(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁体とリング状弁座とが当接および離間可能に構成されたポペット弁を有し、該リング状弁座のリング内に開口する第１流路孔に連通しかつ該リング状弁座の近傍に配置されたオリフィスを有するガス制御バルブにおいて、
前記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該弁座部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング内にわたって貫通する前記第１流路孔を有する弁座部材と、
前記弁座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁座部材接続面に開口する第１ポート流路とを有するバルブベースと、
前記弁座部材のバルブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面との間に配されたリング状シール部材であって、前記第１流路孔と上記第１ポート流路とを連通し、内周面に前記オリフィスが形成されてなるシール部材とを有し、
前記弁座を取り外すことなく、前記シール部材を交換できること、
を特徴とするガス制御バルブ。
【請求項２】
前記シール部材は、前記弁座部材のバルブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面とに挟まれて押圧されることによりシールすることを特徴とする請求項１に記載のガス制御バルブ。
【請求項３】
前記弁座部材は、該弁座部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって貫通する第２流路孔とを有し、
前記バルブベースは、前記弁座部材接続面に開口する少なくとも１つの第２ポート流路を有し、
上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部材接続面との間に前記シール部材を内側リングとする同心二重リング状に配されたリング状シール部材であって、上記第２流路孔と第２ポート流路とを連通しこれらと外部との間のシールをする外側シール部材と、
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のガス制御バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ポペット型の弁を有するガス制御バルブに関し、特に好適には半導体製造工程で使用されるプロセスガス等のガスの流通を制御するためのガス制御バルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体製造工程において、シリコン等のウェハーの処理に関し、数枚のウェハーを同時に処理する枚葉処理の形態の他、一枚毎に処理する単数処理を行う場合が増加している。これに伴い各種の処理装置の大きさを小さくすることが求められ、処理に使用されるエッチングガス等のプロセスガスの流通を制御するためのガス制御バルブも、小型のものが求められている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、プロセスガスの中には、水素ガスのように流量（ガス濃度）を管理する必要のあるガスもあり、このようなガスの流路には、図５に示すように、配管系ＨＨ’の間に、開閉弁（ガス制御バルブ）２００の他に、流量調整弁３００を設置しその流量を制限することが行われる。
この場合、通常は、装置や配管を設置した時点で流量調整弁３００のマイクロヘッド３０２を調整することで、調整弁本体３０１内の図示しない弁の開度を調整し、その後は、開閉弁２００の操作（弁の開閉）のみでガスの制御を行う事が多い。即ち、流量調整弁３００のマイクロヘッド３０２を用いて調整するのは、設置当初のみの場合が多かった。一方、この様な系においては高価な流量調整弁３００を用いるために装置全体の価格が高くなる上、流量調整弁がある分だけスペースを消費し、小型化の要求にも反していた。また、流量調整弁を配管系に接続する作業や漏れ検査をするための手間も掛かっていた。
【０００４】
そこで、リング状弁座のリング内を貫通する貫通孔（流路）の一部又は全部の径を小さくしてオリフィスを構成し、ガス制御バルブ自身に流量を制御する機能を持たせることが考えられる。しかし、この様な構造では、流量を所望の値に調整したい場合にバルブを分解して弁座全体を交換する事が必要となり、構造によっては弁体を取り外したりバルブ全体を配管系から取り外す必要があるなど調整（交換）が面倒である。
