(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、
軸心周りに回転可能な回転軸を有し、前記キャリアを保持する保持板を備え、前記投入部と前記払出部との間を移動可能に構成したスライド板と、
未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを複数個同時に搬送する第１のキャリア搬送機構と、
投入時には未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出し、払出時には処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する第２のキャリア搬送機構と、
未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、
前記スライド板は、未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記投入部から前記投入部と前記払出部との間にあるキャリア搬送路にまで移動するとともに、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを９０°分回転させ、
前記第１のキャリア搬送機構は、前記スライド板が前記キャリア搬送路にある際に、複数個のキャリアを保持した状態で、前記キャリア搬送路に沿って移動して前記第２のキャリア搬送機構に複数個のキャリアを受け渡し、
前記第２のキャリア搬送機構は、投入時には前記第１のキャリア搬送機構から受け取ったキャリアを前記キャリア搬送路に直交する方向に搬送するとともに、前記キャリアから未処理の基板を取り出して前記基板搬送機構に受け渡し、払出時には前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納するとともに、処理済の基板が収納されたキャリアを投入時とは逆方向に搬送し、
前記第１のキャリア搬送機構は、前記第２のキャリア搬送機構にある複数個のキャリアを受け取って、前記キャリア搬送路に沿って移動して前記保持板に前記キャリアを受け渡し、
前記スライド板は、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを９０°分回転させるとともに、処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記キャリア搬送路から前記払出部にまで移動することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記キャリアを載置する載置台を、前記投入部または払出部または第１のキャリア搬送機構または第２のキャリア搬送機構または基板搬送機構のいずれか近くに備え、
前記載置台は上下方向に積層されている積層構造であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置において、
前記積層構造の載置台を前記第１のキャリア搬送機構の近くに備え、
前記第１のキャリア搬送機構を上下移動可能に構成し、
前記第１のキャリア搬送機構は、投入時には未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを上下方向に移動させつつ、前記投入部から積層構造の各載置台に各々のキャリアをそれぞれ受け渡し、さらに前記キャリアを上下方向に移動させつつ、積層構造の各載置台から各々のキャリアを前記第２のキャリア搬送機構にそれぞれ受け渡し、払出時には処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを上下方向に移動させつつ、前記第２のキャリア搬送機構から積層構造の各載置台に各々のキャリアをそれぞれ受け渡し、さらに前記キャリアを上下方向に移動させつつ、積層構造の各載置台から各々のキャリアを前記払出部にそれぞれ受け渡すことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板（以下、単に基板と称する）を複数の処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置に係り、特に、未処理の基板を投入する投入部、基板処理を行う処理部、および処理済の基板を払い出す払出部間で基板を搬送する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような基板処理装置として、例えば薬液処理を施すものがある。
これを図１９に示し、以下に説明する。この基板処理装置は、未処理の複数枚（例えば２５枚）の基板Ｗを収納したキャリアＣを投入する投入部１０１と、処理済の複数枚の基板Ｗを収納したキャリアＣ（カセットとも呼ばれる）を払い出す払出部１０２と、複数枚の基板Ｗに対して乾燥処理を施す乾燥処理部１０３を備えるとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を施す薬液処理部１０４、および複数枚の基板Ｗに対して洗浄処理を施す洗浄処理部１０５をそれぞれ複数個(図１９では２つ)分備えている。
【０００３】
投入部１０１には、キャリアＣを載置する投入用の載置台１０６が、払出部１０２には、キャリアＣを載置する払出用の載置台１０７が、それぞれ複数個（図１９では２つ）分配備されている。
【０００４】
投入部１０１と払出部１０２とに沿う位置には、これらの間を移動可能に構成した第１のキャリア搬送機構１０８が配置されている。この第１のキャリア搬送機構１０８は、未処理または処理済の基板Ｗを収納したキャリアＣを搬送する。
【０００５】
また、第１のキャリア搬送機構１０８から見て投入部１０１／払出部１０２側とは反対側には、第２のキャリア搬送機構１０９が配置されている。この第２のキャリア搬送機構１０９は、投入時には未処理の基板Ｗを収納したキャリアＣを搬送し、キャリアＣから基板Ｗを取り出し、払出時には処理済の基板ＷをキャリアＣに収納し、基板Ｗを収納したキャリアＣを搬送する。
【０００６】
また、基板搬送機構１１０が、基板処理装置の長手方向にある搬送路１１１を移動可能に構成されている。この基板搬送機構１１０は、未処理または処理済の基板Ｗを搬送する。
【０００７】
搬送路１１１の長手方向に沿って、上述の乾燥処理部１０３、薬液処理部１０４、および洗浄処理部１０５が、図１９に示すように配備されている。また、各薬液処理部１０４と各洗浄処理部１０５との間には、これらの間を移動可能に構成した処理間搬送機構１１２が配置されている。
【０００８】
上述した基板処理装置において、以下の手順で基板Ｗの薬液処理が行われる。すなわち、投入時には、未処理の複数枚の基板Ｗを収納したキャリアＣを、投入部１０１の載置台１０６に載置する。第１のキャリア搬送機構１０８は、載置台１０６に載置されたキャリアＣを搬送して、第２のキャリア搬送機構１０９に渡す。第２のキャリア搬送機構１０９は、そのキャリアＣから未処理の基板Ｗを取り出し、その基板Ｗを基板搬送機構１１０に渡す。
【０００９】
処理中には、基板搬送機構１１０は、乾燥処理部１０３、薬液処理部１０４、および洗浄処理部１０５の間で基板Ｗを受け渡し、基板Ｗの薬液／洗浄／乾燥処理を施す。また、処理間搬送機構１１２は、薬液処理部１０４、および洗浄処理部１０５の間で基板Ｗを受け渡し、基板Ｗの薬液／洗浄処理を施す。
