(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを取付けるワーク取付部と
当該ワーク取付部に取付けられたワークをワーク回転中心線を中心に回転可能に支持し得るワーク台と
当該ワーク台を回動可能に水平な軸でワーク支持台に軸支するワーク変角中心部と、当該ワーク台を当該ワーク変角中心部を中心にして微回動操作し得るワーク台回動機構部と、前記ワーク台を前記ワーク支持台に固定するクランプとを備え、前記ワーク回転中心線の方向を鉛直面に沿って前記ワーク台を回動させるワーク可動機構と、
砥石を取付ける砥石取付部と
当該砥石取付部に取付けられた砥石を砥石回転中心線を中心に回転可能に支持し得る砥石台と
当該砥石台を水平面で支持する砥石支持台と、当該砥石台を回動可能に垂直な軸で軸支する砥石変角中心部と、当該砥石台を前記水平面上で前記砥石変角中心部を中心に微回動操作しうる砥石台回動機構部と、前記砥石台を前記砥石支持台に固定させるクランプとを備え、前記砥石回転中心線の方向を前記水平面に沿って前記砥石台を回動させる砥石可動機構と
を備えたウエハのインフィード研削を行う研削盤におけるワークと砥石との相対位置関係調節装置であって、
前記ワーク回転中心線と前記砥石回転中心線とが略平行に配置され、それらの回転中心線の方向で前記ワークと前記砥石が互いに面するように配置され、切込み領域が水平になるように前記ワーク回転中心線と前記砥石回転中心線とが異なる水平位置で且つ異なる垂直位置に配置されたことを特徴とするウエハのインフィード研削を行う研削盤におけるワークと砥石との相対位置関係調節装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、研削盤においてワークと砥石との相対位置関係を調節する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の研削盤においては、ワークを回転可能に支持し得るワーク台と、砥石を回転可能に支持し得る砥石台とのうち、一方の台にのみ、ワークと砥石との相対位置関係を調節する可動機構を備えている。この可動機構により、ワークまたは砥石の回転中心線の方向を鉛直面及び水平面で変動させるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述したようにワーク台と砥石台とのうち一方の台にのみ設けた可動機構により、ワークと砥石との相対位置関係を調節する場合、方向調節動作が複雑になり、調節作業性が悪くなる。また、この可動機構における方向調節構造が複雑になり、可動機構の剛性が下がる。従って、例えば、ウエハなどのワークの表面について高精度な研削を行なうことが難しくなる。
【０００４】
本発明は、研削盤において、ワーク回転中心線と砥石回転中心線との相対位置関係の調節を容易にして、高精度な研削を行なうことを目的にしている。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
後記実施形態の図面（図１〜５）の符号を援用して本発明を説明する。
＊  請求項１の発明
この発明にかかるウエハのインフィード研削を行う研削盤におけるワーク（８）と砥石（１６）との相対位置関係調節装置は、ワーク（８）を取付けるワーク取付部（９）と、当該ワーク取付部（９）に取付けられたワーク（８）をワーク回転中心線（７ａ）を中心に回転可能に支持し得るワーク台（６）と、当該ワーク台（６）を回動可能に水平な軸でワーク支持台（４）に軸支するワーク変角中心部（１９）と、当該ワーク台（６）を当該ワーク変角中心部（１９）を中心にして微回動操作し得るワーク台回動機構部（２０）と、前記ワーク台（６）を前記ワーク支持台（４）に固定するクランプとを備え、前記ワーク回転中心線（７ａ）の方向を鉛直面（Ｐ）に沿って前記ワーク台（６）を回動させるワーク可動機構（１８）と、砥石を取付ける砥石取付部（１７）と、当該砥石取付部（１７）に取付けられた砥石（１６）を砥石回転中心線（１５ａ）を中心に回転可能に支持し得る砥石台（１３）と、当該砥石台（１３）を水平面で支持する砥石支持台（１２）と、当該砥石台（１３）を回動可能に垂直な軸で軸支する砥石変角中心部（３０）と、当該砥石台（１３）を前記水平面上で前記砥石変角中心部（３０）を中心に微回動操作しうる砥石台回動機構部（３１）と、前記砥石台（１３）を前記砥石支持台（１２）に固定させるクランプとを備え、前記砥石回転中心線（１５ａ）の方向を前記水平面（Ｈ）に沿って前記砥石台（１３）を回動させる砥石可動機構（２９）とを備えたウエハのインフィード研削を行う研削盤におけるワークと砥石との相対位置関係調節装置であって、前記ワーク回転中心線（７ａ）と前記砥石回転中心線（１５ａ）とが略平行に配置され、それらの回転中心線（７ａ，１５ａ）の方向で前記ワーク（８）と前記砥石（１６）が互いに面するように配置され、切込み領域が水平になるように前記ワーク回転中心線（７ａ）と前記砥石回転中心線（１５ａ）とが異なる水平位置で且つ異なる垂直位置に配置されたことを特徴とする。
【０００６】
この発明では、ワーク台（５）と砥石台（１３）とを同時に調節するばかりではなく、ワーク台（５）と砥石台（１３）とのうち一方のみを調節したり、ワーク台（５）と砥石台（１３）とを交互に調節したりして、各種手順により別々に調節することもでき、調節作業性が良くなる。そのため、ワーク回転中心線（７ａ）と砥石回転中心線（１５ａ）との平行度などの相対位置関係を容易に調節することができる。
【０００７】
