(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融はんだを収容するはんだ槽の前記溶融はんだと接する槽壁を貫通して前記はんだ槽の溶融はんだ液面上へ連通するパイプを設け、前記はんだ槽の前記槽壁側に設けた回転駆動手段により回転駆動される回転軸を前記パイプ中に通して設け、前記パイプを被うキャップ状の中空軸を前記回転軸の前記溶融はんだ液面上の先端に前記パイプに被せて同軸状に設けると共に前記溶融はんだ中に位置する前記中空軸の周囲に同軸状の羽根車から成るポンプを設け、
他方で、前記ポンプから送出される溶融はんだにより噴流波を形成する吹き口体と前記羽根車を収容するポンプケーシングとを一体に備えるチャンバ体であって、前記ポンプケーシングの下方位置に前記羽根車が挿入される孔となる前記ポンプの吸い込み口を設けると共に前記吸い込み口と同軸位置となる前記ポンプケーシングの上方位置に前記中空軸の挿通孔を設けたチャンバ体を、前記同軸状に構成された前記中空軸と前記羽根車とにはんだ槽の液面側から挿抜自在に嵌め合わせてはんだ槽の上端縁で着脱自在に固定して成ること、
を特徴とするはんだ付け装置。
【請求項２】
請求項１記載のはんだ付け装置において、溶融はんだ液面上に現れるキャップ状の中空軸の外側に、キャップ状の封止キャップをその開放端が前記溶融はんだ中に侵漬するように被せて設けると共に、前記封止キャップ内へ溶融はんだを送出する手段を備えて成ること、
を特徴とするはんだ付け装置。
【請求項３】
請求項１記載のはんだ付け装置において、溶融はんだ液面上に現れるキャップ状の中空軸の外側に、キャップ状の封止キャップをその端部が前記溶融はんだ中に侵漬するように被せて設けると共に、前記封止キャップに前記封止キャップ内へ不活性ガスを供給するガス供給口を設けたこと、
を特徴とするはんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板のような被はんだ付けワークの被はんだ付け部に溶融はんだの噴流波を供給することで、前記被はんだ付け部のはんだ付けを行うはんだ付け装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のはんだ付け装置を図２４および図２５を参照して説明する。
【０００３】
図２４および図２５は、従来のはんだ付け装置の一例を示す図であり、図２４（ａ）はその全容を示す斜視図、図２４（ｂ）は、図２４（ａ）および図２５（ａ）のＩ−Ｉ線から見た切断面の図、図２５（ａ）は、図２４（ａ）のＩＩ−ＩＩから見た切断面の図、図２５（ｂ）はチャンバ体と吹き口体の構造を説明するための分解斜視図である。
【０００４】
すなわち、はんだ槽１００の中には図示しないヒータによって加熱されて溶融状態の溶融はんだ１０１が収容されている。そして、この溶融はんだ１０１の液中にはポンプ１０２を構成する羽根車１０３が設けられており、羽根車１０３はジョイント１０４を介してモータ１０５に接続されている。また、はんだ槽１００にはポンプ１０２が送り出す溶融はんだ１０１を導くチャンバ体１０６が設けてあり、このチャンバ体１０６には吹き口体１０７が着脱可能に接続され固定されている。吹き口体１０７には吹き口１０８が形成され、この吹き口１０８は溶融はんだ１０１の液面よりも上方に位置し、この吹き口１０８から噴流する溶融はんだ１０１の流れを案内する案内板１０９が設けてある。
【０００５】
モータ１０５は台座１１０に、図示しないねじ等により固定してあり、台座１１０は、はんだ槽１００にねじ１１１等により固定されている。一方、チャンバ体１０６には図２５（ａ），（ｂ）の左右の両側位置に示すように取り付け板１１２を設けてあり、この取り付け板１１２をはんだ槽１００に固着された取り付け受け板１１３にねじ１１６で着脱可能に固定し、チャンバ体１０６をはんだ槽１００に固定している。また、図２５（ｂ）にも示すように、チャンバ体１０６と吹き口体１０７とは、チャンバ体１０６に設けた取り付け受け板１１４と吹き口体１０７に設けた取り付け板１１５とをねじ１１７で着脱可能に固定する構成である。なお、チャンバ体１０６にはポンプ１０２の羽根車１０３を挿入するポンプ挿入孔１１８を設けてある。
【０００６】
このように構成されたはんだ付け装置１２２は、モータ１０５によるポンプ軸１２１の回転によってポンプ１０２の羽根車１０３が回転し、溶融はんだ１０１を吸い込み口１１９から吸い込み、吐出口１２３からチャンバ体１０６へ送り出す。続いて、ポンプ１０２から送り出された溶融はんだ１０１が吹き口体１０７の吹き口１０８から噴流して案内板１０９を流れ下り、噴流波１２０を形成する仕組みである。
【０００７】
なお、図示しないが、以上の例のような回転駆動手段によることなく溶融はんだ１０１を吹き口１０８に供給する技術として、溶融はんだ１０１中に走行磁界を印加して前記溶融はんだ１０１に走行磁界方向の流動力を与える方式の電磁ポンプ式のはんだ付け装置も存在する。
【０００８】
次に、従来のＮ2 ガスはんだ付けシステムを、図２６および図２７を参照して説明する。
【０００９】
図２６および図２７は、従来の窒素ガス（Ｎ2 ガス）雰囲気の低酸素濃度雰囲気中ではんだ付けを行うＮ2 はんだ付けシステムを示す図で、図２６はＮ2 はんだ付けシステムの側断面図、図２７は、図２６の平面図である。なお、説明をわかりやすくするために、図２６においてはＮ2 ガス供給系をシンボル図で描いてあり、また、図２７においては雰囲気形成チャンバ体を破線で描いて内部を透視して示し、Ｎ2 ガス供給系は省略して図示していない。
【００１０】
すなわち、トンネル状の雰囲気形成チャンバ体１２６内に平行する二条の搬送コンベア１２７が設けられ、また、この搬送コンベア１２７の搬送路に沿って、プリント配線板１２８の予備加熱工程部１２９ではプリヒータ１３０が設けられ、はんだ付け工程部１３１では、はんだ付け装置１２２が設けられている。なお、プリヒータ１３０は雰囲気形成チャンバ体１２６内に設けられているが、はんだ付け装置１２２は、雰囲気形成チャンバ体１２６の下方側にはんだ付け装置１２２を臨む開口１３２を設けるとともにこの開口１３２にスカート部１３３を設け、この雰囲気形成チャンバ体１２６のスカート部１３３をはんだ付け装置１２２の溶融はんだ１０１に浸漬することで、はんだ付け装置１２２の吹き口１０８を雰囲気形成チャンバ体１２６内に露呈させ、併せて雰囲気形成チャンバ体１２６の開口１３２を封止するようにして設けられている。
【００１１】
搬送コンベア１２７は、コンベアフレーム１３４の両端に設けられたスプロケット１３５に搬送チェーン１３６を掛け渡し、この搬送チェーン１３６に保持爪１３７を設けた構成となっていて、この保持爪１３７でプリント配線板１２８の両側端部を保持して搬送する。
【００１２】
すなわち、図示しないモータによってスプロケット１３５が回転駆動され、コンベアフレーム１３４に設けてある図示しないレール部に沿って搬送チェーン１３６を走行させることで、保持爪１３７に保持されたプリント配線板１２８を搬入口１３８から搬出口１３９へ矢印Ａ方向に搬送する仕組みである。なお、コンベアフレーム１３４は図２７の上下方向（矢印Ｂ方向）に移動が可能であり、これによりプリント配線板１２８の幅に合わせてその保持幅を調節する構成となっている。
【００１３】
はんだ付け装置１２２は、先に説明した図２４および図２５に示した構成であり、ポンプ１０２を回転駆動するモータ１０５の回転により吹き口体１０７の吹き口１０８より溶融はんだ１０１を噴流して噴流波１２０を形成する。そして、搬送コンベア１２７で搬送されるプリント配線板１２８の下面（被はんだ付け面）を前記噴流波１２０に接触させることにより、その被はんだ付け部にはんだを供給してはんだ付けが行われる。
【００１４】
雰囲気形成チャンバ体１２６の上方および下方に設けられているラビリンス板１４０は、プリント配線板１２８の搬送方向に直交するように設けられた板状の部材で、この多数のラビリンス板１４０によって雰囲気形成チャンバ体１２６内を区画することによりラビリンス流路（ラビリンスシール構造）を形成し、雰囲気形成チャンバ体１２６内の雰囲気が不要に流動しないようにして安定な雰囲気形成が行えるようにしている。
【００１５】
一方、はんだ付け工程部１３１にはＮ2 ガスを雰囲気形成チャンバ体１２６内に供給するノズル１４１が設けられ、これにより、雰囲気形成チャンバ体１２６内に低酸素濃度の不活性ガス雰囲気を形成し、プリント配線板１２８の被はんだ付け部の酸化や高温の溶融はんだ１０１の酸化を抑制するとともに、溶融はんだ１０１の流動性を向上させている。特に、鉛を使用しない錫が主成分の鉛レスはんだでは、前記はんだの大気中における酸化速度が著しく速いため、低酸素濃度雰囲気中でのはんだ付けが必須の条件となっている。
【００１６】
Ｎ2 ガスは、Ｎ2 ガスボンベ等のＮ2 ガス供給装置１４３から供給される。流量計１４４および流量調節弁１４５により所望の流量のＮ2 ガスがノズル１４１から供給される。開閉弁１４６は、Ｎ2 ガスの供給経路を決めると同時に供給の有無を決める手段である。また、フィルタ１４７は不要物を除去する手段であり、圧力制御弁１４８はＮ2 ガスを目的とする供給圧力に制御する手段、圧力計１４９は圧力モニタ手段である。
