(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に一対の表示電極が複数のセルにわたり延伸して配設された基板を備えるガス放電パネルであって、
前記一対の表示電極の少なくとも一方の表示電極は、数百Ω/□以上の抵抗値を有する
第一の導電層の上に、前記第一の導電層よりも抵抗値が低い第二の導電層が積層されてなる
ガス放電パネル。
【請求項２】
前記一対の表示電極において、前記第一の導電層と他方の表示電極との間には第一放電間隙が存在し、前記第二の導電層と他方の表示電極との間には前記第一放電間隔よりも広い第二放電間隙が存在する
請求項１に記載のガス放電パネル。
【請求項３】
放電ガス圧をＰ、一対の表示電極の放電間隙をｄとするとき、前記第一放電間隙は、Ｐｄ積と開始放電電圧との関係を示すパッシェン曲線において、放電開始電圧の極小またはその付近となる間隙に相当するものとし、前記第二放電間隙は、Ｐｄ積と放電効率との関係を示す放電効率曲線において、放電効率が極大となる間隙に相当するものを含む
請求項１または２のいずれかに記載のガス放電パネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示デバイスなどに用いるガス放電パネルに関するものであって、特にＰＤＰに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハイビジョンなどに代表される高品位で大画面の表示デバイスに対する期待が高まっており、ＣＲＴ、液晶ディスプレイ（以下ＬＣＤと記載する）、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel、以下ＰＤＰと記載する）といった各表示デバイスについての研究開発がなされている。このような表示デバイスにはそれぞれ次のような特徴がある。
【０００３】
ＣＲＴは、解像度・画質の点で優れており、従来からテレビなどに広く使用されている。しかし、大画面化すると奥行きのサイズや重量が増大し易い性質があり、この問題をどう解決するかがポイントとされている。このことから、ＣＲＴで40インチを超す大画面のものは作りにくいと考えられている。
一方、ＬＣＤはＣＲＴに比べて消費電力が少なく、サイズが小さくて重量も軽いという優れた性能を有しており、現在ではコンピュータのモニタとして普及が進んでいる。しかしＬＣＤは、自ら発光して画面表示することができないため、画面を大型化すると表示が薄く見にくくなったり、画面の上下で階調レベルや色調が乱れ易くなるなどの技術上の問題が生じ易い。さらに、大画面化する場合にはＬＣＤ特有の視野角が狭いという欠点を積極的に解決する必要が生じると考えられる。
【０００４】
これに対しＰＤＰは、上記のようなＣＲＴやＬＣＤとは違って、比較的軽量で大画面を実現することに有利であり、しかも自ら発光して画面表示する駆動方式でありながら、消費電力も少ないというメリットを持っている。したがって次世代の表示デバイスが求められる現在では、ＰＤＰをはじめとするガス放電パネルを大画面化するための研究開発が特に積極的に進められており、既に50インチを超える製品も開発されるに到っている。
【０００５】
このようなＰＤＰは、駆動方式の違いからＤＣ（直流）型とＡＣ（交流）型に分けられる。このうちＡＣ型が大画面化に適していると考えられており、これが一般的になりつつある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、多様な目的にわたり、できるだけ消費電力を抑えた電気製品の開発が望まれる今日では、ＰＤＰなどのガス放電パネルにおいても駆動時の消費電力を低くする期待が寄せられている。特に昨今の大画面化・高精細化の動向によって、消費電力が増加する傾向にあるＰＤＰなどのガス放電パネルは、この消費電力に対する対策を疎かにできない。この要望に応えるためには、主としてＰＤＰの性能を大きく左右する放電効率を向上させる必要がある。
【０００７】
ＰＤＰなどのガス放電パネルにおいて、放電効率を向上させることによって消費電力を抑制するための技術問題は、このように現在でも改善の余地が多いとされている。
【０００８】
【課題を解決する手段】
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、消費電力を適切に抑えつつ、優れた放電効率を確保することにより、高性能な表示機能をもつＰＤＰなどのガス放電パネルを提供することを目的とする。
上記目的は、対向して設けられた一対のプレート間に、放電ガスが封入された複数のセルがマトリックス状に配され、前記プレートの対向する面上に、一対の表示電極が複数のセルにまたがる状態で行方向に延伸されて配設されたガス放電パネルにおいて、前記一対の表示電極の間に、第一放電間隙と、当該第一放電間隙よりも広い第二放電間隙の2種類の放電間隙を存在させることによって実現できる。
【０００９】
より具体的には、放電ガス圧をＰ、放電間隙をｄとするとき、前記第一放電間隙は、Ｐｄ積と開始放電電圧との関係を示すパッシェン曲線において、放電開始電圧の極小またはその付近となる間隙に相当するものとし、前記第二放電間隙は、Ｐｄ積と放電効率との関係を示す放電効率曲線において、放電効率が極大となる間隙に相当するものを含むものとすることによって実現できる。
【００１０】
このようにすれば、表示電極に給電すると、第一放電間隙において従来より低い電圧値で放電が開始され、ＰＤＰの発光効率が向上する。また放電が開始した後は、第二放電間隙で維持放電が効率よく行われ、良好な表示が可能となる。
上記のようなガス放電パネルは、具体的には、一方の表示電極が第一と第二の電極肢に枝分かれし、当該電極肢間に他方の表示電極が挿設され、第一の電極肢と前記他方の表示電極との間隙が第一放電間隙であり、第二の電極肢と前記他方の表示電極との間隙が第二放電間隙であるガス放電パネルとするか、一対の表示電極がともに電極肢に枝分かれし、一方の表示電極の第一と第二の電極肢間に他方の表示電極の電極肢が挿設され、一方の表示電極の第一の電極肢と前記他方の表示電極の電極肢との間隙が第一放電間隙であり、一方の表示電極の第二の電極肢と前記他方の表示電極の電極肢との間隙が第二放電間隙であるガス放電パネルとすることで実現できる。この場合、上記効果に加えて、クロストークを防止しつつ良好なアドレス放電を行うことも可能となる。
