(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面移動機構における平面移動体の移動によりワークの位置調整をなす位置決め装置であって、前記平面移動体と中間枠とを第１変形部材により接続し、前記第１変形部材を弾性変形させつつ前記平面移動体を第１の方向に移動させる駆動手段を設置し、前記中間枠と外側固定枠とを第２変形部材により接続し、前記第２変形部材を弾性変形させつつ前記第１の方向とは異なる第２の方向に前記中間枠を移動させる駆動手段を設置し、第１固定ガイドに摺動可能に第１スライダを搭載し、前記第１固定ガイドとは異なる方向に配置した第２ガイドを前記第１スライダに固定し、前記第２ガイドに摺動可能に第２スライダを搭載し、前記第２スライダと前記平面移動体とを断熱材を介して連結することにより、前記第２スライダに搭載した前記ワークに加わる熱の前記平面移動機構への伝達を防止したことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記ガイドおよび前記スライダは、ローラガイド機構により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記駆動手段として、圧縮空気の供給手段と、前記圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、前記電空レギュレータの動作を制御する制御部とを設置したことを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記ワークとして基板を搭載する請求項１〜３のいずれか１に記載の位置決め装置と、前記基板に電子部品を取り付ける圧着ヘッドを構成要素とする加圧手段とを備えたことを特徴とする実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置決め装置および実装装置に関するものであり、特に基板上に電子部品を取り付ける実装装置およびそれを構成する位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８に示す液晶表示装置における液晶パネル１は、ガラス基板３上に多数の液晶分子をマトリクス状に配置した表示部２を有し、各液晶分子に電圧を加えることにより画像を表示するものである。そのため、表示部２に隣接して液晶ドライバＩＣ８を設置する。液晶ドライバＩＣ８は、異方導電性接着剤９を塗布した上で、ガラス基板３上の液晶ドライバＩＣ接着部５に、加熱および加圧して接着（実装）する。なお液晶ドライバＩＣ接着部には多数の電極４が形成されていて、液晶ドライバＩＣ８の電極を電極４に対応した正確な位置に接着する必要がある。そのため液晶パネル１を位置決めステージ上に載置して位置決めし、その上で液晶ドライバＩＣ８を接着している。
【０００３】
従来の位置決めステージは、図９に示すようにボールねじ機構１１０のボールハウジング１１２にステージ１１８を接続し、スクリュウ軸１１４をサーボモータ１１６で駆動して、ステージ上に配置した液晶パネルの位置決めを行うものであった。そしてボールねじ機構１１０、１２０を積層することにより、ステージ１１８を異なる方向に独立して移動可能とし、水平面内での位置決めを可能としていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
液晶ドライバＩＣを加熱して液晶パネルに実装する際に、液晶パネルを搭載したステージを含む平面移動機構に熱が伝達されることになる。これにより、ボールねじが熱膨張したり、サーボモータの動作特性が変化したりして、位置決め精度が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は上記問題点に着目し、ワークに加わる熱が平面移動機構に伝達されることのない位置決め装置の提供を目的とする。また、その位置決め装置を使用した実装装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る位置決め装置は、平面移動機構における平面移動体の移動によりワークの位置調整をなす位置決め装置であって、前記平面移動体と中間枠とを第１変形部材により接続し、前記第１変形部材を弾性変形させつつ前記平面移動体を第１の方向に移動させる駆動手段を設置し、前記中間枠と外側固定枠とを第２変形部材により接続し、前記第２変形部材を弾性変形させつつ前記第１の方向とは異なる第２の方向に前記中間枠を移動させる駆動手段を設置し、第１固定ガイドに摺動可能に第１スライダを搭載し、前記第１固定ガイドとは異なる方向に配置した第２ガイドを前記第１スライダに固定し、前記第２ガイドに摺動可能に第２スライダを搭載し、前記第２スライダと前記平面移動体とを断熱材を介して連結することにより、前記第２スライダに搭載した前記ワークに加わる熱の前記平面移動機構への伝達を防止した構成とした。これにより、従来の位置決め装置と同様に、水平面内での位置決めが可能となる。
