(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌条に沿って走行可能な本体フレームと、
前記本体フレーム上において基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板を保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと
を具備し、
前記軌条は、真空処理室の出入口をまたいで延伸し、
本基板搬送台車から基板が受け渡される他部材は、前記真空処理室内に設けられ、
前記保持爪は、
基板の外周端縁部に当接して基板を保持する先端部と、前記支持アームに固定される固定部と、前記先端部から前記固定部までに設けられ、弾性撓み変形が可能な可撓部とを具備する押え板ばねであり、
基板の受け渡し時において、
前記保持爪は、前記支持アームと前記他部材との間に基板が位置し、前記固定部及び前記可撓部が基板に対して前記支持アームと同じ側に位置し、且つ、前記先端部が前記他部材と同じ側の基板面側に突出した状態で基板の揺れ動きを抑制するように基板を保持し、
前記他部材が基板の方に移動して前記先端部に当接することにより、前記可撓部が変位して前記保持爪による基板の拘束が解除される
基板搬送台車。
【請求項２】
前記出入口の上部に取り付けられたガイド機構と干渉し、前記軌条の不連続部分を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピースを具備し、
前記軌条は、前記出入口のところに前記不連続部分を有する
請求項１の基板搬送台車。
【請求項３】
前記ガイドピースは、前記支持アームの上部にそれぞれ取り付けられた細長形状の平板である
請求項２に記載の基板搬送台車。
【請求項４】
前記軌条に沿って前記本体フレームを走行可能に支持し、緩衝機構を有する複数の車輪を具備し、
前記軌条は、上フランジと、下フランジとを具備し、
前記車輪は、前記上フランジの下面部に回動可能に当接する第１の車輪と、前記下フランジの上面部に回動可能に当接する第２の車輪と、前記上フランジの両側面部に回動可能に当接する左右一対の第３の車輪と、
を具備する
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板搬送台車。
【請求項５】
前記緩衝機構は、
前記第１の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする上方への揺れ動き力を吸収し緩和する第１の捻りばねと、
前記第２の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする下方への揺れ動き力を吸収し緩和する第２の捻りばねと、
前記第３の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする幅方向への揺れ動き力を吸収し緩和する第３の捻りばねと、
これらの前記第１、第２、第３の捻りばね及び前記第１、第２、第３の車輪を保持するとともに前記本体フレームに揺動可能に支持された揺動アームと、
前記揺動アームの前記車輪近傍の部位に当接して該揺動アームの車輪側の変位を制限するストッパと、
を具備する
請求項４記載の基板搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空処理室にガラス基板を搬送するための基板搬送台車及び基板搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プラズマＣＶＤ、スパッタリング、ドライエッチング等のプラズマ処理を施すための真空処理室に対してガラス基板を出し入れする際に、基板をトレイに固定し、トレイとともに基板を搬送する方法としてトレイ搬送方式が用いられている。しかし、トレイ搬送方式はトレイに基板を着脱するのに時間と労力を要し、トレイに不純物が吸着し易いという種々の問題があるので、これに代わるものとして例えば特開２００１−１１８９０７公報に記載されたトレイレス斜め搬送台車方式が提案されている。
【０００３】
トレイレス斜め搬送台車方式では、図１０の（ａ）に示すように、搬送台車１０６がレール８に沿って走行し、製膜室にガラス基板Ｇを１枚ずつ搬送するようになっている。搬送台車１０６の本体フレーム上には基板Ｇを斜めに支持するための一対の支持アーム１０７が直立し、各支持アーム１０７に取り付けた上部支持爪１０８および下部支持爪１１６が基板Ｇのコーナー近傍の辺縁部にそれぞれ引っ掛けられている。基板Ｇを一対の支持アーム１０７に斜めに持たせ掛け、かつ支持爪１０８，１１６で４点支持することにより搬送中の基板Ｇが台車１０６上で安定するので、特に大型の基板Ｇを搬送するのにトレイレス斜め搬送方式は有利である。
