(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから基板に向けて液体を流し出すように吐出しつつ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置において、
前記ノズルの先端に組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、
前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備え、
前記マイクロポンプは、液体の流路を形成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に沿って前記流路とほぼ平行に配列された複数の圧電素子とを備える一方、
前記駆動制御部は、前記複数の圧電素子のそれぞれに印加する電圧を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記弾性部材の流路表面に前記基板に向かう進行波を形成して前記ノズルから液体を吐出することを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記駆動制御部は、前記基板への液体供給を停止した後に、前記複数の圧電素子のそれぞれに印加する電圧を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記弾性部材の流路表面に前記基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル先端の液体を前記ノズル内に吸引する請求項１記載の液体供給装置。
【請求項３】
ノズルから基板に向けて液体を流し出すように吐出しつつ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置において、
前記ノズルの先端に組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、
前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備え、
前記マイクロポンプは、液体の流路を形成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に沿って前記流路とほぼ平行に配列された複数の磁歪素子とを備える一方、
前記駆動制御部は、前記複数の磁歪素子のそれぞれに印加する磁界を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記弾性部材の流路表面に前記基板に向かう進行波を形成して前記ノズルから液体を吐出することを特徴とする液体供給装置。
【請求項４】
前記駆動制御部は、前記基板への液体供給を停止した後に、前記複数の磁歪素子のそれぞれに印加する磁界を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記弾性部材の流路表面に前記基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル先端の液体を前記ノズル内に液体を吸引する請求項３記載の液体供給装置。
【請求項５】
ノズルから基板に向けて液体を流し出すように吐出しつつ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置において、
前記ノズルの先端に組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、
前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備え、
前記マイクロポンプは、液体の流路を形成する弾性部材と、前記弾性部材の外周面に配置された表面弾性波素子とを備える一方、
前記駆動制御部は、前記表面弾性波素子に印加する電気信号を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記表面弾性波素子において前記基板に向かう弾性波を発生させるとともに、該弾性波を前記弾性部材を介して前記流路中の液体に与えて前記ノズルから液体を吐出することを特徴とする液体供給装置。
【請求項６】
ノズルから基板に向けて液体を流し出すように吐出しつつ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置において、
前記ノズルの先端に組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、
前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備え、
前記マイクロポンプは、液体の流路を形成する流路形成部材と、前記流路内に配置された表面弾性波素子とを備える一方、
前記駆動制御部は、前記表面弾性波素子に印加する電気信号を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記表面弾性波素子において前記基板に向かう弾性波を発生させて前記ノズルから液体を吐出することを特徴とする液体供給装置。
【請求項７】
