(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、電子部品が搭載される基板が固定される基板固定部の両側の基台上の部位に設けた２本の平行なガイドレールと、
このガイドレールに沿って往復動作する移動台と、
前記２本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に配設されたネジ軸と、
このネジ軸に螺合するとともに前記移動台に固定されたナットと、
前記ネジ軸又はナットを回転させて該ナットを移動台とともに前記ネジ軸に沿って直線動作させるためのモータとを有する送りネジ装置と、前記基板固定部に固定される基板に別部材を付加する付加装置とを備えた別部材実装機において、
前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記２本のガイドレール間の中央部側で前記移動台に連結されたことを特徴とする別部材実装機。
【請求項２】
前記ネジ軸を基台に対して軸芯廻りに回転可能に支持し、このネジ軸を前記モータに連結して該ネジ軸を回転駆動することを特徴とする請求項１に記載の別部材実装機。
【請求項３】
前記ネジ軸を基台に固定し、前記ナットを前記アームに対して回転可能で且つ軸方向に固定して支持し、該アームに前記モータを設けるとともに該モータを前記ナットに連結して該ナットを回転駆動することを特徴とする請求項１に記載の別部材実装機。
【請求項４】
前記ネジ軸と螺合するナットの軸方向の長さは、前記移動台の移動方向の幅より長いことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の別部材実装機。
【請求項５】
前記送りネジ装置において前記ネジ軸及びナットをＸ方向のネジ軸及びナットとし、前記付加装置は、前記移動台に設けられ前記Ｘ方向のネジ軸と直行するＹ方向のネジ軸と、この方向のネジ軸に螺合してネジ軸上で往復移動するナットと、このＹ方向のネジ軸のナットに支持させた作業ヘッドとから構成し、作業ヘッドを移動台に対して移動可能としたことを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の別部材実装機。
【請求項６】
前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路と、基板搬送路の基台上外方に部品供給路を備え、前記作業ヘッドは、前記部品供給部の部品を吸着して基板上に搬送し、その後吸着を解除して基板上に前記部品を装着する吸着ノズルを備えた表面実装機を構成することを特徴とする請求項５に記載の別部材実装機。
【請求項７】
前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路を備え、前記作業ヘッドは、基板上にペースト状別部材を塗布する塗布ノズルを備えたディスペンサを構成することを特徴とする請求項５に記載の別部材実装機。
【請求項８】
前記移動台に設けられたスキージを備え、前記基台上に配設した透し孔を設けたスクリーン上のペースト状別部材を、前記スキージを前記移動台と共に移動させて押し広げることで、前記スクリーンの直下に設けた前記基板固定部の基板上に透し孔を通過させてペースト状別部材を塗布するようにしたスクリーン印刷機を構成することを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の別部材実装機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ネジ軸とこれに螺合するナットからなる送りネジ装置を有する別部材実装機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置製造プロセスにおいて、基板上に接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を位置決めされた所定の半導体素子搭載位置に塗布するディスペンサや半導体素子等の電子部品を基板上に搭載する部品マウンタ及び基板上に回路パターン等を形成するためのスクリーン印刷機等の基板上に別部材を付加する別部材実装機が用いられる。
【０００３】
これらのディスペンサや部品マウンタ等の別部材実装機は、それぞれＸＹ方向に移動可能な作業ヘッドを備えている。ディスペンサの作業ヘッドは、接着剤塗布ノズルを有し、基板上の所定の位置に移動して半田ペースト等を塗布する。部品マウンタの作業ヘッドは、吸着ノズルを有し、部品を吸着して基板上に搬送して位置決めされた位置に部品を搭載する。一方、スクリーン印刷機の作業ヘッドは、Ｘ方向に移動可能なスキージを有し、スクリーン上を摺接させて半田ペーストあるいはレジスト等を掻き延ばしてその下側に配設した基板に半田を供給したりあるいは回路パターンを印刷形成する。
