(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体の開口した正面を蓋体で閉鎖してシールする基板収納容器であって、
容器本体の各側壁内面に一体形成されて上下に並ぶ基板用の整列支持溝と、容器本体の底面に取り付けられるボトムプレートと、容器本体の天井に一体成形されてロボティックフランジを着脱自在に支持する上部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてサイドレールを着脱自在に支持する下側部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてマニュアルハンドルを着脱自在に支持する側部取付機構とを含み、
上部取付機構にロボティックフランジを、下側部取付機構にサイドレールを、そして側部取付機構にマニュアルハンドルをそれぞれ選択的に支持させるようにし、
上部取付機構を、断面逆Ｌ字形に成形されて隙間を介して対向し、容器本体の前後方向に伸びてロボティックフランジと嵌まり合う一対の案内レールと、各案内レールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に外側に拡がるよう傾く傾斜誘導面とから形成し、
下側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に複数の補強リブを介し一体成形されて相互に対向し、サイドレール挿入用の被嵌入空間を区画形成する一対の係止リブとし、
側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に設けられて隙間を介して対向し、マニュアルハンドルと嵌まり合う一対のガイドレールと、各ガイドレールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に狭まるよう傾く傾斜誘導面とから形成したことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
ロボティックフランジを、把持板と、この把持板の底面に設けられ、傾斜誘導面に案内されて上部取付機構における一対の案内レールに嵌まる支柱とから構成した請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
サイドレールを、容器本体の前後方向に伸びる平板と、この平板の内側端部に設けられて下側部取付機構における一対の係止リブの被嵌入空間に嵌まる嵌入部と、平板の外側端部に設けられる水平支持板とから構成した請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
マニュアルハンドルを、傾斜誘導面に案内されて側部取付機構における一対のガイドレールに嵌まるプレートと、このプレートの外表面に設けられるハンドルとから構成した請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
容器本体の天井、背面、又は側壁の全部若しくは一部に、内部確認用のウインドを成形した請求項１ないし４いずれかに記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ、マスクガラス、液晶セル、又は記録媒体等に代表される基板を収納、輸送、あるいは基板を加工・処理する加工装置に対する位置決め、加工装置間の搬送、及び又は貯蔵に使用される基板収納容器に関するものである。より詳しくは、基板収納容器の材質、及び搬送に用いられるロボティックフランジ、サイドレール、マニュアルハンドルといった部品の取り付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造に関わる半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称する)やマスクガラス等の基板は、半導体デバイスの厳しい価格競争に伴い、歩留向上によるコストダウンを目的として口径の大型化（例えば、３００mmないし４００mm以上）が急ピッチで進められている。同時に、半導体回路が益々微細化しているので、基板を加工する工場はもとより、基板の搬送時に使用される基板収納容器に関しても、高度にクリーンな状態が要求されてきている。
このような要求を実現する方法として、基板の加工に必要な局所領域だけを高度にクリーンな環境とし、この幾つかのクリーンな環境間において、密閉可能な基板収納容器に基板を収納して搬送する方法が提案されている。こうした中、収納された基板を汚染させることなく自動搬送が可能で、しかも、加工装置に直接アクセスすることのできる基板収納容器の開発が進められている。
