(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有するチューブを装着する装着部を有する本体と、
前記本体に対し回転可能に設置されたロータと、
前記ロータに複数設けられ、前記チューブの一部を圧閉する圧閉部と、
前記ロータに一体化または固着されている被駆動体と、
圧電素子を備えた少なくとも１つの振動体とを有し、
前記振動体は、長い方向と短い方向とを有する形状をなし、前記ロータの半径方向から前記被駆動体に当接し、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記被駆動体に力を繰り返し加えて前記被駆動体を駆動し、これにより前記ロータを回転させることを特徴とするチューブポンプ。
【請求項２】
前記振動体は、前記ロータの外周側から前記被駆動体に当接するように設置されている請求項１に記載のチューブポンプ。
【請求項３】
前記振動体は、前記ロータの内周側から前記被駆動体に当接するように設置されている請求項１に記載のチューブポンプ。
【請求項４】
前記振動体の全体は、前記ロータの最外周より内側に位置する請求項１または３のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項５】
前記振動体のほぼ全体は、前記ロータの回転軸方向について前記ロータの厚さ分の空間内に位置している請求項１ないし４のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項６】
前記被駆動体に溝が設けられており、前記振動体は、前記溝に当接する請求項１ないし５のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項７】
前記振動体の長手方向の端部付近が前記被駆動体に当接する請求項１ないし６に記載のチューブポンプ。
【請求項８】
前記振動体は、板状をなしている請求項１ないし７のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項９】
前記振動体は、略長方形状をなしている請求項１ないし８に記載のチューブポンプ。
【請求項１０】
前記振動体は、前記ロータと略平行な姿勢で設置されている請求項１または９に記載のチューブポンプ。
【請求項１１】
前記振動体から突出して設けられた腕部を有し、前記振動体は、前記腕部により支持されている請求項１ないし１０のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項１２】
前記振動体は、複数設けられている請求項１ないし１１のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項１３】
前記圧閉部は、前記ロータに対し固定的に設けられている請求項１ないし１２のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項１４】
前記圧閉部は、前記ロータに対し回転可能に設けられている請求項１ないし１２のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項１５】
前記圧閉部は、前記ロータの回転軸とほぼ同じ方向の回転軸周りに回転可能に支持されたローラである請求項１４に記載のチューブポンプ。
【請求項１６】
前記圧閉部は、前記ロータの回転軸とほぼ直交する方向の回転軸周りに回転可能に支持されたローラである請求項１４に記載のチューブポンプ。
【請求項１７】
前記圧閉部は、任意の方向に回転可能に支持されたボールである請求項１４に記載のチューブポンプ。
【請求項１８】
前記圧閉部は、前記ロータの半径方向から前記チューブを圧閉する請求項１ないし１５または１７のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項１９】
前記圧閉部は、前記ロータの回転軸方向から前記チューブを圧閉する請求項１ないし１４、または１６、１７のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項２０】
前記装着部に装着された前記チューブの円弧状の部分は、前記ロータの最外周より内側に位置する請求項１ないし１９のいずれかに記載のチューブポンプ。
【請求項２１】
前記本体は、前記チューブを圧閉していない位置にある前記圧閉部に当接する当接部を有する請求項２０に記載のチューブポンプ。
【請求項２２】
前記本体は、前記ロータを片側から支持する請求項１ないし２１のいずれかに記載のチューブポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チューブポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
弾性を有するチューブをしごくことにより、チューブ内の液体を送液するチューブポンプが知られており、例えば医療機器、プリンタ等において広く用いられている。
【０００３】
このチューブポンプは、通常、ロータと、ロータを回転駆動するモータと、ロータに設置された複数のローラとを有し、このローラがロータの外周に沿って配置されたチューブを圧閉しつつロータが回転して、送液を行うようになっている。
【０００４】
しかしながら、従来のチューブポンプでは、ロータを駆動するモータが大きいために、小型化、特に薄型化が困難である、という問題がある。また、モータの電磁ノイズが他の機器に影響を及ぼすおそれがある、という問題もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、簡単な構造で、小型化、特に薄型化に有利なチューブポンプを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
【０００７】
弾性を有するチューブを装着する装着部を有する本体と、
前記本体に対し回転可能に設置されたロータと、
前記ロータに複数設けられ、前記チューブの一部を圧閉する圧閉部と、
前記ロータに一体化または固着されている被駆動体と、
圧電素子を備えた少なくとも１つの振動体とを有し、
前記振動体は、長い方向と短い方向とを有する形状をなし、前記ロータの半径方向から前記被駆動体に当接し、前記圧電素子に交流電圧を印加することにより振動し、この振動により、前記被駆動体に力を繰り返し加えて前記被駆動体を駆動し、これにより前記ロータを回転させることを特徴とするチューブポンプ。
【００１１】
本発明のチューブポンプの振動体は、ロータの外周側から被駆動体に当接するように設置されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のチューブポンプの振動体は、ロータの内周側から被駆動体に当接するように設置されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明のチューブポンプは、振動体のほぼ全体が、ロータの最外周より内側に位置することを特徴とする。