【００１０】
払出時には、基板搬送機構１１０は、処理済の基板Ｗを第２のキャリア搬送機構１０９に渡す。第２のキャリア搬送機構１０９は、その基板ＷをキャリアＣに収納し、そのキャリアＣを第１のキャリア搬送機構１０８に渡す。第１のキャリア搬送機構１０８は、キャリアＣを搬送して、払出部１０２の載置台１０７に載置する。載置されたキャリアＣは、載置台１０７から払い出される。上述した手順で基板Ｗの薬液処理が一連にわたって行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の基板処理装置では、複数枚の基板を収納したキャリアを搬送することができるが、複数個のキャリアに相当する枚数分の基板を搬送することができない問題がある。
【００１２】
つまり、従来の基板処理装置では、１つのキャリアを搬送していたので、１つのキャリアに収納される枚数分の基板しか搬送することができない。その結果、例えば処理部で基板の処理の空き、あるいは搬送機構（第１／第２のキャリア搬送機構や基板搬送機構）でキャリアや基板の搬送の空きが生じた場合、基板の処理や搬送において無駄な時間が生じて、処理効率が悪くなる。その一方で、第２のキャリア搬送機構や基板搬送機構では、搬送された、あるいは搬送されるキャリアの数によって搬送または処理される基板の枚数が決定されるので、第２のキャリア搬送機構や基板搬送機構側から、搬送された、あるいは搬送されるキャリアの数を増減させることはできない。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、処理部や搬送機構での基板の処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板を効率良く処理することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、軸心周りに回転可能な回転軸を有し、前記キャリアを保持する保持板を備え、前記投入部と前記払出部との間を移動可能に構成したスライド板と、未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを複数個同時に搬送する第１のキャリア搬送機構と、投入時には未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出し、払出時には処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する第２のキャリア搬送機構と、未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記スライド板は、未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記投入部から前記投入部と前記払出部との間にあるキャリア搬送路にまで移動するとともに、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを９０°分回転させ、前記第１のキャリア搬送機構は、前記スライド板が前記キャリア搬送路にある際に、複数個のキャリアを保持した状態で、前記キャリア搬送路に沿って移動して前記第２のキャリア搬送機構に複数個のキャリアを受け渡し、前記第２のキャリア搬送機構は、投入時には前記第１のキャリア搬送機構から受け取ったキャリアを前記キャリア搬送路に直交する方向に搬送するとともに、前記キャリアから未処理の基板を取り出して前記基板搬送機構に受け渡し、払出時には前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納するとともに、処理済の基板が収納されたキャリアを投入時とは逆方向に搬送し、前記第１のキャリア搬送機構は、前記第２のキャリア搬送機構にある複数個のキャリアを受け取って、前記キャリア搬送路に沿って移動して前記保持板に前記キャリアを受け渡し、前記スライド板は、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを９０°分回転させるとともに、処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記キャリア搬送路から前記払出部にまで移動することを特徴とするものである。
【００１５】
〔作用・効果〕請求項１に記載の発明によれば、投入時には、未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入部に投入する。投入部に投入されたキャリアを保持板によって保持した状態で、投入部から投入部と払出部との間にあるキャリア搬送路にまで移動するとともに、回転軸によって保持板に保持されたキャリアを９０°分回転させ、第１のキャリア搬送機構は、スライド板がキャリア搬送路にある際に、複数個のキャリアを保持した状態で、キャリア搬送路に沿って移動して複数個のキャリアを第２のキャリア搬送機構に渡す。第２のキャリア搬送機構は、投入時には第１のキャリア搬送機構から受け取ったキャリアをキャリア搬送路に直交する方向に搬送するとともに、そのキャリアから未処理の基板を取り出し、その基板を基板搬送機構に渡す。基板搬送機構は、その基板を最初に基板処理を行う処理部に渡す。また、基板搬送機構は、基板を処理部間同士で受け渡し、各々の処理部で基板処理をそれぞれ行う。払出時には、基板搬送機構は、最後に基板処理を行った処理部から処理済の基板を第２のキャリア搬送機構に受け渡す。第２のキャリア搬送機構は、その基板をキャリアに収納し、そのキャリアを投入時とは逆方向に搬送して第１のキャリア搬送機構に渡す。第１のキャリア搬送機構は、第２のキャリア搬送機構にある複数個のキャリアを受け取って、キャリア搬送路に沿って移動して保持板にキャリアを受け渡し、スライド板は、回転軸によって保持板に保持されたキャリアを９０°分回転させるとともに、処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを保持板によって保持した状態で、キャリア搬送路から払出部にまで移動して、キャリアを払出部に渡し、キャリアは払出部から払い出される。
【００１６】
また、第１のキャリア搬送機構は、未処理または処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを複数個同時に搬送するので、投入時には第１のキャリア搬送機構は複数個のキャリアを投入部から第２のキャリア搬送機構に受け渡し、払出時には第１のキャリア搬送機構は複数個のキャリアを第２のキャリア搬送機構から払出部に受け渡す。このように、第１のキャリア搬送機構側から、搬送される、あるいは搬送されたキャリアの数をコントロールする。その結果、処理部で基板の処理の空き、あるいは搬送機構でキャリアや基板の搬送の空きが生じる場合には、その空きを埋めるように第１のキャリア搬送機構が複数個のキャリアを予め搬送することで、処理部や搬送機構での基板の処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板を効率良く処理することができる。
