(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項２】
前記複数の凸部を接合するステップは、
焼成によって前記複数の凸部を融解するステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記複数の凸部をリフローするステップと
を有することを特徴とする請求項１記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項３】
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
各々が異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を含むｍ（ｍ≧１、ｍは正の整数）個のグループからなるパターンを形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
単一傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項４】
前記複数の凸部が大きいほうから小さいほうへ底面積に従って順次配置されることによって、ｍ（ｍ≧１、ｍは正の整数）個のグループの凸部構造が接合後に前記単一傾斜表面上に形成され、凸部構造の各グループは、高いほうから低いほうへ、大きいほうから小さいほうへ配置された複数の隣接した凸部を含むことを特徴とする請求項３記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項５】
前記感光性材料層は、ｍ個のグループからなるパターンを形成するために規則正しくパターン化されていることを特徴とする請求項３記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項６】
前記感光性材料層は、ｍ個のグループからなるパターンを形成するために、ランダムにパターン化されることを特徴とする請求項３記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項７】
前記各グループのパターンは、異なる底面積を有するｎ（ｎ≧２、ｎは正の整数）個の凸部を含むことを特徴とする請求項３記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項８】
前記ｍ個のグループからなる凸部構造は、接合後、前記傾斜表面上に形成され、各グループは、ｎ個の隣接する凸部を含むことを特徴とする請求項７記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項９】
前記感光性材料層を形成するステップは、前記感光性材料層を露光し、現像することを含むことを特徴とする請求項３記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１０】
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
前記基板上に金属膜を形成し、前記凸部構造とともに前記傾斜表面を覆うステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１１】
前記感光性材料層をパターン化するステップは、前記感光性材料層を露光し、現像することを含むことを特徴とする請求項１０記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１２】
前記複数の凸部は、前記複数の凸部を接合するために焼成によって融解されることを特徴とする請求項１０記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１３】
前記凸部構造を備える傾斜反射器は、反射型液晶ディスプレイに適用されることを特徴とする請求項１０記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１４】
それぞれに幅が異なり、均一の長さの切込みによって相互に離れている少なくとも３本の不透明なバーが備えられた少なくとも１つのパターン・グループが形成されている単一のフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なるサイズの複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記凸部を接合するステップと、
を有することを特徴とする凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１５】
前記バーは、前記パターン・グループが最も細いバーから始まって最も太いバーで終了し、該最も細いバーから該最も太いバーへと漸進的に配置されていることを特徴とする請求項１４記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１６】
前記凸部構造を有する傾斜反射器の製造の際に前記フォト・マスクのみを用いることを特徴とする請求項１４記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【請求項１７】