【００１７】
このようなはんだ付けシステムでは、搬送コンベア１２７でプリント配線板１２８を順次に搬送させて多量のプリント配線板１２８を連続してはんだ付けが可能である。特に、図２６および図２７に示すような雰囲気形成チャンバ体１２６やＮ2 ガス供給系を備えたＮ2 はんだ付けシステムでは、それを低酸素濃度の不活性ガス雰囲気中で行うことができる。
【００１８】
この他にも、大気中ではんだ付けを行うはんだ付けシステムで、雰囲気形成チャンバ体やＮ2 ガス供給系を備えない（他の構成は同様の）はんだ付けシステムもある。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
図２４および図２５を参照して説明した構成のはんだ付け装置は、吹き口体１０７の吹き口１０８上に形成される噴流波１２０にプリント配線板１２８の被はんだ付け面を接触させてはんだ付けを行う構成である。すなわち、この吹き口体１０７の部分が実質的なはんだ付けに使用される領域である。
【００２０】
一方、噴流波１２０を形成するためには溶融はんだ１０１中のポンプ１０２を回転駆動する必要があり、そのために溶融はんだ１０１の液面上側に配置したモータ１０５で前記ポンプ１０２を回転駆動する構成となっている。すなわち、はんだ槽１００の吹き口体１０７の横側にモータスペースとポンプスペースとを別途に確保して構成する必要があった。
【００２１】
すなわち、このモータスペースとポンプスペースの分だけはんだ槽１００の容積が大きくなり、必要以上にはんだ槽１００にはんだ（溶融はんだ１０１）を収容する必要がある場合があった。はんだ槽１００に収容される溶融はんだ１０１の量が多い場合には前記溶融はんだ１０１全体が保持している熱量が大きいため、プリント配線板１２８が大きい場合やプリント配線板１２８に搭載されている部品の吸熱量が多い場合、さらにはそれらが連続して多量生産される場合等において、溶融はんだ１０１の噴流波１２０の温度が安定となって安定した品質のはんだ付けが行える長所もある。
【００２２】
しかし、それ以外の場合においては、その収容容積が大きい分だけはんだ融解時に必要となる電力が大きくなり、はんだ付け装置１２２の消費電力が大きくなる問題がある。例えば、毎日１回はんだ付け装置１２２を使用するものと仮定して、それを１年間続ければ、その消費電力の総量は大変に大きいものとなる。また、この収容容積すなわちはんだ槽１００の容積が大きいことは、はんだ付け装置１２２の運転開始当初において、はんだ槽１００に投入する必要のあるはんだの量や、はんだが劣化したり不純物が多くなった際にはんだを交換する際にはんだ槽１００に投入が必要となるはんだの量も多く必要である。
【００２３】
さらには、はんだ付けシステムにおいては、はんだ付け装置１２２のモータスペースおよびポンプスペースの部分だけが突出しているので、はんだ付けシステムの形状とくに筐体が必要以上に大きくなってしまう。
【００２４】
次に、はんだ槽１００の清掃等のメンテナンス作業を考えた場合には、搬送コンベア１２７を大きく開いて（図２７において上下一対の搬送コンベア１２７をそれぞれ上方と下方に移動させ、その保持爪１３７で保持するプリント配線板１２８の保持幅を拡大するように開いて）はんだ付け装置１２２全体を露呈させるようにできることが最も望ましい。しかし、図２４および図２５に示すようなはんだ付け装置１２２では、吹き口体１０７の横側にモータ１０５を配置しているために、図２７に示す上側の搬送コンベア１２７をモータ１０５を越えて図上の上方向へ移動させるようなことができない。そのため、はんだ付け装置１２２のメンテナンス作業が行い難い。
【００２５】
次に、図２７に示すように、台座１１０部分を含むモータ１０５の部分がはんだ槽１００から突出してはんだ槽１００を跨いで固定される構成であるために、台座１１０部分を含むモータ１０５部分をも被うようにして雰囲気形成チャンバ体１２６のスカート部１３３を、はんだ付け装置１２２のはんだ槽１００内の溶融はんだ１０１中に浸漬できない。ちなみに、スカート部１３３は、雰囲気形成チャンバ体１２６および搬送コンベア１２７とはんだ付け装置１２２の上下位置関係を調節する際にも雰囲気形成チャンバ体１２６の封止性を確保できるようにするために設けられているものである。
【００２６】
そのため、どうしても台座１１０部分およびモータ１０５部分の溶融はんだ１０１は、大気中に暴露された状態とならざるを得ない。したがって、この大気中に暴露された部分（図２４（ａ）のαで示す部分）の溶融はんだ１０１の酸化を防止することができない。そのため、はんだ付け装置１２２の運転に伴って多くの溶融はんだ１０１の酸化物、すなわちドロスを生成してしまい、高価なはんだの損失を招くばかりか、その清掃除去作業も必要であり、はんだ付け装置１２２の運転上におけるコスト増加を招いている。
【００２７】
次に、はんだ付け装置１２２が電磁ポンプ式の場合では、モータ１０５や台座１１０等を必要としないが、溶融はんだ１０１中に走行磁界を印加して前記溶融はんだ１０１中に巨大な誘導電流を生じさせて前記溶融はんだ１０１に流動力を与える構成のために、走行磁界の印加部分のみならず噴流波１２０やはんだ槽１００中の溶融はんだ１０１中に迷走電流が流れる問題がある。また、はんだ付け装置１２２を構成する吹き口体１０７やはんだ槽１００自体がはんだ成分の１つである錫による浸蝕を受けるが、その浸蝕が迷走電流による電蝕によって一層促進されてしまう。一般に、錫の成分比率の大きい鉛レスはんだ程その浸蝕や電蝕が生じやすい。
【００２８】
また、溶融はんだ１０１中に流れる電流により溶融はんだ１０１が加熱されるいわゆる誘導加熱を生じ、これにより、はんだ槽１００内の溶融はんだ１０１の温度に対し噴流波１２０の温度が上昇するオフセットを生じる問題がある。
【００２９】
本発明の目的は、従来のはんだ付け装置１２２における以上のような問題を解消し、モータ１０５等のポンプ駆動手段をはんだ槽１００の上方側に設けることなく、必要以上に大容積のはんだ槽１００を必要とせず、消費電力を少なくし、メンテナンス作業を容易に行うことが可能であり、また、迷走電流や誘導電流等による影響を受けないはんだ付け装置を実現することにある。
【００３０】
さらには、はんだ付けシステムにおいては同等の機能を小型に構成し、はんだ付け装置を雰囲気形成チャンバ体等で覆って低酸素濃度雰囲気中ではんだ付けを行うＮ2 はんだ付けシステムにおいては、はんだ付け装置の溶融はんだ液面の全体を低酸素濃度雰囲気とすることができるようにすることにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
本発明のはんだ付け装置は、ポンプ等を駆動するモータ等のアクチュエータをはんだ槽の外壁側に設けるように構成したところに特徴がある。
【００３２】
（１）溶融はんだを収容するはんだ槽の前記溶融はんだと接する槽壁を貫通して前記はんだ槽の溶融はんだ液面上へ連通するパイプを設け、前記はんだ槽の前記槽壁側に設けた回転駆動手段により回転駆動される回転軸を前記パイプ中に通して設け、前記パイプを被うキャップ状の中空軸を前記回転軸の前記溶融はんだ液面上の先端に前記パイプに被せて同軸状に設けると共に前記溶融はんだ中に位置する前記中空軸の周囲に同軸状の羽根車からなるポンプを設け、他方で、前記ポンプから送出される溶融はんだにより噴流波を形成する吹き口体と前記羽根車を収容するポンプケーシングとを一体に備えるチャンバ体であって、前記ポンプケーシングの下方位置に前記羽根車が挿入される孔となる前記ポンプの吸い込み口を設けると共に前記吸い込み口と同軸位置となる前記ポンプケーシングの上方位置に前記中空軸の挿通孔を設けたチャンバ体を、前記同軸状に構成された前記中空軸と前記羽根車とにはんだ槽の液面側から挿抜自在に嵌め合わせてはんだ槽の上端縁で着脱自在に固定して成るように構成する。
【００３８】
これにより、今まではんだ槽の溶融はんだ液面上に配置されていた回転駆動手段であるモータおよびその台座等を無くすことができる。そして、はんだ槽の溶融はんだ液面上には極僅かにパイプと回転軸が現れるだけとなり、はんだ槽の上端部と同程度以下の位置の低背に回転駆動部分が構成できる。また、モータや前記モータを取り付ける従来のような台座が不要であるので、吹き口体の直近位置にポンプおよびその回転軸を設けることが可能となり、はんだ槽の容積も小さくすることができる。さらに、溶融はんだ中を通る回転軸は溶融はんだに触れることがないので溶融はんだの封止も完璧である。
【００４０】
さらに回転軸を軸線として全ての回転駆動部分を構成することが可能となり、これらポンプやモータ等の駆動手段部分を一層小型に構成することが可能となる。
【００４１】
（２）前記（１）のはんだ付け装置において、溶融はんだ液面上に現れるキャップ状の中空軸の外側に、キャップ状の封止キャップをその開放端が前記溶融はんだ中に侵漬するように被せて設けると共に、前記キャップ内へ溶融はんだを送出する手段を備えて成るように構成する。
