(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体供給ポートから供給される流体の圧力によって駆動するアクチュエータと、このアクチュエータに通じる２つの流体通路と、これらの流体通路のうち一方を給気用に切り換えるとともに他方を排気用に交互に切り換える電磁弁と、この電磁弁により排気用に切り換えられた流体通路から流体を外部に排気するための排気通路とを備えた電磁弁ユニットにおいて、
前記流体通路又は排気通路上のいずれかに、所定の範囲で回動可能な弁本体を有し、該弁本体の回動操作量に応じて前記流体通路又は排気通路を流れる流体の量を調節する絞り弁を設け、
前記流体通路又は排気通路を流れる流体を通過させる貫通孔を前記弁本体に設け、該弁本体の外周面において前記貫通孔の上流側開口部と下流側開口部とにそれぞれ通じる切り欠き溝を設け、
両切り欠き溝のうち少なくともいずれか一方の切欠き溝は、前記弁本体の回動範囲内で前記流体通路又は排気通路と前記貫通孔との有効断面積が変化するように、同貫通孔の軸線に対して斜めに延設されているとともに、他方の切欠き溝は、前記貫通孔の軸線に対して直交する方向に延設され、
前記一方の切欠き溝は、前記他方の切欠き溝よりも深さが浅く且つ長さが短く形成され、
前記流体通路又は排気通路において、前記弁本体における前記一方の切欠き溝が延設される側に位置する流体通路の前記弁本体側の端部は、その幅が前記貫通孔の幅と等しくなるように形成されるとともに、前記弁本体における前記他方の切欠き溝が延設される側に位置する流体通路の前記弁本体側の端部は、その幅が前記貫通孔の幅よりも大きく形成されていることを特徴とする電磁弁ユニット。
【請求項２】
前記他方の切り欠き溝は、前記貫通孔の開口部が形成されている箇所から端部にかけて浅くなる傾斜面を有していることを特徴とする請求項１に記載の電磁弁ユニット。
【請求項３】
前記絞り弁を、一定の回動量でもって段階的に操作可能にするとともに、所定の回動位置で保持することが可能なラッチ機構を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電磁弁ユニット。
【請求項４】
前記ラッチ機構は、その絞り弁の外端部及びベースのうちいずれか一方に設けられた係止突部と、他方に係止突部が係脱可能でかつ所定の間隔をおいて配置された複数の係止穴とから構成されていることを特徴とする請求項３に記載の電磁弁ユニット。
【請求項５】
ベースと、それが取り付けられる取付部材とのうち少なくともいずれか一方にはマグネットが設けられ、このマグネットの磁力により前記ベースが取付部材に対して着脱可能に固定されていることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニット。
【請求項６】
ベースと、それが取り付けられる取付部材とを備え、取付部材にはベースを挟み込むように延びる腕部が突設され、この腕部の先端部とベースとのうちいずれか一方には取付突部が設けられ、他方には前記取付突部と凹凸の関係で係脱可能な取付孔が設けられていることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニット。
【請求項７】
ベースには絞り弁の回動量を示す目盛り部が設けられていることを特徴とする請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニット。
【請求項８】
前記アクチュエータから排出される流体がベースの外部に排気されるときに生じるノイズを消音する消音部材を備え、この消音部材は前記ベースに収容されていることを特徴とする請求項１〜７のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁弁ユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えばエアシリンダなどのアクチュエータの動作速度をコントロールするために、アクチュエータに対する流体排出量を調節している。この調節を行うために従来から電磁弁ユニットが用いられている。