(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象面に垂直入射される照射光からの散乱光を受光素子の受光面で捉えて前記測定対象面の変位を測定する変位測定装置において、
前記垂直入射される照射光により前記測定対象面に形成される照射点（Ｐ）を一定の範囲で走査する走査手段（２）と、前記照射点を挟んで対向する位置に前記照射点から等距離に設けられている一対の受光手段（６）と、を有し、
前記各受光手段は、
受光素子（９）と、複数の球面集束型の集光レンズを有し、前記散乱光を集束させるレンズアレイ（７）と、前記集束された照射光を前記受光素子の受光面上に結像させる球面集束型の結像レンズ（８）と、をそれぞれ備えていることを特徴とする変位測定装置。
【請求項２】
前記レンズアレイにおいては、前記集光レンズの各光軸は平行であり、複数の前記集光レンズは前記各光軸と直交する一直線上に配置されており、該集光レンズの各々の焦点距離は略等しく、且つ、前記照射点からの散乱光を集束させることを特徴とする請求項１記載の変位測定装置。
【請求項３】
前記一対の受光手段（６）に含まれる各受光素子（９）の受光面に結像された前記照射光の位置に基づき前記測定対象面の変位信号を出力する変位測定手段（１０）を備えることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の変位測定装置。
【請求項４】
前記変位測定手段（１０）は、
前記一対の受光手段（６）に含まれる各受光素子（９）の各受光面上での結像位置に応じて得られた該各受光素子の照射光に対し対称な位置の出力電気信号同士を予め合計する２つの電流電圧変換部（１１）と、
該電流電圧変換部で得られた各々の電気信号を加算する加算部（１２）と、
前記電流電圧変換部で得られた各々の電気信号を減算する減算部（１３）と、
該減算部で得られた電気信号を前記加算部で得られた電気信号で除算する除算部（１４）と、
を具備することを特徴とする請求項３記載の変位測定装置。
【請求項５】
前記変位測定手段（１０）は、
前記一対の受光手段（６）に含まれる各受光素子（９）の各受光面上での結像位置に応じて得られたそれぞれ一対の電気信号を加減演算する加減演算部（１２，１３）と、該加減演算部で前記各変位が加算された加算信号と前記加減演算部で前記各変位が減算された減算信号に基づいて除算を行う除算部（１４）と、を前記各受光手段ごとに有するとともに、
前記各除算部で除算された値に対応する各変位信号及び前記除算された値の平均値に対応する変位信号の入力を受け、いずれかの変位信号を出力するように切替自在な切替手段（１７）と、
前記各加算信号が所定の基準値を満たしているか否かを判定するレベル判定手段（１５）と、
該レベル判定手段における判定結果に基づき前記切替手段に入力される前記各変位信号のうち適切なものを選択的に切り替えて出力する選択手段（１６）と、
を具備することを特徴とする請求項３記載の変位測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光による三角測量を利用して測定対象物の変位を非接触で測定する変位測定装置に係り、特に測定対象の凹凸により反射光が遮光される測定対象面があっても変位量を測定できる変位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光を用いて測定対象面の高さ変位（凹凸）を測定する場合、図９に示すように、投光器５１からレーザビームを測定対象物５２の表面に照射し、その照射点Ｐの像Ｋを結像レンズ５３によって受光素子５４の受光面上に結像させる三角測量方法による変位測定装置が用いられている。
【０００３】
この受光素子５４は、受光面上の結像点Ｋの縦方向（投光器５１のビームと結像レンズ５３の光軸とで形成される面と同じ方向）の位置に対応した信号を出力するように構成されており、照射点Ｐの高さ方向の変位に対する結像点Ｋの移動軌跡に受光面が一致する角度に配置されている。
【０００４】
