(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも片側に、金属酸化物層が１層以上積層されており、最表面の金属酸化物上に有機物を主成分とする耐薬品層を設けたバリアフィルムにおいて、該耐薬品層の厚さが０．０５μｍ以上１μｍ以下の範囲内であり、かつ該耐薬品層が撥水性化合物と活性エネルギー線硬化製樹脂を含むことを特徴とするバリアフィルム。
【請求項２】
前記撥水性化合物が、シリコーン系化合物であることを特徴とする請求項１に記載のバリアフィルム。
【請求項３】
前記撥水性化合物が、フッ素系化合物であることを特徴とする請求項１に記載のバリアフィルム。
【請求項４】
前記撥水性化合物が、耐薬品層全体に対して０．０１重量％から１０重量％であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバリアフィルム。
【請求項５】
前記耐薬品層が、表面において、水との接触角で７０°から１００°であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバリアフィルム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のバリアフィルムの少なくとも片面の最表面に透明導電層を積層したことを特徴とする透明導電性バリアフィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶素子（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ）、タッチパネル素子（ＴＰ）等に代表されるエレクトロニクス素子用のバリア性を付与したフィルム電極基板に用いられるバリアフィルムおよび透明導電性バリアフィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、液晶素子（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ）、タッチパネル素子（ＴＰ）等のエレクトロニクス素子においては、従来の電極付きガラス基板を用いた素子から、高分子有機材料からなる透明プラスチックフィルム上に透明電極を成膜した透明電極付きフィルムへの需要が高まりつつある。その利点は、軽量、屈曲性、耐衝撃性、大面積化が容易であることなどが挙げられる。しかし、その一方でフィルムは、ガラス基板と比較して水蒸気や酸素などのガスバリア性に劣り、表示性能に支障を及ぼす要因となる。
【０００３】
この様なガスバリアの劣性を補う方法として、透明プラスチックフィルム上にバリア層を設ける検討がなされている。このバリア層は、主にケイ素、アルミニウムなどの金属酸化物層があげられ、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、フォトＣＶＤ法などにより形成される。
【０００４】
更に、この金属酸化物層を薬品から保護するために、金属酸化物層上に有機化合物からなる耐薬品層を設ける検討もなされている。この薬品とは、透明電極付きバリアフィルムの透明電極をパターン化する際のエッチング工程で用いる、アルカリ性水溶液や酸性水溶液である。一般的に透明電極のエッチング工程は、レジスト被覆、レジスト露光、レジスト現像、透明電極エッチング、レジスト剥離の手順であり、レジスト現像工程とレジスト剥離工程でアルカリ性水溶液を、透明電極エッチング工程で酸性水溶液を用いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した〔透明プラスチックフィルム（１）／金属酸化物層（２）／耐薬品層（３）／透明電極（４）〕や〔透明電極（４）／透明プラスチックフィルム（１）／金属酸化物層（２）／耐薬品層（３）〕に代表される従来構成では、以下の課題がある。
【０００６】
金属酸化物層を保護する目的で設置する耐薬品層の耐薬品性能を発現させるためには、厚膜の有機物層である程に有効である。しかしながら有機物層は、それ自体に吸水性を持つ。そのため、液晶素子（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ）、タッチパネル素子（ＴＰ）などを素子した場合、有機物層からの脱水分が生じ、素子機能を低下させる。従って、有機物層の膜厚は可能な限り薄膜が望ましい。
【０００７】
また、厚膜の有機物層は、バリアフィルム自体をカールさせる場合が多い。特に、乾燥時間の短縮の点で生産性向上に有利な光硬化性材料では、その硬化収縮によりカールが顕著に表れる。従って、有機物層の膜厚は可能な限り薄膜が望ましい。
【０００８】
この様に、耐薬品性の点では厚膜の耐薬品層が有効であるが、脱水分やカールの点では薄膜の耐薬品層が有効である。
【０００９】
本発明は、この様な背景から薄膜でも十分に耐薬品性を発現する耐薬品層を設けたバリアフィルムおよび透明電極付きバリアフィルムを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、基材の少なくとも片側に、金属酸化物層が１層以上積層されており、最表面の金属酸化物上に有機物を主成分とする耐薬品層を設けたバリアフィルムにおいて、該耐薬品層の厚さが０．０５μｍ以上１μｍ以下の範囲内であり、かつ該耐薬品層が撥水性化合物と活性エネルギー線硬化製樹脂を含むことを特徴とするバリアフィルムである。
