(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に出力ローターが設けられた回転軸と、
前記回転軸の一部に形成された螺旋着磁帯からなる雄磁気ネジと、
前記回転軸の軸方向に移動可能なスライダと、
前記スライダに形成された螺旋着磁帯からなる雌磁気ネジとを有し、
前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジとの軸方向長さが同じであり、
前記出力ローターが非出力状態において、前記雌磁気ネジは、前記雄磁気ネジとずれが無く重なる原点位置にあり、
前記出力ローターを回転させて前記スライダにより前記雌磁気ネジを前記回転軸の軸方向にずらし、前記雌磁気ネジが原点位置から前記回転軸の軸方向に移動することによって、前記雄ネジは回転し前記雌磁気ネジは前記回転軸の軸方向に移動して前記原点位置に戻ろうとし、前記出力ローターに回転戻りトルクを発生させることを特徴とするロータリテンショナ。
【請求項２】
請求項１に記載するロータリテンショナにおいて、
前記雄磁気ネジが、前記回転軸の前記出力ローター側あるいはその反対側のいずれかに片寄って配置されていることで、
前記スライダが、前記出力ローター側に当接した状態の前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジの重なり量と、
前記スライダが、その反対側に当接した状態の前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジの重なり量とに差が生じ、
右回転の脱調トルクあるいは左回転の脱調トルクの何れか一方が大きく設定されることを特徴するロータリテンショナ。
【請求項３】
請求項１に記載するロータリテンショナにおいて、
前記雄磁気ネジが、前記回転軸の中央部に配置されていることで、
前記スライダが、前記出力ローター側に当接した状態の前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジの重なり量と、
前記スライダが、その反対側に当接した状態の前記雄磁気ネジと前記雌磁気ネジの重なり量とが等しくなり、
右回転の脱調トルクと左回転の脱調トルクが等しく設定されることを特徴するロータリテンショナ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載するロータリテンショナにおいて、
前記雄磁気ネジおよび前記雌磁気ネジが、それぞれ前記回転軸の軸方向に複数備わっていることを特徴するロータリテンショナ。
【請求項５】
一端に出力ローターが設けられた回転軸と、
前記回転軸にはめ込まれた円弧状の第１永久磁石と、
前記第１永久磁石に対応して設けられた円弧状の第２永久磁石とを有し、
前記第１永久磁石の外周面と前記第２永久磁石の内周面とが互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、
前記出力ローターを回転させて前記第１永久磁石と前記第２永久磁石とを前記回転軸の回転方向にずらし、前記第１永久磁石と前記第２永久磁石とに吸引力を発生させることによって、前記出力ローターに回転トルクを発生させることを特徴とするロータリテンショナ。
【請求項６】
請求項５に記載するロータリテンショナにおいて、
前記第１永久磁石および前記第２永久磁石が、それぞれ円周方向に複数設けられていることを特徴するロータリテンショナ。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載するロータリテンショナにおいて、
前記第１永久磁石および前記第２永久磁石は、それぞれ前記回転軸の軸方向にＮ極とＳ極とが交互に着磁されたものであることを特徴するロータリテンショナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロータリテンショナに関する。さらに詳細には、常に一定の張力を発生するロータリテンショナに関するものである。例えば、ワイヤーボンダのワイヤー供給や電磁コイルの巻線材の供給に用いるのに適したテンショナである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば、ＩＣチップ内でウェハーとリードフレームを配線するワイヤーボンダにおいて、ワイヤーの張力を一定に保つためにテンショナが用いられている。このようなワイヤーボンダの概略構成を図１２に示す。ワイヤーボンダ１１０には、ワイヤーＷを供給するための供給リール１１と、ワイヤーＷの張りを検出するセンサＳと、ワイヤーＷに一定の張力を与えるエアー式テンショナ１１４とが備わっている。このエアー式テンショナ１１４では、シールパッキン等を備えず、供給されたエアーＡを大気開放することにより、一定の力がストロークに関係なく得られるようになっている。なお、エアー式テンショナ１１４が発生する力の大きさの設定は、供給するエアーＡの圧力および流量を調整することにより行うようになっている。
