(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第２基板の前記第１基板側に形成されたカラーフィルタと、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置された液晶層と、を有する液晶パネルにおいて前記液晶層の厚さを求めるための液晶パネルの評価方法であって、
前記液晶パネルに対して直線偏光を入射させ、前記カラーフィルタと前記液晶層とを通過した透過光から得た検出光の分光スペクトルにおいて、可視光領域中の極小値の得られる波長を元に前記液晶層の厚さを求めることを特徴とする液晶パネルの評価方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネルの評価方法であって、
前記液晶パネルに対して前記直線偏光を入射させる際には、０°より大きくかつ前記液晶パネルの表面に対する臨界角より小さな入射角で前記直線偏光を入射させることを特徴とする液晶パネルの評価方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液晶パネルの評価方法であって、前記液晶パネルの複数箇所において前記液晶層の厚さを求め、当該厚さの場所による変化を元に前記液晶層内の異物を調べることを特徴とする液晶パネルの評価方法。
【請求項４】
第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第２基板の前記第１基板側に形成されたカラーフィルタと、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置された液晶層と、を有する液晶パネルにおいて前記液晶層の厚さを求めるための液晶パネルの評価装置であって、
直線偏光を前記液晶パネルに対して照射する光学系と、前記カラーフィルタと前記液晶層とを通過した透過光から検出光を得るための検光子と、該検出光を検出する光検出器と、前記検出光の分光スペクトルにおいて、可視光領域中の極小値の得られる波長に基づいて前記液晶層の厚さを求める評価処理部とを備えていることを特徴とする液晶パネルの評価装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液晶パネルの評価装置であって、
前記光学系は、前記液晶パネルに対し、０°より大きくかつ前記液晶パネルの表面に対する臨界角より小さな入射角で前記直線偏光を照射することを特徴とする液晶パネルの評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶パネルの評価方法及び評価装置に係り、特に、半透過型または透過型の液晶パネルに設けられた液晶層の厚さを調べるために好適な製造技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶パネルは２枚の基板を貼り合わせ、両基板間に液晶を注入することによって形成される。これら２枚の基板には液晶層に電圧を印加するための電極パターンがそれぞれ形成されている。この液晶パネルを用いて液晶表示装置を構成する場合、液晶層の厚さ（セルギャップ）が表示特性に大きく影響するため、液晶層の厚さを高精度に設定するとともに、液晶層をパネル全体に亘って均一な厚さに形成することが非常に重要である。
【０００３】
このため、従来の液晶表示装置の製造工程においては、液晶パネルを構成した後に液晶層の厚さ及びその均一性を評価するための検査が行われている。また、液晶層の内部に異物が混入すると表示欠陥を生じるので、液晶層の内部に異物があるか否かについても検査が行われる場合がある。
【０００４】
ここで、上記検査は、単に製造された液晶パネルの良・不良を知り、不良品を排除するために行われる場合もあり、また、製造された液晶パネルの液晶層の厚さその他の特性値を獲得し、液晶パネルの品位の度合を特定し、クラス分けを行うために行われたり、結果をフィードバックして製造ラインの製造条件を微調整するための管理データを得るために行われる場合もあるなど、液晶パネルの評価を行うための行為として広く用いられているものである。
