(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
楕円形の楕円短軸にそった軸線のまわりを回転させることで形成される光誘電材料製の回転楕円体で製造され、前記楕円短軸に垂直な前記回転楕円体の円形断面における赤道にそって且つ前記回転楕円体の前記楕円短軸のまわりを巡回する二つの異なるセットのささやき回廊モードのフリースペクトルレンジが同程度の値を有するように０．５より大きい離心率をもって形成されたささやき回廊モード共振器と、
前記赤道の近くに配置されて、前記ささやき回廊モードの少なくとも一つにおいて前記共振器内に、光エネルギーをエバネッセント結合するか、又は前記共振器の外へ、前記ささやき回廊モードの少なくとも一つから、光エネルギーをエバネッセント結合する光結合素子と、
を含んでなる装置。
【請求項２】
前記光結合素子が、前記光エネルギーを結合するため、角度研摩された端面を有するファイバーチップを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記光結合素子が、前記光エネルギーを結合するため、角度研摩された端面を有する扁平な光導波路を備えている請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記光結合素子がプリズムを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項５】
楕円形の楕円短軸にそった軸線のまわりを回転させることで形成される回転楕円体の前記楕円短軸に垂直な前記回転楕円体の円形断面における赤道と、０．５より大きい離心率とを有する光誘電材料製の回転楕円体に成形されたささやき回廊モードの共振器、及び
前記赤道のまわりを巡回するささやき回廊モードにおいて前記共振器内に光をエバネッセント結合する光カプラー、
を備えてなる装置。
【請求項６】
前記光カプラーは、角度研摩された端面を有する扁平な光導波路を備えている請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記誘電材料は、レーザー放出波長より短いポンプ波長のポンプ光を吸収することによって、前記レーザー放出波長の光利得を生成する活性イオンを有するレーザーアクティブ材料を含んでいる請求項１又は請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記誘電材料は、電気光学材料であり、
電気信号を前記回転楕円体に印加して前記電気光学材料の屈折率を変えるように構成され、前記共振器は前記電気信号で制御されるとともに共振周波数を変更する光変調器として作動するように構成された請求項１又は請求項５に記載の装置。
【請求項９】
前記共振器から光を受け取るとともに光遅延素子を備えた光学的部品と、電気部品と、
前記光学的部品と前記電気部品とを互いに接続する光検出器と、を有する少なくとも１つの光電子フィードバックループを更に備え、
前記光検出器は前記受け取った光を電気出力に変換し、前記電気部品は、前記電気出力からフィードバック信号としての前記電気信号を生成するとともに同電気信号を同位相で前記共振器に送るように構成された請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記光遅延素子は回転楕円体マイクロキャビティである請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記共振器から光を受ける第２の光電子フィードバックループを更に備えた請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
光を変調する電気で制御できる光変調器と、
前記光変調器から光を受け取る光学的部品と、電気部品と、前記光学的部品と前記電気部品とを互いに接続する光検出器と、を有する少なくとも１つの光電子フィードバックループと、
を更に備え、
前記光検出器は前記受け取った光を電気信号に変換し、前記電気部品は前記電気信号を同位相で前記光変調器に送るように構成され、
前記共振器は光遅延素子として前記光学的部品内にあることを特徴とする請求項１又は請求項５に記載の装置。
【請求項１３】
前記共振器内にエバネッセント結合されるレーザービームを生成するレーザーを更に備え、
前記共振器内の光を前記レーザーに結合して前記レーザービームの周波数を制御するように構成された請求項１又は請求項５に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本願は、２０００年３月２２日付けで出願された米国仮特許願第６０／１９１，１４１号の特典を主張するものである。
【０００２】
