(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを収容する複数のチャンネルが整列状態で形成されると共に、当該チャンネル内のインクを当該チャンネルの出口端側に設けられたノズル孔より液滴として噴射するように駆動するアクチュエータと、
前記複数のチャンネルの入口端側に接続され、前記複数のチャンネルの整列方向に延出されると共に、インク供給源から供給されたインクを前記複数のチャンネルの各入口端に対して供給するインク供給路が形成されたマニホールドと
を備えたインクジェットヘッドであって、
前記複数のチャンネルの整列方向端部のチャンネルをフラッシング動作専用のチャンネルとするとともに、そのフラッシング動作専用のチャンネルを除く前記複数のチャンネルの各入口端と、該入口端に対向する前記マニホールドのインク供給路の壁面との間の前記インク供給路内に、前記複数のチャンネルの各入口端と間隔をあけてフィルタが設けられ、
前記インク供給路に、前記チャンネルと対向する開口部を形成する開口部形成部材が設けられ、
前記フラッシング動作専用のチャンネルと対向する前記開口部と隣接する前記開口部形成部材が前記フィルタと接続されるように延出されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記フィルタは、略長円柱状を成す複数個のフィルタ部材が所定間隔をあけて配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記複数のフィルタ部材は前記複数のチャンネルの整列方向と平行に複数列配置され、一方の列の前記フィルタ部材は他方の列のフィルタ部材間の隙間に対応して配置され、各列のフィルタ部材のそれぞれの半円形の端部同士は所定間隔をあけて配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記延出された開口部形成部材は、前記複数のチャンネルの整列方向における前記フィ
ルタ部材の端部のものと接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記開口部形成部材は、複数個あって、その隙間に、前記複数のチャンネルに対応する開口部を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記アクチュエータには、前記インクを収容する複数のチャンネルとダミーチャンネルとが交互に整列状態で形成され、
前記開口部形成部材は、前記ダミーチャンネルと対向して配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェットヘッドに係り、詳しくは、インクを噴射して被記録媒体に印字を行うインクジェット方式の印字装置に用いられるインクジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
今日、これまでのインパクト方式の印字装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつあるノンインパクト方式の印字装置の中で、原理が最も単純であり且つ多階調化やカラー化が容易であるものとして、インクジェット方式の印字装置があげられる。
【０００３】
一般に、インクジェット方式の印字装置では、インクジェットヘッドに供給するインクを収容するインクカートリッジが交換可能に設けられている。そして、インクカートリッジからインクジェットヘッドのノズル孔までのインク流路の内壁面には、微少な気泡や塵埃が付着していることがあり、その気泡や塵埃によりインクの噴射不良が生じて印字品質が低下するおそれがある。
【０００４】
そこで、インクカートリッジを交換した場合にインクカートリッジからインクジェットヘッドへのインクの初期導入を行うためや、インクジェットヘッドのインク噴射機能を回復・維持するために、パージ動作を行うことが知られている。パージ動作では、インクジェットヘッドのノズル面に吸引キャップを接触させた状態で、吸引キャップに接続された吸引ポンプにより大きな負圧力を発生させ、吸引キャップを通じてインクジェットヘッド内部のインクを気泡や塵埃と共に所定量吸引することにより、インク流路内にインクを充填すると共に、インク流路内の気泡や塵埃を吸引キャップ側へ排出する。
【０００５】
ところで、インクジェットプリンタの使用に際して、使用者が新しいプリンタに最初にインクカートリッジを装着した場合、インク流路には空気が満たされている。また、インクカートリッジを交換した場合、インクカートリッジとインクジェットヘッドとの間には空気が入り込んでいる。また、インクの残量が少なくなった状態で、使用者が噴射不能であると誤判断して噴射機能回復のためにパージ動作を行った場合、インクジェットヘッド内のインクが無くなってインク流路が空気で満たされた状態が生じる。
【０００６】
このようなインク流路内に空気がある状態でパージ動作を行う際に、一気に大きな負圧力を作用させてインクを急激に吸引すると、インクと空気とが混ざり合ってインクジェットヘッド内に流入するためインクが泡立ち、インクジェットヘッド内のインクに多量の気泡が含まれることになる。
【０００７】
特に、インクジェットヘッドとインクカートリッジとの接続部分に、気泡や塵埃がインクと共にインクジェットヘッド側へ移動しないようにメッシュ状のフィルタ部材が設けられている場合、そのフィルタ部材をインクが急激に通過するときに、盛大な泡立ちが起こ
って多量の気泡が発生し易くなる。その気泡は、フィルタ部材からインクジェットヘッドのノズル孔へインクが流れる途中で徐々に消失して行くが、フィルタ部材とノズル孔との間のインク流路の容積が大きいほど、ノズル孔まで残存する気泡の量が多くなり、初期導入特性に悪影響を与える。
【０００８】
そして、インク流路内に微少な気泡が存在する場合、特に、高温，低湿度等のインクが蒸発しやすい環境下でインクジェットヘッドを使用しないまま放置すると、気泡が成長して大きくなることから、インクジェットヘッドを再使用する際に、その大きくなった気泡がインク流路を閉塞してインクの不吐出（放置後不吐出）が生じやすくなり、放置後吐出特性に悪影響を与える。
【０００９】
そのため、フィルタ部材とノズル孔との間のインク流路の容積を小さくすることが望ましいが、インクジェットヘッドとインクカートリッジとの接続部分にフィルタ部材が設けられている場合には、当該インク流路の容積を小さくすることが難しい。そして、当該インク流路の容積を小さくするには、インクジェットヘッドの内部にフィルタ部材を設けることが考えられるが、メッシュ状のフィルタ部材をインクジェットヘッドの内部に装着するとなると、その装着作業に多大な手間を要する上に、装着不良が生じるおそれもある。
【００１０】
