(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アーク放電の陰極となる蒸発物質（３）と、当該蒸発物質（３）を取り囲むように配置されて磁力によりアークスポットの挙動を制御する永久磁石（７）と、当該永久磁石（７）を冷却する冷却部と、を備えているアーク蒸発源において、
前記冷却部は冷却媒体が内部に供給される冷却室（３０）を備え、
前記永久磁石（７）は前記冷却室（３０）内部に配置され、
前記冷却室（３０）はアーク放電の陽極とされており、
前記永久磁石の磁力線上または当該磁力線近傍に前記陽極が配置されている
ことを特徴とするアーク蒸発源。
【請求項２】
前記冷却室（３０）と前記蒸発物質（３）との間を隔離して絶縁するための絶縁体からなる隔離部材（４８）を有する
ことを特徴とする請求項１記載のアーク蒸発源。
【請求項３】
陽極である前記冷却室（３０）のうち陰極からの電子が入り込む範囲（４７ａ）には、当該範囲（４７ａ）を覆う導電体からなるカバー体（５１）が取り外し可能に設けられている
ことを特徴とする請求項１又は２記載のアーク蒸発源。
【請求項４】
前記カバー体（５１）は、前記冷却室の被処理物側（５）の側面（４７ａ）に設けられている
ことを特徴とする請求項３記載のアーク蒸発源。
【請求項５】
前記冷却室（３０）に供給された冷却媒体が前記永久磁石（７）とともに前記蒸発物質（３）も冷却可能に冷却室（３０）が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のアーク蒸発源。
【請求項６】
前記冷却室（３０）は非磁性体により形成され、
前記蒸発物質（３）は冷却室（３０）外部に配置されている
ことを特徴とする請求項５記載のアーク蒸発源。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のアーク蒸発源を真空容器（２）に備えている
ことを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載のアーク蒸発源を用いて、被処理物（５）に被膜を形成する真空蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アーク蒸発源、真空蒸着装置及び真空蒸着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本願出願人は、先の出願（特願平１１−８０４５号）において、アーク放電の陰極となる蒸発物質と、当該蒸発物質の蒸発面と略垂直に交差する磁力線のみを発生するように蒸発物質を取り囲む磁場発生源を備えることで、蒸発面と略垂直に交差する磁力線によりアークスポットが蒸発面で偏在し難くなり、蒸発物質が均一に消耗する技術について提案した。
また、先の出願では、磁場発生源として永久磁石を用いることについて開示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
蒸発物質を取り囲む永久磁石は、蒸発面での所定の磁力を維持してアークスポットの挙動を確実に制御するため、蒸発物質のごく近傍に配置する必要がある。このため、磁石は、アークスポットの発熱によりアーク放電中は高温雰囲気中に晒される。特に、蒸発物質を取り囲むという配置から、磁石が高温化することは避けられない。
ここで、磁石は、キュリー点（温度）を超えると磁性を失うことが知られているが、通常はキュリー点で直ちに減磁するのではなく温度が上昇しキュリー点に近づくについて徐々に磁力が減少する。
【０００４】
この磁石の性質によると、単に蒸発物質を取り囲むように永久磁石を設けると、放電後に高温下することにより直ちに磁石の磁力が低下し、磁力線により蒸発物質を均一に消耗するという効果を継続できない。
なお、蒸発物質の近くに必要に応じてコイルを配置することは、一般に知られているが、コイルの場合には、高温下でも減磁しないので、磁力の減少という問題が発生しない。
本発明の課題は、アークスポットの挙動を制御するために永久磁石を設ける場合に、永久磁石が高温雰囲気下に晒されても、磁力が低下しない温度域に維持してアークスポット挙動制御性を持続することにある。
【０００５】
