(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に第１回動中心を有する複数の第１磁石ユニットが周期的に組み合わされ、前記複数の第１磁石ユニットがそれぞれ前記第１回動中心回りに同じ角度分だけ回動可能な第１磁石列と、
中央部に第２回動中心を有する複数の第２磁石ユニットが周期的に組み合わされ、前記第１磁石列に対して電子ビームの通過するギャップ空間を挟んで対向するように配置されるとともに、前記複数の第２磁石ユニットがそれぞれ前記第２回動中心回りに同じ角度分だけ回動可能な第２磁石列とを備えた、挿入光源。
【請求項２】
前記第１回動中心と、前記第２回動中心とは、鉛直方向に実質的に同じ軸線上に配置されている、請求項１に記載の挿入光源。
【請求項３】
前記第１磁石列の複数の第１磁石ユニットを連結するとともに、前記複数の第１磁石ユニットを同期して前記第１回動中心回りに回動させるための第１連結部材と、
前記第２磁石列の複数の第２磁石ユニットを連結するとともに、前記複数の第２磁石ユニットを同期して前記第２回動中心回りに回動させるための第２連結部材とをさらに備える、請求項１または２に記載の挿入光源。
【請求項４】
前記第１連結部材は、前記第１回動中心を挟むようにほぼ平行に配置された一対の連結部材を含み、
前記第２連結部材は、前記第２回動中心を挟むようにほぼ平行に配置された一対の連結部材を含む、請求項３に記載の挿入光源。
【請求項５】
前記第１磁石ユニットは、第１永久磁石と、前記第１永久磁石を保持するとともに、前記第１連結部材が接続される第１保持部材とを含み、
前記第２磁石ユニットは、第２永久磁石と、前記第２永久磁石を保持するとともに、前記第２連結部材が接続される第２保持部材とを含む、請求項３または４に記載の挿入光源。
【請求項６】
前記第１連結部材に連結され、前記第１連結部材を往復移動させることによって前記第１磁石列を前記第１回動中心回りに揺動するための第１揺動部材と、
前記第２連結部材に連結され、前記第２連結部材を往復移動させることによって前記第２磁石列を前記第２回動中心回りに揺動するための第２揺動部材とをさらに備える、請求項３〜５のいずれか１項に記載の挿入光源。
【請求項７】
前記第１揺動部材および前記第２揺動部材は、１つの駆動源を含む駆動機構によって駆動され、
第１揺動部材および前記第２揺動部材は、それぞれ、前記第１磁石列および前記第２磁石列を互いに逆方向に同じ角度だけ揺動するように駆動される、請求項６に記載の挿入光源。
【請求項８】
前記駆動機構は、
前記駆動源を構成する１つのモータと、
前記モータの回転を直線往復運動に変換する偏心輪機構と、
前記偏心輪機構に接続され、前記偏心輪機構による直線往復運動を前記第１揺動部材の揺動運動に変換する機械式変換機構と、
前記第１揺動部材の揺動運動とは逆方向の揺動運動を前記第２揺動部材に伝達するための機構とを含む、請求項７に記載の挿入光源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、挿入光源に関し、より特定的には、円偏光または楕円偏光の放射光を発生するための挿入光源に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、真空中において、光速近くまで加速された電子ビームが磁界中で曲げられると、電子ビームの移動軌跡の接線方向に放射光が発光されることが知られている。そして、周期的に変化する磁界で何回も繰り返し電子を曲げると、干渉によって輝度の高い、波長の揃った放射光が得られる。このような周期磁界を発生する装置として、挿入光源（アンジュレータ）が知られている。このような放射光は、物質のミクロな構造や様々な物理化学現象の解明に利用できるとともに、新材料の開発などの産業分野での応用も期待されている。
【０００３】
また、挿入光源において、水平垂直磁場が螺旋周期的に変化する磁気回路の中を相対論的電子ビームを通過させると、電子は螺旋状の軌道に沿って運動し、その結果、高輝度準単色の円偏光の放射光が得られることが知られている。このような円偏光放射光を生成するための磁気回路を作る方法としては、バイファイラ巻きコイルを使用する電磁石による方法がある。また、数ｃｍ以下の周期長に対しては、永久磁石を用いる方法が一般的である。図１９および図２０は、従来の永久磁石を用いる円偏光放射光を生成する磁気回路を示した斜視図である。
【０００４】
