(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面に凹条が設けられた被載置体が荷台に載置され、前記荷台には、前記凹条に嵌合して前記被載置体との位置決めをする突部が設けられた無人搬送車であって、
前記突部が前記凹条と線接触または面接触するように構成されており、
前記荷台には、前記被載置体が載置されたときに、前記突部を前記被載置体の前記凹条に倣わせる倣い機構が設けられていることを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
請求項１記載の無人搬送車において、
前記倣い機構は、前記荷台に嵌着する軸体と、
前記軸体に支持された前記突部を備えてなり、
前記軸体が弾性材から構成されることを特徴とする無人搬送車。
【請求項３】
請求項１記載の無人搬送車において、
前記倣い機構は、前記荷台に設けられた回動軸と、
前記回動軸に対して軸線回りに回動可能に連結された前記突部と、
前記突部を前記凹条と嵌合する姿勢に維持する維持部材とを備えた構成とされることを特徴とする無人搬送車。
【請求項４】
請求項３記載の無人搬送車において、
前記回動軸が弾性材から構成されることを特徴とする無人搬送車。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の無人搬送車において、
前記突部は、前記荷台に設けられた基体と、
前記基体の先端に設けられ、前記凹条と嵌合する嵌合体とを備えてなり、
前記基体が弾性材から構成されることを特徴とする無人搬送車。
【請求項６】
請求項５記載の無人搬送車において、
前記嵌合体が弾性材から構成されることを特徴とする無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷台に位置決めして載置された被載置体を搬送する無人搬送車に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造工場では、半導体ウェーハは、ウェーハキャリアに複数枚収納された状態で、各種加工装置、検査装置へ搬送される。
この搬送においては、無線等で制御された無人搬送車が多く用いられており、前記ウェーハキャリアは、この無人搬送車の荷台に位置決めされた状態で載置される。
そして、搬送先でロボット等によりウェーハキャリアごと無人搬送車から各種装置へ移載され、各種加工、検査が施された後、再び無人搬送車に移載される。
【０００３】
近年の半導体デバイスは、高性能化、高機能化に伴い高集積化が進み、それを経済的に実現するために、半導体ウェーハの大口径化（例えば、直径３００ｍｍ）が不可欠とされ、３００ｍｍ対応のウェーハキャリアが必要になってきた。
この大口径用ウェーハキャリアの場合、移載精度がラフでも高精度に位置決めができるように、キネマティックカップリングなる方法が半導体製造関連メーカ間で標準として採用されることが決まった。
【０００４】
図２０ないし図２２に、キネマティックカップリングにより位置決めされるウェーハキャリアと、無人搬送車の一例を示す。
図２０において、符号１は無人搬送車であり、符号２はウェーハキャリア（被載置体）である。
ウェーハキャリア２は、その内部に複数のウェーハ３を収納するものであって、無人搬送車１に設けられた荷台４に載置されている。
【０００５】
図２１に示すように、ウェーハキャリア２は、天壁部５と、該天壁部５と収納空間６を隔てた底壁部７と、これら天壁部５、底壁部７間に形成された側壁部８とから構成されている。
各側壁部８には、収納空間６に臨ませてウェーハ３を水平に収納する複数の収納段部９が形成されている。
また、各側壁部８の外側には、各種装置のロボット（図示せず）に把持される把持部１０および把持部１００が形成されている。
【０００６】
底壁部７の下面には、１２０゜間隔で環状に位置決め部１１が配置されている。
位置決め部１１の下面側には、位置決め用の断面視Ｖ字状のＶ溝１２（凹条）が形成されており、Ｖ溝１２は、それぞれ軸線が底壁部７の中心へ向かうように形成されている。
【０００７】
一方、無人搬送車１は、載置されたウェーハキャリア２を各種装置へ搬送するものであって、その荷台４上には、図２２に示すように、位置決め部材１１のＶ溝１２に対応する位置にキネマティックピン１３が設けられている。
キネマティックピン１３は、Ｖ溝１２に嵌合することにより位置決め部１１と荷台４とを、即ちウェーハキャリア２と無人搬送車１とを位置決めするものであって、円柱状の基部１４と、該基部１４の先端に形成された半球状の嵌合部１５とから構成されるものである。
