(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とで形成するようにした圧電振動子であって、
前記圧電振動片を収容する内部空間を形成する第１の積層基板を有し、
前記パッケージ底部は、パッケージ内側の第２の積層基板と、パッケージ外側の第３の積層基板とを有し、
前記第２の積層基板は、第１の貫通孔と、前記圧電振動片の自由端に対応する箇所においてパッケージ内部の凹部を形成する開口と、を有し、
前記第３の積層基板は、前記第１の貫通孔と重なる箇所に第２の貫通孔を有し、
前記第１の貫通孔と第２の貫通孔とからなる段つき開口は、封止材によって封止されており、前記蓋体または前記第２の積層基板に、前記圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置に緩衝部を設けた
ことを特徴とする、圧電振動子。
【請求項２】
前記第２の積層基板の前記開口の周縁部に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記蓋体の内面に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記パッケージの前記凹部内に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記圧電振動片の前記パッケージ側に固定するための固定領域を有する基端部から平行に延びる複数の振動腕に、長手方向に沿って延びる長溝を備えることを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記基端部は、前記固定領域と前記振動腕との間に、切り欠き部を有することを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記蓋体が光透過性の材料により形成されていることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれかに記載の圧電振動子。
【請求項８】
第２の貫通孔を有するパッケージ外側の第３の積層基板と、前記第２の貫通孔に重なる箇所に設けた第１の貫通孔と圧電振動片の自由端に対応する箇所において内部の凹部を形成する開口とを有する第２の積層基板と、圧電振動片を収容する内部空間を形成する第１の積層基板と、を積層してパッケージを形成する工程と、
このパッケージ内において、後でマウントされる圧電振動片が、その厚み方向に振れた時に当接する位置に対応した箇所に緩衝部を形成する工程と、
前記パッケージ内に圧電振動片をマウントする工程と、
前記パッケージと光透過材料でなる蓋体とを位置決めし封止する工程と、
前記前記第１の貫通孔と第２の貫通孔とからなる段つき開口に封止材を配置し、
前記封止材を加熱することにより真空雰囲気中で真空封止する工程と、
前記蓋体を介して前記圧電振動片にレーザー光を照射することにより周波数調整する工程と
を有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
【請求項９】
前記緩衝部が、シリンジに充填されたシリコーン接着剤を塗布することにより形成されることを特徴とする、請求項８に記載の圧電振動子の製造方法。
【請求項１０】
前記緩衝部が、シリコーンワニスをシルクスクリーンを用いて塗布することにより形成されることを特徴とする、請求項８に記載の圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、音叉型の圧電振動片をパッケージに内蔵した圧電振動子とその製造方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、あるいはページングシステム等の移動体通信機器において装置の小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電振動子も小型薄型化が要求されている。
【０００３】
また、それとともに、装置の回路基板に両面実装が可能な表面実装タイプの圧電振動子が求められている。
【０００４】
このような圧電振動子は、例えば、図１３に示すように構成されている。
図１３において、従来の圧電振動子１は、パッケージ６の内部に、例えば水晶基板から音叉型に形成され、その表面に駆動用の金属電極を形成された圧電振動片２を収容している。
【０００５】
パッケージ６は、セラミック製の基板３，４，５を積層して形成されている。各基板３，４，５は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した時に内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされており、基板４の台座部に導電性の接着剤７等を介して、上述した圧電振動片２の基端部２ａが接合固定されており、圧電振動片２の先端部２ｂは自由端とされている。
そして、パッケージ６の開放された上端には、蓋体９が接合されることにより、封止されている。
【０００６】
このような圧電振動子１は、外部からの駆動電圧が、電極１１及び導電性接着剤７を介して、圧電振動片２に伝えられると、圧電振動片２の図示しない励振電極からの電圧が圧電材料に伝えられることで、屈曲振動を生じ、所定の周波数で振動することになる。