【０００４】
このような別部材実装機は、基台上にガイドレールを備え、このガイドレールに沿って例えばＸ方向に往復動作する移動台を設け、この移動台に例えば作業ヘッドをさらにＹ方向に移動可能に取付けたものである。
【０００５】
このような作業ヘッドの移動台を往復移動動作させるために、ネジ軸とこれに螺合するナットからなる送りネジ装置が用いられている。
【０００６】
図１１は、従来の別部材実装機に援用される送りネジ装置の構成を示す。（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。（Ａ）に示すように、基台１上に２本の平行なガイドレール２ａ，２ｂが設けられ、この一対のガイドレール２ａ，２ｂ上に移動台３が矢印Ａのように直線往復移動可能に装着される。（Ｂ）に示すように、移動台３の下面にスライダ１１が備わり、各スライダ１１の下端にガイドブロック１２が備わる。各ガイドブロック１２は、それぞれガイドレール２ａ，２ｂ上に跨り、ガイドレール２ａ，２ｂ上を摺動して移動台３をスライドさせる。
【０００７】
移動台３には作業ヘッド４が矢印Ｂのようにガイドレール２ａ，２ｂに対し直交する方向に移動可能に取付けられる。基台１上に２本の平行なコンベヤ５が備わり、各種処理を施すべき基板６を搬送する。
【０００８】
２本のガイドレール２ａ，２ｂのうち一方（図では２ａ）の側に偏倚してこのガイドレール２ａと平行なネジ軸７が配設される。このネジ軸７の端部にモータ８が結合され、ネジ軸７を回転駆動する。このネジ軸７にナット９が螺合する。ナット９は、これに隣接するスライダ１１に固定され、このスライダ１１を介して移動台３に連結固定される。
【０００９】
モータ８によりネジ軸７を回転させることにより、ナット９がこのネジ軸７に沿って直線運動する。モータ８の正逆回転により、ネジ軸７の回転方向を変化させることにより、ナット９の移動方向がこのネジ軸７上で反転し、これに伴って移動台３がガイドレール２ａ，２ｂに沿って矢印Ａのように往復移動する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の送りネジ装置では、ネジ軸７が移動台３の一方の端部側に偏倚して設けられ、このネジ軸７に螺合するナット９が、偏倚したネジ軸に近接した位置で移動台と連結される。このため、このナット９の位置がそのまま移動台３に対するネジ軸７による送り運動の作用点の位置となる。したがって、移動台３は、その長さ方向の中心（両ガイドレール２ａ，２ｂ間の中心）からずれた位置で往復移動動作の駆動力を受ける。
【００１１】
ここで、ネジ軸７からナット９を介して移動台３に作用する駆動力は、移動台３に作用する瞬間に、移動台３には、この駆動力と移動台３の重心に作用する慣性力の２つの力が作用する。この２つの力は偶力を発生する。この偶力により、移動台３のネジ軸７から遠い方の端部は、図１１の矢印Ｃに示すように往復移動方向に応じて揺動して振られる作用を受ける。このような状態で移動台３がガイドレール２ａ，２ｂに沿って移動すると、摩擦抵抗が大きくなり、円滑な摺動動作の妨げになるとともに、ガイドレール及びガイドブロックの摺接面が偏摩耗して位置決め精度の劣化の原因となる。特に、ネジ軸７から遠い図の右側のガイドレール２ｂ及びこれを挟むガイドブロック１２の側面に偶力による大きな力が作用し、スライド動作への抵抗になるとともに摩耗量が大きくなる。
【００１２】
さらに言い換えて説明すると、ガイドレールと移動台（ガイドブロック）との間のがた（隙間）は０にはできないため、前述の偶力により、移動台３が重心廻りに回動する。この回動した後においては（あるいはがたが全くない場合には直ちに）、移動台３には、駆動力、慣性力及び各ガイドレールからの反力が作用して釣り合う。この場合、反力は駆動力と逆方向の摩擦力のみでなく、こじれに対する抗力が加わったものとなる。
【００１３】
前述のように、ネジ軸の回転方向を変化させる度にナット移動方向が反転し、移動台が反復回動する。このときガイドレールと移動台との間に隙間がないとしてもこじれは生じるため、その抗力が反転変化する。このようなガイドレールとの摺接部でのこじれに対する抗力が原因でガイドレールの側面及びこれに摺接するガイドブロックに大きな偏摩耗が発生する。
【００１４】