各凸部は、異なる底面積と異なる高さとを有し、該底面積が大きくなるにつれて該高さは高くなることを特徴とする請求項１４記載の凸部構造を備える傾斜反射器製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、バンプ（凸部といっても良い。以下同様。）構造を有する傾斜反射器およびその製造方法に係り、特に１つのフォト・マスクによって形成され、反射型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に適用されるバンプ構造を備える傾斜反射器製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、商用の市場においては、反射型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）にとって、輝度だけでなく、視野角が要求されている。高輝度と広視野角を備える反射型ＬＣＤを開発することは、メーカと研究者にとって非常に重要な問題である。
【０００３】
図６（ａ）は、なめらかな表面をもつ水平反射器の光路を示す概念図である。破線は、反射体１００の表面に対する垂線（垂直な）を表す。反射体１００は水平に設置され、その表面はなめらかである。反射体の表面に到達している入射光の入射角は、２０度であるとする。光学の理論によれば、反射光の反射角は、−２０度である。それゆえに、最大の反射率Ｒ１は、−２０度の視野角で起こり、反射率分布のカーブは非常に狭く、大部分は約−２０度の領域にある。図６（ｂ）は、図６（ａ）の従来の反射体の反射率分布を示す概念図である。反射率は、光学的検出システムで測定される。
【０００４】
しかし、理想的なＬＣＤは、０度の視野角で最大反射率を表し、視野角のより広範囲で反射率の部分が分散される。そこで、例えば、反射板を有する反射器（例えば、特許文献１参照）、やバンプ構造を有する傾斜反射器（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【０００５】
図６（ｂ）の曲線を左の方へシフトするために、従来のもう１つの方法では、光路を変えるために反射器を傾斜させる。図７（ａ）は、なめらかな表面をもつ傾斜反射器の光路を示す模式図である。破線は、反射器２００の上表面２００’に対する垂線（垂直な）を表す。反射器２００は、傾斜した角度（１０度）をもって設置され、かつ反射器２００の上表面２００’は、なめらかである。上面２００’および水平面の間の角度が１０度であるので、入射角２０度の元入射光は、図７（ａ）に示すように、０度の角度で反射され得る。図７（ｂ）は、図７（ａ）の従来の反射器の反射率分布を示す概念図である。最大の反射率Ｒ１は、０度の視野角で起こる。しかし、反射率分布の曲線は、さらに狭い。反射の効果は、主に、約０度の領域で起こる。広い視野角をもつ理想的な反射型ＬＣＤの目的は、達成されなかった。
【０００６】
傾斜反射器上で多数のバンプを形成するために、従来技術として他の方法が、さらに提供されている。図７（ｃ）は、なめらかな表面を有する、もう１つの傾斜反射器の光路を示す模式図である。図７（ｃ）では、反射器３００の曲面と直角をなす多数の垂直線が生成されるため、１０度の角度を有する曲面を用意する。したがって、図７（ｃ）の反射体３００によって発生する反射角は、図７（ａ）の反射体２００より大きい。しかし、反射率分布を表す曲線は、さらに狭くなり、反射の大部分は、およそ０度の領域で起こる。図７（ｃ）の反射体３００の反射率分布は、図７（ｂ）と類似している。
【０００７】
図８は、反射器の理想的な反射率分布を示す概念図である。反射体は、所定の傾斜角度（１０度）に設置され、多数のバンプが反射体の傾斜面上に形成されている。高い反射率は、傾けられた反射器のために０度の角度の近傍で検出される。また、反射率の一部は、バンプの各点の法線は平行ではないので、視野角の広範囲で検出される。図７（ｂ）と図８の結果を比較すると、図８の最大反射率Ｒ２は、図７（ｂ）の最大反射率Ｒ１より小さいが、図８の反射率分布は、図７（ｂ）のそれより広い。したがって、バンプ構造を有する傾斜反射器を採用しているＬＣＤは、２つの魅力的な特徴（高輝度および広視野角）を備えている。
【０００８】
図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ａ）〜（ｃ）は、従来技術による、バンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を示す模式図である。この従来の過程では、１つの切れ込みを有するフォト・マスク４０６が用意され、マルチ・ステップ露出が実行される。第１に、フォト・レジスト４０４のような感光性材が基板４０２の上に堆積される。それから、１つの切れ込みをもつフォト・マスク４０６がパターン転写のために利用される。フォト・レジスト４０４は、現像液に溶解しているポジ型フォト・レジストとして機能する。図９（ａ）において、フォト・レジスト４０４は、時間ｔ１の間、強度Ｌ１のＵＶ（紫外線）光で露光され、露光エリアＡが形成される。第２に、フォト・マスク４０６は、右へ移動され、フォト・レジスト４０４は、図９（ｂ）で示すように、露出エリアＢを形成するために、時間ｔ２の間、強度Ｌ２のＵＶ（紫外線）光で露光される。次に、フォト・マスク４０６は、再び右へ移動され、フォト・レジスト４０４は、図９（ｃ）で示すように、露光エリアＣを形成するために、時間ｔ３の間、強度Ｌ３のＵＶ（紫外線）光で露光される。等しい露光時間および光強度Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３を設定することによって、または等しい強度および露光時間ｔ１＞ｔ２＞ｔ３を設定することによって、いずれにおいても、露出エリアの大きさは、結果的にＡ＞Ｂ＞Ｃの順序で制御される。
【０００９】
