(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を供給する供給部と、この部品が実装される基板を保持する基板保持部と、この部品を吸着して前記供給部から取り出すと共に前記基板に実装するノズルと、このノズルが貫通する貫通孔を設けた第一の拡散体と、この第一の拡散体の貫通孔よりも外形が大きく前記ノズルの外周部に取り付けられた第二の拡散体を有し、第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部とこのノズルの外周部に取り付けた第二の拡散体との間に配置するとともに、前記第一の拡散体は、前記第一の拡散体の貫通孔周縁部を除いてそのノズル先端部側とは反対側に反射部を設け、この第一、第二の拡散体に向けて前記ノズルの先端部側から光線を照射する光源と、このノズルの先端部で保持された前記部品の保持姿勢を検査する検査部とを備えた実装機。
【請求項２】
第一の拡散体の貫通孔周縁部には、そのノズル先端部側とは反対側に、第二の拡散体の外形よりも大きな薄肉部を設けた請求項１に記載の実装機。
【請求項３】
第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部側の反対側に拡開する形状のものとした請求項２に記載の実装機。
【請求項４】
第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部側に拡開する形状のものとした請求項２に記載の実装機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回路基板（以下、基板と呼ぶ）に電子部品（以下、部品と呼ぶ）を実装する実装機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の実装機は、供給部から供給された部品をヘッド部のノズルで吸着して取り出して基板保持部に保持された基板上へと搬送し、その後、この基板に部品を実装するようになっていた。そして、このヘッド部の移動経路に設けられた検査部で、ノズルに吸着保持された部品を検査し、この検査結果に基づいて部品の姿勢を必要に応じて補正して実装動作を行うようになっていた。
【０００３】
そしてヘッド部には、部品を保持するノズルの背景として拡散体を配置し、この拡散体に設けた貫通孔からノズル先端部が突出する構造として、部品の保持姿勢の検査の際に拡散体へ光線を照射してこの拡散体により部品を保持したノズルの背景を明るい背景として、ノズル先端部に保持された部品の影の光像、すなわち陰影像を検査部により撮像するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の実装機には次のような課題があった。
【０００５】
すなわち、検査部により部品の陰影像を撮像する際、ノズル先端部で保持された部品のサイズによっては、その輪郭が拡散体の貫通孔と重なってしまうことがあった。この場合、貫通孔は明るい背景とはなっていないので、検査部で撮像した陰影像が部品の輪郭形状を明瞭に示すものとはならず、この部品の保持姿勢を精度よく検査することができない場合があった。
【０００６】
本発明はこのような課題を解決し、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度の向上を図ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために本発明は、部品を供給する供給部と、この部品が実装される基板を保持する基板保持部と、この部品を吸着して前記供給部から取り出すと共に前記基板に実装するノズルと、このノズルの先端部側とは反対側に配置されると共にこのノズルが貫通する貫通孔を設けた第一の拡散体と、この第一の拡散体の貫通孔よりも外形が大きく前記ノズルの外周部に取り付けられた第二の拡散体と、この第一、第二の拡散体に向けて光線を照射する光源と、このノズルの先端部で保持された前記部品の保持姿勢を検査する検査部とからなる構成としたものであって、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、部品を供給する供給部と、この部品が実装される基板を保持する基板保持部と、この部品を吸着して前記供給部から取り出すと共に前記基板に実装するノズルと、このノズルが貫通する貫通孔を設けた第一の拡散体と、この第一の拡散体の貫通孔よりも外形が大きく前記ノズルの外周部に取り付けられた第二の拡散体を有し、第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部とこのノズルの外周部に取り付けた第二の拡散体との間に配置するとともに、前記第一の拡散体は、前記第一の拡散体の貫通孔周縁部を除いてそのノズル先端部側とは反対側に反射部を設け、この第一、第二の拡散体に向けて前記ノズルの先端部側から光線を照射する光源と、このノズルの先端部で保持された前記部品の保持姿勢を検査する検査部とを備えた実装機であって、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができるとともに、ノズルを第一の拡散体内部に収納可能に構成することができ、ノズルおよび第一の拡散体を全体としてコンパクトなものとすることができる。