【０００３】
ウェーハの搬送、保管、又は加工装置に対する位置決め等に使用される基板収納容器は、図示しないが、複数枚のウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体の開口正面をガスケットを介しシール可能に閉鎖する蓋体とを備え、加工装置にセットされる。
【０００４】
容器本体は、その相対向する内面に、各ウェーハを水平に支持する一対の支持部材がそれぞれ対設されている。容器本体の底面にはボトムプレート、又はボトムプレート部(以下、ボトムプレートと総称する)が装着され、このボトムプレートには、加工装置に位置決め搭載するための断面略逆Ｖ字形で複数の溝部(以下、Ｖグルーブという)と、加工装置に基板収納容器を固定するための貫通孔(以下、リテイニングフューチャーという)等とがそれぞれ配設されている。
容器本体の底部両側には一対のボトムレールが基板収納容器の正面から背面にかけて成形され、各ボトムレールが容器本体やボトムプレートと一体成形されている。また、シール用のガスケットは、容器本体と蓋体との間に挟持され、基板収納容器の密封状態を維持するよう機能する。さらに、蓋体は、外部から操作可能なラッチ機構が内蔵され、このラッチ機構の係止爪が容器本体の開口正面に係止してシール状態に閉鎖する。
【０００５】
なお、上記支持部材やボトムプレートは、容器本体とは別部品として成形され、金属ボルトや係合爪にＯリングを介して容器本体に固定される。このため、容器本体を洗浄する場合には、これら多数の部品を取り外して洗浄し、洗浄・乾燥後に再度組み立てている。一方、取り外さない場合、容器本体の内面における各部品の嵌合隙間に洗浄液が残留しやすいので、この洗浄液を非常に長い時間をかけて乾燥させている。
【０００６】
ウェーハの加工装置は、図示しないが、基板収納容器を搭載するロードポートを備え、このロードポートの表面には、先端が球面の複数本の位置決めピンと、基板収納容器用の固定手段とがそれぞれ配設されている。したがって、基板収納容器は、加工装置に複数のＶグルーブを介して位置決めされるとともに、リテイニングフューチャーにより固定される。
【０００７】
上記構成において、ウェーハを処理・加工する場合には、先ず、蓋体のラッチ機構が解除されて容器本体の正面の係止穴から係止爪が外れ、容器本体の正面を閉鎖する蓋体が取り外される。こうして蓋体が取り外されると、ウェーハは、基板収納容器の内部から加工装置にローディングされて取り込まれ、その後、加工処理される。
【０００８】
ところで、半導体デバイスの製造工程においては、基板収納容器の汚染防止を図るため、作業者による搬送方法に代え、様々な自動機で基板収納容器を搬送する方法が提案されている。この方法としては、例えば基板収納容器の天井に支持されたロボティックフランジを把持して天井搬送するＯＨＴ(Overhead Hoist Transportation)と呼ばれる方法、基板収納容器の底部に設けられた一対のボトムレールや両側壁から突出する一対のサイドレールを使用して基板収納容器を持ち上げ、搬送するＡＧＶ(Automated Guided Vehicle)、ＰＧＶ(Person Guided Vehicle)と呼ばれる方法があげられる。これらの他にも、モノレールの様な構造を有する装置を使用して基板収納容器を搬送するＲＧＶ(Reil Guided Vehicle)と呼ばれる方法がある。
【０００９】
なお、以上のような自動搬送の他にも、基板収納容器の左右両側壁にマニュアルハンドルをそれぞれ装着し、作業者による搬送を容易にする方法が提案されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従来における基板収納容器の自動搬送方法は以上のように複数に分類されるが、これらの自動搬送方法は、種々のウェーハ処理・加工工程により個別に選択採用される。標準化作業の中では、一対のボトムレールとロボティックフランジとが有力な搬送手段であると評価されてきたが、これらの搬送手段を全てのウェーハ処理・加工工程で統一的に採用することは非常に困難である。実際には、基板の生産や加工・処理等を行う各工場(以下、単に工場という)の仕様等を考慮し、上記複数の方法を組み合わせて採用したり、特定の方法だけを用いたり、あるいは上記方法以外の方法を選択しなければならないケースがあるからである。