【０００５】
従来の液晶表示装置の製造工程においては、液晶層を備えた液晶パネルを検査する場合には、環状の光源により輪帯照明を行い、光源から放出された光を偏光板によって直線偏光に変換し、この直線偏光を液晶パネルに照射し、その透過光を偏光板に通して、最終的に色彩計(その他ＣＣＤカメラやフォトマル、分光計でも構わない)によって透過光を解析するという方法が採用される場合がある。
【０００６】
また、点状光源とみなすことができる光源から放出された光を、偏光板を介して液晶パネルに照射し、その透過光を、偏光板を介して斜めに設置された色彩計によって検出するという方法もある。
【０００７】
上記の方法においては、光軸を基準とした場合の光入射側の偏光板の偏光透過軸の方向と、光検出側の偏光板の偏光透過軸の方向とが適宜の関係、例えば２０〜６０度の角度差を有する関係、になるように設置することによって検出光の色相が液晶層の厚さに応じて変化することから、色彩計によって撮影された画像の色相に基づいて液晶層の厚さの異常や異物の有無を検査するようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の液晶パネルの検査方法においては、色相の変化によりセル厚を算出していたが、液晶パネルに設けられる膜、例えばカラーフィルタなどの膜が存在することにより正確な値を得ることができないという問題点がある。
【０００９】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、従来よりも液晶層に関する情報を精度良く獲得することのできる新規の液晶パネルの評価方法及び評価装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の液晶パネルの評価方法は、第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第２基板の前記第１基板側に形成されたカラーフィルタと、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置された液晶層と、を有する液晶パネルにおいて前記液晶層の厚さを求めるための液晶パネルの評価方法であって、前記液晶パネルに対して直線偏光を入射させ、前記カラーフィルタと前記液晶層とを通過した透過光から得た検出光の分光スペクトルにおいて、可視光領域中の極小値の得られる波長を元に前記液晶層の厚さを求める。
【００１１】
本発明のこのような構成によれば、検出光の分光特性、例えば分光スペクトルの極値の波長若しくは周波数位置に基づいて、液晶層の特性、例えば液晶層の厚さ、液晶層のリタデーション△ｎ・ｄ、液晶層中の異物の有無の確認などを求めることによりパネル評価を行うことができる。すなわち、検出光の分光スペクトルの極値の波長位置及び周波数位置は、検出光の色相にはほとんど影響を受けないので、カラーフィルタを有するカラー液晶パネルなど、液晶層の厚さ以外の色相に影響を与える構造を有する液晶パネルに対しても、液晶層の厚さ測定を支障なく行うことが可能になる。
【００１２】
上記液晶パネルの評価方法においては、前記液晶パネルに対して前記直線偏光を入射させる際には、０°より大きくかつ前記液晶パネルの表面に対する臨界角より小さな入射角で前記直線偏光を入射させてもよい。そうすれば、入射光の液晶層内の光路長を大きくすることができ、液晶層の厚さの検出感度を高めることができる。
【００１８】
本発明の他の液晶パネルの評価方法は、上記液晶パネルの評価方法であって、前記液晶パネルの複数箇所において前記液晶層の厚さを求め、当該厚さの場所による変化を元に前記液晶層内の異物を調べる。このように、液晶層内の異物（液晶パネルの基板内面上に付着した異物を含む。）を調べることもできる。
【００１９】
本発明の液晶パネルの評価装置は、第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第２基板の前記第１基板側に形成されたカラーフィルタと、前記第１基板及び前記第２基板の間に配置された液晶層と、を有する液晶パネルにおいて前記液晶層の厚さを求めるための液晶パネルの評価装置であって、直線偏光を前記液晶パネルに対して照射する光学系と、前記カラーフィルタと前記液晶層とを通過した透過光から検出光を得るための検光子と、該検出光を検出する光検出器と、前記検出光の分光スペクトルにおいて、可視光領域中の極小値の得られる波長に基づいて前記液晶層の厚さを求める評価処理部とを備えている。
