(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）半導体チップを、ワイヤによって基板の導電部に電気的に接続させ、
（ｂ）バンプを、前記ワイヤの頂点よりも高くなるように前記半導体チップの電極上に設け、
（ｃ）型によって前記基板及び前記バンプを挟むことで封止材の空間を形成し、
（ｄ）前記空間に前記封止材を充填することで、前記半導体チップを封止するとともに、前記バンプの前記型に接触する部分を前記封止材から露出させることを含み、
前記基板は、前記導電部を露出する穴を有する半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、前記半導体チップの外側の領域に設けられてなる半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の半導体装置の製造方法において、
前記基板の前記穴によって、前記導電部を前記半導体チップの外側の領域で露出させる半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、ランドとして構成されてなる半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、配線パターンとして構成されてなる半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記導電部に前記ワイヤの端部をボンディングした後、前記ワイヤを前記半導体チップの方向に引き出して、前記ワイヤの一部を前記半導体チップの前記電極にボンディングする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ｂ）工程で、前記バンプを、前記ワイヤにおける前記電極にボンディングされた部分に重ねるように設ける半導体装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記（ａ）工程で、複数の半導体チップを、前記基板上で平面的に並べて配置し、
前記（ｄ）工程後に、
（ｅ）前記封止材を切断することで、それぞれの前記半導体チップを備える個片にすることをさらに含む半導体装置の製造方法。
【請求項９】
半導体チップと、
前記半導体チップの少なくとも一部を封止する封止部と、
前記封止部の第１の面に露出してなり、前記封止部内でワイヤを介して前記半導体チップと電気的に接続されてなる導電部と、
前記封止部の前記第１の面とは反対の第２の面のうち、前記半導体チップの内側の領域に露出してなり、前記半導体チップ上で突起してなるバンプと、
前記封止部の前記第１の面に設けられた、前記導電部を露出する穴を有する基板と、
を有する半導体装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置において、
前記導電部は、前記半導体チップの外側の領域に設けられてなる半導体装置。
【請求項１１】
請求項１０記載の半導体装置において、
前記基板の前記穴は、前記導電部を前記半導体チップの外側の領域で露出してなる半導体装置。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の半導体装置において、
前記導電部は、ランドとして構成されてなる半導体装置。
【請求項１３】
請求項９から請求項１１のいずれかに記載の半導体装置において、
前記導電部は、前記配線パターンとして構成されてなる半導体装置。
【請求項１４】
請求項９から請求項１３のいずれかに記載の複数の半導体装置が積み重ねられてなる半導体装置。
【請求項１５】
請求項９から請求項１３のいずれかに記載の半導体装置が実装された回路基板。
【請求項１６】
請求項９から請求項１３のいずれかに記載の半導体装置を有する電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器に関する。
【０００２】
【発明の背景】
高密度化を図るために三次元実装を実現した半導体装置が開発されている。例えば、半導体チップ同士を積み重ねる構造では、各半導体チップにワイヤボンディングすることで電気的な接続を図ることが多い。しかしながら、これによれば、電極を露出させるために半導体チップの外形が制限されるので、多数の半導体チップを積み重ねるには限界があった。
【０００３】
本発明は、上述した課題を解決するためのものであり、その目的は、三次元実装を実現できる半導体装置を簡単に製造することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明に係る半導体装置の製造方法は、（ａ）半導体チップを、ワイヤによって基板の導電部に電気的に接続させ、
（ｂ）バンプを、前記ワイヤの頂点よりも高くなるように前記半導体チップの電極上に設け、
（ｃ）型によって前記基板及び前記バンプを挟むことで封止材の空間を形成し、