【０００８】
上記の構成の無人搬送車１とウェーハキャリア２においては、荷台４上にウェーハキャリア２を載置したときに、キネマティックピン１３の嵌合部１５と位置決め部１１のＶ溝１２が嵌合して、無人搬送車１とウェーハキャリア２とが位置決めされる。
このＶ溝１２は、断面視Ｖ字状とされているので、載置の際に、キネマティックピン１３と位置決め部１１との位置が若干異なっていても、Ｖ溝１２の傾斜面に沿ってウェーハキャリア２が移動するため、これらは正確に位置決めされる。
【０００９】
そして、無人搬送車１により搬送されたウェーハキャリア２は、各種装置のロボットに把持部１０，１００を把持されて移載される。
このとき、ウェーハキャリア２は、正確に位置決めされているため、ロボットによる移載は、支障なく行われる。
各種装置による加工、検査が終了すると、ウェーハキャリア２は、再度ロボットにより無人搬送車１へ移載される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来の無人搬送車には、以下のような問題が存在する。
キネマティックピン１３の嵌合部１５は、半球状とされているため、位置決め部１１のＶ溝１２との嵌合は点接触になってしまう。
そのため、接触部における面圧力が高くなり、接触を繰り返すことにより、位置決め部１１に摩耗による損傷が発生していた。
この摩耗は、無人搬送車１の搬送時、大きな振動が加わった際には、一層大きくなる恐れがあった。
【００１１】
位置決め部１１に、摩耗による損傷が発生した場合、無人搬送車１とウェーハキャリア２との位置決め精度が低下してしまい、各種装置のロボットによる移載に支障を来す可能性があった。
そのため、位置決め精度維持には、ウェーハキャリアを頻繁に交換する必要があり、コストアップの一因になっていた。
また、摩耗による塵埃で、微細な塵を嫌う製造工場内のクリーン度が維持できないという問題も発生していた。
【００１２】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、被載置体が荷台に繰り返し載置されても摩耗による損傷が発生しない無人搬送車を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
請求項１記載の無人搬送車は、下面に凹条が設けられた被載置体が荷台に載置され、前記荷台には、前記凹条に嵌合して前記被載置体との位置決めをする突部が設けられた無人搬送車であって、前記突部が前記凹条と線接触または面接触するように構成されており、前記荷台には、前記被載置体が載置されたときに、前記突部を前記被載置体の前記凹条に倣わせる倣い機構が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
従って、本発明の無人搬送車によれば、凹条と突部との接触部が線または面になるため、接触長さ、または接触面積が増大する。
即ち、接触部に掛かる圧力が低下する。
また、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、倣い機構により突部が凹条に倣って嵌合することができる。
【００１７】
請求項２記載の無人搬送車は、請求項１記載の無人搬送車において、前記倣い機構は、前記荷台に嵌着する軸体と、前記軸体に支持された前記突部を備えてなり、前記軸体が弾性材から構成されることを特徴とする。
【００１８】
従って、本発明の無人搬送車によれば、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、軸体が突部を介して弾性変形して該突部を凹条に倣わせることができる。
【００１９】
請求項３記載の無人搬送車は、請求項１記載の無人搬送車において、前記倣い機構は、前記荷台に設けられた回動軸と、前記回動軸に対して軸線回りに回動可能に連結された前記突部と、前記突部を前記凹条と嵌合する姿勢に維持する維持部材とを備えた構成とされることを特徴とする。
【００２０】
従って、本発明の無人搬送車によれば、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、維持部材により凹条と嵌合する姿勢に維持された突部が回動軸の軸線回りに回動して、該凹条に倣うことができる。
【００２１】
請求項４記載の無人搬送車は、請求項３記載の無人搬送車において、前記回動軸が弾性材から構成されることを特徴とする。
【００２２】
