(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行２軸の回りを非接触の状態でロータが噛み合って同期回転し、両回転軸（６Ａ、６Ｂ）がそれぞれ上部軸受（８Ａ、８Ｂ）と下部軸受（９Ａ、９Ｂ）とにより回転自在に支承されているスクリュー流体機械において、前記上部軸受（８Ａ、８Ｂ）どうしおよび下部軸受（９Ａ、９Ｂ）どうしはそれぞれ両回転軸（６Ａ、６Ｂ）の軸方向に同一の位置にあり、両回転軸（６Ａ、６Ｂ）のそれぞれの一方の軸端にロータ（５Ａ、５Ｂ）を固設し、他方の軸端にそれぞれタイミングギア（７Ａ、７Ｂ）を固設すると共に、一方の回転軸（６Ａ）の上部軸受（８Ａ）と下部軸受（９Ａ）との間にモータロータ（１０）が固設されており、前記両回転軸（６Ａ、６Ｂ）の上部軸受（８Ａ、８Ｂ）は中央ケーシング（２）に設けられ、中央ケーシング（２）の上部には前記ロータ（５Ａ、５Ｂ）を覆うロータケーシング（１）が設けられ、中央ケーシング（２）の下部には前記モータロータ（１０）の周囲に配置されたキャン構造のモータステータ（１１）を覆う下部ケーシング（３）と、前記タイミングギア（７Ａ、７Ｂ）を覆う底カバー（４）とが順に設けられていることを特徴とするスクリュー流体機械。
【請求項２】
モータロータ室（Ｃ）とモータステータ室（Ｄ）とがキャン（１３）で区画されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリュー流体機械。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、平行２軸の回りを非接触の状態でロータが噛み合って同期回転し、両回転軸の両端がそれぞれ軸受により回転自在に支承されているスクリュー流体機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】
かかる従来のスクリュー流体機械において、タイミングギヤは、両回転軸の両軸受の中間に設けられていた。
【０００３】
また、モータステータ室は、ロータ側に開放されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、両ロータのタイミングを設定するには、ロータを回転軸にセットし、回転軸を両軸受で正規の状態にセットしたのちに行う必要があり、タイミングギヤが両軸受間にあると、タイミング設定作業が困難であった。
【０００５】
また、真空ポンプの用途として半導体製造装置などの腐食性ガスを吸引する場合は、モータステータ室に腐食ガスが侵入してモータの巻線が腐食するおそれがある。
【０００６】
本発明は、タイミング設定作業を容易にすると共に、モータ巻線の腐食を防止するスクリュー流体機械を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、平行２軸の回りを非接触の状態でロータが噛み合って同期回転し、両回転軸（６Ａ、６Ｂ）がそれぞれ上部軸受（８Ａ、８Ｂ）と下部軸受（９Ａ、９Ｂ）とにより回転自在に支承されているスクリュー流体機械において、前記上部軸受（８Ａ、８Ｂ）どうしおよび下部軸受（９Ａ、９Ｂ）どうしはそれぞれ両回転軸（６Ａ、６Ｂ）の軸方向に同一の位置にあり、両回転軸（６Ａ、６Ｂ）のそれぞれの一方の軸端にロータ（５Ａ、５Ｂ）を固設し、他方の軸端にそれぞれタイミングギア（７Ａ、７Ｂ）を固設すると共に、一方の回転軸（６Ａ）の上部軸受（８Ａ）と下部軸受（９Ａ）との間にモータロータ（１０）が固設されており、前記両回転軸（６Ａ、６Ｂ）の上部軸受（８Ａ、８Ｂ）は中央ケーシング（２）に設けられ、中央ケーシング（２）の上部には前記ロータ（５Ａ、５Ｂ）を覆うロータケーシング（１）が設けられ、中央ケーシング（２）の下部には前記モータロータ（１０）の周囲に配置されたキャン構造のモータステータ（１１）を覆う下部ケーシング（３）と、前記タイミングギア（７Ａ、７Ｂ）を覆う底カバー（４）とが順に設けられている。
【０００８】
また、本発明によれば、モータロータ室（Ｃ）とモータステータ室（Ｄ）とがキャン（１３）で区画されている。
【００１０】
【作用】
上記のように構成されたスクリュー流体機械においては、ロータを両回転軸にセットし、両回転軸をそれぞれ両軸受で正規の状態に支承し、容易にタイミングを設定してタイミングギヤを取付けることができる。
【００１１】
また、モータステータケーシングを容易にキャン構造にすることができ、モータステータ室をモータ室より隔絶して大気に開放することができるので、リード線の取り出しが簡単になり、かつ、モータステータ室への腐食性ガスの侵入が阻止できる。
【００１２】
【実施例】
以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１３】
