(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理室内に複数の基板を搬入する工程と、
前記処理室の上方から複数の基板の周囲に処理ガスを供給して基板の表面処理を行う表面処理工程と、
前記処理室内から前記処理ガスを排出する排出工程と、
洗浄液により複数の基板を洗浄する洗浄工程と、
洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された複数の基板を引き上げて乾燥させる乾燥工程と、
を同一の処理室内で行い、かつ、
前記表面処理工程と前記排出工程と前記洗浄工程とがその順に複数回繰り返して行われた後に前記乾燥工程が行われ、
前記乾燥工程前の最後の洗浄工程は、前記処理室内にある処理槽に貯留された洗浄液の上昇液流内に複数の基板を浸漬させて行うようにし、
前記乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程は、洗浄液の蒸気を前記処理室内に供給して洗浄液の蒸気により複数の基板を洗浄することを特徴とする基板処理方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理方法において、
前記乾燥工程の有機溶剤の蒸気の雰囲気は、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱された有機溶剤の蒸気の雰囲気であることを特徴とする基板処理方法。
【請求項３】
請求項１または２のいずれかに記載の基板処理方法において、
前記乾燥工程は、洗浄液の上昇液流から基板を引き上げた後、基板の周囲に不活性ガスを供給する工程を含むようにしたことを特徴とする基板処理方法。
【請求項４】
内部に処理室を形成するチャンバと、
前記チャンバの上方に設けられ、上方から基板に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、
処理ガスによる基板表面処理が行われた後、前記処理室内の排気を行う排気手段と、
前記処理室内に設けられ、処理ガスによる基板の表面処理が行われた複数の基板を洗浄液に浸漬させる処理槽と、
前記処理槽の底部から洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記処理槽の上部から溢れ出た洗浄液を処理室外に排出する排液手段と、
前記処理室内に、洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気を供給する有機溶剤蒸気供給手段と、
前記処理槽内の下降位置と、前記処理室内であって前記処理槽の上方の上昇位置との間で複数の基板を昇降させる昇降手段と、
前記処理室内に洗浄液の蒸気を供給する洗浄液蒸気供給手段とを備え、
前記洗浄液供給手段は、前記有機溶剤蒸気供給手段による乾燥工程前の最後の洗浄工程において、前記処理槽に貯留された洗浄液の上昇液流内に複数の基板を浸漬させて行うように前記処理槽の底部から洗浄液を供給し、
前記洗浄液蒸気供給手段は、前記乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程において、洗浄液の蒸気を前記処理室内に供給して洗浄液の蒸気により複数の基板を洗浄する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置において、
前記有機溶剤蒸気供給手段により処理室内に供給される有機溶剤の蒸気を、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱する加熱手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の基板処理装置において、
前記処理室内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板などの基板に対する表面処理、洗浄、乾燥を行う基板処理方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハなどの基板の製造プロセスの特定の洗浄工程では、例えば、基板表面の自然酸化膜の除去などのために、薬液により基板に対する表面処理が行われる。この表面処理に用いられる薬液の量を減少させるために、従来、薬液を蒸気化して、その薬液の蒸気を基板の表面に供給し、表面処理することも行われている。
【０００３】
この薬液蒸気による表面処理を行う基板処理装置は、薬液蒸気により表面処理し、その後、基板表面に付着した薬液などを洗い流すために純水による基板洗浄を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
上記従来装置は、純水による基板洗浄の後、別体の乾燥装置で基板の乾燥を行っており、薬液蒸気による表面処理と純水による基板洗浄を行う処理装置と、それと別体の乾燥装置とを設置するスペースが必要であった。
【０００５】
