(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体の実装用テープをラインセンサで検査する画像処理検査装置の搬送装置において、実装用テープを湾曲状態に保持して実装用テープの表面をラインセンサの撮影位置に連続的に設置する保持ドラムを設け、保持ドラムの湾曲した側面に沿って実装用テープを搬送する搬送装置と、保持ドラムで保持した実装用テープを実装用テープの自重で垂れた位置から巻き取る巻取装置とを備え、保持ドラムは、対向する一対のドラム体が実装用テープのパーフォレーション部分を保持するもので、この保持部分に実装用テープを嵌入する保持溝を設け、搬送装置は、保持溝で保持した実装用テープのパーフォレーション部分に面接触して保持ドラムと共に実装用テープを回転搬送する搬送ベルトを設けたことを特徴とする画像処理検査用テープ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＳＰ用テープやＴＡＢ用テープ等の半導体の実装用テープのパターンを、画像処理で検査する画像処理検査用テープ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
実装用プリント基板を検査する検査装置として、特開平5-40020 号公報に記載の実装済基板の検査装置や、特開平5-322537号公報に記載のプリント基板のパターン検査装置がある。これらの検査装置は、いずれも基板を照らす光をレンズで集光し、光電変換素子や照度センサーで検査する装置である。
【０００３】
また、特開平6-281425号公報に記載のパターン孔検査方法及び装置には、ＣＣＤラインセンサを使用してカラーテレビ用シャドウマスクのパターンを検査する方法等が記載されている。
【０００４】
これら従来の検査方法等で、特にＣＣＤラインセンサを使用して画像処理で検査する方法では、ＣＣＤカメラの被写界深度、すなわち正確に決像させることができる焦点範囲に、検査対象物の撮影面を設置する必要がある。
【０００５】
一方、ＣＳＰ用テープやＴＡＢ用テープ等に使用される半導体の実装用テープのパターンを画像処理で検査する場合、ＣＣＤカメラの被写界深度は極めて範囲が限られており、一般に50μ程度の範囲に設定されている。そこで、半導体の実装用テープを画像処理で検査する場合は、検査対象物をこの僅かな撮影範囲内に正確に設置しなければならない。
【０００６】
また、半導体の実装用テープは、一般に極めて薄いポリイミドテープなどが使用されているので、この薄いテープが撮影位置で僅かに歪んでも、正確な検査を行うことはできない。そこで、この実装用テープを被写界深度の範囲内に設置するために、従来では、ガラス板に実装用テープを挟んで設置したり、あるいは、実装用テープの両側に設けられているパーフォレーション部分をローラーで固定したりして、実装用テープを水平に移動させる方法が採られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、実装用テープをガラス板に挟み撮影位置に設置する方法では、このガラス板への装着作業が妨げになり、実装用テープを連続的に検査することはできなかった。しかも、実装用テープには、銅などを使用したプリント配線やパンチング配線などが行われる。このため、実装用テープの表面を撮影位置に設置する際に、できるだけ実装用テープの表面に接触しない状態で設置するのが望ましい。ところが、実装用テープ表面にガラス板を接触させる状態では、実装用テープの表面にダメージを与えるおそれがあり好ましくない。
【０００８】
一方、パーフォレーション部分をローラーで圧着して、実装用テープを水平に移動させる方法では、ローラーの回転力によって実装用テープを搬送する際に生じるテンションが実装用テープにかかり、実装用テープを歪ませる原因となる。このため、実装用テープをローラーで水平移動させる方法は、このテンションによる歪みのために、ガラス板に挟んで撮影する前記方法に比べて精度が劣る不都合がある。更に、ローラーで圧着して水平移動させる方法では、実装用テープ移動時に蛇行が多くなり、実装用テープを正確な撮影位置に設置できなくなるばかりか、ローラーから実装用テープが外れるおそれもあった。
【０００９】
そこで本発明は、上述の課題を解消すべく創出されたもので、実装用テープの撮影位置を正確に保ち、撮影部分の歪みを防止すると共に、連続的な検査を正確に行うことが可能になり、しかも、実装用テープの表面に非接触状態で検査することができる画像処理検査用テープ搬送装置の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するため、本発明は、半導体の実装用テープＰをラインセンサＳで検査する画像処理検査装置Ｔにおいて、実装用テープＰを湾曲状態に保持して実装用テープＰの表面をラインセンサＳの撮影位置に連続的に設置する保持ドラム１０を設け、保持ドラム１０の湾曲した側面に沿って実装用テープＰを搬送する搬送装置２０と、保持ドラム１０で保持した実装用テープＰを実装用テープＰの自重で垂れた位置から巻き取る巻取装置３０とを備え、保持ドラム１０は、対向する一対のドラム体１１が実装用テープＰのパーフォレーションＰ１部分を保持するもので、この保持部分に実装用テープＰを嵌入する保持溝１２を設け、前記搬送装置２０は、保持溝１２で保持した実装用テープＰのパーフォレーションＰ１部分に面接触して保持ドラム１０と共に実装用テープＰを回転搬送する搬送ベルト２１を設けたものである。