（ｄ）前記空間に前記封止材を充填することで、前記半導体チップを封止するとともに、前記バンプの前記型に接触する部分を前記封止材から露出させることを含む。
【０００５】
本発明によれば、型によって基板及びバンプを挟むことで形成した空間に封止材を充填する。バンプの型に接触する部分には封止材が設けられない。そのため、半導体チップを封止する封止部のうち、導電部とは反対の面からバンプを露出させることができる。したがって、封止部のうち、導電部の面とバンプの面との両方から簡単に電気的な導通を図ることが可能になる。
【０００６】
また、これによれば、バンプを半導体チップの電極上に設ける。そのため、バンプの径が比較的小さくても、簡単にバンプをワイヤの頂点よりも高くすることができる。したがって、バンプの形態の自由度を高めることができる。
【０００７】
（２）この半導体装置の製造方法において、
前記基板は、前記導電部を露出する穴を有してもよい。
【０００８】
これによって、基板を設けた状態で、簡単に導電部を露出させることができる。
【０００９】
（３）この半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、前記バンプと重なる領域を含むように設けられてもよい。
【００１０】
これによって、例えば、半導体装置の両面のうち、共通な位置に電気的な接続部を形成することができる。したがって、例えば、複数の半導体装置を上下に電気的に接続しやすくなる。
【００１１】
（４）この半導体装置の製造方法において、
前記基板の前記穴によって、前記導電部を前記バンプと重なる領域で露出させてもよい。
【００１２】
（５）この半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、前記半導体チップの外側の領域に設けられてもよい。
【００１３】
（６）この半導体装置の製造方法において、
前記基板の前記穴によって、前記導電部を前記半導体チップの外側の領域で露出させてもよい。
【００１４】
（７）この半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、ランドとして構成されてもよい。
【００１５】
（８）この半導体装置の製造方法において、
前記導電部は、配線パターンとして構成されてもよい。
【００１６】
（９）この半導体装置の製造方法において、
前記（ａ）工程で、前記導電部に前記ワイヤの端部をボンディングした後、前記ワイヤを前記半導体チップの方向に引き出して、前記ワイヤの一部を前記半導体チップの前記電極にボンディングしてもよい。
【００１７】
これによって、例えば、バンプをワイヤに重ねるように設けることが可能になる。
【００１８】
（１０）この半導体装置の製造方法において、
前記（ｂ）工程で、前記バンプを、前記ワイヤにおける前記電極にボンディングされた部分に重ねるように設けてもよい。
【００１９】
（１１）この半導体装置の製造方法において、
前記（ｄ）工程後に、前記基板を剥がすことで、前記導電部を露出させることをさらに含んでもよい。
【００２０】
これによって、簡単に導電部を露出させることができる。
【００２１】
（１２）この半導体装置の製造方法において、
前記（ａ）工程で、複数の半導体チップを、前記基板上で平面的に並べて配置し、
前記（ｄ）工程後に、
（ｅ）前記封止材を切断することで、それぞれの前記半導体チップを備える個片にすることをさらに含んでもよい。
【００２２】
これによれば、複数の半導体装置を同時に製造することができるので、生産性が向上する。
【００２３】
（１３）本発明に係る半導体装置は、上記方法によって製造されてなる。
【００２４】
（１４）本発明に係る半導体装置は、半導体チップと、
前記半導体チップの少なくとも一部を封止する封止部と、
前記封止部の第１の面に露出してなり、前記封止部内でワイヤを介して前記半導体チップと電気的に接続されてなる導電部と、
前記封止部の前記第１の面とは反対の第２の面のうち、前記半導体チップの内側の領域に露出してなり、前記半導体チップ上で突起してなるバンプと、
を含む。
【００２５】
本発明によれば、半導体チップを封止する封止部のうち、第１及び第２の面の両方から電気的な導通を図ることができる。また、バンプは半導体チップ上に設けられるので、バンプの径が比較的小さくても、簡単にバンプを封止部から露出させることができる。
【００２６】
（１５）この半導体装置において、
前記封止部の前記第１の面に設けられた基板をさらに含み、
前記基板は、前記導電部を露出する穴を有してもよい。
【００２７】
（１６）この半導体装置において、
前記導電部は、前記第１の面のうち前記バンプと重なる領域を含むように設けられてもよい。
【００２８】
これによって、例えば、半導体装置の両面のうち、共通な位置に電気的な接続部を形成することができる。したがって、例えば、複数の半導体装置を上下に電気的に接続しやすくなる。
【００２９】
（１７）この半導体装置において、
