(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被加工物１の裏面側１ｂに配設され、該被加工物１の被蒸着面１ａに磁性材であるマスキング板２を吸着させるマグネット３と、多数の取付孔21ａ…を有するマグネット基板21と、該マグネット基板21に載置され上記マグネット３が吸着される平板状の磁性材のヨーク20と、を備え、該ヨーク20は、上記マグネット基板21の取付孔21ａ…に対向する位置でかつ該取付孔21ａよりも小径に形成され上記マグネット３を付き押すための小孔20ａを有し、上記マグネット基板21の多数の取付孔21ａ…に上記マグネット３が任意に取り外し自在に嵌め込まれるように構成され、上記被蒸着面１ａにおいて精細な蒸着が必要な部分に対向する上記マグネット基板21の取付孔21ａには、マグネット３…が密集して取り付けられ、上記被蒸着面１ａにおいて蒸着が必要でない部分に対向するマグネット基板21の取付孔21ａには、上記マグネット３…が分散して取り付けられていることを特徴とする真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、蒸着を行うには、平板状の被加工物の被蒸着面にマスキングを行い、必要な部分にのみ蒸着を行う。
【０００３】
従来の蒸着装置は、図５に示すように、環状の支持板40を備え、支持板40の上面にマスキング板42を載置し、マスキング板42の上面に被加工物41を載置していた。即ち、被加工物41の下面が被蒸着面41ａとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の蒸着装置では、図５に示すように、マスキング板42は被加工物41の被蒸着面41ａに接触しているのみであるため（即ち、支持板40の内部に相当するマスキング板42は下方から支持されていないため）、蒸着の際の高温な蒸発温度により、マスキング板42は、熱膨張により歪み、被加工物41の被蒸着面41ａから（自重により下方へ）遊離していた。この遊離により、被蒸着面41ａとマスキング板42との間に隙間Ｇが生じ、被蒸着面41ａの所望の場所に蒸着物を蒸着させることができず、品質の低下を招くこととなった。さらに、被蒸着面41ａの面積が大きい場合や、被蒸着面41ａに精細に蒸着する場合には、この欠点が一層顕著となった。
【０００５】
そこで、本発明は、被加工物の所望の位置に高精密に蒸着させることができ、品質の向上を図ることができる真空蒸着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明に係る真空蒸着装置は、平板状の被加工物の裏面側に配設され、該被加工物の被蒸着面に磁性材であるマスキング板を吸着させるマグネットと、多数の取付孔を有するマグネット基板と、該マグネット基板に載置され上記マグネットが吸着される平板状の磁性材のヨークと、を備え、該ヨークは、上記マグネット基板の取付孔に対向する位置でかつ該取付孔よりも小径に形成され上記マグネットを付き押すための小孔を有し、上記マグネット基板の多数の取付孔に上記マグネットが任意に取り外し自在に嵌め込まれるように構成され、上記被蒸着面において精細な蒸着が必要な部分に対向する上記マグネット基板の取付孔には、マグネットが密集して取り付けられ、上記被蒸着面において蒸着が必要でない部分に対向するマグネット基板の取付孔には、上記マグネットが分散して取り付けられているものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示す図面に基づき、本発明を詳説する。
【０００８】
図１に、本発明の真空蒸着装置の実施の一形態を示し、本真空蒸着装置は、平板状の被加工物１の裏面１ｂ側に配設され、該被加工物１の被蒸着面１ａに磁性材であるマスキング板２を吸着させるマグネット３…を有する。
【０００９】
本蒸着装置は、真空状態（例えば10-4Ｐａ）のケーシングＣ内において、蒸発部４にて（真空蒸着で使用される）蒸着材料５を蒸気化し、（磁性材でないガラスなどの）平板状の被加工物１の被蒸着面１ａに、蒸着させるものである。このとき、被加工物１の被蒸着面１ａは、（例えばＳＵＳ４２０Ｊ２の）磁性材であるマスキング板２にて覆われ、被蒸着面１ａの所望の位置にのみ蒸着を行うことができる。これによって、装飾膜、カーブミラー、反射膜、（携帯電話の）表示素子のカソード膜などを作製する。
【００１０】
本蒸着装置は、ケーシングＣに貫通状に固着される円筒状のハウジング部６と、ハウジング部６の内部に軸受とシール材（回転軸シール）とを介して回転可能に取り付けられるロータ部７とを、備え、ロータ部７は、（減速機付モータ等の）駆動部８にてベルト又はチェーンを介して軸心Ｌ廻りに回転可能となる。
【００１１】
ロータ部７は、筒状の軸部７ａと、（軸部７ａの軸心に中心を一致させるように）軸部７ａに連設された箱部７ｂと、を有し、軸部７ａがハウジング部６に取り付けられ、箱部７ｂがケーシングＣ内に配設される。
【００１２】
