(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で略一直線上に配置された複数のノズル吐出口から吐出して、基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に塗布し、塗布された蛍光体液を熱処理して蛍光体膜を上記直線状凹部内に形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法であって、
上記基板の電極をアースし、
上記基板の上記直線状凹部内の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルの吐出口から上記直線状凹部内に上記蛍光体液を吐出させながら、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させることで上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成するようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法。
【請求項２】
蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に塗布し、塗布された蛍光体液を熱処理して蛍光体膜を上記直線状凹部内に形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置であって、
上記基板の電極をアースするアース機構と、
所定の間隔で略一直線上に配置された複数のノズル吐出口から上記蛍光体液を吐出することで、隣接して吐出された上記蛍光体液間に生じたムラをスジムラとして視覚的に判断しにくくするノズルと、
上記アース機構により上記基板の電極をアースした状態でかつ上記基板の上記直線状凹部の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルの吐出口から上記直線状凹部内に上記蛍光体液を吐出させるとき、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて、上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成する移動装置とを備えるようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば壁掛けテレビや情報表示用のディスプレイとして用いることができる、ＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の蛍光体膜形成方法及び装置とそれらにより作製したカラー表示プラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＡＣ型プラズマディスプレイの背面板には、細長いストライブ上の凹部（リブ）が多数併設されていて、この各凹部に、赤、緑、青の３色の蛍光体膜を形成することが必要である。上記蛍光体膜を形成する方法として、一般に、スクリーン印刷が用いられている。この方法は、背面板凹部全体に、各色に合わせたスキージーマスクを通して、蛍光体微粒子が溶剤に分散されてなる蛍光体液を流し込む方法である。
【０００３】
この方法の問題点としては、スキージーの機械的変形により混色が起こるため、熟練者を要すること、また、各リブ部に作製される蛍光体膜の形状が平面的であること、凸部の上に蛍光体が付着すること、さらに、凹部の間隔が細かい高精細パネルの作製や大型パネルの作製に困難であることなどの不具合がある。
【０００４】
上記不具合を解決する別の蛍光体膜形成方法として、本発明者らは、特願平１０−００５６３号の出願にかかる発明を行っている。図６を用いてこの方法を説明する。
【０００５】
この方法は、ノズル１２０から蛍光体液１０１を吐出させながら、基板パネル１１０上をリブに沿って平行移動させ、ノズル１２０を平行移動方向と直交する方向へスライドさせたのち、再び、基板パネル１１０上を、ノズル１２０から蛍光体液１０１を吐出させながら基板パネル１１０に平行移動させることを繰り返すことで、直接、凹部へ蛍光体液１を塗布する方法である。基板パネル１１０は、ガラス材料からなり、基板パネル１１０上にはガラス材料とは異種の物質からなる凹部がライン状に作製されている。ノズル１２０は、蛍光体が分散された蛍光体液１０１を吐出しながら、約０．５ｍ/秒から３ｍ/秒で、基板パネル１１０の凹部に沿って高速に移動し、その後、平行移動方向と直交する垂直方向に、通常１０数本である吐出口数に応じて、移動することを繰り返して、基板パネル全体の凹部の内部に蛍光体液１０１を満たすようにしている。また、ノズル１２０を移動させる代わりに、基板パネル１１０自身をノズル１２０に対して移動させてもよい。ノズル１２０の吐出口の大きさは、凹部の内部に直接、蛍光体液を導入するため、これより小さい直径の円状の口径が必要である。また、この方法では、１個の吐出口を持つノズルでは生産性が悪いため、１０数個の吐出口をもつノズル１２０を用いており、蛍光体液１０１が凹部の９０％を満たすように、蛍光体液１０１の吐出量と吐出速度が決定される。この方法を用いれば、混色なく、熟練なく、自由形状の蛍光体膜が作製でき、大型パネル、高精細パネルにも利用できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この方法の課題として、ノズル１２０からの蛍光体液１０１の吐出が安定して、長期にわたって、真っ直ぐ出ることが大前提である。４２インチのパネルの場合、凹部が２５５６本あり、１本でも、曲がった吐出ラインで蛍光体液を塗布したり、吐出流量差が存在すると、吐出ムラとなり、不良となる。
