(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レ−ザ光の出力を制御するレ−ザ発振装置において、
第１の高反射ミラ−と第１の出力ミラ−とを有しこれらミラ−を所定間隔で離間対向させて配置した第１の光共振器と、
レ−ザ媒質およびこのレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を出力させる励起手段を有し、それぞれのレ−ザ媒質の軸線を一致させて上記第１の光共振器内に直列に配置された複数の励起ヘッドと、
隣り合う一対の励起ヘッドの間に所定の傾斜角度で設けられ各励起ヘッドから出力されるレ−ザ光の光路に対して進退駆動されその光路に侵入したときには一対の励起ヘッドからのレ−ザ光をそれぞれ所定方向に反射させる両面反射ミラ−と、
この両面反射ミラ−の一方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられこの一方の面で反射したレ−ザ光の一部を発振出力する第２の出力ミラ−と、
上記両面反射ミラ−の他方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられこの他方の面で反射したレ−ザ光を元の光路へ戻す第２の高反射ミラ−と
を具備したことを特徴とするレ−ザ発振装置。
【請求項２】
レ−ザ光の出力を制御するレ−ザ発振装置において、
第１の高反射ミラ−と第１の出力ミラ−とを有しこれらミラ−を所定間隔で離間対向させて配置した第１の光共振器と、
レ−ザ媒質およびこのレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を出力させる励起手段を有し、それぞれのレ−ザ媒質の軸線を一致させて上記第１の光共振器内に直列に配置された一対の励起ヘッドと、
一対の励起ヘッドの間に所定の傾斜角度で設けられ各励起ヘッドから出力されるレ−ザ光の光路に対して進退駆動されその光路に侵入したときには一対の励起ヘッドからのレ−ザ光をそれぞれ所定方向に反射させる両面反射ミラ−と、
この両面反射ミラ−の一方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられ上記第１の高反射ミラ−とで第２の光共振器を形成する第２の出力ミラ−と、
上記両面反射ミラ−の他方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられ上記第１の出力ミラ−とで第３の光共振器を形成する第２の高反射ミラ−と
を具備したことを特徴とするレ−ザ発振装置。
【請求項３】
それぞれの励起ヘッドからは異なるパルス波形のレ−ザ光が出力されることを特徴とする請求項１または請求項２記載のレ−ザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はレ−ザ光の強度などを制御して発振出力するレ−ザ発振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、固体レ−ザ媒質を用いたＹＡＧレ−ザにおいて、高出力のレ−ザ光を得るためには、一般的に図３に示すように上記固体レ−ザ媒質５１およびこの固体レ−ザ媒質５１を励起する複数の励起ランプ５２とを有する複数の励起ヘッド５３を、高反射ミラ−５４と出力ミラ−５５とからなる光共振器５６内に直列に配置する。
【０００３】
各励起ヘッド５３の励起ランプ５２にはそれぞれれ電源５７が接続され、これら電源５７によって上記励起ランプ５２を発光させて固体レ−ザ媒質５１を光励起することで、レ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を出力させる。そしてこれらレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を合成して上記出力ミラ−５５から発振出力させることで、高出力のレ−ザ光Ｌ3 を得るようにしている。
【０００４】
このような構成によれば、１つの励起ヘッド５３から出力されるレ−ザ光Ｌ1 あるいはＬ2 の強度に比べ励起ヘッド５３の数に応じた強度の高いレ−ザ光Ｌ3 を得ることができるため、高強度のレ−ザ光Ｌ3 を得るためには非常に有効な手段として多用されている。
【０００５】
しかしながら、たとえばレ−ザ光をレ−ザ加工に用いる場合、高強度のレ−ザ光Ｌ3 が要求されるだけでなく、強度的には１つの励起ヘッド５３から出力される強度のレ−ザ光Ｌ1 またはＬ2 で複数の箇所を同時に加工したい場合や複数の異なるパルス波形のレ−ザ光で加工したい場合などがある。
