(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部が水平回転可能に支持された第１アーム部材の先端部に回転軸を介して第２アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、この第２アーム部材の先端部に回転軸を介して第３アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、上記第１アーム部材および第２アーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、上記第１アーム部材および第２アーム部材を回転軸と磁性流体シールの隙間を保持したままそれぞれ上部構成体と下部構成体とに上下に分割可能に構成した搬送アーム装置であって、上記回転軸の下端部にはプーリが着脱可能に取付けられ、上記回転軸が上部構成体に且つ上記プーリが下部構成体にそれぞれ軸受を介して独立して支持され、上部構成体の上部に上記磁性流体シールが取付けられていることを特徴とする搬送アーム装置。
【請求項２】
上記回転軸の下端部はプーリ押えとして分割され、このプーリ押えが回転軸にネジにより下方から固定され、上記プーリが回転軸にプーリ押えを介してネジにより上方から固定されていることを特徴とする請求項１記載の搬送アーム装置。
【請求項３】
基部が水平回転可能に支持された第１アーム部材の先端部に回転軸を介して第２アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、この第２アーム部材の先端部に回転軸を介して第３アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、上記第１アーム部材および第２アーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、上記第１アーム部材および第２アーム部材を回転軸と磁性流体シールの隙間を保持したままそれぞれ上部構成体と下部構成体とに上下に分割可能に構成した搬送アーム装置を有する処理装置であって、上記回転軸の下端部にはプーリが着脱可能に取付けられ、上記回転軸が上部構成体に且つ上記プーリが下部構成体にそれぞれ軸受を介して独立して支持され、上部構成体の上部に上記磁性流体シールが取付けられていることを特徴とする処理装置。
【請求項４】
上記回転軸の下端部はプーリ押えとして分割され、このプーリ押えが回転軸にネジにより下方から固定され、上記プーリが回転軸にプーリ押えを介してネジにより上方から固定されていることを特徴とする請求項３記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送アーム装置および処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理基板である半導体ウエハに酸化、拡散、ＣＶＤ等の各種の処理を施すために、例えば縦型熱処理装置のような処理装置が用いられている。このような処理装置においては、複数枚のウエハを収納した運搬用の容器であるカセット（キャリアともいう）を運搬ロボットまたは作業者が搬出入口より搬入すると、このカセットが設置台上に設置され、更にこの設置台上のカセット内から基板保持具であるボートに高さ方向に多数枚のウエハが移載されるようになっている。ウエハが移載されたボートは熱処理炉に装入され、ウエハに所定の処理が施される。所定の処理が終了して、熱処理炉からボートが搬出されると、ボートから処理済みのウエハが上記とは逆の手順でカセットに戻され、処理済みのウエハを収納したカセットが搬出入口から搬出される。
【０００３】
ところで、上記ボートを搬送する手段として、例えば真空中において複数のアーム部材を端部で回動軸を介して回転可能に連結してなる多関節構造の搬送アーム装置を用いることが考えられる。この搬送アーム装置においては、アーム部材内の回転機構部で発生する粉塵を外部にまき散らさないようにするために、上記回転軸を回転可能に支持する側のアーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、回転機構部と外部とを遮断することが好ましい。この磁性流体シールの性能を確保するために、磁性流体シールと回転軸の隙間（クリアランス寸法）を約０．