(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスセンサの素子部を、ヒータにより加熱することができるガスセンサの制御装置において、
前記ガスセンサは、インピーダンス変化式の湿度センサであり、その素子部は感湿素子部であって、
前記ガスセンサが配置される周囲の結露状態を検出し、前記結露が検出されない状態にて、前記感湿素子部を前記ヒータにより加熱することを特徴とするガスセンサの制御装置。
【請求項２】
前記結露状態を、前記ガスセンサの出力又は他の結露検出手段の出力に基づいて行うことを特徴とする前記請求項１に記載のガスセンサの制御装置。
【請求項３】
前記湿度センサのインピーダンスが、前記結露により急激に小さくなった後に復帰し始める時間を、前記ヒータに通電を開始することが可能な時間とすることを特徴とする前記請求項１又は２に記載のガスセンサの制御装置。
【請求項４】
前記湿度センサは、内燃機関の排気ガス中で用いるものであることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のガスセンサの制御装置。
【請求項５】
前記湿度センサは、前記内燃機関の排気ガス浄化用付帯装置の状態を、排気ガスの湿度変化から検出するために用いるものであることを特徴とする前記請求項４に記載のガスセンサの制御装置。
【請求項６】
前記内燃機関の運転中に、前記ヒータに通電する場合には、前記感湿素子部の温度を５００〜８００℃の範囲に保持することを特徴とする前記請求項４又は５に記載のガスセンサの制御装置。
【請求項７】
前記内燃機関の停止後に、前記結露が無い状態にて、前記ヒータによる加熱を行うことを特徴とする前記請求項４〜６のいずれかに記載の湿度センサの制御装置。
【請求項８】
前記内燃機関の停止後に、前記感湿素子部を、５００〜１２００℃の温度範囲で加熱することを特徴とする前記請求項７に記載の湿度センサの制御装置。
【請求項９】
ガスセンサの素子部を、ヒータにより加熱することができるガスセンサの制御方法において、
前記ガスセンサは、インピーダンス変化式の湿度センサであり、その素子部は感湿素子部であって、
前記ガスセンサが配置される周囲の結露状態を検出し、前記結露が検出されない状態にて、前記感湿素子部を前記ヒータにより加熱することを特徴とするガスセンサの制御方法。
【請求項１０】
前記結露状態を、前記ガスセンサの出力又は他の結露検出手段の出力に基づいて行うことを特徴とする前記請求項９に記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１１】
前記湿度センサのインピーダンスが、前記結露により急激に小さくなった後に復帰し始める時間を、前記ヒータに通電を開始することが可能な時間とすることを特徴とする前記請求項９又は１０に記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１２】
前記湿度センサは、内燃機関の排気ガス中で用いるものであることを特徴とする前記請求項９〜１１のいずれかに記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１３】
前記湿度センサは、前記内燃機関の排気ガス浄化用付帯方法の状態を、排気ガスの湿度変化から検出するために用いるものであることを特徴とする前記請求項１２に記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１４】
前記内燃機関の運転中に、前記ヒータに通電する場合には、前記感湿素子部の温度を５００〜８００℃の範囲に保持することを特徴とする前記請求項１２又は１３に記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１５】
前記内燃機関の停止後に、前記結露が無い状態にて、前記ヒータによる加熱を行うことを特徴とする前記請求項１２〜１４のいずれかに記載のガスセンサの制御方法。
【請求項１６】
