(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、フープ状のシャドウマスク用ないしリードフレーム用の金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ接続装置であって、旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断して、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を形成する切断部と、形成された末部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストの幅方向に渡って支持し、圧着部の手前まで移動して停止する支持部と、旧反の感光性ドライフィルムレジストのベースフィルム側を新反の感光性ドライフィルムレジストのレジスト側に合わせた状態で、旧反の感光性ドライフィルムレジストと新反の感光性ドライフィルムレジストとを圧着する圧着部とを備えたもので、圧着部の感光性ドライフィルムレジストの進行方向手前において、旧反の感光性ドライフィルムレジストの下側から、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を仮圧着しておき、圧着部にて、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストに重ね合わせた状態で圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを接続した後、切断部により旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断し、切断部により切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を支持部で支持しながら、該旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部まで圧着して接続するものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続装置。
【請求項２】
請求項１において、圧着部は上下のロール間に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを重ね合わせた状態で圧着するものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続装置。
【請求項３】
請求項１ないし２において、支持部は下側から旧反の感光性ドライフィルムレジストを支えて支持するものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続装置。
【請求項４】
請求項１ないし２において、支持部は上側から旧反の感光性ドライフィルムレジストを吸引して支持するものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続装置。
【請求項５】
感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、フープ状のシャドウマスク用ないしリードフレーム用の金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ接続方法であって、圧着部の感光性ドライフィルムレジストの進行方向手前において、旧反の感光性ドライフィルムレジストの下側から、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を仮圧着しておき、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストに重ね合わせた状態で圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを接続した後、旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断し、切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を支持しながら、該旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部まで圧着して接続するものであることを特徴とする感光性ドライフィルムレジストの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，感光性ドライフィルムレジストを基材へラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムを繋ぐ接続装置および接続方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、感光性ドライフィルムレジスト（ＤＦＲとも言う、尚、ＤＦＲは、Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔの略である）は、プリント配線板に代表されるように、ケミカルエッチングによる金属の微細加工に用いられてきた。
図５（ａ）にその断面を示すように、感光性ドライフィルムレジストは、ベースとなるベースフィルム（キャリアフィルムとも言う）５１１の一面に感光性レジスト５１２を配設したもので、通常、図５（ａ）（ロ）に示すように、ベースとなるベースフィルム５１１と、保護フィルム５１３の中間に、感光性レジスト５１２が挟まれる構造になっている。
以下、ここでは、図５（ａ）（イ）に示す状態を、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０、図５（ａ）（ロ）に示すものを保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０Ａと言い、更に、両者を単に、感光性ドライフィルムレジストとも言う。
一般には、保護フィルムを付けた状態での感光性ドライフィルムレジスト５１０Ａが、ロール状になって支給、ないし製造保管され、ラミネートを行う際に、ロール状になった保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０Ａから保護フィルムを剥がし、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０とし、これを、感光性レジスト５１２が基材側となるようにして、基材へラミネートするものである。
尚、ここでは、このロール状のものを原反ロール、感光性ドライフィルム原反、あるいは単に原反と言う。
