(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にフィルムが張付けられている基板を拘束可能な基板拘束装置と、前記基板拘束装置により拘束された基板表面の前記フィルムの端縁を押圧可能な少なくとも１個の押圧ローラと、この押圧ローラを、前記フィルム端縁に沿って、このフィルム端縁を押圧しつつフィルム幅方向に駆動可能な押圧ローラ駆動装置と、を有してなり、前記押圧ローラの駆動により、フィルム端縁を前記基板から浮かせて剥離開始部を形成するフィルム剥離装置において、
前記拘束装置は、前記基板における、少なくとも前記押圧ローラにより押圧される部位を、その押圧力に対抗して基板を裏面から支持する受け台を備え、この受け台は、少なくとも基板裏面に接触する硬質支持平面と、この硬質支持平面を、押圧ローラの反対側から前記押圧ローラの回転軸の傾きに対応して弾力的に傾斜可能に支持する弾性支持部と、を含んで構成されたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
請求項１において、前記受け台における前記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの表面に張付けられた金属薄板からなることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
請求項１において、前記受け台における前記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの表面に設けられた硬質樹脂層により構成されたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３において、前記基板拘束装置は、前記基板の裏面を負圧により吸着、保持する吸着盤とされ、前記受け台は、前記吸着盤の凹部に、前記硬質支持平面が、吸着盤の一般面と略面一になるように配置されたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項５】
請求項４において、前記受け台の外周面とこれに対向する前記凹部の内周面との間に、前記硬質支持平面の弾力的な傾斜を許容する隙間を設けたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記押圧ローラは、斜歯状のローレット山部を有するローレットローラとされ、且つ、その回転中心軸及びこの回転中心軸を支持する軸受の少なくとも一方に対して、一定範囲で軸方向移動自在とされたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記押圧ローラは、ローレットローラとされ、前記押圧ローラ駆動装置は、前記フィルム端縁の１回の剥離工程で、前記押圧ローラをフィルム幅方向に少なくとも１往復駆動させ、且つ、その往路と復路とでは、ローレットの山部によるフィルムの押跡がずれるように、往路の終端及び復路の始端の少なくとも一方で、押圧ローラをフィルムから離間するようにされたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記フィルム端縁の剥離開始点に向けて圧縮気体を吹き付けて、フィルム端縁をめくり上げる気体噴出ノズルを設けたことを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線盤用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ用基板等に例示される基板に張り付けられた保護フィルムを剥離する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記のようなプリント配線基板は、次のような工程により製造されている。
【０００３】
まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に感光性樹脂（ホトレジスト）層と、これを保護する透光性樹脂フィルム（保護フィルム）とからなる積層体をラミネーティングロールにより熱圧着する。次に配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを通して前記感光性樹脂層を所定時間露光する。
【０００４】
次いで、透光性樹脂フィルムを剥離した後、露光されたホトレジスト層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、所定の配線パターンを有するプリント配線基板が形成される。
