(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム上に付着する蒸発金属量を、開口部を有する固定マスクを用いて調整することにより、前記フィルム上に高抵抗部と低抵抗部の蒸着膜を形成する段付蒸着フィルムの製造方法であって、前記低抵抗部を形成する開口部と前記高抵抗部を形成する開口部が分離しており、前記低抵抗部を形成する開口部近傍において前記高抵抗部を形成する開口部は連続した状態で、前記蒸着膜を形成することを特徴とする段付蒸着フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いだ状態で、前記蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分を塞いだ状態で、前記蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分の巾を狭くした状態で、前記蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法。
【請求項５】
蒸発金属を噴出する蒸発源と、前記蒸発源から噴出した蒸発金属を遮蔽し前記蒸着膜に高抵抗部と低抵抗部を形成する開口部を有する固定マスクとを備え、前記固定マスクは、前記低抵抗部を形成する開口部と前記高抵抗部を形成する開口部が分離しており、前記低抵抗部を形成する開口部近傍において前記高抵抗部を形成する開口部は連続してなることを特徴とする段付蒸着フィルムの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、段付蒸着フィルムコンデンサに用いる段付蒸着フィルムの改良についての段付蒸着フィルムの製造方法および製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、段付蒸着フィルムコンデンサに用いる段付蒸着フィルムは、図５に示す様に蒸発源から噴出した蒸発金属９を、高抵抗を形成する狭い開口部１０と低抵抗を形成する広い開口部１１を有する固定マスク１２によって遮蔽し、クーリングキャン１３上のフィルム１４に付着する蒸発金属量を調整する事により形成されている高抵抗部蒸着膜１５、低抵抗部蒸着膜１６、オイルにより蒸発金属を付着しないようにした非蒸着部１７からなる広幅の蒸着フィルムを所定の幅にスリットすることにより構成されている。
【０００３】
図６（Ａ）は従来例のマスクの形状を示し、図６（Ｂ）は図６（Ａ）のマスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図を示す。図６（Ｃ）は図６（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻回積層されてる段付蒸着フィルムコンデンサの断面図を示す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成で形成された段付蒸着フィルムの非蒸着部は、予め塗布されたオイルが高温の蒸発金属によりガス化したオイルのガス圧により蒸着金属付着を阻止し形成されるが、同時に、蒸着金属が非蒸着部近傍に回り込み付着する為、非蒸着部の近傍の膜厚が厚くなる課題を有していた。
【０００５】
また、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し巾方向に不均一となり、高抵抗部の膜厚のばらつきが大きくなる課題を有していた。
【０００６】
したがって、この発明の目的は、上記課題を解決するもので、高抵抗部の非蒸着部近傍の膜厚を均一化し、巾方向の膜厚を均一にすることにより安定した品質を得ることができる段付蒸着フィルムの製造方法および製造装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためにこの発明の請求項１記載の段付蒸着フィルムの製造方法は、フィルム上に付着する蒸発金属量を、開口部を有する固定マスクを用いて調整することにより、フィルム上に高抵抗部と低抵抗部の蒸着膜を形成する段付蒸着フィルムの製造方法であって、低抵抗部を形成する開口部と高抵抗部を形成する開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近傍において高抵抗部を形成する開口部が連続した状態で、蒸着膜を形成することを特徴とする。
【０００８】
このように、低抵抗部を形成する開口部と高抵抗部を形成する開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近辺において高抵抗部を形成する開口部が連続した状態で、蒸着膜を形成するので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。
【０００９】
請求項２記載の段付蒸着フィルムの製造方法は、フィルム上に付着する蒸発金属量を、開口部を有する固定マスクを用いて調整することにより、フィルム上に高抵抗部と低抵抗部の蒸着膜を形成する段付蒸着フィルムの製造方法であって、
この高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いだ状態で、蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法である。
【００１０】
このように、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いだ状態で、蒸着膜を形成するので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。また、開口部を塞いだ位置においては、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。
【００１１】
請求項３記載の段付蒸着フィルムの製造方法は、フィルム上に付着する蒸発金属量を、開口部を有する固定マスクを用いて調整することにより、フィルム上に高抵抗部と低抵抗部の蒸着膜を形成する段付蒸着フィルムの製造方法であって、この高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分を塞いだ状態で、蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法である。
【００１２】
このように、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分を塞いだ状態で、蒸着膜を形成するので、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。また、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。
【００１３】
請求項４記載の段付蒸着フィルムの製造方法は、フィルム上に付着する蒸発金属量を、開口部を有する固定マスクを用いて調整することにより、フィルム上に高抵抗部と低抵抗部の蒸着膜を形成する段付蒸着フィルムの製造方法であって、この高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分の巾を狭くした状態で、蒸着膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の段付蒸着フィルムの製造方法である。
【００１４】
