(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周マスク、内周マスクの中心軸と同軸に配置し、基板を保持する基板保持具と、前記マスクに対向して前記基板を受ける基板受け部と、前記基板保持具とこの基板受け部とを、前記基板が前記マスクに接するように移動させる駆動部とを有し、前記基板受け部は、前記外周マスクを受ける外周マスク用受け板と、前記内周マスクを受ける内周マスク用受け板とに分割され、この外周マスク用受け板を前記基板に押接させる外周用弾性体と、この内周マスク用受け板を前記基板に押接させる内周用弾性体とを有することを特徴とするスパッタ装置。
【請求項２】
基板を保持する基板保持具とマスクに対向してこの基板を受ける基板受け部とを、前記基板が前記マスクに接するように移動させて、外周マスクに対向する外周マスク用受け板を、外周用弾性体により基板に押接させ、かつ内周マスクに対向する内周マスク用受け板を、内周用弾性体により前記基板に押接させる工程を有することを特徴とするスパッタ方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＤＶＤなど円盤状記録媒体の表面に反射膜や記録膜を薄膜形成するスパッタ装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＤＶＤなどの円盤状記録媒体（以下ディスクという）の成膜、例えばスパッタ装置においては、図３のように、移載室チャンバー１側に設けた前後進する駆動部６の中心先端に、ディスク３を保持する基板保持具１１を設け、基板受け２１とボルト１２で締結させている。さらに、この基板保持具１１はボールプランジャ１３がセットボルト１４で複数個固定されており、これにより、基板受け２１との間でディスク３を保持するようになっている。
【０００３】
成膜室チャンバー２側にはターゲット（図示せず）などの成膜備品と共に、防着部材として、ディスク３の成膜範囲以外を保護するための内周マスク４と外周マスク５を設けており、スパッタ時には内外周マスク４、５とディスク３が接していることが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この従来の装置では、内外周マスクはディスクの成膜均一性を保つため、付着した膜を除去してやる必要があり、多数組のマスクが用意されている。そのため、駆動部や基板保持具、基板受けの部品精度に対して、どうしても内外周マスクがディスクに均等に接することができないものがあり、特に外周マスクとの間では隙間ができ、異常放電が発生し易く、品質上に悪影響を与える要因となっていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この問題点を解決するために本発明では、外周マスク、内周マスクの中心軸と同軸に配し、基板を保持する基板保持具と、前記マスクに対向して前記基板を受ける基板受け部と、前記基板保持具とこの基板受け部とを、前記基板が前記マスクに接するように移動させる駆動部とを有し、前記基板受け部は、前記外周マスクを受ける外周マスク用受け板と、前記内周マスクを受ける内周マスク用受け板とに分割され、この外周マスク用受け板を前記基板に押接させる外周用弾性体と、この内周マスク用受け板を前記基板に押接させる内周用弾性体とを有する構成としたものである。
【０００６】
この構成によれば、成膜しようとする時、ディスクの内外周マスクに対して確実にそれぞれの面を押圧することができ、マスクや基板受けのバラツキに対して、また、ディスクの歪みに対しても充分にディスクとマスクを安定して接触し得るため、放電が安定する他に、マスク近傍の輪郭も安定し、デイスク製造品質が向上する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を用いて具体的に説明する。
【０００８】
図１は、本発明の実施の形態によるスパッタ装置の平面断面図である。チャンバー１の一方には、ロードロック部３１がＯリング３２を介して取付けられており、前後進する駆動部６ａが内側からＯリング１５を介して当接され、外側からディスク３ａを真空パッド３４にてハンドリングする搬送ユニット３３が、Ｏリング３５を介し当接している。ディスク３ａの受け渡しは、エアーブローと真空吸引の排気穴３３ａを通して制御バルブ６０にて制御し、パッド３４から受け板７ａ、９ａへ移す時にはエアーブローにより、逆に受け板７ａ、９ａからパッド３４へ移す時には真空吸引により行う。また、搬送ユニット３３と駆動部６ａとが当接した状態で、排気穴３１ａを通して制御バルブ６１にて制御し、ディスク３をチャンバー１へ移載するための真空引きと、取出すためのパージとが交互に行われる。ディスク３ａを駆動部６ａに移し、ロードロック部３１内を真空引きした後、駆動部６ａを後退させる。駆動部６ａはベローズ３９ａを有したエアーシリンダー構造（図示せず）により前後進中でも真空を保っている。チャンバー１中央には回転軸３７を有する回転ブロック３６があり、エアー供給口３７ａとシールしつつ、Ｏリング３８ａ、３８ｂを介して、駆動部６ａ、６ｂと取付けられている。なお、図１ではエアー供給口３７ａは、簡略化のため１ヶ２方向で示しているが、実際にはシリンダーの給排気に少なくとも２ヶ以上設けている。