【０００４】
図１０の（ｂ）に示すように、搬送台車１０６により基板Ｇを製膜室内に搬入し、図示しない移動機構によりヒータユニット１５０のカバー面を基板Ｇに押付け、基板を台車１０６からヒータユニット１５０に受け渡し、搬送台車１０６は製膜室から退出させる。なお、図中の符号１５２はヒータユニット１５０に対面配置された製膜ユニットである。製膜ユニット１５２内には製膜ガス供給機能付きのラダー電極が設けられている。製膜後、搬送台車１０６は製膜室内に入り、ヒータユニット１５０から基板Ｇを受け渡され、製膜室から基板Ｇを搬出する。また、台車本体フレームの側面部にはラック１３３が形成され、これにピニオンギア１３２が噛み込み可能にレール８の側方に所定ピッチ間隔に配置されている。各ピニオンギア１３２にはモータ１３１の回転駆動軸が連結され、モータ１３１によりピニオンギア１３２を回転駆動させると、これに噛み込んだラック１３３が送られて台車１０６が走行するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の搬送台車においては、アーム１０７に取り付けた支持爪１０８，１１６により基板Ｇを４点のみで支持するために基板Ｇの拘束力が弱く、台車走行中の僅かな振動によって基板Ｇが大きく揺れ動く。特に大サイズの基板Ｇを搬送する場合は、基板上部の揺れの振幅が大きく、いったん揺れ動きはじめると減衰し難く、揺れが収束するまでに時間がかかる。また、台車走行中に基板Ｇの揺れ動きが大きくなりすぎると、製膜室内のヒータユニットや製膜ユニットと干渉するおそれがあり、基板Ｇが損傷（欠けや割れ）する危険性がある。
【０００６】
また、搬送台車１０６は、製膜室内で基板Ｇを予熱する場合、あるいはプラズマＣＶＤ処理後の製膜室に入った場合に温度が上昇するので、熱変形を考慮して下部の車輪のみにより全体を支持する構造とし、他の部位は自由で非拘束な構造である。一方、ロードロック室や台車方向転換室の出入口に設けられたゲート弁のところではレール８は寸断され、レール８が不連続となるため段差８４（図９参照）や芯ずれが存在する。このようなレール段差８４を台車１０６が通過するときに、台車１０６から基板Ｇに衝撃的な振動が伝わり、基板Ｇを大きく揺れ動かす。特に基板Ｇの揺れ動きは上端部で最大となる。例えば、サイズが１ｍ×１ｍを超える大型基板を搬送する場合は、台車基板の下端では振幅０．５ｍｍの僅かな振動が、支持アーム上端では振幅７．５ｍｍ以上の大きな揺れ動きとなり、基板は大きく振動する。このように基板Ｇの揺れ動きが大きくなると、製膜室内の狭い間隔の開口部を周囲部材と干渉を生じることなく基板Ｇを無事通過させることが困難になる。
【０００７】
さらに、台車の車輪１６６は軸受を介して垂直軸まわりに回転可能に本体フレームの下部に直接取り付けられている。このため、レール相互間に芯ずれ８５（図８参照）や段差８４（図９参照）が存在すると、車輪１６６が次のレールに乗り移る際に、台車の幅方向（Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に衝撃的な振動を生じ、これが伝播して基板Ｇが大きく揺れ動き、基板Ｇの外周端縁部が欠けたり割れを生じたりするおそれがある。
【０００８】
本発明は上記の課題を解決するためになされたものであって、搬送中に基板の揺れを抑制することができる基板搬送台車を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る基板搬送台車は、本体フレームと、軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪と、前記本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと、搬送路上部の両側に設けられた規制手段と干渉し、軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するガイドピースと、を具備することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る基板搬送システムは、軌条と、この軌条に沿って走行する基板搬送台車と、この基板搬送台車が基板を保持した状態で通過可能な搬送路とを備えてなる基板搬送システムであって、前記基板搬送台車は、本体フレームと、前記軌条に沿って本体フレームを走行可能に支持し、軌条の不連続部を通過するときに発生する衝撃を緩和するための緩衝機構を有する複数の車輪と、前記本体フレーム上において基板の重量を受け止めるために基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板の外周端縁部を拘束又は半拘束の状態で保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと、前記支持アームに取り付けられ、前記軌条の不連続部を通過するときに発生する基板上部の揺れ動きを抑制するためのガイドピースとを具備し、前記搬送路は、前記基板搬送台車が前記軌条の不連続部を通過するときに前記基板搬送台車上の基板の上部が通過する対応する位置に設けられ、前記ガイドピースの側方への動きを制限する規制手段を具備することを特徴とする。
