(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
分注後のノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、
ノズル洗浄時に前記ノズルを洗浄する洗浄処理液と、ノズルを洗浄した後のノズル濯ぎ時に前記ノズルの外側表面を濯ぐ第１洗浄濯ぎ液と、を供給する第１供給手段と、
前記ノズルの内側を濯ぐ第２洗浄濯ぎ液を前記ノズルの基端側からノズル内へ供給する第２供給手段と、
前記ノズル洗浄時より前の残留液廃棄時に、前記ノズルの先端が上方から差し込まれ、分注後に当該ノズル内に残留している廃液が流し込まれる廃液槽と、
前記廃液槽とは別に設けられた槽であって、前記残留液廃棄後の前記ノズル洗浄時には前記ノズルの先端が上方から差し込まれて前記洗浄処理液による前記ノズルの洗浄が実施され、前記ノズル濯ぎ時には前記第1洗浄濯ぎ液及び前記第２洗浄濯ぎ液によるノズルの濯ぎが実施される洗浄槽と、
前記第１供給手段及び前記第２供給手段を制御する手段であって、前記ノズル洗浄時には、前記洗浄槽内に貯留された前記洗浄処理液が少なくとも前記ノズル内の内側洗浄領域の上端まで吸引されるようにし、その後、前記ノズル内に吸引された前記洗浄処理液が前記洗浄槽内に吐出されるようにし、前記ノズル濯ぎ時には、前記第１供給手段から供給される前記第１洗浄濯ぎ液が前記ノズルの外側表面に注ぎ込まれるようにし、それと同時に、前記第２供給手段から供給される前記第２洗浄濯ぎ液を前記ノズル基端側から前記ノズル内に注ぎ込むようにする制御手段と、
を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項２】
請求項１記載のノズル洗浄装置において、
前記制御手段は、前記ノズル洗浄時に前記洗浄槽に貯留した洗浄処理液の液面に前記ノズルの先端を接液させ、前記洗浄処理液の吸引に伴う前記洗浄処理液の液面の下降に応じて、前記ノズルを追従下降させる追従下降制御を実行することを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項３】
請求項１記載のノズル洗浄装置において、
前記洗浄槽の上方には、前記第１供給手段からの前記第１洗浄濯ぎ液を前記洗浄槽内の前記ノズルの外側表面に注ぎ込む注ぎ口が設けられていることを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項４】
請求項１記載のノズル洗浄装置において、
前記洗浄槽と前記廃液槽は、互いに隣接配置されて洗浄ユニット槽を形成し、前記洗浄ユニット槽から溢れ出た液体を受けるドレイン容器を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項５】
請求項４記載のノズル洗浄装置において、
前記洗浄槽のオーバーフローレベルよりも、前記洗浄ユニット槽の前記ドレイン容器へのオーバーフローレベルの方が高く設定されていることを特徴とするノズル洗浄装置。
【請求項６】
請求項５記載のノズル洗浄装置において、
前記ドレイン容器内に流れ込む液体の有無を検知する検知手段を含むことを特徴とするノズル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】
本発明は、ノズル洗浄装置及び方法に関し、特に分注後のノズルの外側と内側を洗浄する装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
生化学などの分野では、検体や試薬などをノズルによって自動的に吸引し、所定量ごとに分注するノズル装置が利用される。同一のノズルによって複数の異なる液体の分注を行う場合には、液体間におけるコンタミネーションを防止するために、分注後、ノズルに対して洗浄処理が行われる。この洗浄処理では、一般的に図６に示される方式のノズル洗浄装置が利用されている。このノズル洗浄装置は、外側槽１００の内側に内側槽１０２が配置された洗浄槽１０４を有しており、分注後のノズル１０６をこの内側槽１０２内に上方から差し込む。ノズル１０６に接続された洗浄液タンク１０８から洗浄液をノズル１０６内に導入することによって、ノズル１０６から洗浄液が吐出し、内側槽１０２から溢れ出る。これにより、ノズル１０６の内側が洗浄されると同時に、内側槽１０２内の洗浄液によってノズル１０６の外側が洗浄される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
