(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気吸込口が開口された吸着面に実装用部品を吸着させる表面実装機用吸着ノズルを備えた表面実装機において、前記吸着面を下方から見て長方形状に形成し、
前記空気吸込口を前記吸着面の長手方向の中央部分に開口させるとともに、この中央部分を平坦に形成し、
前記吸着面の長手方向において前記中央部分の両側に一対の平坦面を形成し、
これらの平坦面に対し前記中央部分を下方に突出させたことを特徴とする表面実装機。
【請求項２】
請求項１記載の表面実装機において、空気吸込口を吸着面における一対の平坦面に延在させたことを特徴とする表面実装機。
【請求項３】
請求項２記載の表面実装機において、吸着ノズルの吸引系に圧力センサを接続し、この圧力センサによって検出された吸着ノズル内の圧力を予め定めた圧力と比較する吸着判定手段を備えたことを特徴とする表面実装機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気吸込口が開口された吸着面に実装用部品を吸着させる吸着ノズルを備えた表面実装機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プリント配線板に実装用部品を供給する表面実装機は、実装用部品がテープフィーダなどの部品供給部からプリント配線板へ吸着ノズルに吸着されて移載される。前記吸着ノズルは、先端に平坦な吸着面が形成されるとともに、この吸着面の中央部分に空気吸込口が開口されており、吸着ヘッドを介して表面実装機に装着されている。
【０００３】
前記吸着面は、吸着される部品の表面側の形状に略対応する形状に形成されている。例えば、チップ抵抗やコンデンサなどの小型部品を吸着する吸着ノズルにおいては、これらの部材の表面側の形状に合わせて吸着面が長方形状に形成されている。また、この吸着面は、部品表面の全域にわたって接触するように平坦に形成されている。
【０００４】
この吸着ノズルを保持する吸着ヘッドは、表面実装機の移動装置に設けられており、吸着ノズルに実装用部品が吸着された状態で水平方向および上下方向に移動して前記部品供給部とプリント配線板との間を往復する。すなわち、吸着ヘッドが前記部品供給部の上に移動してから下降し、吸着ノズルが実装用部品に上方から接触することにより、この吸着ノズルに実装用部品が吸着される。このように吸着ノズルが実装用部品を吸着した後に吸着ヘッドが上昇し、プリント配線板の被実装部分の上方へ移動する。そして、吸着ヘッドが下降し、必要に応じて上下方向を軸線方向として回転したうえで、実装用部品がプリント配線板に載置した後に、吸着ノズルでの吸引が停止されて吸着ヘッドが上昇する。この動作を繰り返すことにより、実装用部品が部品供給部からプリント配線板上に移載される。
また、従来の表面実装機は、吸着ノズルに吸着された部品を下方からカメラによって撮影し、撮られた画像に基づいて部品の吸着の有無や部品の吸着位置を検出する撮像式判定手段が設けられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したように構成された従来の表面実装機においては、吸着ノズルで部品を吸着した回数が多くなると吸着ノズルで部品を吸着することができなくなったり、吸着に失敗しているにもかかわらず、これを撮像式判定手段によって検出することができなくなることがあった。すなわち、従来の表面実装機は、実装精度を向上させるにも限界があった。
【０００６】
吸着ノズルが吸着を失敗するのは、種々検討した結果、吸着ノズルの吸着面に異物が付着することが原因であることが判った。従来の表面実装機で移載されるチップ抵抗などのチップ部品は、直方体状に形成されて両端部に電極が設けられている。この電極は、プリント配線板に実装される実装面から吸着ノズルに吸着される吸着面にわたる全周にめっきが施されて形成されている。
この電極表面のめっき層に吸着ノズルが吸着するときに摩擦によって生じた微細な金属粉が上述したように異物となって吸着ノズルに付着する。また、めっき層の剥離し易くなっていた部分などが吸着時に吸着ノズルに転写されることによって、異物となって吸着ノズルに付着する。
【０００７】