そこで、特開平６−３１２５０６号公報に開示されるように、インクが吐出される吐出口と、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられ、前記吐出口にインクを供給する液流路とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記液流路の、前記エネルギー発生素子が設けられた部位より反吐出口側の少なくとも一部に、（ａ）前記吐出口の断面積より小さい断面積を有する複数の開口部が曲路を形成している構造、（ｂ）突起を有する複数の開口部であって該開口部と突起で形成される間隔が吐出口の巾より小さく成形されている断面を有する構造、（ｃ）前記吐出口の断面積より小さい断面積を有する複数の開口部が形成され、かつ該開口部の吐出側に凹部を有する柱が反吐出口側に凹面を向けて設けられている構造、（ｄ）前記吐出口の巾より狭い間隔で巾方向に複数の突起が設けられた断面を有する構造、のいずれかの構造（以下、これらの構造を総称してフィルタ構造という）を備えたインクジェットヘッドが提案されている。
【００１１】
同公報に記載の技術によれば、前記フィルタ構造を備えているので、インクジェットヘッド外部から供給されたインクは前記フィルタ構造を通って吐出口より吐出される。このとき、インク中に吐出口の断面または巾より大きいゴミが存在すると、前記ゴミは前記フィルタ構造で遮られるため、前記ゴミが吐出口近傍に詰まること等によるインクの吐出不良が抑えられる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
前記公報には、前記（ａ）のフィルタ構造として、断面略正方形状（同公報の図１４参照），断面長矩形状（同公報の図１５参照），断面十字状（同公報の図１６参照）の柱部を複数個均等に配置したものが記載されている。そして、断面長矩形状の複数の柱部を、整列した吐出口に対して略平行に配置したものが記載されている。
【００１３】
また、前記公報には、前記（ｂ）のフィルタ構造として針状突起と断面矩形状の柱部（同公報の図１８参照）を有するものが記載され、前記（ｃ）のフィルタ構造として断面凹字状の柱部（同公報の図２８参照）を有するものが記載され、前記（ｄ）のフィルタ構造として複数の針状突起（同公報の図３６参照）を有するものが記載されている。
【００１４】
しかし、前記フィルタ構造は微細なものであり、前記柱部の形状が断面略正方形状，断面十字状，断面凹字状のいずれかの場合には、前記柱部の底面の面積がごく小さいものに
なるため、前記柱部のインク流路に対する固定強度を高くすることが難しく、パージ動作にて大きな負圧力によりインクが急激に流れた際に前記柱部が倒れることがある。前記柱部が倒れるとインク流路の断面形状が変わるため、インクの噴射特性が変化して印字ムラが生じるおそれや、噴射チャンネル内に、詰まりや噴射曲がりに至らしめる異物が浸入するおそれがある。
【００１５】
さらに、前記柱部を複数個均等に配置した場合には、インクの流動抵抗が高くなり、インクの噴射特性が悪化して高速印字を不能にするおそれがある。特に、断面長矩形状の複数の柱部を整列した吐出口に対して略平行に配置した場合には、インクの流動抵抗が大幅に高くなるため、インクの噴射特性の悪化を引き起こし易い。
【００１６】
また、前記針状突起を用いる場合は、前記針状突起の底面の面積が前記柱部よりもさらに小さいものになるため、前記針状突起のインク流路に対する固定強度を高くすることが非常に難しく、パージ動作にて大きな負圧力によりインクが急激に流れた際に前記針状突起が倒れてインクの噴射特性が変化するおそれがある。
【００１７】
さらに、インク供給源からフィルタ構造を通して多数の噴射チャンネルがなす列の全長にわたってインクを供給する場合、フィルタ構造の端部分には気泡や塵埃が滞留しやすい。このように滞留したり、フィルタ構造で捕らえられた気泡や塵埃が成長すると、フィルタ構造を部分的に閉塞し、印字ムラを起こす。これらの気泡や塵埃は、強力な吸引パージによっても除去することが難しい。
【００１８】
本発明は上記問題点を解消するためになされたものであって、その目的は、インクの気泡や塵埃による噴射不良を防止して正常な印字を行うことが可能で、また、溜まった気泡や塵埃を良好に排出することができるインクジェットヘッドを提供することにある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、インクを収容する複数のチャンネルが整列状態で形成されると共に、当該チャンネル内のインクを当該チャンネルの出口端側に設けられたノズル孔より液滴として噴射するように駆動するアクチュエータと、前記複数のチャンネルの入口端側に接続され、前記複数のチャンネルの整列方向に延出されると共に、インク供給源から供給されたインクを前記複数のチャンネルの各入口端に対して供給するインク供給路が形成されたマニホールドとを備えたインクジェットヘッドであって、前記複数のチャンネルの整列方向端部のチャンネルをフラッシング動作専用のチャンネルとするとともに、そのフラッシング動作専用のチャンネルを除く前記複数のチャンネルの各入口端と、該入口端に対向する前記マニホールドのインク供給路の壁面との間の前記インク供給路内に、前記複数のチャンネルの各入口端と間隔をあけてフィルタが設けられ、前記インク供給路に、前記チャンネルと対向する開口部を形成する開口部形成部材が設けられ、前記フラッシング動作専用のチャンネルと対向する前記開口部と隣接する前記開口部形成部材が前記フィルタと接続されるように延出されていることをその要旨とするものである。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタは、略長円柱状を成す複数個のフィルタ部材が所定間隔をあけて配置されていることをその要旨とするものである。
【００２１】
請求項３に記載の発明では、 請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記
複数のフィルタ部材は前記複数のチャンネルの整列方向と平行に複数列配置され、一方の列の前記フィルタ部材は他方の列のフィルタ部材間の隙間に対応して配置され、各列のフィルタ部材のそれぞれの半円形の端部同士は所定間隔をあけて配置されていることをその
要旨とするものである。
【００２２】
請求項４に記載の発明では、請求項２又は請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記延出された開口部形成部材は、前記複数のチャンネルの整列方向における前記フィルタ部材の端部のものと接続されていることをその要旨とするものである。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記開口部形成部材は、複数個あって、その隙間に、前記複数のチャンネルに対応する開口部を有していることをその要旨とするものである。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータには、前記インクを収容する複数のチャンネルとダミーチャンネルとが交互に整列状態で形成され、前記開口部形成部材は、前記ダミーチャンネルと対向して配置されていることをその要旨とするものである。
