(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成したことを特徴とする昇降機構。
【請求項２】
駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、円周の一部に切欠部を有する遮光部を上記駆動軸と従動軸に両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして設け、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする昇降機構。
【請求項３】
駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記軸継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする昇降機構。
【請求項４】
駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構を有し、被処理体を収容したキャリアを上記昇降体に設けられた搬送アームにより支持して搬送するキャリア搬送装置において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とするキャリア搬送装置。
【請求項５】
被処理体を収容したキャリアを搬送するキャリア搬送装置を備えた縦型熱処理装置において、前記キャリア搬送装置は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構を有し、昇降体に設けられた搬送アームによりキャリアを支持して搬送するように構成され、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、昇降機構およびキャリア搬送装置並びに縦型熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
昇降機構としては、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させるように構成したものが知られている。この昇降機構においては、駆動軸の動力が軸継手を介して従動軸に直接伝達されるため、軸継手にスリップや破損等の故障が発生しない限り、昇降体の昇降操作を精度良く確実に行うことが可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記昇降機構においては、軸継手にスリップや破損による位相ずれが発生した場合でも、これを常時検知する手段を有していなかったので、そのまま精度の悪い昇降操作が行われてしまう問題があった。また、軸継手に破損等の故障が発生した場合、動力を伝達できなくなるだけでなく、昇降体側の荷重を支えることができなくなり、昇降体が落下するおそれがあった。
【０００４】
なお、被処理体として半導体ウエハを処理する例えば縦型熱処理装置においては、複数枚の半導体ウエハを収容する容器であるキャリアを搬送するためのキャリア搬送装置を備えているが、このキャリア搬送装置には、高い精度と信頼性が要求されることから、上記軸継手を備えた昇降機構を採用することが困難とされていた。
【０００５】
本発明は、上述した課題を解決すべくなされたもので、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても駆動軸と従動軸の関係を保つことができ、昇降体の落下を防止することができる昇降機構およびキャリア搬送装置並びに縦型熱処理装置を提供することを目的とする。また、本発明は、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができる昇降機構およびキャリア搬送装置並びに縦型熱処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１に係る発明は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成したことを特徴とする。これにより、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することが可能となる。
【０００７】
請求項２に係る発明は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、円周の一部に切欠部を有する遮光部を上記駆動軸と従動軸に両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして設け、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする。これにより、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することが可能となる。
【０００８】
請求項３に係る発明は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記軸継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする。これにより、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することが可能となると共に、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することが可能となる。