この所定の周波数を外部に取り出すことによって、所定の周波数の出力を得ることができるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、圧電振動子１を落とす等して、例えば、外部から衝撃等が加えられると、図１３の鎖線で示すように、圧電振動片２の先端部２ｂが、圧電振動片２の厚み方向に振れて、パッケージ６の底部の内面等に当接する場合がある。
【０００８】
図１４（ａ）は、上述の音叉型の圧電振動片２の概略平面図であり、表面の電極は図示が省略されている。図１４（ｂ）は、横軸を図１４（ａ）の圧電振動片２の長さ方向に一致させて、この圧電振動片２の一部が欠けたりして、表面の電極等の金属被覆が剥がれた場合に、圧電振動子１の振動周波数に与える影響をプロットしたグラフである。
【０００９】
図１４（ｂ）によれば、圧電振動片２の基部である基端部２ａでは、その一部が欠けたり、損傷したりした場合に生じる周波数変動は小さい。しかし、圧電振動片２の損傷等の箇所が、先端にいくにしたがって、すなわち、先端部２ｂに近づくにつれて、周波数変動は大きくなっている。
このことから、圧電振動片２のパッケージ２内での振れに関して、特にその先端部の損傷を有効に防止することが必要である。
【００１０】
図１５は、圧電振動片２のこのような損傷を防止するための試みにより考えられる圧電振動子の構成例を示している。
図１５において、圧電振動子２０は、パッケージ１６の積層基板１４の台座上には、導電性の接着剤７等を介して、音叉型圧電振動片２の基端部２ａが接合固定されており、圧電振動片２の先端部２ｂは自由端とされている。パッケージ１６の開放された上端には蓋体９が接合されることにより封止されている。また、パッケージ１６の形状は、図１３の圧電振動子１の場合と異なっており、パッケージ１６の内側において、圧電振動片２の先端部２ｂの下側に位置する箇所に凹部１２が形成されている。この場合、凹部１２は、積層基板１４の一部に凹部１２と対応する孔を形成することにより設けられている。
【００１１】
このような圧電振動子２０は、例えば、外部から衝撃等が加えられると、図１５の鎖線で示すように、圧電振動片２の先端部２ｂが、圧電振動片２の厚み方向に振れる。しかしながら、圧電振動子２０は、パッケージ１６の底部の内面に形成した凹部１２を有することにより、凹部１２が逃げ領域となって、圧電振動片２の先端部２ｂは、パッケージ１６の底部内面と当接することなく、したがって、この部分が損傷するおそれがないという利点を有している。
【００１２】
しかしながら、凹部１２を形成したことから、圧電振動片２の厚み方向の振れにより、先端部２ｂは損傷を受けないようにすることができるが、凹部１２の上端部に、圧電振動片２の先端部よりもやや基端側の部分２ｃが当たってしまうことがある。
【００１３】
このような事態においては、２ｃの部分の損傷も、図１４（ｂ）で示すように、やはり周波数性能に影響を与えるので、回避する必要がある。そのため、凹部１２を図１５の場合よりもさらに大きくすれば、振れにより圧電振動片２が凹部１２の上端に当接する箇所をより基端側にすることができるので、有効である。
【００１４】
しかしながら、凹部１２を単純に大きく形成することができないという問題がある。このことを理解するために、先ず、圧電振動子２０の製造方法を説明する。
【００１５】
このような圧電振動子２０は、例えば、図１６のフローチャートで示す工程に従って製造される。
図１６において、先ず、パッケージ１６を形成するためのセラミックベースと、圧電振動片２を形成するための水晶振動片と、蓋体９とを別々に形成する。
【００１６】
パッケージ１６の積層基板１４の台座上には、露出されている電極上に導電性接着剤７が塗布される（ＳＴ１）。これとは別工程で、水晶片に所定の金属被膜により駆動用の電極を設けて圧電振動片２を形成し、錘をさらに付加したり、あるいは除去して所定の周波数に調整する（ＳＴ２）。そして、パッケージ１６の導電性接着剤７の上に、圧電振動片２の基端部２ａを載置して、導電性接着剤７を硬化させることにより、圧電振動片２をマウントする（ＳＴ３）。次いで、パッケージ１６の開放された上端に蓋体９を接合して封止をする（ＳＴ４）。続いて、圧電振動子２０を検査工程に送る（ＳＴ５）。
【００１７】
一方、圧電振動子２０においては、周波数性能における高性能化だけでなく、小型化が強く要請されている。例えば、図１５において、圧電振動子２０の高さＨは、従来、２．５ｍｍ程度であったものが、圧電振動子２０を組み込む機器の小型化にともない、実装スペースの制限から、高さＨを例えば０．８ｍｍ程度まで小さくしなければならない。このことは、パッケージ１６を構成する各積層基板１３，１４，１５の薄型化を必要とする。
【００１８】
しかしながら、薄く形成した積層基板１４，１５に、さらに凹部１２を大きく形成することは、パッケージ１６の強度を保持する上ではきわめて困難である。
【００１９】
