(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性材料からなるベースの下面に配置された磁石と、当該磁石の両端に基端をそれぞれ接続するとともに先端相互をギャップを間設して相対向することにより当該磁石の磁束を誘導する磁路を形成したヨークと、当該ギャップとよりなる閉磁気回路と、
感温磁性材料からなる一対の固定接点と、
前記一対の固定接点間に二者択一的に一端を臨ませた高透磁率材料からなり前記ベース上に着設させる支持部材と一体形成された可動接点と、
前記感温磁性材料からなる一対の固定接点のそれぞれを個別に加熱する加熱手段とを具備し、
前記一対の固定接点と前記可動接点とは、前記ギャップ内に、前記一対の固定接点のうちのどちらか一方に前記可動接点の前記一端が接しているとき、前記可動接点と前記可動接点が接している前記固定接点との間の吸引力が前記可動接点と前記可動接点が接していない他方の固定接点との間の吸引力より大きくなるように配置され、
前記可動接点は、前記加熱手段による加熱により生じる自己内を通過する磁束密度の変化により前記可動接点に働く吸引力が他方に比べて大きくなる前記一対の固定接点のうちの一方の固定接点に吸引されて前記一端が当該一方の固定接点に接触するよう動作する弾性揺動型である
ことを特徴とする熱磁気アクチュエータ。
【請求項２】
前記加熱手段は、前記一対の固定接点と前記可動接点を載着する前記ベースの当該各固定接点載着面に個別に埋設した電熱素子であることを特徴とする請求項１記載の熱磁気アクチュエータ。
【請求項３】
前記加熱手段は、前記一対の固定接点自体にそれぞれ装着されヒータコントローラにより個別に通電制御自在な電熱薄膜であることを特徴とする請求項１記載の熱磁気アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、小型の機械スイッチ、小型モータ、その他各種の小型精密駆動機器等として使用される熱磁気アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、電気エネルギーを一旦磁気エネルギーに変換した後、さらに機械エネルギーに変換して作動する電磁アクチュエータは数多く存在しており、各種モータや電磁リレー等として広範な産業分野で使用されている。
以下に従来の電磁アクチュエータの代表例を漸次示す。
【０００３】
（従来例１）
図１２は従来例の電磁アクチュエータを示す６極パルスモータの縦断正面図である。
図中、αは６極パルスモータ、１は固定子鉄心、２ａ〜２ｆは固定子磁極、３ａ〜３ｆは固定子巻線、５は駆動軸、４ａ〜４ｄは回転子突極、６は回転子である。
【０００４】
図１２においてパルスモータαは、固定子鉄心１と、当該固定子鉄心１内周面に等間隔毎に突設された固定子磁極２ａ〜２ｆと、当該各固定子磁極２ａ〜２ｆにそれぞれ捲着された固定子巻線３ａ〜３ｆと、前記固定子磁極２ａ〜２ｆに回転円周方向等間隔に囲撓され４つの回転子突極４ａ〜４ｄを放射状十字型に形成しかつ駆動軸５に貫着された回転子６より構成されている。
【０００５】
ここで磁気回路は、固定子鉄心１−固定子磁極２ａ〜２ｆ−回転子突極４ａ〜４ｄ−固定子磁極２ａ〜２ｆ−固定子鉄心１なる閉ループ回路を構成している。
【０００６】
従来例の６極パルスモータαの動作原理を説明する。
パルスモータαは、相対向した１組の固定子巻線３ａ〜３ｆに励磁電流を流し、相対向した回転子突極４ａ〜４ｄを吸引することで所定の角度θｓを単位として回転する。
この固定子巻線３ａ〜３ｆへ励磁電流を流す組み合わせ、組み合わせを切り替える向き、組み合わせを切り替える速さ等を制御することにより、任意の向き、角度、速度を持った回転出力を駆動軸５に取り出すことができる。
