(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
過剰なＢ部位材料を添加したチタン酸バリウムストロンチウム層（15、26、37）を含む集積回路（10、20、30）を製造する方法であって、
該方法は、バリウムおよびストロンチウムがＡ部位材料であり、チタンがＢ部位材料であるとき、バリウム、ストロンチウムおよびチタンを含む最初の液状前駆体を提供するステップ（P42）を包含し、
該方法は、
過剰なＢ部位材料を該最初の液状前駆体に混合して溶液を形成するステップであって、該過剰なＢ部位材料は、Ａが該最初の液状前駆体内のすべてのＡ部位元素を含み、Ｂが該過剰なＢ部位材料以外の該溶液中のすべてのＢ部位元素を含むとき、式ABO3で定義されるＢ部位材料の量の0.01モルパーセントから100モルパーセントまでの範囲の量の、Cr、Ti、Zr、Ta、Mo、Ｗ、およびNbよりなる群から選される、ステップ（P42）と、
該溶液を基板に塗布するステップ（P45）と、
該溶液を酸素中で加熱して、該過剰なＢ部位材料を有するチタン酸バリウムストロンチウム層を該基板上に形成するステップ（P46、P47）と
によって特徴づけられる、方法。
【請求項２】
前記塗布するステップの前に、前記最初の液状前駆体に追加のＡ部位材料を混合するステップ（P42）を包含し、該追加のＡ部位材料は、Bi、Dy、Pb、Ca、およびLaよりなる群から選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記最初の液状前駆体を調製するステップは、前記過剰なＢ部位材料または前記追加のＡ部位材料を、有機錯体の置換体として調製することを包含する、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記有機錯体は、カルボン酸、アルコキシド、およびこれらの混合物よりなる群から選択される、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記追加のＡ部位材料を混合するステップは、該追加のＡ部位材料を、前記式ABO3を満たすＡ部位材料の量の0.01モルパーセントから100モルパーセントまでの範囲の量で混合することを包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記過剰なＢ部位材料はクロムを含み、前記追加のＡ部位材料はジスプロシウムを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項７】
前記最初の液状前駆体溶液は、各々が10ppmより少ない量の不純物元素を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
基板（11、12、13、14、21、22、23、24、25、31、32、33、34、35、36）を含む集積回路（10,20,30）であって、
該基板に形成されたチタン酸バリウムストロンチウムよりなる薄膜（15、26、37）であって、バリウムおよびストロンチオウムが式ABO3で定義されるＡ部位材料であり、チタンがＢ部位材料であるとき、Cr、Ti、Zr、Ta、Mo、Ｗ、およびNbよりなる群から選択される過剰なＢ部位材料を含む薄膜によって特徴づけられる、集積回路。
【請求項９】
前記薄膜が、Bi、Dy、Pb、Ca、およびLaよりなる群から選択されるＡ部位材料を含む、請求項８に記載の集積回路。
【請求項１０】
前記追加のＡ部位材料および前記過剰なＢ部位材料が、式ABO3に対応するＡ部位材料およびＢ部位材料の量の各々0.1モルパーセントから100モルパーセントまでの範囲の量で存在する、請求項９に記載の集積回路。
【発明の詳細な説明】
発明の背景
１．発明の分野
本発明は、集積回路に用いられる薄膜の製造に関する。詳しくは、集積回路のための誘電率の高いコンデンサに用いられる材料の製造に関する。
２．課題の記述
