(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出し、検出された荷重データまたはトルクデータより、あらかじめ実験により求められた荷重またはトルクと動圧発生溝の深さとの関係に基づき、加工中の動圧発生溝の深さを測定しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法。
【請求項２】
検出された荷重またはトルクのデータが最小深さの動圧発生溝を加工する値となった場合、溝加工ツールが、その外形寸法が最小となる寿命として加工を停止させる請求項１記載の動圧型流体軸受の溝加工方法。
【請求項３】
対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら、ワークチャックに保持された前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出する際、溝加工開始前に前記荷重またはトルクが発生することを検出することにより、前記ワークチャックによる前記スリーブの保持姿勢の異常を検出しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法。
【請求項４】
対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出し、前記動圧発生溝加工前の前記スリーブの内径検査データと、前記荷重検出器または前記トルク検出器で検出された荷重データ又はトルクデータを前記溝加工ツールが前記スリーブの内周に単位寸法食い込む際の荷重で除した値とを加算して求めた前記溝加工ツールの外径を、前記溝加工ツールの初期の外径寸法より減ずることにより、前記溝加工ツールの摩耗量を算出しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、モータの軸受等に用いられている動圧型流体軸受の、動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
以下図面を参照しながら、従来の動圧型流体軸受の溝加工装置の１例について説明する。図８は従来の動圧型流体軸受の溝加工装置の主要部のみを示した断面図である。図８において、１は溝加工ツールで、複数の転造ボール２とホルダ３、シャンク４がそれぞれ圧入等で一体化されて構成されている。この溝加工ツール１は、チャック５でコレット軸６へ固定され、継ぎ手７を介してθモータ８と結合される。一方コレット軸６は玉軸受９を介してθベース１０へ回転自在に、かつベアリング用予圧ナット１１でコレット軸６の軸方向のガタ無く支持されている。更にθベース１０は一般に市販されいてるボールねじ等を用いたＺ軸モータ１２を含むＺ軸駆動装置１３の可動部１８と一体に設けてある。１４はコラム、１５は底板である。１６はワークチャックで、溝加工されるスリーブ１７を、溝加工ツール１と同軸上に固定する。なお、溝加工ツール１の対角に位置する複数の転造ボール２間の外形寸法は、スリーブ１７の内径よりわずかに大きく設定されている。
【０００３】
以上のように構成された従来の動圧型流体軸受の溝加工装置について、以下その動作を説明する。図８において、θモータ８で溝加工ツール１を矢印Ａ方向へ一定速で回転させながら、同時にＺ軸駆動装置１３の可動部１８、すなわちθベース１０を矢印Ｃ方向へ動かすと、溝加工ツール１はスリーブ１７の内周部へ食い込んでいき、スリーブ１７の内周に転造ボール２で斜めの溝が塑性加工される。次に転造ボール２がスリーブ１７の中程に来たとき、θモータ８を矢印Ｂ方向へ逆転させながらθベース１０を更に矢印Ｃ方向へ進めていくと逆方向の斜め溝が塑性加工され、動圧型流体軸受の溝が加工される。転造ボール２がスリーブ１７を通過した後は、加工された溝をそのまま転造ボール２が逆にたどるようθモータ８とＺモータ１２を制御しながら転造ツール１を引き抜けばよい。
【０００４】
なお通常は、転造で発生したバリを除去する工程を経て動圧型流体軸受の軸受が完成するが、本発明とは直接の関連が無いので説明は省略する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記のように構成された従来の溝加工装置では、以下のような問題点があった。
【０００６】
まず第１の問題点は、溝加工ツール１で数万個のスリーブ１７を加工していくと転造ボール２の表面が摩耗していき、最終的には溝の浅いスリーブが加工されてしまう点である。動圧型流体軸受では、溝が浅くなると回転精度が落ちたり、最悪の場合は軸受が焼き付くことになる。
【０００７】
