(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線透過用基板に赤外線領域に透過性を有する島状金属下引膜を製膜後、該島状金属下引膜の上に、同一真空槽内で連続製膜により貴金属元素から選択された金属の島状金属膜を積層製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。
【請求項２】
赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料において、前記赤外線透過用基板と貴金属元素から選択された金属の島状金属膜との間に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を有することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料。
【請求項３】
赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法において、前記赤外線透過用基板に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を製膜後、該島状金属下引膜の上に、空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属の島状金属膜を積層製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。
【請求項４】
赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料において、前記赤外線透過用基板と金属元素の島状金属膜との間に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を有し、前記島状金属膜が空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属の島状金属膜であることを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】
島状金属膜に赤外線を照射すると、金属膜内の自由電子の集団振動（プラズマ振動）が励起され、その金属近傍に存在する物質の赤外吸収強度が増強され、金属膜上の測定試料である液状物や微粉末が見かけ上で吸収増大を起こし超高感度の測定ができる。この現象を利用して超微量液状物（各種オイル類、低融点有機物、残留農薬、環境汚染物質、発汗成分など）や超微量微粉末（各種有機化合物、各種無機化合物）の成分同定に応用することができる。
【０００３】
測定手段は、例えば図２に示す如く、（Ａ）試料なしの状態で赤外光を照射してバックグランド測定を行い、（Ｂ）測定試料である液状物或いは微粉末を用意して転写準備を行い、（Ｃ）測定試料である液状物或いは微粉末を加圧することによって基板上の島状金属膜に転写し、（Ｄ）測定試料である液状物或いは微粉末に対し赤外光を照射して試料測定を行う。
【０００４】
尚、赤外光の照射は基板裏面から行っても、何ら影響を受けずに増強効果が認められた。これらは、
（１）Ｙ．Ｎｉｓｈｉｋａｗａ，ｅｔ．ａｌ．Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ．４４，６９１（１９９０）．
（２）Ａ．Ｈａｒｔｓｔｅｉｎ，Ｊ．Ｒ．Ｋｉｒｔｌｅｙ，Ｊ．Ｃ．Ｔｓａｎｇ，Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｌｅｔｔ．，４５．２０１（１９８０）．
（３）Ａ．Ｈａｔｔａ，Ｙ．Ｓｕｚｕｋｉ，Ｗ．Ｓｕｅｔａｋａ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，Ａ３５．１３５（１９８４）．
等の文献に記載がある。
【０００５】
【従来の技術】