従って、本発明の無人搬送車によれば、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、弾性材が突部を介して弾性変形するため、突部は一層凹条に倣い易くなる。
【００２３】
請求項５記載の無人搬送車は、請求項１から４のいずれか１項に記載の無人搬送車において、前記突部は、前記荷台に設けられた基体と、前記基体の先端に設けられ、前記凹条と嵌合する嵌合体とを備えてなり、前記基体が弾性材から構成されることを特徴とする。
【００２４】
従って、本発明の無人搬送車によれば、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、基体が嵌合体を介して弾性変形するため、嵌合体は凹条に倣うことができる。
【００２５】
請求項６記載の無人搬送車は、請求項５記載の無人搬送車において、前記嵌合体が弾性材から構成されることを特徴とする。
【００２６】
従って、本発明の無人搬送車によれば、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、基体および嵌合体が双方とも弾性変形するので、一層凹条に倣い易くなることに加えて、凹条と接触する嵌合体が弾性材であるため、凹条の摩耗による損傷を低減させることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の無人搬送車の第１の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明する。
これらの図において、従来例として示した図２０ないし図２２と同一の構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【００２８】
図１において、符号１６は、嵌合部材（突部）である。
嵌合部材１６は、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２に対応するように、１２０゜間隔で荷台４上に環状配置されたものであって、荷台４に当接する基体１７と、該基体１７の先端に設けられた嵌合体１８とから構成されるものである。
【００２９】
嵌合体１８は、Ｖ溝１２に当接して嵌合するものであって、Ｖ溝１２の長さ方向と同一方向に形成され、その断面が円弧輪郭を有する半円形状とされるものである。
また、この嵌合部材１６は、摩擦抵抗が小さく、かつ摩耗の少ない材料、例えば、テフロン系、ポリエチレン系の樹脂、ステンレス等の金属またはセラミック等で形成されている。
【００３０】
上記の構成の無人搬送車において、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２は、三つの嵌合部材１６の嵌合体１８と、それぞれ嵌合して位置決めされる。
このとき、嵌合体１８がＶ溝１２の長さ方向と同一方向に形成されており、その断面が円弧輪郭を有しているため、嵌合体１８とＶ溝１２とは線接触した状態にある。
【００３１】
本実施の形態の無人搬送車によれば、嵌合体１８とＶ溝１２とが線接触しているため、接触部に掛かる圧力が低下する。
従って、ウェーハキャリア２を繰り返し荷台４に載置しても、摩耗による損傷および塵埃の発生が防止できる。
【００３２】
また、図２ないし図４は、本実施の形態を構成する嵌合部材１６の変形例である。
図２および図３は、断面形状が台形をなす嵌合部材１６Ａ，１６Ｂを示すものであり、この場合、Ｖ溝１２と嵌合する面１９は、Ｖ溝１２が形成する傾斜面と同一の傾斜角に形成されている。
嵌合部材１６Ａについては、嵌合体１８の長さ方向の両端が傾斜面２０とされている。
図４に示す嵌合部材１６Ｃは、図１に示す嵌合部材１６に対して、頂部に平坦面２１が形成され、嵌合体１８の前記長さ方向の両端が傾斜面２２とされるものである。
【００３３】
この場合、嵌合部材１６Ａ，１６Ｂの嵌合体１８とＶ溝１２とは、面接触することになり、接触部に掛かる圧力は一層低下することになる。
また、嵌合部材１６Ａには、傾斜面２０が形成されているため、Ｖ溝１２を嵌合する際のガイドとなる。
嵌合部材１６Ｃについても、傾斜面２２が形成されているため、嵌合部材１６Ａと同様の作用、効果が得られる。
【００３４】
図５ないし図１０は、本発明の無人搬送車の第２の実施の形態を示す図である。
これらの図において、図１ないし図４に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第２の実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、倣い機構２３が設けられていることである。
【００３５】