図１９および図２０を参照して、従来の永久磁石を用いた磁気回路では、電子ビームの通過するギャップ空間１００を挟むように、下側に位置する第１磁気回路装置１１０と、上側に位置する第２磁気回路装置１２０とが設けられている。第１磁気回路装置１１０は、中央列に位置する第１磁石列１０１と、第１磁石列１０１の幅方向の両側に配置された第３磁石列１０３および第４磁石列１０４とを含んでいる。第２磁気回路装置１２０は、中央列に位置する第２磁石列１０２と、第２磁石列１０２の幅方向の両側に配置された第５磁石列１０５および第６磁石列１０６とを含んでいる。
【０００５】
第１磁石列１０１と第２磁石列１０２とは、ギャップ空間１００を挟んで対向するように配置されることで、鉛直磁場を発生する。また、第３磁石列１０３と第５磁石列１０５とは、図１６、図１７のように移動させることでギャップ空間１００を挟んで反発するように配置され、水平磁場を発生する。また、第４磁石列１０４と第６磁石列１０６とは、第３磁石列１０３と第５磁石列１０５と同様、図１６、図１７のように移動させることで、ギャップ空間１００を挟んで反発するように配置され、水平磁場を発生する。
【０００６】
第１磁石列１０１〜第６磁石列１０６は、同じ周期長Ｌを有しているとともに、多数個の磁石が列方向（電子ビームの進行する方向）に沿って規則正しく配列されている。なお、各磁石において矢印で示されるのは磁化されている方向を示している。
【０００７】
ここで、中央の第１磁石列１０１と第２磁石列１０２とは位置が固定されている。また、第３磁石列１０３と第４磁石列１０４とが第１磁石列１０１を挟んで互いに反対方向に列方向（電子ビームの進行する方向）に移動可能に設置されている。また、第３磁石列１０３と第４磁石列１０４との移動に連動して、第５磁石列１０５と第６磁石列１０６とが第２磁石列１０２を挟んで互いに反対方向に列方向に移動される。これにより、螺旋磁場を形成することができるので、円偏光（または楕円偏光）の放射光を作り出すことが可能である。また、図１９に示した状態と図２０に示した状態とを交互に周期的に繰り返すように磁石列を移動することによって、左回りの円偏光（または楕円偏光）と右回りの円偏光（または楕円偏光）とを作り出すことができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１９および図２０に示した従来の挿入光源では、円偏光または楕円偏光を発生させるために、６列の磁石列１０１〜１０６が必要であるため、装置の構成が複雑化するという問題点があった。
【０００９】
また、図１９および図２０に示した従来の挿入光源では、円偏光（または楕円偏光）の左回りと右回りとを切り換えるために、４つの磁石列を移動させる機構が必要であり、これによっても、装置の構成が複雑化するという問題点があった。
【００１０】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の１つの目的は、簡単な構成で、左右回りの楕円偏光または円偏光を発生させることが可能な挿入光源を提供することである。
【００１１】
また、この発明のもう１つの目的は、簡単な構成で、左右回りの楕円偏光または円偏光を切り換えることが可能な挿入光源を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１における挿入光源は、中央部に第１回動中心を有する複数の第１磁石ユニットが周期的に組み合わされ、複数の第１磁石ユニットがそれぞれ第１回動中心回りに同じ角度分だけ回動可能な第１磁石列と、中央部に第２回動中心を有する複数の第２磁石ユニットが周期的に組み合わされ、第１磁石列に対して電子ビームの通過するギャップ空間を挟んで対向するように配置されるとともに、複数の第２磁石ユニットがそれぞれ第２回動中心回りに同じ角度分だけ回動可能な第２磁石列とを備えている。
【００１３】
請求項１では、上記のように、互いに対向するように配置された第１磁石列および第２磁石列をそれぞれ第１回動中心および第２回動中心回りに回動可能に構成することによって、第１磁石列と第２磁石列とを互いに逆方向に同じ角度分だけ所定の角度回動すれば、第１磁石列および第２磁石列の２つの磁石列のみを用いて、周期的に変化する水平磁場と鉛直磁場とを発生させることができる。これにより、簡単な構成で、左回りまたは右回りの円偏光または楕円偏光を発生させることができる。また、第１磁石列と第２磁石列とを上記とは反対回りに互いに逆方向に所定の角度回動すれば、上記とは逆方向の水平磁場を発生させることができるので、上記とは逆回り（右または左回り）の円偏光または楕円偏光を発生させることができる。したがって、請求項１による挿入光源では、第１磁石列と第２磁石列の回動角度を調節するだけで、対向配置された２つの第１および第２磁石列のみを用いて、切り換え可能な左右の楕円偏光または円偏光を発生させることができる。その結果、簡単な構成で、左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【００１４】