本発明の目的は、上述の問題を解決するためになされたものであり、小型に形成しても優れた耐衝撃性能を備えた圧電振動子とその製造方法を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とで形成するようにした圧電振動子であって、前記圧電振動片を収容する内部空間を形成する第１の積層基板を有し、前記パッケージ底部は、パッケージ内側の第２の積層基板と、パッケージ外側の第３の積層基板とを有し、前記第２の積層基板は、第１の貫通孔と、前記圧電振動片の自由端に対応する箇所においてパッケージ内部の凹部を形成する開口と、を有し、前記第３の積層基板は、前記第１の貫通孔と重なる箇所に第２の貫通孔を有し、前記第１の貫通孔と第２の貫通孔とからなる段つき開口は、封止材によって封止されており、前記蓋体または前記第２の積層基板に、前記圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置に緩衝部を設けたことを特徴とする、圧電振動子により、達成される。
【００２１】
請求項１の構成によれば、パッケージ内に音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定しているので、圧電振動片は、パッケージ内において、固定されていない自由端側は、外部からの衝撃等によりパッケージ内で振れる構造である。ここで、音叉型の圧電振動片は、自由端側の先端にいくほど損傷した場合の周波数性能のずれが大きくなる。
【００２２】
そこで、圧電振動片の自由端側に対応する箇所に凹部を形成することで、圧電振動片が外部からの衝撃で振れた時に、この凹部が圧電振動片の先端部との当接を回避するための逃げ部を構成し、圧電振動片の先端部が損傷することを防止することができる。しかも、圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置に緩衝部が設けられていることにより、圧電振動片は緩衝部に当たることで、圧電振動片の先端部に準じる位置、すなわち、圧電振動片の先端部よりは基端側ではあるが、損傷すると、周波数性能に比較的大きな影響を与える個所が、パッケージに当接して損傷することも防止される。
【００２３】
請求項２の発明は、さらに、前記第２の積層基板の前記開口の周縁部に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする。
【００２４】
請求項２の構成によれば、前記圧電振動片が、外部からの衝撃により、パッケージ底部側に振れたときに、緩衝部に当接して、衝撃を有効に吸収することができる。
【００２５】
請求項３の発明は、請求項１または２のいずれかの構成において、前記蓋体の内面に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする。
【００２６】
請求項３の構成によれば、前記圧電振動片が、外部からの衝撃により、蓋体側に振れたときに、緩衝部に当接して、衝撃を有効に吸収することができる。
【００２７】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの構成において、前記パッケージの前記凹部内に前記緩衝部が設けられていることを特徴とする。
【００２８】
請求項４の構成によれば、前記圧電振動片が、外部からの衝撃により、凹部が配置された側に振れた時に、圧電振動片の先端部が、凹部内の緩衝部に触れることで、その衝撃が有効に吸収される。
【００２９】
請求項５の発明は、請求項１ないし４のいずれかの構成において、前記圧電振動片の前記パッケージ側に固定するための固定領域を有する基端部から平行に延びる複数の振動腕に、長手方向に沿って延びる長溝を備えることを特徴とする。
【００３０】
請求項５の構成によれば、振動腕には長溝が形成されているため、振動腕内で電界が効率よく発生して、圧電振動片の電界効率を高めることができる。そして、圧電振動片の電界効率が高まると、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス値）を低く抑えることができる。
そして、振動腕には長溝が設けられているため、振動腕の重量が軽くなり、圧電振動片が外部からの衝撃で振れた場合であっても、振動腕の変位量が小さくなる。また、圧電振動片のＣＩ値を従来と同様のＣＩ値に合わせて形成した場合には、振動腕の長さは従来より短くてすみ、振動腕が変位する量は低下する。
これにより、請求項１ないし４と同様の作用を発揮し、さらに圧電振動片の先端部よりは基端側ではあるが、損傷すると周波数性能に比較的大きな影響を与える個所が、パッケージに当接することをより効果的に防止して、損傷することを防止する。
【００３１】
請求項６の発明は、請求項１ないし５のいずれかの構成において、前記基端部は、前記固定領域と前記振動腕との間に、切り欠き部を有することを特徴とする。
【００３２】
請求項６の構成によれば、固定領域と振動腕との間に切り欠き部が有るために、振動腕の振動がこの固定領域に伝達し難くなり、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス値）を低く抑えることができる。
さらに、基端部を切り欠くことで振動腕の重量を軽くすることができる。そうすると、圧電振動片が外部からの衝撃で振れた場合であっても、振動腕が変位する量は低下する。また、従来と同様のＣＩ値に合わせて圧電振動片を形成した場合には、振動腕の長さは短くてすむため、この場合にも振動腕が変位する量は低下する。
これにより、請求項１ないし５と同様の作用を発揮し、さらに圧電振動片の先端部よりは基端側ではあるが、損傷すると周波数性能に比較的大きな影響を与える個所が、パッケージに当接することをより効果的に防止して、損傷することを防止する。
【００３３】
請求項７の発明は、請求項１ないし６のいずれかの構成において、前記蓋体が光透過性の材料により形成されていることを特徴とする。
