(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法であって、
上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
【請求項２】
上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記蛍光液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした請求項１に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法でカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜を形成したプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置であって、
上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるように、上記ノズルに対して蛍光体液供給装置により上記蛍光体液を供給するようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
【請求項５】
上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした請求項４に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば壁掛けテレビや情報表示用のディスプレイとして用いることができる、ＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置とそれらにより作製したプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＡＣ型プラズマディスプレイの背面板には、細長いストライブ状のリブ間に細長いストライブ状の凹部が多数併設されており、これらの凹部のうちの赤色、緑色、青色用の凹部に、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体膜をそれぞれ形成することが必要である。
【０００３】
蛍光体膜を形成する方法として、一般に、スクリーン印刷が用いられている。この方法は、背面板凹部全体に、各色に合わせたスキージーマスクを通して、蛍光体微粒子が溶剤に分散されてなる蛍光体液を流し込む方法である。問題点として、スキージーの機械的変形により混色が起こるため、熟練者を要すること、凸部の上に蛍光体が付着する。さらに、凹部の間隔が細かい高精細パネルの作製や大型パネルの作成にも、困難である。
【０００４】
別の蛍光体膜形成方法として、発明者らは、既に特願平１０−００５６３号として特許出願した発明をした。図１０を用いてこの方法を説明する。この方法は、ノズル２０から蛍光体液２１を吐出させながら、基板パネル２３上をリブに沿って平行移動させて塗布し、凹部端部まで塗布したのち、ノズル２０を平行移動方向と直交する方向へスライドさせて次の凹部上方まで移動し、また、基板パネル上をリブに沿って平行移動させて塗布することを繰り返すことで、直接、各凹部へ蛍光体液２１を塗布する方法である。
【０００５】
上記基板パネル２３はガラス材料からなり、基板パネル上にはガラス材料とは異種の物質からなるリブにより凹部がライン状に作製されている。ノズル２０は、蛍光体が分散された蛍光体液２１を凹部内に吐出しながら、約０．５ｍ/秒から３ｍ/秒で凹部に沿って高速に移動し、凹部端部まで吐出した後、上記移動方向とは直交する方向に、吐出口数に応じて移動したのち、再び、別の凹部に対して蛍光体液２１を吐出しながら移動すること繰り返して、基板パネル全体の凹部の内部に蛍光体液を満たすようにしている。また、このとき、ノズル２０を移動させる代わりに、基板パネル２３自体をノズル２０に対して移動させてもよい。ノズル２０の吐出口の大きさは、凹部の内部に直接、蛍光体液２１を導入するため、これより小さい直径の円状の口径が必要である。また、この図１０の方法では、３つの吐出口を持つノズルを用いていた。蛍光体液２１が凹部の９０％を満たすように吐出量と速度が決定される。この方法を用いれれば、混色なく、熟練なく、自由形状の蛍光体膜が作製でき、大型パネル、高精細パネルにも利用できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この方法の課題としては、ノズルからの蛍光体液の吐出が安定して、長期にわたって真っ直ぐ出ることが大前提である。例えば、４２インチのパネルの場合、凹部が２５５６本あり、１本でも曲がった吐出ラインで蛍光体液を塗布すると、隣接する凹部内の他の色と混ざり合って混色となってしまい、蛍光体液塗布不良となる。また、ノズルからの吐出量が所定の量から３％以上変化しても、輝度むらが現われ、不良となる。また、ノズルからの蛍光体液の吐出の長期の安定性として、８時間以上の安定性してノズルから蛍光体液を吐出することができないと実質的に生産ができない。また、蛍光体の発光時に高輝度を実現するには、凹部に均等かつ厚膜に膜形成をしなければならないが、ノズルから吐出を行うため、蛍光体液の粘度を低く押さえなければならない。その結果、塗布終了後、蛍光体液は凹部の頂上付近から重力作用を受けて、下部に落ちて膜形成されるため、凹部に均等に膜形成を行うことが困難である。
