(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄形板状半導体部品を検査してランクを判定する検査装置と、検査装置によって判定されたランクに基づいて、薄形板状半導体部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類装置とを統括的に制御する制御装置とを有する薄形板状半導体部品の検査分類システムであって、
前記検査装置は、薄形板状半導体部品を測定する測定手段と、測定結果に基づいてランクを判定する判定手段とを有し、
前記分類装置は、
収納部ごとに設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態で保持可能な各ストック部と、
測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって判定されたランクに対応するストック部に一枚ずつ取り入れる取り入れ手段と、
各ストック部に積層保持された複数の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態でまとめて対応する収納部にそれぞれ収納する収納手段であって、ストック部が積層保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、積層される複数の薄形板状半導体部品を、積層状態でまとめて対応する収納部に収納する１つの搬送ロボットから成る収納手段と、
検査後の薄形板状半導体部品を一時的に保持する搬送部と、
検査装置から搬送部に順次搬送する第１の搬送手段とを有し、
前記ストック部は、
収納部毎に設けられ、取り入れ手段によって一枚ずつ取り入れられる収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で保持するバッファ部と、
前記バッファ部と前記収納部との間に設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で一時的に収納する一時収納部と、
バッファ部から一時収納部へ、複数の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で所定枚数を超えた枚数まとめて搬送する第２の搬送手段であって、バッファ部と一時収納部との間を移動可能に構成され、薄形板状半導体部品を上下方向に複数積層される状態で乗載可能な乗載部が設けられる乗載台と、バッファ部から一時収納部にわたって進む方向および反対に進む方向に、乗載台を移動させるためのモータとを有する第２の搬送手段とを備え、
前記収納部は、薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態で収納し、
前記収納手段は、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を収納し、前記反転手段によって立てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状態で保持して収納部へ搬送し、ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドを有し、
前記一時収納部は、
予め定められる回転軸線に沿って延びる基部と、基部の両端部から垂直に立ち上がる側部保持部とを有するＵ字状部材であって、回転軸線まわりに角変位可能に形成され、一対の側部保持部の内側部分に、複数積層される状態の薄形板状半導体部品が挿入可能な収納溝が形成され、回転軸線まわりに回転することで、収納溝に挿入される複数の薄形板状半導体部品の姿勢を水平状態と立位状態とに切換え可能なＵ字状部材と、
前記第２の搬送手段によって搬送される上下方向に複数積層された薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態に反転させる反転手段であって、
Ｕ字状部材の回転軸線と同軸に配置されて、Ｕ字状部材に固定される回転ギアと、
回転ギアと噛合する受け棒ギアを一端に有し、受け棒ギアの軸線まわりに回転可能に支持され、変位駆動される乗載台によって受け棒ギアの軸線まわりに角変位駆動される受け棒とを有する反転手段とを有することを特徴とする薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項２】
前記第２の搬送手段には、薄形板状半導体部品に所定以上の負荷がかかったことを検出する過負荷検出手段が設けられることを特徴とする請求項１に記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項３】
前記ハンドは、立位状態にある薄形板状半導体部品に平行に配置される側壁と、この側壁の底部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保持部材を有し、この保持部材を立位状態にある薄形板状半導体部品の両側に配置し、互いに近接させて薄形板状半導体部品の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させることによって、水平方向に複数積層される薄形板状半導体部品を立位状態に保持して搬送することを特徴とする請求項２に記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項４】
制御手段によって制御されるハンドは、一時収納部に収納される複数の薄形板状半導体部品を、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間で、かつ底壁の上方に、配置した状態で上方に一旦上昇して各薄形板状半導体部品を一対の保持部材の底壁に乗載させ、
一対の保持部材のそれぞれの側壁を互いに近接させた状態で、各薄形板状半導体部品を収納部に向けて搬送することを特徴とする請求項３に記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項５】
薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電圧軸Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸Ｖとの交点を開放電圧値Ｖｏｃとすることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【請求項６】
薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電流軸Ｉの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸Ｉとの交点を短絡電流値Ｉｓｃとすることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の薄形板状半導体部品の検査分類システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池セルまたは半導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を検査分類する検査分類システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２３は、従来の技術である太陽電池セル１０の検査分類システム１を示す該略図である。薄形板状半導体部品は、例えば太陽電池セル１０である。検査分類システム１は、検査手段３、搬送手段４、搬送ロボット５および複数の収納部６を有して構成される。太陽電池セル１０は、まず検査手段３に搬送され、電圧電流特性などの特性検査が行われる。検査を終えた太陽電池セル１０は、搬送手段４に送られ、搬送経路に沿って順次搬送される。次に太陽電池セル１０は、搬送ロボット５によって搬送手段４から取り出され収納部６に収納される。収納部６は、太陽電池セル１０を水平に重ねた状態で複数枚積載される。
【０００３】
図２４は、収納部６に収納される太陽電池セル１０の動作を示すフローチャートである。ステップｃ０では、収納部６が、太陽電池セル１０を収納可能な状態で待機する。太陽電池セル１０が収納部６に収納されると、ステップｃ１に進む。ステップｃ１では、収納部６が、収納部６に積載される太陽電池セル１０の総枚数Ｎｘを、カウンタによってカウントし、ステップｃ２に進む。
【０００４】
ステップｃ２では、収納部６が、収納される総枚数Ｎｘと所定の枚数Ｃｏｎｓｔとを比較し、総枚数Ｎｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超えたか否かを判断する。総枚数Ｎｘが所定の枚数Ｃｏｎｓｔを超えない場合、ステップｃ０に戻り、収納部６は積載待機状態になる。また総枚数Ｎｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超えた場合、ステップｃ３に進む。
【０００５】
ステップｃ３では、収納部６が、通報ブザーを鳴らすかまたはランプの点灯し、作業者に総枚数Ｎｘが所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔを超えたことを通報し、ステップｃ４に進む。ステップｃ４では、作業者が収納部６に積載された太陽電池セル１０を手作業で取り出し、通い箱に梱包しなおす。このような取り出しおよび梱包作業が完了すると、収納部６における太陽電池セル１０の収納動作が終了する。次に収納部６は、ステップｃ０に進み、再び待機状態になる。
【０００６】
図２５は、太陽電池セル１０の動きを説明する検査分類システム１の斜視図である。搬送手段４を一列で移動する太陽電池セル１０は、搬送ロボット５によって搬送手段４から取り出され、検査手段３の測定結果に応じて、ランク毎に各収納部６に収納される。たとえば検査手段３によって、ランクＡと判定された太陽電池セル１０は、収納部６Ａに収納される。
【０００７】
また搬送ロボット５は、太陽電池セル１０を一枚づつ収納部６に搬送し、水平にして上に順に積層して収納部６に配置する。このように、太陽電池セル１０は、検査手段３の測定結果毎に分類されて各収納部６に収納される。収納部６に太陽電池セル１０が一定枚数収納されると、収納部６に収納された太陽電池セル１０を取り出す作業が行われる。
【０００８】
また収納部６に収められた太陽電池セル１０は、次工程へ搬送されるときには、製品形状に合った通い箱７に再度入れ換えられる。太陽電池セル１０は、手作業で複数枚束状にされ、表裏をスポンジ材で満たして梱包される。次工程には通い箱７ごと搬送される。
【０００９】
図２６は、従来の検査分類システム１において搬送される太陽電池セル１０の動きを示すフローチャートである。ステップｄ０では、検査分類工程の前工程を終えた太陽電池セル１０が、検査分類システム１に投入され、ステップｄ１に進む。
【００１０】
