(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理槽に貯留された処理液により基板に対して処理を施す処理部と、基板を保持して処理部に対して相対的に移動する基板保持機構とを有する基板処理装置における処理部の構成物たる処理槽の移動具であって、
前記基板保持機構の基板保持部と付け替え可能に構成され、
前記基板保持機構に取付けられる保持機構側取付け部と、
処理槽に取付けられる処理槽側取付け部と、
前記保持機構側取付け部と前記処理槽側取付け部とを結合する可撓性部材と
を有し、
処理槽を前記基板保持機構に固定する、または処理部に移動されるべき処理槽を前記基板保持機構に固定する、基板処理装置における処理部の構成物の移動具。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具において、
前記処理槽側取付け部は突起部を有する処理槽の突起部と係合する係合部を有する基板処理装置における処理部の構成物の移動具。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具において、
前記保持機構側取付け部は、基板を挟持するために回転する一対の部材に取り付けられ、
前記処理槽側取付け部の前記係合部は、前記処理槽の側部に設けられた前記突起部に下方から係合することを特徴とする基板処理装置における処理部の構成物の移動具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
基板処理装置おける処理部の構成物の移動具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板処理装置は基板に対して処理を施す処理部や各処理部へ基板を保持して搬送する基板搬送機構を有している。
処理部はさまざまな構成物によって構成されている。例えば浸漬式の基板処理装置の処理部には基板に処理を施す処理液を貯留する処理槽が設けられている。
処理槽は略直方体形状で上面に開口を有しており、内部に処理液を貯留し、基板搬送機構によって搬送されてきた基板を収容することで処理液に基板を浸漬して処理を施す。
【０００３】
処理槽に貯留される処理液は侵蝕性の強いものであったり高温であったりするため、処理槽自体が劣化してくる。このため、ある程度劣化した処理槽は新しい処理槽に交換されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、上記のような処理槽の交換作業は全くの人力で行われている。
しかし、近年、基板の大サイズ化に従って処理槽の大きさも大きくなってきており、人力での交換作業は作業者にとって大きな負担となっている。
【０００５】
本発明は、このような交換作業を容易にすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具は、処理槽に貯留された処理液により基板に対して処理を施す処理部と、基板を保持して処理部に対して相対的に移動する基板保持機構とを有する基板処理装置における処理部の構成物の移動具であって、前記基板保持機構の基板保持部と付け替え可能に構成され、前記基板保持機構に取付けられる保持機構側取付け部と、処理槽に取付けられる処理槽側取付け部と、前記保持機構側取付け部と前記処理槽側取付け部とを結合する可撓性部材とを有し、処理槽を前記基板保持機構に固定する、または処理部に移動されるべき処理槽を前記基板保持機構に固定する、基板処理装置における処理部の構成物の移動具である。
【０００７】
請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、処理部の構成物を基板保持機構に固定して基板保持機構を移動させることによって、該構成物を移動させる。または、処理部に移動されるべき構成物を基板保持機構に固定して基板保持機構を移動させることによって、該構成物を移動させる。
【０００８】
このため、人力で構成物を移動させる場面が少なくなり、構成物の移動作業を容易に行うことができる。
【０００９】
しかも、基板処理装置が有する基板保持機構によって構成物を移動させるので構成物を移動させるための新たな移動機構が不要であり、装置のコスト上昇を最小限とできる。
【００１１】
また、請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、処理槽の移動作業を容易に行うことができる。
【００１３】
また、請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、保持機構側取付け部と処理槽側取付け部とを可撓性部材が結合しているので前記移動具と基板保持機構との取付け作業または取り外し作業、および前記移動具と処理槽との取付け作業または取り外し作業が容易である。
【００１４】
請求項２に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具は請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具において、前記処理槽側取付け部は突起部を有する処理槽の突起部と係合する係合部を有する基板処理装置における処理部の構成物の移動具である。
【００１５】
