(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、
ハウジングと、
このハウジングの一方に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、
このハウジングの他方に形成され、前記プローブを保持するプローブホルダとを備え、
前記プローブホルダは、ホルダ本体と、
このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、
この貫通孔の前記一方に設けられたガイド孔と、
前記他方に設けられ前記プローブを係止する座ぐり部と、
前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成された雌ねじ部とを具備し、
前記プローブは、前記ガイド孔に嵌合する基準シャフト部と、
前記プローブ本体の外周に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、
この調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止される固定部材とを具備していることを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として形成されていることを特徴とする請求項２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記座ぐり部の座面は前記雌ねじの軸心に直交していることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項５】
その先端側に基準シャフト、中間部の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ねじに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ねじと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法において、
前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合させる螺合工程と、
前記プローブの基準シャフトを前記ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、
前記固定部材を前記座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えていることを特徴とするプローブ固定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の特性測定等に用いられるプローブ装置及びプローブ固定方法に関し、特に多連部品の測定に用いるためにプローブを効率よく保持することができるものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の特性を測定する装置として、電子部品の端子にプローブの針端子を接触させて測定を行うプローブ装置が知られている。図５はこのようなプローブ装置の一例を示す縦断面図である。プローブ装置１０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング１１を備えている。ハウジング１１内には、後述するプローブ２０を保持するプローブホルダ１２、絶縁プレート１３、プローブホルダ１２を図４中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動させるプローブホルダアーム１４、プローブ回り止めガイド１５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品（不図示）の底面を支持するガイドチップ１６とが配設されている。また、図５中１７はプローブホルダ１２の外周側から差し込まれ、プローブ２０を固定するセットねじを示している。
【０００３】
図５中２０はプローブを示している。プローブ２０は、スリーブ２１と、バレル２２と、プローブ針２３とを備えている。プローブ針２３の先端側には針端子２３ａが形成され、ガイドチップ１６に形成されたガイド孔１６ａにより電子部品の端子に接触するように往復動自在に案内されている。なお、プローブ針２３の針端子２３ａは微小なガイドチップ１６のガイド孔１６ａと嵌合されているため、各プローブはガイドチップ１６、プローブホルダ１２等に対し固有の傾斜角を有している。
【０００４】
このように構成されたプローブ装置１０では、プローブホルダアーム１４を介してプローブホルダ１２を上下に動かすことでプローブ針２３の針端子２３ａを電子部品の端子に接触させている。プローブホルダ１２の上下動幅とプローブ針２３が上下動できる幅との差は、バレル２２内に設けられたスプリングによって吸収するようになっている。
【０００５】
次に、プローブ装置１０の組み立て方法について説明する。絶縁プレート１３、プローブ回り止めガイド１５とともにプローブホルダ１２をプローブホルダアーム１４にねじ止めし、プローブホルダ１２に設けたプローブ挿入孔１２ａにプローブ２０をそのプローブ針２３側から差し込んで、絶縁プレート１３にスリーブ２１を当接させる。次に、セットねじ１７により、プローブホルダ１２に堅くねじ嵌合することでスリーブ２１をプローブホルダ１２に固定する。そして、ガイドチップ１６上を電子部品が支障なく通過できるように、針端子２３ａをガイドチップ１６の上面より少し下げるとともに、プローブホルダアーム１４を上げた時、電子部品の端子に針端子２３ａが接触するようにバレル２２を回転して調整していた。
【０００６】
上述したように各プローブ２０はプローブホルダ１２の外周壁側からセットねじ１７をねじ込んで固定することから、プローブ２０とプローブホルダ１２の外周壁との間に別のプローブ２０を配置することはできない。このため、プローブ２０は１列乃至２列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来のプローブホルダを備えたプローブ装置であると次のような問題があった。すなわち、最近の電子部品の多連化に伴い、測定に必要なプローブ２０の本数が増えている。このため、上述したようにプローブ２０を配置しようとすると、プローブホルダ１２を大きくしなくてはならない。また、プローブホルダ１２が大きくなると、ガイドチップ１６に対するプローブ針２３の傾斜角度が大きくなるため、プローブ２０の動作不良、プローブ針２３が破損する等の虞があった。
【０００８】
そこで本発明は、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明のプローブ装置及びプローブ固定方法は次のように構成されている。
【００１０】
