(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の基板とこの第一の基板に対向して配置された第二の基板との間に挟持された液晶に電界を印加して表示を行う液晶表示装置において、複数の走査線とこの複数の走査線に交差する複数の信号線によって駆動されるマトリクス状に配置された画素を有する表示部と、上記走査線及び信号線に接続され、上記画素に駆動信号を供給する駆動回路とが、上記第一の基板上及び第二の基板上に、それぞれ分離して形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項２】
第一の基板とこの第一の基板に対向して配置された第二の基板との間に挟持された液晶に電界を印加して表示を行う液晶表示装置において、第一の基板上に形成され、複数の走査線とこの複数の走査線に交差する複数の信号線によって駆動されるマトリクス状に配置された画素を有する表示部、上記第二の基板上に形成され、走査線及び信号線に接続されて、上記画素に駆動信号を供給する第一の駆動回路、上記第二の基板上に形成され、上記第一の駆動回路に並列に設けられ、上記走査線及び信号線に接続されて上記画素に駆動信号を供給する第二の駆動回路を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項３】
第一の駆動回路と第二の駆動回路は、各走査線及び信号線の一端に接続されていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示装置。
【請求項４】
第一の駆動回路と第二の駆動回路の出力側は、第二の基板上で接続されると共に、各走査線及び信号線の一端に接続されていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示装置。
【請求項５】
第一の駆動回路と第二の駆動回路は、表示部を介して反対側に配置され、各走査線または信号線の両端にそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項２記載の液晶表示装置。
【請求項６】
第一の駆動回路と第二の駆動回路は、駆動方式が異なっており、切替えて用いられるよう構成されていることを特徴とする請求項２、請求項３および請求項５のいずれか一項記載の液晶表示装置。
【請求項７】
第一の基板上の走査線又は信号線と、第二の基板上の駆動回路との接続には、導電粒子を含む接着材が用いられていることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか一項記載の液晶表示装置。
【請求項８】
走査線あるいは信号線の両端部にそれぞれ接続されると共に第二の基板上に形成された予備走査線あるいは予備信号線を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項記載の液晶表示装置。
【請求項９】
表示部の両側で、走査線あるいは信号線とそれぞれ絶縁膜を介して交差するように設けられた一対の第一の予備配線、この一対の第一の予備配線にそれぞれ接続され、第二の基板上に形成された第二の予備配線を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか一項記載の液晶表示装置。
【請求項１０】
第一の基板及び第二の基板の配線間の接続には、導電粒子を含む接着材が用いられていることを特徴とする請求項８または請求項９記載の液晶表示装置。
【請求項１１】
第一の基板及び第二の基板のいずれか一方を不透明材料を用いて構成したことを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれか一項記載の液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、アクティブマトリクス型の液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
アクティブマトリクス型液晶表示装置（以下ＡＭ−ＬＣＤ：ａｃｔｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ−ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙという）は、一般にマトリクス配線の交差部にＴＦＴ（薄膜トランジスタ：Ｔｈｉｎ  ＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を有するアレイ基板と、これに対向して配置された対向基板との間に液晶が挟持され、間隔を維持するためのスペーサとこれを固定するためのシール材で構成されている。
