(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをシート状にし、加熱により硬化させて熱伝導性シリコーンゲルシートを形成し、
前記熱伝導性シリコーンゲルシートに対してその一側表面に常温硬化型シリコーンゴムを層状に付着させ、反対側表面にアルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型シリコーンゴムを層状に付着させ、それぞれの常温硬化型シリコーンゴムを常温硬化させることにより、
前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導性シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
【請求項２】
熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをフッ素樹脂製ベルトで挟んでシート状に加圧した後、加熱装置に連続的に供給して前記フッ素樹脂製ベルト間のシリコーンゲルを加熱硬化させることにより熱伝導性シリコーンゲルシートを連続的に形成し、
前記連続的に形成される熱伝導性シリコーンゲルシートを、常温硬化型のシリコーンゴムが表面に付着した合成樹脂製フィルムの表面に移して、前記常温硬化型のシリコーンゴムを熱伝導性シリコーンゲルシートの片面に層状に付着させると共に、前記熱伝導性シリコーンゲルシートの反対面には、アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムを塗布装置により層状に付着させ、
前記それぞれの常温硬化型のシリコーンゴムを常温硬化させることにより、
前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
【請求項３】
熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをフッ素樹脂製ベルトで挟んでシート状に加圧した後、加熱装置に連続的に供給して前記フッ素樹脂製ベルト間のシリコーンゲルを加熱硬化させることにより熱伝導性シリコーンゲルシートを連続的に形成し、
前記連続的に形成される熱伝導性シリコーンゲルシートを、アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムが表面に付着した合成樹脂製フィルムの表面に移して、前記アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムを熱伝導性シリコーンゲルシートの片面に層状に付着させると共に、前記熱伝導性シリコーンゲルシートの反対側表面には常温硬化型のシリコーンゴムを塗布装置により層状に付着させ、
前記それぞれの常温硬化型シリコーンゴムを常温硬化させることにより、
前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、発熱性電子部品等の放熱構造の一部に利用される熱伝導性シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント基盤上に設置されるＭＰＵ（ＣＰＵとも称される）等の発熱性電子部品は、熱の発生によりその特性が低下するため、設置の際にファン等の放熱器を発熱性電子部品の表面に取り付けて放熱する方法が採られている。このとき、発熱性電子部品からの放熱性を向上させるために、該発熱性電子部品と放熱器との間に熱伝導性充填剤を配合したシリコーンゲルからなる熱伝導性シートを介在させて利用してきた。しかし、従来の熱伝導性シートは、非常に柔らかく強度に乏しいため、修理等のために前記発熱性電子部品から放熱器を外す際に、熱伝導性シートが変形あるいは破損するなど取り扱いが不便であった。
【０００３】
そこで前述の問題点を解消するため、特開平１０−１８３１１０号公報では、、熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルの一方の面または両方の面にゴム状に硬化した薄膜補強層を形成することにより、熱伝導性シートの強度を向上させ、取り扱い性を改善する方法が提案されている。
【０００４】
前記薄膜補強層付き熱伝導性シートの製造方法は、シリコーンゲルを、オルガノハイドロジェンポリシロキサンが塗布されたポリエチレンテレフタレート合成樹脂製フィルム（以下ＰＥＴ樹脂フィルム）間に、あるいはオルガノハイドロジェンポリシロキサンが塗布されたＰＥＴ樹脂フィルムとオルガノハイドロジェンポリシロキサン無塗布のＰＥＴ樹脂フィルムとの間に挟んでシート状にした後、２８０℃に設定された加熱炉に搬入してＰＥＴ樹脂フィルム外面から加熱することにより、シリコーンゲルの硬化反応を行うと共に、オルガノハイドロジェンポリシロキサンとシリコーンゲルの反応を行って、ゴム状に硬化した薄膜補強層を有する薄膜補強層付き熱伝導性シートを形成するものである。前記ＰＥＴ樹脂フィルムは繰り返し使用される。
【０００５】