【０００５】
また、流路にオリフィスを形成したオリフィス板をシールリングと弁座またはオリフィス押えとの間に配置して、弁座やオリフィス押えをねじ込んで固定することも考えられるが、やはり、弁座やオリフィス押えを取り外さなければオリフィスを交換・調整できない。また、既に配管系に取り付けられたガス制御バルブ中から弁座やオリフィス板を取り出す必要があるが、上記したように処理装置全体の大きさが小さくされ近接した位置に他の機器が設置されていることも多く、この様な場合には特に交換等が困難となる。
【０００６】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、流量調整機能を有し、しかも、オリフィスの交換調整容易なガス制御バルブの提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１に記載の手段は、弁体とリング状弁座とが当接および離間可能に構成されたポペット弁を有し、該リング状弁座のリング内に開口する第１流路孔に連通しかつ該リング状弁座の近傍に配置されたオリフィスを有するガス制御バルブにおいて、上記リング状弁座を保持する弁座部材であって、該弁座部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング内にわたって貫通する上記第１流路孔を有する弁座部材と、上記弁座部材に接続させるための弁座部材接続面と該弁座部材接続面に開口する第１ポート流路とを有するバルブベースと、上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部材接続面との間に配されたリング状シール部材であって、上記第１流路孔と上記第１ポート流路とを連通し、内周面に上記オリフィスが形成されてなるシール部材と、を有することを特徴とするガス制御バルブを要旨とする。
【０００８】
本発明によれば、オリフィスをシール部材の内周面に形成したので、流量調整のためオリフィスの径を変えるのに弁座等の交換をする必要がなくシール部材の交換で足りる。また、オリフィスが形成されているシール部材は、弁座部材とバルブベースとの間に配されているので、配管系からガス制御バルブ全体を取り外す必要はなく、バルブベースから弁座部材を取り外すことで、シール部材を容易に交換できる。
なお、シール部材の材質としては、使用するガスに侵されない材質で、オリフィスの径が経時的に変化しないものを選択すると良い。具体的には、例えばステンレス鋼、ニッケル等の金属やＰＣＴＦＥ等のフッ素系樹脂などが挙げられる。また、オリフィスの径は、要求される流量や圧力等を勘案して適宜選択すればよく、いくつかのオリフィス径を持つシール部材を予め用意しておけば、調整が容易となる。
【０００９】
なお、弁座部材は、弁座部材に空けた貫通孔を通じてボルトでバルブベースに締結されるようにすると、ボルトを取り外すことで弁座部材がバルブベースから取り外せるのでより好ましい。この場合、ボルトをバルブベース接続面とは反対側の面から締め付けるようにするとよい。隣接して配置したガス制御バルブその他の機器の有無に拘わらずボルトを締め付け・取り外しができるため、ガス制御バルブその他の機器を隣接させて高い密度で配置することができ、これらの機器を用いた装置の小型化を図ることができるからである。
【００１０】
さらに上記目的を達成するために請求項２に記載の手段は、前記シール部材は、前記弁座部材のバルブベース接続面と前記バルブベースの弁座部材接続面とに挟まれて押圧されることによりシールすることを特徴とする請求項１に記載のガス制御バルブを要旨とする。
【００１１】
本発明によれば、シール部材は、弁座部材とバルブベースとで挟まれて押圧されているので、確実にシールができ、ガスが外部や他の流路に漏れることがなくなる。
【００１２】
さらに上記目的を達成するために請求項３に記載の手段は、前記弁座部材は、該弁座部材をバルブベース接続面から該リング状弁座のリング外にわたって貫通する第２流路孔とを有し、前記バルブベースは、前記弁座部材接続面に開口する少なくとも１つの第２ポート流路を有し、上記弁座部材のバルブベース接続面と上記バルブベースの弁座部材接続面との間に前記シール部材を内側リングとする同心二重リング状に配されたリング状シール部材であって、上記第２流路孔と第２ポート流路とを連通しこれらと外部との間のシールをする外側シール部材と、を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のガス制御バルブを要旨とする。
