(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、
前記表示手段が表示している任意の位置を表示上の位置で指定して位置情報を入力するポインティングデバイスを用いた入力手段と、
前記撮像手段が撮像した画像に基づいてウェーハ表面に形成されている直線状のストリートパターン形状の基準情報を検出する形状検出手段と、
前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状の基準情報、及び前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の１乃至複数の基準位置とを記憶する記憶手段と、
前記入力された位置情報を、前記基準情報に基づいて、前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状のうち入力された位置情報に最も近い位置、又は前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の１乃至複数の基準位置のうち入力された位置情報に最も近い位置に変換する変換手段と、
前記変換された位置に表示位置を移動させる移動手段とを備え、
前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状を前記撮像手段で撮像される画像の中心位置へ合わせた後、前記ウェーハ端部を前記撮像手段により撮像される位置まで前記ウェーハを加工時における軸移動方向に移動させ、該移動後の位置において、前記画像の中心位置に合わせられた前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状の端部位置を決定し、前記中心位置と前記端部位置より算出した回転角度に基づいて回転移動することにより、前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状と加工時における移動方向とを手動操作により平行に調整するマニュアルアライメントを行うことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
前記変換手段は、前記入力された位置情報がウェーハの存在しない位置である場合には、前記入力された位置に対して最も近い位置に存在するウェーハの位置情報に変換することを特徴とする請求項１に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイシング装置に係り、特にウェーハ表面を顕微鏡カメラ等で撮像してウェーハ表面の画像を表示するとともにウェーハ表面のパターンを観察するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から積載テーブルに搭載されたワークを顕微鏡カメラ等で拡大して撮像して、加工基準の設定や加工結果を観察するウェーハ表面観察装置が知られている。従来のウェーハ表面観察装置で拡大表示されるウェーハ上の表示範囲はウェーハ上のごく一部の領域に限定されるため、観察位置を変更する際には利用者が軸駆動ボタン又はジョイスティックを操作してそれぞれの軸を駆動してカメラとウェーハとの相対位置を移動させて、目的の位置までカメラの撮像範囲を移動していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の軸駆動ボタン又はジョイスティックを入力手段として用いてウェーハ表面の観察位置を移動するウェーハ表面観察装置では、入力手段が速度ベクトルを入力する手段であるために、ウェーハ表面上に形成された微細なパターンに対して観察位置を迅速に位置決めすることが難しいという不具合を生じていた。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、顕微鏡カメラをワンタッチで希望の観察位置に迅速かつ容易に移動させることが可能なウェーハ観察位置指定装置及びウェーハ表示位置指定方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、前記表示手段が表示している任意の位置を表示上の位置で指定して位置情報を入力するポインティングデバイスを用いた入力手段と、前記撮像手段が撮像した画像に基づいてウェーハ表面に形成されている直線状のストリートパターン形状の基準情報を検出する形状検出手段と、前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状の基準情報、及び前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の１乃至複数の基準位置