また、ワーク可動機構（１８）と砥石可動機構（２９）とを別々に配設することが可能となり、それらの機構（１８，２９）における方向調節構造が簡単になる。そのため、ワーク可動機構（１８）の剛性や砥石可動機構（２９）の剛性を高めることができる。
従って、特にウエハなどのワーク（８）のインフィード研削において表面の平坦度を高めることができ、高精度な研削を行なうことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態にかかる研削盤を図面を参照して説明する。
図１〜３に示す研削盤は、大別して、機台１上に設置されたワーク支持装置２と研削加工装置３とを備えている。
【００１６】
前記ワーク支持装置２で機台１上の支持台４に支持されたワーク台５においては、駆動モータ６により回転するスピンドル７に対しワーク８がチャック９（ワーク取付部）により支持され、水平面Ｌの方向に沿った回転中心線７ａを中心に回転し得る。
【００１７】
前記研削加工装置３は、機台１上の固定台１０で駆動部１１（送りモータ１１ａ等）により移動する支持台１２を備えている。この支持台１２上に支持された砥石台１３においては、駆動モータ１４により回転するスピンドル１５に対し砥石１６が砥石取付部１７により支持され、水平面Ｌに沿った回転中心線１５ａを中心に回転し得る。前記チャック９とこの砥石取付部１７とはワーク回転中心線７ａの方向及び砥石回転中心線１５ａの方向で互いに面している。前記固定台１０は、機台１上の基台１０ａと、この基台１０ａ上で移動可能に支持された横動台１０ｂとからなる。前記砥石台１３を支持する支持台１２は、この横動台１０ｂ上で往復移動可能に支持されている。この支持台１２は、前記駆動部１１により、砥石１６がワーク８に対し接近離間する送り方向Ｘに沿って、ワーク８に対する加工時の移動向きＸＦと、ワーク８から離れる移動向きＸＲとへ、前記固定台１０の横動台１０ｂに対し往復移動する。前記基台１０ａに対する横動台１０ｂの往復移動方向Ｙは、この支持台１２の往復移動方向Ｘに対し直交している。
【００１８】
前記ワーク支持装置２においては、図１〜３に示すように、支持台４上にワーク可動機構１８がワーク台５に隣接して設置されている。このワーク可動機構１８は、図１，４に示すように、前記ワーク台５を回動可能に支持するワーク変角中心部１９と、このワーク台５をこのワーク変角中心部１９を中心にして回動し得るワーク台手動操作部２０（ワーク台回動機構部）とを有している。このワーク台手動操作部２０は支持台４とワーク台５との間に設けられている。このワーク台手動操作部２０においては、ワーク台５側に支持された送り軸２１とハンドル軸２２とが両かさ歯車２３，２４を介して連動され、この送り軸２１に形成された雄ねじ部２５が、支持台４側に取着された雌ねじ筒２６に螺合されている。このワーク台手動操作部２０において、ハンドル２７の回動が減速器２８を介して前記ハンドル軸２２に伝わると、送り軸２１の雄ねじ部２５が雌ねじ筒２６に対し回動してワーク台５が前記ワーク変角中心部１９を中心に回動する。その回動により、ワーク回転中心線７ａの方向が鉛直変動面Ｐ上で微小角度だけ変化する。このようにしてワーク回転中心線７ａの方向を調節した後、クランプによりワーク台５の位置を支持台４に固定する。
【００１９】
前記研削加工装置３においては、図１〜２に示すように、支持台１２上に砥石可動機構２９が砥石台１３に隣接して設置されている。この砥石可動機構２９は、図２，５に示すように、前記砥石台１３を回動可能に支持する砥石変角中心部３０と、この砥石台１３をこの砥石変角中心部３０を中心にして回動し得る砥石台手動操作部３１（砥石台回動機構部）とを有している。この砥石台手動操作部３１は支持台２４と砥石台１３との間に設けられている。この砥石台手動操作部３１においては、砥石台１３側に支持された送り軸３２とハンドル軸３３とが両平歯車３４，３５を介して連動され、この送り軸３２に形成された雄ねじ部３６が、支持台１２側に取着された雌ねじ筒３７に螺合されている。この砥石台手動操作部３１において、ハンドル３８の回動が減速器３９を介して前記ハンドル軸３３に伝わると、送り軸３２の雄ねじ部３６が雌ねじ筒３７に対し回動して砥石台１３が前記砥石変角中心部３０を中心に回動する。その回動により、砥石回転中心線１５ａの方向が水平変動面Ｈ上で微小角度だけ変化する。このようにして砥石回転中心線１５ａの方向を調節した後、クランプにより砥石台１３の位置を支持台１２に固定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施形態にかかる研削盤を概略的に示す正面図である。
【図２】  本実施形態にかかる研削盤を概略的に示す平面図である。
【図３】  本実施形態にかかる研削盤を概略的に示す側面図である。
【図４】  上記研削盤でワーク台を調節する可動機構を示す断面図である。
【図５】  上記研削盤で砥石台を調節する可動機構を示す断面図である。
【符号の説明】
５…ワーク台、７ａ…ワーク回転中心線、８…ワーク、９…チャック（ワーク取付部）、１３…砥石台、１５ａ…砥石回転中心線、１６…砥石、１７…砥石取付部、１８…ワーク可動機構、２９…砥石可動機構、Ｐ…鉛直変動面、Ｈ…水平変動面、Ｌ…水平面。
【図１】
0003978002.tif 000002
【図２】
0003978002.tif 000003
【図３】
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【図４】
0003978002.tif 000005
【図５】
0003978002.tif 000006