(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲットに対向して配置されたロールの少なくともロール胴部の表面を冷却し、該ロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながら、該ロール胴部に密接していない側のフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置であって、前記ロール胴部のロール軸方向長さがフィルムの幅方向長さよりも短く、且つ、前記ロール胴部の両端部がフィルムの端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに位置することにより、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されないようにしていることを特徴とするフィルム用真空蒸着装置。
【請求項２】
前記ロール胴部の両端部がフィルムの両端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに１〜50mm離れたところに位置している請求項１記載のフィルム用真空蒸着装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のフィルム用真空蒸着装置を用いてフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法に関し、詳細には、紙、箔状のプラスチックや金属等の如きフィルムの表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法に関し、特には、帯状のフィルムの表面に連続的に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法に関する技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、AIP 装置（アークイオンプレーティング装置）やスパッタ装置等の真空蒸着装置によりフィルムの表面に真空蒸着をしようとする際、蒸着時の入熱によるフィルムの損傷（熱によるフィルムのしわ、変形、軟化、溶融等の発生）を防止するために、冷却されたロールのロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながらフィルム表面に真空蒸着を施す方法が採用されている。例えば、真空中において、図１に示す如く、冷却されたロールのロール胴部２の表面にフィルム１を密接させた状態でフィルム１を搬送させながら、ターゲット４から蒸着粒子３をフィルム１の表面に蒸着する方法が採用されている。
【０００３】
ここで、ロール胴部のロール軸方向長さはフィルムの幅方向長さよりも長い。フィルムをスムーズ（円滑）に搬送するために、ロールについてはロール胴部の表面粗度、平行度及び真円度が重要であり、これらが優れていること（値が小さいこと）が必要である。尚、表面粗度については、一般に１Ｓ以下であることが必要とされている。
【０００４】
蒸着時にロール胴部の両端部近傍の表面に蒸着膜が形成されることを防止するため、マスクを配してマスキングがなされる。例えば、図２に示す如く、中央部に開口部を有するマスク５を配してマスキングがなされる。尚、図２において、マスク５については、マスクの右端部側（右端部から中央まで）を図示したものであり、これに続く左端部側（中央から左端部まで）は図示を省略している。
【０００５】
このようにマスキングをすると、ロール胴部の両端部近傍の表面を含む領域がカバーされ、マスクの影になるので、ロール胴部の両端部近傍の表面への蒸着膜の形成は起こり難くなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図２からもわかる如く、フィルムの両端部近傍の表面もマスクの影になるので、この部分は蒸着膜の厚みが薄くて不充分な部分（以降、膜厚不充分部）となってしまうという問題点がある。この中でもフィルムの両端部及びその極近傍付近は蒸着膜が形成されない部分（以降、非蒸着部）となることが多い。ひいては、かかる膜厚不充分部及び非蒸着部は製品として使用できず、切り落とされるので、製品歩留りが悪くなる。
【０００７】
製品歩留りの観点からマスキング巾は最小に押さえられることとなり、その結果として、マスクとロール（あるいはロール上のフィルム）との間より蒸着粒子が少しずつ入り込むため、ロール胴部の両端部近傍の表面において、蒸着膜が全く形成されないというわけではなく、少しずつ蒸着粒子が付着するので、真空蒸着装置として長期間使用しているうちには、蒸着粒子の付着物が堆積して蒸着膜が形成される。特に、AIP 装置の如く蒸発速度の高い真空蒸着装置を使用する場合、かかる蒸着膜形成の速度が比較的高い。このようにロール胴部の両端部近傍の表面に蒸着膜が形成されると、フィルムの円滑な搬送ができなくなり、場合によってはフィルムの搬送ができなくなる。即ち、フィルムのフィルム幅が常に一定であり且つフィルムが常に真っ直ぐに搬送されるのであれば、ロール胴部の両端部近傍の表面に蒸着膜が形成されてもフィルムの円滑な搬送は可能であるが、実際には真空蒸着しようとするフィルムには種々のフィルム幅のものがあり、フィルム幅は一定ではなく、又、仮にフィルム幅が一定である場合であっても実際にはフィルムは少し蛇行しながら搬送されるので、ロール胴部の両端部近傍の表面に蒸着膜が形成されると、フィルムの円滑な搬送ができなくなり、場合によってはフィルムの搬送ができなくなる。
