(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数本のガラスフィラメントを含む経糸と緯糸が平織されたガラス繊維織布において、
前記経糸又は前記緯糸の少なくとも一方の糸は、巾方向の両端に、前記ガラスフィラメントが一列になった部分を有し、且つ、下式（１）、式（２）、式（３）及び式（４）を満たすことを特徴とするガラス繊維織布。
（１）：ｔ／ｗ≦０．１２
（２）：Ａ−Ｂ≧１０％
（３）：Ｂ≦６０％
（４）：０．９８≦（ｗ×Ｃ／１０００）／２５≦１．０１
ただし、ｔ：糸厚さ（μｍ）
ｗ：糸巾（μｍ）
Ａ：他方の糸と接する側の断面における内側フィラメント占有率
Ｂ：他方の糸と接する側の反対側の断面における外側フィラメント占有率
Ｃ：密度（本／２５ｍｍ）
【請求項２】
脱油処理による表面処理の前に開繊処理を行って作製されたことを特徴とする請求項１に記載のガラス繊維織布。
【請求項３】
前記ガラスフィラメントの組成は、SiOが５０〜６０％、CaOが０〜５％、MgOが０〜４％、Al2O3が１０〜２０％、B2O3が２０〜３０％、Na2O又はK2Oが０〜０．５％、TiO2が０．５〜５％であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のガラス繊維織布。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のうち何れか一項記載のガラス繊維織布に熱硬化性樹脂を含浸させてなることを特徴とするプリプレグ。
【請求項５】
請求項１〜請求項３のうち何れか一項記載のガラス繊維織布を基材として含むことを特徴とするプリント配線板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数本のガラスフィラメントからなる経糸と緯糸を平織りしてなるガラス繊維織布、これに熱硬化性樹脂を含浸させたプリプレグ、及びガラス繊維織布を基材として含むプリント配線板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の電子産業の急速な発達に伴い、プリント配線板の要求特性も年々厳しくなってきている。例えば特開平１１−３１５４４６号公報には、プリント配線板の基材であるガラス繊維織布の各糸の配置、形状を限定して、プリント配線板の穴空け加工性を向上させた技術が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プリント配線板に要求されているのは穴空け加工性の向上に限られず、他の様々な特性を向上させることも必要となってきている。例えば、移動携帯端末分野、パッケージ分野等に使用されるプリント配線板においては、鉛フリーによる実装や表面実装のため、耐熱特性の向上が切望されている。
【０００４】
また、集積回路の高密度化の要請に応えるために、プリント配線板の寸法変化のバラツキを低減する必要もある。すなわち、プリプレグを積層して加圧加熱処理を施す際等に、プリント配線板の寸法変化そのものを小さくすることが重要であるが、一枚のプリント配線板内及び各々のプリント配線板間での寸法のバラツキが生じることが製造工程上問題となっているのである。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、耐熱性が高く、且つ、寸法変化のバラツキが低減されるガラス繊維織布、プリプレグ、及びプリント配線板を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、複数本のガラスフィラメントを含む経糸と緯糸が平織されたガラス繊維織布において、経糸又は緯糸の少なくとも一方は、巾方向の両端に、ガラスフィラメントが一列になった部分を有し、且つ、下記式（１）、式（２）、式（３）及び式（４）を満たすことを特徴とする。
（１）：ｔ／ｗ≦０．１２
（２）：Ａ−Ｂ≧１０％
（３）：Ｂ≦６０％
（４）：０．９８≦（ｗ×Ｃ／１０００）／２５≦１．０１
ただし、ｔ：糸厚さ（μｍ）
ｗ：糸巾（μｍ）
Ａ：他方の糸と接する側の断面における内側フィラメント占有率
Ｂ：他方の糸と接する側の反対側の断面における外側フィラメント占有率
Ｃ：密度（本／２５ｍｍ）