起源
本明細書に記載のシステムと技法は、ＮＡＳＡとの契約に基づいて行った研究で発明されたものであり、公法９６−５１７（３５ＵＳＣ２０２）の規定にしたがって、契約者ＮＡＳＡが権利を保有することを選択した。
【０００３】
背景
本願は光共振器に関し、さらに詳しく述べると、ささやき回廊モードの光共振器（opticalwhispering-gallery-mode resonator）に関する。
【０００４】
誘電体球体を使用して、「ささやき回廊モード」として知られている共振器モードの特定セットを保持するささやき回廊モード光共振器をつくることができる。これらのモードは、該球体の境界における全内面反射によって、該球体の表面の赤道部分のまわりに近い内側領域に閉じこめられた光フィールドを意味する。直径が１０〜１０２μｍ程度の微小球体を使用してコンパクトな光共振器が製造されている。このような共振器の寸法は光の波長よりはるかに大きいので、該共振器の曲率が有限であることによる光の損失は小さくすることができる。光損失の主原因としては、誘電材料の光吸収及び該球体の不均一性（例えば該球体表面の凹凸）による光散乱がある。その結果、高いクオリティファクター値すなわち高Ｑ値はこのような共振器で達成することができる。寸法が１ｍｍ未満のある種の微小球体が、光波に対して非常に高いＱ値を示すことが立証されており、石英の微小球体の場合１０９を超える。したがって、光エネルギーは、ささやき回廊モードに結合されると、長い光子寿命で、該球体の赤道において又はその近くで巡回することができる。
【０００５】
ささやき回廊モードの共振器は球体に基づいた共振器の形態を利用できる。ささやき回廊モードは本来、球体の赤道の近くに存在しているから、共振器は、必ずしも完全球体でなくてもよく、該ささやき回廊モードを保持するのに充分大きい、赤道に近い球体の一部分であってもよい。したがって、球体の適正な部分から形成されるリング、ディスクなどの形態を利用できる。このような共振器はやはり球形であり、そしてその共振器のささやき回廊モードは、それぞれの完全球体のモードとほとんど同一である。
【０００６】
要約
本願には非球形ささやき回廊モード共振器及びその用途が含まれている。一実施態様では、回転楕円体形キャビティを使用して、１０４程度のツルーフィネス（true finesse）、数ｎｍ程度のフリースペクトルレンジ、及び約１×１０７というＱ値が生成する。このような回転楕円体形キャビティに基づいた装置も開示する。
【０００７】
詳細な説明
本発明の回転楕円体形マイクロキャビティの形態は、部分球体又は完全球体から製造される球形マイクロキャビティの基本的特性と特定の限界を認識した上で、一部、設計されている。ささやき回廊モードは、軸線に対して対称形の誘電体内の全内面反射によって閉じ込められた、ほとんど閉じた円形波である。微小球体のＱ値が非常に高いのは、いくつもの要因が原因であろう。例えば、微小球体に使用する誘電材料は、保持されているささやき回廊モードの周波数の光損失が極めて低いものが選択される。繊維グレードの溶融シリカ（fused silica）が、光損失の低い１．３μｍ及び１．５μｍに近い波長で作動する共振器に使用できる。別の例の場合、球体の表面は、表面の凹凸の大きさを例えば口焼き（firepolishing）などの方法で数オングストローム程度に最小限にするように特別に製造することができる。その上に、球体の二次元曲率によって、波動ベクトルの全成分のかすめ反射（grazingreflection）が行われる。球体へのかすめ入射は、材料における減衰によるQ値よりはるかに小さい値にQ値を限定する表面散乱を最小限にするため不可欠である。例えば、プレーナー導波路法に基づいた集積光学的マイクロリングキャビティ及びマイクロディスクキャビティでは、光は、有限角をもって平坦面からほとんどはねかえるので、それらの一般的なQ値は１０４〜１０５に限定される。
【０００８】
マイクロディスクやマイクロリングに比較して非常に高い球体のQ値は、比較的高密度のスペクトルのモード（relativelydense spectrum of mode）が犠牲になってもたらされる。離心率がゼロの理想的な球体では、その球体の光スペクトルは、その球体の円周長によって定義されるフリースペクトルレンジ（ＦＳＲ）によって分離されそしてモードインデックスｌの連続値に関連するＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモードを有している。そのモードインデックスｌは、赤道の光路長に適合する波長の数値を近似的に表し、ｍは赤道面におけるフィールドの極大値を表し、そして、ｑは赤道面の半径にそった方向におけるフィールドの極大値を表す。
【０００９】