【０００３】
このワイヤーボンダ１１０では、作業ヘッド１２で断続的にワイヤーＷが消費されていく。そうすると、供給リード１１からワイヤーＷが繰り出される。具体的には、センサＳによりワイヤーＷが張ったことが検出されると、その検出信号に基づき、供給リード１１が定められた角度だけ回転することにより所定量のワイヤーＷが繰り出される。そして、供給リール１１からワイヤーＷが繰り出されると、作業ヘッド１２内にあるワイヤーＷに弛みが生じてしまう。ところが、エアー式テンショナ１１４により、ワイヤーＷには常に一定の張力が与えられているため、ワイヤーＷに弛みが生じないようになっている。
【０００４】
また、電磁コイルの製造においては、釣り竿のようなテンションロッドを用いて、コイルの巻線材に対し張力を与えている。電磁コイルで密な巻線を実現するためには、巻線材を一定力で張っておくことが必要であるからである。ところが、テンションロッドは長いので、おもりを用いてコイルの巻線材に対し張力を与えている場合もある（おもり式）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したエアー式テンショナ１１４には、次のような問題があった。すなわち、エアーＡを供給するための供給回路（バルブ、継手、ホース等）が必要であった。このため、装置の大型化を招き、大きな設置場所が必要となっていた。また、テンショナ１１４に供給するエアーＡを大気開放しているため、省エネの観点から好ましくないとともに、ゴミなどを巻き上げるおそれがあった。
【０００６】
一方、テンションロッドやおもり式のものでは、エアーを供給する必要がないので、上記したエアー式テンショナの問題はない。しかし、テンションロッドでは、ロッドのしなり具合により発生する張力が変化してしまう。すなわち、精密な張力制御ができず、発生する張力が強くなったり、弱くなったりする。このように、テンションロッドでは、常に一定の張力を発生させることができないという問題があった。
【０００７】
また、おもり式のものでは、線材が高速で供給されているときに、おもりが浮き上がる場合があった。線材側から力が加わると加速度がついてしまうためである。この場合、線材に張力がまったくかからない。このように、おもり式でも、常に一定の張力を発生させることができないという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、小型であって、常に一定の張力を発生させることができるロータリテンショナを提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するためになされた本発明に係るロータリテンショナは、一端に出力ローターが設けられた回転軸と、回転軸の一部に形成された螺旋着磁帯からなる雄磁気ネジと、回転軸の軸方向に移動可能なスライダと、スライダに形成された螺旋着磁帯からなる雌磁気ネジとを有し、雄磁気ネジと雌磁気ネジとの軸方向長さが同じであり、出力ローターを回転させてスライダにより雄磁気ネジと雌磁気ネジとを回転軸の軸方向にずらし、雄磁気ネジと雌磁気ネジとの間に吸引力を発生させることによって、出力ローターに回転戻りトルクを発生させることを特徴とするものである。
【００１０】
このロータリテンショナでは、出力ローターが回転させられると、出力ローターが一端に設けられた回転軸が回転する。そして、この回転軸には、螺旋着磁帯からなる雄磁気ネジが形成されている。また、この雄磁気ネジに対応して形成された螺旋着磁帯からなる雌磁気ネジが設けられた回転軸の軸方向に移動可能なスライダが備わっている。このため、回転軸が回転すると、雄磁気ネジが回転する。ここで、雄磁気ネジと雌磁気ネジとは、異極の磁極帯同士が吸引し合っている。従って、雌磁気ネジは、雄磁気ネジの回転に追従しようとする。しかし、雌磁気ネジは回転の制限されたスライダに設けられているため、スライダが回転軸の軸方向に動く。その結果、雄磁気ネジと雌磁気ネジとが回転軸の軸方向にずれる。このとき、雄磁気ネジと雌磁気ネジとの間に吸引力（磁力）が発生している。このため、雄磁気ネジと雌磁気ネジはともに元の位置に戻ろうとする。これにより、出力ローターに回転戻りトルク（テンション）を発生させることができる。そして、その吸引力が所定のストローク間ではほぼ一定である。よって、出力ローターの回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。
