(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄体の一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄装置であって、
前記第１の方向における前記被洗浄体の移動を許容するとともに、前記洗浄布を介して前記端子部の表裏面を狭持する狭持手段と、
前記端子部の表面を洗浄した前記洗浄布を反転させて前記端子部の裏面に案内するための案内手段と、
前記狭持手段が前記被洗浄体を狭持した状態において、前記被洗浄体を前記第１の方向にスライド移動させる移動手段と、
前記移動手段のスライド移動と同期して、洗浄に用いる前の前記洗浄布を前記狭持手段に供給するとともに、前記狭持手段における前記洗浄布を前記第１の方向と交差する第２の方向に前記案内手段を介して搬送させる搬送手段と、を少なくとも備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄布に溶剤を塗布する塗布手段をさらに備え、
前記塗布手段による前記洗浄布への溶剤滴下位置は、前記洗浄布の搬送経路における前記端子部よりも上流側、かつ、前記挟持手段の近傍であることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記被洗浄体は、対向する第１基板および第２基板の間に液晶を挟持した液晶パネルであり、
前記端子部は、前記第２基板における前記第１基板から突出した一端であるとともに、少なくとも前記一端の前記第１基板側の面である表面には、前記第１の方向に配列された複数の端子が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記狭持手段は、前記端子部の表裏面を挟持するための一対のヘッドと、
前記ヘッド間のクリアランスを調整する間隙調整手段と、
前記ヘッドによる挟持圧力を調整する駆動手段と、を少なくとも備えることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
液晶パネルの一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄方法であって、
前記第１の方向における前記液晶パネルの移動を許容するように、前記洗浄布を介して前記端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、
前記液晶パネルを前記第１の方向にスライド移動させる洗浄工程と、
前記洗浄工程と同期して、洗浄に用いる前の前記洗浄布を供給するとともに、前記洗浄布を前記第１の方向と交差する第２の方向に搬送させる搬送工程と、を含むことを特徴とする洗浄方法。
【請求項６】
前記挟持工程の後に、前記洗浄布の搬送経路における前記端子部よりも上流側の近傍において前記洗浄布へ溶剤を滴下する溶剤塗布工程を、さらに含むことを特徴とする請求項５に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄装置、洗浄方法及び液晶表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶表示パネルやシステムＬＳＩ等の回路基板（被洗浄体）には、複数の入出力端子が形成され、これらの入出力端子を洗浄することが行われている。
【０００３】
特に、液晶表示パネル等の回路基板を製造する際や、実装を行なう場合には、これらの端子を洗浄することは回路基板の信頼性を向上させる上で重要な要素となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のこのような端子を洗浄するものとしては、台上に固定された被洗浄体の端子部を、作業者が手作業で行なっていたために、現場作業者の負担となっていた。
【０００５】
また、ブラシ等を備えた洗浄装置によりブラッシングを行なったりして洗浄する。このような洗浄装置を利用したものとしては、例えば被洗浄体を挟持して、挟持するヘッド側を動かすものが考えられるが、このような洗浄手法では、ヘッドを被洗浄体に対して少しずつずらして前後に（端子方向に）摺動させたりするので、複雑な動作が必要となる。このため、複数方向で各々移動させるための多軸構成が必須となり、洗浄装置自体の構成が複雑化し、製造コストも高くなるという問題点があった。
【０００６】
また、端子方向に移動させて洗浄するタイプのものでは、ヘッドが端子部の縁部側から奥方側に向けて移動するため、ゴミ等の異物が端子方向に移動し、各端子間の閉端側に寄られるため、異物が奥方に溜まり、特に液晶表示パネルでは、上下の各ガラス基板が形成される側の端子の縁部が容易に洗浄できず、拭き残し領域が増大するという問題点があった。
【０００７】
本発明は、上記した技術の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、被洗浄体を洗浄するに際して、装置構造を簡素化しながらも、異物を特定箇所に溜めることなく、被洗浄体の洗浄部分における拭き残し領域を低減することのできる洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の洗浄装置は、被洗浄体の一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄装置であって、第１の方向における被洗浄体の移動を許容するとともに、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持手段と、端子部の表面を洗浄した洗浄布を反転させて端子部の裏面に案内するための案内手段と、狭持手段が被洗浄体を狭持した状態において、被洗浄体を第１の方向にスライド移動させる移動手段と、移動手段のスライド移動と同期して、洗浄に用いる前の洗浄布を狭持手段に供給するとともに、狭持手段における洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に案内手段を介して搬送させる搬送手段と、を少なくとも備えることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、狭持手段が洗浄布を介して被洗浄体の端子部の表裏面を狭持した状態において、移動手段により被洗浄体を第１の方向にスライド移動させるという簡素な構成により、１本のみの洗浄布により端子部の表裏面を洗浄することができる。