【００１１】
さらに本発明は、一対の表示電極の間隙が、ガス放電パネルの平面に垂直な方向で複数の間隙値を有し、当該複数の間隙値の中に、第一放電間隙および第二放電間隙にそれぞれ相当する間隙値を含むガス放電パネルとすることで実現できる。
このようにすれば、第一および第二放電間隙を限られたスペース内に設けることが容易になるので、高精細セルを作製する場合において有利である。
【００１２】
さらに本発明は、一対の表示電極の少なくとも一方の表示電極において、他方の表示電極と対向する電極縁端部には、セルごとに一つ以上の突起部が形成され、当該突起部と他方の表示電極との間に第一放電間隙に相当する間隙が存在し、当該突起部が形成された箇所以外の部分と他方の表示電極との間に第二放電間隙に相当する間隙が存在するガス放電パネルとすることで実現できる。
【００１３】
このようにすれば、表示電極を従来通りに作製した後に若干の改良を加えるだけで本発明が実現でき、製造コストの面でも優れた効果が得られる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
＜実施の形態1＞
図1は、実施の形態1の交流面放電型ＰＤＰの部分的な断面斜視図である。図中、ｚ方向がＰＤＰの厚み方向、ｘｙ平面がＰＤＰ面に平行な平面に相当する。当図のように、本ＰＤＰの構成はフロントパネル20とバックパネル26の2つのユニットに大別される。
【００１５】
フロントパネル20の基板となるフロントパネルガラス21はソーダライムガラスからなる。そして、フロントパネルガラス21のバックパネル26と対向する面には、電極肢Ｘ1、Ｘ2またはＹ1、Ｙ2、Ｙ3をそれぞれ有する一対のフォーク型表示電極22、23（Ｘ電極22、Ｙ電極23）がｘ方向に延伸され、ｙ方向に一定の間隔で各電極肢がＹ1、Ｘ1、Ｙ2、Ｘ2、Ｙ3の組合せになるように交互に配設される。ここでは各実施の形態に共通して、Ｘ電極22がアドレス放電時に走査電極として作動するものとする。表示電極22、23の全体図については後に示す。
【００１６】
このような表示電極22、23を配設したフロントパネルガラス20の面上には、酸化鉛系ガラスからなる誘電体層24がコートされる。これによって、表示電極22、23は誘電体層24中に埋設される状態になっている。誘電体層24の表面上には、さらに酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層25がコートされている。
バックパネル26の基板となるバックパネルガラス27もフロントパネルガラス21と同様に作製されたものであって、フロントパネル20と対向する側の面には、複数のアドレス電極28がｙ方向に延伸されて配設され、ｚ方向に一定間隔を挟んで、前記フロントパネル20の表示電極22、23と格子状の電極配設パターンを形成するようになっている。アドレス電極28を配設したバックパネルガラス27の面上には、誘電体層24と同様の材料からなる誘電体膜29がアドレス電極28を包むように形成され、さらに誘電体膜29の面上に、隣り合う2つのアドレス電極28の間隔に合わせて、一定の高さと厚みを持つ複数の隔壁30がｙ方向に沿って形成されている。隔壁30の側面と誘電体膜29の表面には、ＲＧＢの各色に合わせた蛍光体層31、32、33の何れかが塗布される。
【００１７】
フロントパネル20側の保護層25とバックパネル26側の隔壁30の頂部は、封着ガラスで互いに貼り合わされる。そして、複数の隔壁30で仕切られた各空間毎に希ガスを含む放電ガスが封入され、それぞれの空間がｙ方向に長い帯状の放電空間38となる。この放電空間38において、一対の表示電極22、23（ここでは電極肢Ｘ1、Ｘ2、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3）と一本のアドレス電極28との交叉箇所を一箇所ずつ含む領域が、画面表示のためのセル11、12、13、14（後述する）となる。当該セル11、・・・はｘ方向を行方向、ｙ方向を列方向とするマトリックス状に配列するように形成されるので、本ＰＤＰでは各セル11、・・・を適時点滅することによって、マトリックス表示ができるようになっている。
【００１８】
なお、駆動時には各電極22、23、28に適宜給電することで2種類の放電がなされる。一つは、セル11、・・・の点灯のＯＮ/ＯＦＦを制御するアドレス放電であって、Ｘ電極22もしくはＹ電極23の何れかと、アドレス電極28との間に給電することによって行われる。もう一つはＰＤＰの画面表示に直接寄与する維持放電（面放電）であって、Ｘ電極22とＹ電極23との間に給電することによって行われる。
【００１９】
図2は、本ＰＤＰの表示電極パターンをｚ方向から見下ろした場合の平面図である。ここでは図の複雑化を避けるために隔壁30の図示を省略してある。放電空間38を破線で区切った領域のそれぞれがセル11、12、13、14に相当する。
このようなセルの一つであるセル11（セル12）に対応して、Ｙ1、Ｘ1、Ｙ2、Ｘ2、Ｙ3（Ｙ’1、Ｘ’1、Ｙ’2、Ｘ’2、Ｙ’3）の順に設けられた各電極肢は、その幅が約20μｍのサイズに設定されており、隣り合う電極肢の間で、放電間隙が次の2種の値のどちらかの値を取るように設定される。
【００２０】
すなわち、この2種の値のうちの1つは、Ｘ1とＹ2、Ｙ2とＸ2（Ｙ’1とＸ’1、Ｙ’2とＸ’2）の間隙に存在する第一放電間隙39の間隙値であり、約20μｍに設定されている。第一放電間隙39は、放電開始電圧を従来より低く抑える目的で設定されるものである。
もう1つの値は、Ｙ1とＸ1、Ｘ2とＹ3（Ｙ’1とＸ’1、Ｘ’2とＹ’3）の間隙に存在する第二放電間隙40の間隙値であり、約40μｍに設定されている。この第二放電間隙40は、放電開始後に高い発光効率を確保するための間隙として設定したものである。このように第一放電間隙39および第二放電間隙40の各間隙値を選択した理由については後述する。
【００２１】
なお、ｙ方向に隣接する2つのセル11、12（セル13、14）の間隙35、すなわちＹ電極肢Ｙ3、Ｙ’1の間隙は、約120μｍに設定されている。
以上の構成を有する本ＰＤＰによれば、放電期間において表示電極22、23に給電が開始され、パルスが印加される。このとき第一放電間隙39で面放電（開始放電）が開始されるが、第一放電間隙39が約20μｍと比較的狭いため、放電開始電圧は従来より低い値となる。これによって、ＰＤＰの開始放電時の消費電力が効果的に抑制される。
