(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる光配線のそれぞれの一端が略向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、前記光配線を配置し、前記光配線を介して光を照射することにより、前記光配線同士を接続するコア部を形成する光導波路の製造方法であって、
一の光配線側に、前記一の光配線の感光性組成物中に浸漬されていない他端から他の光配線の感光性組成物中に浸漬された一端へ向けて光を照射するための光照射手段を設けるとともに、前記他の光配線の他端に、前記光照射手段を用いて照射した光を反射するための光反射手段を設け、前記光照射手段を用いて前記一の光配線の前記他端から光を照射し、照射した光を前記光反射手段で反射させることにより、前記異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項２】
前記光反射手段は、ミラーである請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項３】
前記光反射手段は、光フィルタである請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項４】
前記光反射手段は、脱着自在に設けられている請求項１〜３のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光導波路の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光技術を利用した光通信や光情報処理、あるいは電子機器、光学機器等の分野が急速に進展しつつあり、各種光デバイスを接続するための光導波路の開発が大きな課題となっている。各種光デバイス間は光ファイバ等の光導波路部品を介して接続されるが、その接続には極めて高い位置精度が要求される。従来このような接続作業は手作業もしくは高精度な調芯設備により行われているため、接続コストが上昇する一因となるという問題があった。
【０００３】
そこで、このような問題を解決するために、自己形成光導波路の技術が開発されている。これは、感光性樹脂等を含む感光性組成物に、光ファイバ等の接続端部を浸漬し、この光ファイバ等を介して感光性組成物に光を照射することにより感光性組成物を徐々に硬化させて、接続端部の先端に光導波路のコア部を形成するものである。これにより、特に高価な調芯設備等を用いなくても、光配線と完全に結合した光導波路を形成することができ、これにより接続コスト上昇の一因となる問題を解決することができる。
【０００４】
図４（ａ）〜（ｄ）は、そのような自己形成光導波路の技術を用いて、異なる光ファイバ間を接続するコア部を形成する方法の一例を説明するための模式図である。
まず、光ファイバ１１２、１１２′を、それぞれの一端が向き合うように配置し、この光ファイバ１１２、１１２′の端部間を包囲するように感光性組成物１１１を塗布する等により、光ファイバ１１２、１１２′の端部をともに、感光性組成物１１１に浸漬する（図４（ａ）参照）。なお、図中、１１３、１１３′は、それぞれ光ファイバ１１２、１１２′のコアである。
【０００５】
次に、一方の光ファイバ１１２の向き合っていない端部側に、例えば高圧水銀ランプ等の光を照射するための手段（図示せず）を設け、感光性組成物１１１を硬化させるための光を、上記手段を用いて一方の光ファイバ１１２の一端から、向き合うように配置された光ファイバ１１２′の一端に向けて照射する（図４（ｂ）参照）。
【０００６】
このように、一方の光ファイバ１１２の一端から他方の光ファイバ１１２′の一端に向けて光を照射することにより、感光性組成物１１１が、光の経路に応じて、光ファイバ１１２側から序々に硬化し、光ファイバ１１２と光ファイバ１１２′とを接続する光導波路のコア部１１４が形成されることとなる（図４（ｃ）〜（ｄ）参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、自己形成光導波路の技術を用いて、異なる光ファイバ間を接続する光導波路を形成する場合、図４に示すように、一方の光ファイバの一端から他方の光ファイバの一端へ向けて光を照射して光導波路を形成する方法だけではなく、異なる光ファイバのそれぞれの一端から他方の光ファイバの一端へ向けて光を照射して光導波路を形成する方法を採ることができる。
【０００８】
図５は、自己形成光導波路の技術を用いて、異なる光ファイバ間を接続する光導波路を製造する方法の他の一例を説明するための模式図である。
まず、光学的に接続する２本の光ファイバ１２２、１２２′の一端を感光性組成物１２１に浸漬するとともに、その一端同士が略対向するように光ファイバを配置する。ここで、光ファイバ同士の光軸は完全には合致していない（図５（ａ）参照）。なお、図中、１２３、１２３′は、それぞれ光ファイバ１２２、１２２′のコアである。
【０００９】
次に、２本の光ファイバ１２２、１２２′の向き合っていない端部側に、それぞれ光を照射するための手段（図示せず）を設け、上記手段を用いて、それぞれ２本の光ファイバ１２２、１２２′の一端から、感光性組成物１２１を硬化させるための光を、相手側の光ファイバ１２２′、１２２の一端に向けて照射する（図５（ｂ）参照）。
【００１０】
この場合、光ファイバ１２２、１２２′の一端から出射される互いの出射光Ｘ、Ｙが重なり合う部分Ｚにおいて光の強度が高くなる。そこで、光の強度は、その重畳部分Ｚの光の強度のみが感光性組成物を重合させることができる強度となるように設定すれば、互いの出射光が重なり合う部分Ｚにコア部１２４が形成されることになる（図５（ｃ）参照）。
この方法では、一対の光ファイバ１２２、１２２′の光軸が完全に合致しておらず、ズレていたとしても、光ファイバ１２２、１２２′の端部同士を結ぶ光の経路に、光導波路のコア部１２４を形成し、高い確率で両者を光学的に結合させることが可能である。
【００１１】
また、この方法は、異なる光ファイバの向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成する方法であるため、図４に示す方法と比べると、異なる光ファイバの向き合った一端が著しく離れている場合であっても、より確実に異なる光ファイバ間を接続するコア部を形成することが可能である。
【００１２】
さらに、この方法は、異なる光ファイバの向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成する方法であるため、図４に示す方法に比べると、短時間で異なる光ファイバ間を接続するコア部を形成することができる。
自己形成光導波路を製造する場合、上述したように液体の感光性組成物の一部を硬化させることによりコア部を形成することとなるため、コア部は形成時に流動しやすかった。しかしながら、上述したように、異なる光ファイバ間を接続するコア部を短時間で製造することにより、該コア部が流動の影響を受けにくく、安定化した形状のコア部を形成することができる。
【００１３】
このように、異なる光ファイバのそれぞれの一端から他方の光ファイバの一端へ向けて光を照射してコア部を形成する方法（以下、双方向照射によりコア部を形成する方法ともいう）は、異なる光ファイバの光軸がズレている場合や、異なる光ファイバの一端が著しく離れている場合であっても、より確実に異なる光ファイバ間を接続する光導波路を形成することが可能であり、安定化した形状のコア部を形成することができるという点において、一方の光ファイバの一端から他方の光ファイバの一端へ向けて光を照射してコア部を形成する方法（以下、一方向照射によりコア部を形成する方法ともいう）より望ましい方法であるといえる。
