(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置であって、
上記第１の通電部材および／または第２の通電部材に冷却部材が取り付けられ、
上記第１の通電部材に、レーザチャンバからピーキングコンデンサへの熱伝導を抑制するための薄肉部および／または開口部が設けられている
ことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。
【請求項２】
上記冷却部材は冷媒を通流させる冷却管である
ことを特徴とする請求項１の放電励起ガスレーザ装置。
【請求項３】
ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置であって、
上記第２の通電部材は、薄板状部材からなり、
上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極が、上記薄板状部材に取り付けられ、
上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部が設けられている
ことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。
【請求項４】
ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置であって、
上記第２の通電部材は、チャンネル形状の薄板状部材からなり、
上記チャンネル形状の薄板状部材の底部が主放電電極に取り付けられ、
上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極が、チャンネル形状の上記薄板状部材の対向部に取り付けられ、
上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部が設けられている
ことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。
【請求項５】
ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置であって、
上記第２の通電部材は、一方端が上記主放電電極に取り付けられた２枚の薄板状部材からなり、該薄板状部材は対向して所定距離離して配置され、
上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極が、上記薄板状部材に取り付けられ、
上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部が設けられている
ことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。
【請求項６】
上記第１の通電部材および／または第２の通電部材を強制冷却するための冷却風を発生するファンが設けられている
ことを特徴とする請求項１，２，３，４または請求項５の放電励起ガスレーザ装置。
【請求項７】
冷却風を冷却するためのラジエターが設けられている
ことを特徴とする請求項６の放電励起ガスレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、露光装置等に用いられる放電励起ガスレーザ装置に関し、さらに詳細には、ピーキングコンデンサを冷却する冷却部材を備えた放電励起ガスレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、その製造用の投影露光装置においては解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される露光光の短波長化が進められており、半導体露光用光源として、従来の水銀ランプから波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ装置が用いられている。
さらに、次世代の半導体露光用光源として、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ装置及び波長１５７ｎｍのフッ素（Ｆ2 ）レーザ装置等の紫外線を放出するガスレーザ装置が有力である。
