(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚のガラス板の間に液晶が介在され、この液晶を封入するために、前記２枚のガラス板の外周部が、その外周辺に沿って塗布されたシール部材により封止されている液晶基板を吸着固定するための吸着テーブルであって、
前記吸着テーブルの外形は、前記液晶基板が固定された状態でこの液晶基板の外周に形成された端子部が吸着テーブルより外方に位置するような大きさとされ、
前記液晶基板の外周に形成された端子部の清掃が、２個のローラが前記端子部を挟んで上下に配置された清掃装置により行われる清掃時に前記端子部にかかる摩擦力によって生じる前記液晶基板の回転モーメントに抗する抵抗力を大きくするように、前記液晶基板における前記シール部材により前記ガラス板の強度が比較的高い場所である前記外周部を集中して吸着固定する吸着手段を具備することを特徴とする吸着テーブル。
【請求項２】
前記吸着手段が、前記吸着テーブルの表面に形成された吸着用溝と、前記吸着テーブルの表面に前記基板が載置された状態で前記吸着用溝を減圧する減圧手段とを具備することを特徴とする請求項１に記載の吸着テーブル。
【請求項３】
前記減圧手段が、前記吸着用溝を減圧させるための真空源と、前記吸着用溝と前記真空源との間を連通する配管に配設され前記吸着用溝の減圧度を前記基板の種類に応じて変化させて前記基板に対する吸着力を制御する圧力制御手段とを具備することを特徴とする請求項２に記載の吸着テーブル。
【請求項４】
前記テーブルの表面は四角形状で、このテーブルの表面の外周部に沿って四角形状にループした吸着用溝をテーブル表面の外周端から中心方向に複数本並べて形成することを特徴とする請求項２又は３に記載の吸着テーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶表示装置の製造工程の１つであるアウターリードボンディング（ＯＬＢ）工程において、液晶表示装置のガラス基板を真空吸着によってテーブルの表面に吸着固定するに用いて好適な吸着テーブル及び吸着固定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えばアウターリードボンディング（ＯＬＢ）工程では、ガラス基板に形成された端子部を清掃する端子清掃工程があり、この工程では液晶基板端子清掃装置が用いられる。
【０００３】
この液晶基板端子清掃装置について図５を参照して説明する。
【０００４】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、従来知られている液晶基板端子清掃装置は、吸着テーブル１を有し、この吸着テーブル１上にガラス基板１０が真空吸着により固定される。この固定状態で、図５（ｂ）に示すように、２個のローラ２がガラス基板１０を挟んで上下に配置されると共に、溶剤が滴下された清掃テープ３を介してガラス基板１０の端子部に上下から押し付けられる。この状態で、吸着テーブル１に固定されたガラス基板１０を吸着テーブル１ごと移動することによって、上下の清掃テープ３が、ガラス基板１０の端子部の上面と下面に接触した状態で同時に移動して上記端子部が清掃される。
【０００５】
この時、清掃テープ３とガラス基板１０の間に摩擦力が生じるため、吸着テーブル１上でガラス基板１０の位置がずれることで良好な清掃が妨げられることのないように、従来では吸着テーブル１として、図６に示すような吸着面全体に同心円の吸着用溝１１を形成した吸着テーブルを採用し、必要な吸着保持力を得るようにしていた。
【０００６】
図７は、図６に示した吸着テーブル１に形成されている吸着用溝１１の詳細構成例を示した断面図である。
【０００７】
図７に示す様に、吸着テーブル１の表面（吸着面に同じ）に設けられた断面が四角形状の吸着用溝１１が、キリ穴１２によりテーブル内部を通る吸着用配管穴１３と連通し、吸着用配管穴１３を図示しない真空ポンプ等の真空源により減圧することにより、その上部に載せられたガラス基板１０を吸着用溝１１で真空吸着して吸着テーブル１上に固定する様になっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような同心円状の吸着用溝１１が吸着面のほぼ全面に形成された従来の吸着テーブル１により、強度が弱い薄いガラス板を用いたガラス基板１０を上述のずれが生じない吸着力にて吸着すると、その吸着力が強過ぎてガラス基板１０のガラス面に吸着痕がついてしまい、ガラス面の一部が例えば同心円状に変形してしまうという不具合が生じてしまっていた。
