(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の磁性部材を周方向に沿って順次着磁し、多数の磁極が周方向に並ぶ多極磁化環状体とする多極磁化環状体の着磁装置において、
上記磁性部材を保持して回転させるスピンドル装置と、このスピンドル装置に保持された磁性部材の表裏にそれぞれ対面するように一対の対向端部が配置され上記磁性部材に磁束を貫通させる着磁ヨークと、この着磁ヨークを直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段と、上記スピンドル装置を回転駆動するモータと、このモータの回転速度を検出するエンコーダと、このエンコーダの検出信号によって上記モータの回転速度を制御する回転速度制御手段と、上記磁性部材の着磁強度を検出し、この検出信号により上記着磁ヨークによる着磁力を制御する着磁制御手段とを備え、上記エンコーダの原点信号に基づいて、上記着磁制御手段により、着磁開始位置と着磁電流を制御するようにし、上記磁性部材を着磁する電源を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設け、上記着磁制御手段により、一方の磁極の着磁となる奇数番目の着磁電流を大きくし、他方の磁極の着磁となる偶数番目は着磁電流を小さくすることにより、Ｎ極とＳ極の着磁強度を揃えることを特徴とする多極磁化環状体の着磁装置。
【請求項２】
環状の磁性部材を周方向に沿って順次着磁し、多数の磁極が周方向に並ぶ多極磁化環状体とする多極磁化環状体の着磁装置において、
上記磁性部材を保持して回転させるスピンドル装置と、このスピンドル装置に保持された磁性部材の表裏にそれぞれ対面するように一対の対向端部が配置され上記磁性部材に磁束を貫通させる着磁ヨークと、この着磁ヨークを直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段と、上記スピンドル装置を回転駆動するモータと、このモータの回転速度を検出するエンコーダと、このエンコーダの検出信号によって上記モータの回転速度を制御する回転速度制御手段と、上記磁性部材の着磁強度を検出し、この検出信号により上記着磁ヨークによる着磁力を制御する着磁制御手段とを備え、上記エンコーダの原点信号に基づいて、上記着磁制御手段により、着磁開始位置と着磁電流を制御するようにし、上記磁性部材を着磁する電源を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設け、上記磁性部材が円筒部から鍔部が突出した断面Ｌ字状の形状であり、上記着磁ヨークの対向端部のうち、磁性部材の鍔の突出しない周面に対面する端部が、磁性部材の円筒部の全幅に対面し、背面側のヨーク端部は、鍔部に干渉しないように幅狭のものとする非対称形状にすることを特徴とする多極磁化環状体の着磁装置。
【請求項３】
上記磁性部材が円筒部から鍔部が突出した断面Ｌ字状の形状であり、上記着磁ヨークの対向端部のうち、磁性部材の鍔の突出しない周面に対面する端部が、磁性部材の円筒部の全幅に対面し、背面側のヨーク端部は、鍔部に干渉しないように幅狭のものとする非対称形状にする請求項１に記載の多極磁化環状体の着磁装置。
【請求項４】
上記磁性部材の表裏に対面させる上記着磁ヨークの対向端部を、それぞれ尖塔形状とした請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の多極磁化環状体の着磁装置。
【請求項５】
上記Ｎ極，Ｓ極用の両電源と、上記着磁ヨークに巻かれたコイルとの接続の切替えを行う切替器を備え、上記着磁制御手段により、Ｎ，Ｓ各極の電源のパルス電流として供給する電流供給タイミング，電流の強さ、およびパルス幅の制御と、切替器の切替制御とが行われる請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の多極磁化環状体の着磁装置。
【請求項６】
上記着磁制御手段により、一方の極の着磁を複数回連続して行い、他方の極の着磁を複数回連続して行う動作を繰り返す請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の多極磁化環状体の着磁装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、回転センサとなる磁気エンコーダの磁気スケールや、モータのロータ等となる多極磁化環状体を製造するに際して、その着磁を行う多極磁化環状体の着磁装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
