(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する主軸を有する工作機械に取り付けてＷＥＤＧ（ワイヤ放電研削）により工具の創製を行う微細工具創製装置であって、工作機械の主軸、前記主軸にセットされた工具ホルダ、前記工具ホルダにセットされた工具素材の少なくとも１つに接触して回転させる回転手段と、前記主軸、前記工具ホルダ、前記工具素材の少なくとも１つの回転位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記回転手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする微細工具創製装置。
【請求項２】
前記微細工具創製装置において、前記回転手段、あるいは前記回転手段と前記検出手段を前記微細工具創製装置本体から別体に設けたことを特徴とする請求項１記載の微細工具創製装置。
【請求項３】
前記微細工具創製装置において、前記回転手段は工作機械の主軸ヘッドへ設置し、該回転手段の回転伝達部は、割出しを行うときのみに前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材の少なくとも１つに接触することを特徴とする請求項２記載の微細工具創製装置。
【請求項４】
前記微細工具創製装置において、前記検出手段は、少なくとも１つ以上の光電スイッチを用いるとともに、該光電スイッチは、前記主軸、前記工具ホルダ、前記工具素材のいずれか１つに設けた微小な反射部あるいは透過部からの光を検知することを特徴とする請求項１記載の微細工具創製装置。
【請求項５】
前記微細工具創製装置において、工作機械での加工後の工具先端部を検知する工具先端検知手段を設けたことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の微細工具創製装置。
【請求項６】
前記微細工具創製装置において、前記工具先端検知手段に光電スイッチを用いることを特徴とする請求項５記載の微細工具創製装置。
【請求項７】
前記微細工具創製装置において、前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材のいずれか１つにＷＥＤＧに必要な電源を供給する電源供給手段を備えるとともに、該電源供給手段は前記主軸ヘッド等へ設置し、該電源供給手段の給電接触部は、ＷＥＤＧを行うときのみに前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材の少なくとも１つに接触することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の微細工具創製装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載の微細工具創製装置を備えた微細加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の工作機械の機上で工具を創製する工具創製装置に関し、特に微細穴加工に用いる小径ドリル等を機上で創製するための工具創製装置及び微細加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
切削加工は研削加工、放電加工、レーザ加工、エッチング等と比較して一般的に単位時間当りの材料除去量が多く、生産性の高い優れた加工法である。しかも高速かつ高精度加工対応の工作機械、工具ホルダ、工具等の開発により、例えば穴あけ加工では直径１００μm以下の微細加工も実現されている。
【０００３】
切削による穴あけ加工では、図１の通り、あらかじめドリル１を工具ホルダ２にチャッキングし、図２の工作機械３の主軸３１へ手動あるいはＡＴＣ（自動工具交換装置）により取り付け、テーブル３２上の被削材４の加工部への移動および主軸回転の後、加工を行う。
【０００４】
ここで、工具の軸芯と主軸の回転中心は一致することが望ましく、これらのズレ、フレは加工精度や工具寿命に大きな影響を与え、特に微細加工になるほどこの問題は無視できなくなる。ドリルと工具ホルダのチャッキングは、メーカによっても異なるが、チャック口元において、ドリルチャック式で標準級５０μm、精密級３０μm、コレットチャック式では標準級で１０μm、精密級で５μm、焼きばめチャック式でも３μm前後の取り付け誤差を生じ、図３の通り、さらに工具ホルダと主軸の間の誤差も含まれ、高精度仕様のツーリングシステムとしても、最終的に工具の軸芯と主軸の回転中心の誤差は数μmとなり、直径数十μm〜十数μmの微細穴加工においては工具寿命、加工精度にとって大きな問題となり得る。さらには、主軸テーパ、工具ホルダ、チャック各々の劣化による誤差の増大も懸念される。
