(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
（ａ）磁性材料で補助磁極層を形成する工程、
（ｂ）記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、
（ｃ）前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、
（ｄ）前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、
（ｅ）前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、前記レジスト層に、前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝をパターン形成した後、前記レジスト層を熱処理することにより、前記溝のトラック幅方向の内幅寸法を補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がる形状にする工程、
（ｆ）前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、
（ｇ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、
（ｈ）前記レジスト層を除去する工程、
（ｉ）前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
【請求項２】
以下の工程を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
（ａ）磁性材料で補助磁極層を形成する工程、
（ｂ）記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、
（ｃ）前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、
（ｄ）前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、
（ｅ）前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、このレジスト層のパターニング精度を調節することにより、前記レジスト層に、トラック幅方向の内幅寸法が、補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がり、且つ前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝を形成する工程、
（ｆ）前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、
（ｇ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、
（ｈ）前記レジスト層を除去する工程、
（ｉ）前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
【請求項３】
前記（ｇ）の工程において、前記所定の角度を４５°以上８０°以下とする請求項１または２記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記（ｇ）の工程において、前記所定の角度を６０°以上７０°以下とする請求項１または２記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記（ｈ）の工程の後に、
（ｊ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層以外の領域で前記メッキ下地層を除去する工程を有する請求項１ないし４のいずれかに記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記（ｄ）の工程において、前記メッキ下地層を磁性材料を用いて形成する請求項１ないし５のいずれかに記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記（ｄ）の工程において、前記メッキ下地層を非磁性材料を用いて形成する請求項１ないし５のいずれかに記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記（ｊ）の工程において、前記主磁極層以外の領域で前記メッキ下地層を除去するときに、前記メッキ下地層のトラック幅方向の幅寸法を、前記主磁極層の底面のトラック幅方向の幅寸法よりも大きくする請求項７に記載の垂直磁気記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばハード膜を有するディスクなどの記録媒体に対して垂直磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッドの製造方法に係り、特に記録パターンにフリンジングが発生するのを抑制し、高記録密度化に対応可能な垂直磁気記録ヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【０００２】
【従来の技術】
ディスクなどの記録媒体に磁気データを高密度で記録する装置として垂直磁気記録方式がある。図３２は前記垂直磁気記録方式の装置に使用される垂直磁気記録ヘッドの一般的な構造を示す断面図である。
【０００３】
図３２に示すように、垂直磁気記録方式の垂直磁気記録ヘッドＨは、記録媒体上を浮上して移動しまたは摺動するスライダ１のトレーリング側端面１ａに設けられるものであり、例えばスライダ１のトレーリング側端面１ａにおいて、前記垂直磁気記録ヘッドＨは、非磁性膜２と、非磁性の被覆膜３との間に配置される。
【０００４】
前記垂直磁気記録ヘッドＨは、強磁性材料で形成された補助磁極層４と、前記補助磁極層４の上に間隔を開けて形成された同じく強磁性材料で形成された主磁極層５とを有しており、前記補助磁極層４の端面４ａと前記主磁極層５の端面５ａとが、記録媒体Ｍｄとの対向面Ｈａに現れている。前記対向面Ｈａよりも奥側において、前記補助磁極層４と前記主磁極層５は、磁気接続部６において磁気的に接続されている。
【０００５】
前記補助磁極層４と前記主磁極層５との間にはＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2などの無機材料による非磁性絶縁層７が位置しており、前記対向面Ｈａでは、この非磁性絶縁層７の端面７ａが、前記補助磁極層４の端面４ａと前記主磁極層５の端面５ａとの間に現れている。
【０００６】
そして、前記非磁性絶縁層７内には、Ｃｕなどの導電性材料で形成されたコイル層８が埋設されている。
【０００７】
図３２に示すように、主磁極層５の端面５ａの厚みｈｗは、補助磁極層４の端面４ａの厚みｈｒよりも小さくなっている。また前記主磁極層５のトラック幅方向（図示Ｘ方向）の端面５ａの幅寸法はトラック幅であり、この幅寸法は、前記補助磁極層４のトラック幅方向の端面４ａの幅寸法よりも十分に小さくなっている。
【０００８】
前記垂直磁気記録ヘッドＨにより磁気記録が行われる記録媒体Ｍｄは、垂直磁気記録ヘッドＨに対してＺ方向へ移動するものであり、その表面にハード膜Ｍａが内方にソフト膜Ｍｂが設けられている。
【０００９】
前記コイル層８に通電されることにより補助磁極層４と主磁極層５とに記録磁界が誘導されると、補助磁極層４の端面４ａと、主磁極層５の端面５ａとの間での漏れ記録磁界が、記録媒体Ｍｄのハード膜Ｍａを垂直に通過し、ソフト膜Ｍｂを通る。ここで、前記のように主磁極層５の端面５ａの面積が、補助磁極層４の端面４ａでの面積よりも十分に小さくなっているため、主磁極層５の端面５ａの対向部分で磁束φが集中し、端面５ａが対向する部分での前記ハード膜Ｍａに対し、前記磁束φにより磁気データが記録される。
【００１０】
【課題を解決しようとする課題】
図３３は図３２の垂直磁気記録ヘッドを記録媒体との対向面側から見た部分正面図である。図３２及び図３３の垂直磁気記録ヘッドの主磁極層５は、磁性材料からなるメッキ下地層５ｂ上に、磁性材料を用いてメッキ形成されている。メッキ形成された主磁極層５は上面５ｃが凸状に湾曲した曲面になる。また、従来の垂直磁気記録ヘッドでは主磁極層５の側辺５ｄ，５ｄがトラック幅方向（図示Ｙ方向）に対する垂直面となっている。
【００１１】
図３４は、図３２及び図３３に示された垂直磁気記録ヘッドによって信号が記録された記録媒体上の記録トラックの平面図である。
【００１２】
