(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと記録媒体とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから記録媒体上にインクを付与して前記記録媒体上に記録を行うインクジェット記録装置で用いられるヘッドユニットであって、
複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、
前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、
前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、
前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させ、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを備え、
前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が、前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整を行うことを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する際に用いられるヘッドユニットであって、
複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、
前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、
前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、
前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させ、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを備え、
前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が、前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整を行うことを特徴とするヘッドユニット。
【請求項３】
前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値と前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値とは等しいことを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ１、前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ２、前記第１のインクジェットヘッド及び第２のインクジェットヘッドの各々のノズル数をｎとしたとき、
前記第１のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離と前記第２のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離との差αは、０＜α＝｜ｍ１（ｎ−１）−ｍ２（ｎ−１）｜（μｍ）≦５であることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ１、前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ２、前記第１のインクジェットヘッド及び第２のインクジェットヘッドの各々のノズル数をｎとしたとき、
前記第１のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離と前記第２のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離との差αは、０＜α＝｜ｍ１（ｎ−１）−ｍ２（ｎ−１）｜（μｍ）≦２であることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
【請求項６】
前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ１、前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ２、前記第１のインクジェットヘッド及び第２のインクジェットヘッドの各々のノズル数をｎとしたとき、
前記第１のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離と前記第２のインクジェットヘッドの使用インク吐出口の両端間の距離との差αは、０＜α＝｜ｍ１（ｎ−１）−ｍ２（ｎ−１）｜（μｍ）≦１であることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニット。
【請求項７】
前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの端部に位置する前記所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの端部に位置する前記所定のインク吐出口との間隔が前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値の自然数倍となるように調整することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項８】
前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの端部に位置する前記所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの端部に位置する前記所定のインク吐出口との間隔が前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値の自然数倍となるように調整することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項９】
前記第１のインクジェットヘッドは前記ヘッド設置部に固定されており、前記第２のインクジェットヘッドは前記第１のインクジェットヘッドに対して前記配列方向に移動可能なように前記ヘッド設置部に設置されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１０】
前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットを含むヘッド群を、少なくとも３種類設けたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１１】
前記３種類のヘッド群は、赤色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群、緑色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群、青色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群であることを特徴とする請求項１０に記載のヘッドユニット。
【請求項１２】
前記ヘッド設置部は、前記３種類のヘッド群に対応して夫々設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のヘッドユニット。
【請求項１３】
前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方から吐出されたインクの着弾位置を測定し、前記測定結果に基づき前記位置調整手段による調整を行うことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１４】
前記位置調整手段に対して電圧を印加することにより、前記位置調整手段による調整を行うことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１５】
前記位置調整手段に対して空圧を加えることにより、前記位置調整手段による調整を行うことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１６】
複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、
（Ａ）複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、（Ｂ）前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、（Ｃ）前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、（Ｄ）前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させて、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを具備するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットと前記基板とを相対的に走査させる走査手段と、
前記走査手段による相対走査中に、前記ヘッドユニットの複数のインクジェットヘッドからインクを吐出させて前記基板のフィルタエレメントを着色するように制御する着色制御手段とを備え、
前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように、前記位置調整手段による調整を前記基板の着色前に行うことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項１７】
前記第１のインクジェットヘッドは前記ヘッド設置部に固定されており、前記第２のインクジェットヘッドは前記第１のインクジェットヘッドに対して前記配列方向に移動可能なように前記ヘッド設置部に設置されていることを特徴とする請求項１６に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項１８】
前記ヘッドユニットには、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットを含むヘッド群が少なくとも３種類備えられていることを特徴とする請求項１６または１７に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項１９】
前記３種類のヘッド群は、赤色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群、緑色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群、青色のインクを吐出するためのインクジェットヘッドからなるヘッド群であることを特徴とする請求項１８に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２０】
前記ヘッド設置部は、前記３種類のヘッド群に対応して夫々設けられていることを特徴とする請求項１９に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２１】
各色のヘッド群に対応して設けられている前記設置部の夫々を前記配列方向に移動させるための移動手段を更に備えることを特徴とする請求項２０に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２２】
前記各色のヘッド設置部のそれぞれを前記基板に垂直な軸に対して回転させるための回転手段を更に備えることを特徴とする請求項１６乃至２１のいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２３】
前記位置調整手段による調整後、前記回転手段によって前記ヘッド設置部を回転させ、さらに前記移動手段によって前記設置部を前記配列方向に移動させることで、前記ヘッドユニットの各インクジェットヘッドにより前記基板のフィルタエレメントを着色可能とすることを特徴とする請求項２２に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２４】
複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、
（Ａ）複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、（Ｂ）前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、（Ｃ）前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、（Ｄ）前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させて、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを具備するヘッドユニットを調整する調整工程と、
前記ヘッドユニットと前記基板とを相対的に走査させる走査工程と、
前記相対走査中に、前記ヘッドユニットの複数のインクジェットヘッドからインクを吐出させて前記基板のフィルタエレメントを着色する着色工程とを備え、
前記着色工程の前に行われる前記調整工程では、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整が行われることを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項２５】
カラーフィルタを備えた液晶パネルを製造する方法であって、
請求項２４に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、
