(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体ウエハを段々に載置されたウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送されてきた前記密閉コンテナを授受して旋回移送する旋回ローダと、前記旋回ローダで旋回移送された前記密閉コンテナを開放して前記ウエハカセットを降下させて取り出し、又は前記ウエハカセットを上昇させて前記密閉コンテナ内に密閉状態で収納する昇降機構を有する開閉装置と、前記昇降機構で前記密閉コンテナから取り出された前記ウエハカセットを取り出し、又は前記ウエハカセットを前記昇降機構に載置する移載装置とを備えてなる密閉コンテナの開閉システムにおいて、前記昇降機構は、前記ウエハカセットを昇降される昇降台と、前記昇降台に設けられ前記昇降台の昇降方向に直交する方向にスライド往復移動可能にされたスライド用台と、前記スライド用台に回動自在に軸支されガイドローラを案内するガイドレールとで構成され、前記ウエハカセットの昇降に追従して、前記ウエハカセットの昇降方向に直交する方向で前記旋回ローダで旋回移送される前記密閉コンテナの旋回半径以上となる前記移載装置での前記ウエハカセットの授受可能な位置まで、前記ウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えており、前記ガイドレールは、前記旋回ローダで移送された密閉コンテナの直下から前記昇降台の昇降方向に延びて、その先端側を前記昇降方向に直交する方向に所定角度を有して折曲げられていることを特徴とする密閉コンテナの開閉システム。
【請求項２】
複数の半導体ウエハを段々に載置されたウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送されてきた前記密閉コンテナを授受して旋回移動する旋回ローダと、前記旋回ローダで旋回移送された前記密閉コンテナを開放して前記ウエハカセットを降下させて取り出し、又は前記ウエハカセットを上昇させて前記密閉コンテナに密閉状態で収納する昇降機構と、前記昇降機構で取り出された前記ウエハカセットを移送する移送装置と、前記移送装置で移送された前記ウエハカセットを授受して出庫側扉に昇降させる出庫側昇降機構と、前記移送装置で前記ウエハカセットの移送をするために入庫側扉から前記ウエハカセットを昇降させる入庫側昇降機構とを有する開閉装置と、前記出庫側昇降機構で前記密閉コンテナから取り出された前記ウエハカセットを取り出し、又は前記ウエハカセットを前記入庫側昇降機構に載置する移載装置とを備えてなる密閉コンテナの開閉システムにおいて、前記入庫側昇降機構、又は前記出庫側昇降機構の少なくとも一方が、前記ウエハカセットを昇降される昇降台と、前記昇降台に設けられ前記昇降台の昇降方向に直交する方向にスライド往復移動可能にされたスライド用台と、前記スライド用台に回動自在に軸支されガイドローラを案内するガイドレールとで構成され、前記ウエハカセットの昇降に追従して、前記ウエハカセットの昇降方向に直交する方向で前記旋回ローダで旋回移送される前記密閉コンテナの旋回半径以上となる前記移載装置での前記ウエハカセットの授受可能な位置まで、前記ウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えており、前記ガイドレールは、前記旋回ローダで移送された密閉コンテナの直下から前記昇降台の昇降方向に延びて、その先端側を前記昇降方向に直交する方向に所定角度を有して折曲げられていることを特徴とする密閉コンテナの開閉システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハを載置するウエハカセットを密閉に収納する密閉コンテナに係わり、特に、密閉コンテナを開閉してウエハカセットを取り出し、又は収納する密閉コンテナの開閉システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術の密閉コンテナの開閉スシテムについて、図５及び図６に基づいて説明する。図５及び図６において、１はクリーンルーム、２は密閉コンテナ３を搭載して搬送レール４上を走行する搬送台車（例えば、ＬＩＭ搬送車）である。密閉コンテナ３は、複数枚の半導体ウエハＷ（以下、ウエハという。）を段々に載置するウエハカセット５Ａ、５Ｂを密閉状態で収納するもので、矩形状のコンテナ本体３Ａと、このコンテナ本体３Ａの開口側内にシールリングを介して嵌合されてコンテナ本体３Ａと密閉空間を形成する下蓋３Ｂとで構成されている。そして、各ウエハカセット５Ａ、５Ｂは密閉コンテナ３の長手方向に並列するように下蓋３Ｂ上に載置されている。また、コンテナ本体３Ａの巾側端の両側面には外側に突出する移送突起６、６が設けられている。
