(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数枚の薄板を収納支持し、蓋体と容器本体それぞれに設けた係合部材の脱着操作により開閉される収納容器の蓋体を開閉する薄板収納容器開閉装置において、
前記収納容器の上方から下方に向けクリーンエアによる垂直一方向流域を形成した閉空間内に、前記容器蓋体を開閉する蓋体開閉ユニットと、前記収納容器を固定保持する固定ステージと、前記蓋体開閉ユニットを前記係合部材の脱着位置まで搬送する搬送機構を配置し、
更に前記蓋体開閉ユニットは、前記蓋体を吸着保持して容器本体に対し離接方向に昇降させる昇降機能とともに、カム先端が収納容器本体の係合部に進入し該進入位置で蓋体側の係合片を、そのカム操作により係合位置から脱着可能に形成した開閉カムとを具え、
前記搬送機構を介した蓋体開閉ユニットの搬送に追随して前記開閉カムが前記係合部材の脱着操作位置まで移動可能に構成したことを特徴とする薄板収納容器開閉装置。
【請求項２】
前記閉空間の、収納容器の上方位置にイオナイザーを配置し、前記収納容器の上方から下方に向かうクリーンエアが帯電防止されていることを特徴とする請求項１記載の薄板収納容器開閉装置。
【請求項３】
前記容器本体のみを固定ステージ側に固定保持する固定ユニットを設け、該固定ユニットが、搬送機構を介した蓋体開閉ユニットの搬送に追従して前記容器本体の固定保持位置まで移動可能に構成したことを特徴とする請求項１若しくは２記載の薄板収納容器開閉装置。
【請求項４】
前記固定ステージは、識別用センサを有し、前記固定保持位置を検出し、前記収納容器側面から前記固定ユニットにより押さえつけることを特徴とする請求項３記載の薄板収納容器開閉装置。
【請求項５】
複数の薄板を垂直な状態で保持する薄板収納容器内に、前記複数の薄板を分離するために薄板の厚さより幅広な複数のスロットが設けられている請求項１記載の薄板収納容器開閉装置において、
前記固定ステージは、前記薄板が垂直保持位置より倒伏する方向に向けて一方向に傾斜させ、前記収納容器内の薄板を前記一方向に傾斜させた状態で前記蓋体を開閉するようにしたことを特徴とする薄板収納容器開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウエーハやＳＯＩ等の各種半導体デバイスに使用される薄板の詰込み、検査、搬送、出荷時に使用する薄板収納容器開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス、例えばメモリーやＬＳＩの製造工程として、一般的に多結晶シリコンより単結晶シリコンインゴットを製造する単結晶製造工程、及び該インゴットをスライスし、薄板状のウエーハを鏡面研磨するウエーハ加工工程、該鏡面研磨されたウエーハ上に様々なデバイスを製造するデバイス製造工程に大別され、前記各工程の中は更に種々のバッチ処理に分割化される。そしてこれらの各処理・工程はバッチ的に若しくは場所を移動してさらには時間を置いて行なわれ、このため前記処理間若しくは工程間で製造途中のウエーハを容器等に収納または保管、搬送する場合がある。
【０００３】
特にウエーハ加工により鏡面研磨するまでの工程と、ウエーハ上に様々なデバイスを製造するデバイス製造工程はほとんどの場合、全く別な会社で行なわれる。そこでウエーハを鏡面研磨するまで加工した後、デバイス製造プロセス会社にウエーハを搬送する場合、ウエーハを多数枚同時に保持する収納容器（収納ボックス又は出荷用ボックスともいうことがある）に収納し、出荷する。
【０００４】