【０００５】
この問題を解決するために、ガイドに沿って走行するワイヤを電極として微小径軸の側面などを放電加工する方法、すなわち、ＷＥＤＧ(Wire Electrical Discharge Grinding：ワイヤ放電研削)式加工原理を用いて加工機上で微細切削工具を創製し、その工具を用いて、その加工機上で切削加工を行う方法が説明されている。（例えば、非特許文献1又は非特許文献２参照。）
【０００６】
この方法は、工具メーカで製作された切削工具を、工作機械に取り付けて加工する従来の方法と比較して、工具の軸芯と主軸の回転中心のズレ、フレをゼロにすることができる優れた方法である。
【０００７】
【非特許文献１】
「ＷＥＤＧのマイクロドリル・エンドミルへの応用」、精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、1989年度、p1091 〜p1092
【非特許文献２】
「放電・切削共用多目的微細加工装置の開発」、第１回電気加工学会全国大会講演論文集、1991、p111〜p114
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、工具回転軸における軸対称形状に２つ以上の回転方向割出し面を有する工具、例えば図４に示す平ぎりドリル１１やねじれドリル１２を工作機械上で創製するためには、ＷＥＤＧ装置の他に、工作機械の主軸に取り付けられる工具素材の割出しを行う必要があり、一般のＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸制御に加えて主軸回転割出しの制御（以下、Ｃ軸制御と呼ぶ）も行える加工機が前提となり、専用機での適応がほとんどである。したがって、高速マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の一般にＣ軸制御機能を持たない工作機械上で工具創製を行うには、自動化が困難であった。増速スピンドル使用時においても同様の課題が生じる。
【０００９】
Ｃ軸制御機能付き工作機械においても、主軸の高速化に問題があり、適応が困難である。特にプローブカード等の微細穴加工においては生産性の面からもできるだけ高い主軸回転数が求められ、高速主軸を持たないＣ軸制御機能付き工作機械の適応は実用的でない。
【００１０】
さらに、高速マシニングセンタ等の主軸の軸受は高回転に対応するため、セラミック軸受，空気静圧軸受，磁気軸受等とされ、前記主軸と前記主軸ヘッドが絶縁されており、前記主軸ヘッドからＷＥＤＧに必要な電源を供給することができないので、前記主軸等へ直接電源を供給しなくてはいけない。
【００１１】
また、製品の微細加工においては加工抵抗も微小であるため、加工異常の検知も困難であり、自動化のためには、工具折損の検知を行う、あるいは工具を破損させずに損傷の検知を行う必要がある。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、高速マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の工作機械の機上で工具を創製する工具創製装置に関し、特に微細穴加工に用いる小径ドリル等を機上で創製するのに好適な工具創製装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１では、回転する主軸を有する工作機械に取り付けてＷＥＤＧ（ワイヤ放電研削）により工具の創製を行う微細工具創製装置であって、工作機械の主軸、前記主軸にセットされた工具ホルダ、前記工具ホルダにセットされた工具素材の少なくとも１つに接触して回転させる回転手段と、前記主軸、前記工具ホルダ、前記工具素材の少なくとも１つの回転位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記回転手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする微細工具創製装置とした。
【００１４】
これにより、工作機械の主軸動力源（モータ）、位置検出装置等を用いずに工具素材割出しが自動で行えるので、Ｃ軸制御機能を持たない一般の工作機械上に本発明の微細工具創製装置を設けるのみで高精度工具創製の自動化が行え、そのまま微細穴加工を行うことができ、製品の高精度化や工具の長寿命化が実現できる。
