(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置するための試料載置台と、
この試料載置台上の被検査体に照明光を照射する光路変換光学手段と、
前記試料載置台上の被検査体によって反射された光を通過させて被検査体の像を拡大させる像拡大レンズと、
前記試料載置台が形成された第１のケースと、
前記光路変換光学手段及び前記像拡大レンズが形成された第２のケースと、
前記第１のケースと前記第２のケースを開閉可能に接続するヒンジ部と、を備えた試料検査用ケースであって、
前記第１のケースと前記第２のケースを閉じた際に、前記第１のケースと前記第２のケースとによって密閉された空間内に前記試料載置台が位置し、
前記試料載置台上に載置した被検査体に塗布した塗布液のうちの前記試料載置台から流下する余剰塗布液を収容するスペースが、前記第１のケースの前記試料載置台の周囲に形成されており、
前記スペース内には、前記余剰塗布液を吸収する廃液吸収体が配置された、
ことを特徴とする試料検査用ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ＩＣデバイス等の被検査体を肉眼で検査するために使用される試料検査用ケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
被検査体としてのＩＣデバイスは、バーンインテスト等の通電テスト時に、▲１▼ＩＣソケットのコンタクトピンに接触してデバイス表面又は接続端子が傷付けられることがあったり、▲２▼ラッチ，ヒートシンク等の押圧部材によって、ＩＣソケットに押圧固定される際にデバイス表面に打痕等の傷が付くことがあり、その傷の程度を通電テスト終了後に作業者の目でチェックするようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このＩＣデバイスの傷のチェックは、傷自体が微小であるため、傷であるのか又は金属粉等の異物の付着であるのかの判断が困難な場合があった。このような場合、ＩＣデバイスの観察面を洗浄できたり、また、その洗浄した観察面に照明光を当て、しかもその観察面を拡大して見ることができれば、作業者がＩＣデバイスの傷のチェックを容易且つ確実に行うことが可能になる。
【０００４】
そこで、本発明は、ＩＣデバイスに形成された微小な傷のチェックは勿論のこと、ＩＣデバイス以外の被検査体の観察に使用することにより、被検査体の検査作業を容易且つ確実なものとする試料検査用ケースを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、被検査体を載置するための試料載置台と、この試料載置台上の被検査体に照明光を照射する光路変換光学手段と、前記試料載置台上の被検査体によって反射された光を通過させて被検査体の像を拡大させる像拡大レンズと、前記試料載置台が形成された第１のケースと、前記光路変換光学手段及び前記像拡大レンズが形成された第２のケースと、前記第１のケースと前記第２のケースを開閉可能に接続するヒンジ部と、を備えた試料検査用ケースに関するものである。この発明において、前記第１のケースと前記第２のケースを閉じた際に、前記第１のケースと前記第２のケースとによって密閉された空間内に前記試料載置台が位置するようになっている。また、前記試料載置台上に載置した被検査体に塗布した塗布液のうちの前記試料載置台から流下する余剰塗布液を収容するスペースが、前記第１のケースの前記試料載置台の周囲に形成されている。そして、前記スペース内には、前記塗布液の余剰分を吸収する廃液吸収体が配置されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。
【０００９】
［第１の実施の形態］
図１〜図４は、本発明の実施の形態に係る試料検査用ケース１を示すものである。このうち、図１は、下部ケース２と上部ケース３を開いた状態を示す平面図である。また、図２は、下部ケース２に上部ケース３を重ねて閉じた状態を示す断面図である。また、図３は図１のＡ方向から見た側面図であり、図４は図１のＢ方向から見た側面図である。
【００１０】