【０００７】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができ、凹部に大略均等に膜形成を行うことができて、膜厚や塗布形状や塗布ピッチの精度がよく、歩留りよく、かつ、低コストで製造することができるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置とそれらにより作製したプラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００９】
本発明の第１態様によれば、基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法であって、
上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。
【００１０】
本発明の第２態様によれば、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした第１態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。
【００２０】
本発明の第３態様によれば、第１又は２の態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法でカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜を形成したプラズマディスプレイパネルを提供する。
【００２１】
本発明の第４態様によれば、基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で吐出口が略直線状に配置されたノズルから吐出して塗布し、熱処理で蛍光体膜を形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置であって、
上記基板の上方で上記ノズルの上記吐出口から上記蛍光体液を吐出させながら上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量よりも、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が多くなるように、上記ノズルに対して蛍光体液供給装置により上記蛍光体液を供給するようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供する。
【００２２】
本発明の第５態様によれば、上記基板外に向けて上記蛍光体液を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量が、上記蛍光体液を上記直線状凹部に塗布するときの上記ノズルからの上記蛍光体液の吐出量より１．２倍以上多くなるようにした第４態様に記載のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供する。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３４】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかるＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置を、図１〜図４に基いて説明する。この第１実施形態では、ノズル２の基板パネル１０への塗布時の吐出量よりも、基板パネル外への吐出時の吐出量を多くするようにしている。
【００３５】
一例としてＡＣ型プラズマディスプレイの背面板である基板パネル１０には、細長いストライブ状のリブで囲まれた細長いストライブ状の凹部１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ，…，１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂが多数併設されており、これらの凹部１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ，…，１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂのうちの赤色、緑色、青色用の凹部１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂに、上記蛍光体膜形成方法及び装置により、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体液１をそれぞれ塗布したのち、熱処理により、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体膜をそれぞれ形成する。詳しくは、まず、緑色の蛍光体液１を緑色用の直線状凹部１０Ｇ，…，１０Ｇ内に塗布し、自然乾燥させたのち、次に、赤色の蛍光体液１を赤色用の直線状凹部１０Ｒ，…，１０Ｒ内に塗布し、自然乾燥させたのち、次に、青色の蛍光体液１を青色用の直線状凹部１０Ｂ，…，１０Ｂ内に塗布し、塗布後の上記緑色、赤色、及び青色の蛍光体液１，…，１を周知のように５１０℃で１０分程度の熱処理することにより、緑色、赤色、及び青色のそれぞれの蛍光体膜を各対応するそれぞれの色用の直線状凹部１０内に形成する。各蛍光体液１は、各色の蛍光体微粒子が液媒体に分散されている。
