(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ中に光導波路デバイスが収容されてなる光導波路パッケージと；
第１レンズホルダと該第１レンズホルダ内に挿入固定された第１レンズとを含み、前記光導波路パッケージの入力側に固定された第１レンズアセンブリと；
該第１レンズアセンブリに固定された第１スリーブと；
斜め研磨された端面を有する第１フェルールと該第１フェルール内に挿入固定された偏波面保存光ファイバとを含み、前記第１スリーブ内に挿入固定された偏波面保存光ファイバアセンブリと；
第２レンズホルダと該第２レンズホルダ内に挿入固定された第２レンズとを含み、前記光導波路パッケージの出力側に固定された第２レンズアセンブリと；
該第２レンズアセンブリに固定された第２スリーブと；
第２フェルールと該第２フェルール内に挿入固定されたシングルモード光ファイバとを含み、前記第２スリーブ内に挿入固定されたシンブルモード光ファイバアセンブリとを具備し；
前記偏波面保存光ファイバアセンブリは前記斜め研磨された前記第１フェルール端面に接着された偏光子を有しており、
前記偏光子は、直方体形状の偏光子の偏波軸に平行な対向する二面を、前記第１フェルールの端面の斜め研磨角度と同一角度だけ互いに平行となるように切断してなることを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項２】
前記偏波面保存光ファイバは一対の応力付与部を有しており、該一対の応力付与部を結んだ直線と前記偏光子の偏波軸とが直交するように、前記偏光子を前記第１フェルールの斜め研磨された前記端面に接着したことを特徴とする請求項１記載の光導波路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導波路上にＡｕ電極を形成した光変調器モジュール、偏波スクランブラーモジュール等の光導波路モジュールに関する。
【０００２】
最近の光ファイバ通信システムにおいては、伝送速度の増大に伴い変調速度も増大している。レーザダイオードの直接強度変調では、波長チャーピングにより波形歪を引き起こす。この問題を避けるために、外部変調器として使用される光変調器モジュールに対する期待が高まっている。
【０００３】
【従来の技術】
実用的な外部変調器として、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）等の誘電体結晶基板を用いたマッハツェンダ型の光変調器（ＬＮ変調器）が開発されている。光源からの一定強度のキャリア光がＬＮ変調器に供給され、光の干渉を用いたスイッチング動作によって強度変調された光信号が得られる。
【０００４】
ＬＮ変調器チップは、Ｚカットされたニオブ酸リチウム結晶からなる誘電体基板の表面に、チタンを熱拡散させて屈折率を高めることによりその両端部近傍でそれぞれ結合された一対の光導波路を形成し、その上にＳｉＯ2からなるバッファ層を形成し、さらにバッファ層の上に光導波路に対応して信号電極（進行波電極）及び接地電極を形成して構成される。
【０００５】
光導波路の一端から入射された信号光は分岐されて一対の光導波路を伝搬する。一方の光導波路上に形成された信号電極に駆動電圧を印加すると、電気光学効果により分岐された双方の信号光に位相差が生じる。
【０００６】
ＬＮ変調器では、これらの信号光を再び結合させて光信号出力として取り出す。一対の光導波路を伝搬する信号光の位相差が例えば０又はπになるように駆動電圧を印加すれば、オン／オフのパルス信号を得ることができる。
【０００７】
ＬＮ光変調器では、その特性を最大限に発揮させるためには、偏波消光比の高い入力光が必要であり、従来はＬＮ光導波路の端面又はレンズアセンブリに、偏波消光比の高い偏光子を取り付けて、この要求を実現している。
【０００８】
従来のＬＮ光変調器モジュールの概略構成を図１に示す。符号２はＬＮパッケージを示しており、ＬＮ光導波路４を金属パッケージ６内に接着固定して構成されている。
【０００９】