ところが、前述の方法によると、ＰＥＴ樹脂フィルムがシリコーンゲルを挟んだ状態で加熱炉内を移動し加熱されるため、熱劣化によりＰＥＴ樹脂フィルムの変形が避けられない。そのため、薄膜補強層の厚みにむらを生じたり、薄膜補強層付き熱伝導性シートが波打ったりする等、薄膜補強層付き熱伝導性シートの品質を低下させるおそれがある。また、前記ＰＥＴ樹脂フィルムの熱劣化による不具合を防ぐためには、ＰＥＴ樹脂フィルムの利用回数を減らさねばならず、製造コストの上昇要因となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は前記の点に鑑みなされたものであり、発熱性電子部品等への使用に対して適度な強度及び剛性を有し、しかも波打ち等の無い良好な品質の熱伝導性シートを経済的に製造できる方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをシート状にし、加熱により硬化させて熱伝導性シリコーンゲルシートを形成し、前記熱伝導性シリコーンゲルシートに対してその一側表面に常温硬化型シリコーンゴムを層状に付着させ、反対側表面にアルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型シリコーンゴムを層状に付着させ、それぞれの常温硬化型シリコーンゴムを常温硬化させることにより、前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導性シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法に係る。
【０００８】
請求項２の発明は、熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをフッ素樹脂製ベルトで挟んでシート状に加圧した後、加熱装置に連続的に供給して前記フッ素樹脂製ベルト間のシリコーンゲルを加熱硬化させることにより熱伝導性シリコーンゲルシートを連続的に形成し、前記連続的に形成される熱伝導性シリコーンゲルシートを、常温硬化型のシリコーンゴムが表面に付着した合成樹脂製フィルムの表面に移して、前記常温硬化型のシリコーンゴムを熱伝導性シリコーンゲルシートの片面に層状に付着させると共に、前記熱伝導性シリコーンゲルシートの反対面には、アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムを塗布装置により層状に付着させ、前記それぞれの常温硬化型のシリコーンゴムを常温硬化させることにより、前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法に係る。
【０００９】
請求項３の発明は、熱伝導性充填剤が配合されたシリコーンゲルをフッ素樹脂製ベルトで挟んでシート状に加圧した後、加熱装置に連続的に供給して前記フッ素樹脂製ベルト間のシリコーンゲルを加熱硬化させることにより熱伝導性シリコーンゲルシートを連続的に形成し、前記連続的に形成される熱伝導性シリコーンゲルシートを、アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムが表面に付着した合成樹脂製フィルムの表面に移して、前記アルミナ及びガラスビーズの分散した常温硬化型のシリコーンゴムを熱伝導性シリコーンゲルシートの片面に層状に付着させると共に、前記熱伝導性シリコーンゲルシートの反対側表面には常温硬化型のシリコーンゴムを塗布装置により層状に付着させ、前記それぞれの常温硬化型シリコーンゴムを常温硬化させることにより、前記熱伝導性シリコーンゲルシートからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層とアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層とで挟んだ熱伝導シートを形成することを特徴とする熱伝導性シートの製造方法に係る。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１はこの発明の一実施例に係る熱伝導性シートの部分断面図、図２は図１に示す熱伝導性シートの製造方法に用いられる装置の一例を示す概略図である。
【００１１】
図１に示す本発明の熱伝導性シート１０は、発熱性電子部品の表面と放熱器の間等に用いられるのに好適なものであって、熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓと、該熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの一側表面１２に一体に積層された常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓと、反対側表面１４に一体に積層されたアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓとからなる。なお、この熱伝導性シート１０は、前記常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓ側が発熱性電子部品の表面に圧着し、前記アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓが放熱器に圧着するようにして使用される。符号１６ａはアルミナ、１６ｂはガラスビーズである。
【００１２】
前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓは、シリコーンゲルに熱伝導性充填剤を配合してシート状にしたものを加熱により硬化させたものからなる。ここで用いられるシリコーンゲルは、液状シリコーンゴムの架橋密度を通常よりも低くして硬化させた寒天状のものである。このシリコーンゲルは、オルガノシロキサンポリマーを主成分としたもので、具体例を挙げると、ポリジメチルシロキサンゲル、ポリメチルトリフルオロプロピルシロキサンゲル、ポリフェニルメチルシロキサンゲル等を示すことができる。
【００１３】
前記シリコーンゲルに配合される熱伝導性充填剤としては、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ボロン、炭化ケイ素、酸化亜鉛等の単独物もしくは混合物が使用できる。特に、経済性及び熱性能面から考慮するとアルミナが好ましい。例えばアルミナを使用する場合、その配合量は目標とする熱特性を達成させることを目的として決定される。本発明において平均粒径５〜５０μｍのアルミナは、シリコーンゲル原料１００重量部に対して１００重量部以上配合されることが望ましい。なお、アルミナの粒径が小さくなれば熱特性を与えるのに不利となり、また大きくなれば加熱後の熱伝導性シート１０の強度が低下する。