【００１１】
この場合に、上記保持爪は、押え板ばねからなり、基板の上辺、両側辺、下辺の外周端縁部にそれぞれ当接して基板を半拘束状態に保持する先端部と、他の部材に固定される固定部と、先端部から固定部までに設けられ、少なくとも先端部との間に屈曲部を有し、先端部を他の部材に押し付けたときに撓んで容易に変位する可撓部とを具備することが好ましい。
【００１２】
基板搬送時は図３の（ａ）に示すように押え板ばねの先端部が基板の外周端縁部に当接して基板を保持しているが、基板受け渡し時には押え板ばねの先端部が受け渡し先の他部材（この場合はヒータユニット）に当接して当該他の部材から押し返され、図３の（ｂ）に示すように可撓部が屈曲部のところから撓んで後方へ変位し、押え板ばねが基板から離脱する。すなわち、基板と他の部材が受渡し位置の関係になると（他の外力なしに自動的に）、先端部が他の部材に突き当たり、可撓部が変位し、押え板ばねと基板との間に間隙Ｓ１，Ｓ２が生じ、基板の拘束が解除される。
【００１３】
このように振動抑制機能と受け渡し時拘束解除機能とを兼ね備えた押え板ばねを採用することにより、基板は搬送中にはしっかりと拘束されて台車上での揺れ動きが少なくなるとともに、受渡し時には拘束解除され、支持機構から他の部材に容易に受け渡される。なお、押え板ばねによる受け渡し時拘束解除機能を安定確実にするため、押え板ばねの先端部は基板の厚みよりも数ミリ程度（例えば３〜４ｍｍ）長くすることが望ましい。押え板ばねの先端部を基板よりも裏面側に突出させることにより、他の部材に対して先端部が当接し、可撓部が撓んで変位しやすくなる。
【００１４】
また、上記ガイドピースは、支持アームの上部にそれぞれ取り付けられた細長形状の平板からなることが好ましい。規制手段を台車が軌条の不連続部を通過するときに台車の上部が通過する対応する位置に設けることにより、ガイドピースの側方（台車の幅方向）への動きが制限され、台車に衝撃が伝わってきたときであっても、基板上部の揺れ動きが抑制される。
【００１５】
さらに、上記車輪は、軌条の上フランジの下面部に回動可能に当接する第１の車輪と、軌条の下フランジの上面部に回動可能に当接する第２の車輪と、軌条の上フランジの両側面部に回動可能に当接する左右一対の第３の車輪と、を具備することが好ましい。
【００１６】
この場合に、上記緩衝機構は、第１の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする上方への揺れ動き力を吸収し緩和する第１の捻りばねと、第２の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする下方への揺れ動き力を吸収し緩和する第２の捻りばねと、第３の車輪から前記本体フレームに伝播しようとする幅方向への揺れ動き力を吸収し緩和する第３の捻りばねと、これらの前記第１、第２、第３の捻りばね及び第１、第２、第３の車輪を保持するとともに本体フレームに揺動可能に支持された揺動アームと、揺動アームの前記車輪近傍の部位に当接して該揺動アームの車輪側の変位を制限するストッパと、を具備することが好ましい。
【００１７】
ちなみに、支持アームは基板を垂直軸に対して７°〜１２°傾けて支持することが好ましい。基板の傾斜角が７°を下回ると、ローダや製膜室での基板受渡し時に基板が不安定になり反対側へ倒れるおそれがあるので、支持アームの傾斜角の下限値は７°とすることが望ましい。一方、基板の傾斜角が１２°を上回ると、ゲート弁開口幅が広くなり、搬送スペースや製膜ユニット内の無駄スペースが大きくなり、真空処理室内のデッドスペースが増加して真空ポンプに過大な負荷がかかるようになるので、傾斜角の上限値は１２°までとすることが望ましい。しかし、デッドスペースの増大や真空ポンプの過負荷が大きな問題とならない場合は、支持アームの傾斜角を１２°以上に、例えば１５°〜３０°程度とすることも可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００１９】