【０００７】
（従来例２）
図１３は従来例の直流整流子モータの一部破断斜視図である。
図中、βは直流整流子モータ、７はケーシング、８ａ，８ｂは界磁磁石、９は成層鉄心、１０は電機子巻線、１１は電機子、１２は駆動軸、１３ａ，１３ｂは軸受、１４は整流子片、１５はブラシ、１６は整流子、１７は絶縁部材、１８は端子である。
【０００８】
図１３において直流整流子モータβは、ケーシング７と、当該ケーシング７内周面に沿い相互に対向して着設された界磁磁石８ａ，８ｂと、成層鉄心９及び当該成層鉄心９に捲着された複数の電機子巻線１０より構成された電機子１１と、当該電機子１１に直結された駆動軸１２と、当該駆動軸１２を回動自在に軸支する軸受１３ａ，１３ｂと、前記電機子１１に接続された整流子片１４及び当該整流子片１４に接触摺動し前記電機子１１に駆動電流を供給するブラシ１５より構成された整流子１６と、当該整流子１６を前記ケーシング７から電気的に絶縁支持する絶縁部材１７と、当該ブラシ１５に電気的に接続された端子１８より構成されている。
【０００９】
ここで磁気回路は、ケーシング７−界磁磁石８ａ−成層鉄心９−界磁磁石８ｂ−ケーシング７なる閉ループ回路を構成している。
【００１０】
従来例の直流整流子モータβの動作原理を説明する。
電機子巻線１０に通電して成層鉄心９に磁束を発生させ、界磁磁石８ａ，８ｂによる界磁磁界との吸引反発力を利用して回転力を得る。電機子１１の回転角に伴い電機子巻線１０の供給電流の向きを切り替えることにより、連続的に回転力を得ている。
【００１１】
（従来例３）
図１４は従来例の電磁リレーの透視側面図である。
図中、γは電磁リレー、１９はベース、２０は操作コイル、２１は固定鉄心、２２は固定接触子、２３は支持部材、２４は梃軸、２５は可動接触子、２５ａは梃杆、２６は圧縮コイルバネ、２７はケーシング、２８ａ，２８ｂは端子である。
【００１２】
図１４において電磁リレーγは、ベース１９と、当該ベース１９上に着設された操作コイル２０と、当該操作コイル２０にて発生した磁束を集束し励磁する固定鉄心２１と、当該固定鉄心２１上部に形設された固定接触子２２と、前記固定鉄心２１底部に接続され磁気回路を構成する支持部材２３と、当該支持部材２３に枢支軸２４を介して回動自在に枢支された可動接触子２５と、当該可動接触子２５及び前記支持部材２３に両端を係着され常時当該可動接触子２５を断路状態に付勢支持する圧縮コイルバネ２６と、前記ベース１９と嵌合し前記各部材２０〜２６を内部に収容する透明材料より構成されたケーシング２７と、前記操作コイル２０に電気的に接続され外部から励磁電流が供給される端子２８ａ，２８ｂより構成されている。
【００１３】
ここで磁気回路は、固定鉄心２１−固定接触子２２−可動接触子２５−支持部材２３−固定鉄心２１なる閉ループ回路を構成している。
【００１４】
従来例の電磁リレーγの動作原理を説明する。
操作コイル２０に励磁電流を流さない状態では、圧縮コイルバネ２６により梃軸２４を支点中心に梃動する梃杆２５ａと一体に可動接触子２５は固定接触子２２から離れる習性を常時付勢されており、接点回路は断路状態である。
ここで端子２８ａ，２８ｂを介して操作コイル２０に励磁電流を流すことにより、固定鉄心２１に磁束が発生し、当該固定鉄心２１先端に形成された固定接触子２２に可動接触子２５が圧縮コイルバネ２６の弾発力に抗して梃軸２４を支点中心に梃動回転する梃杆２５ａと一体に吸着され、接点回路が接路状態となる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、これら前記従来例の電磁アクチュエータα，β，γは、以下に列記するような構成上の欠点を本質的に有していた。
