(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路を経て各ユースポイントへ送給する純水供給設備において、純水貯槽タンクに緊急送水管路を接続し、該緊急送水管路から分岐させた複数の分岐管路を各ユースポイントまで延設し、上記緊急送水管路に緊急送水ポンプを配し、主送水ポンプの下流側に緊急自動遮断弁を配し、上記複数の分岐管路末端部に分岐自動弁を配し、緊急送水ポンプを無停電電源装置に接続し、通常時には、純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路を経て各ユースポイントへ送給し、緊急時には、緊急時に信号を発信する装置から発せられる信号により主送水ポンプの運転を停止するとともに緊急自動遮断弁を遮断し、緊急送水ポンプの運転を開始するとともに分岐自動弁を開き、純水貯槽タンク内の純水を緊急送水ポンプにより緊急送水管路を経て各ユースポイントへ送給することを特徴とする純水供給設備。
【請求項２】
純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路を経て各ユースポイントへ送給する純水供給設備において、純水貯槽タンクに接続されたバイパス管路を主送水ポンプをバイパスさせてこのバイパス管路に緊急送水ポンプを配し、主送水管路から分岐させた複数の分岐管路を各ユースポイントまで延設し、主送水ポンプの下流側に緊急自動遮断弁を配し、上記複数の分岐管路末端部に分岐自動弁を配し、緊急送水ポンプを無停電電源装置に接続し、通常時には、純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路および複数の分岐管路を経て各ユースポイントへ送給し、緊急時には、緊急時に信号を発信する装置から発せられる信号により主送水ポンプの運転を停止するとともに緊急自動遮断弁を遮断し、緊急送水ポンプの運転を開始するとともに分岐自動弁を開き、純水貯槽タンク内の純水を緊急送水ポンプによりバイパス管路および複数の分岐管路を経て各ユースポイントへ送給することを特徴とする純水供給設備。
【請求項３】
緊急送水ポンプに代えて不活性ガス供給設備を純水貯槽タンクに付設したことを特徴とする請求項１または２記載の純水供給設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は純水供給設備に関し、さらに詳しくは、地震等による大災害発生時においても必要箇所に中断することなく純水を供給できる純水供給設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体材料製造設備、医薬品製造設備、原子力産業等の分野においては、高品位の製品を得るために製造工程への異物の混入は極端に嫌われており、そのために純水を用いて製品を洗浄する工程が不可欠である。例えば、図７に示すように、多数のＳｉウエハ２１をバスケット２２内に入れて、工程Ａにおいては剥離液（強酸）によるＳｉウエハ表面層の剥離を行い、次いで、工程Ｂにおいて純水による粗洗浄を行い、さらに工程Ｃにおいて純水による精密洗浄を行う方法が実施されている。
【０００３】
例えば、この種の純水供給設備として以下のものが知られている。すなわち、実開平４−５５１３３号公報には、１台の半導体製造装置に対して２系統の純水製造装置から純水を供給するシステムが開示されている（以下「従来の純水供給設備Ａ」という）。また、特開昭６３−６９５８８号公報には、複数の半導体製造装置に純水を供給するシステムであって、純水製造装置とメイン管路を連結し、メイン管路から分岐した複数のサブ管路を各半導体製造装置と連結し、各サブ管路には流路開閉弁を設け、殺菌剤導入路を各サブ管路に連結した純水供給システムが開示されている（以下「従来の純水供給設備Ｂ」という）。
【０００４】
従来の純水供給設備Ａの目的は、一方の純水供給系統内の純水に発生した生菌を死滅洗浄させる作業中においても、半導体製造装置の操業が支障なく行えるようにしたものである。従来の純水供給設備Ｂの目的も同様であって、１つのサブ管路の純水に発生した生菌を死滅洗浄させる作業中においても、複数の半導体製造装置の全体を休止することなく、当該半導体製造装置だけを休止すればよいように考慮されたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記製造設備は、多少の衝撃を受けても転倒、脱落しないように固定されているが、地震のような大エネルギーを受けた場合は安定状態を維持することは不可能であり、上記製造設備で使用されている薬品の容器が破損して薬品が製造現場の床に飛散したり、あるいは作業者の体に付着したりすることがある。この薬品は直ちに洗浄する必要があるので、ユースポイントへの純水の供給の確保が非常・緊急事態においても求められる。