【００３４】
請求項７の構成によれば請求項１ないし６の各作用効果に加えて、蓋体を介して光ビームをパッケージ内に入射させ、圧電振動片の表面に照射させることにより、蓋体を接合後に周波数調整することができる。
【００３５】
請求項８の発明は、請求項７の構成において、前記パッケージの底面に封止材を充填するための貫通孔が形成されていることを特徴とする。
【００３６】
請求項８の構成によれば、請求項７の作用効果に加えて、蓋体を接合後に、貫通孔に封止材を充填して、封止を行った後で、蓋体を介して光ビームをパッケージ内に入射させ、圧電振動片の表面に照射させることにより、蓋体を接合後に周波数調整することができる。
【００３７】
上記目的は、第２の貫通孔を有するパッケージ外側の第３の積層基板と、前記第２の貫通孔に重なる箇所に設けた第１の貫通孔と圧電振動片の自由端に対応する箇所において内部の凹部を形成する開口とを有する第２の積層基板と、圧電振動片を収容する内部空間を形成する第１の積層基板と、を積層してパッケージを形成する工程と、このパッケージ内において、後でマウントされる圧電振動片が、その厚み方向に振れた時に当接する位置に対応した箇所に緩衝部を形成する工程と、前記パッケージ内に圧電振動片をマウントする工程と、前記パッケージと光透過材料でなる蓋体とを位置決めし封止する工程と、前記前記第１の貫通孔と第２の貫通孔とからなる段つき開口に封止材を配置し、前記封止材を加熱することにより真空雰囲気中で真空封止する工程と、前記蓋体を介して前記圧電振動片にレーザー光を照射することにより周波数調整する工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法により達成される。
【００３８】
本願にかかる発明は、さらに、緩衝部が、シリンジに充填されたシリコーン接着剤を添付することにより形成されることを特徴とする。
【００３９】
請求項１１の発明は、請求項１０の構成において、前記緩衝部が、シリコーンワニスをシルクスクリーンを用いて塗布することにより形成されることを特徴とする。
【００４０】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、本発明の圧電振動子の第１の実施の形態を示しており、図１はその蓋体を外した状態の概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略断面図である。
【００４１】
これらの図において、圧電振動子３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、セラミックグリーンシートを成形して焼結した酸化アルミニウム質焼結体等を利用した基板３３，３４，３５を積層して形成されている。各基板３３，３４，３５は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した時に内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされている。
【００４２】
ここで各積層基板３３，３４，３５は、特に薄い厚みのものが用いられることにより、圧電振動子３０の全体の厚みｈは、小型，薄型化の必要から、例えば、０．８ｍｍ程度にされている。このため、例えば、積層基板３３の厚みｈ１は０．１５ｍｍ程度、積層基板３４の厚みｈ２は０．１５ｍｍ程度、積層基板３５の厚みｈ３は０．２５ｍｍ程度、後述するロウ材３９ａの厚みｈ４は０．１０ｍｍ程度、蓋体３９の厚みｈ５は０．１５ｍｍ程度とされている。
【００４３】
パッケージ３６の内部空間Ｓ内の図において左端部付近において、内部空間Ｓに露出して底部を構成するベースとなる積層基板３４の上面には、Ａｕ及びＮｉメッキが施された電極部３１，３１が図１に示すように所定の間隔を隔てて形成されている。電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布されており、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基端部３２ａが載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されることにより接合されており、自由端３２ｂは自由端とされている。圧電振動片３２の基端部３２ａの導電性接着剤４３，４３と触れる部分には、駆動電圧を伝えるための引出電極（図示せず）が形成されており、これにより、パッケージ３６側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３を介して、電気的に接続されている。
【００４４】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、基端部３２ａから図において右方に向けて、二股にわかれて平行に延びる一対の振動腕が形成された、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。この圧電振動片３２は、図１３で説明したものと同様に、その表面に駆動電圧を伝える励振電極（図示せず）が形成されている。
【００４５】
パッケージ３６の開放された上端には、低融点ガラス等のロウ材３９ａを介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。蓋体３９は、後述する周波数調整を行うために、光透過性の材料，例えば、ガラスで形成されている。
