(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に弁室を有する弁本体の前面壁及び後面壁に第１開口及び第２開口がそれぞれ形成され、第１開口又は第２開口の内側に弁座が形成され、弁体駆動部に連結されて直進運動を行う弁シャフトの基端に弁体が連結され、弁シャフトが弁本体の上部壁の中央穴に非接触状態に挿通され、上記弁体駆動部内に導入された弁室外の弁シャフトの側面がベローズによって非接触状態に被覆され、ベローズの先端と弁シャフトの先端部との間が気密状態にされるとともにベローズの基端と上部壁の中央穴の回りとの間が気密状態にされ、上記弁体駆動部による弁シャフトの直進運動によって弁体が弁座の対向位置に到達した後に、弁シャフトの揺動運動により弁体が弁座に押し付けられてバルブを閉鎖するようにされた高真空バルブにおいて、
弁シャフトの上端部に形成したシャフトホール内に該弁シャフトを加熱するための加熱器が密着して配設され、高真空バルブの外部から電力を供給する配線が加熱器に接続されるとともに、弁シャフトの上端部に形成した嵌合孔内に該弁シャフトの温度を検出するための温度センサの検出部が密着して配設され、該温度センサの出力に基いて加熱器への供給電力を制御し、弁シャフトを所望の温度に維持するコントローラを設け、これにより、弁体から弁シャフトを通して熱が低温の弁体駆動部へ伝導するのを防止した、
ことを特徴とする高真空バルブ。
【請求項２】
加熱器及び温度センサの配線に差込接続部を配設して、バルブが閉じているときにのみ差込接続部をとおして加熱器及び温度センサに電力が供給され、バルブが閉じていないときは電力が供給されないように構成したことを特徴とする請求項１に記載の高真空バルブ。
【請求項３】
上記差込接続部が、弁シャフトの揺動により可動な可動部と、該可動部に対向する固定部とを備え、弁シャフトの揺動によるバルブの閉鎖により可動部と固定部とが係合し、可動部と固定部との間に電流が流れるように構成されていることを特徴とする請求項２に記載の高真空バルブ。
【請求項４】
弁シャフトの上部にキャップ体が連結され、キャップ体の下部に連結された支点用ローラが支点溝に係合され、キャップ体の上部に連結されたガイドローラが伝動部材のカム溝に係合され、支点用ローラが支点溝の基端に位置するときに、伝動部材が下降してガイドローラがカム溝に沿って移動することにより、弁シャフトが弁体を弁座に押し付ける方向に揺動するようにされた請求項１ないし３のいずれか１つに記載の高真空バルブ。
【請求項５】
伝動部材がアクチュエータの出力軸に連結され、伝動部材とキャップ体との間がガイドロッドにより設定距離以上には離れないように連結され、伝動部材とキャップ体との間にスプリングが装着され伝動部材とキャップ体とが離反する方向に付勢された請求項４に記載の高真空バルブ。
【請求項６】
弁本体又は弁ボディに単数又は複数個の加熱器が配設された請求項１ないし５のいずれか１つに記載の高真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空の移送通路及び排気通路を開閉する高真空バルブに関する。この高真空バルブは、例えば集積回路（ＩＣ）やその部品等のワークを真空処理室から真空処理室へ移送する場合に、断面が長方形の移送通路に配設され、また高真空処理室と真空ポンプを接続する排気通路に配設されている。
【０００２】
【従来の技術】
内部に弁室（チェンバー）を有する弁本体の前面壁及び後面壁に第１開口及び第２開口がそれぞれ形成され、第１開口又は第２開口の内側に弁座が形成され、直進運動を行う弁シャフトの基端に弁体（ゲート，ブレード）が連結され、弁体を弁座に押圧してバルブを閉鎖するようにされた移送通路用の高真空バルブ（例えば特開平９−３０３５７７号公報参照）が知られている。この高真空バルブでは、弁シャフトが弁本体の上部壁の中央穴に非接触状態に挿通され、弁室外の弁シャフトの側面がベローズによって非接触状態に被覆され、ベローズの先端と弁シャフトの先端部との間が気密状態にされ、ベローズの基端と上部壁の中央穴の回りとの間が気密状態にされている。