また本発明の他の課題としては、特開平５−１７１４２７号公報などでは、アーク放電における陽極は、真空チャンバーとされているが、この場合、陰極からのアーク長が長くなり、陰極からの電子の到達距離が長くなるだけでなく、飛行途中で陰極蒸発物質や反応ガスの衝突回数が増加するという問題がある。この問題のため、アーク放電電圧が上昇して放電が不安定になりやすい。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明に係るアーク蒸発源の特徴は、アーク放電の陰極となる蒸発物質と、当該蒸発物質を取り囲むように配置されて磁力によりアークスポットの挙動を制御する永久磁石と、当該永久磁石を冷却する冷却部と、を備えているアーク蒸発源において、前記冷却部は冷却媒体が内部に供給される冷却室を備え、前記永久磁石は前記冷却室内部に配置され、前記冷却室はアーク放電の陽極とされており、前記永久磁石の磁力線上または当該磁力線近傍に前記陽極が配置されている点にある。
【０００７】
かかる構成により、永久磁石は、アーク放電が行われても、冷却部により冷却されることで、磁力が低下しない温度域に維持でき、アークスポットの挙動制御性が持続できる。
また、冷却部としては、蒸発源に水若しくはその他の液体、又は空気若しくはその他のガスなどの冷却媒体を供給して磁石を冷却するものが好ましい。このような冷却部としては、例えば、磁石の周りに冷却媒体の循環パイプを設けておいて冷却するなどの適宜手段を採用できる。
【０００８】
前記冷却部は、冷却媒体が内部に供給される冷却室を備え、冷却室内部に永久磁石が配置されているので冷却効率がよい。なお、冷却室内部に永久磁石を設ける場合、永久磁石が冷却媒体に直接晒されていてもよいし、適当な部材（例えば、錆び防止用のカバー体）により覆われて間接的に冷却してもよい。
また、冷却室が磁性体であると、永久磁石により生ずる磁界が冷却室外に作用しにくくなり、蒸発源に磁場を与えることができなくなるが、冷却室を非磁性体で形成することで、冷却室が磁界に影響を与えることを防止できる。
【０００９】
なお、冷却室は、冷却媒体が流通可能に構成されていればよく、その形状は特に限定されない。
アーク放電により陰極から放出された電子は磁力線に巻付く特性におり磁力線に沿って飛行しようとするが、磁力線の起点（又は終点）である磁石が内在する冷却室が陽極となっているため、磁場中を最短ルートで飛行し陽極に到達できる。そのため、飛行途中での陰極蒸発物質や反応ガスの衝突機会が低減され、アーク放電電圧が減少し、放電安定性が改善される。また、冷却室が陽極とされているので、陽極の温度上昇が防止できる。
【００１０】
さらに、前記冷却室と前記蒸発物質との間を隔離して絶縁するための絶縁体からなる隔離部材を有するのが好ましい。この場合、陽極である冷却室と陰極である蒸発物質の短絡が防止される。
また、陽極である前記冷却室のうち陰極からの電子が入り込む範囲には、当該範囲を覆う導電体からなるカバー体が取り外し可能に設けられているのが好適である。
陽極の電子が入り込む箇所は、異常放電や冷却不足により温度が上昇し、溶損が発生するおそれがある。陽極である冷却室の溶損を防止するために、取り外しして交換可能なカバー体を設けておくことで、メンテナンスが容易になる。
【００１１】
また、前記カバー体は、前記冷却室の被処理物側の側面に設けられているのが好ましい。
さらに、本発明では、前記冷却部は、冷却媒体が内部に供給される冷却室を備え、当該冷却室に供給された冷却媒体が前記永久磁石とともに前記蒸発物質も冷却可能に冷却室が形成されているものとするのが好適である。
蒸発物質も高温化によるドロップレットの発生を防止するという観点から冷却されることが好ましいが、冷却室に供給された冷却媒体で磁石だけでなく蒸発物質も冷却できるので簡素な構成で効率の良い冷却が可能である。
【００１２】
また、アーク蒸発源のさらに好ましい形態としては、前記冷却室は非磁性体により形成され、前記永久磁石は冷却室内部に配置され、前記蒸発物質は冷却室外部に配置されているものとすることができる。
また、本発明の他の側面は、アーク放電の陰極となる蒸発物質と、当該蒸発物質を取り囲むように配置された永久磁石とを備えたアーク蒸発源において、前記磁石と前記蒸発物質の蒸発面との間に形成される磁力線の軌跡上又はその軌跡近傍にアーク放電の陽極が配置されていることを特徴とする。
