(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒径分布を測定するための測定対象試料を設置する位置に該測定対象試料に代えて蛍光物質からなる校正試料を位置させた状態でその校正試料に対して粒径分布の測定時に前記測定対象試料に照射するものと同じ光を照射する光源と、この光源から前記校正試料に光を照射することによって校正試料から生ずる光を、粒径分布の測定時に前記測定対象試料に光を照射したときに生じる回折光および／または散乱光を検出するものと同じ所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、これら各検出器により検出される光の感度校正を行うように構成していることを特徴とする粒径分布測定装置。
【請求項２】
測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器による検出値に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、
前記測定対象試料を封入した測定用セルと実質的に同一形状でその内部に蛍光物質からなる校正試料を充填した感度校正用セルを前記測定用セルと取換え自在に構成し、この取換えた感度校正用セル内の校正試料に前記光を照射することによって校正試料から生ずる光を前記各検出器で検出し、各検出器の光の感度校正を行うように構成していることを特徴とする粒径分布測定装置。
【請求項３】
前記光源が、レーザ光源であることを特徴とする請求項１または２に記載の粒径分布測定装置。
【請求項４】
測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器による検出値に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置において、
前記測定対象試料を設置する位置に蛍光物質からなる校正試料を位置させ、校正試料に励起エネルギーを与え、この校正試料から生じる光を前記各検出器で検出することによって、各検出器より検出される光の感度校正を行なうことを特徴とする粒径分布測定装置における感度校正方法。
【請求項５】
各検出器からの光量検出値を感度補正することなく入力し、この光量検出値から光学定数の影響を取り除いた各検出器の相対値を算出し、
この相対値を用いて各検出器の感度補正係数を算出することを特徴とする請求項４に記載の粒径分布測定装置における感度校正方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ回折／散乱式の粒径分布測定装置及び粒径分布測定装置における感度校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、粒径分布測定装置で粒径分布を測定する際、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光の角度に対する強度分布を測定対象試料の周囲に配置された複数の検出器（各検出器は個々にチャンネルを有している）からの検出値をもとに演算する。ところが、各検出器にはその大きさ、ドーピング量などの製造上の個体差や汚れなどによる感度低下の影響があり、これを感度補正する必要がある。
【０００３】
粒径分布測定装置の校正方法としては、例えば、単分散球形粒子の標準試料としてポリスチレンラテックス球（以下、ＰＳＬ球という）を用いて、散乱光および回折光を発生させ、そのとき得られた回折光および／または散乱光（以下、回折光も含めて散乱光という）の検出値と、あらかじめ各標準粒子の粒子径から理論上計算して求められる散乱光の基準値とを比較して、両値（データ）の差異を感度補正係数として記憶していた。そして、未知の測定対象試料の測定時にはこの感度補正係数をもとにサンプルからの散乱光強度を補正していた。これによって、正確な粒径分布の測定を可能としている。
【０００４】