ＬＮパッケージ２の入力側には、偏光子付きレンズアセンブリ８がレーザ溶接されている。偏光子付きレンズアセンブリ８は金属性レンズホルダ１０にレンズ１２を挿入して低融点ガラスで固定し、さらに反対側から偏光子１４を挿入して接着剤で固定して構成されている。偏光子１４の固定位置が、レンズホルダ１０に設けられたマーカーに対して偏光子１４の偏光軸が所定の向きになるように接着固定している。
【００１０】
１６は偏波面保存光ファイバアセンブリであり、フェルール１８と、フェルール１８内に挿入固定された偏波面保存光ファイバ２０とから構成される。フェルール１８は金属フェルール１８ａ内にセラミックフェルール１８ｂを挿入して構成される二重フェルールである。フェルール１８の端面１９は反射光が光源側に戻るのを防止するために斜め研磨されている。
【００１１】
偏波面保存光ファイバアセンブリ１６は金属スリーブ２２内に挿入され、スリーブ２２にレーザ溶接されている。スリーブ２２はさらに、偏光子付きレンズアセンブリ８のレンズホルダ１０にレーザ溶接されている。
【００１２】
ＬＮパッケージ２の出力側には、レンズアセンブリ２４がレーザ溶接されている。レンズアセンブリ２４は金属性レンズホルダ２６内にレンズ２８を挿入し、低融点ガラスで固定して構成されている。
【００１３】
３０はシングルモード光ファイバアセンブリであり、フェルール３２中にシングルモード光ファイバ３４を挿入固定して構成されている。フェルール３２はフェルール１８と同様に、金属フェルール３２ａ中にセラミックフェルール３２ｂを挿入した二重フェルールである。フェルール３２の端面３３は斜め研磨されている。
【００１４】
シングルモード光ファイバアセンブリ３０は金属スリーブ３６内に挿入され、スリーブ３６に対してレーザ溶接されている。スリーブ３６はさらに、レンズアセンブリ２４にレーザ溶接されている。
【００１５】
図２（Ａ）は偏光子付きレンズアセンブリ８の正面図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の２Ｂ−２Ｂ線断面図である。レンズホルダ１０は長円形状の外形を有しており、その高さは約７ｍｍである。レンズホルダ１０に偏光子１４を挿入固定する場合、光路を確保するために一辺が３ｍｍの大きな偏光子が必要である。
【００１６】
次に、図３を参照して、従来のＬＮ光変調器モジュールの光軸調整方法について説明する。
【００１７】
最初に各部品（ＬＮパッケージ２、偏光子付きレンズアセンブリ８、偏波面保存光ファイバアセンブリ１６、スリーブ２２、レンズアセンブリ２４、シングルモード光ファイバアセンブリ３０、スリーブ３６）を光軸調整治具にセットする。
【００１８】
偏波面保存光ファイバアセンブリ１６の偏光方向を光出力によって回転粗調整（θ１軸）を行った後、各部品間の面合せ調整（α・β軸）をする。
【００１９】
次いで、可視光を入力側の偏波面保存光ファイバアセンブリ１６から入力して、偏波面保存光ファイバアセンブリ１６（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）、偏光子付きレンズアセンブリ８（Ｘ，Ｙ軸）、出力側のシングルモード光ファイバアセンブリ３０（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）、レンズアセンブリ２４（Ｘ，Ｙ軸）を粗調整し、光路を確保（光が通るように）する。ここで、偏光子付きレンズアセンブリ８の偏光方向は、マーカーを概略合わせることにより回転調整は不要となる。
【００２０】
次に、ＬＤ光源を使用して、入力側の偏波面保存光ファイバアセンブリ１６及び偏光子付きレンズアセンブリ８と、出力側のシングルモード光ファイバアセンブリ３０及びレンズアセンブリ２４の１０軸を光出力が最大になるように微調整する。
【００２１】
次に、偏波消光比の測定を行い、偏波消光比が最大になる位置まで、偏波面保存光ファイバアセンブリ１６及び偏光子付きレンズアセンブリ８を回転調整（θ１，θ２軸）する。
【００２２】
偏波消光比が最大の位置で再度光軸調整（１０軸）を行い、光出力が最大になるように微調整する。調整が終了したら紫外線硬化接着剤で仮固定を行った後、レーザ溶接で各部品間を固定する。図３で矢印がレーザ溶接位置である。
【００２３】