【０００７】
なお前記ガイドおよび前記スライダは、ローラガイド機構により構成されているのが好ましい。前記ガイドをローラガイド機構のガイドレールで構成するとともに、前記スライダをローラガイド機構のローラ収容体で構成することにより、相互に低摩擦で摺動可能となり、高精度の位置決めが可能となる。
【０００８】
なお、前記駆動手段として、圧縮空気の供給手段と、前記圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、前記電空レギュレータの動作を制御する制御部とを設置するのが好ましい。これにより、圧縮空気を供給してステージを目標位置まで移動させた後、電空レギュレータを閉じることにより停止位置を保持することができる。従って電力を供給し続ける必要がなく、電力消費量を削減することができる。
【０００９】
一方、本発明に係る実装装置は、前記ワークとして基板を搭載する請求項１ないし３のいずれかに記載の位置決め装置と、前記基板に電子部品を取り付ける圧着ヘッドを構成要素とする加圧手段とを備えた構成とした。これにより、請求項１ないし３の効果をともなった実装装置とすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態につき、図面を参照して詳細に説明する。なお以下に記載するのは本発明の実施形態の一態様にすぎず、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１１】
まず、図１に本発明の第１の参考例に係る位置決め装置の斜視図を示す。図２に図１の第１参考例に係る位置決め装置の平面図および駆動手段のブロック図を示す。この位置決め装置は、平面移動体１２と外側固定枠１９とを変形部材１４により接続し、平面移動体１２を移動させる圧縮空気の供給手段２２と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータ２４と、電空レギュレータ２４の動作を制御する制御部２８とを設置し、平面移動体１２の移動量を測定する直線位置センサ１３０を設置して、平面移動体１２に配置したワークの位置決めを行うものである。
【００１２】
変形部材１４を介して平面移動体１２を外側固定枠１９に接続する。平面移動体１２は厚さ１０ｍｍ程度の鋼板で形成する。一方変形部材１４も金属材料等により弾性変形可能に形成する。なお変形部材１４は弾性変形が可能であれば、金属材料に限られずその他の材料で形成してもよい。変形部材１４は、その一方端部を平面移動体１２に接続し他方端部を外側固定枠１９に接続して、平面移動体１２と外側固定枠１９とを接続する。なお外側固定枠１９はその位置が固定されたものである。変形部材１４は、平面移動体の移動方向である図１のＸ方向に対応して、平面移動体の両端部に設置する。
【００１３】
なお変形部材１４の長さ方向中央部分を湾曲させて、蛇腹部１５を形成する。これにより変形部材１４は比較的小さな力で弾性変形し、平面移動体１２の駆動力を小さくすることができる。変形部材１４に蛇腹部１５を形成する場合には、平面移動体１２を所定の方向に移動可能とするため、移動方向に沿った垂直面に対して面対称となるように一対の変形部材を設置する。また図２に示すように、湾曲した蛇腹部１５の先端部分には、変形部材の断面積を部分的に小さくする切り欠き１６を設けるのが好ましい。切り欠き１６の部分で剛性が小さくなるので、平面移動体１２の駆動力をより小さくすることができる。なお、上記の平面移動体１２、変形部材１４および外側固定枠１９は、それぞれの外縁形状に沿って鋼板に貫通溝を穿設することにより一体的に形成することもできる。これにより平面移動機構をコンパクト化することができる。
【００１４】
また、平面移動体１２を移動させる圧縮空気の供給手段２２と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータ２４と、電空レギュレータの動作を制御する制御部２８とを設置する。図２に図１の平面図および駆動手段のブロック図を示す。圧縮空気供給手段２２は、工場内各所に圧縮空気を供給している圧力配管を使用してもよいし、個別にコンプレッサ等を設置してもよい。圧縮空気供給手段２２から配管を２つに分岐して、それぞれ電空レギュレータ２４の入口側に接続する。電空レギュレータ２４は、入口側から供給された圧縮空気の圧力変動を吸収するとともに、入力された電圧信号に応じて出口側の空気圧を所定値に調整するものである。電空レギュレータ２４の出口側に接続した配管は、平面移動体１２の移動方向である図２のＸ方向に対応して、外側固定枠１９に接続する。外側固定枠１９の配管接続部分には予め貫通穴１９ａを穿設しておく。さらに貫通穴１９ａから平面移動体１２にかけて金属ベローズ１８を設置する。金属ベローズ１８は、内部の圧縮空気の漏出を防止するとともに、小さな力によりその長さを伸縮可能としたものである。
