(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状のミラーを備えた一つの光照射器内に複数の棒状ランプを内蔵する光照射器と、上記各ランプに電力を供給するランプ電源と、上記各ランプ電源と対応するランプに供給する電力を制御する制御部とを備え、
上記棒状ランプからの光が、被照射面上で互いに重なり合い、該被照射面上に設定された照射領域を照射する光照射装置において、
上記照射領域を、所望の放射照度で照射するために、上記ランプの本数に対応する数の光センサを準備し、各ランプに対応した光センサを、上記平面状ミラーの上記ランプと上記被照射面との間で、対応するランプの光のみが照射するように配し、
個々のランプそれぞれの放射照度を測定し、
上記光センサからの信号を上記制御部に入力し、該制御部は、各ランプに対応したそれぞれ光センサにより測定された放射照度のみに基づいて、対応するランプに供給する電力をフィードバック制御する
ことを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
前記光センサはランプと照射領域との間に設けられ、光センサとランプとの間には、フィルタが設けられている
ことを特徴とする請求項１の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線を照射する複数の棒状ランプを内蔵し、各ランプの紫外線の放射照度をフィードバック制御し、被照射面上に設定された照射領域において所望の放射照度と均一な照度分布を得ることができる光照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光照射器に内蔵したランプから紫外線を照射し、被処理物( 以下ワークと呼ぶ場合もある) に塗布された、保護膜、接着剤、塗料、インキ、レジスト等を硬化、乾燥、また溶融、軟化させることが、各分野で幅広く行なわれている。
上記用途のランプとしては、例えば、出力が大きく、ワークの処理時間を短くできる、棒状の高圧水銀ランプやメタルハライドランプが使用される。光照射器には、該ランプからの紫外線を効率よくワークに照射するように、ワークの方向以外に照射される紫外線を、ワーク方向に反射する反射ミラーが設けられる。
近年、液晶等のディスプレイパネル製造といった微細加工の分野においても、上記のような光照射器が利用されるようになってきた。
例えば、ディスプレイパネルの基板やフィルタの貼り合せ工程においては、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）基板と、カラーフィルタ基板とを、紫外線硬化性のシール材を介して重ね合わせ、光照射器の紫外線照射領域内に置く。その状態で、紫外線を基板全体に一括して照射すると、上記シール材が硬化し、両基板が貼り合される。
上記のような微細加工の分野においては、ワークに照射する紫外線エネルギー量は厳しく管理される。紫外線照射量が不足すると、シール材の硬化不足が生じ照射量が過剰であると、シール材の硬化が進みすぎて収縮し、製品の寸法精度に影響を及ぼしたり、製品の他の部分への影響などの問題が生じる。
また、ワークの処理時間（スループット）を一定に保つために、ランプの経時劣化による照度低下を、ランプ供給電力の増加により保証する照度フィードバック制御も求められる。
したがって、光照射装置の性能としては、ワークが載置される被照射面上に設定された照射領域に対して、紫外線を所望の放射照度で均一に照射でき、また照度フィードバック制御によりランプの照度変化を補償できるなど、ランプの放射照度を容易に制御できる光照射装置が望まれている。
なお、ランプの放射照度の調整は、該ランプに供給する電力（以下ランプ電力と呼ぶ場合がある) を制御することによって行なうが、放射照度とランプ電力との間には、次のような関係がある。
(1) ランプの放射照度は、基本的にはランプに供給される電力に比例する。しかし、実際は製造上の個体差により、ランプが異なると、等しい電力を供給しても放射照度は±１０％程度ばらつく。
(2) また、同一のランプにおいても、冷却条件等の違いにより、同じ電力であっても放射照度に数％のばらつきが生じる場合がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