この偏摩耗が発生すると、表面実装機では基板上所定位置に別部材である部品を吸着した吸着ノズルを移動しようとしても位置がずれて部品を正しい位置に装着できなかったりする。同様、ディスペンサにおいても基板上正しい位置に塗布ノズルを位置させることができず、基板上に正しくペースト状別部材を塗布することができなくなる。印刷機においては、スキージの基台に対する姿勢が狂うことになり、ペースト状別部材を押し広げることができない部分を作ってしまう。これらのように別部材実装機において、基板上に正しく別部材を付加できなくなってしまう。
【００１５】
本発明は上記従来技術を考慮したものであって、一対の平行なガイドレールに沿って移動する移動台に対する回転偶力を抑えて円滑な移動動作をさせるとともに偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防止し、これによる基板上に正しく別部材を付加可能な別部材実装機の提供を目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明では、基台と、電子部品が搭載される基板が固定される基板固定部の両側の基台上の部位に設けた２本の平行なガイドレールと、このガイドレールに沿って往復動作する移動台と、前記２本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に配設されたネジ軸と、このネジ軸に螺合するとともに前記移動台に固定されたナットと、前記ネジ軸又はナットを回転させて該ナットを移動台とともに前記ネジ軸に沿って直線動作させるためのモータとを有する送りネジ装置と、前記基板固定部に固定される基板に別部材を付加する付加装置とを備えた別部材実装機において、前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記２本のガイドレール間の中央部側で前記移動台に連結されたことを特徴とする別部材実装機を提供する。
【００１７】
この構成によれば、２本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に設けたネジ軸に対し、これに螺合するナットと移動台とをアームを介して連結し、その連結部を２本のガイドレール間の中心側に設けたため、ネジ軸からナットを介して移動台に作用する駆動力の作用点が移動台の中心に近くなり、ガイドレールとの摺接部分に作用する偶力が小さくなる。これにより、偶力の反作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆反転時の揺動が抑えられ、また正逆回転方向にかかわらず円滑な摺動動作が達成され、偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防止することができる。
【００１８】
すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され高い位置決め精度が維持される。
【００１９】
好ましい構成例では、前記ネジ軸を基台に対して軸芯廻りに回転可能に支持し、このネジ軸を前記モータに連結して該ネジ軸を回転駆動することを特徴としている。
【００２０】
この構成によれば、ネジ軸をその軸芯廻りにモータで回転駆動し、このネジ軸に螺合するナットを回転方向に固定することにより、このナットをネジ軸方向に移動させることができる。
【００２１】
別の好ましい構成例では、前記ネジ軸を基台に固定し、前記ナットを前記アームに対して回転可能で且つ軸方向に固定して支持し、該アームに前記モータを設けるとともに該モータを前記ナットに連結して該ナットを回転駆動することを特徴としている。
【００２２】
この構成によれば、モータをアームに搭載し、このアームにナットを回転可能に取り付けるとともに、ネジ軸を基台側に固定し、ナットをモータで回転駆動することにより、このナットをネジ軸に沿って移動させることができる。
【００２３】
さらに好ましい構成例では、前記ネジ軸と螺合するナットの軸方向の長さは、前記移動台の移動方向の幅より長いことを特徴としている。
【００２４】
この構成によれば、ナットの軸方向長さがこれに連結される移動台の幅より長いため、移動台がナットに対し堅固に結合されるとともに、ナットの往復移動反転時の揺動角度が小さくなって、ナットのがたつきが抑制され移動台が安定して支持され円滑な移動動作が達成される。
【００２５】
好ましい構成例では、前記送りネジ装置において前記ネジ軸及びナットをＸ方向のネジ軸及びナットとし、前記付加装置は、前記移動台に設けられ前記Ｘ方向のネジ軸と直行するＹ方向のネジ軸と、この方向のネジ軸に螺合してネジ軸上で往復移動するナットと、このＹ方向のネジ軸のナットに支持させた作業ヘッドとから構成し、作業ヘッドを移動台に対して移動可能としたことを特徴としている。
