(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板平面部が互いに平行になるように、複数個の基板を垂直方向に並べて収容する基板用カセットであって、
それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板と、
前記１対の棚板の、それぞれの内壁面に設けられ、水平方向に延びる、前記基板の端部を保持する横溝と、
前記横溝は、前記１対の棚板のそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に複数個、設けられており、
当該基板用カセットは、さらに、
前記１対の棚板のそれぞれの奥行端部に一体的に設けられ、前記基板が挿入されたとき、該基板の端縁が当接する壁部材を備え、
前記壁部材の、前記基板の端縁が当接する面は丸められ、
前記壁部材には、前記横溝に連通する開口部が設けられている、基板用カセット。
【請求項２】
基板平面部が互いに平行になるように、複数個の基板を垂直方向に並べて収容する基板用カセットであって、
それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板と、
前記１対の棚板の、それぞれの内壁面に設けられ、水平方向に延びる、前記基板の端部を保持する横溝と、を備え、
前記横溝は、前記１対の棚板のそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に複数個、設けられており、
当該基板用カセットは、さらに、
前記１対の棚板を固定するために、上下に１対のフレームが設けられ、前記１対の棚板と、前記１対のフレームを耐熱かつ耐薬品性素材を使ったねじで、固定しており、
前記１対の棚板の、それぞれの奥行端部に一体的に設けられ、前記基板が挿入されたとき、該基板の端縁が当接する壁部材を備え、
前記壁部材の、前記基板の端縁が当接する面は丸められ、
前記壁部材には、前記横溝に連通する開口部が設けられている、基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、一般に、基板用カセットに関するものであり、より特定的には、チップやパネルなどの洗浄や乾燥工程に使用される基板用カセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図９は、第１の従来例にかかる基板用カセットの斜視図である。基板用カセットは、比較的小型のチップやパネルを収納、搬送するために使われる。溝付き棚板８ａ，８ｂが１対のフレーム２ａ，２ｂに固定されている。溝付き棚板８ａ，８ｂには、各パネルが接触しないように、これらを垂直方向に並べて収容するための溝が設けられている。また、フレーム２ａ，２ｂには、パネルの出し入れ方向の背面側に、パネル落下防止用の部材９が、溝の配列方向と平行に、すなわち、図中垂直方向に取付けられていた。
【０００３】
従来の基板用カセットの場合、１本の落下防止材９がフレーム２ａ，２ｂに取付けられていた。したがって、たとえば、フレーム２ａ，２ｂに長孔（図示せず）をあけ、溝付き棚板８ａ，８ｂの取付ける位置（ピッチ）を可変にする構造としても、基板を、１本の落下防止部材９で支える構造、すなわち１点で支える構造であるために、基板が、水平方向にずれるという問題点があった。また、落下防止部材９の位置を可変にするために、フレーム２ａ，２ｂに長孔を設けると、フレーム２ａ，２ｂそのものの機械的強度が損なわれるという問題点があった。
【０００４】
また、従来の基板用カセットの場合、洗浄工程に使用される基板用カセットと、熱処理工程に使用される基板用カセットは、部品や締結材の材質を変え、それぞれの工程別に使い分けされたり、共通使用されている場合には、定期的に部品や締結材を交換していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
図１０は、これらの問題点を解決するためになされた第２の従来例である基板用カセットの斜視図である。図１０に示す基板用カセットは、同じく小型のチップやパネルを収納、搬送するために使われる。溝付き棚板１０ａ，１０ｂの背面側に、溝付き棚板１０ａ，１０ｂと一体的に、落下防止用の壁１１ａ，１１ｂが設けられている。壁１１ａ，１１ｂの２点で、基板を支持するため、基板は水平方向にずれない。図１１は、図１０におけるＸＩ−ＸＩ線に沿う断面図である。図１２は、図１１中の、Ａ方向から見る矢視図である。
【０００６】
