(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリーを第１の遠心分離機に導いて、回収砥粒を含有する粗粒混合液体と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離し、前記粗粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて、さらに回収砥粒表面に付着する切削屑及び破砕砥粒を回収砥粒から分離して、回収砥粒混合液体と微粒混合液体とを取り出し、前記第１の遠心分離機から取り出した微粒混合液体と前記第２の遠心分離機から取り出した微粒混合液体とを高密度電場発生装置の高密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の微粒固体を前記高密度電場装置の電極に付着させて前記微粒固体と回収切削液体とを分離し、更に、前記第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に導く粗粒混合液体に、回収切削液体と新規の切削液体の少なくとも一方を適量混合することにより２段漉しを行わせ、前記第２の遠心分離機により分離した前記回収砥粒混合液体と前記高密度電場発生装置により分離した回収切削液体とを混合し、砥粒スラリーとして再使用することを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生方法。
【請求項２】
ワイヤソーからの使用後の砥粒スラリーを導入して回収砥粒を含有する粗粒混合液体と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離する第１の遠心分離機と、該第１の遠心分離機にて分離した前記粗粒混合液体をさらに回収砥粒表面に付着する切削屑及び破砕砥粒を分離した回収砥粒混合液体と微粒混合液体とに分離する第２の遠心分離機と、前記第１の遠心分離機から取り出した微粒混合液体と前記第２の遠心分離機から取り出した微粒混合液体とを回収して攪拌する微粒混合液体回収タンクと、該微粒混合液体回収タンクから導入した微粒混合液体に高密度電場を作用させて微粒混合液体中の微粒固体を電極に付着させる高密度電場発生装置と、前記第２の遠心分離機で分離された回収砥粒混合液体と前記高密度電場発生装置で分離された回収切削液体を導入すると共に新規の砥粒と新規の切削液体とを導入して砥粒スラリーをワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを備え、更に、前記第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に粗粒混合液体を供給する連絡管に、前記回収切削液体を調整弁を介して導入する導入管と、新規の切削液体を調整弁を介して導入する導入管の少なくとも一方を備えたことを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェハー等の切削或いは切断加工を行うワイヤソーの砥粒を循環使用できるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりシリコンウェハー等を切削加工するための装置として、ワイヤソーが用いられている。
【０００３】
ワイヤソーは、高速で移動するワイヤに、炭化ケイ素（シリカ）系の切削材としての砥粒（粒径＝１８．５〜２１．５ミクロン程度、比重ρ＝３．２程度）と、切削液体（通常鉱物性オイルに水、各種添加剤を混ぜたもの）とを混合した砥粒スラリーを供給することにより、シリコンウェハー等を切削加工するようにしている。
【０００４】
図４は上記従来のワイヤソーに用いられる砥粒スラリーの供給経路を示したブロック図であり、図中１は図示しないワイヤを備えてシリコンウェハー等の切削加工を行うワイヤソーであり、該ワイヤソー１には、スラリー供給装置２からの砥粒スラリー３が供給されるようになっている。
【０００５】