図９に示すように、基板搬送台車６がレール８上を走行し、支持アーム７に支持されたガラス基板Ｇが真空処理室１００に向けて搬送されるようになっている。搬送路には２本のレール８が平行に敷設され、真空処理室１００内に続いている。図には搬送台車６を１台のみ示したが、搬送台車６はレール８ごとに１台ずつ走行するようにそれぞれ配置されている。
【００２０】
台車の本体フレーム６１の側面部にはラック１３３が形成され、これにピニオンギア１３２が噛み込み可能にレール８の側方に所定ピッチ間隔に配置されている（図１０参照）。各ピニオンギア１３２にはモータ１３１の回転駆動軸が連結され、モータ１３１によりピニオンギア１３２を回転駆動させると、これに噛み込んだラック１３３が送られて台車１０６が前進するようになっている。
【００２１】
レール８は、図６及び図７に示すように逆Ｔ字状の横断面を有し、下フランジ８１、連結部８２、上フランジ８３を備えている。レール８の上下フランジ８１，８３には３種類の予圧車輪６６ａ，６６ｂ，６６ｃが摺接し、揺れを抑えた状態で台車６が走行されるようになっている。なお、レールの下フランジ８１の幅は約１１５ｍｍ、上フランジ８３の幅は約４０ｍｍである。
【００２２】
レール８は、真空処理室１００の出入口１０２に設けられたゲート弁１０４のところでは不連続となり、レール段差８４や芯ずれを生じる（図８、図９参照）。このようなレール段差８４を台車６が通過する場合は、台車６が上下に揺れ動いて衝撃的な振動が台車６から基板Ｇに伝わり、基板Ｇの揺れ動きが大きくなる。
【００２３】
また、マルチチャンバシステムの中央に配置される台車回転室においては、台車回転室側のレール８と製膜室側のレール８との間に芯ずれ８５が発生するおそれがある（図８参照）。このようなレール芯ずれ８５を台車６が通過する場合も、台車６が幅方向（Ｙ軸方向）に揺れ動いて衝撃的な振動が台車６から基板Ｇに伝わり、基板Ｇの揺れ動きが大きくなる。
【００２４】
しかし、本発明の搬送台車６は複数種の緩衝機構付き車輪６６ａ，６６ｂ，６６ｃにより支持されているので、上下左右あらゆる方向への変位力が吸収緩和され、基板Ｇに伝わる振幅が低減され、その結果、基板Ｇの揺れ動きが小さくなる（図６参照）。
【００２５】
また、本発明の搬送システムでは、台車側の支持アーム７の上部にガイドピース７９を取り付け、さらに搬送路側の出入口１０２の上部に規制手段としてのガイド機構９０を取り付けているので、ガイドピース７９の台車幅方向（Ｙ軸方向）への揺れ動きがガイド機構９０により制限され、基板Ｇの上部の揺れ動きが小さくなる（図５参照）。ちなみに、出入口１０２は支持アーム７に支持された基板Ｇが通過できるぎりぎりの大きさに開口形成されているので、ガイド機構９０を出入口１０２周囲のチャンバ壁に位置精度良く取り付けやすい構造となっている。
【００２６】
次に、図１〜図４を参照しながら搬送台車の基板支持機構について説明する。
【００２７】
基板支持機構は、２本の支持アーム７と複数の保持爪２０，７１，７２，７３とで構成され、基板ＧをＺ軸に対して約９°傾けて直立支持するものである。
【００２８】
２本の支持アーム７は、横断面がほぼ正方形の金属製の角筒からなり、台車本体フレーム６１の長手方向両端近傍の上面に直立している。支持アーム７の長さは基板Ｇの一辺より長く、アーム７の相互間隔は基板Ｇの一辺より少し短くなっている。これら２本のアーム７に基板Ｇがもたせ掛けられ、さらに複数の保持爪２０，７１，７２，７３が基板Ｇの外周端縁部を拘束するようになっている。
【００２９】
２本の支持アーム７は、基板Ｇの重量に耐えられるように台車本体フレーム６１にそれぞれボルト／ナットにより強固に締結されている。支持アーム７と台車本体フレーム６１とは例えばステンレス鋼のような高強度で強靭な金属材料でつくられている。ちなみに、ガラス基板Ｇの一辺の長さを例えば１ｍとし、板厚を４ｍｍとした場合に、その重量は１０ｋｇｆを上回るものとなる。
【００３０】
左右一対の保持爪２０は、横断面がＵ字状をなし、基板Ｇのコーナー近傍の下辺を下側から受けて保持し、共通の受け渡し機構１０により同期して昇降可能に支持されている。外部昇降シリンダ機構３０のピストンロッド３２を突出させてロッド３３を上方に突き上げると、ジョイント３５が回動し、これとともに伝達軸７５が回動し、受け渡し機構１０の平行四辺形リンクアーム１１，１３，１５が上方に変位し、保持爪２０が上昇して基板Ｇの下辺を保持するようになっている。なお、保持爪２０の凹所にはポリイミド樹脂のような軟質材が充填被覆され、基板Ｇの端面部が損傷しないように保護されている。
【００３１】
３つの保持爪７１が各支持アーム７の上部、中央、下部にほぼ等ピッチ間隔に取り付けられ、これらの保持爪７１により基板Ｇの左右両辺がそれぞれ拘束されている。これにより搬送中の基板Ｇが進行方向（Ｘ軸方向）に位置ずれするのが防止されている。図２の（ｂ）に示すように、保持爪７１は基板Ｇの外周端面を保持する形状をなしている。