１０は搬送台車２が走行する搬送レール４に沿って配置された開閉システムであって、密閉ボックス３の下蓋３Ｂを開閉してウエハカセット５Ａ、５Ｂを密閉コンテナ３から取り出し、又は密閉コンテナ３内に収納する開閉装置１１と、搬送台車２に搭載されて搬送されてきた密閉コンテナ３を開閉装置１１に旋回移送する旋回ローダ１２とで構成されている。開閉装置１１は断面矩形状の密閉ボックス１３と、密閉ボックス１３の上面開口１３Ａ（矩形状の開口）と底１３ｂ側との間を昇降移動する昇降機構１４とを有している。この昇降機構１４は矩形状の昇降台１５とこの昇降台１５を昇降させる昇降ユニット１６とからなり、昇降台１５が密閉ボックス１３の上面開口１３Ａ内に嵌合され、この外側に突出するフランジ１５Ａがシールリング１７を介して密閉ボックス１３の上面１３ａに気密に当接・係合している。また、密閉ボックス１３上には搬送レール４側に開口する収納ボックス１８が連続して設けられている。昇降ユニット１６は密閉コンテナの底１３ｂから上面１３ａ側に延びるボールネジ１９に昇降台１５を螺着したもので、ボールネジ１９の回動により昇降台１５がガイドレール２０で案内されながら直線的に昇降移動される。
また、旋回ローダ１２は搬送台車２と開閉装置１１の間であって、密閉ボックス１３の側面の突出部１３Ｃに取り付け固定され駆動モータ２５を昇降させる昇降装置２６と、この駆動モータ２５の回転軸２５Ａを中心にして正逆旋回されるローダアーム２７で構成されており、このローダアーム２７の両端側には密閉コンテナ３を授受する把持機構２８がそれぞれ設けられている。把持機構２８は相互に近接／離間するようにされ、駆動モータ２５側に延びる一対の把持アーム２８Ａ、２８Ｂを有しており、この各把持アーム２８Ａ、２８Ｂの先端に形成された突起で密閉コンテナ３の移送突起６、６を引っ掛けて搬送台車２から開閉装置１１の昇降機構１４の昇降台１５上に、又はその逆に旋回移送する。
３０は旋回ローダ１２の反対側の開閉装置１１に対向するように配置されたスタッカーであって、開閉装置１１の密閉ボックス１３の長手方向に延びる（搬送レーム４に並行するように延びる）スタッカーレール３１，３１、このスタッカーレール３１，３１上を走行する走行体３２、及び走行体３２に設けられた昇降柱３３を昇降移動する移動体３４とで構成されており、この移動体３４には回動可能にスタッカーアーム３５が設けられている。そして、スタッカー３０は開閉装置１１で密閉コンテナ３内から取り出されたウエハカセット５Ａ、５Ｂを把持して図示しないストック棚まで搬送し、一時的にストックし、又はこのストック棚から密閉ボックス１３内に搬送する。
【０００３】
そして、搬送台車２が搬送レール４上を走行して密閉コンテナ３を開閉システム１０まで搬送して待機させると、旋回ローダ１２の駆動モータ２５を駆動させて回転軸２０を介してローダアーム２７を旋回することで、搬送台車２上に搭載された密閉コンテナ３の各移送突起６、６を挟持する状態に把持アーム２８Ａ、２８Ｂをそれぞれ対向させた後、昇降装置２６を駆動してローダアーム２１を上昇させて各把持アーム２８Ａ、２８Ｂの突起で移送突起６，６を引っ掛けるように把持する。その後、ローダアーム２７を旋回させて密閉コンテナ３を開閉装置１１の収納ボックス１８内に旋回移送して、密閉ボックス１３の開口１３Ａ上まで搬送すると共に、昇降装置２６を降下させることで開口１３Ａを覆う状態で密閉ボックス１３上に載置する。このとき、密閉コンテナ３の開口から外側に突出するフランジ部３Ｃがシールリング３６を介して気密に当接・係合する。
密閉コンテナ３が密閉ボックス１３の開口１３Ａを気密に載置されると、昇降機構１４の昇降台１５が密閉コンテナ３の下蓋３Ｂに図示しない開閉機構を介して連結されて、下蓋３Ｂが開状態にされ、昇降機構１４の昇降ユニット１６を駆動することで、ウエハカセット５Ａ、５Ｂ、下蓋３Ｂとともに昇降台１５を密閉ボックス１３の底１３ｂ側に降下させていき、ウエハカセット５Ａ，５Ｂを密閉ボックス１３の開口３７に対向させる。そして、スタッカー３０の走行体３２を走行させ、及び移動体３４を昇降、旋回移動させることでスタッカーアーム３５を密閉ボックス１３の開口３７から内部に挿入させて昇降台１５上に載置されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを把持すると共に、このスタッカーアーム３５で把持されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを、順次、上記ストック棚まで搬送して、一時的にストックする。
また、上記ストック棚にストックされたウエハカセット５Ａ，５Ｂを密閉コンテナ３に収納するためには、上記記載の作動と逆の作動を行う。すなわち、スタッカー３０で上記ストック棚からウエハカセット５Ａ，５Ｂを、順次、把持して密閉ボックス１３内の昇降台１５の下蓋３Ｂ上に載置する。そして、昇降台１５を上昇させることで、下蓋３Ｂ、ウエハカセット５Ａ，５Ｂとを密閉コンテナ３内に移送して、コンテナ本体３Ａに対して密閉にされる。この後、ローダアーム２７で密閉コンテナ３を把持して、旋回させて搬送レール４上に待機している搬送台車２上に搭載する。
