(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を、ほぼ水平状態で、回転する一対のラミネーティングロールの間にフィルムと共に送り込んで、基板上部表面にフィルムを張り付けるフィルム張付装置における前記ラミネーティングロール入側に配置され、前記ラミネーティングロールに対して、前記基板の幅方向位置を調節する基板幅寄せ装置と、この基板幅寄せ装置による幅寄せ後に、前記基板を１８０°反転させ、且つ、前記ラミネーティングロールに搬送する基板反転装置と、を有してなる基板幅寄せ反転装置において、
前記基板幅寄せ装置は、前記基板の水平な搬送経路に対して、幅方向両外側から内側に水平に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸により回転自在に支持され、前記基板の幅方向両端近傍部分を下方から支持する位置まで基板幅方向内側に突出し、且つ、前記搬送経路上の基板の幅方向両端よりも外側に引込み可能とされた二組の基板受けローラ群と、前記基板受けローラ群上の基板に対して幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板の幅方向両端を押して基板の幅方向位置を調節する二組の幅寄せ部材と、前記基板受けローラ群及び幅寄せ部材を基板幅方向に進退させる基板受けローラ群駆動装置及び幅寄せ部材駆動装置を同期して、又は、独立に作動させる制御手段と、を有してなり、
前記基板反転装置は、二組の前記基板受けローラ群の間及び二組の前記幅寄せ部材の間に下方向から臨入し、前記基板下部表面を負圧により吸着自在な吸着板と、この吸着板を基板幅方向の中心軸線廻りに１８０°反転駆動する回転装置と、この回転装置を上下動及び基板送り方向に往復動自在に支持するとともに、反転した基板を水平状態で、前記一対のラミネーティングロールに搬送可能な吸着板搬送装置と、を有してなることを特徴とする基板幅寄せ反転装置。
【請求項２】
請求項１において、前記基板反転装置は、基板送り方向における前記基板の吸着開始位置で、前記基板を、前記吸着板により前記基板受けローラ群よりも高い位置に持ち上げ自在とされたことを特徴とする基板幅寄せ反転装置。
【請求項３】
請求項２において、前記基板反転装置は、前記基板の幅方向両端近傍部が、前記基板受けローラ群に支持される際、及び、前記基板幅寄せ装置による幅寄せ動作までの間、前記吸着板を、前記基板受けローラ群の高さ位置よりも低く下降させるようにされたことを特徴とする基板幅寄せ反転装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、フィルム張付装置におけるフィルム張り付けの前工程で、基板を幅方向にセンタリングした後に、これを１８０°表裏を反転するようにされた基板幅寄せ反転装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
感光性樹脂層を有する積層体フィルムを、プリント配線盤用基板、液晶パネル用ガラス基板、プラズマディスプレイ用基板に例示される基板の表面に張り付けるフィルム張付装置がある。
【０００３】
このようなフィルム張付装置は、基板搬送装置により基板を搬送させ、その上面に前記積層体フィルムを、その感光性樹脂層が対面するようにして張り付けるものであり、この積層体フィルムは、連続的あるいは基板長さに応じて切断して、前記基板と共に、回転する一対のラミネーティングロール間に通すことによって張り付けるようにされている。
【０００４】
近年、プリント配線盤の回路、液晶パネルやプラズマディスプレイにおける画素が高精細化して、基板表面にわずかな埃が付着しても、そのままフィルムを張り付けて後工程でパターンを焼き付けた場合、その埃等が付着した部分の画素が不良品の原因となってしまうという問題点を生じている。
【０００５】
これに対して、基板のフィルム張付面を下向き（下面）とし、この下面に下側からフィルムを張り付けるようにしたフィルム張付方法及び装置が提案されている。
【０００６】
この場合、フィルム張付面は搬送ローラ等に接触させることができないので、フィルム張付面を上向きにしてラミネーティングロール近傍まで搬送し、ここで基板を、フィルム張付面と反対側の面から吸着して１８０°反転した状態で、そのままラミネーティングロール間に供給することになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板を、ラミネーティングロール間に送り込む場合、この基板の幅方向中央位置をラミネーティングロールにおけるセンターラインに一致させる、いわゆる幅寄せと称されるセンタリング工程が必要となる。
【０００８】
従来のセンタリングを行うための基板幅寄せ装置は、搬送ローラ上の基板を、搬送ローラと直交する方向に回転する多数のローラによって持ち上げた状態で、基板幅方向両端を幅寄せ板等によって基板幅方向内側に押してセンタリングするようにされている。
【０００９】
ここで、前述のように、基板のフィルム張付面を下向きにしてフィルムを張り付ける下張り型のフィルム張付装置においては、基板反転の際に、フィルム張付面の反対側面である下側面を吸着手段によって吸着し、１８０°反転する必要があるが、基板搬送ローラ近傍において、基板を下側面から吸着することは、吸着板と搬送ローラとが干渉するため、非常に困難である。特に、近年基板が大型化していて、この大型化した基板を吸着するためにも吸着板は大型としなければならず、搬送ローラとの干渉が避けられない。
【００１０】
又、搬送ローラによって基板を搬送すると、基板が大型の場合、搬送時間が長くなり、装置の効率が低下してしまう。従って、最近では、基板をロボットにより搬入するようになっている。
【００１１】
一方、フィルム張付装置は、各種の幅の基板に対応してフィルムを張り付けることができるものでなければならないので、前記吸着板は最小サイズの基板よりも小さい大きさとしなければならない。
【００１２】
従って、最大サイズの基板の場合は吸着板により吸着された状態で、その両端が大きく垂れ下がることがあり、反転型のフィルム張付装置における基板幅寄せ装置は、従来のように、搬送ローラ上に平板状に載置されている基板の幅寄せ装置をそのまま用いることができない。