この変位測定装置に対して測定対象物５２を投光器５１のビームの光軸と結像レンズ５３の光軸とで形成される面と直交する方向に相対移動し、照射点Ｐが高さ方向に動くと（照射点Ｐ’又は照射点Ｐ”）、受光素子５４の受光面の結像点Ｋの位置がこれに対応するように移動して（結像点Ｋ’又は結像点Ｋ”）、受光素子５４からの信号も結像点Ｋの変位に応じて変化する。この信号の変化量から測定対象面の高さ方向の変位を検出することができる。
【０００５】
ところが、上記変位測定装置は、測定対象物５２を高さ方向に垂直なＸ軸方向とＹ軸方向とに相対移動させる機構を有している。この機構は、通常モータ等を駆動源とする低速なものであるので、測定対象物５２の表面全体に渡って細かいピッチで測定しようとすると、測定時間が非常に長くなってしまう。
【０００６】
このため、近年では、図１０に示すような走査型の変位測定装置１００を用いて、測定対象物１１０の移動のうち、Ｘ軸又はＹ軸方向のいずれか一方のみを移動するだけで測定できるようにしている。図１０は、その走査型の変位測定装置１００の概略斜視図である。
【０００７】
この走査型の変位測定装置１００の投光系では、光源１０１から放射されるビームを振動ミラー型等の偏向装置１０２によって一定角度内の範囲で偏向させ、この偏向されたビームをレンズ１０３によってその光軸が一平面上で平行に移動するビームにする。そして、そのビームを測定台１１１上に載置されている測定対象物１１０の表面１１０ａに所定の入射角度により照射し、その照射点Ｐを直線的に往復走査又は片道走査する。
【０００８】
照射点Ｐを直線的に往復走査又は片道走査されたビームは、入射角度と同じ角度で受光系に正反射され、その照射点Ｐの像を第１円筒面レンズ（シリンドリカルレンズ）１０４及び第２円筒面レンズ１０５によって受光素子１０６の受光面１０６ａに結像される。この変位測定装置１００では、測定対象面１１０ａが鏡面のように反射率が高い場合は、照射点Ｐで反射される光の殆どが、照射点Ｐを対称にして入射角度と同じ角度で受光系に反射される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述したように、受光系に円筒面レンズ１０４，１０５を用いた従来の走査型の変位測定装置１００では、測定対象面１１０ａが粗面であるため反射率が低く、照射点Ｐからの光が散乱して拡がった場合には、受光素子１０６の受光面１０６ａの像がぼけてしまい、測定精度が著しく低下するという問題点がある。
【００１０】
即ち、円筒面レンズ１０４，１０５は、基本的にレンズの円筒面の周方向に対してのみ集束性を示し、他の方向には集束性はない。このため、図１１（ａ）に示すように、照射点Ｐで反射，散乱した光のうち第１円筒面レンズ１０４の円筒面の周方向に拡がった光は、第１円筒面レンズ１０４で集束されて第２円筒面レンズ１０５に入射され、第２円筒面レンズ１０５で受光素子１０６の受光面１０６ａの幅方向の中心へ向かうように偏向されて、受光面１０６ａ上に像Ｋを結ぶ。
【００１１】
これに対し、図１１（ｂ）に示すように、照射点Ｐで反射，散乱した光のうち第１円筒面レンズ１０４の円筒面の軸方向に拡がった光は、第１円筒面レンズ１０４では全く集束されずに拡がったままで第２円筒面レンズ１０５へ入射される。このため、受光素子１０６の受光面１０６ａ上の像Ｋは受光面１０６ａ幅方向に伸びた直線になる。
【００１２】
しかも、照射点Ｐの像を焦点距離の短い第１円筒面レンズ１０４だけで絞り込むようにしているため、第１円筒面レンズ１０４の収差により、受光素子１０６の受光面１０６ａ上の結像パターンは、図１２に示すように横長の長円状にぼやけてしまう。これにより、受光素子１０６から出力される信号のＳ／Ｎが低下し、測定表面の変位を高い精度で測定することができない問題点を生じる。
【００１３】
さらに、図１３に示すように、測定対象物１１０の測定対象面１１０ａに凹凸があり、所定の段差１１０ｃを有していることがある。このような形状では、投光系から放射されたビームが所定の入射角度により照射し入射角度と同じ角度で受光系に正反射される際に、この段差１１０ｃで遮られることがある。この場合、段差１１０ｃ付近の変位を測定できなかった。
【００１４】