また、純水による基板洗浄の後の濡れた基板は移送手段に支持されて、別体の装置間で移送されるが、その移送の際に、基板が装置外で外気に触れ、装置外で基板にパーティクルが付着したり、移送手段からのパーティクルの付着などが起こり、洗浄後の基板を乾燥前に汚すという問題もあった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、省スペース化を図るとともに、薬液による表面処理の後の基板洗浄から乾燥までの間の基板の汚染を防止することができる表面処理方法および基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明に係る基板処理方法は、処理室内に複数の基板を搬入する工程と、前記処理室の上方から複数の基板の周囲に処理ガスを供給して基板の表面処理を行う表面処理工程と、前記処理室内から前記処理ガスを排出する排出工程と、洗浄液により複数の基板を洗浄する洗浄工程と、洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された複数の基板を引き上げて乾燥させる乾燥工程と、を同一の処理室内で行い、かつ、前記表面処理工程と前記排出工程と前記洗浄工程とがその順に複数回繰り返して行われた後に前記乾燥工程が行われるものであり、前記乾燥工程前の最後の洗浄工程は、前記処理室内にある処理槽に貯留された洗浄液の上昇液流内に複数の基板を浸漬させて行うようにし、前記乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程は、洗浄液の蒸気を前記処理室内に供給して洗浄液の蒸気により複数の基板を洗浄することを特徴とするものである。
【０００８】
なお、処理ガスとは、薬液の蒸気や反応ガスである。
薬液の蒸気とは、例えば、以下のような薬液を蒸気化したものを言う。
酢酸（CH3COOH)、アンモニア水（NH4OH/H2O)、フッ化水素酸（HF/H2O）、塩化水素酸（HCl/H2O)、HF/ アルコール（アルコールにフッ化水素を溶解させたもの）などの薬液が挙げられる。
【０００９】
酢酸の蒸気は、アルミエッチング作用がある。
アンモニア水の蒸気は、シリコンエッチング作用がある。
フッ化水素酸の蒸気は、酸化膜のエッチング作用がある。
塩化水素酸の蒸気は、基板表面の金属と反応し、塩化物として溶解除去できる。
HF/ アルコールの蒸気は、酸化膜のエッチング作用がある。
【００１０】
また、反応ガスとしては、無水フッ化水素（HF）、アンモニア（NH3)、塩素（Cl）、無水硫酸（H2SO4)、塩化水素（HCl)、オゾン（O3）などを含む。
【００１１】
無水フッ化水素は、酸化膜のエッチング作用がある。
アンモニアは、シリコンエッチング作用がある。
塩素、塩化水素は、基板表面の金属と反応し、該金属を塩化物として溶解除去する。
無水硫酸は、有機物や無機物を除去するのに有効である。
オゾンは、酸化作用がある。
【００１２】
さらに、薬液の蒸気と反応ガスは、いずれか一方だけを供給してもよいし、双方を同時に、または、タイミングをずらして供給してもよい。また、２種類以上の異なる薬液の蒸気を組み合わせて供給してもよいし、２種類以上の異なる反応ガスを組み合わせて供給してもよい。例えば、アンモニア水の蒸気とオゾン、塩化水素酸の蒸気とオゾン、フッ化水素酸の蒸気とオゾンなどの組み合わせで供給できる。なお、アンモニア水の蒸気とアンモニア、フッ化水素酸の蒸気と無水フッ化水素、塩化水素酸の蒸気と塩化水素は同じであり、いずれか入手し易いものを用いればよい。
【００１３】
洗浄液としては、純水や、超純水にオゾンを含ませたオゾン水、二酸化炭素（CO2 ）を含ませた炭酸水、イオン水、フッ化水素（HF）を微量含ませたものなどを含む。
【００１４】
オゾン水は基板表面の有機物除去と基板表面の酸化作用がある。炭酸水は導電率が純水よりも大きく、基板の帯電量を低減する作用がある。このため基板にパーティクルが付着することを防止する効果がある。イオン水は陽極水と陰極水とがあり、陽極水は基板への金属付着防止、基板表面の有機物除去、基板表面の酸化の各作用がある。また、陰極水はパーティクルの除去、基板表面の酸化防止の各作用がある。フッ化水素を微量含ませたものは基板表面の酸化を防止する作用がある。
【００１５】
そのほか洗浄液としてはパーティクル除去作用のあるアンモニア水と過酸化水素水と水との混合溶液（以下、アンモニア過水という）や、金属除去作用のある塩酸と過酸化水素水と水との混合溶液（以下、塩酸過水という）、有機物除去作用のある硫酸と過酸化水素水と水との混合溶液（以下、硫酸過水という）などがある。
【００１６】
洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤としては、イソプロピールアルコール、メチルアルコール、エチルアルコールなどのアルコール類、アセトン、ジエチルケトンなどのケトン類、メチルエーテル、エチルエーテルなどのエーテル類、エチレングリコールなどの多価アルコールなどが挙げられる。
【００１７】
また、請求項２に記載の発明に係る基板処理方法は、上記請求項１に記載の基板処理方法において、前記乾燥工程の有機溶剤の蒸気の雰囲気は、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱された有機溶剤の蒸気の雰囲気であることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項３に記載の発明に係る基板処理方法は、上記請求項１または２のいずれかに記載の基板処理方法において、前記乾燥工程は、洗浄液の上昇液流から基板を引き上げた後、基板の周囲に不活性ガスを供給する工程を含むようにしたことを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項４に記載の発明に係る基板処理装置は、内部に処理室を形成するチャンバと、前記チャンバの上方に設けられ、上方から基板に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、処理ガスによる基板表面処理が行われた後、前記処理室内の排気を行う排気手段と、前記処理室内に設けられ、処理ガスによる基板の表面処理が行われた複数の基板を洗浄液に浸漬させる処理槽と、前記処理槽の底部から洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記処理槽の上部から溢れ出た洗浄液を処理室外に排出する排液手段と、前記処理室内に、洗浄液に対して溶解性を有し水溶性でかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気を供給する有機溶剤蒸気供給手段と、前記処理槽内の下降位置と、前記処理室内であって前記処理槽の上方の上昇位置との間で複数の基板を昇降させる昇降手段と、を備えたものである。
