(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなることを特徴とするクリーンルームの内装システム。
【請求項２】
前記電磁波遮蔽プレートはガルバリウム鋼板であることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの内装システム。
【請求項３】
前記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに固定する間隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波数に基づいた長さ以下に設定してなることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの内装システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム内装システムに係り、特にクリーンルーム構築パネルの結合部や建築壁の仕上げ材との結合部での電磁波遮蔽効果を確実にすることができるクリーンルーム内装システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、クリーンルームはその建屋全体が電磁的なシールド効果を持つことが重要となっている。この電磁シールド機能を持たせることによって、外部から到来する電磁波を内部に取り込まず、また、内部で発生した電磁波を外部に漏洩させない。したがって、電磁波による悪影響がクリーンルーム内での精密加工に及ぶことを防止し、また外部周辺環境に及ぶことを回避できる。このため、クリーンルームの天井パネルや壁面パネルに電磁波シールド材料を使用し、これによって電波暗室を形成させるようにしている。
【０００３】
例えば、特開平１０−１０２６２４号公報には、クリーンルームを構成する天井面や側壁面、あるいは床面を、パーマロイパネルや導電性材料からなる積層材を用いて形成し、電磁波シールドをなすようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のクリーンルーム構造では、導電性体材料により形成されるパネル材を天井や壁面、あるいは床材に用いたものであるが、パネル同士の接合部分には支柱を用いて導電性体同士を突き当て接合したり、面接合したりして連結するような構成を採用している。
【０００５】
しかし、導電性体を貼り付けたパネルを突き当てて面接合しても電子的にみれば表面が凹凸となっており単に導電性材料同士が触っているだけの構造となって、電気回路を構成していないものとなっていた。これにより、目的とする電磁波の遮蔽機能が発揮されず、いわんや電波暗室を実質的に構成しているとはいえないものであった。特に、クリーンルームには清浄空気を室内に供給するためのファンフィルタユニットが装備されるので、その振動がパネル接合部に作用してもともと電気的な接合が不十分であったところに、振動作用が電気的接合の乖離作用を助長してしまう問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、クリーンルームを内装パネルにより構築する際に、パネル間の接合部分での電気的な接続を確実に行うことができるようにしたクリーンルームの内装システムを提供することを目的とする。また、特に遮蔽目的とする電磁波の周波数帯に対して確実に遮蔽をなすことができるようにしたクリーンルームの内装システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルームの内装システムは、クリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなることを特徴とするものである。
【０００８】
この場合において、前記電磁波遮蔽プレートはガルバリウム鋼板であることが望ましい。また、前記電磁波遮蔽プレートを他の電磁波遮蔽プレートに結合固定する間隔をシールドすべき電磁波を中心とする周波数に基づいた長さ以下に設定するようにすればよい。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るクリーンルームの内装システムにつき、その具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１に実施形態にかかるクリーンルーム内装システムの概念構成図、図２に同システムの内装構造を示す斜視図である。実施形態に係るクリーンルーム１０は、まず、図２に示しているように、クリーンルーム１０はアルミダイキャスト製のグレーチング床パネル１２を有し、このグレーチング床１２に側壁パネル１４を建て込み、アルミ格子天井１６によって天井を覆うようにしている。アルミ格子天井１６には、多数の矩形の格子窓が形成されており、これにファンフィルタユニットや閉止天井パネル、あるいは内外の気圧差によって開閉される半閉止天井パネルを取り付けることにより、室内外を遮蔽する天井部１８が形成される。
