(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素に対して高ガス吸着効率を備える無蒸発ゲッタ合金であって、
ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された少なくとも１種の元素とからなり、
次の範囲内で変化しうる元素組成ｗｔ％で、
６０〜８５％のジルコニウム
２〜２０％のバナジウム
０.５〜１０％の鉄
２.５〜３０％のマンガン、及び
１〜６％のイットリウム、ランタン、希土類元素またはそれらの混合物、
からなる無蒸発ゲッタ合金。
【請求項２】
７０％Ｚｒ−１５％Ｖ−３．３％Ｆｅ−８．７％Ｍｎ−３％ミッシュメタルの組成からなる請求項１記載の合金。
【請求項３】
６９％Ｚｒ−２．６％Ｖ−０．６％Ｆｅ−２４．８％Ｍｎ−３％ミッシュメタルの組成からなる請求項１記載の合金。
【請求項４】
請求項１の合金を粉末形状で含むゲッタデバイス。
【請求項５】
前記ゲッタ合金の粉末だけで作られたペレットで形成された請求項４記載のデバイス（１０）。
【請求項６】
ゲッタ合金の粉末（２３）が備えられた金属支持体（２２）から形成されたバンド（２１）を、長さ方向に平行な線に沿って切断して得られた請求項４記載のデバイス（２０）。
【請求項７】
上方に開口した金属容器（３１）内をゲッタ合金（３２）の粉末で形成する請求項４記載のデバイス（３０）。
【請求項８】
多孔質隔壁（４３）によって閉ざされた上側開口を有する金属容器（４１）内をゲッタ合金（４２）の粉末で形成する請求項４記載のデバイス（４０）。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、無蒸発ゲッタ合金に関する。
【０００２】
具体的には、本発明は、特に窒素ガスの吸着に高効率を備える無蒸発ゲッタ合金に関する。
【０００３】
無蒸発ゲッタ合金は、ＮＥＧ合金としても呼ばれ、水素ガスを可逆的に吸着することができ、且つ酸素、水、酸化物、及びある種の合金の場合は窒素を非可逆的に吸着することができる。
【０００４】
先ずこれらの合金の使用には真空に保持することである。真空維持はほとんどの種類の適用において必要となり、例えば、真空維持は、Ｘ線発生管における粒子加速器、電界放射型の平坦表示装置、及び熱ビン（熱）のような断熱排気した内部空間のジュアー（Dewars）、または油採取及び輸送用の配管、において要求される。
【０００５】
ＮＥＧ合金は、上記のガスが別のガス特に希ガスの中に微量に含まれるときは、上記のガスを除去するために使用することも可能である。例えばランプにおいての使用であり、特に、数十ミリバールの圧力で希ガスを充填した蛍光灯であり、このなかではＮＥＧ合金は、微量の酸素、水、水素及びその他のガスを除去する目的を有する。すなわち、ランプが機能するために適切な雰囲気を維持することである。上記の微量ガスを別のガスから除去するもう一つの目的は、不活性ガスの精製であり、特に、超小型電子技術工業における適用である。
【０００６】
一般的に、これらの合金は、ＺＲ−Ａｌ合金を開示する幾つかの米国特許第３，２０３，９０１号の主題であり、特にこの合金は、ｗｔ％組成で８４％Ｚｒ−１６％Ａｌを含み、名称Ｓｔ１０１のもとで出願人により製造販売されている。米国特許第４，０７１，３３５号は、Ｚｒ−Ｎｉ合金を開示し、特にこの合金は、ｗｔ％組成で７５．７％Ｚｒ−２４．３％Ｎｉを含み、名称Ｓｔ１９９のもとで出願人により製造販売されている。米国特許第４，３０６，８８７号は、Ｚｒ−Ｆｅ合金を開示し、特にこの合金は、ｗｔ％組成で７６．６％Ｚｒ−２３．４％Ｆｅを含み、名称Ｓｔ１９８のもとで出願人により製造販売されている。米国特許第４，３１２，６６９号は、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金を開示し、特にこの合金は、ｗｔ％組成で７０％Ｚｒ−２４．６Ｖ−５．４％Ｆｅを含み、名称Ｓｔ７０７のもとで出願人により製造販売されている。米国特許第４,６６８,４２４号はジルコニウム、ニッケル、ミッシュメタル合金を開示し、１種またはそれ以上の遷移金属を任意元素として含む。