【０００３】
従来の移送通路用の高真空バルブ（ゲートバルブ）では、弁シャフトの直進運動によって弁体が弁座の対向位置に到着した後に、弁シャフトの揺動運動により弁体が弁座に押し付けられるように構成されている。そして、弁体を弁座に押圧する機構として、弁シャフトの先端に前面及び後面を有する係合部が形成され、ローラ支持部材に回転自在に支持された第１係合ローラ及び第２係合ローラによって前記係合部の前面及び後面が係合され、弁シャフトの先端部に連結された支点用ローラが支点溝の基端で支持されているときに、ローラ支持部材を前進させて第１係合ローラが前記前面の傾斜部に係合することにより、弁シャフトが弁体を弁座に押し付ける方向に揺動するという複雑な機構が用いられている。
【０００４】
排気通路用の高真空バルブ（Ｌ型バルブ）では、反応ガスの反応生成物が、一定の温度以下の場合に高真空バルブ内に付着し、高真空バルブの制御が困難になるという問題があり、弁ボディ上部、弁ボディの弁側フランジ、弁ボディのベローズ側フランジ、弁部外側等の温度が均一になることが要求されている。そこで、排気通路用の高真空バルブを所定の温度以上に維持するため、弁ボディの外側にヒーター等の加熱器を取り付け、弁ボディ、ボンネット、弁体及びベローズに熱伝導率の高い材料を用い、主として熱伝導と熱輻射（熱放射）により熱を弁ボディ内部に伝達していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
反応ガスの反応生成物の付着の問題は、排気通路用の高真空バルブのみではなく、移送通路用の高真空バルブにおいてもあり、付着防止のために弁室の外側を加熱器により加熱していた。弁本体や弁ボディの外側の加熱により、移送通路用の高真空バルブ（ゲートバルブ）では弁体やシャフト、排気通路用の高真空バルブ（Ｌ型バルブ）では弁体やベローズは周囲から輻射熱を受けている。しかし、高真空バルブには弁体を操作するための低温状態の弁体駆動部（アクチュエータ）があり、弁体に伝導された熱は、弁シャフトを通して低温の弁体駆動部の方へ逃げてしまう。また、弁本体や弁ボディの外側及び内部に加熱器を配設し、更に弁体を加熱器で加熱すると、高温での加熱器のリード線の絶縁性に問題が生ずる。
本発明は、高真空バルブにおいて、弁体から弁シャフトを通して熱が低温部へ伝導することを防止することを第１の課題とし、移送通路用の高真空バルブにおいて、弁シャフトを揺動させて弁体を弁座に押圧するための機構を簡単化することを第２の課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、内部に弁室を有する弁本体の前面壁及び後面壁に第１開口及び第２開口がそれぞれ形成され、第１開口又は第２開口の内側に弁座が形成され、弁体駆動部に連結されて直進運動を行う弁シャフトの基端に弁体が連結され、弁シャフトが弁本体の上部壁の中央穴に非接触状態に挿通され、上記弁体駆動部内に導入された弁室外の弁シャフトの側面がベローズによって非接触状態に被覆され、ベローズの先端と弁シャフトの先端部との間が気密状態にされるとともにベローズの基端と上部壁の中央穴の回りとの間が気密状態にされ、上記弁体駆動部による弁シャフトの直進運動によって弁体が弁座の対向位置に到達した後に、弁シャフトの揺動運動により弁体が弁座に押し付けられてバルブを閉鎖するようにされた高真空バルブにおいて、弁シャフトの上端部に形成したシャフトホール内に該弁シャフトを加熱するための加熱器が密着して配設され、高真空バルブの外部から電力を供給する配線が加熱器に接続されるとともに、弁シャフトの上端部に形成した嵌合孔内に該弁シャフトの温度を検出するための温度センサの検出部が密着して配設され、該温度センサの出力に基いて加熱器への供給電力を制御し、弁シャフトを所望の温度に維持するコントローラを設け、これにより、弁体から弁シャフトを通して熱が低温の弁体駆動部へ伝導するのを防止したことを特徴とするものである。
