(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す処理部および該処理部に対して前記記録媒体用基板を搬送する搬送部を備えた表面処理装置に付設され、前記搬送部との間で前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給装置において、
前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部と、
前記基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記搬送部から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記搬送部に対して交互に渡すようにした基板受渡し部とを備えることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の記録媒体用基板の供給装置において、
前記基板受渡し部は、移載ユニットと反転ユニットとを備え、
前記移載ユニットは、前記搬送部と前記反転ユニットとに前記記録媒体用基板の受渡しを行う受取り部を有し、
前記反転ユニットは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す一方、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡すアーム部を有することを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。
【請求項３】
請求項２に記載の記録媒体用基板の供給装置において、
前記反転ユニットは、前記基板載置部と前記移載ユニットとの間で記録媒体用基板の受け渡しを行う第１反転アームと、前記移載ユニットとの間でのみ記録媒体用基板の受け渡しを行う第２反転アームとを備え、
前記第１反転アームは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す構成とし、
前記第２反転アームは、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡す構成とすることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の記録媒体用基板の供給装置において、
前記記録媒体用基板は、貫通穴を設けた受け側トレーと該受け側トレーよりも小径のフタ側トレーとを有するトレーに収容させて前記搬送部に受け渡され、
前記基板載置部においては前記トレーに前記記録媒体用基板を出し入れする際のフタ開けユニットが設置されており、
前記フタ開けユニットは、
支柱に進退動可能に取り付けられて前記基板載置部の表側に配置された進退アーム部と、
前記基板載置部の裏側における前記進退アーム部の対向位置に配置された直動ユニットとを備え、
前記進退アーム部には、該進退アーム部の前進限時に前記受け側トレーの外周部を押え込む押えガイドと、前記フタ側トレーを把持する把持部とが設けられ、
前記直動ユニットは、該直動ユニットの進動時に前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを前記受け側トレーから分離させる突出ピンが設けられていることを特徴とする記録媒体用基板の供給装置。
【請求項５】
記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す表面処理装置側と前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給方法において、
前記表面処理装置とは別に設けた前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、
前記表面処理装置側から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記表面処理装置側に対して交互に渡すようにしたことを特徴とする記録媒体用基板の供給方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形後の記録媒体用基板を表面処理装置に供給する記録媒体用基板の供給装置および供給方法の技術分野に属し、記録媒体用基板の両面に表面処理を施せるように基板面を裏返す反転機能を有するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、図１７に示すように、スパッタ装置７００に付設された光ディスク基板供給装置６００は、ディスク受渡し部２００、ディスク載置部３００、ディスク供給部４００、およびディスク回収部５００を備える。前記スパッタ装置７００は、１度のスパッタ処理では光ディスク基板の片面側にスパッタ膜を形成する装置であって、このスパッタ膜はアルミニウムやニッケル等の金属膜からなり光ディスクの記録層や反射膜等を構成する。そして、このスパッタ装置７００に成形後の光ディスク基板を供給する前記光ディスク基板供給装置６００によると、前記ディスク供給部４００から前記ディスク載置部３００に光ディスク基板を一時保持し、次いでディスク受渡し部２００によってディスク載置部３００からスパッタ装置７００に渡す。スパッタ装置７００によって片面側にスパッタ処理された光ディスク基板は、ディスク受渡し部２００に移し、このディスク受渡し部２００にて基板面を反転させた後、再度スパッタ装置７００に渡す。そして、両面ともにスパッタ処理された光ディスク基板は、前記ディスク受渡し部２００によってディスク載置部３００を経てディスク回収部５００に送られる。