【０００５】
通常、導電層付絶縁性基板の厚さは０．０６〜５ｍｍ、感光性樹脂層の厚さは５〜５０μｍ、透光性樹脂フィルムの厚さは１５〜８０μｍである。
【０００６】
前記プリント配線基板の製造工程において、前記保護フィルムを基板から自動的に剥離するフィルム剥離装置が種々提案されている。
【０００７】
このような、フィルム剥離装置では、基板からフィルムを自動的に剥離させる際に、まず、フィルム先端の、剥離を開始させる部分を上下斜めに押圧したり、ニードル状部材で引掛けて起こしたりしている。
【０００８】
例えば、特公平６−３５５０号公報に開示されるように、基板に張り付けられている感光性樹脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムの端部にバイブレータのロッドの振動を与えて叩くことにより、透光性樹脂フィルムの一部を感光性樹脂層から浮上させるものがある。又、例えば特開昭６２−８３９７４号公報に開示されるように、保護フィルム端部を基板と共に押圧ローラ（圧力車）により挟み込んだ状態で該押圧ローラをフィルム端縁に沿って走行させることにより、該フィルム端縁を浮き上がらせるようにしたものもある。
【０００９】
いずれの場合も、フィルム先端を浮上させた後は、圧縮空気等の気体を吹き付けて浮上した端縁からフィルムをめくり上げ、更には、めくり上がったフィルム端縁をローラやベルトによって挟み込んで基板を進行させつつ、フィルムを完全に剥離してライン外に搬出させるようにしている。
【００１０】
前記特開昭６２−８３９７４号のフィルム剥離方法及び装置は、押圧ローラがフィルム先端に沿ってその全幅範囲で横行するので、フィルム先端と基板との貼着を弛める処理速度が遅く、又押圧ローラの１回の横行によりフィルムの貼着を弛めなければならないので、押圧ローラによるフィルム押圧力が大きくなり、このため押圧ローラの駆動力を大きくし、更には装置を大きくしなければならないと共に、基板が損傷し易いという問題点がある。
【００１１】
更に又、フィルム先端との貼着を弛めた後に該フィルム先端の全幅範囲に亘ってエアジェットを吹き付けなければならないので、装置が大型化し、製造コストが増大すると共に、エア圧力を大きくしなければならず、更に狭いスペースには設置できないという問題点がある。
【００１２】
これに対して、例えば特開平７−１０１６２３号公報に開示されるように、押圧ローラを外周に凹凸のあるローレットローラとすると共に、このローレットローラによりフィルム先端の同一箇所を複数回繰り返し押圧することによって、押圧ローラの少ない移動量でもフィルム先端を基板から剥離開始することができるようにしたものがある。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、前記押圧ローラの回転中心軸が、押圧ローラ駆動装置の製造誤差、使用中の回転軸の変形等により、押圧ローラが基板表面と平行に接触しない場合は、ローレットローラによってもフィルム先端を基板から浮き上がらせることができなくなるという問題点があった。
【００１４】
この問題点は、特に、薄い基板（例えば、厚さ０．０６〜０．１ｍｍの導電層付絶縁性基板）上に、厚さ５〜５０μｍの感光性樹脂層とこれを保護する厚さ１５〜８０μｍの透光性樹脂フィルムとからなる積層体が貼着されているものについて、基板から透光性樹脂フィルムを剥離する場合に、顕著に現れ、不都合であった。
【００１５】
又、ローレットローラをフィルム幅方向に往復動させる場合、ローレットローラの山部によるフィルム先端上の押跡がローレットローラの往路及び復路で重なってしまうと、フィルム先端を確実に剥離できない場合があるという問題点があった。
【００１６】
この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、押圧ローラの回転中心軸が基板表面に対して傾いている場合でも、フィルム先端を確実に剥離させることができるようにしたフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【００１７】