【００３６】
上記蛍光体膜形成装置は、基台４５上に、基板パネル１０を位置決めして載置する基板載置台５６を基板搬送装置５７により搬送可能に配置するとともに、基台４５に固定された機枠４６に、案内レール５０沿いに往復移動可能でかつ複数の蛍光体液吐出口を有するノズル２を配置している。
【００３７】
機枠４６には、ノズル駆動装置４７が備えられている。ノズル駆動装置４７は、モータ４７ｂによりボールネジ軸４７ａを正逆回転駆動し、ボールネジ軸４７ａに螺合したナット（図示せず）をノズル２に固定することにより、ボールネジ軸４７ａが正逆回転駆動されると、ノズル２が、ボールネジ軸４７ａの軸方向と平行に機枠４６に配置された案内レール５０の案内されつつ、ノズル２が機枠４６の端から端まで移動することにより、基板載置台５６上に載置される基板パネル１０の端から端まで蛍光体液を塗布可能となっている。
【００３８】
上記基板搬送装置５７は、例えば、モータ（図示せず）によりボールネジ軸５７ａを正逆回転駆動し、ボールネジ軸５７ａに螺合したナット（図示せず）を基板載置台５６の下面に固定することにより、ボールネジ軸５７ａが正逆回転駆動されると、基板載置台５６が両端部において一対のガイド５８，５８により案内されながら、基板載置台５６がノズル２が支持されている機枠４６の下方を通り抜けつつボールネジ軸５７ａの軸方向沿いに往復移動可能となっている。
【００３９】
蛍光体液保持部材の一例としての蛍光体液タンク５１内に保持されている蛍光体液は、蛍光体液供給装置の一例としてのポンプ５５の駆動により、蛍光体液供給管５３から機枠上部を通って、ノズル２の上部に配置された蛍光体液ポット５９内に供給される。蛍光体液ポット５９内に供給された蛍光体液は、ノズル２内に供給管４９を介して供給される。
【００４０】
機枠４６の近傍でかつ機枠４６に備えられたノズル２が移動する範囲の下方には、蛍光体液回収部材の一例としての蛍光体液受け皿５２が基台４５に配置されており、蛍光体液受け皿５２に排出された蛍光体液は蛍光体液回収管５４により蛍光体液タンク５１内に回収されるようになっている。
【００４１】
上記各駆動装置、例えば、基板搬送装置５７のモータなどの駆動装置、ノズル駆動装置４７のモータなどの駆動装置４７ｂなどは制御装置６１により動作制御されるようになっている。
【００４２】
なお、実際には、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体液用として、蛍光体液タンク５１、ポンプ５５、蛍光体液供給管５３、蛍光体液ポット５９、供給管４９、ノズル２、蛍光体液受け皿５２、蛍光体液回収管５４が３個ずつ備えられて、各色毎にそれぞれ独立して駆動されるようになっている。
【００４３】
よって、上記構成によれば、上記制御装置６１の制御の元に、ポンプ５５を駆動して、蛍光体液タンク５１内に保持されている蛍光体液を蛍光体液供給管５３を通して蛍光体液ポット５９内に供給し、蛍光体液ポット５９内から供給管４９を介してノズル２に供給する。この結果、ノズル２の複数の吐出口から同時に蛍光体液を蛍光体液受け皿５２内に吐出することができる。このとき、上記ノズル２の上記吐出口から上記蛍光体液１を上記基板パネル１０に向けて吐出させて上記蛍光体膜を形成するときの上記ノズル２からの上記蛍光体液１の吐出量（以下、「塗布用吐出量」と称する。）より、上記基板パネル１０に上記蛍光体膜を塗布せずに上記基板パネル１０外に向けて上記蛍光体液１を吐出させるときの上記蛍光体液の吐出量（以下、「非塗布用吐出量」と称する。）が多くなるようにしている。そして、ノズル２からの蛍光体液１の吐出量が所定の非塗布用吐出量の値となって安定したのち、塗布を開始するために、上記非塗布用吐出量より少ない塗布用吐出量になるようにポンプ５５の駆動を制御装置６１により切り替えるとともに、上記基板搬送装置５７により基板載置台５６を機枠４６に支持されたノズル２の下方に位置させる。よって、ノズル２から蛍光体液１を基板パネル１０の凹部に向けて吐出開始して蛍光体膜を凹部内に順に形成し始める。上記基板搬送装置５７により基板載置台５６とともに基板載置台５６に載置された基板パネル１０が機枠４６の下方を通過していくことにより、ノズル２から吐出された蛍光体液１が基板パネル１０の凹部内に順に塗布されていく。凹部の端から端まで塗布が完了すると、制御装置６１の制御の元に、ノズル２からの蛍光体液が再び蛍光体液受け皿５２内に吐出する。このときの非塗布用吐出量は塗布時の塗布用吐出量より上記したように多いものとなる。
【００４４】