【００１１】
本発明の搬送装置によると、保持ドラム１０が湾曲保持した実装用テープＰは、保持ドラム１０の回転に伴って搬送する搬送装置２０と、実装用テープＰの自重で垂れた位置から巻き取る巻取装置３０とによって、テンションがかからない状態で連続的に搬送されるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。図に示す符号Ｔは画像処理検査装置であり、半導体の実装用テープＰの表面をラインセンサＳで検査する装置である。本発明は、実装用テープＰを湾曲保持するものである。そして、この湾曲した実装用テープＰの表面をラインセンサＳの撮影位置に位置合わせしてラインセンサＳで検査する。
【００１３】
本発明搬送装置では、保持ドラム１０と搬送装置２０と巻取装置３０とを備えている（図１参照）。
【００１４】
保持ドラム１０は、保持ドラム１０の側面に実装用テープＰを載置することで、この実装用テープＰを湾曲状態に保持する。そして、この保持ドラム１０の湾曲した側面に沿って実装用テープＰを搬送し、保持ドラム１０に保持した実装用テープＰの表面をラインセンサＳの撮影位置に連続的に設置する。図２に示す保持ドラム１０は、対向する一対のドラム体１１が実装用テープＰのパーフォレーションＰ１部分を保持している。そして、保持ドラム１０の保持部分には、実装用テープＰを嵌入する保持溝１２を設けてある。実装用テープＰは、この保持溝１２にガイドされながら搬送される。また、図示していないが、対向する一対のドラム体１１の内部又は下部に、保持ドラム１０で保持した実装用テープＰの裏面に光を照射する照明装置を設けることで、ラインセンサＳで検査する画像を鮮明にすることができる。
【００１５】
搬送装置２０は、保持ドラム１０の湾曲した側面に沿って実装用テープＰを搬送する装置であり、保持ドラム１０自体の回転で実装用テープＰを搬送する手段、あるいはフリーに回転する保持ドラム１０を他の回転装置で回転させて実装用テープＰを搬送する手段などを採用してもよい。
【００１６】
図１乃至３に示す搬送装置２０は、保持ドラム１０を回転せしめる搬送ベルト２１を使用している。この搬送ベルト２１は、各ドラム体１１の保持溝１２に沿って圧接し、搬送ベルト２１の回転によって保持ドラム１０を回転させる（図３参照）。この搬送ベルト２１は、保持溝１２の湾曲面に沿って配した実装用テープＰのパーフォレーションＰ１部分を湾曲状態で押圧しており、保持ドラム１０の回転と共に実装用テープＰが搬送される（図２参照）。このとき、パーフォレーションＰ１部分を押圧する搬送ベルト２１の押圧力は極めて微弱な押圧力に設定されている。この微弱な押圧力によって実装用テープＰを湾曲状態に保持しながら順次搬送するものである。
【００１７】
また、保持溝１２の摩擦係数を極小に設定し、実装用テープＰを滑らかにすべらせることができる保持ドラム１０を採用すると、保持ドラム１０を回転させずに実装用テープＰを搬送することも可能である。また、保持ドラム１０自体を回転させて実装用テープＰを搬送することも可能である（図示せず）。
【００１８】
巻取装置３０は、検査後の実装用テープＰを所定のリール３１に巻き取る装置である。この巻取装置３０は、保持ドラム１０で保持した実装用テープＰが実装用テープＰの自重で垂れた位置から巻き取っている。実装用テープＰが自重で垂れ下がった状態を確保することで、保持ドラム１０で保持した実装用テープＰにテンションを与えることなくリール３１に巻き取るものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、上述の如く構成したことにより当初の目的を達成する。すなわち、保持ドラム１０が湾曲保持した実装用テープＰは、テンションがかからない状態で連続的に搬送されるから、連続的な検査を正確に行うことができる。
【００２０】
更に、対向する一対のドラム体１１が実装用テープＰのパーフォレーションＰ１部分を保持するから、実装用テープの表面に非接触状態で連続した検査を行うことができる。
【００２１】
この結果、極薄の実装用テープに剛性を与え、撮影面の歪みを防止することができるので、実装用テープを撮影位置に正確に設定し、極めて精度の高い検査が可能になった。
【００２２】
このように本発明によると、実装用テープの撮影位置を正確に保ち、撮影部分の歪みを防止すると共に、連続的な検査を正確に行うことが可能になり、しかも、実装用テープの表面に非接触状態で検査することができるなどといった産業上有益な種々の効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例を示す正面図。
【図２】  本発明の搬送ベルトを示す斜視図。
【図３】  本発明のドラム体と保持溝とを示す要部断面図。
【符号の説明】
Ｐ   実装用テープ
Ｐ１  パーフォレーション
Ｓ  ラインセンサ
Ｔ  画像処理検査装置
１０  保持ドラム
１１  ドラム体
１２  保持溝
２０  搬送装置
２１  搬送ベルト
３０  巻取装置
３１  リール
【図１】
0003928166.tif 000002
【図２】
0003928166.tif 000003
【図３】
0003928166.tif 000004