通常、分注後のノズル１０６内には少なからず分注液が残留している。この残留液すなわち廃液は、ノズル１０６内に洗浄液が導入されることにより洗い出され、内側槽１０２に排出される。これにより、ノズル１０６の外側は、この残留液を含む洗浄液に触れることになる。また、このノズル１０６の外側は、一度ノズル１０６の内側の洗浄に利用された洗浄液によって洗浄されることになる。したがって、洗浄処理に多量の洗浄液（洗浄すすぎ液を含む）を必要とし、また、洗浄処理に長い時間がかかっていた。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、洗浄効率を高めることができるノズル洗浄装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、分注後のノズルを洗浄するノズル洗浄装置において、ノズル洗浄時に前記ノズルを洗浄する洗浄処理液と、ノズルを洗浄した後のノズル濯ぎ時に前記ノズルの外側表面を濯ぐ第１洗浄濯ぎ液と、を供給する第１供給手段と、前記ノズルの内側を濯ぐ第２洗浄濯ぎ液を前記ノズルの基端側からノズル内へ供給する第２供給手段と、前記ノズル洗浄時より前の残留液廃棄時に、前記ノズルの先端が上方から差し込まれ、分注後に当該ノズル内に残留している廃液が流し込まれる廃液槽と、前記廃液槽とは別に設けられた槽であって、前記残留液廃棄後の前記ノズル洗浄時には前記ノズルの先端が上方から差し込まれて前記洗浄処理液による前記ノズルの洗浄が実施され、前記ノズル濯ぎ時には前記第1洗浄濯ぎ液及び前記第２洗浄濯ぎ液によるノズルの濯ぎが実施される洗浄槽と、前記第１供給手段及び前記第２供給手段を制御する手段であって、前記ノズル洗浄時には、前記洗浄槽内に貯留された前記洗浄処理液が少なくとも前記ノズル内の内側洗浄領域の上端まで吸引されるようにし、その後、前記ノズル内に吸引された前記洗浄処理液が前記洗浄槽内に吐出されるようにし、前記ノズル濯ぎ時には、前記第１供給手段から供給される前記第１洗浄濯ぎ液が前記ノズルの外側表面に注ぎ込まれるようにし、それと同時に、前記第２供給手段から供給される前記第２洗浄濯ぎ液を前記ノズル基端側から前記ノズル内に注ぎ込むようにする制御手段と、を含むことを特徴とするノズル洗浄装置に関する。
【０００６】
上記構成によれば、廃液が捨てられる廃液槽とは別に、ノズルの洗浄に利用される洗浄槽が設けられている。したがって、廃液の廃棄によって汚染されていない洗浄槽でノズルを洗浄することができる。また、例えば、洗浄槽内に洗浄処理液を貯留してノズルを洗浄する構成の場合には、その貯留した洗浄処理液内への廃液の溶け込みを少なくすることができる。上記構成によれば、洗浄処理液はノズル内の少なくとも内側洗浄領域の上端まで吸引され、当該領域が洗浄処理される。
【０００７】
本発明の好適な態様では、閉止時に前記洗浄槽内の液体を貯留し、開放時に前記洗浄槽内の液体を排出する洗浄弁を含むことを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、ノズル内に洗浄処理液を吸引し、これを吐出する第１内部洗浄制御、及びノズル基端側からノズル内に第２洗浄濯ぎ液を供給してこれを吐出させる第２内部洗浄制御の２つの洗浄形態によりノズルの内部を洗浄することができる。
【００１０】
本発明の好適な態様では、前記制御手段は、前記ノズル洗浄時に前記洗浄槽に貯留した洗浄処理液の液面に前記ノズルの先端を接液させ、前記洗浄処理液の吸引に伴う前記洗浄処理液の液面の下降に応じて、前記ノズルを追従下降させる追従下降制御を実行する。これにより、ノズルの外側表面を不必要に洗浄液内に浸すことなく洗浄することができる。
【００１２】
また、本発明の好適な態様では、前記洗浄槽の上方には、前記第１供給手段からの前記第１洗浄濯ぎ液を前記洗浄槽内の前記ノズルの外側表面に注ぎ込む注ぎ口が設けられている。ここで、第１洗浄濯ぎ液を洗浄槽内に注ぎ込む注ぎ口が洗浄槽の上方に設けられているので、ノズルの外側表面における洗浄すべき領域の全体に第１洗浄濯ぎ液をかけることができる。