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【００３０】
【００３１】
【００３２】
【００３３】
【００３４】
【００３５】
【００３６】
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面と共に説明する。図１は、本実施形態のインクジェットヘッド６００を備えたカラーインクジェットプリンタ１の概略構成を示す斜視図である。
【００４２】
ガイドロッド５０１およびガイド部材５０２はプリンタフレーム５０３に固定されている。キャリッジ５０４は、ガイドロッド５０１およびガイド部材５０２に各々スライド可能に支持され、ベルト５０５に固着されて、キャリッジモータ５０６により駆動されて往復移動される。ベルト５０５は、長尺形状のガイドロッド５０１およびガイド部材５０２の両端部近傍に配置されている各プーリ５０７に巻回されている。一方のプーリ５０７はキャリッジモータ５０６の駆動軸に接続されている。
【００４３】
キャリッジ５０４には、２組のインクジェットヘッド６００が並べて配置されたヘッドユニット５０８が取り付けられている。各インクジェットヘッド６００には後述する駆動制御回路（図示略）が接続されている。各インクジェットヘッド６００の後部には、後述する各ノズル孔（図示略）へインクを供給するインクカートリッジ５０９が着脱可能に搭載されている。
【００４４】
インクジェットヘッド６００と対向する位置には、被記録媒体として印字用紙Ｐを搬送
する搬送機構ＬＦが配設されている。搬送機構ＬＦは、搬送モータ５１０の駆動により回転するプラテンローラ５１１の回転によって印字用紙Ｐを搬送する。プラテンローラ５１１のローラ軸５１２はプリンタフレーム５０３に回動可能に支承されている。
【００４５】
このように、カラーインクジェットプリンタ１においては、キャリッジ５０４の往復移動と印字用紙Ｐの搬送とが協働して、インクジェットヘッド６００から印字用紙Ｐ上の所望の領域へインクの液滴を噴射して所望の印字を行う。尚、カラーインクジェットプリンタ１は４色（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）のカラーインクによるカラー印字を行うため、インクカートリッジ５０９には４色のカラーインクが貯留されている。そして、後述するようにインクジェットヘッド６００は２色のカラーインクを独立して噴射するように構成されているため、４色のカラーインクに対して２組のインクジェットヘッド６００が設けられている。
【００４６】
また、カラーインクジェットプリンタ１には、インクジェットヘッド６００のインク噴射動作の維持・回復を行う維持・回復機構ＲＭが設けられている。維持・回復機構ＲＭは、パージ装置５１３およびフラッシング用インク吸収部材５１６から構成されている。
【００４７】
パージ装置５１３は、プラテンローラ５１１の側方において、リセット状態にあるインクジェットヘッド６００に対向配置されている。そして、パージ装置５１３は、インクジェットヘッド６００のノズル面に吸引キャップ５１４を接触させた状態で、吸引キャップ５１４に接続された吸引ポンプ５１５により大きな負圧力を発生させ、吸引キャップ５１４を通じてインクジェットヘッド６００内部のインクを気泡や塵埃と共に所定量吸引するというパージ動作を行う。このパージ動作により、インクジェットヘッド６００の内部に気泡や塵埃が残留することが原因で発生する噴射不良を解消することが可能になり、良好な噴射状態の回復を図ることができる。
【００４８】
フラッシング用インク吸収部材５１６は、インクの吸収性に優れた多孔質材料の板材から成り、パージ装置５１３の反対側のプラテンローラ５１１の側方において、リセット状態にあるインクジェットヘッド６００に対向配置されている。そして、インクジェットヘッド６００から印字用紙Ｐに対してインクを噴射するのに先立ち、インクジェットヘッド６００からフラッシング用インク吸収部材５１６に対してインクを噴射させるフラッシング動作を行う。このフラッシング動作により、インクジェットヘッド６００の内部に残留する気泡や塵埃をインクと共にフラッシング用インク吸収部材５１６へ排出することが可能になるため、パージ動作と相まって、噴射不良を解消し良好な噴射状態の回復を図ることができる。
【００４９】
図２は、インクジェットヘッド６００を示す斜視図である。インクジェットヘッド６００は、圧電素子を備えた基板１１，１２、マニホールド部材１３，１４、プレート部材１５、ノズルプレート１６から構成されている。
【００５０】
平板矩形状のプレート部材１５の前部両側には平板矩形状の各基板１１，１２が貼付固定され、プレート部材１５の後部両側には平板矩形状の各マニホールド部材１３，１４が貼付固定されている。すなわち、プレート部材１５は、各基板１１，１２よりも後端側に延長されており、そのプレート部材１５の延長部の両側面と各基板１１，１２の後端面とが成すそれぞれのコーナー部に、マニホールド部材１３，１４の前端部が接続されている。そして、各基板１１，１２，プレート部材１５，ノズルプレート１６によりアクチュエータ２４が構成されている。
【００５１】
各基板１１，１２およびプレート部材１５の前端面は面一になっており、その前端面を塞ぐように平板状のノズルプレート１６が貼付固定されている。各基板１１，１２と各マ
ニホールド部材１３，１４とプレート部材１５とのそれぞれの接続部分（各基板１１，１２の後端部、各マニホールド部材１３，１４の外周部、プレート部材１５の後部）には適宜な材料（例えば、シリコンゴムなど）から成る封止材１７が塗布され、その封止材１７によりマニホールド部材１３，１４が基板１１，１２とプレート部材１５に対して固定されると共に、マニホールド部材１３，１４からのインクの漏れが防止される。
【００５２】
各基板１１，１２の前端部には、後述するダミー溝（図示略）に接続連通される複数の導出溝２１が形成されている。また、各マニホールド部材１３，１４の下部には円形のインク供給孔２２が形成されている。図３は、インクジェットヘッド６００から封止材１７を除いた状態を示す斜視図である。
【００５３】
各マニホールド部材１３，１４の前端部には、後述するダミー溝に接続連通される複数の導入溝２３が形成されている。尚、図２に示すように、各導入溝２３は封止材１７により封止されている。図４は、インクジェットヘッド６００の一部縦断面図であり、図２におけるＹ−Ｙ線に沿う断面図である。
【００５４】
