(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画装置用のマスクデータの絵柄とペリクル枠データの絵柄とを関連付けて表示するフォトマスクデータ表示装置であって、フォトマスクデータおよびペリクル枠データを記憶蓄積する記憶手段と、図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部と、記憶手段より、表示対象となる描画装置用のマスクデータの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡す描画用図形データ取得手段と、記憶手段より、表示対象となるペリクル枠データの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡すペリクル枠図形データ取得手段とを備えたもので、前記表示手段は、表示するペリクル枠データを選択して指定できるペリクル枠指定操作ウィンドウを有することを特徴とするフォトマスクデータ表示装置。
【請求項２】
請求項１において、ペリクル枠指定操作ウィンドウは、記憶手段に蓄積されたペリクル枠データの一覧を表示し、この一覧の中より、マウス等により所望のペリクル枠データを選択するものであることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置。
【請求項３】
請求項１ないし２において、フォトマスクデータの表示された絵柄部とペリクル枠データの表示された枠部の重なりの有無を確認する重なり判定部を備えていることを特徴とするフォトマスクデータ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置用のマスクデータの絵柄とペリクル枠データの絵柄とを関連付けて表示するフォトマスクデータ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ  Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
尚、ウエハ上の回路が所定の複数のフォトマスクを用いて投影転写され作製されることより、通常、フォトマスクデータと言う場合、１枚以上の複数のマスクを作製するためのデータを意味し、マスクデータと言う場合、マスクを１枚作製するためのデータを意味する。
勿論、マスクデータもフォトマスクデータである。
【０００４】
ところで、フォトマスクは、作製された後、通常、ペリクル枠と呼ばれる枠体にペリクル膜と呼ばれる保護シートを張ったものを、フォトマスクの絵柄形成面側に配設する。
これを、フォトマスクにペリクルを配設すると言う。
フォトマスクにペリクルが配設された後、フォトマスクの絵柄形成面側でないガラス面やペリクル膜に、埃は付着するが、フォトマスクの絵柄形成面上に埃等が付着するのを防止できる。
縮小投影露光によりフォトマスクの絵柄をウエハに転写する際には、フォトマスクの絵柄形成面側でないガラス面やペリクル膜に付着した埃は、光学系の焦点深度の関係で転写されないため、ペリクルを配設した状態で縮小投影露光によりフォトマスクの絵柄をウエハに転写する際に用いられる場合には、フォトマスクは、埃の影響を受けずに使用できる。
しかし、最近では、ペリクル枠の形状、サイズも多種あり、描画装置用のマスクデータによっては、その絵柄領域がペリクル枠と重なる場合もあり、重なりの有無を確認することが必要となってきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年、ペリクル枠の形状、サイズは多種あり、描画装置用のマスクデータによっては、その絵柄領域がペリクル枠と重なる場合もあることより、重なりの有無を容易に確認できる方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、描画装置用のマスクデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、描画装置用のマスクデータの絵柄領域と所定ペリクル枠との重なりの有無の確認を正確に、且つ、簡単に実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、描画装置用のマスクデータの絵柄とペリクル枠データの絵柄とを関連付けて表示するフォトマスクデータ表示装置であって、フォトマスクデータおよびペリクル枠データを記憶蓄積する記憶手段と、図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部と、記憶手段より、表示対象となる描画装置用のマスクデータの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡す描画用図形データ取得手段と、記憶手段より、表示対象となるペリクル枠データの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡すペリクル枠図形データ取得手段とを備えたもので、前記表示手段は、表示するペリクル枠データを選択して指定できるペリクル枠指定操作ウィンドウを有することを特徴とするものである。
そして、上記において、ペリクル枠指定操作ウィンドウは、記憶手段に蓄積されたペリクル枠データの一覧を表示し、この一覧の中より、マウス等により所望のペリクル枠データを選択するものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、フォトマスクデータの表示された絵柄部とペリクル枠データの表示された枠部の重なりの有無を確認する重なり判定部を備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】