また、光源から第一の拡散体に向けて照射された光線のうち、第一の拡散体のノズル先端部側の表面で反射されずに第一の拡散体内部に入り込み、貫通孔周縁部を通過して第二の拡散体に到達する光線の光量を増すことができる。その結果として、第一の拡散体により生成される背景よりも暗くなりがちな第二の拡散体により生成される背景の明るさを増し、背景の明るさのバラツキを小さくして、より明瞭な陰影像を得ることができ、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができる。
【０００９】
本発明の請求項２に記載の発明は、第一の拡散体は、そのノズル先端部側とは反対側に反射部を設けた請求項１に記載の実装機であって、光源から第一の拡散体に向けて照射された光線のうち、第一の拡散体のノズル先端部側の面で反射されずに第一の拡散体の内部に進行し第一の拡散体を通過してしまう光線を反射部によりノズル先端部側に反射させ、第一の拡散体により生成される背景の明るさを増し、明瞭な陰影像を得ることができ、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができる。
【００１６】
本発明の請求項２に記載の発明は、第一の拡散体の貫通孔周縁部には、そのノズル先端部側とは反対側に、第二の拡散体の外形よりも大きな薄肉部を設けた請求項１に記載の実装機であって、この薄肉部を設けることにより、光源から第一の拡散体に向けて照射された光線のうち、第一の拡散体内部に入り込み第一の拡散体を通過せず第一の拡散体内部にて散乱する光線の量が減るので、第一の拡散体を通過して第二の拡散体に到達する光線の光量をより増すことになり、第一の拡散体により生成される背景よりも暗くなりがちな第二の拡散体により生成される背景の明るさをより増し、背景の明るさのバラツキを小さくでき、明瞭な陰影像を得ることができ、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができる。
【００１７】
本発明の請求項３に記載の発明は、第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部側の反対側に拡開する形状のものとした請求項２に記載の実装機であって、第一の拡散体を通過して第二の拡散体に到達する光線の光量をより増すことにより、第一の拡散体により生成される背景よりも暗くなりがちな第二の拡散体により生成される背景の明るさをより増し、背景の明るさのバラツキを小さくでき、明瞭な陰影像を得ることができ、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度を向上することができる。
【００１８】
本発明の請求項４に記載の発明は、第一の拡散体の貫通孔を、ノズル先端部側に拡開する形状のものとした請求項２に記載の実装機であって、光源から第一、第二の拡散体に向けて照射された光線のうち第二の拡散体に到達する光線は、一旦、第一の拡散体を通過することなく光源から第二の拡散体に直接照射されることになり、第一の拡散体を通過した場合に比べ第二の拡散体に到達する光線の光量がより増し、第一の拡散体により生成される背景よりも暗くなりがちな第二の拡散体により生成される背景の明るさをより増し、背景の明るさのバラツキをより小さくでき、より明瞭な陰影像を得ることができ、ノズルに保持された部品の保持姿勢検査の精度向上を図り、その結果として部品の基板への装着精度をより向上することができる。
【００２３】
（実施の形態１）
以下本発明の第一の実施の形態を図１から図６を用いて説明する。
【００２４】
図１は本発明の第一の実施の形態の実装機を示す概略平面図であり、図２は同実装機のヘッド部を示す斜視図であり、図３および図５は同実装機の検査部を示す斜視図および正面図であり、図４は同実装機のヘッド部を示す下面図である。
【００２５】
図１に示すように、供給部１は部品３１を供給する供給体２を複数個搭載して図１に示すＺ方向に往復運動するようになっており、この供給部１によって供給される部品３１は、ＸＹ方向に移動可能な基板保持部４に保持された基板３上に実装されるようになっている。
【００２６】
