(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を媒体に直接当接させ、前記圧電素子の振動により前記媒体を搬送させる搬送機構であって、前記圧電素子を、直方体の基体により構成し、前記基体の両側面の長手方向の四辺付近に電極を配設し、前記圧電素子の端面における対角線上に位置する前記各電極対を同極にしてそれぞれ電界を加えることにより分極を施してあり、前記各電極のうち隣接する２つの電極を配線によって接続し、他の２つの電極にそれぞれ９０度位相の異なる交流電圧を印加することによって、前記圧電素子を、屈曲振動させてモード回転を生じさせることにより前記媒体を搬送させることを特徴とする搬送機構。
【請求項２】
前記当接面の表面に、前記媒体の当接面の摩擦係数より高い摩擦係数を有する高摩擦層、または弾性層を形成することを特徴とする請求項１に記載の搬送機構。
【請求項３】
前記当接面を、円弧状となるように膨出形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送機構。
【請求項４】
記録媒体を介して記録ヘッドと対向するように前記記録媒体を搬送するための搬送機構が配設されているプリンタであって、前記搬送機構を、請求項１から請求項３のいずれかに記載の搬送機構とすることを特徴とするプリンタ。
【請求項５】
記録媒体を介して従動ローラと対向するように前記記録媒体を搬送するための搬送機構が配設されているプリンタであって、前記搬送機構を、請求項１から請求項３のいずれかに記載の搬送機構とすることを特徴とするプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は搬送機構およびこの搬送機構を用いたプリンタに係り、特に圧電素子を利用して媒体を搬送させる搬送機構およびこの搬送機構を用いたプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、媒体を搬送するための搬送体としてステッピングモータの駆動を利用して回転駆動するローラを利用する搬送機構が知られている。そして、前記搬送機構は、このローラと前記ローラに対向するように設置された支持部とにより媒体を挟持し、前記ローラの回転駆動により前記媒体を搬送させるようになされている。
【０００３】
そして、このような搬送機構としては、例えば、プリンタにおいて用紙トレイから媒体としての用紙を搬送させるための用紙搬送機構や、記録ヘッドによって記録を行いながら用紙を搬送させるための用紙搬送機構等が知られている。
【０００４】
このうち用紙トレイから用紙を搬送させるための用紙搬送機構には、ローラとして紙送りローラが設置されており、またプリンタには、支持部として前記紙送りローラの回転に従動して回転する従動ローラが設置されている。この用紙搬送機構においては、前記紙送りローラと前記従動ローラとにより用紙を挟持し、前記紙送りローラをステッピングモータを利用して回転駆動させることにより、用紙を搬送させていた。
【０００５】
また、記録を行いながら用紙を搬送させるための用紙搬送機構には、ローラとしてプラテンローラが設置されており、またプリンタには、支持部として記録ヘッドが設置されている。このような用紙搬送機構においては、前記記録ヘッドと前記プラテンローラとにより用紙を挟持し、前記プラテンローラをステッピングモータを利用して回転駆動させながら、前記記録ヘッドを駆動して、用紙上に記録を行いながら用紙を搬送させていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述のように各用紙搬送機構を構成する紙送りローラやプラテンローラは、ステッピングモータを駆動させることにより回転駆動される。このため、前記各用紙搬送機構には、紙送りローラやプラテンローラ、および従動ローラや記録ヘッドの他に、前記紙送りローラやプラテンローラ等を回転駆動させるためのステッピングモータをそれぞれ設置する必要があった。一方、近年デジタルスチルカメラや携帯電話等に入力された写真や文字等の画像の記録データを前記デジタルスチルカメラ等から直接入力し、出力するための携帯用プリンタが利用されており、この携帯用プリンタの一層の小型化が図られている。しかしながら、各用紙搬送機構にそれぞれステッピングモータを設置しなければならず、各用紙搬送機構の小型化を図ることができないことから、前記携帯用プリンタを小型化するための妨害となっていた。
