(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタを構成する画素領域の各々に複数の駆動ユニットから材料液を吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法において、
複数の駆動ユニットの各々から吐出される材料液の吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルを参照するステップと、
カラーフィルタの各画素領域に複数回吐出される材料液の総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該画素領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択して材料液を吐出するステップと、を備え、
前記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、
各画素領域に材料液を前回吐出した駆動ユニットを特定するステップと、
前記ユニット別吐出量テーブルを参照して、当該画素領域に前回材料液を吐出した駆動ユニットの吐出量が、平均吐出量より多いか少ないかを判定するステップと、
画素領域ごとに前回材料液を吐出した駆動ユニットにおける平均吐出量からのバラツキを補償する駆動ユニットを、前記ユニット別吐出量テーブルを参照することにより複数の駆動ユニットのなかから特定するステップと、
特定した駆動ユニットによる補償用の吐出処理をするステップと、
を備えていること、
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、
同一の画素領域に対して材料液を吐出するたびに、前記駆動ユニットを選択し吐出する請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
カラーフィルタを構成する画素領域の各々に複数の駆動ユニットから材料液を吐出してカラーフィルタを製造する製造装置において、
複数の駆動ユニットの各々から吐出される材料液の吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルを記憶する記憶部と、
任意の画素領域に前記駆動ユニットが対応可能に位置制御する位置制御手段と、
前記ユニット別吐出量テーブルを参照して、各画素領域に複数回吐出される材料液の総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該画素領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択する選択手段と、
前記選択手段により選択された駆動ユニットによる材料液の吐出を行う駆動手段と、を備え、
前記選択手段は、各画素領域に材料液を前回吐出した駆動ユニットを特定し、前記ユニット別吐出量テーブルを参照して、当該画素領域に前回材料液を吐出した駆動ユニットの吐出量が、平均吐出量より多いか少ないかを判定し、画素領域ごとに前回材料液を吐出した駆動ユニットにおける平均吐出量からのバラツキを補償する駆動ユニットを複数の駆動ユニットのなかから選択すること
を特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項４】
前記選択手段は、同一の画素領域に対して材料液を吐出するたびに、前記駆動ユニットを選択する請求項３に記載のカラーフィルタの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルなどに設置するカラーフィルタの製造技術に係り、特にフィルタの色むらの発生を防止可能なフィルタの製造方法・装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルタは、ガラス基板上に赤、緑および青の原色をそれぞれ透過させる着色層を、液晶パネルの各原色の表示要素に対応して備えたもので、液晶表示装置でカラー表示をさせるために必須のフィルタである。
【０００３】
カラーフィルタの製造方法として、特開平８−２９２３１７号公報には、インクジェット方式を利用する技術が記載されている。この技術は、インクジェット式記録ヘッドの相対変位を検出し、そのノズルから着色層の材料液を表示要素に吐出し乾燥させて着色層を形成するものであった。
【０００４】
カラーフィルタには色むらが少ないことが望まれる。図８の着色層の厚みむらと色むらの関係図から判るように、色むらは着色層の厚みむらに比例して増加する。着色層の厚みは、材料液の吐出位置や吐出量に対応して変動する。
【０００５】
