(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するノズルにおいて、このノズルは左右の半体を合わせて構成され、左右の半体の合わせ面間には長手方向に流路とこれに並走して下方にスリット状開口部が形成され、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方の流路より下方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸部が設けられ、前記流路の一端は塗布液の供給管が嵌合する供給口とされ、他端は塗布液の排出管が嵌合する排出口とされ、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形状は塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しく、また前記排出口に連続する部分の流路断面形状は塗布液の排出管の流路断面形状に実質的に等しいことを特徴とする塗布用ノズル。
【請求項２】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するノズルにおいて、このノズルは左右の半体を合わせて構成され、左右の半体の合わせ面間には長手方向に流路とこれに並走して下方にスリット状開口部が形成され、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方の流路より下方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸部が設けられ、前記流路の一端は塗布液の供給管が嵌合する供給口とされ、他端は閉塞され、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形状は塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しいことを特徴とする塗布用ノズル。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の塗布用ノズルにおいて、前記凸部の部分に下方のボルトの挿通穴が設けられていることを特徴とする塗布用ノズル。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の塗布用ノズルにおいて、前記凸部の形状は正面から見て略紡錘形状をなすことを特徴とする塗布用ノズル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えばガラス基板や半導体ウェーハ等の板状被処理物表面にレジスト液や現像液等の塗布液を塗布するノズルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェーハやガラス基板等の板状被処理物表面に塗布するレジスト液等の量を極力少なくする手段として、特開昭６１−６５４３５号公報、特開昭６３−１５６３２０号公報及び特開平４−１１８０７３号公報に開示されるようにスリット状開口部を有するノズルを用いることが知られている。
【０００３】
上記スリット状開口部を有するノズルの具体的な構造は上記公報からは明確ではないが、本発明者等はノズルの具体的な構造として図１０に示すものを製作した。
即ち、ノズルは左右の半体１０１，１０２の流路となる凹部１０３及びスリット状開口部となる凹部１０４を形成した面を合わせ、流路となる凹部１０３よりも上方位置をボルト１０５にて結合してノズルを製作した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように流路よりも上方をボルトにて結合すると、必然的にスリット状開口部の下端が開き、塗布液のボタ落ちが生じる。
また、逆に流路よりも下方をボルトにて結合すると、上方から液漏れを起こしたり、スリット状開口部の幅を設定することが難しく塗布液の途切れ等を生じる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明に係るノズルは、左右の半体を合わせてノズルを構成し、左右の半体の合わせ面間には流路とスリット状開口部を形成し、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方には前記スリット状開口部の幅を設定する凸部を設け、更に前記流路の上方位置及び下方位置においてボルトにて左右の半体を結合する構成とした。
【０００６】
また、本発明に係る他のノズルは、前記流路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端を塗布液の排出管が嵌合する排出口とし、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形状を塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しく、また前記排出口に連続する部分の流路断面形状を塗布液の排出管の流路断面形状に実質的に等しいくした。
このような構成とすることで、管と流路との継ぎ目に段差が生じることなく、気泡の発生を防止することができる。
【０００７】
更に、本発明に係る他のノズルは、前記流路の一端を塗布液の供給管が嵌合する供給口とし、他端を閉塞し、更に前記供給口に連続する部分の流路断面形状を塗布液の供給管の流路断面形状に実質的に等しくした。
このように構成することで、前記同様気泡の発生を防止することができる。
【０００８】
尚、下方のボルトの挿通穴については、凸部の部分に設ける方が塗布液にボルトが接触しないので好ましい。
【０００９】
また、凸部の形状としては、例えば正面から見て略紡錘形状をなすようにする。このようにすることで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口部内での発泡を防止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、図１は本発明に係る塗布用ノズルを適用した回転カップ式の塗布ユニットの全体図、図２は本発明に係る塗布用ノズルの断面図、図３は本発明に係る塗布用ノズルを構成する左右の半体のうちの一方の正面図、図４は図３の塗布液の供給部の部分の拡大図、図５はボルト挿通穴の部分の拡大図、図６は図５のＡ−Ａ線断面図、図７は図５のＢ−Ｂ線断面図である。
尚、本発明はノズルに関するものなので、実施の形態は塗布用ノズルに限らない。
【００１１】