【００３２】
保持爪７２は、上部補強リブ７４の中央に取り付けられ、基板Ｇの上辺中央を上側から押さえ付けるように基板Ｇを拘束している。図２の（ａ）に示すように、保持爪７２は基板Ｇの外周端面を保持する形状をなしている。
【００３３】
保持爪７３は、支持部材７７の上端に支持されたブラケット７８に取り付けられ、基板Ｇの下辺中央を下側から持ち上げるように基板Ｇを保持している。図２の（ｃ）に示すように、保持爪７３は基板Ｇの外周端面を保持する形状をなしている。
【００３４】
これらの保持爪７１，７２，７３は、いずれもステンレスばね鋼でつくられた押え板ばね（厚さ０．２５〜１．５０ｍｍ）からなり、実質的に同じ形状をなしている。これらを代表して保持爪７１について詳しく説明する。
【００３５】
図３の（ａ）に示すように、保持爪７１は、先端部７１ａと、可撓部７１ｂと、固定部７１ｃとを備えている。先端部７１ａは、基板Ｇの外周端縁部に当接して基板Ｇを半拘束状態に保持するようになっている。固定部７１ｃは、支持アーム７にボルト／ナットで締結されるか又は支持アーム７に溶接されている。可撓部７１ｂは、先端部７１ａから固定部７１ｃまでに設けられ、先端部７１ａとの間に第１の屈曲部７１ｄを有し、固定部７１ｃとの間に第２の屈曲部７１ｅを有している。
【００３６】
基板搬送時は、図３の（ａ）に示すように、押え板ばねの先端部７１ａが基板Ｇの外周端縁部に当接して基板Ｇを保持している。一方、基板受け渡し時には、図３の（ｂ）に示すように、押え板ばねの先端部７１ａが受け渡し先のヒータユニット１５０に当接して当該ヒータユニット１５０から押し返され、可撓部７１ｂが第１及び第２の屈曲部７１ｄ，７１ｅのところから撓んで後方へ変位し、押え板ばねの先端部７１ａが基板Ｇから離脱する。すなわち、基板Ｇとヒータユニット１５０が受渡し位置関係になると、先端部７１ａがヒータユニット１５０に突き当たり、可撓部７１ｂが変位し、押え板ばね７１と基板Ｇとの間に間隙Ｓ１，Ｓ２がそれぞれ生じる。この結果、押え板ばね７１による基板Ｇの拘束が解除される。
【００３７】
このように振動抑制機能と受け渡し時拘束解除機能とを兼ね備えた押え板ばねを保持爪に採用することにより、基板Ｇは搬送中には押え板ばねにしっかりと拘束されて台車上での揺れ動きが少なくなるとともに、受渡し時に拘束が解除され、支持機構から他の部材に容易に受け渡される。なお、押え板ばねによる受け渡し時の拘束解除機能を安定確実にするため、押え板ばねの先端部７１ａは基板の厚みよりも数ミリ程度（例えば３〜４ｍｍ）長くすることが望ましい。押え板ばねの先端部７１ａを基板よりも裏面側に突出させることにより、他の部材に対して先端部７１ａが当接し、可撓部７１ｂが撓んで変位しやすくなる。
【００３８】
なお、基板Ｇは受け渡し前後で落差を生じるので、ヒータユニット１５０の図示しない支持突起は基板Ｇの下端より少し下方に位置するように台車６に接近するようになっている。
【００３９】
次に、図１、図５、図８、図９を参照して台車がレールの段差８４や芯ずれ８５を通過するときの揺れ止め機構７９，９０について説明する。
【００４０】
ガイドピース７９が各支持アーム７の上端部にそれぞれ取り付けられるとともに、ガイド機構９０が真空処理室１００の出入口１０２の上部に取り付けられ、台車６がレールの不連続部８４，８５を通過するときに台車の上部の揺れ動きが抑制されるようになっている。
【００４１】
ガイドピース７９は、図１の（ａ）に示すように、細長形状の平板からなり、その長手がＸ軸に沿い、かつ、その幅がＺ軸に沿うようにアーム７に取り付けられている。ガイドピース７９の長さは、台車６から伝わる振動が収まるまでの時間が経過するのに必要な長さを確保することが好ましい。
【００４２】
ガイド機構９０は、一対の揺動アーム９２，９４、軸９３，９５、スプリング９６、一対の緩衝ローラ９７，９８、複数のストッパ９９を備えている。台車の上部の揺れ動きが無い場合は、図５の（ａ）に示すように、ガイドピース７９は一対の緩衝ローラ９７，９８相互間の中間あたりに位置するが、台車の上部の揺れ動きが有る場合は、図５の（ｂ）に示すように、ガイドピース７９は左右の緩衝ローラ９７，９８に当たって動きを制限されるので、それ以上の振幅で台車の上部は揺れ動かないようになっている。すなわち、ガイドピース７９が左右の緩衝ローラ９７，９８に衝突すると、各揺動アーム９２，９４は軸９３，９５まわりにそれぞれ揺動するとともに、スプリング９６により互いに連結されているので連動して揺動するが、その揺動可能な範囲は周囲のストッパ９９により制限されている。
【００４３】
