(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向および前記第１の方向とは異なる第２の方向に基板を搬送する基板搬送装置であって、
(a) 前記第１の方向に沿って設けられた第１開口と、前記第１開口と交わり、前記第２の方向に沿って設けられた第２開口とを含む開口部を有する隔壁と、
(b) 前記隔壁の一方側に設けられた駆動部と、
(c) 前記隔壁の他方側に設けられ、基板を保持する基板保持部と、
(d) 前記開口部を挿通して前記駆動部と前記基板保持部とを連結し、前記駆動部によって前記開口部に沿って前記第１の方向および前記第２の方向に移動される支持アームと、
(e) 前記支持アームと係合して前記第１開口に沿って移動可能に設けられ、前記第１開口と前記第２開口との交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有するブラケットと、
(f) 前記第１の方向における前記ブラケットの両端に接続され、前記第１開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記ブラケットの移動に連動する帯状シール部材と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬送装置において、
前記帯状シール部材は、
(f-1) 前記第１の方向における前記ブラケットの一端に接続された第１帯状シール部材と、
(f-2) 前記ブラケットの他端に接続された第２帯状シール部材と、
を含み、
前記一端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第１帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、
前記他端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第２帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、
をさらに備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記支持アームが前記ブラケットと係合しているときには前記ブラケットを前記第１開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記ブラケットから離脱しているときには前記ブラケットを前記交点に係止させる位置規制手段をさらに備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
第１の方向および前記第１の方向とは異なる第２の方向に基板を搬送して所定の基板処理を行う基板処理装置であって、
(a) 前記第１の方向に沿って設けられた第１開口と、前記第１開口と平行に設けられた第３開口と、前記第１開口および前記第３開口と交わり、前記第２の方向に沿って設けられた第２開口とを含む開口部を有する隔壁と、
(b) 前記隔壁の一方側に設けられた駆動部と、
(c) 前記隔壁の他方側に設けられ、基板を保持する基板保持部と、
(d) 前記隔壁の前記他方側に設けられ、前記基板保持部に保持された基板に前記所定の基板処理を施す処理部と、
(e) 前記開口部を挿通して前記駆動部と前記基板保持部とを連結し、前記駆動部によって前記開口部に沿って前記第１の方向および前記第２の方向に移動される支持アームと、
(f) 前記支持アームと係合して前記第１開口に沿って移動可能に設けられ、前記第１開口と前記第２開口との第１の交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有する第１ブラケットと、
(g) 前記第１の方向における前記第１ブラケットの両端に接続され、前記第１開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記第１ブラケットの移動に連動する第１帯状シール部材と、
(h) 前記支持アームと係合して前記第３開口に沿って移動可能に設けられ、前記第３開口と前記第２開口との第２の交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有する第２ブラケットと、
(i) 前記第１の方向における前記第２ブラケットの両端に接続され、前記第３開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記第２ブラケットの移動に連動する第２帯状シール部材と、
(j) 前記支持アームが前記第１開口または前記第３開口に存在しているときに前記第２開口を遮蔽するシャッターと、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項４記載の基板処理装置において、
前記第１帯状シール部材は、
(g-1) 前記第１の方向における前記第１ブラケットの一端に接続された第３帯状シール部材と、
(g-2) 前記第１ブラケットの他端に接続された第４帯状シール部材と、
を含み、
前記第２帯状シール部材は、
(i-1) 前記第１の方向における前記第２ブラケットの一端に接続された第５帯状シール部材と、
(i-2) 前記第２ブラケットの他端に接続された第６帯状シール部材と、
を含み、
前記第１ブラケットの前記一端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第３帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、
前記第１ブラケットの前記他端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第４帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、
前記第２ブラケットの前記一端側における前記第３開口外の位置に設けられ、前記第５帯状シール部材を巻架する第３巻架部と、
前記第２ブラケットの前記他端側における前記第３開口外の位置に設けられ、前記第６帯状シール部材を巻架する第４巻架部と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の基板処理装置において、
前記支持アームが前記第１ブラケットと係合しているときには前記第１ブラケットを前記第１開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記第１ブラケットから離脱しているときには前記第１ブラケットを前記第１の交点に係止させる第１位置規制手段と、
前記支持アームが前記第２ブラケットと係合しているときには前記第２ブラケットを前記第３開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記第２ブラケットから離脱しているときには前記第２ブラケットを前記第２の交点に係止させる第２位置規制手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項４から請求項６のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第１の交点は、前記第１開口における前記処理部から最も離間した位置に設けられ、