本発明のフォトマスクデータ表示装置は、このような構成にすることにより、描画装置用のマスクデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、描画装置用のマスクデータの絵柄領域と所定のペリクル枠との重なりの有無の確認を正確に、且つ、簡単に実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置の提供を可能としている。
更に、描画装置用のマスクデータに合ったペリクル枠の選定を可能としている。
具体的には、フォトマスクデータおよびペリクル枠データを記憶蓄積する記憶手段と、図形データの表示を制御するための図形表示制御手段と、図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部と、記憶手段より、表示対象となる描画装置用のマスクデータの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡す描画用図形データ取得手段と、記憶手段より、表示対象となるペリクル枠データの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡すペリクル枠図形データ取得手段とを備えたもので、前記表示手段は、表示するペリクル枠データを選択して指定できるペリクル枠指定操作ウィンドウを有することにより、更に、該ペリクル枠指定操作ウィンドウが、記憶手段に蓄積されたペリクル枠データの一覧を表示し、この一覧の中より、マウス等により所望のペリクル枠データを選択するものであることにより、これを達成している。
特に、フォトマスクデータの表示された絵柄部とペリクル枠データの表示された枠部の重なりの有無を確認する重なり判定部を備えていることにより、間違いが起こり易い人による判定でなく、正確な判定を可能としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図で、図２はペリクル枠指定操作ウィンドウの１例を示した図で、図３（ａ）は描画装置用マスクデータのみを表示した状態を示した図で、図３（ｂ）はペリクル枠図形データをマスクデータと共に表示した状態の図である。
尚、図１の記憶手段１１には描画装置用マスクデータ２０、ペリクル枠データ３０とが、それぞれ１つ以上蓄積されているが、ここでは見易くするため各１つだけを図示してある。
また、図３においては、描画用基板を搭載するカセットの爪２３０の位置を示してある。
また、図３において、描画装置用マスクデータの表示領域２２０は、表示する描画装置用マスクデータの絵柄部の表示をこれに代用して示したもので、実際には絵柄がこの領域内に表示される。
図１〜図３において、１１は記憶手段（磁気ディスク）、１２は描画用図形データ取得手段、１３はペリクル枠図形データ取得手段、１４は図形表示制御手段、１５は表示手段（ディスプレイ）、１６は制御部、１７は入力手段、１８は判定部、２０は描画装置用マスクデータ、２１は図形データ、３０はペリクル枠データ、３１は図形データ、４０は表示図形データ、１１０はペリクル枠指定操作ウィンドウ、１１２はペリクル指定部、１１２ａはスクロールバー、１２０はペリクル枠データ名、１２１は指定されたペリクル枠データ名、２１０は（表示手段の）表示画面、２２０は描画装置用マスクデータの表示領域、２３０はカセットの爪部の位置、２５０は枠体の表示領域（単に枠部とも言う）である。
【０００９】
本例は、描画装置用のマスクデータの絵柄とペリクル枠データの絵柄とを関連付けて表示するフォトマスクデータ表示装置で、フォトマスクデータおよびペリクル枠データを記憶蓄積する記憶手段１１と、図形データの表示を制御するための図形表示制御手段１４と、図形を表示するための表示手段１５と、表示するフォトマスクデータ名を入力するための入力部１７と、各部を制御するための制御部１６と、記憶手段より、表示対象となる描画装置用のマスクデータの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡す描画用図形データ取得手段１２と、記憶手段より、表示対象となるペリクル枠データの図形データを受け取、これを図形表示制御手段に渡すペリクル枠図形データ取得手段１３とを備えたものである。
そして、表示手段１５は、表示するペリクル枠データ３０を選択して指定できるペリクル枠指定操作ウィンドウ（図２の１１０）を設けている。
【００１０】
本例においては、図２に示すようなペリクル枠指定操作ウィンドウ１１０を用いて、記憶手段１１に蓄積されたペリクル枠データの一覧を表示し、この一覧の中より、マウス等により所望のペリクル枠データを選択する。
図２は、ペリクル枠データ名ＷＴ８２９５が指定されている状態を示している。
【００１１】
また、本例では、対象となる描画装置用のマスクデータの表示された絵柄部とペリクル枠データの表示された枠部の重なりの有無を確認する重なり判定部１８を備えている。
この判定部１８は、図形データ２１、図形データ３１との重なりの有無をソフト的に求めるもので、例えば、図形データ２１、図形データ３１を、それぞれ、ビットマップ化して、更にＡＮＤ処理等を施すことにより、重なりの有無を得る。
これにより、表示状態からの重なりの有無判定だけでは、難しい微細な絵柄部の重なりの有無も正確に判定できる。
【００１２】
次いで、ペリクル枠指定操作ウィンドウ１１０を用いた、ペリクル枠指定の動作フローを、簡単に説明する。