【００２０】
本発明のこのような構成によれば、検出光の分光特性、例えば分光スペクトルの極値の波長若しくは周波数位置に基づいて、液晶層の特性、例えば液晶層の厚さ、液晶層のリタデーション△ｎ・ｄ、液晶層中の異物の有無の確認などを求めることによりパネル評価を行うことができる。すなわち、検出光の分光スペクトルの極値の波長位置及び周波数位置は、検出光の色相にはほとんど影響を受けないので、カラーフィルタを有するカラー液晶パネルなど、液晶層の厚さ以外の色相に影響を与える構造を有する液晶パネルに対しても、液晶層の厚さ測定を支障なく行うことが可能になる。
【００２１】
上記液晶パネルの評価装置において、前記光学系は、前記液晶パネルに対し、０°より大きくかつ前記液晶パネルの表面に対する臨界角より小さな入射角で前記直線偏光を照射してもよい。そうすれば、入射光の液晶層内の光路長を大きくすることができ、液晶層の厚さの検出感度を高めることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る液晶パネルの評価方法及び評価装置の実施形態について詳細に説明する。尚、本発明の液晶パネルの評価方法及び評価装置は、透過型または半透過半反射型の液晶パネルの評価に用いられる。
【００２９】
（第１実施形態）
図１は、本発明に係る液晶パネルの評価方法に用いる評価装置の第１実施形態の構成を模式的に示す概略構成図である。
【００３０】
本実施形態の評価装置２０は、液晶パネル１０を載置する基台２１の上方に、ハロゲンランプ、ＬＥＤ（発光ダイオード）、ＣＦＬ（冷陰極管）等からなる光源２２と、光ファイバー等からなる導光器２３と、導光路２３の先端に設けられた集光レンズ等からなる集光器２４と、集光器２４の先に配置された偏光子として用いられる偏光板２５とを有する入射光学系が設けられている。
【００３１】
また、基台２１の下方には、上記入射光学系と対向するように、検光子として用いられる偏光板２６と、この偏光板２６の先に配置された集光レンズ等からなる集光器２７と、集光器２７に接続された光ファイバー等からなる導光器２８と、導光器２８に接続された分光計、分光ユニットからなる光検出器２９とを有する検出光学系が設けられている。
【００３２】
光検出器２９によって得られた検出データは、評価処理部３０に送られるようになっている。評価処理部３０は、上記検出データの演算処理機能を有するものであることが好ましく、特に、ＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）等のように動作プログラムに基づいて演算処理を行うように構成されたものであることが望ましい。
【００３３】
基台２１は、駆動機構３１によって例えば図の紙面と直交する方向に移動可能に構成されている。一方、上記入射光学系及び検出光学系の少なくとも一部（例えば、集光器２４、偏光板２５、偏光板２６及び集光器２７）は、駆動機構３２によって例えば図示左右方向に移動可能に構成されている。したがって、上記駆動機構３１，３２によって、入射光学系及び検出光学系と、基台２１上に載置された液晶パネル１０とを、液晶パネル１０のパネル面と平行な仮想平面上において自由に相対移動させることができる。なお、入射光学系及び検出光学系と、基台２１との少なくとも一方を適宜に移動可能に構成することによって、上記駆動機構３１，３２と機能的に等価な各種の駆動機構を構成することができる。 また、基台２１は貫通孔２１ａを有した額縁状を有しており、基台２１の内縁部分が液晶パネルの外縁部を支持する形態となっている。
【００３４】