集積回路に用いられる誘電率の高い薄膜コンデンサの製造において、チタン酸バリウムストロンチウム（BST）などの金属酸化物材料が重要になっている。このようなコンデンサは、DRAMなどの集積回路メモリを製造する場合に有用である。例えば、Kuniaki Koyamaらの"A Stacked Capacitor with(BaxSr1-x)TiO3 For 256M DRAM"、IDEM(International Electron Devices Meeting)Technical Digest、December 1991、pp.32.1.1-32.1.4、およびShogo Matsubaraらの米国特許第5,122,923号を参照。DRAM集積回路で用いられるコンデンサは、各DRAMセルのサイズを決定する重要な要素である。DRAMセルのサイズを縮小し、これにより、集積回路におけるDRAMセルの密度を高くするためには、コンデンサのサイズを縮小する必要がある。コンデンサのサイズの縮小は、コンデンサの誘電層に用いられる材料の誘電率を大きくして、所望の誘電特性を有するコンデンサに必要な表面積を小さくすることによって実現される。材料の誘電率を大きくする従来の方法は、材料のリーク電流もまた増大させる。リーク電流が過剰になると、その材料は、集積回路のコンデンサとしては、特に、DRAMセルのコンデンサとしては不適切である。BSTなどの高誘電率材料にとっても、リーク電流を著しく増大させずに材料の誘電率を大きくすることは、依然として当該分野における課題である。
３．課題の解決
本発明は、BSTの従来の製造方法を改良して、過剰なＡ部位およびＢ部位材料を、誘電層を形成するために用いられるバリウム、ストロンチウム、およびチタンの液状前駆体と混合することによって、DRAMなどの集積回路メモリで用いられる誘電材料の誘電率を大きくする。過剰なＡ部位およびＢ部位材料は、リーク電流にほとんどまたは全く影響を及ぼすことなくコンデンサの誘電層の誘電率の実数部分を増大させる。過剰なＡ部位ドーパントは添加せずに、過剰なＢ部位ドーパントのみを添加することもできる。
本発明の方法は、バリウムやチタンなどの過剰なＡ部位およびＢ部位材料を、バリウム、ストロンチウム、およびチタンを含む液状前駆体と混合して、スピンオン(spin-on)堆積法にとって適切な均質な液体を形成することを包含する。この方法にとって適切な液状前駆体は、好ましくは、金属カルボキシレートまたは金属アルコキシドである。米国特許第5,514,822号は、BSTの製造にアルコキシカルボキシレートを用いること、およびスピンオンコーティング方法について記載している。同様の「スピンオン」製造法に本発明に適用することにより、集積回路のコンデンサのBST誘電層内での過剰なＡ部位およびＢ部位材料の構造および分布をもっと正確に制御することが可能になる。
過剰なＡ部位材料または過剰なＢ部位材料の量は、好ましくは、Ａ（Ａ部位材料）、Ｂ（Ｂ部位材料）、および酸素のモル比が1:1:3である一般式ABO3を満たすのに必要な化学量論による量の零より大きい値（すなわち、約0.01モルパーセント）から100モルパーセント（「モル％」）の範囲である。従って、Ａ部位材料の全量は、好ましくは、上記の一般式からの化学量論による量の約100.01〜約200%の範囲である。この過剰なＡ部位材料は、さらに好ましくは、化学量論による量の約0.1〜20モル％の範囲、最も好ましくは、約１〜３モル％の範囲である。同様に、過剰なＢ部位材料は、好ましくは、化学量論による量の0.01〜100モル％の範囲、さらに好ましくは、約0.1〜20モル％の範囲、最も好ましくは、約１〜３モル％の範囲である。
過剰なＡまたはＢ材料を含有する前駆体溶液は、好ましくは、スピンオン法を利用することによって基板に塗布され、薄膜が形成される。次にこのコーティングされた基板は、好ましくは、100℃〜500℃の範囲で加熱し、塗布された薄膜から有機残基を取り除く。薄膜は、好ましくは、酸素の存在下で、約600℃〜850℃の温度でアニールされる。これらの方法により、過剰なＡ部位およびＢ部位材料を含むBSTなどの高品質の誘電物質が製造され、DRAMのような集積回路のコンデンサで使用される場合に実質的に向上した誘電特性を提供する。本発明のその他の多くの特徴、目的、および利点は、添付の図面を参照して以下の記述を読むことにより明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明により製造された集積回路のコンデンサの断面図である。
図２は、本発明により製造された集積回路のコンデンサの、低リーク誘電バッファ層を含む別の実施態様の断面図である。
図３は、付着層およびバリヤ層を有する集積回路のコンデンサを備えた、本発明のさらに別の例示的な実施態様の断面図である。
図４は、本発明の、それぞれ過剰なＡ部位およびＢ部位材料を有するBSTコンデンサを製造する方法のフローチャートである。