スラリー供給装置２は、スラリー供給槽４を備えており、該スラリー供給槽４に、新規の砥粒５と新規の切削液体６を所要の割合になるように計量供給して、撹拌装置７にて撹拌することにより均一濃度の砥粒スラリー３を生成させるようにし、該スラリー供給槽４内の砥粒スラリー３を、供給ポンプ８を備えた供給管９により前記ワイヤソー１の上部まで供給して、供給弁１０を備えた下向供給管１１により前記ワイヤソー１に供給し、又前記供給管９における供給弁１０の手前位置と前記スラリー供給槽４との間を戻り管１２にて接続することにより、前記供給弁１０が閉止の時に砥粒スラリー３を循環させて供給管９内に砥粒５が沈澱するのを防止している。
【０００６】
また、前記ワイヤソー１に供給されて切削加工に使用され、これにより切削屑及び破砕した砥粒を含有する使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３を備えた排出管１４を介して廃棄物処理装置１５に供給するようにしている。
【０００７】
廃棄物処理装置１５では、前記使用後の砥粒スラリー３’を導入して、砥粒とその破砕粒子及び切削屑等からなる固形廃棄物１６と、切削液体からなる液体廃棄物１７とに分離し、上記固形廃棄物１６と液体廃棄物１７は、夫々廃棄物として処理するようにしている。
【０００８】
しかし、図４に示した従来方式においては、砥粒スラリー３を使い捨てとしているために、常に高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６とを供給する必要があり、運転コストが増加するという問題を有していた。また、固形廃棄物１６と液体廃棄物１７の廃棄量が多くなり、環境保全上の問題を有すると共に、廃棄物の処理のための費用も増加するという問題がある。
【０００９】
この問題に対処するために、前記使用後の砥粒スラリー３’から砥粒と切削液体を回収して、繰り返し使用する方法として、遠心分離機を２段に設けたり、或いは遠心分離機と濾過膜等を組み合わせた機械的・物理的分離方法が提案されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、遠心力による分離の効率は、分散粒子の粒径の２乗、及び分散粒子と分散溶媒（液体）の密度差（比重差）に比例する関係にあることが知られており、従ってシリコンウェハーの切削屑のように粒径が非常に小さく（数ミクロン程度）、且つ砥粒及び切削液体に対する比重差が小さい切削屑を遠心分離機で効率よく分離することは困難である。
【００１１】
また、濾過膜を用いた分離においても、使用後の砥粒スラリーの粘度が高い（１５０〜２００ｃｐ）こと、切削屑の粒径が小さいことから膜の詰まりを生じやすく、処理量が小さい等の点から、連続生産ラインに使用する上で問題が多い。
【００１２】
本発明は、かかる従来方式のもつ問題点を解決すべくなしたもので、使用後の砥粒スラリーから砥粒と切削液体とを効率的に分離回収して再使用することにより、新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を極力少なくすると共に、廃棄物の発生量を著しく減少させることができるようにしたワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ワイヤソーに用いた使用後の砥粒スラリーを第１の遠心分離機に導いて、回収砥粒を含有する粗粒混合液体と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離し、前記粗粒混合液体を第２の遠心分離機に導いて、さらに回収砥粒表面に付着する切削屑及び破砕砥粒を回収砥粒から分離して、回収砥粒混合液体と微粒混合液体とを取り出し、前記第１の遠心分離機から取り出した微粒混合液体と前記第２の遠心分離機から取り出した微粒混合液体とを高密度電場発生装置の高密度電場内に通すことにより、微粒混合液体中の微粒固体を前記高密度電場装置の電極に付着させて前記微粒固体と回収切削液体とを分離し、更に、前記第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に導く粗粒混合液体に、回収切削液体と新規の切削液体の少なくとも一方を適量混合することにより２段漉しを行わせ、前記第２の遠心分離機により分離した前記回収砥粒混合液体と前記高密度電場発生装置により分離した回収切削液体とを混合し、砥粒スラリーとして再使用することを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生方法、に係るものである。