【００１３】
又、水平の吸着板上に基板を載せた状態で幅寄せすることも考えられるが、この場合、前述のように吸着板面積を充分に大きくすることができないので、最大サイズの基板が吸着板から滑り落ちてしまうという不都合がある。
【００１５】
この発明は、幅方向両端が垂れ下がり易い基板を確実に幅寄せできると共に、これを１８０°反転してフィルム張付面を損傷したりすることなく、ラミネーティングロールに送り込むことができるようにした基板幅寄せ反転装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、請求項１のように、基板を、ほぼ水平状態で、回転する一対のラミネーティングロールの間にフィルムと共に送り込んで、基板上部表面にフィルムを張り付けるフィルム張付装置における前記ラミネーティングロール入側に配置され、前記ラミネーティングロールに対して、前記基板の幅方向位置を調節する基板幅寄せ装置と、この基板幅寄せ装置による幅寄せ後に、前記基板を１８０°反転させ、且つ、前記ラミネーティングロールに搬送する基板反転装置と、を有してなる基板幅寄せ反転装置において、
前記基板幅寄せ装置は、前記基板の水平な搬送経路に対して、幅方向両外側から内側に水平に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸により回転自在に支持され、前記基板の幅方向両端近傍部分を下方から支持する位置まで基板幅方向内側に突出し、且つ、前記搬送経路上の基板の幅方向両端よりも外側に引込み可能とされた二組の基板受けローラ群と、前記基板受けローラ群上の基板に対して幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板の幅方向両端を押して基板の幅方向位置を調節する二組の幅寄せ部材と、前記基板受けローラ群及び幅寄せ部材を基板幅方向に進退させる基板受けローラ群駆動装置及び幅寄せ部材駆動装置を同期して、又は、独立に作動させる制御手段と、を有してなり、
前記基板反転装置は、二組の前記基板受けローラ群の間及び二組の前記幅寄せ部材の間に下方向から臨入し、前記基板下部表面を負圧により吸着自在な吸着板と、この吸着板を基板幅方向の中心軸線廻りに１８０°反転駆動する回転装置と、この回転装置を上下動及び基板送り方向に往復動自在に支持するとともに、反転した基板を水平状態で、前記一対のラミネーティングロールに搬送可能な吸着板搬送装置と、を有して構成し、上記目的を達成するものである。
【００１８】
又、請求項２のように、請求項１において、前記基板反転装置は、基板送り方向における前記基板の吸着開始位置で、前記基板を、前記吸着板により前記基板受けローラ群よりも高い位置に持ち上げ自在とされたことを特徴としてもよい。
【００１９】
更に、請求項３のように、請求項２において、前記基板反転装置は、前記基板の幅方向両端近傍部が、前記基板受けローラ群に支持される際、及び、前記基板幅寄せ装置による幅寄せ動作までの間、前記吸着板を、前記基板受けローラ群の高さ位置よりも低く下降させるようにしてもよい。
【００２０】
この発明においては、基板幅寄せ装置における基板受けローラ群によって垂れ下がった基板幅方向両端近傍部分を下方から支持し、この状態で幅寄せ部材によって基板幅方向両端を押して、基板受けローラ群上を基板が幅方向に移動することによって、確実に幅寄せ作業を行うことができる。
【００２１】
又、基板反転装置は、幅寄せ終了後の基板を、フィルム張付面と反対側から吸着し、これを１８０°回転して、フィルム吸着面を下向きにしてラミネーティングロールに送り込むことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
図１に示されるように、本発明に係る基板幅寄せ反転装置１０は、フィルム張付装置（全体図示省略）における回転する一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂに向けて、図１において左側から基板幅寄せ装置１４及び基板反転装置１６を、この順で配置して構成されている。
【００２４】
前記基板反転装置１６は、基板幅寄せ装置１４においてラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂに対してセンタリング（幅寄せ）された基板１８を、その下側面で吸着した後、持ち上げ、且つその上昇位置で１８０°反転させて、反転した基板１８をそのまま一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に水平に送り込むようにされている。
【００２５】
前記基板幅寄せ装置１４は、ロボット（全体図示省略）のハンド部２０によって、図１において左側から搬入されてきた基板１８を、その幅方向両端外側から内側に押すことによって、その幅方向中心線を前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂのセンターラインに合致するように幅寄せするものである。
【００２６】
この基板幅寄せ装置１４は、前記ハンド部２０上の基板１８に対して、幅方向両外側から内側に進退自在、且つ、基板搬送方向の軸２２Ａ（図４参照）により回転自在に支持され、基板幅方向内側に突出したとき、前記基板１８の幅方向両端近傍部分を下方から支持可能とされた基板受けローラ２２を、基板搬送方向に複数（左右各４個）設けてなる基板受けローラ群２４を備えている。
【００２７】
又、基板幅寄せ装置１４は、前記基板受けローラ群２４によって下方から支持された状態の基板１８に対して、幅方向両外側から進退自在、且つ、この基板１８の幅方向両端を押して基板１８の幅方向位置を調節する幅寄せ部材２６を備えている。
【００２８】
前記基板受けローラ群２４は、エアシリンダ２８Ａを含む基板受けローラ群駆動装置２８によって、基板幅方向に進退されるようになっている。
【００２９】
又、前記幅寄せ部材２６は、エアシリンダ３０Ａを含む幅寄せ部材駆動装置３０によって基板幅方向に進退されるようになっている。
【００３０】
前記エアシリンダ２８Ａ、３０Ａは、制御装置３２によって、同期して又は独立に作動され得るようになっている。