特に、挟持手段が固定された状態で、被洗浄体がスライド移動することにより洗浄が行われる構成であるため、挟持手段が複雑な動作をする必要がなく、挟持手段の構成をシンプルにすることができる。
このため、移動手段は、例えば、第１の方向にスライド移動する一軸の移動が可能なシンプルな構成で良く、また、１本のみの洗浄布により被洗浄体の端子部の表裏面を洗浄できることから、洗浄装置全体の構成も、簡素にすることができる。
さらに、案内手段が端子部の表面を洗浄した洗浄布を反転させて端子部の裏面に案内するとともに、移動手段のスライド移動と同期して、搬送手段が洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に搬送させることによって、スライド移動による第１の方向における洗浄布と端子部との摩擦洗浄と、第１の方向と交差する第２の方向に搬送される洗浄布と端子部との摩擦洗浄との２つの摩擦洗浄が同期して行われるため、高い洗浄効果を得ることができる。
また、スライド移動による洗浄は、第１の方向になされるため当該方向と交差する方向に位置する端子部の根元部分に異物が留まる可能性は低く、また、端子部分は、表裏面ともに挟持手段により洗浄布を介して挟持された状態で、スライド移動により満遍なく洗浄されることから、拭き残しが発生する可能性は低い。
従って、簡素な構成により、異物を所定箇所に留めることなく、被洗浄体の洗浄部分における拭き残し領域を低減することができる洗浄装置を提供することができる。
また、狭持手段には、洗浄に用いる前の洗浄布が供給されることから、常に新たな洗浄布により端子部が洗浄されるため、安定した洗浄効果を得ることができる。
【００１０】
本発明の洗浄装置によれば、洗浄布に溶剤を塗布する塗布手段をさらに備え、塗布手段による洗浄布への溶剤滴下位置は、洗浄布の搬送経路における端子部よりも上流側、かつ、前記挟持手段の近傍であることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、端子部にできるだけ近い位置で溶剤を滴下することにより、洗浄布に浸透した溶剤が蒸発しないうちに被洗浄体の洗浄を行なうことができるので、被洗浄体を効率良く洗浄することができる。
【００１２】
本発明の洗浄装置によれば、被洗浄体は、対向する第１基板および第２基板の間に液晶を挟持した液晶パネルであり、端子部は、第２基板における第１基板から突出した一端であるとともに、少なくとも一端の第１基板側の面である表面には、第１の方向に配列された複数の端子が設けられていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、被洗浄体は、液晶パネルであることから、洗浄装置により、液晶パネルの端子部を効率良く洗浄することができる。
【００１４】
本発明の洗浄装置によれば、狭持手段は、端子部の表裏面を挟持するための一対のヘッドと、ヘッド間のクリアランスを調整する間隙調整手段と、ヘッドによる挟持圧力を調整する駆動手段と、を少なくとも備えることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、狭持手段におけるヘッドのクリアランス、および挟持圧力を、ガラスなどの脆い材料から構成される液晶パネルの端子部を洗浄するのに適した値に調整することができる。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明の洗浄方法は、液晶パネルの一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄方法であって、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程と、洗浄工程と同期して、洗浄に用いる前の洗浄布を供給するとともに、洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に搬送させる搬送工程と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
この洗浄方法によれば、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程とにより、１本のみの洗浄布により端子部の表裏面を洗浄することができる洗浄方法を提供することができる。
また、スライド移動による洗浄は、第１の方向になされるため当該方向と交差する方向に位置する端子部の根元部分に異物が留まる可能性は低く、また、端子部分は、表裏面ともに挟持手段により洗浄布を介して挟持された状態で、スライド移動により満遍なく洗浄されることから、拭き残しが発生する可能性は低い。
さらに、洗浄工程と同期して、洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に搬送させる搬送工程を含むことから、スライド移動による第１の方向における洗浄布と端子部との摩擦に、スライド移動と交差する第２の方向に搬送される洗浄布と端子部との摩擦が加味されることにより、より洗浄効率を上げることができる。
従って、簡素な構成により、異物を所定箇所に留めることなく、被洗浄体の洗浄部分における拭き残し領域を低減することができる洗浄方法を提供することができる。
また、第２の方向に搬送される洗浄布は、洗浄に用いる前の洗浄布であることから、常に新たな洗浄布により端子部が洗浄されるため、安定した洗浄効果を得ることができる。
【００１８】
本発明に係る洗浄方法によれば、挟持工程の後に、洗浄布の搬送経路における端子部よりも上流側の近傍において洗浄布へ溶剤を滴下する溶剤塗布工程を、さらに含むことが好ましい。
【００１９】
この洗浄方法によれば、挟持工程の後に、洗浄布の搬送経路における端子部よりも上流側の近傍において洗浄布へ溶剤を滴下する溶剤塗布工程を、さらに含むことから、洗浄布に浸透した溶剤が蒸発しないうちに端子部の洗浄を行なうことができるので、端子部を効率良く洗浄することができる。
【００２０】
（７）上記課題を解決するために、本発明の洗浄方法は、液晶パネルの一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄方法であって、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程と、を含むことを特徴とする。
【００２１】
この洗浄方法によれば、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程とにより、１本のみの洗浄布により端子部の表裏面を洗浄することができる洗浄方法を提供することができる。