図１７に示すように、電磁弁ユニット９０のベース９１には図示しないアクチュエータに流体が供給される給気ポート９２が設けられており、その両側には絞り弁９３が設けられている。絞り弁９３に内蔵されているニードル弁部の位置を調節することにより、アクチュエータからの排出される流体の量が調節される。この種の絞り弁９３は、ニードル弁部を弁座に対して接近すれば流体排出量は少なくなり、離間すれば流体排出量は多くなる。このような絞り弁９３を用いてアクチュエータから排出される流体の量を調節する方法としては、初めに絞り弁９３を回動させてベース９１に取り付けた後、絞り弁９３のニードル弁部と一体であるニードル弁つまみ９３ａを幾回も回動させて全閉又は全開を行う。
【０００３】
しかしながら、流体排出量を調節するために絞り弁９３のニードル弁つまみ９３ａを幾回も回動操作する必要があるため、所定の流体排出量に調節するまでの操作に煩わしさが伴う。場合によっては、ニードル弁つまみ９３ａを回動操作しているときに、どれだけ回動操作したかが分からなくなることもあり、ニードル弁つまみ９３ａを基準位置に再度戻した後に回動操作してやり直す必要がある。
【０００４】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、簡単な操作で流量を調節することが可能な絞り弁を提供することにある。又、アクチュエータの動作速度を簡単に調節することが可能な電磁弁ユニットを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
（請求項１の発明…実施形態１，２に対応）
請求項１に記載の発明では、流体供給ポートから供給される流体の圧力によって駆動するアクチュエータと、このアクチュエータに通じる２つの流体通路と、これらの流体通路のうち一方を給気用に切り換えるとともに他方を排気用に交互に切り換える電磁弁と、この電磁弁により排気用に切り換えられた流体通路から流体を外部に排気するための排気通路とを備えた電磁弁ユニットにおいて、前記流体通路又は排気通路上のいずれかに、所定の範囲で回動可能な弁本体を有し、該弁本体の回動操作量に応じて前記流体通路又は排気通路を流れる流体の量を調節する絞り弁を設け、前記流体通路又は排気通路を流れる流体を通過させる貫通孔を前記弁本体に設け、該弁本体の外周面において前記貫通孔の上流側開口部と下流側開口部とにそれぞれ通じる切り欠き溝を設け、両切り欠き溝のうち少なくともいずれか一方の切欠き溝は、前記弁本体の回動範囲内で前記流体通路又は排気通路と前記貫通孔との有効断面積が変化するように、同貫通孔の軸線に対して斜めに延設されているとともに、他方の切欠き溝は、前記貫通孔の軸線に対して直交する方向に延設され、前記一方の切欠き溝は、前記他方の切欠き溝よりも深さが浅く且つ長さが短く形成され、前記流体通路又は排気通路において、前記弁本体における前記一方の切欠き溝が延設される側に位置する流体通路の前記弁本体側の端部は、その幅が前記貫通孔の幅と等しくなるように形成されるとともに、前記弁本体における前記他方の切欠き溝が延設される側に位置する流体通路の前記弁本体側の端部は、その幅が前記貫通孔の幅よりも大きく形成されていることを要旨とする。
この構成によれば、絞り弁によって流体通路又は排気通路を通る流体の量が調節されることで、アクチュエータの動作速度が変わる。要するに、絞り弁はスピードコントローラとしての機能を有している。このような絞り弁を回動操作すると、貫通孔の軸線に対して斜めにした切り欠き溝がある側の貫通孔と、流体通路又は排気通路との有効断面積が変化する。この変化により、弁本体の貫通孔を通過する流体の量が調節される。このような流量の調節に際して、弁本体は何度も回動操作されることなく、所定の回動範囲内を回動操作することで済ませることが可能になる。従って、簡単な操作でアクチュエータの動作速度を調節することが可能になる
【０００７】
（請求項２の発明…実施形態１，２に対応）
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の電磁弁ユニットにおいて、前記他方の切り欠き溝は、前記貫通孔の開口部が形成されている箇所から端部にかけて浅くなる傾斜面を有していることを要旨とする。
