(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数層の樹脂フィルムを積層する包装用クリ−ンフィルムの製造方法において、該複数層の樹脂フィルム層は、延伸ナイロン（ＯＮｙ）フィルム、塩化ビニリデン膜付延伸ナイロンフィルム（ＫＯＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、塩化ビニリデン膜付ポリエチレンテレフタレート（ＫＰＥＴ）フィルム、エチレン・酢酸ビニルアルコールけん化物（ＥＶＯＨ）フィルム、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）フィルム、アルミニウム箔、無機酸化物蒸着ＰＥＴフィルム、または、アルミ蒸着ＰＥＴフィルムからなる耐熱性基材の表裏両面に、接着剤層を設け、次いで、該接着剤層上に、内側熱可塑性樹脂フィルムと最外層熱可塑性樹脂フィルムとの２層の熱可塑性樹脂フィルムからなる共押し出しフィルムをドライラミネ−ションにより積層したものであって、上記接着剤層は、上記共押し出しフィルムを構成する内側熱可塑性樹脂フィルムが上記基材との界面剥離を防止するものであり、上記共押し出しフィルムを構成する最外層熱可塑性樹脂フィルムは剥離除去することにより、上記共押し出しフィルムを構成する内側熱可塑性樹脂フィルムの清浄面が露出するものであることを特徴とする包装用クリ−ンフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は包装用クリーンフィルムの製造方法に関し、さらに詳しくはクリーンルーム等のクリーンな環境下で製造される例えば半導体製品あるいはそのような製品の製造時に必要とされる衣服等の梱包、包装に好適に用いられる包装用クリーンフィルムを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえばＩＣ、ＬＳＩなどの半導体製品はチリ、ホコリを極端に嫌うことからクリーンルーム内で製造されている。そして、このようなクリーンな環境下で製造される製品あるいはそのような製品の製造時に必要な衣服等の包装に用いられる包装材料にもチリ、ホコリが付着していないことが要求される。
【０００３】
そのため、従来は、クリーンルーム内で製造した包装材料を超純水で洗浄したものが、クリーンな環境で用いられる包装材料に利用されてきた。
一方、このような包装用クリーンフィルムとして共押し出しによる多層フィルムが注目されている。
【０００４】
この多層フィルムは、剥離除去可能な外層フィルムにより中間層フィルムの表裏両面が被覆されてなるものであり、外層フィルムを剥離除去すると被包装体を直接に包装する中間層フィルムの清浄面が露出するように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、従来の包装材料においては、クリーンルーム内で製造したものを、さらに超純水で洗浄する必要があるため、この洗浄工程が製造コストの低減を図る上での障害になるとともに、超純水による洗浄の程度により、クリーン度の確実性に欠けるという問題がある。
【０００６】
また、共押し出しによる多層フィルムは、超純水による洗浄は不要であるものの包装材料として用いられる中間層フィルムの包材強度が必ずしも充分ではなく、また、中間層フィルムに耐ピンホール性、ガスバリア性等の所望の機能を付与することが困難であるという問題がある。
【０００７】
本発明はかかる事情に基づいてなされたものであり、本発明の目的は、ホコリやチリの付着が完全に防止されていて洗浄が不要であるとともに、包材強度に優れ、しかも耐ピンホール性、ガスバリヤー性等の所望の機能を容易に付与することのできる包装用クリーンフィルムの製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明の構成は、複数層の樹脂フィルムを積層する包装用クリーンフィルムの製造方法において、前記包装用クリーンフィルムは、耐熱性基材の表裏両面に少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルムからなる共押し出しフィルムを有し、該共押出しフィルムの最外層の熱可塑性樹脂フィルムが剥離除去されることにより清浄面が露出する包装用クリーンフィルムであり、前記共押し出しフィルムは、基材側にポリエチレンフィルム、包装用クリーンフィルムの外側にナイロンフィルムを有するか、または、基材側にポリエチレンフィルム、包装用クリーンフィルムの外側にポリプロピレンフィルムを有し、前記共押し出しフィルムは、ドライラミネーションにより耐熱性基材に積層されることを特徴とする包装用クリーンフィルムの製造方法である。
【０００９】