このディスク回収部５００ではスパッタ膜の品質検査も同時に行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記スパッタ装置７００は、１度のスパッタ処理で光ディスク基板の片面側にスパッタ膜を形成し、また、通常、複数単位で光ディスク基板に順次スパッタ処理を施す。そして、前記ディスク受渡し部２００は、片面側がスパッタ処理された光ディスク基板をスパッタ装置７００から受け取ると、これを裏返して再びスパッタ装置７００へ送り込む。例えば、光ディスク基板を１０枚連続して片面側にスパッタ処理を行い、このスパッタ処理後、裏返して再度連続してその反対面側にスパッタ処理を行う。このような複数単位の光ディスク基板を片面側ずつ連続してスパッタ装置７００に送りこむと、スパッタ工程の前後の作業ユニット（ディスク載置部３００、ディスク供給部４００、ディスク回収部５００）において待機状態とフル稼動状態とが繰り返されることとなる。特にフル稼動状態の際、ディスク回収部５００における品質検査が律速となるので、ディスク受渡し部２００やディスク載置部３００での光ディスク基板の受渡しを待機させたり、あるいは品質検査前に多くの光ディスク基板の一時保管場所を設ける等の処置が必要となる。これでは、光ディスク基板に両面スパッタを施す作業効率の向上の大きな妨げとなる。
【０００４】
なお、前記問題は、スパッタ処理装置との関係以外の表面処理装置でも発生し、また、光ディスクのみならず磁気記録媒体等も含めたメディア全体の基板や半導体基板等における表裏両面に表面処理を施す装置への供給系統についても同様の問題が発生する。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、記録媒体用基板の供給装置および供給方法において、表面処理工程の前後の工程も含めた各作業を平準化し、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させるようにすることを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために講じた技術的手段は、次のようである。
（１）記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す処理部および該処理部に対して前記記録媒体用基板を搬送する搬送部を備えた表面処理装置に付設され、前記搬送部との間で前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給装置において、
『前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部と、
前記基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、前記搬送部から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記搬送部に対して交互に渡すようにした基板受渡し部とを備えることを特徴とする。』
前記技術的手段は、次のように作用する。
【０００６】
前記基板受渡し部によって前記搬送部に対して両面未処理の記録媒体用基板と片面処理済みの記録媒体用基板とが交互に渡される。これにより、前記搬送部からは前記処理部に両面未処理の記録媒体用基板と片面処理済みの記録媒体用基板とが交互に送られ、そして、前記処理部内での表面処理工程が完了すると、片面処理済みの記録媒体用基板と両面処理済みの記録媒体用基板とが交互に排出されてくる。また、前記片面処理済みの記録媒体用基板は、基板面を反転させてから前記両面未処理の記録媒体用基板と交互に前記搬送部に渡される。
【０００７】
このように、片面処理済みの記録媒体用基板と両面処理済みの記録媒体用基板とが交互に出来上がってくるので、表面処理工程が完了する度に前工程から両面未処理の記録媒体用基板の供給作業が発生し、且つ、後工程では両面処理済みの記録媒体用基板の受け取り作業が発生する。
従って、両面未処理の記録媒体用基板か、片面処理済みの記録媒体用基板かのいずれかを連続して前記搬送部に渡す場合と比べ、表面処理工程の前後の工程では表面処理工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらない。
【０００８】
（２）前記技術的手段において、
『前記基板受渡し部は、移載ユニットと反転ユニットとを備え、
前記移載ユニットは、前記搬送部と前記反転ユニットとに前記記録媒体用基板の受渡しを行う受取り部を有し、
前記反転ユニットは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す一方、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡すアーム部を有する』ものでは、前記反転ユニットによると、片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させて前記移載ユニットに渡すので、前記移載ユニットでは必ず未処理面が向けられた記録媒体用基板を受け取る。従って、表面処理装置の処理部に送られる記録媒体用基板は、その未処理面を必ず表面処理側に向けられる一方、裏側は表面未処理と表面処理済みのものが交互に流されることとなる。なお、前記反転ユニットにおけるアーム部は、１本でも複数本でも良い。
【０００９】
（３）前記技術的手段において、
『前記反転ユニットは、前記基板載置部と前記移載ユニットとの間で記録媒体用基板の受け渡しを行う第１反転アームと、前記移載ユニットとの間でのみ記録媒体用基板の受け渡しを行う第２反転アームとを備え、
前記第１反転アームは、前記移載ユニットから両面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて前記基板載置部に渡すと共に該基板載置部から両面未処理の記録媒体用基板を取り出し基板面を反転させずに前記移載ユニットに渡す構成とし、