図１０に示す従来の基板用カセットを用いて、洗浄や薬液処理などの、液体を使用する工程で、バッチ処理すると、背面に設けた落下防止用の壁１１ａ，１１ｂと、溝付き棚板１０ａ，１０ｂに形成された溝との間で、あるいは、落下防止用の壁１１ａ，１１ｂと溝とチップやパネルの間で、処理槽等から引き上げた際に、液体が、ブリッジ状態となり、付着して残るという問題点があった。
【０００７】
また、スピン洗浄などに使用する場合、通常、１対のフレーム２ａ，２ｂを上下にセットし、遠心力の外方向に背面（壁１１ａ，１１ｂが存在する側）がくるようにセットするが、図１１の断面図および図１２の斜視図に示したように、落下防止用の壁１１ａ，１１ｂの表面で、洗浄液がはね返り、乾燥むらができ、パネル品質の劣化につながるという問題点があった。
【０００８】
また、洗浄工程用に製作された基板用カセットを熱処理工程で使用すると各締結部においてねじの緩みが発生し、この緩みは、増し締め後でも熱処理を行なうたび発生するという問題があった。
【０００９】
さらに、熱処理工程用に製作された基板用カセットを洗浄工程で使用すると、各締結部材が腐食を起こし、数回の使用ごとに交換しなければならなかった。
【００１０】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、付着して残る薬液をできるだけ少なくし、洗浄時に乾燥むらができないように改良され、また、洗浄や熱処理の工程を気にせず、共通で使用できる基板用カセットを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明の第１の局面に従う基板用カセットは、基板平面部が互いに平行になるように、複数個の基板を垂直方向に並べて収容する基板用カセットに係る。当該基板用カセットは、それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板を備える。上記１対の棚板の、それぞれの内壁面に、水平方向に延びる、上記基板の端部を保持する横溝が設けられている。上記横溝は、上記１対の棚板のそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に複数個、設けられている。当該基板用カセットは、さらに、上記１対の棚板のそれぞれの奥行端部に一体的に設けられ、上記基板が挿入されたとき、該基板の端縁が当接する壁部材を備える。上記壁部材の上記基板の端縁が当接する面は、丸められている。そして、壁部材には、横溝に連通する開口部が設けられている。
【００１７】
この発明の第１の局面に従う基板用カセットによれば、壁部材の上記基板の端縁が当接する面が丸められているので、基板用カセットの背面側を下にして、薬液洗浄した後、カセットが薬液槽から引き上げられるときに、薬液が下方向に自然に流れ去り、液体がブリッジ状態になって、付着してカセットに残る量が少なくなる。また、スピン洗浄を行なった場合でも、壁部材で液体がはね返らず、パネル側に戻る洗浄液がなくなり、乾燥むらができないようになる。
【００１９】
この発明の第２の局面に従う基板用カセットは、基板平面部が互いに平行になるように、複数個の基板を垂直方向に並べて収容する基板用カセットに係る。当該基板用カセットは、それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板を備える。上記１対の棚板の、それぞれの内壁面に、水平方向に延びる、上記基板の端部を保持する横溝が設けられている。上記横溝は、上記１対の棚板のそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に複数個、設けられている。上記１対の棚板を固定するために、上下に１対のフレームが設けられている。上記１対の棚板と、上記１対のフレームを、耐熱かつ耐薬品性素材（たとえばセラミックなど）を使ったねじで、固定している。当該基板用カセットは、さらに、上記１対の棚板のそれぞれの奥行端部に一体的に設けられ、上記基板が挿入されたとき、該基板の端縁が当接する壁部材を備える。上記壁部材の上記基板の端縁が当接する面は、丸められている。そして、壁部材には、横溝に連通する開口部が設けられている。
この発明の第２の局面に従う基板用カセットによれば、すべての締結材料に耐熱かつ耐薬品性素材を使用しているので、熱処理工程や洗浄工程使用時のねじ緩みや、腐食などが発生せず、両工程で共通の基板用カセットが使用できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
実施の形態１
図１は、実施の形態１に係る基板用カセットの斜視図である。
【００２２】