従来の色むらの無いカラーフィルタの製造方法として、特開平１０−２３２３０８号公報には、表示要素単位に吐出位置、吐出間隔、吐出数、吐出量を変更して色むらを無くす方法が記載されている。この製造方法によれば、表示要素単位で吐出量のバラツキを補償することができていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、色むらを補正する上記製造方法は、インクジェットヘッドの数十存在するノズル単位に、駆動電圧や移動量を制御する方法であったため、制御が複雑であり、カラーフィルタの製造に時間がかかるという欠点があった。
【０００７】
上記問題に鑑み、本願発明は、簡単な制御で短時間にカラーフィルタの製造が可能な製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明は、カラーフィルタを構成する画素領域の各々に複数の駆動ユニットから材料液を吐出してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法において、１）複数の駆動ユニットの各々から吐出される材料液の吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルを参照するステップと、２）カラーフィルタの各画素領域に複数回吐出される材料液の総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該画素領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択して材料液を吐出するステップと、を備えていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
ここで、上記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、１）各画素領域に材料液を前回吐出した駆動ユニットを特定するステップと、２）ユニット別吐出量テーブルを参照して、当該画素領域に前回材料液を吐出した駆動ユニットの吐出量が、平均吐出量より多いか少ないかのを判定するステップと、３）画素領域ごとに前回材料液を吐出した駆動ユニットにおける平均吐出量からのバラツキを補償する駆動ユニットを、ユニット別吐出量テーブルを参照することにより複数の駆動ユニットのなかから特定するステップと、４）特定した駆動ユニットによる補償用の吐出処理をするステップと、を備えている。
【０００９】
上記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、
１）各画素領域に材料液を吐出する駆動ユニットを特定するステップと、
２）ユニット別吐出量テーブルを参照して、当該画素領域に吐出された材料液の吐出量を特定するステップと、
３）各画素領域に対応させて、特定された駆動ユニットによる材料液の吐出量を累計し吐出量累計として記録するステップと、
４）画素領域ごとに記録されている吐出量累計を参照し、各画素領域に吐出される材料液の吐出総量のバラツキを少なくする駆動ユニットを、ユニット別吐出量テーブルを参照することにより複数の駆動ユニットのなかから特定するステップと、
５）特定した駆動ユニットによる補償用の吐出処理をするステップと、を備えている。
【００１０】
上記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、同一の画素領域に対して材料液を吐出するたびに、駆動ユニットを選択し吐出する。
【００１１】
また上記駆動ユニットを選択して材料液を吐出するステップは、
１）同一の画素領域に対して予め定めた回数分だけ材料液を吐出するステップと、
２）予め定めた回数分材料液を吐出した後に、補償用の吐出として駆動ユニットを選択して吐出するステップと、を備えている。
【００１３】
本発明は、カラーフィルタを構成する画素領域の各々に複数の駆動ユニットから材料液を吐出してカラーフィルタを製造する製造装置において、１）複数の駆動ユニットの各々から吐出される材料液の吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルを記憶する記憶部と、２）任意の画素領域に駆動ユニットが対応可能に位置制御する位置制御手段と、３）ユニット別吐出量テーブルを参照して、各画素領域に複数回吐出される材料液の総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該画素領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択する選択手段と、４）選択手段により選択された駆動ユニットによる材料液の吐出を行う駆動手段と、を備えていることを特徴とするカラーフィルタの製造装置である。