【００２２】
そして開始放電が開始されると、第一放電間隙39に加えて第二放電間隙40でも放電が行われるようになり、十分な維持放電によって良好な発光効率が得られる。このように本実施の形態のＰＤＰは、開始放電と維持放電に応じて、複数の電極肢Ｘ1、・・・の間に存在する各放電間隙を用いるものである。
また誘電体層24中において、例えばセル11に対応して、Ｙ電極肢Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3がＸ電極肢Ｘ1、Ｘ2よりも一本多く配設されているので、Ｘ電極肢Ｘ2などが、隣接するセル12のＹ電極肢Ｙ1’などとクロストークを発生する危険が抑制される。これにより、走査電極としても作用するＸ電極22がＹ電極23によって保護されるようにもなっている。
【００２３】
このようなＰＤＰは、以下のようにして作製したものである。
（実施の形態1のＰＤＰの作製方法）
i.フロントパネル20の作製
厚さ約2ｍｍのソーダライムガラスからなるフロントパネルガラス21の表面上に、銀を主成分とする導電体材料を用いて、電極肢Ｘ1、Ｘ2またはＹ1、Ｙ2、Ｙ3をフォーク状に有する表示電極22、23を作製する。この表示電極22、23に関しては、スクリーン印刷法、フォトエッチング法など公知の各作製法が適用できる。
【００２４】
次に、表示電極22、23の上に、鉛系ガラスのペーストを厚さ約20〜30μｍでフロントパネルガラス21の全面にわたってコートし、焼成して誘電体層24を形成する。
次に、誘電体層24の表面に、厚さ約1μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層25を蒸着法あるいはＣＶＤ（化学蒸着法）などにより形成する。
【００２５】
これで、フロントパネル20が完成される。
ii.バックパネル26の作製
厚さ約2ｍｍのソーダライムガラスからなるバックパネルガラス27の表面上に、スクリーン印刷法により、銀を主成分とする導電体材料を一定間隔でストライプ状に塗布し、厚さ約5μｍのアドレス電極28を形成する。ここで、作製するＰＤＰを40インチクラスのハイビジョンテレビとするため、隣り合う2つのアドレス電極28の間隔を0.2ｍｍ程度以下に設定する。
【００２６】
続いてアドレス電極28を形成したバックパネルガラス27の面全体にわたって、鉛系ガラスのペーストを厚さ約20〜30μｍで塗布して焼成し、誘電体膜29を形成する。
次に、誘電体膜29と同じ鉛系ガラス材料を用いて、誘電体膜29の上に、隣り合う2つのアドレス電極28の間ごとに、高さ約100μｍの隔壁30を形成する。この隔壁30は、例えば上記ガラス材料を含むペーストを繰り返しスクリーン印刷し、その後焼成して形成できる。
【００２７】
隔壁30が形成できたら、隔壁30の壁面と、隔壁間で露出している誘電体膜29の表面に、赤色（Ｒ）蛍光体、緑色（Ｇ）蛍光体、青色（Ｂ）蛍光体の何れかを含む蛍光インクを塗布し、これを乾燥・焼成してそれぞれ蛍光体層31、32、33を形成する。
ここで、一般的にＰＤＰに使用されている蛍光体材料の例を以下に列挙する。
【００２８】
赤色蛍光体；（ＹｘＧｄ1-ｘ）ＢＯ３：Ｅｕ3+
緑色蛍光体；  Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ
青色蛍光体；  ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ3+（或いはＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ3+）
以上で、バックパネル26が完成される。
【００２９】
なお、フロントパネルガラス21およびバックパネルガラス27をソーダライムガラスからなるものとしたが、これは材料の一例として挙げたものであって、これ以外の材料でもよい。さらに誘電体層24および保護層25も上記材料に限定せず、適宜材料を変更してもよい。表示電極22、23も同様に、例えば良好な透明性を有する透明電極とするために材料を選択することが可能である。このような各材料の選択は、可能な範囲において各実施の形態でも同様に行ってよい。
【００３０】
iii.ＰＤＰの完成
作製したフロントパネル20とバックパネル26を、封着用ガラスを用いて貼り合わせる。その後、放電空間の内部を高真空（8×10-７Ｔｏｒｒ）に脱気し、これに所定の圧力（ここでは2000Ｔｏｒｒ）でＮｅ-Ｘｅ（5％）の組成からなる放電ガスを封入することによって、ＰＤＰの完成とする。
【００３１】
なお放電ガスについては、この他にもＨｅ-Ｘｅ系やＨｅ-Ｎｅ-Ｘｅ系などが使用可能である。
また、このＰＤＰの作製方法は、各実施の形態のＰＤＰごとに形成する表示電極の形状や構造に違いがあるものの、それ以外のところで大体共通している。したがってこれ以降の各実施の形態におけるＰＤＰの作製方法については、表示電極に関する特徴ついて主に説明する。
【００３２】
また本実施の形態では、Ｙ電極肢が（ｎ+1）本とＸ電極肢がｎ本の組合せの例として、セル11、・・・にＹ電極肢を3本、Ｘ電極肢を2本対応するように設ける例をを示したが、ｎは任意の自然数であって、例えばＹ電極肢が2本とＸ電極肢が1本の組合せであってもよい。また本発明はこれに限定せず、第一および第二放電間隙が一つのセル11、・・・ごとに確保でき、さらにセル11と隣接するセル12の間でクロストークが生じないような電極肢の本数の組合せであればよい。このためには、セル11、・・・の一つ当たりに対応するＸ電極とＹ電極の本数が異なるようにするのが望ましいと思われる。
【００３３】
また実施の形態で、ｙ方向に隣接するセル11、12の間隙35を約120μｍとしたが、電極肢をセル11、12の境界へ向かって増設し、これによって発光効率を向上させるようにしてもよい。この場合、セル11、12で極性の異なる電極肢を隣接させたりしてクロストークを発生させなければ、例えば前記セル11、12の間隙35をなくすようにしてもよい。
【００３４】
さらに、本実施の形態ではＸ電極肢とＹ電極肢のそれぞれの幅を同様に作製する例を示したが、Ｘ電極肢を走査電極として良好に機能させるため、当該Ｘ電極肢をＹ電極肢に対して1.5〜3倍程度の広い幅に作製し、これによってアドレス放電のための静電容量を十分確保させるようにしてもよい。
