(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のグリーンシートを積層し、この積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなるセラミック多層基板を製造する装置であって、
前記グリーンシート積層体の一方の面側に配された上圧着板と、
前記グリーンシート積層体の他方の面側に配され、かつ、下圧着板本体と、前記上圧着板の下面部と相対し、前記グリーンシート積層体を上に乗せることが可能な上面部と、前記上面部の外周に設けられ、前記グリーンシート積層体の裏面と当接してグリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束溝と、前記下圧着板本体と上面部との間に設けられる付勢手段と、を有する下圧着板と、
前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝と、
を備えることを特徴とするセラミック多層基板の製造装置。
【請求項２】
前記拘束溝は、前記グリーンシート積層体の製品部分の外周部よりも外側に相対する部分に形成されていることを特徴とする請求項１記載のセラミック多層基板の製造装置。
【請求項３】
複数枚のグリーンシートを積層し、この積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなるセラミック多層基板を製造する方法であって、
圧着時に、
前記グリーンシート積層体の製品部分の上下面に圧力を負荷する工程と、
前記圧力を負荷する工程の後に、前記グリーンシート積層体の他方の面側に配した下圧着板に形成された拘束溝により前記グリーンシート積層体を拘束し、前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝により前記グリーンシート積層体の脱気を行う工程と、
を含むことを特徴とする請求項１または２に記載のセラミック多層基板の製造装置を用いたセラミック多層基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック多層基板の製造方法および製造装置に関するものであり、特に複数枚のグリーンシートを積層し、圧着する方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置において、ＩＣチップやＬＳＩチップ等の半導体素子は、基板に設けられた半導体素子搭載部に収納されて実用に供されている。アルミナ等のセラミック多層は耐熱性、耐久性、熱伝導性等に優れるため、この基板の材料として適しており、セラミック製の半導体基板は現在盛んに使用されている。
【０００３】
このセラミック製の半導体基板は、基板サイズを縮小し、搭載ボードへの搭載密度を向上させ、また電気特性を向上させるため、一般に複数枚のグリーンシートを積層および焼成してセラミック多層基板が製造される。
【０００４】
このようなセラミック多層基板においては、グリーンシート積層体を圧着する際、平行圧着板にてグリーンシート積層体の上下から圧力をかけ、グリーンシート積層体を一体化する製造方法が採られている。このグリーンシート積層体を圧着するときの圧力により、グリーンシート積層体が伸びて変形し、焼成後の基板の寸法精度を下げる原因となる場合がある。セラミック多層基板においては、この寸法精度の向上が望まれている。ここで、寸法精度とは、寸法のばらつきの度合いを示すものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、グリーンシート積層体を圧着する際のグリーンシート積層体の伸びや変形を低減する製造方法として、▲１▼グリーンシート積層体を枠の内部にはめ込み、グリーンシート積層体が周囲へ伸びるのを抑えた状態でグリーンシート積層体の上下から加圧するか、または静水圧プレスを行うセラミック多層基板の製造方法が知られている。
【０００６】
しかしながら、上記の▲１▼のセラミック多層基板の製造方法では、製造治具、製造工具あるいは製造設備が高価であるという問題があった。また、製造工程が複雑になり、製造工数が増大するという問題があった。
【０００７】
また、▲２▼グリーンシート積層体の製品部分の外周部よりも外側に相対する部分に形成された拘束溝を有する拘束型を用いてグリーンシート積層体を拘束し、圧着するセラミック多層基板の製造方法が知られている。
【０００８】
しかしながら、上記の▲２▼のセラミック多層基板の製造方法では、圧着時に加熱すると、グリーンシート積層体に含有される溶剤が気化し、この気化した溶剤ガスがグリーンシート積層体の内部から外部に脱気されず、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりして圧着不良が発生する恐れがあるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、圧着不良を防止し、寸法精度を向上するセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【００１０】