【００１１】
例えば、ボトムレールを使用して工程内容器を搬送する場合、加工装置側に、ＡＧＶ等のピックアップ用の爪を挿入可能な凹部を容器本体の両サイドに設けておく必要があるが、加工装置によっては、これらの凹部を設けることが困難な構造に構成されることがある。このような事態に対処するためには、加工装置に凹部を形成しなくても、容器本体をＡＧＶ等でピックアップできるよう、容器本体のボトムレールよりも上方向の両側壁にサイドレールをそれぞれ突設し、この一対のサイドレールを使用して容器本体を水平に持ち上げる必要がある。
【００１２】
また、ＯＨＴを使用した天井搬送の場合、天井の高さを十分に確保できるときには問題ないが、既存の工場に設備を設置するとき等では、天井の高さ不足のため、ＯＨＴを採用できないケースが想定される。さらに天井搬送の場合、ウェーハをフル装填すると、現存の基板収納容器が７ｋｇ以上の重量になるため、十分な強度を有する構造にロボティックフランジを構成して容器本体に取り付けなければならない。
【００１３】
これらの異なる搬送方法に対応するため、基板収納容器には各種搬送用の部品を組み付けておく必要がある。ところが、工場においては、１ないし２種類の部品を用いるのみであり、使用しない他の部品は全くの不要となる。したがって、不要となった部品は、重量の増加を招き、しかも、洗浄工程を含む取り扱いや保管上で大きな障害となる。
【００１４】
例えば、ロボティックフランジやサイドレールであるが、これらは、容器本体から突出する突起物である。特に、サイドレールは、相対する側壁の外方向にそれぞれ約２０mm以上張り出す板体なので、容器本体と一体成形される場合、基板収納容器をアルミラミネート、ＰＥ袋、又はシェリンク包装等の梱包を行って輪送するときに、包装袋にピンホールを生じさせ、基板収納容器を汚染させる等の問題を発生させる。また、サイドレールを使用しない工場において、容器本体にサイドレールを一体に設けると、サイドレールが設備と干渉するおそれがあり、しかも、基板収納容器の洗浄や貯留時に余分なスペースを確保しなければならない。
【００１５】
また、上記搬送用の部品を着脱自在に取り付ける場合、強度を維持するため、複数本のボルトで固定する方法が採用されるが、ボルトの本数が多いので取り付け取り外しが困難であったり、位置決め誤差が大きくなったり、あるいは新たな位置決め部材が必要となる。さらに、一対のマニュアルハンドルを取り付ける場合、一対のマニュアルハンドルが試作レベル、緊急時、及び検査等の自動化できない少数の工程のみに使用されるだけであるから、通常の製造ラインの作業では殆ど必要とせず、上記輸送、取り扱い、保管、及びコストの観点から問題となる。
【００１６】
一方、半導体デバイスの製造工程の一部では、容器内に高電圧の静電気を帯電したウェーハを収納することがある。係る電荷をロードポート等の機械側にアースして中和するため、従来、基板収納容器の容器本体に別部品として組み付けられている上記支持部材を帯電防止材(表面抵抗値１０8Ω〜１０13Ω前後）とし、容器本体との組み付け部から別の導電部材を介し同じく帯電防止材で形成したロボティックフランジ、Ｖグルーブ、サイドレール、又はボトムレールに接続する方法が採られている。
【００１７】
しかしながら、容器本体に関しては、内部確認用に透明性を確保するため、全体が透明又は透過性を有する絶縁材料で形成されているので、工程内での搬送途中等に帯電した静電気によるゴミ吸着等の問題が発生し、高度にクリーン化された密封空間であるウェーハの加工処理・環境に汚染物質を持ち込んでしまうこととなる。さらに、容器本体に導電性の基板整列支持溝等の別部品を取り付けるため、部品点数、組立工数、及び洗浄工数の増加により、コストアップが問題となる。
【００１８】
本発明は、上記問題に鑑みなされたもので、複数の搬送方法に対応することができ、選択された搬送方法に必要な部品のみを使用して共通性、軽量性、取扱性、及び保管性等を向上させることのできる基板収納容器を提供することを目的としている。また、ゴミ吸着等の問題を招くことなく、内部を容易に確認すること等を他の目的としている。
【００１９】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体の開口した正面を蓋体で閉鎖してシールするものであって、