【０００８】
この構成によれば、他方の切り欠き溝に斜面を設けたことにより、弁本体の回動量に応じて流路と貫通孔との有効断面積の変化量はほぼ一定なものとなる。従って、流量の絞り調節をよりいっそう簡単に行うことができるようになる。
【００１１】
（請求項３の発明…実施形態１，２に対応）
請求項３に記載の発明では、請求項１又は２に記載の電磁弁ユニットにおいて、前記絞り弁を、一定の回動量でもって段階的に操作可能にするとともに、所定の回動位置で保持することが可能なラッチ機構を備えていることを要旨とする。
【００１２】
この構成によれば、ラッチ機構によって絞り弁が所定の回動量でもって段階的に回動操作されるため、流量の微調整を簡単に行うことが可能になる。
（請求項４の発明…実施形態１，２に対応）
請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニットにおいて、前記ラッチ機構は、その絞り弁の外端部及びベースのうちいずれか一方に設けられた係止突部と、他方に係止突部が係脱可能でかつ所定の間隔をおいて配置された複数の係止穴とから構成されていることを要旨とする。
【００１３】
この構成によれば、係止突部が係止穴に対して係脱することにより、節度感が与えられるため、絞り弁４１の操作感覚を向上させることが可能になる。
（請求項５の発明…実施形態１，２に対応）
請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニットにおいて、ベースと、それが取り付けられる取付部材とのうち少なくともいずれか一方にはマグネットが設けられ、このマグネットの磁力により前記ベースが取付部材に対して着脱可能に固定されていることを要旨とする。
【００１４】
この構成によれば、マグネットの磁力により、電磁弁ユニットが固定されるため、例えばネジなどの締結手段を用いて固定する場合に比べて、作業性の向上を図ることができる。
【００１５】
（請求項６の発明…実施形態２のみに対応）
請求項６に記載の発明では、請求項１〜４のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニットにおいて、ベースと、それが取り付けられる取付部材とを備え、取付部材にはベースを挟み込むように延びる腕部が突設され、この腕部の先端部とベースとのうちいずれか一方には取付突部が設けられ、他方には前記取付突部と凹凸の関係で係脱可能な取付孔が設けられていることを要旨とする。
【００１６】
この構成によれば、取付突部と取付孔とが凹凸関係で係合されることで、電磁弁ユニットが固定されるため、例えばネジなどの締結手段を用いて固定する場合に比べて、作業性の向上を図ることができる。
【００１７】
（請求項７の発明…実施形態１，２に対応）
請求項７に記載の発明では、請求項１〜６のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニットにおいて、ベースには絞り弁の回動量を示す目盛り部が設けられていることを要旨とする。
【００１８】
この構成によれば、目盛り部によって絞り弁４１の回動量を容易に把握することが可能になる。そのため、絞り弁による絞り流量の調整作業がよりいっそう容易なものとなる。
【００１９】
（請求項８の発明…実施形態１，２に対応）
請求項８に記載の発明では、請求項１〜７のうちいずれか一項に記載の電磁弁ユニットにおいて、前記アクチュエータから排出される流体がベースの外部に排気されるときに生じるノイズを消音する消音部材を備え、この消音部材は前記ベースに収容されていることを要旨とする。
【００２０】