ところで、デバイス製造工程ではウエーハ表面にパーティクル、有機物やイオンの無い状態が要求されるため、前工程であるウエーハ加工プロセスの最終過程で出荷用の収納容器に加工の終了したウエーハを保管する前に、上記パーティクル等を除去するため洗浄が行なわれ、出荷の際は上記した洗浄されたウエーハの表面を前記パーティクルによる汚染から守るため十分な配慮のもとに所定の作業をなし上記汚染より保護している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようにウエーハ等の薄板を多数枚収納支持して保管、運搬等を行なう際、内部に収納されているウエーハは、搬送の過程で様々な振動が与えられ、蓋体が外れることによる外部からの汚染や薄板自体の破損を受ける心配がある。そのため、保管搬送用に使用される収納容器は、密封性、保持性に優れた構造にしてあり、蓋はしっかりと閉められるようになっている。このように厳重な締結構造の蓋体の開閉作業では、作業者による力を伴なった大変な作業が必要であり、指先に腱鞘炎を起こしてしまうようなこともあった。
【０００６】
そして、上記収納容器の開閉は、洗浄が終了したウエーハを収納容器に詰めるときや、詰められた後のウエーハの検査のとき、また出荷後ウェーハを使用するとき等が考えられるが、このとき上記したように厳重な密封がされている収納容器の開閉を、人手で行なう場合、汚染防止の為の配慮も大変である。つまり開閉時に作業員からの発塵によるパーティクルの増加を伴ない、収納容器内、またはウエーハ表面へのパーティクル付着につながる。即ち人手の介入が、高集積化に伴うクリーン度の向上とともに問題になってきている。
【０００７】
上記パーティクルは、本来空間に浮遊したり、物の表面に付着している極微少な物質粒の総称であり、金属や無機物、有機物からなっており、高集積化が進んでいる１ギガビットレベルのＬＳＩを造る場合、管理対象となるパーティクルの粒径も小さくなり、微小なパーティクルの増加も無視できない問題となってきている。
【０００８】
つまり、デバイスプロセス中におけるパーティクルのウエーハへの付着は、微細配線の短絡や断線を招くばかりか、金属や有機物のパーティクルのようにデバイスの特性劣化を引き起こすことにもなり、デバイスプロセス全体の歩留まり低下につながる問題を抱えている。
【０００９】
即ち、高集積化に伴うデザインルールの微細化により、パーティクルの粒径は ０．１６μｍ位から０．１０μｍに管理対象が下がってきており、今後０．１３μｍデザインルールの世代では０．０８μｍまでの粒径が管理対象となる。
【００１０】
また、前記したように厳重に密封処理した収納容器の人手による開閉には多大な労力及び汚染への注意を必要とし、作業効率向上の点からも自動化が強く望まれている状況にある。
【００１１】
本発明は、上記課題に鑑み、密封構造の薄板収納容器の開閉を人手に代わる自動化に代え、さらに閉空間内での処理をすることでパーティクルによる汚染を防止するとともに、パーティクルの侵入を抑えることのできる高い密封性を保持する容器においても開閉処理の容易化と開閉作業の効率向上を図った薄板収納容器の開閉装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は、多数枚の薄板を収納支持し、蓋体と容器本体それぞれに設けた係合部材の脱着操作により開閉される収納容器の蓋体を開閉する薄板収納容器開閉装置において、
前記収納容器の上方から下方に向けクリーンエアによる垂直一方向流域を形成した閉空間内に、前記容器蓋体を開閉する蓋体開閉ユニットと、前記収納容器を固定保持する固定ステージと、前記蓋体開閉ユニットを前記係合部材の脱着位置まで搬送する搬送機構を配置し、
更に前記蓋体開閉ユニットは、前記蓋体を吸着保持して容器本体に対し離接方向に昇降させる昇降機能とともに、カム先端が収納容器本体の係合部に進入し該進入位置で蓋体側の係合片を、そのカム操作により係合位置から脱着可能に形成した開閉カムとを具え、
前記搬送機構を介した蓋体開閉ユニットの搬送に追随して前記開閉カムが前記係合部材の脱着操作位置まで移動可能に構成したことを特徴とする。
【００１３】
又本発明は、前記開閉カムの回動操作方向が、蓋体側の係合片と容器本体の係合部よりの係合脱離方向であって且つ前記昇降機構の昇降方向と交差する方向であり、
