(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の開口部にシール治具を圧接し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンクに空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧力差が発生することを検出して被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置のドリフト誤差補正方法において、
休止状態から再起動後の初回からＮ回（Ｎは２以上の正の整数）までの各検査時に発生する初期ドリフト誤差値を休止時間長毎に予め参照表に記録させ、休止状態から再起動して検査を行なう際に、再起動からの各検査回数毎に上記参照表から初期ドリフト誤差値を読み出し、各検査時に発生する初期ドリフト誤差を補正することを特徴とする洩れ検査装置の初期ドリフト誤差補正方法。
【請求項２】
被検査体の開口部にシール治具を圧接し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンクに空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧力差が発生するか否かを計測して被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置において、
休止状態を検出し、休止状態にある時間を計時する休止時間検出手段と、
休止状態から再起動後の初回からＮ回（Ｎは２以上の正の整数）までの各検査時に発生する初期ドリフト誤差を休止時間長毎に記録した参照表と、
休止状態から再起動して検査を再開する場合、各検査回数毎に上記参照表から休止時間長に対応した初期ドリフト誤差値を読み出し、この読み出した初期ドリフト補正値により検査で発生したドリフト値を補正するドリフト補正手段と、
を具備した構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の洩れ検査装置において、上記参照表に記録した休止時間長はそれぞれ所定の時間幅を持つ時間帯を有し、休止時間の計測値がどの時間帯に属するかに応じて初期ドリフト誤差値を読み出す構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項４】
請求項２記載の洩れ検査装置において、上記休止時間検出手段が計時した休止時間が上記参照表に記録した休止時間に該当しない場合は、計時した休止時間を間に挟む既存の休止時間と記録されている初期ドリフト誤差値を使って補間により計時した休止時間に該当する初期ドリフト誤差値を求める構成としたことを特徴とする洩れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は例えばエンジンのシリンダブロック、或はガス器具の部品、容器等の洩れの有無を検査する洩れ検査装置に関し、特に休止状態から検査開始直後に発生するドリフト誤差を除去する洩れ検査装置の初期ドリフト誤差補正方法及び洩れ検査装置を提案しようとすものである。
【０００２】
【従来の技術】
図７に一般的な洩れ検査装置の概略の構成を示す。図中１１は空圧源を示す。空圧源１１で発生した空気圧は調圧弁１２で調圧され、三方電磁弁１４を通じて電磁弁１５、１６に印加される。
電磁弁１５の出口側にはシール治具１８を介して被検査体１９が接続される。また電磁弁１６の出口側にはマスタタンク２０が接続される。被検査体１９とマスタタンク２０に通じる配管２１と２２の間に差圧計１７が接続され、被検査体１９とマスタタンク２０内の空気圧に差が発生するか否かを計測する。２３はこの差圧計１７で計測した差圧値に応じて被検査体１９に洩れが有るか否かを判定する検査装置を示す。
【０００３】
すなわち、空圧源１１で発生した空気圧は、圧力計１３の指示に従って調圧弁１２を操作し、一定値に設定される。三方電磁弁１４は常時はＡ―Ｂ間が導通状態に制御されているが、被検査体１９の検査が終了する毎にＢ―Ｃ間が導通状態に制御され、被検査体１９とマスタタンク２０に印加した空気圧を排気口Ｃを通じて大気に開放させる動作を行なう。
電磁弁１５、１６は常時は閉の状態に維持されるが、被検査体の１９の洩れの有無を検査する場合は所定の時間（数秒程度）開の状態に制御され、空気圧源１１で発生した空気圧を被検査体１９とマスタタンク２０に印加する。所定の圧力印加時間が経過すると電磁弁１５、１６は閉じた状態に戻され、その直後から検査装置２３は差圧計１７の計測値を監視する。この監視期間中に被試験体１９側の内圧が低下する現象が発生した場合は、検査装置２３はその被検査体１９に「洩れ有り」と判定する。