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の請求項２では、前記微細工具創製装置において、前記回転手段、あるいは前記回転手段と前記検出手段を前記微細工具創製装置本体から別体に設けたことを特徴とする請求項１記載の微細工具創製装置とした。
【００１６】
これにより、工具素材とＷＥＤＧ装置に相対運動を与えた場合にも回転手段が工具素材に追従することができるので、ＷＥＤＧ加工中にも工具割出しが行えねじれドリルのようなスパイラル溝を有する工具の創製も行うことができる。また、工作機械上でのＷＥＤＧ装置とのレイアウトを任意に設定でき、既存の工作機械への適用の自由度を確保できる。
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明の請求項３では、前記微細工具創製装置において、前記回転手段は主軸ヘッドへ設置し、該回転手段の回転伝達部は、割出しを行うときのみに前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材の少なくとも１つに接触することを特徴とする請求項２記載の微細工具創製装置とした。
【００１８】
これにより、前記回転伝達部は、ドリル加工を行う場合や工具外周のＷＥＤＧ加工中には前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材に接触していないので、前記主軸の回転性能に影響を与えたり、前記回転手段を破損させるようなことはない。
【００１９】
上記課題を解決するため、本発明の請求項４では、前記微細工具創製装置において、前記検出手段は、少なくとも １つ以上の光電スイッチを用いるとともに、該光電スイッチは、前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材のいずれか１つに設けた微小な反射部あるいは透過部からの光を検知することを特徴とする微細工具創製装置とした。
【００２０】
これにより、主軸等にロータリエンコーダ等を設けることなく簡素に工具素材の周方向割出しの完了検知を行うことができるので、高速回転への制約を受けず、また、光の反射部あるいは透過部は微小であるため、主軸から工具までの回転アンバランス量を最小限に抑えることができ、安全かつ高精度な加工を行える。
【００２１】
上記課題を解決するため、本発明の請求項５では、前記微細工具創製装置において、工作機械での加工後の工具先端部を検知する工具先端検知手段を設けたことを特徴とする微細工具創製装置とした。
【００２２】
これにより、工作機械での加工後の工具折損あるいは損傷の検知が行え、再研（再ＷＥＤＧ）の時期を判断することができる。
【００２３】
上記課題を解決するため、本発明の請求項６では、前記微細工具創製装置において、前記工具先端検知手段に光電スイッチを用いることを特徴とする微細工具創製装置とした。
【００２４】
これにより、非接触で工具先端検知を行えるので、工具破損が無く、迅速な判断ができ、また、設備も簡素である。
【００２５】
上記課題を解決するため、本発明の請求項７では、前記微細工具創製装置において、前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材のいずれか１つにＷＥＤＧに必要な電源を供給する電源供給手段を備えるとともに、該電源供給手段は前記主軸ヘッド等へ設置し、該電源供給手段の給電接触部は、ＷＥＤＧを行うときのみに前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材の少なくとも１つに接触することを特徴とする微細工具創製装置とした。
【００２６】
これにより、前記主軸の軸受がセラミック軸受，空気静圧軸受，磁気軸受等であり、前記主軸と前記主軸ヘッドが絶縁され、前記主軸ヘッドからＷＥＤＧに必要な電源を供給することができない場合にも対応することが可能である。ここで、前記給電接触部は、ドリル加工を行う場合には前記主軸，前記工具ホルダ，前記工具素材に接触していないので、前記主軸の回転性能に影響を与えることはなく、また、前記給電接触部および接触部の損傷も最小限である。
【００２７】
また、請求項１乃至７の何れかに記載の微細工具創製装置を備えた微細加工装置とした。
【００２８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に関し、以下に実施例を用いて詳説する。
【００２９】
【実施例】
本発明の第１の実施の形態における微細工具創製装置（平ぎりドリル用）について図５〜図９により説明する。
【００３０】
図５の通り、この微細工具創製装置５は、工作機械のテーブル等に取り付けられるベースプレート５１と、このベースプレート５１上に据え付けられるＷＥＤＧユニット５２、主軸回転ユニット５３、工具先端検知部５５と、主軸回転ユニット５３に据え付けられる主軸割出し位置検知部５４と、制御／電源部 ５０とから構成される。