前記第２反転アームは、前記移載ユニットから片面処理済みの記録媒体用基板を受け取ると基板面を反転させて該移載ユニットに渡す構成とする』ものでも前記同様の作用を奏する。
【００１０】
（４）前記技術的手段において、
『前記記録媒体用基板は、貫通穴を設けた受け側トレーと該受け側トレーよりも小径のフタ側トレーとを有するトレーに収容させて前記搬送部に受け渡され、
前記基板載置部においては前記トレーに前記記録媒体用基板を出し入れする際のフタ開けユニットが設置されており、
前記フタ開けユニットは、
支柱に進退動可能に取り付けられて前記基板載置部の表側に配置された進退アーム部と、
前記基板載置部の裏側における前記進退アーム部の対向位置に配置された直動ユニットとを備え、
前記進退アーム部には、該進退アーム部の前進限時に前記受け側トレーの外周部を押え込む押えガイドと、前記フタ側トレーを把持する把持部とが設けられ、
前記直動ユニットは、該直動ユニットの進動時に前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを前記受け側トレーから分離させる突出ピンが設けられていることを特徴とする。』
【００１１】
このものでは、フタ側トレーを開ける際は、まず、前記進退アーム部が進動し前記押えガイドによってフタ側トレーよりも一回り大きい受け側トレーの外周部を押え込む。次いで、前記直動ユニットを進動させる。すると、この直動ユニットに設けた前記突出ピンが前記基板載置部および前記受け側トレーの貫通穴に挿通されて前記フタ側トレーを開ける方向に押す。これにより、受け側トレーからフタ側トレーが分離される。この分離されたフタ側トレーは、前記進退アーム部に設けた前記把持部に把持され、この把持状態で進退アーム部を後退させる。これにより、フタ側トレーが開けられる。そして、この状態を保持している間に受け側トレー内に記録媒体用基板を出し入れする。
一方、フタ側トレーを閉める際は、前記と逆の動作を行うこととなる。この際、前記突出ピンが後退して前記進退アーム部を前進させると前記把持部によってフタ側トレーが受け側トレーに押し込まれるからフタ側トレーが受け側トレーに嵌合される。
【００１２】
（５）一方、記録媒体用基板の片面側に表面処理を施す表面処理装置側と前記記録媒体用基板の受け渡しを行う記録媒体用基板の供給方法において、
『前記表面処理装置とは別に設けた前記記録媒体用基板を一時保持する基板載置部に対して両面未処理の記録媒体用基板を取り出すと共に両面処理済みの記録媒体用基板を渡す一方、
前記表面処理装置側から受け取った片面処理済みの記録媒体用基板をその基板面を反転させると共に該基板面を反転させた片面処理済みの記録媒体用基板と前記基板載置部から受け取った両面未処理の記録媒体用基板とを前記表面処理装置側に対して交互に渡すようにしたことを特徴とする』ものでも、前記装置と同様の作用を奏し、本供給方法を適用した専用機のみならず、他の機能をも兼ねる汎用機に適用して実施することができる。
【００１３】
【発明の効果】
以上のように、本発明の記録媒体用基板の供給装置および供給方法によると、基板の表面処理工程の前後の工程では表面処理工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、各作業が平準化される。従って、表面処理工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができ、ひいては記録媒体の製造作業効率を向上することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面を参照しながら説明する。
なお、以下では、表面処理装置としてのスパッタ装置に付設の光ディスク供給装置を例に挙げて説明する。
図１は、前記光ディスク供給装置の全体構成を示す平面図である。
図１に示すように、実施の形態による光ディスク供給装置は、スパッタ装置１に付設されて該スパッタ装置１と光ディスク基板の受渡しを行う装置であり、装置本体１００内に、ディスク受渡し部２、ディスク載置部３、ディスク供給部４、およびディスク回収部５を備える。
【００１５】
なお、前記スパッタ装置１は、光ディスク基板の片面側にスパッタ処理を施すスパッタチャンバー１１および該スパッタチャンバー１１に対して前記光ディスク基板を搬送するディスクローダ１２を備える。スパッタチャンバー１１は、Ｐ１〜Ｐ４のポジションが設けられて順次反時計方向に間欠回転し各ポジションに保持された光ディスク基板にスパッタ膜を形成させる。
前記光ディスク供給装置における工程の流れを、図１において簡単に説明する。
【００１６】
成形後の光ディスク基板（両面未スパッタ）を前記ディスク供給部４に配置する。この両面未スパッタの光ディスク基板は、６枚単位でアーム６によってディスク載置部３に移す。ディスク載置部３において６枚の光ディスク基板は、トレー３１０内に収容される。そして、ディスク受渡し部２によって前記ディスク載置部３から光ディスク基板を収容したトレー３１０を取り出すと共にスパッタ装置１に渡す。次に、前記スパッタ装置１で両面ともスパッタ処理された光ディスク基板は、これを収容するトレー３１０をディスク受渡し部２によって前記ディスク載置部３に渡す。すると、アーム６によってトレー３１０から両面スパッタ済みの光ディスク基板が取り出され、この取り出された光ディスク基板は、１枚ずつアーム７によってディスク回収部５に渡す。以上で、成形後の光ディスク基板の両面にスパッタ膜が形成されてディスク回収部５で回収される。
【００１７】
次に、前記ディスク供給装置における各部の構成を説明する。