ステップｄ１では、太陽電池セル１０が検査手段３に搬送され、太陽電池セル１０のランクが判定される。ランクが判定されると、ステップｄ２に進む。ステップｄ２では、太陽電池セル１０は、検査手段３によって得られたランクに基づいて各収納部６に収納され、ステップｄ３に進む。
【００１１】
ステップｄ３では、収納部６に収納される太陽電池セル１０の枚数Ｎｘが所定枚数Ｃｏｎｓｔを超えた場合、作業者が手作業で収納部６から太陽電池セル１０を取り出し、太陽電池セル１０を製品形状に合った通い箱７に収納して梱包する。次にステップｄ４に進み、通い箱７に収納された複数枚の太陽電池セル１０は、次工程に通い箱７ごと搬送される。ステップｄ４で、検査分類システムにおける太陽電池セル１０の搬送が終了する。
【００１２】
図２７（１）は、従来の通い箱７を示す平面図であり、図２７（２）は、図２７（１）の切断面線ＸＶＩ−ＸＶＩで切断したときの断面図である。通い箱７は、上蓋がなく、上部に開口を有して箱状に形成される。また複数の太陽電池セル１０を所定の枚数毎に立位状態に納められるようにするために、通い箱７の内部を分割する仕切板８が形成される。仕切板８の高さは、通い箱７の底部から通い箱７に収納される立位状態の太陽電池セル１０の上部まで延びて形成される。
【００１３】
図２８は、従来のランク判定の流れを示すブロック図である。従来の検査分類システム１は、検査分類システム全体を制御し、太陽電池セル１０の搬送および検査実施命令を行うシーケンサであるＣＰＵ１００（Central Processing Unit）と、電圧電流特性の測定を行うテスタ１０１とテスタ１０１の測定結果に基づいて、各ランクに分類するパーソナルコンピュータ１０２（以下パソコンと記す）とを有する。
【００１４】
ＣＰＵ１００は、直接テスタ１０１へ測定開始命令１０３を与える。測定開始命令１０３が与えられたテスタ１０１は、太陽電池セル１０の電圧電流特性の測定を実施１０４する。テスタ１０１は、測定実施後に測定によって得られた生データ１０５をデータ収集用のパソコン１０２に与える。パソコン１０２は、生データ１０５を基に、測定値を算出１０６し、ランクを判定１０７する。パソコン１０２は、ランク判定結果をテスタ１０１に与える。
【００１５】
テスタ１０１は、パソコン１０２からランク判定結果が与えられると、与えられたランク判定結果をＣＰＵ１００に伝える。ＣＰＵ１００は、与えられたランク判定結果に基づいて、太陽電池セル１０をランクごとに分類して収納部６に搬送するように搬送ロボットに命令を与える。
【００１６】
図２９は、テスタ１０１からの生データ１０５に基づいて算出した、電圧電流特性を示すグラフである。太陽電池セル１０の電圧電流特性は、日本工業規格（以下ＪＩＳと記す）の結晶系太陽電池セルの出力測定方法（ＪＩＳ  Ｃ  ８９１３）に規定される４端子法に基づいて測定される。図２９のグラフから太陽電池セル１０の性能を示す短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍを得ることができる。電圧電流特性のグラフは、縦軸を電流軸Ｉとし、横軸を電圧軸Ｖとする。ＪＩＳの規定では、この電圧電流特性を示すグラフに３０点以上の測定点をプロットすることが規定される。
【００１７】
上述の規定に従うように、テスタ１０１が太陽電池セル１０を測定する。パソコン１０２は、テスタ１０１からの生データから、電流軸Ｉの両側に位置する２つの測定点Ａ，Ｂを通る直線式を求め、この直線式と電流軸Ｉとの交点Ｃの電流を短絡電流Ｉｓｃとして算出する。またパソコン１０２は、テスタ１０１からの生データから、電圧軸Ｖの両側に位置する２つの測定点Ｅ，Ｆを通る直線式を求め、この直線式と電圧軸Ｖとの交点Ｇの電圧を開放電圧Ｖｏｃとして算出する。
【００１８】
図３０は、パソコン１０２が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。ステップｅ１では、パソコン１０２が、テスタ１０１によって測定された生データから、複数の測定点を取得し、ステップｅ２に進む。ステップｅ２では、パソコン１０２が複数の測定点の中から、電流と電圧との積が最大になる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を求め、ステップｅ３に進む。
【００１９】
ステップｅ３では、パソコン１０２が、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を含む前後３点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）について、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補間式を求める。次にこの２次補間式から電流と電圧との積が最大となる電力を最大電力Ｐｍとして算出する。このような短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆる明測定で測定された生データから求められる。実際の生産ラインにおいても、上述のような短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍを求める方法が検査装置によって行われる。
【００２０】
図３１は、テスタ１０１によって得られた太陽電池セル１０の電圧電流特性を示すグラフである。図３１から推測される電圧値と電流値との積が最大である最大電力Ｐｍの座標は、最大出力電圧Ｖｐｍが、約０．４８０Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍが、約４．４３Ａである。したがって図３１のグラフから読み取れる最大電力Ｐｍは約２．１２Ｗである。次の表１は、図３１に示すグラフの測定点の中から電圧値と電流値との積が最大となる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）とを示す。
【００２１】
【表１】
0003967892.tif 000002
【００２２】
また図３２は、表１の電圧と電流との関係を示すグラフであり、図３２（１）は、電圧電流特性を示し、図３２（２）は、電圧電力特性を示す。表１に示す測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）からラグランジェの２次補間式を用いて計算することで、最大電力Ｐｍを得る。表１の測定点をラグランジェの２次補間式に基づいて計算すると、最大出力電圧Ｖｐｍは、０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６８７Ａである。したがって最大電力Ｐｍは２．１５４５Ｗとなる。
【００２３】
図３３は、擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。擬似太陽光が照射されていない状態、いわゆる暗測定でも明測定と同レンジの電圧走査を行い、測定結果として測定点を取得する。テスタ１０１が暗測定を行い、複数の測定点を得た後、パソコン１０２が任意の電圧における電流Ｉｄを算出する。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
このような上述の従来の装置では、収納部６に所定の枚数の太陽電池セル１０が蓄積されたときには、蓄積された太陽電池セル１０を入れ換える作業を手作業で行わなければならない。この作業が行われるとき搬送ロボット５は、収納部６に太陽電池セル１０を搬送することができないため、次に当該収納部６へ収納されるべき太陽電池セル１０は、待機しなければならない。つまり太陽電池セル１０の入れ換え作業が完了するまで、搬送手段４を一旦停止する必要がある。搬送手段４を停止することによって検査分類作業の稼働率が低下するという問題がある。
【００２５】
また収納部６に収められる太陽電池セル１０を、次工程へ搬送するには、通い箱７に手作業で再度複数枚を束状にし、表裏をスポンジ材で梱包して入れ換えなければならない。したがって次工程に移るまでに必要な工程が増え、作業時間が長くなるという問題がある。
【００２６】
したがって本発明の目的は、薄形板状半導体部品を測定結果に基づいて各収納部に収納するまでの時間を短縮するとともに、収納される薄形板状半導体部品の取り出しおよび交換に要する時間を短縮して、稼動率を向上する薄形板状半導体部品の検査分類システムを提供することである。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、薄形板状半導体部品を検査してランクを判定する検査装置と、検査装置によって判定されたランクに基づいて、薄形板状半導体部品を対応する収納部に分類して収納する分類装置と、前記検査装置と前記分類装置とを統括的に制御する制御装置とを有する薄形板状半導体部品の検査分類システムであって、
前記検査装置は、薄形板状半導体部品を測定する測定手段と、測定結果に基づいてランクを判定する判定手段とを有し、
前記分類装置は、
収納部ごとに設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態で保持可能な各ストック部と、
測定後の薄形板状半導体部品を、検査装置によって判定されたランクに対応するストック部に一枚ずつ取り入れる取り入れ手段と、
各ストック部に積層保持された複数の薄形板状半導体部品を、複数積層した状態でまとめて対応する収納部にそれぞれ収納する収納手段であって、ストック部が積層保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合、積層される複数の薄形板状半導体部品を、積層状態でまとめて対応する収納部に収納する１つの収納手段と、
検査後の薄形板状半導体部品を一時的に保持する搬送部と、
検査装置から搬送部に順次搬送する第１の搬送手段とを有し、
前記ストック部は、
収納部毎に設けられ、取り入れ手段によって一枚ずつ取り入れられる収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で保持するバッファ部と、
前記バッファ部と前記収納部との間に設けられ、収納前の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で一時的に収納する一時収納部と、
バッファ部から一時収納部へ、複数の薄形板状半導体部品を、複数積層される状態で所定枚数を超えた枚数まとめて搬送する第２の搬送手段であって、バッファ部と一時収納部との間を移動可能に構成され、薄形板状半導体部品を上下方向に複数積層される状態で乗載可能な乗載部が設けられる乗載台と、バッファ部から一時収納部にわたって進む方向および反対に進む方向に、乗載台を移動させるためのモータとを有する第２の搬送手段とを備え、
前記収納部は、薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態で収納し、