【００３１】
図６はＷＥＤＧユニット５２の拡大図であるが、このＷＥＤＧユニット５２は、工具創製を行うワイヤ電極５２１とワイヤ電極５２１を支持するワイヤガイド５２２、ワイヤ電極５２１と通電する電極端子５２３、ワイヤ電極５２１を巻取る巻取りモータ５２４、ワイヤ電極５２１を供給する供給モータ５２５、および放電加工槽５２６から主に構成される。
【００３２】
図７は主軸回転ユニット５３の拡大図であるが、この主軸回転ユニット５３は、主軸３１、工具ホルダ２、工具素材のいずれかを回転させる回転部５３１、回転動力を伝達させるプーリ５３２、ベルト５３３、回転部５３１を支える軸受５３４、および回転動力源であるモータ５３５から主に構成される。
【００３３】
図８は主軸割出し位置検知部５４の拡大図であるが、この主軸割出し位置検知部５４は、所望の主軸割出し数に等しい数（本実施例では、図４の平ぎりドリル創製のために４つ必要）の極小スポットタイプの反射式光ファイバセンサ５４Ａ・５４Ｂ・５４Ｃ・５４Ｄ、反射式光ファイバセンサ５４Ａ・５４Ｂを主軸回転中心を通して対向配置させるセンサホルダＡ５４１、反射式光ファイバセンサ５４Ｃ・５４Ｄを主軸回転中心を通して対向配置させるセンサホルダＢ５４２、図示しないセンサアンプから主に構成される（図中、光ファイバセンサとセンサアンプを接続するファイバケーブルは途中省略）。なお、光の反射部が多数確保できる場合は、光電スイッチは２つあれば良い。また、透過式光電センサでも利用できるが、装置が多少複雑になるので、本実施例では、反射式光電センサを利用した。
【００３４】
図９は工具先端検知部５５の拡大図であるが、この工具先端検知部５５は、極細スリーブタイプの透過式光ファイバセンサ５５１、透過式光ファイバセンサ５５１を支持するセンサホルダＣ５５２、図示しないセンサアンプから主に構成される（図中、光ファイバセンサとセンサアンプを接続するファイバケーブルは途中省略）。尚、光電センサとして、反射式光電センサを利用してもよいが、工具が微細であり、欠陥についても必然的に微細な状態であることを考慮して、本実施例では、透過式光電センサを利用した。
【００３５】
次に、図１０〜図１８を用いて動作及び工具創製方法について説明する。
まず図１０の通り、工作機械３のテーブル３２上に微細工具創製装置５を取り付け、図１１の工具素材６を工具ホルダ２を介して主軸３１に取り付ける。工具素材は、工具ホルダのチャック径が大きい場合など、先端部をあらかじめ荒取りしておき、ＷＥＤＧでの創製時間負荷を削減しておいても良い。
【００３６】
続いて、主軸３１を工作機械３の主軸モータにより回転させながら図１２の通り、工具素材６をＷＥＤＧポイント５２０へ移動させ、加工し、図１３に示す形状（軸対称）を得る。本実施例では、軸受が導電材料である主軸を搭載した工作機械を利用するため、工具側の給電は、主軸の軸受を介して行っている。また、図１３では、工具素材軸中心がチャッキングなどによって主軸の回転中心からずれている状態を示しているが、前記加工により、主軸の回転中心と創製された工具の軸は、一致することになる。
【００３７】
続いて、工作機械３の主軸モータの回転を止め、図１４の通り、主軸回転ユニット５３の回転部５３１の軸芯と主軸３１の軸芯を合せ、回転部５３１とチャック押えナット２２あるいは工具ホルダ２を接触させ、モータ５３５を起動して回転部５３１を回し、あらかじめチャック押えナット２２に設けた光の反射部２３を反射式光ファイバセンサ５４Ａが検知したらモータ５３５を停止させる（基準割出し）。ここで、モータ５３５はインダクションモータを用い、減速機と組合せて割出しを行った。
【００３８】
続いて、基準割出しした位置を保ったまま、再び工具素材６をＷＥＤＧポイント５２０へ移動させ、１つ目のすくい面を創製する。１つ目のすくい面が創製されたら、先程と同様に、回転部５３１とチャック押えナット２２を接触させ、モータ５３５を起動して回転部５３１を回し、光の反射部２３を反射式光ファイバセンサ５４Ｂが検知したらモータ５３５を停止させる（１８０°割出し）。そして、基準割出し位置から１８０℃の位置を割出した位置を保ったまま、工具素材６をＷＥＤＧポイント５２０へ移動させ、２つ目のすくい面（1つ目のすくい面の裏面側）を創製し、図１５に示す形状を得る。ここで、前記方法で工具素材に反りが発生する場合は、「１つ目のすくい面を荒取り→２つ目のすくい面を荒取り→１つ目のすくい面を中仕上げ→２つ目のすくい面を中仕上げ→１つ目のすくい面を仕上げ→２つ目のすくい面を仕上げ」というふうに１つ目・２つ目のすくい面を交互に少しずつ創製を行っても良い。
