(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジルコニア質焼結球体をジルコニア系スラリーを使用してセッター上面に接着させる焼成用セッターにおいて、そのジルコニア質焼結球体の平均粒径（直径）が、０．０２５ｍｍより大きく、かつ、焼成物がセッターと接触する面の長さの最小値より小さく、焼結密度が理論密度の９０％以上であり、真球度が０．８以上であることを特徴とする焼成用セッター。
【請求項２】
請求項１に記載の焼成用セッターを用いる焼成方法において、１０００〜１６００℃の温度で焼成することを特徴とする焼成方法。
【請求項３】
請求項１に記載の焼成用セッターを用いて電子材料部品を焼成する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子材料部品などを焼成する際に用いられるセッターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
積層コンデンサ、高電圧コンデンサなどを含むセラミックコンデンサ、圧電セラミックスなどの圧電材料、マイクロ波誘電体、積層ＬＣ複合チップ、ＳＡＷフィルタなどの高周波部品、半導体コンデンサ、ＰＴＣサーミスタ、ＮＴＣサーミスタ、セラミックバリスタ、セラミックセンサーなどの半導体セラミックスの原料としてチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＴｉＯ3）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ3）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）、稀土類酸化物、ガラス材料などの酸化物あるいはこれらの複合物が用いられている。
【０００３】
このような電子部品は、一般に、これらの原料を調合し、成形し、焼成用セッターにのせ、８００〜１４００℃で焼成することで、セラミックス素体をつくり、この素体へ電極を形成させることで素子がつくられ、最終的に組み立てることで部品となっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これら各種コンデンサやセンサーなど電子材料部品を焼成する際は、一般にアルミナやムライトなどの酸化物系のセッターが使用されている。しかし、コンデンサの主原料であるＢａＴｉＯ3のＢａやＰｂＺｒＴｉＯ3のＰｂがアルミナと反応汚染され、電気特性が低下したり、ガラス成分の溶融温度に近いところで焼成した場合、ガラス成分が溶融し、セッターと焼成物が接着するなど問題が生じていた。
【０００５】
そこで、セッターと焼成物の反応あるいは接着を防止するため、セッターの上に敷粉として、ＢａＴｉＯ3などと反応しないジルコニア粉末を置き、焼成する方法が行われている。しかし、この方法においては、焼成物表面にジルコニア粉末が凝集、あるいは付着するため、その粉末の除去作業が生じる。また、焼成温度が高くなると、粉末同士が接着するため、敷粉としての再利用が難しく、産業廃棄物として処理する必要がある。
【０００６】
近年、コンデンサなどが多く使用されているＡＶ機器、ＯＡ機器、家電製品などの小型化や軽量化が求められ、電子材料部品の小型化も進んでおり、焼成時における焼成物とセッターの接触による焼成物の汚染、あるいは焼成物とセッターの接着による不良品の発生が、産業廃棄物の処理を含めて重要な問題となっている。
【０００７】
これらの問題を解消する方法として、球状のジルコニア焼結体をセッターの上に敷き、焼成する方法が有効であるが、焼成物より敷粉となる焼結球体のサイズが大きいと、焼成物を回収する際に手間取ったり、セッター上面が凹状でないと敷粉がこぼれるなどの問題が発生している。
【０００８】
また、ジルコニア以外の酸化物系セッターの上に、高純度ジルコニアを溶射したもの、あるいはジルコニアセッターが検討されているが、汚染防止の面は解消されるが、焼成温度が高温になるほど、セッターと焼成物の接着という問題は残されている。
【０００９】
本発明は、これらの問題の解決された、耐熱性がよく、焼成物との接触面が、ジルコニア質のため、焼成物が反応汚染されることなく、セッター表面が球状のため、焼成物とセッターが点接触であり、焼成温度が高くなっても、焼成物とセッターが接着することがなく、焼結球体がセッターと接着しているため、焼成物の回収が容易である焼成用セッターの提供を目的とするものである。また、本発明は、この焼成用セッターを使用する焼成方法も提供する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ジルコニア質焼結球体をジルコニア系スラリーを使用してセッター上面に接着させる焼成用セッターにおいて、そのジルコニア質焼結球体の平均粒径（直径）が、０．０２５ｍｍより大きく、かつ、焼成物がセッターと接触する面の長さの最小値より小さく、焼結密度が理論密度の９０％以上であり、真球度が０．８以上であることを特徴とする焼成用セッター、更に、その焼成用セッターを用いる焼成方法において、１０００〜１６００℃の温度で焼成することを特徴とする焼成方法及びその焼成用セッターを用いて電子材料部品を焼成する方法を要旨とするものである。