また、一般的に測定対象試料に照射するレーザ光の照射方向から見て前方（小角）に配置された検出器はたとえば１μｍ程度以上の比較的大きな粒子による回折／散乱光を検出し、側方から後方（広角）に配置された検出器は１μｍ以下の小さな粒子による回折光や散乱光を検出するものである。このため、粒径分布の測定範囲が例えば数十ｎｍ〜数ｍｍのように広範囲である粒径分布測定装置では、その検出器が前方から後方まであるので、これら全ての検出器による測定感度を校正するために、粒子径の異なる複数種類の標準粒子を用いて測定し感度校正している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような校正方法では、各検出器の感度校正のために複数の標準粒子を用いる必要があるので、この標準粒子の数だけ測定を繰り返す必要があり、感度校正に多くの時間がかかるという問題があった。また、感度校正に用いる複数種類の標準粒子が入手困難になる場合もあり、必要とする標準粒子のうち１種類でも入手できなくなると、前記感度校正が行えなくなることがあった。
【０００６】
加えて、各標準粒子による散乱光パターンはその粒子径に応じて変化するため、前記感度補正係数の算出に際して、あらかじめ各標準粒子の散乱光パターンの理論値を計算して求めておき、これを記憶しておく必要があった。さらに、感度校正に用いる標準粒子の粒子径が理論値演算した粒子径に比べて少しでもずれていれば、その散乱光パターンもずれることが生じ、また、理論値演算によって求めた散乱光パターンの理論値が必ずしも実測値と同じにならないことから、部分的にそのずれが大きく生じて、正確な感度校正を行えない検出器のチャンネルが発生することもあった。また、各標準粒子によって検出器のどのチャンネルを感度校正することができるかを選択することも難しかった。
【０００７】
さらに、一般的に標準粒子として用いられる高精度のＰＳＬ球は高価であるために、感度校正に必要となるコストが高くなるという問題もあった。とりわけ、粒径分布測定装置の製造時には必ず検出器の感度校正を行なうが、その度に複数種類の高価なＰＳＬ球を使用することが製造コストの引き上げの原因となっていた。加えて、凝集などによるＰＳＬ球の経時的な変化を防ぐために、例えば１年ごとに新しいものと取り替える必要があり、これによってコスト増大を招いていた。
【０００８】
本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなされたものであって、その目的は、感度校正にかかるコストを抑えることができ、しかも、短時間で高精度に感度校正することができる粒径分布測定装置および粒径分布測定装置における感度校正方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の粒径分布測定装置は、粒径分布を測定するための測定対象試料を設置する位置に該測定対象試料に代えて蛍光物質からなる校正試料を位置させた状態でその校正試料に対して粒径分布の測定時に前記測定対象試料に照射するものと同じ光を照射する光源と、この光源から前記校正試料に光を照射することによって校正試料から生ずる光を、粒径分布の測定時に前記測定対象試料に光を照射したときに生じる回折光および／または散乱光を検出するものと同じ所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、これら各検出器により検出される光の感度校正を行うように構成していることを特徴としている。（請求項１）
また、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器による検出値に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、前記測定対象試料を封入した測定用セルと実質的に同一形状でその内部に蛍光物質からなる校正試料を充填した感度校正用セルを前記測定用セルと取換え自在に構成し、この取換えた感度校正用セル内の校正試料に前記光を照射することによって校正試料から生ずる光を前記各検出器で検出し、各検出器の光の感度校正を行うように構成していることを特徴としている。（請求項２）
【００１０】
蛍光物質からなる校正試料は励起エネルギーが与えられることにより、全方向に均一に蛍光し（本明細書における蛍光には燐光も含まれる）、この光には小角から広角まで角度依存性がない。したがって、各検出器はその角度に関係なく一度の測定で全ての検出器が蛍光物質からなる校正試料からの光を検出することができ、これによって一度の測定で全検出器を感度校正することが可能となり、短時間で高精度に感度校正できる。なお、蛍光物質からなる校正試料に与える励起エネルギーは蛍光物質から蛍光する光とは異なる波長の光の照射によって供給されるエネルギーであっても、電力および／または磁力によって供給されるエネルギーであってもよい。