このようなガイド機構９０を台車６がレールの段差８４や芯ずれ８５を通過するときに基板上部が通過する対応する位置に設けることにより、ガイドピース７９の側方（台車の幅方向）への動きが制限され、台車に衝撃が加わってきたときであっても、基板上部の揺れ動きが抑制される。
【００４４】
次に、図６及び図１を参照して台車の揺れや振動を緩和するための緩衝機構付き車輪６６ａ〜６６ｃについて説明する。
【００４５】
図１の（ａ）に示すように、台車本体フレーム６１の下部には３種類の緩衝機構付き車輪６６ａ，６６ｂ，６６ｃが順次取り付けられ、本体フレーム６１に伝わる揺れや振動を吸収緩和できるようになっている。
【００４６】
図６の（ａ），（ｂ）に示す車輪６６ａは、本体フレーム６１の上方への変位を抑制し、台車６から基板Ｇに伝わる上下方向の振動を抑制するための緩衝機構を備えている。この緩衝機構は、ブラケット６２ａ、アームストッパ６４ａ、揺動アーム６５ａ、捻りばね６７ａ、ばねストッパ６８ａを有し、捻りばね６７ａの付勢力（予圧）を利用して車輪６６ａを揺動アーム６５ａとともにフレキシブルに上下動させるものである。
【００４７】
車輪６６ａは、軸が水平であり、揺動アーム６５ａの一方側に軸受を介して回転自由に取り付けられ、その外周面がレール８の上フランジ８３の下面部に当接している。図には車輪６６ａを１つのみ示したが、実際にはレール８を挟んで反対側にもう１つ同様の車輪６６ａが取り付けられている。
【００４８】
捻りばね６７ａは、揺動アーム６５ａの他方側に取り付けられ、一端部が揺動アーム６５ａ内のストッパに係止され、他端部が本体フレーム６１側のばねストッパ６８ａに係止されている。
【００４９】
図８に示すように、一方側のレール８と他方側のレール８との間に段差８４が存在する場合であっても、図６の（ａ），（ｂ）に示す車輪６６ａを支持する揺動アーム６５ａが前後２つのアームストッパ６４ａにより変位可能な範囲を制限されている。このため、捻りばね６７ａの付勢力（予圧）により揺動アーム６５ａが垂直面内で首振りし、レール段差８４を通過するときの衝撃的な変位が吸収され、車輪６６ａから台車本体フレーム６１に伝わる揺れや振動が緩和される。なお、揺動アーム６５ａの首振りを許容するために、定常状態のアームストッパ６４ａは揺動アーム６５ａから離れて非接触であり、アームストッパ６４ａと揺動アーム６５ａとの間には１ｍｍ以下の微小間隙Ｓが形成されている。
【００５０】
ブラケット６２ａは、複数の締結ボルト６３により台車の本体フレーム６１に締結される一方で、そのアーム部が車輪６６ａの車軸により揺動アーム６５ａに連結されている。
【００５１】
図６の（ｃ），（ｄ）に示す車輪６６ｂは、本体フレーム６１の下方への変位を抑制し、台車６から基板Ｇに伝わる上下方向の振動を抑制するための緩衝機構を備えている。この緩衝機構は、ブラケット６２ｂ、アームストッパ６４ｂ、揺動アーム６５ｂ、捻りばね６７ｂ、ばねストッパ６８ｂを有し、捻りばね６７ｂの付勢力（予圧）を利用して車輪６６ｂを揺動アーム６５ｂとともにフレキシブルに上下動させるものである。
【００５２】
車輪６６ｂは、軸が水平であり、揺動アーム６５ｂの一方側に軸受を介して回転自由に取り付けられ、その外周面がレール８の下フランジ８１の下面部に当接している。図には車輪６６ｂを１つのみ示したが、実際にはレール８を挟んで反対側にもう１つ同様の車輪６６ｂが取り付けられている。
【００５３】
捻りばね６７ｂは、揺動アーム６５ｂの他方側に取り付けられ、一端部が揺動アーム６５ｂ内のストッパに係止され、他端部が本体フレーム６１側のばねストッパ６８ｂに係止されている。なお、捻りばね６７ｂの付勢力（予圧）が車輪６６ｂに最も有効に作用するように、捻りばね６７ｂの他端部は揺動アーム６５ｂ内において車輪６６ｂから最も離れたところに位置している。
【００５４】
図８に示すように、一方側のレール８と他方側のレール８との間に段差８５が存在する場合であっても、図６の（ｃ），（ｄ）に示す車輪６６bを支持する揺動アーム６５bが前後２つのアームストッパ６４bにより変位可能な範囲を制限されている。このため、捻りばね６７bの付勢力（予圧）により揺動アーム６５ｂが垂直面内で首振りし、レール段差８4を通過するときの衝撃的な変位が吸収され、車輪６６bから台車本体フレーム６１に伝わる揺れや振動が緩和される。なお、揺動アーム６５bの首振りを許容するために、定常状態のアームストッパ６４bは揺動アーム６５bから離れて非接触であり、アームストッパ６４ｂと揺動アーム６５ｂとの間には１ｍｍ以下の微小間隙Ｓが形成されている。
【００５５】
ブラケット６２ｂは、複数の締結ボルト６３により台車の本体フレーム６１に締結される一方で、そのアーム部が車輪６６ｂの車軸により揺動アーム６５ｂに連結されている。