【０００４】
図８を用いて洩れ検査装置の動作状態を説明する。先ずシール治具１８に被検査体１９の開口部が圧接された状態で電磁弁１５、１６が開かれ被検査体１９とマスタタンク２０に時点ｔ０からｔ１までの間空気圧を印加する。この期間を加圧期間と称す。加圧期間から所定の時間の平衡期間を経て時点ｔ２から検査期間に入る。
検査期間の開始時に検査装置２３は差圧計１７で検出している差圧計測値を電気的にゼロにリセットとし、検出感度を上昇させて差圧の発生を監視する。尚、平衡期間中に大きな差圧が発生した場合は被検査体１９に大きな洩れが有ると判定し、その被検査体１９に対しては検査は中止され、被検査体１９の交換作業が行なわれる。図中曲線Ａ１とＡ２が差圧発生曲線を示す。曲線Ａ１は差圧の発生量が小さく「洩れなし」と判定される場合の差圧発生曲線、曲線Ａ２は差圧の発生量が大きく、特に設定値ＮＧを超えていることから「洩れ有り」と判定される場合の差圧発生曲線を示す。
【０００５】
ここで図７に示したマスタタンク２０を装備した洩れ検査装置では被検査体１９に洩れが全く無いにも係わらず、曲線Ａ１に示すような差圧の発生が見られる。この現象は被検査体１９とマスタタンク２０との間の熱的なアンバランスによって発生するものと考えられている。
つまり、マスタタンク２０は被検査体１９の内容積にほぼ近い内容積に選定されるが、その周面には放熱用のフィン等が形成され、空気圧の印加毎に蓄積される熱を放熱させる構造が付加されていたり、また空気圧の供給用配管２２には接続されたままの状態に維持されており、被検査体１９とは熱的に異なる環境下におかれている。
【０００６】
検査のために被検査体１９とマスタタンク２０に空気圧を印加すると被検査体１９に洩れが無いにも係わらずマスタタンク２０との間に空気圧の差が発生する。このようにして発生する圧力差を一般にドリフト（誤差）と称し、このドリフトの値が大きいと洩れのない被検査体を「洩れ有り」とする誤判定を下すおそれがある。
本出願人は、このドリフトによる影響を軽減する方法を例えば「特願２００１―２５９３７０」で提案し、解決に至る領域に達している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の洩れ検査装置で充分長い休止期間(少なくとも数分〜数１０分程度)の後に検査を開始すると、検査開始直後はドリフトの発生量が大きく、被検査体を何回か検査する間に漸次ドリフト量が低下する現象が見られる。この現象のために検査開始直後の検査結果は信頼性が低い不都合が生じる。
この現象を図９を用いて説明する。図９において曲線Ｂ１は検査の１回目に発生する差圧発生曲線、Ｂ２は２回目の検査時に発生する差圧発生曲線、Ｂ３は３回目の検査時に発生する差圧発生曲線をそれぞれ示す。被検査体１９として洩れの無い被検査体を用いたとしても差圧発生曲線がＢ１、Ｂ２、Ｂ３・・・に示すように変化し、検査回数が或る回数まで達すると、その差圧発生量は或る範囲に収束する現象が見られる。この現象を以下では初期ドリフト誤差と称すことにする。
【０００８】
図１０に実際の検査モードで発生した洩れの無い被検査体での初期ドリフト誤差の様子を示す。時点ｔ０で検査が開始される。この状態では大きな初期ドリフト誤差Ｄ１が発生する。検査が開始されると、約１０秒間隔程度の周期で検査が繰返される。検査の回数が増えるに従って初期ドリフト誤差はＤ２、Ｄ３、Ｄ４と漸次低下し、或る値の範囲に収束する。
ここで時点ｔ１で検査を中断し、２分間休止して時点ｔ２で検査を再開すると、その再開の１回目の検査では誤差が再び大きな値になる。更に時点ｔ３では５分間休止し、時点ｔ４で検査を再開した。この直後の検査では前回の休止時間（２分間）の場合より初期ドリフト誤差が大きくなった。
【０００９】
この実例から休止時間が入る毎に初期ドリフト誤差が発生し、更に休止時間が或る程度の時間（５分程度）に達すると充分長い時間休止した場合と同じ程度の初期ドリフト誤差が発生することが解る。また１０秒程度の時間間隔で検査を繰返している定常状態では初期ドリフト誤差の発生量は小さいことが確認された。
初期ドリフト誤差の発生要因としては
▲１▼  シール治具１８の変形、
▲２▼  シール治具の部分等に用いたボルト孔への内部洩れ等が考えられる。
【００１０】