その後、図１０（ａ）で示すように、階段のような外観を形成するためにフォト・レジスト４０４上で現像が実行される。そして、階段のようなフォト・レジスト４０４’は、熱処理によって融解される。加熱温度がフォト・レジスト４０４のガラス転移温度まで上昇すると、フォト・レジスト４０４’は、溶融ガラスのように軟化され、図１０（ｂ）で示すように、なめらかな表面を有する傾斜フォト・レジスト４０４’’を形成するために、リフローされる。次に、第２のフォト・マスク（図示略）が、図１０（ｃ）で示すように、傾斜フォト・レジスト４０４’’の上に複数のバンプ４０８を形成するために用意される。最後に、金属膜（図示略）が、傾斜フォト・レジスト４０４’’の上に堆積され、バンプ４０８が覆われる。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−０９０５１３号公報
【特許文献２】
特開２００２−００６１１８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
理想的な反射率分布（図８）は、バンプ構造を有する傾斜反射器によって成し遂げられ、従来の過程（図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ａ）〜（ｃ））よって形成され得る。しかしながら、この従来の過程は、いくつかの欠点を有する。例えば、フォト・マスクを幾度も移動する必要があり、さらに、フォト・マスクが移動される間、フォト・マスクの位置、紫外線強度または持続時間を調節する必要がある。それには時間がかかり、かつ生産コストが結果的に上がる。それは、フォト・マスクを移動することが要求され、かつ傾斜フォト・レジスト（４０４’’）を形成するために、少なくとも３回、フォト・レジストを露光している。光散乱効果を高めるために、反射器に傾斜面を生成すべく、多数の傾斜フォト・レジストが要求されるならば、それを製造するための従来の方法は、時間がかかり、かつ大量生産規模にふさわしくない。また、従来のプロセスは、少なくとも２枚のフォト・マスクを必要とする。その１つは、傾斜面を形成するために、他の１つは、傾斜面上に複数のバンプを形成するために用いられる。それは、非常に不都合である。
【００１２】
そこで本発明は、製造が容易で、かつ光散乱効果が改善され、高輝度および広視野角の特性を有する、バンプ構造を備える傾斜反射器製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的達成のため、請求項１記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項２記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記複数の凸部を接合するステップは、
焼成によって前記複数の凸部を融解するステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記複数の凸部をリフローするステップと
を有することを特徴とする。
また、請求項３記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
各々が異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を含むｍ（ｍ≧１、ｍは正の整数）個のグループからなるパターンを形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
単一傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする。
また、請求項４記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記複数の凸部が大きいほうから小さいほうへ底面積に従って順次配置されることによって、ｍ（ｍ≧１、ｍは正の整数）個のグループの凸部構造が接合後に前記単一傾斜表面上に形成され、凸部構造の各グループは、高いほうから低いほうへ、大きいほうから小さいほうへ配置された複数の隣接した凸部を含むことを特徴とする。
また、請求項５記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記感光性材料層は、ｍ個のグループからなるパターンを形成するために規則正しくパターン化されていることを特徴とする。
また、請求項６記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記感光性材料層は、ｍ個のグループからなるパターンを形成するために、ランダムにパターン化されることを特徴とする。
また、請求項７記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記各グループのパターンは、異なる底面積を有するｎ（ｎ≧２、ｎは正の整数）個の凸部を含むことを特徴とする。
また、請求項８記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記ｍ個のグループからなる凸部構造は、接合後、前記傾斜表面上に形成され、各グループは、ｎ個の隣接する凸部を含むことを特徴とする。
また、請求項９記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記感光性材料層を形成するステップは、前記感光性材料層を露光し、現像することを含むことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項１０記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
１つのフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合するステップと、