（ディスク供給部４）
前記ディスク供給部４は、スペーサーストックステージ４１と、ディスク供給ステージ４２と、２つの把持部を持つアーム４３とを備える。
【００１８】
ディスク供給ステージ４２は、円盤状に形成されてディスク供給部４において回動可能に取付けられている。このディスク供給ステージ４２には、図２に示すような、保持具９のポール９１に光ディスク基板Ｄの中心穴Ｄ１を通して積み重ねたものを複数個並べられる。保持具９に積み重ねられた光ディスク基板Ｄは、一枚おきに中心穴Ｓ１を設けたスペーサーＳを介在させて上下で接触しないようにしてある。これにより、光ディスク基板Ｄ同士の接触により基板面に傷が付くこともない。そして、このディスク供給ステージ４２上に載置された光ディスク基板を前記アーム４３で一枚ずつ取り出して隣接するテンポラリーステージＴ１に平置きして行く。これは、前記アーム４３が二股に分かれて２つの把持部を有し中心部で回動するように構成されており、一方の把持部で光ディスク基板を把持してテンポラリーステージＴ１上に開放すると、他方の把持部がディスク供給ステージ４２上のスペーサーを把持する。そして、このアーム４３がテンポラリーステージＴ１上に光ディスク基板を開放し回動すると、前記一方の把持部がディスク供給ステージ４２上の光ディスク基板を把持し、前記他方の把持部がスペーサーストックステージ４１に移動して把持していたスペーサーを該スペーサーストックステージ４１上に開放する。このような動作を繰り返し、ディスク供給ステージ４２から光ディスク基板をテンポラリーステージＴ１上に移すと共にスペーサーをスペーサーストックステージ４１に移す。なお、前記テンポラリーステージＴ１は、光ディスク基板が１枚置かれると、１ピッチ分間欠回動し、前記スペーサーストックステージ４１は、前記保持具９に収容していたスペーサーが移されると、１ピッチ分間欠回動する。また、本実施の形態では、光ディスク基板を６枚単位でスパッタ処理を行うので、前記テンポラリーステージＴ１上には、６枚の光ディスク基板が平置き状態に並べられる。
【００１９】
そして、このテンポラリーステージＴ１上に平置きされた６枚の光ディスク基板は、アーム６によって一度に前記ディスク載置部３におけるトレー３１０に移される。このアーム６は、２つの把持部を有し、これら把持部には６枚の光ディスク基板を同時に把持する吸着機構が設けられており、一方の把持部では前記テンポラリーステージＴ１から前記ディスク載置部３に光ディスク基板を移し、他方の把持部では前記ディスク載置部３からスパッタ処理済みの光ディスク基板をテンポラリーステージＴ２に移す。
【００２０】
（ディスク載置部３）
前記ディスク載置部３は、メインステージ３１と、フタ開けユニット３２とを備える。
前記メインステージ３１は、図３に示すように、略楕円状に形成されており、その長手側の両側に光ディスク基板を６枚収容するトレー３１０をそれぞれ載置できるようにし、且つ、中心部で回動する構成となっている。なお、前記トレー３１０は、上側トレー（フタ側トレー）と下側トレー（受け側トレー）とからなり、これら上側トレーと下側トレーとは嵌合状態となってこの間に光ディスク基板を挟持させる。従って、このトレー３１０は、傾けても上側トレーと下側トレーは簡単には分離されない。
【００２１】
前記フタ開けユニット３２は、前記トレー３１０に光ディスク基板を出し入れする際に下側トレーから上側トレーを分離させるものであり、前記メインステージ３１における前記ディスク供給部４寄り側に配置されている。このフタ開けユニット３２は、図４に示すように、支柱３２１に上下動可能に取り付けられてメインステージ３１の上方に配置された進退アーム部３２２と、メインステージ３１の下方に配置された昇降ユニット（直動ユニット）とを備える。この昇降ユニットは、エアシリンダー３２３、フロートジョイント３２４、直動案内機構３２５、突出ピン３２６を有する。前記進退アーム部３２２は、その下部に２つの押えガイド３３２，３３３と、この押えガイド３３２，３３３間に配置された把持部３３１とを備える。そして、メインステージ３１上に載置されたトレー３１０のフタに相当する上側トレー３１１ａは、次のようにして開けられる。まず、進退アーム部３２２が下降し両側の押えガイド３３２，３３３によって上側トレー３１１ａよりも一回り大きい下側トレー３１１ｂの外周部を押え込む。そして、昇降ユニットのエアシリンダー３２３を駆動させ、フロートジョイント３２４と直動案内機構３２５とを介して突出ピン３２６を上昇させる。トレー３１１を配置するメインステージ３１には前記突出ピン３２６と対応する位置に案内孔が設けられており、また、前記下側トレー３１１ｂには、前記メインステージ３１の案内孔に対応して前記突出ピン３２６の貫通穴ｈが設けられている。従って、上昇してきた突出ピン３２６は、前記案内孔および前記貫通穴ｈに挿通されて上側トレー３１１ａを下から持ち上げる。これにより、下側トレー３１１ｂから上側トレー３１１ａが分離される。すると、持ち上げられた上側トレー３１１ａは、電磁石等よりなる把持部３３１に吸着される（図４中の円で囲んだ拡大部を参照）。そして、この状態で進退アーム部３２２を上昇させる。これにより、フタに相当する上側トレー３１１ａが開けられる。この間に、下側トレー３１１ｂ内に光ディスク基板を出し入れする。一方、上側トレー３１１ａを閉める際は、前記と逆の動作を行う。この際、前記把持部３３１と前記進退アーム部３２２の下部との間にスプリングバネ等の付勢部３３４が介在されており、上側トレー３１１ａが下側トレー３１１ｂに押し込まれて両者が確実に嵌合される。
【００２２】
（ディスク受渡し部２）
前記ディスク受渡し部２は、移載ユニット２１と、反転ユニット２２とを備える。