【０００４】
ところで、旋回ローダ１２で旋回される密閉コンテナ３の旋回半径Ｒは、その把持アーム２８Ａ、２８Ｂで密閉コンテナ３を把持して旋回移送した時に、この密閉コンテナ３を密閉ボックス１３の昇降機構１４の昇降台１５の軸線ａに一致させ、且つ収納ボックス１８に接触することなく密閉コンテナ３を旋回移送するような値に決定する必要がある。
ここで、ローダアーム２７の軸線ｂからの長さ寸法をＬ１、密閉コンテナ３の長手方向の長さ寸法をＬ２とすると、旋回ローダ１２で旋回される密閉コンテナ３の旋回半径Ｒは、
Ｒ＝〔（Ｌ１）2 ＋（Ｌ２／２）2 〕1/2 ＋α・・・・・・・・・・（１）
を、最小限値として必要となる。但し、αは収納ボックス１８との接触を防ぐための隙間である。
従って、密閉コンテナ３の旋回ローダ１２での旋回を確保するには、旋回ローダ１２の軸線ｂと昇降台１５の軸線ａとの間隔をＬとすると、収納ボックス１８を昇降台１５の軸線ａからスタッカー２５側に所定巾量Ｌ３を有する必要がある。即ち、所定巾量Ｌ３は、Ｌ３＝Ｒ−Ｌとなる。
また、密閉ボックス１３は、昇降台１５の軸線ａからスタッカー２５側にウエハカセット５Ａ、５Ｂが載置された昇降台１５を密閉ボックス１３に接触することなく昇降させるためにスタッカー２５側に所定巾量Ｌ４だけ有する必要があるが、スタッカーアーム３５の密閉ボックス１３内への挿入を可能とするため、Ｌ４は最小限になるようにされている。この結果、Ｌ４＜Ｌ３の関係となり、開閉装置１１の収納ボックス１８が密閉ボックス１３に対して、常に、突出量Ｌ５＝Ｌ３−Ｌ４だけスタッカー３０側に突出する状態に設計する必要がある。
このように、収納ボックス１８を密閉ボックス１３に対して、突出量Ｌ５だけスタッカー３０側に突出させるようにすると、スタッカー３０のスタッカーアーム３５が収納ボックス１８のスタッカー３５側に突出する部分に接触しないようにするために、その搬送作動が複雑になるという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この問題を解決するためには、旋回ローダ１２の軸心ｂを搬送台車２側にずらして、収納ボックス１８と密閉ボックス１３とのスタッカー３０側の側面を一致させることが考えられるが、この回転軸２５Ａをずらした量だけ、昇降台１５の軸心ａも同方向に相対的にずらす必要があるので、この昇降台１５とスタッカー３０との間の間隔が大きくなる。この結果、昇降台１５をスタッカー３０との間隔が大きくなった分だけ、単に、昇降台１５がウエハカセット５Ａ、５Ｂを昇降移動させるだけではスタッカー３０による昇降台１５からのウエハカセット５Ａ、５Ｂの取り出し、又は昇降台１５へのウエハカセット５Ａ、５Ｂの載置を行うことが出来なくなることから、昇降台１５をスタッカー３０側に並行移動させる並行移動機構が必要となるが、別個に並行移動機構を設けることは密閉コンテナ３の開閉システム１０の構造を複雑化し、又製造コストも高価なものとなる。
【０００６】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、昇降に追従してウエハカセットをスタッカー側に並行スライド移動させることにより簡単な構造で密閉コンテナの開閉とスタッカーでのウエハカセットの取り出しを可能とする密閉コンテナの開閉システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の密閉コンテナの開閉システムでは、複数の半導体ウエハを段々に載置されたウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送されてきた前記密閉コンテナを授受して旋回移送する旋回ローダと、前記旋回ローダで旋回移送された前記密閉コンテナを開放して前記ウエハカセットを降下させて取り出し、又は前記ウエハカセットを上昇させて前記密閉コンテナ内に密閉状態で収納する昇降機構を有する開閉装置と、前記昇降機構で前記密閉コンテナから取り出された前記ウエハカセットを取り出し、又は前記ウエハカセットを前記昇降機構に載置する移載装置とを備えてなる密閉コンテナの開閉システムにおいて、前記昇降機構が、前記ウエハカセットの昇降に追従して、前記ウエハカセットの昇降方向に直交する方向で前記旋回ローダで旋回移送される前記密閉コンテナの旋回半径以上となる前記移載装置での前記ウエハカセットの授受可能な位置まで、前記ウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えていることを特徴とするものである。これによれば、旋回ローダの旋回軸心、昇降機構の昇降軸心を移載装置から離間する方向に相対的に移動させても、この昇降機構の兼ね備える機能で、密閉コンテナの旋回半径以上の移載装置によるウエハカセットの授受を可能とする位置まで同時に昇降及びスライド往復移動できるので、移載装置によるウエハカセットの授受が旋回ローダでの密閉コンテナの旋回移送に阻害されることなく行うことができる。また、昇降機構がウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させるので、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を設ける必要もない。