【０００９】
この変形はガラス基板１０を吸着テーブル１から外した後も残り、このようなガラス基板１０を用いて液晶表示パネルを組み立てて表示させると、上記吸着痕の部分には画像が表示されないという不具合が生じる。
【００１０】
そこで、ガラス面に吸着痕が付かないように吸着テーブル１の吸着保持力を弱めると、ガラス基板１０の清掃時の摩擦力によりガラス基板１０がずれて良好な清掃が行なえなくなるという問題があった。
【００１１】
特に、上記ガラス基板１０の中央部分（後述する外周のシール部材から離れているので強度が低い）で吸着痕が発生しやすかった。
【００１２】
尚、上記したガラス基板の種類には様々な物があるが、最近のノートパソコン等のモバイル機器に搭載される液晶表示パネル用のガラス基板は薄く且つ軽くする傾向にあり、薄く強度が弱いガラス基板を吸着テーブル１で吸着して清掃するようなケースがこれから多数出て来る傾向にあり、上記のような問題を早急に解決することが要請される。
【００１３】
本発明は、上述の如き従来の課題を解決するためになされたもので、その目的は、強度の弱い基板を吸着した場合でも、基板に吸着痕が付くことを防止できる吸着テーブル及び吸着固定方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の第１の特徴は、２枚のガラス板の間に液晶が介在され、この液晶を封入するために、前記２枚のガラス板の外周部が、その外周辺に沿って塗布されたシール部材により封止されている液晶基板を吸着固定するための吸着テーブルであって、前記吸着テーブルの外形は、前記液晶基板が固定された状態でこの液晶基板の外周に形成された端子部が吸着テーブルより外方に位置するような大きさとされ、前記液晶基板の外周に形成された端子部の清掃が、２個のローラが前記端子部を挟んで上下に配置された清掃装置により行われる清掃時に前記端子部にかかる摩擦力によって生じる前記液晶基板の回転モーメントに抗する抵抗力を大きくするように、前記液晶基板における前記シール部材により前記ガラス板の強度が比較的高い場所である前記外周部を集中して吸着固定する吸着手段を具備することである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明を実施した吸着テーブルを有する吸着装置の構成を示した平面図である。但し、従来例に対応する部分には同一符号を付して説明する。
【００１７】
この吸着装置の吸着テーブル１は、四角形状をした吸着面（テーブル表面）の外周部に集中して四角形状の複数本の吸着用溝１１を周辺部から内側に向かって並んで形成し、吸着面の中心部付近には吸着用溝１１がない構造となっている。言い換えるならば、吸着テーブル１の吸着面の外周部に沿って四角形状にループした吸着用溝１１を吸着面の外周端から中心方向に複数本並べて形成している。
【００１８】
各吸着用溝１１は、図７に示す様に、所々でキリ穴１２を通してテーブル内部の吸着用配管穴１３に連通している。上記吸着用配管穴１３は、図１に示した配管１４を介して真空源１６に接続されており、上記吸着テーブル１上にガラス基板１０が載置された状態（図２（ａ）参照）で上記真空源１６が動作することにより、上記ガラス基板１０が真空吸着により固定される。このガラス基板１０が固定された状態で、従来技術の欄で述べた様な端子清掃工程が行われる。
【００１９】
なお、吸着テーブル１の外形は、図２（ａ）に示されるように従来よりも大きく、しかもこの吸着テーブル１上にガラス基板１０が固定された状態で、このガラス基板１０の外周に形成された端子部Ａが吸着テーブル１より外方に位置するような大きさとされる。
【００２０】