前記供給部１と基板保持部４の上方には、図１に示すＭ方向に間欠回転するロータリーテーブル部５が配置され、このロータリーテーブル部５の周縁部には１６個のヘッド部６が等間隔で取り付けられ、ロータリーテーブル部５とともに間欠回転するようになっている。このヘッド部６は図２に示すように、下部に設けた回転体７が上部に設けたモータからなるヘッド回転部８と連結され、このヘッド回転部８によって前記ヘッド部６の回転体７が自転するようになっている。また、この回転体７の下部には図４に示すように六本のノズル９ａ〜９ｆが回転体７に対して相対的に回転できないように取り付けられている。図２に示すように回転体７の下部にはホルダ１０が結合され、図２および図３に示すようにこのホルダ１０の下部には第一の拡散体１１が結合されている。この第一の拡散体１１には図４に示すようにノズル９ａ〜９ｆに対応した貫通孔１２ａ〜１２ｆが設けられている。そして図２に示すように貫通孔１２ａ〜１２ｆを貫通して前記六本のノズル９ａ〜９ｆのうち使用する一本のノズル、たとえばノズル９ａが選択的に下方に突出するようになっており、このとき他のノズル９ｂ〜９ｆはホルダ１０内に格納されるようになっている。このノズル９ａ〜９ｆは、図１に示す供給部１で供給される部品３１を吸着して取り出すと共に、基板保持部４に保持された基板３上へと搬送して実装を行うものである。この部品３１の取り出しは図１のＫ位置で、実装はＳ位置で行われるようになっている。前記ノズル９ａ〜９ｆはロータリーテーブル部５に取り付けられたヘッド部６の最外方に位置するもののみが前記第一の拡散体１１より下方に突出するようになっており、このノズル９ａ〜９ｆのうち突出した一本のノズルによって、部品３１の取り出しと実装が行われる。
【００２７】
図１に示すように、供給部１から基板３へと間欠移動するヘッド部６の間欠停止位置の一つであるＨ位置には、ノズル９ａ〜９ｆによって保持されて搬送される部品３１の保持姿勢を検査する検査部１３が配置されている。この検査部１３は図１および図３に示すように、鏡筒１４に小視野部品カメラ１５と大視野部品カメラ１６を取り付けており、検査する部品３１によって使用するカメラを切換えるようになっている。図１、図３および図５に示すように画像取込部１７の側方には赤色のＬＥＤを配置した光源１８があり、画像取込部１７上に停止したノズル９ａに赤色光線１９ａを照射する。後述するように、この赤色の光線１９ａが部品３１の上方から下方に通過して形成される陰影像が、画像取込部１７および鏡筒１４の内部を通って小視野部品カメラ１５あるいは大視野部品カメラ１６に達して撮像され、この部品３１の保持姿勢が検査されるようになっている。
【００２８】
図示していないが、この実装機には前記各部の動作を制御する制御部を設けている。この制御部は、基板３に実装される部品３１の種類、実装される位置や角度などの実装位置情報を記憶している。図１、図３および図５に示す検査部１３は小視野部品カメラ１５あるいは大視野部品カメラ１６で撮像した部品３１の像から、ノズル９ａに保持された部品３１の保持姿勢を検査する。そして前記制御部は、部品３１の実装位置情報または検査部１３での検査結果から、次に基板保持部４やヘッド部６のヘッド回転部８をどれだけ動かしたらよいかを演算する。部品３１の保持姿勢が所定のものに対してずれていた場合は、当然のことながら、このずれを補正するためのヘッド部６の補正回転角度と基板保持部４の補正移動量を演算することになる。部品３１の保持姿勢が回転方向のずれを生じていた場合には、ヘッド部６のヘッド回転部８により回転体７を回転させてこの回転方向のずれを補正する。すなわち、ヘッド回転部８が補正部になっているのである。
【００２９】
このようにしてヘッド部６の回転角度と基板保持部４の移動量を演算しながら、制御部により、各部の動作を制御して部品３１の実装を行う。
【００３０】
次に、ノズル９ａに保持された部品３１の保持姿勢の検査について詳細な説明をする。
【００３１】
図５に示すようにヘッド部６のノズル９ａは、部品３１を吸着保持する先端部２０と、この先端部２０の上方で図２に示す回転体７に保持される径大の基体部２１と、この基体部２１と先端部２０との間に形成されたテーパ部２２と、基体部２１に取り付けられた第二の拡散体２４からなっているものである。同図に示すように、第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆが、ノズル９ａ〜９ｆの先端部２０との間に配置される構成となっており、このため上述したようにノズル９ａ〜９ｆを第一の拡散体１１の内部に収納でき、ノズル９ａ〜９ｆおよび第一の拡散体１１を全体としてコンパクトなものとすることができる。このノズル９ａはＳＫ材で形成され、少なくともそのテーパ部２２の外表面すなわちテーパ面は無電解ニッケルメッキ処理を施した鏡面としている。第二の拡散体２４は光源１８から照射される光線１９ａと同系色の合成樹脂（メタアクリル樹脂）によって作られたものであり、ノズル９ａの先端部２０側の面はブラスト加工された粗面とし、先端部２０側とは反対側の面には第二の反射部２５を設けた構成になっている。また、図６に示すように第二の拡散体２４には係合突起部２６が設けられ、この係合突起部２６と係合する係合溝２７をノズル９ａの外周部に設け、第二の拡散体２４をノズル９ａの先端部２０側から押し込むだけで固定できるようになっている。このような構成にすることにより、ノズル９ａへの第二の拡散体２４の取り付け作業または交換作業を容易にできるものとなる。１１はヘッド部６のホルダ１０に結合された第一の拡散体である。この第一の拡散体１１は光源１８から照射される光線１９ａと同系色の合成樹脂（メタアクリル樹脂）によって作られたものであり、そのノズル９ａの先端部２０側の面はブラスト加工された粗面とし、ノズル９ａの先端部２０側とは反対側の面に第一の反射部２３を設けたものである。ただし、この第一の反射部２３は第一の拡散体１１のノズル９ａが貫通する第二の拡散体２４の外形よりも小さな貫通孔１２ａの周縁部、すなわち第二の拡散体２４に隣接する周縁部には前記第一の反射部２３を設けないものとする。