図１１を用いて▲１▼の発生要因を考察する。シール治具１８の構造としては、被検査体１９の開口部分の構造によって種々の構造が採られるが、図１１の構造が最も一般的なシール治具の構造である。油圧或は空気圧で動作するシリンダによって移動する圧接具１８Ａに例えばゴム系の弾性材で構成されるシール部材１８Ｂが装着され、このシール部材１８Ｂが被検査体１９の開口部分に圧接される。シール部材１８Ｂの表面は当初（検査開始時）には平坦面を形成するが、被検査体１９に接触すると、その接触部分に圧着痕１８Ｃが形成される。圧着痕１８Ｃは検査が繰返される毎に漸次深くなる傾向を呈する。つまり、検査開始時には被検査体１９は平面状のシール部材１８Ｂに接触して加締付けられ、かつ、シール部材１８Ｂにはテスト圧が加わり、そのため変形する。洩れ検査中に変形現象が生じると内圧が変化する。またシール部材１８Ｂは繰返し圧力が加わるとなじむ特性を呈する。このような理由から初期ドリフト誤差が発生するものと考えられる。
【００１１】
その理由を証明する１つの方法として、図１３に示すようなシール治具を用いることが考えられる。このシール治具は圧接具１８Ａにオーリング１８Ｄを装着し、オーリング１８Ｄを被検査体１９に圧接させる構造とした場合を示す。このオーリング１８Ｄを用いた構造によれば、オーリング１８Ｄは凹溝に嵌合しているため、圧縮力により変形する量は極わずかであることと、加締の最終位置は圧接具１８Ａと被検査体１９とが直接接触する位置で決められるため、シール治具１８の加締のストロークは一定量に制限される。従ってシール治具１８を被検査体１９に圧接させた場合に発生する内容積の変化を最小限に抑えることができる利点があり、この構造のシール治具を用いることにより初期ドリフト誤差の発生量を抑えることができる。
【００１２】
従って、シール治具１８を全てオーリング１８Ｄを用いた構造とすればよいが、オーリング１８Ｄを用いる構造を採るには被検査体１９の接触部分の内厚Ｔ（図１３参照）が厚くなくてはならない制約がある。このような制約が存在するため、どのような被検査体に対してもオーリング１８Ｄを用いたシール治具を適用することはできない。
然も、初期ドリフト誤差の発生要因はシール治具以外にも存在することが考えられる。つまり、オーリングで構成したシール治具を用いた場合でもシール治具の構造によっては初期ドリフト誤差が発生することから▲２▼の発生要因の存在が考えられる。
【００１３】
シール部材１８Ｂを圧接具１８Ａに固定するためにボルト或はビス等を用いた場合、ネジ山の空隙を通じて空気が洩れ、ネジ孔に空気が蓄積される現象が考えられる。
図１４にそのモデルを示す。圧接具１８Ａにシール部材１８Ｂをボルト２６で締付けて固定する構造において、ボルト２６の頭部に接する面に検査のための空気圧が印加されるものとすると、ボルト２６のネジ山の間隙を通じてボルト孔２７に空気が洩れることが考えられる。ボルト孔２７の内容積がわずかであっても、このような構造が各所に存在した場合には、その総量の内容積は大きな値となる。またボルト２６のネジ山を通じて洩れる空気の量はわずかでも、この洩れの発生個所の数が多ければ大きな洩れ量となり、初期ドリフト誤差の発生要因となり得る。
【００１４】
このような締付け構造は洩れ検査装置では各所に存在し、締付け部分で洩れが発生しないよう組立が行われるが、完全に洩れが無い状態に組立てることはむずかしい。この締付け構造において、洩れが発生したとすると、洩れた空気がボルト孔２７の内圧が洩れ検査に用いる空気圧に達すると洩れがゼロに至る特性を呈する。
従って、この洩れが、被検査体１９に空気圧を印加する加圧経路に存在したとすると、被検査体１９の洩れとして検出され、この洩れが初期ドリフト誤差として検査装置２３に検出される。
【００１５】
この洩れの発生個所を特定し、洩れの発生を阻止することはむずかしく、また人手が掛るここからコストの上昇は避けられない。
この発明の目的は上述した洩れ検査装置の初期ドリフト誤差補正方法及び初期ドリフト誤差補正機能を具備した洩れ検査装置を提案しようとするものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この発明では被検査体の開口部にシール治具を圧接し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンクに空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧力差が発生することを検出して被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置の初期ドリフト誤差補正方法において、