米国特許第４，８３９，０８５号は、Ｚｒ−Ｖ−Ｅ合金を開示し、Ｅは鉄、ニッケル、マンガン及びアルミニウム、またはそれらの混合物から選択された合金である。米国特許第５，１８０，５６８号は、金属間化合物Ｚｒ1Ｍ’1Ｍ ”1を開示し、Ｍ’およびＭ”は類似するかまたは相違し、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ及びＮｉから選択され、特に化合物Ｚｒ1Ｍ’1Ｆｅ”1であり、名称Ｓｔ９０９のもとで出願人により製造販売されている。米国特許第５，９６１，７５０号は、Ｚｒ−Ｃｏ−Ａ合金を開示し、Ａはイットリウム、ランタン、希土類元素、またはそれらの混合物から選択された合金であり、特にこの合金は、ｗｔ％組成で８０．８％Ｚｒ−１４．４Ｃｏ−５％Ａを含み、名称Ｓｔ７８７のもとで出願人により製造販売されている。最後に、ガス精製に使用するためのＺｒ及びＶを基にするゲッタ合金は、日本パイオニックス社の名前で公開された種々の明細書に開示され、それらのうちの例としては特開平５−４８０９号、特開平６−１３５７０７号及び特開平７−２４２４０１号である。
【０００７】
ＮＥＧ合金は、それらの組成に従って種々の特性を備える。例えば、前述したなかで、合金Ｓｔ１０１は、水素吸着が関係する限りでは最も優れたものであるが、作動するためには比較的高温度での、少なくとも７００℃での活性化処理を必要とする。合金Ｓｔ１９８は、貧窒素吸着特性であり、このために、このガスの精製のために使用される。米国特許第５，１８０，５６８号に開示される化合物は水素を吸着しない。これらの反応性相違の結果として、使用合金の選択は、具体的に予定する適用に依存する。具体的には、これらのなかで、米国特許第４，３１２，６６９号に開示される名称Ｓｔ７０７が、その良好な吸着量のおかげで、そしてこのＮＥＧ合金に必要な比較的低い活性化温度のために、最も広く使用されていると言っても良い。
【０００８】
雰囲気ガスの除去は、幾つかの適用においては重要である。すなわち、例えば、熱を遮断するものの場合、その製造の際に、排気した空間に残留するガスは、除去する必要がある。実際問題としては、製造価格を適切な範囲に維持するために、それらの封止前に行うこの空間の排気は、密封した後に一般的に中断され、この空間内の残留圧力が、限定はされるが一般的に残留する。雰囲気ガスの吸着は、定義「フライホィール」でもって既知である慣性エネルギを蓄積する手段の最近研究された適用においても要求され、フライホィールは排気された容器内においては高速度で高質量の対象物の回転に基本に作用し、容器内に存在するガスの摩擦によるエネルギ損失から回転質量を守るために、この適用において真空が必要である。これらの適用において、ＮＥＧ合金の選択に対して特に重要なことは、窒素に対する挙動であり、このガスは雰囲気中の約８０％の組成物を形成し、且つ雰囲気ガス（希ガスを除いて）中で、このＮＥＧによって取り除くことが最も困難であるためである。
【０００９】
最も高い効率で不必要なガスの除去が要求される最近の工業的適用は、半導体工業のガス精製である。実際の課題としては、工程ガス中の不純物が、固体デバイスを形成するためのレーザと合体することが知られており、すなわち、半導体デバイス内に電気的欠陥を生じ、そのために製品は廃棄される。半導体工業において目下要求される純度は、ｐｐｔ（元素または分子が１０-12）のオーダである。したがって、非常に高い不純物吸着効率を有するＮＥＧ合金の入手できることが必要となる。上記のように、工程ガス中の通常不純物に相当するガスのなかで、窒素は、ＮＥＧ合金から除去することが最も困難である。
【００１０】
したがって、本発明の一つの目的は、非常に高いガス吸着効率、特に窒素に対して有する無蒸発ゲッタ合金を提供することである。
【００１１】
この目的は、本願発明にしたがう無蒸発ゲッタ合金によって達成され、無蒸発ゲッタ合金は、ジルコニウムと、バナジウムと、鉄と、マンガンと、イットリウムとランタンと希土類元素との中から選択された少なく１種の元素とを含み、次の範囲内で変化しうる元素組成ｗｔ％で（後述においては、特別に記載しない限り、全てのパーセント及び比率は重量で示す）、
６０〜８５％のジルコニウム
２〜２０％のバナジウム
０.５〜１０％の鉄
２.５〜３０％のマンガン、及び