前記内燃機関の停止後に、前記感湿素子部を、５００〜１２００℃の温度範囲で加熱することを特徴とする前記請求項１５に記載のガスセンサの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば排煙装置や排気ダクト、或いは内燃機関の排気ガス雰囲気内で使用されるガスセンサの制御装置及びガスセンサの制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、内燃機関の排気ガス雰囲気中で使用されるガスセンサとして、例えば排気を浄化する浄化装置の劣化状態を検出するために、排気ガス中の湿度を測定する湿度センサが知られている。
【０００３】
また、この種の湿度センサに関する技術として、例えばＥＰ１１３２５８９号公報には、排気ガス用湿度センサのヒータ制御方法が開示されている。
この公報によれば、結露による影響を排除して湿度センサの性能を確保するために、吸気温センサにより吸気温を測定し、吸気温が所定の温度より低い場合には、ヒータを所定時間作動させて、（結露によって発生した）水滴を湿度センサの感湿素子から除去している。また、アイドリングが所定時間継続すると、湿度センサが結露する可能性があるため、アイドリング時間によりヒータを作動させて結露を防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したヒータ制御を、例えば内燃機関の排気ガス雰囲気中にて結露が生じている条件で実施すると、ヒータによる急激な加熱によって、湿度センサの感湿素子が割れてしまうことがあるという問題があった。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、ヒータによる加熱を実施しても、感湿素子等のセンサ素子に割れが発生することを防止できるガスセンサの制御装置及びガスセンサの制御方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
（１）請求項１の発明は、ガスセンサの素子部を、ヒータにより加熱することができるガスセンサの制御装置において、前記ガスセンサは、インピーダンス変化式の湿度センサであり、その素子部は感湿素子部であって、前記ガスセンサが配置される周囲の結露状態を検出し、前記結露が検出されない状態にて、前記感湿素子部を前記ヒータにより加熱することを特徴とする。
【０００７】
本発明では、ヒータによりガスセンサ（即ちインピーダンス変化式の湿度センサ）の素子部（即ち感湿素子部）の加熱を行う。この加熱は、例えば感湿素子部に付着した汚れ物質（例えば粉塵、デポジット成分、カーボン、結晶水等）を焼き飛ばしてその性能を回復させるために実施される。
特に本発明では、湿度センサの周囲の結露状態を検出し、結露がない状態でヒータの加熱を行うので、結露下におけるヒータの加熱（即ちヒートショック）に起因する感湿素子部の割れを防止することができる。
【０００８】
このインピーダンス変化式の湿度センサとしては、感湿素子部の抵抗の変化に基づいて湿度（相対湿度及び／又は絶対湿度）を測定する抵抗変化式湿度センサが挙げられる。
また、感湿素子部の材料としては、湿度によりインピーダンスが変化する（例えば湿度が上昇すると抵抗が低下する）例えばＡｌ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2−ＳｎＯ2などの酸化物セラミックス系材料が挙げられる。
（２）請求項２の発明は、結露状態を、ガスセンサ（即ちインピーダンス変化式の湿度センサ）の出力又は他の結露検出手段の出力に基づいて行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明は、結露状態を検出する手段を例示したものである。
結露が発生するとセンサ出力が変化するガスセンサの場合には、ガスセンサ自身の出力に基づいて結露状態を検出することができる。また、ガスセンサとは別に結露検出手段を用いる場合には、結露検出手段の出力に基づいて結露の状態を検出することができる。
【００１０】
尚、他の結露検出手段としては、例えばチタニアを用いた酸素センサなどが挙げられる。
【００１２】
（３）請求項３の発明は、湿度センサのインピーダンスが、結露により急激に小さくなった後に復帰し始める時間を、ヒータに通電を開始することが可能な時間とすることを特徴とする。
【００１３】
結露が発生すると、湿度センサのインピーダンス（例えば抵抗成分）が小さくなり、その後復帰し始めるとき（即ち結露の消滅に伴う復帰：例えば図７における約２２０秒以降の出力状態）には、結露の状態が改善されつつある状況にある。従って、このときにヒータによる加熱を開始しても、素子部等が割れることはなく好適である。