【００１４】
しかしながら、双方向照射によりコア部を形成する方法は、異なる光ファイバのそれぞれの一端から他方の光ファイバの一端へ向けて光を照射することができる場合のみ用いることができる方法であり、この双方向照射によりコア部を形成する方法は、光ファイバや光デバイスの構成等によっては用いることができない場合があった。例えば、異なる光ファイバの向き合っていない端部のうち、一の光ファイバの端部側に光学部品が設けられているため、光を照射するための手段を設けることができない場合、具体的には、異なる光ファイバの向き合っていない端部のうち、一の光ファイバの端部側に受光素子が設けられている場合や、感光性組成物を硬化させることが可能な波長の光を照射することができない発光素子が設けられている場合等には、双方向照射によりコア部を形成する方法は用いることができなかったのである。
【００１５】
このような場合、安定化した形状の光導波路を確実に形成するためには、一方向照射によりコア部を形成する方法を用いて異なる光ファイバを接続する光導波路を形成することが可能な範囲まで、異なる光ファイバの向き合った端部を近づける必要があり、また、異なる光ファイバの光軸を完全に合致させる必要があった。そのため、高精度な位置合わせの作業を要求されることになり、光導波路の製造工程が煩雑になるという問題が発生した。また、光導波路の製造工程が煩雑になった場合、自己形成光導波路の技術を用いて光ファイバの接続コスト上昇の一因となる問題を解決することが困難であった。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、異なる光配線の向き合っていない端部のうち、一の光配線の端部側に光を照射するための手段を設けることができない場合であっても、異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成することができるようにすることにより、高精度な位置合わせの作業を行うことなく、異なる光配線間を接続する安定化した形状の光導波路を確実に形成することができる光導波路の製造方法を提供することにある。
【００１７】
すなわち、本発明の光導波路の製造方法は、異なる光配線のそれぞれの一端が略向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、上記光配線を配置し、上記光配線を介して光を照射することにより、上記光配線同士を接続するコア部を形成する光導波路の製造方法であって、
一の光配線側に、上記一の光配線の感光性組成物中に浸漬されていない他端から他の光配線の感光性組成物中に浸漬された一端へ向けて光を照射するための光照射手段を設けるとともに、上記他の光配線の他端に、上記光照射手段を用いて照射した光を反射するための光反射手段を設け、上記光照射手段を用いて上記一の光配線の上記他端から光を照射し、照射した光を上記光反射手段で反射させることにより、上記異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成することを特徴とする。
【００１８】
本発明の光導波路の製造方法において、上記光反射手段は、ミラーであるか、または、光フィルタであることが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の光導波路の製造方法は、異なる光配線のそれぞれの一端が略向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、上記光配線を配置し、上記光配線を介して光を照射することにより、上記光配線同士を接続するコア部を形成する光導波路の製造方法であって、
一の光配線側に、上記一の光配線の一端から他の光配線の一端へ向けて光を照射するための光照射手段を設けるとともに、上記他の光配線側に、上記光照射手段を用いて照射した光を反射するための光反射手段を設け、
上記光照射手段を用いて上記一の光配線の一端から光を照射し、照射した光を上記光反射手段で反射させることにより、上記異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端からコア部を形成することを特徴とする。
【００２０】
本発明の光導波路の製造方法では、光照射手段を用いて一の光配線の一端から光を照射し、照射した光を上記光反射手段で反射させることにより、上記異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端から他の光配線の一端へ向けて光を照射することができる。そのため、異なる光配線の向き合っていない端部のうち、一の光配線側に光照射手段を設けることが可能であれば、他の光配線側に光照射手段を設けることができない場合であっても、異なる光配線のそれぞれの一端から他方の光配線の一端へ向けて光を照射してコア部を形成することが可能になる。
従って、本発明の光導波路の製造方法によれば、光配線や光学部品の構成等に制約を殆ど受けることなく、異なる光配線のそれぞれの一端から他方の光配線の一端へ向けて光を照射してコア部を形成することが可能であり、高精度な位置合わせの作業を行うことなく、異なる光配線間を接続する安定化した形状の光導波路を確実に形成することができる。
【００２１】
本明細書において、「光配線」とは、光ファイバ等の光導波路部品で、紫外線、可視光線、赤外線等の光を通し、それにより情報を伝達するためのものであるが、その材質は特に限定されず、例えば、無機材料よりなるものであっても、高分子材料（プラスチック）よりなるものであってもよい。
上記光配線に用いられる材料は、紫外線、可視光線、赤外線等の光を通す材料であれば、上述したように特に限定されず、無機材料としては、例えば、石英ガラスを主成分とするもの、ソーダ石灰ガラス、ホウ硅ガラス等を主成分とする多成分ガラス等が挙げられ、高分子材料（プラスチック）としては、例えば、シリコーン樹脂、ＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル）等のアクリル樹脂等が挙げられる。さらに、高分子材料（プラスチック）として、場合によっては、下記する光導波路として用いられる材料も用いることができる。
また、本明細書において、上記光配線や、製造した光導波路により光通信を行う際に用いる光を、伝送光ともいうことにする。
【００２２】
本発明において、光反射手段は、上記光照射手段を用いて照射した光を反射することができる手段であれば、特に限定されるものではない。上記光反射手段としては、例えば、ミラー、光フィルタ等を挙げることができる。また、例えば、回折格子、プリズム、ハーフミラー、レンズ等を組み合わせて設けたり、それらとミラーや光フィルタとを組み合わせて設けたりして、光反射手段として機能させることも可能である。
これらのなかでは、ミラーか、または、光フィルタを用いることが望ましい。製造工程が煩雑になることがなく、また、上記光照射手段を用いて照射した光を高反射率で反射することができるため、異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端から、より確実にコア部を形成することができるからである。
【００２３】
以下、本発明の光導波路の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
なお、以下の説明では、本発明の光導波路の製造方法において、光反射手段としてミラーを用いる方法を、第一の光導波路の製造方法ともいうこととし、光反射手段としてフィルタを用いる方法を、第二の光導波路の製造方法ともいうこととして説明するが、本発明の光導波路の製造方法は、第一の光導波路の製造方法と、第二の光導波路の製造方法とに限定されるものではなく、上述した光反射手段のいずれを用いることとしてもよい。