【００３２】
このような状態において、図５に示すように光源１８から第一の拡散体１１に向かって、光線１９ａが照射される。この照射された光線１９ａの一部は、第一の拡散体１１の表面にて反射し下方側、すなわち前記ノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｅと、第一の拡散体１１の表面にて反射しノズル９ａのテーパ部２２に向かう光線１９ｄとなる。この光線１９ｄはノズル９ａのテーパ部２２のメッキ面にて反射し光線１９ｅと同様に下方側、すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｈとなる。光源１８から第一の拡散体１１に向かって照射された光線１９ａのうち拡散体１１の表面で反射される以外のものは第一の拡散体１１の内部へと進行し、その一部は第一の拡散体１１の内部にて拡散し第一の拡散体１１自体を発光させる（光線経路は図示せず）が、それ以外は第一の拡散体１１を通過し第一の反射部２３に到達する光線１９ｂ、および前記ノズル９ａの貫通孔１２ａの周縁部に到達する光線１９ｃとなる。この光線１９ｂは第一の反射部２３にて反射され再び第一の拡散体１１内部に進行し、内部にて拡散されて第一の拡散体１１自体を発光させ、第一の拡散体１１から下方側、すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｇとなる。また光線１９ｃは第一の反射部２３のない貫通孔１２ａの周縁部を通過するため、貫通孔１２ａに隣接する第二の拡散体２４に向かって照射される。この第二の拡散体２４に照射される光線１９ｃの一部は、第二の拡散体２４の表面にて反射され下方側、すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｆとなる。第二の拡散体２４に照射される光線１９ｃのうち第二の拡散体２４の表面にて反射される以外のものは第二の拡散体２４の内部に進行し、第二の拡散体２４の内部にて拡散されて第二の拡散体２４自体を発光させ、第二の拡散体２４から下方側、すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線となる（光線経路は図示せず）。
【００３３】
このようにして、第一の拡散体１１から光線１９ｅ，１９ｇが、第二の拡散体２４から光線１９ｆが、ノズル９ａのテーパ部２２から光線１９ｈがノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線となるので、この部品３１を通過した光線によって形成される明瞭な陰影像を検査部１３により撮像して部品３１の保持姿勢を検査する。
【００３４】
このような構成とすることにより本実施の形態の実装機は、ノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の輪郭が第一の拡散体１１の貫通孔１２ａと重なってしまう場合でも、高精度に位置決めすることができるとともに、部品３１がノズル９ａの基体部２１よりも小さい場合でも高精度に位置決めすることができる。
【００３５】
また、第一の拡散体１１と第二の拡散体２４の、ノズル９ａの先端部２０側とは反対側の面には、それぞれ第一の反射部２３と第二の反射部２５を設けてあるので、光源１８から照射された光線１９ａのうち、この第一、第二の反射部２３，２５がなければ第一の拡散体１１と第二の拡散体２４を通過してしまうものが、この第一の反射部２３と第二の反射部２５により反射されるので、第一の拡散体１１と第二の拡散体２４により生成される背景の明るさを増し、より明瞭な陰影像を得ることができ、部品保持姿勢の検査を安定して行うことができる。さらに、第一の拡散体１１の第一の反射部２３のノズル９ａの先端部２０側の面は鏡面としている。同様に、第二の拡散体２４の第二の反射部２５のノズル９ａの先端部側の面も鏡面としている。このようにすることで、光源１８から照射される光線１９ａを有効に利用できるものとなっている。
【００３６】
また、ノズル９ａのテーパ部２２は鏡面としてあるので、テーパ部２２の表面にて反射される光線１９ｄを効率的にノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に照射させることができ、より明瞭な陰影像を得ることができ、部品保持姿勢の検査を安定して行うことができる。この場合、ノズル９ａの表面全体を鏡面処理加工するのではなく、少なくともテーパ部２２の外周面を鏡面とするようにすれば、安価に製作することが可能である。
