(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向した一対の側壁部を備えた軌道レール，前記軌道レールに対して往復移動するスライダ，及び前記軌道レールの上方で前記軌道レールの前記側壁部間に配置されたカバーを有し，前記軌道レールの前記側壁部と前記カバーとの間には長手方向に延びる開口が形成され，前記スライダは両側面から一体的に延びて前記開口を通じて横方向に突出する突出部と該突出部から上方に延びるフランジ部とを備え，
前記軌道レールの前記側壁部と前記カバーとの間の前記開口には前記開口を密封するため復元力を有する柔軟な多孔質部材で形成されたシール体が配置され，前記シール体は前記側壁部及び前記カバーのいずれか一方に固着され，
前記シール体には，前記スライダの前記突出部の通過によって発生する前記シール体の伸縮変形に対する復元力を増して密接性をアップさせるため，前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられており，
前記軌道レールに対する前記スライダの往復移動時に，前記シール体は，前記シール体を変形させて移動する前記突出部の面に密接状態で伸縮変形することから成るスライド装置のシール構造。
【請求項２】
前記シール体は，前記開口の形状に対応する形状に形成されていることから成る請求項１に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項３】
前記シール体は，実質的に断面形状が四角形に形成され，前記スライダの前記突出部の通過時には前記断面形状が伸縮変形することから成る請求項１又は２に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項４】
前記シール体は，前記側壁部及び前記カバーのいずれか一方に固着される側が厚肉部に且つ前記スライダの前記突出部が通過する側に向かって薄肉部に変化する断面形状に形成されていることから成る請求項１又は２に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項５】
前記シール体は，フォームラバーで形成されていることから成る請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項６】
前記シール体を形成する前記フォームラバーの表面には，保護皮膜がコーティングされていることから成る請求項５に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項７】
前記カバー又は前記側壁部に固着される側の前記シール体の面には，長手方向に沿って取付け板が固着されていることから成る請求項１〜６のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項８】
前記スライダの前記突出部が摺接する側の前記シール体の面には，前記シール体の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられていることから成る請求項１〜７のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項９】
前記スライダの前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられていることから成る請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１０】
前記カバーは，前記シール体を保護するため前記シール体の上面を覆っていることから成る請求項１〜９のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１１】
前記カバーは，前記シール体の上面を覆うための上部と前記シール体の側面を覆うための前記上部の長手方向縁部から垂下した側部から構成され，前記カバーの前記側部は前記シール体の側面と前記スライダの前記フランジ部との間に位置していることから成る請求項１〜１０のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１２】
前記軌道レールの前記側壁部は，前記軌道レールの底部と一体的構造であり，前記軌道レールは，上部が開口した樋型に形成されていることから成る請求項１〜１１のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１３】
前記スライダの両側面に形成された軌道溝と前記軌道レールの前記側壁部の内面にそれぞれ形成された軌道溝とでそれぞれ形成される負荷路を，転動体が転走することによって前記スライダは前記軌道レールに対してスムースに往復移動できることから成る請求項１〜１２のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１４】
前記シール体は，前記カバーに固着された上シール体と前記側壁部に固着された下シール体から成り，前記スライダの前記突出部は，前記上シール体と前記下シール体との間を往復移動することから成る請求項１〜１３のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１５】
前記軌道レールは，前記スライダに形成された軌道溝とで転動体が転走する負荷路を形成する軌道溝が形成された軌道レール本体と，前記軌道レール本体が固定された前記側壁部を有するベースフレームとから構成されていることから成る請求項１〜１４のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１６】