１ｍｍに保持することが必要な条件となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記搬送アーム装置においては、回転機構部のベルト交換等のメンテナンスを行なうために、上記アーム部材を分解する際に、磁性流体シールと回転軸が離れてしまう。このため、アーム部材の組立て時に、再び磁性流体シールと回転軸の隙間を調整し、その隙間に磁性流体を注入する必要があり、手間がかかるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、磁性流体シールと回転軸の位置関係を保ったままアーム部材を分解することができ、メンテナンスが容易にできる搬送アーム装置および処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のうち請求項１に係る発明は、基部が水平回転可能に支持された第１アーム部材の先端部に回転軸を介して第２アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、この第２アーム部材の先端部に回転軸を介して第３アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、上記第１アーム部材および第２アーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、上記第１アーム部材および第２アーム部材を回転軸と磁性流体シールの隙間を保持したままそれぞれ上部構成体と下部構成体とに上下に分割可能に構成した搬送アーム装置であって、上記回転軸の下端部にはプーリが着脱可能に取付けられ、上記回転軸が上部構成体に且つ上記プーリが下部構成体にそれぞれ軸受を介して独立して支持され、上部構成体の上部に上記磁性流体シールが取付けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項２に係る発明は、上記回転軸の下端部はプーリ押えとして分割され、このプーリ押えが回転軸にネジにより下方から固定され、上記プーリが回転軸にプーリ押えを介してネジにより上方から固定されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項３に係る発明は、基部が水平回転可能に支持された第１アーム部材の先端部に回転軸を介して第２アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、この第２アーム部材の先端部に回転軸を介して第３アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、上記第１アーム部材および第２アーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、上記第１アーム部材および第２アーム部材を回転軸と磁性流体シールの隙間を保持したままそれぞれ上部構成体と下部構成体とに上下に分割可能に構成した搬送アーム装置を有する処理装置であって、上記回転軸の下端部にはプーリが着脱可能に取付けられ、上記回転軸が上部構成体に且つ上記プーリが下部構成体にそれぞれ軸受を介して独立して支持され、上部構成体の上部に上記磁性流体シールが取付けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項４に係る発明は、上記回転軸の下端部はプーリ押えとして分割され、このプーリ押えが回転軸にネジにより下方から固定され、上記プーリが回転軸にプーリ押えを介してネジにより上方から固定されていることを特徴とする。
【００１１】
【実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１２】
図２ないし図３において、１は処理装置として例示した縦型熱処理装置の筐体、２は被処理基板である半導体ウエハＷを複数枚例えば２５枚程度垂直に立てた状態で所定のピッチで収納する上部に収納口２ａを有する運搬用の容器であるカセットである。上記筐体１の一端には、上記カセット２を搬入搬出するための開閉ゲートを有する搬出入口３が設けられている。上記筐体１内における搬出入口３近傍には、上記カセット２を収納口２ａが上部にある垂直状態で載置するための載置台４が設けられている。
【００１３】