【０００３】
ＡＭ−ＬＣＤを駆動させるために、アレイ基板に駆動回路を接続する。一般のＡＭ−ＬＣＤでは、ＴＣＰ（ＴＣＰ：ｔａｐｅ  ｃａｒｒｉｅｒ  ｐａｃｋａｇｅ）等のアレイ基板外部の駆動回路と、アレイ基板の走査線、信号線のマトリクス配線が接続されるが、アレイ基板内に駆動回路を有し、マトリクス配線と電気的に接続されているＡＭ−ＬＣＤは、特に駆動回路一体型ＬＣＤと呼ばれる。この駆動回路一体型ＬＣＤは、ＴＣＰを用いないので、アレイ基板とＴＣＰの高密度な実装工程を必要としない。
【０００４】
ＡＭ−ＬＣＤは、大画面や高精細の要求が高いため、アレイ基板の配線数が多くなり、配線幅は小さくなる傾向にある。このため、マトリクス配線の断線による歩留まりの低下が起こる。そこで、マトリクス配線の断線のリペアとして、アレイ基板内に予備配線を設けておき、予備配線と断線したマトリクス配線を電気的に接続して修復する方法がとられる。予備配線の構成としては、アレイ基板内でマトリクス配線の両端部に電気的に絶縁されて交差するよう設置された一組の予備配線とアレイ基板のマトリクス配線の周辺部に設けた周辺配線を接続して、一組の予備配線間を接続する内部配線型と、アレイ基板内でマトリクス配線の両端部に電気的に絶縁されて交差するよう設置された一組の予備配線と、アレイ基板外部のＴＣＰなどの外部の回路基板上の配線を接続して、一組の予備配線間を接続する外部配線型があり、それぞれ内部配線型リペア方式と外部配線型リペア方式と呼ばれている。
ＡＭ−ＬＣＤでは、アレイ基板と対向基板との間隔を一定に保つためにスペーサを用いている。また、アレイ基板と対向基板との電気的接続のために、銀ペーストが用いられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
駆動回路一体型ＬＣＤは、一般のＡＭ−ＬＣＤに比べて、回路規模が大きくなると共に、駆動回路部には非常に高い特性のトランジスタを必要とする。このため、マトリクス配線部分と駆動回路部分の総合的な歩留まりは非常に悪くなる。さらに、駆動回路部の製造プロセスをマトリクス配線部と同一のプロセスによるため、制約が大きかった。
また、内部配線型リペア方式では、アレイ基板上に予備配線や周辺配線を構成する面積を必要とし、アレイ基板が大きくなり、そのため、ＡＭ−ＬＣＤ全体が大きくなってしまうが、一般にアレイ基板は一定の大きさのマザー基板から多面取りされるため、アレイ基板の取れる最大外形は小さいほど有利である。
【０００６】
一方、外部配線型リペア方式では、ＴＣＰや複数の回路基板に新たにリペア用の配線を設ける必要がある。このため、ＴＣＰを大きくするとＴＣＰのコストが上がったり、一般のＴＣＰと同じ外形にするとアレイ基板との接続ピッチが小さくなるため、ＴＣＰとアレイ基板との接続に精度が要求される。
また、一般に回路基板との接続にはコネクタを用いるが、このコネクタのピン数が増える。このため、コネクタのコストが上がったり、コネクタが大きくなるので、回路基板も大きくなる恐れがある。
さらに、アレイ基板または対向基板への接着材の塗布と銀ペーストの塗布は、別々の工程で行っており、工数を要していた。
この発明は、このような課題を解決するためになされたもので、第一の目的は、配線のための基板面積を縮小することができる液晶表示装置を得るものである。
【０００７】
また、第二の目的は、製造の歩留まりを上げることのできる液晶表示装置を得るものである。
また、第三の目的は、冗長な駆動回路を構成することができる液晶表示装置を得るものである。
さらに、第四の目的は、冗長な配線を有する液晶表示装置を得るものである。また、第五の目的は、製造工程を減らすことのできる液晶表示装置を得るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる液晶表示装置においては、第一の基板とこの第一の基板に対向して配置された第二の基板との間に挟持された液晶に電界を印加して表示を行う液晶表示装置において、複数の走査線とこの複数の走査線に交差する複数の信号線によって駆動されるマトリクス状に配置された画素を有する表示部と、走査線及び信号線に接続され、画素に駆動信号を供給する駆動回路とが、第一の基板上及び第二の基板上に、それぞれ分離して形成されているものである。