前記第２の交点は、前記第３開口における前記処理部から最も離間した位置に設けられることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、第１の方向およびその第１の方向とは異なる第２の方向に半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）を搬送する基板搬送装置およびそれを組み込んだ基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、上記基板には基板処理装置において、エッチングや洗浄処理等が繰り返されて、所定の処理が行われる。そして、基板は基板処理装置に組み込まれた基板搬送装置によって薬液槽や水洗槽等の処理部に順次搬送され、上記所定の処理が行われるのである。基板の搬送先である処理部においてはパーティクル等の汚染物質が存在しない清浄な雰囲気が要求されるのであるが、基板搬送装置はモータ等の駆動部によって機械的に駆動されるのが一般的であり、パーティクルが発生し易い構造となっている。
【０００３】
一方、処理部のうち薬液槽では揮発性の薬液（例えば、塩酸等）を使用する場合があり、そのような薬液が蒸発した揮発成分（塩酸の場合は、塩化水素ガス）は基板搬送装置の駆動部を腐食することとなる。また、薬液によっては加熱されて使用されるので、霧状の薬液のミストが生じ、このミストが基板搬送装置の駆動部を腐食する。
【０００４】
従って、基板処理装置においては、処理部側の雰囲気と基板搬送装置の駆動部側の雰囲気とを遮断することが重要である。処理部側の雰囲気と駆動部側の雰囲気とを遮断する技術としては、例えば、実開平２−３５４４７号公報において提案されているようなものがある。この技術においては、長孔を設けた隔壁によって処理部側と駆動部側とを仕切り、駆動部側から当該長孔を挿通して延びる基板搬送用のアームによって基板を保持、搬送するようにしている。そして、長孔部分を耐食性の帯状シールにより遮蔽することによって処理部側の雰囲気と駆動部側の雰囲気とを遮断している。なお、当該技術においては、長孔部分を帯状シールで遮蔽した状態を維持しつつ搬送用のアームを移動させるべく、帯状シールを長孔の両端で固定するとともに、アームロボットの基台にガイドロールを配置し、当該ガイドロールに帯状シールを巻き掛けて後方へ迂回させるようにしている。
【０００５】
以上のような従来の技術によれば、隔壁およびその長孔部分の帯状シールによって、処理部側の雰囲気と基板搬送装置の駆動部側の雰囲気とが効果的に遮断される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年においては、２つの処理槽への基板浸漬が可能なようにアームの昇降・横行という２軸移動を行う浸漬ロボットが基板処理装置に採用されている。このような基板処理装置においても上記と同様に、処理部側の雰囲気と浸漬ロボットの駆動部側の雰囲気とを遮断する必要があり、「コの字形状」の開口部を設けた隔壁によって処理部側と駆動部側とを仕切っている。開口部を「コの字形状」としているのは、浸漬ロボットの基板を保持するためのアームが昇降・横行という２軸移動を行うためである。
【０００７】
そして、「コの字形状」の開口部についても遮蔽を行う必要が当然あるのであるが、このような開口部に上記従来の帯状シールによる遮蔽技術を適用することはできない。これは、上記従来の帯状シールによる遮蔽技術においては、基板搬送装置が一方向にしか移動（１軸移動）できないからである。
【０００８】
すなわち、従来の技術では、「コの字形状」の開口部を遮蔽しつつ、浸漬ロボットのアームを２軸移動させることはできないのである。その結果、開口部を介して両側の雰囲気が相互に侵入することとなり、処理部に汚染物質が混入するとともに、浸漬ロボットの駆動部が薬液の揮発成分によって腐食されるという問題が生じる。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、帯状シール部材によって開口を遮蔽しつつ、２以上の方向に支持アームを移動させることができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１０】
また、本発明は、処理部の雰囲気と駆動部の雰囲気とを遮断しつつ、２以上の方向に支持アームを移動させることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、第１の方向および前記第１の方向とは異なる第２の方向に基板を搬送する基板搬送装置であって、(a) 前記第１の方向に沿って設けられた第１開口と、前記第１開口と交わり、前記第２の方向に沿って設けられた第２開口とを含む開口部を有する隔壁と、(b) 前記隔壁の一方側に設けられた駆動部と、(c) 前記隔壁の他方側に設けられ、基板を保持する基板保持部と、(d) 前記開口部を挿通して前記駆動部と前記基板保持部とを連結し、前記駆動部によって前記開口部に沿って前記第１の方向および前記第２の方向に移動される支持アームと、(e) 前記支持アームと係合して前記第１開口に沿って移動可能に設けられ、前記第１開口と前記第２開口との交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有するブラケットと、(f) 前記第１の方向における前記ブラケットの両端に接続され、前記第１開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記ブラケットの移動に連動する帯状シール部材と、を備えている。
【００１３】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板搬送装置において、前記帯状シール部材に、(f-1)前記第１の方向における前記ブラケットの一端に接続された第１帯状シール部材と、(f-2)前記ブラケットの他端に接続された第２帯状シール部材と、を含ませ、前記一端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第１帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、前記他端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第２帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、をさらに備えている。
【００１４】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明に係る基板搬送装置において、前記支持アームが前記ブラケットと係合しているときには前記ブラケットを前記第１開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記ブラケットから離脱しているときには前記ブラケットを前記交点に係止させる位置規制手段をさらに備えている。
【００１５】