【００１３】
本発明によれば、弁座部材には第２流路孔が、バルブベースには第２ポート流路が形成されており、オリフィスが形成されたシール部材の径方向外側に外側シール部材を同心二重リング状に配して第２流路孔と第２ポート流路とを連通している。従って、第２流路についても配管から取り外す必要はなく、弁座部材をバルブベースから取り外すことできるので、さらにオリフィスを有するシール部材の交換が容易となる。
また、同心二重リング状にシール部材と外側シール部材とが配されているので、バルブベースに複数の第２ポート流路が形成されている場合にも、弁座部材やシール部材、外側シール部材を変更する必要がないので、多種類のバルブベースに対応できる。
【００１４】
なお、前記弁座部材を前記バルブベースから取り外したときに、前記シール部材も、弁座部材と共に取り外されるようになしてあると好ましい。弁座部材を取り外した後に、配管系に接続されているバルブベースの弁座部材接続面上に残されたシール部材を取り出す必要がなくなり、取り外した弁座部材を別の場所に運んだ上で、弁座部材からシール部材を脱着すればよいので、狭い場所でシール部材の交換作業をする必要がなく容易に交換ができる。さらに、外側シール部材も弁座部材と共に取り外せるようにしておくとより交換が容易となり好ましい。
【００１５】
さらに、前記シール部材が、内周面にオリフィスを有し、弁座部材のバルブベース接続面にリング状に設けられたシール部材用凹部に一部が圧入されたリング状樹脂であると好ましい。シール部材が、シール部材用凹部に一部が圧入されているので、弁座部材を取り外すと共にシール部材が取り外せる。また、シール部材は樹脂であるので、シール部材用凹部に対して着脱容易でシール部材の交換が容易である。また、シール部材が樹脂なので、変形能が大きく確実にシールができる。具体的には、フッ素系樹脂、たとえば、ＰＣＴＦＥ（三フッ化塩化エチレン樹脂）、ＰＴＦＥ（４フッ化エチレン樹脂）等が挙げられ、これらは耐腐食性が高いので好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の好適な実施形態を図とともに説明する。
図１は本発明の実施形態に係るパイロット型ガス制御バルブの縦断面図である。
ガス制御バルブ１０は、ガス制御バルブ本体１０ａおよびバルブベース１６からなる。このガス制御バルブ本体１０ａは、弁座部材６３、中間部材５７、パイロット弁シリンダ５１等からなる。一方、バルブベース１６は、図中右側に開口する第１ポート２１および同左側に開口する第２ポート２２を有し、第１ポート垂直流路部２１ａおよび第２ポート垂直流路部２２ａがバルブベース上面（弁座部材接続面）１６ａに開口している。
【００１７】
このバルブベース１６の弁座部材接続面１６ａには、弁座部材６３が接続されている。本例では、弁座部材６３は、これを図中上下方向に貫通する貫通孔（図示しない）に挿通したボルト６４によってバルブベース１６に締結されている。この弁座部材６３の略中央に形成された第１流路孔６５とその脇に形成された第２流路孔６６は、それぞれバルブベース１６の第１ポート垂直流路部２１ａおよび第２ポート垂直流路部２２ａに連通している。
【００１８】
このバルブベース１６の弁座部材接続面１６ａと弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂとの間に、同心状に配置されたリング状の内側シール用ガスケット６１および外側シール用ガスケット６２は、第１ポート流路２１と第１流路孔６５、および第２ポート流路２２と第２流路孔６６とを連通しつつ、両ポート間および外部とのシールを保つ。即ち、ボルト６４によってバルブベース１６と弁座部材６３とがガスケット６１，６２を介して締結されているので、ガスケット６１，６２の上面とバルブベース接続面６３ｂとの間、およびガスケット６１，６２の下面と弁座部材接続面１６ａとの間は強く密着して気密を保つ。従って、第１ポート流路２１と第２ポート流路２２との間でガスが漏れる（いわゆる裏漏れ）も防止され、また、第２ポート流路２２のガスが外部に漏れることも防止される。
【００１９】