【００３１】
前記基板受けローラ群２４を構成する基板受けローラ２２は、図１及び図２に示されるように、基板１８の搬送路に対して基板幅方向両外側位置に左右対称に、且つ基板送り方向に水平に長く配置されたローラ支持部材３４Ａ、３４Ｂに各４個ずつ支持されている。
【００３２】
更に詳細には、図３、図４に示されるように、各ローラ支持部材３４Ａ、３４Ｂの各々には、基板搬送路の幅方向中心に向けて突出された４個のブラケット３５が所定間隔で取り付けられ、このブラケット３５に対して前記基板受けローラ２２の軸２２Ａが支持される構成となっている。
【００３３】
前記基板受けローラ群駆動装置２８は、前記エアシリンダ２８Ａと、前記ローラ支持部材３４Ａ、３４Ｂを水平方向且つ基板搬送路の幅方向中心に向かって進退可能に支持するガイドシャフト２８Ｂとから構成されている。
【００３４】
なお、前記基板受けローラ群２４を構成する各基板受けローラ２２の上端は、図１に示されるように、基板１８がロボットのハンド部２０によって、基板幅寄せ反転装置１０内に搬入されたとき、その搬入停止位置における基板１８の下側面のよりも低くなるようにされている。
【００３５】
前記幅寄せ部材２６は、前記ローラ支持部材３４Ａ、３４Ｂと平行で、且つ基板搬送路の幅方向中心に対向する面が鉛直押面２６Ａ（図１、図４、図５参照）となるようにされた樹脂製板状部材であり、且つ、ガイドシャフト３０Ｂの先端に支持されている。
【００３６】
前記幅寄せ部材駆動装置３０は、前記エアシリンダ３０Ａとガイドシャフト３０Ｂとを含んで構成されている。
【００３７】
前記幅寄せ部材２６の、前記基板受けローラ２２の上側に重なる位置には、該基板受けローラ２２と干渉しないように逃げ溝３０Ｃが形成されている。
【００３８】
図１〜図５に示されるように、前記エアシリンダ２８Ａ、３０Ａ、ガイドシャフト２８Ｂ、３０Ｂは平行、且つ、基板搬送路の幅方向中心に向かって水平に進退できるように、支持ブロック体２９Ａを介して装置のフレーム２９に支持されている。
【００３９】
前記ガイドシャフト３０Ｂの基端部と支持ブロック体２９Ａとの間には、交換可能なスぺーサ３３が配置され、基板１８のサイズに応じて、幅寄せ部材２６の最大突出距離を規制できるようにされている。
【００４０】
又、前記ローラ支持部材３４Ａの、前記基板受けローラ２２近傍位置には、この基板受けローラ２２上に基板１８が載置されているか否かを検出する光センサ３１（図３参照）が配置されている。
【００４１】
この光センサ３１の検出信号は前記制御装置３２に出力され、制御装置３２は、この信号にもとづき、前記エアシリンダ３０Ａを駆動して、幅寄せ部材２６を突出させるようにされている（図７参照）。
【００４２】
次に、前記基板反転装置１６について説明する。
【００４３】
この基板反転装置１６は、前記ハンド部２０によって水平に搬入されてきた基板１８に下方から接近し、負圧により吸着することができるようにされた吸着板３６と、この吸着板３６を、水平且つ基板搬送方向と直交して配置された回転軸３６Ａを介して回転自在に支持する支持フレーム３８と、この支持フレーム３８を上下方向移動自在に支持する昇降装置４０（図６参照）と、レール４２に沿って基板搬送方向に、且つ、水平に移動自在に支持されると共に、前記昇降装置４０を支持する移動台４４と、この移動台４４に連結されたベルト４６Ａを含んで構成され、移動台４４をレール４２に沿って往復動させるための移動装置４６と、を備えて構成されている。
【００４４】
又、前記吸着板３６の表面（図６において上面）の吸着面３６Ｂには多数の吸着孔３６Ｃ（図１参照）が設けられ、負圧により基板１８を吸着できるようにされている。
【００４５】
前記吸着面３６Ｂは、フッ素樹脂を削り出してなり、多数の吸着孔３６Ｃは、この板状の吸着面３６Ｂに、外方に拡開するロート状に形成されている。
【００４６】
又、この吸着孔３６Ｃの各々には、フッ素樹脂製の吸着盤３６Ｄが、先端がわずかに突出した状態で配置され、且つ、これにバキュームパイプ３６Ｅから負圧が印加されることにより、基板１８を確実に吸着保持できるようにされている（図８参照）。
【００４７】
更に、吸着板３６には、電熱線等の発熱体（図示省略）が内蔵され、基板１８が予め加熱されている場合には、吸着面３６Ｂに吸着された基板１８が、部分的に冷却されないようにしている。
【００４８】
前記吸着板３６は、回転軸３６Ａとともに回転装置３７により１８０°回転され得るようになっている。この回転装置３７はベルトホイール３７Ａと、モータ３７Ｂと、ベルト３７Ｃとを含んで構成されている。
【００４９】
前記吸着板３６を一体的に支持する回転軸３６Ａの、図２において左端は、支持フレーム３８から外側に突出し、その突出端には、上記ベルトホイール３７Ａが取り付けられている。ベルトホイール３７Ａには、モータ３７Ｂによって駆動されるベルト３７Ｃが巻き掛けられ、これにより、吸着板３６はモータ３７Ｂによって図６（Ａ）に示されるように、吸着面３６Ｂが上向きの状態と、図６（Ｂ）に示されるように、吸着面３６Ｂが下向きの状態となり得るようにされている。
【００５０】
前記昇降装置４０は、前記移動台４４に対して、支持フレーム３８を鉛直方向に案内するように取り付けられた左右一対のガイドシャフト４０Ａと、このガイドシャフト４０Ａと平行に取り付けられ、移動台４４に対して支持フレーム３８を鉛直方向に上下動させるエアシリンダ４０Ｂと、を含んで構成されている。
【００５１】
前記移動装置４６は、図２に示されるように、基板幅寄せ反転装置１０の前面（基板装入側面）に取り付けられたモータ４６Ｂと、このモータ４６Ｂによって回転駆動されるベルトプーリ４６Ｃと、前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの入側近傍に配置されたベルトプーリ４６Ｄと、これらベルトプーリ４６Ｃ、４６Ｄに巻回されると共に、前記移動台４４が取り付けられたベルト４６Ａとを有してなり、モータ４６Ｂによってベルト４６Ａを駆動することにより、これに取り付けられた移動台４４、及び、これに搭載されている昇降装置４０、支持フレーム３８及び吸着板３６を、前記基板幅寄せ装置１４とラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ入側近傍位置との間で往復駆動するようにされている。
