(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リード線がセンサケース内部から外部に導出されているセンサにおいて、
前記センサケースには、筒状の導出部が外側に突出して形成されており、
この導出部には、先端部側に耐熱チューブ嵌合部が、一方、付け根部側には、リード線保護熱収縮チューブ取付部が形成され、
前記導出部に取り付けられるリード線保護チューブは、可撓性の耐熱チューブ、この耐熱チューブの外側を覆っているリード線保護用熱収縮チューブ、および、このリード線保護用熱収縮チューブの内面に形成されている保護チューブ用熱溶融性接着層を具備しており、
前記導出部の耐熱チューブ嵌合部に、前記耐熱チューブの端部が外側から嵌まり、
前記リード線保護用熱収縮チューブは、その端部が耐熱チューブの端部よりも突出して、リード線保護熱収縮チューブ取付部に外側から嵌まるとともに、前記保護チューブ用熱溶融性接着層で耐熱チューブおよびリード線保護熱収縮チューブ取付部に接着されており、
リード線は、前記導出部の内部、および、リード線保護チューブの内部空間を通ってセンサケースの外側に導かれることを特徴とするセンサ。
【請求項２】
前記耐熱チューブ嵌合部とリード線保護熱収縮チューブ取付部との間に耐熱チューブ嵌合部よりも外径が小径の小径部が設けられて、耐熱チューブ嵌合部の付け根部側の端部に角部が形成され、
前記耐熱チューブの端部が前記小径部に達していることを特徴とする請求項１記載のセンサ。
【請求項３】
可撓性の耐熱チューブ、この耐熱チューブの外側を覆っている熱収縮チューブ、および、この熱収縮チューブと耐熱チューブとの間に介在する熱溶融性接着層を具備し、
前記耐熱チューブの内部空間をリード線が通るとともに、このリード線が耐熱チューブに対して移動可能なことを特徴とするリード線保護チューブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液位計などのセンサおよびリード線保護チューブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、特開平７−６３５９２号公報などに記載されている液位計などのセンサにおいては、センサケースの内部からリード線が外側に導出されている。そして、このセンサはアルコールなどで洗浄されることがあり、この導出部を通って、洗浄液であるアルコールがセンサケース内部に侵入するおそれがある。また、外部の結露水などが、導出部を通ってセンサケース内部に侵入するおそれがある。そこで、図５に図示するように、リード線０１を接着剤０２付きの熱収縮チューブ０３に挿入し、この熱収縮チューブ０３を加熱し、熱収縮させて束ねていた。そして、熱収縮チューブ０３に傷が付き、熱収縮チューブ０３内に洗浄液や結露水が侵入しても、接着剤０２により、センサケース内に洗浄液や結露水が侵入することを防止している。また、リード線０１の先端には、コネクターが取り付けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、熱収縮チューブ０３は、洗浄やコネクターの接続などの際に、折り曲げられることがある。そして、熱収縮チューブ０３内のリード線０１は、熱収縮チューブ０３に対して接着剤０２により拘束されているため、熱収縮チューブ０３の折り曲げ時や引っ張り時などに、強制的に引っ張られたりして、リード線０１が断線することがある。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためのもので、リード線の断線を極力防止することができるセンサおよびリード線保護チューブを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のセンサ（１）は、リード線（４２）がセンサケース内部から外部に導出されている。