又、ローレットローラからなる押圧ローラをフィルム幅方向に往復動させる際に、往路と復路におけるローレットの山部によるフィルム押跡が一致しないようにすることができるフィルム剥離装置を提供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、表面にフィルムが張付けられている基板を拘束可能な基板拘束装置と、前記基板拘束装置により拘束された基板表面の前記フィルムの端縁を押圧可能な少なくとも１個の押圧ローラと、この押圧ローラを、前記フィルム端縁に沿って、このフィルム端縁を押圧しつつフィルム幅方向に駆動可能な押圧ローラ駆動装置と、を有してなり、前記押圧ローラの駆動により、フィルム端縁を前記基板から浮かせて剥離開始部を形成するフィルム剥離装置において、前記拘束装置は、前記基板における、少なくとも前記押圧ローラにより押圧される部位を、その押圧力に対抗して基板を裏面から支持する受け台を備え、この受け台は、少なくとも基板裏面に接触する硬質支持平面と、この硬質支持平面を、押圧ローラの反対側から前記押圧ローラの回転軸の傾きに対応して弾力的に傾斜可能に支持する弾性支持部と、を含んで構成することにより、上記目的を達成するものである。
【００１９】
前記受け台における前記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの表面に張付けられた金属薄板からなるようにしてもよい。
【００２０】
又、前記受け台における前記弾性支持部は、前記基板拘束装置に取り付けられた弾性樹脂シートからなり、前記硬質支持平面は、前記弾性樹脂シートの表面に設けられた硬質樹脂層により構成してもよい。
【００２１】
更に又、前記基板拘束装置は、前記基板の裏面を負圧により吸着、保持する吸着盤とされ、前記受け台は、前記吸着盤の凹部に、前記硬質支持平面が、吸着盤の一般面と略面一になるように配置してもよい。
【００２２】
又、前記受け台の外周面とこれに対向する前記凹部の内周面との間に、前記硬質支持平面の弾力的な傾斜を許容する隙間を設けてもよい。
【００２３】
前記押圧ローラは、斜歯状のローレット山部を有するローレットローラとされ、且つ、その回転中心軸及びこの回転中心軸を支持する軸受の少なくとも一方に対して、一定範囲で軸方向移動自在としてもよい。
【００２４】
又、前記押圧ローラは、ローレットローラとされ、前記押圧ローラ駆動装置は、前記フィルム端縁の１回の剥離工程で、押圧ローラを、フィルム幅方向に少なくとも１往復駆動させ、且つ、その往路と復路とでは、ローレットの山部によるフィルムの押跡がずれるように、往路の終端及び復路の始端の少なくとも一方で、押圧ローラがフィルムから離間するようにしてもよい。
【００２５】
更に又、前記フィルム端縁の剥離開始点に向けて圧縮気体を吹き付けて、フィルム端縁をめくり上げる気体噴出ノズルを設けてもよい。
【００２６】
本発明によれば、押圧ローラが傾いていても、受け台における弾性支持部が弾力的に傾斜できるので、この弾性支持部に支持された硬質支持平面によって基板が押圧ローラの傾きに対応してバックアップされ、確実にフィルム剥離を開始させることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
図１に示されるように、本発明に係るフィルム剥離装置１０は、同図において左側の基板搬入側から送り込まれた、下面にフィルム２０が張り付けられた基板２２（図２参照）から、前記フィルム２０を剥離して、フィルム剥離後の基板２２を、図において右側の基板搬出側から搬出するようにしたものである。
【００２９】
前記フィルム剥離装置１０には、複数の搬送ローラ２４を水平に並列配置してなる基板搬送装置２６が設けられ、搬送ローラ２４の上端によって形成される基板搬送面２６Ａに沿って、図１において左端の基板搬入端から装入された基板２２全体がフィルム剥離装置１０内に入り込むまで、これを搬送できるようにされている。
【００３０】
前記基板搬送装置２６を構成する搬送ローラのうち、基板搬送方向最先端の２個の搬送ローラ２５は、シリンダ装置２８によって基板搬送面２６Ａを構成する搬送位置（図４の２点鎖線位置）と、図１において実線で示されるように、搬送位置から大きく下降した待機位置との間で上下動自在とされている。
【００３１】
又、前記基板搬送装置２６の下側位置には、各搬送ローラ２４間の隙間から上方に突出することによって、基板搬送面２６Ａ上の基板２２を押し上げる複数の押し上げ部材３０を備えた押し上げ装置３２が配置されている。
【００３２】
この押し上げ装置３２は、通常は、図１に示されるように、押し上げ部材３０の先端が基板搬送面２６Ａよりも下側にある待機位置とされ、シリンダ装置３４によって基板２２を押し上げる押し上げ位置に駆動され得るようになっている。図１の符号３４Ａは押し上げ部材３０を鉛直方向に案内するためのガイドシャフトを示す。
