(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開口部が後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置にファンフィルタユニットを配設し、クリーンボックスの天井部にファンフィルタユニットの吸気部を形成し、開口部を排気部とし、クリーン搬送車が走行する際は、クリーンボックスの開口部を台車後方向に向けるようにし、また、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーション側に開口部を向けて、クリーンボックス内の清浄な空気をステーション側に吹き込むようにしたことを特徴とするクリーン搬送車。
【請求項２】
クリーンボックスを、台車上に配設したカセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するようにしたことを特徴とする請求項１記載のクリーン搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーン搬送車に関し、特に、カセット等の搬送物を収容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに保持できるようにしたクリーン搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、クリーンルーム内で使用されるカセット等の搬送物を収容するようにしたクリーンボックスを備えたクリーン搬送車として、例えば、特開平１１−３０１４７５号公報に示されるものがある。
このクリーン搬送車は、搬送時における搬送物の汚染を防止するために、搬送車内部で生じた発塵を車体下部に設けたファンフィルタユニットで補足し、清浄な空気を搬送車外部へ排気するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のクリーンルーム内で使用されるクリーン搬送車は、移載時には、停止したステーションの装置側から空気が搬送車内に流入し搬送車が汚染されることがあった。
また、この従来のクリーン搬送車は、ファンフィルタユニットが２個必要であり、これにより、フィルタの点検や定期交換の維持費が増加するという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来のクリーンルーム内で使用されるクリーン搬送車が有する問題点に鑑み、カセット等の搬送物を収容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに保持できるようにしたクリーン搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のクリーン搬送車は、カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開口部が後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置にファンフィルタユニットを配設し、クリーンボックスの天井部にファンフィルタユニットの吸気部を形成し、開口部を排気部とし、クリーン搬送車が走行する際は、クリーンボックスの開口部を台車後方向に向けるようにし、また、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーション側に開口部を向けて、クリーンボックス内の清浄な空気をステーション側に吹き込むようにしたことを特徴とする。
【０００６】
このクリーン搬送車は、カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開口部が台車前方向又は後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置にファンフィルタユニットを配設し、開口部を排気部とすることから、クリーン搬送車が走行する際は、クリーンボックスの開口部を台車後方向に向けて、ファンフィルタユニットから清浄な空気をクリーンボックス内に吹き込むようにするとともに、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーション側に開口部を向けて、クリーンボックス内の清浄な空気をステーション側に吹き込むことができ、これにより、クリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに保持することができる。
そして、クリーンボックスの天井部に吸気部を形成することにより、クリーンボックス内を流通した空気の逆流を確実に防止することができ、搬送物を収容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を高レベルに確実に保持することができる。
【０００７】
この場合において、クリーンボックスを、台車上に配設したカセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するように構成することができる。
【０００８】
これにより、駆動機構を簡易に構成することができるとともに、クリーンボックスとカセット等の搬送物の移載装置の同期を確実にとることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のクリーン搬送車の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１〜図６に、クリーン搬送車の参考例を示す。