【００１１】
以下に、本発明の焼成用セッターが、充足すべき要件について、詳細に説明する。
【００１２】
（ａ）焼結球体の粒度
セッター上に接着させる焼結球体の平均粒径は、０．０２５ｍｍより大きく、焼成物がセッターと接触する面の長さの最小値より小さい範囲がよい。焼結球体の「平均粒径」とは、ＪＩＳ  Ｒ  ６００２に基く試験方法により、平均粒度を測定したものをいい、その値は、０．０２５ｍｍより大きく、焼成物がセッターと接触する面の長さの最小値より小さい範囲であればよい。この最小値より粒径が大きくなると、焼成物の大きさよりセッター上面の凹凸差、あるいは焼結球体間の距離が大きくなり、点接触の効果が減少する。
【００１３】
一方、粒径が小さい方が、点接触の効果はあるが、あまり小さいとセッター上面の凹凸差が、平面と遜色なくなるので、逆に点接触の効果がなくなる。特に、０．０２５ｍｍより小さいと、焼成温度が高くなるほど、焼成物とセッターが接着する可能性がある。
【００１４】
このため焼成物の形状によって、セッター上に接着させる焼結球体の粒径や分布の調整は必要である。
【００１５】
（ｂ）焼結球体の焼結密度
焼結球体の焼結密度は、理論密度の９０％以上がよい。対理論密度が９０％より小さいと、焼成物とセッター上に接着した焼結球体が接着してしまう。好ましくは、対理論密度が９５％以上がよい。尚、『焼結体密度』は、ＪＩＳ  Ｒ  ６１２５の人造研削材の比重の測定方法により求めた。
【００１６】
ジルコニア質焼結体の安定化剤として、ＭｇＯ、ＣａＯ、Ｙ2Ｏ3、ＣｅＯ2などの稀土類酸化物が多く使用されているが、セッター上に接着させる焼結球体として使用する場合、熱的に安定であればよく、特に安定化剤を限定する必要はない。例えば、Ｙ2Ｏ3であれば、Ｙ2Ｏ3／ＺｒＯ2のモル比で１．５／９８．５以上であることが好ましい。１．５／９８．５未満であれば単斜晶系ジルコニアが多くなり、転移により耐熱衝撃性の弱い焼結球体となり、使用できない。  また、安定化剤および不可避成分以外に、耐熱性の向上などのために、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2などの酸化物あるいはこれらの化合物を共存させてもよい。これらは、ジルコニアより融点の低いものがよく、焼成時に焼成物と反応あるいは接着しなければ、含有量を限定する必要はないが、ジルコニアと安定化剤との合計に対し、０．０５〜１０質量％の範囲内で用いることが好ましい。
【００１７】
（ｃ）焼結球体の真球度
セッター上面に接着させる焼結球体の形状は、真球に近いことが好ましく、焼結球体の任意の１０個以上の投影断面から、次式の平均により求められた真球度が０．８以上であることが望ましい。真球度を０．８以上にすることにより、焼成物との点接触が確実となり、焼成物と接着しにくいセッターとなる。
【００１８】
真球度（真球＝１）＝（断面の最小直径）／（断面の最大直径）
（ｄ）焼結球体の接着方法
得られたジルコニア質焼結球体をアルミナ、ムライト、ジルコニアなどの酸化物系セッターの上面に接着させる方法としては、セラミックス同士あるいはセラミックスと金属を接着させる方法を用いる。
【００１９】
一般的には、有機系接着剤による接着法、アルカリケイ酸塩やリン酸塩などの結合剤や結合剤と硬化剤にシリカ、ムライト、アルミナ、ジルコニアなどの耐火性の粉末を充填材として加えた無機系接着剤による接着法、銀あるいは白金ペーストによる焼付け法、Ｍｎを含むＭｏ粉末を塗布し、加湿した水素雰囲気中で加熱したり、銅化合物を含む混合物を空気中で加熱し接着させるなどのメタライズ法、Ｔｉ−Ｎｉ−Ａｇ系、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ系、Ｔｉ−Ｃｕ−Ａｇ系、Ｚｒ−Ｎｉ系などの金属系のロウ材により接着させる活性金属法、ＰｂＯ−ＺｎＯ−ＳｉＯ２系、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ２Ｏ３系などの低融ガラスあるいはＡｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｒＯ２などの酸化物系のロウ材により接着させる方法、マイクロ波などにより溶融接着させる方法、加圧により固相接着させる方法などがあるが、焼成温度や焼成物の組成から、接着剤の再溶融、接着剤として用いる物質と焼成物の反応や汚染を考慮し、接着方法を選択することが好ましく、本願発明においては、ジルコニア系スラリーを接着剤として使用する。 また、接着力を向上させるためセッター表面を粗面化してもよい。
