(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
a)基板処理装置の動作を制御するための制御情報を格納する第１の記憶手段と、
b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する複製情報取得手段と、
c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する格納手段と、
d)前記第２の記憶手段に格納された複製情報を取り出し、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納するリストア処理部と、
を備え、
前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、
前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、
を含むことを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、
前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、
前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、
e)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の取得処理を実行させるスケジュール管理部、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、
前記格納手段は、
c-1)前記複製情報取得手段の取得した制御情報の複製情報と、すでに前記第２の記憶手段に格納されている複製情報との差分情報を抽出する手段と、
c-2)前記差分情報を前記第２の記憶手段に格納する手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、
f)前記基板処理装置と広域ネットワークを介して接続された遠隔操作用コンピュータ、
をさらに備え、
前記遠隔操作用コンピュータは、
前記複製情報取得手段に対して、前記複製情報の取得指示命令を送出する遠隔指示手段、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理システム。
【請求項７】
a)基板処理装置の動作を制御するための制御情報を格納する第１の記憶手段と、
b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する複製情報取得手段と、
c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、ネットワークを経由して接続された所定のコンピュータに対して送信する手段と、
d)前記コンピュータから前記複製情報を受信したときに、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納するリストア処理部と、
を備え、
前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、
前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、
を含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
請求項７に記載の基板処理装置において、
前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、
前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載の基板処理装置において、
前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、
前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項１０】
請求項７ないし請求項９のいずれかに記載の基板処理装置において、
e)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の取得処理を実行させるスケジュール管理部、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項１１】
基板処理装置を管理する方法であって、前記基板処理装置の動作を制御するための制御情報は、前記基板処理装置の備える第１の記憶手段に格納されており、
前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する第１の工程と、
前記第１の工程において取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する第２の工程と、
前記第２の工程において前記第２の記憶手段に格納した複製情報を取り出し、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納してリストア処理を行う第３の工程と、
を備え、
前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、
前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、
を含むことを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の基板処理装置管理方法において、
前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、
前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項１３】
請求項１１または請求項１２に記載の基板処理装置管理方法において、
前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、
