(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンガン本体のイオンビーム照射口から所定の空間位置に、ニュートラライザーユニット及びイオンビーム貫通穴を有するイオンコレクターユニットからなる付属部品を取り付ける方法であって、
（ａ）前記イオンガン本体に対する所定の位置に位置決め板と、前後、左右及び上下方向の位置の調節ができる支持部材とを介して、前記付属部品を前後、左右又は上下方向のいずれにも遊びを持たせて仮止めする工程、
（ｂ）前記イオンガン本体と前記付属部品との間に介在させた取付け治具を使用して、前記イオンビーム照射口と前記イオンビーム貫通穴が同軸となるように、前記付属部品を該イオンガン本体に対して固定する工程、
（ｃ）前記取付け治具、前記位置決め板、前記支持部材及び前記付属部品を互いに固定した状態で前記イオンガン本体及び前記所定の位置から取り外す工程、
（ｄ）前記取付け治具を前記付属部品から取り外す工程、及び
（ｅ）前記位置決め板を前記所定の位置に再度取り付ける工程
からなる方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記工程（ａ）、（ｃ）及び（ｅ）における前記所定の位置が、前記イオンガン本体に固定された水冷ジャケットに設けられた所定の個所であることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項２記載の方法であって、
前記工程（ａ）において、前記支持部材が取付け板及び絶縁支柱からなり、
該工程（ａ）が、
前記位置決め板を前記水冷ジャケットの予め決められた位置に固定する工程、
該取付け板を該位置決め板に、該取付け板の位置を該位置決め板に対して所定の第1及び第２の方向に調整し得るように該取付け板に設けた長穴にねじを通して仮止めする工程、及び
該絶縁支柱を該取付け板に、該絶縁支柱の位置を該取付け板に対して該第1及び第2の方向とは異なる第３の方向に調整し得るように該絶縁支柱に設けた長穴にねじを通して仮止めする工程
からなることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３いずれか一項に記載の方法であって、
前記工程（ｂ）において、前記取付け治具がベース板、四角柱ブロック及びカラーからなり、
該工程（ｂ）が、
前記イオンガン照射口の上部に前記イオンガン本体の中心に合わせて該ベース板、該四角柱ブロック、該カラーの順に配置する工程、
配置された該取付け治具の中心に中央位置決めピンを貫通する工程、
該四角柱ブロックと前記ニュートラライザーユニットを固定する工程、
前記イオンコレクターユニットを、前記貫通穴を前記中央位置決めピンに合わせて配置する工程、及び
前記仮止めする工程によって仮止めされた箇所を固定する工程
からなることを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項２から請求項４いずれか一項に記載の方法であって、
前記工程（ｃ）において、該位置決め板を前記水冷ジャケットから取り外すことを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５記載の方法であって、
前記工程（ｄ）において、前記ベース板、前記四角柱ブロック、前記カラー及び前記中央位置決めピンのみを前記イオンコレクターユニット及び前記ニュートラライザーユニットから取り外すことを特徴とする方法。
【請求項７】
イオンガン本体のイオンビーム照射口から所定の空間位置に、ニュートラライザーユニット及びイオンビーム貫通穴を有するイオンコレクターユニットからなる付属部品をイオンガン本体に取り付ける取り付け部材であって、
前記イオンガン本体の所定の位置に着脱可能な位置決め板と、
前記位置決め板に対する固定位置を所定の第１及び第２の方向に調整し得る長穴を有する取付け板と、
前記取付け板に対する固定位置を該第１及び第２の方向とは異なる第３の方向に調整し得る長穴を有し前記付属部品を固定配置する絶縁支柱とから構成され、
前記取付け板と、前記絶縁支柱とが、
各々が貫通穴を有するベース板、四角柱ブロック、およびカラー、並びに中央位置決めピンからなる治具であって前記位置決め板が前記イオンガン本体に装着されていない状態において該イオンガン本体から取り外し可能な前記治具により前記ニュートラライザーユニットおよび前記イオンコレクターユニットを位置決め可能に構成され、
前記ベース板が、該ベース板の貫通穴の中心が前記イオンガン本体の照射口の中心と一致するように該イオンガン本体の所定位置に配置され、
前記四角柱ブロックが前記ニュートラライザーユニットの予め定められた位置に固定され、
前記カラーが前記ベース板と前記イオンコレクターユニット間に配置され、
前記中央位置決めピンが、前記イオンコレクターユニットのイオンビーム貫通穴、前記ベース板の貫通穴、前記四角柱ブロックの貫通穴、及び前記カラーの貫通穴を貫通するように構成され、