また、第一の基板とこの第一の基板に対向して配置された第二の基板との間に挟持された液晶に電界を印加して表示を行う液晶表示装置において、第一の基板上に形成され、複数の走査線とこの複数の走査線に交差する複数の信号線によって駆動されるマトリクス状に配置された画素を有する表示部、第二の基板上に形成され、走査線及び信号線に接続されて、画素に駆動信号を供給する第一の駆動回路、第二の基板上に形成され、第一の駆動回路に並列に設けられ、走査線及び信号線に接続されて画素に駆動信号を供給する第二の駆動回路を備えたものである。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、各走査線及び信号線の一端に接続されているものである。
【０００９】
さらに、第一の駆動回路と第二の駆動回路の出力側は、第二の基板上で接続されると共に、各走査線及び信号線の一端に接続されているものである。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、表示部を介して反対側に配置され、各走査線または信号線の両端にそれぞれ接続されているものである。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、駆動方式が異なっており、切替えて用いられるよう構成されているものである。
さらにまた、第一の基板上の走査線又は信号線と、第二の基板上の駆動回路との接続には、導電粒子を含む接着材が用いられているものである。
【００１１】
また、走査線あるいは信号線の両端部にそれぞれ接続されると共に第二の基板上に形成された予備走査線あるいは予備信号線を備えたものである。
【００１２】
また、表示部の両側で、走査線あるいは信号線とそれぞれ絶縁膜を介して交差するように設けられた一対の第一の予備配線、この一対の第一の予備配線にそれぞれ接続され、第二の基板上に形成された第二の予備配線を備えたものである。
【００１３】
さらに、第一の基板及び第二の基板の配線間の接続には、導電粒子を含む接着材が用いられているものである。
また、第一の基板及び第二の基板のいずれか一方を不透明材料を用いて構成したものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による液晶表示装置の電気的構成を示す説明図である。
図１において、１は透明材料を用いて形成された第一の基板であるアレイ基板、２はアレイ基板１に対向して配置され、間に液晶を挟持する透明材料を用いて形成された第二の基板である対向基板で、アレイ基板１と共にＡＭ−ＬＣＤパネルを構成する。３はアレイ基板１上に配置された走査線であるゲート配線、４はゲート配線３に交差するように配置された信号線であるソース配線、５はゲート配線３とソース配線４の交点に配置されたＴＦＴ、６はＴＦＴ５に接続された画素電極、７は画素電極６と電気的に絶縁された対向電極であり、アレイ基板１上に設けられているが、対向電極７は対向基板２に設けることもできる。８は画素電極６と対向電極７によって電界が印加されて光透過率が変化する液晶である。ＴＦＴ５、画素電極６、対向電極７、および液晶８は画素を構成し、マトリクス状に配置された画素で表示部を構成する。９は対向基板２に設けられた駆動回路で、アレイ基板１上のＴＦＴ製造プロセスに関係なく高い品質に作製されている。１０は対向基板２に設けられた駆動回路９の入力端子で、外部回路に接続される。１１は駆動回路９の出力端子で、ゲート配線３又はソース配線４に接続される。
【００１５】
図２は、この発明の実施の形態１によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構造を示す説明図である。図２（ａ）は全体を示す図、図２（ｂ）は対向基板を上方から見た図、図２（ｃ）はアレイ基板を上方から見た図、図２（ｄ）は局部拡大図である。
図２において、１、２、６〜８は、図１におけるものと同一のものである。１２は表示部、１４はアレイ基板１及び対向基板２の対向面と反対側にそれぞれ設けられた偏光板、１５はアレイ基板１の回路が設けられているアレイ回路層、１６は対向基板２の表示開口部である。１７は対向基板２の駆動回路が設けられている駆動回路層で、表示開口部１６を除いて形成されているが、透明材料を用いる場合は表示開口部１６にも配置することができる。１８は対向基板２に設けられた遮光層で、有機材料または駆動回路層１７と電気的に絶縁された金属材料で形成されている。１９は熱硬化型又は光硬化型接着材のシール材で、数μｍ程度の導電粒子２０を含有している。２１は、対向基板２の駆動回路層１７に接続されている外部回路が形成されている外部回路基板である。