とを記憶する記憶手段と、前記入力された位置情報を、前記基準情報に基づいて、前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状のうち入力された位置情報に最も近い位置、又は前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の１乃至複数の基準位置のうち入力された位置情報に最も近い位置に変換する変換手段と、前記変換された位置に表示位置を移動させる移動手段とを備え、前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状を前記撮像手段で撮像される画像の中心位置へ合わせた後、前記ウェーハ端部を前記撮像手段により撮像される位置まで前記ウェーハを加工時における軸移動方向に移動させ、該移動後の位置において、前記画像の中心位置に合わせられた前記入力手段で指定された位置の最も近傍にあるストリートパターン形状の端部位置を決定し、前記中心位置と前記端部位置より算出した回転角度に基づいて回転移動することにより、前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状と加工時における移動方向とを手動操作により平行に調整するマニュアルアライメントを行うことを特徴としている。
【０００６】
本発明によれば、ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、前記表示手段が表示している任意の位置を表示上の位置で指定して位置情報を入力する入力手段と、前記入力された位置情報をウェーハ表面の位置情報に変換する変換手段と、前記変換されたウェーハ表面の位置情報に基づいて表示位置を移動させる移動手段とを備え、前記表示手段は前記移動後の表示位置の画像を表示するようにしたので、ワンタッチで希望の表示位置に迅速に移動させることが可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面にしたがって本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【０００８】
図１は、本発明に係わるダイシング装置の斜視図であり、図２は、その平面図である。
【０００９】
このダイシング装置は、ウェーハ（ワーク）Ｗの表面を観察するとともにウェーハＷを直交する方向に切断して最終的に碁盤の目のように切断する切断部１０と、切断されたウェーハＷを洗浄する洗浄部２０と、加工前及び加工後のウェーハＷを収納するカセット部３０と、加工前のウェーハＷをカセット部３０の所望の位置から引き出してステージ上にプリアライメントするとともに、ステージ上にセットされた加工後のウェーハＷをカセット部３０の所望の位置に収納するエレベータ部４０と、上記各工程を経由してウェーハを搬送する搬送装置５０とから構成されている。
【００１０】
上記搬送装置５０によるウェーハＷの搬送位置としては、図２に示すように４つの位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４があり、これらの位置Ｐ１から位置Ｐ４は正方形の各頂点に位置する関係で配置されている。尚、位置Ｐ１はウェーハＷをプリロードする位置であり、位置Ｐ２は切断部１０にウェーハＷを搬送するカッティングテーブルにウェーハＷをロード及びアンロードする位置であり、位置Ｐ３は洗浄部２０のスピナテーブルにウェーハＷをロード及びアンロードする位置であり、位置Ｐ４は加工前のウェーハＷをローディングするとともに、加工後（洗浄後）のウェーハＷをアンローディングする位置である。
【００１１】
切断部１０はブレード１４Ａ、１４Ｂを備えた２つのスピンドル１６Ａ、１６Ｂと、ウェーハＷ上のパターンをカメラで撮像して画像認識することによってファインアライメントする撮像手段１８、１９と、撮像した画像や各種情報を表示するとともにタッチパネルに代表される入力手段１１を備えた表示手段１２とから構成されている。この切断部１０のスピンドル１６Ａ、１６Ｂ及び撮像手段１８、１９は図２の矢印Ａ、Ｂ方向（Ｙ軸方向）に移動可能である。また、ウェーハＷを搭載したカッティングテーブルは矢印Ｃ、Ｄ方向（Ｘ軸方向）に移動可能であるとともに回転可能（θ方向）であるので、ウェーハＷの表面を撮像して画像処理を行って、切断のためのファインアライメントを実施することが可能となる。
【００１２】
このようにしてファインアライメントされたウェーハＷは、カッティングテーブルの移動に伴い、スピンドル１６Ａ、１６Ｂによって回転するブレード１４Ａ、１４Ｂにより切断される。そして、上記切断を順次実行することによりウェーハＷは碁盤の目のように切断される。
【００１３】
