(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受ハウジングの内面側に該内面の円周方向に沿って円環状に張設された薄板からなるバックスプリングを支持し、回転軸の円周方向に沿って複数設けられて該回転軸を軸支する薄板状の軸受材を前記バックスプリングの内側に支持してなるフォイルガス軸受において、前記バックスプリングはその両端部に形成された合せ部にて連接され、該合せ部は前記両端部に突設された外側合せ部及び内側合せ部を該バックスプリングに張力を付与した形態にて交差させるとともに該外側合せ部及び内側合せ部に形成された係止面により幅方向の相対移動を規制してなることを特徴とするフォイルガス軸受。
【請求項２】
前記バックスプリングの合せ部を前記軸受ハウジングの内面に凹設された溝内に配置するとともに、該溝と前記内面との間に前記合せ部と円環状部との接続部分の外周が当接可能にされたテーパ面を形成してなることを特徴とする請求項１記載のフォイルガス軸受
【請求項３】
前記軸受ハウジング内に半径方向に設けられたスライド溝と該スライド溝内に半径方向に移動可能に嵌合され前記合せ部を含むバックスプリングの外周支持部を支承する調整片とを有するスプリング径調整機構を備え、該調整片を前記スライド溝内を移動させることにより前記外周支持部を介して前記バックスプリングの内径寸法を調整可能に構成したことを特徴とする請求項１記載のフォイルガス軸受。
【請求項４】
前記スプリング径調整機構及び外周支持部を円周方向に沿って複数箇所に設けてなることを特徴とする請求項３記載のフォイルガス軸受。
【請求項５】
前記軸受材の前記回転軸に対向する内面または前記回転軸の外周面の何れか一方または双方に、円周方向複数箇所に凹部を形成してなることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のフォイルガス軸受。
【請求項６】
前記回転軸の外周面に硬質カーボンをコーティングし、前記軸受材の表面にフッ素樹脂焼成膜を形成してなることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のフォイルガス軸受。
【請求項７】
前記軸受材に黒鉛あるいは二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）あるいは黒鉛及び二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）の何れか１つからなる膜をコーティングしてなることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のフォイルガス軸受。
【請求項８】
前記軸受材に２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜をコーティングしてなることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のフォイルガス軸受。
【請求項９】
前記軸受材に黒鉛及び２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜をコーティングしてなることを特徴とする請求項１ないし５の何れかに記載のフォイルガス軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小型ガスタービン、コンプレッサー等の軸受に用いられ、軸受ハウジングの内面側に円環状に張設された薄板製のバックスプリングを支持し、回転軸の円周方向に沿って複数設けられ該回転軸を軸支する薄板状の軸受材を前記バックスプリングの内側に支持してなるフォイルガス軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から小型ガスタービン、コンプレッサー等の気体軸受としてフォイルガス軸受が用いられている。図７は該フォイルガス軸受の１例（ＵＳＰ４１９５３９５号参照）を示す回転軸心に直角な断面図であり、図において２０は回転軸、０２は該回転軸２０を軸支する軸受体である。