【００１７】
また、装置を設置する床面積（フットプリント）を軽減する点において、キャリアを載置する載置台を、投入部または払出部または第１のキャリア搬送機構または第２のキャリア搬送機構または基板搬送機構のいずれか近くに備え、上下方向に積層する積層構造とするのが好ましい（請求項２に記載の発明）。
【００１８】
特に、第１のキャリア搬送機構の近くに積層構造の載置台を備えた場合には、以下のように第１のキャリア搬送機構を構成するのが好ましい。すなわち、第１のキャリア搬送機構を上下移動可能に構成し、投入時には未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを上下方向に移動させつつ、投入部から積層構造の各載置台に各々のキャリアをそれぞれ受け渡し、さらにキャリアを上下方向に移動させつつ、積層構造の各載置台から各々のキャリアを第２のキャリア搬送機構にそれぞれ受け渡す。払出時には処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを上下方向に移動させつつ、第２のキャリア搬送機構から積層構造の載置台に受け渡し、さらにキャリアを上下方向に移動させつつ、積層構造の各載置台から各々のキャリアを払出部に受け渡す（請求項３に記載の発明）。
【００１９】
このように、第１のキャリア搬送機構を構成することで、フットプリントを軽減するのみならず、積層構造の載置台が、投入部／払出部と第１のキャリア搬送機構と第２のキャリア搬送機構との間のキャリアや基板の受け渡しの際での仮置きとしての機能を果たす。従って、投入部／払出部または第２のキャリア搬送機構のいずれかでキャリアや基板の搬送の空きが発生せずに待ち時間が発生する場合には、載置台に仮置きすることで待ち時間を発生させることなく、無駄なく（フルに）キャリアや基板の搬送を行わせることができる。さらに載置台を積層構造としているので、フットプリントが増大することなく、キャリアを載置台により多く載置することができる。
【００２０】
また、第１のキャリア搬送機構を上下移動可能に構成する以外に、第２のキャリア搬送機構を積層構造、あるいは上下移動可能に構成してもよいし、第１／第２のキャリア搬送機構をともに積層構造、あるいはともに上下移動可能に構成してもよい。さらには、上述したように積層構造の載置台を、投入部または払出部または第１のキャリア搬送機構または第２のキャリア搬送機構または基板搬送機構のいずれか近くに備えてもよいので、例えば第１／第２のキャリア搬送機構以外の投入部または払出部を積層構造にしてもよいし、基板搬送機構を上下移動可能に構成してもよい。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の処理部を除く投入部や払出部などの概略構成を示す斜視図であり、図２は、基板処理装置を平面視したときのブロック図であり、図３は、基板処理装置の投入部／払出部の正面図であり、図４は、基板処理装置の第１のキャリア搬送機構、第２のキャリア搬送機構、および基板搬送機構の正面図であり、図５は、第２のキャリア搬送機構と基板搬送機構との基板の受け渡しの様子を示した正面図であり、図６は基板搬送機構の概略構成図である。
【００２２】
本実施例に係る基板処理装置は、図１，２に示すように、未処理の複数枚（例えば２５枚）の基板Ｗを収納したキャリアＣを投入する投入部１と、処理済の基板Ｗを収納したキャリアＣを払い出す払出部２とを備えている。投入部１には、キャリアＣを載置する投入用の載置台１ａ，１ｂが、払出部２には、キャリアＣを載置する払出用の載置台２ａ，２ｂが、図２に示すようにそれぞれ配備されている。また、投入部１にキャリアＣを投入する投入口１Ａと、払出部２からキャリアＣを払い出す払出口２Ａとが、図１に示すように実施例装置の側壁部に設けられており、開閉可能に構成されている。
【００２３】
投入部１と払出部２との間には、キャリア搬送路３が図１，２に示すような方向で配備されている。キャリアＣを搬送するキャリア搬送機構４が、このキャリア搬送路３に沿って図１，２中の矢印ＲＡの方向に移動可能に構成されるとともに、キャリア搬送機構４内のスライド部４ａに沿ってキャリアＣが図１中の矢印ＲＢの方向に移動可能にスライドするようにキャリア搬送機構４は構成されている。また、キャリア搬送機構４には、キャリアＣの側部を把持してキャリアＣを搬送する把持部４ｂが設けられている。本実施例では、把持部４ｂは２個分のキャリアを水平に並べて把持して、キャリア搬送機構４がキャリアＣを２個同時に搬送するように構成されている。つまり、キャリア搬送機構４は、搬送方向(図１，２中の矢印ＲＡの方向)に水平面内で直交する方向に２個のキャリアＣを並べて同時に搬送する。このキャリア搬送機構４は、本発明における第１のキャリア搬送機構に相当する。
【００２４】
キャリア搬送機構４の搬送方向(図１，２中の矢印ＲＡの方向)に水平面内で直交する方向には、図２に示すように投入用搬送路５と払出用搬送路６とが並べて配備されるとともに、投入部１／払出部２側から払出用搬送路６，投入用搬送路５が順に配備されている。未処理の基板Ｗを収納したキャリアＣを搬送した後にそのキャリアＣから基板Ｗを取り出す投入用搬送機構７が、この投入用搬送路５に沿って図２中の矢印ＲＣの方向に移動可能に構成されるとともに、処理済の基板ＷをキャリアＣに収納した後にそのキャリアＣを搬送する払出用搬送機構８が、この払出用搬送路６に沿って図２中の矢印ＲＤの方向に移動可能に構成されている。
【００２５】
この投入用搬送機構７，払出用搬送機構８は、投入用／払出用搬送路５，６の搬送方向ＲＣ，ＲＤに対して、つまりキャリア搬送機構４での搬送方向（図１，２中の矢印ＲＡの方向）に水平面内で直交する方向に対してキャリア搬送機構４から受け渡されたキャリアＣの数に相当する距離だけ移動可能に構成されている。このことから、キャリア搬送機構４と投入用／払出用搬送機構７，８との間でのキャリアＣの受け渡しは、それぞれが搬送姿勢を変更せずに行われる。本実施例では、キャリア搬送機構４は２個のキャリアＣを同時に搬送するので、キャリア搬送機構４から受け渡されるキャリアＣの数は２個である。従って、投入用／払出用搬送機構７，８は、搬送方向ＲＣ，ＲＤにキャリアＣ２個分だけ移動可能に構成されている。この投入用／払出用搬送機構７，８は、本発明における第２のキャリア搬送機構に相当し、第２のキャリア搬送機構を、投入時に用いられる投入用搬送機構７と、払出時に用いられる払出用搬送機構８とに分けている。投入用／払出用搬送機構７，８の具体的構成については、後述する。
【００２６】
また、投入部１での投入用の載置台１ａ，１ｂ、および払出部２での払出用の載置台２ａ，２ｂとは別に、キャリアＣを仮置きする仮置き用の載置台９が、図１に示すようにキャリア搬送機構４の近くに配備されるとともに、載置台９は、上下方向に積層されている積層構造として構成されている。本実施例では、この載置台９は、キャリア搬送路３に沿うように配備されている。
【００２７】
