(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ａを含むポリマーと
0003875280.tif 000021
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、ＯＨ、およびＸからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも１つはＯＨであり；およびＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも１つはＸであり；および
Ｘは、シアノ、トリフルオロメチル、それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6であるＣ1〜Ｃ6トリアルキルアンモニウム、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3からなる群から選択される）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むことを特徴とする組成物。
【請求項２】
前記ポリマーは、スチレン、ヒドロキシスチレン、および脂肪族多環式コモノマーからなる群から選択されるコモノマー単位Ｅをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記ポリマーは、酸により開裂されるエステル結合で構成されるコモノマー単位Ｅをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ｂを含むポリマーと
0003875280.tif 000022
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、およびＯＨからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも２つはビシナル配列のＯＨであり、そこでは前記少なくとも２つのＯＨ基は隣接する炭素原子に結合している）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むことを特徴とする組成物。
【請求項５】
ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ｃを含むポリマーと
0003875280.tif 000023
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、ＯＨ、およびＸからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも２つはビシナル配列のＯＨであり、そこでは前記少なくとも２つのＯＨ基は隣接する炭素原子に結合している、；および
Ｘは、シアノ、トリフルオロメチル、それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6であるＣ1〜Ｃ6トリアルキルアンモニウム、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3からなる群から選択される）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むフォトレジスト組成物。
【請求項６】
前記ポリマーは、スチレン、ヒドロキシスチレン、および脂肪族多環式コモノマーからなる群から選択されるコモノマー単位Ｅをさらに含むことを特徴とする請求項４または５に記載の組成物。
【請求項７】
前記ポリマーは、酸により開裂されるエステル結合で構成されるコモノマー単位Ｆをさらに含むことを特徴とする請求項４または５に記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
発明の属する技術分野
本発明は、光画像形成の分野、および詳細には半導体デバイス産業の最も一般的な画像形成材料である溶解抑制レジストの基材樹脂に関する。
関連技術の記載
溶解抑制レジスト(dissolution inhibition resist)、特にノボラック樹脂をベースとするものは、紫外（ＵＶ）光を用いて半導体デバイスを画像形成するために現在広範に用いられている。これらの樹脂は、１）基材樹脂と２）光活性成分（ＰＡＣ）とを含み、その後者は、この種類のレジスト中に存在するときには、抑制添加剤とも呼ばれる。基材樹脂は、典型的にはフェノール性樹脂であり、および光活性成分は、典型的にはジアゾナフトキノンである。溶解抑制レジストは当該技術において知られている。たとえば、Arnost ReiserによるPhotoreactive Polymers,The Science and Technology of Resists(Wiley-Interscience,John Wiley & Sons,New York(1989))、第５章を参照されたい。
そのような典型的な溶解抑制レジストは、２つの現象に基づく：それらは、ジアゾナフトキノンによるフェノール性樹脂の水性アルカリ中への溶解の抑制、およびジアゾナフトキノンのインデンカルボン酸への光化学的変換である。
0003875280.tif 000002
必ずしも常にではないが、フェノール性樹脂は、ノボラックとして知られている低分子量のフェノール−ホルムアルデヒド重縮合物である。それら自身として、これらの樹脂は、希薄な水性アルカリに容易に可溶であるが、適当なジアゾキノン誘導体が添加されるときには、それらの溶解速度が大きく減少する。ここで、イオン化が可能ではなく疎水性のジアゾキノンが、溶解抑制剤として機能する。照射時に、そのジアゾキノンは水性アルカリに可溶である酸へと変化し、およびそれはもはや溶解抑制剤ではなく、かつ樹脂の溶解を促進しさえする。実際には、ノボラックと例えば１５％のジアゾナフトキノンとの混合物を、基板（たとえば、シリコンウェーハ）上に、薄膜として被覆し、その膜を放射パターンに暴露し、および引き続いて希薄なアルカリを用いて処理する。レジストの暴露された区域は、暴露されなかったものよりも非常に速く溶解し、そのプロセスを早めに停止する場合には、パターン化された膜が、照射されなかった区域に残る。そのような材料は、ポジ型レジストとして機能する。
溶解抑制レジストを用いて達成することができるリソグラフィーのコントラストは、抑制添加剤（光活性成分、すなわちＰＡＣ）のみならず、ＰＡＣが分散されているフェノール性基材樹脂にも依存する。その樹脂をミクロリソグラフィーにおける使用に適当にする樹脂の基本的特性は、種々のジアゾナフトキノン（ＤＮＱ）または他の活性添加剤の添加により抑制される水性塩基への溶解を有する樹脂の能力である。この特性は、一般的に「抑制能(inhibitability)」と呼ばれる。特定の基材樹脂から製造されるレジストの画像コントラストを決定するのは、この特性である。したがって、画像コントラストと抑制能は、密接に関連している。