該軸受体０２は外側に筒状の軸受ハウジング０３を備え該軸受ハウジング０３の内側に支持リング０４が嵌合されている。該支持リング０４の内周には円周方向に沿って複数個のスロット０５が設けられている。０６は板状のトップフォイルで、その基端が前記スロット０５に前記回転軸２０の回転方向に先端を指向させた状態で取り付けられている。０７はバックスプリングで、その基端が前記スロット０５に固定されて前記各トップフォイル０６を外側から支持している。
【０００３】
また、前記従来のフォイルガス軸受においては、該フォイルガス軸受が装備される機器の発停時には回転軸２０とトップフォイル（軸受材）０６とが接触するため、摩擦力が小さくて表面の損傷が無い摺動面を必要とすることから、回転軸２０の表面にはクロムメッキを施しトップフォイル０６の表面にはフッ素樹脂を主成分とする焼成膜を形成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
かかるフォイルガス軸受においては、該フォイルガス軸受が装備される機器の発停時に回転軸２０とトップフォイル０６とが接触するため、該接触による摩擦力を抑制することを要する。
しかしながら、図７に示される従来のフォイルガス軸受にあっては、前記摩擦力を減衰させて抑制するためトップフォイル０６の長さを長くすると、これに伴い脚長の長いバックスプリング０７を用いることを要することとなり、該バックスプリング０７の剛性が低下し折損を引き起こし易い。
【０００５】
かかる問題点を解決可能なものとして、図３に示されるフォイルガス軸受（以下比較例という）が提案されている。
図３において、１は軸受ハウジング、２０は回転軸、２は前記回転軸２０の外周に沿って設けられたトップフォイル、３は該トップフォイル２と軸受ハウジング１との間に設けられて該トップフォイル２を支持するバックスプリングである。
【０００６】
前記バックスプリング３の円周方向に沿って複数個の凹部３ｃを形成して、該バックスプリング３を前記凹部３ｃ形成部間の部分が軸受ハウジング１の内周に対して隙間を有するように該軸受ハウジング１の溝５内に固定する。
前記トップフォイル２を円周方向に沿って複数個に分割し、各トップフォイル２の基部に凸部５３を形成して、該凸部５３を前記バックスプリング３の凹部３ｃに余裕を持って摺接しながら嵌合している。
【０００７】
しかしながら、かかる比較例においては、前記各トップフォイル２の基部に形成された凸部５３をバックスプリング３の凹部３ｃに嵌合したときの取付状態が不安定なため、各トップフォイル２とバックスプリング３との間の正確な寸法管理ができず、バックスプリング３のせり上がり等が発生し、各トップフォイル２と回転軸２０との間の軸受すきまを所要値に保持するのが困難となる。
また、各トップフォイル２とバックスプリング３との組立時において、前記凸部５３を凹部３ｃに嵌合することにより一義的に前記軸受すきまが設定されるため、該軸受すきまの変更を組立状態で行うことができない。
【０００８】
また、前記従来のフォイルガス軸受においては、機器の発停時に回転軸２０とトップフォイル０６とが接触する際の摩擦力を抑制するため、回転軸２０の表面にクロムメッキを施すとともに、トップフォイル０６の表面にはフッ素樹脂を主成分とする焼成膜を形成しているが、該フッ素樹脂の焼成膜は、最高使用温度が概ね２００℃と耐熱性が低いため、作動ガス温度が６００℃程度になるガスタービン等の高温部材には適用困難である。
【０００９】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、バックスプリングの剛性を高く保持して折損の発生を回避しつつ機器の発停時における回転軸と軸受材（トップフォイル）との接触による摩擦力を抑制し、またバックスプリングの軸受ハウジングへの装着を簡単かつ高精度でなし得て回転軸と軸受材との間の軸受すきまを正確に保持できるとともに該軸受すきまを軸受の組立状態にて調整可能とし、さらには軸受材の最高使用温度を上昇せしめて耐熱性を向上することによりガスタービン等の高温部材にも支障なく適用可能なフォイルガス軸受を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題を解決するため、請求項１記載の発明として、軸受ハウジングの内面側に該内面の円周方向に沿って円環状に張設された薄板からなるバックスプリングを支持し、回転軸の円周方向に沿って複数設けられて該回転軸を軸支する薄板状の軸受材を前記バックスプリングの内側に支持してなるフォイルガス軸受において、前記バックスプリングはその両端部に形成された合せ部にて連接され、該合せ部は前記両端部に突設された外側合せ部及び内側合せ部を該バックスプリングに張力を付与した形態にて交差させるとともに該外側合せ部及び内側合せ部に形成された係止面により幅方向の相対移動を規制してなることを特徴とするフォイルガス軸受を提案する。