しかし、各ＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモードは縮退し、モードインデックスｍの可能な値によって与えられる（２ｌ＋１）のモードを含んでいる。実際の球体の場合、球面は通常、完全には球体でなく、非球面が残っている。この完全球面からのずれは、モードの縮退を解消し、そして与えられた値のモードインデックスｌを有する各ＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモードを崩して、モードインデックスｌの各値より小さい、モードインデックスｍの異なる値を有する一連の観測可能なＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモードにする。したがって、非理想的球体の共振器は以下の二つの異なるＦＳＲを示す。すなわち、インデックスｍとｑでは同じであるがインデックスｌの値の差が１である二つの隣接するＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモード間の周波数間隔である「大」ＦＳＲ、及び、同じｌ値を有しているがそれらのｍ値の差が１である二つの隣接するＴＥ（ＴＭ）ｌｍqモード間の周波数間隔である「小」ＦＳＲである。
【００１０】
「小」ＦＳＲ：
【数１】
0003941856.tif 000002
「大」ＦＳＲ：
【数２】
0003941856.tif 000003
【００１１】
例えば、直径が１５０〜４００μｍのシリカ球体の場合、典型的な製造法では通常、約ε２＝３×１０−２の離心率が生じる。「大」ＦＳＲは、４３７〜１６５ＧＨｚの範囲となり、「小」ＦＳＲは６．８〜２．５ＧＨｚの範囲内となる。
【００１２】
その結果、該球体は、数百ＧＨｚの程度の大きいＦＳＲを生成することができ、一方、かような球体の実際のスペクトルは、一般に１０ＧＨｚより小さい「小」ＦＳＲによって限定された有益でないＦＳＲを有していて比較的高密度（relatively dense）である。
【００１３】
一般的な球体共振器の上記比較的高密度のスペクトルは、該共振器の適用を制限することがある。何故ならば、スペクトルの分析が複雑になり、このような共振器を周波数レフェレンス（frequency reference）として使用してＣＷレーザーを選択されたレーザー周波数にロックするとき、レーザーの周波数のジッタリングによって起こるモードホップ（modehop）を起こすことがあるからである。さらに、十分に分離された共振ピークを有するスペクトルを得るため、これらモードのうちいくつかを除くため、中間フィルタリングが必要になることがある。
【００１４】
したがって、球体共振器に、スペクトルの外部フィルタリング（externalspectral filtering）なしで数百ＧＨｚ程度のＦＳＲを達成する一方法は、モードインデックスｌの与えられた値に対するささやき回廊モードＴＥ（ＴＭ）ｌｍqの「大」ＦＳＲが該共振器のスペクトル中に生じうるように、モード縮退を保持する方法である。この方法の場合、該球体の離心率は最小限にしなければならない。しかし、この方法は、利用可能な組立て技術に実用上限界があるため技術的に困難である。
【００１５】
上記のことに鑑みて、本願のマイクロキャビティは、軸線に対して対称の非球形共振器の形態を利用するように設計されている。このような非球形共振器は、二次元曲率の制限（two-dimensional curvature confinement）、低い散乱損失、及び微小球体について一般的である非常に高いＱ値を保持し、しかも単一モードの導波リングのスペクトル特性に近づく。実施態様では、かような非球形共振器は、離心率を最小限にする代わりに、球体を非球形に変形することによって製造して、例えば１０−１より大きい大離心率を目標として達成することができる。このような非球形マイクロキャビティの一例として回転楕円体のマイクロキャビティ又はマイクロトーラス（microtorus）について以下に説明する。
【００１６】
図１は、光誘電材料製の回転楕円体のマイクロキャビティ１００の一実施態様を示す。キャビティ１００は、楕円の短軸１０１にそった対称軸線のまわりを楕円形で回転させることによって形成される。その楕円の長軸と短軸の長さはそれぞれａとｂである。したがって、キャビティ１００の離心率はε２＝（１−ｂ２／ａ２）である。ＷＧモードの位置の対称平面（赤道平面）の近くにおいて、外形がＤで断面直径がｄの円環曲面が、大きい半軸ａ＝Ｄ／２と小さい半軸ｂ＝１／２（Ｄｄ）１／２を有する接触楕円回転体の円環曲面と一致する。回転楕円体１００の寸法Ｄは、光およびマイクロ波のスペクトル範囲内で操作するためには１０ｍｍ未満でよい。その離心率は０．５より大きい。