【００３３】
前記基板搬送装置２６の上方位置には、水平に往復動自在とされた吸着盤３６が配置されている。
【００３４】
この吸着盤３６は、図３に示されるように、その下側面に、負圧が印加される多数の吸引孔３６Ａが面方向に配置（図６参照）して設けられ、下方から押し上げられた基板２２の上面（裏面）をその全面に渡って吸着できるようにされている。
【００３５】
前記吸引孔３６Ａ内には、図４に拡大して示されるように、各々、吸着盤３６を貫通して吸着面と反対側から負圧パイプ３６Ｂが突出配置され、この負圧パイプ３６Ｂの先端には蛇腹状のゴム等からなる吸着ブーツ３６Ｃが取り付けられている。
【００３６】
この吸着ブーツ３６Ｃは、その外径が吸引孔３６Ａの内径よりもわずかに小さく、且つ、先端（図において下端）は、吸着盤３６の吸着面（図において下面）からわずかに（１ｍｍ程度）突出され、基板２２の上面に確実に接触して、これを吸着できるようにされている。負圧パイプ３６Ｂには負圧源（図示省略）から負圧が印加されるようになっている。
【００３７】
又、吸着盤３６は、水平且つ搬送方向に、前記基板搬送装置２６の上方領域から、その外側に渡って基板搬送方向に配置されたガイドバー３８に沿って、ガイドシュー３８Ａを介して摺動自在に案内され、且つ送りねじ機構４０によりガイドバー３８に沿って往復動され得るようになっている。
【００３８】
この送りねじ機構４０はモータ４０Ａ、このモータ４０Ａに駆動されるねじ送りねじ４０Ｂ、及び送りねじ４０Ｂに螺合してその回転により進退するナット部４０Ｃと、を有してなり、ナット部４０Ｃが吸着盤３６を支持している。送りねじ機構４０による吸着盤３６の移動範囲は、図１に示されるように、フィルム剥離装置１０内で前記基板搬送装置２６の真上となる位置、及び、このフィルム剥離装置１０外に吸着盤３６を搬出する位置との間とされている。
【００３９】
又、吸着盤３６の高さ、即ち基板搬送面２６Ａからの距離は、前記押し上げ部材３０によって基板２２が押し上げられたとき、該基板２２の上面が吸着盤３６の下側面とほぼ一致するように設定されている。
【００４０】
前記基板搬送装置２６の先端近傍には、基板２２が吸着盤３６に吸着された状態で、その搬送方向先端におけるフィルム２０の先端を剥離し、且つめくり下げる剥離開始装置４８が設けられている。
【００４１】
なお、フィルム２０は、図２に示されるように、基板２２の下面において、該基板２２の搬送方向先端よりもわずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付けられている。
【００４２】
前記剥離開始装置４８は、図５に拡大して示されるように、吸着盤３６に吸着されている基板２２のフィルム２０先端部に対して、昇降して離接自在、且つ基板（フィルム）幅方向（図１において紙面と垂直方向）にわずかに（約３０ｍｍ）往復動自在の押圧ローラ４８Ａを備え、この押圧ローラ４８Ａをフィルム２０の先端に押し付けつつ基板幅方向にわずかに往復させることによって、該フィルム２０先端を基板２２下面から浮き上がらせるようになっている。
【００４３】
又、剥離開始装置４８は、前記押圧ローラ４８Ａによって基板２２下面から浮き上がったフィルム２０の先端と基板２２の下面との間に圧縮空気等の圧縮気体を吹き付けて、該フィルム２０先端を剥離し、且つめくり下げるようにした気体噴出ノズル４８Ｂを備えている。
【００４４】
なお、前記押圧ローラ４８Ａは、リニアガイド４８Ｄにより、吸着盤３６に吸着されている状態の基板２２先端部の下側面に圧接する剥離位置と、図１に実線で示されるように、基板搬送面２６Ａから下方にある待機位置との間で昇降され得るようになっている。図１、３の符号４８Ｅは、押圧ローラ４８Ａを基板幅方向にわずかに往復動するためのスライドテーブルを示す。なお、押圧ローラ４８Ａを往復動させるためのエアシリンダは図示省略する。又、前記搬送ローラ２５、スライドテーブル４８Ｅ、及び、気体噴出ノズル４８Ｂは、エアシリンダ４８Ｃにより全体としてわずかに上下動され得るようになっている。
【００４５】
前記剥離開始装置４８における押圧ローラ４８Ａが吸着盤３６に吸着されている状態の基板２２の下側面に圧接する際に、この押圧ローラ４８Ａとの間で、基板２２及びフィルム２０の先端を吸着盤３６側から挟み込む位置に受け台１４が配置されている。
【００４６】