【０００８】
本発明においては、前記昇降機構は、前記ウエハカセットを昇降される昇降台と、前記昇降台に設けられ前記昇降台の昇降方向に直交する方向にスライド往復移動可能にされたスライド用台と、前記スライド用台に回動自在に軸支されガイドローラを案内するガイドレールとで構成され、前記ガイドレールが、前記旋回ローダで移送された密閉コンテナの直下から前記昇降台の昇降方向に延びて、その先端側を前記昇降方向に直交する方向に所定角度を有して折曲げられていることを特徴とするものである。これによれば、昇降台を昇降させると、昇降台の昇降に追従してスライド台もガイドローラを介してガイドレールで案内されながら昇降され、ガイドローラがガイドレールの折曲げ部分内を回動すると、このガイドローラを介してスライド台に昇降台の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆ作用するので、スライド台がこの押付力で昇降方向に直交する方向に往復スライド移動させることができる。
【０００９】
本発明においては、複数の半導体ウエハを段々に載置されたウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送されてきた前記密閉コンテナを授受して旋回移動する旋回ローダと、前記旋回ローダで旋回移送された前記密閉コンテナを開放して前記ウエハカセットを降下させて取り出し、又は前記ウエハカセットを上昇させて前記密閉コンテナに密閉状態で収納する昇降機構と、前記昇降機構で取り出された前記ウエハカセットを移送する移送装置と、前記移送装置で移送された前記ウエハカセットを授受して出庫側扉に昇降させる出庫側昇降機構と、前記移送装置で前記ウエハカセットの移送をするために入庫側扉から前記ウエハカセットを昇降させる入庫側昇降機構とを有する開閉装置と、前記出庫側昇降機構で前記密閉コンテナから取り出された前記ウエハカセットを取り出し、又は前記ウエハカセットを前記入庫側昇降機構に載置する移載装置とを備えてなる密閉コンテナの開閉システムにおいて、前記入庫側昇降機構、又は前記出庫側昇降機構の少なくとも一方が、前記ウエハカセットの昇降に追従して、前記ウエハカセットの昇降方向に直交する方向で前記旋回ローダで旋回移送される前記密閉コンテナの旋回半径以上となる前記移載装置での前記ウエハカセットの授受可能な位置まで、前記ウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えていることを特徴とするものである。これによれば、旋回ローダの旋回軸心、入庫側昇降機構、出庫側昇降機構の昇降軸心を移載装置から離間する方向に相対的に移動させても、この各昇降機構の兼ね備える機能で、密閉コンテナの旋回半径以上の移載装置によるウエハカセットの授受を可能とする位置まで同時に昇降及びスライド往復移動できるので、移載装置によるウエハカセットの授受が旋回ローダでの密閉コンテナの旋回移送に阻害されることなく行うことができる。また、各昇降機構がウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させるので、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を設ける必要もない。
【００１０】
本発明においては、前記入庫側昇降機構、又は出庫側昇降機構は、前記ウエハカセットを昇降される昇降台と、前記昇降台に設けられ前記昇降台の昇降方向に直交する方向にスライド往復移動可能にされたスライド用台と、前記スライド用台に回動自在に軸支されガイドローラを案内するガイドレールとで構成され、前記ガイドレールが、前記旋回ローダで移送された密閉コンテナの直下から前記昇降台の昇降方向に延びて、その先端側を前記昇降方向に直交する方向に所定角度を有して折曲げられていることを特徴とするものである。これによれば、昇降台を昇降させると、昇降台の昇降に追従してスライド台もガイドローラを介してガイドレールで案内されながら昇降され、ガイドローラがガイドレールの折曲げ部分内を回動すると、このガイドローラを介してスライド台に昇降台の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆ作用するので、スライド台がこの押付力で昇降方向に直交する方向に往復スライド移動させることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態である密閉コンテナの開閉システムについて、図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態における密閉コンテナの開閉システムの構成を示す側面図、図２は本発明の実施の形態における密閉コンテナの開閉システムの構成を示す要部拡大正面図である。尚、図１及び図２において、従来技術の図５及び図６と同一の符号は同一の構成を有するので、その説明は省略する。