次いで、制御装置６１の制御の元に、ノズル駆動装置４７を駆動してノズル２を所定寸法だけ機枠４６沿いに移動して、別の新しい凹部に対向可能な位置まで移動する。その後、再び、ノズル２からの蛍光体液を非塗布用の吐出量でもって再び蛍光体液受け皿５２内に吐出する。
【００４５】
次いで、制御装置６１の制御の元に、非塗布用の吐出量を塗布用の吐出量に再び変更したのち、ノズル２から蛍光体液１を基板パネル１０の別の新しい凹部に向けて吐出開始して蛍光体膜を凹部内に形成する。
【００４６】
このような動作を各色毎に繰り返すことにより、全ての凹部に蛍光体膜を形成するようにしている。
【００４７】
ここで、上記非塗布用の吐出量を塗布用の吐出量より多くする理由は以下のとおりである。
【００４８】
一般に、図３（ａ）のように所定量の蛍光体液１をノズル２から長時間吐出させると、数時間内で図３（ｂ）のように目詰まり３を起こす。そこで、図３（ａ）のように基板パネル１０に蛍光体液１を吐出させるときと、パネル１０に蛍光体液１を吐出させずに、パネル１外の液受けに向けて吐出して蛍光体液１を循環させるとき（例えば、パネルの交換のときに蛍光体液タンク５１へ向けて塗布すなわち蛍光体液受け皿５２に向けて吐出するとき）とで、図４に示すように、蛍光体液１の吐出量を変化させれば、図３（ｃ）に示すようにノズル２の内部のよどみがなくなる。すなわち、上記基板パネル１０に上記蛍光体液１を塗布せずに上記基板パネル外に向けて上記蛍光体液１を吐出させるときの上記蛍光体液１の吐出量Ｖ２が、上記ノズル２の上記吐出口から上記蛍光体液１を吐出させながら上記基板パネル１０と上記ノズル２を相対的に移動させて上記蛍光体液１を塗布させるときの上記ノズル２からの上記蛍光体液１の吐出量Ｖ１より多くなるようにしている。
【００４９】
具体的な例としては、基板パネル１０に塗布しないときの上記蛍光体液１の非塗布用の吐出量Ｖ１より、基板パネル１０に塗布するときの上記蛍光体液１の塗布用の吐出量Ｖ２を１．２倍以上、好ましくは１．５倍以上大きくすると、８時間以上安定して吐出を行うことができて、実質的な生産が可能となる。
【００５０】
このように、上記非塗布用の吐出量Ｖ２を塗布用の吐出量Ｖ１より大きくすると、ノズル２の目詰まりがなく、かつ、吐出方向が曲がることなく、連続して安定して蛍光体液１を真っ直ぐ吐出することができる。このようにノズル２の目詰まりがなくなる理由は、吐出流量を大きくすることで、ノズルの目詰まりの原因になる蛍光体液沈殿物や他の不純物をノズル内から除去し、ノズル内を洗浄する効果を発揮するためである。
【００５１】
また、蛍光体液１は硬く研磨剤として働くため、配管及びタンクを金属で作製すると、魔耗のため金属粉などが基板パネル１０に塗布されてしまう。これを防止するためには、配管及びタンク等は、合成樹脂製のものを使用するとよい。
【００５２】
上記第１実施形態によれば、ノズル２の基板パネル１０への塗布時の吐出量よりも、基板パネル外への吐出時の吐出量を多くするようにしたので、基板パネル外への吐出時に詰まることが少なくなり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができる。
【００５３】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置を、図５に基いて説明する。この第２実施形態では、ノズル２の吐出口付近を適宜拭き取るようにしている。
【００５４】
図５において、ノズル２より蛍光体液１を基板パネル１０に長時間塗布すると、ノズル２の吐出口付近が、蛍光体液等で汚れてくる。そのため、図５に示すように、定期的に清掃機２１の布またはスクレーパーなどの拭き取り部２１ａがノズル２の吐出口が形成された底面２ｄを摺動して吐出口付近の汚れを拭き取るようにしている。蛍光体液１を吐出させながら拭き取る場合には、拭き取る清掃機２１の拭き取り部２１ａがノズル２の吐出口付近を走る速度が遅いと、吐出口付近の汚れを十分に拭き取ることができない。よって、例えば、上記ノズル２の上記吐出口付近を上記蛍光体液１の溶剤で拭き取り部２１ａにより拭き取る汚れ拭き取り速度が１０ｍｍ/秒以上であるようにする。より具体的には、吐出口付近の汚れを十分に拭き取るためには、蛍光体液１の粘度との関係を考慮する必要があり、蛍光体液１の粘度に対するせん断速度以上の速度で清掃機２１を走行させなければ、吐出口付近の汚れを十分に拭き取ることができない。一例として、図６に、蛍光体液１の粘度とせん断速度との関係のグラフを示す。このグラフより、蛍光体液１の粘度が例えば１５３ｃｐｓのときにはせん断速度１０ｓ-1以上の速度で清掃機２１を走行させる必要がある。このとき、吐出口の直径は、一例として１００〜１６０μｍである。
【００５５】
また、清掃機２１の拭き取り部２１ａでノズル吐出口付近を拭き取る場合に、蛍光体液１に用いられている溶剤等を、清掃機２１の拭き取り部２１ａとノズル底面２ｄとの接触部分に塗布又は吹き付けるなどして配置しておくと、吐出口付近の汚れをより容易に拭き取ることができる。例えば、蛍光体液１に用いられている溶剤等を清掃機２１の布などの拭き取り部２１ａに予め含ませておくか、または、布またはスクレーパーなどの拭き取り部２１ａが走行するノズル底面２ｄに予め湿らせておくと、効果的に清掃することができる。
【００５６】