図５は、本発明の本発明により製造されるBSTコンデンサの、過剰なＡ部位およびＢ部位材料の過剰なチタン含有量に対する、誘電率εおよび散逸率tanδを示すグラフである。
図６は、本発明の方法により製造されるBSTコンデンサの、過剰なＢ部位材料の過剰なチタン含有量に対する、誘電率εおよび散逸率tanδを示すグラフである。
図７は、Dy2O3-Cr2O3およびチタンドーパントにより製造されるコンデンサのドーパント濃度に対する、誘電率および電流密度を示すグラフである。
好適な実施態様の詳細な説明
図１は以下に述べる方法により製造される薄膜コンデンサ10を示す。当業者には理解されるように、コンデンサ10は、上部に二酸化ケイ素よりなる厚い層12を有する単結晶シリコンウェハ11上に形成される。次に、厚さ約200Åのチタンよりなる付着層13が形成され、その後、厚さ約2000Åのプラチナよりなる第１電極層14が形成される。層13および14は共に、好ましくは、従来のスパッタリング法を用いて形成される。好ましくはBSTなどの金属酸化物である誘電層15が第１電極層14に隣接して形成される。BST誘電層15は、好ましくは、以下に詳述する過剰なＡ部位およびＢ部位材料を含む。第２プラチナ電極16（同様に、好ましくは厚さ約2000Å）が誘電層15の上にスパッタリングにより形成される。
集積回路技術では、多くの場合、シリコン結晶11を「基板」と呼ぶ。本明細書では、「基板」は、シリコン層11を示すために用い得るが、もっと一般的には、別の層のための支持体を示すためにも用いられる。例えば、誘電層15のための基板18とは、直接には第１プラチナ電極層14であるが、広くは層11、12、および13をも含む。
用語「金属酸化物」は、本明細書では、ＡおよびＢがカチオン、Ｏがアニオンの酸素であるとき一般式がABO3である材料を意味する。この用語は、ＡおよびＢが複数の元素を表す材料を包含するように意図される。例えば、この用語は、A'、A"、B'、およびB"が異なる金属元素であるとき式がA'A"BO3、AB'B"O3、およびA'A"B'B"O3である材料を包含する。好ましくはＡ、A'、A"は、Ba、Bi、Sr、Pb、Ca、およびLaよりなる金属群から選択される金属であり、Ｂ，Ｂ’、およびＢ”は、Ｃｒ、Ｔｉ、Zr、Ta、Mo、Ｗ、およびNbからなる群から選択される金属である。本明細書では、Ａ、A'、およびA"を集合的にＡ部位材料と呼び、Ｂ、B'、およびB"を集合的にＢ部位材料と呼ぶ。
層15の結晶性金属酸化物は、当業者には理解され得るように、ペロブスカイト型構造を有する。これらの金属酸化物の多くは、強誘電体として類別されるが、いくつかは室温で強誘電性を示さないものもある。しかし、本発明の強誘電体は、典型的には、通常の動作温度で強誘電特性を示すかどうかに係わりなく、高い誘電率を有し、高い誘電率のコンデンサに利用される。
本発明では、過剰なＡ部位およびＢ部位材料が、金属酸化物材料と混合される。本明細書において、ＡまたはＢ材料の「化学量論による量」とは、安定した化合物の化学式によって必要とされる量であると定義される。例えば、「化学量論の」金属酸化物の前駆体溶液とは、複数の金属を含む前駆体溶液であり、溶液中の各金属の相対量は、この溶液から製造される所望の金属酸化物の化学式における金属の割合と同じ割合を有する。化学式がABO3の金属酸化物には、３個の酸素原子と結合した１個のＡ部位原子と１個のＢ部位原子とが存在する（1:1:3）。しかし、Ａ部位およびＢ部位材料は、上述のようにいくつかの等価の材料と自由に置換され得る。
化学式がAA'BO3の材料では、Ａ部位材料のＡ対A'の比率は可変であるが、Ａ部位原子の総数は、Ｂ部位原子および酸素原子に対しては上述のように固定される。この比率は、式AxA'1-xBO3として表され、１個のＢ部位原子および３個の酸素原子と結合するＡ部位原子の総数は１(X+1-X=1)に等しいことが示される。従って、Ａ部位およびＢ部位原子の総数は化学量論式によって固定されるが、Ａ部位原子のＡ対A'の比率は、比率X/(1-X)として表される。
本明細書においては、特に図５の横軸に関しては、過剰なＡ部位材料の量はモル％単位（モル％）で表される。この単位は、過剰なＡ部位材料の原子数を、下地の金属酸化物材料におけるＡ部位原子の化学量論による量のパーセントとして測定したものである。例えば、材料がBa0.7Sr0.3TiO3であり、過剰なＡ部位材料の濃度が10モル％であるとすると、化学量論の前駆体溶液中に存在するはずの量より10%だけ多いバリウムと10%だけ多いストロンチウムとが存在する。同様に、過剰なＢ部位材料の濃度が10モル％であるとすると、化学量論の前駆体溶液に存在するはずの量より10%だけ多いチタンが存在する。