前記用意されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対向する対向基板との間に液晶化合物を封入する工程と、
を具備することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項２６】
カラーフィルタを備えた液晶表示パネルを製造する方法であって、
請求項２ないし１５のいずれかに記載のヘッドユニットからインクを吐出することによって製造されたカラーフィルタ用意する工程と、
前記用意されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対向する対向基板との間に液晶化合物を封入する工程と、
を具備することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項２７】
液晶パネルを備えた情報処理装置を製造する方法であって、
請求項２５または２６に記載の製造方法により製造された液晶パネルを用意する工程と、
液晶パネルに制御信号を供給するための制御部と前記用意された液晶パネルとを接続する工程と、
を具備することを特徴とする液晶パネルを備えた情報処理装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドにより基板に向けてインクを吐出して、複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造するための装置に用いられるヘッドユニット、該ヘッドユニットを用いてカラーフィルタを製造するためのカラーフィルタ製造装置、その製造方法、カラーフィルタを有する液晶表示装置の製造方法、及びこの液晶表示装置を備えた装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータの発達、特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコストダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラーフィルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべく種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特性を満足する方法は確立されていない。以下に、幾つかのカラーフィルタの製造方法について説明する。
【０００３】
第１のカラーフィルタの製造方法として染色法がある。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗布し、その水溶性高分子材料をフォトリソグラフィー法により所望の形状にパターンニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬することにより着色パターンを得るものである。これを３回繰り返すことによりガラス基板上にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のカラーフィルタ層が得られる。
【０００４】
第２のカラーフィルタの製造方法として顔料分散法があり、これは近年最も多く用いられる方法である。顔料分散法は、ガラス基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得るものである。さらにこの工程を各色１回ずつ合計で３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層を形成するものである。
【０００５】
第３のカラーフィルタの製造方法として電着法がある。電着法は、ガラス基板上に透明電極をパターンニングした後、そのガラス基板を顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して所望の色を電着させるものである。この工程を３回繰り返して基板上にＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより基板上に着色層を形成するものである。
【０００６】
第４のカラーフィルタの製造方法として印刷法がある。印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させたものを用いて印刷を３回繰り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることで着色層を形成するものである。尚、上記いずれの方法においても着色層の表面に保護層を形成するのが一般的である。
【０００７】
これら４種の方法に共通している点は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色を着色するために同一工程を３回繰り返す必要があり、工程数が多いために、歩留が低下し、コストが高くなる、等の欠点を有するということである。さらに、電着法においては、形成可能なパターンの形状が限定されるため、ＴＦＴ方式のカラー液晶ディスプレイへの適用が困難である。また印刷法は、解像性、平滑性が悪いため、パターンの微細化への対応が困難である等の欠点を有する。
【０００８】
そこで、これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特開昭６３−２９４５０３号公報あるいは特開平１−２１７３２０２号公報等には、インクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造する方法が開示されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させてフィルタエレメントを形成するものである。こうしたインクジェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各フィルタエレメントの形成を一度に行うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコストダウン効果を得ることが出来る。
【０００９】
ところで、インクジェット方式によりカラーフィルタを製造する場合、複数個のインク吐出口を有するヘッドと基板との位置合わせを高精度に行う必要性がある。しかしながら、上記公報では、実際に多数枚のカラーフィルタを生産する上での生産性に着目していないため、カラーフィルタの生産を安定して行うことはできない。すなわち、上記公報では、カラーフィルタを大量生産することに関し、まだ不十分な点が存在するのである。
【００１０】
これらの不十分な点を改善するために、特開平９−４９９１９号公報では、複数個のインク吐出口を有するヘッドと基板との位置合わせを高精度に行い、カラーフィルタの生産性を向上させる技術を開示している。この特開平９−４９９１９号公報によれば、予めＲＧＢ３色のヘッドのうち１色のヘッドを基準に、他の２色のヘッドの位置合わせを行い、描画時には固定するようにしているため、複数個のインク吐出口を有するヘッドと基板との間の高精度な位置合わせが可能となり、カラーフィルタの生産性を向上させることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
最近、液晶表示装置の製造技術の進歩に伴い、ガラス基板の大型化、画面サイズ（カラーフィルタサイズ）の大型化、画素の高精細化が進んでいる。従来、ガラス基板の大きさは、３６５（ｍｍ）×４６０（ｍｍ）程度であったが、近頃では５５０（ｍｍ）×６５０（ｍｍ）、６８０（ｍｍ）×８８０（ｍｍ）、７３０（ｍｍ）×９２０（ｍｍ）にまで拡大してきている。それに伴い、画面サイズも、１０．４インチ、１２．１インチ、１３．３インチ、１４．１インチ、１５．０インチ、１７．０インチ、１８．０インチ、２０．０インチと、年々大型のものが出現してきている。また、カラーフィルタの画素数も、ＶＧＡ（６４０×４８０）、ＳＶＧＡ（８００×６００）、ＸＧＡ（１０２４×７６８）、ＳＸＧＡ（１２８０×１０２４）、ＳＸＧＡ+（１４００×１０５０）、ＵＸＧＡ（１６００×１２００）、ＱＸＧＡ（２０４８×１５３６）と増加してきており、カラーフィルタの高解像度化、高精細化が進んでいる。
【００１２】
このように大型基板を用い、大画面・高精細に対応したカラーフィルタを生産する場合、従来の小画面、低解像度のカラーフィルタを製造する場合に比べ、１枚のカラーフィルタを生産するのに要する時間が長くなってしまう。そこで、生産に要する時間をより短縮し、更なる生産効率の向上を図るために、同一色のインクを吐出するためのヘッドの数を多くすることが考えられる。しかしながら、特開平９−４９９１９号公報には、１つのヘッドユニットに対し１色あたり１個ずつのヘッドを用いることしか記載されておらず、１つのヘッドユニットに同一色のヘッドを複数個備えるとした場合にどのようなヘッド構成とするのかについては記載されていない。
【００１３】
同一色のヘッドを複数個用いてカラーフィルタを製造する場合、単に複数個のヘッドを用いただけでは、ヘッドの位置合わせに要する時間が長くかかってしまい、使用ヘッド数を増加させることによって得られる製造時間の短縮の効果を十分に得ることができず、そのためカラーフィルタの生産性の向上を十分に図ることができない、ということを本発明者は見出した。すなわち、使用ヘッド数を増加させたとしても、その分ヘッド間の位置合わせに時間が長くかかってしまうとヘッド数を増加させた意味がないので、同一色のヘッドを複数個備えたヘッドユニットを用いる場合、ヘッド間の位置合わせが簡単に行え且つそれに要する時間も長くかからないような機構を前記ヘッドユニットに具備する必要がある点に、本発明者は着目したのである。
【００１４】
本発明は上記課題に着目してなされたものであり、使用ヘッド数を増加させたとしてもヘッド間の位置合わせに要する時間が長くならないようにすることで十分な製造時間の短縮を図り、カラーフィルタの生産性を向上させることが可能なヘッドユニット、該ヘッドユニットを用いたカラーフィルタ製造装置、その製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと記録媒体とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから記録媒体上にインクを付与して前記記録媒体上に記録を行うインクジェット記録装置に用いられるヘッドユニットであって、複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させ、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを備え、前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が、前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整を行うことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する際に用いられるヘッドユニットであって、複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させ、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを備え、前記位置調整手段は、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が、前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整を行うことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置であって、（Ａ）複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、（Ｂ）前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、（Ｃ）前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、（Ｄ）前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させて、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを具備するヘッドユニットと、前記ヘッドユニットと前記基板とを相対的に走査させる走査手段と、前記走査手段による相対走査中に、前記ヘッドユニットの複数のインクジェットヘッドからインクを吐出させて前記基板のフィルタエレメントを着色するように制御する着色制御手段とを備え、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように、前記位置調整手段による調整を前記基板の着色前に行うことを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、複数のインクジェットヘッドを具備するヘッドユニットと基板とを相対的に走査させながら前記インクジェットヘッドから前記基板に向けてインクを吐出し、当該吐出されたインクにより着色された複数のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、（Ａ）複数のインク吐出口が配列された第１のインクジェットヘッドと、（Ｂ）前記第１のインクジェットヘッドの複数のインク吐出口から吐出されるインクと同じ色のインクを吐出するための複数のインク吐出口が配列された第２のインクジェットヘッドと、（Ｃ）前記第１のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向と前記第２のインクジェットヘッドにおけるインク吐出口の配列方向とが同一方向となるように、前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドを前記配列方向に並べて設置するためのヘッド設置部と、（Ｄ）前記ヘッド設置部に設置された前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクジェットヘッドの少なくとも一方を前記配列方向に移動させて、前記ヘッド設置部における前記第１のインクジェットヘッドと前記第２のインクインクジェットヘッドの相対位置を調整するための位置調整手段とを具備するヘッドユニットを調整する調整工程と、前記ヘッドユニットと前記基板とを相対的に走査させる走査工程と、前記相対走査中に、前記ヘッドユニットの複数のインクジェットヘッドからインクを吐出させて前記基板のフィルタエレメントを着色する着色工程とを備え、前記着色工程の前に行われる前記調整工程では、前記第１のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口と前記第２のインクジェットヘッドの所定のインク吐出口との前記配列方向の間隔が前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口のピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整が行われることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、カラーフィルタを備えた液晶パネルを製造する方法であって、請求項２４に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタを用意する工程と、前記用意されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対向する対向基板との間に液晶化合物を封入する工程と、を具備することを特徴とする。また、本発明は、カラーフィルタを備えた液晶表示パネルを製造する方法であって、請求項２ないし１５のいずれかに記載のヘッドユニットからインクを吐出することによって製造されたカラーフィルタ用意する工程と、前記用意されたカラーフィルタと、前記カラーフィルタに対向する対向基板との間に液晶化合物を封入する工程と、を具備することを特徴とする。