【００２６】
この構成によれば、Ｘ方向のネジ軸に平行なガイドレールに沿ってＸ方向に往復動作する移動台に対し、この移動台上でＹ方向のネジ軸に沿って作業ヘッドを移動させることにより、基台上で作業ヘッドを円滑に任意の位置に移動させることができる。
【００２７】
好ましい構成例では、前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路と、基板搬送路の基台上外方に部品供給路を備え、前記作業ヘッドは、前記部品供給部の部品を吸着して基板上に搬送し、その後吸着を解除して基板上に前記部品を装着する吸着ノズルを備えた表面実装機を構成することを特徴としている。
【００２８】
この構成によれば、部品吸着ノズルを円滑に高精度で基板上に位置合わせすることができ、特に、移動台反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に対する半導体素子の実装位置精度が向上する。
【００２９】
別の好ましい構成例では、前記基台上に基板固定部を有する基板搬送路を備え、前記作業ヘッドは、基板上にペースト状別部材を塗布する塗布ノズルを備えたディスペンサを構成することを特徴としている。
【００３０】
この構成によれば、塗布ノズルを円滑に高精度で基板上に位置合せすることができ、特に、移動台反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に対するペースト状別部材の塗布位置の精度が向上する。
【００３１】
別の好ましい構成例では、前記移動台に設けられたスキージを備え、前記基台上に配設した透し孔を設けたスクリーン上のペースト状別部材を、前記スキージを前記移動台と共に移動させて押し広げることで、前記スクリーンの直下に設けた前記基板固定部の基板上に透し孔を通過させてペースト状別部材を塗布するようにしたスクリーン印刷機を構成することを特徴としている。
【００３２】
この構成によれば、移動台に設けたスキージをスクリーン上で円滑に往復摺動動作させてレジストや半田ペースト等の印刷剤を安定して掻き広げることができ、正しく基板上に印刷することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の実施形態の基本構成図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
基台２１上に２本の平行なガイドレール２２ａ，２２ｂが設けられ、この一対のガイドレール２２ａ，２２ｂ上に移動台２３が矢印Ａのように直線往復移動可能に装着される。移動台２３には作業ヘッド２４が矢印Ｂのようにガイドレール２２ａ，２２ｂに対し直交する方向に移動可能に取付けられる。基台２１上に２本の平行なコンベヤ２５が備わり、各種処理を施すべき基板２６を搬送する。
【００３４】
なお、基板２６のコンベヤ２５は、ガイドレール２２ａ，２２ｂと直交する方向に配置することもできる。
【００３５】
２本のガイドレール２２ａ，２２ｂのうち一方（図では２２ａ）の側に偏倚してこのガイドレール２２ａと平行なネジ軸２７（ボールネジ）が配設される。このネジ軸２７の端部にモータ２８が結合され、ネジ軸２７を回転駆動する。このネジ軸２７にナット２９が螺合する。移動台２３は、２つのスライダ３１を介して各ガイドレール２２ａ，２２ｂ上に載置される。各スライダ３１の下端部にそれぞれガイドレール２２ａ，２２ｂを跨るガイドブロック３２が備わり、ガイドレール２２ａ，２２ｂ上をスライドする。
【００３６】
ナット２９は、アーム３３を介して移動台２３に連結される。このアーム３３は、ネジ軸２７より両ガイドレール２２ａ，２２ｂ間の中央部側で（好ましくは中央で）移動台２３の下面に連結固定される。図の例では、アーム３３は両ガイドレール２２ａ，２２ｂ間のほぼ中央で連結部３４を介してボルト（不図示）等により移動台２３の下面に連結固定される。
【００３７】
モータ２８によりネジ軸２７を回転させることにより、ナット２９がこのネジ軸２７に沿って直線運動する。モータ２８の正逆回転により、ネジ軸２７の回転方向を変化させることにより、ナット２９の移動方向がこのネジ軸２７上で反転し、これに伴って移動台２３がガイドレール２２ａ，２２ｂに沿って矢印Ａのように往復移動する。
【００３８】
本実施形態においては、ネジ軸２７上を移動するナット２９からアーム３３を介して移動台２３に対し送り駆動力が作用する。移動台２３に対するこの送り駆動力の作用位置は、アーム３３と移動台２３との連結部３４であり、作用点は両ガイドレール２２ａ，２２ｂ間のほぼ中央となって移動台２３の重心とほぼ一致する位置になる。
【００３９】
