(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に複数のチップパッドが夫々形成された複数の半導体チップと、
それら各チップパッドから前記各半導体チップの上面縁部位まで夫々延長形成された導線と、
前記複数の半導体チップが各半導体チップ間に第１接着部材を介して夫々接着して積層形成されたパッケージ本体と、
該パッケージ本体の上下面及び一方側面に第３接着部材により接着された熱伝導性物質から成るヒートシンクと、
前記パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第２接着部材により接着されたタップテープと、
該タップテープの下面に接着形成された複数のソルダーボールと、を備えて構成され、
前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質を有することを特徴とする積層型半導体パッケージ。
【請求項２】
前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質から成ることを特徴とする請求項１記載の積層型半導体パッケージ。
【請求項３】
前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いることを特徴とする請求項１又は２記載の積層型半導体パッケージ。
【請求項４】
各半導体チップの上面に夫々形成された複数のチップパッドから該半導体チップの上面の一方側縁部位まで導線を夫々形成する工程と、
このように形成された複数の半導体チップを各半導体チップ間に第１接着部材を介して相互接着し積層してパッケージ本体を形成する工程と、
該パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第２接着部材を用いてタップテープを接着する工程と、
該パッケージ本体の前記タップテープが接着された側面を除いた他の３方側面に第３接着部材により熱伝導性物質から成るヒートシンクを夫々接着する工程と、
該パッケージ本体の前記タップテープの下面にソルダーボールを夫々接着する工程と、を順次行い、
前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質とを有することを特徴とする積層型半導体パッケージの製造方法。
【請求項５】
前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質であることを特徴とする請求項４記載の積層型半導体パッケージの製造方法。
【請求項６】
前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いることを特徴とする請求項４又は５記載の積層型半導体パッケージの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の半導体チップを積層して形成した積層型半導体パッケージに関し、詳しくは、上記複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の周りに放熱用のヒートシンクを設け半導体チップの発生熱を外部に放出することができる積層型半導体パッケージ及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の積層型半導体パッケージの１例においては、図６（Ａ）に示したように、半導体基板１の上面に複数の半導体チップ２が絶縁性接着部材３を介して接着積層され、前記各半導体チップ２のチップパッド５と前記半導体基板１とはループ状に湾曲する導線４により連結されていた。このような構造は、複数の半導体チップ２を半導体基板１の上面に順次積層して構成していたため、図６（Ｂ）に示したように、半導体チップ２の積層数が増大すると導線４のループの形状が大きくなり、その分だけパッケージの容積が増大され、半導体パッケージの軽薄短小化を図ることが難しかった。
【０００３】
また、従来の積層型半導体パッケージの他の例においては、図７に示したように、所定間隔で並列された複数の半導体チップ１０、１０’の上下両面に夫々バンプ１１が形成され、それらバンプ１１に内部リード１２が夫々接続され、それら内部リード１２に外部リード１３が連結して延長形成され、前記各半導体チップ１０、１０’、及び内部リード１２を包含する所定部位がエポキシモールディング樹脂によりモールド成形されてパッケージ本体の成形部１４が構成されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の積層型半導体パッケージにおいては、パッケージの動作時に、前記積層された半導体チップ１０、１０’から熱が発生するが、該発生熱が外部リード１３側に十分に放出されるような構造とはされていないため、パッケージ本体の成形部１４内に熱がこもることがあり、パッケージの内部に異状を起こして製品の信頼性が低下することがあった。
【０００５】
そこで、本発明の第１目的は、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の周りに放熱用のヒートシンクを備えて、熱の放出を良好にさせ、製品の信頼性を向上し得る積層型半導体パッケージ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【０００６】