この構成によれば、ベースから消音部材が張り出さなくなるため、電磁弁ユニットの外形寸法を小さくすることができる。すなわち、電磁弁ユニットのコンパクト化を図ることが可能になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１〜図４に示すように、電磁弁ユニット１１はベース１２を備えており、その上面にはエア等の流体が供給される流体供給ポート１４が設けられている。この流体供給ポート１４から供給される流体は、ベース１２内に形成された流体通路（流路）３９を介して、ベース１２の側面に設けられたＡポート１５又はＢポート１６から、流体アクチュエータ１７に形成される流体圧供給室１８，１９にそれぞれ導入される。例えば、流体アクチュエータ１７がエアシリンダであれば、シリンダ本体２０内に往復動可能に収容されたピストン２１によって区画される一方の流体圧供給室にＡポート１５（Ｂポート１６）から流体が供給され、他方の流体圧供給室にＢポート１６（Ａポート１５）から流体が排出される。
【００２２】
ベース１２の上面には５ポート切換電磁弁２２が配設されており、この５ポート切換電磁弁２２によって、流体通路３９を通る流体の流れる方向が切り換えられる。すなわち、５ポート切換電磁弁２２の切換動作によって、２つの流体通路３９のうち一方が給気用となるか他方が排気用となるかが交互に切り換えられる。そして、流体アクチュエータ１７の各流体圧供給室１８，１９に対するエア供給先が切り換えられることで、ピストン２１が往復動作するようになっている。
【００２３】
図２〜図５に示すように、ベース１２の側面において前記両ポート１５，１６と反対側に位置する箇所には、２つの排気口（図２に１つのみ図示する）２３が形成されている。この排気口２３からは、流体アクチュエータ１７から排出される流体が大気に放出される。排気口２３のあるベース１２の側面には収容凹部２４が形成されており、その内部には排気口２３を塞ぐように通気性を有する消音エレメント２５が設けられている。消音エレメント２５は、ベース１２に取り付けられた通気カバー２６によって収容凹部２４内に保持されている。そして、排気口２３から排出される流体が消音エレメント２５を通過することで、流体が排出されるときに生じるノイズが低減される。
【００２４】
図３に示すように、電磁弁ユニット１１のベース１２の下面に形成された凹部２８には、マグネットプレート２９が設けられている。このマグネットプレート２９は、その外縁を囲む取付フレーム３０にはめ込まれており、その取付フレーム３０の両端部がネジ３０ａでベース１２に対し締め付けられている。これにより、ベース１２に固定されている。そして、取付部材である取付鋼板３２にベース１２の下面が合わせられることにより、マグネットプレート２９の磁力によって電磁弁ユニット１１は取付鋼板３２に対し着脱可能に取り付けられている。
【００２５】
ベース１２の下面においてマグネットプレート２９付近に位置する箇所には、位置決め部材としての位置決め突起３３が形成されている。そして、この位置決め突起３３が取付鋼板３２に形成された位置決め孔３４に係合されることにより、取付鋼板３２に対する電磁弁ユニット１１の位置決めがなされる。図示しないが、位置決め突起３３と位置決め孔３４とが設けられている位置関係を逆にすることも可能である。すなわち、位置決め突起３３を取付鋼板３２に設け、位置決め孔３４をベース１２の下面に形成してもよい。
【００２６】
次に、絞り弁４１の具体的構造について説明する。
図４，図５に示すように、電磁弁ユニット１１のベース１２に形成され、流体アクチュエータ１７から排出される流体が流れる２つの排気通路（流路）４０上には、それぞれ絞り弁４１が設けられている。ベース１２の上面には排気通路４０に通じる挿入孔４２が開口されており、この挿入孔４２には絞り弁４１が回動可能にはめ込まれている。絞り弁４１は、合成樹脂からなり、その大部分を占める弁本体４５の外周面に形成された環状溝４３の一部に２つの平行ピン４４が係入されることにより、ベース１２の挿入孔４２から絞り弁４１が抜けないようになっている。
【００２７】
この絞り弁４１は、流体アクチュエータ１７の各流体圧供給室１８，１９から排出される流体の量を調節する機能を有する。つまり、絞り弁４１によって、各流体圧供給室１８，１９から排出される流量が多くなると、流体アクチュエータ１７におけるピストン２１の動作速度は速くなり、流量が少なくなるとピストン２１の動作速度は遅くなる。従って、絞り弁４１を操作することによって、流体アクチュエータ１７の動作速度がコントロールされる。