図５は、各基板１１，１２の一部分を前端側から見た状態を示す斜視図である。図６は、インクジェットヘッド６００の横断面図であり、図２におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【００５５】
図７は、インクジェットヘッド６００から各マニホールド部材１３，１４を取り外した状態を示す分解斜視図である。図８は、マニホールド部材１４の一部分を裏面（プレート部材１５と接続される面）側から見た状態を示す斜視図である。
【００５６】
図９は、マニホールド部材１４および基板１２の一部分の裏面側を示す平面図である。図１０は、マニホールド部材１３の裏面側を示す平面図である。図１１は、マニホールド部材１４の裏面側を示す平面図である。
【００５７】
尚、図４〜図９はインクジェットヘッド６００の構成を説明するための模式図であり、インクジェットヘッド６００の各部材の寸法が各図面間で合致していない箇所があるが、これは各部材の構成を分かり易くするためである。また、図１０および図１１は実際のマニホールド部材１３，１４を示すものであるため、図４〜図９とは各部材の寸法形状が合致していない箇所がある。
【００５８】
図４および図５に示すように、各基板１１，１２の裏面（プレート部材１５と接続される面）側には、図２に示すインクジェットヘッド６００の横断面方向と平行に、直線溝状のチャンネル溝３１とダミー溝３２とが交互に整列状態で複数本形成されている。各チャンネル溝３１および各ダミー溝３２の開放された天部はプレート部材１５により蓋がされており、プレート部材１５により蓋がされたチャンネル溝３１によりアクチュエータ２４の噴射チャンネルが形成され、プレート部材１５により蓋がされたダミー溝３１によりアクチュエータ２４のダミーチャンネルが形成されている。
【００５９】
各チャンネル溝３１および各ダミー溝３２の側壁部はそれぞれ、逆方向に分極された適宜な圧電材料（例えば、圧電セラミックスなど）から成るせん断モード型の上部壁３３および下部壁３４から形成されている。すなわち、上部壁３３は、プレート部材１５に接続されると共に、プレート部材１５の方向（矢印Ａ方向）に分極されている。また、下部壁３４は、各溝３１，３２の底部と接続されると共に、上部壁３３の分極方向とは反対方向（矢印Ｂ方向）に分極されている。
【００６０】
各チャンネル溝３１の底部を含む内壁面には電極３５が形成され、各ダミー溝３２の底
部を除く両側壁面にはそれぞれ電極３６が形成されている。そして、各チャンネル溝３１に設けられた電極３５はそれぞれアースされ、各ダミー溝３２に設けられた電極３６はそれぞれ駆動制御回路３７に接続されている。駆動制御回路３７は、駆動信号を生成して各電極３６に印加する。
【００６１】
図４および図６に示すように、ノズルプレート１６における各チャンネル溝３１の出口端にはノズル孔１６ａが形成されている。図６に示すように、各基板１１，１２がプレート部材１５の両面に接続されることにより、各基板１１，１２に形成された複数のチャンネル溝３１が２列を成しながらそれぞれ整列状態で配列され、各列の各チャンネル溝３１により独立した２列のチャンネル群が構成されている。また、各チャンネル溝３１および各ダミー溝３２は各基板１１，１２の幅方向いっぱいに形成され、各チャンネル溝３１および各ダミー溝３２の両端部は各基板１１，１２の両端面側から開放されている。そして、各ダミー溝３２の前端部は各基板１１，１２の各導出溝２１に接続連通され、各ダミー溝３２の後端部は各マニホールド部材１３，１４の各導入溝２３に接続連通され、各導入溝２３には封止材１７が充填されている。この導入溝２３内の封止材１７は、後述するインク供給路４１からチャンネル溝３１へ供給するインクがダミー溝３２へ漏れないようにするためのものである。図６では、ダミー溝３２内にも封止材１７が充填されているが、これは、導出溝２１側から真空吸引することによって、マニホールド部材の外側に置いた液状封止材を導入溝２３内に充填した際に、ダミー溝３２にも流入したもので、本来は必要ないものである。
【００６２】
図６〜図１１に示すように、各マニホールド部材１３，１４には、各マニホールド部材１３，１４の板厚方向に一定の深さで穿設された凹部から成るインク供給路４１が形成されている。各マニホールド部材１３，１４のインク供給路４１の始端部４１ｂにはインク供給孔２２が形成され、各インク供給路４１内には開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４が形成されている。尚、各マニホールド部材１３，１４のインク供給路４１は、その内部の各部材４２〜４４を含め、プレート部材１５に対して対称な構造に形成されている。
【００６３】
図７，図１０，図１１に示すように、インク供給路４１の平面形状は、インク供給孔２２が形成された始端部４１ｂ（インク供給路４１の下部）から最終端部４１ａ（インク供給路４１の上部）に向かって幅が除々に狭くなるように形成されると共に、各基板１１，１２の各チャンネル溝３１の整列方向に延出されている。そして、インク供給路４１の一側部は、各基板１１，１２の各チャンネル溝３１の入口端に対して共通的に開口し、その開口部には複数の開口部形成部材４２が設けられている。
【００６４】
図７〜図１１に示すように、各開口部形成部材４２はその横断面が略半紡錘状を成し、各開口部形成部材４２の間隙によりそれぞれ開口部４５が形成されている。そして、各開口部形成部材４２は各基板１１，１２における各チャンネル溝３１の入口端側に接続され、各開口部形成部材４２はそれぞれ各ダミー溝３２に対向して配置され、各開口部４５はそれぞれ各チャンネル溝３１に対向して配置されると共に接続連通されている。また、各開口部形成部材４２の基板１１，１２側の端面にはそれぞれ導入溝２３が形成され、各導入溝２３の一端は各マニホールド部材１３，１４の外に開口し、各導入溝２３の他端は各ダミー溝３２の後端部に接続連通されている。
【００６５】
図７〜図１１に示すように、各マニホールド部材１３，１４において、各開口部形成部材４２間の各開口部４５（各チャンネル溝３１の入口端）と、各開口部４５に対向するインク供給路４１の壁面４１ｃとの間に、長円柱状を成す各フィルタ部材４３ａ，４３ｂが形成されている。各フィルタ部材４３ａ，４３ｂは各開口部４５の整列方向と平行に２列に配置され、各開口部形成部材４２に近い側の列の各フィルタ部材４３ａは各開口部形成
部材４２に対応して配置され、インク供給路４１の壁面４１ｃに近い側の列の各フィルタ部材４３ｂは各開口部４５に対応して配置されている。すなわち、各フィルタ部材４３ａは各フィルタ部材４３ｂ間の隙間に対応して配置されている。そして、各フィルタ部材４３ａは各開口部形成部材４２の先端部と一定間隔ｔをあけて配置されている。また、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂのそれぞれの半円形の端部同士は近接して配置され、その端部間の隙間は微少な気泡や塵埃の流通を阻止できるように狭く形成されている。また、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂは、インク供給路４１の底面およびプレート部材１５に対して垂直に形成されている。