【０００８】
そのため、かかるロール胴部の両端部近傍の表面に形成された蒸着膜を除去する必要がある。この蒸着膜の除去に際し、その作業を真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うのは難しく、特にAIP （アークイオンプレーティング）法の適用の場合に形成された蒸着膜は密着力が強く、この場合はより困難であり、又、蒸着膜除去後のロール胴部の表面粗度を一般に１Ｓ以下にする必要があるとされているので、ロールを真空蒸着装置から外し、蒸着膜の除去作業が行われる。
【０００９】
本発明はかかる事情に着目してなされたものであって、その目的は、冷却されたロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながらフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法であって、真空蒸着の際にフィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルムの幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成でき、ひいては製品歩留りの向上が図れ、一方、フィルムの円滑な搬送に必要なロール胴部表面には蒸着膜が形成され難く、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部表面等に形成され難く、又、たとえフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成される場合であっても、その形成までの時間が長く、更に、その蒸着膜の除去作業を真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うことが可能であり、蒸着膜の除去作業の簡易化が図れるフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係るフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法は、請求項１〜２記載のフィルム用真空蒸着装置、請求項３記載のフィルム用真空蒸着方法としており、それは次のような構成としたものである。
【００１１】
即ち、請求項１記載のフィルム用真空蒸着装置は、ターゲットに対向して配置されたロールの少なくともロール胴部の表面を冷却し、該ロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながら、該ロール胴部に密接していない側のフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置であって、前記ロール胴部のロール軸方向長さがフィルムの幅方向長さよりも短く、且つ、前記ロール胴部の両端部がフィルムの端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに位置することにより、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されないようにしていることを特徴とするフィルム用真空蒸着装置である。
【００１２】
請求項２記載のフィルム用真空蒸着装置は、前記ロール胴部の両端部がフィルムの両端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに１〜50mm離れたところに位置している請求項１記載のフィルム用真空蒸着装置である。請求項３記載のフィルム用真空蒸着方法は、請求項１または２記載のフィルム用真空蒸着装置を用いてフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着方法である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に係るフィルム用真空蒸着装置は、例えば、次のようにして作ることができ、そしてフィルム表面への真空蒸着処理に使用することができる。
【００１４】
ロールとしてロール胴部のロール軸方向長さが真空蒸着しようとするフィルムの幅方向長さ（フィルム幅）よりも短いものを準備し、これを真空蒸着室内に取り付ける。
【００１５】
このとき、図３に示す如く、ロール胴部７の両端部7A，7Bが真空蒸着しようとするフィルム８の端部8A，8Bよりもそれぞれフィルム幅の中央8Cよりに位置するようにロールＲを配置する。即ち、ロール胴部７の左端部7Aがフィルム８の左端部8Aよりも右側に位置すると共に、ロール胴部７の右端部7Bがフィルム８の右端部8Bよりも左側に位置するようにロールＲを配置する。
【００１６】
マスクは使用しない。以上の点を除き、従来のフィルム用真空蒸着装置の場合と同様の構造とする。即ち、ロール胴部７の表面粗度は従来のフィルム用真空蒸着装置の場合と同様に１Ｓ以下であり、平行度及び円筒度も従来のフィルム用真空蒸着装置の場合と同様であり、又、ロール胴部７が冷却されるようになっている。又、真空蒸着室にはフィルムの入口及び出口があること等の点において、従来のフィルム用真空蒸着装置の場合と同様である。尚、図３において６はロール軸部を示すものである。
【００１７】