【００３７】
また、ノズル９ａは、先端部２０よりも大きな基体部２１を有し、この基体部２１から先端部２０側に向けてテーパ部２２を形成する構成としており、ノズル９ａ全体としての強度を確保しながら先端２０を小さくして、微小な部品３１の吸着保持に適したものとしている。
【００３８】
（実施の形態２）
次に、本発明の第二の実施の形態について図７を用いて説明を行う。
【００３９】
本発明の第二の実施の形態は、前記の実施の形態１とは第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆの周縁部のノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側とは反対側に、第二の拡散体２４の外形よりも大きな座ぐり部を設け、この座ぐり部には第一の反射部２３を設けない点だけが異なり、その他の点については同様の構成のものであるので、同様な構成部分については同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
【００４０】
図７において、２８は第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆの周縁部で、ノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側とは反対側に設けられた第二の拡散体２４の外形よりも大きな座ぐり部であり、この座ぐり部２８には第一の反射部２３を設けないものとしている。
【００４１】
光源１８から第一の拡散体１１に向かって照射された光線１９ａのうち、第一の拡散体１１の表面で反射されず内部に進行し座ぐり部２８から第一の拡散体１１を通過する光線１９ｃは、第一の拡散体１１内部を進行中に、第一の拡散体１１内部にて拡散し第一の拡散体１１自体を発光させるが、座ぐり部２８は第一の拡散体１１の非座ぐり部に比べて薄肉となっているため、第一の拡散体１１内部にて拡散する光量が減り、第一の拡散体１１を通過する光線１９ｃの光量が増えることになる。この光線１９ｃは座ぐり部２８から第一の拡散体１１を通過して第二の拡散体２４に照射され、第二の拡散体２４から下方側、すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｆとなるので、光線１９ｃの光量が増えることは、結果として光線１９ｆの光量を増やすことになる。
【００４２】
このような構成とすることにより、部品３１の上面に照射される第一の拡散体１１からの光線１９ｅ，１９ｇ、第二の拡散体２４からの光線１９ｆ、ノズル９ａのテーパ部２２からの光線１９ｈのうち、他のものよりも暗くなりがちな第二の拡散体２４からの光線１９ｆの光量を増し、結果として部品３１の上面に照射される光線が均一に近づき、検査部１３で撮像される陰影像が安定し部品保持姿勢の検査を安定して行うことができる。
【００４３】
（実施の形態３）
次に、本発明の第三の実施の形態について図８を用いて説明を行う。
【００４４】
本発明の第三の実施の形態は、実施の形態１とは第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆをノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側の反対側に拡開する形状のものとし、その拡開部には第一の反射部２３を設けない点だけが異なり、その他の点については同様の構成のものであるので、同様な構成部分については同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
【００４５】
図８において、２９は第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆをノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側とは反対側に向かって拡がる形状のものとした拡開部であり、この拡開部２９には第一の反射部２３を設けないものとしている。
【００４６】
光源１８から第一の拡散体１１に向かって照射された光線１９ａのうち、第一の拡散体１１の表面で反射されず内部に進行し拡開部２９から第一の拡散体１１を通過する光線１９ｃは、第一の拡散体１１内部を進行中に、第一の拡散体１１内部にて拡散し第一の拡散体１１自体を発光させるが、拡開部２９は拡散体１１のその他の部分に比べて薄肉となっているため、第一の拡散体１１内部にて拡散する光量が減り、第一の拡散体１１を通過する光線１９ｃの光量が増えることになる。この光線１９ｃは拡開部２９から第一の拡散体１１を通過して第二の拡散体２４に照射され、第二の拡散体２４から下方側すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向けられる光線１９ｆとなるので、光線１９ｃの光量が増えることは、結果として光線１９ｆの光量を増やすことになる。