容器本体の各側壁内面に一体形成されて上下に並ぶ基板用の整列支持溝と、容器本体の底面に取り付けられるボトムプレートと、容器本体の天井に一体成形されてロボティックフランジを着脱自在に支持する上部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてサイドレールを着脱自在に支持する下側部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてマニュアルハンドルを着脱自在に支持する側部取付機構とを含み、
上部取付機構にロボティックフランジを、下側部取付機構にサイドレールを、そして側部取付機構にマニュアルハンドルをそれぞれ選択的に支持させるようにし、
上部取付機構を、断面逆Ｌ字形に成形されて隙間を介して対向し、容器本体の前後方向に伸びてロボティックフランジと嵌まり合う一対の案内レールと、各案内レールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に外側に拡がるよう傾く傾斜誘導面とから形成し、
下側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に複数の補強リブを介し一体成形されて相互に対向し、サイドレール挿入用の被嵌入空間を区画形成する一対の係止リブとし、
側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に設けられて隙間を介して対向し、マニュアルハンドルと嵌まり合う一対のガイドレールと、各ガイドレールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に狭まるよう傾く傾斜誘導面とから形成したことを特徴としている。
【００２０】
なお、ロボティックフランジを、把持板と、この把持板の底面に設けられ、傾斜誘導面に案内されて上部取付機構における一対の案内レールに嵌まる支柱とから構成することが好ましい。
また、サイドレールを、容器本体の前後方向に伸びる平板と、この平板の内側端部に設けられて下側部取付機構における一対の係止リブの被嵌入空間に嵌まる嵌入部と、平板の外側端部に設けられる水平支持板とから構成することが好ましい。
【００２１】
また、マニュアルハンドルを、傾斜誘導面に案内されて側部取付機構における一対のガイドレールに嵌まるプレートと、このプレートの外表面に設けられるハンドルとから構成することが好ましい。
さらに、容器本体の天井、背面、又は側壁の全部若しくは一部に、内部確認用のウインドを成形することもできる。
【００２２】
ここで、特許請求の範囲における基板には、単数複数の半導体ウェーハ(例えば、１３枚又は２５枚のシリコンウェーハ等)、マスクガラス、液晶セル、又は記録媒体等が含まれる。また、容器本体、蓋体、ボトムプレート、及びロボティックフランジは、少なくとも十分な剛性と強度を有するポリカーボネート、アクリル樹脂、ＰＥＥＫ等のべ一ス樹脂と導電性樹脂とのアロイ化技術、炭素繊維、金属繊維等の導電性添加物が添加される等して永久帯電防止性が付与された熱可塑性樹脂等を用いて成形することができる。勿論、熱可塑性樹脂に導電性ポリマーの被膜を塗布して導電性を付与することも可能である。
【００２３】
蓋体にはラッチ機構を内蔵することが、３００mm、Front-opening Interface Mechanical StandardとしてＳＥＭＩ規格で定められているが、ラッチ機構を省略し、容器本体と蓋体とを別の係止機構や閉鎖手段を用いて開閉することもできる。また、単数複数の案内レールやガイドレールは、蟻首や蟻形等の各種形状に適宜形成することができる。また、単数複数の支柱は、断面略Ｊ字形、Ｈ字形、又は他の各種形状に形成することが可能である。さらに、プレートは、ガイドレールと係合する形状を有していれば、平板形になんら限定されるものではなく、同様の機能が期待できる各種形状に形成することができる。このプレートの端部には容器本体の突部又は凹部に係合するフックを適宜形成することができる。
【００２４】
本発明によれば、工場の様々な仕様、工程、及び又は搬送方法等を考慮し、必要なロボティックフランジ、サイドレール、及び又はマニュアルハンドルを選択的に取り付けて支持させることができるので、不要な部品を省くことができる。
また、容器本体の各側壁内面と整列支持溝とが一体化するので、容器本体内に支持部材等の別部品を取り付ける必要がない。したがって、容器本体の洗浄時における乾燥作業効率が低下することがなく、軽量化も期待できる。
また、二色成形の手法等により、容器本体の天井、背面、又は側壁の全部若しくは一部に、内部確認用のウインドを隙間のない状態で成形すれば、容器本体の気密性を十分に確保しながら基板の収納状態の視認、把握等が可能な基板収納容器を実現することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態になんら限定されるものではない。