前記ベースフレームには，長手方向に沿って一対の前記軌道レール本体が取り付けられており，前記スライダは一対の前記軌道レール本体に跨がって配設されていることから成る請求項１５に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項１７】
前記スライダは，前記軌道レールに形成された軌道溝とで転動体が転走する負荷路を形成する軌道溝が形成されたスライダ部と，前記スライダ部に固定された前記突出部と前記フランジ部とを有する取付部とから構成されていることから成る請求項１〜１６のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，スライド装置において，軌道レールとスライダとの間の開口を通じてスライド装置自体で発生する塵埃，油等の異物或いは外部から侵入する塵埃，油等の異物がスライド装置の内外部に出入するのを防止するシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，クリーンルーム等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に組み込まれるスライド装置として，図１８及び図１９に示すものが知られている。該スライド装置は，上面側が開口した断面Ｕ字状で長尺な軌道レール２，軌道レール２の上方に開口２７を持つＵ字状の凹部５内に移動可能に嵌挿されたスライダ３，スライダ３に螺合するボールねじ軸４，及びボールねじ軸４を回転駆動する駆動モータ９から構成されている。軌道レール２には，駆動モータ９が取り付けられたモータ側ボールねじ軸用支持体１１と，エンド側ボールねじ軸用支持体１２とが取り付けられ，ボールねじ軸４を回転自在に支持している。軌道レール２はねじ等の適宜の固着手段によって支持台に固定されている。スライダ３は，軌道レール２に対して転動体を介して摺動自在に取り付けられている。軌道レール２の凹部５は，底部６とその両側から起立する一対の側壁部７とから構成されている。一対の側壁部７の対向面には，スライダ３が直線走行できるように，転動体が転走する軌道溝８が長手方向に形成されている。スライダ装置では，側壁部７に形成された軌道溝８とスライダ３に形成された軌道溝によって転動体が転走する負荷路が形成されている。
【０００３】
スライダ３は，テーブル等の物体（図示せず）を取り付けるため側方に先端が上方に延びる一対の取付けフランジ部１３を有している。取付けフランジ部１３には，物体をボルトで固定するためのねじ穴１４が形成されている。カバー１５は，スライダ３の取付けフランジ部１３が往復移動する開口３３を除いて，軌道レール２を覆うように支持体１１，１２に取り付けられ，スライド装置の駆動部分として軌道レール２内に収容されるスライダ３やボールねじ軸４の上部を覆い，軌道レール２の内外への塵埃等の異物の出入を防止している。スライダ３の取付けフランジ部１３は，カバー１５との干渉を回避するため，軌道レール２の横方向から上方に略Ｌ字状に延びている。スライダ３には，ボールねじ軸４が螺合する螺旋溝を備えたボールねじナット１７が取り付けられている。ボールねじ軸４とボールねじナット１７から成る送りねじ機構は，ボールねじ軸４の回転に応じてスライダ３を軌道レール２の軸方向に直線移動させることができる。支持体１１，１２は，軌道レール２の各側壁部７の上面２０に固定されている。軌道レール２の軌道溝８及び上面２０は，互いに平行に加工されている。
【０００４】
また，軌道レール２の側壁部７の外面には，センサレール２２が取り付けられている。センサレール２２には，予め決められた所定の位置にリミットセンサ２３が設けられている。リミットセンサ２３がフランジ部１３を検出した検出信号は，リード線２４を経てセンサ用コネクタ２５からコントローラに入力される。また，モータ用コネクタ２８からの制御信号に応じて駆動モータ９が制御される。駆動モータ９の回転駆動力は，カップリング３０を介してボールねじ軸４に伝達される。また，スライダ３の摺動範囲は，モータ側ボールねじ軸支持体１１とエンド側ボールねじ軸支持体１２とにそれぞれ取り付けられたストッパ３１，３２によって規定されている。
【０００５】
上記のようなスライド装置において，開口３３を通じて塵埃等の異物が出入するのを防止するため，開口３３にジャバラ状のシール体を設けたスライド装置のシール構造が知られている（特開平１１−３２５０７０号公報参照）。該シール構造では，開口３３は軌道レール２の側壁部７とカバー１５との互いに対向する対向面の一方に取り付けられた自己弾力性を有する少なくとも一つの伸縮性シール体によって塞がれている。上記伸縮性シール体は，スライダ３の摺動に伴って開口３３を通過する取付けフランジ部１３によって一方の対向面に向かう方向に伸縮変形される。
【０００６】
また，本出願人に係る特開２００１−２７２３５号公報に開示されたスライド装置のシール構造は，上記のようなスライダ装置において，スライダ３の摺動に伴って取付けフランジ部１３が通過できるように，軌道レール２とカバー１５との間のスリットには伸縮性シール体が配置されている。伸縮性シール体は，取付けフランジ部の周りにおいてスリットをシールするため取付けフランジ部が通過する領域では取付けフランジ部に密接した状態に分離され，取付けフランジ部が通過する前後の領域では自己弾力性により互いに衝合する上シール及び下シールから構成されている。上シールと下シールに作用する重力の影響を相殺するため，下シールの弾性力は上シールの弾性力よりも強く設定されている。更に，上シール及び下シールは，それぞれ一方の側端部がスリットの開口縁部に取り付けられ，他方の側端部が自己弾力性により互いに衝合する帯板状のシール部材から構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，従来のスライド装置では，スライダ３の摺動に伴ってテーブル取付け用の取付けフランジ部１３が一体的に移動するために，軌道レール２とカバー１５との間には，取付けフランジ部１３が通過するためのスリットや開口３３が形成されている。開口３３から摩耗粉，塵埃等の異物がスライド装置の内部に侵入したり，又は装置自体から発生した塵埃等が半導体製造装置等が設置されているクリーンルームへと飛散することを完全に防止することができない。そのため，スリットや開口３３を通じて塵埃がシール装置の内外に出入するのを防止するため，上記のように，開口３３にジャバラ状の伸縮性シール体で開口部を塞いでシールしたり，又はスリットに上シールと下シールから成る伸縮性シール体でスリットを塞いでシールしているが，このような伸縮性シール体を製作するのが複雑で容易でなく，しかも製造コストがアップするという問題があった。また，伸縮性シール体は，密封性のよい伸縮の弾性度を確保することには問題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記課題を解決することであり，スライド装置の側壁部に形成される軌道レールと上部カバーとの間の開口をスライダの側方への突出部が通過する構造を有するスライド装置において，突出部が通過する開口を突出部によって変形させることができる伸縮可能の多孔質部材によって，粉塵，油等の異物がスライド装置の内部に侵入したり，スライド装置自身で発生した塵埃，油等の異物が半導体製造装置等を設置したクリーンルームへと飛散するのを簡単な構造で且つ製造コストが安価なシール体を備えたスライド装置のシール構造を提供することである。
【０００９】
この発明は，互いに対向した一対の側壁部を備えた軌道レール，前記軌道レールに対して往復移動するスライダ，及び前記軌道レールの上方で前記軌道レールの前記側壁部間に配置されたカバーを有し，前記軌道レールの前記側壁部と前記カバーとの間には長手方向に延びる開口が形成され，前記スライダは両側面から一体的に延びて前記開口を通じて横方向に突出する突出部と該突出部から上方に延びるフランジ部とを備え，前記軌道レールの前記側壁部と前記カバーとの間の前記開口には前記開口を密封するため復元力を有する柔軟な多孔質部材で形成されたシール体が配置され，前記シール体は前記側壁部及び前記カバーのいずれか一方に固着され，前記シール体には，前記スライダの前記突出部の通過によって発生する前記シール体の伸縮変形に対する復元力を増して密接性をアップさせるため，前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられており，前記軌道レールに対する前記スライダの往復移動時に，前記シール体は，前記シール体を変形させて移動する前記突出部の面に密接状態で伸縮変形することから成るスライド装置のシール構造に関する。
【００１０】
前記シール体は，前記開口の形状に対応する形状に形成されている。例えば，前記シール体は，実質的に断面形状が四角形に形成され，前記スライダの前記突出部の通過時には前記断面形状が伸縮変形するものである。或いは，前記シール体は，前記側壁部及び前記カバーのいずれか一方に固着される側が厚肉部に且つ前記スライダの前記突出部が通過する側に向かって薄肉部に変化する断面形状に形成され，前記スライダの前記突出部が通過する時には，伸縮変形するのは実質的に前記薄肉部であり，前記薄肉部の変形は前記厚肉部の幅以上の膨らみ変形を発生させることがなく，伸縮変形時の断面形状が実質的に四角形になり，前記薄肉部の伸縮変形による他のものへ干渉することがない。
【００１１】
前記シール体は，フォームラバーで形成されている。更に，前記シール体を形成する前記フォームラバーの表面には保護皮膜がコーティングされている。また，前記カバー又は前記側壁部に固着される側の前記シール体の面には，長手方向に沿って取付け板が固着されている。更に，前記スライダの前記突出部が摺接する側の前記シール体の面には，前記シール体の長手方向に沿って耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられている。また，前記スライダの前記突出部の摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられている。
【００１２】
前記カバーは，前記シール体を保護するため前記シール体の上面を覆っている。また，前記カバーは，前記シール体の上面を覆うための上部と前記シール体の側面を覆うための前記上部の長手方向縁部から垂下した側部から構成され，前記カバーの前記側部は前記シール体の側面と前記スライダの前記フランジ部との間に位置している。また，前記軌道レールの前記側壁部は，前記軌道レールの底部と一体的構造であり，前記軌道レールは，上部が開口した樋型に形成されている。
【００１３】
このスライド装置は，前記スライダの両側面に形成された軌道溝と前記軌道レールの前記側壁部の内面にそれぞれ形成された軌道溝とでそれぞれ形成される負荷路を，転動体が転走することによって前記スライダは前記軌道レールに対してスムースに往復移動できる。また，前記シール体は前記カバーに固着された上シール体と前記側壁部に固着された下シール体から成り，前記スライダの前記突出部は前記上シール体と前記下シール体との間を往復移動する。
【００１４】