前記基板の前記穴は、前記導電部を前記バンプと重なる領域で露出してもよい。
【００３０】
（１８）この半導体装置において、
前記導電部は、前記半導体チップの外側の領域に設けられてもよい。
【００３１】
（１９）この半導体装置において、
前記基板の前記穴は、前記導電部を前記半導体チップの外側の領域で露出してもよい。
【００３２】
（２０）この半導体装置において、
前記導電部は、ランドとして構成されてもよい。
【００３３】
（２１）この半導体装置において、
前記導電部は、前記配線パターンとして構成されてもよい。
【００３４】
（２２）本発明に係る半導体装置は、上記半導体装置が積み重ねられてなる。
【００３５】
（２３）本発明に係る回路基板は、上記半導体装置が実装されている。
【００３６】
（２４）本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００３８】
（第１の実施の形態）
図１〜図７は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を示す図である。
【００３９】
図１は、基板に複数の半導体チップが搭載された図であり、導電部及びワイヤは省略してある。図２は、図１の部分平面図である。図３は、図２のIII‐III線断面図である。
【００４０】
図１に示すように、基板１０に複数の半導体チップ２０を搭載する。基板１０は、複数の半導体チップ２０の搭載領域１２を有する。すなわち、本実施の形態では、複数の半導体装置を一括して製造する。複数の搭載領域１２は、図１に示すように複数行複数列（マトリクス状）に配置されてもよい。変形例として、基板１０は１つの半導体チップ２０の搭載領域１２を有し、１つの半導体装置を製造してもよい。
【００４１】
基板１０の形態（材料及び形状など）は限定されない。例えば、基板１０として、半導体装置用基板（パッケージに使用される基板）を使用することができる。基板１０は、有機系の材料（例えばポリイミドテープ）で形成してもよい。
【００４２】
図２に示すように、基板１０には、導電部１４が設けられている。本実施の形態では、導電部１４は、半導体チップ２０の外側の領域から、半導体チップ２０の内側の領域（又は搭載領域１２）に至るように形成されている。図２に示すように、導電部１４は、配線パターンとして構成されてもよい。配線パターンは、複数の配線からなる。配線とは、少なくとも２点間の電気的接続を図るものである。
【００４３】
導電部１４は、半導体装置の製造に使用される配線パターンと同一材料及び同一方法で形成してもよい。導電部１４の材料として、例えば、銅（Ｃｕ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタンタングステン（Ｔｉ−Ｗ）、金（Ａｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケルバナジウム（ＮｉＶ）、タングステン（Ｗ）などのうち少なくともいずれか１つを使用してもよい。導電部１４の形成方法として、例えば、フォトリソグラフィ技術を適用した後にエッチングしてもよいし、スパッタリングを適用してもよいし、アディティブ法を適用してもよい。導電部１４は、接着材料（図示しない）を介して基板１０に貼り付けられて３層基板を構成してもよいし、接着材料なしで基板１０に形成して２層基板を構成してもよい。
【００４４】
導電部１４は、第１及び第２の電気的な接続部１５、１６を有する。第１及び第２の接続部１５、１６は、ランドとなっていてもよい。その場合、各ランドは、ランドの幅よりも小さい幅を有するラインで接続される。ランドを設けることで、電気的な接続領域を広くすることができる。
【００４５】
第１の接続部１５は、半導体チップ２０と電気的に接続される。詳しくは、第１の接続部１５には、ワイヤ２６が接続される。第１の接続部１５は、半導体チップ２０の外側の領域に形成される。
【００４６】
第２の接続部１６は、半導体装置における外部との電気的な接続部となる。詳しくは、第２の接続部１６は、封止材４０から露出する。第２の接続部１６は、半導体チップ２０の内側の領域に形成されてもよい。詳しくは、第２の接続部１６は、半導体チップ２０の電極２２と重なる領域に形成されてもよい。
【００４７】
図３に示すように、基板１０は、複数の穴１８を有する。穴１８は、基板１０の両面を貫通し、導電部１４を露出させている。穴１８は、半導体チップ２０の内側の領域に設けられてもよい。詳しくは、穴１８は、半導体チップ２０の電極２２と重なる領域に形成されてもよい。図３に示す例では、穴１８によって、第２の接続部１６が露出している。穴１８は、導電部１４（図３では第２の接続部１６）で塞がれてもよい。
【００４８】