上記載置台４には、カセット２を前後から押える押え部５，６、カセット２内のウエハＷのオリフラ合せを行うオリフラ整合機等（図示省略）が設けられている。また、載置台４は、垂直に回動可能に設けられており、上記カセット２内のウエハＷを垂直状態から水平状態にすべくカセット２をほぼ９０度回動できるようになっている。上記筐体１内には、昇降および回転可能な基台７を有する搬送機構８が設けられ、その基台７の周囲に上記載置台４と、上記カセット２を設置する設置台９と、第１の真空予備室（ロードロック室ともいう）１０とが配置されている。
【００１４】
上記第１の真空予備室１０は、後述の縦型熱処理炉１１内に多数枚例えば３０枚のウエハＷを装入するために用いられる基板保持具である石英製のボート１２を収容してウエハＷの移載と予備真空を行うための部屋で、上記基台７を挟んで上記載置台４と対向する位置に配置されている。この第１の真空予備室１０の上記基台７側へ臨む前面部は開口しており、この前面部にはその開口部を開閉するロードロックドア１３が設けられている。また、第１の真空予備室１０の後部には、ゲートバルブ１４を介して第２の真空予備室１５が連設されている。
【００１５】
上記筐体１の後端側上部には、下部に装入口（炉口）１６を有する縦型熱処理炉１１が設けられ、この熱処理炉１１の下方のローディングエリア（搬送領域）が上記第２の真空予備室１５になっている。この第１および第２の真空予備室１０，１５は、例えば上記熱処理炉１１の熱処理時の真空度例えば１Ｔｏｒｒとほぼ同じ真空度とされる。
【００１６】
上記第１の真空予備室１０は、ゲートバルブ１４を開けて第２の真空予備室１５と連通するに際して第２の真空予備室１５と同じ圧力に制御され、第１の真空予備室１０と第２の真空予備室１５との間のゲートバルブ１４を閉めた状態で第１の真空予備室１０のロードロックドア１３を開けて筐体１内と連通するに際して筐体１内と同じ圧力（大気圧）に制御される。
【００１７】
上記熱処理炉１１の下方には、その装入口１６を開閉する蓋体１７が昇降機構の昇降アーム１８により昇降可能に設けられ、この蓋体１７の上部には、石英製の保温筒１９を介して上記ボート１２が載置されるようになっている。第２の真空予備室１５には、上記ボート１２を上記保温筒１９上から第１の真空予備室１０にまたはその逆に搬送するための搬送アーム装置２０が設けられている。また、上記保温筒１９は、洗浄等のために、上記搬送アーム装置２０により上記蓋体１７上から第１の真空予備室１０に搬送されて、筐体１外に搬出可能になっていいる。
【００１８】
上記搬送機構８は、ボールネジ等を用いた昇降機構により昇降可能に設けられた昇降アーム２１を有し、この昇降アーム２１上に上記基台７が水平に回転可能に取付けられている。上記昇降アーム２１内には、上記基台７を位置決め可能に回転駆動するための回転駆動部が設けられている（図示省略）。
【００１９】
上記基台７上には、ウエハＷを支持する水平に延出した短冊状のウエハ支持部（フォークともいう）２２を複数段例えば５段有するウエハ移載機２３と、上記カセット２を載置して支持する水平に延出したカセット支持部２４を有するカセット移載機２５とが対向して往復移動可能に設けられ、そのカセット移載機２５によりカセット２を載置台４から設置台９にまたはその逆に、上記ウエハ移載機２３によりウエハＷを設置台９のカセット２内から第１の真空予備室１０内のボート１２にまたはその逆にそれぞれ移載可能に構成されている。
【００２０】
上記ウエハ移載機２３およびカセット移載機２５が基台７上の待機位置にある状態において、上記カセット支持部２４が上記ウエハ移載機２３の直上に配置され、これによりカセット２を基台７から外側にはみ出さない状態で旋回させることができ、旋回半径Ｒの縮小化が図られている。上記設置台９は、高さ方向にカセット２を複数個設置可能に棚部２６を複数段例えば４段有している。
【００２１】
上記搬送アーム装置２０は、図４ないし図５に示すように水平に旋回および伸縮可能な多関節構造のアーム２７を有し、このアーム２７の先端部にボート１２の下面を支持する平面Ｕ字状のボート支持受け２８が設けられている。第２の真空予備室１５には、搬送アーム装置２０を設置するための開口部２９を有するベース部３０が設けられ、搬送アーム装置２０は、そのベース部３０の開口部２９の位置に分解可能な取付構造体３１を介して着脱可能に且つ気密に取付けられている。
【００２２】
