(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトエッチング法により金属薄板からなるリードフレームを製造する方法において、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略角型状パターンを延長して設け、リード先端部とアイランド部との間には、アイランド部側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状であるバリアレジストパターンを設けて、エッチングを行うことを特徴とするリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属薄板を用いたリードフレームの製造方法に関するものであり、特に薄手の金属薄板を用いて多ピンのリードフレームを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、フォトエッチング法により金属薄板からなるリードフレームを製造する際には、リードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを防ぐために、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略三角型状パターンを延長して設けたり、またリード先端部とアイランド部の間には、周囲が直線状の細長い矩形状バリアパターンを設けたりしていた。
【０００３】
具体的には、図４（ａ）は従来法における一例の、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド部のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジストパターン（１３）、リード先端部パターンの略三角型状パターン（２４）、バリアレジストパターン（２５）の一部分を示したものである。
【０００４】
図４（ａ）に示すように、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレジストパターン（１３）とその両隅に略三角型状レジストパターン（２４）を延長して設けてある。
図４（ｂ）は従来法における一例の、エッチング後のアイランド部（２２）とリード先端部（２３）の一部分を拡大して示したものであるが、リードフレームとなる金属薄板として、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図４（ｂ）において、エッチング後のリード先端部の幅（Ａ）の、例えば約０．１０ｍｍ，スリットの幅（Ｂ）の約０．１０ｍｍ程度に対し、エッチングを行う前のリード先端部のレジストパターン（１３）の幅（Ａ’）は、図４（ａ）に示すように、約０．１５ｍｍ程度であり，スリットの幅（Ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度となる。
また、図４（ａ）において、リード先端部のレジストパターンの両隅にある略三角型状レジストパターン（２４）の高さは約０．０４ｍｍ程度である。
図４において、Ｃはリードのピッチ、Ｃ’はリード先端部のレジストパターンのピッチを示している。
【０００５】
また、図４（ａ）に示すように、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレジストパターン（２５）が設けられている。このバリアレジストパターン（２５）はアイランド部側、リード先端部側共に直線状で細長い矩形である。
前記のように、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図４（ａ）において、リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間の距離（Ｌ’）が、例えば約０．３０ｍｍ程度の際には、アイランド部のレジストパターン（１２）とバリアレジストパターン（２５）の間の距離（Ｉ’）は約０．１０ｍｍ程度、バリアレジストパターン（２５）とリード先端部のレジストパターン（１３）の間の距離（Ｇ’）は約０．１０ｍｍ程度であり、バリアレジストパターン（２５）の幅（Ｈ’）は約０．１０ｍｍ程度となる。
【０００６】
しかし、図４（ｂ）に示すように、エッチング後に得られるリードフレームのアイランド部（２２）とリード先端部（２３）の間の距離（Ｌ）は約０．４５ｍｍ程度で、リード先端部（２３）の短縮量（Ｌ’’）は約０．１２５ｍｍ程度となっている。
また、図４（ｂ）に示すように、リード先端部（２３）の両隅は円形化している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、このような三角型の角状パターンの延長及び周囲が直線状の細長い矩形状バリアパターンを設けることによっては、リードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを防ぐことが十分に行われていないため、リードフレームを使用する際のワイヤボンデイング工程においてボンデイング不良などの支障をきたすことがある。
本発明は、このようなリードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを防ぐことを確実に行い、ボンデイング不良などの支障をきたすことのないリードフレームを製造する方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、フォトエッチング法により金属薄板からなるリードフレームを製造する方法において、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略角型状パターンを延長して設け、リード先端部とアイランド部との間には、アイランド部側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状であるバリアレジストパターンを設けて、エッチングを行うことを特徴とするリードフレームの製造方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の製造方法を一実施形態に基づいて以下に説明する。