また交流面放電型ＰＤＰでは一般に、放電期間において、通常数個〜数十個のパルスを表示電極に印加することにより給電するが、本実施の形態ではさらに、Ｙ電極23の電極肢Ｙ2またはＹ’2を、その他の電極肢Ｙ1、Ｙ3またはＹ’1、Ｙ’3と独立した配線にして、開始放電に直接関わる電極肢（ここではＹ2またはＹ’2）に、例えば放電期間の最初の数パルスにおいてのみ給電し、それ以降においては維持放電にかかる電極肢（ここではＹ1、Ｙ3またはＹ’1、Ｙ’3）にのみ給電するようにしてもよい。こうすることで、放電空間に電荷粒子が少ない（プライミング荷電粒子が少ない）放電期間の初期にのみ第一放電間隙で放電がなされ、それ以降には放電が第一放電間隙でなされなくなるので、発光効率が向上する。
【００３５】
また発光輝度をより向上させる対策としては、例えば図3の表示電極の配設パターンを示す平面図のように、Ｙ電極肢Ｙ3、Ｙ’1の幅をセル11、12の境界付近にまで広くして、これによって電極肢Ｙ3、Ｙ’1の放電面積を広くしてやると、規模のより大きい維持放電が得られる。この場合、当該Ｙ電極肢Ｙ3、Ｙ’1のフロントパネルガラス20側の面に、黒アルミもしくは黒色亜鉛等の金属材料からなる黒色層を形成しておくと、表示電極22、23が外光を反射して画面で白く浮き立つのが防止され、ＰＤＰ駆動時の際のコントラストが向上する。なお、このような黒色層は、他の実施の形態のＰＤＰの表示電極にも適用することができる。
【００３６】
＜実施の形態2＞
図4は、実施の形態2にかかる交流面放電型ＰＤＰの部分的な断面斜視図である。本ＰＤＰは、全体的には実施の形態1のＰＤＰとほとんど同様の構造であるが、表示電極22、23は電極肢を有する代わりに、ＰＤＰの厚み方向（ｚ方向）に積層された構造を有している。
【００３７】
すなわち、図5に示す表示電極周辺のＰＤＰ断面図のように、Ｘ電極22およびＹ電極23は、ｚ方向に沿ってそれぞれ第一層221、231および第二層222、232からなる二段構造となっている。さらに第二層222、232は第一層221、231より幅が狭く取られ、これによって表示電極22、23間に複数の間隙値を有する放電間隙が確保されている。すなわち本実施の形態では、Ｙ電極第一層231およびＸ電極第一層221間に第一放電間隙43が存在し、Ｙ電極第二層232およびＸ電極第二層222間に第二放電間隙44が存在する。
【００３８】
各表示電極22、23の具体的なサイズは、第一層221、231を幅約40〜80μｍ、厚み約300ｎｍ以下とし、これに対して第二層222、232を幅約20μｍ、厚み約500ｎｍ〜5000ｎｍ（5μｍ）としている。なお図中では、第一放電間隙43、第二放電間隙44は実施の形態1と同じく、それぞれ約20μｍ、約40μｍに設定している。このような表示電極22、23は、各層をスクリーン印刷法を複数回繰り返すことによって形成し、その後焼成して形成することができる。
【００３９】
以上の構成を有する本ＰＤＰによれば、放電期間において表示電極22、23に給電が開始され、パルスが印加されると、まず第一放電間隙43で放電開始電圧による開始放電が行われ、続いて第二放電間隙44で放電維持電圧による維持放電が行われる。本ＰＤＰでもそれぞれの電圧値によって、前記実施の形態1と同様の効果を得ることができるが、本実施の形態では一対の表示電極22、23の間において、第一放電間隙43と第二放電間隙44が存在しているため、当該両間隙43、44を存在させるためのスペースを比較的抑えることができ、微細なセルでも実現が容易な特徴がある。
【００４０】
なお本実施の形態では、第二層222、232を第一層221、231よりも幅広にしたが、第一層と第二層を同じ幅に作製して、互いの層を一定量だけずらして積層し、これによって第一放電間隙と第二放電間隙を存在させるようにしてもよい。
また、表示電極はこのような二段構造に限定せず、一対の表示電極22、23の間で、ｚ方向に第一放電間隙と第二放電間隙を含む複数の間隙値の放電間隙が存在するような形態であればよいので、例えば図6の表示電極周辺のＰＤＰ断面図に示すように、Ｘ電極22を単純な一層構造とし、Ｙ電極23だけを第一層233および第二層234からなる積層構造とすることによって、第一放電間隙45および第二放電間隙46をＸ電極22およびＹ電極23の間に存在させてもよい。
【００４１】
また図7の表示電極周辺のＰＤＰ断面図に示すように、例えばＸ電極22の第一層221と第二層222をｚ方向で分離してもよい。こうすると、この間の誘電体層24によりＹ電極23の第二層234とＸ電極22の第二層222が第二放電間隙48を挟んだ表示電極となる。この場合にはＸ電極22の周囲における静電容量が増加するので、Ｘ電極22を良好に作動させることができる。一方の第一放電間隙47は、第一層221、233の間に確保される。
【００４２】
さらに、表示電極22、23は上記した二段構造以外にも、例えば図8の表示電極周辺のＰＤＰ断面図に示すように、Ｘ電極22とＹ電極23が斜面223、224または235、236をそれぞれ有するように三角形状断面にして、対向する各斜面223、235の間の最短間隙を第一放電間隙49に一致させ、Ｘ電極22、Ｙ電極23の頂点間を第二放電間隙50に一致させるようにしてもよい。こうすると、第一放電間隙49以外の維持放電にかかる放電間隙を多く存在させることができ、放電効率が向上する。このような表示電極も、スクリーン印刷を多数回繰り返して積層していき、焼成して形成することができる。
【００４３】
また図9のＰＤＰ断面図に示すように、対向する斜面223、235をそれぞれ曲面225、237としてもよい。これにより、第一放電間隙53が確保される一方で、第二放電間隙52以下の維持放電にかかる放電間隙の値が増大するので、より効果的に開始放電と維持放電を行うことが可能となる。
また上記のような三角形状断面の表示電極22、23が作製しにくい場合には、例えば図10のＰＤＰ断面図に示すように、まず直方断面を有する通常の表示電極22、23を作製した後、この表示電極22、23のコーナーの一部をカットすることにより、カット面227、239をそれぞれ設けるようにする。この場合、当該カット面227、239の最短間隙と対向面226、238の間隙が第一放電間隙53となり、カット面227、239の最長間隙が第二放電間隙54になるように、カット量を調整する。このカット面227、239は、一旦Ｘ電極22とＹ電極23を形成した後に、公知のオーバーエッチング処理で面取りすることによって形成することができる。