また、スライド移動による洗浄は、第１の方向になされるため当該方向と交差する方向に位置する端子部の根元部分に異物が留まる可能性は低く、また、端子部分は、表裏面ともに挟持手段により洗浄布を介して挟持された状態で、スライド移動により満遍なく洗浄されることから、拭き残しが発生する可能性は低い。
従って、簡素な構成により、異物を所定箇所に留めることなく、被洗浄体の洗浄部分における拭き残し領域を低減することができる洗浄方法を提供することができる。
【００２２】
（８）上記課題を解決するために、本発明の洗浄方法は、液晶パネルの一端において第１の方向に沿って配列された端子部の表裏面を１本のみの帯状の洗浄布によって洗浄する洗浄方法であって、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程と、洗浄工程と同期して、洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に搬送させる搬送工程と、を含むことを特徴とする。
【００２３】
この洗浄方法によれば、第１の方向における液晶パネルの移動を許容するように、洗浄布を介して端子部の表裏面を狭持する狭持工程と、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させる洗浄工程とにより、１本のみの洗浄布により端子部の表裏面を洗浄することができる洗浄方法を提供することができる。
また、スライド移動による洗浄は、第１の方向になされるため当該方向と交差する方向に位置する端子部の根元部分に異物が留まる可能性は低く、また、端子部分は、表裏面ともに挟持手段により洗浄布を介して挟持された状態で、スライド移動により満遍なく洗浄されることから、拭き残しが発生する可能性は低い。
さらに、洗浄工程と同期して、洗浄布を第１の方向と交差する第２の方向に搬送させる搬送工程を含むことから、スライド移動による第１の方向における洗浄布と端子部との摩擦に、スライド移動と交差する第２の方向に搬送される洗浄布と端子部との摩擦が加味されることにより、より洗浄効率を上げることができる。
従って、簡素な構成により、異物を所定箇所に留めることなく、被洗浄体の洗浄部分における拭き残し領域を低減することができる洗浄方法を提供することができる。
【００２４】
（９）本発明に係る洗浄方法によれば、挟持工程の後に、洗浄布の搬送経路における端子部よりも上流側の近傍において洗浄布へ溶剤を滴下する溶剤塗布工程を、さらに含むことが好ましい。
【００２５】
この洗浄方法によれば、挟持工程の後に、洗浄布の搬送経路における端子部よりも上流側の近傍において洗浄布へ溶剤を滴下する溶剤塗布工程を、さらに含むことから、洗浄布に浸透した溶剤が蒸発しないうちに端子部の洗浄を行なうことができるので、端子部を効率良く洗浄することができる。
【００２６】
（９）本発明は、前記洗浄工程後に、狭持を解除する工程と、前記被洗浄体を前記第１の方向に移動させ、前記被洗浄体の前記端子部の洗浄位置を変更する工程と、前記塗布工程、前記狭持工程、前記洗浄工程を再度繰り返す工程と、を含む。
【００２７】
本発明によれば、被洗浄体の端子部には、絶えず新しい洗浄布が接触するようになるので、一度端子部と接触した洗浄布が再度、端子部に接触することを防止して、洗浄を精度良く行なうことができる。
【００２８】
（１０）本発明は、前記各工程に続いて、複数の前記被洗浄体を搭載した設置ユニットを移動させ、他の前記被洗浄体の端子部を洗浄する工程を含む。
【００２９】
本発明によれば、複数の被洗浄体を連続的に洗浄できるので、洗浄工程における洗浄時間の大幅な短縮化を図ることができる。
【００３０】
（１１） 本発明の一態様に係わる液晶表示装置の製造方法は、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させることで前記液晶パネルの少なくとも前記第１の方向に沿って一端に配列された端子部を洗浄する液晶表示装置の製造方法であって、洗浄布に溶剤を塗布する塗布工程と、前記液晶パネル及び前記洗浄布の移動を許容し、かつ、前記洗浄布を介して前記液晶パネルの前記端子部が形成される一端を狭持手段により狭持する狭持工程と、前記液晶パネルの前記端子部の少なくとも一面に前記洗浄布を接触させながら、前記第１の方向に沿って前記液晶パネルを移動させる洗浄工程と、を含むことを特徴とする。
【００３１】
本発明によれば、液晶パネルの端子部を洗浄する際には、当該端子部に洗浄布を接触させた上で、この洗浄布を介して狭持手段により前記液晶パネルを狭持する。そして、液晶パネルを第１の方向にスライド移動させることにより、洗浄することができる。このように、洗浄布は、液晶パネルの第１の方向への移動に伴い摩擦することとなり、端子部の奥方側に異物が溜まることもない。
【００３２】
（１２） 本発明の一態様に係わる液晶表示装置の製造方法は、前記洗浄工程は、前記液晶パネルの前記端子部の少なくとも一面に前記洗浄布を接触させながら、前記第１の方向と交差する第２の方向にて前記端子部の奥方から縁部に向けて前記洗浄布を搬送させる工程を含むことを特徴とする。
【００３３】
本発明によれば、スライド移動する方向と洗浄布が移動する方向とは互いに交差しているので、端子部を２つの方向から洗浄することができ、洗浄効率の向上が図れる。また、洗浄布は、端子部の奥方側から縁部に向けて移動するので、奥方側に異物が溜まる可能性をさらに低減できる。
【００３４】
（１３） 本発明による液晶表示装置の製造方法は、前記洗浄工程後に、狭持を解除する工程と、前記液晶パネルを前記第１の方向に移動させ、前記液晶パネルの前記端子部の洗浄位置を変更する工程と、前記塗布工程、前記狭持工程、前記洗浄工程を再度繰り返す工程と、を含むことを特徴とする。
【００３５】
本発明によれば、液晶パネルの端子部には、絶えず新しい洗浄布が接触するようになるので、一度端子部と接触した洗浄布が再度、端子部に接触することを防止して、洗浄を精度良く行なうことができる。
【００３６】
（１４） 本発明による液晶表示装置の製造方法は、前記各工程に続いて、複数の前記液晶パネルを搭載した設置ユニットを移動させ、他の前記液晶パネルの端子部を洗浄する工程を含む。
【００３７】
本発明によれば、複数の液晶パネルを連続的に洗浄できるので、洗浄工程における洗浄時間の大幅な短縮化を図ることができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００３９】
（              全          体          構          成              ）