このクリーン搬送車Ａは、下部に配設した車輪２により走行可能とした台車１と、この台車１に旋回可能に配設したカセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１と、この移載装置Ａ１と共に旋回するように構成したクリーンボックスＡ２とより構成する。
【００１１】
台車１は、下部に走行用の車輪２を備え、車輪２を台車１内に配設したモータ等の駆動装置（図示省略）より走行可能とする。
【００１２】
カセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１は、台車１の上部に旋回軸受け部７を介して旋回可能に旋回フレーム３を支持し、この旋回フレーム３に取り付けた旋回ギヤ６に、旋回モータ４に取り付けた旋回ピニオン５を噛合し、旋回モータ４の正逆選択駆動により、旋回ピニオン５及び旋回ギヤ６を介して旋回フレーム３を正方向又は逆方向に選択的に旋回するようにし、さらにこの旋回フレーム３に昇降フレーム８を配設して構成されている。
【００１３】
旋回フレーム３に配設する昇降フレーム８は、旋回フレーム３に対し昇降可能に支持され、昇降フレーム８の側面で、その高さ方向に沿って配設した昇降ギヤ９に、旋回フレーム３に配設した昇降ピニオン１０を噛合し、かつ昇降ピニオン１０を昇降モータ（図示省略）の正逆選択駆動により、昇降フレーム８を旋回フレーム３にて支持しつつ、上昇又は降下するように構成されている。
【００１４】
そして、昇降フレーム８の上部のクリーンボックスＡ２内となる位置に、移載手段Ｃを配設する。
この移載手段Ｃは、移載底板１２、移載中板１６及び移載上板１７の３個の板状部材を重ねて互いにスライドして伸縮するように構成し、この移載手段Ｃが伸長したとき、移載上板１７がクリーンボックスＡ２の側部外方位置に突出するようになり、これにより、ステーション側の装置１８とクリーン搬送車Ａ間で、カセット等の搬送物１３の移載を行うことができるようにする。
なお、カセット等の搬送物１３は、この伸縮する移載手段Ｃの移載上板１７の上に載置される。
【００１５】
この場合、旋回フレーム３の旋回可能な角度は、特に限定されるものではないが、少なくとも、移載装置Ａ１の移載手段Ｃが、クリーン搬送車Ａの走行方向となる台車前方向位置を挟んで、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の装置１８に対向する位置間の１８０度の範囲となるように設定する。
【００１６】
移載装置Ａ１の外側面には、台車１の外側面を含めて、そのほぼ全面を覆うようなカバー１４を配設するようにする。
【００１７】
一方、クリーンボックスＡ２は、クリーンボックス本体１１の支持部１１ａを介して移載装置Ａ１の旋回フレーム３上に載置することにより、移載装置Ａ１の旋回フレーム３と共に旋回するように構成する。
そして、クリーンボックスＡ２を構成するクリーンボックス本体１１は、内部にカセット１３を収納できるように板材を屈曲して形成するとともに、カセット等の搬送物１３の移載を行うための開口部１１ｂを一側面に形成するとともに、この開口部１１ｂと対向する位置に排気部２０を形成するようにする。
これにより、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを、クリーン搬送車Ａの走行方向となる台車前方向位置と、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の装置１８に対向する位置に、選択的に位置させることができるようにする。
【００１８】
また、排気部２０は、開口部１１ｂと対向する背面板１１ｃの前面に所定の間隔をあけて、多数の小孔を形成した整流板２１を配設するとともに、背面板１１ｃと整流板２１の間に形成した空間を下方に向けて開放して構成することにより、クリーンボックス本体１１内を流通した空気が、整流板２１を介して台車１の下方に向けて排出されるようにする。
【００１９】
また、クリーン搬送車Ａの台車１には、台車前方向位置で、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂがクリーン搬送車Ａの走行方向となる台車前方向位置にあるとき、この開口部１１ｂと対向するように、ファンフィルタユニット１９を配設する。
このファンフィルタユニット１９は、特に限定されるものではないが、例えば、ファンとＨＥＰＡフィルタでもって構成し、ファンフィルタユニット１９から清浄な空気をクリーンボックス本体１１内に吹き込むことができるようにする。
【００２０】
次に、このクリーン搬送車Ａの動作について説明する。
このクリーン搬送車Ａは、クリーン搬送車Ａが走行する際は、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを、台車前方向位置に配設したファンフィルタユニット１９に向けるようにして、ファンフィルタユニット１９から清浄な空気をクリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを介してクリーンボックス本体１１内に吹き込むようにする。
一方、カセット等の搬送物１３の移載を行う際は、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の装置１８に対向する側に向けて、ステーション側から清浄な空気をクリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを介してクリーンボックス本体１１内に吹き込むようにする。
そして、いずれの場合も、クリーンボックス本体１１内を流通した空気が、整流板２１を介して、背面板１１ｃと整流板２１の間に形成した空間に導入され、この空間を通って台車１の下方に向けて排出されるようにする。
