(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド層内に形成された光伝播用のコア層の所望の位置で上記コア層を伝播してきた光を任意の方向に反射させる反射ミラーを有する反射ミラー付導波路において、上記反射ミラーは上記コア層の所望の位置に固着形成された気泡からなり、上記気泡は固体であるコア層又は固体であるクラッド層に囲まれた密封空間であることを特徴とする反射ミラー付導波路。
【請求項２】
上記コア層は、集光点で上記クラッド層に気泡が生じない程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームを上記クラッド層の所望位置に集光するように照射して直線状若しくは曲線状に高屈折率化されたものである請求項１に記載の反射ミラー付導波路。
【請求項３】
上記反射ミラーは曲線状コア層の変曲点部に形成されている請求項１または２に記載の反射ミラー付導波路。
【請求項４】
上記コア層は２次元的若しくは３次元的に形成されている請求項１から３のいずれかに記載の反射ミラー付導波路。
【請求項５】
上記クラッド層及びコア層は、アサーマルなガラス材料からなる請求項１から４のいずれかに記載の反射ミラー付導波路。
【請求項６】
上記クラッド層は、基板上に形成されている請求項１から５のいずれかに記載の反射ミラー付導波路。
【請求項７】
上記反射ミラーの反射光路上にコア層に受光素子若しくは発光素子が実装されている請求項１から６のいずれかに記載の反射ミラー付導波路。
【請求項８】
クラッド層内に形成された光伝播用のコア層の所望の位置に上記コア層を伝播してきた光を任意の方向に反射させる反射ミラーを有する反射ミラー付導波路の製造方法において、集光点で上記クラッド層に気泡が生じる程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームを、クラッド層内に集光するように照射し、その集光点部分を気化させることで密封空間からなる反射ミラーを形成することを特徴とする反射ミラー付導波路の製造方法。
【請求項９】
集光点でクラッド層に気泡が生じない程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームを、上記クラッド層の所望位置に集光するように照射して直線状若しくは曲線状に高屈折率化させてコア層を形成する請求項８に記載の反射ミラー付導波路の製造方法。
【請求項１０】
上記反射ミラーを曲線状のコア層の変曲点部に形成する請求項８または９に記載の反射ミラー付導波路の製造方法。
【請求項１１】
上記コア層を２次元的若しくは３次元的に形成する請求項８から１０のいずれかに記載の反射ミラー付導波路の製造方法。
【請求項１２】
上記コア層内に可視光を伝播させ、該可視光をモニタしながら上記反射ミラーを形成する請求項８から１１のいずれかに記載の反射ミラー付導波路の製造方法。
【請求項１３】
上記コア層内に可視光を伝播させ、該可視光をモニタしながら上記超短パルスレーザビームの照射条件を制御する請求項８から１２のいずれかに記載の反射ミラー付導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、反射ミラー付導波路及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光部品として反射ミラー付導波路が強く望まれている。この導波路はコア層内を伝播する信号光を効率よく略直角に折り曲げて導波路の面に垂直な方向に伝播させることにより光信号を取り出したり、逆に導波路の表面若しくは裏面から信号光をコア層内に導入してコア層内を伝播させたものである。
【０００３】
すなわち、導波路の表面（裏面）に取り付けられた面発光レーザのような平面発光素子からのレーザ光を導波路のコア層内に導いて伝播させたり、逆に導波路のコア層内を伝播する信号光を鉛直方向に取り出して受光素子に導く光ハイブリットデバイスや光・電気複合デバイス等の開発が望まれており、それには光信号を鉛直方向に折り曲げる導波路が必須である。
【０００４】
このような垂直伝搬型導波路の構造として図６〜図８に示す構造が提案されている。
【０００５】
図６は垂直伝搬型導波路の従来例を示す断面図である。
【０００６】
同図に示す導波路１３０は、導波路１３０の上部に、例えば機械的にコア層１３１の光軸に対して４５度傾斜させた溝１３２を形成し、その空気の層を有する溝１３２の内壁を反射面１３３としたものである。
【０００７】
図７（ａ）は従来の垂直伝搬型導波路を用いた送受信モジュールの外観斜視図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の発光素子近傍の側面図である。