図１〜図３は、本発明の洗浄装置を含む洗浄システムの全体の概略を示す図である。本例の洗浄システム１は、図１に示すように、複数例えば２台の洗浄装置２と、この洗浄装置２の周囲を覆うように形成された洗浄フード３と、この洗浄フード３を支持する四脚状の支持体４と、から構成される。
【００４０】
この洗浄フード３の下部には、フード固定部３ａが形成され、このフード固定部３ａを介して、各々の洗浄装置２（２−１・２−２）と支持体４とを固定ボルト５にて各々固定するようにしている。
【００４１】
また、洗浄フード３の最上部には排気口６が形成され、図示しないダクトホースを接続することで洗浄フード３内のダストを吸収して、洗浄フード３内をクリーンな状態に保つようにしている。このようにして、被洗浄体９０（後述）に塵埃が付着するのを防止している。
【００４２】
さらに、支持体４の側方領域には立ち作業が可能な図示しない作業机が配置され、作業者が操作し易いように配慮されている。この支持体４と上記作業机（図示せず）には各々、高さ方向での高さを調整するためのレベル調整機構４ａが設けられ、例えば図２に示すように、高さｈの間で高さを自由に設定できるようになっている。
【００４３】
そして、図１に示す操作入力手段５０の操作入力により、被洗浄体９０を載置するパネルセットテーブル４０が横移動し、その際に溶剤を塗布された洗浄布８０が被洗浄体９０の端子面を狭持し、洗浄を行なうこととなる。
【００４４】
なお、図２に示すように、洗浄装置２の作業者が操作する側の側部には、被洗浄体９０等の部材を置くためのステージ８が設けられている。また、洗浄フード３の両側面には、後述する洗浄布８０及び巻出軸２７のトルク調整作業を容易にするため、開閉式の扉を設ける。
【００４５】
（洗浄装置）
次に、洗浄装置２の詳細な構成について、図１、図２、図４〜図６を用いて説明する。
【００４６】
洗浄装置２は、図６（Ｂ）に示す方形状の被洗浄体９０をスライド移動させることで被洗浄体９０の少なくとも一端に沿って配列された端子部９６を洗浄するものであり、主たる構成として図４に示すように、狭持手段としての洗浄ヘッド部１０、搬送手段としての洗浄布巻出・巻取部２０、塗布手段としての溶剤塗布部３０、移動手段４０の４つのユニットと、洗浄布８０・被洗浄体９０と、これらの各部の制御動作を設定入力するための操作入力手段５０（図１）と、を含んで構成される。この被洗浄体９０としては、例えば液晶表示パネル等が挙げられる。
【００４７】
洗浄ヘッド部１０は、図６（Ａ）に示すように、洗浄布８０の移動を許容し、かつ、洗浄布８０を介して被洗浄体９０の一端を狭持する機能を有する。洗浄布巻出・巻取部２０は、洗浄布８０を進退移動させるよう駆動する機能を有する。溶剤塗布部３０は、図４に示すように、洗浄布８０に溶剤を塗布する機能を有する。移動手段４０は、図１に示すように、矢印Ｘ方向に複数例えば４枚並列配置された被洗浄体９０をスライド移動させる機能を有する。
【００４８】
操作入力手段５０は、図１に示すように、表示画面上に表示されたメニュー画面（初期画面等）にて各部の操作を行なうための表示手段としてのタッチパネル５２と、電源をオン・オフさせるブレーカー５４と、図２に示すように、制御盤後部のエアパネル内にて、各部駆動用のシリンダの空気圧を調整制御するための圧力調整手段としてのレギュレータ５６と、を含んで構成される。なお、これらの制御系については、後述する。
【００４９】
洗浄布８０は、例えばベンコット（旭化成（株）製不織布）等で形成することが好ましく、図６（Ａ）に示すように、被洗浄体９０のスライド移動の方向（例えば図６（Ｂ）のＸ方向）と交差する矢印Ｙ方向にて進退移動（端子部９２の奥方側から縁部側に向けて）できるように形成される。このため、洗浄布８０は、Ｚ方向の搬送、即ち図示のように洗浄ヘッド部１２ａ・１２ｂによって狭持される範囲内をも搬送経路としている。
【００５０】
ここで、洗浄時には、洗浄布８０の搬送を停止させておき、被洗浄体９０の移動のみによって、被洗浄体９０の端子部９６を摩擦接触させて拭き取るように洗浄できる。これにより、端子部９６の奥方側に異物が溜まることもない。
【００５１】
なお、洗浄時に、被洗浄体９０の移動のみならず、洗浄布８０をも同時に矢印Ｙ方向にて進退移動（端子部９２の奥方側から縁部側に向けて）させるように洗浄しても良い。この場合には、スライド移動する方向と洗浄布８０が移動する方向とは互いに交差しているので、端子部９６を２つの方向から洗浄することができ、洗浄効率の向上が図れる。また、洗浄布８０は、端子部９６の奥方側から縁部に向けて移動するので、奥方側に異物が溜まる可能性をさらに低減できる。
【００５２】
被洗浄体９０は、例えば液晶表示パネルにて形成され、図６に示すように、一対の基板９２ａ，９２ｂの間に液晶９４を封入して形成された液晶セル及び偏光層を含んで形成される。この基板９２ａの一端が他方の基板９２ｂより突設された突出端に、液晶セル内の対向電極より延設された電極が露出形成されている。この電極が液晶セルを駆動するための端子部９６として機能する。なお、端子部９６が洗浄布８０の上流側になるように被洗浄体９０をセットする事が好ましく、この状態を表面と言う。
【００５３】
このような構成により、図６（Ａ）に示すように、洗浄布８０を洗浄布巻出・巻取部２０によりＺ方向に搬送させると共に、溶剤塗布部３０により洗浄位置より手前の搬送経路途中にて溶剤を滴下する。これにより、以降の経路では、溶剤が洗浄布８０の搬送と共に洗浄布８０に塗布され、洗浄布８０に溶剤が染み込んだ状態で、洗浄ヘッド部１２ａ・１２ｂ間の奥方へと移動する。これによって、搬送経路を矢印Ｙ方向に案内手段１８により案内して湿式洗浄を行なう。そして、洗浄ヘッド部１２ａ・１２ｂが被洗浄体９０の端子部９６を、洗浄布８０が移動を許容するように狭持すると、被洗浄体９０を移動して洗浄を行なうこととなる。
【００５４】
また、溶剤塗布部３０による洗浄布８０の溶剤滴下位置は、洗浄布８０の搬送経路途中に形成される。また、洗浄布８０の搬送経路途中の洗浄接触位置は、被洗浄体９０の一端部の表裏面に亘って形成される。
【００５５】
尚、パネルセット時に、端子部分の外観検査が行なえるように、可動可能な照明を設けることが好ましい。
【００５６】
（狭持手段）
次に、狭持手段である洗浄ヘッド部について、図５を用いて説明する。洗浄ヘッド部１０は、被洗浄体９０を挟持する上下に形成された２つのヘッド１２ａ・１２ｂと、この一対のヘッド１２ａ・１２ｂを駆動する駆動手段としてのエアによるミニハンド１９と、ヘッドクリアランス（図５のＬ）を調整するための間隙調整手段としてのマイクロメータ１４、ロックネジ１６と、を含んで構成される。