【００２８】
図９〜図１３に示すように、弁本体４５の外周面において平行ピン４４がある位置よりも下側には、２つのＯリング４６が間隔をおいて設けられている。これらのＯリング４６があることにより、排気通路４０を流れる流体が挿入孔４２と弁本体４５との境界から外部に放出されるのが防止される。弁本体４５において２つのＯリング４６の間に位置する箇所には、弁本体４５の径方向に沿って延びている貫通孔４７が形成されており、この貫通孔４７は排気通路４０に連通可能になっている。
【００２９】
弁本体４５の外周面おいて貫通孔４７の両端開口部４７ａ，４７ｂに対応位置する箇所には、断面Ｖ字状の切り欠き溝５１，５２がそれぞれ形成されている。両切り欠き溝５１，５２の切込み角度θ１，θ２は、互いに異なっている。上流側切り欠き溝（一方の切り欠き溝）５１の切込み角度θ１は９０゜に設定され、下流側切り欠き溝５２（他方の切り欠き溝）の切込み角度θ２は１１０゜に設定されている。上流側切り欠き溝５１の切込み角度θ１は、８０〜１２０゜の範囲に設定することが絞り弁４１による絞りを最適にする上で好ましい。下流側切り欠き溝５２の切込み角度θ２は、９０〜１４０゜の範囲に設定することが好ましい。
【００３０】
図７，図９，図１３に示すように、下流側切り欠き溝５２は、貫通孔４７の軸線４７ｃに対して直交する方向に延びており、その中央部に下流側開口部４７ｂが位置している。
【００３１】
図８，図１０，図１３に示すように、上流側切り欠き溝５１は、貫通孔４７の軸線４７ｃに対して斜め方向に延びており、その一端部に貫通孔４７の上流側開口部４７ａが位置している。上流側切り欠き溝５１は、貫通孔４７の上流側開口部４７ａがある端部から反対側の端部にかけて緩やかに浅くなる２つの傾斜面５１ａによって形成されている。それに加えて、上流側切り欠き溝５１は、下流側切り欠き溝５２と比べて深さが浅く、かつ長さが短く設定されている。そして、絞り弁４１の回動操作可能な角度の範囲内では、弁本体４５が回動されるのに伴い、貫通孔４７と排気通路４０との有効断面積が変化するようになっている。このように有効断面積が変化することによって、流体アクチュエータ１７から排出される流体の量が調節される。
【００３２】
本実施形態において、排気通路４０と貫通孔４７との軸線が互いに一致する位置を０゜とすると、図１４に示すように、絞り弁４１の回動操作できる範囲は、０゜〜７２゜の範囲に設定されている。絞り弁４１の回動操作角度が０゜のとき、貫通孔４７と排気通路４０との有効断面積が最も大きくなり、流体アクチュエータ１７から排出される流体の量は最も多くなる。
【００３３】
それに対して、絞り弁４１の回動操作角度が７２゜に近づくほど、貫通孔４７と排気通路４０との有効断面積が小さくなる。より詳しく説明すると、図１４に示すように、絞り弁４１の回動操作角度が０゜以上になると、貫通孔４７の軸線４７ｃが排気通路４０の軸線からずれるのに伴い、上流側切り欠き溝５１が排気通路４０の開口部に対して占める割回が大きくなることで有効断面積が小さくなる。そして、絞り弁４１の回動操作角度が７２゜のとき、貫通孔４７と排気通路４０との有効断面積が最も小さくなり、流体アクチュエータ１７から排出される流体の量はゼロとなる。
【００３４】
図５，図６に示すように、弁本体４５の外端部には、円形状の操作部６０が電磁弁ユニット１１の外部に露出するように一体形成されている。操作部６０とベース１２との間には、ラッチ機構６１が設けられている。このラッチ機構６１は、絞り弁４１の操作部６０に外周縁下面に形成された係止突部６２と、ベース１２の上面において操作部６０の外周縁下面に対峙する箇所に形成された複数の係止穴６３とから構成されている。そして、操作部６０の回動操作に伴い、係止突部６２が係止穴６３に係脱可能になっている。
【００３５】