このような異物が部材の表面側の形状に合わせて形成された吸着面の端部に付着することにより、吸着面と部品との間に隙間が生じるようになって吸引力が低減するから、部品の吸着に失敗するようになる。
また、吸着面の色が実装用部品の電極の色に似てくるため、実装用部品の形状に合わせて形成されていた吸着面と実装用部品との判別が難しくなり、撮像式判定手段で判定ミスが起こると考えられる。
【０００８】
本発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、吸着回数が多くなっても実装用部品を確実に吸着することができる表面実装機を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明に係る表面実装機は、吸着面を下方から見て長方形状に形成し、前記空気吸込口を前記吸着面の長手方向の中央部分に開口させるとともに、この中央部分を平坦に形成し、前記吸着面の長手方向において前記中央部分の両側に一対の平坦面を形成し、これらの平坦面に対し前記中央部分を下方に突出させたものである。
【００１０】
本発明によれば、実装用部品は吸着面の主に前記中央部分に接触して吸着されるから、一対の平坦面には異物が付着し難くなる。このため、吸着面の全体に実装用部品が吸着される従来のものに較べて異物の付着量が低減される。
また、吸着面の全域に異物が付着することがなくなるから、異物の付着により吸着面の色が実装用部品の電極の色に近似するようなことはなく、吸着を失敗した状態と正常状態とを容易に識別できる。
【００１１】
また、この発明によれば、空気吸込口を吸着面における下方に突出する中央部分に開口させているから、実装用部品を吸着面の前記中央部分に確実に吸着できるようになる。このため、隣接する一対の平坦面には実装用部品が接触し難くなるから、付着する異物をさらに低減させることができる。
【００１２】
請求項２に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した発明に係る表面実装機において、空気吸込口を吸着面における一対の平坦面に延在させたものである。
この発明によれば、一対の平坦面と実装用部品との間に形成される隙間に吸引力が作用するから、広い範囲にわたる吸着がなされる。
【００１３】
請求項３に記載した発明に係る表面実装機は、請求項２に記載した表面実装機において、吸着ノズルの吸引系に圧力センサを接続し、この圧力センサによって検出された吸着ノズル内の圧力を予め定めた圧力と比較する吸着判定手段を備えたことを特徴とする表面実装機。
吸着ノズルに実装用部品が吸着された状態での吸着ノズル内の圧力と、吸着ノズルが開放状態にあるときの吸着ノズル内の圧力とは圧力差があるから、吸着ノズルに実装用部品が吸着されているか否かを圧力センサの出力に基づいて判別することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る表面実装機の一実施の形態を図１ないし図８によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る表面実装機の平面図、図２は同じく正面図である。図３は吸着ノズルの正面図、図４は同じく側面図、図５は吸着ノズルの底面図である。図６および図７は吸着ノズルの縦断面図で、図６は図４におけるIV−IV線断面図、図７は図３におけるVII−VII線断面図である。図８は要部を拡大して示す断面図である。
【００１５】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機である。この表面実装機１は、基台２の上部にプリント配線板３を搬送するためのコンベア４と、後述する吸着ノズル５（図２〜図７参照）を移動させるノズル移動手段６とを備えており、吸着ノズル５を有する吸引系が異なる他は、従来のものと同等に構成されたものである。
【００１６】
前記コンベア４は、プリント配線板３を図１において基台２の左右方向（以下、この方向を単にＸ方向という）に搬送し、図示していないクランプ機構によって作業位置に保持するように構成されている。このコンベア４の両側方には、実装用部品７（図１参照）が収納されたテープフィーダ８と、撮像式判定手段（図示せず）のカメラ９が設けられている。前記撮像式判定手段は、前記カメラ９によって撮られた画像と正常時の画像とを比較し、部品の吸着の有無や部品の吸着位置を検出するように構成されたものである。