【００１７】
作動中、少なくとも一つの光結合素子をキャビティ１００の近くに配置して、入力ビームを、１又は２以上のささやき回廊モードでキャビティ１００にエバネッセント結合することができる。光ファイバー又は角度研摩された面が形成されている平面導波路を、この光結合素子として使用できる。マイクロプリズムも適正なエバネッセント結合を行うのに使用できる。図２Ａと２Ｂは、上記光結合機構を示す。図２Ｃは、このような光結合素子を二つ使用すると、一方が光をキャビティ１００に結合し、他方は光をキャビティの外へ結合することを示している。
【００１８】
誘電体回転楕円体１００のスペクトルの分析は数値的にも自明なタスクではない。離心率が小さい球体とは対照的に、高度に離心している回転楕円体の分析は、簡単な幾何学的近似に基づいて行うことができない。円柱座標又は球座標の場合と異なり、境界条件を満たす楕円回転体の直交ベクトル関数は単一スカラー波動関数によって誘導することができない。さらに、回転楕円体の角関数と動径関数の計算も簡単なタスクではない。
【００１９】
ＷＤモードの波長よりはるかに大きい半径を有するキャビティ１００のＷＧモードの固有周波数は下記式で近似的に表すことができる。
【００２０】
【数３】
0003941856.tif 000004
【００２１】
上記式中、ｔｌｑはオーダーｌの球体ベッセル関数のｑ番目のゼロ値であり、ＴＥモードの場合χ＝ｎであり、ＴＭモードの場合χ＝１／ｎである。大きいｌの場合、ｔｌｑ〜 ｌ＋Ｏ（ｌ１／３）であり、これは直接計算できるか又はエアリー関数のゼロ値によって近似できる（例えば、M. Abramowitz、I. A. Stegun編、「Handbook on mathematical functions」米国ニューヨーク所在のDover
Publ. １９７０年参照）。
【００２２】
式（１）の右辺の小さい第二項の意味は、下記のことを考慮することによって理解することができる。第一に、ＷＧモードは、準古典的に、キャビティ１００内の全内面反射によって支持される閉円形ビームである。第二に、その光フィールドが、キャビティ１００の外側を１／ｋ（ｎ２−１）１／２の深さで通り抜ける。第三に、キャビティ１００の表面のＥ（ＴＥモード）の接続成分又はＥ（ＴＭモード）の法線成分は境界において連続している。誘電球体の高次ＷＧモード（ｌ>>１；ｌ≒ｍ）の固有周波数は、ゼロ境界条件で前記スカラー波動式を解くことによって近似することができる。というのは、エネルギーの大部分が、該フィールドの一つの成分に集中するからである（ＴＥモードのＥ及びＴＭモードのＥｒ）。
【００２３】
上記検討に基づいて、ＷＧモードの固有周波数を、大半軸がａであり、小半軸がｂであり、そして離心率がε＝（１−ｂ２／ａ２）１／２である回転楕円体１００について推定することができる。ＷＧモードは「赤道」面に局在しているので、その動径分布は、Ｊｍ（Ｔｍｑ）＝０でかつｋ⊥が回転楕円体角度関数の準古典的解を行うための波数である場合、ｎｋｍｑａ＝ｎａ（ｋ２ｌｍｑ−ｋ２⊥）１／２≒Ｔｍｑである円柱ベッセル関数Ｊｍ（ｎｋｍｑｒ）で近似することができるので、下記式として近似的に書くことができる。
【００２４】
【数４】
0003941856.tif 000005
【００２５】
より厳密な検討は、I. V. komarov、L. I. Ponomarev、S.Yu. Slavyanov、「Spheroidal and Coulomb Spheroidal Functions」モスクワNauka１９７６年に記載されている方法にしたがって行うことができる。Ｔｍｑ≒ｔｌｑ−（ｌ−ｍ＋１／２）であることを考慮して、下記近似式を誘導することができる。
【００２６】
【数５】
0003941856.tif 000006
【００２７】
非常に小さいεの場合、式（２）は「小」ＦＳＲに対して同じ値をもたらす（連続的にｍ≒ｌであるモード間の周波数分割）（例えばH. M. Lai、P. T. Leung、K. Young、P. W. Barber、S. C. Hill、Phys. Rev. A41、５１８７〜５１９８頁１９９０年参照）。
【００２８】
ｌ＝１００の場合、式（２）で近似した結果は、半径方向回転楕円体関数（radical spheroidalfunction）の数値計算されたゼロ値と比較できる。ε＝０．８という離心率が大きい場合でさえ、ｍ、ｍ＋１モード分割の推定値の偏差は５％に過ぎず、そして絶対モード周波数では０．１％に過ぎない。ｌがより大きくてεがより小さい場合、その誤差は明らかにより小さくなるはずである。式（２）から分かるように、離心率εが増大すると、「小」ＦＳＲ（連続ｍを有するモード間の周波数間隔）は、「大」ＦＳＲと大きさが一致するようになる。