【００４４】
＜実施の形態3＞
前記実施の形態2では一対の表示電極に対して、ＰＤＰパネルの厚み方向（ｚ方向）に複数の間隙値を有する間隙を確保する例を示したが、本実施の形態は一対の表示電極の間において、フロントパネル20平面（ｘｙ平面）に沿って第一放電間隙と第二放電間隙を含む複数の間隙値の放電間隙を存在させている。
【００４５】
具体的には、実施の形態3にかかる交流面放電型ＰＤＰの部分的な斜視図である図11のように、一対のＸ電極22とＹ電極23（それぞれ幅約20μｍ）が単一層の構造を有するように作製される。この表示電極22、23には、表示電極の配設パターンを示す平面図の図12のように、セル11、13の内部に対応する領域において、三角形状の突起部228、240（高さ約10μｍ）が対向するように備わっている。この突起部228、240の先端同士の間で第一放電間隙55が確保され、突起部228、240以外の表示電極22、23の間で第二放電間隙56が確保される。なお図中では分かり易くするために、突起部228、240のサイズを表示電極22、23に対して大きく図示している。
【００４６】
以上の構成を有する本ＰＤＰによれば、放電期間において、表示電極22、23に給電が開始され、パルスが印加されると、まず第一放電間隙55で放電開始電圧による開始放電が発生する。突起部228、240を表示電極22、23に備えることにより、これらの先端に電気量が集中するので、放電開始電圧が効果的に低減され、開始放電が積極的に発生する。また第一放電間隙55が突起部228、240の先端同士の間隙で存在するので、これ以外の放電間隙が維持放電に利用され、第二放電間隙56をはじめとする放電間隙において、良好な規模の維持放電が行われる。
【００４７】
さらに本実施の形態では特に、例えばスクリーン印刷法により突起部228、240を有する表示電極を一度でパターニングして、簡単に作製できるという利点がある。このことは製造上のコストダウンに有利である。
なお本実施の形態では、突起部228、240の先端を一対の表示電極22、23の間で対向させる例を示したが、これ以外にも図13のＰＤＰ電極パターンの平面図のように、一対の表示電極22、23のどちらか一方にのみ（図中ではＸ電極22にのみ）突起部229を配設して、突起部229の先端と表示電極（図中ではＹ電極23）の間に第一放電間隙57を存在させ、表示電極22、23同士の間に第二放電間隙58を存在させてもよい。
【００４８】
さらに突起部は、その形状を三角形状に限定しない。例えば図14のように放物線状の外縁を有する突起部241、260とし、これによって第一放電間隙59、第二放電間隙60を得るようにしてもよい。
また本実施の形態では、表示電極22、23の対向する位置に突起部の先端を合わせる例を示したが、この2つの突起部の先端の位置を互いに若干ずらし、突起部の高さを第二放電間隙の半分よりも長くして（すなわち突起部の高さの二倍が第二放電間隙よりも長くなるようにして）、両突起部の最短間隙を第一放電間隙としてもよい。
【００４９】
さらに、セルのサイズに応じて適宜突起部の個数を増やしてやってもよいし、特定の突起部だけ形状を変えてやるなどの工夫をしてもよい。
＜実施の形態4＞
本ＰＤＰは、図11の断面斜視図に示すものとほぼ同様の構成であるが、図15のＰＤＰの電極パターンを示す平面図のように、セル11、13中において一対の表示電極であるＸ電極22、Ｙ電極23を互いに平行かつ対向させて配設し、各セル11、13のほぼ中央に、セル11、13の各内部に収まるサイズの、電気的に絶縁された導電体材料からなる中間電極61を配設したことを特徴とする。
【００５０】
図16は、本ＰＤＰの断面図である。表示電極22、23は厚み約5μｍ×幅約20μｍに形成され、中間電極61は表示電極22、23の間のほぼ中央において、厚み（ｚ方向）約5μｍ×幅（ｙ方向）約20μｍ×長さ（ｘ方向）約20μｍの直方体状に形成されている。これにより本実施の形態では、中間電極61とＹ電極23との間隙621とＸ電極22と中間電極61との間隙622の和（10μｍ+10μｍ）を第一放電間隙62とし、一対の表示電極22、23同士の間を第二放電間隙（約40μｍ）63とするものである。なお中間電極61のフロントパネルガラス20に面した底面611は、中間電極61によって対向する表示電極22、23同士の放電間隙が遮断されないように、表示電極22、23の各上面221、231とほぼ同様の高さに設定されている。このような中間電極61は、表示電極22、23とほぼ同様に、スクリーン印刷法により作製することが可能である。
【００５１】
以上のような構成の本ＰＤＰによれば、放電期間において表示電極22、23に給電が開始され、パルスが印加されると、Ｘ電極22とＹ電極23が誘電体層24を介して中間電極69と対向する位置付近の静電容量が比較的増大するようになり、低い開始電圧値でも第一放電間隙62で放電が起こり易くなる。
このように開始放電が発生すると、次に第二放電間隙63で維持放電が発生する。このときは表示電極22、23の広い対向領域に亘って放電が行われるので、良好な規模の維持放電を行うことが可能となり、ＰＤＰの発光効率の向上に与することができる。
【００５２】
なお本実施の形態では、中間電極61の底面611の位置を表示電極22、23の各上面261、242の高さ位置と合わせるものとしたが、これは中間電極61によって第二放電間隙63が遮断されるのを防ぐためであって、例えば図17のＰＤＰの断面図のように、表示電極22、23より中間電極61の厚みを十分薄くして、第二放電間隙63が確保できればよい。
【００５３】
また第一放電間隙の設定に関しては、中間電極が一対の表示電極間のほぼ中央に配設されればよいが、あまり片方の表示電極に偏った位置に配設すると、放電開始電圧が上昇する危険があるため注意すべきである。
さらに中間電極の形状は、本実施の形態のように直方体に限定せず、例えば楕円体として、その長軸方向をｘ方向と平行に配設するようにしてもよい。
【００５４】
また中間電極のサイズ範囲としては、実施の形態のサイズに限定しないが、ｘ方向に隣接するセルとのクロストークを避けるために、ある程度隔壁30付近から離れることが可能なサイズが望ましい。
＜実施の形態5＞
図18は、実施の形態5にかかる表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【００５５】