請求項２に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、係合部を処理槽の突起に係合させるだけで移動具に対して処理槽を取付けできるので作業が容易である。
請求項３に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具は、請求項２に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具において、前記保持機構側取付け部は、基板を挟持するために回転する一対の部材に取り付けられ、前記処理槽側取付け部の前記係合部は、前記処理槽の側部に設けられた前記突起部に下方から係合することを特徴とする基板処理装置における処理部の構成物の移動具である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
＜基板処理装置の概要＞
【００１７】
図１は基板処理装置の斜視図である。なお、便宜上、図示のようにXYZ座標を設定する。
【００１８】
基板処理装置１は処理部１０、搬送ロボット２０、第１リフタ３０、第２リフタ４０を有する。
【００１９】
処理部１０は第１薬液処理部ＣＰ１、第２薬液処理部ＣＰ２、第１水洗処理部ＷＰ１、第２水洗処理部ＷＰ２、乾燥処理部ＤＰを有する。
【００２０】
第１薬液処理部ＣＰ１、第２薬液処理部ＣＰ２は種々の薬液を貯留する薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２を有する。
【００２１】
第１水洗処理部ＷＰ１、第２水洗処理部ＷＰ２は薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２で薬液処理された基板に付着している薬液を純水で洗い流す水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２を有する。
【００２２】
乾燥処理部ＤＰは水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２で水洗され、純水が付着した基板を乾燥させる乾燥槽を有する。
【００２３】
なお、ここでは薬液と純水とを総称して処理液という。
【００２４】
乾燥処理部ＤＰは減圧式の乾燥処理を行い、チャンバ内に後述の第１リフタ３０と同様、搬送ロボット２０との間で基板Ｗを授受して昇降する昇降機構および乾燥槽を有している。そして、該チャンバ上部はカバー９０で密閉されている。図１ではカバー９０が閉じられた状態を示している。
なお、ここでは薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２、乾燥槽を総称して処理槽という。
【００２５】
搬送ロボット２０は図示せぬ移載装置から渡された基板Ｗを保持し、第１リフタ３０、第２リフタ４０、乾燥処理部ＤＰ内の昇降機構との間で該基板Ｗを授受する。
【００２６】
搬送ロボット２０はＸ軸と平行な移動路２０Ｒに沿って移動し、かつ、上下方向に昇降可能なポスト２１と、ポスト２１頂部に設けられたヘッド２２と、ヘッド２２からＹ軸方向と平行な方向に突出し、Ｙ軸方向を軸として回転可能な一対のシャフト２３とシャフト２３に取り付けられたブラケット２４と、１つのブラケット２４から下方に延設された２本の吊下げ棒２６と、２本の吊下げ棒２６の間でＹ軸方向に延設された基板支持棒２７とを有する。
【００２７】
このうち、２本の吊下げ棒２６と該２本の吊下げ棒２６の間で水平方向に延設された基板支持棒２７とでチャック２５を構成する。
【００２８】
搬送ロボット２０はシャフト２３を回転させることによってチャック２５を開閉し、基板を保持する。
【００２９】
第１リフタ３０、第２リフタ４０はそれぞれ移動路３０Ｒ、移動路４０Ｒを移動する。構造は第１リフタ３０、第２リフタ４０共に同様なので第１リフタ３０について説明する。
【００３０】
第１リフタ３０はＸ軸と平行な移動路３０Ｒに沿って移動し、かつ、上下方向に昇降可能なリフタポスト３１と、リフタポスト３１に取り付けられた逆Ｌ字状部材のリフタヘッド３２と、リフタヘッド３２に取り付けられ基板Ｗの下部を支持するボート３３とを有する。
【００３１】
そして、第１リフタ３０は搬送ロボット２０から基板Ｗを受け取って降下することで薬液槽ＣＢ１または水洗槽ＷＢ１内の処理液に浸漬する。また、薬液槽ＣＢ１または水洗槽ＷＢ１にて処理が終了すると上昇して基板Ｗを搬送ロボット２０に渡す。
【００３２】
＜移動具＞
【００３３】
次に上記のような基板処理装置１で薬液槽ＣＢ１、ＣＢ２、水洗槽ＷＢ１、ＷＢ２等の処理槽を交換する際の移動具について説明する。
【００３４】
移動具５０は図１における一対のチャック２５を外して図２のようにブラケット２４に取り付ける。
【００３５】
図３に移動具５０の構造および取り付けについて詳細を示す。
【００３６】
移動具５０を取り付けるときはチャック２５を外してブラケット２４にアダプタ５９を取り付ける。そして、該アダプタ５９に移動具５０を取り付ける。
【００３７】
移動具５０はボルト５４でアダプタ５９に取付けられるワイヤブラケット５３と、ワイヤブラケット５３に止着されたワイヤ５２と、ワイヤ５２に止着されたフック５１とを有する。
【００３８】
そして、該移動具５０がひとつのアダプタ５９について２本取付けられており、搬送ロボット２０には合計４本の移動具５０が取付けられる。