【００１１】
請求項１において好ましくは請求項２のように、前記バックスプリングの合せ部を前記軸受ハウジングの内面に凹設された溝内に配置するとともに、該溝と前記内面との間に前記合せ部と円環状部との接続部分の外周が当接可能にされたテーパ面を形成するのがよい。
【００１２】
請求項３記載の発明は請求項１に加えて、前記軸受ハウジング内に半径方向に設けられたスライド溝と該スライド溝内に半径方向に移動可能に嵌合され前記合せ部を含むバックスプリングの外周支持部を支承する調整片とを有するスプリング径調整機構を備え、該調整片を前記スライド溝内を移動させることにより前記外周支持部を介して前記バックスプリングの内径寸法を調整可能に構成したことを特徴とする。
請求項３において、好ましくは請求項４のように、前記スプリング径調整機構及び外周支持部を円周方向に沿って複数箇所に設けてなるのがよい。
【００１３】
請求項１ないし４記載の発明によれば、バックスプリングの両端部に突設された外側合せ部及び内側合せ部を張力を付与した形態にて交差させるとともに双方の合せ部に形成された係止面により幅方向の相対移動を規制するように構成したので、該外側及び内側合せ部の交差長さを変化させることによりバックスプリングの円周方向長さを自在に調整できる。
従って、該バックスプリングをせり上がり等の発生なくして軸受ハウジングの内側に安定した取付状態で以って設置でき、これにより該バックスプリングの内側に支持される軸受材と回転軸との間の軸受すきまを適正値に保持することができる。
【００１４】
また請求項２のように、バックスプリングの合せ部を前記軸受ハウジングの内面に凹設された溝内に設けて、軸受ハウジングの内面にテーパ面を形成したので、前記バックスプリングの合せ部への接続部を該テーパ面に当接させることによりバックスプリングの位置決めが正確にでき、前記軸受すきまの調整がさらに簡単化されるとともに調整精度も向上する。
【００１５】
また、請求項３ないし４のように構成すれば、軸受ハウジング内に半径方向に設けられたスライド溝と該スライド溝内を半径方向に移動可能な調整片とを有するスプリング径調整機構を設けたので、前記の調整片を半径方向に移動させることによりバックスプリングの内径寸法を調整可能となり、軸受すきまの変更、調整をフォイルガス軸受の組立状態で行うことができ、軸受すきまをさらに正確に設定できるとともに、フォイルガス軸受の組立、調整工数が低減される。
【００１６】
請求項５記載の発明は請求項１ないし４の何れかにおいて、前記軸受材の前記回転軸に対向する内面または前記回転軸の外周面の何れか一方または双方に、円周方向複数箇所に凹部を形成してなることを特徴とする。
かかる発明によれば、円周方向複数箇所に形成した前記凹部内に固体潤滑剤を保持できて該凹部内の潤滑剤を軸受面に供給できるため、起動時や低回転時のような回転軸と軸受材との接触時における軸受面の潤滑を安定的になすことができる。
【００１７】
（削除）
【００１８】
（削除）
【００１９】
（削除）
【００２０】
（削除）
【００２１】
（削除）
【００２２】
請求項６ないし９記載の発明は、請求項１ないし５の構成を有するフォイルガス軸受の材料の発明に係り、請求項６記載の発明は、前記回転軸の外周面に硬質カーボンをコーティングし、前記軸受材の表面にフッ素樹脂焼成膜を形成してなることを特徴とする。
請求項７記載の発明は、前記軸受材に黒鉛あるいは二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）あるいは黒鉛及び二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）の何れか１つからなる膜をコーティングしてなることを特徴とする。
請求項８記載の発明は、前記軸受材に２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜をコーティングしてなることを特徴とする。