図２は、図１における矢印Ａの方向から見た図である。図３は、図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。図４は、図１における、固定具４ｂを取付けるリブ部分の拡大図である。
【００２３】
これらの図を参照して、基板用カセットは、それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板１ａ，１ｂを備える。１対の棚板１ａ，１ｂの、それぞれの内壁面に、水平方向に延びる、基板の端部を保持する横溝２０が設けられている。横溝２０は、１対の棚板１ａ，１ｂのそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に複数個、並んで設けられている。１対の棚板１ａ，１ｂの、それぞれの内壁面に、横溝２０と交差するように垂直方向に、縦溝３０が設けられている。縦溝３０の中に、垂直方向に延びる棒部材３が埋込まれている。棒部材３を、固定手段である六角ねじ４ａが内壁面に向かって押し込み、棒部材３を棚板１ａ，１ｂに固定させている。固定手段４ａ，４ｂ，４ｃは３箇所に設けられているが、少なくとも２箇所に設けられていればよい。
【００２４】
固定手段４ａ，４ｃは、内壁面の平坦面に設けられている。固定手段４ｂは、図４を参照して、横溝２０と横溝２０との間に設けられたリブ５０にも取付けられる。リブ５０は、横溝２０と横溝２０の間の山２１の幅を、拡げることによって作られる。
【００２５】
また、固定手段４ａ、４ｂ、４ｃは、耐熱、耐薬品材料（たとえばセラミックなど）を使用し、溝付き棚板１ａ，１ｂに形成された雌ねじには、耐熱、耐薬品性と、熱処理時に発生する材料の伸縮による、締結材料の緩みが生じない程度の初期締付け力２０ｋｇｆを可能にするため、チタン製ヘリサートナット（図示せず）を使用する。
【００２６】
溝付き棚板１ａ，１ｂを固定する１対のフレーム２ａ，２ｂは、使用する薬液によって耐熱性樹脂や、ステンレス材、アルミ材などを適宜選んで形成される。
【００２７】
また、溝付き棚板１ａ，１ｂと１対のフレーム２ａ、２ｂは、同様に使用する薬液によって耐熱性樹脂や、ステンレス材、アルミ材などを適宜選んで使用する。
【００２８】
フレーム２ａ，２ｂには、図示しないが、カセットが効率よく使用可能になるように、溝付き棚板１ａ，１ｂを、図中、水平方向にスライドさせて固定できるように、長孔を設けるのが好ましい。
【００２９】
棒部材３は、丸棒にするのが好ましい。棒部材３は、３箇所で、固定具４ａ，４ｂ，４ｃで固定されている。これによって、搬送や洗浄時、棒部材３が、溝付き棚板１ａ，１ｂから離れなくなる。また、固定具４ａ，４ｂ，４ｃを使用しているので、チップやパネルとの接触による摩耗によって、棒部材３を交換する必要が生じた場合にも、固定具４ａ，４ｂ，４ｃを取外すことによって、棒部材３の交換が容易となる。
【００３０】
また、図４を参照して、リブ５０と溝２０との間で形成されるコーナー部分５１は、排水性を考慮し、丸められる（Ｒ形状）のが好ましい。また、本発明の基板用カセットのすべての部分において、コーナー部を丸めるのが好ましい。これによって、排水性が良好となる。
【００３１】
固定具４ａ，４ｂ，４ｃには、リベットやねじを使用できるが、これも排水性を考慮して、リベットの場合はできるだけ丸みを帯びた形状とし、チタン製などの材料を使用するのが好ましい。また、ねじについても＋ねじよりも、−ねじ、−ねじよりも六角ボルトの方が好ましい。
【００３２】
図５は、基板６０を、棚の溝部２０に挿入したときの上方向から見た概念図である。基板６０の端縁が、棒部材３に当接している。棒部材３と基板６０の端縁とは、１点で接しているため、基板用カセットを処理槽等から引き上げた際に、液体がブリッジ状態として、付着してカセットに残ることがなくなる。また、スピン洗浄などを行なっても、棒部材３で、洗浄液がはね返らず、基板の乾燥むらができない。
【００３３】
また、棒部材３は、１対の棚板１ａ，１ｂのそれぞれに設けられているため、基板６０の端縁は、２点で保持されるため、基板６０が水平方向にずれることはない。
【００３４】
また、１対のフレーム１ａ，１ｂに長孔を設け、溝付き棚板１ａ，１ｂの取付ピッチを変化させた場合でも、落下防止用棒部材３が、溝付き棚板１ａ，１ｂに固定されているので、従来のように、落下防止用部材９の位置を調整する必要はない。
【００３５】
実施の形態２
図６は、実施の形態２に係る基板用カセットの斜視図である。図７は、図６におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。図８は、図７における矢印Ａ方向から見た矢視図である。