【００５２】
ここで、前記吸着板３６は、図６（Ａ）に示されるように、待機状態では、ハンド部２０によって搬入された基板１８の下側面よりもわずかに下方位置となるようにされ、又図６（Ｂ）に示されるように、１８０°反転され、その吸着面３６Ｂが下向きのとき、該吸着面３６Ｂに吸着されている基板１８が、前記一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの間の高さ位置となるようにされている。
【００５３】
図１の符号５０は基板加熱装置を示す。この基板加熱装置５０は、９枚の加熱パネル５１を含んで構成され、基板１８が、図６（Ｂ）に示されるように、基板反転装置１６の吸着板３６に吸着された状態でラミネーティングロール１２に噛み込まれて搬入される間に、下方から基板１８を加熱して、ラミネーティングロール１２による積層体フィルム５２の張付けに最適な温度にまで昇温させるものである。
【００５４】
前記加熱パネル５１の幅方向両外側位置には、搬入される基板１８の幅方向両端を支持する左右各２個のガイドローラ５４が設けられている。
【００５５】
前記ガイドローラ５４は耐熱樹脂製であり、、図１に示されるように、基板幅方向に左右一対の水平の支持バー５６に、前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂと平行な回転軸により回転自在に支持されている。
【００５６】
前記支持バー５６は金属製であり、基板幅方向両外側位置で左右一対の支持板５８の基板幅方向内端に取付支持されている（図１、１０参照）。
【００５７】
前記支持板５８は、図１０及び図１１に示されるように、各々一対のガイドシャフト６０により鉛直方向に案内されつつ、エアシリンダ６２によって上下方向に移動され得るようになっている。
【００５８】
前記基板１８は、図１０に示されるように、吸着板３６によって吸着、反転され、一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間の高さ位置で、水平に搬送されてくるが、前記ガイドローラ５４は、エアシリンダ６２により、支持板５８、支持バー５６を介して前記基板１８の高さよりも低い位置に待機され、且つ、図１１に示されるように、前記基板１８の下側面の高さ位置にまで上昇され得るようになっている。
【００５９】
前記支持バー５６の、前記ラミネーティングロール１２Ｂ側先端に隣接し、且つラミネーティングロール１２との間の位置には、気体吹付け部材６４が配置されている。
【００６０】
この気体吹付け部材６４は、水平のレール６６に沿って、エアシリンダ６８により、図１０の位置から図１１の位置までラミネーティングロール１２Ｂ方向に進退自在とされ、その先端には、ラミネーティングロール１２Ｂと略等しい曲率の凹湾曲面６４Ａが形成されていて、ここから、下側のラミネーティングロール１２Ｂに巻き掛けられる前記積層体フィルム５２に向かって圧縮空気等の気体を吹付け、積層体フィルム５２をラミネーティングロール１２に密着させると共に、これを幅方向均一に冷却するようにされている。
【００６１】
前記気体吹付け部材６４の、ラミネーティングロール１２と反対側の後端（図９において左端）には、ガイドローラ６４Ｂが、前記ガイドロール５４と基板幅方向同一位置で、且つこれらガイドローラ５４と平行に回転するように配置されている。なお、ガイドローラ６４Ｂはシャフト６４Ｃに沿って、基板幅方向位置調節自在とされている。
【００６２】
前記気体吹付け部材６４におけるガイドローラ６４Ｂの上端の高さは、前記ガイドローラ５４上端の高さよりもわずかに（例えば５ｍｍ程度）低くされている。
【００６３】
前記支持板５８は、基板幅方向長さの寸法が異なるものに交換可能であり、この交換によって、前記ガイドローラ５４の、基板幅方向位置を変更できるようにされている。
【００６４】
図１、図１０に示されるように、前記ガイドローラ５４は左右各２個づつ、基板送り方向に間隔をもって支持バー５６に支持されているが、ガイドローラ５４の基板送り方向の間、及びラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ側のガイドローラ５４と気体吹付け部材６４のガイドローラ６４Ｂとの間には、ガイドローラ５４の上端よりもわずかに（５ｍｍ程度）低い水平の支持プレート５５が設けられ、移動中の基板１８の先端がガイドローラ５４、６４Ｂの下側に入り込まないようにされている。
【００６５】
図１０の符号６９は、基板加熱装置５０の台車を示す。この台車６９は、基板幅方向に移動自在であり、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に積層体フィルム５２をセットする際等の作業スペースのため、あるいはメンテナンスのため必要なときに、基板加熱装置５０全体を引き出すことができる。
【００６６】
前記台車６９の基板幅方向両側端からは、基板加熱装置５０全体を挟み込むように一対の側板６９Ａが立設され、且つ、前記基板反転装置１６の上端よりも高い位置に、水平の遮蔽板６９Ｂが左右の側板６９Ａ、６９Ａ間に張り渡して設けられている。この遮蔽板６９Ｂは、上方からの下降気流により基板１８が冷却されないようにするものである。
【００６７】
図１０及び図１１の符号７０は、フィルムガイドロールを示す。このフィルムガイドロール７０は、前記下側のラミネーティングロール１２の入側近傍に配置され、図１０において実線で示される位置に駆動装置（図示省略）によって揺動されたとき、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂに対して積層体フィルム５２が非接触となるように、これを案内し、又図１１に示される位置に揺動されたとき、積層体フィルム５２が下側のラミネーティングロール１２Ｂに巻き掛けられるようにするものである。
【００６８】