円筒状等の環状の磁性部材を周方向に順次着磁するインデックス着磁においては、従来、図１４に示すような方法が採られている。すなわち、ヨーク８１の磁気ギャップを形成する対向端部８１ａ，８１ｂを、磁性部材８０の表面に近接させ、コイル８２で励磁することにより、磁性部材８０に磁束を通し、磁性部材８０を着磁する方法である。このとき、磁性部材８０は回転させ、コイル８２の励磁電流を、回転速度に応じたパルス電流とすることにより、周方向の各部に順次着磁する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この方法で着磁された磁性部材８０は、高精度である反面、表層しか着磁できないため、着磁強度、つまり着磁された各電極Ｎ，Ｓの磁力が弱いという欠点がある。
【０００４】
この発明の目的は、狭ピッチの着磁が、高精度、高強度に行える多極磁化環状体の着磁装置を提供することである。この発明の他の目的は、広い着磁ピッチに対しても、着磁ヨークを交換することなく、着磁電流の制御によって高精度に着磁できるようにすることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明の多極磁化環状体の着磁装置は、環状の磁性部材（Ｗ）を周方向に沿って順次着磁し、多数の磁極が周方向に並ぶ多極磁化環状体とする多極磁化環状体の着磁装置において、上記磁性部材（Ｗ）を保持して回転させるスピンドル装置（１）と、このスピンドル装置（１）に保持された磁性部材（Ｗ）の表裏にそれぞれ対面するように一対の対向端部（９ａ，９ｂ）が配置され上記磁性部材（Ｗ）に磁束を貫通させる着磁ヨーク（９）と、この着磁ヨーク（９）を直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段（４）と、上記スピンドル装置（１）を回転駆動するモータ（２）と、このモータ（２）の回転速度を検出するエンコーダ（７）と、このエンコーダ（７）の検出信号によって上記モータ（２）の回転速度を制御する回転速度制御手段（１７）と、上記磁性部材（Ｗ）の着磁強度を検出し、この検出信号により上記着磁ヨーク（９）による着磁力を制御する着磁制御手段（１４）とを備え、上記エンコーダ（７）の原点信号に基づいて、上記着磁制御手段（１４）により、着磁開始位置と着磁電流を制御するようにし、上記磁性部材を着磁する電源を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設けたことを特徴とする。
この構成の着磁装置によると、上記磁性部材（Ｗ）をスピンドル装置（１）で保持して回転させながら、磁性部材（Ｗ）の表裏に一対の対向端部（９ａ，９ｂ）がそれぞれ対面する着磁ヨーク（９）により上記磁性部材（Ｗ）に磁束を貫通させて着磁を行うようにする。上記回転および着磁に際して、上記スピンドル装置（１）を回転駆動するモータ（２）の回転速度および原点位置をエンコーダ（７）により検出し、その検出信号によって上記モータ（２）の回転速度と着磁開始位置を制御する。この場合に、上記磁性部材（Ｗ）の着磁強度を磁気センサ（８）によって検出し、その検出信号によって、上記着磁ヨーク（９）に磁束を与える着磁電流を着磁制御手段（１４）により制御する。
【００１０】
この発明装置において、上記磁性部材（Ｗ）の表裏に対面させる着磁ヨーク（９）の対向端部（９ａ，９ｂ）を尖塔形状としても良い。
このように、着磁ヨーク（９）の磁性部材（Ｗ）に対面する端部（９ａ，９ｂ）を尖塔形状とすることにより、より一層狭ピッチで着磁することができる。
【００１１】
上記磁性部材（Ｗ）を着磁する電源（５）を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設けた。
