(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送部材上にクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上で、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ／１０ｍｍ以下であるクリーニングシートが設けられたクリーニング機能付き搬送部材であって、クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項２】
クリーニングシートが、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項３】
クリーニング層の表面が剥離フィルムで保護されていることを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか記載のクリーニング機能付き搬送部材に用いるクリーニングシートであって、支持体の片面にクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニング用ラベルシートで、該ラベル形状が搬送部材より小さいことを特徴とするクリーニング用ラベルシート。
【請求項５】
長尺のセパレータ上に複数のクリーニング用ラベルが間隔を隔てて連続的に設けられていることを特徴とする請求項４記載のクリーニング用ラベルシート。
【請求項６】
クリーニング層が、活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤であることを特徴とする請求項１〜５いずれか記載のクリーニング機能付き搬送部材、及びクリーニング用ラベルシート。
【請求項７】
請求項１又は２記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種装置をクリーニングする搬送部材に関し、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング機能付き搬送部材及びそれに用いるクリーニング用ラベルシートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種基板処理装置は、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力が必要になるという問題があった。これらの問題を解決するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法（例えば特開平１０−１５４６８６号など）や、板状部材を搬送することにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開平１１−８７４５８号）が提案されている。
【０００３】
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあり、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。  特に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われている場合はこの問題が顕著である。
また、板状部材を搬送することにより異物を除去する方法は、搬送は支障なくできるが、肝心の除塵性に劣るという問題がある。
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、上記のようなクリーニング機能付きの搬送部材の製造方法に関しては、例えば基板等の搬送部材にクリーニングシートを貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する場合、搬送部材より大きなクリーニングシートを貼り付けた後、部材形状に沿ってクリーニングシートを切断する方式（以下、ダイレクトカット方式と称す）が知られているが、かかる方式ではシート切断時にクリーニング層などから切削屑が発生する恐れがあり、クリーニング部材や装置に付着してしまう恐れがある。  また、あらかじめ搬送部材形状に切断加工処理しておいたクリーニング用ラベルシートを搬送部材に貼り合わせてクリーニング用搬送部材を製造する方式（以下、プリカット方式と称す）では、シート切断加工時の切削屑の発生はダイレクトカット方式に比べて抑えられるが、搬送部材の端部までクリーニングシートが貼り合わされていると、搬送装置によっては該端部のクリーニングシートが搬送系と強く固着し、搬送できなくなる恐れがある。
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡便、確実に除去できるクリーニング機能付き搬送部材、及びこれに用いるクリーニング用ラベルシートを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニングシートの形状を搬送部材の形状より小さくすることにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡便かつ確実に除去できるクリーニング機能付き搬送部材を提供できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
即ち本発明は、搬送部材上にクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上で、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ／１０ｍｍ以下であるクリーニングシートが設けられたクリーニング機能付き搬送部材であって、クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材（請求項１）、クリーニングシートが、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなることを特徴とする請求項１記載のクリーニング機能付き搬送部材（請求項２）、クリーニング層の表面が剥離フィルムで保護されていることを特徴とする請求項２記載のクリーニング機能付き搬送部材（請求項３）、請求項１〜３のいずれか記載のクリーニング機能付き搬送部材に用いるクリーニングシートであって、支持体の片面にクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニング用ラベルシートで、該ラベル形状が搬送部材より小さいことを特徴とするクリーニング用ラベルシート（請求項４）、長尺のセパレータ上に複数のクリーニング用ラベルが間隔を隔てて連続的に設けられていることを特徴とする請求項４記載のクリーニング用ラベルシート（請求項５）などに係るものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明のクリーニング機能付き搬送部材においては、クリーニングシートの形状が搬送部材の形状より小さく、かつ搬送部材端部よりはみ出していないことが必要である。  