次に本実施形態の動作について説明する。吸着テーブル１の吸着面に図２（ａ）に示すようにガラス基板１０を載置した後、上記真空源１６の動作によりテーブル内部の吸着用配管穴１３を減圧することにより吸着用溝１１を減圧して、ガラス基板１０をこれら溝１１で吸着して吸着テーブル１に固定する。
【００２１】
本実施形態によれば、吸着テーブル１の外周部に近い場所に集中的に吸着用溝１１を形成してガラス基板１０の外周に近い部分（外周部）をこれら吸着用溝１１により吸着して固定するため、ガラス基板１０の外側にある端子部Ａの清掃時に、この部分に摩擦力が掛かってガラス基板１０の中心を軸として回転させるようなモーメントが働いた場合、ガラス基板１０を吸着テーブル１に固定する吸着部分が回転中心から離れたところの外周部にあるため、たとえ吸着力の付与される面積が従来より小さくても前記回転中心付近を吸着した場合に比べて特に回転モーメントに対する抵抗力を大きくすることができる。
【００２２】
即ち、ガラス基板１０の外周部の吸着は、ずれに対して大きな抵抗となり、小さな吸着面積（保持力）でもガラス基板１０がずれにくいため、吸着用溝１１のガラス基板１０に対する吸着力を弱くしても、前記摩擦力によりガラス基板１０にずれが生じることを防止することができる。すなわち、吸着を確実にしながら吸着力を弱めることができるので、ガラス基板１０のガラス面に吸着痕が発生しにくくなる。
【００２３】
ここで、図１に示すように吸着用溝１１を吸着テーブル１の外周部に集中させると、吸着用溝１１の数を減らして上記吸着用溝１１上の吸着面積を小さくした場合でも、ガラス基板１０の端子部Ａを清掃する際に生じる摩擦力に対してガラス基板１０の清掃が良好に行なえる程度の保持力を得られることが実験により確認されている。
【００２４】
また、ガラス基板１０が図３に示すような液晶基板の場合、２枚のガラス板２１の間には液晶２２が介在されており、この液晶２２を封入するために、２枚のガラス板２１の外周部は、その外周辺に沿って塗布されたシール部材２３により封止されている。このため、ガラス基板１０の外周に近い部分は、このシール部材２３の存在により吸着力に対するガラス板２１の強度が比較的高くなっている。
【００２５】
従って、図２（ａ）に示すように、上記吸着面の外周部に集中して設けられた吸着用溝１１を、ガラス基板１０の外周部、即ち、シール部材２３によりガラス板２１の強度が比較的高い場所またはその近辺に対向するようにして設けることで、この強度の比較的高い場所が吸着されることになり、この理由からもガラス基板１０のガラス面に吸着痕が発生することを防止できる。
【００２６】
更に、吸着用溝１１の形状を４角形としたため、吸着テーブル１の外周部には、ガラス基板１０の外周辺に塗布されたシール部材２３と対向するようにして吸着用溝１１を無駄なく集中させることができ、その分、ガラス基板１０の外周部を効果的に吸着して、上記効果を得ることができる。
【００２７】
尚、上記した吸着テーブル１の外周部に集中して形成した吸着用溝１１の本数が多ければ多いほど、ガラス基板１０に対する吸着面積が広くなるため、吸着用溝１本当たりの吸着力を小さくしても、全体としてのガラス基板１０に対する吸着力を確保でき、しかも、ガラス基板１０に対する吸着痕を付きにくくすることができる。だからといって、吸着用溝１１の本数を増加させると、しまいには吸着用溝１１が吸着テーブル１の中心部に形成されてしまうため、この中心部付近の溝１１はガラス基板１０の外周部を吸着していないので、前記摩擦力に対するガラス基板１０のずれを効果的に防止する吸着力として充分に機能しない。従って、吸着用溝１１の本数と吸着用溝１本当たりの吸着力との関係には最適な関係があり、本例はそのようなことを考慮して図１に示したような数の吸着用溝１１を吸着テーブル１の周辺に形成しているが、吸着用溝１１の形態は例えばジグザグ形であっても良いし、この例に限定されない。
【００２８】
また、ここで、図２（ｂ）に示すように、吸着テーブル１に対しガラス基板１０が小さく、ガラス基板１０の外端が吸着用溝１１の内の外周側の溝１１Ａより内周側に位置する様な場合、上記外周側の吸着用溝１１Ａを使用しない様にすることもできる。上記外周側の吸着用溝１１Ａのみを使用しない様にするには、一例として、各吸着用溝１１を個別に吸引して減圧する様に構成すれば良い。