【００３９】
続いて、逃げ面の創製を行うが、これも先程と同様に、光の反射部２３を反射式光ファイバセンサ５４Ｃ・５４Ｄにより検知し、工具素材６をＷＥＤＧポイント５２０へ移動させて創製を行い、図１６に示す高精度平ぎりドリル６’を得る。ここで、逃げ角の調整は、あらかじめセンサホルダＢ５４２の取り付け角度（＝反射式光ファイバセンサ５４Ａ・５４Ｂと５４Ｃ・５４Ｄとの光軸の傾き）によって調整しておく。
【００４０】
工具創製が完了したら、図１７の通り、工具を被削材４の加工部分へ移動させ、主軸３１を工作機械３の主軸モータにより回転させ、微細穴加工を行う。なお、加工穴数が多い場合には、所定の加工数で再び工具の割出しとＷＥＤＧ創製を繰返し、新しい切れ刃の工具で穴加工を継続しても良い。
【００４１】
また、所定の加工数で図１８の通り、工具先端検知部５５へ工具を移動させて、工具先端部の状態を認識し、(1)そのまま穴加工を継続(2)工具の割出しとＷＥＤＧ創製を繰返し、新しい切れ刃の工具で穴加工を継続(3)加工中止等を判断させても良い。
【００４２】
本発明の第２の実施の形態における微細工具創製装置（ねじれドリル対応）について図１９〜図２１により説明する。
【００４３】
図１９の通り、この微細工具創製装置５は、工作機械のテーブル等に取り付けられるＷＥＤＧユニット５２と、工作機械の主軸ヘッドに取り付けられる主軸回転ユニット５３と、主軸回転ユニット５３に据え付けられる主軸割出し位置検知部５４と、工作機械テーブル上あるいは機外に据え付けられる制御／電源部５０とから構成される。
【００４４】
図２０は主軸回転ユニット５３の拡大図であるが、この主軸回転ユニット５３は、主軸３１、工具ホルダ２、工具素材６のいずれかを回転させる回転部５３１と、回転動力を伝達させるプーリ５３２、ベルト５３３および回転動力源であるモータ５３５と、これらを据え付けるフレーム５３７と、このフレーム５３７を上下動させるエアシリンダ５３６と、フレーム５３７に据え付けられる主軸割出し位置検知部５４から主に構成される。
【００４５】
また、フレーム５３７にはＷＥＤＧに必要な電源を供給する給電部５６を据え付けている。本実施例では、軸受がセラミック（絶縁材料）である主軸を搭載した工作機械を利用するため、給電部を別途設けている。
【００４６】
図２１は給電部５６の拡大図であるが、この給電部５６は、ＷＥＤＧに必要な電源を供給する２つの給電接触部５６２と、この２つの給電接触部５６２を開閉するエアハンド５６１から主に構成される。ここでは、給電中に主軸のバランスを崩さないように、給電接触部は工具素材等を左右から等荷重で挟み込むようにしている。また、スプリング等で接触圧を調整してもよい。
【００４７】
次に、図２２〜図２５を用いて動作及び工具創製方法について簡単に説明する。
まず図２２の通り、工作機械３のテーブル３２上にＷＥＤＧユニット５２を、主軸ヘッド３１’に主軸回転ユニット５３を取り付ける。工具素材６は工具ホルダ２を介してあらかじめ主軸３１に取り付けておく。
【００４８】
図２３は主軸回転ユニット５３付近の正面からの拡大図であるが、通常は状態Ａの通り、工具ホルダ２の下端面と回転部５３１の上端面は接触しておらず、工具素材６の割出し（Ｃ軸制御）を行いたい場合のみ、状態Ｂの通り、エアシリンダのロッドを引込み、工具ホルダ２の下端面と回転部５３１の上端面を接触させて回転動力を伝達させ、Ｃ軸制御を行う。
【００４９】
Ｃ軸制御の基点は、主軸回転ユニット５３のモータ５３５によって主軸に回転を与えて、反射部２３を反射式光ファイバセンサ５４Ｅによって検知した位置とする。そして、ここからのモータ５３５の回転角度を制御することでＣ軸制御を行う。ここで、モータ５３５はステッピングモータを用いてパルスの出力により基点からの回転角度を制御しているが、サーボモータを用いて制御しても良い。
【００５０】
図２４は給電部５６付近の底面からの拡大図であるが、通常は状態Ｃの通り、工具素材６と給電接触部５６２は接触しておらず、ＷＥＤＧに必要な電源の供給を行いたい場合のみ、状態Ｄの通り、エアハンド５６１を閉じ、工具素材６と給電接触部５６２を接触させて通電させる。
【００５１】
図２５は工具素材６をＷＥＤＧユニット５２上のＷＥＤＧポイント５２０付近へ移動させた状態を示す。
【００５２】
まず、第１の実施の形態と同様に、主軸３１を工作機械３の主軸モータにより回転させながら工具素材６を図１３に示した形状（軸対称）に創製するが、このとき、図２３に示した主軸回転ユニット５３の状態はＡ（非接触）、図２４に示した給電部５６の状態はＤ（接触）である。
【００５３】