一方前記容器本体の係合部の、係合片の案内方向が前記昇降機構の昇降方向であるのがよい。
【００１４】
より具体的に説明すると、前記開閉カムは、該開閉カムを係合片の下部に侵入させ回転力により外側へ脱離させ且つ外側より係合片を押圧係合可能なようなカム形状、例えば先端先細状のカム形状にするとともに、該カムを前記係合位置に挿入且つ回転可能な機構を含むカム装置により構成するのがよい。
【００１５】
かかる発明によれば、収納容器の開閉を自動的に行なうように構成したために、人手の介入によるパーティクルの発生を抑制するとともに、特に開閉操作が係合部位に進入容易なカムにより行うようにしたために、パーティクルの侵入を抑えることのできる高い密封性を保持する容器においてもカム先端が収納容器本体の係合部に進入し該進入位置で蓋体側の係合片を、そのカム操作により係合位置から脱着させるために、開閉処理の容易化と開閉作業の効率向上を図ることが出来る。
【００１６】
即ち、容器が十分な密封状態を維持できるように強く係合している場合でも前記蓋体開閉ユニットの開閉カムの先端を係合部に挿入し、且つ回転させることより、容器本体に設けられた係合部に嵌合している係合片を脱離させるのが容易である。
然も、前記容器本体の係合部の、係合片の案内方向が前記昇降機構の昇降方向であるために、前記昇降機構により蓋体を吸着保持して容器本体に対し離接方向に昇降させるだけで容器本体の開放、及び閉塞が容易且つ自動的に出来、これにより無人化が一層容易化し、人手の介入によるパーティクルの発生を一層抑制出来る。
【００１７】
又本発明は、前記容器本体のみを固定ステージ側に固定保持する固定ユニットを設け、該固定ユニットが、搬送機構を介した蓋体開閉ユニットの搬送に追従して前記容器本体の固定保持位置まで移動可能に構成するのがよい。
特に前記固定ステージには、識別用センサを有し、これにより前記固定保持位置を検出し、前記収納容器の形状に合致するように、収納容器側面から前記固定ユニットにより押さえつけることが好ましい。
【００１８】
これにより容器本体側をしっかり固定した状態で、蓋体の開放が可能となり、容器が十分な密封状態を維持できるように強く係合している場合でも、容器本体に設けた係合部に嵌合している係合片を脱離させるのが容易である。
【００１９】
又本発明は、複数の薄板を垂直な状態で保持する薄板収納容器内に、前記複数の薄板を分離するために薄板の厚さより幅広な複数のスロットが設けられている請求項１記載の薄板収納容器開閉装置において、
前記固定ステージは、前記薄板が垂直保持位置より倒伏する方向に向けて一方向に傾斜させ、前記収納容器内の薄板を前記一方向に傾斜させた状態で前記蓋体を開閉するのがよい。
これは、薄板収納容器内には、複数の薄板を分離するために複数のスロットが設けられている。このスロットは薄板の厚さより、やや幅広となっており、蓋体が外されている状態では、薄板はある程度、スロット幅方向に移動可能である。この時、薄板を一方向に傾けておかないと、薄板の位置の不安定さから、蓋体を閉める時に過剰な力が必要であったり、時には蓋の押さえと収納容器本体のスロットの位置がずれ、薄板が割れる可能性がある。従って、固定ステージを一方向、特に薄板のデバイス形成面にパーティクルが着かないような方向に傾斜させることで、開閉時のパーティクルの付着を防止し、かつ薄板の破損を防止し、より安定に自動化を行なえる。
【００２０】
【００２１】
又請求項１記載の発明によれば、前記係合部で例えパーテイクルが発生してもダウンフロー型のクリーンエアにより容易にこれを除去できる。また、前記開閉ユニットによる係合部位の接離に際して発生の恐れのある微細パーティクルも収納容器の封止部位へ舞い上がることなく下部へ垂直流により下部排出部を介して排出できる。また、イオナイザー等で帯電を防止することで更にパーティクル付着防止の効果が上がる。
【００２２】