ここで、上記選択手段は、各画素領域に材料液を前回吐出した駆動ユニットを特定し、ユニット別吐出量テーブルを参照して、当該画素領域に前回材料液を吐出した駆動ユニットの吐出量が、平均吐出量より多いか少ないかのを判定し、画素領域ごとに前回材料液を吐出した駆動ユニットにおける平均吐出量からのバラツキを補償する駆動ユニットを複数の駆動ユニットのなかから選択する。
【００１４】
上記選択手段は、同一の画素領域に対して材料液を吐出するたびに、駆動ユニットを選択する。
【００１５】
または上記選択手段は、同一の画素領域に対して予め定めた回数分だけ材料液を吐出した後に、補償用の吐出として駆動ユニットを選択する。
【００１７】
ここで本発明を通常のプリンタによる印刷における色むら防止のための印字濃度補償に使用することも可能である。すなわち、印字濃度のバラツキを補正する印字濃度補償方法において、複数の駆動ユニットの各々から吐出されるインクの吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルを参照して、印字面の各領域に複数回吐出されるインクの総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択してインクを吐出させることを特徴とする印字濃度補償方法である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
本発明の好適な実施の形態を、図面を参照して説明する。
（実施形態１）
図１に、本実施形態１のカラーフィルタ製造装置の概念図を示す。本カラーフィルタ製造装置は、図１に示すように、インクジェットヘッド１、それを制御する制御装置２、モータ３・４および位置センサ５で構成されている。
【００１９】
インクジェットヘッド１は、公知のインクジェット方式で供給されたインクをそのノズルから吐出するものである。インクジェットヘッド１の形態に限定はないが、本発明では工業用の着色材料液を使用するため、材料の変質をもたらさない様に熱を材料に加えないピエゾジェット方式が好ましい。インクジェットヘッド１は、材料液を吐出させるための圧電体素子４０がＮ個（Ｎは任意の数）設けられている。各圧電体素子は個別に駆動したりしなかったりを制御可能になっている。
【００２０】
図２に、本実施形態で使用するインクジェットヘッド１の主要部一部断面図を示す。当該インクジェットヘッド１は、圧力室基板２０の一方の面に前記圧電体素子４０が配列されている振動板３０が設けられ、他方の面にノズル１１が設けられたノズルプレート１０が設けられている。
【００２１】
圧電体素子４０は電極で圧電性セラミックスの結晶を挟持して構成されている。振動板３０は、二酸化珪素等で構成される弾性膜であり、圧電体素子４０の歪に対応して変形するようになっている。振動板３０には、インクタンク口３５が設けられ、図示しないインクタンクに貯蔵された、カラーフィルタ用の着色材料液が圧力室基板内に導入できるようになっている。圧力室基板２０は、シリコン基板をエッチングすることにより、圧力室２１、側壁２２、リザーバ２３、供給口２４等の各形状が形成されている。振動板３０の変形によって圧力室２１に体積変化が生じるように各圧電体素子４０と圧力室２１とのが位置合わせされている。ノズルプレート１０は、各ノズル１１が圧力室２１に対応するように位置合わせされて貼り合せられている。
【００２２】
このインクジェットヘッド１は、カラーフィルタの着色材料液に数だけ設けられている。実際には、例えば赤色用のヘッド、緑色用のヘッド、青色用のヘッドが存在する。本実施形態では理解し易くするために、ヘッドを１つだけ示してある。
【００２３】
上記構成において、ドライバ回路２０２に電圧が印加された圧電体素子４０のみが歪を生じ、振動板３０が変形し、圧力室２１に圧力が加えられ、そのノズル１１から材料液が吐出されるようになっている。電圧が印加されない圧電体素子４０には歪を生ぜず、材料液が吐出されることはない。一つの圧電体素子４０、圧力室２１およびノズル１１から駆動ユニットが構成されている。
【００２４】
各圧電体素子４０や圧力室２１、ノズル１１は同様の形状をしているので、供給する電圧が同じである限り各駆動ユニットからは同一量の材料液が吐出されるはずである。しかし実際にはユニットごとにバラツキが生じる。図３にノズル番号に対応して生ずる吐出量のバラツキを示す。この吐出量のバラツキは予め測定され、ノズル番号に対応した吐出量を示すデータであるユニット別吐出量テーブル２０５として、制御装置２に格納されるている。
【００２５】