【００１３】
アーク放電により陰極から放出された電子が磁力線に巻き付く特性により磁力線に沿って飛行しようとすることから、磁石と蒸発面とを結ぶ磁力線の軌跡上又はその軌跡近傍にアーク放電の陽極が配置されていると、電子は磁力線に沿って飛行し陽極に到達するので飛行ルートが短くなる。そのため飛行途中での陰極蒸発物質や反応ガスの衝突機会が低減される。
そして、以上のようなアーク蒸発源を真空容器に備えた真空蒸着装置とするのが好適である。
【００１４】
また、以上のようなアーク蒸発源を用いて、被処理物に被膜を形成する真空蒸着方法とするのが好適である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の第１の実施の形態に係る真空蒸着装置１を示している。この真空蒸着装置１は、真空容器２内に陰極となる蒸発物質３を有するアーク蒸発源９が設けられ、アーク放電電源４によって図示しない陽極との間でアーク放電を発生させて蒸発物質３を蒸発・イオン化させ、コーティング被処理物（基板）５に皮膜を堆積させるものである。
【００１６】
図２は蒸発源９の概略構成を示しており、この蒸発源は、円板状の蒸発物質（ターゲット）３と、蒸発物質の中心軸Ｘと同軸状になるように配置されたリング状の永久磁石７と、磁石７の内周側において蒸発物質３の外周に絶縁を維持できる僅かな隙間１２を有して配置されたリング状の磁性体（例えば、炭素鋼材）１３と、蒸発物質３の背面側（蒸発面１１の反対側）の中央部に配置された永久磁石（磁力線方向変更手段）１４とを有している。
リング状の永久磁石７は、蒸発面１１のアークスポットの挙動を制御するためのものであり、軸方向Ｘ両端面に磁極を有するように構成され、蒸発物質３の外周を取り囲むように配置されている。このリング状の永久磁石７は、コーティング被処理物５側の端面（前方側の面）がＮ極で、他方の端面がＳ極とされている（図３〜図５参照）。なお、磁極の配置は逆であってもよい。
【００１７】
蒸発物質の背面側に設けられた永久磁石１４は、リング状の永久磁石７により発生した磁力線の方向を変更させるためのものであり、軸方向の被処理物５側がＳ極とされ、軸方向反対側がＮ極とされている（図５参照）。このようにリング状の永久磁石７と蒸発面背面の永久磁石１４の磁極は反対向きに設けられている。したがって、永久磁石７の磁極が前述のものと逆であれば、この磁石１４の磁極も逆に配置する。なお、この磁石１４はコイル・電磁石であってもよい。
図３は、ユニットとして構成された蒸発源９の構成を示している。この蒸発源ユニット９は、図３の上側が被処理物５側に向くように真空容器２に取り付けられる。ユニット９は、蒸発物質３等が支持される正面側体２６と、正面側体２６の背面に取り付けられる背面側体２７とがネジ８によって固定されてなるユニット本体２５を有している。このユニット本体２５は、非磁性体であるステンレス鋼によって形成されている。ユニット本体２５の材質としては、銅やアルミニウム等の他の非磁性体材料を採用してもよい。
【００１８】
また、ユニット本体２５は導電性であり、この本体２５がアーク放電電源４のマイナス側に接続されている。そして蒸発物質３は、正面側体２６と接するように設けられているので、蒸発物質３はアーク放電の陰極として作用することができる。
ユニット本体２５の内部は、中空に形成されている。この内部空間は、磁石７等を冷却するための冷却部であり、冷却媒体である水が流通する冷却室３０として構成されている。冷却室３０の密閉のため、正面側体２６と背面側体２７の接合部分にはシール３１が設けられている。
【００１９】
冷却室３０には、蒸発物質３を取り囲むようにリング状の永久磁石７が設けられている。この永久磁石７は、ネジによって正面側体２６に固定されている。
正面側体２６は、中央に蒸発物質３と磁性体１３が収納される凹部３４を有している。凹部３４の底部には、開口部３５を塞ぐ冷却板３７が設けられている。冷却室の密閉のため、冷却板３７と正面側体２６との接合部にはシール３８が設けられている。蒸発物質３は、この冷却板３７を介して正面側体２６に取り付けられており、蒸発物質３は、この冷却板３７によって冷却される。冷却板３７は、熱伝導性の高さと非磁性材料であるという点から、銅が採用されている。