【０００９】
請求項４に係る発明は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構を有し、被処理体を収容したキャリアを上記昇降体に設けられた搬送アームにより支持して搬送するキャリア搬送装置において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする。これにより、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動させることとなり、昇降体の落下を防止することが可能となると共に、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することが可能となる。
請求項５に係る発明は、被処理体を収容したキャリアを搬送するキャリア搬送装置を備えた縦型熱処理装置において、前記キャリア搬送装置は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構を有し、昇降体に設けられた搬送アームによりキャリアを支持して搬送するように構成され、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたことを特徴とする。
【００１０】
【実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。図１は本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す概略的縦断面図、図２は同縦型熱処理装置における昇降機構を有するキャリア搬送装置の概略的斜視図、図３は同昇降機構における駆動部の軸継手部分を示す一部断面正面図、図４は軸継手を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、図５は補助継手を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は一方の補助継手の右側面図、図６は同補助継手の一方を示す斜視図、図７は補助継手の状態を軸方向から見た図で、（ａ）は通常時の図、（ｂ）は軸継手スリップ時の図、（ｃ）は軸継手故障時の図である。
【００１１】
図１において、１はクリーンルーム内に設置される縦型熱処理装置の外郭を形成する筐体である。この筐体１内は、キャリア２の搬入搬出、保管等を行うための作業領域Ｓ１と、キャリア２内に収容された被処理基板である半導体ウエハＷのウエハボート３への移し替え（移載）、熱処理炉４へのウエハボート３の搬入搬出等を行うためのローディングエリアＳ２とに隔壁５により仕切られている。
【００１２】
上記筐体１の前面部には、オペレータあるいは搬送ロボットによりキャリア２を搬入搬出するための搬入出口６が設けられ、この搬入出口６には上下に開閉移動するドア７が設けられている。作業領域Ｓ１には、搬入出口６近傍にキャリア２を置くための置き台８が設けられ、この置き台８の上方および隔壁５側の上方には複数個のキャリア２を保管しておくための棚状の保管部９が設けられている。
【００１３】
上記隔壁５側には、キャリア２を載置するためのキャリア載置台であるステージ（キャリアステージ）１０が図示例では上下に２段設けられている。作業領域Ｓ１には、上記置き台８、保管部９およびステージ１０の間でキャリア２の搬送を行うための後述のキャリア搬送装置１１が設けられている。作業領域Ｓ１は、清浄な空気が供給されていて大気雰囲気とされている。ローディングエリアＳ２は、不活性ガス例えば窒素ガスが供給されていて不活性ガス雰囲気とされている。
【００１４】
ローディングエリアＳ２の奥部上方には、下端が炉口として開口された縦型の熱処理炉４が設けられ、この熱処理炉４の下方には、炉内へのウエハボート３の搬入搬出および炉口の開閉を行う蓋体１２が図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。この蓋体１２の上部には、多数枚の半導体ウエハＷを上下方向に所定の間隔で多段に支持するウエハボート３が保温筒１３を介して載置されている。熱処理炉４は、蓋体１２を下降させてウエハボート３を搬出させた際に炉口を塞ぐための開閉可能なシャッターを備えている（図示省略）。
【００１５】
ローディングエリアＳ２には、ステージ１０のキャリア２とウエハボート３の間で半導体ウエハＷの移し替えを行う移載機構５０が設けられている。作業領域Ｓ１とローディングエリアＳ２を仕切る隔壁５には、ステージ１０上のキャリア２を当接させてそのウエハ取出口をローディングエリアＳ２側へ連通するための開口部（図示省略）が設けられ、この開口部にはこれをローディングエリアＳ２側から閉鎖する扉１４が開閉可能に設けられている。上記キャリア２は、いわゆるクローズ型キャリアであり、複数枚例えば１３枚もしくは２５枚の半導体ウエハを所定間隔で多段に収容すると共にウエハ取出口が開閉可能な蓋（図示省略）で密閉されている。
【００１６】