しかも、各係止穴６３は一定の間隔でもって配列されているため、係止突部６２が隣接する係止穴６３に移行することで、弁本体４５を一定の回動量で段階的に回動操作できるようになっている。本実施形態では、係止穴６３が１０個設けられていることから、１０段階の回動操作ができるようになっている。つまり、弁本体４５の回動範囲が７２゜であることから、８゜間隔ごとに弁本体４５を段階的に回動させることができるようになっている。
【００３６】
更に、係止突部６２が隣接する係止穴６３に移行するとき、各係止穴６３の境界部に形成された山部６４を乗り越えることにより、絞り弁４１が回動されるときに操作者に対し節度感が付与される。操作部６０の回動操作を容易なものとするために、その上面には図示しないマイナスドライバ等の操作治具を差し込むための治具係合溝６５が形成されている。
【００３７】
なお、図１に示すように、絞り弁４１の操作部６０には、その回動位置を示唆するための三角形状の指標部６６が形成されている。この指標部６６がベース１２の上面に付された目盛り部６７に対応することで、絞り弁４１の回動量が把握できるようになっている。
【００３８】
【実施例及び比較例】
（実施例）
実施例では、上述した絞り弁４１を用いた電磁弁ユニット１１を使用し、流体供給ポート１４に供給圧力が０．４ＭＰａの流体を供給した。そして、１０段階にラッチ可能な絞り弁４１が所定の回動位置にあるときに、流体アクチュエータ１７の応答時間を測定した。ここでいう応答時間とは、５ポート切換電磁弁２２に通電を開始してから流体アクチュエータ１７の切換動作が完了するまでの時間をいう。
【００３９】
（比較例）
これに対して、比較例では実施例とは異なる絞り弁４１を用いた。すなわち、下流側切り欠き溝５２と同じ形状かつ深さの上流側切り欠き溝を、貫通孔４７の上流側開口部４７ａに対応する箇所に形成したものを用いる。もちろん、この上流側切り欠き溝は、その延びる角度が貫通孔４７の軸線に対して直交しており、下流側切り欠き溝５２と平行である。このような絞り弁４１を用いた電磁弁ユニット１１を使用し、上述した同じ条件で流体アクチュエータ１７の応答時間を測定した。
【００４０】
（測定結果）
実施例と比較例との測定結果を図１５に示す。この図から明らかなように、実施例の電磁弁ユニット１１では、絞り弁４１の回動量にほぼ比例して流体アクチュエータ１７の応答時間が変化している。これは、流体アクチュエータ１７から排出される流体の量が、絞り弁４１の回動量に比例して変動していることを示している。
【００４１】
一方、比較例の電磁弁ユニット１１では、絞り弁４１が全閉（図１５に示す回動位置「１」）から全開付近（回度位置「４．５」）までの回動位置にあるとき、流体アクチュエータ１７の応答時間にはほとんど変化が見られない。しかし、絞り弁４１が全開付近から全開（回動位置「５．５」）までの回動位置にあるとき、わずかな回動量であるにもかかわらず、流体アクチュエータ１７の応答時間は急激に短くなる。この結果、比較例では、絞り弁４１の回動位置が特定の範囲内にあるとき、流体アクチュエータ１７から排出される流体の量がほとんど変動しないが、特定の範囲を越えると急激に流体の量が変動するといえる。
【００４２】
従って、本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）  弁本体４５の外周面には、貫通孔４７の両端開口部４７ａ，４７ｂに通じる切り欠き溝５１，５２形成されている。そして、上流側切り欠き溝５１は、貫通孔４７の軸線に対して斜めに配置されている。このことにより、絞り弁４１をその軸線を中心に幾回も回動操作する必要なく、流量を絞り調節することができる。しかも、絞り弁４１の回動量にほぼ比例させて絞り流量を変化させることができるので、流体アクチュエータ１７の動作速度のコントロールを容易に行うことができる。
【００４３】
（２）  絞り弁４１を一定の回動量でもって段階的に操作可能にするとともに、絞り弁４１を所定の回動位置で保持することが可能なラッチ機構６１を備えている。よって、絞り弁４１の回動位置を容易に把握することができるため、本実施形態のように電磁弁ユニット１１に絞り弁４１が２つ設けられている場合でも、それぞれの絞り弁４１の回動位置を簡単に一致させることができる。よって、絞り弁４１による絞り流量の調節を簡単に行うことができる。