【００１１】
請求項２の発明は、前記撥水性化合物が、シリコーン系化合物であることを特徴とする請求項１に記載のバリアフィルムである。
【００１２】
請求項３の発明は、前記撥水性化合物が、フッ素系化合物であることを特徴とする請求項１に記載のバリアフィルム。
【００１３】
請求項４の発明は、前記撥水性化合物が、耐薬品層全体に対して０．０１重量％から１０重量％であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバリアフィルムである。
【００１４】
請求項５の発明は、前記耐薬品層が、表面において、水との接触角で７０°から１００°であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のバリアフィルムである。
【００１５】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載のバリアフィルムの少なくとも片面の最表面に透明導電層を積層したことを特徴とする透明導電性バリアフィルムである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下本発明を詳細に説明する。
本発明に用いる基材は、特に制限するものではないが、透明性、可撓性のある透明プラスチックフィルムを用いることが好ましい。このようなものとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリスルホンフィルム、アモルファスポリオレフィンフィルムなどがあげられる。基材フィルムの厚さは任意であるが、一般的には数十μｍから数百μｍである。
【００１７】
耐薬品層の主成分である有機物は、熱可塑性樹脂、熱硬化樹脂、活性エネルギー線硬化性樹脂などを用いることができる。その中でも特に、活性エネルギー線硬化性樹脂が、硬化時間の短縮、製造コストなどの点で良好である。具体的に、活性エネルギー線硬化樹脂として、エステルアクリレート、エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート、ポリイミドアクリレート、ポリアミドイミドアクリレートをはじめとする種々のアクリルモノマー、アクリルオリゴマーなどを用いることができる。
【００１８】
耐薬品層の厚さは０．０５〜５μｍ、好ましくは０．０５〜１μｍの範囲内であるとよい。この範囲以下であると十分な耐薬品性が保てず、これ以上であると、フィルム自体のカール、吸水分、脱水分の影響が大きくなってしまう。
【００１９】
耐薬品層に含まれる撥水性化合物としては、シリコーンオイル、シリコーン樹脂などのシリコーン系化合物、フッ素系化合物を用いることができる。
【００２０】
シリコーン系化合物としては、例えばジメチル、メチルフェニル、メチルハイドロジェン、ポリジメチルシロキサンジオール、アルキル変性、アラルキル変性、ポリエーテル変性、脂肪酸エステル変性、フルオロアルキル変性、アミノ変性、エポキシ変性、カルボキシル変性、メタクリル変性、アクリル変性、アルコール変性、メルカプト変性、ビニル変性などのシリコーンオイルを用いることができる。
【００２１】
また、シリコーン樹脂としては、以下の組成物を加水分解、縮重合させることにより得られる。２官能シラン誘導体としては、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルメチルジメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルメチルジエトキシシラン等が好適に利用できる。３官能シラン誘導体としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、メチルトリｔ−ブトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソプロポキシシラン、エチルトリｔ−ブトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリｔ−ブトキシシラン、ｎ−プロピルトリメトキシシラン、ｎ−プロピルトリエトキシシラン、ｎ−プロピルトリイソプロポキシシラン、ｎ−プロピルトリｔ−ブトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリメトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリエトキシシラン、ｎ−ヘキシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−ヘキシルトリｔ−ブトキシシラン、ｎ−デシルトリメトキシシラン、ｎ−デシルトリエトキシシラン、ｎ−デシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−デシルトリｔ−ブトキシシラン、ｎ−オクタデシルトリメトキシシラン、ｎ−オクタデシルトリエトキシシラン、ｎ−オクタデシルトリイソプロポキシシラン、ｎ−オクタデシルトリｔ−ブトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリイソプロポキシシラン、フェニルトリｔ−ブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリｔ−ブトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリイソプロポキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリｔ−ブトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリｔ−ブトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−アミノプロピルトリｔ−ブトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリイソプロポキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリｔ−ブ��キシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、トリフルオロプロピルトリエトキシシラン、トリフルオロプロピルトリイソプロポキシシラン、トリフルオロプロピルトリｔ−ブトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルトリエトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルトリイソプロポキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルトリｔ−ブトキシシラン等が好適に利用できる。４官能シラン誘導体としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラｔ−ブトキシシラン、ジメトキシジエトキシシラン等が好適に利用できる。
【００２２】
フッ素樹脂としては、例えば、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリ塩化三フッ化エチレン、ポリ四フッ化エチレン、ポリ四フッ化エチレンー六フッ化プロピレンコポリマー、エチレンーポリ四フッ化エチレンコポリマー、エチレンーポリ塩化三フッ化エチレンコポリマー、四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマー、パーフルオロシクロポリマー、ビニルエーテルーフルオロオレフィンコポリマー、ビニルエステルーフルオロオレフィンコポリマー等が好適に利用できる。フッ素化合物には、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化ストロンチウム、フッ化バリウム、フッ化スカンジウム、フッ化イットリウム、フッ化ジルコニウム、フッ化ハフニウム、フッ化マンガン、フッ化鉄、フッ化コバルト、フッ化ニッケル、フッ化銅、フッ化アルミニウム、フッ化ガリウム、フッ化インジウム、フッ化ビスマス、フッ化ランタン、フッ化セリウム、フッ化プラセオジウム、フッ化ネオジウム、フッ化サマリウム、フッ化ユーロピウム、フッ化テルビウム、フッ化ジスプロシウム、フッ化ホルミウム、フッ化エルビウム、フッ化ツリウム、フッ化イッテルビウム、フッ化ルテチウム等が好適に利用できる。
【００２３】
本発明において上記の撥水性化合物は、耐薬品層を構成する全重量の０．０１重量％から１０重量％で好適である。撥水性化合物は１０重量％よりも多量であると、耐薬品層を形成する際に、下地との濡れ性が低下して塗布できない場合がある。また、塗布が可能であった場合でも、耐薬品層と下地との密着性が低い場合がある。更に、上層に透明電極が設置される場合、双方の密着性が低下する。また、本発明の耐薬品層における撥水状態は、水との接触角で７０°から１００°であることが目安となる。
【００２４】
上記の各材料より構成された耐薬品層の塗布方法としては、必要に応じて希釈溶媒を用い、スプレ−コ−ティング法、ディップコ−ティング法、フロ−コ−ティング法、スピンコ−ティング法、ロ−ルコ−ティング法、刷毛塗り、スポンジ塗り等の方法が好適に利用できる。そして、耐薬品層の膜厚は０．０５μｍの薄膜でも十分な耐薬品性を発現する。
【００２５】
バリア性能を発現する金属酸化物層としては、たとえば、ケイ素、スズ、インジウム、バナジウム、タングステン、ニッケル、ニオブ、アルミニウム、マグネシウム、モリブデンなどの金属の酸化物の薄層があげられ、２種以上の混合物であってもよい。この金属酸化物層（２）は、スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着法、フォトＣＶＤ法などにより形成される。厚みは、一般的に金属酸化物層（２）は０．００１〜０．１μｍである。ただし、透明性が損なわれない厚みとする。これ以下であると十分なバリア性が保てず、これ以上であるとクラックなどの原因となる。