前記軌道レールは，前記スライダに形成された軌道溝とで転動体が転走する負荷路を形成する軌道溝が形成された軌道レール本体と，前記軌道レール本体が固定された前記側壁部を有するベースフレームとから構成されている。また，前記ベースフレームには，長手方向に沿って一対の前記軌道レール本体が取り付けられており，前記スライダは一対の前記軌道レール本体に跨がって配設されている。また，前記スライダは，前記軌道レールに形成された軌道溝とで転動体が転走する負荷路を形成する軌道溝が形成されたスライダ部と，前記スライダ部に固定された前記突出部と前記フランジ部とを有する取付部とから構成されている。
【００１５】
このスライド装置のシール構造は，上記のように構成されているので，カバーと軌道レールの側壁部との間に存在する開口はフォームラバーのシール体で密閉することができ，スライダの横方向の突出部はシール体とカバー又は側壁部との間をスムースに密閉状態で往復移動することができる。シール体は，前記開口の形状に対応する形状に形成されており，スライダの突出部の通過によってシール体が変形する変形状態は，突出部による押し開きの無理の無いスムースな状態で伸縮変形して行われ，良好な密閉状態が維持される。従って，カバーと軌道レールの側壁部との間に形成される開口を通じての塵埃等の異物の出入が発生せず，例えば，スライダの往復移動で発生する摩耗粉等の塵埃が軌道レールのスライダの収容室からクリーンルーム等の外部へ放出することがなく，クリーンルームのクリーン度を維持することができる。また，シール体はフォームラバーでシンプルな断面四角形に形成されているので，複雑な形状や構造に伴うコストがかからず製造コストを低減でき，カバーと側壁部との間に形成される開口への装着が極めて容易である。
【００１６】
このシール構造において，前記シール体がフォームラバーで四角形の断面形状の場合には，前記スライダの前記突出部の通過時には，前記突出部による前記シール体の押し開きの無理の無いスムースな状態で伸縮変形し，良好な密閉状態が維持される。また，前記シール体が，固着側が厚肉部に且つ前記突出部の通過側が薄肉部になる断面形状に形成されている場合には，前記スライダの前記突出部の通過時には前記シール体がなお一層の無理の無いスムースな状態で伸縮変形し，前記薄肉部が前記厚肉部より大きく膨らむことがなく，前記薄肉部の伸縮変形時の断面形状が実質的に四角形になるように伸縮変形する。
【００１７】
また，このスライド装置のシール構造は，前記シール体には，前記スライダの前記突出部が通過する側の長手方向に沿ってばね部材が設けられているので，前記スライダの前記突出部の通過によって発生する前記シール体の伸縮変形による前記シール体の伸縮変形に対する復元力を増し，また，前記シール体の経年変化，例えば，前記スライダの前記突出部を一定期間移動させないで停止させていた後に，前記突出部を移動させたとしても，前記突出部の形状が前記シール体に残存することなく，前記ばね部材のばね力によって直ちに前記シール体の伸縮変形を補助して復元させ，前記ばね部材のばね力によって前記シール体の伸縮変形のレスポンスも良好になり，前記シール体の他の面への密接性がアップし，シール性能を向上させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の実施例を説明する。この発明によるシール構造を組み込んだスライド装置は，クリーンルーム等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に組み込まれて使用されるものである。図１〜図１７に示すスライド装置を構成する部分や部品には，図１８と図１９に示すスライド装置を構成する部分や部品と同様の機能を有する部分や部品には同一の符号を付すと共に，図１〜図１７に示すスライド装置においても同一の部分や部品には同一の符号を付し，重複する説明を省略する。
【００１９】
まず，図１〜図５を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第１実施例を説明する。第１実施例のシール構造を組み込んだスライド装置は，互いに対向した一対の側壁部７を有する軌道レール２，軌道レール２に対して往復移動するスライダ３，及び軌道レール２の上方で軌道レール２の側壁部７間で且つ軌道レール２の開口２７の実質的に上方に配置された密封用の上部カバー即ちカバー１５を有する。軌道レール２の側壁部７とカバー１５との間には，長手方向に延びる開口３３が形成され，スライダ３は，両側面から一体的に延びて開口３３を通じて突出する突出部１０と，突出部１０から上方に延びるフランジ部１３とを備えている。軌道レール２の側壁部７とカバー１５との間の開口３３には，開口３３を密封するためシール体１が配置されている。軌道レール２は，ベース等に取付け孔を通じて取付けねじで固定されている。
【００２０】
スライダ３には，ボールねじナット１７が固定されており，軌道レール２に固定された支持体１１，１２にボールねじ軸４が回転可能に取り付けられている。また，軌道レール２の一端部には駆動モータ９が取り付けられたモータブラケット３６が固着されている。スライダ３は，ボールねじ軸４が駆動モータ９によって可逆回転することによって軌道レール２に沿って往復移動するように構成されている。軌道レール２の他端部には，吸引口ねじ孔３８が形成された吸引口４７を備えたエンドカバー３５が取付けねじ３９によって取り付けられている。スライダ３には，グリースニップル４３及びエンドシール４６が取り付けられている。吸引口４７には，軌道レール２内の凹部５で発生する塵埃や油等の異物を吸引してクリーンルーム等の部屋の外部に排出するため，吸引管４１が連結されている。
【００２１】