本ＰＤＰの表示電極の構造と、その配設パターンの形状は、基本的には実施の形態2にかかる二段構造と同様であるが、表示電極の第一層を第二層に比べて高抵抗値を持つ材料で作製している点が異なる。これによって、開始放電以後は第一放電間隙での放電が維持放電に関与しにくくなるので、さらに放電効率を向上させることができる。詳しくは以下に説明する通りである。
【００５６】
一般にＰＤＰなどのガス放電パネルは、表示電極に対して充電と放電が一定時間毎に交互に繰り返されて駆動される。ガス放電パネルの負荷容量への充電または放電に要する各時間は、ガス放電パネルとその駆動回路の負荷容量によって多少変化するが、大体数十ｎSecから1μSecとされている。しかしながら表示電極に一定値以上の抵抗がある場合には、充電時間が長くなって放電開始までの時間がかかり、放電が維持される時間が短くなる。
【００５７】
図19と図20は、それぞれ電気抵抗が低い場合（約10Ω以下）と高い場合（約120Ω）について、電圧および電流の時間的変化を表したものである。この両図によれば、電気抵抗の高低に関わらず最初の放電が発生するまでの充電時間（期間1）では、電圧と電流の位相は大体一致するが、一旦誘電体層中の一対の表示電極の間で発生した放電が、放電空間における維持放電（ここでは空間放電と称す）にまで達すると、電気抵抗がある場合において急激に電流が流れにくくなる。これに伴い充電にかかる時間が長くなり、結果として空間放電の維持される時間が電気抵抗の低い場合に比べて短くなる。このことは図20で、空間放電を開始した後の期間（期間2）において、電圧波形と電流波形の位相が図19の期間2と比べてずれを生じ、ピーク数も減少していることから窺える。
【００５８】
ここにおいて、放電開始時にのみ積極的に放電させたい領域に抵抗値の高い材料、放電開始後に連続的に維持放電させたい領域に抵抗値の低い材料をそれぞれ用いれば、放電の種類によって放電領域を変えることが可能となる。本実施の形態は、このことを利用したものである。
本実施の形態の具体的な構成は以下の通りである。実施の形態2のように二段構造の表示電極22、23を作製するが、Ｘ電極22とＹ電極23の各第一層261、242をＣａ、Ｍｇを主としてなる酸化物導電体の高抵抗材料（約数十ｋΩ/□）で作製している。これにより、放電期間の初期においてのみ第一放電間隙64で開始放電を発生することが可能となる。また、放電を開始した後は、抵抗値の低い第二層222、232間の第二放電間隙65で積極的に行われ、良好な維持放電が行えるようになる。このように本実施の形態では、第二層222、232による第二放電間隙65での維持放電が、第一層261、241による第一放電間隙64での開始放電よりも格段に生じやすくなっている。
【００５９】
なお上記抵抗値は、上記酸化物導電体中に含まれる酸素量を変えることによって調整可能である。また上記以外の高抵抗材料としては、他にも厚さの薄いＩＴＯなどが考えられる。
さらに抵抗値としては、数百Ω/□以上で上記のような効果がある程度得られるが、数十ｋΩ/□の抵抗値とする方が明確な効果が得られるので望ましい。
【００６０】
なお本実施の形態のバリエーションとしては、例えば第一層に高抵抗値を持たせる代わりに、図21のＰＤＰ断面図のようにＹ電極23の第一層231と第二層232との間に抵抗243を設け、Ｙ電極23には第二層232側から通電するようにしてもよい。
さらに別のバリエーションとして、図22の表示電極の配設パターンを示す平面図には、前記実施の形態3における表示電極22、23周辺の構成を周到し、突起部260の底辺部分に抵抗262を挿設した様子を示している。本実施の形態5のバリエーションとしては、このように突起部を使用して第一および第二放電間隙を存在させてもよい。
【００６１】
＜ＰＤＰの放電間隙と放電ガス（封入ガス）組成の設定＞
本発明ではその特徴として、第一放電間隙と第二放電間隙を複数の表示電極の間に存在させるものである。ここでは前述した各実施の形態のＰＤＰの作製に先だって、これらの放電間隙の値を具体的に決定した方法について説明する。
i.放電間隙と放電ガス組成
開始放電と維持放電のそれぞれに適した複数の表示電極の放電間隙を考える場合、放電の特性が放電ガス（封入ガス）の組成に大きく左右されることも同時に考慮する必要がある。したがって、まずは放電ガスの成分をある程度絞り込むことが望ましい。その一例として、ここでは一般的なＮｅ-Ｘｅ系放電ガスを使用するものとし、このＮｅ-Ｘｅ系放電ガス中におけるＸｅの比率を放電間隙と平行して考えることにした。
【００６２】
放電ガスと放電間隙に関しては、一般に封入ガス圧Ｐ（Ｔｏｒｒ）と放電間隙ｄ（ｃｍ）によるＰｄ積として互いに関連づけることがなされている（「電子ディスプレイデバイス」、オーム社、昭和59年、Ｐ.113〜114参照）。よって、このＰｄ積を放電開始電圧Ｖｆおよび放電効率（相対値）の関数として、各関数が示す特性から適当なＰｄ積の取りうる範囲を選出し、これにより放電ガス中のＸｅ比率と放電間隙を決定するようにした。
【００６３】
なお、具体的なＰｄ積は以下の方法により測定して求めた。
ii.Ｐｄ積に対する放電開始電圧および放電効率の測定
真空チャンバ内に、本発明のＰＤＰと駆動方式が同様の交流面放電型ＰＤＰモデル（一対の表示電極の間の放電間隙が40μｍ、60μｍ、90μｍの3種のＰＤＰモデルを使用）を載置し、当該真空チャンバの外部からエージング回路（印加パルスを20ｋＨｚに設定）でＰＤＰモデルを駆動できるようにした。また、真空チャンバ外部からゲートバルブを介してガスボンベを接続し、放電ガスを適時所定の圧力で真空チャンバ内に封入出来るようにした。測定に際しては、放電ガス中に占めるＸｅの比率を2％、5％、10％の各場合に分けて、それぞれの場合でＰＤＰモデルを用意し、封入ガス圧Ｐを適宜変化させながら（すなわちＰｄ積を変化させながら）駆動した。なお、これらの実験装置の図示を省略する。
【００６４】
続いて、駆動開始後にＰＤＰモデルが発光し始めるタイミングを、輝度計を用いて検出し、そのときの印加電圧を放電開始電圧Ｖｆとして記録した。これにより放電開始電圧Ｖｆを縦軸、Ｐｄ積を横軸にした関数曲線を作製し、Ｐｄ積に対する放電開始電圧Ｖｆの関係を示す曲線として知られているパッシェン（Paschen）曲線を得た。
【００６５】