次に、真空蒸着室内にターゲット９を配した後、真空蒸着しようとするフィルムを巻いたフィルム巻き出しドラムからフィルムを少しずつ巻き出し、ドラム真空蒸着室のフィルムの入口から真空蒸着室内に挿入し、真空蒸着室内のロール胴部７の表面に密接させ、そして真空蒸着室のフィルムの出口から真空蒸着室外へ出し、フィルムの先端をフィルム巻き取りドラムのフィルム固定部に固定する。このとき、ロール胴部７の表面にフィルム８が密接した状態は図３に示すような状態であり、ロール軸方向（あるいはフィルム幅方向）でみると、ロール胴部７の両端部7A，7Bがフィルム８の端部8A，8Bよりも各々フィルム幅の中央8Cよりに位置するような状態になる。即ち、フィルム８の両端部8A，8Bがそれぞれロール胴部７からはみ出すような状態になる。
【００１８】
次に、ロール胴部７を冷却し、又、真空ポンプにより真空蒸着室内を所定の真空度にした後、プロセスガスを導入し、所定の圧力（真空度）を維持しながら、ターゲット９をターゲット加熱手段により加熱すると共に、冷却されたロールのロール胴部７の表面にフィルム８を密接させた状態でフィルム８を真空蒸着室のフィルムの出口側に向けて所定搬送速度で搬送させ、これにより連続的にフィルム表面8Sに真空蒸着を施し、真空蒸着後のフィルムをフィルム巻き取りドラムに巻き取る。
【００１９】
このとき、フィルム８は少し蛇行しながら搬送されるが、常にフィルム８の両端部8A，8Bはそれぞれロール胴部７からはみ出すような状態、即ち、常にフィルム８によりロール胴部７の両端部7A，7B及びその近傍の表面を含む全領域がカバーされたような状態にすることができる。そのため、ロール胴部７の表面には蒸着粒子が付着せず、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成されないようにすることができる。
【００２０】
又、図３からもわかる如く、フィルム８において図２に示した従来装置による場合の如きマスクの影になる部分がなく、そのため、フィルム８の両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルム８の幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成することができる。
【００２１】
尚、上記フィルム用真空蒸着装置においては、ロールとしてロール胴部のロール軸方向長さが真空蒸着しようとするフィルムのフィルム幅よりも短いものを使用したが、これに代えて、真空蒸着しようとするフィルムとしてフィルム幅がロール胴部のロール軸方向長さよりも長いものを使用した場合も、上記と同様の作用効果が奏される。
【００２２】
かかる本発明の実施の形態からもわかる如く、本発明によれば、冷却されたロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながらフィルム表面に真空蒸着を施す際に、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルムの幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成でき、ひいては製品歩留りの向上が図れ、一方、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部表面に形成されないようにし得る。更に、後述する如く、たとえフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成される場合であっても、その形成までの時間が長く、又、その蒸着膜の除去作業を真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うことが可能であり、蒸着膜の除去作業の簡易化が図れるようになる。
【００２３】
この詳細を以下に説明する。
【００２４】
本発明に係るフィルム用真空蒸着装置は、前述の如く、ターゲットに対向して配置されたロールの少なくともロール胴部の表面を冷却し、該ロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながら、該ロール胴部に密接していない側のフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置であって、前記ロール胴部のロール軸方向長さがフィルムの幅方向長さよりも短く、且つ、前記ロール胴部の両端部がフィルムの端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに位置することにより、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されないようにしていることを特徴とするものである。
【００２５】
従って、常にフィルムによりロール胴部の両端部近傍の表面を含む全領域がカバーされたような状態にし得、そのため、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部表面に形成されないようにし得る。又、そのために図２に示した如きロール胴部の両端部近傍の表面に蒸着膜が形成されることを防止するためのマスクを配する必要がないので、フィルムにおいてマスクの影になる部分がなく、その結果、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルムの幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成し得、ひいては製品歩留りの向上が図れる。