また、請求項４の発明は、第１の方向および前記第１の方向とは異なる第２の方向に基板を搬送して所定の基板処理を行う基板処理装置であって、(a)前記第１の方向に沿って設けられた第１開口と、前記第１開口と平行に設けられた第３開口と、前記第１開口および前記第３開口と交わり、前記第２の方向に沿って設けられた第２開口とを含む開口部を有する隔壁と、(b)前記隔壁の一方側に設けられた駆動部と、(c)前記隔壁の他方側に設けられ、基板を保持する基板保持部と、(d)前記隔壁の前記他方側に設けられ、前記基板保持部に保持された基板に前記所定の基板処理を施す処理部と、(e)前記開口部を挿通して前記駆動部と前記基板保持部とを連結し、前記駆動部によって前記開口部に沿って前記第１の方向および前記第２の方向に移動される支持アームと、(f)前記支持アームと係合して前記第１開口に沿って移動可能に設けられ、前記第１開口と前記第２開口との第１の交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有する第１ブラケットと、(g)前記第１の方向における前記第１ブラケットの両端に接続され、前記第１開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記第１ブラケットの移動に連動する第１帯状シール部材と、(h)前記支持アームと係合して前記第３開口に沿って移動可能に設けられ、前記第３開口と前記第２開口との第２の交点において前記第２の方向に前記支持アームが通過できる通過部を有する第２ブラケットと、(i)前記第１の方向における前記第２ブラケットの両端に接続され、前記第３開口を遮蔽した状態を維持しつつ前記第２ブラケットの移動に連動する第２帯状シール部材と、(j)前記支持アームが前記第１開口または前記第３開口に存在しているときに前記第２開口を遮蔽するシャッターと、を備えている。
【００１６】
また、請求項５の発明は、請求項４の発明に係る基板処理装置において、前記第１帯状シール部材に、(g-1)前記第１の方向における前記第１ブラケットの一端に接続された第３帯状シール部材と、(g-2)前記第１ブラケットの他端に接続された第４帯状シール部材と、を含ませ、前記第２帯状シール部材に、(i-1)前記第１の方向における前記第２ブラケットの一端に接続された第５帯状シール部材と、(i-2)前記第２ブラケットの他端に接続された第６帯状シール部材と、を含ませ、前記第１ブラケットの前記一端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第３帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、前記第１ブラケットの前記他端側における前記第１開口外の位置に設けられ、前記第４帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、前記第２ブラケットの前記一端側における前記第３開口外の位置に設けられ、前記第５帯状シール部材を巻架する第３巻架部と、前記第２ブラケットの前記他端側における前記第３開口外の位置に設けられ、前記第６帯状シール部材を巻架する第４巻架部と、をさらに備えている。
【００１７】
また、請求項６の発明は、請求項４または請求項５の発明に係る基板処理装置において、前記支持アームが前記第１ブラケットと係合しているときには前記第１ブラケットを前記第１開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記第１ブラケットから離脱しているときには前記第１ブラケットを前記第１の交点に係止させる第１位置規制手段と、前記支持アームが前記第２ブラケットと係合しているときには前記第２ブラケットを前記第３開口に沿って移動自在とし、前記支持アームが前記第２ブラケットから離脱しているときには前記第２ブラケットを前記第２の交点に係止させる第２位置規制手段と、をさらに備えている。
【００１８】
また、請求項７の発明は、請求項４から請求項６のいずれかの発明に係る基板処理装置において、前記第１の交点を前記第１開口における前記処理部から最も離間した位置に設け、前記第２の交点を前記第３開口における前記処理部から最も離間した位置に設けている。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。以下の説明においては、まず本発明に係る基板処理装置全体の構成および動作について簡単に説明した後、本発明に係る基板搬送装置の構成および動作について説明する。
【００２０】
＜１．基板処理装置の全体構成および動作＞
図１は、本発明に係る基板処理装置１の全体を示す斜視図である。なお、図１および以下の各図には、それらの方向関係を明確にするため、ＸＹＺ直交座標系を適宜付している。
【００２１】
基板処理装置１は、複数の基板Ｗを１つの基板群として一括して洗浄処理を行う装置であり、大きく分けてカセットＣに収容された基板Ｗの搬出入が行われるカセット載置ユニット２Ｕ、基板Ｗに洗浄処理を施す洗浄処理ユニット４Ｕ、および、カセット載置ユニット２Ｕと洗浄処理ユニット４Ｕとの間でＸ方向に基板Ｗの搬送を行う水平移動ロボット３を有している。
【００２２】
カセット載置ユニット２Ｕは、装置外部からカセットＣが搬入され載置されるカセット載置部２１、カセットＣの移載を行うカセット移載ロボット２２、カセット移載ロボット２２によりカセットＣが載置される突上部２３、および、カセットＣを洗浄するカセット洗浄部２４を有しており、基板処理装置１に搬入された基板Ｗは突上部２３から水平移動ロボット３に渡されるようになっている。また、逆に、水平移動ロボット３から受け取った基板ＷをカセットＣに収容してカセット載置部２１へと導くことも可能とされている。
【００２３】
洗浄処理ユニット４Ｕは、前工程の洗浄処理を行う前洗浄部４ａ、後工程の洗浄処理を行う後洗浄部４ｂ、それらに対して基板Ｗを浸漬させる浸漬ロボット５０、および洗浄後の基板Ｗを乾燥する乾燥部ＤＲを有しており、水平移動ロボット３との受渡により、基板Ｗは前洗浄部４ａ、後洗浄部４ｂ、乾燥部ＤＲをそれぞれ順に経由してカセット載置ユニット２Ｕへと搬送されるようになっている。
【００２４】
以上が基板処理装置１の構成の概要であるが、次に、基板処理装置１の動作の説明を各構成の説明とともに行う。
【００２５】
基板処理装置１への基板Ｗの搬入はカセットＣを介して行われる。カセットＣは複数の基板Ｗを起立姿勢に平行配置して収納可能とされている。カセットＣは搬送車（図示省略）などにより基板処理装置１まで搬送され、カセット載置部２１上に図１中に示すＹ方向に配列配置される。カセットＣがカセット載置部２１に載置されると、当該カセットＣはカセット移載ロボット２２により突上部２３に載置される。
【００２６】
突上部２３は、２つのカセットＣがＹ方向に配列配置可能なように２つの突上機構２３ａおよび２３ｂを有しており、これらの突上機構２３ａ、２３ｂは図示しない移動駆動源により移動する移動台２３１上に設けられている。これにより、２つの突上機構２３ａ、２３ｂは図中のＹ方向に移動可能とされている。２つの突上機構２３ａ、２３ｂはそれぞれ図２（突上機構２３ａのみについて例示）に示すように回転台２３２と突上台２３３とを有しており、回転台２３２がＺ方向を向く軸を中心に回転するとカセットＣも回転するようになっている。また、突上台２３３がカセットＣの下部の開口部Ｃａを通り抜けて基板Ｗを突き上げるように昇降するようになっている（図２（ａ）（ｂ）参照）。
【００２７】