【００２０】
以下、本発明のジルコニア質焼結球体が接着されたセッターの製造法を説明する。
【００２１】
本発明に用いられるジルコニア質焼結球体は、加水分解法、中和共沈法、加水分解−中和法、アルコキシド法などによるジルコニア質粉末の製造において中間体として得られるジルコニアゾルと噴霧造粒法などの造粒乾燥方法；電融法、加水分解法、中和共沈法、加水分解−中和法、水熱酸化法、熱分解法、アルコキシド法などによって得られたジルコニア質粉末と転動造粒法、押出造粒法、圧縮造粒法、攪拌造粒法、液中造粒法などの造粒方法；該ジルコニア質粉末スラリーと噴霧造粒法などの造粒乾燥方法との組合せによって製造することができる。
【００２２】
粉末や造粒体の製法に限定する必要はないが、焼成物の大きさや焼成温度に適した焼結球体を得るためには、各種粉末製造法で得られたジルコニア粉末の特性に適応した造粒方法を選択する必要がある。
【００２３】
０．１ｍｍより小さい焼結球体を得る方法は、スプレードライヤーを用いる噴霧造粒法が好ましい。例えば、安定化剤を含まないジルコニア粉末に、安定化剤であるイットリア粉末を加え、これを湿式で粉砕してスラリーを得、５００ｃＰ以上に粘度調整後、大気中で回転ディスク式の噴霧乾燥装置を用いて造粒乾燥させ、得られた造粒体を希望するサイズに分級後、この造粒体を１３００〜１６００℃で焼成することにより、ジルコニア質焼結球体を得る。
【００２４】
０．１ｍｍより大きい焼結球体を得る方法は、転動造粒法、攪拌造粒法、液中造粒法が好ましい。転動造粒法や攪拌造粒法は、例えば、０．１ｍｍ程度のジルコニア質造粒体を核とし、水などをバインダ−として、安定化剤を含むジルコニア粉末を加えながら、造粒機内で転動あるいは攪拌により着肉成長させ、目的とする球体に造粒する。次に得られた造粒体を１００〜２００℃で乾燥させ、希望するサイズに分級後、１３００〜１６００℃で焼成することにより、ジルコニア質焼結球体を得る。
【００２５】
液中造粒法は、例えば、水などを液相とした攪拌槽に、噴霧造粒法により分級して得た０．０５３〜０．０９ｍｍのジルコニア質造粒体を核として入れ、安定化剤を含むジルコニアスラリーを加えながら、槽内で攪拌により着肉成長させ、目的とする球体に造粒する。次に得られた造粒体を１００〜２００℃で乾燥させ、希望するサイズに分級後、１３００〜１６００℃で焼成することにより、ジルコニア質焼結球体を得る。
【００２６】
焼成用セッターと焼結球体を接着させるのに最も好ましい接着方法は、焼結された酸化物系セッターの上に、ジルコニアを主成分とするスラリーを塗布し、焼結されたジルコニア質球体を接着させ、硬化あるいは焼結させることで、セッターと接着させる方法である。このセッターであれば、１０００〜１６００℃の高温領域でも、接着剤が再溶融することがなく、熱的に安定で、焼成物と反応することもなく、また、セッターから焼結球体が剥離することもないので、焼成物の回収も容易である。
【００２７】
【発明の効果】
以上の如く、本発明の焼成用セッターは、耐熱性がよく、焼成物とセッターの接触面が、ジルコニア質のため、焼成物が反応汚染されることなく、セッター表面が球状のため、焼成物とセッターが点接触であり、焼成温度が高くなっても、焼成物とセッターが接着することがなく、焼結球体が、セッターと接着しているため、焼成物の回収が容易である。
【００２８】
このセッターを用いることで、ＢａＴｉＯ3やＰｂＺｒＴｉＯ3などで成形されたコンデンサやセンサーなどの電子部品を焼成させる工程において、焼成物とセッターが反応し汚染したり、焼成温度が高くなっても、焼成物とセッターが接着したり、ジルコニア質焼結球体とセッターを接着した接着剤が、溶融することもないので、焼結球体が剥離することがなく、焼成物の回収が容易となる。また、敷粉を用いないので、産業廃棄物の問題もない。
【００２９】
この焼成用セッターを用いれば、焼成物の小型化に伴うセッターとの接着防止、あるいは焼成温度の高温化に伴う接着防止など、製造条件に関する厳しい要求に対応することができる。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明を実施例および比較例により具体的に説明する。
【００３２】
実施例１