１〜６％のイットリウム、ランタン、希土類元素またはイットリウム、ランタン、希土類元素の混合物と、を含む。
【００１２】
図面を参照して次に本発明を説明する。
【００１３】
本発明の合金は、バナジウムと鉄との含有量が低くて、この含有量の低いバナジウムと鉄とは、イットリウムとランタンと希土類元素との中の１種の元素と、及びマンガンとによって置き換えられるため、米国特許第４,３１２,６６９号に記載の合金とは相違する。米国特許第４,６６８,４２４号の合金は、これらの合金はバナジウムとマンガンとを含まず、代わりに２０〜４５wt％の量のニッケルを存在させる必要があるために、本願合金と相違いする。米国特許第４,８３９,０８５号の合金は、これらの合金はイットリウム、ランタンまたは希土類元素を必要としなくて、一般的に、本発明の合金に関して述べると、多量のバナジウムと少量の鉄とマンガンとを含有する。米国特許第５,１８０,５６８号の化合物は、３元金属間化合物Ｚｒ1Ｍ’１Ｍ”1であり、且つこれらの化合物はバナジウム、ランタン及び希土類元素を含まない。米国特許第５,９６１,７５０号の合金はコバルトの存在を必要とするが、バナジウム、鉄及びマンガンの存在を必要としない。上記及び次に広範囲にわたって説明するように、化合物中のこれらの相違がガス吸着における注目すべき相違を生じ、窒素に関する限りにおいては、特に相違を生じる。
【００１４】
６０％より少ないジルコニウム含有量で持って、本発明の合金のガス吸着性能は減少するのに対して、８５％より高いこの元素の含有量はあまりにも軟らかな合金となり、ゲッタ装置の製品に加工することが困難である。記載したパーセントから外れる合金化合物含有量では、高バナジウム含有量の場合は窒素と、高い鉄またはマンガンの含有量の場合は水素と、のガス吸着特性の低下を意味する。さらに、２％未満のバナジウムを含有する合金は、あまりにも発火性があり、そのために製造すること及び取り扱いに対して危険であることが判明した。最後に、６％より高いパーセントのイットリウム、ランタン、希土類元素またはそれらの混合物は合金の吸着性を改良せず、それらの使用前の貯蔵問題に起因する大気中でそれらが不安定性になることが生じる。特に、本発明の利便性は、後述する元素の代わりに、ミッシュメタル（以後、単にＭＭ記載する）を利用することである。多くの市販混合物はこの名称と同一であり、セリウム、ランタン及びネオジウム、及び少量の希土類元素を含み、純金属に比べ廉価である。ミッシュメタルの正確な組成は上記元素は同様な反応性を有するので重要ではなく、入手可能であるミッシュメタルの化学的挙動は、たとえ１成分が変化しても実質的に一定であるためであり、この組成物の正確な組成が本発明の合金の作用特性に影響を及ぼさないためである。
【００１５】
記載された範囲内では、
６５％〜７５％、及びさらに好ましくは約６７〜７０％の間で変化するジルコニウム、
２.５〜１５％のバナジウム、
５〜２５％のマンガン、及び
１：４〜１：５の間からなる鉄／バナジウムの比率、
の含有量を含む合金が好ましい。
【００１６】
本発明の中で特に好ましい合金は、７０％Ｚｒ−１５％Ｖ−３.３％Ｆｅ−８.７％Ｍｎ−３％ＭＭの組成の合金、及び６９％Ｚｒ−２．６％Ｖ−０．６％Ｆｅ−２４．８％Ｍｎ−３％ＭＭの組成の合金である。
【００１７】
本発明の合金は、最終の所望組成に相当する比率にした構成材料金属の小片または粉末から開始し、オーブン内の溶融によって準備される。不活性ガス雰囲気のもとでのアークオーブン中の溶融技術は、例えば、圧力３００ミリバールのアルゴンのもと、或いは誘導オーブン内において真空または不活性ガスのもとが好ましい。いずれにしても、合金準備のために、冶金工業界で通常である別の技術の使用が可能である。
【００１８】
特別な適用では、本発明の合金は、ゲッタ材料のみをペレットの形状で、または支持体の上または容器内で使用される。いずれの場合においても、合金は、一般的には２５０μｍより小さく、好ましくは１２５〜４０μｍの粒子径を有する粉末の使用が好ましい。大きな粒子径では、この材料の比表面積（重量あたりの表面積）の過度の減少が生じ、一方４０μ以下の粒子径の値は、種々の適用に対して使用され且つ要求されるといえ、ゲッタデバイスの製造工程の際にいくつかの問題が生じる（細かい粉末は自動手段で動かすことがさらに困難であり、大きな粒子径の粉末に関してはさらに発火性がある）。