また、本発明は、液晶パネルを備えた情報処理装置を製造する方法であって、請求項２５または２６に記載の製造方法により製造された液晶パネルを用意する工程と、液晶パネルに制御信号を供給するための制御部と前記用意された液晶パネルとを接続する工程と、を具備することを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の好適な一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】
〔カラーフィルタの製造工程―▲１▼受容層タイプ〕
図１は、本実施形態におけるカラーフィルタの製造方法の一例を説明するための図である。本実施形態においては、基板1としてガラス基板を用いているが、液晶用カラーフィルタとしての透明性、機械的強度等の必要特性を有するものであればガラス基板に限定されるものではない。例えば、プラスチック基板でも適用可能である。
【００２３】
図１（ａ）は、光透過部９と、遮光部１０を構成するブラックマトリックス（ＢＭ）２とを備えたガラス基板１を示す。まず、ブラックマトリックス２が設けられた基板１上に、それ自身はインク受容性に乏しいが、ある条件下（例えば光照射、または光照射と加熱）で親インク化されると共に、ある条件下で硬化する特性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂組成物層３を形成する（図１（ｂ））。尚、この樹脂組成物層３の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００２４】
次に、フォトマスク４を使用して光透過部９上の樹脂層にパターン露光を行うことにより、マスクされていない樹脂層部分を親インク化させて（図１（ｃ））、樹脂組成物層３に親インク化された部分６（露光された部分）と親インク化されていない部分５（マスクされた部分）を形成する（図１（ｄ））。
【００２５】
その後、インクジェットヘッドよりＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色のインクを樹脂組成物層３に向けて吐出して親インク化された部分６を着色し（図１（ｅ））、更に必要に応じてインクの乾燥を行う。尚、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に着色される部分のことをフィルタエレメント（画素）といい、このフィルタエレメントはカラーフィルタとして機能する部分である。また、インクジェット方式としては、熱エネルギーによる方式あるいは機械エネルギーによる方式が挙げられるが、いずれの方式も好適に用いることができる。また使用するインクとしては、インクジェットヘッドから吐出可能あれば特に限られるものではなく、インクの着色材としては、各種染料あるいは顔料の中から、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素に要求される透過スペクトルに適合したものが適宜選択される。
【００２６】
次いで、光照射、もしくは光照射と加熱処理を行って、その着色された樹脂組成物層３を硬化させ、必要に応じてその表面に保護層８を形成する（図１（ｆ））。この樹脂組成物層３を硬化させるには、先の親インク化処理（図１（ｃ））における条件とは異なる条件、例えば光照射における露光量を大きくするか、加熱条件を変えるか、もしくは光照射と加熱処理を併用する等の方法が採用できる。
【００２７】
次に、本実施形態で適用可能であって、上記のカラーフィルタの製造方法とは異なる製造方法を図２に示す。尚、図２において図１と同符号のものは、図１の部材と同部材のものをさす。
【００２８】
図２（ａ）は、光透過部９と、遮光部であるブラックマトリクス２とを有するガラス基板１を示す。まず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照射又は光照射と加熱により硬化可能であり、且つインク受容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂層３０を形成する（図２（ｂ））。この樹脂層３０の形成には、スピンコート、ロールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方法を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００２９】
次に、ブラックマトリクス２により遮光される部分の樹脂層３０をフォトマスク４を使用して予めパターン露光を行うことにより、樹脂層３０の一部を硬化させてインクを吸収しない部位３５（非着色部位）を形成し（図２（ｃ））、その後インクジェットヘッド１２０を用いてＲ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図２（ｄ））、必要に応じてインクの乾燥を行う。
【００３０】
このパターン露光の際に使用されるフォトマスク４としては、ブラックマトリクス２による遮光部分を硬化させるための開口部を有するものを使用する。この際、ブラックマトリクス２に接する部分での着色剤の色抜けを防止するために、比較的多くのインクを付与することが必要である。そのためにブラックマトリクス２の（遮光）幅よりも狭い開口部を有するマスク４を用いることが好ましい。着色に用いるインクとしては、色素系、顔料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソリッドインク共に使用可能である。
【００３１】
本実施形態で使用する硬化可能な樹脂組成物としては、インク受容性を有し、且つ光照射、もしくは光照射と加熱の少なくとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれでも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。
【００３２】
これらの樹脂を光あるいは光と熱により架橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いることも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれらの光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わせて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸発生剤を架橋剤として併用することも可能である。なお、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処理を施してもよい。
【００３３】
これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温あるいは洗浄工程に十分耐え得るものである。
【００３４】
また本実施形態で使用するインクジェット方式としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着色パターンは任意に設定することができる。
【００３５】
また、本例では基板上にブラックマトリクス２が形成された例を示しているが、このブラックマトリクスは、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるいは着色後に樹脂層上に形成されたものであっても特に問題はなく、その形態は本例に限定されるものではない。また、その形成方法としては、基板１上にスパッタもしくは蒸着により金属薄膜を形成し、フォトリソ工程によりパターニングすることが好ましいが、これに限定されるものではない。
【００３６】
次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化させ（図２（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図２（ｆ））する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。また保護層８としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるいは無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成することができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス等に十分耐えうるものであれば使用可能である。
【００３７】
尚、上記の図１及び図２の例では、ガラス基板上にインクを受容するための樹脂組成物層３０を設けた場合を説明しているが本発明はこれには限定されず、直接ガラス基板１上にインクを付与して各フィルタエレメント（画素）を形成してもよい。これを図３を参照しながら以下に説明する。
【００３８】
〔カラーフィルタの製造工程―▲２▼受容層レスタイプ 〕
図３は、本実施形態で適用可能であって、上記カラーフィルタの製造方法とは異なる製造方法を示したものである。尚、図３において図１と同符号のものは、図１の部材と同部材のものをさす。
【００３９】
図３（ａ）は光透過性の基板１上に撥インク性を有する隔壁１２を形成し、インクジェットヘッド（１２０、１２１、１２２）により硬化性インク１４を付与する工程を示したものである。本発明において、隔壁１２は硬化性インク１４を受ける凹部を形成し、且つ隣接するカラーフィルタ間で異なる色のインクの混色を防止するために設けられる部材である。隔壁１２は例えば感光性レジストをパターニングして容易に形成することができるが、該隔壁をブラックマトリクスやブラックストライプで兼用することもでき、その場合には黒色レジストをパターニングすれば良い。
【００４０】
本発明において、隔壁１２は光透過性基板１上に直接形成しても良いが、必要に応じて他の機能を有する層を形成した基板、例えばＴＦＴアレイを作製したアクティブマトリクス基板上に形成しても良い。いずれの場合にも、硬化性インクの拡散性を高めるために、カラーフィルタ形成面表面に何らかの表面処理を施しても良い。
【００４１】
本発明に用いられる硬化性インク１４は、光照射又は熱処理、或いはこれらの併用によって硬化するインクである。硬化性インク１４としては、液状インク、ソリッドインク共に使用可能であり、また、顔料系、染料系のいずれも用いることができる。インク１４中には、光照射又は熱処理、或いはこれらの併用によって硬化する樹脂成分、色材、有機溶剤及び水を含有する。
【００４２】
硬化成分としては、市販の樹脂や硬化剤を用いることができ、具体的には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン樹脂等が好適に用いられる。
【００４３】
各フィルタエレメントに硬化性インク１４を付与した後（図３（ｂ））、必要に応じて乾燥処理を行い、光照射又は熱処理、或いはこれらの併用によってインクを硬化し、カラーフィルタを形成する（図３（ｃ））。その後、必要に応じて保護膜８を形成する（図３（ｄ））。
【００４４】
〔カラーフィルタの説明〕
次に、本実施形態において製造されるカラーフィルタのカラーパターンを図１０に示す。略長方形である着色部をＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の各色のインクで着色することにより、複数のフィルタエレメント（画素）が形成される。１つの着色部４６（４６ａ、４６ｂ、４６ｃ）の大きさは、Ｙ方向が１５０μｍ、Ｘ方向が６０μｍである。尚、着色部の長手方向がＹ方向であり、前記Ｙ方向と直行する方向がＸ方向である。また、Ｙ方向に並ぶ着色部は同じ色に着色され、Ｘ方向に並ぶ着色部は隣り合う色が異なる色となるように着色される。画素ピッチは、Ｘ方向・Ｙ方向とも２６４μｍである。画素の個数は、Ｘ方向に８００個、Ｙ方向に６００個であり、図１１に示すようにカラーフィルタのサイズ（画面サイズ）は、２１１．２ｍｍ×１５８．４ｍｍであり、対角線の長さが２６４．０ｍｍの１０．４インチＳＶＧＡの液晶パネル用に対応している。ここで、カラーフィルタのサイズとは、カラーフィルタをＴＦＴ液晶パネルに組み込んだときの表示部のサイズのことである。