【００４４】
（３）  ラッチ機構６１は、絞り弁４１側に設けられた係止突部６２と、ベース１２側に設けられた係止穴６３とから構成されている。そのため、絞り弁４１を回動操作すると係止突部６２が係止穴６３に対して係脱することにより、操作者に対して節度感を付与することができる。このことにより、絞り弁４１の操作感覚を向上させることができる。
【００４５】
（４）  電磁弁ユニット１１は、取付鋼板３２に対し、ベース１２に設けられたマグネットプレート２９の磁力により着脱可能に組み付けられている。これにより、例えばネジ等の締結手段によって電磁弁ユニット１１を固定することに比較して、作業性の向上を図ることができる。
【００４６】
（５）  電磁弁ユニット１１のベース１２に設けられた位置決め突起３３を位置決め孔３４に係合することにより、取付鋼板３２に電磁弁ユニット１１を位置決めすることができる。従って、マグネットプレート２９の磁力によって電磁弁ユニット１１を取付鋼板３２に固定した後に位置合わせする作業が必要にならないとともに、電磁弁ユニット１１を固定してからでも位置ずれするのを防止することができる。
【００４７】
（６）  電磁弁ユニット１１のベース１２に設けられた目盛り部６７に対し、絞り弁４１の操作部６０に設けられた指標部６６が指し示されることにより、絞り弁４１の回動量を容易に把握することができる。
【００４８】
（７）  ベース１２の排気口２３から流体が排出されるときに生じるノイズを低減する消音エレメント２５が設けられ、この消音エレメント２５はベース１２の外周面から張り出されていない。そのため、電磁弁ユニット１１の小型化を図ることができるとともに、電磁弁ユニット１１の外観も良質なものにすることができる。
【００４９】
（第２実施形態）
第２実施形態を、前記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
図１６（ａ）に示すように、本実施形態の電磁弁ユニット１１では、第１実施形態で説明したマグネットプレート２９が省略されている。そのため、電磁弁ユニット１１を取付板７１に取り付けるための構成として以下のようになっている。すなわち、取付板７１の両端縁には、２つの腕部７２が直角に折り曲げられている。この腕部７２は、電磁弁ユニット１１のベース１２の両側面に形成され、深さが腕部７２の厚みとほぼ同じガイド溝７３に係合される。そして、ベース１２にあるガイド溝７３に腕部７２がガイドされながら差し込まれると、両腕部７２同士が外側に撓みながらその先端部に穿設された取付孔７２ａと、ガイド溝７３に設けられた取付突起７３ａとが係合する。この係合により、電磁弁ユニット１１は取付板７１に固定される。
【００５０】
なお、腕部７２は、複数個であれば任意の数に変更することが可能である。例えば、図１６（ｂ）に示すように、腕部７２を４つにすることが可能である。更に、各腕部７２の先端部内側面には取付突部７２ｂを設け、その取付突部７２ｂが電磁弁ユニット１１のベース１２の両側面に凹設された取付孔７４に係合できるようにしてもよい。
【００５１】
従って、本実施形態によれば、取付板７１に設けられた複数の腕部７２に電磁弁ユニット１１のベース１２を凹凸の関係で係合しているため、電磁弁ユニット１１の固定するときの作業性を向上することができる。しかも、電磁弁ユニット１１をマグネットの磁力により固定していないため、取付板７１を形成する材料に制約を受けることがないことから、取付板７１を合成樹脂で形成すれば、軽量化にも貢献することができる。
【００５２】
（別の実施形態）
本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
・  第１実施形態で説明した、弁本体４５に設けられている上流側切り欠き溝５１と下流側切り欠き溝５２と位置関係を逆にしてもよい。すなわち、上流側に貫通孔４７の軸線に対し直交する切り欠き溝を設け、下流側に貫通孔４７の軸線に対し斜めである切り欠き溝を設けてもよい。或いは、貫通孔４７の軸線に対して斜めである切り欠き溝を、貫通孔４７の両端側に設けてもよい。
【００５３】