さらに、内側シール用ガスケット６１は、図２にその断面形状を示すように、その内周面のうち図中上側の内径が細くされてオリフィス６１ａを構成している。即ち、第１ポート流路２１と第１流路孔６５の間にオリフィス６１ａが挿入されたこととなり、このオリフィス６１ａにより第１ポート流路２１と第１流通孔６５との間を流れるガスの流量が制限される。要求されるガス流量は、オリフィスの径ｄの寸法によって調整できるので、例えば、径ｄが大、中、小の３段階とした内側シール部材６１を用意しておけば、シール部材６１の交換で流量を調整できる。また、オリフィス６１ａは、第１流路孔６５の体積を小さくするため、後述する弁座５９の近傍に配される。弁開直後のガス流量のオーバーシュートをできるだけ小さくするためである。
【００２０】
弁座部材６３の上面には、略有底円筒状に形成された突出部６３ａが形成され、この突出部６３ａ内の底部には第１流路孔６５と第２流路孔６６とが開口している。突出部６３ａの底部にはリング状の弁座５９が設けられ、弁座５９のリング内に第１流路孔６５が開口し、リングの外に第２流路孔６６が開口するようにして、この２つの流路孔６５，６６の開口間を遮るようにしている。
【００２１】
この弁座５９の上方には、ダイヤフラム５４を介して弁体５８が弁座５９に対して当接または離間可能に保持されポペット弁タイプのダイヤフラム弁体を形成している。また、突出部６３ａの内周に形成された雌ねじに螺合する中間部材５７によって図中下方に押圧されるダイヤフラム固定ブラケット５６と、弁座部材６３とでダイヤフラム５４の外周が固定されている。これにより、第１、第２流路孔間を流通するガスが上方に漏れることが防止される。
【００２２】
中間部材５７の中央部にあけた貫通孔５７ａには、ピストンロッド５３が上下方向に摺動可能に貫挿、保持されている。このピストンロッド５３にはピストン５２が組み付けられ、両者は一体化されている。
【００２３】
中間部材５７の上方には、パイロット弁シリンダ５１が中間部材５７と螺合して固設されている。パイロット弁シリンダ５１の内側には、ピストン５２さらにこのピストン５２を介してピストンロッド５３や弁体５８を下向き（弁閉方向）に付勢するための復帰バネ５５が取り付けられている。また、パイロット弁シリンダ５１の中心軸に沿って、図中上面に開口する駆動空気用ポート６０が形成されている。また、ピストンロッド５３の中心軸には、ピストンロッド５３の図中上端からロッド膨出部５３ａよりも下方に達する深さでロッド中心孔５３ｃが形成され、さらに、ロッド膨出部５３ａの直下には、ピストンロッド５３を径方向（図中左右方向）に貫通しロッド中心孔５３ｃを横断する連通孔５３ｄが形成されている。これにより、中間部材５７の上面とピストン５２の下面とがなす空間Ｖが連通孔５３ｄ、ロッド中心孔５３ｃを通じて駆動空気用ポート６０に連通するようにされている。
【００２４】
このように構成されたガス制御バルブ１０は、駆動空気用ポート６０から圧縮空気が送られていない状態では、弁閉状態となる。即ち、ピストン５２、ピストンロッド５３が復帰バネ５５により下向き（弁閉方向）に付勢されているため、ピストンロッド５３が弁体５８を図中下方に押圧して、第１または第２ポート内のプロセスガス等のガス圧に抗して、ダイヤフラム５４を介して弁座５９に弁体５８を当接させる。従って、第１ポート流路２１と第２ポート流路２２とは遮断（シール）されている。
【００２５】
次に、駆動空気用ポート６０から、ロッド中心孔５３ｃ、連通孔５３ｄを通じて中間部材５７の上面とピストン５２の下面とがなす空間Ｖ内に圧縮空気が送られると、ピストン５２およびピストンロッド５３が上向きに移動する。そして、ダイヤフラム５４および弁体５８が、プロセスガスやパージガス等のガス圧力により上向きに移動させられ、弁開となって第１ポート流路２１と第２ポート流路２２とが連通して両者間をガスが流通する。このように駆動空気用ポート６０に送る圧縮空気を制御することにより、ダイヤフラム弁体（ダイヤフラム５４、弁体５８）の開閉を行い、第１ポート流路２１と第２ポート流路２２との間のガスの流通を制御することができることとなる。しかも、オリフィス６１ａによりガス流量が一定に制御され、前述のように流量調整弁を用いなくとも、ガス流量が制限できるようになる。
【００２６】