このように、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分の巾を狭くした状態で、蒸着膜を形成するので、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。また、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。
【００１５】
請求項５記載の段付蒸着フィルムの製造装置は、蒸発金属を噴出する蒸発源と、蒸発源から噴出した蒸発金属を遮蔽し蒸着膜に高抵抗部と低抵抗部を形成する開口部を有する固定マスクとを備え、固定マスクは、低抵抗部を形成する広い開口部と高抵抗部を形成する狭い開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近傍において高抵抗部を形成する開口部は連続してなることを特徴とする。
【００１６】
このように、蒸発源と固定マスクとを備え、固定マスクは、低抵抗部を形成する広い開口部と高抵抗部を形成する狭い開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近傍において高抵抗部を形成する開口部は連続しているので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
この発明の第１の実施の形態を図１に基づいて説明する。図１（Ａ）はこの発明の第１の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻回積層された段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【００１８】
図５に示したものと同様この段付蒸着フィルムの製造装置は、蒸発金属を噴出する蒸発源８と、この蒸発源８に対向配置されたクーリングキャン１３と、蒸発源８から噴出した蒸発金属を遮蔽し蒸着膜に高抵抗部１５と低抵抗部１６を形成する開口部を有する固定マスクとを備えているが、固定マスクの構成が異なる。図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、固定マスク２２は、高抵抗部を形成する狭い開口部２０と低抵抗を形成する広い開口部２１を有し、高抵抗部を形成する開口部２０の非蒸着部１７に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いでいる。この場合、開口部２０の中央に閉塞部２０ａを形成している。
【００１９】
つぎに、上記構成の段付蒸着フィルムの製造方法について説明する。フィルム１４上に付着する蒸発金属量を、固定マスク２２を用いて調整することにより、フィルム１４上に高抵抗部１５と低抵抗部１６の蒸着膜を形成する。このとき、高抵抗部を形成する開口部２０の非蒸着部１７に対応する部分のうちの１箇所を閉塞部２０ａにより塞いだ状態で蒸着膜を形成する。また、図１（Ｃ）に示すように、広幅の段付蒸着フィルム１４を所定の幅にスリットし巻回積層することで段付蒸着フィルムコンデンサを製造する。同図において、１８はメタリコンであり、低抵抗部１６と接続されている。
【００２０】
以上のようにこの実施の形態によれば、固定マスク２２は、高抵抗部１５を形成する開口部２０の非蒸着部１７に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いでいるので、蒸発金属９の熱による固定マスク２２の熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部２０の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部１５の膜厚のばらつきが小さくなる。また、開口部２０を塞いだ位置においては、非蒸着部１７に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、高抵抗部１５の非蒸着部１７近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部１７の近傍の膜厚を均一にすることができる。
【００２１】
この発明の第２の実施の形態を図２に基づいて説明する。図２（Ａ）はこの発明の第２の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻回積層された段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【００２２】
第１の実施の形態と同様に蒸発源とクーリングキャンと固定マスクとを備えている。図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、固定マスク３２は、高抵抗部１５を形成する狭い開口部３０の非蒸着部１７に対応する部分に閉塞部３０ａを形成して塞いでいる。
【００２３】
つぎに、上記構成の段付蒸着フィルムの製造方法について説明する。フィルム１４上に付着する蒸発金属量を、固定マスク３２を用いて調整することにより、フィルム１４上に高抵抗部１５と低抵抗部１６の蒸着膜を形成する。このとき、高抵抗部を形成する開口部３０の非蒸着部１７に対応する部分を閉塞部３０ａにより塞いだ状態で蒸着膜を形成する。また、図２（Ｃ）に示すように、広幅の段付蒸着フィルム１４を所定の幅にスリットし巻回積層することで段付蒸着フィルムコンデンサを製造する。
【００２４】
以上のようにこの実施の形態によれば、固定マスク３２は、高抵抗部１５を形成する狭い開口部３０の非蒸着部１７に対応する部分を塞いでいるので、非蒸着部１７への蒸発金属量が少なくなる。このため、高抵抗部１５の非蒸着部１７近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部１７の近傍の膜厚を均一にすることができる。また、蒸発金属９の熱による固定マスク３２の熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部３０の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部１５の膜厚のばらつきが小さくなる。
【００２５】
この発明の第３の実施の形態を図３に基づいて説明する。図３（Ａ）はこの発明の第２の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻回積層された段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【００２６】
第１の実施の形態と同様に蒸発源とクーリングキャンと固定マスクとを備えている。図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、固定マスク４２は、高抵抗部１５を形成する狭い開口部４０の非蒸着部１７に対応する部分に凸部４０ａを形成して巾を狭くしている。
【００２７】
つぎに、上記構成の段付蒸着フィルムの製造方法について説明する。フィルム１４上に付着する蒸発金属量を、固定マスク４２を用いて調整することにより、フィルム１４上に高抵抗部１５と低抵抗部１６の蒸着膜を形成する。このとき、高抵抗部を形成する開口部４０の非蒸着部１７に対応する部分の巾を凸部４０ａにより狭くした状態で蒸着膜を形成する。また、図３（Ｃ）に示すように、広幅の段付蒸着フィルム１４を所定の幅にスリットし巻回積層することで段付蒸着フィルムコンデンサを製造する。
【００２８】