【００２０】
リング状の磁石７によって発生した磁力線の方向を変えるための磁石１４は、冷却板３７の背面側（冷却室３０の内部）に配置されている。
リング状の磁性体１３は、凹部３４の底部に設けられた絶縁体４０を介して正面側体２６にネジ４１によって取り付けられている。この絶縁体４０は、正面側体２６と磁性体１３とを電気的に絶縁するためのものであり、また、磁性体１３と蒸発物質３とは隙間１２をもって配置されているので、磁性体１３は蒸発物質３とも絶縁されている。
【００２１】
したがって、磁性体１３は、正面側体２６や蒸発物質３から電気的に浮いた状態にある。磁性体１３は、その被処理物５側端１３ａとは蒸発面１１とが面一状に配置されているが、磁性体１３が絶縁されていることから、アークスポットが磁性体１３へ移行することは確実に防止される。
背面側体２７には、真空容器２の外部から冷却媒体である水を冷却室３０内に供給するための供給口４３と、水が排出される排出口４４とが形成されている。供給口４３は背面側体２７の中央に１つ設けられ、排出口４４は背面側体２７の外周よりに複数設けられている。冷却水は、真空容器２外部からポンプ（図示省略）によって供給される。供給口４３から冷却室３０に流れ込んだ冷却水は、磁石１４を冷却し、冷却板３７を介して蒸発物質３を冷却する。さらに、冷却水は、外周方向に流れ、磁石７を冷却し、排出口４４を通じて排出される。
【００２２】
冷却水をアーク放電中に流すことで、磁石７，１４、蒸発物質３の高温化が防止され、磁石７，１４は磁力が劣化しない。
なお、供給口４３、排出口４４の位置や数は限定されない。例えば、供給口４３と排出口４４を置換してもよい。この場合、磁石７が供給口に近くなるので、より冷たい水によって磁石７が冷却され、磁石７の冷却効率がよい。また、供給口４３と排出口４４は正面側体２６に設けてもよい。例えば、図３においてＢ，Ｃで示す位置に供給口と排出口をそれぞれ設けることができる。この場合、ユニット９を真空容器２に取り付けたときに、Ｂ，Ｃのうち下方となる方を供給口とし、上方となる方を排出口とするのが、冷却室３０内に空気が溜まることなどを防止する観点から好ましい。
【００２３】
図４は、永久磁石７だけがある場合の蒸発物質３の周囲に発生する磁力線の様子を示している。図に示すように、永久磁石７から出た磁力線はほぼ垂直（蒸発面１１の法線方向）に蒸発面を貫く。なお、磁力線がほぼ垂直に蒸発面を貫くように永久磁石７は、その軸方向中央位置と蒸発面１１の位置とがほぼ一致するように配置されている。このような蒸発面１１にほぼ垂直な磁力線は、アークスポットの停滞を防止し、蒸発面１１の均一な消耗が可能である。
磁力線の方向は、厳密には、蒸発面１１の中央部付近を貫く磁力線に比べて、蒸発面１１周縁部付近を貫く磁力線は蒸発面１１に立てた法線方向に対して外向きにやや傾斜している。すなわち、磁力線は被処理物５側に近づくに従って発散するように形成されている。
【００２４】
この発散する磁力線は、アークが磁力線の傾斜方向に移動しやすいという特徴により、アークが蒸発面１１から飛び出し、失火するという問題を発生させる。また、磁束密度は磁石からの距離の二乗に反比例するから、蒸発面１１の中央付近では磁束密度は小さい。このような磁束密度の減衰は、アークスポットは磁束密度の弱い方に移動するという特徴により、アークスポットが中央部に停滞するという問題を発生させる。
磁性体１３と磁石１４を設けると、図４の磁力線は図５のようになる。すなわち、磁石７の形成する磁力線のうち、蒸発面１１の外周縁部付近を貫くものは、磁力線が貫通しやすい磁性体１３に引き込まれる。このため、蒸発面１１外周部には、蒸発面１１の法線に対し蒸発面１１中央部に傾斜した磁力線が形成されることになる。Ａ１〜Ａ３は、磁力線が蒸発面と交差する点における磁力線の接線方向を示しており、蒸発面外周側ほど磁力線の中央部への傾斜が大きいことがわかる。したがって、蒸発面１１外周に近づいたアークスポットは、アークが磁力線の傾斜方向に移動しやすい特徴により蒸発面中央方向に押し戻され、アークスポットの飛び出しによる失火が防止される。