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、ワイヤソーからの使用後の砥粒スラリーを導入して回収砥粒を含有する粗粒混合液体と微細な切削屑及び破砕砥粒を含有する微粒混合液体とに分離する第１の遠心分離機と、該第１の遠心分離機にて分離した前記粗粒混合液体をさらに回収砥粒表面に付着する切削屑及び破砕砥粒を分離した回収砥粒混合液体と微粒混合液体とに分離する第２の遠心分離機と、前記第１の遠心分離機から取り出した微粒混合液体と前記第２の遠心分離機から取り出した微粒混合液体とを回収して攪拌する微粒混合液体回収タンクと、該微粒混合液体回収タンクから導入した微粒混合液体に高密度電場を作用させて微粒混合液体中の微粒固体を電極に付着させる高密度電場発生装置と、前記第２の遠心分離機で分離された回収砥粒混合液体と前記高密度電場発生装置で分離された回収切削液体を導入すると共に新規の砥粒と新規の切削液体とを導入して砥粒スラリーをワイヤソーに供給するスラリー供給装置とを備え、更に、前記第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に粗粒混合液体を供給する連絡管に、前記回収切削液体を調整弁を介して導入する導入管と、新規の切削液体を調整弁を介して導入する導入管の少なくとも一方を備えたことを特徴とするワイヤソー砥粒スラリーの再生装置。
【００１６】
上記手段によれば、以下のように作用する。
【００１７】
請求項１及び２に記載の発明では、第１の遠心分離機で使用後の砥粒スラリーが粗粒混合液体と微粒混合液体とに分離され、且つ第２の遠心分離機で粗粒混合液体がさらに回収砥粒混合液体と微粒混合液体とに分離され、第１、第２の遠心分離機で分離された微粒混合液体は、高密度電場発生装置で微粒固体と回収切削液体とに分離され、回収切削液体と第２の遠心分離機で分離された回収砥粒混合液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、使用後の砥粒スラリーから回収切削液体と回収砥粒混合液体を効率良く分離・回収することができ、高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減して、運用コストを大幅に低減できる。更に、廃棄物の発生量を著しく減少することができる。
【００１８】
更に、第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に導く粗粒混合液体に、回収切削液体と新規の切削液体の少なくとも一方を適量混合するようにしているので、回収切削液体又は新規の切削液体或いはその両方によって、第２の遠心分離機に導かれる粗粒混合液体中の回収砥粒の表面に付着した微細な粒径のシリコン及び破砕砥粒が洗い流されるようにして"２段漉し"が掛けられることにより、回収砥粒とシリコン及び破砕砥粒とのより完全な分離が可能になる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図示例と共に説明する。
【００２０】
図１は本発明を実施する形態の一例を示す系統ブロック図であり、図４と同様のワイヤソー１にて使用された使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３を備えた排出管１４を介して使用済みスラリー貯留槽１８に供給されるようになっている。該使用済みスラリー貯留槽１８は、撹拌装置１９を備えて使用後の砥粒スラリー３’の砥粒が沈澱するのを防止するようにしている。
【００２１】
図１中２０は第１の遠心分離機であり、該第１の遠心分離機２０は、前記使用済みスラリー貯留槽１８内の使用後の砥粒スラリー３’を、ポンプ２１を備えた導入管２２を介して導入するようにしている。そして、第１の遠心分離機２０において、使用後の砥粒スラリー３’のうち、粗粒で比重の大きい（平均粒径２０ミクロン、比重３．１６）砥粒分を重点的に分離するようにしている。
【００２２】
即ち、第１の遠心分離機２０で、使用後の砥粒スラリー３’を、回収すべき砥粒を含有する粗粒混合液体２３と、廃棄すべき切削屑（シリコン；平均粒径数ミクロン、比重２．２）、或いは切削屑及び破砕砥粒（平均粒径数ミクロン）を含有する微粒混合液体２４とに分離するようにしている。