【００１６】
本発明のチューブポンプは、振動体のほぼ全体が、ロータの回転軸方向について前記ロータの厚さ分の空間内に位置していることを特徴とする。
【００１７】
本発明のチューブポンプは、被駆動体に溝が設けられており、振動体は、前記溝の内面に当接することを特徴とする。
【００１９】
本発明のチューブポンプは、振動体の長手方向の端部付近が被駆動体に当接することを特徴とする。
【００２０】
本発明のチューブポンプの振動体は、板状をなしていることを特徴とする。
【００２１】
本発明のチューブポンプの振動体は、略長方形状をなしていることを特徴とする。
【００２２】
本発明のチューブポンプの振動体は、ロータと略平行な姿勢で設置されていることを特徴とする。
【００２３】
本発明のチューブポンプは、振動体から突出して設けられた腕部を有し、前記振動体は、前記腕部により支持されていることを特徴とする。
【００２４】
本発明のチューブポンプの振動体は、複数設けられていることを特徴とする。
【００２５】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータに対し固定的に設けられていることを特徴とする。
【００２６】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータに対し回転可能に設けられていることを特徴とする。
【００２７】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータの回転軸とほぼ同じ方向の回転軸周りに回転可能に支持されたローラであることを特徴とする。
【００２８】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータの回転軸とほぼ直交する方向の回転軸周りに回転可能に支持されたローラであることを特徴とする。
【００２９】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、任意の方向に回転可能に支持されたボールであることを特徴とする。
【００３０】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータの半径方向からチューブを圧閉することを特徴とする。
【００３１】
本発明のチューブポンプの圧閉部は、ロータの回転軸方向からチューブを圧閉することを特徴とする。
【００３２】
本発明のチューブポンプの装着部に装着されたチューブの円弧状の部分は、ロータの最外周より内側に位置することを特徴とする。
【００３３】
本発明のチューブポンプの本体は、チューブを圧閉していない位置にある圧閉部に当接する当接部を有することを特徴とする。
【００３４】
本発明のチューブポンプの本体は、ロータを片側から支持することを特徴とする。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のチューブポンプを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３６】
＜第１実施形態＞
図１および図２は、それぞれ、本発明のチューブポンプの第１実施形態を示す断面平面図および断面側面図、図３は、図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体の斜視図、図４は、図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体が屈曲振動する様子を示す平面図、図５は、図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体の凸部が楕円運動する様子を示す平面図である。なお、図１は、図２中のＹ―Ｙ線での断面図であり、図２は、図１中のＸ−Ｘ線での断面図である。また、以下の説明では、図２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００３７】
図１および図２に示すチューブポンプ１Ａは、弾性を有するチューブ１００を装着する装着部３０を有する本体２と、本体２に対し回転可能に設置されたロータ５と、ロータ５を回転駆動する振動体６と、ロータ５に複数設けられたローラ１０とを備えている。以下、各部の構成について説明する。
【００３８】
図２に示すように、本体２は、ベース３と、ベース３の上側を覆うカバー４とで構成されている。本体２の内部には、ロータ５およびチューブ（ポンプチューブ）１００を収納する空間２１が形成されている。本実施形態では、ベース３とカバー４とで筐体を構成している。
【００３９】
ベース３は、下板３１と、下板３１から上方に向かって立設された壁部３２とを有している。下板３１には、後述するロータ回転軸５２が挿入する軸孔３１１が形成されている。
【００４０】
カバー４は、ほぼ板状をなし、ベース３の上側に固着されている。カバー４には、ロータ回転軸５２が挿入する軸孔４１が形成されている。空間２１は、下板３１と壁部３２とカバー４とで囲まれて形成されている。
【００４１】
図１に示すように、壁部３２の内面の少なくとも一部は、円弧状（円柱面状）をなしている。すなわち、図１中の右半分側における壁部３２の内周面３３は、円弧状をなしている。
【００４２】
図１中の左側の壁部３２には、空間２１から本体２の外部に通じる溝（切欠き）３４、３５がそれぞれ設けられている。溝３４は、図１中の上側に位置し、溝３５は、図１中の下側に位置している。
【００４３】
本実施形態では、溝３４と溝３５との間における壁部３２の内周面３６も円弧状をなしているが、この内周面３６は、円弧状でなくともよく、例えば直線状（平面状）であってもよい。
【００４４】
このような本体２（ベース３）に対し、チューブ１００は、溝３４、内周面３３および溝３５に沿って、ほぼＵ字状に装着されている。換言すれば、チューブ１００は、内周面３３に沿って配置された円弧部１０３と、円弧部１０３の一端から溝３４を通って本体２の外部に延びる上流部１０１と、円弧部１０３の他端部から溝３５を通って本体２の外部に延びる下流部１０２とを有している。
【００４５】
このように、内周面３３の近傍と、溝３４、３５とで、チューブ１００の装着部３０が構成されている。
【００４６】
チューブ１００は、弾性（復元性）を有しており、後述するローラ１０に押圧されることにより閉塞した状態（図２中の左側に示す状態）になり、この押圧が解除されると、元の状態（図２中の右側に示す状態）に戻る。
【００４７】
本体２の空間２１には、ロータ５が内周面３３と同心的に設置されている。ロータ５は、ロータ本体５１と、ロータ５１の中心部から上下方向に延びるように設けられたロータ回転軸５２と、ロータ本体５１の外周部に例えば圧入により固着された円環状のリング５３とを有している。
【００４８】
ロータ本体５１は、ほぼ円盤状をなしている。ロータ５の外径は、内周面３３の内径（曲率半径の２倍）より小さくされており、ロータ５の外周と内周面３３との間には、隙間が形成されている。