【００１７】
前記ノズル移動手段６は、前記コンベア４の上方でコンベア４の搬送方向とは直交する方向（以下、この方向を単にＹ方向という）に延びる２本の固定レール１１を有するＹ方向移動装置１２と、前記固定レール１１，１１どうしの間に架け渡された可動レール１３を有するＸ方向移動装置１４と、このＸ方向移動装置１４に取付けたノズル保持用のヘッドユニット１５などによって構成されている。
【００１８】
前記Ｙ方向移動装置１２は、前記固定レール１１に沿って延びるボールねじ軸と、このボールねじ軸１６を駆動するサーボモータ１７とによってＸ方向移動装置１４の可動レール１３をＹ方向に往復させるように構成されている。前記Ｘ方向移動装置１４は、可動レール１３に沿って延びるボールねじ軸１８と、このボールねじ軸１８を駆動するサーボモータ１９とによってヘッドユニット１５をＸ方向に往復させるように構成されている。
【００１９】
前記ヘッドユニット１５は、吸着ノズル５が先端部に脱着可能に取付けられる吸着ヘッド２１がＸ方向に間隔をおいて複数設けられており、それぞれの吸着ヘッド２１を上下方向（Ｚ方向）に移動させる昇降装置（図示せず）と、上下方向を軸線として回転させる回転駆動装置（図示せず）とが設けられている。また、図示してはいないが、このヘッドユニット１５には、空気を吸着ノズル５の先端から吸着ヘッド２１を介して吸引する吸引装置が接続されている。
【００２０】
前記吸引装置は、図示してはいないが、エジェクタによって吸着ノズル５から空気を吸引する構成のもので、吸引用通路の途中に、吸着用通路の内部の圧力を検出するための真空圧センサ１５ａ（図２参照）が設けられている。この真空圧センサ１５ａは、この表面実装機１の制御装置１００に検出データを送出する構成が採られている。制御装置１００には、真空圧センサ１５ａの検出データに基づいて吸着ノズル５での吸着の有無を判別する吸着判別手段が設けられている。
【００２１】
この吸着判別手段は、吸着ノズル５が実装用部品を吸着しているときに必ず達するような判定圧力と、真空圧センサ１５ａが検出した実際の圧力とを、吸着ヘッド２１の上昇中あるいは移動中に比較し、判定圧力より検出圧力の方が低い（真空圧力が高い）ときには、吸着していると判別し、これとは逆に、判定圧力より検出圧力の方が高い（真空圧力が低い）ときには、吸着していないと判別する。なお、吸着に失敗しているときには、前記制御装置１００がアラームを発するとともに再度吸着動作を行うようにさせる。
【００２２】
吸着ノズル５は、図６および図７に示すように、上端部の角筒状の吸着ノズル２１への係合部となるノズル本体２２と、下端部の円筒状のホルダー部２３と、これら両者の間で側方に延びるフランジ２４とが一体に形成されている。この吸着ノズル５の内部の中空部２５は、前記ノズル本体２２の上端と前記ホルダー部２３の下端で開放しており、前記ノズル本体２２を吸着ヘッド２１に装着することによって、前記吸引装置に接続される。
前記ホルダー部２３は、可動先端部５ａが脱落するのを阻止するためのピン２６が上端部に取付けられている。このピン２６は、前記ホルダー部２３をその軸線方向とは直交する方向へ貫通しており、ホルダー部２３の外周部に嵌着された固定用リング２７によって抜け止めされている。
【００２３】
前記可動先端部５ａは、上方に向けて開放する円筒状の基部３１と、この基部３１の下端から下方へ延びる円筒状の部品当接用部３２とが一体に形成されている。前記基部３１は、前記ホルダー部２３内に移動自在に嵌合する外径をもって形成され、前記ピン２６が挿通される長穴３３が上部の二箇所に穿設されている。この長穴３３は、開口が上下方向に伸びるように形成されている。すなわち、この可動先端部５ａは、前記ホルダー部２３内に前記基部３１を下方から嵌入させ、このホルダー部２３に前記ピン２６をホルダー部２３内で前記長穴３３に挿通されるように取付けることによって、ホルダー部２３に抜け止めされた状態で上下方向に移動自在に取付けられる。
【００２４】
また、前記基部３１の内側段部３１ａと前記ピン２６との間には、可動先端部５ａを下方へ付勢する圧縮コイルばね３４が弾装されている。このように圧縮コイルばね３４を設けることにより、可動先端部５ａに吸着された実装用部品７がプリント配線板３に押し付けられるときの荷重を略一定にすることができる。