本発明の好ましい実施形態においては、加熱器及び温度センサの配線に差込接続部を配設して、バルブが閉じているときにのみ差込接続部をとおして加熱器及び温度センサに電力が供給され、バルブが閉じていないときは電力が供給されないように構成することができ、この場合、上記差込接続部は、弁シャフトの揺動により可動な可動部と、該可動部に対向する固定部とを備え、弁シャフトの揺動によるバルブの閉鎖により可動部と固定部とが係合し、可動部と固定部との間に電流が流れるように構成するのが有効である。
本発明の他の好ましい実施形態においては、弁シャフトの上部にキャップ体が連結され、キャップ体の下部に連結された支点用ローラが支点溝に係合され、キャップ体の上部に連結されたガイドローラが伝動部材のカム溝に係合され、支点用ローラが支点溝の基端に位置するときに、伝動部材が下降してガイドローラがカム溝に沿って移動することにより、弁シャフトが弁体を弁座に押し付ける方向に揺動するように構成するのが有効であり、この場合、伝動部材がアクチュエータの出力軸に連結され、伝動部材とキャップ体との間がガイドロッドにより設定距離以上には離れないように連結され、伝動部材とキャップ体との間にスプリングが装着され伝動部材とキャップ体とが離反する方向に付勢された構成とするのが適切である。
本発明の好ましい実施形態においては、弁本体又は弁ボディに単数又は複数個の加熱器を配設することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明の移送通路用の高真空バルブの実施の形態を示す。なお、実施の形態の説明において、図１(b) の向かって左面を前面と称し、向かって右面を後面と称する他は、図面上の方向に従って説明するが、必要に応じて請求項等で用いた表現を括弧内に併記する。
高真空バルブには下方の弁本体11と上方の弁体駆動部12がある。弁本体11は直方体であり、前面壁22（図１(b) では左側壁）及び後面壁23（図１(b) では右側壁）に、開口面が略長方形の第１開口14及び第２開口15がそれぞれ形成されている。弁本体11内には、底部壁21、側部壁25Ａ，25Ｂ、前面壁22、後面壁23及び上部壁（ボンネット）26により弁室16が形成され、前記の各壁は適宜の方法により固定され弁室16は密閉されている。
【０００８】
弁室16内では、板状の弁体（ゲート弁）18がサブプレート17を介して円柱状の弁シャフト19の下端（基端）に連結され、弁体18・弁シャフト19は直進運動及び揺動可能状態に挿入されている。弁シャフト19の下端（基端）に弁体18がボルト56等により固定され、弁体18の長方形の前面の外周近傍に凹溝が形成され、凹溝にシール部材20が装着されている。前面壁22の内側の第１開口14の周囲が弁座24となり、シール部材20が弁座24に押し付けられることにより、第１開口14と第２開口15との連通が遮断され、シール部材20が弁座24から離れることにより第１開口14と第２開口15とが連通されている。弁体18及び弁座24によりバルブ31が形成されている。
【０００９】
弁本体11の上部壁26上に弁体駆動部12が連結されている。上部壁26の左側にアクチュエータ61のシリンダチューブ63の下端（基端）が連結され、上部壁26の右側にアクチュエータ62のシリンダチューブ64の下端（基端）が連結されている。シリンダチューブ63、64の内部にはピストン65、66が摺動自在にそれぞれ嵌合され、ピストン65、66に連結されたピストンロッド67、68がロッドカバー69、70の中央孔にそれぞれ挿通されている。ピストン65、66には上ロック溝59Ａ、59Ｂ及び下ロック溝60Ａ、60Ｂがそれぞれ形成され、シリンダチューブ63、64の上端部及び下端部に上エンドロック機構73Ａ、73Ｂ及び下エンドロック機構74Ａ、74Ｂがそれぞれ配設されている。ピストン65、66の下端位置で下ロック溝60Ａ、60Ｂが下エンドロック機構74Ａ、74Ｂのロックピストン86Ａ、86Ｂと嵌合してロックされ、同様にピストン65、66の上端位置で上ロック溝59Ａ、59Ｂが上エンドロック機構73Ａ、73Ｂのロックピストン85Ａ、85Ｂと嵌合してロックされる。伝動部材32の上部のプレート部32Ａの両端部には段付孔32Ｂが形成され、段付孔32Ｂの下側の大径部にピストンロッド67、68の上端（アクチュエータ61、62の出力部材）が嵌合されている。ボルト33が段付孔32Ｂの上側の小径部に挿通され、次いでピストンロッド67、68の上端部のねじ孔に螺合され、こうしてピストンロッド67、68の上端が伝動部材32に連結されている。門形に折り曲げられたカバー30の左側下端がシリンダチューブ63の左側上端に固定され、カバー30の右側下端がシリンダチューブ64の右側上端に固定されて、弁体駆動部12を保護している。