スライダ１がディスク状の記録媒体Ｍｄの外周と内周との間を移動する際に、記録媒体Ｍｄの回転接線方向（図示Ｚ方向）に対して前記主磁極層５の側辺５ｄ，５ｄが傾くスキュー角が発生することがある。ここで図３３に示すように主磁極層５の側辺５ｄ，５ｄがトラック幅方向に対する垂直面であると、主磁極層５の側辺５ｄ，５ｄが記録媒体の回転接線方向（図示Ｚ方向）に対してスキュー角を有するときに、破線で示すように主磁極層５の側辺５ｄ，５ｄがトラック幅Ｔｗ寸法の外側に斜めの漏れ磁界を与えてフリンジングＦが発生し、オフトラック性能の低下を招く。
【００１３】
また、主磁極層５の上面５ｃが凸状に湾曲した曲面であると、記録トラック上の磁区境界Ｂが湾曲し、再生波形のパルス幅が広くなり高記録密度化を進めると鮮明な記録磁化分布が得られなくなる。従って、記録トラックの長さ方向（図示Ａ方向）の記録密度を上げることが難しくなる。
【００１４】
本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、記録パターンにフリンジングが発生するのを抑制できオフトラック性能の向上を図ることが可能であり、また、記録トラックの長さ方向の記録密度を向上させることのできる垂直磁気記録ヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の垂直磁気記録ヘッドの製造方法は、以下の工程を有することを特徴とするものである。
（ａ）磁性材料で補助磁極層を形成する工程、
（ｂ）記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、
（ｃ）前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、
（ｄ）前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、
（ｅ）前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、前記レジスト層に、前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝をパターン形成した後、前記レジスト層を熱処理することにより、前記溝のトラック幅方向の内幅寸法を補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がる形状にする工程、
（ｆ）前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、
（ｇ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、
（ｈ）前記レジスト層を除去する工程、
（ｉ）前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
本発明の垂直磁気記録ヘッドの製造方法によって、記録媒体との対向面に、補助磁極層と主磁極層とが間隔を開けて位置し、前記対向面よりも奥側に前記補助磁極層と前記主磁極層とに記録磁界を与えるコイル層が設けられ、前記主磁極層に集中する前記記録媒体平面に対する垂直方向磁界によって、前記記録媒体に磁気データを記録する垂直磁気記録ヘッドを得ることができる。
【００１６】
本発明の垂直磁気記録ヘッドの製造方法では、前記（ｅ）の工程において、前記レジスト層に、前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝をパターン形成した後、前記レジスト層を熱処理することにより、前記溝のトラック幅方向の内幅寸法を補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がる形状にし、前記（ｆ）の工程において、前記溝内で主磁極層を形成する。
【００１７】
すなわち、得られた垂直磁気記録ヘッドの主磁極層は、前記対向面でトラック幅方向の内幅寸法が、前記補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広くなるように、前記主磁極層の前記補助磁極層側の端辺よりも上辺（トレーリング側の端辺）が幅広とされている。すなわち前記対向面において前記主磁極層の正面形状が略逆台形になっている。
【００１８】
前記対向面において前記主磁極層の正面形状が略逆台形になっていると、記録媒体に記録を行うとき、前記主磁極層の側辺が記録媒体の移動接線方向に対してスキュー角を生じても、前記側辺が記録トラックの外にはみ出すことを防ぐことができ、フリンジングを防止できるようになり、オフトラック性能の向上を図ることができる。
【００２０】
または、本発明の垂直磁気記録ヘッドの製造方法は、以下の工程を有することを特徴とするものである。
（ａ）磁性材料で補助磁極層を形成する工程、
（ｂ）記録媒体との対向面となる面よりも奥側で、前記補助磁極層の上に磁性材料で接続層を形成する工程、
（ｃ）前記記録媒体との対向面となる面よりも奥側の領域にコイル層を形成する工程、
（ｄ）前記補助磁極層上に絶縁層を積層し、この絶縁層上にメッキ下地層を成膜する工程、
（ｅ）前記メッキ下地層の上にレジスト層を形成して、このレジスト層のパターニング精度を調節することにより、前記レジスト層に、トラック幅方向の内幅寸法が、補助磁極層から離れるにしたがって徐々に広がり、且つ前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有する溝を形成する工程、
（ｆ）前記溝内で、主磁極層をメッキで形成する工程、
（ｇ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層の上面を平坦化させる工程、
（ｈ）前記レジスト層を除去する工程、
（ｉ）前記主磁極層と前記接続層を、直接又は前記主磁極層の上と前記接続層の上にヨーク層を形成して、磁気的に接続する工程、
【００２１】
なお、本発明では、前記（ｇ）の工程の間において、前記主磁極層の上面を平坦化させることにより、前記対向面において前記主磁極層の前記上辺を直線形状にすることができる。
【００２２】
前記記録媒体は、垂直磁気記録ヘッドの前記補助磁極層側からヨーク層側に向かう方向に走行する。従って、前記記録媒体上の記録トラックの磁区境界の形状は、前記主磁極層の上辺の形状によって決まる。
【００２３】
前記主磁極層の前記上辺が直線状にされていると前記記録トラックの磁区境界も直線形状となり、記録トラックの長さ方向の記録密度を上げても鮮明な記録磁化分布を得ることができ、良好な記録再生特性を得ることができる。
【００２４】
また本発明では、前記主磁極層の両側に前記レジスト層が位置している状態で、前記主磁極層をイオンミリングにかける。すなわち、前記（ｇ）の工程のイオンミリングによって削られるのは前記主磁極層の上面のみである。
【００２５】
前記主磁極層は略逆台形に形成されているので、高さ方向に削れると前記上面の内幅方向の寸法も小さくなる。すなわち、前記主磁極層の上面を研削することによって、垂直磁気記録ヘッドのトラック幅寸法をより小さくすることができる。
【００２６】
前記主磁極層の両側の前記レジスト層を除去した状態で、前記主磁極層をイオンミリングにかけると、前記主磁極層の前記ーク層側の端面と同時に前記主磁極層の側面も削れてしまうために、前記主磁極層の前記上面の内幅寸法を所定の値に正確に加工することが困難になる。
【００２７】
一方、本発明では、イオンミリングによって前記主磁極層の前記上面のみが研削され、前記主磁極層の側面は研削されないので、前記主磁極層は高さ方向にのみ削れていく。従って、前記（ｇ）の工程のイオンミリングによる前記主磁極層の加工精度を向上させることが容易になり、垂直磁気記録ヘッドのトラック幅寸法をより正確に規定することができる。
【００２８】
前記（ｉ）の工程において、前記所定の角度を４５°以上８０°以下とすることが好ましく、より好ましくは、前記所定の角度を６０°以上７０°以下とすることである。
【００２９】
なお、本発明では、前記（ｈ）の工程の後に、
（ｊ）前記主磁極層の中心線に対して所定の角度だけ傾いた方向からミリング粒子を入射させるミリングで、前記主磁極層以外の領域で前記メッキ下地層を除去し、さらに前記主磁極層の側面に付着した前記下地膜の材料を前記ミリングで除去する工程を有してもよい。
【００３０】
なお、前記（ｄ）の工程において、前記メッキ下地層を磁性材料を用いて形成してもよいし、前記メッキ下地層を非磁性材料を用いて形成してもよい。
【００３１】
前記メッキ下地層を非磁性材料を用いて形成した場合には、前記（ｊ）の工程において、前記主磁極層の形成後余分な前記メッキ下地層を除去した後、前記主磁極層に重なる領域以外の領域に前記メッキ下地層が残っても、あるいは前記主磁極層の側面に前記下地膜の材料が付着しても、垂直磁気記録ヘッドの記録特性に大きな影響を及ぼさないようにできる。
【００３２】
