(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能の保護カバーを有する作業ボックス内に配置され、半導体ウェハの表面に貼付けられたテープをその外周に沿って切断するカッター刃と作業個所との間を遮断するカッタ刃安全カバーを固定するカッタ刃安全カバー固定装置であって、一端を固定軸に連結し他端を遮断位置でカッタ刃と対向させるカッタ刃安全カバーと、一端が前記固定軸を介してカッタ刃安全カバーと連結され、他端が開放されて固定枠に取り付けられた支点を中心として半導体ウェハの表面に対して接近または離間する方向に回動するアームと、アームと係合してアームの前記回動を規制する規制部材とを備え、前記保護カバーの開により前記規制部材とアームの係合によりカッター刃安全カバーの前記他端をカッター刃と対向させて固定し、前記保護カバーの閉により前記規制部材とアームの係合を解除してカッター刃安全カバーをカッター刃の前記遮断位置から退避させてなるカッター刃安全カバー固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カッター刃安全カバー固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、シリコンウエハ上に半導体素子を形成した（以下、「半導体ウエハ」という。）後、この半導体ウエハの裏面（半導体素子が形成されていない側の面）を研削して厚さを薄くする処理が行われる。この研削処理で半導体ウエハの表面（半導体素子が形成されている側の面）を傷つける恐れがあるため、研削処理に先だって半導体ウエハの表面に保護用のテープを貼り付け、その後に半導体ウエハの表面に貼付けられたテープをその外周に沿ってカッター刃により切断している。
【０００３】
図４は、前記のような半導体ウエハ保護用のテープを貼り付け、その後にカッター刃による切断処理を行う装置の概略構成を一部省略して示す斜視図である。図４において、２０はテープの貼り付け、カッター刃による切断処理を行う作業ボックスで支持台２６上に載置する。２１は基体、２２は駆動装置、２３は回転軸、２４は軸受、２５ａ，２５ｂは作業ボックス２０の前面に取り付けられている保護カバーである。回転軸２３には、第１の支持部１ｂ、第２の支持部３ｂが固定されている。基体２１は作業ボックス２０の壁面に設けられたレールに沿って（図示を省略している）矢視Ｃ方向に昇降動作する。
【０００４】
１はテープを切断するカッター刃、１ａはカッター刃取付け部で第１の支持部１ｂに固定される。２はカッター刃安全カバーで、安全カバー取付け部２ａに固定される取付け片２ｂに支持ピン２ｃにより回動自在に取り付けられている。３は第１の貼付けローラ、４は一点鎖線により仮想の位置を示す半導体ウエハ、５はテープ、６はテーブル、７はテーブル６の回転軸である。回転軸７内には図示を省略する空気孔が形成されて真空ポンプ等の真空源に連通されており、半導体ウエハ４をテーブル６上に載置し真空の吸引力により吸着してテーブル６に固定する。
【０００５】
１４は第２の貼付けローラで、第２の貼付けローラ１４と第２の支持部３ｂ間は固定枠３ａとアーム１２で連結する。また、第２の支持部３ｂとアーム１２をバネ１２で接続して、第２の貼付けローラ１４のみを半導体ウエハ４の表面に対して矢視Ｄ方向に昇降できるようにしている。
【０００６】
次に、半導体ウエハ４にテープ５を貼り付ける処理について説明する。基体２１を上昇させてカッター刃１と第２の貼付けローラ１４とを半導体ウエハ４の表面から離間させる。この状態で半導体ウエハ４を前工程より搬入してテーブル６上に載置し、巻取りローラ９を駆動して図示しない供給ローラから送りローラ８を介してテープ５を矢視Ｂ方向に搬送し、半導体ウエハ４上を覆う。
【０００７】
続いて、図示しない駆動装置により第１の貼付けローラ３を動作させ、半導体ウエハ４の表面を覆っているテープ５を押しつけながら矢視Ｂ方向に転動させる。これによってテープ５は半導体ウエハ４の表面に密着する。
【０００８】
カッター刃１により半導体ウエハ４の表面に貼付けられたテープをその外周に沿って切断処理を行う際には、基体２１を上昇させて半導体ウエハ４の上部に空間部を形成し、作業ボックス２０の前面に取付けられている保護カバー２５ａ，２５ｂを開けて手動によりカッター刃安全カバー２を矢視Ａ２方向に回動して破線の位置で固定する。次に基体２１を降下させ、カッター刃１を半導体ウエハ４の外周側面に位置させる。
【０００９】
この状態で駆動装置２２を駆動して回転軸２３を矢視Ｅ方向に回転させると、第１の支持部１ｂ、カッター刃取付け部１ａを介して回転力が伝達されて、カッター刃１は半導体ウエハ４の外周に沿って円運動する。これによってカッター刃１は半導体ウエハの表面に貼付けたテープを残して周辺のテープを外周に沿って切断する。
【００１０】
これと同時に第２の貼付けローラ１４は、第２の支持部３ｂ，固定枠３ａ，アーム１２の連結機構を介し、バネ１８により半導体ウエハ４の外周端部に押し付けられながら半導体ウエハ４の外周に沿って回転して、カッター刃１で切断されて浮き上がっているテープを半導体ウエハ４の外周面に貼付ける。このようにして表面にテープ５が貼付けられた半導体ウエハ４は、テーブル６から次工程に搬送される。