これらの図に示すように、試料検査用ケース１は、下部ケース２と上部ケース３とがヒンジ部４を介して接続され、ヒンジ部４を中心として開閉できるようになっている。この試料検査用ケース１は、少なくとも、上部ケース３が外部から観察可能な透明性樹脂材料で形成されており、下部ケース２が洗浄液や試薬を収容・保持できる耐薬品性を有する樹脂材料で形成されている。尚、上部ケース３は、少なくとも後述するプリズムカット部１４及び像拡大レンズ１５が、観察可能な透明性樹脂材料で形成されていればよい。また、特に洗浄液や試薬を使用しない場合や耐薬品性を考慮しなくても良い場合には、試料検査用ケース１の全体を上部ケース３用の透明性樹脂材料で一体成形するようにしてもよい。
【００１１】
下部ケース２は、洗浄液や試薬等の液体（塗布液）の余剰分を充分に収容できる深さ（スペース）に形成され、そのほぼ中央部に試料載置台５が側壁６よりも上方へ出っ張るように突出形成されている（図２及び図３参照）。下部ケース２の試料載置台５は、略円錐形状の先端部分を斜めに切り落としたような形状に形成されており、試料載置面７が図２のように約１５度傾斜（試料検査用ケースの中心線Ｌ０と試料載置面７の法線Ｌ１とのなす角が約１５度になるように傾斜）している。そして、この下部ケース２の底面８には廃液吸収体１０が固定（例えば、接着固定）されるようになっており、試料載置台５上に載置した被検査体１１に塗布した洗浄液や試薬等の廃液（余剰塗布液）を廃液吸収体１０で吸収するようになっている。尚、試料載置面７上にＩＣパッケージ等の被検査体１１を位置決めする位置決め突起１２を形成しておき、その位置決め突起１２内に被検査体１１を係合すれば、試料検査用ケース１を傾けても被検査体１１が試料載置面７上からずれ落ちるようなことがない。
【００１２】
上部ケース３は、図２に示すように、試料載置台５の中心部の法線Ｌ１と上面１３との交点Ｑ１の近傍から上面１３とのなす角度αが約１５度となるように傾斜する光路変換光学手段としてのプリズムカット部１４が形成されると共に、レンズ中心線Ｌ２が試料載置台５の中心部の法線Ｌ１と約３０度の傾斜角度で交差する像拡大レンズ１５とが形成されている。このうち、プリズムカット部１４は、図２の上下方向に沿って上から下に進行する光の進行方向を試料載置台５上の被検査体１１の表面に向かうように変換し、室内蛍光灯等の照明手段からの光を効率的に被検査体１１の照明光として利用できるようになっている。また、像拡大レンズ１５は、被検査体１１の表面で反射された光を透過させ、観察者の網膜上に拡大した像を結像させるようになっている。尚、図１において、プリズムカット部１４及び像拡大レンズ１５は、その幅寸法Ｗ１が少なくとも被検査体１１の幅寸法Ｗ２よりも大きな寸法になるように形成されている。
【００１３】
ここで、プリズムカット部１４は、図５に詳細を示すように、その上面１６が鏡面状に形成されており、その上面１６と上部ケースの上面１３とのなす角αが約１５度になるように形成されている。また、プリズムカット部１４の下面全域には、断面略三角形状の微小突起１７が一定ピッチで多数形成されている。プリズムカット部１４の微小突起１７は、頂角がθ（例えば約６１度）で且つプリズムカット部１４の上面１６に対してβ（例えば約２９度）の傾斜面１８を備えた断面略三角形状に形成されている。
【００１４】
そして、上部ケース３をヒンジ部４を中心として回動させて下部ケース２上に重ね合わせ、上部ケース３の側面２０に形成された係合突起２１と下部ケース２の側面２２に形成された係合突起２３とを凹凸係合させることにより、下部ケース２の上に上部ケース３を重ね合わせて閉じることができ、試料載置台５上に載置された被検査体１１を下部ケース２と上部ケース３とによって密閉された空間内に収容・保持することができる。尚、図２に示すように、上部ケース３の下部ケース２との重ね合わせ面側に吸収体押さえ用リブ２４を形成しておき、上部ケース３を下部ケース２に重ね合わせた際に、吸収体押さえ用リブ２４で廃液吸収体１０を下部ケース２の底面８に押さえつけて固定するようにしてもよい。
【００１５】
以上のように構成された本実施の形態の試料検査用ケース１は、上部ケース３を開いた状態において、試料載置台５の試料載置面７上に被検査体１１を載置し、その後、被検査体１１の観察面に洗浄液や試薬等の液体を塗布する。この際、試料載置台５から流下する余分な液体が下部ケース２の底部に溜まり、その液体が廃液吸収体１０に吸収される。次いで、上部ケース３を下部ケース２に重ね合わせ、上部ケース３の係合突起２１と下部ケース２の係合突起２３とを凹凸係合させる。これにより、下部ケース２と上部ケース３とで密閉された空間内の試料載置台５上に被検査体１１が収容・保持される。次いで、この状態の試料検査用ケース１を観察者（作業者）が手に持ち、蛍光灯等の照明手段からの光をプリズムカット部１４を介して試料載置台５上の被検査体１１に照射し、その被検査体１１からの反射光を像拡大レンズ１５を介して観察者が観察する。