【０００７】
特に、吐出ムラとなり、出現するのは、ノズルの吐出本数と周期性が存在するが、１度に１０００本近い本数を塗布することは、製造上、加工精度の観点からも不可能である。従って、通常、一度に１０数本のノズルの吐出本数でもって何回かに分けて蛍光体液を塗布するが、先に１０数本のノズルで吐出された部分と、後で１０数本のノズルで吐出された部分との間で吐出流量の相違に基く吐出ムラが生じたり、蛍光体液の吐出位置と基板の直線状凹部との位置ずれに基く吐出ムラが生じている。
【０００８】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、カラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成において、精度良く、歩留り良く、低コストで製造することができるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法及び装置と蛍光体膜形成方法により作製したカラー表示プラズマディスプレイパネルを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、所定の間隔で略一直線上に配置された複数のノズル吐出口から吐出して、基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に塗布し、塗布された蛍光体液を熱処理して蛍光体膜を上記直線状凹部内に形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法であって、
上記基板の電極をアースし、
上記基板の上記直線状凹部内の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルの吐出口から上記直線状凹部内に上記蛍光体液を吐出させながら、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させることで上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成するようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を提供する。
【００１７】
本発明の第２態様によれば、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を基板の表面に有する複数の併設された直線状凹部に塗布し、塗布された蛍光体液を熱処理して蛍光体膜を上記直線状凹部内に形成するカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置であって、
上記基板の電極をアースするアース機構と、
所定の間隔で略一直線上に配置された複数のノズル吐出口から上記蛍光体液を吐出することで、隣接して吐出された上記蛍光体液間に生じたムラをスジムラとして視覚的に判断しにくくするノズルと、
上記アース機構により上記基板の電極をアースした状態でかつ上記基板の上記直線状凹部の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルの吐出口から上記直線状凹部内に上記蛍光体液を吐出させるとき、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させて、上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成する移動装置とを備えるようにしたことを特徴とするカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置を提供する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
図１〜図３に、本発明の第１実施形態にかかるＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置とそれにより作製したＡＣ型のカラー表示プラズマディスプレイパネルを示す。
【００２３】
図１〜図３において、２０はノズル、１０は基板パネル（単に基板という。）である。
【００２４】
このノズル２０は赤、緑、青の３色の各色毎に設けられており、全く同一構造である。各ノズル２０は、所定の間隔で略一直線上に配置された３本のノズル吐出口２０ａ，２０ａ，２０を１ユニットとして、所定数のユニットを同一の略一直線上に配置し、全てのユニットから、蛍光体微粒子が液媒体に分散された赤、緑、青の３色のうちのいずれか１色の蛍光体液１を、略直線状に同時に３本吐出して、図４（Ｂ）に示すように、基板１０の表面に基板幅方向沿いに有するリブ１１，…，１１間の複数の併設された基板幅方向沿いの直線状凹部１２，…，１２に３個間隔毎に塗布し、塗布された蛍光体液１，…，１を熱処理して赤、緑、青の３色のいずれかの色の蛍光体膜３０，３０，３０を、それぞれ対応する色用、具体的には、赤色用、緑色用、青色用の直線状凹部１２，…，１２（１２Ｒ1，１２Ｒ2，１２Ｒ3……，１２Ｇ1，１２Ｇ2，１２Ｇ3……，１２Ｂ1，１２Ｂ2，１２Ｂ3……）内に、当該凹部１２，…，１２内の電極１３，…，１３を保護するための誘電体膜１４及びリブ側面を覆うように形成するものである。一例として、図２において実線で示すように、緑色の蛍光体液用のノズル２０では、図２及び図８（Ａ）の左から右に向けて基板の緑色用の直線状凹部１２，…，１２に３個間隔毎にすなわち緑色用の直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ4，１２Ｇ7に対応する例えば緑色の３本の蛍光体液１の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａを形成するようにしている。このとき、隣接する緑色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ3，１２Ｇ5，１２Ｇ6には緑色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを形成しないようにしている。