まず、パルスモータαは、固定子磁極２ａ〜２ｆと回転子突極４ａ〜４ｄとのギャップ間隙が通常の小型パルスモータにおいても漏洩磁束を可能な限り少なくするために３０〜５０μｍと狭く、同一構造でより小型のミリメートルオーダからマイクロメートルオーダのパルスモータαを実現する為には、当該ギャップ間隙を数マイクロメートルと非常に微小に形成せねばならず、高い加工精度が要求され製造が非常に困難であった。
【００１６】
また、直流整流子型モータβの場合には、電機子１１が絶縁層を介して鉄板を多数積層した成層鉄心９上に複数の電機子巻線１０を多重回捲着して構成されており、さらに電機子１１への供給電流極性を切り替える為の整流子片１４及びブラシ１５よりなる整流子１６を構成上必要とするので、機械的構造が複雑化し、可動部分の小型化構成が困難であった。
【００１７】
さらに直流整流子モータβは、構造上高速回転に適しており、低速回転時には特性上回転トルクが非常に大きくなることから、所望の回転角で電機子１１を停止させ、或いは精密に電機子１１の回転角制御を行うことが非常に困難である欠点を有していた。
【００１８】
また電磁リレーγでは、操作コイル２０と可動接触子２５とが一対一で対応しており、
相互に独立して動作する多数の回路の断接動作を行わせるには、当該回路数に対応して複数の電磁リレーγが必要となり、操作コイル２０等の励磁機構の寸法及び消費電力が大きく、集積化による小型化の妨げになっていた。
【００１９】
これに加えて操作コイル２０への励磁電流の供給を断って可動接触子２５の接路状態を保持するには、有極リレーやラッチングリレー等の特殊な電磁リレーγを使用する必要があり、構造が複雑大型化し構成に要する費用が増加すると共に所望の機能を有する特殊な電磁リレーγが必ずしも入手できるとは限らないといった問題があった。
【００２０】
このように従来の電磁アクチュエータは、本質的に可動部分が磁気回路の一部を形成しているので、構成上小型化は困難であった。
さらに機械構造と磁気回路を分離独立して構成不可能であるため、設計上及び構造上の制約が大きい欠点を有していた。
ここにおいて本発明は、小型化構成を可能とすると共に広範に適用可能な熱磁気アクチュエータを提供せんとするものである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
前記課題の解決は、本発明が次に列挙する新規な特徴的構成手段を採用することにより達成される。
すなわち、本発明装置の第１の特徴は、非磁性材料からなるベースの下面に配置された磁石と、当該磁石の両端に基端をそれぞれ接続するとともに先端相互をギャップを間設して相対向することにより当該磁石の磁束を誘導する磁路を形成したヨークと、当該ギャップとよりなる閉磁気回路と、感温磁性材料からなる一対の固定接点と、前記一対の固定接点間に二者択一的に一端を臨ませた高透磁率材料からなり前記ベース上に着設させる支持部材と一体形成された可動接点と、前記感温磁性材料からなる一対の固定接点のそれぞれを個別に加熱する加熱手段とを具備し、前記一対の固定接点と前記可動接点とは前記ギャップ内に、前記一対の固定接点のうちのどちらか一方に前記可動接点の前記一端が接しているとき、前記可動接点と前記可動接点が接している前記固定接点との間の吸引力が前記可動接点と前記可動接点が接していない他方の固定接点との間の吸引力より大きくなるように配置され、前記可動接点は、前記加熱手段による加熱により生じる自己内を通過する磁束密度の変化により前記可動接点に働く吸引力が他方に比べて大きくなる前記一対の固定接点のうちの一方の固定接点に吸引されて前記一端が当該一方の固定接点に接触するよう動作する弾性揺動型である熱磁気アクチュエータである。
【００２５】