洗浄部２０は上記切断されたウェーハＷを洗浄するもので、先ず、ウェーハＷを搭載したスピナテーブルを降下させ、ここでスピナと清浄水により洗浄を行い、洗浄後エアブローによって乾燥させ、再びスピナテーブルを上昇させる。
【００１４】
また、搬送装置５０はＹ軸方向に案内されるレールに移動自在に取り付けられたスライドアームと、スライドアームの先端部に旋回自在に取り付けられた旋回アームと、旋回アームの端部に取り付けられた複数のチャック部とから構成される。このスライドアームは、モータによってレールに沿って前後方向に移動し、その先端部の位置が位置Ｐ２と位置Ｐ３の間を移動する。旋回アームはモータによってその端部を中心として旋回し、スライドアームの位置に応じて旋回アームの端部がＰ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４の位置に移動する。上記チャック部は、それぞれ旋回アームの端部に回動自在に設けられ、径方向及び上下方向に移動する４つの爪によってウェーハＷを挟持する。
【００１５】
図３にダイシング装置の情報処理部のブロック図を示す。
【００１６】
同図によればダイシング装置の情報処理部には、利用者がダイシング装置に対して起動、停止、観察位置の移動等の指令を入力する入力手段１１と、ダイシング装置が利用者に対して処理モード、処理状況及びウェーハ表面を撮像した画像の表示を行う表示手段１２と、撮像手段１８、１９とが備えられている。
【００１７】
また、ダイシング装置の情報処理部には、ウェーハＷを搭載したカッティングテーブルをＸ軸方向に駆動する駆動手段Ｘ１００と、切断部１０のスピンドル１６Ａ、１６Ｂ及び撮像手段１８、１９をＹ軸方向に移動する駆動手段Ｙ１０２と、切断部１０のスピンドル１６Ａ、１６Ｂ及び撮像手段１８、１９をＺ軸方向に移動する駆動手段Ｚ１０４と、ウェーハＷを搭載したカッティングテーブルをθ方向に回転駆動を行う駆動手段θ１０６等の各駆動手段と、前記各駆動手段に駆動指令を出力するとともに必要に応じて駆動位置、駆動速度及びエラー情報を監視する制御手段１１０と、前記入力手段１１、前記表示手段１２、撮像手段１８、１９及び前記制御手段１１０に対して情報の送受信を行うとともにダイシング装置全体の制御を行う情報処理手段１１２とが備えられている。
【００１８】
なお、前記情報処理手段１１２は、表示手段１２が表示しているウェーハ表面の画像に対して利用者が移動を希望する位置を入力した画面上の位置情報を受信し、前記入力された位置情報をウェーハ表面の位置情報に変換する変換手段の機能と、変換されたウェーハ表面の位置情報に基づいて表示位置を移動させる移動手段の機能と、ウェーハのパターン形状の基準位置に表示位置を移動させる移動手段の機能とを備えている。また、情報処理手段１１２は、ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の基準情報を検出する形状検出手段の機能、該基準情報等を記憶するハードディスク又は不揮発性のメモリ等の記憶手段を備えている。
【００１９】
また情報処理手段１１２は、表示手段１２が表示しているウェーハ表面の画像に対して利用者が移動を希望する位置を入力した画面上の位置情報を受信して該入力された位置情報に最も近い位置に存在する表示上のストリートパターン形状の位置又は基準位置を算出する位置算出手段の機能、前記算出された表示上のストリート位置の情報を前記記憶手段が記憶しているストリート形状の基準情報に基づいてウェーハ表面の位置情報に変換する変換手段の機能をも備えている。
【００２０】
図４にダイシング装置による標準的なウェーハＷのアライメントモデルの登録工程のフローチャートを示す。
【００２１】
ダイシング装置によるウェーハＷの切断工程の中でウェーハＷのアライメントモデルの登録が必要になった場合には、情報処理手段１１２の処理プログラムは同図に示すアライメントモデル登録の処理ルーチンのステップＳ１００「アライメントモデルの登録」（以降Ｓ１００のように省略して記載する）が呼び出される。そして次のＳ１０２「ワークロード」の処理に進む。
【００２２】
Ｓ１０２では、カセット部３０に複数枚収納されている加工前のウェーハＷをエレベータ部４０が順次引き出して、そのウェーハＷを図２に示す位置Ｐ４にセットする。そしてこのウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ１のプリロードステージを介して図示しないワークテーブル（位置Ｐ２）上に載置されて、吸着保持される。
【００２３】
ここでワークテーブルに搬送されて吸着保持されたウェーハＷ表面のパターンは、ワークテーブルの中心に自動的に移動してきた撮像手段１８又は１９によって撮像されて表示手段１２に表示されるとともに、情報処理手段１１２によって画像認識される。そして次のＳ１０４「マニュアルθアライメント」の処理に進む。