【００１１】
また、設定動作角度以上に出力ローターが回転した場合には、雄磁気ネジと雌磁気ネジと脱調するため、設備の破損などが発生しない。すなわち、このロータリテンショナは、リミッター機構を備えているのである。
【００１２】
また、本発明に係るロータリテンショナにおいては、雄磁気ネジおよび雌磁気ネジが、回転軸の出力ローター側あるいはその反対側のいずれかに片寄って配置されていることが望ましい。このように雄磁気ネジおよび雌磁気ネジを配置することにより、左回転用のロータリテンショナ、および右回転用のロータリテンショナを製作することができる。つまり、左右いずれかの回転方向における脱調トルクを意図的に大きくすることができる。
【００１３】
あるいは、本発明に係るロータリテンショナにおいては、雄磁気ネジおよび雌磁気ネジが、回転軸の中央部に配置されていてもよい。この場合には、左回転、右回転に関わらず、脱調トルクが一定になる。
【００１４】
さらに、本発明に係るロータリテンショナにおいては、雄磁気ネジおよび雌磁気ネジが、それぞれ回転軸の軸方向に複数備えることにより、発生する吸引力を大きくすることができ、出力ローターに強いトルクを発生させることができる。なお、磁石および着磁の増強を行うことによっても、出力ローターに強いトルクを発生させることができる。
【００１５】
本発明に係る別の形態のロータリテンショナは、回転軸にはめ込まれた円弧状の第１永久磁石と、第１永久磁石に対応して設けられた円弧状の第２永久磁石とを有し、第１永久磁石の外周面と第２永久磁石の内周面とが互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されており、出力ローターを回転させて第１永久磁石と第２永久磁石とを回転軸の回転方向にずらし、第１永久磁石と第２永久磁石とに吸引力を発生させることによって、出力ローターに回転トルクを発生させることを特徴とするものである。
【００１６】
このロータリテンショナでは、出力ローターが回転させられると、出力ローターが一端に設けられた回転軸が回転する。ここで、この回転軸には、円弧状の第１永久磁石がはめ込まれている。また、この第１永久磁石に対応して同一角度の円弧状の第２永久磁石が設けられている。そして、第１永久磁石の外周面と第２永久磁石の内周面とが互いに対面する部分が異なる磁極で着磁されている。このため、第１永久磁石と第２永久磁石との対向する磁極が異なって吸引し合っており、回転軸が回転すると、その方向に反して引き戻そうとする回転方向の吸引力が作用する。これにより、出力ローターに回転戻りトルクを発生させることができる。そして、その吸引力は、移動初期の僅かなストローク範囲では急上昇するものの、その後は広いストローク範囲でほぼ一定である。よって、出力ローターの回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。
【００１７】
また、設定動作角度以上に出力ローターが回転した場合には、第１永久磁石と第２永久磁石とが脱調するため、設備の破損などが発生しない。すなわち、このロータリテンショナは、リミッター機構を備えているのである。なお、磁石の形状（円弧を描く角度）を変更することにより、出力ローターの動作回転角度を変えることができる。
【００１８】
本発明に係る別の形態のロータリテンショナにおいては、第１永久磁石および前記第２永久磁石が、それぞれ円周方向に複数設けられていてもよい。第１永久磁石および第２永久磁石を複数設けることにより、吸引力を発生する箇所が増えるので、出力ローターが発生するトルクを大きくすることができる。
【００１９】
また、本発明に係る別の形態のロータリテンショナにおいては、第１永久磁石および第２永久磁石は、それぞれ回転軸の軸方向にＮ極とＳ極とが交互に着磁されたものであることがより望ましい。こうすることによっても、第１および第２永久磁石同士を引きつけようする吸引力を複数箇所で作用させることができるからである。すなわち、出力ローターが発生するトルクを任意に調整することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の画像形成装置を具体化した最も好適な実施の形態について図面に基づいて詳細に説明する。本実施の形態は、ＩＣチップ内でウェハーとリードフレームを配線するためのワイヤーボンダに用いるテンショナとして具体化したものである。