本発明装置の第２の特徴は、前記装置の第１の特徴における加熱手段が、前記一対の固定接点と前記可動接点を載着する前記ベースの当該各固定接点載着面に個別に埋設した電熱素子である熱磁気アクチュエータである。
【００２６】
本発明装置の第３の特徴は、前記装置の第１の特徴における加熱手段が、前記一対の固定接点と可動接点を載着するベースの当該各固定接点載着面に個別に埋設した電熱素子である熱磁気アクチュエータである。
【００２７】
【作用】
本発明は、前記のような手段を講じたので、感温磁性材料を加熱手段により局部加熱して、当該被駆動体における当該加熱部分の透磁率を局所的に変化せしめ、磁場勾配を形成し任意動作を可能とする。
また、可動部分全体を磁気回路のギャップ中に介入したので、当該可動部分と駆動機構とを別個に分離独立して構成することが可能となる。
【００２８】
【実施例】
（参考例）
本発明の参考例を図面につき詳説する。
図１は本参考例の熱磁気アクチュエータを示す６極パルスモータの正断面図、図２は同・回転子の拡大斜視図、図３乃至図６は回転子の駆動原理の第１〜第４段階説明図、図７（ａ）はＦｅＮｉの飽和磁化−温度特性線図、図７（ｂ）はＦｅＲｈの飽和磁化−温度特性線図、図８は駆動装置の一構成例、図９は同・他の構成例である。
【００２９】
図中、α’は本参考例の６極パルスモータ、２９は棒磁石、３０は左右両コ字形ヨーク、３１はギャップ、３２は被駆動体、３３ａ〜３３ｆは回転子突極、３４は羽根車型回転子、３５は駆動軸、３６は軸着部材、３７，３７’は加熱源コントローラ、３８ａ〜３８ｆ，３８ａ’，３８ｂ’は加熱源、３９ａ〜３９ｆ，３９ａ’，３９ｂ’はコリメートレンズ、４０ａ〜４０ｆ，４０ａ’〜４０ｄ’は集光レンズ、４１ａ，４１ｂはビームスプリッタ、４２ａ，４２ｂは全反射ミラー、４３はミラーコントローラ、４４ａ，４４ｂはガルバノメータ等の角度調整が可能な可動ミラーである。
【００３０】
図１に示す本参考例のパルスモータα’は、永久磁石や電磁石等よりなる棒磁石２９と、当該棒磁石２９の両端極に磁気的に基端を接続され先端３０ａ相互を相対向させた純鉄等の高透磁率材料からなる閉磁気回路を形成する左右ヨーク３０と、当該ヨーク３０の先端３０ａ対向間のギャップ３１と、当該ギャップ３１中に配置された被駆動体３２とより構成されている。
【００３１】
図２に示すように被駆動体３２は、ＦｅＮｉ等の感温磁性材料からなる６本の等角放射状の回転子突極３３ａ〜３３ｆを有する回転子３４と、回転出力を取り出す駆動軸３５と、当該駆動軸３５を前記回転子３４に貫着する軸着部材３６より構成されている。
【００３２】
本参考例はこのような具体的実施態様を呈し、次に本参考例の動作について詳説する。以下の図中における点は磁化分布を表している。
まず最初に、図３において棒磁石２９から発生した磁束Φは左右両ヨーク３０を介してギャップ３１に導かれる。ギャップ３１中の磁束空間に配置された感温磁性材料からなる回転子３４は、常温では当該磁束Φに平行な向きに均一に磁化されており、磁束Φの分布は駆動軸３５中心を通る磁極方向に対して線対称であって、回転子３４を回転させようとする力は相互に釣り合って偶力Ｆ＝０となるので、回転子３４は回転しない状態で保持される。
【００３３】
図４および図８において、回転子突極３３ａ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｆに加熱光Ｌを照射して加熱すると、当該加熱された回転子突極３３ａ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｆの磁化が消失し、加熱されなかった回転子突極３３ｂ，３３ｅのみに磁化が残存する。磁束Φは当該加熱されなかった回転子突極３３ｂ，３３ｅを通過しようとするので、回転子３４には偶力Ｆが発生する。