【００２６】
本発明では最外層に撥水性化合物を含む耐薬品層を設ければ良く、最外層より内側の層には耐薬品製を目的として撥水性化合物を含まない有機物層を設けることができる。この有機物層の膜厚は１〜５μｍの範囲内であると好ましい。これ以下であると撥水性化合物を含まないので十分な耐薬品製が保てず、これ以上であると、フィルム自体のカール、吸水分、脱水分の影響が大きくなってしまう。
【００２７】
本発明のバリアフィルムは以下の構成が可能である。
透明プラスチックフィルム層を（１）、金属酸化物層を（２）、耐薬品層を（３）とし、更に撥水性化合物を含有しない有機物層を（５）とした場合、
〔１／２／３〕
〔１／３／２／３〕
〔１／２／３／２／３〕
〔３／２／１／２／３〕
〔３／２／３／１／３／２／３〕
〔３／２／３／２／１／２／３／２／３〕
〔３／２／１／２／３／２／３〕
〔１／２／３〕
〔１／５／２／３〕
〔１／２／５／２／３〕
〔３／２／１／２／３〕
〔３／２／５／１／５／２／３〕
〔３／２／５／２／１／２／５／２／３〕
〔３／２／３／２／１／２／５／２／３〕
【００２８】
また、本発明の透明導電性バリアフィルムは、上記バリアフィルムの少なくとも片面の最表面に透明導電層を積層することにより得ることができる。この透明導電性バリアフィルムは、液晶素子（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ）、タッチパネル素子（ＴＰ）等に代表されるエレクトロニクス素子用のバリア性を付与したフィルム電極として用いることができる。
【００２９】
透明電極層（４）は、操作性、コスト、エッチング性などを総合考慮すると、事実上ＩＴＯ（インジウム−スズ複合酸化物）が好適である。透明電極層の厚みは、１０〜１５０ｎｍである。
【００３０】
【実施例】
次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。
【００３１】
＜実施例に用いた塗布液の組成＞
（塗布液ａの組成）
・撥水性化合物：ジメチルポリシロキサン
・感光性モノマー：ペンタエリスリトールトリアクリレート
・希釈溶媒：イソプロピルアルコール
・光重合開始剤：イルガキュア１８４
上記の重量組成比＝０．５：３０：７０：１（重量部）
塗布液ａの硬化条件＝高圧水銀ランプ、出力１２０Ｗ／ｃｍ１灯、照射量５００ｍＪ／ｃｍ2
（塗布液ｂの組成）
・感光性モノマー：ペンタエリスリトールトリアクリレート
・希釈溶媒：イソプロピルアルコール
・光重合開始剤：イルガキュア１８４
上記の重量組成比＝３０：７０：１（重量部）
塗布液ｂの硬化条件＝高圧水銀ランプ、出力１２０Ｗ／ｃｍ１灯、照射量５００ｍＪ／ｃｍ2
【００３２】
＜実施例１＞
透明プラスチックフィルム層として厚み１００μｍのポリカーボネートフィルムの片面に、ＣＶＤ法により４０ｎｍの酸化珪素膜を成膜した。次に、上記の塗布液ａで０．３μｍの耐薬品層をロールコーティング法で塗布した。ここまでの構成でモコン法による水蒸気バリア、酸素バリアを測定した結果、それぞれ０．２０（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．４３（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であった。また、水の接触角は８０°であった。
【００３３】
このバリアフィルムを、透明電極のエッチング工程で用いる１ＮＨＣｌ水溶液（５０℃６０秒）、１ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液（５０℃３０秒）に浸漬し、再度、水蒸気バリア、酸素バリアを測定した。その結果、それぞれ０．２１（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．４２（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、バリア性能の劣化は確認できなかった。また、このバリアフィルムの含水量をカールフィッシャー法で測定したところ、０．１２％であった。更にカール性を観察したところ、１０ｃｍ角でカールはなかった。結果を表1に示す。
【００３４】
＜実施例２＞
実施例１と同様の透明プラスチックフィルム、金属酸化物層を用い、耐薬品層は上記の塗布液ａで０．３μｍの膜厚にロールコーティング法で塗布した。更に、前記塗布液ａの上層に金属酸化物層（酸化珪素膜：ＣＶＤ法、膜厚：４０ｎｍ）を成膜した後、最表面に塗布液ａ（膜厚：０．３μｍ）を塗布した。ここまでの構成でモコン法による水蒸気バリア、酸素バリアを測定した結果、それぞれ０．１２（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．３１（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であった。また、水の接触角は実施例１と同様に８０°であった。
【００３５】