図１及び図２において、スクリュー流体機械すなわちスクリューポンプの全体を符号Ａで示すケーシングは、ロータケーシング１、中央ケーシング２、下部ケーシング３及び底カバー４からなっている。その中央ケーシング２の下面の一部には、モータロータ１０を収めたモータステータ１１のモータステータケーシング１２が、ボルト２０で着脱自在に取付けられている（図３参照）。そして、中央ケーシング２とモータステータケーシング１２とには、回転軸６Ａが上部軸受８Ａと下部軸受９Ａとにより回転自在に支承され、軸封装置１８Ａにより軸受を潤滑した油がポンプ室Ｂに侵入することを防止している。他方、回転軸６Ａと同一形状の回転軸６Ｂが、中央ケーシング２と下部ケーシング３に上部軸受８Ｂと下部軸受９Ｂとにより回転自在に支承され、軸封装置１８Ｂにより軸受を潤滑した油がポンプ室Ｂに侵入することを防止している。
【００１４】
そして、両回転軸６Ａ、６Ｂの上端には、それぞれロータ５Ａ、５Ｂが非接触で相互に噛み合うようにオーバハングして固設されている。他方、両回転軸６Ａ、６Ｂの下端には、相互に噛み合うタイミングギヤ７Ａ、７Ｂがオーバハングして固設されており、底カバー４で覆われている。また、一方の回転軸６Ａ、上部軸受８Ａと下部軸受９Ａとの間には、モータロータ１０が固設されている。
【００１５】
また、モータステータ室Ｄは、通路１７により大気に開放されており、リード線１５が引き出されている。なお、図中の符号１３はキャンを示し、モータロータ室Ｃとモータステータ室Ｄとを区画している。１４は通水による水冷室である。
【００１６】
次に作用について説明する。
【００１７】
組立に際し、まず、モータロータ１０が固設された回転軸６Ａを軸受８Ａを介して中央ケーシング２に取付け、次にモータステータケーシング１２を下から中央ケーシング２にボルト等で固設すると共に、軸受９Ａを介して回転軸６Ａを正規の状態に支承した後、ロータ５Ａを取付ける。
【００１８】
一方、回転軸６Ｂは軸受８Ｂを介して中央ケーシング２に取付けた後、下部ケーシング３を中央ケーシング２に取付けると共に軸受９Ｂで回転軸６Ｂを支承し、ロータ５Ｂを取付ける。この状態で回転軸６Ａ、６Ｂの下端にタイミングギア７Ａ、７Ｂを装着し、ロータ５Ａ、５Ｂが適度の隙間をもって噛み合うように調整してタイミングギア７Ａ、７Ｂを固定する。この時、タイミングギア７Ａ、７Ｂが軸端に露出した状態であり、タイミング設定作業の妨げとなる部品が周囲にないので非常に容易に設定できる。
【００１９】
その後、ロータケーシング１と底カバー４を取付けて組立を終る。
【００２０】
また、モータロータ室Ｃは軸封装置１８Ａ、１８Ｂによりポンプ室Ｂからシールされているが、運転条件によりポンプ室Ｂの圧力が変動した場合などにポンプ室Ｂの腐食性ガスがモータロータ室Ｃに侵入することが考えられる。しかしモータステータ室Ｄはキャン構造によりポンプ室Ｂから隔絶されているのでモータ巻線を腐食から守ることができる。しかもモータステータケーシング１２はポンプケーシングとは着脱可能な別体となっているのでキャン構造に製作することが容易である。
【００２１】
腐食性ガスによりモータロータ１０の腐食の可能性がある場合にはモータロータ１０もキャンで覆っても良い。
【００２２】
また、両回転軸６Ａ、６Ｂは一方のみにモータロータが固設されるにもかかわらず同一形状に形成されているので、量産効果によりコストダウンが可能になる。
【００２３】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２４】
（１）  タイミング設定作業を容易に行うことができる。
【００２５】
（２）  モータステータケーシングをキャン構造に容易に製作でき、モータステータ室への腐食性ガスの侵入を阻止し、巻線の腐食を防止することができる。
【００２６】
（３）  両回転軸を量産効果によりコストダウンすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す側断面図。
【図２】リード線の引き出し部を示す側断面図。
【図３】図１のＭＭ方向に見たモータステータケーシングの取付図。
【符号の説明】
Ａ・・・ポンプケーシング
Ｂ・・・ポンプ室
Ｃ・・・モータロータ室
Ｄ・・・モータステータ室
１・・・ロータケーシング
２・・・中央ケーシング
３・・・下部ケーシング
４・・・底カバー
５Ａ、５Ｂ・・・ロータ
６Ａ、６Ｂ・・・回転軸
７Ａ、７Ｂ・・・タイミングギヤ
８Ａ、８Ｂ・・・上部軸受
９Ａ、９Ｂ・・・下部軸受
１０・・・モータロータ
１１・・・モータステータ
１２・・・モータステータケーシング
１３・・・キャン
１４・・・水冷室
１５・・・リード線
１６・・・シール部材
１７・・・通路
１８Ａ、１８Ｂ・・・軸封装置
２０・・・モータステータケーシング取付ボルト
【図１】
0003874430.tif 000002
【図２】
0003874430.tif 000003
【図３】
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