従って、前記（ｊ）の工程において、前記主磁極層以外の領域で前記メッキ下地層を除去するときに、前記メッキ下地層のトラック幅方向の幅寸法を、前記主主磁極層の底面のトラック幅方向の幅寸法よりも大きくしてもよい。
【００３３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１実施形態の垂直磁気記録ヘッドの構造を示す縦断面図である。図２は垂直磁気記録ヘッドを記録媒体との対向面から見た部分正面図である。
【００３４】
図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨｖは記録媒体Ｍｄに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍｄのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させるものである。
【００３５】
記録媒体Ｍｄはディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａが、内方に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。
【００３６】
垂直磁気記録ヘッドＨｖのスライダ１１はＡｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されており、スライダ１１の対向面１１ａが記録媒体Ｍｄに対向し、記録媒体Ｍｄが回転すると、表面の空気流によりスライダ１１が記録媒体Ｍｄの表面から浮上し、またはスライダ１１が記録媒体Ｍｄに摺動する。垂直磁気記録ヘッドはスライダ１１のトレーリング側端面１１ｂ側に設けられている。図１においてスライダ１１に対する記録媒体Ｍｄの移動方向は図示Ｚ方向である。
【００３７】
スライダ１１のトレーリング側端面１１ｂには、Ａｌ2Ｏ3またはＳｉＯ2などの無機材料による非磁性絶縁層５４が形成されて、この非磁性絶縁層５４の上に読取り部ＨRが形成されている。
【００３８】
読み取り部ＨRは、下から下部シールド層５２、ギャップ層５５、磁気抵抗効果素子５３、および上部シールド層５１から成る。磁気抵抗効果素子５３は、異方性磁気抵抗効果（ＡＭＲ）素子、巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子、トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子などである。  上部シールド層５１の上には、Ａｌ2Ｏ3またはＳｉＯ2などの無機材料による非磁性絶縁層１２が形成されて、非磁性絶縁層１２の上に本発明の記録用の垂直磁気記録ヘッドＨｖが設けられている。そして垂直磁気記録ヘッドＨｖは無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層１３により被覆されている。そして垂直磁気記録ヘッドＨｖの記録媒体との対向面Ｈ１ａは、スライダ１１の対向面１１ａとほぼ同一面である。
【００３９】
垂直磁気記録ヘッドＨｖでは、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）などの強磁性材料がメッキされて補助磁極層２１が形成されている。補助磁極層２１はいわゆるリターンパス層である。非磁性絶縁層１２は、補助磁極層２１の下（補助磁極層２１と上部シールド５１との間）および補助磁極層２１の周囲に形成されている。そして図１に示すように、補助磁極層２１の表面（上面）２１ａと非磁性絶縁層１２の表面１２ａとは同一の平面上に位置している。
【００４０】
図１に示すように、対向面Ｈ１ａよりも奥側（ハイト方向、図示Ｘ方向）では、補助磁極層２１の表面２１ａ上にＮｉ−Ｆｅなどの接続層２５が形成されている。
【００４１】
接続層２５の周囲において、補助磁極層２１の表面２１ａおよび非磁性絶縁層１２の表面１２ａ上に、Ａｌ2Ｏ3などの非磁性絶縁層２６が形成されて、この非磁性絶縁層２６の上にＣｕなどの導電性材料によりコイル層２７が形成されている。このコイル層２７はフレームメッキ法などで形成されたものであり、接続層２５の周囲に所定の巻き数となるように螺旋状にパターン形成されている。コイル層２７の巻き中心側の接続端２７ａ上には同じくＣｕなどの導電性材料で形成された底上げ層３１が形成されている。
【００４２】
コイル層２７および底上げ層３１は、レジスト材料などの有機材料の絶縁層３２で被覆されており、さらに絶縁層３３で覆われている。
【００４３】
絶縁層３３は無機絶縁材料で形成されることが好ましく、無機絶縁材料としては、ＡｌＯ、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ＴｉＯ、ＡｌＮ、ＡｌＳｉＮ、ＴｉＮ、ＳｉＮ、Ｓｉ3Ｎ4、ＮｉＯ、ＷＯ、ＷＯ3、ＢＮ、ＣｒＮ、ＳｉＯＮのうち少なくとも１種以上を選択できる。
【００４４】
そして接続層２５の表面２５ａ、底上げ層３１の表面３１ａ、および絶縁層３３の表面３３ａは、同一面となるように加工されている。このような平坦化加工は後述の製造方法で説明するように、ＣＭＰ技術などを用いて行なわれる。
【００４５】
この第１実施形態では、絶縁層３３の上に、ＮｉＦｅからなる主磁極層２４が形成されており、主磁極層２４の前端面２４ａは、対向面Ｈ１ａと同一面とされている。主磁極層２４は非磁性材料からなるメッキ下地層２４ｂ上にメッキ形成されている。
【００４６】
絶縁層３３の上には、ＮｉＦｅ合金などからなるヨーク層３５が形成されている。ヨーク層３５はメッキ下地層２４ｂ上にメッキ形成されている。図１では、主磁極層２４の後方部２４ｃとヨーク層３５の先部領域３５ｂが磁気的に接続され、またヨーク層３５の後方領域３５ｃは接続層２５の表面２５ａに磁気的に接続された状態になっている。
【００４７】
また、主磁極層２４がハイト方向奥側に延され、主磁極層２４の基端部が接続層２５の表面２５ａに磁気的に接続され、主磁極層２４の上層にヨーク層３５が形成されてもよい。
【００４８】
またヨーク層３５の前端面３５ａは、対向面Ｈ１ａよりもハイト方向奥側に位置して保護層１３内に埋没しており、対向面Ｈ１ａには現れていない。
【００４９】
なお本実施の形態ではヨーク層３５の厚みＨ２は、主磁極層２４の厚みＨ１よりも厚く形成される。
【００５０】
またヨーク層３５の前端面３５ａは、ハイト方向（図示Ｘ方向）に対する垂直面となっている。ただし、ヨーク層３５の前端面３５ａが下面から上面に向けてハイト方向に傾く傾斜面あるいは湾曲面で形成されてもよい。ヨーク層３５の下に形成される主磁極層２４の上面とヨーク層３５の前端面３５ａ間の外角θ１は９０°以上であることが好ましい。これによって主磁極層２４からヨーク層３５に向けて漏れる磁界を少なくでき主磁極層２４により磁界を集中させることができるからである。
【００５１】
また図１に示すように、底上げ層３１の表面３１ａにはリード層３６が形成され、リード層３６から底上げ層３１およびコイル層２７に記録電流の供給が可能となっている。なお、リード層３６はヨーク層３５と同じ材料で形成でき、ヨーク層３５とリード層３６を同時にメッキで形成することが可能である。そして、ヨーク層３５およびリード層３６がＡｌ2Ｏ3からなる保護層１３に覆われている。
【００５２】
図２に示すように、対向面Ｈ１ａに現れている主磁極層２４は、トラック幅方向(図示Ｙ方向）の内幅寸法が、補助磁極層２１から離れるにしたがって徐々に広くなるように、主磁極層２４の補助磁極層２１側の端辺２４ｄよりもヨーク層３５側の端辺２４ｅが幅広とされている。すなわち対向面Ｈ１ａにおいて主磁極層２４の正面形状が略逆台形になっている。なお、図２では主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１が直線形状になっているが、側辺２４ｆ１，２４ｆ１が湾曲していてもよい。
【００５３】
主磁極層２４の周囲は、保護層１３に覆われている。
図１及び図２に示された垂直磁気記録ヘッドのトラック幅Ｔｗ寸法はヨーク層３５側の端辺２４ｅの内幅寸法によって規制される。本発明では、トラック幅Ｔｗ寸法を０．５μｍ以下、さらには０．３μｍ以下にできる。また、メッキ下地層２４ｂの高さ寸法と主磁極層２４の高さ寸法を合わせたポール長Ｐは約０．３μｍである。メッキ下地層２４ｂの厚さは１５〜５０ｎｍである。
【００５４】
メッキ下地層２４ｂは、Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｐｔ，ＮｉＬｕ，ＮｉＰ，ＮｉＰｄ，ＮｉＷ,ＮｉＢ，ＮｉＭｏ，Ｉｒ，ＮｉＣｕ，ＮｉＣｒ，Ｃｒ，Ｔｉなどの非磁性材料を用いて形成されている。メッキ下地層２４ｂが非磁性材料を用いて形成されていると、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１が連続した直線形状または曲線形状を構成していなくとも、例えば、図２に示されるように、主磁極層２４の底面の内幅寸法よりもメッキ下地層２４ｂの内幅寸法の方が大きくなっても記録媒体上の記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができる。