【００１３】
本発明の好適な態様では、前記洗浄槽と前記廃液槽は、互いに隣接配置されて洗浄ユニット槽を形成し、前記洗浄ユニット槽から溢れ出た液体を受けるドレイン容器を含むことを特徴とする。また望ましくは、前記洗浄槽のオーバーフローレベルよりも、前記洗浄ユニット槽の前記ドレイン容器へのオーバーフローレベルの方が高く設定されている。これにより、例えば、洗浄ユニット槽において、詰まりなど排出に支障が生じたとしても、溢れ出る液体はドレイン容器に流れ込む構成であり、これに対処できる構成である。
【００１４】
本発明の好適な態様では、前記ドレイン容器内に流れ込む液体の有無を検知する検知手段を含むことを特徴とする。
【００１５】
本発明は、廃液槽及び洗浄槽を用いて、分注後のノズルを洗浄するノズル洗浄方法において、前記ノズルの先端を上方から前記廃液槽に差し込み、前記廃液槽に前記分注後の前記ノズル内に残留している液体を流し込む廃液排出工程と、前記洗浄槽に洗浄処理液を貯留させる準備貯留工程と、前記残留液廃棄後のノズルを前記洗浄槽に移送し、前記ノズルの先端を上方から前記洗浄槽内の洗浄処理液面内に差し込む準備移送工程と、を有する洗浄準備工程と、前記貯留された洗浄処理液を前記ノズル内に吸引し、前記吸引した前記洗浄処理液を前記洗浄槽内に吐出するとともに前記洗浄槽内の液体を排出させる洗浄工程と、前記ノズルの外側表面に第１洗浄濯ぎ液を注ぐとともに、前記ノズル内に第２洗浄濯ぎ液を供給して前記ノズルから前記第２洗浄濯ぎ液を吐出する濯ぎ工程と、を含むことを特徴とするノズル洗浄方法に関する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の好適な実施の形態（以下、実施形態という）について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係るノズル洗浄装置が組み込まれた分注装置を概略的に示す全体構成図である。
【００１７】
分注装置は、分注タンク３６、分注ポンプ３４、ノズル移送機構１８、制御部２４及び液面検出部（図示せず）を含み、さらに内外洗浄液供給部１２、洗浄容器１６、液体回収部２２、ドレイン容器２０、液体検知器７２及びスピーカ７５等を含む構成を有する。先ず、これらの構成のうち、分注動作時に作動するものについて説明する。
【００１８】
分注動作時においては、主としてノズル１０、分注タンク３６、分注ポンプ３４、ノズル移送機構１８、制御部２４及び液面検出部が機能する。ノズル移送機構１８は、制御部２４に制御されてノズル１０を３次元的に搬送する。分注タンク３６は、内部に蒸留水が貯留されている。分注ポンプ３４は、ノズル１０に接続されているとともに分注タンク３６に接続されており、制御部２４に制御されて作動して、ノズル１０の先端から分注液を吸引させ、これを吐出させる。このときの吸引及び吐出動作では、分注タンク３６内の蒸留水が圧力伝達媒体として利用される。ノズル１０及び液面検出部については図２を用いて説明する。
【００１９】
本実施形態の分注装置では、図２に具体的に示されたノズル１０を利用する。このノズル１０は、主としてノズル本体１５、アタッチメント１７、電極１１及び絶縁体１３から構成されている。ノズル本体１５は、金属製であり、その先端側はテーパー状に成形され、ノズル径が小さくなっている。ノズル本体１５の基端には、アタッチメント１７が固定されている。アタッチメント１７は、ノズル移送機構１８に固設され、ノズル本体１５とノズル移送機構１８とを連結する。また、アタッチメント１７には、分注ポンプ３４に連結された配管が連結され、この配管を介してノズル本体１５と分注ポンプ３４とを接続させる。
【００２０】