前記部品当接用部３２は、この実施の形態では角柱状に形成され、下端に吸着面３５が形成されるとともに、空気吸引孔３６が部品当接用部３２の下端から上端にわたって貫通するように穿設されている。
【００２５】
前記吸着面３５は、図５に示すように、下方から見て長方形状に形成されており、図２および図３に示す正面視において下方に突出するいわゆる逆凸状に形成されている。詳述すると、吸着面３５は、図８に示すように、主に下方に突出する平坦な中央部分３５ａと、吸着面３５の長尺方向における中央部分３５ａの両側に位置する一対の平坦面３５ｂ，３５ｂとから形成され、中央部分３５ａと一対の平坦面３５ｂ，３５ｂとはそれぞれ段差、すなわち高さに違いがある。中央部分３５ａと一対の平坦面３５ｂ，３５ｂとの間には、それぞれ段差に対応したのり面３７が形成されている。
【００２６】
前記吸着面３５の前記中央部分３５ａには、図５に示すように、空気吸込口３８が開口されている。この空気吸込口３８は、部品当接用部３２内に穿設した前記空気吸引孔３６の下端の開口からなり、この実施の形態では、開口形状が円形で、前記中央部分３５ａの中心に形成されている。
前記のり面３７は、図８に示すように、中央部分３５ａに対して両側に有る平坦面３５ｂ，３５ｂが寸法Ｄだけ上方に位置するように形成されている。寸法Ｄは、この実施の形態では約０．０３mm程度であり、吸着面３５は、約１．７mm×約０．９mm程度の大きさである。
【００２７】
このように構成された吸着ノズル５は、吸引装置を作動させることにより、下端の空気吸込口３８から空気が吸い込まれるようになって吸引状態になる。この吸着ノズル５によって実装用部品７をテープフィーダ８からプリント配線板３に移載するためには、先ず、ヘッドユニット１５をＸ方向移動装置１４およびＹ方向移動装置１２によって移動させ、複数の吸着ヘッド２１のうち所望の吸着ヘッド２１をテープフィーダ８の実装用部品７の上方に位置させ、次に、ヘッドユニット１５の昇降装置によって下降させる。
【００２８】
このように吸着ヘッド２１とともに吸着ノズル５が下降して下端の吸着面３５が実装用部品７に上方から接触することによって、吸着面３５に実装用部品７が吸着される。テープフィーダー８の長さ当たりの実装用部品７の収納量を多くするため、直方体状の実装用部品７は、長軸方向を図１に示す左右方向にしてテープフィーダー８に収納されている。
【００２９】
すなわち、この直方体状の実装用部品７の収納状態に合わせ吸着ノズル５の吸着面は、図２の正面視において中央部分３５ａが両側に位置する平坦面３５ｂ，３５ｂより下方に突出されており、この中央部分３５ａに空気吸込口３８が開口されているから、図８に示すように、このときに実装用部品７は前記中央部分３５ａに接触して吸着される。なお、吸引装置の作動による吸着ノズル５の下端の空気吸込口３８から空気が吸込まれる吸引状態は、吸着ノズル５のテープフィーダー８上での下降動作の終了前までに開始され、吸着ノズル５のプリント配線板３上での下降動作の終了後の実装用部品７の装着直前まで継続される。
【００３０】
したがって、前記一対の平坦面３５ｂ，３５ｂは実装用部品７に接触しないか、接触したとしても中央部分３５ａより接触圧力が小さいから、これらの平坦面３５ｂ，３５ｂには、実装用部品７との接触により異物が例えば両端の周状の電極のめっき層が剥がれても、付着することはない。このように、吸着面の全体に実装用部品７が吸着される従来のものに較べて、異物の付着量が低減され、吸引力が吸着回数によらず低下し難くなる。
【００３１】
上述した吸着動作は、ヘッドユニット１５に複数設けられた吸着ヘッド２１の吸着ノズル５の全てにおいてそれぞれ行われる。
全ての吸着ノズル５に部品を吸着させた後、吸着ヘッド２１を昇降装置によって上昇させ、Ｘ方向移動装置１４およびＹ方向移動装置１２によってカメラ９の上方に移動させる。そして、カメラ９によって吸着ノズル５の下端部が下方から撮影され、撮像式判定手段によって実装用部品７が正しく吸着されているか否かが判定されるとともに、後工程で実装用部品７をプリント配線板３へ載置するときに補正により正しい位置に置くことができるように、実装用部品７の吸着ヘッド２１に対する吸着位置が検出される。