【００１６】
以上のような本実施の形態によれば、洗浄液や試薬を塗布されて観察面の異物が除去された状態の被検査体１１を、下部ケース２と上部ケース３とによって密閉された空間内に収容・保持することができるため、観察時に大気中のゴミや不純物が被検査体１１の観察面に付着するようなことがなく、正確な検査作業を行うことができる。
【００１７】
また、本実施の形態によれば、試料載置台５上の被検査体１１にプリズムカット部１４を介して効率的に光を照射し、その反射光を像拡大レンズ１５を介して観察することにより、被検査体１１の観察面を拡大した状態で見ることができるため、被検査体１１の検査作業が容易化する。
【００１８】
例えば、本実施の形態の試料検査用ケース１を被検査体１１としてのＩＣデバイスの傷の検査に使用すれば、ＩＣデバイスの傷の程度を容易且つ正確に観察することができる。また、本実施の形態の試料検査用ケース１は、ＩＣデバイス以外の被検査体１１の試薬に対する反応等を光学的に検査する（被検査体１１の色を観察等する）場合に使用しても、被検査体１１の検査作業を容易且つ正確に行うことができる。
【００１９】
また、本実施の形態によれば、下部ケース２内に廃液吸収体１０が配置されているため、洗浄液や試薬等の余剰塗布液が廃液吸収体１０に吸収され、余剰塗布液が試料検査用ケース１から外部に漏出するようなことがない。
【００２０】
尚、本実施の形態は、光路変換光学手段としてプリズムカット部１４を例示したが、これに限られず、レンズや反射鏡で光路を変換するようにしてもよい。
【００２１】
また、本実施の形態は、試料載置台５として円錐形状の先端を斜めに切り落とした態様のものを例示したが、これに限られず、多角錐形状の先端を斜めに切り落とした態様のものを下部ケース２に突出形成するようにしてもよい。
【００２２】
また、本実施の形態は、蓋として機能する上部ケース３と下部ケース２をヒンジ部４を介して一体成形（例えば、射出成形）する態様を例示したが、これに限られず、下部ケース２と上部ケース３を別々に形成するようにしてもよい。
【００２３】
また、本実施の形態は、蛍光灯の光や太陽光等の照明光をプリズムカット部１４から採り入れるように構成されているが、上部ケース３に発光ダイオード（ＬＥＤ）等の光源を取り付けて、その光源からの光を照明光として使用するようにしてもよい。このようにすれば、室内灯や自然光のみでは充分な明るさの照明光を得ることができない場合でも、被検査体１１を肉眼で検査できるような十分な明るさで照明することが可能になる。
【００２４】
また、本実施の形態は、下部ケース２と上部ケース３とを閉じた状態で固定する手段として係合突起２１，２３を例示したが、これに限られず、下部ケース２と上部ケース３とを閉じた状態で保持できるものであればよい。例えば、下部ケース２と上部ケース３を閉じた状態で輪ゴムを巻き付け、下部ケース２と上部ケース３とを閉じた状態で保持するようにしてもよい。また、図６に示すように、下部ケース２と上部ケース３の少なくとも一方に形成した棒状突起２５を下部ケース２と上部ケース３の少なくとも他方に形成した穴２６にテーパ嵌合させ、棒状突起２５と穴２６の摩擦抵抗で下部ケース２と上部ケース３を一体化するようにしてもよい。
【００２５】
また、本実施の形態の試料載置台５に、被検査体１１を試料載置台５に固定させるための固定手段を付加すれば、試料検査用ケース１が机上から落下するなどして、試料検査用ケース１に多大な衝撃が加わったとしても、被検査体１１を試料載置台５から脱落することなく確実に固定させることができる。
【００２６】
このような固定手段は、図示はしないが、例えば、試料載置台５の試料載置面７と略同一の大きさを有する透明な板状の蓋体を準備し、この蓋体の一端側を試料載置台５に回転可能に取り付けると共に、他端側を試料載置台５に対して係脱可能に形成すること等により構成することができる。このような構成とすることにより、試料載置台５の試料載置面７上に被検査体１１を載置した後、蓋体を試料載置面７と重なるように回転させ、蓋体の他端側を試料載置台５に係合させれば、蓋体により、試料載置面７を覆うことができ、被検査体１１を試料載置台５に固定することができる。なお、この場合、プリズムカット部１４からの照明光が蓋体の表面にて反射されてしまい、被検査体１１の表面を観察しにくくなる場合があるので、蓋体の表面に反射防止処理を施すことが好ましい。
