(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め規定された容積範囲の磁気フィールドを測定し出力信号を生成するセンサ（６）と、該容積範囲を含むヘルムホルツコイル手段と、ヘルムホルツコイル手段を励起するコイル励起手段と、該容積範囲外の位置に配置されこの位置における磁気フィールドに依存する出力信号（１ａ）を生成する第１検出器（１）とを含む磁気装置において、
該容積範囲の磁気妨害フィールドの能動的補正のための補正装置をさらに含み、補正装置は、
該容積範囲内の位置に配置されこの位置における磁気フィールドに依存する出力信号（２ａ）を生成する第２検出器（２）と、
第１検出器（１）の出力信号（１ａ）を第１入力信号（３ａ）とし、第２検出器（２）の出力信号（２ａ）を第２入力信号（３ｂ）とする増幅器（３）とを含み、
増幅器（３）は出力信号（３ｃ）を生成し、この出力信号をコイル励起手段に供給して、ヘルムホルツコイル手段内の磁気妨害フィールドを補正するようコイル励起手段を制御することを特徴とする磁気装置。
【請求項２】
第２検出器（２）の出力信号（２ａ）が経験的に規定された伝送機能（Ｈｓ）を有するフィルタ（７）に供給され、フィルタは該出力信号（２ａ）を増幅器（３）に供給する前に信号処理することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁気装置。
【請求項３】
第１検出器（１）及び第２検出器（２）はそれぞれ、すべての空間方向で磁気フィールドを検出するための複数のセンサを含み、増幅器（３）は該複数のセンサからの出力信号を処理し、ヘルムホルツコイル手段は３軸のヘルムホルツ保持器（４）であることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁気装置。
【請求項４】
ヘルムホルツ保持器の内部容積は全て該容積範囲に含まれることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の磁気装置。
【請求項５】
ヘルムホルツ保持器の内部容積は部分的に該容積範囲に含まれることを特徴とする請求の範囲第３項に記載の磁気装置。
【請求項６】
第１及び第２検出器（１、２）はＥＳＲセンサ、ＮＭＲセンサ、ＭＲＩセンサ、フルックス・ゲート（Ｆｌｕｘ  Ｇａｔｅ）センサ、コイル、ＳＱＵＩＤセンサまたはホール効果センサであることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁気装置。
【請求項７】
該センサ（６）は該出力信号を有効信号（６ａ）として生成することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁気装置。
【請求項８】
磁気遮蔽空間（ＭＳＲ）をさらに含み、該容積範囲及び第２検出器（２）は磁気遮蔽空間の内部にあることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の磁気装置。
【請求項９】
第１検出器（１）及びヘルムホルツコイル手段は磁気遮蔽空間の外部にあることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の磁気装置。
【請求項１０】
第１検出器（１）及びヘルムホルツコイル手段は磁気遮蔽空間の内部にあることを特徴とする請求の範囲第８項に記載の磁気装置。
【請求項１１】
装置はＭＲＩシステムの一部であり、第１検出器（１）、第２検出器（２）、センサ（６）は磁気遮蔽空間の内部に配置されていることを特徴とする請求の範囲第８項または第１０項に記載の磁気装置。
【請求項１２】
センサ（６）が配置される予め規定された容積範囲の磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法において、
該容積範囲外の位置に配置される第１検出器（１）により、この位置における磁気フィールドに依存する第１信号（１ａ）を生成する第１生成工程と、
該容積範囲内の位置に配置される第２検出器（２）により、この位置における磁気フィールドに依存する第２信号（２ａ）を生成する第２生成工程と、
増幅器（３）により、第１生成工程で生成される第１信号（１ａ）と第２生成工程で生成される第２信号（２ａ）を処理して、出力信号（３ｃ）を生成する処理工程と、
処理工程で生成される出力信号（３ｃ）を励起手段に供給して、励起手段の出力を制御する第１供給工程と、