【００２０】
また、請求項４に記載の発明に係る基板処理装置は、前記処理室内に洗浄液の蒸気を供給する洗浄液蒸気供給手段とを備え、前記洗浄液供給手段は、前記有機溶剤蒸気供給手段による乾燥工程前の最後の洗浄工程において、前記処理槽に貯留された洗浄液の上昇液流内に複数の基板を浸漬させて行うように前記処理槽の底部から洗浄液を供給し、前記洗浄液蒸気供給手段は、前記乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程において、洗浄液の蒸気を前記処理室内に供給して洗浄液の蒸気により複数の基板を洗浄するものである。
【００２１】
また、請求項５に記載の発明に係る基板処理装置は、請求項４に記載の基板処理装置において、前記有機溶剤蒸気供給手段により処理室内に供給される有機溶剤の蒸気を、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱する加熱手段をさらに備えたものである。
【００２２】
また、請求項６に記載の発明に係る基板処理装置は、請求項４または５に記載の基板処理装置において、前記処理室内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段をさらに備えたものである。
【００２３】
【作用】
本発明の作用は次のとおりである。
すなわち、請求項１に記載の方法発明によれば、同一の処理室内で、表面処理工程、排出工程、洗浄工程をそれぞれ複数回繰り返した後、乾燥工程を行う。
【００２４】
基板の表面処理を行う表面処理工程は、処理ガス、すなわち、薬液を蒸気化した薬液の蒸気、表面処理用の反応ガス自体のいずれか一方、または双方を基板の周囲に供給して基板の表面処理を行う。
【００２５】
表面処理工程が終了すると、前記処理ガスを処理室から排出する（排出工程）。
【００２６】
排出工程の後、洗浄液により基板を洗浄する洗浄工程を行う。この洗浄工程は、洗浄液を蒸気化してその洗浄液の蒸気を基板の周囲に供給して行う場合と、洗浄液の上昇液流内に基板を浸漬させて行う場合とがある。ただし、乾燥工程前の最後の洗浄工程は、洗浄液の上昇液流内に基板を浸漬させて行い、乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程は、洗浄液の蒸気を処理室内に供給して洗浄液の蒸気により基板を洗浄する。
【００２７】
そして、表面処理工程、排出工程、洗浄工程の一連の工程の後（これら工程を複数回行った後）、乾燥工程を行う。この乾燥工程は、洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された（最後の洗浄工程が終了した）基板を引き上げ、その引き上げの際に基板表面の洗浄液を有機溶剤の蒸気に置換して基板を乾燥させる。
【００２８】
請求項２に記載の方法発明によれば、乾燥工程では、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱された有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された基板を引き上げ、基板を乾燥させる。従って、基板の引き上げの際に基板表面の洗浄液を有機溶剤の蒸気に好適に置換できる。
【００２９】
請求項３に記載の方法発明によれば、乾燥工程では、有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流から基板を引き上げた後、基板の周囲に不活性ガスを供給し、基板表面の有機溶剤を不活性ガスに置換して基板を乾燥させる。
【００３０】
請求項４に記載の装置発明は、上記請求項１に記載の方法発明を好適に実施するための装置であって、その作用は次のとおりである。
【００３１】
チャンバ内部に形成された処理室内に基板が搬入されると、処理ガス供給手段が処理室内に処理ガス（薬液の蒸気や反応ガス）を供給して基板の表面処理を行う（表面処理工程）。表面処理が終了すると、排気手段が処理ガスを処理室外に排出する（排出工程）。そして、洗浄液による基板の洗浄を行う（洗浄工程）。この洗浄は、洗浄液供給手段が処理槽の底部から洗浄液を供給するとともに、排液手段が処理槽上部から溢れ出る洗浄液を処理室外に排出して、処理槽内に洗浄液の上昇液流を形成し、その洗浄液の上昇液流内に基板が浸漬されて行う場合と、洗浄液蒸気供給手段が処理室内に洗浄液の蒸気を供給し、その洗浄液の蒸気で基板を洗浄する場合とがある。
【００３２】
上記表面処理工程、排出工程、洗浄工程を複数回、チャンバ内部に形成された処理室内で行う。そして、それに続き、その処理室内で次のように基板を乾燥する（乾燥工程）。なお、乾燥工程前の最後の洗浄工程は、洗浄液の上昇液流内に基板を浸漬させて行い、乾燥工程前の最後の洗浄工程以外の洗浄工程は、洗浄液の蒸気を処理室内に供給して洗浄液の蒸気により基板を洗浄する。
【００３３】
すなわち、有機溶剤蒸気供給手段が処理室内に、洗浄液に対して溶解性を有しかつ基板表面の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気を供給し、処理室内を有機溶剤の雰囲気にする。そして、上記最後の洗浄工程が終了すると、昇降手段が、基板を下降位置から上昇位置へと上昇させ、上記有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された基板を引き上げ、その引き上げの際に基板表面の洗浄液を有機溶剤の蒸気に置換して基板を乾燥させる。乾燥が終了すると、基板を処理室から搬出する。