また、本発明の第２目的は、半導体チップのチップパッドを、放熱用金属パターン化のタップテープに導線により連結して半導体パッケージの軽薄短小化を図り得る積層型半導体パッケージ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る積層型半導体パッケージは、上面に複数のチップパッドが夫々形成された複数の半導体チップと、それら各チップパッドから前記各半導体チップの上面縁部位まで夫々延長形成された導線と、前記複数の半導体チップが各半導体チップ間に第１接着部材を介して夫々接着して積層形成されたパッケージ本体と、該パッケージ本体の上下面及び一方側面に第３接着部材により接着された熱伝導性物質から成るヒートシンクと、前記パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第２接着部材により接着されたタップテープと、該タップテープの下面に接着形成された複数のソルダーボールと、を備えて構成され、前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質を有するものである。
【０００８】
また、前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質から成るものである。
【０００９】
さらに、前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いるものとすればよい。
【００１１】
また、上記のように構成された本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法は、各半導体チップの上面に夫々形成された複数のチップパッドから該半導体チップの上面の一方側縁部位まで導線を夫々形成する工程と、このように形成された複数の半導体チップを各半導体チップ間に第１接着部材を介して相互接着し積層してパッケージ本体を形成する工程と、該パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第２接着部材を用いてタップテープを接着する工程と、該パッケージ本体の前記タップテープが接着された側面を除いた他の３方側面に第３接着部材により熱伝導性物質から成るヒートシンクを夫々接着する工程と、該パッケージ本体の前記タップテープの下面にソルダーボールを夫々接着する工程とを順次行い、前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質とを有する積層型半導体パッケージを製造するものである。
【００１２】
上記積層型半導体パッケージの製造方法において、前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質とされている。
【００１３】
また、上記積層型半導体パッケージの製造方法において、前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いるものとすればよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明による積層型半導体パッケージの実施の形態を示す縦断面図である。図１において、この積層型半導体パッケージは、複数の半導体チップ２０を積層して形成されており、各半導体チップ２０の上面には、複数のチップパッド２０ａが夫々形成されている。そして、上記各チップパッド２０ａからは、前記各半導体チップ２０の上面の一方側縁部位まで、導線２１が夫々延長して形成されている。なお、この導線２１は、例えば金属線などの電導性物質から成る。このような状態で、前記複数の半導体チップ２０は、各半導体チップ２０間に絶縁性物質から成る第１接着部材２２を介して夫々接着され、複数層に積層してパッケージ本体２３が形成されている。
【００１６】
前記パッケージ本体２３の導線２１が延長された側面には、電導性物質から成る第２接着部材２４によりタップテープ２５が接着されている。このタップテープ２５は、各半導体チップ２０を後述の印刷回路基板２９に接続させるためのもので、その構造は、中央部に形成された金属パターン２５ｂと、この金属パターン２５ｂの上下部に形成された接着層２５ａと、この接着層２５ａ上に所定間隔をおいて形成されたビアホール２５ｃとから成り、これらのビアホール２５ｃは電導性物質２５ｄで充填されている。
【００１７】
前記パッケージ本体２３の上下面及び一方側面、すなわち上記タップテープ２５が接着された側面を除いた他の三方側面には、第３接着部材２６により熱伝導性物質から成るヒートシンク２７が接着されている。このヒートシンク２７は、各半導体チップ２０からの発生熱を外部に放出するためのもので、銅（Ｃu）、銅（Ｃu）とニッケル（Ｎi）との合金、又はアルミニウム（Ａl）のうち何れか一つを用いるようになっている。
【００１８】
そして、前記タップテープ２５の下面には、複数のソルダーボール２８が接着されている。このソルダーボール２８は、前記各半導体チップ２０を後述の印刷回路基板２９に接続させる際に実際に該印刷回路基板２９の端子部と接続するもので、前記電導性物質２５ｃの充填されたビアホール２５ｂの下面に夫々接着されている。
【００１９】