【００１４】
（４）請求項４の発明は、湿度センサは、内燃機関の排気ガス中で用いるものであることを特徴とする。
本発明は、湿度センサが使用される対象を例示したものである。
自動車の排気ガス中にて使用される湿度センサは、様々なガス成分、エンジンオイル等から排出されるＣａ，Ｐ，Ｍｏ等のデポジット成分、ガソリン成分、カーボン、水等が多量に排出される極めて過酷な環境に曝されるが、上述した加熱を行うことにより、汚れ物質を除去して、長期間にわたり高精度な湿度計測が可能である。
【００１５】
尚、本発明の湿度センサは、排気ガス中以外に、排煙装置や排気ダクトなどに適用して、その雰囲気中の湿度を検出するために用いることができる。また、例えば低酸素濃度や還元性ガスが含まれる雰囲気の湿度を検出するために用いることができる。
【００１６】
（５）請求項５の発明は、湿度センサは、内燃機関の排気ガス浄化用付帯装置（例えば炭化水素及び水分を吸着可能な吸着材、三元触媒等の排気ガスの浄化材、ゼオライト等を用いたＨＣトラップ材等）の状態を、排気ガス中の湿度変化から検出するために用いるものであることを特徴とする。
【００１７】
本発明は、湿度センサの用途を例示したものである。
この種の排気ガス浄化用付帯装置は、内燃機関の排気ガスを浄化するために使用されるが、例えば吸着材等を含む排気ガス浄化用付帯装置が劣化すると、排気ガス浄化用付帯装置の下流側の水分の状態も変化する。従って、排気ガス浄化用付帯装置の下流側の排気ガスの湿度を測定することにより、排気ガス浄化用付帯装置の劣化の状態を検出することができる。
【００１８】
（６）請求項６の発明は、内燃機関の運転中に、ヒータに通電する場合には、感湿素子部の温度を５００〜８００℃の範囲に保持することを特徴とする。
本発明では、内燃機関の運転中において、結露が無い状態にて、感湿素子部を５００〜８００℃の温度範囲で加熱することにより、汚れ物質を十分に除去することができる。これにより、長期に渡り高精度な湿度検出を行うことができる。
【００１９】
（７）請求項７の発明は、内燃機関の停止後に、結露が無い状態にて、ヒータによる加熱を行うことを特徴とする。
ヒータによる加熱は、内燃機関の作動中に実施し、内燃機関の停止と同時に停止しても効果があるが、内燃機関の停止後に加熱すると一層大きな効果が得られる。これは、内燃機関が停止した直後は、粉塵、デポジット、カーボン、飛散した水等がセンサ付近の雰囲気に存在しているためである。従って、本発明では、内燃機関の停止後に、湿度センサに結露が無い状態にて、感湿素子部を加熱する。
【００２０】
（８）請求項８の発明は、内燃機関の停止後に、感湿素子部を、５００〜１２００℃の温度範囲で加熱する。
本発明は、内燃機関の停止後の加熱温度を例示したものであり、この温度範囲にて加熱することにより、好適に汚れ物質を除去することができる。
【００２１】
（９）請求項９〜１６のガスセンサの制御方法の発明は、それぞれ順次対応する前記請求項１〜８のガスセンサの制御装置の発明と、同様な作用効果を奏する。
尚、前記以外のガスセンサの制御装置（又はガスセンサの制御方法）として、例えば他の温度検出手段によりガスセンサの周囲の温度を検出し、温度検出手段により検出された温度に基づいて、ヒータの制御を行うことを特徴とする構成を採用できる。
【００２２】
この場合、温度が低いときには結露生じ易いという傾向があるので、温度に基づいて結露状態を判断してヒータを制御することにより、素子部の割れを抑制することが可能である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のガスセンサの制御装置及びガスセンサの制御方法の実施の形態の例（実施例）について説明する。
（実施例）
本実施例では、ガスセンサとして、内燃機関の排気ガス中の湿度を検出する湿度センサを例に挙げて説明する。
【００２４】
ａ）まず、本実施例の湿度センサの構成について説明する。尚、図１は湿度センサの全体及びその分解した状態を示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