【００３４】
請求項５に記載の装置発明は、上記請求項２に記載の方法発明を好適に実施するための装置であって、その作用は次のとおりである。
【００３５】
すなわち、乾燥工程において、加熱手段が有機溶剤蒸気供給手段により処理室に供給される有機溶剤の蒸気を、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱する。これにより、加熱された有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された基板が引き上げられ基板が乾燥される。
【００３６】
請求項６に記載の装置発明は、上記請求項３に記載の方法発明を好適に実施するための装置であって、その作用は次のとおりである。
【００３７】
すなわち、乾燥工程において、有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流から基板を引き上げた後、有機溶剤の蒸気の供給を停止し、不活性ガス供給手段が不活性ガスを処理室内に供給して、基板の周囲に不活性ガス雰囲気を供給し、基板表面の有機溶剤を不活性ガスに置換して基板を乾燥させる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板処理方法を実施する基板処理装置の全体構成を示す図である。なお、図では、チャンバや処理槽部分を縦断面図で描いている。
【００３９】
この装置は、チャンバ１の内部に処理室２が形成されている。この処理室２内には、処理槽３やリフター４が設けられている。
【００４０】
チャンバ１の上方または側方には、基板Ｗの搬入出用の図示しない開口が設けられ、処理室２に対する基板Ｗの搬入出のときだけ開口が開かれる開閉シャッター（図示せず）も設けられている。この開閉シャッターが閉じられたとき、処理室２内が気密に密閉されるようになっている。
【００４１】
チャンバ１の上方には、有機溶剤の蒸気や不活性ガスを処理室２内に供給するための第１の供給口５、薬液の蒸気を処理室２内に供給するための第２の供給口６、洗浄液の蒸気を処理室２内に供給するための第３の供給口７、反応ガスを処理室２内に供給するための第４の供給口８が設けられている。
【００４２】
第１の供給口５には、開閉弁９、フィルター１０、ヒーター１１、開閉弁１２、有機溶剤蒸気発生部１３、開閉弁１４が介装された管路１５を介して、不活性ガス供給源１６に連通接続されている。また、管路１５には、開閉弁１７が介装された分岐管路１８も設けられている。開閉弁１２、１４を開、開閉弁１７を閉にすることで、不活性ガス（窒素ガスなど）をキャリアとして有機溶剤蒸気発生部１３で発生された有機溶剤の蒸気を処理室２内に供給できる状態になり、一方、開閉弁１２、１４を閉、開閉弁１７を開にすることで、不活性ガスを処理室２内に供給できる状態になる。そして、開閉弁９を開にすることで、ヒーター１１で加熱され、フィルター１０で清浄化された有機溶剤の蒸気または不活性ガスを選択的に処理室２内に供給するようになっている。
【００４３】
なお、有機溶剤蒸気発生部１３は、例えば、有機溶剤をヒーターなどで加熱して蒸気化させたり、不活性ガスによるバブリングや、超音波発振子を用いるなどで有機溶剤の蒸気を発生させるように構成されている。
【００４４】
第２の供給口６には、開閉弁１９、フィルター２０、ヒーター２１、薬液蒸気発生部２２、開閉弁２３が介装された管路２４を介して、不活性ガス供給源２５に連通接続されている。開閉弁２３を開にすることで、不活性ガスをキャリアとして薬液蒸気発生部２２で発生された薬液の蒸気を処理室２内に供給できる状態になり、開閉弁１９を開にすることで、ヒーター２１で加熱され、フィルター２０で清浄化された薬液の蒸気を処理室２内に供給するようになっている。
【００４５】
なお、この薬液蒸気発生部２２（後述する洗浄液蒸気発生部２９）も、上記有機溶剤蒸気発生部１３を同様に、薬液（洗浄液）を加熱して蒸気化させたり、不活性ガスによるバブリング、超音波発振子を用いるなどで薬液（洗浄液）の蒸気を発生させるように構成されている。
【００４６】
第３の供給口７には、開閉弁２６、フィルター２７、ヒーター２８、洗浄液蒸気発生部２９、開閉弁３０が介装された管路３１を介して、不活性ガス供給源３２に連通接続されている。開閉弁３０を開にすることで、不活性ガスをキャリアとして洗浄液蒸気発生部２９で発生された洗浄液の蒸気を処理室２内に供給できる状態になり、開閉弁２６を開にすることで、ヒーター２８で加熱され、フィルター２７で清浄化された洗浄液の蒸気を処理室２内に供給するようになっている。
【００４７】
第４の供給口８には、開閉弁３３、フィルター３４、ヒーター３５、開閉弁３６が介装された管路３７を介して、反応ガス供給源３８に連通接続されている。開閉弁３６を開にすることで、反応ガスを処理室２内に供給できる状態になり、開閉弁３３を開にすることで、ヒーター３５で加熱され、フィルター３４で清浄化された反応ガスを処理室２内に供給するようになっている。
【００４８】
また、チャンバ１の底部には、排気・排液口３９が設けられている。この排気・排液口３９には、管路４０が連通接続され、管路４０は途中で排気用の管路４１と排液用の管路４２に分岐されている。管路４１は、開閉弁４３、水封式真空ポンプ４４が介装されて排気ダクト４５に連通接続されている。また、管路４２は、開閉弁４６が介装されて排液ドレイン４７に連通接続されている。真空ポンプ４４をＯＮにし、開閉弁４３を開にすることで、処理室２内の強制排気が行え、開閉弁４６を開にすることで、処理槽３の上部から溢れ出た洗浄液をチャンバ１の底部から排液するようになっている。