図１は、本発明によるリードフレーム（１）の製造の一実施例を示す平面図である。図１において、中央部にはアイランド部（２）があり、その周辺にはリード先端部（３）が配置されている。
図２は、図１のアイランド部とリード先端部の一部分を拡大して示す平面図である。
【００１０】
図３（ａ）は、本発明によるリードフレーム（１）のエッチングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド部のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジストパターン（１３）、略角型状レジストパターン（１４）、バリアレジストパターン（１５）の一部分を示したものである。
図３（ｂ）は、本発明によるリードフレーム（１）のエッチング後のアイランド部（２）とリード先端部（３）の一部分を拡大して示したものであるが、リードフレームとなる金属薄板として、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図３（ｂ）において、エッチング後のリード先端部の幅（ａ）は、例えば約０．１０ｍｍ，スリットの幅（ｂ）は約０．１０ｍｍ程度であり、また、リードのピッチ（ｃ）は約０．２０ｍｍ程度で、アイランド部（２）とリード先端部（３）の間の距離（ｌ）は約０．３５ｍｍ程度のものである。
【００１１】
図３（ａ）に示すように、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレジストパターン（１３）とその両隅に略角型状レジストパターン（１４）を延長して設けてある。
リードフレームとなる金属薄板として、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図３（ｂ）において、前記エッチング後のリード先端部の幅（ａ）の、例えば約０．１０ｍｍ，スリットの幅（ｂ）の約０．１０ｍｍ程度に対し、エッチングを行う前のリード先端部のレジストパターン（１３）の幅（ａ’）は、図３（ａ）に示すように、約０．１５ｍｍ程度であり，エッチングを行う前のスリットの幅（ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度となる。
また、（ｃ’）はリード先端部のレジストパターンのピッチを示している。
【００１２】
このエッチング前後の、例えばリード先端部のレジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍとリード先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約０．０５ｍｍは、フォトエッチング法により金属薄板を加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側面がエッチングされてしまう量を予めレジストパターンにおいて補正したものである。
また、図３（ａ）において、リード先端部のレジストパターンの両隅にある略角型状レジストパターン（１４）の高さは約０．０４ｍｍ程度である。
【００１３】
また、図３（ａ）に示すように、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレジストパターン（１５）が設けられている。このバリアレジストパターン（１５）はアイランド部側は直線状であり、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状となっている。
【００１４】
前記のように、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図３（ｂ）において、アイランド部（２）とリード先端部（３）の間の距離（ｌ）が例えば約０．３５ｍｍ程度の際には、図３（ａ）において、リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間の距離（ｌ’）は約０．３０ｍｍ程度である。
また、アイランド部のレジストパターン（１２）とバリアレジストパターン（１５）の間の距離（ｉ’）は約０．１０ｍｍ程度、バリアレジストパターン（１５）とリード先端部のレジストパターン（１３）の間の距離（ｇ’）は約０．１０ｍｍ程度であり、バリアレジストパターン（１５）の幅（ｈ’）は約０．１０ｍｍ程度となる。
また、リード先端部のレジストパターン（１３）と略台形レジストパターン（１６）の間の距離（ｅ）及び略台形レジストパターン（１６）の高さ（ｆ）は、各々約０．０５ｍｍ程度であり、略台形レジストパターン（１６）の底辺（ｋ）及び上辺（ｊ）は各々約０．０８ｍｍ、約０．０５ｍｍ程度である。
【００１５】
図５（イ）〜（ヘ）は、本発明におけるリードフレーム（１）の製造工程の一実施例を示すＸ−Ｘ’断面で表した説明図である。
図５（イ）において、リードフレーム（１）となる板状の金属薄板（４）として、例えば、板厚約０．１２５ｍｍ、大きさ約５０×５０ｃｍの銅板を用いる。
【００１６】
図５（ロ）に示すように、金属薄板（４）上にフォトレジスト層（５）を形成する。
次に、所定のパターンを有する露光用マスク、例えば、リードフレームのパターンとなる部位を光透過部とし、リードフレームのパターン部位以外を遮光部とした、ほぼ同一の一対の露光用マスク（６）、（６’）を用い、図５（ハ）に示すように、金属薄板（４）の一方の面に一枚の露光用マスク（６）を当て、金属薄板（４）の他方の面にもう一枚の露光用マスク（６’）を当てる。
次に、両面より紫外線による光照射（３０）を行うことで、リードフレームのパターンとなる部位のフォトレジスト層を光硬化させる。
次に、現像を行うことにより、未露光部のフォトレジスト層の除去を行い、図５（ニ）に示すようにリードフレームのパターンとなる部位以外の金属を露出させたエッチングレジスト層（７）、（７’）を得る。
【００１７】