【００４５】
尚、本実施形態において製造し得るカラーフィルタは、図１０、図１１に示されるような画素数や画面サイズのカラーフィルタに限定されないことは言うまでもない。例えば、画素数としては、ＶＧＡ（６４０×４８０）、ＸＧＡ（１０２４×７６８）、ＳＸＧＡ（１２８０×１０２４）、ＳＸＧＡ+（１４００×１０５０）、ＵＸＧＡ（１６００×１２００）、ＱＸＧＡ（２０４８×１５３６）等、画面サイズとしては、１２．１インチ、１３．３インチ、１４．１インチ、１５．０インチ、１７．０インチ、１８．０インチ、２０．０インチ等のカラーフィルタも製造可能である。
【００４６】
また、カラーパターン（画素パターン配列）に関しても、図１０に示されるようなストライプ型には限定されることはなく、本実施形態では図１２に示されるような種々のカラーパターン（モザイク型、デルタ型等）が製造可能である。
【００４７】
〔カラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置〕
次に、本実施形態で形成されたカラーフィルタを用いることにより製造される液晶表示装置について説明する。尚、図４乃至図６は、カラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置３０の表示用スクリーンの基本構成を示す断面図である。
【００４８】
１１は偏光板、１はガラスなどの透明基板、２はブラックマトリックス、３は樹脂組成物層（インク受容層）、８は保護層、１６は共通電極、１７は配向膜、１８は液晶化合物、１９は配向膜、２０は画素電極、２１はガラス基板、２２は偏光板、２３はバックライト光である。５４はカラーフィルタ、２４は対向基板である。ここでは、図１で示される製造方法により得られたカラーフィルタを用いる場合について説明するが、図２や図３の製造方法により得られたカラーフィルタを用いても良いことは言うまでもない。
【００４９】
本実施形態のカラー液晶表示装置３０は、カラーフィルタ５４と対向基板２４をあわせ込み、液晶化合物１８を封入することにより形成される。液晶表示装置における一方の基板２１の内側には、ＴＦＴ（不図示）と透明な画素電極２０がマトリクス状に形成される。また、もう一方の基板１の内側には画素電極に対向する位置にＲ，Ｇ，Ｂの色材料が配列する様なカラーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極１６が一面に形成される。ブラックマトリクス２は通常カラーフィルタ基板１側に形成されるが（図４参照）、ブラックマトリクスオンアレイタイプの液晶パネルに於いては対向するＴＦＴ基板側に形成される（図５参照）。さらに、両基板の面内には配光膜１９が形成されており、これをラビング処理することにより液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、夫々のガラス基板の外側には偏光板１１、２２が接着されており、液晶化合物１８はこれらのガラス基板の隙間（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライトとしては蛍光灯と散乱板の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【００５０】
また、カラーフィルタを構成する着色部（フィルタエレメント）は、ガラス基板上に形成されることに限定されるものでは無く、図６に示す様に画素電極２０上に着色部（フィルタエレメント）を形成しカラーフィルタとして機能させる様にしても良い。
【００５１】
このような液晶表示装置を情報処理装置に適用した場合の例について、図７乃至図９を参照して説明する。
【００５２】
図７は、上記の液晶表示装置をワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合の概略構成を示すブロック図である。
【００５３】
図中、１８０１は装置全体の制御を行う制御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力したり、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を行っている。１８０２はディスプレイで、この表示画面には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ１８０７で読み取ったイメージデータ等が表示される。１８０３はディスプレイ１８０２上に設けられた透明な感圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧することにより、ディスプレイ１８０２上での項目入力や座標位置入力等を行うことができる。
【００５４】
１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータとして記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気信号はスピーカ１８０５により可聴音に変換される。プリンタ１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末として用いられる。
【００５５】
１８０７は原稿データを光電的に読取って入力するイメージリーダで、原稿の搬送経路中に設けられており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿の読取りを行う。
【００５６】
１８０８はイメージリーダ１８０７で読取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきたファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（ＦＡＸ）の送受信部であり、外部とのインターフェース機能を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能等の各種電話機能を有する電話機である。
【００５７】
１８１０はシステムプログラムやマネージャープログラム及びその他のアプリケーションプログラム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーションプログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含むメモリである。１８１１は文書情報や各種コマンド等を入力するキーボードである。１８１２はフロッピーディスクやハードディスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記憶装置１８１２には、文書情報や音楽あるいは音声情報、ユーザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【００５８】
図８は、図７に示す情報処理装置の模式的概観図である。
【００５９】
図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ１９０１上では、タッチパネル１８０３の表面を指等で押圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことができる。１９０２は装置が電話機として機能するときに使用されているハンドセットである。キーボード１９０３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。また、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２の１つであるフロッピーディスクの挿入口である。
【００６０】
１９０６はイメージリーダ１８０７で読取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿は装置の後部より排出される。またファクシミリ受信等においては、インクジェットプリンタ１９０７によりプリントされる。
【００６１】
上記情報処理装置をパーソナルコンピュータやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード１９０３から入力された各種情報が制御部１８０１により所定のプログラムに従って処理され、プリンタ１９０７により画像として出力される。
【００６２】
またファクシミリ装置の受信機として機能する場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定のプログラムに従って受信処理され、プリンタ１９０７により受信画像として出力される。
【００６３】
また、複写装置として機能する場合、イメージリーダ１８０７によって原稿を読取り、読取られた原稿データが制御部１８０１からプリンタ１９０７に送られ、複写画像として出力される。なお、ファクシミリ装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ１８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０１により所定のプログラムに従って送信処理された後、ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信される。
【００６４】
なお、上述した情報処理装置は図９に示すようにインクジェットプリンタ１９０７を本体に内蔵した一体型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高めることが可能となる。同図において、図８と同一機能を有する部分には、対応する符号を付して、その説明を省略する。
【００６５】
〔カラーフィルタ製造装置の全体構成の説明〕図１３〜図１６は、本実施形態において適用可能なカラーフィルタ製造装置の構成を示した図である。図１３は装置概観図（斜視図）、図１４は装置のステージ周辺の詳細図、図１５は装置のインクジェットヘッド及び光学系の配置図、図１６はＲＧＢの各色のインクジェットを夫々２個ずつ有するインクジェットヘッドユニット（単に、ヘッドユニットともいう）を示す図である。
【００６６】
図１３〜図１６において、６０１は装置搭載用の定盤、６０２は定盤６０１を支持し、外部振動を遮断するための除振台、６０３は定盤６０１上に設けられ、大ストローク移動を行うＸＹステージ、６０４はＸＹステージ６０３上に搭載されたθ・Ｚ−チルトアライメント合わせ用のθ・Ｚ−チルトステージである。６０５はθ・Ｚ−チルトステージ６０４に搭載され、既に前述した方法によりブラックマトリックスおよび樹脂組成物層が形成されたガラス基板、６０６はＲ・Ｇ・Ｂ各色２個ずつのインクジェットヘッド（１２０ａ、１２０ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂ）が夫々ヘッド位置決め治具（ヘッド設置部）１０００、１００１、１００２により相対的に位置決めされた状態で搭載されたヘッドユニットである。６０７はガラス基板６０５のＸ，Ｙ，θ方向のアライメントを行うためのＸ・Ｙ・θ方向アライメント検出用光学系、６０８（６０８ａ、６０８ｂ、６０８ｃ）はＺ方向の検出を行うためのＺ方向検出用光学系、６０９は各インクジェットヘッド１２０、１２１、１２２から吐出されたインクの着弾位置を検出するための着弾位置検出用の光学系である。６１０は、ヘッドユニット６０６をＸ方向移動させるためのヘッドステージ、６１１はヘッドステージ６１０を支えるための支柱、６１２はヘッドユニット６０６の上部に取り付けられ、ヘッドユニット全体を回転させるためのヘッドθモータである。６１３はヘッドステージに搭載され、ヘッドθモータ６１２及びヘッドユニット６０６を支持し、インク供給系の一部である三方弁や溶存酸素計等が組み込まれた弁ボックス６１４を搭載したヘッド支持アームである。ヘッドステージ６１０を駆動することにより、ヘッドユニット支持アーム６１３はヘッドユニット６０６及び弁ボックス６１４と一体となって装置の中央部から端部までＸ方向に移動可能である。そして、支持アーム６１３、ヘッドユニット６０６及び弁ボックス６１４をヘッドステージ６１０の端部に移動させることにより、ヘッドユニット６０６の取り付け作業、交換作業、インクジェットヘッド（１２０ａ、１２０ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂ）の位置調整作業を行うことができる。また、本実施形態のようにヘッドユニット６０６が２台搭載される装置において、ヘッドステージ６１０はこれら２つのユニット６０６のＸ方向の相対位置をミクロンオーダーで位置決めできるような機構となっている。
【００６７】
６１５はインクジェットヘッドのノズル（インク吐出口）１３２をキャッピングしたり、ノズル１３２から排出されたインクを受けるためのキャップと、ノズル面に付着したインクを払拭するためのワイピングブレードとを有し、ヘッドユニット６０６の真下まで移動可能な回復系ユニットである。６１６は回復系ユニット６１５内に組み込まれたキャップやワイピングブレードを洗浄するための洗浄系ユニット、６１７はカラーフィルタ製造装置全体を覆うように構成され、装置内部の温度を厳密に管理するためのサーマルチャンバ、６１８はサーマルチャンバ６１７内に配置され、サーマルチャンバ６１７外から搬送されてくるガラス基板をカラーフィルタ製造装置へと案内（搬入）し、またカラーフィルタ製造装置からサーマルチャンバ６１７外へガラス基板を排出するためのガラス基板搬入排出機構である。６１９はサーマルチャンバ６１７の外側に配置され、サーマルチャンバ６１７に開けられた穴を通過するチューブ束６２０を介して弁ボックス６１４へインクを供給・排出するためのインク供給系ユニットである。このインク供給系ユニット６１９は、各ヘッドユニット６０６に対応して夫々１個ずつ設けられている。インク供給系ユニット６１９は、ＲＧＢのインクを保持しておくためのメインインクタンク３０１、メインポンプ３０２、サブインクタンク４０１、メイン脱気装置５１１等により構成されている。
【００６８】