本発明は、上記欠点を除くためになされたものであって、その目的は、測定対象面の表面状態にかかわらず、高精度の変位測定を行うことにある。また、他の目的は、受光面の幅方向の収差をなくして結像させることにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１記載の変位測定装置は、
測定対象面に垂直入射される照射光からの散乱光を受光素子の受光面で捉えて前記測定対象面の変位を測定する変位測定装置において、
前記垂直入射される照射光により前記測定対象面に形成される照射点Ｐを一定の範囲で走査する走査手段２と、前記照射点Ｐを挟んで対向する位置に前記照射点Ｐから等距離に設けられている一対の受光手段６−１，６−２と、を有し、
前記各受光手段６−１，６−２は、
受光素子９と、複数の球面集束型の集光レンズを有し、前記散乱光を集束させるレンズアレイ７と、前記集束された照射光を前記受光素子９の受光面上に結像させる球面集束型の結像レンズ８と、をそれぞれ備えていることを特徴としている。
【００１６】
また上記レンズアレイにおいては、前記集光レンズの各光軸は平行であり、複数の前記集光レンズは前記各光軸と直交する一直線上に配置されており、該集光レンズの各々の焦点距離は略等しく、且つ、前記照射点Ｐからの散乱光を集束させることとしてもよい。
【００１７】
更に、上記変位測定装置に、前記一対の受光手段６−１，６−２に含まれる各受光素子９の受光面に結像された前記照射光の位置に基づき前記測定対象面の変位信号を出力する変位測定手段１０を備えることとしてもよい。
【００１８】
また、前記変位測定手段１０は、
前記一対の受光手段６−１，６−２に含まれる各受光素子９−１，９−２の各受光面上での結像位置に応じて得られた該各受光素子９−１，９−２の照射光に対し対称な位置の出力電気信号同士を予め合計する２つの電流電圧変換部１１ａ，１１ｂと、
該電流電圧変換部１１ａ，１１ｂで得られた各々の電気信号を加算する加算部１２と、
前記電流電圧変換部１１ａ，１１ｂで得られた各々の電気信号を減算する減算部１３と、
該減算部１３で得られた電気信号を前記加算部１２で得られた電気信号で除算する除算部１４と、を具備する構成としてもよい。
また、前記変位測定手段１０は、
前記一対の受光手段６−１，６−２に含まれる各受光素子９−１，９−２の各受光面上での結像位置に応じて得られたそれぞれ一対の電気信号を加減演算する加減演算部１２，１３と、該加減演算部１２，１３で前記各変位が加算された加算信号と前記加減演算部１２，１３で前記各変位が減算された減算信号に基づいて除算を行う除算部１４，１４と、を前記各受光手段６−１，６−２ごとに有するとともに、
前記各除算部１４で除算された値に対応する各変位信号及び前記除算された値の平均値に対応する変位信号の入力を受け、いずれかの変位信号を出力するように切替自在な切替手段１７と、
前記各加算信号が所定の基準値を満たしているか否かを判定するレベル判定手段１５，１５と、
該レベル判定手段１５，１５における判定結果に基づき前記切替手段１７に入力される前記各変位信号のうち適切なものを選択的に切り替えて出力する選択手段１６と、を具備する構成としてもよい。
【００１９】
上記構成によれば、測定対象物２０の測定対象面２０ａに垂直入射される照射光は走査手段４により一定の間隔で走査される。この照射光の散乱光は照射点Ｐを挟んで対向する位置に前記照射点Ｐから等距離に設けられた一対の受光手段６−１，６−２でそれぞれ検出される。この一対の受光手段６−１，６−２は、受光素子９−１，９−２と、走査される照射点Ｐからの散乱光を、前記各照射点Ｐに対応する位置で走査方向と直交する方向に集束させるレンズアレイ７−１，７−２と、集束された照射光を前記受光素子９−１，９−２の受光面ａ上に結像させる球面集束型の結像レンズ８−１，８−２で構成されている。
これにより、測定対象面２０ａ上の段差２０ｃ等で一方の受光手段６−１側で散乱光が検出できない場合であっても、他方の受光手段６−２側で散乱光を受光し変位量を測定出力することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明による変位測定装置の実施の形態を示す概略斜視図、図２は同側面図である。変位測定装置１は、測定光を走査して出射する走査光学系２と受光手段である一対の受光光学系６（６−１，６−２）とで大略構成されている。