【０００６】
被加工物の複数の箇所を同時に加工したい場合、光共振器５６の出力ミラ−５５から発振出力されたレ−ザ光Ｌ3 をハ−フミラ−５８で２つのレ−ザ光Ｌ3a、Ｌ3bに分割し、それぞれ所望する部位に導くということが行われる。しかしながら、出力ミラ−５５から出力されたレ−ザ光Ｌ3 をハ−フミラ−５８で分割するようにしたのでは、分割されたそれぞれのレ−ザ光Ｌ3a、Ｌ3bのパルス波形が同じであるから、複数の加工点を異なるパルス波形のレ−ザ光で加工することができないということがある。
【０００７】
複数の加工点を異なる波形のレ−ザ光で加工する場合、図４に示すようにそれぞれ高反射ミラ−５４と出力ミラ−５５とからなる複数の光共振器６１、６２内にそれぞれ励起ヘッド６３、６４を配置し、各励起ヘッド６３、６４からレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を並列に取り出すことで、異なるパルス波形のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を得るようにしている。つまり、異なるパルス波形のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を発振出力することができる複数のレ−ザ発振装置を用いるようにしている。
【０００８】
しかしながら、複数のレ−ザ発振装置を並列に用いたのでは、異なるパルス波形のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 を得ることはできても、複数の励起ヘッド６３、６４からのレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の出力を合成して高出力のレ−ザ光Ｌ3 を得ることが容易でないということがある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、レ−ザ発振器においては、１つの箇所を高出力のレ−ザ光で照射したいことがあったり、複数の箇所を別々のレ−ザ光で照射したいことなどがあるものの、従来はこれら両方のことを容易に行うことができるレ−ザ発振装置が開発されていなかった。
【００１０】
この発明は、１つの箇所を高出力のレ−ザ光で照射したり、複数の箇所を別々のレ−ザ光で照射することができるようにしたレ−ザ発振装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、レ−ザ光の出力を制御するレ−ザ発振装置において、
第１の高反射ミラ−と第１の出力ミラ−とを有しこれらミラ−を所定間隔で離間対向させて配置した第１の光共振器と、
レ−ザ媒質およびこのレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を出力させる励起手段を有し、それぞれのレ−ザ媒質の軸線を一致させて上記第１の光共振器内に直列に配置された複数の励起ヘッドと、
隣り合う一対の励起ヘッドの間に所定の傾斜角度で設けられ各励起ヘッドから出力されるレ−ザ光の光路に対して進退駆動されその光路に侵入したときには一対の励起ヘッドからのレ−ザ光をそれぞれ所定方向に反射させる両面反射ミラ−と、
この両面反射ミラ−の一方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられこの一方の面で反射したレ−ザ光の一部を発振出力する第２の出力ミラ−と、
上記両面反射ミラ−の他方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられこの他方の面で反射したレ−ザ光を元の光路へ戻す第２の高反射ミラ−と
を具備したことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、レ−ザ光の出力を制御するレ−ザ発振装置において、
第１の高反射ミラ−と第１の出力ミラ−とを有しこれらミラ−を所定間隔で離間対向させて配置した第１の光共振器と、
レ−ザ媒質およびこのレ−ザ媒質を励起してレ−ザ光を出力させる励起手段を有し、それぞれのレ−ザ媒質の軸線を一致させて上記第１の光共振器内に直列に配置された一対の励起ヘッドと、
一対の励起ヘッドの間に所定の傾斜角度で設けられ各励起ヘッドから出力されるレ−ザ光の光路に対して進退駆動されその光路に侵入したときには一対の励起ヘッドからのレ−ザ光をそれぞれ所定方向に反射させる両面反射ミラ−と、