【００２９】
【数６】
0003941856.tif 000007
【００３０】
さらに異なるｍを有するモードの励起条件はより選択的になる。例えば、プリズムを結合するのに最適の角度はεによってｋ⊥／ｋｌｍｑ∝（１−ε２）−１／４のように変化する。
【００３１】
図３は、切断されたバーコードの先端間で低融点石英ガラスの小球を圧縮することによって形作られた回転楕円体（マイクロトーラス）キャビティの写真を示す。表面張力と軸線方向の圧縮力の複合作用によって、所望の回転楕円体の形態が得られる。一つのファイバーステムが切断され、その全構造体を、測定に使うため、図２Bに示すように、プリズムカプラーの隣りに取り付けて、エバネッセント結合を行う。
【００３２】
図４は、波長が１５５０ｎｍの近傍である同調可能ＤＦＢレーザーを使用して測定したＷＧモードスペクトルを示す。そのレーザーは、電流を変調することによって約８０ＧＨｚまでの範囲内で連続的に周波数走査が可能であり、かつレーザー温度を変えることによってその波長は１５４５．１〜１５５２．４ｎｍであった。スペクトル範囲が９００ＧＨｚのスペクトルを、温度を変えることによって６０ＧＨｚづつ増大させて１５の個々の走査から集めた。スペクトルフラグメントを「縫う（stitch）」ための周波数レフェレンスは、高フィネス（Ｆが約１２０）のファブリ・ペロエタロン（ＦＳＲ＝３０ＧＨｚ）のフリンジ及び３．７５ＧＨｚの振幅の変調によって提供される追加の周波数マークを記録することによって得た。そのＦＰの全ドリフトは、１５分間の全測定時間にわたって４００ＭＨｚ未満であった。そのスペクトルは、キャビティの「大」フリースペクトルレンジＦＳＲ＝３８３ＧＨｚ又は波長ドメイン３．０６ｎｍ以内で励起される選択された分極のささやき回廊モード二つだけまで減少する。「寄生」モードの透過（transmission）は主モードの透過より少なくとも６ｄＢ小さい。したがって、個々のモードの帯域幅２３ＭＨｚによって、フィネスＦ＝１．７×１０４及びＱ＝８．５×１０６が、このマイクロ共振器によって示される。
【００３３】
上記測定結果は、式（２）の近似表現の予測と類似している。ａ＝８２．５μｍ、ｂ＝４２．５μｍの場合、離心率をε＝０．８６である。該誘電材料の屈折率はｎ＝１．４５３である。波長１５５０ｎｍにおけるＴＥモードの主モードの数はｌ≒４７３でなければならない。「大」ＦＳＲは下記式のとおりである。
【００３４】
【数７】
0003941856.tif 000008
【００３５】
及び「小」ＦＳＲは下記式のとおりである。
【００３６】
【数８】
0003941856.tif 000009
【００３７】
測定されたスペクトルにおいて、図４に示す最大ピーク１と２の間の周波数間隔は３８３．７±０．５ＧＨｚに等しい。したがって、上記周波数間隔は、上記小ＦＳＲと一致しているとみなすことができ、我々が測定の不確かさ（主として、キャビティ寸法の形態測定の精度によって限定される）約２％を考慮すれば、上記推定値と良好に一致している。図４に示すピーク３と４の間の間隔は４００．３±０．５ＧＨｚに等しく、これは「大」フリースペクトルレンジの推定値に近い。
【００３８】
隣り合った値のインデックスｍ（「大」ＦＳＲ程度の）を有するモード間の分離（splitting）は大きいにもかかわらず異なる主数値（principalnumber）のｌを有する多くのモードファミリーのオーバーラップから（有益でない）高密度スペクトルがなお発生するとも考えられる。しかし、実際には、「アイドル」モードが該エバネッセントカプラーから有効にデフェイズ（dephasing）して測定されたスペクトル内のモードが低下するようになる原因こそ、まさに、ＷＧモードの周波数ドメインが異なる主インデックスｌと一致していることとｌ−ｍの差が迅速に増大することである。複雑な「トランスバース（transverse）」構造（ｌ−ｍ＞１）によってＷＧモードが励起される場合に位相の不整合が増大するのに加えて、これらモードの振幅が低下することもこれらモード固有の低いＱ値が原因であるかもしれない。無負荷のＱ値がより小さい場合、これらモードに対する臨界結合（criticalcoupling）を行うには、該キャビティの位置が導波路又は励起プリズムに近いことが必要であろう。
【００３９】
上記例と分析は、回転楕円体のマイクロキャビティが、典型的な微小球体に比べて、高度に楕円形の回転楕円体において励起されるＷＧモードの数を大きく減らす（２桁まで）ように設計できることを示している。モード密度のこのような低下は、これらモードの構造と関連する高いＱ値を犠牲にすることなく達成することができる。この新規なタイプの光学的マイクロキャビティは、１０４程度のツルーフィネス、数ナノメートル程度のフリースペクトルレンジ及び約１×１０７のＱ値を示す。「トランスバース」ＷＧモードを完全に排除することは、離心率が高い回転楕円体キャビティに期待できると考えられる。また、組立て法を改良することによって、Ｑ値とフィネスをさらに増大することも期待できる。Ｑ値が極めて高いマイクロキャビティのモードスペクトルの密度が低下すると、レーザーの安定化、マイクロレーザー、各種の受動フォトニクス装置及び基本的物理実験に新しい用途が提供される。