前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする基板処理装置管理方法。
【請求項１４】
基板処理装置が備えるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が、請求項７ないし請求項１０のいずれかに記載の基板処理装置として動作することを特徴とするプログラム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のプログラムを記録してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとを結合したネットワークシステムの構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板の処理は自動制御がなされており、基板処理装置には、その自動制御を行うためのアプリケーションプログラムデータや、設定情報などが記憶されている。すなわち、基板処理装置は、設定情報の内容にしたがって、アプリケーションプログラムによって制御されているのである。
【０００４】
基板処理装置が記憶している設定情報には、基板処理装置に共通して用いられる基本情報と、基板処理装置ごとに固有の情報とが含まれている。基板処理装置は、本来、デフォルトで設定される基本情報によって制御可能であるが、基板処理装置の設置環境や製造誤差などから、同一の設定内容では、最適な制御を行うことができない。そこで、基本情報を補正して制御する必要があり、各基板処理装置は、この補正情報を固有情報として蓄積しているのである。
【０００５】
したがって、これら固有情報は、ユーザごとに、また、基板処理装置ごとに独自の情報である。このため、何らかの障害（ハードウェア障害など）が発生し、基板処理装置が蓄積している情報を消失してしまった場合であって、基板処理装置を障害発生前の状態に戻すためには、定期的に設定情報がバックアップされている必要がある。また、ユーザ自ら設定情報を変更した場合であっても、過去の設定情報が必要となる場合がある。このような場合に、過去の設定情報で基板処理装置を稼働させるためにも、定期的に設定情報がバックアップされていることが必要となる。そして、従来、各基板処理装置においては、ユーザ操作により、リムーバルディスクなどに設定情報をバックアップするようにしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、基板処理装置の設定情報をリムーバルディスクなどにバックアップする処理は、非常に時間のかかる作業であり、ユーザの負担となっていた。特に、基板処理装置の装置台数が多い場合には、非常に負担の多い作業であり改善が望まれていた。
【０００７】
また、バックアップデータが有効であるためには、なるべく、バックアップ処理の間隔を短くする必要がある。しかし、バックアップ処理の負担が大きいため、高い頻度で定期的なバックアップ処理をユーザに要求するのは現実的ではない。
【０００８】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、ユーザの作業負担を軽減させながら、容易に、基板処理装置が蓄積する情報をバックアップする技術を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、a)基板処理装置の動作を制御するための制御情報を格納する第１の記憶手段と、b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する複製情報取得手段と、c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する格納手段と、d)前記第２の記憶手段に格納された複製情報を取り出し、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納するリストア処理部と、を備え、前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、e)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の取得処理を実行させるスケジュール管理部、をさらに備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、前記格納手段は、c-1)前記複製情報取得手段の取得した制御情報の複製情報と、すでに前記第２の記憶手段に格納されている複製情報との差分情報を抽出する手段と、c-2)前記差分情報を前記第２の記憶手段に格納する手段と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の基板処理装置管理システムにおいて、f)前記基板処理装置と広域ネットワークを介して接続された遠隔操作用コンピュータ、をさらに備え、前記遠隔操作用コンピュータは、前記複製情報取得手段に対して、前記複製情報の取得指示命令を送出する遠隔指示手段、を備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項７の発明は、a)基板処理装置の動作を制御するための制御情報を格納する第１の記憶手段と、b)前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する複製情報取得手段と、c)前記複製情報取得手段の取得した複製情報を、ネットワークを経由して接続された所定のコンピュータに対して送信する手段と、d)前記コンピュータから前記複製情報を受信したときに、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納するリストア処理部と、を備え、前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする。
【００１６】
請求項８の発明は、請求項７に記載の基板処理装置において、前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする。