第２の問題点は、溝加工ツール１に問題が無くても、加工されるスリーブ１７に内径が大きい不良品が混入していれば溝が浅くなるので、第１の問題点と同じ問題が発生する。
【０００８】
第３の問題点は、ワークチャック１６によるスリーブ１７のチャック不良に起因した各種トラブルが発生する点である。通常スリーブ１７のチャック１６への受け渡しは図示しないロボットなどにより行われるが、異物の付着などで極めて稀にスリーブ１７が溝加工ツール１との同軸が狂ったままワーチチャック１６で保持チャックされてしまう。この狂いが大きいと溝加工ツール１がスリーブ１７上端面にぶつかり破損するという問題が発生する。また狂いが小さい場合も、溝加工ツール１の先端部下でスリーブ１７の内周に傷を発生させ、この傷が加工される動圧発生溝より大きい場合、流体軸受が焼く付くという問題を発生させる。
【０００９】
よって、従来の溝加工装置で加工されたスリーブ１７では、動圧型流体軸受の焼き付きという重大なトラブルを防ぐために、溝加工後の溝深さや傷の有無を全数検査する必要があり、この検査費用がスリーブ１７の部品コストを大幅に増大させるという大きな問題を有していた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この問題点を解決するための本発明の第１の発明は、対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出し、検出された荷重データまたはトルクデータより、あらかじめ実験により求められた荷重またはトルクと動圧発生溝の深さとの関係に基づき、加工中の動圧発生溝の深さを測定しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法である。
【００１１】
また本発明の第２の発明は、上記本発明の第１の発明において、検出された荷重またはトルクのデータが最小深さの動圧発生溝を加工する値となった場合、溝加工ツールが、その外形寸法が最小となる寿命として加工を停止させる動圧型流体軸受の溝加工方法である。
【００１２】
また本発明の第３の発明は、対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら、ワークチャックに保持された前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出する際、溝加工開始前に前記荷重またはトルクが発生することを検出することにより、前記ワークチャックによる前記スリーブの保持姿勢の異常を検出しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法である。
【００１３】
また本発明の第４の発明は、対角に位置する転造ボール間の外形寸法を、スリーブの内周の径より大きく設定した溝加工ツールを、その中心軸まわりに回転させながら前記スリーブの内周に挿入し、前記中心軸方向に移動せしめることにより前記内周面に動圧発生溝を加工する動圧型流体軸受の溝加工方法において、前記溝加工ツールの移動に伴い、前記転造ボールに対し、その移動方向と逆方向に作用する加工抵抗の前記中心軸方向成分を荷重検出器により、または前記加工抵抗の前記中心軸に直行する方向の成分に起因する前記溝加工ツールの回転トルクをトルク検出器で、それぞれ荷重またはトルクとして検出し、前記動圧発生溝加工前の前記スリーブの内径検査データと、前記荷重検出器または前記トルク検出器で検出された荷重データ又はトルクデータを前記溝加工ツールが前記スリーブの内周に単位寸法食い込む際の荷重で除した値とを加算して求めた前記溝加工ツールの外径を、前記溝加工ツールの初期の外径寸法より減ずることにより、前記溝加工ツールの摩耗量を算出しながら溝加工を行う動圧型流体軸受の溝加工方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下本発明の第１の実施形態について、図１を参照しながら説明する。図１は本実施形態における動圧流体軸受の溝加工装置の主要部の構成を示した断面図である。なお、従来例と同一機能部品には同一名称、同一番号を付す。図１において、１は溝加工ツールで、複数の転造ボール２とホルダ３、シャンク４がそれぞれ圧入等で一体化されて構成されている。この溝加工ツール１は、チャック５でコレット軸６へ固定され、継ぎ手７を介してθモータ８と結合される。一方コレット軸６は玉軸受９を介してθベース１０へ回転自在に、かつベアリング用予圧ナット１１でコレット軸６の軸方向のガタ無く支持されている。従来例と異なる点は、このθベース１０が、一般に市販されているボールねじなどを用いたＺ軸モータ１２を含むＺ軸駆動装置１３のＺベース１８に対し、荷重検出器１９を介して取り付けられていることにある。この荷重検出器１９は市販されている歪みゲージを用いた荷重検出器で良い。１４はコラム、１５は底板である。１６はワークチャックで、溝加工されるスリーブ１７を、溝加工ツール１と同軸上に固定する。なお当然のことながら、対角に位置する転造ボール２間の外形寸法は、スリーブ１７の内径より大きく設定され、この径差による塑性加工で溝加工が行われる。