図２は、本発明のコンデンサの第２の実施態様を示す。すなわち、コンデンサ20は基板21と、絶縁層22と，付着層23と、第１電極24と、第２電極28と、バッファ層25および27と、誘電層26とを含む。層26は、好ましくは、強誘電材料または他の金属酸化物である。バッファ層25および27は、好ましくは、後述のように形成される、BST、例えば、Ba0.3Sr0.7TiO3などの低リーク誘電材料よりなる。バッファ層25および27として有用な他の材料としては、SiO2、Si3N4、Ta2O5、およびSrTiO3がある。低リークバッファ層25および27は、主要な誘電体26の電気リークが所望される程度より大きいときに用いられる。例えば、分極性の高い強誘電性材料を含む非揮発性メモリは、過度に高いリーク電流を有し得るため、低リークバッファ層25および27を用いることによって、コンデンサ20の全体的なリークを減少させることができる。
図３は、本発明の第３の実施態様を示す。すなわち、コンデンサ30は、基板31と、絶縁層32と，付着層34と、第１電極36と、第２電極38と、後述の方法により形成される誘電材料37とを含む。さらに、ポリシリコン層33と、好ましくは窒化チタンよりなるバリヤ層35とを含む。1993年12月10日に出願された同時係属米国特許出願第08/165,133号は、これらの層およびこれらの層を製造する方法を記載している。この出願は本明細書において参考として援用されている。この出願第08/165,133号はまた、付着層23およびその製造方法についても記載している。
上記の各層には他の材料もまた用いられ得る。例えば、絶縁層12、22、および32には窒化ケイ素が、基板11、21、および31には砒化ガリウム、アンチモン化インジウム、酸化マグネシウム、チタン酸ストロンチウム、サファイア、または石英が、および多くの他の付着層、バリヤ層、および電極材料が用いられ得る。さらに、図１〜図３は実際の電子装置の特定の部分の実際の断面図ではなく、本発明の構造および方法を、出来るだけより明瞭におよび十分に示すために用いられる理想化された表示にすぎない。従って、個々の層の相対的な厚さは比例的に示されてはいない。比例的に示すと、基板21および絶縁層22などの層が厚すぎるため図面が不格好になる。さらに、それぞれのコンデンサ10、20、および30は、好ましくは、集積回路19、29、および39の一部を形成し、集積回路はトランジスタまたは他のコンデンサなどの他の電子装置も含む。これらの他の電子装置は明瞭化のためにここでは示していない。さらに、誘電層15、26、および37は、コンデンサと同様に、強誘電性FETなどの他の装置にも組み込まれ得る。
図４は、本発明のコンデンサ10、20、および30を製造する方法を示すフローチャートである。この方法について、図１の実施態様に関して説明するが、他の実施態様に関する場合も同様に良好に説明され得る。ステップP41では、第１電極14が、好ましくは、当該分野では既知のプラチナのスパッタリングによって基板13に堆積される。
ステップP42では、後でステップP45で使用され、最終的には誘電層15を形成する、過剰な化学量論による量のＡ部位およびＢ部位材料を含むBST溶液が調製される。ステップP42は誘電層15の堆積の直前に終了させてもよいが、一般には、これよりかなり前に行われる。溶液調製ステップP42およびP44は、好ましくは、アルゴン雰囲気などの不活性雰囲気下で行われる。BST溶液は、過剰なＡ部位材料は加えずに、Ｂ部位材料のみを含むように調製し得る。
本発明の１つの重要な特徴は、特定の濃度の過剰なＡ部位およびＢ部位材料を容易に添加し得ることである。ドーピングなどの方法を利用する従来の方法では、実現される正確なドーパントレベルは、本発明の方法を用いて実現されるドーパントレベルに比べると、予測可能性および均一性が著しく低い。これはスパッタリングなどの従来の方法は生来的に不規則性を有するからである。従来の方法では、測定を製造した後、どのような濃度が得られたかを調べるためにこの装置を試験する。これに対して、本発明の方法では、正確で均一で反復可能な濃度の過剰なＡ部位およびＢ部位材料を用いて構成要素を製造することが可能であり、これらの濃度は容易に得られる。本発明が従来の方法よりはるかに容易に製造し得ることは明瞭である。