偏光子１４をレンズホルダ１０内に接着固定する代わりに、ＬＮ光導波路４の端面に接着固定している従来例の場合は、上述した光軸調整方法において、偏光子の回転調整行程がないだけである。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来例においては、レンズアセンブリ８に偏光子１４を接着固定しているため、光路を確保するために図２（Ａ）に示したように一辺３ｍｍの正方形状偏光子１４が必要であり、必然的にレンズアセンブリ８も大きく（高さ７ｍｍ）せざるを得ない。
【００２５】
このため、ＬＮパッケージ２の大型化（高さ１０ｍｍ）が避けられず、また、大きな偏光子は部材コストの上昇に繋がっている。また、光軸調整工数においても、偏光子付きレンズアセンブリ８の回転調整を行うため、回転調整の都度光軸ずれが発生し、調整工数の大幅な増加を招いている。
【００２６】
さらに、レンズアセンブリ調整機構が光軸調整機をより複雑なものにし、設備が効果な物になる。
【００２７】
偏光子をＬＮ光導波路の端面に接着する従来例の場合は、上述したような問題は少ないが、ＬＮ光導波路と偏光子では熱膨張係数（ＬＮ光導波路：１６．７×１０-6，偏光子：６．５×１０-6）の差が大きいため、使用温度範囲が狭いという大きな欠点がある。
【００２８】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、モジュールの小型化及び低コスト化が図れ、調整工数の大幅な短縮が可能な光導波路モジュール及び該光導波路モジュールに使用する偏波面保存光ファイバアセンブリを提供することである。
【００２９】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、パッケージ中に光導波路デバイスが収容されてなる光導波路パッケージと；第１レンズホルダと該第１レンズホルダ内に挿入固定された第１レンズとを含み、前記光導波路パッケージの入力側に固定された第１レンズアセンブリと；該第１レンズアセンブリに固定された第１スリーブと；斜め研磨された端面を有する第１フェルールと該第１フェルール内に挿入固定された偏波面保存光ファイバとを含み、前記第１スリーブ内に挿入固定された偏波面保存光ファイバアセンブリと；第２レンズホルダと該第２レンズホルダ内に挿入固定された第２レンズとを含み、前記光導波路パッケージの出力側に固定された第２レンズアセンブリと；該第２レンズアセンブリに固定された第２スリーブと；第２フェルールと該第２フェルール内に挿入固定されたシングルモード光ファイバとを含み、前記第２スリーブ内に挿入固定されたシンブルモード光ファイバアセンブリとを具備し；前記偏波面保存光ファイバアセンブリは前記斜め研磨された前記第１フェルール端面に接着された偏光子を有しており、前記偏光子は、直方体形状の偏光子の偏波軸に平行な対向する二面を、前記第１フェルールの端面の斜め研磨角度と同一角度だけ互いに平行となるように切断してなることを特徴とする光導波路モジュールが提供される。
【００３０】
好ましくは、偏波面保存光ファイバは一対の応力付与部を有しており、該１対の応力付与部を結んだ直線と前記偏光子の偏波軸とが直交するように、偏光子がフェルールの斜め研磨された端面に接着されている。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。実施形態の説明において、図１に示した従来例と同一構成部分については同一符号を付し、重複を避けるためその説明の一部を省略する。
【００３５】
図４を参照すると、本発明実施形態に係るＬＮ光変調器モジュールの断面図が示されている。ＬＮパッケージ２の入力側にはレンズアセンブリ４０がレーザ溶接により固定されている。レンズアセンブリ４０は金属性のレンズホルダ４２と、レンズホルダ４２内に挿入され低融点ガラスで固定されたレンズ４４とから構成される。
【００３６】
４６は偏波面保存光ファイバアセンブリ（偏光子付き光ファイバアセンブリ）であり、フェルール１８と該フェルール１８中に挿入固定された偏波面保存光ファイバ２０とから構成される。フェルール１８は金属フェルール１８ａ中にセラミックフェルール１８ｂを挿入して構成される二重フェルールである。