【００２５】
よって、図２の一点鎖線及び図８（Ａ）に示すように、上記緑色の蛍光体液用のノズル２０から３本の緑色の蛍光体液１を吐出させることにより、３個ごとの緑色用の直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ4，１２Ｇ7に対する緑色の蛍光体液１の吐出を開始する。緑色用の直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ4，１２Ｇ7に対する緑色の蛍光体液１の吐出が終了すると、緑色の蛍光体液用のノズル２０が例えば緑色用の直線状凹部１２Ｇの１つ分だけ図８において左から右に移動し（言い換えれば、青色用の１個の直線状凹部１２Ｂと赤色用の１個の直線状凹部１２Ｒの上を通過して次の緑色用の直線状凹部１２Ｇに移動し）、図２の実線及び図８（Ｂ）に示すように、緑色用の直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ5，１２Ｇ8に対して緑色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する緑色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ3，１２Ｇ4，１２Ｇ6，１２Ｇ7，１２Ｇ9には緑色の蛍光体液１を吐出しない。緑色用の直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ5，１２Ｇ8に対する緑色の蛍光体液１の塗布が終了すると、緑色の蛍光体液用のノズル２０が緑色用の直線状凹部１２Ｇの１つ分だけさらに図８において左から右に移動し（言い換えれば、青色用の１個の直線状凹部１２Ｂと赤色用の１個の直線状凹部１２Ｒの上を通過して次の緑色用の直線状凹部１２Ｇに移動し）、図８（Ｃ）に示すように、緑色用の直線状凹部１２Ｇ3，１２Ｇ6，１２Ｇ9に対して緑色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する緑色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ4，１２Ｇ5，１２Ｇ7，１２Ｇ8，１２Ｇ10には緑色の蛍光体液１を吐出しない。次いで、緑色用の直線状凹部１２Ｇ1，…，１２Ｇ9に対して緑色の蛍光体液１を吐出し終わると、緑色の蛍光体液用のノズル２０が緑色用の直線状凹部１２Ｇの７つ分だけさらに図８において左から右に移動し（言い換えれば、吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａが次の緑色用の直線状凹部１２Ｇ10，１２Ｇ13，１２Ｇ16に対向する位置まで移動し）、図８（Ｄ）に示すように、緑色用の直線状凹部１２Ｇ10，１２Ｇ13，１２Ｇ16に対して緑色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このようにして、全ての緑色用の直線状凹部１２Ｇに対して３個間隔で緑色の蛍光体液１を吐出させる。
【００２６】
同様に、具体的に図示しないが、赤色の蛍光体液用のノズル２０では、図８の左から右に向けて基板の赤色用の３個間隔毎に３個の直線状凹部１２Ｒ1，１２Ｒ4，１２Ｒ7に対応する例えば赤色の３本の蛍光体液１の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａを形成するとともに、隣接する赤色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｒ2，１２Ｒ3，１２Ｒ5，１２Ｒ6には赤色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを形成しないようにしている。
【００２７】
よって、上記赤色の蛍光体液用のノズル２０から赤色の３本の蛍光体液１を吐出させることにより、３個ごとの赤色用の直線状凹部１２Ｒ1，１２Ｒ4，１２Ｒ7に対する赤色の蛍光体液１の吐出を開始する。赤色用の直線状凹部１２Ｒ1，１２Ｒ4，１２Ｒ7に対する赤色の蛍光体液１の吐出が終了すると、赤色の蛍光体液用のノズル２０が例えば赤色用の直線状凹部１２Ｒの１つ分だけ図８において左から右に移動し（言い換えれば、緑色用の１個の直線状凹部１２Ｇと青色用の１個の直線状凹部１２Ｂの上を通過して次の赤色用の直線状凹部１２Ｒに移動し）、赤色用の直線状凹部１２Ｒ2，１２Ｒ5，１２Ｒ8に対して赤色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する赤色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｒ1，１２Ｒ3，１２Ｒ4，１２Ｒ6，１２Ｒ7，１２Ｒ9には赤色の蛍光体液１を吐出しない。