第２供給工程で制御される励起手段の出力を、該容積範囲を含むヘルムホルツコイル手段に供給する第２供給工程を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
処理工程において、フィルタ（７）を用いて、第２信号（２ａ）を経験的に規定された伝送機能（Ｈｓ）により処理し、第１供給工程において、該伝送機能により処理した第２信号を増幅器の入力信号（３ｂ）として供給し、第２供給工程において、該容積範囲における磁気妨害フィールドが少なくとも部分的に補正されるように、増幅器（３）の出力信号（３ｃ）により、ヘルムホルツコイル（４）を介して電流を調節することを特徴とする請求の範囲第１２項に記載の方法。
【請求項１４】
第１生成工程の前に増幅器（３）の調節パラメータを設定する設定工程と、該パラメータを維持する維持工程と、第２検出器（２）およびフィルタ（７）を用いず、維持工程で維持されるパラメータを用いて操作する操作工程をさらに含むことを特徴とする請求の範囲第１２項に記載の方法。
【請求項１５】
ＳＱＵＩＤシステムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１６】
ＭＲＩ（核磁気共鳴画像）システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１７】
ＥＳＲ（電子スピン共鳴）システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１８】
ＮＭＲ（核磁気共鳴）システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１９】
電子ビームシステムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【請求項２０】
加速装置システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第１２項〜第１４項のいずれか１つに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
本発明は、予め規定された容積範囲における磁気および詳しくは電磁気妨害フィールドの能動的補正のための装置および方法に関する。
現在の測定技術では振幅がきわめて低い電磁気放射磁気フィールドの検出が可能である。たとえば、医療技術においては、核スピン共鳴（ＮＭＲ：核磁気共鳴）や特に結像核スピン共鳴（ＭＲＩ：磁気共鳴画像）を用いて、
0004015205.tif 000002
という小さな範囲の振幅を把握することができる。しかも、ＳＱＵＩＤセンサ（ＳＱＵＩＤ：超伝導量子干渉装置）では
0004015205.tif 000003
の範囲までの信号レベルが把握される。
しかし、有効信号のこのような小さなフィールド振幅は、通常その瞬間の電磁気および磁気妨害フィールドの近く、または部分的にそれより下にある。
このような妨害フィールドは、たとえばエレベーター、鉄道および自動車など可動の金属物質により惹起される。このような妨害フィールドの周波数は０乃至約１０ヘルツの範囲にある。さらに、非対称的に負荷した電力供給装置により、５０ヘルツの範囲の妨害およびその調波が発生することがある。上述した妨害フィールドはＭＲＩ測定時のいわゆる「ゴースト像」の原因となると同時に、結果としてＮＭＲ測定時の共鳴変位につながる。
予め規定された容積範囲における電磁気や特に磁気妨害フィールドの能動的補正のための従来の装置は、たとえばＭＲＩ機器でも電子放射機器でも石版術や顕微鏡検査に応用される。たとえば、電子走査顕微鏡の陰極から確認される電子は検体の走査時に、たとえばコイルにより惹起される電磁気フィールドにより前述のようにして偏向する。顕微鏡中に存在する磁気および電磁気妨害フィールドは、衝突点がある一定の不鮮明さでのみ示される程度に、検体への電子の進路に影響をおよぼす。この理由により、コイルは電子顕微鏡が存在する空間の壁に装着される。空間内ではフレックスゲートセンサを用いて磁気妨害フィールドが測定され、こうして得られた電気信号は負のフィードバックとともにディジタル信号処理により壁に存在するコイルの励起に用いられる。
このようにして磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のために実現されるシステムには、たしかに妨害フィールドは可能な限り正確に補正されるが、この報告はセンサの位置のみで完全に有効であるという欠点がある。したがって、このような方法にはいずれの場合においても系統的な欠陥がある。