クリーニングシートが搬送部材の形状より大きく搬送部材の端部よりはみ出すと、搬送部材収納カセットや搬送経路上で引っかかり、ラベルシートのめくれ、位置ズレを起こし、最悪の場合は搬送不能になる恐れがある。  搬送部材収納カセットに引っかかる問題は、クリーニングシート形状が搬送部材と同じ場合でも発生する恐れがあるため、搬送部材形状より小さい場合にのみ、確実に搬送できるクリーニング機能付き搬送部材が得られる。  小さい程度は特に限定されないが、小さすぎると肝心の異物を除去するための有効面積が減るため、実用的には約５ｍｍぐらいまでである。
【０００８】
上記クリーニングシートは、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、必要に応じて該クリーニング層の表面が剥離フィルムで保護され、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシートが好ましく用いられる。  かかる通常の粘着剤層を介してクリーニングシートが搬送部材に設けられている。
【０００９】
本発明は、かかる搬送部材に用いるクリーニング用ラベルシートも提供する。このクリーニング用ラベルシートは、支持体の片面にクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニング用ラベルシートが好ましく、この場合も該ラベル形状が搬送部材より小さいことが必要である。  また、長尺のセパレータ上に複数のクリーニング用ラベルが間隔を隔てて連続的に設けられていることが好ましい。
【００１０】
かかるクリーニング用ラベルシートの製造方法は特に限定されないが、クリーニング層を活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤とし、かつラベル形状とするためのシート切断工程をクリーニング層の粘着剤の重合硬化反応後に行うことが好ましい。  シート切断時にクリーニング層を構成する粘着剤が重合硬化されていないと、クリーニング層を構成する粘着剤層が切断端部からはみ出したり切断面に付着してしまうという問題や、粘着剤が糸引きしたり切断深さが不均一となったり、切断面が荒れてしまい最悪の場合切断不良となる恐れがある。  さらにシート切断後に重合硬化反応させると切断部に面した粘着剤は酸素阻害により重合が阻害されてしまうため、基板処理装置への粘着剤汚染の原因となる場合もある。
【００１１】
本発明においては、上記シート切断時の問題を発生させないように、特にクリーニング層の引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準ずる）が１０ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２０００ＭＰａであることが望ましい。  引張弾性率をかかる特定値以上とすることにより、シート切断時のクリーニング層からの粘着剤はみ出しや切断不良をより抑えることができ、プリカット方式において粘着剤汚染のないクリーニング用ラベルシートが製造できる。  この引張弾性率が１０ＭＰａより小さいと、シート切断時の上記問題や搬送時に装置内の被クリーニング部位に接着して搬送トラブルとなる恐れがある。一方、この引張弾性率が大きすぎると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下する恐れがある。
【００１２】
本発明におけるクリーニング層としては、活性エネルギーを受けて重合硬化する硬化型の粘着剤が好ましく用いられる。  これによりクリーニング層の粘着性が実質的になくなり、クリーニング機能付き搬送部材を搬送する際に装置接触部と強く接着することがなく、確実に搬送できるクリーニング機能付き搬送部材を提供できるという効果が得られる。  かかる活性エネルギー源としては、紫外線、熱などが挙げられるが紫外線が好ましい。
かかるクリーニング層は、活性エネルギー源により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有する限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧接着性ポリマーと分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含んでなる硬化型の粘着剤が好ましい。
【００１３】
かかる感圧接着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）アクリル酸及び／又は（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化学結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリマー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与させるようにすることもできる。
【００１４】
ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以上有する重合性不飽和化合物（以下、重合性不飽和化合物という）としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
ここで重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率良くなされるように、５０００以下の分子量を有しているのが好ましい。  このような重合性不飽和化合物としては、例えば、フエノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらの中から１種または2種以上が用いられる。