また、清掃する時期は、一定期間毎に又は一定数製造する毎に自動的に行うようようにしてもよいし、図７に示すように、光学式の監視装置５７を設けて、ノズル２の吐出口からの蛍光体液１に検出光５７Ａを常時または間欠的に照射して、検出光照射側とは反対側にて検出光５７Ａの受光状態を検出することにより、ノズル２の吐出口からの蛍光体液１の吐出状態を検出するようにしてもよい。そして、監視装置５７において、蛍光体液１のある一定以上の曲がり、または、吐出口での目詰まりを検出したときに、制御装置６１の制御の元に、清掃機２１を動作させて、ノズル吐出口付近の清掃作業を行うようにしてもよい。
【００５７】
上記第２実施形態によれば、ノズル２の吐出口付近を適宜拭き取るようにしたので、ノズル２の吐出口付近での目詰まりなどを効果的に除去することができ、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができる。また、このとき、上記ノズルの上記吐出口付近を上記蛍光体液の溶剤で拭き取るときには、ノズルから蛍光体液を吐出しながら行うようにすることにより、蛍光体液の循環経路内で蛍光体液が詰まることも防止できる。
【００５８】
（第３実施形態）
図８は、本発明の第３実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置の概略図である。この第３実施形態では、クリーニング液をノズル２に供給する清掃機構を備えて、付着した蛍光体液を除去可能な清掃用液体溶剤、例えば、蛍光体液の溶剤などのクリーニング液をノズル２に適宜供給して、ノズル２のクリーニングを行えるようにしている。
【００５９】
図８において、３９は蛍光体液１の溶剤などから構成されるクリーニング液を保持するクリーニング液タンク、４０はクリーニング液タンク３９内のクリーニング液を供給駆動するクリーニング液供給ポンプ、４１は回収されたクリーニング液からゴミなどを除去するフィルタである。４２はクリーニング液供給管、４３はクリーニング液と蛍光体液１とのノズル２への供給を切り替える切替弁、４４はクリーニング液回収皿、４５はクリーニング液回収管、４６は蛍光体液パイパス管である。これらにより、上記清掃機構を構成している。
【００６０】
ノズル清掃時以外は、切替弁４３を切り替えて、ＡからＣに蛍光体液１が流れるようにして、蛍光体液１が蛍光体液供給管５３からノズル２に供給されてノズル２の吐出口から蛍光体液１が吐出される。一方、ノズル吐出口を清掃するときには、切替弁４３を切り替えて、ＡからＤに蛍光体液１が流れるようにして、蛍光体液１が蛍光体液供給管５３から蛍光体液バイパス管４６を介して蛍光体液受け皿５２にノズル２を通過することなく回収される一方、クリーニング液がＢからＣに流れるようにする。すなわち、クリーニング液供給ポンプ４０の駆動により、クリーニング液タンク３９内のクリーニング液が、フィルタ４１を介して、クリーニング液供給管４２から切替弁４３を通過してノズル２に供給されて、ノズル吐出口からクリーニング液が吐出されて、ノズル清掃時にのみノズル下方に移動するクリーニング液回収皿４４内に回収される。回収されたクリーニング液は、クリーニング液回収管４５から再びクリーニング液タンク３９内に回収されたのち、クリーニング液供給ポンプ４０の駆動により、フィルタ４１を介して再利用されるようにしている。
【００６１】
このように構成することにより、蛍光体液１の循環を停止させることなく、ノズル２の内部及び吐出口がクリーニング液により清掃され、安定した蛍光体液１の吐出が可能となる。このクリーニング液による清掃は、一定期間毎に又は一定数製造する毎に自動的に行うようにしたり、上記図７の監視装置５７により清掃が必要となったときに、上記クリーニング動作を行うようにしてもよい。
【００６２】
上記第３実施形態によれば、蛍光体液１の循環を停止させることなく、付着した蛍光体液を除去可能な清掃用液体溶剤、例えば、蛍光体液の溶剤などのクリーニング液を、ノズル２に適宜供給してノズル２のクリーニングを行えるようにしたので、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができる。バイパス管４６により蛍光体液１の循環を停止させないため、蛍光体液１の循環経路内で蛍光体液１が詰まることも防止できる。また、上記図７の監視装置５７により清掃が必要となったときに上記クリーニング動作を行うようにすれば、適切な時にノズルの清掃作業を行うことができる。
【００６３】
（第４実施形態）
図９は、本発明の第４実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置の概略図である。この第４実施形態では、蛍光体液タンク３２に回収された蛍光体液中の蛍光体の分散を常に維持できるようにしている。
【００６４】