前記積層体フィルム５２は、図１２に示されるように、透光性支持フィルム５２Ａに感光性樹脂層５２Ｂを積層した上から、更にカバーフィルム５２Ｃによって被うことにより構成され、図１３に示されるように、フィルムロール７２からテンションロール群７４、ハーフカッター７６、カバーフィルム剥離装置７８、吸着ロール８０及びガイドロール８２を経て、前記下側のラミネーティングロール１２Ｂに巻き掛け供給されるようになっている。
【００６９】
前記吸着ロール８０は、その表面に、負圧が印加される多数の吸着孔（図示省略）が形成されていて、外周に巻き掛けられる積層体フィルム５２を適宜な負圧によって吸着しつつ、送ることにより、前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂと吸着ロール８２の間、及び、吸着ロール８０と前記テンションロール群７４との間における積層体フィルム５２の張力を最適制御できるようにされている。
【００７０】
前記ハーフカッター７６は、フィルム送り方向に離間した一対のディスクカッター７６Ａ、７６Ｂと、このディスクカッター７６Ａ、７６Ｂの上側に配置され、ディスクカッター７６Ａ、７６Ｂによって上方に押される積層体フィルム５２を支持して、これを切断させるカッター台７６Ｃと、を備えて構成されている。
【００７１】
ここで、ディスクカッター７６Ａ、７６Ｂ及びカッター台７６Ｃは、走行装置（図示省略）によりフィルム送り方向に往復動自在とされ、カバーフィルム５２Ｃを切断する際には、積層体フィルム５２と同期してフィルム送り方向に走行しつつ、ディスクカッター７６Ａ、７６Ｂをフィルム幅方向に移動させて、カバーフィルム５２Ｃを切断するフライングカット（走間カット）を行うものである。
【００７２】
前記ハーフカッター７６における一対のディスクカッター７６Ａ、７６Ｂのフィルム送り方向の間隔は、前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に送り込まれてくる基板１８の間隔とほぼ等しくされている。
【００７３】
前記カバーフィルム剥離装置７８は、粘着テープロール７８Ａと、スイングロール７８Ｂと、カバーフィルム巻取りロール７８Ｃとから構成され、粘着テープロール７８から巻き出された粘着テープ７９の粘着面側を上向き且つ外側に、前記スイングロール７８Ｂに巻き掛けた後、カバーフィルム巻取りロール７８Ｃによって巻き取るようにし、スイングロール７８Ｂは、制御装置３２によって制御されるスイング機構７８Ｄにより、前記吸着ロール８０の入側位置で、積層体フィルム５２を介して受けロール７８Ｅに押し付られて、カバーフィルム５２Ｃに粘着テープ７９の粘着面が押し付けられるようにされている。
【００７４】
粘着テープ７９は、カバーフィルム５２Ｃに粘着された状態でカバーフィルム巻取りロール７８Ｃによって巻き取られるので、カバーフィルム５２Ｃは感光性樹脂層５２Ｂから引き剥がされて、粘着テープ７９と共にカバーフィルム巻取りロール７８Ｃに巻き取られる。
【００７５】
前記スイング機構７８Ｄによって粘着テープ７９がカバーフィルム５２Ｃに押し付けられる範囲は、前記ハーフカッター７６の一対のディスクカッター７６Ａ、７６Ｂによって形成された切断線の間の部分以外とされ、これにより切断線間の部分を残して、カバーフィルム５２Ｃが剥離されるようにされている。
【００７６】
前記積層体フィルム５２は、上記のようにカバーフィルム剥離装置７８によって各基板１８、１８間部分を残して剥離され、感光性樹脂層５２Ｂが露出された状態で下側のラミネーティングロール１２Ｂに送り込まれる。
【００７７】
前記上側のラミネーティングロール１２Ａは、位置固定の下側のラミネーティングロール１２Ｂに対して、図１４に示されるように、揺動レバー８４により離接自在に指示され、この揺動レバー８４は、軸８５により装置のサイドフレーム８６に揺動自在に支持され、ラミネーティングロール１２Ａと反対側の端部において、エアシリンダ８８に連結され、このエアシリンダ８８の伸縮によって揺動されるようになっている。
【００７８】
前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの基板及び積層体フィルム送り出し方向下流には、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ側から、第１のニップロール９０、搬送ロール９２、第２のニップロール９４、ロータリーカッター９６がこの順で配置されている。
【００７９】
前記第１のニップロール９０は、上側ロール９０Ａと下側ロール９０Ｂからなり、両者間に、基板１８及びこれに張り付けられている積層体フィルム５２を挟み込むようにされている。
【００８０】
上側ロール９０Ａは、略Ｌ字型の揺動自在のレバー９１Ａの先端に取り付けられ、エアシリンダ９１Ｂによりレバー９１Ａを揺動させることによって、下側ロール９０Ｂに離接自在とされている。
【００８１】
又、前記第２のニップロール９４は、上側ロール９４Ａと下側ロール９４Ｂとから構成されている。上側ロール９４Ａは、軸９５Ａにより揺動自在に支持されたレバー９５Ｂの先端に回転自在に支持されているフリーロールであり、自重により下側ロール９４Ｂとの間に基板１８及び積層体フィルム５２を挟み込むようにされている。
【００８２】
ここで、前記第１のニップロール９０における上側ロール９０Ａは、ベルト９８Ａにより、又、搬送ロール９２と、第２のニップフロール９４における下側ロール９４Ｂは、ベルト９８Ｂにより、モータ（図示省略）からの回転力が伝達され、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの送り速度と同期して回転され得るようになっている。
【００８３】
前記ロータリーカッター９６は、回転刃９６Ａと直線刃９６Ｂとから構成されている。回転刃９６Ａは、水平且つ基板幅方向に配置された円筒部材９６Ｃの外側に切刃９６Ｄを螺旋状又は斜めの直線状に巻き付けた構成であり、直線刃９６Ｂは、円筒部材９６Ｃの中心軸線と平行に基板幅方向に長い直線状に配置されていて、その先端が、前記回転刃９６Ａの切刃の回転軌跡に対して、基板１８に張り付けられている積層体フィルム５２の通過軌跡上で接触できるようにされている。
【００８４】