前記基板上に金属膜を形成し、前記凸部構造とともに前記傾斜表面を覆うステップと、
を有し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造することを特徴とする。
また、請求項１１記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記感光性材料層をパターン化するステップは、前記感光性材料層を露光し、現像することを含むことを特徴とする。
また、請求項１２記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記複数の凸部は、前記複数の凸部を接合するために焼成によって融解されることを特徴とする。
また、請求項１３記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記凸部構造を備える傾斜反射器は、反射型液晶ディスプレイに適用されることを特徴とする。
また、請求項１４記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
それぞれに幅が異なり、均一の長さの切込みによって相互に離れている少なくとも３本の不透明なバーが備えられた少なくとも１つのパターン・グループが形成されている単一のフォト・マスクを用意するステップと、
基板を用意するステップと、
前記基板上に感光性材料層を形成するステップと、
異なるサイズの複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングするステップと、
凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記凸部を接合するステップと、
を有することを特徴とする。
また、請求項１５記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記バーは、前記パターン・グループが最も細いバーから始まって最も太いバーで終了し、該最も細いバーから該最も太いバーへと漸進的に配置されていることを特徴とする。
また、請求項１６記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
前記凸部構造を有する傾斜反射器の製造の際に前記フォト・マスクのみを用いることを特徴とする。
また、請求項１７記載の発明による凸部構造を備える傾斜反射器製造方法は、
各凸部は、異なる底面積と異なる高さとを有し、該底面積が大きくなるにつれて該高さは高くなることを特徴とする。
【００３１】
発明では、バンプ構造を備える傾斜反射器製造方法は、少なくとも、基板を用意するステップと、基板上に感光性材料層を形成するステップと、各々が異なる底エリアを有する複数のバンプを含む、ｍ個（ｍ≧１、ｍは正の整数）のグループからなるパターンを形成すべく感光性材料層をパターニングするステップと、バンプ構造を有する傾斜表面を形成すべく複数のバンプを接合するステップとを有することを特徴とする。感光性材料層は、ｍ個のグループからなるパターンを形成するために、規則正しく、あるいはランダムにパターン化され得る。感光性材料層をパターン化するステップは、露光および現像を含む。また、バンプはバンプを接合するために焼成することによって融解する。なお、本明細書は、２００１年１０月２２日出願の台湾明細書のシリアル・ナンバー第０９０１２６０８５号リファレンスを含む。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【００３３】
本発明において、特定のパターンを有する１枚のフォト・マスクは、光学的な回折によって感光性部材（例えば、フォト・レジスト）を露光し、かつ現像するために用意される。このように、異なる底面積を有する複数のバンプは、感光性部材上に形成される。それから、複数のバンプは、バンプ・オン・スラント構造を形成するためにリフローすることによって複数のバンプを焼成するというように、融解プロセスによって接合されている。バンプ・オン・スラント構造では、なめらかな表面を有する隣接するバンプが、大きいものから小さいものへ、高いものから低いものへと配置されている。
【００３４】
本発明のバンプ構造を有する傾斜反射器は、反射型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に適用することができる。傾斜角度を有するバンプ・オン・スラント構造は、さらに、光を反射するために金属膜によって覆われる。金属膜は、その下のバンプ構造と同じ外形を有するため、反射型ＬＣＤに入っている光は、金属膜によってさまざまな角度で反射される。したがって、反射型ＬＣＤの高輝度および広視野角のような魅力的な特徴が達成される。
【００３５】
本発明による、バンプ構造を有する傾斜反射器および該バンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を、以下に説明する。ここで開示されるように、実施形態の図面は、主な概念から離れることなくわずかに異なるかもしれないことはいうまでもない。また、発明を不明瞭になることを避けるために、直接発明に関連しない周知の要素については説明を省略する。したがって、明細書および図面は、制限するものではなく、むしろ一例としてのものと見なす。
【００３６】
Ａ．第１の実施形態
第１の実施形態において、特定のパターンを有するフォト・マスクが、本発明のバンプ構造を有する傾斜反射器を形成する目的のために用意される。フォト・マスクは、異なる幅を有する多数のバーを有する。
【００３７】