前記移載ユニット２１は、左右にトレー受取り部２１１，２１２を有し、中心部を軸にして回動する構成である。この移載ユニット２１は、一方のトレー受取り部２１１（２１２）で前記反転ユニット２２と６枚の光ディスク基板を収容したトレー３１０の受け渡しを行い、他方のトレー受取り部２１２（２１１）でスパッタ装置１のディスクローダ１２と６枚の光ディスク基板を収容したトレー３１０の受け渡しを行う。
【００２３】
前記反転ユニット２２は、第１反転アーム２２１と、第２反転アーム２２２と、スライド機構部２２６とを備える。図５に示すように、前記第１、第２反転アーム２２１，２２２は、略Ｕ字形に形成されて両端部分が拡縮自在に構成され、光ディスク基板を収容するトレー３１０の保持および開放を行う。前記第１反転アーム２２１は、前記メインステージ３１と移載ユニット２１との間でトレー３１０の受渡しを行い、前記第２反転アーム２２２は、移載ユニット２１とだけトレー３１０の受渡しを行うものである。また、前記第１、第２反転アーム２２１，２２２は、ともにロータリーアクチュエータ等よりなる反転駆動手段２２３，２２４に接続され、この反転駆動手段２２３，２２４の駆動によって第１、第２反転アーム２２１，２２２がそれぞれ１８０度反転するように構成されている。また、前記第１反転アーム２２１における反転駆動手段２２３には、カップリング２２８を介してモータ等の駆動手段２２５と接続され、図６に示すように、この駆動手段２２５の駆動によって第１反転アーム２２１を直立状態と水平状態とに移動させるように構成されている。なお、第２反転アーム２２２は、常に直立状態にあり水平状態に移動することはない。
【００２４】
前記スライド機構部２２６は、図５、図６を参照して、モータ等の駆動部２２７と、スライド受け部材２２８と、スライド部材２２９とを備え、駆動部２２７の駆動によってスライド部材２２９がスライド受け部材２２８上でスライド可能に構成されている。また、このスライド部材２２９には、前記反転駆動手段２２３，２２４および前記駆動手段２２５が取付けられているため、スライド部材２２９のスライドに伴って前記第１、第２反転アーム２２１，２２２も同時にスライドすることとなる。
【００２５】
次に、前記ディスク受渡し部２での動作を簡単に説明する。
図７は、ディスク受渡し部２での動作を説明するための模式図である。
なお、図７中で、＋を付したトレー３１０は、表面側を向いていることを示し、−を付したトレー３１０は、裏面側を向いていることを示す。
【００２６】
反転ユニット２２の第１反転アーム２２１は、メインステージ３１から表面側のトレー３１０を受け取る（図７（１））。また、反転ユニット２２の第２反転アームは、表面側のトレー３１０を掴んだ状態にある。そして、反転ユニット２２において第１反転アームが移載ユニット２１の対向位置までスライドする（図７（２））。このとき、第２反転アームが反転し（１８０度回転）、掴んでいるトレー３１０を表面側から裏面側へ裏返す。次いで、第１反転アームは、表面側のトレー３１０を移載ユニットに渡す（図７（３））。移載ユニットは、第１反転アームから表面側のトレー３１０を受け取ると、１８０度回転した後（図７（４））、裏側面のトレー３１０を第１反転アームに渡す（図７（５））。そして、反転ユニット２２において第２反転アームが移載ユニット２１の対向位置までスライドする（図７（６））。このとき、第１反転アームが反転し（１８０度回転）、掴んでいるトレー３１０を裏面側から表面側へ裏返す。そして、第２反転アームは、裏面側のトレー３１０を移載ユニットに渡し、また、第１反転アームは、表面側のトレー３１０をメインステージに渡す（図７（７））。以後は、前記動作を繰り返す。
【００２７】
このように、前記反転ユニットによって前記移載ユニットに表面側のトレー３１０と裏面側のトレー３１０とが交互に渡される。すなわち、第１反転アームはメインステージ３１から受け取った表面側のトレー（両面未スパッタの光ディスク基板を収容）を移載ユニットに渡す一方、第２反転アームは移載ユニットから受け取った表面側のトレー（片面スパッタ済みの光ディスク基板）を反転させて裏面側にしたトレーを移載ユニットに渡す。よって、前記移載ユニットからは前記ディスクローダに対して両面未スパッタの光ディスク基板と片面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に渡される。これにより、スパッタチャンバー内でのスパッタ工程が完了すると、片面スパッタ済みの光ディスク基板と両面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に排出され、両面スパッタ済みの光ディスク基板はメインステージに渡され、前記片面スパッタ済みの光ディスク基板は基板面を反転させてから両面未スパッタの光ディスク基板と交互に前記ディスクローダに渡される。従って、片面スパッタ済みの光ディスク基板と両面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に出来上がってくるので、スパッタ工程が完了する度に前工程から両面未スパッタの光ディスク基板の供給作業が発生し、且つ、後工程では両面スパッタ済みの光ディスク基板を受け取り作業が発生する。その結果、両面未スパッタの光ディスク基板か、片面スパッタ済みの光ディスク基板かのいずれかを連続して前記ディスクローダに渡す場合と比べ、スパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらない。以上より、スパッタ装置１におけるスパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、平準化されるので、スパッタ工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができる。