【００４２】
これにより、キャップ状の中空軸は溶融はんだで覆われて封止され、大気との界面がなくなる。したがって、従来のはんだ付け装置においてこの界面で発生していた粉末状の溶融はんだの酸化物は発生しなくなる。
【００４３】
（３）前記（１）のはんだ付け装置において、溶融はんだ液面上に現れるキャップ状の中空軸の外側に、キャップ状の封止キャップをその端部が前記溶融はんだ中に侵漬するように被せて設けると共に、前記封止キャップに前記封止キャップ内へ不活性ガスを供給するガス供給口を設けるように構成する。
【００４４】
これにより、中空軸の周辺の溶融はんだは不活性ガス雰囲気で酸化することがなくなり、中空軸の周囲に粉末状の酸化物を生じることがなくなる。
【００４９】
【発明の実施の形態】
本発明は、次のような実施形態例において実施することができる。
【００５０】
（１）実施形態例−１
本発明の実施形態例−１のはんだ付け装置を図１を参照して説明する。
【００５１】
図１は、本発明の実施形態例−１のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【００５２】
すなわち、溶融はんだ１０を収容するはんだ槽１の槽底２にパイプ固定孔３が設けてあり、このパイプ固定孔３に溶融はんだ液面４上にまで到達するパイプ５を溶接等により封止して固定する。そして、槽底２にモータ（回転駆動手段）６を取り付け、その回転軸（駆動軸又はモータ軸）７をパイプ５の先端から僅かに出るように構成する。
【００５３】
さらに、パイプ５から出ている駆動軸７に、パイプ５を被う中空軸（中空ポンプ軸）８をねじ９等により固定してこの中空軸８をポンプ軸（中空ポンプ軸）とする。なお、この中空軸８は一端が封止されたキャップ状のものであっても、孔の開いたものであってもかまわない。そして、この中空軸８の溶融はんだ１０の液中の先端部分に羽根車１１により構成されるポンプ１２を設ける。この中空軸８とポンプ１２とを当初よりー体に形成しておくと構造や組み立てが簡単となる。
【００５４】
ちなみに、図１に示すポンプ１２は遠心力型のポンプで、吸い込み口１３側の羽根車１１の周縁に設けた増圧リング（ドーナツ状の円盤）１４は、吸い込み口１３から吸い込んだ溶融はんだ１０を効率良く吐出口１５へ送出させるためのものである。
【００５５】
なお、図１の例では駆動軸（モータ軸）７と中空ポンプ軸８とは同軸線状に配置する構成としているが、パイプ５から出ている駆動軸７の先端に歯車機構等の動力伝達機構を設けて、この駆動軸７とは異なる軸線に設けたポンプ軸を回転駆動するように構成してもよい。
【００５６】
ポンプ１２はポンプケーシング１６内に収容されていて、ポンプケーシング１６は下側チャンバ体１７および上側チャンバ体１８とにより１つに構成している。また、ポンプ１２から送出される溶融はんだ１０を導くチャンバ体１９は、下側チャンバ体１７および上側チャンバ体１８をシールキャップ部２０等により着脱自在に結合して一体となるように構成してあり、それら下側チャンバ体１７および上側チャンバ体１８は、後述するがそれぞれの吊り下げ部１７ａ，１８ａを介してはんだ槽１の上端縁部１ａに吊り下げてねじ２４により着脱可能に固定している。
【００５７】
また、下側チャンバ体１７には羽根車１１のポンプ１２を挿通するとともに溶融はんだ１０を吸い込むための吸い込み口１３を設けてあり、上側チャンバ体１８には中空ポンプ軸８を挿通するためのポンプ軸挿通孔２３を設けてある。
【００５８】
さらに、上側チャンバ体１８には吹き口体２５を結合するための吹き口体取り付け孔２６を設けてあり、上側チャンバ体１８の吹き口体取り付け孔２６近くに吹き口体２５の取り付け板２５ａをねじ２７により着脱可能に固定することにより吹き口体２５を上側チャンバ体１８に結合して固定する構成としている。
【００５９】
なお、はんだ槽１内には図示しないヒータにより加熱されて溶融状態の溶融はんだ１０が収容されている。
【００６０】
このように構成されたはんだ付け装置３０は、パイプ５により駆動軸７と溶融はんだ１０が隔離されて触れることがないので、溶融はんだ１０の封止を完璧に行うことができる。そして、はんだ槽１の槽底２側に設けたモータ６により駆動軸（モータ軸）７を回転駆動させ、中空ポンプ軸８を同軸状に回転駆動することが可能であり、これにより回転するポンプ１２の吸い込み口１３から吸い込まれた溶融はんだ１０を吐出口１５ヘ送出し、溶融はんだ１０はチャンバ体１９を介して吹き口体２５へ送出され、その吹き口２８から噴流して噴流波２９を形成する。
【００６１】
このように、はんだ槽１の溶融はんだ液面４には吹き口体２５の吹き口２８の他に、はんだ槽１の上端縁部１ａと同程度で吹き口２８よりも低い位置に中空ポンプ軸８が僅かに現れるだけで、その分だけポンプ１２と吹き口体２５とを接近させて吹き口体２５とポンプ１２とを概ね同位置に設けることが可能となり、はんだ槽１の容積を大幅に小さくすることができるようになる。
【００６２】
したがって、はんだ付け装置３０を稼働させる当初に、はんだ槽１内で固化しているはんだを溶融させるために要する加熱電力も、大幅に少なくすることができるようになる。
【００６３】
また、はんだ槽１の溶融はんだ液面４上方には吹き口体２５の吹き口２８が位置しているだけなので、はんだ付けシステム等を構成する際の配置自由度が良好となり、システム設計も容易に行うことができるようになる。
【００６４】
さらに、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７の各吊り下げ部１８ａ，１７ａをはんだ槽１の上端縁部１ａで保持し、ねじ２４で固定し、また、上側チャンバ体１８を中空ポンプ軸８に挿通し、下側チャンバ体１７をポンプ１２に挿通している構成なので、前記ねじ２４の簡単な着脱作業により、両チャンバ体１８，１７を吹き口体２５を含めて一体でポンプ１２より引き抜いてはんだ槽１外へ取り出すことができる。また、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７をそれぞれ独立してはんだ槽１の溶融はんだ１０中より引き上げることが可能である。
【００６５】
したがって、チャンバ体１９の清掃等のメンテナンス作業を容易に行うことができるようになる。特に、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７を分離してチャンバ体１９の内部すなわち溶融はんだ１０の流路の清掃等のメンテナンス作業を極めて容易に行うことができるようになる。また、上側チャンバ体１８のみを引き上げることにより、吹き口体２５を溶融はんだ１０中から引き上げることが可能であり、吹き口体２５の清掃等のメンテナンス作業や、他の噴流波２９を形成する吹き口体２５への交換作業も極めて容易に行うことができるようになる。
【００６６】
（２）実施形態例−２
本発明の実施形態例−２のはんだ付け装置を図２および図３を参照して説明する。
【００６７】
図２は、本発明の実施形態例−２のはんだ付け装置を示す側断面図である。また、図３は、本発明の実施形態例−２のはんだ付け装置の全容を示す斜視図である。
【００６８】
この実施形態例−２のはんだ付け装置が実施形態例−１のはんだ付け装置と異なる点は、はんだ槽１の槽底２側のモータ６の飛び出し寸法が短くなるようにモータ６をはんだ槽１の槽底２側に横置きし、その回転を歯車装置３２によって駆動軸７に伝動するように構成している点と、溶融はんだ液面４と大気との界面で、回転する中空ポンプ軸８を大気から遮蔽するように構成した点である。
【００６９】
そのため、はんだ槽１の槽底２にはパイプ５と歯車装置３２を固定するホルダ３３を取り付けるためのホルダ固定孔３４を設けてあり、このホルダ固定孔３４にホルダ３３の一端を嵌め合わせて溶接等により封止して固定する構成である。そして、パイプ５はホルダ３３のパイプ固定孔３５に溶接等により封止して固定する。
【００７０】
このホルダ３３の他端側にはねじ溝を設けてあり、歯車装置３２を取り付けるための台座３６を嵌め合わせてナット３７でねじ固定する構成である。そして、この台座３６に支柱３８を介して歯車装置３２をねじ３９で固定する。モータ６はこの歯車装置３２と一体で使用される通称ギアモータである。そのため、モータ６は歯車装置３２と一体で台座３６に保持し固定されることになる。
【００７１】
これにより、図２上の横方向（モータ６から駆動軸７の方向）に存在する図示されないモータ軸の回転は、歯車装置３２により図２上の縦方向（上下方向）に存在する駆動軸７の回転として伝導され、パイプ５の上端で結合されたキャップ状に封止されてパイプ５を被う中空ポンプ軸８を回転させて溶融はんだ１０中のポンプ１２を回転させ、吸い込み口１３から吸い込んだ溶融はんだ１０を吐出口１５から送出する。また、モータ６が横置きなので、大型で長いモータ６を取り付けてもはんだ槽１の槽底２側寸法を短くすることができる。
【００７２】