【００４９】
処理槽３の底部には、液供給管４８が配設されている。この液供給管４８は、開閉弁４９が介装された管路５０を介して洗浄液供給源５１に連通接続されている。
【００５０】
リフター４は、図示しない昇降機構によって昇降可能に構成されていて、処理槽３内の下降位置（図の二点鎖線で示す位置）と、処理室２内であって処理槽３の上方の上昇位置（図の実線で示す位置）との間で支持した基板Ｗを昇降させるようになっている。
【００５１】
なお、図１では、不活性ガスをキャリアとして有機溶剤の蒸気や薬液の蒸気、洗浄液の蒸気を処理室２に供給するように構成しているが、処理室２内を強制排気し、処理室２内を負圧にして有機溶剤の蒸気や薬液の蒸気、洗浄液の蒸気を処理室２に吸入して供給するようにしてもよい。
【００５２】
また、図１では、不活性ガスや有機溶剤の蒸気、薬液の蒸気、洗浄液の蒸気、反応ガスは、ヒーター１１、２１、２８、３５で加熱してから処理室２内に供給するように構成したが、例えば、ヒーターを管路１５、２４、３１、３７に巻回したり、管路１５、２４、３１、３７を二重管構造にして蒸気やガスを供給する内管の周囲に温調用の恒温水を流すなどして、各蒸気やガスを第１〜第４の供給口５〜８から処理室２内に供給する直前まで温調（加熱）するように構成してもよい。
【００５３】
さらに、図１では、薬液の蒸気や反応ガスを１種類ずつ供給するように構成しているが、例えば、図２（ａ）、（ｂ）に示すように構成して、複数種類の薬液の蒸気（薬液Ａ、Ｂ、…、Ｎの蒸気）や、複数種類の反応ガス（反応ガスＡ、Ｂ、…、Ｎ）を供給できるようにしてもよい。なお、図２（ａ）の開閉弁６１は、供給する薬液の蒸気を切り替えるための弁である。
【００５４】
また、洗浄液としては、純水、純水にオゾンを含ませたオゾン水、二酸化炭素（CO2)を含ませた炭酸水、イオン水、フッ化水素（HF）を微量含ませたものや、アンモニア過水、塩酸過水、硫酸過水を用いてもよい。従って、洗浄液の蒸気を供給する機構（フィルター２７、ヒーター２８、洗浄液蒸気発生部２９、開閉弁３０、管路３１、不活性ガス供給源３２）についても、例えば、図２（ａ）に示すように構成して、各種の洗浄液の蒸気を切り替え供給できるようにしてもよい。また、処理槽３の底部から洗浄液を供給する機構（開閉弁４９、管路５０、洗浄液供給源５１）についても、例えば、図２（ｂ）のように構成して、各種の洗浄液を切り替え供給できるようにしてもよい。
【００５５】
後述するように、例えば、乾燥工程で処理室２内を減圧して乾燥する場合には、処理槽３内の洗浄液を排出する必要がある。そのように、処理槽３内の洗浄液を一旦排液して処理槽３内を空の状態にする場合には、図３に示すように、処理槽３の底部に排液口６２を設け、開閉弁６３の開閉で管路６４を介して処理槽３内の洗浄液を処理槽３の底部から排液ドレイン６５に排出できるように構成してもよい。また、このように処理槽３内の洗浄液の排出を行う場合には、図１に示すように、洗浄液供給用の管路５０と管路４１を管路６６で連通接続し、真空ポンプ４４をＯＮにして、管路５０内に残留する洗浄液を排出できるように構成するのが好ましい。このように構成することで、例えば、減圧乾燥中に、管路５０内に残留する洗浄液が蒸発して乾燥の妨げになることなどを防止できる。
【００５６】
次に、上記構成の装置の動作を図４のフローチャートを参照して説明する。
なお、図４（ａ）は、装置の全体的な動作を示すフローチャートであり、同図（ｂ）は、図４（ａ）の乾燥工程の詳細なフローチャートである。
【００５７】
まず、基板Ｗの搬入を行う（ステップＳ１）。すなわち、チャンバ１のシャッターが開き、図示しない基板搬送機構が基板Ｗを支持して処理室２に進入してくる。そして、上昇されているリフター４に基板Ｗをセットし、処理室２から退出し、シャッターが閉じる。
【００５８】
基板Ｗが搬入されると、次に、処理ガス、すなわち、薬液の蒸気や反応ガスを処理室２内に供給して、処理ガス（薬液の蒸気や反応ガス）による基板Ｗの表面処理を行う（表面処理工程：ステップＳ２）。この表面処理は、基板Ｗを上昇位置に位置させた状態で行ってもよいし、リフター４を下降させて基板Ｗを空の処理槽３内に位置させて行ってもよい。
【００５９】
表面処理が終了すると（薬液の蒸気や反応ガスを所定時間供給し終わると）、薬液の蒸気や反応ガスの供給を停止し、処理室２内の排気を行って処理室２内から薬液の蒸気や反応ガスを排出する（排出工程：ステップＳ３）。なお、このとき、処理室２内に不活性ガスを供給しながら、処理室２内の排気を行ってもよい。また、処理室２内からの薬液の蒸気や反応ガスの排出が終了すると、不活性ガスの供給および排気を停止してもよいし、それを継続して以下の洗浄工程を行ってもよい。
【００６０】
次に、洗浄液による基板Ｗの洗浄を行う（洗浄工程：ステップＳ４）。この洗浄工程は、処理室２内に洗浄液の蒸気を供給し、この洗浄液の蒸気で基板Ｗを洗浄してもよいし、処理槽３の底部から洗浄液を供給しつつ、処理槽３の上部から洗浄液を溢れ出させて、処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成し、その洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて行ってもよい。ただし、後述する乾燥工程の前の最後の洗浄工程は、洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて行う。
【００６１】