カセットＣが突上部２３に載置されると、移動台２３１の移動により当該カセットＣが載置された突上機構２３ａまたは突上機構２３ｂが水平移動ロボット３の下方に移動し、回転台２３２が９０゜回転することによりカセットＣに収容された所定数の基板Ｗの主面の法線がＸ方向からＹ方向へと向きを変える。
【００２８】
次に、突上台２３３が上昇して所定数の基板Ｗが基板群として水平移動ロボット３の本体部３ａに連結された２本の保持柱３５Ｒ、３５Ｌに渡され、突上台２３３が下降する。なお、突上部２３から基板Ｗを渡すときに、２つの突上機構２３ａ、２３ｂに載置されたそれぞれのカセットＣに収容された基板Ｗを順次水平移動ロボット３に渡し、水平移動ロボット３がこれらを併せて１つの基板群として保持するようにしてもよい（このときには、カセットＣに収容されている基板Ｗの間隔の半分の間隔で保持されることとなる）。
【００２９】
突上部２３より基板Ｗを受け取った水平移動ロボット３は、基板Ｗを前洗浄部４ａへと搬送する。前洗浄部４ａはフッ酸、塩酸と過酸化水素水との混合溶液等である薬液を貯留する薬液槽ＣＢ１と純水を貯留する水洗槽ＷＢ１とを備えている。また、前洗浄部４ａの後方（＋Ｙ方向）にはそれら両槽に対してリフターアーム５１および昇降台５２を昇降させる浸漬ロボット５０が設けられている。浸漬ロボット５０は、リフターアーム５１および昇降台５２を昇降させることと、薬液槽ＣＢ１の上方と水洗槽ＷＢ１の上方との間で横行させることが可能である。なお、浸漬ロボット５０については、さらに後述する。
【００３０】
昇降台５２が薬液槽ＣＢ１の上方に位置する状態において、水平移動ロボット３が昇降台５２に所定数の基板Ｗを基板群として渡し、浸漬ロボット５０が基板Ｗを保持する昇降台５２を下降させて基板Ｗを薬液槽ＣＢ１の薬液に浸漬させることにより基板Ｗに前工程の表面処理が施される。薬液による表面処理が終了すると、浸漬ロボット５０は一旦昇降台５２を上昇させて、水洗槽ＷＢ１の上方までＸ方向に移動させた後、再び昇降台５２を下降させて、基板Ｗを水洗槽ＷＢ１の純水に浸漬させることにより基板Ｗに純水洗浄処理が施される。このようにして、前洗浄部４ａにおける一連の洗浄処理が完了する。
【００３１】
基板Ｗの前工程の洗浄処理が完了すると浸漬ロボット５０は昇降台５２を上昇させ、水洗槽ＷＢ１から基板Ｗを取り出すとともに水平移動ロボット３へと基板Ｗを渡す。
【００３２】
前洗浄部４ａより基板Ｗを受け取った水平移動ロボット３は、基板Ｗを後洗浄部４ｂへと搬送する。後洗浄部４ｂは上記薬液槽ＣＢ１に貯留されているものとは異なる薬液を貯留する薬液槽ＣＢ２と純水を貯留する水洗槽ＷＢ２とを有している。また、後洗浄部４ｂの後方（＋Ｙ方向）にはそれら両槽に対してリフターアーム５１および昇降台５２を昇降させる浸漬ロボット５０が設けられている。この浸漬ロボット５０は、上述した前洗浄部４ａの後方に配置された浸漬ロボット５０と同じであり、リフターアーム５１および昇降台５２を昇降、横行させることができる。
【００３３】
昇降台５２が薬液槽ＣＢ２の上方に位置する状態において、水平移動ロボット３が昇降台５２に所定数の基板Ｗを基板群として渡し、浸漬ロボット５０が基板Ｗを保持する昇降台５２を下降させて基板Ｗを薬液槽ＣＢ２の薬液に浸漬させることにより基板Ｗに後工程の表面処理が施される。薬液による表面処理が終了すると、浸漬ロボット５０は一旦昇降台５２を上昇させて、水洗槽ＷＢ２の上方までＸ方向に移動させた後、再び昇降台５２を下降させて、基板Ｗを水洗槽ＷＢ２の純水に浸漬させることにより基板Ｗに純水洗浄処理が施される。このようにして、後洗浄部４ｂにおける一連の洗浄処理が完了する。
【００３４】
基板Ｗの後工程の洗浄処理が完了すると浸漬ロボット５０は昇降台５２を上昇させ、基板Ｗを水平移動ロボット３に渡し、水平移動ロボット３は基板Ｗを乾燥部ＤＲへと搬送する。
【００３５】
乾燥部ＤＲは、昇降ロボット４１と乾燥室４２とを有しており、昇降ロボット４１が基板Ｗを水平移動ロボット３から受け取って乾燥室４２にて乾燥し、再び水平移動ロボット３へと乾燥後の基板Ｗを渡す。
【００３６】
乾燥した基板Ｗを受け取った水平移動ロボット３は基板Ｗを突上部２３の上方へと搬送し、突上部２３が基板Ｗを受け取る。このときの突上部２３および水平移動ロボット３の動作は、突上部２３から水平移動ロボット３へと基板Ｗを渡す際の動作の逆の動作である。その後、カセットＣはカセット移載ロボット２２によりカセット載置部２１へと移載される。
【００３７】
なお、基板Ｗが洗浄されている間に、カセット洗浄部２４の蓋２４ａが開放され、突上部２３上の空のカセットＣがカセット移載ロボット２２により搬送されてカセット洗浄部２４にて洗浄処理が施され、再び突上部２３に載置されている。したがって、洗浄後の基板Ｗは洗浄された清浄なカセットＣに収容されることとなる。
【００３８】
また、本実施形態においては、浸漬ロボット５０が本発明に係る基板搬送装置に、前洗浄部４ａおよび後洗浄部４ｂのそれぞれが処理部に、昇降台５２が基板保持部に、リフターアーム５１が支持アームに相当する。
【００３９】
＜２．基板搬送装置の構成および動作＞
次に、本発明に係る基板搬送装置たる浸漬ロボット５０の構成および動作について説明する。図３は、浸漬ロボット５０を示す斜視図である。なお、以下においては、前洗浄部４ａの後方に設けられた浸漬ロボット５０についての説明であるが、後洗浄部４ｂの後方に設けられた浸漬ロボット５０についての構成および動作も全く同様である。
【００４０】
浸漬ロボット５０は、薬液槽ＣＢ１および水洗槽ＷＢ１に対して基板Ｗを浸漬させる役割を担った基板搬送装置であり、その役割を果たすべく、基板Ｗを保持する昇降台５２を鉛直方向（Ｚ方向）に昇降させることと、水平方向（Ｘ方向）に移動させることとが可能に構成されている。浸漬ロボット５０は、リフターアーム５１、昇降台５２の他に、大別して、隔壁５３と、アーム駆動機構５５と、シャッター機構６０と、シール機構７０とを備えている。
【００４１】
隔壁５３は、薬液槽ＣＢ１および水洗槽ＷＢ１とアーム駆動機構５５とを仕切るための部材である。すなわち、隔壁５３を挟んで一方側にはアーム駆動機構５５が設けられ、他方側には薬液槽ＣＢ１、水洗槽ＷＢ１および昇降台５２が設けられている。また、隔壁５３には、昇降台５２を固定的に連結したリフターアーム５１に鉛直方向の昇降および水平方向の移動を可能にすべく、「コの字形状」の切欠である開口部５４が設けられている。図４は、隔壁５３および開口部５４の正面図である。
【００４２】
開口部５４は、Ｚ方向に沿って設けられた第１開口５４ａと、第１開口５４ａと平行に設けられた第３開口５４ｃと、第１開口５４ａおよび第３開口５４ｃの上端と交わり、Ｘ方向に沿って設けられた第２開口５４ｂとの３つの開口により構成されている。そして、リフターアーム５１は開口部５４を挿通してアーム駆動機構５５と昇降台５２とを連結している。
【００４３】
アーム駆動機構５５は、リフターアーム５１をＺ方向およびＸ方向に駆動させる機構である。図５は、アーム駆動機構５５の概略構成を示す図である。同図に示すように、アーム駆動機構５５はＸ方向駆動機構５７とＺ方向駆動機構５９とを備えている。
【００４４】