【００２９】
図４は、本発明による吸着装置の第２の実施形態の構成を示した平面図である。但し、従来例に対応する部分には同一符号を付して説明する。この吸着装置の吸着テーブル１は、図１に示した第１の実施形態と同様に、四角形状をした吸着面の外周部に集中して四角形状の複数の吸着用溝１１を形成し、吸着面の中心部付近には吸着用溝がない構造を有している。各吸着用溝１１は、図７に示す様に、所々でキリ穴１２を通してテーブル内部の吸着用配管穴１３に連通し、この吸着用配管穴１３が外部の配管１４に接続されている。
【００３０】
本第２実施形態の特徴部分は、この配管１４を圧力調整弁１５を介して真空源１６に接続し、圧力調整弁１５を制御装置１７により制御し、吸着用溝１１の減圧度、即ち吸着力を調整できる構成にある。他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００３１】
次に本実施形態の動作について説明する。吸着テーブル１の吸着面にガラス基板１０を載置した後、真空源１６により圧力調整弁１５、配管１４を介して、テーブル内部の吸着用配管穴を減圧することにより、吸着用溝１１を真空にして、ガラス基板１０をこの溝１１で吸着して吸着テーブル１に固定する。
【００３２】
その際、制御装置１７はガラス基板１０のガラス板２１（図３参照）の厚みに応じて圧力調整弁１５を制御して、吸着用溝１１の減圧度を調整し、適切な吸着力にてガラス基板１０を吸着テーブル１に吸着する制御を行う。
【００３３】
即ち、ガラス基板１０のガラス板２１が薄いほどその強度が小さくなるため、吸着テーブル１の吸着力が大きいとガラス基板１０のガラス板２１に吸着痕が付きやすい、一方、ガラス基板１０のガラス板２１が厚いとその強度が大きくなるため、吸着テーブル１の吸着力が多少大きくなってもガラス板２１に吸着痕が付きにくく、しかも、吸着力が大きい分、ガラス基板１０は外部から与えられる摩擦力で動かされず、その固定位置がより安定して、端子部の清掃を良好に行なうことができる。
【００３４】
従って、ガラス基板１０のガラス板２１の厚みに応じて、吸着痕が付かず且つ吸着テーブル１への固定がずれない（ガラス基板の端子部の清掃が良好に行なえる程度にずれないということである）最適な吸着力を選定し、制御装置１７により吸着テーブル１の吸着力を保持するガラス基板１０の厚みに応じて制御することにより、各種のガラス基板１０に対してガラス板２１に吸着痕を残さず、且つ、吸着テーブル１に吸着固定されたガラス基板１０がずれないようにして、端子部の清掃を行うことができる。
【００３５】
尚、本発明は上記実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲において、具体的な構成、機能、作用、効果において、他の種々の形態によっても実施することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、強度の弱い基板を吸着した場合でも基板に吸着痕が付くことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施した吸着テーブルを有する吸着装置の構成を示した平面図である。
【図２】図１に示した吸着テーブルにガラス基板を吸着した状態を示した断面図である。
【図３】図２に示したガラス基板の構造例を示した断面図である。
【図４】本発明を実施した吸着装置の第２の実施形態の構成を示した平面図である。
【図５】一般のガラス基板の端子部の清掃状態を説明するための平面図と側面図である。
【図６】従来の吸着テーブルの吸着面を示した平面図である。
【図７】一般の吸着テーブルに形成された吸着用溝を含む部分断面図である。
【符号の説明】
１  吸着テーブル
１０  ガラス基板
１１  吸着用溝
１２  キリ穴
１４  配管
１５  圧力調整弁
１６  真空源
１７  制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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