特開平８−３３７６１６号公報は、化学的に増幅されるポジティブワーキングのフォトレジストを開示し、およびこれらの化学的に増幅されるシステム中の任意選択の添加剤としてのある種の溶解制御剤は別として、溶解抑制レジストに関する組成物または関連する主題を開示していない。たとえそれらが溶解制御剤を含有してもよいとしても、そのような修正された化学的に増幅されるシステムは、溶解抑制レジストとは全く別個でありおよび異なるものである。欧州特許公開第０２２７４８７号公報は、１，２−キノンジアジドと、２種のフェノール性化合物の縮合により製造されるアルカリ可溶のノボラック樹脂とから構成されるポジティブワーキングな放射線感受性の樹脂組成物を開示している。この文献は、本発明の主題であるポリ（ビニルフェノール）類から構成されるフォトレジストを開示していない。特開昭６０−１７７３９号公報は、ヒドロキシスチレンポリマーと感光性アジド化合物とから構成されるネガティブワーキングのフォトレジストを開示している。この文献はネガのフォトレジストを開示しているので、本発明のポジティブワーキングのフォトレジストに特に関係するものではない。欧州特許公開第０１９０７９９号公報は、ポジティブワーキングのフォトレジスト中において、ポリ（２，４−ジヒドロキシスチレン）のような結合剤とともに感光性溶解抑制剤を使用することを開示している。この開示中のこの例示の結合剤（ポリ（２，４−ジヒドロキシスチレン））は、ビシナルのヒドロキシル置換を備えておらず、およびそれによって本発明とは離れたものを教示している。
ポリ（ヒドロキシスチレン）樹脂［ポリ（ビニルフェノール）樹脂］は、主としてその低い抑制能のために、これまでミクロリソグラフィーにおいて幅広く一般的には用いられてこなかった。したがって、改良された抑制能を有する改良されたポリ（ヒドロキシスチレン）および他の樹脂に関する当該技術における必要性が存在する。
発明の要旨
本発明の第１の実施形態は、ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ａを含むポリマーと
0003875280.tif 000003
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、ＯＨ、およびＸからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも１つはＯＨであり；およびＲ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも１つはＸであり；および
Ｘは、シアノ、トリフルオロメチル、それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6であるＣ1〜Ｃ6トリアルキルアンモニウム、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3からなる群から選択される）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むフォトレジスト組成物である。
本発明の第２の実施形態は、ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ｂを含むポリマーと
0003875280.tif 000004
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、およびＯＨからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも２つはビシナル配列のＯＨであり、そこでは前記少なくとも２つのＯＨ基が隣接する炭素原子に結合している）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むフォトレジスト組成物である。
本発明の第３の実施形態は、ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物であって、
（ａ）  以下の構造を有するコモノマー単位Ｃを含むポリマーと
0003875280.tif 000005
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、同一であっても異なっていてもよく、およびＨ、ＯＨ、およびＸからなる群から選択され；
Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5の少なくとも２つはビシナル配列のＯＨであり、そこでは前記少なくとも２つのＯＨ基が隣接する炭素原子に結合しており；および
Ｘは、シアノ、トリフルオロメチル、それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6であるＣ1〜Ｃ6トリアルキルアンモニウム、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3からなる群から選択される）
（ｂ）  ジアゾナフトキノンおよびジアゾクマリンからなる群から選択される少なくとも１つの光活性成分と
を含むフォトレジスト組成物である。
ニトロ基の知られている深UV域における強い吸収特性のために、本発明の全ての実施形態において、ニトロ（−ＮＯ2）置換基を明確に除去する。もし相当な量のニトロ基を有する樹脂が本発明の組成物中に存在するならば、レジスト組成物は相当に減少した光速度(photospeed)およびおそらく他の望ましくない特性を有することが予測される。
本発明のレジスト組成物に対して有害な効果を有すると予想される、スルホン酸の知られている高い酸性のために、本発明の全ての実施形態において、スルホン酸（−ＳＯ3Ｈ）置換基を明確に除去する。
上記の理由により本発明の全ての実施形態からニトロ置換基を明確に除去する一方で、それにもかかわらずニトロ基のような電子吸引性基を含有する樹脂が、電子吸引基を持たない比較可能な樹脂（例えば、無置換のＰＶＰ樹脂または無置換のノボラック樹脂）に比較して、増大した抑制能を確かに有していることを示すための実施例のいくつかにおいて、ニトロ基が用いられる。
【図面の簡単な説明】
図１は、４つの別個の樹脂に関する、溶解抑制剤の濃度（Ｃi）に対する溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）のグラフである。それらのプロットは、本質的に直線であり、指定のプロットの負の勾配の絶対値は、一連の試験組成物中の指定の樹脂に関する抑制ファクターｆである。試験組成物のプロットが図１中にある４つの別個の樹脂は、ＰＶＰ、ポリマーＫ、ポリマーＦ、およびポリマーＧである。
図２は、５つの別個の樹脂に関する、溶解抑制剤の濃度（Ｃi）に対する溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）のグラフである。それらのプロットは、本質的に直線であり、指定のプロットの負の勾配の絶対値は、一連の溶解抑制試験組成物中に存在するときの指定の樹脂に関する抑制ファクターｆである。試験組成物のプロットが図２中にある５つの別個の樹脂は、ＰＶＰ、ポリマーＧ、ポリマーＩ、ポリマーＨ、およびポリマーＪである。
図３は、２つの別個の樹脂に関する、溶解抑制剤の濃度（Ｃi）に対する溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）のグラフである。それらのプロットは、本質的に直線であり、指定のプロットの負の勾配の絶対値は、一連の溶解抑制試験組成物に存在するときの指定の樹脂に関する抑制ファクターｆである。試験組成物のプロットが図３中にある２つの別個の樹脂は、ノボラック、およびポリマーＨ（５％のレベルまでニトロ化されたＰＶＰ）である。
図４は、ノボラックをベースとする溶解抑制レジスト配合物における２つの別個のジヒドロキシ化合物の間の、溶解加速に関する劇的な差を示すグラフである。図４は、２つの別個のジヒドロキシ化合物に関する、溶解加速剤の濃度（Ｃa）に対する溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）のグラフである。Ｃaは、質量％で表わされる。