【００１０】
上部壁26の中央部に段付の中央穴27が形成され、中央穴27に鍔付ガイドリング35が上方から嵌合され、鍔付ガイドリング35はボルトによって上部壁26に固定され、鍔付ガイドリング35と上部壁26との間はＯリングにより密封されている。中央穴27の内周面の上方部は鍔付ガイドリング35によって覆われており、鍔付ガイドリング35内及び段付中央穴27に弁シャフト19が非接触状態を維持するように挿通されている。弁シャフト19の上端（先端）の小径部には環状リング36が嵌着され、環状リング36と弁シャフト19の小径部との間はＯリングによって密封されている。環状リング36の下面の環状平面に金属製のベローズ37の上端（先端）が溶接により気密状態に接続され、ベローズ37の下端（基端）はガイドリング35の表面に溶接により気密状態に接続されている。弁シャフト19の上方の側部はベローズ37の内側に非接触状態を維持するように挿通され、ベローズ37により弁シャフト19の上端部とガイドリング35との間が密封されている。ベローズ37の内側と弁シャフト19の外側との間の空間は弁室16と連通されるが、弁室16が弁シャフト19とガイドリング35との間隙を通して大気と連通することはない。そして、弁室16は、第１開口14及び第２開口15以外の部分は気密状態に密封され、第１開口14及び第２開口15のみを通して外部と連通されることとなる。
【００１１】
弁シャフト19の上端には、垂直断面が略Ｈ形で上面視が略長方形のキャップ体41が固定されている。キャップ体41には、上方に突出した平行な板状の連結部42Ａ、42Ｂと、小径孔、中径孔及び大径孔を含む中間部43と、下方に突出した平行な板状の支持部44Ａ・44Ｂとがあり、これらは一体に形成されている。キャップ体41の中間部43の大径孔には環状リング36が嵌合され、不図示のボルトが中間部43の不図示の挿通孔を通して環状リング36のボルト孔36Ａに螺合され、キャップ体41と環状リング36とが連結されている。支持部44Ａ・44Ｂには横向きのねじ孔47Ａ・47Ｂが形成され、支点用ローラ49Ａ・49Ｂの雄ねじが外側からそれぞれ螺合されて連結されている。図２で、シリンダチューブ63の右側及びシリンダチューブ64の左側には、それぞれ縦長の支点溝72Ａ、72Ｂが形成され、支点溝72Ａ、72Ｂの上端は開口され、支点溝72Ａ、72Ｂの下端（基端）は支点となっている。支点溝72Ａ、72Ｂに支点用ローラ49Ａ・49Ｂが転動自在に案内され、支点用ローラ49Ａ・49Ｂが支点溝72Ａ、72Ｂに沿って垂直方向に移動する。支持部44Ａ・44Ｂはベローズ37の外側に位置し、支持部44Ａ・44Ｂとベローズ37とは非接触状態が維持される。
【００１２】
キャップ体41の連結部42Ａ、42Ｂには、外側に開口するねじ孔52Ａ・52Ｂが形成され、ガイドローラ57Ａ・57Ｂの雄ねじが外側からそれぞれ螺合されて連結されている。伝動部材32には下方に突出する平行な２個の板状体32Ｃが形成されており、各板状体32Ｃには下端が開放するカム溝58Ａ、58Ｂが形成され、カム溝58Ａ、58Ｂにはガイドローラ57Ａ・57Ｂがそれぞれ常時係合されている。伝動部材32のプレート部32Ａの中央部には段付の中央孔40が形成され、中央孔40の段部がスプリング39の上側の受座となっている。キャップ体41の中間部43の上面にはスプリング39の下側の受座（環状溝の形）が形成され、この上下の受座の間に装着されたスプリング39により、伝動部材32とキャップ体41とが離反方向に向けて付勢されている。
【００１３】