半導体チップ２０の形状は限定されないが、図１に示すように直方体（立方体を含む）をなすことが多い。半導体チップ２０は、図示しないトランジスタやメモリ素子などからなる集積回路が形成されている。図２及び図３に示すように、半導体チップ２０は、集積回路と電気的に接続した少なくとも１つ（多くの場合複数）の電極２２を有する。電極２２は、半導体チップ２０の面の端部に、外形の２辺又は４辺（図２では対向する２辺）に沿って配置されてもよいし、面の中央部に形成されてもよい。電極２２は、アルミニウム系又は銅系の金属で形成されてもよい。また、半導体チップ２０には、電極２２の中央部を避けて端部を覆って、パッシベーション膜（図示しない）が形成されている。パッシベーション膜は、例えば、ＳｉＯ2、ＳｉＮ、ポリイミド樹脂などで形成することができる。
【００４９】
図１に示すように、複数の半導体チップ２０を、基板１０に平面的に並べて搭載する。半導体チップ２０を、電極２２が形成された面を基板１０とは反対側に向けて配置する。すなわち、半導体チップ２０を基板１０にフェースアップ実装する。図３に示すように、半導体チップ２０を、接着材料２１を介して基板１０に貼り付けてもよい。
【００５０】
図２及び図３に示すように、半導体チップ２０と導電部１４とを電気的に接続する。ワイヤ２６によって両者の電気的な接続を図ってもよい。その場合、ボールボンディング法を適用してもよい。すなわち、図示しないツール（例えばキャピラリ）の外部に引き出したワイヤ２６の先端部をボール状に溶融させ、その先端部を導電部１４（図２及び図３では第１の接続部１５）に熱圧着する（超音波振動も併用すると好ましい）ことで、ワイヤ２６を導電部１４に電気的に接続してもよい。その後、ワイヤ２６を半導体チップ２０の方向に引き出して、ワイヤ２６の一部を半導体チップ２０の電極２２にボンディングする。その場合、図２及び３に示すように、予め電極２２上にバンプ２４を形成しておくことが好ましい。こうすることで、ボンディングの加圧力によって下地となる電極２２が損傷するのを防止できる。ワイヤ２６を、導電部１４、電極２２の順番にボンディングした場合、図３に示すように導電部１４（詳しくは第１の接続部１５）上にはバンプが形成される。
【００５１】
上述のように、ワイヤ２６を導電部１４に先にボンディングすることで、ワイヤ２６の立ち上がり部（再結晶により垂直に立ち上がる部分）を、導電部１４上に配置することができる。すなわち、電極２２上にはワイヤ２６の立ち上がり部が形成されない。そのため、後述するバンプ３０を、電極２２上に、ワイヤ２６に重ねるように設けることが可能になる。
【００５２】
なお、変形例として、ワイヤ２６を電極２２、導電部１４の順番にボンディングしても構わない。
【００５３】
図４に示すように、バンプ３０を半導体チップ２０の電極２２上に設ける。図４に示す例では、バンプ３０を、ワイヤ２６における電極２２にボンディングされた部分に重ねるように設ける。すなわち、図４では、電極２２上には、ワイヤボンディング用のバンプ２４、ワイヤ２６の一部及びバンプ３０が積み重ねられている。バンプ３０は、ワイヤ２６の頂点（ループの最高点）よりも高くなるように形成する。
【００５４】
バンプ３０は、ワイヤボンディング技術を適用したボールバンプ（例えば金バンプ）であってもよい。その場合、必要であれば、バンプ３０をフラットニンブする工程を行ってもよい。
【００５５】
あるいは、バンプ３０は、ハンダボールを搭載することで電極２２上に設けてもよい。その場合、リフロー工程を行うことが好ましいが、本実施の形態によればバンプ３０の径が小さくて済むので、リフローによって溶融したバンプ３０がワイヤ２６に接触するのを確実に防止することができる。あるいは、バンプ３０を、メッキ法（電気メッキ法又は無電解メッキ法）を適用することで形成してもよい。
【００５６】
図４に示す例では、１つのバンプ３０をワイヤ２６に重ねているが、これとは別に、複数のバンプ３０をワイヤ２６に重ねてもよい。すなわち、複数のバンプ３０を半導体チップ２０上で積み重ねてもよい。こうすることで、所望の高さのバンプを簡単に形成することができる。
【００５７】
変形例として、バンプ３０をワイヤ２６に重ねずに、電極２２上に設けても構わない。例えば、１つの電極２２の面のうち、一部にワイヤ２６を（例えばバンプ２４を介して）ボンディングし、他の部分にバンプ３０を設ける。こうすることで、特に、ワイヤ２６を電極２２、導電部１４の順番にボンディングした場合、ワイヤ２６の立ち上がり部分を損傷させずに、バンプ３０を電極２２に電気的に接続させることができる。
【００５８】
次に、図４に示すように、半導体チップ２０を封止する。詳しくは、型（上型５０及び下型５２）によって、基板１０及びバンプ３０を挟むことで空間（キャビティ）５４を形成し、空間５４内に封止材４０を充填する。詳しくは、上型５０をバンプ４０に接触させ、かつ、下型５２を基板１０に接触させる。上型５０は、それぞれのバンプ３０の一部を潰してもよい。こうすることで、確実にバンプ３０を封止材４０から露出させることができる。上型５０は、ワイヤ２６に非接触にすることが好ましい。なお、上型５０及び下型５２は、モールド工程に使用される金型を使用することができる。