【００３７】
フェルール１８の端面１９は反射光が光源に戻るのを防止するために所定角度で斜め研磨されており、この端面１９には偏光子４８が接着されている。
【００３８】
偏波面保存光ファイバアセンブリ４６は金属性のスリーブ２２中に挿入され、レーザ溶接によりスリーブ２２に固定されている。スリーブ２２はさらに、レンズアセンブリ４０のレンズホルダ４２にレーザ溶接されている。
【００３９】
ＬＮパッケージ２の出力側には、図１に示した従来例と同様にレンズアセンブリ２４，シングルモード光ファイバアセンブリ３０及び金属スリーブ３６がレーザ溶接により固定されている。
【００４０】
図５（Ａ）は偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の側面図を示しており、図５（Ｂ）はその端面図を示している。図５（Ｂ）に示されるように、偏波面保存光ファイバ２０はコア２１（図７（Ａ）参照）を挟んで一対の応力付与部２３ａ，２３ｂを有している。
【００４１】
偏光子４８は平面サイズが１．２ｍｍ×０．８ｍｍであり、厚さが０．２ｍｍである。偏光子４８は、直方体形状の偏光子の偏波軸に平行な対向する二面４８ａ，４８ｂをフェルール１８の端面１９の斜め研磨角度と同一角度分だけ切断し、互いにフェルールの中心軸と平行となるように構成される。
【００４２】
よって、偏光子４８がフェルール１８の端面１９に光学接着剤で固定されると、これらの切断面（テーパ面）４８ａ，４８ｂはフェルール１８の中心軸２５と平行となる。
【００４３】
次に図６及び図７を参照して、本実施形態の偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の製造方法について説明する。この製造方法によると、偏波面保存光ファイバ２０と偏光子４８の偏光方向（偏光軸）を高精度に合わせるため、フェルール１８の端面１９と偏光子４８をＣＣＤカメラで撮影して画像処理を行い、偏光子４８を偏波面保存光ファイバ２０に対して回転調整し、調整後偏光子４８をフェルール１８の端面１９に接着する。
【００４４】
更に詳細に説明すると、先ず図６に示すように、画像処理をするための第１ＣＣＤカメラ５４（フェルール１８の端面１９撮影用）と第２ＣＣＤカメラ５８（偏光子４８撮影用）で同一の基準サンプル５６を撮影し、各ＣＣＤカメラ５４，５８の基準軸を合わせる。
【００４５】
次いで、偏波面保存光ファイバアセンブリ１６を回転機構付き治具５０の貫通穴５２中にセットし、第１ＣＣＤカメラ５４でフェルール１８の端面１９を撮影し、図７（Ａ）に示す偏波面保存光ファイバ２０の一対の応力付与部２３ａ，２３ｂを結んだ直線６０が第１ＣＣＤカメラ５４の基準軸に合致するように治具５０で回転調整を行う（回転精度：±１度以下）。
【００４６】
次に、偏光子４８を真空チャック５６で保持して、第２ＣＣＤカメラ５８で偏光子４８を撮影し、偏光子４８の角２点６２ａ，６２ｂを認識し、これらの２点を結んだ直線が第２ＣＣＤカメラ５８の基準軸６４と平行となるように偏光子４８の回転補正を行う。
【００４７】
さらに、偏光子４８のもう１つの角部６２ｃを認識し、計３点の認識位置で偏光子４８の中心位置を画像認識で算出する。算出結果に合わせて、チャック５６で偏光子４８の回転調整（回転精度：±１度以下）及び移動調整（Ｘ，Ｙ軸）を行う。
【００４８】
偏波面保存光ファイバアセンブリ１６の端面１９に光学接着剤を塗布してチャック５６で保持した偏光子４８を突き当て、チャック５６でしばらく保持して接着剤の硬化を行う。
【００４９】
次に、図８を参照して、本実施形態の自動光軸調整方法について説明する。入力側の調整方法は以下の通りである。先ず、各部品（ＬＮパッケージ２、偏波面保存光ファイバアセンブリ４６，レンズアセンブリ４０及びスリーブ２２）を光軸調整機にセットする。
【００５０】
ＬＮパッケージ２とレンズアセンブリ４０との間の調整は、画像処理を用いてＬＮ光導波路４とレンズアセンブリ４０の中心を認識し、光路計算結果に合わせてレンズアセンブリ４０をＬＮパッケージ２に対してＸ軸又はＹ軸方向に移動させ、調整完了後レンズアセンブリ４０をＬＮパッケージ２に対してレーザ溶接で固定する。