従来技術では赤外線透過用基板に直接、金、銀、白金等の金属元素の超微細島状金属膜を製膜していたが、膜付きと経時保存性が悪く、１回だけの使い切りであった。このため測定の都度、新たな島状金属膜の製膜が必要で迅速測定ができなかった。また従来、測定試料である液状物の赤外測定は、数百マイクログラム程度が必要であったが、試料を入手してから島状金属膜を製膜している間に超微量液状物が飛散消失して量不足となり、測定不可になることも発生していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、数十回の使用に耐え、且つ超微量液状物或いは微粉末を超高感度に測定できる表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記課題は、以下の手段により達成された。
【０００８】
１．赤外線透過用基板に赤外線領域に透過性を有する島状金属下引膜を製膜後、該島状金属下引膜の上に、同一真空槽内で連続製膜により貴金属元素から選択された金属の島状金属膜を積層製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。
【０００９】
２．赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料において、前記赤外線透過用基板と貴金属元素から選択された金属の島状金属膜との間に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を有することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料。
【００１０】
３．赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法において、前記赤外線透過用基板に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を製膜後、該島状金属下引膜の上に、空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属の島状金属膜を積層製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法。
【００１１】
４．赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料において、前記赤外線透過用基板と金属元素の島状金属膜との間に、赤外線領域に透過性を有する遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜を有し、前記島状金属膜が空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属の島状金属膜であることを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料。
【００１２】
本発明者は、先に、特願２０００−０７０５７９号において、
１．赤外線透過用基板に島状金属酸化物皮膜を製膜後、同一真空槽内で連続製膜により金属元素の島状金属膜を製膜することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料の製造方法、
２．赤外線透過用基板上に金属元素の島状金属膜を有する表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料において、前記赤外線透過用基板と金属元素の島状金属膜との間に島状金属酸化物皮膜を有することを特徴とする表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料、
を提案した。
【００１３】
この先提案技術では、下引膜に赤外線透過性の良好な金属酸化膜を用いたが、本発明者は、改良実験中に金属膜の下引膜でも赤外線透過性は何ら変わらない特性のあることを突き止めた。膜厚が超薄膜なため赤外線透過性は、金属酸化膜と何ら変わることなく、且つ赤外線透過用基板及び積層する金属膜との膜付きが改良され、微粉末の加圧転写においても膜損傷なく実用できた。
【００１４】