本発明の他の目的は、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減するセラミック多層基板の製造方法および製造装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の請求項１記載のセラミック多層基板の製造装置によると、グリーンシート積層体の一方の面側に配された上圧着板と、前記グリーンシート積層体の他方の面側に配され、かつ、下圧着板本体と、前記上圧着板の下面部と相対し、グリーンシート積層体を上に乗せることが可能な上面部と、前記上面部の外周に設けられ、前記グリーンシート積層体の裏面と当接してグリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束溝と、前記下圧着板本体と上面部との間に設けられる付勢手段と、を有する下圧着板と、前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝とを備えている。このため、まず、圧着時の加熱により気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体の周囲から外部に排出する。次に、拘束溝によりグリーンシート積層体を拘束し、圧着時のグリーンシート積層体の伸びおよび変形を低減すると共に、脱気溝によりグリーンシート積層体の脱気を行う。したがって、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。その結果、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、グリーンシート積層体に相対する下圧着板に拘束溝を形成し、この拘束溝を横切るように脱気溝を形成すればよいので、安価な製造装置とすることができる。
【００１２】
本発明の請求項２記載のセラミック多層基板の製造装置によると、拘束溝は、グリーンシート積層体の製品部分の外周部よりも外側に相対する部分に形成されるので、グリーンシート積層体の製品部分を傷つけるのを防ぐことができる。しがって、製品不良の発生を抑えることができる。
【００１３】
本発明の請求項３記載のセラミック多層基板の製造方法によると、圧着時に、グリーンシート積層体の製品部分の上下面に圧力を負荷し、その後、グリーンシート積層体の他方の面側に配した下圧着板に形成された拘束溝によりグリーンシート積層体を拘束し、拘束溝を横切るように形成された脱気溝によりグリーンシート積層体の脱気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層体の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、下圧着板に拘束溝を形成し、この拘束溝を横切るように脱気溝を形成すればよいので、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の複数の実施例を図面に基づいて説明する。
（第１実施例）
本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例について、図１〜図７を用いて説明する。
【００１７】
まず、ガラスセラミックスのグリーンシート積層体の作製方法について述べる。ここで、ガラスセラミックスの原料粉末は、ＣａＯ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ｂ2Ｏ3系のガラス粉末６０ｗｔ％とＡｌ2Ｏ3粉末４０ｗｔ％とを混合した粉体状のセラミックスであり、平均粒径は約３．５μｍである。
【００１８】
(1) ガラスセラミック粉体にジオキシルフタレートの可塑剤と、アクリル樹脂のバインダと、例えばトルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤とを加え、十分に混練して粘度２０００〜４００００ｃｐｓのスラリーを作製し、ドクターブレード法によって例えば０．３ｍｍ厚の４枚のガラスセラミックグリーンシートを形成する。
【００１９】
(2) 打ち抜き型やパンチングマシーン等を用いて、ガラスセラミックグリーンシートを所望の形状に加工し、また、複数の所定位置に例えば０．３ｍｍφのビアホールを打ち抜き形成し、各ビアホールにＡｇ系導体材料を充填する。また、ガラスセラミックグリーンシートの表面あるいは裏面に内部配線用のＡｇ、Ａｇ−Ｐｄ、Ａｇ−Ｐｔ、Ａｇ−Ｐｄ−Ｐｔ、Ｃｕ等の導体ペーストをスクリーン印刷する。
【００２０】
(3) 図５およぼ図６に示すように、それぞれのガラスセラミックグリーンシート１を積層し、このグリーンシート積層体２を例えば１１０℃、１００ｋｇ／ｃｍ2の条件で熱圧着して一体化する。
【００２１】