【００５１】
次に、図９に示すように、偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の先端の偏光子４８の切断面（テーパ面）４８ａの角部６２ｂ，６２ｃを画像処理を用いて認識して、角部６２ｂと６２ｃを結んだ直線が基準軸６４に直交するように偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の回転調整を行う。
【００５２】
認識パターン７０はＣＣＤカメラのメモリに内蔵されており、ＣＣＤカメラが偏光子４８の角部６２ａ，６２ｂ，６２ｃを認識すると、これらの角部が認識パターン７０に一致して、認識パターン７０の背景に対して黒く又は背景が黒の場合には白く抽出される。
【００５３】
このように、本実施形態では偏光子４８にテーパ面４８ａ，４８ｂを設けているため、画像認識により偏光子４８を容易に正常認識することができる。
【００５４】
偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の光軸調整は従来方法と同様であり、偏波面保存光ファイバアセンブリ４６をＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に移動して光出力が最大になるように調整し、偏波面保存光ファイバアセンブリ４６をスリーブ２２にレーザ溶接で固定する。
【００５５】
次いで、偏波面保存光ファイバアセンブリ４６のＸ，Ｙ軸を光出力が最大になるように再度調整して、レンズアセンブリ４０をスリーブ２２にレーザ溶接で固定する。
【００５６】
出力側の光軸調整方法は上述した入力側の光軸調整方法に類似しており、シングルモード光ファイバアセンブリ３０の調整はＸ，Ｙ，Ｚ軸方向のみであり、回転調整行程がない点が偏波面保存光ファイバアセンブリ４６の調整方法と相違する。図８で矢印がレーザ溶接位置である。
【００５７】
図１０（Ａ）は比較例の偏波面保存光ファイバアセンブリ（偏光子付き光ファイバアセンブリ）の側面図であり、図１０（Ｂ）はその端面図である。この比較例においては、偏光子７２の偏光軸に平行な対向する二面７２ａ，７２ｂが斜めに切断されていない。よって、図１０（Ｂ）のように端面から見ると偏光子７２の面７２ａが見えることになる。
【００５８】
図１１（Ａ）は比較例での偏光子７２の正常認識状態である。しかし、比較例では偏光子７２の対向する二面７２ａ，７２ｂが斜めに切断されていないため、フェルール１８の端面方向から観察すると偏光子７２の面７２ａが見えることになる。
【００５９】
よってこの場合には、図１１（Ｂ）に示すように、偏光子７２の面７２ａの１つの角部７２ｅ´を認識した場合にも、偏光子７２の角部７２ｅだと誤認識してしまう場合があり、認識不良が発生する。
【００６０】
本実施形態では、偏光子４８にテーパ面４８ａ，４８ｂを形成したため、このような誤認識が発生する怖れはない。
【００６１】
以上の説明では、本発明をＬＮ光変調器モジュールに適用した例について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば偏波スクランブラーモジュール等の他の光導波路モジュールにも同様に適用可能である。
【００６２】
本発明は以下の付記を含むものである。
【００６３】
（付記１）  パッケージ中に光導波路デバイスが収容されてなる光導波路パッケージと；
第１レンズホルダと該第１レンズホルダ内に挿入固定された第１レンズとを含み、前記光導波路パッケージの入力側に固定された第１レンズアセンブリと；
該第１レンズアセンブリに固定された第１スリーブと；
第１フェルールと該第１フェルール内に挿入固定された偏波面保存光ファイバとを含み、斜め研磨された端面を有する前記第１スリーブ内に挿入固定された偏波面保存光ファイバアセンブリと；
第２レンズホルダと該第２レンズホルダ内に挿入固定された第２レンズとを含み、前記光導波路パッケージの出力側に固定された第２レンズアセンブリと；
該第２レンズアセンブリに固定された第２スリーブと；
第２フェルールと該第２フェルール内に挿入固定されたシングルモード光ファイバとを含み、前記第２スリーブ内に挿入固定されたシンブルモード光ファイバアセンブリとを具備し；