前記収納手段は、一時収納部から収納部へ薄形板状半導体部品を収納し、前記反転手段によって立てられた複数の薄形板状半導体部品を立位状態で保持して収納部へ搬送し、ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドを有し、
前記一時収納部は、
予め定められる回転軸線に沿って延びる基部と、基部の両端部から垂直に立ち上がる側部保持部とを有するＵ字状部材であって、回転軸線まわりに角変位可能に形成され、一対の側部保持部の内側部分に、複数積層される状態の薄形板状半導体部品が挿入可能な収納溝が形成され、回転軸線まわりに回転することで、収納溝に挿入される複数の薄形板状半導体部品の姿勢を水平状態と立位状態とに切換え可能なＵ字状部材と、
前記第２の搬送手段によって搬送される上下方向に複数積層された薄形板状半導体部品を、水平方向に複数積層される状態に反転させる反転手段であって、
Ｕ字状部材の回転軸線と同軸に配置されて、Ｕ字状部材に固定される回転ギアと、
回転ギアと噛合する受け棒ギアを一端に有し、受け棒ギアの軸線まわりに回転可能に支持され、変位駆動される乗載台によって受け棒ギアの軸線まわりに角変位駆動される受け棒とを有する反転手段とを有することを特徴とする薄形板状半導体部品の検査分類システムである。
【００２８】
本発明に従えば、測定後の薄形板状半導体部品は、取り入れ手段によって測定手段からストック部に取り入れられ、収納部に収納される前に一時的にストック部に保持される。ストック部に保持された薄形板状半導体部品は、１つの搬送ロボットから成る収納手段によって収納部に収納される。これによって取り入れ手段と収納手段とは、独立かつ同時に動作することができる。
【００２９】
したがって収納手段に収納される薄形板状半導体部品が、所定枚数を超えて、収納部から取り出される時でも、取り入れ手段が検査装置から薄形板状半導体部品を取り出し、ストック部に取り入れることができる。これによって薄形板状半導体部品の搬送を、収納部に収納された薄形板状半導体を入れ換えるときも、取り入れ手段を停止する必要がなく検査分類システムの検査分類速度を向上することができる。
【００３０】
また取り入れ手段は、一枚の薄形板状半導体部品を搬送するので、複数枚同時に搬送する場合に比べて、薄形板状半導体部品を確実に搬送することができ、薄形板状半導体部品の破損を防止してストック部に搬送することができる。
【００３１】
また薄形板状半導体部品は、ランクごとにストック部に保持される。したがって検査装置から取り出される薄形板状半導体部品が各ストック部に分散されて保持されるので、ストック部から収納部に搬送する収納手段の動作速度を取り出し手段に比べて低速にすることができる。収納手段は低速で動作することによって、把持不良をなくし、正確な位置決めが必要とされる収納部への収納を容易に行うことができる。また収納手段が、複数枚同時に薄形板状半導体部品を搬送することによって、稼働率を低下することなく薄形板状半導体部品を収納部に収納することができる。
またストック部は、複数の薄形板状半導体部品を積層した状態で、保持する。収納手段は、ストックに保持される積層状態の複数の薄形板状半導体部品をまとめて搬送して、収納部に収納する。したがって一度の搬送動作によって複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送することができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることができる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にすることができ、収納部への収納を容易に行うことができる。
【００５５】
また、薄形板状半導体部品を、ストック部のバッファ部および一時収納部に一時的に収納することができ、取り入れ手段および収納手段とは異なり、ストック部毎に設けられる第２の搬送手段によって、バッファ部から一時収納部に積層状態の薄形板状半導体部品を搬送することができる。したがって、収納手段によって、積層状態の複数の薄形板状半導体部品を、一時収納部から収納部にまとめて収納する収納動作と、取り出し手段によって、搬送部から薄形板状半導体部品を一枚ずつ取り出して、バッファ部に収容する取り出し動作とを同時に行うことができる。これによって薄形板状半導体部品を一時収納部から収納部に収納する動作にかかわらず、搬送部から薄形板状半導体部品を取り出してバッファ部に収納することができる。したがって収納手段および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向上することができる。
【００５６】
また、ストック部が、バッファ部と一時収納部とを有し、バッファ部から一時収納部に第２の搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が薄形板状半導体部品をストック部に取り入れるバッファ部の位置と、収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出す一時収納部の位置とを異なる位置に設けることができるので、収納手段と取り入れ手段とが接触することを防止することができる。
【００５８】
また、薄形板状半導体部品は、立位状態で収納部に収納されるので、薄形板状半導体部品が、寝た状態で積層して収納される場合に比べて、接触する面積が少なく、部品表面が損傷する可能性を少なくすることができる。また、薄形板状半導体部品を収納部へ搬送するＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドは、複数の薄形板状半導体部品を同時に搬送するので、収納動作時間を短縮することができる。またロボットハンドは、立位状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部に搬送することができる。また一時収納部の有する反転手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持することができる。したがって収納手段に、薄形板状半導体部品を反転させる機構を設ける必要がない。
また、乗載台に乗載される複数の薄形板状半導体部品をＵ字状部材に収容した状態で、乗載台が反転手段の受け棒を変位駆動することで、Ｕ字状部材が角変位して、Ｕ字状部材が立位状態となる。このような構成によって、乗載台の移動によって反転動作を実現することができる。
【００５９】
また本発明は、前記第２の搬送手段には、薄形板状半導体部品に所定以上の負荷がかかったことを検出する過負荷検出手段が設けられることを特徴とする。
【００６０】
本発明に従えば、バッファ部から一時収納部へ搬送するとき、過負荷検出手段が設けられるので、搬送時に異常な負荷が生じたときに、即座に第２の搬送手段を停止することができる。
【００６５】
また本発明は、前記ハンドは、立位状態にある薄形板状半導体部品に平行に配置される側壁と、この側壁の底部に略垂直に連なる底壁とを有する一対の保持部材を有し、この保持部材を立位状態にある薄形板状半導体部品の両側に配置し、互いに近接させて薄形板状半導体部品の下に底壁を配置させ、ハンドを上昇させることによって、水平方向に複数積層される薄形板状半導体部品を立位状態に保持して搬送することを特徴とする。
【００６６】
本発明に従えば、一対の保持部材に薄形板状半導体部品を立位状態で乗載して、取り出すことが可能であり、薄形板状半導体部品の表面を損傷することなく搬送することができる。また薄形板状半導体部品を乗載して搬送するので、薄形板状半導体部品を挟持して搬送する場合に比べて、搬送時に薄形板状半導体部品に負荷がかからず薄形板状半導体部品の破損を防止することができる。
【００６７】
また本発明は、制御手段によって制御されるハンドは、一時収納部に収納される複数の薄形板状半導体部品を、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間で、かつ底壁の上方に、配置した状態で上方に一旦上昇して各薄形板状半導体部品を一対の保持部材の底壁に乗載させ、
一対の保持部材のそれぞれの側壁を互いに近接させた状態で、各薄形板状半導体部品を収納部に向けて搬送することを特徴とする。
【００６８】
本発明に従えば、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を広くすることで、、大きな衝撃を与えることなく、複数の薄形板状半導体部品をハンドに乗載させることができる。また乗載後に一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を狭くすることで、整えた状態で取り出して、薄形板状半導体部品が揺動することなく、搬送することができる。
【００７１】
また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電圧軸Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電圧軸Ｖとの交点を開放電圧値Ｖｏｃとすることを特徴とする。
【００７２】
本発明に従えば、電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電圧軸Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、開放電圧Ｖｏｃを求めるので、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【００７３】
また本発明は、薄形板状半導体部品は太陽電池セルであって、
前記測定手段は太陽電池セルの電圧電流特性を測定し、測定結果として電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電流軸Ｉの両側の数が均等な複数の測定点を得て、
前記判定手段は、前記３つ以上の測定点に基づいて、電圧電流特性の近似線を求め、前記近似線と電流軸Ｉとの交点を短絡電流値Ｉｓｃとすることを特徴とする。
【００７４】
本発明に従えば、電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ電流軸Ｉの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、短絡電流Ｉを求めるので、測定結果を補正してより正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【００７８】
【発明の実施の形態】
本発明は、太陽電池セルまたは半導体ウエハなどの薄形板状半導体部品を測定結果に応じてランク別に分類収納を行う薄形板状半導体部品の検査分類システム２０である。ランクはたとえば薄形板状半導体部品の電気的性能である。薄形板状半導体部品は、生産される薄形板状半導体部品の性能に基づいて、複数の段階に判定される。
【００７９】