そして、前記目的を達成するために、センサケースには、筒状の導出部（１６）が外側に突出して形成されており、この導出部には、先端部側に耐熱チューブ嵌合部（２１）が、一方、付け根部側にはリード線保護熱収縮チューブ取付部（２２）が形成され、導出部に取り付けられるリード線保護チューブ（３１）は、可撓性の耐熱チューブ（３１ａ）、この耐熱チューブの外側を覆っているリード線保護用熱収縮チューブ（３１ｂ）、および、このリード線保護用熱収縮チューブの内面に形成されている保護チューブ用熱溶融性接着層（３１ｃ）を具備しており、導出部の耐熱チューブ嵌合部に、前記耐熱チューブの端部が外側から嵌まり、リード線保護用熱収縮チューブは、その端部が耐熱チューブの端部よりも突出して、リード線保護熱収縮チューブ取付部に外側から嵌まるとともに、保護チューブ用熱溶融性接着層で耐熱チューブおよびリード線保護熱収縮チューブ取付部に接着されており、リード線は、前記導出部の内部、および、リード線保護チューブの内部空間を通ってセンサケースの外側に導かれる。
【０００６】
また、前記耐熱チューブ嵌合部とリード線保護熱収縮チューブ取付部との間に耐熱チューブ嵌合部よりも外径が小径の小径部（２３）が設けられて、耐熱チューブ嵌合部の付け根部側の端部に角部（２４）が形成され、前記耐熱チューブの端部が前記小径部に達している場合がある。
【０００７】
さらに、リード線保護チューブは、可撓性の耐熱チューブ、この耐熱チューブの外側を覆っている熱収縮チューブ、および、この熱収縮チューブと耐熱チューブとの間に介在する熱溶融性接着層を具備し、前記耐熱チューブの内部空間をリード線が通るとともに、このリード線が耐熱チューブに対して移動可能である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明におけるセンサの実施の一形態を説明する。図１は本発明のセンサの説明図で、（ａ）がセンサの要部平面図、（ｂ）が一部切欠き側面図である。図２はセンサの変形例の要部の一部切欠き側面図である。図３は本発明のセンサの説明図で、（ａ）が図２のＡ部の拡大図、（ｂ）がリード線保護チューブの要部の断面図である。図４は図２の要部拡大図である。
【０００９】
センサ１は、半導体加工プロセスなどに用いられる熱感式液位計であり、液体原料気化装置の液体原料２を収容するステンレス製の容器３に気密に取り付けられている。センサ１のケースは液密であり、ケース本体１１、ケース本体１１から容器３内に突出する４本の保護管１２、およびケース本体１１の開口面を覆う蓋体１３からなっている。蓋体１３には、円筒状のリード線導出部１６が突出して設けられている。図１に図示するセンサ１では、導出部１６は蓋体１３の側面から突出しているとともに、蓋体１３とは別体に形成され、Ｏリング１７で液密にシールされている。一方、図２に図示するセンサ１の変形例では、導出部１６は蓋体１３の上面から突出しているとともに、蓋体１３とは一体に形成されている。導出部１６は、先端部側に耐熱チューブ嵌合部２１が、一方、付け根部側には、リード線保護熱収縮チューブ取付部２２が形成されているとともに、この耐熱チューブ嵌合部２１と熱収縮チューブ取付部２２との間に小径部２３が形成されている。そして、熱収縮チューブ取付部２２、耐熱チューブ嵌合部２１および小径部２３の順に外径は小さくなっている。また、耐熱チューブ嵌合部２１の付け根側の端部には、角部２４が形成されている。
【００１０】
また、各保護管１２の先端部には、内部に、温度検出素子としての測温抵抗体である白金抵抗素子４１が配置され、この白金抵抗素子４１からのリード線４２が保護管１２およびケース本体１１内を通って導出部１６に導かれている。そして、ケース本体１１内において、リード線４２の中間部はエポキシ接着剤４３で固定されている。リード線４２は、導出部１６を通過して、可撓性のリード線保護チューブ３１を通ってコネクター５１に達し、コネクター５１の内部の端子５２に固定されている。リード線保護チューブ３１内において、このリード線４２は、弛まして配置されている。
【００１１】