【００１０】
このような床パネル１２、側壁パネル１４、天井部１８によって形成されるクリーンルーム１０はパネル同士をビス結合することによって剛体構造となすとともに、図１に示しているように、建築壁２０によって形成された空間内にばね部材２２を一定の間隔を置いて配置することによって、建築壁２０からクリーンルーム剛体を浮上支持させ、かつ導電接続して接地し、電磁波遮蔽機能を発揮させるように構成している。すなわち、建築壁２０の内面にガルバリウム鋼板２４を貼り付け、これを接地してアースを取っている。パネル結合によって構築されたクリーンルーム１０は同じくガルバリウム鋼板２４を貼り付けてパネル間を導電結合し、クリーンルーム１０と建築壁２０の間にＶ字型の導電材料のばね部材２２を介在させているのである。このばね部材２２の配置間隔はシールドする電磁波の周波数に応じて決定している。すなわち、シールドする電磁波の周波数を例えば１００ＭＨｚとした所定のバンド幅を対象とする場合には、３倍周波数である３００ＭＨｚとターゲット周波数とし、３００ＭＨｚの波長は１ｍであるため、ばね部材２２の配設間隔は最大１ｍまで許容できる。波の１サイクルを考慮すると１／２波長である５０ｃｍ以下の配置間隔とするように構成している。これにより、周波数１００ＭＨｚの電磁波はクリーンルーム１０のパネル面で遮断され、外部から室内に到来せず、逆に室内から外部に漏洩することがない。
【００１１】
このようなパネル構造によって構築されるクリーンルーム１０であるが、図３以下に示した詳細構成図のように、各パネル１２、１４同士、および天井格子１６のアルミフレーム２６と側壁パネル１４との突合せ部分には、エラストマからなる防振パッキン２８を介在させて接合させておき、振動が伝達されることを遮断するようにしている。実施形態では、この防振パッキン２８により電気的に分断された箇所を導電性材料からなる電磁波シールドプレート３０により跨いで電気的に接続し、電磁波シールド機能を持たせるようにしている。電磁波シールドプレート３０は、ガルバリウム鋼板を用いている。このとき、電磁波シールドプレート３０をパネル要素にビス止めによって結合するが、使用するビス３２の打ち込み間隔は、前述したばね部材２２の配置間隔と同様に決定される。すなわち、シールドする電磁波の周波数を例えば１００ＭＨｚとした所定のバンド幅を対象とする場合には、３倍周波数である３００ＭＨｚとターゲット周波数とし、３００ＭＨｚの波長は１ｍであるため、ビス３２の打ち込み間隔は最大１ｍまで許容できる。波の１サイクルを考慮すると１／２波長である５０ｃｍ以下のビス打ち込み間隔とするように構成している。これにより、周波数１００ＭＨｚの電磁波はクリーンルーム１０のパネル面で遮断され、外部から室内に到来せず、逆に室内から外部に漏洩することがない。
【００１２】
以下に、具体的構成について説明する。図３は天井パネルを構成するアルミフレーム２６と側壁パネル１４との結合部分の分解斜視図と縦断面図を示している。逆Ｔ状のアルミフレーム２６と側壁パネル１４との突合せ面には防振パッキン２８としてのエラストマを介在して突き合わせている。側壁パネル１４の上縁部には逆Ｕ字型の天井レール３４が取り付けられるが、この天井レール３４に側壁パネル１４が嵌入した構成となっている。前記防振パッキン２８により天井部１８と側壁パネル１４は電気的に分断されることになるが、実施形態では、前記防振パッキン２８を挟んで対峙している天井レール３４と天井アルミフレーム２６とを導電性のある電磁波シールドプレート３０を跨いで配置し、両者をビス３２にて締結固定している。電磁波シールドプレート３０はガルバリウム鋼板であり、ビス３２はＳＵＳ材料から構成されている。ビス３２の打ち込み間隔は前述したとおり、遮蔽周波数により決定される間隔で打ち込まれる。これによりビス３２の打ち込み部分での導電接合は確保されるので、電磁波シールド機能を確保することができる。
【００１３】
図４は側壁パネル１４のパネル要素間の結合構造を示している。側壁パネル１４は複数の要素パネル３８を用いて接合することでひとつの壁を構築するが、要素パネル３８同士の突合せ部分に介在するパネル接続部材４０により分断された接合面をガルバリウム鋼板からなる電磁波シールドプレート３０を跨いで配置し、ビス３２により止めている。ビス間隔は図３の場合と同様である。
【００１４】
図５は側壁パネル１４と床パネル１２との接続部構造を示している。床パネル１２には床レール４２が固定され、これに側壁パネル１４の下部に固定した巾木４４が嵌合される。巾木４４と側壁パネル１４との接合部分にエラストマからなるパッキン４６が介在され、これを跨いで電磁波シールドプレート３０がビス３２で取り付けられる。このビス間隔も遮蔽電磁波周波数によって定まる間隔で打ち込まれる。