前記円筒部材９６Ｃの切刃９６Ｄが、図１４に示されるように、積層体フィルム５２の通過面よりも下側位置にあるとき、前記積層体フィルム５２は、円筒部材９６Ｃの上側で、且つ切刃９６Ｄの円形の通過軌跡の内側を通るようにされている。
【００８５】
従って、この状態から、円筒部材９６Ｃが回転されると、切刃９６Ｄと直線刃９６Ｂとの間で積層体フィルム５２が切断されることになる。
【００８６】
図１４の符号９９は、前記第２のニップロール９４とロータリーカッター９６との間に配置され、第２のニップロール９４を通過した積層体フィルム５２又は、積層体フィルム５２が張付けられた基板１８が、確実に水平にロータリーカッター９６を通るようにガイドする水平ガイド板を示す。
【００８７】
積層体フィルム５２及び基板１８は、水平のガイド板９９の上側を通過する。なお、ガイド板９９に代えて、下方から圧縮空気等を吹付けて、積層体フィルム５２及び基板１８が水平状態で進行するようにしてもよい。
【００８８】
前記直線刃９６Ｂは、図に示されるように、揺動レバー９７の先端に取り付けられ、揺動軸９７Ａを中心として揺動され、図１４において反時計方向に揺動されたとき、積層体フィルム５２の切断可能位置となり、又時計方向に揺動されたとき、積層体フィルム５２及び基板１８と干渉しない待機位置となるようにされている。
【００８９】
揺動レバー９７は、エアシリンダ９７Ｂによって、直線刃９６Ｂと反対側の端部で上下方向に駆動されることによって揺動されるようになっている。
【００９０】
ここで、前記揺動レバー９７は、基板幅方向に長く形成されているが、その上側位置には、エア吹付け管１００が配置され、揺動レバー９７に基板幅方向に適宜間隔で形成された吹抜け孔９７Ｃを介して、前記回転刃９６Ａ方向に圧縮空気を吹付けることができるようにされている。
【００９１】
従って、回転刃９６Ａと直線刃９６Ｂとによって切断された積層体フィルム５２は、エア吹付け管１００から、吹抜け孔９７Ｃを通って吹付けられた圧縮空気によって、下方に押されるか又は吹き飛ばされる。
【００９２】
前記回転刃９６Ａの出側且つ下側には、基板幅方向に長い切断片受け１０２が配置されている。
【００９３】
この切断受け１０２は、内側のトレイ１０２Ａにより落下してきた積層体フィルム５２の切断片を受け止めると共に、外側ガイド１０２Ｂに対して外側に引き出すことができるようにされ、これによって、トレイ１０２Ａに溜まった積層体フィルム５２の切断片を取り出すことができるようされている。
【００９４】
図１及び図９に示されるように、前記基板加熱装置５０近傍には、４個の光センサ５０Ａ〜５０Ｄが配置されている。
【００９５】
光センサ５０Ａは、前記加熱パネル５１の入側に配置され、吸着板３６によって搬送されてくる基板１８の先端及び後端を検出するようにされている。
【００９６】
前記光センサ５０Ｂは、図９に示されるように、基板１８が加熱パネル５１のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ側端部近傍に到達したとき、これを検出するようにされている。又、光センサ５０Ｃは、前記ガイドロール５４を支持するための支持板５８よりも基板幅方向外側位置であって、基板送り方向には、前記光センサ５０Ｂと略同一位置に配置され、基板１８を搬送してくる移動台４４を検出するようにされている。
【００９７】
更に、前記光センサ５０Ｄは、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの入側上方で、且つ基板幅方向中央位置に配置され、搬送されてくる基板１８の先端を検出するようにされている。
【００９８】
これら光センサ５０Ａ〜５０Ｄの出力信号は、前記制御装置３２に入力され、制御装置３２は、この信号に基づいて、基板反転装置１６、エアシリンダ６２、６８、８８及び９１Ｂ等を制御するが、その詳細は後述する。
【００９９】
次に、上記基板幅寄せ反転装置１０の作用について説明する。
【０１００】
ロボットのハンド部２０によって基板１８を基板幅寄せ反転装置１０における基板幅寄せ装置１４に搬入する際には、前記基板反転装置１６の吸着板３６を、図１に示されるように、基板搬入位置での基板１８の中心となるように移動させておき、且つ、昇降装置４０によって、図２に示されるように、基板１８の位置よりも低くなるようにしておく。
【０１０１】
更に、エアシリンダ２８Ａにより、図５において二点鎖線で示されるように、ローラ支持部材３４Ａ、３４Ｂを駆動し、基板受けローラ群２４における基板受けローラ２２が、搬入された基板１８の幅方向両端部を下方から支持できる位置にしておく。この状態で、基板１８をハンド部２０によって基板受けローラ群２４の上方に搬入し、次に下降させて、基板１８の幅方向両端が基板受けローラ群２４によって下方から支持された状態とし、更にハンド部２０を下降させ、基板１８を基板受けローラ群２４に移載する。
【０１０２】
ハンド部２０によって基板１８を搬送する際に、基板１８の幅方向中央部分が垂れ下がる場合があるが、上記吸着板３６が、ハンド部２０によって基板１８を基板幅寄せ装置１４の位置に搬入する際に、基板１８よりもわずかに低い位置とされているので、基板受けローラ群２４によって支持される直前に垂れ下がりが吸着板３６により持ち上げられて矯正される。
【０１０３】
光センサ３１が基板１８を検出すると、制御装置３２により、ハンド部２０を退出させると共に、エアシリンダ３０Ａにより、幅寄せ部材２６を基板幅方向内側に駆動し、基板受けローラ群２４によって下方から支持されている状態の基板１８を幅寄せする。
【０１０４】
このとき、基板受けローラ２２の回転面は、幅寄せ部材２６の突出方向と一致しているので、基板１８は抵抗無く幅寄せ移動される。
【０１０５】
幅寄せ部材２６の突出量は、前記スペーサ３３の長さによって規制される。又、幅寄せ部材２６が移動するとき、該幅寄せ部材２６の下側には逃げ溝３０Ｃが形成されているので、前記基板受けローラ２２と干渉することがない。
【０１０６】
前記基板幅寄せ装置１４による幅寄せ後、直ちに、エアシリンダ２８Ａ、３０Ａにより基板受けローラ群２４及び幅寄せ部材２６を、前記フレーム２９の外側に退避させる。これらの退避後に、昇降装置４０によって、基板反転装置１６の吸着板３６を上昇させる。
【０１０７】