【００２３】
前記第１の遠心分離機２０としては、例えばデカンタ型遠心分離機を用いて、遠心効果により前記砥粒スラリー３’に１００〜１０００Ｇ（通常では４００〜５００Ｇ）を与えることにより、前記粗粒混合液体２３と、微粒混合液体２４とに効果的に分離することができる。また、前記第１の遠心分離機２０には、前記デカンタ型遠心分離機の他に、液体サイクロン、濾過機、分離板型遠心分離機等の機械的、物理的分離装置も用いることができる。
【００２４】
第１の遠心分離機２０の下流側には、第２の遠心分離機２５と微粒混合液体回収タンク２６が並列に設置してある。そして、第１の遠心分離機２０で分離された粗粒混合液体２３は連絡管４１により第２の遠心分離機２５に供給され、一方、微粒混合液体２４は微粒混合液体回収タンク２６に供給されるようになっている。
【００２５】
粗粒混合液体２３には、微細な粒径のシリコン及び破砕砥粒が回収砥粒の表面に付着した形で未だ残っているので、第２の遠心分離機２５によって、いわゆる“２段漉し”を掛けることにより回収砥粒とシリコン及び破砕砥粒とのより完全な分離を行うようにしている。
【００２６】
更に、切削液体貯留槽２８からポンプ４２を介してスラリー供給槽４に新規の切削液体６を供給する供給配管４３と前記連絡管４１との間を導入管４４にて接続することにより、調整弁４５ａ，４５ｂを介して適量の新規の切削液体６を粗粒混合液体２３に混合して第２の遠心分離機２５に供給するようにしている。
【００２７】
また、後述する回収切削液体貯留槽２９からポンプ３７を介してフィルタ３６に回収切削液体６’を供給する回収液体供給管３８と前記連絡管４１との間を導入管４６にて接続することにより、調整弁４７ａ，４７ｂを介して適量の回収切削液体６’を粗粒混合液体２３に混合して第２の遠心分離機２５に供給するようにしている。
【００２８】
上記導入管４４，４６はその一方を備えるようにしても、或いは両方を備えるようにしてもよく、粗粒混合液体２３に新規の切削液体６或いは回収切削液体６’を混合することにより、回収砥粒とシリコン及び破砕砥粒とを分離し易くしている。
【００２９】
第２の遠心分離機２５も、第１の遠心分離機２０と同様のデカンタ型遠心分離機、或いは液体サイクロン、濾過機、分離板型遠心分離機等の機械的、物理的分離装置も用いることができる。
【００３０】
微粒混合液体回収タンク２６は、撹拌装置３０とポンプ３１を備えており、第１の遠心分離機２０から回収した微粒混合液体２４及び第２の遠心分離機２５から回収した微粒混合液体２４’を撹拌装置３０で撹拌し、ポンプ３１によりパルス式の放電装置（高密度電場発生装置）３２に供給するようになっている。
【００３１】
ここで、電気エネルギをパルス的（３０〜６０パルス／秒）に短時間（１／１０００〜１００／１０００秒）に放出し、形成された高密度の電場（５０００Ｖ／ｃｍ以上）内に固体−液体の分散系を通すことにより、固体粒子が特定の電極に集結することが知られている（米国特許第５４４７７３３号明細書）。
【００３２】
上記放電装置３２は、電気エネルギを使って液状分散系に存在する固体粒子を特定の電極に集結することができる上記原理を利用して、粒径が非常に小さく、且つ回収砥粒及び回収切削液体６’との密度差が小さい切削屑を、微粒混合液体２４，２４’から回収しようとするものである。
【００３３】
放電装置３２は上記原理を具現化したものであり、その構造を図２、図３に示す。図２は放電装置の全体構成図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【００３４】
放電装置３２は架台３３上に搭載されており、中空状のシェル３２１と、その上部の空気シリンダ３２２とを備えている。シェル３２１の中空部において、図における左側にはスクレーパガイド板３２３があり、対向面には電極板３２４がある。電極板３２４は、図２、図３から明らかなようにその４面が絶縁体３２５で保持されるようになっている。
【００３５】
スクレーパガイド板３２３と電極板３２４の間の空間部をシリンダ３２２によってスクレーパ３２６が上下移動するようになっており、その過程で電極板３２４に付着した微粒固体（切削屑、破砕砥粒）３４を電極板３２４から掻き落とすようになっている。