請求項２による挿入光源では、請求項１の構成において、第１回動中心と、第２回動中心とは、鉛直方向に実質的に同じ軸線上に配置されている。請求項２では、このように構成することによって、第１磁石列と第２磁石列とを同一軸線上で相対的に回動することができる。
【００１５】
請求項３による挿入光源では、請求項１または２の構成において、第１磁石列の複数の第１磁石ユニットを連結するとともに、複数の第１磁石ユニットを同期して第１回動中心回りに回動させるための第１連結部材と、第２磁石列の複数の第２磁石ユニットを連結するとともに、複数の第２磁石ユニットを同期して第２回動中心回りに回動させるための第２連結部材とをさらに備える。請求項３では、このように構成することによって、第１連結部材を移動することにより、容易に、第１磁石列を構成する複数の第１磁石ユニットを同期して回動することができるとともに、第２連結部材を移動することにより、容易に、第２磁石列を構成する複数の第２磁石ユニットを同期して回動することができる。これにより、第１磁石列を構成する複数の第１磁石ユニットおよび第２磁石列を構成する複数の第２磁石ユニットが同期ずれを起こすのを有効に防止することができる。
【００１６】
請求項４における挿入光源は、請求項３の構成において、第１連結部材は、第１回動中心を挟むようにほぼ平行に配置された一対の連結部材を含み、第２連結部材は、第２回動中心を挟むようにほぼ平行に配置された一対の連結部材を含む。請求項４では、第１回動中心を挟むように一対の第１連結部材をほぼ平行に配置し、かつ、第２回動中心についても同様な構成にすることで、一対の第１連結部材を互いに逆方向に移動させることにより、容易に、第１磁石列を第１回動中心を支点として回動させることができるとともに、一対の第２連結部材を互いに逆方向に移動させることにより、容易に、第２磁石列を第２回動中心を支点として回動させることができる。
【００１７】
請求項５における挿入光源は、請求項３または４の構成において、第１磁石ユニットは、第１永久磁石と、第１永久磁石を保持するとともに第１連結部材が接続される第１保持部材とを含み、第２磁石ユニットは、第２永久磁石と、第２永久磁石を保持するとともに第２連結部材が接続される第２保持部材とを含む。請求項５では、このように構成することによって、第１保持部材により、第１永久磁石の保持と、複数の第１永久磁石と第１連結部材との接続とを行うことができる。また同様に、第２保持部材により、第２永久磁石の保持と、複数の第２永久磁石と第２連結部材との接続とを行うことができる。
【００１８】
請求項６における挿入光源は、請求項３〜５のいずれかの構成において、第１連結部材に連結され、第１連結部材を往復移動させることによって第１磁石列を第１回動中心回りに揺動するための第１揺動部材と、第２連結部材に連結され、第２連結部材を往復移動させることによって第２磁石列を第２回動中心回りに揺動するための第２揺動部材とをさらに備える。請求項６では、このように構成することによって、第１揺動部材と第２揺動部材とにより、第１磁石列と第２磁石列とを互いに逆方向に揺動することが可能となるので、容易に左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【００１９】
請求項７における挿入光源は、請求項６の構成において、第１揺動部材および第２揺動部材は、１つの駆動源を含む駆動機構によって駆動され、第１揺動部材および第２揺動部材は、それぞれ、第１磁石列および第２磁石列を互いに逆方向に同じ角度だけ揺動するように駆動される。請求項７では、このように構成することによって、自動的に左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【００２０】
請求項８における挿入光源は、請求項７の構成において、駆動機構は、駆動源を構成する１つのモータと、モータの回転を直線往復運動に変換する偏心輪機構と、偏心輪機構に接続され、偏心輪機構による直線往復運動を第１揺動部材の揺動運動に変換する機械式変換機構と、第１揺動部材の揺動運動とは逆方向の揺動運動を第２揺動部材に伝達するための機構とを含む。請求項８では、このように構成することによって、１つのモータを用いて、容易に、第１磁石列および第２磁石列を互いに逆方向に同じ角度だけ自動的に揺動することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。まず、本発明の実施形態を説明する前に、本発明の概念について説明する。