また，軌道レール２の側壁部７は，軌道レール２の底部６と一体的構造であり，軌道レール２は，上部が開口２７に形成された樋型に形成されている。このスライド装置は，図２に示すように，軌道レール２の凹部５内が一方の端部をエンド側ボールねじ軸用支持体１２及びエンドカバー３５で密閉し，他方の端部をモータ側ボールねじ軸用支持体１１で密閉している。図４に示すように，このスライド装置は，Ｕ字状の凹部５を備えた軌道レール２をべースにして，長尺状でなる軌道レール２の内側面の軌道に沿ってスライダ３が摺動自在に位置決め駆動されるように構成されている。また，スライダ３の両側面に形成された軌道溝４５と軌道レール２の側壁部７の内面にそれぞれ形成された軌道溝８とでそれぞれ形成される負荷路を転動体４４が転走することによってスライダ３は軌道レール２に対してスムースに往復移動することができるように構成されている。軌道レール２の側壁部７の上面には，センサレール２２が取り付けられており，センサレール２２の二箇所の所定の位置には，図２に示すように，リミットセンサ２３が取り付けられている。
【００２２】
シール体１は，図４に示すように，シール体１の上面２６に固着された取付け板１６を介在してカバー１５に固着されている。また，スライダ３の突出部１０が，シール体１の下面に固着された摺接ベルト１８と軌道レール２の側壁部７の上面に固定されたリミットセンサ支持ブラケット５４に設けたシール体１の当接面即ちセンサレール２２との間を通過する時に，シール体１は，スライダ３の突出部１０の面に対して密接状態で伸縮変形するように構成されている。Ｕ字状の軌道レール２の側壁部７の上面２０とカバー１５との間には，長手状に開口３３があって，開口３３を通してスライダ３の横方向の突出部１０が延びており，突出部１０が開口３３を長手方向に摺動自在に移動できるように構成されている。フォームラバーのシール体１と摺接する突出部１０の進行方向の両端部は，傾斜面４０に形成され，フォームラバーのリフトアップ及びリフトダウンを滑らかに案内している。
【００２３】
シール体１は，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔質部材で形成され，従来のシール体よりも製作し易く，取扱い易く，伸縮の繰り返し寿命も長くなり，密封性のよい構造に構成されている。シール体１は，開口３３の形状に対応する形状に形成されている。シール体１は，図５に示すように，実質的に断面形状が矩形，正方形等の四角形に形成され，スライダ３の突出部１０がシール体１を押しのけて通過する時には，断面形状が実質的に四角形状態で伸縮変形する材料，例えば，多孔質で連通していない多孔部材であるフォームラバーで形成されることが，塵埃等の出入を防止するための密封性を確保でき好ましいものである。また，フォームラバーの表面には，場合によっては，保護皮膜２１をコーティングすることもできる。
【００２４】
フォームラバーは，例えば，ラテックスを主原料とし，硫黄，加硫促進剤，老化防止剤，起泡剤等の配合物を泡立たせ，凝固剤を加えて凝固させ，加熱蒸気や熱水で加硫した後，水洗乾燥されたラテックススポンジであり，自己弾力による復元力を有する柔軟な多孔性のゴムである。シール体の表面には，防湿のため保護皮膜２１をコーティングすることもできるが，皮膜無しの表面に構成する方が繰り返し伸縮でひび割れ等が発生することがない。シール体１を配設したことによって開口３３の密封性が向上した。シール体１の試験では，例えば，スライダ３のストローク；２７０ｍｍ，往復移動の加減速；０．１ｓｅｃ，スライダ３の摺動速度；ｌ０００ｍｍ／ｓ，吸引量；３０Ｌ／分，ボールねじ軸４のボールねじリード；２０ｍｍ，及びクリーングリースを使用したテスト条件で，クリーン度がクラス３以下を実現できた。
【００２５】
フォームラバーから成るシール体１は，図５に示すように，カバー１５に着脱可能な取付け板１６がフォームラバーの上面の長手方向に沿って両面粘着テープで粘着したり，或いは接着剤で固着している。フォームラバーの下面には，スライダ３の横方向の突出部１０の上面と摺接するため，発塵性を小さくする摺接ベルト１８が接着剤で固着され，或いは両面粘着テープで粘着されている。取付け板１６は，フォームラバーを遊嵌するフォームラバーの幅より幅広で長手方向に沿って両側に垂下した側壁３４を曲げた逆Ｕ字状のステンレス板製の薄板で形成されており，取付け板１６には，カバー１５に取り付けるための取付用ねじ孔２９が長手方向に沿って所定の間隔で形成されている。取付け板１６は，側壁３４を備えた逆Ｕ字状に成形することによって軽量にして剛性のある構造に形成されている。
【００２６】
また，摺接ベルト１８は，シール体１のフォームラバーの下面の長手方向に沿って固着され，クリーンルーム内で使用されるウェハ搬送用ベルトが利用されている。ウェハ搬送用ベルトはポリエステル材で形成され，摩耗粉が発生し難い材料である。従って，摺接ベルト１８は，スライダ３の突出部１０と摺接する少なくとも表面をポリエステル樹脂，ポリエステル繊維等のポリエステル製に形成されている。図示していないが，シール体１と摺接するスライダ３の突出部１０の部分にも，摺接ベルトを固着することによって，一層発塵性を低減させることができる。摺接ベルト１８は，シール体１のフォームラバーの幅より若干幅広の形状に形成され，フォームラバーの伸縮時にフォームラバーが摺接ベルト１８からはみ出すことがなく，フォームラバーがスライダ３の突出部１０の表面に接触しない形状に形成されている。また，図示していないが，スライダ３の突出部１０の摺接ベルト１８との摺接面には，耐摩耗性の摺接ベルトが取り付けられることが耐摩耗性を向上させ，発塵性を防止する点からも好ましいものである。
【００２７】