【００１２】
図１及び図２において、５０は昇降／スライド機構であって、昇降機構５１、スライド機構５２、及びガイド機構５３とで構成されている。
昇降機構５１は、密閉ボックス１３の開口１３Ａから底１３ｂに向かって延び、旋回ローダ１２に対向する側面１３ｄに固定された昇降用ガイドレール５５上を走行可能にされた昇降移動体５６，５６と、この昇降用移動体５６，５６に連結され昇降用駆動モータ５７で回動されるボールネジ５８を昇降可能にされた昇降用台５９とで構成されており、この昇降用台５９は昇降用駆動モータ５７の回動駆動により昇降用移動体５６，５６を介して昇降用ガイドレール５５で案内されながら密閉ボック１３の開口１３Ａと底１３Ｂとの間を往復昇降する。
【００１３】
スライド機構５２は、昇降用台５８で昇降用ガイドレール５５の延在方向に直交する方向に延びて設けられたスライド用ガイドレール６０，６０上を走行可能にされたスライド用移動体６１，６１と、このスライド用移動体６１，６１に連結されガイド機構５３で案内されるスライド用台６２とで構成されている。このスライド用台６２は密閉ボックス１３の開口１３Ａ内に挿入されて密閉ボックス１３上に旋回ローダ１２で旋回移送された密閉コンテナ３の下蓋３Ｂが載置される小径台部６２Ａと密閉ボックス１３の上面１３ａ内側からシールリング１７を介して気密に係合する大径台部６２Ｂとを有する段付き台であって、この小径台部６２Ａには密閉コンテナ３の下蓋３Ｂとの係合により、下蓋３Ｂのコンテナ本体３Ａに対する開閉を行う図示しない開閉機構が配置されている。
【００１４】
一方、ガイド機構５３は一対のガイドレール６５，６５と、ガイドレール６５内を回動するガイドローラ６６，６６とで構成されている。各ガイドレール６５，６５は断面凹形状に形成されて、昇降用ガイドレール５５を間に介在させる状態でこの昇降用ガイドレール５５に並行して密閉ボックス１３の上面１３ａから底１３ｂに向かって延びている。また、ガイドレール６５，６５は、図示しない手段で密閉ボックス１３に取り付け固定されおり、この密閉ボックス１３の底１３ｂ側が開口３７（スタッカー３０）側に所定半径ｒと、折曲角度θとを有して折れ曲がる折曲部６５Ａ，６５Ａが形成されて、密閉ボックス１３の底１３ｂ側に延びている。各ガイドローラ６６，６６は各ガイドローラ６５，６５の断面凹形状内に回動可能に配置されており、この回動軸６６Ａを軸支する断面コ字状の支持部材６７により、スライド用台６２の大径台部６２Ｂであって密閉ボックス１３の側面１３ｄに対向する側面６２ａに取り付け固定されている。
【００１５】
そして、昇降用駆動モータ５７を駆動してボールネジ５８を回動すると、昇降用台５９が昇降用移動体５６，５６を介して昇降用ガイドレール５５で案内されながら密閉ボックス１３の開口１３Ａと底１３ａとの間を往復昇降されると共に、この昇降用台５９の昇降に追従してスライド用台６２もガイドローラ６６，６６を介してガイドレール６５，６５で案内されながら往復昇降される。このとき、ガイドローラ６６，６６がガイドレール６５，６５の折曲部６５Ａ，６５Ａ内を回動すると、このガイドローラ６６，６６、支持部材６７を介してスライド用台６２に昇降用台５９の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆが作用するので、スライド用台６２がこの押付力Ｆでスライド用ガイドレール６０，６０上をスライド用移動体６１，６１を介して昇降方向に直交する方向に往復スライド移動する。
【００１６】
また、ガイドレール６５，６５の折曲部６５Ａ，６５Ａの折曲角度θ、曲率ｒと長さは、上述の如く、昇降用台５９が密閉ボックス１３の開口１３Ａから底１３ｂに向かって下降され、この下降に追従してスライド用台６２も下降され、且つ密閉ボックス１３の開口３７（スタッカー３０）側にスライド移動された時に、従来技術の図５及び図６に示したように、旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒより密閉ボックス１３の開口３７（スタッカー３０）側に、スライド用台６２上に載置されて昇降・スライド移動されるウエハカセット５Ａ，５Ｂが位置できるような値に決定されている。
これにより、旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒに起因する収納ボックス１８のスタッカー３０側の突出量Ｌ５＝Ｌ３−Ｌ４を解消するために、図１に示すように、旋回ローダ１２の軸心ｂとともにスライド用台６２（及び昇降用台５９）の軸心ａを搬送台車２側に上記突出量Ｌ５だけ相対的に並行移動させて、密閉ボックス１３に対する収納ボックス１４の突出量Ｌ５をなくすことができる。そして、各軸心ａ，ｂを突出量Ｌ５だけ搬送台車２側に相対的に並行移動しても、昇降／スライド機構５０がウエハカセット５Ａ，５Ｂを旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒ以上に密閉ボックス１３の開口３７（スタッカー３０）側に昇降・スライド移動できるので、スタッカー３０によるウエハカセット５Ａ，５Ｂの開閉装置１０からの出入が可能となる。