このように移動台２３の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレール２２ａ，２２ｂに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレール２２ａ，２２ｂとスライダ３１のガイドブロック３２との間の摺動面の偏摩耗が抑制され高い位置決め精度が維持される。
【００４０】
なお、ナット２９とは、アーム３３に設けたメネジ形成部分（ネジ軸２７に螺合する部分）を指して言う。したがって、アーム３３と別体で形成したものをアーム３３に固定してもよいし、アーム３３との一体部材にメネジを形成したものであってもよい。このナット２９の軸方向の長さ（メネジ部分の長さ）は、移動台２３を確実に保持するとともに安定して移動動作できるように、ガイドレール２２ａ，２２ｂ間の幅や移動台２３の移動方向の幅等を考慮して定める。好ましくは移動台２３の幅の約半分以上、さらに好ましくは移動台の幅以上の長さとする。
【００４１】
このようにナット２９の軸方向長さをこれに連結される移動台２３の幅より長くすることにより、移動台２３がナット２９に対し堅固に結合されるとともに、ナットの往復移動反転時の揺動角度が小さくなって、ナット２９や移動台２３のがたつきが抑制され、移動台２９が安定してガイドレール２２ａ，２２ｂに沿って往復移動する。
【００４２】
図２〜図５は、本発明の別部材実装機の一つである接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を基板に塗布するディスペンサを示す。図２は平面図、図３は図２のＡ−Ａ方向の正面図、図４は図２のＢ−Ｂ方向の側面図、図５はアームの断面図である。
【００４３】
図２に示すように、基台２１上に２本の平行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、これと平行にその一方２２ａの側に偏倚してボールネジからなるＸネジ軸３７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸモータ３８に連結され回転駆動される。Ｘネジ軸３７にナット２９が装着される。ナット２９は、これに固定された又はこれと一体のアーム３３を介して前述（図１）のように移動台２３のほぼ中央部に連結固定される。この例では、連結部３４で６本のボルト３９によりアーム３３が移動台２３のほぼ中央部に連結される。移動台２３は、スライダ３５及びその下端部のガイドブロック３６を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２２ｂ上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。
【００４４】
この移動台２３にＹ方向のボールネジからなるＹネジ軸４０が装着される。Ｙネジ軸４０の端部にＹモータ４５が連結される。このＹネジ軸４０にナット４１（図４参照）を介してヘッドユニット４２がＹ方向に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット４２は、位置決め用のカメラ４３と接着剤やクリーム半田等を基板２６に供給する２個のノズルヘッド４４とを備えている。
【００４５】
移動台２３の下方の基台２１上に２本の平行なコンベヤ２５が、この例ではＸ方向に配設される。このコンベヤ２５上に、接着剤を塗布すべき基板２６が搭載される。両コンベヤ２５間の間隔は基板２６に対応して変更可能である。
【００４６】
図３に示すように、ヘッドユニット４２は、Ｙネジ軸４０の回転により移動台２３のガイド４６に沿って往復移動する。各ノズルヘッド４４の下端には接着剤を吐出するノズル４７が基板２６に対向して備わる。基板２６を搬送する一方のコンベヤ２５は、ガイドブロック４８を介してガイドレール４９上をスライド可能であり、基板２６の大きさに応じて、両コンベヤ２５間の間隔を調整することができる。５０は、電源や制御ケーブルあるいは接着剤供給ホース（不図示）等を保持するケーブルダクトである。
【００４７】
図４に示すように、ヘッドユニット４２は、これと一体結合されたナット４１を介してＹネジ軸４０に装着され、移動台２３に対しＹ方向にスライド可能である。各ノズルヘッド４４は、Ｚモータ５１により矢印Ｄのように上下方向に往復移動して高さ調整可能である。移動台２３は、略三角形状のスライダ３５上に搭載され、スライダ３５の下端の２個のガイドブロック３６がガイドレール２２ａ，２２ｂ上をスライドしてＸ方向に往復移動する。
【００４８】
