(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を使用する複数の洗浄槽を有し、被洗浄物を順次浸漬して洗浄する洗浄装置であって、
洗浄液を使用する洗浄槽のうち、最後に洗浄を行う洗浄槽に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
洗浄液を使用する洗浄槽から流出した洗浄液を回収する貯液槽と、
洗浄液を使用する洗浄槽のうち最初に洗浄する洗浄槽の貯液槽から流出した洗浄液を回収して排出する洗浄液排出部と、
洗浄槽から貯液槽に流出した洗浄液を濾過して、当該洗浄槽に循環、供給する循環濾過装置とを有しており、
隣接する貯液槽の互いの縁部が、所定の高低差を持つように接合されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載の洗浄装置において、洗浄液を回収する貯液槽を洗浄槽の周縁部に配置することを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項１もしくは２記載の洗浄装置において、すべての洗浄槽のオーバーフローを、洗浄槽の縁部全周から行うことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置において、各洗浄槽の液面が略一定の高さであることを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
洗浄液を満たした複数の洗浄槽に順次、被洗浄物を浸漬して洗浄する洗浄方法であって、
被洗浄物を最後に洗浄する洗浄槽に洗浄液を供給し、各洗浄槽から流出した洗浄液を貯液槽で回収し、当該貯液槽で回収した洗浄液を濾過して当該洗浄槽に循環供給し、隣接する２つの貯液槽において洗浄液の供給側に配置された貯液槽から流出した洗浄液をもう一方の貯液槽で回収し、被洗浄物を最初に洗浄する洗浄槽の貯液槽から流出した洗浄液を回収、排出することを特徴とする洗浄方法。
【請求項６】
請求項５記載の洗浄方法において、洗浄槽の周縁部に貯液槽を配置することを特徴とする洗浄方法。
【請求項７】
請求項５または６記載の洗浄方法において、洗浄液を満たした複数の洗浄槽の液面高さを略一定にすることを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄液を複数の洗浄槽で使用し、順次被洗浄物を浸漬洗浄する洗浄装置および洗浄方法に関する。さらに詳しくは、洗浄液を効率的に循環排出し、洗浄品質を向上する洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの工業分野において、製品等の物品(被洗浄物)の洗浄が行われており、洗浄装置の一部や全ての洗浄槽において、洗浄液を使用し、順次被洗浄物を浸漬洗浄する洗浄装置が知られている。このような洗浄装置においては、洗浄液の使用量削減等の観点から、被洗浄物の洗浄順序とは反対に、洗浄液を順次送り供給使用する、カスケード方式や直接オーバーフロー方式などと呼ばれる方法が採用されてきた。本発明では、被洗浄物の洗浄順序とは反対に、洗浄液を順次送り供給し、使用することを「前送り」と称することとする。
【０００３】
本発明において、洗浄液とは、洗浄剤、洗浄溶剤、リンス水、リンス溶剤およびオゾン水、電解水等に代表される一般的に機能水と呼ばれる洗浄水等の洗浄に関する液体全般を言う。
【０００４】
カスケード方式とは、図２に示すように第二の洗浄槽２からオーバーフローした洗浄液をカスケード槽１３に一旦供給し、第一の洗浄槽１に洗浄液を供給する方式である。カスケード槽１３と第一の洗浄槽１は仕切り板１４の下部で貫通しており、貫通部分より、洗浄液を供給する。
【０００５】
直接オーバーフロー方式とは、図３に示すように、第二の洗浄槽２の縁部の高さと第一の洗浄槽１の縁部の高さを所定の高低差を付けて配置し、槽間接続板１５等で接合し、第二の洗浄槽２の洗浄液が直接、第一の洗浄槽１へオーバーフローする方式である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の洗浄液の前送り方法には、いくつか課題がある。