このバリアフィルムを、透明電極のエッチング工程で用いる１ＮＨＣｌ水溶液（５０℃６０秒）、１ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液（５０℃３０秒）に浸漬し、再度、水蒸気バリア、酸素バリアを測定した。その結果、それぞれ０．１１（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．３１（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、バリア性能の劣化は確認できなかった。また、このバリアフィルムの含水量をカールフィッシャー法で測定したところ、０．１５％であった。更にカール性を観察したところ、１０ｃｍ角でカールはなかった。結果を表1に示す。
【００３６】
＜実施例３＞
実施例１と同様の透明プラスチックフィルム、金属酸化物層を用い、耐薬品層は上記の塗布液ｂで０．３μｍの膜厚にロールコーティング法で塗布した。更に、前記塗布液ｂの上層に金属酸化物層（酸化珪素膜：ＣＶＤ法、膜厚：４０ｎｍ）を成膜した後、最表面に塗布液ａ（膜厚：０．３μｍ）を塗布した。ここまでの構成でモコン法による水蒸気バリア、酸素バリアを測定した結果、それぞれ０．１４（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．３３（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であった。また、水の接触角は実施例１と同様に８０°であった。
【００３７】
このバリアフィルムを、透明電極のエッチング工程で用いる１ＮＨＣｌ水溶液（５０℃６０秒）、１ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液（５０℃３０秒）に浸漬し、再度、水蒸気バリア、酸素バリアを測定した。その結果、それぞれ０．１３（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．３３（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、バリア性能の劣化は確認できなかった。また、このバリアフィルムの含水量をカールフィッシャー法で測定したところ、０．１５％であった。更にカール性を観察したところ、１０ｃｍ角でカールはなかった。結果を表1に示す。
【００３８】
＜比較例１＞
実施例１と同様の透明プラスチックフィルム、金属酸化物層を用い、耐薬品層は上記の塗布液ｂで０．３μｍの膜厚にロールコーティング法で塗布した。ここまでの構成でモコン法による水蒸気バリア、酸素バリアを測定した結果、それぞれ０．２２（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．４４（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、実施例と同レベルのバリア性能であった。水との接触角は４０°であった。
【００３９】
しかし、このバリアフィルムを実施例１と同様に１ＮＨＣｌ水溶液（５０℃６０秒）、１ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液（５０℃３０秒）に浸漬した結果、水蒸気バリア、酸素バリアはそれぞれ２．５５（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、５．６７（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）に劣化していた。また、含水量とカール性は実施例１とほぼ同じ結果であった。結果を表1に示す。
【００４０】
＜比較例２＞
実施例１と同様の透明プラスチックフィルム、金属酸化物層を用い、耐薬品層は上記の塗布液ａで７．０μｍの膜厚にロールコーティング法で塗布した。ここまでの構成でモコン法による水蒸気バリア、酸素バリアを測定した結果、それぞれ０．２３（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．４０（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、実施例１と同レベルのバリア性能であった。水との接触角は８０°であった。
【００４１】
このバリアフィルムを実施例１と同様に１ＮＨＣｌ水溶液（５０℃６０秒）、１ｗｔ％ＮａＯＨ水溶液（５０℃３０秒）に浸漬した結果、水蒸気バリア、酸素バリアはそれぞれ０．２１（ｇ／ｍ2・ｄａｙ）、０．４３（ｃｍ3／ｍ2・ｄａｙ）であり、バリア性能の劣化は確認できなかった。しかしながら、このバリアフィルムの含水量は、１．０２％であり、１０ｃｍ角で４隅の平均０．４ｃｍのカールが観察された。結果を表1に示す。
【００４２】
【表１】
0004013580.tif 000002
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、耐薬品層として薄膜で撥水性化合物を含む有機物層を用いることにより耐薬品性に優れ、吸水性、脱水性とカール性が少なく、高いバリア性を示すバリアフィルムおよび透明導電性バリアフィルムを提供することができる。