【０００８】
この送受信モジュール１４０は、マイクロ加工により導波路内にコア層の光軸に対して４５度傾斜した全反射面１４１を形成したものである。この導波路１４０はポリイミドまたはガラスからなっている。
【０００９】
図８（ａ）、（ｂ）は従来の垂直伝搬型導波路の製造方法を示す図である。
【００１０】
図８（ａ）、（ｂ）に示すいずれの方法も導波路１５０の上部に、先端面が４５度の傾斜面になるように加工された光ファイバ１５１を挿入するためのスルーホール１５２を形成し、このスルーホール１５２内に光ファイバ１５１が固定された光素子ＯＥＳＭＤを挿入するか（図８（ａ））、あるいは光ファイバ１５１をスルーホール１５２内に挿入した後光素子ＯＥＳＭＤを固定することにより、コア層１５３の途中にコア層１５３の光軸に対して４５度傾斜した反射面１５４を設けるものである（図８（ｂ））。
【００１１】
図９（ａ）は導波路型方向性結合器の従来例を示す平面図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）の側面図である。
【００１２】
この方向性結合器は、結合長Ｌの平行に配置された２つのコア層２１、２２間にギャップＳをもたせて配置させることにより、例えば、ポート２０−１から入射した光信号をポート２０−２、２０−３に等分配する光分岐回路、若しくは２つの波長の光信号を分波する光分波回路である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来技術には以下のような問題がある。
（１）いずれも構想であり、高寸法精度、高角度精度で微小寸法の溝や孔を形成することは極めて難しく、未だに低結合損失のものは実現されていない。
（２）マイクロ加工による全反射も構想であり、（１）と同様に実現されていない。
（３）反射面の形成に関しては伝搬する信号光をモニタしながら形成する方法が見出されていないので、低結合損失で再現性よく製造することは難しい。
（４）反射面は機械的若しくはレーザ照射により切削加工することにより形成されるので、高寸法精度での加工は極めて難しい。しかも加工中に最適な反射状態をモニタしながら加工する方法も確立されていない。
（５）曲率半径を小さくして曲線構造のコア層を形成することが難しいため、導波路型光部品の小型化が難しい。すなわち、図９に示す光回路において、ポート２０−１（或いはポート２０−２）から光信号を入射したとき、ポート２０−３（或いはポート２０−４）から光信号を低損失で取り出すには、コア層を大きな曲率半径Ｒ（通常、２０ｍｍから３０ｍｍ程度）を有するＳ字形状に曲げたパターンを形成しなければならず、方向性結合器の面積が大きくなってしまう。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、製造が容易で高精度の反射ミラー付導波路及びその製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の反射ミラー付導波路は、クラッド層内に形成された光伝播用のコア層の所望の位置でコア層を伝播してきた光を任意の方向に反射させる反射ミラーを有する反射ミラー付導波路において、反射ミラーはコア層の所望の位置に固着形成された気泡からなり、上記気泡は固体であるコア層又は固体であるクラッド層に囲まれた密封空間であるものである。
【００１６】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路のコア層は、集光点でクラッド層に気泡が生じない程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームをクラッド層の所望位置に集光するように照射して直線状若しくは曲線状に高屈折率化されたものであってもよい。
【００１７】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路は、反射ミラーは曲線状コア層の変曲点部に形成されているのが好ましい。
【００１８】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路のコア層は２次元的若しくは３次元的に形成されていてもよい。
【００１９】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路のクラッド層及びコア層は、アサーマルなガラス材料からなるのが好ましい。
【００２０】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路のクラッド層は、基板上に形成されているのが好ましい。