ここで、グリーンシート積層体２の熱圧着装置１００について説明する。
図１および図２に示すように、熱圧着装置１００は、第１の圧着板としての上圧着板３０と、第２の圧着板としての下圧着板４０との互いに相対する２つの圧着板から構成される。上圧着板３０は、グリーンシート積層体２の外周部２０とほぼ同等の大きさの外周部３２と、グリーンシート積層体２の表面２ａと接することが可能な平らな下面部３１とを有している。
【００２２】
下圧着板４０は、上圧着板３０の下面部３１と相対し、グリーンシート積層体２の裏面２ｂと接することが可能な平板状の上面部４１と、この上面部４１の外周に設けられ、グリーンシート積層体２を上に乗せてグリーンシート積層体２を拘束することが可能な拘束部４３とを有している。拘束部４３は、グリーンシート積層体２の外周部２０とほぼ同等の大きさの外周部４２と、グリーンシート積層体２の外周部２０よりも小さく、グリーンシート積層体２の製品部分の外周部２１よりも大きい内周部４６と、外周部４２と内周部４６との間に形成される外溝４４および内溝４５と、拘束部４３の４角に外溝４４および内溝４５をそれぞれ４本に分断するように形成される脱気溝４７とを有している。
【００２３】
外溝４４および内溝４５は、グリーンシート積層体２の製品部分を外周部２１の４角を除いて取囲む概略ロ字形に形成されており、その断面形状はＶ字形をしている。外溝４４および内溝４５の幅は制限するものではないが０．２〜２．０ｍｍの範囲が好ましく、外溝４４および内溝４５の深さは制限するものではないが０．０３〜１．００ｍｍの範囲が好ましい。外溝４４および内溝４５の幅が０．２ｍｍ未満であるか、または２．０ｍｍより大きいと、圧着時のグリーンシート積層体２の伸びおよび変形を低減する効果が小さくなる恐れがある。また、外溝４４および内溝４５の深さが０．０３ｍｍ未満であるか、または１．００ｍｍより大きいと、圧着時のグリーンシート積層体の伸びおよび変形を低減する効果が小さくなる恐れがある。ここで、外溝４４および内溝４５は、特許請求の範囲に記載された「拘束溝」を構成している。
【００２４】
４箇所の脱気溝４７は、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化したとき、この気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体２の内部から外部に脱気するためのものであって、外溝４４および内溝４５が不連続になるように、すなわち外溝４４および内溝４５を横切るように形成されている。脱気溝４７が外溝４４および内溝４５を横切るように形成されることにより、圧着時におけるグリーンシート積層体２の脱気を滞りなく行わせることができる。なお、脱気溝４７の幅および深さは外溝４４および内溝４５の幅および深さと概略同等である。
【００２５】
次に、熱圧着装置１００の作動について、図２、図３および図４を用いて説明する。
図２に示すように、下圧着板４０の拘束部４３の上にグリーンシート積層体２を乗せ、グリーンシート積層体２および下圧着板４０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向に移動すると、上圧着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体２の表面２ａに接する。さらに上圧着板３０に矢印Ｙ方向の力を加えると、図３に示すように、グリーンシート積層体２の裏面２ｂが下圧着板４０の上面部４１に接し、拘束部４３の外溝４４および内溝４５にくい込む。これにより、グリーンシート積層体２が矢印Ｘ方向に伸びるのを低減することができる。
【００２６】
このとき、図３および図４に示すように、脱気溝４７によりグリーンシート積層体２の脱気を行うので、圧着の加熱によりグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に排出される。これにより、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良が防止され、グリーンシート積層体２の寸法精度が向上される。
【００２７】
次に、図７に示すように、熱圧着されたグリーンシート積層体１０を製品となる部分の外周部２１に沿って切断する。熱圧着されたグリーンシート積層体１０を外周部２１に沿って切断すると、グリーンシート積層体の製品部分５０が得られる。このグリーンシート積層体の製品部分５０を、電気式連続ベルト炉を使用して空気中で９００℃、２０分の保持条件で焼成し、ガラスセラミック多層基板を作製する。なお、導体ペーストがＣｕの場合は還元または中性雰囲気で焼成する。
【００２８】
次に、図１に示す第１実施例の下圧着板４０の拘束部４３に脱気溝４７を形成していない比較例について、図１６、図１７および図１８を用いて説明する。比較例においては、脱気溝を形成していないことを除いて他は第１実施例と同様であり、第１実施例と同一構成部分に同一符号を付す。