【００１５】
また、粘着剤層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシジメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００１６】
上記クリーニング層は、活性エネルギー源により硬化されてその粘着力が低下したものであり、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ（１〜１０ｇ）／１０ｍｍ程度である。  この粘着力が、０．２０Ｎ（２０ｇ）／ｍｍを超えると、搬送時に装置内の被クリーニング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがある。  またクリーニング層の厚さは特に限定されないが、通常５〜１００μｍ程度である。
【００１７】
本発明のクリーニング用ラベルシートの製造方法は特に限定されないが、例えば、支持体の片面に上記の特定の粘着剤からなるクリーニング層がその表面が剥離フィルムで保護された状態で設けられ、他面が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられてなるクリーニングシートを、クリーニング層としての硬化型粘着剤を硬化後に、ラベル形状とするためセパレータ以外のシートの切断加工を行う。  この際、切断方法や加工形態は特に限定されないが、後述の搬送部材の形状に合わせて打ち抜き加工後、不要なシートを剥離除去してラベルを形成したり、またラベル周囲やシート端部にラベルと間隔を隔てて補強部としてシートを残した状態でラベル部と補強部以外の不要なシートを剥離除去してラベルを形成したりすることができる。
【００１８】
かかるクリーニング用ラベルシートの製造方法においては、支持体の片面に、上記の特定のクリーニング層が設けられ、他面側が通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられたクリーニングシートが用いられる。  この他面側の粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特に限定されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム系など）を用いることができる。  かかる構成により、クリーニング用ラベルシートを後述のセパレータから剥離して、通常の粘着剤層により各種基板などの搬送部材に貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材として装置内に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングすることができる。  また上記の基板などの搬送部材を再利用するために、クリーニング後に搬送部材をかかる粘着剤層から剥がす場合は、かかる通常の粘着剤層の粘着力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特に０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送中に剥離することなく、かつクリーニング後に容易に再剥離できるので特に好ましい。
【００１９】
また上記クリーニング層を支持する支持体としては特に限定されないが、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミド、ポリカルボジイミドなどのプラスチックフィルムなどが挙げられる。  その厚みは通常１０〜１００μｍ程度である。
【００２０】
また本発明におけるセパレータは、クリーニング用ラベルシートを剥離できる限り特に限定されないが、例えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリエステル、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムなどが挙げられる。
【００２１】
クリーニング用ラベルシートが貼り付けられる搬送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００２２】
以下、図面に基づいて本発明をより具体的に説明する。
図１は、本発明のクリーニング機能付き搬送部材の一例を示す断面図であって、ウエハなどの搬送部材Ｗの上に、該搬送部材Ｗの形状より小さくかつ搬送部材Ｗの端部よりはみ出さないようにクリーニング用ラベルＡが設けられている。かかるラベルＡは、支持体２の片面にクリーニング層３、他面に通常の粘着剤層５が設けられてなり、この粘着剤層５を介して搬送部材Ｗ上に設けられている。
図２は、本発明のクリーニング機能付き搬送部材に用いるクリーニング用ラベルシートであって、長尺のセパレータ１上に複数のクリーニング用ラベルＡが間隔を隔てて連続的に設けられており、かかるラベルＡの形状は、図１の搬送部材Ｗの形状より小さく形成されている。かかるラベルＡは、図３（図２のａ−ａ線の断面図）の如く支持体２の片面にクリーニング層３、その表面に剥離フィルム４、他面に通常の粘着剤層５が設けられてなり、この粘着剤層５を介してセパレータ１上に剥離可能な状態で設けられている。
使用時にはクリーニング用ラベルＡをセパレータ１から剥離して半導体ウエハ等の搬送部材Ｗに貼着し、さらに剥離フィルム４を剥離してから装置内に搬送することにより被洗浄部位をクリーニングすることができる。
【００２３】
またラベルＡの形状は、搬送部材Ｗより小さい限り何ら限定されず、貼り付ける基板などの搬送部材の形状に応じて、例えば円形状、ウエハ形状、フレーム形状などとすることができる。
【００２４】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。  なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
実施例
アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ル２００ジメタクリレ―ト（新中村化学社製：商品名：Ｎｋエステル４Ｇ）５０部、ウレタンアクリレ―ト（新中村化学社製：商品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ製：商品名：イルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化型粘着剤溶液を調整した。