倣い機構２３は、ウェーハキャリア２が荷台４に載置されたときに、嵌合部材１６をウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣わせるものであって、図５に示すように、嵌合部材１６と、該嵌合部材１６に一定寸法離間した位置に、荷台４から突出して設けられた突出軸２４と、嵌合部材１６の長さ方向の一端と突出軸２４との間に張設され、これらを互いに接近させる方向に付勢する引張バネ２５（維持部材）とを備えるものである。
【００３６】
図６に示すように、嵌合部材１６には、回動軸２６が連結されている。
回動軸２６は、荷台４に形成された孔２７に設けられたものであって、孔２７に嵌着する嵌着部２８と、該嵌着軸２８より大径に形成された大径部２９と、該大径部２９と嵌着部２８との間に形成され、これら大径部２９、嵌着部２８より小径の小径部３０とを備えた構成とされている。
また、この回動軸２６は、ウレタン、シリコン等のゴム、エラストマ系弾性材で形成されている。
【００３７】
嵌合部材１６は、その嵌合体１８の断面が円弧輪郭を有する半円形状をなすものであって、基体１７には回動軸２６の小径部３０が貫通する貫通孔３１と、該貫通孔３１より大径に形成された孔部３２を有している。
これら貫通孔３１、孔部３２に、回動軸２６の小径部３０、大径部２９がそれぞれ嵌挿されることにより、嵌合部材１６は回動軸２６に、その軸線回りに回動可能に連結されている。
また、回動軸２６と突出軸２４とは、Ｖ溝１２の長さ方向に沿って配置されている。
【００３８】
上記の構成の無人搬送車において、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２は、三つの嵌合部材１６の嵌合体１８と、それぞれ嵌合して位置決めされる。
この載置の際、Ｖ溝１２と嵌合部材１６との位置決めが正確でなかった場合においては、引張バネ２５により嵌合部材１６がＶ溝１２と嵌合する姿勢に維持するため、嵌合部材１６とＶ溝１２との嵌合は支障なく行われる。
【００３９】
即ち、回動軸２６と突出軸２４とは、Ｖ溝１２の長さ方向に沿って配置され、この回動軸２６には嵌合部材１６が軸線回りに回動可能に連結され、嵌合部材１６の長さ方向の一端と突出軸２４との間に、これらを互いに接近させる方向に付勢する引張バネ２５が張設されているため、嵌合部材１６はＶ溝１２に倣って該Ｖ溝１２と嵌合する姿勢に維持される。
【００４０】
本実施の形態の無人搬送車によれば、上記の第１の実施の形態と同様の効果が得られることに加えて、倣い機構２３により、嵌合部材１６がウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣うため、さらに、回動軸２６が弾性材で形成されているため、嵌合部材１６とＶ溝１２との位置決めが不十分であっても、嵌合部材１６が弾性変形してＶ溝１２に倣うので、これらは支障なく嵌合して位置決めされる。
即ち、ウェーハキャリア２の移載を繰り返し行っても、無人搬送車１に対する正確な位置決めが維持される。
【００４１】
また、図７ないし図１０は、本実施の形態を構成する嵌合部材１６の変形例である。
図７および図８は、断面形状が台形をなす嵌合部材１６Ｄ，１６Ｅを示すものであり、図９は図６に示す嵌合部材１６に対して、頂部に平坦面２１が形成された嵌合部材１６Ｆを示すものである。
一方、図１０は、断面形状が円形をなす嵌合部材１６Ｇを示すものであり、その長さ方向の両端には、傾斜面３３が形成されている。
【００４２】
この場合、嵌合部材１６Ｄ，１６Ｅの嵌合体１８とＶ溝１２とは、面接触することになり、接触部に掛かる圧力は一層低下することになる。
また、嵌合部材１６Ｄには、傾斜面２０が形成されているため、Ｖ溝１２を嵌合する際のガイドとなる。
嵌合部材１６Ｆ、１６Ｇについても、傾斜面２２が形成されているため、嵌合部材１６Ｄと同様の作用、効果が得られる。
【００４３】
図１１は、本発明の無人搬送車の第３の実施の形態を示す図である。
この図において、図５および図６に示す第２の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第３の実施の形態と上記の第２の実施の形態とが異なる点は、倣い機構の構成である。
【００４４】
即ち、倣い機構３４は、嵌合部材１６と、該嵌合部材１６と軸線回りに回動可能に連結された回動軸２６と、コイルスプリング３５（維持部材）とを備えるものである。