【００６６】
尚、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂは、インク供給路４１の最終端部４１ａに位置する２つの開口部４５ａ，４５ｂ（２つのチャンネル溝３１の入口端）に対応する部分と、インク供給路４１の始端部４１ｂに位置する開口部４５ｃ（チャンネル溝３１の入口端）に対応する部分とには設けられていない。すなわち、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂは、各チャンネル溝３１の整列方向両端部の各入口端近傍には配置されていない。そして、当該開口部４５ｂ，４５ｃとそれぞれ隣接する開口部形成部材４２ａ，４２ｂは延出されてフィルタ部材４３ａと接続されている。
【００６７】
図７，図１０，図１１に示すように、各マニホールド部材１３，１４において、各開口部形成部材４２間の各開口部４５（各チャンネル溝３１の入口端）と、各開口部４５に対向するインク供給路４１の壁面４１ｃとの間に、インク供給孔２２から各開口部４５の整列方向端部（複数のチャンネル溝３１の整列方向端部）に向けて、インクを案内するための薄板状を成す各リブ状突起４４ａ〜４４ｈが延びている。すなわち、複数のリブ状突起４４ａ〜４４ｈのうちリブ状突起４４ｇ，４４ｈは、インク供給孔２２と各開口部４５との間に配置されると共に、他のリブ状突起は、インク供給孔２２から各開口部４５の整列方向端部に向けて相互に間隔をあけて２列配置され、一方の列の各リブ状突起４４ｂ，４４ｄ，４４ｆは他方の列の各リブ状突起４４ａ，４４ｃ，４４ｅ，４４ｇ，４４ｈ間の隙間に対応して配置されている。各リブ状突起４４ａ〜４４ｈは、インク供給路４１の前記壁面４１ｃと間隔をあけて位置し、両者間に、インク供給孔２２からインク供給路４１の最終端へ向かう流路を形成している。インク供給路４１の最終端部４１ａ近傍のリブ状突起４４ａは、前記最終端部の開口部４５ａ，４５ｂへのインクの流れを案内するとともに、その開口部の始端部側に隣接する開口部にもインクを案内するように位置する。また、始端部４１ｂ近傍のリブ状突起４４ｈも、インク供給孔２２から始端部の開口部４５ｃへのインクの流れを妨げないように位置する。そして、各リブ状突起４４ａ〜４４ｈは、インク供給路４１の底面およびプレート部材１５に対して垂直に形成されている。
【００６８】
尚、各開口部形成部材４２，各フィルタ部材４３，各リブ状突起４４の天部はそれぞれ、プレート部材１５に対して液密的に接続固定されている。各マニホールド部材１３，１４は合成樹脂材料の射出成形により、インク供給路４１，開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４が一体形成される。
【００６９】
ところで、インクジェットヘッド６００は、図１に示すように水平横向きの状態でキャリッジ５０４に取り付けられており、その状態で各マニホールド部材１３，１４のインク供給孔２２は下側に配置されている。尚、インクジェットヘッド６００は、ノズルプレート１６を下側に向けると共に各マニホールド部材１３，１４を上側に向け、カラーインクジェットプリンタ１本体に対して約４５゜傾斜して配置してもよい。また、インクジェットヘッド６００は、ノズルプレート１６を下側に向け、カラーインクジェットプリンタ１本体に対して垂直下向きに配置してもよい。
【００７０】
次に、上記のように構成された本実施形態の作用・効果について説明する。図１に示すインクカートリッジ５０９に貯留された各色のカラーインクはそれぞれ、各マニホールド部材１３，１４のインク供給孔２２へ独立して供給され、各マニホールド部材１３，１４のインク供給孔２２→各マニホールド部材１３，１４のインク供給路４１→各マニホールド部材１３，１４の各開口部４５→各基板１１，１２の各チャンネル溝３１の経路により、各チャンネル溝３１内に供給される。
【００７１】
ここで、プレート部材１５の延長部により各基板１１，１２に形成された各チャンネル溝３１が完全に分離されている。従って、各マニホールド部材１３，１４をそれぞれ各基板１１，１２の後端面に接続する際に、ラフな作業であっても、異なる色のインク流路である各基板１１，１２間のチャンネル溝３１や各マニホールド部材１３，１４間のインク供給路４１が繋がり合うようなことがなく、異なる色のインクが混じり合うことがない。そのため、各基板１１，１２に形成された各チャンネル溝３１から成る独立した２列のチャンネル群間において、インクが混じり合うのを防止することが可能になり、確実な分色を行うことができる。
【００７２】
そして、図４に示すように、各チャンネル溝３１内にインクが供給された状態で、任意のチャンネル溝３１ａを挟む２つのダミー溝３２における当該チャンネル溝３１ａ側の電極３６に駆動制御回路３７から所定電圧Ｅ（Ｖ）の駆動信号が印加されると、その各ダミー溝３２に挟まれたチャンネル溝３１ａの側壁部（上部壁３３および下部壁３４）にそれぞれ矢印Ｃ，Ｄ方向の電界が発生し、その側壁部がチャンネル溝３１ａの容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形する。すると、ノズル孔１６ａ近傍を含むチャンネル溝３１ａ内の圧力が減少する。
【００７３】
ここで、駆動制御回路３７からの駆動信号の印加を、チャンネル溝３１ａ内の圧力波の片道伝播時間Ｔだけ維持すると、その期間に前記経路によりインクカートリッジ５０９からチャンネル溝３１ａ内にインクが供給される。尚、上記片道伝播時間Ｔは、チャンネル溝３１内のインクの圧力波がチャンネル溝３１の長手方向に片道伝播する時間であり、図６に示すチャンネル溝３１の長さＬと、チャンネル溝３１内部のインク中における音速Ｓとにより、Ｔ＝Ｌ／Ｓなる式で算出される。
【００７４】
圧力波の伝播理論によると、前記駆動信号の印加から片道伝播時間Ｔが経過するとチャンネル溝３１ａ内の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミングに合わせて駆動信号の電圧を０（Ｖ）に戻す。すると、チャンネル溝３１ａの側壁部が変形前の状態に戻り、インクに圧力が加えられる。その結果、上記正に転じた圧力と、側壁部が変形前の状態に戻ることにより発生した圧力とが加え合わされ、比較的高い圧力がチャンネル溝３１ａ内のノズル孔１６ａ近傍に生じて、ノズル孔１６ａからインクの液滴が噴射される。
【００７５】
ここで、ダミー溝３２に充填された封止材１７として可撓性を備えたもの（例えば、シリコンゴムなど）を使用すれば、各ダミー溝３２に封止材１７を充填した状態でも側壁部を自由に変形させることが可能になるため、インク噴射時におけるチャンネル溝３１ａの容積変化を阻害することがない。