【００１５】
以上のように構成された動圧流体軸受の溝加工装置について、以下にその動作を説明する。図１において、θモータ８を矢印Ａ方向へ一定速で回転させながら、すなわち溝加工ツール１を矢印Ａ方向へ一定速で回転させながら、Ｚ軸駆動装置１３のＺベース１８を矢印Ｃ方向へ動かし、溝加工ツール１をスリーブ１７の内周部へ食い込ませていくと、スリーブ１７の内周面に転造ボール２で塑性加工された一方向の斜め溝が塑性加工される。
【００１６】
この時の様子を図２を用いて更に詳細に説明する。実際は転造ボール２の公転が数十ミクロンだけスリーブ１７の内周面に食い込んで溝加工がなされるが、図２では説明を簡略にするため溝２０の幅と転造ボール２の直径を同じ大きさで示している。溝加工ツール１が矢印Ａ方向へ回転しながら矢印Ｃ方向へ進むと、転造ボール２はその速度が合成されたＥ1方向へ進むことになり、結果一方向の斜め溝２０が加工される。この時の溝加工抵抗Ｆ1は、当然転造ボール２の進むＥ1と反対方向へ反力として発生するので、その分力ＦZ1が荷重検出器１９で検出できることになる。
【００１７】
次にスリーブ１７の中程で、θモータ８を矢印Ｂ方向へ逆転させながら更に矢印Ｃ方向へθベース１０を進めると逆方向の斜め溝が形成され、動圧型流体軸受の動圧を発生させる溝が加工できることになる。この時も同様に、Ｅ2と逆方向へ溝加工抵抗Ｆ2が働き、その分力ＦZ2が荷重検出器１９で検出される。
【００１８】
ここで加工速度がＥ1とＥ2方向で変わらない場合、荷重検出器では図３に示す荷重が検出され、この荷重は転造ボール２とスリーブ１７との相対的な食い込み量、すなわち溝深さと概略比例する。よって、溝加工中の荷重検出抵抗を加重検出器１９で測定すると、簡易的に溝深さを求めることができることになる。
【００１９】
具体的には、製造ばらつきとして許容される最小溝深さ、最大溝深さに対応する荷重をあらかじめ実験等で求めておき、この荷重範囲を外れた荷重が検出されたスリーブ１７は、溝深さ不良として除外できるので、溝深さ検査が不要にできることになる。
【００２０】
以上から、本実施形態における動圧流体軸受の溝加工装置で加工されたスリーブ１７は、溝深さの検査が不要となるので、スリーブ１７の部品コストを大幅に低減できることになる。
【００２１】
次に本発明の第２の実施形態について、図４を参照しながら説明する。図４は、図１に示した本発明の第１の実施形態における動圧流体軸受の溝加工装置を改良したものであるので、第１図と同一機能部品には同一名称、同一番号を付け、第１の実施形態との差異のみを説明する。第４図の第１図との構成上の差異は、θモータ８がＺベース１８に固定され、例えばベルト２１とプーリ２２による伝達装置２３でコレット軸６に連結されている点にある。なお、Ｚ軸モータ１２は下側に設けたが、これは設計レイアウトだけの問題で他に理由はない。
【００２２】
以上のように構成された第２の実施形態における動圧流体軸受の溝加工装置の動作も基本的には第１実施形態の場合と同じであるので、差異部分のみ説明する。第２実施形態と第１実施形態との動作上の差異は、荷重検出器１９に、鉄や銅線でできた重いθモータ８の重量が加わっているか否かである。
【００２３】
第１の実施形態の構成ではθモータ８の重量も含めて溝加工抵抗が加重検出器１９で検出されるので、Ｚベース１８が矢印Ｃ、Ｄ方向へ加速、減速するたびにθモータ８の重量を含めた大きな慣性力が荷重検出器１９に働く。一方、荷重検出器１９は一般にバネ部とここに設けた歪みゲージで構成されているので、このような大きな外力が働くとこのバネ部に振動が発生し、結果歪みゲージから出力される荷重にも大きなノイズが発生することになる。第１の実施形態の構成では、このノイズの影響を受けやすいので、溝加工速度を早くすると正確に溝深さが検出できなくなるという問題がある。
【００２４】
第２の実施形態はこの第１の実施形態を改善するものであり、荷重検出器１９にθモータ８の質量が働かないので、Ｚベース１８の加減速加速度をより大きくしてもθモータ８の慣性力が荷重検出器１９に働かない。このため第１の実施形態より溝加工抵抗すなわち溝深さが精度良く検出できることになる。更に第１の実施形態と同一レベルのノイズが許容できるなら、第１の実施形態より高速での溝加工が可能になるので、結果生産性を高くできる。なお第１の実施形態と同様、溝加工中の加工抵抗を検出しこの大小で溝深さが判定できるので、加工後のスリーブ１７の溝深さ検査が不要となりスリーブ１７の部品コストを大幅に低減できることになる。