図１は、本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部品の検査分類システム２０を示すブロック図である。本実施の形態での薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セル３０である。検査分類システム２０は、太陽電池セル３０のランクを判定する検査装置２１と、ランク判定結果に基づいて、太陽電池セル３０を分類する分類装置３００と、検査分類システム２０を統括的に制御する図示しない制御装置とを有する。また分類装置３００は、第１の搬送手段２２、搬送部２５、取り入れ手段３４、複数の収納部２３および収納部２３の数に応じた複数のストック部２４とを含んで構成される。
【００８０】
また検査装置２１は、太陽電池セル３０の電圧電流特性を測定する測定手段と、測定手段によって得られる測定結果に応じて、複数のランクを判定する判定手段とを有する。測定手段はたとえばテスタであり、判定手段は、たとえばパソコンである。
【００８１】
検査装置２１は、順次搬送される太陽電池セル３０を検査し、ランク別に判定する。第１の搬送手段２２は、検査装置２１によって判定された太陽電池セル３０を所定の搬送経路に沿って、搬送部２５に順次搬送する。搬送部２５は、太陽電池セル３０を一時的に保持する。搬送部２５に搬送された太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によって、各ランクに応じたストック部２４に取り入れられる。複数のストック部２４は、バッファ部３１、スライド部３２および一時収納部３３をそれぞれ有している。
【００８２】
図２は、検査分類システム２０の搬送動作を示すフローチャートである。ステップｆ０では、ストック部２４が、太陽電池セル３０を積載可能な状態で待機し、取り入れ手段３４によって、太陽電池セル３０が積載されると、ステップｆ１に進む。ステップｆ１では、太陽電池セル３０がストック部２４に積載される。ストック部２４は、カウンタによって、ストック部２４に積載される太陽電池セル３０の総枚数Ｂｘをカウントし、ステップｆ２に進む。
【００８３】
ステップｆ２では、ストック部２４が、ストック部２４に積載される総枚数Ｂｘと所定の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１とを比較し、総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えたか否かを判断する。総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えない場合、ステップｆ０に戻り、ストック部２４は再び積載待機状態になる。また総枚数Ｂｘが所定の第１の一定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｆ３に進む。
【００８４】
ステップｆ３では、バッファ部３１に保持された複数の太陽電池セル３０が、収納手段３５によって、収納部２３に収納される。また収納部２３は、収納部２３に収納される太陽電池セル３０の総枚数Ｎｘをカウントし、ステップｆ４に進む。ステップｆ４では、収納部２３に収納される総枚数Ｎｘと所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２とを比較し、総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えたか否かを判断する。総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えない場合、ステップｆ３に戻り、収納部２３は収納待機状態になる。また総枚数Ｎｘが所定の第２の一定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えた場合、収納部２３が太陽電池セル３０で満杯状態となり、ステップｆ５に進む。
【００８５】
ステップｆ５では、収納部２３が検査分類システム２０から払い出される。収納部２３は、同一のランクの太陽電池セル３０を収納する。太陽電池セル３０は、収納部２３ごと次の工程に搬送される。このように収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための箱である通い箱となる。
【００８６】
また太陽電池セル３０が収納されていない、別の収納部２３が検査分類システム２０に取り付けられる。収納手段３５は、新しく取り付けられた別の収納部２３に太陽電池セル３０を収納する。これによって再び収納部２３に太陽電池セル３０が収納可能な状態になり、ステップｆ６に進み、検査分類システム２０による太陽電池セル３０の搬送動作が終了する。次に動作は再びステップｆ０に進み、ストック部２４が、太陽電池セル３０を積載可能な状態で待機する。また検査装置２１から太陽電池セル３０をストック部２４に搬送する取り入れ手段３４と、ストック部２４から収納部２３に搬送する収納手段３５とは、独立して動くことができる。
【００８７】
図３は、検査分類システム２０の主要な部分を示す斜視図である。ストック部２４の動作について説明する。太陽電池セル３０は、搬送部２５から取り入れ手段３４によって取り出され、一挙に各ストック部２４にあるバッファ部３１に取り入れられる。バッファ部３１は、収納前の太陽電池セル３０を水平状態で積載して保持する。バッファ部３１に取り入れられた太陽電池セル３０は、所定の枚数になると第２の搬送手段であるスライドユニット３６によってスライド部３２を通過し、一時収納部３３に搬送される。一時収納部３３は、バッファ部３１と収納部２３との間に設けられ、搬送された太陽電池セル３０を反転させて立位状態に保持する。立位状態に保持された複数枚の太陽電池セル３０は、立位状態を保ったまま収納手段３５によって搬送され、立位状態を保ったまま収納部２３に収納される。
【００８８】
収納部２３は、太陽電池セル３０で満杯となると、検査分類システム２０から取り外される。収納部２３に収納される太陽電池セル３０は、収納部２３ごと次の製造工程に搬送される。
【００８９】
図４は、検査分類システムに搬送される太陽電池セル３０の動きを示すフローチャートである。ステップｇ０では、検査分類工程の前工程を終えた太陽電池セル３０が検査分類システム２０に投入され、ステップｇ１に進む。
【００９０】
ステップｇ１では、太陽電池セル３０が検査装置２１に搬送され、太陽電池セル３０のランクが判定される。ランクが判定されると、ステップｇ２に進む。ステップｇ２では、太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によってストック部２４に搬送される。このとき太陽電池セル３０は、検査装置２１によって判定されたランクに基づいて、各ストック部２４に振り分けられる。したがって太陽電池セル３０は、ランクごとに分類されて各ストック部２４に保持される。ストック部２４に収納される太陽電池セル３１の総数Ｂｘが所定枚数Ｃｏｎｓｔ１を超えた場合、ステップｇ３に進む。
【００９１】
ステップｇ３では、収納手段３５によって、順次太陽電池セル３０が収納部２３に収納され、複数枚の太陽電池セル３０が収納部２３に収納される。また収納部２３は、前述したように、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための通い箱となる。収納部２３に収納される太陽電池セル３０が所定枚数Ｃｏｎｓｔ２を超えた場合、ステップｇ４に進み、太陽電池セル３０は、次の工程に収納部２３ごと搬送され、検査分類システム２０における太陽電池セル３０の一連の動きが終了する。
【００９２】
図５は、検査装置２１の構成を示すブロック図である。検査装置２１は、順次搬送される太陽電池セル３０を検査し、ランク別に判定する。検査装置２１は、測定手段であるテスタ２７とシュミレータランプ２５とシャッター手段と判定手段であるパソコン２８とを有する。
【００９３】
検査装置２１は、太陽電池セル３０にコンタクトプローブ２６を接触させ、シュミレータランプ２５によって光を照射およびシャッター手段によって光を遮断したときの電圧電流特性をテスタ２７によって測定し、測定された測定結果をパソコン２８によって判定および保存する。またこれらの動作は制御装置であるＣＰＵ２９の命令によって行われる。ＣＰＵ２９は、たとえばシーケンサであって、検査装置２１および分類装置３００を統括的に制御する。
【００９４】
図６は、テスタ２７の測定回路を簡略化して示す回路図である。太陽電池セル３０は、日本工業規格の結晶系太陽電池セルの出力測定方法（ＪＩＳ  Ｃ  ８９１３）に規定される４端子法で計測される。電流測定用端子および電圧測定用端子の一端部をＸＹレコーダ２００に接続する。また太陽電池セル３０は、バイアス電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０１は、太陽電池セル３０に加える電圧を走査して印加することができる。太陽電池セル３０に加える電圧を走査して与え、電圧電流特性曲線をＸＹレコーダ２００によって記録する。
【００９５】
図７は、テスタ２７の測定回路を簡略化して示す他の回路図である。太陽電池セル３０は、バイアス電源２０１から電圧が印加される。バイアス電源２０１から太陽電池セル３０に加える電圧を段階的に変化させ、そのときの電圧電流測定値を電流測定器２０２および電圧測定器２０３を用いて測定する。この測定値を基に電圧電流特性曲線を描く。
【００９６】
図８は、太陽電池セル３０のランク判定の流れを示すブロック図である。検査分類システム２０は、検査分類システム全体を制御し、太陽電池セル１０の搬送命令および検査実施命令を行うＣＰＵ２９と、電圧電流特性測定を行うテスタ２７とテスタ２７の測定結果に基づいて、各ランクに判定するパソコン２８とを有する。検査装置２１は、このようなテスタ２７とパソコン２８とを有する。
【００９７】
ＣＰＵ２９は、パソコン２８へ測定実施命令２０４を与える。測定実施命令２０４が与えられたパソコン２８は、太陽電池セル３０の電圧電流測定の測定実施命令２０５をテスタ２７に伝える。測定実施命令２０５を受けたテスタ２７は、太陽電池セル３０の電圧電流測定を実施２０６する。テスタ２７は、測定実施後に測定によって得られた生データ２０７をパソコン２８に与える。パソコン２８は、生データ２０７を基に、測定値を算出２０８し、ランクを判定２０９する。ランクを判定したパソコン２８は、ランク判定結果２１１を直接ＣＰＵ２９に与える。ＣＰＵ２９は、このランク判定結果に基づいて、太陽電池セル３０をランクごとに分類して収納部２３に搬送するように取り入れ手段３４に命令を与える。
【００９８】