（溶解速度Ｒの単位は、全ての図においてナノメートル／秒（ｍｍ／ｓｅｃ）である。）
発明の詳細な説明
樹脂の抑制能を、（たとえば、フェノール性ヒドロキシル基の間の）フェノール性相互作用の量を増大するか、または電子吸引性置換基によるフェノール性基の置換によるかのいずれかにより、増大することができる。
フェノール性樹脂の抑制能を、フェノール性部分の芳香環の少なくとも一部の上の、ビシナル配列にある少なくとも１組のヒドロキシ置換基の置換によって、増大することができる。
フェノール性樹脂の抑制能を、電子吸引性部分によるフェノールの芳香環上の置換により、同様に増大することもできる。この原理の最も重要な応用は、ポリ（ヒドロキシスチレン）（ＰＨＯＳＴ）樹脂に対するものである。ポリ（ビニルフェノール）または（ＰＶＰ）とも呼ばれるこれらの樹脂は、一般的には、ミクロリソグラフィーに適当ではない。なぜなら、それらはＰＡＣ類により容易に抑制されないからである。この理由は、樹脂のフェノール性基の間の相互作用の低い程度であると推測される。ＮＯ2、ＣＮおよびＣＦ3のような電子吸引性置換基による置換は、樹脂の抑制能を増大させる。
したがって、本発明の目的は、増大した抑制能を有するポリ（ヒドロキシスチレン）および他の樹脂を提供することである。
本発明のこの目的および他の目的は、（１）樹脂の構造変更（たとえば、フェノール部分にビシナルのヒドロキシ置換基を有するポリ（ヒドロキシスチレン）またはノボラック）による増大した量のフェノール性相互作用；または（２）１つまたは複数の電子吸引性置換基を有する樹脂（たとえば、ポリ（ヒドロキシスチレン）またはノボラック）のフェノール性基上の置換の結果として、増大した抑制能を有する新規の樹脂により提供される。
第１の実施形態
具体的には、本発明の第１の実施形態の化合物は、＋０．４５以上の正のHammett置換基定数を有する置換基Ｘによって置換されている種々の分子量を有するポリ（ヒドロキシスチレン）樹脂である。少なくとも１つのヒドロキシル置換基（−ＯＨ）に関して、置換基Ｘはオルト、メタ、またはパラに位置することができる。しかし、置換基Ｘは、ＯＨ基に対するパラ位もしくはメタ位のいずれか、またはＯＨ基に関する両方のメタ位に位置することが好ましい。これらの好ましい配列を以下に示す。
0003875280.tif 000006
本発明に適当な置換基は、０．４５以上のHammett置換基定数を有するものとして一般的に規定される。正のHammett置換基定数は、その位置において置換基が電子吸引性であることを示し、一方、負の定数は電子供与性基を意味する。他の考察（下記参照）を別にすると、本発明の樹脂が高い抑制能を有するように、可能な限り大きなHammett置換基定数を有するＸを選択することが、本発明によれば最良である。その定数が大きくなればなるほど、その置換基はより電子吸引性になり、および、一般的に本発明にしたがって得られる本発明の樹脂における抑制能のレベルがより大きくなる。それらに限定されるものではないが、ＮＯ2、ＣＦ3、およびＣＮを含む種々の置換基に関して、これは事実である。
概して、置換基Ｘは、０．４５以上の正のHammett置換基定数を有するいかなる置換基であってもよい。適当な置換基Ｘは、Ｃ1〜Ｃ6のペルフルオロアルキル（ＣＦ3を含む）；それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6である、Ｃ1〜Ｃ6のトリアルキルアンモニウム；シアノ（ＣＮ）、メチルスルホニル（ＳＯ2ＣＨ3）、およびトリフルオロメチルスルホニル（ＳＯ2ＣＦ3）を含むが、それらに限定されるものではない。本発明の樹脂において、置換基Ｘを、少なくとも１つのＯＨ基に関してオルト、メタ、またはパラの位置において、指定の芳香環上に配置することができる。好ましい置換基は、ＣＮ、ＣＦ3、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3を含むが、それらに限定されるものではなく、および置換基Ｘは、少なくとも１つのＯＨ基に関してメタまたはパラの位置において所定の芳香環上を置換する。
指定の位置における広範な置換基のHammett定数は、一般的に知られて、すなわち当業者にとって利用可能である。例えば、Jerry MarchによるAdvanced Organic Chamistry,Reactions,Mechanisms,and Structure第４版(John Wiley & Sons,Inc.,1992)のページ２７８〜２８６を参照されたい（それは参照により本明細書の一部をなすものとする）。
この方法により置換されたポリ（ヒドロキシスチレン）を、ミクロリソグラフィー用の基材樹脂として用いてもよい。本発明は、ポリ（ヒドロキシスチレン）樹脂に限定されるものではなく、および電子吸引性置換基を用いる置換の原理は、ノボラック樹脂のような他のフェノール性樹脂にも等しく適用することができる（下記の実施例４を参照されたい）。
当業者は、本発明において、通常は、立体的考察が置換基効果と調和しなければならないことを理解するであろう。たとえば、立体的な観点において４−ヒドロキシスチレンのメタ位を検討することがより有益であるとはいえ、その置換基効果は、パラ位においていくらか強い。そのような考察は、当業者の知識の範囲内であるか、および／または当業者の実験により決定することができる。
第２および第３の実施形態
第２および第３の実施形態の双方において、ポジティブワーキングのフォトレジスト組成物の本発明の樹脂は、指定の芳香環上に少なくとも２つのヒドロキシル基を、その２つのヒドロキシル基が隣接する炭素に対して結合している状態で含有する（すなわち、２つのヒドロキシル基は、１，２−様式で置換されており、および互いに関してビシナルの関係で存在する）前述のようなコモノマーから構成される。
実施形態２による本発明のコモノマー反復単位Ｂの実例となるいくつかの例を以下に示す。
0003875280.tif 000007
実施形態３による本発明のコモノマー反復単位Ｃの実例となるいくつか例を以下に示す。
0003875280.tif 000008
第４の実施形態
ノボラック樹脂の抑制能を、以下の構造式に示すように、そのフェノール性部分を電子吸引性置換基により置換することにより、増大することができる。式中、Ｘは電子吸引性であり、およびＸは前述の仕様を有する。
0003875280.tif 000009
概して、置換基Ｘは、ＮＯ2およびＳＯ3Ｈを除外することを除いて、０．４５以上の正のHammett置換基定数を有するいかなる置換基であってもよい。適当な置換基Ｘは、Ｃ1〜Ｃ6のペルフルオロアルキル（ＣＦ3を含む）；それぞれのアルキルが独立的にＣ1〜Ｃ6である、Ｃ1〜Ｃ6のトリアルキルアンモニウム；シアノ（ＣＮ）、メチルスルホニル（ＳＯ2ＣＨ3）、およびトリフルオロメチルスルホニル（ＳＯ2ＣＦ3）を含むが、それらに限定されるものではない。本発明の樹脂において、置換基Ｘは、ＯＨ基に関してオルト、メタ、またはパラの位置の所定の芳香環上に位置することができる。パラ位に置換基Ｘを含む構造が好ましい。好ましい置換基は、ＣＮ、ＣＦ3、ＳＯ2ＣＨ3、およびＳＯ2ＣＦ3を含むが、それらに限定されるものではない。Ｒ1およびＲ2は、独立的にＣ1〜Ｃ6のアルキルである。
パーコレーション部位を減少することおよび抑制能を増大すること