【００１５】
なお上記に加えて、ステージ上に載置されたワークを撮影するＣＣＤカメラ２６を設置する。さらにワークの位置決め制御を行う制御部２８を設置する。制御部２８は、ＣＣＤカメラの画像データからワークの初期位置を検出する画像処理部２８ａ、ステージの移動方向および移動量を計算する計算部２８ｂ、位置決め装置のキャリブレーション結果を保存するメモリ２８ｃ、および電空レギュレータ２４へ制御電圧を出力する出力部２８ｄにより形成する。
【００１６】
また、平面移動体１２の移動量を測定する直線位置センサ１３０を設置する。具体的には、外側固定枠１９にメインスケール１３１を設置するとともに、スライダ１３２を平面移動体１２上に設置してメインスケール１３１に沿って移動可能とする。デジタル式の直線位置センサとして代表的な、光学式の直線位置センサの説明図を図３に示す。メインスケール１３１を挟んで、スライダ１３２の一方側には光源１３３およびレンズ１３４を設置し、他方側にはインデックススケール１３５および受光素子１３６を設置する。メインスケール１３１およびインデックススケール１３５には、それぞれスリット１３１ａ、１３５ａを形成する。スリットのピッチは８μｍ程度であるが、位相をずらしたスリットを併設することにより分解能を高めることができる。上記構成により、メインスケール１３１およびインデックススケール１３５の透過光量の変化を受光素子１３６が検知し、変化の回数とスリットのピッチからスライダの移動量を算出する。なお光学式の他にも、レーザ式や磁気式の直線位置センサを使用することができる。
【００１７】
次に、第２の参考例について説明する。第２参考例に係る位置決め装置は、第１の参考例における直線位置センサ１３０に代えて、平面移動体１２の移動量を測定する変位センサを設置したものである。なお第１参考例と同じ構成となる部分については、その説明を省略する。
【００１８】
変位センサとして代表的な、三角測量式を用いたレーザ変位計の説明図を図４に示す。レーザ変位計１４０はそのケーシング１４１内に、半導体レーザの発光素子１４３および投光レンズ１４４を備えるとともに、受光レンズ１４５および位置検出素子（ＰＳＤ）１４６を備えている。位置検出素子１４６は、細長い半導体の光電変換素子の両端に電極を取り付けたものである。一方平面移動体１２には、レーザ光を反射するための反射面１４２を設置する。発光素子から反射面１４２に向けてレーザ光を投射すると、位置検出素子１４６がその反射光を受光する。平面移動体１２とともに反射面が１４２ａの位置に移動すると、位置検出素子１４６が受光する反射光の位置が変化する。位置検出素子１４６は、反射光から両端までの距離に反比例した電流Ｉ１、Ｉ２を出力するので、Ｉ１とＩ２との比率から反射面１４２の変位を検知することができる。その分解能は１〜１０μｍ程度となり、平面移動体１２の移動量を算出することができる。なお、レーザ変位計は光学式の変位センサであり、発光素子１４３として半導体レーザの他にも発光ダイオードを使用することができる。また光学式の他にも、静電容量式、渦電流式および超音波式の変位センサを使用することができる。
【００１９】
上記のような非接触の変位センサを使用すれば、変位センサ自体は外部に設置し、平面移動体上には反射面のみを設置するので、接触式のひずみゲージのように実装時の加熱による熱影響を受けることがない。従って正確な移動量を測定することができ、高精度の位置決め性能を維持することができる。また、変位センサは測定時間が短いので、フィードバック制御のためのサンプリング間隔を短くすることができ、迅速な位置決めを行うことができる。
【００２０】
図５に第３の参考例に係る位置決め装置の平面図を示す。第３参考例に係る位置決め装置は、平面移動体１２と中間枠４２とを第１変形部材１４により接続し、第１変形部材１４を弾性変形させつつ平面移動体をＸ方向に移動させる駆動手段を設置するとともに、平面移動体のＸ方向における移動量を非接触により測定する第１の直線位置センサ１３０を設置し、一方で中間枠４２と外側固定枠１９とを第２変形部材４４により接続し、第２変形部材４４を弾性変形させつつＹ方向に中間枠４２を移動させる駆動手段を設置するとともに、平面移動体のＹ方向における移動量を非接触により測定する第２の直線位置センサ１５０を設置したものである。なお駆動手段として、圧縮空気の供給手段と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、電空レギュレータの動作を制御する制御部を設置する。なお第１参考例と同じ構成となる部分については、その説明を省略する。