前記駆動制御部は、前記基板への液体供給を停止した後に、前記表面弾性波素子に印加する電気信号を制御することで前記流路全体での液体の流れを確保しつつ前記表面弾性波素子において前記基板と反対側に向かう進行波を形成して前記ノズル先端の液体を前記ノズル内に吸引する請求項５または６記載の液体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料やレジスト液などの液体をノズルから吐出しつつ該ノズルを基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置に関するものである。ここで、「基板」とは、半導体ウエハ、有機ＥＬ表示用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、光ディスク用基板などの各種基板を意味している。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ表示装置などの表示装置を形成する装置として、例えば特開２００２−７５６４０号公報に記載された製造装置がある。この装置では、基板上に有機ＥＬ材料をストライプ状に塗布するために上記した液体供給装置を装備している。
【０００３】
図７は従来の液体供給装置を装備した有機ＥＬ表示装置の製造装置を示す図である。この製造装置は、同図に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓを載置するステージ１と、このステージ１を所定方向に移動させるステージ移動機構部２と、ガラス基板Ｓ上に形成された位置合わせマークの位置を検出する位置合わせマーク検出部３と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａを赤色用のノズル４ａに供給する第１供給部５と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂを緑色用のノズル４ｂに供給する第２供給部６と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃを青色用のノズル４ｃに供給する第３供給部７と、各色のノズル４ａ〜４ｃを所定方向に移動させるノズル移動機構部８と、ステージ移動機構部２と位置合わせマーク検出部３と第１〜第３供給部５〜７とノズル移動機構部８とを制御する制御部９とで構成されている。
【０００４】
これらの構成要素のうち、第１供給部５は、例えば、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの供給源２０ａと、この供給源２０ａから赤色の有機ＥＬ材料１０ａを取り出すためのポンプ２１と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの流量を検出する流量計２２と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
【０００５】
また、第２供給部６は、例えば、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの供給源２０ｂと、この供給源２０ｂから緑色の有機ＥＬ材料１０ｂを取り出すためのポンプ２１と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの流量を検出する流量計２２と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
【０００６】
また、第３供給部７は、例えば、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの供給源２０ｃと、この供給源２０ｃから青色の有機ＥＬ材料１０ｃを取り出すためのポンプ２１と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの流量を検出する流量計２２と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
【０００７】
そして、制御部９はステージ１を所定方向に所定量だけ移動させるようにステージ移動機構部２を制御し、ノズル４ａ〜４ｃを所定方向に所定量だけ移動させるようにノズル移動機構部８を制御するとともに、第１〜第３供給部５〜７の各流量計２２からの検出値ａ〜ｃに応じてノズル４ａ〜４ｃから所定流量の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し出すように第１〜第３供給部５〜７の各ポンプ２１に指令ｄ〜ｆを出力する。具体的には、制御部９が装置各部を以下のように制御して有機ＥＬ材料をガラス基板Ｓ上でストライプ状に塗布している。
【０００８】
ガラス基板Ｓの塗布開始位置にノズル４ａ〜４ｃが位置すると、制御部９は、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの吐出開始を各ポンプ２１に指示するとともに、ノズル４ａ〜４ｃをほぼ直線状に移動させるように制御する。これによって、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃが同時にガラス基板Ｓ上にストライプ状に塗布されていく。
【０００９】