【００１７】
ところで、密閉コンテナの開閉システムとしては、上記図１及び図２に示したものの他に、図３及び図４に示すような、ウエハカセット５Ａ，５Ｂの密閉コンテナ３に対する出入を同時に行える密閉コンテナ３の開閉システム１０が用いられ、以下、図３及び図４に基づいて説明する。尚、図３及び図４において、従来技術の図５及び図６と同一の符号は同一の構成を有するので、その説明は省略する。
【００１８】
図３及び図４において、開閉装置１１の密閉ボックス１３内には、旋回ローダ１２で旋回移送された密閉コンテナ１３からウエハカセット５Ａ，５Ｂを取り出し／収納する昇降機構８０と、昇降機構８０で取り出されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを出庫側昇降・スライド機構８２に、又は入庫側昇降・スライド機構８３にスタッカー３０で載置されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを昇降機構８０に走行搬送する移送装置８４と、各出庫側／入庫側昇降・スライド機構８２，８３をと有している。
【００１９】
昇降機構８０は、密閉ボックス１３の開口１３Ａに挿入されて密閉コンテナ３の下蓋３Ｂが載置される台部８５Ａを有する昇降台８５と、この昇降台８５を密閉ボックス１３の上面１３ａから底１３ｂに昇降させる昇降用ガイドレール８６とで構成されており、この昇降用ガイドレール８６はスタッカー３０側の密閉ボックス１３の側面１３ｅに取り付け固定されている。また、昇降台８５は台部８５Ａから突出するフランジ部８５Ｂとの間にシールリング１７を介装するこにより密閉ボックス１３の上面１３ａ内側から気密に係合している。尚、台部８５Ａには密閉コンテナ３の下蓋３Ｂとの係合により、下蓋３Ｂのコンテナ本体３Ａに対する開閉を行う図示しない開閉機構が設けられている。
【００２０】
出庫側昇降・スライド機構８２と、入庫側昇降・スライド機構８３とは、昇降機構８０の昇降台８５を中央に配して密閉ボックス１３の長手方向に対称配置されている。そして、各昇降・スライド機構８２，８３は、昇降機構８０の昇降用ガイドレール８６の延在方向に延びる昇降用ガイドレール８７と、この昇降用ガイドレール８７に移動体８８，８８を介して連結された昇降体８９とを有する昇降機構９０と、この昇降体８９上に配置されたスライド機構９１と、ガイド機構９２とを主要部として構成されている。スライド機構９１は、昇降体８９に昇降用ガイドレール８７の延在方向に直交する方向に延びる一対のスライドレール９２，９２上を走行可能にされた移動体９３と、この移動体９３に連結されたスライド台９４とで構成されており、このスライド台９４がガイド機構９２に連結されている。ガイド機構９２は昇降用ガイドレール８７の延在方向に延びる断面凹形状の一対のガイドレール９５，９５と、各ガイドレール９５，９５の断面凹形状内を回動可能なガイドローラ９６，９６とで構成されており、この各ガイドローラ９６，９６がスライド台９４の密閉ボックス１３の長手方向端の各側面に回動可能に軸支されている。また、一対のガイドレール９５，９５は図示しない手段で密閉ボックス１３に取り付け固定されており、この密閉ボックス１３の底１３ｂ側は、密閉ボックス１３の側面１３ｅに設けられた入庫側開口９７、出又は出庫側開口９８側（スタッカー３０側）に向かって所定半径ｒ１と、折曲角度θ１とを有して折れ曲がる折曲部９５Ａが形成されている。
【００２１】
一方、移送装置８４は、密閉ボックス１３の底１３ｂにこの長手方向に亘って配置された一対の走行レール１００，１００上を走行可能にされた装置本体１０１と、この装置本体１０１から密閉ボックス１３の上面１３ａ側で昇降機構８０と出庫側・入庫側昇降・スライド機構８２，８３との間に位置する把持機構１０２とで構成されている。
【００２２】
そして、出庫側・入庫側昇降・スライド機構８２，８３の昇降機構９０を構成する昇降用駆動モータ１０３を駆動してボールネジ１０４を回動すると、昇降体８９が移動体８８，８８を介して昇降用ガイドレール８７で案内されながら往復昇降されると共に、この昇降体８９の昇降に追従してスライド台９４もガイドローラ９６，９６を介してガイドレール９５，９５で案内されながら往復昇降される。このとき、ガイドローラ９６，９６がガイドレール９５，９５の折曲部９５Ａ，９５Ａ内を回動すると、このガイドローラ９６，９６を介してスライド台９４に昇降体８９の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆが作用するので、スライド台９４がこの押付力Ｆでスライドレール９２，９２を往復スライド移動する。