【００５７】
ここで、ミニハンド１９は、レギュレータ５６（図２）によるエアー圧力の調整により、狭持圧力を設定できるよう構成される。また、上記マイクロメータ１４のロックネジ１６は、稼動中にネジが緩まないよう形成される。尚、洗浄ヘッド部１０には、スポット的な開閉式カバーを設け、稼動中に手が入らないようにすることが好ましい。
【００５８】
ヘッド１２ａ・１２ｂの形状は、端子を洗浄するときに洗浄布８０を保持できるよう形成される。このヘッド１２ａ・１２ｂのヘッド幅（図６に示すＸ方向の長さ）は、ヘッド１２ｂをヘッド１２ａよりやや大きく形成し、しかもヘッド１２ｂの先端には面取りを形成している。
【００５９】
ヘッド１２ａで、洗浄布８０と接触する面には、流れ方向（図６（Ａ）のＺ方向）に溝部を設け、この溝部に沿って洗浄布８０がスライド搬送されるので、洗浄布８０がヘッド１２ａ、１２ｂより脱落等するのを防止している。また、ヘッド１２ｂは、ヘッド１２ａより手前に突き出すよう形成される。
【００６０】
さらに、洗浄布８０の搬送経路途中の、被洗浄体９０の表面の接触位置と、被洗浄体９０の裏面の接触位置との間に、当該洗浄布８０の移動方向を案内する案内手段１８が設けられている。即ち、上下のヘッド１２ａ・１２ｂ間に、案内手段としての洗浄布８０の折り返しバー１８を設け、ハイマルチシリンダー１３により駆動させる。この折り返しバー１８は、洗浄布８０のスライド移動による案内を容易にするために、剛性のあるフレームを有する片持ち式折り返しバー等の機構が好ましい。
【００６１】
（搬送手段）
次に、搬送手段である洗浄布巻出・巻取部の構成について図４、図７〜図１２を用いて説明する。
【００６２】
洗浄布巻出・巻取部２０は、図４に示すように、大別して洗浄した後の洗浄布８０を巻取る巻取手段２１０と、洗浄前の洗浄布８０を予め巻付ておき、洗浄時に洗浄布を巻出す巻出手段２６０とを有する。
【００６３】
巻取手段２１０は、図４に示すように、挟持位置Ａにて洗浄された洗浄布８０の移動方向を案内するローラー２１２、２３０、２４０と、最終的に洗浄布８０を巻取る巻取部２５０と、を含んで構成される。
【００６４】
このように、洗浄布８０の移動経路途中に各々のローラーを設けて、蛇行を防止する蛇行防止手段を形成している。
【００６５】
ここで、ローラー２１２は、プーリー２１６に接続された第１駆動機構２１７にて回転速度を調整することで、ローラー２１２による洗浄布８０の移動（巻取）速度を調整できるよう構成される。
【００６６】
また、巻取部２５０は、プーリー２５３に接続された第２駆動機構２５５にて回転速度を調整することで、巻取部２５０の巻取速度を調整するよう構成される。
【００６７】
さらに、ローラー２４０は、上下方向（図４のＵ方向）に移動することで、洗浄布８０の張力を調整する張力調整手段として機能し、撓みを防止して巻取部２５０での巻取りを良好に行うことができるよう構成される。
【００６８】
このような、第１駆動機構、第２駆動機構、蛇行防止手段、張力調整手段により巻取り側での巻取速度や撓みのバランスを調整できるよう構成されている。
【００６９】
図７（Ａ）（Ｂ）には、上記のローラー２１２を駆動する第１駆動機構の詳細が示されている。同図に示すように、第１駆動機構２１７の回転駆動により、プーリ２１６を回転させ、この回転運動をベルト２１５を介してプーリ２１４に伝達することで、軸２１３を介したローラー２１２を回転させることができる。
【００７０】
また、このローラー２１２に噛合するローラー２１８により洗浄布８０を所望の移動方向に案内すると共に、洗浄布８０の脱落を防止している。
【００７１】
さらに、図７（Ｂ）に示すように、ローラー２１２の近傍には、パイプスペーサ２２２を介して側壁に接続された検知手段としてのフォトセンサー２２０が設けられ、回転速度、トルク等の制御を自動的に行うことができるよう構成される。
【００７２】
一方、図８は、第２駆動機構２５５の詳細が示されている。この第２駆動機構２５５は、その回転駆動によりプーリ２５３を回転させ、ベルト２５４を介してプーリ２５２に回転運動を伝達させることで、巻取部２５０を回転させることができる。
【００７３】
また、ローラー２３０には、リング２３１により回転自在に軸に固定される。さらに、ローラー２４０は、ヒンジピン２４２にベアリング２４１を介して回転自在に固定される。このヒンジピン２４２が軸２４５に沿って（Ｕ方向）移動することで、洗浄布８０の張力を調整することとなる。
【００７４】
図１１には、巻取部２５０のさらに詳細な図が示されている。この巻取部２５０は、巻取リール２５１により洗浄布８０を巻取るよう形成される。
【００７５】
巻出手段２６０は、図４に示すように、大別して洗浄位置Ａにて洗浄される前の洗浄布８０の移動方向を案内するローラー２６６、２６４、２６２による蛇行防止手段２６１と、巻出部２７０とを含んで構成される。
【００７６】
蛇行防止手段２６１は、図７（Ａ）に示すように、側壁に固定された軸にリング２６３を介して回転自在に接続されたローラー２６２と、同様にして構成されたローラー２６４、２６５とで構成される。
【００７７】
巻出部２７０は、図１２に示す分解図に示すように、第１フランジ２７３、第２フランジ２７４、及びロックナット２７５に、巻出軸２７７を挿通させてロックピン２７６を挿通後に屈曲することで、第１フランジ、第２フランジ２７３、２７４を巻出軸２７７に回転自在に固定するよう形成される。
【００７８】
そして、第１フランジ２７３と第２フランジ２７４との間に洗浄布８０を巻き付けるよう構成される。この第１、第２フランジ２７３、２７４により洗浄布８０がリールから離れないように形成できる。また、巻出手段２６０における洗浄布８０の送り量は、１０〜５０ｍｍの範囲を、５ｍｍ単位で設定可能とすることが好ましい。
【００７９】
巻出手段２６０のローラー２６４は、その軸の位置を変更可能に形成することができ（図４矢印Ｖ）、巻出側の張力調整ができるようになっている。
【００８０】
（塗布手段）
次に、塗布手段である溶剤塗布部について、図４及び図１０を用いて説明する。溶剤塗布部３０は、例えばディスペンサー等にて形成され、溶剤を吐出させる吐出圧力調整機能と、真空調整機能と、吐出時間を調整する吐出時間調整機能と、を有する。
【００８１】