【００４９】
図２に示すように、ロータ回転軸５２の上端部は、軸孔４１に挿入され、軸受１１を介してカバー４に対し回転可能に支持されている。また、ロータ回転軸５２の下端部は、軸孔３１１に挿入され、軸受１２を介してベース３に対し回転可能に支持されている。すなわち、ロータ５は、本体２に対し回転可能に設置されている。
【００５０】
ロータ５の外周面、すなわちリング５３の外周面には、後述する振動体６が当接しており、振動体６が振動すると、振動体６から摩擦力（押圧力）を繰り返し受けてリング５３が図１中の時計回りに駆動（回転）される。すなわち、リング５３は、振動体６に駆動される被駆動体となるものである。
【００５１】
また、図２に示すように、本実施形態では、リング５３の外周には、周方向に沿って溝５３１が形成されており、振動体６は、溝５３１の内面（凹面）５３２に当接している。これにより、振動体６のリング５３に対する当接位置が上下にずれるのを防止することができる。また、溝５３１（内面５３２）の断面は、円弧状をなしており、これにより、振動体６のリング５３に対する当接位置が上下に多少ずれた場合であっても、振動体６とリング５３との接触状態が維持され、駆動力をロスすることがない。
【００５２】
ロータ本体５１からは、２つのローラ回転軸５４が下方向に突出するように設置されている。すなわち、ローラ回転軸５４は、ロータ回転軸５２と平行に設置されている。
【００５３】
各ローラ回転軸５４には、それぞれ、チューブ１００を圧閉（押圧閉塞）する圧閉部としてのローラ１０が図示しない軸受を介して設置されている。すなわち、ローラ１０は、ロータ本体５１の下側に位置し、ローラ回転軸５４周りに回転（自転）可能に設置されている。また、ローラ１０は、ロータ５が回転することにより、ロータ回転軸５２周りに回転（公転）する。
【００５４】
ローラ１０は、略円柱状をなしている。ローラ１０は、Ｕ字状に配置されたチューブ１００の内側に位置し、また上下方向についてチューブ１００とほぼ同じ高さに位置している。
【００５５】
また、本実施形態では、図１に示す平面視で、ローラ１０は、ロータ本体５の最外周円（最も外側の縁）にほぼ内接するような位置関係で設置されている。すなわち、ローラ１０は、図１に示す平面視で、ロータ５からはみ出さない程度の位置に設置されている。
【００５６】
図１に示すように、本実施形態では、２つのローラ１０は、ロータ５の周方向に沿って等間隔で、すなわち１８０°間隔で設置されている。なお、本発明では、ローラ１０のような圧閉部が３個以上ロータ５に設置されていてもよい。この場合も、ローラ１０のような圧閉部は、ロータ５の周方向に沿って等間隔で設置されているのが好ましい。
【００５７】
ロータ５が図１中の時計回りに回転すると、２個のローラ１０のうちの少なくとも一方が、内周面３３との間でチューブ１００（円弧部１０３）を圧閉しつつ、ロータ５の回転方向（ローラ１０が公転する方向）に沿ってしごき、チューブ１００内の液体を送り出す。これにより、液体は、チューブ１００の上流部１０１から吸入され、チューブ１００の下流部１０２から吐出される。
【００５８】
このように、本実施形態では、ローラ１０は、チューブ１００をロータ５の半径方向から（ロータ５の内周側から外周側に向かって）圧閉する。これにより、ロータ５がチューブ１００（円弧部１０３）から受ける反力の方向がロータ回転軸５２にほぼ垂直になるため、ロータ５は、傾斜したりするようなことなく、より円滑かつ確実に回転する。
【００５９】
また、本実施形態では、ローラ１０は、自転しながらチューブ１００をしごくので、チューブ１００を公転方向に引きずるようなことがなく、チューブ１００が本体２に対しずれるようなことがない。
【００６０】
図１および図２に示すように、本体２（ベース３）には、ロータ５を回転駆動する振動体６が設置されている。この振動体６は、通常のモータ等と比べ、小型（薄型）である。本発明では、この振動体６を用いてロータ５を回転駆動することにより、チューブポンプ１Ａ全体の小型化、特に薄型化（ロータ回転軸５２方向の小型化）を図ることができる。以下、振動体６について説明する。
【００６１】
図３に示すように、振動体６は、ほぼ、長方形の板状をなしている。振動体６は、図３中の上側から板状の電極６１と、板状の圧電素子６２と、補強板６３と、板状の圧電素子６４と、板状の電極６５とをこの順に積層して構成されている。なお、図３では、厚さ方向を誇張して示している。
【００６２】
圧電素子６２、６４は、それぞれ、長方形状をなし、電圧を印加することにより、その長手方向に伸長・収縮する。圧電素子６２、６４の構成材料としては、特に限定されず、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。
【００６３】
これらの圧電素子６２、６４は、補強板６３の両面にそれぞれ固着されている。補強板６３は、振動体６全体を補強する機能を有しており、振動体６が過振幅、外力等によって損傷するのを防止する。補強板６３の構成材料としては、特に限定されないが、例えばステンレス鋼、アルミニウムまたはアルミニウム合金、チタンまたはチタン合金、銅または銅系合金等の各種金属材料であるのが好ましい。
【００６４】
この補強板６３は、圧電素子６２、６４よりも厚さが薄い（小さい）ものであることが好ましい。これにより、振動体６を高い効率で振動させることができる。
【００６５】
補強板６３は、圧電素子６２、６４に対する共通の電極としての機能をも有している。すなわち、圧電素子６２には、電極６１と補強板６３とによって交流電圧が印加され、圧電素子６４には、電極６５と補強板６３とによって交流電圧が印加される。
【００６６】
圧電素子６２、６４は、交流電圧が印加されると長手方向に繰り返し伸縮し、これに伴なって、振動板６３も長手方向に繰り返し伸縮する。すなわち、圧電素子６２、６４に交流電圧を印加すると、振動体６は、図３中の矢印で示すように、長手方向に微小な振幅で振動（縦振動）する。
【００６７】
補強板６３の図３中の右端部には、凸部６６が一体的に形成されている。図１および図２に示すように、振動体６は、凸部６６がロータ５（リング５３）に当接するように設置されている。
【００６８】
この凸部６６は、補強板６３の幅方向中央（中心線６９）からずれた位置（図示の構成では角部）に設けられている。また、図示の構成では、反対側の（対角線上にある）角部には、凸部６６と対称的に同様の凸部６７が設けられている。この凸部６７は、図示の構成では使用されていない。
【００６９】
また、補強板６３の長手方向ほぼ中央からは、腕部６８が長手方向とほぼ垂直な方向に突出するように設けられている。腕部６８の先端部には、ボルト１３が挿入する孔６８１が形成されている。
【００７０】
このような振動体６は、図１および図２に示すように、ロータ５（リング５３）に外周側から（ロータ５の半径方向から）当接するように設置されている。
【００７１】
また、振動体６は、ロータ５とほぼ平行な姿勢で設置されている。これにより、チューブポンプ１Ａ全体の薄型化に特に有利である。