【００２１】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路は、反射ミラーの反射光路上にコア層に受光素子若しくは発光素子が実装されていてもよい。
【００２２】
本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、クラッド層内に形成された光伝播用のコア層の所望の位置にコア層を伝播してきた光を任意の方向に反射させる反射ミラーを有する反射ミラー付導波路の製造方法において、集光点でクラッド層に気泡が生じる程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームを、クラッド層内に集光するように照射し、その集光点部分を気化させることで密封空間からなる反射ミラーを形成するものである。
【００２３】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、集光点でクラッド層に気泡が生じない程度のエネルギーを有するパルス幅が１０００フェムト秒以下の超短パルスレーザビームを、クラッド層の所望位置に集光するように照射して直線状若しくは曲線状に高屈折率化させてコア層を形成してもよい。
【００２４】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、反射ミラーを曲線状のコア層の変曲点部に形成するのが好ましい。
【００２５】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、コア層を２次元的若しくは３次元的に形成してもよい。
【００２６】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、コア層内に可視光を伝播させ、可視光をモニタしながら反射ミラーを形成してもよい。
【００２７】
上記構成に加え本発明の反射ミラー付導波路の製造方法は、コア層内に可視光を伝播させ、可視光をモニタしながら超短パルスレーザビームの照射条件を制御するようにしてもよい。
【００２８】
本発明によれば、クラッド層内に形成されている高屈折率の光伝播用コア層内に、クラッド層の外部から超短パルスレーザビームを照射・集光することにより、その集光点部分を気化させて、クラッド層内に閉じ込められた気泡からなる密封空間型の反射ミラーを形成することができるので、コア層内を伝播している光を任意の位置で反射ミラーで反射させて伝播させることができる。この結果、クラッド層の表面若しくは裏面に設けた発光素子からの光をコア層内に結合させることができる。また、コア層内を伝播している光をクラッド層の表面若しくは裏面に設けた受光素子に結合させることができる。
【００２９】
同様に発光素子からの光を密封空間型の反射ミラーに効率よく導いて反射させることができる。
【００３０】
反射ミラーは屈折率が１であるので、コア層内を伝播している光を垂直に折り曲げて効率よく伝播（全反射）させることができる。また、ＴＥモード及びＴＭモードに対しても略同様に垂直に折り曲げることができる。さらに、密封空間型の反射ミラー内は一定の気圧（大気圧）で閉じた密封空間であるので、長期的に汚染されることもなく低損失で、かつ屈折率の変化がない。すなわち、光学的に極めて安定な反射ミラーとして作用する。
【００３１】
また本発明によれば、超短パルスレーザビーム照射技術を用いてクラッド層内に高屈折率の光伝播用コア層を直線状パターン若しくは曲線状パターンに形成した後で長短パルスレーザビームを用いて曲線状パターンの変曲点部に密封空間型の反射ミラーを形成することにより、超短パルスレーザビーム照射で描画した曲線状パターンのコア層内を伝播する光の散乱損失を少なくして直角に曲げることが可能となる。また、２次元的若しくは３次元的に略直角に曲げることができるので、超小型の光回路を実現することができる。
【００３２】
さらに本発明によれば、クラッド層及びコア層をアサーマルなガラス材料で構成し、そのクラッド層内に密封空間型の反射ミラーを形成することにより、温度依存性の少ない反射ミラー付導波路を得ることができ、長期的に反射条件の変動が少ない反射ミラーが得られる。
【００３３】
さらに本発明によれば、アサーマルなガラス材料からなるクラッド層を基板上に形成することにより、低損失なクラッド層を気相化学反応法、スパッタリング法等で形成することができる。この結果、より低損失な導波路を得ることができる。しかも気相化学反応法、スパッタリング法等の方法を用いて形成したクラッド層は、ポーラスな膜であるので、密封部を容易に形成することができ、密封部の隙間をコア層の幅方向に形成することにより反射ミラーを形成することができる。
【００３４】