【００２２】
図１〜図９は、本発明の挿入光源の概念を説明するための図である。図１〜図９を参照して、本発明の挿入光源では、まず、図１に示すように、電子ビームの通過するギャップ空間１００を挟むように、下側に位置する第１磁石列１１と上側に位置する第２磁石列２１とが設けられている。ここで、本発明では、下側の磁気回路装置は、第１磁石列１１のみによって構成されており、上側の磁気回路装置は、第２磁石列２１のみによって構成されている。第１磁石列１１および第２磁石列２１は、鉛直方向（ｙ軸方向）に磁化された永久磁石が一定間隔を空けてＮＳ交互に配置されている。図１の永久磁石に付された矢印は、磁化方向を示している。この場合、永久磁石の磁化方向は、全て、電子ビームの進行方向に対して直交する方向である。
【００２３】
図１および図２に示す状態では、ギャップ空間１００に周期的に変化する図３に示すような鉛直磁場（Ｂｙ）を発生することができる。このギャップ空間１００に電子ビームが通過すると、周期的に変化する鉛直磁場によって電子ビームの軌道が曲げられるので、電子ビームは蛇行軌道をとる。この時、ビームの進行方向に放射光と呼ばれる光を発生させることができる。
【００２４】
ここで、本発明では、ギャップ空間１００を挟んで対向するように配置された第１磁石列１１および第２磁石列２１を、永久磁石の中心線２（図２参照）上に位置する回動中心１を支点として回動可能に構成している。この場合、第１磁石列１１と第２磁石列２１とは、同一の回動中心１を支点として、それぞれ、別々に回動可能である。このように構成することによって、たとえば、図４および図５に示すように、下側の第１磁石列１１を回動中心１を支点として反時計方向に３０°回動させるとともに、上側の第２磁石列２１を回動中心１を支点として時計方向に３０°回動させることができる。
【００２５】
図４および図５に示した状態に第１磁石列１１および第２磁石列２１を配置すると、図６に示すように、鉛直磁場（Ｂｙ）に加えて、水平磁場（Ｂｘ）を発生させることができる。すなわち、鉛直磁場と水平磁場とが周期的に変化する磁気回路へと変化させることができる。これにより、図１に示した状態では蛇行軌道をとっていた電子ビームが、図４および図５に示した状態では螺旋軌道に変化するので、電子ビームは楕円偏光または円偏光からなる放射光を発生することができる。
【００２６】
また、図７および図８に示した状態では、図４および図５の場合と逆方向に第１磁石列１１および第２磁石列２１を回動させている。すなわち、下側の第１磁石列１１を回動中心１を支点として時計回りに３０°回動させるとともに、上側の第２磁石列２１を反時計回りに３０°回動させている。このような配置にすることによって、図９に示すように、図６に示した水平磁場とは逆向きの水平磁場を発生させることができる。このため、図４に示した状態と図７に示した状態とを切り換えるように構成すれば、右回りの楕円偏光と左回りの楕円偏光とを交互に発生させることが可能となる。
【００２７】
上記のように、本発明では、第１磁石列１１および第２磁石列２１を回動中心１を中心として回動可能に構成することによって、第１磁石列１１および第２磁石列２１の回動位置を図４または図７に示した位置にすれば、第１磁石列１１および第２磁石列２１の２つの磁石列のみを用いて、周期的に変化する水平磁場と鉛直磁場とを発生させることができる。これにより、簡単な構成で、右回りまたは左回りの楕円偏光（または円偏光）を発生させることができる。
【００２８】
また、第１磁石列１１および第２磁石列２１の回動位置を図４および図７に示した位置に交互に切り換えるようにすれば、第１磁石列１１および第２磁石列２１の２つの磁石列のみを用いて、右回りと左回りの楕円偏光（または円偏光）を交互に発生させることができる。これにより、簡単な構成で、右回りと左回りの楕円偏光（または円偏光）を切り換えることができる。
【００２９】
以下、上記した本発明の挿入光源の概念を具体的に実施するための実施形態について説明する。
【００３０】
図１０は、本発明の一実施形態による挿入光源の全体構成を示した正面図であり、図１１は、図１０に示した一実施形態による挿入光源の部分側面図である。また、図１２は、図１１に示した挿入光源の下側磁石列部分の平面図である。