【００７２】
また、本実施形態では、振動体６の厚さは、ロータ５の厚さよりも薄く、振動体６の全体は、上下方向についてロータ５の厚さ分の空間内に位置している。これにより、チューブポンプ１Ａ全体の薄型化に特に有利である。
【００７３】
振動体６は、腕部６８の孔６８１の近傍において、ボルト１３により、ベース３に設けられたネジ孔３７に固定されている。すなわち、振動体６は、腕部６８によって支持されている。これにより、振動体６は自由に振動することができ、比較的大きい振幅で振動する。また、振動体６は、腕部６８の弾性によって、凸部６６がリング５３（内面５３２）に圧接された状態で設置されている。
【００７４】
凸部６６がリング５３に当接した状態で、圧電素子６２、６４に交流電圧を印加して振動体６を振動させると、リング５３は、振動体６が伸長するときに凸部６６から摩擦力（押圧力）を受け、この繰り返しの摩擦力（押圧力）によって、ロータ５が図１中の時計方向に回転する。
【００７５】
前述したように、本実施形態では、被駆動体としてのリング５３がロータ本体５１に例えば圧入により固着されており、ロータ５が振動体６によって直接に回転駆動される。これにより、ロータ５は、チューブポンプ１Ａのロータと、モータ（超音波モータ）のロータとを兼ねるものとして機能することから、チューブポンプ１Ａは、小型化（薄型化）に特に有利である。また、構造を極めて簡素化することができ、製造コストを低減することができる。
【００７６】
なお、リング５３と、ロータ本体５１とは、一体的に（一部材で）形成されていてもよい。
【００７７】
また、本実施形態では、振動体６の面内振動をロータ５の回転（面内回転）に直接変換するので、この変換に伴なうエネルギーロスが少なく、ロータ５を高い効率で回転駆動することができる。
【００７８】
また、本実施形態では、凸部６６がリング５３に及ぼす摩擦力（押圧力）の方向は、ロータ回転軸５２に対しほぼ垂直な方向であるため、ロータ５が傾斜するようなことがなく、ロータ５がより円滑かつ確実に回転する。
【００７９】
また、振動体６は、通常のモータのように磁力で駆動する場合と異なり、前記のような摩擦力（押圧力）によってリング５３を駆動することから、駆動力が高い。このため、本実施形態のように、変速機構（減速機構）を介さなくてもロータ５を十分なトルクで回転することができる。
【００８０】
圧電素子６２、６４に印加する交流電圧の周波数は、特に限定されないが、振動体６の振動（縦振動）の共振周波数とほぼ同程度であるのが好ましい。これにより、振動体６の振幅が大きくなり、高い効率でロータ５を回転駆動することができる。
【００８１】
前述したように、振動体６は、主に、その長手方向に縦振動するが、縦振動と屈曲振動とを共振させ、凸部６６を楕円振動させることがより好ましい。これにより、より高い効率でロータ５を回転駆動することができる。以下、この点について説明する。
【００８２】
図４に示すように、振動体６がロータ５を回転駆動するとき、凸部６６は、ロータ５から図４中の矢印で示すような反力を受ける。本実施形態では、凸部６６が振動体６の中心線６９からずれた位置に設けられていることから、振動体６は、この反力によって、図４に示すように面内方向に屈曲するように変形、振動する。なお、図４では、振動体６の変形を誇張して示している。
【００８３】
印加電圧の周波数、振動体６の形状・大きさ、凸部６６の位置などを適宜選択することにより、この屈曲振動の周波数を縦振動の周波数と同程度にすることができる。このようにすると、振動体６の縦振動と屈曲振動とが共振し、振幅がより大きくなるとともに、凸部６６は、図５中の一点鎖線で示すように、ほぼ楕円に沿って変位（楕円振動）する。
【００８４】
これにより、振動体６の１回の振幅において、凸部６６がリング５３を回転方向に送るときには、凸部６６がリング５３により強い力で圧接され、凸部６６が戻るときには、リング５３との摩擦力を低減または消滅させることができるため、振動体６の振動をロータ５の回転により高い効率で変換することができる。
【００８５】
本発明では、小型化（薄型化）を図ることができる利点の他に、ロータ５を回転するのに通常のモータを用いないことから、通常のモータのような電磁ノイズが全くないか、あっても僅かであるので、周辺の機器に影響を及ぼすことがない、という利点もある。
【００８６】
また、ロータ５を回転駆動していないとき（ロータ５の停止状態）には、凸部６６とリング５３との摩擦力により、ロータ５が回転するのが防止される（ロータ５の保持トルクが高い）。よって、チューブ１００内の液体の圧力等により、ロータ５が不本意に逆回転するようなことがなく、チューブ１００内の液体の逆流を防止することもできる。
【００８７】
また、本実施形態では、図２に示すように、組み立て時、ベース３に下側から組み付ける部品がなく、一方向（図２中の上側）から部品を組み付けて組み立てることができ、組み立てを容易に行うことができる利点もある。
【００８８】
なお、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【００８９】
＜第２実施形態＞
図６は、本発明のチューブポンプの第２実施形態を示す断面側面図である。なお、以下の説明では、図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００９０】
以下、この図を参照して本発明のチューブポンプの第２実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９１】
本実施形態のチューブポンプ１Ｂにおいては、前記第１実施形態のチューブポンプ１Ａに比べ、ローラ１０が小径化されるとともに、ロータ５の内周側に移設されている。
【００９２】
これに合わせて、ベース３の形状も異なっており、内周面３３の曲率半径が小さくされている。すなわち、壁部３２には、段差３２１が形成されており、チューブ１００およびローラ１０が収納される空間２１の下部２１２は、ロータ５が収納される空間２１の上部２１１より、小径になっている。
【００９３】
このようなベース３に装着されたチューブ１００の円弧部１０３は、ロータ５の最外周より内側に位置している。
【００９４】
このような構成により、本実施形態では、ローラ１０（圧閉部）が前記第１実施形態のチューブポンプ１Ａよりロータ５の内周側に設置されているため、ロータ５を回転させるのに必要なトルクをチューブポンプ１Ａに比べて低減することができる。よって、本実施形態のチューブポンプ１Ｂでは、振動体６を前記第１実施形態より小型化することができ、チューブポンプ１Ｂ全体をより小型化することができる。
【００９５】
なお、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【００９６】
＜第３実施形態＞
図７は、本発明のチューブポンプの第３実施形態を示す平面図、図８は、本発明のチューブポンプの第３実施形態を示す側面図（図７中のＫ矢視図）である。なお、以下の説明では、図８中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【００９７】