【００１５】
図６は側壁パネル１４と建築壁２０との接合構造部分を示している。側壁パネル１４の端面と建築壁２０との接合面に防振パッキン２８が壁レール４８を介して介装されて固定される。側壁パネル１４と建築壁２０とは直角となるので、電磁波シールドプレート３０もＬ型アングルとして形成され、建築壁２０と側壁パッキン１４とをビス３２を利用して導電接合する。建築壁２０側にはガルバリウム鋼板２４を貼り付けてあって、側壁パネル１４と電気的導通が図られている。結合ビス３２の打ち込み間隔は前述と同様である。
【００１６】
図７は天井アルミフレーム２６と建築壁２０との接合構造を示している。これも同様に、アルミフレーム２６の側面と建築壁２０との間に防振パッキン２８を介在しているので、Ｌ型電磁波シールドプレート３０を介在し、間にＶ字型ばね部材２２を間隔をおいて隙間に介装しつつ、シールドプレート３０をアルミフレーム２６にビス止めする。建築壁２０の内面にはガルバリウム鋼板２４が貼り付けられており、ばね部材２２によって導電接合されることになる。
【００１７】
図８は床パネル１２と建築壁２０との接続部分を示している。床パネル１２の側面を建築壁２０に防振パッキン２８を挟んで接合し、Ｌ型電磁波シールドプレート３０により結合する。プレート３０と建築壁２０の内面に貼り付けたガルバリウム鋼板２４との間にＶ字型ばね部材２２を配設し、これを遮蔽周波数に応じた間隔で複数配置することにより、電気的な導通を図りつつ所望の電磁波を遮蔽することができる。ビス３２の打ち込み間隔も同様である。
【００１８】
このように構成された実施形態に係るクリーンルーム内装システム構成によれば、クリーンルームを剛体構造としてばね部材２２により建築壁２０と電気的導通を図り、同時に防振パッキンなどの電気絶縁部材を介在させながらパネル接合してなるクリーンルームの当該接合部分を電磁波シールドプレート３０により導電接続しつつ、ビス３２を遮蔽周波数に応じた間隔で打ち込み固定するようにしているので、遮蔽すべき電磁波が確実にシールドされ、最適なクリーンルーム環境を形成することができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明はクリーンルームの内装材を構成する導電性材料の床パネル、壁パネル、天井パネルの接合部分に防振パッキンを介在させて剛体結合し、前記防振パッキンにより電気的に分断されたパネル間を電磁波遮蔽プレートにより電気的に接続したクリーンルーム剛体を構築し、建築壁により形成される空間の内壁面に電磁波遮蔽プレートを張り付けて電気的な接地を行い、この建築壁の内壁面に張り付けた電磁波遮蔽プレートにより囲まれた空間内に導電性ばね部材を介在させて前記クリーンルーム剛体を浮上支持させてなるので、クリーンルームを内装パネルにより構築する際に、パネル間の接合部分での電気的な接続を確実に行うことができ、同時に遮蔽目的とする電磁波の周波数帯に対して確実に遮蔽をなすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態にかかるクリーンルーム内装システムの概念構成図である。
【図２】同システムの内装構造を示す斜視図である。
【図３】アルミフレームと側壁パネルとの突合せ部の分解斜視図と断面図である。
【図４】側壁パネルのパネル要素間の結合構造を示す斜視図と断面図である。
【図５】側壁パネルと床パネルとの接続部構造を示す分解斜視図と断面図である。
【図６】側壁パネルと建築壁との接合構造部分を示す分解斜視図と断面図である。
【図７】天井アルミフレームと建築壁との接合構造を示す分解斜視図と断面図である。
【図８】床パネルと建築壁との接続部分を示す分解斜視図と断面図である。
【符号の説明】
１０………クリーンルーム、１２………グレーチング床パネル、１４………側壁パネル、１６………アルミ格子天井、１８………天井部、２０………建築壁、２２………ばね部材、２４………ガルバリウム鋼板、２６………アルミフレーム、２８………防振パッキン、３０………電磁波シールドプレート、３２………ビス、３４………天井レール、３８………要素パネル、４０………パネル接続部材、４２………床レール、４４………巾木、４６………パッキン。
【図１】
0003945631.tif 000002
【図２】
0003945631.tif 000003
【図３】
0003945631.tif 000004
【図４】
0003945631.tif 000005
【図５】
0003945631.tif 000006
【図６】
0003945631.tif 000007
【図７】
0003945631.tif 000008
【図８】
0003945631.tif 000009