この両面反射ミラ−の一方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられ上記第１の高反射ミラ−とで第２の光共振器を形成する第２の出力ミラ−と、
上記両面反射ミラ−の他方の面で反射するレ−ザ光の光路に設けられ上記第１の出力ミラ−とで第３の光共振器を形成する第２の高反射ミラ−と
を具備したことを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２の発明において、それぞれの励起ヘッドからは異なるパルス波形のレ−ザ光が出力されることを特徴とする。
請求項１と請求項２の発明によれば、両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路から後退させれば、複数の励起ヘッドからのレ−ザ光が合成されて発振出力されるから、レ−ザ光の強度を高めることができ、上記両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路に侵入させれば、各励起ヘッドからのレ−ザ光を別々に発振出力させることができる。
【００１４】
請求項３の発明によれば、上記の作用に加えてさらに各励起ヘッドからレーザ光を別々に発振出力させる場合に、異なるパルス波形のレーザ光を得ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図１を参照して説明する。
図１に示すこの発明のレ−ザ発振装置は第１の光共振器１を備えている。この第１の光共振器１は第１の高反射ミラ−２と第１の出力ミラ−３とが互いの反射面を所定間隔で平行に対向させて配置されてなる。この第１の光共振器１内には第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５とが直列に配置されている。
【００１６】
各励起ヘッド４、５はＹＡＧロッドからなる固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂを有する。この固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂの周囲にはそれぞれ一対の励起ランプ７ａ、７ｂが周方向に１８０度間隔で配置されている。
【００１７】
各励起ヘッド４、５の励起ランプ７ａ、７ｂはそれぞれ電源８ａ、８ｂに接続されている。各電源８ａ、８ｂから各励起ランプ７ａ、７ｂにはパルス信号が給電される。それによって、各励起ランプ７ａ、７ｂはパルス発光して固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂを光励起するから、これら固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂからは第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 がそれぞれ出力される。
【００１８】
各励起ヘッド４、５は、これらの固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂから出力される第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光軸が一致するよう、それぞれの固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂの軸線を一致させて配置されている。
【００１９】
各励起ヘッド４、５から発生する第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の強度とパルス波形とは各電源８ａ、８ｂによってそれぞれ設定できるようになっている。この実施の形態では、第１の励起ヘッド４からは出力Ｐ1 で、パルス波形Ｗ1 の第１のレ−ザ光Ｌ1 が出力されるようになっており、第２の励起ヘッド５からは出力Ｐ2 で、パルス波形Ｗ2 の第２のレ−ザ光Ｌ2 が出力されるようになっている。
【００２０】
上記第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５との間には、駆動源１０によって上記第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路に対して進退する方向に駆動される駆動手段としての駆動テ−ブル１１が配設され、この駆動テ−ブル１１には両面反射ミラ−１２が上記第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路に対して所定の傾斜角度、たとえば４５の角度で傾斜して配置されている。つまり、この両面反射ミラ−１２は第１の反射面１２ａを第１の励起ヘッド４側に向け、第２の反射面１２ｂを第２の励起ヘッド５側に向けている。