前記偏波面保存光ファイバアセンブリは前記斜め研磨された端面に接着された偏光子を有していることを特徴とする光導波路モジュール。
【００６４】
（付記２）  前記偏波面保存光ファイバは一対の応力付与部を有しており、該一対の応力付与部を結んだ直線と前記偏光子の偏波軸とが直交するように、前記偏光子を前記フェルールの斜め研磨された前記端面に接着したことを特徴とする付記１記載の光導波路モジュール。
【００６５】
（付記３）  中心穴と斜め研磨された端面を有するフェルールと、
前記フェルールの中心穴中に挿入固定され、端面が該フェルールの端面とともに斜め研磨された偏波面保存光ファイバと、
前記フェルールの斜め研磨された前記端面に接着された偏光子と、
を具備したことを特徴とする偏波面保存光ファイバアセンブリ。
【００６６】
（付記４）  前記偏波面保存光ファイバは一対の応力付与部を有しており、該一対の応力付与部を結んだ直線と前記偏光子の偏波軸とが直交するように、該偏光子が斜め研磨されたフェルールの前記端面に接着されていることを特徴とする付記３記載の偏波面保存光ファイバアセンブリ。
【００６７】
（付記５）  前記偏光子は、直方体形状の偏光子の偏波軸に平行な対向する二面を、前記フェルールの端面の斜め研磨角度と同一角度だけ互いに平行となるように切断してなることを特徴とする付記３又は４記載の偏波面保存光ファイバアセンブリ。
【００６８】
（付記６）  中心軸に対して非垂直の端面を有するフェルールと、該フェルール内の光ファイバと、該光ファイバからの光を偏光子及びレンズを介して光導波路に導く光導波路アセンブリにおいて、
前記偏光子は上面及び底面が平行四辺形の形状を有する四角柱であり、前記中心軸と平行な面を有するように前記フェルールに直接貼り付けられ、
前記平行四辺形の内角のうち鋭角の方の角度は、前記フェルールの中心軸と前記端面とがなす角のうち鋭角の方の角度と略等しいことを、
特徴とする光導波路アセンブリ。
【００６９】
【発明の効果】
本発明は以上詳述したように構成したので、光導波路モジュールの小型化を図ることができるとともに、部材費の大幅な削減及び調整工数の大幅な短縮化が可能となり、光導波路モジュールの低コスト化を図ることができる。
【００７０】
例えば、ＬＮ光変調器モジュールにおいては、高さ７ｍｍ以下に小型化が図れ、部材費を２０％削減することができ、従来１個につき１２０分必要であった調整工数を３０分に短縮化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＬＮ光変調器モジュールの断面図である。
【図２】従来の偏光子付きレンズアセンブリを示す図である。
【図３】従来の光軸調整方法を説明する図である。
【図４】本発明実施形態のＬＮ光変調器モジュールの断面図である。
【図５】本実施形態の偏波面保存光ファイバアセンブリ（偏光子付き光ファイバアセンブリ）を示す図である。
【図６】偏光子付き光ファイバアセンブリの製造方法説明図である。
【図７】偏光子付き光ファイバアセンブリの製造方法説明図である。
【図８】本発明実施形態の光軸調整方法説明図である。
【図９】本発明での偏光子部認識方法説明図である。
【図１０】比較例の偏光子付き光ファイバアセンブリを示す図である。
【図１１】比較例での偏光子部認識方法説明図である。
【符号の説明】
２  ＬＮパッケージ
４  ＬＮ光導波路
６  パッケージ
８  偏光子付きレンズアセンブリ
１４  偏光子
１６  偏波面保存光ファイバアセンブリ
１８  フェルール
２０  偏波面保存光ファイバ
２２，３６  スリーブ
２４  レンズアセンブリ
３０  シングルモード光ファイバアセンブリ
３２  フェルール
３４  シングルモード光ファイバ
４０  レンズアセンブリ
４６  偏波面保存光ファイバアセンブリ（偏光子付き光ファイバアセンブリ）
４８  偏光子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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