また、前記蓋体開閉ユニットは、収納容器の両サイドの対称部位に設けてある係合部位に対し、同時に開閉ができるように二組の開閉アームを対向させて向かい合わせ配設する構成にしてあるため、両サイドの係合部位の接離は同時に対称的に行なうことができ、部材の逃げを挟殺することができ、効率的開閉が可能となる。
【００２３】
また、収納容器の係合部位は、蓋体の封止部位より下部に設けられており、蓋体の開閉に際し係合部位より発生するパーティクルは封止部位より下部空間に発生し、前記ダウンフロー型閉空間の構成により発生パーティクルによる封止部位の汚染を完全に防止できる。
【００２４】
尚、ダウンフローの閉空間形式では、上部より清浄空気を、ＵＬＰＡフィルタ等を介して天井部全面から流入させ、対向床面全域より該空気を流出させ、垂直方向に一方向空気流が形成させる構成にしてあるため、定格風量で粒径が０．１０μｍ粒子の捕集に対応できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載される構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載が無い限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく単なる説明例に過ぎない。
【００２６】
図１は本発明の実施形態に係る薄板収納容器開閉装置の概略構成を示す模式図で、図２は図１に示す待機位置にある収納容器（収納ボックス）、固定ステージ、蓋体開閉手段の配設位置関係を示す斜視図である。図３は図２の固定ステージの概略の構成を示す図で（Ａ）は平面図で（Ｂ）は側面図である。図４は図２の蓋体吸着ユニット、蓋体開閉ユニット、搬送機構の配設位置関係及び構成を示す詳細斜視図である。図５は図４に示す蓋体開閉ユニットの開閉カムの作動状況を示す図である。
【００２７】
図１に示すように、本発明の薄板収納容器開閉装置３０は、収納容器１０を固定する固定ステージ１１と、該収納容器１０の蓋体１０ａを開閉する蓋体開閉手段１５と、該蓋体開閉手段１５を搭載する搬送機構１９と前記それらを内蔵するクリーンブース３１とより構成する。
【００２８】
上記クリーンブース３１は上部に小型送風機と一体化した空気清浄装置を形成するＵＬＰＡフィルタを内蔵するファンフィルタユニット３１ａを上部天井部に設け、下部床部には図示していない排気ファンを設け、壁面はプラスチックのカーテン状に形成し、室内には垂直一方向流域を形成させ、粒径略０．１０μｍ以下の粒子に対しても捕集可能に構成したものであり、移動可能な構造にしても良い。更にイオナイザー３１ｂを設置しても良い。
【００２９】
収納容器１０と固定ステージ１１と蓋体開閉手段１５は、待機状態にあるときは図２の斜視図に示すように、操作架台１５ａ上に蓋体開閉手段１５を設け、該蓋体開閉手段１５の移動方向に延設した容器台座１１ａ上に固定ユニット１２を設けた固定ステージ１１を介して収納容器１０を固定させ、待機させるようにしてある。
【００３０】
図２に見るように、蓋体開閉手段１５には操作架台１５ａより収納容器１０の容器台座１１ａに向けその中心軸芯Ｘ−Ｘ上に搬送機構１９を付設してある。該搬送機構１９上には、蓋体保持ユニット１６ａと昇降ユニット１６ｂとよりなる蓋体吸着ユニット１６と、左右二組の蓋体開閉ユニット１７、１７とを一体構成体とした蓋体開閉手段１５を搭載する。使用時には待機位置において昇降ユニット１６ｂにより蓋体保持ユニット１６ａを上昇させ、固定ステージ１１により固定した収納容器１０に向け矢印Ａ方向に走行移動させ、前記左右の蓋体開閉ユニット１７、１７を収納容器１０の両サイドの係合部位１０ｅに対面させる。同時に前記上昇させた蓋体保持ユニット１６ａを蓋体１０ａの真上に位置させるようにしてある。
【００３１】