ＫｒＦエキシマレーザ装置においては、フッ素（Ｆ2 ）ガス、クリプトン（Ｋｒ）ガス及ぴバッファーガスとしてのネオン（Ｎｅ）等の希ガスからなる混合ガス、ＡｒＦエキシマレーザ装置においては、フッ素（Ｆ2 ）ガス、アルゴン（Ａｒ）ガス及びバッファーガスとしてのネオン（Ｎｅ）等の希ガスからなる混合ガス、フッ素（Ｆ2 ）レーザ装置においては、フッ素（Ｆ2 ）ガス及びバッファーガスとしてヘリウム（Ｈｅ）等の希ガスからなる混合ガスであるレーザガスが数百ｋＰａで封入されたレーザチェンバの内部で放電を発生させることにより、レーザ媒質であるレーザガスが励起される。
レーザチェンバ内部には、レーザガスを励起するための一対の主放電電極が、レーザ発振方向に垂直な方向に所定の距離だけ離間して対向配置されている。この一対の主放電電極には高電圧パルスが印加され、主放電電極間にかかる電圧がある値（ブレークダウン電圧）に到達すると、主放電電極間のレーザガスが絶縁破壊されて主放電が開始し、この主放電によりレーザ媒質が励起される。
よって、このような露光用ガスレーザ装置は主放電の繰返しによるパルス発振を行い、放出するレーザ光はパルス光となる。現状、露光に用いられているレーザ装置のレーザパルスの繰返し周波数は２ｋＨｚ程度であるが、近年、スループットの増大、露光量のバラツキの減少のため、繰返し周波数４ｋＨｚ以上が要請されている。
【０００３】
上記した露光用ガスレーザ装置において、上記したようにレーザチェンバ内で放電を発生させレーザガスを励起させるための放電回路の例を図７に示す。
図７の放電回路は、可飽和リアクトルからなる３個の磁気スイッチＳＲ１、ＳＲ２、ＳＲ３を用いた２段の磁気パルス圧縮回路からなる。磁気スイッチＳＲ１はＩＧＢＴ等の半導体スイッチング素子である固体スイッチＳＷでのスイッチングロスの低減用のものであり、磁気アシストとも呼ばれる。第１の磁気スイッチＳＲ２と第２の磁気スイッチＳＲ３により２段の磁気パルス圧縮回路を構成している。
【０００４】
図７に従って回路の構成と動作を以下に説明する。
まず、高電圧電源ＨＶの電圧が所定の値Ｖｉｎに調整され、主コンデンサＣ０が充電される。このとき、固体スイッチＳＷはオフになっている。主コンデンサＣ０の充電が完了し、固体スイッチＳＷがオンとなったとき、固体スイッチＳＷ両端にかかる電圧は主に磁気スイッチＳＲ１の両端にかかる。
磁気スイッチＳＲ１の両端にかかる主コンデンサＣ０の充電電圧Ｖ０の時間積分値が磁気スイッチＳＲ１の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ１が飽和して磁気スイッチが入り、主コンデンサＣ０、磁気スイッチＳＲ１、インダクタンスＬL 、昇圧トランスＴｒ１の１次側、固体スイッチＳＷのループに電流が流れる。同時に、昇圧トランスＴｒ１の２次側、コンデンサＣ１のループに電流が流れ、主コンデンサＣ０に蓄えられた電荷が移行してコンデンサＣ１に充電される。
なお、ここでは、回路ループのインダクタンスとコンデンサＣ０の寄生インダクタンスを合成したものをインダクタンスＬL として表している。
また、主コンデンサＣ０、磁気スイッチＳＲ１インダクタンスＬL 、昇圧トランスＴｒ１の１次側、固体スイッチＳＷがなすループをパルス発生回路、昇圧トランスＴｒ１の２次側、コンデンサＣ１のループを昇圧回路と呼ぶことにする。
【０００５】
この後、コンデンサＣ１における電圧Ｖ１の時間積分値が磁気スイッチＳＲ２の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ２が飽和して磁気スイッチが入り、コンデンサＣ１、コンデンサＣ２、磁気スイッチＳＲ３のループに電流が流れ、コンデンサＣ１に蓄えられた電荷が移行してコンデンサＣ２に充電される。
さらにこの後、コンデンサＣ２における電圧Ｖ２の時間積分値が磁気スイッチＳＲ３の特性で決まる限界値に達すると、磁気スイッチＳＲ３が飽和して磁気スイッチが入り、コンデンサＣ２、ピーキングコンデンサＣｐ、磁気スイッチＳＲ３のループに電流が流れ、コンデンサＣ２に蓄えられた電荷が移行してピーキングコンデンサＣｐが充電される。
予備電離のためのコロナ放電は、第１電極１１が挿入されている誘電体チューブ１２と第２電極１３とが接触している個所を基点として誘電体チューブ１２の外周面に発生するが、ピーキングコンデンサＣｐの充電が進むにつれてその電圧Ｖｐが上昇し、Ｖｐが所定の電圧になるとコロナ予備電離部の誘電体チューブ１２表面にコロナ放電が発生する。
【０００６】