電極１１は、棒状の形状を有し、その一端（上端）がアタッチメント１７に固定され、ノズル本体１５の長手方向に沿って伸長配設されており、絶縁体１３を介してノズル本体１５に固設されている。本実施形態では、電極１１の下端がノズル本体１５の先端と揃えられており、ノズル本体１５の先端を液面に接液させると、電極１１もまた液体に接触する。液面検出部（図示せず）は、ノズル本体１５が接液した際におけるノズル本体１５と電極１１との間の電気抵抗の変化を検知して液面検出を行う。この液面検出は、分注動作時においては、分注液の吸引に先立ってノズル１０の先端をその液面に接液させる際に実行される。なお、分注後のノズル１０の洗浄工程時にも液面検出が実行されるがこれについては後述する。
【００２１】
図１に戻り、ノズル洗浄装置の説明をする。ここで、上記ノズル移送機構１８、分注ポンプ３４、分注タンク３６及び液面検出部は、制御部２４の制御の下、ノズル洗浄装置としての機能を有する。ここで、本実施形態では、ノズル１０内（ノズル本体１５内）の洗浄時において、分注タンク３６に貯留されている蒸留水をノズル１０内を濯ぐ洗浄濯ぎ液として利用する。
【００２２】
内外洗浄液供給部１２は、洗浄容器１６に接続され、ノズル１０の洗浄に利用される内外洗浄液を洗浄容器１６に供給する。本実施形態では、内外洗浄液として、洗浄処理液（薬剤）と、洗浄濯ぎ液としての蒸留水とが利用される。内外洗浄液供給部１２は、主として、洗浄処理液が貯留されている洗浄処理液タンク２８と、蒸留水が貯留されている濯ぎ液タンク３０と、注入弁３２と、注入ポンプ２６とからなる。注入ポンプ２６は、これら２つのタンクと注入弁３２を介して接続されている。制御部２４に制御されて作動する注入ポンプ２６は、注入弁３２の切換によって選択された洗浄処理液タンク２８内の洗浄処理液、又は濯ぎ液タンク３０内の蒸留水を洗浄容器１６内に供給する。
【００２３】
洗浄容器１６は、ノズル１０の洗浄で利用される容器である。洗浄容器１６は、洗浄ユニット槽３８と、洗浄ユニット槽３８から溢れ出た液体が流れ込むためのオーバーフロー槽４０とから構成されている。
【００２４】
さらに、洗浄ユニット槽３８は、廃液槽４２及び洗浄槽４４から構成されている。廃液槽４２は、分注後のノズル１０内に残留している廃液が流し込まれる槽であり、上部には開口が形成され、内部にはこの開口と連通する空洞部が形成されている。廃液槽４２の底部には、流し込まれた廃液を排出するための第１排出口４８が形成されており、この空洞部と連通している。なお、この第１排出口４８は、廃棄弁６４を介して液体回収部２２と接続されている。
【００２５】
洗浄槽４４は、廃液槽４２に廃液を排出した後のノズル１０の洗浄が実施される槽であり、上部には開口が形成され、内部にはこの開口と連通する空洞部が形成されている。洗浄槽４４の底部には、液体を排出する第２排出口５２が形成されており、この空洞部と連通している。なお、この第２排出口５２は、洗浄弁６６を介して液体回収部２２と接続されている。洗浄槽４４の上方には、注ぎ口５４が形成されており、注入ポンプ２６から供給される洗浄処理液や蒸留水を洗浄槽４４内に注ぎ込む。
【００２６】
ここで、この注ぎ口５４は、図３に示されるように、蒸留水を注入した際に、ノズル１０における外側表面の洗浄を必要とする領域、すなわち外側洗浄領域の全体に蒸留水をかけることができる位置に配置されている。
【００２７】
オーバーフロー槽４０の上部には開口が形成され、内部には、この開口と連通する空洞部が形成されている。一方、底部には、流入した液体を排出する第３排出口５８が形成されており、この空洞部と連通している。
【００２８】
本実施形態の洗浄容器１６は、廃液槽４２、洗浄槽４４及びオーバーフロー槽４０が一体形成されており、廃液槽４２と洗浄槽４４とは、洗浄壁６０によって隔てられ、また洗浄槽ユニット槽３８とオーバーフロー槽４０は、オーバーフロー壁６２によって隔てられている。オーバーフロー壁６２は、洗浄壁６０よりも高い位置まで伸長形成されている。これにより、洗浄槽４４のオーバーフローレベルよりも洗浄ユニット槽３８のオーバーフローレベルの方が高く設定されている。なお、洗浄壁６０は、注ぎ口５４から注がれる洗浄処理液や蒸留水が直接廃液槽４２に注がれない高さまで伸長形成されている。
【００２９】
図１及び図３に示された洗浄容器１６では、廃液槽４２、洗浄槽４４及びオーバーフロー槽４０が、一列に配置されて記載されているが、本実施形態の実際の洗浄容器１６では、これら３つの槽が互いに隣接配置されており、洗浄容器１６を上方から見ると、図４に示されるように、あたかも３角形の頂点にこれらの３つの槽が配置されたような形状を有している。