上記搬送アーム装置２０は、アーム２７の駆動手段として、内外２重の回転駆動軸３３，３４を回転駆動する上下２つのモータ３５，３６を備えている。内外２重の駆動軸３３，３４のうち、内軸３３は、上部のモータ３５により駆動され、中空の外軸３４は、下部のモータ３６により上部のモータ３５を介して駆動されるようになっている。具体的には、取付構造体３１には軸封手段である多段構造の磁性流体シール３８を介してモータハウジング３７が取付けられ、このモータハウジング３７内に上記磁性流体シール３８を介して導かれた外軸３４に上部のモータ３５のステータ３５ａが連結され、内軸３３に上部のモータ３５のロータ３５ｂが連結されている。また、モータハウジング３７内の下部に下部のモータ３６のロータ３６ｂが固定され、下部のモータ３６のステータ３６ａが上部モータ３５のステータ３５ａと連結されている。
【００２３】
上記アーム２７は、複数のアーム部材３９，４０，４１を端部で回転軸４２，４３を介して水平回転可能に連結してなり、回転軸４２，４３を回転可能に支持する側のアーム部材３９，４０には、後述するように回転軸４２，４３との隙間ｓを磁性流体を介してシールする磁性流体シール４４，４５が設けられている（図６，図１参照）。また、上記磁性流体シール４４，４５を有するアーム部材３９，４０は、回転軸４２，４３と磁性流体シール４４，４５の隙間ｓを保持したまま上下に分割可能に構成されている。
【００２４】
具体的に説明すると、上記アーム２７は、基端が水平回転可能に支持された第１アーム部材３９と、この第１アーム部材３９の先端部に回転軸４２を介して基部が水平回転可能に連結された第２アーム部材４０と、この第２アーム部材４０の先端部に回転軸４３を介して基部が水平回転可能に連結された第３アーム部材４１とからなり、その第１および第２アーム部材３９，４０に磁性流体シール４４，４５が取付けられている。また、第１および第２アーム部材３９，４０は、図６に示すように、ベルト等の回転機構を内蔵するために中空箱状に形成されていると共に、その回転機構のメンテナンスが可能なように上下に２分割されている。この場合、第１および第２アーム部材３９，４０は、上部が開放された下部構成体３９ａ，４０ａと、この下部構成体３９ａ，４０ａの上部にこれを覆うようにネジ４６で着脱可能に且つ気密に取付けられる蓋状の上部構成体３９ｂ，４０ｂとから構成されている。図６において、Ｂ1は、第１アーム部材３９の分割面、Ｂ2は第２アーム部材４０の分割面である。
【００２５】
上記第１アーム部材３９の基部には、図６に示すように、上記内外２重の回転駆動軸３３，３４のうちの内軸３３が連結されると共に、外軸３４が軸受４７を介して回転可能に支持され、且つその外軸３４との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シール（第１の磁性流体シールともいう）４８が下方からの止めネジ４９により取付けられている。上記内軸３３の上端部は、第１アーム部材３９の上部構成体３９ｂに固定部材５０を介して固定され、内軸３３により第１アーム部材３９が旋回駆動されるようになっている。第１アーム部材３９の上部構成体３９ｂには、固定部材５０を取付けるための開口部７５が形成され、この開口部７５を密閉する蓋７６が取付けられる。上記固定部材５０は、図７にも示すように、すり割５０ａを有し、ボルト７７を締め込むことにより内軸３３の上端部を挟んで締め付け、ネジ７８で第１アーム部材３９の上部構成体３９ｂに固定されるようになっている。７９は、固定部材５０から内軸３３に差込まれた回り止めのためのピンである。
【００２６】
上記外軸３４は、第２アーム部材４０に回転を付与するもので、外軸３４の上端部には、第１アーム部材３９内において、内軸３３の外周に非接触で位置された環状のプーリ（第１プーリともいう）５１が取付けられている。上記外軸３４の上端部は、プーリ押え３４ａとして分割されており、第１プーリ５１は、短いネジ５２によりプーリ押え３４ａに固定されていると共に、長いネジ５３によりプーリ押え３４ａを介して外軸３４に固定されている。従って、上記長いネジ５３を取外すことにより、第１の磁性流体シール４８と外軸３４の上端部であるプーリ押え３４ａの位置関係を保持したまま外軸３４から第１アーム部材３９を取外すことができるようになっている。
【００２７】