さらに、この実施形態例−２では、上側チャンバ体１８のポンプ軸挿通孔２３の部分に封止キャップ４０を設けて中空ポンプ軸８を封止して覆うように構成してある。この封止キャップ４０の上部には還流パイプ４１を導通させて設けてあり、還流パイプ４１の先端開口４１ａは溶融はんだ１０中に浸漬する構成である。
【００７３】
すなわち、ポンプ１２が回転してポンプケーシング１６内の溶融はんだ１０の圧力が高まると、溶融はんだ１０が中空ポンプ軸８と封止キャップ４０との間を上昇して還流パイプ４０に流れ込むようになり、回転する中空ポンプ軸８は溶融はんだ１０で覆われて封止され、大気との界面がなくなる。したがって、従来のはんだ付け装置においてこの界面で発生していた粉末状の溶融はんだ１０の酸化物は発生しなくなる。
【００７４】
なお、この封止キャップ４０は上側チャンバ体１８に設けてあるので、上側チャンバ体１８を溶融はんだ１０中から引き抜く際に一緒に引き抜くことができる。
【００７５】
（３）チャンバ体の詳細構成
実施形態例−１および実施形態例−２で説明したように、チャンバ体１９は下側チャンバ体１７と上側チャンバ体１８とを着脱自在に一体に結合させる構成となっている。そして、それら両チャンバ体１７，１８は、はんだ槽１の上端縁部１ａに両チャンバ体の吊り下げ部１７ａ，１８ａで吊り下げて保持しねじ２４で固定する構成である。
【００７６】
すなわち、図３に示すように下側チャンバ体の吊り下げ部１７ａをはんだ槽１の上端縁部１ａにねじ２４で固定し、上側チャンバ体の吊り下げ部１８ａはその孔を下側チャンバ体の吊り下げ部１７ａに設けたスタットボルト４５に挿通してナット４６によりねじ固定する構成である。
【００７７】
したがって、ナット４６のみを取り外せば上側チャンバ体１８のみを溶融はんだ１０中から引き上げることが可能であり、ねじ２４のみを取り外せば下側チャンバ体１７と上側チャンバ体１８とを結合した一体の状態で引き上げることができる。もちろん、ナット４６とねじ２４とを順次に取り外せば、上側チャンバ体１８の引き上げに続いて下側チャンバ体１７をそれぞれ分離して引き上げることができる。
【００７８】
なお、吹き口体２５から伸びている案内板４７は、吹き口２８から噴流する溶融はんだ１０の流れを案内するものである。
【００７９】
本発明の実施形態例−１および実施形態例−２に使用されるチャンバ体の構成を図４乃至図７を参照して詳細に説明する。
【００８０】
図４は、下側チャンバ体の構成を示す斜視図である。また、図５は、上側チャンバ体の構成を示す斜視図である。なお、図５の上側チャンバ体には吹き口体を取り付けた態様を示してある。そして、図６は、これら下側チャンバ体と上側チャンバ体とを結合して一体にした態様を示す斜視図で、ポンプの構成および前記ポンプとの結合の態様も示している。これらの図においては、構成をわかりやすくするために破線を使用して一部透視した図で示してある。また、図７は、図６のＩＩ−ＩＩ切断面を示す図である。
【００８１】
すなわち、図４に示すように箱型に構成された下側チャンバ体１７に、図５に示すように蓋型に構成された上側チャンバ体１８を被せ、図６に示すように着脱自在に結合させて一体にチャンバ体１９を構成したものである。なお、上側チャンバ体１８のシールキャップ部２０を下側チャンバ体１７のチャンバケーシング５２に嵌め合わせる構成として、その結合部の封止性を確保している。
【００８２】
図４に示すように、下側チャンバ体１７のチャンバケーシング５２内にはポンプ１２の挿通孔を兼ねる吸い込み口１３とポンプケーシング１６の他に、ポンプ１２から送出される溶融はんだ１０の流れを整流するための流路分割板５３や下側整流板５４が設けられている。この下側整流板５４は、図５に示す上側チャンバ体１８に設けた上側整流板５５との組み合わせにより図６および図７に示すような狭搾した流路と小部屋とを形成し、ポンプ１２が送出する溶融はんだ１０が各整流板５４，５５で仕切られた狭搾部分と各部屋間とを矢印Ｃのように上下に流れることを繰り返すことにより不均一な流れの分布が拡散されて均一化し、吹き口体２５に均一な流れとして供給することができる整流機構を構成する。そして、吹き口２８に安定した噴流波２９を形成することができるようになる。
【００８３】
また、図４に示す流路分割板５３は、ポンプ１２の吐出口１５から送出される溶融はんだ１０を図６の矢印Ｃで示すように前記の整流機構の図６上の右側と左側とに均―に分割して供給するための手段であり、吐出口１５から送出される溶融はんだ１０の動圧を左右に均一に分割するための手段である。
【００８４】
図５の上側チャンバ体１８には吹き口体２５を取り付けた態様を示してあるが、この吹き口体２５は上側チャンバ体１８に設けた吹き口体取り付け孔２６に嵌め合わせてねじ２７で着脱可能に固定する構成となっている。これにより、各種の噴流波２９を形成する各種の吹き口体２５を交換できるように構成してある。また、上側チャンバ体１８より吹き口体２５を取り外してこの吹き口体２５の清掃作業等のメンテナンス作業も容易に行うことができるように構成してある。
【００８５】
また、図５は、上側チャンバ体１８に還流パイプ４１を設けた封止キャップ４０を取り付けた構成を示している。この封止キャップ４０は上側チャンバ体１８のポンプ軸挿通孔２３に溶接等により封止して固定してあるが、ねじ込み手段等により着脱可能に封止して固定する構成としてもよい。
【００８６】
そして、これら下側チャンバ体１７および上側チャンバ体１８には、図４，図５および図６に示すように各吊り下げ部１７ａ，１８ａを設けてあり、はんだ槽１の上端縁部１ａに保持される下側チャンバ体の吊り下げ部１７ａの上端縁部分には、図４に示すように下側チャンバ体１７をはんだ槽１に固定するためのねじ２４を挿通するねじ挿通孔５８と、下側チャンバ体１７の上方に上側チャンバ体の吊り下げ部１８ａを固定するためのスタットボルト４５を設けてある。
【００８７】
すなわち、図５に示す上側チャンバ体吊り下げ部１８ａに設けたねじ挿通孔５９を図４に示す下側チャンバ体の吊り下げ部１７ａに設けたスタットボルト４５に挿通してナット４６でねじ固定する構成である。図６は、ナット４６およびねじ２４を設ける前の結合状態を示している。
【００８８】
このように、着脱自在に分割できる下側チャンバ体１７と上側チャンバ体１８とは、最終的に図６のように一体に結合されて白抜き矢印方向にポンプ１２に挿通される。なお、図６において、ポンプ１２は、はんだ槽１の槽底２に設けられている。
【００８９】
以上のように、はんだ槽１の溶融はんだ１０中に配置されるチャンバ体１９は、一体の態様でも、分割した態様でも、溶融はんだ１０中から容易に引き上げることができる。また、吹き口体２５を上側チャンバ体１８に取り付ける構成であるので、上側チャンバ体１８を溶融はんだ１０中から引き上げることで吹き口体２５を容易に取り外したり交換したりすることができる。
【００９０】
したがって、チャンバ体１９の清掃、特にはその内部の清掃を容易に行うことができる。また、吹き口体２５の清掃についても容易に行うことができるようになる。
【００９１】
また、ポンプ１２の吐出圧により封止キャップ４０内に溶融はんだ１０が上昇して流れ込み、還流パイプ４１を通ってはんだ槽１内の溶融はんだ１０中に還流するようになる。そのため、中空ポンプ軸８は溶融はんだ１０で覆われて封止され、大気との界面がなくなる。したがって、従来のはんだ付け装置においてその界面で発生していた粉末状のはんだの酸化物は発生しなくなる。
【００９２】
（４）増圧リングの作用
本発明のはんだ付け装置の実施形態例−１および実施形態例−２に使用される増圧リングの作用を図８を参照して説明する。
【００９３】
図１，図２および図６にも示したように、羽根車１１によって構成した遠心力型のポンプ１２の吸い込み口１３側の羽根車１１の周縁部に、ドーナツ状の円盤形状の増圧リング１４を設けてある。これは、吸い込み口１３から吸い込んだ溶融はんだ１０を効率良く吐出口１５へ送出させるためのものである。
【００９４】
図８は、増圧リングの作用を説明するための図で、図２のポンプ部分のみを示した図である。すなわち、吸い込み口１３から吸い込まれた溶融はんだ１０は吐出口１５に送出されるのであるが、遠心力により矢印Ｄのように吐出口１５側へ送出される溶融はんだ１０の他に、破線の矢印Ｅのように吸い込み口１３の周縁部から漏れ出そうとする溶融はんだ１０が存在し、これはポンプ１２の揚程が大きくなるほど大きくなりやすい。
【００９５】
増圧リング１４は、図８にも破線の矢印Ｅで示したように、この矢印Ｅで示される溶融はんだ１０の流れを遮断し、白抜き矢印の方向に当該ポンプ１２の送出効率を高める作用をする。特に、吸い込み口１３にそのままポンプ１２の羽根車１１が挿通される本例のような構成では顕著な作用が得られる。
【００９６】
（５）中空ポンプ軸のその他の封止技術
中空ポンプ軸のその他の封止技術１乃至４を図９乃至図１２を参照して説明する。
【００９７】