一方、放電維持電圧Ｖｍは、放電が維持放電に移行した状態（輝度計の測定値がほぼ一定になった状態）になった後、印加電圧値を徐々に下げて、発光が消えたときの印加電圧値として記録した。そして各放電維持電圧Ｖｍを用いて放電効率の相対値を算出し、当該放電効率の相対値を縦軸に、Ｐｄ積を横軸にして関数曲線を作製し、Ｐｄ積に対する放電効率の関係を示す曲線（放電効率曲線）を得た。なお各放電効率の値は、放電維持電圧Ｖｍ、放電電流Ｉ、輝度Ｌ、発光面積Ｓから次の数1により算出した。
[数1]    放電効率  η＝π・Ｓ・Ｌ/（Ｖｍ・Ｉ）
パッシェン曲線は下向きのカーブ、放電効率曲線は上向きのカーブとなり、両曲線はそれぞれのカーブの方向に放電開始電圧の最小値Ｖｆｍｉｎもしくは放電効率の最大値のピークを有する。このそれぞれのピークに対応するＰｄ積の値を中心に考えて、実際のＰＤＰの作製上で妥当と思われるＰｄ積の値の範囲を求める。したがって曲線中にピークがどれだけ明確に現れているかが、Ｐｄ積を決定する上で第一のポイントとなる。
【００６６】
なお、このような形状のパッシェン曲線および放電効率曲線は、Ｎｅ-Ｘｅ系放電ガス以外の放電ガスでも得ることができる。またＮｅ-Ｘｅ系ガスのような複数成分系の放電ガスにおいては、例えば放電ガス中のＸｅガスの分圧（ＰＸｅ）についても上記両曲線が得られることが分かっている。
iii.測定結果
上記のようにして得た各パッシェン曲線を図23、放電効率曲線を図24にそれぞれまとめた。各図中、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれＸｅ比率が5％、10％、2％の場合である。
【００６７】
Ｘｅ比率が5％の場合、そのパッシェン曲線図23（ａ）は、Ｖｆｍｉｎの付近のＰｄ積が1〜5（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲で比較的鋭いカーブを含み、明確なピークがさらに2〜4（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲に収まっているのが見られる。ピークに対応するＰｄ積の範囲はさらに、2.5〜3.5（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）まで絞り込むこともできる。しかも、ピークを含んだ付近の放電開始電圧Ｖｆが200Ｖより低い値となっている。このような曲線はＸｅ比率が10％の場合のパッシェン曲線図23（ｂ）でもほぼ同様にみられるが、この場合はピークに対応するＰｄ積の範囲がやや小さい値（1〜3Ｔｏｒｒ・ｃｍ程度）となる。
【００６８】
一方、Ｘｅ比率が5％の放電効率曲線図24（ａ）では、その曲線のピークを含む周辺に対応するＰｄ積が4〜12（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲となり、明確なピークはさらに6〜10（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲に収まっている。ピークにごく近い位置だけをみると、その範囲は7〜9（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲に収まる。また、曲線はＰｄ積が4〜12（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の広範囲に亘る段階から、ほぼ2.8以上の値となり、その最大値は3程度に達する。これに対してＸｅ比率が10％の場合、その放電効率曲線図24（ｂ）によれば、このときのピークはほぼ3〜10（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲で最大3.5程度に達する。このピークに対応するＰｄ積は、約4〜7（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲に収まっているとみられる。
【００６９】
このように、Ｘｅ比率が5％または10％の場合には、パッシェン曲線と放電効率曲線の各ピークが比較的明確に確認できるので、放電開始電圧Ｖｆと放電効率の両方に対して容易に各Ｐｄ積の範囲を選出することが可能となり、その具体的な値を決定できる。またこれらのＸｅ比率の場合には、パッシェン曲線と放電効率曲線の各ピークに対応したＰｄ積の値が、ともにそれほど大きくないため、例えば第一放電間隙と第二放電間隙をそれぞれ確保するためのスペースを少なく抑えることができる。
【００７０】
ところでＸｅ比率が2％の場合には、パッシェン曲線図23（ｃ）に示すように、ピークを含む周辺の曲線の形状がＰｄ積の4〜6（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）程度の範囲で緩やかにカーブを描く。このため放電開始電圧Ｖｆ対しては、明確なピークの位置が判断しにくい。また曲線が全体的に比較的大きな値のＰｄ積の範囲においてカーブするため、ピークに対応したＰｄ積の値も大きくなる。一方、放電効率曲線図24（ｃ）においても、ピーク位置に対応するＰｄ積の値が前記Ｘｅ比率が5％または10％の場合に比べて大きくなる（ほぼ12〜20（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）の範囲）。
【００７１】
このように放電開始電圧Ｖｆと放電効率のための各Ｐｄ積の値が大幅に増大すると、これに伴って放電ガス圧Ｐや放電間隙ｄもかなり大きく確保しなければならない。このことは微細なセルのＰＤＰを作製する上で障害となり、あまり望ましくないと思われる。
iｖ.放電間隙とＸｅ比率の決定
以上のように、良好に使用することが可能なＮｅ-Ｘｅ系放電ガスとしては、その組成におけるＸｅ比率が5％または10％の場合が適当であると考えられる。そこで、次にＸｅ比率が5％の場合と10％の場合のどちらかを選択することになるが、一般的に使用されているＮｅ-Ｘｅ系放電ガスでは、Ｘｅ比率が5％前後とされているものが多い。従ってこの場合、上記実施の形態のＰＤＰを作製する上では、Ｘｅ比率が5％の放電ガスが適当であると考えられる。
【００７２】
すなわち前述したように、放電開始電圧Ｖｆの最小値Ｖｆｍｉｎ（および第一放電間隙）に適したＰｄ積は、パッシェン曲線のピーク周辺に対応した範囲によれば、望ましい範囲の順序に以下のようになる。