【００４０】
図５Ａ、５Ｂ及び５Ｃは、光遅延素子として回転楕円体マイクロキャビティを使用する代表的な光電子発振器を示す。マイクロ波帯域（典型的な周波数約３〜３０ＧＨｚ）で作動する微小球体を有する先に開示した光電子発振器と比べて、微小回転楕円体（マイクロトーラス）共振器に基づいたＯＥＯは、はるかに高い周波数で、１ｍｍ未満のウェイブバンドのそれらモードのスペーシング（ＦＳＲ、フリースペクトルレンジ）（＞３００ＧＨｚ）に対応してそしてさらに、テラヘルツの周波数ドメイン（＞１０００ＧＨｚ）において、しっかりと作動できる。このようなＯＥＯは、電気で制御できる光変調器５３２、及び光検出器によって互いに接続されている光学的部品と電気部品を有する少なくとも一つの能動光電子フィードバックループを備えていてもよい。多くの市販電気光学変調器は１００ＧＨｚを超えると作動できないが、上記のような超高周波数の光変調器は、本願で後に述べるような電気光学材料で製造された回転楕円体共振器に基づいて製造することができる。該ＯＥＯ用の変調器は、広範囲の周波数で作動させる必要がないので、ダブルマイクロ波と光共振を利用して高い効率を達成することができる。該光電子フィードバックループは、変調器５３２から、変調された光学的出力を受け取り、それを、変調器５３２を制御するための電気信号５２４に変換する。このループは所望の遅延を起こして、同位相で電気信号を変調器５３２に送り、能動光電子ループと他の追加のフィードバックループの全ループ利得が全損失を超えると、光変調と電気発振の両者が行われ保持される。
【００４１】
該ＯＥＯは、ＣＷ信号レーザー５３０を使用して、同調可能な光搬送周波数で信号ビームを生成する。信号光変調器５３２は信号ビームを変調して信号５３６を生成する。該信号光変調器５３２は、振幅変調器又は位相変調器であってもよい。前記位相変調器は、運転が比較的簡単であり、そして光損失が少なくかつバイアスなしで作動するように設計できるので、いくつもの用途に好適であろう。
【００４２】
ＯＥＯは、光変調を利用して、該光スペクトルから外れた周波数スペクトル範囲（例えばＲＦ周波数やマイクロ波周波数）の振動を生成する。前記生成した振動信号は周波数で同調可能なので、他のＲＦ発振器及びマイクロ波発振器が生成する信号と比べてスペクトル線幅を細くしかつ位相ノイズを低くすることができる。ＯＥＯのいくつかの例は、米国特許第５，７２３，８５６号、同第５，７７７，７７８号、同第５，９１７，１７９号及び同第５，９２９，４３０号並びに２０００年１月に出願された米国特許願第０９／４９１，９８８号に開示されている。
【００４３】
図５ＡはデュアルループＯＥＯ５００Ａを示し、このＯＥＯには、ファイバーループのような光遅延素子５０１もしくは５０２又は上記回転楕円体光共振器が、各光電子フィードバックループ５１０又は５２０に含まれている。あるいは、それらフィードバックループの一方は電気フィードバックループと取り替えることができる。ＲＦカプラーを使用して、ＲＦフィードバック信号５２４の一部を分割して出力ＲＦ信号５２６を生成することができる。一方のフィードバックループを取外して、単一ループＯＥＯをつくってもよい。
【００４４】
図５Ｂは、光フィードバックループ５３０のレーザー振動を、光遅延素子５４２を有する光学的部分と光から電気へ変換するブロック５４４（例えば光検出器）を有する電気部分を含む光電子フィードバックループ５４０中の電気振動に直接結合する結合されたＯＥＯを示す。光フィードバックループ５３０の光学的利得は、光電子ループ５４０からの電気信号５２４によって制御可能であり、例えば半導体光増幅器（ＳＯＡ）５３２を光ループ５３０中に配置してもよい。この場合、光フィードバックループ５３０とＳＯＡ５３２は、図５Ａにおいて、信号レーザーと信号変調器５３２として機能する。ＲＦカプラー５４８を使用して、信号５２４の一部を出力ＲＦ信号５２６として分割できる。
【００４５】
さらに、光電子発振器は、誘導ブリリュアン散乱に基づいて電気変調信号を生成する少なくとも一つの能動光電子フィードバックループを備えていてもよい。図５Ｃは、光電子フィードバックループ５６２中にブリリュアン光媒体５６０を含み、ブリリュアン散乱の本来狭い線幅を使用して単一発振モードを選択するブリリュアンＯＥＯを示す。ポンプレーザー５６４を使用して、ブリリュアンポンプビームをブリリュアン媒体５６０中に生成させる。光検出器５６６は、ループ５６２の光信号を、ＲＦ信号１０８と同等の電気フィードバック信号に変換する。ＲＦカプラー５４８を使用して、検出器出力の一部分を出力ＲＦ信号５２６として分割することができる。