本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１５に示すように、複数枚のウェーハＷを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口正面をガスケット１１を介し閉鎖シールする着脱自在の蓋体１２とを備え、容器本体１に、ボトムプレート１４、ロボティックフランジ２１支持用の上部取付機構１７、左右一対のサイドレール２９支持用の下側部取付機構２５、及び左右一対のマニュアルハンドル３８支持用の側部取付機構３４をそれぞれ配設するようにしている。
【００２６】
容器本体１は、耐衝撃性、耐熱性、耐水性、及び耐酸性等に優れ、永久帯電防止材を含み、永久帯電防止効果を有することもあるポリカーボネイトを用いて基本的には不透明のフロントオープンボックス構造に成形され、十分な強度、剛性、及び寸法安定性が確保されており、表面抵抗値が１０8Ω〜１０13Ωの範囲内に設定されている。この容器本体１の左右両側壁の内面には図２、図８、図１３ないし図１５に示すように、断面略Ｕ字形の整列支持溝２が同一ピッチでそれぞれ上下方向に並べて、換言すれば、棚形に一体成形されており、この複数の整列支持溝２が複数枚のウェーハＷを相互に離隔させた状態で水平に整列収納する。
【００２７】
容器本体１の底面の左右両側コーナ部には図１ないし図４、図１３に示すように、前後方向に伸びるボトムレール３がそれぞれ一体突出成形され、この一対のボトムレール３が容器本体１のピックアップ時に用いられる。容器本体１の底面のＳＥＭＩ規格で定められた箇所、詳言すれば、前部両側と後部中央とには図３に示すように、位置決め手段であるＶグルーブ４がそれぞれ一体的に突出成形され、この複数のＶグルーブ４にはボトムプレート１４が直接あるいは複数の締結具を介し着脱自在に嵌合装着される。
【００２８】
各Ｖグルーブ４は、同図に示すように、略小判形の空間を区画形成する一対の区画リブ５と、各区画リブ５用の補強リブとから構成され、加工装置に容器本体１が搭載された場合に加工装置の位置決めピン６と嵌合して位置決めするよう機能する。前部両側のＶグルーブ４を形成する一対の区画リブ５は、それぞれ略Ｊ字形に成形され、先端部が略小判形の空間の中心に指向するよう湾曲傾斜成形されるとともに、対向する他の区画リブ５の末端部との間に隙間を形成しており、この隙間が洗浄時の水切り・乾燥性を向上させる切り欠き７として作用する。なお、後部中央のＶグルーブ４を形成する一対の区画リブ５を上記のように構成することも可能である。
【００２９】
容器本体１の開口正面は、上下左右方向に張り出すリム８が屈曲して周設成形され、このリム８の内面の上下両側には係止穴９がそれぞれ凹み成形されている。リム８の下部両側は、一対のボトムレール３の前端部と一体成形されて連続している。また、容器本体１の背面には図１０に示すように、矩形のウインド１０がＰＣを用いて成形され、この透視可能な透明のウインド１０が整列収納された全ウェーハＷの端部に対する外部からの確認を可能にする。このウインド１０は、容器本体の一部である天井、背面壁、及び又は側壁の全部又は一部に成形することができる。
【００３０】
ガスケット１１は、図２に示すように、耐熱性、耐薬品性、耐老化性、電気特性等に優れる各種の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、ネオプレーンゴム、ブチルゴム、又はシリコーンゴム等を用いて変形可能な枠形に成形されている。そして、容器本体１の開口正面と蓋体１２との間に容器本体１又は蓋体１２の溝若しくは突起を介して挟持され、基板収納容器の気密性を維持する。
【００３１】
蓋体１２は、容器本体１と同様の合成樹脂を用いて内部に空間を有する二重壁構造に成形されている。この蓋体１２の内部には加工装置に外部から自動開閉操作される図示しないラッチ機構が内蔵され、このラッチ機構には出没可能な複数の係止爪が連結されており、この複数の係止爪が蓋体１２の外周から突出して容器本体１の開口正面の係止穴９に嵌挿されることにより蓋体１２が嵌合される。蓋体１２の内面には同図に示すように、単数複数のリテーナ１３が装着され、このリテーナ１３には各ウェーハＷに当接するために分離した断面Ｖ字形又はＵ字形の弾性片が成形されている。
【００３２】