請求項９記載の発明は、前記軸受材に黒鉛及び２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜をコーティングしてなることを特徴とする。
【００２３】
請求項６記載の発明によれば、硬質カーボン膜はクロムメッキやセラミック膜に比べて固体潤滑性を有する硬質膜であるので軸受面の表面コーティングに好適であり、これを回転軸の表面にコーティングし、表面にフッ素樹脂焼成膜を形成した軸受材と組み合わせることにより転移膜潤滑効果が発揮されて耐摩耗性が向上し、軸受寿命を延長できる。
請求項７ないし９記載の発明によれば、軸受材に黒鉛あるいは二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）あるいは黒鉛及び二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）の何れか１つからなる膜、２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜、あるいは黒鉛及び２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜を夫々コーティングすることにより、６００℃程度の高温まで摩擦係数及び摩耗量を常温時と同程度に低く保持することができる。
【００２４】
これにより、軸受材と回転軸との間の摩擦係数を常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲で低い摩擦係数に保持することができ、起動時や低回転時のような軸受材と回転軸との接触運転時においても、常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲において軸受材と回転軸との軸受面に摩耗量の増大を見ることが無く、軸受材の最高使用温度の上昇が可能となり、軸受の環境温度が高温になるガスタービン等の高温部材にも支障なく適用できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
【００２６】
図１は本発明の第１実施例に係るフォイルガス軸受を示し、（Ａ）は回転軸心に直角方向に視たる正面図（回転軸を省略）（Ｂ）は合せ部の詳細を示す（Ａ）におけるＡ―Ａ矢視図である。図２は第２実施例を示す図１の（Ａ）対応図である。図3は比較例を示す回転軸心に直角方向に視たる正面図である。図４は第３実施例を示す凹部拡大図である。図５はフォイルガス軸受用材料の第１実施例を示す表である。図６はフォイルガス軸受用材料の第２実施例を示す表である。
【００２７】
フォイルガス軸受構造の第１実施例を示す図１において、１は円筒状に形成された軸受ハウジング、１００は図示を省略した回転軸２０（図３参照）の回転軸心、２は前記回転軸２０の外周に沿って複数個（この例では３個）設けられた薄板からなる軸受材を構成するトップフォイル、３は該トップフォイル２と軸受ハウジング１との間に設けられて該トップフォイル２を支持する薄板からなるバックスプリングである。
【００２８】
前記軸受ハウジング１の内周面には、円周方向に沿って複数個（この例では等間隔に3個）の溝５が刻設されている。前記バックスプリング３は前記軸受ハウジング１の内面１ａ側に該内面１ａの円周方向に沿って円環状に張設され、円周上の１箇所に端部を合わせる合せ部４を設けている。
該合せ部４は前記溝５の中の１つの内部に設置され、該バックスプリング３の両端部の一方側に突設された２つの外側合せ部４２の間に、前記両端部の他方側に突設された内側合せ部４１を該バックスプリング３に張力を付与した形態にて交差させる。そして該外側合せ部４２及び内側合せ部４１に形成された係止面４３を当接させることにより該合せ部４における幅方向の相対移動を規制している。
【００２９】
また前記各溝５の両側と前記軸受ハウジング１の内周面との間にテーパ面６を形成し、前記バックスプリング３の合せ部４と円環状部との間の接続部分の外周が該テーパ面６に当接されることにより該バックスプリング３の位置決めをなしている。また０６は前記バックスプリング３に部分的に突設された凸部で、前記合せ部４の設置部以外の溝５に対応する前記テーパ面６に当接可能となっている。