このように構成された液晶表示装置では、ゲート配線３とソース配線４への信号入力により、ＴＦＴ５を駆動し、それに接続された画素電極６の電位を制御して、画素電極６と対向電極７の間で液晶８の駆動を行う。
【００１６】
次にＡＭ−ＬＣＤパネルの製造方法について説明する。
アレイ基板１のそれぞれゲート配線３及びソース配線４の接続パッドが、接続したい対向基板２上の接続パッドと重なるようにアレイ基板１と対向基板２を配置する。そして、アレイ基板１または対向基板２のパッドを覆うように、数μｍ程度の導電粒子２０を含んだ熱硬化型または光硬化型接着材のシール材１９を表示部１２外に塗布する。さらに対向基板２とアレイ基板１に両側から圧力をかけ、導電粒子２０により間隔を保持しつつ加圧もしくは光照射によりシール材１９を固定する。そして、間隔内に液晶８を封止する。
【００１７】
これにより、銀ペーストを塗布する工程をなくして、対向基板２とアレイ基板１のパッドを導電粒子２０を介して電気的に接続することができる。
さらに、アレイ基板１と対向基板２のそれぞれの回路の良品のみを使えば、駆動回路一体型の液晶表示装置に比べて歩留まりが良くなる。
外部回路との接続は、シール材１９内の導電粒子２０を介して駆動回路９とアレイ基板１を接続し、そのアレイ基板１から外部回路と接続する。
実施の形態１では、遮光層１８を対向基板２に設置したが、アレイ基板１に設置してもよい。
また、実施の形態１では、透明な着色層を用いていないが、表示開口部１６に配置してもよい。
【００１８】
実施の形態２．
図３は、この発明の実施の形態２による液晶表示装置の構成を示す説明図である。
図において、１〜９、１１は図１におけるものと同一のものである。
実施の形態１では、対向基板２上に液晶８を駆動する駆動回路９を１つ構成したが、実施の形態２では、同じ駆動回路９を複数構成し、それぞれの出力端子１１をシール材１９内の導電粒子２０を介してゲート配線３およびソース配線４に並列に接続する。
実施の形態２では、実施の形態１と同じ効果が得られると共に駆動回路９に冗長性をもたせることができる。
【００１９】
実施の形態３．
図４は、この発明の実施の形態３による液晶表示装置の構成を示す説明図である。
図において、１〜９、１１は図１におけるものと同一のものである。
実施の形態１では、対向基板２上に液晶８を駆動する駆動回路９を１つ構成したが、実施の形態３では、同じ駆動回路９を複数構成し、それぞれの出力端子１１を接続し、シール材１９内の導電粒子２０を介してゲート配線３およびソース配線４に並列に接続する。
実施の形態３では、実施の形態１と同じ効果が得られると共に駆動回路９に冗長性をもたせることができる。
【００２０】
実施の形態４．
図５は、この発明の実施の形態４による液晶表示装置の構成を示す説明図である。
図において、１〜９、１１は図１におけるものと同一のものである。
実施の形態２では、複数に構成された出力端子１１がシール材１９内の導電粒子２０を介して、ゲート配線３及びソース配線４の一端にに並列に接続されていたが、実施の形態４では、ゲート配線３及びソース配線４の両端に出力端子１１が接続されている。
実施の形態４では、実施の形態１と同じ効果が得られると共に駆動回路９に冗長性をもたせることができる。
【００２１】
実施の形態５．
図６は、この発明の実施の形態５による液晶表示装置の構成を示す説明図である。
図において、１〜８、１１は図１におけるものと同一のものである。
実施の形態２の駆動回路９は、同じ回路構成のものが複数並列に接続されていたが、実施の形態５の駆動回路は、駆動方式の異なる駆動回路９ａ及び駆動回路９ｂが並列に接続されている。
【００２２】
駆動回路９ａ、９ｂの切り替えは、外部よりそれぞれの駆動回路へ信号を入力するか、もしくは駆動回路内で切り替え用の信号を作成して用いる。
駆動回路９ａ、９ｂは、特に走査方向が対になるシフトレジスタ回路を有する駆動回路として構成しておく。
実施の形態５では、実施の形態１と同様の効果が得られると共に複数の駆動方式をとることが可能である。
【００２３】
実施の形態６．