【００７６】
本実施の形態において、インク流路４１の始端部４１ｂおよび最終端部４１ａの開口部４５ａ〜４５ｃに対応する各噴射チャンネルは、フラッシング動作専用として設けられている。つまり、印字用紙に印字動作中、一定期間ごとにキャリッジ５０４をフラッシング用インク吸収部材５１６と対向する位置へ移動させて、上記フラッシング用噴射チャンネルからインクの噴射をさせることにより、インク供給路４１の端部４１ａ，４１ｂ近傍で停滞しやすいインクを排出することができる。また、それによってリブ状突起４４ａ〜４４ｈとインク供給路４１の壁面との間にインクの流れを生成し、最終端部４１ａ近傍に滞留したり、フィルタ部材４３に捕らえられた気泡や塵埃も排出することができる。また、このインクの流れは、フィルタ部材４３の抵抗を受けないため、流速を高めることができ、気泡の排出効果が高い。
【００７７】
上記のフラッシング動作とは別に、公知のように全噴射チャンネルを駆動するフラッシング動作も行うことは、噴射しないチャンネルでのインクの増粘を防止する上で効果がある。また、パージ装置５１３を動作させることによって全噴射チャンネルからインクを吸引するとき、上記と同様にインク供給路の壁面に沿って高い流速が得られるので、最終端部４１ａ近傍に滞留したり、フィルタ部材４３に捕らえられた気泡や塵埃を効果的に排出することができる。上記端部の開口部４５ａ〜４５ｃを除く各開口部４５を通しての吸引も、複数のリブ状突起４４ａ〜４４ｈ間を通ることで、開口部４５ａ〜４５ｃを通しての吸引とともにインク供給路４１全体にインクの流れを生成することができる。したがって、インクカートリッジ交換後の初期導入、または一定期間ごとのパージ動作において、インクの導入性がきわめて良好になる。
【００７８】
通常の印字動作中においても、上記端部の開口部４５ａ〜４５ｃを除く各開口部４５に対応する噴射チャンネルの動作によって、複数のリブ状突起４４ａ〜４４ｈ間を通してインクを供給することで、インク供給路の壁面に沿って高い流速が得られ、微小気泡がインク噴射とともに排出されやすくなる。したがって、気泡が停滞して成長することも少なくなる。
【００７９】
従来、インクの導入性や気泡の排出性をよくするために、インク供給路の断面積を小さくすることが試みられてきたが、そのようにすると、クロストークが発生する問題があった。しかし、上記のように構成することで、インクの導入性や気泡の排出性を改善しながらインク供給路の断面積を十分に確保することができ、その結果、クロストークも改善することができた。
【００８０】
なお、上記実施の形態では、インク流路４１の端部４１ａ，４１ｂの開口部４５ａ〜４５ｃに対応する各噴射チャンネルをフラッシング動作専用としたが、全噴射チャンネルを印字動作用に用いても、同様の作用効果を得ることができる。すなわち、この場合、（１）上記の構成のまま、端部の開口部４５ａ〜４５ｃに対応する噴射チャンネルを印字用としてもよいが、（２）フィルタ部材４３を端部の開口部４５ａ〜４５ｃに対応する位置にも設ける、あるいは全フィルタ部材４３を廃止して、全噴射チャンネルに対して同等の抵抗でインクを供給するようにしてもよい。
【００８１】
（１）の場合、前述のとおり、インクの噴射（フラッシングを含む）あるいは吸引パージによって、リブ状突起４４ａ〜４４ｈとインク供給路４１の壁面との間に高速のインクの流れが生成され、最終端部４１ａ近傍に滞留したり、フィルタ部材４３に捕らえられた気泡や塵埃を効果的に排出することができる。（２）の場合、全開口部４５（４５ａ〜４５ｃを含む）に対して作用する圧力は同じであっても、リブ状突起４４ａ〜４４ｈの存在によって、リブ状突起４４ａ〜４４ｈとインク供給路４１の壁面との間に最終端部４１ａに向かうインクの流れが確保され、最終端部４１ａ近傍に滞留したり、フィルタ部材４３に捕らえられた気泡や塵埃を効果的に排出することができる。
【００８２】
上記のように、インク供給路４１内を供給されるインクは、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂを通って各開口部形成部材４２間の各開口部４５の側（各チャンネル溝３１の入口端側）へ送られる。そのため、インク中に気泡や塵埃が含まれている場合、まず、比較的大きな気泡や塵埃は各フィルタ部材４３ｂにより遮られ、その後に、微少な気泡や塵埃は各フィルタ部材４３ａ，４３ｂのそれぞれの半円形の端部同士により遮られる。つまり、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂがインクのフィルタとして機能するため、気泡や塵埃が各開口部４５に送られるのを回避して、気泡や塵埃が各開口部４５近傍に詰まることによるインクの噴射不良を防止することができる。
【００８３】
また、各開口部形成部材４２の先端部とフィルタ部材４３ａとの間隔ｔを狭く設定することにより、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂと各ノズル孔１６ａとの間のインク流路の容積を小さくすることが可能になり、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂをインクが通過する際に生じた気泡が各ノズル孔１６ａまで残存する量を減少できることから、初期導入特性および放置後の吐出特性を向上させることができる。
【００８４】
さらに、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂを各マニホールド部材１３，１４と一体形成することにより、インクジェットヘッド６００の構成部品点数を減らすことが可能になると共に、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂの装着作業が不要になることから、製造コストを低減することができることに加え、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂの装着不良が生じるのを回避することもできる。
【００８５】
そして、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂは略長円柱状を成しているため、前記公報（特開平６−３１２５０６号）における前記形状（断面略正方形状，断面十字状，断面凹字状）の柱部に比べて、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂの底面の面積を大きくしてインク供給路４１に対する固定強度を高くすることが可能になることから、パージ動作にて大きな負圧力によりインクが急激に流れた際にも各フィルタ部材４３ａ，４３ｂが倒れるのを防止することができる。従って、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂが倒れてインク供給路４１の断面形状が変化することがないため、インクの噴射特性が変化することによる印字ムラの発生を防止して正常な印字を行うことができる。