さらに本発明によれば、反射ミラーの反射光路上にコア層に受光素子若しくは発光素子を実装することにより、反射ミラーと受発光素子との光結合を効率的に行うことができる。
【００３５】
さらに本発明によれば、超短パルスレーザビームをクラッド層内に照射・集光することにより、任意の位置に反射ミラーを形成することができる。
【００３６】
さらに本発明によれば、超短パルスレーザビームをクラッド層内に照射・集光することにより、反射ミラーを形成することができるので、コア層を小さい曲率半径で曲げても光曲げ損失を増加させることがない。
【００３７】
さらに本発明によれば、２次元的若しくは３次元的に形成された曲線状コア層の曲率半径を小さくすることができるので、小型の導波路を得ることができる。
さらに本発明によれば、可視光をコア層内に伝播させながら反射ミラーを形成することができるので、高性能で低損失な反射ミラー付導波路が得られる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００３９】
図１は本発明の反射ミラー付導波路の一実施の形態を示す透視図である。
【００４０】
クラッド層（ＳｉＯ2ガラス若しくはＳｉＯ2に屈折率制御用添加物を少なくとも一種類含んだもの、さらにはこれらに希土類元素を添加したガラス）１内に、このクラッド層より屈折率の高い直線状の光伝播層（コア層）２−１、２−２が（図では横方向に）形成され、コア層２−１、２−２に対し垂直な方向（図では上方向に）にコア層２−３が形成されている。これら略Ｔ字形状のコア層２−１〜２−３の交差部には、密封型の反射ミラー４がコア層２−２、２−３に対して４５度の角度で形成されている。
【００４１】
このような反射ミラー付導波路のコア層２−１に対し矢印３−１方向に光が入射すると、光はコア層２−１を伝播して反射ミラー４で全反射して９０度に折り曲げられてコア層２−３を伝播し矢印３−３方向に取り出すことができるようになっている。
【００４２】
なお、光伝播層２−１〜２−３は、予め公知の光導波路製造方法（低屈折率ガラス層形成、高屈折率ガラス層形成、フォトリソグラフィ、ドライエッチング、低屈折率ガラス層被覆等を用いた方法）で形成してもよい。また超短パルスレーザビームをクラッド層内に集光、照射しながらその照射した領域を高屈折率化して光伝播層となるコア層を形成してもよい。コア層２−１〜２−３は２次元的若しくは３次元的な直線パターン、曲線パターンからなるように構成されていてもよい。また、光分岐回路、光合波回路、光合分波回路、光スイッチ等の光信号処理回路を形成してもよい。また、コア層２−２、２−３からなるＬ字形状としてもよい。
【００４３】
密封空間型の反射ミラーの形成は、超短パルスレーザビームの集光点でのエネルギーを高くすることにより、ガラスシート内に、密封された気泡を発生させ、その密封空間を所望の幅Ｗ、長さＨ、厚さＤとなるように形成することにより実現できる。なお、密封空間の反射面は平坦面になるように形成される。
【００４４】
反射ミラーを形成する際には、コア層２−２、２−３の各々から出射される矢印３−２、３−３方向の光をモニタし、矢印３−２方向の光がゼロ、矢印３−３方向の光が最大となるようにレーザビーム加工にフィードバックすることが好ましい。
【００４５】
図２（ａ）は密封空間型の反射ミラーの側面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）に示した反射ミラーの正面図である。
【００４６】
この密封空間型の反射ミラー４は、コア層の光軸１０−１に対して矢印１０−２方向に９０度反射させるために角度θが４５度になるように形成されている。反射ミラー４の幅Ｗはコア層の幅（２μｍから１０μｍの範囲）と同程度がそれより広くなるように形成される。長さＨもコア層の厚さＤ（２μｍから１０μｍの範囲）と同程度か長く形成される。反射ミラー４の厚さＤは光信号の波長の２倍から５倍の範囲が好ましい。反射ミラー４の反射面は平坦にする必要があり、後述するように反射ミラー４を形成しようとするガラスシートを、高精度なＸＹＺ移動ステージ上に固定し、ＸＹＺ移動ステージを移動させることにより行われる。
【００４７】
図３は本発明の反射ミラー付導波路の製造方法の一実施の形態を示す説明図である。
【００４８】
高精度のＸＹＺ移動ステージ５の上にガラス導波路型光部品１１が搭載され、固定されている。この導波路型光部品１１は、基板６上に低屈折率ガラス層（クラッド層）７が成膜され、その低屈折率ガラス層７の中に低屈折率ガラス層７より屈折率の高い高屈折率のコア層２が形成されている。この光伝播層としてのコア層２の途中に密封空間型の反射ミラー４を形成する。この反射ミラー４の形成はガラス導波路型光部品１１の上部に図には示されていない超短パルスレーザ光源（発振波長８００ｎｍ）を配置し、その超短パルスレーザ光源からのレーザビーム８−１をレンズ９を介して高屈折率のコア層２の所望位置に集光するように照射しながらＸＹＺ移動ステージ５を移動させて形成する。レーザビーム８−１のエネルギーは数百μＪであり、低屈折率ガラス層７の内部に気泡を発生させることができた。また、レーザビーム８−１のエネルギーが数百μＪ以下の場合には、低屈折率ガラス層７のレーザビーム８−１の照射領域は高屈折率化することが分かった（コア層形成エネルギーレベル）。