【００２１】
さらに、図７〜図１１を参照して、本発明のクリーン搬送車の一実施例を説明する。
このクリーン搬送車Ａは、下部に配設した車輪２により走行可能とした台車１と、この台車１に旋回可能に配設したカセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１と、この移載装置Ａ１と共に旋回するように構成したクリーンボックス１１とを備えており、クリーンボックス１１は、カセット等の搬送物１３の移載を行うための開口部１１ｂが一側面に形成されるとともに、台車１上に配設した移載装置Ａ１と共に旋回するように構成されている。
そして、このクリーン搬送車Ａは、クリーンボックス１１の開口部１１ｂと対向する位置にファンフィルタユニット１９が配設され、このクリーンボックス１１の開口部１１ｂが排気部とされるとともに、クリーンボックス１１の天井部に吸気部１５が形成されている。
【００２２】
台車１は、下部に走行用の車輪２を備え、車輪２を台車１内に配設したモータ等の駆動装置（図示省略）より走行可能とする。
【００２３】
カセット等の搬送物１３の移載装置Ａ１は、図９に示すように、台車１の上部に旋回軸受け部７を介して昇降フレーム３を支持し、この旋回フレーム３に取り付けた旋回ギヤ６に、旋回モータ４に取り付けた旋回ピニオン５を噛合し、旋回モータ４の正逆選択駆動により、旋回ピニオン５及び旋回ギヤ６を介して旋回フレーム３を正方向又は逆方向に選択的に旋回するようにし、さらにこの旋回フレーム３に昇降フレーム８を配設して構成されている。
【００２４】
旋回フレーム３に配設する昇降フレーム８は、図９に示すように、旋回フレーム３に対し昇降可能に支持され、昇降フレーム８の側面で、その高さ方向に沿って配設したリニアガイド８ａによって上下方向に移動可能とする。
昇降フレーム８は、図示しないボールスクリューあるいはラック・ピニオンにより昇降モータによって駆動する。
【００２５】
移載装置Ａ１は、図９に示すように、昇降フレーム８の上に配設されたクリーンボックス１１の内となる位置に配設されている。
この移載装置Ａ１は、移載底板１２、移載中板１６及び移載上板１７の３個の板状部材を重ねて互いにスライドして伸縮するように構成し、この移載装置Ａ１が伸長駆動したときに、移載上板１７がクリーンボックス１１の側部外方位置に突出するようになり、これにより、ステーション側の製造装置１８とクリーン搬送車間で、カセット等の搬送物１３の移載を行うことができる。
また、移載装置Ａ１の外側面には、台車１の外側面を含めて、そのほぼ全面を覆うようなカバー１４が配設されている。
なお、カセット等の搬送物１３は、この伸縮する移載装置Ａ１の移載上板１７の上に載置される。
【００２６】
この場合、旋回フレーム３の旋回可能な角度は、特に限定されるものではないが、少なくとも、移載装置Ａ１が、クリーン搬送車の走行方向となる台車前方向位置を挟んで、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の装置１８に対向する位置間の１８０度の範囲となるように設定する。
【００２７】
一方、クリーンボックスＡ１は、クリーンボックス本体１１の支持部１１ａを介して移載装置Ａ１の昇降フレーム８上に載置することにより、昇降フレーム８と共に旋回するように構成されている。
【００２８】
そして、クリーンボックスＡ１を構成するクリーンボックス本体１１は、内部にカセット等の搬送物１３を収納できるように板材を屈曲して形成されるとともに、搬送物１３の移載を行うための開口部１１ｂが一側面に形成され、この開口部１１ｂと対向する位置にファンフィルタユニット１９が設置されている。
【００２９】
ファンフィルタユニット１９は、クリーンボックス１１の旋回中に搬送車の車体１との干渉を最小にするために、円弧状（かまぼこ状）の断面形状とし、搬送物１３の側面にフィルタの濾紙２３を設置しいてる。
そして、クリーンボックス１１の天井部に吸引ファン２２を設置し、搬送車上部からクリーンルーム内の空気を吸引し、濾紙２３で空気を濾過して、清浄な空気を搬送物１３の側面から開口部１１ｂに向けて流す。
【００３０】
これにより、クリーンボックス本体１１の開口部１１ｂを、クリーン搬送車の走行方向となる台車前方向位置と、カセット等の搬送物１３の移載を行う台車両側方位置、すなわち、ステーション側の製造装置１８に対向する位置に、選択的に移動できるようにする。
【００３１】
また、クリーン搬送車からの排気については、開口部１２と対向する台車の車体部に所定の間隔をあけて、多数の小孔を形成した通気部を形成する。
これにより、吸引ファン２２から吸引した空気は、図７に示すように、クリーン搬送車が進行方向に走行する際には、クリーンボックス１１を通過し、車体の通気口２４、２５を通って車体後部から整流して排気される。
【００３２】
図１０（ａ）は、クリーン搬送車の移載中の空気の流れを示し、吸引ファン２２から吸引された空気は、濾紙２３で濾過された後、搬送物１３の周囲を通過して開口部１１ｂから排気される。
また、図１０（ｂ）は、クリーン搬送車の走行中の気流を示し、吸引ファン２２から吸引された空気は、濾紙２３で濾過された後、搬送物１３の周囲を通過して車体の通気口２４、２５を介して車体後部から排気される。
【００３３】