走査光学系２は、レーザダイオード３と、レーザダイオード３から放射されるレーザ光を屈曲させ測定対象物２０に導く回転ミラー型又は振動ミラー型の偏向装置４と、偏向装置４から放射された光（投光ビーム）を固定された測定台２１上に載置されている測定対象物２０に集束させるレンズ５を有する。
【００２１】
一方、受光光学系６（６−１，６−２）は、測定対象面２０ａ上で走査される照射点Ｐにより形成される移動軌跡（走査方向）ＰＬを中央として互いに対称な位置にそれぞれ設けられている。
各受光光学系６（６−１，６−２）は、レンズアレイ７（７−１，７−２）と球面集束型の結像レンズ８（８−１，８−２）と受光素子９（９−１，９−２）で構成されている。
【００２２】
レンズアレイ７は、互いに等しい焦点距離ｆ１（例えば２０ｍｍ）を有する複数（図１に図示の例では５個）の集光レンズ部７ａ〜７ｅが一列に並ぶように合成樹脂あるいはガラスで一体形成されている。
【００２３】
各集光レンズ部７ａ〜７ｅは、それぞれ、走査光学系２から放射される投光ビームの走査幅寸法（３０ｍｍ）内に複数個並ぶように、少なくともその並列方向に沿った幅が走査幅より短い（１個が例えば６ｍｍ）略矩形状の外形を有する。
また、各集光レンズ部７ａ〜７ｅは、その光軸に直交する一方の面が球面状に形成された球面集束型のレンズ部となっている。各光軸はそれぞれ平行で且つその光軸に直交する線上に連続して一列に並ぶように側面同士を密着させた状態で一体化されている。
【００２４】
レンズアレイ７は、各集光レンズ部７ａ〜７ｅの光軸が測定対象物２０の表面２０ａ上に走査される照射点Ｐ（移動軌跡ＰＬ）と交わるように配置されている。また、図２に示すように、レンズアレイ７は、その長手方向が照射点Ｐの移動軌跡ＰＬと平行になるように配置されている。
各レンズアレイ７は、偏向装置４から測定対象面２０ａへの垂直な光軸を対象にして、所定角度の広がりをもって配置されている。照射点Ｐからレンズアレイ７までの距離は焦点距離ｆ１とほぼ等しくなる位置に配置されている。なお、ここで球面集束型のレンズとは、光をその光軸の周りに均等に絞り込むことができるレンズである。
【００２５】
結像レンズ８は、走査光学系２から放射されるビームの走査幅寸法（３０ｍｍ）より大きい径を有し、その光軸方向に平行に入射した光が一転に結像されるように設計されている。なお、この面はレンズアレイ７からの光が入射する範囲に対応した部分のみを切り出した形状にしてもよい。
【００２６】
結像レンズ８は、その光軸がレンズアレイ７の中央の集光レンズ部７ｃの光軸と一致するように、結像レンズ８の設計上平行光を入射させる面とレンズアレイ７の球面は対面して配置されている。
【００２７】
各受光素子９（９−１，９−２）は、矩形状の受光面９ａの中心が結像レンズからその焦点距離ｆ２離れた位置で結像レンズ８の光軸と交わっている。受光面９ａに結像される結像点Ｋは、測定対象面２０ａの変位（凹凸）に対応して受光面９ａ上を移動するようになっている。この結像点Ｋの移動方向を縦方向と称す。受光素子９は結像レンズ８の焦点までの距離ｆ２を維持するため、縦方向が水平方向に対し所定の傾きをもってそれぞれ配置されている。
【００２８】
縦方向に直交する受光面９ａの横幅は、レンズアレイ７の各集光レンズ部７ａ〜７ｅの走査方向の幅に、各集光レンズ部７ａ〜７ｅと結像レンズ８の焦点距離の比ｆ２／ｆ１（倍率）を乗じた大きさ（例えば集光レンズ部の幅が上述した通り６ｍｍで倍率が４のとき２４ｍｍ）に予め設定されている。
【００２９】
各受光素子９−１，９−２の縦方向の両端には電極が設けられており、この縦方向の移動量に対応した電流信号を出力するようになっている。具体的には、一方の受光素子９−１の両端からは、電流信号Ａ１及び変位が電流信号Ｂ１を出力するようになっている。同様に、他方の受光素子９−２の両端からは、電流信号Ａ２及び電流信号Ｂ２を出力するようになっている。電流信号Ａ１と電流信号Ｂ１の比率及び電流信号Ａ２と電流信号Ｂ２の比率は、受光面９ａに結像する結像点Ｋの縦方向の位置によって決まる。
【００３０】
図６は一対の受光素子９−１，９−２の出力に基づき測定対象物２０の変位を演算する電気的構成（変位測定手段１０）を示すブロック図である。