【０００６】
また、地震が発生することによりユースポイントへの純水の供給が停止されると、図７のような剥離工程ＡにあるＳｉウエハ２１を洗浄する手段が閉ざされるので、Ｓｉウエハは剥離液による表面層の剥離が促進され、Ｓｉウエハの品質が劣化してしまう。
【０００７】
このように、半導体材料製造設備等では非常・緊急事態でもユースポイントへの純水の供給は欠かすことができないが、平成７年１月の兵庫県南部地震のような大異変が発生した場合、純水製造装置の運転は緊急停止される場合が多く、必要な箇所に純水を供給できなくなってしまう。この場合、従来の純水供給設備では、純水製造装置そのものが停止してしまうので、それに伴って半導体製造装置の操業も休止せざるを得ず、上記した人体付着薬品の洗浄作業のような緊急作業を行うことができなくなり、純水の供給を欠かすことができない箇所（例えば、Ｓｉウエハ表面層剥離液の洗浄工程）への純水供給もできなくなってしまう。
【０００８】
本発明は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、既存の設備の運転が停止された場合においても、必要な箇所に必要な時に純水を供給できる純水供給設備を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、主送水管路とは別に分岐管路を設け、緊急時に送水可能な緊急送水ポンプにより純水貯槽タンクから上記分岐管路に純水を送給しうるようにすることにより、運転員の運転操作により純水の必要な箇所に必要な時に供給することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明は、純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路を経て各ユースポイントへ送給する純水供給設備において、純水貯槽タンクに緊急送水管路を接続し、該緊急送水管路から分岐させた複数の分岐管路を各ユースポイントまで延設し、上記緊急送水管路に緊急送水ポンプを配し、主送水ポンプの下流側に緊急自動遮断弁を配し、上記複数の分岐管路末端部に分岐自動弁を配し、緊急送水ポンプを無停電電源装置に接続し、通常時には、純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路を経て各ユースポイントへ送給し、緊急時には、緊急時に信号を発信する装置から発せられる信号により主送水ポンプの運転を停止するとともに緊急自動遮断弁を遮断し、緊急送水ポンプの運転を開始するとともに分岐自動弁を開き、純水貯槽タンク内の純水を緊急送水ポンプにより緊急送水管路を経て各ユースポイントへ送給することを特徴としてる。
【００１２】
さらに、純水貯槽タンクに接続されたバイパス管路を主送水ポンプをバイパスさせてこのバイパス管路に緊急送水ポンプを配し、主送水管路から分岐させた複数の分岐管路を各ユースポイントまで延設し、主送水ポンプの下流側に緊急自動遮断弁を配し、上記複数の分岐管路末端部に分岐自動弁を配し、緊急送水ポンプを無停電電源装置に接続し、通常時には、純水貯槽タンク内の純水を主送水ポンプにより主送水管路および複数の分岐管路を経て各ユースポイントへ送給し、緊急時には、緊急時に信号を発信する装置から発せられる信号により主送水ポンプの運転を停止するとともに緊急自動遮断弁を遮断し、緊急送水ポンプの運転を開始するとともに分岐自動弁を開き、純水貯槽タンク内の純水を緊急送水ポンプによりバイパス管路および複数の分岐管路を経て各ユースポイントへ送給するような構成とすることもできる。
【００１４】
さらに、上記緊急送水ポンプに代えて不活性ガス供給設備で製造した加圧不活性ガスを純水圧送手段とすることもできる。
【００１５】
また、管路の配管材料として、ステンレス鋼表面を清浄化処理した後、酸化性雰囲気中で加熱処理してステンレス鋼表面に酸化被膜を形成し、その後にこの酸化被膜を溶解除去したステンレス鋼、並びに上記ステンレス鋼を純水に１日以上浸漬したステンレス鋼を用いることができる。