コイルスプリング３５は、嵌合部材１６の基体１７に形成された孔部３２内に、回動軸２６と嵌合部材１６とを互いに離間させる方向に、かつ、概ねＶ溝１２と嵌合する位置にある嵌合部材１６に対して、その姿勢を維持するように付勢するものである。
【００４５】
このとき、嵌合部材１６は、コイルスプリング３５により上方に付勢されて、荷台４との間に隙間３７を形成している。
また、嵌合部材１６は、コイルスプリング３５の組込性向上のために基体１７と嵌合体１８とを取付ネジ３６で固定する構成とされている。
【００４６】
上記の構成の無人搬送車において、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２は、三つの嵌合部材１６の嵌合体１８と、それぞれ嵌合して位置決めされる。
即ち、ウェーハキャリア２が嵌合部材１６に載置される際に、嵌合部材１６はコイルスプリング３５により上方へ付勢されているが、ウェーハキャリア２の重力により下方に押圧される。
【００４７】
このとき、Ｖ溝１２と嵌合部材１６との位置決めが正確でなかった場合においては、嵌合部材１６が回動軸２６の軸線回りに回動してＶ溝１２と嵌合するため、嵌合部材１６とＶ溝１２との位置決めは支障なく行われる。
【００４８】
本実施の形態の無人搬送車によれば、上記の第２の実施の形態と同様に、倣い機構３４により、嵌合部材１６がウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣うため、嵌合部材１６とＶ溝１２との位置決めが不十分であっても、これらは支障なく嵌合して位置決めされる。
即ち、ウェーハキャリア２の移載を繰り返し行っても、無人搬送車１に対する正確な位置決めが維持されることになる。
【００４９】
図１２ないし図１５は、本発明の無人搬送車の第４の実施の形態を示す図である。
これらの図において、図１ないし図４に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第４の実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、倣い機構３８が設けられていることである。
【００５０】
即ち、図１２に示すように、倣い機構３８は、ウェーハキャリア２が荷台４に載置されたときに、嵌合部材１６Ｈをウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣わせるものであって、軸体３９と、該軸体３９に支持された嵌合部材１６Ｈとから構成されている。
軸体３９は、荷台４に嵌着するものであって、ウレタン、シリコン等のゴム、エラストマ系弾性材で形成されている。
【００５１】
上記の構成の無人搬送車において、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２は、嵌合部材１６Ｈの嵌合体１８と、それぞれ嵌合して位置決めされる。
この載置の際、Ｖ溝１２と嵌合部材１６Ｈとの位置決めが正確でなかった場合においては、軸体３９が弾性変形して、嵌合部材１６ＨがＶ溝１２と嵌合する姿勢になるため、嵌合部材１６ＨとＶ溝１２との嵌合は支障なく行われる。
【００５２】
また、図１３ないし図１５に示すものは、嵌合部材１６Ｈの変形例である。
これらの図に示す嵌合部材１６Ｊ，１６Ｋ，１６Ｌは、嵌合部材１６Ｈに対して嵌合体１８の形状が異なっており、この場合の作用、効果は図８ないし図１０に示す上記の第２の実施の形態と同様である。
【００５３】
本実施の形態の無人搬送車によれば、上記の第２の実施の形態と同様に、倣い機構３８により、嵌合部材１６Ｈ，１６Ｊ，１６Ｋ，１６Ｌがウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣うため、嵌合部材１６Ｈ，１６Ｊ，１６Ｋ，１６ＬとＶ溝１２との位置決めが不十分であっても、これらは支障なく嵌合して位置決めされる。即ち、ウェーハキャリア２の移載を繰り返し行っても、無人搬送車１に対する正確な位置決めがなされることになる。
【００５４】
図１６ないし図１９は、本発明の無人搬送車の第５の実施の形態を示す図である。
これらの図において、図１ないし図４に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素については同一符号を付し、その説明を省略する。
第５の実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、倣い機構４０が設けられたことである。
【００５５】
即ち、図１６に示すように、倣い機構４０を構成する嵌合部材１６Ｍは、基体１７と嵌合体１８とから構成されている。
