(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
濾材を構成するガラス繊維に、バインダーと２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤を付着させることを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
濾材を構成するガラス繊維のうち、極細ガラス繊維の平均径が０．５５μｍ以下のものと１．０μｍ以上のものの２種類以上で構成されることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
上記フッ素系界面活性剤は、分子中にフルオロアルキル基（ＣＦ3 −ＣＦ2 −ＣＦ2 −・・・）の疎水性基と親水性基を含有するものであることを特徴とする請求項１又は２記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
濾材を構成するガラス繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙法で得た湿紙に、バインダーラテックスと２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤の混合液を付着させた後、乾燥するか、又は前記湿紙を乾燥した後に前記フッ素系界面活性剤の混合液を付着させることを特徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエアフィルタ用濾材、特に半導体、液晶、バイオ・食品工業関係のクリーンルーム、クリーンベンチ等あるいはビル空調エアフィルタにおいて気体の不純物を濾過するために使用されるエアフィルタ用濾材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より空気中のサブミクロン、あるいはミクロン単位の粒子を効率的に捕集するのにエアフィルタ用濾材が用いられている。そして、エアフィルタ用濾材においては通常、主要構成物として平均繊維径がコンマ数μｍ〜数十μｍオーダーのガラス繊維が用いられている。
【０００３】
しかしガラス繊維はそれ自体、一般紙に使用されるパルプ繊維のような自己接着力がなく、このままでは後加工や実使用の際の実用強度が無い、あるいは通風時にガラス繊維が飛散してしまうなどの問題が生じてしまう。
従来、この問題を解決するためにガラス繊維基材に有機系のバインダーラテックスを付与する方法が用いられている。ここで、使用されるバインダーラテックスとしては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリビニルアルコール、ウレタン系樹脂などである。
【０００４】
しかしこの方法で濾材強度を上げようとするとバインダー付着量を増やす必要があるが、付着量を増やすとガラス繊維間にバインダーの水かき状膜が増えるため、濾材の圧力損失が高くなり、しかも粒子捕集効率が低下するという問題が生じる。
【０００５】
これを解決する手段として、シリコン樹脂を含有することでバインダーの表面張力を低下させ、バインダーの水かき状膜を解消または減少させる方法（特開平２−４１４９９号公報、特開平２−１７５９９７号公報）が提案されている。
しかし近年、特に半導体分野においてシリコン樹脂に含有される微量の低分子シロキサンのクリーンルーム内への拡散がＬＳＩチップの生産歩留に影響を与えることがわかり、シリコン樹脂の使用自体が難しくなっている。
【０００６】
一方、濾過性能面においては、クリーンルーム、クリーンベンチ等に使用される送風機のランニングコスト低減の目的で、濾材の低圧力損失化・高捕集効率化の要望が強まっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこでこの発明では、現行濾材に比べ、バインダーの水かき状膜が少なく、より低圧力損失化・高捕集効率化したエアフィルタ用濾材とその製造方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るエアフィルタ用濾材は、濾材を構成するガラス繊維に、バインダーラテックスと２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤を付着させるようにしたものである。
【０００９】
また、本発明に係るエアフィルタ用濾材は、濾材を構成するガラス繊維のうち、極細ガラス繊維の平均径が０．５５μｍ以下のものと１．０μｍ以上のものの２種類以上で構成されるようにしたものである。
【００１０】
本発明に係るエアフィルタ用濾材の製造方法は、濾材を構成するガラス繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙法で得た湿紙に、バインダーラテックスと２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤の混合液を付着させた後、乾燥するか、又は前記湿紙を乾燥した後に前記フッ素系界面活性剤の混合液を付着させるようにしたものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のエアフィルタ用濾材で用いられるフッ素系界面活性剤は、分子中にフルオロアルキル基（ＣＦ3 −ＣＦ2 −ＣＦ2 −・・・）の疎水性基と親水性基を含有するものである。例としてパーフルオロアルキルカルボン酸塩、パーフルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、パーフルオロアルキルベタイン、パーフルオロアルキルアミンオキサイド、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルアミノスルホン酸などが挙げられるが、２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるもので本発明の目的を達成できるものであるならば、使用についてその種類を限定するものではない。ただし、撥水・撥油用途で使われるフッ素系樹脂は、ほとんどの場合分子中に親水性基が含有されていないのでほぼ該当しない。