【００５５】
または、メッキ下地層２４ｂはＮｉＦｅ，Ｎｉなどの磁性材料を用いて形成されてもよい。メッキ下地層２４ｂが磁性材料を用いて形成されるときには、後述するように、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１が連続した直線形状または曲線形状を構成して、メッキ下地層２４ｂと主磁極層２４とが一つの略逆台形を構成していることが好ましい。
【００５６】
メッキ下地層２４ｂと主磁極層２４とが一つの略逆台形を構成していると、メッキ下地層２４ｂが磁性材料を用いて形成された場合でもメッキ下地層２４ｂから発生する漏れ磁界によって、記録媒体上の記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、対向面Ｈ１ａにおいて、主磁極層２４のヨーク層３５側の端辺２４ｅが直線形状にされている。
【００５８】
なお、主磁極層２４のヨーク層３５側の端辺２４ｅと側辺２４ｆ１がなす角θ２は、６０°以上で９０°未満であることが好ましく、より好ましくは、６０°以上８０°以下である。
【００５９】
図３に示すように、ヨーク層３５は奥側に至るにしたがって幅寸法Ｗｙが徐々に広がる形状であり、この幅寸法Ｗｙが徐々に広がる部分のヨーク層３５が主磁極層２４の上に重ねられている。
【００６０】
または、図４に示すように、ヨーク層３５は、対向面Ｈ１ａ側である先部領域３５ｂでトラック幅方向の幅寸法Ｗｙが細くなり、後方領域３５ｃでトラック幅方向の幅寸法が徐々に大きくなる平面形状であって、前方領域３５ｂが主磁極層２４の上に重ねられていてもよい。
【００６１】
または図５に示すように、主磁極層２４の後方部２４ｃが幅寸法が徐々に広がる形状であり、この後方部２４ｃにヨーク層３５が重ねられていてもよい。
【００６２】
図５のように、主磁極層２４の後方部２４ｃが徐々に幅広になる形状であると、ヨーク層３５から主磁極層２４への磁束の通過効率が良くなって、オーバーライト特性を向上できる。なお、図５のように、主磁極層２４の幅広の後方部２４ｃがヨーク層３５内に完全に入り込んだ平面形状であると、後方部２４ｃが、ヨーク層３５から前方にはみ出ているものよりも、ヨーク層３５から主磁極層２４への磁束の通過効率がよくなる。
【００６３】
図３、図４、図５のいずれの構造においても、対向面Ｈ１ａに現れている補助磁極層２１の前端面２１ｂのトラック幅方向の幅寸法Ｗｒよりも、対向面Ｈ１ａに現れている主磁極層２４の前端面２４ａのトラック幅Ｔｗ寸法が十分に小さくなっている。また図１に示すように、補助磁極層２１の厚みＨ３よりも主磁極層２４の厚みＨ１が小さくなっている。よって、対向面Ｈ１ａに現れている主磁極層２４の前端面２４ａの面積は、補助磁極層２１の前端面２１ｂの面積よりも十分に小さくなっている。また、主磁極層２４の厚みＨ１は、ヨーク層３５の厚みＨ２よりも小さい。
【００６４】
そして、対向面Ｈ１ａと平行な面で切断したときの断面で見たときに、主磁極層２４の断面積は、ヨーク層３５の後方領域部分の断面積よりも小さくなっている。
【００６５】
そして好ましくは、主磁極層２４はヨーク層３５よりも飽和磁束密度Ｂｓが高い磁性材料で形成されている。
【００６６】
この垂直磁気記録ヘッドＨｖでは、リード層３６を介してコイル層２７に記録電流が与えられると、コイル層２７を流れる電流の電流磁界によって補助磁極層２１とヨーク層３５に記録磁界が誘導される。図１に示すように、対向面Ｈ１ａでは、主磁極層２４の前端面２４ａと補助磁極層２１の前端面２１ｂからの漏れ記録磁界が、記録媒体Ｍｄのハード膜Ｍａを貫通しソフト膜Ｍｂを通過する。主磁極層２４の前端面２４ａの面積が補助磁極層２１の前端面２１ｂの面積よりも十分に小さいために、主磁極層２４の前端面２４ａに漏れ記録磁界の磁束φが集中し、この集中している磁束φによりハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。主磁極層２４の前端面２４ａから発生する又は吸収される漏れ記録磁界によってハード膜Ｍａの磁束密度は飽和し、補助磁極層２１の前端面２１ｂに吸収される又は発生する漏れ記録磁界によってはハード膜Ｍａはほとんど磁化されない。
【００６７】
また、この垂直磁気記録ヘッドＨｖでは、主磁極層２４とヨーク層３５とが別の層として形成されているため、主磁極層２４のトラック幅Ｔｗ寸法および厚みＨ１を、ヨーク層３５の幅寸法Ｗｙおよび厚みＨ２と別のものとして設定することができる。したがって、主磁極層２４のトラック幅Ｔｗ寸法を小さくして、狭トラックによる記録を可能にできる。しかもヨーク層３５を十分に大きな断面積となるように形成できるため、コイル層２７で誘導された記録磁界の多くの磁束をヨーク層３５から主磁極層２４へ導くことができる。
【００６８】
そして、主磁極層２４をヨーク層３５よりも飽和磁束密度Ｂｓの高い磁性材料で形成しておくと、トラック幅Ｔｗ寸法と厚みＨ１の小さい主磁極層２４からハード膜Ｍａに対して密度の高い磁束φを垂直方向へ与えることが可能となり、オーバーライト特性が向上するようになる。
【００６９】
図６は、図１及び図２に示された垂直磁気記録ヘッドによって信号が記録された記録媒体上の記録トラックの平面図である。
【００７０】
スライダ１１がディスク状の記録媒体Ｍｄの外周と内周との間を移動する際に、記録媒体Ｍｄの回転接線方向（図示Ｚ方向）に対して主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆが傾くスキュー角が発生することがある。図２に示すように、対向面Ｈ１ａに現れている主磁極層２４は、トラック幅方向(図示Ｙ方向）の内幅寸法が、補助磁極層２１から離れるにしたがって徐々に広くなるように、主磁極層２４の補助磁極層２１側の端辺２４ｄよりもヨーク層３５側の端辺２４ｅが幅広とされ、対向面Ｈ１ａにおいて主磁極層２４の正面形状が略逆台形になっている。
【００７１】
従って、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１が記録媒体の回転接線方向（図示Ｚ方向）に対してスキュー角を有するときに、破線で示すように側辺２４ｆ１が記録トラック幅Ｔｗ寸法から側方へ斜めに大きくはみ出すことがない。よって側辺２４ｆ１によるフリンジングを防止できるようになり、オフトラック性能の向上を図ることができる。
【００７２】
また、主磁極層２４の上辺（トレーリング側の端辺）２４ｅが直線形状であるので、記録トラック上の磁区境界Ｂ１またはＢ２も直線形状となり、再生波形のパルス幅が狭くなり高記録密度化を進めたときでも鮮明な記録磁化分布が得られる。従って、記録トラックの長さ方向（図示Ｚ方向）の記録密度を上げることが容易になる。
【００７３】
図１ないし図３に示された垂直磁気記録ヘッドの製造方法について以下に説明する。図７から図１０に示す一工程図は垂直磁気記録ヘッドの縦断面図を示している。
【００７４】
図７に示す工程では、非磁性絶縁層１２上に磁性材料製の補助磁極層２１を形成した後、補助磁極層２１のハイト方向後方も非磁性絶縁層１２で埋め、さらに補助磁極層２１および非磁性絶縁層１２の上面をＣＭＰ技術などを用いて平坦化加工する。
【００７５】
次に、図８に示すように、補助磁極層２１のハイト方向後方に、磁性材料製の接続層２５をメッキ形成する。なお、接続層２５の形成は、後述するコイル層２７の形成後に行ってもよい。
【００７６】
次に、図９に示すように、補助磁極層２１の表面２１ａから接続層２５の上面にかけて無機絶縁材料をスパッタして非磁性絶縁層２６を形成する。さらに、非磁性絶縁層２６の上にフレームメッキ法を用いて、Ｃｕなどの導電性材料により、コイル層２７を形成し、底上げ層３１を同じくメッキにより形成する。このときコイル層２７は、接続層２５の高さよりも十分に低い位置に形成する。そしてコイル層２７と底上げ層３１を有機材料の絶縁層３２で覆い、さらに、無機絶縁材料をスパッタして、全ての層を覆う絶縁層３３を形成する。
【００７７】
次に、図９の状態に成膜された各層に対して、図示上方からＣＭＰ技術などを用いて研磨加工を行なう。この研磨加工は、絶縁層３３、接続層２５および底上げ層３１の全てを横断する水平面（Ｌ−Ｌ面）の位置まで行なう。
【００７８】
研磨加工の結果、図１０に示すように、接続層２５の表面２５ａ、絶縁層３３の表面３３ａおよび底上げ層３１の表面３１ａが全て同一面となるように加工される。
【００７９】