図２に示すように、ポンプ１２の回転速度が上昇してその吐出圧が上がる程度に合わせて、封止キャップ４０内にも溶融はんだ１０が上昇し、吹き口体２５の吹き口２８から溶融はんだ１０が噴流する程度まで吐出圧が上昇すれば、封止キャップ４０内に溶融はんだ１０が満たされ還流パイプ４１から還流して流れるようになる。しかし、ポンプ１２の回転速度が遅い場合には吐出圧が低く封止キャップ４０内に溶融はんだ１０が満たされず、溶融はんだ１０と大気との界面を中空ポンプ軸８の周縁に形成する可能性がある。
【００９８】
そこで、ポンプ１２の回転速度が遅い場合でも封止キャップ４０内に十分な溶融はんだ１０を供給できるように構成した技術が図９の技術である。
【００９９】
図９は、中空ポンプ軸のその他の封止技術−１を説明するための図で、図２のポンプ部分のみを示した図である。
【０１００】
すなわち、中空ポンプ軸８の側周にスパイラルポンプ部６１を設け、封止キャップ４０内へ溶融はんだ１０を送出する手段を構成して前記封止キャップ４０内を溶融はんだ１０で満たすように構成した技術である。これにより、ポンプ１２の回転速度が遅い場合においてもスパイラルポンプ部６１により封止キャップ４０内に十分な溶融はんだ１０を供給することができるようになり、溶融はんだ１０と大気との界面を中空ポンプ軸８の周縁に形成することがなくなる。
【０１０１】
図１０は、中空ポンプ軸のその他の封止技術−２を説明するための図で、図９の技術と同様の技術であるが、封止キャップ４０を上側チャンバ体１８から独立して設け、アーム状の支持板６２ではんだ槽１の上端縁部１ａにねじ２４で固定するように構成したものである。この封止技術−２の作用は、図９の技術と同様であるが、噴流波形成用のポンプ１２と中空ポンプ軸封止用のスパイラルポンプ部６１とが独立しているため、噴流波形成用のポンプ１２の送出能力の全てを噴流波形成用に使用できる特徴がある。
【０１０２】
図１１は、中空ポンプ軸のその他の封止技術−３を説明するための図で、この技術も図２の技術と同様の技術であるが、ポンプケーシング１６内に封止専用流路６３を設けて封止キャップ４０内に溶融はんだ１０を送出しやすいように配慮した構成による封止キャップ４０内へ溶融はんだ１０を送出する手段である。
【０１０３】
図１２は、中空ポンプ軸のその他の封止技術−４を説明するための図である。すなわち、中空ポンプ軸８に封止キャップ４０を被せてその封止キャップ４０内にガス供給口６４からＮ2 ガス等の不活性ガスを供給するように構成した技術である。図１０と同様に、封止キャップ４０はアーム状の支持板６２ではんだ槽１の上端縁部１ａにねじ２４で固定するように構成してある。したがって、中空ポンプ軸８の周辺の溶融はんだ１０はＮ2 ガス雰囲気で酸化することがなくなり、中空ポンプ軸８の周囲に粉末状の酸化物を生じることがなくなる。
【０１０４】
なお、支持板６２を固定するねじは、ねじ２４とは別のねじを用いることもできる。
【０１０５】
（６）本発明のはんだ付け装置をＮ2 はんだ付けシステムに使用した実施形態例
本発明のはんだ付け装置をＮ2 はんだ付けシステムに使用した実施形態例を図１３を参照して説明する。
【０１０６】
図１３は、図２で示したはんだ付け装置を、Ｎ2 はんだ付けシステムに組み込んで使用した実施形態例を示す図で、Ｎ2 はんだ付けシステムの平面図である。
【０１０７】
図１３に示したＮ2 はんだ付けシステムが、図１７に示した従来のＮ2 はんだ付けシステムと相違する点は、はんだ付け装置３０が使用され、溶融はんだ液面４の概ね全てが、雰囲気形成チャンバ体１２６に設けたスカート部１３３により大気から遮断され、Ｎ2 ガス雰囲気の低酸素濃度雰囲気で覆われている点である。
【０１０８】
すなわち、本発明のはんだ付け装置３０では、図２７に示した従来のはんだ付け装置１２２に設けてあるモータ１０５やその台座１１０を、はんだ槽１の上方に設ける必要がなく、また、ポンプ１２を吹き口体２５に接近して同様の位置に設けることが可能になった。そのため、はんだ槽１の上方に突出部分が無く、また、はんだ槽１の容積も小さくすることが可能となり、はんだ槽１に収容される溶融はんだ液面４に吹き口体２５の吹き口２８を中心として配置することが可能となった長所によるものである。
【０１０９】
したがって、従来のようにモータが取り付けられた周辺の溶融はんだ液面が酸化して多量のドロスを形成することもなくなり、酸化によって高価なはんだが無駄に消費されることが極めて少なくなるとともに清掃作業等のメンテナンス作業も不要となる。
【０１１０】
また、図１３の上方側のコンベアフレーム１３４を、図１３の上方に移動させてもモータに当接することもないので、上下両方のコンベアフレーム１３４をそれぞれ上方向と下方向に開放することが可能となり、はんだ付け装置３０全体、ひいては溶融はんだ液面４および吹き口体２５を完全に露呈させることができるようになり、吹き口体２５や溶融はんだ液面４の清掃作業等のメンテナンス作業も容易に行うことができるようになる。このことは、特に雰囲気形成チャンバ体を備えない大気中ではんだ付けを行うはんだ付けシステムにおいて最も顕著に表れる特徴である。
【０１１１】
（７）実施形態例−３
前記（１）および（２）において、本発明のはんだ付け装置の実施形態の基本的な技術思想を詳細に説明した。また、前記（３），（４），（５）においては前記（１），（２）の実施形態の基本技術によって新たに生まれた技術を説明した。さらに前記（６）においては、前記（１），（２）の実施形態の基本技術により構成されたはんだ付け装置を用いてはんだ付けシステムを構成する際の利点を説明した。
【０１１２】
以下の各項では、さらに、本発明のはんだ付け装置のその他の実施形態例と応用例について説明する。
【０１１３】
本発明の実施形態例−３のはんだ付け装置を図１４を参照して説明する。
【０１１４】
図１４は、本発明の実施形態例−３のはんだ付け装置を示す側断面図である。すなわち、本実施形態例−３が、先に説明した（１）実施形態例−１と相違する点は、溶融はんだ１０を収容するはんだ槽１の側壁６９にパイプ固定孔（はんだ槽の開口）３が設けてあり、このパイプ固定孔３に一端５ａが溶融はんだ液面４上にまで到達するパイプ５（溶融はんだの排斥体で構成されている。）の他端５ｂを溶接等により封止して固定している点である。
【０１１５】
それに伴い、はんだ槽１の側方側の側壁の下部に、ポンプ１２を駆動するアクチュエータすなわち、この例では回転駆動手段であるモータ６を取り付ける。モータ６は槽底２にねじ７３で固定された取り付けアングル７２で取り付けられる。そしてそのモータ軸（すなわち駆動軸である回転軸）７をパイプ５の先端から僅かに出るように構成している。また、実施形態例−１と同様に、パイプ５を被う中空軸（すなわち中空ポンプ軸）８をねじ９等により回転軸７に固定してポンプ軸とし、その先端部分に羽根車１１により構成されるポンプ１２を設けた構成である。
【０１１６】
そのため、図１４に示すように、溶融はんだのポンプ１２は溶融はんだ１０中に傾斜して配設され、それに伴ってポンプケーシング１６も傾斜して配設される構成である。その他の構成は実施形態例−１と同様である。但し、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７を中空ポンプ軸８方向すなわち白抜き矢印方向に着脱できるように、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７の各吊り下げ部１８ａ，１７ａを図１４に示すように中空ポンプ軸８と同じ方向に傾斜させて構成してある。
【０１１７】
はんだ槽１は、側壁６９で囲まれており、下側の側壁を槽底２とし、側壁の外側を外壁側７１と称することにする。他の実施形態例についても同様である。
【０１１８】
（８）実施形態例−４（応用例）本発明の実施形態例−４のはんだ付け装置を図１５を参照して説明する。
【０１１９】
図１５は、本発明の実施形態例−４のはんだ付け装置を示す側断面図である。すなわち、本実施形態例−４が先に説明した（１）実施形態例−１と相違する点は、中空ポンプ軸８がモータ軸（すなわち駆動軸である回転軸）７と同軸状に回転する構成ではなく、モータ６によって回転駆動される回転軸である駆動軸７の回転を２個の歯車８２，８０によって中空ポンプ軸８に伝動するように構成している点である。
【０１２０】
そのため、はんだ槽１の槽底２に２つのパイプ固定孔３，７５を設け、それぞれのパイプ固定孔３，７５に溶融はんだ液面４上にまで到達するパイプ５，７６を溶接等により封止して固定し、一方のパイプ５内には、はんだ槽１の下方に配設したモータ６による駆動軸７を通し、他方のパイプ７６内には中空ポンプ軸８を回動自在に保持する支軸７８を設けてある。なお、駆動軸７に設けられる歯車８２はねじ９で固定され、支軸７８に設けられる歯車８０はナット８１で固定された構成例を図示している。
【０１２１】
この支軸７８は支軸パイプ７７に設けた２つの軸受７９，７９により回動自在に保持され、支軸パイプ７７は前記のはんだ槽１のパイプ固定孔７５に設けたパイプ７６に嵌め合わせて、両パイプのフランジ部７７ａ，７６ａで、図示しないねじ等により固定する構成である。
【０１２２】