保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト５１０の基材５３０へのラミネートは、図５（ｂ）に示すように、保護フィルム５１３を剥離した後、ヒートロール５２１と貼り合わせ用ニップロール５２５を有するラミネータ等で、ヒートロール５２１による加熱と、ニップ圧によって、基材５３０に密着させて行われており、ラミネート後、ベースフィルム５１１を剥がして、基材５３０上に設けられたレジスト５１２を製版処理していた。
そして、製版処理後、基材５３０をケミカルエッチングにより微細加工していた。
【０００３】
通常は、図６に示すような装置構成の中で、基材６３０へ、感光性ドライフィルムレジスト６１０をラミネートしていた。
ここで、図６に示す装置構成に基づいて、従来の基材６３０への感光性ドライフィルムレジスト６１０のラミネート方法を簡単に説明しておく。
保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロール）６００から、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト６１０は矢印の方向に引出され、シート状にされた状態（図６のＰ１点での状態）で、基材６３０の一面にラミネートされるが、これと同時に、保護フィルムを付けた状態の感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロール）６００Ａからも、保護フィルムを付けていない状態の感光性ドライフィルムレジスト６１０が矢印の方向に引出され、シート状にされた状態（図６のＰ２点での状態）で、基材６３０の他の一面にラミネートされる。この結果、基材６３０の両面に感光性ドライフィルムレジスト６１０がラミネートされる。
尚、図６における巻取りロール６２６は、ロール６２７を介して、保護フィルムのみを巻き取るものである。
上記、図６に示す装置構成における従来のラミネート法は、基材６３０の両面に感光性フィルムレジスト６１０をラミネートするものであるが、基材の片面のみにラミネートする場合には、片面のみを同じようにしてラミネートしていた。
【０００４】
ここで、シャドウマスクやリードフレームの作製へ、感光性フィルムレジストを適用した、エッチング加工を考えた場合、生産性の面から、連続生産が要求される。これには、感光性ドライフィルム原反の新旧の切り換えを問題なく行えることが前提となる。
シャドウマスク用やリードフレーム用の帯状の連続した金属薄板を基材とし、基材に感光性ドライフィルムレジストをラミネートして、製版する場合には、感光性ドライフィルム原反の新旧の切り換え部において、レジストの不連続部が存在するとエッチングの際に基材が断裂してしまう。断裂は作業上大きな問題である。
【０００５】
例えば、特願平９−１６３４６９号のように、ラミネート直前に旧反と新反を重ね合わせて接続し、基体に対してラミネートする手段がある。
そこにおいては、図４（ａ）に示すような、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状（シート状）にした感光性ドライフィルムレジストを、基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ方法で、旧反の感光性ドライフィルムレジスト４１０に新反の感光性ドライフィルムレジスト４１０Ｎを圧着し、その後、旧反の感光性ドライフィルムレジスト４１０を切断する方法が考えられる。
尚、ここでは、感光性ドライフィルムの原反の切り換え前のものを旧反、切り換え後のものを新反とする。
しかし、この方法の場合、旧反の感光性ドライフィルムレジスト４１０を切断後、図４（ｂ）に示すようにその末部４１０Ａが垂れ下がり、その部分において旧反の感光性ドライフィルムレジスト４１０と新反感光性ドライフィルムレジスト４１０Ｎとの圧着が不十分となり、密着不良が生じるため、基材にラミネートした際、エアーを巻き込んだり、局所的にレジストの薄い部分が形成される。
この結果、その部分を所定の露光量で露光しても、現像後にレジストが残らない箇所が発生するため、エッチングの際に基材が断裂してしまうという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の通り、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、シャドウマスクやリードフレーム作製用の帯状の連続した金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業においては、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムを、問題なく繋ぐ接続方法が求められていた。
本発明は、これに対応できる接続装置および接続方法を提供しようとするものてある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続装置は、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、フープ状のシャドウマスク用ないしリードフレーム用の金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ接続装置であって、旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断して、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を形成する切断部と、形成された末部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストの幅方向に渡って支持し、圧着部の手前まで移動して停止する支持部と、旧反の感光性ドライフィルムレジストのベースフィルム側を新反の感光性ドライフィルムレジストのレジスト側に合わせた状態で、旧反の感光性ドライフィルムレジストと新反の感光性ドライフィルムレジストとを圧着する圧着部とを備えたもので、圧着部の感光性ドライフィルムレジストの進行方向手前において、旧反の感光性ドライフィルムレジストの下側から、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を仮圧着しておき、圧着部にて、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストに重ね合わせた状態で圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを接続した後、切断部により旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断し、切断部により切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を支持部で支持しながら、該旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部まで圧着して接続するものであることを特徴とするものである。