【００２１】
（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態について説明する。第１の実施の形態に係るロータリテンショナは、磁気ネジを利用したものである。そこで、このロータリテンショナを用いたワイヤーボンダの概略構成を図１に示す。このワイヤーボンダ１０には、図１に示すように、ワイヤーＷを供給する供給リール１１と、供給リール１１から供給されたワイヤーＷを作業ヘッド１２に弛みなく供給するためのプーリー１３およびロータリテンショナ１４とが備わっている。
【００２２】
ここで、本発明の特徴点であるロータリテンショナ１４について、図２および図３を用いて詳細に説明する。なお、図２はロータリテンショナ１４の非出力時における状態を示す。そして、図２（ａ）は半断面図であり、図２（ｂ）は側面図である。また、図３はロータリテンショナ１４の出力時における半断面図である。このロータリテンショナ１４には、図２に示すように、所定の肉厚を有する角形のボディ２０と、一端（図中では右端）に出力ローター２１が形成された回転軸２２と、ボディ２０の両端で回転軸２２を回転自在に支持するベアリング２３，２４と、それらのベアリング２３，２４の内側に設けられたクッション材２５，２６と、出力ローター２１の反対側に設けられたテールピース２７と、回転軸２２に沿ってその軸方向に移動可能なスライダ３０とが備わっている。
【００２３】
そして、回転軸２２には雄磁気ネジ３１が形成されている。また、スライダ３０には雌磁気ネジ３２が形成されている。ここで、磁気ネジについて図４を用いて簡単に説明する。なお、図４は磁気ネジを示す分解斜視図である。雄磁気ネジ３１は、回転軸２２に円筒磁石４１がはめ込まれたものである。そして、円筒磁石４１にＮ極着磁帯４２ＮとＳ極着磁帯４２Ｓとが螺旋状に着磁された着磁帯４２が形成されている。
【００２４】
一方、雌磁気ネジ３２は、円筒磁石４３がスライダ３０の貫通孔内にはめ込まれてたものである。そして、Ｎ極着磁帯４５ＮとＳ極着磁帯４５Ｓとが螺旋状に着磁された着磁帯４５が形成されている。なお、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とは、互いに同じ長さ寸法Ｌになっている。
【００２５】
次に、上記のような構成を有するロータリテンショナ１４の動作について説明する。非出力状態のロータリテンショナ１４は、図２に示すように、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とにずれがなく、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とは、異極の磁極帯同士（図４において、Ｎ極着磁帯４２ＮとＳ極着磁帯４５Ｓ、Ｓ極着磁帯４２ＳとＮ極着磁帯４５Ｎ）が吸引し合っている。
【００２６】
そして、ロータリテンショナ１４を出力状態にする、つまり出力ローター２１を所定角度だけ回転させると、回転軸２２が回転し、その回転軸２２の回転にしたがって雄磁気ネジ３１も回転する。このとき、雄磁気ネジ３１に対応して形成された雌磁気ネジ３２は、雄磁気ネジ３１の回転に追従しようとする。ところが、雌磁気ネジ３２は回転の制限されたスライダ３０に設けられているため、スライダ３０が回転軸２２の軸方向に動く。その結果、図３に示すように、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とが、回転軸２２の軸方向にずれる。このとき、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２との間に吸引力が発生している。このため、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とは、ともに元の位置（図２の状態）に戻ろうとする。これにより、出力ローター２１（回転軸２２）に、回転戻りトルクが発生する。そして、その吸引力が所定のストローク間ではほぼ一定である。よって、ロータリテンショナ１４は、出力ローター２１の回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。