キャリア搬送機構４の搬送方向(図１，２中の矢印ＲＡの方向)と平行に、基板搬送路１０が、図１，２に示すように、後述する処理部１２から投入用／払出用搬送路５，６まで延在されている。この基板搬送路１０は、投入用／払出用搬送路５，６と直交する。基板Ｗを搬送する基板搬送機構１１が、この基板搬送路１０に沿って図１，２中の矢印ＲＥの方向に移動可能に構成されている。基板搬送機構１１の具体的構成についても、後述する。
【００２８】
基板搬送路１０の搬送方向（図１，２中の矢印ＲＥの方向）に沿うようにして、処理部１２が配備されている。処理部１２は、図２に示すように基板Ｗに対して乾燥処理を施す乾燥処理部１３，基板Ｗに対して薬液処理を施す薬液処理部１４、および基板Ｗに対して洗浄処理を施す洗浄処理部１５を備えている。本実施例では、薬液処理部１４と洗浄処理部１５とを、それぞれ２つずつ備えている。
【００２９】
乾燥処理部１３は、例えば減圧して乾燥する減圧乾燥方式、あるいは高速回転させて乾燥するスピンドライ方式で構成されている。
【００３０】
薬液処理部１４は、薬液の入った薬液槽や薬液を供給する供給管や薬液を排出する排出管など（いずれも図示省略）から構成されている。基板Ｗを薬液槽内の薬液に浸漬することで薬液処理が行われる。薬液処理としては、例えばエッチングなどがある。エッチング処理の場合には、薬液としてフッ化水素（フッ酸）が挙げられる。
【００３１】
洗浄処理部１５は、例えば超純水などの洗浄液の入った洗浄槽や洗浄液を供給する供給管や洗浄液を排出する排出管など（いずれも図示省略）から構成されている。基板Ｗを洗浄槽内に浸漬することで洗浄処理が行われる。
【００３２】
基板搬送機構１１とは別に、各薬液処理部１４と洗浄処理部１５との間には、これらの間を移動可能に構成した処理間搬送機構１６が配備されている。
【００３３】
続いて、投入部１および払出部２の具体的構成について、図３を参照して説明する。投入部１と払出部２との間には、図３（ａ）に示すように、これらの間を（矢印ＲＦの方向に）移動可能に構成したスライド板１７が配備されている。このスライド板１７は、例えば回転ベルト（図示省略）などに接続されている。スライド板１７は、投入部１と払出部２とをむすぶ経路上の真下にあって、スライド板１７には、軸心周りに（矢印ＲＧの方向に）回転するとともに上下方向（矢印ＲＨの方向）に伸縮（昇降）自在の回転軸１７ａを有する保持板１７ｂを備えている。このようにスライド板１７を構成することで、以下の作用・効果を奏する。
【００３４】
すなわち、キャリアＣが載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂに載置されている場合には、回転軸１７ａを上に伸ばして保持板１７ｂを上に押し上げる。押し上げられた保持板１７ｂは、図３（ｂ）に示すように、載置されているキャリアＣの底部に接触し、保持板１７ｂの押上に連動してキャリアＣが保持板１７ｂによって保持された状態で押し上げられる。押し上げられたキャリアＣは載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂから浮いて離れた状態で、投入部１と払出部２との間の所望の場所に移動することができる。例えば、投入用の載置台１ａからキャリアＣを移動する場合には、隣の投入用の載置台１ｂ、または払出用の載置台２ａ，２ｂ、または投入部１と払出部２との間にあってキャリア搬送路３の真上に移動させることができる。
【００３５】
載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂからキャリア搬送路３の真上に移動する場合には、キャリアＣの向きを回転させるために回転軸１７ａを回転させる。回転軸１７ａの回転に連動して保持板１７ｂおよび保持板１７ｂに保持されたキャリアＣが、キャリアＣに収納された基板Ｗごと回転されて、基板Ｗの向きが変更される。キャリア搬送路３の真上から載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂに移動する場合も、逆の手順で行う。
【００３６】
載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂに載置する場合には、回転軸１７ａを下に縮めて保持板１７ｂを下げる。下げられた保持板１７ｂに連動してキャリアＣも下がる。そして、キャリアＣの底部に載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂが接触し、保持板１７ｂがキャリアＣから離れてキャリアＣが載置台１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂに載置される。
【００３７】
続いて、投入用／払出用搬送機構７，８および基板搬送機構１１の具体的構成について、図４〜６を参照して説明する。投入用／払出用搬送機構７，８は、同じ構成からなり、投入用と払出用とに分けているだけなので、投入用搬送機構７のみについて説明する。投入用搬送機構７は、図４に示すように投入用搬送路５の矢印ＲＣの方向に移動可能されたスライド板１８と、キャリアＣから基板Ｗを取り出す、あるいは基板ＷをキャリアＣに収納する取出・収納部１９とを備えている。スライド板１８は、投入用搬送路５の上に配備されており、取出・収納部１９は、後述する基板搬送機構１１の保持アーム２０の真下に配備されている。このスライド板１８は、投入部１と払出部２との間を移動するスライド板１７と同様に、例えば回転ベルト（図示省略）などに接続されている。
【００３８】
取出・収納部１９は、昇降自在に構成された軸１９ａと、それに保持された押上部材１９ｂとを備えている。キャリアＣ内の隣り合う基板Ｗの間隔をｄとしたときに、押上部材１９ｂは、間隔ｄ／２（以下、間隔ｄ／２を『ハーフピッチ』と呼ぶ）ごとに、１枚の基板Ｗを挟んで垂直方向に保持する挟持部１９ｃを備えている。従って、キャリアＣ内に収納されている基板Ｗの枚数が、例えば２５枚のときには、押上部材１９ｂは、ハーフピッチｄ／２ごとに５０個の挟持部１９ｃを備えているというように、キャリアＣ内に収納されている基板Ｗの枚数の２倍分だけ挟持部１９ｃが押上部材１９ｂに配備されることになる。
【００３９】
挟持部１９ｃをハーフピッチごとに設けた理由は、投入／払出時に同時に処理されるキャリアＣの数だけ基板の間隔を変更することにある。すなわち、本実施例では、キャリア搬送機構４は２個のキャリアＣを同時に搬送するとともに、キャリア搬送機構４と投入用／払出用搬送機構７，８との間でのキャリアＣの受け渡しは２個同時に行われ、投入用／払出用搬送機構７，８のスライド板１８は２個のキャリアＣを同時に搬送する。従って、投入／払出時に同時に処理されるキャリアＣの数は２個であって、２個のキャリアに収納された基板Ｗの全枚数が挟持部１９ｃによって保持される。
【００４０】
基板搬送機構１１は、上述したように基板搬送路１０に沿って図１，２中の矢印ＲＥの方向に移動可能に構成されている。この基板搬送機構１１は、図６（ａ）の平面図，（ｂ）の側面図，および（ｃ）の正面図に示すように、ハーフピッチｄ／２ごとに並べられた基板Ｗを把持する２本のアーム２０を備えている。取出・収納部１９の挟持部１９ｃと同様に、各アーム２０は、図６（ａ）に示すように基板Ｗの周縁を挟んで垂直方向に保持する挟持部２０ａを間隔ｄごとにそれぞれ備えている。一方のアーム２０に設けられた挟持部２０ａと、他方のアーム２０に設けられた挟持部２０ａとは、ハーフピッチｄ／２ごとに交互に並んでいる。このアーム２０は、図６中の矢印ＲＩの方向に、すなわち軸心周りに回転可能に構成されている。アーム２０の軸心周りの回転に連動して挟持部２０ａも軸心周りに回転される。