前述の構造は、フェノール性ＯＨ基の酸性を増大させ、および同時に樹脂の溶解速度を増大させる可能性がある。この効果に対抗するために、本発明の樹脂における必要かつ不可欠の段階は、樹脂中の親水性パーコレーション(percolation)部位の密度（濃度）を低下させることである。これは、樹脂の抑制能を相当に増大させるという重大な利点をも有する。このパーコレーション部位の密度を低下させることは、以下にまとめた種々の方法において実行することができる。
ａ）  完全に置換されたポリ（ヒドロキシスチレン）においては、親水性パーコレーション部位の濃度は、フェノール性ヒドロキシルの一部をアルキル化することにより変更することができる。
メチル以外の保護基を用いることができる。アルキル化の程度は、広い限界（５から９５％まで、またはそれ以上）内で変化してもよい。
ｂ）  酸性ＯＨ基の濃度を低下させることの別の方法は、その置換を部分的に実施すること、すなわち樹脂中のフェノール性基の一部のみを置換することにより実施される。（これは、得られる材料がより低い濃度の置換基を含有し、およびその吸収特性が、場合ａ）における程変化しないという利点を有する。）
ｃ）  別の可能性は、例えばスチレンのような置換もされておらず、ＯＨ基も含有しない芳香族コモノマーと、適切に置換されたヒドロキシスチレンを共重合することである。したがって、たとえば、（ヒドロキシ、シアノ）−スチレンとスチレンとの共重合体は、低濃度の親水性ＯＨ部位と同様に、小さい濃度のシアノ基を含有するに過ぎない材料を生成する。この生成物の光学的特性は、ｂ）のものより良好であろう（すなわち、深UVにおけるより高い透明性）。なぜなら大部分の材料はポリスチレンであり、およびポリ（ヒドロキシスチレン）ではないからである。
ｄ）  材料がより短い波長（例えば、２４８ｎｍ）においてより高度に透明であるべき場所には、置換されたヒドロキシスチレンコモノマーを脂肪族コモノマーと共重合することが可能である。そのような共重合は実質的に脂肪族の材料を与える。プラズマ暴露に対する安定性が所望される場合には、選択される脂肪族コモノマーは、例えば、ノルボルニル、イソボルニル、またはアダマンチル基などを含有する種々のモノマーのような多環式脂肪族モノマーである一種である。
ノボラックを越える、本発明のＰＨＯＳＴ（ポリ（ヒドロキシスチレン））共重合体のいくつかの重要な利点は、以下のものである。ＰＨＯＳＴポリマーは以下の点を有し、または与える。
１．共重合体のコモノマーの選択におけるより大きな柔軟性。
２．材料を、高度に純粋な状態で生成することができる。
３．ＰＨＯＳＴを用いる良好な分子量制御。
化学的増幅
本発明のフォトレジスト組成物は、コモノマーとしてコモノマーＥを含有する樹脂を用いることによって化学的に増幅される溶解抑制レジストであるように作成することができる。そのコモノマーＥは、ＰＡＣ由来の酸により開裂して樹脂中に遊離の酸をもたらす（それは樹脂に現像可能性を付与する）ことが可能な保護された酸基を有するエステル結合で構成される。保護基を有するいくつかの適当なエステル結合は、第３級ブチルエステルのような第３級アルキルエステルおよび少なくとも１つの第３級基を有する炭酸エステルを含むが、それらに限定されるものではない。ＰＡＣにより生成される酸に対する感受性を有する他の保護基を使用することができる。適当な保護基は、当業者に知られている。適当な保護基は、多くの参考文献（たとえば、R.D.Allen等による「Protective Groups for 193 nm Photoresists」、SPIE Proceeding,Vol.2724,1996,334-343ページ）において検討されている。
光活性成分
本発明の指定の組成物中に、（成分（ｂ）として）フォトレジスト組成物をポジティブワーキングにすることができる少なくとも１つの光活性成分が存在する。概して、本発明は、この必要条件を満足するいかなる成分をも含む。溶解抑制レジストに関する好ましい実施形態において、光活性成分は、組成物内部にその初期段階（光画像形成能力を与える光化学的変化を受ける前）において存在する際に溶解抑制剤としても役立つ。
本発明において適当な代表的光活性成分は、ジアゾナフトキノン（ＤＮＱ）およびジアゾ−４−ヒドロキシクマリン（ＤＣ）を含むが、それらに限定されるものではない。
本発明のための実例となる好ましいＤＮＱおよびＤＣ化合物は、下記の構造を有する。
0003875280.tif 000010
式中、Ｒはスルホン酸芳香族エステルまたは芳香族ケトンであることができるが、それらに限定されるものではない。好ましいＲは、以下のものである（式中、Ｒ1はフェニルまたは置換フェニルである）。
0003875280.tif 000011
本発明は、上記で例示したような置換を有するＤＮＱおよびＤＣ化合物を使用することに限定されない。一般的に、置換に関して、置換されていない状態から、（ＤＮＱおよびＤＣの）芳香環およびエチレン部分の全ての位置が完全に置換されている状態までの多岐にわたるＤＮＱおよびＤＣ化合物を、用いることができる。
溶解抑制レジスト配合物中の光活性成分としてのＤＮＱおよびＤＣ化合物の使用は知られている。たとえば、ＤＮＱは、Arnost ReiserによるPhotoreactive Polymers,The Science and Technology of Resists(Wiley-Interscience,John Wiley & Sons,New York(1989))に記載され、それは参照により本明細書の一部をなすものとする。ＤＣは、M.J.Leeson,A.Pawloski,V.Levering,W.Yueh,およびC.G.Wilsonの「Tailoring of a Photoactive Compound for Non-Chemically Amplified 248 nm Resist Formulations」SPIE Vol.3049,861-869ページに記載され、それは参照により本明細書の一部をなすものとする。
任意選択の化合物
フォトポリマー組成物に慣用的に添加される他の化合物もまた存在して、本発明のレジストの物理的特性を実際の用途のために改質することができる。そのような成分は、別のポリマー結合剤、充填材、熱安定剤、蛍光増白剤、粘着改質剤、塗布助剤、離型剤、および残留物減少剤(residue reducer)を含むが、それらに限定されるものではない。
用語集
ＡＩＢＮ  ２，２’−アゾビスイソブチロニトリル（＝２，２’−アゾビス［２−メチルプロピオニトリル］）
ＤＣ  ジアゾ−４−ヒドロキシクマリン
ＤＮＱ  ジアゾナフトキノン
ノボラック  ホルムアルデヒドまたは別のアルデヒドとのフェノール性化合物の縮合ポリマー。ノボラック樹脂は、Hoechst-Celanese Corp.(Corpus,Christi,TX)から得られる。それは、約４０００の重量平均分子量を有する。
ＰＨＯＳＴ  ポリ（ヒドロキシスチレン）。等価の名称は、ポリ（ビニルフェノール）すなわちＰＶＰである。ＰＨＯＳＴポリマーにおいて、ヒドロキシ基は、主鎖に関してオルト、メタ、またはパラであることができる。特に記載がない限り、ヒドロキシ基はポリマーの主鎖に対してパラである。
ポリマー類
ポリマーＥ  ポリ（２−ニトロ−５−アセトキシ−スチレン）
ポリマーＦ  ポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシ−スチレン）
ポリマーＧ  ２０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）*