上記キャリア搬送装置１１は、図２に示すように、駆動軸１５と従動軸１６を軸継手（カップリング）１７を介して連結し、駆動軸１５の回転に応じた従動軸１６の回転により昇降体１８を吊り材であるタイミングベルト１９を介して昇降させる昇降機構２０を有し、キャリア２を上記昇降体１８に後述する水平アーム２８を介して設けられた搬送アーム２１により支持して搬送するようになっている。昇降機構２０は、前面が開放された中空状の支柱２２を有し、この支柱２２内に昇降体１８が図示しないリニアガイドを介して昇降移動可能に支持されている。
【００１７】
支柱２２の下部は、駆動部のハウジング２３に連結されている。このハウジング２３の一側部には、電動モータ２４がその駆動軸１５をハウジング２３内に挿入した状態で取付けられている。上記電動モータ２４は、減速機２４ａ、電磁ブレーキ２４ｂおよびエンコーダ２４ｃを備えている。ハウジング２３内には、図３に示すように、上記駆動軸１５と略同一軸線上に従動軸１６が設けられ、従動軸１６は軸受２５によって回転可能に支持されており、この従動軸１６に駆動プーリ２６が取付けられている。支柱２２内の上部には、図２に示すように、従動プーリ２７が回転可能に取付けられており、この従動プーリ２７と上記駆動プーリ２６の間に上記タイミングベルト１９が巻き掛けられている。
【００１８】
タイミングベルト１９の両端部は、上記昇降体１８に止着されている。昇降体１８には水平に延出された水平アーム２８が取付けられ、この水平アーム２８にその長手方向に沿って上記搬送アーム２１の基部が移動可能に設けられている。搬送アーム２１は、多関節アームからなり、その先端部にキャリア２を載せて搬送するようになっている。上記支柱２２内には、昇降体１８の下限位置、上限位置および原点位置を検知するための下限センサ２９、上限センサ３０および原点センサ３１が設けられている。
【００１９】
上記駆動軸１５と従動軸１６を連結する軸継手１７は、例えば図４の（ａ）、（ｂ）に示すように、駆動軸１５と従動軸１６にそれぞれネジ３２の締付けにより取付固定される左右一対の継手部材１７ａ，１７ｂと、両継手部材１７ａ，１７ｂを屈曲可能に連結する十字ピン１７ｃとを有する、いわゆるユニバーサルジョイントからなっている。そして、上記軸継手１７を保護するために、駆動軸１５と従動軸１６には、軸継手１７を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向、すなわち両軸１５，１６の軸方向に平行する方向へ延出した腕部３３を有する補助継手３４が設けられ、軸継手１７のスリップや破損等の故障時に上記補助継手３４の腕部３３が互いに係合するように構成されている。
【００２０】
この補助継手３４は、図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、駆動軸１５と従動軸１６にそれぞれネジ３５の締付けにより取付固定される左右一対の継手部材３４ａ，３４ｂからなっている。両継手部材３４ａ，３４ｂは、左右対称であるため、一方の継手部材３４ａについて、図６を参照して説明する。この継手部材３４ａには、軸継手１７よりも径の大きい鍔状に形成されており、その中心部に駆動軸１５もしくは従動軸１６を通すための軸孔３６が設けられている。また、継手部材３４ａの端面には、軸孔３６を挟んで一対の腕部３３が軸方向に沿って平行に延出して一体形成されている。なお、３７は、ネジ３５による締付けを可能とするために、軸孔３６と連通して半径方向に形成されたスリットである。
【００２１】
上記一対の継手部材３４ａ，３４ｂは、対向する腕部３３が軸方向にオーバーラップするが、周方向には互いに干渉しないように所定の角度例えば９０度位相をずらした状態で駆動軸１５と従動軸１６にそれぞれ取付けられる。この場合、補助継手３４を構成する継手部材３４ａ，３４ｂは、軸継手１７を挟んで対向する状態で駆動軸１５と従動軸１６にそれぞれ取付けられ、各継手部材３４ａ，３４ｂから延出された腕部３３が軸継手１７を非接触で取囲む状態とされる。このように補助継手３４は、軸継手１７の外側に配置されため、アウターカップリングと称することができる。この補助継手３４は、通常時には、互いに接触することがなく、動力の伝達に何の影響も及ぼさないが、動力伝達用の軸継手１７が破損し、連結状態が解除されると、交互に突出した腕部３３が接触（係合）して、駆動軸１５と従動軸１６の関係が維持され、この結果、従動軸１６は駆動軸１５によって制動されることになる。補助継手３４は、軸継手１７にスリップや破損を生じた時に対向する腕部３３が周方向で互いに当接してトルクを伝達するために、強度の高い金属例えばステンレススチールにより形成されていることが好ましい。
【００２２】
上記補助継手３４には、駆動軸１５側と従動軸１６側において、円周の一部に切欠部３８を有する遮光部３９が両切欠部３８が軸方向に重ならないように位相をずらして設けられ、両遮光部３９を挟んで対向する位置には、図３に示すように、両切欠部３８を光が透過することにより軸継手１７の位相ずれを検知するための投光器４０ａと受光器４０ｂからなる光センサ４０が設けられ、軸継手１７のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができるようになっている。上記切欠部３８は、補助継手３４を構成する継手部材３４ａ，３４ｂの円周の一部を所定の範囲で切り欠くことにより、図示例では軸孔３６を基準とする対称位置に２個所形成されている。