【００４６】
上記回転楕円体共振器は、特定のささやき回廊モードの光エネルギーだけを貯蔵するように作動する。該キャビティのまわりのラウンドトリップ（round trip）で起こる光フィードバックが位相遅延Ｎ２π（Ｎ＝１，２，３，…）を有している場合、該光共振器は共振して作動して、光エネルギーが、最小限の損失で該共振器内に蓄積する。該光エネルギーがこの共振状態で脱結合されると（coupleout）、その出力は最大限になる。しかし、光フィードバックがＮ２π以外に位相遅延を有していると、該共振器内に蓄積される光エネルギーの量はその最大値より減少するのでその結合された出力も、その最大値より減少する。このように、該共振器を変調して、出力に変調を起こすことができる。該位相遅延に対する変調は、共振状態と非共振状態との間の位相差に対する変調に限定されず、該位相遅延の二つの異なる値の間の位相差に対する変調でもよい。事実、該位相遅延は、位相遅延の変化が出力エネルギーに最大の変化を起こす場合、一つの値でバイアスすることができる。
【００４７】
該回転楕円体共振器の誘電材料は、外部電気信号を使用し該共振器の屈折率を変えて、ささやき回廊モード状態を変え、その結果、出力結合を変えることができるような電気光学的材料で構成されていてもよい。このような光変調器は、ミリボルトレベルの低い作動電圧で作動し、何百ギガヘルツ以上の高い変調速度を達成しそしてコンパクトな容器を有するように設計することができる。該共振器との光結合を導波路又はファイバーで行って、他の光ファイバー素子又は基板上に形成された電気光学的集積回路との集積化を行うことができる。したがって、このような光変調器は、光通信及び光信号処理を含む、光変調が行われる各種の用途で使用できる。
【００４８】
適正な配置構成の、回転楕円体共振器単独又は適正な電気ストリップラインで接続されている回転楕円体共振器は、適正な位相整合状態の同じささやき回廊モードで、電気エネルギーを保持する電気共振器を形成することができる。したがって電波と光波は、特定のささやき回廊モードで共存しかつ共に伝播することができる。該球体が電気光学的材料で形成されると、その電波を使用してその球体の比誘電率を変えるか又は変調し、その結果、その電気光学的作用に基づいて光を変調することができる。
【００４９】
さらに、回転楕円体キャビティは、希土類元素イオンのような活性イオン（active ion）を有するレーザーアクティブ材料で製造して、適正な光ポンピング機構が提供されると、縮小固体レーザーとして作動させることができると考えられる。該レーザーアクティブ材料は、レーザー放出波長より短いポンプ波長でポンプ光を吸収することによって、そのレーザー放出波長で光利得を生成することができる。ささやき回廊モードは容積が小さくかつＱ値が高いので、このようなレーザーは、非常に低いしきい値と狭い放出線幅を兼ね備えることができる。例えば、図２Ａに示す角度研摩された（angle-polished）ファイバーカプラーを使用して、ポンプビームを回転楕円体キャビティに結合しかつ該キャビティの外へレーザービームを結合することができ、この両方ともにささやき回廊モードのエバネッセントフィールドを通じて行われる。
【００５０】
特に、ポンプビームはポンプＷＧモードに結合される必要があり、そしてそのレーザービームは該キャビティ内にレーザーＷＧモードで生成する。したがって、該ファイバーカプラーの端面の角度は、ポンプビームとレーザービームの両者に対するモード整合条件と適合するように選択される。第一に、該ファイバーカプラーは、該ファイバーによって案内されるポンプ光のモードを、該キャビティ内のポンプ波長のポンプささやき回廊モードに適合させる。第二に、該ファイバーカプラーは、レーザー波長のささやき回廊モードの少なくとも一つを、レーザー波長で該ファイバー内に案内されるモードに適合させて、出力レーザービームが該ファイバー内を透過できるようにする。該レーザーささやき回廊モードと該ポンプささやき回廊モードの両者は、キャビティ１３０内で空間的にオーバーラップして、ポンプ波長からレーザー波長への有効なエネルギー変換を促進する。
【００５１】