このようなガス制御バルブ１０が図中に破線で示す配管系ＨＨ’に取り付けられた後に、ガス流量を変更したいためにオリフィス６１ａの径を変更したい場合、即ち、内側シール用ガスケット６１を交換したい場合が発生したとする。この場合には、弁座部材６３をバルブベース１６に締結しているボルト６４を取り外すことにより、弁座部材接続面１６ａから、弁座部材６３およびそれよりも図中上方にある中間部材５７、パイロット弁シリンダ５１等を取り外す。すなわち、バルブベース１６以外のガス制御バルブ１０（ガス制御バルブ本体１０ａ）を配管系ＨＨ’から取り外す。すると、バルブベース１６の弁座部材接続面１６ａ上に内側シール用ガスケット６１および外側シール用ガスケット６２が残される。従って、オリフィス６１ａが形成された内側シール用ガスケット６１を容易に交換することができる。
【００２７】
その後、必要な場合には外側シール用ガスケット６２を新しいものに交換したうえ、取り外したガス制御バルブ本体１０ａを、バルブベース接続面６３ｂと弁座部材接続面１６ａとがガスケット６１，６２を介して対向するようにしてバルブベース１６上にセットし、ボルト６４を締め付ける。これでガス制御バルブ１０のオリフィス６１ａの径を変更できたこととなる。
【００２８】
従って、バルブベース１６を取り外すことなく、即ち、ガス制御バルブ１０全体を配管ＨＨ’から取り外すことなく、弁座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ａ）を取り外すことができるので、狭い場所でも容易にオリフィス６１ａが形成された内側シール用ガスケット６１の交換作業ができる。また、弁座やオリフィス押えを取り外す等の作業も必要がない。また、図中上方からボルト６４を緩めて取り外すだけで、バルブベース１６から弁座部材６３等が取り外せるので、近くに他の機器があったとしても容易に取り外すことができる。
さらに、弁座５９の交換・修理等のガス制御バルブ本体１０ａの部品を調整したい場合にも、別の場所にガス制御バルブ本体１０ａを運んだ後に交換等ができるので弁座５９等を取り外しが容易で、第１流路孔６５等に傷を付ける危険性も少なくなる。
なお、バルブベース１６に、複数のガス制御バルブ本体１０ａや他の機器を取り付けられるように他のガス流路を設けて、いわゆるマニホールドとしての機能を持たせるようにしてもよい。
【００２９】
さらに、図３に示すようにバルブベース１６に第２ポート流路を２つ（２２，２２’）形成としてもよい。図３に示すバルブベース１６においては、２つの第２ポート流路２２，２２’が、互いに直角をなして（図中右方向と上方向）形成されており、第２ポート垂直流路部２２ａ、２２ａ’が、同心をなして配置されている内側シール用ガスケット６１と外側シール用ガスケット６２との間のそれぞれ開口している。これにより、例えば、第１ポート流路２１から流入したプロセスガスをガス制御バルブ１０で制御して、第２ポート流路２２に流出、遮断できるほか、もう１つの第２ポート流路２２’から不活性ガス（パージガス）を第２ポート流路２２に流すようにすることができる。
【００３０】
このように、２つのガスケット６１，６２が同心２重リング状に配されているので、両者の間に複数の第２ポート流路２２が開口していても、ガスケット６１，６２や弁座部材６３の形状を変える必要はない。従って、ガスケット６１，６２や弁座部材６３（あるいはガス制御バルブ本体１０ａ）を共通化して、多種類のバルブベース１６に対応する事ができる。なお、バルブベース１６の多種類化には、第２ポート流路の数や位置が異なる場合の他、各ポートの継手の形状が例えばメタル・ガスケット継手や２重食い込み継手などのように異なる場合などがある。なお、図３において、各隅には、ボルト６４と締結するためのネジ孔１６ｂが形成されている。
【００３１】
また、内側シール用ガスケットは、図４に示すように脱着可能としてもよい。即ち、弁座部材６３の第１流路孔６５のすぐ下方に、この第１流路孔６５に連なって同軸状で、かつ第１流路孔よりもやや径大に形成されたガスケット用凹部６３ｄを形成しておく。そして、このガスケット用凹部６３ｄに、ＰＣＴＦＥ樹脂からなる内側シール用ガスケット６１’を圧入して、弁座部材６３と着脱可能に一体化している。また、この内側シール用ガスケット６１’の内周面は軸方向略中央部分において径小とされてオリフィス６１ａ’が形成されている。なお、ガスケット用凹部６３ｄはその上端側面部がリング状に凹んで形成されており、内側シール用ガスケット６１’のうちやや膨出するように形成された上端側面部と係合することでガスケット６１’を抜けにくくしている。
【００３２】