【００２３】
そして、上記継手部材３４ａ，３４ｂの円周には、上記切欠部３８を所定形状に形成することにより、中心角が例えば９４度の扇状の遮光部３９が軸孔３６を基準とする対称位置に２箇所形成されている。上記遮光部３９の略中央部に上記腕部３３が設けられている。上記継手部材３４ａ，３４ｂを駆動軸１５と従動軸１６に例えば９０度の位相をずらして取付けることにより、図７の（ａ）に示すように、一方の継手部材３４ａの切欠部３８が他方の継手部材３４ｂの遮光部３９に対向して覆われた状態とされている。
【００２４】
上記光センサ４０を構成する投光器４０ａと受光器４０ｂは、駆動部のハウジング２３内において、補助継手３４を構成する両継手部材３４ａ，３４ｂを軸方向から挟んで対向する位置に光軸４１が切欠部３８を通るように設定して取付けられている。従って、図７の（ａ）に示す通常時の状態では、投光器４０ａから出射される光線例えば赤外線が遮断され、受光部４０ｂで該光線は検知されない。
【００２５】
一方、軸継手１７を固定しているネジ３２の緩み等により軸継手１７にスリップが発生して、駆動軸１５と従動軸１６の間に位相ずれが生じると、図７の（ｂ）に示すように、補助継手３４には切欠部３８を覆っている遮光部３９がずれて隙間４２が発生し、投光器４０ａからの光線がこの隙間４２を透過して受光部４０ｂに入射し、該光線が検知される。また、何らかの原因で軸継手１７が破損したり、あるいは上記スリップが増大したりすると、図７の（ｃ）に示すように、補助継手３４には上記隙間４２が大きく発生し、同様に、投光器４０ａからの光線が受光部４０ｂで検知される。このとき、各継手部材３４ａ，３４ｂから延出された腕部３３が互いに接触（係合）して、この結果、従動軸１６は駆動軸１５によって制動される。
【００２６】
このようにして上記光センサ４０は、軸継手１７の破損やスリップによる位相ずれを常時検知することができるようになっている。上記光センサ４０の検知信号は、図示しない制御装置に入力されており、位相ずれが発生した時に、制御装置により電動モータ２４を停止したり、警報を発したりするように構成されている。
【００２７】
以上の構成からなる昇降機構２０ないしキャリア搬送装置１１においては、電動モータ２４の駆動により、その動力が駆動軸１５から軸継手１７を介して従動軸１６に伝達され、この従動軸１６上の駆動プーリ２６が駆動されることによりタイミングベルト１９を介して昇降体１８を昇降させることができる。なお、上記昇降機構２０は、昇降体１８の原点位置を原点センサ３１で検知して電動モータ２４のエンコーダ２４ｃと対応させることにより、エンコーダ２４ｃにより昇降体１８の高さ位置を検出して自動制御を行うことが可能になっている。
【００２８】
ところで、上記軸継手１７においては、振動や経年変化等により、軸継手１７を固定しているネジ３２が緩んだり、あるいは十字ピン１７ｃ等が破損したりすることが考えられる。軸継手１７を固定しているネジ３２が緩むと、スリップが生じて駆動軸１５と従動軸１６の間に位相ずれが発生し、昇降体１８の昇降操作ないし制御を精度良く実行することが困難になる。また、軸継手１７が破損したり、あるいは上記スリップが増大したりすると、動力を伝達できなくなるだけでなく、昇降体１８側の荷重を支えられなくなり、昇降体１８が落下して搬送アーム２１やキャリア２等を損傷することが考えられる。
【００２９】
しかしながら、上記駆動軸１５と従動軸１６には、対向する方向へ交互に突出した腕部３３を軸継手１７を中心とした同一円周上に位相をずらして有する補助継手３４が設けられているため、軸継手１７にスリップや破損等の故障が発生した場合には、補助継手３４の腕部３３が互いに当接係合し、駆動軸１５と従動軸１６の関係（連結関係）を保つことができ、動力を伝達できるだけでなく、昇降体１８の落下を防止することができ、信頼性および安全性を確保することができる。
【００３０】
また、上記補助継手３４は、円周の一部に切欠部３８を有する遮光部３９を両切欠部３８が軸方向に重ならないように位相をずらして有しており、これら両遮光部３９を挟んで対向する位置には両切欠部３８を光が透過することにより軸継手１７の位相ずれを検知するための透過型の光センサ４０が設けられているため、軸継手１７のスリップや破損等による位相ずれが発生した場合には、図７の（ｂ）ないし（ｃ）に示すように、補助継手３４の遮光部３９に隙間４２が発生し、この隙間４２を投光器４０ａからの光線が透過して受光器４０ｂに入射することで上記位相ずれを検知することができる。そして、上記位相ずれを検知した時に、電動モータ２４を停止し、警報を発するように構成されているため、位相ずれが生じた状態での運転の継続を未然に防止することができると共に、軸継手１７に故障が発生したことをオペレータに知らせて迅速に対処することが可能となる。
【００３１】
なお、上記原点センサ３１や上限および下限センサ２９，３０とエンコーダ２４ｃにより軸継手１７の破損やスリップによる位相ずれを検出することも可能であるが、昇降体１８がこれらのセンサ２９，３０，３１の位置に来ない限り上記位相ずれを検出することができず、位相ずれを常時検出することは困難である。これに対して、上記光センサ４０によれば、位相ずれを常時検出することができる。