【００３２】
この実施の形態による吸着ノズル５は、吸着面３５の全域に異物が付着することがなく、特に吸着面３５の両端部に電極の剥がれたものが付着し難くなるので、異物の付着により吸着面３５の色が実装用部品７の電極の色に近似するようなことはないから、吸着に失敗した状態と、正しく吸着が行われた正常状態とでは、カメラ９に撮影された画像が大きく異なるようになる。このため、吸着を失敗したことを撮像式判定手段によって確実に検出することができる。
【００３３】
撮像式判定手段によって正常であると判定された後に、ヘッドユニット１５とともに吸着ヘッド２１をＸ方向移動装置１４およびＹ方向移動装置１２によってプリント配線板３の所定の載置位置の上方に移動させ、その後、昇降装置によって下降させる。また、吸着ノズル５による吸着が行われたときには、制御装置１００の吸着判別手段によって吸着の判定が行われる。吸着ヘッド２１を下降させる工程では、実装用部品７がプリント配線板３上に載置されるように、吸着ノズル５が予め定めた距離だけ下降される。
【００３４】
実装用部品７がプリント配線板３上に接触あるいは接触直前まで下降された後、吸引装置による吸引を停止し、スプリング３４の弾発力が負圧にうち勝って実装用部品７をプリント配線板３に押圧し載置する。その後、吸着ノズル５を上昇させる。なお、実装用部品７をプリント配線板３に載置させた後であって吸引装置による吸引が再開された後にも、吸着判別手段によって吸着の有無が判別される。
この実施の形態による吸着ノズル５は、吸着面３５に異物が層状に堆積するようなことはないから、前記上昇時に実装用部品７が吸着面３５から速やかに離れる。なお、実装用部品７を載置させてから吸着ノズル５が上昇を開始するまでの時間を短縮するために、載置時に吸引を絶つとともに吸引系に正圧を供給することが行われる。
【００３５】
全ての吸着ノズル５において実装用部品７をプリント配線板３に導電性接着材を介して載置させた後、ヘッドユニット１５を再びテープフィーダ８の上方に移動させ、次のプリント配線板３に対して上述した移載作業が行われる。
【００３６】
（第２の実施の形態）
吸着ノズルの吸着面に開口する空気吸込口は、図９ないし図１３に示すように構成することができる。
図９および図１０は吸着ノズルの縦断面図、図１１は同じく底面図で、図１１においては、図９の破断位置をIX−IX線に示し、図１０の破断位置をX−X線によって示す。図１２および図１３は吸着面を示す底面図である。これらの図において、前記図１〜図８によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
【００３７】
これらの図に示す吸着ノズル５は、空気吸込口３８が吸着面３５の中央部分３５ａから一対の平坦面３５ｂに延在するように形成されている。詳述すると、図９〜図１２に示す吸着ノズル５においては、空気吸込口３８がＸ字状に形成され、一対の平坦面３５ｂにおける吸着面３５の四隅と対応する部分の近傍まで空気吸込口３８が形成されている。この空気吸込口３８から上方に延びる空気吸引孔３６は、水平方向の断面形状が空気吸込口３８と同一形状に形成されている。
【００３８】
図１３に示す吸着ノズル５の空気吸込口３８は、吸着面３５の中央部分３５ａに形成された円形部３８ａと、この円形部３８ａから吸着面３５の長手方向に沿って直線状に平坦面３５ｂ側へ延びる一対の直線部３８ｂとによって形成されている。
【００３９】
この実施の形態で示したように空気吸込口３８を一対の平坦面３５ｂ，３５ｂに延在させることによって、一対の平坦面３５ｂ，３５ｂと実装用部品７との間に形成される隙間Ｓ（図８参照）に大きな吸引力が作用するようになる。図８においては、この実施の形態を採るときの空気吸込口３８を二点鎖線によって描いてある。前記隙間Ｓに吸引力が作用することによって、吸着面３５と実装用部品７との接触部分の面積を小さくしながら、大きな吸引力で実装用部品７を吸着することができるようになる。
【００４０】
加えて、この実施の形態による吸着ノズル５を用いることにより、吸着時に吸引系を流れる空気の量が増大するから、吸引用通路内に塵埃などが詰まり難くなる。このため、真空圧センサ１５ａを用いて行う吸着の有無の判別をより一層精度よく行うことができる。
【００４１】