赤色用の直線状凹部１２Ｒ2，１２Ｒ5，１２Ｒ8に対する赤色の蛍光体液１の塗布が終了すると、赤色の蛍光体液用のノズル２０が赤色用の直線状凹部１２Ｒの１つ分だけさらに図８において左から右に移動し（言い換えれば、緑色用の１個の直線状凹部１２Ｇと青色用の１個の直線状凹部１２Ｂの上を通過して次の赤色用の直線状凹部１２Ｒに移動し）、赤色用の直線状凹部１２Ｒ3，１２Ｒ6，１２Ｒ9に対して赤色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する赤色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｒ2，１２Ｒ4，１２Ｒ5，１２Ｒ7，１２Ｒ8，１２Ｒ10には赤色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを吐出しない。次いで、赤色用の直線状凹部１２Ｒ1，…，１２Ｒ9に対して赤色の蛍光体液１を吐出し終わると、赤色の蛍光体液用のノズル２０が赤色用の直線状凹部１２Ｒの７つ分だけさらに図８において左から右に移動し（言い換えれば、吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａが次の赤色用の直線状凹部１２Ｒ10，１２Ｒ13，１２Ｒ16に対向する位置まで移動し）、赤色用の直線状凹部１２Ｒ10，１２Ｒ13，１２Ｒ16に対して赤色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このようにして、全ての赤色用の直線状凹部１２Ｒに対して３個間隔で赤色の蛍光体液１を吐出させる。
【００２８】
同様に、具体的に図示しないが、青色の蛍光体液用のノズル２０では、図２及び図８の左から右に向けて基板の青色用の直線状凹部１２Ｂ1，１２Ｂ4，１２Ｂ7に対応する例えば青色の３本の蛍光体液１の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａを形成するとともに、隣接する青色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｂ2，１２Ｂ3，１２Ｂ5，１２Ｂ6には青色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを形成しないようにしている。
【００２９】
よって、上記青色の蛍光体液用のノズル２０から青色の蛍光体液１を吐出させることにより、３個ごとの青色用の直線状凹部１２Ｂ1，１２Ｂ4，１２Ｂ7に対する青色の蛍光体液１の吐出を開始する。青色用の直線状凹部１２，…，１２すなわち１２Ｂ1，１２Ｂ4，１２Ｂ7に対する青色の蛍光体液１の吐出が終了すると、青色の蛍光体液用のノズル２０が例えば青色用の直線状凹部１２Ｂの１つ分だけ図８において左から右に移動し（言い換えれば、赤色用の１個の直線状凹部１２Ｒと緑色用の１個の直線状凹部１２Ｇの上を通過して次の青色用の直線状凹部１２Ｂに移動し）、青色用の直線状凹部１２Ｂ2，１２Ｂ5，１２Ｂ8に対して青色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する青色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｂ1，１２Ｂ3，１２Ｂ4，１２Ｂ6，１２Ｂ7，１２Ｂ9には青色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを吐出しない。青色用の直線状凹部１２Ｂ2，１２Ｂ5，１２Ｂ8に対する青色の蛍光体液１の塗布が終了すると、青色の蛍光体液用のノズル２０が青色用の直線状凹部１２Ｂの１つ分だけ図８においてさらに左から右に移動し（言い換えれば、赤色用の１個の直線状凹部１２Ｒと緑色用の１個の直線状凹部１２Ｇの上を通過して次の青色用の直線状凹部１２Ｂに移動し）、青色用の直線状凹部１２Ｂ3，１２Ｂ6，１２Ｂ9に対して青色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このとき、隣接する青色用のそれぞれ２個ずつの直線状凹部１２Ｂ2，１２Ｂ4，１２Ｂ5，１２Ｂ7，１２Ｂ8，１２Ｂ10には青色の蛍光体液１の吐出口２０ａ，…，２０ａを吐出しない。次いで、青色用の直線状凹部１２Ｂ1，…，１２Ｂ9に対して青色の蛍光体液１を吐出し終わると、青色の蛍光体液用のノズル２０が青色用の直線状凹部１２Ｂの７つ分だけ図８においてさらに左から右に移動し（言い換えれば、吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａが次の青色用の直線状凹部１２Ｂ10，１２Ｂ13，１２Ｂ16に対向する位置まで移動し）、青色用の直線状凹部１２Ｂ10，１２Ｂ13，１２Ｂ16に対して青色の３本の蛍光体液１を吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから吐出する。このようにして、全ての青色用の直線状凹部１２Ｂに対して３個間隔で青色の蛍光体液１を吐出させる。
【００３０】
なお、ノズル２０の各吐出口２０ａの大きさは、凹部１２の内部に直接、蛍光体液１を導入するため、各凹部１２の幅寸法より小さい直径の円状の口径とする。また、蛍光体液１が、凹部１２の９０％を満たすように、蛍光体液１の吐出量と吐出速度とを決定するのが好ましい。
【００３１】