この変位測定手段１０は、加減演算部を構成する電流−電圧変換部１１，加算部１２及び減算部１３と、除算部１４を有している。電流−電圧変換部１１は、各受光素子９−１，９−２ごとに、入力された電流信号を電圧信号に変換する第１電流−電圧変換部１１ａ及び第２電流−電圧変換部１１ｂが並列接続されて構成されている。加算部１２は、各電流−電圧変換部１１ａ，１１ｂからの電圧信号を加算し、減算部１３は、各電流−電圧変換部１１ａ，１１ｂからの電圧信号を減算する。除算部１４は、加算部１２及び減算部１３から出力された信号を除算して変位信号Ｄを出力するようになっている。
【００３１】
次に、本実施の形態の作用について図２〜図６を用いて説明する。まず、不図示の駆動回路によりレーザダイオード３から偏向装置４へレーザ光が放射される。入射されたレーザ光（投光ビーム）は、図２に示すように、偏向装置４により測定台２１と平行な面内で測定台２１の搬送方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に片道又は往復走査される。
走査された投光ビームはレンズ５を介して集束され、測定台２１上に測定対象物２０の測定対象面２０ａに対して垂直に入射して測定対象面２０ａ上に照射点Ｐを形成する。投光ビームは、測定対象面が鏡面でない場合は、照射点Ｐから散乱する。
【００３２】
ここで、照射点Ｐが、例えば図３（ａ）に示すように、レンズアレイ７の集光レンズ部７ａに対向する範囲でその光軸より外側にある場合、照射点Ｐから反射，散乱した光は、主に集光レンズ部７ａによってほぼ平行なビームに集束され、結像レンズ８に対してその光軸に角度のある状態で入射される。
【００３３】
結像レンズ８は、集光レンズ部７ａからのビームを、その光軸の向きを変えて受光素子９の受光面９ａの一端側の位置に集束させる。レンズアレイ７の各集光レンズ部７ａ〜７ｅ及び結像レンズ８は、光を光軸の周りに均等に絞り込む球面集束型のレンズであるから、図４（ａ）に示すように、側方からみて照射点Ｐから散乱する光も集光レンズ部７ａ〜７ｅによってほぼ平行に集束され、結像レンズ８によって受光素子９の受光面９ａ上に集束される。
【００３４】
このため、各受光素子９−１，９−２の受光面９ａには、照射点Ｐの高さに正確に対応した位置に点状の像Ｋａが作られ、その位置に対応した電流信号が出力される。なお、照射点Ｐから他の集光レンズ部に入射する光も集束されて結像レンズに入射するが、これらの光は受光素子９の受光面９ａ上には結像されない。
【００３５】
また、ビームの走査によって照射点Ｐが、図３（ｂ）に示すように、レンズアレイ７の集光レンズ部７ａの光軸と交わる位置に来た場合には、照射点Ｐから反射，散乱した光は、主に集光レンズ部７ａによってほぼ平行なビームに集束され、結像レンズ８に対してその光軸に角度のある状態で入射される。このため、照射点Ｐの像Ｋａは、受光素子９の受光面９ａの幅方向のほぼ中心位置につくられる。
【００３６】
更にビームが走査されて照射点Ｐが、図３（ｃ）に示すように、レンズアレイ７の集光レンズ部７ａに対向する範囲内でその光軸により隣の集光レンズ部７ｂ寄りにある場合、照射点Ｐから反射，散乱した光は、主に集光レンズ部７ａによって集束され、結像レンズ８に対してその光軸に図３（ａ）の場合と逆な角度をもって入射する。このため、結像レンズ８は、受光素子９の受光面９ａの幅方向の他端側の位置で点状の像Ｋａをつくる。
【００３７】
このように、照射点Ｐの位置が集光レンズ部７ａ〜７ｅに対向する範囲内で一端から他端に移動すると、受光素子９の受光面９ａ上の像Ｋａの位置は、受光面９ａの幅方向の一端側から他端側に移動することになる。
【００３８】
また、ビームの走査にともなって、例えば図４（ｂ）に示すように照射点ＰがＰ’のように高さ方向にδだけ移動すると、受光素子９の受光面９ａ上の像がＫ’のようにずれてその位置に対応する電流信号が出力される。そして、この電流信号から照射点Ｐ’の基準面からの高さが検出され、照射点Ｐの高さとの差δも判る。
【００３９】