このコロナ放電によって誘電体チューブ１２の表面に紫外線が発生し、主放電電極Ｅ、Ｅ間のレーザ媒質であるレーザガスが予備電離される。ピーキングコンデンサＣｐの充電がさらに進むにつれて、ピーキングコンデンサＣｐの電圧Ｖｐが上昇し、この電圧Ｖｐがある値（ブレークダウン電圧）Ｖｂに達すると、主放電電極Ｅ、Ｅ間のレーザガスが絶縁破壊されて主放電が開始し、この主放電によりレーザ媒質が励起され、レーザ光が発生する。
このような放電動作が固体スイッチＳＷのスイッチング動作、高電圧電源動作によって繰り返し行なわれることにより、所定の繰り返し周波数でのパルスレーザ発振が行われる。
ここで、磁気スイッチＳＲ２、ＳＲ３及びコンデンサＣ１、Ｃ２で構成される各段の容量移行型回路のインダクタンスを後段に行くにつれて小さくなるように設定することにより、各段を流れる電流パルスのパルス幅が順次狭くなるようなパルス圧縮動作が行われ、主放電電極Ｅ、Ｅ間に短パルスの強い放電が実現される。
【０００７】
図８に露光用ガスレーザ装置の放電部の構造を示す。図８（ａ）は放電部の断面構造を示し、図８（ｂ）は同図（ａ）をＡ−Ａ方向から見た図であり、図８（ｂ）においては予備電離部１５は省略されている。また、図８においてレーザチャンバの下部は省略されている。
図８に示すように、レーザチェンバ１の上部の壁に、放電空間の長手方向に沿うように絶縁ベース２（例えば、セラミックス製）が気密に嵌めこまれている。絶縁ベース２のレーザチェンバ内部側には、主放電電極Ｅ（高圧側；例えばカソード）が取りつけられ、電流導入部材３を介して高圧電源４に接続されている。
ここで高圧電源とは、図７においてピーキングコンデンサＣｐより左側の回路部分を示す。
主放電電極Ｅ（高圧側）の両側に沿うように一対の通電部材５が略平行にレーザチェンバ１に取りつけられている。ここで、通電部材５には同図に示すように、不図示のファンによってレーザチェンバ１内を循環するレーザガスが主放電電極Ｅ，Ｅ間の放電空間を通過できるように開口部５ａが設けられている。
通電部材５の先端間には導電性べ一ス６が張り渡されており、その中央であって、上部の主放電電極Ｅ（高圧側）に対向する位置に一方の主放電電極Ｅ（例えばアノード）が取り付けられている。
【０００８】
レーザチェンバ外部においては、電流導入部材３の両側には、並列接続される多数のコンデンサからなるピーキングコンデンサＣｐの高圧側の電極が接続されている。またピーキングコンデンサＣｐの接地側の電極は、通電部材７に接続されている。
通電部材７と通電部材５とは、導電性の金属からなるレーザチェンバ１を介して電気的に接続される。
導電性ベース６の上部の矢印は、レーザチェンバ１内に設置された不図示のファンによりレーザチェンバ内を循環するレーザガス流であり、その上流側、下流側であって、主放電電極間の放電空間を見込む位置に、予備電離部１５が配置されている。
予備電離部１５は誘電体チューブ１２を介して第１電極１１と第２電極１３とが対向配置される構造であり、第２電極１３は導電性ベース６と直接接続されており、第１電極１１は、図示しない端子を介して、図７に示すコンデンサＣｃと接続されている。
【０００９】
図８に示す点線に囲まれた部分が放電回路ループであり、絶縁べ一スを貫通した電流導入部材３、電流導入部材３に接続されている主放電電極Ｅ（高圧側）、主放電電極Ｅが設置されている導電性ベース６、導電性ベース６に接続されている通電部材５、レーザチェンバ１、レーザチェンバ１を介して通電部材５に接続された通電部材７、通電部材７と電流導入部材３とに接続されたピーキングコンデンサＣｐからなる。
一般に、上記した放電回路ループが作るインダクタンスが低い程、レーザの発振効率が向上することが知られている。このインダクタンスは放電回路ループの断面積に比例するので、この断面積ができるだけ小さくなるように構成することが望ましい。
すなわち、点線で囲まれた電流導入部材３、主放電電極Ｅ（高圧側）、主放電電極Ｅ、導電性ベース６、通電部材５、レーザチェンバ１、通電部材７、ピーキングコンデンサＣｐで囲まれる空間の断面積が小さくなるように構成することが望ましい。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、近年、露光用レーザ装置においては、繰返し周波数４ｋＨｚ以上が要請されている。すなわち、単位時間あたりにピーキングコンデンサに印加されるパルス電圧の回数が増大する。