【００２１】
まず、平面移動体１２と中間枠４２とを第１変形部材１４により接続する。第１変形部材１４は、図５のＸ方向に対応する平面移動体１２の両端部に設置する。中間枠４２は金属材料等からなり、平面移動体１２の外周に沿って形成する。さらに中間枠４２と外側固定枠１９とを第２変形部材４４により接続する。第２変形部材４４は、図５のＹ方向に対応する中間枠４２の両端部に設置する。なお、図５のＸＹ方向は相互に直交する方向である。第２変形部材４４は第１変形部材１４と同形状とする。これにより、キャリブレーションの結果を共用することができ、ステージ移動量の計算アルゴリズムを単純化することができる。なお、上記の平面移動体１２、第１変形部材１４、中間枠４２，第２変形部材４４および外側固定枠１９は、それぞれの外縁形状に沿って鋼板に貫通溝を穿設することにより一体的に形成することもできる。これにより平面移動機構をコンパクト化することができる。
【００２２】
平面移動体１２および中間枠４２の駆動手段として、圧縮空気の供給手段と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、電空レギュレータの動作を制御する制御部とを設置する。圧縮空気供給手段から配管を４つに分岐して、それぞれ電空レギュレータの入口側に接続する。電空レギュレータの出口側に接続した配管は、中間枠４２を移動させるものは、図５のＹ方向に対応して外側固定枠１９に接続する。一方平面移動体１２を直接移動させるものは、図５のＸ方向に対応して中間枠４２の両端部に接続する。中間枠４２にも外側固定枠１９と同様に予め貫通穴を穿設しておく。さらに外側固定枠１９の貫通穴から中間枠４２にかけて金属ベローズ４８を設置する。
【００２３】
平面移動体１２のＸ方向における移動量を非接触により測定する第１の直線位置センサ１３０を設置する。具体的には、中間枠４２に第１メインスケール１３１を設置するとともに、第１スライダ１３２を平面移動体１２上に設置して第１メインスケール１３１に沿って移動可能とする。一方、平面移動体１２のＹ方向における移動量を非接触により測定する第２の直線位置センサ１５０を設置する。第２の直線変位センサは、直接的には中間枠４２のＹ方向移動量を測定し、これを平面移動体１２のＹ方向移動量とみなす。具体的には、外側固定枠１９に第２メインスケール１５１を設置するとともに、第２スライダ１５２を中間枠４２上に設置して第２メインスケール１５１に沿って移動可能とする。
【００２４】
次に第４の参考例について説明する。図６に第４参考例に係る位置決め装置の斜視図を示す。第４参考例に係る位置決め装置は、平面移動体１２と外側固定枠１９とを変形部材１４により接続し、平面移動体１２を移動させる圧縮空気の供給手段と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、電空レギュレータの動作を制御する制御部とを設置し、ローラガイド機構３０の固定ガイドレール（固定ガイド）３４に摺動可能に搭載されたローラ収容体（スライダ）３２とその下方に配置した平面移動体１２とを断熱材を介して連結することにより、ローラ収容体３２に搭載したワークの位置決めを行うものである。なお上記各参考例と同じ構成となる部分については、その説明を省略する。
【００２５】
ローラガイド機構３０のガイドレール３４を、図６に示すように外側固定枠１９に固定する。ローラガイド機構は、複数のローラがガイドレール表面を転動することにより、ローラ収容体がガイドレールに沿って無推力で移動しうるものである。ローラガイド機構３０は市販のものを使用すればよい。さらに、固定ガイドレールに摺動可能に搭載されたローラ収容体３２と、固定ガイドレールの下方に配置した平面移動体１２とを連結する。連結は複数の連結部材３６によって行う。ローラ収容体３２の上面には、位置決め対象となるワークを搭載するステージを形成する。
【００２６】
ローラ収容体３２とその下方に配置した平面移動体１２とを、断熱材を介して連結する。具体的には、連結部材３６の全体をセラミック等の断熱材により形成するか、またはその途中部分に断熱材を挟み込んで形成する。
【００２７】
上記のように構成した第４参考例に係る位置決め装置により、ワークに加わる熱が平面移動機構に伝達されることがない。この点、液晶パネルが配置されるステージを、変形部材の変形によって移動させるように構成した平面移動機構を備えた位置決め装置においては、平面移動機構に伝達される熱により変形部材が熱変形し、あるいは、熱により変形部材の弾性変形特性が変化して、位置決め精度が低下するという問題がある。しかし第４参考例に係る位置決め装置では、ワークに加わる熱は断熱材によって遮断され、平面移動機構に伝達されることがない。従って、変形部材１４が熱による影響をほとんど受けないので、正確な位置決めを行うことができる。