【００２８】
（ディスク回収部５）
前記ディスク回収部５には、前記ディスク載置部３から両面スパッタ済みの光ディスク基板を回収するためのユニットである。このディスク回収部５は、スペーサーストックステージ５１と、ディスク回収ステージ５２と、２つの把持部を持つアーム５３と、品質検査ステージ５４と、ＮＧステージ５５とを備える。
【００２９】
前記スペーサーストックステージ５１と前記ディスク回収ステージ５２は、前記ディスク供給部４におけるスペーサーストックステージ４１とディスク供給ステージ４２と同様な構成を有するが、スペーサーストックステージ５１には、予め多数のスペーサーが配置され、また、ディスク回収ステージ５２には、光ディスク基板を未収容の保持具９（図２を参照。）が配置されている。
【００３０】
前記品質検査ステージ５４は、光ディスク基板の両面に形成されたスパッタ膜の膜厚などが一定レベルの品質にあるか否かを検査するためのステージである。また、前記ＮＧステージ５５は、前記品質検査ステージ５４でＮＧとされた光ディスク基板を回収するステージである。そして、前記ディスク載置部３から両面スパッタ済みの光ディスク基板を回収するには、まずアーム６の一方の把持部によってメインステージ３１上の光ディスク基板（両面スパッタ済み）を６枚同時に把持してテンポラリーステージＴ２に一旦移される。このテンポラリーステージＴ２からはアーム７によって光ディスク基板を１枚ずつ取り出し、スキャナー８に移されてこのスキャナー８にて光ディスク基板の表裏面ともスキャンしてその表面状態を見る。これによって、メインステージ３１から移されてきた光ディスク基板の両面ともにスパッタ膜が形成されているか否かの確認が行われる。そして、前記アーム７がスキャナー８上の光ディスク基板を把持した後、テンポラリーステージＴ３まで回転しこのテンポラリーステージＴ３上に把持していた光ディスク基板を開放する。すると、テンポラリーステージＴ３が１８０度回転した後、前記アーム５３によってテンポラリーステージＴ３上の光ディスク基板を把持し品質検査ステージ５４に移す。この品質検査ステージ５４で一定の品質を満たしている光ディスク基板は、前記アーム５３によってディスク回収ステージ５２に移されるが、一定以上の品質を満たしていない光ディスク基板は、前記ＮＧステージ５５に移される。前記アーム５３の一方の把持部が光ディスク基板をディスク回収ステージ５２に開放している間、このアーム５３の他方の把持部はスペーサーストックステージ５１からスペーサーを１つ把持する。そして、前記アーム５３が回転し一方の把持部が再びテンポラリーステージＴ３に戻ると、他方の把持部がディスク回収ステージ５２にてスペーサーを渡す。これによって、ディスク回収ステージ５２上では、前記保持具９に両面スパッタ済みの光ディスク基板とスペーサーとが交互に積み重ねられた状態となり、光ディスク基板同士の接触によりスパッタ処理面が傷付けられることもない。
【００３１】
次に、前記光ディスク供給装置の動作を説明する。
図８から図１６は、光ディスク基板を収容するトレー３１０の流れに注目したフロー図である。これらの図中で、数字の１から８は、光ディスク供給装置およびスパッタ装置に滞留するトレー３１０の番号を示し、前記番号に＋を付したトレー３１０は、表面側を向いていることを示し、前記番号に−を付したトレー３１０は、裏面側を向いていることを示し、また、上に小丸印を付したトレー３１０は、表面側のスパッタ処理済みであることを示し、下にも小丸印を付したトレー３１０は、裏面側のスパッタ処理済みであることを示す。なお、この例では、１番から８番で示す８つのトレー３１０が光ディスク供給装置およびスパッタ装置に常に滞留する。
【００３２】
以下は、主に１番のトレー３１０の流れに着目して説明する。
図８を参照して、この場合、最初は図８（１）に示すように、スパッタ装置１のスパッタチャンバー１１内に７番、５番、８番、４番の４枚のトレー３１０が配置され、移載ユニット２１の一方のディスク受渡し部１２２（１２１）（スパッタ装置１１寄り側）に３番のトレー３１０が把持され、反転ユニット２２の第２反転アーム２２２に６番のトレー３１０が掴まれており、メインステージ３にはそれぞれ１番と２番のトレー３１０が配置されている。
【００３３】
この状態から、メインステージ３１のディスク供給部４寄り側に配置され１番のトレー３１０は、フタ開けユニット３２によって上側トレー３１１ａが開けられ（図８（１））、６枚の光ディスク基板がこの１番のトレー３１０に挿入され（図８（２））、上側トレー３１１ａを閉じた後（図８（３））、メインステージ３１が回転し（図８（４））、光ディスク基板を収容した１番のトレー３１０がディスク受渡し部２寄り側に移される。
【００３４】
次に、反転ユニット２２の第１反転アーム２２１が直立状態から水平状態になって前記メインステージ３１上の１番のトレー３１０を取り出し（図８（５））直立状態に戻ると、この反転ユニット２２をスライドさせ（図８（６））、第１反転アーム２２１が移載ユニット２１と対向する位置に移動される。なお、このとき、第２反転アーム２２２は、反転駆動手段２２４によって１８０度反転されて掴んでいた６番のトレー３１０が裏面側に向けられる。第１反転アーム２２１は、反転しないから１番のトレー３１０の向きはそのまま表面側を向いている。そして、第１反転アーム２２１に掴まれている１番のトレー３１０を移載ユニット２２が受け取った後（図８（７））、この移載ユニット２１が１８０度回転し（図８（８））、１番のトレー３１０は、スパッタ装置１寄り側に移される。このとき、移載ユニット２１の他方のトレー受取り部２１２（２１１）に把持していた３番のトレー３１０は、反転ユニット２２寄り側に移される。なお、図８（５）から図８（７）の工程の間に、メインステージ３１にある２番のトレー３１０には６枚の光ディスク基板が挿入される。