【００２３】
また、ガイドレール９５，９５の折曲部９５Ａ，９５Ａの折曲角度θ１、曲率ｒ１と長さは、上述の如く、昇降体８９が密閉ボックス１３の底１３ｂに向かって下降され、この下降に追従してスライド台９４も下降され、且つ密閉ボックス１３の入庫側開口９７、又は出庫側開口９８（スタッカー３０）側にスライド移動された時に、従来技術の図５及び図６に示したように、旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒより密閉ボックス１３の各開口９７，９８（スタッカー３０）側に、スライド台９４上に載置されて昇降・スライド移動されるウエハカセット５Ａ，５Ｂが位置できるような値に決定されている。
これにより、旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒに起因する収納ボックス１８のスタッカー３０側の突出量Ｌ５＝Ｌ３−Ｌ４を解消するために、図３に示すように、旋回ローダ１２の軸心ｂとともに昇降体８９（及び各スライド台９４）の軸心ａを搬送台車２側に上記突出量Ｌ５だけ相対的に並行移動させて、密閉ボックス１３に対する収納ボックス１４の突出量Ｌ５をなくすことができる。そして、各軸心ａ，ｂを突出量Ｌ５だけ搬送台車２側に相対的に並行移動しても、昇降／スライド機構５０がウエハカセット５Ａ，５Ｂを旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒ以上に密閉ボックス１３の各開口９７，９８（スタッカー３０）側に昇降・スライド移動できるので、スタッカー３０によるウエハカセット５Ａ，５Ｂの開閉装置１０からの出入が可能となる。
【００２４】
次に、ウエハカセット５Ａ，５Ｂの密閉コンテナ３からの取り出し、収納について、図３及び図４に基づいて説明する。
【００２５】
搬送台車２が搬送レール４上を走行して密閉コンテナ３を開閉システム１０まで搬送して待機させると、旋回ローダ１２の駆動モータ２５を駆動させて回転軸２０を介してローダアーム２７を旋回することで、搬送台車２上に搭載された密閉コンテナ３の各移送突起６、６を挟持する状態に把持アーム２８Ａ、２８Ｂをそれぞれ対向させた後、昇降装置２６を駆動してローダアーム２１を上昇させて各把持アーム２８Ａ、２８Ｂの突起で移送突起６，６を引っ掛けるように把持する。その後、ローダアーム２７を旋回させて密閉コンテナ３を開閉装置１１の収納ボックス１８内に旋回移送して、密閉ボックス１３の開口１３Ａ上まで搬送すると共に、昇降装置２６を降下させることで開口１３Ａを覆う状態で密閉ボックス１３上に載置する。このとき、密閉コンテナ３のフランジ部３Ｃがシールリング３６を介して気密に当接・係合する。
【００２６】
密閉コンテナ３が密閉ボックス１３の開口１３Ａを気密に載置されると、昇降機構８０の昇降体１５が密閉コンテナ３の下蓋３Ｂに係合して、図示しない開閉機構で下蓋３Ｂを開状態にして、この昇降体８９を、下蓋３Ｂ、ウエハカセット５Ａ，５Ｂとともに昇降用ガイドレールで案内しながら降下させていき、出庫側昇降・スライド機構８２のスライド台９４の高さに位置させると共に、移送装置８４を走行レール１００，１００上を走行させて、昇降体８９上のウエハカセット５Ａ，５Ｂの各々を、順次、把持機構１０２で把持して出庫側昇降・スライド機構８２のスライド台９４上に搬送する。
【００２７】
そして、ウエハカセット５Ａ，５Ｂとが出庫側昇降・スライド機構８２のスライド台９４上に搬送されると、昇降用駆動モータ１０３を駆動してボールネジ１０４を回動して、スライド台９４をウエハカセット５Ａ，５Ｂとともに出庫側扉９８に対向し、旋回ローダ１２による密閉コンテナ３の旋回半径Ｒよりスタッカー３０側に位置するように降下、スライド移動させる。次いで、スタッカー３０の走行体３２を走行させ、及び移動体３４を昇降、旋回移動させることでスタッカーアーム３５を密閉ボックス１３の出庫側開口９８から内部に挿入させてスライド台９４上に載置されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを把持すると共に、このスタッカーアーム３５で把持されたウエハカセット５Ａ，５Ｂを、順次、上記ストッカ棚に搬送して、一時的にストックする。
【００２８】
また、上記ストック棚にストックされたウエハカセット５Ａ，５Ｂを密閉コンテナ３に収納するためには、スタッカー３０で上記ストック棚からウエハカセット５Ａ，５Ｂを、順次、把持して密閉ボックス１３の入庫側開口９７から入庫側昇降・スライド機構８３のスライド台９４に載置する。そして、入庫側昇降・スライド機構８３の昇降体８９を上昇させることで、下蓋３Ｂ、ウエハカセット５Ａ，５Ｂとを昇降機構８０の昇降台８５に位置させて、移送装置８４を走行レール１００，１００上を走行させることにより、この把持機構１０２で、順次、入庫側昇降・スライド機構８３のスライド台９４上のウエハカセット５Ａ，５Ｂを昇降機構８０の昇降台８５の下蓋３Ｂ上に載置する。この後、昇降台８５を上昇させることで、下蓋３Ｂ、ウエハカセット５Ａ，５Ｂとを密閉コンテナ３内に移送して、コンテナ本体３Ａに対して密閉にされる。この後、ローダアーム２７で密閉コンテナ３を把持して、旋回させて搬送レール４上に待機している搬送台車２上に搭載する。