【００１２】
ガラス繊維間のバインダー水かき状膜の形成は、製造工程におけるバインダー液の表面張力に大きく影響を受けることが、検討の結果わかった。即ち、製造工程中でバインダー液が濾材シートに付着する際、繊維同士で構成された広い空隙では、液は１本１本の繊維の表面あるいは交絡部分にしみ込むように広がるが、狭い空隙ではしみ込み難くなる。このバインダーが膜状になって広がると、空隙を塞いで圧力損失を増大させ、かつ狭い空隙を構成する特に繊維径の細い極細ガラス繊維をその膜内に埋めてしまうため粒子捕集効率を低下させてしまう。ここで、より繊維径の細い極細ガラス繊維ほど捕集効率に効くことはすでに良く知られていることである。ところが、バインダー液の表面張力を下げ、繊維への塗れ性を改善することにより、バインダー液は狭い空隙でもよりしみ込み易くなる。この結果、水かき状膜は減少し、圧力損失の低減と捕集効率の向上をもたらすのである。
【００１３】
バインダー液表面張力の低下方法について鋭意検討した結果、分子中にフルオロアルキル基の疎水性基と親水性基を含有するフッ素系界面活性剤を液に添加することで効果の得られることがわかった。また十分な効果を得るためには、同フッ素系界面活性剤の中でも、２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下でなければならない。これ以上では、水かき状膜の減少が少なく、圧力損失の低減と捕集効率の向上が期待し得ず、バインダー液への添加効果がほとんどなくなってしまう。
【００１４】
フッ素系界面活性剤添加後のバインダー液の表面張力値については、バインダーラテックスの組成・粘度・濃度などの条件により変わるため、絶対値として規定するのは難しいが、表面張力値をフッ素系界面活性剤添加前から約３０％以上低下させるのが目安となる。これを唯一達成させるのが、２５℃純水中に添加した際の裁定表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下のフッ素系界面活性剤であり、従来のシリコン樹脂以上の効果を出すことが可能である。一般の炭化水素系界面活性剤の添加では効果は薄く、達成は難しい。
【００１５】
また濾材の低圧力損失化・高捕集効果率化を目的とした従来技術の中で、濾材にフッ素含有樹脂を付着させる方法（特公平７−５５２８３号公報）、あるいは濾材にバインダー、シリコン樹脂と共にフッ素含有樹脂を付着させる方法（特開平２−１７５９９７号公報）が提案されているが、これら方法はフッ素樹脂の電気的極性や繊維の均一分散性を高める効果を直接利用するものであり、フッ素樹脂の中でもフッ素系界面活性剤のみに限定し表面張力物性を規定してバインダー液の性状を変えることで達成される本発明とは全く異なるものである。
【００１６】
濾材をより低圧力損失化・高捕集効果率化するために、ガラス原料配合を変更するのも１つの方法である。濾過理論においては、繊維質のエアフィルタ濾材では構成する繊維のうち、繊維径が細いもの程捕集効率が高くなると言われているが、細径繊維は同時に圧力損失を上昇させてしまう問題が生じる。この問題を解決するには、目付重量を低下させるか、配合方法での工夫が必要である。目付重量の低下は強度物性をも低下させてしまうため、実際には後者の方法が得策である。
【００１７】
通常、濾材は、平均繊維径０．１〜２０μｍのガラス繊維を数種類ブレンドすることで構成されており、本発明で使用する濾材を構成するガラス繊維もその繊維径を問うものではなく、２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤を併用したバインダーを濾材に付着させることが重要である。しかし、さらに検討の結果、極細ガラス繊維の平均径が０．５５μｍ以下のものと１．０μｍ以上のものの、繊維径差の大きい２種類以上のガラス繊維を配合することにより、より一層、低圧力損失化・高捕集効果率化することがわかった。また、目的により太径の有機繊維や無機繊維の配合も可能である。ただし、これまでのバインダーを付着させるとその効果は薄れ、本発明の２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤を併用したバインダーを付着させて初めてその効果が発揮される。これは、従来のバインダーでは、細径繊維で構成される狭い空隙領域がバインダーの水かき状膜で塞がれていることで繊維自体の効果が発揮されずにいたものが、表面張力を下げることにより水かき状膜が減少して細径繊維が出現することにより効果が発揮されるためである。
【００１８】
また本発明のエアフィルタ用濾材は以下の製造方法で得ることができる。
すなわち、濾材を構成するガラス繊維をパルパーなどを用いて水中に分散させ、このスラリーを抄紙機で湿式抄紙して湿紙を得る。次にこの湿紙に前述のフッ素系界面活性剤を添加したバインダー液を付着させ、その後乾燥させる方法である。また、湿紙を乾燥した後にバインダー液を付与してもその効果は変わらない。
【００１９】
原料繊維の分散工程では分散性を良くするために、硫酸酸性でＰＨ２〜４の範囲で調整する方法をとるが、ＰＨ中性で分散剤などの界面活性剤を使用しても良い。