【０００７】
本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、一層の小型化を図ることができる搬送機構およびこの搬送機構を用いたプリンタを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明に係る搬送機構は、圧電素子を媒体に直接当接させ、前記圧電素子の振動により前記媒体を搬送させる搬送機構であって、前記圧電素子を、直方体の基体により構成し、前記基体の両側面の長手方向の四辺付近に電極を配設し、前記圧電素子の端面における対角線上に位置する前記各電極対を同極にしてそれぞれ電界を加えることにより分極を施してあり、前記各電極のうち隣接する２つの電極を配線によって接続し、他の２つの電極にそれぞれ９０度位相の異なる交流電圧を印加することによって、前記圧電素子を、屈曲振動させてモード回転を生じさせることにより前記媒体を搬送させることを特徴とする。
【０００９】
この本発明に係る搬送機構によれば、前記圧電素子の振動のみによって媒体を搬送させることができるので、従来のような搬送体としてローラが用いられる場合にこのローラを回転駆動させるためのステッピングモータを設置する必要がない。また、圧接素子を屈曲振動させてモード回転を生じさせることを利用して媒体を大きく移動させることができる。
【００１２】
また、本発明に係る他の搬送機構は、前記当接面の表面に、前記媒体の当接面の摩擦係数より高い摩擦係数を有する高摩擦層、または弾性層を形成することを特徴とする。
【００１３】
この本発明に係る搬送機構によれば、前記高摩擦層または前記弾性層と前記媒体の当接面とが当接することにより、大きな摩擦力が生じる。
【００１４】
また、本発明に係る他の搬送機構は、前記当接面を、円弧状となるように膨出形成することを特徴とする。
【００１５】
この本発明に係る他の搬送機構によれば、圧電素子の当接面と媒体の下面とが当接する面積を狭めることができる。
【００１６】
また、本発明に係る搬送機構を用いたプリンタは、記録媒体を介して複数の発熱素子が整列配置されている記録ヘッドに対向するように搬送機構が配設されているプリンタであって、前記搬送機構を、請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送機構とすることを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明に係る他の搬送機構を用いたプリンタは、記録媒体を介して従動ローラに対向するように搬送機構が配設されているプリンタであって、前記搬送機構を、記録媒体を介して請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送機構とすることを特徴とする。
【００１８】
これらの本発明に係る搬送機構を用いたプリンタによれば、圧電素子の振動のみによって記録媒体を搬送させることができるので、従来のような搬送体としてプラテンローラまたは紙送りローラが用いられる場合にこれらのローラを回転駆動させるためのステッピングモータを設置する必要がない。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る搬送機構を用いたプリンタの実施形態について、図１から図１１を参照して説明する。
【００２０】
まず、本発明に係る搬送機構の第１の実施形態を、便宜上サーマルプリンタにおいて記録を行いながら媒体としての用紙を搬送するための用紙搬送機構として説明する。
【００２１】
図１は、本実施形態に係る記録を行いながら用紙を搬送するための用紙搬送機構を用いたサーマルプリンタ示す断面図であり、図２は、前記サーマルプリンタを示す平面図である。図１および図２に示すように、前記サーマルプリンタ１には、サーマルヘッド２が配設されており、前記サーマルヘッド２には、複数の発熱素子３が整列配置されている。また、前記サーマルプリンタ１には、用紙５を搬送するための用紙搬送機構４が配設されている。
【００２２】
