部材３０の平面図であり、丸穴、溝穴、及び、直線の切断線を加工した厚めの金属材を用いて構成したものであり、ａ−ｂ，ｃ−ｄ，ｅ−ｆ，ｇ−ｈの４対の丸穴によりその対向部を変形しやすい肉薄部３３とし、圧力受部３１、圧力伝達部３４、押圧部３５、固定部３６を肉厚部とし、各部位を直線状の溝で分離した。
【００３３】
この平行変位バネ部材３０においては、肉薄部に力が集中して、角度が変位し、この角度変位で平行に変位する部分が得られ、一端部の変位を直接他端に伝えることができる。
即ち、ａｂｃｄ，ｅｆｇｈで囲まれた柱部分３７は長さが一定に保たれるため、圧力受部３１、圧力伝達部３４、及び、押圧部３５は、固定部３６に対して平行に変位する。
【００３４】
図５（ａ）及び（ｂ）参照
図５は、上述の平行変位バネ部材３０の変位の仕組みをモデル的に示した図であり、2 本の柱が傾く形で図５（ｂ）のように変形することで、両柱は等しい長さを保ち、平行に変位する構成が得られる。
この様な原理は、平行に配置されるバネ部材の下側の構成に対しても同様に成り立つものであり、一つの平行変位バネ部材３０によって、独立な２つの変位伝達要素が得られたことになる。
【００３５】
図６参照
図６は、上記の図３に示したプリセット治具に用いるために２つの平行変位バネ部材３０を互いに反転させた状態で二つ組み合わせた状態を示す平面図であり、この構成によって４本のマイクロメータ２７の変位を右端の狭い４箇所に集中することができる。
【００３６】
この様な平行変位バネ部材３０を用いて、５つのトランスファーツール１２をローバー１１に設けたマーカーを用いて相互に位置合わせした状態で、各トランスファツール１２の接触面に瞬間接着剤液滴を浸透させ、例えば、３０秒間放置することによって仮固定してローバー組を形成する。
【００３７】
図７（ａ）及び（ｂ）参照
図７（ａ）は、ローバー１１を固着した５本のトランスファーツール１２を位置合わせする前の状態を示す上面図であり、図７（ｂ）は位置合わせの後の上面図であり、位置合わせ後には、左端のローバー１１に対して各マーカー１４の位置が基準線１５に対して整列した状態となる。
【００３８】
しかし、実際の切断線が基準線１５に対して傾いていた場合には、切断位置誤差が生ずるので、その事情を図８を参照して説明する。
図８（ａ）参照
図８（ａ）は、従来のようにローバー１１を一本ずつ切断する場合であり、実際の切断線１３が基準線１５に対して角度θだけ傾いていた場合には、切断位置誤差は１本のローバーの幅の相当分のΔ1 となるが、通常は問題にならない位置誤差である。
【００３９】
図８（ｂ）参照
しかし、５本のローバー１１を纏めた場合、切断位置誤差Δ5 は５本のローバーとトランスツール幅相当分の位置誤差となり、無視できない値となる。
そこで、図９を参照してこの様な切断位置誤差を低減するための位置合わせ方法を説明する。
【００４０】
図９（ａ）及び（ｂ）参照
図９（ａ）は、ローバー１１を固着した５本のトランスファーツール１２を一端で位置合わせした場合の切断位置誤差の説明図であり、図９（ｂ）は中央のトランスファーツール１２を基準に位置合わせした場合の切断位置誤差を説明図であり、中央で位置合わせした場合全体の切断位置誤差Δ5 を左右に正負に振り分けているため、最大切断位置誤差をΔ5 ／２に半減することができる。
【００４１】
次に、上述の説明において、ローバー組を構成するローバーの数を５本とした理由を図１０を参照して説明する。
図１０（ａ）参照
図１０（ａ）は、トランスファーツール１２の厚さを４ｍｍとし、スペーサの厚さを１６ｍｍとし、スペーサなしでトランスファーツール１２のみを設置した場合には４１個配置できる治具について配置状態をシミュレーションした図である。
【００４２】
図１０（ｂ）参照
図１０（ｂ）は、上記のシミュレーション結果を棒グラフ化した図であり、図から明らかなように、各ローバー組におけるローバーの個数が１個の場合に全体として８個だけが配列されるだけであり、一方、５個組みにすることで２５個に増やすことができるが、１０個組みに増やしても３０個になるに過ぎないことがわかる。
【００４３】
したがって、各組の本数が増せば位置合わせ作業が困難になることを考慮して、ここでは５本の組み合わせを最適としたが、この本数は治具の長さ及びスーペーサの厚さに依存するものであるので、５本に限られるものではない。
【００４４】
次に、図１１を参照して、切断工程を説明する。
図１１（ａ）及び（ｂ）参照
図１１（ａ）は、ローバー組１６を固定した状態の切断治具４０の平面図であり、図１１（ｂ）は正面図である。
図に示すように、切断治具４０は、スペーサ４２が筐体４１に一体に形成されたものであり、各スペーサ４２の左端には傾斜面４３が設けられるとともに、押さえ板４４はネジ４５によって固定されており、この押さえ板４４をネジ４５で締めつけることによってローバー組１６を固定する。