【００２９】
尚、本発明の実施の形態における密閉コンテナの開閉システムにおいて示した昇降／スライド機構５０、入庫側昇降・スライド機構８２、出庫側昇降・スライド機構８３とは、これに限定されるものでなく、昇降とスライド移動が機械的に、且つ同時に行うことのできる機構であれば、いかなるものであってもよい。
【００３０】
【発明の効果】
このように、本発明の密閉コンテナの開閉システムによれば、旋回ローダの旋回軸心、昇降機構の昇降軸心を移載装置から離間する方向に相対的に移動させても、この昇降機構の兼ね備える機能で、密閉コンテナの旋回半径以上の移載装置によるウエハカセットの授受を可能とする位置まで昇降／スライド往復移動できるので、移載装置によるウエハカセットの授受が旋回ローダでの密閉コンテナの旋回移送に阻害されることなく行うことができる。また、昇降機構がウエハカセットを昇降／スライド往復移動させるので、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を設ける必要もない。
【００３１】
本発明では、昇降台を昇降させると、昇降台の昇降に追従してスライド台もガイドローラを介してガイドレールで案内されながら昇降され、ガイドローラがガイドレールの折曲げ部分内を回動すると、このガイドローラを介してスライド台に昇降台の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆ作用するので、スライド台がこの押付力で昇降方向に直交する方向に往復スライド移動させることができ、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を備えることなく、簡単な構成でウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させることが可能となる。
【００３２】
本発明では、旋回ローダの旋回軸心、入庫側昇降機構、出庫側昇降機構の昇降軸心を移載装置から離間する方向に相対的に移動させても、この各昇降機構の兼ね備える機能で、密閉コンテナの旋回半径以上の移載装置によるウエハカセットの授受を可能とする位置まで同時に昇降及びスライド往復移動できるので、移載装置によるウエハカセットの授受が旋回ローダでの密閉コンテナの旋回移送に阻害されることなく行うことができる。また、各昇降機構がウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させるので、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を設ける必要もない。
【００３３】
本発明では、昇降台を昇降させると、昇降台の昇降に追従してスライド台もガイドローラを介してガイドレールで案内されながら昇降され、ガイドローラがガイドレールの折曲げ部分内を回動すると、このガイドローラを介してスライド台に昇降台の昇降方向に直交する方向に向かう押付力Ｆ作用するので、スライド台がこの押付力で昇降方向に直交する方向に往復スライド移動させることができ、別途、ウエハカセットをスライド往復移動させる装置を備えることなく、簡単な構成でウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させることが可能となる。
以上
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における密閉コンテナの開閉システムの構成を示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態における密閉コンテナの開閉システムの構成を示す要部拡大正面図である。
【図３】本発明の実施の形態における他の密閉コンテナの開閉システムの構成を示す側面図である。
【図４】本発明の実施の形態における他の密閉コンテナの開閉システムの構成を示す要部拡大正面図である。
【図５】従来技術の密閉コンテナの開閉システムの構成を示す側面である。
【図６】従来技術の密閉コンテナの開閉システムの構成を示す上面図である。
【符号の説明】
２  搬送台車（搬送装置）
３  密閉コンテナ
５Ａ，５Ｂ  ウエハカセット
１１  開閉装置
１２  旋回ローダ
３０  スタッカー（移載装置）
５０  昇降・スライド機構（昇降機構）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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