次に図１ないし図３に示す垂直磁気記録ヘッドの主磁極層２４の製造方法について説明する。図１１及び図１２は製造方法を工程別に示したものであるが、各図において（Ｂ）は製造過程にある垂直磁気記録ヘッドの主磁極層２４の形成部分周辺を上方向から見た部分平面図、（Ａ）は（Ｂ）のＡ−Ａ矢視方向から見た部分断面図である。
【００８０】
図１１に示す工程では、まず絶縁層３３の表面３３ａ、接続層２５の表面２５ａ、および底上げ層３１の表面３１ａの全体にメッキ下地層２４ｂを成膜し、メッキ下地層２４ｂの上一面にレジスト層４０を形成し、露光現像により、記録媒体との対向面となる部分に、前記対向面から奥側へ所定の奥行きを有し主磁極層２４の抜きパターンとなる溝４０ａを形成する。溝４０ａは、図示左側に向かうに従って内幅方向（図示Ｙ方向）の寸法が大きくなるメッキ溜め溝４０ａ２と内幅方向の寸法が一定である磁極形成溝４０ａ１からなる。なお、レジスト層４０の外側のメッキ下地層２４ｂが露出している部分は、後のメッキ形成の工程においてダミーメッキを形成するためのダミー形成部４１である。
【００８１】
メッキ下地層２４ｂはｔ１＝１５〜５０ｎｍの厚さで形成した。メッキ下地層２４ｂはＣｕ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｐｔ，ＮｉＬｕ，ＮｉＰ，ＮｉＰｄ，ＮｉＷ,ＮｉＢ，ＮｉＭｏ，Ｉｒ，ＮｉＣｕ，ＮｉＣｒ，Ｃｒ，Ｔｉなどの非磁性材料を用いて形成する。または、メッキ下地層２４ｂをＮｉＦｅ，Ｎｉ等の磁性材料を用いて形成してもよい。
【００８２】
レジスト層４０の形成及び露光現像は以下の条件で行った。
レジスト厚（ｔ２）：０．５〜２．０μｍ
露光には、ｉ線、好ましくはＫｒＦ、ＥＢを用いて行い、微細な解像度を得た。
【００８３】
なお、溝４０ａのトラック幅方向の幅寸法Ｗ１は０．１５〜０．４μｍとした。
【００８４】
溝４０ａの形成後、レジスト層４０を熱処理して、溝４０ａの側面４０ｂ，４０ｂを傾斜面或いは湾曲面とする。すなわち、溝４０ａのトラック幅方向の内幅寸法が、補助磁極層２１から離れるにしたがって徐々に広がるようにする。図１２（Ａ）では、溝４０ａの側面４０ｂ，４０ｂを傾斜面としている。
【００８５】
レジスト層４０の熱処理条件を以下に示す。
熱処理温度：８０℃〜１４０℃
熱処理時間：５〜２０ｍｉｎ
熱処理後のメッキ下地層２４ｂの表面とレジスト層４０の側面４０ｂがなす角θ３を６０°以上９０°未満、より好ましくは、６０°以上８０°以下にする。本実施の形態ではθ３＝６５°としている。前記θ３の大きさを規定することにより、形成される主磁極層２４の側面のテーパ角を規定することができる。
なお、溝４０ａの底面４０ｃのトラック幅方向寸法Ｗ３は０．１５〜０．４μｍであり、Ｗ１とＷ３の間にはＷ１＞Ｗ３の関係がある。
【００８６】
本発明では、主に、レジスト層４０の厚さｔ２、溝４０ａの底面４０ｃのトラック幅方向寸法Ｗ３、及びメッキ下地層２４ｂの表面とレジスト層４０の側面４０ｂがなす角θ３を規定することによって主磁極層２４の主磁極層２４の上面２４ｊの内幅方向の寸法、すなわちトラック幅Ｔｗ寸法を規定することができる。
【００８７】
図１３は、図１２（Ａ）に示した工程の後、溝４０ａ内及びダミー形成部４１上で、ＮｉＦｅなどの磁性材料を用いてメッキ形成した状態を示す断面図である。溝４０内には主磁極層２４が形成され、ダミー形成部４１上にはダミーメッキ４２が形成される。ダミーメッキ４２があると、メッキの品質を良くすることができる。メッキの形成にはパルスメッキ法を用いる。ただし、ダミー形成部４１及びダミーメッキ４２は必ずしも形成されなくともよい。
【００８８】
なお、本実施の形態では、主磁極層２４の上面２４ｊの内幅寸法Ｗ４が０．３５μｍとなるように設定されている。この主磁極層２４の上面の内幅寸法Ｗ４は、上述した熱処理後のメッキ下地層２４ｂの表面とレジスト層４０の側面４０ｂがなす角θ３、溝４０ａの底面４０ｃのトラック幅方向寸法Ｗ３及び主磁極層２４のメッキ厚さを設定することによって規定することができる。
【００８９】
メッキ形成直後の上面２４ｊは、図１３に示されるように中央部分が盛り上がった湾曲面になっている。
【００９０】
次に、図１３の図示上方向から主磁極層２４の縦方向の中心線Ｃに対して所定の角度θ４だけ傾いた方向からミリング粒子Ｍを入射させる異方性イオンミリングを行う。
【００９１】
本発明では、主磁極層２４の両側にレジスト層４０が位置している状態で、主磁極層２４をイオンミリングにかけているので、本工程のイオンミリングによって削られるのは主磁極層２４の上面２４ｊのみである。
【００９２】
主磁極層２４は図１３に示されるように略逆台形に形成されているので、高さ方向に削れると上面２４ｊの内幅方向の寸法も小さくなる。すなわち、主磁極層２４の上面２４ｊを研削することによって、垂直磁気記録ヘッドのトラック幅Ｔｗ寸法をより小さくすることができる。
【００９３】
主磁極層２４の両側のレジスト層４０を除去した状態で、主磁極層２４をイオンミリングにかけると、主磁極層２４の上面２４ｊと同時に側面２４ｆ，２４ｆも削れてしまうために、主磁極層２４の上面２４ｊの内幅寸法を所定の値に正確に加工することが困難になる。
【００９４】
一方、本発明では、イオンミリングによって主磁極層２４の上面２４ｊのみが研削され、側面２４ｆ，２４ｆは研削されないので、主磁極層２４は高さ方向（図示Ｚ方向）にのみ削れていく。従って、本工程のイオンミリングによる主磁極層２４の加工精度を向上させることが容易になり、垂直磁気記録ヘッドのトラック幅Ｔｗ寸法をより正確に規定することができる。、
また、この主磁極層２４の縦方向の中心線Ｃに対する斜め方向からのイオンミリングによって、主磁極層２４の上面２４ｊを平坦化させることができる。
【００９５】
なお、主磁極層２４の材料であるＮｉＦｅとレジスト層４０の材料である有機レジストは、同程度のエッチングレートを有しているので、レジスト層４０も主磁極層２４及びダミーメッキ４２と同じように削れていく。
【００９６】
中心線Ｃに対する所定の角度θ４は４５度以上８０度以下にすることが好ましく、より好ましくは６０度以上７０度以下である。本実施の形態では、θ４を７０°に設定している。
【００９７】
図１４は、イオンミリング後の主磁極層２４の断面図である。イオンミリング後、主磁極層２４の上面２４ｊは平坦化され、直線形状になっている。
【００９８】
イオンミリング終了後、図１５に示すごとくレジスト層４０を除去する。次に、図１５に示すように、主磁極層２４をレジスト４３で覆って保護し、ダミーメッキ４２をエッチングによって除去する。ダミーメッキ４２が除去された状態の主磁極層２４の形成部分周辺を上方向から見た部分平面図が図１６（Ｂ）、図１６（Ｂ）をＡ−Ａ矢視方向から見た部分断面図が図１６（Ａ）である。図１６に示された工程にある主磁極層２４は、内幅方向（図示Ｙ方向）の寸法が図示左方向に向かうに従って大きくなるメッキ溜め部２４ｇと内幅方向（図示Ｙ方向）の寸法が一定である磁極形成部２４ｈからなっている。メッキ溜め部２４ｇが形成されると主磁極層２４をメッキ形成するときに均一なメッキを形成することが容易になる。なお、メッキ溜め部２４ｇは、後の製造工程において研磨除去され、完成した垂直磁気記録ヘッドには存在しない。すなわち、図１６（Ｂ）に示される磁極形成部２４ｈのみが完成した垂直磁気記録ヘッドの主磁極層２４になる。完成した垂直磁気記録ヘッドの記録媒体との対向面は、Ａ−Ａ線で示される面になる。
【００９９】
イオンミリング後の主磁極層２４の磁極形成部２４ｈの補助磁極層２１側の端面２４ｉの内幅方向の寸法Ｗ６は０．１５〜０．４μｍ、上面２４ｊの内幅方向の寸法Ｗ７（トラック幅Ｔｗ寸法）は０．２５〜０．５４μｍ、高さ寸法ｔ４は０．２〜０．４５μｍである。補助磁極層２１側の端面２４ｉと側面２４ｆとがなす角θ５は６５°である。
【０１００】
なお、図１６（Ａ）に示される、主磁極層２４の側面２４ｆとメッキ下地層２４ｂとがなす角θ５の大きさは、前述したレジスト層４０の側面４０ｂとメッキ下地層２４ｂとがなす角θ３の大きさに等しく、さらに図２に示された主磁極層２４の上辺２４ｅと側辺２４ｆとがなす角θ２（テーパ角）に等しい。
【０１０１】
図１７は、図１６に示される工程終了後の垂直磁気記録ヘッドの縦断面図である。図１７に示された垂直磁気記録ヘッドでは、主磁極層２４の断面形状は図１６に示される略逆台形となっている。
【０１０２】
主磁極層２４をメッキ形成するために使用したメッキ下地層２４ｂは、絶縁層３４上、接続層２５の表面２５ａ上及び底上げ層３１の表面３１ａ上にも成膜されている。
【０１０３】
次に、図１８の工程に示すように、メッキ下地２４ｂを用いて主磁極層２４及び接続層２５上に磁気的に接続されるヨーク層３５をメッキ形成する。このときヨーク層３５のトラック幅方向における幅寸法が前記主磁極層２４と重ねられた位置での前記主磁極層の幅寸法より幅広になる。