光照射器の照度フィードバック制御については、例えば、特許２６８９３８９号に記載されている。該公報に記載されるものは、１本のランプを内蔵する光照射器を用いワークを移動させながらワークに紫外線を照射するものであり、被照射面上で照度をモニタし、このモニタ信号をランプ点灯回路にフィードバックし、照度低下を補償するようランプ供給電力を増加させる制御を行うものである。
最近は、前記したディスプレイパネル等ワークの大型化により、被照射面上に設定される照射領域も大型化している。広い面積を均一な照度で照射するために、光照射器に内蔵するランプの本数を増やし、上記照射領域において各ランプからの光を重ね合わせ、照度の低い部分を互いに補完している。
しかし、ランプの本数が複数になると、照度フィードバック制御が困難になる。このことについて以下、図８により説明する。
【０００４】
図８は、２本の棒状ランプＬ１，Ｌ２を内蔵した光照射器１により、紫外線を照射するものであり、図８（ａ）は、ランプ管軸に垂直な方向の断面図を示している。
図８（ａ）において、ワークが載置される被照射面には、ランプＬ１，Ｌ２からの直射光や、ミラー２ａ，２ｂからの反射光が照射される。光照射器１のミラー２ａ，２ｂを含む光学系は、２本のランプＬ１，Ｌ２の放射照度が互いに等しいとき、被照射面上に設定された照射領域を良好な照度分布で照射するように設計されている。
光照射器１に内蔵されるランプが２本の場合、上記照射領域の放射照度及び照度分布は、２本のランプＬ１，Ｌ２の放射照度を足し合わせた値になる。例えば同図に示すように、ランプＬ１、ランプＬ２の直下に、それぞれのランプに対応するように光センサＳ１，Ｓ２を配置したとしても、各光センサＳ１，Ｓ２には、両方のランプＬ１，Ｌ２からの光が入射する。
【０００５】
図８（ｂ）は、各ランプＬ１，Ｌ２の放射照度が等しく、設計値通りに照度分布が均一になる場合である。
これに対し、図８（ｃ）は、ランプＬ１の照度がランプＬ２の照度より大きく、被照射面上に設定された照射領域での照度分布が悪い場合の例である。
図８（ｃ）のような場合、上記照射領域を均一な照度で照射する（均一な照度分布で照射する）ためには、光センサＳ１と光センサＳ２とが測定する放射照度値が、互いに等しくなるように、各ランプＬ１，Ｌ２の電力を調整する必要がある。しかし、その調整方法は以下に示すように複雑になる。
まず、ランプＬ２の電力を大きくしてランプＬ２の放射照度を大きくすることが考えられる。しかし、ランプＬ２からの光は、放射照度の大きいランプＬ１の直下近傍にも照射されている。したがって、ランプＬ２の照度を大きくするとランプＬ１直下近傍の放射照度も大きくなり、照度分布はあまり改善されない。
そこで、ランプＬ２の照度が大きくなることの影響を考慮して、ランプＬ１の放射照度を小さくし、また、このランプＬ１の光は、ランプＬ２の直下近傍の照度にも影響しているので、その放射照度が小さくなることの影響を考慮して、ランプＬ２の照度を調整する必要がある。
【０００６】
上記のように、一方の制御が他方の制御に影響を与えるような場合、一般にフィードバック制御が非常に難しく、場合によっては制御が一点に収束せず制御できなくなることがある。
さらに、上記照射領域の広面積化の要望により、ランプの本数を３本、４本、…と増やしていくと、互いに影響し合うランプの本数がその分増えるので、フィードバック制御がますます困難になる。
以上のように、複数のランプを有する光照射装置においては、被照射面上に設定された照射領域が均一な照度分布になるように制御するのが難しいといった問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであって、紫外線を照射する複数の棒状ランプを内蔵した光照射装置において、各ランプに関し放射照度による照度フィードバック制御をそれぞれ独立に行えるようにし、被照射面上に設定された照射領域を所望の放射照度及び照度分布で照射できるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
複数のランプからの光が、被照射面上で互いに重なりあい該被照射面上に設定された照射領域を照射する、すなわち、複数のランプの照射領域が被照射面上で略一致する光照射装置において、ランプの本数に対応する数の光センサを準備し、各光センサを、対応するランプの光のみが照射されるように配し、上記光センサからの信号を制御部に入力し、各ランプに対応したそれぞれ光センサからの信号に基いて、ランプ電源から対応するランプに供給する電力を制御する。