そして前記複数個（この例では３個）のトップフォイル２は夫々の基部を前記各テーパ面６に沿うように曲げられて前記バックスプリング３の内側に支持されている。
【００３０】
かかる構成からなるフォイルガス軸受において、回転軸２０とトップフォイル２との間の軸受すきまを調整する際には、前記合せ部４の外側合せ部４２と内側合せ部４１の交差長さを変化させ、バックスプリング３の円周方向長さを調整することによる。
即ちかかる実施例によれば、合せ部４における外側及び内側合せ部４２、４１の交差長さを変化させることによりバックスプリング３の円周方向長さを自在に調整できる。
従って、該バックスプリング３を軸受ハウジング１の内側に安定した取付状態で以って設置でき、これにより該バックスプリング３の内側に支持されるトップフォイル２と回転軸２０との間の軸受すきまを適正値に保持することが可能となる。
【００３１】
また、前記バックスプリング３の合せ部４及び凸部０６を軸受ハウジング１の内面に形成したテーパ面６に当接させて該バックスプリング３を組み付けるので、前記バックスプリング３の合せ部への接続部を該テーパ面６に当接させることによりバックスプリング３の位置決めが正確にでき、前記軸受すきまの調整がさらに簡単化されるとともに調整精度も向上する。
【００３２】
次に、図２に示されるフォイルガス軸受の第２実施例においては、前記軸受ハウジング１の円周方向において、前記バックスプリング３の合せ部４及び凸部０６が設置された位置に、内面から半径方向に凹設されたスライド溝１０と該スライド溝１０内に半径方向に移動可能に嵌合された調整片１１を備えている。１５は前記軸受ハウジング１の内周に固挿された内側リングで、該内側リング１５には前記軸受ハウジング１のスライド溝１０が延設されている。
そして、前記各調整片１１の一端側には、図１に示す第１実施例と同様な溝４が凹設されるとともに該溝４の両側にはテーパ面１４が形成されている。そして、該テーパ面１４に前記バックスプリング３の外面が当接するようになっており、該調整片１１の他端側には前記軸受ハウジング１のねじ孔０１ａに螺合された調整ねじ１２が設けられている。１３は前記調整ねじ１２ロック用のナットである。
その他の構成は前記第１実施例と同様であり、これと同一の部材は同一の符号で示す。
【００３３】
かかる第２実施例において、前記ナット１３を弛め調整ねじ１２を回転させて調整片１１を前記スライド溝１０内を移動させることにより前記テーパ面１４を半径方向に移動させると、前記合せ部４の交差位置の変化とともにバックスプリング３の内径寸法が変化する。これによりバックスプリング３の内径寸法及び該バックスプリング３に支持されているトップフォイル２の内径を変化させて該トップフォイル２と回転軸２０との間の軸受すきまを調整できる。
【００３４】
かかる第２実施例によれば、前記調整片１１をスライド溝１０に沿って半径方向に移動させることによりバックスプリング３の内径寸法を調整可能となり、トップフォイル２と回転軸２０との間の軸受すきまの変更、調整をフォイルガス軸受の組立状態で行うことができ、軸受すきまを正確に設定できる。
【００３５】
図４に示される第3実施例においては、前記トップフォイル２（軸受材）の前記回転軸２０に対向する内面の円周方向複数箇所に凹部（ディンプル）２ａを設けている。あるいは該凹部（ディンプル）２ａに代えて、前記回転軸２０の外周面の円周方向複数箇所に凹部２０ａを形成する。尚、トップフォイル２及び回転軸２０の双方に凹部２ａ及び２０ａを形成することも可能である。
その他の構成は前記第１実施例と同様であり、これと同一の部材は同一の符号で示す。
かかる第3実施例によれば、円周方向複数箇所に形成した前記凹部２ａあるいは２０ａ内に固体潤滑剤を保持できて、該凹部２ａあるいは２０ａ内の潤滑剤をトップフォイル２と回転軸２０との間の軸受面に供給できるため、起動時や低回転時のような回転軸２０とトップフォイル２との接触時における軸受面の潤滑が安定的になされる。
【００３６】
つぎに、本発明においては、図１ないし図３に示されるフォイルガス軸受を含む全てのフォイルガス軸受の材料を次のように構成する。
即ちフォイルガス軸受用材料の第１実施例においては、図５に示すように、前記回転軸２０の外周面に硬質カーボンをコーティングし、前記トップフォイル２（軸受材）の表面にフッ素樹脂焼成膜を形成する。