本発明に係る製膜法は、島状金属膜を製膜する前に下引き処理として、赤外線透過用基板表面に赤外透過性を有する遷移金属から選択された金属によって島状金属下引膜を製膜後に、連続製膜で空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属の島状金属膜を製膜することにより、膜付きと経時保存性を同時に解決する耐久性超微細島状金属膜を製造できる方法である。
【００１５】
尚、本発明による最大の特徴は、膜付き強度を大幅に改良した島状金属下引膜であり、繰り返しの使用回数が数十回以上におよぶ耐久性を備えた島状金属下引膜である。また、製膜単価も前記先提案技術よりも安価に製造できるものであり、特に重要なのは蒸着装置に電子ビーム照射設備が不要な簡易装置で製膜可能な点である。ここで更に重要なことは島状金属下引膜の膜付きが増大したことで、微粉末を加圧転写するときも島状金属下引膜が剥離を起こさず応用用途が拡大したことである。これら多くの実験から本法を見出し、本発明を完成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳述する。
先ず、赤外線透過用基板について説明する。
基板素材としては、赤外線領域（波長２μｍ〜１５μｍ）に透過性を有する素材であれば、公知のものを特別の制限なく用いることができる。例えば、フッ化バリウム（ＢａＦ2）、フッ化カルシウム（ＣａＦ2）、ダイヤモンド、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ＫＲＳ−５（ＴｌＢｒＩ＝沃化タリウムと臭化タリウムの結晶混合物）、セレン化亜鉛（ＺｎＳｅ）、シリコン（Ｓｉ）などが挙げられる。
【００１７】
これらの中でも、膜付きの良い島状金属膜製造に好ましいのは、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、ダイヤモンド、ゲルマニウム、シリコンである。
【００１８】
素材形状は、赤外分光の測定モードに対応した形状であればよく、例えば、円板状、台形状、半円状、半球状、短針状、角柱状、蒲鉾状などである。
【００１９】
次に、遷移金属から選択された金属下引膜の製膜方法について述べる。
金属下引膜素材は主に遷移金属から選ばれた金属がよく、赤外線領域（波長２μｍ〜１５μｍ）に透過性を有する素材であれば、公知のものを特別の制限なく用いることができる。例えば、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）などで、好ましくはクロム、チタンである。
【００２０】
金属下引膜の製膜装置としては、一般的に知られている抵抗加熱蒸着法、スパッタリング法などに用いられるものであれば、公知のものを特別の制限なく用いることができる。好ましくは製造コスト及び製膜性能から抵抗加熱蒸着法である。
【００２１】
一例として金属クロム（Ｃｒ）を抵抗加熱蒸着法で製膜後に、同一真空槽内で連続製膜により金（Ａｕ）を抵抗加熱蒸着法で製膜した超微細島状金属膜を得た。尚、この超微細島状蒸着膜は数十回の使用に実用できた。
この一例のように、製膜には複数の蒸発源を備えた装置が必要であり、スパッタリング法でも複数のスパッタリング用ターゲットを必要とする。
【００２２】
本発明に係る遷移金属から選択された金属の島状金属下引膜の製膜状態は、例えば、平均膜厚が０．１ｎｍ〜２００ｎｍ、平均島状直径が０．１ｎｍ〜１００ｎｍ、平均島状金属下引膜間距離が０．１ｎｍ〜１００ｎｍであり、好ましくは平均膜厚が１ｎｍ〜５０ｎｍ、平均島状直径が１０ｎｍ〜８０ｎｍ、平均島状金属下引膜間距離が１ｎｍ〜５０ｎｍであるのがよい。また金属下引膜は島状でなくても平均膜厚が１０ｎｍ〜１００ｎｍの均一層であれば何ら影響を受けずに本発明の特性効果が認められた。
【００２３】
尚、平均膜厚、平均島状直径、平均島状金属下引膜間距離は、１５０点以上の測定値の単純平均値であり、島状膜が円でない場合は島状膜の各々の島の面積を真円に換算してから算出する。ここで算出した平均値は、電子顕微鏡写真を画像処理装置（商品名：ＬＵＺＥＸ＝ルーゼックス）で処理測定して、各々の島の面積を真円換算して算出した。