【００３６】
これらの図を参照して、基板用カセットは、それぞれの内壁面が互いに向かい合うように設けられた１対の棚板６ａ，６ｂを備える。１対の棚板６ａ，６ｂの、それぞれの内壁面に、水平方向に延びる、基板６０の端縁を保持する横溝２０が設けられている。横溝２０は、１対の棚板６ａ，６ｂのそれぞれの内壁面に、垂直方向に互いに平行に並んで複数個、設けられている。
【００３７】
１対の棚板６ａ，６ｂのそれぞれの奥行端部に、基板６０が挿入されたとき、基板６０の端縁が当接する壁部材７ａ，７ｂが一体的に設けられている。壁部材７ａ，７ｂの基板６０の端縁が当接する面は、該壁部材７ａ，７ｂと基板の端縁とが１点で接するように、丸くされている。
【００３８】
実施の形態１と同様に、１対のフレーム２ａ，２ｂの材料には、使用する薬液によって、耐熱性樹脂やステンレス材、またはアルミ材などが選ばれる。
【００３９】
フレーム２ａ，２ｂには、カセットが効率よく使用できるように、溝付き棚板６ａ，６ｂをスライドして、固定できるように、長孔を設けるのが好ましい。
【００４０】
実施の形態１と同様に、基板用カセットのコーナー部分を、すべて、Ｒ形状を施すのが好ましい。
【００４１】
落下防止用部材７ａ，７ｂは、溝付き棚板６ａ，６ｂの奥行の端部に、一体的に成形によって、形成されている。この実施の形態によれば、落下防止用部材７ａ，７ｂの交換は不可能であるが、締結部材が不要になる。したがって、組立時のばらつきによる、チップやパネルの奥行方向の位置ばらつきがなくなる。また、本発明のカセット内から、搬送用ロボットなどの自動ハンドリングシステムによる移載にも、容易に対応が可能となる。
【００４２】
本実施の形態において、１対のフレーム２ａ，２ｂに長孔を設け、溝付き棚板６ａ，６ｂの取付ピッチを変化させた場合でも、落下防止用部材７ａ，７ｂが、溝付き棚板６ａ，６ｂに一体的に取付けられているので、従来のように、落下防止用部材の位置を調整する必要がない。
【００４３】
また、図７と図８を参照して、落下防止用部材７ａ，７ｂの端面を、流線形にしているので、たとえば、スピン洗浄などのように、機械的に遠心力を使ったもので洗浄、乾燥を行なう場合でも、背面に流れていく液体がはね返ることはなく、ひいては、チップやパネルに戻ることがなく、効率よく、かつ確実に洗浄ができる。
【００４４】
また、変形例として、溝付き棚板６ａ，６ｂの溝を形成する山の高さを高くすることによって、粘度が高い液体を用いても、液体のブリッジを防止することができる。
【００４５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る基板用カセットによれば、丸あるいは流線形の落下防止材を用いることにより、洗浄時の乾燥むらをなくし、品質の向上はもとより、同時に、生産歩留まりを向上させる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態１に係る基板用カセットの斜視図である。
【図２】  図１における矢印Ａから見た矢視図である。
【図３】  図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】  図１における固定具４ｂが取付けられるリブ部分の拡大図である。
【図５】  基板を挿入したときの、概念図である。
【図６】  実施の形態２に係る基板用カセットの斜視図である。
【図７】  図６におけるＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。
【図８】  図７における矢印Ａから見た矢視図である。
【図９】  第１の従来例にかかる基板用カセットの斜視図である。
【図１０】  第２の従来例に係る基板用カセットの斜視図である。
【図１１】  図１０におけるＸＩ−ＸＩ線に沿う断面図である。
【図１２】  図１１におけるＡ方向から見た矢視図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ  １対の棚板、３  棒部材、４ａ，４ｂ，４ｃ  固定手段、２０  横溝、３０  縦溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003874606.tif 000008
【図８】
0003874606.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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