このように、Ｎ極用の電源とＳ極用の電源（５ｎ，５ｓ）を別個に持つことにより、各極の着磁電流の微調整が可能になる。そのため、Ｎ極とＳ極の着磁強度を揃えることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施形態を図面と共に説明する。図１は、この多極磁化環状体の着磁装置の概念構成を示す。この着磁装置は、着磁対象となる磁性部材Ｗを保持して回転させるスピンドル装置１と、その回転駆動用のモータ２と、着磁ヘッド３と、この着磁ヘッド３を直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段４と、着磁電源５と、制御手段６とを備える。モータ２は、エンコーダ７を有する。また、スピンドル装置１に保持された磁性部材Ｗの磁気を検出する磁気センサ８が設けられている。
磁性部材Ｗは、着磁によって、磁気エンコーダの磁気スケール、またはモータのロータ等の多極磁化環状体とする部材であり、同図（Ｂ）に一部を拡大して示すように、環状の磁性体からなる。この例では、磁性部材Ｗは、着磁により、ラジアル型の回転式磁気エンコーダの磁気スケールとされる。
【００１３】
着磁ヘッド３は、着磁ヨーク９と励磁コイル１０とでなる。着磁ヨーク９は、同図（Ｂ）に拡大して示すように、磁気ギャップを形成する一対の対向端部９ａ，９ｂを有し、着磁のための磁束ａを磁性部材Ｗに貫通させるものである。これら対向端部９ａ，９ｂは、磁性部材Ｗの外周面および内周面からなる表裏にそれぞれ対面するものであり、磁性部材Ｗの円周方向に対して先端側が次第に幅狭となる尖塔形状とされている。対向端部９ａ，９ｂは、面取を施すことにより尖塔形状としてもよい。この対向端部９ａ，９ｂの先端の円周方向幅は、例えば０．５mm程度とされる。対向端部９ａ，９ｂの磁性部材Ｗの軸方向に対する幅は、一定幅とされている。
なお、磁性部材Ｗを、アキシアル型の磁気エンコーダの磁気スケールとする場合は、対向端部９ａ，９ｂは環状の磁性部材Ｗの両側の幅面からなる表裏にそれぞれ対面させる。その場合に、対向端部９ａ，９ｂは、磁性部材Ｗの円周方向に対して先端側が次第に幅狭となる尖塔形状とするが、磁性部材Ｗの半径方向に対する幅は、一定幅とされる。
【００１４】
図２に拡大して示すように、スピンドル装置１は、ハウジング１１に主軸１２を回転自在に支持したものであり、主軸１２の先端に、磁性部材Ｗを主軸１２と同心に保持するチャック１３を有している。スピンドル装置１は、回転振れや速度むらが少なく、かつインデックス精度に優れものが好ましく、例えば、静圧気体軸受（図示せず）により主軸１２を回転自在に支持する静圧気体軸受スピンドル装置が使用される。チャック１３は、磁性部材Ｗを内外の周面から挟み込むように保持するものとされる。チャック１３は、磁性部材Ｗの外径振れが最小となるように、磁性部材Ｗを保持できるものが好ましい。
【００１５】
モータ２は、回転精度に優れたものが必要であり、ブラシレスモータ等が用いられる。モータ２は、高精度な割出精度を確保するために、内蔵のエンコーダ７は、例えば（１０万パルス）／（１回転）以上を実現するものとされる。
磁性部材Ｗの磁極数に対して、１０００倍以上の分割数を持つエンコーダ７を持つモータ２であれば、着磁ピッチ誤差は±０．１％程度となる。エンコーダ７には、速度を示すパルスの他に原点信号となるパルスを出力するものが用いられる。
【００１６】
位置決め手段４は、着磁ヘッド３を直交する３軸方向（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の方向）に位置決めする手段であり、いわゆるＸ，Ｙ，Ｚテーブルが用いられる。位置決め手段４は、固定基台４ａ上にＸ軸テーブル４ｘを前後方向（Ｘ軸方向）に進退自在に設置し、Ｘテーブル４ｘにＹ軸テーブル４ｙを左右方向（Ｙ軸方向）に進退自在に設置し、Ｙ軸テーブル４ｙ上にＺ軸テーブル４ｚを上下移動自在に設置し、Ｚ軸テーブル４ｚに着磁ヘッド３を搭載している。各軸のテーブル４ｘ〜４ｚは、それぞれサーボモータなどの駆動源（図示せず）により進退駆動される。
【００１７】
図１において、着磁電源５は、着磁ヨーク９の励磁コイル１０に着磁電流を与える手段である。着磁電源５は、磁性部材ＷをＮ極に着磁する電流を与えるＮ極電源５ｎと、Ｓ極に着磁する電流を与えるＮ極電源５ｓとが個別に設けられ、切替器５ａにより、両電源５ｎ，５ｓと励磁コイル１０との接続の切替えが行われる。着磁電源５は、付属のコントローラとして、着磁制御手段１４を有していて、着磁制御手段１４により、Ｎ，Ｓ各極の電源５ｎ，５ｓのパルス電流として供給する電流供給タイミング，電流の強さ、およびパルス幅の制御と、切替器５ａの切替制御とが行われる。着磁制御手段１４は、マイクロコンピュータやその他の電子機器で構成される。
【００１８】