【００１６】
【実施例】
実施例について図面を参照しながら説明する。図１において、１は純水貯槽タンク、２は主送水管路、３は主送水ンプである。主送水管路２は枝管２ａ、２ｂ、２ｃに分かれて各ユースポイントＰと接続され、図７に示すような洗浄工程Ｂ、Ｃに送給された純水は、Ｓｉウエハ２１の洗浄に使用される。４は緊急送水管路、５は緊急送水ポンプであり、緊急送水管路４は３つの分岐管路４ａ、４ｂ、４ｃに分岐して各ユースポイントＰ0 と接続されている。主送水ンプ３の下流側には緊急自動遮断弁６が配され、緊急送水ポンプ５の下流側の緊急送水管路４には分岐管路４ａ、４ｂ、４ｃがあり、その各末端部には分岐自動弁７が配されている。各ユースポイントＰ0 に送給された純水は、図５に示すような純水消費装置へ分岐自動弁７を介して接続され、必要に応じて分岐自動弁７を開くことにより、純水を供給することができる。また、純水は図６に示すようなシャワー設備８に貯留され、必要に応じて人体に付着した薬液の洗浄に使用することができ、また図７に示す剥離工程ＡにあるＳｉウエハ２１の洗浄に使用することができる。９は無停電電源装置、１０は感電器信号発信装置、１１は非常信号発信装置である。これら感電器信号発信装置１０および非常信号発信装置１１により、主送水ンプ３、緊急送水ンプ５、緊急自動遮断弁６、分岐自動弁７等のポンプおよび弁類の動作が制御され、運転員の操作により必要な時に緊急送水ポンプ５を稼働させて必要な分岐自動弁７を開くことにより、必要な所へ純水を供給できる。
【００１７】
図２は他の実施例を示し、この実施例においては、緊急送水ポンプ５は主送水ポンプ３をバイパスするバイパス管路１２に配置されており、本設備は緊急送水管路を備えていない。
【００１８】
図３、図４はそれぞれ、緊急送水ポンプ５に代えて、純水貯槽タンク１内の純水をＮ2 ガス供給設備１３から送給される高圧Ｎ2 ガスにより圧送するようにしたものである。
【００１９】
以上のように構成される本実施例によれば、以下のようにして緊急時にユースポイントへ純水を送給できる。
【００２０】
例えば、地震のような予期しえない非常事態が発生した場合、図１に示すように、感電器信号発信装置１０または非常信号発信装置１１から発せられる信号に基づく制御により、主送水ポンプ３の運転が直ちに停止され、緊急自動遮断弁６が遮断される。同時に、バルブ１４の開作動条件と、緊急送水ポンプ５の運転条件と、分岐自動弁７の開作動条件が満たされる。また、バルブ１５は閉じられる。そして、バルブ１４と緊急送水ポンプ５と分岐自動弁７を操作することにより、純水貯槽タンク１から緊急送水管路４、各分岐管路４ａ、４ｂ、４ｃを経て各ユースポイントＰ0 へ純水が送給され、シャワー設備８（図６参照）に貯留される。そして、地震に伴う衝撃により破損した容器から飛散した薬液が人体に付着した場合、図６に示すように、シャワー設備８を利用して純水を人体に散布し、薬液を洗い流すことができる。また、図７に示す剥離工程ＡにあるＳｉウエハ２１に付着した剥離液をシャワー設備８の純水を利用して洗い流すことができる。同様の非常事態が発生した場合、図２に示す設備では、感電器信号発信装置１０または非常信号発信装置１１から発せられる信号に基づく制御により、主送水ポンプ３の運転が直ちに停止され、緊急自動遮断弁６が遮断される。同時に、バルブ１４の開作動条件と、緊急送水ポンプ５の運転条件と、分岐自動弁７の開作動条件が満たされる。また、バルブ１５は閉じられる。そして、純水貯槽タンク１からバイパス管路１２、主送水管路２、各枝管２ａ、２ｂ、２ｃおよび分岐管路２ａ1 、２ｂ1 、２ｃ1 を経て各ユースポイントＰ0 へ純水が送給される流路の運転準備が完了する。そして、バルブ１４と緊急送水ポンプ５と分岐自動弁７を操作することにより、上記と同様に、シャワー設備８を利用して純水を人体に散布して薬液を洗い流したり、Ｓｉウエハに付着した剥離液を洗い流すことができる。
【００２１】
図３に示す設備は、図１の緊急送水ポンプ５に代えてＮ2 ガス供給設備１３を使用するもので、感電器信号発信装置１０または非常信号発信装置１１から発せられる信号に基づく制御により、主送水ポンプ３の運転が直ちに停止され、緊急自動遮断弁６が遮断される。同時に、Ｎ2 ガス供給設備１３の運転開始条件と、分岐自動弁７の開作動条件が満たされる。また、バルブ１５は閉じられる。そして、Ｎ2 ガス供給設備１３と分岐自動弁７を操作することにより、Ｎ2 ガス供給設備１３から送給される高圧Ｎ2 ガスにより純水貯槽タンク１内の純水は、緊急送水管路４から各分岐管路４ａ、４ｂ、４ｃを経て各ユースポイントＰ0 へ送給され、シャワー設備８（図６参照）に貯留される。。そして、上記と同様に、シャワー設備８を利用して純水を人体に散布して薬液を洗い流したり、Ｓｉウエハに付着した剥離液を洗い流すことができる。