具体的には光センサを次のように配置もしくは構成する。
(1)光センサを、対応するランプからの光しか入射しない位置、即ち、対応するランプについては、照射される紫外線の光路内であるが、他のランプについては光路外となる位置に設ける。
例えば、そのような位置は、対応するランプの管軸を含む平面、または、該平面の近傍であって、ランプと被照射面との間の対応するランプの近傍である。
(2) 光センサを、特定方向から入射する光のみを検出するように構成する。
例えば、光センサの受光面に、筒状部材の一端を設け、筒状部材の開放した他端を、対応するランプの方向に向ける。
このようにすることで、光センサが、他のランプの光路内、即ち複数のランプの光が重なり合う位置あったとしても、光センサには対応するランプの光しか入射しなくなる。
【０００８】
上記のように各光センサを、対応するランプの光のみが照射されるように配することにより、各光センサにより、個々のランプのそれぞれの放射照度を測定することができる。このため、他のランプからの光に影響されることなく、個々のランプ電力を制御することができ、フィードバック制御が容易になる。
なお、光照射装置に遠紫外線（Ｄｅｅｐ  ＵＶ）カットフィルタや、赤外線吸収フィルタなどのフィルタが設けられている場合には、光センサをフィルタと被照射面との間に設ける。これにより、フィルタの経時変化により紫外線の透過率が変化したとしても、その変化に応じて照度フィードバック制御を行うことができ、被照射面上に設定された照射領域の放射照度、照度分布を安定して制御することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１、図２は本発明の第１の実施例の光センサの配置例を示す図であり、図１は本実施例の光照射器のランプ管軸に垂直な方向の断面図、図２はランプの管軸に平行な方向の断面図である。なお、以下では、光照射器に内蔵されるランプが２本の場合について説明するが、ランプが３本以上の場合にも、同様に適用することができる。
図１、図２において、１は光照射器、Ｌ１，Ｌ２は２本の棒状ランプ、２ａ，２ｂは樋状のミラー、３，４は平面状のミラー、５は遠紫外線（Ｄｅｅｐ  ＵＶ）カットフィルタや赤外線吸収フィルタ等のフィルタである。また、Ｓ１，Ｓ２は光センサであり、光センサＳ１，Ｓ２は、対応するランプＬ１またはランプＬ２の光路（照射範囲）内であるが、他のランプの光路（照射範囲）外である位置に配置されている。
【００１０】
本実施例においては、ランプＬ１，Ｌ２の管軸に対して垂直な方向に設けられた平面状ミラー４のランプＬ１，Ｌ２と被照射面との間で、対応するランプＬ１，Ｌ２の管軸を含む平面の近傍に、図２に示すように一部切欠き４ａ（４ｂ）を設け、該切り欠き４ａ（４ｂ）の中に光センサＳ１、Ｓ２を設けた。
この切り欠き４ａまたは４ｂは、対応するランプＬ１，またはＬ２の光路にあるので、該ランプＬ１またはＬ２からの光は入射する。しかし、他方のランプに対しては光路外にあるので、他のランプからの光は入射しない。したがって、そこに配した光センサＳ１，Ｓ２は、対応するランプＬ１またはＬ２の光のみが入射することになる。
図１、図２において、２本の棒状ランプＬ１，Ｌ２からの光および樋状ミラー２ａ，２ｂで反射した光はフィルタ５を介して被照射面上に設定された照射領域に照射される。また、ランプＬ１，Ｌ２からの光は光センサＳ１，Ｓ２に入射し、光センサＳ１，Ｓ２の出力は後述する制御部に送られる。制御部はランプＬ１，Ｌ２の電力を調整し、上記照射領域が均一な照度分布になるように制御する。
【００１１】
図３、図４は本発明の第２の実施例の光センサの配置例を示す図であり、前記図１、図２に示したものと同一のものには同一の符号が付されており、図１、図２と同様、図３は本実施例の光照射器をランプの軸方向から見た図、図４はランプの軸に直交する方向から見た図である。
本実施例は、光センサＳ１，Ｓ２をそれぞれ筒状部材Ｔ１，Ｔ２の一端に設け、筒状部材Ｔ１，Ｔ２の開放した他端を対応するランプＬ１またはＬ２の方向に向け、他方のランプからの光が筒状部材の内部に入射しないように構成したものである。