【００３２】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更等が可能である。例えば、吊り材としては、タイミングベルトが好適であるが、タイミングベルト以外にワイヤであってもよい。また、軸継手としては、十字ピンの代りに板ばねを介して継手部材同士を連結してなるもの等であっても良い。上記実施の形態では、遮光部を挟んで対向する位置に投光器と受光器からなる光センサを設けているが、遮光部を挟んで対向する位置の一方に投光器と受光器からなる光センサを設け、他方に投光器からの光を受光器に反射させる反射鏡を設けても良い。
【００３３】
【発明の効果】
以上要するに、本発明によれば次のような効果を奏することができる。
【００３４】
（１）請求項１に係る発明によれば、昇降機構における駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成したので、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することができる。
【００３５】
（２）請求項２に係る発明によれば、昇降機構における駆動軸と従動軸とに円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして設け、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたので、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができる。
【００３６】
（３）請求項３に係る発明によれば、昇降機構における駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記軸継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたので、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することができると共に、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができる。
【００３７】
（４）請求項４に係る発明によれば、キャリア搬送装置における駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたので、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することができると共に、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができる。
（５）請求項５に係る発明は、被処理体を収容したキャリアを搬送するキャリア搬送装置を備えた縦型熱処理装置において、前記キャリア搬送装置は、駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構を有し、昇降体に設けられた搬送アームによりキャリアを支持して搬送するように構成され、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成し、上記補助継手は円周の一部に切欠部を有する遮光部を両切欠部が軸方向に重ならないように位相をずらして有し、両遮光部を挟んで対向する位置の少なくとも一方に両切欠部を光が透過することにより軸継手の位相ずれを検知するための光センサを設けたので、軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されることとなり、昇降体の落下を防止することができると共に、軸継手のスリップや破損等による位相ずれを常時検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を縦型熱処理装置に適用した実施の形態を示す概略的縦断面図である。
【図２】同縦型熱処理装置における昇降機構の概略的斜視図である。
【図３】同昇降機構における駆動部の軸継手部分を示す一部断面正面図である。
【図４】軸継手を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図である。
【図５】補助継手を示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は一方の補助継手の右側面図である。
【図６】同補助継手の一方を示す斜視図である。
【図７】補助継手の状態を軸方向から見た図で、（ａ）は通常時の図、（ｂ）は軸継手スリップ時の図、（ｃ）は軸継手故障時の図である。
【符号の説明】
２  キャリア
１１  キャリア搬送装置
１５  駆動軸
１６  従動軸
１７  軸継手
１８  昇降体
１９  タイミングベルト（吊り材）
２０  昇降機構
２１  搬送アーム
３３  腕部
３４  補助継手
３８  切欠部
３９  遮光部
４０  光センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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