Ｚ方向駆動機構５９は、モータ５９ａ、ベルト５９ｂおよびボールネジ５９ｃを有している。モータ５９ａはＺ方向駆動機構５９の筐体５９ｄに固設され、ボールネジ５９ｃは回転自在にＺ方向に沿って設けられている。また、ボールネジ５９ｃには、リフターアーム５１の端部が螺合されている。さらに、モータ５９ａおよびボールネジ５９ｃのそれぞれの上端にはプーリが設けられており、それらにはベルト５９ｂが掛けられている。従って、モータ５９ａの正または逆回転はベルト５９ｂを介してボールネジ５９ｃに伝達され、ボールネジ５９ｃの正または逆回転に伴って、それに螺合したリフターアーム５１がＺ方向に昇降することとなる。
【００４５】
Ｘ方向駆動機構５７も同様に、モータ５７ａ、ベルト５７ｂおよびボールネジ５７ｃを有している。モータ５７ａはＸ方向駆動機構５７の筐体５７ｄに固設され、ボールネジ５７ｃは回転自在にＸ方向に沿って設けられている。また、ボールネジ５７ｃには、Ｚ方向駆動機構５９の筐体５９ｄに固設された雌ねじ部（図示省略）が螺合されている。さらに、モータ５７ａおよびボールネジ５７ｃのそれぞれの図中左端にはプーリが設けられており、それらにはベルト５７ｂが掛けられている。従って、モータ５７ａの正または逆回転はベルト５７ｂを介してボールネジ５７ｃに伝達され、ボールネジ５７ｃの正または逆回転に伴って、それに螺合したＺ方向駆動機構５９全体がＸ方向に水平移動することとなる。そして、Ｚ方向駆動機構５９のＸ方向の移動に伴って、リフターアーム５１もＸ方向に水平移動することとなる。
【００４６】
このようなアーム駆動機構５５の構成によって、リフターアーム５１はＺ方向の昇降およびＸ方向の水平移動を自在に行えるのであるが、リフターアーム５１は隔壁５３の開口部５４を挿通しているため、その移動動作は開口部５４の形状によって一定の範囲内に規制される。すなわち、リフターアーム５１はアーム駆動機構５５によって開口部５４の「コの字形状」に沿って移動されることとなり、その動作にともなって、昇降台５２も「コの字形状」に移動されるのである。
【００４７】
既述したように、基板処理装置１においては、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気とを遮断する必要がある。このため、隔壁５３を設けているのであるが、隔壁５３の開口部５４についても何らかの遮蔽を行わなければ、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気とを効果的に遮断することはできない。このため、浸漬ロボット５０は、開口部５４の遮蔽を行うシャッター機構６０およびシール機構７０を備えている。
【００４８】
図６は、浸漬ロボット５０のシャッター機構６０およびシール機構７０の構成を示す図である。これらシャッター機構６０およびシール機構７０は、隔壁５３から見て、アーム駆動機構５５と同じ側（前洗浄部４ａと反対側）に設けられている。
【００４９】
シャッター機構６０は、エアシリンダ６１と遮蔽板６２とを備えている。遮蔽板６２は、エアシリンダ６１によってＺ方向に昇降可能とされている。遮蔽板６２が上昇しているとき（図中の１点鎖線）には、開口部５４のうち第２開口５４ｂが遮蔽板６２によって遮蔽されることとなる。一方、遮蔽板６２が下降しているとき（図中の実線）には、第２開口５４ｂが開放され、リフターアーム５１が当該第２開口５４ｂに沿って移動可能となる。
【００５０】
シール機構７０は、第１開口５４ａおよび第３開口５４ｃのそれぞれに設けられている。第１開口５４ａのシール機構７０は、ブラケット７５ａと、第１開口５４ａを遮蔽する帯状シール部材７１ａ、７１ｂと、巻架部７２ａ、７２ｂとを有している。同様に、第３開口５４ｃのシール機構７０は、ブラケット７５ｂと、第３開口５４ｃを遮蔽する帯状シール部材７１ｃ、７１ｄと、巻架部７２ｃ、７２ｄとを有している。なお、図３では、図示の便宜上、帯状シール部材７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄの記載を省いている。
【００５１】
ブラケット７５ａは、その内部にリフターアーム５１を係合可能とした断面コの字形状の筐体である。ブラケット７５ａの内部にリフターアーム５１が係合した状態（図６のブラケット７５ｂの状態）で当該リフターアーム５１が昇降することにより、ブラケット７５ａもそれに連動して第１開口５４ａに沿って昇降する。
【００５２】
ブラケット７５ａの上端には第１開口５４ａ以上の幅を有する耐食性の帯状シール部材７１ａが接続され、下端にも第１開口５４ａ以上の幅を有する耐食性の帯状シール部材７１ｂが接続されている。帯状シール部材７１ａは、その上端から巻架部７２ａによって巻き取られ、帯状シール部材７１ｂは、その下端から巻架部７２ｂによって巻き取られるようにされている。また、巻架部７２ａは第１開口５４ａの上方に設けられ、巻架部７２ｂは第１開口５４ａの下方に設けられている。さらに、巻架部７２ａ、７２ｂのそれぞれは、バネ（図示省略）を有しており、帯状シール部材７１ａ、７１ｂに張りを与えた状態で巻き取る、すなわち巻架することができる。帯状シール部材７１ａ、７１ｂは、巻架部７２ａ、７２ｂによって張りを与えられることにより、第１開口５４ａに近接して遮蔽した状態を維持できるのである。
【００５３】
なお、巻架部７２ａ、７２ｂは、ブラケット７５ａに昇降動作を行わせる機能は有しておらず、あくまでも帯状シール部材７１ａ、７１ｂに張りを与えるためのものである。換言すれば、ブラケット７５ａの昇降は、リフターアーム５１の動作のみによって行われるのである。また、巻架部７２ａ、７２ｂはそれぞれカバー７３ａ、７３ｂの内部に収納されており、カバー７３ａ、７３ｂの内部において帯状シール部材７１ａ、７１ｂを巻き取る。
【００５４】
ブラケット７５ａの形状は四面のうち一面が開放された断面コの字形状であり、その開放された部分はリフターアーム５１が通過可能な通過部とされている。リフターアーム５１は、その通過部を通過することによって、ブラケット７５ａの内部に係合することと、ブラケット７５ａから離脱することとができる。そして、リフターアーム５１は、ブラケット７５ａが第１開口５４ａと第２開口５４ｂとの交点５４ｄ（図４参照）に存在する状態において、ブラケット７５ａの内部から第２開口５４ｂに沿って移動を開始することができるとともに、第２開口５４ｂからブラケット７５ａの内部に入ることができるのである。
【００５５】
また、ブラケット７５ａは、その内部からリフターアーム５１が離脱しているときには、ストッパー７６ａおよびストッパー受け８０ａによって交点５４ｄに係止され、位置が規制されるように構成されている。具体的には、浸漬ロボット５０の一部としてアーム受け７７ａ、スプリング７８ａ、連結棒７９ａ、ストッパー７６ａおよびストッパー受け８０ａが設けられて、ブラケット７５ａの位置規制機能が実現されている。
【００５６】
アーム受け７７ａは、ブラケット７５ａの内部に設けられている。２本の連結棒７９ａはブラケット７５ａを貫通してストッパー７６ａとアーム受け７７ａとを連結している。また、アーム受け７７ａとブラケット７５ａとの間には、連結棒７９ａの周囲を巻くようにしてスプリング７８ａが設けられている。そして、交点５４ｄから見て第２開口５４ｂと反対側の側方には、ストッパー７６ａが嵌合可能な凹形状を有するストッパー受け８０ａが設けられている。
【００５７】