前記位置決め板と前記イオンガン本体との前記所定の位置における着脱により、該位置決め板に固定された前記取付け板、前記絶縁支柱および前記付属品の、該イオンガン本体に対する取り付けおよび取り外しが可能であることを特徴とする取り付け部材。
【請求項８】
請求項１から請求項６いずれか一項に記載の取り付け方法により前記付属品が取り付けられたイオンガン本体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶振動子の周波数調整を行うために使用するイオンガン装置において、イオンガン本体に対して、ニュートラライザーユニット、イオンコレクターユニット等の付属部品を取り付ける方法及び構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、水晶振動子の周波数調整装置としては、抵抗加熱蒸発源を用いたものが一般的であった。しかし、この抵抗加熱蒸発源を用いた真空蒸着による周波数調整では、ワークが小型化するにつれて電極が小さくなるため、ベース電極と調整膜とのずれが生じる等の欠点があった。そこで、現在では、前記のような欠点がなく、しかも、蒸発材の補給が不要なため連続運転が可能であり、電極が多層にならないためデバイス特性が良い等の利点を有する、イオンガン装置を用いたイオンビームエッチングによる周波数調整が広く普及している。かかるイオンガン装置を用いた水晶振動子の周波数調整は、例えば、特開2000−323442号公報に開示されている。
【０００３】
上記のようなイオンガン装置の概略的な構成を図14に基づいて説明する。同図において、１は略円筒形のイオンガン本体、２はイオンガン本体１の周囲を取り囲んでいる水冷ジャケット、３はイオンガン本体１の頂部に嵌装した防着筒である。この防着筒３の中心にはイオンガン本体１のイオンビーム照射口140からのイオンビームを貫通させるための穴が設けてある。100は前記イオンビーム照射口140から所定の間隔をおいて設置されたニュートラライザーユニット、120は同じくイオンコレクターユニットである。これらのニュートラライザーユニット100及びイオンコレクターユニット120はイオンガン本体１の付属部品となっており、図14には示していない支持部材によってイオンガン本体１又は該イオンガン本体を取り囲む水冷ジャケット２に支持してある。
【０００４】
このイオンガン装置を使用する場合は、先ず真空容器内に陽極と熱陰極とを有するイオンガン本体１にＡｒガスを導入してＡｒプラズマを生成させる。次にプラズマからＡｒの正イオンを引き出し、イオンビーム130を形成する。このイオンビーム130を水晶振動子131の電極膜に照射して電極表面をスパッタエッチングすることにより、水晶振動子の周波数を調整する。
【０００５】
しかし、前記のように水晶振動子を発振させながら周波数計測を行う場合、イオンビームの照射と同時に水晶基板がプラス電荷により帯電して、発振が不安定な状態になる場合や、発振停止を引き起こす場合があり、正確な周波数計測ができないという問題がある。そこで、ニュートラライザーユニット100の先端に取り付けられたフィラメント101に通電し、電子（マイナス電荷）を放出させて水晶基板の電荷を中和し、イオンビームの照射と同時に周波数計測を行うようにしてある。また、ニュートラライザーの電力制御を行うためにイオンコレクターユニット120を設け、イオンコレクターに流れる電流を一定に保つことによりニュートラライザーの出力調整を行うようにしてある。
【０００６】
かかる構成のイオンガン装置において、イオンビームからニュートラライザーユニット100のフィラメント101迄の距離はＡｒイオンの中和に影響するため極めて重要であり、また、イオンコレクターユニット120のイオンビーム貫通穴122の中心がイオンビームの中心と一致しないと、正確なニュートラライザーの電力制御ができないため、ニュートラライザーユニット100及びイオンコレクターユニット120のイオンガン本体１に対する位置決めは非常に重要である。
【０００７】
ニュートラライザーユニット100及びイオンコレクターユニット120をイオンガン本体１又は水冷ジャケット２に取り付ける場合、イオンガン本体１及び水冷ジャケット２の外形寸法は装置により多少のばらつきがあるため、各部品を取付け位置に対して調節の自由度を持たせずに固定してしまうと、取付け位置の微妙な調節ができないため正確な位置決めができなくなってしまう。そこで、従来技術においては、付属部品の取付け部に位置決めのための遊びを作り、上下方向及び水平方向の位置決めは目視によって行っていた。
【０００８】
この目視による位置決めの方法を、図８ａ及び同図におけるＡ−Ａ′部分の断面図である図８ｂを用いて説明する。なお、以下の説明において、イオンガン本体にニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニット等を装備したものを総称してイオンガン装置と称する。また、イオンガン本体を取り囲む水冷ジャケットは、特に符号によって説明する場合を除いてイオンガン本体の一部として説明する。