ポリマーＨ  ５％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）*
ポリマーＩ  １０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）*
ポリマーＪ  ８０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）*
ポリマーＫ  ９５％越のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）*
ポリマーＬ  ポリ（２−アミノ−５−ヒドロキシ−スチレン）
ポリマーＭ  ポリ（２−ジアゾニウムクロリド−５−ヒドロキシ−スチレン）
ポリマーＮ  ポリ（２−シアノ−５−ヒドロキシ−スチレン）
ポリマーＯ  ポリ（３，４−ジアセトキシ−スチレン）
ポリマーＰ  ポリ（３，４−ジヒドロキシ−スチレン）
ポリマーＱ  ポリ（３，５−ジアセトキシ−スチレン）
ポリマーＲ  ポリ（３，５−ジヒドロキシ−スチレン）
＊ポリマーは、フェノール性部分の２位に置換された少量（５％未満）のニトロ置換基を含有してもよい。
ＰＶＰ  ポリ（ビニルフェノール）、ＰＶＰポリマーにおいて、ヒドロキシ基は、主鎖に関してオルト、メタ、またはパラであることができる。特に記載がない限り、ＯＨ基は芳香環の４位に置換され、およびポリマーの主鎖に対して（または、モノマー前駆体のビニル基に対して）パラである。別名はポリ（ヒドロキシスチレン）である。本明細書の実施例において用いられるＰＶＰは、Hoechst Celanese Corp.(Corpus,Christi,TX)から得られ、および１５，０００の重量平均分子量を有した。
実施例
実施例１
本実施例において、ポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシスチレン）の合成を提供する。
ヒドロキシ基の保護：
１００ｍＬの無水酢酸中に、２０グラムの２−ニトロ−５−ヒドロキシ−ベンズアルデヒドを溶解させ、そして得られる溶液を、窒素下で３時間にわたって還流した。その溶液を室温まで冷却し、そして無水酢酸を除去した。淡黄色固体として、２−ニトロ−５−アセトキシ−ベンズアルデヒド（化合物Ａ）が得られた（収率９２％）。
Ｗｉｔｔｉｇ反応：
以下の順序の工程を用いて、Ｗｉｔｔｉｇ反応を実施した。
１）２５ｍＬのＭｅ2ＳＯに対して０．０１５モルのＮａＨを添加し、そして水素の発生が停止するまで半時間にわたって攪拌することにより、窒素下で０．０１５Ｍのメチルスルフィニルカルバニオン溶液を作成し；
２）窒素下において、４０ｍＬのＭｅ2ＳＯに対して０．０１５モルのＰｈ3Ｐを室温で添加し、そして半時間にわたって攪拌し；次に、得られる溶液に対して、半時間の間に０．０１６モルのＭｅＩを滴下し；得られる混合物を室温において１時間にわたって攪拌し、次に５０℃においてさらなる１時間にわたって攪拌し；そして室温に冷却して溶液を与えることにより、メチルトリフェニルホスホニウムヨージドを調製し；
３）半時間かけて、溶液１）中に、溶液２）を滴下した。次に、得られる溶液を室温においてさらなる半時間にわたって攪拌し；
４）室温において、１５ｍＬのＭｅ2ＳＯ中の１．０４５ｇ（０．００５モル）の化合物Ａを一度に添加し、そして得られる溶液を、１時間にわたって室温で、およびさらなる１時間にわたって５５℃で攪拌し；
５）その溶液を冷却し、２００ｍＬの冷水を注加し、そして白色沈殿物を形成した。その溶液を１時間にわたって攪拌し；
６）沈殿物を濾別し、そして透明な溶液を、エーテルに用いて３回抽出した。そのエーテル層を、水で２回洗浄し、そして硫酸マグネシウムにより乾燥し；および、
７）その溶媒を除去し、そして０．８８グラムの２−ニトロ−５−アセトキシ−スチレン（化合物Ｃ）を得た（収率８５％）。
重合：
２グラム（０．０１モル）のモノマー（化合物Ｃ）および２０ｍｇのＡＩＢＮ（２，２’−アゾビスイソブチロニトリル＝２，２’−アゾビス［２−メチルプロピオニトリル］）を、１５ｍＬのＴＨＦ中に溶解させた。窒素下において、得られる溶液を、６０℃において８時間にわたって攪拌した。その溶液を室温まで冷却し、３００ｍＬのイソプロパノール中にゆっくりと注ぎ、ポリマーを析出させた。乾燥時の得られるポリマーＥ（ポリ（２−ニトロ−５−アセトキシ−スチレン））は、１．２グラムと計量された。
ヒドロキシ基の脱保護：
１グラムのポリマーＥを、塩酸のメタノール性溶液５０ｍＬ（１規定）中に溶解させ、そして得られる溶液を２時間にわたって還流させた。次に、その溶液を室温まで冷却し、そして５００ｍＬの水中にゆっくりと注ぎ、ポリマーを析出させた。乾燥時の得られるポリマーＦ（ポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシ−スチレン））は、０．６５グラムと計量された。
実施例２
この実施例において、２０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）の調製を提供する。
５グラムのポリ（ｐ−ビニル−フェノール）（ＰＶＰ）を、（触媒として）３滴の濃硫酸を含有する２０ｍＬのアセトン中に溶解させ、そしてその溶液を、氷−水浴を用いて冷却した。攪拌されている反応混合物に対して、ゆっくりと０．７５グラムの濃硝酸を滴下した。次に、得られる溶液を室温において１時間にわたって攪拌した。１時間の反応期間の終わりにおいて、反応混合物（溶液）を５００ｍＬの冷水中に添加して、ポリマーを析出させた。そのポリマーを濾過により収集し、そして乾燥して４．１ｇのポリマーＧを与え、それは２０％のフェノール性部分が（主として、４−ＯＨ基に対してオルトである３位が）にとろかされている、ニトロ化されたＰＶＰポリマーであると特徴づけられた。
実施例３
この実施例において、５％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）の調製を提供する。その調製は、用いられる濃硝酸の量が０．１８７グラムであることを除いて実施例２と同一であった。乾燥時に得られた、得られるニトロ化されたポリマーは４．３グラムと計量され、ポリマーＨと称する。
実施例４
この実施例において、１０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）の調製を提供する。その調製は、用いられる濃硝酸の量が０．３７５グラムであることを除いて実施例２と同一であった。乾燥時に得られた、得られるニトロ化されたポリマーは４．１グラムと計量され、ポリマーＩと称する。
実施例５
この実施例において、８０％のフェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）の調製を提供する。その調製は、用いられる濃硝酸の量が３．０グラムであることを除いて実施例２と同一であった。乾燥時に得られた、得られるニトロ化されたポリマーは４．１グラムと計量され、ポリマーＪと称する。
実施例６
この実施例において、本質的に１００％の（すなわち９５％超の）フェノール性部分がニトロ化されているポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）の調製を提供する。その調製は、用いられる濃硝酸の量が３．７５グラムであることを除いて実施例２と同一であった。乾燥時に得られた、得られるニトロ化されたポリマーは４．２グラムと計量され、ポリマーＫと称する。
実施例７