また、実施形態例−１で上側チャンバ体１８に設けたポンプ軸挿通孔２３および下側チャンバ体１７に設けたポンプ１２の挿通孔を兼用した吸い込み口１３の他に、上側チャンバ体１８の吊り下げ部１８ａおよび下側チャンバ体１７の吊り下げ部１７ａには、図１５の右側に示すように駆動軸挿通孔７４を設けてある。
【０１２３】
その他の点は実施形態例−１と同様であり、チャンバ体１９は上側チャンバ１８と下側チャンバ体１７とにより構成され、それぞれの吊り下げ部１８ａ，１７ａではんだ槽１の上端縁部１ａにねじ２４で着脱自在に固定される構成である。
【０１２４】
（９）実施形態例−５
本発明の実施形態例−５のはんだ付け装置を図１６を参照して説明する。
【０１２５】
図１６は、本発明の実施形態例−５のはんだ付け装置を示す側断面図である。すなわち、本実施形態例−５が先に説明した実施形態例−４と相違する点は、支軸パイプ７７を、支柱８５に設けた支軸パイプ固定孔８６に嵌め合わせて、それぞれのフランジ部７７ａ，８５ａで、図示しないねじ等により固定する構成とした点である。この例のように、中空ポンプ軸８は、はんだ槽１の槽底２の支柱固定孔８７に設けられた支柱８５に設けるように構成することもできる。
【０１２６】
（１０）実施形態例−６（応用例）本発明の実施形態例−６のはんだ付け装置を図１７を参照して説明する。
【０１２７】
図１７は、本発明の実施形態例−６のはんだ付け装置を示す側断面図である。先に説明した実施形態例−４と同様にモータ６の駆動軸７の回転を２つのかさ歯車８０ａ，８２ａによって中空ポンプ軸８に伝動するように構成している。但し、モータ６の駆動軸７は実施形態例一３のように、溶融はんだ１０を収容するはんだ槽１の側壁６９にパイプ５を設けて、このパイプ５にモータ６の駆動軸７を通すように構成している。
【０１２８】
また、チャンバ体１９は上側チャンバ体１８と下側チャンバ体１７とで構成し、図１７に示すように左側は、それぞれの吊り下げ部１８ａ，１７ａではんだ槽１の上端縁部１ａで着脱自在に固定しているが、右側は、はんだ槽１の槽底２に固着した係止具８８に差し込んで係止する構成としている。
【０１２９】
そして、この例では、ポンプ１２の吸い込み口１３を上側チャンバ体１８に設けてある。
【０１３０】
（１１）実施形態例−７（応用例）本発明の実施形態例−７のはんだ付け装置を図１８を参照して説明する。
【０１３１】
図１８は、本発明の実施形態例−７のはんだ付け装置を説明する側断面図である。先に説明した実施形態例−５と同様にモータ６の駆動軸７の回転をかさ歯車９７、９６及び歯車８２、８０によって中空ポンプ軸８に伝動するように構成している。そして、モータ６の駆動軸７は実施形態例−３のように溶融はんだ１０を収容するはんだ槽１の外壁側７１から通す構成としている。但し、はんだ槽１の側壁６９に設けるパイプ９１はその断面形状が「Ｌ」字型のパイプとし、この「Ｌ」字型のパイプ９１内に２つのかさ歯車９７，９６を設けて横方向に配設された駆動軸８９の回転を縦方向すなわち中空ポンプ軸８と同一方向の駆動軸９０の回転に換える構成である。
【０１３２】
そして、それぞれの駆動軸８９、９０は、「Ｌ」字型のパイプ９１に嵌め合わされる駆動軸パイプ９２、９３に軸受け９４、９５を設けて保持される。そして、モータ軸７に結合される駆動軸８９には、その一端にジョイント９８を介してモータ軸７が結合され、他端にかさ歯車９７が設けられる。また、中空ポンプ軸８に歯車８０、８２で結合される駆動軸９０には、一端にかさ歯車９６を介してかさ歯車９７が結合され、他端に歯車８０に結合される歯車８２が設けられている。
【０１３３】
これらの駆動軸パイプ９２、９３は、「Ｌ」字型パイプに嵌め合わせることにより相互のかさ歯車９６、９７がかみ合わされる構成であり、駆動軸パイプ９２、９３は、それぞれのフランジ部９２ａ、９３ａにより図示しないねじ等によりパイプ９１のフランジ９１ａおよびはんだ槽１のパイプ固定孔３に固定される。
【０１３４】
一方、チャンバ体１９の構成は、基本的に実施形態例−１と同様であるが、「Ｌ」字型のパイプ９１をはんだ槽１の側壁６９に設けた構成であるので、図１８に示すようにチャンバ体１９の右側の吊り下げ部１７ａ、１８ａに駆動軸挿通孔７４を設ける構成としている。
【０１３５】
ここで本発明の実施形態例−７のはんだ付け装置の伝動系を図１９を参照して説明する。
【０１３６】
図１９は、図１８に示す実施形態例−７のはんだ付け装置の伝動系各部の構成部分を説明するための図で、（ａ）は、中空ポンプ軸に結合される駆動軸系を示す斜視図、（ｂ）は、モータ軸に結合される駆動軸系を示す斜視図、（ｃ）は、中空ポンプ軸を回動自在に保持する支軸系を示す斜視図、（ｄ）は、（ｃ）の支軸に設けられる中空ポンプ軸とポンプの斜視図である。
【０１３７】
図１９（ａ）に示すように、駆動軸パイプ９３にはフランジ部９３ａが設けてあり、このフランジ部９３ａに設けたねじ孔９３ｂにねじ（不図示）を通して図１８の「Ｌ」字型のパイプ９１のフランジ部９１ａにねじ固定する構成である。同様に図１９（ｂ）の駆動軸パイプ９２は、フランジ部９２ａのねじ孔９２ｂではんだ槽１にねじ固定する構成である。また、駆動軸８９、９０に設けられるかさ歯車９６、９７や歯車８２およびジョイント９８はそれぞれねじで固定される構成であり、かさ歯車９６、９７やジョイント９８を固定するねじは省略して図示していない。尚、駆動軸パイプ９２、９３内には駆動軸８９、９０の軸受け９４、９５を設けてある。
【０１３８】
また、図１９（ｃ）に示す支軸系の構成も基本的には（ａ），（ｂ）の駆動軸系の構成と同様であり、支軸パイプ７７にフランジ部７７ａを設けてそのねじ孔７７ｂを通して図１８のはんだ槽１の槽底２のパイプ固定孔７５に固定されたパイプ７６に嵌め合わせてパイプ７６のフランジ部７６ａにねじ固定する構成である。
【０１３９】
支軸７８は支軸パイプ７７内に設けた軸受け７９により回動自在に保持されていて、支軸７８の先端には図１９（ｄ）に示す中空ポンプ軸８の嵌合孔８３を嵌め合わせて固定するためのねじ部７８ａが形成してある。尚、このねじ部７８ａには図１８にも示したように歯車８０も嵌め合わせて中空ポンプ軸８と合わせてナット８１で固定する構成である。
【０１４０】
図１９（ｄ）は、図６にも示したポンプ１２の斜視図で、中空ポンプ軸８の下方端部に羽根車１１から成るポンプ１２を設けて一体に構成した例である。
【０１４１】
尚、以上の構成で設けられている軸受け７９、９４、９５としては、その耐熱性からセラミックス製の軸受けが適している。このことは、実施形態例−４や実施形態例−５、実施形態例−６、後述の実施形態例−８および実施形態例−９においても同様である。
【０１４２】
（１２）実施形態例−８（応用例）本発明の実施形態例−８のはんだ付け装置を図２０を参照して説明する。
【０１４３】
図２０は、本発明の実施形態例−８のはんだ付け装置を示す側断面図である。先に説明した実施形態例−６と同様に、溶融はんだ１０を収容するはんだ槽１の外壁側７１からモータ６の駆動軸７を通し、その回転を２つのかさ歯車８０ａ、８２ａによって中空ポンプ軸８に伝動するように構成している。
【０１４４】
モータ６の駆動軸７とこの駆動軸に設けられるかさ歯車８２ａは口筐体９９によって溶融はんだ１０から離隔されている。この口筐体９９は、溶融はんだ液面４上に２つのかさ歯車８０ａ、８２ａのかみ合わせ部を露出させるための開口９９ａとモータ６の駆動軸７を通す駆動軸孔部９９ｂとこの口筐体９９内に発生する異物を排出するためのドレン孔部９９ｃとが設けられ、駆動軸孔部９９ｂとドレン孔部９９ｃとはそれぞれはんだ槽１に設けた口筐体固定孔７０に嵌め合わせて溶接等により封止して固定する構成である。
【０１４５】
この口筐体９９は、溶融はんだ１０の排斥体を形成するものであるが、このように、溶融はんだ１０の排斥体はポンプ１２の駆動方法に合わせてその形状を任意に選択することができる。尚、ポンプ１２やチャンバ体１９、吹き口体２５の構成は実施形態例−６と同様である。
【０１４６】
（１３）実施形態例−９（応用例）本発明の実施形態例−９のはんだ付け装置を図２１および図２２を参照して説明する。
【０１４７】
図２１は、本発明の実施形態例−９のはんだ付け装置を示す側断面図である。基本的な構成は先に説明した実施形態例−８と同様であるが、口筐体の構成が異なっている。
【０１４８】
すなわち、先の実施形態例−８では、溶融はんだ液面４に現れる口筐体９９の開口９９ａは、はんだ槽１の内壁からは離れていて、この開口９９ａは溶融はんだ１０で被われるように構成されていた。しかし、本実施形態例−９の構成では、溶融はんだ液面４に現れる口筐体９９の開口９９ａは、はんだ槽１の内壁に密着した構成である。
【０１４９】
図２２は、実施形態例−９のはんだ付け装置を上方から見た図である。すなわち、口筐体９９の溶融はんだ液面４上に現れる開口９９ａは、はんだ槽１の内壁に密着して設けられる構成である。これに対し、先に説明した実施形態例−８の口筐体９９では、図２２の口筐体９９の溶融はんだ液面４上に現れる開口９９ａは、破線で示すようにはんだ槽１の内壁から離れるように構成されている。