【００２６】
尚、フィルムの両端部はそれぞれロール胴部からはみ出すような状態になり、このはみ出したフィルム部はロール胴部の表面に密接していないので、ロール胴部により直接的には冷却されないが、ロール胴部の表面に密接しロール胴部により直接的に冷却されるフィルム部との熱交換（このフィルム部からの熱伝導）によってはみ出したフィルム部も充分に冷却される。従って、このはみ出したフィルム部についてもロール胴部の表面に密接したフィルム部と同様に、蒸着時の入熱によるフィルムの損傷が生じず、フィルム全体について蒸着時の入熱による損傷を防止することができる。
【００２７】
本発明において、ロールについてはフィルムが密接するロール胴部を有すると共に、該ロール胴部のロール軸方向長さがフィルムの幅方向長さよりも短く、且つ、該ロール胴部の両端部がフィルムの端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに位置していること、又、少なくとも該ロール胴部の表面が冷却されることが必要である。かかる要件を充たしている限りにおいて、ロールの種類（形状や構成材料等）は特には限定されず、例えば図３に示した如き比較的単純な形状のもの、即ちロール胴部７とロール軸部６とを有してなるロールＲの他に、図４に示す如き所謂段付きロールR1等を使用できる。
【００２８】
図４に示す如き段付きロールR1においては、最大径のロール胴部12がフィルムが密接するロール胴部に該当する。該ロール胴部12のロール軸方向長さがフィルム13の幅方向長さよりも短くなるようにし、且つ、該ロール胴部12の両端部12A,12B がフィルム13の端部13A, 13Bよりもそれぞれフィルム幅の中央13C よりに位置するようにすると共に、少なくとも該ロール胴部12の表面が冷却されるようにすることにより、前記ロールに係る要件を充たすことができる。尚、図４において、10はロール軸部、11は小径円筒部を示すものであり、該小径円筒部11の直径はロール軸部10よりはかなり大きいが、フィルム13が密接するロール胴部12よりは小さく、該小径円筒部11にはフィルム13は接しない。
【００２９】
かかる段付きロールR1を図４に示す如く上記要件を充たすようにして使用した場合、図３に示した装置の場合と同様に、フィルム13の円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部12の表面に形成されないようにし得、又、フィルム13の両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルム13の幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成し得る。
【００３０】
この図４に示す装置の場合は、直径がロール軸部10よりはかなり大きい小径円筒部11をロールが有しているので、図３に示した装置の場合に比較し、ロールの後方側（ロールを基準とし、ターゲットのある位置側をロールの前方側としたときのロールの後方側、即ち、図４では上方側）において影になる部分の面積が広く、そのためロールの後方側にある機器等の表面に蒸着膜が形成（付着）され難く、その付着面積が小さくなるという利点がある。
【００３１】
その反面、図４に示す装置の場合は、小径円筒部11の表面に蒸着膜が形成されて積層され、長期間使用しているうちに蒸着膜がフィルムに接触し、フィルムの円滑な搬送に支障を来すようになることが懸念される。しかしながら、蒸着膜がフィルムに接触するほどに積層されるまでには極めて長期間を要するので、それまでの長期の間は蒸着膜の除去を要することなく使用し得る。又、小径円筒部11の表面にフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成された場合、この小径円筒部11の表面の蒸着膜を除去する必要があるが、蒸着膜除去後は蒸着膜付着前の径になり、フィルムと接触しなくなるので、蒸着膜除去後の表面粗度が優れている必要はなく、そのため、小径円筒部11の表面の蒸着膜の除去はグラインダやタガネ等により支障なく除去し得、かかる蒸着膜の除去作業は真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うことが可能である。尚、小径円筒部11の表面にフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成されるまでの時間は、ロール胴部12と小径円筒部11との径の差を大きくすることにより、長くなる。
【００３２】
従って、図４に示す装置の場合のように、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成される場合であっても、その形成までの時間が長く、又、その蒸着膜の除去作業を真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うことが可能であり、蒸着膜の除去作業が簡易である。
【００３３】