そして、図３（ｄ）に示すように、照射点Ｐが集光レンズ部７ａと集光レンズ部７ｂの境界部に対向する位置に来ると、その照射点Ｐからの光は、隣接する２つの集光レンズ部７ａ，７ｂによってそれぞれほぼ平行なビームに集束されて結像レンズ８に入射される。このため、受光素子９の受光面９ａの幅方向の両端に像Ｋａ，Ｋｂがつくられるが、この２つの結像点Ｋａ，Ｋｂの受光面９ａの縦方向に沿った位置はともに等しいので、受光素子９からは像が１つの場合と同様にその縦方向の位置に対応した電流信号が出力される。
【００４０】
ビームがさらに走査されて、図３（ｅ）に示すように、照射点Ｐが集光レンズ部７ｂに対向する範囲内まで移動すると、照射点Ｐから反射，散乱した光は、主に集光レンズ部７ｂによって集束され、結像レンズ８に対してその光軸に角度のある状態で入射する。そして、結像レンズ８は、受光素子９の受光面９ａの幅方向の一端側の位置で点状の像Ｋｂをつくる。
【００４１】
以下同様に、照射点Ｐが所定範囲（ここでは３０ｍｍ）を走査される間に、受光素子９の受光面９ａ上の像Ｋは、レンズアレイ７の集光レンズ部７ａ〜７ｅの数に等しい回数だけ幅方向に一端から他端まで移動しながら、測定対象物２０の表面２０ａの高さの変位に応じて縦方向に移動する。
そして受光素子９からは、測定対象物２０の表面２０ａの高さ変位に正確に対応した電流信号が出力され、この電流信号に基づいて各測定対象面２０ａの変位を測定することができる。
【００４２】
ここで、図７の側面図に示すように、照射点Ｐが測定対称面２０ａに形成される段差部２０ｃの近傍に位置した場合、一方の受光光学系６に散乱されるはずの光が凸部の側面により遮断される（図中点線で記載）。この場合、遮断により結像されなかった一方の受光素子９−１からは測定対象物２０の表面２０ａの高さ変位に対応した電流信号が出力されない。
しかしながら、他方の受光素子９−２には、上述した通り照射点Ｐの像Ｋが結像され、測定対象物２０の表面２０ａの高さ変位に正確に対応した電流信号が出力され、この電流信号に基づいて各測定対象面２０ａの変位を測定することができる。
【００４３】
上述のように出力された電流信号は、以下のように処理される。図６に示すように、電流信号Ａ１，Ａ２は、第１電流−電圧変換部１１ａに入力されて電圧信号に変換される。電流信号Ｂ１，Ｂ２は、第２電流−電圧変換部１１ｂの入力されて電圧信号に変換される。
第１電流−電圧変換部１１ａでは電流信号Ａ１とＡ２が、第２電流−電圧変換部１１ｂでは電流信号Ｂ１とＢ２がそれぞれ加算され、電圧信号Ａ，Ｂに変換される。変換された電圧信号Ａ，Ｂは、加算部１２と減算部１３にそれぞれ出力される。
【００４４】
加算部１２により加算された値Ａ＋Ｂと減算部１３により減算された値Ａ−Ｂは、ともに除算部１４に出力され、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）として算出され、変位信号Ｄとして出力される。
【００４５】
なお、図７の如く、照射点Ｐが測定対象面２０ａの段差部２０ｃ近傍に位置して一方の受光素子９−１には結像されなかった場合、例えば、その一方の受光素子９−１からは、電流信号Ａ１，Ｂ１は出力されないこととなる。この場合でも電流信号Ａ２，Ｂ２のみを電圧信号Ａ，Ｂに変換して加算部１２及減算部１３に入力してＡ２＋Ｂ２とＡ２−Ｂ２を算出し、アナログ形式の除算部１４で（Ａ２−Ｂ２）／（Ａ２＋Ｂ２）を算出して変位信号Ｄを算出することができる。このように、加算（Ａ２＋Ｂ２）及び減算（Ａ２−Ｂ２）された出力を除算部１４で除算する構成により、受光量の変動に影響されずに精度良い変位出力を得ることができるようになる。
【００４６】
ところで、上記構成の変位測定手段１０によれば、各受光素子９−１，９−２に対応する出力信号（電流信号）を予め加えてから加算及び減算を行った後に変位演算を行うため、除算部１４を１つにまとめることができ、低コスト化できる。
なお、第１電流−電圧変換部１１ａ、第２電流−電圧変換部１１ｂ、加算部１２、減算部１３は、オペアンプを用いて構成できる。また、除算部１４はＣＰＵを用いてデジタル処理する構成にすることもできる。
【００４７】