【００１４】
さらに、前記シリコーンゲルには、適宜反応性シリコーンオイルが添加される。前記反応性シリコーンオイルを添加混合することによって、シリコーンゲルシート１１ｓが硬くなりすぎるのを防止でき、熱伝導性シート１０の発熱性電子部品等への良好な密着性を得ることができる。その場合における反応性シリコーンオイルの添加量は、シリコーンゲル原料１００重量部に対して１０〜１００重量部程度が好ましい。
【００１５】
前記常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓとアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓは、この熱電性シート１０の剛性及び熱伝導性を高めるためのものである。発熱性電子部品等に圧着される側は、発熱性電子部品等の表面に対する損傷防止及び良好な密着性確保のため、アルミナ及びガラスビーズの含まれない常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓとし、それに対して放熱器と密着する側は、多少凹凸があってもより良好な熱伝導性及び剛性を得るため、アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓとなっている。
【００１６】
前記常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓとアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓを構成する常温硬化型のシリコーンゴムは、公知の液状シリコーンゴムを使用できる。例えば、主剤と硬化剤からなる２液タイプのものがある。前記液状シリコーンゴムの未硬化時の粘度は１０Ｐａ・ｓ以下とすることがコーティングの作業性等を考慮して好ましい。また、常温硬化後の硬さについても所望の機能面からＪＩＳ−Ａ硬度で２０度以上が好ましい。
【００１７】
前記主剤は、ジオルガノポリシロキサンからなり、その両端末にアルケニル基が結合している。通常、分子端末に位置するアルケニル基はビニル基である。この主剤には、必要に応じて無機充填剤が添加される。無機充填剤としては前述の熱伝導性充填剤と同様のものが用いられる。無機充填剤を使用する場合の添加量は、主剤１００重量部に対して２〜５０重量部が好ましい。
【００１８】
前記硬化剤は、架橋剤として機能するものであって、有機珪素化合物が用いられる。この硬化剤は、珪素原子に直接結合した活性水素である官能基が、前記主剤のアルケニル基と反応することによって架橋する。分子構造としては、直鎖状、側鎖を有する鎖状、環状等適宜選択される。具体的には、トリオルガノシロキサン基が末端にあるオルガノハイドロジェンポリシロキサン、ジオルガノシロキサンとオルガノハイドロジェンシロキサンとの共重合体、テトラオルガノテトラハイドロジェンシクロテトラシロキサン等が挙げられる。
【００１９】
前記硬化剤の量は、適宜の量とされるが、特には主剤１００重量部に対して５０〜２００重量部程度とされる。硬化剤が５０重量部よりも少ないと、硬度が低くなり、高温環境下では扱いにくくなる。また、硬化剤の量が２００重量部より多いと、シリコーンゴム層１３ｓ，１５ｓが硬くなりすぎて、密着性が低下し十分な放熱効果を発揮できなくなる。
【００２０】
さらに、主剤と硬化剤との２液タイプにあっては、通常触媒が混合される。触媒としては、白金系触媒が一般的であり、塩化白金酸、酸化白金、オレフィン白金錯塩等がある。また前記常温硬化性シリコーンゴムには、適宜反応性シリコーンオイルが添加される。その場合における反応性シリコーンオイルの添加量は、シリコーンゴムにあっては主剤１００重量部に対して１０〜５００重量部が好ましい。
【００２１】
前記アルミナ１６ａは、公知の酸化アルミニウムの微結晶、ガラスビーズ１６ｂは、ガラス微粒子等が利用され、両者とも粒子径が０．５〜５０μｍの粒子が好ましい。アルミナ１６ａ及びガラスビーズ１６ｂはシリコーンゴム１００重量部に対して３〜５０重量部配合されることが好ましい。また、アルミナ１６ａとガラスビーズ１６ｂとを混合する際の重量比は、１：９〜９：１の範囲内が好ましい。前記アルミナ１６ａ及びガラスビーズ１６ｂを分散させることによってシリコーンゴムの熱伝導性及び剛性が増大するため、前記アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓと放熱器との間で熱の伝達が良好となり、放熱性が向上する。
【００２２】
なお、前記各層の厚みは適宜とされるが、例として、前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓが１．０〜４．０ｍｍ、前記常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓが１０〜３０μｍ、アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓが５〜１５μｍの場合を挙げる。
【００２３】
前記熱伝導性シートの製造方法を図２の製造装置２０を用いて説明する。製造装置２０は、熱伝導性充填剤の配合されたシリコーンゲル１１の押出装置２８と、その押出方向の下流側に配置されて前記押出方向に合わせて回転する上下一対のフッ素樹脂製ベルト２１，２２と、該ベルト２１，２２の内側に配置された加圧ローラ２３，２４と、前記ベルト２１，２２が通過する加熱装置２５と、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２よりも下流側に配置された下側付着装置Ｌと上側塗布装置Ｍとよりなる。