【００４７】
このような構成とすることにより、部品３１の上面に照射される第一の拡散体１１からの光線１９ｅ，１９ｇ、第二の拡散体２４からの光線１９ｆ、ノズル９ａのテーパ部２２からの光線１９ｈのうち、他のものよりも暗くなりがちな第二の拡散体２４からの光線１９ｆの光量を増し、結果として部品３１の上面に照射される光線が均一に近づき、検査部１３で撮像される陰影像が安定し部品保持姿勢の検査を安定して行うことができる。
【００４８】
（実施の形態４）
次に、本発明の第四の実施の形態について図９を用いて説明を行う。
【００４９】
本発明の第四の実施の形態は、実施の形態１とは第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆをノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側に拡開する形状のものとした点だけが異なり、その他の点については同様の構成のものであるので、同様な構成部分については同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。
【００５０】
図９において、３０は第一の拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆをノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側に向かって拡がる形状のものとした拡開部である。
【００５１】
光源１８から第二の拡散体２４に向かって照射される光線１９ｉは、拡散体１１の貫通孔１２ａ〜１２ｆがノズル９ａ〜９ｆの先端部２０側に向かって拡がる形状の拡開部３０を有しているため、一旦第一の拡散体１１を通過することなく、すなわち第一の拡散体１１の内部に進行し第一の拡散体１１内部にて拡散することなく、直接第二の拡散体２４に向かって照射されることとなる。そのため、光線１９ｉは光源１８から一旦第一の拡散体１１を通過して第二の拡散体２４に照射される場合と比べて、光量が格段に大きくなる。その結果として、第二の拡散体２４から下方側すなわちノズル９ａの先端部２０に吸着された部品３１の上面に向かう光線１９ｆの光量が増えることとなる。
【００５２】
このような構成とすることにより、部品３１の上面に照射される第一の拡散体１１からの光線１９ｅ，１９ｇ、第二の拡散体２４からの光線１９ｆ、ノズル９ａのテーパ部２２からの光線１９ｈのうち、他のものよりも暗くなりがちな第二の拡散体２４からの光線１９ｆの光量をより増し、結果として部品３１の上面に照射される光線がより均一に近づき、検査部１３で撮像される陰影像が安定し部品保持姿勢の検査を安定して行うことができる。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように本発明は、ノズルが貫通する貫通孔を設けた第一の拡散体と、このノズルの先端部側とは反対側に取り付けた第二の拡散体を有する構成としたことにより、ノズルの先端部に吸着した部品の明瞭な陰影像を得ることができるため、高精度に部品を位置決めして、基板に部品を高精度に実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態の実装機を示す概略平面図
【図２】同実装機のヘッド部を示す斜視図
【図３】同実装機の検査部を示す斜視図
【図４】同実装機のヘッド部を示す下面図
【図５】同実装機の検査部を示す正面図
【図６】同実装機のノズル要部を示す断面図
【図７】本発明の第二の実施の形態の実装機の検査部を示す正面図
【図８】本発明の第三の実施の形態の実装機の検査部を示す正面図
【図９】本発明の第四の実施の形態の実装機の検査部を示す正面図
【符号の説明】
１  供給部
２  供給体
３  基板
４  基板保持部
５  ロータリーテーブル部
６  ヘッド部
７  回転体
８  ヘッド回転部
９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ，９ｅ，９ｆ  ノズル
１０  ホルダ
１１  第一の拡散体
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ  貫通孔
１３  検査部
１４  鏡筒
１５  小視野部品カメラ
１６  大視野部品カメラ
１７  画像取込部
１８  光源
１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ，１９ｅ，１９ｆ，１９ｇ，１９ｈ，１９ｉ光線
２０  先端部
２１  基体部
２２  テーパ部
２３  第一の反射部
２４  第二の拡散体
２５  第二の反射部
２６  係合突起部
２７  係合溝
２８  座ぐり部
２９  拡開部
３０  拡開部
３１  部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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