【００２９】
図１６および図１７に示すように、比較例の熱圧着装置は、上圧着板３０と、下圧着板１４０との互いに相対する２つの圧着板から構成される。下圧着板１４０は、上圧着板３０の下面部３１と相対し、グリーンシート積層体２の裏面２ｂと接することが可能な平板状の上面部１４１と、この上面部１４１の外周に設けられ、グリーンシート積層体２を上に乗せてグリーンシート積層体２を拘束することが可能な拘束部１４３とを有している。拘束部１４３は、グリーンシート積層体２の外周部２０とほぼ同等の大きさの外周部１４２と、グリーンシート積層体２の外周部２０よりも小さく、グリーンシート積層体２の製品部分の外周部２１よりも大きい内周部１４６と、外周部１４２と内周部１４６との間に形成される外溝１４４および内溝１４５とを有している。外溝１４４および内溝１４５は、グリーンシート積層体２の製品部分の外周部２１を取囲むロ字形に形成されており、その断面形状はＶ字形をしている。
【００３０】
比較例においては、図１７に示すように、下圧着板１４０の拘束部１４３の上にグリーンシート積層体２を乗せ、グリーンシート積層体２および下圧着板１４０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向に移動すると、上圧着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体２の表面２ａに接する。さらに上圧着板３０に矢印Ｙ方向の力を加えると、図１８に示すように、グリーンシート積層体２の裏面２ｂが下圧着板１４０の上面部１４１に接し、拘束部１４３の外溝１４４および内溝１４５にくい込む。このとき、圧着の加熱によりグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化し、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に排出されることが困難である。このため、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりしてグリーンシート積層体２に圧着不良が発生する恐れがある。
【００３１】
一方、第１実施例においては、脱気溝４７により圧着時にグリーンシート積層体２の脱気を行うので、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体２の寸法精度を向上することができる。
【００３２】
（第２実施例）
第２実施例を図８および図９に示す。
第２実施例においては、図１および図４に示す第１実施例の下圧着板４０の拘束部４３の４角に脱気溝４７を形成する替わりに、拘束部の４辺に脱気溝を形成したものであり、脱気溝を形成した位置および脱気溝の形状を除いて他は第１実施例と同様であり、第１実施例と同一構成部分に同一符号を付す。
【００３３】
図８および図９に示すように、第２実施例の第２の圧着板としての下圧着板６０は、上圧着板３０の下面部と相対し、グリーンシート積層体の裏面と接することが可能な平板状の上面部６１と、この上面部６１の外周に設けられ、グリーンシート積層体を上に乗せてグリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束部６３とを有している。拘束部６３は、グリーンシート積層体の外周部とほぼ同等の大きさの外周部６２と、グリーンシート積層体の外周部よりも小さく、グリーンシート積層体の製品部分の外周部２１よりも大きい内周部６６と、外周部６２と内周部６６との間に形成される外溝６４および内溝６５と、拘束部の４辺に外溝６４および内溝６５をそれぞれ４本に分断するように形成される脱気溝６７とを有している。
【００３４】
外溝６４および内溝６５は、グリーンシート積層体の製品部分の外周部２１の一部を除いて取囲む概略ロ字形に形成されており、その断面形状はＶ字形をしている。ここで、外溝６４および内溝６５は、特許請求の範囲に記載された「拘束溝」を構成している。
【００３５】
４箇所の脱気溝６７は、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化したとき、この気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体の内部から外部に脱気するためのものであって、グリーンシート積層体の非製品部分に形成される位置合わせのためのピン穴２２に相対する部分に、ピン穴２２の外径よりも大きい外径で形成されており、外溝６４および内溝６５が不連続になるように、すなわち外溝６４および内溝６５を横切るように概略Φ字形に形成されている。脱気溝６７が外溝６４および内溝６５を横切るように形成されることにより、圧着時におけるグリーンシート積層体の脱気を滞りなく行わせると共に、位置合わせのためのピン穴２２が変形することを防止することができる。
【００３６】