リード線保護チューブ３１は、可撓性の耐水かつ耐熱チューブ３１ａと、耐熱チューブ３１ａの外側を覆っている耐水かつ耐熱性のリード線保護用熱収縮チューブ３１ｂと、熱収縮チューブ３１ｂの内面の略全面に形成されている保護チューブ用熱溶融性接着層３１ｃとからなっている。耐熱チューブ３１ａは耐スパッター用チューブで、高融点の熱可塑性樹脂をベースに難燃化処理が施されている。また、熱収縮チューブ３１ｂは電子線架橋軟質難燃性ポリオレフィン樹脂で、熱溶融性接着層３１ｃは熱溶融性接着剤で形成されている。そして、リード線保護チューブ３１製造時には、まず初めに、耐熱チューブ３１ａの一端を耐熱チューブ嵌合部２１の外側に嵌め込む。すなわち、耐熱チューブ嵌合部２１が耐熱チューブ３１ａ内に挿入されている。この耐熱チューブ３１ａは、端部が小径部２３に達するまで押し込まれている。また、耐熱チューブ３１ａは、内径が耐熱チューブ嵌合部２１により広げられており、耐熱チューブ３１ａの弾性力により耐熱チューブ嵌合部２１に密着している。そして、耐熱チューブ３１ａの先端は、その内径が耐熱チューブ嵌合部２１の外径よりも小さく縮んでおり、耐熱チューブ３１ａの内面が角部２４に引っ掛かった状態となり、抜け止めとなっている。
【００１２】
ついで、耐熱チューブ３１ａを覆っている状態の熱収縮チューブ３１ｂの端部を、熱収縮チューブ取付部２２の外側に嵌め込む。すなわち、熱収縮チューブ３１ｂの端部は、耐熱チューブ３１ａの端部よりも付け根側に突出している。そして、熱収縮チューブ３１ｂを外側から加熱している。この加熱の際に、熱収縮チューブ３１ｂが収縮するとともに、熱溶融性接着層３１ｃが溶融しその後固着しており、耐熱チューブ３１ａと熱収縮チューブ３１ｂとが略密着して接着されているとともに、熱収縮チューブ３１ｂと熱収縮チューブ取付部２２とが略密着して接着されている。したがって、図３（ｂ）に図示するように、熱収縮チューブ３１ｂに傷６１が付いても、この傷６１が耐熱チューブ３１ａに伝播することを、熱溶融性接着層３１ｃで防止することができる。また、耐熱チューブ３１ａにも傷６２が付いている場合にも、耐熱チューブ３１ａと熱収縮チューブ３１ｂとの間に熱溶融性接着層３１ｃが介在しているので、傷６１から侵入した液体が、耐熱チューブ３１ａと熱収縮チューブ３１ｂとの隙間を通って傷６２に達してリード線保護チューブ３１内に侵入することを極力阻止することができる。しかも、熱収縮チューブ３１ｂの端部が熱収縮チューブ取付部２２に略密着して接着されており、リード線保護チューブ３１の端部からの液体の侵入を確実に防止することができる。
【００１３】
さらに、このリード線保護チューブ３１の端部を覆う状態で筒状のカバー６６が取り付けられている。この可撓性のカバー６６は、耐水性および耐熱性を有するカバー用熱収縮チューブ６６ａおよび、この熱収縮チューブ６６ａの内面に形成されているカバー用熱溶融性接着層６６ｂからなっている。熱収縮チューブ６６ａは電子線架橋軟質難燃性ポリオレフィン樹脂が主原料で構成され、熱溶融性接着層６６ｂは熱溶融性未架橋ポリオレフィン樹脂が主原料で構成されている。熱収縮チューブ６６ａは弾性を有している。そして、カバー６６はリード線保護チューブ３１の端部に取り付けられると、外側から加熱され、熱収縮チューブ６６ａが収縮するとともに、熱溶融性接着層６６ｂが溶融しその後固着して、熱収縮チューブ６６ａがリード線保護チューブ３１の端部に接着されている。このカバー６６の外側を締め付け具であるワイヤホースバンド６８で止めている。この様にして、バンド６８による締めつけ時に、熱収縮チューブ３１ｂが傷つくことを、弾性のあるカバー６６で防止している。
【００１４】
一方、コネクター５１の本体５１ａには、筒状のコネクターカバー７１の端部が螺合しており、また、このコネクターカバー７１の反対側の端部には筒状のゴム栓７３が取り付けられている。このゴム栓７３に、リード線保護チューブ３１のコネクター５１側の端部が挿入されて取り付けられている。このゴム栓７３とリード線保護チューブ３１との間には、シリコンチューブ７２が配設されている。
【００１５】