【００２８】
また、液晶パネルが配置されるステージを変形部材の変形によって移動させるように構成した平面移動機構を備えた位置決め装置においては、変形部材の変形量の計測にひずみゲージを用いた場合、変形部材の温度変化によりひずみゲージ出力に誤差が生じることになる。この場合、温度変化による温度補正をかけながら計測を行うのが一般的であるが、これを行うには、変形部材の温度を常に監視するために温度計を設置したり、補正式を用いての制御が必要となり、システムが複雑になるという問題がある。しかし第４参考例に係る位置決め装置では、ワークに加わる熱は断熱材によって遮断され、平面移動機構に伝達されることがない。従って、平面移動体の移動量測定手段としてひずみゲージを採用し、これを変形部材に接着して使用した場合でも、熱によるひずみゲージ出力の誤差を抑えることができるので、正確な変位量を出力させることができる。なおこの場合には、位置決め装置の製造費用を低減することができる。
【００２９】
また移動量測定手段として、第１参考例および第２参考例で述べた直線位置センサ、ＣＣＤカメラまたは変位センサを採用し、ローラ収容体の移動量を測定することもできる。この場合には、第１参考例および第２参考例で述べた上記移動量測定手段の採用による効果と、同様の効果を得ることができる。なお、直線位置センサまたは変位センサにより平面移動体の移動量を測定してもよい。この場合には上記効果に加えて、移動量測定手段が熱の影響を受けることがほとんどなくなり、より正確な移動量を測定することができる。
【００３０】
次に本発明の実施形態について説明する。図７に本願発明の実施形態に係る位置決め装置の斜視図を示す。実施形態に係る位置決め装置は、平面移動体１２と中間枠４２とを第１変形部材１４により接続し、第１変形部材１４を弾性変形させつつ平面移動体をＸ方向に移動させる駆動手段を設置し、中間枠４２と外側固定枠１９とを第２変形部材４４により接続し、第２変形部材４４を弾性変形させつつＹ方向に中間枠４２を移動させる駆動手段を設置したものである。なお駆動手段として、圧縮空気の供給手段と、圧縮空気の空気圧を調整する電空レギュレータと、電空レギュレータの動作を制御する制御部を設置する。加えて、第１ローラガイド機構３０の第１固定ガイドレール（第１固定ガイド）３４に摺動可能に第１ローラ収容体（第１スライダ）３２を搭載し、第１固定ガイドレール３４とは異なる方向に配置した第２ガイドレール（第２ガイド）５４を第１ローラ収容体３２に固定し、第２ローラガイド機構５０の第２ガイドレール５４に摺動可能に第２ローラ収容体（第２スライダ）５２を搭載し、第２ローラ収容体５２と平面移動体１２とを断熱材を介して連結することにより、第２ローラ収容体５２に搭載したワークの位置決めを行うものである。なお上記各参考例と同じ構成となる部分については、その説明を省略する。
【００３１】
第１ローラガイド機構３０の第１ガイドレール３４を外側固定枠１９に固定し、これに摺動可能に第１ローラ収容体３２を搭載する。図７に示す積層されたローラガイド機構のうち、下側に位置するのが第１ローラガイド機構３０であり、上側に位置するのが第２ローラガイド機構５０である。また、第１固定ガイドレール３４と直交する方向に配置した第２ガイドレール５４を、第１ローラ収容体３２に固定する。なお第２ガイドレール５４は外側固定枠１９等には固定しない。さらに、第２ガイドレール５４に摺動可能に第２ローラ収容体５２を搭載する。加えて、第２ローラ収容体５２と平面移動体１２とを連結することにより連動可能とする。連結は複数の連結部材５６によって行う。なお第１ローラ収容体３２は平面移動体１２とは連結しない。第２ローラ収容体５２の上面には、位置決め対象となるワークを搭載するステージを形成する。
【００３２】
ローラ収容体３２とその下方に配置した平面移動体１２とを、断熱材を介して連結する。具体的には、連結手段５６の全体をセラミック等の断熱材により形成するか、またはその途中部分に断熱材を挟み込んで形成する。
【００３３】
上記のように構成した実施形態に係る位置決め装置により、水平面内での位置決めが可能となる。この点、第４参考例は単方向の位置決めを行うものであったが、この実施形態に係る位置決め装置では平面移動体に配置したワークを、直交する２方向に独立して移動させることができるので、水平面内での位置決めが可能となる。これにより図９に示す従来の位置決め装置と置き換えることができる。
【００３４】
また本実施形態に係る位置決め装置では、第４参考例の場合と同様に、ワークに加わる熱は断熱材で遮断され、平面移動機構へ伝達されることがなく、正確な位置決めを行うことができる。