【００１９】
本発明のＮＥＧ合金は３００〜５００℃の間に含まれる温度で１０分〜２時間の期間活性化することができる。この温度の効果は処理時間を超えても残留し、４００度で１０分間の活性化でほとんど完全な活性化を達成することができる。
【００２０】
一度活性化すると、これらの合金は、室温でも、水素、酸化炭素取り分けて窒素のようなガスの吸着に対して作用することができ、水素に対しては既知の合金と同様の性質を備え、且つ酸化炭素と窒素に対してはさらに優れたものとなる。一般的に使用最高温度は、約５００℃であり、挿入されたところでデバイスの安定性と機能を損なうことは無い。これらの合金の最高作用温度は、具体的な適用に依存し、例えば、耐熱空間の場合、この温度は、耐熱空間自体の壁の最も高い温度によって決定され、「フライホィール」の場合は、この温度は室温であり、ガスの精製の場合は、この温度は一般的に約３００〜４００℃である。
【００２１】
水素の場合においては、全ての既知のＮＥＧ材料についていえば、吸着性質は吸収された水素の温度と吸収量との関数として合金の平衡水素圧によって評価されるので、この吸着は可逆的である。この観点から、本発明の合金による水素の吸着は非常に優れ、前述の合金Ｓｔ７０７の吸着と類似し、これは、最も広範囲に使用されるゲッタ合金である。また、本発明の合金は、室温で、同じ条件における合金Ｓｔ７０７についていうと、吸着量は窒素に対して１５倍であり、且つＣＯに対しては１０である。
【００２２】
すでに述べたように、本発明の合金を使用して準備することができるゲッタデバイスの形状は、最も多種であり、例えばゲッタ合金からのみ形成されたペレットを含み、または一般的に金属の支持材としての合金である。この二つの場合において、粉末の合体は、加圧成形または加圧成形後の焼結によって行なわれる。加圧成形された粉末のみによって形成されたペレットは、例えば耐熱材及びガス精製に適用されることが分かった。この粉末を支持する場合は、鋼、ニッケルまたはニッケル合金が支持材料として使用することができる。支持材は簡単に帯状にすることができ、帯材の表面に、この合金粉末を種々の技術によって蒸着させた後に冷間圧延または焼結によって付着させる。同様の帯材から得られたゲッタデバイスは、ランプに使用することができる。この支持体は種々の形状の適切な容器に形成することができ、その中で粉末は一般的に加圧圧縮によって入れられるか、またはいくつかのデバイスでは加圧圧縮が無くて、その中でこの容器は多孔質隔壁を備え、ガスは通路を説くか可能であるが粉末は残ることができる。後者の形態は、［フライホィール］の適用に特に安定であり、酸化カルシウムのような吸湿吸着剤の粉末ゲッタ合金に追加される。これらの可能性のいくつかは図１〜図５に示され、その中で図１は本発明にしたがうＮＥＧ合金加圧粉末だけから作られたペレット１０を示す。図２はランプの使用に対して特に安定な形状を有するＮＥＧ合金デバイス２０を示し、長さ方向に直行する線に平行に切断することによって得られ、帯材２１は金属支持材２２を形成し、それに本発明の合金粉末２３が存在する。次にタイプ２０のデバイスは、帯材を点線Ａ−Ａ”に沿って切断することによって得られる。図３は上方に開口された金属容器３１から作られるデバイス３０を断面で示し、容器内にＮＥＧ合金粉末３２が備わる。図４は金属容器４０から作られるデバイスを断面で示し、その中でＮＥＧ合金の粉末４２が備わり、多孔質隔壁によって閉じられた上部開口を有する。図５は、先の図面のデバイスと類似するデバイス５０を示し、特に「フライホィール」の適用に適切であり、本発明のＮＥＧ合金５１の粉末と吸湿吸着剤５２とが備えられる。
【００２３】
本発明を次の実施例によってさらに詳しく説明する。これらの実施例はいくつかの実施態様に限定するものでなく、この実施態様は当業者に本発明を以下に実施するかを説明することを意図し、本発明を実施する最良の方法を教示することを意図する。
【００２４】
実施例１