この実施例は、一連の試験組成物を調製し、およびそれらを用いる測定を行って、指定の試験樹脂（ポリマー）の抑制能の測定値を得るのに用いられた手順を提供する。
全ての試験組成物は、溶解抑制タイプのものであり、および以下の方法により配合された。指定の試験樹脂溶液（２５質量％の樹脂を含有する）は、室温において樹脂を酢酸イソブチル中に溶解することにより作成された。抑制剤、すなわち１，２−ジアゾナフトキノン−５−スルホン酸フェニルエステル（分子量＝３１６ダルトン）を、指定のサンプルに関して示された濃度（モル％または質量％で表現される）において添加した。スピンコーティングにより、シリコンウェーハに対して試験組成物を付着した。標準的な実験室用スピンコーターを３０００回転毎分の回転速度において使用した。コーティング操作は、室温で行った。室温におけるコーティングのすぐ後に、試験組成物を、半時間にわたって９０℃において最終的に乾燥させた。
指定の試験樹脂に関して、典型的には、少なくとも３〜４個の別個の試験サンプルを、異なる抑制剤濃度（示されたような（Ｃi）、モル％または質量％）を有して作成した。その抑制剤濃度は、０〜６モル％または０〜１０質量％の範囲にわたって変動した。
指定の樹脂に関する組成物を試験するために、フィルムを、２０％における０．２ＭのＫＯＨ水溶液に溶解させた。指定のサンプルの溶解速度を、レーザー干渉計を用いて測定した。反射強度曲線における２つの連続するピークの間の時間差を測定し、そしてThompson,WilsonおよびBowdenの「Introduction to Microlithography」第２版、American Chemical Society Professional Reference Book(American Chemical Society,Washington D.C.,1994)の２８０ページおよびその続きに記載されているように、その時間差から溶解速度を決定した。
次に、抑制剤含有量の関数として、指定のサンプルの溶解速度の対数をプロットした。およそ直線状のプロットが、負の勾配を有して得られた。このプロットの負の勾配の絶対値を、抑制能の測定値として採用し、それを抑制ファクターｆと称する。指定の樹脂に関する抑制ファクターｆの大きさが大きければ大きいほど、溶解抑制レジスト組成物中に用いたときにその樹脂の抑制能は大きくなる。
実施例８
この実施例においては、４つの異なる樹脂サンプルに関して、フィルム組成物を作成し、および実施例７の手順を用いて試験した。試験される第１の樹脂は、ポリ（ビニルフェノール）（ＰＶＰ）であり；この樹脂で作成される試験組成物を「オリジナル」と称する。試験される第２の樹脂はポリマーＫ（実施例６）であり、それはヒドロキシル基に対するオルト位に本質的に１００％（９５％超）のニトロ化を有し；この樹脂で作成される試験組成物を「オルト」と称する。試験された第３の樹脂はポリマーＦ（実施例１）であり、それはポリマーのそれぞれの芳香環上にパラの関係にある１つのニトロ基と１つのヒドロキシル基とを有し；この樹脂で作成される試験組成物を「パラ」と称する。試験された第４の樹脂はポリマーＧ（実施例２）であり、それは２０％のフェノール性部分が、主としてヒドロキシルに対するオルトの位置をニトロ化されており；この樹脂で作成される試験組成物を「２０％ニトロ化」と称する。これらの実施例において用いられるＰＶＰは、Hoechst Celanese Technical Center(Corpus,Christi,Texas,USA)から得られた。その樹脂の重量平均分子量は、１５，０００であった。
実施例７に記載されるように、溶解抑制剤（光活性成分）の濃度（Ｃi）に対する溶解速度の対数のプロットを作成した。図１は、これらの４つの樹脂から得られた本質的に直線のプロットを例示する。それぞれの樹脂に関して測定された抑制ファクターｆも、同様に図１に示す。
ＰＶＰ（電子吸引性基の置換がない）で作成された試験組成物は、低い程度の抑制能を示し、測定された抑制ファクターは１．９であった。
ポリマーＫ（実施例６、それぞれの芳香族単位のヒドロキシル部分に対してオルトの９５％超のニトロ化を有する）で作成された試験組成物も、同様に低い程度の抑制能を示し、測定された抑制ファクターは１．６であった。
ポリマーＦ（実施例１、それぞれの芳香族単位のヒドロキシル部分に対してパラの１００％のニトロ化を有する）で作成された試験組成物は、高度の抑制能を示し、測定された抑制ファクターは６．７であった。
ポリマーＧ（実施例２、それぞれの芳香族単位のヒドロキシル部分に対してオルトの２０％のニトロ化を有する）で作成された試験組成物は、高度の抑制能を示し、測定された抑制ファクターは６．６であった。
実施例９
この実施例は、フェノール性部分のいくらかに電子吸引性ニトロ（ＮＯ2）置換基を有する樹脂に関する抑制ファクターｆが、樹脂中のニトロ化されているフェノール性基のパーセントＰに、いかに著しく依存するかを例示する。この実施例において試験される樹脂は、異なる程度にニトロ化された、ニトロ化ＰＶＰポリマーである。具体的には、それらの樹脂は、ＰＶＰ中のフェノール性部分の異なるニトロ化の程度を有するポリ（３−ニトロ−４−ヒドロキシ−スチレン）である：１）５％のニトロ化を有するポリマーＨ（実施例３）；２）１０％のニトロ化を有するポリマーＩ（実施例４）；３）２０％のニトロ化を有するポリマーＧ（実施例２）；および４）８０％のニトロ化を有するポリマーＪ。
この実施例のための溶解抑制レジストの試験サンプルは、実施例７に与えられるのと同一の方法により調製された。
図２は、指示された樹脂の抑制ファクターｆの、ニトロ化された芳香族基のパーセントに対する相当にかつ著しい依存性を示す。最低レベルのニトロ化（５％のニトロ化を有するポリマーＨを含有するサンプル）において、抑制ファクターｆは１０．１であると測定された。１０％までニトロ化のパーセントが増大したときに（ポリマーＩを含有するサンプルにおいて）、測定される抑制ファクターは９．０８であった。２０％までニトロ化の程度がさらに増大したとき（ポリマーＧ）に、測定される抑制ファクターは６．５９である。ＰＶＰの８０％のニトロ化を有する第４のサンプル（ポリマーＪ）の場合には、このポリマーを含有するサンプルは、３．２９の抑制ファクターｆを示した。これらの結果を、ＰＶＰの対照標準のポリマー、すなわち１．８５の測定される抑制ファクターｆを与える（電子吸引性置換基を持たない）ＰＶＰの試験サンプルとともに、図２において視覚的に示す。もう１つの測定された抑制ファクターｆ、すなわち９５％超でニトロ化されたＰＶＰに関するものが関連しており、それはポリマーＫであり、および図１中で「オルト」と称されている。この樹脂を用いた試験サンプルは、１．６である（非常に低い）測定された抑制ファクターｆを示した。
このように、この実施例は、活性の電子吸引性基（この実施例においてはニトロ基）の置換の程度に依存して、指定の置換基を担持する樹脂の測定される抑制ファクターｆにおける劇的な差異があることを示す。測定された抑制ファクターｆは、５％ニトロ化のＰＶＰにおける１０．１ほどの高さから、９５％超のニトロ化のＰＶＰにおける１．６ほどの低さまで変化する。したがって、これらの結果は、指定の樹脂タイプ（例えば、ニトロ化されたＰＶＰ）の抑制能は劇的に変化することができ、および電子吸収性基を担持しないコモノマーを用いてポリマーを希釈することにより、その抑制能は増大することを示す。この実施例において、活性ニトロ基を「希釈する」現存のポリマーは、ビニルフェノールである。
実施例１０Ａ