【００３５】
なおこれにより、平面移動体のＸＹ方向移動量測定手段としてひずみゲージを採用し、これを第１変形部材および第２変形部材に接着して使用した場合でも、正確な変位量を出力させることができる。この場合には、位置決め装置の製造費用を低減することができる。
【００３６】
また移動量測定手段として、第１参考例ないし第３参考例で述べた直線位置センサ、ＣＣＤカメラまたは変位センサを採用し、第２ローラ収容体のＸＹ方向移動量を測定することもできる。この場合には、第１参考例ないし第３参考例で述べた上記移動量測定手段の採用による効果と、同様の効果を得ることができる。なお、直線位置センサまたは変位センサにより平面移動体のＸＹ方向移動量を測定してもよい。この場合には上記効果に加えて、移動量測定手段が熱の影響を受けることがほとんどなくなり、より正確な移動量を測定することができる。
【００３７】
【発明の効果】
平面移動機構における平面移動体の移動によりワークの位置調整をなす位置決め装置であって、前記平面移動体と中間枠とを第１変形部材により接続し、前記第１変形部材を弾性変形させつつ前記平面移動体を第１の方向に移動させる駆動手段を設置し、前記中間枠と外側固定枠とを第２変形部材により接続し、前記第２変形部材を弾性変形させつつ前記第１の方向とは異なる第２の方向に前記中間枠を移動させる駆動手段を設置し、第１固定ガイドに摺動可能に第１スライダを搭載し、前記第１固定ガイドとは異なる方向に配置した第２ガイドを前記第１スライダに固定し、前記第２ガイドに摺動可能に第２スライダを搭載し、前記第２スライダと前記平面移動体とを断熱材を介して連結することにより、前記第２スライダに搭載した前記ワークに加わる熱の前記平面移動機構への伝達を防止したので、ワークに加わる熱が平面移動機構に伝達されることのない位置決め装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１参考例に係る位置決め装置の斜視図である。
【図２】  第１参考例に係る位置決め装置の平面図および駆動手段のブロック図である。
【図３】  光学式直線位置センサの説明図である。
【図４】  レーザ変位計の説明図である。
【図５】  第３参考例に係る位置決め装置の平面図である。
【図６】  第４参考例に係る位置決め装置の斜視図である。
【図７】  本発明の実施形態に係る位置決め装置の斜視図である。
【図８】  液晶パネルおよび液晶ドライバＩＣの説明図であり、（１）は平面図であり、（２）は正面図である。
【図９】  従来技術に係る位置決め装置の斜視図である。
【符号の説明】
１………液晶パネル、２………表示部、３………ガラス基板、４………電極、５………液晶ドライバＩＣ接着部、８………液晶ドライバＩＣ、９………異方導電性接着剤、１２………平面移動体、１４………変形部材、１５………蛇腹部、１６………切り欠き、１７………ひずみゲージ、１８………金属ベローズ、１９………外側固定枠、１９ａ………貫通穴、２２………圧縮空気供給手段、２４………電空レギュレータ、２６………ＣＣＤカメラ、２８………制御部、３０………ローラガイド機構、３２………ローラ収容体、３４………ガイドレール、３６………連結部材、４２………中間枠、４４………第２変形部材、４８………金属ベローズ、５０………第２ローラガイド機構、５２………第２ローラ収容体、５４………第２ガイドレール、５６………連結部材、１１０………ボールねじ機構、１１２………ボールハウジング、１１４………スクリュウ軸、１１６………サーボモータ、１１８………ステージ、１２０………ボールねじ機構、１３０………直線位置センサ、１３１………メインスケール、１３１ａ………スリット、１３２………スライダ、１３３………光源、１３４………レンズ、１３５………インデックススケール、１３５ａ………スリット、１３６………受光素子、１４０………レーザ変位計、１４１………ケーシング、１４２………反射面、１４３………発光素子、１４４………投光レンズ、１４５………受光レンズ、１４６………位置検出素子、１５０………第２直線位置センサ、１５１………第２メインスケール、１５２………第２スライダ。
【図１】
0003972175.tif 000002
【図２】
0003972175.tif 000003
【図３】
0003972175.tif 000004
【図４】
0003972175.tif 000005
【図５】
0003972175.tif 000006
【図６】
0003972175.tif 000007
【図７】
0003972175.tif 000008
【図８】
0003972175.tif 000009
【図９】
0003972175.tif 000010