しかし、その信号が負のフィードバックに用いられるセンサを顕微鏡内の電子路の近くに配置することが可能である。これは、そうすることでこの負のフィードバックにより電子の明らかな偏向のために使用される電磁気フィールドも補正されるためである。
同様にして、ＭＲＩシステムでの妨害フィールドのこのような能動的補正の目的は、３つの互いに相対して垂直の軸における妨害周囲フィールドの軽減である。この場合の妨害レベルは通常、
0004015205.tif 000004
の範囲であり、
0004015205.tif 000005
まで軽減しなければならない。この場合でもセンサは負のフィードバックの制御のために測定空間に配置することはできない。配置すれば、測定信号は磁気フィールド補正により少なくとも変造されるためである。
したがって、測定感度の上昇と並行して、現存する電磁気妨害フィールドを抑制して測定分析をさらに改善し、現在のセンサの潜在力を完全に利用するとともに、電気的に充電した粒子を規定された電磁気フィールドを用いて正確に制御できる必要が発生した。さらに、期待される信号レベルよりもはるかに低い磁気および電磁気の雑音レベルのある周囲条件の提供が、このような技術の有効な商業利用のための出発点である。
ＥＰ０  ５１４  ０２７  Ａ２において、ＳＱＵＩＤセンサと磁気妨害を除去する一対のコイルを備えた磁気妨害を軽減するための装置が公開されており、この場合、センサ信号はコイルにフィードバックされる。この装置には、妨害フィールドがセンサの位置でのみ補正されるという、すでに上述した欠点が備わっている。
したがって、本発明の課題は、現在の有効信号に本質的に影響をおよぼすことなく、実際の「生起の場」における電磁気、特に磁気妨害フィールドを補正することである。
この課題は、請求の範囲第１項に記載の装置および請求の範囲第１２項に記載の方法により驚くほど簡単に解決される。
この場合、予め規定された容積範囲を実質的に含む少なくとも１個のヘルムホルツコイルと、少なくとも１個の第１のセンサがセンサの位置の磁気および／または電磁気フィールドに依存する信号を生成するために予め規定された容積範囲内に配置されたセンサ信号に依存したヘルムホルツコイルの励起のための装置とを用いて予め規定された容積範囲の磁気および／または電磁気妨害フィールドの能動的補正のための装置が提供される。さらに、センサの位置での磁気および／または電磁気フィールドに依存する信号の生成のために、少なくとも１個の第２のセンサが予め規定された容積範囲外に配置されている。第１および第２のセンサの信号は、ヘルムホルツコイルに付属する調節増幅器の励起のための入力信号として用いられる。第１のセンサの信号は、たとえば通常、ディジタル構成された調節増幅器の調節入力における経験的に規定された伝送機能の過程に従って励起されるとともに、ディジタル調節増幅器の出力信号が、予め規定された容積範囲における磁気および／または電磁気妨害フィールドが少なくとも部分的に補正されるように、ヘルムホルツコイルを介して電流を調節する。
予め規定された容積外の第２のセンサの選別された電気信号は好ましくは増幅され、ヘルムホルツコイルに対する第２のセンサの配置に応じて、コイルに前結合またはフィードバックされる一方、予め規定された容積内の第１のセンサの電気信号は妨害信号として妨害フィールド補正の「品質」が示され、前結合のパラメータの調節に適応性に用いられる。
このようにして、好ましくは妨害フィールドは本来の関連位置で、たとえば電子顕微鏡内の電子路上で適切に補正することができる。
すべての３つの空間方向で磁気および／または電磁気フィールドを把握し、その電気信号がディジタル調節増幅器の励起のために用いられるとともに、ディジタル調節増幅器の出力信号により、予め規定された容積内のすべての３つの空間方向における磁気および／または電磁気フィールドが実質的に補正されるように、３軸のヘルムホルツ保持器のコイルを介して電流が制御されるとき、この装置は三次元の予め規定された容積における磁気および／または電磁気妨害フィールドの能動的補正のために用いることができる。
予め規定された容積範囲が実質的にヘルムホルツ保持器内の全容積を含み、すなわち第２のセンサがヘルムホルツ保持器外にあると、第２のセンサの選別された電気信号は有利に増幅され、コイルに前結合されると同時に、第１のセンサの電気信号は妨害フィールドの質が示し、前結合のパラメータの設定に用いられる。