【００４９】
従って、高屈折率のコア層を超短パルスレーザビーム８−１の照射で描画形成し、その後で密封空間型反射ミラー４を連続的に形成することができることが分かった。
【００５０】
なお、超短パルスレーザビーム８−１のビーム径は１μｍ以下に絞り込んで照射するのが好ましい。
【００５１】
図４（ｂ）は本発明の反射ミラー付導波路の製造方法を適用した反射ミラー付導波路の他の実施の形態を示す側面断面図であり、図４（ａ）は図４（ｂ）の４ａ−４ａ線断面図である。
【００５２】
本反射ミラー付導波路１２は、導波路型光部品の小型化を目的として密封空間型の反射ミラー４−１、４−２、４−３、４−４を多用したものである。
【００５３】
すなわち、図８に示した従来の方向性結合器型光部品を密封型反射ミラーを用いて小型化したものである。従来のＳ字型パターンの曲率半径Ｒは数十ｍｍであったが、本構成のように、曲率半径Ｒｓの曲げ部の変曲点部に接するように密封空間型反射ミラー４−１〜４−４を設けることにより、曲率半径Ｒｓの値を従来の曲率半径Ｒの１０分の１以下に小さくすることができ、曲率半径Ｒｓの曲げ部の代わりに直角に曲がったコア層としてそのコーナー部に密封空間型反射ミラーを形成してもよい。
【００５４】
なお、１３、１４は受光素子若しくは発光素子であってもよい。また。図４に示したパターンは２次元構成以外に３次元構成であってもよい。
【００５５】
図５は本発明の反射ミラー付導波路の製造方法の他の実施の形態を示す説明図である。
【００５６】
本製造方法は、コア層２の所望位置に反射ミラー４を形成する際の所望位置を検出するものである。すなわち、矢印１５−１方向からコア層２内に可視光（例えば６３３ｎｍの赤色レーザ）を入射させて伝播させ、その可視光をレンズ９及びハーフミラー１６を通して例えばＣＣＤカメラ１７で検出し、撮像領域を表示装置１８に表示するようにしたものである。この表示により、コア層２の所望位置に超短パルスレーザビーム８−２を集光するように照射して密封空間型の反射ミラー４を形成するようにしたものである。
【００５７】
検出、表示装置としては、共焦点レーザ顕微鏡、反射型レーザ顕微鏡、３次元ナノ空間顕微鏡（東京インスツルーメンツ社製）等を用いてもよい。また、可視光を導波路の出射端側から矢印１５−２方向に取り出した光をモニタしながら密封空間型反射ミラーを形成してもよい。すなわち、矢印１５−２方向の光の強度が最小になるようにすれば反射ミラーを形成しやすくなる。但し、このモニタだけでは反射ミラーの最適形成はできないので、ＣＣＤカメラ１７でモニタした可視光が最大になるようにレーザビーム加工にフィードバック制御して行う必要がある。
【００５８】
本発明は前記実施の形態に限定されない。クラッド層には、ＳｉＯ2若しくはＳｉＯ2に屈折率制御用添加物を少なくとも１種類含んだもの以外に多成分系ガラス、アサーマルなガラス、これらのガラスに希土類元素を添加したガラス、或いはプラスチック材料等を用いることができる。
【００５９】
超短パルスレーザビームとしては、本実施の形態では８００ｎｍ帯を用いたが、波長帯が紫外域（２６０ｎｍ）から近赤外域（１６００ｎｍ）で発振するレーザを用いることができる。そのパルス幅は１０００フェムト秒以下の狭いパルス幅を用いるのが好ましい。また、その繰り返し周波数は数十ｋＨｚから数百ｋＨｚの範囲が好ましい。
【００６０】
基板６には半導体、ガラス、セラミックス、プラスチックス、強誘電体等を用いることができる。
【００６１】
また、図３及び図５に示した方法において、導波路型光部品を予め水平方向から４５度傾斜させた状態で密封空間を形成するようにしてもよい。
【００６２】
以上において、本反射ミラー付導波路及びその製造方法によれば、
（１）クラッド層内にクラッド層の外部から超短パルスレーザビームを照射することにより、密封空間型の反射ミラーを形成することができるので、コア層内を伝播する光を任意の位置で反射ミラーで折り曲げて伝播させることができる。この結果、クラッド層の表面若しくは裏面に設けた発光素子からの光をコア層内に結合させることができる。また、コア層内を伝播する光をクラッド層の表面若しくは裏面に設けた受光素子に結合させることができる。同様に、発光素子からの光を密封空間型の反射ミラーに効率よく導いて反射させることもできる。