そして、制御部９は、ガラス基板Ｓの塗布停止位置にノズル４ａ〜４ｃが位置すると、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの吐出を停止させるよう各ポンプ２１に指示するとともに、ノズル４ａ〜４ｃの移動を停止させる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように構成された装置では、制御部９からの吐出開始指示に応じてポンプ２１が作動すると、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃは流量計２２およびフィルタ２３を介してノズル４ａ〜４ｃにそれぞれ圧送され、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓに向けて吐出されるように構成されている。また、供給停止についても、制御部９からの指示に応じて各ポンプ２１が停止することで行われている。このため、いずれの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃについても、ポンプ２１からノズル４ａ〜４ｃまでの距離が比較的長くなり、制御応答性（レスポンス）が悪く、しかも微小流量を正確に制御するのが困難となっている。
【００１１】
また、塗布完了と同時に単にポンプ２１を停止した場合、ノズル４ａ〜４ｃの吐出口に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃがそれぞれ付着することがある。ここで、この付着物が乾いてはがれ落ちると、これがパーティクルとしてガラス基板Ｓに付着すると、製品不良となり、歩留り低下の主要因のひとつとなってしまう。
【００１２】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルからの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御することが可能な液体供給装置を提供することを第１の目的とする。
【００１３】
また、この発明は、上記第１の目的に加えて、さらにノズルからの液体吐出を停止した際にノズル先端に液体が付着するのを防止することができる液体供給装置を提供することを第２の目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この発明は、ノズルから基板に向けて液体を流し出すように吐出しつつ該ノズルを基板に対して相対的に移動させることで基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置であって、上記第１の目的を達成するため、ノズルに組み込まれてノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備えている。
【００１５】
このように構成された発明では、ノズルの先端にマイクロポンプが組み込まれている。このマイクロポンプ内では、液体の流路が形成されるとともに、該流路全体において液体の流れを確保しつつ基板に向かう進行波が形成される。そして、この進行波によって液体が基板に向けて流し出すように吐出される。したがって、ノズルとポンプとが分離されていた従来技術に比べて制御応答性（レスポンス）が格段に向上され、ノズルからの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定することが可能となる。特に、マイクロポンプをノズルの先端に取り付けるのがより好適である。
【００１６】
ここで、マイクロポンプについては、次のような構成を採用することができる。
【００１７】
(1)液体の流路を形成する弾性部材の外周面に沿って流路とほぼ平行に複数の圧電素子を配列し、それらの圧電素子のそれぞれに印加する電圧を制御することで弾性部材の流路表面に基板に向かう進行波を形成してノズルから液体を吐出するように構成してもよい。
【００１８】
(2)液体の流路を形成する弾性部材の外周面に沿って流路とほぼ平行に複数の磁歪素子を配列し、それらの磁歪素子のそれぞれに印加する電圧を制御することで弾性部材の流路表面に基板に向かう進行波を形成してノズルから液体を吐出するように構成してもよい。
【００１９】
(3)液体の流路を形成する弾性部材の外周面に表面弾性波素子を配置し、その表面弾性波素子に印加する電気信号を制御することで表面弾性波素子において基板に向かう表面弾性波を発生させるとともに、該表面弾性波を弾性部材を介して流路中の液体に与えてノズルから液体を吐出するように構成してもよい。
【００２０】
(4)マイクロポンプ内に形成される液体の流路に表面弾性波素子を配置し、その表面弾性波素子に印加する電気信号を制御することで表面弾性波素子において基板に向かう弾性波を発生させてノズルから液体を吐出するように構成してもよい。
【００２１】
なお、上記(1)〜(4)のような構成を採用した液体供給装置では、各素子に印加する電圧、磁界や電気信号などを制御することで流路全体において液体の流れを確保しつつ基板と反対側に向かう進行波を形成してノズル内に液体を吸引させることができる。そこで、基板への液体供給を停止した後に、ノズル先端の液体をノズル内に吸引する、いわゆるサックバックすることでノズル先端に液体が付着するのを防止可能となっている。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明にかかる液体供給装置の第１実施形態を示す斜視図である。また、図２は図１の液体供給装置に適用されている、また適用可能な圧電素子の形状を示す図である。さらに、図３は図１の液体供給装置を構成するマイクロポンプの断面図である。この液体供給装置は、図７の有機ＥＬ表示装置の製造装置などに用いられるノズル４０に組み込まれたマイクロポンプ５０と、マイクロポンプ５０を駆動制御する駆動制御部６０とを備えている。
【００２３】