休止状態から再起動後の初回からＮ回（Ｎは２以上の正の整数）まで各検査時に発生する初期ドリフト誤差値を休止時間長毎に洩れの無い被検査体を使って測定し、測定したドリフト誤差値を予め参照表に記録させ、休止状態から再起動して検査を行なう際に、再起動からの各検査回数毎に上記参照表から初期ドリフト誤差値を読み出し、各検査時に発見する初期ドリフト誤差を補正する洩れ検査装置の初期ドリフト誤差補正方法を提案する。
【００１７】
この発明では更に被検査体の開口部にシール治具を圧接し、被検査体を密封した状態で被検査体とマスタタンクに空気圧を印加し、被検査体とマスタタンクとの間に圧力差が発生するか否かを計測して被検査体の洩れの有無を判定する洩れ検査装置において、
休止状態を検出し、休止状態にある時間を計時する休止時間検出手段と、
休止状態から再起動後の初回からＮ回（Ｎは２以上の正の整数）までの各検査時に発生する初期ドリフト誤差を休止時間長毎に記録した参照表と、
休止状態から再起動して検査を再開する場合、各検査回数毎に上記参照表から休止時間長に対応した初期ドリフト誤差値を読み出し、この読み出した初期ドリフト補正値により検査で発生したドリフト値を補正するドリフト補正手段と、
を具備した洩れ検査装置を提案する。
【００１８】
この発明では更に上記の洩れ検査装置において、参照表に記録した休止時間長はそれぞれ所定の時間幅を持つ時間帯を有し、休止時間の計測値がどの時間帯に属するかに応じて初期ドリフト誤差値を読み出す構成とした洩れ検査装置を提案する。
この発明では更に上記洩れ検査装置において、休止時間検出手段が計時した休止時間が参照表に記録した休止時間に該当しない場合は、計時した休止時間を間に挟む既存の休止時間と記録されている初期ドリフト誤差値を使って補間により計時した休止時間に該当する初期ドリフト誤差値を求める構成とした洩れ検査装置を提案する。
【００１９】
作用
この発明によれば予め休止期間後に発生する初期ドリフト誤差値を参照表に記録して用意し、この参照表を利用して休止期間の時間長に対応した初期ドリフト誤差値を読み出して補正するから、休止期間の時間長が各種存在しても、正しく初期ドリフト誤差を補正することができる。
よって休止時間直後から信頼性の高い洩れ検査を行なうことができる利点が得られる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１にこの説明による洩れ検査装置の一実施例を示す。図７と対応する部分には同一符号を付して示す。差圧計１７の差圧測定信号は可変利得増幅器２３−１で増幅され、ドリフト補正手段２３−２でドリフト補正されて良否判定手段２３−３に入力される。良否判定手段２３−３では差圧計１７の検出信号を設定された閾値と比較し、検出信号が設定された閾値を超えていれば「洩れ有り」と判定し、設定された閾値を超えなければ「洩れ無し」と判定する。その判定結果は表示手段２３−４に表示される。これまでは普通の洩れ検査装置と同じ構成である。
【００２１】
つまり、従来の洩れ検査装置でもドリフト補正手段２３−２を有し、このドリフト補正手段２３−２で例えば被検査体１９とシール治具１８との間の温度差によって発生するドリフト誤差等を除去するドリフト補正が行なわれている。このドリフト補正に関しては、例えば「特願２００１―２５９３７０」で詳しく説明している。
この発明では検査装置２３に休止時間検出手段２３−５と、参照表２３−６とを設けた構成を特徴とするものである。
【００２２】
休止時間検出手段２３−５は洩れ検査装置全体が休止状態にあることを検出し、その休止期間中の時間を計時する。
図２にその様子を示す。洩れ検査装置はシーケンス制御により自動的に被検査１９を交換し、洩れの検査を所定の時間間隔で実行する。検査の時間間隔は被検査体１９の品種に応じて例えば１０秒間隔程度から数分間隔程度まで各種に選択される。つまり被検査体１９の品種が決まればその品種に応じて検査の時間間隔も適正な時間間隔に設定される。同一の品種を検査している状況下ではほぼ一定の時間間隔で検査が繰返される。
【００２３】
図２Ａは検査の実行サイクルを示している。ここでは時間間隔δで検査を繰返している状況下において、時刻Ｔ１で検査を休止させた状況を示す。時刻Ｔ１で洩れ検査装置に休止指令が出され、洩れ検査が休止されると、休止時間検出手段２３−５はここまでに行われていた洩れ検査の実行サイクルδを予め記録しており、その実行サイクルδが経過した時点Ｔ２から計時動作を開始し、休止時間の計測を開始する。時点Ｔ３で検査再開指令が出されたとすると、その時点Ｔ３で休止時間の計測が停止し、休止時間Ｓ１が確定する。その後、或る時間遅れて洩れ検査が再開される。図２Ａに示すＸ１、Ｘ２、Ｘ３は検査が再開された直後の１回目の検査、２回目の検査、３回目の検査が行われたことを示す。