このように、実施形態の変位測定装置１では、受光光学系には球面集束型の結像レンズ８が走査光学系のビーム走査方向と平行に一列に連続した状態で並んでいるレンズアレイ７によって照射点からの光をほぼ平行なビームに集束し、このビームを球面集束型の結像レンズ８で受光素子９の受光面９ａ上に点状に集束させるようにしている。このため、測定対象物の表面が粗な場合でも、受光素子９の受光面９ａ上の像が広がってぼやけることがなく、精度の高い変位測定ができる。
【００４８】
また、ビームの走査範囲より径が大きい１つの球面集束型の集光レンズのみで照射点からの光をほぼ平行に集束して結像レンズ８へ出射する従来の方式に比べて、受光面９ａの幅が小さい受光素子９を用いることができるようになる。つまり、この種の受光素子９は、その幅が大きい程、応答速度が遅くなることが知られている。上記実施形態のように、小さな複数の集光レンズ部で照射点からの光を集束するように構成することで、受光面９ａの幅が小さく応答速度の速い受光素子９を用いることができる。これにより、走査速度を上げて受光素子９の信号出力に対する処理速度を上げることができ、測定時間を短縮することが可能となる。
【００４９】
図８は、上記変位測定手段１０の変形例を示すブロック図である。
上述した変位測定手段１０では、各受光素子９−１，９−２の対応する出力信号（電流信号）を加算した後に変位演算を行ったが、図８に示すように、各受光素子９−１，９−２からの出力信号ごとに変位演算を行う形式としてもよい。
具体的には、上述した変位測定装置１０において示した加減演算部と除算部とが各受光光学系６ごとに構成する。
【００５０】
この場合、各加算部１２における加算信号Ｌ１（Ａ１＋Ｂ１），Ｌ２（Ａ２＋Ｂ２）は、それぞれレベル判定手段１５に入力され、データＬ１，Ｌ２が所定の基準値に達しているか否かが判別される。基準値に達していると判定された場合は、判定結果が選択手段であるデコーダ１６に入力される。
【００５１】
判定結果により加算信号Ｌ１のみが基準値に達している場合、一方の受光素子９−１側の変位信号Ｄ１（（Ａ１−Ｂ１）／（Ａ１＋Ｂ１））を出力させる信号が切替手段１７に出力され、スイッチＳ１側に切り替わる。これにより変位信号Ｄ１が出力される。
一方、判定結果により加算信号Ｌ１及びＬ２がともに基準値に達している場合、他方の受光素子９−２側の変位信号Ｄ２（（Ａ２−Ｂ２）／（Ａ２＋Ｂ２））を出力させる信号が切替手段１７に出力され、スイッチＳ２側に切り替わる。これにより変位信号Ｄ２が出力される。
【００５２】
また、判定結果により加算信号Ｌ２のみが基準値に達している場合、各受光素子９−１，９−２の変位信号Ｄ１，Ｄ２の平均値Ｄ３を出力させる信号が切替手段１７に出力され、スイッチＳ３側に切り替わる。これにより平均化手段１８で平均化処理された平均値Ｄ３が出力される。
なお、加算信号Ｌ１，Ｌ２がともに基準値より低い場合、デコーダ１６は測定不能であるとしてアラーム信号を外部に出力し、変位出力は予め決められたある一定の値をとるようにする。
【００５３】
図８の変位測定手段１０によれば、各受光素子９−１，９−２にそれぞれ加算部１２及び減算部１３を設けた構成であり、ノイズレベルが増大することがなくＳ／Ｎ比が良好であり、変位測定精度を向上させることができる。特に、一方の受光素子にしか光が入らない又は受光量が低いときでも所定の精度を得ることができる。
【００５４】
上記実施形態では、ビームの走査範囲が３０ｍｍに対して、５つの集光レンズ部７ａ〜７ｅを有するレンズアレイ７を用いた構成であったが、これは本発明を限定するものではない。例えば、集光レンズ部をより小さくすれば（例えば幅２ｍｍ）、受光素子９の受光面９ａの幅をさらに小さくすることができ、受光素子９から出力される信号に対する処理速度をさらに上げることができる。
【００５５】
また、各集光レンズ部の焦点距離ｆ１と結像レンズ８の焦点距離ｆ２の比ｆ２／ｆ１を小さくすれば受光素子９の縦方向の長さも小さくできるが、このために結像レンズ８の焦点距離ｆ２を小さくすると収差が悪化し、集光レンズ部の焦点距離ｆ１を大きくすると受光量が低下するため、測定対象物の表面状態や測定に要求される精度等に応じて、各レンズの外径、焦点距離等を決定すればよい。
【００５６】