軌道レール２の側壁部７とカバー１５との間に形成される開口３３では，図４に示すように，軌道レール２の外側面に配設されているセンサレール２２が一体にして軌道レール２の側壁部７の上面２０に延びて配設されており，フォームラバーから成るシール体１の下面を安定して案内する案内面を形成しているが，軌道レール２の側壁部７の上面２０が幅広に形成されていれば，側壁部７の上面２０に延びるセンサレール２２を不要にした構造に構成することもできる。
【００２８】
このスライド装置のシール構造は，エンドカバー３５及びモータ側ねじ支持体１１には，スライダ３の往復移動によって，密閉された軌道レール２内の凹部５で発生する塵埃を含む空気を吸引してスライド装置からクリーンルーム等の外部に発塵しないようにするために吸引口４７が設けられている。
【００２９】
カバー１５は，シール体１を保護するためシール体１の上面を覆っている。カバー１５は，図４に示すように，シール体１の上面を覆うための上部５１とシール体１の側面を覆うための上部５１の長手方向縁部から垂下した側部５２から構成され，カバー１５の側部５２はシール体１の側面とスライダ３のフランジ部１３との間に位置している。
【００３０】
次に，図６を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第２実施例を説明する。第２実施例のスライド装置のシール構造では，シール体１は，カバー１５に固着された上シール体１Ｕと，軌道レール２の側壁部７に取り付けたセンサレール２２の上面に固着された下シール体１Ｌとに二分割した構造に構成されている。スライダ３の突出部１０は，上シール体１Ｕと下シール体１Ｌとの間を往復移動するように組み込まれている。上シール体１Ｕと下シール体１Ｌとの間の突出部１０が通過する対向面の当接面５３には，互いに密着するように設定されており，しかも耐摩耗性のため摺接ベルト１８を固着することができる。第２実施例のシール構造では，上記のように，フォームラバーが二分割されたシール体１では，突出部１０が通過する時の変形量が上シール体１Ｕと下シール体１Ｌとに二分され，第１実施例のシール構造に比較してフォームラバーの伸縮量は小さいものになっている。従って，フォームラバーの伸縮量が小さければ，フォームラバーの寿命も長いものになり，スライダ３の突出部１０がフォームラバーを押し分ける力（抵抗力）も若千小さいものになる。
【００３１】
次に，図７を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第３実施例を説明する。第３実施例のスライド装置のシール構造では，フォームラバーから成るシール体１の下面は，軌道レール２の側壁部７の上面であるセンサレール２２の上面に固着して密閉されている。シール体１の上面には，摺接ベルト１８が固着され，スライダ３の突出部１０の下面がシール体１の上面の摺接ベルト１８に摺接されている。第３実施例では，センサレール２２の上方へ延びる側部１９がフォームラバーのシール体１の側面をカバーして防護する構造に形成されている。シール体１の下面に固着した取付け板１６を，センサレール２２の上面に固着する方が好ましい。
【００３２】
更に，図８〜図１０を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第４実施例を説明する。第４実施例のスライド装置のシール構造は，開口３３を密封するシール体１を設けた構造に構成されている。スライド装置は，Ｕ字状の凹部５を備えたベースフレーム４８がベースに取付けねじ５０によって固定されている。軌道レール２は，スライダ３に形成された軌道溝４５とで転動体４４が転走する負荷路を形成する軌道溝８が形成された軌道レール本体５７と，軌道レール本体５７をボルト５８で固定した側壁部７を有するベースフレーム４８とから構成されている。ベースフレーム４８内に長尺状の軌道レール本体５７が配設されている。
【００３３】
スライダ３は，軌道レール２に跨架して摺動自在なスライダ部５６と，スライダ部５６に固定された取付部５５から構成されている。スライダ部５６には，軌道レール２に形成された軌道溝８とで転動体４４が転走する負荷路を形成する軌道溝４５が形成されている。また，取付部５５には，ボールねじナット１７が配設され，横方向に延びる突出部１０と突出部１０の側縁部から上方に延びるフランジ部１３とが形成されている。フランジ部１３の上面２０には，種々の物体が取り付けられるように構成されている。スライド装置におけるスライダ３は，べースフレーム４８の長手方向に沿って軌道レール２にガイドされて摺動自在に位置決め駆動されるように構成されている。
【００３４】
このスライド装置では，ベースフレーム４８の両端にエンドカバー３５が配設されて端部が閉鎖され，ベースフレーム４８内の凹部５が密閉されている。ベースフレーム４８に形成されている凹部５には，ボールねじ軸４を駆動するための駆動モータ９が内蔵された構造に構成されている。エンドカバー３５には，吸引管が連結される吸引口４７が設けられている。カバー１５の側部５２は，ベースフレーム４８の側壁部７とシール体１との間に垂下するように配設されている。シール体１の上面２６は，カバー１５の上部５１の背面に取付け板１６を介して固着されている。スライダ３の突出部１０は，シール体１の下面の摺接ベルト１８とベースフレーム４８の側壁部７の上面との間で（図では，摺接ベルト１８とセンサレール２２に摺接して）往復移動する。カバー１５の側部５２とベースフレーム４８の側壁部７の上面との間に形成された側面の開口３３は，ほぼ全長に渡って開口しているので，シール体１が開口３３の全長に渡って配設され，開口３３を密閉している。
【００３５】