本発明の包装用クリーンフィルムの製造方法においては、中間層に耐熱性基材を用いる。
使用に供される耐熱性基材としては、たとえば延伸ナイロン（ＯＮｙ）フィルム、塩化ビニリデン膜付延伸ナイロンフィルム（ＫＯＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、塩化ビニリデン膜付ポリエチレンテレフタレート（ＫＰＥＴ）フィルム、エチレン・酢酸ビニルアルコールけん化物（ＥＶＯＨ）フィルム、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＤＣ）フィルム、アルミニウム箔、無機酸化物蒸着ＰＥＴフィルム、アルミ蒸着ＰＥＴフィルムなどが好適なものとして挙げられる。これらのなかでも、２軸延伸ナイロン（ＯＮｙ）フィルム、２軸延伸ＰＥＴフィルムは特に好ましい。
【００１０】
この耐熱性基材の厚さは、耐熱性基材の特性、被包装体の種類等により相違するので、一様に決定することは困難であるが、一般的には、１０〜３０μｍ程度である。
【００１１】
なお、この耐熱性基材の片面または両面には、必要に応じて印刷を行なうこともできる。
本発明の包装用クリーンフィルムの製造方法においては、次いで、上記の耐熱性基材の表裏両面に少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルムからなる共押し出しフィルムをドライラミネーションにより積層する。
【００１２】
このドライラミネーションに用いられる接着剤としては、たとえばウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤などが挙げられる。
本発明の包装用クリーンフィルムの製造方法においては、少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルムを共押し出しして共押し出しフィルムを作成するが、この共押し出しフィルムを、たとえば２層の熱可塑性樹脂フィルムにより形成する場合、共押し出しする熱可塑性樹脂については、（耐熱性基材側フィルム形成樹脂）／（最外層フィルム形成樹脂）の組合わせで例えばポリエチレン（ＰＥ）／ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）／ナイロン（Ｎｙ）、ポリエチレン（ＰＥ）／ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）／エチレン・酢酸ビニルアルコールけん化物（ＥＶＯＨ）などが好ましいものとして挙げられ、これらのなかでもポリエチレン（ＰＥ）／ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）／ナイロン（Ｎｙ）の組合わせは特に好ましい。このような熱可塑性樹脂の組合わせは、たとえば耐ピンホール性、ガスバリアー性等の所望の機能に応じて適当な組み合わせを選択すればよい。
【００１３】
また、この共押し出しフィルムの耐熱性基材側の表面はドライラミネーションを確実にして共押し出しフィルムと耐熱性基材との界面剥離を防止するために、たとえばコロナ処理等の表面処理を行なうことが好ましい。
【００１４】
この共押し出しフィルムは、たとえばＴダイ法による共押し出しにより、２種類以上の熱可塑性樹脂を溶融状態で押出機から押し出すことにより形成することができる。ここで、共押し出し温度は熱可塑性樹脂の組み合わせにより相違するので一様に決定することはできないが、たとえばポリエチレン（ＰＥ）／ナイロン（Ｎｙ）の組み合わせの場合、通常、２９０℃以下、好ましくは２４０℃以下である。この共押し出し温度が２９０℃を超えると、最外層を構成するナイロンフィルムの剥離性が不良となることがある。
【００１５】
以上のようにして製造される包装用クリーンフィルム１は、図１に示すように、耐熱性基材２の表裏両面に、接着剤層３を介して少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルム４ａ，４ｂからなる共押し出しフィルム４がドライラミネーションにより積層されてなるものである。ここで、共押し出しフィルム４は少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルム４ａ，４ｂが共押し出しにより積層されているので、製造時および製造後のいずれにおいても内側の熱可塑性樹脂フィルム４ａの表面が直接外気に触れることはなく、したがって、製造時から使用に供されるまでの間に熱可塑性樹脂フィルム４ａの表面にホコリ、チリ等が付着することがない。
【００１６】