溶剤塗布部３０は、図４に示すように、溶剤例えばアセトン等を充填するための充填手段であるバレル３２と、このバレル３２を昇降、回動自在に支持する支持手段としてのアーム３４と、このアーム３４を回動自在に固定して、アーム３４の回転角度を調整する角度調整機構としてのリブ３６と、バレル３２の先端に設けられた注射針３８と、を含んで構成される。
【００８２】
また、溶剤の吐出量は、吐出圧力及び吐出時間で調整し、１ショット当たりの吐出量は、例えば０．０１〜０．５ｍｌの範囲で設定可能とし、吐出時間は、例えば０．０１〜９．９９ｓｅｃで設定可能に形成することが好ましい。
【００８３】
なお、バレル３２とディスペンサーの間のエアホースは、フィルター付を用いることが好ましい。また、キャップ部３７は、例えばシリコン材のＯリングにて形成することが好ましい。
【００８４】
さらに、バレル３２の保持は、溶剤補充時のニードル位置の再現性を持たせ、ニードル曲がり防止のためのガードを設けることが好ましい。
【００８５】
バレル３２に溶剤例えばアセトン等を充填するときは、図４に示す二点鎖線の位置に矢印Ｃ方向に、バレル３２を起こす。この時、起し方は、ノブ３６を一度緩めてバレル３２を持ち上げアーム３４がノブ３６の部分から外れると、ノブ３６をねじ込み、アーム３４がノブ３６のボス部分で止まる様にする。そうして、起こした状態でバレル３４のキャップ部３７を外し、溶剤を注入する（図４矢印Ｄ）。
【００８６】
（移動手段）
次に、移動手段について、図１、図１３〜図１８を用いて説明する。移動手段４００は、図１に示すように大別して、被洗浄体９０を載置する複数の設置ユニット４１を具備した治具テーブル４２と、この治具テーブル４２を図１のＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段４００と、を有する。
【００８７】
治具テーブル４２は、図１６〜図１８に示すように、複数例えば４個の被洗浄体９０をセット可能に構成され、図１７（Ａ）に示すように、被洗浄体９０の両端をニップする設置ユニット４１を有する。この設置ユニット４１は、スペーサブロック４７及びクランパー４６により載置固定できるよう構成されている。
【００８８】
スペーサブロック４７は所定の位置に固定される。ここで、クランパー４６は、Ｘ軸方向に移動自在に形成されて、固定ボルト４３により位置を固定できる。
【００８９】
このようにして、被洗浄体９０両端でＸ軸方向の位置決めができるようになっている。
【００９０】
スペーサブロック４７に設けられたガイドホールに対し、機種専用の位置決めピン４４を挿入することにより、被洗浄体９０のＹ軸方向の位置決めが行なえる。れて、位置決めが行なえる。
【００９１】
もう少し詳しい説明を加えると、先に左側のスペーサブロック４７を固定し、次に右側のクランパー４６を可動させ、被洗浄体９０の幅の設定を行う。なお、被洗浄体９０がセット・リセットしやすいように、クランパー４６に座ぐり４９（図１７（Ａ））を設ける。また、被洗浄体９０をニップする為に、スペーサブロック４７とクランパー４６の両方に各々溝部４６ａ、４７ａを設ける。上記治具テーブル４２は、被洗浄体９０の端子部９６の端子面が観察できる高さに設定することが好ましい。
【００９２】
治具テーブル４２の移動速度は、例えば５段階に変速可能に形成され、速度調整用のボリュームは、電装ＢＯＸ内に設けられる。
【００９３】
なお、この第２の移動手段４０には、洗浄ヘッド部１０と端子部９６の奥行き方向の微調整を行う図示しない微調整機構と、治具テーブル４２のθ方向の微調整を行う図示しない微調整機構を設けることが好ましい。
【００９４】
Ｘ軸方向移動手段４００は、図１３〜図１５に示すように、治具テーブル４２を平行ピン４１２にて固定するためのテーブル４２３と、治具テーブル４２を構成しているクランパー４６を同時にニップ又はニップ解除する為のシャフト４５を駆動するシリンダ４１０と、テーブル４１３をＸ方向へ移動させるためのＸ軸方向駆動機構４２０と、を有する。
【００９５】
このＸ軸方向駆動機構４２０は、図１３に示すように、駆動源に接続されるタイミングプーリ４２６と、このタイミングプーリ４２６にベルト４２４を介して連結されたタイミングプーリ４２２と、タイミングプーリ４２２と同軸に形成されたボールネジ４２７と、を有する。
【００９６】
さらに、図１５に示すように、リニアシャフト４２８とスライドブッシュ４２９がボールネジ４２７と平行に配設されている。
【００９７】
また、図１３に示すように、検知手段としてのフォトセンサー４８０（図１３）、フォトセンサー４８２（図１４）を設けることで、Ｘ軸方向の移動距離等を検出して、この移動を自動的に制御できるよう構成されている。
【００９８】
さらに、Ｘ軸方向駆動機構４２０を包囲する筺体は、平行ピン４４０（図１５）によりガイド・位置決めされ本体にネジにより固定される。また、ボールネジ４２７の回転と共にＸ軸方向に移動する移動部にはスケール４５０（図１４）が形成される。
【００９９】
（制御系について）
図１９には、上述した洗浄装置の制御系の構成の概略を示した機能ブロック図が示されている。
【０１００】
本例の洗浄装置は、上述の通り洗浄布巻出・巻取部２０、溶剤塗布部３０、洗浄ヘッド部１０、移動手段４０を具備し、これらを操作するための操作入力手段５０と、この操作入力手段５０の操作入力に基づき、上述の各手段を制御する制御手段６０と、この制御に必要な各種データ、テーブル等が格納された記憶手段７０と、を含み構成される。
【０１０１】
制御手段６０は、洗浄布巻出・巻取部２０にて洗浄布８０の巻取量を制御する巻取量制御手段６１と、洗浄布８０の巻取速度を制御する巻取速度制御手段６２と、溶剤塗布部３０にて溶剤の塗布量を制御する塗布量制御手段６３と、洗浄布８０の搬送経路上の溶剤塗布位置を制御する塗布位置制御手段６４と、洗浄ヘッド部１０の開閉速度、開閉距離等を制御する狭持制御手段６５と、移動手段４０の移動量、移動速度、移動タイミング等を制御する移動制御手段６６と、を含み構成される。
【０１０２】
また、操作入力手段５０としては、図示しないが上述の各手段に各々対応した各種操作部が設けられることとなるが、これらのうち、挟持手段１０の挟持圧力を調整するレギュレータ５６は図２、電源をオンオフするブレーカ５４は図１に示す通りである。
【０１０３】
なお、記憶手段７０に取り込まれるデータとしては、例えば、被洗浄体９０のセット数、洗浄長さ（被洗浄体の長さ）、洗浄速度等が挙げられる。
【０１０４】
上記のような構成の制御系では、操作入力手段５０により作業者が操作入力を行なうと、制御手段６０は、この操作入力と、記憶手段７０からの各種データとに基づき、洗浄布巻出・巻取部２０・溶剤塗布部３０・洗浄ヘッド部１０・移動手段４０の制御を行なう。