実施例１に与えられた方法を用いて、フリーラジカル重合によりコポリマーを調製する。２つのモノマーの混合物を、その重合に用いる。第１のものは、２０モル％の量で存在する２−ニトロ−５−ヒドロキシスチレンであり；第２のものは、８０モル％の量で存在する４−ヒドロキシスチレンである。コポリマーの分析をおこなって、約２０％のフェノール性基がニトロ置換基を含有することを確認する。実施例７に記載するような一連の溶解抑制レジスト試験組成物を、このコポリマーを用いて作成した。溶解抑制剤（ＤＮＱである）のモル％濃度に対する溶解速度の対数を、プロットする。そのプロットは、本質的に直線であり、およびこのコポリマー樹脂を有する試験組成物のこの組に関する抑制ファクターｆが９．０であることを示す負の勾配を有する。その抑制ファクターは、コポリマー樹脂が、高度の抑制能を有することを示す。
実施例１０Ｂ
２−ニトロ−５−ヒドロキシスチレンが１０モル％の量で存在し、および４−ヒドロキシスチレンが９０モル％の量で存在することを除いて、実施例１０Ａにおいて与えられたものと同一の方法において、コポリマーを調製する。溶解抑制レジストとしてのコポリマーの試験を、実施例１０Ａにおいてと同一の方法において行った。このコポリマーを含有する試験組成物の組は、高度に抑制可能である、すなわち測定される抑制ファクターｆは１２．０であると決定される。
実施例１０Ｃ
４−ヒドロキシスチレンの代わりの第２のコモノマーとしてスチレンを用いることを除いて、実施例１０Ａにおいて与えられた同一の方法において、コポリマーを調製する。スチレンは、８０モル％の量で存在する。溶解抑制レジストとしてのコポリマーの試験を、実施例１０Ａにおいてと同一の方法において行った。このコポリマーを含有する試験組成物の組は、高度に抑制可能である、すなわち測定される抑制ファクターｆは９．１であると決定される。
実施例１０Ｄ
この実施例において、ポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシスチレン）中に存在する９０％のフェノール性部分をメチル化し、得られるコポリマー中において、１０％のみが酸性のフェノール性部分のままであるようにする。コポリマーの合成は以下に示すようなものである：ポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシスチレン）ホモポリマー（０．５ｇ、０．００３モルのヒドロキシル基を有する）および０．１１３ｇのＮａＯＨを１０ｍＬの水中に溶解する。その溶液を１０℃において攪拌し、同時に、その溶液に対して０．２５３ｍＬ（０．００２７モル）のジメチル硫酸を滴下する。次に、その溶液を７０℃において半時間にわたって攪拌し、そして次に室温まで冷却する。次に、それを２００ｍＬの冷水中にゆっくりと滴下し、析出するポリマーを得る。そのポリマーを濾取し、乾燥し、そして秤量した（０．４６ｇ）。そのポリマーを少量のアセトン中に再溶解し、そして２００ｍＬの水中へと再析出させる。次に、それを濾取し、および乾燥する。分析を行って、ポリマー中の約１０％の芳香環のみが遊離のヒドロキシル（ＯＨ）基を担持していることを立証する。
溶解抑制レジストとしてのコポリマーの試験を、実施例１０Ａにおいてと同一の方法において行った。このコポリマーを含有する試験組成物の組は、高度に抑制可能である、すなわち測定される抑制ファクターｆは１１．９であると決定される。
実施例１１
この実施例は、ポリマーＮであるポリ（２−シアノ−５−ヒドロキシ−スチレン）の合成手順を与える。
0003875280.tif 000012
５グラムのポリマーＦ（０．０３モルのニトロ基を有する）を、３５ｍＬのアセトンおよび５ｍＬの水中に溶解させ；そこに、５．４グラム（０．０４６モル）の粒状のスズを添加する。前記の溶液を、冷水浴中で冷却状態に保持する。激しく攪拌しながら、１２ｍＬの濃塩酸をゆっくりと滴下する。溶液を１時間にわたって還流し、そして次に室温まで冷却する。その溶液を希ＮａＯＨ（０．０１規定）を用いて中和し、そして次に５００ｍＬの冷水中に滴下し、その際にポリマーＬが析出する。以下の工程のために、生成物を濾取し、および乾燥する。
５グラム（０．０３７モル）のポリマーＬを、３０ｍＬのアセトンおよび５ｍＬの水中の３．７ｍＬの濃塩酸の溶液中に、溶解させる。激しく攪拌しながら、その溶液を０℃に冷却し、そして次の９．２５ｍＬの濃塩酸および１０ｍＬの水中の２．７グラムの亜硝酸ナトリウムの溶液の添加の間、その温度に維持する。添加の後に、溶液をさらなる半時間にわたって攪拌し、次に少量の尿素を添加して、過剰の亜硝酸を消失させる。シアン化物溶液が調製されている間、ジアゾニウム塩溶液を氷温に保持する。
０．０４５モルのシアン化銅（Ｉ）を、１５ｍＬの水中の５．８３グラムのシアン化カリウムの溶液中に溶解させる。そのシアン化銅（Ｉ）溶液を６０℃に温め、そして激しく攪拌しながら、冷ジアゾニウム塩溶液を一度に少量ずつ添加し、温度を６０〜７０℃に保持する。添加の後に、反応を完了するために、その溶液を、約２０分間にわたって１００℃に加熱する。その溶液を室温まで冷却し、そして７００ｍＬの冷水中に滴下する。ポリマーＮが析出し、それを濾取し、および乾燥する。
ポリマーＮの抑制能を試験するために、（適当な溶媒として）酢酸イソアミル中のそのポリマーＮの２５質量％溶液を作成する。これに対して、５％の標準ジアゾナフトキノンＰＡＣ（抑制剤）を添加する。この被覆剤溶液から、記載されるように、フィルムを流延する。このフィルムを、１時間にわたって９０℃において乾燥する。次に、水性の場合のその溶解速度を、レーザー干渉計を用いて、またはＤＲＭ（溶解速度監視装置）中で測定する。この抑制能を、抑制ファクターに換算して測定する。この条件におけるポリ（２−ニトロ−５−ヒドロキシ−スチレン）の抑制ファクターはｆ＝６．１である際に、ホモポリマーであるポリ（２−シアノ−５−ヒドロキシ−スチレン）の抑制ファクターはｆ＝４．９である。２０％（モル）の２−シアノ−５−ヒドロキシスチレンモノマーを含有するコポリマーの抑制ファクターは、ｆ＝１０である。
実施例１２
この実施例は、２つの異性体のジヒドロキシ化合物の間の劇的な差異を示す。当業者は、それらの両方ともが溶解抑制レジスト組成物中で溶解促進剤として機能することを経験的に期待する。この実施例のレジスト組成物は、３％の標準ＤＮＱ抑制剤（実施例１を参照されたい）を含有するノボラック樹脂である。３，４−ジヒドロキシ−トルエン（ビシナルのＯＨを含有する）および３，５−ジヒドロキシ−トルエン（非ビシナルのＯＨを含有する）を含有する組成物を調製し、および実施例７において概要を示した方法において試験した。結果を表４にまとめる。ビシナルのＯＨ基を持たない３，５−ジヒドロキシ−トルエンは、予測されるように、典型的な溶解促進剤として機能する。図４に示されるように、この場合において、３，５−ジヒドロキシ−トルエンの濃度（Ｃa−重量％）が増大するのに伴って、溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）が一様に増加する。著しく対照的に、ビシナルＯＨ基を有する３，４−ジヒドロキシ−トルエンは、予想に反して、典型的な溶解促進剤としては機能しなかった。この後者の場合に関して図４中に示されるように、ビシナルジヒドロキシ化合物（３，４−ジヒドロキシ−トルエン）の４％の濃度までは、溶解速度の対数（ｌｏｇＲ）は本質的に一定のままであり、それは０〜４重量％のＣa範囲にわたって、それビシナルジヒドロキシ化合物が溶解促進剤として機能しないことを示す。４％より高いＣaレベルにおいて、そのビシナルジオールは、それから溶解促進剤として機能し始める（Ｃa濃度が４％より高く増大するとともに、ｌｏｇＲが増大する）。モデルの非ポリマーの化合物に関するこれらの結果は、以下に示す理由のために、対応するポリマー化合物の抑制能を暗示する。