【００３０】
図１に戻り説明を続ける。廃棄弁６４は、制御部２４に制御されて開閉動作する電磁弁であり、廃液槽４２内の液体の排出や貯留に利用される。洗浄弁６６もまた、制御部２４に制御されて開閉動作する電磁弁であり、洗浄槽４４内の液体の排出や貯留に利用される。
【００３１】
液体回収部２２は、主として、廃棄ポンプ６８と廃棄タンク７０とから構成されている。廃棄ポンプ６８は、制御部２４に制御されて動作し、洗浄ユニット槽３８から排出される液体を吸引して廃棄タンク７０に吐出する。廃棄タンク７０は、この吐出された液体を貯留する。
【００３２】
ドレイン容器２０は、オーバーフロー槽４０に流れ込んだ液体を受ける皿状の容器である。このドレイン容器２０には、液体検知器７２が設けられており、ドレイン容器２０内への液体の流れ込みを検知する。本実施形態の液体検知器７２は、ドレイン容器２０の底面付近に配置された２つの電極７４を有し、液体の流れ込みで変化する電極間の電気抵抗に基づいて、この流れ込みを検知する。
【００３３】
スピーカ７５は、ドレイン容器２０への液体の流れ込みを液体検知器７２で検知した場合、音により警告を発し、ユーザーに報知するためのものである。
【００３４】
次に、図１の分注装置に組み込まれたノズル洗浄装置の動作について図５を参照しながら説明する。図５は、本実施形態におけるノズル洗浄装置の洗浄処理を示すフローチャートである。ここで、ノズル１０は、分注動作時において、その内側が分注液にさらされる。また、上述のように、分注液の吸引前にその液面に接するため、ノズル１０の外側表面には、例えば、先端からおよそ１ｍｍの高さまで分注液にさらされる。したがって、ノズル１０の内側と外側表面に、洗浄が必要とされる内側洗浄領域と外側洗浄領域ができる。また、ノズル１０内には、分注液が廃液として残留している。
【００３５】
先ず、廃液排出工程が実行される。この工程では、先ず、洗浄弁６６と廃棄弁６４とが閉止される（Ｓ２００）。次に、ノズル移送機構１８によって、ノズル１０が移送され、ノズル１０の先端を廃液槽４２の上方から差し込まれて、所定の高さ位置で停止する（Ｓ２０２）。そして、分注ポンプ３４が作動して、分注タンク３６内の蒸留水がノズル１０内に供給される。これにより、ノズル１０内の廃液が押し出され、廃液槽４２内に流れ込む（Ｓ２０４）。なお、廃液の排出後、引き続き分注ポンプ３４を作動させる。これにより、分注時に内側洗浄領域を行き来した蒸留水も廃液槽４０に排出される。また、吐出される蒸留水によって内側洗浄領域における汚れ状態が改善される。
【００３６】
次に、洗浄準備工程が実行される。この工程では、先ず、注入弁３２が洗浄処理液タンク２８側に接続されて洗浄槽４４内に洗浄処理液が注ぎ込まれ、洗浄槽４４が洗浄処理液で満たされる（Ｓ２０６）。なお、この洗浄槽４４内に洗浄処理液を貯留する工程は、上述の廃液排出工程と同時並列的に実行されてもよい。次に、ノズル１０が廃液槽４２から洗浄槽４４に移送され、洗浄槽４４の上方からノズル１０が下降していく。液面検出部によって、ノズル１０の先端が貯留した洗浄処理液の液面に接したのが検出されると、制御部２４は、ノズル１０の下降動作を停止させる（Ｓ２０８）。
【００３７】
次に、洗浄工程が実行される。この工程では、分注ポンプ３４が動作し、ノズル１０内に洗浄槽４４の洗浄処理液が吸引される。ここで、この洗浄処理液の吸引に伴って、洗浄槽４４の洗浄処理液の液面が下降する。制御部２４は、この液面下降に応じてノズル１０を追従下降させる。これにより、洗浄処理液の吸引時に亘ってノズル先端の接液状態が維持され、ノズル１０内を洗浄するのに十分な洗浄処理液がノズル１０内に吸引される（Ｓ２１０）。また、これにより、吸引時に、貯留した洗浄処理液内にノズル１０を不必要に浸漬させ、ノズル１０の外側表面に洗浄処理液を付着させてしまうことを防止できる。洗浄処理液は、少なくともノズル１０内の内側洗浄領域の上端まで吸引され、内側洗浄領域は洗浄処理液に浸される。その後、洗浄弁６６と廃棄弁６４とが開放されるとともに、廃棄ポンプ６８が動作を開始し、洗浄槽４４内に残った洗浄処理液と廃液槽４２内の液体が廃棄タンク７０内に排出される（Ｓ２１２）。また、分注ポンプ３４が動作し、ノズル１０から洗浄処理液が吐出される（Ｓ２１４）。ノズル１０から吐出された洗浄処理液は、洗浄槽４４から排出される。