【００５９】
上型５０及び下型５２で形成した空間５４に、封止材４０を充填する。封止材４０には、樹脂を使用すればよい。その場合、樹脂はモールド樹脂と呼ぶこともできる。本実施の形態では、複数の半導体チップ２０を一括封止するので、生産性を向上させることができる。
【００６０】
こうして、図５に示すように、基板１０上に封止部４２を形成する。封止部４２における基板１０とは反対側の面は、平坦な面であってもよい。バンプ３０は、型（上型５０）に接触する部分が封止部４２からの露出部となっている。
【００６１】
図５に示すように、半導体装置１は、複数の半導体チップ２０と、基板１０と、封止部４２と、封止部４２の第１の面に露出する導電部１４と、封止部４２の第２の面に露出するバンプ３０と、を含む。本実施の形態では、導電部１４は、バンプ３０と重なる領域を含むように設けられている。半導体装置１は、複数の個片の半導体装置３を製造するための中間製品である。
【００６２】
図５に示すように、半導体装置１を切断する。詳しくは、封止部４２及び基板１０を切断することで、それぞれの半導体チップ２０を備える個片を形成する。切断治具（例えばシリコンウェハの切断に使用されるブレード）５６によって切断してもよい。予め切断ライン（図５では２点鎖線に示すライン）が認識できれば、切断の位置決めが容易になる。
【００６３】
こうして、図６に示すように、半導体装置３を製造することができる。半導体装置３には、封止部４４の第１の面４６に導電部１４が露出し、第２の面４８にバンプ３０が露出する。本実施の形態では、封止部４４の第１の面４６に基板１１が設けられている。基板１１は、上述の基板１０が個片に切断されたもので、半導体装置のインターポーザと呼ぶことができる。
【００６４】
導電部１４は、封止部４４の第１の面４６に露出している。図６に示す例では、封止部４４の第１の面４６に基板１１が設けられており、導電部１４（第２の接続部１６）は基板１１の穴１８から露出している。導電部１４の露出部（第２の接続部１６）には、導電材料（例えばメッキ法による金属皮膜）６０が形成されてもよい。言い換えれば、穴１８内に導電材料６０が設けられてもよい。導電材料６０の厚みは、基板１１の厚み（又は穴１８の深さ）よりも薄くてもよいし、厚くてもよいし、又は同じであってもよい。例えば、導電材料６０の厚みは、基板１１の厚みの約１／２以上であってもよい。導電材料６０を設けることで、複数の半導体装置を積み重ねる場合に、上下の半導体装置の電気的な接続を確実に達成することができる。
【００６５】
なお、導電材料６０を省略する場合には、後述する複数の半導体装置を積層する工程で、穴１８内にハンダクリームなどを設ければよい。
【００６６】
バンプ３０は、封止部４４の第２の面４８に露出している。バンプ３０の露出部には、導電部１４と同様に、導電材料（例えばメッキ法による金属皮膜）６２が形成されてもよい。なお、半導体装置３は、スタックド型の半導体装置５を製造するための中間製品であってもよい。
【００６７】
図７には、複数の個片の半導体装置が積み重ねられたスタックド型の半導体装置が示されている。各半導体装置３の電気的な接続部（導電部１４又はバンプ３０）にはフラックスと共にハンダが設けられ、これらを加熱して溶融するリフロー工程を行うことで、複数の半導体装置３が電気的に接続される。
【００６８】
半導体装置５は、回路基板８０に実装されている。回路基板８０には、所望の配線パターン８２が形成され、配線パターン８２と半導体装置５の外部端子７０とが電気的に接続される。外部端子７０は、最下段の半導体装置３の電気的な接続部（図７では導電部１４）に設けられる。半導体装置５と回路基板８０との間には、樹脂などの封止材（アンダーフィル材）８４を設けることが好ましい。なお、半導体装置５の電気的な接続部（例えば最上段の半導体装置３の電気的な接続部（図７ではバンプ３０））は、絶縁材料（例えば絶縁テープ）８６で覆うことが好ましい。
【００６９】
本実施の形態に係る半導体装置の製造方法によれば、型（例えば上型５０及び下型５２）によって基板１０及びバンプ３０を挟むことで形成した空間５４に封止材４０を充填する。バンプ３０の型（例えば上型５０）に接触する部分には封止材４０が設けられない。そのため、半導体チップ２０を封止する封止部４４のうち、導電部１４とは反対の面からバンプ３０を露出させることができる。したがって、封止部４４のうち、導電部１４の面とバンプ３０の面との両方から簡単に電気的な導通を図ることが可能になる。
【００７０】
また、これによれば、バンプ３０を半導体チップ２０の電極２２上に設ける。そのため、バンプ３０の径が比較的小さくても、簡単にバンプ３０をワイヤ２６の頂点よりも高くすることができる。したがって、バンプ３０の形態の自由度を高めることができる。
【００７１】
本実施の形態に係る半導体装置は、上述の製造方法から選択したいずれかの特定事項から導かれる構成を含み、その効果は上述の効果を備える。本実施の形態に係る半導体装置は、上述の製造方法によって製造されるものを含む。