３，４−ジヒドロキシトルエンの行動は、この分子が、ノボラックの被覆剤溶液中の抑制剤（ジアゾナフトキノンスルホン酸フェニルエステル）により生成されるフェノール性ストリング(phenolic string)中に組み込まれていることを示す。これが、このジヒドロキシ化合物が抑制されたノボラックの溶解を促進しない理由である。また、抑制剤によって生成されるフェノール性ストリング中に組み込まれることは、３，４−ジヒドロキシフェニル単位を担持するポリマーも、この抑制剤とともにフェノール性ストリングを容易に形成するであろうこと、および結果として高度に抑制可能であろうことを意味する。対比して、３，５−ジヒドロキシトルエンはノボラックの溶解を加速する。そのことは、それが被覆剤溶液中で単量体のフェノールとして機能し、および抑制剤のフェノール性ストリング中に組み込まれないことを示す。したがって、この特色を有するポリマーが、抑制剤とともにフェノール性ストリングを形成することができるとはありそうもない。結果として、それは容易には抑制されないであろう。
実施例１３
この実施例は、ポリマーＰであるポリ（３，４−ジヒドロキシ−スチレン）の合成の手順を与える。
0003875280.tif 000013
５グラムの３，４−ジヒドロキシベンズアルデヒドを、５０ｍＬの無水酢酸中に溶解させる。その溶液を窒素雰囲気で保護し、および２時間にわたって還流する。次に無水酢酸を除去し、そして生成物を得た。それを、中性になるまで水洗し、そして乾燥する。
0003875280.tif 000014
１）メチルスルホニルカルバニオン溶液
窒素の保護下で、２５ｍＬのメチルスルホキシドを伴う０．０１５モルの水酸化ナトリウムを、水素の発生が停止するまで室温において攪拌する、あるいは３０分間にわたって７０℃に加熱し；
２）メチルトリフェニルホスホニウムヨージド
０．０１５モルのトリフェニルホスフィンを、４０ｍＬのメチルスルホキシド中に溶解させ、そして、室温において０．０１６モルのヨウ化メチルを滴下する。前記の溶液を１時間にわたって攪拌し、そして次に５０℃においてさらなる１時間にわたって攪拌し、室温まで冷却し；
３）室温において、メチルスルホニルカルバニオン溶液にへと、メチルトリフェニルホスホニウムヨージド溶液を滴下し、半時間にわたって攪拌を継続する。
１５ｍＬのメチルスルホキシド中の０．０１５モルの化合物ＢＢの溶液を、室温において一度に添加し、およびその溶液を１時間にわたって、および５５℃においてさらなる１時間にわたって攪拌する。反応容器を室温まで冷却し、そして１００ｍＬの冷水を注加する。その混合物（固体および液体）を３００ｍＬのペンタンとともに振盪し、それをデカントし、水を１回組み合わせおよび洗浄し、無水硫酸ナトリウム上で乾燥し、５０ｍＬの体積まで濃縮し、そして生成物を溶離させるのに５００ｍＬのペンタンを用いて２０グラムの中性アルミナを通して濾過する。ペンタンが除去されて、生成物ＣＣを与える。
0003875280.tif 000015
２グラムのモノマー（ＣＣ）および２０ｍｇの開始剤（ＡＩＢＮ、１％）を、１５ｍＬのＴＨＦ中に溶解させる。窒素下において、得られる溶液を８時間にわたって６０℃において攪拌する。その溶液を室温まで冷却し、そして３００ｍＬのイソプロパノール中にゆっくりと注加する。得られるポリマーＯが析出し；それを濾取し、および乾燥する。
0003875280.tif 000016
１グラムのポリマーＯを、塩酸のメタノール性溶液５０ｍＬ（１規定）中に溶解させ、そして得られる溶液を３時間にわたって還流する。次に、その溶液を室温まで冷却し、そして５００ｍＬの水中にゆっくりと注加する。ポリマーＰが析出し、および乾燥される。
前述のように、抑制能に関してポリマーＰを試験する。前述の実施例の標準ＰＡＣ（光活性成分）を用いるときの、ホモポリマーの抑制ファクターは、ｆ＝５．５であるとわかった。２０％の３，４−ジヒドロキシ−スチレンモノマーを含有するコポリマーの抑制ファクターは、ｆ＝１２である。
実施例１４
この実施例は、ポリマーＲであるポリ（３，５−ジヒドロキシ−スチレン）の合成の手順を与える。
0003875280.tif 000017
５グラムの３，５−ジヒドロキシベンズアルデヒドを、５０ｍＬの無水酢酸中に溶解させる。その溶液を窒素下において、および２時間にわたって還流する。次に無水酢酸を除去し、そして生成物を得た。それを、中性になるまで水洗し、そして乾燥する。
0003875280.tif 000018
１）メチルスルホニルカルバニオン溶液
窒素の保護下で、２５ｍＬのメチルスルホキシドを伴う０．０１５モルの水素化ナトリウムを、水素の発生が停止するまで室温において攪拌し、あるいは３０分間にわたって７０℃に加熱し；
２）メチルトリフェニルホスホニウムヨージド
０．０１５モルのトリフェニルホスフィンを、４０ｍＬのメチルスルホキシド中に溶解させ、そして、室温において０．０１６モルのヨウ化メチルを滴下する。前記の溶液を１時間にわたって攪拌し、そして次に５０℃においてさらなる１時間にわたって攪拌し、室温まで冷却し；
３）室温において、メチルスルホニルカルバニオン溶液中に、メチルトリフェニルホスホニウムヨージド溶液を滴下し、半時間にわたって攪拌を継続する。１５ｍＬのメチルスルホキシド中の０．０１５モルの化合物ＥＥの溶液を、室温において一度に添加し、およびその溶液を１時間にわたって、および５５℃においてさらなる１時間にわたって攪拌する。その反応を室温まで冷却し、そして１００ｍＬの冷水を注加する。その混合物（固体および液体）を３００ｍＬのペンタンとともに振盪し、それをデカントし、水を１回組み合わせおよび洗浄し、無水硫酸ナトリウム上で乾燥し、５０ｍＬの体積まで濃縮し、そして生成物を溶離させるのに５００ｍＬのペンタンを用いて２０グラムの中性アルミナを通して濾過する。ペンタンが除去されて、生成物ＦＦを与える。
0003875280.tif 000019
２グラムのモノマー（ＦＦ）および２０ｍｇの開始剤（ＡＩＢＮ、１％）を、１５ｍＬのＴＨＦ中に溶解させる。窒素下において、得られる溶液を８時間にわたって６０℃において攪拌する。その溶液を室温まで冷却し、そして３００ｍＬのイソプロパノール中にゆっくりと注加する。得られるポリマーＱが析出し、および乾燥される。
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１グラムのポリマーＱを、塩酸のメタノール性溶液５０ｍＬ（１規定）中に溶解させ、そして得られる溶液を３時間にわたって還流する。次に、その溶液を室温まで冷却し、そして５００ｍＬの水中にゆっくりと注加する。ポリマーＲが析出し、および乾燥される。
前述のように、抑制能に関してポリマーＲを試験する。前述の実施例の標準ＰＡＣ（光活性成分）を用いるときの、ホモポリマーの抑制ファクターは、ｆ＝１．８であるとわかった。２０％（モル）の３，４−ジヒドロキシ−スチレンモノマーを含有するコポリマーの抑制ファクターは、ｆ＝３．５である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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