図１に示す様に、本実施例の湿度センサ１は、抵抗変化式の湿度センサ１であり、その要部を構成する感湿素子部３は、アルミナ製の絶縁基板５上に、一対のリード部７、９が配置されるとともに、一方のリード部７と接するように下部電極１１が配置され、この下部電極１１の上に感湿材料からなる感湿層１３が配置され、更に感湿層１３の上に他方のリード部９と接触して上部電極１５が配置されたものである。
【００２５】
また、図２に示す様に、絶縁基板５内には、感湿素子部３を加熱するヒータ１７と測温抵抗体である温度センサ１９が配置されている。
前記下部電極１１及び上部電極１５は、厚膜印刷により形成された膜厚約１５μｍの主として白金からなる層である。感湿層１３は、厚膜印刷により形成された膜厚約３０μｍの主としてＡｌ2Ｏ3−ＳｎＯ2−ＴｉＯ2の感湿材料からなる層であり、この感湿材料は、周囲の雰囲気の湿度が変化すると、その抵抗値が変化する（即ち湿度が増加すると抵抗が低下する）ものである。また、ヒータ１７は主として白金からなり、温度センサ１９も主として白金からなる。
【００２６】
ｂ）次に、上述した構成の湿度センサ１を制御する制御装置について説明する。
図３に湿度を測定するための回路構成を示す様に、湿度センサ１の感湿素子部３は、マイコン２１に接続されて、その出力が取り出されるように構成されている。尚、この出力とは、感湿素子部３の抵抗値に対応した値であり、抵抗値が増加するとセンサ出力が増加するように設定されている。
【００２７】
具体的には、第１比較抵抗２３と（湿度センサ１の）感湿素子部３と第２比較抵抗２５とが直列に接続され、この第１比較抵抗２３と感湿素子部３と第２比較抵抗２５とには、バッファ２７を介して、マイコン２１のＤ／Ａ部（デジタルアナログ変換部）から、例えば２Ｖ以下の直流電圧が印加される。また、感湿素子部３の両端間の直流電圧出力（直流分圧）は、オペアンプ２９を介して、マイコン２１のＡ／Ｄ部（アナログデジタル変換部）に入力される。更に、マイコン２１からは、Ｄ／Ａコンバータ３１を介してセンサ出力が取り出される。
【００２８】
更に、図４にヒータ１７を制御するための回路構成を示す様に、温度センサ１９と比較抵抗３３とが直列に接続され、温度センサ１９と比較抵抗３３とには電源３４から基準電圧が印加される。そして、温度センサ１９の電圧（電位差）が、オペアンプ３５を介して、マイコン２１のＡ／Ｄ部（アナログデジタル変換部）に入力される。
【００２９】
また、マイコン２１には、スイッチ素子３７を介してヒータ１７が接続されており、マイコン２１の信号出力部（ＰＷＭ）からの信号により、ヒータ１７に定電圧３６が印加される。このヒータ１７は、デューティ比制御され、ヒータ１７のオフの期間中に、温度センサ１９の抵抗（従って周囲の温度）を計測する。
【００３０】
尚、ここでは、説明のために、マイコン２１を図３、図４の様に分けて記載したが、通常は同一のマイコン２１にて湿度の計測とヒータ１７の制御を行う。また、それぞれ異なるマイコン２１を使用してもよい。
ｃ）次に、前記湿度センサ１の基本的な使用方法について説明する。
【００３１】
▲１▼排気ガス浄化用付帯装置の劣化検知方法
本実施例では、車両の排気管の排気ガス浄化用付帯装置の下流側に湿度センサ１を取り付け、その排気ガスの湿度を検出する。
排気管内は、通常低湿度であり、例えば内燃機関が始動すると燃焼によって水分が生じるため、高湿度に推移する。この状態は、内燃機関の始動毎に繰り返し行われる現象である。
【００３２】
そして、内燃機関が始動する際に、排気ガス浄化用付帯装置が正常である場合には、装置内の触媒、吸着材等にて、炭化水素や水分が所定の範囲内で吸着されるので、排気ガス浄化用付帯装置の下流では、特に始動直後の所定の期間では、排気ガス中の水分量が極めて少ない。つまり、吸着し切れなくなって排気ガス浄化用付帯装置から水分が流出するタイミングが遅い。
【００３３】
それに対して、排気ガス浄化用付帯装置が劣化している場合には、吸着し切れなくなって排気ガス浄化用付帯装置から水分が流出するタイミングが早く、排気ガス浄化用付帯装置の下流の排気ガス中には水分量が早めに多くなる。
従って、内燃機関を始動した際に、排気ガス浄化用付帯装置の下流側の排気ガスの水分の状態を湿度センサ１によって検出することによって、排気ガス浄化用付帯装置の劣化の状態を検出することができる。
【００３４】