この受け台１４は、図６に示されるように、前記吸着盤３６の先端（図１、図５において右端）の基板２２及びフィルム２０の幅方向中央位置に形成された矩形の凹部３７内に配置された厚板状部材から構成されている。
【００４７】
更に詳細には、受け台１４は、図３に拡大して示されるように、凹部３７の上面に接着して取り付けられているゴムシート１６と、このゴムシート１６の下側面に張り付けられた金属薄板１８とから構成されている。
【００４８】
この場合、使用するゴムシートは、ＪＩＳによるゴム硬度が５０度のものである。なお、本発明の実施においてゴムシートを使用する場合、通常、ＪＩＳによるゴム硬度が５０〜７０度のものを使用するとよい。
【００４９】
この金属薄板１８は、例えばステンレススチール、銅等から構成され、その下側面が、吸着盤３６における他の一般下側面と面一となるようにされている。
【００５０】
又、前記受け台１４と、凹部３７の図３において左側端面を構成する内周面１４Ａとの間には、隙間１５が形成され、前記ゴムシート１６が、基板２２を介して押圧ローラ４８Ａから押圧されて変形したときに前記金属薄板１８と共に内周面１４Ａに干渉しないようにされている。
【００５１】
図６に示されるように、前記吸引孔３６Ａは、前記吸着盤３６の先端に沿って、他の部分よりも密に配置され、基板２２の先端を確実に吸着、保持できるようにされている。
【００５２】
前記押圧ローラ４８Ａは、図３に示されるように、斜歯状のローレット山部４９を備え、且つ、回転中心軸５０により回転自在に支持されている。この回転中心軸５０は、前記リニアガイド４８Ｄに支持された一対の軸受部５０Ａの間に取り付けられている。
【００５３】
又、前記押圧ローラ４８Ａの回転中心軸５０方向の厚さは、前記一対の軸受部５０Ａの対向する内側面間の距離よりも小さくされ、これによって、押圧ローラ４８Ａは回転中心軸５０に沿って一定範囲で移動できるようにされている。
【００５４】
ここで、前記押圧ローラ４８Ａの基板搬送方向の位置は、基板２２が基板搬送装置２６によって搬送され、且つ吸着盤３６によって吸着されたとき、前記フィルム２０の先端縁が、前記押圧ローラ４８Ａの軸方向中心位置にほぼ一致するように予めセットされている。
【００５５】
図５に拡大して示されるように、前記押し上げ装置３２における押し上げ部材３０と平行に、且つ押し上げ部材としての機能を有するガイド板５２が押し上げ部材３０と平行に、前記昇降自在の搬送ローラ２５に隣接する位置に鉛直方向に配置されている。
【００５６】
前記基板搬送装置２６及び押し上げ装置３２の押し上げ部材３０下方には、前記ガイド板５２からはみ出して垂下したフィルム２０の先端を捕捉して、これを下方に引張ることによって、フィルム２０を基板２２から剥離させるための引張剥離装置５４が設けられている。
【００５７】
この引張剥離装置５４は、前記押し上げ装置３２に、基端においてピン５６Ａにより揺動自在（揺動駆動源は図示省略）に枢支され、図１に示されるように、水平状態から、時計方向に約１００°の範囲で揺動自在とされた揺動アーム５６と、この揺動アーム５６の先端近傍に取り付けられ、前記ガイド板５２の下端からはみ出して垂下するフィルム２０の先端を捕捉且つ解放自在の捕捉装置５８とを備えて構成されている。
【００５８】
前記捕捉装置５８は、前記ガイド板５２の下端に連続して垂直に配置された受け板５８Ａと、自由端が該受け板５８Ａ下側位置及び外側位置に臨んで配置され、基端においてピン５８Ｂにより揺動自在に支持された捕捉レバー５８Ｃと、エアシリンダ５８Ｄとを備えて構成され、該エアシリンダ５８Ｄは、突出時に前記捕捉レバー５８Ｃを、その先端が、前記フィルム２０下端を受け板５８Ａとの間に挟み込むように、図４において反時計方向に揺動させ、且つ引き込み時には捕捉レバー５８Ｃを図４において時計方向に揺動して、フィルム２０の先端を解放させるようにされている。
【００５９】
図６に示されるように、前記基板搬送装置２６、シリンダ装置２８、押し上げ装置３２のシリンダ装置３４、モータ４０Ａ、吸着盤３６への負圧のオン・オフ、剥離開始装置４８及び引張剥離装置５４を制御する制御装置６０が設けられている。
【００６０】
ここで、前記制御装置６０は、押圧ローラ４８Ａがフィルム２０の端縁を下方から押圧しつつフィルム２０及び基板２２の幅方向に、前記受け台１４の幅方向範囲で往復動するようにされ、且つ、往路の移動が終了したとき押圧ローラ４８Ａがフィルム２０から離間し、更に僅かにフィルム幅方向に移動された後、再度フィルム２０を押圧し、復路の移動をするように、前記エアシリンダ４８Ｃ、スライドテーブル４８Ｅを制御するようにされている。