図４にインクジェットヘッド１におけるノズルの配置と、カラーフィルタの元となる仕切部材が設けられたブラックマトリクス（ＢＭ）基板における画素領域の平面図を示す。Ｎ個のノズルの番号をｈｎ（ｎは１〜Ｎまでの数）とし、図のような相対座標ｘ２軸とｙ２軸とで各ノズルの位置Ｎｎ（ｘｎ、ｙｎ）が特定されるようになっている。
【００２６】
ＢＭ基板は、透明基板に光透過性のない樹脂（黒色）をスピンコート等の方法で所定の厚さ（例えば２μｍ程度）に塗布し、フォトリソグラフィー法等の方法で、マトリクス状の仕切部材（ブラックマトリクス）を設けることで製造される。各ブラックマトリクスの格子で囲まれる最小の表示要素をフィルタエレメント（画素領域）といい、例えば、Ｘ軸方向の幅３００μｍ、縦列（Ｙ軸）方向の長さ１００μｍ程度の大きさのウィンドウをなす。ＢＭ基板では、相対座標ｘ１軸とｙ１軸とで各画素領域の位置Ｗｍ（ｍは１〜画素最大数）（ｘｍ、ｙｍ）が特定されるようになっている。ノズル１１のピッチはＢＭ基板のｘ１軸方向のピッチの整数倍に設定されている。
【００２７】
上記インクジェットヘッド１の吐出と位置とを制御するための制御装置２は、選択手段２０１、駆動手段２０２、位置制御手段２０３、ドライバ回路２０４、第１記憶部２０５、第２記憶部２０６および位置情報データベース２０７を備えている。制御手段２は、実際には演算回路、メモリ、入出力回路等により構成され、本発明の製造方法を実施するためのプログラムを演算回路が実行することにより、機能上各手段の機能が実現されるものである。
【００２８】
第１記憶部２０５には、前記した、インクジェットヘッド１における複数の駆動ユニットの各々から吐出される材料液の吐出量を駆動ユニットに対応させて予め記録したユニット別吐出量テーブルが記憶されている。
【００２９】
第２記憶部２０６には、画素領域ごとに吐出量の累計が記録されるようになっている。第１記憶部２０５と第２記憶部２０６とは同一のメモリ素子上に配置してもよい。
【００３０】
選択手段２０１は、第１記憶部２０５に格納されているユニット別吐出量テーブルを参照して、ＢＭ基板の各画素領域に複数回吐出される材料液の総量を一定の範囲に収めることが可能な駆動ユニットを、当該画素領域に対して材料液を吐出する駆動ユニットとして複数の駆動ユニットのなかから選択可能になっている。
【００３１】
駆動手段２０２は、選択手段２０１により選択された駆動ユニットにより選択的に材料液の吐出を行わせるための駆動電圧を出力可能になっている。選択手段２０１は、インクジェットヘッド１の現在位置、インクジェットヘッド１におけるノズルＮｎの相対座標、ＢＭ基板における各画素領域Ｗｍの相対座標に基づいて、どのノズルがどの画素領域に対向して材料液を吐出可能になっているのかを認識可能になっている。
【００３２】
位置制御手段２０３は、任意の画素領域に駆動ユニット、すなわちインクジェットヘッド１が対応するように位置制御信号を出力するようになっている。
【００３３】
ドライバ回路２０４は、位置制御信号に対応する位置にインクジェットヘッド１が搬送されるように、モータ３を駆動してｘ軸方向にヘッドを動かし、モータ４を駆動してｙ軸方向にヘッドを動かすことが可能になっている。ヘッド搬送の際、ドライバ回路２０４は位置センサ５の検出信号を参照して正しくインクジェットヘッド１のノズル１１がＢＭ基板の所望の画素領域に対向するようにモータをサーボするようになっている。
【００３４】
モータ３と４は、ステッピングモータ等であり、図示しない移動機構をと協働っしてインクジェットヘッド１をｘｙ平面で搬送するようになっている。
【００３５】
図５のフローチャートを参照して、カラーフィルタの製造方法を説明する。
【００３６】
本製造方法を提供する前提として、カラーフィルタの基礎として、仕切部材であるブラックマトリクスを備えるＢＭ基板が既に製造されているものとする。
【００３７】
各画素領域あたり所定回数、例えば５回材料液が吐出される。本実施例においては、特に最初の３回、位置情報にしたがって無補償で材料液を吐出し、残りの２回、本発明の駆動ユニットの選択を行って補償用の材料液を吐出するものである。
【００３８】
まず位置制御手段２０３は、位置情報データベース２０７から位置情報を読み取り（Ｓ１０１）、その位置情報の最初のデータが示す位置にヘッドを位置させる位置制御信号を出力する（Ｓ１０２）。位置情報は、例えば図６に示すような経路でインクジェットヘッド１をＢＭ基板上に移動させていくためのものである。ドライバ回路２０４は、この位置制御信号に対応させてモータ３・４を駆動させる。インクジェットヘッド１のノズルがＢＭ基板上の画素領域に対向した位置でヘッドの位置は一旦固定される。
【００３９】