【００１７】
請求項９の発明は、請求項７または請求項８に記載の基板処理装置において、前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする。
【００１８】
請求項１０の発明は、請求項７ないし請求項９のいずれかに記載の基板処理装置において、e)前記複製情報取得手段に対して、定期的に複製情報の取得処理を実行させるスケジュール管理部、をさらに備えることを特徴とする。
【００１９】
請求項１１の発明は、基板処理装置を管理する方法であって、前記基板処理装置の動作を制御するための制御情報は、前記基板処理装置の備える第１の記憶手段に格納されており、前記第１の記憶手段に格納されている制御情報の複製情報を取得する第１の工程と、前記第１の工程において取得した複製情報を、前記基板処理装置とネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータが備える第２の記憶手段に格納する第２の工程と、前記第２の工程において前記第２の記憶手段に格納した複製情報を取り出し、その複製情報を復旧した制御情報として前記第１の記憶手段に格納してリストア処理を行う第３の工程と、を備え、前記制御情報は、前記基板処理装置を制御する制御プログラムおよび前記基板処理装置の動作を規定する設定情報を含み、前記設定情報は、前記基板処理装置の動作を規定するための基本情報と、前記基板処理装置の制御を最適化するために前記基本情報に加えられる補正情報と、を含むことを特徴とする。
【００２０】
請求項１２の発明は、請求項１１に記載の基板処理装置管理方法において、前記基本情報は、基板処理装置の搬送ロボットの動作を規定するロボット基本データを含み、前記補正情報は、前記ロボット基本データを補正して搬送ロボットの動作を調整するティーチングデータを含むことを特徴とする。
【００２１】
請求項１３の発明は、請求項１１または請求項１２に記載の基板処理装置管理方法において、前記基本情報は、基板処理装置の熱処理ユニットの温度を設定する温度調節データを含み、前記補正情報は、前記温度調節データを補正する温度調節補正データを含むことを特徴とする。
【００２２】
請求項１４の発明は、プログラムであって、基板処理装置が備えるコンピュータによって実行されることにより、前記基板処理装置が、請求項７ないし請求項１０のいずれかに記載の基板処理装置として動作することを特徴とする。
【００２３】
請求項１５の発明は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、請求項１４に記載のプログラムを記録してあることを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００２５】
｛１．システム全体構成｝
まず、本実施の形態に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および情報蓄積サーバ２と、サポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続される構成となっている。サポートセンター５には、基板処理装置１をリモート管理するリモート管理担当者が配置される。
【００２６】
基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００２７】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００２８】
｛２．基板処理装置｝
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００２９】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００３０】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、アプリケーションプログラムデータなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００３１】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００３２】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００３３】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００３４】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５２や、基板処理装置の動作を規定する設定情報１５１などが記憶されている（図７参照）。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこの制御プログラム１５２および設定情報１５１に従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用のアプリケーションプログラムである制御プログラム１５３が記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこの制御プログラム１５３に従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００３５】
このように、基板処理装置１の動作を制御するための制御情報は、基板処理装置１を制御する制御プログラム１５２，１５３と、基板処理装置１の動作を規定する設定情報１５１とを含んでおり、記憶部１０４と記憶部１１４とから、制御情報を格納する第１の記憶手段を構成している。
【００３６】
｛３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ｝
次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、アプリケーションプログラムなど各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００３７】