【００４６】
また、パッケージ３６の底面のほぼ中央付近には、積層基板３３及びその上の積層基板３４に連続する貫通孔３７ａ，３７ｂを形成することにより、開口３７が設けられている。この開口３７を形成する貫通孔のうち、パッケージ内部に開口する第１の孔３７ｂに対して、第２の孔である外側の貫通孔３７ａは、より大きな内径を備えるようにされている。これにより、開口３７は段つき開口とされており、好ましくは、第２の孔である貫通孔３７ａの段部と、貫通孔３７ａの孔内周面には金属が被覆されている。
【００４７】
ここで、金属製封止材３８としては、例えば、金（Ａｕ）と錫（Ｓｎ）による合金が用いられ、第２の孔３７ａの段部と孔内周面の金属被覆部には、ニッケルメッキによる下地層の上に金メッキを被覆した構成が適している。
【００４８】
さらに、この実施形態では、パッケージ３６を構成する積層基板３４の図において右端部付近に孔を形成することにより、この積層基板３４の厚みに対応した凹部４２が形成されている。この凹部４２は、圧電振動片３２の自由端３２ｂの下方に位置しており、図１５で説明した場合と同様に機能して、圧電振動片３２の自由端３２ｂが矢印方向に振れた場合に、パッケージ３６の内側底面と当接されることを有効に防止している。
【００４９】
また、パッケージ３６の空間Ｓ内において底部の内側に緩衝部４１が設けられている。この緩衝部４１は、圧電振動片３２がその厚み方向に振れた時に当接する位置として、本実施形態では、図示されているように、パッケージ３６の底部の内側において、凹部４２の開口周縁部であって、圧電振動片３２の基端部３２ａ寄りの位置に配置されている。
【００５０】
この緩衝部４１は、衝撃を吸収する材料であって、圧電振動片３２と当接しても悪影響を与えず、製造工程において採用しやすい材料で形成されており、例えば、シリコーン等の接着剤として供給されて、硬化してゴム状となるものや、ウレタンゴム等のウレタン系材料や天然ゴム等を使用することができる。そして無機系材料の弾性材を用いると、製造工程において熱が作用した場合にも有害なガスを放出することなく好ましい。緩衝部４１を形成するための弾性材料の適用方法としては、例えば、接着剤の形態のものをシリンジを用いて塗布したり、シリコーンを溶剤に溶かしたもの，例えば、シリコーンワニス等をスクリーン印刷に用いるシルクスクリーン等を用いて塗布するようにしてもよい。
【００５１】
本実施形態は以上のように構成されており、パッケージ３６内に音叉型の圧電振動片３２が片持ち式に固定されている。このため、例えば、圧電振動子３０を落としたりした場合には、圧電振動片３２は、パッケージ３６内において、固定されていない自由端３２ｂが、パッケージ３６内で図２の矢印に示す方法に振れる場合がある。
【００５２】
しかしながら、圧電振動子３０においては、そこで、圧電振動片３２の自由端３２ｂに対応する箇所に凹部４２が形成されているので、この凹部４２が圧電振動片３２の自由端３２ｂとの当接を回避するための逃げ部となって、圧電振動片３２の自由端３２ｂが損傷することを防止することができる。
【００５３】
しかも、圧電振動片３２がその厚み方向（図２の矢印の方向）に振れた時に当接する位置に緩衝部４１が設けられている。このため、圧電振動片３２は緩衝部４１に当たることで、圧電振動片３２の自由端３２ｂに準じる位置、すなわち、図１において、圧電振動片３２の自由端３２ｂよりは基端側ではあるが、損傷すると、周波数性能に比較的大きな影響を与える個所３２ｃが、パッケージ３６に当接して損傷することも防止される。
【００５４】
図３は、図１及び図２の圧電振動子３０の製造方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【００５５】
図３の製造方法は、図１６で説明した製造方法と比較すると、緩衝部４１を形成する工程（ＳＴ１０）、封止材である金属を充填する工程（ＳＴ１５）、振動周波数を調整する工程（ＳＴ１６）が追加されている点等が異なっている。
【００５６】
図３において、先ず、パッケージ３６を形成するためのセラミックベースと、圧電振動片３２を形成するための水晶振動片と、蓋体３９とを別々に形成するようにされている。
【００５７】
ここで、パッケージ３６は、上述したように、セラミックグリーンシートを成形して焼結した酸化アルミニウム質焼結体等を利用した基板３３，３４，３５を積層して形成されている。すなわち、基板３３は、貫通孔３７ａに対応した孔を形成するように成形され、その上に重ねる基板３４は、貫通孔３７ｂと凹部４１に対応した各孔を形成するように成形され、その上に重ねられる基板３５は、内部空間Ｓに対応した孔を形成するように成形されて、焼成される。次いで、必要な電極パターンに対応した金属被膜が設けられた後で、緩衝部４１が形成される（ＳＴ１０）。
【００５８】
この緩衝部４１の形成は、上述したように、例えば、接着剤の形態のものをシリンジを用いて塗布したり、シリコーンを溶剤に溶かしたもの，例えば、シリコーンワニス等をスクリーン印刷に用いるシルクスクリーン等を用いて塗布するようにしてもよい。そして、必要により加熱して材料を硬化させて、緩衝部４１を図１及び図２に示す形態になるように形成する。
【００５９】