カスケード方式によって前送りされた洗浄液はカスケード槽に入るが、洗浄槽（後槽）内で被洗浄物より剥離した汚れ（異物、パーティクル等）は、浮遊して前送りされ、オーバーフローの際、カスケード槽の下部に沈み、仕切り板の下部より洗浄槽（前槽）内に入り込んでしまう。仮に、カスケード槽に残ったとしても、カスケード槽内に浮遊を続け、いずれ、洗浄槽（前槽）を汚してしまう。洗浄槽（前槽）が濾過循環機能を有していた場合でも、前送りによって供給する洗浄液自体に汚れが混入しており、洗浄槽内に分散するため、槽内の液の濾過循環機能だけでは完全には濾過しきれない。このため、これらの汚れが被洗浄物に付着し、洗浄品質がえられなくなる。
【０００７】
直接オーバーフロー方式の場合は、直接、洗浄槽（前槽）に、洗浄槽（後槽）の浮遊汚れが前送りされるため、洗浄槽（前槽）内の汚れが被洗浄物に付着してしまい、洗浄品質がえられない。
【０００８】
カスケード方式や直接オーバーフロー方式の場合、前送りのみで洗浄液の供給が行われ、前槽から供給された分のみしかオーバーフローしない。この時、洗浄槽から汚れを排出する量が十分えられないため、洗浄液が浄化できない状態となる。したがって、汚れが洗浄槽内に残り易く、洗浄品質がえられない。
【０００９】
さらに、カスケード方式や直接オーバーフロー方式の槽構造の場合、必ず縁部全周の一部は、槽からのオーバーフローがとれないため、多くても残りの縁部からのオーバーフローとなる。洗浄槽は、縁部全周から均等にオーバーフローさせることによって、槽内の液がよどむことなく、洗浄槽内の浄化を助けるが、一部からのオーバーフローしかないため、槽内の浄化ができずに洗浄品質が確保できない。
【００１０】
また、カスケード方式や直接オーバーフロー方式の槽構造の場合、液面の高さが各槽ごと異なる。このため、前送りする洗浄槽が増えると洗浄槽の液面高さが最初の洗浄槽と最後の洗浄槽では、極端に変わってしまう。槽の深さは、被洗浄物により限定されるため、前送りできる槽の数が限られてしまう。槽の数を増やすために前送りを途中で区切っても良いが、新たな洗浄液の供給が必要になり、洗浄液の使用量が増え、ランニングコストが高くなる。
【００１１】
また、各洗浄槽間の搬送を自動化する場合には、洗浄槽の液面高さの高低差を考慮しなくてはならないため、構造が複雑となり、装置化のコストが高くなるなどの問題を有していた。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、洗浄液を使用する複数の洗浄槽において、洗浄液を前送りする際に浄化された洗浄液を前送りし、効率的に洗浄液を使用する洗浄装置および洗浄方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、複数の洗浄槽の各々の周縁部に洗浄槽から流出した洗浄液を回収する貯液槽を設け、隣接する貯液槽を所定の高低差になるように配置、接合して更に、洗浄槽から流出した貯液槽の洗浄液を濾過して当該洗浄槽に循環、供給することが有効であることを知見した。
【００１４】
すなわち、被洗浄物が順次洗浄される洗浄槽の後ろの槽から前の槽に洗浄液を前送りする際、必ず濾過を行い清浄度の高い洗浄液を供給することが可能になる。また、洗浄槽のオーバーフロー量を循環によって多くし、洗浄槽内の汚れ（特にパーティクル）を効率よく系外に排出（濾過による捕捉）することも可能になる。
【００１５】
したがって、洗浄槽内の汚れを系外に排出（濾過による捕捉）することによって被洗浄物への汚れの再付着がなくなり、洗浄品質が得られるようになる。そして、前送りする洗浄液を直接洗浄槽内に入れないように、貯液槽内に入れるようにし、貯液槽内から濾過機構を有した循環機構を通じて当該洗浄槽内に供給することにより、洗浄槽から排出された汚れを濾過分離することができる。これにより、洗浄槽からの汚れが前送りした洗浄槽に入ることがなく、被洗浄物への再付着を防ぐことができ、洗浄品質がえられる。
【００１６】