なお、洗浄液の蒸気で基板Ｗを洗浄する場合には、基板Ｗを上昇位置に位置させた状態で行ってもよいし、基板Ｗを空の処理槽３内に位置させて行ってもよい。例えば、上記表面処理を、基板Ｗを上昇位置に位置させた状態で行う場合には、基板Ｗをそのままの位置で、洗浄液の蒸気による洗浄を行えばよい。一方、上記表面処理を、基板Ｗを下降位置に位置させた状態で行う場合には、基板Ｗをそのままの位置で、洗浄液の蒸気による洗浄を行えばよい。
【００６２】
また、洗浄液の上昇液流の中に基板Ｗを浸漬させて基板Ｗを洗浄する場合には、以下の２通りの方法を採り得る。まず、基板Ｗを上昇位置に位置させた状態で、処理槽３の底部から洗浄液を供給しつつ、処理槽３の上部から洗浄液を溢れ出させて、処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成し、リフター４を下降させて洗浄液の上昇液流の中に基板Ｗを浸漬していって基板Ｗの洗浄を行う方法が採れる。また、基板Ｗを空の処理槽３内に位置させた状態で、処理槽３の底部から洗浄液を供給しつつ、処理槽３の上部から洗浄液を溢れ出させて、処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成し、そのまま基板Ｗを洗浄する方法も採り得る。
【００６３】
前者の方法を採る場合、洗浄工程ごとに新たに処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成してもよいし、最初に洗浄液の上昇液流を形成してそれを継続し、以後、洗浄工程ごとにリフター４を降下させるようにしてもよい。洗浄工程ごとに新たに処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成するときには、図３のように処理槽３の底部から処理槽３内の洗浄液を一旦排出して処理槽３内を空にできるように構成して、洗浄工程が終了するごとに、処理槽３内の洗浄液を一旦排出して処理槽３を空にしておき、次の洗浄工程のときに新たに洗浄液の上昇液流を形成するという動作を繰り返すことになる。このように動作させたときには、各洗浄工程ごとで処理槽３内の洗浄液に混ざったパーティクルや薬液を一旦排出するので、各洗浄工程では常に清浄な洗浄液で基板Ｗを洗浄することができる。一方、最初に上昇液流を形成しておくときには、例えば、基板Ｗの搬入の段階で、処理槽３に洗浄液の上昇液流を形成し、処理槽３の底部からの洗浄液の供給と処理槽３の上部から溢れ出る洗浄液の排出を継続し、ステップＳ２〜ステップＳ５の間、常に洗浄液の上昇液流を形成した状態を継続し、表面処理は基板Ｗを上昇位置に位置させて行い、洗浄工程ごとにリフター４を下降させ、基板Ｗを洗浄液の上昇液流内に浸漬させるという動作を繰り返すことになる。このように動作させたときには、各洗浄工程ごとに新たに洗浄液の上昇液流を形成するという動作が不要になるので、それだけスループットが向上する。
【００６４】
また、上記後者の方法（基板Ｗを空の処理槽３内に位置させた状態で、処理槽３内に洗浄液の上昇液流を形成する方法）を採る場合、図３のように処理槽３の底部から処理槽３内の洗浄液を一旦排出して処理槽３内を空にできるように構成して、洗浄工程が終了するごとに、処理槽３内の洗浄液を一旦排出して処理槽３を空にしておき、次の洗浄工程のときに新たに洗浄液の上昇液流を形成するという動作を繰り返すことになる。この方法を採る場合、ステップＳ２〜Ｓ５の間、常に基板Ｗを処理槽３内の下降位置に位置させて行うことができ、その間、リフター４の昇降を一切行わないようにすることができる。
【００６５】
ステップＳ５では、実行すべき処理ガスによる表面処理およびその後の洗浄工程が全て終了したか否かを判定し、終了していなければステップＳ２に戻り、終了したのであればステップＳ６の乾燥工程に移行する。ステップＳ２〜Ｓ４を１回だけ行う場合もあるが、例えば、最初の表面処理では、薬液Ａの蒸気により表面処理し、基板洗浄の後、２回目の表面処理では、薬液Ｂ（薬液Ａと異なる薬液）の蒸気により表面処理して基板Ｗを洗浄するというように、複数種類の処理ガスによる表面処理を行う場合などには、ステップＳ２〜Ｓ４を複数回繰り返すこともある。
【００６６】
なお、ステップＳ２〜Ｓ４を複数回繰り返す場合には、基板Ｗをどの位置に位置させて各表面処理工程や洗浄工程などを実行するか、各洗浄工程では洗浄液の蒸気で洗浄するか洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて洗浄するかなど種々の動作で実現できる。ただし、先にも述べたように、乾燥工程の前の最後の洗浄工程は、洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて行う。
【００６７】
例えば、ステップＳ２〜Ｓ４をＭ回（Ｍは２以上の自然数）繰り返す場合、最初の表面処理から、Ｍ回目の排出工程（ステップＳ３）までを基板Ｗを上昇位置に位置させた状態で各処理を行い、かつ、１回目〜（Ｍ−１）回目の洗浄工程では洗浄液の蒸気で基板Ｗを洗浄するようにし、Ｍ回目の洗浄工程では洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて洗浄するというように動作させることもできる。洗浄液の蒸気による洗浄は、洗浄液の使用量の軽減化が図れ、一方、洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させての基板Ｗの洗浄は洗浄効果が高い。従って、上記動作のように１回目〜（Ｍ−１）回目の洗浄工程を洗浄液の蒸気で行えば、それだけ洗浄液の使用量の軽減化が図れ、一方、最後の洗浄工程で洗浄液の上昇液流内に基板Ｗを浸漬させて基板Ｗを洗浄することで、最終的に基板Ｗを充分に洗浄して、乾燥工程へと移行することができる。