この実施例は、本発明の合金の準備に関する。７０％Ｚｒ−１５％Ｖ−３．３％Ｆｅ−８．７％Ｍｎ−３％ＭＭの組成を有する１００ｇの合金が、Ｚｒと、Ｍｎと、ＭＭと、バナジウムの重量を約８１.５％含有する市販Ｖ−Ｆｅ合金と、を所望組成に相当する比率で、工業用オーブン中で溶融することによって準備した。使用したミッシュメタルは、ｗｔ％組成で５０％のセリウムと、３０％のランタンと、１５％のネオジウムと、残部５％の希土類元素とを含む。合金インゴットを、アルゴン雰囲気のもとボールミル中で粉砕し、且つ粉末を篩い分けして４０〜１２８μｍの粒子径を有する部分を回収した。
【００２５】
実施例２
この実施例は、本発明の第２の合金準備に関する。実施例１の試験を繰り返したが、異なる品位のＺｒと、Ｍｎと、ＭＭと、Ｖ−Ｆｅ合金とから開始して、６９％Ｚｒ−２．６％Ｖ−０．６％Ｆｅ−２４．８％Ｍｎ−３％ＭＭの組成を有する合金を得た。
【００２６】
実施例３（比較）
この実施例は、次の各実施例の実施に使用するために、既知の技術にしたがう合金の準備に関する。すなわち、この合金は、断熱及びガス精製のような適用に最も一般的に使用されるＮＥＧ材料であるので、比較例として取り扱う。１００ｇのＳｔ７０７合金は、実施例１に記載されるような作業によって、Ｚｒ及びＶ−Ｆｅ合金を所望の組成の相当する比率で使用することによって製造した。
【００２７】
実施例４
この実施例は、本発明の合金による窒素吸着特性の測定について述べる。実施例１において準備された０.２ｇの粉末が、５００℃で１０分間活性化され、その後測定容器内に導入された。窒素吸着試験は、標準ＡＳＴＭ−Ｆ−７９８−７２に記載される手順にしたがって、室温と４×１０-6ミリバールの窒素圧力で操作することによって実行された。試験結果は、吸着ガス量の関数（Ｑで示し、ミリバールのガス圧力かけるｃｍ3ガスで測定し、且つ合金グラムあたりで標準化した）として吸着程度（Ｓで示し、毎秒当たりのガス吸着をｃｍ3で測定し、且つ合金グラムあたりで標準化した）として、図６の曲線１のグラフに示す。
【００２８】
実施例５
実施例４の試験が、実施例２の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図６の曲線２ようなグラフが報告される。
【００２９】
実施例６（比較）
実施例４の試験が、実施例３の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図６の曲線３ようなグラフが報告される。
【００３０】
実施例７
実施例４の試験が繰り返されたが、試験ガスとしてＣＯを使用した。断熱材空間と同じように排気された空間で最も一般的に見つけられるガスの１種であるので、ＣＯが使用された。この試験結果は、図７の曲線４のようなグラフが報告される。
【００３１】
実施例８
実施例７の試験が、実施例２の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図７の曲線５ようなグラフが報告される。
【００３２】
実施例９（比較）
実施例７の試験が、実施例３の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図７の曲線６ようなグラフが報告される。
【００３３】
実施例１０
実施例４の試験が繰り返されたが、試験ガスとして水素を使用した。ＣＯとともに水素は、排気された空間に最も多くの量が存在するガスの１種である。この試験結果は、図８の曲線７のようなグラフが報告される。
【００３４】
実施例１１
実施例１０の試験が、実施例２の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図８の曲線８ようなグラフが報告される。
【００３５】
実施例１２（比較）
実施例１０の試験が、実施例３の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図８の曲線９ようなグラフが報告される。
【００３６】
実施例１３
実施例４の試験が繰り返されたが、この場合に試験片は試験中３００℃に保持された。試験結果は図９の曲線１０ようなグラフが報告される。
【００３７】
実施例１４（比較）
実施例１３の試験が、実施例３の０.２ｇの粉末を使用して繰り返された。試験結果は図９の曲線１１ようなグラフが報告される。
【００３８】
実施例１５