図３は図２の固定ステージの概略の構成を示す図で（Ａ）は平面図で（Ｂ）は側面図である。図３（Ａ）に見るように前記中心軸芯Ｘ−Ｘ上にセンサ（識別用センサ）１３を設け、中心軸芯Ｘ−Ｘを挟んで対向位置に固定治具１２ｂと押え治具１２ａを設け、予め押圧固定したとき収納容器１０の軸芯と前記中心軸芯Ｘ−Ｘが一致するよう固定治具１２ｂの位置決めをしておく。そして、使用に際しては、前記中心軸芯Ｘ−Ｘに収納容器１０の軸芯が一致するよう導入し、センサ１３によりＸ−Ｘ方向の位置決めをした後、固定ユニット１２を用いて、つまり前記固定治具１２ｂに対し押え治具１２ａをハイマルチシリンダ１２ｄを介して押圧固定するようにしてある。
【００３２】
なお、上記固定ステージは、収納している薄板が容器の一定方向に傾く（図１の点線５０で示す）ように僅かに傾斜（５〜１５度程度）するようにセットできるようにしても良い。
【００３３】
なお、固定治具１２ｂと押さえ治具１２ａの先端の当接面には軟質塩ビプレート１２ｃを貼付して収納容器１０の固定面の損傷を防止するとともに係合部接離時の滑りを防止するようにしてある。
【００３４】
図４には、図２の蓋体開閉手段１５を形成する蓋体吸着ユニット１６及び蓋体開閉ユニット１７、１７と、搬送機構１９との配設位置関係及び構成を示す詳細斜視図が示してある。
【００３５】
図に見るように、蓋体吸着ユニット１６は、収納容器１０の蓋体１０ａの長手方向の軸芯部位を吸着可能に設けた２個の吸着パットを持ち蓋体１０ａを水平状に保持可能の構造とした蓋体保持ユニット１６ａと、該蓋体保持ユニット１６ａを鉛直状に矢印Ｄ方向に昇降させる昇降ユニット１６ｂとよりなる。
【００３６】
なお、蓋体保持ユニット１６ａが蓋体１０ａを正確に吸着させるための吸着ガイド１６ｃを設けても良い。この吸着ガイドにより蓋体１０ａの平行度を維持させながら昇降させ、且つ蓋体１０ａの開閉の際、容器本体とのズレを最小限に抑えることが出来る。
【００３７】
次に、蓋体開閉ユニット１７は、前記収納容器１０の係合部位１０ｅに対面させ、該係合部位１０ｅの接離を行なう開閉カム１８ｃと、該開閉カム１８ｃの上下方向の矢印Ｂ方向の回動をさせるロータリアクチュエータ１８ｂと、その両者を係合部位１０ｅへの矢印Ｃ方向の挿入後退をさせる挿入スライド１８ａとより構成する。
【００３８】
上記ロータリアクチュエータ１８ｂにより開閉カム１８ｃを適当角度の矢印Ｂ方向の回動を可能にし、挿入スライド１８ａにより上記開閉カム１８ｃとロータリアクチュエータ１８ｂの両者の結合構造体を前記係合部位１０ｅに向け矢印Ｃ方向の挿入後退運動を可能にしている。
【００３９】
そして、上記構成よりなる蓋体開閉ユニット１７を二組用意し、二股状に分岐させ、使用に際しては、それぞれの蓋体開閉ユニット１７が所定位置にセット固定されている収納容器１０の両サイドに設けた係合部位１０ｅに対面するように配設させ、対称的開閉運動を可能とする構成にしてある。
【００４０】
上記二股状に配設された蓋体開閉ユニット１７、１７と前記蓋体吸着ユニット１６とを一体構造として形成させた蓋体開閉手段１５の構造体を搬送機構１９に搭載し、収納容器１０のセット時には矢印Ａ方向に後退させ原点待機させ、固定ステージ１１により収納容器１０を固定し蓋体開閉時には前進させ、係合部位１０ｅの接離を行なうようにしている。
【００４１】
図５は図４に示す蓋体開閉ユニット１７の開閉カム１８ｃの作動状況を示す図である。
【００４２】
図５（Ａ）は係合部位１０ｅの収納容器本体１０ｂに設けた係止係合部（係止爪）１０ｃより蓋体１０ａの係合片１０ｄを離脱させる場合を示し、図５（Ｂ）は前記係合片１０ｄを係止係合部１０ｃに係合させる場合を示す図である。図に見るように、係合片１０ｄは蓋体１０ａの上部構造体より短冊状の基部１０ｆに可撓性部材を持つ板材を垂下させたもので、該板材の中央に係合孔を設け収納容器本体１０ｂの封止部位より下方に設けた係止係合部１０ｃを形成する係合部状突起に嵌合ないし離脱させるようにしたものである。
【００４３】