嵌合体１８は、摩擦抵抗が小さく、かつ摩耗の少ない材料、例えば、テフロン系、ポリエチレン系の樹脂、ステンレス等の金属またはセラミック等で形成されており、基体１７は、ウレタン、シリコン等のゴム、エラストマ系弾性材で形成されている。
【００５６】
また、図１７ないし図１９に示すものは、嵌合部材１６Ｍの変形例である。
図１７および図１８に示す嵌合部材１６Ｎ，１６Ｐは、嵌合部材１６Ｍに対して嵌合体１８の形状が異なっており、この場合の作用、効果は図３および図４に示す上記の第１の実施の形態と同様である。
図１９に示す嵌合部材１６Ｑは、ウレタン、シリコン等のゴム、エラストマ系弾性材で形成された基体１７と、該基体１７の上部表面を形成するように固着する金属等の硬い材料で形成された嵌合体１８とから構成されるものである。
【００５７】
上記の構成の無人搬送車において、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、ウェーハキャリア２の位置決め用Ｖ溝１２は、嵌合部材１６Ｍの嵌合体１８と、それぞれ嵌合して位置決めされる。
この載置の際、Ｖ溝１２と嵌合部材１６Ｍとの位置決めが正確でなかった場合においては、基体１７が弾性変形して、嵌合体１８がＶ溝１２と嵌合する姿勢になるため、嵌合部材１６ＭとＶ溝１２との嵌合は支障なく行われる。
【００５８】
本実施の形態の無人搬送車によれば、上記の第２の実施の形態と同様に、倣い機構４０により、嵌合部材１６Ｍ，１６Ｎ，１６Ｐ，１６Ｑがウェーハキャリア２のＶ溝１２に倣うため、嵌合部材１６Ｍ，１６Ｎ，１６Ｐ，１６ＱとＶ溝１２との位置決めが不十分であっても、これらは支障なく嵌合して位置決めされる。
即ち、ウェーハキャリア２の移載を繰り返し行っても、無人搬送車１に対する正確な位置決めがなされることになる。
【００５９】
なお、上記実施の形態において、嵌合体１８をテフロン系、ポリエチレン系の樹脂、ステンレス等の金属またはセラミック等で形成される構成としたが、これに限られることなく、例えば、本発明の第６の実施の形態として、ウレタン、シリコン等のゴム、エラストマ系弾性材で形成される構成、即ち、嵌合部材が弾性材からなる構成であってもよい。
【００６０】
この構成の無人搬送車によれば、ウェーハキャリア２を荷台４に載置した際に、上記の第５の実施の形態と同様の作用、効果が得られることに加えて、Ｖ溝１２と嵌合する嵌合体１８が弾性材で形成されているため、ウェーハキャリア２に摩耗による損傷が発生する可能性が一層低下する。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１に係る無人搬送車によれば、被載置体の下面に凹条が形成され、荷台に該被載置体との位置決めを行う突部が形成された無人搬送車において、これら凹条と突部とが、線接触または面接触しており、荷台には、突部を被載置体の凹条に倣わせる倣い機構が設けられた構成となっている。
これにより、接触部に掛かる圧力が低下して、ウェーハキャリア２を繰り返し荷台４に載置しても、磨耗による損傷が発生することなく、位置決め精度の維持と塵埃の発生が防止できるという優れた効果を奏するものである。
さらに、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、突部が凹条に倣って嵌合する、即ち、無人搬送車と被載置体との位置決めが確実になされるという優れた効果を奏する。
【００６３】
請求項２に係る無人搬送車によれば、突部が軸体に支持されており、この軸体が弾性材からなる構成となっている。
これにより、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、軸体が弾性変形して突部を凹条に倣わせる、即ち、無人搬送車と被載置体との位置決めが確実になされるという優れた効果を奏する。
【００６４】
請求項３に係る無人搬送車によれば、倣い機構が回動軸と突部と維持部材とから構成され、突部は回動軸の軸線回りに回動可能とされ、維持部材は突部を凹条と嵌合する姿勢に維持する構成となっている。
これにより、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、維持部材が突部を回動して凹条と嵌合する姿勢に維持する、即ち、無人搬送車と被載置体とを位置決めした状態に維持できるという優れた効果を奏するものである。
【００６５】
請求項４に係る無人搬送車によれば、回動軸が弾性体からなる構成となっている。