【００２７】
なお、出力ローター２１の動作回転角度は、スライダ３０の移動量と磁気ネジリードとによって定まる。従って、これらを変更することによって、出力ローター２１の動作回転角度を調整することができる。
【００２８】
また、設定動作角度以上に出力ローター２１が回転した場合には、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とが脱調する。すなわち、ロータリテンショナ１４は、リミッター機構を備えている。ここで、回転軸２２における磁気ネジの形成位置によって、出力ローター２１の回転方向を定めることができる。言い換えると、左回転の脱調トルクあるいは右回転の脱調トルクのいずれか一方を大きくすることができる。
【００２９】
すなわち、図２に示すように、テールピース２７側に雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とを設けると、左回転の脱調トルクを右回転の脱調トルクよりも大きくすることができる。なぜなら、この場合に、回転軸２２を左回転させると、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とが重なり合った状態で、スライダ３０がクッション材２５に当接する。一方、回転軸２２を右回転させると、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２と重なりが少ない状態で、スライダ３０がクッション材２６に当接する。従って、回転軸２２を左回転させて雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とを脱調させるためのトルクが大きくなるのである。
【００３０】
同様の理由から、図５に示すように、出力ローター２１側に雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とを設けると、右回転の脱調トルクを左回転の脱調トルクよりも大きくすることができる。また、図６に示すように、回転軸２２の中央部に雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とを設けると、左右の回転における脱調トルクを等しくすることができる。ただしこの場合、同じ外形寸法であれば、一方向へのスライダの移動量が上記の２タイプ（図２と図５）に比べ少なくなる
【００３１】
また、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２との吸引力（磁力）の大きさは、円筒磁石４１，４３の材質を代えたり、着磁条件（例えば電圧など）を変えたり、図７に示すように磁気回路を複数備えることによって調整することができる。すなわち、図７に示すロータリテンショナには、２個の磁気回路、つまり２組の磁気ネジ４０Ａと４０Ｂとが組み込まれているから、図２に示すロータリテンショナ１４が発生するトルクの２倍の大きさのトルクを発生させることができる。磁気回路を２個にしたことによって、磁力線の数が２倍になったためである。ただしこの場合には、ロータリテンショナの全長が長くなってしまう。
【００３２】
そして、このようなロータリテンショナ１４を使用したワイヤーボンダ１０では、ワイヤーＷに常に一定のテンションをかけることができる。つまり、ワイヤーＷが弛まないように、出力ローター２１を所定角度だけ回転させた状態でロータリテンショナ１４を設置すれば、ワイヤーＷに常に一定のテンションをかけることができる。そして、ロータリテンショナ１４は、磁力によってワイヤーＷに一定の張力を与えている。このため、従来のワイヤーボンダに使用されているエアー式テンショナのように、外部からエアーを供給する必要がない。従って、エアーを供給するための供給回路（バルブ、継手、ホース等）が不要となる。このため、テンショナの小型化を図ることができ、また、省エネの観点からも好ましいとともに、ゴミなどを巻き上げるおそれもない。
【００３３】