そして、上記において、圧着部は上下のロール間に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを重ね合わせた状態で圧着するものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、支持部は下側から旧反の感光性ドライフィルムレジストを支えて支持するものであることを特徴とするものである。
あるいは、上記において、支持部は上側から旧反の感光性ドライフィルムレジストを吸引して支持するものであることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法は、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、フープ状のシャドウマスク用ないしリードフレーム用の金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ接続方法であって、圧着部の感光性ドライフィルムレジストの進行方向手前において、旧反の感光性ドライフィルムレジストの下側から、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を仮圧着しておき、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストに重ね合わせた状態で圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを接続した後、旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断し、切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を支持しながら、該旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部まで圧着して接続するものであることを特徴とするものである。
【０００９】
尚、ここでは、ラミネートする際に、加熱、加圧ができるラミネートロールのことをヒートロールと言う。
【００１０】
【作用】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続装置は、このような構成にすることにより、新反と旧反の感光性ドライフィルムレジストの圧着部分においては、均一に圧着が行われるため、密着不良が生じない。また、圧着時にエアーが巻き込まれないため、レジストの薄い部分が局所的に形成されない。
この結果、特に、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、リードフレーム作製用の帯状の連続した金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業においては、旧反の感光性ドライフィルムレジストから新反の感光性ドライフィルムレジストへと切り換える両者の接続箇所における、エッチングによる断裂を無くすことを可能としている。
これにより、感光性ドライフィルムレジストを用いたリードフレームのエッチング加工を連続的に生産することができる。
具体的には、旧反の感光性ドライフィルムレジストを切断して、旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を形成する切断部と、形成された末部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストの幅方向に渡って支持する支持部と、旧反の感光性ドライフィルムレジストのベースフィルム側を新反の感光性ドライフィルムレジストのレジスト側に合わせた状態で、旧反の感光性ドライフィルムレジストと新反の感光性ドライフィルムレジストとを圧着する圧着部とを備えたもので、切断部により、切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジストの末部を支持部で支持しながら、圧着部にて、新反の感光性ドライフィルムレジストの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジストに重ね合わせた状態で圧着して、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを接続するものであることにより、これを達成している。
基材として、枚葉またはフープ状（帯状）のシャドウマスク用ないしリードフレーム用の金属薄板、あるいはプリント配線用基板等が適用できる。
【００１１】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法は、このような構成にすることにより、新反と旧反の感光性ドライフィルムレジストの圧着部分においては、均一に圧着が行われるため、密着不良が生じない。また、圧着時にエアーが巻き込まれないため、レジストの薄い部分が局所的に形成されない。
これにより、感光性ドライフィルムレジストを用いたリードフレームのエッチング加工を連続的に生産することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続装置の実施の形態の例を挙げて図に基づいて説明する。
図１（ａ）は、実施の形態の第１の例を示した概略断面図で、図１（ｂ）は図１（ａ）の点線部内を拡大して示した図で、図２は図１（ａ）に示す第１の例の動作を説明するための一部の断面図で、図３（ａ）は、実施の形態の第２の例を示した概略断面図で、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す第２の例の特徴部である支持部の動作を説明するための図である。
図１〜図３中、１０１は旧反、１０１Ｎは新反、１０３、１０３Ｎはロール、１０５、１０５Ｎは巻き取りロール、１１０は旧反の感光性ドライフィルムレジスト、１１０Ａは末部、１１０Ｎは新反の感光性ドライフィルムレジスト、１１３、１１３Ｎはベースフィルム、１１５、１１５Ｎはレジスト、１１７、１１７Ｎは保護フィルム、１２０は圧着部、１２１、１２２はロール、１３０は切断部、１４０、１４５は支持部、１５０は仮圧着部（仮接続部）である。
【００１３】
先ず、本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続装置の実施の形態の第１の例を説明する。
第１の例の感光性ドライフィルムレジストの接続装置は、基材を帯状の金属薄板とし、リードフレームをエッチングにて加工して作製する際の、感光性ドライフィルムレジストをラミネートするラミネート装置に適用されるもので、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストを繋ぐ接続装置である。