次いで、パッケージ３６の積層基板３４に露出されている電極上に導電性接着剤４３が塗布される（ＳＴ１１）。これとは別工程で、水晶片に所定の金属被膜により駆動用の電極や錘となるものを設けて圧電振動片３２を形成し、さらに錘を付加したり、あるいは除去してほぼ所望とする周波数にまで粗調する（ＳＴ１２）。そして、パッケージ３６の導電性接着剤４３の上に、圧電振動片３２の基端部３２ａを載置して、導電性接着剤４３を硬化させることにより、圧電振動片３２をマウントする（ＳＴ１３）。
【００６０】
次に、低融点ガラス等のロウ材３９ａを用いて、ガラス製の蓋体３９を接合する（ＳＴ１４）。
【００６１】
続いて、例えば、真空環境下で、開口３７に、封止材である金属を充填する（ＳＴ１５）。具体的には、例えば、図２のパッケージ３６を、図２の上下の方向を逆にして、すなわち、逆さの状態として、この開口３７に外部から金属製の封止材３８を載置する。そして、この封止材３８に対して、例えばレーザー光を照射したり、加熱手段と接続されたピン等を接触させたりして、封止材３８を加熱溶融すると、この開口３７の第２の孔３７ａの段部と孔内周面には金属被覆部が存在することから、溶融金属は第２の孔３７ａの内部に濡れ広がる。これに対して、第１の孔３７ｂは、第２の孔３７ａより小径であり、金属被覆部も存在しないことから、溶融金属は第１の孔３７ｂ内には容易に侵入しない。このため、溶融金属が冷えると、封止材３８は第２の孔３７ａの内周面と段部とに好適に接合し、十分な接合面積でこの第２の孔３７ａを塞ぐので、パッケージと外部とは完全にシールされる。また、第１の孔３７ｂには、溶融金属が殆ど侵入しないから、パッケージ３６内まで溶融金属が達することがなく、溶融金属がパッケージ３６内部の圧電振動片３２に付着するおそれがない。ここで用いる封止材３８としては、例えば、金（Ａｕ）と錫（Ｓｎ）による合金が用いられ、形状はペレット状のものや、球体，偏平な円盤状の形態のもの等が使用される。
【００６２】
特に、第２の孔３７ａの内側側面が、奥行き方向に徐々に縮径するような傾斜面で形成されている場合には、球体にした封止材を載置しやすい。
【００６３】
さらに、封止後において、圧電振動子３０の外部から、ガラス製の蓋体３９を透過するようにレーザー光をパッケージ３６内に入射させ、このレーザー光を圧電振動片３２の先端付近の電極の一部もしくは金属被覆部に照射し、金属の一部を、レーザー光により蒸発させて、質量削減方式により振動周波数をさらに高くするように調整する（ＳＴ１６）。最後にこの周波数調整後に圧電振動子３０を検査工程に送る（ＳＴ１７）。
【００６４】
このようにして、製造される圧電振動子３２は、蓋体３９を接合して、開口３７に封止用金属３８を充填して封止した後で、さらにＳＴ１６の周波数調整を行っていることから、封止前に周波数調整する場合と比較して、周波数調整後に圧電振動片３２が真空に晒されて周囲の条件が変化することがないために、より正確に周波数の合わせ込みがなされる。
【００６５】
図４は、圧電振動子の第２の実施形態を示す概略断面図である。
図４において、図１及び図２の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００６６】
この圧電振動子４０において、第１の実施形態と異なるのは、緩衝部４１を形成した位置である。すなわち、圧電振動子４０では、圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置であって、蓋体３９の内面に設けられている。
【００６７】
図２で説明したように、圧電振動子の薄型化（低背化）を進めた結果、図４に示されているように、パッケージ３６の内部空間Ｓは極めて小さくなり、圧電振動片３２と蓋体３９との間も小さなスペースとなっている。このため、圧電振動片３２が厚み方向に振れた場合に、蓋体３９と当接することも考えられるので、図４に示すように、例えば、第１の実施形態における緩衝部４１の上方に対応した位置で、蓋体３９の内面に緩衝部４１を形成するようにしてもよい。
【００６８】
また、第１の実施形態における図１及び図２に示した位置に緩衝部４１を設けることに加えて、図４に示すように蓋体３９の内面にさらに緩衝部４１を設けてもよい。
【００６９】
これにより、本実施形態においても、第１の実施形態と同じ作用効果を発揮することができる。
【００７０】
図５は、圧電振動子の第３の実施形態を示す概略断面図である。
図５において、図１及び図２の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００７１】
この圧電振動子５０において、第１の実施形態と異なるのは、緩衝部４１を形成した位置である。すなわち、圧電振動子５０では、圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置であって、凹部４２の内側に、緩衝部を形成すべき上述した材料を充填している。
【００７２】
これにより、外部から衝撃が加わった時には、圧電振動片３２は図５矢印方向に振れた時に、圧電振動片３２の自由端端３２ｂは、凹部４２に入り、緩衝部４１に触れる。このため、第１の実施形態と同様の作用効果を発揮することになる。
【００７３】
図６は、圧電振動子の第４の実施形態を示す概略断面図である。
図６において、図１及び図２の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００７４】