各インクジェットヘッド１２０ａ、１２０ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂには、インク供給チューブ６２５と電気信号用ケーブル（不図示）が夫々独立して接続されており、電気信号用ケーブルのもう一方はサーマルチャンバ６１７の外部に配置されたパソコン等で構成される制御ユニット（制御コントローラ）に接続される。これらのインクジェットヘッド１２０ａ、１２０ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂは、夫々独立にインクを吐出することができるように構成されている。
【００６９】
また、インク供給チューブ６２５のもう一端は、カプラ部６２６を介して三方弁や溶存酸素計等で構成される弁ボックス６１４の中の三方弁に接続される。弁ボックス６１４からは、三方弁駆動用のケーブルと溶存酸素計のセンサケーブルが束になったケーブル（不図示）が出ており、チューブ束６２０と同様にサーマルチャンバ６１７に開けられた穴を通って外部の制御ユニットに接続される。
【００７０】
また、装置の組立調整時等にはダミー基板（不図示）を搭載し、アライメント検出系６０７で基板のＸ，Ｙ，θ方向のアライメントを行い、インクジェットヘッド１２０、１２１、１２２で評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹステージ６０３を移動し、着弾位置検出系６０９により着弾位置を測定する。このことによりアライメント検出系６０７の座標とインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２の着弾位置の座標を正確に測定することができる。なお、この座標値は、別の基板を搭載しても変化しないので、装置組立時、インクジェットヘッド交換時等のシステムパラメータが変化した時に行えば良い。着弾位置は、他の装置で測定しておき、この測定値がカラーフィルタ製造装置に再現されるようにしても良い。
【００７１】
カラーフィルタの着色時には、着色用のガラス基板６０５をθ，Ｚ−チルトステージ６０４に搭載すると、アライメント検出系６０７によりガラス基板６０５とインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２とのＸ，Ｙ，θ３方向のズレ量を検出する。この検出結果に基づき、θ成分のズレはθ，Ｚ−チルトステージ６０４により補正し、Ｘ方向のズレはＸＹステージ６０３のＸ方向の位置合わせを行うことにより補正する。また、着色方向であるＹ方向（主走査方向）のズレはＸＹステージ６０３のＹ方向の位置合わせ、あるいはインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２からの吐出タイミング制御により行う。さらに、ガラス基板６０５およびインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２間の隙間が変動すると着弾位置が変動する。したがって、Ｚ検出系６０８ａ〜６０８ｃによりそれらの間の隙間および傾きを求め、隙間が一定となるよう制御しながらインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２で描画する。精度によってはガラス基板搭載時に測定、補正して描画中は固定でも良い。
【００７２】
インクジェットヘッドユニット６０６は図１６に示されるような構成となっており、各色に対応してヘッド位置決め治具（インクジェットヘッド設置部）１０００、１００１、１００２が夫々設けられている。このヘッド位置決め治具（インクジェットヘッド設置部）は複数のインクジェットヘッドを設置するためのものであるとともに、ヘッド間の相対位置を決定して固定するためのものでもある。図から分かるように１つのヘッド設置部には、同一色のインクジェットヘッドが複数個設置されている。ここでは、各設置部に対し、同一色のインクジェットヘッドが２個ずつ設置されているが、設置するヘッドの数は２個に限定されるものではなく、複数個であればよい。各設置部に対して設置される、第１のインクジェットヘッド（１２０ａ、１２１ａ、１２２ａ）と第２のインクジェットヘッド（１２０ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ）とは、各ヘッドのノズル列（インク吐出口列）の中心線が一致するように位置決めされる。すなわち、第１のインクジェットヘッドのノズル列（インク吐出口列）と第２のインクジェットヘッドのノズル列（インク吐出口列）とが同一直線上に並ぶように、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの双方をヘッド設置部に設置するのである。また、複数のインクジェットヘッドの配列方向は、ノズルの配列方向と同じ方向である。尚、下記で詳しく説明するが、第１のインクジェットヘッド（１２０ａ、１２１ａ、１２２ａ）は設置部に固定されており、一方、第２のインクジェットヘッド（１２０ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ）はノズルの配列方向と同じ方向へ移動可能である。そして、カラーフィルタの着色前に、第２のインクジェットヘッドをノズル列の方向へ移動させ、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの相対位置の調整を行い、第２のインクジェットヘッドを設置部に固定する。このように、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの双方を設置部に固定した後に、カラーフィルタの着色は行われる。
【００７３】
〔カラーフィルタ製造装置の制御コントローラの構成〕
図１７は、本実施形態におけるカラーフィルタ製造装置９０の制御コントローラ（制御ユニット）の構成図である。パソコン５９は制御コントローラ５８の入出力手段として機能するものであり、表示部６２は製造の進行状況やヘッド異常の有無等の異常に関する情報を表示するものである。また、操作部６０はカラーフィルタ製造装置９０の動作等を指示するものである。
【００７４】
コントローラ５８はカラーフィルタ製造装置９０の動作を制御するものであり、インターフェース６５はパソコン５９とコントローラ５８との間でデータの受け渡しを行うものである。６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を行うＣＰＵ、６７はＣＰＵを動作させるための制御プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８はＣＰＵのワークエリアとして使用され、各種データを記憶すると共に、異常に関する情報や各ノズルから吐出されたインクの着弾位置を調整するための情報等を記憶するためのＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各フィルタエレメント内へのインクの吐出を制御するための吐出条件制御部、７１はカラーフィルタ製造装置９０のＸＹステージ６０３の動作を制御するためのステージ制御部、９０はコントローラに接続され、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置を示している。
【００７５】
〔インクジェットヘッドの概略構成〕
次に、図１８は、上記カラーフィルタ製造装置に使用されるインクジェットヘッド１２０、１２１、１２２の構造を示す図である。図１３の装置においては、インクジェットヘッドはＲ・Ｇ・Ｂの３色に対応して夫々別々に設けられているが、これらの３色のヘッドは夫々同一の構造であるので、図１８ではＲＧＢ３色のヘッドのうち、１つの構造を代表して示している。尚、図１８ではエネルギー付与手段として、ヒータを用いている。
【００７６】
図１８において、インクジェットヘッド１２０はインクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボード１０４の上に被せられる天板１０６とから概略構成されている。天板１０６には複数の吐出口１０８が形成されており、吐出口１０８の後方にはこの吐出口１０８に連通するトンネル上の液路１１０が形成されている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔絶されている。各液路１１０はその後方において１つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク液室１１４にはインク供給口１１６を介してインク供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路１１０に供給される。
【００７７】
ヒータボード１０４と天板１０６とは、各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様に位置合わせされて図１８の様な状態に組み立てられる。図１８においては２つのヒータ１０２しか示されていないがヒータ１０２は夫々の液路１１０に対応して１つずつ配置されている。図１８の様に組み立てられた状態でヒータ１０２に所定の駆動パルス（駆動信号）を供給すると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成する。この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８から押し出されてインク吐出が行われる。従って、ヒータ１０２に加える駆動パルスを制御することにより気泡の大きさを調節し、吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロールすることができる。尚、制御するパラメータとしては、ヒータに対して与える電力等がある。
【００７８】
〔インク吐出量の制御方法〕
図１９は、この様にヒータに加える電力を変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するための図である。
【００７９】
この実施形態では、インクの吐出量を調整するために、ヒータ１０２に２種類の定電圧パルスを印加する様になされている。２つのパルスとは、図１９に示す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス(以下、単にヒートパルスという)である。プレヒートパルスは、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するために必要な最低のパルス幅ｔ５よりも短い値に設定されている。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐出されることはない。プレヒートパルスをヒータ１０２に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを印加したときのインク吐出量を常に一定にするためである。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節することにより、予めインクの温度を調節しておき、同じヒートパルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異ならせることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて応答性を良くする働きも持っている。
【００８０】
一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出するために必要な最低のパルス幅ｔ５よりも長く設定されている。ヒータ１０２が発生するエネルギーは、ヒートパルスの幅(印加時間)に比例するものであるため、このヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ１０２の特性のバラツキを調節することが可能である。
【００８１】
なお、プレヒートパルスとヒートパルスとの間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状態を制御することによってもインクの吐出量を調節することが可能となる。また、ヒータに対して与える（印加する）電圧パスルの電圧値を変化させる、すなわちヘッドの駆動電圧を変化させることでインクの吐出量を調節することも可能である。
【００８２】
上記の説明から分かる様に、インクの吐出量は、プレヒートパルスとヒートパルスの印加時間（パルス幅）を調節することによって制御することも可能であるし、またプレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を調節することによって制御することも可能であるし、ヘッドの駆動電圧を調整することによって制御することも可能である。従って、プレヒートパルス及びヒートパルスの印加時間、プレヒートパルスとヒートパルスの印加間隔、ヘッドの駆動電圧等を必要に応じて調整することにより、インクの吐出量やインクの吐出の印加パルスに対する応答性を自在に調節することが可能となる。特に、カラーフィルタを着色する場合、色ムラの発生を抑制する意味で、各フィルタエレメント間や１つのフィルタエレメント内での着色濃度（色濃度）を略均一することが望ましく、そのために各ノズルからのインク吐出量を同じにするように制御する場合がある。ノズル毎のインク吐出量が同じであれば、各フィルタエレメントに打ち込まれるインク量も同じになるので、フィルタエレメント間での着色濃度を略同一にできる。また、１つのフィルタエレメント内でのムラも低減できる。従って、各ノズル毎のインク吐出量を同一に調節したいときは、上記したインク吐出量の制御を行えばよい。
【００８３】
次に、上記で示したインク吐出量の調整についてより具体的に説明する。
【００８４】