情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からデータを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバ等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶された各種プログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。
【００３８】
｛４．基板処理装置の設定情報｝
基板処理装置１は、あらかじめ記述されたフローレシピの処理順序に従い、記憶部１０４，１１４に格納された制御プログラム１５２,１５３によって、その動作が制御される。そして、制御プログラム１５２，１５３は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１にしたがって基板処理装置１を制御する。図５は、記憶部１０４に格納された設定情報１５１の内容の一例を示した図である。
【００３９】
なお、設定情報１５１は、基板処理装置１の全体制御に関わる設定情報と、各処理ユニット１１０の制御に関わる設定情報とを含んでおり、本実施の形態においては、これらを含む設定情報１５１がシステム制御部１００の記憶部１０４に一括して格納されているものとして説明する。ただし、処理ユニットごとの設定情報は、各ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納するようにしてもよい。
【００４０】
設定情報１５１は、レシピデータ１５１ａ、装置基本データ１５１ｂ、装置固有データ１５１ｃを含むデータである。これらのデータは、オペレータが操作部１４０を用いて入力操作することなどにより、必要に応じて修正を加えながら更新される。また、サポートコンピュータ３や情報蓄積サーバ２からリモート操作により設定情報１５１の入力操作を行うようにしてもよい。
【００４１】
レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１の処理順序を規定するデータである。つまり、基板処理装置１の搬送ロボットＴＲは、レシピデータ１５１ａに記述されている処理スケジュールにしたがって、基板を目的の処理ユニットに搬送するのである。
【００４２】
図６は、レシピデータ１５１ａに記述されたフローレシピの一例を示す図である。この例では、搬送ロボットＴＲにより循環搬送される基板は、以下の順序で処理される。
【００４３】
ステップ１：ホットプレートにて密着強化処理；
ステップ２：クールプレートにて冷却処理；
ステップ３：塗布処理ユニットＳＣにてレジスト塗布処理；
ステップ４：ホットプレートにてプリベーグ処理；
・・・。
【００４４】
このように、レシピデータ１５１ａは、基板処理装置１の処理順序を規定する情報であり、このデータは、ユーザのノウハウとして蓄積されるものである。つまり、ユーザは、最も効率のよい処理が行えるようにレシピデータ１５１ａを作成し、このレシピデータ１５１ａに従って基板処理装置１を制御するようにしているのである。
【００４５】
装置基本データ１５１ｂは、基板処理装置１に共通の設定情報である。言い換えれば、基板処理装置１のデフォルト設定情報である。基板処理装置１は、搬送ロボットＴＲや各処理ユニット１１０などの数多くの機構部や制御部を含んでいるが、それら各機構部や制御部がどのような設定値で動作するのかを規定したものが装置基本データ１５１ｂである。装置基本データ１５１ｂには、たとえば、ロボット基本データ、温度調節パラメータなどのデータが含まれる。
【００４６】
ロボット基本データは、搬送ロボットＴＲの動作を規定するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板を各処理ユニット１１０やインデクサＩＤ、熱処理ユニットなどに搬送するが、ロボット基本データは、このような搬送ロボットＴＲの動作の設定値（移動距離に関する設定値、アーム回転角の設定値など）を規定したデータである。温度調節データは、基板処理装置内において、熱処理ユニットなどの温度を設定するデータである。
【００４７】
装置固有データ１５１ｃは、複数ある基板処理装置ごとに固有に設定される補正データである。基板処理装置１，１・・・が同一の装置構成である場合、基本的には、同一の設定情報、つまり、装置基本データ１５１ｂにより制御することが可能であるが、実際には、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。これは、基板処理装置の装置構成が同一の場合でも、厳密には、各装置間で装置構成にばらつきがあるためであり、また、基板処理装置の設置場所や設置環境の違いから、環境に応じた調整が必要となるためである。つまり、基板処理装置が同一の処理を行うことにより、同一の処理結果を生むためには、装置ごとに設定情報を補正する必要がある。
【００４８】
装置固有データ１５１ｃには、たとえば、ティーチングデータや温度調節補正データなどのデータが含まれる。
【００４９】
ティーチングデータは、前述したロボット基本データを補正するデータである。搬送ロボットＴＲは、基板処理装置が同一の装置構成であれば、基本的には、同一の設定情報に従って同一の動作を行えばよい。しかし、多数の部材や可動部を含む搬送ロボットＴＲは、その構成に微妙な差があることにより、動作に誤差が生じる。そこで、搬送ロボットＴＲの動作が最適となるよう調整し、その調整時の設定情報をティーチングデータとして蓄積するのである。そして、ティーチングデータによって、ロボット基本データを補正することにより、搬送ロボットＴＲの制御を最適化することができるのである。
【００５０】
また、温度調節補正データは、基板処理装置１の設置場所、設置環境の違いにより、デフォルトで設定されている温度調節データを補正するデータである。
【００５１】