そして、図１に示すように、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０を切断して、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の末部を形成する切断部１３０と、形成された末部を、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０を幅方向に渡って支持する支持部１４０と、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０のベースフィルム１１３側を新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎのレジスト１１５Ｎ側に合わせた状態で、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０と新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎとを圧着するロール１２１、１２２からなる圧着部１２０とを備えたもので、切断部１３０により、切断されて形成された旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の末部を支持部１４０で支持しながら、圧着部１２０にて、新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎの先頭部を、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０に重ね合わせた状態で圧着して、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０と新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎとを接続するものである。
【００１４】
圧着部１２０はロール１２１、１２２からなり、所定の圧力をかけて、この間を重なって通る、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０と新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎとを圧着するものである。
図１（ａ）の点線部内を拡大して示した図１（ｂ）からも分かるように、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０のベースフィルム１１３側を、新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎのレジスト１１５Ｎと合せて圧着する。
【００１５】
切断部１３０は旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０を切断するためのもので、本例の装置では、新反と旧反の感光性ドライフィルムレジストを圧着部１２０により圧着した後に、切断を行う。
感光性ドライフィルムレジスト１１０は切断し易いので、切断部１３０はナイフ状のものや円盤状の刃が用いられるが、円盤状の刃は回転動作により切断を行うため局所的な刃状の磨耗が少ないという点で好ましい。
【００１６】
本例の支持部１４０は旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の上側からレジスト１１５面を吸引して、支持するものであり、図１（ａ）の太線両矢印間を制御されて移動できるものである。
【００１７】
尚、図１（ａ）に示す、感光性ドライフィルム原反１０１、１０１Ｎは、それぞれ、ロール１０３、１０３Ｎを介して、巻取りロール１０５、１０５Ｎにより、保護フィルム１１７、１１７Ｎが剥がされる。
この構成は、図６に示すラミネート装置の場合と基本的に同じである。
【００１８】
次いで、本例の感光性ドライフィルムレジストの接続装置の動作の１例を図２に基づいて説明しておく。
同時に、これをもって、本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続方法の実施の形態の１例の説明とする。
先ず、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０がまだ使用されている間に、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の下側から、新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎの先頭部を仮り圧着しておく。（図２（ａ））
この時には、支持部１４０は仮圧着した箇所（仮圧着部１５０）付近の所定の位置で、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の上側から吸引して支持している。
次いで、仮圧着部１５０が、ロール１２１、１２２からなる圧着部１２０のロール間に挟まれて、所定の圧力で圧着された後、切断部１３０にて、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０を切断する。（図２（ｂ））
支持部１４０は、上から旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０のレジスト１１５側を吸引し、圧着部１２０の手前まで移動し、この位置で停止しながら、上から旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０のレジスト１１５側を吸引し続ける。
このため、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０が、図４（ｂ）のように垂れ下がることはなく、圧着部１２０の手前においては、新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎと旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０とが、均一に重なった状態となり、この状態で均一に圧着が行われるのである。
このようにして、支持部１４０は、停止した状態で、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の末部１１０Ａまで、圧着がうまく行われるように支持する。（図２（ｃ））
【００１９】
次に、本発明の感光性ドライフィルムレジストの接続装置の実施の形態の第２の例を、図３を基に説明する。
第２の例は、図１（ａ）に示す第１の例の支持部１４０に代え、旧反の感光性ドライフィルム１１０を下側から支持する支持部１４５を備えたものである。
この支持部１４５は、旧反の感光性ドライフィルム１１０の重力に耐え、支持するものであり、特にその形状は限定されないが、上面は平面であることが好ましい。
以下、特徴部の動作を簡単に説明しておく。