【００３１】
図１０〜図１２を参照して、まず、本実施形態による挿入光源の構造について説明する。本実施形態による挿入光源は、図１０および図１１に示すように、ギャップ空間１００の下側に配置された第１磁石ユニット１０と、ギャップ空間１００の上側に配置された第２磁石ユニット２０とを備えている。
【００３２】
第１磁石ユニット１０は、第１磁石列１１を構成する第１永久磁石１１ａと、第１永久磁石１１ａを保持するためのホルダ１２と、ホルダ１２内に第１永久磁石１１ａを固定するための固定部材１３と、ホルダ１２が取り付けられるベース部１５とを含んでいる。なお、ホルダ１２と固定部材１３とベース部１５とによって、本発明の「第１保持部材」が構成されている。
【００３３】
固定部材１３は、ねじ１４を用いてホルダ１２に固定されている。また、ホルダ１２は、ねじ１６を用いてベース部１５に固定されている。ベース部１５の中央部には、第１回動中心軸１７が取り付けられている。第１回動中心軸１７の先端部分は、軸受３４を用いて軸支持部３３に回転可能に取り付けられている。
【００３４】
また、各ベース部１５は、軸部１５ａおよび１５ｂを有する。軸部１５ａおよび１５ｂは、それぞれ、軸受３２ａおよび軸受３２ｂを用いて連結部材３１ａおよび３１ｂに回動可能に取り付けられている。また、軸支持部３３は、取り付け板３５を介して、リニアガイド機構３６に取り付けられている。
【００３５】
また、ギャップ空間１００の上側に設けられた第２磁石ユニット２０も上記した第１磁石ユニット１０と同様の構成を有している。すなわち、第２磁石ユニット２０は、第２磁石列２１を構成する第２永久磁石２１ａと、第２永久磁石２１ａを保持するホルダ２２と、ホルダ２２に第２永久磁石２１ａを固定するための固定部材２３と、ホルダ２２が取り付けられるベース部２５とを含んでいる。なお、ホルダ２２と固定部材２３とベース部２５とによって、本発明の「第２保持部材」が構成されている。
【００３６】
また、固定部材２３は、ねじ２４を用いてホルダ２２に固定されている。ホルダ２２は、ねじ２６を用いてベース部２５に取り付けられている。ベース部２５には、第２回動中心軸２７が取り付けられている。第２回動中心軸２７は、軸受４４を用いて軸支持部４３に回動可能に取り付けられている。なお、第２回動中心軸２７は、第１回動中心軸１７と実質的に同一軸心上に設けられている。また、ベース部２５は、軸部２５ａおよび２５ｂを有する。軸部２５ａおよび２５ｂは、それぞれ、軸受４２ａおよび４２ｂを用いて連結部材４１ａおよび４１ｂに回動可能に取り付けられている。
【００３７】
また、軸支持部４３は、取り付け板４５を介して、リニアガイド機構４６に取り付けられている。第１磁石ユニット１０と第２磁石ユニット２０との上下方向の移動は、それぞれ、リニアガイド機構３６および４６を用いて行われる。この場合、リニアガイド機構３６および４６は、上下に同じ高さ分だけ移動するように連動するように構成されている。
【００３８】
図１０に示した第１磁石列１１および第２磁石列２１は、図１１に示すように配置されている。第１磁石列１１および第２磁石列２１は、図１１に示した矢印の方向に磁化されている。また、図１２に示すように、第１連結部材３１ａおよび３１ｂには、第１揺動部材５１の両端部がそれぞれ接続されている。したがって、第１揺動部材５１が揺動すると、第１連結部材３１ａおよび３１ｂは互いに逆方向に直線移動する。これにより、第１揺動部材５１の揺動により、第１磁石列１１を第１回動中心軸１７を支点として所定の角度揺動することができる。
【００３９】
また、図１２に示すように、機械式変換機構として、第１揺動部材５１の軸部５１ａには、ピニオン５４が設けられているとともに、そのピニオン５４に係合するように、ラック５３が設けられている。ラック５３には、軸５５を介して支持部材５６が取り付けられている。支持部材５６には、偏心輪機構としてのクランク部材５７が連結軸５６ａによって取り付けられている。クランク部材５７は、モータ５８の軸５８ａに対して偏心量ｅだけ偏心した状態でモータ５８の軸５８ａに取り付けられている。また、モータ５８の軸５８ａは、軸受５９および６０によって回転可能に支持されている。これにより、モータ５８が回転すると、クランク部材５７を含むクランク機構によってモータ５８の回転運動が往復運動に変換される。そして、その往復運動がラック５３およびピニオン５４によって第１揺動部材５１の揺動運動に変換される。そして、その第１揺動部材５１の揺動運動によって、第１連結部材３１ａおよび３１ｂを介して、第１磁石列１１が所定の周期で回動移動される。