【００２４】
図３に参照表２３−６の内部の様子を示す。参照表２３−６はアドレスＡＤ１、ＡＤ２、ＡＤ３・・・・・を具備したメモリによって構成することができる。各アドレスＡＤ１、ＡＤ２、ＡＤ３・・・・・には各休止時間に対応した初期ドリフト誤差値Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３・・・・・が記録される。
各アドレスＡＤ１、ＡＤ２、ＡＤ３・・・・・は休止時間検出手段２３−５が検出する休止時間に応じてアクセスされる。つまり、例えば参照表２３−６の入力側にアドレス変換手段ＡＤＣを設け、このアドレス変換手段ＡＤＣにより休止時間検出手段２３−５で検出した休止時間を参照表２３−６のアドレスに変換し、変換したアドレスにより参照表２３−６をアクセスする。
【００２５】
アドレス変換の一例としては例えば
休止時間が１０〜２０秒であった場合はアドレスＡＤ１を出力し、
休止時間が２１〜４０秒であった場合はアドレスＡＤ２を出力し、
休止時間が４１〜８０秒であった場合はアドレスＡＤ３を出力し、
休止時間が８１〜１６０秒であった場合はアドレスＡＤ４を出力し、
休止時間が１６１〜３２０秒であった場合はアドレスＡＤ５を出力し、
休止時間が３２１〜６４０秒であった場合はアドレスＡＤ６を出力し、
休止時間が６４１秒以上であった場合はアドレスＡＤ７を出力するように構成することができる。
【００２６】
各休止時間と初期ドリフト誤差値との間の関係を図４に示す。図３に示す横軸はアドレスＡＤ１、ＡＤ２、ＡＤ３・・・・・を示す。各アドレスＡＤ１〜ＡＤ７には図３に示したように初期ドリフト誤差値Ａ１〜Ａ３、Ｂ１〜Ｂ３、Ｃ１〜Ｃ３、Ｄ１〜Ｄ３、Ｅ１〜Ｅ３Ｆ１〜Ｆ３、Ｇ１〜Ｇ３を記録する。
図４には初期ドリフト誤差値Ａ１〜Ａ３、・・・・・・Ｇ１〜Ｇ３のそれぞれの値をグラフ化して示している。アドレスＡＤ１は上述したように最も短かい休止時間に対応しているから、初期ドリフト誤差値も最も小さい値を呈する。更に、初期ドリフト誤差値Ａ１は休止後の１回目の検査時Ｘ１に用いる初期ドリフト誤差値である。この初期ドリフト誤差値Ａ１が休止後の１回目の検査時Ｘ１にドリフト補正手段２３−２に入力され、１回目の差圧測定値から減算されて初期ドリフト誤差が補正される。初期ドリフト誤差値Ａ２は休止後の２回目の検査時Ｘ２に用いる初期ドリフト誤差値である。この初期ドリフト誤差値Ａ２が休止後の２回目の検査時Ｘ２にドリフト補正手段２３−２に入力され、２回目の差圧測定値から減算されて初期ドリフトが補正される。
【００２７】
以下同様にしてＡ３、或はＢ１〜Ｂ３及びＣ１〜Ｃ３・・・・も各休止時間に対応して読み出され、洩れ検査の初期ドリフト誤差が補正される。
図４に示したように、休止後の１回目の検査時Ｘ１に用いられる初期ドリフト誤差値Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ｆ１、Ｇ１は全て２回目以後に用いられる初期ドリフト値Ａ２、Ａ３、Ｂ２、Ｂ３、・・・・・より大きい値を呈する。その理由は図９と図１０を用いて説明したところより明らかであろう。
参照表２３−６に記録した各初期ドリフト誤差値は実際に洩れの無い被検査体を用いて洩れ検査装置に休止時間を与え、再起動直後に発生するドリフト値を測定し、そのドリフト値を記録させて補正して用いるものである。
【００２８】
従って、この発明によれば休止後であっても、休止時間に対応した初期ドリフト誤差値が参照表２３−６から読出されてドリフト補正するから、休止直後から信頼性の高い洩れ検査を行なうことができる。
図５はこの発明の他の実施例を示す。この実施例ではアドレス変換手段ＡＤＣの代りに、補間算出手段２３−７を設けた構造とした場合を示す。
つまり、この実施例では参照表２３−６のアドレスと休止時間とは１：１で対応させる。その一例としては、
休止時間が１５秒のときアドレスをＡＤ１に対応させ、
休止時間が３０秒のときアドレスをＡＤ２に対応させ、
休止時間が６０秒のときアドレスをＡＤ３に対応させ、
休止時間が１２０秒のときアドレスをＡＤ４に対応させ、
休止時間が２４０秒のときアドレスをＡＤ５に対応させ、
休止時間が４８０秒のときアドレスをＡＤ６に対応させ、
休止時間が６４０秒以上のときアドレスをＡＤ７に対応させる。
【００２９】