尚、平均値換算は整列楕円換算、正方形換算でもよい。
【００２４】
製膜条件は真空度、蒸着速度、蒸発源〜被着基板間距離の３条件が重要である。例えば、真空度は１×１０-2Ｐａ（パスカル）以下で、蒸着速度は０．０１ｎｍ／ｓｅｃ〜２．０ｎｍ／ｓｅｃ、蒸発源〜被着基板間距離は５０ｍｍ〜５００ｍｍであり、好ましくは真空度は１×１０-3Ｐａ（パスカル）以下、蒸着速度は０．０１ｎｍ／ｓｅｃ〜０．１ｎｍ／ｓｅｃ、蒸発源〜被着基板間距離は１００ｍｍ〜２００ｍｍが適性条件である。
【００２５】
この製膜で特に重要なのは、蒸着速度と蒸発源〜被着基板間距離の２条件で、緻密な島状金属下引膜には欠かせない条件である。
また、製膜時の被着赤外線透過用基板は固定したままで製膜するのが好ましい。
【００２６】
次に、金属下引膜の上に積層製膜する空気酸化性の少ない貴金属元素から選択された金属膜の製膜方法について述べる。
本発明に用いられる金属素材としては、製膜した金属膜が薄膜状態で赤外線領域（波長２μｍ〜１５μｍ）に透過性を有する素材であり、金、銀、白金、パラジウム、銅、タングステンなどが適性を示す。これらのうちで好ましいのは金、白金、パラジウムの白金族元素である。
【００２７】
尚、銀、銅、タングステンなどは蒸着後の保存状態により表面酸化が進行して表面増強効果が著しく低下するため製膜直後だけの限定使用となる。
【００２８】
製膜装置としては、一般的には抵抗加熱蒸着法、スパッタリング法に用いられるものであれば、公知のものを特別の制限なく用いることができる。
【００２９】
金属下引膜の製膜法でも触れたように特に好ましいのは抵抗加熱蒸着法である。抵抗加熱蒸着法で製膜する金属膜は製膜時の蒸発分子が微少なため緻密な島状膜を製膜できる利点がある。
【００３０】
島状金属膜の製膜状態は、例えば、平均膜厚が０．１ｎｍ〜２００ｎｍ、平均島状直径が０．１ｎｍ〜１００ｎｍ、平均島状金属膜間距離が０．１ｎｍ〜１００ｎｍであり、好ましくは平均膜厚が５ｎｍ〜５０ｎｍ、平均島状直径が１０ｎｍ〜８０ｎｍ、平均島状金属膜間距離が１ｎｍ〜５０ｎｍであるのがよい。
【００３１】
製膜条件は真空度、蒸着速度、蒸発源〜被着基板間距離の３条件が重要である。例えば、真空度は１×１０-2Ｐａ（パスカル）以下で、蒸着速度は０．０１ｎｍ／ｓｅｃ〜２ｎｍ／ｓｅｃ、蒸発源〜被着基板間距離は５０ｍｍ〜３００ｍｍであり、特に好ましくは真空度は１×１０-3Ｐａ（パスカル）以下、蒸着速度は０．０１ｎｍ／ｓｅｃ〜０．１ｎｍ／ｓｅｃ、蒸発源〜被着基板間距離は１００ｍｍ〜２００ｍｍが適性条件である。
【００３２】
この製膜で特に重要なのは、蒸着速度と蒸発源〜被着基板間距離の２条件で、緻密な島状金属膜の製膜には欠かせない条件である。
また、製膜時の被着赤外線透過用基板は固定したままで製膜するのが好ましい。
【００３３】
表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料を用いた赤外測定法は、多種多様のものが知られており、本発明に係る島状金属膜材料を用いた測定法では透過法（図２参照）に限らず、反射法、ＡＴＲ法、顕微透過法、顕微ＡＴＲ法、短針状結晶を用いた近接場赤外分光法など、公知のあらゆる種類の赤外測定法への適用ないし応用ができる。
【００３４】
これら赤外測定法の透過法文献には
（１）Ｙ．Ｎｉｓｈｉｋａｗａ，Ｋ．Ｆｕｊｉｗａｒａ，ａｎｄ  Ｔ．Ｓｈｉｍａ，Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ．４４，６９１（１９９０）．
（２）Ｙ．Ｎｉｓｈｉｋａｗａ，Ｋ．Ｆｕｊｉｗａｒａ，ａｎｄ  Ｔ．Ｓｈｉｍａ，Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ．４５，７４７（１９９１）．
【００３５】
ＡＴＲ法文献には
（１）Ａ．Ｈａｒｔｓｔｅｉｎ，Ｊ．Ｒ．Ｋｉｒｔｌｅｙ，ａｎｄ  Ｊ．Ｃ．Ｔｓａｎｇ，Ｐｈｙｓ．Ｒｅｖ．Ｌｅｔｔ．４５．２０１（１９８０）．