BSTストック溶液は、米国特許第5,514,822号に概略的に記載されている前駆体であるが、さらに詳しく後述するように、米国特許第5,514,822号の溶液と本発明の溶液との間にはいくつかの相違がある。これらのBST溶液は、典型的には、バリウムを2-メトキシエタノールおよび2-エチルヘキサン酸と反応させ、ストロンチウムを添加し、この混合物を冷却し、チタンイソプロポキシドおよび2-メトキシエタノールを添加することによって調製される。
本発明の前駆体は、過剰量のＡ部位およびＢ部位材料が添加されている点で、米国特許第5,514,822号の前駆体とは異なる。特に、2-メトキシエタノールに過剰なバリウムが添加され、2-メトキシエタノールに2-エチルヘキサン酸および過剰なチタンイソプロポキシドが添加され、これにより、過剰なＡ部位およびＢ部位材料を有する非化学量論のブレンドが形成される。過剰なバリウムは混合されて、約0.01〜100モル％の範囲の過剰なＡ部位材料の濃度を実現し、過剰なチタンは混合されて、約0.01〜100モル％の範囲の過剰なＢ部位材料の濃度を実現する。混合溶液は加熱され、約0.33モルの最終的なBST濃度が得られる。前駆体溶液の形成には他の有機錯体を用い得る、有機錯体としては、バリウムアルコキシド、ストロンチウムアルコキシド、およびチタンアルコキシド；バリウムカルボキシレート、ストロンチウムカルボキシレート、およびチタンカルボキシレートがある。特に好適なアルコキシドおよびカルボキシレートとしては、2-エチルヘキサン酸バリウム、2-エチルヘキサン酸ストロンチウム、およびチタンイソプロポキシド；2-エチルヘキサン酸バリウム、2-エチルヘキサン酸ストロンチウム、および2-エチルヘキサン酸チタン；バリウムネオデカノエート、ストロンチウムネオデカノエート、およびチタンイソプロポキシド；バリウムネオデカノエート、ストロンチウムネオデカノエート、およびチタンネオデカノエート；バリウムオクタノエート、ストロンチウムオクタノエート、およびチタンオクタノエートがある。
ステップ42の後、溶媒交換ステップP44が実行される。このステップは非常に有用ではあるが、必ずしも必要ではない。この溶媒交換は、主に、ストック溶液を製造するのに好都合なおよび／または良好に保存される前駆体を作製する最初の溶媒を、適用される方法、例えば「スピンオン」方法にとって適切な粘度を有する溶媒に置き換える。本明細書において適切な粘度とは、好ましくは、ストック溶液より低い粘度を意味する。この溶媒交換では、最も好ましくは、BSTストック溶液の2-メトキシエタノール溶媒がキシレンに置き換えられる。従って、ストック溶液にキシレンが添加され得、次に撹拌しながら約130℃に加熱して、2-メトキシエタノールのような他のストック溶媒を蒸発させる。この溶媒変換ステップは非常に有用ではあるが、必要ではない。n-ブチルアセテートもまた溶媒として良好に作用し、溶媒交換でキシレンの代わりに用いられ得る。
この液状前駆体を形成する方法によれば、BSTに添加すべき過剰なＡ部位およびＢ部位材料の量が極めて正確に得られ、溶媒交換ステップまたは他の混合ステップで完全に撹拌することにより、BST全体に過剰なＡ部位およびＢ部位材料が確実に均一に分散される。
このプロセスでカルボキシレートを用いることにより、ゲルが形成されないため、結果が著しく向上する。これを用いない場合は、ゲルの形成により、過剰なＡ部位およびＢ部位材料がBSTに混合および均一に分散するのが妨害される傾向があり得る。キシレン、n-ブチルアセテート、および2-メトキシエタノールなどの、前駆体を作製するのに用いられる液状化学薬品のすべては、好ましくは、半導体グレードの化学薬品である。半導体グレード化学薬品とは半導体分野では周知の用語である。
ステップP45では、ステップP44からの前駆体溶液が基板18に塗布される。この処理ステップは、好ましくは、前駆体溶液を基板18に塗布し、基板18を約1000RPM〜2000RPMで約20〜60秒の範囲の時間にわたって回転させることにより行われる。他の塗布方法もまた用いられ得る。例えば、米国特許第5,456,945号に記載されているような、別のミスト堆積法を用いることが可能である。