図５に示すように、アーム３３は、Ｘネジ軸３７に螺合するナット２９を一体に備えたＬ字断面形状であって、根元部３３ａが端部の連結部３４より薄くなるように段差が形成される。連結部３４には、６本のボルト３９（図２）が挿通するボルト取付孔５２が形成される。なお、ノズルヘッド４４は１個や３個以上でも良い。さらに、スライダ３５は三角形状以外の形状でもよい。なおさらに、Ｘネジ軸３７に螺合するナット２９の幅を移動台２３の幅より大きくしても良い。これによりより偏摩耗を減少することができる。
【００４９】
図６〜図８は、本発明の別の別部材実装機となる部品マウンタを示し、図６は平面図、図７は正面図、図８はヘッド部分の断面図である。ここで、図６は便宜的にコンベア２５を上下方向に図示したが、左方が部品マウンタの正面であり、部品マウンタを正面から見て右手方向、すなわち図７における右手方向は、図６においては下方方向となる。
【００５０】
図６に示すように、基台２１上に２本の平行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、これと平行にその一方２２ｂの側に偏倚してＸネジ軸３７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸモータ３８に連結され回転駆動される。３８ａはエンコーダである。Ｘネジ軸３７に、前述（図１）のようにアーム３３と一体化されたナット２９が装着される。ナット２９は、これに固定された又はこれと一体のアーム３３を介して、前述のように、６本のボルト３９により移動台２３のほぼ中央部に連結固定される。移動台２３は、ガイドブロック３６を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２２ｂ上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。
【００５１】
この移動台２３にＹ方向のＹネジ軸４０が装着される。Ｙネジ軸４０の端部にＹモータ４５が連結される。４５ａはエンコーダである。このＹネジ軸４０にナット４１（図８参照）を介してヘッドユニット５３がＹ方向に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット５３は、部品吸着用の複数のノズルヘッド５４を備えている。
【００５２】
移動台２３の下方の基台２１上に２本の平行なコンベヤ２５が、この例ではＹ方向に配設される。このコンベヤ２５上に、部品を実装すべき基板２６が搭載される。両コンベヤ２５間の間隔は基板２６に対応して変更可能である。
【００５３】
基板２６の両側に、多数の帯状テープ上に部品（不図示）を備えたテープフィーダ５５が配設される。このテープフィーダ５５上の部品がノズルヘッド５４で吸着され基板２６上の所定位置に搬送されて実装される。
【００５４】
図７に示すように、ヘッドユニット５３は、Ｙネジ軸４０の回転により移動台２３のガイド４６に沿って往復移動する。各ノズルヘッド５４の下端には部品を吸着して基板２６上に搬送する吸着ノズル５６が基板２６に対向して備わる。各ノズルヘッド５４は、真空ホース（不図示）を介して真空ポンプ等の負圧供給手段に連結される。ヘッドユニット５３上には、不図示の電源や制御ケーブルあるいは真空ホース等を保持するケーブルダクト５７が備わる。
【００５５】
図８に示すように、ヘッドユニット５３は、これと一体結合されたナット４１を介してＹネジ軸４０に装着され、移動台２３に対しＹ方向にスライド可能である。移動台２３の下面にアーム３３（図７）の連結部３４がボルト３９で固定される。各ノズルヘッド５４は不図示の昇降手段及び回転手段により、上下動作及び回転動作が可能である。
【００５６】
図９及び図１０は、本発明の別の別部材実装機となるスクリーン印刷機を示し、図９は平面図、図１０は側面図である。
【００５７】
図９に示すように、基台２１上に２本の平行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、これと平行にその一方２２ａの側に偏倚してＸネジ軸３７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸモータ３８に連結され回転駆動される。３８ａはエンコーダである。Ｘネジ軸３７に、前述（図１）のようにアーム３３と一体化されたナット２９が装着される。ナット２９は、このアーム３３の連結部３４を介して、移動台２３のほぼ中央部に連結固定される。移動台２３は、ガイドブロック（不図示）を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２２ｂ上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。