これに対して、予め規定された容積範囲がヘルムホルツ保持器内の限定された容積部分のみを含み、第２のセンサもヘルムホルツ保持器内に配置されると、第２のセンサの選別された電気信号は有利に増幅し、負のフィードバックでコイルに供給されると同時に、第１のセンサの電気信号はさらに妨害フィールド補正の質が示し、フィードバックのパラメータの設定に用いられる。このような配置であれば、たとえば負のフィードバックを有する従来の補正装置におけるフィードバックパラメータの設定に使用することができる。したがって、妨害フィールド補正のための従来のシステムにおける負のフィードバックのフィードバックパラメータの専門家によってのみ手動で実施可能で、めんどうな通常の設定を自動で実現することができる。
利用に応じるとともに必要に応じて、予め規定された容積内外の多数のフィールドセンサ、たとえばコイル、フルックスゲートセンサ、ＥＳＲセンサ、ＭＮＲセンサ、ＳＱＵＩＤセンサおよびホール効果センサなどにより本発明の原理は実施される。有利にも、たとえば予め規定された容積外のフラックゲートセンサやヘルムホルツ保持器内のＳＱＵＩＤセンサまたは保持器外（第２のセンサとして）および／または保持器内（第１のセンサとして）の多数の異なるセンサなど、種々のセンサも同時に用いることができる。この高い融通性は、本発明による方法がそれぞれの電磁気妨害フィールドおよび有効フィールドにつねに最適に適用されることを示している。
この方法の高い適用性に基づき、本発明による装置は多くの測定や作業経過の能動的な磁気および／または電磁気遮蔽に利用され、この場合、たとえば有効信号として把握され、または電気粒子の制御のために使用される有効フィールドとして磁気および／または電磁気フィールドが役割を果たす。
有利にも、本発明によれば、予め規定された容積に存在する１個以上のセンサが有効信号の把握のために、たとえばＮＭＲシステムにおけるＮＭＲセンサやＳＱＵＩＤシステムにおけるＳＱＵＩＤセンサが同時に第１のセンサとしても妨害信号の把握のために使用されることにより、第１のセンサは少なくとも部分的に使用されるとともに節約される。本発明の別の構成において、この装置は磁気遮蔽空間（ＭＳＲ）を含むことができる。この場合、ヘルムホルツコイルは外部で磁気遮蔽空間に装着され、少なくとも１個の第２のセンサが予め規定された容積範囲外に配置されるとともに、少なくとも１個の第１のセンサが予め規定された容積範囲における磁気遮蔽空間の内部に配置される。有利にも、本発明は、すでに述べた磁気遮蔽空間（磁気的に遮蔽された空間、ＭＳＲ）など受動的磁気遮蔽法と簡単に結合し、磁気および／または電磁気妨害フィールドのこれまで達成されていない抑制を維持することができる。このようにして、本発明による能動的補正によるＭＳＲの減衰は、能動的抑制なしのＭＳＲにおける減衰に比べて０．１Ｈｚで約３５ｄＢ上昇させることができた。従来のＭＳＲの妨害フィールド抑制が他の周波数範囲に比べて構造的に軽減される、平均周波数０．１〜０．２Ｈｚの周波数範囲においては、本発明による磁気および／または電磁気妨害の追加的な能動的補正では従来技術による装置に対して大幅な改善が提供される。
ある一定の条件下に、本発明による妨害フィールド抑制を行うことで磁気的に遮蔽された空間の使用はしかも完全に節約され、または簡単な手段で実現される。
さらに、本発明による装置では、たとえばＮＭＲシステム、ＭＲＩシステム、ＥＳＲシステム、電子放射システムおよび加速装置システム（たとえば線形加速器）の磁気および／または電磁気妨害フィールドが役割を果たす多数のシステムの遮蔽のために使用することができる。
本発明のいつかの実施形態について、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
図１は、第２のセンサ１がヘルムホルツ保持器外に配置され、第１のセンサ２がヘルムホルツ保持器の予め規定された容積内に配置されている、予め規定された容積内の磁気および／または電磁気妨害フィールドの能動的補正のための本発明による装置の実施例の回路図を示し、
図２は、図１に示した実施例の本発明による能動的補正の有無における磁気的に遮蔽された空間の垂直方向の周波数に依存した磁気妨害フィールドの減衰の経過を比較した図であり、
図３は、第１のセンサがヘルムホルツ保持器内に配置され、第２のセンサがヘルムホルツコイルの予め規定された容積内に配置された本発明による装置の別の実施形態の回路図である。