ブラケット７５ａの内部からリフターアーム５１が第２開口５４ｂに離脱した状態においては、スプリング７８ａの反発力によってアーム受け７７ａがブラケット７５ａの上記通過部に向けて押し上げられ、それに伴ってストッパー７６ａがストッパー受け８０ａに嵌合した状態となる（図６のブラケット７５ａの状態）。ストッパー７６ａがストッパー受け８０ａに嵌合することにより、ブラケット７５ａは第１開口５４ａと第２開口５４ｂとの交点５４ｄに係止されるのである。
【００５８】
一方、第２開口５４ｂを移動してきたリフターアーム５１がブラケット７５ａの内部に入ると、アーム受け７７ａがストッパー７６ａの側に向けて押し下げられ、それに伴ってストッパー７６ａがストッパー受け８０ａから離間した状態となる。ストッパー７６ａがストッパー受け８０ａから離間することにより、ブラケット７５ａの位置規制が解除されて移動自在となり、リフターアーム５１の昇降動作に連動してブラケット７５ａも第１開口５４ａに沿って昇降する（図６のブラケット７５ｂと同様の状態）。
【００５９】
第３開口５４ｃのシール機構７０は、上述した第１開口５４ａのシール機構７０と類似の構成を有している。これらの間における唯一の相違点は、ブラケット７５ｂの断面形状がブラケット７５ａの断面形状と鏡面対称となっている点であり、残余の点については同一である。
【００６０】
すなわち、ブラケット７５ｂは、その内部にリフターアーム５１が係合した状態で当該リフターアーム５１が昇降することにより、それに連動して第３開口５４ｃに沿って昇降する。
【００６１】
ブラケット７５ｂの上端には第３開口５４ｃ以上の幅を有する耐食性の帯状シール部材７１ｃが接続され、下端にも第３開口５４ｃ以上の幅を有する耐食性の帯状シール部材７１ｄが接続されている。帯状シール部材７１ｃは、その上端から巻架部７２ｃによって巻き取られ、帯状シール部材７１ｄは、その下端から巻架部７２ｄによって巻き取られるようにされている。また、巻架部７２ｃは第３開口５４ｃの上方に設けられ、巻架部７２ｄは第３開口５４ｃの下方に設けられている。さらに、巻架部７２ｃ、７２ｄのそれぞれは、バネ（図示省略）を有しており、帯状シール部材７１ｃ、７１ｄに張りを与えた状態で巻き取ることができる。帯状シール部材７１ｃ、７１ｄは、巻架部７２ｃ、７２ｄによって張りを与えられることにより、第３開口５４ｃに近接して遮蔽した状態を維持できるのである。
【００６２】
なお、巻架部７２ｃ、７２ｄは、ブラケット７５ｂに昇降動作を行わせる機能は有しておらず、あくまでも帯状シール部材７１ｃ、７１ｄに張りを与えるためのものである点は、上記巻架部７２ａ、７２ｂと同じである。また、巻架部７２ｃ、７２ｄはそれぞれカバー７３ｃ、７３ｄの内部に収納されており、カバー７３ｃ、７３ｄの内部において帯状シール部材７１ｃ、７１ｄを巻き取る。
【００６３】
ブラケット７５ｂの形状は四面のうち一面が開放された断面コの字形状であり、その開放された部分はリフターアーム５１が通過可能な通過部とされている。リフターアーム５１は、その通過部を通過することによって、ブラケット７５ｂの内部に係合することと、ブラケット７５ｂから離脱することとができる。そして、リフターアーム５１は、ブラケット７５ｂが第３開口５４ｃと第２開口５４ｂとの交点５４ｅ（図４参照）に存在する状態において、ブラケット７５ｂの内部から第２開口５４ｂに沿って移動を開始することができるとともに、第２開口５４ｂからブラケット７５ｂの内部に入ることができるのである。
【００６４】
また、ブラケット７５ｂは、その内部からリフターアーム５１が離脱しているときには、ストッパー７６ｂおよびストッパー受け８０ｂによって交点５４ｅに係止され、位置が規制されるように構成されている。具体的には、浸漬ロボット５０の一部としてアーム受け７７ｂ、スプリング７８ｂ、連結棒７９ｂ、ストッパー７６ｂおよびストッパー受け８０ｂが設けられて、ブラケット７５ｂの位置規制機能が実現されている。
【００６５】
アーム受け７７ｂは、ブラケット７５ｂの内部に設けられている。２本の連結棒７９ｂはブラケット７５ｂを貫通してストッパー７６ｂとアーム受け７７ｂとを連結している。また、アーム受け７７ｂとブラケット７５ｂとの間には、連結棒７９ｂの周囲を巻くようにしてスプリング７８ｂが設けられている。そして、交点５４ｅから見て第２開口５４ｂと反対側の側方には、ストッパー７６ｂが嵌合可能な凹形状を有するストッパー受け８０ｂが設けられている。
【００６６】
ブラケット７５ｂの内部からリフターアーム５１が第２開口５４ｂに離脱した状態においては、スプリング７８ｂの反発力によってアーム受け７７ｂがブラケット７５ｂの上記通過部に向けて押し上げられ、それに伴ってストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂに嵌合した状態となる。ストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂに嵌合することにより、ブラケット７５ｂは第３開口５４ｃと第２開口５４ｂとの交点５４ｅに係止されるのである。
【００６７】
一方、第２開口５４ｂを移動してきたリフターアーム５１がブラケット７５ｂの内部に入ると、アーム受け７７ｂがストッパー７６ｂの側に向けて押し下げられ、それに伴ってストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂから離間した状態となる。ストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂから離間することにより、ブラケット７５ｂの位置規制が解除されて移動自在となり、リフターアーム５１の昇降動作に連動してブラケット７５ｂも第３開口５４ｃに沿って昇降する。
【００６８】
以上のような構成を有する浸漬ロボット５０の動作について、薬液槽ＣＢ１に浸漬されている基板Ｗを水洗槽ＷＢ１に搬送する場合を例にして説明する。図７から図１０は、浸漬ロボット５０の動作を説明するための図である。
【００６９】
まず、薬液槽ＣＢ１における処理が終了すると、図７に示すように、アーム駆動機構５５がリフターアーム５１を上昇させ、それに連動してブラケット７５ａも上昇する。ブラケット７５ａが上昇すると、帯状シール部材７１ａが巻架部７２ａによって巻き取られる一方、帯状シール部材７１ｂは巻架部７２ｂから引き出されることとなる。このときに、帯状シール部材７１ａ、７１ｂはそれぞれ巻架部７２ａ、７２ｂによって張りを与えられているため、撓むことなく第１開口５４ａを遮蔽することができるのである。つまり、帯状シール部材７１ａ、７１ｂは、第１開口５４ａを遮蔽した状態を維持しつつブラケット７５ａの移動に連動するのである。
【００７０】
また、巻架部７２ａ、７２ｂのそれぞれは、カバー７３ａ、７３ｂの内部において帯状シール部材７１ａ、７１ｂを巻き取るため、帯状シール部材７１ａ、７１ｂに付着した前洗浄部４ａの薬液成分等がアーム駆動機構５５の側に漏れ出るおそれはない。
【００７１】
一方、このときにブラケット７５ｂは、ストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂに嵌合することにより、第３開口５４ｃと第２開口５４ｂとの交点５４ｅに係止されている。ブラケット７５ｂにリフターアーム５１が存在しない状態においては、当該ブラケット７５ｂの部分が開放状態となるのであるが、交点５４ｅは第３開口５４ｃの上端、すなわち前洗浄部４ａから最も離間した位置に設けられているため、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気との相互のリークは最小限に抑制される。