一方、発振するレーザビームの波長が短い程、レーザ励起に必要なエネルギーは大きくなる。すなわち、露光波長の短波長化が進むにつれ、ピーキングコンデンサＣｐに印加される電圧も高電圧となる。
以上のような事情により、ピーキングコンデンサＣｐにて消費される電力が増大し、ピーキングコンデンサＣｐの発熱量が増大する。その結果、発熱によるピーキングコンデンサの容量の変化が大きくなって放電回路特性が変化し、所望の性能が得られなくなったり、またピーキングコンデンサＣｐ自体の寿命が低下するといった問題が発生する可能性が生じた。
ピーキングコンデンサＣｐの過熱が発生する原因は、ピーキングコンデンサＣｐ自体の発熱だけではなく、ピーキングコンデンサＣｐのアース側を接続している通電部材７が、放電により温度上昇したレーザチャンバより熱せられ、この熱せられた通電部材７による加熱による場合もあった。
また、ピーキングコンデンサＣｐの高電圧電極と接続される電流導入部材３が、放電により発生した熱の熱伝導により熱せられ、その結果、ピーキングコンデンサＣｐの温度が上昇するという場合もあった。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明は、放電励起ガスレーザ装置において、４ｋＨｚ以上の高繰返し条件においても、ピーキングコンデンサの過熱を抑制して所定の回路性能を得るとともに、ピーキングコンデンサの過熱による短寿命化を抑制することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明においては、以下のようにして、ピーキングコンデンサＣｐの発熱や加熱により生じるピーキングコンデンサＣｐの過熱状態を、ピーキングコンデンサＣｐを冷却して所望の温度に維持し、所定の回路性能を得ること、またピーキングコンデンサの過熱による短寿命化を抑制する。
（１）ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置でおいて、上記第１の通電部材および／または第２の通電部材に冷却部材を取り付け、上記第１の通電部材に、レーザチャンバからピーキングコンデンサへの熱伝導を抑制するための薄肉部および／または開口部が設ける。
（２）上記（１）の冷却部材を冷媒を通流させる冷却管とする。
（３）ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置において、上記第２の通電部材を、薄板状部材から構成し、上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極を、上記薄板状部材に取り付け、上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部を設ける。
（４）ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置において、上記第２の通電部材を、チャンネル形状の薄板状部材から構成し、該チャンネル形状の薄板状部材の底部を主放電電極に取り付け、上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極を、チャンネル形状の上記薄板状部材の対向部に取り付け、上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部を設ける。
（５）ピーキングコンデンサのアース側が第１の通電部材を介してレーザ用チャンバに取り付けられ、該ピーキングコンデンサの高圧側が第２の通電部材を介して主放電電極に取り付けられた放電励起ガスレーザ装置において、上記第２の通電部材を、一方端が上記主放電電極に取り付けられた２枚の薄板状部材から構成し、該薄板状部材を対向して所定距離離して配置し、上記ピーキングコンデンサの高電圧側の電極を、上記薄板状部材に取り付け、上記薄板状部材の、ピーキングコンデンサの高圧側の電極の取り付け部分とレーザチャンバの取り付け部分の間に開口部を設ける。
（６）上記（１）〜（５）において、第１の通電部材および／または第２の通電部材を強制冷却するための冷却風を発生するファンを設ける。
（７）上記（６）において、冷却風を冷却するためのラジエターを設ける。