図１には、予め規定された容積内部の電磁気妨害フィールドの能動的補正のための本発明による装置の実施形態の回路図が示されている。装置は、予め規定された容積範囲を実質的に包囲する少なくとも１個のヘルムホルツコイルを含む。このとき、予め規定された容積範囲は本発明による意味において、その内部に磁気および／または電磁気妨害が画像把握経過または結像経過に対して影響をおよぼす容積を含む。この場合、予め規定された容積範囲は少なくともその内部で上述した妨害が補正されるべき容積を少なくとも含む。部分補正では、たとえば電子顕微鏡における複写レンズやビーム経路または加速装置における目標範囲、電子ビーム石版術装置におけるビーム経路や光学系等の規定された容積範囲も選択することができる。
さらに、センサ１の位置での電磁気フィールドに依存する電気信号１ａの生成のためにヘルムホルツコイル外に少なくとも１個の第２のセンサ１と、センサ２の位置での電磁気フィールドに依存する電気信号２ａの生成のために予め規定された容積範囲内に少なくとも１個の第１のセンサ２が配置されている。第１および第２のセンサ（１ａ，２ａ）は入力信号（３ａ，３ｂ）としてヘルムホルツコイルに付属する調節増幅器３を励起する。特に、電気信号１ａはディジタル調節増幅器３の信号入力部を励起するための入力信号３ａとして用いられ、電気信号２ａは（図１のフィルタ７で示した）経験的に規定された伝導機能Ｈsの経過に従って、ディジタル調節増幅器３の調節入力部における入力信号３ｂとして設けられる。ディジタル調節増幅器３の出力信号３ｃはヘルムホルツコイルにより電流を励起する。このヘルムホルツコイルは本発明により、妨害フィールドを実質的に１つまたは２つの空間方向で補正するように配置することができるが、予め規定された容積範囲を含むヘルムホルツ保持器４も、惹起される電流がすべての３つの空間方向で予め規定された容積範囲のヘルムホルツ保持器４により電磁気および／または磁気妨害フィールドを実質的に補正するように構成することができるとともに、ディジタル増幅器ユニット３から電流励起することができる。
この場合、センサ１およびセンサ２は３つの空間方向における測定値を把握し、または各空間方向のために少なくとも１個のセンサを予め規定された容積範囲の内外に備えられ、ディジタル調節増幅ユニット３は多次元の測定値の処理やヘルムホルツ保持器の電流励起のために備えられている。
図１に示した実施形態における前記の場合、予め規定された容積は実質的にヘルムホルツ保持器の内部を含み、すなわち第２のセンサはヘルムホルツ保持器の外に配置される。したがって、予め規定された容積外の第２のセンサの選別された電気信号は本発明により増幅し、コイルに前結合されると同時に、予め規定された容積内の第１のセンサの電気信号はこの前結合のパラメータを適用性に設定するために用いられる。この場合、増幅や位相長さなど重要なパラメータは適用性の方法により、たとえば磁気および／または電磁気妨害フィールドに依存する妨害信号の最小の平均二次誤りの最小限化により規定される。別の最小限化方法は当業者には周知であり、さらに詳しい説明は不用である。調節パラメータは変更され、予め規定された容積範囲における妨害信号の測定結果は、方法に対応してパラメータの新しい設定の基礎とみなされる。測定された妨害信号は、システムＨsのインパルス応答ｈSによるセンサ−時間−信号の畳み込みに対応する経験的に規定された伝導機能Ｈsを有するフィルタ７を伝わる。次に、畳み込まれた信号により、ディジタル調節増幅器ユニットの調節入力部が調節パラメータの設定のために励起される。最適な調節パラメータは、予め規定された容積範囲の磁気および／または電磁気妨害フィールドが最小化されるパラメータである。Ｈsは調節出力部から内部センサ２間での伝導路の複写に対応し、すなわちＨsはもちろん商慣習上のＦＦＴ分析器を用いても測定することができる。フィルタ７および調節増幅器に形成された伝導区間が時間的に安定であることを前提に、センサ２を切断し、調節増幅器３の伝導パラメータを保持することができる。別の実施形態において、センサ２は切断されず、調節パラメータは上述した適用性方法により構造的に変更された周囲条件に適合される。