リテーナ１３は、各種熱可塑性エラストマー、ＰＰ、又はＰＥ樹脂で成形することもできるが、耐熱性と剛性に優れるポリカーボネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、又はポリエーテルイミド等の合成樹脂を用いて成形される。特に、繰り返し耐久性の高いＰＥＥＫの使用が望ましい。この場合、表面温度が８０〜１５０℃の高温状態に熱処理されたウェーハＷが容器本体１内に収納されても、ウェーハＷとの熱融着や変形等が抑制防止される。
【００３３】
ボトムプレート１４は、図２や図４に示すように、基本的には略Ｙ字形の板形に成形され、前部両側と後部中央とにはＶグルーブ４の外周に嵌通する略小判形の誘導体１５がそれぞれ一体成形されている。各誘導体１５の内周面下部には図５に示すように、誘導体１５の中心方向に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面１６がそれぞれ成形され、各傾斜面１６が位置決めピン６をＶグルーブ４に誘導する。誘導体１５は、ボトムプレート１４と一体成形することもできるが、なんらこれに限定されるものではない。例えば、耐摩耗性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート樹脂、あるいはこれらにテフロン等の摩耗性改質剤を配合した樹脂を使用して誘導体１５を別部品として成形し、この誘導体１５をボトムプレート１４に取り付けて使用することも可能である。
【００３４】
上部取付機構１７は、図１、図２、図６、及び図１４等に示すように、容器本体１の天井に隙間を介し一体対向成形されて前後方向に伸びる一対の案内レール１８と、この一対の案内レール１８間に突出位置する螺子ボス１９とから構成されている。一対の案内レール１８は、それぞれ断面逆Ｌ字形に起立成形され、高さ方向の寸法がロボティックフランジ２１の挿入側である背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に高くなるよう成形されるとともに、左右幅方向の寸法が背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に拡がるよう配置されている。各案内レール１８の外側面は、背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に外側に拡がる傾斜誘導面２０を形成している。
【００３５】
ロボティックフランジ２１は、ポリカーボネイト、ポリアミド、ＡＢＳ、又はＰＢＴ等の熱可塑性樹脂を用いて成形される。このロボティックフランジ２１は、同図に示すように、ＯＨＴの搬送機構に位置決め把持される把持板２２と、この把持板２２の底面両側から下方に突出した一対の支柱２３とから構成されている。把持板２２の中央部には断面略すり鉢形の螺子孔２４が成形され、この螺子孔２４が螺子ボス１９に連通してボルト等の締結具に螺子締めされる。また、一対の支柱２３は、断面Ｌ字形に屈曲成形され、案内レール１８の屈曲した上端部に係止する。このような構成のロボティックフランジ２１は、傾斜誘導面２０に誘導され、背面側から正面方向に向かうにしたがい一対の案内レール１８に密嵌し、正規の取付位置で取付機構に着脱自在に位置決め支持固定される。
【００３６】
各下側部取付機構２５は、図１、図２、図１１ないし図１４に示すように、容器本体１の各側壁の外面下部に複数の補強リブを介して一体対向成形された平行な上下一対の係止リブ２６からなる。この一対の係止リブ２６は、被嵌入空間２７を区画形成するとともに、前後方向に伸び、前後両端部には螺子付きの固定ボス２８がそれぞれ成形されている。
【００３７】
各サイドレール２９は、同図に示すように、前後方向に伸びる平板３０を備え、この平板３０の内側端部には一対の係止リブ２６の被嵌入空間２７に着脱自在に挿入される嵌入部３１が補強リブを介して一体成形されており、平板３０の外側端部には持ち上げ用の水平支持板３２が補強リブを介して一体成形されている。平板３０の前後両端部には固定孔３３がそれぞれ成形され、各固定孔３３が固定ボス２８に連通してボルト等の締結具に螺子締めされる。ボルトは、容器本体１の洗浄等を考慮し、ＰＣやＰＥＥＫ等の樹脂を用いて成形されている。
【００３８】