本例も、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０がまだ使用されている間に、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の下側から、新反の感光性ドライフィルムレジスト１１０Ｎの先頭部を仮圧着しておくが、支持部１４５は、この仮圧着時に、仮圧着箇所の旧反側位置にて、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０を下側から支持し、この状態で、感光性ドライフィルムレジスト１１０、１１０Ｎの進行に伴い、圧着部１２０側に移動し、圧着部１２０の手前の所定位置で停止する。
そして、第１の例の場合と同様に、旧反の感光性ドライフィルムレジスト１１０の末部１１０Ａまで、圧着がうまく行われるように、この位置で、支持し続ける。
【００２０】
【実施例】
更に実施例を挙げて、本発明を説明する。
本実施例は、帯状の厚さ０．１５ｍｍ、幅４５０ｍｍの銅薄板の両面に感光性ドライフィルムレジストをラミネートして、これを所定の形状に製版して、エッチング加工によりリードフレームを形成する作業工程において、図１（ａ）に示す、第１の例の感光性ドライフィルムレジストの接続装置を用い、旧反と新反の感光性ドライフィルムレジストの切り換えを行ったものであるが、切り換え箇所におけるエッチングによる断裂は見られなかった。
更に、旧反と新旧の感光性ドライフィルムレジストの切り換え箇所について、その状態を顕微鏡で検査してみたが、エアーの巻き込みはなく良好であった。
尚、感光性ドライフィルムレジストは、原反ロールの段階では、保護フィルムを付けた状態で、図５（ａ）（ロ）に示すような３層構造となっているもので、且つ、１５μｍ厚のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）をベースフィルムとし、３０μｍ厚のポリエステルフィルムを保護フィルムとしたもので、レジストはアクリル樹脂からなる感光性のレジストで、厚さ１５μｍ厚としたものを用いた。
圧着部１２０（ロール１２１、１２２）のラミネート条件は、ラミネートの速度を１ｍ／ｍｉｎ、ラミネート圧をニップ圧（線圧）で３ｋｇ／ｃｍとして行った。
このように、本発明を適用した場合、従来問題となっていた、感光性ドライフィルム製版を取り入れたリードフレームのエッチング加工工程における、エッチングによる断裂を無くすことを可能とした。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを基材にラミネートするラミネート作業において、感光性ドライフィルム原反の旧反から新反への切り換えの際に、旧反の感光性ドライフィルムレジストと新反の感光性ドライフィルムレジストとを、品質的に問題なく繋ぐ接続装置の提供、および接続装置の提供を可能とした。
詳しくは、新反と旧反の感光性ドライフィルムレジストの圧着接続部分においては、均一に圧着が行われ、密着不良が生じない、即ち、接続部分では、圧着によりエアーが巻き込まれたり、レジストの薄い部分が局所的に形成されない接続装置の提供、および接続方法の提供を可能とした。
この結果、特に、感光性ドライフィルム原反から供給され、保護フィルムを剥がし、且つ帯状にした感光性ドライフィルムレジストを、リードフレーム作製用の帯状の連続した金属薄板からなる基材にラミネートするラミネート作業においては、旧反の感光性ドライフィルムレジストから新反の感光性ドライフィルムレジストへの切り換えの箇所における、エッチングによる断裂を無くすことを可能とし、長い連続生産を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の感光性ドライフィルムの接続装置の実施の形態の第１の例を示した概略断面図
【図２】本発明の感光性ドライフィルムの接続装置の実施の形態の第１の例の動作を示した図
【図３】本発明の感光性ドライフィルムの接続装置の実施の形態の第２の例を示した概略断面図
【図４】従来の新旧の感光性ドライフィルムの切り換えを説明するための図
【図５】感光性ドライフィルムレジストとその使用方法を説明するための図
【図６】従来のラミネート方法を説明するための装置構成等の図
【符号の説明】
１０１                旧反
１０１Ｎ              新反
１０３、１０３Ｎ      ロール
１０５、１０５Ｎ      巻き取りロール
１１０                旧反の感光性ドライフィルムレジスト
１１０Ａ              新反の感光性ドライフィルムレジスト
１１３、１１３Ｎ      ベースフィルム
１１５、１１５Ｎ      レジスト
１１７、１１７Ｎ      保護フィルム
１２０                圧着部
１２１、１２２        ロール
１３０                切断部
１４０、１４５        支持部
１５０                仮圧着部（仮接続部）
４１０                旧反の感光性ドライフィルムレジスト
４１０Ａ              新反の感光性ドライフィルムレジスト
４１３、４１３Ｎ      ベースフィルム
４１５、４１５Ｎ      レジスト
４２１、４２２        ヒートロール（ラミネートロールとも言う）
４３０                切断部
５１０                （保護フィルムを付けていない状態の）感光性ドライフイフィルムレジスト
５１０Ａ              （保護フィルムを付けた状態の）感光性ドライフィルムレジストのロール（原反ロールとも言う）
５１１                ベースフィルム（キャリアフィルムとも言う）
５１２                感光性レジスト
５１３                保護フィルム
５２１                ヒートロール
５２５                ニップロール
５３０                基材
５８０                巻取りロール
６００、６００Ａ      感光性ドライフィルムレジストのロール
６１０                感光性ドライフィルムレジスト
６２０                ラミネータ
６２１、６２２        ヒートロール（ラミネートロールとも言う）
６２６、６２６Ａ      巻取りロール
６２７、６２７Ａ      ロール
６２８、６２８Ａ      ロール
６３０                基材
６４０                プレヒータ（ロール）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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