図２は、本実施形態の評価装置２０によって液晶パネル１０の評価を行う場合の光路を模式的に示すものである。ここでは、液晶パネル１０はモノクロの半透過半反射型の液晶パネルである場合について説明する。液晶パネル１０は、第１基板１０ｂと、第２基板１０ｃと、これら基板を貼りあわすシール材１０ｄと、両基板１０ｂ，１０ｃ及びシール剤１０ｄにより形成された空間に挟持された液晶層１０ａとを有している。第１基板１０ｂ上には第１電極としての対向透明電極１０ｅが設けられ、第２基板１０ｃ上には、Ａｌなどの反射層１１ａと、この反射層１１ａ上に画素毎に設けられたＩＴＯ等からなる第２電極としての透明電極１１ｂが設けられている。更に反射層１１ａには、画素毎に開口部１１ｃが設けられている。このような液晶パネルが組み込まれた液晶装置は半透過半反射型液晶装置として機能する。すなわち、外光が十分にある場合には、反射層１１ａに外光が反射し、この反射光を用いて表示する反射型として機能する。一方、外光が不十分である場合には、液晶装置としたときに第２基板１０ｃ側に位置するように組み込まれるバックライトからの照射された光が、第２基板１０ｃ、反射層１１ａの開口部１１ｃを通過して、透明電極１１ｂ、液晶層１０ａ、対向透明電極１０ｅ、第１基板１０ｂを通過することによって、表示が行われる透過型として機能する。
【００３５】
上記の入射光学系において偏光板２５は所定方向（例えば、光軸と直交する平面と、入射光及び出射光の光軸を含む平面と交線の方向Ｐ）と平行な偏光透過軸２５ｔを有するとともに、光軸と直交する平面及び上記の所定方向と直交する方向（例えば、上記方向Ｐ及び光軸と直交する方向Ｓ）と平行な偏光吸収軸２５ａを有する。この偏光板２５を透過することによって上記偏光透過軸２５ｔの方向を含む振動面を有する直線偏光Ｌｉが形成され、液晶パネル１０に入射角θｉで入射する。
【００３６】
これに対して、上記の検出光学系は、入射角θｉで入射した直線偏光Ｌｉの透過光を検出するように設定されており、入射角θｉとほぼ等しい出射角θｏで液晶パネル１０から出射される透過光が偏光板２６に入射し、最終的に上記光検出器２９に導かれるようになっている。偏光板２６は、偏光板２５の偏光透過軸２５ｔに対して光路を基準として平行な偏光吸収軸２６ａを有し、偏光板２５の偏光透過軸２５ｔに対して光路を基準として直交する偏光透過軸２６ｔを有する。
【００３７】
上記の直線偏光Ｌｉが液晶パネル１０の第１基板１０ｂ側から入射すると、第１基板１０ｂ、対向透明電極１０ｅ、液晶層１０ａ、透明電極１１ｂ、反射層１１ａの開口部１１ｃ、第２基板１０ｃを通過して、出射偏光Ｌｔとなる。
【００３８】
上記検出光学系では、出射偏光Ｌｔが上記偏光板２６に入射する。このとき、出射偏光Ｌｔは、液晶層１０ａを通過することによって、液晶層１０ａの所定のリタデーション（液晶層１０ａ内の液晶分子の光学異方性△ｎと、液晶層１０ａの厚さｄとの積）によって直線偏光Ｌｉの偏光状態が変化し、当初の直線偏光Ｌｉとは異なる偏光（例えば楕円偏光）となっている。従って、出射偏光Ｌｔのうち偏光板２６の偏光透過軸２６ｔと異なる偏光成分は、偏光吸収軸２６ａを有する偏光板２６によって吸収される。一方、出射偏光Ｌｔのうち偏光板２６の偏光透過軸２６ｔの方向に振動する偏光成分は偏光板２６を透過し、検出光Ｌｏとして上記光検出器２９において検出される。
【００３９】
検出光Ｌｏは、液晶層１０ａのリタデーション△ｎ・ｄに応じた光強度、或いは、リタデーション△ｎ・ｄの色分散特性に応じた色相や分散スペクトルを備えている。したがって、検出光Ｌｏの光強度、色相又は分散スペクトルと、液晶層１０ａのリタデーションとの間には相関があることとなるので、この相関を理論的に定め、或いは実験若しくはシミュレーション等によって定めることにより、検出光Ｌｏの光強度、色相又は分散スペクトルに基づいて液晶層１０ａのリタデーション△ｎ・ｄ、或いは、液晶の△ｎが既知であれば液晶層１０ａの厚さｄを求めることが可能になる。
【００４０】
本実施形態においては、検出光の分散スペクトルの極値（極小値又は極大値）が上記検出光の偏光状態の変化量に応じて周波数が変化することを利用して液晶層の厚さｄを求めており、詳細については後述する。
【００４１】