【００２１】
上記両面反射ミラ−１２が図１に実線で示すように第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路から退避した状態にあるとき、第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５から出力された第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 は合成されて第３のレ−ザ光Ｌ3 となって第１の出力ミラ−３から発振出力される。このときの第３のレ−ザ光Ｌ3 の出力は第１のレ−ザ光Ｌ1 の出力Ｐ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 の出力Ｐ2 との和であるＰ3 となり、波形Ｗ3 は同じく第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の波形Ｗ1 、Ｗ2 が合成された形状となる。
【００２２】
上記両面反射ミラ−１２が図１に鎖線で示すように第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路に侵入していると、第１の励起ヘッド４から出力される第１のレ−ザ光Ｌ1 は上記両面反射ミラ−１２の第１の反射面１２ａで反射する。第１の反射面１２ａで反射した第１のレ−ザ光Ｌ1 の進行方向には上記第１の高反射ミラ−２とで第２の光共振器１３を形成する第２の出力ミラ−１４が配置されている。
【００２３】
したがって、第１の励起ヘッド４から出力された第１のレ−ザ光Ｌ1 は出力Ｐ1 、波形Ｗ1 で上記第２の光共振器１３の上記第２の出力ミラ−１４から発振出力される。
【００２４】
上記第２の励起ヘッド５から出力される第２のレ−ザ光Ｌ2 は上記両面反射ミラ−１２の第２の反射面１２ｂで反射する。第２のレ−ザ光Ｌ2 の反射方向には上記第１の出力ミラ−３とで第３の光共振器１５を形成する第２の高反射ミラ−１６が配置されている。
【００２５】
したがって、第２の励起ヘッド５から出力された第２のレ−ザ光Ｌ2 は出力Ｐ2 、波形Ｗ2 で上記第３の光共振器１５の上記第１の出力ミラ−３から発振出力される。
【００２６】
なお、各出力ミラ−３、１４から発振出力されるレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 、Ｌ3 は、図示しない光ファイバや光学ア−ムなどの導光手段によって目的部位へ導かれるようになっている。
【００２７】
つぎに、上記構成のレ−ザ発振装置を用いてたとえば図示しない被加工物にレ−ザ加工を行う場合について説明する。まず、上記被加工物を高出力の第３のレ−ザ光Ｌ3 で加工する場合には、駆動テ−ブル１１を作動させて両面反射ミラ−１２を第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路から退避させる。
【００２８】
ついで、電源８ａ、８ｂを作動させて第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５とに給電する。それによって、各励起ヘッド４、５の励起ランプ７ａ、７ｂにパルス信号が供給され、これら励起ランプ７ａ、７ｂが発光して各固体レ−ザ媒質６ａ、６ｂがそれぞれ光励起されるから、各励起ヘッド４、５からは第１のレ−ザ光Ｌ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 とがそれぞれ出力される。
【００２９】
各励起ヘッド４、５から出力されたレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 は第１の光共振器１の第１の高反射ミラ−２と第１の出力ミラ−３で反射を繰り返すことで合成されて増幅され、上記第１の出力ミラ−３から第３のレ−ザ光Ｌ3 となって発振出力される。
【００３０】
上記第３のレ−ザ光Ｌ3 は、第１のレ−ザ光Ｌ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 とが合成されることで、その出力Ｐ3 は第１のレ−ザ光Ｌ1 の出力Ｐ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 の出力Ｐ2 とが合成された高出力となる。したがって、被加工物を高出力の第３のレ−ザ光Ｌ3 によって照射加工することができる。