以下、これらの図を参照して本発明のチューブポンプの第３実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９８】
本実施形態のチューブポンプ１Ｃにおいては、振動体６は、ロータ回転軸５２方向からロータ５のロータ本体５１に当接するように設置されており、ロータ本体５１を駆動する。すなわち、本実施形態では、ロータ本体５１が被駆動体となっており、ロータ５には、リング５３が設けられていない。
【００９９】
振動体６の腕部６８は、本体２のカバー４に固着されており、振動体６の凸部６６は、ロータ本体５１の上面の外周付近に当接している。また、本実施形態では、凸部６６は、振動体６の幅方向ほぼ中央に設けられている。
【０１００】
振動体６は、図７に示す平面視で、その長手方向がロータ本体５１の接線５５とほぼ平行になるように設置されている。また、図８に示すように、振動体６は、ロータ本体５１に対し傾斜して設置されている。このような構成により、振動体６の振動を高い効率でロータ５の回転に変換することができる。
【０１０１】
このように、本実施形態では、振動体６がロータ回転軸５２方向からロータ５のロータ本体５１に当接することから、振動体６をロータ５と重ねて配置することができる。よって、チューブポンプ１Ｃ全体の小型化（特に、図７中における占有面積の低減）に特に有利である。
【０１０２】
なお、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【０１０３】
＜第４実施形態＞
図９は、本発明のチューブポンプの第４実施形態を示す一部切欠き平面図、図１０は、図９中のＺ−Ｚ線での断面側面図である。なお、以下の説明では、図１０中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【０１０４】
以下、これらの図を参照して本発明のチューブポンプの第４実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１０５】
図９および図１０に示すチューブポンプ１Ｄは、弾性を有するチューブ１００を装着する装着部７０を有する本体７と、本体７に対し回転可能に設置されたロータ８と、本体７に設置された複数の振動体６と、ロータ８に複数設けられたローラ１０とを備えている。
【０１０６】
図１０に示すように、本体７は、基板７１と、基板７１の中心部から上方に向かって突設されたロータ回転軸７２と、基板７１の周囲から上方に向かって立設された壁部７３とを有している。
【０１０７】
図９中のほぼ右半分側における壁部７３の内周面７４は、ロータ回転軸７２を中心とする円弧状をなしている。基板７１と壁部７３とで囲まれて形成されたほぼ円盤状の空間７５には、後述するロータ８が収納される。
【０１０８】
図９中の左側の壁部７３には、空間７５から本体７の外部に通じる溝（切欠き）７６、７７がそれぞれ設けられている。溝７６は、図９中の上側に位置し、溝７７は、図９中の下側に位置している。また、溝７６、７７は、図９中の左側に向かって互いに近づくように、ほぼハ字状に形成されている。
【０１０９】
本実施形態では、溝７６と溝７７との間における壁部７３の内周面７８も円弧状をなしているが、この内周面７８は、円弧状でなくともよく、例えば直線状（平面状）であってもよい。
【０１１０】
このような本体７に対し、チューブ１００は、溝７６、内周面７４および溝７７に沿って、ほぼＣ字状に装着されている。換言すれば、チューブ１００は、内周面７４に沿って配置された円弧部１０３と、円弧部１０３の一端から溝７６を通って本体７の外部に延びる下流部１０２と、円弧部１０３の他端部から溝７７を通って本体７の外部に延びる上流部１０１とを有している。
【０１１１】
このように、内周面７４の近傍と、溝７６、７７とで、チューブ１００の装着部７０が構成されている。
【０１１２】
ロータ８は、ロータ本体８１と、円環状のリング８２とを有している。
図１０に示すように、ロータ本体８１は、中心部に孔８１３を有する円板状の基部８１１と、孔８１３の縁部から下方に向かって円筒状に突出する軸受設置部８１２と、軸受設置部８１２より外周側において同心的に基部８１１から下方に向かって円筒状（円環状）に突出するリング設置部８１４とを有している。
【０１１３】
このようなロータ本体８１は、軸受設置部８１２の内側（孔８１３）にロータ回転軸７２が挿入され、軸受設置部８１２の内側にそれぞれ設置された軸受１１、１２を介して、本体７（ロータ回転軸７２）に対し回転可能に設置されている。
【０１１４】
このように、本実施形態では、本体７は、前記カバー４に相当するものがなく、ロータ８を片側から（下側から）支持している。すなわち、本体７は、ロータ８を上側から覆っていない。これにより、チューブポンプ１Ｄは、薄型化に特に有利である。
【０１１５】
リング設置部８１２より外周側における基部８１１からは、２つのローラ回転軸８３が下方向に突出するように設置されている。すなわち、ローラ回転軸８３は、ロータ回転軸７２と平行に設置されている。各ローラ回転軸８３には、それぞれ、ローラ１０が図示しない軸受を介して設置されている。２つのローラ１０は、ロータ８の周方向に沿って等間隔で、すなわち１８０°間隔で設置されている。
【０１１６】
ロータ８が図９中の反時計回りに回転すると、１個または２個のローラ１０は、内周面７４との間でチューブ１００（円弧部１０３）を圧閉しつつ、ロータ８の回転方向（ローラ１０が公転する方向）に沿ってしごき、チューブ１００内の液体を送り出す。これにより、液体は、チューブ１００の上流部１０１から吸入され、チューブ１００の下流部１０２から吐出される。
【０１１７】
図１０に示すように、本実施形態では、ローラ１０のほぼ全体は、上下方向について、ロータ８の厚さ分の空間に位置している。これにより、チューブポンプ１Ｄは、薄型化に特に有利である。
【０１１８】
リング設置部８１２の内周には、被駆動体としてのリング８２が例えば圧入により固着されている。
【０１１９】
リング８２の内周側における本体７には、振動体６が設置されている。すなわち、基板７１からは、ネジ孔７９１を有する振動体取付部７９が上方に向かって突設されており、振動体６は、腕部６８の孔６８１に挿入されたボルト１３によって、この振動体取付部７９に固定されている。
【０１２０】
この振動体６は、リング８２に半径方向内周側から当接するように設置されており、ロータ８（リング８２）を図９中の反時計方向に回転駆動する。
【０１２１】
このように、本実施形態では、振動体６は、リング８２の内周側に位置している。すなわち、振動体６の全体は、ロータ８の最外周より内側に位置している。これにより、チューブポンプ１Ｄは、小型化（図９中における占有面積の低減）に特に有利である。
【０１２２】
また、リング８２の内周には、周方向に沿って溝８２１が形成されており、振動体６（凸部６６）は、溝８２１の内面（凹面）８２２に当接している。これにより、前記第１実施形態における溝５３１を設けたのと同様の効果が得られる。