【０１５０】
実施形態例−８のように口筐体９９を構成すると、図１３で説明した雰囲気形成チャンバ体１２６のスカート部１３３を口筐体９９とはんだ槽１の内壁との間に挿入して溶融はんだ１０液中に浸漬することができるので、実施形態例−９に比較して溶融はんだ液面４の封止が完全に行える長所がある。
【０１５１】
尚、実施形態例−４、実施形態例−５および実施形態例−７では、実施形態例−１のはんだ槽１の容積よりも若干大きくなるが、従来のはんだ付け装置よりは小さく構成することができる。
【０１５２】
（１４）実施形態例−１０（応用例）本発明の実施形態例−１０のはんだ付け装置を図２３を参照して説明する。
【０１５３】
図２３は、本発明の実施形態例−１０のはんだ付け装置を示す側断面図である。この実施形態例−１０は、実施形態例−１のはんだ付け装置に補機を設けて、特有の噴流波を形成できるように構成したはんだ付け装置である。すなわち、吹き口体２５の吹き口２８に噴流孔１６２を設けたスイングノズル体１６１を設けて、これをクランク１５０によって図２３の左右方向に往復移動するように構成した例である。すなわち、特公平１−３４７１２号公報に説明されているところの、噴流波である凹凸波を往復移動させる技術である。
【０１５４】
スイングノズル体１６１とクランク１５０とはクランクアーム１５８で連絡され、それらは２つのピン１５９により回動自在に連結されている。これらは、特有の噴流波２９を形成するための補機であり、これら補機の駆動は、はんだ槽１の下方（槽底２の外壁側７１）に設けたギアモータ１５１、１５２（スイング用のモータ１５１とギア１５２とを一体に構成したもの）により行う構成である。
【０１５５】
すなわち、はんだ槽１の槽底２にパイプ固定孔１５４（はんだ槽の開口）を設け、このパイプ固定孔１５４にはんだ槽１内の溶融はんだ液面４上にまで到達するパイプ（溶融はんだの排斥体）１５３を嵌め合わせて、例えば溶接し、溶融はんだ１０を封止して固定する。そして、クランク１５０の回転駆動手段であるギアモータ１５１、１５２をはんだ槽１の下方に設け、その駆動軸１５５を前記パイプ１５３に通して、先に説明したクランク１５０とねじ１５６で固定する構成である。
【０１５６】
この構成により、ギアモータ１５１，１５２をはんだ槽１の下方に設けたにも係わらず、ギアモータ１５１，１５２の駆動軸１５５は溶融はんだ１０に触れることなくクランク１５０に結合することが可能となり、溶融はんだ１０の封止を完璧に行いつつ溶融はんだ液面４上の、噴流波２９の凹凸波を往復移動させるための補機を駆動することができる。すなわち、ギアモータ１５１，１５２の駆動軸１５５が回転することにより、クランク１５０に駆動されてスイングノズル体１６１が図２３の左右方向に往復移動し、スイングノズル体１６１の噴流孔１６２から溶融はんだ１０が噴流して形成される凹凸状の噴流波が同様に図２３の左右方向に往復移動する。
【０１５７】
尚、ギアモータ１５１、１５２を使用している理由は、スイング用モータ１５１の回転速度をスイングノズル体１６１の適正なスイング速度にするための手段である。また、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７の各吊り下げ部１８ａ、１７ａには、それぞれパイプ挿通孔１５７を設けてあり、クランク１５０を取り外すことにより実施形態例−１と同様に、上側チャンバ体１８および下側チャンバ体１７の取り外しおよび取り付け、さらには分解が可能なように構成してある。
【０１５８】
このように、本発明によれば、補機を駆動するためのモータ１５１等のアクチュエータを、はんだ槽１の上方側ではなく、はんだ槽の側壁６９や槽底２の外壁側７１に配設することが可能となり、はんだ付け装置の上方に形成される噴流波２９やこの噴流波２９に接触されるプリント配線板１２８、およびプリント配線板の搬送コンベア１２７に対して障害物となることがなくなる。
【０１５９】
また、特公平１−３４７１２号公報にも示されているように、クランク軸がはんだ槽内の溶融はんだ液面およびはんだ槽の上端縁上を横切ることもなくなり、図１３で説明した雰囲気形成チャンバ体１２６のスカート部１３３を何ら横切る障害物もなく、はんだ槽１の内壁に沿って溶融はんだ１０液中に浸漬することができる。したがって、はんだ槽１内の溶融はんだ液面４の封止を完全に行うことができる。
【０１６０】
ちなみに、特公平１−３４７１２号公報のはんだ付け装置の溶融はんだ液中に図１３に示した雰囲気形成チャンバ体１２６のスカート部１３３を浸漬しようとすると、クランク軸を横切る孔を前記スカート部１３３に設ける必要があり、この孔が雰囲気形成チャンバ体１２６の大気との連通孔となってその封止性が低下する。
【０１６１】
このように、はんだ付け装置に設けられるポンプ駆動用のモータ６以外の駆動源が必要となる補機を駆動する場合においても、その補機を駆動するモータ１５１やエアシリンダ、電磁プランジャ等のあらゆる駆動源すなわちアクチュエータの駆動力を、溶融はんだ液面４よりも下方側から溶融はんだ液面４の上側へ完璧な封止で伝達することが可能となる。
【０１６２】
さらに、その他の例を上げれば、特開平９−２４４６３号公報の噴流孔の清掃技術においても、噴流孔内に設けられた補機であるピンを往復駆動する手段をはんだ槽の下方側に設けることができる。
【０１６３】
なお、この他の補機の例としては、前述したように溶融はんだ液面上に発生するドロス等を、ブレードを移動させて掻き寄せ収集し、清掃する移動ブレード装置等がある。
【０１６４】
（１５）回転駆動手段以外のアクチュエータについて
以上の実施形態例では、ポンプ６や補機を駆動する駆動源であるアクチュエータが、いずれも回転駆動手段であるモータであったが、本発明のアクチュエータはそれに限られるものではない。
【０１６５】
例えば、エアシリンダ等のアクチュエータでは、そのロッドの往復動作により駆動力が得られるが、このロッドを溶融はんだの排斥体内を通るように設けて溶融はんだの液面上に突き出すように設け、例えば特公昭６２−１５３１３号公報に説明されているはんだ付け装置の技術において、溶融はんだの吹き口に設けられた回転体を、その回転体とロッドとの間をクランクアームで連結して、前記ロッドの往復動作により回転させるように構成することもできる。
【０１６６】
また、超音波はんだ付け方法において周知である噴流波に超音波を印加する技術においても、はんだ槽の下方や側方（側壁）に設けられた超音波アクチュエータの振動を、溶融はんだの排斥体内を通して吹き口体の吹き口に導き、噴流波に印加することもできる。
【０１６７】
このように、はんだ槽の溶融はんだ液面４の上側に配設されていたあらゆるアクチュエータについて、はんだ槽の下方や側方等の外壁側に配設して、しかも、その駆動力を溶融はんだの排斥体内を通して溶融はんだに触れることなく、溶融はんだの液面上へ伝達することができる。しかも、溶融はんだの封止は完璧である。
【０１６８】
【発明の効果】
以上のように本発明のはんだ付け装置によれば、溶融はんだを吹き口に送出するポンプの回転駆動手段であるモータ等のアクチュエータをはんだ槽の外壁側に設け、完璧な封止を行いつつ、その駆動軸を溶融はんだの排斥体（パイプ）の内を通して、はんだ槽の溶融はんだ中を貫通して設けることができる。
【０１６９】
また、噴流波を加工したり、はんだ付け装置を清掃したりするための溶融はんだ液面の上側に設けられる補機について、それを駆動するモータ等のアクチュエータについても同様に、はんだ槽の外壁側に設け、完璧な封止を行いつつ、その駆動軸をはんだ槽の溶融はんだ中を貫通して設けることができる。
【０１７０】
したがって、従来のはんだ付け装置のように吹き口を避けてモータやその台座等をはんだ槽の上方側に設ける必要がなくなり、上方から見たときに、モータやポンプ等を吹き口の直近位置や同じ位置に設けることが可能となり、はんだ槽の容積を大幅に小さくすることができる。また、吹き口に形成される噴流波にとって障害物となるような部材が、はんだ槽に収容されている溶融はんだ液面上に表れることもない。
【０１７１】
その結果、はんだ付け装置を運転開始させる際に固体状であるはんだを溶融させるために要する電力が大幅に削減され、省電力でランニングコストも低くすることができる。
【０１７２】
また、はんだ付け装置を当初に運転開始する際にはんだ槽に投入する必要のあるはんだの量や、はんだが劣化したり不純物が多くなった際にはんだを交換する際に、はんだ槽に投入が必要となるはんだの量を大幅に削減することが可能となり、これらによってイニシャルコストやランニングコストを低減することが可能となる。
【０１７３】
さらに、はんだ付け装置をはんだ付けシステムに組み込んで使用する場合においては、はんだ付けシステムを小型（特に搬送コンベアの保持幅方向の寸法）に構成することが可能となり、併せて、搭載されるはんだ付け装置の溶融はんだの重量を合めた総重量も軽量化され、はんだ付けシステムの設置スペースも少なくて済む為に、その面の資本（すなわち、はんだ付けシステムに使用する物的資本およびその設置スペースという物的資本）から見た生産性も高まる他、生産ラインの編成変えを行う等のはんだ付けシステムの移動を行う際にも、それを容易に行うことが可能となる。