【００４１】
投入用／払出用搬送機構７，８と基板搬送機構１１との基板の受け渡しは以下のようにして行われる。すなわち、キャリア搬送機構４によって同時に搬送された２個のキャリアＣは、キャリア搬送機構４の把持部４ｂに把持された状態で投入用搬送機構７のスライド板１８に載置される。もちろん、載置される前にスライド板１８はキャリア搬送機構４のスライド部４ａに接触する場所にまで予め移動されている。把持部４ｂはキャリアＣの把持を解除した後に、スライド板１８は、キャリア搬送機構４から取出・収納部１９まで、投入用搬送路５の矢印ＲＣの方向に移動する。
【００４２】
スライド板１８に載置された２個のキャリアＣのうちの１個のキャリアＣが、図５（ａ）に示すように取出・収納部１９の押上部材１９ｂの真上にまで移動すると、取出・収納部１９の軸１９ａを上方向に伸ばして押上部材１９ｂを押し上げる。押上部材１９ｂが押し上げられ、挟持部１９ｃはキャリアＣに収納された基板Ｗの底部に接触すると、図５（ｂ）に示すように基板Ｗを挟んで垂直に保持した状態で基板Ｗを押し上げる。そのときキャリアＣはスライド板１８に載置されたまま収納された基板Ｗのみが押し上げられる。また、キャリアＣ内の隣り合う基板Ｗの間隔はｄであるので、挟持部１９ｃは間隔ｄごとに基板を保持している。従って、基板Ｗを保持する挟持部１９ｃと、基板Ｗを保持しない挟持部１９ｃとがハーフピッチｄ／２ごとに交互に並ぶことになる。
【００４３】
挟持部１９ｃが基板Ｗを基板搬送機構１１のアーム２０まで押し上げる前に、押し上げられた基板Ｗの周縁とアーム２０の挟持部２０ａとが接触するように、アーム２０を軸心周り（図６中の矢印ＲＩの方向）に予め回転させる。そして、基板の周縁を挟持部２０ａによって保持することでアーム２０が基板Ｗを保持した後、取出・収納部１９の軸１９ａを下方向に縮めて押上部材１９ｂを降下させる。このとき、基板Ｗはアーム２０によって保持されているので、挟持部１９ｃは基板Ｗから離れることになる。
【００４４】
押上部材１９ｂをスライド板１８よりも下に降下させた後、スライド板１８は、基板Ｗが収納されている方のキャリアＣを、図５（ｃ）に示すように取出・収納部１９の押上部材１９ｂの真上に位置するように投入用搬送路５の矢印ＲＣの方向に移動する。このとき、先に移動されたキャリアＣよりもハーフピッチｄ／２だけズラした位置にまでキャリアＣを移動する。これは、アーム２０に既に把持された基板Ｗとの衝突を避けるためである。
【００４５】
同様の手順で、押上部材１９ｂを押し上げて、キャリアＣに収納された基板Ｗを押し上げる。このとき、先のキャリアＣに収納された基板Ｗを保持しなかった挟持部１９ｃが基板Ｗを保持し、先のキャリアＣに収納された基板を保持した挟持部１９ｃが基板を保持しないことになる。押し上げられた基板Ｗの周縁とアーム２０の挟持部２０ａとが接触するように、アーム２０を軸心周り（図６中の矢印ＲＩの方向）に予め回転させた後、挟持部１９ｃが基板Ｗを基板搬送機構１１のアーム２０まで押し上げると、図５（ｄ）に示すようにアーム２０が基板Ｗを保持する。上述したようにハーフピッチｄ／２だけズラしているので、先に保持された基板Ｗの間に後に保持される基板Ｗが割り込む形となる。そして、一方のアーム２０の挟持部２０ａは先の基板Ｗを保持するとともに、他方のアーム２０の挟持部２０ａは後の基板Ｗを保持する。
【００４６】
このようにして、投入用搬送機構７から基板搬送機構１１への基板Ｗの受け渡しは上述の手順のように、基板Ｗを収納した２個分のキャリアＣをスライド板１８が同時に搬送し、２個のキャリアに収納された基板Ｗの全枚数を取出・収納部１９が取り出して、アーム２０に保持させることで行われる。
【００４７】
基板搬送機構１１から払出用搬送機構８への基板Ｗの受け渡しは、投入用搬送機構７から基板搬送機構１１への基板Ｗの受け渡しとは逆の手順で行われる。すなわち、基板搬送機構１１のアーム２０が基板Ｗを保持した状態で、押上部材１９ｂを押し上げて、挟持部１９ｃが基板Ｗを保持する。片方のアーム２０を軸心周り（図６中の矢印ＲＩの方向）に回転させてアーム２０の挟持部２０ａによる基板Ｗの保持を解除する。これによって１個のキャリアＣ内に収納されるべき基板Ｗのみが、挟持部１９ｃのみで保持されることになり、残りの基板Ｗは、挟持部１９ｃおよび挟持部２０ａの両方に保持されることになる。この状態で、押上部材１９ｂを降下させると、前者の基板Ｗのみがアーム２０より離れて、押上部材１９ｂの降下に連動してその基板Ｗも降下する。降下された基板ＷはキャリアＣ内に収納される。同様の手順で、残りのキャリアＣについても基板Ｗの収納を行う。
【００４８】
次に、基板Ｗが投入された後に、処理部１２における各乾燥／薬液／洗浄処理部１３〜１５にて基板がそれぞれ処理されて、基板Ｗが払い出されるまでの基板Ｗの一連の処理について、図７のフローチャート、および図８〜図１８の各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図を参照して説明する。
【００４９】
なお、説明の便宜上、２個のキャリアＣおよびそれらのキャリアＣに収納された、あるいは収納される基板Ｗのみに注目して、その他のキャリアＣおよびそのキャリアＣに収納された、あるいは収納される基板Ｗについては図示を省略する。また、各搬送機構（キャリア搬送機構４、投入用／払出用搬送機構７，８、および基板搬送機構１１など）についても、特に断りがない限り、図８〜１８に図示された位置に各搬送機構が配置されるのに限定されず、他の基板Ｗの処理状況によって各搬送機構の位置は適宜に変更される。
【００５０】
（ステップＳ１）キャリアを投入する
未処理の複数枚の基板Ｗを収納したキャリアＣを、図８（ａ）に示すように、投入部１に投入する。投入の際には、投入口１Ａから投入部１の載置台１ａに載置される。載置台１ａに載置されたキャリアＣは、スライド板１７（図１，３参照）によって、図８（ｂ）に示すように、投入部１と払出部２とをむすぶ経路上にあってキャリア搬送路３の近くにまで搬送される。この搬送の際には、キャリアＣの向きは、スライド板１７の回転軸１７ａ（図３参照）によって図３中の矢印ＲＧの方向に右回りに９０°分回転される。
【００５１】
この搬送されたキャリアＣとは別に、未処理の複数枚の基板Ｗを収納したキャリアＣを、図８（ｂ）に示すように、投入口１Ａを介して、投入部１の載置台１ａに載置する。同様に、載置台１ａに載置されたキャリアＣは、図９（ａ）に示すように、スライド板１７によってキャリア搬送路３の近くにまで搬送される。搬送の際には、キャリアＣの向きは、右回りに９０°分回転される。
【００５２】
本実施例では、スライド板１７が個々のキャリアＣを搬送したが、先に投入されたキャリアＣを載置台１ａに一旦載置した後に載置台１ｂに載置し、後に投入されて載置台１ａに載置されたキャリアＣと、先に投入されて載置台１ｂに載置されたキャリアＣとともに、スライド板１７が搬送してもよい。
【００５３】
（ステップＳ２）投入部から投入用搬送機構にキャリアを受け渡す