【００６１】
次に上記フィルム剥離装置１０により、基板２２からフィルム２０を剥離する工程について説明する。
【００６２】
まず、下面にフィルム２０が張られた基板２２を、基板搬送装置２６の入側（図１の左側）から水平に装入し、該基板搬送装置２６によって、基板２２がフィルム剥離装置１０内に入り込むまで搬送して、フィルム２０の先端が、前記剥離開始装置４８の押圧ローラ４８Ａの位置に到達したとき、搬送を停止する。
【００６３】
なお、このとき、前記昇降自在の搬送ローラ２５は、シリンダ装置３４によって、図５において２点鎖線で示されるように、基板搬送面２６Ａの位置まで押し上げておき、基板２２の先端の垂れ下がりを防止する。
【００６４】
次に、所定位置に停止した基板２２を、その真上位置に予めセットされている吸着盤３６に接触するまで前記押し上げ装置３２及び搬送ローラ２５によって上方に押し上げる。
【００６５】
吸着盤３６には、予め負圧を印加しておけば、基板２２が該吸着盤３６の下側面に接近したとき、その負圧によって基板２２を吸い上げて、吸着保持することにより、基板２０を吸着盤３６に過剰に押し付けて損傷することがない。
【００６６】
次に、前記押し上げ装置３２は、図１、図５に示される位置まで下降させる。搬送ローラ２５は、そのまま基板２２を押圧する状態としておく。次いで剥離開始装置４８の押圧ローラ４８Ａを基板２２下側面に張り付けられているフィルム２０に圧接する位置まで上昇させてから基板幅方向にこれを往復動させる。このとき、搬送ローラ２５によって押えられているので基板２２のがたつきがない。
【００６７】
従って、フィルム２０の先端は押圧ローラ４８Ａによって基板２２からわずかに剥がされ、ここに、気体噴出ノズル４８Ｂから圧縮空気が吹き付けられ、該圧縮空気がフィルム２０と基板２２との隙間に入り込むことによって、フィルム２０をめくり下げることになる。
【００６８】
このとき、前記押圧ローラ４８Ａの回転中心軸５０と基板２２が平行でない場合でも、基板２２及びフィルム２０を、押圧ローラ４８Ａの反対側から挟み込む受け台１４を構成するゴムシート１６が、図８（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、変形するので、基板２２は必ず押圧ローラ４８Ａと平行になる。
【００６９】
又、受け台１４の、基板２２の受け面である金属薄板１８は、全体として押圧ローラ４８Ａの傾きに対応して傾斜するが、ゴムシート１６と異なり、剛体の支持平面を形成するので、基板２２及びフィルム２０が押圧ローラ４８Ａに押圧されたとき、受け台１４方向に逃げてしまうことがない。従って、フィルム２０の端縁を、押圧ローラ４８Ａによって確実に押圧することができる。
【００７０】
又、押圧ローラ４８Ａは斜歯状のローレット山部４９を備えているので、フィルム２０の端縁は基板２２から剥離され易い。更に、押圧ローラ４８Ａは、前記斜歯状のローレット山部４９によって、フィルム２０の端縁を押圧する際に、回転中心軸５０の軸方向に移動する分力が発生する。この回転中心軸５０方向の分力は、押圧ローラ４８Ａの往復動の際における往路と復路では反対方向に作用する。又、このとき、押圧ローラ４８Ａと軸受部５０Ａとの間には、図３に示されるように、回転中心軸５０の軸方向の隙間が設けられているので、前記往復動の際に、押圧ローラ４８Ａは図９（Ａ）、（Ｂ）に示されるように左右方向（軸方向）に偏位した状態で往復動することになる。
【００７１】
従って、フィルム２０の端縁の位置が、回転中心軸５０の軸方向に若干のずれが生じても、押圧ローラ４８Ａの移動によって確実に剥離することができる。
【００７２】
又、同時に、押圧ローラ４８Ａは、往路と復路では、回転中心軸５０に沿う軸線方向の位置が異なるので、ローレット山部４９の先端によるフィルム２０上の押跡が往路と復路では、ローレット山部４９のピッチ方向にずれを生じる。
【００７３】
このため、ローレット山部４９が、押圧ローラ４８Ａの往復動の際に同一箇所でフィルム２０を押圧することがないので、より確実にフィルム２０の端縁を剥離することができる。
【００７４】
更に、前述のように、制御装置６０によって、押圧ローラ４８Ａが往路の移動終了後にフィルム２０から離間され、僅かにフィルム２０の幅方向に移動された後、再度フィルム２０に圧接して復路の移動をするようにされているので、押圧ローラ４８Ａが離間したときの移動量を、前記ローレット山部４９のピッチとずれるように設定すれば、ローレット山部４９の先端が、前記往復動の際にフィルム２０の同一位置を押圧することがない。