図３及び図５に示されるように、各ノズル２０はモータなどの各ノズル駆動装置４７を備えており、各ノズル駆動装置４７は、基板１０の長手方向と平行に配置された案内レール５０に沿ってノズル２０を往復移動可能とする。ノズル２０には、赤、緑、青の３色のいずれかの色の蛍光体液１を蛍光体液タンク５１から蛍光体液供給管５３を介して所定圧力でポンプ５５により供給するようにしている。５２は蛍光体液受け皿であり、蛍光体液１を基板１０に塗布開始するときに予め蛍光体液受け皿５２で塗布を開始して塗布圧力を均一化したのち基板１０への塗布を行えるように調整するとともに、塗布終了時に基板１０から蛍光体液受け皿５２にノズル２０を移動させたのち、蛍光体液１の供給を停止させることにより、必要以上の量の蛍光体液１の塗布を防止できるようにしている。蛍光体液受け皿５２に受け取られた蛍光体液１は所定の廃棄タンク（図示せず）内に蛍光体液回収管５４を介して回収される。また、基板１０は基板載置台５６上の所定位置に位置決めされて載置され、基板載置台５６は移動装置の一例としてのピストン又はモータなどの基板搬送装置５７により基板１０の長手方向と直交する幅方向沿いに移動可能となっている。
【００３２】
これを図５を元にさらに詳細に説明する。
【００３３】
上記蛍光体膜形成装置は、基台４５上に、基板パネル１０を位置決めして載置する基板載置台５６を基板搬送装置５７により搬送可能に配置するとともに、基台４５に固定された機枠４６に、案内レール５０沿いに往復移動可能でかつ複数の蛍光体液吐出口を有するノズル２０を配置している。
【００３４】
機枠４６には、ノズル駆動装置４７が備えられている。ノズル駆動装置４７は、モータ４７ｂによりボールネジ軸４７ａを正逆回転駆動し、ボールネジ軸４７ａに螺合したナット（図示せず）をノズル２０に固定することにより、ボールネジ軸４７ａが正逆回転駆動されると、ノズル２０が、ボールネジ軸４７ａの軸方向と平行に機枠４６に配置された案内レール５０の案内されつつ、ノズル２が機枠４６の端から端まで移動することにより、基板載置台５６上に載置される基板パネル１０の端から端まで蛍光体液を塗布可能となっている。
【００３５】
上記基板搬送装置５７は、例えば、モータ（図示せず）によりボールネジ軸５７ａを正逆回転駆動し、ボールネジ軸５７ａに螺合したナット（図示せず）を基板載置台５６の下面に固定することにより、ボールネジ軸５７ａが正逆回転駆動されると、基板載置台５６が両端部において一対のガイド５８，５８により案内されながら、基板載置台５６がノズル２０が支持されている機枠４６の下方を通り抜けつつボールネジ軸５７ａの軸方向沿いに往復移動可能となっている。
【００３６】
蛍光体液保持部材の一例としての蛍光体液タンク５１内に保持されている蛍光体液は、蛍光体液供給装置の一例としてのポンプ５５の駆動により、蛍光体液供給管５３から機枠上部を通って、ノズル２の上部に配置された蛍光体液ポット５９内に供給される。蛍光体液ポット５９内に供給された蛍光体液は、ノズル２内に供給管４９を介して供給される。
【００３７】
機枠４６の近傍でかつ機枠４６に備えられたノズル２０が移動する範囲の下方には、蛍光体液回収部材の一例としての蛍光体液受け皿５２が基台４５に配置されており、蛍光体液受け皿５２に排出された蛍光体液は蛍光体液回収管５４により蛍光体液タンク５１内に回収されるようになっている。
【００３８】
上記各駆動装置、例えば、基板搬送装置５７のモータなどの駆動装置、ノズル駆動装置４７のモータなどの駆動装置４７ｂなどは制御装置６１により動作制御されるようになっている。
【００３９】
なお、実際には、赤色、緑色、青色の３色の蛍光体液用として、蛍光体液タンク５１、ポンプ５５、蛍光体液供給管５３、蛍光体液ポット５９、供給管４９、ノズル２、蛍光体液受け皿５２、蛍光体液回収管５４が３個ずつ備えられて、各色毎にそれぞれ独立して駆動されるようになっている。
【００４０】
上記構成にかかる蛍光体膜形成装置において、蛍光体液１の塗布を行うときには、ノズル２０の各ユニットの３個の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａに対して上記基板１０の表面の基板幅方向沿いの複数の併設された直線状凹部１２のうちの３個間隔毎に３個の直線状凹部１２，１２，１２が対向するように、基板搬送装置５７及びノズル２０のノズル駆動装置４７を駆動して基板１０を位置させる。そして、上記制御装置６１の制御の元に、ポンプ５５を駆動して、上記緑色、赤色、青色のうちからまず緑色の蛍光体液タンク５１内に保持されている緑色の蛍光体液を蛍光体液供給管５３を通して蛍光体液ポット５９内に供給し、蛍光体液ポット５９内から供給管４９を介してノズル２０に供給する。この結果、ノズル２０の複数の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから同時に緑色の蛍光体液１を蛍光体液受け皿５２内に吐出することができる。このとき、上記ノズル２０の上記吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから緑色の蛍光体液１を３本同時に３個間隔毎に３個の緑色用の直線状凹部１２Ｇ，１２Ｇ，１２Ｇに向けて吐出させながら、基板搬送装置５７を駆動して基板１０を基板１０の幅方向一端側にノズル２０が対向する位置から基板１０の幅方向他端側にノズル２０が対向する位置まで、各緑色用の凹部１２の長手方向沿いに移動させて、上記緑色の蛍光体液１を各緑色用の直線状凹部１２に直線状に塗布する。緑色の蛍光体液１は、３本同時に緑色用の直線状凹部１２Ｇの３個間隔毎に３個の緑色用の直線状凹部１２Ｇ，１２Ｇ，１２Ｇに向けて吐出させるのを１ユニットとして、１つのノズル２０に複数のユニットを配置して、各ユニットから３本ずつ同時に吐出させることもできる。次いで、ノズル駆動装置の駆動によりノズル２０を案内レール５０に沿って所定間隔すなわち１個分の緑色用の直線状凹部１２Ｇ間隔だけ移動させる。