【０１０４】
なお、主磁極層２４の平面形状を図４または図５に示された形状にするには、図１１に示す工程において、レジスト層４０を露光現像するときの溝４０ａの磁極形成溝４０ａ１の抜き形状を、図４または図５に示された主磁極層２４の平面形状と同じ形状にすればよい。
【０１０５】
ヨーク層３５の前端部の形状は、図３、図４、または図５に示される形状で形成することができ、また主磁極層２４上にヨーク層３５を重ねるときには、図３、図４、図５に示されるような位置で重ねあわせる。
【０１０６】
またヨーク層３５の前端面３５ａは、対向面となる面よりもハイト方向奥側に位置するように形成される。
【０１０７】
なお本実施の形態ではヨーク層３５の厚さＨ２は、主磁極層２４の厚さＨ１よりも厚く形成される。
【０１０８】
またヨーク層３５の前端面３５ａは、ハイト方向（図示Ｘ方向）に対する垂直面となっている。ただし、ヨーク層３５の前端面３５ａが下面から上面に向けてハイト方向に傾く傾斜面あるいは湾曲面で形成されてもよい。ヨーク層３５の下に形成される主磁極層２４の上面とヨーク層３５の前端面３５ａ間の外角θ１は９０°以上であることが好ましい。これによって主磁極層２４からヨーク層３５に向けて漏れる磁界を少なくでき主磁極層２４により磁界を集中させることができるからである。
【０１０９】
なお、主磁極層２４はヨーク層３５よりも飽和磁束密度Ｂｓが高い磁性材料で形成されることが好ましい。
【０１１０】
次に底上げ層３１と電気的に接続されるリード層３６を、底上げ層３１上にＣｕなどの導電性材料を用いてメッキ形成し、ヨーク層３５及びリード層３６周辺の余分なメッキ下地層２４ｂをイオンミリングによって除去し、ヨーク層３５及びリード層３６の絶縁をとる。
【０１１１】
本実施の形態では、メッキ下地層２４ｂが、Ｃｕ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｐｔ，ＮｉＬｕ，ＮｉＰ，ＮｉＰｄ，ＮｉＷ,ＮｉＢ，ＮｉＭｏ，Ｉｒ，ＮｉＣｕ，ＮｉＣｒ，Ｃｒ，Ｔｉなどの非磁性材料を用いて形成されているので、主磁極層２４周辺に残存していても、記録媒体上の記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができる。すなわち、メッキ下地層２４ｂの除去は、ヨーク層３５及びリード層３６などの電気的な絶縁がとれる程度に行われればよい。
【０１１２】
ただし、図２１に示すように、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂをイオンミリングによって除去してもよい。このとき、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１が連続した直線形状または曲線形状を構成して、メッキ下地層２４ｂと主磁極層２４とが一つの略逆台形を構成していることが好ましい。主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂを除去する場合には、メッキ下地層の材料にＮｉＦｅやＮｉなどの磁性材料を用いることができる。
【０１１３】
なお、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂをイオンミリングによって除去すると、図２１に示すように、主磁極層２４の下面両側に形成されている絶縁層３３の表面３３ａは、主磁極層２４から離れるにしたがって下面方向へ傾斜する傾斜面となる。または、絶縁層３３の表面は、主磁極層２４から離れるにしたがって下面方向へ湾曲する湾曲面３３ｂとなることもある。
【０１１４】
しかし、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂを除去すると、主磁極層２４の側面２４ｆ，２４ｆに、除去されたメッキ下地層２４ｂの材料が再付着したり、主磁極層２４の側面２４ｆ，２４ｆが削られたり、主磁極層２４の上面２４ｊが削られて、主磁極層２４のトラック幅方向（内幅方向）の幅寸法がバラつくことがあるので、メッキ下地層２４ｂの材料に非磁性材料を用いて、図２０（Ａ）（Ｂ）に示すごとく、主磁極層２４周辺のメッキ下地層は除去しないことが好ましい。
【０１１５】
なお、前記ヨーク層３５と同時に、磁性材料を用いてリード層３６を形成することも可能である。
【０１１６】
次に、図１に示す保護層１３を形成する。さらに対向面Ｈ１ａを研磨して、対向面Ｈ１ａに、補助磁極層２１の前端面２１ｂ、絶縁層３３の前端面３３ａおよび主磁極層２４の前端面２４ａを同一面となるように露出させる。
【０１１７】
また必要に応じて、図１に示すスライダ１１の対向面１１ａと垂直磁気記録ヘッドＨｖの対向面Ｈ１ａとが、ＤＬＣなどのカーボンを主体とする耐摩耗性の保護膜で覆われる。
【０１１８】
なお、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂをイオンミリングによって除去するときには、以下に示すようにヨーク層３５の形成前にメッキ下地層２４ｂを除去することが好ましい。
【０１１９】
まず、図１６に示す工程の終了後、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂをイオンミリングによって除去して図２２の状態にする。
【０１２０】
ヨーク層３５の形成前に、メッキ下地層２４ｂの除去を行うと、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１を連続した直線形状または曲線形状にし、メッキ下地層２４ｂと主磁極層２４とに一つの略逆台形を構成させることが容易になる。従って、メッキ下地層の材料にＮｉＦｅやＮｉなどの磁性材料を用いることが容易になる。
【０１２１】
本工程のイオンミリングによっても、図２２に示されるように、主磁極層２４の下面両側に形成されている絶縁層３３の表面３３ａは、主磁極層２４から離れるにしたがって下面方向へ傾斜する傾斜面となる。または、絶縁層３３の上面は、主磁極層２４から離れるにしたがって下面方向へ湾曲する湾曲面３３ｂとなることもある。
【０１２２】
図２３は、図２２に示される工程終了後の垂直磁気記録ヘッドの縦断面図である。図２３に示された垂直磁気記録ヘッドでは、主磁極層２４の断面形状は図２２に示される略逆台形となっている。
【０１２３】
次に、図２４に示すように、主磁極層２４、絶縁層３３、接続層２５、及び底上げ層３１上に無機絶縁材料の無機絶縁層３４を成膜する。
【０１２４】
なお、主磁極層２４の上面２４ｊを平坦化させる方法として、上述したイオンミリングを用いる方法の他に、主磁極層２４を無機絶縁層３４で覆った後、ＣＭＰ技術によって、上面２４ｊを平坦化することもできる。
【０１２５】
その後、主磁極層２４の後方部２４ｃ、接続層２５の表面２５ａ及び底上げ層３１の表面３１ａが露出するように、無機絶縁層３４に穴部３４ａ、３４ｂ、３４ｃを形成する。穴部３４ａ、３４ｂ、３４ｃの形成後、主磁極層２４の後方部２４ｃ上、無機絶縁層３４上、接続層２５の表面２５ａ上及び底上げ層３１の表面３１ａ上にメッキ下地層３５ｄを成膜する。
【０１２６】
メッキ下地層３５ｄは、Ｎｉｆｅ，Ｎｉなどの磁性材料またはＣｕ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｐｔ，ＮｉＬｕ，ＮｉＰ，ＮｉＰｄ，ＮｉＷ,ＮｉＢ，ＮｉＭｏ，Ｉｒ，ＮｉＣｕ，ＮｉＣｒ，Ｃｒ，Ｔｉなどの非磁性材料を用いて形成する。
【０１２７】
次に、図２５の工程に示すように、主磁極層２４及び接続層２５上に磁気的に接続されるヨーク層３５をメッキ形成する。このときヨーク層３５のトラック幅方向における幅寸法が前記主磁極層２４と重ねられた位置での前記主磁極層の幅寸法より幅広になる。
【０１２８】
なお本実施の形態でもヨーク層３５の厚さＨ２は、主磁極層２４の厚さＨ１よりも厚く形成される。
【０１２９】
従って、対向面Ｈ１ａと平行な面で切断したときの断面で見たときに、主磁極層２４の断面積が、ヨーク層３５の後方領域部分の断面積よりも小さくなる。
【０１３０】
なお、主磁極層２４はヨーク層３５よりも飽和磁束密度Ｂｓが高い磁性材料で形成されることが好ましい。
【０１３１】
次に底上げ層３１と電気的に接続されるリード層３６を、底上げ層３１上にＣｕなどの導電性材料を用いてメッキ形成し、ヨーク層３５及びリード層３６周辺の余分なメッキ下地層３５ｄをイオンミリングによって除去する。
【０１３２】
なお、前記ヨーク層３５と同時に、磁性材料を用いてリード層３６を形成することも可能である。
【０１３３】
