(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中仕切により分割形成された前室及び部材加工室を有する部材加工ブースであって、前記前室の出入口に設けられたエアシャワーユニットと、前記部材加工室に設けられた排気ユニットと、フレームにより形成されたブース枠体と、前記ブース枠体の上面及び側面に張設された帯電防止ビニールからなる仕切幕とを備え、前記部材加工室の前記仕切幕下方の給気用隙間に対向して前記部材加工室側にスクリーンを設け、前記排気ユニットにより室内を負圧に保つことでブースの内部の粉塵をブースの外側に流出させないように構成したことを特徴とする発塵対策用部材加工ブース。
【請求項２】
部材加工ブースをユニット化して複数のユニットを組み合わせたことを特徴とする請求項１記載の発塵対策用部材加工ブース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、クリーンルーム等の高清浄度建物における設備、内装工事に採用される発塵対策用部材加工ブースの技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体市場は先行投資産業であるため、客先ニーズとして１日でも早い工期でクリーンルームの本格稼働が求められている。クリーンルーム内の設備、内装工事が進むと、ある時点から室内での発塵作業を禁止し、部材加工、切断作業は図１０に示すように、クリーンルームの外のダーティエリアで行ない、加工、切断後の部材を作業者が簡易防塵服に着替えてクリーンルームのセミクリーンエリアに運搬しここで部材の清掃を行い、さらに、作業者は防塵服に着替えてクリーンエリアに運搬しここで部材の敷設を行うのが原則である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記方法を徹底することは困難であり、また、更衣や移動による時間のロス、作業者の手待ち時間が多い等の問題を有している。更に、工程が厳しくなった場合、図１１に示すように、止むを得ずビニールで囲った簡易仮設ブースをクリーンルーム内に設け、その中で作業を行っている所もあったが、隙間部やブースの出入り時における粉塵の漏洩や拡散が生じるという問題を有している。また、生産装置に係わる配管工事やクリーンルーム内の修復工事では、工事をクリーン性能出しが完了したクリーンルーム内で行う必要があるが、工事項目が多くなると、部材の搬送や作業者の着替えに要する時間が増大し、工期が厳しくなり費用もより多くかかるという問題を有している。
【０００４】
本発明は、上記従来の問題を解決するものであって、厳しい工程の中での品質を確保することができるとともに、生産性を向上させコストを低減させることができる発塵対策用部材加工ブースを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明は、中仕切により分割形成された前室及び部材加工室を有する部材加工ブースであって、前記前室の出入口に設けられたエアシャワーユニットと、前記部材加工室に設けられた排気ユニットと、フレームにより形成されたブース枠体と、前記ブース枠体の上面及び側面に張設された帯電防止ビニールからなる仕切幕とを備え、前記部材加工室の前記仕切幕下方の給気用隙間に対向して前記部材加工室側にスクリーンを設け、前記排気ユニットにより室内を負圧に保つことでブースの内部の粉塵をブースの外側に流出させないように構成したことを特徴とし、部材加工ブースをユニット化して複数のユニットを組み合わせたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明の発塵対策用部材加工ブースの１実施形態を示し、図１は全体構成を示す模式的断面図、図２（Ａ）は図１の部材加工ブースの正面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の平面図、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の右側面図である。
【０００７】
図１において、クリーンルーム１内には部材加工ブース２が設置されている。この部材加工ブース２は、前室３と部材加工室４に中仕切７を介して分割され、前室３には出入口にエアシャワーユニット５が設けられ、部材加工室４には室内の空気を外（クリーンルーム１内）へ排出するための排気ユニット６が設けられている。
【０００８】
排気ユニット６は、プレフィルタ（粗塵フィルタ）、ＨＥＰＡフィルタ（超高性能フィルタ）を内蔵し、これにより、部材加工ブース２内の空気の流れは、前室３側から中仕切７を介して部材加工室４側へと向かう方向になり、部材加工ブース２とクリーンルーム１内との差圧が０．５〜１ｍｍＡｑ以上になるように設計している。
【０００９】
図２には、図１で説明した部材加工ブース２の前室３、部材加工室４、エアシャワーユニット５、排気ユニット６が示されている。部材加工ブース２は、複数のフレーム９と、フレーム９により形成されたブース枠体の上面及び側面に張設された帯電防止ビニールからなる仕切幕１０からなり、前室４の仕切幕１０には部材搬出入口１１が設けられている。仕切幕１０の下部とクリーンルーム１の床との間に図８に示す給気用隙間４ａが設けられている。
【００１０】