【００２４】
Ｓ１０４では、ワークのストリートがＸ軸と平行となるようにθ軸をアライメントする。このとき、θ軸の回転入力の指示は以下の手順で行う。
【００２５】
ＣＨ１側（Ｘ軸と平行な軸を示す第１のチャンネル）ワーク中心付近のストリートエッジなどに撮像手段１８又は１９の中心を合わせ、情報処理手段１１２の内部メモリに登録（センタ位置確定）する。本発明によれば、このワーク中心付近のストリートエッジなどに撮像手段１８又は１９の中心を合わせる表示位置の指定方法（「合わせ」の方法）は、以下に説明するように利用者が表示手段１２上の位置を指で触れて指定するだけでよい。
【００２６】
図５に表示手段１２に表示されている初期表示の表示内容を、図６にダイレクトタッチモード時に表示される表示内容を示す。
【００２７】
図５によれば、表示手段１２には、ダイシング装置の運転の起動を入力するスタートボタン１２０と、運転の停止を入力するストップボタン１２２と、撮像手段１８、１９のピントの調整を行うフォーカス調整ボタン１２４と、撮像時の照明輝度を調整する照明調整ボタン１２６と、撮像位置を移動する場合に移動ベクトルを入力するＸＹキー１２８と、表示されているウェーハＷの所望の位置（表示上の位置）を指で押して指定して合わせるモードに切り換えることを指示するダイレクトタッチ移動ボタン１３０とが設けられている。
【００２８】
図６は、図５の状態でダイレクトタッチ移動ボタンを押した場合に遷移する表示を示している。同図によれば表示手段１２には、ダイレクトタッチ移動モードから抜けることを指示入力するキャンセルボタン１３２と、ウェーハＷの全体形状を示すウェーハマップ表示１３４とが新たに表示されている。なお、ウェーハマップ表示１３４を行う代わりに撮像して得た拡大映像を表示するようにしてもよい。
【００２９】
図７に画面タッチによる表示位置の指定方法が記載されたフローチャートを示す。
【００３０】
ダイシング装置がダイレクトタッチモードに設定されると、ダイシング装置の処理プログラムは動図に示す処理ルーチンが呼び出されて、ステップＳ２００「画面タッチにより処理開始」に分岐してくる。
【００３１】
利用者が移動する所望の位置を指で触れると、処理プログラムは次のＳ２０２「タッチ座標（ピクセルサイズ）の取得（Ｘ座標／Ｙ座標）」のステップに進む。Ｓ２０２では、入力されたタッチパネル（入力手段１１）の画面上の位置情報（画面上の画素又はタッチパネルの分解能に基づく座標値等の位置情報）を、入力手段１１の通信手段を介して情報処理手段１１２に伝達し、情報処理手段１１２はタッチ座標を取得する。
【００３２】
次のＳ２０４「タッチ座標をダイサ装置の座標（パルス座標）に変換」では、ダイシング装置の情報処理手段１１２は受信した位置情報を、表示しているウェーハＷ表面の位置情報（実際の長さの単位又は、駆動手段が駆動するのに用いている駆動単位パルス数等）に変換する処理を行う。ここでは表示上の位置情報をウェーハのサイズ（５インチ、８インチ等の大きさや形状）に応じて自動で変換処理を行うので、利用者はウェーハのサイズを意識せずに同じ操作方法で所望の位置を入力すればよい。
【００３３】
次のＳ２０６「ダイサ装置の現在のパルス座標と上記で変換したパルス座標の相対量（移動量）を算出」では情報処理手段１１２は、変換したウェーハＷ表面の位置情報を、例えばＸ軸、Ｙ軸の現在の映像位置に対する相対駆動量（各軸の長さ情報又は駆動パルス数）に変換する。
【００３４】
次のＳ２０８「上記で算出したＸ軸モータの移動量とＹ軸モータの移動量を各軸ドライバに出力する。」では、情報処理手段１１２は上記算出した駆動量に関する情報を制御手段１１０に出力する処理を行う。
【００３５】
次のＳ２１０「軸移動開始＆停止」では、制御手段１１０は受信した駆動量の情報に基づいて加速条件、減速条件や駆動速度条件を設定して、各軸を同期して駆動する。制御手段１１０は、各軸の駆動状態を刻々監視するとともに各軸の駆動速度を制御する。情報処理手段１１２によって指定された位置までの駆動が完了すると、制御手段１１０は情報処理手段１１２に対して駆動が完了したことを示す応答を返信する。
【００３６】
前記利用者により入力された画面上の位置情報は、入力に指を用いている事などの理由により一般には正確なストリート位置の情報（所定のパターン形状の位置）とは異なっている。ダイシング装置ではその用途上、ウェーハＷ表面の位置を指定した際にはストリート位置を指定する場合がほとんどであるので、本発明では曖昧な位置を指定した場合でも画像処理により求めた近傍に存在するストリート位置等の基準位置に表示位置を移動するように構成されている。