またＣＰＵ２９は、装置情報２１２をパソコン２８に与えることができる。したがってパソコン２８は、測定結果とともに検査分類システムの装置情報を記憶および管理することができ、パソコン２８とＣＰＵ２９との間で相互にデータの送受信を簡単に行うことができる。これによって検査分類システムの管理を容易に行うことができる。パソコン２８は、表示手段および記憶手段を有し、表示手段によって、測定結果および装置情報を利用者に確認させることができる。また記憶手段によって、測定結果およびＣＰＵ２９によって管理される膨大な装置情報を記憶し、測定結果および装置情報を収集および管理することができる。ここで装置情報とは、たとえば検査分類システムの起動時刻、停止時刻、運転開始時刻、エラー発生時刻、エラー復帰時刻およびエラー発生内容などの各装置の稼動状況を表すデータである。またさらにシステムの周囲の温度および周囲の光量などの稼働環境をあらわすデータを記憶してもよい。たとえば温度および検査分類システム周囲の光量に基づいて、測定手段から得られる測定値を補正することによって、より正確なランク判定を行うことができる。
【００９９】
またテスタ２７を介さずに、パソコン２８とＣＰＵ２９とが直接接続されるので、膨大なデータ量を有する装置情報をパソコン２８とＣＰＵ２９との間で、送受信することができ、テスタ２７に電気通信による負荷が加わることを防止することができる。
【０１００】
またテスタ２８とＣＰＵ２９とをパソコン２８を介して接続することによって、拡張性を向上させ、簡単に接続することができる。たとえばインターフェイスの異なる別のテスタに取り替えた場合においても、パソコン２８を介してＣＰＵ２９に接続されるので、別のテスタのインターフェイスに応じて、パソコンの接続部分を取り替えることによって、容易に別のテスタを検査分類システムに用いることができる。
【０１０１】
また装置情報および薄形板状半導体部品の測定結果を同時に関連させて記憶管理してもよい。これによって装置情報の変化と製造される薄形板状半導体部品のランク判定との関連性を容易に確認することができる。これによって薄形板状半導体部品の製造において、ランク低下の悪影響となる装置情報を見つけ、改善することによって、より高品質の薄形板状半導体部品を製造することができる。
【０１０２】
図９は、検査装置２１の太陽電池セル３０の検査の流れを示す図である。太陽電池セル３０が検査装置２１に搬送されると太陽電池セル３０のランク判定動作が開始される。ステップａ１では、ＣＰＵ２９が、コンタクトプローブ２６を太陽電池セル３０に接触させるとともに、シャッターを開いて、シュミレータランプ２５の光を太陽電池セル３０に照射させる。
【０１０３】
ステップａ２では、テスタ２７によってシュミレータランプ２５照射時の電圧電流特性を測定する。ステップａ３では、ＣＰＵ２９の命令によってシュミレータランプ２５を塞ぐシャッターが閉鎖するとともに、ステップａ２で得られた測定結果がテスタ２７からパソコン２８に転送され保存される。またシャッターが完全に閉鎖する。
【０１０４】
ステップａ４では、テスタ２７によってシュミレータランプ２５無照射時の電圧電流特性を測定する。ステップａ５では、ＣＰＵ２９によってコンタクトプローブ２６と太陽電池セル３０との接触が解除されるとともに、ステップａ４で得られた測定結果がテスタ２７からパソコン２８に転送される。パソコン２８は、ステップａ２およびステップａ４で得られた２回の測定結果を取得した後に、計算および判定を行って、太陽電池セル３０の電気的特性が計測され、ランク判定が行われる。
【０１０５】
ステップａ６では、ランク判定された太陽電池セル３０が、取り入れ手段３４によって搬送部２５に送られる。したがって測定の異なる２つの条件によるそれぞれの測定について実測とデータ転送が行われ、機械的動作と並列して別の処理を行うことができる。すなわちランプ２５およびプローブ２６の機械的準備動作を行っている間に、電気的な処理たとえばテスタ２７が測定結果をパソコン２８に転送する動作を行うことができる。
【０１０６】
図１０は、テスタ２７によって得られた測定点を基にした、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示すグラフである。パソコン２８は、電気的ノイズによってテスタ２７の測定結果が変化した場合、測定結果を補正し、太陽電池セル３０のランクをより正確に判定する。
【０１０７】
テスタ２７は、太陽電池セル３０を測定し、通常２００点以上の測定点を得る。パソコン２８は、テスタ２７からの測定結果から近似曲線を描く。具体的には電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上、かつ前後均等数の測定点Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近似式を求める。次にこの一次近似式と電流軸Ｉとの交点Ｃを求め、この交点Ｃの電流を短絡電流Ｉｓｃとする。
【０１０８】
また電圧軸Ｖをまたいで、両側に位置する３つ以上、かつ前後均等数の測定点Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２（図１０では４つ）から最小二乗法に基づく一次近似式を求める。次にこの一次近似式と電圧軸Ｖとの交点Ｇを求め、この交点Ｇの電圧を開放電圧Ｖｏｃとする。
【０１０９】
図１１は、パソコン２８が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。テスタ２７が、太陽電池セル３０を測定し、測定結果をパソコン２８に伝達する。パソコン２８は、テスタ２７からの生データが与えられると、最大出力Ｐｍの算出が開始される。
【０１１０】
ステップｈ１では、パソコン２８が、テスタ２７からの生データから、測定結果として複数の測定点を取得し、ステップｈ２に進む。ステップｈ２では、パソコン２８が複数の測定点の中から、電流と電圧との積が最大になる最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を求め、ステップｈ３に進む。
【０１１１】
ステップｈ３では、パソコン２８が、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）を含み、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の前後の点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）について、隣り合う測定点の差分値を求める。次に、各測定点間の差分値の平均を計算し、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤを求め、ステップｈ４に進む。
【０１１２】
ステップｈ４では、パソコン２８が、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測定点の各差分値とを比較する。パソコン２８は、平均電圧差分値ＶＤおよび平均電流差分値ＩＤと隣り合う測定点の各差分値とが予め定める所定の誤差範囲から外れている測定点を除く。
【０１１３】
本実施の形態では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前から任意数前の測定点たとえば２つの測定点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ，Ｉｉ）を用いて、差分平均値ＶＤ，ＩＤを求める。パソコン２８は、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）との差分値が、平均差分値ＶＤ，ＩＤの任意の数であるＸパーセント以下か否かを調べ、Ｘパーセントを超える場合は、測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）として採用し、Ｘパーセント以下なら、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去する。同様に、次の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）についても、採用するか除去するかを計算し、ステップｈ５に進む。
【０１１４】
ステップｈ５では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の後の測定点で採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉｉ＋ｎ）を決定し、決定した場合、ステップｈ６に進む。
【０１１５】
ステップｈ６では、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の後に採用される測定点（Ｖｉ＋ｎ，Ｉｉ＋ｎ）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）とを利用して、最大出力Ｐｍを算出する。
【０１１６】
もし最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が除去され、その点の後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）が採用された場合は、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）と、最大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）との３点を利用して、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補間式を求める。次に、この２次補間式から電流と電圧との積が最大となる電力を最大電力Ｐｍとして算出する。上述の短絡電流Ｉｓｃ、開放電圧Ｖｏｃおよび最大電力Ｐｍは、擬似太陽光が照射された状態、いわゆる明測定で測定された生データから求められる。また本実施例において、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前の測定点とは、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流値が高い測定点であり、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも後の測定点とは、電流値が低い測定点である。
【０１１７】
また前後が逆になってもよい。すなわち最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも前の測定点を、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも電流値が低い測定点とし、最大測定点Ｄ（Ｖｉ，Ｉｉ）よりも後の測定点を、電流値が高い測定点としてもよい。
【０１１８】