伝動部材32の中央孔40の左右には、段付のガイド用長穴53Ａ・53Ｂが形成され（図３(b),(c) 参照）、ガイド用長穴53Ａ・53Ｂに鍔付のガイドロッド51Ａ・51Ｂが摺動自在に挿通されている。ガイドロッド51Ａ・51Ｂの下端には雄ねじ54Ａ・54Ｂが形成されており、この雄ねじ54Ａ・54Ｂはキャップ体41の連結部42Ａ・42Ｂのねじ孔50Ａ・50Ｂに螺合され、キャップ体41が伝動部材32に対して、設定距離以上には離れないように、そして相互移動可能な状態に連結されている。スプリング39の弾発力により弁シャフト19は伝動部材32から離反する方向の力を受けている。カム溝58Ａ、58Ｂは、下端部の僅かな垂直平面に続いて、上方へ進むに従ってやや後方へ傾斜した傾斜部を有している。支点用ローラ49Ａ、49Ｂが支点溝72Ａ、72Ｂの下端から離れているとき、及び支点用ローラ49Ａ、49Ｂが支点溝72Ａ、72Ｂの下端に到着したとき、ガイドローラ57Ａ、57Ｂがカム溝58Ａ、58Ｂ下端部の垂直平面に係合している。このとき、ガイドロッド51Ａ・51Ｂの鍔がガイド用長穴53Ａ・53Ｂの上端の大径部に嵌合され、ガイドロッド51Ａ・51Ｂが伝動部材32の上面（表面）に突出しない。
【００１４】
弁シャフト19の中心軸線上には上端から下端近傍に至るシャフトホール76が形成され、シャフトホール76はシャフトの断面二次モーメントが低下しない程度の大きさとされている。棒状の加熱器（ヒーター）77がシャフトホール76と略同じ直径に加工されており、加熱器77がシャフトホール76に嵌合され密着して配設され、加熱器77の抜け出しが防止されている。加熱器77の上端部は弁シャフト19の上端から突出し、キャップ体41の中間部43の小径孔内に非接触状態に挿入されている。高真空バルブの外部から挿入される伸縮コード（配線）78の下端が加熱器77の上端に接続され、伸縮自在な伸縮コード78により加熱器77に電力が供給され、加熱器77の熱が弁シャフト19に伝導するように構成されている。
【００１５】
弁シャフト19の上端部のシャフトホール76から離れた位置に、シャフトホール76よりも小径の嵌合孔80が形成され、嵌合孔80の上方のキャップ体41の中間部43に挿通孔83が形成されている。挿通孔83に温度センサ81の支持部が嵌合され、温度センサ81の検出部82が嵌合孔80に密着して嵌合され、弁シャフト19の温度を検出可能としている。温度センサ81の出力を不図示のコントローラに入力し、このコントローラにより加熱器77への供給電力を制御し、弁シャフト19を所望の温度に維持できる。
【００１６】
本発明の高真空バルブの実施の形態の動作について説明する。バルブ31の全開状態において、ピストン65、66はアクチュエータ61、62の上昇ストローク端に位置しており、伝動部材32は上昇端に位置している。このとき、ピストン65、66の上ロック溝59Ａ、59Ｂに上エンドロック機構73Ａ、73Ｂのロックピストン85Ａ、85Ｂがそれぞれ嵌合して、ピストン65、66は上端位置にロックされている。また、前述のとおり、伝動部材32とキャップ体41・弁シャフト19とが所定距離以上は離れないように連結されている。そのため、バルブ全開状態等では、伝動部材32とキャップ体41・弁シャフト19との間隔は所定距離が維持されている。この所定距離が維持されているときに、ガイドローラ57Ａ、57Ｂはカム溝58Ａ、58Ｂの下端垂直面に係合し、支点用ローラ49Ａ、49Ｂは支点溝72Ａ、72Ｂの上方部に係合している。
【００１７】
アクチュエータ61、62のロッド側室（ピストン65、66の上側室）に圧縮空気を流入させると、圧縮空気の圧力により上エンドロック機構73Ａ、73Ｂのロックピストン85Ａ、85Ｂが後退してロックが解除され、ピストン65、66の下降（前進）が開始される。このとき、伝動部材32と弁シャフト19とは前記所定距離を保ちつつ下降・直進運動を行い、弁体18は高真空バルブの閉鎖方向へ移動する。そして、伝動部材32のプレート部32Ａの左右端がアクチュエータ61、62のピストンロッド67、68の上端にそれぞれボルト33により連結され、支点溝72Ａ、72Ｂにキャップ体41の下端部の支点用ローラ49Ａ・49Ｂが係合されている。従って、弁シャフト19が下降・直進運動を行うとき、弁シャフト19の前後方向及び左右方向の揺れはない。従って、弁シャフト19が下降・直進運動を行うとき、弁シャフト19の外周面はベローズ37、ガイドリング35及び上部壁26に接触することもない。