このようにすれば、弁座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ａ）をバルブベース１６から取り外したときに、内側シール用ガスケット６１’も弁座部材６３とともに取り外すことができる。次いで、弁座部材６３からガスケット６１’を脱着すれば、オリフィス６１ａ’を交換することができる。従って、配管系ＨＨ’に接続されているバルブベース１６上からガスケットを取り出す必要がないので、さらに容易にオリフィスの交換が可能となる。
【００３３】
外側シール用ガスケットについて、同様な構造により着脱可能としても良い。また、たとえば、図４に示すように、外側シール用ガスケット６２’に開口部が外周側に形成された断面略Ｃ型のステンレス製リング状ガスケットを用いても良い。この場合には、この開口部にガスケットリティーナ７０の内周縁を差し込むことにより、リティーナ７０と係合させて一体とし、このガスケットリティーナ７０の厚さ方向に略Ｕ字状に屈曲されバネ部を、弁座部材６３のバルブベース接続面６３ｂに形成したリティーナ保持凹部６３ｃに挿入する。この凹部６３ｃとバネ部とを弾性に係合させることで、ガスケットリティーナ７０および外側シール用ガスケット６２’が弁座部材６３に着脱可能に保持される。
【００３４】
このようにして内側シール用ガスケット６１’および外側シール用ガスケット６２’が弁座部材６３に保持されるようにすると、バルブベース１６から弁座部材６３（ガス制御バルブ本体１０ｂ）を取り外したときに、弁座部材６３と共にガスケット６１’、６２’も取り外されるので、上述した実施形態のように弁座部材接続面１６ａからガスケットを取り出す必要がなく、ガスケット６１’、６２’の交換がより容易になる。
本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更して適用可能である。
【００３５】
【発明の効果】
以上に詳述したように、請求項１に記載の発明によれば、バルブベースを配管系から取り外すことなくオリフィスが形成されたシール部材を取り外すことができ、オリフィスの交換が容易となる。
また、請求項２に記載の発明によれば、シール部材は弁座部材とバルブベースに挟まれて押圧されているので、確実にシールでき、裏漏れや外部へのガス漏れを生じることがない。
【００３６】
さらに、請求項３に記載の発明によれば、第２流路についても配管から取り外す必要はなく、弁座部材をバルブベースから取り外すことできるので、さらにオリフィスを有するシール部材の交換が容易となる。また、多種類のバルブベースに対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態にかかるパイロット型ガス制御バルブの縦断面図である。
【図２】内側シール部材の縦断面図である。
【図３】バルブベースの平面図である。
【図４】他の実施形態にかかるパイロット型ガス制御バルブの縦断面図である。
【図５】従来のガス制御バルブの縦断面図である。
【符号の説明】
１０            ガス制御バルブ
１０ａ、１０ｂ  ガス制御バルブ本体
１６            バルブベース
１６ａ          弁座部材接続面
２１            第１ポート流路
２２            第２ポート流路
２１ａ          第１ポート垂直流路部
２２ａ          第２ポート垂直流路部
５１            パイロット弁シリンダ
５２            ピストン
５３            ピストンロッド
５４            ダイヤフラム
５５            復帰バネ
５６            ダイヤフラム固定ブラケット
５７            中間部材
５８            弁体
５９            弁座
６０            駆動空気用ポート
６１、６１’    内側シール用ガスケット
６１ａ、６１ａ’オリフィス
６２、６２’    外側シール用ガスケット
６３            弁座部材
６３ｂ          バルブベース接続面
６３ｃ          リティーナ保持凹部
６３ｄ          ガスケット用凹部
６５            第１流路孔
６６            第２流路孔
７０            ガスケットリティーナ
Ｈ、Ｈ’        配管系
【図１】
0003941844.tif 000002
【図２】
0003941844.tif 000003
【図３】
0003941844.tif 000004
【図４】
0003941844.tif 000005
【図５】
0003941844.tif 000006