表２は、電気的ノイズが発生している場合の電圧値と電流値との積が最大となる最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と、その前後の４つの測定点（Ｖｉ−２，Ｉｉ−２），（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１），（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１），（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）と各測定点の差分値とを示す。
【０１１９】
【表２】
0003967892.tif 000003
【０１２０】
前述に示す表１のように、正常測定時には、測定点の差分値がある程度一定になる。電気的ノイズが発生する場合は、表２に示すように電圧または電流のどちらかの差分値が極端に小さくなるか、または差分の正負が逆転する。
【０１２１】
たとえば、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）との電圧の差分値が、平均電圧差分値に比べて小さく測定されている。最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）が、電気的ノイズによって異常な値を示している。本実施の形態の太陽電池セルの検査分類システムは、上述の手順に従って、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直後の測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去し、最大電力Ｐｍを測定することができる。
【０１２２】
図１２は、表２の電圧と電流との関係を示すグラフであり、図１２（１）は、電圧電流特性を示し、図１２（２）は、電圧電力特性を示す。パソコン２８は、電圧電流特性を、表２の電気的ノイズによって異常な値を示した測定点（Ｖｉ＋１，Ｉｉ＋１）を除去して、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）の直前の測定点（Ｖｉ−１，Ｉｉ−１）と、最大測定点Ｄ２（Ｖｉ，Ｉｉ）と、最大測定点Ｄの２つ後の測定点（Ｖｉ＋２，Ｉｉ＋２）とを利用して、電圧を２次変数とするラグランジェの２次補間式として求める。
【０１２３】
電気的ノイズが発生していない正常測定時の最大電力は、前述の表１に示すように、２．１５４５Ｗである。また電気的ノイズが発生した場合において、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な測定結果を除去した場合の最大電力Ｐｍは、表２および図１２に示すように、２．１５０５Ｗである。
【０１２４】
また正常測定時の最大出力電圧Ｖｐｍは、約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６８７Ａである。また電気的ノイズが発生した場合において、本実施例に示す測定方法で、電気的ノイズによる異常な測定結果を除去した場合の最大出力電圧Ｖｐｍは、約０．４８２１Ｖであり、最大出力電流Ｉｐｍは、４．４６１１Ａである。このように本実施例に示す算出法を、パソコン２８が行うことによって電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、測定結果を得ることができる。
【０１２５】
図１３は、擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。任意の電圧における電流Ｉｄを得る場合は、擬似太陽光を照射する明測定と同レンジの電圧走査を行わず、必要な任意の電圧での測定点を得ることによって任意の電圧における電流Ｉｄを得る。また図１３に示すように必要な任意電圧の前後数点（図１３では２点）の走査を行い、複数の測定点を得て、この複数の測定点から近似曲線を描き、任意の電圧における電流Ｉｄを得てもよい。
【０１２６】
図１４は、ストック部２４を示す正面図である。ストック部２４のバッファ部３１、スライド部３２および一時収納部３３は、水平方向に直線上に並んで配置され、太陽電池セル３０は、バッファ部３１から一時収納部３３にスライドユニット３６によって搬送される。
【０１２７】
具体的には、第１の搬送手段２２によって搬送された太陽電池セル３０は、取り入れ手段３４によって、バッファ部３１に水平状態で積載される。太陽電池セル３０は、バッファ部３１に所定の枚数積載されると、スライドユニット３６によって、スライド部３２を通過し、一時収納部３３に収納される。このように取り入れ手段３４によって、直接一時収納部３３に収納するのでなく、バッファ部とスライドユニット３６を設け、取り入れ手段３４は、第１の搬送手段２２からバッファ部３１に取り出すように構成することによって、スライドユニット３６によって、バッファ部から一時収納部３３に搬送作業を行っている間にも取り入れ手段３４で取り入れ作業を行うことができる。これによって従来作業のように第１の搬送手段２２を一旦停止することが防がれ、稼動率が向上する。
【０１２８】
一時収納部３３は、太陽電池セル３０を水平状態から立位状態に反転する反転手段３７を有し、反転手段３７によって複数の太陽電池セル３０は、立位状態で保持される。
【０１２９】
図１５は、一時収納部３３を示す斜視図である。一時収納部３３は略Ｕ字状に形成され、回転軸５０まわりに９０度回転可能に設けられる。さらに詳しく説明すると、回転軸５０は、スライドユニット３６の延びる方向であるスライド方向に対して垂直に延び、この回転軸５０に平行に一時収納部３３の基部５１が設けられる。また基部５１の両端部から垂直に一対の側部保持部５２が立ち上がる。この一対の側部保持部５２には、内側に収納溝５３がそれぞれ形成される。この一対の収納溝５３は、基部５１から所定の間隔をあけた位置から先端まで延びて形成される。
【０１３０】
収納前には、一時収納部３３は、略Ｕ字状の上部である側部保持部５２の一端をスライド部３２に向けて水平状態に倒れており、この状態でスライドユニット３６によって太陽電池セル３０が挿入され、収納溝５３間に保持される。その後、一時収納部３３が反転することによって、収納溝５３に保持された太陽電池セル３０は立位状態に保持される。このとき、収納溝５３は、基部５１まで形成されていないので太陽電池セル３０は、基部５１から間隔をあけて立位状態に保持される。これによって、収納手段３５による太陽電池セル３０の取り出しがより容易に行える。
【０１３１】
また図１４に示すように一時収納部３３には、一時収納部３３を水平方向に倒す復帰ばね４５が接続される。復帰バネ４５は、引っ張りバネであり、一時収納部３３の側部保持部５２と一時収納部以外の固定した場所に接続される。これによって一時収納部３３が立位状態に保持されるときに、復帰バネ４５の弾性回復力によって一時収納部３３には、水平状態に復帰しようとする力が発生する。
【０１３２】
第２の搬送手段であるスライドユニット３６は、バッファ部３１から一時収納部３３にわたって水平に配置され、横移動ベルト３８を駆動するモータ４２と横移動ベルト３８に固定される乗載台３９とを有し、モータ４２によって乗載台３９は、バッファ部３１から一時収納部３３にわたって進む方向である前方Ａおよび反対に進む方向である後方Ｂに移動可能で、往復移動することができる。
【０１３３】
乗載台３９は、太陽電池セル３０を乗載する乗載部５４、横移動ベルト３８に取り付けられ、乗載部５４を昇降させるシリンダ４０、シリンダ４０に固定され前方Ａ（図１４の左方）に水平に突出する押し棒４１とを有する。
【０１３４】
乗載台３９は、通常はバッファ部３１の下方に待機しており、バッファ部３１に所定枚数の太陽電池セル３０が積載されると、まずシリンダ４０によって乗載部５４を上昇させ、乗載部５４上に太陽電池セル３０を積載する。その後、一時収納部３３に向けて水平移動する。
【０１３５】
乗載台３９が、一時収納部３３に移動することによって、太陽電池セル３０は、一時収納部３３の収納溝５３に挿入される。太陽電池セル３０を挿入した乗載台３９は、一時収納部３３の下方へ下降することによって、複数の太陽電池セル３０を一時収納部３３に配置することができる。
【０１３６】
一時収納部３３の反転手段３７は、一時収納部３３に設けられたギア４４、受け棒４３、および乗載台３９に設けられる押し棒４１を含んで構成される。回転ギア４４は、一時収納部３３の回転軸５０と同軸に固定される。また回転ギア４４に噛合する受け棒ギア６６を一端に有する受け棒４３が、一時収納部３３の下方かつ後方Ｂに突出し、受け棒ギア６６の回転中心まわりに回転可能に支持される。また乗載台３９には、一時収納部３３側に水平に突出して押し棒４１が設けられる。
【０１３７】
乗載台３９は一時収納部３３に太陽電池セル３０を収納したあと、一時収納部３３の下方へ下降する。下降した乗載台３９によって、太陽電池セル３０が前方Ａ（図１４の左方）にさらに移動する。すると押し棒４１が、一時収納部３３の下方に設けられる受け棒４３を押圧し、これによって、受け棒４３は、受け棒ギア６６とともに回転する。受け棒ギア６６は、一時収納部３３の回転ギア４４に噛合しているので、受け棒４３が回転することによって、一時収納部３３は、９０度反転し、立位状態になる。このようにして一時収納部３３に挿入されている太陽電池セル３０は、立位状態となる。
【０１３８】
収納手段である搬送ロボット３５によって一時収納部３３から太陽電池セル３０が取り出されると受け棒４３と押し棒４１が当接した状態の乗載台３９は、さらに下降し、受け棒４３と押し棒４１の当接状態が解除される。当接状態が解除されると、復帰ばね４５によって一時収納部３３は、水平状態に復帰する。また受け棒４３との押圧状態が解除された乗載台３９は、バッファ部３１側に水平に移動し、バッファ部３１下方で待機する。バッファ部３１に積載される太陽電池セル３０が所定の枚数に達したときに、再びバッファ部３１上方へ上昇し、太陽電池セル３０を一時収納部３３に搬送する。
【０１３９】
またスライドユニット３６には、太陽電池セル３０に所定以上の負荷がかかったことを検出する過負荷検出手段４６が設けられる。過負荷検出手段４６は、図１４に示すように過負荷検出部４７、光センサ４８、光発生部５６および過負荷検出ばね４９を有して構成される。
【０１４０】
過負荷検出部４７は、乗載台３９の上部に形成される乗載部５４の後方部に設けられ、乗載部５４を軸として前後に揺動可能に支持されている。過負荷検出ばね４９は、乗載部５４と過負荷検出部４６とを接続している。光発生部５６の光路５７は、太陽電池セル３０を乗載した乗載台３９が水平移動する方向と平行に延び、光センサ４８で受光される。
【０１４１】
また前記過負荷検出部４７には、光路５７が通過する光通過孔５５が形成される。したがって通常は、光が光通過孔５５を通って光センサ４８に到達し、光センサ４８が受光している状態にある。
【０１４２】
スライドユニット３６が移動中に衝突するなどして負荷が作用すると、過負荷検出部４６が傾き、これによって、光通過孔５５が変位し、光路５７が遮蔽される。光路５７が遮蔽されると、光センサ４８が受光せず、スライドユニット３６に過負荷がかかったことを検出することができる。過負荷検出手段４６によってスライドユニット３６に過負荷が加わっていることが検出されると即座に搬送を中止し、太陽電池セル３０の破損を低減することができる。