第２のセンサ１および第１のセンサ２として、必要に応じてすべての磁気フィールドセンサ、たとえばコイル、フルックスゲートセンサ、ＥＳＲセンサ、ＭＮＲセンサ、ＳＱＵＩＤセンサおよびホール効果センサが利用される。たとえば、ＮＭＲシステムには予め規定された容積内でＮＭＲセンサが第１のセンサとして存在する。本発明によれば、本発明の実施形態においても種々のセンサ、たとえば予め規定された容積外のフルックスゲートセンサやヘルムホルツ保持器内のＳＱＵＩＤセンサまたは予め規定された容積範囲における電磁気妨害フィールドの可能な限り位置依存性の補正を達成するための保持器の外部および／または内部の多数の異なるセンサも同時に利用された。
別の実施形態において、その他のセンサ６として有効信号を把握するために、たとえばＮＭＲまたはＥＳＲシステムにおけるＮＭＲセンサまたはＥＳＲセンサが配置されている。別の実施形態においてこのセンサ６は、磁気および／または電磁気妨害フィールドに依存する妨害信号の把握のため備えられるとともに、磁気および／または電磁気有効フィールドに依存する有効信号の把握のために備えられている。有効フィールドとして、たとえばＳＱＵＩＤシステムにおけるヒトの脳波により生成する電磁気フィールドまたは電気的に充電される部分を加速するための加速装置における電磁気フィールドが考慮される。有効信号および妨害信号はたとえば信号の通常存在する種々のスペクトル挙動により分離される。
種々実施形態において、装置は多数のシステム、たとえばＮＭＲシステム、ＭＲＩシステム、ＥＳＲシステム、電子放射システムおよび加速装置システム（たとえば線形加速器）の遮蔽のために利用することができる。
さらに、能動的遮蔽の本発明は磁気的に遮蔽された空間の磁気的遮蔽方法と結合された。本発明の実現された実施形態において、ヘルムホルツコイルはＭＳＲの外部に装着された。センサ１としてフラックスゲートセンサが用いられ、予め規定された容積の内部、すなわち磁気的に遮蔽された空間の内部にはセンサ６として、有効信号および妨害信号を把握するＳＱＵＩＤセンサが用いられた。ヘルムホルツコイルはＤＣ−２ｋＨｚの調節増幅器で励起された。
図２は、図１のＭＳＲに対応する実施形態の本発明による能動的補正および受動的磁気遮蔽のこのような結合を示す。電磁気妨害フィールドの有無による垂直方向の周波数に依存する減衰の経過が示されている。０．１〜０．２Ｈｚの臨界範囲における減衰の上昇は約３５ｄＢに達する。
図３に示した別の実施形態において、本発明による装置は電磁気および磁気妨害フィールドの能動的補正のための負のフィードバックを有するシステムとして使用される。
この場合、補正が実質的に行われる予め規定された容積は、ヘルムホルツ保持器内の容積部分８のみを含み、第２のセンサ１はヘルムホルツ保持器内であるが、予め規定された容積範囲の外に配置され、さらに第１のセンサ２が配置されている。
したがって、第２のセンサ１の選別された電気信号は本発明により増幅され、負のフィードバックでコイルにフィードバックすると同時に、予め規定された容積内の第１のセンサ２の電気信号はこのフィードバックのパラメータの適用性設定のために用いられる。フィードバックのために重要なパラメータの設定は、図１に示され、上記の詳細に考察された実施形態と同じ方法で実施される。
予め規定された容積範囲の磁気および／または電磁気妨害フィールドが最小限に抑えられた場合も、最適な調節パラメータが設定される。フィルタ７および調節増幅器に形成された伝導区間が時間的に安定であることを前提に、実施形態に応じて、センサ２を切断し、測定された調節増幅器３の伝導パラメータを保持することができる。センサ２およびフィルタ７の把握後、システムは従来のフィードバック装置で作動する。しかし次に調節器３は、フィードバックシステムが予め規定された容積、ここでは容積範囲８における電磁気妨害を最小限に抑え、従来のようにセンサ１の位置では最小限に抑えない程度に作動する。したがって、装置は「準フィードフォーワード」システムとして作動する。
図３に示した実施形態は、図１に示した実施形態と同じく利用に応じて、たとえばコイル、フラックスゲートセンサ、ＥＳＲセンサ、ＭＮＲセンサ、ＳＱＵＩＤセンサおよびホール効果センサなど多数のフィールドセンサとともに利用される。同様にして、図３に示した実施形態は、たとえばＮＭＲシステム、ＭＲＩシステム、ＥＳＲシステムなど多数のシステムの遮蔽のため、電子放射システム、および加速装置システム（たとえば線形加速器）において、また磁気遮蔽空間で使用される。
【図１】
0004015205.tif 000006
【図２】
0004015205.tif 000007
【図３】
0004015205.tif 000008