図５（Ａ）に見るように、係合離脱時は開閉カム１８ｃを係合部位１０ｅの下部に矢印Ｃ１方向に侵入させ、ついで矢印Ｂ１方向に回動させて係合片１０ｄの先端より外側へ向け前記基部１０ｆの可撓部位を起点にして押し開き、図５（Ｂ）の状態にさせる。この状態で蓋体１０ａを図示してない蓋体保持ユニット１６ａにより上部を吸着し、さらに昇降ユニット１６ｂを介して上昇させ、蓋体１０ａの解放を可能にしている。
【００４４】
また、蓋体１０ａを収納容器本体１０ｂに載置させ、封止係合する場合は、図示してない蓋体保持ユニット１６ａを収納容器本体１０ｂの真上より下降させ、パッキングを介して略封止状態で載置する。ついで、前記開閉カム１８ｃを矢印Ｃ２方向より傾斜状にある係合片１０ｄを押圧し前記係止係合部１０ｃに係合用孔を嵌合させ、係合を終了させ収納容器１０を完全密封状態にする。
【００４５】
上記構成による係合部位の接離は簡単な構造で、係合部位には何らかの回動部位を設けず前記接離を行なうことができ、クリーンブースにより隔離されたなかで、自動的に確実に行なうことができる。
【００４６】
なお、開閉カム１８ｃの回動による微少なパーティクルの発生の恐れがある場合でも、前記したようにパーティクルの発生部位が封止部の下部に位置されてあり、且つ内蔵するクリーンブースは上部にファンフィルタユニット３１ａ、イオナイザー３１ｂを持ち下部に排気装置を持つ垂直流のダウンフロータイプの形式にしてあるため、係合部より発生するパーティクルの収納容器１０内への侵入汚染を防止できる。
【００４７】
図６には図１に示す蓋体開閉手段１５による固定ステージ１１により固定された収納容器１０の蓋体開閉の状況を各過程に分割してその状況を示す図である。
【００４８】
以下に順を追って説明する。
１）図の（Ａ）は開閉直前の蓋体保持ユニット１６ａと開閉カム１８ｃの位置及びその態様を示す図で、図において蓋体保持ユニット１６ａは蓋体１０ａに対し所定の高さを維持した状態で待機させ、蓋体開閉手段１５を搬送機構１９を介して移動し、収納容器１０を挟持した状態で開閉カム１８ｃを水平状態にし、係合部位１０ｅに対面させている。
【００４９】
更に詳しく説明すると、上記収納容器１０を容器台座１１a上に搬入する時は、予め蓋体保持ユニット１６ａを上昇させ、且つ蓋体開閉手段１５も搬送機構１９を介して後退させ待機姿勢を取らせて置く。そして、図示してない例えばコンベア等の自動容器搬送装置により収納容器を固定ステージ上に搬入し固定ステージ１１により、所定位置に固定セットする。
【００５０】
その後、原点位置に待機させていた蓋体開閉手段１５を搬送機構１９を介して左右二組の蓋体開閉ユニット１７が前記固定ステージにセットされた容器を挟むように前進させ、係合部位１０ｅに当面させるようにしてある。
【００５１】
２）次に、図の（Ｂ）においては、蓋体保持ユニット１６ａを図示していない昇降ユニット１６ｂにより蓋体上面に下降させ吸着パットにより吸着させる。この場合、蓋体保持ユニット１６ａの下降ガイドを設け平行度を保持させながら下降させ、蓋体の正確な位置での吸着を行なわせるようにした方が好ましい。
【００５２】
同時に開閉カム１８ｃを挿入可能な角度、例えば水平状に維持しながら図示してない挿入スライド１８ａを介してＣ１方向に左右より前進させその先端を蓋体１０ａの短冊状の係合片１０ｄの下部に挿入させる。
【００５３】
３）ついで、図の（Ｃ）において、挿入した開閉カム１８ｃを左右同時にそれぞれ矢印Ｂ１、Ｂ１方向に図示してないロータリアクチュエータ１８ｂを介して約３０度程度回動させるとともに、前記短冊状係合片１０ｄを基部の可撓性部材よりなる部位で外側へ向け湾曲状に押し広げ、係合片１０ｄを係止係合部１０ｃより離脱させる。
【００５４】
それと同時に図示してない昇降ユニット１６ｂを作動させ、蓋体１０ａを保持したまま上昇させ、蓋体１０ａを開放状態に置く。そして、蓋体保持上昇させた状態で原点位置に蓋体開閉手段１５を後退させる。
【００５５】