【００２７】  また、試料載置面７に両面テープを貼付しておき、この両面テープ上に被検査体１１を載置することによっても固定手段とすることができる。
【００２８】
また、本実施の形態において、各部の角度寸法は例示であって、被検査体１１や使用条件等に応じて最適な数値が設定される。
【００２９】
［第２の実施の形態］
図７〜図８は、本発明の第２の実施の形態に係る試料検査用ケース３０を示すものである。これらの図に示すように、本実施の形態の試料検査用ケース３０は、ケース本体３１内部に試料載置台３２を出し入れ可能に構成し、ケース本体３１のプリズムカット部３３を介して採り入れた光を試料載置台３２上の被検査体３４に照射し、その被検査体３４からの反射光を像拡大レンズ３５を介してケース本体３１の外部に取り出し、像拡大レンズ３５によって拡大された像を観察者が観察できるようになっている。
【００３０】
ここで、試料載置台３２は、下部載置台３６上の被検査体３４を密閉できる蓋３７が取り付けられており、ケース本体３１の外部で保管する場合に、下部載置台３６上に蓋３７を被せ、大気中の浮遊ゴミや不純物が被検査体３４の表面に付着するのを防止するようになっている。一方、この試料載置台３２は、被検査体３４を検査する場合であって、ケース本体３１内に挿入する際に、蓋３７を開けて、被検査体３４を露出させた状態にする。したがって、本実施の形態の試料検査用ケース３０は、下部ケース２と上部ケース３を常時閉じた状態で取り扱う（検査する）前記第１の実施の形態に比較して、不純物や浮遊ゴミが被検査体３４表面に付着しやすいので、試料載置台３２をケース本体３１内に挿入する際にゴミ等の被検査体３４への付着に充分注意する必要がある。
【００３１】
また、本実施の形態の試料検査用ケース３０は、試料載置台３２を出し入れすることを前提に形成されているため、全体が構造が前記第１の実施の形態よりも大きくなるので、保管場所や検査場所を充分に確保できる場合に使用すると効果的である。
【００３２】
このような構成の本実施の形態の試料検査用ケース３０によれば、前記第１の実施の形態と同様に、被検査体３４表面の検査を容易且つ確実に行うことができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、試料載置台上に被検査体を載置し、この被検査体の表面に光路変換光学手段を介して照明光を照射し、この被検査体からの反射光を像拡大レンズを透過させることにより、被検査体表面を明るく照らした状態で且つ拡大して観察することができる。したがって、本発明によれば、被検査体を正確且つ容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る試料検査用ケースの開いた状態を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る試料検査用ケースの閉じた状態を示す縦断面図である。
【図３】図１のＡ方向から見た図である。
【図４】図１のＢ方向から見た図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る試料検査用ケースのプリズムカット部の一部を拡大して示す図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る試料検査用ケースの変形例を示す平面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る試料検査用ケースの縦断面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る試料検査用ケースの平面図である。
【符号の説明】
１，３０……試料検査用ケース、２……下部ケース（第１のケース）、３……上部ケース（第２のケース）、４……ヒンジ部、５，３２……試料載置台、１１，３４……被検査体、１４，３３……プリズムカット部（光路変換光学手段）、１５，３５……像拡大レンズ
【図１】
0003979524.tif 000002
【図２】
0003979524.tif 000003
【図３】
0003979524.tif 000004
【図４】
0003979524.tif 000005
【図５】
0003979524.tif 000006
【図６】
0003979524.tif 000007
【図７】
0003979524.tif 000008
【図８】
0003979524.tif 000009