【０１７４】
また、はんだ付け装置の上方側（溶融はんだ液面側）には障害物がなくなるので、はんだ付けシステムにおいてはんだ付け装置の上方に配置される搬送コンベアを開いて（保持幅を広げて開いて）はんだ付け装置の吹き口やはんだ槽の溶融はんだ液面側を開放することができるようになり、清掃作業等のメンテナンス作業や、噴流波を他の性質の噴流波に切り換えるために吹き口体の交換作業を行う等の作業も極めて容易に行うことができるようになる。
【０１７５】
また、不活性ガス雰囲気中の低酸素濃度雰囲気中ではんだ付けを行うＮ2 はんだ付けシステムに本発明のはんだ付け装置を使用すれば、溶融はんだ液面全体を雰囲気形成チャンバ体で覆うことができるようになるので、溶融はんだの酸化が抑制されて酸化物、すなわちドロスの発生量が極めて微量となり、これによる高価なはんだの損失も大幅に削減できる。特に、鉛レスはんだは錫がその大部分の成分を占めるので大気中ではその酸化の進行が著しく速い。そのため、本発明のはんだ付け装置を使用してその酸化を抑制することは、極めて大きなメリットとなる。
【０１７６】
また、電磁ポンプ式のはんだ付け装置において発生する迷走電流は存在せず、それによるはんだ槽の電蝕も発生せず、汚染のないはんだ付け装置を実現することができる。さらに、誘導加熱によって噴流波の温度にオフセットを生じることもないので、温度精度の高いはんだ付けを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例−１のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図２】本発明の実施形態例−２のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図３】本発明の実施形態例−２のはんだ付け装置の全容を示す斜視図である。
【図４】下側チャンバ体の構成を示す斜視図である。
【図５】上側チャンバ体の構成を示す斜視図である。
【図６】下側チャンバ体と上側チャンバ体とを結合して一体にした態様を示す斜視図である。
【図７】図６のＩＩ−ＩＩ切断面を示す図である。
【図８】増圧リングの作用を説明するための図である。
【図９】中空ポンプ軸のその他の封止技術−１を説明するための図である。
【図１０】中空ポンプ軸のその他の封止技術−２を説明するための図である。
【図１１】中空ポンプ軸のその他の封止技術−３を説明するための図である。
【図１２】中空ポンプ軸のその他の封止技術−４を説明するための図である。
【図１３】本発明のはんだ付け装置をＮ2 はんだ付けシステムに使用した形態例を示す図である。
【図１４】本発明の実施形態例−３のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図１５】本発明の実施形態例−４のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図１６】本発明の実施形態例−５のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図１７】本発明の実施形態例−６のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図１８】本発明の実施形態例−７のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図１９】本発明の実施形態例−７のはんだ付け装置の伝動系を説明するための斜視図である。
【図２０】本発明の実施形態例−８のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図２１】本発明の実施形態例−９のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図２２】本発明の実施形態例−９のはんだ付け装置を上方から見た図である。
【図２３】本発明の実施形態例−１０のはんだ付け装置を示す側断面図である。
【図２４】従来のはんだ付け装置の一例を示す図である。
【図２５】従来のはんだ付け装置の一例を示す図である。
【図２６】従来のＮ2 ガス雰囲気の低酸素濃度雰囲気中ではんだ付けを行うＮ2 ガスはんだ付けシステムを示す図である。
【図２７】図２６の平面図である。
【符号の説明】
１  はんだ槽
１ａ  上端縁部
２  槽底
３  パイプ固定孔（はんだ槽の開口）
４  溶融はんだ液面
５  パイプ（溶融はんだの排斥体）
６  回転駆動手段（モータ）
７  駆動軸（回転軸又はモータ軸）
８  中空軸（中空ポンプ軸）
９  ねじ
１０  溶融はんだ
１１  羽根車
１２  ポンプ
１３  吸い込み口
１４  増圧リング
１５  吐出口
１６  ポンプケーシング
１７  下側チャンバ体
１７ａ  下側チャンバ体の吊り下げ部
１８  上側チャンバ体
１８ａ  上側チャンバ体の吊り下げ部
１９  チャンバ体
２０  シールキャップ部
２３  ポンプ軸挿通孔
２４  ねじ
２５  吹き口体
２５ａ  取り付け板
２６  吹き口体取り付け孔
２７  ねじ
２８  吹き口
２９  噴流波
３０  はんだ付け装置
３２  歯車装置
３３  ホルダ
３４  ホルダ固定孔
３５  パイプ固定孔
３６  台座
３７  ナット
３８  支柱
３９  ねじ
４０  封止キャップ
４１  還流パイプ
４１ａ  先端開口
４５  スタットボルト
４６  ナット
４７  案内板
５２  チャンバケーシング
５３  流路分割板
５４  下側整流板
５５  上側整流板
５８  ねじ挿通孔（下側チャンバ体の）
５９  ねじ挿通孔（上側チャンバ体の）
６１  スパイラルポンプ部（封止キャップ内へ溶融はんだを送出する手段）
６２  支持板
６３  封止専用流路
６４  ガス供給口
６９  側壁
７０  口筐体固定孔
７１  外壁側
７２  取り付けアングル
７３  ねじ
７４  駆動軸挿通孔
７５  パイプ固定孔
７６  パイプ
７６ａ  フランジ部
７７  支軸パイプ
７７ａ  フランジ部
７７ｂ  ねじ孔
７８  支軸
７８ａ  ねじ部
７９  軸受
８０  歯車
８０ａ  かさ歯車
８１  ナット
８２  歯車
８２ａ  かさ歯車
８３  嵌合孔
８５  支柱
８５ａ  フランジ部
８６  支軸パイプ固定孔
８７  支柱固定孔
８８  係止具
８９  駆動軸
９０  駆動軸
９１  パイプ
９１ａ  フランジ部
９２  駆動軸パイプ
９２ａ  フランジ部
９２ｂ  ねじ孔
９３  駆動軸パイプ
９３ａ  フランジ部
９３ｂ  ねじ孔
９４  軸受
９５  軸受
９６  歯車
９７  歯車
９８  ジョイント
９９  口筐体
９９ａ  開口
９９ｂ  駆動軸孔部
９９ｃ  ドレン孔部
１５０  クランク
１５１  スイング用モータ
１５２  ギヤ
１５３  パイプ（溶融はんだの排斥体）
１５４  パイプ固定孔
１５５  駆動軸
１５６  ねじ
１５８  クランクアーム
１５９  ピン
１６１  スイングノズル体
１６２  噴流孔
【図１】
0003874567.tif 000002
【図２】
0003874567.tif 000003
【図３】
0003874567.tif 000004
【図４】
0003874567.tif 000005
【図５】
0003874567.tif 000006
【図６】
0003874567.tif 000007
【図７】
0003874567.tif 000008
【図８】
0003874567.tif 000009
【図９】
0003874567.tif 000010
【図１０】
0003874567.tif 000011
【図１１】
0003874567.tif 000012
【図１２】
0003874567.tif 000013
【図１３】
0003874567.tif 000014
【図１４】
0003874567.tif 000015
【図１５】
0003874567.tif 000016
【図１６】
0003874567.tif 000017
【図１７】
0003874567.tif 000018
【図１８】
0003874567.tif 000019
【図１９】
0003874567.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
0003874567.tif 000022
【図２２】
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【図２３】
0003874567.tif 000024
【図２４】
0003874567.tif 000025
【図２５】
0003874567.tif 000026
【図２６】
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【図２７】
0003874567.tif 000028