バインダーラテックスとフッ素系界面活性剤は、それぞれ単独で付着させても効果はなく、これらを混合したバインダー液を付着させなければならない。また、耐水性あるいは難燃性を付与するため、バインダー液に撥水剤や難燃剤を添加しても支障はない。
【００２０】
バインダー液の付与方法としては特に限定されるものでないが、湿紙を付着液に浸漬する方法、湿紙にスプレーで吹き付ける方法、ロールに付着液を付着させ湿紙に転写する方法などが挙げられる。
乾燥方法としては、熱風乾燥機、ロールドライヤーなどを利用し、１１０〜１６０℃で乾燥することが望ましい。
【００２１】
【実施例】
実施例１
平均繊維径０．６５μｍの極細ガラス繊維６０重量％、平均繊維径２．７０μｍの極細ガラス繊維３５重量％、平均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維５重量％を、濃度０．５％、硫酸酸性ＰＨ２．５でパルパーで離解した。次いで抄紙機にて抄紙して湿紙を得た。次に、バインダー液組成としてアクリル系ラテックス１．８５重量％（商品名：プライマルＥ−３５８、製造元：日本アクリル化学（株））、フッ素系撥水剤０．１６重量％（商品名：ライトガードＦＲＧ−１、製造元：共栄社化学（株））、フッ素系界面活性剤０．０５重量％（商品名：メガファックＦ−１２０、製造元：大日本インキ化学（株））のバインダー液を湿紙に付与し、その後１３０℃のドライヤーで乾燥し、目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．６％の濾材を得た。
【００２２】
実施例２
実施例１においてバインダー液組成のうち、フッ素系界面活性剤０．０８重量％（商品名：メガファックＦ−１４４Ｄ、製造元：大日本インキ化学（株））とした以外は実施例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．５％の濾材を得た。
【００２３】
実施例３
実施例１において繊維配合を、平均繊維径０．５０μｍの極細ガラス３８重量％、平均繊維径２．７０μｍの極細ガラス繊維５７重量％、平均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維５重量％とした以外は実施例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．５％の濾材を得た。
【００２４】
比較例１
実施例１のバインダー液組成に代えて、フッ素系界面活性剤を添加することなくアクリル系ラテックス１．８５重量％とした以外は実施例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．６％の濾材を得た。
【００２５】
比較例２
実施例１のバインダー液組成に代えて、アクリル系ラテックス１．８５重量％、フッ素系撥水剤０．１６重量％とした以外は実施例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．４％の濾材を得た。
【００２６】
比較例３
実施例１のバインダー液組成のうち、フッ素系界面活性剤０．０８重量％（商品名：メガファックＦ−１７９、製造元：大日本インキ化学（株））とした以外は実施例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．４％の濾材を得た。
【００２７】
比較例４
実施例１のバインダー液組成を、アクリル系ラテックス１．８５重量シリコン系撥水剤０．１６重量％（商品名：ＳＭ７０２５、製造元：東レダウコーニングシリコーン（株））とした以外は比較例１と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．５％の濾材を得た。
【００２８】
比較例５
実施例３のバインダー液組成を比較例２と同様にした以外は実施例３と同様にして目付７０ｇ／ｍ2 バインダー付着量５．５％の濾材を得た。
【００２９】
【表１】
0003874038.tif 000002
【００３０】
実施例および比較例の分析は下記の方法で行った。
▲１▼圧力損失
自製の装置を用い有効面積１００ｃｍ2 の濾紙に面風速５．３ｃｍ／秒で通過させ、その時の差圧を微差圧計で測定した。
▲２▼ＤＯＰ捕集効率
ラスキンノズルで発生させた多分散ＤＯＰ粒子を含む空気を、有効面積１００ｃｍ2 の濾紙に面風速５．３ｃｍ／秒通風した時のＤＯＰ捕集効率をリオン（株）製レーザーパーティクルカウンターにて測定した。なお、対象粒径は０．３〜０．４μｍで測定した。
【００３１】
▲３▼ＰＦ値
濾材の濾過性能の指標となるＰＦ値は、▲２▼と▲３▼の測定値に基づき次式より求めた。
（ＰＦ値の高い方が同一圧力損失で高捕集効率を示す。）
0003874038.tif 000003
▲４▼表面張力
フッ素系界面活性剤を２５℃純水中に添加した際の最低表面張力、およびバインダー液の表面張力を太平理化工業（株）製デニュイ氏法表面張力測定器で測定した。
【００３２】
【発明の効果】
本発明は上記の説明から判るように、濾材を構成するガラス繊維に、バインダーと２５℃純水中に添加した際の最低表面張力が２０ｄｙｎｅ／ｃｍ以下であるフッ素系界面活性剤を付着させるようにしたので、ガラス繊維間に形成されるバインダーの水かき状膜が減少することとなり、濾材の圧力損失が低く、しかも粒子の高捕集効率化が図られるエアフィルタ用濾材を得ることができる。
【００３３】
また濾材を構成するガラス繊維のうち、極細ガラス繊維の平均径が０．５５μｍ以下のものと１．０μｍ以上のものの２種類以上で構成することとしたので、繊維径差の大きい２種以上のガラス繊維の配合に伴いエアフィルタ用濾材を、より一層、低圧力損失化及び高捕集効率化することができる。
【００３４】
そして本発明の製造方法によれば、低圧力損失化及び高捕集効率化したエアフィルタ用濾材を容易に製造できる。