上記構成とすることにより、光センサＳ１，Ｓ２が、他方のランプの光路内、すなわち複数のランプの光が重なり合う位置あったとしても、対応するランプＬ１，Ｌ２からの光のみを検出することができる。
なお、ランプＬ１，Ｌ２からの光を、フィルタ５を介して被照射面上に載置されたワーク（図示せず）に照射する場合には、図１〜図４に示すように、該フィルタ５をランプＬ１，Ｌ２と光センサＳ１，Ｓ２との間に設けるのが望ましい。このように配置すれば、フィルタ５の経時劣化により、紫外線の透過率が変化しても、その分を補正して照度を制御できる。
【００１２】
次に図５、図６により、本発明による照度フィードバック制御について説明する。
図５は本発明の実施例の制御系の構成を示す図である。図５において、Ｌ１，Ｌ２は前記したランプ、Ｓ１，Ｓ２は前記図１〜図４に示した光センサである。本実施例において、各ランプＬ１，Ｌ２の照度を測定する光センサＳ１，Ｓ２と、それに対応するセンサアンプＡＭＰ１，ＡＭＰ２は、放射照度の絶対値を測定するものではなく、相対値を測定する機器を使用した。
ＳＭは照度モニタであり、照度モニタＳＭは図６に示すように、ランプＬ１，Ｌ２からの光が照射される被照射面上に設定された照射領域の略中心位置付近に置かれ、該照射領域における照度の絶対値を検出する。
上記センサアンプＡＭＰ１，ＡＭＰ２の出力は、それぞれ制御部１０に送られ、制御部１０は上記光センサＳ１，Ｓ２の出力に基づき、ランプ電源１１ａ，１１ｂを制御して、上記照射領域における照度分布が均一になるように、ランプＬ１，Ｌ２に供給されるランプ電力を調整する。
【００１３】
図７は制御部１０における処理を示すフローチャートであり、同図に示すように、被照射面上に設定された照射領域の照度は以下のようにフィードバック制御される。
（１）準備段階
処理を行なう前に、各ランプＬ１，Ｌ２のランプ電力に対する放射照度値を測定し、２本のランプＬ１，Ｌ２の、放射照度のバランスを調整できるようにする。
すなわち、まず、図６に示すように、上記照射領域の中心位置に、紫外線放射照度の絶対値を測定する照度モニタＳＭを置く。この状態で、１本のランプ（例えばランプＬ１）のみを定格電力（フルパワー）で点灯する。この時に照度モニタＳＭによって測定された放射照度値を、制御部１０に「ランプＬ１の最大照度値ＭＡＸ１」として入力する。この最大照度値ＭＡＸ１は制御部１０の記憶部１０ｃに記憶される。
また、ランプＬ１に対応する光センサＳ１は、ランプＬ１からの光を受光し、その放射照度に対応する信号をセンサアンプＡＭＰ１に入力する。この時センサアンプＡＭＰ１が出力する信号値Ｈ１を、１００％の値として制御部１０のランプＬ１を制御するランプ制御部１０ａに記憶する（図７のステップＳ１）。
【００１４】
ランプＬ１消灯後、ランプＬ２について同様に行なう。即ち、ランプＬ２のみを定格電力で点灯し、照度モニタＳＭによる放射照度値を、制御部１０に「ランプＬ２の最大照度値ＭＡＸ２」として入力する。この最大照度値ＭＡＸ２は制御部１０の記憶部１０ｃに記憶される。
また、ランプＬ２に対応する光センサＳ２からの照度信号値Ｈ２をセンサアンプＡＭＰ２に入力する。この時センサアンプＡＭＰ２が出力する信号値Ｈ２を１００％の値として制御部１０のランプＬ２を制御するランプ制御部１０ｂに記憶する（ステップＳ２）。
ここで、ランプＬ１とランプＬ２とは定格電力が等しいランプを使用している。したがって、それぞれに定格電力を供給した照度値ＭＡＸ１とＭＡＸ２とは、等しくなるはずである。しかし、実際は、前記したようにランプの製造上の個体差等により、一致しない場合が多い。
【００１５】
制御部１０は、入力された各ランプＬ１，Ｌ２の最大照度値であるＭＡＸ１とＭＡＸ２を比較し、小さい方の値を大きい方の値で除した係数Ｋを計算する。例えば、ＭＡＸ１＜ＭＡＸ２の場合、係数Ｋ＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２を求める（ステップＳ３）。
上記係数Ｋ（＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）は、最大照度が大きい方のランプの電源（この場合はランプＬ２の電源）を制御するランプ制御部１０ｂに記憶される。なお、上記係数Ｋは、２本のランプＬ１，Ｌ２の放射照度を等しくし、被照射面上に設定された照射領域の照度分布を均一にするために使われる。すなわち、ランプＬ１が定格電力で点灯している時、最大照度値が大きいランプＬ２には、定格電力に対して係数Ｋ（＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）を乗じた電力値を供給すれば、ランプＬ１の最大照度値ＭＡＸ１と等しい放射照度になる。