【００１１】
また、従来のように感度校正の度に高価なＰＳＬ球のような標準試料を複数用いる必要がなく、感度校正にかかるコストを確実に抑えることができる。とりわけ、製造時における感度校正に用いる場合に製造コストを飛躍的に削減できる。さらに、従来のように各検出器の出力を標準試料の理論演算による散乱光パターンと比較する必要がないので、あらかじめ各検出器に入る散乱光の強度を、標準試料の種類に合わせた計算で求める必要がない。また、従来は生じていた散乱光パターンの理論値と測定値の違いによる誤差の影響もなく、測定精度のさらなる向上を達成できる。
【００１２】
また、測定対象試料を収容するための測定用セルと実質的に同一形状の感度校正用セルに蛍光物質を充填させ、この感度校正用セルを測定用セルと取換えるので、各検出器自身の検出感度の補正のみならずセルの形や特性の違いなど、光学系の形状や特性などの個体差に依存する検出感度の違いを校正することも可能となる。また、感度校正の度に蛍光物質を破棄する必要がなく、同じ蛍光物質を用いて複数の粒径分布測定装置の感度校正を行なうことが可能となる。すなわち、さらなるコスト削減を達成できる。
【００１３】
さらに、前記粒径分布測定装置であって、光源から蛍光物質からなる校正試料に光が照射される際に、この蛍光物質からなる校正試料から生じる光を前記検出器で検出し、各検出器の光の感度校正を行なうので、励起エネルギーを与えるためのエネルギー源を別途設ける必要がないだけでなく、測定対象試料に対して照射されるのと同じレーザ光によって蛍光させることにより、測定対象試料とほゞ同じ条件で生じた各角度の光の強度を測定することができる。
【００１４】
本発明の粒径分布測定装置における感度校正方法は、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器による検出値に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置において、前記測定対象試料を設置する位置に蛍光物質からなる校正試料を位置させ、校正試料に励起エネルギーを与え、この校正試料から生じる光を前記検出器で検出することによって、各検出器より検出される光の感度校正を行なうことを特徴としている。（請求項４）
【００１５】
前記粒径分布測定装置における感度校正方法によって各検出器の感度校正を行うことにより検出器の大きさ、汚れ、ドーピング量の違いなどの個体差によるばらつきを校正して、適切な感度補正係数を求めることが可能となり、より正確な粒径分布測定を行うことが可能となる。また、同時に検出器を除いた光学系を構成する各部の形状や特性の違いによって決まる光学定数の理論演算値に対するズレをも校正することができる。
【００１６】
各検出器からの光量検出値を感度補正することなく入力し、この光量検出値から光学定数の影響を取り除いた各検出器の相対値を算出し、この相対値を用いて各検出器の感度補正係数を算出する場合（請求項５）には、感度補正係数を容易かつ正確に算出することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の粒径分布測定装置１の構成を概略的に示す図である。図１において、２は測定対象試料Ｓを分散した状態で封入する測定用セル、３はこのセル２にレーザ光Ｌを照射する例えばＨｅ−Ｎｅレーザ管からなる光源、４はこのレーザ光Ｌの径を拡大するビーム拡大器、５は測定対象試料Ｓによって発生した回折光および／または散乱光（以下、回折光も含めて散乱光Ｌｓと表現する）を検出する検出器、６はレーザ光Ｌを検出器５に集光させるレンズである。
【００１８】
なお、以下の説明において区別を必要とするときには、レーザ光Ｌの進行方向に対して前方および後方（小角および広角）に生じる散乱光Ｌｓを符号Ｌｓ1 およびＬｓ2 で表わし、検出器５を符号５ａおよび５ｂで表わし、レンズ６を符号６ａおよび６ｂで表わす。また、本例においては検出器５ａはリングディテクタであり、検出器５ｂは個々に配置された検出器５ｂ1 〜５ｂ4 である例を示しているが、本発明はこの点を限定するものではない。さらに、リングディテクタ５ａの各層および各検出器５ｂ1 〜５ｂ4 にはそれぞれ異なるチャンネルが付されており、検出器５は全体として各チャンネルごとに光量の検出値をそれぞれ出力する。したがって、以下の説明においては各チャンネル毎の検出値を各検出器５によるものとして表現する。