回転カップ式の塗布ユニットは下部分１と上部分２からなり、下部分１はベースに固定されたアウターカップ３とこのアウターカップ３内に設けられスピンナーにて回転せしめられるインナーカップ４とを備え、インナーカップ４内にはインナーカップ４と一体的に回転する載置テーブル５が設けられ、この載置テーブル５の中央部は図示しないが、独立して昇降動し且つ上昇した位置でガラス基板Ｗ（板状被処理物）の受け渡しを行い、下降位置で載置テーブル５と面一になるサブテーブルが設けられている。
【００１２】
一方、上部分２は下降した位置でアウターカップ３の周縁を閉塞するアウターカップ用蓋体６と、図示しないが、アウターカップ用蓋体６内に設けられ下降した位置でインナーカップ４の周縁を閉塞するインナーカップ用蓋体とを備え、アウターカップ用蓋体６はアーム７に支持され、インナーカップ用蓋体はアウターカップ用蓋体６とは独立して回転可能に支持されている。
【００１３】
一方、回転カップ式の塗布ユニットの両側にはレール８，８を備え、これらレール８，８間に門型フレーム９を移動可能に係合し、この門型フレーム９に本発明に係るノズル１０を取り付けている。
【００１４】
ノズル１０は図２〜図７に示すように、左右の半体１１，１１をボルト１２，１３で結合して構成される。
各半体１１はその合わせ面に塗布液の流路１５となる凹部１６が形成され、流路１５とつながるスリット状開口部１７となる凹部１８と、凹部１８内には一定間隔でスリット状開口部１７の幅を設定する凸部１９が一方の半体１１のみに設けられている。
【００１５】
凸部１９の形状は正面から見て略紡錘形状をなし、流路１５からの塗布液が出来るだけ抵抗を受けずにスリット状開口部１７を流下するようにしている。
【００１６】
また、各半体１１には流路１５となる凹部１６の上方に前記ボルト１２の挿通穴２０が形成され、凹部１６の下方に前記ボルト１３の挿通穴２１が形成されている。特に挿通穴２１については前記凸部１９の部分に開口せしめ、塗布液がボルト１３に接触しない構成になっている。尚、挿通穴２１を凸部１９から外して開口させてもよい。
【００１７】
また、ノズル１０に形成された直線状の流路１５の一端は塗布液の供給管３１が嵌合する供給口１５ａとされ、他端は塗布液の排出管３２が嵌合する排出口１５ｂとされ、これら供給口１５ａ及び排出口１５ｂは流路１５よりも若干大径とされ、供給口１５ａに供給管３１を、また排出口１５ｂに排出管３２をそれぞれ嵌合させた状態で、図４に示すように、供給口１５ａ及び排出口１５ｂの流路断面形状と流路１５の流路断面形状とが略同一になるようにしている。
斯かる構成とすることで、供給管３１及び排出管３２と流路１５との継ぎ目において段差がなくなり、塗布液が流れることにつれて気泡が発生するのを防止することができる。
【００１８】
図８は別実施例を示す図であり、前記実施例は左右の半体１１，１１を同一形状とすることで、製作の容易性を確保しているが、この実施例にあってはスリット状開口部１７となる凹部１８とスリット状開口部１７の幅決定する凸部１９を両方の半体１１に形成している。尚、流路１５となる凹部１６を一方の半体１１のみに形成してもよい。
【００１９】
図９は別実施例を示す図３と同様の断面図であり、この実施例にあっては流路１５の他端を栓３３で閉塞している。上述したように一端に供給口を他端に排出口を設けたノズルは、例えば現像液の循環流路の一部に設けるのに適しており、図９に示すように他端を閉じたノズルは、例えばレジスト液の塗布流路に適している。
【００２０】
また、図示しない別実施例にあっては、供給管と排出管を流路に対し、流路の端部においてＬ字型に連結してもよい。
【００２１】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、左右の半体を合わせてスリット状開口部を有するノズルを作製するにあたり、左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方にはスリット状開口部の幅を設定する凸部を設け、且つ左右の半体をボルトで結合する場合に、前記流路の上方位置及び下方位置をそれぞれ結合するようにしたので、スリット状開口部の下端が広がることがなく、また左右の半体の合わせ面のうちの少なくとも一方にスリット状開口部の幅を設定する凸部を設けたので、安定した塗布液を供給が可能になる。
【００２２】
また、下方のボルトの挿通穴を、凸部の部分に設けるようにすれば、塗布液にボルトが接触しないので異物等の混入を確実に防止することができ、更に、凸部の形状として、例えば正面から見て略紡錘形状とすることで、スムーズに塗布液が流下し、スリット状開口部内での発泡を防止することができる。
【００２３】
更に、ノズルに形成した塗布液の流路の断面形状と、塗布液の供給管の断面形状或いは塗布液の排出管の断面形状とをほぼ同一にしたので、管と流路との継ぎ目に段差が生じることなく、したがって気泡の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る塗布用ノズルを適用した回転カップ式の塗布ユニットの全体図
【図２】本発明に係る塗布用ノズルの断面図
【図３】本発明に係る塗布用ノズルを構成する左右の半体のうちの一方の正面図
【図４】図３の塗布液の供給部の部分の拡大図
【図５】図３のボルト挿通穴の部分の拡大図
【図６】図５のＡ−Ａ線断面図
【図７】図５のＢ−Ｂ線断面図
【図８】別実施例を示す図２と同様の断面図
【図９】別実施例を示す図３と同様の断面図
【図１０】従来例を示す図２と同様の断面図
【符号の説明】
１…塗布ユニットの下部分、２…塗布ユニットの上部分、３…アウターカップ、４…インナーカップ、５…載置テーブル、６…アウターカップ用蓋体、１０…ノズル、１１…ノズル半体、１２，１３…ボルト、１５…流路、１５ａ…供給口、１５ｂ…排出口、１６…流路となる凹部、１７…スリット状開口部、１８…スリット状開口部となる凹部、１９…凸部、２０，２１…ボルト挿通穴、３３…栓。
【図１】
0003945551.tif 000002
【図２】
0003945551.tif 000003
【図３】
0003945551.tif 000004
【図４】
0003945551.tif 000005
【図５】
0003945551.tif 000006
【図６】
0003945551.tif 000007
【図７】
0003945551.tif 000008
【図８】
0003945551.tif 000009
【図９】
0003945551.tif 000010
【図１０】
0003945551.tif 000011