本発明においては、上記のように、第１の通電部材および／または第２の通電部材に冷却部材が取り付け、また、第１の通電部材に、薄肉部および／または開口部を設けたので、ピーキングコンデンサ自体の発熱による温度上昇や、レーザチェンバからの熱伝導によるピーキングコンデンサの加熱を防止することができる。
また、第２の通電部材を、一方端が上記主放電電極に取り付けられた２枚の薄板状部材から構成したり、該薄板状部材に開口部を設けることにより、高圧電源やレーザチェンバからの熱伝導によるピーキングコンデンサの加熱を防止することができる。また、第２の通電部材を薄板状部材で構成することにより、熱膨張等によるピーキングコンデンサの長さの変化を、薄板状部材が撓むことで吸収することができ、ピーキングコンデンサに加わる力を軽減することができる。
特に、上記第２の通電部材を、２枚の薄板状部材から構成し、該薄板状部材を対向して所定距離離して配置することで、第２の通電部材の加工を一層容易とし、コストを一層低減化することができる。また、２枚の薄板状部材の間隔を調整することが可能となるので、ピーキングコンデンサＣｐの長さ等が変わっても、容易に対応することができる。
さらに、第１の通電部材および／または第２の通電部材を強制冷却するための冷却風を発生するファンを設けたり、冷却風を冷却するためのラジエターを設ければ、一層、ピーキングコンデンサの温度上昇を抑制することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１に本発明の第１の実施例の放電部の構造を示す。図１（ａ）は放電部の断面構造を示し、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す放電部を斜め上方が見た斜視図である。なお、図１では、図８に示した高圧電源４、通電部材５、導電性ベース６、主放電電極Ｅ（接地側）、予備電離部１５は省略されている。また、図１（ｂ）では図１（ａ）に示す電流導入部材３ｂは省略されている。
本実施例においては、図８に示した電流導入部材３を、同図に示すように、チャンネル形状の金属製の通電部材３ａと、チャンネル形状の通電部材３ａの底部に接続される第１の電流導入部材３ｂと、第１の電流導入部材３ｂと放電電極Ｅ（高圧側）を接続する第２の電流導入部材３ｃとから構成するとともに、通電部材７に冷却管７ａを設けたものである。なお、通電部材７に同図に示すように薄肉部７ｂを設けてもよい。
図２は、前記図７に示した回路と、図１に示した各部材との対応を示す図である。同図（ａ）に示す第１の電流導入部材３ｂ（Ａ部分）、チャンネル形状の通電部材３ａ（Ｃ部分）、第２の電流導入部材３ｃ（Ｂ部分）、通電部材７（Ｄ部分）は、それぞれ、同図（ｂ）の回路におけるＡの部分、Ｂ部分、Ｃ部分、Ｄ部分に対応する。
本実施例においては、上記構造を採ることによりピーキングコンデンサＣｐの温度を所望の温度に維持することが可能となった。
【００１３】
露光用ガスレーザ装置に使用されるピーキングコンデンサＣｐは、一般にセラミックコンデンサであり、両端に接続用の電極部を有する。この電極部には略中央部にねじ穴が設けられている。そこで、図１に示すように、ピーキングコンデンサＣｐのアース側を、金属製の通電部材７に設けられた貫通穴を介して、ねじＮ２により通電部材７に固定する。
また、この通電部材７に冷却管７ａを設け、冷却管７ａに冷媒を通すことにより、通電部材７とピーキングコンデンサＣｐのアース側との間で熱交換され、ピーキングコンデンサＣｐがアース側より冷却される。
前記したように、従来の技術においては、ピーキングコンデンサＣｐのアース側を接続している通電部材７が、放電により温度上昇したレーザチャンバより熱せられ、この熱せられた通電部材７によりピーキングコンデンサＣｐが加熱される場合もあった。これに対し、上記構造を採ることにより、通電部材７のレーザチェンバによる加熱の問題も、冷却管に冷媒を流すことにより回避される。
また、上記したように通電部材７に薄肉部７ｂを設けても良い。薄肉部７ｂを設けることにより、高繰返し放電により熱せられたレーザガスにより過熱されたレーザチェンバからの通電部材７への熱伝導が抑制され、通電部材７の冷媒による冷却効果がさらに有効に働くようになる。薄肉部７ｂの厚さは、例えば、１〜２ｍｍ程度が望ましい。