糸の扁平率を上記式（１）程度に高めることで、下記の効果を得ることができる。(i)まず、高扁平にした糸の外周は長くなり、表面積が広くなっている。これにより、本発明のガラス繊維織布に樹脂を含浸させた層を一層又は複数層有するプリント配線板においては、糸の表面に染み込む樹脂量が多くなって接着力が高まり、加熱された場合でもガラス糸と樹脂が剥離しにくくなり、耐熱性が向上する。(ii)また、糸を高扁平にすることで、ガラス繊維織布中の糸同士の隙間が小さくなり、樹脂を含浸させた場合にプリプレグ中のガラスコンテントを高くすることができる。樹脂よりも熱膨張率の小さなガラスの量が多くなることで、プリント配線板を作製する際のプレス工程等で加熱されても、プリプレグの寸法変化の絶対値が小さくなり、ひいては、寸法変化率のバラツキが小さくなる。
【０００７】
糸の内側を通るフィラメントは、外側を通るフィラメントよりも浮沈の傾斜が緩やかになる。このため、上記式（２）のように内側フィラメント占有率（詳細は後述する）を外側フィラメント占有率より１０％以上高くすることで、浮沈の傾斜が緩やかなフィラメントが多数存在することになる。これにより、プリント配線板の作製作業中に加熱された場合に生じる歪みが小さくなるため、ガラス糸と樹脂の剥離を抑制することができ、ガラス繊維織布の耐熱性が向上する。また、浮沈の高さが小さいフィラメントが多数存在することで、温度、圧力に対し、フィラメントの浮沈に起因する寸法変化が低減される。つまり、プリント配線板作成作業中での加熱処理、加圧処理による寸法変化のバラツキ、板厚のバラツキを低減させることができる。
【０００８】
さらに、上記式（３）を満たすことで、次のような効果を得ることができる。すなわち、上記の内側フィラメント占有率を求めた際の領域と反対側の糸断面における外側フィラメント占有率が６０％以下になっているということは、糸の外側のフィラメントが比較的ばらけていることになり、糸内部へ樹脂が含浸しやすくなる。これにより、糸と樹脂の接着力が高まり、加熱された場合でもガラス糸と樹脂が剥離しにくくなり、ガラス繊維織布の耐熱性がさらに向上される。
【０００９】
また、本発明のガラス繊維織布において、上記式（１）、式（２）及び式（３）を満たす糸は、巾方向の両端に、ガラスフィラメントが一列になった部分を有している。
【００１０】
糸の中央部分よりも両端部の方が他方の糸から剥離しやすいが、このように両端部にガラスフィラメントが一列になった部分を設けることで、他方の糸の浮沈の傾斜が緩和される。これにより、当該他方の糸の寸法変化率が低下し、ひいては、プリント配線板の作製において、寸法変化率のバラツキ、板厚のバラツキを低減させることができる。また、糸の浮沈の傾斜が緩やかになることで、加熱された場合に生じる歪みが小さくなり、ガラス糸と樹脂の剥離を抑制することができる。
【００１１】
また、本発明のガラス繊維織布において、上記式（１）、式（２）及び式（３）を満たす糸の糸巾ｗ（μｍ）と密度Ｃ（本／２５ｍｍ）は、下式（４）を満たす。
（４）：０．９８≦（ｗ×Ｃ／１０００）／２５≦１．０１
高周波部品に用いられるプリント配線板については、特性インピーダンスを狙い値に設定することが要求されている。ところが、プリント配線板は、一般的にガラス繊維織布に熱硬化性樹脂を含浸させたプリプレグによって作製するため、ガラス繊維部分と樹脂部分とでは誘電率が大きく異なることから全体に渡って誘電率が不均一になり、特性インピーダンスを制御することが困難であった。（ｗ×Ｃ／１０００）／２５＝１の場合に、丁度隣り合う糸の間に隙間が存在しないことになる。本発明のように、各糸の間隔を上記式（４）程度にすることで、ガラス繊維織布におけるガラス分布を均一にすることができる。この結果、プリント配線板を形成した場合に誘電率が均一化し、特性インピーダンスを狙い値に設定しやすくなる。
【００１２】
また、上記のような本発明のガラス繊維織布を用いてプリプレグ及びプリント配線板を形成することで、それぞれ上述の効果を有するプリプレグ及びプリント配線板を実現することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るガラス繊維織布、プリプレグ、及びプリント配線板の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。