【００２４】
まず、第一の光導波路の製造方法について説明する。
図１（ａ）〜（ｂ）は、第一の光導波路の製造方法の一例を説明するための概略図である。
（１）まず、図１（ａ）に示すように、光ファイバ１２、１２′を配置し、さらに、光照射手段１５とミラー１９とを配置する。
【００２５】
具体的には、光ファイバ１２、１２′のそれぞれの端部１２ａ、１２′ａが向き合うように、光ファイバ１２、１２′を配置する。
このとき、異なる光配線（光ファイバ１２、１２′）の向き合った端部（端部１２ａ、１２′ａ）間の距離については、特に限定されるものではないが、例えば、光照射手段１５を用いて照射する光の強度や、感光性組成物の組成等を考慮し、光反射手段であるミラー１９から充分な反射光が得られる範囲内で設定することが望ましい。なお、光照射手段、光反射手段および感光性組成物については、後で詳述することにする。
【００２６】
また、光ファイバ１２には、その端部のうち、光ファイバ１２′と向き合っていない端部１２ｂ側に、受光素子１８を備えた光学部品１７が設けられている。
さらに、端部１２ｂと、受光素子１８の受光面１８ａとの間には、光ファイバ１２の熱膨張に起因して受光素子１８が破損することがないように、数十μｍ〜数ｍｍ程度の空隙が設けられている。
【００２７】
そして、光ファイバ１２′の端部のうち、光ファイバ１２と向き合っていない端部１２′ｂ側に、光照射手段１５を設け、さらに、光ファイバ１２の端部１２ｂと受光素子１８の受光面１８ａとの間に設けられた空隙に、光反射手段であるミラー１９を設ける。
【００２８】
上記光照射手段は、上記一の光配線（光ファイバ１２′）の一端から他の光配線（光ファイバ１２）の一端へ向けて光を照射することができるとともに、感光性組成物を硬化させることが可能な光を照射する手段であれば、特に限定されるものではない。
上記感光性組成物を硬化させることが可能な光を照射する手段は、感光性組成物の組成等を考慮して適宜選択すればよく、例えば、紫外線領域にて感光性を有する組成物であれば、紫外線領域の波長の光を照射する手段を設けることとすればよい。
また、紫外線領域の波長の光を照射する手段としては、例えば、高圧水銀ランプ等を用いることができる。また、メタルハライドランプやキセノンランプ、レーザ等も使用することができる。なお、感光性組成物については、後で詳述することにする。
【００２９】
また、異なる光配線の向き合っていない端部のうち、一の光配線の端部側に発光素子が設けられている場合、上記発光素子を光照射手段として機能させることも可能である。このとき、上記発光素子は、上述した光照射手段と同様に、感光性組成物を硬化させることができる光を照射するものである必要がある。
上記発光素子としては、例えば、ＬＤ（半導体レーザ）、ＤＦＢ−ＬＤ（分布帰還型−半導体レーザ）、ＬＥＤ（発光ダイオード）等を挙げることができる。
【００３０】
また、上記光照射手段を用いて一の光配線に光を入射する方法としては、一の光配線の端部のうち、他の光配線の端部と向き合っていない端部に光を入射することが可能であれば、一の光配線の端部のうち、他の光配線の端部と向き合っていない端部に光を直接入射する方法に限定されるものではなく、例えば、ミラーやガイド等を介して間接的に光を入射する方法等を用いることも可能である。
【００３１】
また、光反射手段として設けるミラーとしては、特に限定されるものではなく、例えば、光を透過させない全反射ミラー（例えば、アルミミラー等）や、特定の範囲内の波長の光のみを反射させるミラー等を挙げることができる。また、レーザ光等の特定の波長の光に対して高い反射率を有するレーザミラーを用いることが可能である。上記ミラーの反射面形状としては、例えば、平面、凹面等を挙げることができ、また、ミラーの反射面形状が凹面である場合、その凹面は球面であってもよく、非球面であってもよい。
また、上記ミラーの反射率は２０％以上であることが望ましい。異なる光配線の向き合った端部の両方から効率よくコア部を形成することができるため、本発明の効果を充分に得ることができるからである。なお、上記ミラーの反射率は、上記光照射手段を用いて照射した光の波長に対する値である。
【００３２】
また、ミラーとして、上述した全反射ミラーを設ける場合、脱着自在に設けることが望ましい。光導波路の製造を終了した後、上記ミラーを取り外すことができるからである。
一方、ミラーとして、光照射手段を用いて照射した光を反射することができ、かつ、伝送光を透過させることができるミラーを設ける場合には、脱着自在に設けてもよく、固定して設けてもよい。上記ミラーを設けた状態であっても、伝送光が反射されることがないので、光導波路の製造を終了した後、上記ミラーを取り外す必要がないからである。
【００３３】
また、第一の光導波路の製造方法において、ミラーを設ける位置は、図１に示すように、受光素子１８の受光面１８ａと光ファイバ１２の端部１２ｂとの間に限定されるものではない。例えば、光配線の任意の位置に、コアを分断するスリットを形成し、該スリットに、ミラーを差し込むこととしてもよい。
【００３４】
さらに、光ファイバ１２、１２′の向き合った一端を包囲するように感光性組成物１１を塗布する等により、光ファイバ１２、１２′の端部１２ａ、１２′ａをともに、感光性組成物１１中に浸漬する。
【００３５】
上記感光性組成物としては、硬化後に、光導波路としての基本的な特性、すなわち、所望の波長帯域の光に対して透過性を有するものであれば特に限定されず、具体的には、例えば、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、重水素化ＰＭＭＡ、重水素フッ素化ＰＭＭＡ、フッ素化ＰＭＭＡ等のアクリル樹脂に、必要に応じて、単量体や光重合開始剤、増感剤等の各種添加剤、溶剤等を含むものが挙げられる。
【００３６】
また、上記感光性組成物として、エポキシ樹脂、フッ素化エポキシ樹脂、ポリオレフィン系樹脂、重水素化シリコーン樹脂等のシリコーン樹脂、ベンゾシクロブテン等に感光性を付与したものを樹脂成分として含み、さらに、必要に応じて、単量体や光重合開始剤、増感剤等の各種添加剤、溶剤等を含むものも挙げられる。なお、上記樹脂成分に感光性を付与する方法としては、例えば、その末端や側鎖にアリル基やアクリロイル基を付与する方法等が挙げられる。
また、アリル基やアクリロイル基を分子の末端または側鎖にもつポリエン化合物と、ポリチオール化合物と、光重合開始剤と、必要に応じて、各種添加剤や溶剤等を含むものも感光性組成物として用いることができる。
本発明の光導波路の製造方法に用いる感光性組成物は、上述したような有機組成物であることが望ましいが、上記感光性組成物は有機組成物に限定されるものではなく、例えば、石英にＧｅ、Ｐ等をドープしたもの等からなる無機組成物であってもよい。
【００３７】
なお、本明細書において、感光性組成物は、上述したような光の照射により化学反応を起こす高分子のみならず、光の照射により光重合反応が進行する単量体、例えば、（メタ）アクリル酸メチル等も含むものとし、さらには、２種類以上の樹脂成分および／または単量体が、光の照射により化学反応を起こし、樹脂複合体を形成するものも含むものとする。
【００３８】
また、本発明の製造方法で用いる感光性組成物は、光を照射することにより硬化反応が進行するものであればよく、例えば、エポキシ樹脂と、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩等の光を照射することによりルイス酸を発生する光開始剤とを含むものであってよい。また、ベンゾインアルキルエーテル、アセトフェノン誘導体類、ベンゾフェノンやその誘導体等の光を照射することによりラジカルを生成する光開始剤と、ラジカル重合機構により重合が進行する樹脂成分とを含むものや、塩素化アセトフェノンやその誘導体等の光を照射することにより強酸が遊離する光開始剤と、酸により重合が進行する樹脂成分とを含むものであってもよい。