ところで、前記ロール胴部の両端部とフィルムの両端部との位置関係に関し、前記ロール胴部の両端部がフィルムの両端部よりもそれぞれフィルム幅の中央よりに１〜50mm離れたところに位置するようにすることが望ましい（請求項２記載のフィルム用真空蒸着装置）。即ち、ロール胴部の左端部をフィルムの左端部よりも右側に１〜50mm離れたところに位置すると共に、ロール胴部の右端部がフィルムの右端部よりも左側に１〜50mm離れたところに位置するようにすることが望ましい。そのようにすると、フィルムの蛇行を最小限に押さえて搬送した場合、ほぼ１mmのはみだし代が確保でき、確実に、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部表面に形成されないようにし得、又、ロール胴部から食み出したフィルム部を含め、フィルム全体について蒸着時の入熱による損傷をより確実に防止し得るようになるからである。ここで、上記ロール胴部の端部とフィルムの端部との間の距離を１〜50mmの範囲外にし、１mm未満にするとフィルムが比較的大きく蛇行しながら搬送された場合にロール胴部の端部近傍がフィルムによりカバーされなくなり、ロール胴部の端部近傍の表面に蒸着膜が形成される傾向があり、一方、50mm超にするとフィルムの端部或いは更にその近傍が充分に冷却されず、熱損傷を生じることが懸念され、又、フィルムの端部近傍においてロールによる支持が不充分となって曲がりが生じる傾向にある。
【００３４】
前述の如く、本発明においては図２に示した如きロール胴部表面への蒸着膜形成防止用のマスクを配する必要がなく、従って、本発明はマスクを不要とし得るという顕著な作用効果も奏する。即ち、マスクは高度の製作精度が必要であり、膜の除去に対する配慮も必要となり、又、真空蒸着室に配されて使用される際には冷却する必要があるので、マスクの構造を簡単にすること、数量を減少すること、更に最も好ましくはマスクを不要とすることが要望されているが、本発明ではマスクを不要とし得、この要望に応えることができるという利点がある。
【００３５】
このように本発明においてはマスクを配する必要がないが、マスクを使用しないことに限定されるものではなく、マスクを使用することもでき、例えば、図５や図６に示す如くマスクを使用することができる。
【００３６】
この図５に示す装置は、図３に示す装置にマスク14，15を設けたものであり、図６に示す装置は、図４に示す装置にマスク16，17を設けたものである。これらの図に示す如くマスクを設けると、ロールの後方側にある機器等の表面に蒸着膜が付着され難く、その付着面積が小さくなる。これらのマスクは、かかる作用効果を奏させるためのものであるので、図２に示した如きマスクに比較し、構造が極めて簡単である。
【００３７】
ここで、図６に示す装置においては小径円筒部11によりロール後方側の機器等への蒸着膜付着面積が小さくなることから、マスクをフィルム端部から相当離れた位置に配しており、マスクとフィルム端部との間隔が広いが、これに対し、図５に示す装置ではマスクとフィルム端部との間隔が狭い。そのため、図６に示す装置の方が図５に示す装置に比較して、フィルムの幅方向での膜厚均一性がより優れた蒸着膜を形成できる。尚、図６に示す装置においてマスクとフィルム端部との間隔を狭めると、小径円筒部11の表面への蒸着膜の付着も生じ難くなる。
【００３８】
本発明において、使用するフィルムとしてはその種類は限定されず、例えば、紙、箔状のプラスチックや金属等の如きフィルムを使用することができる。ロール胴部表面の冷却手段は限定されず、例えばロール胴部を中空の円筒形状とし、その中空部に冷却水を循環供給する方法を採用することができる。ロール胴部表面は必ず冷却する必要があるが、その他の部位も同時に冷却してもよい。ロール胴部の表面とフィルムとの密接部のロール胴部円周方向長さは限定されない。装置の大きさを必要最小限に押さえるために、冷却を満足するロール胴部円周方向長さがあればよいことになる。フィルムの搬送速度は限定されず、フィルムの所要の冷却程度、蒸着膜の所要厚み等により適宜定めればよい。真空蒸着手段の種類は限定されず、例えばAIP 法やスパッタリング法を適用することができる。
【００３９】
【実施例】
（実施例１）
前記発明の実施の形態の項においてその例として記述した装置及び方法と同様の装置及び方法により、フィルムへの真空蒸着を行った。但し、真空蒸着対象のフィルム、ロール等を下記の如く限定した。
【００４０】
(1) 真空蒸着対象のフィルム８としては、厚み：50μm 、幅：500mm 、全長：2000ｍのエッチング処理のアルミ製フィルムを用いた。尚、このフィルム８は、蒸着前はフィルム巻き出しドラムに巻かれた状態になっている。
(2) ロールＲとしては、ロール胴部７のロール軸方向長さ：480mm 、ロール胴部直径：600mm のものを用いた。尚、ロール胴部７は中空円筒状のステンレス鋼よりなり、この中空部に冷却水を循環供給することにより、ロール胴部が冷却されるようになっている。ロール胴部７の表面粗度は0.5 Ｓである。
(3) ロール胴部７のロール軸方向長さはフィルム幅より20mm短く、その長さの中央がフィルム幅の中央8Cに位置するようにロールＲを配置する。即ち、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が10mm、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が10mmになるようにした。
(4) ターゲット９としてはTi（チタン）を用いた。真空蒸着手段の種類としてはAIP 法を適用した。なお、フィルム表面に形成される蒸着膜は TiN（窒化チタン）よりなるものである。
(5) ロール胴部７の表面とフィルム８との密接部のロール胴部円周方向長さについては、1500mmになるようにした。
(6) フィルム８の搬送速度は2000mm／分とした。
(7) 蒸着時の真空蒸着室内の真空度は1.5 Paに保持した。