【００１１】
作業ボックス２０内の機器のメンテナンスを行う際には、基体２１を上昇させて半導体ウエハ４の上部に空間部を形成し、作業ボックス２０の前面に取り付けられている保護カバー２５ａ，２５ｂを開けて、手動によりカッター刃安全カバー２を破線の位置から矢視Ａ１方向に回動させてその一端をカッター刃１と対向させて固定し、カッター刃１の位置とオペレータの作業個所との間を遮断してオペレータの手作業の安全を図っている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
従来においては作業ボックス内の機器のメンテナンスを行う際には、前記のようにカッター刃の位置に対してカッター刃安全カバーを手動により安全側に回動し作業個所との間を遮断している。このため、カッター刃安全カバーの回動操作を忘れ、カッター刃安全カバーが破線の位置、すなわち、カッター刃により半導体ウエハの外周に沿ってテープを切断するときのカッター刃安全カバーの位置のままでメンテナンスを行う場合があり、オペレータが作業中にカッター刃により損傷事故を受けることがあるという問題があった。
【００１３】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、上記のようなカッター刃安全カバーを設けるものにおいて、作業ボックス内の機器のメンテナンス時にカッター刃によりオペレータが損傷事故を受けないように構成した、カッター刃安全カバー固定装置の提供を目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、開閉可能の保護カバーを有する作業ボックス内に配置され、半導体ウェハの表面に貼付けられたテープをその外周に沿って切断するカッター刃と作業個所との間を遮断するカッタ刃安全カバーを固定するカッタ刃安全カバー固定装置であって、一端を固定軸に連結し他端を遮断位置でカッタ刃と対向させるカッタ刃安全カバーと、一端が前記固定軸を介してカッタ刃安全カバーと連結され、他端が開放されて固定枠に取り付けられた支点を中心として半導体ウェハの表面に対して接近または離間する方向に回動するアームと、アームと係合してアームの前記回動を規制する規制部材とを備え、前記保護カバーの開により前記規制部材とアームの係合によりカッター刃安全カバーの前記他端をカッター刃と対向させて固定し、前記保護カバーの閉により前記規制部材とアームの係合を解除してカッター刃安全カバーをカッター刃の前記遮断位置から退避させる構成とすることにより達成される。
【００１５】
本発明の上記特徴によれば、オペレータが作業ボックス前面に取り付けた保護カバーを開放して作業ボックス内の機器のメンテナンスを行う際に、カッター刃安全カバーによりカッター刃を作業個所から確実に遮断することができるので、カッター刃により損傷事故を受ける恐れがなく、手作業が安全に行える。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態のカッター刃安全カバー固定装置について図１、図２、図３を参照して説明する。図１、図２はカッター刃安全カバー固定装置の概略の側面図であり、図３は平面図である。図１は作業ボックス内の機器のメンテナンス時のカッター刃安全カバーの状態を示し、図２は半導体ウエハの外周に沿ってテープをカッター刃により切断する際のカッター刃安全カバーの状態を示している。図４の従来例と同一の部分または対応する部分には同一の符号を付している。
【００１７】
図３に示すように、カッター刃安全カバー２には一端にカッター刃１が挿通される抜き孔２ｄが半導体ウエハの中心方向に向けて所定の長さで設けられており、この抜き孔２ｄ内でカッター刃１が半導体ウエハの外径の大きさに応じて円の中心方向に向けて移動できるように構成している。カッター刃安全カバー２の他端は固定軸１５に連結されている。第２の貼付けローラ１４の位置を破線で示し、二点鎖線で半導体ウエハの外周に沿って円運動するカッター刃１の軌跡の仮想線を示している。
【００１８】
図１と図３を参照して、１０は固定枠３ａに取り付けられる電磁ソレノイド、１１は電磁ソレノイド１０の動作により往復動するロックピンである。アーム１２は図４に示した従来例の構成を変更して、一端が前記固定軸１５に連結され他端が半導体ウエハの表面に対して接近または離間する方向に回動する構成としている。１２ａはアーム１２に形成されたロックピン１１の挿入孔、１３はアーム１２の他端が半導体ウエハの表面に対して接近または離間する方向に回動する際の支点、１６はアーム１２の回動ピンであり、支点１３と回動ピン１６は固定枠３ａに固定されている。電磁ソレノイド１０、ロックピン１１はアーム１２の回動動作を規制する規制部材として機能している。
【００１９】
上記のように、本発明の実施の形態においては図４に示したアーム１２に固定軸１５を介してカッター刃安全カバー２を取り付ける構成としている。このため、図４の従来例と同様にして基部２１の昇降動作によりカッター刃１、カッター刃安全カバー２、第２の貼付けローラ１４は半導体ウエハの表面位置に対して接近または離間する位置に移動する。