【０００９】
１はイオンガン本体であり、該イオンガン本体１には図８ｂに示すように水冷ジャケット２及び防着筒３が取り付けられている。水冷ジャケット２には取付け板80がねじ81により固定されている。取付け板80は図９に示すように断面がＬ字形で、ねじ81の取付け部83を設けた部分が大きくＵ字型に広がっており、水冷ジャケット２のｘ方向及びｙ方向に対して取付け位置を調整できるようになっている。取付け板80の立ち上がり部のねじ穴82には図10に示す絶縁支柱90がねじ91で固定される。ねじ91の取付け部92はｚ方向に延びる長穴となっており、取付け板80に対する絶縁支柱90の取付け位置はｚ方向に調整できるようになっている。
【００１０】
絶縁支柱90の上部には、図11に示すニュートラライザーユニット100がねじ103により固定される。ねじ103は前記ニュートラライザーユニット100のねじ穴102を貫通して絶縁支柱90のねじ穴94に固定される。絶縁支柱90の上部には、前記ニュートラライザーユニット100が固定され、更にその上部に防着板110が配置される。防着板110は図12に示すように、板金部111を斜線を付して示された絶縁部112にねじ113で固定して構成されており、板金部111と絶縁部112はねじ穴114を通して絶縁支柱90のねじ穴93の部分に固定される。この時、防着板110は、板金部111に設けた内径Ｂの貫通穴115がイオンガン本体のイオンビーム照射口の中央に位置するように目視によって配置される。更に、防着板110の上部には、図13に示すイオンコレクターユニット120が配置される。このイオンコレクターユニット120も、それに設けた内径Ｃのイオンビーム貫通穴122が前記イオンビーム照射口の中央に位置するように目視によって配置される。
【００１１】
このように、防着板110及びイオンコレクターユニット120は、目視によって配置が決定された後、ねじ穴121、114、及び93を貫通するねじ123によって絶縁支柱90に固定される。ねじ81による取付け板80の固定位置、及びねじ91による絶縁支柱90の固定位置は、ニュートラライザーユニット100及びイオンコレクターユニット120がイオンビームに対して適切な位置に配置されるように、目視によって決定されていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
イオンガン装置では、イオンビームによるエッチングにより発生した被エッチング材料がグリッド表面に付着して加速グリッドと遮蔽グリッドとの間で短絡が生じてしまう場合があるため、少なくとも1日1回の定期的な清掃作業が必要である。また、ニュートラライザーユニット、防着板、イオンコレクターユニット等は消耗部品であるため適宜交換することが必要である。このため、清掃や部品交換等のメインテナンス作業のためにイオンガン装置の解体と組立を頻繁に行う必要がある。その際、前述のごとくイオンガン本体に対するニュートラライザーユニット、防着板及びイオンコレクターユニットの位置決めは非常に重要になる。
【００１３】
しかし、従来は、イオンガン本体へのニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニット等の付属部品の取付けで重要となる位置決めは、前述のように目視により行われていたため、メインテナンス作業のためのイオンガン装置の解体と組立の前後で付属部品の取付け位置が異なることがあった。これにより、イオンガン本体に対する付属部品の水平方向と垂直方向の取付け位置が装置毎に異なるという問題や、装置の組立者により付属部品の取付け位置が異なるという問題が生じて、水晶振動子の周波数調整精度に悪影響を及ぼす原因となっていた。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記のような課題を解決するために、本発明では治具を使用してイオンガン本体に対するニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニットの正確な位置決めを行うものである。すなわち、イオンガン本体のイオンビーム照射口から所定の間隔をおいて付属部品であるニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニットを取り付ける方法において、前記イオンガン本体の所定の個所に対して着脱可能な位置決め板と前後、左右、上下方向の位置の調節ができる支持体とを介して前記付属部品を前後、左右、上下方向の何れにも遊びを持たせてイオンガン本体に仮止めした後、前記イオンガン本体と付属部品との間に介在させた複数の取付け治具を使用して前記付属部品をイオンガン本体に対して正確な位置に固定し、しかる後前記複数の取付け治具及び前記位置決め板に支持された付属部品の全てをそのままの状態で一度イオンガン本体から取り外し、ここで使用した取付け治具のみを全て取り外してから、前記位置決め板をイオンガン本体の所定の個所に再度取り付けることによって前記付属部品をイオンガン本体に取り付けるものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（１）実施例の構成の説明