(8) 形成する蒸着膜の目標厚みは0.1 ±0.02μm とした。
【００４１】
上記真空蒸着を連続して行い、これを繰り返して行った。即ち、最初のフィルム８への蒸着が終了すると、次のフィルム（未蒸着）への真空蒸着を上記と同様の方法により行い、これを次々と繰り返して行い、合計5000ｍのフィルムについて蒸着を行った。
【００４２】
（比較例１）
図２に示す装置を用いて実施例１と同様のフィルム１への真空蒸着を行った。即ち、ロールとしては、ロール胴部２のロール軸方向長さ：600mm 、ロール胴部直径：600mm のものを用い、図２に示す如くロール胴部２のロール軸方向長さの中央がフィルム幅の中央に位置するようにロールを配置し、マスク５を配した。かかる点を除き、実施例１と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行なった。尚、ロール胴部２のロール軸方向長さはフィルム幅より100mm 長く、ロール胴部２の左端部とフィルム１の左端部との間の距離は50mm、ロール胴部２の右端部とフィルム１の右端部との間の距離は50mmとなる。
【００４３】
その結果、比較例１の場合は、蒸着の開始時点から終了まで継続してフィルムの両端部近傍の表面に膜厚不充分部及び非蒸着部が形成されていることが確認された。又、フィルムの円滑な搬送時の蛇行の程度はロール軸方向に５〜10mmであったが、フィルムを 500ｍ蒸着した時点からフィルムの円滑な搬送ができなくなった。これはロール胴部の両端部近傍の表面にフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成されたためであることが確認された。
【００４４】
これに対し、実施例１の場合は、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルムの幅方向での膜厚均一な蒸着膜が形成され、全部を製品として使用できることが確認された。又、フィルムの蛇行の程度はロール軸方向に５〜10mmであったが、全蒸着中（蒸着したフィルムの合計長さ5000ｍ）フィルムを円滑に搬送することができた。蒸着後、ロール胴部表面を観察したところ、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜は全く認められなかった。尚、実施例１の場合も比較例１の場合も、フィルム全体について蒸着時の入熱による損傷の発生は認められなかった。
【００４５】
（実施例２）
図４に示す装置を用いて実施例１と同様のフィルム13への真空蒸着を行った。即ち、ロールとしては、ロール胴部12のロール軸方向長さ：480mm 、ロール胴部直径：600mm であり、小径円筒部11の直径：594mm 、左及び右の小径円筒部の長さが各々100mm である段付きロールR1を用い、図４に示す如くロール胴部12のロール軸方向長さの中央がフィルム幅の中央に位置するようにロールを配置した。かかる点を除き、実施例１と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行なった。尚、ロール胴部12の左端部とフィルム13の左端部との間の距離は10mm、ロール胴部12の右端部とフィルム13の右端部との間の距離は10mmとなる。
【００４６】
その結果、小径円筒部11の表面に蒸着膜が形成されて積層されたが、蒸着膜がフィルムに接触してフィルムの円滑な搬送に支障を来すまでには到らなかった。それ以外の結果については、実施例１の場合と同様であった。
【００４７】
（実施例３）
実施例１に係る装置に図５に示す如くマスク14，15を設けた。この点を除き、実施例１と同様の構成の装置及び方法により同様のフィルム８への真空蒸着を行った。その結果、実施例１の場合に比較し、ロールの後方側にある機器等の表面に蒸着膜が付着され難く、その付着面積が小さくなった。その他の結果については、実施例１の場合と同様であった。
【００４８】
（実施例４）
実施例２に係る装置に図６に示す如くマスク16，17を設けた。この点を除き、実施例２と同様の構成の装置及び方法により同様のフィルム13への真空蒸着を行った。その結果、実施例２の場合に比較し、ロールの後方側にある機器等の表面に蒸着膜が付着され難く、その付着面積が小さくなった。その他の結果については、実施例２の場合と同様であった。尚、実施例３の場合と比較して膜厚均一性がより優れていた。
【００４９】
（実施例５）
実施例１のロールに代えてロール胴部７のロール軸方向長さ：98mm、ロール胴部直径：210mm のロールを用い、フィルム幅の異なるフィルムを用い、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が１mm、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が１mmになるように配置した。この点を除き、実施例１と同様の構成の装置及び方法により同様のフィルム８への真空蒸着を行った。その結果は実施例１の場合と同様であった。
【００５０】
（実施例６）
ロール胴部７のロール軸方向長さ：98mmのロールを用い、フィルム幅の異なるフィルムを用い、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が50mm、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が50mmになるように配置した。この点を除き、実施例５と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行った。その結果は実施例１の場合と同様であった。