例えば、図１９に示す様に、各吐出口（ノズル）１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃに対して同じエネルギーを与えたときに、各ノズルからのインク吐出量が異なる場合について説明する。詳しくは、一定温度で、一定エネルギーを印加したときに、ノズル１０８ａのインク吐出量が３６ｐｌ（ピコリットル）、ノズル１０８ｂのインク吐出量が４０ｐｌ、ノズル１０８ｃのインク吐出量が４０ｐｌであり、ノズル１０８ａに対応するヒータ１０２ａ及びノズル１０８ｂに対応するヒータ１０２ｂの抵抗値が２００Ω、ノズル１０８ｃに対応するヒータ１０２ｃの抵抗値が２１０Ωであるものとする。そして、それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を全て４０ｐｌに合わせたいものとする。
【００８５】
それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒートパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのであるが、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパルスにより発生するエネルギーの量を３つのノズルで同じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパルスの幅を調整することにより行うものとする。
【００８６】
まず、ノズル１０８ａのヒータ１０２ａとノズル１０８ｂのヒータ１０２ｂの抵抗値は同じ２００Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギーを同じにするには、ヒータ１０２ａ，１０２ｂに同じ幅の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルスの幅を前述したｔ5 よりも長いｔ3 に設定する。一方、ノズル１０８ａと１０８ｂとは、同じエネルギーを加えた時の吐出量が、３６ｐｌと４０ｐｌと異なるため、ノズル１０８ａの吐出量を多くするために、ヒータ１０２ａには、ヒータ１０２ｂのプレヒートパルスの幅ｔ1 よりも長いｔ2 のプレヒートパルスを加える。このようにすれば、ノズル１０８ａと１０８ｂの吐出量を同じ４０ｐｌにそろえることができる。
【００８７】
一方、ノズル１０８ｃのヒータ１０２ｃの抵抗値は、他の２つのヒータ１０２ａ，１０２ｂの抵抗値よりも高い２１０Ωであるため、ヒータ１０２ｃから、他の２つのヒータと同じエネルギーを発生させるためには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。そのため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したｔ3 よりも長いｔ4 に設定している。また、プレヒートパルスの幅に関しては、一定エネルギーを加えた時のノズル１０８ｂと１０８ｃの吐出量が同じであるため、ヒータ１０２ｂと同じにすればよく、ｔ1 の幅のプレヒートパルスを加える。
【００８８】
以上の様にして、抵抗値と一定エネルギーを加えた時のインク吐出量の異なる３つのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃから同じ量のインクを吐出させることができる。また、同じ手法により、インクの吐出量を意識的に異ならせることも可能である。なお、プレヒートパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラつきを低減するためである。
【００８９】
〔インクジェットヘッドユニットの詳細構成〕
次に、図２０〜図２２を用いて、本実施形態で適用可能なインクジェットヘッドユニットの詳細な構成について説明する。図２０、図２１、図２２は、夫々、インクジェットヘッドユニット６０６の構成を示す上面図、正面図、側面図である。尚、上記図１６で説明したようにインクジェットヘッドユニット６０６には、赤色（Ｒ）のインクを吐出するためのインクジェットヘッド１２０ａ・１２０ｂがヘッド設置部１０００（ヘッド固定治具）に設置されおり、緑色（Ｇ）のインクを吐出するためのインクジェットヘッド１２１ａ・１２１ｂがヘッド設置部１００１（ヘッド固定治具）に設置されおり、青色（Ｂ）のインクを吐出するためのインクジェットヘッド１２２ａ・１２２ｂがヘッド設置部１００２（ヘッド固定治具）に設置されている。
【００９０】
また、図１６において、ＲＧＢの各色に対応して２個ずつ設けられているインクジェットヘッド（１２０、１２１、１２２）は、ヘッド設置部（１０００、１００１、１００２）に完全に固定される第１のインクジェットヘッド（１２０ａ、１２１ａ、１２２ａ）と、第１のインクジェットヘッドに対してノズル列方向と平行な方向に移動可能なように設置される第２のインクジェットヘッド（１２０ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ）とで構成される。各インクジェットヘッドの相対位置の調整は、まず第１段階として、ヘッド設置部の各々を移動させることによりヘッド設置部に完全に固定された第１のインクジェットヘッドの位置調整を行い、次に第２段階として、第１のインクジェットヘッドに対する第２のインクジェットヘッドの相対位置を調整することにより行われる。
【００９１】
図２０〜図２２において、各ヘッド設置部１０００、１００１、１００２はアーム８５１ａ〜８５１ｃに固定され、アーム８５１ａ〜８５１ｃはそれぞれ調整板８５２ａ〜８５２ｃに固定され、調整板８５２ａ〜８５２ｃは固定ブロック８５３ａ，８５３ｃを介して相互に固定されている。８５４ａ，８５４ｃはヘッド設置部１００１を基準として、ヘッド設置部１０００、１００２のノズル列方向（Ｘ方向）の位置合わせを行うためのマイクロメータ、８５５ａ，８５５ｃはヘッド設置部１００１を基準として、着色面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向の位置合わせを行うためのマイクロメータ、８５６ａ，８５６ｃは前記Ｘ方向の位置合わせを行った後ヘッド設置部１００１に対するヘッド設置部１０００、１００２の位置を固定するためのロックネジ、８５７ａ，８５７ｃは前記回転方向の位置合わせを行った後ヘッド設置部１００１に対するヘッド設置部１０００、１００２の回転方向の相対位置を固定するためのロックネジである。
【００９２】
各アーム８５１ａ〜８５１ｃおよび調整板８５２ａ〜８５２ｃは厚さ約７ｍｍのステンレス板からなるが、調整板８５２ａ，８５２ｃは、固定ブロック８５３ａ，８５３ｃに近い部分に溝および開口により剛性を減じた部分（ヒンジ部）８５８を設け、ヒンジ部８５８を軸に回転可能なように構成されている。調整板８５２ａ，８５２ｃは、さらに、図２１に示すように、アーム８５１ａ，８５１ｃを取り付けるためのアーム取り付け部８６１を僅かな部分（たわみ部）８６２を残して開口とスリットにより調整板８５２ａ，８５２ｃの他の部分から分離しており、アーム取り付け部８６１が図２１の平面内で調整板８５２ａ，８５２ｃの他の部分に対して移動可能にしてある。
【００９３】
ヘッド設置部１０００のＸ方向の位置合わせを行うには、ロックネジ８５６ａをゆるめ、マイクロメータ８５４ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメータ８５４ａの先端に固定されたくさび８６３が調整板８５２ａに固定されたガイド８６４に沿って図２１中で上下（Ｚ方向）に移動し、くさび８６３の斜面と摺接している金具８６５が図２１中で右または左（Ｘ方向）に移動する。金具８６５は調整板８５２ａの他の部分に対してＸ方向に移動可能なアーム取り付け部８６１に固定されているから、金具８６５がＸ方向に移動することによりヘッド設置部１０００はヘッド設置部１００１に対してＸ方向に移動し相対的に位置合わせされる。位置合わせ後は、ロックネジ８５６ａを締めて、調整板８５２ａ中のアーム取り付け部８６１の位置を固定する。バネ８６６はくさび８６３が上るときアーム取付部８６１を図２１中で右方向に戻すため、金具８６５を図２１中で右方向に付勢している。
【００９４】
ヘッド設置部１０００の着色面に平行な面内の回転方向位置、すなわちヘッド設置部１０００のインクジェットヘッド１２０ａとヘッド設置部１００１のインクジェットヘッド１２１ａの平行出しを行うには、ロックネジ８５７ａをゆるめ、マイクロメータ８５５ａを回転する。その回転方向に応じてマイクロメータ８５４ａの先端に固定されたくさび８７１が調整板８５２ｂに固定されたガイド８７２に沿って調整板８５２ｂと平行に図２２中で上下（Ｚ方向）に移動し、くさび８７１の斜面と摺接している金具８７３が図２２中で右または左（Ｘ方向）に移動する。金具８７３は調整板８５２ａの先端側（固定ブロック８５３と反対の側）に固定されており、調整板８５２ａは先端側が固定ブロック８５３に対しヒンジ部８５８を軸に回転可能に構成されているから、金具８７３がＹ方向に移動することによりヘッド設置部１０００のインクジェットヘッド１２０ａはヘッド設置部１００１のインクジェットヘッド１２１aに対してＸ−Ｙ平面と平行な平面内で回転し、回転方向の位置合わせ、すなわちインクジェットヘッド１２０ｂとの平行出しが行われる。位置合わせ後は、ロックネジ８５７ａを締めて、調整板８５２ｂに対する調整板８５２ａの前記回転方向の位置を固定する。バネ８７４はくさび８７１が上るとき調整板８５２ａの先端側を調整板８５２ｂ寄りに戻すためのものである。
【００９５】
調整板８５２ｃも調整板８５２ａと同様に構成され、調整板８５２ｂに対して同様に位置合わせされる。なお、上述においては、ヘッド設置部１０００のインクジェットヘッド１２０ａ及びヘッド設置部１００１のインクジェットヘッド１２１aの着色方向（Ｙ方向）と直交する方向（Ｘ方向）の位置合わせと、着色面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回り）の位置合わせについて説明したが、Ｚ方向の位置合わせはユニット組立時、ヘッド設置部１０００〜１００２を固定したアーム８５１ａ〜８５１ｃを調整板に８５２ａ〜８５２ｃに取り付ける際、ヘッド設置部１０００〜１００２の基準面を超平面からなる治具に押し当てて取り付けネジ８６８を締めることにより行う。各インクジェットヘッド１２０ａ、１２０ｂ、１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂのノズル面の高さは、各ヘッド設置部１０００、１００１、１００２の基準面から一定の高さとなるように位置決めされている。
【００９６】
上述のように組み立ておよび位置合わせしたインクジェットヘッドユニット６０６は、図１３に示すカラーフィルタ製造装置のヘッドθモータ６１２の底面に、図２０のネジ穴８５９および８６０を用いて吊り下げ固定される。
【００９７】
〔ヘッド設置部の構成〕
次に、ヘッド設置部（ヘッド固定治具）１０００、１００１、１００２の詳細な構成について、図２３を参照しながら説明する。尚、各ヘッド設置部１０００、１００１、１００２は同一の構成を有しているので、図２３ではその中の１つの設置部１０００の構成のみを示すこととする。
【００９８】
ヘッド設置部１０００には、第１のインクジェットヘッド１２０ａが固定されるとともに、第１のインクジェットヘッド１２０ａのノズル列と第２のインクジェットヘッド１２０ｂのノズル列とが一直線となるように、第２のインクジェットヘッド１２０ｂが配置される。また、ヘッド設置部１０００にはピエゾ素子によるアクチュエータ１２３が取り付けられており、このアクチュエータ１２３を作動させることにより上記第２のインクジェットヘッド１２０ｂをノズル列方向に移動させることができる。すなわち、上記アクチュエータはヘッドのノズル列方向の位置調整手段として機能するものであり、この位置調整手段１２３（アクチュエータ）を備えることによって第２のインクジェットヘッド１２０ｂのノズル列方向の位置調整を行うことが可能となるのである。
【００９９】
本実施形態では、ヘッド設置部１０００上における第２のインクジェットヘッド１２０ｂの位置決めを行うに際し、第１のインクジェットヘッド１２０ａの第１のノズル（１２０ａ−Ｎ１）と第２のインクジェットヘッド１２０ｂの第１のノズル（１２０ｂ−Ｎ１）の間隔が、ノズルピッチの自然数倍の距離、例えば２００ノズル分の間隔となるように制御している。具体的には、各ヘッドの第１のノズル、すなわち１２０ａ−Ｎ１と１２０ｂ−Ｎ１の距離が予め設定されている所定の距離（ノズルピッチのＮ倍の距離）となるように、ピエゾ素子によるアクチュエータ１２３にかける電圧値を変化させていく。アクチュエータ１２３に印加される電圧値が変化することに伴い、第２のインクジェットヘッドの移動量も変化する。アクチュエータに印加する電圧値を大きくすれば、その分第２のインクジェットヘッドの移動量も大きくなり、一方、アクチュエータに印加する電圧値を小さくすれば、その分第２のインクジェットヘッドの移動量も小さくなる。尚、アクチュエータに印加する電圧は、インクジェットヘッドによる着色開始時まで印加しつづける必要はなく、一旦、印加すべき電圧値が決定されたら電圧をかけるのを止め、カラーフィルタ製造装置にヘッドユニットが装着されたときに再度電圧を印加するようにすればよい。これにより、インクジェットヘッド１２０ａに対してインクジェットヘッド１２０ｂを所望の位置に調整できる。尚、第１のインクジェットヘッドの第１のノズル（１２０ａ−Ｎ１）とは、第２のインクジェットヘッド１２０ｂから一番遠い距離に位置しているノズルのことであり、第２のインクジェットヘッドの第１のノズル（１２０ｂ−Ｎ１）とは、第１のインクジェットヘッド１２０ｂから一番近い距離に位置しているノズルのことである。
【０１００】