【００２５】
次に本発明の第３の実施形態について、図５を参照しながら説明する。図５の構成は、図１に示した第１の実施形態に比べ、荷重検出器１９とＺベース１８を廃止して、θベース１０を直接Ｚ軸駆動装置１３の可動部とした点と、荷重検出器１９の代わりにトルク検出器２４をθモータ８とコレット軸６との間に設けた点である。なお他の構成は、第１図の構成と同じであり、同一機能部品に同一名称、同一番号を付け、説明は省略する。
【００２６】
以上のように構成された第３の実施形態における動圧型流体軸受の溝加工装置の動作も、基本的には第１の実施形態の動作と同じであるので差異部分のみ説明する。第３の実施形態と第１の実施形態との動作上の差異は、図２に示す溝加工抵抗Ｆ1、Ｆ2のθ方向の分力Ｆθ1、Ｆθ2をトルク検出器２４で検出する点である。この時に検出されるトルクは、溝方向がスリーブ１７の中程で逆転するので図６の様に検出される。しかしながらトルクの安定したＧの範囲で判定したり、トルクを絶対値としてとらえることで特に問題なくトルクの大きさを測定できる。このトルクの大小は、第１の実施形態と同様、図２に示す矢印Ｅ方向の速度に比例し、かつ溝加工ツール１の転造ボール２の直径と個数、および対向する転造ボール２間の寸法とスリーブ１７の内周面との食い込み量、および溝加工速度で決まる。よって矢印Ｅ方向の加工速度と転造ツール１を変えないで溝加工すると、転造ボール２とスリーブ１７との相対的な食い込み量、すなわち溝深さがトルク検出器２４で計測できることになる。よってトルクと荷重の違いはあるが、第１、第２の実施形態と同様にあらかじめ許容できる溝深さの範囲に対応するトルク範囲を実験等で求めておけば、溝深さの不良は簡易的に検出できることになるので、第１、第２の実施形態と同様、溝加工後の検査が不要となり、スリーブのコスト低減になる。
【００２７】
更に第３の実施形態においてはトルク検出器２２で溝加工抵抗を検出しているので、θベース１０が矢印Ｃ、Ｄ方向へ加減速してもトルク検出器２２には全く影響しない。すなわち第１、第２の実施形態より高精度に検出でき、かつより高速での溝加工が可能となる。
【００２８】
次に本発明の第４の発明の実施形態について説明する。第４の実施形態は第１、第２、第３の実施形態で荷重検出器１９やトルク検出器２４で検出された荷重やトルクから、溝加工ツール１の摩耗量を簡易的に検出する摩耗量の検出方法に関するものである。
【００２９】
既に説明した第１、第２、第３の実施形態までは、溝加工抵抗を荷重やトルクの大小だけで判定するので、例えば荷重やトルクが小さく検出された場合、溝加工ツール１の転造ボール２の摩耗が原因か、またはスリーブ１７の下穴が大きすぎたためか判定できない。第４の実施形態は、転造ツール１の摩耗を簡易的に把握する方法で、以下図７を用いて説明する。
【００３０】
図７は本発明の第２の実施形態の構造の溝加工機でスリーブ１７を１本の溝加工ツール１で１０万個加工したときの荷重を荷重検出器１９で検出し、１００個加工するたびの最大値、最小値、平均値を求めグラフ化したものである。１００個加工する時の転造ツール１の摩耗量は極わずかであるので、最大値や最小値が発生するのは供給されるスリーブ１７の内径ばらつきと考えられる。一方加工数量が数万個になってくると、同じ内径ばらつきを持つスリーブ１７を加工しても、最大値、最小値、平均値ともやや小さくなってくる。この荷重の減少は溝加工ツールの摩耗と判定できる。すなわち溝加工ツール１の摩耗量は、初期１００個加工時の平均加重（以下単位平均荷重と記す）と、最新１００個加工時の単位平均加重を比較すれば良いことになる。転造ボール２の摩耗量と荷重の関係は転造ボール２の直径や個数、溝加工速度等により異なるが、例えばツール摩耗１ミクロンに対して５０グラムの加重の減少として検出できる。よって別途実験等で、最小溝深さが確保できる溝加工ツール１の最小ツール径とそのときの荷重を求めておけば、この荷重に達したときが転造ツール１の寿命と推定でき、溝加工装置を停止させる等で溝深さ不良のスリーブ加工を防止できる。
【００３１】
なお、上記説明では１００個毎の単位平均荷重で説明したが、実際は転造ツールの寿命から単位数量を適当に決定すればよい。転造ボール２の材質が玉軸受鋼で加工速度が比較的早い場合は数百個を単位数量にすれば良く、特殊材質の転造ボール２を用いたり加工速度が遅い場合は数千個を単位としても良い。
【００３２】
なお、第３の実施形態では荷重の代わりにトルクが検出されるが、上記説明における荷重トルクに置き換えればよいので、説明は省略する。
【００３３】