このマイクロポンプ５０では、ノズル４０を構成するチューブ４１の先端部に図示を省略する接着剤や継手などにより中空円筒形の弾性部材５１が接続されており、中空部分を流路５１１としてチューブ４１を介して流れてくる有機ＥＬ材料などの液体をガラス基板Ｓに向けて流通可能となっている。このように、この実施形態では弾性部材５１は流路形成部材として機能している。また、この弾性部材５１の先端部には、スリット支持部材５２を介してスリット５３が取り付けられており、流路５１１を流れてきた液体がスリット５３の中央部に穿設された２個の吐出孔５３１からガラス基板Ｓに向けて吐出可能となっている。なお、この実施形態では吐出孔の個数を「２」としているが、吐出孔５３１の個数や形状などに関しては任意である。
【００２４】
また、上記のように構成された弾性部材５１の外周面に沿って、図２（ａ）に示すように平面視で円環形状を有しているリング状圧電素子５４が４個、流路５１１とほぼ平行に配列されている。そして、各リング状圧電素子５４は駆動制御部６０と電気的に接続されており、駆動制御部６０から印加される電圧に応じて機械的に変位して流路５１１とほぼ直交する方向から弾性部材５１に対して等方的に変形を加える。さらに、この実施形態では、駆動制御部６０から各リング状圧電素子５４に印加する電圧を制御することで圧電素子５４の極性（図３矢印参照）を周期的に変化させて弾性部材５１の表面にガラス基板Ｓに向かう進行波（図３の破線）を形成して吐出孔５３１から液体Ｌをガラス基板Ｓに向けて吐出可能となっている。
【００２５】
次に、上記のように構成された液体供給装置の動作について説明する。ガラス基板Ｓに液体Ｌをストライプ状に塗布する場合、まずノズル４０をガラス基板Ｓの塗布開始位置に移動させる。そして、ノズル４０がこの塗布開始位置に位置すると、駆動制御部６０が各圧電素子５４に所定の電圧を印加して弾性部材５１の流路表面にガラス基板Ｓに向かう進行波を形成する。これによって流路５１１内の液体がガラス基板Ｓに向けて圧送され、吐出孔５３１からの液体Ｌの吐出が開始される。
【００２６】
そして、上記のようにして液体Ｌをノズル４０から吐出させつつ、ノズル４０をガラス基板Ｓに対して相対的に直線状に移動させる。これによって、液体Ｌがガラス基板Ｓにストライプ状に供給されてストライプ状の塗布部７０が形成される。
【００２７】
一方、ガラス基板Ｓの塗布停止位置にノズル４０が位置すると、駆動制御部６０は各圧電素子５４への電圧印加を停止して液体Ｌの吐出を停止させる。このとき、単にノズル４０からの液体Ｌの吐出を停止させるだけでなく、必要に応じてサックバック動作を実行するようにしてもよい。すなわち、この実施形態にかかるマイクロポンプ５０では各圧電素子５４に印加する電圧を周期的に変化させることで上記したようにガラス基板Ｓに向かう進行波を形成することができるだけでなく、印加電圧を制御することでガラス基板Ｓと反対側に向かう進行波を発生させることができる。そこで、ノズル４０からの液体Ｌの吐出停止後に、弾性部材５１の流路表面にガラス基板Ｓと反対側に向かう進行波が発生するように駆動制御部６０が各圧電素子５４に所定の電圧を印加すると、ノズル４０先端の液体をノズル４０内に吸引する、いわゆるサックバックすることができ、ノズル４０先端に液体が残留するのを防止することができ、この残留液体Ｌの乾燥に伴うパーティクルの発生を効果的に防止することができる。なお、サックバック動作については後の実施形態においても同様である。
【００２８】
以上のように、この第１実施形態にかかる液体供給装置によれば、ノズル４０にマイクロポンプ５０を組み込んでいるため、ノズルとポンプとを分離配置していた従来技術（特開２００２−７５６４０号公報に記載の装置）に比べて制御応答性（レスポンス）が格段に向上され、ノズル４０からの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御することができる。
【００２９】
なお、上記第１実施形態では、圧電素子５４を図２（ａ）に示すように平面視で円環形状を有するものを用いているが、圧電素子５４の形状や配置などに関しては上記実施形態に限定されるものではなく、弾性部材５１を変形させて弾性部材５１の流路表面に進行波を発生させることができる限り任意である。例えば同図（ｂ）に示すように一部に切欠を有する平面視が略Ｃ字形状を有する圧電素子５４ａや同図（ｃ）に示すように複数の圧電素子片５４１ｂを組み合わせてなる圧電素子５４ｂを用いることができる。特に、これらの圧電素子５４，５４ａ，５４ｂはいずれも弾性部材５１の外周面を取り囲むように配置されているため、弾性部材５１を流路５１１とほぼ直交する方向から弾性部材５１に対して等方的に変形を加えることができ、液体Ｌの圧送効率を高める上で好適である。
【００３０】
また、上記第１実施形態では、弾性部材５１の流路表面に進行波を発生させるために圧電素子を用いているが、これらの代わりに磁歪素子を配置するとともに、それらの磁歪素子に印加する磁界を制御することで各磁歪素子の機械的変位をコントロールして弾性部材５１の流路表面に進行波を発生させるように構成してもよい。
【００３１】
また、上記第１実施形態では、弾性部材５１の流路表面に進行波を発生させるために圧電素子を用いているが、これらの代わりに表面弾性波素子を用いてもよい。以下、表面弾性波素子を用いた第２ないし第４実施形態について図４〜図６をそれぞれ参照しつつ説明する。
【００３２】
図４は、この発明にかかる液体供給装置の第２実施形態を示す図である。この第２実施形態が第１実施形態と大きく相違している点は、弾性部材５１の流路表面に進行波を発生させるために表面弾性波素子８０を用いている点である。なお、その他の構成は基本的に第１実施形態と同一であり、以下、相違点を中心に第２実施形態にかかる液体供給装置の構成および動作について説明する。