【００２０】
作業ボックス２０内の機器のメンテナンス時には、オペレータが作業ボックス２０の前面に取付けられている保護カバー２５ａ，２５ｂを開放すると、この保護カバー２５ａ，２５ｂの開放に連動して駆動手段により電磁ソレノイド１０が自動的に動作しロックピン１１がアーム１２に形成された挿入孔１２ａに挿入される。このためアーム１２の回動動作が制限されカッター刃安全カバー２の一端は図１に示すようにカッター刃１と対向して半導体ウエハの載置面との間の位置、すなわち、カッター刃１と作業個所との間を遮断する位置で固定される。
【００２１】
このように、カッター刃１と作業個所との間の位置で安全カバー２を固定することにより、カッター刃１を作業個所から遮断するので、オペレータが作業ボックス２０内の機器のメンテナンスを行う際のカッター刃１による損傷事故を防止できる。
【００２２】
作業ボックス２０の前面に取付けた保護カバー２５ａ，２５ｂの開放に連動して電磁ソレノイド１０を動作させる駆動手段は、例えば保護カバー２５ａ，２５ｂの開放により動作するスイッチを設け、このスイッチと電磁ソレノイド１０の電源とを電気的に接続し、スイッチ動作で電源を付勢する構成とすることにより実現できる。また、アーム１２の回動動作の規制部材は、電磁ソレノイド１０で動作するロックピン１１をアーム１２に形成した挿入孔１２ａ内に挿入することには限られない。電磁ソレノイド１０で動作するフックをアームに形成した係合部材に係合する構成とすることも可能である。
【００２３】
次に、カッター刃１によるテープの切断処理に際しては、前記作業ボックス２０の保護カバー２５ａ，２５ｂを閉めて前記駆動手段による電磁ソレノイド１０の付勢を解除してロックピン１１をアーム１２の挿入孔１２ａから引き抜き、基体２１を半導体ウエハ４の表面位置に向けて下降させる。この際に、第２の貼付けローラ１４はバネ１８により半導体ウエハ４の表面を覆っているテープに押しつけられ、アーム１２は支点１３を中心として回動ピン１６の回りを矢視Ｒ方向に回動する。また、カッター刃安全カバー２の一端は半導体ウエハ４の表面から矢視Ｓ方向に離間する方向に回動する。
【００２４】
カッター刃安全カバー２の一端が半導体ウエハ４の表面に対して離間する方向に回動することにより、カッター刃１はカッター刃安全カバー２の抜き孔２ｄに挿通されて下方に移動し半導体ウエハ４の外周の位置に到る。すなわち、この場合にはカッター刃安全カバー２をカッター刃１から退避させることにより、カッター刃１に対する遮断作用を解除する。
【００２５】
この位置で図４のように駆動装置２２を駆動することにより、回転軸２３に連結している第１の支持部１ｂを回転させる。これによって、カッター刃１とカッター刃安全カバー２を半導体ウエハ４の周辺に沿って円周方向に回動し、半導体ウエハ４の表面に貼付けられたテープを残して半導体ウエハ４の外周に沿ってテープを切断する。カッター刃１は、前記のように半導体ウエハ４の外周の大きさに応じて安全カバー２の抜き孔２ｄ内をＸ１〜Ｘ２の範囲で移動する。
【００２６】
第２の貼付けローラ１４を動作させる際には、ロックピン１１をアーム１２に形成した挿入孔１２ａより引き抜いた状態で基体２１を降下させる。このときに、第２の貼付けローラ１４はバネ１８により半導体ウエハ４の表面を押しつけながら半導体ウエハ４の外周に沿って回転して、カッター刃１により切断されて浮き上がっているテープを半導体ウエハ４の外周面に貼付ける。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のカッター刃安全カバー固定装置は、オペレータが作業ボックス内の機器のメンテナンスを行う際に、カッター刃安全カバーによりカッター刃を作業個所から確実に遮断することができるので、カッター刃により損傷事故を受ける恐れがなく作業の安全が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のカッター刃安全カバー固定装置のメンテナンス時の状態を示す概略の側面図である。
【図２】本発明の実施の形態のカッター刃安全カバー固定装置のテープ切断時の状態を示す概略の側面図である。
【図３】本発明の実施の形態のカッター刃安全カバー固定装置の概略の平面図である。
【図４】従来例の概略の斜視図である。
【符号の説明】
１    カッター刃
２    カッター刃安全カバー
２ｄ  抜き孔
３    第１の貼付けローラ
３ａ  固定枠
４    半導体ウエハ
５    テープ
６    テーブル
７    回転軸
８    送りローラ
９    巻取りローラ
１０  電磁ソレノイド
１１  ロックピン
１２  アーム
１３  支点
１４  第２の貼付けローラ
１５  回転軸
１８  バネ
２０  作業ボックス
２１  基体
２２  駆動装置
２３  回転軸
２４  軸受
２５ａ，ｂ  保護カバー
２６  支持台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
0003874913.tif 000005