ステップP46およびP47では、前駆体は、基板18上に金属酸化物の誘電材料15を形成するように処理される。この処理ステップは、好ましくは、ステップP45から得られたものを乾燥およびアニールすることによって行われる。ステップP46では、前駆体は、好ましくは乾燥空気または窒素中で、好ましくは従来の方法に比べて比較的高い温度、例えば、約100℃〜500℃で、約１分〜約30分の範囲の時間、乾燥される。最も好ましくは、乾燥は、空気中で約400℃で約２〜10分の範囲の時間にわたって行われる。この高温乾燥ステップは、過剰なＡ部位およびＢ部位材料が添加されたBSTに予測可能な特性を与えるためには不可欠である。
ステップP47では、乾燥した前駆体はアニールされ、誘電層15を形成する。このアニーリングステップは、後のアニーリングステップと区別するために第１のアニーリングと呼ぶ。第１のアニーリングは、好ましくは、約600℃〜850℃の温度で酸素中で行われる。このステップは、最も好ましくは、10分間の炉への「押し入れ」、10分間の炉からの「引き出し」を含む押し入れ／引き出し法で、約800℃の温度で約60分間、O2中で行われる。予測可能な誘電層を得るためには、アニーリング温度および時間を注意深く制御することもまた不可欠である。
ステップP48では、第２電極16が上述のように堆積される。次に装置をパターニングする。このパターニングは、第１電極の堆積後にパターニングが行われている場合は、第２電極のパターニングのみを包含する。第２のアニーリングステップP50の前に装置をパターニングして、パターニング応力をアニーリングステップによって除去し、パターニングにより生じる酸化物損傷を補正することが重要である。
ステップP50の第２のアニーリングステップは、好ましくは、ステップP47の第１のアニーリングと同じ温度で行われる。ただし、上述のように選択され得る過剰なＡ部位およびＢ部位材料に依存して、第１のアニーリング温度に対して約50℃〜100℃の間の狭い温度範囲内での変動は可能である。第２のアニーリングの時間は、好ましくは、第１のアニーリングの時間より短く、一般には約30分であるが、試料により、約20〜90分の範囲の時間が可能である。この場合も、予測可能な結果を得るためには、アニーリングパラメータの注意深い制御が重要である。最後に、ステップP51において、装置は完成し評価される。
誘電材料において良好で予測可能な結果を得るために重要な他の要因としては、前駆体の作製において高純度のバリウム、ストロンチウム、およびチタンを用いることがある。通常は、市場において「高純度」のバリウム、ストロンチウム、およびチタンと呼ばれるものは、存在度のより高い元素に対して、104個の原子中に１個から105個の原子中に１個の不純物という不純物レベルを有する。この高さの不純物レベルは、本明細書では、「R&Dグレード」材料と呼ぶ。このようなR&Dグレード材料により作製される前駆体溶液は、本発明で用いられる材料に対しては十分に予測可能な結果を提供しない。本発明の方法は、もっと高い純度、すなわち、１つの元素に対して105個の原子中に１個より少ない不純物、つまり10ppmより少ない不純物を有する材料を用いることが必要である。
従って、本発明のさらに別の特徴は、金属酸化物の前駆体は、好ましくは、各不純物元素に対して10ppmより少ない不純物を含有することである。不純物の量が比較的少ないことにより、多くの場合、最良の結果が与えると考えられる。R&DグレードのBSTに含まれる通常レベルの不純物は、所望の誘電特性を妨害し得る。さらに、少量の不純物でも電気特性に著しい差が生じ得るため、結果が予測可能であるためには、材料は、好ましくは、各不純物元素に対して10ppmまたはそれ以下の不純物とすべきである。
実施例
以下の実施例により、本発明を実行するために用いられ得る好適な方法および材料について述べるが、本発明はこれらの実施例に限定されない。
実施例１：試薬の純度の測定
表１は、高純度の前駆体溶液およびR&Dグレードの前駆体溶液に対して測定された不純物レベルをppmで示す。空白の部分は該当する不純物が特定されなかったことを示す。
0003879015.tif 000002
表１に示すように、「高純度」溶液は、いかなる不純物元素も4.3ppmより高い濃度で含有しておらず、すべての不純物の総量は僅か約13ppmであった。R&Dグレードの溶液は、これより10〜100倍高い不純物レベルであった。好ましくは、本発明で使用するためには、ほとんどの不純物の不純物レベルは1ppmかそれ以下である。