これにより、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、回動軸が弾性変形して突部を凹条に倣わせる、即ち、無人搬送車と被載置体との位置決めが確実になされるという優れた効果を奏する。
【００６６】
請求項５に係る無人搬送車によれば、突部が基体と嵌合体とを備え、該基体が弾性材からなる構成となっている。
これにより、載置の際に、凹条と突部との位置決めが正確でなかったとしても、基体が弾性変形して嵌合体を凹条に倣わせる、即ち、無人搬送車と被載置体との位置決めが一層確実になされるという優れた効果を奏する。
【００６７】
請求項６に係る無人搬送車によれば、嵌合体が弾性材からなる構成となっている。
これにより、被載置体の凹条に磨耗による損傷が発生する可能性が一層低下する、即ち、無人搬送車と被載置体との位置決め状態が維持されることに加えて、塵埃発生を防止できるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態を示す図であって、荷台上に嵌合部材が設けられている外観斜視図である。
【図２】  本発明の第１の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図３】  本発明の第１の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図４】  本発明の第１の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図５】  本発明の第２の実施の形態を示す図であって、荷台に倣い機構が設けられた平面図である。
【図６】  本発明の第２の実施の形態を示す図であって、嵌合部材が回動軸に連結されている断面図である。
【図７】  本発明の第２の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図８】  本発明の第２の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図９】  本発明の第２の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１０】  本発明の第２の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１１】  本発明の第３の実施の形態を示す図であって、嵌合部材が回動軸に連結されている断面図である。
【図１２】  本発明の第４の実施の形態を構成する嵌合部材の外観斜視図である。
【図１３】  本発明の第４の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１４】  本発明の第４の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１５】  本発明の第４の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１６】  本発明の第５の実施の形態を構成する嵌合部材の外観斜視図である。
【図１７】  本発明の第５の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１８】  本発明の第５の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図１９】  本発明の第５の実施の形態を構成する嵌合部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図２０】  無人搬送車の荷台にウェーハキャリアが載置されている外観斜視図である。
【図２１】  下面にＶ溝が形成されたウェーハキャリアの外観斜視図である。
【図２２】  従来技術の位置決めピンの一例を示す外観斜視図である。
【符号の説明】
１  無人搬送車
２  ウェーハキャリア（被載置体）
４  荷台
１２  Ｖ溝（凹条）
１６，１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ，１６Ｅ，１６Ｆ，１６Ｇ，１６Ｈ，１６Ｊ，１６Ｋ，１６Ｌ，１６Ｍ，１６Ｎ，１６Ｐ，１６Ｑ  嵌合部材（突部）
１７  基体
１８  嵌合体
２３，３４，３８  倣い機構
２５  引張バネ（維持部材）
２６  回動軸
３５  コイルスプリング（維持部材）
３９  軸体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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