【００３６】
シェル３２１の図２において左側上部には、微粒混合液体回収タンク２６から送り出される微粒混合液体２４，２４’を導入する導入孔３２７が形成されている。また、シェル３２１の下端には、回収切削液体６’を排出弁３２８ａを介して回収切削液体貯留槽２９に排出する液体排出孔３２８と、排出弁３２９ａを介して微粒固体３４を下部の微粒固体回収箱３５に排出する固体排出孔３２９とがある。
【００３７】
再び図１に戻り、放電装置３２の下流側に設置されている回収切削液体貯留槽２９には、放電装置３２で微粒固体３４が取り除かれた回収切削液体６’が貯留されるようになっている。
【００３８】
第２の遠心分離機２５で分離された回収砥粒混合液体２７は、異物を除去するためのフィルタ３６に供給されるようになっている。また、回収切削液体貯留槽２９に貯留されている回収切削液体６’も、ポンプ３７を備えた回収液体供給管３８によりフィルタ３６に供給されるようになっている。
【００３９】
そして、フィルタ３６において、回収切削液体６’中の微粒が凝集して成長した粗粒或いは回収砥粒混合液体２７に混合した切削破片等の異物３９を分離し、回収砥粒と回収切削液体６’とからなる混合スラリー４０を取り出せるようにしている。
【００４０】
フィルタ３６からの混合スラリー４０は、スラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給されており、さらにスラリー供給槽４には、新規の砥粒５と新規の切削液体６が所要の割合になるように計量供給されており、撹拌装置７によって撹拌された均一濃度の砥粒スラリー３が供給ポンプ８の作動によりワイヤソー１に供給されるようになっている。
【００４１】
以下、上記図１及び図２、図３に示した実施の形態例の作用を説明する。
【００４２】
図１に示すように、スラリー供給装置２におけるスラリー供給槽４内の砥粒スラリー３は、供給ポンプ８より供給管９及び下向供給管１１を介してワイヤソー１に供給され、図示しないワイヤと共にシリコンウェハー等の切削加工を行う。
【００４３】
ワイヤソー１にて使用された使用後の砥粒スラリー３’は、排出ポンプ１３により排出管１４を介して使用済みスラリー貯留槽１８に供給され、該使用済みスラリー貯留槽１８内の使用後の砥粒スラリー３’は、ポンプ２１により導入管２２を介して第１の遠心分離機２０に導入される。
【００４４】
第１の遠心分離機２０に導入された使用後の砥粒スラリー３’は、デカンタ型遠心分離機等による遠心効果によって１００〜１０００Ｇを与えて分離を行うことにより、粗粒混合液体２３と微粒混合液体２４とに効果的に分離される。
【００４５】
粗粒混合液体２３は、第２の遠心分離機２５に導入されて再度分離されることにより、回収砥粒混合液体２７と微粒混合液体２４’とに分離される。
【００４６】
この時、第２の遠心分離機２５に導入される粗粒混合液体２３に、上記導入管４４，４６を介して新規の切削液体６又は回収切削液体６’或いはその両方が適量混合されることにより、新規の切削液体６又は回収切削液体６’或いはその両方によって、第２の遠心分離機２５に導かれる粗粒混合液体２３中の回収砥粒の表面に付着した微細な粒径のシリコン及び破砕砥粒が洗い流されるようにして“２段漉し”が掛けられることにより、回収砥粒とシリコン及び破砕砥粒とのより完全な分離が行われる。
【００４７】
再度遠心分離され、その結果、回収砥粒混合液体２７と微粒混合液体２４’が取り出される。該微粒混合液体２４’と第１の遠心分離機２０から取り出された微粒混合液体２４は、微粒混合液体回収タンク２６に回収されて撹拌装置３０により撹拌され、ポンプ３１により放電装置３２内に導入孔３２７を通じて導入される。
【００４８】
図２、図３の放電装置３２の電極板３２４からは上記電気エネルギがシェル３２１内の空間部に放出されており、微粒混合流体中の切削屑及び破砕砥粒は微粒固体３４として電極板３２４に吸着される。
【００４９】
この状態で排出弁３２８ａを開けると、分離された回収切削液体６’は液体排出孔３２８から回収切削液体貯留槽２９に回収される。回収切削液体６’の排出後、シリンダ３２２を作動させてスクレーパ３２６を下方に摺動させると、微粒固体３４は電極板３２４から掻き落とされて、固体排出孔３２９から微粒固体回収箱３５に回収される。