このとき、吸着板３６の上面である吸着面の吸着孔３６Ｃに予め負圧を印加し、吸着面３６Ｂが基板１８の下側面に接触したとき、これを吸着できるようにしておく。
【０１０８】
吸着板３６が、昇降装置４０によって、図２、図６（Ａ）に示される二点鎖線の位置にまで上昇されたとき、上昇が停止され、同時に、回転装置３７によって回転軸３６Ａ及び吸着板３６を１８０°回転させ、吸着板３６の吸着面３６Ｂを下向きとする。この状態で、図６（Ｂ）に示されるように、移動装置４６により移動台４４をラミネーティングロール１２方向に移動させる。
【０１０９】
前記吸着板３６は、その吸着面３６Ｂが下向きに反転したとき、前記一対のラミネーティングロール１２、１２間の位置となるようにされているので、移動台４４がラミネーティングロール１２方向に進行するとき、吸着面３６Ｂに吸着されている基板１８は、そのまま上下一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に、積層体フィルム５２と共に噛み込まれることになる。
【０１１０】
しかし、吸着板３６に吸着されている基板１８は、薄く、且つ吸着板３６よりも大きいので、その外周部が垂れ下がり、そのままでは、前記一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に噛み込まれることができない。
【０１１１】
このため、基板１８の先端が、前記光センサ５０Ａにより検出されたとき、移動台４４を停止させ、この状態で、エアシリンダ６２により支持バー５６及びこれに支持された前記ガイドローラ５４を、図９、図１０に示されるように、基板１８の通過面よりも下方位置に待機させておき、移動台４４をラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ方向に進行させる。基板１８の先端が光センサ５０Ｂにより検出されると移動台４４を停止させてから、前記ガイドローラ５４を上昇させ、基板１８の幅方向両端を、前記一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間の高さ位置に持ち上げて矯正する。
【０１１２】
なお、これ以前に、前記フィルムガイドロール７０を図１０の実線の位置から二点鎖線の位置、又は図１１に示される位置にまで反時計方向に駆動し、積層体フィルム５２が下側のラミネーティングロール１２Ｂに巻き掛けられるようにすると共に、前記気体吹付け部材６４をエアシリンダ６８により、図１０の状態から図１１に示される位置にまで前進させ、その先端の凹湾曲面６４Ａから圧縮空気等の気体を噴出して、積層体フィルム５２をラミネーティングロール１２Ｂに密着させ、且つ幅方向に均一に冷却させるようにしておく。
【０１１３】
このとき、前記気体吹付け部材６４に取り付けられているガイドローラ６４Ｂは、図１１に示されるように、前記ガイドローラ５４と等ピッチの位置で、ガイドローラ５４の上端面よりもわずかに低い位置とされる。
【０１１４】
前記ガイドローラ６４Ｂによって幅方向両端が水平に持ち上げられた基板１８は、移動台４４を再駆動することによってラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ方向に水平に搬送される。
【０１１５】
このとき、基板１８の進行方向先端はわずかに垂れ下がっているが、前記気体吹付け部材６４に取り付けられているガイドローラ６４Ｂは、ガイドローラ５４よりもわずかに低い位置にあるので、搬送される基板１８の先端はガイドローラ６４Ｂに円滑に乗り上げて、水平状態となったまま、前記一対のラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に送り込まれることになる。
【０１１６】
前記移動台４４のラミネーティングロール１２方向への進行速度は、ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂによる基板１８の送り速度と同期させておく。
【０１１７】
なお、前記ラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂは、加熱された状態で常時回転していて、基板１８が搬送されてこない間は、上側のラミネーティングロール１２Ａが揺動レバー８４によって、下側のラミネーティングロール１２Ｂから離間する「開」状態とされているが、搬送されてくる基板１８の先端が、前記光センサ５０Ｄによって検出されてから、この基板１８の先端がラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂの接点位置に到達するタイミングで、制御装置３２により、エアシリンダ８８を介して揺動レバー８４が駆動され、上側のラミネーティングロール１２Ａが、搬入されてきた基板１８の先端をラミネーティングロール１２Ｂとの間に挟み込むようにされている。
【０１１８】
前記吸着板３６の吸着面３６Ｂによる、基板１８の吸着は、基板１８がラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂにある程度噛み込まれるまで維持され、これによって基板１８のセンタリングが確保されるが、光センサ５０Ｃが移動台４４を検出したとき、吸着面３６Ｂの負圧が解除される。
【０１１９】
基板１８を解放した後の吸着板３６は、移動装置４６によって図６（Ａ）に実線で示される位置にまで戻り、再度反転され、吸着面３６Ｂが上向きの状態で次の基板搬入まで待機される。
【０１２０】
次にロボットのハンド部２０によって搬入されてきた基板１８は、直ちに、前述と同様に、幅寄せされた後、吸着板３６によって吸着、反転され、前記基板加熱装置５０の手前で待機させる。
【０１２１】
先行する基板１８がラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂによって挟み込まれ、且つ搬送され、基板１８の後端が光センサ５０によって検出されると、次の基板１８の、移動装置４６による基板加熱装置５０の位置への搬入が開始される。
【０１２２】