以下、本発明の実施形態を図１乃至図７について説明する。なお、これらの図において先に説明した従来例と同様の部分は従来例と同じ番号をもって示し、その詳細な説明は従来例についての説明を参照することとする。
【００１６】
本発明の実施にあたっては、先ず、イオンガン本体１を覆う水冷ジャケット２の所定の個所に位置決め板20を取り付ける。この位置決め板20は図２に示すように、該位置決め板20のｘ方向の取付け位置を規制する板部21とｙ方向の取付け位置を規制するＬ字形の板部22とをねじ24で連結することにより構成してある。板部21のｘ方向の一端にはイオンガン本体に当接する直角な折り曲げ部が形成してある。また、板部22には、その一辺に設けた長穴を貫通するねじ24によりｙ方向への板部22の位置の調節を可能にした取付け部25が設けてある。この板部22の他の一辺はイオンガン本体に当接させるようになっている。このように板部22の位置を調節できるようにしたのは、イオンガン本体を取り囲む水冷ジャケットの大きさに多少のバラツキがあるためであり、水冷ジャケットのｙ方向の寸法に合わせて位置決め板20のｙ方向の寸法を決定して板部21、22をねじ24で固定することにより、何回着脱しても水冷ジャケットの所定の位置に取り付けることができる位置決め板が得られる。この位置決め板20をねじ81で水冷ジャケット２に固定する。
【００１７】
次に、ニュートラライザーユニット100をねじ103で固定した従来例と同様の絶縁支柱90を図３に示す取付け板30のねじ穴33に対応した部分に配置する。ねじ91の取付け部92はｚ方向に長い貫通穴となっており、これにより絶縁支柱90の固定位置を上下方向に調節できるようになっている。したがって、ねじ91は取付け部92及びねじ穴33を通した状態のまま固定せず仮止めしておく。
【００１８】
次に、前述の取付け板30を位置決め板20の上部に配置する。この取付け板30には、図３に示すように該取付け板30を位置決め板20に固定するためのねじ31の取付け部32が設けてあり、ねじ31を位置決め板20のねじ穴23に挿入するようになっている。前記取付け部32は、ねじ31の有効径に対して大き目の長円形穴とすることにより、位置決め板20に対する取付け板30の固定位置をｘ方向及びｙ方向にも調整できるようになっている。したがって、ねじ31も固定せずに仮止めしておく。
【００１９】
このように、付属部品の支持部材を構成している取付け板30と絶縁支柱90を固定するねじ91、及び位置決め板20と取付け板30を固定するねじ31を固定してしまわないことで、イオンガン本体の付属部品の位置決めは、ｘ方向、ｙ方向及びｚ方向について遊びを持たせることができる。
【００２０】
次に、従来例と同様に防着筒３を取り外して、イオンガン本体１のイオンビーム照射口の上部にベース板40を配置する。ベース板40には、図４に示すように円周状に複数の円形貫通穴が設けられており、それら円形貫通穴のうちの一つが位置決め用のピンを取り付けるための貫通穴43となっている。円周中心部について前記貫通穴43と対称の位置におけるベース板裏面には固定ピン41が設けられており、また、円周中心部には中心部貫通穴42が設けられている。
【００２１】
図15はイオンガン本体１のイオンビーム照射口を上から見た場合の概略図である。イオンガン本体１の中心部には、多数の小穴を配列してなるイオンビーム照射口140が設けてあり、該イオンビーム照射口の外側の円周上に位置決め用のピンを挿入するための貫通穴141及び142が設けてある。前述のベース板40は、固定ピン41を貫通穴142に挿入し、位置決めぴん44を貫通穴43を通して前記貫通穴141に挿入した状態でイオンガン本体１の上面に配置される。これにより、イオンガン本体１の中心にあるイオンビーム照射口140とベース板40の中心が一致した状態でベース板40が固定される。
【００２２】
次に、ベース板40の上面中心に図５に示す四角柱ブロック50を配置する。四角柱ブロック50は、その中心部にベース板40の中心部貫通穴42と直線的につながる同内径の中心部貫通穴51を設けるとともに、該中心部貫通穴51に対して垂直方向、すなわちｘ方向に二つのねじ穴52を設けてある。
【００２３】
次に、四角柱ブロック50のねじ穴52の部分にニュートラライザーユニット100を配置してねじ53で固定する。この時、ニュートラライザーユニット100がベース板40に接する位置でニュートラライザーユニット100のｚ方向の位置決めを行う。
【００２４】
次に、四角柱ブロック50の上面に図６に示す円盤型のカラー60を配置する。このカラー60は、四角柱ブロック50の貫通穴51と同内径の貫通穴61を有する。
【００２５】