【００１４】
図１及び図２を参照して、本実施形態のガラス繊維織布について説明する。図２は、本実施形態のガラス繊維織布１０を示す平面図であり、図１は、図２のI-I方向の断面図である。ガラス繊維織布１０は、ガラス繊維製の経糸２０と緯糸３０とを平織りすることによって形成されている。すなわち、経糸２０と緯糸３０とは、交互に上下に交叉している。また、経糸２０及び緯糸３０には、集束剤で束ねられた複数本のガラスフィラメント２２，３２がそれぞれ含まれている。尚、図１の断面図は、図２に示すように、経糸２０と緯糸３０の交差点における断面図であり、緯糸３０の幅方向（図２の上下方向）の中心線に沿ったものとされている。
【００１５】
ガラス繊維織布１０は開繊処理が施されており、厚さは約１０μｍ〜約２００μｍとなっている。一本の経糸２０又は緯糸３０には、ガラスフィラメント２２，３２がそれぞれ２５〜８００本含まれており、ガラスフィラメント２２，３２は、織られる前における直経が約３μｍ〜約１２μｍのものを使用している。
【００１６】
ガラスフィラメント２２，３２は、１ＭＨｚでの誘電率が４．４程度のものを使用している。このように誘電率を低くすることで、ガラスフィラメント同士を接着するための樹脂の誘電率にガラスフィラメントの誘電率が近付き、ガラス繊維織布１０全体での誘電率の均一化を図ることができる。また、ガラスフィラメント２２，３２の組成は、ＳｉＯが５０〜６０％、ＣａＯが０〜５％、ＭｇＯが０〜４％、Ａｌ2Ｏ3が１０〜２０％、Ｂ2Ｏ3が２０〜３０％、Ｎａ2Ｏ又はＫ2Ｏが０〜０．５％、ＴｉＯ2が０．５〜５％とされている。
【００１７】
図３は、本実施形態のガラス繊維織布１０を用いて作製したプリプレグ５０を示す斜視図であり、図４は、このプリプレグ５０を基材として使用したプリント配線板６０を示す斜視図である。プリプレグ５０は、ガラス繊維織布１０にマトリックス樹脂としての熱硬化性樹脂を含浸させた後、乾燥処理を施して半硬化状態のシートにしたものである。また、マトリックス樹脂としては、具体的には、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド等が使用される。
【００１８】
プリント配線板（PWB: Printed Wiring Board）６０は、このようなプリプレグ５０を基材とし、次のようにして作製することができる。まず、プリプレグ５０を複数枚重ね、これに加圧加熱処理を施して積層板を形成する。加圧加熱処理で硬化した層に、符号５０ａを付す。次いで、この積層板の両面（片面でもよい）に銅箔を張り付けて銅張積層板（CCL: Copper Clad Laminate）を得る。続いて、いわゆるサブトラクティブ法などによって、印刷回路であるライン５４を形成する。このようにして、図４に示すプリント配線板６０が完成する。尚、本発明でいうプリント配線板は、図４に示すものに限られず、種々変更することができる。例えば、外層のみならず内層にも回路が形成された多層プリント配線板（ML-PWB: Multilayer Printed Wiring Board）としてもよい。
【００１９】
ここで再び、ガラス繊維織布１０の説明をする。本実施形態のガラス繊維織布１０は、内側フィラメント占有率Ａ及び外側フィラメント占有率Ｂが所定の範囲にあることを一つの特徴としているが、まず、図５を参照して、内側フィラメント占有率Ａ及び外側フィラメント占有率Ｂの定義をする。
【００２０】
図５は、図１の経糸２０の断面を模式化した図である。まず、内側フィラメント占有率Ａの求め方を説明する。ここでいう「内側」とは、経糸２０が他方の糸すなわち緯糸３０と接する側をいう。内側フィラメント占有率Ａを求めるにあたっては、まず、左右両端のガラスフィラメント２２ｒ，２２ｌの中心同士を直線Ｌで結ぶ。次に、経糸２０の内側において直線Ｌから最も離れた位置（図５の最高地点）にあるガラスフィラメント２２ａを直線Ｌの中心位置上まで移動させた仮想点２２ａ’を決定する。次いで、右端のガラスフィラメント２２ｒ、左端のガラスフィラメント２２ｌ、及び仮想点２２ａ’のそれぞれの外側を通過する円弧Ｒ1を形成する。ここでは、この円弧Ｒ1を経糸２０の外周とみなしている。そして、この円弧Ｒ1と直線Ｌとで囲まれた弓状領域Ｘの面積に対する、直線Ｌよりも内側に存在するガラスフィラメント２２の総面積（断面積の総和）が、内側フィラメント占有率Ａとなる。