図７は、この発明の実施の形態６による液晶表示装置の構成を示す説明図である。
対向基板２に予備走査線または予備信号線となる少なくとも１本の対向配線２２を設ける。その対向配線２２を実施の形態１で示した導電粒子を介して、ゲート配線３またはソース配線４の両側に接続する。
また、ゲート配線３またはソース配線４の両方に、対向配線２２を設けることもできる。
内部配線型リペア方式では、リペアできる配線数が限られていたが、実施の形態６では、マトリクス配線各々にリペア配線である対向配線２２を設けることが可能である。また、外部配線型リペア方式に比べて、ＴＣＰや外部回路基板に新たにリペア用の配線を設ける必要がない。
【００２４】
実施の形態７．
図８は、この発明の実施の形態７による液晶表示装置の構成を示す説明図である。対向基板２に少なくとも１本の対向配線２２を設ける。アレイ基板１には、ソース配線４と電気的に絶縁されて交差している一対の第一の予備配線である予備配線２３、２４が、ソース配線４のＴＦＴアレイ構成部の両側に配置されている。そしてソース配線４と予備配線２３、２４の交差部には、レーザ照射によって電気的に接続できる短絡リペア用パッド２５が設けられている。予備配線２３、２４は、少なくとも１本のソース配線４の両端を挟むように構成されていなくてはならない。
【００２５】
第二の予備配線である対向配線２２を、予備配線２３、２４間が電気的に導通するよう導電粒子を介して接続する。
ソース配線４の断線時に、その部分と交差している予備配線２３、２４の短絡リペア用パッド２５をそれぞれにレーザ照射して接続し、これにより、ソース配線４の断線を、予備配線２３と対向配線２２と予備配線２４を介して接続することができる。
実施の形態７は、従来の内部配線リペア方式に比べて、面積的節約が小さいので、配線を複数設けたり、配線幅を大きくして配線抵抗を下げることが容易である。また、アレイ基板１上に新たにリペア配線用の面積をとることを必要としない。
【００２６】
一方、外部配線リペア方式に比べても、ＴＣＰや外部回路基板にリペア用の新たな配線を設ける必要がない。
なお、実施の形態７では、ソース配線４にリペア用の配線を設けたが、ゲート配線３に設けることもできる。
【００２７】
実施の形態８．
図９は、この発明の実施の形態８による反射型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
図において、１、６〜８、１４〜２１は、図２におけるものと同一のものである。２６は不透明材料を用いて形成された対向基板である。
実施の形態１〜実施の形態７においては、対向基板２及びアレイ基板１を透明材料で構成したが、実施の形態８では、対向基板２６に不透明材料を用いている。実施の形態１〜実施の形態７では、偏光板１４を対向基板２およびアレイ基板１に設置していたが、実施の形態８では、アレイ基板１のみに設置し、対向基板２６には設置しない。対向基板２６の他の構成は図２におけるものと同じである。実施の形態８による液晶表示装置では、アレイ基板１に入射させる光の反射光の変化によって表示画面を見ることができる。
【００２８】
また、実施の形態１〜実施の形態７では、駆動回路層１７は、液晶の表示ができるよう透明材料を用いるか、または表示開口部１６に不透明な駆動回路層１７を配置しないように構成する必要があり、制約があったが、実施の形態８では駆動回路層１７へのこのような制約はない。
また、対向基板２６の不透明材料として、シリコン基板を用いると、一般的にＬＣＤに用いられるガラスや石英に比べて、回路の性能を上げることができることは言うまでもない。
なお、実施の形態８では、対向基板のみを不透明材料で形成したが、アレイ基板のみを不透明材料で形成することもできる。
【００２９】
【発明の効果】
この発明は、以上説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
第一の基板とこの第一の基板に対向して配置された第二の基板との間に挟持された液晶に電界を印加して表示を行う液晶表示装置において、複数の走査線とこの複数の走査線に交差する複数の信号線によって駆動されるマトリクス状に配置された画素を有する表示部と、走査線及び信号線に接続され、画素に駆動信号を供給する駆動回路とが、第一の基板上及び第二の基板上に、それぞれ分離して形成されているので、第一の基板の表示部と第二の基板の駆動回路を別々に作成することができ、歩留まりの向上ができる。
【００３０】