【００３４】
図５において、回転子３４は磁束Φの分布に偏りがなくなる角度まで回転する。
図６において、回転子突極３３ａ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｆは冷却されて磁化が再び戻磁復現し、回転子３４の磁束Φの分布は均一となり再び安定した状態となる。
この一連の手順を経ることにより、所定の角度ずつ回転を行う。
【００３５】
感温磁性材料としては、キュリー温度Ｔｃが２００℃以下の強磁性材料で、比較的容易な加熱で磁化を一時可逆的に喪失するキュリー点利用感温磁性材料がある。代表的なものとしてはＮｉＦｅ合金系、ＮｉＦｅＣｒ合金系、ＭｎＺｎフェライト系の材料が存在する。
【００３６】
また、磁化発生温度（磁気一次相転移温度）Ｔｆが２００℃以下の強磁性材料で、比較的容易な加熱により磁化を一時可逆的に発現する転移点利用感温磁性材料もある。このような材料としてＦｅＲｈ合金系の材料が存在する。
これら感温磁性材料としてＦｅＮｉ及びＦｅＲｈを使用した時の飽和磁化−温度特性線図を図７（ａ）及び図７（ｂ）にそれぞれ示す。
【００３７】
任意の回転子突極３３ａ〜３３ｆをそれぞれ独立して加熱するには、図８若しくは図９に示すような加熱装置を用いる。
図８では、加熱源コントローラ３７により６極の回転子突極３３ａ〜３３ｆにそれぞれ対応させるために６台の加熱源３８ａ〜３８ｆをそれぞれ独立して駆動する。
加熱源３８ａ〜３８ｆから発生した加熱光Ｌは、コリメートレンズ３９ａ〜３９ｆと集光レンズ４０ａ〜４０ｆからなる光学系ＰＳａ〜ｆを通るに当り、コリメートレンズ３９ａ〜３９ｆにより平行光に変換され、集光レンズ４０ａ〜４０ｆにて集束された後、目的の回転子突極３３ａ〜３３ｆをそれぞれ加熱する。
【００３８】
図９では、加熱源コントローラ３７ａ’により２台の加熱源３８ａ’，３８ｂ’をそれぞれ独立して駆動する。
加熱源３８ａ’，３８ｂ’から発生した加熱光Ｌは、コリメートレンズ３９ａ’，３９ｂ’とビームスプリッタ４１ａ，４１ｂと全反射ミラー４２ａ，４２ｂと可動ミラー４４ａ，４４ｂからなる光学系ＰＳａ’〜ｂ’を通るに当り、コリメートレンズ３９ａ’，３９ｂ’により平行光に変換された後、ビームスプリッタ４１ａ，４１ｂにより分岐され、
全反射ミラー４２ａ，４２ｂ及び集光レンズ４０ａ’〜４０ｄ’を経由し、ミラーコントローラ４３により制御された可動ミラー４４ａ，４４ｂにより照射される回転子突極３３ａ〜３３ｆが選択される。
【００３９】
光路の途中にビームスプリッタ４１ａ，４１ｂを挿入して加熱光Ｌを分岐し、任意の回転子突極３３ａ〜３３ｆを加熱する場合には、ミラーコントローラ４３で可動ミラー４４ａ，４４ｂそれぞれの角度制御を行い、加熱光を所望の回転子突極３３ａ〜３３ｆに導く。
本例では前記図８では６台必要であった加熱源３８ａ〜３８ｆが、加熱源３８ａ’，３８ｂ’の２台と、大幅に削減されている。
これらの例において、加熱箇所、加熱出力、加熱スポット径等を変化させることにより回転特性を制御しても良い。
【００４０】
また、前記図５において磁場Ｈの向きに対し変位角θを有する強磁性体の棒に生じる偶力Ｆは、
Ｆ＝Ｊm ＳｌＨｓｉｎθ
と表される。ここでＪm は飽和磁化、Ｓは棒の断面積、ｌは棒の長さである。
構成の一例として、０．１Ｔの磁気空間にて飽和磁化０．３６ＴのＦｅＮｉ感温磁性体からなる直径４ｍｍ、厚さ１ｍｍの回転子３４から発生するトルクは略０．５×１０-6Ｎ・ｍと算出される。
【００４１】
このように、１回の加熱操作により所定角度回転するステッピング動作を行うことが可能であり、従来のパルスモータと同様の動作を実現する。
【００４２】
（装置例）
本発明の装置例を図面につき詳説する。