実施例２：過剰なＡおよびＢ部位材料を用いることによる電極上へのBST膜の作製
本発明の方法に従って、Ａ部位およびＢ部位材料を添加した様々な試料を作製した。
2-メトキシエタノール中に0.33MのBST(Ba0.7Sr0.3TiO3)を含有する標準ストック溶液に、過剰なＢ部位材料として10モル％のチタンおよび過剰なＡ部位材料として０モル％のバリウムを添加した。
ＡおよびＢ部位材料の添加の後、混合液でのキシレン交換を行った。キシレンが、2-メトキシエタノールに置き換わるのに十分な量で混合液に導入し、溶液を約130℃に加熱して、溶媒の非キシレン画分を蒸発させた。過剰なＡおよびＢ部位材料を無視すれば、最終的な前駆体溶液における、キシレン中のBSTの濃度は0.32Mであった。
前駆体を不活性雰囲気下で基板14に塗布し、1500RPMで約30秒間回転させ、空気中でホットプレートに載せて400℃で２分間乾燥させ、10分間の押し入れおよび10分間の引き出しを含めて70分間、酸素中で750℃でアニールした。BST層15の最終的な厚さは1600Åであった。
プラチナ上部電極16をスパッタリングにより堆積し、パターニングした。次にコンデンサ10を再び、10分間の押し入れおよび引き出しを含めて30分間、酸素中で750℃でアニールした。
上記で用いた０％のＡ部位材料を異なる量のＡ部位材料に置き換えることによって、他の２つの試料に対して上記の方法のステップを繰り返した。バリウムを、化学量論による量の1%および3%に等しい量で、過剰のＡ部位材料として添加した。
３個の資料の電気特性を標準的な方法に従って、測定した。図５は、このようにして評価された３個の資料のでき特性の比較を示す。図５の結果は、目盛を左側に示す誘電率εの実数部分（白丸で示す）、および目盛を右側に示す散逸率tanδ（黒丸で示す）を示す。両縦軸に対する横軸は、モル％で示す過剰なＡ部位バリウムの含有量である。誘電率は過剰なＡ部位バリウムの増加と共に着実に上昇し、一方、散逸率は僅かに下降するかまたはほぼ同じ維持される。
実施例３：過剰なＢ部位材料を用いることによる電極上へのBST膜の作製
本発明の方法に従って、過剰なＢ部位材料を前駆体溶液に添加した様々な試料を作製した。
2-メトキシエタノール中に0.33MのBST(Ba0.7Sr0.3TiO3)を含有する標準ストック溶液に、過剰なＢ部位材料として１モル％のチタンを添加した。
Ｂ部位材料の添加の後、混合液でのキシレン交換を行った。キシレンが、2-メトキシエタノールに置き換わるのに十分な量で混合液に導入し、溶液を約130℃に加熱して、溶媒の非キシレン画分を蒸発させた。過剰なＢ部位材料を無視すれば、最終的な前駆体溶液のモル濃度は0.32Mであった。
前駆体を不活性雰囲気下で基板18に塗布し、1500RPMで約30秒間回転させ、空気中でホットプレートに載せて400℃に２分間乾燥させ、10分間の押し入れおよび10分間の引き出しを含めて70分間、750℃でアニールした。BST層15の最終的な厚さは1600Åであった。
上部電極16を堆積し、パターニングした。次にコンデンサ10を再び、10分間の押し入れおよび引き出しを含めて30分間、酸素中で750℃でアニールした。
上記で用いた１％のＢ部位材料を異なる量のＢ部位材料に置き換えることによって、他の４つの試料に対して上記のステップを繰り返した。これらの４つの追加の試料は、過剰なＢ部位材料としてのチタンを０モル％（コントロール）、３モル％、５モル％、および10モル％の濃度で添加することによって作製した。これら合計５つの試料の第１のセットを、最初の濃度（1%）の試料の場合と同様の方法で750℃でアニールした。
第１のセットと同じ濃度の５つの試料の第２のセットを、上記と同じ過剰なＢ部位材料の濃度を用いて作製し、この場合は800℃でアニールした。
10個の試料の電気特性を標準的な方法に従って測定した。図６は、このようにして評価された10個の試料の電気特性の比較を示す。図６の結果は、目盛を左側に示す誘電率εの実数部分、および目盛を右側に示す散逸率tanδを示す。両縦軸に対する横軸は、モルパーセントで示す過剰なＢ部位チタンの含有量である。750℃でアニールされた試料の測定結果は白丸で、800℃でアニールされた試料の測定結果は黒丸で示す。誘電率は過剰なＢ部位チタンの増加と共に着実に上昇し、一方、散逸率は僅かに上昇するかまたはほぼ同じに維持される。アニール温度により誘電率εは著しく変化するが、散逸率tanδはほとんど変わらない。