【００５８】
この移動台２３に、実質上その長さ方向（Ｙ方向）のほぼ全体に渡る印刷ヘッドユニット５８が備わる。この印刷ヘッドユニット５８は、移動台２３上に固定したＺモータ５９及び及びこれに連結された昇降機構６０によりユニット全体が昇降動作可能である。この印刷ヘッドユニット５８の両端にそれぞれ２個のスキージ駆動用のアクチュエータ６１が備わる。各アクチュエータ６１は、２個ずつ一対となって、それぞれＸ方向に並んだ２つのスキージ６２の一方を昇降動作させる。スキージ６２の下方の基台２１上に印刷用のスクリーン６３が取付けられる。
【００５９】
図１０に示すように、スクリーン６３上でＸ方向に往復動作するスキージ６２は、往復の移動方向に応じていずれか一方のみをスクリーン６３に摺接させて使用するように下端部が反対方向に傾斜している。スクリーン６３の下方の基台２１上にＸＹステージ６５が備わり、このＸＹステージ６５上に基板２６を支持する印刷テーブル６４が搭載される。
【００６０】
すなわち図９において、下部位置に不図示の基板搬入用コンベア、上部位置に不図示の基板搬出コンベアが設けられ、ＸＹステージが移動してＸＹステージ上の基板固定部を有する搬送路６４Ａと、基板搬入用コンベアを連結した状態で基板が基板搬入用コンベアから搬送路６４Ａ上に導かれて基板固定部で基板が固定保持され、その状態でＸＹステージが移動して、基板固定部がスクリーン６３下方位置とされ、基板固定部が上昇して基板がスクリーン６３直下となる。印刷後は基板固定部が下降し、ＸＹステージが移動してＸＹステージ上の搬送路６４Ａと、基板搬出用コンベアとを連結した状態で基板が基板搬出コンベアへ移動される。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、２本のガイドレール間の中央から一方のガイドレール側に偏倚した位置に設けたネジ軸に対し、これに螺合するナットと移動台とをアームを介して連結し、その連結部を２本のガイドレール間の中心側に設けたため、ネジ軸からナットを介して移動台に作用する駆動力の作用点が移動台の中心に近くなり、ガイドレールとの摺接部分に作用する偶力が小さくなる。これにより、偶力の反作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆反転時の揺動が抑えられ、また正逆回転方向にかかわらず円滑な摺動動作が達成され、偏摩耗を軽減して別部材の基板上への付加において位置決め精度の低下を防止することができる。
【００６２】
すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガイドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され別部材の基板上への付加において高い位置決め精度が維持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明実施形態の基本構成説明図。
【図２】  本発明の適用例の平面図。
【図３】  図２の適用例の正面図。
【図４】  図２の適用例の側面図。
【図５】  本発明に係るアームの断面図。
【図６】  本発明の別の適用例の平面図。
【図７】  図６の適用例の正面図。
【図８】  図６の適用例の要部断面図。
【図９】  本発明のさらに別の適用例の平面図。
【図１０】  図９の適用例の側面図。
【図１１】  従来の送りネジ装置の構成説明図。
【符号の説明】
２１：基台、２２ａ：ガイドレール、２２ｂ：ガイドレール、
２３：移動台、２４：作業ヘッド、２５：コンベヤ、２６：基板、
２７：ネジ軸、２８：モータ、２９：ナット、３１：スライダ、
３２：ガイドブロック、３３：アーム、３４：連結部、
３５：スライダ、３６：ガイドブロック、３７：ネジ軸、
３８：Ｘモータ、３９：ボルト、４０：Ｙネジ軸、
４１：ナット、４２：ユニット、４３：カメラ、４４：ノズルヘッド、
４５：Ｙモータ、４６：ガイド、４７：ノズル、４８：ガイドブロック、
４９：ガイドレール、５０：ケーブルダクト、５１：Ｚモータ、
５３：ヘッドユニット、５４：ノズルヘッド、５５：テープフィーダ、
５６：吸着ノズル、５７：ケーブルダクト、５８：印刷ヘッドユニット、
５９：Ｚモータ、６０：昇降機構、６１：アクチュエータ、
６２：スキージ、６３：スクリーン、６４：印刷テーブル、
６５：ＸＹステージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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