さらに、図１に示す保護層１３を形成し対向面Ｈ１ａを研磨して、対向面Ｈ１ａに、補助磁極層２１の前端面２１ｂ、絶縁層３３の前端面３３ｃおよび主磁極層２４の前端面２４ａを同一面となるように露出させる。
【０１３４】
また必要に応じて、図１に示すスライダ１１の対向面１１ａと垂直磁気記録ヘッドＨｖの対向面Ｈ１ａとが、ＤＬＣなどのカーボンを主体とする耐摩耗性の保護膜で覆われる。
【０１３５】
ヨーク層３５の形成前に、メッキ層２４ｂの除去を行う場合でも、メッキ下地層２４ｂを非磁性材料を用いて形成すれば、図２２に示す工程において、主磁極層２４以外の領域でメッキ下地層２４ｂが完全に除去されなくとも、磁気記録特性が低下することを抑えることができる。
【０１３６】
すなわち、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１が連続した直線形状または曲線形状を構成していなくとも、例えば図２７に示すように、主磁極層２４の底面２４ｋの内幅寸法（トラック幅方向の幅寸法）Ｗ８よりも、メッキ下地層２４ｂの内幅寸法（トラック幅方向の幅寸法）Ｗ９の方が大きくなっても記録媒体上の記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができる。
【０１３７】
ただし、図１６に示す工程の後に、主磁極層２４の下層以外にある全てのメッキ下地層２４ｂを除去すると、主磁極層２４の側面２４ｆ，２４ｆに、除去されたメッキ下地層２４ｂの材料が再付着したり、主磁極層２４の側面２４ｆ，２４ｆが削られたり、主磁極層２４の上面２４ｊが削られて、主磁極層２４のトラック幅方向（内幅方向）の幅寸法がバラつくことがある。
【０１３８】
本実施の形態では、図１２に示す工程でレジスト層４０に形成された溝４０ａの側面４０ｂ，４０ｂを傾斜面とするために、熱処理を行う方法を示した。レジスト層４０に形成された溝４０ａの側面４０ｂ，４０ｂを傾斜面または湾曲面とするための他の方法として、レジスト層４０の材料の露光感度を選択してパターニング精度を調節し、露光・現像の際にレジスト層の下面側よりも上面側の内幅寸法が幅広となり、側面４０ｂ，４０ｂが傾斜面または湾曲面となる溝４０ａを形成する方法がある。
【０１３９】
なお、図１１の工程において溝４０ａを、接続層２５に重なる位置にまでハイト方向に延して形成し、主磁極層２４を接続層２５と磁気的に接続させるようにしても良い。
【０１４０】
また、図１において上部シールド層５１と補助磁極層２１を一体化して、ひとつの磁性層で前記上部シールド層と補助磁極層の機能を発揮させてもよい。
【０１４１】
なお、前記読取り部ＨRを設けず、スライダ１１のトレーリング側端部１１ａに前記垂直磁気記録用の垂直磁気記録ヘッドＨｖのみを搭載してもよい。
【０１４２】
【実施例】
図２８は、前述した本発明の製造方法の実施の形態中の図１３に示された工程にある垂直磁気記録ヘッドの主磁極層周辺の部分断面図である。
【０１４３】
図２８の図示上方向から主磁極層２４の縦方向の中心線Ｃに対して所定の角度θ４だけ傾いた方向から異方的にミリング粒子を入射させるイオンミリングを行っている。
【０１４４】
図２９は、主磁極層２４の縦方向の中心線Ｃに対するミリング角度とエッチング速度との関係を示すグラフである。
【０１４５】
（□）で表されるグラフ曲線は、主磁極層２４の高さ方向（図２８に示すＺ方向）のエッチング速度である。主磁極層２４の高さ方向のエッチング速度は、中心線Ｃに対するミリング角度に依存している。グラフより前記ミリング角度が約４０度のとき、最もエッチング速度が大きくなっている。前記ミリング角度が約４０度より小さくなるにつれて、または約４０度より大きくなるにつれてエッチング速度は小さくなっていく。特に前記ミリング角度が約７０度前後のとき、前記ミリング角度の変化量に対するエッチング速度の変化率が最も大きくなっている。
【０１４６】
図２８に示されるように、主磁極層２４の上面２４ｊは、中心部分が盛り上がった湾曲面となっているので、ミリング粒子が前記中心線Ｃに対して所定の角度θ５だけ傾いた方向から異方的に入射する時、上面２４ｊ上の各点の接平面の法線方向とミリング粒子の入射方向との角度は前記各点ごとに異なる角度になる。
【０１４７】
例えば、図２８の点Ｐ１における接平面Ｓ０の法線（中心線Ｃ）方向とミリング粒子Ｍ１の入射方向との角度はθ４である。また、点Ｐ２における接平面Ｓ１の法線Ｖ１方向とミリング粒子Ｍ２の入射方向との角度をθ４ａとすると、θ４≠θ４ａとなる。従って、主磁極層２４の上面２４ｊ上の各点における前記ミリング速度に差が生じる。
【０１４８】
本発明では、主磁極層２４の上面２４ｊをイオンミリングによってエッチングしていくときに、前記上面２４ｊ上の各点におけるエッチング速度に差を生じさせることができ、しかも、エッチングの進行とともに、上面２４ｊ上におけるエッチング速度の速さの分布が変化していくために、主磁極層２４の上面２４ｊの湾曲が全体としてなだらかになっていき、最後には前記上面２４ｊを図１４に示すように平坦面とすることができるのである。
【０１４９】
また、主磁極層２４の高さ方向のミリング速度が遅すぎると、エッチング加工の効率が悪くなるので、前記角度θ４は８０度以下であることが好ましい。または、前記角度θ４が７０度以下であるとより好ましい。
【０１５０】
ただし、主磁極層２４の高さ方向のミリング速度が速すぎると、加工後の主磁極層２４の体積が小さくなり磁気記録特性が悪くなるので、前記角度θ４は４５度以上であることが好ましく、より好ましくは６０度以上である。
【０１５１】
前記角度θ５が６０度以上７０度以下であれば、前記角度θ４の変化量に対するエッチング速度の変化率を大きくでき、前記上面２４ｊ上の各点におけるエッチング速度の差を大きくすることができ、前記上面２４ｊを効率よく平坦化することができる。
【０１５２】
図３０及び図３１は、上述した垂直磁気記録ヘッドの製造方法の実施の形態の図２１または図２２に示す工程において、主磁極層２４以外の領域でメッキ下地層２４ｂが完全に除去されなかったときに、メッキ下地層２４ｂが磁性材料を用いて形成された場合と非磁性材料を用いて形成した場合とで、磁気記録特性が変化することを示すグラフである。
【０１５３】
図３０は、メッキ下地層２４ｂが磁性材料を用いて形成され主磁極層２４以外の領域にもメッキ下地層２４ｂが残存した垂直磁気記録ヘッドの磁気記録特性をマイクロトラックプロファイル法によって測定した結果を示している。
【０１５４】
マイクロトラックプロファイル法とは、記録媒体上に微小トラックである信号を記録しておき、磁気抵抗効果素子などの再生素子を記録トラック上でトラック幅方向に走査させて再生出力を読み取ることにより、記録トラック上のトラック幅方向の記録信号強度分布を測定するものである。
【０１５５】
図３０に示されるように、磁性材料を用いて形成されたメッキ下地層２４ｂが主磁極層２４以外の領域に残存していると、記録トラック上には主信号Ｓｍのピーク以外にサイド信号Ｓｓのピークが現れる。このサイド信号Ｓｓは、磁極層２４以外の領域に残存したメッキ下地層２４ｂによって書き込まれたものであり、垂直磁気記録ヘッドにスキュー角が生じたときに特に発生しやすくなる。
【０１５６】
図３１は、メッキ下地層２４ｂが非磁性材料を用いて形成され主磁極層２４以外の領域にもメッキ下地層２４ｂが残存した垂直磁気記録ヘッドの磁気記録特性をマイクロトラックプロファイル法によって測定した結果を示している。
【０１５７】
図３１に示されるように、非磁性材料を用いて形成されたメッキ下地層２４ｂが主磁極層２４以外の領域に残存していても、記録トラック上には主信号Ｓｍのピークのみが現れ、サイド信号Ｓｓは検出されない。
【０１５８】
すなわち、メッキ下地層２４ｂが非磁性材料を用いて形成された場合には、主磁極層２４の側辺２４ｆ１，２４ｆ１とメッキ下地層２４ｂの側辺２４ｂ１，２４ｂ１が連続した直線形状または曲線形状を構成していなくとも、例えば図２７に示すように、主磁極層２４の底面２４ｄのトラック幅方向の幅寸法Ｗ８よりも、メッキ下地層２４ｂトラック幅方向の幅寸法Ｗ９の方が大きくなっても記録媒体上にサイド信号Ｓｓが現れることを防いで、記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができることがわかる。
【０１５９】
主磁極層２４の底面２４ｄのトラック幅方向の幅寸法よりも、メッキ下地層２４ｂトラック幅方向の幅寸法の方が大きくなっても記録トラックパターンが乱れることを防ぐことができるのは図２に示された垂直磁気記録ヘッドでも同様である。
【０１６０】
従って、メッキ下地層２４ｂが非磁性材料を用いて形成することにより、垂直磁気記録へッドの高記録密度化対応を容易にすることができる。
【０１６１】
【発明の効果】