【００３１】
上記被加工物の二個所あるいは２つの被加工物を異なるパルス波形のレ−ザ光で照射加工したい場合には、駆動テ−ブ１１を作動させて両面反射ミラ−１２を第１、第２のレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路に侵入させる。
【００３２】
それによって、第１の励起ヘッド４から出力された第１のレ−ザ光Ｌ1 は、上記両面反射ミラ−１２の第１の反射面１２ａで反射して光路が変更されるから、第１の高反射ミラ−２と第２の出力ミラ−１４とがなす第２の光共振器１３で増幅されて第２の出力ミラ−１４から発振出力されることになる。
【００３３】
一方、第２の励起ヘッド５から出力された第２のレ−ザ光Ｌ2 は、上記両面反射ミラ−１２の第２の反射面１２ｂで反射して光路が変更されるから、第１の出力ミラ−３と第２の高反射ミラ−１６とがなす第３の光発振器１５で増幅されて第１の出力ミラ−３から発振出力されることになる。
【００３４】
上記第１のレ−ザ光Ｌ1 は出力Ｐ1 、波形Ｗ1 で発振出力され、第２のレ−ザ光Ｌ2 は出力Ｐ2 、波形Ｗ2 で発振出力される。したがって、１つの被加工物の二個所あるいは２つの被加工物を異なるパルス波形の第１のレ−ザ光Ｌ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 とでレ−ザ加工することができる。
【００３５】
このように、この発明のレ−ザ発振装置によれば、両面反射ミラ−１２をレ−ザ光Ｌ1 、Ｌ2 の光路に対して進退駆動することで、高出力の第３のレ−ザ光Ｌ3 を第１の光共振器１から発振出力させたり、波形の異なる第１のレ−ザ光Ｌ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 とを第２の光共振器１３と第３の光共振器１５から別々に発振出力させることができるから、用途に応じて所望する形態で利用することができる。
【００３６】
図２はこの発明の他の実施の形態を示す。なお、この実施の形態において上記一実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
つまり、この実施の形態のレ−ザ発振装置は、第１の光共振器１の内部に、それぞれ電源８ａ〜８ｃが接続された第１乃至第３の３つの励起ヘッド４、５、５Ａが直列に配置されている。隣り合う第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５および第２の励起ヘッド５と第３の励起ヘッド５Ａの間にはそれぞれ第１の両面反射ミラ−１２Ａと第２の両面反射ミラ−１２Ｂが図示せぬ駆動源によって光軸に対して進退駆動されるようになっている。
【００３７】
各励起ヘッド４、５、５Ａからはそれぞれ波形の異なる第１乃至第３のレ−ザ光Ｌ1 〜Ｌ3 が出力されるとともに、一対の両面反射ミラ−１２Ａ、１２Ｂが光路から退避したときには第１の出力ミラ−３から第４のレ−ザ光Ｌ4 が発振出力される。この第４のレ−ザ光Ｌ4 は第１乃至第３のレ−ザ光Ｌ1 〜Ｌ3 が合成された出力と波形となる。
【００３８】
第１の励起ヘッド４からの第１のレ−ザ光Ｌ1 が第１の両面反射ミラ−１２Ａの一方の面１２ａで反射する方向には、第１の高反射ミラ−２とで第２の光共振器１３を形成する第２の出力ミラ−１４が配置され、第３の励起ヘッド５Ａからの第３のレ−ザ光Ｌ3 が第２の両面反射ミラ−１２Ｂの他方の面１２ｂで反射する方向には第１の出力ミラ−３とで第３の光共振器１５を形成する第２の高反射ミラ−１６が配置されている。
【００３９】
第２の励起ヘッド５からの第２のレ−ザ光Ｌ2 が第１の両面反射ミラ−１２Ａの他方の面１２ｂで反射する方向には第３の高反射ミラ−２１が配置され、第２の両面反射ミラ−１２Ｂの一方の面１２ａで反射する方向には第３の出力ミラ−２２が配置されている。
【００４０】
したがって、上記第３の高反射ミラ−２１と第３の出力ミラ−２２とで第４の光共振器２３を形成しており、第２の励起ヘッド５からの第２のレ−ザ光Ｌ2 を上記第３の出力ミラ−２２から発振出力させることができるようになっている。
【００４１】
このような構成によれば、第１の両面反射ミラ−１２Ａと第２の両面反射ミラ−１２Ｂとを光路から退避させれば、３つの励起ヘッド４、５、５Ａから出力された第１乃至第３のレ−ザ光Ｌ1 〜Ｌ3 を合成した出力と波形の第４のレ−ザ光Ｌ4 を第１の出力ミラ−３から発振出力させることができる。