各側部取付機構３４は、図１、図２、図１１、及び図１２等に示すように、容器本体１の各側壁の外面中央に複数の補強リブを介して一体対向成形された上下一対のガイドレール３５と、この一対のガイドレール３５の前部間に成形された係止凹部３６とから構成されている。一対のガイドレール３５は、高さ方向の寸法が挿入側である背面側から正面方向に向かうにつれて嵌合がきつくなるよう成形されるとともに、上下方向の幅寸法が背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に狭まるよう配置されている。各ガイドレール３５の内面は、背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜誘導面３７を形成している。
【００３９】
各マニュアルハンドル３８は、傾斜誘導面２０に案内されて一対のガイドレール３５に嵌入されるプレート３９と、このプレート３９の外表面に一体成形された略Ｕ字形のハンドル４０とから構成されている。プレート３９の前端部には可撓性を有するフック４１が一体成形され、このフック４１が係止凹部３６に係止する。さらに、ハンドル４０は、基板収納容器の重心が中心部から開口正面側に位置することを考慮し、背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に上方に傾斜するよう成形されている。このような構成の各マニュアルハンドル３８は、傾斜誘導面３７に誘導され、背面側から正面方向に向かうにしたがい一対のガイドレール３５に密嵌し、正規の取付位置で側部取付機構３４に着脱自在に位置決め支持固定される。
【００４０】
上記構成によれば、工場の様々な仕様等を考慮し、必要なロボティックフランジ２１、一対のサイドレール２９、又は一対のマニュアルハンドル３８のみを選択的、かつ容易に装着して支持させることができるので、使用しない部品を確実に省略することができる。したがって、重量や設備の増加を招くことがなく、洗浄工程を含む取り扱いや保管上で障害となることも全くない。また、包装袋にピンホールを生じさせ、基板収納容器を汚染させる等の問題を確実に解消することが可能になる。
【００４１】
また、サイドレール２９を使用しない場合、サイドレール２９が設備と干渉するおそれがなく、基板収納容器の洗浄や貯留時に余分なスペースを確保する必要性も全くない。また、従来に比べ、ボルトの本数を必要最小限に削減することができるので、取り付け取り外しの容易化、位置決め誤差の抑制、及び新たな位置決め部材の省略が大いに期待できる。また、容器本体１の内壁に整列支持溝２を一体成形したので、基板収納容器の小型軽量化が可能になる。また、永久帯電防止性を有する熱可塑性樹脂等で容器本体１、複数のＶグルーブ４、及びロボティックフランジ２１を成形しているので、帯電を著しく抑制防止することができる。
【００４２】
また、永久帯電防止性を有する熱可塑性樹脂等で容器本体１等を成形しているので、帯電を抑制防止することができる。仮に帯電した場合、搬送装置や加工装置等と接触するときに、ロボティックフランジ２１等から電荷をアースすることができる。このように基板収納容器を構成すれば、輸送時や梱包から取り出す際に、帯電することがないので、パーティクルの付着を抑制防止することができる。したがって、例えばクリーンルームに基板収納容器を持ち込んでも、クリーンルーム内の汚染や不良の発生を抑制防止することが可能となる。さらに、二色成形の手法等により、容器本体１に内部確認用のウインド１０を接合面の隙間の無い状態で一体形成すれば、容器本体１の機密性を十分確保しながらウェーハＷの収納状態の視認、把握等が可能な基板収納容器を実現することができる。
【００４３】
なお、上記実施形態では断面略Ｕ字形の整列支持溝２を示したが、断面略Ｖ字形の整列支持溝２でも良い。また、ウインド１０は、ＰＣ、アクリル樹脂、又はポリエーテルイミド樹脂(ＰＥＩ)等を用いて単数複数成形することができる。このウインド１０は、帯電防止性を有する容器本体１の不透明部分が成形される場合に、二色成形やインサート成形等の手法により、容器本体１と隙間無く一体化することが可能である。また、蓋体１２を二重壁構造に成形したが、蓋体１２にウインド１０を成形し、蓋体１２を取り外さずに光電センサ等により収納された基板の枚数を自動的に確認することもできる。
【００４４】
また、一対の案内レール１８を、挿入側である背面側から正面方向に向かうにしたがい高さ方向の寸法や幅方向の寸法が徐々に低くなるよう成形することもできる。また、傾斜誘導面２０を、背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に案内レール１８の間隔が狭くなるよう成形することもできる。また、一対の係止リブ２６の対向内面を内側から外側に向かうにしたがい断面Ｕ字形又はＶ字形になるよう成形し、各サイドレール２９の嵌入部３１を一対の係止リブ２６の対向内面に密接するよう成形しても良い。