【００８６】
また、各フィルタ部材４３ａの間隔および各フィルタ部材４３ｂの間隔をそれぞれインクの流動抵抗の増大を回避するのに十分なだけ広くした上で、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂのそれぞれの半円形の端部同士の間隔を微少な気泡や塵埃の流通を阻止するのに十分なだけ狭くすることができる。従って、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂのフィルタとしての機能を低下させることなく、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂを通過するインクの流動抵抗を低くすることが可能になるため、インクの流動抵抗が高くなることによる噴射特性の悪化を防止して高速印字を実現することができる。
【００８７】
また、フィルタ部材４３ａのなす列は開口部４５のなす列に対応して配置されていることから、各フィルタ部材４３ａを通過したインクは各開口部４５に向かってスムーズに流れるため、インクの流動抵抗の増大を回避することができる。以上詳述したように、本実施形態によれば、上記構成の各フィルタ部材４３ａ，４３ｂが設けられているため、前記公報（特開平６−３１２５０６号）の問題点を解決することが可能になり、インクジェットヘッド６００からのインクの噴射不良を防止して正常な印字を行うことができる。
【００８８】
次に、各マニホールド部材１３，１４の作成方法について図１２〜図１８に従って説明する。まず、図１２に示すように、基板１００の上面に、メッキ法やＰＶＤ法などにによって導電層１０１を形成する。この導電層１０１は、後の工程で電鋳するための電極となるものである。尚、基板１０１を導電材料にて形成することにより、導電層１０１を省いてもよい。
【００８９】
この導電層１０１の上面にレジスト材１０２を置き、ベークしてレジスト材１０２を導電層１０１に熱溶着により密着させる。このレジスト材１０２は、ポジ型またはネガ型のレジストで、インク供給路４１における各マニホールド部材１３，１４の板厚方向に対する深さにほぼ対応する厚さに形成する。
【００９０】
そして、レジスト材１０２に、平行な光線１０５をマスク１０３を通して照射する。マスク１０３は、インク供給路４１に対応する位置に、インク供給路４１の平面形状に対応する光線の透過窓を有し、インク供給路４１を除く部分（開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４）の平面形状に対応する光線の不透過部１０４を有している。この場合、後の工程で、露光部分のレジスト材１０２を除去するものであるが、逆に、未露光部分のレジスト材１０２を除去する場合には、不透過部１０４をインク供給路４１の平面形状に対応して設け、透過窓を開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４の平面形状に対応して設ける。
【００９１】
ここで、光線１０５としては、シンクロトロン放射光を使用し、レジスト材１０２としてアクリル材を使用することが望ましい。シンクロトロン放射光は、荷電粒子蓄積リング放射光等のＸ線の平行な光線である。このため、レジスト材１０２の塗膜が厚肉であっても、図１２に破線１０２ａで示すようにその厚さ方向に平行に露光され、その結果、図１３に示すように露光部分１０２ｂと未露光部分１０２ｃとが精度良く形成される。これにより、インク供給路４１を十分な深さに形成すると共に、開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４を所望の形状に形成することができるようになる。
【００９２】
その後、現像液にて現像を行うと、露光部分１０２ｂが現像液に溶けて除去され、図１４に示すように、未露光部分１０２ｃのみが基板１００上に残る。未露光部分１０２ｃは、開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４に対応する形状をなしている。そして、図１５に示すように、基板１００上の導電層１０１を電極として、メッ液中の金属を導電層１０１上に析出させる電鋳により、基板１００および未露光部分１０２ｃ上に、成形型１０６となる金属材料を被着させる。ここで、成形型１０６となる金属は、少なくともレジストの未露光部分１０２ｃを完全に覆う高さまで形成する。続いて、基板１００，導電層１０１，未露光部分１０２ｃを除去すると、図１６に示すように成形型１０６が形成される。このように成形型１０６を作成することにより、所望の形状の精密な成形型１０６を容易に得ることができる。
【００９３】
なお、基板１００に予め導電層１０１を設けず、レジスト材１０２を現像して所定のパターンに形成した後、その基板１００とレジスト材１０２上に蒸着等により導電層を形成し、その導電層を電極として前述のように電鋳を行うこともできる。
【００９４】
そして、図１７に示すように、成形型１０６を成形型本体部分１０７に装着し、成型型１０６と成型型本体部分１０７との隙間に合成樹脂材料１０８を流し込む射出成形により、図１８に示すように、インク供給路４１，開口部形成部材４２（図示略），フィルタ部材４３，リブ状突起４４（図示略）を一体成形し、合成樹脂材料１０８から成る各マニホールド部材１３，１４を形成する。ここで、開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４は未露光部分１２ｃにより形成され、インク供給路４１は露光部分１２ｂにより形成される。
【００９５】
このように、図１２〜図１８に示す方法により各マニホールド部材１３，１４を作成すれば、レジスト材１０２に平行な光線を照射することによって、インク供給路４１，開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４に対応する形状が、深さ方向に精度良く形成され、それに基づいて精密な成形型１０６を形成することができる。そして、その精密な成形型１０６を用いることにより、十分な深さのインク供給路４１，開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４をマニホールド部材１３，１４に精度良く形成することができる。また、インク供給路４１，開口部形成部材４２，フィルタ部材４３，リブ状突起４４の形状はマスク１０３の不透過部分１０４および透過窓の形状によって決まるから、不透過部分１０４および透過窓の形状を適宜設定するだけで各部材４１〜４４の形状を自由に設定することが可能になり、微細な各フィルタ部材４３およびその隙間を正確な形状に作成することが容易になる。