【０１２３】
本実施形態では、振動体６は、２つ設けられており、これら２つの振動体６でロータ８を駆動する。これにより、１つの振動体６が発生する駆動力は小さくて済むので、各振動体６を小型化することができ、本実施形態のように、ロータ８の最外周より内側に設置するのに適する。また、複数の振動体６をロータ８の外周側に設置した場合にも、チューブポンプ１Ｄの小型化（図９中における占有面積の低減）に寄与する。
【０１２４】
また、２つの振動体６は、ロータ８の周方向に沿ってほぼ等間隔（１８０°間隔で）設置されている。これにより、軸受１１、１２に作用する軸方向に垂直な力が相殺され、軸受１１、１２の負担を軽減することができる。
【０１２５】
本発明では、振動体６は、３つ以上設けられていてもよい。その場合、これらの振動体６は、ロータ８の周方向に沿ってほぼ等間隔で設置されているのが好ましい。
【０１２６】
＜第５実施形態＞
図１１は、本発明のチューブポンプの第５実施形態を示す断面側面図である。なお、以下の説明では、図１１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【０１２７】
以下、この図を参照して本発明のチューブポンプの第５実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１２８】
本実施形態のチューブポンプ１Ｅは、弾性を有するチューブ１００を装着するチューブ装着溝（装着部）９３を有する本体９と、本体９に対し回転可能に設置されたロータ５と、本体９に設置され、ロータ５に外周側から当接する振動体６と、ロータ５に複数設けられた圧閉部としてのボール１４とを備えている。
【０１２９】
本体９は、基板９１と、基板９１の中心部から上方に向かって突設されたロータ回転軸９２とを有している。ロータ５は、ロータ本体５１と、ロータ本体５１の外周部に例えば圧入により固着されたリング５３とを有している。
【０１３０】
本体９は、前記第４実施形態と同様に、ロータ５を片側から支持しており、これにより、チューブポンプ１Ｅは、薄型化に特に有利である。
【０１３１】
基板９１の上面には、チューブ装着溝９３がロータ５の周方向に沿って、かつロータ５の最外周より内周側に形成されている。すなわち、チューブ装着溝９３は、図示しない平面視において円弧を描くように設けられている。チューブ１００の一部は、このチューブ装着溝９３内に挿入するように装着されており、チューブ装着溝９３内に位置する部分が円弧部１０３になっている。
【０１３２】
ロータ本体５１には、チューブ１００の円弧部１０３を上側から圧閉するボール１４が設けられている。このボール１４は、ロータ本体５１の下面に形成された凹部５１１内にその上側が挿入するように設置されており、ロータ本体５１に対し、任意の方向に回転可能になっている。
【０１３３】
本実施形態では、このようなボール１４とチューブ１００との接触面積がローラ１０の場合より小さいためにボール１４の回転抵抗が小さく、ロータ５を駆動するのに必要なトルクを低減することができる。また、ローラ回転軸が不要であり、構造を簡素化することができる。
【０１３４】
さらに、前記第２実施形態と同様に、チューブ１００の円弧部１０３は、ロータ５の最外周より内側に位置しているため、ロータ５を回転させるのに必要なトルクが比較的小さい。よって、本実施形態では、振動体６をより小型化することができ、これにより、チューブポンプ１Ｅ全体をより小型化することができる。
【０１３５】
また、本実施形態では、チューブ１００をロータ回転軸９２方向から圧閉することにより、チューブ１００とロータ５とがロータ５の厚さ方向（ロータ回転軸９２方向）に重ねて配置される。よって、チューブポンプ１Ｅ全体の小型化に特に有利である。
【０１３６】
なお、図示の構成では、チューブ装着溝９３の形状は、底が平面的に形成されたものになっているが、本実施形態のようにボール１４でチューブ１００を直接圧閉する場合には、チューブ装着溝９３は、断面形状が円弧状（半円状）のもの（底が曲面のもの）であるのがより好ましい。これにより、チューブ１００は、ボール１４とチューブ装着溝９３との隙間に沿って断面が円弧状に湾曲した形状になるように圧閉され、より確実に（隙間なく）圧閉することができる。
【０１３７】
また、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【０１３８】
＜第６実施形態＞
図１２は、本発明のチューブポンプの第６実施形態を示す断面側面図である。なお、以下の説明では、図１２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【０１３９】
以下、この図を参照して本発明のチューブポンプの第６実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１４０】
本実施形態のチューブポンプ１Ｆにおけるベース３の下板３１の上面には、前記チューブ装着溝９３とほぼ同様のチューブ装着溝（装着部）３７が設けられており、チューブ１００の一部は、このチューブ装着溝３７内に挿入するように装着され、チューブ装着溝３７内に位置する部分が円弧部１０３になっている。
【０１４１】
ロータ本体５１の下面には、圧閉部として複数の凸部５１２が形成されており、この凸部５１２がチューブ１００の円弧部１０３を上側から圧閉する。
【０１４２】
このような凸部５１２のように、本発明では、圧閉部は、ロータ５に固定的に設けられているようなものであってもよい。これにより、圧閉部をより簡素な構造とすることができる。なお、この場合、チューブ１００の外表面と、凸部５１２のような圧閉部の表面との両方または一方に低摩擦材料の被覆を施したり、潤滑剤を用いたりすることによって、チューブ１００と凸部５１２のような圧閉部との摩擦を低減することが好ましい。前記低摩擦材料としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレンのようなフッ素系樹脂等が挙げられる。
【０１４３】
また、本実施形態では、前記第５実施形態と同様に、チューブ１００をロータ回転軸５２方向から圧閉することにより、チューブ１００とロータ５とがロータ５の厚さ方向（ロータ回転軸５２方向）に重ねて配置されることから、チューブポンプ１Ｆ全体の小型化に特に有利である。
【０１４４】
なお、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【０１４５】
＜第７実施形態＞
図１３は、本発明のチューブポンプの第７実施形態を示す断面側面図である。なお、以下の説明では、図１３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【０１４６】
以下、この図を参照して本発明のチューブポンプの第７実施形態について説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１４７】