【００１９】
７は各検出器５によって検出される散乱光Ｌｓの強度を用いて測定対象試料Ｓの粒径分布を算出する演算処理装置であって、この演算処理装置７は、記憶部８と、記憶部８に記憶されたプログラムおよびデータを用いて各検出器５によって検出された散乱光Ｌｓの強度を解析して測定対象試料Ｓの粒径分布を求める処理部９（以下、ＣＰＵという）とを有している。また、７ａは求められた粒径分布などを表示する表示部である。
【００２０】
なお、本例の装置構成は以下の説明を容易とするための一例を示すものであって、この構成に限定するものではない。すなわち、例えばセル２の形状は箱型であることに限定するものではなく円柱状であってもよい。また、光源３，検出器５の配置や数、レンズ４，６の位置や種類なども適宜に選択可能である。
【００２１】
前記記憶部８には、各検出器５によって検出されるべき散乱光Ｌｓの検出強度分布をセル２および光学系３〜６を構成する各部の形状（各検出器５の測定立体角など）や特性（各検出器５の増幅率など）などから理論演算によって求めてなる光学定数Ｄａと、各検出器５の個体差などに起因する影響を表わす相対値Ｄｂと、この相対値Ｄｂを用いて求められる感度補正係数Ｄｃと、各検出器５から得られる検出値Ｄｉｎと、粒径分布演算によって求められる粒径分布Ｄｏｕｔと、この感度補正係数Ｄｃを算出するための一連の感度校正方法の手順を示す校正プログラムＰａと、任意の測定対象試料Ｓを測定したときに得られる各検出器５による検出値Ｄｉｎを用いてこの測定対象試料Ｓの粒径分布を求める演算プログラムＰｂとを記憶している。
【００２２】
２’は前記測定用セル２と同一形状であり、その測定用セル２と取換え自在に構成された感度校正用セルであって、その内部には蛍光物質からなる校正試料Ｓｃを充填する。セル２’内に充填される蛍光物質としては、例えばフルオレセインやローダミンＢのような蛍光染料などを用いることができるが、その濃度は自己吸収しない程度に希釈したものを用いることが望ましい。
【００２３】
図２は図１の測定用セル２の代わりに感度校正用セル２’を取り付けた状態を示す図であって、図３は前記校正プログラムＰａを実行したときの処理の流れを説明する図である。図２，３において、図１と同じ符号を付した部分は同一および／または同等の部分であるから、その詳細な説明を省略する。
【００２４】
図２において、Ｌｆ（Ｌｆ1 ，Ｌｆ2 ）は感度校正用セル２’内の校正試料Ｓｃに対してレーザ光Ｌを照射することによって励起した校正試料Ｓｃ内の蛍光物質による蛍光であって、前記散乱光Ｌｓ（Ｌｓ1 ，Ｌｓ2 ）に対応するものである。
【００２５】
次に、図３を図２と共に用いて、本例の粒径分布測定装置１における感度校正方法を説明する。すなわち、Ｓ１は前記感度校正用セル２’を粒径分布測定装置１の光学系に取り付けた状態で、この感度校正用セル２’にレーザ光Ｌを照射することにより蛍光Ｌｆを発生し、この蛍光Ｌｆを各検出器５を用いて検出するステップである。
【００２６】
このとき、校正試料Ｓｃはレーザ光Ｌから光エネルギーを与えられて励起することにより、レーザ光Ｌとは異なる波長の光Ｌｆを全方向に万遍なく蛍光する。すなわち、小角から広角に至までの全ての検出器５ａ，５ｂは同じ放射強度の蛍光Ｌｆ1 ，Ｌｆ2 を受光することができ、各検出器５はその受光面積にほゞ比例する検出信号を出力する。そして、演算処理装置７は各検出器５からの入力データを検出値Ｄｉｎとして記憶する。
【００２７】
なお、各検出器５による検出値Ｄｉｎには汚れ、製造時のドーピング量の僅かな違い、経時変化などによる各検出器５の個体差、セル２’やレンズ６の形状や材質や汚れなどに起因する各種光学特性、さらには、各検出器５からの信号を増幅して演算処理装置７に取り込むときのプリアンプの増幅率の違いなどの電気的特性など、種々の要素に起因する影響が重なりあって、その蛍光強度の検出値Ｄｉｎに幾らかのばらつきが生じる。
【００２８】
Ｓ２は前記ステップＳ１において入力した検出値Ｄｉｎを前記光学定数Ｄａによって補正するステップである。すなわち、感度校正用セル２’（同一形状なので事実上セル２を含む）、レンズ６の形状や材質などに起因する光学特性や、各検出器５の受光面積の違い、各検出器５の出力信号の増幅率の違いなど、あらかじめ理論演算によって求められる検出値Ｄｉｎの大きさの差を補正することにより、検出値Ｄｉｎから光学定数Ｄａの影響を取り除くことができる。