【００４０】
なお、図１０に示したように、上側に配置された第２磁石列２１も、一対の第２連結部材４１ａおよび４１ｂによって連結されている。また、その第２連結部材４１ａおよび４１ｂは、第２揺動部材５２（図１１参照）の両端と接続されている。本実施形態では、第２揺動部材５２も、モータ５８によって駆動される。すなわち、第１揺動部材５１の揺動方向と逆方向になるように、歯車機構など（図示せず）を用いて第１揺動部材５１の軸５１ａの回動を第２揺動部材５２に伝達する。これにより、第２揺動部材５２を容易に第１揺動部材５１とは逆方向に連動して揺動することができる。その結果、第１磁石列１１と第２磁石列２１とを互いに逆方向に所定の角度範囲で揺動することができる。なお、モータ５８として、サーボモータなどの高出力のモータ５８を用いれば、高速に第１磁石列１１および第２磁石列２１の揺動が可能となるので、高速で左右楕円偏光または左右円偏光の切り換えを行うことができる。
【００４１】
本実施形態では、上記のように、互いに対向するように配置された第１磁石列１１および第２磁石２１をそれぞれ第１回動中心軸１７および第２回動中心軸２７を中心として回動可能に構成するとともに、第１磁石列１１および第２磁石列２１を互いに逆方向に揺動するための第１揺動部材５１および第２揺動部材５２を設けることによって、対向配置された２つの第１磁石列１１および第２磁石列２１のみを用いて、左右の楕円偏光または円偏光を容易に切り換えることができる。その結果、簡単な構成で左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【００４２】
また、本実施形態では、第１揺動部材５１および第２揺動部材５２を、それぞれ、第１磁石列１１および第２磁石列２１を互いに逆方向に同じ角度だけ揺動するように駆動することによって、自動的に左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【００４３】
また、本実施形態では、第１磁石列１１の複数の第１磁石ユニット１０を連結する第１連結部材３１ａおよび３１ｂと、第２磁石列２１の複数の第２磁石ユニット２０を連結する第２連結部材４１ａおよび４１ｂとを設けることによって、第１連結部材３１ａおよび３１ｂを移動することにより、容易に、第１磁石列１１を構成する複数の第１磁石ユニット１０を同期して回動することができるとともに、第２連結部材４１ａおよび４１ｂを移動することにより、容易に、第２磁石列２１を構成する複数の第２磁石ユニット２０を同期して回動することができる。これにより、第１磁石列１１を構成する複数の第１磁石ユニット１０および第２磁石列２１を構成する複数の第２磁石ユニット２０が同期ずれを起こすのを有効に防止することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、第１回動中心軸１７と第２回動中心軸２７とを同一軸線上に配置することによって、第１磁石列１１と第２磁石列２１とを同一軸線上で相対的に回動することができる。
【００４５】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４６】
たとえば、上記実施形態では、一対の第１連結部材３１ａおよび３１ｂおよび一対の第２連結部材４１ａおよび４１ｂを設けるようにしたが、本発明はこれに限らず、それぞれ各１本の第１連結部材および第２連結部材であっても同様の効果を得ることができる。
【００４７】
また、上記実施形態では、偏心輪機構としてのクランク機構および機械式変換機構としてのラック・ピニオン機構を用いて、モータの回転を第１揺動部材５１および第２揺動部材５２の揺動運動に変換したが、本発明はこれに限らず、他の機構または方法を用いて第１揺動部材５１および第２揺動部材５２を互いに逆方向に揺動するようにしてもよい。たとえば、偏心輪機構として、クランク機構に代えてカム機構を用いてもよい。
【００４８】
