(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、
前記ベースプレートの上部一辺に断面Ｌ字状のアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、
該アダプター本体に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたことを特徴とするウェーハ収納容器載置用ステージ。
【請求項２】
ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、
前記ベースプレート上にアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、
該アダプター本体の少なくとも一部を、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成したことを特徴とするウェーハ収納容器載置用ステージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェーハ収納容器載置用ステージに関し、特に、ウェーハ収納容器をステージ上に載置する際に、前記ウェーハ収納容器を容易に載置することができるウェーハ収納容器載置用ステージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程等においては、３００ｍｍ径等の大径のウェーハを保管・運搬する際に、ウェーハカセットと称されるウェーハ収納容器が用いられている。
このウェーハカセットは、複数枚のウェーハを搬送、保護すべく、これらのウェーハを横置き状態もしくは縦置き状態で収納するもので、その底部は、図５に示すように、略円筒状のカセット本体（収納容器）１の底面１ａに、３本の位置決め用の溝２ａ〜２ｃが中心３から放射状かつ周方向に等間隔に形成される。
【０００３】
一方、カセットステージは、ウェーハカセットを載置するためにロードポート等に設けられたもので、図６に示すように、アルミニウム板等からなる厚みのある矩形状の平坦なベースプレート４の上面４ａの前記ウェーハカセットの溝２ａ〜２ｃに対応する位置に、キネマティックピン５ａ〜５ｃと称される３本の位置決めピンが設けられる。また、前記ベースプレート４の上面４ａ上には、ウェーハカセットの有無を検出するカセット有無センサ７が取り付けられる。
【０００４】
前記ウェーハカセットをカセットステージ上の所定位置に載置するには、カセット本体１をベースプレート４の上面４ａに移動させた後、該カセット本体１の溝２ａ〜２ｃがベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ一致するように上方から目視で位置決めを行い、その後、該カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む。
【０００５】
この方法では、３点のキネマティックピン５ａ〜５ｃでウェーハカセットの底面１ａの溝２ａ〜２ｃを支持することにより、３点で位置決めがなされる様になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のウェーハカセットを従来のカセットステージ上に載置する場合においては、ウェーハカセットが不透明であった場合や、ウェーハカセットが透明であっても内部にウェーハが収納されている場合、このウェーハカセットの上からでは、ベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃの位置が分からなくなるという問題点があった。
【０００７】
この場合、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む際に、溝２ａ〜２ｃとキネマティックピン５ａ〜５ｃとの間に位置ずれが生じ、ウェーハカセットをカセットステージ上に正しく載置することが出来なくなる虞がある。位置ずれが生じた場合、カセット本体１を上げて該カセット本体１とベースプレート４の位置決めを行い、カセット本体１を下降させてその溝２ａ〜２ｃをキネマティックピン５ａ〜５ｃに嵌め込む、という作業を再度繰り返すことになり、作業効率が低下する要因となる。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、ウェーハカセットをカセットステージ上に載置する際の位置決めを容易に行うことができるウェーハ収納容器載置用ステージを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は次の様なウェーハ収納容器載置用ステージを提供する。
すなわち、請求項１記載のウェーハ収納容器載置用ステージは、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、前記ベースプレートの上部一辺に断面Ｌ字状のアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、該アダプター本体に、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたことを特徴としている。
【００１０】
請求項２記載のウェーハ収納容器載置用ステージは、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることで、前記ウェーハ収納容器を前記ベースプレート上に位置決めして載置するウェーハ収納容器載置用ステージにおいて、前記ベースプレート上にアダプター本体を、該アダプター本体に設けた孔に前記位置決めピンを挿通させて着脱可能に取り付け、該アダプター本体の少なくとも一部を、前記ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、前記ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成したことを特徴としている。
【００１２】
本発明のウェーハ収納容器載置用ステージでは、アダプター本体に、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたり、あるいは、アダプター本体の少なくとも一部を、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成しているため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の所定箇所に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【００１３】
また、前記位置決め部を、前記ステージ本体に着脱可能な位置決めアダプターにより構成したことにより、使用するウェーハ収納容器に合った位置決めアダプターを選択し、該位置決めアダプターを前記ステージ本体に容易に取り付け及び取り外しをすることが可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明のウェーハ収納容器載置用ステージの各実施形態について図面に基づき説明する。
「第１の実施形態」