【００２９】
したがって、光学定数Ｄａの影響を取り除いた検出値Ｄｉｎは、各チャンネルとも理論的には同じ値を示すはずであり、ここで検出値Ｄｉｎに現れる蛍光強度のばらつきは、各検出器５の個体差に相当する。なお、この検出器５の個体差には前記感度校正用セル２’やレンズ６の形状や材質や汚れなどに起因する各種光学特性、さらには、各検出器５からの信号を増幅して演算処理装置７に取り込むときのプリアンプの増幅率の違いなどの電気的特性など、種々の要素に起因する影響も含まれているが、本明細書においてはこれら全てを含めて各検出器５からの検出値Ｄｉｎに現れる個体差という意味で、検出器５の個体差と表現する。
【００３０】
Ｓ３は前記検出器５の個体差から各検出器５の検出値に関する相対値Ｄｂを算出するステップである。より具体的には、本例では前記光学定数Ｄａの影響を取り除いた後の検出値Ｄｉｎのうち、適当なチャンネル（例えば最も受光面積の広い検出器５ａの最外側のチャンネル）の検出値Ｄｉｎを１とするような定数を全検出値Ｄｉｎに掛け合わせて、これを相対値Ｄｂとして記憶する。すなわち、この相対値Ｄｂは各検出器５の個体差による相対的な比を表わしている。
【００３１】
Ｓ４は前記相対値Ｄｂを用いて感度補正計数Ｄｃを算出するステップである。すなわち、本例では前記相対値Ｄｂの逆数を求め、これを感度補正計数Ｄｃとして記憶する。
【００３２】
以上のステップＳ１〜Ｓ４を実行することにより、演算処理装置７は校正プログラムＰａの処理を完了する。すなわち、ステップＳ１において一度の蛍光測定を実行するだけで、全ての検出器５における感度校正を行うことができ、粒径分布測定装置１の感度校正をより簡単、かつ、迅速に行うことができる。
【００３３】
前記ステップＳ４において算出される感度補正計数Ｄｃは、検出器５からの検出値Ｄｉｎの比に基づくものであるから、校正試料Ｓｃの蛍光によって発生する光Ｌｆの強度は、角度依存性がなければ、その強弱が校正結果に悪影響を受与えることがない。したがって、校正試料Ｓｃはレーザ光Ｌによって励起されて蛍光するものであれば、その種類や濃度を特に限定するものではない。
【００３４】
また、校正試料Ｓｃはレーザ光Ｌによって励起されることにより、通常の測定対象試料Ｓを測定するときとほゞ同じ条件で散乱光を発生させることができるので、より正確な感度校正をおこなうことが可能である。
【００３５】
なお、校正試料Ｓｃは自己吸収によって蛍光Ｌｆが減衰することがないように、その濃度を薄くする（あまり濃くないようにする）ことが望ましい。また、レーザ光Ｌによって励起される部分に集中的に蛍光物質を位置させるように、レーザ光Ｌの光路内に位置する感度校正用セル２’内に高濃度の校正試料Ｓｃを集中的に充填する光透過性の容器を設けてもよい。この場合、感度校正用セル２’内に充填する校正試料Ｓｃの量を節約できる。
【００３６】
とりわけ、本例の場合は感度校正用のセル２’を測定用のセル２と別途用意することにより、蛍光物質を含む校正試料Ｓｃによって循環系を汚す心配がないだけでなく、より迅速な処理を行うことができ、校正試料Ｓｃを何度も再利用することが可能となる。したがって、粒径分布測定装置１の製造時に行なう感度校正において、従来のように高価な標準試料を大量に消費する必要もなく、その製造コストを飛躍的に引き下げることができる。
【００３７】
加えて、装置使用者が前記感度校正用のセル２’を保管する場合においても、装置使用者が粒径分布測定装置１を校正する際にかかるコストがほとんど０になる。したがって、装置使用者はより頻繁に粒径分布測定装置１を校正することが可能となり、それだけ測定結果に対する信頼性を向上できる。
【００３８】
一方、前記校正試料Ｓｃは測定対象試料を収容するために用いる測定用セル２を取り替えることなくそのまま用いて、粒径分布測定装置１の循環系内に投入してもよい。この場合、未知の測定対象試料Ｓを測定するときと全く同じ条件で校正試料Ｓｃによる蛍光Ｌｆを測定し、各検出器５の個体差を校正できるので、より正確な感度校正を行なうことが可能となる。
【００３９】
図４は感度校正した粒径分布測定装置１を用いて粒径分布が未知である測定対象試料Ｓを測定する時の演算プログラムＰｂの動作を示している。したがって、以下、図４を図１と共に参照しながら、前記演算プログラムＰｂの動作を説明する。
【００４０】