ここで、上記の入射角θｉ＝出射角θｏは０度以上９０度未満の適宜の角度で構わないが、その直線偏光Ｌｉにおける基板１０ｂの表面に対する臨界角（全反射角）θｔｈを越えると、直線偏光Ｌｉが基板１０ｂの表面で全反射され、液晶層１０ａに光が入射しなくなるので、実際にはθｉ＝θｏが０度以上でθｔｈ未満である角度範囲で行う。この角度範囲内においても、なるべく角度を大きくすることが液晶層１０ａ内の光路長を大きくでき、その結果、液晶層１０ａに対する検出感度を高めることができる点で好ましいが、液晶パネル１０内の光路長が長くなる分、検出光Ｌｏの光強度そのものは低下する。
【００４２】
本実施形態においては、光検出器２９として分光ユニットを用い、透過光の分光特性データを得ている。この分光ユニットは、上記検出光Ｌｏの少なくとも可視光領域における分光スペクトル若しくはこれに対応する検出データを得ることができるものであり、例えば、分光素子を用いた分光計、マルチプレクス分光法を用いた分光装置、マルチチャンネル分光計などのいずれであってもよい。
【００４３】
分光ユニットにおいては、上記の光路に沿って到達した光の可視光領域の分光スペクトル自体、若しくは、この分光スペクトルと等価な、すなわち所定の数学的演算によって分光スペクトルを導出可能な、種々の光学的パラメータ（複素誘電率等）が検出される。
【００４４】
上記検出光Ｌｏの分光スペクトルの一例を図４に示す。この分光スペクトルにおいては、可視光領域中に極小値Ｍｂ、極大値Ｍｐが存在する。これらの極小値Ｍｂの得られる波長λｂ、極大値Ｍｐの得られる波長λｐは、液晶表示パネル１０の液晶層１０ａの厚さｄとの間に所定の相関を有している。
【００４５】
一般に、液晶の光学特性、すなわち光学異方性△ｎ、ツイスト角θ、液晶層１０ａの厚さｄ、偏光板２５の透過偏光軸と偏光板２６の透過偏光軸との間の光軸周りの角度φ（本実施形態の場合には９０度）、光源の発光スペクトル、第１基板及び第２基板の光学特性に基づいて、ジョーンズベクトル法や、４×４マトリクス法を用いることにより、上記分光スペクトルを導出することができる。そして、この分光スペクトルにおける上記極小値Ｍｂ及び極大値Ｍｐの位置、すなわち波長λｂ，λｐを上記パラメータにて表すことができる。したがって、光源、入射側光学系及び出射側光学系の光学的条件が一定であれば、所定の△ｎ、θ、φであるときの液晶層１０ａの厚さｄを、上記波長λｂ又はλｐの関数Ｆ（λ）で表すことができる。この厚さを示す関数ｄ＝Ｆ（λ）は、実用的には波長λｂ又はλｐの１次から４次の関数で表すことが可能である。
【００４６】
図４には、液晶層１０ａの厚さｄを変化させたとき（ｄ＝ｄ０、ｄ＝ｄ０−△ｄ）の２つの分光スペクトルを示してある。通常、可視光領域の上記波長λｂ，λｐは、液晶層１０ａの厚さｄが増加すると上記関数Ｆ（λ）に従って単調に増大する。なお、上記関数Ｆ（λ）は、あらかじめ実験を繰り返して得たデータから求められた実験式であっても構わない。
【００４７】
図５は、液晶表示パネル１０として図２に示すようなカラーフィルタを備えていないモノクロパネルＡと、後述する図７に示すようなカラーフィルタを備えたカラーパネルＢ及びＣとを用いた場合について、それぞれ上記の分光スペクトルを示したものである。ここで、カラーパネルＢとカラーパネルＣとは互いに異なる色相の着色層を備えたカラーフィルタを有するものである。この場合、測定ばらつきを低減するために、上記分光ユニットにて分光される光の範囲は、それぞれ液晶表示領域中における複数の画素を含む領域を通過した範囲に設定している。
【００４８】
図５に示すように、カラーフィルタの有無、カラーフィルタの種類等によって分光スペクトルは大きく変化するが、上記極小値Ｍｂ及び極大値Ｍｐの位置はほとんど変化せず、上記波長λｂ，λｐはほぼ一定である。したがって、上記の関数Ｆ（λ）を用いて液晶層の厚さｄを求める場合には、カラーフィルタの有無やフィルタ色調の変化によって検出値が影響を受けることはほとんどない。
【００４９】
図６は、上記の評価処理部３０を動作させるための動作プログラムの概略フローチャートを示すものである。まず、評価装置に液晶表示パネル１０がセットされ、また、操作者等によりキーボード等の入力装置（図示せず）から所定のデータが入力されると、その入力データを評価処理部３０内のメモリに保存する。この入力データは、セル条件、すなわち液晶の光学異方性△ｎ及びツイスト角θ、偏光板２５及び２６の透過偏光軸の角度φ、パネル基板の厚さや材質或いは光学特性等である。また、評価処理部は液晶層１０ａの厚さｄの目標値ｄ０も受け、記録する。