Ｐｄ積；  2.5〜3.5、2〜4、1〜5（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）
このＰｄ積の代わりに、放電ガス中のＸｅガスの分圧ＰＸｅによるＰＸｅｄ積で表現すると、望ましい範囲の順序にほぼ次のようになる。なおここではＰ＝20ＰＸｅとする。
【００７３】
ＰＸｅｄ積；  0.12〜0.18、0.10〜0.20、0.05〜0.25（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）
また、放電効率（および第二放電間隙）に適したＰｄ積の範囲は、放電効率曲線のピーク周辺に対応した範囲によれば、望ましい範囲の順序に以下のようになる。
Ｐｄ積；7〜9、6〜10、4〜12（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）
このＰｄ積をＰＸｅｄ積で表現すると、望ましい範囲の順序にほぼ次のようになる。
【００７４】
ＰＸｅｄ積；0.35〜0.45、0.30〜0.50、0.20〜0.60（Ｔｏｒｒ・ｃｍ）
これらのＰｄ積の値の範囲を考慮した結果、本発明の実施の形態では、放電開始電圧に適したＰｄ積の値を4、放電効率に適したＰｄ積の値を8にそれぞれ設定するようにした。具体的には放電ガス圧Ｐを2000Ｔｏｒｒとし、これに対して第一放電間隙を20μｍ（20×10-４ｃｍ）、第二放電間隙を40μｍ（40×10-４ｃｍ）とした。
【００７５】
なお、複数成分系の放電ガスにおいてＸｅを含む場合には、前記両曲線がＮｅ-Ｘｅ系放電ガスと同じ傾向を示すことが別の実験から分かった。
【００７６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ＰＤＰをはじめとするガス放電パネルにおいて、表示電極における開始放電および維持放電のそれぞれに合わせて放電間隙を確保することにより、発光効率を向上させ、かつ良好な放電効率を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態1におけるＰＤＰの部分的な断面斜視図である。
【図２】実施の形態1における表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図３】実施の形態1のバリエーションにおける表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図４】実施の形態2におけるＰＤＰの部分的な断面斜視図である。
【図５】実施の形態2における表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図６】実施の形態2のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図７】実施の形態2のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図８】実施の形態2のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図９】実施の形態2のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図１０】実施の形態2のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図１１】実施の形態3におけるＰＤＰの部分的な断面斜視図である。
【図１２】実施の形態3における表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図１３】実施の形態3のバリエーションにおける表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図１４】実施の形態3のバリエーションにおける表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図１５】実施の形態4における表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図１６】実施の形態4における表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図１７】実施の形態4のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図１８】実施の形態5における表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図１９】表示電極の抵抗値が低い場合の印加電流と印加電圧の経時変化を示すグラフである。
【図２０】表示電極の抵抗値が高い場合の印加電流と印加電圧の経時変化を示すグラフである。
【図２１】実施の形態5のバリエーションにおける表示電極周辺のＰＤＰ断面図である。
【図２２】実施の形態5のバリエーションにおける表示電極の配設パターンを示す平面図である。
【図２３】Ｐｄ積に対する放電開始電圧の特性（パッシェン曲線）を示すグラフである。
図23の（ａ）は、放電ガス中のＸｅ比率が5％の場合のパッシェン曲線である。
図23の（ｂ）は、放電ガス中のＸｅ比率が10％の場合のパッシェン曲線である。
図23の（ｃ）は、放電ガス中のＸｅ比率が2％の場合のパッシェン曲線である。
【図２４】Ｐｄ積に対する放電効率の特性（放電効率曲線）を示すグラフである。
図24の（ａ）は、放電ガス中のＸｅ比率が5％の場合の放電効率曲線である。
図24の（ｂ）は、放電ガス中のＸｅ比率が10％の場合の放電効率曲線である。
図24の（ｃ）は、放電ガス中のＸｅ比率が2％の場合の放電効率曲線である。
【符号の説明】
10、11、12、13    セル
20    フロントパネル
22    表示電極（Ｘ電極）
23    表示電極（Ｙ電極）
24    誘電体層
28    アドレス電極
39、41、43、45、47、49、51、53、55、57、59、62、64、66、71    第一放電間隙
40、42、44、46、48、50、52、54、56、58、60、63、65、67、72    第二放電間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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