図１は、本発明の第１の実施形態によるフォト・マスクの部分的な上面図である。フォト・マスク５００は、ｍ個のグループからなるパターンを含む。各々のグループのパターンは、（５０１）１、（５０１）２、（５０１）３、…、（５０１）ｎで示されるｎ個のバーを含む。また、バーの幅は、各々、Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、…、Ｗｎ（Ｗ１＞Ｗ２＞Ｗ３＞…＞Ｗｎ）である。バーの間の切れ込みは、幅ｄ１、ｄ２、ｄ３、…、ｄｎである。ｍ個のグループからなるパターンは、１つずつ配置される。
【００３８】
次に、パターン転写のステップは、図１のフォト・マスク５００を通して実行される。以下の記述においては、ｎ＝４とする。
【００３９】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１の実施形態によるバンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を示す模式図である。図２（ａ）において、基板６０２は、例えばポジ型フォト・レジスト６０４などの感光性材で覆われており、フォト・レジスト６０４は、ＵＶ（紫外線）露出および現像のステップを経る。フォト・マスク５００において斜線によって示される部分は、不透明な領域を表す。不透明なバー（５０１）１、（５０１）２、（５０１）３、（５０１）４によって保護されるフォト・レジスト６０４の部分は、ＵＶ放射に露光されず、また、現像液で溶解されない。これに対して、フォト・マスク５００の間隙下のフォト・レジスト６０４の部分は、ＵＶ放射に露光され、かつフォトリソグラフィーの後、現像液で溶解される。ゆえに、異なる幅を有し、フォト・マスク５００のパターンと一致する、複数のストリップ形状のフォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８が図２（ｂ）で示すように形成される。
【００４０】
露光および現像後、より大きい底面積を有するフォト・レジストは、より高いフォト・レジスト・ブロックを有する。例えば、元々幅１４μｍのフォト・レジストは、露光および現像後、幅７μｍより高くなる。したがって、図２（ｂ）のストリップ形状フォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８の幅は、Ｗ１＞Ｗ２＞Ｗ３＞Ｗ４となり、その高さは、それぞれ、ｈ１＞ｈ２＞ｈ３＞ｈ４となる。また、フォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８の間隙は、ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４となる。
【００４１】
次に、それらのストリップ形状フォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８を融解するステップは、熱処理によって実行される。フォト・レジストは、少なくとも、樹脂、感光性を有する感光剤および適当な溶媒から成る。したがって、現像の後、焼成のような熱処理がフォト・レジストに適用されるならば、フォト・レジスト内の溶媒は蒸発し、下位の内容物に減少する。フォト・レジストの融解内容物を減少させることの長所は、基板へのフォト・レジストの粘着力を強化することである。その後、加熱温度は、フォト・レジストのガラスの転移温度（Ｔｇ）まで上昇され、ストリップ形状フォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８（図２（ｂ））は、溶解ガラスのように軟化され、なめらかな表面にするためにリフローされる。間隙ｄ１、ｄ２、ｄ３、ｄ４を調節することによって、リフローされたフォト・レジストは、互いに接合され、４つの隣接するフォト・レジスト・バンプ６０５’、６０６’、６０７’、６０８’（図２（ｃ））は、融解するステップを実行した後に形成される。さらに、図２（ｂ）におけるストリップ形状フォト・レジスト６０５、６０６、６０７、６０８は、高いものから低いものの順に配置され、リフローされたフォト・レジスト６０５’、６０６’、６０７’、６０８’は、図２（ｃ）で示すように、傾斜角度θを有する傾斜外形を形成する。この好ましい実施形態において、複数のフォト・レジストは、ほぼ、１時間の間、２００℃から２３０℃までの温度で加熱される。しかし、発明はこれに限定されるものではない。実用的なアプリケーションでは、加熱温度および持続時間は、フォト−レジストの特徴に依存する。
【００４２】
図３は、本発明の第１の実施形態に従うバンプ構造を有する傾斜反射器の斜視図である。フォト・マスク５００は、２つのグループからなるパターン（ｍ＝２）を含むとする。図２（ａ）〜（ｃ）の製造方法によると、傾斜角度θを有するバンプ構造の２つのグループが生産され、バンプ構造の各々のグループは、４つの隣接するバンプ（ｎ＝４）から成る。これらバンプは、図３に示すように、高いものから低いもの、大きいものから小さいものの順に配置される。
【００４３】
本発明によるバンプ構造を有する傾斜反射器は、反射型ＬＣＤに適用され得る。図２（ｃ）の製造プロセスの後、金属膜は、さらに、図３のフォト・レジスト６０５’、６０６’、６０７’および６０８’の表面の上に形成される。金属膜は、バンプ構造と同じ波状の形状を有するため、反射型ＬＣＤに入っている光は、金属膜によってさまざまな角度に反射される。したがって、反射型ＬＣＤは、商用の市場において、魅力的な特徴、例えば高輝度および広視野角を所有する。
【００４４】