【００３９】
上記感光性組成物中には、さらに、樹脂粒子、無機粒子、金属粒子等の粒子が含まれていてもよい。
このような粒子を含む感光性組成物を用いて光導波路を形成することにより、光配線と光導波路との間で熱膨張係数の整合をはかることができる。
【００４０】
上記樹脂粒子としては、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感光性樹脂、熱硬化性樹脂の一部が感光性化された樹脂、熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂との樹脂複合体、感光性樹脂と熱可塑性樹脂との複合体等からなるものが挙げられる。
【００４１】
具体的には、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリオレフィン樹脂、フッ素樹脂等の熱硬化性樹脂；これらの熱硬化性樹脂の熱硬化基（例えば、エポキシ樹脂におけるエポキシ基）にメタクリル酸やアクリル酸等を反応させ、アクリル基を付与した樹脂；フェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリスルフォン（ＰＳＦ）、ポリフェニレンスルホン（ＰＰＳ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＥＳ）、ポリフェニルエーテル（ＰＰＥ）、ポリエーテルイミド（ＰＩ）等の熱可塑性樹脂；アクリル樹脂等の感光性樹脂等からなるものが挙げられる。
また、上記熱硬化性樹脂と上記熱可塑性樹脂との樹脂複合体や、上記アクリル基を付与した樹脂や上記感光性樹脂と上記熱可塑性樹脂との樹脂複合体からなるものを用いることもできる。
また、上記樹脂粒子としては、ゴムからなる樹脂粒子を用いることもできる。
【００４２】
また、上記無機粒子としては、例えば、アルミナ、水酸化アルミニウム等のアルミニウム化合物、炭酸カルシウム、水酸化カルシウム等のカルシウム化合物、炭酸カリウム等のカリウム化合物、マグネシア、ドロマイト、塩基性炭酸マグネシウム等のマグネシウム化合物、シリカ、ゼオライト等のケイ素化合物等からなるものが挙げられる。
また、上記無機粒子として、リンやリン化合物からなるものを用いることもできる。
【００４３】
上記金属粒子としては、例えば、金、銀、銅、パラジウム、ニッケル、白金、鉄、亜鉛、鉛、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等からなるものが挙げられる。
これらの樹脂粒子、無機粒子および金属粒子は、単独で用いても良いし、２種以上併用してもよい。
【００４４】
また、上記粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、楕円球状、破砕状、多面体状等が挙げられる。これらのなかでは、球状、または、楕円球状が望ましい。球状や楕円球状の粒子には角がないため、光導波路にクラック等が発生しにくいからである。
【００４５】
また、上記粒子の粒径は、伝送光の波長より短いことが望ましい。粒径が伝送光の波長より長いと光信号の伝送を阻害することがあるからである。
なお、本明細書において、粒子の粒径とは、粒子の一番長い部分の長さをいう。
【００４６】
上記感光性組成物に粒子が含まれる場合、その配合量は、硬化後の配合量で１０〜８０重量％であることが望ましく、２０〜７０重量％であることがより望ましい。粒子の配合量が１０重量％未満であると、粒子を配合させる効果があまり得られないことがあり、一方、粒子の配合量が８０重量％を超えると、光信号の伝送が阻害されることがあるからである。
【００４７】
また、本発明の光導波路の製造方法では、照射した光の経路に応じて、光導波路側から序々にコア部が形成されていくため、上記感光性組成物は、硬化後に、その屈折率が硬化前よりも高くなるものであることが望ましい。硬化後に光屈折率が高くなることにより、光配線を介して照射した光が形成されたコア部に閉じ込められつつ、先端から集中的に照射されることとなり、光の経路に応じた光導波路をより確実に形成することができるからである。
【００４８】
本発明の光導波路の製造方法では、光配線の一端を感光性組成物に浸漬した状態でコア部の形成を行うため、この感光性組成物の硬化後の光屈折率は、上記光配線のコアの光屈折率の７５〜１２５％であることが望ましい。
上記範囲の光屈折率を有するコア部を形成することができる感光性組成物を用いる場合には、上記光配線の端面に特に平坦化処理が施されていない場合や、上記光配線の端面のＪＩＳ  Ｂ  ０６０１に基づく面粗度が０．１μｍ以上であっても、該光配線との接続性に優れたコア部を形成することができるからである。
上記感光性組成物の硬化後の光屈折率は、上記光配線のコアの光屈折率の８５〜１１５％であることがより望ましく、９５〜１０５％であることが特に望ましい。
【００４９】
上記光配線のコアの光屈折率は、その材料により異なるが、例えば、純粋石英ガラスの光屈折率は、ｎＤが約１．４６であるので、純粋石英ガラスを光配線に用いる場合には、感光性組成物の硬化後の光屈折率ｎＤが、約１．２４〜約１．８２であるものを用いることが望ましい。なお、上記光屈折率ｎＤは、Ｎａの輝線５８９ｎｍの光を通過させたときの屈折率を意味する。
また、光配線や光導波路に用いる樹脂等の光屈折率は、その波長に依存して変化するが、その比（光導波路のコア部の光屈折率／光配線のコアの光屈折率）は、例えば、紫外線領域〜近赤外線領域において殆ど変わらない。
【００５０】
また、硬化前のコア部の光屈折率、すなわち、上記感光性組成物自体の光屈折率もまた、上記光配線のコアの光屈折率の７５〜１２５％であることが望ましい。より望ましくは８５〜１１５％であり、特に望ましくは９５〜１０５％である。
【００５１】
このように本発明の製造方法では、硬化後に上記した範囲の光屈折率を有する感光性組成物を選択して使用することが望ましいが、上記した範囲外の光屈折率となる感光性組成物であっても、その光屈折率を調整して使用することができる。また、ここで、感光性組成物の光屈折率を調整する場合、硬化前後のコア部の光屈折率が上記範囲になるように調整することが望ましい。
【００５２】
一般に、高分子の光屈折率は、分子屈折と分子容との比（以下、（分子屈折）／（分子容）と示す）が大きければ大きくなるため、分子屈折および／または分子容を調整することにより、高分子の光屈折率を調整することができる。
【００５３】
具体的には、分子屈折（高分子の折り返し単位を構成する個々の基の原子屈折の総和）を調整する場合には、例えば、塩素、イオウ等の分極率の大きな基を導入すると原子屈折が上がるため、分子屈折を大きくすることができる。
また、二重結合基や芳香族環基を導入し、分子の対称性を下げた場合にも分極率が大きくなり、原子屈折が上がるため、分子屈折を大きくすることができる。
【００５４】
また、分子容（分子量／密度）を調整する場合には、例えば、密度を調整すればよく、この場合には、例えば、架橋点間分子量を小さくすることにより密度を大きくすることができる。
また、例えば、フッ素は分極率に比してその体積が大きいため、フッ素を含む基を導入することによっても密度を大きくすることができる。
【００５５】