【０１４３】
前記収納手段である搬送ロボット３５は、反転手段３７によって立てられた複数の薄形板状半導体部品３０を立位状態で保持し、収納部２３へ搬送するハンド５８を有する。本実施の形態では、ハンド５８は、ＸＹＺ方向へ移動可能なロボットハンドである。
【０１４４】
図１６は、ハンド５８を示す正面図である。ハンド５８は、略Ｌ字状に形成される一対の保持部材６１Ａ，６１Ｂを有する。保持部材６１Ａ，６１Ｂは、立位状態にある太陽電池セル３０に平行に配置される側壁５９Ａ，５９Ｂを有し、またこの側壁５９Ａ，５９Ｂの底部に略垂直に連なる底壁６０Ａ，６０Ｂ有する。互いの側壁６０Ａ，６０Ｂは、対向して配置される。
【０１４５】
ハンド５８は、さらにハンド部ばね６３、大シリンダ６４、小シリンダ６５を有して構成される。ハンド部ばね６３は、一対の保持部材６１Ａ，６１Ｂを近接する方向にばね付勢する。一方の保持部材６１Ｂの上部には、大シリンダ６４および小シリンダ６５が設置され、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａを大きく、小シリンダ６５によって他方の保持部材６１Ｂを小さく変位動作することができる。この変位動作によって互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂを近接および離反させることができる。またハンド部ばね６３によってがたつくことなく保持部材６１Ａ，６１Ｂの変位動作を行うことができる。
【０１４６】
一方の保持部材６１Ａの底壁６０Ａの中央部には、切欠きが形成され、他方の保持部材６１Ｂの底壁６０Ｂは、前記切欠きに挿入可能に形成される。したがって、互いの底壁６０Ａ，６０Ｂが係合して、太陽電池セル３０を乗載するための底面の幅を調整可能に形成する。
【０１４７】
図１７は、収納手段である搬送ロボットのハンド５８の取り入れ動作を示す正面図であり、図１８は、ハンド５８の収納動作を示すフローチャートである。これらの図を参照して、まずハンド５８による取り入れ動作について説明する。
【０１４８】
ステップｂ１では、ハンド５８が、図１７（１）に示すように一時収納部３３に立位状態で保持される太陽電池セル３０の上方に移動する。ステップｂ２では、ハンド５８が、図１７（２）に示すように、保持部材６１Ａ，６１Ｂを大きく離反した状態で下降し、保持部材６１Ａ，６１Ｂの間に太陽電池セル３０を入れる。このとき保持部材６１Ａ，６１Ｂは太陽電池セル３０の両側に配置され、底壁６０は、太陽電池セル３０の下方に配置される。
【０１４９】
ステップｂ３では、図１７（３）に示すようにハンド５８が、水平方向に前方Ａに微動する。複数の太陽電池セル３０は、ハンド５８の側壁５９Ｂに当接し、前後方向のばらつきが整えられ、他方の保持部材６１Ｂの側壁５９Ｂ側に寄せられる。ステップｂ４では、図１７（４）に示すように、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａが他方の保持部材６１Ｂに大きく近接し、底部６１Ａ，６１Ｂが係合する。これによって太陽電池セル３０は、互いの保持部材６１Ａ，６１Ｂの側壁５９と底壁６０で囲まれた空間に配置される。このとき一方の保持部材６１Ａと他方の保持部材６１Ｂとの対向する距離は長いので、互いの太陽電池セル３０の間隔は広く保持される。
【０１５０】
ステップｂ５では、図１７（５）に示すようにハンド５８が一旦微上昇する。これによって太陽電池セル３０は、衝撃を受けることなく底壁６０に乗載される。ステップｂ６では、図１７（６）に示すように太陽電池セル３０から持ち上げられた状態で小シリンダ６５によって他方の保持部材６１Ｂが一方の保持部材にさらに微小距離だけ近接する。これによって互いの太陽電池セル３０の間隔が狭くなり、ハンド５８は、太陽電池セル３０が揺動することなく搬送することができる。
【０１５１】
ステップｂ７では、ハンド５８が一時収納部３３から上昇する。次に、ステップｂ８では、ハンド５８が収納部２３の収納位置上方に移動する。
【０１５２】
ハンド５８は、上述のようなハンドリング取り出しを行うことによって、太陽電池セル３０に大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で取り出すことができる。これによって太陽電池セル３０を破損することなく確実に収納部２３へ搬送することができる。
【０１５３】
ここで、収納部２３について説明する。
図１９（１）は、収納部２３の形状を示す平面図であり、図１９（２）は、図１２（１）のＸ−Ｘ切断面線で破断した断面図である。
【０１５４】
図１９（２）に示すように収納部２３は、箱状であり、上部に開口７１が形成され、底部両側には弾発性を有する緩衝部材７２が設けられ、底部中央には溝部７３が形成される。また収納部２３の両側壁には、上下方向に延び、太陽電池セル３０を立位状態に保持する複数対の支持部材７２が設けられる。
【０１５５】
図２０は、ハンド５８による収納動作を示す平面図であり、図２１は、図２０の断面図である。再び図１８のフローチャートおよび図２０、図２１を参照して、搬送ロボット３５による太陽電池セル３０の収納動作について説明する。
【０１５６】
ステップｂ９では、図２０（１）、図２１（１）に示すように太陽電池セル３０を乗載したハンド５８が、収納部２３の上方から下降する。これによってハンド５８に保持された太陽電池セル３０が、一対の支持部材７２間に挿入される。このように、支持部材７２は、両側から突出して設けられ、中央には設けられないので、ハンド５８の可動範囲が充分に確保される。
【０１５７】
ステップｂ１０では、図２０（２）に示すように保持部材６１Ａ，６１Ｂの間隔を少し広げて、ハンド５８を緩く解放（小アンチャック）する。これによって、各太陽電池セル３０間の間隔が広がる。ステップｂ１１では、図２１（３）に示すように、ハンド５８がさらに下方へ微動する。これによって、太陽電池セル３０が収納部２３底部の底部の緩衝部材７２上に乗載され、太陽電池セル３０を収納することができる。
【０１５８】
ステップｂ１２では、図２０（４）に示すように、大シリンダ６４によって一方の保持部材６１Ａの間隔を大きく退避させ、ハンド５８を解放（大アンチャック）する。これによって太陽電池セル３０は、確実に収納部２３に収納される。ステップｂ１３では、図２０（５）に示すように、保持部材６１Ｂが太陽電池セル３０に接触しない位置に配置される。ステップｂ１４では、図２１（６）に示すように、ハンド５８は、上昇して収納部２３から離脱する。
【０１５９】
したがって、ハンド５８は、上述のようなハンドリングを行うことによって、太陽電池セル３０に大きな衝撃を与えることなく、整えた状態で確実に収納部２３に収納することができる。また収納部２３および仕切部材７２によって、太陽電池セル３０を保持することができ、かつ充分な隙間が形成されるので、ハンド５８の稼働範囲が充分に確保され、太陽電池セル３０の収納および取り出しが高速で行えるとともに、太陽電池セル３０にハンド５８が接触することによる破損が低減される。
【０１６０】
収納部２３は、次工程に太陽電池セル３０を搬送するための箱として用いられる。本実施の形態では、収納部２３の材質は、発砲ポリプロピレン素材からなっている。また図２１に示すように収納部２３には、上部に取り付けられる蓋７４を有し、蓋７４の内側には、弾発性を有するスポンジ材７５が取り付けられる。これによって、蓋７４を閉めることによって、スポンジ材７４が太陽電池セル３０を軽く押さえて太陽電池セル３０を固定することができる。したがって、前記蓋７４、収納部２３の形状および、収納部２３の材質によって、搬送時の衝撃を吸収して太陽電池セル３０の破損を防止して搬送することができる。
【０１６１】
搬送ロボット３５は、図１６に示すように、アーム部７０に、下降時に負荷がかかったときには、下降動作を即座に停止させる機構を有している。具体的には、過負荷センサ６７、ガイド６８、アーム部ばね６９を有して構成される。過負荷センサ６７は、アーム部７０の上下方向の加速度を検出する。また過負荷センサ６７は、ガイド６８に導かれて上下方向に変位し、より検出感度を高めるためにアーム部ばね６９によってハンド５８と上下方向に接合されている。
【０１６２】
ハンド５８下降時に、たとえば収納部２３の側壁に衝突するなどの負荷がかかったときには、アーム部７０全体が負荷によって上昇するため、アーム部７０に取り付けられた過負荷センサ６７が過負荷を検出して、即座に搬送ロボットを停止させることができる。
【０１６３】
検査装置２１から第１の搬送手段２２へ移し換える装置は、ウォーキング搬送を行う。ウォーキング搬送装置は、検査装置２１側に設けられる前ステージ８１と第１の搬送手段２２側に設けられる後ステージ８２と、太陽電池セル３０を乗載し、前ステージ８１から後ステージへ８２搬送する搬送ステージ８３とを備えている。
【０１６４】
図２２は、搬送ステージ８３のウォーキング搬送動作を示す概略図である。搬送ステージ８３は、図２２（１）、図２２（２）に示すように前ステージ８１の下から上昇することによって前ステージ上８１から搬送ステージ８３上に太陽電池セル３０を移し換え、図２２（３）に示すように、前ステージ８１上から後ステージ８２上へ移動する。
【０１６５】
次に搬送ステージ８３が、図２２（４）に示すように後ステージ８２の上方から下方に、下降することによって、搬送ステージ８３上から後ステージ８２上に太陽電池セル３０を移し換える。
【０１６６】
その後搬送ステージは、図２２（５）に示すように後ステージ８２の下方から前ステージ８１の下方に移動するとき、前ステージ８１側へ移動するにつれて下方に傾斜するように移動する。
【０１６７】
すなわち搬送ステージ８３が後ステージ８２の下方から前ステージ８１の下方に移動するときに、前ステージ８１側に移動するにつれて下方に傾斜するように移動するので、図３５で説明した従来技術のように後ステージ８２の下方に移動して前ステージ８１の下方に移動するときに比べて、搬送ステージ８３の移動する距離が短くなり、動作時間を短縮することができる。このようなウォーキング搬送装置は、上記以外に、例えば前工程から搬送手段によって搬送されてきた太陽電池セル３０を検査装置２１に移し換えるとき、またはバッファ部３１から一時収納部３３に搬送する第２の搬送手段などに適用することができる。
【０１６８】
本実施の形態の検査分類システムに従えば、パソコン２８によって莫大なデータ量を有する装置情報を容易に管理することができる。また装置情報を伝達するときに、テスタを介しないので、装置情報の転送速度を向上させることができる。
【０１６９】