このように、基板処理装置１は、レシピデータ１５１ａによって、その処理工程順序が決定され、その動作は、デフォルトとして設定される装置基本データ１５１ｂと装置ごとの補正データである装置固有データ１５１ｃを用いて制御されるのである。そして、ユーザのノウハウとして蓄積されるレシピデータ１５１ａや、装置ごとに固有の装置固有データ１５１ｃは、非常に大切な情報であるが、その復旧は容易でないため、これらの情報を消失させないよう、効率的なバックアップを行う必要がある。
【００５２】
｛５．システムの機能および処理内容｝
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成、および、設定情報１５１の内容について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図７は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。
【００５３】
なお、図７において、ローカル指示部１２１、複製情報取得部１２２，リストア処理部１２３はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が保守用プログラム１５４を実行することによって実現される処理部である。この保守用プログラム１５４は、記憶部１０４に格納されている。
【００５４】
また、図７において、格納部２２１、差分抽出部２２２は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が保守用プログラム２５２を実行することによってそれぞれ実現される処理部である。この保守用プログラム２５２は、固定ディスク２４に格納されている。また、リモート指示部３２１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が保守用プログラム３５１を実行することによって実現される処理部である。この保守用プログラム３５１は、固定ディスク３４に格納されている。
【００５５】
＜５−１．バックアップ処理＞
ローカル指示部１２１は、複製情報取得部１２２に対して設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３のバックアップ処理の指示命令を送出する機能、および、リストア処理部１２３に対して設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３のリストア処理の指示命令を送出する機能を有している。
【００５６】
ローカル指示部１２１によりバックアップ処理の指示命令が送出されるタイミングは、ローカル指示部１２１自身が備えているスケジュール機能によりバックアップを行うタイミングが判断された場合である。ただし、スケジュール機能による定期的なバックアップ処理に加えて、ユーザが、基板処理装置１の操作部１４０において入力操作を行い、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３のバックアップ処理を明示的に指示することも可能である。
【００５７】
つまり、スケジュール機能による指示によって、計画的に設定情報１５１などのバックアップが自動的に行われる。一方、ユーザの指示による場合とは、メンテナンス前や、装置一時停止前など、任意の時点で、現在の装置状態を保存するために実行される場合が考えられる。
【００５８】
ローカル指示部１２１からバックアップ処理の指示命令がされると、複製情報取得部１２２は、システム制御部１００の記憶部１０４に格納されている設定情報１５１、制御プログラム１５２、および、ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納されている制御プログラム１５３の複製情報を生成し、生成した複製情報、つまり、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３のデータをＬＡＮ４１経由で情報蓄積サーバ２に送信する。
【００５９】
なお、バックアップ処理は、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３の全てのデータについて行ってもよいし、個別のデータのみに対してバックアップ処理を行うようにしてもよい。
【００６０】
図８に示すように、ローカル指示部１２１は、スケジュール管理部１２１ａを備えている。スケジュール管理部１２１ａは、バックアップ処理を行うスケジュールを設定する機能部であり、ローカル指示部１２１は、スケジュール管理部１２１ａに設定されたスケジュールに従ってバックアップ処理の指示命令を送出するのである。スケジュール設定は、どの情報を、どのタイミングでバックアップするかが示される。
【００６１】
たとえば、「設定情報１５１は、１週間ごとにバックアップをとり、制御プログラム１５２，１５３は、１ヶ月ごとにバックアップをとる」といった内容のスケジュールを設定することが可能である。また、後述するが、全データをバックアップするのか、差分データをバックアップするのかといった設定をすることも可能である。たとえば、「設定情報１５１について、１週間ごとに全データをバックアップし、毎日、差分データをバックアップする」といった内容のスケジュールを設定することが可能である。スケジュールの設定は、ユーザが操作部１４０を用いて行うことができる。また、表示部１３０に案内メニューを表示させ、メニューにしがって設定操作ができるようにすれば、より利便性がよい。
【００６２】
複製情報取得部１２２から送信された複製情報は、情報蓄積サーバ２の格納部２２１に受け渡され、格納部２２１により、第２の記憶手段としての固定ディスク２４に対して複製情報の格納処理が行われる。図７において、固定ディスク２４に格納された複製情報をバックアップデータ２５１として図示している。
【００６３】
なお、差分データをバックアップする場合（スケジュール管理部１２１ａにおいて差分データをバックアップするよう指定されている場合、もしくは、ユーザにより差分データをバックアップするよう明示的に指示された場合）、複製情報取得部１２２は、複製情報に、差分データをバックアップすることを示す情報を付加したうえで、格納部２２１に送信する。格納部２２１は、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３を全データとして固定ディスク２４に格納することもできるが、差分データとしてバックアップする指示情報を受け取った場合には、差分抽出部２２２において、バックアップ対象データの差分データを抽出したうえで固定ディスク２４に複製情報を格納する。