【００５０】
一方、第２の遠心分離機２５で分離された回収砥粒混合液体２７はフィルタ３６に導入され、同時に回収切削液体貯留槽２９の回収切削液体６’もフィルタ３６に導入される。そして、フィルタ３６において、微粒が凝集して成長した粗粒或いは切削破片等の異物３９を分離除去して、回収砥粒と回収切削液体６’とからなる混合スラリー４０をスラリー供給装置２のスラリー供給槽４に供給する。
【００５１】
スラリー供給装置２のスラリー供給槽４には、フィルタ３６からの混合スラリー４０が供給されると共に、新規の砥粒５と新規の切削液体６が計量されて供給され、これによって所定濃度の砥粒スラリー３を製造することができる。前記スラリー供給装置２で所定濃度に調整された砥粒スラリー３は、供給ポンプ８を備えた供給管９によりワイヤソー１に供給される。
【００５２】
上述したように、図１、及び図２、図３の形態例によれば、第１の遠心分離機２０で使用後の砥粒スラリー３’が粗粒混合液体２３と微粒混合液体２４とに分離され、且つ第２の遠心分離機２５で粗粒混合液体２３がさらに回収砥粒混合液体２７と微粒混合液体２４’とに分離され、第１、第２の遠心分離機２０，２５で分離された微粒混合液体２４，２４’は、高密度電場発生装置としての放電装置３２で微粒固体３４と回収切削液体６’とに分離され、回収切削液体６’と第２の遠心分離機２５で分離された回収砥粒混合液体２７とをスラリー供給装置２に導いて再び砥粒スラリー３として利用するようにしているので、高価な新規の砥粒５と新規の切削液体６の使用量を削減して、運用コストを大幅に低減できる。
【００５３】
なお、本発明は図示した形態例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得る。
【００５４】
【発明の効果】
請求項１及び２に記載の発明によれば、第１の遠心分離機で使用後の砥粒スラリーが粗粒混合液体と微粒混合液体とに分離され、且つ第２の遠心分離機で粗粒混合液体がさらに回収砥粒混合液体と微粒混合液体とに分離され、第１、第２の遠心分離機で分離された微粒混合液体は、高密度電場発生装置で微粒固体と回収切削液体とに分離され、回収切削液体と第２の遠心分離機で分離された回収砥粒混合液体とをスラリー供給装置に導いて再び砥粒スラリーとして利用するようにしているので、使用後の砥粒スラリーから回収切削液体と回収砥粒混合液体を効率良く分離・回収することができ、高価な新規の砥粒と新規の切削液体の使用量を削減して、運用コストを大幅に低減できる。更に、廃棄物の発生量を著しく減少することができる。
【００５５】
更に、第１の遠心分離機から第２の遠心分離機に導く粗粒混合液体に、回収切削液体と新規の切削液体の少なくとも一方を適量混合するようにしているので、回収切削液体又は新規の切削液体或いはその両方によって、第２の遠心分離機に導かれる粗粒混合液体中の回収砥粒の表面に付着した微細な粒径のシリコン及び破砕砥粒が洗い流されるようにして"２段漉し"が掛けられることにより、回収砥粒とシリコン及び破砕砥粒とのより完全な分離が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施する形態の一例を示す系統ブロック図である。
【図２】図１で使用される放電装置の全体構成図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】従来のワイヤソーにおける砥粒スラリーの供給経路を示すブロック図である。
【符号の説明】
１  ワイヤソー
２  スラリー供給装置
３  砥粒スラリー
３’  使用後の砥粒スラリー
５  新規の砥粒
６  新規の切削液体
６’  回収切削液体
２０  第１の遠心分離機
２３  粗粒混合液体
２４，２４’  微粒混合液体
２５  第２の遠心分離機
２６  微粒混合液体回収タンク
２７  回収砥粒混合液体
２９  回収切削液体貯留槽
３２  放電装置（高密度電場発生装置）
３６  フィルタ
４０  混合スラリー
【図１】
0003996686.tif 000002
【図２】
0003996686.tif 000003
【図３】
0003996686.tif 000004
【図４】
0003996686.tif 000005