なお、実装用部品７が直方体状の形状の長軸方向の両端部において被装着面から被吸着面にわたる直方体状の長軸回り全周にめっきによる電極（すなわち、被装着面のみでなく被吸着面にも形成されためっきによる電極）が形成された小型部品である場合には、上記二つの実施の形態に記載の吸着ノズル５が吸着ヘッド２１に装着される。しかしながら、実装用部品７がＩＣ回路部品等の大型部品で、複数の電極が被装着面に形成されるが、被吸着面には形成されないものである場合には、平坦な吸着面を有する吸着ノズルが吸着ヘッド２１に装着される。これは、前記隙間Ｓによる負圧（＝真空圧）の減少を防止し、大きな吸着力を得ようとするためである。前記電子制御装置１００は、前記吸引装置が同一の空気吸引を実施していても、吸着ノズル５の種別の違いによる実装用部品７の吸着中における吸引用通路の負圧の違いに対応し、吸着の有無を判断する基準負圧データが吸着ノズル５の種別に対応して制御装置１００に記憶されている。このため、実装用部品７が小型部品であっても、大型のＩＣ回路部品等であっても正しく吸着の有無を判定することができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、吸着面の全体に実装用部品が吸着される従来のものに較べて異物の付着量が低減され、吸引力が低下し難くなるから、本発明に係る吸着ノズルは、吸着回数が多くなっても実装用部品を確実に吸着することができる。
【００４３】
また、吸着面の全域に異物が付着することがなくなるから、吸着を失敗した状態と正常状態とを容易に識別できるようになり、吸着を失敗したことを画像処理によって確実に検出することができる。このため、吸着判定の信頼性を向上させることができる。しかも、吸引力が消失されたときに実装用部品が吸着面から速やかに離れるから、プリント配線板に実装用部品７を確実に載置することができる。
【００４４】
また、この発明によれば、実装用部品を吸着面の中央部分に確実に吸着できるようになり、隣接する一対の平坦面には実装用部品が接触し難くなるから、付着する異物をさらに低減させることができる。このため、より一層確実に実装用部品を吸着することができる。
【００４５】
請求項２記載の発明によれば、一対の平坦面と実装用部品との間に形成される隙間に吸引力が作用するようになるから、吸引力を実装用部品に広い範囲にわたって作用させることができようになる。このため、実装用部品を強く吸着できる吸着ノズルを提供することができる。
【００４６】
請求項３記載の発明によれば、吸着ノズルに実装用部品が吸着された状態での吸着ノズル内の圧力と、吸着ノズルが開放状態にあるときの吸着ノズル内の圧力とは圧力差があるから、吸着ノズルに実装用部品が吸着されているか否かを圧力センサの出力に基づいて判別することができる。
空気吸込口が吸着面における一対の平坦面に延在された吸着ノズルを使用することにより、吸着時に吸引系を流れる空気の量が増大するから、吸引系に異物が詰まることがなく、上述した吸着の有無の判別をより一層精度よく行うことができる。したがって、吸着ノズルが吸着に失敗したことを正確に検出することができるから、実装精度をより一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る表面実装機の平面図である。
【図２】  本発明に係る表面実装機の正面図である。
【図３】  吸着ノズルの正面図である。
【図４】  吸着ノズルの側面図である。
【図５】  吸着ノズルの底面図である。
【図６】  図４におけるIV−IV線断面図である。
【図７】  図３におけるVII−VII線断面図である。
【図８】  要部を拡大して示す断面図である。
【図９】  吸着ノズルの縦断面図である。
【図１０】  吸着ノズルの縦断面図である。
【図１１】  吸着ノズルの底面図である。
【図１２】  吸着面を示す底面図である。
【図１３】  吸着面を示す底面図である。
【符号の説明】
５…吸着ノズル、７…実装用部品、１５ａ…真空圧センサ、３５…吸着面、３５ａ…中央部分、３５ｂ…一対の平坦面、３７…のり面、３８…空気吸込口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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