以上のようにこの実施の形態によれば、固定マスク４２は、高抵抗部を形成する狭い開口部４０の非蒸着部１７に対応する部分の巾を狭くしているので、非蒸着部１７に対応する部分の蒸発金属量が少なくなり、第２の実施の形態と同様の効果が得られる。
【００２９】
この発明の第４の実施の形態を図４に基づいて説明する。図４（Ａ）はこの発明の第２の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の広幅の段付蒸着フィルムを所定の幅にスリットし巻回積層された段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【００３０】
第１の実施の形態と同様に蒸発源とクーリングキャンと固定マスクとを備えている。図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、固定マスク５２は、低抵抗部を形成する広い開口部５１と高抵抗部を形成する狭い開口部５０が分離している。
【００３１】
つぎに、上記構成の段付蒸着フィルムの製造方法について説明する。フィルム１４上に付着する蒸発金属量を、固定マスク５２を用いて調整することにより、フィルム１４上に高抵抗部１５と低抵抗部１６の蒸着膜を形成する。このとき、低抵抗部を形成する開口部５１と高抵抗部を形成する開口部５０を分離した状態で蒸着膜を形成する。また、図４（Ｃ）に示すように、広幅の段付蒸着フィルム１４を所定の幅にスリットし巻回積層することで段付蒸着フィルムコンデンサを製造する。
【００３２】
以上のように実施の形態によれば、固定マスク５２は、低抵抗部を形成する広い開口部５１と高抵抗部を形成する狭い開口部５０が分離しているので、蒸発金属９の熱による固定マスク５２の熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部５０の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部１５の膜厚のばらつきが小さくなる。
【００３３】
なお、第４の実施の形態のように低抵抗部を形成する広い開口部と高抵抗部を形成する狭い開口部が分離する構成を第１〜３の実施の形態に適用してもよい。
【００３４】
【発明の効果】
この発明の請求項１記載の段付蒸着フィルムの製造方法によれば、低抵抗部を形成する開口部と高抵抗部を形成する開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近傍において高抵抗部を形成する開口部が連続した状態で、蒸着膜を形成するので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。したがって、コンデンサに用いる金属化フィルムに適用してその工業的価値は大である。
【００３５】
この発明の請求項２記載の段付蒸着フィルムの製造方法によれば、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分のうち、少なくとも１箇所以上を塞いだ状態で、蒸着膜を形成するので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。また、開口部を塞いだ位置においては、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。したがって、コンデンサに用いる金属化フィルムに適用してその工業的価値は大である。
【００３６】
この発明の請求項３記載の段付蒸着フィルムの製造方法によれば、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分を塞いだ状態で、蒸着膜を形成するので、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。また、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。したがって、コンデンサに用いる金属化フィルムに適用してその工業的価値は大である。
【００３７】
この発明の請求項４記載の段付蒸着フィルムの製造方法によれば、高抵抗部を形成する開口部の非蒸着部に対応する部分の巾を狭くした状態で、蒸着膜を形成するので、非蒸着部に対応する部分の蒸発金属量が少なくなる。このため、蒸着金属の付着を阻止するため非蒸着部に予め塗布されたオイルのガス圧により、高抵抗部の非蒸着部近傍に回り込み付着する蒸発金属量も少なくなり、非蒸着部の近傍の膜厚を均一にすることができる。また、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。したがって、コンデンサに用いる金属化フィルムに適用してその工業的価値は大である。
【００３８】
この発明の請求項５記載の段付蒸着フィルムの製造装置によれば、蒸発源と固定マスクとを備え、固定マスクは、低抵抗部を形成する広い開口部と高抵抗部を形成する狭い開口部が分離しており、この低抵抗部を形成する開口部近傍において高抵抗部を形成する開口部は連続しているので、蒸発金属の熱による固定マスクの熱ひずみにより、高抵抗部を形成する狭い開口部の隙間が変化し難く、巾方向の高抵抗部の膜厚のばらつきが小さくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （Ａ）はこの発明の第１の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の段付蒸着フィルムを用いた段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【図２】  （Ａ）はこの発明の第２の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の段付蒸着フィルムを用いた段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【図３】  （Ａ）はこの発明の第３の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の段付蒸着フィルムを用いた段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【図４】  （Ａ）はこの発明の第４の実施の形態における固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の段付蒸着フィルムを用いた段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【図５】  従来の段付蒸着フィルムの製造装置の斜視図である。
【図６】  （Ａ）は従来例の固定マスクの平面図、（Ｂ）は（Ａ）の固定マスクにより形成される広幅の段付蒸着フィルムの断面図、（Ｃ）は（Ｂ）の段付蒸着フィルムを用いた段付蒸着フィルムコンデンサの部分断面図である。
【符号の説明】
９  蒸発金属
１０，２０，３０，４０，５０  高抵抗部を形成するマスク開口部
１１，２１，３１，４１，５１  低抵抗部を形成するマスク開口部
１２，２２，３２，４２，５２  固定マスク
１３  クーリングキャン
１４  フィルム
１５  高抵抗部
１６  低抵抗部
１７  非蒸着部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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