第２実施例においては、図９に示すように、脱気溝６７により圧着時にグリーンシート積層体の脱気を行うので、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、脱気溝６７は、拘束部６３のピン穴２２に相対する部分に形成されているので、圧着時に、ピン穴２２が変形することを防止することができる。
【００３７】
（第３実施例）
第３実施例を図１０〜図１５に示す。
第３実施例においては、図１〜図４に示す第１実施例の下圧着板４０の上面部４１をグリーンシート積層体２側に付勢する付勢手段を上面部４１の下部に配設したものであり、付勢手段が設けられ、上面部が移動可能なことを除いて他は第１実施例と同様であり、第１実施例と同一構成部分に同一符号を付す。
【００３８】
図１０および図１１に示すように、第２実施例の第２の圧着板としての下圧着板７０は、下圧着板本体７２と、上圧着板３０の下面部３１と相対し、グリーンシート積層体２を上に乗せることが可能な平板状の上面部７１と、この上面部７１の外周に設けられ、グリーンシート積層体２の裏面２ｂと当接してグリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束部４３と、下圧着板本体７２と上面部７１との間に設けられる付勢手段としての圧縮コイルスプリング７３とを有している。圧縮コイルスプリング７３は、上面部７１をグリーンシート積層体２側に付勢しているので、上面部７１の上にグリーンシート積層体２を乗せ、グリーンシート積層体２および下圧着板７０を固定して上圧着板３０を矢印Ｙ方向に移動すると、図１２および図１４に示すように、上圧着板３０の下面部３１がグリーンシート積層体２の表面２ａに接し、さらに拘束部４３がグリーンシート積層体２の裏面２ｂと当接してグリーンシート積層体２の製品部分の上下面に圧力が負荷される。このため、圧着時の加熱により気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体２の周囲から外部に排出することができる。ここで、下面部３１と、上面部７１と、圧縮コイルスプリング７３とは、特許請求の範囲に記載された「加圧手段」を構成している。
【００３９】
図１２において、さらに上圧着板３０に矢印Ｙ方向の力を加えると、図１３に示すように、グリーンシート積層体２の裏面２ｂが拘束部４３の外溝４４および内溝４５にくい込む。このとき、図１３および図１５に示すように、脱気溝４７によりグリーンシート積層体２の脱気を行うので、圧着の加熱によりグリーンシート積層体２に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体２の内部から外部に排出される。これにより、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止し、グリーンシート積層体２の圧着不良を防止することができる。
【００４０】
第３実施例においては、まず、グリーンシート積層体２の製品部分の上下面に加圧手段により圧力を負荷し、圧着時の加熱により気化した溶剤ガスをグリーンシート積層体２の周囲から外部に排出する。次に、外溝４４および内溝４５によりグリーンシート積層体２を拘束してグリーンシート積層体２の伸びおよび変形を低減すると共に、脱気溝６７により溶剤ガスをグリーンシート積層体２の内部から外部に排出させ、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを確実に防止して圧着不良を確実に防止し、グリーンシート積層体２の寸法精度を向上することができる。
【００４１】
以上説明した本発明の複数の実施例においては、圧着時に、外溝および内溝によりグリーンシート積層体を拘束し、脱気溝によりグリーンシート積層体の脱気を行う。このため、圧着時に、グリーンシート積層体の伸びおよび変形が低減されると共に、圧着時の加熱によりグリーンシート積層体に含有される溶剤が気化しても、この気化した溶剤ガスはグリーンシート積層体の内部から外部に排出される。したがって、グリーンシートが剥離したり、ふくれが発生したりすることを防止して圧着不良を防止し、グリーンシート積層体の寸法精度を向上することができる。さらに、拘束部に拘束溝を形成し、この拘束溝を横切るように脱気溝を形成すればよいので、製造設備が安価であり、製造が容易で、製造工数を低減することができる。
【００４２】
上記複数の実施例では、下圧着板に拘束部を設けたが、本発明では、上圧着板に拘束部を設けてもよいし、下圧着板と上圧着板との両方に拘束部を設けてもよい。また本発明においては、拘束溝および脱気溝の断面形状および本数に制限はない。また本発明においては、グリーンシート積層体の製品部分の外周部に相対する部分より外側に拘束溝および脱気溝が形成されていれば、どのような形状の拘束溝および脱気溝が形成されていてもよい。
【００４３】
本発明においては、低温焼成のガラスセラミック多層基板に限らず、アルミナ基板、窒化アルミ基板、ムライト基板等どのようなセラミック多層基板に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す模式的平面図である。