【００３７】
利用者により入力された画面上の位置情報は、情報処理手段１１２の形状検出機能によって検出されたストリート形状に最も近い位置又は、記憶手段に記憶されているウェーハ表面に形成されているパターン形状の１乃至複数の基準位置に最も近い位置に変換されて、その位置へ駆動する指令を制御手段１１０に対して出力する。すると利用者によって入力された位置に最も近いストリートが存在する位置へ表示位置が駆動される。
【００３８】
指定された位置への駆動が完了すると、情報処理手段のプログラムはＳ２１２「移動後のＸ座標、Ｙ座標位置を画面に反映  カメラ映像画面：カメラ中心に＋字を再表示  ウェハマップ表示画面：カメラアイコンを再表示」に進み、各駆動手段の駆動が完了すると表示手段１２は指定された表示位置のウェーハ表面を表示する。ウェーハマップ表示１３４を再表示する場合には、撮像位置を示すカメラアイコンも再表示する。また、撮像した拡大映像を表示する場合には、撮像手段の撮像中心位置に＋マークを表示する。なお、撮像した映像の撮像範囲が広く、且つ高分解能である場合には、前記各駆動手段で表示位置を移動するための駆動を実施する代わりに、撮像した映像データのみを用いて表示位置を移動してもよい。
【００３９】
前記指定された位置への駆動と再表示が完了すると、処理プログラムはＳ２１４「処理終了」に進み、元の処理ルーチンに戻る。
【００４０】
上記のようにしてワーク中心付近のストリートエッジなどに、撮像手段１８又は１９の中心の駆動又は表示を移動するダイレクトタッチによる「合わせ」の処理が完了すると、自動的にＸ軸がワークの左（または右）端位置に移動する。次にセンタ位置で指定した位置と同じストリートのエッジにダイレクトタッチにて合わせ、左（右）位置を決定する。するとセンタ位置と左（右）位置の座標からθ軸の回転角度が算出され、その角度に基づいてθ軸が回転移動する。
【００４１】
この、左（右）位置決定後、自動的に反対側のワークエッジ付近にＸ軸が移動する。そして以降同様にストリートエッジに撮像手段１８又は１９の中心をダイレクトタッチにて合わせる処理を実施し、右（左）位置決定後、θの回転角度を自動算出してθ軸の回転移動を行い、ワーク反対側の位置にＸ軸が自動的に移動する。Ｘ軸とストリートが平行になるまでこの処理を繰り返し、スキャン動作終了でこのときのθ座標が内部メモリに記録される。
【００４２】
この後自動的にθ軸が９０°回転し、ＣＨ２側（Ｘ軸と直角な軸を示す第２のチャンネル）のマニュアルθアライメントの入力待ちの状態になる。同様にストリートとＸ軸のアライメントをダイレクトタッチによって行ってＳ１０４の動作を完了する。
【００４３】
次のＳ１０６「ＣＨ１ストリートクロス位置登録」では、θアライメント後、自動的にモデル登録モードに切り替わり、撮像手段ワーク中心付近に移動する。両ＣＨのストリートの交点（クロス位置）に撮像手段１８又は１９を合わせる処理をダイレクトタッチによって実施して、登録する。
【００４４】
次のＳ１０８「ＣＨ１第１（高倍）モデル登録」では、クロス位置登録後、モデルパターン入力モードに切り替わり、画面にはモデル枠が表示される。モデル枠の位置を適当と思われる位置に合わせる処理をダイレクトタッチによって実施して、登録する。
【００４５】
次のＳ１１０「ＣＨ２第２（低倍）モデル登録」では、撮像手段１８又は１９の撮像倍率が自動的に低倍に切換わり、高倍モデル同様にモデル登録をダイレクトタッチの手法を利用して行う。登録後、自動的にθ軸が９０°回転し、撮像手段１８又は１９はワークの中心付近へ移動する。
【００４６】
次のＳ１１２「ＣＨ２ストリートクロス位置登録」では、撮像手段１８又は１９の撮像倍率が自動的に高倍へ切換わり、ＣＨ１同様、ストリートの交点をクロス位置としてダイレクトタッチの手法を利用して登録する。
【００４７】
次のＳ１１４「ＣＨ２第１（高倍）モデル登録」では、ＣＨ１同様、画面が自動的にモデル登録モードに切換わり、ＣＨ２側高倍モデルの登録をダイレクトタッチの手法を利用して実施する。尚、手順はＣＨ１と同じである。
【００４８】
Ｓ１１４にて「ＣＨ２第１（高倍）モデル登録」の処理が終了すると、Ｓ１１６「モデル登録終了」に進み、アライメントモデルの登録処理を終了する。
【００４９】
上記のようにしてウェーハＷのアライメントモデルが登録された場合には、以下のようにアライメント処理を実施して切断加工を行う。
【００５０】