【００３３】
この液体供給装置では、表面弾性波素子８０の表面８１を接着剤８２により弾性部材５１の外周面に接続している。そして、その表面８１に形成された電極８３に駆動制御部（図示省略）から電気信号を印加することで、その表面８１に電気的に表面弾性波を発生させるように構成している。このため、表面８１で発生した表面弾性波は弾性部材５１を介して流路５１１中の液体に与えられる。したがって、電極８３に印加する電気信号を制御することでガラス基板Ｓに向かう表面弾性波や逆にガラス基板Ｓと反対側に向かう表面弾性波を発生させることができる。
【００３４】
そこで、液体Ｌの塗布を行う場合には、駆動制御部が表面弾性波素子８０に所定の電気信号を印加してガラス基板Ｓに向かう表面弾性波を発生させる。これによって、この表面弾性波が弾性部材５１を介して流路５１１中の液体に対してガラス基板Ｓに向かう進行波として与えられ、流路５１１内の液体Ｌがガラス基板Ｓに向けて圧送され、吐出孔５３１からの液体Ｌの吐出が開始される。そして、上記のようにして液体Ｌをノズル４０から吐出させつつ、ノズル４０をガラス基板Ｓに対して相対的に直線状に移動させる。これによって、液体Ｌがガラス基板Ｓにストライプ状に供給されてストライプ状の塗布部７０（図１参照）が形成される。一方、ガラス基板Ｓの塗布停止位置にノズル４０が位置すると、駆動制御部は表面弾性波素子８０への電気信号の印加を停止して液体Ｌの吐出を停止させる。そして、必要に応じて第１実施形態と同様にサックバック処理を実行してもよい。
【００３５】
以上のように、この第２実施形態にかかる液体供給装置においても、第１実施形態と同様に、ノズル４０にマイクロポンプ５０を組み込んでいるため、ノズルとポンプとを分離配置していた従来技術（特開２００２−７５６４０号公報に記載の装置）に比べて制御応答性（レスポンス）が格段に向上され、ノズル４０からの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御することができる。
【００３６】
なお、表面弾性波素子８０の配設位置については、第２実施形態に限定されるものではなく、図５に示す第３実施形態のごとく流路５１１の表面に直接取り付けるようにしたり、図６に示す第４実施形態のごとく流路５１１内に配置するようにしてもよい。これら第３および第４実施形態では、弾性部材５１を介して流路５１１中の液体Ｌに対して進行波を与えていた第１および第２実施形態に比べて表面弾性波（進行波）を直接、かつ効率的に与えることができる。特に、表面弾性波の効率を考えると、図６に示すように表面弾性波素子８０の両面に電極８３を設けて各面で弾性波を発生させるのがより好適である。なお、図５および図６中の符号「８４」は電極シールである。
【００３７】
また、第３および第４実施形態によれば、流路５１１を形成する流路形成部材５１を構成する材料については任意となり、第１および第２実施形態に比べて設計自由度を高めることができ、この点においても有利である。
【００３８】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、本発明にかかる液体供給装置を有機ＥＬ表示装置の製造装置に適用した場合について説明したが、本発明の適用範囲はこれに限定されるものではなく、基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置全般について本発明を適用することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、ノズルにマイクロポンプを組み込んでいる。そして、該マイクロポンプ内に形成される流路全体において液体の流れを確保しつつ基板に向かう進行波を形成し、該進行波によって液体を基板に向けて流し出すように吐出するように構成しているので、制御応答性（レスポンス）の高めてノズルからの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御することができる。
【００４０】
また、基板への液体供給を停止した後に、マイクロポンプ内に形成される流路全体において液体の流れを確保しつつ基板と反対側に向かう進行波を形成してノズル先端の液体をノズル内に液体を吸引する、いわゆるサックバックすることでノズル先端に液体が付着するのを効果的に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明にかかる液体供給装置の第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の液体供給装置に適用されている、また適用可能な圧電素子の形状を示す図である。
【図３】図１の液体供給装置を構成するマイクロポンプの断面図である。
【図４】この発明にかかる液体供給装置の第２実施形態を示す図である。
【図５】この発明にかかる液体供給装置の第３実施形態を示す図である。
【図６】この発明にかかる液体供給装置の第４実施形態を示す図である。
【図７】従来の液体供給装置を装備した有機ＥＬ表示装置の製造装置を示す図である。
【符号の説明】
４０…ノズル
５０…マイクロポンプ
５１…弾性部材、流路形成部材
５４，５４ａ，５４ｂ…圧電素子
６０…駆動制御部
８０…表面弾性波素子
５１１…流路
Ｌ…液体
Ｓ…ガラス基板
【図１】
0003874687.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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