【００２１】
尚、図５においては、経糸２０の幅方向の両端にガラスフィラメント２２ｒ，２２ｌが一つずつ位置しているが、両端部にガラスフィラメントが２段以上ある場合もある（図５の上下方向において、端部にフィラメントが複数個並ぶことになる）。このような場合は、上下方向に並んだ最上段のフィラメントと最下段のフィラメントの中点同士を結び、直線Ｌを引く。
【００２２】
一方、外側フィラメント占有率Ｂは、直線Ｌを挟んで上記内側の弓状領域Ｘとは反対側の糸断面の弓状領域Ｙにおける、ガラスフィラメント２２の占有率をいう。外側フィラメント占有率Ｂを求めるにあたっては、経糸２０の外側において直線Ｌから最も離れた位置（図５の最低地点）にあるガラスフィラメント２２ｂを直線Ｌの中心位置上まで移動させた仮想点２２ｂ’を決定する。次いで、右端のガラスフィラメント２２ｒ、左端のガラスフィラメント２２ｌ、及び仮想点２２ｂ’を通過する円弧Ｒ2を形成する。そして、この円弧Ｒ2と直線Ｌとで囲まれた弓状領域Ｙの面積に対する、直線Ｌよりも外側に存在するガラスフィラメント２２の総面積（断面積の総和）が、外側フィラメント占有率Ｂとなる。
【００２３】
そして、本実施形態のガラス繊維織布１０では、内側フィラメント占有率Ａの値を外側フィラメント占有率Ｂの値より１０％以上大きくしており、且つ、経糸２０の外側フィラメント占有率Ｂの値が６０％以下とされている。
【００２４】
図６を参照して、内側のフィラメントと外側のフィラメントの関係を説明する。図６は、図２のVI-VI方向の断面図である。経糸２０中に、経糸２０の内側を通過する内側フィラメント２２ｉ（破線）の一例と、外側を通過する外側フィラメント２２ｏ（一点鎖線）の一例を示す。図から理解できるように、内側フィラメント２２ｉの浮沈の傾斜は、外側フィラメント２２ｏの浮沈の傾斜よりも緩やかになり、最高位置と最低位置の落差も内側フィラメント２２ｉの方が外側フィラメント２２ｏよりも小さくなる。
【００２５】
従って、経糸２０の内側フィラメント占有率Ａを外側フィラメント占有率Ｂより１０％以上と高くすることで、浮沈の傾斜が緩やかなフィラメントが経糸２０中に多数存在することになる。また、浮沈の傾斜の緩やかな内側フィラメント２２ｉの方が、傾斜の急な外側フィラメント２２ｏよりも加熱や加圧された際の伸びが小さい。これらのことから、上記した積層板形成のための加圧加熱処理やライン形成のためのエッチングによってガラス繊維織布１０が加熱された場合において、経糸２０の歪みが小さくなるため、経糸２０とマトリックス樹脂の剥離を抑制することができ、ガラス繊維織布１０を使用したプリント配線板６０の耐熱性は向上する。
【００２６】
また、浮沈の高さが小さなフィラメントが経糸２０中に多数存在することで、積層板形成のための加圧加熱処理やライン形成のためのエッチングによる寸法変化のバラツキ、板厚のバラツキを低減させることができる。
【００２７】
一方、外側フィラメント占有率Ｂを６０％以下とすることで、次のような効果が得られる。すなわち、外側フィラメント占有率が６０％以下になっているということは、経糸２０の外側のガラスフィラメント２２が密接せずに比較的ばらけていることになり、経糸２０の内側へマトリックス樹脂を染み込ませ易くなる。これにより、経糸２０とマトリックス樹脂の接着力が高まり、プリント配線板６０の作製作業時に加熱された場合でも、経糸２０とマトリックス樹脂が剥離しにくくなり、プリント配線板６０の耐熱性がさらに向上する。
【００２８】
次に、図１を参照して、本実施形態のガラス繊維織布１０の他の特徴を説明する。同図に示すように、経糸２０の巾方向の両端には、ガラスフィラメント２２が一列になった直列部２４ｒ，２４ｌがそれぞれ形成されている。一般的に、糸の中央部分よりも巾方向の両端部の方が他方の糸（ここでは緯糸３０）から剥離しやすいが、このように経糸２０の両端に厚みの小さな直列部２４ｒ，２４ｌを設けることで、経糸２０の両端部分と対向する領域における緯糸３０の浮沈の傾斜が緩和される。プリント配線板の作製において、寸法変化率のバラツキ、板厚のバラツキを低減させることができる。また、緯糸３０の浮沈の傾斜が緩やかになることで、加熱された場合に生じる歪みが小さくなり、緯糸３０とマトリックス樹脂の剥離を抑制することができる。