【００２４】
まず、前記熱伝導性充填剤の配合されたシリコーンゲル１１を、前記押出装置２８から連続的に押し出してフッ素樹脂製ベルト２１，２２間に供給し、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２間に挟む。そして、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２間に挟んだ状態で加圧ロール２３，２４間に通し、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２を介してシリコーンゲル１１を加圧し、所要厚みの熱伝導性充填剤合シリコーンゲルシート１１ａを形成する。
【００２５】
前記熱伝導性充填剤合シリコーンゲルシート１１ａはフッ素樹脂樹脂製ベルト２１，２２に挟まれた状態で、加熱装置２５に運ばれる。この例の加熱装置２５はトンネル型の加熱炉で構成され、温度を１８０〜２２０℃に設定して前記シリコンゲルシート１１ａを通過させ、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２の移動速度（加熱装置への供給速度）が０．２〜１．５ｍ／分に定められている。前記加熱によって、熱伝導性充填剤配合シリコーンゲルシート１１ａはシリコ−ンゲルが硬化し、熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓが連続的に形成される。
【００２６】
前記連続的に形成される熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓは、前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２間から、さらに下流方向へ送り出されて前記下側付着装置Ｌに供給される。前記下側付着装置Ｌでは、合成樹脂製フィルム２６がフィルム供給ロール３３から引き出され、下側回転ロール３０を経て、上側回転ロール２９ａ，２９ｂ上を通って前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの移動方向と同方向の動きとなるように下流方向に流れていく。このとき前記合成樹脂製フィルム２６は、下側回転ロール３０部分で第１転写ロール３１ａと接触し、さらに該第１転写ロール３１ａと接触する第２転写ロール３１ｂがバケット３２内の常温硬化型シリコーンゴム１３に漬かっているため容易に常温硬化型シリコーンゴム１３が付着される。
【００２７】
前記合成樹脂製フィルム２６は、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ナイロン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂等、適宜の樹脂とされるが、それらの中でも、耐久性と柔軟性を考慮するとＰＥＴ樹脂（ポリエチレンテレフタレート樹脂）をフィルム状にして、ロールに巻き取ったものが好ましい。
【００２８】
前記下側付着装置Ｌの前記合成樹脂製フィルム２６は、前記第１転写ロール３１ａ及び第２転写ロール３１ｂと共に回転する。そして、前記バケット３２内の前記常温硬化型シリコーンゴム１３が第２転写ロール３１ｂの表面に付着し、さらにこの第２転写ロール３１ｂと接触する第１転写ロール３１ａに付着して移動し、さらにこの第１転写ロール３１ａと接触する合成樹脂製フィルム２６の表面に付着する。前記第１転写ロール３１ａ、第２転写ロール３１ｂ及び下側回転ロール３０の各間隔は、前記合成樹脂製フィルム２６の表面に付着する常温硬化型シリコーンゴム１３の厚みが１０〜２０μｍとなるように調節される。
【００２９】
前記フッ素樹脂製ベルト２１，２２間から送り出されてきた前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓが、前記上側回転ロール２９ａ，２９ｂ間における合成樹脂製フィルム２６表面の常温硬化型シリコーンゴム１３上に供給され、熱伝導性シリコンゲルシート１１ｓが常温硬化型シリコーンゴム１３上に移る。それにより、前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓは、その下側表面に合成樹脂製フィルム２６表面の常温硬化型シリコーンゴム１３が付着し、前記合成樹脂製フィルム２６によって下側が支持された状態で上側塗布装置Ｍ側へ送られる。
【００３０】
前記上側塗布装置Ｍは、前記送られてくる熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの上側に配置された２つの互いに接触又は近接する回転塗布ローラ２７，２７からなり、該回転塗布ローラ２７，２７間の上側に、前記アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５が供給される。前記回転塗布ローラ２７，２７の矢印方向への回転によって、アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５が回転塗布ローラ２７，２７間に挟まれ、所要量に調製されながら前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの上側表面に供給される。前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの上側表面に供給されたアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５は、前記回転塗布ローラ２７によって熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓの上側表面に押し付けられ、厚みが１０〜１４μｍとなるようにして付着する。