【００３５】
次に、図９を参照して、移載ユニット２２に把持していた１番のトレー３１０は、スパッタ装置１のディスクローダ１２に渡される（図９（９））。
また、このとき、移載ユニット２２の他方のトレー受取り部２１２（２１１）に把持していた３番のトレー３１０は、反転ユニット２２の第１反転アーム２２１に渡される。そして、前記ディスクローダ１２が１８０度回転し１番のトレー３１０は、スパッタチャンバー１１に納められる（図９（１０））。このとき、前記ディスクローダ１２の他方のトレー受取り部１２１（１２２）で把持していた７番のトレー３１０は移載ユニット２２寄り側に移され、また、反転ユニット２２がスライドすると共に３番のトレー３１０を掴んでいた第１反転アーム２２１が１８０度回転し３番のトレー３１０を表面側に裏返す。そして、スパッタチャンバー１１が反時計方向に間欠的に１回転し、ポジションＰ４にあった１番のトレー３１０はポジションＰ１に移動される（図９（１１））。このとき、第１反転アーム２２１で掴んでいた表面側を向いた３番のトレー３１０は、メインステージ３１に渡され、第２反転アーム２２２で掴んでいた裏面側を向いた６番のトレー３１０は、移載ユニット２１に渡される。また、ディスクローダ１２に把持していた７番のトレー３１０は、移載ユニット２１に渡される。そして、メインステージ３１および移載ユニット２１がそれぞれ１８０度回転し、把持していたトレー３１０の位置関係がそれぞれ逆にされる（図９（１２））。
【００３６】
一方、前記１番のトレー３１０に収容する光ディスク基板は、ポジションＰ１で１段階のスパッタ処理が行われ、以後、スパッタチャンバー１１が反時計回りに順次間欠回転し、ポジションＰ２で２段階のスパッタ処理、ポジションＰ３で３段階のスパッタ処理が行われて、光ディスク基板の表面側にスパッタ膜が形成される（図９（１２）から図１０（２３）まで）。
【００３７】
次に、反転ユニット２２は、メインステージ３１から２番のトレー３１０を受け取ると共に移載ユニット２１から７番のトレー３１０を受け取る（図９（１３））。また、移載ユニット２１からディスクローダ１２に６番のトレー３１０が渡される。この間、メインステージ３１にある３番のトレー３１０は、上側トレー３１１ａが開けられる。そして、反転ユニット２２がスライドし、第２反転アーム２２２が１８０度反転し、７番のトレー３１０が裏面側に向けられる（図９（１４））。また、ディスクローダ１２は、１８０度回転されて６番のトレー３１０がスパッタチャンバー１１に移される。この間、メインステージ３１にある３番のトレー３１０に６枚の光ディスク基板が挿入される。そして、移載ユニット２１は、ディスクローダ１２から４番のトレー３１０を受け取ると共に、第１反転アーム２２１から２番のトレー３１０を受け取る（図９（１５））。また、スパッタチャンバー１１が反時計方向に間欠的に１回転し、ポジションＰ１にあった１番のトレー３１０はポジションＰ２に移動される。この間、メインステージ３１にある３番のトレー３１０は、上側トレー３１１ａが閉じられる。そして、移載ユニット２１は、１８０度回転されて把持するトレー３１０（２番、４番）の位置関係が逆転される（図９（１６））。
【００３８】
これ以降は、図９で説明した動作を繰り返し、トレー３１０を順次受渡して行く。
一方、スパッタチャンバー１１内のポジションＰ１〜Ｐ３を経て光ディスク基板の表面側にスパッタ膜が形成された１番のトレー３１０は、ポジションＰ４に移し（図９（１１）〜図１０（２３））、ディスクローダ１２を１８０度回転させてスパッタチャンバー１１外に移される（図１０（２４）〜図１１（２６））。そして、この１番のトレー３１０は、移載ユニット２１を介して反転ユニット２２の第２反転アーム２２２に渡される（図１１（２７））〜図１１（２９））。そして、反転ユニット２２においてその第１反転アーム２２１が移載ユニット２１の対向位置にスライドする間に第２反転アーム２２２を反転させて１番のトレー３１０を裏返し（図１１（３０））、これによって光ディスク基板の裏側面（スパッタ未処理面）がスパッタ被処理側に向けられる。そして、第１反転アーム２２１と移載ユニット２１との間で他のトレー３１０（４番、６番）の受渡し後（図１１（３１）〜図１２（３３））、再び第２反転アーム２２２を移載ユニット２２の対向位置にスライドさせ（図１２（３４））、第２反転アーム２２２から裏面側を向けた１番のトレー３１０を移載ユニット２２に渡す（図１２（３５））。そして、移載ユニット２２を１８０度回転させ（図１２（３６））、この裏面側向きの１番のトレー３１０をディスクローダ１２に渡し（図１２（３７））、次いでディスクローダ１２を１８０度回転させて１番のトレー３１０をスパッタチャンバー１１内に送る（図１２（３８））。すると、この１番のトレー３１０に収容する光ディスク基板は、スパッタチャンバー１１内のポジションＰ１〜Ｐ３をその裏面側にスパッタ膜が形成される（図１２（３９）〜図１４（５１））。これにより、１番のトレー３１０に収容する光ディスク基板は、表面側および裏面側の両面ともスパッタ膜が形成されることとなる。そして、この両面スパッタ済みの光ディスク基板を収容するトレー３１０は、ディスクローダ１２によってスパッタチャンバー１１外に移された後（図１４（５４））、移載ユニット２１を介して反転ユニット２２の第１反転アーム２２１に移される（図１４（５５）〜図１５（５７））。そして、反転ユニット２２においてその第１反転アーム２２１がメインステージ３１の対向位置にスライドする間に第１反転アーム２２１を反転させて１番のトレー３１０を裏返し（図１５（５８））、これによってトレー３１０が表面側に向けられる。そして、この１番のトレー３１０は、第１反転アーム２２１からメインステージ３１に渡され（図１５（５９））、次いでメインステージが１８０度回転し１番のトレー３１０をフタ開けユニット側に移す（図１５（６０））。そして、この１番のトレー３１０は、フタ開けユニット３２によって上側トレーが開けられ、両面スパッタ済みの光ディスク基板を取り出すと共に、新たに未スパッタ処理の光ディスク基板を挿入する（図１５（６１）〜（６３））。その後、両面スパッタ済みとなった２番のトレー３１０が移載ユニット２１、第１反転アーム２２１を通じてメインステージ３１に送られてくると（図１５（６４）〜図１６（６７））、メインステージ３１を回転させ（図１６（６８））、再び１番のトレーを移載ユニットに送り込む。