図９において、３０は分散機、３１はフィルタである。ノズル２より吐出させた蛍光体液１は、その一部を基板パネル１０に塗布させるとともに、残りは蛍光体液受け皿５２に向けて吐出させる。蛍光体液受け皿５２に吐出されて回収された蛍光体液１は、蛍光体液回収管５４を介して蛍光体液タンク３２に自然落下で送られるように、蛍光体液回収管５４と蛍光体液タンク３２を配置する。蛍光体液タンク３２内では、攪拌羽根などを回転させて回収された蛍光体液１を攪拌して蛍光体の分散を維持させる分散機３０を備えている。よって、分散機３０により蛍光体液１が蛍光体液タンク３２内で凝集しないように常時攪拌されて分散維持されている。蛍光体液タンク３２内に回収された蛍光体液１は、必要ように応じてノズル２へ蛍光体液供給管５３にて送られる途中にフィルター３１を通過するようにしている。これは、分散機３０にて分散しきれなかった凝集物を蛍光体液からフィルタ３１により除去させるために設置されている。なお、実験結果より、蛍光体液供給管５３は長く巻かれているほど分散がよい。
【００６５】
また、ノズル外ではなく、ノズル内部に、さらにゴミなどを除去するフィルターを設置すればよい。
【００６６】
上記第４実施形態によれば、蛍光体液タンク３２に回収された蛍光体液中の蛍光体の分散を常に維持できるようにしたので、蛍光体液が蛍光体液保持部材内で常時攪拌されて分散維持されるため、凝集しにくくなり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができる。
【００６７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、上記各実施形態を適宜組み合わせて使用することにより、より一層、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができるようにしてもよい。
【００６８】
【発明の効果】
本発明によれば、ノズルの基板への塗布時の吐出量よりも、基板外への吐出時の吐出量を多くするようにしたので、基板外への吐出時に詰まることが少なくなり、蛍光体液塗布不良及び塗布むらを低減させることができ、長時間でも安定して蛍光体液を塗布することができ、凹部に大略均等に膜形成を行うことができて、精度よく、歩留りよく、かつ、低コストで製造することができる。
【００７２】
また、上記いずれかのカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法でカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜を形成したプラズマディスプレイパネルは、蛍光体液塗布不良及び塗布むらが低減されたものとなっており、凹部に大略均等に膜形成されており、精度よく、歩留りよく、かつ、低コストで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置のノズルにより基板パネルに塗布する状態を示す斜視図である。
【図２】  図１の上記蛍光体膜形成装置の斜視図である。
【図３】  （ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれノズルから蛍光体液を吐出するときの正常な状態、目詰まりが生じた状態、第１実施形態により蛍光体液の吐出量を変化させてノズルの内部のよどみがなくなった状態を示す説明図である。
【図４】  図１の上記蛍光体膜形成装置のノズルから蛍光体液を吐出するときの非塗布用の吐出量と塗布用の吐出量とを示すグラフである。
【図５】  本発明の第２実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置のノズルと清掃機とを示す正面図である。
【図６】  図５の清掃機でノズル吐出口付近を走行させるときの清掃機の速度すなわちせん断速度と蛍光体液の粘度との関係を示すグラフである。
【図７】  上記第２実施形態において清掃作業の必要時を検出するための光学式の監視装置を備えた蛍光体膜形成装置の概略図である。
【図８】  本発明の第３実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置の概略図である。
【図９】  本発明の第４実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置の概略図である。
【図１０】  従来の蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置の概略図である。
【符号の説明】
１…蛍光体液、２…ノズル、１０…基板パネル、３０…分散機、３１…フィルタ、３２…蛍光体液タンク、３９…クリーニング液タンク、４０…クリーニング液供給ポンプ、４１…フィルタ、４２…クリーニング液供給管、４３…切替弁、４４…クリーニング液回収皿、４５…クリーニング液回収管、４６…蛍光体液バイパス管、４７…ノズル駆動装置、４７ａ…ボールネジ軸、４７ｂ…モータ、４９…供給管、５０…案内レール、５１…蛍光体液タンク、５２…蛍光体液受け皿、５３…蛍光体液供給管、５４…蛍光体液回収管、５５…ポンプ、５６…基板載置台、５７…基板搬送装置、５７ａ…ボールネジ軸、５８…ガイド、５９…蛍光体液ポット、６１…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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