前記したように、光照射器１の光学系は、２本のランプＬ１，Ｌ２の放射照度が等しい時、被照射面上に設定された照射領域を均一度良く照射するように設計されているので、上記のように、ランプＬ２に、定格電力に対して係数Ｋ（＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）を乗じた電力値を供給すれば、ランプＬ１の最大照度値ＭＡＸ１と等しい放射照度になり、上記照射領域は均一な照度分布で照射される。
【００１６】
次に、ランプＬ１，Ｌ２を同時に点灯する。このとき、ランプＬ１には定格電力を、ランプＬ２には定格電力×係数Ｋ（＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）を供給する。
この時の照度モニタＳＭによる放射照度の絶対値を、「被照射面上に設定された照射領域を均一度良く照射できる最大の放射照度ＭＡＸＰ」として制御部１０に登録する（ステップＳ４）。
理論的には、ＭＡＸＰは、２本のランプＬ１，Ｌ２からの放射照度が足し合されるので、ＭＡＸ１＋ＭＡＸ２×Ｋ＝２ＭＡＸ１（Ｋ＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）となる。
ランプＬ１，Ｌ２を消灯し、照度モニタＳＭを被照射面上に設定された照射領域から取り除き、準備段階が終了する。
【００１７】
（２）ワーク処理時のフィードバック制御
ここでは、被照射面上に設定された照射領域に配置されたワークを、照度値Ｑ（但しＭＡＸＰ＞Ｑ）で処理する場合を例にして説明する。
ワークを上記照射領域内におき、２本のランプＬ１，Ｌ２を点灯する。制御部１０に所望の照度値Ｑを入力する。
制御部１０はＱ／ＭＡＸＰを計算する（ステップＳ５）。上記したように、放射照度はランプに供給する電力に比例するので、照度Ｑを得るためには、Ｑ／ＭＡＸＰを定格電力に乗じてランプに供給すればよい。
したがって、ランプＬ１の定格電力をＷ１とすると、制御部１０のランプＬ１を制御するランプ制御部１０ａは、ランプＬ１の電源１１ａに対して、Ｗ１×（Ｑ／ＭＡＸＰ）の電力を供給するような信号を出力する（ステップＳ６）。
【００１８】
一方、上記したように、均一な照度分布を得るために、ランプＬ２に対しては、さらに係数Ｋ（＝ＭＡＸ１／ＭＡＸ２）を乗じた電力を供給する必要がある。したがって、ランプＬ２を制御するランプ制御部１０ｂはランプＬ２の電源１１ｂに対し、ランプＬ２の定格電力をＷ２とすると、Ｗ２×（Ｑ／ＭＡＸＰ）×Ｋの電力を供給するように信号を出力する（ステップＳ７）。
２本のランプＬ１，Ｌ２は、それぞれ上記した電力で点灯される。光センサＳ１は、ランプＬ１の光のみを受光し、その放射照度値に対応した信号Ｑ１をセンサアンプＡＭＰ１に出力する。
センサアンプＡＭＰ１の出力は制御部１０に送られ、制御部１０はＱ１／Ｈ１（ランプＬ１のフルパワー点灯時のセンサアンプＡＭＰ１の出力Ｈ１に対する信号Ｑ１の比）を計算し、その値をランプ制御部１０ａに出力する。
ランプ制御部１０ａは、上記Ｑ１／Ｈ１とＱ／ＭＡＸＰを比較し、その差に基づき、ランプＬ１の電源１１ａに対する制御信号を出力する（ステップＳ８）。すなわち、Ｑ１／Ｈ１＜Ｑ／ＭＡＸＰの場合には、ランプＬ１に供給される電力を増加させ、また、Ｑ１／Ｈ１＞Ｑ／ＭＡＸＰの場合には、ランプＬ１に供給される電力を減少させる。この動作を繰り返し、ランプＬ１の電力を、ランプＬ１の放射照度にのみに基づいてフィードバック制御する。
【００１９】
一方、光センサＳ２は、ランプＬ２の光のみを受光し、その放射照度値に対応した信号Ｑ２をセンサアンプＡＭＰ２に出力する。
センサアンプＡＭＰ２の出力は制御部１０に送られ、制御部１０は上記と同様にＱ２／Ｈ２を計算する。そして、Ｑ２／Ｈ２と（Ｑ／ＭＡＸＰ）×Ｋとを比較する。そして、上記と同様、その差に基づき、ランプＬ２の電源１１ｂに対する制御信号を出力する（ステップＳ９）。