【００３９】
これ以後は、図７（５）からの動作を繰り返すこととなる。
以上のように、スパッタ装置には、両面未スパッタの光ディスク基板と片面スパッタ済みの光ディスク基板とが交互に送り込まれるから、スパッタ工程の前後の工程ではスパッタ工程が完了する度に待機状態とフル稼動状態との繰り返しという事態が起こらず、平準化される。従って、スパッタ工程の前後の工程における作業ユニットを効率良く稼動させることができる。
【００４０】
なお、本実施の形態において、ディスク受渡し部の反転ユニットは、２本のアームにて構成するが、１本のアームにより構成しても良い。
また、トレー３１０は、光ディスク基板を６枚収容するものとするが、これに限らず任意の枚数を収容するトレーでも良い。
さらに、本発明における供給装置および供給方法は、前記実施の形態のようなスパッタ処理装置との関係以外の表面処理装置との関係にも適用でき、また、光ディスクのみならず磁気記録媒体等も含めたメディア全体の基板や半導体基板等における表裏両面に表面処理を施す装置への供給系統について適用可能なことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態による光ディスク供給装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】光ディスク基板の保持具を示す平面図である。
【図３】ディスク載置部の平面図である。
【図４】ディスク載置部の側面図である。
【図５】反転ユニットの正面図である。
【図６】反転ユニットの側面図である。
【図７】ディスク受渡し部での動作を説明するための模式図である。
【図８】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図９】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１０】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１１】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１２】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１３】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１４】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１５】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１６】実施の形態による光ディスク供給装置の動作を説明するために光ディスク基板を収容するトレーの流れに注目した模式図である。
【図１７】従来の光ディスク供給装置を示す構成図である。
【符号の説明】
１  スパッタ装置
２  ディスク受渡し部
３  ディスク載置部
４  ディスク供給部
５  ディスク回収部
６，７，４３，５３  アーム
８  スキャナー
９  保持具
１１  スパッタチャンバー
１２  ディスクローダ
２１  移載ユニット
２２  反転ユニット
３１  メインステージ
３２  フタ開けユニット
４１，５１  スペーサーストックステージ
４２  ディスク供給ステージ
５２  ディスク回収ステージ
５４  品質検査ステージ
５５  ＮＧステージ
１００  装置本体
２２１  第１反転アーム
２２２  第２反転アーム
３１０  トレー
３１１ａ  上側トレー（フタ側トレー）
３１１ｂ  下側トレー（受け側トレー）
３２２  進退アーム部
３２３  エアシリンダ−
３２４  フロートジョイント
３２５  直動案内機構
３２６  突出ピン
３３１  把持部
３３２，３３３  押えガイド
ｈ  貫通穴
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３  テンポラリーステージ
【図１】
0003965426.tif 000002
【図２】
0003965426.tif 000003
【図３】
0003965426.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003965426.tif 000006
【図６】
0003965426.tif 000007
【図７】
0003965426.tif 000008
【図８】
0003965426.tif 000009
【図９】
0003965426.tif 000010
【図１０】
0003965426.tif 000011
【図１１】
0003965426.tif 000012
【図１２】
0003965426.tif 000013
【図１３】
0003965426.tif 000014
【図１４】
0003965426.tif 000015
【図１５】
0003965426.tif 000016
【図１６】
0003965426.tif 000017
【図１７】
0003965426.tif 000018