この圧電振動子６０において、第１の実施形態と異なるのは、緩衝部４１を形成した位置である。すなわち、圧電振動子６０では、圧電振動片がその厚み方向に振れた時に当接する位置であって、開口３７の第１の孔３７ｂの内側の周縁に相当するパッケージ３６の内面に配置されている。
【００７５】
これにより、外部から衝撃が加わった時には、圧電振動片３２は図６矢印方向に振れた時に、圧電振動片３２の基端部３２ａの付近が緩衝部４１に触れる。これにより、圧電振動片３２の自由端３２ｂはパッケージ３６内面には当接することがなく、周波数変化に比較的影響が少ない基端部３２ａ付近が緩衝部４１に当接する。したがって、本実施形態では、第１の実施形態と比べて、より効果的に圧電振動片３２の損傷を防止することができる。
【００７６】
図７は、圧電振動子の第５の実施形態を示す概略平面図であり、図８は、図７のＢ−Ｂ線概略断面図である。また、図９は、この長溝９０の形状を説明するための図であり、図７のＣ−Ｃ線切断端面図である。
これらの図おいて、図１及び図２の圧電振動子３０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００７７】
この圧電振動子７０において、他の実施形態と異なるのは、圧電振動片３２の基端部３２ａから平行に延びる複数の振動腕３２ｄ，３２ｄに長溝９０，９０を設けた点である。
基端部３２ａは、圧電振動片３２を導電性接着剤４３，４３によってパッケージ３６側と固定した固定領域３２ｆを有する。
長溝９０，９０は、圧電振動片３２の電界効率を高めるためのものである。具体的には、長溝９０，９０は、各振動腕３２ｄ，３２ｄの長手方向に延びるように設けられている。また、長溝９０，９０は振動腕３２ｄ，３２ｄの上面および下面に設けられており、図９に示すように、長溝９０，９０を設けた振動腕３２ｄ，３２ｄの断面形状が略Ｈ型となっている。
【００７８】
このような長溝９０，９０を設けることで、振動腕３２ｄ，３２ｄに厚みが薄い箇所が形成され、振動腕３２ｄ内の電界が、例えば図９において左右の両端側に形成された縦方向に延びる各壁部の厚み方向Ｅに沿って、効率よく発生することとなり、圧電振動片３２の電界効率を高めることができる。
したがって、長溝９０を設けることで、圧電振動片３２のＣＩ値（クリスタルインピーダンス値）を他の実施形態のＣＩ値と比べて低く抑えることができる。また、図９においては、外部からの駆動電圧を電極３１及び導電性接着剤４３を介して振動腕３２ｄに伝えるための図示しない励振電極と接続された電極４８を、長溝９０の内壁面４６ｂと振動腕３２ｄの左右の側壁面４６ａに配置し、さらに振動腕３２ｄ内の電界を効率よく発生させて、より圧電振動片３２のＣＩ値を低く抑えている。
【００７９】
ここで、振動腕３２ｄ，３２ｄに長溝９０，９０を設けたことで、振動腕３２ｄ，３２ｄの重量は軽くなる。そのため、外部からの衝撃で振動腕３２ｄ，３２ｄが振れた場合であっても、振動腕３２ｄ，３２ｄの変位量は小さくなる。
また、圧電振動片３２のＣＩ値を他の実施形態と同様のＣＩ値となるように形成した場合には、振動腕３２ｄ，３２ｄの長さは他の実施形態と比べて短くてもすむ。そうすると、外部からの衝撃で振動腕３２ｄ，３２ｄが振れた場合に、振動腕３２ｄ，３２ｄの変位量はさらに小さくなる。
【００８０】
図１０は、図７で説明した第５の実施形態に係る音叉型の圧電振動片３２の先端変位量を、従来品と比べて示すグラフである。
この場合、図７に示す長溝９０，９０の長手方向の長さＬ１を、振動腕３２ｄ，３２ｄの長さＬ２の約５０％とし、また、図９に示す長溝９０，９０の幅Ｗ２を、振動腕３２ｄ，３２ｄの幅Ｗ３の約７０％とし、長溝９０，９０の深さＤ２を振動腕３２ｄ，３２ｄの厚みＤ３の約４０％とした圧電振動片について測定したものである。
この結果、図１０に示すように、長溝９０，９０を設けた振動腕３２ｄ，３２ｄの先端変位量は他の実施形態の先端変位量と比べて２０％以下となっている。
【００８１】
このように、第５の実施形態においては、他の実施形態の作用効果を発揮し、圧電振動片３２が外部からの衝撃で振れた場合であっても、振動腕３２ｄが変位する量は小さくなるため、振動腕３２ｄの先端３２ｂおよび損傷すると周波数性能に比較的大きな影響を与える個所３２ｃが、さらにパッケージに当接することをより効果的に防止して、損傷することを防止する。
【００８２】
なお、長溝９０については、溝ではなく貫通孔としたり、或いは振動腕３２ｄ内の断面形状をＶ字状等になるように形成してもよい。
【００８３】
図１１は、圧電振動子の第６の実施形態を示す概略平面図であり、図１２は、図１１のＦ−Ｆ線概略断面図である。
これらの図において、図７及び図８の圧電振動子７０と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００８４】
この圧電振動子８０において、第５の実施形態と異なるのは、圧電振動片３２の基端部３２ａに切り欠き部若しくはくびれ部３２ｅ，３２ｅを設けている点である。
基端部３２ａは、圧電振動片３２のうち一対の振動腕３２ｄ，３２ｄを除いた部分であり、導電性接着剤４３，４３と固定した固定領域３２ｆ，３２ｆを有する。