制御手段６は、着磁電源５と、スピンドル装置１と、位置決め手段４とを制御する手段であり、着磁電源５に備えられた上記の着磁制御手段１４と、その上位制御手段となる全体制御手段１５とを備える。全体制御手段１５は、パーソナルコンピュータ等からなる。全体制御手段１５の一部として、または全体制御手段１５の下位の制御手段として、スピンドル装置１のモータ２を制御するサーボコントローラ１６が設けられている。サーボコントローラ１６は、モータ２のエンコーダ７の検出信号によって、速度フィードバックを行う回転速度制御手段１７を有している。サーボコントローラ１６は、いわゆるソフトウェアサーボとされる。
制御手段６は、上記各手段の他に、位置決め手段４の各軸の駆動源（図示せず）を制御する手段（図示せず）を有している。制御手段６の詳細な機能は、以下の着磁方法の説明と共に説明する。
【００１９】
つぎに、着磁方法を説明する。磁性部材Ｗをスピンドル装置１で保持して回転させながら、磁性部材Ｗの表裏に対面する着磁ヨーク９により、図１（Ｂ）のように磁性部材Ｗに磁束ａを通して着磁を行う。このとき、着磁電流のオンオフおよび方向の切換を行うことにより、磁性部材ＷにＮ極とＳ極とが交互に周方向に並ぶように順次着磁を行い、多極着磁を実現する。
磁性部材Ｗの表裏に対面する着磁ヨーク９により、磁性部材Ｗに磁束を表裏に貫通させて着磁を行うため、磁性部材Ｗをその厚みの全体にわたるように深部まで着磁することができ、着磁強度を強くできる。また、着磁のためのヨーク９の磁気ギャップが磁性部材Ｗの円周方向ではなく、半径方向となるため、狭ピッチで着磁できる。着磁ヨーク９の対向端部９ａ，９ｂは尖塔形状とされているため、より一層、狭ピッチで着磁することができる。
着磁は、磁性部材Ｗを何回転も回転させながら、繰り返し行う。この場合に、スピンドル装置１の主軸２が一定速度（例えば１０ｒｐｍ）になってから、着磁を行う。着磁の始めは、着磁電流を次第に増加して、一定電流になってから複数回転（例えば５回転）着磁を繰り返し、終了時は電流を減少させて行く。この電流の増減過程は、電流をピークで見ると、台形とされる。
【００２０】
上記の着磁過程において、スピンドル装置１を回転駆動するモータ２の回転速度および原点位置をエンコーダ７により検出し、その回転速度の検出信号によって、モータ２の回転速度を回転速度制御手段１７で制御すると共に、着磁開始位置を、着磁電源５の着磁電流の供給タイミングによって制御する。また、着磁と共に、その着磁された磁性部材Ｗの各磁極の着磁強度を磁気センサ８によって検出し、その検出信号によって、着磁電流の強さを着磁制御手段１４により制御する。着磁制御手段１４は、磁気センサ８により、着磁強度の他に着磁ピッチ精度も検出し、磁性部材Ｗの回転の２周目以降の着磁ピッチの制御に反映させる。
【００２１】
このように、磁気センサ８を用いるため、着磁と同時に着磁結果を検査することができる。すなわち、着磁ヨーク９で着磁を行っているときに、その磁性部材Ｗの着磁済み部分の磁気を検出し、その検出結果を検査することができる。磁気センサ８による磁気の検出は、着磁強度と着磁ピッチとについて行われる。このように、着磁と同時に着磁結果を検査できるため、着磁の後に品質管理のための着磁強度と着磁ピッチの検査を行うことが省略でき、サイクルタイムの短縮に繋がる。例えば、出荷保証データとなる着磁強度と着磁ピッチのデータを、着磁時に得ることができる。
【００２２】
磁気センサ８による検出の結果、Ｎ極とＳ極の着磁強度がアンバランスとなった場合は、各極を着磁するときの着磁電流を調整することにより、アンバランスを緩和することができる。
着磁ピッチが不良である場合には、円周方向の着磁開始位置をずらして着磁すれば、良品となる場合があり、良品率を向上させることができる。この様子を、図４，図５と共に説明する。図４は、着磁された磁性部材Ｗの磁束分布を示したものである。同図から、円周方向で、磁束のベクトル、強度も異なっていることが分かる。この実施形態ではこの点に着目し、図５に示すように、原点信号（図５（Ａ））に対する着磁指令信号（同図（Ｃ））のずれ量Δを変化させる。これにより、１回目の着磁で不良であった磁性部材Ｗが、位置をずらせて着磁した２回目では良品となる場合があり、良品率を向上させることができる。
このとき、着磁開始位置と測定開始位置を一致させるように、ソフトウェアで補正するようにすれば、不良原因の調査に役立てることができる。
【００２３】