また、上記図１、図４および図７に示した例では、鉛直方向（Ｙ方向）に磁化した磁石のみからなる第１磁石列１１および第２磁石列２１を用いた場合を示したが、本発明はこれに限らず、図１３、図１４および図１５の第１変形例に示すように、水平方向（Ｚ方向）に磁化した磁石のみからなる第１磁石列７１および第２磁石列８１を用いてもよい。図１３〜図１５の永久磁石に付された矢印は、磁化方向を示している。この場合、永久磁石の磁化方向は、全て、電子ビームの進行方向と平行な方向となる。なお、図１４は、図１３に示した状態から、下側の第１磁石列７１を回動中心を支点として反時計方向に３０°回動させるとともに、上側の第２磁石列２１を回動中心を支点として時計方向に３０°回動させた状態を示している。また、図１５は、図１３に示した状態から、下側の第１磁石列７１を回動中心を支点として時計方向に３０°回動させるとともに、上側の第２磁石列２１を回動中心を支点として反時計方向に３０°回動させた状態を示している。このように構成しても、図１、図４および図７に示した例と同様の効果を得ることができる。また、水平方向（Ｚ方向）に磁化した磁石のみからなる第２変形例として図１６、図１７および図１８に示す構成がある。なお、上記した例では、回動範囲を±３０°としているが、それ以外の範囲でも同様の効果がある。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、簡単な構成で、左右の楕円偏光または円偏光を発生させることができる。また、簡単な構成で、左右の楕円偏光または円偏光を切り換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の挿入光源の概念を説明するための第１磁石列および第２磁石列を示した斜視図である。
【図２】図１に示した状態における第１磁石列および第２磁石列の平面図である。
【図３】図１および図２に示した第１磁石列および第２磁石列の配置によって得られる磁場を示した図である。
【図４】図１に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の一例を示した斜視図である。
【図５】図４に示した状態における第１磁石列および第２磁石列の平面図である。
【図６】図４および図５に示した第１磁石列および第２磁石列の配置によって得られる磁場を示した図である。
【図７】図１に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の他の例を示した斜視図である。
【図８】図７に示した状態における第１磁石列および第２磁石列の平面図である。
【図９】図７および図８に示した第１磁石列および第２磁石列の配置によって得られる磁場を示した図である。
【図１０】本発明の一実施形態による挿入光源の構成を示した正面図である。
【図１１】図１０に示した一実施形態による挿入光源の部分側面図である。
【図１２】図１１に示した一実施形態による挿入光源の第１磁石列部分の平面図である。
【図１３】図１に示した本発明の挿入光源の第１磁石列および第２磁石列の第１変形例を示した斜視図である。
【図１４】図１３に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の一例を示した斜視図である。
【図１５】図１３に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の他の例を示した斜視図である。
【図１６】図１に示した本発明の挿入光源の第１磁石列および第２磁石列の第２変形例を示した斜視図である。
【図１７】図１６に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の一例を示した斜視図である。
【図１８】図１６に示した状態から第１磁石列および第２磁石列を所定の角度だけ互いに逆方向に回動させた場合の他の例を示した斜視図である。
【図１９】従来の挿入光源の構成を示した斜視図である。
【図２０】従来の挿入光源の構成を示した斜視図である。
【符号の説明】
１  回動中心
２  中心線
１０  第１磁石ユニット
１１  第１磁石列
１１ａ  第１永久磁石
１２  ホルダ（第１保持部材）
１３  固定部材（第１保持部材）
１５  ベース部（第１保持部材）
１７  第１回動中心軸
２０  第２磁石ユニット
２１  第２磁石列
２１ａ  第２永久磁石
２２  ホルダ（第２保持部材）
２３  固定部材（第２保持部材）
２５  ベース部（第２保持部材）
２７  第２回動中心軸
３１ａ、３１ｂ  第１連結部材
４１ａ、４１ｂ  第２連結部材
５１  第１揺動部材
５２  第２揺動部材
５３  ラック（機械式変換機構）
５４  ピニオン（機械式変換機構）
５７  クランク部材（偏心輪機構）
５８  モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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