次に，図１１を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の第５実施例を説明する。第５実施例のシール構造を備えたスライド装置は，スライダ３と軌道レール２とから構成される直動案内ユニットが一対配設されたものである。即ち，軌道レール２は，ベースに取付けねじ５０で固定されたベースフレーム４９と，ベースフレーム４９の長手方向に沿って取り付けられた一対の軌道レール本体５７とから構成されている。また，スライダ３は，一対のスライダ部５６と，スライダ部５６に跨がって固定された取付部５５とから構成されている。スライダ３のスライダ部５６は，一対の軌道レール本体５７にそれぞれ跨がって配設されている。ベースフレーム４９は，Ｕ字状の一体構造に構成されている，一体構造でなく，側壁部７をそれぞれ備えた別体の板状部材から構成された側壁板を一体的に固設した構造に構成することもできることは勿論である。
【００３６】
第５実施例のシール構造では，長手状でなるフォームラバーから成るシール体１の上面に取り付けた取付け板１６がカバー１５の上部５１に固着されている。また，シール体１の下面には摺接ベルト１８が固着され，ベースフレーム４９の側壁部７の上面２０に弾圧，即ち，所定の締め代を有して密接して当接している。また，シール体１の両端部は，スライダ３が両端いっぱいまでストロークすることが無いので，シール体１の下面とベースフレーム４９の側壁部７の上面２０とが当接するだけの構造で十分であり，シール体１のフォームラバーの端部がめくりあがることが無く密封状態が保持される。このシール構造では，スライダ３の取付部５５の横方向に延びる突出部１０は，シール体１の下面の摺接ベルト１８とベースフレーム４９の側壁部７の上面２０との間を（図では，摺接ベルト１８とセンサレール２２とに摺接して）往復移動するように構成されている。勿論，フォームラバーのシール体１と摺接する突出部１０の進行方向の両端部は，傾斜面４０に形成され，フォームラバーのリフトアップ及びリフトダウンを滑らかに案内していることは勿論である。
【００３７】
次に，図１２及び図１４〜図１７に示されているシール構造の第６実施例〜第１０実施例について説明する。
第６実施例〜第１０実施例は，図４〜図７，図１０及び図１１に示されている第１実施例〜第５実施例と比較して，シール体の形状が異なるものであり，第１実施例〜第５実施例では図５に示すシール体１を用いたのに対し，第６実施例〜第１０実施例では図１３に示すシール体１ａを用いた点で異なると共に，シール体１ａにばね部材６０を設けた点で異なり，それ以外では同一の構成を有するものであるので，図１３のシール体には図４のシール体１の符号に添え字ａを付した符号１ａで示し，その他の同一の部品及び同一の部分については同一の符号を付し，各実施例における構成についての重複する説明を省略する。
【００３８】
図１２及び図１４〜図１７に示されている各実施例では，図１３に示すシール体１ａが用いられており，シール体１ａは，側壁部７及びカバー１５のいずれか一方に固着される側が厚肉部６１に形成され，スライダ３の突出部１０が通過する側に向かって細身になるように薄肉部６２に変化する断面形状を有し，また，シール体１ａの薄肉部６２は，対向する側面が傾斜面に形成され，断面形状が略台形形状に形成されている。シール体１ａについては，スライダ３の突出部１０の通過時には，薄肉部６２がなお一層の無理の無いスムースな状態で伸縮変形し，厚肉部６１の幅以上の膨らみ状態に変形することが無く，シール体１ａが全体的に実質的に四角形状に伸縮変形するものである。
【００３９】
また，図１２及び図１４〜図１７に示されている各実施例では，シール体１ａには，スライダ３の突出部１０が通過する側，即ち，シール体１ａのフォームラバーの下面と摺接ベルト１８との間に，長手方向に沿って板ばね等のばね部材６０が設けられている。それによって，シール体１ａは，スライダ３の突出部１０の通過によって発生するシール体１ａの伸縮変形に対する復元力を増すように形成され，また，シール体１ａの経年変化に対しても突出部１０の形状がシール体１ａに残存することなく，ばね部材６０のばね力によって直ちにシール体１ａの伸縮変形を補助して復元し，ばね部材６０のばね力によってシール体１ａの伸縮変形のレスポンスも良好になり，シール体１ａの他の面への密接性がアップし，シール性能を向上させることができる。これらの実施例は，シール体１ａにばね部材６０を設けることによって，ばね部材６０のばね力によってシール体１ａが経年変化等で復元力が弱くなったとしても，シール体１ａの復元力を助け，シール体１ａの伸縮変形に対する復元力のレスポンスを良くすると共に，突出部１０，側壁部７，センサレール２２等の他部品や部分の面に対する密接性をアップし，シール体１ａのシール性能を向上させることができる。
【００４０】
図１２及び図１４〜図１７に示された各実施例を，図４〜図７，図１０及び図１１に示された各実施例に対応させて個々に説明すると，次のとおりである。
（１）図１２に示す第６実施例は，図４に示す第１実施例に対応している。即ち，第６実施例は，第１実施例のシール体１をシール体１ａに換え，シール体１ａにばね部材６０を設けたものである。
（２）図１３に示すシール体１ａは，図５に示すシール体１に対応している。即ち，図５にはシール体１が示されているのに対し，図１３にはシール体１ａが示されており，シール体１ａにばね部材６０が設けられている。
（３）図１４に示す第７実施例は，図６に示す第２実施例に対応している。即ち，第７実施例は，第２実施例のシール体１をシール体１ａに換え，シール体１ａにばね部材６０を設けたものである。具体的には，図６に示された上シール体１Ｕを上シール体１Ｕａに換え，上シール体１Ｕａに上ばね部材６０Ｕを設けている。また，図６に示された下シール体１Ｌを下シール体１Ｌａに換え，下シール体１Ｌａに下ばね部材６０Ｌを設けたものである。