すなわち、図２に示すように、最外層の熱可塑性樹脂フィルム４ｂを剥離除去することにより、この熱可塑性樹脂フィルム４ｂで被覆され、ホコリ、チリ等の付着が完全に防止されていた内側の熱可塑性樹脂フィルム４ａの清浄面が出現することになり、そのまま例えば半導体製品等の高いクリーン度が要求される被包装体の包装材料に好適に用いることが可能である。
【００１７】
なお、共押し出しフィルム４を構成する少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルムにおける最外層の熱可塑性樹脂フィルム４ｂの剥離強度は、内側の熱可塑性樹脂フィルム４ａの表面を被覆するという機能が損なわれない限り、小さいほど好ましい。この剥離強度が大きくなると、最外層の熱可塑性樹脂フィルム４ｂを剥離除去する際に内側の熱可塑性樹脂フィルム４ａの表面に発生する帯電圧が大きくなり、これにより同フィルム４ａの表面の集塵性が高まってホコリ、チリ等が付着し易くなるからである。
【００１８】
【実施例】
次に、本発明の実施例を示し、本発明についてさらに具体的に説明する。
（実施例１）
厚さ１５μｍの延伸ナイロン（ＯＮｙ）フィルム［ユニチカ（株）社製「エンブレブＯＮ」、密度１．１５）の表面にグラビア印刷を行ない、これを耐熱性基材とした。
【００１９】
次いで、この耐熱性基材の表裏両面に２液タイプのウレタン系接着剤（武田薬品工業社製「タケラックＡ−515 」／「タケネートＡ−50」）を塗布して、厚さ３μｍの接着剤層を形成した。
【００２０】
一方、ポリエチレン（ＰＥ）（日本ユニカー社製「ＮＵＣ８１６０」、密度０．９２３、ＭＩ＝２．４ｇ／１０分）およびナイロン（Ｎｙ）（宇部興産社製「５０３３Ｂ」、密度１．１４）を常法に従って共押し出しし、厚さ４０μｍのポリエチレン（ＰＥ）フィルムと厚さ２０μｍのナイロン（Ｎｙ）フィルムとからなる共押し出しフィルムを作成し、ポリエチレン（ＰＥ）フィルムの表面にコロナ処理を施した。
【００２１】
次いで、この共押し出しフィルムを前記の耐熱性基材の表裏両面に設けた接着剤（ＬＭＤ）層上にドライラミネーションにより積層し、以下の層構成からなる包装用クリーンフィルムを作成した。
【００２２】
Ｎｙ２０μ／ＰＥ４０μ／ＬＭＤ／ＯＮｙ１５μ／印刷層／ＬＭＤ／ＰＥ４０μ／Ｎｙ２０μ
次いで、この包装用クリーンフィルムの最外層のナイロンフィルムを剥離除去した後の包材フィルムの引張強度を測定した。結果を表１に示す。
【００２３】
【表１】
0003883583.tif 000002
なお、引張強度は次のようにして測定した。
引張強度；引張強度試験機（テンシロン）を使用し、速度３００mm／min 、角度１８０゜の条件で引張強度を測定した。
（比較例１）
公知の押出法により、ナイロン（Ｎｙ）（宇部興産社製「５０３３Ｂ」、密度１．１４）およびポリエチレン（ＰＥ）（ＰＥ）（日本ユニカー社製「ＮＵＣ８１６０」、密度０．９２３、ＭＩ＝２．４ｇ／１０分）を共押し出しし、以下の層構成からなる３層共押し出し積層フィルムを作成した。
【００２４】
Ｎｙ30μ／ＰＥ60μ／Ｎｙ30μ
その後、この３層共押し出し積層フィルムについて、前記実施例１と同様にして引張強度を測定した。結果を表１に示す。
（結果の検討）
表１から明らかなように、実施例１で作成された包装用クリーンフィルムは比較例１で作成された３層共押し出し積層フィルムに比べて引張強度が大きいことがわかる。これより、本発明の製造方法によれば、露出面にホコリ、チリ等が付着しにくくて無塵性に優れているとともに強度が格段に向上した包装用クリーンフィルムが得られることが確認された。
【００２５】
【発明の効果】
以上に詳述したとおり、本発明によれば、耐熱性基材の表裏両面に少なくとも２層の熱可塑性樹脂フィルムからなる共押し出しフィルムをドライラミネーション法を採用して積層することにより、共押し出しフィルムの最外層フィルムが剥離除去されると清浄面が露出する包装用クリーンフィルムを製造する構成としたので、引張強度等の包材強度が向上しているとともに、無塵性に優れ、しかも耐ピンホール性、ガスバリアー性等の所望の機能を付与することが容易な包装用クリーンフィルムの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法により得られる包装用クリーンフィルムの層構成を示す断面図である。
【図２】図１に示す包装用クリーンフィルムにおいて外層フィルムを剥離した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１…包装用クリーンフィルム
２…耐熱性基材
４…共押し出しフィルム
４ａ，４ｂ…熱可塑性樹脂フィルム
【図１】
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【図２】
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