【００５６】
図６の（ｅ），（ｆ）に示す車輪６６ｃは、本体フレーム６１の側方（台車幅方向；Ｙ軸方向）への変位を抑制し、台車６から基板Ｇに伝わる横揺れを抑制するための緩衝機構を備えている。この緩衝機構は、ブラケット６２ｃ、アームストッパ６４ｃ、揺動アーム６５ｃ、捻りばね６７ｃ、ばねストッパ６９を有し、捻りばね６７ｃの付勢力（予圧）を利用して車輪６６ｃを揺動アーム６５ｃとともにフレキシブルに水平移動させるものである。
【００５７】
車輪６６ｃは、軸が垂直であり、揺動アーム６５ｃの一方側に軸受を介して回転自由に取り付けられ、その外周面がレール８の上フランジ８３の側面部に当接している。図６の（ｅ），（ｆ）には車輪６６ｃを１つのみ示したが、実際には図７に示すようにレール８を挟んで反対側にもう１つ同様の車輪６６ｃが取り付けられている。
【００５８】
捻りばね６７ｃは、揺動アーム６５ｃの他方側に取り付けられ、一端部が揺動アーム６５ｃ内のストッパに係止され、他端部が本体フレーム６１側のばねストッパ６９に係止されている。なお、図７に示すように捻りばね６７ｃの付勢力（予圧）が車輪６６ｃに最も有効に作用するように、捻りばね６７ｃの他端部は揺動アーム６５ｃ内において車輪６６ｃから最も離れたところに位置している。
【００５９】
図８に示すように、一方側のレール８と他方側のレール８との間に芯ずれ８５が存在する場合であっても、車輪６６ｃを支持する揺動アーム６５ｃが前後２つのアームストッパ６４ｃにより変位可能な範囲を制限されている。このため、捻りばね６７ｃの付勢力（予圧）により揺動アーム６５ｃが水平面内で首振りし、レール芯ずれ８５を通過するときの衝撃的な変位が吸収され、車輪６６ｃから台車本体フレーム６１に伝わる揺れや振動が緩和される。なお、揺動アーム６５ｃの首振りを許容するために、定常状態のアームストッパ６４ｃは揺動アーム６５ｃから離れて非接触であり、アームストッパ６４ｃと揺動アーム６５ｃとの間には１ｍｍ以下の微小間隙Ｓ３が形成されている。
【００６０】
次に、製膜室の概要を説明する。
【００６１】
製膜室内の製膜ユニットはプラズマＣＶＤ製膜に必要なユニット機器を２組ずつ備えるものであり、中央ユニットの両面にカバーを介してヒータユニット１５０が対面配置されている。ヒータユニット１５０において、ヒータは複数の棒状ヒータエレメントからなり、ヒータカバーはヒータを箱状に覆うものである。ボールスクリュウ機構によりヒータに対して可動に支持されている。ボールスクリュウ機構は、ナット、ステッピングモータ、スクリュウを具備し、ヒータユニット１５０から製膜ユニットまでの間でヒータカバーを移動させるための機構である。
【００６２】
基板保持機構としてのヒータカバーは支持突起を備えており、台車６から受け渡された基板Ｇが支持突起によりヒータカバー上の所定高さに支持するようになっている。
【００６３】
製膜ユニットは、ガス供給機能付きラダー電極と、基板押え板と、排気通路とを備えている。電極の高周波電源は所定周波数の高周波を電極に印可し、電極と基板Ｇとの間にプラズマを生じさせるようになっている。
【００６４】
次に、上記の搬送台車を用いて基板Ｇを製膜室に搬送し、製膜処理する場合について概略説明する。
【００６５】
製膜予定面を上向きにしてガラス基板Ｇがローダ部としてのローラテーブル上を搬送されてくると、図示しないセンサが基板Ｇを検知し、この検知信号に基づき送りローラが停止され、基板Ｇが所定の受け渡し位置で停止する。この受け渡し位置には基板受け渡し用のローラフレーム及び搬送台車６が待機しており、ローラフレームにより基板Ｇは台車６上に移載される。
【００６６】
ゲート弁を開け、台車６を製膜室内に入れ、所定位置に停車させる。ボールスクリュウ機構によりヒータカバーを台車６上の基板Ｇに前進近接させるとともに、保持部材のそれぞれを揺動回転させ、支持アームから基板Ｇを解放し、ヒータカバーの支持突起の上に基板Ｇを移載する。
【００６７】
基板Ｇの受け渡し動作が完了すると、台車６は移動してレールから次のレールの上に乗り移り、この台車の乗り移りが完了したことをセンサ（図示せず）で検知すると、シリンダが駆動してゲート弁を移動させ、出入口を閉じる。次に、ヒータカバーを製膜ユニットに向けて前進させ、基板Ｇの周縁部を全周にわたり基板押え板に押し付ける。
【００６８】
製膜処理後、ゲート弁を開け、台車６を製膜室内に入れ、ヒータカバーから基板Ｇを受け渡される。そして、台車６により基板Ｇを製膜室から搬出し、次工程に向けて搬送する。
【００６９】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、台車上での基板の揺れ動きを最小限に抑えることができるので、搬送中に基板が他の部材と干渉して基板が損傷するおそれがなくなり、製品の歩留まりを大幅に向上させることができる。