【００７２】
以上のように、この段階においては、第１開口５４ａは帯状シール部材７１ａ、７１ｂによって遮蔽されている。また、第２開口５４ｂはシャッター機構６０の遮蔽板６２によって遮蔽され、第３開口５４ｃは帯状シール部材７１ｄによって遮蔽されることにより、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気との遮断が達成されている。
【００７３】
次に、リフターアーム５１がさらに上昇し、図８に示すように第１開口５４ａと第２開口５４ｂとの交点５４ｄに到達すると、ブラケット７５ａの通過部が第２開口５４ｂと重なるようになる。この状態において、リフターアーム５１はブラケット７５ａの通過部を通過することによって、ブラケット７５ａから第２開口５４ｂに移動することができる。
【００７４】
このことは、すなわち、通過部を有する断面コの字形状のブラケット７５ａを介在させることによって、帯状シール部材７１ａ、７１ｂにより第１開口５４ａを遮蔽しつつ、第１開口５４ａの方向とは異なる方向にリフターアーム５１を移動させることを可能ならしめたことを意味する。
【００７５】
次に、図９に示す如く、リフターアーム５１が第２開口５４ｂに沿って、水洗槽ＷＢ１の上方へ（（−Ｘ）向きに）移動する。なお、このときには、シャッター機構６０のエアシリンダ６１が遮蔽板６２を降下させて、第２開口５４ｂを開放している。
【００７６】
また、ブラケット７５ａからリフターアーム５１が離脱したことにより、ストッパー７６ａがストッパー受け８０ａに嵌合した状態となる。ストッパー７６ａがストッパー受け８０ａに嵌合することにより、ブラケット７５ａは第１開口５４ａと第２開口５４ｂとの交点５４ｄに係止され、ブラケット７５ａが自重によって降下することはない。ブラケット７５ａからリフターアーム５１が離脱した状態においては、当該ブラケット７５ａの部分が開放状態となるのであるが、交点５４ｄは、第１開口５４ａにおける前洗浄部４ａから最も離間した位置に設けられているため、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気との相互のリークは最小限に抑制される。
【００７７】
この段階においては、第１開口５４ａは帯状シール部材７１ｂによって遮蔽され、第３開口５４ｃは帯状シール部材７１ｄによって遮蔽されている。また、第２開口５４ｂは開放した状態となるのであるが、第２開口５４ｂは他の開口と比較して前洗浄部４ａから離間した位置に設けられているため、雰囲気の漏れ最小限に抑制される。
【００７８】
やがて、リフターアーム５１は、第３開口５４ｃと第２開口５４ｂとの交点５４ｅに到達する。このときに、ブラケット７５ｂが第３開口５４ｃと第２開口５４ｂとの交点５４ｅに係止されているため、リフターアーム５１は円滑にブラケット７５ｂ内に入り込むことができる。
【００７９】
そして、図１０に示すように、リフターアーム５１がブラケット７５ｂ内に入り込むと、ストッパー７６ｂがストッパー受け８０ｂから離間した状態となり、ブラケット７５ｂの位置規制が解除される。
【００８０】
次に、リフターアーム５１が下降して基板Ｗを水洗槽ＷＢ１内に浸漬させ、それに連動してブラケット７５ｂも下降する（図６の状態）。ブラケット７５ｂが下降すると、帯状シール部材７１ｄが巻架部７２ｄによって巻き取られる一方、帯状シール部材７１ｃは巻架部７２ｃから引き出されることとなる。このときに、帯状シール部材７１ｃ、７１ｄはそれぞれ巻架部７２ｃ、７２ｄによって張りを与えられているため、撓むことなく第３開口５４ｃを遮蔽することができるのである。つまり、帯状シール部材７１ｃ、７１ｄは、第３開口５４ｃを遮蔽した状態を維持しつつブラケット７５ｂの移動に連動するのである。
【００８１】
また、巻架部７２ｃ、７２ｄのそれぞれは、カバー７３ｃ、７３ｄの内部において帯状シール部材７１ｃ、７１ｄを巻き取るため、帯状シール部材７１ｃ、７１ｄに付着した前洗浄部４ａの薬液成分等がアーム駆動機構５５の側に漏れ出るおそれはない。
【００８２】
以上のように、この段階においては、第３開口５４ｃは帯状シール部材７１ｃ、７１ｄによって遮蔽されている。また、第２開口５４ｂはシャッター機構６０の遮蔽板６２によって遮蔽され、第１開口５４ａは帯状シール部材７１ｂによって遮蔽されることにより、前洗浄部４ａの雰囲気とアーム駆動機構５５の雰囲気との遮断が達成されている。
【００８３】
なお、薬液槽ＣＢ２に浸漬されている基板Ｗを水洗槽ＷＢ２に搬送する場合の動作は上記と同じである。また、昇降台５２を水洗槽ＷＢ１から薬液槽ＣＢ１に移動させるときには、上記と逆の動作を行う。
【００８４】
＜３．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記実施形態においては、隔壁５３に「コの字形状」の開口部５４を設け、リフターアーム５１がその「コの字形状」に沿って移動するようにしていたが、これを以下のようにしてよい。
【００８５】
すなわち、図１１に示すように、開口部５４の形状を「Ｈ字型形状」としてもよく、さらには図１２に示すように、開口部５４の形状を「Ｌ字型形状」としてもよい。このような場合であっても、本発明に係る基板搬送装置を適用することにより上記と同様に、帯状シール部材によりある開口を遮蔽しつつ、その開口の方向とは異なる方向にリフターアーム５１を移動させることができる。
【００８６】
また、異なる開口は垂直に交わる場合に限定されるものではなく、図１３に示すような交叉状態であってもよい。この場合は、ブラケットの通過部の向きを交叉対象となる開口の方向に合わせることによって、上記と同様に、帯状シール部材によりある開口を遮蔽しつつ、その開口の方向とは異なる方向にリフターアーム５１を移動させることができる。
【００８７】
また、交叉する開口は２つに限定されるものではなく、図１４に示すように３つ以上であってもよい。この場合は、ブラケットの通過部の向きを交叉対象となる複数の開口のそれぞれの方向に合わせることによって、上記と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
換言すれば、本発明に係る基板搬送装置は、２以上の開口が交叉する開口部５４であれば、その交叉角度や本数によらず、適用可能であり、ブラケットの通過部の向きを開口の形態に応じて適宜変更することにより、帯状シール部材によって開口を遮蔽しつつ、２以上の方向にリフターアーム５１を移動させることができるのである。
【００８９】
また、上記実施形態においては、巻架部７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄをバネによって帯状シール部材７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄを巻き取らせるものとしていたが、これをモータ等によって巻き取らせるようにしてもよい。但し、モータのトルクは、リフターアーム５１の昇降を阻害せず、帯状シール部材７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄに張りを与える程度のものとする必要がある。