例えば、図２及び図８の例では、先に説明したように、３個間隔毎に３個分の緑色用の直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ4，１２Ｇ7，……に対して緑色の蛍光体液１を吐出させた後（図２及び図８（Ａ）参照）のときは、１個分の緑色用の直線状凹部１２Ｇ間隔分だけ、ノズル駆動装置の駆動によりノズル２０を右方向に移動させることにより、図２及び図８（Ｂ）に示すように、３個間隔毎に３個分の緑色用の直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ5，１２Ｇ8，……に対して、ノズル２０の各ユニットの３個の吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａが対向するようにする。そして、先の工程と同様に、上記ノズル２０の各ユニットにおいてノズル吐出口２０ａ，２０ａ，２０ａから上記緑色の蛍光体液１を３本同時に３個間隔毎に３個の緑色用の直線状凹部１２Ｇ2，１２Ｇ5，１２Ｇ8に向けて吐出させながら、基板搬送装置５７を駆動して基板１０を基板１０の幅方向一端側にノズル２０が対向する位置から基板１０の幅方向他端側にノズル２０が対向する位置まで、各緑色用の凹部１２Ｇの長手方向沿いに移動させて、上記緑色の蛍光体液１を各緑色用の直線状凹部１２Ｇに直線状に塗布する。このような動作を繰り返すことにより、上記基板１０の表面の基板幅方向沿いの複数の併設された緑色用の直線状凹部１２Ｇ，…，１２Ｇに上記緑色の蛍光体液１を３個間隔毎に各ユニット当たり３個ずつ同時に塗布して、全ての緑色用の直線状凹部１２Ｇ，…，１２Ｇに上記緑色の蛍光体液１を塗布したのち、塗布作業を終了する。
【００４１】
塗布後の上記緑色の蛍光体液１を自然乾燥させたのち、次に、上記緑色の蛍光体液１と同様に、赤色の蛍光体液１を各ユニット当たり３本ずつ同時に３個間隔毎に赤色用の直線状凹部１２Ｒ，…，１２Ｒに塗布して、全ての赤色用の直線状凹部１２Ｒ，…，１２Ｒに塗布する。
【００４２】
塗布後の上記赤色の蛍光体液１を自然乾燥させたのち、次に、上記緑色の蛍光体液１と同様に、青色の蛍光体液１を各ユニット当たり３本ずつ同時に３個間隔毎に青色用の直線状凹部１２Ｂ，…，１２Ｂに塗布して、全ての青色用の直線状凹部１２Ｂ，…，１２Ｂに塗布する。
【００４３】
塗布後の上記緑色、赤色、及び青色の蛍光体液１，…，１を周知のように５１０℃で１０分程度の熱処理することにより、図４（Ｂ）に示すように緑色、赤色、及び青色のそれぞれの蛍光体膜３０を各対応するそれぞれの色用の直線状凹部１２内の各誘電体膜１４上に形成することができる。
【００４４】
なお、表１は、塗布後の上記緑色、赤色、及び青色の蛍光体液１，…，１を熱処理して蛍光体膜３０を形成するときの具体例を示す。３色を塗布したのち、昇温工程では４．６℃／ｍｉｎの温度勾配で５０℃から３１５℃まで温度上昇させ、次いで、温度維持工程で３１５℃で３０分程度の温度維持を行って、蛍光体液の樹脂分や溶剤分を飛ばす。さらに、次の昇温工程では７．４℃／ｍｉｎの温度勾配で３１５℃から５００℃まで温度上昇させ、次いで、温度維持工程で５００℃で１５分温度維持を行って、その他の不純物を飛ばす。次いで、冷却工程では−２．８℃／ｍｉｎの温度勾配で５００℃から５０℃まで温度降下させることにより、蛍光体膜３０を得る。
【００４５】
【表１】
0003955167.tif 000002
【００４６】
このように、同時に上記蛍光体液１を吐出させる吐出口２０ａの本数を各ユニット当たり３本ずつとし、直線状凹部３本間隔ごとに上記蛍光体液１を吐出することで、隣接して吐出された上記蛍光体液１間に生じたムラをスジムラとして視覚的に判断しにくくなり、視覚的に認識できない程度まで吐出ムラをなくすことができる。
【００４７】
ここで、直線状凹部１２を３個間隔ごとに上記蛍光体液１を吐出する理由について説明する。
【００４８】
一般に、ノズル２０により基板１０への蛍光体液１の塗布時には、ノズル吐出口２０ａの本数と同様のスジムラが生ずる。これは、ノズル２０のノズル吐出口２０ａの加工精度や、ノズル吐出口２０ａから吐出される蛍光体液１の分散状態、及び、ノズル吐出口２０ａ間の流量差にも関係する。ここで、例えば、従来のように１０本のノズル吐出口で蛍光体液１を１０本塗布したパネルすなわち１０本のうちの３本分だけを抜き出して図７に示したように同一色の隣接する３個の同一色用の凹部１２（ここでは青色用の凹部１２Ｂ）に３本の蛍光体液を塗布したパネルと、図２及び図８のように３本単位のノズル吐出口２０ａから蛍光体液１を同一色の凹部１２（ここでは緑色用の凹部１２Ｇ）に対して３個間隔毎に離して塗布したときとを比較すれば、３本単位で３個間隔毎に蛍光体液１を塗布したパネル１０の方がスジムラになり難い。
【００４９】
すなわち、従来例にかかる図７では、最初の吐出時には、隣接した３個の青色用の凹部１２Ｂ1，１２Ｂ2，１２Ｂ3に蛍光体液を吐出したのち、次の吐出時には、隣接した３個の青色用の凹部１２Ｂ4，１２Ｂ5，１２Ｂ6に蛍光体液を塗布し、さらに次の吐出時には、隣接した３個の青色用の凹部１２Ｂ7，１２Ｂ8，１２Ｂ9に蛍光体液を塗布する。このようにすれば、３個の凹部単位、すなわち、３個の凹部１２Ｂ1，１２Ｂ2，１２Ｂ3単位に、３個の凹部１２Ｂ4，１２Ｂ5，１２Ｂ6単位に、３個の凹部１２Ｂ7，１２Ｂ8，１２Ｂ9単位にそれぞれ筋ムラが生じることになる。
【００５０】
これに対して、本実施形態にかかる図２及び図８の例では、先に説明したように、各吐出時には３個毎の凹部１２Ｇに対してそれぞれ蛍光体液１を吐出するため、結果として、隣接する３個の直線状凹部１２Ｇ1，１２Ｇ2，１２Ｇ3ではそれぞれの吐出時は異なるが同一の吐出口２０ａから蛍光体液１が吐出されるため、３個の凹部１２間での蛍光体液１の流量差などが生じることが少なく、筋ムラになり難い。同様に、３個の直線状凹部１２Ｇ4，１２Ｇ5，１２Ｇ6及び３個の直線状凹部１２Ｇ7，１２Ｇ8，１２Ｇ9では、それぞれ、それぞれの吐出時は異なるが同一の吐出口２０ａから蛍光体液１がそれぞれ吐出されるため、流量差などが少なく、筋ムラになり難い。