補間算出手段２３−７は休止時間検出手段２３−５が検出した休止時間が与えられると、その休止時間に対応するアドレスが存在するか否かを判定する。対応するアドレスが存在した場合はその対応するアドレスから初期ドリフト誤差値を読み出せばよい。一方対応するアドレスが存在しない場合は検出した休止時間の直近の上側と下側に位置するアドレス、つまり、図６に示す検出した休止時間を挟んで上側と下側のアドレスＡＤ１とＡＤ２を特定し、これら各アドレスＡＤ１とＡＤ２に対応付けした休止時間Ｊ１及びＪ２と検出休止時間Ｊ３とから、休止時間Ｊ３の位置を規定する比率Ｍ１、Ｍ２を求め、この比率Ｍ１とＭ２を用いて、既存の初期ドリフト補正値Ａ１、Ａ２、Ａ３とＢ１、Ｂ２、Ｂ３とから補間により休止時間Ｊ３に対応したドリフト誤差値Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３を求める。このドリフト誤差値Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３を１回目、２回目、３回目の各検査毎にドリフト補正手段２３−２に入力して差圧側定値から減算すれば初期ドリフト補正を行なうことができる。
【００３０】
尚、上述では休止後の１回目から３回目までの各検査に対して初期ドリフト補正を施すものとして説明したが、初期ドリフト補正を施す検査の回数は必要に応じて選択すればよく、特に３回目までに限定されるものでない。また、休止時間の設定も被検査体１９の形状、重量（熱容量）等に応じて初期ドリフト値の発生特性も変化するから、上述した休止時間の刻みが最適であるとは限らない。従って、上述の休止時間の設定に特に限定されるものでないことも容易に理解できよう。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば検査中に洩れ検査装置を一時停止させても、その休止時間を自動的に検出し、その休止時間に対応した初期ドリフト誤差値を参照表２３−６から読み出し、検査の再開後の少なくとも１回目及び２回目、３回目の検査で発生する初期ドリフトから減算して除去するから、休止後の１回目の検査から信頼性の高い検査を行なうことができる利点が得られる。
また、参照表２３−６は小容量のメモリで構成することができ、更に、休止時間検出手段２３−５は主にＣＰＵ等を動作させるプログラムによって構成できるから、この発明を実施する場合に特に高価な部品を追加しなくても実現できるからコストの上昇はわずかであり、安価で使い勝手のよい洩れ検査装置を提案することができる利点も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による洩れ検査装置の一実施例を説明するためのブロック図。
【図２】図１の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図３】この発明の要部の構成を説明するための図。
【図４】この発明の要部の動作を説明するためのグラフ。
【図５】この発明の変形実施例を説明するためのブロック図。
【図６】図５に示した実施例の動作を説明するためのグラフ。
【図７】この発明の先行技術を説明するためのブロック図。
【図８】図７に示した洩れ検査装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図９】洩れ検査装置で発生する初期ドリフト誤差を説明するためのタイミングチャート。
【図１０】図９に示したタイミングチャートと同等の実測例を示すグラフ。
【図１１】図９及び図１０で説明した初期ドリフト誤差の発生メカニズムを説明するための断面図。
【図１２】図１１に示した断面図の一部を拡大して示す拡大断面図。
【図１３】図１１に示した断面図の変形例を説明するための断面図。
【図１４】初期ドリフト誤差の他の発生メカニズムを説明するための断面図。
【符号の説明】
１１          空圧源      ２０          マスタタンク
１２          調圧弁      ２１、２２    配管
１３          圧力計      ２３          検査装置
１４          三方電磁弁  ２３−１      可変利得増幅器
１５、１６    電磁弁      ２３−２      ドリフト補正手段
１７          差圧計      ２３−３      良否判定手段
１８          シール治具  ２３−４      表示手段
１９          被検査体    ２３−５      休止時間検出手段
２３−６      参照表
ＡＤＣ        アドレス変換手段
２３−７      補間算出手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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