【００５１】
（実施例７）
ロール胴部７のロール軸方向長さ：98mmのロールを用い、フィルム幅の異なるフィルムを用いて、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が0.5mm 、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が0.5mm になるように配置した。この点を除き、実施例５と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行った。その結果、フィルムの蛇行の程度がロール軸方向に0.6 〜１mmのときにはロール胴部７の端部近傍の表面に蒸着膜が形成されたが、フィルムの蛇行の程度が0.5 mm以下のときにはロール胴部７の表面に蒸着膜が形成されず、フィルムの蛇行の程度が0.5 mm以下のときが多く、フィルムを1000ｍ蒸着した時点までフィルムの円滑な搬送ができた。その他の結果については、実施例１の場合と同様であった。
【００５２】
（実施例８）
ロール胴部７のロール軸方向長さ：98mmのロールを用い、フィルム幅の異なるフィルムを用い、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が60mm、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が60mmになるように配置した。この点を除き、実施例５と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行った。その結果、ロールの端部近傍においてフィルムに少し曲がりが生じ、そのためフィルムの幅方向での蒸着膜の膜厚均一性が少し低下した。その他の結果については、実施例１の場合と同様であった。
【００５３】
（実施例９）
ロール胴部７のロール軸方向長さ：98mmのロールを用い、フィルム幅の異なるフィルムを用い、ロール胴部７の左端部とフィルム８の左端部との間の距離が80mm、ロール胴部７の右端部とフィルム８の右端部との間の距離が80mmになるように配置した。この点を除き、実施例５と同様の構成の装置及び方法により真空蒸着を行った。その結果、フィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部は形成されなかったが、実施例８の場合よりもフィルムの幅方向での膜厚均一性が低下した。又、フィルムの端部近傍において熱によるしわの発生が少し認められた。その他の結果については、実施例１の場合と同様であった。
【００５４】
【発明の効果】
本発明は、冷却されたロール胴部の表面にフィルムを密接させた状態でフィルムを搬送させながらフィルム表面に真空蒸着を施すフィルム用真空蒸着装置および真空蒸着方法であって、真空蒸着の際にフィルムの両端部近傍の表面に蒸着膜の膜厚不充分部や非蒸着部が形成されず、フィルムの幅方向での膜厚均一な蒸着膜を形成でき、ひいては全部を製品として使用でき、製品歩留りの向上が図れ、一方、フィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜がロール胴部表面等に形成され難く、又、たとえフィルムの円滑な搬送に支障のある蒸着膜が形成される場合であっても、その形成までの時間が長く、更に、その蒸着膜の除去作業を真空蒸着装置にロールが組み込まれた状態のままで行うことが可能であり、蒸着膜の除去作業の簡易化が図れるようになるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来のフィルム用真空蒸着装置による真空蒸着状況を説明する斜視図である。
【図２】  従来のフィルム用真空蒸着装置の要部を示す斜視図である。
【図３】  本発明の一実施例に係るフィルム用真空蒸着装置の要部を示す正面断面図である。
【図４】  本発明の一実施例に係るフィルム用真空蒸着装置の要部を示す正面断面図である。
【図５】  本発明の一実施例に係るフィルム用真空蒸着装置の要部を示す正面断面図である。
【図６】  本発明の一実施例に係るフィルム用真空蒸着装置の要部を示す正面断面図である。
【符号の説明】
１--フィルム、  ２--ロール胴部、  ３--蒸着粒子、  ４--- ターゲット、  ５--マスク、  ６--ロール軸部、  ７--ロール胴部、  7A--ロール胴部の左端部、  7B--ロール胴部の右端部、  ８--- フィルム、  8A--フィルムの左端部、  8B--フィルムの右端部、  8C--フィルム幅の中央、  8S--フィルム表面、  ９--ターゲット、  10--ロール軸部、  11--小径円筒部、  12--ロール胴部、  12A-- ロール胴部の左端部、  12B --ロール胴部の右端部、  13--フィルム、  13A-- フィルムの左端部、  13B-- フィルムの右端部、  13C-- フィルム幅の中央、   14, 15-- マスク、   16, 17-- マスク、  Ｒ--ロール、  R1--段付きロール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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