【００２５】
また、磁石１４を設けたことにより、蒸発面１１の中央部付近を貫通する磁力線は、磁石１４に引き込まれて蒸発面１１の法線方向に対して外向き傾斜となる。このため、磁束密度が低くても、アークが磁力線の傾斜方向に移動しやすい特徴によりアークの蒸発面１１中央への集中が防止される。また、磁石１４の存在により、蒸発面１１中央の磁束密度が大きくなるので、蒸発面１１中央部における磁束密度の減衰も改善される。よってアークの集中が防止され、図４のものと比較して蒸発面１１の一層の均一消耗が実現できる。
【００２６】
そして、以上のようにアークスポットの挙動を制御するための磁力線を形成する磁石７及び磁石１４はいずれも冷却されているので、高温化により減磁することなく、効果を持続することができる。
図６は、前記永久磁石７の変形例としての永久磁石１７を示している。この永久磁石１７は、多数の永久磁石を環状（リング状）にならべて、前記永久磁石７と同様な磁場を形成するように構成されたものである。すなわち、長手方向両端に磁極を有する複数の棒磁石２１の磁極の向きを揃えて環状に配置して、実質的に前記永久磁石７と同様な、リング状磁石を構成したものである。
【００２７】
図７は、本発明の第２実施形態に係る蒸発源ユニット２９を示している。この第２実施形態が第１実施形態と異なるところは、主に正面側体２６が、蒸発物質３等を支持する第１正面側体２６ａとリング状磁石７が収納される第２正面側体２６ｂに分離構成され、冷却室３０が、蒸発物質３を冷却するための第１冷却室３０ａと、リング状磁石７を冷却するための第２冷却室３０ｂに分離されている点とにある。第１冷却室３０ａと第２冷却室とは、それぞれ別個に冷却水の供給口４３ａ，４３ｂと排出口４４ａ，４４ｂとを備え、別個に冷却水が流通可能である。
【００２８】
なお、その他の構成については、第１の実施の形態とほぼ同様であるので、同符号を付して説明を省略する。
図８〜図１０は、本発明の第３実施形態に係る蒸発源ユニット３９を示している。
この蒸発源ユニット３９は、陰極となる蒸発物質（ターゲット）３と、蒸発物質を支持する陰極支持体（ターゲットボディ；カソードボディ）４６と、蒸発物質３を取り囲むように配置されたリング状磁石７と、リング状磁石７が内部に配置される磁石ケーシング（冷却室）４７等を有している。
【００２９】
第３実施形態に係る蒸発源ユニット３９は、第２実施形態の蒸発源ユニット２９と類似した構成を有しているので、第２実施形態の蒸発源ユニット２９と同様の作用を奏することができるが、特に異なる点としては、第１に、陰極支持体４６（第２実施形態の第１正面側体２６ａにほぼ対応する）と、磁石ケーシング４７（第２実施形態の第２正面側体２６ｂにほぼ対応する）とが絶縁体からなる隔離部材４８によって電気的に隔離されている点と、第２に、磁石ケーシング４７がアーク電源４の＋側に接続されてアーク放電の陽極となっている点である。
【００３０】
このように、第３実施形態では、蒸発源３９は、アーク放電の陰極となる蒸発物質３に加え、陽極（磁石ケーシング４７）をも備えている。
図９に示すように、アーク電源４に接続された蒸発物質３から放出された電子は、磁力線に巻き付く特性により磁力線軌跡に沿って移動する。また、磁力線の終点（又は始点）である磁石はアーク電源４の「＋側」に接続された磁石ケーシング４７（陽極）に囲まれて冷却されており磁力線に沿って移動した電子はそのまま陽極４７に吸収される。従って、図１０に示すように、最も理想的な軌跡を通って電子が「陰極」から「陽極」に飛行することとなる。
【００３１】
このように、磁石７と蒸発面１１との間を結ぶように形成された磁力線上又は当該磁力線近傍に陽極４７を配置しておくことで、最短の飛行ルートで電子を陽極に到達させることができる。このため、飛行途中での陰極蒸発物質や反応ガスの衝突機会が低減されること、および飛行ルートが理想的となるため、アーク放電電圧が減少し放電安定性が大幅に改善される。また、この効果により外乱に対するアーク放電の抵抗力が増すため、アークの飛び出しや突然の失火などの異常が起こりにくくなる。
【００３２】