上記第１アーム部材３９の先端部には、その下部構成体３９ａの内底部より固定軸５４が立設され、この固定軸５４の外周に中空の回転軸４２が軸受５５を介して回転可能に支持されている。この回転軸４２は、第１アーム部材３９の上部構成体３９ｂに貫通する状態で軸受５６を介して回転可能に支持されており、回転軸４２の上端部には第２アーム部材４０の下部構成体４０ａの基部が短いネジ５７と長いネジ５８で着脱可能に且つ気密に取付けられている。第１アーム部材３９の上部構成体３９ｂには、回転軸４２との隙間ｓを磁性流体を介してシールする磁性流体シール（第２の磁性流体シールともいう）４４が取付けられている。
【００２８】
上記回転軸４２の下端部には、第１アーム部材３９内において、固定軸５４の外周に非接触で位置された環状のプーリ（第２プーリともいう）５９が取付けられ、この第２プーリ５９は、第１アーム部材３９の下部構成体３９ａに軸受６０を介して回転可能に支持されている。上記第２プーリ５９は、上記第１プーリ５１に無端ベルトである例えばタイミングベルト６１を介して連結され、これにより第２アーム４０が旋回駆動されるようになっている。
【００２９】
上記回転軸４２の下端部は、プーリ押え４２ａとして分割されており、このプーリ押え４２ａは、回転軸４２に短いネジ６２により下方から固定されている。また、第２プーリ５９は、上記長いネジ５８により回転軸４２にプーリ押え４２ａを介して固定されている。すなわち、回転軸４２と第２プーリ５９は分割可能に構成され、回転軸４２および第２プーリ５９がそれぞれ独立して軸受５６，６０に支持されている。従って、上記長いネジ５８を取外して回転軸４２と第２プーリ５９の結合を解除することにより、第２の磁性流体シール４４と回転軸４２の位置関係、すなわち隙間（クリアランス寸法）ｓを保持したまま第１アーム部材３９の下部構成体３９ａから上部構成体３９ｂを分割することができるようになっている。
【００３０】
上記固定軸５４の上端部には、第２アーム部材４０内に位置されるプーリ（第３プーリともいう）６３がネジ止めにより着脱可能に取付けられている。第２アーム部材４０の先端部には、図１に示すように、上部構成体４０ｂを貫通する状態で回転軸４３が軸受６４を介して回転可能に支持され、この回転軸４３の上端部に上記第３アーム部材４１の基部がネジ止めにより着脱可能に取付けられている。第２アーム部材４０の上部構成体４０ｂには、回転軸４３との隙間ｓを磁性流体を介してシールする磁性流体シール（第３の磁性流体シールともいう）４５が取付けられている。
【００３１】
上記回転軸４３の下端部には、第２アーム部材４０内に位置されるプーリ（第４プーリともいう）６５が取付けられ、この第４プーリ６５は、第２アーム部材４０の下部構成体４０ａに軸受６６を介して回転可能に支持されている。上記第４プーリ６５は、上記第３プーリ６３に無端ベルト例えばタイミングベルト６７を介して連結され、これにより、第２アーム部材４０が固定軸５４を中心に旋回するときのタイミングベルト６７の相対的回転によって、第３アーム４１が旋回駆動されるようになっている。
【００３２】
上記回転軸４３の下端部は、プーリ押え４３ａとして分割されており、このプーリ押え４３ａは、回転軸４３にネジ６８により下方から固定されている。また、第４プーリ６５は、上方からのネジ６９により回転軸４３にプーリ押え４３ａを介して固定されている。すなわち、回転軸４３と第４プーリ６５は分割可能に構成され、回転軸４３および第４プーリ６５がそれぞれ独立して軸受６４，６６に支持されている。従って、上記ネジ６９を取外して回転軸４３と第４プーリ６５の結合を解除することにより、第３の磁性流体シール４５と回転軸４３の位置関係（クリアランス寸法ｓ）を保持したまま第２アーム部材４０の上部構成体４０ｂと下部構成体４０ａを上下に分割することができるようになっている。
【００３３】
上記第１および第２アーム部材３９，４０は、固定軸５４に設けられた軸孔７０を介して内部が連通されており、また、第１アーム部材３９の内部は、内軸３３に設けられた軸孔８０（図６参照）を介して図示しない減圧ポンプに連通されており、第１〜第３磁性流体シール４８，４４，４５の磁性流体が内外の圧力差によってバーストしないように、第１および第２アーム部材３９，４０の内部の圧力が外部の圧力すなわち第２の真空予備室１５内の圧力とほぼ同じ圧力に制御されている。
【００３４】