以上、詳細に説明したように第１の実施の形態に係るロータリテンショナ１４によれば、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２との間に発生する吸引力（磁力）を利用することにより、出力ローター２１に回転戻りトルクを与えている。そして、その吸引力が所定のストローク間ではほぼ一定であるから、出力ローター２１の回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。また、設定動作角度以上に出力ローター２１が回転した場合には、雄磁気ネジ３１と雌磁気ネジ３２とが脱調するため、ロータリテンショナ１４が利用される設備の破損などを防止することができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
まず、第２の実施の形態について説明する。第２の実施の形態に係るロータリテンショナは、磁気バネを利用したものであり、その概略構成を図８に示す。図８（ａ）は動作回転角度が１８０度の場合における半断面図であり、図８（ｂ）はその側面図である。このロータリテンショナ５４には、図８に示すように、所定の肉厚を有する円筒形のボディ５０と、一端（図中では右端）に出力ローター５１が形成された回転軸５２とが備わっている。なお、回転軸５２は、ボディ５０の両端でベアリングにより回転自在に支持されている。
【００３５】
そして、回転軸５２には半円筒状の永久磁石６３が取り付けられている。一方、ボディ５０の内面には半円筒状の永久磁石６４が取り付けられている。これらの永久磁石６３，６４は、ともに回転軸５２の軸方向の長さが同じ寸法で形成されている。
【００３６】
ここで、永久磁石６３，６４について、図９を用いて説明する。図９（ａ）は図８（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、図９（ｂ）は永久磁石６４の斜視図であり、図９（ｃ）は永久磁石６３の斜視図である。永久磁石６３は、図９に示すように、半円筒状の磁石であり、軸方向に交互にＮ極着磁帯６３ＮとＳ極着磁帯６３Ｓとが形成されている。同様に、永久磁石６４も、半円筒状の磁石であって、軸方向に交互にＮ極着磁帯６４ＮとＳ極着磁帯６４Ｓとから構成されている。そして、永久磁石６３，６４は、ともに異なる磁極帯同士が対面するようになっている。
【００３７】
次に、上記のような構成を有するロータリテンショナ５４の動作について説明する。非出力状態のロータリテンショナ５４においては、図９（ａ）に示すように、永久磁石６３と６４とに回転方向におけるずれはなく、永久磁石６３と６４とは、異極の磁極帯同士（図９（ａ）において、Ｎ極着磁帯６４ＮとＳ極着磁帯６３Ｓ）が吸引し合っている。
【００３８】
そして、ロータリテンショナ５４を出力状態にする、つまり出力ローター５１を回転させると、回転軸５２が回転し、その回転軸５２の回転にしたがって永久磁石６３も回転する。このとき、永久磁石６３に対応してボディ５０の内周面に形成された永久磁石６４は、永久磁石６３の回転に追従しようとする。ところが、永久磁石６４は固定されている。そのため、永久磁石６３と６４とは、図１０に示すように、回転方向にずれる。
【００３９】
この状態では、図１０の矢印で示すように各極着磁帯の端部において発生する磁力線（実線）の作用によって、永久磁石６３と６４とは、ともに元の位置（図９（ａ）の状態）に戻ろうとする。そして、その吸引力は回転角度（永久磁石６３と６４との円周方向におけるずれ角度）が１０度以上でほぼ一定である。なぜなら、各極着磁帯の端部以外で発生する磁力線（破線）は、永久磁石６３，６４を回転させようとする回転方向の力に何ら影響を与えないからである。よって、ロータリテンショナ５４は、出力ローター５１の回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。
【００４０】
なお、出力ローター５１の動作回転角度は、永久磁石６３，６４の円周方向における配置角度によって定まる。従って、永久磁石６３，６４の円周方向における配置角度を変更することによって、出力ローター５１の動作回転角度を変更することができる。つまり、永久磁石６３，６４の円周方向における配置角度を大きくすれば、動作回転角度が大きくなる。ここで、本実施の形態に係るロータリテンショナ５４においては、半円筒状（配置角度１８０度）の永久磁石６３，６４を使用しているから、動作回転角度は１８０度となっている。なお、動作回転角度を超えて出力ローター５１を回転させると、永久磁石６３と６４とが脱調する。
【００４１】