なお、通電部材７の薄肉部７ｂに図１（ｂ）に示すように、開口部７ｃを設けてもよい。これにより、レーザチェンバ１からの熱伝導を更にしにくくすることができる。また、開口部７ｃを設けることにより、レーザチェンバ１からの熱伝導を抑えることができるので、上記薄肉部７ｂを設けると強度が不足する場合には、薄肉部７ｂを設けず、開口部７ｃのみを設けてもよい。
【００１４】
一方、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側については、従来のように、電流導入部材３とピーキングコンデンサＣｐの高圧側の電極とを直接接続するのではなく図１に示すように、チャンネル形状の金属製の通電部材３ａを介して接続する。
すなわち、前記図８に示した高圧電源４と上記チャンネル形状の通電部材３ａを第１の電流導入部材３ｂを介して接続し、チャンネル形状の通電部材３ａにピーキングコンデンサＣｐの高圧側の電極をねじＮ１により接続する。
また、放電電極Ｅ（高圧側）と第１の電流導入部材３ｂは第２の電流導入部材３ｃを介して接続される。なお、第１、第２の電流導入部材３ｂ，３ｃは、前記図８に示したように放電電極Ｅの長手方向に平行に配置される板状の部材であり、第１の電流導入部材３ｂは、その下端が通電部材３ａの底部に接続され、両面は通電部材３ａと接触しないように、所定の間隔をあけて取り付けられる。
第１の電流導入部材３ｂは、例えば図３（ａ）の断面図に示すような第１の部材３ｂ１と第２の部材３ｂ２の２つの部分に分割され、第１、第２の部材３ｂ１、３ｂ２は図３（ｂ）に示すようにねじＮ３により接続される。また、第１の部材３ｂ１には、図３（ａ）に示すように、ねじＮ４が貫通する貫通孔Ｐ１と、ねじＮ４の最大径より大きな孔Ｐ２が設けられ、第１の部材３ｂ１はねじＮ４により、上記通電部材３ａとともに、絶縁ベース２に取り付けられた第２の電流導入部材３ｃに固定される。
チャンネル形状の通電部材３ａは、通電部材７の薄肉部と同様、厚みが例えば、１〜２ｍｍ程度であり、電流導入部材３ｂからの熱伝導がしにくい構造である。このため、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側からの加熱が抑制される。
なお、第１、第２の電流導入部材３ｂ，３ｃからの熱伝導を更にしにくくするために、通電部材３ａのピーキングコンデンサＣｐの高圧側端子の取り付け部分とレーザチャンバ１の取り付け部分の間に複数の開口部を設けても良い。
【００１５】
以上のように、本実施例においては、通電部材７に冷却管７ａを設けて冷却するとともに、薄板状の通電部材３ａを設けたので、ピーキングコンデンサＣｐを冷却すること、および、レーザチェンバ１、電流導入部材３ｂからの熱伝導を抑制することが可能となり、繰返し周波数が４ｋＨｚ以上となっても、ピーキングコンデンサＣｐの温度を所定の温度に維持することが可能となった。
また、通電部材３ａをチャンネル形状としたので、空気と接触する面積を増やすことができ、冷却効率を向上させることができた。なお、電流導入部材３ｂを通電部材３ａの底部に接続し、通電部材３ａと電流導入部材３ｂの間に空間ができるようにしたので、電流導入部材３ｂを取り付けても、通電部材３ａと電流導入部材３ｂの間に空気が介在し、冷却効率が低下することはない。
さらに、通電部材３ａに複数の開口部を設ければ、電流導入部材３ｂからの熱伝導を一層小さくすることができ、また、通電部材７に薄肉部７ｂを設ければ、レーザチャンバ１からの熱伝導を一層小さくすることができる。
以上のような構成することにより、所定の回路性能を得ること、またピーキングコンデンサの過熱による短寿命化を抑制することが可能となった。
また、通電部材３ａを薄板状としたので、熱膨張等によりピーキングコンデンサＣｐの長さが変わっても、撓むことにより長さの変化を吸収することができる。また、構造が簡単であり、加工も容易であるので、コストを低減化することができる。
【００１６】
図４（ａ）は上記第１の実施例の変形例を示す図である。本変形例では、図１に示したチャンネル状の通電部材３ａとして、２個のＬ字状部材３ａ１，３ａ２を向き合わせて取り付け、チャンネル状に形成したものであり、その他の構成は図１に示したものと同じである。
上記Ｌ字状部材３ａ１，３ａ２には、図４（ｂ）に示すように、長円形の取り付け孔３ａ３が設けられており、長円形の取り付け孔３ａ３にねじを貫通させ、第２の電流導入部材３ｃに設けられたねじ孔に取り付ける。