【００６８】
ステップＳ６の乾燥工程は、図４（ｂ）に示すように、処理室２内の排気を行いつつ、有機溶剤の蒸気の処理室２内への供給を開始し（ステップＳ６１）、処理室２内を有機溶剤の雰囲気に置換し、その雰囲気でリフター４を上昇させて、処理槽３の洗浄液の上昇液流から基板Ｗを引き上げる（ステップＳ６２）。有機溶剤の蒸気の供給は、最後の洗浄工程が終了した段階で開始してもよいが、最後の洗浄工程の途中段階（終了よりも前の段階）で開始してもよい。最後の洗浄工程の途中段階で有機溶剤の蒸気の供給を開始すれば、最後の洗浄工程が終了したとき、処理室２内が有機溶剤の蒸気の雰囲気になっているので、最後の洗浄工程の終了後すぐに基板Ｗの引き上げを行うことができる。また、基板Ｗを引き上げるときには、処理槽３内の洗浄液の液面部分に有機溶剤が溶解した状態で行うのが好ましい。このように行うと、処理槽３内の洗浄液の液面部分の洗浄液の表面張力が低下し、基板Ｗの引き上げ時に基板Ｗが洗浄液の液面を通過する際、基板Ｗに洗浄液が付き難く、すなわち、基板Ｗの表面の洗浄液から有機溶剤への置換が好適に行え乾燥が速やかに行える。
【００６９】
また、処理室２に供給する有機溶剤の蒸気は基板Ｗの表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱されていることが好ましい。基板Ｗの表面の温度（Ｔ１とする）と有機溶剤の蒸気の温度（Ｔ２とする）の温度差（ただし、Ｔ１＜Ｔ２）が大きい程、基板Ｗの表面に有機溶剤の蒸気が凝縮し易くなる。このように有機溶剤の蒸気が基板Ｗの表面に凝縮し易くなると、基板Ｗの表面の洗浄液から有機溶剤への置換がより好適に行え、乾燥が速やかに行える。例えば、基板Ｗの表面の温度や洗浄液の温度を常温（２０〜３０℃程度）にし、有機溶剤の蒸気の温度を７０℃程度にすると、基板Ｗの表面の洗浄液から有機溶剤への置換が好適に行える。
【００７０】
なお、基板Ｗの処理槽３からの引き上げは、洗浄液の上昇液流が形成された状態で行う。
【００７１】
基板Ｗの引き上げが完了し、基板Ｗが上昇位置に位置されると、有機溶剤の供給を停止する（ステップＳ６３）。そして、処理室２内の排気を継続しつつ、（加熱され、清浄化された）不活性ガスの処理室２内への供給を開始し、基板Ｗの周囲に不活性ガスを供給して基板Ｗの表面の有機溶剤から不活性ガスへの置換を行い、基板Ｗを乾燥させる（ステップＳ６４）。このように、不活性ガスを基板Ｗの周囲に供給して基板Ｗを乾燥させることで、基板Ｗへのパーティクルの付着や基板Ｗの表面への自然酸化膜の成長を抑制することができる。
【００７２】
基板Ｗの乾燥が完了するとチャンバ１のシャッターが開き、上昇しているリフター４に支持されている基板Ｗを図示しない基板搬送機構が搬出し（ステップＳ７）、処理を終了する。
【００７３】
なお、上述では不活性ガスを基板Ｗの周囲に供給して基板Ｗを乾燥させたが、例えば、基板Ｗの引き上げが完了した状態で、有機溶剤の蒸気の供給停止後、処理槽３への洗浄液の供給を停止するとともに、処理槽３内の洗浄液を排出して空にし、処理室２内の強制排気を行って処理室２内を減圧し、基板Ｗの表面の有機溶剤を蒸発させて基板Ｗを乾燥させるようにしてもよい。また、上記減圧乾燥の際、排気量よりも少ない供給量で不活性ガスを処理室２内に供給して処理室２内を減圧して基板Ｗを乾燥させるようにしてもよい。
【００７４】
また、ステップＳ６の乾燥工程の後、再びステップＳ２に戻ってステップＳ２からステップＳ６の一連の工程を複数回経て基板の搬出（ステップＳ７）を行っても良い。
【００７５】
また、上記実施形態では基板Ｗの搬入後、すぐにステップＳ２にて薬液の蒸気や反応ガスによる表面処理を行ったが、このステップＳ２の前に、洗浄液による洗浄と基板の乾燥とを行うとより好ましい。
【００７６】
この場合の具体例を以下に説明する。
まず、処理室２内に基板Ｗを搬入し、そして、処理槽３の底部からアンモニア過水を供給して処理槽３の上部からアンモニア過水を溢れ出させる。処理槽３の上部からアンモニア過水が溢れ出ている状態で基板Ｗを下降位置に下降させて基板Ｗをアンモニア過水に浸漬させ、洗浄処理を行う。このときアンモニア過水により基板Ｗの表面に付着したパーティクルが除去される。アンモニア過水による洗浄処理の終了後、処理槽３の底部からのアンモニア過水の供給を停止する。
【００７７】
次に、基板Ｗを下降位置に位置させたまま、処理槽３からアンモニア過水を排出せずに処理槽３の底部から純水を供給することで処理槽３の上部からアンモニア過水を溢れ出させ処理槽３内を純水に置換する。そしてさらに処理槽３の上部から純水を溢れ出させ基板Ｗに付着しているアンモニア過水を除去する。その後、処理室２内の雰囲気の排気を行いつつ処理室２内に有機溶剤の蒸気を供給する。処理室２内の雰囲気を排出するのは処理槽３内のアンモニア過水から発生したアンモニアのガスや蒸気を処理室２外へ排出すためである。
【００７８】
そして、処理室２内を有機溶剤の雰囲気に置換した後、処理槽３から純水が溢れ出ている状態で基板Ｗを上昇位置まで引き上げ、処理槽３から純水を排出した後、処理室２内を減圧することによって基板Ｗを乾燥させる。
【００７９】
次に基板Ｗが上昇位置にある状態で処理室２内の有機溶剤の雰囲気を排出しつつ処理室２内に不活性ガスを供給して処理室２内の雰囲気を不活性ガス雰囲気にする。その後、処理室２内にフッ化水素酸の蒸気を供給する。こうして、上昇位置にある基板Ｗはフッ化水素酸によりエッチング（表面処理）される。
【００８０】
なお、このときフッ化水素酸の蒸気の代わりにフッ化水素酸の蒸気よりも基板Ｗに対するエッチレートが高い無水フッ化水素を供給しても良い。
【００８１】