市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３Ｙ（噴霧乾燥品）をスラリー濃度６５質量％となるように水を加えて、１０ｍｍφジルコニアボールの投入された振動ボールミルで４時間分散させて、ジルコニア粉末スラリーを１１００ｇ得た。次に市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３Ｙを目開き０．０６３ｍｍおよび０．１０６ｍｍの篩で分級し、この範囲内のもの７００ｇ得た。次に、市販の１０リットルの樹脂製ビーカーに水を３７７ｇ入れ、攪拌機で攪拌しながら、アンモニア水を添加して、ｐＨを９〜９．５に調整し、前記のジルコニア粉末７００ｇを核として入れた分散スラリーを調整した。次に、該分散スラリーのｐＨを９〜９．５に保ちながら、前記のジルコニア粉末スラリー１１００ｇを定量ポンプを用いて連続的に添加し、核に着肉成長させた造粒体とした。スラリーの添加が終了した時点で、中央理化工業（株）製のセラミックスバインダーＳＡ−２６０をジルコニア粉末量に対して０．５質量％添加し、攪拌停止後、造粒体を静定分離し、１００℃で乾燥した。更に乾燥造粒体を目開き０．０９ｍｍおよび０．１２５ｍｍの篩で分級し、この範囲のものを大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、更に、目開き０．０７５ｍｍおよび０．１０ｍｍの篩で分級して、平均粒径０．０９ｍｍのジルコニア質焼結球体を得た。更に、平状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、前記のジルコニア粉末スラリーをスプレー塗布し、該ジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００３３】
実施例２
市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＢ（噴霧乾燥品）を目開き０．０５３ｍｍおよび０．１０６ｍｍの篩で分級し、この範囲内のもの２００ｇ得た。次に、０．５リットルの樹脂製ビーカーに前記粉末２００ｇを核として投入し、周速２．５ｍ／秒で攪拌しながら、注射器の針の先端から、バインダーを水として少量添加し、更に、市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＳ−Ｔを少量づつ添加した。粉末の添加量が２００ｇになるまで、水の添加と粉末の添加操作を繰り返した。ここで、ビーカー内の造粒体を２００ｇ抜き出し、更に、水と粉末２００ｇ（ＴＺ−３ＹＳ−Ｔ）を交互に添加した。抜き出し作業を２回行った後、最終の造粒操作を行い、目開き０．２ｍｍおよび０．３ｍｍの篩で分級し、この範囲内のものを大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、更に、目開き０．１５ｍｍおよび０．２５ｍｍの篩で分級して、平均粒径０．２１２ｍｍのジルコニア質焼結球体を得た。更に、平板状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、実施例１のジルコニア粉末スラリーをスプレー塗布し、該ジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００３４】
実施例３
球形整粒機（不二パウダル（株）製マルメライザーＱＪ−４００型）を用いて直径４００ｍｍの回転円盤を周速８ｍ／秒で回転させ、実施例２で得た、目開き０．２ｍｍおよび０．３ｍｍの篩で分級した造粒体を核として投入し、水をバインダーとして、市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＳ−Ｔを水と交互に少量づつ添加して、着肉造粒させ、目開きＯ．８５ｍｍおよび１．０ｍｍの篩で分級し、この範囲内のものを大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、更に、目開き０．６ｍｍおよび０．８５ｍｍの篩で分級して、平均粒径０．７１ｍｍのジルコニア質焼結球体を得た。更に、市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＢ（噴霧乾燥品）１００ｇを大きさ１８０ｍｍ×１８０ｍｍの金型にいれ、３００ｋｇ／ｃｍ２の圧力でプレス成形し、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、平板状のジルコニア質セッター（１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×厚さ１ｍｍ）を得た。該セッターの上に、実施例１のジルコニア粉末スラリーをハケ塗りし、該ジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００３６】