なお、本明細書において、「光配線のコアの光屈折率」とは、光配線のコアがステップインデックス光ファイバ（ＳＩ型光ファイバ）のコアのように単一の光屈折率を有するものである場合には、その光屈折率をいい、グレードインデックス光ファイバのようにある範囲の光屈折率を有するものである場合には、そのピーク光屈折率をいう。
【００５６】
上記（１）の工程を行うことにより、異なる光配線のそれぞれの一端が略向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、上記光配線を配置することができ、さらに、一の光配線側に、上記一の光配線の一端から他の光配線の一端へ向けて光を照射するための光照射手段を設けるとともに、上記他の光配線側に、上記光照射手段を用いて照射した光を反射するための光反射手段を設けることができる。
【００５７】
（２）次に、光照射手段１５を用いて光ファイバ１２′の端部１２′ａから光を照射し、照射した光を、光反射手段であるミラー１９で反射させる（図１（ｂ）参照）。その結果、光ファイバ１２、１２′の向き合ったそれぞれの端部１２ａ、１２′ａからコア部を形成することができる。
【００５８】
具体的には、光照射手段１５を用いて照射した光（照射光）１５ａは、光ファイバ１２′を介して、光ファイバ１２′の端部１２′ａから、光ファイバ１２の端部１２ａへ向けて照射される。これにより、端部１２′ａからコア部が形成されていく。また、照射光１５ａは、光ファイバ１２を介して、光ファイバ１２の端部１２ｂからミラー１９へ照射され、ミラー１９によって反射する。ミラー１９によって反射した光（反射光）１５ｂは、光ファイバ１２を介して、光ファイバ１２の端部１２ａから照射される。これにより、端部１２ａからコア部が形成されていく。
【００５９】
図２（ａ）〜（ｄ）は、上述した第一の光導波路の製造方法により、異なる光ファイバ間を接続するコア部を形成する様子を説明するための模式図である。
まず、上述した（１）の工程を行うことにより、図２（ａ）に示すように、光ファイバ１２、１２′のそれぞれの端部１２ａ、１２′ａが向き合い、かつ、少なくとも向き合った端部１２ａ、１２′ａがともに未硬化の感光性組成物１１中に浸漬されるように、光ファイバ１２、１２′を配置する。なお、図中、１３、１３′は、それぞれ光ファイバ１２、１２′のコアである。
【００６０】
次に、上述した（２）の工程を行い、光照射手段１５（図示せず）を用いて、光ファイバ１２′の端部１２′ａから、光ファイバ１２の端部１２ａへ向けて光を照射し、光照射手段であるミラー１９で光が反射させることにより、図２（ｂ）に示すように、光ファイバ１２′の端部１２′ａから照射光１５ａを照射するとともに、光ファイバ１２の端部１２ａから反射光１５ｂを照射する。
【００６１】
このように、光ファイバ１２、１２′のそれぞれの端部１２ａ、１２′ａから光を照射することにより、感光性組成物１１が、光の経路に応じて、端部１２ａ、１２′ａから徐々に硬化し、光ファイバ１２と光ファイバ１２′とを接続する光導波路のコア部を形成することができる（図２（ｃ）〜（ｄ）参照）。
【００６２】
また、第一の光導波路の製造方法によれば、図５を参照しながら説明した双方向照射によりコア部を形成する方法と同様に、異なる光ファイバの向き合った端部のそれぞれから光を照射してコア部を形成するため、異なる光ファイバの光軸が完全に合致していない場合であっても、異なる光ファイバを接続するコア部を形成することができる。
【００６３】
次に、第二の光導波路の製造方法について説明する。
図３（ａ）〜（ｂ）は、第二の光導波路の製造方法の一例を説明するための概略図である。
（１）まず、図３（ａ）に示すように、光ファイバ２２、２２′を配置し、さらに、光照射手段２５と光フィルタ２９とを配置する。
【００６４】
具体的には、上述した第一の光導波路の製造方法と同様にして、光ファイバ２２、２２′のそれぞれの端部２２ａ、２２′ａが向き合うように、光ファイバ２２、２２′を配置し、光ファイバ２２側に、光反射手段である光フィルタ２９を設ける。光ファイバ２２には、その端部のうち、光ファイバ２２′と向き合っていない端部２２ｂ側に、受光素子２８を備えた光学部品２７が設けられている。
なお、第二の光導波路の製造方法では、予め、光ファイバ２２側に、光反射手段である光フィルタ２９を設けておいてもよい。
【００６５】
上記光フィルタとしては、光照射手段を用いて照射する光を反射することが可能であれば、特に限定されるものではなく、例えば、ＬＷＰＦ（長波長域通過形フィルタ）、ＢＰＦ（帯域通過形フィルタ）、ＳＷＰＦ（短波長域通過形フィルタ）等を用いることができる。また、これらは、組み合わせて用いることも可能である。
このとき、伝送光を透過させることができない光フィルタを用いる場合、上記光フィルタを脱着自在に設けることが望ましい。光導波路の製造を終了した後、上記光フィルタを取り外すことができるからである。
一方、伝送光を透過させることができる光フィルタを用いる場合には、上記光フィルタを脱着自在に設けてもよく、固定して設けてもよい。上記光フィルタを設けた状態であっても、伝送光が反射されることがないので、光導波路の製造を終了した後、上記光フィルタを取り外す必要がないからである。
そのような光フィルタとしては、例えば、誘電体多層膜フィルタ等を挙げることができる。
【００６６】
上記誘電体多層膜フィルタは、特に限定されるものではなく、例えば、石英ガラス等の基板の上にシリカやチタニア等の薄膜を複数層にわたって構成したフィルタ等、市販されている誘電体多層膜フィルタを用いることができる。このような誘電体多層膜フィルタは、例えば、光配線の任意の位置にコアを分断するスリットを形成し、該スリットに差し込むこと等により設けることができる。
【００６７】
また、上記誘電体多層膜フィルタは、必ずしも、個別部品とする必要はなく、例えば、光配線の端部にシリカやチタニア等の薄膜を複数層にわたって蒸着させることにより、直接、光配線の端部に形成することも可能である。
このとき、上記誘電体多層膜フィルタは、他の光配線と向き合った端部に形成してもよく、他の光配線と向き合っていない端部に形成してもよい。
【００６８】
なお、光フィルタとして、ファイバグレーティングフィルタを用いることも可能である。上記ファイバグレーティングフィルタは、例えば、Ｇｅ等をドープした石英系の光配線にコヒーレントな紫外線を照射し、該光配線の長手方向に周期的な屈折率変調を生じさせる方法等により形成することができる。
また、上述した光フィルタの反射率は２０％以上であることが望ましい。異なる光配線の向き合った端部の両方から効率よくコア部を形成することができるため、本発明の効果を充分に得ることができるからである。なお、上記光フィルタの反射率は、上記光照射手段を用いて照射した光の波長に対する値である。
【００６９】
また、上述した第一の光導波路の製造方法と同様にして、光ファイバ２２′の端部のうち、光ファイバ２２と向き合っていない端部２２′ｂ側に、光照射手段２５を設ける。なお、光照射手段については、第一の光導波路の製造方法と同様のものを用いることができる。
【００７０】
さらに、上述した第一の光導波路の製造方法と同様にして、光ファイバ２２、２２′の向き合った一端を包囲するように感光性組成物２１を塗布する等により、光ファイバ２２、２２′の端部２２ａ、２２′ａをともに、感光性組成物２１中に浸漬する。上記感光性組成物としては、上述した第一の光導波路の製造方法と同様のものを用いることができる。
【００７１】
上記（１）の工程を行うことにより、異なる光配線（光ファイバ２２、２２′）のそれぞれの一端が略向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに未硬化の感光性組成物中に浸漬されるように、上記光配線を配置することができ、さらに、一の光配線側に、上記一の光配線の一端から他の光配線の一端へ向けて光を照射するための光照射手段を設けるとともに、上記他の光配線側に、上記光照射手段を用いて照射した光を反射するための光反射手段を設けることができる。