上記構成の部材加工ブース２によれば、部材を加工する作業員が防塵服のまま、エアシャワーユニット５を通って前室３内で一般作業服に着替え、部材加工室４に入り加工作業を行う。加工作業が終了した後は、逆の手順でクリーンルーム１内に戻る。また、部材の搬送者は防塵服のまま前室３内に入室し、部材の授受を終了してここで部材の清掃を行った後、クリーンルーム１内に部材を搬送し敷設する。従って、本発明の部材加工ブース２によれば、クリーンルーム１のクリーン性能出しの途中で防塵服への着替えが必要になる段階、または稼働中のクリーンルームであっても、クリーンルーム１の中で部材の加工ができる。
【００１１】
図３は、本発明の他の実施形態を示し、図１の部材加工ブース２をユニット化して複数のユニットを組み合わせた例を示し、ユニットの数を簡単に増減可能とし、これによりクリーンルーム内の設置スペースの大きさ、クリーン度や作業内容、加工部材に応じて、部材加工ブース２のサイズを可変にすることができる。
【００１２】
図４は、図１の中仕切７の形状を示し、図（Ａ）においては、中仕切７の下部にスリット７ａを形成し、図（Ｂ）においては、中仕切７の全面に複数の開口孔７ｂを形成している。部材加工室４内で発生した粉塵を速やかに除去するためには、図（Ｂ）の形状が好ましく、これにより、室内の空気が停滞することなく、より速やかに排気ユニット６に向かうようになる。
【００１３】
図５は、本発明の部材加工ブースの性能を確かめるための実験結果を示している。部材加工室内で加工作業を行った場合、部材加工室内の粉塵量は多くなるがブースの外（クリーンルーム内）は、加工作業を行っているときでも作業開始前とほとんど変化が見られなかった。図６は、加工を行った直後の部材加工室内空気の清浄度の変化例を示し、短時間に部材加工室内の空気の清浄度が改善されていくことが分かった。
【００１４】
図７は、本発明の他の実施形態を示す模式図であり、部材加工室４に循環型のファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１２を設置し、排気ユニット６の風量を絞り、外（クリーンルーム内）へ漏出する空気の量を、ブース内が負圧になるための最低限に設定することにより、安全で確実に粉塵の除去が可能となる。なお、掃除機のような局所排気式の吸引装置を設けるようにしてもよい。
【００１５】
図８は、本発明の他の実施形態を示す模式図であり、部材加工室４の仕切幕１０下部の給気用隙間４ａに対向して、部材加工室４側にスクリーン１３を設けた例である。電動回転工具から遠心力で飛散する粗大粉塵は、ブース下方の給気用隙間４ａから流入する気流だけでは抑えきれずにブース外へ流出するおそれがあるが、スクリーン１３によりこれを防止することができる。
【００１６】
排気ユニット６内のＨＥＰＡフィルタ（超高性能フィルタ）は通常のクリーン空調の使い方と大きく異なり、適当な時期に交換が必要になる。ブースの性能を常に適切に保つためには、適当な交換時期を決める方法が重要になる。そこで、その手段として以下の方法を提案する。先ず、排気ユニット６開始直後に風量を測っておき、ファンの性能曲線からそのときの圧力損失の値を記録しておく。その後、定期的に風量を測り、初期の圧力損失の値の何倍かに相当する風量（ファンの性能曲線から換算）に低減した時にＨＥＰＡフィルタを交換するように定める。なお、粗塵フィルタ、中性能フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの他にケミカルフィルタを設ければ、ブース内で塗装工事等を行ったとしてもクリーンルーム内に悪影響を与えることがない。
【００１７】
図９は、本発明の応用例を示す模式図であり、排気ユニット６の向きを反対に設置することにより、部材加工ブース２を簡易クリーンルームとしても使用することができる。
【００１８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明によれば、厳しい工程の中での品質を確保することができるとともに、生産性を向上させコストを低減させることができる。また、外部に加工場を設ける場所を確保できない場合や改修工事等で特にメリットが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の発塵対策用部材加工ブースの１実施形態を示し、全体構成を示す模式的断面図である。
【図２】図２（Ａ）は図１の部材加工ブースの正面図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の平面図、図２（Ｃ）は図２（Ａ）の右側面図である。
【図３】本発明の他の実施形態を示す模式図である。
【図４】図１の中仕切の形状を示す図である。
【図５】本発明の部材加工ブースの性能を確かめるための実験結果を示す図である。
【図６】図５と同様に加工を行った直後の部材加工室内空気の清浄度の変化例を示す図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す模式図である。
【図８】本発明の他の実施形態を示す模式図である。
【図９】本発明の応用例を示す模式図である。
【図１０】クリーンルーム内での従来の部材敷設を説明するための模式図である（ダーティエリアに部材を持ち出して加工するケース）。
【図１１】クリーンルーム内での従来の部材敷設を説明するための模式図である（クリーンルーム内に簡易ブースを設けて加工するケース。
【符号の説明】
２…部材加工ブース
３…前室
４…部材加工室
５…エアシャワーユニット
６…排気ユニット
７…中仕切、７ａ…スリット、７ｂ…開口孔
９…フレーム
１０…仕切幕
１２…ファンフィルタユニット
１３…スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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