【００２２】
図４に示す設備は、図２の緊急送水ポンプ５に代えてＮ2 ガス供給設備１３を使用するもので、感電器信号発信装置１０または非常信号発信装置１１から発せられる信号に基づく制御により、主送水ポンプ３の運転が直ちに停止され、緊急自動遮断弁６が遮断される。同時に、Ｎ2 ガス供給設備１３の運転開始条件と、分岐自動弁７の開作動条件が満たされる。また、バルブ１５は閉じられる。そして、Ｎ2 ガス供給設備１３と分岐自動弁７を操作することにより、Ｎ2 ガス供給設備１３から送給される高圧Ｎ2 ガスにより純水貯槽タンク１内の純水は、バイパス管路１２、主送水管路２、各枝管２ａ、２ｂ、２ｃおよび分岐管路２ａ1 、２ｂ1 、２ｃ1 を経て各ユースポイントＰ0 へ送給され、シャワー設備８（図６参照）に貯留される。そして、上記と同様に、シャワー設備８を利用して純水を人体に散布して薬液を洗い流したり、Ｓｉウエハに付着した剥離液を洗い流すことができる。
【００２３】
図５に示す設備は、枝管２ａとユースポイントＰを接続する配管１６に並列に配管１６´を設置したもので、このような複数並列の配管構成とすることにより、配管１６のバルブ１７が作動不良の場合も、配管１６´を利用してユースポイントＰへ確実に純水を送給することができる。また、同図に示すように、分岐配管４ａからさらに分岐させた配管１８をユースポイントＰに接続することにより、ユースポイントＰへの純水供給経路を複数設けることもできる。
【００２４】
また、管路の配管材料として、ステンレス鋼表面を清浄化処理した後、酸化性雰囲気中で加熱処理してステンレス鋼表面に酸化被膜を形成し、その後にこの酸化被膜を溶解除去したステンレス鋼（特公平２−１９１６号公報）を用いることが好ましい。また、該ステンレス鋼をさらに純水に１日以上浸漬したステンレス鋼（本願出願人により平成６年９月２９日に出願された特願平６−２３４７３１号に開示したもの）を用いることがより好ましい。同出願に開示したように、清浄化処理としては、脱脂、酸洗、機械研磨、電解研磨などの処理を採用することができ、加熱温度としては４００〜５００℃、また加熱時間としては１〜８時間を採用することができ、酸化被膜の溶解除去手段としては、酸あるいは電解研磨を採用することができる。このような処理を施したステンレス鋼は、純水への金属イオンの溶出量が極めて少なく、１日間純水に浸漬したステンレス鋼からの純水への金属イオン（Ｎａ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｍｏ）の合計溶出量は、７５００×１０-9ｇ／ｍ2 ・日以下となる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、既存の設備の運転が停止された場合においても、必要な箇所に純水を中断することなく供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の純水供給設備の一実施例の全体配置を示す図である。
【図２】本発明の純水供給設備の別の実施例の全体配置を示す図である。
【図３】本発明の純水供給設備の図２とは別の実施例の全体配置を示す図である。
【図４】本発明の純水供給設備の図３とは別の実施例の全体配置を示す図である。
【図５】本発明の純水供給設備の一実施例の一部を示す斜視図である。
【図６】人体に付着した薬液を洗浄する様子を説明する図である。
【図７】Ｓｉウエハの製造工程を説明する図である。
【符号の説明】
１…純水貯槽タンク
２…主送水管路
２ａ1 、２ｂ1 、２ｃ1 …分岐管路
３…主送水ポンプ
４…緊急送水管路
４ａ、４ｂ、４ｃ…分岐管路
５…緊急送水ポンプ
６…緊急自動遮断弁
７…分岐自動弁
９…無停電電源装置
１０…感電器信号発信装置
１１…非常信号発信装置
１２…バイパス管路
１３…Ｎ2 ガス供給設備
【図１】
0003996225.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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