また、循環経路を利用し、洗浄液が洗浄槽内に供給されるため、オーバーフロー量が十分となり、洗浄装置への洗浄液の供給が少なくても、洗浄槽内の浄化が十分でき、洗浄品質が確保できる。
【００１７】
洗浄槽の縁部全周（四角の槽であれば４辺）とも構造上の制約を受けなくなり、縁部全周からオーバーフローすることが可能になる。洗浄液が縁部全周から均等にオーバーフローすることによって、洗浄液の流れによどみ（液の停滞部分）が生じず、洗浄液の浄化が十分でき、洗浄品質が確保できる。
【００１８】
また、洗浄槽の液面高さに制約が無いことから、各槽の液面を略一定にできる。このため、洗浄装置を自動化する場合においても、液面の高低差を考慮しなくて良く、各洗浄槽間を同じ動きで搬送できるので、搬送機構が単純となり、装置コストが安価になる。
【００１９】
したがって、請求項１に記載の発明は、洗浄液を使用する複数の洗浄槽を有し、被洗浄物を順次浸漬して洗浄する洗浄装置であって、
洗浄液を使用する洗浄槽のうち、最後に洗浄を行う洗浄槽に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
洗浄液を使用する洗浄槽から流出した洗浄液を回収する貯液槽と、
洗浄液を使用する洗浄槽のうち最初に洗浄する洗浄槽の貯液槽から流出した洗浄液を回収して排出する洗浄液排出部と、
洗浄槽から貯液槽に流出した洗浄液を濾過して、当該洗浄槽に循環、供給する循環濾過装置とを有しており、
隣接する貯液槽の互いの縁部が、所定の高低差を持つように接合されていることを特徴とする洗浄装置を提供する。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、洗浄液を回収する貯液槽を洗浄槽の周縁部に配置することを特徴とする洗浄装置を提供する。
【００２１】
請求項３に記載の発明は、請求項１もしくは２記載の洗浄装置において、すべての洗浄槽のオーバーフローを、洗浄槽の縁部全周から行うことを特徴とする洗浄装置を提供する。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の洗浄装置において、各洗浄槽の液面が略一定の高さであることを特徴とする洗浄装置を提供する。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、洗浄液を満たした複数の洗浄槽に順次、被洗浄物を浸漬して洗浄する洗浄方法であって、
被洗浄物を最後に洗浄する洗浄槽に洗浄液を供給し、各洗浄槽から流出した洗浄液を貯液槽で回収し、当該貯液槽で回収した洗浄液を濾過して当該洗浄槽に循環供給し、隣接する２つの貯液槽において洗浄液の供給側に配置された貯液槽から流出した洗浄液をもう一方の貯液槽で回収し、被洗浄物を最初に洗浄する洗浄槽の貯液槽から流出した洗浄液を回収、排出することを特徴とする洗浄方法を提供する。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、請求項５記載の洗浄方法において、洗浄槽の周縁部に貯液槽を配置することを特徴とする洗浄方法を提供する。
【００２５】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６記載の洗浄方法において、洗浄液を満たした複数の洗浄槽の液面高さを略一定にすることを特徴とする洗浄方法を提供する。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の形態について説明するが、本発明は下記の実施の形態に限定されるのもではない。
【００２７】
図を参照に本発明を説明する。
図１は、本発明による洗浄装置の一例示す図である。図１は、２槽の洗浄槽で構成されている例を示しているが、本発明における洗浄槽の数は、これに限定されない。ａが横方向から見た構成図に当たり、ｂが上方向から見た図である。
【００２８】
同じ洗浄液で満たされた２つ洗浄槽１、２の周りに貯液槽３、４が配置されている。各洗浄槽はそれぞれ、循環機構５を有し、循環機構は、ポンプ６と濾過機構７を有している。
【００２９】
第二の洗浄槽２には洗浄液を供給する供給機構８が接続されており、供給機構８は、供給する洗浄液を濾過する濾過機構７を有している。第一の貯液槽３は、流出する洗浄液を回収排水する排水機構９を有している。