・  第１及び第２実施形態では、絞り弁４１の弁本体４５に形成した切り欠き溝５１，５２の形状を断面Ｖ字状としたが、例えば、断面Ｕ形状や断面三日月状等の形状に変更してもよい。
【００５４】
・  第１及び第２実施形態では、絞り弁４１を手動操作することにより、流量を絞り調節したが、電動モータ等を駆動させて絞り調節するようにしてもよい。
・  前記第１及び第２実施形態では、各排気通路４０に絞り弁４１をそれぞれ設け、排気側の流量を絞ることによって流体アクチュエータ１７の動作速度をコントロールできるようにした。絞り弁４１を設ける箇所として上述した箇所以外に、各流体通路３９に設け、給気側の流量を絞ることで流体アクチュエータ１７の動作速度をコントロールしてもよい。但し、この場合には、絞り弁４１と並列にチェック弁を設ける。
【００５５】
・  前記第１実施形態において、マグネットプレート２９を電磁弁ユニット１１側に設けたが取付鋼板３２側に設けてもよい。この場合には、取付鋼板３２と対峙するベース１２の底面に金属プレート等を設けるようにする。又、マグネットプレート２９をベース１２と取付鋼板３２とにそれぞれ設けてもよい。
【００５６】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に示す。
（１）  流体通路上に弁本体を所定の範囲で回動可能に設け、その弁本体の回動操作量に応じて流体通路を流れる流体の量を調節する絞り弁であって、前記流体通路を流れる流体を通過させる貫通孔を弁本体に設け、弁本体の外周面において貫通孔の上流側開口部と下流側開口部とにそれぞれ通じる切り欠き溝を設け、両切り欠き溝のうち少なくともいずれか一方の延びている角度を、前記貫通孔の軸線に対し流体通路と貫通孔との有効断面積が変化するように設定した絞り弁。
【００５７】
（２）  請求項１又は２において、前記貫通孔の上流側開口部を一方の切り欠き溝の中央部付近に配置するとともに、下流側開口部を他方の切り欠き溝の一端部付近に配置した電磁弁ユニット。
【００５８】
【発明の効果】
請求項１〜８に記載の発明によれば、アクチュエータの動作速度を簡単に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における電磁弁ユニットの斜視図。
【図２】電磁弁ユニットの一部を分解して示す斜視図。
【図３】電磁弁ユニットにおけるベースの裏側を示す斜視図。
【図４】電磁弁ユニットとアクチュエータとの接続関係を示す回路図。
【図５】電磁弁ユニットにおけるベースの内部を示す断面図。
【図６】ラッチ機構を示す拡大図。
【図７】絞り弁を示す拡大斜視図。
【図８】図７に示す絞り弁の裏側を示す拡大斜視図。
【図９】絞り弁の正面図。
【図１０】絞り弁の背面図。
【図１１】絞り弁の側面図。
【図１２】絞り弁の断面図。
【図１３】図１１における１３Ａ−１３Ａ断面図。
【図１４】絞り弁の動作を示す概略説明図。
【図１５】アクチュエータの応答時間と絞り弁の回動量との関係を示す図。
【図１６】第２実施形態の電磁弁ユニットを示し、（ａ），（ｂ）は形状の異なる取付板と電磁弁ユニットとをそれぞれ離した分解斜視図。
【図１７】従来の技術における電磁弁ユニットの斜視図。
【符号の説明】
１１…電磁弁ユニット、１２…ベース、１４…流体供給ポート、１７…流体アクチュエータ（アクチュエータ）、２５…消音エレメント（消音部材）、２９…マグネットプレート（マグネット）、３２…取付鋼板（取付部材）、３９…流体通路（流路）、４０…排気通路（流路）、４１…絞り弁、４５…弁本体、４７…貫通孔、４７ａ…上流側開口部、４７ｂ…下流側開口部、５１…切り欠き溝（他方の切り欠き溝）、５１ａ…傾斜面、５２…切り欠き溝（一方の切り欠き溝）、６１…ラッチ機構、６２…係止突部、６３…係止穴、６７…目盛り部、７１…取付板（取付部材）、７２…腕部、７２ｂ，７３ａ…取付突部、７２ａ，７４…取付孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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