磁性部材Ｗを回転させるスピンドル装置１は、モータ２のエンコーダ７により原点信号が得られるため、この原点信号に基づいて、着磁開始位置を任意にコントロールすることができる。すなわち、原点信号（図５（Ａ）のパルス信号）の立ち上がりを、電気回路（図示せず）でチェックすることより、着磁制御手段１４は、まず原点位置であることを認識する。原点位置からどれくらい遅れた位置（ずれ量Δ）から着磁を開始するかは、着磁よりも前に予めフソトウェア等により着磁制御手段１４に設定しておく。そうすると、遅れ量をエンコーダパルス数（例えば、図５では３個）に換算することができる。そして、原点信号が立ち上がった後に、３個経ったら着磁指令信号（図５（Ｃ））を出すようにする。このようにして、着磁開始位置を任意にコントロールすることができる。
また、原点信号の立ち上がりの確認後、エンコーダパルスの立ち上がりをカウントし始め、同じパルス数で着磁開始信号と測定開始信号を出すと、着磁開始位置と測定開始位置を一致させることができる。
【００２４】
着磁指令信号は、着磁制御手段１４が出力する信号であり、各極電源５ｎ，５ｓは、この着磁指令信号の立ち上がりに応答して、図５（Ｄ），図６（Ｄ）に示すように所定電流値に達すると即座に低減するステップ応答の着磁電流を出力する。
図６を参考にしながら、着磁電流の制御について説明する。磁性部材Ｗを数十ｒｐｍの回転速度で回転させながら、原点信号とエンコーダパルス信号を参照して、ある一定間隔（磁極数に基づく間隔）で着磁指令を出すと、これに呼応して励磁コイル１０に着磁電流が流れ、着磁ヨーク９に磁束が流れ、磁性部材Ｗが着磁されることになる。
【００２５】
このように着磁電流を制御して着磁を行う場合に、ヨーク９の対向端部９ａ，９ｂの先端が狭まっていると、上記のように狭ピッチで着磁することが容易になる。しかし、着磁幅が大きくなると、着磁間隔の広がりのため、図７に示すように着磁強度が低下するという問題が生じる。
これに対して、図８に示すように、同極の着磁を細かい間隔で複数回ずつ連続して行う動作を繰り返せば、例えばＮ極の着磁を連続して３回、Ｓ極の着磁を連続して行う動作を繰り返せば、上記の課題が解決され、着磁幅が大きくても、着磁強度を確保することができる。例えば、磁極幅が２mmを超える場合に、このような同極の着磁を連続して行うことが効果的である。
【００２６】
また、着磁電源５として、図１に示すように、Ｎ極の電源５ｎとＳ極の電源５ｓとを別個に設けておくと、それぞれの電源５ｎ，５ｓの着磁電流を個別に微調整することができ、両極Ｎ，Ｓの着磁強度を極力同じにすることができる。
具体的には、図６で説明したようにしてエンコーダパルス信号の立ち上がり数をカウントし始め、例えば、いずれか一方の磁極（Ｎ極）の着磁となる奇数番目（１個目、３個目、５個目…）の着磁電流を大きくし、他方の磁極（Ｓ極）の着磁となる偶数番目は着磁電流を小さくすることにより、Ｎ極とＳ極の着磁強度を揃えることができる。
例えば、上記のように磁気センサ８による検出の結果、Ｎ極とＳ極の着磁強度がアンバランスとなった場合に、各極の着磁電流を上記のように調整することにより、アンバランスを緩和することができる。
【００２７】
上記構成の着磁装置において、図９に示すように、着磁する磁性部材Ｗが円筒部Ｗａから鍔部Ｗｂが突出した断面Ｌ字状の形状である場合、着磁ヨーク９の対向端部９ａ，９ｂは、非対称形状にすることが好ましい。すなわち、対向端部９ａ，９ｂのうち、磁性部材Ｗの鍔の突出しない周面に対面する端部９ａが、磁性部材Ｗの円筒部Ｗａの全幅に対面するものとする。背面側のヨーク端部９ｂは、鍔部９ｂに干渉しないように幅狭のものとする。この場合、対向端部９ａ，９ｂは、図１（Ｂ）の例のように尖塔形状とする。
このように、磁性部材Ｗの鍔の突出しない周面に対面する端部９ａが、磁性部材Ｗの円筒部Ｗａの全幅に対面するものであれば、背面側の端部９ｂが幅狭であっても、所望の強度が得られることが、磁場解析の結果、分かった。これは、鍔部Ｗｂを通って磁束が進むためである。
【００２８】
磁性部材Ｗがこのような断面Ｌ字状のものである場合に、図１０のように、着磁面の背面側のヨーク端部９ｂが鍔部Ｗｂに干渉しないように、軸方向にオフセットさせても良く、従来はこのようにオフセットさせていた。しかし、このようにオフセットさせた場合は、磁性部材Ｗの着磁面の全面をヨーク端部９ａが覆っていないため、着磁強度が弱くなる。