【００２９】
また、本実施形態のガラス繊維織布１０においては、経糸２０は、糸巾をｗ（μｍ）とし、密度をＣ（本／２５ｍｍ）とした場合に、０．９８≦（ｗ×Ｃ／１０００）／２５≦１．０１という条件を満たしている。ここで、糸巾ｗは、図５の右側のガラスフィラメント２２ｒの右端と、左側のガラスフィラメント２２ｌの左端との距離をいう。この式において、（ｗ×Ｃ／１０００）／２５＝１の場合に、隣り合う経糸２０の間に隙間が存在しない、すなわち、隣り合う経糸２０の端部がフィラメント径だけずれて位置することになる。そして、各経糸２０の間隔を上記式の範囲にすることで、ガラス繊維織布１０におけるガラス分布の均一化を図ることができる。この結果、プリント配線板６０における誘電率が均一化し、特性インピーダンスを狙い値に設定しやすくなる。
【００３０】
さらに、本実施形態のガラス繊維織布１０においては、経糸２０は、糸の扁平率である糸厚ｔ（μｍ）／糸巾ｗ（μｍ）が０．１２以下であるという条件を満たしている。つまり、経糸２０は高扁平にされている。ここで、糸厚ｔとは、図５の内側の最高位置のガラスフィラメント２２ａの上端と、外側の最低位置のガラスフィラメント２２ｂの下端との距離をいう。
【００３１】
経糸２０の扁平率を０．１２以下にすることで、下記(i)〜(v)の効果を得ることができる。(i)まず、高扁平にした経糸２０の外周は長くなり、表面積が広くなっている。これにより、プリント配線板６０においては、経糸２０の表面に染み込むマトリックス樹脂量が多くなって接着力が高まり、加熱された場合でも経糸２０とマトリックス樹脂が剥離しにくくなる。(ii)また、経糸２０を高扁平にすることで、経糸２０と緯糸３０の交差点における浮沈の傾斜が緩やかになる。このため、加熱された場合に生じる歪みが小さくなり、経糸２０とマトリックス樹脂の剥離を抑制することができる。(iii)また、経糸２０を高扁平にすることで、ガラス繊維織布１０中の各糸の隙間が小さくなり、マトリックス樹脂を含浸させた場合にプリプレグ５０中のガラスコンテントが高くなる。すなわち、マトリックス樹脂よりも熱膨張率の小さなガラスの量が多くなるため、プリント配線板６０を作製する際のプレス工程等で加熱されても、積層板の材料に起因する寸法変化が小さくなり、ひいては寸法変化率のバラツキ、板厚のバラツキが小さくなる。 (iv)また、経糸２０を高扁平にすることで、プリプレグ５０及びプリント配線板６０の膜厚を調節しやすくなる。これにより、特性インピーダンスを狙い値に設定しやすくなる。さらに、(v)経糸２０を高扁平にすることで、ガラス繊維織布１０中の糸同士の隙間が小さくなり、ガラス分布が均一になる。このため、プリント配線板６０における誘電率が均一になり、特性インピーダンスを狙い値に設定しやすくなる。
【００３２】
尚、本実施形態では、内側及び外側のフィラメント占有率が所定範囲にあること、両端に直列部が形成されていること、所定の扁平率になっていること等の各種条件を経糸２０が満たす場合について説明したが、このような条件を満たすのは、経糸２０でなくて緯糸３０であってもよいし、経糸２０及び緯糸３０の双方であってもよい。
【００３３】
以上が、本実施形態の構成及び効果である。次に、ガラス繊維織布１０の製造方法を説明する。まず、所定の織機を使用して、複数本の経糸２０と緯糸３０を平織りして織布を形成する。次いで、複数本のガラスフィラメントを集束させるための集束剤が経糸２０及び緯糸３０に残っている状態で、この織布に開繊装置によって開繊処理を施す。開繊処理は、特に限定するものではないが、高圧噴射水、高圧水流、超音波などの処理がある。
【００３４】
【実施例】
次に、実施例を参照して、本発明をより具体的に説明する。
【００３５】
（実施例１）
（１）ガラス繊維織布の作製
経糸・緯糸としてサイズ剤で被覆処理したＤ４５０  １／０  １．０Ｚを使用し、エアージェット織機（津田駒工業社製ＺＡ）にて、経糸５３本／２５ｍｍ、緯糸５３本／２５ｍｍの密度で製織し、水中で１５０Ｈｚの振動を有する振動子と高圧水流により開繊処理した。その後、４００℃４８時間加熱脱油し、Ｎ−β−（Ｎ−ビニルベンジルアミノエチル）−γ−（アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩（東レ・ダウコーニング・シリコーン製ＳＺ−６０３２）を０．５重量％含有するシランカップリング剤で表面処理し、実施例１のガラス繊維織布を得た。