図５は第１実施例に係るフォイルガス軸受用材料の比較実験結果をあらわす表図であり、図において番号１は回転軸２０の外周面にクロムメッキをコーティングした従来材（比較材）番号２は回転軸２０の外周面に硬質カーボンをコーティングした本発明材で、いずれの場合もトップフォイル２（軸受材）の表面にフッ素樹脂焼成膜（ＰＴＦＥ焼成膜）を形成している。
【００３７】
図から明らかなように、本発明材（番号２）は常温（室温）、高温（２００℃）ともに、従来材（比較材、番号１）に比べて摩擦係数及び摩耗量が低減されている。
即ち、かかる実施例によれば、本発明材の硬質カーボン膜は従来材（比較材）クロムメッキやセラミック膜に比べて固体潤滑性を有する硬質膜であるので、これを回転軸２０の表面にコーティングし、表面にフッ素樹脂焼成膜を形成したトップフォイル２（軸受材）と組み合わせることにより転移膜潤滑効果が発揮されて耐摩耗性が向上する。
【００３８】
次に、フォイルガス軸受用材料の第２実施例においては、図６の表の番号４ないし番号１４に示すような材料をトップフォイル２（軸受材）の表面にコーティングしている。尚、回転軸２０には表面処理を施していない。
即ち、図６は第２実施例に係るフォイルガス軸受用材料の比較実験結果をあらわす表図であり、図において番号１ないし３及び１５はトップフォイル２（軸受材）の表面コーティングにおける従来材（比較材）、番号４ないし１４は本発明材である。
【００３９】
図６において、本発明材の第１の材料は、前記トップフォイル２に、二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）からなる膜（本発明材、番号４）、あるいは黒鉛からなる膜（本発明材、番号５）、あるいは黒鉛及び二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）からなる膜（本発明材、番号６）をコーティングしている。
本発明材の第２の材料は、前記トップフォイル２に、タングステン化カリウム（Ｋ２ＷＯ４）からなる膜（本発明材、番号７）、あるいはタングステン化ナトリウム（Ｎａ２ＷＯ４）からなる膜（本発明材、番号８）、あるいはモリブデン化カリウム（Ｋ２ＭｏＯ４）からなる膜（本発明材、番号９）、あるいはモリブデン化ナトリウム（Ｎａ２ＭｏＯ４）からなる膜（本発明材、番号１０）をコーティングしている。
本発明材の第３の材料は、前記トップフォイル２に、黒鉛及びタングステン化カリウム（Ｋ２ＷＯ４）からなる膜（本発明材、番号１１）、あるいは黒鉛及びタングステン化ナトリウム（Ｎａ２ＷＯ４）からなる膜（本発明材、番号１２）、あるいは黒鉛及びモリブデン化カリウム（Ｋ２ＭｏＯ４）からなる膜（本発明材、番号１３）、あるいは黒鉛及びモリブデン化ナトリウム（Ｎａ２ＭｏＯ４）からなる膜（本発明材、番号１４）をコーティングしている。
【００４０】
図６から明らかなように、本発明材の第１ないし第３の材料（４ないし１４の材料）は常温（室温）、高温（２００℃、４００℃、６００℃）ともに、従来材（比較材）に比べて摩擦係数及び摩耗量が低減され、殊に６００℃の高温においても摩擦係数及び摩耗量が常温（室温）と殆ど変わらなく低い値を保持している。
【００４１】
かかる構成からなるフォイルガス軸受をそなえた機器の運転時において、該機器の起動時や停止前を含む低回転運転時には、回転軸２０とトップフォイル２とが接触した状態にて運転されるが、前記フォイルガス軸受用材料の第２実施例によれば、６００℃程度の高温まで摩擦係数及び摩耗量を常温時と同程度に低く保持することができることから、トップフォイル２（軸受材）と回転軸２０との間の摩擦係数及び摩耗量を常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲で低い値に保持することが可能となる。
これにより、前記低回転運転時のような軸受材と回転軸との接触運転時においても、常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲においてトップフォイル２と回転軸２０との軸受面に摩耗の増大を見ることが無く、トップフォイル２（軸受材）の最高使用温度の上昇が可能となり、軸受の環境温度が高温になるガスタービン等の高温部材にも支障なく適用可能となる。