【００９０】
さらに、帯状シール部材７１ａと帯状シール部材７１ｂと（または帯状シール部材７１ｃと帯状シール部材７１ｄと）をアーム駆動機構５５側において繋ぎ、１つのループ状の帯状シール部材としてもよい。もっとも、上記実施形態のようにした方が、帯状シール部材７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄに付着した薬液成分等がアーム駆動機構５５の側に漏れ出るのをカバー７３ａ、７３ｂ、７３ｃ、７３ｄによって効果的に抑制することができる。
【００９１】
【発明の効果】
【００９２】
また、請求項１の発明によれば、支持アームと係合して第１開口に沿って移動可能に設けられ、第１開口と第２開口との交点において第２の方向に支持アームが通過できる通過部を有するブラケットと、第１の方向におけるブラケットの両端に接続され、第１開口を遮蔽した状態を維持しつつブラケットの移動に連動する帯状シール部材と、を備えているため、帯状シール部材によって第１開口を遮蔽しつつ、ブラケットの通過部を通過させることによって支持アームを第２開口に移動できることとなり、２以上の方向に支持アームを移動させることができる。
【００９３】
また、請求項２の発明によれば、帯状シール部材に、第１の方向におけるブラケットの一端に接続された第１帯状シール部材と、ブラケットの他端に接続された第２帯状シール部材と、を含ませ、当該一端側における第１開口外の位置に設けられ、第１帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、当該他端側における第１開口外の位置に設けられ、第２帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、を備えているため、請求項１の発明と同様の効果を得ることができる。
【００９４】
また、請求項３の発明によれば、支持アームがブラケットと係合しているときにはブラケットを第１開口に沿って移動自在とし、支持アームがブラケットから離脱しているときにはブラケットを交点に係止させる位置規制手段を備えているため、支持アームが第２開口から第１開口へ移動するときにはブラケットがその交点に係止されており、支持アームが円滑にブラケットと係合することができる。
【００９５】
また、請求項４の発明によれば、支持アームと係合して第１開口に沿って移動可能に設けられ、第１開口と第２開口との第１の交点において第２の方向に支持アームが通過できる通過部を有する第１ブラケットと、第１の方向における第１ブラケットの両端に接続され、第１開口を遮蔽した状態を維持しつつ第１ブラケットの移動に連動する第１帯状シール部材と、支持アームと係合して第３開口に沿って移動可能に設けられ、第３開口と第２開口との第２の交点において第２の方向に支持アームが通過できる通過部を有する第２ブラケットと、第１の方向における第２ブラケットの両端に接続され、第３開口を遮蔽した状態を維持しつつ第２ブラケットの移動に連動する第２帯状シール部材と、支持アームが第１開口または第３開口に存在しているときに第２開口を遮蔽するシャッターと、を備えているため、シール部材とシャッターとによって開口を遮蔽して処理部の雰囲気と駆動部の雰囲気とを遮断しつつ、ブラケットによって２以上の方向に支持アームを移動させることができる。
【００９６】
また、請求項５の発明によれば、第１帯状シール部材に、第１の方向における第１ブラケットの一端に接続された第３帯状シール部材と、第１ブラケットの他端に接続された第４帯状シール部材と、を含ませ、第２帯状シール部材に、第１の方向における第２ブラケットの一端に接続された第５帯状シール部材と、第２ブラケットの他端に接続された第６帯状シール部材と、を含ませ、第１ブラケットの上記一端側における第１開口外の位置に設けられ、第３帯状シール部材を巻架する第１巻架部と、第１ブラケットの上記他端側における第１開口外の位置に設けられ、第４帯状シール部材を巻架する第２巻架部と、第２ブラケットの上記一端側における第３開口外の位置に設けられ、第５帯状シール部材を巻架する第３巻架部と、第２ブラケットの上記他端側における第３開口外の位置に設けられ、第６帯状シール部材を巻架する第４巻架部と、を備えているため、請求項４と同様の効果を得ることができる。
【００９７】
また、請求項６の発明によれば、支持アームが第１ブラケットと係合しているときには第１ブラケットを第１開口に沿って移動自在とし、支持アームが第１ブラケットから離脱しているときには第１ブラケットを第１の交点に係止させる第１位置規制手段と、支持アームが第２ブラケットと係合しているときには第２ブラケットを第３開口に沿って移動自在とし、支持アームが第２ブラケットから離脱しているときには第２ブラケットを第２の交点に係止させる第２位置規制手段と、を備えているため、支持アームが第２開口から第１開口または第３開口へ移動するときにはブラケットがその交点に係止されており、支持アームが円滑にブラケットと係合することができる。
【００９８】
また、請求項７の発明によれば、第１の交点が第１開口における処理部から最も離間した位置に設けられ、第２の交点が第３開口における処理部から最も離間した位置に設けられているため、第１の交点または第２の交点に係止されているブラケットにおける処理部の雰囲気の通過を最小限に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理装置の全体を示す斜視図である。
【図２】  (a)および(b)は図１の突上機構と水平移動ロボットとの基板の受渡動作を示す図である。
【図３】浸漬ロボットを示す斜視図である。
【図４】隔壁および開口部の正面図である。
【図５】図３のアーム駆動機構の概略構成を示す図である。
【図６】浸漬ロボットのシャッター機構およびシール機構の構成を示す図である。
【図７】浸漬ロボットの動作を説明するための図である。
【図８】浸漬ロボットの動作を説明するための図である。
【図９】浸漬ロボットの動作を説明するための図である。
【図１０】浸漬ロボットの動作を説明するための図である。
【図１１】開口部５４の他の形状を示す図である。
【図１２】開口部５４の他の形状を示す図である。
【図１３】開口部５４の他の形状を示す図である。
【図１４】開口部５４の他の形状を示す図である。
【符号の説明】
１  基板処理装置
４ａ  前処理部
４ｂ  後処理部
５０  浸漬ロボット
５１  リフターアーム
５２  昇降台
５３  隔壁
５４  開口部
５４ａ  第１開口
５４ｂ  第２開口
５４ｃ  第３開口
５５  アーム駆動機構
６０  シャッター機構
６２  遮蔽板
７０  シール機構
７１ａ、７１ｂ、７１ｃ、７１ｄ  帯状シール部材
７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄ  巻架部
７５ａ、７５ｂ  ブラケット
７６ａ、７６ｂ  ストッパー
８０ａ、８０ｂ  ストッパー受け
ＣＢ１、ＣＢ２  薬液槽
ＷＢ１、ＷＢ２  水洗槽
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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