実施例４の試験を繰り返したが、この場合に、バラバラの粉末の代わりに、４ｍｍの直径を有し２ｍｍ高さのペレットを重量約１２５ｍｇ使用した。このペレットは、実施例１に記載されるように準備された粉末で作られた。試験結果は図１０の曲線１２ようなグラフが報告される。
【００３９】
実施例１６（比較）
実施例１５の試験を繰り返したが、実施例３にしたがう粉末のペレットを使用して、実施例１５のペレットと同じ大きさを有する。試験結果は図１０の曲線１３ようなグラフが報告される。
【００４０】
実施例１７
実施例１５の試験が、試験ガスとしてこの場合ＣＯを使用して繰り返された。試験結果は図１１の曲線１４ようなグラフが報告される。
【００４１】
実施例１８（比較）
実施例１７の試験が、実施例１７のペレットと同じ大きさを有する試実施例３の粉末のペレットを使用して繰り返された。試験結果は図１１の曲線１５ようなグラフが報告される。
【００４２】
実際の適用で、ＮＥＧ合金を排気するための特に重要な因子は、なかでも室温で働かす場合に見込まれる因子は、所定の吸着速度での吸着量である。実際に、通常の適用にいては、金属化合物と吸着ガスとの化学量論的な反応完了として決定されるＮＥＧ合金の熱的吸着容量は達成されず、且つ一般的に作用温度は低くて反応の進行程度は小さい。したがって、実際的な観点から、ゲッタ合金の容量として、その吸着速度が、初期値から適用に対して受諾し得る最小値まで減速されたもので仮定される。すなわち、第１にこの最小値が、壁からの放出または浸透のために、ガスが排気された空間に浸透する速度に等しいことが仮定される。すなわち、精製に適用の場合、この最小値はこの合金に入る不純物の流れに少なくとも等しくする必要がある。これらの実際の条件は、このゲッタ合金が接触しているガス不純物の量を完全に吸収することが可能にすることを確実にする。この試験結果を解析することによって、本発明の合金はＳｔ７０７合金より優れたガス吸着特性を有することが注目でき、特に、室温での窒素に対する吸着は、バラバラの粉末の場合は（図６）、Ｓｔ７０７合金より約５〜１５倍であり、ペレットの場合は（図１０）、約３〜５倍である。室温でのＣＯに対する吸着は、バラバラの粉末の場合は（図７）、Ｓｔ７０７合金より約３〜５倍であり、ペレットの場合は（図１１）、約６〜１１倍である。本発明の粉末合金の水素に対する吸着は、室温時は（図８）Ｓｔ７０７合金より優れ、最終的に、３００℃でさえも、本発明の粉末合金は、Ｓｔ７０７合金の粉末より高い窒素吸着を示した（図９）。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明の合金を使用したゲッタデバイスの実施態様を示す。
【図２】  図２は、本発明の合金を使用したゲッタデバイスの実施態様を示す。
【図３】  図３は、本発明の合金を使用したゲッタデバイスの実施態様を示す。
【図４】  図４は、本発明の合金を使用したゲッタデバイスの実施態様を示す。
【図５】  図５は、本発明の合金を使用したゲッタデバイスの実施態様を示す。
【図６】  図６は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図７】  図７は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図８】  図８は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図９】  図９は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図１０】  図１０は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図１１】  図１１は、本発明の合金と比較例の合金とを種々の条件のもとで試験したガス吸着の結果を示す。
【図１】
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【図３】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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