この用紙搬送機構４には、用紙５を介して前記サーマルヘッド２と対向するように圧電素子６が配設されている。この圧電素子６は、図３に示すように、ほぼ直方体の基体７を有しており、前記基体７のうち用紙５に当接する当接面８は、円弧状となるように膨出形成されている。また、前記基体７の当接面８には、前記用紙５の下面の摩擦係数より高い摩擦係数を有する高摩擦層９が形成されている。なお、前記高摩擦層９にかえて弾性層が形成されていてもよい。
【００２３】
また、前記基体７の両側面の上端部分および下端部分には、それぞれ前記基体７の長さ寸法と同様の長さ寸法により形成された電極が形成されている。これらの電極のうち一方の側面の上端部分に形成された電極をＡとし、他方の側面の上端部分に形成された電極をＢとし、前記電極Ｂの下方に形成された電極をＣとし、前記電極Ａの下方に形成された電極をＤとする。そして、前記基体７の端面における対角線上に対向する電極Ａと電極Ｃ、および電極Ｂと電極Ｄとをそれぞれ同極として電界を加えることにより分極が施される。この分極は、図３に示すように、電極Ａから電極Ｂおよび電極Ｄの方向、および電極Ｃから電極Ｂおよび電極Ｄの方向であり、前記基体７の端面における４辺を沿うようになっている。さらに、前記電極Ｃと前記電極Ｄとは、配線１１により接続されており、また、前記電極Ａおよび前記電極Ｂには、９０度位相の異なる交流電圧が印加されるようになされている。そして、このような前記各電極Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間の分極方向および電界の関係により、前記各電極Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間には圧電効果により長手方向の伸縮ひずみが生じ、前記基体７は屈曲振動してモード回転を生じる。ここで、圧電素子６の屈曲振動は、印加される交流電圧の周波数が前記圧電素子６の屈曲振動の共振周波数に近い値であるほど、変位が大きくなる。
【００２４】
さらに、前記用紙搬送機構４には、前記各電極Ａおよび電極Ｂに印加する電圧を制御する制御部１３が設置されている。図４に示すように、この制御部１３には、前記各電極Ａおよび電極Ｂそれぞれに印加する交流電圧の周波数を発振するための発振器１４、およびこの発振器１４から前記電極Ｂに印加するために発振された交流電圧の周波数の位相を９０度変換させるための移相器１５が設置されている。また、前記制御部１３には、前記発振器１４から前記電極Ａに印加するために発振された交流電圧を増幅するための第１増幅器１６、および前記電極Ｂに印加するために前記移相器１５により位相が変換された交流電圧を増幅するための第２増幅器１７が設置されている。さらに、前記制御部１３には、前記電極Ａに印加された交流電圧の電圧を検出するための電流検出器１８および前記交流電圧の電流を検出するための電圧検出器１９が設置されており、また前記電流検出器１８および前記電圧検出器１９によりそれぞれ検出された電圧と電流の位相の差を比較し、前記発振器１４により発振される交流電圧の周波数を制御するための位相比較回路２０が設置されている。
【００２５】
次に、第１の実施形態に係る用紙搬送機構４を用いたサーマルプリンタ１の作用について説明する。
【００２６】
まず、発振器１４により、電極Ａおよび電極Ｂに印加される所定の周波数の交流電圧が発振される。この交流電圧の周波数の駆動波形として正弦波が利用され、また周波数は圧電素子６の屈曲振動の共振周波数に近い数値となるように設定される。そして、前記正弦波の一定期間におけるパルス数を変化させることにより、前記圧電素子６の屈曲振動の速度を制御する。前記発振器１４により発振された交流電圧のうち電極Ａに印加される交流電圧は、第１増幅器１６により増幅されて電極Ａに印加される。一方、電極Ｂに印加される交流電圧は、移相器１５によってその位相を＋９０度変換された後、第２増幅器１７により増幅されて電極Ｂに印加される。
【００２７】