【００１８】
弁シャフト19の下降ストローク端において、キャップ体41に連結された支点用ローラ49Ａ・49Ｂが支点溝72Ａ・72Ｂの下端部（基端部）に接触し、弁シャフト19・キャップ体41の下降が停止する。このようにして、弁シャフト19・キャップ体41・弁体18は下降端位置（図２の弁体下降位置）に到達する。このとき、図示のように、ガイドローラ57Ａ、57Ｂはカム溝58Ａ、58Ｂの下端垂直面に係合している。
【００１９】
弁シャフト19・キャップ体41が下降端位置に到達しても、伝動部材32は下降運動を継続しており、スプリング39の弾発力に抗して下降する。伝動部材32のカム溝58Ａ、58Ｂの下降によりガイドローラ57Ａ、57Ｂはカム溝58Ａ、58Ｂに沿って後方へ徐々に移動する。この移動により、弁シャフト19は支点用ローラ49Ａ、49Ｂを中心として揺動し、弁シャフト19の下端及び弁体18は前方へ徐々に移動し、弁体18のシール部材20が前面壁22の弁座24に押し付けられ、バルブ31の全閉状態に至る。このとき、ピストン65、66の下ロック溝60Ａ、60Ｂに下エンドロック機構74Ａ、74Ｂのロックピストン86Ａ、86Ｂがそれぞれ嵌合し、ピストン65、66が下端位置にロックされる。この状態を長時間維持継続させる場合には、アクチュエータ61、62の操作用の圧縮空気の供給を一時的に停止させることができる。（ピストン65、66の上端位置においても同様に圧縮空気の供給を一時的に停止させることができる。）ガイドロッド51Ａ・51Ｂは伝動部材32の上端側より上方に突出される。なお、弁シャフト19の揺動と同時にガイドロッド51Ａ・51Ｂも揺動するので、この揺動運動を妨害しないよう、ガイド用長穴53Ａ・53Ｂは長円加工されて前後方向に長くなっている。
【００２０】
バルブ31を全閉状態から弁体下降状態へ変えたいときには、アクチュエータ61、62のヘッド側室（ピストン65、66の下側室）に圧縮空気を流入させると、圧縮空気の圧力により下エンドロック機構74Ａ、74Ｂのロックピストン86Ａ、86Ｂが後退してロックが解除され、伝動部材32が所定距離だけ上昇（後退）・直進運動をする。スプリング39の弾発力は、ガイドローラ57Ａ・57Ｂとカム溝58Ａ・58Ｂの係合により伝動部材32を引き上げる力、及び弁体18の重量の合計よりも大きく設定されている。従って、伝動部材32に上昇・直進運動をさせると、キャップ体41・弁シャフト19・支点用ローラ49Ａ・49Ｂはスプリング39の弾発力により下端位置に維持され、伝動部材32はそのカム溝58Ａ・58Ｂがガイドローラ57Ａ・57Ｂと係合しつつ上昇し、カム溝58Ａ・58Ｂの垂直平面部とガイドローラ57Ａ・57Ｂとが係合し、弁体下降位置で弁体18と弁座24とが離隔する状態に至る。
【００２１】
バルブ31を離隔状態から全開状態へ変えたいときには、更にアクチュエータ61、62のピストン65、66に上昇・直進運動をさせる。ピストン65、66に下降・直進運動をさせるときと同様に、弁シャフト19は前後方向に揺れることなく、また左右方向に揺れることもなく上昇する。そして、弁シャフト19が上昇・直進運動を行うとき、弁シャフト19の外周面はベローズ37・ガイドリング35・中央穴27に接触することもない。
なお、以上は、高真空バルブを図１〜図３に示すように、垂直方向に直立させた姿勢を前提として説明したが、高真空バルブの取付姿勢を上下反転させたり、横向きにさせても、直立時と同様に作動する。
【００２２】