【００５１】
これは、ノズル吐出口２０ａの加工精度やノズル吐出口２０ａ間の吐出精度を考慮すると、従来のように、隣接する凹部１２において異なる吐出口２０ａから吐出されると、隣接する凹部１２，１２の全てにおいて異なる吐出口２０ａから蛍光体液１が吐出されることになり、隣接する凹部１２，１２における吐出された蛍光体液１の流量差などから生ずる筋ムラが生じやすい。すなわち、あたかも、全ての凹部１２が異なる吐出口２０ａからそれぞれ吐出されたかのように視覚的に見えるため、筋ムラが生じることになる。
【００５２】
これに対して、本実施形態のように、少なくとも隣接する３個の凹部１２において同一の吐出口２０ａから蛍光体液１を吐出させるようにすれば、吐出された蛍光体液１の流量差などが少ない部分が、少なくとも隣接する３個の凹部１２において形成されることになり、全体として視覚的に筋ムラが生じにくいように見えるためである。
【００５３】
なお、３個毎の単位で蛍光体液１を凹部１２に吐出することに限定されることなく、２個毎の単位で蛍光体液１を凹部１２に吐出しても同様に吐出ムラが生じにくくなる。すなわち、少なくとも隣接する２個の凹部１２において同一の吐出口２０ａから蛍光体液１を吐出させるようにすれば、吐出された蛍光体液１の流量差などが少ない部分が、少なくとも隣接する２個の凹部１２において形成されることになり、全体として視覚的に筋ムラが生じにくいように見えることになる。
【００５４】
次に、図４（Ａ）に、本発明の第２実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置とそれにより作製したカラー表示プラズマディスプレイパネルを示す。
【００５５】
一般に、ノズル２０の吐出口２０ａから塗布された蛍光体液１において、パネル中央部に蛍光体液１の盛り上がり部が存在する。これは、パネル構造がダブルスキャンのために電極が図４（Ａ）の上方と下方で分離し、中央部のみ、電極が一部存在しない部分が存在する。蛍光体液１は、チクソ性を高めるために（高剪断部では低粘度で、低剪断部では高粘度であるようにするために）溶剤に油性のものを活用しているため、静電気の影響で液自体が帯電する。そのため、図４（Ａ）の上方と下方の電極部が同電位状態になっていないと、蛍光体液１の塗布後、蛍光体液１が帯電の影響を受けて上方の電極部又は下方の電極部に移動して、パネル中央部に蛍光体液１の盛り上がり部が生じることがある。
【００５６】
これに対して、パネルへの蛍光体液１の塗布時及びパネルの蛍光体液１の乾燥時に、上記上方と下方の電極を同電位とするように、各電極に対して、接地された導電体を電気的に接触させて、各電極を接地させて上方と下方の電極間での電位差を無くすアース機構４０を設定する。これにより、パネルへの蛍光体液１の塗布時及びパネルの蛍光体液１の乾燥時に、アース機構４０により上方と下方の電極を接地させることにより、上方と下方の電極を同電位として電位差を無くすことができて、上方と下方の電極部が同電位状態になっていないために従来生じていた塗布後の蛍光体液１の移動を防止することができ、パネル中央部の液の盛り上がり現象を回避することが可能となる。
【００５７】
なお、この第２実施形態での蛍光体液１の塗布方法及び装置は、第１実施形態のものを用いることにより、視覚的に認識できない程度まで吐出ムラをなくすことができる上にパネル中央部の液の盛り上がり現象を回避することが可能となり、より好ましい。しかしながら、これに限定されるものではなく、従来の蛍光体液１の塗布方法及び装置を用いても、パネル中央部の液の盛り上がり現象を回避する効果を得ることができる。
【００５８】
さらに、本発明の第３実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置とそれにより作製したカラー表示プラズマディスプレイパネルを示す。
【００５９】
一般に、ノズルによりパネルへの蛍光体液１の塗布後にノズル本数と同様のスジムラが生ずる。これは、パネル凹部１２，…，１２の蛍光体液１のしみ込み具合の違いによっても、スジムラが発生するため、公知の吹付装置や印刷装置又は蛍光体液１の代わりに溶剤を塗布する上記ノズル２０などの溶剤塗布装置により、蛍光体液１の溶剤を予めパネル全面に渡って湿らせる程度に大略均一に塗布し、その後、蛍光体液１をノズル２０から塗布する。
【００６０】
このように、上記蛍光体液１を塗布する直前に蛍光体液１の溶剤を予めパネル全面に渡って大略均一に湿られせるように塗布することにより、パネル１０の凹部１２，…，１２のしみ込み具合の差によるスジムラを解消することが可能となる。
【００６１】
なお、この第３実施形態での蛍光体液１の塗布方法及び装置は、第１実施形態のものを用いることにより、視覚的に認識できない程度まで吐出ムラをなくすことができる上に、パネル１０の凹部１２，…，１２のしみ込み具合の差によるスジムラを解消することが可能となり、より好ましい。さらに、この第１実施形態と第３実施形態との組み合わせの蛍光体液１の塗布方法及び装置に、第２実施形態を適用してパネル中央部の液の盛り上がり現象を回避する効果を得ることもできる。また、第２実施形態の蛍光体液１の塗布方法及び装置に、第３実施形態を適用して、パネル中央部の液の盛り上がり現象を回避する効果とパネル１０の凹部１２，…，１２のしみ込み具合の差によるスジムラを解消することが可能となる効果とを奏するようにしてもよい。しかしながら、これらに限定されるものではなく、従来の蛍光体液１の塗布方法及び装置に対して、第３実施形態を適用して、パネル１０の凹部１２，…，１２のしみ込み具合の差によるスジムラを解消することが可能となる効果とを奏するようにしてもよい。