一方、上記粘着剤からベンジルジメチルケタールを除いた以外は、上記と同様にして通常の粘着剤溶液を得た。
【００２５】
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍｍ）からなるセパレータの剥離処理面に、上記通常の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが１０μｍとなるように塗布し、その粘着剤層上に長尺ポリエステルフィルム（厚さ２５μｍ、幅２５０ｍｍ）を積層し、さらにそのフィルム上に紫外線硬化型の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが４０μｍとなるように塗布してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面に片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍｍ）からなる剥離フィルムの剥離処理面を貼り合わせてシートを得た。
【００２６】
このシートに中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ／ｃｍ2照射して、紫外線硬化したクリーニング層を有するクリーニングシートを得た。
このクリーニングシートのセパレータ以外の積層体である粘着フィルムに、直径１９８ｍｍの円形状の打ち抜きによりシート切断を行い、不要な粘着フィルムを連続的に剥離除去して、図２のような本発明のクリーニング用ラベルシートを作製した。  またこのクリーニング用ラベルシートのクリーニング層の紫外線照射による硬化後の引張弾性率は４９ＭＰａであった。  ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定した。
【００２７】
得られたクリーニング用ラベルシートのセパレータからクリーニング用ラベルを剥がし、８インチ（２００ｍｍ）のシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。  なお、通常の粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力は、０．２５Ｎ／１０ｍｍであった。
【００２８】
このクリーニング用ラベルシートを用いて、ラベルテープ貼付機（日東精機社製：商品名：ＮＥＬ−ＧＲ３０００）にて８インチシリコンウエハの裏面（ミラー面）へのラベルの貼付けを行った。  この操作を２５枚連続して行ったところ、全く問題なくウエハへのシート貼付けが行え、クリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製することができた。  また得られたクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを確認したところ、ラベルシートはすべてシリコンウエハの内側に貼付けられてウエハ端部よりはみ出していなかった。
またクリーニング層を、シリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．０７８Ｎ（８ｇ）／１０ｍｍであった。
【００２９】
一方、レーザー式異物測定装置で、新品の８インチシリコンウエハ２枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、１枚目は６個、２枚目は５個であった。  これらウエハを別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラー面を下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチウエハサイズのエリア内で１つ目は３３４５６個、２つ目は３６０９１個であった。
【００３０】
次いで前記で得た搬送用クリーニングウエハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の３３４５６個の異物が付着していたウエハステージを持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送できた。  その後に新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μｍ以上の異物を測定した。  この操作を５回実施し、異物除去率を表１に示した。
【００３１】
【表１】
0003981243.tif 000002
【００３２】
比較例
実施例において、直径２０２ｍｍの円形状の打ち抜きにより得たクリーニング用ラベルシートを用いた以外は、実施例と同様にしてクリーニング機能付き搬送用クリーニングウエハを作製した。  このウエハを顕微鏡で確認したところ、シリコンウエハ外周部よりクリーニング用ラベルシートがはみ出していた。
この搬送用クリーニングウエハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、基板処理装置内に搬送させるため、ウエハカセットにセットしたところ、カセット内壁にはみ出していたラベルシートが接触し、搬送用クリーニングウエハ自体がウエハカセット内の正規の位置からずれたため、搬送できなかった。    従って、この搬送用クリーニングウエハを用いての搬送を中止した。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように本発明のクリーニング機能付き搬送部材、及びクリーニング用ラベルシ―トによれば、基板処理装置内を確実に搬送でき、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のクリーニング機能付き搬送部材の実例を示す断面図である。
【図２】  本発明のクリーニング用ラベルシートの実例を示す一部平面図である。
【図３】  図２のａ−ａ線の断面図である。
【符号の説明】
Ｗ：搬送部材、１：セパレータ、Ａ：クリーニング用ラベル、２：支持体、３：クリーニング層、４：剥離フィルム、５：通常の粘着剤層
【図１】
0003981243.tif 000003
【図２】
0003981243.tif 000004
【図３】
0003981243.tif 000005