図４は、本発明の実施の形態において、加熱器77及び温度センサ81の配線78、79に差込接続部88を配設した場合の要部を示す。本発明の高真空バルブが、集積回路やその部品等を真空処理室から真空処理室へ移送する移送通路に配置されたとき、バルブ31を閉鎖している時間の方が開放している時間よりも長いことが分かっている。そして、バルブ31が閉じているときにのみ、加熱器77に電力を供給すれば、弁体18から弁シャフト19を通して熱が低温部へ伝導することを防止できることが判明した。そこで、差込接続部88を配設して、バルブ31が閉じているときにのみ差込接続部88をとおして電力が供給され、バルブ31が閉じていないときは電力が供給されないようにしたのである。
【００２３】
キャップ体41の連結部42Ａ・42Ｂの後面に差込接続部88の可動部89が固定され、後カバー29の前面で可動部89と対向する位置に差込接続部88の固定部90が固定されている。そして、図４(b) に示すように、連結部42Ａの後面に電力用の可動部89Ａ、89Ｂが固定され、連結部42Ｂの後面にセンサー用の可動部89Ｃ、89Ｄが固定されている。固定部90も不図示の電力用の固定部とセンサー用の固定部が配置されている。バルブ31が閉じていないときは可動部89と固定部90とは係合していないが、シャフト19・キャップ体41が揺動してバルブ31が閉鎖されると、可動部89と固定部90とが係合し（差し込まれ）、可動部89の接点と固定部90の接点とが接触して、可動部89と固定部90との間に電流が流れるように構成されている。電力用の可動部89Ａ、89Ｂを通る電力は加熱器77に供給され、温度センサー81の出力はセンサー用の可動部89Ｃ、89Ｄを通って流れる。なお、加熱器77としてサーミスタを使用するときは、センサー用の差込接続部は不用である。
【００２４】
【発明の効果】
以上に詳述した本発明は、高真空バルブにおいて、弁シャフト内に加熱器が密着して配設され、高真空バルブの外部から電力を供給する配線が加熱器に接続されている。従って、弁体から弁シャフトを通して熱が低温部へ伝導することを防止することができ、また弁体の温度を更に上昇させるように弁シャフトから弁体へ熱を伝導させることもできる。特に、弁本体又は弁ボディに加熱器が配設されている場合には、弁本体又は弁ボディの加熱器で弁体を加熱し、弁シャフトの加熱器で弁シャフトを弁体と同一温度に維持して、弁体から弁シャフトを通して熱が低温部へ伝導することを完全に防止することができる。
また、弁シャフトの上部にキャップ体が連結され、キャップ体の下部に連結された支点用ローラが支点溝に係合され、キャップ体の上部に連結されたガイドローラが伝動部材のカム溝に係合され、支点用ローラが支点溝の基端に位置するときに、伝動部材が下降してガイドローラがカム溝に沿って移動することにより、弁シャフトが弁体を弁座に押し付ける方向に揺動するように構成すれば、移送通路用の高真空バルブにおいて、弁シャフトを揺動させて弁体を弁座に押圧するための機構を簡単化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の高真空バルブの実施の形態を示し、図１(a) は一部を断面で示す背面図であり、図１(b) は図１(a) の一部を断面で示す左側面図である。
【図２】図１(a) の弁体駆動部の拡大図である。
【図３】図３(a) は図１(b) の要部拡大図であり、図３(b) は図１(a) の伝動部材の拡大平面図であり、図３(c) は図３(b) のＣ−Ｃ線断面図である。
【図４】図４(a) は差込接続部を配設したときの要部拡大部（図３(a) の上部に対応する）であり、図４(b) は差込接続部の可動部を後方からみた配置図である。
【符号の説明】
11  弁本体
14  第１開口
15  第２開口
16  弁室
18  弁体
19  弁シャフト
22  前面壁
23  後面壁
24  弁座
26  上部壁
27  段付の中央穴
31  バルブ
32  伝動部材
37  ベローズ
41  キャップ体
49Ａ・49Ｂ  支点用ローラ
57Ａ・57Ｂ  ガイドローラ
58Ａ・58Ｂ  カム溝
72Ａ・72Ｂ  支点溝
77  加熱器
78  配線（伸縮コード）
【図１】
0003915083.tif 000002
【図２】
0003915083.tif 000003
【図３】
0003915083.tif 000004
【図４】
0003915083.tif 000005