【００３１】
前記のように常温硬化型シリコーンゴム１３とアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５が付着する際、前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓは既に硬化しているため、剛性が高く、形状保持性も高くなっているので、前記常温硬化型シリコーンゴム１３とアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５の付着面が変形し難く、両シリコーンゴム１３，１５が均一に付着することができる。
【００３２】
このようにして熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓに付着した常温硬化型シリコーンゴム１３とアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５が、その後常温で硬化し、前記熱伝導性シリコーンゲルシート１１ｓからなる中間層を常温硬化型シリコーンゴム層１３ｓとアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層１５ｓとで挟んだ前記熱伝導性シート１０が形成される。このようにして得られた熱伝導性シート１０は、その後適宜の寸法に裁断される。
【００３３】
なお、前記下側付着装置Ｌ及び上側塗布装置Ｍは前記のようなローラを用いるものに限られものではない。例えば、下側付着装置においては、前記合成樹脂製フィルム２６の表面に吐出装置によって常温硬化型のシリコーンゴムを付着させるものとし、また上側塗布装置についても、吐出装置により熱伝導性シリコーンゲルシート表面にアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴムを吐出し、ドクターナイフ等で厚みを一定にするものであってもよい。
【００３４】
また、図２において、前記アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５を下側付着装置Ｌのバケット３２に収容して、アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム１５を合成樹脂製フィルム２６の表面に付着させ、一方上側塗布装置Ｍにおける回転塗布ロール２７，２７間に常温硬化型シリコーンゴム１３を供給するようにし、他は前記と同様にして熱伝導性シートを製造してもよい。
【００３５】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、この発明の熱伝導性シートの製造方法によれば、常温硬化型シリコーンゴムを用いるため、従来のように熱伝導性シリコーンゲルを、シリコーンゴムの付着したＰＥＴ樹脂フィルムで挟んで高温で加熱する必要がなくなり、ＰＥＴ樹脂フィルムの熱変形による不具合を生じなくすることができ、品質の良好な熱伝導性シートを経済的に得ることができる。
【００３６】
しかも、この発明によれば、既に硬化によって形状保持性の高くなった熱伝導性シリコーンゲルシートに対して、常温硬化型シリコーンゴムの付着と、アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴムの付着を行うため、前記付着を均一に行い易く、良好な品質の熱伝導性シートを得ることができる。
【００３７】
さらに、この発明によれば、フッ素樹脂製ベルトに挟んで熱伝導性シリコーンゲルシートを加熱硬化させるため、加熱硬化時の温度を高くして硬化に必要な時間を短縮することができ、熱伝導性シートの製造時間を短くするこができる効果もある。
【００３８】
また、この発明によって得られた熱伝導性シートは、熱伝導性シリコーンゲルシートの一側表面が常温硬化型シリコーンゴム層で補強され、反対側表面がアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層により熱伝導性及び強度のさらなる向上が図られているため、平滑性が特に要求される発熱性電子部品等との接触側を常温硬化型シリコーンゴム層とし、多少の凹凸があっても強度及び高い熱伝導性が要求される放熱器側をアルミナ及びガラスビーズが分散した常温硬化型シリコーンゴム層として使用することにより、優れた放熱性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】熱伝導性シートの部分断面図である。
【図２】熱伝導性シートの製造方法に利用される装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
１０  熱伝導性シート
１１ｓ  熱伝導性シリコーンゲルシート
１１  熱伝導性充填剤の配合されたシリコーンゲル
１３  硬化前の常温硬化型シリコーンゴム
１３ｓ  常温硬化型シリコーンゴム層
１５  硬化前のアルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム
１５ｓ  アルミナ及びガラスビーズ分散常温硬化型シリコーンゴム層
２１，２２  フッ化樹脂製ベルト
２５  加熱装置
２６  合成樹脂製フィルム
Ｍ  上側塗布装置
【図１】
0003886772.tif 000002
【図２】
0003886772.tif 000003