上述した水分の状態に対応した湿度センサ１のセンサ出力（即ち感湿素子部３の抵抗値）の変化を図５に示す。排気ガス浄化用付帯装置が劣化していない場合（同図の実線）には、内燃機関の始動直後に湿度センサ１をオンして作動させると、始動直後は、排気ガス浄化用付帯装置にて水分が十分に吸着されて、湿度センサ１までに殆ど到らないので高い抵抗値となる。その後、吸着する限界に達すると、排気ガス中の水分量が増加して結露するので、時点ｔ０にて、抵抗値が急減する。その後、排気ガスの温度が上昇するにつれて結露が解消されるので、抵抗値が徐々に増加する。
【００３５】
それに対して、排気ガス浄化用付帯装置が劣化している場合（同図の破線）には、始動直後は、排気ガス浄化用付帯装置にて水分が吸着されるが、劣化していない場合と比べてその吸着量が少ないので、吸着する限界により早く達し、そのため早い時点ｔ１にて結露し、抵抗値が急減する。
【００３６】
従って、例えば内燃機関が始動してから抵抗値が急減するまでの時間を測定することにより、排気ガス浄化用付帯装置の劣化を検出することができる。
▲２▼湿度センサ１の劣化検知
湿度センサ１の抵抗特性が高抵抗化する現象（湿度センサ１の劣化）は、湿度センサ１の感湿素子部３及びリード部７、９等に付着した不純物成分（汚れ物質）が堆積し、従来の加熱クリーニングを実施しても完全に焼失できないために生じる現象である。
【００３７】
図６に湿度センサ１のセンサ出力（即ち感湿素子部３の抵抗に対応した値）を示す。湿度センサ１が汚れ物質により劣化していない場合には、同図の実線で示す様に、内燃機関の始動後、センサ出力が速やかに増加し、その後急に立ち下がり、その後徐々に増加する。
【００３８】
一方、湿度センサ１が劣化している場合には、同図の破線で示す様に、ある程度似た変化はするものの、その数値等は大きく異なっている。例えば、始動直後では、劣化した湿度センサ１のセンサ出力は、劣化していない湿度センサ１のセンサ出力よりも大きな値となる。
【００３９】
従って、この様なセンサ出力の違いにより、湿度センサ１の劣化の程度を検出することができる。
▲３▼湿度センサ１による結露検知
上述した様に、排気ガス中の湿度が上昇すると感湿素子部３の抵抗値が低下し、特に感湿素子部３の表面等の周囲に結露が発生すると極端に抵抗値が低下するので、湿度センサ１の出力から、結露の発生を検知することができる。
【００４０】
具体的には、内燃機関の始動直後においては、排気ガス中の湿度が上昇し結露が発生することがあるので、前記図５の時点ｔ０、ｔ１、或いは前記図６の１０sec近傍の様に、抵抗値（又はセンサ出力）が急減したときに、結露が発生したと見なすことができる。
【００４１】
従って、センサ出力をモニタし、センサ出力が結露に該当する変化（例えば急減）を示したときに、結露が発生したと判断するのである。
また、内燃機関の始動直後に発生した結露は、後述する図７に示す様に、内燃機関が継続して運転されて排気ガスの温度が上昇すると消滅する。
【００４２】
従って、例えば感湿素子部３の抵抗値が（結露が無い状態に該当する）所定値まで上昇したとき、或いは内燃機関の始動から（結露が無くなるタイミングである）所定時間経過したときに、結露が消滅したと見なすことができる。
ｄ）次に、本実施例の要部である、結露が無い状態にて、ヒータ１７による加熱を行って汚れ物質を除去する手法及びその効果について説明する。
【００４３】
本実施例では、内燃機関の作動中において、湿度センサ１のセンサ出力に基づいて、結露が無い状態か否かを判定する。そして、例えば湿度センサ１のセンサ出力が、結露の状態を示す（低い抵抗値に該当する）センサ出力の期間には、ヒータ１７による加熱を実施しない。
【００４４】
その後、センサ出力が結露が消滅した状態を示す値にまで復帰したとき、或いは、内燃機関の始動から（結露が無くなるタイミングである）所定時間経過した後に、ヒータ１７に通電を開始し、感湿素子部３を５００〜８００℃の温度範囲に加熱する。
【００４５】
これにより、湿度センサ１（特に感湿素子部３）に割れを生ずることなく、感湿素子部３等に付着した汚れ物質を十分に除去することができる。
また、本実施例では、内燃機関の停止後に、湿度センサ１のセンサ出力に基づいて、結露が無い状態か否かを判定し、結露が無いと判断されると、感湿素子部３を５００〜１２００℃の範囲内で、例えば数秒〜１０分程度の所定時間加熱する。