図４において、Ｓ５は未知の測定対象試料Ｓにレーザ光Ｌを照射し、これによる散乱光Ｌｓを検出するステップである。このとき、前記光学系には感度校正用セル２´に代えて再び測定用セル２を位置させた状態で、測定対象試料Ｓを粒径分布測定装置１内に投入し、これを適宜の分散媒によって混合拡散し、これにレーザ光Ｌを照射することによって生じた散乱光を各検出器５を用いて検出する。そして、各検出器５の出力は、検出値Ｄｉｎとして記憶部８に記憶される。
【００４１】
Ｓ６は前記光学定数Ｄａを用いて前記検出器Ｄｉｎを補正するステップである。これによって、前記検出値Ｄｉｎから各検出器５の受光面積やそのプリアンプの増幅率など、あらかじめ予測可能な装置の構成に起因する大きさの違いが取り除かれる。
【００４２】
Ｓ７は前記感度補正計数Ｄｃを用いて前記検出値Ｄｉｎを補正するステップである。つまり、前記検出値Ｄｉｎに前記感度補正計数Ｄｃを掛けることにより、上述した検出器５の個体差に起因する影響を取り除いて、これを補正することができる。
【００４３】
Ｓ８は補正された検出値Ｄｉｎを用いて粒径分布Ｄｏｕｔを演算するステップである。また、このとき算出された粒径分布Ｄｏｕｔは前記表示部７ａにグラフＧとして表示したり、通信線によって接続された他のコンピュータなどにデータとして出力したり、測定結果として記憶部８に記録する。
【００４４】
前記ステップＳ８によって算出された粒径分布Ｄｏｕｔは、検出器５の個体差に起因する影響が取り除かれた検出値Ｄｉｎを用いて求められるものであるから、より正確な粒径分布であることを信頼することができる。
【００４５】
前述のステップＳ１〜Ｓ４に示す校正プログラムＰａおよびステップＳ５〜Ｓ８に示す演算プログラムＰｂは、既存の粒径分布測定装置においても、ハード的に何ら変更を加えることなく実行可能である。また、上述したように測定対象試料を収容するために用いるセル２をそのまま用いて校正試料Ｓｃによる蛍光Ｌｆを測定する場合には、ハード的な変更を施すことなく、上述の感度校正を実行可能である。さらには、前記感度校正用のセル２’さえ提供すれば、図２に示したように、測定用セル２を感度校正用セル２’に取り替えることも極めて容易に行うことができる。
【００４６】
したがって、前記プログラムＰａ，Ｐｂを、ＣＤ−ＲＯＭやフロッピーディスクのようなコンピュータ読取可能な記録媒体を介して、あるいは、通信線を用いたデータ転送などによって供給することにより、従来の粒径分布測定装置を本発明の粒径分布測定装置１とすることも可能である。
【００４７】
また、逆に前記プログラムＰａ，Ｐｂの動作に相当する方法で粒径分布測定装置を感度校正し、検出値を感度補正するハードウェアを構成することにより、ＣＰＵ９にかける負担を少なくすることも可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、粒径分布測定装置の感度校正のために決められた粒子径の標準粒子を複数種類用意する必要がないだけでなく、一度で全ての検出器による検出値を感度校正することが可能となり、短時間で高精度な感度校正を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の粒径分布測定装置の全体構成を示す図である。
【図２】  前記粒径分布測定装置の装置校正を行なうときの状態を示す図である。
【図３】  前記粒径分布測定装置における感度校正方法を説明する図である。
【図４】  測定対象試料の粒径分布を演算する動作を説明する図である。
【符号の説明】
１…粒径分布測定装置、２…測定用セル、２’…感度校正用セル、３…励起エネルギー源（レーザ光源）、５…検出器、８…記憶部、Ｌ…レーザ光、Ｌｓ…回折光および／または散乱光、Ｌｆ…蛍光、Ｄｉｎ…検出値、Ｄａ…光学定数、Ｄｂ…相対値、Ｄｃ…感度補正係数、Ｄｏｕｔ…粒径分布、Ｐａ…校正プログラム、Ｐｂ…演算プログラム、Ｓ…測定対象試料、Ｓｃ…校正試料（蛍光物質）、Ｓ１…各検出器からの光量検出値を感度補正することなく入力するステップ、Ｓ２，Ｓ３…光量検出値から光学定数の影響を取り除いた各検出器の相対値を算出するステップ、Ｓ４…相対値を用いて各検出器の感度補正係数を算出するステップ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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