【００９６】
また、噴射チャンネルを高密度で配列するために、チャンネルの幅を小さく深さを大きくしたり、本実施の形態のアクチュエータのようにインクの噴射圧力を得るために側壁部の高さが所定量必要である場合、それに対応して開口部形成部材４２、フィルタ部材４３およびフィルタ部材４４を十分な高さに形成するのに、上記製造方法は好適である。
【００９７】
尚、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように変更してもよく、その場合でも、上記実施形態と同等もしくはそれ以上の作用・効果を得ることができる。（１）上記実施形態は、各基板１１，１２に圧電素子を備えたインクジェットヘッド６００に具体化したものであるが、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマルジェット方式など）のインクジェットヘッドに適用してもよい。
【００９８】
（２）上記実施形態では、２枚の基板１１，１２にそれぞれチャンネル溝３１が形成され、チャンネル溝３１が２列を成すインクジェットヘッド６００に具体化したものであるが、各基板１１，１２のいずれか一方を省いてチャンネル溝３１を１列だけにしてもよく、３枚以上の基板を用いてチャンネル溝が３列以上を成すようにしてもよい。
【００９９】
ここで、上記実施形態のように、各基板１１，１２にそれぞれチャンネル溝３１列が形成され、両列が相互に接近して配置され、インク供給路４１が複数のチャンネル溝３１の各列に沿ってそれぞれ形成されている場合には、インク供給路４１の断面積をそれほど大きくすることができないため、インク供給路４１内に気泡や塵埃を長期にわたって滞留させることができず、気泡や塵埃がチャンネル溝３１内に引き込まれてチャンネル溝３１内に滞留し易いため、インクの噴射不良が起こり易くなる。そのため、インク供給路４１の最終端部４１ａ近傍に残留する気泡や塵埃を効果的に除去できることは重要な意義がある。
【０１００】
（３）上記実施形態では、各チャンネル溝３１の両側に各ダミー溝３２を設けているが、各ダミー溝３２を省いて、各チャンネル溝３１だけが隣接するようにしてもよい。（４）上記実施形態では、インク供給路４１が各マニホールド部材１３，１４の板厚方向に対して一定の深さに形成されているが、インク供給路４１における各マニホールド部材１３，１４の板厚方向に対する深さを変化させるようにしてもよい。つまり、インク供給路４１の幅を変化させるだけでなく、インク供給路４１の深さをも変化させるようにして、インク供給路４１の断面積を徐々に小さくしてもよい。
【０１０１】
（５）上記実施形態では、インク供給路４１の幅が始端部４１ｂから最終端部４１ａに向かって除々に狭くなるように形成されているが、インク供給路４１の幅を始端部４１ｂから最終端部４１ａにかけて一定にしてもよい。つまり、インク供給路４１内の各リブ状突起４４の数，寸法形状，配置箇所を最適に設定することにより、インク供給路４１の断面積を一定にした場合でも、上記実施形態のようにインク供給路４１の断面積を徐々に小さくした場合には若干劣るものの、上記実施形態とほぼ同等の効果を得ることができる。
【０１０２】
（６）上記実施形態では、各フィルタ部材４３ａ，４３ｂを２列に配置したが、３列以上に配置してもよい。（７）上記実施形態では、噴射チャンネル列の一方の端から他方の端に向けてマニホールド部材内をインクが流れるようにしているが、インク供給路４１の中央にインク供給孔２２を設け、両端へ向けてインクを流すようにしてもよい。これにともない、リブ状突起、フィルタ部材等も、インク供給孔２２から両端へ向けて配置される。
【０１０３】
（８）上記実施形態ではインクジェットヘッド６００がキャリッジ５０４と共に往復移動するプリンタに適用したが、カラーインクジェットプリンタ１の本体にインクジェットヘッド６００を固定したいわゆるラインプリンタ等に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を具体化した一実施形態のインクジェットヘッドを備えたカラーインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図。
【図２】一実施形態のインクジェットヘッドを示す斜視図。
【図３】一実施形態のインクジェットヘッドから封止材を除いた状態を示す斜視図。
【図４】一実施形態のインクジェットヘッドの一部縦断面図。
【図５】一実施形態のインクジェットヘッドにおける各基板の一部分を前端側から見た状態を示す斜視図。
【図６】一実施形態のインクジェットヘッドの横断面図。
【図７】一実施形態のインクジェットヘッドからマニホールド部材を取り外した状態を示す分解斜視図。
【図８】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の一部斜視図。
【図９】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材および基板の一部平面図。
【図１０】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の平面図。
【図１１】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の平面図。
【図１２】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１３】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１４】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１５】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１６】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１７】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【図１８】一実施形態のインクジェットヘッドにおけるマニホールド部材の製造方法を説明するための断面図。
【符号の説明】
５０９…インクカートリッジ ６００…インクジェットヘッド
１１，１２…基板 １３，１４…マニホールド部材
１５…プレート部材１５ １６…ノズルプレート
１６ａ…ノズル孔 ２２…インク供給孔
２４…アクチュエータ ３１…チャンネル溝 ４１…インク供給路
４３ａ，４３ｂ…フィルタ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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