【００６２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、基板搬送装置５７により基板１０を移動させる代わりに、ノズル２０を、静止した基板１０に対して移動させることにより、第１実施形態と同様な作用効果を奏するようにしてもよい。
【００６４】
【発明の効果】
本発明によれば、上記基板の電極がアースになった状態でかつ上記基板の上記直線状凹部内の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルの吐出口から上記直線状凹部内に上記蛍光体液を吐出させながら、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させることで上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成するようにしている。従って、例えば、パネルへの蛍光体液の塗布時及びパネルの蛍光体液の乾燥時に、電極を接地させることにより、電極をアースすることができて、電極部が同電位状態になっていないために従来生じていた塗布後の蛍光体液の移動を防止することができ、パネル中央部の液の盛り上がり現象を回避することが可能となる。
【００６５】
本発明によれば、上記蛍光体液を塗布する直前に上記蛍光体液の溶剤を上記基板上に塗布し、その後、上記基板の上記直線状凹部内の上方に上記ノズルの吐出口が位置した状態で、上記ノズルノ吐出口から上記蛍光体液を上記直線状凹部内に吐出させながら、上記基板と上記ノズルを相対的に移動させることで上記直線状凹部内に上記蛍光体膜を形成するようにしている。よって、上記蛍光体液を塗布する直前に蛍光体液の溶剤を予めパネル全面に渡って塗布することにより、パネルの凹部のしみ込み具合の差によるスジムラを解消することが可能となる。
【００６６】
以上に説明したように、本発明は、基板の表面に有する複数の凹凸の内面の凹部に、蛍光体微粒子が液媒体に分散された蛍光体液を、複数のノズルから吐出し、熱処理で蛍光体膜を形成することにより、混色なく、精度よく、パターン形成を行うものである。これらの方法により、高精細なプラズマディスプレイパネルを効率よく、歩留よく、低コストで、カラー表示プラズマディスプレイパネルを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成方法を実施するための蛍光体膜形成装置のノズルにより基板パネルに塗布する状態を示す斜視図である。
【図２】  上記第１実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置のノズルと塗布動作を説明するためのノズルと基板の拡大図である。
【図３】  上記第１実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置の概略斜視図である。
【図４】  （Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明の第２実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置の概略平面図、及び、上記実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜が形成されてた凹部の拡大断面図である。
【図５】  図３の上記蛍光体膜形成装置の詳細な斜視図である。
【図６】  従来のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置の概略斜視図である。
【図７】  従来のカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置による塗布状態を説明するための説明図である。
【図８】  上記第１実施形態にかかるカラー表示プラズマディスプレイパネルの蛍光体膜形成装置による塗布状態を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１０…基板、１１…リブ、１２…直線状凹部、１２Ｂ，１２Ｂ1〜１２Ｂ9…青色用の直線状凹部、１２Ｇ，１２Ｇ1〜１２Ｇ9…緑色用の直線状凹部、１２Ｒ，１２Ｒ1〜１２Ｒ9…赤色用の直線状凹部、１３…電極、１４…誘電体膜、２０…ノズル、２０ａ…ノズル吐出口、３０…蛍光体膜、４０…アース機構、４７…ノズル駆動装置、４７ａ…ボールネジ軸、４７ｂ…モータ、４９…供給管、５０…案内レール、５１…蛍光体液タンク、５２…蛍光体液受け皿、５３…蛍光体液供給管、５４…蛍光体液回収管、５５…ポンプ、５６…基板載置台、５７…基板搬送装置、５７ａ…ボールネジ軸、５８…ガイド、５９…蛍光体液ポット、６１…制御装置。
【図１】
0003955167.tif 000003
【図２】
0003955167.tif 000004
【図３】
0003955167.tif 000005
【図４】
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【図５】
0003955167.tif 000007
【図６】
0003955167.tif 000008
【図７】
0003955167.tif 000009
【図８】
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