【００７５】
前記ローレット山部４９による押跡の、往路と復路とのピッチのずれは、押圧ローラ４８Ａの軸方向のずれ、及び、制御装置６０の制御による押圧ローラ４８Ａのフィルム幅方向のずれの一方又は両方により形成すればよい。
【００７６】
フィルム２０先端の剥離動作を終了した後は、前記押圧ローラ４８Ａ及び搬送ローラ２５は、基板搬送面２６Ａの下方に退避する。
【００７７】
気体噴出ノズル４８Ｂは、わずかに下降して、再度圧縮空気を噴出し、初回の噴出でめくり下げることができなかった部分を完全にめくり下げる。
【００７８】
基板２２から剥離されたフィルム２０の先端（下端）は、前記ガイド板５２に沿って垂直に垂れ下がる。このとき、ガイド板５２が金属製の場合、フィルム２０は、それ自体が有する静電気によって、ガイド板５２に密着する。
【００７９】
ガイド板５２の下端から垂れ下がったフィルム２０の先端は、ガイド板５２の下方に垂直に連続する受け板５８Ａにまで至る。
【００８０】
この状態で、予め図９に示されるように、時計方向に揺動されていた捕捉レバー５８Ｃをエアシリンダ５８Ｄによって反時計方向に揺動すると、該捕捉レバー５８Ｃと受け板５８Ａとの間で前記垂れ下がったフィルム２０の先端が捕捉（挾持）される。
【００８１】
次に、図１１に示されるように、前記フィルム２０の先端を捕捉したまま、前記揺動アーム５６を図１において時計方向に揺動させ、同時に、前記吸着盤３６を送りねじ機構４０によって、外方向（図１、１１において右方向）に水平に移動させる。
【００８２】
従って、吸着盤３６の移動速度及び揺動アーム５６によるフィルム２０の引張り速度を調整することによって、フィルム２０の剥離点がガイド板５２の上方位置となる状態で、フィルム２０を基板２２から円滑に剥離することができる。
【００８３】
このとき、吸着盤３６の移動速度を、引張剥離装置５４によるフィルム２０の下方への引張り速度よりもわずかに速くすれば、フィルム２０の剥離点がガイド板５２よりも外側にずれた位置となり、剥離中のフィルム２０がガイド板５２の上端にこすれたりすることがない。
【００８４】
このようにして、吸着盤３６を移動させつつフィルム２０を下方に引張って剥離し、剥離終了後は、該引張剥離装置５４の下方に、前記捕捉レバー５８Ｃを解放動作させることによって、フィルム２０を下方に落下配置することができる。
【００８５】
即ち、フィルム２０は、基板搬送装置２６と後続の装置側の端部の隙間を通って下方に引張られつつ剥離され、且つ、排出されることになる。
【００８６】
基板２２は、吸着盤３６によって更に移動され、外部の搬送装置等（図示省略）の真上位置にきたとき停止される。前記吸着盤３６は、搬送装置等が下方から接近したとき負圧が解除され、基板２２は吸着盤３６から搬送装置等に受け渡される。この受け渡し後に、前記吸着盤３６は図１に示されるようにフィルム剥離領域１２内に戻される。
【００８７】
なお、上記フィルム剥離装置は、基板２２の一方の面にのみフィルムが張付けられている場合のものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、表裏両面にフィルムが張付けられている基板からフィルムを剥離するフィルム剥離装置にも適用されるものである。
【００８８】
この場合、上記のように、基板２２から下側面に張付けられているフィルム２０を剥離した後、これを反転して同様のフィルム剥離装置により、他の面のフィルムを剥離してもよく、又、前記フィルム剥離装置１０と同様の剥離機構を基板搬送面の上側に設け、基板の下側面のフィルムを剥離した後、上側面のフィルムの剥離をするようにしてもよい。
【００８９】
又、上記実施の形態の例において、受け台１４は、ゴムシート１６及び金属薄板１８とから構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、基板２２を、押圧ローラ４８Ａと反対側から受け止める硬質支持平面が押圧ローラ４８Ａの傾きに応じて傾斜変形できるようにしたものであればよい。
【００９０】
従って、例えば図１２に示されるように、金属製ばね板を二重コ字状に折曲げた折曲げ板部材１７からなる受け台を形成し、これを前記凹部３７内に取付け、外側の一辺が前記金属薄板１８に代る硬質支持平面１９を構成するようにしてもよい。