【００４５】
この切断治具４０自体は、切断装置側（図示を省略）の突き当て部に押し当てることで毎回の位置合わせとするものである。
なお切断治具４０の切断装置に対する角度は、切断治具４０に設けた調整ネジ４６によって調整するものであり、調整ネジ４６は切断装置側の突き当て部に当たることで角度の調整をする。
【００４６】
この様な状態で、従来と同様に各ローバー組１６の切断位置を自動的測定して、ダイヤモンドカッターで切断するものである。
なお、上述のように、トランスファーツール１２には、切断位置に溝が設けられているので、トランスファーツール１２自体が傷つけられることはない。
【００４７】
図１２参照
図１２は切断後に各トランスファーツールを分離するための剥離装置５０の概略的分解斜視図であり、剥がし用万力５１と直方体形状の剥がし治具５２とからなり、この剥がし治具５２には中心線が直方体の短軸方向の側面に対して２〜５°、例えば、３°傾斜したツール収容溝５３が設けられている。
【００４８】
図１３（ａ）及び（ｂ）参照
図１３（ａ）は、剥がし治具５２の平面図であり、図１３（ｂ）は正面図であり、厚さが４ｍｍのトランスファーツールが５本組み合わせたローバー組１６が収容できるように、ツール収容溝５３の幅を、例えば、２０．３ｍｍとしている。
【００４９】
図１４（ａ）及び（ｂ）参照
図１４（ａ）に示すように３°傾斜したツール収容溝５３にローバー組を収容した状態で、図１４（ｂ）に示すように剥がし用万力５１によって加圧することによって、各トランスファーツール１２が容易に分離することになる。
以降は、ワックスを溶融することによって、切断された磁気ヘッドスライダーが得られる。
【００５０】
以上、説明したように、本発明においては、最適な本数のローバーを予め位置合わせして仮固定したローバー組を纏めて切断しているので、切断作業を効率的に行うことができ、特に、中央のローバーを基準に位置合わせすることによって切断位置誤差を少なくすることができる。
【００５１】
ここで、再び、図１を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
図１参照
（付記１）  支持部材３に固着されるとともに複数の磁気記録再生素子を形成したローバー２を複数個位置合わせしたのち一時的に仮固定してローバー組１を形成し、次いで、前記複数のローバー組１をスペーサ４を用いて所定の間隔で保持した状態で、ローバー組１毎にローバー２を切断することを特徴とする磁気ヘッドスライダーの切断方法。
（付記２）  上記のローバー２の位置合わせ工程において、バネ材による平行変位手段を用いてマイクロメーターの変位を上記個々の支持部材３に伝達させる位置合わせ機構でローバー２位置を調整して仮固定してローバー組１としたのち、前記ローバー組１を切断治具に機械的に固定した状態で切断することを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
（付記３）  上記ローバー２の位置合わせを、上記ローバー組１を構成する複数のローバー２の内の中央位置のローバー２を基準として行うことを特徴とする付記１または２に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
（付記４）  上記ローバー２の仮固定を瞬間接着剤を用いて行うことを特徴とする付記１乃至３のいずれか１に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
（付記５）  上記ローバー組１毎に切断したのち、前記ローバー組１をローバー２の延在方向に対して微小角度をつけた保持手段に保持した状態でローバー組１を設置し、機械的に圧力を印加して前記ローバー組１を構成する支持部材３を分離する工程を有することを特徴とする付記１乃至４のいずれか１に記載の磁気ヘッドスライダーの切断方法。
（付記６）  支持部材３に固着されるとともに複数の磁気記録再生素子を形成した複数のローバー２を位置合わせしたのち一時的に仮固定してローバー組１を形成するローバー組１形成装置において、所定間隔で配置された複数マイクロメータ、複数のマイクロメータの変位を前記所定間隔より狭い間隔に伝達して前記支持部材３を押圧するバネ材による平行変位手段、複数の支持部材３を前記マイクロメータの変位方向と直交する方向に押圧する押さえ部材を有することを特徴とするローバー組形成装置。
（付記７）  支持部材３に固着されるとともに複数の磁気記録再生素子を形成した複数のローバー２を位置合わせしたのち一時的に仮固定されて切断されたローバー組１を挿入する溝を有するとともに、前記溝の中心軸に対して微小角度傾いた方向の機械的力を印加する手段を備えたことを特徴とするローバー組の剥離装置。