本実施形態のチューブポンプ１Ｇは、弾性を有するチューブ１００を装着するチューブ装着溝（装着部）１５２を有する本体１５と、本体１５に対し回転可能に設置されたギアロータ１６（ロータ）と、ギアロータ１６に複数設置された圧閉部としてのローラ１７と、本体１５に設置された振動体６と、振動体６に駆動される被駆動体１８と、回転力伝達機構１９とを備えている。
【０１４８】
本体１５は、全体としてほぼ板状をなしており、上方に向かって突設されたロータ回転軸１５１を有している。
【０１４９】
ギアロータ１６は、ほぼ円板状をなす基部１６１と、基部１６１の中心部に形成された孔１６２の縁部から下方に向かって円筒状に突出する軸受設置部１６３とを有している。基部１６１の外周には、歯車（ギア）の歯が形成されており、ギアロータ１６は、歯車ともなっている。
【０１５０】
このようなギアロータ１６は、軸受設置部１６３の内側（孔１６２）にロータ回転軸１５１が挿入され、軸受設置部１６３の内側にそれぞれ設置された軸受１１、１２を介して、本体１５（ロータ回転軸１５１）に対し回転可能に設置されている。
【０１５１】
このように、本実施形態では、本体１５は、ギアロータ１６を片側から（下側から）支持している。これにより、前記第４実施形態と同様に、チューブポンプ１Ｇは、薄型化に特に有利である。
【０１５２】
本実施形態では、振動体６に駆動される被駆動体１８とギアロータ１６とが別体になっており、被駆動体１８が回転力伝達機構１９を介してギアロータ１６を回転させる。
【０１５３】
被駆動体１８は、ほぼ円盤状をなしており、本体１５に設けられた被駆動体回転軸１５３に図示しない軸受を介して回転可能に設置されている。被駆動体１８の外周には、前記溝５３１と同様の溝１８１が形成されている。
【０１５４】
本体１５には、振動体６が、その凸部６６が溝１８１の内面に当接するように設置されている。これにより、被駆動体１８は、前記ロータ５と同様に、振動体６によって回転駆動される。
【０１５５】
回転力伝達機構１９は、平歯車列で構成されており、小歯車１９１と、小歯車１９１と噛み合う大歯車１９２と、大歯車１９２に同軸的に固着された小歯車１９３とを有している。
【０１５６】
小歯車１９１は、被駆動体１８に同軸的に固着されており、被駆動体１８とともに回転する。
【０１５７】
大歯車１９２と、小歯車１９３とは、本体１５に設けられた歯車回転軸１５４に図示しない軸受を介して回転可能に設置されており、ともに回転する。小歯車１９３は、ギアロータ１６に噛み合うように設置されている。
【０１５８】
このような回転力伝達機構１９により、被駆動体１８の回転が２段階に減速されてギアロータ１６に伝達される。すなわち、回転力伝達機構１９は、変速機（減速機）となるものである。
【０１５９】
また、図示の構成では、被駆動体１８と、ギアロータ１６とは、同方向に回転する。なお、歯車の数を選択すること等により被駆動体１８と、ギアロータ１６とが互いに逆方向に回転するようにすることもできる。
【０１６０】
本実施形態では、回転力伝達機構１９を介してギアロータ１６を駆動することにより、振動体６の設置箇所の自由度を高めることができる。また、回転力伝達機構１９で回転速度を変速することにより、ギアロータ１６を所望の速さで回転させることができ、送液速度を調節することができる。特に、回転力伝達機構１９で回転速度を減速する場合には、振動体６の駆動力が小さくて済むので、振動体６をより小型化することができる。
【０１６１】
なお、回転力伝達機構１９としては、図示のような歯車列に限らず、例えば、プーリー、ベルト、チェーン等を用いた巻き掛け伝動機構によるものであってもよい。また、ベベルギア（傘歯車）、ウォームギア等を用いて被駆動体１８と、ギアロータ１６との回転軸方向を変換するようなものであってもよい。
【０１６２】
本体１５の上面には、チューブ装着溝１５２がギアロータ１６の周方向に沿って、かつギアロータ１６の最外周より内周側に形成されている。すなわち、チューブ装着溝１５２は、図示しない平面視において円弧を描くように設けられている。チューブ１００の一部は、このチューブ装着溝１５２内に挿入するように装着されており、チューブ装着溝１５２内に位置する部分が円弧部１０３になっている。
【０１６３】
ギアロータ１６の基部１６１には、チューブ１００の円弧部１０３を上側から圧閉するローラ１７が設置されている。ローラ１７は、回転軸１７１を有しており、回転軸１７１がロータ回転軸１５１にほぼ直交するように配置されている。
【０１６４】
基部１６１には、ローラ１７の上側の部分が挿入する窓（孔）１６４が形成されている。また、基部１６１の下面における窓１６４の近傍には、回転軸挿入溝１６５が形成されており、この回転軸挿入溝１６５に回転軸１７１が挿入することにより、ローラ１７がギアロータ１６に回転可能に支持されている。なお、ローラ１７の下側には、チューブ１００または後述する当接部１５５が常に当接するので、回転軸１７１が回転軸挿入溝１６５から外れることはない。
【０１６５】
本実施形態では、チューブ１００の円弧部１０３がギアロータ１６の最外周より内側に位置していることにより、前記第２実施形態と同様に、ギアロータ１６を回転させるのに必要なトルクが比較的小さい、という利点がある。よって、本実施形態では、振動体６をより小型化することができ、これにより、チューブポンプ１Ｇ全体をより小型化することができる。
【０１６６】
また、本実施形態では、前記第５実施形態と同様に、チューブ１００をロータ回転軸１５１方向から圧閉することにより、チューブ１００とギアロータ１６とがギアロータ１６の厚さ方向（ロータ回転軸１５１方向）に重ねて配置される。よって、チューブポンプ１Ｅ全体の小型化に特に有利である。
【０１６７】
本体１５は、図１３中の右側のローラ１７のように、チューブ１００（円弧部１０３）を圧閉しない位置にあるローラ１７に当接する当接部１５５を有している。この当接部１５５が設けられていることにより、次のような効果が得られる。
【０１６８】
ギアロータ１６は、ローラ１７が圧閉するチューブ１００（円弧部１０３）からの反力により、ギアロータ１６を傾斜させるような力を受ける。すなわち、この力は、ギアロータ１６を図１３中の右下がりに傾斜させるように作用する。このとき、本実施形態では、図１３中の右側のローラ１７が当接部１５５に当接することにより、ギアロータ１６が傾斜するのが防止され、ギアロータ１６をより円滑かつ確実に回転させることができる。また、図１３中の左側のローラ１７が浮き上がることなく、チューブ１００（円弧部１０３）を確実に圧閉することができる。
【０１６９】
なお、本実施形態では、振動体６は、１つ設置されているが、本発明では、複数の振動体６を設けてもよい。
【０１７０】
以上、本発明のチューブポンプを図示の第１〜第７実施形態について説明したが、本発明では、第１〜第７実施形態のうちの任意の２以上の特徴を組み合せることもできる。
【０１７１】