以上のようにして、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの位置関係は決定される。尚、第２のインクジェットヘッドをノズル列方向に移動させる位置調整手段としてピエゾ素子によるアクチュエータを例にあげて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、空気圧力式のアクチュエータでもよい。すなわち、本実施形態において適用可能な位置調整手段は、ノズル列方向にインクジェットヘッドを移動させて、ヘッド設置部上においてインクジェットヘッドのノズル列方向の位置調整を行うことができるものであれば良い。また、上記では第１のインクジェットヘッドの第１のノズル（１２０ａ−Ｎ１）と第２のインクジェットヘッドの第１のノズル（１２０ｂ−Ｎ１）の間隔がノズルピッチの自然数倍となるように、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの相対位置を決定しているが、本実施形態における相対位置の調整方法はこれに限定されるものではない。例えば、第１のインクジェットヘッドの第ｍのノズル（１２０ａ−Ｎｍ）（ｍは自然数）と第２のインクジェットヘッドの第ｍのノズル（１２０ｂ−Ｎｍ）との間隔がノズルピッチの自然数倍となるように調整してよい。すなわち、本実施形態においては、第１のインクジェットヘッドの任意のノズルと第２のインクジェットヘッドの任意のノズルの間の距離がノズルピッチの自然数倍となるように、２つのヘッドの相対位置を調整すれば良いのである。
【０１０１】
このように、第１のインクジェットヘッド１２０ａのノズル列と第２のインクジェットヘッド１２０ｂのノズル列が一直線となるように、且つ前記２つのインクジェットヘッドの任意のノズルの間隔（第１のインクジェットヘッドの任意のノズルと第２のインクジェットヘッドの任意のノズルの間の距離）がノズルピッチの自然数倍となるように、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドをヘッド設置部１０００上に配置し固定することにより、同一色のインクジェットヘッドを２個具備するヘッドユニットが完成する。２つのインクジェットヘッド（第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッド）の間隔がノズルピッチの自然数倍に設定されていることから、どのような画素ピッチのカラーフィルタであっても、ヘッド設置部を備えるヘッドユニットを回転させることでノズルの位置と画素の位置とを一致させることができ、その結果、このヘッドユニットを用いることにより複数種類のカラーフィルタを製造することができる。また、１つのヘッドユニット内に同一色のヘッドが２つ具備されているので、同一色のヘッドが１つしか具備されていないヘッドユニットでカラーフィルタを製造するのに比べ、製造時間の大幅な短縮が図れるようになる。尚、図２４は、カラーフィルタの画素ピッチに合わせてインクジェットヘッドをθだけ回転させた様子を示した図である。画素ピッチと一致しないノズルピッチのインクジェットヘッドを用いる場合は、ヘッドの角度を調整すればよい。例えば、Ｒヘッド（１２０ａ、１２０ｂ）の角度調整を行う場合、ＲヘッドのＸ方向のノズルピッチと、Ｘ方向において隣接する、Ｒ色の画素列のピッチとが一致するように、Ｒヘッドをθだけ回転させるのである。こうすることによりＲヘッドのノズル位置とＲ色の画素位置とが一致し、Ｒヘッドにより各画素列を着色することができるようになる。また、図２４では隣接するノズルのＸ方向の距離と画素ピッチとを一致させているが、これには限定されず、例えば、ＲヘッドのノズルをＫ（Ｋは自然数）ノズルおきに使用してカラーフィルタの着色を行う場合は、ＫノズルおきのノズルのＸ方向の距離と画素ピッチとを一致させればよい。
【０１０２】
〔カラーフィルタの着色動作〕
次に、ＲＧＢ用のヘッド設置部１０００、１００１、１００２を備えたヘッドユニット６０６を用いて実際にカラーフィルタを着色する場合の着色動作について説明する。ここでは、ヘッドユニット６０６を図１３に示すカラーフィルタ製造装置に装着し、該製造装置によってカラーフィルタを着色していく場合について、図２５のフローチャートを参照しながら説明する。
【０１０３】
まず、ステップＳ１において、カラーフィルタ製造装置にヘッドユニット６０６を装着し、予め求めておいた電圧値をアクチュエータ（位置調整手段）に印加することで、第１のインクジェットヘッド（１２０ａ、１２１ａ、１２２ａ）と第２のインクジェットヘッド（１２０ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ）の間隔を調整する。上述したように第１のインクジェットヘッドのノズルと第２のインクジェットヘッドのノズルの間の距離はノズルピッチのＮ倍（Ｎは自然数）となるように調整される。尚、カラーフィルタ製造装置にヘッドユニットが装着されたとき、前もって記憶しておいた上記電圧値を位置調整手段に印加することにより一度調整したヘッド間の距離が再現され、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの相対位置の調整が行われる。
【０１０４】
次に、ステップＳ２において、図２６に示すようにヘッドユニット６０６の全体を回転させて、カラーフィルタの画素ピッチとインクジェットヘッドのＸ方向のノズルピッチとを一致させる。本実施形態においては、Ｇヘッド（１２１ａ・１２１ｂ）を中心に回転させ、Ｇヘッド（１２１ａ・１２１ｂ）のノズルにより基板上の画素が着色可能となるような角度に調整する。また、ヘッドユニット全体の回転角度、すなわち、Ｇヘッドの回転角度が設定された後、Ｇヘッドに対しＲヘッド及びＢヘッドの回転角度の調整を行う。この場合、いずれのヘッドも、Ｘ方向のノズルピッチが画素ピッチに一致するように回転角度を決定する。
【０１０５】
次に、ステップＳ３において、図２６に示すようにＲヘッド（１２０ａ・１２０ｂ）とＢヘッド（１２２ａ・１２２ｂ）によっても基板上の画素を着色可能とするために、Ｒヘッド（１２０ａ・１２０ｂ）とＢヘッド（１２２ａ・１２２ｂ）の夫々が設置されている各ヘッド設置部１０００、１００２をノズルの配列方向に移動させて、ヘッド設置部の位置調整を行う。上記ステップＳ１〜ステップＳ３の工程を実行することにより、ヘッドと基板との位置合わせが終了する。以上の調整を行うだけでもカラーフィルタの着色を行うことは可能であるが、混色や白抜け等の欠陥の発生をより低減し、より高精細なカラーフィルタを製造するためには、更なる位置調整を行うことが好ましい。本実施形態では、下記のステップＳ４〜ステップＳ６で示すような工程を更に行うこととする。
【０１０６】
次に、ステップＳ４において、複数のインクジェットヘッドの各ノズルから基板に向けてインクを吐出して、着弾位置調整用パターンを作成する。尚、こここで使用する基板は、ＢＭを有するガラス基板上にインク受容層を設けた基板でもよいし、素ガラス基板上にインク受容層を設けた基板でもよい。
【０１０７】
次に、ステップＳ５において、着弾位置調整用パターンを読み取り、着弾位置にズレが生じていないかどうかを判定する。着弾位置にズレが生じていなければ、位置調整が正しく行われたことになるので、これにてヘッドと基板との位置調整は終了する。そして、ステップＳ７へ進み、各ヘッドからインクを吐出してカラーフィルタの着色を開始する。
【０１０８】
一方、ステップＳ５にて、着弾位置にズレが生じている場合は、ステップＳ６へ進み、位置調整を再度行う。このステップＳ６では、ヘッド設置部上におけるヘッド間の距離調整（ステップＳ１の調整）、ヘッドユニットの角度調整（ステップＳ２の調整）、ヘッド設置部のノズル列方向の調整（ステップＳ３の調整）のうち、少なくとも１つを再調整することで着弾位置のズレをなくす。再調整により位置ズレがなくなったら、ステップＳ７へ進み、カラーフィルタの着色を開始する。
【０１０９】
尚、図２５のフローチャートで示した本実施形態において、第１のインクジェットヘッド（１２０ａ、１２１ａ、１２２ａ）と第２のインクジェットヘッド（１２０ｂ、１２１ｂ、１２２ｂ）の間隔の再調整は、ヘッドユニットの角度調整及びヘッド設置部の位置調整が終了した後のステップＳ６にて行われているが、この再調整はヘッドユニットの角度調整及びヘッド設置部の位置調整を行う前に実行するようにしてもよい。つまり、図２５のステップＳ１の終了後、基板上にインクを吐出して着弾位置調整用パターンを作成し、そのパターンを読み取る。そして、その読み取り結果に基づき、ヘッド間の距離を再調整するようにしてもよい。こうすることで、ヘッド設置部上におけるヘッド間の距離調整をより精密に行うことができ、ヘッド間距離を確実に所望の距離とすることができる。
【０１１０】
以上のように本実施形態例によれば、１つのヘッド設置部に設置される複数のインクジェットヘッドの各々の間隔を簡単に調整できる位置調整機構を設けることで、使用ヘッド数を増加させたとしても簡単にヘッド間の位置調整を行うことができるようになり、その結果、ヘッド数を増加させることによって生じる、ヘッドの位置合わせに要する時間の長期化という虞がなくなり、使用ヘッド数を増加させることによって得られる製造時間の短縮という効果を十分に生かすことができる。また、同一色のヘッドを複数具備したヘッドユニットを用いてカラーフィルタを着色を行っているため、従来に比して一度に着色可能な領域が広がり、その分着色時間も短縮できる。また、大型基板であっても、基板が大きくなった分ヘッド数を増加させればよく、これにより生産性の低下を招かずにカラーフィルタの製造を行うことができる。
【０１１１】
（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、２つのインクジェットヘッド（第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッド）のノズルピッチが等しい場合について説明したが、この第２の実施形態では２つのインクジェットヘッドのノズルピッチが異なる場合について説明する。尚、この他は上記第１の実施形態と同じであるので説明を省略する。
【０１１２】
本実施形態では、ノズル数が２００個、ノズルピッチが設計値で３００μｍ（＝０．３ｍｍ）のインクジェットヘッドを用いる場合について説明する。この場合、両端のノズルの間隔は、設計値で５９．７００ｍｍ（＝（２００−１）×０．３ｍｍ）である。ところが、実際にインクジェットヘッドのノズルピッチを測定すると、設計値に対して±５０μｍ程度のバラツキが生じていることがある。すなわち、実測値が５９．６５０〜５９．７５０ｍｍの範囲内でばらつく場合があるのである。特に、製造ロットの異なるインクジェットヘッドは上記バラツキが大きく、±５０μｍ程度のバラツキが生じることもある。
【０１１３】
ここで、第１のインクジェットヘッド１２０ａの両端のノズル間の距離が５９．６５０ｍｍであり、第２のインクジェットヘッド１２０ｂの両端のノズル間の距離が５９．７５０ｍｍであったと仮定する。このとき、第１のインクジェットヘッドの平均ノズルピッチは、２９９．７４９μｍ（＝５９．６５０×１０００／（２００−１）μｍ）となる。このような第１及び第２のインクジェットヘッドを用いて、図１０に示すようなカラーフィルタを製造する場合、２６４μｍの画素ピッチとＸ方向のノズルピッチとを一致させるために、ヘッドの傾き角度θをθ＝ＣＯＳ−１（２６４／２９９．７４９）＝２８．２６８５２７５６°とする必要がある。また、このとき、第１のインクジェットヘッド１２０ａの両端のノズルのＸ方向における間隔は、画素ピッチ（２６４μｍ）の自然数倍と等しく、５２．５３６ｍｍ（＝２６４／１０００×（２００−１）ｍｍ）となっている。
【０１１４】
また、第２のインクジェットヘッド１２０ｂは、第１のインクジェットヘッド１２０ａと同じヘッド設置部に設置されていることから、ヘッドの傾き角度θも第１のインクジェットヘッド１２０ａと同じである。これを考慮すると、第２のインクジェットヘッド１２０ｂの両端のノズルのＸ方向における間隔は、５２．６２４０７４ｍｍ（＝５９．７５０×ＣＯＳ２８．２６８５２７５６°ｍｍ）となる。これは、第１のインクジェットヘッド１２０ａの両端のノズルのＸ方向における間隔５２．５３６ｍｍと比較すると、８８．０７４μｍ（＝１０００×（５２．６２４０７４−５２．５３６）ｍｍ）の差異が生じていることが分かる。
【０１１５】
上記のように８８．０７４μｍの差が生じているヘッドユニットを用いて着色を行うと、画素に着色不良が発生してしまう。すなわち、８８．０７４μｍという長さは画素ピッチ（２６４μｍ）の約１／３の長さであり、このまま着色を行うと第２のインクジェットヘッド１２０ｂの１番目のノズル（１２０ｂ−Ｎ１：第１のインクジェットヘッドに一番近いノズル）は対応する色の画素に対してインクを吐出することが可能であったとしても、２００番目のノズル（１２０ｂ−Ｎ２００：第１のインクジェットヘッドから一番遠いノズル）は本来そのノズルにて着色を行うべき画素に対してはインクを吐出することができず、その代わりに本来着色すべき画素に隣接する画素に対してインクを吐出することになってしまう。このように、同一のヘッド設置部において設置される２つのヘッドの夫々のノズルピッチが異なってしまうと、所望の箇所に対してインクを吐出することができなくなってしまい、カラーフィルタの製造に支障をきたしてしまう。この弊害を回避するためには、同一のヘッド設置部に対し、ノズルピッチのバラツキが同程度のインクジェットヘッドを設置する必要がある。本来、ノズルピッチが同一のヘッドを用いることが理想形ではあるが、ヘッドの製造の際にどうしてもバラツキが生じることから、ノズルピッチが完全に同一のヘッドを製造することは難しい。そこで、本実施形態では、ノズルピッチが異なる場合であっても高精細なカラーフィルタを製造できるように、同一のヘッド設置部には、ノズルピッチのバラツキαが所定の範囲内にあるヘッドだけを選別して用いることとしている。具体的には、前記第１のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ1、前記第２のインクジェットヘッドのインク吐出口ピッチの平均値をｍ2、前記第1のインクジェットヘッド及び第2のインクジェットヘッドの各々のノズル数をｎとしたとき、ノズルピッチのバラツキα（＝|ｍ1（ｎ−１）−ｍ2（ｎ−１）|）が、０＜α＝|ｍ1（ｎ−１）−ｍ2（ｎ−１）|（μｍ）≦５、好ましくは０＜α＝|ｍ1（ｎ−１）−ｍ2（ｎ−１）|（μｍ）≦２、より好ましくは０＜α＝|ｍ1（ｎ−１）−ｍ2（ｎ−１）|（μｍ）≦１の範囲内にあるヘッドを用いている。換言すると、第１のインクジェットヘッドの使用ノズル（使用するインク吐出口）の両端の間隔（距離）と第２のインクジェットヘッドの使用ノズル（使用するインク吐出口）の両端の間隔（距離）の差αが、０＜α（μｍ）≦５、好ましくは０＜α（μｍ）≦２、より好ましくは０＜α（μｍ）≦１の範囲内にあるヘッドを用いるのである。つまり、同じヘッド設置部にN個のヘッドを設置する場合、N個のヘッドの夫々の使用ノズルの両端のノズルピッチの差が上記範囲内となるように構成するのである。