【０１０５】
そして、例えば操作入力手段５０内の図示しない巻取用操作ボタン（例えばメニュー画面上のアイコン等でも可）を操作すると、（例えばメニュー画面の下層に、例えば巻取量、巻取速度等を設定入力するための設定入力用ウインドウ画面等を表示するよう形成しても良い）、巻取量制御手段６１、巻取速度制御手段６２は、記憶手段７０の例えば巻取量−駆動量（回転速度）変換テーブル、巻取速度−駆動量（回転速度）変換テーブル、等から対応するデータを抽出し、洗浄布巻出・巻取部２０を所望に駆動する。
【０１０６】
溶剤塗布部３０、洗浄ヘッド部１０、移動手段等も同様に制御することとなる。このようにして、操作入力手段５０の操作入力により所望の動作を行なうことができる。
【０１０７】
さらに、操作入力手段５０内には、非常停止スイッチが設けられ、スイッチオンにより移動手段４０がストップすると共に、挟持手段１０が開状態となる。
【０１０８】
また、図示しない選択スイッチにより、自動モードと手動モードとに切換可能に形成することが好ましい。
【０１０９】
このようにして、操作入力手段５０の操作により、起動スイッチをオンすることで、移動手段４０が移動し、溶剤が塗布された洗浄布８０で被洗浄体９０を狭持し、順次洗浄する。１往復すると、洗浄作業が終了する。なお、洗浄布８０は、１つの被洗浄体９０が洗浄する毎に、自動送りされる。
【０１１０】
（洗浄方法）
次に上記のような洗浄装置を用いた被洗浄体の洗浄方法について、図２０に示すフローチャートを参照しながら説明する。
【０１１１】
先ず、自動運転を始める前に、下記の段取りを行なう。
【０１１２】
（１）パネルセット工程
治具テーブル４２は、例えば４パネル用、３パネル用と被洗浄体９０のサイズによりそれに見合った治具の組み合わせがあるので、所望のパネルサイズに合せて選択を行なう。交換は、図１６に示すように、固定ボルト４３を緩めて取り外し、いずれかのテーブルと交換する。
【０１１３】
なお、被洗浄体９０品種変更の場合には、治具テーブル４２上のクランパー４６の位置変更及び位置決めピン４４を交換する。手動操作で、クランプを解除し、固定ボルト４３を緩め、スペーサブロック４７とクランパー４６で挟む様に被洗浄体９０を載せる。
クランパー４６と被洗浄体９０との間に隙間が無いように調整し、固定ボルト４３を緩める。同様にして、他のオプションを調整する。
【０１１４】
次に洗浄布８０をセットする。図１２に示すようにロックピン２７６を上下のフランジ２７３、２７４の孔に挿通させた後に倒す。先ず、巻出側の洗浄布８０のセットを行い、図４に示す各ローラー２６６、２６４、２６２に洗浄布８０をかける。
【０１１５】
（１−２）狭持クリアランスの調整
図１５に示すように、マイクロメータ１４により、ヘッド１２ａ・１２ｂ内の距離Ｌの調整を行う。
【０１１６】
（１−３）溶剤の充填
次に、バレル３２に溶剤を充填する。この時、図４の矢印Ｃに示すように、バレル３２を起こした状態で溶剤を注入する。
【０１１７】
（１−４）装置の設置
図１に示すように、支持体４の上に洗浄装置２（２−１・２−２）を載せ、固定ボルト５にて双方を固定する。そして、洗浄フード３上部の排気口６にダクトホースを繋ぎ排気を取り、エアチューブを洗浄装置２（２−１・２−２）のフィルター付きレギレータに差し込み圧空を供給し、更に電源を供給する。
【０１１８】
操作入力手段５０内のブレーカー５４をオンすると、タッチパネル５２が初期画面を表示する。また、レギュレータ５６の圧力を設定する。
【０１１９】
治具テーブル４２に被洗浄体９０をセットする（ステップ「以下、ｓ」１００）。
【０１２０】
次に、起動スイッチをオンする（ｓ１０２）。そして、被洗浄体９０のロックをオンし（ｓ１０４）、治具テーブル４２を移動させる（ｓ１０６）。
【０１２１】
（２）塗布工程
次に、洗浄布８０に溶剤を塗布する（ｓ１１０）と共に、洗浄布８０を設定長さに巻取り（ｓ１１２）、洗浄布８０を折り返す（ｓ１１４）。
【０１２２】
１枚目のパネル端部が洗浄ヘッド部にきたらテーブルを停止する（ｓ１２０）。
【０１２３】
（３）狭持工程
本工程では、先ず、洗浄布８０を介して１枚目の被洗浄体９０の一端を洗浄ヘッド部１０により狭持する（ｓ１２２）。
【０１２４】
（４）洗浄工程
そして、移動手段４０を移動することで、端子部９６の洗浄を行なう（ｓ１２４）。
【０１２５】
この洗浄工程では、以下のいずれかの手法を採ることが好ましい。先ず、第一は、洗浄布８０の搬送を停止させた状態で、移動手段４０により被洗浄体９０をＸ方向に沿って移動させるものである。これにより、被洗浄体９０の移動のみによって、被洗浄体９０の端子部９６を摩擦接触させて拭き取るように洗浄でき、端子部９６の奥方側に異物が溜まることもない。
【０１２６】
第二は、被洗浄体９０の移動のみならず、洗浄布８０をも同時に矢印Ｙ方向（図６（Ａ））にて（端子部９２の奥方側から縁部側に向けて）移動させるように洗浄するものである。この場合には、スライド移動する方向と洗浄布８０が移動する方向とは互いに交差しているので、端子部９６を２つの方向から洗浄することができ、洗浄効率の向上が図れる。また、洗浄布８０は、端子部９６の奥方側から縁部に向けて移動するので、奥方側に異物が溜まる可能性をさらに低減できる。
【０１２７】
第三は、洗浄布８０のみを矢印Ｙ方向（図６（Ａ））にて移動させ、被洗浄体９０は、洗浄位置を変更するときのみ移動させる手法である。この場合であっても、洗浄布８０は、端子部９６の奥方側から縁部に向けて移動するので、奥方側に異物が溜まることはない。
【０１２８】
（５）後工程
１枚目の被洗浄体９０の端子部９６を拭いたら洗浄ヘッド部１０の挟持を解除する（ｓ１２６）。そして、上記ｓ１０４〜ｓ１１０の動作を再び行なう（ｓ１２８）。ここで、洗浄布８０の端子部９２と接触した接触部分を、Ｚ方向（図６）にて移動させ巻き取り、接触位置に新たな洗浄布８０を位置させる。
【０１２９】
次に、２枚目の被洗浄体９０の端部が洗浄ヘッド部１０にきたら移動手段４０を停止する（ｓ１３０）。この時、上記新たな洗浄布８０の接触部分は、２枚目の被洗浄体９０の未洗浄の端子部９６と対面して位置することとなる。これにより、被洗浄体９０の端子部９６には、絶えず新しい洗浄布８０が接触するようになるので、一度端子部９６と接触した洗浄布８０が再度、端子部９６に接触することを防止して、洗浄を精度良く行なうことができる。後は、上記ｓ１２２〜ｓ１２８の動作を行なう（ｓ１３２）。このようにして、（２）〜（４）の各工程を再度繰り返して洗浄を行ない、複数の被洗浄体を搭載した移動手段４０を移動させ、他の被洗浄体の一端を洗浄する。これにより、複数の被洗浄体を連続的に洗浄できるので、洗浄工程における洗浄時間の大幅な短縮化を図れ、生産性が向上する。