前記交流電圧が電極Ａおよび電極Ｂにそれぞれ印加されると、各電極Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間の分極方向および電界の関係により、前記各電極Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間に圧電効果が生じ、前記圧電素子６は、屈曲振動を開始する。このとき、前記電極Ａおよび前記電極Ｂには、圧電素子の屈曲振動の共振周波数に近い値の周波数の交流電圧が印加されているので、前記圧電素子６を大きく屈曲振動させることができる。また、前記電極Ａと前記電極Ｂとには＋９０度位相が異なる交流電圧が印加されているので、前記圧電素子６の屈曲変位の方向が回転される。この結果、図５に示すように、前記圧電素子６は、各電極Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ間の圧電効果により長手方向の伸縮ひずみが生じ、屈曲振動してモード回転が生じる。この圧電素子６のモード回転により、前記圧電素子６の高摩擦層９が用紙５の下面に当接され、前記高摩擦層９と前記用紙５との間に摩擦力が生じる。そして、この摩擦力によって前記用紙５を搬送させる。これとともに、各発熱素子３を選択的に発熱させて前記用紙５上に記録を行う。なお、前記電極Ｂに対し前記電極Ａに印加される交流電圧と−９０度位相が異なる交流電圧を印加する場合には、前記用紙５を逆方向に搬送させることができる。
【００２８】
続いて、前記電極Ａに印加された交流電圧の電流および電圧が電流検出器１８および電圧検出器１９によって検出され、検出された電流および電圧のデータは、位相比較回路２０に出力される。さらに、位相比較回路２０により、前記電極Ａに印加される交流電圧の電流と電圧の位相が比較され、そして前記発振器１４によって発振される前記電極Ａおよび前記電極Ｂに印加される交流電圧の周波数が前記圧電素子６の共振周波数に近い値となるように調整される。これにより、前記圧電素子６の共振状態を維持させ、常に前記圧電素子６を大きく屈曲振動させることができる。
【００２９】
本実施形態によれば、用紙５を搬送させるための搬送体として圧電素子６が用いられており、前記圧電素子６のモード回転のみによって用紙５を搬送させることができるので、従来のような搬送体としてプラテンローラが用いられる場合に前記プラテンローラを回転駆動させるためのステッピングモータを設置する必要がない。
【００３０】
したがって、前記用紙搬送機構４に圧電素子６のみを設置すればよいので、用紙搬送機構４の小型化を図ることができる。
【００３１】
また、圧電素子６の当接面８は、円弧状となるように膨出形成されているので、前記圧電素子６の当接面８と用紙５の下面とが当接する面積を狭めることができる。このため、前記圧電素子６のモード回転の運動量が前記当接面に集中されるので、用紙５を効率よく搬送させることができる。
【００３２】
次に、本発明に係る搬送機構を用いたプリンタの第２の実施形態を、サーマルプリンタにおいて用紙トレイから用紙を搬送するための用紙搬送機構として図６から図１１を参照して説明する。
【００３３】
図６および図７に示すように、第２の実施形態に係るサーマルプリンタ３３には、支持部としての一対の従動ローラ２２が配設されており、これら各従動ローラ２２は、ローラ軸２３により連結されて一体に回転するようになされている。また、前記サーマルプリンタ３３には、図示しない用紙トレイから用紙２４を搬送するための用紙搬送機構２１が配設されている。
【００３４】
この用紙搬送機構２１には、用紙２４を介して前記従動ローラ２２と対向するように搬送体としての圧電素子２５が配設されている。この圧電素子２５は、図８に示すように、ほぼ直方体の基体２６を有している。この基体２６の両側面の上端部分および下端部分には、それぞれ前記基体２６の長さ寸法と同様の長さ寸法により形成された電極が形成されおり、これらの電極は長手方向においてそれぞれ２分割されている。
【００３５】
これらの電極のうち一方の側面の上端部分に形成された電極の一端部分の電極をＡ1 、他端部分の電極をＡ2 とし、他方の側面の上端部分に形成された電極の一端部分の電極をＢ1 、他端部分の電極をＢ2 とし、前記電極Ｂ1 およびＢ2 の下方に形成された電極の一端部分の電極をＣ1 、他端部分の電極をＣ2 とし、前記電極Ａ1 およびＡ2 の下方に形成された電極の一端部分をＤ1 、他端部分をＤ2 とする。このとき、このとき、前記基体２６の端面における対角線上に対向する電極Ａ1 と電極Ｃ1 、および電極Ｂ1 と電極Ｄ1 とをそれぞれ同極として電界を加えることにより、分極が施されるようになっている。この分極は、図９に示すように、電極Ａ1 から電極Ｂ1 および電極Ｄ1 方向、および電極Ｃ1 から電極Ｂ1 および電極Ｄ1 方向であり、前記基体の端面における４辺を沿うようになっている。さらに、前記電極Ｃ1 と前記電極Ｄ1 とは、配線２７により接続されており、また、前記電極Ａ1 と前記電極Ｂ1 とは、配線２８により接続され交流電圧が印加されるようになされている。