【００３６】
表１に、ガラス繊維織布を構成するフィラメントの径、本数、糸の厚さ、糸の巾、内側フィラメント占有率、外側フィラメント占有率等を示す。表１に示すように、実施例１は、（１）糸厚さ／糸巾≦０．１２、（２）内側フィラメント占有率−外側フィラメント占有率≧１０％、（３）外側フィラメント占有率≦６０％という本発明の条件をすべて充足している。
【００３７】
（２）プリプレグの製造
ガラス繊維織布に以下に示す組成のエポキシ樹脂ワニスを含浸し、１３０℃、７分間加熱乾燥し、実施例１のプリプレグを得た。なお、このプリプレグの厚さは５０μｍであった。
【００３８】
油化シェルエポキシ社製エピコート１００１              ８０重量部
油化シェルエポキシ社製エピコート１５４                ２０重量部
ジシアンジアミド                                        ４重量部
ベンジルジメチルアミン                              ０．２重量部
ジメチルホルムアミド                                  ３０重量部
【００３９】
（３）銅張積層板、積層板の作製
上記（２）で得られたプリプレグを４枚重ね、その両外側に厚さ１８μの銅箔を重ね１８０℃、２時間プレスし、経糸方向、緯糸方向に穴間距離約１００ｍｍの基準穴をあけ、実施例１の銅張積層板を作製し、さらに両外側の銅箔をエッチングし、実施例１の積層板を得た。
【００４０】
（４）プリント配線板の作製
上記（２）で得られたプリプレグを用い、プリント配線板を作製した。図７に、このプリント配線板の分解斜視図を示す。作製手順は、以下の通りである。まず、プリプレグを硬化させたコア材９０の上面に、後述のＴ２、Ｔ３の位置にクリアランスがある厚さ３５μｍの銅箔の電源グランド層を設け、下面については、全面に貼られた銅箔をエッチング除去した。次いで、このコア材９０の両面に上記（２）で得られたプリプレグ７０，８０を各々重ね、その後、図７に示すＴ１，Ｔ２，Ｔ３の位置に直径０．９ｍｍのドリルで穴をあけ、厚さ１７μｍの銅めっきを施し、サブトラクティブ法によりプリント配線板を完成させた。このプリント配線板において、最上層と最下層には、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３の位置にランドがあり、各々スルーホールになっている。さらに、最上層にはＴ３からＴ２の間にライン長１２０ｍｍ、幅１００μｍのライン７５が形成されている。
【００４１】
（比較例１）
比較例１として、開繊処理をしないこと以外は実施例１と同様にし、ガラス繊維織布、プリプレグ、積層板、及びプリント配線板を作製した。表１から分かるように、比較例１では、外側フィラメント占有率−内側フィラメント占有率≧１０％という条件を満たしていない。
【００４２】
（実施例２）
経糸・緯糸としてサイズ剤で被覆処理したＤ４５０  １／０  １．０Ｚに替えて、サイズ#剤で被覆処理したＤＥ３００  １／０  １．０Ｚを使用し、打ち込み本数；経糸６０本／２５ｍｍ、緯糸６２／２５ｍｍの密度で製織した以外は実施例１と同様の方法で実施例２のガラス繊維織布、プリプレグ（厚さ８０μｍ）、積層板、プリント配線板を得た。
【００４３】
（比較例２）
比較例２として、開繊処理をしないこと以外は実施例２と同様にし、ガラス繊維織布、プリプレグ、積層板、及びプリント配線板を作製した。表１から分かるように、比較例２では、糸厚さ／糸巾≦０．１２という条件、および、外側フィラメント占有率−内側フィラメント占有率≧１０％という条件を満たしていない。
【００４４】
【表１】
0003879512.tif 000002
【００４５】
［評価方法］
（寸法変化のバラツキ）
上記（３）の各実施例および比較例の銅張積層板において、経糸方向、緯糸方向の各基準穴間距離Ａを測定した。その後、銅箔をエッチングした後の積層板におけるエッチング後の基準穴間距離Ｂを測定した。さらに、前記積層板を１７０℃、３０分間キュアした後の加熱処理後の基準穴間距離Ｃを測定した。各実施例および比較例の銅張積層板、積層板の寸法測定は、それぞれ９枚ずつ行った。