上記構成とすれば、通電部材３ａの加工を一層容易とし、コストを一層低減化することができる。また、Ｌ字状部材３ａ１，３ａ２には長円形の孔３ａ３が設けられているので、取り付け時にＬ字状部材３ａ１，３ａ２の間隔ｄを調整することができる。このため、ピーキングコンデンサＣｐの長さ等が変わっても、容易に対応することができる。
【００１７】
図５は本発明の第２の実施例を示す図であり、図１と同様、図５（ａ）は放電部の断面構造を示し、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す放電部を斜め上方が見た斜視図である。なお、図５では前記図１に示した電流導入部材３ｂ等は省略されている。
本実施例は、第１の実施例のように通電部材７に冷却管７ａを直接設けるのではなく、冷却管７ａが溶接等により固定された冷却プレート７ｄを通電部材７に取りつける構造としたものであり、その他の構成は図１に示したものと同様である。
上記冷却プレート７ｄに固定された冷却管７ａに冷媒を通すことにより、通電部材７は冷却され、通電部材７とピーキングコンデンサＣｐのアース側との間で熱交換され、ピーキングコンデンサＣｐがアース側より冷却される。
通電部材７の水冷プレート７ｄとの接続は、通電部材７に設けられているピーキングコンデンサＣｐ取り付け用の貫通穴と略同軸状に配置される貫通穴を水冷プレート７ｄに設け、水冷プレート７ｄ、通電部材７、ピーキングコンデンサＣｐをねじで固定することによりなされる。
なお、通電部材７にピーキングコンデンサＣｐ取付用の貫通穴の他にねじ穴を設け、このねじ穴と略同軸状に配置される貫通穴を水冷プレート７ｄに設け、通電部材７と水冷プレート７ｄをピーキングコンデンサＣｐ取付用のねじとは別のねじで取り付けてもよい。
また、通電部材７の水冷プレート７ｄと接する部分の板厚は、冷却効率をあげるためになるべく薄い方が望ましい。
【００１８】
一方、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側については、チャンネル形状の全属製の通電部材３ａによる放熱効率を上昇させるために、レーザチェンバ外部に図５に示すように、ファン８を設けて、ファン８により放電電極Ｅ，Ｅの長手方向とほぼ同じ方向に空気を流す強制冷却を行っても良い。
この冷却風は通電部材３ａのみならず、ピーキングコンデンサＣｐにも当たるように設定しても良い。これによりピーキングコンデンサＣｐ自体の放熱（特に通電部材７や通電部材３ａとの接続部分ではない、ピーキングコンデンサＣｐの円筒状側面部分）も促進することができる。また、通電部材７にも冷却風が当たるように設定しても良い。
さらに、冷却風の上流側にラジエター９を設けて、冷却風自体を冷却してから通電部材３ａやピーキングコンデンサＣｐ、通電部材７等に冷却風を流す構造にしてもよい。
なお、通常、レーザチェンバが設置されるレーザ装置には、管体内部での高電圧部分によるコロナ放電により、オゾンが発生する可能性がある。そして仮にオゾンが発生したとしても作業空間にオゾンが混入しないように、レーザ装置の筐体には筐体内部の空気を吸い出す吸出し用ファンと、ファンからの空気を外部に排出するダクトが設けられている。この吸出し用ファンによる筐体内部の風の流れを、通電部材７，通電部材３ａやピーキングコンデンサＣｐを通過するように、筐体内部を構成してもよい。
なお、本実施例においても、第１の実施例と同様、通電部材３ａのピーキングコンデンサＣｐの高圧側端子の取り付け部分とレーザチャンバ１の取り付け部分の間に複数の開口部を設けたり、通電部材７の薄肉部７ｂに開口部７ｃを設けてもよい。
また、前記第１の実施例において、上記のようにファン８やファン８とラジエター９を設けてもよい。
【００１９】
図６は、本発明の第３の実施例を示す図であり、図１と同様、図６（ａ）は放電部の断面構造を示し、図６（ｂ）は図６（ａ）に示す放電部を斜め上方が見た斜視図である。図６では図５と同様電流導入部材３ｂ等は省略されている。
本実施例は、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側について、チャンネル形状の金属製の通電部材３ａによる放熱効率を上昇させるために、通電部材３ａにおいても冷却管３ｄを設けた構造であり、その他の構成は図５に示したものと同様である。上記のように冷却管３ｄを設けることにより、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側の冷却も積極的に行うことが可能となる。