また、上記実施形態のレンズアレイ７は、複数の集光レンズ部が合成樹脂あるいはガラスで一体成形されたものを用いたが、個別につくられた複数の集光レンズを接着して一体化してもよく、また、各集光レンズを接着せずに隙間のない状態で一列に並べたものであってもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では、レンズアレイ７の各集光レンズ部および結像レンズ８を、一方の面が実際に球面状に形成されている球面集束型のレンズを用いていたが、光をその光軸の周りに均等にしぼり込むことができる球面集束型のレンズであればよく、両面が球面または非球面のレンズを用いてもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明による変位測定装置では、測定対象面から散乱された光を、投光器から垂直入射される光の照射点に対称に受光系を一対で設けることにより、特に、測定対象面上の段差などで、一方の受光系側の散乱光が遮蔽されるなどして十分な受光量が得られないときでも、他方の受光系で得られた受光量により変位測定でき測定精度を維持できるようになる。
【００５９】
また、両受光手段にレンズアレイを設けることにより、上記効果に加えて受光面の幅方向の収差をなくして結像させることができる。特に、測定対象面が粗な場合でも、受光素子の受光面上の照射点の像が広がってぼやけることがなく、しかも、受光面が小さく応答速度が速い受光素子を用いることができ、精度の高い変位測定を高速に行えるようになる。
【００６０】
更に、変位測定手段に、受光素子に対する出力信号を予め加えてから加算及び減算を行い、その後除算を行うため、受光量の変動があっても変位量を精度良く測定でき、除算部の構成が簡単で変位測定手段の低コスト化を図ることができる。
【００６１】
また、各受光手段ごとに加算，減算，除算を行い、各加算信号が所定の基準値を満たしているか否かを判定し、その判定結果に基づき除算により得られた変位信号を出力するように変位測定手段を構成することにより、ノイズレベルが増大することがなくＳ／Ｎ比が良好であり、変位測定精度を向上させることができる。特に、受光量が低いときでも所定の精度を得ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による変位測定装置の概略斜視図である。
【図２】本発明による変位測定装置の側面図である。
【図３】本発明による実施の形態の受光光学系における照射点の走査に対応した結像点を示した上面図である。
【図４】本発明による実施の形態の受光光学系における照射点に対応した結像点を示した側面図である。
【図５】本発明の実施の形態における変位測定装置の高さ方向の変位を示した側面図である。
【図６】本発明の実施の形態における変位測定手段を示したブロック図である。
【図７】測定対象物の照射点近傍に段差がある場合の散乱光の遮断状態を示す側面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態における変位測定手段を示したブロック図である。
【図９】従来の変位測定装置を示した概略斜視図である。
【図１０】従来の受光光学系における照射点に対応した結像点を示した図である。
【図１１】従来の変位測定装置の受光面に結像された結像点を示した図である。
【図１２】測定対象物の照射点近傍に段差がある場合の散乱光の遮断状態を示す側面図である。
【図１３】従来の変位測定装置における測定対象物の照射点近傍に段差がある場合の散乱光の遮断状態を示す側面図である。
【符号の説明】
１…変位測定装置、２…走査光学系、３…レーザダイオード、４…偏向装置、５…レンズ、６（６−１，６−２）…受光光学系、９（９−１，９−２）…受光素子、９ａ…受光面、１０…変位測定手段、１１…電流−電圧変換部、１２…加算部、１３…減算部、１４…除算部、１５…レベル判定手段、１６…デコーダ、１７…切替手段、１８…平均化手段、２０…測定対象物、７（７−１，７−２）…レンズアレイ、８（８−１，８−２）…結像レンズ、Ｐ…照射点、ＰＬ…走査方向（移動軌跡）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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