すなわち、Ｑ２／Ｈ２＜（Ｑ／ＭＡＸＰ）×Ｋの場合には、ランプＬ２に供給される電力を増加させ、また、Ｑ２／Ｈ２＞（Ｑ／ＭＡＸＰ）×Ｋの場合には、ランプＬ２に供給される電力を減少させる。この動作を繰り返し、ランプＬ２の電力を、ランプＬ２の放射照度にのみに基づいてフィードバック制御する。
【００２０】
上記作業の内、準備段階の作業は、ランプを新しいものに交換した場合に、ランプの放射照度と電力との関係、及び互いのランプの照度調整のために行なう必要があるが、それ以外の場合には必ずしも行う必要はない。但し、作業開始前に毎回行えば、２本のランプの放射照度のバランスを常に調整することができる。
上記実施例では、ランプ本数が２本の場合について説明したが、ランプの本数が３本以上の場合であっても、ランプに対応させた光センサを、上記実施例に示したような位置に設ければ、個々のランプ単独の照度を測定できる。
したがって、上記実施例と同様の手順により、個々のランプの電力を、対応するランプの放射照度のみに基いて照度をフィードバック制御することができる。また、前記したように、遠紫外線（Ｄｅｅｐ  ＵＶ）カットフィルタや、赤外線吸収フィルタなどのフィルタを設ける場合、該フィルタをランプと光センサとの間に設ければ、各光センサは、フイルタを通過した光を受光する。フィルタの紫外線の透過率が変化し、被照射面上に設定された照射領域の照度に変化が生じても、各光センサは、該照度変化に対応した信号を、制御部に送ることができる。したがって、フィルタの経時変化に応じて照度フィードバック制御ができる。
【００２１】
【発明の効果】
（１）以上説明したように本発明においては、複数のランプを内蔵する光照射装置において、対応するランプの光のみが受光できるように光センサを配置したので、個々のランプの電力を、他のランプの放射照度が変化しても、その影響を受けずに、対応するランプの放射照度のみに基いてフィードバック制御することができる。
したがって、各ランプに対し、放射照度による照度フィードバック制御を独立して行うことができ、被照射面上に設定された照射領域を、所望の放射照度及び照度分布で照射することが可能となる。
（２）遠紫外線（Ｄｅｅｐ  ＵＶ）カットフィルタや、赤外線吸収フィルタなどのフィルタを設ける場合、ランプと被照射面との間に光センサを設け、ランプと光センサとの間に上記フィルタを設けることにより、フィルタの経時変化により紫外線の透過率が変化したとしても、その変化に応じて照度フィードバック制御を行うことができ、被照射面上に設定された照射領域の放射照度、照度分布を安定して制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の光センサの配置例を示す図（光照射器のランプの管軸に垂直な方向の断面図）である。
【図２】本発明の第１の実施例の光センサの配置例を示す図（光照射器のランプの管軸に平行な方向の断面図）である。
【図３】本発明の第２の実施例の光センサの配置例を示す図（光照射器のランプの管軸に垂直な方向の断面図）である。
【図４】本発明の第２の実施例の光センサの配置例を示す図（光照射器のランプの管軸に平行な方向の断面図）である。
【図５】本発明の実施例の制御系の構成を示す図である。
【図６】照度モニタの配置を示す図である。
【図７】制御部における処理を示すフローチャートである。
【図８】従来の光照射装置における光センサの配置を示す図である。
【符号の説明】
１                  光照射器
２ａ，２ｂ          樋状のミラー
３，４              平面状のミラー
５                  フィルタ
１０                制御部
１０ａ              ランプ制御部
１０ｂ              ランプ制御部
１０ｃ              記憶部
１１ａ，１１ｂ      ランプ電源
ＡＭＰ１，ＡＭＰ２  センサアンプ
Ｌ１，Ｌ２          ランプ
Ｓ１，Ｓ２          光センサ
ＳＭ                照度モニタ
Ｔ１，Ｔ２          筒状部材
【図１】
0003928372.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0003928372.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
0003928372.tif 000009