以上詳細に説明した本発明の製造方法によって垂直磁気記録ヘッドを製造すると、前記記録媒体との対向面において垂直磁気記録ヘッドの前記主磁極層の正面形状を略逆台形にすることができる。従って、記録媒体に記録を行うとき、前記主磁極層の側辺が記録媒体の移動接線方向に対してスキュー角を生じても、前記側辺が記録トラックの外にはみ出すことを防ぐことができ、フリンジングを防止できるようになり、オフトラック性能の向上を図ることができる。
【０１６２】
また、本発明では、前記主磁極層の上面を平坦化させることにより、前記対向面において前記主磁極層の前記上辺を直線形状にすることができ、前記記録トラックの磁区境界も直線形状となり、記録トラックの長さ方向の記録密度を上げても鮮明な記録磁化分布を得ることができ、良好な記録再生特性を得ることができる。
【０１６３】
また本発明では、前記主磁極層の両側に前記レジスト層が位置している状態で、前記主磁極層をイオンミリングにかけるので、イオンミリングによって前記主磁極層の前記上面のみが研削され、前記主磁極層の側面は研削されないようにできる。すなわち、前記主磁極層を高さ方向にのみ削ることによって前記主磁極層の前記上面の内幅寸法、すなわち垂直磁気記録ヘッドのトラック幅Ｔｗ寸法を設定することができる。従って、主磁極層の加工精度を向上させることが容易になり、垂直磁気記録ヘッドのトラック幅Ｔｗ寸法をより正確に規定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によって製造された垂直磁気記録ヘッドが記録媒体に対向している状態を示す断面図、
【図２】図１に示す垂直磁気記録ヘッドを記録媒体との対向面から見た正面図、
【図３】図１のＢ矢視の平面図、
【図４】本発明の他の実施の形態によって製造された垂直磁気記録ヘッドを上方向から見た平面図、
【図５】本発明の他の実施の形態によって製造された垂直磁気記録ヘッドを上方向から見た平面図、
【図６】図１ないし図３に示された垂直磁気記録ヘッドにスキュー角が発生した状態を示す説明図、
【図７】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図８】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図９】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図１０】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図１１】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明するものであり、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は垂直磁気記録ヘッドの上方向から見た平面図、
【図１２】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明するものであり、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は垂直磁気記録ヘッドの上方向から見た平面図、
【図１３】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する横断面図、
【図１４】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する横断面図、
【図１５】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する横断面図、
【図１６】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明するものであり、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は垂直磁気記録ヘッドの上方向から見た平面図、
【図１７】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図１８】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図１９】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する縦断面図、
【図２０】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明するものであり、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は垂直磁気記録ヘッドの上方向から見た平面図、
【図２１】垂直磁気記録ヘッドの製造工程を説明する横断面図、
【図２２】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する横断面図、
【図２３】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する縦断面図、
【図２４】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する縦断面図、
【図２５】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する縦断面図、
【図２６】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する縦断面図、
【図２７】垂直磁気記録ヘッドの他の製造工程を説明する部分正面図、
【図２８】イオンミリングにかけられている主磁極層の横断面図、
【図２９】イオンミリングのミリング角度と主磁極層のエッチング速度の関係を示すグラフ、
【図３０】主磁極層以外の領域に磁性材料からなるメッキ下地層が残存した垂直磁気記録ヘッドの磁気記録特性、
【図３１】主磁極層以外の領域に非磁性材料からなるメッキ下地層が残存した垂直磁気記録ヘッドの磁気記録特性、
【図３２】従来の垂直磁気記録ヘッドを示す断面図、
【図３３】従来の垂直磁気記録ヘッドの部分正面図、
【図３４】従来の垂直磁気記録ヘッドにスキュー角が発生した状態を示す説明図、
【符号の説明】
Ｈｖ  垂直磁気記録ヘッド
Ｈ１ａ  対向面
Ｍｄ  記録媒体
Ｍａ  ハード膜
Ｍｂ  ソフト膜
１１  スライダ
１２  非磁性絶縁層
１３  保護層
２１  補助磁極層
２４  主磁極層
２４ｂ  メッキ下地層
２５  接続層
２６  非磁性絶縁層
２７  コイル層
３１  底上げ層
３２  有機材料の絶縁層
３３、３４  無機絶縁層
３５  ヨーク層
３６  リード層
【図１】
0003875020.tif 000002
【図２】
0003875020.tif 000003
【図３】
0003875020.tif 000004
【図４】
0003875020.tif 000005
【図５】
0003875020.tif 000006
【図６】
0003875020.tif 000007
【図７】
0003875020.tif 000008
【図８】
0003875020.tif 000009
【図９】
0003875020.tif 000010
【図１０】
0003875020.tif 000011
【図１１】
0003875020.tif 000012
【図１２】
0003875020.tif 000013
【図１３】
0003875020.tif 000014
【図１４】
0003875020.tif 000015
【図１５】
0003875020.tif 000016
【図１６】
0003875020.tif 000017
【図１７】
0003875020.tif 000018
【図１８】
0003875020.tif 000019
【図１９】
0003875020.tif 000020
【図２０】
0003875020.tif 000021
【図２１】
0003875020.tif 000022
【図２２】
0003875020.tif 000023
【図２３】
0003875020.tif 000024
【図２４】
0003875020.tif 000025
【図２５】
0003875020.tif 000026
【図２６】
0003875020.tif 000027
【図２７】
0003875020.tif 000028
【図２８】
0003875020.tif 000029
【図２９】
0003875020.tif 000030
【図３０】
0003875020.tif 000031
【図３１】
0003875020.tif 000032
【図３２】
0003875020.tif 000033
【図３３】
0003875020.tif 000034
【図３４】
0003875020.tif 000035