図９（ａ）に示すように、２個のキャリアＣがキャリア搬送路３の近くにまで搬送されると、図９（ｂ）に示す位置まで、キャリア搬送機構４がキャリア搬送路３上を移動する。つまり、キャリア搬送機構４の各把持部４ｂ（図１，２，４参照）が２個のキャリアＣの各側部にそれぞれ沿う位置にまでキャリア搬送機構４は移動する。キャリア搬送機構４の移動の際には、把持部４ｂがキャリアＣに衝突しないように、把持部４ｂを、キャリアＣよりも下もしくは上の位置で配備する。そして、２個のキャリアＣの各側部にそれぞれ沿う位置にまで把持部４ｂが移動されると、スライド部４ａ（図１参照）に沿って把持部４ｂがキャリアＣの側部にまで上下方向（図１，４中の矢印ＲＢの方向）にスライドされて、キャリアＣの各側部が各把持部４ｂによってそれぞれ把持される。
【００５４】
把持部４ｂによってキャリアＣを把持しつつキャリア搬送機構４は２個のキャリアＣを同時に搬送して、図１０（ａ）に示すように、投入用搬送路５にまで搬送する。投入用搬送路５に搬送されると、２個分のキャリアＣは投入用搬送路５上の投入用搬送機構７に渡される。詳述すると、投入用搬送機構７のスライド板１８（図４，５参照）をキャリア搬送機構４のスライド部４ａに接触する場所にまで予め移動し、キャリア搬送機構４の把持部４ｂに把持された状態で２個のキャリアＣをスライド板１８に載置する。
【００５５】
なお、基板Ｗの処理状況によって投入用搬送路５のスライド板１８に別のキャリアＣが載置されているときには、キャリアＣを仮置きするために仮置き用の載置台９（図１，４参照）に載置してもよい。具体的に説明すると、図９（ｂ）に示すように、把持部４ｂがキャリアＣを把持すると、把持部４ｂを上下方向（図１，４中の矢印ＲＢの方向）にスライドさせることで、キャリア搬送機構４は、キャリアＣを上下方向に移動させつつ、載置台９にキャリアＣを渡す。投入用搬送路５のスライド板１８にキャリアＣの空きが生じたら、把持部４ｂを上下方向（図１，４中の矢印ＲＢの方向）にスライドさせることで、基板搬送機構４は、キャリアＣを上下方向に移動させつつ、載置台９からスライド板１８に渡す。
【００５６】
（ステップＳ３）キャリアから基板を取り出す
２個のキャリアＣをスライド板１８に載置することで、投入用搬送機構７にキャリアＣを渡すと、把持部４ｂはキャリアＣの把持を解除する。そして、図１０（ｂ）に示すように、キャリア搬送機構４をキャリア搬送路３上の別の位置に退避させるのと同時に、２個のキャリアＣのうちの１個のキャリアＣが取出・収納部１９の押上部材１９ｂ（図４，５参照）の真上にまで位置するように、投入用搬送機構７（のスライド板１８）はキャリアＣを移動する。
【００５７】
なお、本実施例では、キャリア搬送機構４を図１０（ｂ）に示すような位置にまで退避させたが、キャリア搬送機構４を図１０（ａ）に示す位置のまま移動させずに、把持部４ｂのみを上下方向（図１，４中の矢印ＲＢの方向）にスライドさせてキャリアＣの把持を解除してもよい。
【００５８】
図１０（ｂ）に示すような位置にまで投入用搬送機構７（のスライド板１８）がキャリアＣを搬送すると、基板搬送機構１１は基板搬送路１０上に、図１１（ａ）に示すような位置にまで移動する。つまり、基板搬送機構１１のアーム２０が有する各挟持部２０ａ（図６参照）が２個のキャリアＣの各側部にそれぞれ沿う位置にまで基板搬送機構１１は移動する。上述したように、取出・収納部１９の挟持部１９ｃを押し上げて、その挟持部１９ｃが基板Ｗを挟んで垂直に保持した状態で基板Ｗを押し上げることで、キャリアＣ内から収納された基板Ｗを取り出す。そして、取り出された基板Ｗをアーム２０の挟持部２０ａが保持する。
【００５９】
図１１（ａ）に示すように基板搬送機構１１が基板Ｗを保持した後に、スライド板１８に載置されているもう１つのキャリアＣについても、同様の手順でキャリアＣから基板Ｗを取り出して基板搬送機構１１に渡す。すなわち、投入用搬送機構７（のスライド板１８）が、図１１（ｂ）に示すような位置にまでキャリアＣを搬送すると、挟持部１９ｃが基板Ｗを挟んで垂直に保持した状態で基板Ｗを押し上げて、キャリアＣ内から収納された基板Ｗを取り出す。そして、取り出された基板Ｗをアーム２０の挟持部２０ａが保持する。
【００６０】
このように、キャリアＣから取り出された基板Ｗをアーム２０の挟持部２０ａが挟んで垂直に保持することで、基板Ｗが基板搬送機構１１に渡される。また、２個分のキャリア内に収納された基板Ｗの全枚数を挟持部２０ａが保持するために、キャリアＣ内の隣り合う基板Ｗの間隔ｄが、挟持部２０ａに保持される段階でハーフピッチｄ／２に変更される。
【００６１】
（ステップＳ４）各処理部にて基板処理を行う
基板搬送機構１１は、アーム２０の挟持部２０ａが保持する基板Ｗを最初に基板処理を行う処理部１２（図１参照）に渡す。本実施例では、処理部１２中の薬液処理部１４にて薬液処理を行った後に、処理部１２中の洗浄処理部１５にて洗浄処理を行い、処理部１２中の乾燥処理部１３にて乾燥処理を行う。
【００６２】
基板搬送機構１１は、基板搬送路１０上に沿って、図１２（ａ）に示すように、基板Ｗを薬液処理部１４まで搬送する。搬送後、基板搬送機構１１は、図示を省略する薬液処理用のキャリアに基板Ｗを渡し、そのキャリアは基板Ｗを受け取った後に基板Ｗを薬液中に浸漬する。基板搬送機構１１は、基板Ｗを薬液処理部１４まで搬送した後に、他の基板Ｗを搬送するために、図１２（ｂ）に示すように、基板搬送路１０上を移動する。
【００６３】
なお、本実施例では、薬液に浸漬中は、基板搬送機構１１は他の基板Ｗの搬送を行っているが、基板搬送機構１１が基板Ｗを保持した状態で薬液に基板Ｗを浸漬してもよいし、基板搬送機構１１が処理間搬送機構１６に基板Ｗを渡した後に処理間搬送機構１６が基板Ｗを保持した状態で薬液に基板Ｗを浸漬してもよい。また、後述する洗浄液に浸漬する場合においても、図示を省略する上述のキャリアが基板Ｗを洗浄液に浸漬してもよいし、基板搬送機構１１あるいは処理間搬送機構１６が基板Ｗを保持した状態で洗浄液に基板Ｗを浸漬してもよい。
【００６４】
薬液処理部１４で基板Ｗを薬液に浸漬して、基板Ｗの薬液処理を終了すると、処理間搬送機構１６は、図１３（ａ）に示すように薬液処理部１４から洗浄処理部１５へと基板Ｗを搬送させて、基板Ｗを洗浄液中に浸漬する。
【００６５】
洗浄処理部１５で基板Ｗを洗浄液に浸漬して、基板Ｗの洗浄処理を終了すると、基板搬送機構１１は、図１３（ｂ）に示すように洗浄処理部１５まで移動して、基板Ｗを搬送する。そして、基板搬送機構１１は、図１４（ａ）に示すように基板Ｗを乾燥処理部１３まで搬送した後、基板Ｗを保持した状態で基板の乾燥処理を行う。本実施例では、基板搬送機構１１が基板Ｗを保持した状態で基板の乾燥処理を行ったが、図示を省略するキャリアを乾燥処理部１３に設置して、そのキャリアが保持した状態で基板Ｗの乾燥処理を行って、基板搬送機構１１の方は、乾燥処理の間、他の基板Ｗを搬送してもよい。
【００６６】
乾燥処理１３で基板Ｗの乾燥処理を終了すると、図１４（ｂ）に示すように基板搬送機構１１は基板Ｗを払出用搬送路６にまで搬送するとともに、２個のキャリアＣのうちの１個のキャリアＣが取出・収納部１９の押上部材１９ｂ（図４，５参照）の真上にまで位置するように、払出用搬送機構８のスライド板１８（図４，５参照）を払出搬送路６上に沿って移動する。