また、第一の基板上に形成され、複数の走査線と複数の信号線との交点にマトリクス状に配置されたスイッチング素子に、第二の基板上に形成され、走査線及び信号線に並列に接続された第一の駆動回路及び第二の駆動回路によって駆動信号を供給するので、駆動回路を冗長に形成することができる。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、各走査線及び信号線の一端に接続して、駆動回路を冗長に形成することができる。
【００３１】
さらに、第一の駆動回路と第二の駆動回路の出力側は、第二の基板上で接続されると共に、各走査線及び信号線の一端に接続して、駆動回路を冗長に形成することができる。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、表示部を介して反対側に配置され、各走査線または信号線の両端にそれぞれ接続して、駆動回路を冗長に形成することができる。
また、第一の駆動回路と第二の駆動回路は、駆動方式が異なっており、切替えて用いられるよう構成されているので、異なる駆動方式の駆動を行うことができる。
さらにまた、第一の基板上の走査線又は信号線と、第二の基板上の駆動回路との接続には、導電粒子を含む接着材が用いられているので、接続工程を短縮することができる。
【００３３】
また、走査線あるいは信号線の両端部にそれぞれ接続されると共に第二の基板上に形成された予備走査線あるいは予備信号線を備えたので、走査線毎に修復用の予備走査線を設けることができると共に、予備走査線あるいは予備信号線のための第一の基板の面積増加を抑えることができる。
【００３４】
また、表示部の両側で、走査線あるいは信号線とそれぞれ絶縁膜を介して交差するように設けられた一対の第一の予備配線、この一対の第一の予備配線にそれぞれ接続され、第二の基板上に形成された第二の予備配線を備えたので、第一の基板の面積増加を抑えながら、修復用の予備配線を設けることができる。
【００３５】
さらに、第一の基板及び第二の基板の配線間の接続には、導電粒子を含む接着材が用いられているので、接続工程を短縮することができる。
また、第一の基板及び第二の基板のいずれか一方を不透明材料を用いて構成したので、不透明材料を用いる基板の回路配置又は回路材料の制限のない、反射型液晶表示装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図２】  この発明の実施の形態１によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図３】  この発明の実施の形態２によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図４】  この発明の実施の形態３によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図５】  この発明の実施の形態４によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図６】  この発明の実施の形態５によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図７】  この発明の実施の形態６によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図８】  この発明の実施の形態７によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【図９】  この発明の実施の形態８によるＴＦＴアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１  アレイ基板、  ２，２６  対向基板、  ３  ゲート配線、
４  ソース配線、  ５  ＴＦＴ、  ６  画素電極、  ７  対向電極、
８  液晶層、  ９  駆動回路、  １１  出力端子、  １２  表示部、
１４  偏光板、  １５  アレイ回路層、  １７  駆動回路層、
１９  シール材、  ２０  導電粒子、  ２２  対向配線、
２３，２４  予備配線。
【図１】
0003875787.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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