【０００９】
チャンバー１のもう一方には、カソード部４０と成膜室チャンバー２がＯリング４４、４５を介して取付けられている。カソード部４０は、ターゲット５０をアースシールド４１により、絶縁材４２、４３でカソードに保持しており、ターゲット５０に電圧印加することでスパッタリングすることができる。ディスク３ｂが外周マスク３と内周マスク４とに当接するように、駆動部６ｂを前進させた後、スパッタリングを開始し、終了するとロードロック部３１側のディスク移載のタイミングに合わせて、駆動部６ａ、６ｂを同時に後退させ、１８０度回転させて、次のディスクの処理を行う。なお、駆動部６ａ、６ｂは、本図では２ユニットとしているが、カソード４０の数がチャンバー形状により更に増設可能であり、これに応じて１ユニットから３以上の複数ユニットを設けることが可能である。
【００１０】
また、マスクやターゲット５０の変換時は成膜チャンバー２に、駆動部６を当接しておくことで、チャンバー１内の真空は保持したままでカソード４０内のみ大気開放して交換ができるため、生産上有効な構造となっている。
【００１１】
さらに、内周マスク４はカソードのセンター軸にネジ止めされており、外周マスク３はカソード外周端で後端を規正するようにしており、着脱は簡単にできるようにしている。
【００１２】
図２は本発明の実施の形態によるスパッタ装置の詳細図で、移載チャンバー１側に設けた前後進する駆動部６の中心先端に、ディスク３を保持する基板保持具１１を設けている。基板保持具１１は、内周マスク４と外周マスク５の中心軸と同軸に配置されており、外周マスク用受け板７には外周用弾性体である複数個のバネＡ８を等配して、ディスク３に外周マスク用受け板７を押接させている。外周マスク用受け板７は、内周マスク用受け板９に内接し、同軸を保ちつつ押圧自在に取り付けられており、内周マスク用受け板９には内周用弾性体であるバネＢ１０が配され、ディスク３に内周マスク用受け板９を押接させている。内周マスク用受け板９は、基板保持具１１でディスク３をセットボルト１４で固定される複数個のポールプランジャ１３とはさむようディスク３の厚み分だけは保つように規正されており、ディスク３がマスクに接していなくても飛び出さないようにしている。基板保持具１１はボルト１２で、駆動部６に固定される。
【００１３】
成膜チャンバー２の側には内周マスク４と外周マスク５が基板中心を保ち保持されており、基板３は内周マスク用受け板９が内周マスク４とで、外周マスク用受け板８が外周マスク５とでそれぞれ確実に押圧することができる。なお、Ｏリング１５は駆動部６に取付けられており、成膜チャンバー２との間で移載チャンバー側との間を真空シールする役割を有し、内外周マスクやターゲット（図示せず）を交換する時に、移載チャンバー１側の真空を保持したまま作業できるようにしてある例である。保持具１１のボールプランジャーは保持手段の一例であり、キャップを保持具に埋めたマグネットを利用し、ディスクをはさみ保持する方法などもある。
【００１４】
そして、ディスク３を基板保持具１１で保持した状態で、内周マスク４と外周マスク５に接するように駆動部６を前進させ、外周マスク５に対向する外周マスク用受け板７を、バネＡ８によりディスク３に押接させ、かつ内周マスク４に対向する内周マスク用受け板９を、バネＢ１０によりディスク３に押接させる。その後、スパッタを行う。
【００１５】
【発明の効果】
以上の様に本発明によれば、内外周マスクにディスクを押圧する外周マスク用受け板、内周マスク用受け板を個別に摺動自在としたことで、スパッタ時の異常放電をなくし、生産品質の向上、低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスパッタ装置の平面断面図
【図２】本発明のスパッタ装置の詳細説明図
【図３】従来例の断面説明図
【符号の説明】
３      ディスク
４      内周マスク
５      外周マスク
６      駆動部
７      外周マスク用受け板
８      バネＡ
９      内周マスク用受け板
１０    バネＢ
１１    基板保持具
【図１】
0004013457.tif 000002
【図２】
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【図３】
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