【図２】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す模式的断面図である。
【図３】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示すものであって、図４のIII−III線断面図である。
【図４】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第１実施例を示す模式的平面図である。
【図５】本発明の第１実施例を説明するためのグリーンシートを示す模式的斜視図である。
【図６】本発明の第１実施例を説明するためのグリーンシート積層体を示す模式的斜視図である。
【図７】本発明の第１実施例を説明するためのグリーンシート積層体の切断を示す模式的斜視図である。
【図８】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第２実施例を示す模式的平面図である。
【図９】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第２実施例を示す模式的平面図である。
【図１０】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示す模式的平面図である。
【図１１】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示す模式的断面図である。
【図１２】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示すものであって、図１４のXII−XII線断面図である。
【図１３】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示すものであって、図１５のXIII−XIII線断面図である。
【図１４】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示す模式的平面図である。
【図１５】本発明を低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置に適用した第３実施例を示す模式的平面図である。
【図１６】比較例による低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置を示す模式的平面図である。
【図１７】比較例による低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置を示す模式的断面図である。
【図１８】比較例による低温焼成のガラスセラミック多層基板の製造方法および製造装置を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
１    グリーンシート
２    グリーンシート積層体
１０    熱圧着されたグリーンシート積層体
２０    グリーンシート積層体の外周部
２１    グリーンシート積層体の製品部分の外周部
３０    上圧着板（第１の圧着板）
３１    下面部
４０    下圧着板（第２の圧着板）
４１    上面部
４３    拘束部
４４    外溝（拘束溝）
４５    内溝（拘束溝）
４７    脱気溝
５０    製品部分
６０    下圧着板（第２の圧着板）
６１    上面部
６３    拘束部
６４    外溝（拘束溝）
６５    内溝（拘束溝）
６７    脱気溝
７０    下圧着板（第２の圧着板）
７１    上面部（加圧手段）
７３    圧縮コイルスプリング（加圧手段）
１００    熱圧着装置
【図１】
0003994597.tif 000002
【図２】
0003994597.tif 000003
【図３】
0003994597.tif 000004
【図４】
0003994597.tif 000005
【図５】
0003994597.tif 000006
【図６】
0003994597.tif 000007
【図７】
0003994597.tif 000008
【図８】
0003994597.tif 000009
【図９】
0003994597.tif 000010
【図１０】
0003994597.tif 000011
【図１１】
0003994597.tif 000012
【図１２】
0003994597.tif 000013
【図１３】
0003994597.tif 000014
【図１４】
0003994597.tif 000015
【図１５】
0003994597.tif 000016
【図１６】
0003994597.tif 000017
【図１７】
0003994597.tif 000018
【図１８】
0003994597.tif 000019