図１に示すようなコンデンサ10の３個の試料の第３のセットも作製した。このセットの２つの試料では、酸化ジスプロシウムDy2O3と酸化クロムCr2O3との混合物を、Ba0.7Sr0.3TiO3中のドーパント材料とした。Dy2O3をＡ部位ドーパントとみなし、Cr2O3をＢ部位ドーパントと見なす。第１の試料では、Dy2O3−Cr2O3ドーパントの量の0.4モル％であった。すなわち、Dy2O3が0.4モル％、Cr2O3が0.4モル％であった。第２の試料では、Dy2O3−Cr2O3ドーパントの量は1.0モル％であった。第３の試料では、ドーパントは第２の試料と同じであるが、この場合は、さらに第２のＢ部位ドーパントであるチタンを1.0モル％添加した。各々の場合において、ストックBST溶液は、上述のように作製された0.5MのBST溶液（R&Dグレード）であり、n-ブチルアセテートにより0.3Mに希釈した。例えば、2mlの上記のBST溶液を1.3mlのn-ブチルアセテートに添加して、最終的なBST前駆体溶液を生成した。このドーパント溶液は、上記３つのドーパント前駆体に対して、各々、グラム当たり約0.1109ミリモルのDy、0.0366ミリモルのクロム、および0.9144ミリモルのチタンと共に、2-エチルヘキサン酸金属をキシレンに溶解させたものであった。溶液を1600rpm〜2000rpmの間で回転し、コート当たり約700Å〜900Åの膜を形成した。乾燥ステップP46は、空気中でホットプレートに載せて400℃で２分間実行した。第１のアニールステップP47は、O2中で750℃で80分間、第２のアニールステップP50は、O2中で750℃で30分間行った。これらの試料の誘電体15の厚さは1440Å〜1510Åであった。
これら３つの試料を試験して、ドーピングを行っていない試料と比較した。この結果を図７に示す。この図では、誘電率（丸で示す）およびアンペア/cm2で示す電流密度Ｊ（四角で示す）が、モル％で示すDy2O3−Cr2O3ドーパントの濃度の関数として描かれている。黒丸および黒四角はチタンをドープした試料を示す。Dy2O3−Cr2O3ドーピングに対する誘電率および電流密度は、Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜に対して得られる結果から少し変動するだけであるが、チタンＢ部位ドーパントを添加すると電流密度が著しく向上する。すなわち、誘電率を測定可能な程度に変化させずに、ほぼ10のファクターだけ低下する。このこともまた、Ｂ部位チタンドーピングを用いると、金属酸化物の電気特性が最適化され、集積回路で使用するのに実用的な金属酸化物の薄膜の製造が可能であることを示す。
以上、過剰なＡ部位およびＢ部位材料を添加してBSTなどの金属酸化物を用いて集積回路のコンデンサを製造する新しい構造および方法について述べた。図面に示し、本明細書に記載した特定の実施態様は、例示的なものであって、本発明を制限するように意図されてはいない。例えば、図１のコンデンサ10に関して述べた材料および方法は、図３のコンデンサまたはコンデンサの他の多くの変形例などの他のコンデンサ構成と共にも用いられ得る。または、図２のバッファ層25および27は、図１および図３のコンデンサおよび他のコンデンサ構成と組み合わせても用いられ得る。これらの構成および方法は、他の広い範囲の構成および方法と組み合わせ得る。等価の材料、異なる材料厚さ、ならびに基板および電極層を堆積する他の方法も用いられ得る。また、上述の方法のステップは場合によっては異なる順序で行われる得ること、または上述の構造および方法の代わりに、等価の構造および方法を用い得ることも明らかである。
上述の好適な実施多様は、本発明の真の範囲および精神から逸脱することなく様々に改変され得ることは当業者には理解され得る。従って、本発明者らは、本発明における自らのすべての権利を保護するために、本発明を同等物の原則に依拠させることを表明する。
【図１】
0003879015.tif 000003
【図２】
0003879015.tif 000004
【図３】
0003879015.tif 000005
【図４】
0003879015.tif 000006
【図５】
0003879015.tif 000007
【図６】
0003879015.tif 000008
【図７】
0003879015.tif 000009