上記搬送アーム装置２０は、ボート１２を昇降させる機能を有していないため、第１の真空予備室１０の底部にはボート支持受け２８との間のボート１２の受取り受渡し時にボート１２を昇降させる昇降機構７１が設けられている（図２参照）。なお、搬送アーム装置２０としては、アーム２７を介してボート１２を昇降させる機能を有していても良い。
【００３５】
次に上記実施の形態による作用を述べる。ウエハＷを垂直に立てて収納したカセット２を搬出入口３から処理装置の筐体１内に搬入して載置台４上に載置すると、カセット２が押え部５，６により前後から押えられ、オリフラ合せ後、カセット２がウエハＷを水平にすべく載置台４と共にほぼ９０度回動される。これによりカセット２は、上部に収納口２ａがある垂直状態から収納口２ａが水平に向いた水平状態になる。
【００３６】
上記搬送機構８における昇降アーム２１の昇降、基台７の旋回およびカセット移載機２５の移動により、カセット２をカセット支持部２４に上記載置台４から受け取り、設置台９まで搬送して棚部２６上に載置する。所定個数のカセット２を設置台９の各棚部２６に載置したなら、搬送機構８における昇降アーム２１の昇降、基台７の旋回およびウエハ移載機２３の移動により、上記設置台９上のカセット２内からウエハＷをウエハ支持部２２で抜き取り、予め第１の真空予備室１０内に移載されているボート１２に移載する。
【００３７】
上記ウエハＷの移載に際して、第１の真空予備室１０と第２の真空予備室１５との間のゲートバルブ１４は閉じられ、第１の真空予備室１０のロードロックドア１３は開放されている。所定枚数のウエハＷをボート１２に移載したなら、ロードロックドア１３を閉じ、第１の真空予備室１０内を所定の真空度に真空引きし、第１の真空予備室１０と第２の真空予備室１５との間のゲートバルブ１４を開放して、搬送アーム装置２０のアーム２７により第１の真空予備室１０内から第２真空予備室１５内の保温筒１９上にボート１２を移載する。
【００３８】
上記ボート１２の移載後に、上記ゲートバルブ１４を閉じ、ボート１２を昇降アーム１８により蓋体１７上の保温筒１９と共に上昇移動させて熱処理炉１１内に装入し、装入口１６を蓋体１７で閉じて、所定の熱処理を開始する。熱処理が終了すると、上記とは逆の動作でボート１２が熱処理炉１１内から第２の真空予備室１５内に搬出されて第１の真空予備室１０内に移載され、そのボート１２から設置台９上の空のカセット２内に処理済みのウエハＷが移載され、そのカセット２が設置台９から載置台４に搬送されて搬出入口３から搬出される。
【００３９】
ここで、例えば第２アーム部材４０内のタイミングベルト６７を交換しなければならない事態が発生したとすると、図１の（ｂ）に示すように第２アーム部材４０の上部構成体４０ｂと下部部構成体４０ａを連結しているネジ４６および回転軸４３と第４プーリ６５を連結しているネジ６９を取外すことにより、第３の磁性流体シール４５と回転軸４３の位置関係を保持したまま第２アーム部材４０の上部構成体４０ｂと下部部構成体４０ａを上下に分割することができ、第３の磁性流体シール４５と回転軸４３のクリアランス寸法ｓを保持したままベルト交換が可能となる。従って、ベルト交換後に、第２アーム部材４０の上部構成体４０ｂと下部部構成体４０ａを組付けるときに、磁性流体シール４５と回転軸４３の隙間調整およびその隙間ｓへの磁性流体の注入作業が不要になる。なお、このメンテナンスは、第２の真空予備室１５内および第１および第２アーム部材３９，４０内の圧力を大気圧に戻した状態で行なう。
【００４０】
このように上記処理装置における搬送アーム装置２０によれば、回転軸４２，４３との隙間ｓをシールする磁性流体シール４４，４５を有するアーム部材３９，４０が、回転軸４２，４３と磁性流体シール４４，４５の隙間ｓを保持したまま上下に分割可能に構成されているため、アーム部材３９，４０内のベルト交換等のメンテナンス時に、磁性流体シール４４，４５と回転軸４２，４３の位置関係を保持したままアーム部材３９，４０を上下に分割することができ、再びアーム部材３９，４０を組立てる時に、磁性流体シール４４，４５と回転軸４２，４３の隙間調整およびその隙間ｓへの磁性流体の注入する手間が省け、メンテナンスが容易になる。
【００４１】