先ず、電源ＯＮとし、各部を起動させた状態としておくと、図２に示すような操作ウインドウが表示手段１８に表示される。
入力手段１７により、表示の対象となる描画装置用マスクデータ名を指定する。
次いで、表示手段１５には、制御部１６の指示のもと、ペリクル枠指定操作ウインドウ１１０が表示される。
作業者は、表示手段１５に表示されたペリクル枠指定操作ウインドウ１１０を用いて、ペリクル枠データの選定を行なう。
あるいは、仕様書通りで重なりが無いかを確認する。
ここでは、スクロールバー１１２ａを移動させることで、表示するペリクル枠データ名１２０を変え所望のものを指定する。
指定の仕方としては図２に示すようにペリクル枠データ名１２０で指定する方法の他、ペリクル枠データのサイズにより指定する方法もある。
【００１３】
次いで、指定にしたがった表示を実行する。
本例の場合、図２に示すペリクル枠指定操作ウインドウ１１０において、表示の実行は、ＯＫキーと適用キーを押すことにより行われる。
尚、表示の実行の指示方法としては、これに代え、指定されたペリクル枠データ名１２１をダブルクリックすることにより実行させるようにしてもよい。
表示の実行が指示されると、描画用図形データ取得手段１２は、記憶手段１１より、表示対象となる描画装置用のマスクデータ２０の図形データを受け取り、これを図形表示制御手段１４に渡す。
これと併行して、ペリクル枠図形データ取得手段１３は、記憶手段１１より、表示対象となるペリクル枠データ３０の図形データを受け取り、これを図形表示制御手段１４に渡す。
図形表示制御手段１４は、描画用図形データ取得手段１２からの図形データ２１、ペリクル枠図形データ取得手段１３からの図形データ３１を受け取り、これらを制御して、対応する表示図形データ４０を作成して表示手段１５に送る。
これにより、表示手段１５には、描画装置用のマスクデータ２０の図形データと、ペリクル枠図形データの図形データとが合わさった状態で、目的とする描画装置用マスクデータ２０と目的とするペリクル枠データ３０とを、図形表示する。
例えば、図３（ｂ）のように表示されるが、この場合は、目的とする描画装置用マスクデータ２０の絵柄と目的とするペリクル枠データ３０の絵柄とは、重なりがない。
図３中、２２０は描画装置用マスクデータの表示領域で、２５０は枠体の表示領域である。
また、図３（ａ）は、描画装置用のマスクデータ２０のみを表示した場合の図である。
【００１４】
表示の実行と併行して、描画装置用マスクデータの絵柄部と枠体の表示領域２５０との重なりの有無を判定部１８にて行なう。
判定部１８は、図形データ２１と図形データ３１との重なりの有無をソフト的に求める。
ここでは、図形データ２１、図形データ３１を、それぞれ、ビットマップ化して、更にＡＮＤ処理を施し、差分をとることにより行なう。
描画装置用マスクデータによっては、描画装置用マスクデータの表示領域２２０の内部に枠体の表示領域２５０があっても、描画装置用マスクデータの絵柄部と枠体の表示領域２５０とが重ならない場合があり、このような配置にしたい場合もある。
このため、表示状態から重なりの有無を、人が判断することは難しいこともあり、判定部１８による判定を併行して行なう。
【００１５】
判定結果が重なり有りと判断された場合には、更に別のペリクル枠データを表示用に選択指定し、同様の処理を行ない、目的とする描画装置用マスクデータに合ったペリクル枠データを求める。
【００１６】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、描画装置用のマスクデータをディスプレイ装置上に図形表示しながら、描画装置用のマスクデータの絵柄領域と所定ペリクル枠との重なりの有無の確認を正確に、且つ、簡単に実用レベルで行なえる、フォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の概略構成を示した図である。
【図２】ペリクル枠指定操作ウィンドウの１例を示した図である。
【図３】図３（ａ）は描画装置用マスクデータのみを表示した状態を示した図で、図３（ｂ）はペリクル枠図形データをマスクデータと共に表示した状態の図である。
【符号の説明】
１１          記憶手段（磁気ディスク）
１２          描画用図形データ取得手段
１３          ペリクル枠図形データ取得手段
１４          図形表示制御手段
１５          表示手段（ディスプレイ）
１６          制御部
１７          入力手段
１８          判定部
２０          描画装置用マスクデータ
２１          図形データ
３０          ペリクル枠データ
３１          図形データ
４０          表示図形データ
１１０        ペリクル枠指定操作ウィンドウ
１１２        ペリクル指定部
１１２ａ      スクロールバー
１２０        ペリクル枠データ名
１２１        指定されたペリクル枠データ名
２１０      （表示手段の）表示画面
２２０        描画装置用マスクデータの表示領域
２３０        カセットの爪部の位置
２５０        枠体の表示領域（単に枠部とも言う）
【図１】
0003984479.tif 000002
【図２】
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【図３】
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