（２）Ａ．Ｈａｔｔａ，Ｔ．Ｏｈｓｈｉｍａ，ａｎｄ  Ｗ．Ｓｕｅｔａｋａ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，Ａ２９．７１（１９８２）．
（３）Ｒ．Ｒｏｓｅｌｌｅｒ，Ｅ．Ｈ．Ｋｏｒｔｅ，Ｆｒｅｓｅｎｉｕｓ  Ｊ．Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．３６２，５１（１９９８）．
【００３６】
反射法文献には
（１）Ｙ．Ｎｉｓｈｉｋａｗａ，Ｋ．Ｆｕｊｉｗａｒａ，Ｋ．Ａｔａｋａ，ａｎｄ  Ｍ．Ｏｓａｗａ，Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．６５，５５６（１９９３）．
【００３７】
測定面積が１００μｍ×１００μｍの顕微透過法文献には
（１）Ｙ．Ｎｉｓｈｉｋａｗａ，Ｋ．Ｆｕｊｉｗａｒａ，ａｎｄ  Ｔ．Ｓｈｉｍａ，Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ．４５，７４７（１９９１）．
等に文献記載がある。
【００３８】
【実施例】
以下、実施例によって本発明を例証する。
【００３９】
実施例１
赤外線透過用基板には厚さ１ｍｍ、直径２０ｍｍの円板状弗化バリウム板を用い、金属下引膜には金属クロム（Ｃｒ）を用い、この金属下引膜上に積層する金属膜製膜には金（Ａｕ）を用い、蒸発用ボートには金属クロム蒸発用、金蒸発用ともタングステン製を用いた。
【００４０】
また、２個の蒸発用ボートの１０ｍｍ上方には、ボート毎にスライド式シャッターを設けて、一方を蒸発中はもう一方の蒸着材が汚染しないように準備した。
【００４１】
蒸着装置は真空槽内容積が１５０リットルの円筒型２連電極付きで、ロータリー真空ポンプと油拡散ポンプを備えた装置を使用した。
【００４２】
蒸着装置は真空槽内に、前記弗化バリウム板を蒸発源より２００ｍｍ上方に固定し、電極−１には１ｍｍ直径の顆粒状金属クロムを２グラム入れたタングステンボートを準備し、電極−２には１ｍｍ径×１０ｍｍ長さの金線を２本いれたタングステンボートを準備した。
【００４３】
真空度を０．８×１０-3Ｐａ（パスカル）に調整し、抵抗加熱蒸着により電極−１に２０Ａ（アンペア）の電流を流し、金属クロムを０．０２ｎｍ／ｓｅｃの蒸着速度で２．５分間蒸着した。弗化バリウム板には、平均膜厚が３ｎｍ、平均島状直径が５０ｎｍ、平均島状金属下引膜間距離１０ｎｍの金属クロム膜を製膜した。
【００４４】
続いて同一真空槽内、同じ真空度で抵抗加熱蒸着により、電極−２に２０Ａ（アンペア）の電流を流し、０．０１ｎｍ／ｓｅｃの蒸着速度で金（Ａｕ）を３３分間蒸着した。金属クロムを下引き製膜した弗化バリウム板に、平均膜厚２０ｎｍ、平均島状直径が５０ｎｍ、平均島状金属膜間距離１０ｎｍの金蒸着膜の超微細島状金属膜が製膜された。
【００４５】
実施例２
赤外線透過用基板には厚さ１ｍｍ、直径２０ｍｍの円板状弗化バリウム板を用い、金属下引膜には金属クロム（Ｃｒ）を用い、この金属下引膜上に積層する金属膜製膜には金（Ａｕ）を用い、蒸発用ボートには金属クロム蒸発用、金蒸発用ともタングステン製を用いた。
【００４６】
また、２個の蒸発用ボートの１０ｍｍ上方にはそれぞれのボート毎にスライド式シャッターを設けて、一方を蒸発中はもう一方の蒸着材が汚染しないように準備した。
【００４７】
蒸着装置は真空槽内容積が１５０リットルの円筒型２連電極付きで、ロータリー真空ポンプと油拡散ポンプを備えた装置を使用した。
【００４８】
蒸着装置の真空槽内に、前記弗化バリウム板を蒸発源より２００ｍｍ上方に固定し、電極−１には直径１ｍｍの顆粒状金属クロムを２グラム入れたタングステンボートを準備し、電極−２には１ｍｍ径×１０ｍｍ長さの金線を２本いれたタングステンボートを準備した。
【００４９】
真空度を０．８×１０-3Ｐａ（パスカル）に調整し、抵抗加熱蒸着により電極−１に２０Ａ（アンペア）の電流を流し、金属クロムを０．０２ｎｍ／ｓｅｃの蒸着速度で２．５分間蒸着した。弗化バリウム板に、平均膜厚が３ｎｍ、平均島状直径が５０ｎｍ、平均島状金属下引膜間距離１０ｎｍの金属クロム膜を製膜した。