上述したように、第１の実施形態の傾斜バンプ構造は、複数のバンプ（ｍ×ｎ）を含むｍ個のグループからなるバンプ構造を備えている。各グループのバンプ構造は、ｎ個のバンプを含む。ｎ個のバンプは、傾斜角度を有する隣接バンプ構造を形成するために、高いものから低いもの、大きいものから小さいものの順に配置されている。
【００４５】
ｎ個のバンプを有する各グループのバンプ構造が、この実施形態で図示されているが、本発明はこれに限定されない。各グループのバンプ構造は、異なる数のバンプを含むことができる。例えば、第１のグループは５つのバンプを有し、第２のグループは、６つのバンプ、第３のグループは、４つのバンプ、…を有する。
【００４６】
従来のプロセスと比較して、本発明の製造方法（図２（ａ）〜（ｃ））は、目的を達成するために、光への露光、および１つのフォト・マスクを用いる現像によって、バンプ構造を有する傾斜反射器を形成する。
【００４７】
Ｂ．第２実施形態
第２の実施形態においては、いくつかのグループのパターンを有するもう１つのフォト・マスクが、本発明によるバンプ構造を有する傾斜反射器を形成するために用意されている。フォト・マスクは、ｍ個（ｍ≧１、ｍは正の整数）のグループからなるパターンを有する。各グループのパターンは、多くの不透明なバーを含み、不透明なバーは、広いほうから狭いほうへと配置されている。説明を簡単にするために、各グループのパターンは、ｎ個（ｎ≧２、ｎは正の整数）のバーを含んでいる。作成の後、この実施形態のフォト・レジスト上のバンプ集合は、さらに改良される。それゆえに、この実施形態のバンプ構造を有する傾斜反射器が反射型ＬＣＤに適用されるならば、光散乱効果はより有効的である。
【００４８】
以下の説明においては、図を明確にするために、４つのグループのパターンがランダムに配置され、各々のグループが３つのバーを含むとする（ｍ＝４、ｎ＝３）。
【００４９】
図４は、本発明の第２の実施形態によるフォト・マスクの一部を示す上面図である。フォト・マスク８００の上には、４つのグループ（ｍ＝４）のパターンが配置されており、各々のグループのパターンは、広いほうから狭いほうへ配置された３つのバー（ｎ＝３）を含んでいる。また、フォト・マスク８００の上には、４つのグループがランダムに配置されるものとする。
【００５０】
次に、パターン転写のステップは、図４のフォト・マスク８００を通して実行される。第２の実施形態の製造方法は、フォト・マスク５００がフォト・マスク８００と取り替えられている以外、第１の実施形態と正確に類似している。図２（ａ）〜（ｃ）で示すように、フォト・レジストは、露光、現像および溶解の３つのステップを経る。また、フォト・レジストは、現像液で溶解するポジ型フォト・レジストであり、斜線によって示されるフォト・マスク（８００）の部分は、不透明な領域を表す。第２の実施形態では、１つのグループの各々の不透明なバーの間の間隙だけでなく、図４におけるｄ１’、ｄ２’、ｄ３’、ｄ４’、ｄ５’で示される、各グループのパターンの間の距離も、調節可能となっている。溶解およびリフロー後、フォト・レジストの各グループは、１つに結合され、基板上に隣接バンプ構造を形成する。
【００５１】
図５は、本発明の第２の実施形態によるバンプ構造を有する傾斜反射器の斜視図である。該同様の製造ステップでは、フォト・マスク８００を用いることで、より多くのバンプを形成することができ、フォト・マスク５００を用いるより、起伏の多いフォト・レジスト面を生成することができる。その後、金属膜（図示略）が、さらに、図５のフォト・レジストの表面上に形成される。反射金属膜がその下のバンプ構造と同じ波状のプロフィールを有するので、反射型ＬＣＤに入っている光は、金属膜によってさまざまな角度に反射される。このように、反射型ＬＣＤは、商用の市場において、高輝度および広視野角の魅力的な特徴を所有する。
【００５２】
さらに、ｍ個のグループのパターンが配列のように規則正しくフォト・マスクの上に配置されるならば、図５に類似したバンプ構造が形成される。例えば、ｍ’およびｎ’のグループのパターンは、フォト・マスク（ｍ＝ｍ’×ｎ’）の長さおよび幅にそれぞれ配置される。フォト・マスクがより多くのグループのパターンを有するならば、形成された傾斜反射器は、バンプ構造のより高い集合体を有し、結果的に、実用ＬＣＤは、より良い光散乱効果を有する。
【００５３】
上述した説明によれば、発明は、特定のパターンを有する１枚のフォト・マスク、および大きい光散乱効果を有する、多数のグループからなるバンプ構造を備える傾斜反射器を形成するために、露出、現像および溶解からなるステップを含む単純なプロセスを利用する。本発明のバンプ構造を備える傾斜反射器を採用している反射型ＬＣＤのために、高輝度および広視野角のような魅力的な特徴を提供することが可能である。また、ｍ個のグループからなるパターンは、ランダムにフォト・マスク上に配置されるか、あるいは規則正しい配列に配置される。各々のグループは、複数の不透明な領域を含んでおり、広いほうから狭いほうへ配置されている。各々のグループの中の不透明な領域の数は、同数とすることも、異数とすることも可能である。
【００５４】
ここで説明される好ましい実施形態において、本発明による、バンプ構造を備える傾斜反射器およびその製造方法の長所は、次のようにまとめられる。
【００５５】
１．本発明のバンプ構造を備える傾斜反射器のバンプ集合体は、従来の反射器のバンプ集合体より高く、より良い光散乱効果を有する。したがって、本発明のバンプ構造を有する傾斜反射器を採用した反射型ＬＣＤは、魅力的な特徴、例えば、高輝度および広視野角を有する。
【００５６】
２．１つのフォト・マスクおよび露光手順が、バンプ構造を備える傾斜反射器を作成するために要求される。生産コストおよび時間を節約する、簡略化されたプロセスは、大量生産規模に非常にふさわしい。