図１０（ａ）は本発明の装置例の熱磁気アクチュエータを示すラッチングリレーの平面図、図１０（ｂ）は同・正面図、図１１（ａ）〜（ｄ）は動作説明図である。
【００４３】
図中、γ’は本装置例のラッチングリレー、４５はベース、４６は棒磁石、４７は正面コ字形左右両ヨーク、４８ａ，４８ｂはペルチェ素子、４９ａ，４９ｂは固定接点、５０ａ，５０ｂはセレクト端子、５１は弾性揺動型可動接点、５２はコモン端子である。
尚、従来と同一要素には同一符号を付した。
【００４４】
図１０（ａ）,（ｂ）に示す本装置例のラッチングリレーγ’は、非磁性材料からなるベース４５と、当該ベース４５下面に着設された棒磁石４６と、当該棒磁石４６により発生した磁束を誘導し磁路を形成する左右両ヨーク４７と、前記ベース４５表面に埋設されたペルチェ素子４８ａ，４８ｂと、当該ペルチェ素子４８ａ，４８ｂ上にそれぞれ着設されたＦｅＮｉ等の感温磁性材料からなる固定接点４９ａ，４９ｂと、当該固定接点４９ａ，４９ｂにそれぞれ電気的に接続されたセレクト端子５０ａ，５０ｂと、前記ベース４５上に着設されたパーマロイ等の高透磁率材料よりなる可動接点５１と、当該可動接点５１を動作自在に支持する支持部材５１ａと、当該可動接点５１に電気的に接続されたコモン端子５２より構成されている。
固定接点４９ａ，４９ｂ及び可動接点５１には導電率を高めるため金めっき処理等が施されている。
【００４５】
本装置例はこのような具体的実施態様を呈し、次に本装置例の動作について詳説する。
図１１（ａ）では全体に亙り磁化が存在し、可動接点５１が接している固定接点４９ａを通過する磁束密度が、可動接点５１が接していない固定接点４９ｂを通過する磁束密度より大きいので、可動接点５１に働く吸引力は固定接点４９ａの方が固定接点４９ｂより大きく、接点状態は保持されている。
【００４６】
図１１（ｂ）において、ペルチェ素子４８ａに一定方向に電流を通電して固定接点４９ａを加熱すると、当該固定接点４９ａの磁化が消失し、可動接点５１は磁束密度の大きい固定接点４９ｂ側へ切り替わる。
【００４７】
図１１（ｃ）において、可動接点５１は固定接点４９ｂ側に切り替わると、安定して接点状態を保持する。
図１１（ｄ）において、固定接点４９ａが冷却されると再び磁化が発生するが、既に可動接点５１は固定接点４９ｂ側に動作しており、可動接点５１に働く吸引力は固定接点４９ｂの方が固定接点４９ａより大きく、接点状態は保持される。
逆にこの状態で固定接点４９ｂを加熱すると、可動接点５１は固定接点４９ａに切り替わると共に接点状態を保持する。
【００４８】
このように、可動接点５１を磁気回路内に導入し、これとは別の手段で固定接点４９ａ，４９ｂの磁化を消失させて可動接点５１を駆動するので、駆動手段を大幅に小型化構成することが可能となる。
さらに接点が自己保持機能を有し、双安定動作を行わせることができる。
【００４９】
前記参考例及び装置例においては、加熱源又は加熱光としてレーザ光、赤外光、電気ヒータ等任意の加熱源又は加熱光を使用することが可能であり、さらに前記装置例においては、ペルチェ素子を採用しても良い。
加熱源に光源を用いた場合には光ファイバ内に加熱光を導入して所望の箇所に導いたり、加熱源としてペルチェ素子を採用した場合には、供給電流の極性を逆にして感温磁性材料からなる可動部分の強制冷却を行い、当該可動部分の反復動作を高速に行わせることもできる。
【００５０】
【発明の効果】
かくして本発明によれば、アクチュエータの構成の小型化に伴ってギャップ間隙を微小に形成する必要がなく、ギャップ加工の困難さを緩和できる。
この結果、アクチュエータ単体の構造が単純になり、小型化及び高密度集積化が容易となり、安価に作製可能であるので初期投資額の低減を図ることができる。