選択手段２０１は、最初、ノズル、すなわち駆動ユニットの選択をせずに位置情報にしたがって対向することとなった駆動ユニットを選択する。駆動手段２０２は、これを受けて画素領域に対向している駆動ユニットの圧電体素子４０に駆動電圧を供給する。これによって材料液がノズル１１から吐出され、対向する画素領域に着弾する（Ｓ１０３）。
【００４０】
無補償で位置情報にしたがって材料液を吐出する回である場合は（Ｓ１０４：ＹＥＳ）、吐出が繰り返される（Ｓ１０３）。材料液の吐出量には、図３で示すようなバラツキがノズルごとにあるため、そのバラツキに応じて画素領域に充填された吐出量累積が変動していく。
【００４１】
補償用の材料液吐出の回になった場合（Ｓ１０４：ＮＯ）、選択手段２０１は、インクジェットヘッド１の位置、ノズルの相対座標、ＢＭ基板における画素領域の座標に基づいて、各画素領域にどのノズル（駆動ユニット）が対向しているのかを特定する（Ｓ１０５）。選択手段２０１は、第１記憶部２０５に格納されているユニット別吐出量テーブルを参照し、特定されたノズルの吐出量を読み取って、その吐出量を吐出回数分累計する（Ｓ１０６）。
【００４２】
選択手段２０１は、吐出量の平均値から、吐出終了時に各画素領域に充填されているべき平均充填量を認識している。このため残りの補償用吐出回数で満たさなければならない材料液の量を把握することができる。選択手段２０１は、再度ユニット別吐出量テーブルを参照する（Ｓ１０８）。そして補償用吐出回数でこの平均充填量を程よく満たしうる駆動ユニットのノズル番号を把握し、その選択信号を出力する（Ｓ１０９）。カラーフィルタの濃度差が出ない範囲で、選択手段２０１には平均充填量に前後する許容充填量が設定されている。選択手段２０１は、過不足なく平均充填量に達するノズルを選択する必要はなく、この許容充填量の範囲で材料液を充填可能なノズルを特定すればよい。
【００４３】
選択手段２０１が出力した選択信号に対応して駆動手段２０２が選択されたノズル番号の駆動ユニットを駆動して、対向する画素領域に材料液と吐出させる（Ｓ１１０）。
【００４４】
補償用の吐出回数に満たない場合には（Ｓ１１１：ＮＯ）、ステップＳ１０６〜Ｓ１１０を繰り返す。ただし、最初の最適ノズルの選択時（Ｓ１０９）に補償用の吐出をさせるノズルを確定してしまえば、二度目移行の補償用の吐出では、吐出量の累計（Ｓ１０６）、プロファイルの参照（Ｓ１０８）、最適ノズルの選択（Ｓ１０９）を繰り返す必要はない。
【００４５】
補償用の吐出回数に達した場合には（Ｓ１１１：ＹＥＳ）、位置情報の最後であるかどうかが判定される（Ｓ１１２）。位置情報が最後でない場合（Ｓ１１２：ＮＯ）、すなわち画素領域が残っている限り、Ｓ１０１〜Ｓ１１１が繰り返される。つまり位置制御手段２０３が次の位置情報を読み取ってインクジェットヘッド１を次の画素領域に移動させ、無補償の材料液吐出と補償用の材料液吐出とが行なわれる。最終的には図６の経路に沿ってインクジェットヘッド１が移動させられ、ＢＭ基板の端まで材料液が充填されていく。
【００４６】
位置情報が最後になった場合（Ｓ１１２：ＹＥＳ）、総ての画素領域に材料液が充填されたことを意味しているので、処理を終了する。
【００４７】
なお材料液を乾燥させるための加熱処理を上記材料液の吐出処理と並行して、または吐出処理完了後に行うことができる。
【００４８】
上記実施形態１によれば、個別の駆動ユニットに対し、駆動電圧を変えたり移動距離を変えたりする必要がないので、制御が容易で高速にカラーフィルタを製造することができる。
【００４９】
上記実施形態１によれば、最初に無補償で材料液を吐出されるので、判断が不要なため非常に高速に材料液を充填していくことができる。
【００５０】
上記実施形態１によれば、最後に補償を行うので、制御に必要な動作を最小限に抑えることができる。
（実施形態２）
本発明の実施形態２は、実施形態１と異なり、毎回補償用の吐出を行うように構成した製造装置に関する。
【００５１】
本実施形態２の製造装置は、基本的に実施形態１の製造装置と同様の構成を備えている。ただし、毎回補償用の吐出処理を行うようにプログラムされている点で、実施形態１と異なる。
【００５２】
図７のフローチャートを参照して、カラーフィルタの製造方法を説明する。
【００５３】
まず位置制御手段２０３は、位置情報データベース２０７から位置情報を読み取り（Ｓ２０１）、その位置情報の最初のデータが示す位置にヘッドを位置させる位置制御信号を出力する（Ｓ２０２）。位置情報は、例えば図６に示すような経路でインクジェットヘッド１をＢＭ基板上に移動させていくためのものである。ドライバ回路２０４は、この位置制御信号に対応させてモータ３・４を駆動させる。インクジェットヘッド１のノズルがＢＭ基板上の画素領域に対向した位置でヘッドの位置は一旦固定される。
【００５４】