【００７２】
（２）次に、光照射手段２５を用いて光ファイバ２２′の端部２２ａから光を照射し、照射した光を、光反射手段である光フィルタ２９で反射させる（図３（ｂ）参照）。その結果、光ファイバ２２、２２′の向き合ったそれぞれの端部２２ａ、２２′ａからコア部を形成することができる。
【００７３】
具体的には、光照射手段２５を用いて照射した光（照射光）２５ａは、光ファイバ２２′を介して、光ファイバ２２′の端部２２′ａから、光ファイバ２２の端部２２ａへ向けて照射される。これにより、端部２２′ａからコア部が形成されていく。また、照射光２５ａは、光ファイバ２２を介して、光ファイバ２２側に設けた光フィルタ２９へ照射され、光フィルタ２９によって反射する。光フィルタ２９によって反射した光（反射光）２５ｂは、光ファイバ２２の端部２２ａから照射される。これにより、端部２２ａからコア部が形成されていく。
【００７４】
第二の光導波路の製造方法により、異なる光ファイバ間を接続するコア部を形成する様子については、図２に示した第一の光導波路の製造方法と同様であり、既に説明済であるので、ここでの説明は省略する。
また、第二の光導波路の製造方法によれば、第一の光導波路の製造方法と同様に、異なる光ファイバの光軸が完全に合致していない場合であっても、異なる光ファイバを接続するコア部を形成することができる。
【００７５】
本発明の光導波路の製造方法では、上述した第一の光導波路の製造方法や、第二の光導波路の製造方法等により、異なる光配線を接続するコア部と、未硬化のクラッド部とからなる光導波路を製造することができる。
しかしながら、未硬化のクラッド部は、通常液体であり、この状態では、コア部が流動しやすく、光導波路として非常に不安定である。
【００７６】
従って、上記コア部を形成した後、上記未硬化のクラッド部に硬化処理を施すことにより、固体のクラッド部を形成することが望ましい。そこで、上記コア部を形成した後、未硬化のクラッド部に光を照射することにより、系全体を固体化することが可能である。しかしながら、上記感光性組成物等として１種類の感光性樹脂のみを含むものを使用する場合には、クラッド部の硬化により、コア部とクラッド部とがほぼ同一の光屈折率を有することとなり、コア部に光を閉じ込めることができなくなるため、光導波路として機能しなくなってしまう。
そのため、以下のような方法を用いて固体化したクラッド部を形成することにより、系全体が固体化した安定な光導波路とすることが望ましい。
【００７７】
上記クラッド部を形成する場合には、例えば、上記コア部を形成した後、その周囲の未硬化の感光性組成物を除去し、続いて、上記コア部を別の樹脂組成物（感光性組成物であってもよいし、感光性組成物でなくてもよい）に浸漬した後、この樹脂組成物に硬化処理を施すことにより安定なクラッド部を形成することができる。この方法は、コア部が流動しやすく、その形状が非常に不安定であるため、未硬化の感光性組成物を除去する際等に、コア部の取り扱いを極めて慎重に行わなければならない。
また、上述したように、未硬化の感光性組成物を除去する際等には、例えば、光配線同士を引っ張りながら、該光配線に接続されたコア部を未硬化の感光性組成物から持ち上げること等により、コア部を引っ張りながら、その周囲の未硬化の感光性組成物を除去することが望ましい。コア部の形状を安定化させた状態で、その周囲の未硬化の感光性組成物を除去することができるからである。その後、コア部を引っ張った状態を保持したまま、上記コア部を別の樹脂組成物に浸漬し、この樹脂組成物に硬化処理を施すことにより、安定化した形状のコア部と、安定なクラッド部とからなる光導波路を製造することができる。
また、上記した方法以外に、例えば、下記のような方法を用いることができる。
【００７８】
すなわち、コア部を形成するための感光性組成物（以下、コア形成用樹脂ともいう）中に、予め、別途、クラッド部を形成するための樹脂（以下、クラッド形成用樹脂ともいう）を混合しておく。
ここで、クラッド形成用樹脂としては、上記コア部を形成するための感光性組成物よりも強い強度の光を受けて初めて重合する感光性組成物であって、硬化前後の光屈折率がともにコア部の光屈折率よりも小さいものを選択しておく。上記クラッド形成用樹脂としては、上記した特性を有するものであれば、上述した感光性組成物を適宜選択して使用することができる。
【００７９】
そして、上述したように、光配線を介して光を照射する。その際、感光性組成物中の光の強度が、コア形成用樹脂の重合は可能であるが、クラッド形成用樹脂の重合は実質的に殆ど不可能な強度となるように光を照射する。
すると、感光性組成物のうち感光性がより高いコア形成用樹脂が選択的に重合を開始する。コア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂を含む感光性組成物のうち、コア形成用樹脂が重合を始めると、未硬化のクラッド形成用樹脂は、流動性を保っているため、硬化していくコア形成用樹脂から排除されていく。また、コア部の光屈折率は未硬化のクラッド形成用樹脂の光屈折率よりも大きいため、光配線を介して照射した光は形成されたコア部に閉じ込められつつ、先端に集中的に照射される。その結果、光配線の一端から照射された光によって、光の経路に応じてコア形成用樹脂が優先的に硬化し、その光の経路に応じたコア部が形成され、その周囲を未硬化の感光性組成物が包囲した状態となる。
【００８０】
この後、例えば、光源からの光を未硬化の感光性組成物全体に照射することができるようにし、光源の出力を上げてクラッド形成用樹脂を重合させることが可能な強度の光を照射する。すると、クラッド形成用樹脂および未硬化のコア形成用樹脂が硬化してコア部の周囲に安定なクラッド部を形成することができる。
【００８１】
このように、予め重合反応が進行する光の強度が異なる２種類の感光性組成物を混合しておき、コア部とクラッド部とを形成する場合、コア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂としては、例えば、互いに異なる重合反応機構を経て重合反応が進行する樹脂を選択することができる。
すなわち、アクリル系樹脂に代表されるようなラジカルによる逐次重合反応によって重合が進むラジカル重合系の感光性組成物と、エポキシ系樹脂に代表されるようなイオン対を介して重合が進むカチオン重合系の感光性組成物とを選択することができる。これらを選択した場合、ラジカル重合系の感光性組成物の方が、カチオン重合系の感光性組成物よりも重合反応が急速に進行するため、光の強度が弱い場合には、アクリル系樹脂だけが選択的に重合することになる。
【００８２】
また、より確実に一方の感光性組成物の重合が進行するように、上述の２種類の感光性組成物の重合の進み具合いにさらに差をつけてもよい。
これは、例えば、ラジカル重合系の感光性組成物の重合反応速度を速くすることにより行うことができる。具体的には、アクリル系樹脂を例にとると、アクリル系樹脂の単位質量あたりに含まれるアクリル基の数を多く（すなわち、アクリル当量を少なく）したり、単量体の濃度を高めることにより、重合に関与する反応基の濃度を高くして重合反応速度を速くすることができる。また、光重合開始剤の量子収率（光子量あたりのラジカル生成量）や濃度を高くして重合反応速度を速くすることもできる。
【００８３】