【００５０】
上記の入力されたセル条件や目標値に基づいて評価処理部３０は上記関数Ｆ（λ）を求める。この関数Ｆ（λ）は、液晶層１０ａの厚さｄと、上記波長λｂ又はλｐとの関係を示すものである。本実施形態では分光スペクトルの極小値Ｍｂに対応する波長λｂを用いている。
【００５１】
次に、外部から入力されるスタート指令を待ち、スタート指令が入力されると、測定位置を適宜の箇所にセットして、分光計測を開始する。そして、分光ユニットから分光データが評価処理部３０に送出され、評価処理部は分光データに基づいて上記波長λｂを求める。
【００５２】
そして、上記波長λｂから上記関数Ｆ（λ）を用いて液晶層１０ａの厚さｄを算出し、この算出された厚さｄや、目標値ｄ０との差△ｄ＝│ｄ−ｄ０│（ｄとｄ０の差の絶対値）等を外部（例えば表示手段や記録手段等）に出力する。
【００５３】
その後、予め定められた計測パターンに応じて計測箇所を変える場合、例えば液晶パネル１０の複数の箇所において計測を行う場合には、駆動機構により液晶パネル１０と光学系との相対的位置関係を変化させ、別の箇所にて上述と同様に繰り返し計測を行う。
【００５４】
（第２実施形態）
次に、図３を参照して本発明に係る第２実施形態について説明する。ここで、評価する液晶パネル１０は図２に示すものと同様のものであるので、その説明は省略する。また、光検出器２９及び評価処理部３０の構造も同様のものであるので、その説明は省略する。
【００５５】
この実施形態の評価装置４０は、光源４１と、この光源４１から放出される光を直線偏光に変換する偏光板４２と、偏光板４２から照射された直線偏光が液晶パネル１０を通過してなる透過光を受ける偏光板４４と、偏光板４４を透過した光を検出する光検出器４５と、光検出器４５によって得られた検出データを処理する評価処理部４６とを備えている。本実施形態においても、第１実施形態の光検出器２９と同様に、光検出器４５として分光ユニットを用いている。
【００５６】
この実施形態において、偏光板４２の偏光透過軸４２ｔは図の紙面に直交する方向に設定され、偏光板４４の偏光吸収軸４４ａも図の紙面と直交する方向に設定されている。
【００５７】
この実施形態において、光源４１から放出された光は偏光板４２を通過して偏光透過軸４２ｔと平行な振動面を有する直線偏光Ｌｉが液晶パネル１０に入射する。この入射光Ｌｉは液晶パネル１０を通過した後に偏光板４４に入射し、ここで、偏光板４４の偏光吸収軸４４ａと平行な振動面を有する偏光成分が吸収され、その残り成分が検出光Ｌｏとして光検出器４５にて検出される。
【００５８】
この実施形態は、液晶パネル１０に対する光の入射角θｉ及び出射角θｏが共に０度である場合を示している。ここで、透過光Ｌｔは、液晶層１０ａを通過し液晶層１０ａのリタデーションに応じて入射光Ｌｉの直線偏光に対して偏光状態が変化するので、図の紙面と平行な振動面を有する偏光成分を備えている場合があり、この偏光成分は偏光板４４を透過して光検出器４５にて検出される。
【００５９】
以上、説明した実施形態においては、モノクロ型ー半透過半反射型液晶装置用の液晶パネルを例にあげて説明したが、図７に示すようにはカラー半透過半反射型液晶装置用のパネルに、本発明の評価装置及び評価方法を用いることができる。
【００６０】
図７に示すように、カラー半透過半反射型液晶装置用の液晶パネル１００は、第１基板１０１と第２基板１０２をシール材１０３によって貼り合わせ、基板間に液晶層１０４を配置したものである。第１基板１０１の内面上には、ＩＴＯ等の透明導電体からなる第１電極としての対向透明電極１１１が形成されている。この対向透明電極１１１の表面上にはＳｉＯ２等からなる硬質保護膜１１２が形成されている。さらに、硬質保護膜１１２の表面上に配向膜１１３が形成され、この配向膜１１３の表面にはラビング処理が施されている。
【００６１】