【００５０】
続いて同一真空層内、同じ真空度で抵抗加熱蒸着により、電極−２に２０Ａ（アンペア）の電流を流し、蒸着速度０．０１ｎｍ／ｓｅｃで金（Ａｕ）を１７分間蒸着した。金属クロムを下引き製膜した弗化バリウム板に、平均膜厚１０ｎｍ、平均島状直径が５０ｎｍ、平均島状金属膜間距離１０ｎｍの金蒸着膜の超微細島状金属膜が製膜された。
【００５１】
実施例３
赤外線透過用基板には厚さ１ｍｍ、直径２０ｍｍの円板状弗化バリウム板を用い、金属下引膜には金属クロム（Ｃｒ）を用い、この金属下引膜上に積層する金属膜製膜には金（Ａｕ）を用い、蒸発用ボートには金属クロム蒸発用、金蒸発用ともタングステン製を用いた。
【００５２】
また、２個の蒸発用ボートの１０ｍｍ上方にはそれぞれのボート毎にスライド式シャッターを設けて、一方を蒸発中はもう一方の蒸着材が汚染しないように準備した。
【００５３】
蒸着装置は真空槽内容積が１５０リットルの円筒型２連電極付きで、ロータリー真空ポンプと油拡散ポンプを備えた装置を使用した。
【００５４】
蒸着装置の真空槽内に、前記弗化バリウム板を蒸発源より２００ｍｍ上方に固定し、電極−１には直径１ｍｍの顆粒状金属クロムを２グラム入れたタングステンボートを準備し、電極−２には１ｍｍ径×１０ｍｍ長さの金線を２本いれたタングステンボートを準備した。
【００５５】
真空度を０．８×１０-3Ｐａ（パスカル）に調整し、抵抗加熱蒸着により電極−１に３０Ａ（アンペア）の電流を流し、金属クロムを０．０５ｎｍ／ｓｅｃの蒸着速度で１分間蒸着した。弗化バリウム板に、平均膜厚が３ｎｍ、平均島状直径が２０ｎｍ、平均島状金属下引膜間距離１０ｎｍの金属クロム膜を製膜した。
【００５６】
続いて同一真空層内、同じ真空度で抵抗加熱蒸着により、電極−２に４０Ａ（アンペア）の電流を流し、０．１ｎｍ／ｓｅｃの蒸着速度で金（Ａｕ）を１分間蒸着した。金属クロムを下引き製膜した弗化バリウム板に、平均膜厚５ｎｍ、平均島状直径が２０ｎｍ、平均島状金属膜間距離１０ｎｍの金蒸着膜の超微細島状金属膜が製膜された。
【００５７】
比較例１
金属膜を製膜しない弗化バリウム板にＴＰＰを２５ｎｇ／ｃｍ2の量を塗布した。
ＴＰＰ＝ＴｒｉＰｈｅｎｙｌＰｈｏｓｐｈａｔｅ（トリフェニルフォスフェイト）は、主にプラスチック樹脂を成型するときに用いる可塑剤で軟質塩化ビニル、ＴＡＣフィルムなどに多用される化合物で赤外吸収感度が高い特徴がある。
【００５８】
上記実施例１において、下引き製膜に金属クロムを製膜することなく、弗化バリウム板に、直接金（Ａｕ）皮膜を製膜した。
【００５９】
図４に実施例１〜３、比較例２で得られた超微細島状金属膜について、図２に示す透過法による赤外測定で、赤外感度の高いＴＰＰを測定基準に選択して、効果を確かめた。
【００６０】
その結果、得られた感度（比較例１の感度を１とする相対感度）の相対図を示す。また、図３に従来膜（比較例２）と新規蒸着膜（実施例１）及び前記先提案技術（特願２０００−０７０５７９号）で得られた蒸着膜について、使用回数と感度変化の関係を示す耐久性図表を示す。
【００６１】
【発明の効果】
本発明によれば、数十回の使用に耐え、且つ数ナノグラム単位の超微量液状物や数ナノグラム単位の微量微粉末を超高感度に測定できる表面増強赤外吸収分光用島状金属膜材料及びその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】超微細島状金属膜の電子顕微鏡写真であり、（Ａ）が実施例１の写真、（Ｂ）が実施例３の写真
【図２】測定手段を示す試料転写模式図
【図３】平均島状膜厚と相対感度を示す感度相対図
【図４】使用回数と感度変化の関係を示す耐久性図表
【図５】平均島状膜厚とＴＰＰ測定感度の実測図
【図１】
0003994715.tif 000002
【図２】
0003994715.tif 000003
【図３】
0003994715.tif 000004
【図４】
0003994715.tif 000005
【図５】
0003994715.tif 000006