また、２種類の感光性組成物の重合の進み具合いに差をつけることは、カチオン重合系の感光性組成物の重合反応速度を遅くすることによっても行うことができる。具体的には、エポキシ系樹脂を例にとると、エポキシ系樹脂の単位質量あたりに含まれるエポキシ基の数を少なく（すなわち、エポキシ当量を多く）したり、単量体の濃度を低くすることにより、重合に関与する反応基の濃度を低くして重合反応速度を遅くすることができる。また、重合に関与するイオン対の非求核性を低くしたり、または、光重合開始剤の量子収率（光子量あたりのカチオン生成量）を低くして重合反応速度を遅くすることもできる。
【００８４】
また、同一の機構を経て重合反応が進行する感光性組成物同士を混合しても、どちらか一方の感光性組成物のみを選択的に重合させることができる。この場合、同一の機構で反応が進行するため、光重合開始剤や増感剤の異なる感光性組成物同士を混合しても選択的に重合させることは困難であるが、マトリクスであるオリゴマ分子に反応基の濃度差をつけることにより一方の感光性組成物のみを選択的に重合させることができる。例えば、ラジカル重合系のアクリル樹脂であれば、反応基であるアクリル当量に差をつければ、ある照射光にて反応基の多い（すなわち、アクリル当量の少ない）方が選択的に重合する。
【００８５】
このようなコア形成用樹脂およびクラッド形成用樹脂を用いて光導波路を形成する場合、１種類の光源で両者の重合反応を行うことができるため、設備コストや工程数を少なくすることができる。
なお、コア形成用樹脂とクラッド形成用樹脂とを選択する際に、両者の硬化波長が全く同一でない場合でも、増感剤等を添加することにより、１種類の光源で両者の重合反応を行うことができる。これは、照射する光の波長域に吸収を持たないか、または、少量しか持たない感光性組成物であっても、その波長域に吸収を持つ適当な増感剤を添加し、その増感剤が吸収したエネルギーを利用することにより、重合反応を進行させることができるからである。すなわち、増感剤を添加すると照射光の波長域内に大きな吸収を持たせ、結果として感度を増大させることができる。一般にこのような増感された吸収波長域はラジカル発生剤本来の持つ吸収波長域よりもより長波長側に拡大され、光源の発する光子を効率よく利用することができるので、感度が上昇する。
【００８６】
また、上記クラッド形成用樹脂として、上記した特性を有する感光性組成物に代えて、加熱処理を行うことにより始めて重合が進行する樹脂組成物を選択し、さらに、コア部を形成した後、強度の強い光を未硬化の感光性組成物全体に照射する方法に代えて、未硬化の樹脂を加熱硬化させる方法を用いて安定なクラッド部を形成し、光導波路としてもよい。
【００８７】
さらには、クラッド形成用樹脂として、上記コア形成用樹脂とは異なる波長の光を照射することにより初めて重合し、硬化後の光屈折率が硬化後のコア形成用樹脂の光屈折率よりも小さいものを選択しておき、コア部を形成した後、未硬化の感光性組成物全体にクラッド形成用樹脂が重合する波長の光を照射する方法を用いてクラッド部を形成し、コア部の周囲に安定なクラッド部を形成してもよい。なお、２種類以上の感光性組成物（例えば、コア形成用樹脂とクラッド形成用樹脂）を含むものを用いる場合、その混合比は特に限定されない。
このような製造方法を用いることにより、光配線との接続性に優れるとともに、系全体が固体化して安定性に優れる光導波路を形成することができる。
【００８８】
また、上述した方法によりクラッド部を形成する場合、コア部をその両端から引っ張りながら、または、コア部の両端を引っ張った状態を維持しながらクラッド部を形成することが望ましい。
上述したように、異なる光配線を接続するコア部と、未硬化のクラッド部とからなる光導波路を製造した場合、コア部が流動しやすく、その形状は非常に不安定である。しかしながら、コア部をその両端から引っ張ることにより、その形状を安定化させることができる。従って、コア部の形状を安定化させた状態で、クラッド部を形成することにより、より形状が安定化した光導波路を製造することができる。
【００８９】
ここでは、感光性組成物中に異なる光配線の一端を浸漬して光導波路を形成する方法について説明したが、このとき、一の光配線に代えて、発光素子等の光学部品を使用し、その発光面（発光部）を感光性組成物中に浸漬したり、該発光面に感光性組成物を塗り付けたりすることにより、光学部品の発光面に直接取り付けられたコア部を形成することができる。この場合、発光素子は、上述したように、感光性組成物を硬化させることができる光を照射するものである必要がある。
【００９０】
また、一の光配線に代えて、受光素子等の光学部品を使用し、その受光面（受光部）を感光性組成物中に浸漬したり、該受光面に感光性組成物を塗り付けたりすることにより、光学部品の受光面に直接取り付けられたコア部を形成することができる。
この場合、受光素子は、その受光面が光照射手段から照射した光を反射することができるものである必要がある。このとき、上記受光面は、光反射手段として機能していることになる。また、受光面に光フィルタを蒸着させることにより、光配線と受光素子を接続するコア部を形成することもできる。
【００９１】
さらに、異なる光配線に代えて、感光性組成物を硬化させることができる光を照射する発光素子と、その受光面が光反射手段として機能する受光素子とを使用することにより、一の光学部品の発光面と他の光学部品の受光面とを接続するコア部を形成することも可能である。
このように、コア部が直接取り付けられた光配線や光学部品では、光導波路（コア部）と光配線等との間で位置合わせが不要である。
【００９２】
【実施例】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
【００９３】
（実施例１）光導波路の製造（図２参照）
（１）ファイバカッタを用いて端面処理を施した、長さ約１ｍのＧＩ型石英製マルチモード光ファイバ（フジクラ社製、コア／クラッド＝５０／１２５μｍ）を２本用意した。
【００９４】
（２）光ファイバ１２′の片端より、２５０Ｗの高圧水銀ランプを光源とした光照射手段である紫外線照射装置（松下マシンアンドビジョン社製、５２５２Ｌ）（図示せず）より紫外線を入射し、出射側とする光ファイバ１２′の他端から照射される紫外線の強度を０．３ｍＷ／ｃｍ２程度になるように調整した。なお、紫外線の強度の測定は、紫外線照度計（ウシオ電機社製、ＵＩＴ−１５０）を用いて行った。
【００９５】
（３）次に、光ファイバ１２、１２′の端部１２ａ、１２′ａを５００μｍ程度の間隔をあけて光ファイバ用Ｖ溝基板１６（モリテックス社製、石英Ｖ溝）に付き合わせて配置させ、さらに、その付き合わせ部全体に、紫外線硬化型樹脂組成物１１（ロックタイト社製、Ｌｏｃｔｉｔｅ３５８）を隙間なく埋まるように塗布した。その後、Ｖ溝押さえ板にて付き合わせ部および感光性組成物１１を動かないように挟み込んだ。
【００９６】
（４）上記（３）の状態に光ファイバ１２、１２′を保持したまま、一方の光ファイバ１２′の入射端に波長８５０ｎｍのＬＥＤ光源（安藤電気製、ＡＱ２１４０およびＡＱ４２１５）を用いて、出力約−１０ｄＢｍ（約０．１ｍＷ）の光を入射し、他方の光ファイバ１２の入射端から出射される光出力をパワーメー夕（安藤電気社製、ＡＱ２１４０およびＡＱ２７３０）を用いて測定した。
（５）次に、光ファイバ１２の入射端側に、アルミミラー（図示せず）を配置した。このとき、光ファイバ１２の入射端側の端面と、上記アルミミラーの反射面とは平行であり、それらの距離は１０μｍ以下であった。
【００９７】
（６）さらに、上記（５）の状態に光ファイバ１２、１２′を保持したまま、上記（２）で照度を調整した紫外線を光ファイバ１２′の出射端より、感光性組成物１１中に１〜２秒間照射し、その後、上記アルミミラーを取り除いた。
【００９８】