また、アクチュエータの機械構造と磁気回路を独立して作製し得る利点を有し、設計の困難さを軽減し、小型化構成を容易となす。
【００５１】
さらに、機械構造と磁気回路を別個独立して作製可能なため、機械構造をプロセス加工で行い集積度を高め大量生産を可能とし、磁気回路のようにプロセス作製の難しいものは従来の機械加工で済ませることもでき、優れた生産性、加工性のメリットを享受する。
加えて、磁気回路に同一のものを使用し、可動部分のみを変更するだけで多種多様のアクチュエータを作製可能であり、設計製作の融通性に優れる。
【００５２】
感温磁性材料及び加熱源に放射光を用いることにより、光による直接駆動を可能とし、
可動部分に駆動素子を配設する必要がなくなり、遠隔から非接触で駆動制御可能であると共に、駆動部分を別設し集合構成して小型化構成し得る利点を有す。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の参考例の熱磁気アクチュエータを示す６極パルスモータの正断面図である。
【図２】  同上・羽根車型回転子の拡大斜視図である。
【図３】  回転子の駆動原理の第１段階説明図である。
【図４】  同上・駆動原理の第２段階説明図である。
【図５】  同上・駆動原理の第３段階説明図である。
【図６】  同上・駆動原理の第４段階説明図である。
【図７】  （ａ）はＦｅＮｉの飽和磁化−温度特性線図、（ｂ）はＦｅＲｈの飽和磁化−温度特性線図である。
【図８】  本発明の参考例における加熱装置の一構成例である。
【図９】  同上・加熱装置の他の構成例である。
【図１０】  （ａ）は本発明の装置例の熱磁気アクチュエータを示すラッチングリレーの平面図、（ｂ）は同・正面図である。
【図１１】  同上・（ａ）〜（ｄ）は各段階の動作説明図である。
【図１２】  第１従来例の電磁アクチュエータを示す６極パルスモータの縦断正面図である。
【図１３】  第２従来例の電磁アクチュエータを示す直流整流子モータの一部破断斜視図である。
【図１４】  第３従来例の電磁アクチュエータを示す電磁リレーの透視側面図である。
【符号の説明】
α，α’…６極パルスモータ
β…直流整流子モータ
β’…モータ
γ…電磁リレー
γ’…ラッチングリレー
ｉ…電流
Ｌ…加熱光
Ｔｃ…キュリー温度
Ｔｆ…磁化発生温度
１…固定子鉄心
２ａ〜２ｆ…固定子磁極
３ａ〜３ｆ…固定子巻線
４ａ〜４ｄ…回転子突極
５…駆動軸
６…回転子
７…ケーシング
８ａ，８ｂ…界磁磁石
９…成層鉄心
１０…電機子巻線
１１…電機子
１２…駆動軸
１３ａ，１３ｂ…軸受
１４…整流子片
１５…ブラシ
１６…整流子
１７…絶縁部材
１８…端子
１９…ベース
２０…操作コイル
２１…固定鉄心
２２…固定接触子
２３…支持部材
２４…回動軸
２５…可動接触子
２６…圧縮コイルバネ
２７…ケーシング
２８ａ，２８ｂ…端子
２９…棒磁石
３０…ヨーク
３１…ギャップ
３２…被駆動体
３３…回転子突極
３４…回転子
３５…駆動軸
３６…軸着部材
３７…加熱源コントローラ
３８ａ〜３８ｆ，３８ａ’，３８ｂ’…加熱源
３９ａ〜３９ｆ，３９ａ’，３９ｂ’…コリメートレンズ
４０ａ〜４０ｆ，４０ａ〜４０ｄ…集光レンズ
４１ａ，４１ｂ…ビームスプリッタ
４２ａ，４２ｂ…全反射ミラー
４３…ミラーコントローラ
４４ａ，４４ｂ…可動ミラー
４５…ベース
４６…棒磁石
４７…ヨーク
４８ａ，４８ｂ…ペルチェ素子
４９ａ，４９ｂ…固定接点
５０ａ，５０ｂ…セレクト端子
５１…可動接点
５１ａ…支持部材
５２…コモン端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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