【０１１６】
尚、このノズルピッチのバラツキの範囲は、仮に、ノズル位置に対する着弾位置のバラツキ・着弾したドット径のバラツキ・撥水部の幅および位置のバラツキ（基板のバラツキ）・ステージの位置決め精度のバラツキ等の種々のバラツキが存在したとしても、所望の位置にインクを吐出することができるように設定された範囲である。このように上記バラツキαは、ノズル位置に対する着弾位置のバラツキ・着弾したドット径のバラツキ・撥水部の幅および位置のバラツキ（基板のバラツキ）・ステージの位置決め精度のバラツキ等の誤差を考慮して決定されたものであり、この範囲内であれば画素ピッチの異なるカラーフィルタでも製造可能である。
【０１１７】
以上のように本実施形態例によれば、ノズルピッチのバラツキが同程度のヘッドを同一のヘッド設置部に設置することで、画素の着色不良の発生を低減することができる。また、ノズルピッチの異なるヘッドであっても、ノズルピッチのバラツキを所定の範囲内とすることで、画素ピッチの異なるカラーフィルタの製造が可能となる。
【０１１８】
（その他の実施形態）
尚、本発明では、その主旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能である。例えば、近年ＴＦＴアレイ側にカラーフィルタを設けたパネルも存在するが、本明細書で定義しているカラーフィルタは、色材により着色された被着色体でありＴＦＴ側にあるか否かに係らず、どちらも包括する。
【０１１９】
また、インクジェットヘッドのノズル列方向の位置調整を行うための位置調整手段は、ヘッド設置部に固定されていてもよいし、インクジェットヘッドに固定されていてもよい。つまり、位置調整手段は、ヘッド設置部とインクジェットヘッドのいずれか一方にのみ固定され、他方に対して移動可能に設置されていれば良いのである。
【０１２０】
また、１つのヘッド設置部に設置される同一色のインクジェットヘッドは、３個、４個、５個…のいずれでもよい。つまり、複数個であればよいのである。ヘッド設置部に設置するインクジェットヘッドの数が増加すればするほど、一度に着色できる領域が広がるため、製造時間の短縮化を図ることができる。
【０１２１】
また、ヘッド設置部にインクジェットヘッド（第１〜第３のヘッド）を３個設ける場合は、位置調整手段を第２のヘッドと第３のヘッドに夫々設けるように構成すればよい。すなわち、Ｎ個のヘッド（第１〜第Ｎのヘッド）を設ける場合は、位置調整手段を第２〜第Ｎのヘッドの夫々に設けるように構成すればよいのである。
【０１２２】
また、上記実施形態では、ヘッド設置部に設置される複数のインクジェットヘッドのうち１つのインクジェットヘッドを固定することとしているが、これには限定されず、固定されているヘッドが存在しないように構成してもよい。つまり、全てのインクジェットヘッドに対応して夫々位置調整手段を設け、全インクジェットヘッドが位置調整可能であるように構成してもよい。
【０１２３】
また、上記実施形態では、第１のインクジェットヘッドのノズル列（第１のインク吐出口列）と第２のインクジェットヘッドのノズル列（第２のインク吐出口列）とが同一直線上に並ぶように、第１のインクジェットヘッドと第２のインクジェットヘッドの双方をヘッド設置部に設置しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ヘッドのノズルピッチがカラーフィルタの画素ピッチの整数倍であり、ヘッドを回転させなくともカラーフィルタの着色が可能な場合は、図２７に示すようなヘッド配置でもよい。すなわち、第１のノズル列（インク吐出口列）と第２のノズル列（インク吐出列）が同一方向となるように、双方のヘッドを設置すれば良いのである。
【０１２４】
また、カラーフィルタの着色動作は、インクジェットヘッドを固定してステージを移動させることにより実行してもよいし、ステージを固定してインクジェットヘッドを移動させることにより実行してもよい。
【０１２５】
また、上記に示したカラーフィルタの製造装置は２つのヘッドユニットを搭載しているが、ヘッドユニットの数は２つに限定されるものではなく、１つでもよいし、３つ以上でもよい。ヘッドユニットの数が少ない程、各インクジェットヘッド及びヘッドユニット間の相対位置の位置決めに要する時間が短くて済み、制御も簡単である。一方、ヘッドユニットの数が多い程、着色に使用し得るノズル数が多くなるため、ヘッドと基板の１回の相対走査において着色可能な領域が広がり、着色時間の短縮につながる。
【０１２６】
また、上記実施形態では、エネルギー発生素子（エネルギー付与手段）として電気熱変換体を用いたバブルジェットタイプのものを用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、例えば、圧電素子を用いてインクに機械的振動又は変位を与えるピエゾジェットタイプ等も使用可能である。
【０１２７】
本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーによりインクの状態変化を生起させる方式のプリント装置について説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、高精細化が達成できる。
【０１２８】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）が保持されているシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状にすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０１２９】
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０１３０】
記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成としても良い。
【０１３１】
さらに、カラーフィルタ基板の最大幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満たす構成としてもよい。
【０１３２】
加えて、カラーフィルタ製造装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０１３３】
また、本発明のカラーフィルタ製造装置の構成として設けられる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にできるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モードを行うことも安定した記録を行うために有効である。
【０１３４】
以上説明した本発明の実施の形態においては、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化するものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであればよい。
【０１３５】
加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってインクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のような、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質のインクを使用する場合も本発明は適用可能である。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形態としてもよい。本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
【０１３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、１つのヘッド設置部に設置される複数のインクジェットヘッドの各々の間隔を簡単に調整できる位置調整機構を設けることで、使用ヘッド数を増加させたとしても簡単にヘッド間の位置調整を行うことができるようになり、その結果、ヘッド数の増加による生産性の向上を図ることが可能となる。同一色のインクジェットヘッドを複数具備するヘッドユニットを用いてカラーフィルタを製造することが可能となるので、一度に着色可能な領域が従来と比べて大きくなり、その分製造時間を短縮することができる。また、大型基板であっても、基板が大きくなった分ヘッド数を増加させればよく、これにより生産性の低下を招かずにカラーフィルタの製造を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルタの製造工程の一例を示した図である。
【図２】カラーフィルタの製造工程の一例を示した図である。
【図３】カラーフィルタの製造工程の一例を示した図である。
【図４】一実施形態のカラーフィルタを組込んだカラー液晶表示装置の基本構成の一例を示す断面図である。
【図５】一実施形態のカラーフィルタを組込んだカラー液晶表示装置の基本構成の一例を示す断面図である。
【図６】一実施形態のカラーフィルタを組込んだカラー液晶表示装置の基本構成の一例を示す断面図である。
【図７】液晶表示装置を情報処理装置に適用した場合の概略構成を示すブロック図である。
【図８】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示した図である。
【図１０】本発明で製造可能なカラーフィルタのパターンの一例を示した図である。
【図１１】本発明において製造されるカラーフィルタをＴＦＴ液晶パネルに組み込んだときの表示部のサイズ（画面のサイズ）を示した図である。
【図１２】本発明で製造可能なカラーパターンの例を示した図である。
【図１３】カラーフィルタ製造装置の一実施形態の構成を示す概観図（斜視図）である。
【図１４】カラーフィルタ製造装置のステージ周辺の詳細図である。
【図１５】カラーフィルタ製造装置のインクジェットヘッド及び光学系の配置図である。
【図１６】インクジェットヘッドユニットの概略構成図である。
【図１７】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制御部の構成を示す図である。
【図１８】カラーフィルタの製造装置に使用されるインクジェットヘッドの構造を示す図である。
【図１９】インクジェットヘッドのヒータに印加される電圧波形を示した図である。
【図２０】インクジェットヘッドユニット６０６の構成を示す上面図である。
【図２１】インクジェットヘッドユニット６０６の構成を示す正面図である。
【図２２】インクジェットヘッドユニット６０６の構成を示す側面図である。
【図２３】ヘッド設置部の詳細な構成を示した図である。
【図２４】カラーフィルタの画素ピッチに合わせてインクジェットヘッドをθだけ回転させた様子を示した図である。
【図２５】第１の実施形態におけるカラーフィルタの着色動作を示すフローチャートである。
【図２６】ヘッドと基板の位置合わせの様子を示した図である。
【図２７】ヘッド設置部に設置するインクジェットヘッドの配置方法の一例を示した図である。
【符号の説明】
１  光透過性基板
２  ブラックマトリクス
３  樹脂組成物層
４  フォトマスク
５  非着色部
８  保護層
１２  隔壁
１４  硬化インク
３０  樹脂組成物層
４６  着色部
５４  カラーフィルタ
５８  コントローラ
５９  ティーチングペンダント（パソコン）
６０  キーボード
６５  インターフェース
６６  ＣＰＵ
６７  ＲＡＭ
６８  ＲＯＭ
７０  吐出制御部
７１  ステージ制御部
９０  カラーフィルタ製造装置
１０８  ノズル
１２０  インクジェットヘッド（Ｒヘッド）
１２１  インクジェットヘッド（Ｇヘッド）
１２２  インクジェットヘッド（Ｂヘッド）
１２３  位置調整手段
６０３  ＸＹステージ
６０４  チルトステージ
６０５  ガラス基板
６０６  インクジェットヘッドユニット
６０９  着弾位置検出用光学系
６１０  ヘッドステージ
６１２  ヘッドθモータ
６１３  支持アーム
１０００  ヘッド設置部（Ｒ用ヘッド固定治具）
１００１  ヘッド設置部（Ｇ用ヘッド固定治具）
１００２  ヘッド設置部（Ｂ用ヘッド固定治具）
【図１】
0003880289.tif 000002
【図２】
0003880289.tif 000003
【図３】
0003880289.tif 000004
【図４】
0003880289.tif 000005
【図５】
0003880289.tif 000006
【図６】
0003880289.tif 000007
【図７】
0003880289.tif 000008
【図８】
0003880289.tif 000009
【図９】
0003880289.tif 000010
【図１０】
0003880289.tif 000011
【図１１】
0003880289.tif 000012
【図１２】
0003880289.tif 000013
【図１３】
0003880289.tif 000014
【図１４】
0003880289.tif 000015
【図１５】
0003880289.tif 000016
【図１６】
0003880289.tif 000017
【図１７】
0003880289.tif 000018
【図１８】
0003880289.tif 000019
【図１９】
0003880289.tif 000020
【図２０】
0003880289.tif 000021
【図２１】
0003880289.tif 000022
【図２２】
0003880289.tif 000023
【図２３】
0003880289.tif 000024
【図２４】
0003880289.tif 000025
【図２５】
0003880289.tif 000026
【図２６】
0003880289.tif 000027
【図２７】
0003880289.tif 000028