次いで、カラー60の中心部貫通穴61、四角柱ブロック50の中心部貫通穴51及びベース板40の中心部貫通穴42に図７に示す位置決めピン70を挿入する。更に、カラー60の一部を防着板110のイオンビーム貫通穴115に挿入し、また、位置決めピン70の一部をイオンコレクターユニット120のイオンビーム貫通穴122に挿入した状態で順次配置する。この場合、前記カラー60及び位置決めピン70の外径は、それぞれイオンビーム貫通穴115及び122の内径に合わせた寸法となっている。例えば位置決めピン70の外径はイオンコレクターユニット120のイオンビーム貫通穴122の内径Ｃに略等しい寸法となっている。
【００２６】
そして、この状態において防着板110とイオンコレクターユニット120をねじ123によって絶縁支柱90に固定する。更に、位置決めピン70を滑らかに抜き取ることができる位置で、取付け板30に対する絶縁支柱90の位置と、位置決め板20に対する取付け板30の位置を決定し、ねじ91とねじ31を固定する。
【００２７】
上述の工程を終えてから、ねじ81を取り外してイオンガン本体１から位置決め板20及びその上部に固定された付属部品をそのままの状態で一度取り外す。そして、位置決めのために使用した位置決めピン70、カラー60、四角柱ブロック50及びベース板40等の治具を取り外す。しかる後、イオンガン本体１に防着筒３を取り付けたうえで、再度位置決め板20をイオンガン本体１の所定の個所にねじ81で固定することにより、位置決め板20の上に固定されている付属部品をイオンガン本体１に対して正確な位置に固定するものである。
【００２８】
（２）実施例の作用・動作の説明
前述の工程において、イオンガン本体１の上部にベース板40を固定ピン41及び位置決めピン44で取り付けることにより、イオンガン本体１の中心にあるイオンビーム照射口140の中心とベース板40の中心が一致する。また、位置決めピン70により四角柱ブロック50がベース板40の中心、延いてはイオンガン本体１の中心に配置されることとなる。さらに、四角柱ブロック50にニュートラライザーユニット100を固定し、ベース板40とニュートラライザーユニット100が接する位置でねじ91を固定することにより、ニュートラライザーユニット100のｚ方向の位置決めがなされ、メインテナンス作業に伴う解体後の再組立においても、常にイオンビーム照射口140からベース板40の厚みと同じ距離だけ隔たった位置にニュートラライザーユニット100を固定することが可能となる。これによって取付け板30に対する絶縁支柱90のｚ方向の位置決めがなされる。
【００２９】
また、イオンガン本体の中心に位置する位置決めピン70と同心円型のカラー60の外径に防着板110のイオンビーム貫通穴115の内径を合わせ、位置決めピン70の外径にイオンコレクターユニット120のイオンビーム貫通穴122の内径を合わせて各構成部品を配置することにより、防着板110及びイオンコレクターユニット120はイオンガン本体１の中心に正確に配置されることになる。この状態で防着板110及びイオンコレクターユニット120を絶縁支柱90に固定し、ねじ31を固定することで、位置決め板20に対する取付け板30の位置決めがなされる。
【００３０】
以上のようにして、ニュートラライザーユニット100、防着板110及びイオンコレクターユニット120のイオンガン本体１に対するｘ、ｙ、ｚの各方向についての位置決めがなされる。
【００３１】
位置決め板20は水冷ジャケット２の寸法に合わせて所定の個所に固定されるようになっているため、位置決め板20を何回着脱しても位置決め板20に固定された付属部品のイオンガン本体に対する取付け位置が変わることはない。したがって、位置決めピン70、カラー60、四角柱ブロック50、ベース板40等の治具をイオンガン本体と付属部品との間に介在させて付属部品のイオンガン本体に対する位置決めを行った後に、前記付属部品等を固定してある位置決め板20を一度イオンガン本体から取り外したうえで、治具等を取り外してから再びイオンガン本体の所定の位置に取り付けても、イオンガン本体に対する付属部品の位置は変わらないため、高い精度で付属部品の取付けを行うことができる。
【００３２】
従来の目視によるニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニットの取付け方法では、正規の取付け位置からｘ、ｙ方向について約２mmずれて固定されてしまうことがあったが、本発明の取付け方法によれば±0.1mm以内の精度で取付けを行うことが可能となり、周波数調整の精度を安定化することが可能となった。具体的には、24MHz帯VCXO（周波数可変型水晶発振器）の調整量1000PPMとした時の周波数調整結果は、従来の方法で付属部品の取付けを行ったイオンガン装置ではターゲット周波数に対して±15PPMであったのに対して、本発明の付属品取付け方法を用いたイオンガン装置では、±２PPM以内となった。
【００３３】
（３）他の実施例の説明、他の用途への転用例の説明