【００４５】
また、平板３０の前後両端部以外の部分に固定孔３３を単数複数成形しても良い。また、ボルトを樹脂製ではなく、金属製としても良い。また、容器本体１の各側壁の外面下部に円筒形のボスと固定ボス２８とを前後に並べて成形することも可能である。さらに、一対のガイドレール３５を、高さ方向の寸法が背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に低くなるよう成形するとともに、上下方向の幅寸法が背面側から正面方向に向かうにしたがい徐々に広くなるよう配置しても良い。さらにまた、ハンドル４０を略Ｕ字形以外の形に成形しても良い。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、複数種の搬送方法に対応することができ、選択された基板収納容器の搬送方法に必要な部品のみを使用して共通性、軽量性、取扱性、及び保管性等を向上させることができるという効果がある。また、サイドレールを使用しない場合、サイドレールが設備と干渉するおそれがなく、基板収納容器の洗浄や貯留時に余分なスペースを確保する必要性もない。
また、従来に比べ、ボルトの本数を必要最小限に削減することができるので、取り付け取り外しの容易化、位置決め誤差の抑制、及び新たな位置決め部材の省略が期待できる。さらに、容器本体に収納された基板に対する外部からの確認を透視可能なウインドが可能にするという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す分解斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を示す底面図である。
【図４】図３の容器本体にボトムプレートを支持させた状態を示す底面図である。
【図５】図４のV−V線断面図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を示す平面図である。
【図７】図６の容器本体にロボティックフランジを支持させた状態を示す平面図である。
【図８】本発明に係る基板収納容器の実施形態における開口した容器本体を示す正面図である。
【図９】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体付きの容器本体を示す正面図である。
【図１０】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を示す背面図である。
【図１１】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体を示す側面図である。
【図１２】図１１の容器本体にマニュアルハンドルを支持させた状態を示す側面図である。
【図１３】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体にサイドレールを支持させた状態を示す要部断面図である。
【図１４】図７のXIV-XIV線断面図である。
【図１５】図７のXV-XV線断面図である。
【符号の説明】
１        容器本体
２        整列支持溝
３        ボトムレール
４        Ｖグルーブ
１０      ウインド
１２      蓋体
１４      ボトムプレート
１５      誘導体
１６      傾斜面
１７      上部取付機構
１８      案内レール
１９      螺子ボス
２０      傾斜誘導面
２１      ロボティックフランジ
２２      把持板
２３      支柱
２５      下側部取付機構
２６      係止リブ
２７      被嵌入空間
２８      固定ボス
２９      サイドレール
３０      平板
３１      嵌入部
３２      水平支持板
３３      固定孔
３４      側部取付機構
３５      ガイドレール
３６      係止凹部
３７      傾斜誘導面
３８      マニュアルハンドル
３９      プレート
４０      ハンドル
Ｗ        ウェーハ(基板)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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