かくして、本実施例のクリーン搬送車は、開口部１１ｂを一側面に形成し搬送物１３を収容するようにしたクリーンボックス１１を、前記開口部１１ｂが台車の後方向位置と側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設するとともに、クリーンボックス１１にファンフィルタユニット１９を配設することから、クリーン搬送車が走行する際は、ファンフィルタユニット１９から清浄な空気をクリーンボックス１１内に吹き込むようにして、開口部１１ｂから台車後方に排気するとともに、搬送物１３の移載を行う際は、開口部１１ｂを台車側方のステーション側に向けて、ステーション側に清浄な空気をクリーンボックス内から吹き出すことができる。
これにより、クリーンボックス下部の旋回装置や昇降装置等の発塵源とクリーンボックスを分離して搬送物を収容することができ、さらに、車体の上部から吸引することにより、搬送車の走行による発塵からも吸気部を隔離することができ、クリーンボックス内のクリーン度を、常時、高レベルに保持することができる。
また、従来のように、ファンフィルタユニットを台車に固定的に設置した場合は、移載のためにクリーンボックスを旋回させたときに、ファンフィルタユニットの濾過された空気の流れがクリーンボックスで遮られることになり、空気の乱流によりクリーンボックス下部の移載装置Ａ１で発生する発塵が舞い上がりやすくなる。
このため、従来のクリーン搬送車では、発塵の舞い上がりを防止するために強制的に車体下部に気流を流す排気ファンが別途必要となるが、本実施例のクリーン搬送車のように、ファンフィルタユニット１９をクリーンボックス１１と共に旋回させることにより、このような排気ファンを省略することができる。
【００３４】
以上、本発明のクリーン搬送車について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
また、上記実施例のクリーン搬送車において、例えば、図１１に示すように、車体後部の車体の一部を省略し、クリーンボックスから直接排気することで、車体構造を簡略化し、軽量化することもできる。
車体後部の通気孔は、搬送車が複数車線で走行し、停車中の搬送車の横を隣接する車線の搬送車が追い越しをする場合、追い越しする搬送車の風圧で気流がクリーンボックスに逆流することを防止する効果があるが、追い越しのない単車線の運行では図１１に示す構成は有効である。
【００３５】
【発明の効果】
本発明のクリーン搬送車によれば、カセット等の搬送物の移載を行うための開口部を一側面に形成し、前記搬送物を収容するようにしたクリーンボックスを、前記開口部が台車前方向又は後方向位置と台車側方位置間で旋回可能となるように台車上に配設するとともに、クリーンボックスの開口部と対向する位置にファンフィルタユニットを配設し、開口部を排気部とすることから、クリーン搬送車が走行する際は、クリーンボックスの開口部を台車後方向に向けて、ファンフィルタユニットから清浄な空気をクリーンボックス内に吹き込むようにするとともに、搬送物の移載を行う際は、台車側方のステーション側に開口部を向けて、クリーンボックス内の清浄な空気をステーション側に吹き込むことができ、これにより、クリーンボックス内のクリーン度を常時高レベルに保持することができる。
そして、クリーンボックスの天井部に吸気部を形成することにより、クリーンボックス内を流通した空気の逆流を確実に防止することができ、搬送物を収容するようにしたクリーンボックス内のクリーン度を高レベルに確実に保持することができる。
【００３６】
さらに、クリーンボックスを、台車上に配設したカセット等の搬送物の移載装置と共に旋回するように構成することにより、駆動機構を簡易に構成することができるとともに、クリーンボックスとカセット等の搬送物の移載装置の同期を確実にとることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  クリーン搬送車の参考例を示す正面断面図である。
【図２】  同カセット移載時の状態を示す正面断面図である。
【図３】  同クリーンボックスを示す外観斜視図である。
【図４】  同クリーン搬送車の側面図である。
【図５】  同クリーン搬送車の走行時の空気の流れを示す平面図である。
【図６】  同クリーン搬送車の搬送物の移載時の空気の流れを示す平面図である。
【図７】  本発明のクリーン搬送車の一実施例を示す側面図である。
【図８】  同クリーンボックスを示す外観斜視図である。
【図９】  同カセット移載時の状態を示す正面断面図である。
【図１０】  同クリーン搬送車を示し、（ａ）は走行時の気流の流れを示す平面断面図、（ｂ）は移載時の気流の流れを示す平面断面図である。
【図１１】  車体後部を省略した走行中のクリーン搬送車を示す側面図である。
【符号の説明】
Ａ    クリーン搬送車
Ａ１  移載装置
Ａ２  クリーンボックス
Ｃ    移載手段
１    台車
２    車輪
３    旋回フレーム
４    旋回モータ
５    旋回ピニオン
６    旋回ギヤ
７    旋回軸受け部
８    昇降フレーム
９    昇降ギヤ
１０  昇降ピニオン
１１  クリーンボックス本体
１１ａ  支持部
１１ｂ  開口部
１１ｃ  背面板
１３  搬送物（カセット）
１４  カバー
１５  吸気部
１８  ステーション側の製造装置
１９  ファンフィルタユニット
２０  排気部
２１  整流板
２２  吸引ファン
２３  濾紙
２４  車体内側の通気口
２５  車体外側の通気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003882139.tif 000008
【図８】
0003882139.tif 000009
【図９】
0003882139.tif 000010
【図１０】
0003882139.tif 000011
【図１１】
0003882139.tif 000012