上記（１）〜（４）の工程を行ったところ、感光性組成物１１の硬化が未だ行われておらず、上記（４）の工程終了時においては、８ｄＢ以上の光出力の損失が測定された。また、上記（６）の工程終了時においては、双方の光ファイバ１２、１２′の出射端よりコア部が形成され、それぞれのコア部が結合していることが顕微鏡（キーエンス社製、ＶＨ−７０００）で観察された。
【００９９】
（７）上記（６）の工程を行った後、上記（４）の工程と同様の方法を用いて、光ファイバ１２′の入射側から出射される光出力の測定を実施した。
その結果、３ｄＢ以下の光出力の損失が測定された。
【０１００】
上記（７）の工程終了時において測定された光出力の損失（３ｄＢ以下）が、上記（４）の工程終了時において測定された光出力の損失（８ｄＢ以上）より少なかったことは、双方の光ファイバ１２、１２′の出射端の間にコア部からなる光導波路が形成され、上記光導波路により、光ファイバ１２、１２′が接続されていることを示している。
【０１０１】
上記（６）の工程終了後、可視光を光ファイバ１２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察することによっても、光導波路形状に沿って漏光が観察され、形成した光導波路に出射した光が上記光導波路内に閉じ込められていることが確認された。
【０１０２】
また、実施例１とは別に、図１に示すように、受光素子１８を備えた光学部品１７を設けた光ファイバ１２と、光ファイバ１２′とを用いて、上述した実施例１と同様の方法により、コア部からなる光導波路を製造した。その後、この光導波路について、光ファイバ１２′から伝送光を入射したところ、受光素子１８により上記伝送光を受光することができた。
【０１０３】
（実施例２）光導波路の製造（図３参照）
（１）上述した実施例１の（１）〜（３）の工程と同様の方法を用いて、異なる光ファイバ２２、２２′のそれぞれの端部が向き合い、かつ、少なくとも向き合った一端がともに感光性組成物２１中に浸漬されるように、異なる光ファイバ２２、２２′を配置し、さらに、光ファイバ２２′の片端より紫外線照射装置を用いて紫外線を入射し、出射側とする光ファイバ２２′の他端から照射される紫外線の強度を０．３ｍＷ／ｃｍ２程度になるように調節した。
なお、図３では、光ファイバ２２の端部２２ｂには、受光素子２８を備えた光学部品２７が設けられているが、実施例２で使用した光ファイバ２２の端部２２ｂには、光学部品２７は設けられていない。
【０１０４】
（２）次に、一方の光ファイバ２２′の入射端に波長８５０ｎｍのＬＥＤ光源（安藤電気製、ＡＱ２１４０およびＡＱ４２１５）を用いて、出力約−１０ｄＢｍ（約０．１ｍＷ）の光を入射し、他方の光ファイバ２２の入射端から出射される光出力をパワーメー夕（安藤電気社製、ＡＱ２１４０およびＡＱ２７３０）を用いて測定した。
【０１０５】
（３）次に、光ファイバ２２側に、光フィルタ２９（誘電体多層膜フィルタ）を設けた。
なお、図３では、光ファイバ２２にコアを分断するスリットを形成し、該スリットに光フィルタを差し込んでいるが、実施例２では、光ファイバ２２の入射端側に光フィルタ２９を設けた。
（４）さらに、上記（３）の状態に光ファイバ２２、２２′を保持したまま、上記（１）で強度を調整した紫外線を光ファイバ２２′の出射端より、感光性組成物２１中に１〜２秒間照射し、その後、光フィルタ２９を取り除いた。
【０１０６】
上記（１）の工程を行ったところ、感光性組成物１１の硬化が未だ行われておらず、上記（２）の工程終了時においては、８ｄＢ以上の光出力の損失が測定された。また、上記（４）の工程終了時においては、双方の光ファイバ２２、２２′の出射端よりコア部が形成され、それぞれのコア部が結合していることが顕微鏡（キーエンス社製、ＶＨ−７０００）で観察された。
【０１０７】
（５）上記（４）の工程を行った後、上記（２）の工程と同様の方法を用いて、光ファイバ２２′の入射側から出射される光出力の測定を実施した。
その結果、３ｄＢ以下の光出力の損失が測定された。
【０１０８】
上記（５）の工程終了時において測定された光出力の損失（３ｄＢ以下）が、上記（４）の工程終了時において測定された光出力の損失（８ｄＢ以上）より少なかったことは、双方の光ファイバ２２、２２′の出射端の間にコア部からなる光導波路が形成され、上記光導波路により、光ファイバ２２、２２′が接続されていることを示している。
【０１０９】
また、上記（５）の工程終了後、可視光を光ファイバ２２の出射端より照射し、光導波路からの漏光を観察することによっても、光導波路形状に沿って漏光が観察され、形成した光導波路に出射した光が上記光導波路内に閉じ込められていることが確認された。
【０１１０】
また、実施例２とは別に、図３に示すように、受光素子２８を備えた光学部品２７を設けた光ファイバ２２と、光ファイバ２２′とを用いて、上述した実施例２と同様の方法により、コア部からなる光導波路を製造した。その後、この光導波路について、光ファイバ２２′から伝送光を入射したところ、受光素子２８により上記伝送光を受光することができた。
【０１１１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光導波路の製造方法では、光照射手段を用いて一の光配線の一端から光を照射し、照射した光を上記光反射手段で反射させることにより、上記異なる光配線の向き合ったそれぞれの一端から他の光配線の一端へ向けて光を照射することができる。そのため、異なる光配線の向き合っていない端部のうち、一の光配線側に光照射手段を設けることが可能であれば、他の光配線側に光照射手段を設けることができない場合であっても、異なる光配線のそれぞれの一端から他方の光配線の一端へ向けて光を照射してコア部を形成することが可能になる。
従って、本発明の光導波路の製造方法によれば、光配線や光学部品の構成等に制約を殆ど受けることなく、異なる光配線のそれぞれの一端から他方の光配線の一端へ向けて光を照射してコア部を形成することが可能であり、高精度な位置合わせの作業を行うことなく、異なる光配線間を接続する安定化した形状の光導波路を確実に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）〜（ｂ）は、本発明の光導波路の製造方法の一例を説明するための概略図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の光導波路の製造方法により、異なる光配線間を接続するコア部を形成する様子を説明するための模式図である。
【図３】（ａ）〜（ｂ）は、本発明の光導波路の製造方法の他の一例を説明するための概略図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、自己形成光導波路の技術を用いて、異なる光配線間を接続するコア部を形成する方法の一例を説明するための模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、自己形成光導波路の技術を用いて、異なる光配線間を接続するコア部を形成する方法の他の一例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１１、２１  感光性組成物
１２、２２  光ファイバ
１３、２３  コア
１４、２４  コア部
１５、２５  紫外線照射装置（光照射手段）
１７、２７  光学部品
１８、２８  受光素子
１９  ミラー（光反射手段）
２９  光フィルタ（光反射手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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