【００５７】
本発明がいくつかの例として、および好ましい実施形態によって説明されたが、本発明は、それに制限されないと理解すべきである。これに反して、それはさまざまな変更、および類似したアレンジならびに手順をカバーするつもりである。したがって、添付された特許請求の範囲は、全てのそのような変更および類似したアレンジならびに手順を包含するために、最も幅広い解釈を与えられなければならない。
【００５８】
【発明の効果】
請求項１及び２記載の発明によれば、１つのフォト・マスクを用意し、基板を用意し、前記基板上に感光性材料層を形成し、異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングし、凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記複数の凸部を接合し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造するようにしたので、容易に製造でき、かつ光散乱効果を向上させ、高輝度および広視野角の特性を備えさせることができるという利点が得られる。
【００６４】
また、請求項３乃至９記載の発明によれば、１つのフォト・マスクを用意し、基板を用意し、前記基板上に感光性材料層を形成し、各々が異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を含むｍ（ｍ≧１、ｍは正の整数）個のグループからなるパターンを形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングし、単一傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合し、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造するようにしたので、容易に製造でき、かつ光散乱効果を向上させ、高輝度および広視野角の特性を備えさせることができるという利点が得られる。
【００７２】
また、請求項１０乃至１３記載の発明によれば、１つのフォト・マスクを用意し、基板を用意し、前記基板上に感光性材料層を形成し、異なる底面積と該底面積が大きくなるにつれて高くなる異なる高さとを有する複数の凸部を形成するために前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングし、傾斜表面を有する凸部構造を形成するために前記複数の凸部を接合し、前記基板上に金属膜を形成し、前記凸部構造とともに傾斜表面を覆い、前記１つのフォト・マスクのみを用いて製造するようにしたので、容易に製造でき、かつ光散乱効果を向上させ、高輝度および広視野角の特性を備えさせることができるという利点が得られる。
【００７３】
また、請求項１４乃至１７記載の発明によれば、それぞれに幅が異なり、均一の長さの切込みによって相互に離れている少なくとも３本の不透明なバーが備えられた少なくとも１つのパターン・グループが形成されている単一のフォト・マスクを用意し、基板を用意し、前記基板上に感光性材料層を形成し、異なるサイズの複数の凸部を形成するために、前記フォト・マスクを用いて前記感光性材料層をパターニングし、凸部構造を有する傾斜表面を形成するために前記凸部を接合するようにしたので、容易に製造でき、かつ光散乱効果を向上させ、高輝度および広視野角の特性を備えさせることができるという利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態によるフォト・マスクの部分的な上面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態によるバンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を示す模式図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に従うバンプ構造を有する傾斜反射器の斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態によるフォト・マスクの一部を示す上面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態によるバンプ構造を有する傾斜反射器の斜視図である。
【図６】従来の水平反射器の光路を示す概念図、反射率分布を示す概念図である。
【図７】従来技術による、傾斜反射器の光路を示す模式図、反射率分布を示す概念図、もう１つの傾斜反射器の光路を示す模式図である。
【図８】反射器の理想的な反射率分布を示す概念図である。
【図９】従来技術による、バンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を示す模式図である。
【図１０】従来技術による、バンプ構造を有する傾斜反射器の製造方法を示す模式図である。
【符号の説明】
５００  フォト・マスク
（５０１）１〜（５０１）ｎ  バー
６０２  基板
６０４  ポジ型フォト・レジスト
６０５〜６０８  ストリップ形状フォト・レジスト
６０５’〜６０８’  フォト・レジスト・バンプ
８００  フォト・マスク
Ｗ１〜Ｗｎ  バーの幅
ｄ１〜ｄｎ  バーの切り込み幅
ｄ１’〜ｄ５’  パターン間の距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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