【００４６】
これにより、感湿素子部３等に割れを発生させることなく、一層確実に汚れ物質を除去することができる。
尚、温度が低い場合には結露生じ易いという傾向があるので、温度センサ１９により測定した温度に基づいて、結露状態が発生し易い状態であるならば、ヒータ１７に通電するタイミングを遅くするなどの制御を行ってもよい。
【００４７】
この様に、本実施例では、上述したヒータ制御を行うことにより、感湿素子部３等に割れを発生させることなく、湿度センサ１の汚れ状態がどのようであっても、常に汚れ物質を十分に除去することができる。これにより、湿度センサ１が、自動車の排気管内等の非常に過酷な環境に曝された場合においても、長期間にわたり高精度な湿度計測ができるという顕著な効果を奏する。
【００４８】
尚、本実施例では、湿度センサ１に直流電圧を印加し、感湿素子部３の両端間における直流電圧出力（直流分圧）を測定するようにしたが、それとは別に、湿度センサ１に例えば５００Ｈｚ以下の交流電圧を印加し、感湿素子部３の両端間における交流電圧出力（交流分圧）を測定するようにしてもよい。
【００４９】
この交流電圧を印加するタイプの湿度センサ１は、感湿素子部３のインピーダンス（Ｒ成分、Ｃ成分）の変化に基づいて湿度を検出するインピーダンス変化式の湿度センサ１である。
（実験例）
次に、本実施例の効果を確認するために行った実験例について説明する。
【００５０】
ａ）本実験例では、前記実施例と同様な構造の湿度センサを、実車の排気管の触媒の下流に装着した。
そして、所定のモード走行（ＬＡ−４モード：コールドスタート５０５ｓ（始動後５０５秒間測定））を行い、その際の湿度センサの抵抗値を調べた。その結果を図７に示す。同図において、縦軸は速度と抵抗を示している。
【００５１】
図７から明な様に、内燃機関の始動直後は、ドライ雰囲気となり、湿度センサの抵抗は５ＭΩと高い値を示す。その後、排気管の触媒より水分が排出されるため、湿度センサの抵抗は急激に低下する。そして、始動後約２０ｓから２２０ｓの間は、湿度センサの抵抗値が極端に小さく、この間は感湿素子部が結露している状態を示している。
【００５２】
この間にヒータに通電し加熱クリーニングを行うと感湿素子部にクラックが入る可能性があるため、２２０ｓ以降の抵抗値が上昇したとき（即ち結露が消滅したとき）に、加熱クリーニングを実施した。
その結果、感湿素子部にはクラックが発生することがなく、好適であった。
【００５３】
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００５４】
（１）例えば、ガスセンサ自身の出力に基づいて結露を検出できない場合には、別途例えば前記湿度センサ等のような結露を検出できるセンサを用いることで、結露を検出して、ヒータ制御を行うことができる。
（２）また、ヒータ制御は、例えば温度センサの抵抗値に基づいて、前記温度範囲内となる様に、ヒータのフィードバック制御を行ってもよく、或いは、ヒータ自身の抵抗値を求め、このヒータの抵抗値に基づいてヒータのフィードバック制御を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施例の湿度センサの感湿素子部の全体及び分解した状態を示す説明図である。
【図２】  感湿素子部の図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】  湿度センサの湿度を検出するための電気的構成を示す説明図である。
【図４】  ヒータ制御のための電気的構成を示す説明図である。
【図５】  内燃機関の始動直後の感湿素子部の抵抗の変化を示すグラフである。
【図６】  内燃機関の始動直後の湿度センサの出力の変化を示すグラフである。
【図７】  実験結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１…湿度センサ
３…感湿素子部
５…絶縁基板
７、９…リード部
１１…下部電極
１３…感湿層
１５…上部電極
２１…マイコン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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