ワークテーブルに吸着保持されたウェーハＷのストリートパターンは、撮像手段１８、１９によって撮像されて表示手段１２に表示されるとともに、情報処理手段１１２によって画像認識される。この画像情報と、予め記憶手段に登録されているリファレンスパターンとに基づいてパターンマッチング処理を行い、ストリートを検出して切断のアライメントの調節がなされる。そして、アライメント調節されたウェーハＷは、図２に示す矢印Ａ、Ｂで示すＹ軸方向の移動と、ワークテーブルの矢印Ｃ、Ｄで示すＸ軸方向の移動とによって、２本のストリートが同時に切断される。最初の２本のストリートが切断されると、切断部１０のスピンドル１６Ａ、１６Ｂがストリートのピッチ分だけＹ軸方向に移動する。そして、ワークテーブルが再びＸ軸方向に移動し、これにより、次の２本のストリートが切断される。この切断動作を繰り返して行い、一方向（Ｘ方向）の所定のストリートを切断する。
【００５１】
所定のストリートの切断が完了すると、切断した切削溝を撮像手段１８又は１９で撮像して切削溝のカーフチェックを自動で実施する。カーフチェックでは切削溝壁のチッピング（欠け）の度合い、切削溝のストリートに対する位置ずれ等の切削結果を検査する。チッピングが大きい場合又は切削溝が大きくストリートからずれている場合には利用者に不具合を通知するオペレータコールを行う。また、切削溝が本来の切溝に対して少しずれている場合には自動で切断する位置を補正したり、チッピングが少し観察される場合には切削条件を変更する等の補正処理を行って以降所定回数の切断を継続する。なお、手動でカーフチェックを行う場合にも、所望の観察位置へ表示位置を移動する手段としてダイレクトタッチの手法を用いると、カーフチェック作業を迅速に実施することが可能となる。
【００５２】
一方向（Ｘ方向）の全てのストリートが切断されると、ワークテーブルが９０°回動し、前記切断したストリートに直交する方向のストリートが順次切断される。これにより、ウェーハＷは最終的に碁盤目状に切断される。
【００５３】
切断の終了したウェーハＷは、ワークテーブルによって位置Ｐ２に戻され、その後、搬送装置５０によって位置Ｐ３の洗浄部２のスピナテーブルに搬送される。そして、ここで洗浄水により洗浄されたのち、エアブローによって乾燥される。洗浄・乾燥が終了したウェーハＷは、搬送装置５０によって位置Ｐ４に搬送され、その後、エレベータ部４０によってカセット部３０に収納される。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るダイシング装置によれば、ウェーハの表面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を表示する表示手段と、前記表示手段が表示している任意の位置を表示上の位置で指定して位置情報を入力するポインティングデバイスを用いた入力手段と、前記撮像手段が撮像した画像に基づいてウェーハ表面に形成されている直線状のストリートパターン形状情報を検出する形状検出手段と、前記形状検出手段によって検出されたストリートパターン形状の基準情報、及び前記ウェーハ表面に形成されているストリートパターン形状の１乃至複数の基準位置とを記憶する記憶手段と、前記入力された位置情報に最も近い位置に存在するストリートパターン形状の基準位置を前記記憶手段に記憶されているストリートパターン形状の基準情報に基づいて算出する位置算出手段と、前記表示上の位置で指定して入力された位置情報、及び前記算出された表示上のストリートパターン形状の基準位置とをウェーハ表面の位置情報に変換する変換手段と、前記変換されたウェーハ表面の位置情報に基づいて表示位置を移動させる移動手段とを備えているので、ワンタッチで希望の表示位置に迅速に移動させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図
【図２】本発明が適用されたダイシング装置の平面図
【図３】ダイシング装置の情報処理部のブロック図
【図４】標準的なウェーハＷのアライメントモデル登録工程のフローチャート
【図５】表示手段に表示されている初期表示の表示内容を示す図
【図６】ダイレクトタッチモード時に表示される表示内容を示す図
【図７】画面タッチによる表示位置の指定方法を示すフローチャート
【符号の説明】
１０…切断部、１８、１９…撮像手段、２０…洗浄部、３０…カセット部、４０…エレベータ部、１００…駆動手段Ｘ、１０２…駆動手段Ｙ、１０４…駆動手段Ｚ、１０６…駆動手段θ、１１０…制御手段、１１２…情報処理手段、１３０…ダイレクトタッチ移動ボタン
【図１】
0003979484.tif 000002
【図２】
0003979484.tif 000003
【図３】
0003979484.tif 000004
【図４】
0003979484.tif 000005
【図５】
0003979484.tif 000006
【図６】
0003979484.tif 000007
【図７】
0003979484.tif 000008