【００６７】
本実施例では、基板搬送機構１１が基板Ｗを払出用搬送路６にまで搬送するのと同時に、払出用搬送機構８（のスライド板１８）を移動させたが、基板搬送機構１１が基板Ｗを搬送するよりも前の段階で、２個のキャリアＣのうちの１個のキャリアＣが取出・収納部１９の押上部材１９ｂの真上にまで位置するように、払出用搬送機構８を予め搬送してもよい。
【００６８】
（ステップＳ５）キャリアに基板を収納する
図１４（ｂ）に示すような位置にまで基板搬送機構１１が基板Ｗを搬送すると、上述したように、基板搬送機構１１のアーム２０が基板Ｗを保持した状態で、挟持部１９ｃを押し上げて、挟持部１９ｃが基板Ｗを保持する。１個のキャリアＣ内に収納される基板Ｗのみについてアーム２０は基板Ｗの保持を解除して、挟持部１９ｃを降下させて、キャリアＣ内に基板Ｗを収納する。
【００６９】
図１４（ｂ）に示すように基板Ｗを収納して払出用搬送機構８に渡した後に、払出用搬送機構８のスライド板１８に載置されているもう１つのキャリアＣについても、同様の手順で基板Ｗを収納して払出用搬送機構８に渡す。すなわち、払出用搬送機構８（のスライド板１８）が、図１５（ａ）に示すような位置にまでキャリアＣを搬送すると、挟持部１９ｃを押し上げて基板を保持した後にアーム２０は基板Ｗの保持を解除して、挟持部１９ｃを降下させて、キャリアＣ内に基板Ｗを収納する。この段階で、ハーフピッチｄ／２からキャリアＣ内の隣り合う基板Ｗの間隔ｄに変更される。
【００７０】
（ステップＳ６）払出用搬送機構から払出部にキャリアを受け渡す
２個分のキャリアＣにそれぞれの基板Ｗが収納された後に、図１５（ｂ）に示すように基板搬送機構１１は他の基板Ｗを搬送するために基板搬送路１０上を移動し、払出用搬送機構８（のスライド板１８）は、図１６（ａ）に示すような位置にまでキャリアＣを搬送する。また、キャリア搬送機構４の各把持部４ｂが２個のキャリアＣの各側部にそれぞれ沿う位置にまでキャリア搬送機構４は移動する。投入時と同様に、２個のキャリアＣの各側部にそれぞれ沿う位置にまで把持部４ｂが移動されると、スライド部４ａに沿って把持部４ｂがキャリアＣの側部にまで上下方向にスライドされて、キャリアＣの各側部が各把持部４ｂによってそれぞれ把持される。
【００７１】
把持部４ｂによってキャリアＣを把持することで、キャリア搬送機構４は２個のキャリアＣを同時に搬送して、図１６（ｂ）に示すように、投入部１と払出部２とをむすぶ経路上にまで搬送される。
【００７２】
なお、基板Ｗの処理状況によって投入部１と払出部２とをむすぶ経路上や、投入部１、払出部２に別のキャリアＣが載置されているときには、キャリアＣを仮置きするために仮置き用の載置台９に載置してもよい。ステップＳ２でも述べたように、把持部４ｂがキャリアＣを把持すると、把持部４ｂを上下方向にスライドさせることで、キャリア搬送機構４は、キャリアＣを上下方向に移動させつつ、載置台９にキャリアＣを渡す。払出部２などにキャリアＣの空きが生じたら、把持部４ｂを上下方向にスライドさせることで、基板搬送機構４は、キャリアＣを上下方向に移動させつつ、載置台９から投入部１と払出部２とをむすぶ経路上に渡す。
【００７３】
（ステップＳ７）キャリアを払い出す
キャリア搬送機構４が投入部１と払出部２とをむすぶ経路上にまでキャリアＣを搬送した後、把持部４ｂはキャリアＣの把持を解除する。そして、図１７（ａ）に示すように、キャリア搬送機構４をキャリア搬送路３上の別の位置に退避させる。なお、本実施例では、キャリア搬送機構４を図１７（ａ）に示すような位置にまで退避させたが、キャリアＣを払出部２に払い出す際に、キャリアＣとキャリア搬送機構とは衝突しないので、キャリア搬送機構４を図１６（ａ）に示す位置のまま移動させなくてもよい。
【００７４】
一方、投入部１と払出部２とをむすぶ経路上にまで搬送されたキャリアＣは、図１７（ｂ）に示すようにスライド板１７によって払出部２まで搬送される。先ず、払出口２Ａ側にあるキャリアＣを、スライド板１７が載置台２ａにまで搬送して載置する。この搬送の際には、ステップＳ１での投入時でも述べたように、キャリアＣの向きは、スライド板１７の回転軸１７ａによって左回りに９０°分回転される。載置台２ａに載置されたキャリアＣは、払出部２Ａを介して、払出部２から払い出される。
【００７５】
同様に、もう１つのキャリアＣについても、図１８に示すようにスライド板１７が載置台２ａにまで搬送して載置する。搬送の際にはキャリアＣの向きは、左回りに９０°分回転されて、払出部２Ａを介して、払出部２から払い出される。
【００７６】
投入時でも述べたように、本実施例では、スライド板１７が個々のキャリアＣを搬送したが、スライド板１７が２個分のキャリアＣを同時に搬送し、載置台２ｂ，２ａに個々のキャリアＣを載置し、載置台２ａに載置されたキャリアＣを払い出した後に、載置台２ｂに載置されたキャリアＣを載置台２ａに一旦載置してから払い出してもよい。
【００７７】
以上のステップＳ１〜Ｓ７によって、基板Ｗの一連の処理が行われる。また、上述の構成を有する本実施例に係る基板処理装置は、以下の効果を奏する。すなわち、キャリア搬送機構４は、キャリアＣを２個同時に搬送するように構成されている。従って、例えば処理部１２（乾燥／薬液／洗浄処理部１３〜１５）で基板Ｗの処理の空き、あるいは搬送機構（投入用／払出用搬送機構７，８や基板搬送機構１１など）でキャリアＣや基板の搬送の空きが生じるような場合でも、キャリア搬送機構１１側から、搬送される、あるいは搬送されたキャリアＣの数をコントロールする（実施例では２個同時に搬送する）。その結果、処理部１２や搬送機構での基板Ｗの処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板Ｗを効率良く処理することができる。
【００７８】
また、本実施例では、上述の構成により、以下の効果をも奏する。すなわち、上下方向に積層されている積層構造として構成された載置台９が、キャリア搬送機構４の近くに配備されているので、フットプリントを軽減するのみならず、積層構造の載置台９が、（投入部１と払出部２とをむすぶ経路上を含む）投入部１／払出部２とキャリア搬送機構４と投入用／払出用搬送機構７，８との間のキャリアＣや基板Ｗの受け渡しの際での仮置きとしての機能を果たす。従って、投入部１／払出部２または投入用／払出用搬送機構７，８のいずれかでキャリアや基板の搬送の空きが発生せずに待ち時間が生じる場合には、載置台９に仮置きすることで、空きが発生するまで、投入部１／払出部２、キャリア搬送機構４、投入用／払出用搬送機構７，８が基板Ｗを保持あるいは載置する状態、すなわち待ち時間が発生することはない。従って、待ち時間を発生させることなく、無駄なく（フルに）キャリアＣや基板Ｗの搬送を行わせることができる。さらに載置台９を積層構造としているので、フットプリントが増大することなく、キャリアＣを載置台９により多く載置することができる。
【００７９】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００８０】