【００６３】
（２）密封空間型の反射ミラーは屈折率が１であるので、コア層内を伝播する光を直角に折り曲げて効率的に伝播させることができる。また、ＴＥモード及びＴＭモードに対しても略同様に直角に折り曲げることができる。さらに、反射ミラー内は一定の気圧で閉じられた空間であるので、長期的に汚染されることがなく、低損失で、かつ屈折率の変化もない。すなわち、光学的に極めて安定な反射ミラーとして機能する。
【００６４】
（３）クラッド層にエネルギーが数百ｍＪ以下の超短パルスレーザビームを照射・集光することにより、高屈折率の光伝播用コア層を、直線状若しくは曲線状に形成した直後に、レーザビームを用いて曲線状コア層の変曲点部に密封空間型の反射ミラーを形成することができる。この結果、超短パルスレーザビームを照射して得られた曲線状のコア層内を伝播する光を、低散乱損失で直角に折り曲げることができる。また、コア層内を伝播する光を２次元的若しくは３次元的に略直角に折り曲げることができるので、超小型の光回路を実現することができる。
【００６５】
（４）アサーマルなガラスクラッド層内にコア層及び密封空間型反射ミラーを形成することにより、温度依存性が少なく、反射条件の変動が少ない密封空間型反射ミラー付の導波路を実現することができる。
【００６６】
（５）ガラスクラッド層を基板上に形成する場合、低損失なガラスクラッド層を気相化学反応法、スパッタリング法等で形成することができる。このため、より低損失な導波路が得られる。気相化学反応法、スパッタリング法等で得られたガラスクラッド層はポーラスな膜であるので、空隙部を容易に形成することができ、その空隙を幅方向に形成することにより、反射ミラーを得ることができる。
【００６７】
（６）密封空間型の反射ミラーと受発光素子との光結合を効率よく行わせることができる。
【００６８】
（７）コア層のパターンが複雑または３次元に形成されていてもクラッド層内の任意の位置に密封空間型反射ミラーを形成することができる。
【００６９】
（８）曲線状のコア層の変曲点部に反射ミラーを形成できるため、変曲点部の曲率半径を小さくしても、光曲げ損失を増加させることがない。
【００７０】
（９）２次元的、３次元的に形成された曲線状コア層を、その曲率半径を小さくして形成することができ、小型の導波路が得られる。
【００７１】
（１０）可視光をコア層内に伝播させながら密封空間型の反射ミラーを形成することができるので、高性能で低損失な密封空間型反射ミラーを形成することができる。
【００７２】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、製造が容易で高精度の反射ミラー付導波路及びその製造方法の提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の反射ミラー付導波路の一実施の形態を示す透視図である。
【図２】（ａ）は密封空間型の反射ミラーの側面図であり、（ｂ）は（ａ）に示した反射ミラーの正面図である。
【図３】本発明の反射ミラー付導波路の製造方法の一実施の形態を示す説明図である。
【図４】（ｂ）は本発明の反射ミラー付導波路の製造方法を適用した反射ミラー付導波路の他の実施の形態を示す側面断面図であり、（ａ）は（ｂ）の４ａ−４ａ線断面図である。
【図５】本発明の反射ミラー付導波路の製造方法の他の実施の形態を示す説明図である。
【図６】垂直伝搬型導波路の従来例を示す断面図である。
【図７】（ａ）は従来の垂直伝搬型導波路を用いた送受信モジュールの外観斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の発光素子近傍の側面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は従来の垂直伝搬型導波路の製造方法を示す図である。
【図９】（ａ）は導波路型方向性結合器の従来例を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図である。
【符号の説明】
１  クラッド層
２−１〜２−３  コア層
４  反射ミラー
【図１】
0003928403.tif 000002
【図２】
0003928403.tif 000003
【図３】
0003928403.tif 000004
【図４】
0003928403.tif 000005
【図５】
0003928403.tif 000006
【図６】
0003928403.tif 000007
【図７】
0003928403.tif 000008
【図８】
0003928403.tif 000009
【図９】
0003928403.tif 000010