【００３８】
また、図５のフローチャートの工程として記載していないが、必要に応じて、追従下降動作後のノズル１０に注ぎ口５４から注ぎ込む洗浄処理液をかけ、外側洗浄領域を洗浄してもよい。
【００３９】
次に、濯ぎ工程が実行される。この工程では、図３に示されるように、ノズル１０の内側と外側表面の濯ぎが行われる。注入弁３２が濯ぎ液タンク３０側に切り替えられ、注入ポンプ２６の動作により、注ぎ口５４から洗浄槽４４内に蒸留水が注ぎ込まれる（Ｓ２１６）。ここで、ノズル１０の外側洗浄領域は、洗浄工程における追従下降動作によって注ぎ口５４よりも下方に配置されている。したがって、注ぎ口５４から注がれた蒸留水は外側洗浄領域にかかり、外側洗浄領域が、濯がれる。一方、上述のノズル１０内における洗浄処理液の吐出に引き続き分注ポンプ３４を動作させ、ノズル１０内に蒸留水を供給し、吐出させる（Ｓ２１８）。これにより、ノズル１０内が濯がれる。ここで、本実施形態では、これらのノズル１０の外側表面の濯ぎと内側の濯ぎは同時に実行される。なお、このとき、洗浄弁６６は開放された状態が保たれ、洗浄槽４４内に流れ込んだ蒸留水は、廃棄ポンプ６８によって廃棄タンク７０に送り込まれる。
【００４０】
本実施形態におけるノズル１０の洗浄では、上述の洗浄準備工程、洗浄工程及び濯ぎ工程からなる一連の工程が２回繰り返される。なお、必要に応じてこの一連の工程の繰り返し回数を変更可能な構成であってもよい。
【００４１】
実施形態のノズル洗浄装置によれば、廃液が排出された廃液槽４２とは異なる槽でノズル１０が洗浄される。したがって、使用する洗浄処理液やすすぎ液を少なくすることができる。また、効率の良い洗浄が実現できるので、洗浄時間を短くすることができる。
【００４２】
なお、仮に、ノズル洗浄時に洗浄槽４４からの液体の排出に支障が起き、洗浄槽４４内の液体が溢れ出したとしても、この液体は廃液槽４２に流れ込み、廃棄タンク７０に送り込まれる。また、仮に、ノズル１０の洗浄時に洗浄ユニット槽３８全体における液体の排出に支障が起き、洗浄ユニット槽３８内の液体が溢れたとしても、この液体は、オーバーフロー槽４０を介してドレイン容器２０に流れ込む。この流れ込みは、液体検知器７２によって検出され、スピーカ７５によって故障を示す警告音が発せられる。なお、スピーカ７５の代わりに、又はスピーカ７５とともに、ディスプレイ等に警告を表示させる構成であってもよい。このような場合には、警告を発するとともに、ノズル洗浄装置を停止させ、不必要な液体の漏れ出しを防止することができる制御機構とすることが望ましい。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、洗浄効率を高められるノズル洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るノズル洗浄装置が組み込まれた分注装置を概略的に示す全体構成図である。
【図２】  本発明のノズルを具体的に示す図である。
【図３】  本実施形態における濯ぎ工程において、洗浄槽内でノズルが濯がれている状態を示した図である。
【図４】  本実施形態における洗浄容器の平面図である。
【図５】  本実施形態におけるノズル洗浄装置の洗浄処理を示すフローチャートである。
【図６】  従来のノズル洗浄装置の概略的な構成を示す図である。
【符号の説明】
１０  ノズル、１２  内外洗浄液供給部、１６  洗浄容器、１８  ノズル移送機構、２０  ドレイン容器、２２  液体回収部、２４  制御部、３４  分注ポンプ、３６  分注タンク、４０  オーバーフロー槽、４２  廃液槽、４４  洗浄槽。
【図１】
0003965043.tif 000002
【図２】
0003965043.tif 000003
【図３】
0003965043.tif 000004
【図４】
0003965043.tif 000005
【図５】
0003965043.tif 000006
【図６】
0003965043.tif 000007