選択手段２０１は、最初、ノズル、すなわち駆動ユニットの選択をせずに位置情報にしたがって対向することとなった駆動ユニットを選択する。駆動手段２０２は、これを受けて画素領域に対向している駆動ユニットの圧電体素子４０に駆動電圧を供給する。これによって材料液がノズル１１から吐出され、対向する画素領域に着弾する（Ｓ２０３）。
【００５５】
次いで選択手段２０１は、インクジェットヘッド１の位置、ノズルの相対座標、ＢＭ基板における画素領域の座標に基づいて、各画素領域にどのノズル（駆動ユニット）が対向しているのかを特定する（Ｓ２０４）。選択手段２０１は、第１記憶部２０５に格納されているユニット別吐出量テーブルを参照し、特定されたノズルの吐出量を読み取って、その吐出量を吐出回数分累計する（Ｓ２０５）。
【００５６】
選択手段２０１は、累計吐出量の平均値から、吐出終了時に各画素領域に充填されているべき平均充填量を認識している。このため前回までの累計の吐出量が平均に比べて多いか少ないかを認識することができる。選択手段２０１は、再度ユニット別吐出量テーブルを参照する（Ｓ２０６）。選択手段２０１は、平均値とのずれを補償するのに最も適当な駆動ユニットのノズル番号を特定し、その選択信号を出力する（Ｓ２０８）。カラーフィルタの濃度差が出ない範囲で、選択手段２０１には平均充填量に前後する許容充填量が設定されている。選択手段２０１は、過不足なく平均充填量に達するノズルを選択する必要はなく、この許容充填量の範囲で材料液を充填可能なノズルを特定すればよい。
【００５７】
選択手段２０１が出力した選択信号に対応して駆動手段２０２が選択されたノズル番号の駆動ユニットを駆動して、対向する画素領域に材料液と吐出させる（Ｓ２０９）。
【００５８】
規定の吐出回数に満たない場合には（Ｓ２１０：ＮＯ）、ステップＳ２０５〜Ｓ２０９を繰り返す。
【００５９】
位置情報が最後でない場合（Ｓ２１２：ＮＯ）、すなわち画素領域が残っている限り、Ｓ２０１〜Ｓ２１０が繰り返される。つまり位置制御手段２０３が次の位置情報を読み取ってインクジェットヘッド１を次の画素領域に移動させ、駆動ユニットの選択と材料液の吐出とが行なわれる。最終的には図６の経路に沿ってインクジェットヘッド１が移動させられ、ＢＭ基板の端まで材料液が充填されていく。
【００６０】
位置情報が最後になった場合（Ｓ２１２：ＹＥＳ）、総ての画素領域に材料液が充填されたことを意味しているので、処理を終了する。
【００６１】
なお材料液を乾燥させるための加熱処理を上記材料液の吐出処理と並行して、または吐出処理完了後に行うことができる。
【００６２】
上記した実施形態２によれば、上記実施形態１と同様の効果を備える他、毎回最適な駆動ユニットが選択されるので、最終的な充填量のバラツキが少なくなる。
（その他の変形例）
本発明は上記実施形態の他に種々に変形して適用することが可能である。
【００６３】
材料液の充填手順は、例示に過ぎず、種々に変形してもよい。要するに、複数回の合計の吐出量にバラツキが少なくなるように、ノズル間の吐出量のバラツキを逆に利用するような処理であれば、本発明の範囲であるといえる。
【００６４】
表示装置の構成も例示したものに過ぎず、公知の種々の表示装置としての構成を適用してもよい。
【００６５】
【発明の効果】
本願発明によれば、駆動ユニットごとの吐出量のバラツキを利用して複数回の吐出の累計で差が少なくなるように制御するように構成したので、最小の制御で高速にカラーフィルタの製造が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカラーフィルタ製造装置の構成図である。
【図２】本発明のインクジェットヘッドの主要部一部断面図である。
【図３】ユニット別吐出量テーブル（ノズルに対する吐出量の分布図）である。
【図４】インクジェットヘッドにおけるノズルの相対座標とＢＭ基板の相対座標の説明図である。
【図５】実施形態１の製造方法を説明するフローチャートである。
【図６】インクジェットヘッドのＢＭ基板上のスキャン経路図である。
【図７】実施形態２の製造方法を説明するフローチャートである。
【図８】カラーフィルタにおける厚みのむらと色むらとの関係図である。
【符号の説明】
１  インクジェットヘッド
２  制御装置
３・４  モータ
５  位置センサ
２０１  選択手段
２０２  駆動手段
２０３  位置制御手段
２０４  ドライバ回路
２０５  第１記憶部（ユニット別吐出量テーブル）
２０６  第２記憶部（吐出量累積）
２０７  位置情報データベース
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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