比較例１
市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３Ｙ（噴霧乾燥品）を目開き０．０３８ｍｍおよび０．１２５ｍｍの篩で分級し、平均粒径０．０５３ｍｍのジルコニア質成形球体を得、更に、平板状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、朝日化学工業（株）製無機質接着剤スミセラムＳ−３０１（主成分ジルコニア）をスプレー塗布し、該ジルコニア質焼結球体を接着させた後、大気雰囲気下で乾燥機により、１５０℃、保持１時間の条件で硬化接着させ、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００３７】
しかし、焼結体密度が低いため、チタン酸バリウムからなる焼結体とセッターが接着した。また、成形球体が収縮し、球体間に隙間が開いた。
【００３８】
比較例２
市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＢ（噴霧乾燥品）２００ｇを０．５リットルの樹脂製ビーカーに核として投入し、周速２．５ｍ／秒で攪拌しながら、注射器の針の先端から、バインダーを水として少量添加し、更に、市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３Ｙを少量づつ添加した。粉末の添加量が２００ｇになるまで、水の添加と粉末の添加操作を繰り返した。ここで、ビーカー内の造粒体を２００ｇ抜き出し、更に、水と粉末２００ｇ（ＴＺ−３Ｙ）を交互に添加した。抜き出し作業を２回行った後、最終の造粒操作を行い、目開き０．２ｍｍおよび０．３ｍｍの篩で分級し、この範囲内のものを大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、更に、目開き０．１５ｍｍおよび０．２５ｍｍの篩で分級して、平均粒径０．２ｍｍのジルコニア質焼結球体を得た。更に、平板状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、実施例２のジルコニア粉末スラリーをスプレー塗布し、該ジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００３９】
しかし、焼結球体の真球度が悪いため、一部、チタン酸バリウムからなる焼結体とセッターが接着した。
【００４０】
比較例３
平板状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、日本フェロー（株）製フリット（主成分Ｓｉ−Ｂ−Ｎａ）を塗布し、実施例３で得た、平均粒径０．２１２ｍｍのジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、７００℃、保持２時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００４１】
しかし、接着剤が再溶融し、一部、チタン酸バリウムからなる焼結体とセッターが接着した。
【００４２】
比較例４
実施例４と同じ製法で、実施例３で得た、目開き０．２ｍｍおよび０．３ｍｍの篩で分級した造粒体を核として投入し、水をバインダーとして、市販の東ソー（株）製ジルコニア粉末ＴＺ−３ＹＳ−Ｔを水と交互に少量づつ添加して、着肉造粒させ、目開き２．３６ｍｍおよび３．３５ｍｍの篩で分級し、この範囲内のものを大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、更に、目開き１．７ｍｍおよび２．３６ｍｍの篩で分級して、平均粒径２．０ｍｍのジルコニア質焼結球体を得た。更に、平板状のアルミナセッター（１００ｍｍ×１００ｍｍ×厚さ１ｍｍ）の上に、実施例２のジルコニア粉末スラリーをスプレー塗布し、該ジルコニア質焼結球体を接着させ、大気雰囲気下で電気炉により、１５００℃、保持４時間の条件で焼成し、焼成用セッターを得た。このセッターに、チタン酸バリウムからなる接触面の長さ２ｍｍ×１ｍｍの成形体を１０個載せ、大気雰囲気下で電気炉により、１３３０℃、保持２時間の条件で焼成した。
【００４３】
しかし、焼成物よりセッター上面の凹凸差が大きく、一部、チタン酸バリウムからなる焼結体とセッターが接着した。また、焼成物の回収に手間取った。
【００４４】
以上の実施例１〜５及び比較例１〜４で得られた焼結球体の特性を表１に、焼成テストの結果を表２に示す。
【００４５】
【表１】
0003915130.tif 000002
【００４６】
【表２】
0003915130.tif 000003