（付記８）  上記溝の中心軸が、上記ローバー組１を挿入・保持する筐体の長軸方向と直交する方向に対する上記微小角度だけ傾いていることを特徴とする付記７記載のローバー組の剥離装置。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、ローバーを支持する複数のトランスファーツールを位置合わせしたのち仮固定してローバー組を構成し、このローバー組を一括して切断しているので、切断の作業を従来の約３倍に高能率化することができ、それによって、切断装置を増設することなく増産が可能であり、磁気ヘッドスライダーの低コスト化に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施の形態に用いるローバー組形成装置の概念的構成図である。
【図３】本発明の実施の形態に用いるプリセッタ治具の構造説明図である。
【図４】本発明の実施の形態に用いる平行変位バネ部材の平面図である。
【図５】平行変位バネ部材の変位原理の説明図である。
【図６】平行変位バネ部材を二つ組み合わせた状態の平面図である。
【図７】ローバーの位置合わせの説明図である。
【図８】切断線と基準線とが傾いた場合の問題点の説明図である。
【図９】位置合わせの基準となるローバーの位置による切断位置誤差の説明図である。
【図１０】ローバー組のローバー数と配置可能な全体のローバー数の依存性を示すシミュレーション図である。
【図１１】本発明の実施の形態に用いる切断治具の構造説明図である。
【図１２】本発明の実施の形態に用いる剥離装置の概念的分解斜視図である。
【図１３】本発明の実施の形態に用いる剥がし治具の構造説明図である。
【図１４】本発明の実施の形態における剥離工程の説明図である。
【図１５】従来の複合型薄膜磁気ヘッドの要部透視斜視図である。
【図１６】従来の磁気ヘッドスライダーの途中までの切断工程の説明図である。
【図１７】従来の磁気ヘッドスライダーの図１６以降の途中までの切断工程の説明図である。
【図１８】従来の磁気ヘッドスライダーの図１７以降の断工程の説明図である。
【符号の説明】
１  ローバー組
２  ローバー
３  支持部材
４  スペーサ
５  カッター
１０  顕微鏡
１１  ローバー
１２  トランスファーツール
１３  切断線
１４  マーカー
１５  基準線
１６  ローバー組
２０  Ｘ−Ｙステージ
２１  プリセッタ治具
２２  基板
２３  加圧板
２４  スプリング
２５  加圧板
２６  側板
２７  マイクロメータ
３０  平行変位バネ部材
３１  圧力受部
３２  固定ネジ部
３３  肉薄部
３４  圧力伝達部
３５  押圧部
３６  固定部
３７  柱部分
４０  切断治具
４１  筐体
４２  スペーサ
４３  傾斜面
４４  押さえ板
４５  ネジ
４６  調整ネジ
５０  剥離装置
５１  剥がし用万力
５２  剥がし治具
５３  ツール収容溝
６１  下部磁気シールド層
６２  磁気抵抗効果素子
６３  リード電極
６４  上部磁気シールド層
６５  ライトコイル
６６  ライト電極
６７  上部磁極層
６８  ライトポール
７０  ローバー
７１  Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ基板
７２  記録再生素子
７３  切断線
７４  端子
８０  トランスファーツール
８１  切断位置用溝
９０  切断治具
９１  スペーサ
９２  ダイヤモンドカッター
【図１】
0003911668.tif 000002
【図２】
0003911668.tif 000003
【図３】
0003911668.tif 000004
【図４】
0003911668.tif 000005
【図５】
0003911668.tif 000006
【図６】
0003911668.tif 000007
【図７】
0003911668.tif 000008
【図８】
0003911668.tif 000009
【図９】
0003911668.tif 000010
【図１０】
0003911668.tif 000011
【図１１】
0003911668.tif 000012
【図１２】
0003911668.tif 000013
【図１３】
0003911668.tif 000014
【図１４】
0003911668.tif 000015
【図１５】
0003911668.tif 000016
【図１６】
0003911668.tif 000017
【図１７】
0003911668.tif 000018
【図１８】
0003911668.tif 000019