また上記の回転楕円体（マイクロトーラス）共振器を使用して、ＣＷ半導体ダイオードレーザーの周波数を安定化しかつその放出線幅を狭くし、そのＷＤモードの充分に分離された明確な共振ピークを利用することができる。図６Ａと６Ｂは二つの実施例を示す。モードのＱ値は非常に高いので（ダイオードレーザーキャビティ自体のＱ値が約１０２であるのに対し約１０８である）、このような結合システムにおける周波数の揺らぎを、多数桁抑制して、線幅が１ＫＨｚ以下の超コンパクトなレーザー源をつくることができる。この線幅は、外部のファブリペロー共振器に基づいた大型キャビティの固体レーザー又は安定化された複合システムですでに達成可能であった。
【００５２】
この球体マイクロキャビティは、エキストラキャビティ構成のダイオードレーザーを安定化するために、一つのシステムですでに使用されていた（VASSILIEV VV, VELICHANSKY VL, ILCHENKO VS, GORODETSKY ML, HOLLBERG L,YAROVISTKY AV, 「Narrow-line-width diode laser with a high-Q microsphereresonator」, OPT COMMUN, １５８：（１〜６）３０５〜３１２、１９９８年１２月１５日）。しかし、そのシステムはＷＧモードの過剰密度を免れることができず、多くのＷＧモード（約１００）がレーザーダイオードの利得帯域幅（約数ナノメートル）内にあり、その結果、中間モードセレクターを用いて不安定性を抑制しなければならなかった。数ナノメートルの領域にそのＦＳＲを有するように配置構成された回転楕円体マイクロキャビティを有する非常に単純な配置構成を使用して、一つだけのＷＧモードが半導体レーザーのゲインにおける最大となることがわかる。
【００５３】
図６Ａは、キャビティ内の後方散乱作用によって提供される光フィードバックに基づいた安定化レーザーの実施態様を示す。レーザー６１０の出力は、ＷＧモードの波６１２としてキャビティ１００にエバネッセント結合される。波６１２の散乱は、ＷＧモード中に、逆方向に伝播する波６１４を生成する。波６１４は、次に結合されてレーザー６１０の周波数を制御する。図６Ｂでは、レーザーが、半導体光増幅チップ６２０（実際には反射防止コーティングでその内部キャビティが完全に抑制されているレーザーダイオード）、二つの受動導波路カプラー又はファイバーカプラー６３０と６４０及びマイクロ回転楕円体キャビティ１００を含む閉口ループで形成されている。そのレーザーの周波数はキャビティ１００のＷＧモードでロックされている。
【００５４】
本明細書の開示には、いくつかの実施態様しか含まれていないが、各種の変型や増強を、本願の特許請求の範囲から逸脱することなく実施できると解される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  非球形マイクロキャビティの一実施態様を示す。
【図２Ａ】  図１に示す非球形マイクロキャビティに用いる代表的なエバネッセント結合の配置構成を示す。
【図２Ｂ】  図１に示す非球形マイクロキャビティに用いる代表的なエバネッセント結合の配置構成を示す。
【図２Ｃ】  図１に示す非球形マイクロキャビティに用いる代表的なエバネッセント結合の配置構成を示す。
【図３】  図１の設計（Ｄ＝２ａ＝１６５μｍ、ｄ＝４２μｍ及び２ｂ＝８３μｍ）に基づいた、切断されたファイバー先端の間で、低融点石英ガラス製小球体を圧縮することによる回転楕円体キャビティの写真を示す。
【図４】  波長が１５５０ｎｍのフリースペクトル範囲の近くの同調可能なＤＦＢレーザーを使って測定した、図２に示すキャビティのＴＥＷＧモードスペクトルを示す。
【図５Ａ】  フィードバックループ中の光遅延素子として回転楕円体キャビティを使用する光電子共振器の実施態様を示す。
【図５Ｂ】  フィードバックループ中の光遅延素子として回転楕円体キャビティを使用する光電子共振器の実施態様を示す。
【図５Ｃ】  フィードバックループ中の光遅延素子として回転楕円体キャビティを使用する光電子共振器の実施態様を示す。
【図６Ａ】  回転楕円体キャビティを使用する周波数ロッキングに基づいた一つの安定化レーザーを示す。
【図６Ｂ】  回転楕円体キャビティを使用する周波数ロッキングに基づいた一つの安定化レーザーを示す。
【図１】
0003941856.tif 000010
【図２Ａ】
0003941856.tif 000011
【図２Ｂ】
0003941856.tif 000012
【図２Ｃ】
0003941856.tif 000013
【図３】
0003941856.tif 000014
【図４】
0003941856.tif 000015
【図５Ａ】
0003941856.tif 000016
【図５Ｂ】
0003941856.tif 000017
【図５Ｃ】
0003941856.tif 000018
【図６Ａ】
0003941856.tif 000019
【図６Ｂ】
0003941856.tif 000020