また、フッ化水素酸の蒸気を供給する前に処理室２内を減圧し、減圧下でフッ化水素酸の蒸気を供給してもよい。こうすることによって、処理室２内にフッ化水素酸の蒸気を供給したときフッ化水素酸の蒸気が処理室２内で素早く拡散する。これによって、複数の基板Ｗを処理する場合は各基板Ｗの間へフッ化水素酸の蒸気が素早く拡散し、各基板Ｗ同士における処理の均一性が得られる。また、単独の基板Ｗにおいても該基板Ｗの主面における処理の均一性が得られる。
【００８２】
フッ化水素酸の蒸気による表面処理の後、処理室２内の雰囲気を排出することでフッ化水素酸の蒸気を処理室２から排出すると共に処理室２内に不活性ガスを供給する。そして、処理槽３の底部から塩酸過水を供給して処理槽３の上部から塩酸過水を溢れ出させる。処理槽３の上部から塩酸過水が溢れ出ている状態で基板Ｗを上昇位置から下降位置に下降させることにより基板Ｗを塩酸過水に浸漬する。この塩酸過水によって基板Ｗに付着している金属が除去される。
【００８３】
塩酸過水による洗浄処理の終了後、処理槽３の底部からの塩酸過水の供給を停止する。次に、基板Ｗを下降位置に位置させたまま処理槽３から塩酸過水を排出せずに処理槽３の底部から純水を供給することで処理槽３の上部から塩酸過水を溢れ出させ処理槽３内を純水に置換する。そしてさらに処理槽３の上部から純水を溢れ出させて基板Ｗに付着している塩酸過水を除去する。
【００８４】
その後、処理室２内の雰囲気の排気を行いつつ処理室２内に有機溶剤の蒸気を供給する。処理室２内の雰囲気を排出するのは処理槽３の塩酸過水から発生した塩化水素ガスや塩化水素酸の蒸気を処理室２外へ排出するためである。
【００８５】
処理室２内を有機溶剤の雰囲気に置換した後、処理槽３の上部から純水が溢れ出ている状態で基板Ｗを上昇位置にまで引き上げ、処理槽３から純水を排出した後、処理室２内を減圧することによって基板Ｗを乾燥させる。
【００８６】
以上のようにすれば、アンモニア過水によって基板Ｗの洗浄処理を行い、基板Ｗの表面状態を均一にしてからフッ化水素酸の蒸気による表面処理を行っているのでフッ化水素酸の蒸気による表面処理が均一に行える。
【００８７】
なお、上記実施形態では、薬液の蒸気や洗浄液の蒸気、反応ガス、不活性ガスを加熱して処理室２内に供給したが、このように構成することで以下のような効果が得られる。すなわち、上記蒸気やガスの温度（Ｔ３とする）と基板Ｗの表面の温度（Ｔ１）との温度差（ただし、Ｔ１＜Ｔ３）が大きい程、上記蒸気やガスが基板Ｗの表面に凝縮し易く、それだけ各蒸気やガスによる処理を速やかに行えうことができる。
【００８８】
なお、チャンバ１の周壁内にラバヒーターなどを埋設してチャンバ１の内壁面を加熱し、処理室２内を温調するように構成してもよい。このように構成すれば、基板Ｗの乾燥効率が良くなり、また、洗浄液の水蒸気がチャンバ１の内壁面で結露せず、加熱された有機溶剤の蒸気が処理室２に供給されたとき、その蒸気の熱エネルギーが結露した水滴で奪われるなどの不都合も防止することができる。
【００８９】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の方法発明によれば、表面処理工程、排出工程、洗浄工程、乾燥工程を同一の処理室内で行うように構成したので、従来例のように、表面処理および洗浄を行う装置と乾燥装置とを別々に設ける必要がなく、別体の装置を設置する必要がなくなり、省スペース化を図ることができる。また、従来例のように、洗浄の後、濡れた基板を別体の乾燥装置に移送しないので、洗浄から乾燥までの間の基板の汚染を防止することができる。
【００９０】
請求項２に記載の方法発明によれば、基板表面に有機溶剤の蒸気が凝縮するように加熱された有機溶剤の蒸気の雰囲気で、洗浄液の上昇液流内に浸漬された基板を引き上げて乾燥させるように構成したので、基板表面の洗浄液を好適に有機溶剤に置換することができる。従って、洗浄液に含まれるパーティクルが基板に残留するのを抑制して好適に基板を乾燥させることができ、乾燥後に基板表面にウオーターマークが残るような不都合も抑制できる。
【００９１】
請求項３に記載の発明によれば、洗浄液の上昇液流から基板を引き上げた後、基板の周囲に不活性ガスを供給し、基板表面の有機溶剤を不活性ガスに置換して基板を乾燥させるようにしたので、乾燥工程で基板表面にパーティクルが付着するのを抑制することができ、基板表面に自然酸化膜が成長するのも抑制できる。
【００９２】
請求項４に記載の発明によれば、上記請求項１に記載の発明に係る基板処理方法を好適に実施する装置を実現することができる。
【００９３】
請求項５に記載の発明によれば、上記請求項２に記載の発明に係る基板処理方法を好適に実施する装置を実現することができる。
【００９４】
請求項６に記載の発明によれば、上記請求項３に記載の発明に係る基板処理方法を好適に実施する装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理方法を実施する基板処理装置の全体構成を示す図である。
【図２】図１の装置の変形例の要部構成を示す図である。
【図３】図１の装置の別の変形例の要部構成を示す図である。
【図４】装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１：チャンバ
２：処理室
３：処理槽
４：リフター
１１、２１、２８、３５：ヒーター
１３：有機溶剤蒸気供給部
１６、２５、３２：不活性ガス供給源
２２：薬液蒸気供給部
２９：洗浄液蒸気供給部
３８：反応ガス供給源
３９：排気・排液口
５１：洗浄液供給源
Ｗ  …  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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