上記実施例は、水晶振動子の周波数調整用イオンガン装置に使用されるニュートラライザー及びイオンコレクターに対応しているが、水晶振動子以外の対象物について用いられるイオンガン装置についても、形状の変更によって対応することが可能である。
【００３４】
【発明の効果】
本発明によれば、ベース板、四角柱ブロック、カラー、位置決めピン等の治具を用いて組み立てるため、イオンガン本体に対するニュートラライザーユニット及びイオンコレクターユニット等の付属部品の位置決め精度が向上し、メインテナンス作業に伴う解体と再組立の際に組立者によって付属部品の取付け位置が変わり、水晶振動子の周波数調整精度に悪影響を及ぼすことがなくなった。これによりイオンガン式周波数調整装置の周波数調整精度を安定化することが可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明において用いる位置決め用の治具を取り付けたイオンガン装置の概略図である。
【図２】本発明において用いる位置決め板を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は右側面図、（ｄ）は平面図である。
【図３】本発明において用いる取付け板を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図４】本発明において用いるベース板を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図５】本発明において用いる四角柱ブロックを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図６】本発明において用いるカラーを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図７】本発明において用いる位置決めピンを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図８】（ａ）は従来の附属部品取付け方法を用いたイオンガン装置の概略図、（ｂ）は図８（ａ）のイオンガン装置におけるＡ−Ａ′部分の断面図である。
【図９】従来方法で用いていた取付け板を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図１０】附属部品の支持に用いる絶縁支柱を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図１１】ニュートラライザーユニットを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図１２】防着板を示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図１３】イオンコレクターユニットを示すもので、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図である。
【図１４】イオンガン装置の概念図である。
【図１５】イオンガン本体の上面概略図である。
【符号の説明】
1  イオンガン本体
2  水冷ジャケット
3  防着筒
20  位置決め板
21  板部
22  板部
23  ねじ穴
24  ねじ
25  ねじ取付け部
30  取付け板
31  ねじ
32  ねじ取付け部
33  ねじ穴
40  ベース板
41  固定ピン
42  中心部貫通穴
43  貫通穴
44  位置決めピン
50  四角柱ブロック
51  中心部貫通穴
52  ねじ穴
53  ねじ
60  カラー
61  中心部貫通穴
70  位置決めピン
80  取付け板
81  ねじ
82  ねじ穴
83  ねじ取付け部
90  絶縁支柱
91  ねじ
92  ねじ取付け部
93  ねじ穴
94  ねじ穴
100  ニュートララザーユニット
101  フィラメント
102  ねじ穴
103  ねじ
110  防着板
111  板金部
112  絶縁部
113  ねじ
114  ねじ穴
115  イオンビーム貫通穴
120  イオンコレクターユニット
121  ねじ穴
122  イオンビーム貫通穴
123  ねじ
130  イオンビーム
131  水晶振動子
140  イオンビーム照射口
141  貫通穴
142  貫通穴
【図１】
0003916929.tif 000002
【図２】
0003916929.tif 000003
【図３】
0003916929.tif 000004
【図４】
0003916929.tif 000005
【図５】
0003916929.tif 000006
【図６】
0003916929.tif 000007
【図７】
0003916929.tif 000008
【図８】
0003916929.tif 000009
【図９】
0003916929.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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