続いて、工作機械３の主軸モータの回転を止め、給電部５６の状態はＤ（接触）のまま主軸回転ユニット５３の状態をＢ（接触）とし、主軸回転ユニット５３のモータ５３５の回転角度を制御することでＣ軸制御を行う。
【００５４】
そして、工作機械のＺ軸、あるいはＺ−Ｘ軸の直線運動とＣ軸の回転運動を同期させながらＷＥＤＧを行うことで、図４に示したねじれドリル１２を機上で高精度に創製することができる。工具創製が完了したら、主軸回転ユニット５３の状態をＡ（非接触）、給電部５６の状態をＣ（非接触）にして工具を被削材４の加工部分へ移動させ、主軸３１を工作機械３の主軸モータにより回転させ、微細穴加工を行う。
【００５５】
以上、本発明の第１の実施の形態における微細工具創製装置（平ぎりドリル用）および第２の実施の形態における微細工具創製装置（ねじれドリル対応）について説明を行った。第１の実施の形態では設備が簡単であるが、ＷＥＤＧ加工中には工具割出しが行えないので平ぎりドリルのようにねじれを持たない形状の工具創製に限定される。一方、第２の実施の形態では設備が少し複雑になるが、ＷＥＤＧ加工中にも工具割出しが行え、ねじれドリルのようなスパイラル溝を有する工具の創製も行うことができる。一般に平ぎりドリルは、ねじれドリルに比べて切屑の除去能力が劣るので、アスペクト比（穴深さ／穴径）の大きなドリル加工を目的とした場合には第２の実施の形態を適応した方が良い。
【００５６】
【発明の効果】
本発明によれば、高速マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の一般にＣ軸制御機能を持たない工作機械あるいは増速スピンドル使用時において、特に微細穴加工に用いる小径ドリル等を機上で創製するのに好適な工具創製装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】工具および工具ホルダ
【図２】工作機械
【図３】工具取り付け誤差のイメージ図
【図４】ドリル
【図５】本発明の第１の実施例を示す図（微細工具創製装置）
【図６】本発明の第１の実施例を示す図（ＷＥＤＧユニット）
【図７】本発明の第１の実施例を示す図（主軸回転ユニット）
【図８】本発明の第１の実施例を示す図（主軸割出し位置検知部）
【図９】本発明の第１の実施例を示す図（工具先端検知部）
【図１０】本発明の第１の実施例を示す図（微細工具創製装置の工作機械への搭載）
【図１１】本発明の第１の実施例を示す図（工具素材）
【図１２】本発明の第１の実施例を示す図（工具創製動作）
【図１３】本発明の第１の実施例を示す図（工具創製ステップ１）
【図１４】本発明の第１の実施例を示す図（工具割出し動作）
【図１５】本発明の第１の実施例を示す図（工具創製ステップ２）
【図１６】本発明の第１の実施例を示す図（工具創製ステップ３）
【図１７】本発明の第１の実施例を示す図（穴加工動作）
【図１８】本発明の第１の実施例を示す図（工具先端検知動作）
【図１９】本発明の第２の実施例を示す図（微細工具創製装置）
【図２０】本発明の第２の実施例を示す図（主軸回転ユニット）
【図２１】本発明の第２の実施例を示す図（給電部）
【図２２】本発明の第２の実施例を示す図（微細工具創製装置の工作機械への搭載）
【図２３】本発明の第２の実施例を示す図（主軸回転ユニット動作）
【図２４】本発明の第２の実施例を示す図（給電部動作）
【図２５】本発明の第２の実施例を示す図（工具創製動作）
【符号の説明】
１…ドリル、１１…平ぎりドリル、１２…ねじれドリル、
２…工具ホルダ、２３…  、３…工作機械、３１…主軸、
３１’…主軸ヘッド、３２…テーブル、
４…被削材、５…微細工具創製装置、５０…制御／電源部、
５１…ベースプレート、５２…ＷＥＤＧユニット、
５２０…ＷＥＤＧポイント、５２１…ワイヤ電極、
５２２…ワイヤガイド、５２３…電極端子、５２４…巻取りモータ、
５２５…供給モータ、５２６…放電加工槽、５２７…フレーム、
５３…主軸回転ユニット、５３１…回転部、５３２…プーリ、
５３３…ベルト、５３４…軸受、５３５…モータ、
５３６…エアシリンダ、５３７…フレーム、５４…主軸割出し位置検知部、
５４Ａ・５４Ｂ・５４Ｃ・５４Ｄ・５４Ｅ…反射式光ファイバセンサ、
５４１…センサホルダＡ、５４２…センサホルダＢ、
５５…工具先端検知部、５５１…透過式光ファイバセンサ、
５５２…センサホルダＣ、５６…給電部、５６１…エアハンド、５６２…給電接触部、
６…工具素材、６’…高精度平ぎりドリル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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