【００４２】
【発明の効果】
以上記載の如く請求項１ないし４記載の発明によれば、バックスプリングの両端部に突設された外側合せ部及び内側合せ部の交差長さを変化させることによりバックスプリングの円周方向長さを自在に調整できる。
従って、該バックスプリングを軸受ハウジングの内側に安定した取付状態で以って設置でき、これにより該バックスプリングの内側に支持される軸受材と回転軸との間の軸受すきまを適正値に保持することができる。
また請求項２のように構成すれば、バックスプリングの合せ部への接続部をテーパ面に当接させることによりバックスプリングの位置決めが正確にでき、前記軸受すきまの調整がさらに簡単化されるとともに調整精度も向上する。
【００４３】
また、請求項３ないし４記載のように構成すれば、スプリング径調整機構の調整片をスライド溝において半径方向に移動させることによりバックスプリングの内径寸法を調整可能となり、軸受すきまの変更、調整をフォイルガス軸受の組立状態で行うことができ、軸受すきまがさらに正確に設定できるとともに、フォイルガス軸受の組立、調整工数が低減される。
【００４４】
また請求項５記載のように構成すれば、円周方向複数箇所に形成した凹部内に固体潤滑剤を保持できて該凹部内の潤滑剤を軸受面に供給できるため、起動時や低回転時のような回転軸と軸受材との接触時における軸受面の潤滑を安定的になすことができ、軸受の摩耗や焼き付きの発生を防止できる。
【００４５】
また請求項６記載のように構成すれば、固体潤滑性を有して表面コーティングに好適な硬質カーボン膜を回転軸の表面にコーティングし、表面にフッ素樹脂焼成膜を形成した軸受材と組み合わせることにより転移膜潤滑効果が発揮されて耐摩耗性が向上し、軸受寿命を延長できる。
【００４６】
さらに請求項７ないし９記載の発明によれば、軸受材に黒鉛あるいは二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）あるいは黒鉛及び二硫化モリブデン（ＭｏＳ２）の何れか１つからなる膜、２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜、あるいは黒鉛及び２種類以上の金属を含む酸化物からなる膜を夫々コーティングすることにより、６００℃程度の高温まで摩擦係数及び摩耗量を常温時と同程度に低く保持することができる。
【００４７】
これにより、軸受材と回転軸との間の摩擦係数を常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲で低い摩擦係数及び摩耗量に保持することができ、起動時や低回転時のような軸受材と回転軸との接触運転時においても、常温時から６００℃程度の高温時までの広い温度範囲において軸受材と回転軸との軸受面に摩耗の増大を見ることが無く、軸受材の最高使用温度の上昇が可能となり、軸受の環境温度が高温になるガスタービン等の高温部材にも支障なく適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施例に係るフォイルガス軸受を示し、（Ａ）は回転軸心に直角方向に視たる正面図（回転軸を省略）（Ｂ）は合せ部の詳細を示す（Ａ）におけるＡ―Ａ矢視図である。
【図２】  第２実施例を示す図１の（Ａ）対応図である。
【図３】  比較例を示す回転軸心に直角方向に視たる正面図である。
【図４】  第３実施例を示す凹部拡大図である。
【図５】  フォイルガス軸受用材料の第１実施例を示す表である。
【図６】  フォイルガス軸受用材料の第２実施例を示す表である。
【図７】  従来技術を示す図３対応図である。
【符号の説明】
１    軸受ハウジング
２    トップフォイル
２ａ、２０ａ  凹部
３    バックスプリング
４    合せ部
５    溝
６  、１４  テーパ面
０６  凸部
１０  スライド溝
１１  調整片
１２  調整ねじ
１５  内側リング
２０  回転軸
４１  内側合せ部
４２  外側合せ部
４３  係止面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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