【００７０】
とくに基板の拘束保持機能と受け渡し機能とを兼ね備えた特定形状の押え板ばねを保持爪として用いることにより、搬送中における基板の揺れ動きが僅少になる。
【００７１】
また、台車を支持する車輪に上下左右の四方向への変位を吸収緩和する緩衝機構を取り付けることにより、台車がレールの段差や芯ずれ等の不連続部を通過する際に、車輪から台車に伝わる衝撃的な振動が有効に低減され、基板の揺れ動きが抑制される。
【００７２】
さらに、支持アーム上部に取り付けたガイドピースと搬送路上部に取り付けた規制手段とにより、台車がレールの段差や芯ずれ等の不連続部を台車が通過する際に、台車の上部の揺れ動きが制限され、他の基板や周囲部材との干渉による基板の損傷のおそれがなくなる。
【００７３】
また、本発明によれば、搬送中の基板の揺れ動きを抑制することにより、台車を従来よりも高速で走行させることが可能になるので、処理のスループットを大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係る搬送台車を示す正面図、（ｂ）は搬送台車を示す側面図。
【図２】（ａ）は基板の上部中央を保持する押え板ばねを示す拡大側面図、（ｂ）は基板の側部を保持する押え板ばねを示す拡大側面図、（ｃ）は基板の下部中央を保持する押え板ばねを示す拡大側面図。
【図３】（ａ）は押え板ばねに保持された基板が製膜室ヒータに接近したところを示す拡大側面図、（ｂ）は基板が押え板ばねから拘束解除されたところを示す拡大平面図。
【図４】（ａ）は押え板ばねに保持された基板が製膜室ヒータに接近したところを示す拡大正面図、（ｂ）は基板が押え板ばねから拘束解除されたところを示す拡大正面図。
【図５】（ａ）はレール段差の乗り移り箇所の上方に設けられた揺れ止め機構（揺れの無い状態）を示す側面図、（ｂ）はレール段差の乗り移り箇所の上方に設けられた揺れ止め機構（揺れの有る状態）を示す側面図。
【図６】（ａ）は上方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の正面図、（ｂ）は上方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の側面図、（ｃ）は下方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の正面図、（ｄ）は下方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の側面図、（ｅ）は側方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の正面図、（ｆ）は側方への揺れを緩和する緩衝機構付き車輪の側面図。
【図７】側方揺れ緩和用車輪およびレールを示す概略断面図。
【図８】図７中の矢視Ａ−Ａから見た車輪とレールを示す概略断面図。
【図９】真空処理室に通じる搬送路および台車を示す斜視図。
【図１０】（ａ）は従来の台車の基板支持機構をレールの側方から見て示す図、（ｂ）は従来の台車の基板支持機構をレール方向から見て示す図。
【符号の説明】
６…搬送台車、
６１…本体フレーム、
６２ａ，６２ｂ，６２ｃ…ブラケット、
６３…締結ボルト、
６４ａ，６４ｂ，６４ｃ…アームストッパ、
６５ａ，６５ｂ，６５ｃ…揺動アーム、
６６ａ，６６ｂ，６６ｃ…車輪、
６７ａ，６７ｂ，６７ｃ…捩りばね、
６８ａ，６８ｂ，６９…ばねストッパ、
７…支持アーム、
７１，７２，７３…押え板ばね（保持爪）、
７１ａ…先端部、
７１ｂ…可撓部、
７１ｃ…固定部、
７１ｄ…第１の屈曲部、
７１ｅ…第２の屈曲部、
７４…補強リブ、
７５…伝達軸、
７７…支持部材、
７８…ブラケット、
７９…ガイドピース、
８…レール（軌条）、
８１…下フランジ、８２…連結部、８３…上フランジ、
８４…レール段差、８５…レール芯ずれ、
１０…受け渡し機構、
２０…ホルダ（保持爪）、
３０…外部昇降シリンダ機構、
９０…ガイド機構（規制手段）、
９２，９４…揺動アーム、
９３，９５…軸、
９６…スプリング、
９７，９８…緩衝ローラ、
９９…ストッパ、
１００…製膜室（真空処理室）、
１５０…製膜ユニット、
１５２…ヒータユニット、
Ｇ…基板、
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…間隙。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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