この様に構成されているので、リード線４２はリード線保護チューブ３１に対して自由に移動可能であり、リード線保護チューブ３１が引っ張られたり、折り曲げられたりしても、リード線４２が損傷することが減少する。また、リード線保護チューブ３１は、熱溶融性接着層３１ｃで導出部１６の熱収縮チューブ取付部２２に固定されているとともに、リード線保護チューブ３１の内面が耐熱チューブ嵌合部２１の角部２４に引っ掛かっているので、リード線保護チューブ３１が導出部１６から外れることが減少する。しかも、バンド６８で締め付けられており、導出部１６から外れることをより確実に防止することができる。
【００１６】
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（１）導出部１６はケース本体１１に形成することも可能である。
（２）液位計以外のセンサに採用することも可能である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明によれば、リード線は、センサケースの導出部の内部、および、リード線保護チューブの内部空間を通ってセンサケースの外側に導かれており、リード線保護チューブが折り曲げられたり、引っ張られたりしても、リード線に負荷が加わることがなく、リード線の断線を防止することができる。しかも、リード線保護チューブは、可撓性の耐熱チューブ、この耐熱チューブの外側を覆っているリード線保護用熱収縮チューブ、および、このリード線保護用熱収縮チューブと耐熱チューブとの間に介在する保護チューブ用熱溶融性接着層を具備しており、外側のリード線保護用熱収縮チューブが損傷して傷が付いても、この傷が耐熱チューブに伝播することを熱溶融性接着層で防止することができる。また、耐熱チューブとリード線保護用熱収縮チューブとの間の隙間を通って、液体が流れることも、熱溶融性接着層で防止することができる。したがって、耐熱チューブに傷が付いていても、リード線保護チューブ内に液体が侵入することを極力防止することができる。さらに、リード線保護用熱収縮チューブの端部は導出部のリード線保護熱収縮チューブ取付部に熱溶融性接着層で接着されており、リード線保護チューブの端部から液体が侵入することを、熱溶融性接着層で極力防止することができるとともに、リード線保護チューブが導出部から外れることを極力防止することができる。
【００１８】
また、耐熱チューブ嵌合部とリード線保護熱収縮チューブ取付部との間に耐熱チューブ嵌合部よりも外径が小径の小径部が設けられて、耐熱チューブ嵌合部の付け根部側の端部に角部が形成され、耐熱チューブの端部が小径部に達している場合には、耐熱チューブが前記角部に引っ掛かるので、リード線保護チューブが導出部から外れることをより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明のセンサの説明図で、（ａ）がセンサの要部平面図、（ｂ）が一部切欠き側面図である。
【図２】図２はセンサの変形例の要部の一部切欠き側面図である。
【図３】図３は本発明のセンサの説明図で、（ａ）が図２のＡ部の拡大図、（ｂ）がリード線保護チューブおよびカバーの要部の断面図である。
【図４】図４は図２の要部拡大図である。
【図５】図５は従来のセンサの要部拡大図である。
【符号の説明】
１  センサ
１６  導出部
２１  耐熱チューブ嵌合部
２２  リード線保護熱収縮チューブ取付部
２３  導出部の小径部
２４  耐熱チューブ嵌合部の角部
３１  リード線保護チューブ
３１ａ  耐熱チューブ
３１ｂ  リード線保護用熱収縮チューブ
３１ｃ  保護チューブ用熱溶融性接着層
４２  リード線
６６  カバー
６６ａ  カバー用熱収縮チューブ
６６ｂ  カバー用熱溶融性接着層
【図１】
0003892200.tif 000002
【図２】
0003892200.tif 000003
【図３】
0003892200.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003892200.tif 000006