ここで、冷却管３ｄを流れる冷媒は、高電圧パルスが通電する部分であるので、純水や絶縁油等の絶縁性冷媒である。なお、本実施例においては、通電部材３ａに冷却管３ｄを設けたが、冷却管３ｄを設ければ、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側を冷却することが可能となるので、上記のようにチャンネル形状の通電部材３ａを設ける代わりに、従来例の図８に示した電流導入部材３を用い、ピーキングコンデンサＣｐの高圧側が両側に取りつけられた電流導入部材３に、冷却管を設けるような構造であってもよい。
なお、本実施例においても、第１の実施例と同様、通電部材３ａのピーキングコンデンサＣｐの高圧側端子の取り付け部分とレーザチャンバ１の取り付け部分の間に複数の開口部を設けたり、通電部材７の薄肉部７ｂに開口部７ｃを設けてもよい。
また、本実施例においても、第２の実施例と同様、ファン８やファン８とラジエター９を設けてもよい。
なお、上記第１〜第３の実施例では、冷却管７ａ，３ｄを設ける場合について説明したが、冷却管７ａ，３ｄに替え、ヒートパイプを用いたり、フィンを設けて冷却するようにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）第１の通電部材および／または第２の通電部材に冷却部材が取り付け、また、第１の通電部材に、薄肉部および／または開口部を設けたので、ピーキングコンデンサ自体の発熱による温度上昇や、レーザチェンバからの熱伝導によるピーキングコンデンサの加熱を防止することができる。
（２）第２の通電部材を、一方端が上記主放電電極に取り付けられた２枚の薄板状部材から構成したり、該薄板状部材に開口部を設けることにより、高圧電源やレーザチェンバからの熱伝導によるピーキングコンデンサの加熱を防止することができる。
（３）第１の通電部材および／または第２の通電部材を強制冷却するための冷却風を発生するファンを設けたり、冷却風を冷却するためのラジエターを設ければ、一層、ピーキングコンデンサの温度上昇を抑制することができる。
（４）第２の通電部材を薄板状部材で構成することにより、熱膨張等によるピーキングコンデンサの長さの変化を、薄板状部材が撓むことで吸収することができ、ピーキングコンデンサに加わる力を軽減することができる。
また、上記のように第２の通電部材を２枚の薄板状部材から構成し、該薄板状部材を対向して所定距離離して配置することで、第２の通電部材の加工を一層容易とし、コストを一層低減化することができる。さらに、２枚の薄板状部材の間隔を調整することが可能となるので、ピーキングコンデンサＣｐの長さ等が変わっても、容易に対応することができる。
（５）以上のようにしてピーキングコンデンサの温度上昇を抑えることにより、繰返し周波数が４ｋＨｚ以上となっても、ピーキングコンデンサＣｐの温度を所定の温度に維持することが可能となった。
このため、所定の回路性能を得ることができるとともに、ピーキングコンデンサの過熱による短寿命化を抑制することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】図７に示した回路と、図１に示した各部材との対応を示す図である。
【図３】第１の電流導入部材３ｂの取り付け構造を説明する図である。
【図４】第１の実施例の変形例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施例を示す図である。
【図７】放電回路の１例を示す図である。
【図８】露光用ガスレーザ装置の放電部の構造を示す図である。
【符号の説明】
１    レーザチェンバ
２    絶縁ベース
３ａ  通電部材
３ｂ  第１の電流導入部材
３ｃ  第２の電流導入部材
３ｄ  冷却管
４    高圧電源
５    通電部材
６    導電性べ一ス
７    通電部材
７ａ  冷却管
７ｂ  薄肉部
７ｃ  開口部
７ｄ  冷却プレート
８    冷却ファン
９    ラジエター
Ｃｐ  ピーキングコンデンサ
Ｅ    主放電電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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