（１）上述した本実施例では、基板処理として、基板を（洗浄処理、乾燥処理を含む）薬液処理を施すものを例に採って説明したが、上述した基板処理に限定されない。例えば、上述した浸漬タイプのエッチング以外のエッチング処理（例えばドライエッチングやプラズマエッチングなど）や、上述した浸漬タイプ以外であって基板を回転させて洗浄する洗浄処理（例えばソニック洗浄や化学洗浄など）、化学機械研磨（ＣＭＰ）処理や、フォトリソグラフィー処理や、スパッタリング処理や、化学気相成長（ＣＶＤ）処理や、アッシング処理などのように、半導体基板、液晶表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板を通常の手法でもって行う基板処理であれば、本発明に適用することができる。
【００８１】
（２）上述した本実施例では、キャリア搬送機構４は、２個分のキャリアＣを水平に並べて同時に搬送したが、上下方向に積層してキャリアＣを同時に搬送してもよい。また、キャリア搬送機構４が搬送するキャリアＣの個数についても、２個に限定されず、３個以上であってもよい。
【００８２】
（３）上述した本実施例では、積層構造の載置台９をキャリア搬送機構４の近くに備えたが、投入部１／払出部２またはキャリア搬送機構４または投入用／払出用搬送機構７，８または基板搬送機構１１のいずれか近くに載置台９を備えてもよい。また、キャリア搬送機構４を上下移動可能に構成する以外に、投入用／払出用搬送機構７，８を積層構造、あるいは上下移動可能に構成してもよいし、キャリア搬送機構４、投入用／払出用搬送機構７，８をともに積層構造、あるいはともに上下移動可能に構成してもよい。また、載置台９を必ずしも備える必要はない。
【００８３】
（４）上述した本実施例では、本発明における第２のキャリア搬送機構を、投入時に用いられる投入用搬送機構７と、払出時に用いられる払出用搬送機構８とに分けたが、投入時と払出時とを１つの搬送機構で兼用させてもよい。
【００８４】
（５）上述した本実施例では、投入用／払出用搬送機構７，８は、２個のキャリアＣを同時に搬送して、基板Ｗの間隔ｄをハーフピッチｄ／２に変更して、２個分のキャリアＣに収納された基板Ｗをまとめて、基板搬送機構１１が搬送したが、投入用／払出用搬送機構７，８が３個以上のキャリアＣを同時に搬送して、基板Ｗの間隔ｄを搬送されたキャリアＣの数だけ縮小して、搬送された数のキャリアＣに収納された基板Ｗをまとめて、基板搬送機構１１が搬送してもよい。また、投入用／払出用搬送機構７，８が１つのキャリアＣのみを搬送して、基板Ｗの間隔をせずに、１つ分のキャリアに収納された基板Ｗを基板搬送機構１１が搬送してもよい。
【００８５】
（６）上述した本実施例では、キャリア搬送機構４および投入用／払出用搬送機構７，８は、搬送姿勢を変更せずにキャリアＣを受け渡したが、例えば軸心周りに回転させて搬送姿勢を変更してキャリアＣを受け渡してもよい。
【００８６】
（７）上述した本実施例では、各搬送機構は図１〜６に示すような構成であったが、キャリアや基板を搬送する機構、キャリアから基板を取り出す、あるいは収納する機構であれば、上述の構成を有する搬送機構に限定されない。
【００８７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、第１のキャリア搬送機構は、未処理または処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを複数個同時に搬送するというように、第１のキャリア搬送機構側から、搬送される、あるいは搬送されたキャリアの数をコントロールする。その結果、処理部や搬送機構での基板の処理や搬送において空きによる無駄時間を低減させて基板を効率良く処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例に係る基板処理装置の処理部を除く投入部や払出部などの概略構成を示す斜視図である。
【図２】本実施例に係る基板処理装置を平面視したときのブロック図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、本実施例に係る基板処理装置の投入部／払出部の正面図である。
【図４】本実施例に係る基板処理装置のキャリア搬送機構、投入用／払出用搬送機構、および基板搬送機構の正面図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、本実施例に係る投入用／払出用搬送機構と基板搬送機構との基板の受け渡しの様子を示した正面図である。
【図６】本実施例に係る基板搬送機構の概略構成図であって、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図７】本実施例に係る基板処理装置での基板Ｗの一連の処理を示すフローチャートである。
【図８】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図９】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１２】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１３】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１５】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１６】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１７】（ａ），（ｂ）は、各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１８】各処理における基板処理装置の様子を平面視したときのブロック図である。
【図１９】従来の基板処理装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
Ｗ  …  基板
Ｃ  …  キャリア
１  …  投入部
２  …  払出部
４  …  キャリア搬送機構
７  …  投入用搬送機構
８  …  払出用搬送機構
１１  …  基板搬送機構
１２  …  処理部
１３  …  乾燥処理部
１４  …  薬液処理部
【図１】
0003979804.tif 000002
【図２】
0003979804.tif 000003
【図３】
0003979804.tif 000004
【図４】
0003979804.tif 000005
【図５】
0003979804.tif 000006
【図６】
0003979804.tif 000007
【図７】
0003979804.tif 000008
【図８】
0003979804.tif 000009
【図９】
0003979804.tif 000010
【図１０】
0003979804.tif 000011
【図１１】
0003979804.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
0003979804.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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