またストック部２４を設けることによって、連続して円滑に、収納部２３に太陽電池セルを搬送することができる。また収納部２３が通い箱となるので、従来のように、収納部２３から通い箱に太陽電池セルを入れ換える作業を省略することができる。これによって入れ換え作業に費やす時間を省略し、単位時間あたりに検査分類することができる太陽電池セルを増加することができる。
【０１７０】
また本実施例に示す測定方法を行うことによって、電気的ノイズが発生した状態でも、正常測定時との誤差を少なくして、信頼性の高い測定結果を得ることができる。
【０１７１】
また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セルに限らず、円板上であってもよく、複数の電気特性を持つ薄形板状の半導体部品であればよい。また近似方法も最小二乗法またはラグランジュの２次補間式以外の他の近似式または補間式を用いてもよい。
【０１７２】
また本発明の薄形板状半導体部品は、矩形板状の太陽電池セル３０だけに限らず、円板状の半導体ウエハであってもよい。またこのような上述の各構成は、本発明の例示に過ぎず、発明の範囲内において構成を変更することができる。
【０１７３】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、薄形板状半導体部品を収納部に収納する収納手段にかかわらず、測定手段から薄形板状半導体部品を取り出すことができる。したがって収納手段によって薄形板状半導体部品の収納が行われている場合においても、測定手段から薄形板状半導体部品の取り出しを行うことができる。したがって搬送を一旦停止することなく、薄形板状半導体部品の搬送を連続して、円滑に行うことができる。これによって検査分類システムの単位時間に検査分類することができる薄形板状半導体部品の数を増やし、検査分類速度を向上することができる。
またストック部に保持される複数の薄形板状半導体部品は、複数枚まとめられて収納部に収納される。したがって一度の搬送動作によって複数枚の薄形板状半導体部品を収納部に同時に搬送することができ、単位時間あたりの搬送量を増加させることができる。またストック部が保持する薄形板状半導体部品が所定枚数を超えた場合に収納手段が搬送するので、一度に搬送する薄形板状半導体部品の枚数を一定にすることができ、収納部への収納を容易に行うことができる。
【０１８４】
また本発明によれば、搬送部から取り入れ手段によって薄形板状半導体部品を、ストック部のバッファ部に一時的に収納することができるので、収納手段によって、積層状態の複数の薄形板状半導体部品を一時収納部から収納部にまとめて収納する動作と、取り出し手段によって、搬送部から薄形板状半導体部品を一枚ずつ取り出して、バッファ部に収容する取り出し動作とを同時に行うことができる。これによって薄形板状半導体部品を一次収納部から収納部に収納する動作にかかわらず、搬送部から薄形板状半導体部品を取り出してバッファ部に収納することができる。したがって収納手段および取り入れ手段を停止させることなく、薄形板状半導体部品を収納部に収納することができ、装置の稼働率を向上することができる。
【０１８５】
さらにストック部が、バッファ部と一時収納部とを有し、バッファ部から一時収納部に第２の搬送手段によって搬送する。したがって取り入れ手段が薄形板状半導体部品をストック部に取り入れるバッファ部の位置と、収納手段が薄形板状半導体部品をストック部から取り出す一時収納部の位置とを異なる位置に設けることができるので、収納手段と取り入れ手段とが接触することを防止することができる。
【０１８６】
これによって薄形板状半導体部品の搬送手段による搬送を連続して円滑に行うことができる。
【０１８７】
また本発明によれば、水平方向に複数積層して、収納部に薄形板状半導体部品を収納することで、上下方向に複数積層して収納する場合に比べて、接触する面積が少なく、厚み方向側の面が損傷する可能性を少なくすることができるので、薄形板状半導体部品が損傷することを防止することができる。また、薄形板状半導体部品を収納部へ搬送するハンドは複数同時に搬送するので、収納動作時間を短縮することができ、装置の稼動率を向上することができる。またハンドは、立位状態に収納される薄形板状半導体部品を、立位状態に保持して搬送するので複雑な動作を必要とせず、容易かつ確実に収納部に搬送することができ、短時間かつ容易に収納部に薄形板状半導体部品を立位状態で収納部に納めることができる。また一時収納部の有する反転手段によって、薄形板状半導体部品を立位状態に保持することができる。したがって収納手段に、薄形板状半導体部品を反転させる機構を設ける必要がない。また薄形板状半導体部品を反転する手段と、搬送する手段とが分かれているので、より確実に薄形板状半導体部品を搬送および反転することができる。
また本発明によれば、乗載台に乗載される複数の薄形板状半導体部品をＵ字状部材に収容した状態で、乗載台が反転手段の受け棒を変位駆動することで、Ｕ字状部材が角変位して、Ｕ字状部材が立位状態となる。このような構成によって、乗載台の移動によって反転動作を実現することができる。
【０１８８】
また本発明によれば、バッファ部から一時収納部へ搬送するときに過負荷検出手段が設けられるので、過負荷時には、即座に第２の搬送手段を停止し、搬送時の薄形板状半導体部品の破損を防止することができる。
【０１９１】
また本発明によれば、薄形板状半導体部品を一対の保持部材に立位状態で乗載して、バッファ部から収納部に搬送するので、薄形板状半導体部品の表面を損傷することなく搬送することができる。また多数の薄形板状半導体部品を積載して搬送する場合に比べて一つの薄形板状半導体部品にかかる負荷を少なくして搬送することができる。したがって、薄形板状半導体部品を損傷することなく搬送することができる。
【０１９２】
また本発明によれば、一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を広くすることで、大きな衝撃を与えることなく、複数の薄形板状半導体部品をハンドに乗載させることができる。また乗載後に一対の保持部材のそれぞれの側壁の間を狭くすることで、整えた状態で取り出して、薄形板状半導体部品が揺動することなく、搬送することができる。これによって薄形板状半導体部品の一時収納部からの取り出しを容易に行うことができる。また薄形板状半導体部品にハンドが接触することによる破損が低減される。
【０１９４】
また本発明によれば、電圧軸Ｖまたは電流軸Ｉをまたいで、両側に位置する３つ以上であって、かつ前記軸Ｉ，Ｖの両側の数が均等な複数の測定点を用いて、開放電圧Ｖｏｃおよび短絡電流Ｉｓｃを求めるので、測定結果を補正して正確な電圧電流特性を得ることができる。また電気的ノイズなどによって異常な測定結果である測定点が得られても、３つ以上の複数の測定点を利用するので、異常な測定点を除いて正確な電圧電流特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態である薄形板状半導体部品の検査分類システム２０を示すブロック図である。
【図２】検査分類システム２０の搬送動作を示すフローチャートである。
【図３】検査分類システム２０の主要な部分を示す斜視図である。
【図４】検査分類システムに搬送される太陽電池セル３０の動きを示すフローチャートである。
【図５】検査装置２１の構成を示すブロック図である。
【図６】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す回路図である。
【図７】テスタ２７の測定回路を簡略化して示す他の回路図である。
【図８】太陽電池セル３０のランク判定の流れを示すブロック図である。
【図９】検査装置２１の太陽電池セル３０の検査の流れを示す図である。
【図１０】テスタ２７によって得られた測定点を基にした、太陽電池セル３０の電圧電流特性を示すグラフである。
【図１１】パソコン２８が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。
【図１２】  表２の電圧と電流との関係を示すグラフである。
【図１３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。
【図１４】ストック部２４を示す正面図である。
【図１５】一時収納部３３を示す斜視図である。
【図１６】ハンド５８を示す正面図である。
【図１７】搬送ロボットのハンド５８の取り出し動作を示す正面図である。
【図１８】ハンド５８の収納動作を示すフローチャートである。
【図１９】収納部２３の形状を示す平面図である。
【図２０】ハンド５８による収納動作を示す平面図である。
【図２１】図２０の断面図である。
【図２２】搬送ステージ８３のウォーキング搬送動作を示す概略図である。
【図２３】従来の技術の太陽電池セル１０の検査分類システム１を示す概略図である。
【図２４】収納部６に収納される太陽電池セル１０の動作を示すフローチャートである。
【図２５】太陽電池セル１０の動きを説明する検査分類システム１の斜視図である。
【図２６】従来の検査分類システムにおいて搬送される太陽電池セル１０の動きを示すフローチャートである。
【図２７】従来の通い箱７を示す平面図である。
【図２８】従来のランク判定の流れを示すブロック図である。
【図２９】テスタ１０１からの生データ１０５に基づいて算出した、電圧電流特性を示すグラフである。
【図３０】パソコン１０２が最大出力Ｐｍを算出する手順を示すフローチャートである。
【図３１】テスタ１０１によって得られた太陽電池セルの電圧電流特性を示すグラフである。
【図３２】表１の電圧と電流との関係を示すグラフである。
【図３３】擬似太陽光が照射されていない状態での電圧電流特性を示すグラフである。
【符号の説明】
２０  薄形板状半導体部品の検査分類システム
２１  検査装置
２２  第１の搬送手段
２３  収納部
２４  ストック部
２５  搬送部
３１  バッファ部
３２  スライド部
３３  一時収納部
３４  取り入れ手段
３５  収納手段
３６  スライドユニット
３７  反転手段
３００  分類装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
0003967892.tif 000017
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
0003967892.tif 000020
【図１８】
0003967892.tif 000021
【図１９】
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【図２０】
0003967892.tif 000023
【図２１】
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【図２２】
0003967892.tif 000025
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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