【００６４】
つまり、差分抽出部２２２は、複製情報取得部１２２から受け取った複製情報と、固定ディスク２４に格納されているバックアップデータ２５１を比較したうえで、その差分データを抽出するのである。
【００６５】
たとえば、ローカル指示部１２１のスケジュール機能により定期的にバックアップ処理が行われる場合、全回において、全データを格納していく方法では、固定ディスク２４に蓄積されるバックアップデータのデータ量が非常に大きくなる。バックアップデータ２５１は、最新のデータのみならず、過去にバックアップされたデータが必要となる場合も多い。たとえば、装置の設定情報を数週間前に状態に戻したいといった要望がでる場合もある。また、フローレシピを試行錯誤しながら変更してきたが、２ヶ月前のフローレシピに戻したいといった要望がでる場合もあるからである。
【００６６】
したがって、なるべく、長期間における多時点のバックアップデータを残す方が有効であるが、固定ディスク２４の容量は無制限ではない。そこで、固定ディスク２４への格納時には、差分抽出部２２２によって、前回のバックアップデータとの差分を抽出し、その差分データのみを格納するのである。
【００６７】
このように、本実施の形態の基板処理システム１０は、基板処理装置１の動作を制御するための設定情報１５１と、制御プログラム１５２，１５３が、基板処理装置１とネットワークを介して接続された情報蓄積サーバ２に定期的にバックアップとして蓄積されるので、ユーザは面倒なバックアップ操作を行う必要はない。
【００６８】
特に、基板処理装置１は、ユーザのノウハウによって更新されるレシピデータ１５１ａや、実際の設置場所において装置を稼働させながら調節する装置固有データ１５１ｃなどを含んでいるので、これらのデータを消失させないように定期的にバックアップをとることの意義は大きい。
【００６９】
また、基板処理装置１は、クリーンルーム内に設置されているが、ネットワークで接続された情報蓄積サーバ２をクリーンルーム外に設置すれば、バックアップ処理によって格納されているデータのメンテナンス作業などはクリーンルーム外で行うことが可能である。
【００７０】
また、本実施の形態においては、ユーザによるバックアップ処理の手動操作は、基板処理装置１の操作部１４０を用いることにより可能としているが、情報蓄積サーバ２からネットワークを介してバックアップ処理の指示命令を送出する構成でもよい。これにより、クリーンルーム外からバックアップの処理命令を送出することも可能である。
【００７１】
また、情報蓄積サーバは、必ずしも基板処理工場内に存在する必要はない。基板処理工場に近くにシステム管理センタを設置し、専用線経由でバックアップデータを転送するようにしてもよい。
【００７２】
＜５−２．リストア処理＞
上記の処理により、情報蓄積サーバ２には、定期的に、または、任意のタイミングで、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３のバックアップデータ２５１が保存される。
【００７３】
システム制御部１００の備えるリストア処理部１２３は、固定ディスク２４からバックアップデータ２５１を取り出し、設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３の復旧処理を行う。
【００７４】
復旧処理を行うタイミングは様々である。たとえば、ハードウェアの障害が発生し、設定情報１５１や制御プログラム１５２，１５３を消失した場合や、ユーザがメンテナンス作業中に誤ってデータを消失した場合などが考えられる。このような復旧処理のタイミングは異常発生時の処理であるが、その他にも、ユーザの要望によって、設定情報１５１や制御プログラム１５２，１５３を過去のバックアップデータに戻す操作が考えられる。
【００７５】
たとえば、レシピデータ１５１ａを更新して基板処理装置１を稼働しているが、以前のレシピデータ１５１ａに戻したいという要望がでる場合がある。また、搬送ロボットＴＲに対してあらたに動作の微調整を行いティーチングデータを更新したが、稼働してみると、やはり、前の状態に戻したいという要望がでる場合もある。
【００７６】
このような場合、ユーザは、基板処理装置１の操作部１４０において、リストア処理の指示入力を行う。リストア処理の指示は、具体的には、リストアする対象のデータは何か、過去のどの時点のデータに復旧するのか、といった情報を指定することにより行われる。これにより、ローカル指示部１２１よりリストア処理部１２３に対してリストア指示命令が送出される。リストア処理部１２３は、情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４内に格納されているバックアップデータ２５１を参照し、必要な情報を抽出したうえでリストア処理を行う。
【００７７】
リストア処理部１２３は、リストア処理の対象として指定された設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３が、全データとして保存されている場合には、全データをそのまま抽出し、システム制御部１００の記憶部１０４、もしくは、ユニット制御部１１５の記憶部１１４に格納する。
【００７８】
リストア処理の対象として指定された設定情報１５１、制御プログラム１５２，１５３が、差分データとして保存されている場合には、その差分データがバックアップされた日より過去にバックアップされた全データと、その全データがバックアップされてから、指定された日までの差分データを累積することによって得られるデータを抽出する。このようにして、差分データとして格納されているバックアップデータに対しても全データを復旧処理するのである。
【００７９】