次に、このように構成された本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法について図２及び図３を参照して説明する。先ず、図２（Ａ）に示したように、半導体チップ２０の上面に複数のチップパッド２０a を夫々形成し、それらチップパッド２０a から半導体チップ２０の上面の一方側縁部位まで導線（例えば、金属線）２１を夫々延長形成する。
【００２０】
次いで、図２（Ｂ）に示したように、上記のように形成された複数の半導体チップ２０を各半導体チップ２０間に絶縁性物質の第１接着部材２２を介して相互接着し、積層してパッケージ本体２３を形成する。これにより、前記各半導体チップ２０のチップパッド２０a からそれら半導体チップ２０の上面の一方側のエッジまで各導線２１が第１接着部材２２中を通って延長形成された状態になる。
【００２１】
次いで、図３（Ａ）に示したように、前記パッケージ本体２３の前記各導線２１の延長された側面に電導性物質の第２接着部材２４を用いてタップテープ２５を接着形成する。このとき、該タップテープ２５は、まず、中央部に金属パターン２５b を形成し、該金属パターン２５b の上下部に接着層２５a を形成した後、該接着層２５a 上に所定間隔を置いてビアホール２５c を形成し、これらのビアホール２５c 内に電導性物質２５d を充填した後、前記パッケージ本体２３の側面に接着する。
【００２２】
次いで、図３（Ｂ）に示したように、前記タップテープ２５が接着された一側面を除いた前記パッケージ本体２３の他の３方側面に夫々第３接着部材２６により熱伝導性物質のヒートシンク２７を夫々接着する。このとき、該ヒートシンク２７は、銅（Ｃu）、銅（Ｃu）とニッケル（Ｎi）との合金、又はアルミニウム（Ａl）のうち何れか一つを用いる。
【００２３】
次いで、図３（Ｃ）に示すように、前記ビアホール２５c に充填された電導性物質２５d の下面にソルダーボール２８を夫々接着して積層型半導体パッケージの製造を終了する。
【００２４】
図４は、以上のようにして製造された積層型半導体パッケージを印刷回路基板２９上に実装した状態を示す斜視図である。また、図５は、図４のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ面及びこれと直交するＡ″，Ｂ″，Ｃ″，Ｄ″面で上記積層型半導体パッケージを切断して示す斜視図である。これにより、積層型半導体パッケージが前記タップテープ２５によって印刷回路基板２９に接続される状態がわかる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の３方の側面に熱伝導性物質から成るヒートシンクが接着形成されていることから、各半導体チップの発生熱を前記ヒートシンクを介して外部に放出することができる。
【００２６】
また、各半導体チップ上に形成されたチップパッドとタップテープとが、パッケージ本体のエッジまで形成された導線により連結されるため、半導体パッケージを軽薄短小化することができる。
【００２７】
さらに、前記パッケージ本体に形成され熱放出を行うヒートシンクの物質を、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いれば良いため、原価を低減することができる。
【００２８】
さらにまた、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の一側面にタップテープとソルダーボールを形成したことにより、該パッケージ本体を前記タップテープとソルダーボールにより印刷回路基板に連結することができ、半導体パッケージの軽薄短小化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る積層型半導体パッケージの実施の形態を示す縦断面図である。
【図２】本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図３】同じく本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４】本発明に係る積層型半導体パッケージが印刷回路基板上に実装された状態を示す斜視図である。
【図５】図４に示す積層型半導体パッケージをＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ面及びＡ″，Ｂ″，Ｃ″，Ｄ″面で切断して示す斜視図である。
【図６】従来の積層型半導体パッケージの１例を示した縦断面図である。
【図７】従来の積層型半導体パッケージの他の例を示した縦断面図である。
【符号の説明】
２０…半導体チップ
２０ａ…チップパッド
２１…導線
２２…第１接着部材
２３…パッケージ本体
２４…第２接着部材
２５…タップテープ
２５ａ…接着層
２５ｂ…金属パターン
２５ｃ…ビアホール
２５ｄ…電導性物質
２６…第３接着部材
２７…ヒートシンク
２８…ソルダーボール
２９…印刷回路基板
【図１】
0003879033.tif 000002
【図２】
0003879033.tif 000003
【図３】
0003879033.tif 000004
【図４】
0003879033.tif 000005
【図５】
0003879033.tif 000006
【図６】
0003879033.tif 000007
【図７】
0003879033.tif 000008