【００７２】
本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、様々な形態に適用可能である。以下の実施の形態の説明では、他の実施の形態と共通する事項（構成、作用、機能及び効果）は省略する。なお、本発明は、複数の実施の形態を組み合わせることで達成される事項も含む。
【００７３】
（第２の実施の形態）
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。本実施の形態に係る半導体装置の製造方法では、基板１０（又は基板１１）を剥離する工程をさらに含む。すなわち、複数の半導体チップ２０を封止する封止部４２を形成した後、切断工程の前（又は切断工程の後）に基板１０（又は基板１１）を剥がす。こうすることで、導電部１４を簡単に露出させることができる。
【００７４】
基板１０の材料は限定されないが、剥離できる程度の可撓性を有することが好ましい。例えば、基板１０は、テープであってもよい。また、基板１０は、エネルギー（例えば光（紫外線など））を加えることで保持力が低下する性質を有してもよい。例えば、基板１０は、紫外線硬化型の樹脂で形成してもよい。
【００７５】
導電部１４の材料及び形成方法として、基板１０から剥離しやすい材料及び形成方法を選ぶことが好ましい。例えば、導電部１４を、紫外線硬化型の接着材料によって基板１０に保持させておき、後工程で紫外線を照射して基板１０を剥離してもよい。
【００７６】
封止工程後であって切断工程前に、基板１０を剥がしてもよい。導電部１４は封止部４２によって支持されるので、基板１０を剥がすことで導電部１４を封止部４２の面から露出させることができる。また、半導体チップ２０をフェースアップ実装させた場合には、基板１０を剥がすことで半導体チップ２０の一部を露出させてもよい。基板１０が紫外線硬化型の樹脂で形成される場合には、紫外線を照射することで基板１０における導電部１４の保持力を低下させてもよい。こうすることで、簡単に基板１０を剥がすことができる。
【００７７】
（第３の実施の形態）
図９は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。本実施の形態に係る半導体装置の製造方法では、導電部１１４は半導体チップ２０の外側の領域に設けられている。図９に示す例では、導電部１１４は、半導体チップ２０の外側の領域のみに形成されている。基板１１が設けられる場合、穴１８は、半導体チップ２０の外側の領域で導電部１１４を露出する。
【００７８】
図９に示すように、導電部１１４はランドであってもよい。１つの半導体チップ２０に対応して、複数のランドが設けられる。その場合、ランド自体が、第１の実施の形態で説明した第１及び第２の接続部１５、１６に相当する。詳しくは、ランドの封止部４４側の面にワイヤ２６が電気的な接続され、ランドの基板１１側の面が穴１８から露出する。
【００７９】
複数のランドは、半導体チップ２０の周囲（例えば半導体チップの対向する２辺の側）に複数行複数列（マトリクス状）に配置してもよい。こうすることで、導電部１１４のピッチ変換が可能になる。したがって、半導体装置の電気的な接続部を一定の面として提供することができ、設計自由度が大幅に向上する。ランドの平面形状は、円形、角形（例えば三角形又は四角形）又はそれらの組み合わせ形状のいずれであってもよい。なお、導電部１１４のその他の形態は、上述の導電部１４と同様であってもよい。
【００８０】
本発明の実施の形態に係る半導体装置を有する電子機器として、図１０にはノート型パーソナルコンピュータ１０００が示され、図１１には携帯電話２０００が示されている。
【００８１】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図３】図３は、図２のIII−III線断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図８】図８は、本発明の第２の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図９】図９は、本発明の第３の実施の形態に係る半導体装置を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態に係る電子機器を示す図である。
【符号の説明】
１０  基板
１１  基板
１４  導電部
１８  穴
２０  半導体チップ
２６  ワイヤ
３０  バンプ
４０  封止材
４２  封止部
４４  封止部
４６  第１の面
４８  第２の面
５０  上型
５２  下型
５４  空間
１１４  導電部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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