このような着磁強度の課題が、図９の例のように、一対の対向端部９ａ，９ｂの幅を非対称とすることで、つまり段付きとすることで改善される。図１１は、図１０に示す通常のヨーク９を用いた場合と、図９に示す段付きのヨーク９を用いた場合との軸方向着磁強度分布を比較して示すグラフである。同図から、図９の段付きヨークが優れていることが分かる。
【００２９】
なお、上記実施形態は、ラジアル型の多極磁化環状体の着磁の場合につき説明したが、この発明は、磁性部材Ｗを、アキシアル型の磁気エンコーダの磁気スケール等のように、アキシアル型の多極磁化環状体とする場合にも適用することができる。図１２，図１３は、その着磁装置の一例を示す。この実施形態の着磁装置は、着磁ヨーク９を、対向端部９ａ，９ｂが磁性部材Ｗの両側の幅面である表裏面に対面するものとし、またスピンドル装置１におけるチャック１３を、上記のような着磁ヨーク９の配置が可能となるように磁性部材Ｗを把持するものとする。その他の構成は上記実施形態と同じであるため、上記実施形態と対応する部分には同一符号を付し、その重複した説明を省略する。
【００３０】
【発明の効果】
この発明の多極磁化環状体の着磁装置によると、環状の磁性部材を周方向に沿って順次着磁し、多数の磁極が周方向に並ぶ多極磁化環状体とする多極磁化環状体の着磁装置において、上記磁性部材を保持して回転させるスピンドル装置と、このスピンドル装置に保持された磁性部材の表裏にそれぞれ対面するように一対の対向端部が配置され上記磁性部材に磁束を貫通させる着磁ヨークと、この着磁ヨークを直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段と、上記スピンドル装置を回転駆動するモータと、このモータの回転速度を検出するエンコーダと、このエンコーダの検出信号によって上記モータの回転速度を制御する回転速度制御手段と、上記磁性部材の着磁強度を検出し、この検出信号により上記着磁ヨークによる着磁力を制御する着磁制御手段とを備え、上記エンコーダの原点信号に基づいて、上記着磁制御手段により、着磁開始位置と着磁電流を制御するようにし、上記磁性部材を着磁する電源を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設けたため、狭ピッチの着磁が、高精度、高強度に行える。
磁性部材の表裏に対面させるヨークの対向端部を尖塔形状とした場合は、より一層、狭ピッチで着磁することができる。
磁性部材を着磁する電源を、Ｎ極用とＳ極用とに個別に設けたため、各極の着磁電流の微調整が可能で、Ｎ，Ｓ両極の着磁強度を高精度に揃えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）はこの発明の一実施形態にかかる多極磁化環状体の着磁装置の概念構成を示すブロック図、（Ｂ）はその着磁ヨークの対向端部の水平断面図である。
【図２】同着磁装置の機構部分の拡大破断正面図である。
【図３】同着磁装置の機構部分の平面図である。
【図４】着磁された磁性部材の磁束分布を示す説明図である。
【図５】原点検出から遅らせて着磁開始を行う場合の動作を示すタイミングチャートである。
【図６】着磁指令信号と着磁電流およびエンコーダパルスの関係を示すタイミングチャートである。
【図７】磁極幅と着磁強度の関係を示すグラフである。
【図８】同極の着磁を繰り返す場合の各信号の関係を示すタイミングチャートである。
【図９】同着磁装置の着磁ヨークの変形例を示す部分破断正面図である。
【図１０】同着磁装置の着磁ヨークの他の変形例を示す部分破断正面図である。
【図１１】図９，図１０の各着磁ヨークを用いた場合の着磁強度を比較して示すグラフである。
【図１２】この発明の他の実施形態にかかる同着磁装置の機構部分の拡大破断正面図である。
【図１３】同着磁装置の機構部分の平面図である。
【図１４】従来例の説明図である。
【符号の説明】
１…スピンドル装置
２…モータ
３…着磁ヘッド
４…位置決め手段
５…着磁電源
５ｎ…Ｎ極電源
５ｓ…Ｓ極電源
６…制御手段
７…エンコーダ
８…磁気センサ
９…着磁ヨーク
９ａ，９ｂ…対向端部
１０…励磁コイル
１４…着磁制御手段
１５…全体制御手段
１７…回転速度制御手段
Ｗ…磁性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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