また、アーク放電における両極（陽極／陰極）は電流が流れることにより温度上昇するが、冷却室３０ｂを構成する磁石ケーシング４７を陽極としたので、陽極であるケーシング４７は冷却室３０ｂ内の冷却水によって冷却される。すなわち、磁石７を冷却すると共に陽極４７も冷却でき構造が簡素になっている。
なお、電子飛行ルート改善の観点からは、陽極は冷却室構成部材である必要はなく、冷却室３０ｂを構成する部材とは別に磁力線上又は磁力線近傍に陽極を設けてもよい。
【００３３】
前述のように、磁石ケーシング４７を陽極とするため、蒸発物質３及び陰極支持体４６と、磁石ケーシング４７とは電気的に絶縁されている必要があり、このため絶縁体からなる隔離部材４８が設けられている。ただし、両者を電気的に絶縁するには、例えば、陰極支持体４６と磁石ケーシング４７との間に間隙を設けておくだけでもよく、この場合、簡易な構造となる。
一方、単に間隙を設けておくだけであると、間隙にゴミなどが堆積して短絡するおそれもあるが、第３実施形態のように積極的に隔離部材４８を設けておけば、これを防止でき、放電安定性が高まる。
【００３４】
なお、第３実施形態において、第１及び第２実施形態と同様の点は同符号を付して説明を省略した。
図１１は第４実施形態に係る蒸発源ユニット４９を示している。この蒸発源ユニット４９が第３実施形態の蒸発源ユニット３９と異なる点は、磁石ケーシング４７の中でも電子の入り込む範囲４７ａに導電性のカバー体５１が設けられている点にある。
カバー体５１は、熱伝導性の良い材料（例えば、銅系）によって形成されており、ネジ５２により冷却室を構成する磁石ケーシング４７に対して取り外し自在に設けられている。カバー体５１は、電子の入り込む範囲である磁石ケーシング４７の被処理物５側の側面４７ａを覆うように設けられている。
【００３５】
電子の入り込む「陽極」箇所は表面の汚れが発生しやすいので、取り外し自在なカバー体５１を設けておくことで、メンテナンス性を改善できる。
また、「陽極」箇所は温度上昇しやすいため、異常放電や冷却不足がおこれば異常に温度が上昇し場合によっては溶損が発生する。磁石ケーシング４７は内部を水冷されており溶損により貫通が起これば真空容器２内に冷却水が流出（リーク）することになるが、カバー体５１を設けておけば磁石ケーシング４７の溶損を防止でき、冷却水リークの発生を低減できる。
【００３６】
なお、第４実施形態において、第１〜第３実施形態と同様な点は、同符号を付して説明を省略した。
【００３７】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、アークスポットの挙動を制御するための永久磁石は、アーク放電が行われても、冷却部により冷却されることで、磁力が低下しない温度域に維持され、アークスポットの挙動制御性が持続できる。
また、磁石が内部に配置される冷却室を陽極とすると、電子の飛行ルートが短くなり、放電が安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る真空蒸着装置の概略構成図である。
【図２】  蒸発源の概略構成を示す正面図である。
【図３】  第１の実施の形態に係る蒸発源の断面図である。
【図４】  リング状の永久磁石によって形成される磁力線の状態を示す図である。
【図５】  蒸発源の磁力線の状態を示す図である。
【図６】  リング状の永久磁石の変形例を示す図である。
【図７】  第２の実施の形態に係る蒸発源の断面図である。
【図８】  第３の実施の形態に係る蒸発源の断面図である。
【図９】  第３実施形態における磁力線と電子の動きを示す図である。
【図１０】  第３実施形態におけるアーク放電ルートを示す図である。
【図１１】  第４の実施の形態に係る蒸発源の断面図である。
【符号の説明】
１  真空蒸着装置
２  真空容器
３  蒸発物質
４  アーク放電電源
７  永久磁石
９  アーク蒸発源
１２  隙間
１３  磁性体
１４  永久磁石
２９  アーク蒸発源
３０  冷却室
３９  アーク蒸発源
４７  磁石ケーシング
４８  隔離部材
４９  アーク蒸発源
５１  カバー体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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