【００４２】
第１の両面反射ミラ−１２Ａと第２の両面反射ミラ−１２Ｂとを光路に侵入させれば、第１の出力ミラ−３からは第３のレ−ザ光Ｌ3 が発振出力され、第２の出力ミラ−１４からは第１のレ−ザ光Ｌ1 が発振出力される。さらに第３の出力ミラ−２２からは第２のレ−ザ光Ｌ2 が発振出力される。
【００４３】
つまり、３つの励起ヘッド４、５、５Ａから出力される第１乃至第３のレ−ザ光Ｌ1 〜Ｌ3 を合成して発振出力したり、別々に発振出力することができる。
また、第１の両面反射ミラ−１２Ａあるいは第２の両面反射ミラ−１２Ｂのどちらか一方、たとえば第１の両面反射ミラ−１２Ａだけを光路に侵入させると、第１の励起ヘッド４からの第１のレ−ザ光Ｌ1 は単独で第２の出力ミラ−１４から発振出力される。
【００４４】
第２の励起ヘッド５から出力される第２のレ−ザ光Ｌ2 と第３の励起ヘッド５Ａから出力される第３のレ−ザ光Ｌ3 とは第１の出力ミラ−３と第３の高反射ミラ−２１とがなす光共振器で合成されて上記第１の出力ミラ−３から発振出力されることになる。
【００４５】
第１の両面反射ミラ−１２Ａに変わり、第２の両面反射ミラ−１２Ｂだけを光路に侵入させれば、第３の励起ヘッド５Ａからの第３のレ−ザ光Ｌ3 を単独で第１の出力ミラ−３から発振出力することができ、第１の励起ヘッド４と第２の励起ヘッド５からの第１のレ−ザ光Ｌ1 と第２のレ−ザ光Ｌ2 とを第１の高反射ミラ−２と第３の出力ミラ−２２とがなす光共振器で合成して上記第３の出力ミラ−２２から発振出力することができる。
【００４６】
すなわち、図２に示す実施の形態によれば、３つの励起ヘッド４、５Ａを直列に配置することで、各励起ヘッドからのレ−ザ光を単独で発振出力させたり、合成して発振出力させることができるだけでなく、単独のレ−ザ光と合成したレ−ザ光とを組み合わせて発振出力することもできる。
【００４７】
なお、レ−ザ発振装置に用いられる励起ヘッドのレ−ザ媒質は固体レ−ザ媒質に限定されず、気体レ−ザ媒質や他のレ−ザ媒質などであってもよく、要はレ−ザ光の用途に応じてその用途に適したレ−ザ媒質（励起ヘッド）を用いるようにすればよい。
また、直列に配置される励起ヘッドの数は２つまたは３つに限定されず、４つ以上であってもよく、要は複数であればよい。
【００４８】
【発明の効果】
請求項１と請求項２の発明によれば、直列に配置された励起ヘッド間に両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路に対して進退自在に設け、この両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路から後退させることで、複数の励起ヘッドからのレ−ザ光が合成されて発振出力され、上記両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路に侵入させれば、各励起ヘッドからのレ−ザ光を別々に発振出力させることができるようにした。
【００４９】
そのため、両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路から後退させることで、複数の励起ヘッドからのレ−ザ光を合成して高出力のレ−ザ光を発振させることができ、上記両面反射ミラ−を光路に侵入させることで、複数の励起ヘッドからのレ−ザ光を別々に発振出力させることができる。
【００５０】
請求項３の発明によれば、両面反射ミラ−をレ−ザ光の光路に侵入させて各励起ヘッドからレ−ザ光を別々に発振出力させる場合に、各励起ヘッドから異なるパルス波形のレ−ザ光を出力させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態のレ−ザ発振装置を示す構成図。
【図２】この発明の他の実施の形態を示すレ−ザ発振装置の構成図。
【図３】同じく従来のレ−ザ発振装置を示す構成図。
【図４】同じく従来の他の構造のレ−ザ発振装置を示す構成図。
【符号の説明】
１…第１の光共振器
２…第１の高反射ミラ−
３…第１の出力ミラ−
４…第１の励起ヘッド
５…第２の励起ヘッド
６ａ、６ｂ…固体レ−ザ媒質
７ａ、７ｂ…励起ランプ（励起手段）
８ａ、８ｂ…電源
１２…両面反射ミラ−
１３…第２の光共振器
１４…第２の出力ミラ−
１５…第３の光共振器
１６…第２の高反射ミラ−
【図１】
0003879953.tif 000002
【図２】
0003879953.tif 000003
【図３】
0003879953.tif 000004
【図４】
0003879953.tif 000005