このように、本実施の形態における基板処理システム１０では、バックアップされたデータが、基板処理装置１とネットワークで接続された情報蓄積サーバ２に格納されているので、リストア処理時においても、ネットワーク経由で容易に復旧作業を行うことが可能である。これにより、短時間で復旧作業を完了することができるので、基板処理装置１の稼働率の向上を図ることができる。
【００８０】
＜５−３．リモート機能＞
上述のごとく、バックアップ処理は、システム制御部１００のローカル指示部１２１が処理命令を送出することにより実行される。そして、ローカル指示部１２１がバックアップ処理命令を送出するのは、スケジュール機能による場合、もしくは、ユーザが基板処理装置１の操作部１４０において指示入力をした場合を説明した。
【００８１】
本実施の形態におけるシステム構成では、基板処理装置１は、広域ネットワーク６１を介してサポートセンター５のサポートコンピュータ３が接続されており、このサポートコンピュータ３から遠隔操作によりバックアップ処理を実行することも可能である。
【００８２】
サポートセンター３において、各基板処理装置１を遠隔管理している担当者がサポートコンピュータ３においてバックアップ処理の指示入力をすると、リモート指示部３２１が、ネットワーク６を介してバックアップ処理命令を送出する。基板処理装置１において、バックアップ処理命令が複製情報取得部１２２に受け渡されると、上述した処理と同様の処理が行われる。
【００８３】
このようにサポートセンター３から遠隔操作によりバックアップ処理を行うことにより、より手厚いユーザサポート体制を提供することが可能である。また、転送速度の問題は残るが、バックアップデータをサポートセンター５に転送するようにしてもよい。
【００８４】
【発明の効果】
以上、説明したように請求項１から請求項３の発明は、基板処理装置の制御情報を、ネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータの記憶手段に格納するので、記録媒体へのバックアップ操作が不要となる。これにより、バックアップ処理に関わるユーザ負担を大幅に軽減させることが可能である。特に、補正情報は基板処理装置の制御を最適化するためのユーザ固有の蓄積された情報であり、バックアップ処理を行う意義は大きい。
【００８８】
請求項４の発明では、基板処理装置は、定期的に複製情報を取得するためのスケジュール管理部を備えているので、設定したスケジュールにしたがってバックアップ処理を自動化させることができる。これにより、ユーザの作業負担を、さらに、大幅に軽減させることができる。
【００８９】
請求項５の発明では、バックアップデータを、差分データとして格納することができるので、データサイズを小さくすることができる。これにより、同一の記憶手段に対しても長期間のバックアップデータを格納することができ、バックアップデータの有効性を向上させることができる。
【００９０】
請求項６の発明では、遠隔操作によりバックアップ処理命令を送出可能としたので、ユーザサポート体制を強化することができる。
【００９１】
請求項７から請求項９の発明では、基板処理装置の制御情報を、ネットワークを経由して接続されたコンピュータの記憶手段に送信するので、記録媒体へのバックアップ操作が不要となる。これにより、バックアップ処理に関わるユーザ負担を大幅に軽減させることが可能である。また、記録媒体への書き込みと異なり、ネットワークに対して制御情報を送信するので、バックアップ処理の自由度を高めることが可能である。特に、補正情報は基板処理装置の制御を最適化するためのユーザ固有の蓄積された情報であり、バックアップ処理を行う意義は大きい。
【００９５】
請求項１０の発明では、基板処理装置は、定期的に複製情報を取得するためのスケジュール管理部を備えているので、設定したスケジュールにしたがってバックアップ処理を自動化させることができる。これにより、ユーザの作業負担を、さらに、大幅に軽減させることができる。
【００９６】
請求項１１から請求項１３の発明では、基板処理装置の制御情報を、ネットワークを経由して接続された情報蓄積用コンピュータの記憶手段に格納するので、記録媒体へのバックアップ操作が不要となる。これにより、バックアップ処理に関わるユーザ負担を大幅に軽減させることが可能である。特に、補正情報は基板処理装置の制御を最適化するためのユーザ固有の蓄積された情報であり、バックアップ処理を行う意義は大きい。
【００９７】
請求項１４の発明は、プログラムの発明であり、基板処理装置の備えるコンピュータにインストールされることによって、バックアップ処理が効率的に行える基板処理装置を実現することができる。
【００９８】
請求項１５の発明は、バックアップ処理が効率的に行える基板処理装置を実現するプログラムを格納した記録媒体であり、記録媒体を頒布することにより、容易に、プログラムのインストールが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成図である。
【図２】基板処理装置の概略平面図である。
【図３】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】設定情報の内容の一例を示す図である。
【図６】レシピデータの内容の一例を示す図である。
【図７】基板処理システムの機能構成を示すブロック図である。
【図８】スケジュール管理部を含むローカル指示部のブロック図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
２  情報蓄積サーバ
３  サポートコンピュータ
４  基板処理工場
５  サポートセンター
６  ネットワーク
１０  基板処理システム
２４  固定ディスク（第２の記憶手段）
１００  システム制御部
１０４，１１４  記憶部（第１の記憶手段）
１５１  設定情報
１５２，１５３  プログラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003962232.tif 000008
【図８】
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