また、出力ローター５１が発生するトルクを大きくするためには、図１１に示すように、永久磁石６３Ａ，６４Ａの円周方向へ配置角度を小さくして（図１１では９０度）、永久磁石６３Ａ，６４Ａを複数（図１１では２組）設ければよい。こうすることにより、永久磁石６３Ａ，６４Ａにおける各極着磁帯の端部において発生する磁力線の数を増やすことができるので、出力ローター５１が発生するトルクを大きくすることができる。具体的には、図１１に示す永久磁石６３Ａ，６４Ａ（２組）を使用すると、図９に示す永久磁石６３，６４を使用した場合と比べて２倍のトルクを発生させることができる。ただしこの場合には、動作回転角度は小さくなる。従って、必要な動作回転角度と発生トルクとが考慮されて、永久磁石の配置角度が決定されることになる。
【００４２】
このようなロータリテンショナ５４を前述したワイヤーボンダ１０に使用すれば、ワイヤーＷに常に一定のテンションをかけることができる。つまり、ワイヤーＷが弛まないように、出力ローター５１を所定角度（１０度以上９０度以下）だけ回転させた状態でロータリテンショナ５４を設置すれば、ワイヤーＷに常に一定のテンションをかけることができる。そして、ロータリテンショナ５４は、磁力によってワイヤーＷに一定の張力を与えている。このため、従来のワイヤーボンダに使用されているエアー式テンショナのように、外部からエアーを供給する必要がない。従って、エアーを供給するための供給回路（バルブ、継手、ホース等）が不要となる。このため、テンショナの小型化を図ることができ、また、省エネの観点からも好ましいとともに、ゴミなどを巻き上げるおそれもない。
【００４３】
以上、詳細に説明したように第２の実施の形態に係るロータリテンショナ５４によれば、永久磁石６３と６４との間に発生する吸引力（磁力）を利用することにより、出力ローター５１に回転戻りトルクを与えている。そして、その吸引力が所定回転度間ではほぼ一定であるから、出力ローター５１の回転角度が変化しても、一定の回転戻りトルクを発生させることができる。また、設定動作角度以上に出力ローター５１が回転した場合には、永久磁石６３と６４とが脱調するため、ロータリテンショナ５４が利用される設備の破損などを防止することができる。
【００４４】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態では、ワイヤーボンダに設けられるテンショナとして本発明に係るロータリテンショナを適用した例を例示した。しかし、本発明に係るロータリテンショナは、電磁コイルの製造時における巻線材の供給やコンデンサ、リチウム電池などにフィルムを巻く場合におけるフィルム供給などに代表されるように、線材やフィルム等に一定の張力を与える必要がある場合に幅広くテンショナとして使用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明に係るロータリテンショナによれば、出力ローターの回転角度が変化しても、一定のトルク（回転戻りトルク）を発生させることができる。そして、外部からエアー等を供給する必要がないので、装置自体の小型化を図ることができる。また、磁石を利用してトルクを発生させているので、出力ローターが設定動作角度以上に回転した場合は脱調するため、機構の破損などを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ロータリテンショナを利用したワイヤーボンディングの概略構成図である。
【図２】第１の実施の形態に係るロータリテンショナの非出力時における状態を示す図である。
【図３】第１の実施の形態に係るロータリテンショナの出力時における状態を示す図である。
【図４】雄磁気ネジおよび雌磁気ネジを示す分解斜視図である。
【図５】右回転における脱調トルクを大きくしたロータリテンショナの半断面図である。
【図６】左右の回転における脱調トルクを等しくしたロータリテンショナの半断面図である。
【図７】回転トルクを強めたロータリテンショナの半断面図である。
【図８】第２の実施の形態に係るロータリテンショナの概略構成図である。
【図９】永久磁石の構成を示す図である。
【図１０】第２の実施の形態に係るロータリテンショナの出力状態における永久磁石の位置関係を示す図である。
【図１１】永久磁石の別の構成を示す図である。
【図１２】従来のワイヤーボンダの概略構成図である。
【符号の説明】
１４    ロータリテンショナ
２１    出力ローター
２２    回転軸
３０    スライダ
３１    雄磁気ネジ
３２    雌磁気ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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