次に本発明の第５の実施形態について説明する。第５の実施形態は、第１、第２、第３の実施形態において、荷重検出器１９やトルク検出器２２で検出された荷重やトルクから、スリーブ１７のワークチャック１６による保持異常を検出する方法である。既に第１、第２、第３の実施形態で説明したように、スリーブ１７が正常に保持されている場合、図３、図６で示すような荷重やトルクが転造ボール２がスリーブ１７の内周に食い込んでいる時だけ発生する。逆に、スリーブ１７が異常な姿勢で保持された場合、異常な部位に異常な荷重が働くのでこれを検出、判定すればよい。すなわちスリーブ１７の保持不良で転造ツール１がスリーブの上端面部に当たった場合や、ホルダ３のＦ部がスリーブ１７の内周部に当たった場合は、いずれも転造ボール２がスリーブ１７の内周に食い込む前に大きな荷重やトルクが発生するので、図３、図６のＣ方向移動量のＨ区間における荷重の有無でスリーブ１７の保持不良を検出できる。よってこのＨ区間の荷重が検出されたら直ちに溝加工装置を停止すれば転造ツール１の破損が防止でき、また溝加工不良品も除去できることになる。また、スリーブ１７が全く保持されなかった場合や何らかの原因で溝加工ツール１が脱落、破損した場合、本来発生すべき溝加工抵抗に起因する荷重やトルクが全く検出されなくなるので、これに伴う溝無しスリーブの混入等のトラブルも防止できる。
【００３４】
本発明の第６の実施形態は、第１から第３の実施形態における動圧型流体軸受の溝加工装置に適用される溝加工ツールの摩耗検出方法である。既に第１から第３の発明の中で説明したように、荷重検出器１９やトルク検出器２４はスリーブ１７の内径と溝加工ツール１との相対的な食い込み量を荷重やトルクとして検出している。よって、スリーブ１７の内径があらかじめ分かっていれば、
溝加工ツール１の外径＝事前に測定したスリーブ内径
＋溝加工荷重／１ミクロン食い込み当たりの荷重
の簡単な式で溝加工ツール１の外径を知ることができ、また初期の溝加工ツール１の外径が分かっていれば現時点の摩耗量も算出できることになる。なお、溝加工される前のスリーブ１７の具体的計測手段は、例えばエアーマイクロや他の公知手段で良い。以上の説明から明らかなように、溝加工ツール１の摩耗量がスリーブ１７のばらつきも含めて厳密に把握できるので、溝加工ツール１の摩耗に伴う溝深さ不良スリーブ１７の発生を未然に防止できることとなり、結果溝加工後の溝深さ検査が不要となり、部品検査コストが大きく低減できることになる。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明の第１の発明では、溝加工中のスリーブ下穴と溝加工ツールの食い込み量を荷重検出器で検出することで溝深さ不良を簡易的に検出できるので、溝加工後の検査が不要となり部品コストを低減できる。
【００３６】
また本発明の第２の発明では、上記本発明の第１の発明において、検出された荷重またはトルクのデータが最小深さの動圧発生溝を加工する値となった場合、溝加工ツールが、その外形寸法が最小となる寿命として加工を停止させるため、溝深さ不良のスリーブ加工を防止できる。
【００３７】
また本発明の第３の発明では、溝加工開始前に荷重またはトルクの発生を検出することにより、ワークチャックによるスリーブの保持姿勢の異常を検出することが可能になる。
【００３８】
また本発明の第４の発明では、溝加工ツールの摩耗量がより簡易的に把握できるので、これによる溝深さ不良スリーブの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態における動圧型流体軸受の溝加工装置の断面図
【図２】  溝加工時の加工抵抗を説明する説明図
【図３】  溝加工時の、荷重検出器で検出される荷重を説明する説明図
【図４】  本発明の第２の実施形態における動圧型流体軸受の溝加工装置の断面図
【図５】  本発明の第３の実施形態における動圧型流体軸受の溝加工装置の断面図
【図６】  溝加工時の、トルク検出器で検出されるトルクを説明する説明図
【図７】  溝加工時の、単位平均荷重を説明する説明図
【図８】  従来の溝加工装置の断面図
【符号の説明】
１    溝加工ツール
２    転造ボール
５    チャック
８    θモータ
１０  θベース
１２  Ｚモータ
１３  Ｚ軸駆動装置
１６  ワークチャック
１７  スリーブ
１８  Ｚベース
１９  荷重検出器
２０  溝
２１  伝達装置
２２  トルク検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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