【００４６】
そして、エッチング後の銅張積層板の寸法変化率を、（Ｂ−Ａ）／Ａ×１００（％）とし、積層板の加熱処理後の寸法変化率を、（Ｃ−Ａ）／Ａ×１００（％）として、各実施例、比較例について寸法変化のバラツキを算出した。表２に、この結果を示す。
【００４７】
表２には、銅張積層板のエッチング後の寸法変化率および積層板の加熱処理後の寸法変化率の他、寸法変化率のバラツキ（最大値と最小値の差）および標準偏差を示した。
【００４８】
【表２】
0003879512.tif 000003
0003879512.tif 000004
表２から分かるように、実施例１の寸法変化のバラツキの標準偏差は、比較例１のそれの約１／３程度まで小さく抑えられており、寸法安定性が確実に向上している。また、実施例２についても、比較例２と対比すると寸法安定性が向上していることが判る。
【００４９】
（半田耐熱性）
４０ｍｍ角の上記（３）の積層板の試験片を５枚作製し、ＰＣＴにて１３３℃３６０分間晒した後、２６０℃の半田浴に２０秒間沈め、試験片のフクレの状態を目視で観察し、４段階にランク付けした。その結果を、表３に示す。
【００５０】
0003879512.tif 000005
【００５１】
【表３】
0003879512.tif 000006
表３から判るように、実施例１，２ではフクレが殆ど発生せず、耐熱性が高くなっていることが示された。
【００５２】
（板厚のバラツキ）
実施例１と比較例１の上記（３）の積層板９枚について、金属顕微鏡で観察し、Ｔ２−Ｔ３間の断面における最上層と第２層の絶縁層の厚みの最大値と最小値の差を１枚当たりの板厚のバラツキとし、９枚の板厚のバラツキの平均を求めた。
【００５３】
（特性インピーダンスのバラツキ）
（４）で得られたプリント配線板９枚について、ヒューレード・パッカード社製デジタイジングオシロスコープを用いて、図７に示すＴ１とＴ２のスルホール部分に測定用コネクターを挿入し、特性インピーダンスを測定し、図７のＺ部分（電源グランド層の長手方向の両端からそれぞれ１０ｍｍ内側に入った部分の間）のライン回路における特性インピーダンスの最大値と最小値の差の平均を特性インピーダンスのバラツキとした。その結果を、上記表３に併せて示してある。表３より、実施例１，２では、特性インピーダンスのバラツキが小さいことが判る。
【００５４】
以上、本発明者らによってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るガラス繊維織布、プリプレグ、及びプリント配線板によれば、耐熱性が高く、且つ、寸法変化のバラツキを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガラス繊維織布の断面図（図２のI-I断面図）である。
【図２】本発明のガラス繊維織布の平面図である。
【図３】本発明のガラス繊維織布を用いて作製したプリプレグを示す斜視図である。
【図４】図４のプリプレグを基材として使用したプリント配線板を示す斜視図である。
【図５】内側フィラメント占有率Ａの求め方を説明するために用いた図であり、図１の経糸２０の断面の模式図である。
【図６】内側のフィラメントと外側のフィラメントの関係を説明するために用いた図であり、図２のVI-VI方向の断面図である。
【図７】特性インピーダンス測定用のプリント配線板を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１０…ガラス繊維織布、２０…経糸、３０…緯糸、２２ａ…経糸２０の内側の最高位置のガラスフィラメント、２２ｂ…経糸２０の外側の最低位置のガラスフィラメント、２２ｒ…経糸２０の右端のガラスフィラメント、２２ｌ…経糸２０の左端のガラスフィラメント、２４ｒ，２４ｌ…直列部、５０…プリプレグ、５２…スルーホール、６０…プリント配線板、９０…コア材、Ｘ，Ｙ…弓状領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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