(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気めっきを行うめっき装置において、
めっき処理槽で被めっき物へ給電する定電流電源と、被めっき物へ微弱電圧を印加する定電圧電源を設け、これらの電源の出力は被めっき物に対して並列に接続され、電源の出力のオン／オフ制御は定電流電源についてのみ行い、定電圧電源の出力は前記定電流電源がオフのときも含めて常時オンであることを特徴とするめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電解めっきを行うめっき方法及びめっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のめっき方法及び装置においては、被めっき物に対してめっき処理槽でのみ給電を行っていた。関連するものとして、特開平10−330987号公報がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術は、被めっき物のめっき処理槽への投入時、めっき処理槽からの払出時及び水洗処理などの前処理，後処理時に、被めっき物に給電が行われていない状態で被めっき物がめっき液またはめっき液の混じった液体と触れることについて配慮がされておらず、被めっき物がエッチングまたは腐食される問題があった。
【０００４】
本発明の目的は被めっき物のエッチング及び腐食を防止することにある。
【０００５】
本発明の他の目的はエッチング及び腐食防止用の定電圧電源の制御を容易にすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明によるめっき装置はめっき処理槽で被めっき物に給電を行う定電流電源と、被めっき物に常時給電を行う定電圧電源と、被めっき物または被めっき物を装着するめっき治具と定電圧電源の陰極を接続する陰極電極と、定電流電源と定電圧電源に共通な陽極電極及び電線を設け、被めっき物に対し常時給電を行えるようにしたものである。定電圧電源は常時微弱電圧を出力している。それによって定電流電源が出力を行っていない状態で被めっき物の一部がめっき液に触れても非常に遅い析出速度でめっきが施されることになるので、被めっき物がエッチングまたは腐食されることがない。
【０００７】
また、この発明によるめっき装置は前処理槽及び後処理槽で被めっき物に給電を行う定電圧電源を設け、めっき処理槽以外の処理槽で被めっき物に対し給電を行えるようにしたものである。定電圧電源は常時微弱電圧を出力している。それによって前処理槽及び後処理槽で被めっき物がめっき液の混じった液体に触れると、非常に遅い析出速度でめっきが施されることになるので、被めっき物がエッチングまたは腐食されることがない。
【０００８】
上記他の目的を達成するために、定電流電源と定電圧電源の陽極を共通としている。それにより被めっき物がめっき液に触れると、被めっき物に対して定電流電源と定電圧電源が並列接続されていることになる。定電圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力しているが、定電流電源が出力を開始すると定電流電源の出力電圧
Ｖ２はＶ１に対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため被めっき物に対しカットオフの状態となる。それによって定電圧電源の出力のオン／オフ制御を特別に行わなくてもよく、電源の制御が容易になる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図１により説明する。
【００１０】
符号１はめっき液Ｍを貯えためっき処理槽、２は陽極電極、３は定電流電源、４は定電圧電源、５は定電流電源の陰極電極、６は微弱電圧印加電極（定電圧電源の陰極電極）、７は被めっき物であるウエハＷ１を装着しためっき治具、８はめっき治具の陰極電極、９はめっき治具微弱電圧印加電極、１０は定電流電源のオン／オフ制御部、Ｓは電源オン／オフ信号である。
【００１１】
本実施例の特徴となる構成は常時微弱電圧を出力している定電圧電源４、及び移動中のウエハに電圧を印加できる陰極電極６を備えたことである。
【００１２】
次にめっき治具７をめっき処理槽１に投入する際及びめっき処理槽１から払出す際の状態について図２により説明する。
【００１３】
定電流電源３は陰極電極５とめっき治具の陰極電極８が接触することによってウエハＷ１に給電を行うことができるが、めっき治具７をめっき処理槽１に投入する際、陰極電極５とめっき治具の陰極電極８が接触する前にウエハＷ１がめっき液Ｍに触れてしまい、定電流電源３はウエハＷ１に給電を行うことができない。同様にめっき治具７をめっき処理槽１から払出す際、ウエハＷ１がめっき液Ｍに触れた状態で陰極電極５とめっき治具の陰極電極８が離れてしまい、定電流電源３はウエハＷ１に給電を行うことができない。このとき定電圧電源４は陰極電極である微弱電圧印加電極６から微弱電圧を出力しているので、ウエハＷ１は非常に遅い速度でめっきが施されることになり、ウエハＷ１表面のエッチング及び腐食が防げる。
【００１４】
また、定電流電源３と定電圧電源４はウエハＷ１と陽極電極２に対して並列接続されており、定電圧電源は常時微弱電圧Ｖ１を出力している。定電流電源が出力を開始すると定電流電源の出力電圧Ｖ２はＶ１に対しＶ２＞Ｖ１の関係があるため、ウエハＷ１に対しＶ２が支配的となりＶ１はカットオフ状態となって影響を持たなくなる。
【００１５】
それによって定電圧電源は定電流電源のように出力のオン／オフを行う制御部１０を持たなくてよく、電源の制御が容易になる。
【００１６】
以下、本発明の他の実施例を図３により説明する。
【００１７】
符号１１は洗浄水などの液体Ｌを貯えた前処理槽または後処理槽、１２は陽極電極、１３は定電圧電源、１４は定電圧電源の陰極電極である微弱電圧印加電極、１５はウエハＷ２を装着しためっき治具、１６はめっき治具の陰極電極、１７はめっき治具微弱電圧印加電極である。
【００１８】
本発明の特徴となる構成は、前処理槽及び後処理槽にめっき処理槽と同様の陽極電極１２及び陰極電極である微弱電圧印加電極１４と、常時微弱電圧を出力している定電圧電源１３を備えたことである。
【００１９】
次に前処理槽及び後処理槽での処理について説明する。
【００２０】
前処理槽及び後処理槽に貯えられた洗浄水などの液体Ｌには、ウエハＷ２やめっき治具１５に付着しためっき液が混じっており、この液体Ｌに電圧が印加されない状態のウエハＷ２が触れると、ウエハＷ２はめっき液に触れたときと同様にエッチングまたは腐食される。このとき定電圧電源１３が微弱電圧を出力していると、ウエハＷ２は非常に遅い速度でめっきが施されることになり、ウエハＷ２表面のエッチング及び腐食が防げる。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、めっき処理槽及び前処理槽，後処理槽でのウエハ表面のエッチング及び腐食を防止できるという効果を奏する。また、電源の制御が容易になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例のめっき装置めっき処理槽部概略構成図である。
【図２】図１の補足図である。
【図３】本発明の一実施例のめっき装置前処理槽部，後処理槽部概略構成図である。
【符号の説明】
１…めっき処理槽、２，１２…陽極電極、３…定電流電源、４，１３…定電圧電源、５…陰極電極、６，１４…微弱電圧印加電極、７，１５…めっき治具、８，１６…めっき治具陰極電極、９，１７…めっき治具微弱電圧印加電極、１０…電源オン／オフ制御部、１１…前処理槽または後処理槽、Ｗ１，Ｗ２…ウエハ、Ｍ…めっき液、Ｓ…電源オン／オフ信号、Ｌ…液体。
【図１】
0003984767.tif 000002
【図２】
0003984767.tif 000003
【図３】
0003984767.tif 000004