【００３０】
また、洗浄槽の上部に、被洗浄物ｗを搬送する搬送機構１０が配置されている。
【００３１】
洗浄液は、供給機構８により第二の洗浄槽２に供給され、オーバーフローし、第二の貯液槽４に流出する。第二の貯液槽４から第二の洗浄槽２へは、循環機構５により濾過供給される。第二の貯液槽４からは、供給機構８より供給された分だけ洗浄液がオーバーフローし、第一の貯液槽３に流入する。第一の洗浄槽１へは、循環機構５によって濾過浄化された洗浄液が供給される。
【００３２】
被洗浄物ｗは、搬送機構１０によって第一の洗浄槽１にて浸漬洗浄された後、搬送経路１１に沿って搬送され、第二の洗浄槽２にて浸漬洗浄され、搬送経路１１にそって、搬出される。
【００３３】
図示はしないが、洗浄槽が３槽以上の場合でも被洗浄物を洗浄する最終洗浄槽に洗浄液が供給され、循環濾過された洗浄液が各洗浄槽内に供給され、被洗浄物が最初に洗浄される洗浄槽の貯液槽からオーバーフローする洗浄液が、排水機構によって排出される。
【００３４】
また、洗浄液の供給は、第二の貯液槽４に行ってもかまわない。この場合、供給機構８内の濾過機構７はなくてもかまわない。
【００３５】
炭化水素系の洗浄剤のような蒸留再生可能な洗浄液の場合、排出機構９から排出された洗浄液を蒸留再生機等に送り、蒸留再生を行った後、供給機構８より供給する構造を取ることもできる。
【００３６】
また、図４は、本発明による洗浄装置の別の一例を示す図である。図1と洗浄液の流れの基本は同じであるが、洗浄槽の周縁部には洗浄液を回収する機構のみが有り、回収された洗浄液は、洗浄槽１、２と離れた位置に設定された、貯液槽３，４に集められる。貯液槽３、４は、洗浄液が第二の貯液槽４から第一の貯液槽にオーバーフローするよう液面に所定の高低差を設けてある。洗浄液は、循環装置５によって、洗浄槽へ濾過され供給される。このように、貯液槽は、槽の周縁部に無くてもかまわない。
【００３７】
＜実施例１＞
以下の洗浄液構成によって、ガラス部材の洗浄を行った。
【００３８】
第１槽  洗浄剤槽
第２槽  洗浄剤槽
第３槽  リンス（純水）
第４槽  リンス（純水）
乾燥
３、４槽目のリンス工程において、図１に示す構造を有する洗浄槽の構造を採用した。また、３、４槽とも四角の槽の４辺全てからのオーバーフロー構造である。
洗浄を行ったところ、異物の付着が見られず、不良が発生しなかった。
【００３９】
＜比較例１＞
実施例１に示した洗浄液構成にて、同じガラス部材の洗浄を行った。
３、４槽目のリンス工程において、図３に示す直接オーバーフロー方式の構造を有する洗浄槽の構造を採用した。構造上、３、４槽とも１面のオーバーフロー構造となった。
【００４０】
この装置で洗浄した結果、ガラス部材に、異物の付着する不良が、１０％発生した。
【００４１】
【発明の効果】
本発明の洗浄槽の構造によって、洗浄液を少なくとも２槽に使用でき、各槽へは濾過装置にて濾過を行った洗浄液を供給するため、異物の付着等がなく、品質の異常を起こすことなく洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による洗浄装置の一例を示す図である。
【図２】従来の技術の一例であるカスケード方式を有する洗浄装置を示す図である。
【図３】従来の技術の一例である直接オーバーフロー方式を有する洗浄装置を示す図である。
【図４】本発明による洗浄装置の他の例を示す図である。
【符号の説明】
１  第一の洗浄槽
２  第二の洗浄槽
３  第一の貯液槽
４  第二の貯液槽
５  循環機構
６  ポンプ
７  濾過機構
８  供給機構
９  排出機構
１０  搬送機構
１１  搬送経路
１２  液流
１３  カスケード槽
１４  仕切り板
１５  槽間接続板
１６  オーバーフロー回収部
ｗ    被洗浄物
【図１】
0003985546.tif 000002
【図２】
0003985546.tif 000003
【図３】
0003985546.tif 000004
【図４】
0003985546.tif 000005