図１は本発明の第１の実施形態のウェーハカセットの位置決めアダプターを示す斜視図、図２はこの位置決めアダプターをカセットステージの所定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、この位置決めアダプター１１は、ベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着するように略長方形状の薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプター本体１２に、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠き１３が形成され、この切り欠き１３には、アダプター本体１２より水平外方に延びる突片１４が形成され、該突片１４にはキネマティックピン５ａを挿通する孔１５が形成されている。
【００１５】
この位置決めアダプター１１を用いてウェーハカセットの位置決めを行うには、まず、位置合わせの対象となるウェーハカセットに対応する位置決めアダプター１１を選択し（図１）、この位置決めアダプター１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定させる（図２）。次いで、カセット本体１をベースプレート４の上面４ａに移動させ、カセット本体１の底部２１の背面部２１ａを切り欠き１３に一致させることにより位置決めを行い、カセット本体１の溝２ａ〜２ｃを対応するベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃにそれぞれ嵌め込む（図３）。なお、背面部２１ａは、操作する人から見て手前側になるようにしてある。
【００１６】
このように、ウェーハカセットをカセットステージ上に載置するときに、カセット本体１の底部２１の背面部２１ａに合う切り欠き１３を有する位置決めアダプター１１をベースプレート４に密着、固定し、カセット本体１の背面部２１ａを位置決めアダプター１１の切り欠き１３に合わせることにより、ウェーハカセットの位置決めを容易に行うことができるようになる。
【００１７】
また、位置決めアダプター１１の孔１５をキネマティックピン５ａに挿通させてアダプター本体１２をベースプレート４の正面側の一辺４ｂに密着、固定させるので、位置決めアダプター１１のベースプレート４への取り付け及び取り外しが簡単になり、載置すべきウェーハカセットの外形に応じて位置決めアダプター１１を選択し、交換することが容易になる。
【００１８】
以上説明した様に、本実施形態の位置決めアダプター１１によれば、アダプター本体１２に、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部に対応する形状の切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを挿通する孔１５を形成したので、ウェーハカセットを容易に載置することができ、セットミスを減少させることができる。
【００１９】
また、位置決めアダプター１１はベースプレート４に容易に密着、固定させることができるので、各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させることができる。
【００２０】
「第２の実施形態」
図４は本発明の第２の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージの所定箇所に取り付けた状態を示す斜視図であり、本実施形態の位置決めアダプター３１が上述した第１の実施形態の位置決めアダプター１１と異なる点は、位置決めアダプター１１が薄厚の板を断面Ｌ字状に折曲したアダプター本体１２に切り欠き１３を形成し、この切り欠き１３に突片１４を形成し、該突片１４にキネマティックピン５ａを挿通する孔１５を形成したのに対し、本実施形態の位置決めアダプター３１は、位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部と略同一形状の周縁部３２ａを有するアダプター本体３２に、ベースプレート４のキネマティックピン５ａ〜５ｃ及びカセット有無センサ７を挿通する孔３３ａ〜３３ｄを形成した点である。
【００２１】
アダプター本体３２は、薄厚の板またはシートのいずれかからなるもので、樹脂シート、薄厚のアルミニウム板、接着剤付き樹脂シート等が好適に用いられる。
また、その周縁部３２ａの形状は、少なくともその一部が位置合わせの対象となるウェーハカセットの底部と略同一形状であればよい。
【００２２】
本実施形態の位置決めアダプター３１においても、第１の実施形態の位置決めアダプター１１と同様に、ウェーハカセットを容易に載置することができ、セットミスを減少させることができる。
また、各種のウェーハカセットに容易かつ安価に対応することができ、フレキシビリティ（自由度）を増大させることができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明した様に、請求項１に記載のウェーハ収納容器載置用ステージによれば、アダプター本体に、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部形状に対応する切り欠きを設けたため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の切り欠きに合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【００２４】
請求項２に記載のウェーハ収納容器載置用ステージによれば、アダプター本体の少なくとも一部を、ウェーハ収納容器を案内しその位置決めを行うべく、ウェーハ収納容器の底部と同一形状に形成したため、ウェーハ収納容器をベースプレート上に載置する場合に、ウェーハ収納容器の底部をアタプター本体の外形に合わせるだけで、該ウェーハ収納容器と前記ステージとの位置決めが行え、もって、ウェーハ収納容器の底部に設けた溝に、ベースプレートの上面に設けた位置決めピンを嵌合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターを示す斜視図である。
【図２】  本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】  本発明の第１の実施形態の位置決めアダプターを用いてウェーハカセットをカセットステージに載置した状態を示す斜視図である。
【図４】  本発明の第２の実施形態の位置決めアダプターをカセットステージに取り付けた状態を示す斜視図である。
【図５】  従来のウェーハカセットを示す下面図である。
【図６】  従来のカセットステージを示す斜視図である。
【符号の説明】
１  カセット本体（収納容器）
１ａ  底面
２ａ〜２ｃ  位置決め用の溝
３  中心
４  ベースプレート
４ａ  上面
４ｂ  一辺
５ａ〜５ｃ  キネマティックピン
６  中心
７  カセット有無センサ
１１  位置決めアダプター
１２  アダプター本体
１３  切り欠き
１４  突片
１５  孔
２１  底部
２１ａ  背面部
３１  位置決めアダプター
３２  アダプター本体
３２ａ  周縁部
３３ａ〜３３ｄ  孔
【図１】
0003965780.tif 000002
【図２】
0003965780.tif 000003
【図３】
0003965780.tif 000004
【図４】
0003965780.tif 000005
【図５】
0003965780.tif 000006
【図６】
0003965780.tif 000007