（４）図１５に示す第８実施例は，図７に示す第３実施例に対応している。即ち，第８実施例は，第３実施例のシール体１をシール体１ａに換え，シール体１ａにばね部材６０を設けたものである。
（５）図１６に示す第９実施例は，図１０に示す第４実施例に対応している。即ち，第９実施例は，第４実施例のシール体１をシール体１ａに換え，シール体１ａにばね部材６０を設けたものである。
（６）図１７に示す第１０実施例は図１１に示す第５実施例に対応している。即ち，第１０実施例は，第５実施例のシール体１をシール体１ａに換え，シール体１ａにばね部材６０を設けたものである。
【００４１】
【発明の効果】
この発明によるスライド装置のシール構造は，上記のように構成されているので，シール体そのものが極めてシンプルな形状，例えば，断面四角形の形状，厚肉部と薄肉部とから成る略台形形状等の，前記側壁部と前記カバーとの間の開口に対応する形状に形成され，カバーと軌道レールの側壁部との間に簡単に配設できると共に，シンプルな構造であるので，スライダの突出部が通過する際にも異常変形を起こす恐れがなくシール性能を向上でき，しかもシール体の製造コストも安価にできる。このスライド装置のシール構造は，シール性能が良好であるので，特に，半導体製造装置等を設置したクリーンルームでは，スライド装置自身から発生した塵埃，油等の異物がスライド装置の外部に飛散することがなく，発塵性を今までになく低く抑えることができ，スライド装置が原因になるようなクリンルームでのトラブルが発生することがない。また，フォームラバー等の多孔質部材で形成したシール体を用いたシール構造をスライド装置に組み込めば，スライド装置の開口から塵埃等の異物が装置内部に侵入するのを防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明によるスライド装置の一実施例を示す一部破断部分を含む正面図である。
【図２】  図１のスライド装置において，上部カバーの半分を取り除いた状態を示す平面図である。
【図３】  図１のスライド装置の左端面図である。
【図４】  図１のスライド装置におけるシール構造の第１実施例を示す図１の左側に突出部の破断部分を含むＡ−Ａ断面図である。
【図５】  スライド装置に組み込まれたシール体を示す斜視図である。
【図６】  図１のスライド装置におけるシール構造の第２実施例を示す図１のＡ−Ａ断面に対応する左側に突出部の破断部分を含むスライド装置の断面図である。
【図７】  図１のスライド装置におけるシール構造の第３実施例を示す図１のＡ−Ａ断面に対応する左側に突出部の破断部分を含むスライド装置の断面図である。
【図８】  この発明によるスライド装置の第４実施例を示す破断部分を含む正面図である。
【図９】  図８のスライド装置において，上部カバーの半分を取り除いた状態を示す平面図である。
【図１０】  図８のスライド装置の図８の左側に突出部の破断部分を含むＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】  図８のスライド装置の図８のＢ−Ｂ断面に対応するスライド装置の第５実施例を示す左側に突出部の破断部分を含む断面図である。
【図１２】  図４に示す第１実施例に対応しており，図１のＡ−Ａ断面に対応するスライド装置の第６実施例を示す断面図である。
【図１３】  スライド装置に組み込まれたばね部材を備えたシール体の別の形状を示す斜視図である。
【図１４】  図６に示す第２実施例に対応しており，図１のＡ−Ａ断面に対応するスライド装置の第７実施例を示す断面図である。
【図１５】  図７に示す第３実施例に対応しており，図１のＡ−Ａ断面に対応するスライド装置の第８実施例を示す断面図である。
【図１６】  図１０に示す第４実施例に対応しており，図８のＢ−Ｂ断面に対応するスライド装置の第９実施例を示す断面図である。
【図１７】  図１１に示す第５実施例に対応しており，図８のＢ−Ｂ断面に対応するスライド装置の第１０実施例を示す断面図である。
【図１８】  従来のスライド装置を示す斜視図である。
【図１９】  図１８のスライド装置において，カバーを取り除いた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１，１ａ    シール体
１Ｕ，１Ｕａ  上シール体
１Ｌ，１Ｌａ  下シール体
２    軌道レール
３    スライダ
４    ボールねじ軸
６    底部
７    側壁部
８，４５  軌道溝
９    駆動モータ
１０  突出部
１１  モータ側ボールねじ軸用支持体
１２  エンド側ボールねじ軸用支持体
１３  フランジ部
１５  カバー
１６  取付け板
１７  ボールねじナット
１８  摺接ベルト
１９  センサレールの側部
２０  側壁部の上面
２１  保護皮膜
２２  センサレール
２３  リミットセンサ
２６  シール体の上面
３３  開口
４０  突出部の傾斜面
４４  転動体
４７  吸引口
４８，４９  ベースフレーム
５１  カバーの上部
５２  カバーの側部
５３  当接面
５５  取付部
５６  スライダ部
５７  軌道レール本体
６０  ばね部材
６０Ｕ  上ばね部材
６０Ｌ  下ばね部材
６１  厚肉部
６２  薄肉部
【図１】
0003984805.tif 000002
【図２】
0003984805.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
0003984805.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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