一方、基板１０２の内面上には、Ａｌ等の金属膜からなる反射層１１４が形成され、この反射層１１４の上には絶縁層１１５が形成されている。絶縁層１１４の上には第２電極としての透明電極１１６が形成されている。反射層１１４には画素毎に開口部(図示せず)が設けられている。透明電極１１６の上には着色層１１７が形成され、この着色層１１７を、表面を平坦化するための保護膜１１８が被覆している。着色層１１７は適宜のパターンで異なる色調（例えば赤、緑、青）のものが配列するように構成されている。保護膜１１８の上には配向膜１１９が形成され、その表面にラビング処理が施されている。
【００６２】
このように構成されたカラー半透過半反射型液晶パネル１００においては、着色層１１７を備えたカラーフィルタが形成されていることにより、液晶層１０４を通過した光はカラーフィルタを通過することとなり、所定の色調を呈することとなる。
【００６３】
着色層１１７は隣接する画素間で異なる色相を有するとともに、色相のばらつきやその再現性の低さが存在するので、検出光Ｌｏの色相を用いた液晶層の厚さを求める方法を用いることは難しい。しかしながら、上述の実施形態のように、検出光の分光特性を用いて液晶層１０４の厚さを求めることにより、従来より正確な値を求めることができる。
【００６４】
尚、上述では、半透過半反射型液晶装置用の液晶パネルを例にあげて説明したが、上述の実施形態における評価装置及び評価方法は、透過型液晶装置用の液晶パネルに適用することもできる。
【００６５】
以上説明した実施形態においては、精度良く、しかも、カラーフィルタの有無や色相のばらつきなどにほとんど影響されることなく、液晶パネルの液晶層の厚さを検出することができる。
【００６６】
また、上記実施形態において、液晶層の厚さを求めるために分光スペクトルの波長λｂを用いているが、λｐを用いても良く、また、当該波長に相当する周波数や、これらに関連付けられた種々の対応値を用いても構わない。
【００６７】
また、上記実施形態では液晶層の特性として液晶層の厚さを求める方法について詳述しているが、液晶層の厚さに限らず、液晶層の特性として、液晶層のリタデーション△ｎ・ｄを求めたり、液晶層中の異物の有無を確認する場合などにも同様に用いることができる。例えば、液晶層中の異物の有無については、上記の関数Ｆ（λ）を複数箇所にて算出し、異物が存在すると関数Ｆ（λ）が目標値ｄｏよりも大きく変化することを利用するなどの方法によって異物の存在を確認する方法などを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る評価装置の第１実施形態の構造を模式的に示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態の測定原理を模式的に示す拡大説明図である。
【図３】本発明に係る評価装置の第２実施形態の構造を模式的に示す概略構成図である。
【図４】本発明の評価装置によって検出された分光スペクトルを示すグラフである。
【図５】カラーフィルタの有無その他の条件が異なる液晶パネルに対して、本発明の評価装置により検出した分光スペクトルの例を示すグラフである。
【図６】本発明に係る評価装置の動作プログラムの概要を示す概略フローチャートである。
【図７】カラー半透過半反射型液晶パネルの構造を模式的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０…液晶パネル
１０ａ、１０４…液晶層
１０ｂ、１０１…第１基板
１０ｃ、１０２…第２基板
１１ａ、１１４…反射層
１１ｂ、１１６…透明電極
１１ｃ…開口部
１０ｅ、１１１…対向透明電極
２０，４０…評価装置
２１…基台
２２，４１…光源
２３…導光器（入射側）
２４…集光器（入射側）
２５，４２…偏光板（入射側）
２６，４４…偏光板（出射側）
２７…集光器（出射側）
２８…導光器（出射側）
２９，４５…光検出器（分光ユニット）
３０，４６…評価処理部（ＭＰＵ）
１００…カラー半透過半反射型液晶パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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