また、本発明では、チューブ１００の内径は、細いものから太いものまでいかなるものでもよく、例えば内径０．１〜２０ｍｍ程度のものを使用することができ、特に、内径０．２〜２ｍｍ程度の細径のチューブを使用するチューブポンプに好適である。
【０１７２】
また、本発明のチューブポンプの吐出量（流量）は、特に限定されず、例えば、０．０１〜６００ｍＬ／分程度のものとすることができるが、本発明は、特に吐出量が３０ｍＬ／分以下程度の微量の送液ポンプに好適である。
【０１７３】
なお、本発明のチューブポンプは、間欠的に送液を行うもの（一時的に吐出量が０になるもの）であってもよいことは言うまでもないが、その場合、前記の吐出量の値は、送液を行っているとき（ロータが回転しているとき）の値を指す。
【０１７４】
また、本発明は、図示の実施形態に限定されるものではなく、チューブポンプを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。
【０１７５】
例えば、本発明では、振動体の形状、構造は、図示の構成に限らず、被駆動体を駆動することができるものであればいかなるものでもよい。例えば、圧電素子が１枚のものや、補強板を有さないものや、被駆動体と当接する部分に向かって幅が漸減するような形状のものなどであってもよい。
【０１７６】
また、振動体への通電状態（振動体の振動形態）を変更することなどにより、ロータを正・逆両方向に回転させることができるようなもの（送液方向を切り換えられるもの）であってもよい。
【０１７７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、振動体を用いてロータを回転させることにより、チューブポンプ全体の小型化、特に薄型化を図ることができる。
【０１７８】
また、構造を簡素化することができ、製造コストを低減することができる。
また、通常のモータを用いないことから、電磁ノイズが全くないか、あっても僅かであるので、周辺機器に影響を及ぼすことを防止することができる。
【０１７９】
また、チューブ内の液体が不本意に逆流するのを防止することができる。
また、被駆動体をロータに一体化または固着した場合には、さらに小型化、薄型化を図ることができるとともに、極めて簡素な構造にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のチューブポンプの第１実施形態を示す断面平面図である。
【図２】本発明のチューブポンプの第１実施形態を示す断面側面図である。
【図３】図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体の斜視図である。
【図４】図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体が屈曲振動する様子を示す平面図である。
【図５】図１および図２に示すチューブポンプにおける振動体の凸部が楕円運動する様子を示す平面図である。
【図６】本発明のチューブポンプの第２実施形態を示す断面側面図である。
【図７】本発明のチューブポンプの第３実施形態を示す平面図である。
【図８】本発明のチューブポンプの第３実施形態を示す側面図（図７中のＫ矢視図）である。
【図９】本発明のチューブポンプの第４実施形態を示す一部切欠き平面図である。
【図１０】図９中のＺ−Ｚ線での断面側面図である。
【図１１】本発明のチューブポンプの第５実施形態を示す断面側面図である。
【図１２】本発明のチューブポンプの第６実施形態を示す断面側面図である。
【図１３】本発明のチューブポンプの第７実施形態を示す断面側面図である。
【符号の説明】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ  チューブポンプ
２            本体
２１          空間
２１１        上部
２１２        下部
３            ベース
３０          装着部
３１          下板
３１１        軸孔
３２          壁部
３２１        段差
３３          内周面
３４、３５    溝
３６          内周面
３７          チューブ装着溝
４            カバー
４１          軸孔
５            ロータ
５１          ロータ本体
５１１        凹部
５１２        凸部
５２          ロータ回転軸
５３          リング
５３１        溝
５３２        内面
５４          ローラ回転軸
５５          接線
６            振動体
６１、６５    電極
６２、６４    圧電素子
６３          補強板
６６、６７    凸部
６８          腕部
６８１        孔
６９          中心線
７            本体
７０          装着部
７１          基板
７２          ロータ回転軸
７３          壁部
７４          内周面
７５          空間
７６、７７    溝
７８          内周面
７９          振動体取付部
７９１        ネジ孔
８            ロータ
８１          ロータ本体
８１１        基部
８１２        軸受設置部
８１３        孔
８１４        リング設置部
８２          リング
８２１        溝
８２２        内面
８３          ローラ回転軸
９            本体
９１          基板
９２          ロータ回転軸
９３          チューブ装着溝
１０          ローラ
１１、１２    軸受
１３          ボルト
１４          ボール
１５          本体
１５１        ロータ回転軸
１５２        チューブ装着溝
１５３        被駆動体回転軸
１５４        歯車回転軸
１５５        当接部
１６          ギアロータ
１６１        基部
１６２        孔
１６３        軸受設置部
１６４        窓
１６５        回転軸挿入溝
１７          ローラ
１８          被駆動体
１８１        溝
１９          回転力伝達機構
１９１、１９３  小歯車
１９２        大歯車
１００        チューブ
１０１        上流部
１０２        下流部
１０３        円弧部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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