４）ついで、図の（Ｄ）においては、収納容器内にウェーハを詰込むなどの、所定の作業を終了させた後、容器を外部より搬入し、固定ステージにセットする。そして、蓋体開閉手段１５を前進させ、蓋体開閉ユニット１７を固定した収納容器本体１０ｂを挟むように所定位置まで前進させる。ついで、図示してない昇降ユニット１６ｂを介して蓋体保持ユニット１６ａを蓋体１０ａを保持したまま、収納容器本体１０ｂの真上にズレを起こすことなく下降押圧させ、蓋体１０ａと収納容器本体１０ｂとを略封止状態に置く。
【００５６】
５）ついで、図の（Ｅ）において、開閉カム１８ｃを前記図の（Ｃ）での回動したままの状態で図示してない挿入スライド１８ａを介して矢印Ｃ２方向に前進させ、係合片１０ｄを係止係合部１０ｃに嵌合させ係合状態に置く。この場合、開閉カムを下向きに回動させ係合片を押圧しても良い。
【００５７】
図７には、図４に示す蓋体開閉ユニット１７の別の実施例の構成を示してある。
【００５８】
この場合は、係合片１０ｄの係合離脱は前記蓋体開閉ユニット１７と同様に開閉カム１８ｃのロータリアクチュエータ１８ｂを介しての回動により行い、離脱した係合片１０ｄの係止係合部１０ｃへの係合は、別途用意した閉用治具２１の押圧により行なうようにしたものである。
【００５９】
即ち、図に見るようにロータリアクチュエータ１８ｂに回動される回動軸２２に２個の開閉カム１８ｃ、１８ｃを設け、その両側に押圧シリンダ２０で作動する閉用治具２１、２１を設ける構成としてある。
【００６０】
【発明の効果】
上記構成により下記記載の効果を奏する。
１）本発明に係わる薄板収納容器開閉装置は、どのような工程で使用されても大なる効果を示すが、特にクリーンブース内蔵にすることで、パーティクルの影響を受け易い工程で有効である。
【００６１】
例えば、ウエーハ加工の洗浄後、出荷段階での検査等では、収納容器を開閉する必要性が出てくるが、このときパーティクルの増加は好ましくなく、特定雰囲気中でのウエーハの詰め替え作業等を行なう場合も本発明の開閉装置によることが好ましい場合がある。
【００６２】
２）また、本装置の使用により人手を介することなく収納容器の開閉を行なうことができ、人手の介入によるパーティクルの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のクリーンブース内蔵の出荷用薄板収納容器開閉装置の概略の構成を示す模式図である。
【図２】  図１に示す待機位置にある収納容器、固定ステージ、蓋体開閉手段、搬送機構の配設位置関係を示す斜視図である。
【図３】  図２の固定ステージの概略の構成を示す図で（Ａ）は平面図で（Ｂ）は側面図である。
【図４】  図２の蓋体吸着ユニット、蓋体開閉ユニット、搬送機構の配設位置関係及び構成を示す詳細斜視図である。
【図５】  図４に示す蓋体開閉ユニットの開閉カムの作動状況を示す図である。
【図６】  図１に示す蓋体開閉手段による固定ステージにより固定された収納容器１０の蓋体開閉の状況を各過程に分割してその状況を示す図である。
【図７】  図４に示す蓋体開閉ユニット１７の別の実施例の構成を示してある。
【符号の説明】
１０    収納容器
１０ａ  蓋体
１０ｂ  収納容器本体
１０ｃ  係止係合部（係止爪）
１０ｄ  係合片
１０ｅ  係合部位
１０ｆ  基部
１１    固定ステージ
１２    固定ユニット
１２ａ  押え治具
１２ｂ  固定治具
１３    センサ
１５    蓋体開閉手段
１５ａ  操作架台
１６ａ  蓋体保持ユニット
１６ｂ  昇降ユニット
１７    蓋体開閉ユニット
１８ａ  挿入スライド
１８ｂ  ロータリアクチュエータ
１８ｃ  開閉カム
１９    搬送機構
２１    閉用治具
３１    クリーンブース
３１ａ  ファンフィルタユニット
３１ｂ  イオナイザー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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