【００３６】
さらに、前記基体２６の端面における対角線上に対向する電極Ａ2 と電極Ｃ2 、および電極Ｂ2 と電極Ｄ2 とをそれぞれ同極として電界を加えることにより分極が施されている。この分極は、図１０に示すように、電極Ａ2 から電極Ｂ2 および電極Ｄ2 方向、および電極Ｃ2 から電極Ｂ2 および電極Ｄ2 方向であり、前記基体２６の端面における４辺を沿うようになっている。さらに、前記電極Ａ2 と前記電極Ｄ2 とは配線２９により接続されており、また、前記電極Ｂ2 と前記電極Ｃ2 とは配線３０により接続され、前記電極Ａ1 および電極Ｂ1 に印加される交流電流と９０度位相の異なる交流電圧が印加されるようになされている。そして、このような前記各電極Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｄ1 、Ｄ2 間の分極方向および電界の関係により、前記各電極Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｄ1 、Ｄ2 間に圧電効果が生じ、前記圧電素子２５は屈曲振動してモード回転が生じる。これにより、図１１に示すように、高次の屈曲振動を発生させることができる。
【００３７】
なお、本実施形態における圧電素子２５および用紙搬送機構２１の他の構成は、第１の実施形態における圧電素子６および用紙搬送機構１の構成と同様であるので、説明を省略する。
【００３８】
次に、第２の実施形態に係る用紙搬送機構２１を利用したサーマルプリンタ３３の作用について説明する。
【００３９】
まず、発振器により、電極Ａ1、電極Ｂ1 および電極Ｂ2 、電極Ｃ2 に印加される所定の周波数の交流電圧が発振される。このうち電極Ａ1 、電極Ｂ1 に印加される交流電圧は、第１増幅器により増幅されて電極Ａ1 および電極Ｂ1 に印加される。一方、電極Ｂ2 および電極Ｃ2 に印加される交流電圧は、移相器によってその位相を＋９０度変換された後、第２増幅器により増幅されて電極Ｂ2 および電極Ｃ2 に印加される。
【００４０】
前記交流電圧が電極Ａ1 、電極Ｂ1 および電極Ｂ2 、電極Ｃ2 にそれぞれ印加されると、各電極Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｄ1 、Ｄ2 間の分極方向および電界の関係により、前記各電極Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｄ1 、Ｄ2 間に圧電効果が生じ、前記圧電素子２５は、屈曲振動を開始する。また、前記電極Ａ1 、電極Ｂ1 と前記電極Ｂ2 、電極Ｃ2 とには＋９０度位相が異なる交流電圧が印加されているので、前記圧電素子の屈曲変位の方向を回転させる。この結果、図１１に示すように、前記圧電素子２５は、前記各電極Ａ1 、Ｂ1 、Ｃ1 、Ｄ1 の長手方向における中央部分が上方および下方に屈曲するとともに、前記各電極Ａ2 、Ｂ2 、Ｃ2 、Ｄ2 の長手方向における中央部分が、前記各電極Ａ1 、Ｂ1 、Ｃ1 、Ｄ1 の屈曲方向と反対方向に上方および下方に屈曲するように屈曲振動し、モード回転が生じる。この圧電素子２５のモード回転により、前記圧電素子２５の高摩擦層３２が用紙２４の下面に当接され、前記高摩擦層３２と前記用紙２５との間に摩擦力が生じ、この摩擦力によって前記用紙２４を搬送させる。
【００４１】
本実施形態によれば、前記圧電素子２５は、前記各電極Ａ1 、Ｂ1 、Ｃ1 、Ｄ1 の長手方向における中央部分が上方および下方に屈曲するとともに、前記各電極Ａ2 、Ｂ2 、Ｃ2 、Ｄ2 の長手方向における中央部分が、前記各電極Ａ1 、Ｂ1 、Ｃ1 、Ｄ1 の屈曲方向と反対方向に上方および下方に屈曲するように屈曲振動するので、前記各電極Ａ1 、Ａ2 、Ｂ1 、Ｂ2 、Ｃ1 、Ｃ2 、Ｄ1 、Ｄ2 の長手方向における中央部分および両端部分において大きな屈曲変位が得られる。このため、第１の実施形態に係る圧電素子６と比較して広い範囲において大きく屈曲振動する。