（１）ワークにプローブの針端子を接触させてその特性を測定するためのプローブ装置において、筒状に形成されたハウジングと、このハウジングの一方の開口端側に設けられ前記ワークを支持するとともに、前記針端子を案内するワーク支持部と、このハウジングの他方の開口端側に形成され、前記プローブを保持するプローブホルダとを備え、前記プローブホルダは、ホルダ本体と、このホルダ本体を前記ハウジングの軸方向に貫通し、前記プローブが挿入される貫通孔と、この貫通孔の前記一方の開口端側に設けられたガイド孔と、前記他方の開口端側に設けられ前記プローブを係止する座ぐり部と、前記ガイド孔と前記座ぐり部との間に形成された雌ねじ部とを具備し、前記プローブは、前記ガイド孔に嵌合する基準シャフト部と、前記プローブ本体の外周に設けられ前記雌ねじ部に螺合する調整ねじ部と、この調整ねじ部に螺合するとともに前記座ぐり部に係止される固定部材とを具備していることを特徴とする。
【００１１】
（２）前記（１）に記載されたプローブ装置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじと同心に形成されていることを特徴とする。
【００１２】
（３）前記（２）に記載されたプローブ装置であって、前記ガイド孔は、前記雌ねじの下穴として形成されていることを特徴とする。
【００１３】
（４）前記（１）に記載されたプローブ装置であって、前記座ぐりの座面は前記雌ねじの軸心に直交していることを特徴とする。
【００１４】
（５）その先端側に基準シャフト、中間部の外周面に調整ねじが形成されるとともに、前記調整ねじに螺合する固定ナットを有するプローブを、内部に雌ねじが形成され、かつ、前記雌ねじの一端側に前記雌ねじと同心のガイド孔及び他端側に座ぐりが設けられたプローブホルダに挿入固定するプローブ固定方法において、前記調整ねじを前記座ぐり側から前記雌ねじに螺合させる螺合工程と、前記プローブの基準シャフトを前記ガイド孔に嵌合させる嵌合工程と、前記固定部材を前記座ぐりに係止させて締結する締結工程とを備えていることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施の形態に係るプローブ装置３０を示す縦断面図、図２は同プローブ装置３０の側面図、図３は同プローブ装置３０に組み込まれたプローブホルダ４０を示す底面図、図４は同プローブ装置３０により電子部品Ｗの電極Ｗａにプローブの針端子を当接した説明図である。
【００１６】
プローブ装置３０は、検査対象となる電子部品が搬送される搬送路Ｈに取り付けられたハウジング３１を備えている。ハウジング３１内には、図中下方からプローブホルダ４０、絶縁プレート３３、プローブホルダ４０を図１中矢印Ｚ方向（ハウジングの軸方向）に上下動させるプローブホルダアーム３４、プローブ回り止めガイド３５と、搬送路Ｈに露出しその上面で電子部品Ｗの底面を支持するガイドチップ３６とが配設されている。
【００１７】
プローブホルダ４０は、ホルダ本体４１を備え、このホルダ本体４１には、ホルダ本体４１を上下方向（ハウジングの軸方向）に貫通する複数の貫通孔４２が形成されている。これら貫通孔４２は図３に示すように密着して配置されている。貫通孔４２は、図２の下側から座ぐり部４３、雌ねじ部４４と、この雌ねじ部４４の下穴として形成され、かつ、同心的に形成されたガイド孔４５とから成っている。なお、座ぐり部４３の座面４３ａは雌ねじ部４４の軸心と直交している。
【００１８】
プローブ５０は、プローブ本体５１を備えている。このプローブ本体５１の図中下端には接続端子５２、上端にはガイド孔４５に嵌合する基準シャフト５３が設けられている。プローブ本体５１外周面には、調整ねじ５１ａが形成されており、固定ナット５４が螺合している。基準シャフト５３にはプローブ針５５の基端部が取り付けられており、プローブ針５５の先端側には針端子５５ａが形成され、ガイドチップ３６に形成されたガイド孔３６ａにより電子部品Ｗの端子に接触するように往復動自在に案内されている。
【００１９】
このように構成されたプローブ装置３０は、次のようにして組み立てられる。すなわち、絶縁プレート３３、プローブ回り止めガイド３５とともにプローブホルダ４０をプローブホルダアーム３４にねじ止めする。
【００２０】
次に、プローブ５０をプローブホルダ４０に組み付ける。プローブ５０のプローブ針５５をプローブホルダ４０の貫通孔４２の座ぐり部４３側から挿入する。ガイド孔４５に基準シャフト５３を通し、雌ねじ部４４に調整ねじ５１ａを螺合させる。針端子５５ａが測定部において所定の突出量になるよう、調整ねじ５１ａによる雌ねじ部４４への螺合量を調整して微調整を行う。針端子５５ａの位置が決まった時点で、固定ナット５４を回転させて座ぐり部４３に当接させて固定する。このガイド孔４５は新しく設けても良く、雌ねじ部４４の下孔であってもよい。
【００２１】
ガイド孔４５に基準シャフト５３が精密嵌合し、かつ、固定ナット５４の上端面が座ぐり部４３に締め込まれているので、調整ねじ５１ａの心出しができた状態でプローブ５０がプローブホルダ４０に取り付けられる。同様にして全てのプローブ５０をプローブホルダ４０に組み付ける。
【００２２】
このように構成されたプローブ装置３０では、プローブホルダ４０にプローブ５０を外周部からのねじ止めする必要がないため、１列乃至２列あるいはコの字形乃至ロの字形に配置する必要がない。すなわち、プローブホルダ４０の任意の位置に貫通孔４２を取り付けることができる。したがって、プローブホルダ４０を大型にすることなく、多数のプローブ５０を保持することが可能である。このため、ガイドチップ３６に対するプローブ針５５の傾斜角度を小さくできることとなり、プローブ５０の動作不良、プローブ針５５の破損等を防止することが可能である。また、図４は本発明のプローブ装置３０により電子部品Ｗの電極Ｗａにプローブ５０の針端子５５ａを当接させたものである。
【００２３】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】
本発明によれば、プローブホルダを大型化することなく多くのプローブを効率よく保持することができるプローブ装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るプローブ装置を示す縦断面図。
【図２】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダの要部及びプローブを示す縦断面図。
【図３】同プローブ装置に組み込まれたプローブホルダを示す底面図。
【図４】同プローブ装置により電子部品の電極にプローブの針端子を当接した説明図。
【図５】従来のプローブ装置を示す縦断面図。
【符号の説明】
３０…プローブ装置
３１…ハウジング
３６…ガイドチップ
４０…プローブホルダ
４２…貫通孔
４３…座ぐり部
４４…雌ねじ部
４５…ガイド孔
５０…プローブ
５１…プローブ本体
５１ａ…調整ねじ
５３…基準シャフト
５４…固定ナット
【図１】
0003978314.tif 000002
【図２】
0003978314.tif 000003
【図３】
0003978314.tif 000004
【図４】
0003978314.tif 000005
【図５】
0003978314.tif 000006