次に、エッチング液（４０）を金属薄板の表裏両面に接触させエッチングを行う。露出した金属薄板部位、すなわちリードフレームのパターンとなる部位以外の金属薄板が選択的に溶解除去され、またバリアレジストパターン（１５）部の金属薄板はアイランド部（２）及びリード先端部（３）から溶解分離され、図５（ホ）のような金属薄板を得る。
なお、エッチングは強酸性のエッチング液、例えば、塩化第二鉄液を用い、スプレーエッチング法を採用する。
次に、金属薄板を水洗洗浄後、エッチングレジスト層（７）、（７’）の剥膜を行い水洗乾燥し、図５（ヘ）示すリードフレーム（１）を得るものである。
【００１８】
このようにして得られたリードフレームは、図３（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の短縮量（ｌ’’）は約０．０２５ｍｍ程度と非常に少なくなっている。
これは前記フォトエッチング法により金属薄板を加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側面がエッチングされてしまう量、例えばリード先端部のレジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍとリード先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約０．０５ｍｍの片側分約０．０２５ｍｍと同程度の量である。
また、このようにして得られたリードフレームは、図３（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の両隅は円形化していない。
【００１９】
【発明の効果】
本発明においては、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略角型状パターンを延長して設け、リード先端部とアイランド部との間には、アイランド部側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状であるバリアパターンを設けてあるので、リード先端部の短縮量は非常に少なくなっている。
また、リード先端部の両隅は円形化していないものが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるリードフレームの製造の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のアイランド部とリード先端部の一部分を拡大して示す平面図である。
【図３】（ａ）は、本発明によるリードフレームのエッチングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明する平面図である。
（ｂ）は、本発明によるリードフレームのエッチング後のアイランド部とリード先端部の一部分を拡大して示した平面図である。
【図４】（ａ）は従来法における一例の、エッチングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明する平面図である。
（ｂ）は従来法における一例の、エッチング後のアイランド部とリード先端部の一部分を拡大して示した平面図である。
【図５】（イ）〜（ヘ）は、本発明におけるリードフレームの製造工程の一実施例を示すＸ−Ｘ’断面で表した説明図である。
【符号の説明】
１…リードフレーム
２…アイランド部
３…リード先端部
４…金属薄板
５…フォトレジスト層
６…表面露光用マスク
６’…裏面露光用マスク
７…表面エッチングレジスト層
７’…裏面エッチングレジスト層
１２…アイランド部のレジストパターン
１３…リード先端部のレジストパターン
１４…略角型状レジストパターン
１５…バリアレジストパターン
１６…略台形レジストパターン
２２…従来法におけるアイランド部
２３…従来法におけるリード先端部
２４…略三角型状レジストパターン
２５…従来法におけるバリアレジストパターン
３０…ＵＶ照射
４０…エッチング液
ａ…リード先端部の幅
ｂ…スリットの幅
ｃ…リードのピッチ
ａ’…リード先端部のレジストパターンの幅
ｂ’…エッチングを行う前のスリットの幅
ｃ’…リード先端部のレジストパターンのピッチ
Ａ…従来法におけるリード先端部の幅
Ｂ…従来法におけるスリットの幅
Ｃ…従来法におけるリードのピッチ
Ａ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターンの幅
Ｂ’…従来法におけるエッチングを行う前のスリットの幅
Ｃ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターンのピッチ
ｌ…アイランド部とリード先端部の間の距離
ｌ’…リード先端部のレジストパターンとアイランド部のレジストパターンの間の距離
ｌ’’…リード先端部の短縮量
Ｌ…従来法におけるアイランド部とリード先端部の間の距離
Ｌ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターンとアイランド部のレジストパターンの間の距離
Ｌ’’…従来法におけるリード先端部の短縮量
ｅ…リード先端部のレジストパターンと略台形レジストパターンの間の距離
ｆ…略台形レジストパターンの高さ
ｊ…略台形レジストパターンの上辺
ｋ…略台形レジストパターンの底辺
ｉ’…アイランド部のレジストパターンとバリアレジストパターンの間の距離
ｈ’…バリアレジストパターンの幅
ｇ’…バリアレジストパターンとリード先端部のレジストパターンの間の距離
Ｉ’…従来法におけるアイランド部のレジストパターンとバリアレジストパターンの間の距離
Ｈ’…従来法におけるバリアレジストパターンの幅
Ｇ’…従来法におけるバリアレジストパターンとリード先端部のレジストパターンの間の距離
【図１】
0003899598.tif 000002
【図２】
0003899598.tif 000003
【図３】
0003899598.tif 000004
【図４】
0003899598.tif 000005
【図５】
0003899598.tif 000006