【０１３０】
そして、最後の被洗浄体９０の洗浄が終了したら、反対側の被洗浄体９０の端部から同様な動作を繰り返す（ｓ１３４）。１往復の送りが終了したら、被洗浄体９のセット位置で移動手段４０を停止する（ｓ１３６）。次いで、被洗浄体９０のロックをオフし、（ｓ１３８）被洗浄体９０をリセットする（ｓ１４０）。
【０１３１】
以上のように本実施の形態によれば、以下の効果を有する。
【０１３２】
（１）洗浄布の移動以外は全て被洗浄体側を移動させる構成としたことにより、洗浄装置の挟持手段側の構成を多軸移動できる構成とする必要がなく、装置の簡素化が図れる。洗浄布は、端子部の奥方側から縁部に向けて移動するので、奥方側に異物が溜まることがない。さらに、スライド移動する方向と洗浄布が移動する方向とは互いに交差しているので、端子部を２つの方向から洗浄することができ、洗浄効率の向上が図れる。
【０１３３】
（２）被洗浄体にできるだけ近い位置で溶剤を滴下することで、洗浄布に浸透した溶剤が蒸発したり等するのを防止して、溶剤を洗浄布に効率良く浸透させた状態の洗浄布を用い、被洗浄体の洗浄を行なうことができ、被洗浄体を効率良く洗浄することができる。
【０１３４】
（３）被洗浄体の一面だけでなく、他方の面の側にも洗浄布を接触するように構成することで、被洗浄体の裏面側も表面側と同時に洗浄でき、洗浄効率の向上、被洗浄体１枚に要する洗浄時間の大幅な短縮が図れる。
【０１３５】
（４）案内手段により洗浄布の移動方向を案内することで、洗浄布を最適に被洗浄体の端子部に接触させることができるので、効率よく被洗浄体の洗浄を行なうことができる。
【０１３６】
（５）洗浄布の自動供給方式により、洗浄布の切断作業を要しない。このため、切断された布を使用しないため、ケバの付着が防止できる。また、洗浄ヘッド部に狭持圧力、洗浄速度及び溶剤の塗布量の管理が可能となるため、洗浄品質が安定し、無駄な消費を削減できる。また、一定量の溶剤供給、及び位置精度により、被洗浄体が液晶表示パネルである場合には、偏光板溶け等の品質不良を防止できる。さらに、位置決めガイドの調整及びデータ変更により、多機種の流動ができる。
【０１３７】
尚、本発明に係る装置と方法は、そのいくつかの特定の実施の形態に従って説明してきたが、当業者は本発明の主旨及び範囲から逸脱することなく本発明の本文に記述した実施の形態に対して種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態では被洗浄体として液晶表示パネルの入出力端子部を洗浄する場合を例示したが、この他システムＬＳＩや各種パネル、回路基板等の端子を洗浄する場合にも好適に実施できる。
【０１３８】
さらに、洗浄装置２は、支持体４上に２台設置する構成としたがＮ台（Ｎは自然数）設置する構成としても良い。この場合１台につきパネルセットテーブルには、Ｍ枚の被洗浄体を載置可能に構成し、さらに、Ｍ枚のうちＫ枚の被洗浄体を（即ち、１枚の被洗浄体を１つの狭持手段で洗浄するのではなく、１枚の被洗浄体を複数の狭持手段で洗浄したり、各々の被洗浄体について各々狭持手段を設けて、Ｋ個の被洗浄体を各々狭持する等）同時に洗浄するように構成して、Ｎ×Ｍ枚の被洗浄体のうち、Ｎ×Ｋ枚の被洗浄体を同時に洗浄できることとなり、洗浄時間の大幅な短縮が望める。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄装置の実施の形態の一例を示す正面図である。
【図２】図１の洗浄装置を示す左側面図である。
【図３】図１の洗浄装置を示す平面図である。
【図４】図２の洗浄装置の洗浄布巻出・巻取部を拡大した拡大側面図である。
【図５】図１の洗浄装置の一部をさらに拡大した拡大側面図である。
【図６】同図（Ａ）は、図５の部分の動作を説明するための概略説明図であり、同図（Ｂ）は、図１の洗浄装置を用いて洗浄される被洗浄体の配置を示した概略説明図である。
【図７】同図（Ａ）は、図４の洗浄装置を紙面の右側から見た状態を示す正面図であり、同図（Ｂ）は、図７（Ａ）の一部を右側面側から見た図である。
【図８】図４の洗浄装置を紙面の左側から見た状態を示す背面図である。
【図９】図４の洗浄装置の一部を紙面の上側から見た状態を示す平面図である。
【図１０】図４の洗浄装置の一部を紙面の右側から見た状態を示す正面図である。
【図１１】図８の洗浄装置の一部を拡大した拡大正面図である。
【図１２】図１の洗浄装置の洗浄布巻出・巻取ユニットの一部である巻出部分を示す分解下面である。
【図１３】図１の洗浄装置の移動手段を示す正面図である。
【図１４】図１の洗浄装置の移動手段を示す平面図である。
【図１５】図１の洗浄装置の移動手段を示す左側面図である。
【図１６】図１の洗浄装置の移動手段を示す正面図である。
【図１７】同図（Ａ）は、図１６の洗浄装置の移動手段の一部を拡大した平面図であり、同図（Ｂ）は、図１７（Ａ）の分解正面図である。
【図１８】図１の洗浄装置の移動手段の一部を示す正面図である。
【図１９】図１の洗浄装置の制御系を示す機能ブロック図である。
【図２０】図１の洗浄装置を用いた被洗浄体の洗浄工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
２    洗浄装置
１０  狭持手段
１２ａ、１２ｂ  ヘッド
１８  案内手段
２０  搬送手段
３０  塗布手段
４０  移動手段
５０  操作入力手段
６０  制御手段
７０  記憶手段
８０  洗浄布
９０  被洗浄体
９６  端子部
【図１】
0003899713.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003899713.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0003899713.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
0003899713.tif 000015
【図１５】
0003899713.tif 000016
【図１６】
0003899713.tif 000017
【図１７】
0003899713.tif 000018
【図１８】
0003899713.tif 000019
【図１９】
0003899713.tif 000020
【図２０】
0003899713.tif 000021