【００９１】
又、ゴムシート１６はゴム以外の弾性樹脂でもよく、受け台１４全体を、ゴム等の弾性樹脂により形成し、硬質支持平面は、弾性樹脂の表面を硬化したもの、あるいは他の硬質樹脂を貼り合わせたもの等で構成してもよい。
【００９２】
又、上記フィルム剥離装置１０において、基板搬送装置２６上に搬入されてきた基板２２は、押し上げ装置３２によって吸着盤３６の位置まで押し上げられるが、本発明はこれに限定されるものでなく、吸着盤３６を、基板搬送装置２６及び基板２２を損傷することなく下降して吸着するようにしてもよい。
【００９３】
又、上記剥離開始装置４８は、押圧ローラによって基板２２から浮かせたフィルムの先端を剥離、且つめくり下げるものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば浮き上ったフィルム先端を粘着テープ、ローラ等により捕捉して剥離させるようにしたものであってもよい。
【００９４】
又、上記基板搬送装置の先端側の搬送ローラ２５は、シリンダ装置２８によって昇降自在とされているが、これは、基板２２が薄くて垂れ下がり易い場合に必要なものであり、基板２２が十分に厚くて先端が垂れ下がらないような場合は、搬送ローラ２５は不要である。
【００９５】
又、フィルム２０は、図２に示されるように基板２２の下面において、該基板２２の搬送方向先端よりもわずかに後方にずれた位置にその先端があるように張り付けられているがこれは基板２２の先端と一致させてもよい。
【００９６】
又、吸着盤３６は送りねじ機構４０によって移動されるがこれは位置決め精度が高いので利用されている。従って、位置決め精度が確保できれば、ロッドレスシリンダ等の他の移動手段であってもよい。特に、厚さの薄い基板（例えば、厚さ０．０６〜０．１ｍｍの基板）上に、厚さ５〜５０μｍの感光性樹脂層とこれを保護する厚さ１５〜８０μｍの透光性樹脂フィルムとからなる積層体が貼着されているものについて、基板から透光性樹脂フィルムを剥離する場合に、本発明を適用すると効果が特に顕著である。
【００９７】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、フィルム剥離装置の装置面積を大幅に縮小させることができると共に、短時間で効率良く、且つ、確実にフィルムを剥離させることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム剥離装置を示す断面図
【図２】剥離されるフィルムが張られている基板を示す拡大断面図
【図３】同装置の要部を拡大して示す断面図
【図４】同装置の吸着盤における吸引孔近傍を拡大して示す断面図
【図５】同フィルム剥離装置における引張剥離装置近傍を拡大して示す側面図
【図６】同装置における吸着盤先端近傍を示す下面図
【図７】同フィルム剥離装置の制御系を示すブロック図
【図８】同装置における受け台の作用を示す断面図
【図９】同装置における押圧ローラ駆動時の状態を示す断面図
【図１０】上記引張剥離装置によりフィルムを捕捉する過程を拡大して示す側面図
【図１１】同引張剥離装置により下側フィルムを引張る過程を拡大して示す側面図
【図１２】前記受け台の他の実施の形態を示す断面図
【符号の説明】
１０…フィルム剥離装置
１４…受け台
１５…隙間
１６…ゴムシート
１７…折曲げ板部材
１８…金属薄板
１９…硬質支持平面
２０…フィルム
２２…基板
２４、２５…搬送ローラ
２６…基板搬送装置
２６Ａ…基板搬送面
３６…吸着盤
３７…凹部
４８…剥離開始装置
４８Ａ…押圧ローラ
４８Ｂ…気体噴出ノズル
４９…ローレット山部
５０…回転中心軸
５０Ａ…軸受け部
５２…ガイド板
５４…引張剥離装置
６０…制御装置
【図１】
0003963553.tif 000002
【図２】
0003963553.tif 000003
【図３】
0003963553.tif 000004
【図４】
0003963553.tif 000005
【図５】
0003963553.tif 000006
【図６】
0003963553.tif 000007
【図７】
0003963553.tif 000008
【図８】
0003963553.tif 000009
【図９】
0003963553.tif 000010
【図１０】
0003963553.tif 000011
【図１１】
0003963553.tif 000012
【図１２】
0003963553.tif 000013