【００３９】
ワイヤブラケット５３に止着されているワイヤ５２は可撓性を有するのでワイヤブラケット５３のブラケット２４に対する取付け、取り外し作業は容易である。
【００４０】
次に移動具５０を使用した処理槽の交換作業について説明する。
例として既に第１水洗処理部ＷＰ１から水洗槽ＷＢ１を撤去した状態で新たな水洗槽７０を搬入する場合について説明する。
【００４１】
まず、図２のようにカバー９０上に水洗槽７０を載置する。
水洗槽７０には突起７１が４本設けられており、該突起７１にフック５１を係合させる。このとき搬送ロボット２０はフック５１を突起７１に係合させてもワイヤ５２が弛む程度の位置に配してある。
【００４２】
ここでワイヤ５２は可撓性であるのでフック５１を突起７１へ係合させる作業は容易に行うことができる。
【００４３】
４つの突起７１に移動具５０を取付けた後、搬送ロボット２０を上昇させる。こうすることによって水洗槽７１が移動具５０に吊り下げられカバー９０上に浮かんだ状態になる。
そして、搬送ロボット２０をＸ軸正方向に移動させて水洗槽７０を第１水洗処理部ＷＰ１上方にまで移動させる。次に、搬送ロボット２０を降下させ、第１水洗処理部ＷＰ１内に水洗槽７０を降下させる。
第１水洗処理部ＷＰ１内には突起７１と係合して水洗槽７０を支持する図示せぬ支持体が設けられており、支持体に突起７１が係合するように搬送ロボット２０を降下させる。
突起７１と支持体とを係合させた後、さらに搬送ロボット２０を降下させ、ワイヤ５２を弛ませる。その後フック５１と突起７１との係合を解除する。
【００４４】
このときワイヤ５２が可撓性を有するので係合を解除する作業が容易である。
【００４５】
以上のようにして新たな水洗槽７０を第１水洗処理部ＷＰ１に設置することができる。
【００４６】
処理槽の搬出は上記搬入の場合と逆の手順を踏めばよい。
【００４７】
以上のように、移動具５０を用いれば搬送ロボット２０の移動範囲にある処理槽の交換を容易に行うことができる。また、従来から存在する搬送ロボット２０を利用することにより処理槽を移動させるための新たな移動機構が不要とすることができるので、基板処理装置のコスト上昇を抑えることができる。
【００４８】
なお、上記実施形態では乾燥処理部ＤＰのカバー９０上に新たな処理槽を一旦載置したが、第２水洗処理部ＷＰ２の上部に板を置いて、その板の上に新たな処理槽を載置してもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では搬送ロボット２０に移動具５０を取付けたが、第１リフタ３０や第２リフタ４０に移動具５０を取付けてもよい。
この場合はリフタポスト３１からリフタヘッド３２を取り外し、リフタポスト３１頂部からＹ軸負方向に延びる部材を設けて該部材に移動具５０を取付ければよい。
【００５０】
また、上記移動具５０のフック５１は突起７１と係合する形状であったが、各処理槽毎にフック５１と係合させることのできる部分の形状が異なるときは処理槽毎にフック５１の形状を変えればよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上詳細に説明した如く、請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、処理部の構成物を基板保持機構に固定して基板保持機構を移動させて、該構成物を移動させる。または、処理部に移動されるべき構成物を基板保持機構に固定して基板保持機構を移動させることによって、該構成物を移動させる。
【００５２】
このため、人力で構成物を移動させる場面が少なくなり、構成物の移動作業を容易に行うことができる。
【００５３】
しかも、基板処理装置が有する基板保持機構によって構成物を移動させるので構成物を移動させるための新たな移動機構が不要であり、装置のコスト上昇を最小限とできる。
【００５４】
また、請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、処理槽の移動作業を容易に行うことができる。
【００５５】
また、請求項１に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、保持機構側取付け部と処理槽側取付け部とを可撓性部材が結合しているので前記移動具と基板保持機構との取付け作業または取り外し作業、および前記移動具と処理槽との取付け作業または取り外し作業が容易である。
【００５７】
請求項２に記載の基板処理装置における処理部の構成物の移動具によれば、係合部を処理槽の突起に係合させるだけで移動具に対して処理槽を取付けできるので作業が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の移動具が取付けられる基板処理装置の斜視図である。
【図２】本発明の移動具が取付けられた基板処理装置の斜視図である。
【図３】本発明の移動具の詳細を表す図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
１０処理部
２０搬送ロボット
５０移動具
５１フック
５２ワイヤ
５３ワイヤブラケット
７０処理槽
Ｗ  基板
【図１】
0003962786.tif 000002
【図２】
0003962786.tif 000003
【図３】
0003962786.tif 000004