軸部７ａの内部には、軸棒10が軸心Ｌ方向に往復動自在となるように配設され、箱部７ｂの内部には、軸棒10の先端に連設されたマグネット保持体11が配設されている。なお、箱部７ｂ内部の中壁12に取り付けられたガイドピン13にて、マグネット保持体11は、確実に軸心Ｌ方向に往復動自在となる。なお、軸部７ａ及び箱部７ｂの内部には、（矢印で示すように）冷却水が通水可能となる。
【００１３】
箱部７ｂの外面には、被加工物１の裏面１ｂを箱部７ｂの下面に圧縮バネ15の弾発付勢力にて圧接させる支持部14が取り付けられ、支持部14は、ケーシングＣを貫通するように取り付けられた押し棒16にて圧縮バネ15の弾発付勢力に抗して押し込まれることで、被加工物１を箱部７ｂから離間させるように構成されている。
【００１４】
ここで、被加工物１は、環状の支持板17の上面に載置され、マスキング板２は、被加工物１と支持板17との間に挟持されており、被加工物１の下面でかつ支持板17の内部に相当する面が、被蒸着面１ａとなる。
【００１５】
即ち、支持部14は、支持板17を保持しており、仮想線にて示すように、支持板17を搬送台18に載置できる。
【００１６】
マグネット保持体11は、図１〜図３に示すように、平板状の（非磁性材の）マグネット基板21と、マグネット基板21（の上面）に載置される平板状の（磁性材の）ヨーク20と、多数のマグネット３…と、を備えている。
【００１７】
マグネット基板21は、平面視千鳥状に多数の取付孔21ａ…を有し、ヨーク20は、取付孔21ａに対向する位置でかつ取付孔21ａよりも小径な多数の小孔20ａ…を有している。
【００１８】
マグネット３…は、多数の取付孔21ａ…に任意に嵌め込まれている。このとき、マグネット３…はヨーク20に吸着しているため、マグネット３…全体の磁性力（吸着力）が強大となる。なお、マグネット３は、マグネット基板21の下面側から取付孔21ａに容易に嵌め込むことができ、さらに、ヨーク20の上面側から小孔20ａに（図示省略の）押し針を差し込んでマグネット３を突き押すことで、マグネット３を取付孔21ａから容易に取り外すことができる。
【００１９】
次に、本蒸着装置の作用（機能）を説明する。
まず、図４（イ）に示すように、軸部７ａの上端部から軸部７ａ内部へ流体を注入し、流体が軸棒10基端を下方へ押圧し、軸棒10に外嵌された圧縮コイル19の弾発力に抗して軸棒10を下方へ移動させ、マグネット保持体11を箱部７ｂ（の下壁）に接近乃至当接させる。このとき、被加工物１の裏面１ｂが箱部７ｂに接触し、被加工物１の裏面１ｂ側に配設されたマグネット３…が、被加工物１の被蒸着面１ａにマスキング板２を吸着させている。
【００２０】
そして、被加工物１の被蒸着面１ａに蒸着を行った後に、図４（ロ）に示すように、軸部７ａの上端部から軸部７ａ外部へ流体を排出し、圧縮コイル19の弾発力にて軸棒10が上方へ移動し、マグネット保持体11を箱部７ｂ（の下壁）から離間させる。そして、蒸着物９が蒸着した被加工物１を箱部７ｂから離間させる。
【００２１】
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されず、マグネット３…を被加工物１に接近乃至離間させる機構は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。
【００２２】
【発明の効果】
本発明は上述の如く構成されるので、次に記載する効果を奏する。
【００２３】
蒸着の際の高温な蒸発温度においても、マスキング板２が被加工物１の被蒸着面１ａに吸着しているため、マスキング板２が被蒸着面１ａから遊離することなく、マスキング板２と被蒸着面１ａとの間に隙間が発生することを防止し、被蒸着面１ａの所望の位置に高精密に蒸着させることができ、品質の向上を図ることができる。さらに、被蒸着面１ａの面積が大きい場合や、被蒸着面１ａに（例えばマトリックスパターンの）精細な蒸着をする場合には、顕著なものとなる。
【００２４】
また、被蒸着面１ａにおいて精細な蒸着が必要な部分には、その部分に対向するマグネット基板21に密集してマグネット３…を取り付けて吸着力を高めることができ、一方、被蒸着面１ａにおいて蒸着が必要でない部分には、その部分に対向するマグネット基板21に分散してマグネット３…を取り付けて吸着力を弱めることができ、臨機応変なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の一形態を示す全体説明図である。
【図２】  要部平面図である。
【図３】  要部断面図である。
【図４】  要部作用説明図である。
【図５】  従来例を示す作用説明図である。
【符号の説明】
１  被加工物
１ａ  被蒸着面
１ｂ  裏面
２  マスキング板
３  マグネット
20  ヨーク
20ａ  小孔
21  マグネット基板
21ａ  取付孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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