上記回転軸４２，４３にはプーリ５９，６５が着脱可能に設けられ、回転軸４２，４３およびプーリ５９，６５がそれぞれ独立して軸受５６と６０，６４と６６に支持されているため、磁性流体シール４４，４５と回転軸４２，４３の位置関係を保持したままアーム部材３９，４０を上下に容易に分割することが可能となる。また、上記第１および第２アーム部材３９，４０は、内部が連通しており、その内部の圧力が外部の圧力とほぼ同じ圧力に制御されているため、アーム部材３９，４０の内外の圧力差による磁性流体シール４４，４５の磁性流体のバーストを防止でき、シール機能を維持できる。上記第１アーム部材３９の基部には、内外２重の回転駆動軸３３，３４のうちの内軸３３が連結されると共に、プーリ５１を有する外軸３４が軸受４７を介して回転可能に支持され、且つその外軸３４との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シール４８が下方からのネジ止め４９により取付けられているため、第１アーム３９内のベルト交換等のメンテナンス時に、誤って基部側の磁性流体シール４８を取外してしまうことがない。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、上記処理装置としては、第１および第２の真空予備室を必ずしも備えている必要はなく、常圧の筐体内でボートの搬送移載を行うようになっていてもよい。本発明は、ボートの搬送以外に、例えば枚葉処理装置における被処理基板の搬送等にも適用可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果が得られる。
【００４４】
（１）請求項１または３に係る発明によれば、基部が水平回転可能に支持された第１アーム部材の先端部に回転軸を介して第２アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、この第２アーム部材の先端部に回転軸を介して第３アーム部材の基部を水平回転可能に連結し、上記第１アーム部材および第２アーム部材に回転軸との隙間を磁性流体を介してシールする磁性流体シールを設け、上記第１アーム部材および第２アーム部材を回転軸と磁性流体シールの隙間を保持したままそれぞれ上部構成体と下部構成体とに上下に分割可能に構成し、上記回転軸の下端部にはプーリが着脱可能に取付けられ、上記回転軸が上部構成体に、プーリが下部構成体にそれぞれ軸受を介して独立して支持され、上部構成体の上部に上記磁性流体シールが取付けられているため、アーム部材内のベルト交換等のメンテナンス時に、磁性流体シールと回転軸の位置関係を保持したままアーム部材を上下に分割することができ、再びアーム部材を組立てる時に、磁性流体シールと回転軸の隙間調整およびその隙間への磁性流体の注入する手間が省け、メンテナンスが容易になる。
【００４５】
（２）請求項２また４に係る発明によれば、上記回転軸の下端部はプーリ押えとして分割され、このプーリ押えが回転軸にネジにより下方から固定され、上記プーリが回転軸にプーリ押えを介してネジにより上方から固定されているため、上方からのネジを取外して回転軸とプーリの結合を解除することにより、磁性流体シールと回転軸の位置関係を保持したまま上部構成体と下部構成体とを上下に分割することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態である搬送アーム装置における関節部の構造を示す図で、（ａ）は組立状態の断面図、（ｂ）は分割状態の断面図である。
【図２】本発明が適用された搬送アーム装置を有する熱処理装置の全体構成を概略的に示す側面断面図である。
【図３】同熱処理装置の平面断面図である。
【図４】搬送アーム装置の平面図である。
【図５】同搬送アーム装置の全体構成を概略的に示す側面断面図である。
【図６】同搬送アーム装置における基部側の関節部の構造を示す断面図である。
【図７】内軸の上端部を固定する固定部材の平面図である。
【符号の説明】
２０  搬送アーム装置
３３  内軸
３４  外軸
３９  第１アーム部材
４０  第２アーム部材
４１  第３アーム部材
４２，４３  回転軸
４４，４５，４８  磁性流体シール
４７，５６，６０，６４，６６  軸受
５１，５９，６３，６５  プーリ
【図１】
0003917694.tif 000002
【図２】
0003917694.tif 000003
【図３】
0003917694.tif 000004
【図４】
0003917694.tif 000005
【図５】
0003917694.tif 000006
【図６】
0003917694.tif 000007
【図７】
0003917694.tif 000008