【００４２】
したがって、前記圧電素子２５の大きな屈曲振動を利用することにより、圧電素子２５の広い範囲を用いて用紙２４を効率よく搬送させることができる。
【００４３】
なお、第１および第２の実施形態においては前記交流電圧の周波数の駆動波形として正弦波を用いているが、これに限定されるものではなく矩形波を用いるものであってもよい。この場合、矩形波のデューティ比を変化させることによって、前記圧電素子６、２５の屈曲振動の速度を制御することができる。
【００４４】
また、第１および第２の実施形態においては用紙５、２４と当接する圧電素子６、２５の当接面８は円弧状となるように膨出形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば平坦であってもよい。
【００４５】
さらに、第１および第２の実施形態においては搬送機構をサーマルプリンタに用いる用紙搬送機構４、２１として説明しているが、これに限定されるものではなく、他の媒体を搬送するための搬送機構にも利用することができる。
【００４６】
さらにまた、第１の実施形態に用いられる圧接素子６を第２の実施形態に係る用紙トレイから用紙を搬送するための用紙搬送機構２１に用いてもよく、第２の実施形態に用いられる圧接素子２５を第１の実施形態に係る記録を行いながら用紙を搬送するための用紙搬送機構４に用いてもよい。
【００４７】
また、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することが可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明に係る搬送機構によれば、搬送機構に圧電素子のみを設置すればよいので、搬送機構の小型化を図ることができる。
【００４９】
また、圧接素子のモード回転を利用して媒体を大きく移動させることができるので、効率よく媒体を搬送させることができる。
【００５０】
また、本発明に係る他の搬送機構によれば、高摩擦層または弾性層と媒体の当接面とが当接することにより、大きい摩擦力が生じるので、この摩擦力により、一層効率よく媒体を搬送させることができる。
【００５１】
また、本発明に係る他の搬送機構によれば、圧電素子の当接面と用紙の下面とが当接する面積を狭めることができるため、圧電素子の振動の運動量が当接面に集中されるので、媒体を効率よく搬送させることができる。
【００５２】
また、本発明に係る搬送機構を用いたプリンタによれば、用紙搬送機構に圧電素子のみを設置すればよいので、前記プリンタに設けられた各用紙搬送機構の小型化を図ることができ、この結果、前記プリンタの小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る搬送機構の第１の実施形態を示す断面図
【図２】  図１に示す搬送機構を示す平面図
【図３】  図１に示す搬送機構に用いられる圧電素子を示す斜視図
【図４】  図３に示す圧電素子を制御する制御部を示すブロック図
【図５】  図３に示す圧電素子のモード回転を示す概念図
【図６】  本発明に係る搬送機構の第２の実施形態を示す断面図
【図７】  図６に示す搬送機構を示す平面図
【図８】  図６に示す搬送機構に用いられる圧電素子を示す斜視図
【図９】  図８に示す圧電素子の一端面の分極方向を示す概念図
【図１０】  図８に示す圧電素子の他端面の分極方向を示す概念図
【図１１】  図８に示す圧電素子のモード回転を示す概念図
【符号の説明】
１  サーマルプリンタ
２  サーマルヘッド
３  発熱素子
４  用紙搬送機構
５  用紙
６  圧電素子
７  基体
８  当接面
９  高摩擦層
１１  配線
１３  制御部
１４  発振器
１５  移相器
１６  第１増幅器
１７  第２増幅器
１８  電流検出器
１９  電圧検出器
２０  位相比較回路
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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