そして、この基端部３２ａの固定領域３２ｆ，３２ｆと振動腕３２ｄ，３２ｄとの間において、両端部（図１１における上下部）の２箇所に切り欠き部若しくはくびれ部３２ｅ，３２ｅを設けている。例えば、図１１においては、圧電振動片３２の基端部３２ａの左端部に導電性接着剤４３，４３と固定した固定領域３２ｆ，３２ｆがあり、この固定領域３２ｆ，３２ｆよりも振動腕３２ｄ側の基端部３２ａには、基端部３２ａの幅が縮幅されて形成された切り欠き部３２ｅ，３２ｅが設けられ、この切り欠き部３２ｅ，３２ｅに隣接して、拡径部３２ｇ，３２ｇが一体に形成されており、この拡径部３２ｇ，３２ｇから、図において右方に向かって振動腕３２ｄ，３２ｄが平行に延びている。
【００８５】
第６の実施形態は以上のように構成されており、このため、第６の実施形態の圧電振動子８０においては、振動腕３２ｄ，３２ｄからの振動が、導電接着剤４３で固定された固定領域３２ｆに伝わり難くなるため、振動腕３２ｄのＣＩ値を、第５の実施形態よりも、さらに低くすることができる。
また、基端部３２ａを切り欠くことで圧電振動片３２の質量も低減され、ＣＩ値はさらに低く抑えられる。
【００８６】
ここで、固定領域３２ｆよりも先端側に切り欠き部３２ｅを設けたことで、圧電振動片３２の重量は軽くなり、外部からの衝撃で振動腕３２ｄが振れた場合であっても、振動腕３２ｄの変位量は小さくなる。
また、圧電振動片３２のＣＩ値を他の実施形態と同様のＣＩ値となるように形成した場合には、振動腕３２ｄの長さは他の実施形態と比べて短くてもすむ。そして、振動腕３２ｄの長さが短くなると、外部からの衝撃で振動腕３２ｄが振れた場合に、振動腕３２ｄの変位量はさらに小さくなる。
このため、第５の実施形態の作用効果を発揮し、圧電振動片３２が外部からの衝撃で振れた場合であっても、振動腕３２ｄの先端３２ｂおよび損傷すると周波数性能に比較的大きな影響を与える個所３２ｃが、さらにパッケージに当接することをより効果的に防止して、損傷することを防止する。
【００８７】
本発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、緩衝部４１は、図示した各位置に限らず、パッケージ３６の内面であって、圧電振動片３２がその厚み方向に振れた場合に当接するあらゆる位置に配置することができる。また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
【００８８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、小型に形成しても優れた耐衝撃性能を備えた圧電振動子とその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の圧電振動子の第１の実施形態の蓋体を除いた概略平面図。
【図２】  図１のＡ−Ａ線概略断面図。
【図３】  図１の圧電振動子の製造方法を説明するためのフローチャート。
【図４】  本発明の圧電振動子の第２の実施形態の概略断面図。
【図５】  本発明の圧電振動子の第３の実施形態の概略断面図。
【図６】  本発明の圧電振動子の第４の実施形態の概略断面図。
【図７】  圧電振動子の第５の実施形態を示す概略平面図。
【図８】  図７のＢ−Ｂ線概略断面図。
【図９】  長溝の形状を説明するための図であり、図７のＣ−Ｃ線端面図。
【図１０】  第５の実施形態に係る音叉型の圧電振動片３２の先端変位量を、従来品と比べて示すグラフ。
【図１１】  圧電振動子の第６の実施形態を示す概略平面図。
【図１２】  図１１のＦ−Ｆ線概略断面図。
【図１３】  従来の圧電振動子の構成を示す概略断面図。
【図１４】  （ａ）図１３の圧電振動子に使用される音叉型の圧電振動片の概略平面図と、（ｂ）音叉型の圧電振動片の損傷部位に対応した周波数変化を示すグラフ。
【図１５】  圧電振動子において、音叉型の圧電振動片の先端部の損傷を防止するための考えられる構成例を示す概略断面図。
【図１６】  図１５の圧電振動子の製造方法を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
３０，４０，５０，６０・・・圧電振動子、３２・・・圧電振動片、３２ａ    ・・・基端部、３２ｄ・・・振動腕、３２ｅ・・・切り欠き部、３３・・・積層基板、３４・・・積層基板、３５・・・積層基板、３６・・・パッケージ、３７・・・開口、３８・・・封止材、３９・・・蓋体、４１・・・緩衝部、４２・・・凹部、４８・・・電極、９０・・・長溝
【図１】
0003969131.tif 000002
【図２】
0003969131.tif 000003
【図３】
0003969131.tif 000004
【図４】
0003969131.tif 000005
【図５】
0003969131.tif 000006
【図６】
0003969131.tif 000007
【図７】
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【図８】
0003969131.tif 000009
【図９】
0003969131.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0003969131.tif 000014
【図１４】
0003969131.tif 000015
【図１５】
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【図１６】
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