前記基板１８と共にラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に送り込まれ、且つ基板１８に張り付けられる積層体フィルム５２は、前述の如く、フィルムロール７２から巻き出された後、ディスクカッター７６Ａ、７６Ｂにより、そのカバーフィルム５２Ｃが所定位置で幅方向に切断され、次に、カバーフィルム剥離装置７８によって、基板１８に張り付けられる範囲でカバーフィルム５２Ｃが剥離され、感光性樹脂層５２Ｂが露出された状態で、ラミネーティングロール１２Ｂに供給される。
【０１２３】
なお、積層体フィルム５２の先端は、先頭の基板１８がラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に送り込まれてくる前に、前記フィルムガイドロール７０を経て、回転するラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂに接触しないようにした状態で、前記第１及び第２のニップロール９０、９４間に挟み込んでセットしておく。
【０１２４】
順次搬入されてくる基板１８のうち、先頭の基板１８が前記ロータリーカッター９６の位置に到達するまでの間の積層体フィルム５２は不要であるので、ロータリーカッター９６により、所定長さに細かく複数に切断され処理される。
【０１２５】
更に詳細には、積層体フィルム５２が張り付けられた状態の先頭の基板１８の先端が、ロータリーカッター９６の位置に到達するまでの間の積層体フィルムは、基板１８と共に図１４において右方向に送り込みつつ、ロータリーカッター９６における回転刃９６Ａを定速で時計方向に回転させると、回転刃９６Ａの先端の切刃９６Ｄが直線刃９６Ｂに接触する都度、積層体フィルム５２をその先端から所定長さずつ切り落としていくことになる。
【０１２６】
切断された積層体フィルム５２の先端部は、切刃９６Ｄにより図１３において右方向に運ばれるが、前記エア吹付け管１００から吹抜け孔９７Ｃを通って吹付けられる圧縮空気流によって回転刃９６Ａから振り落とされて、切断片受け１０２のトレイ１０２Ａに順次落下して、回収される。
【０１２７】
前記ロータリーカッター９６は、先頭の基板１８以降の各基板間での積層体フィルム５２が到達する毎に、前記直線刃９６Ｂをエアシリンダ９７Ｂにより揺動レバー９７を介して揺動させることにより、切断し、且つ切断後は直線刃９６Ｂが基板１８と干渉しないように、図１４において時計方向に揺動され、次の切断に備えて待機される。
【０１２８】
上記のようにして、ロボットのハンド部２０により搬送されてきた基板１８を、基板幅寄せ装置１４において幅寄せし、基板反転装置１６により反転し、且つラミネーティングロール１２Ａ、１２Ｂ間に積層体フィルム５２と共に送り込み、積層体フィルム５２における、カバーフィルム５２Ｃが剥離されて露出された感光性樹脂層５２Ｂを基板１８に張付け、しかる後、ロータリーカッター９６により各基板間で積層体フィルム５２を切断することにより、積層体フィルム５２が張付けられた状態の基板１８を形成する。
【０１２９】
なお、上記基板幅寄せ反転装置１０における吸着板３６は、回転軸３６Ａを中心として１８０°反転され得るように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば吸着板を反転アームの先端に取り付けて、該反転アームを１８０°回動させることにより基板を反転させるようにしてもよい。
【０１３０】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、基板の反転に際して基板を確実に幅寄せすることができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板幅寄せ反転装置の実施の形態の例を示す平面図
【図２】同基板幅寄せ反転装置の正面図
【図３】同基板幅寄せ反転装置における基板幅寄せ装置を拡大して示す平面図
【図４】同正面図
【図５】同側面図
【図６】上記基板幅寄せ反転装置における基板反転装置を示す側面図
【図７】同基板幅寄せ反転装置の制御系を示すブロック図
【図８】前記基板反転装置における吸着板を拡大して示す断面図
【図９】図１のIX−IX線に沿う拡大視図
【図１０】図１のＸ−Ｘ線相当部分の拡大視図
【図１１】基板と積層体フィルムがラミネーティングロールに送り込まれる状態を示す図１０と同様の拡大視図
【図１２】積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図１３】ラミネーティングロールに積層体フィルムを供給するフィルム供給系統を示す略示側面図
【図１４】ラミネーティングロール及びその出側の基板搬送系統を示す略示断面図
【符号の説明】
１０…基板幅寄せ反転装置
１２Ａ、１２Ｂ…ラミネーティングロール
１４…基板幅寄せ装置
１６…基板反転装置
１８…基板
２０…ハンド部
２２…基板受けローラ
２２Ａ…軸
２４…基板受けローラ群
２６…幅寄せ部材
２６Ａ…鉛直押面
２８…基板受けローラ群駆動装置
２８Ａ…エアシリンダ
２８Ｂ…ガイドシャフト
３０…幅寄せ部材駆動装置
３０Ａ…エアシリンダ
３０Ｂ…ガイドシャフト
３０Ｃ…逃げ溝
３２…制御装置
３４Ａ、３４Ｂ…ローラ支持部材
３６…吸着板
３６Ｂ…吸着面
３６Ｃ…吸着孔
３７…回転装置
４０…昇降装置
４４…移動台
４６…移動装置
５２…積層体フィルム
【図１】
0003984692.tif 000002
【図２】
0003984692.tif 000003
【図３】
0003984692.tif 000004
【図４】
0003984692.tif 000005
【図５】
0003984692.tif 000006
【図６】
0003984692.tif 000007
【図７】
0003984692.tif 000008
【図８】
0003984692.tif 000009
【図９】
0003984692.tif 000010
【図１０】
0003984692.tif 000011
【図１１】
0003984692.tif 000012
【図１２】
0003984692.tif 000013
【図１３】
0003984692.tif 000014
【図１４】
0003984692.tif 000015