(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％、Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％、Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％、Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％、Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下を含み、残部としてＦｅおよび不可避的不純物を含有し、かつ塩化第二鉄水溶液に対し不溶性の下記非金属介在物、
（１）  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＳｉＯ２介在物とからなるもの、
（２）  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
（３）  ＳｉＯ２介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
（４）  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物、ＳｉＯ２介在物およびＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物からなるもの、
を含有することを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料。
【請求項２】
Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％、Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％、Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％、Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％、Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下、Ｎｂ：０．０１〜１．０ｗｔ％を含み、残部としてＦｅおよび不可避的不純物を含有し、かつ塩化第二鉄水溶液に対し不溶性の下記非金属介在物、
▲１▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＳｉＯ２介在物とからなるもの、
▲２▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲３▼  ＳｉＯ２介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲４▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物、ＳｉＯ２介在物およびＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物からなるもの、
を含有することを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料。
【請求項３】
Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％、Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％、Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％、Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％、Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃｏ：１〜８ｗｔ％を含み、残部としてＦｅおよび不可避的不純物を含有し、かつ塩化第二鉄水溶液に対し不溶性の下記非金属介在物、
▲１▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＳｉＯ２介在物とからなるもの、
▲２▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲３▼  ＳｉＯ２介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲４▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物、ＳｉＯ２介在物およびＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物からなるもの、
を含有することを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料。
【請求項４】
Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％、Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％、Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％、Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％、Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下、Ｎｂ：０．０１〜１．０ｗｔ％、Ｃｏ：１〜８ｗｔ％を含み、残部としてＦｅおよび不可避的不純物を含有し、かつ塩化第二鉄水溶液に対し不溶性の下記非金属介在物、
▲１▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＳｉＯ２介在物とからなるもの、
▲２▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲３▼  ＳｉＯ２介在物と、ＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、
▲４▼  ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成を有し、かつＣａＯ＋ＭｇＯ≦３０ｗｔ％を満足するＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物、ＳｉＯ２介在物およびＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物からなるもの、
を含有することを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、エッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料に関するものであり、とくに塩化第二鉄水溶液に対して不溶性である非金属介在物を含有するＦｅ−Ｎｉ合金材料を提供する。
背景技術
従来、Ｆｅ−Ｎｉ合金材料は、磁性材料、リードフレーム、シャドウマスクをはじめとして、各種の機能材料として使用されている。これらの材料は、用途に応じて０．１〜１ｍｍ程度の製品板厚に加工されて用いられる。とくに、Ｆｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ合金は、熱膨張率が低いことから、シャドウマスク材として有用である。このシャドウマスク材は、通常、Ｆｅ−Ｎｉ合金板を塩化第二鉄水溶液を用いたエッチング処理により穿孔して製造されている。
シャドウマスク材のエッチング加工性については、表面性状（特開平４−９９１５２号公報等）、面方位（特開平１−２４７５５８号公報等）などの観点から多くの発明がなされている。また、合金中に含まれる非金属介在物に着目して研究された例としては、特開昭６１−８４３５６号公報や特開平７−２６８５５８号公報に開示された例があるが、これらはともに、非金属介在物量を低減することだけを目標にしている。しかし、たとえその非金属介在物量が低減されたとしても、非金属介在物の種類，組成によっては、エッチング加工不良に伴う孔形状不良を起こすことがある。
すなわち、シャドウマスクを製造工程において、塩化第二鉄水溶液を用いたエッチング処理によって穿孔されるとき、たまたまその穿孔位置に非金属介在物が存在していて、そこをエッチングした場合に、該シャドウマスク材料は、孔形状不良となる。特に、その非金属介在物がエッチング液に可溶性だと、孔形状がさらに悪くなる。とりわけ、その非金属介在物の主体がＭｇＯやＣａＯだと、図１に示すように、エッチング溶液により薄板表面に存在する非金属介在物が溶解し、その周辺のＦｅ−Ｎｉ合金を腐食し、エッチング孔の形状を乱すという問題があった。
そこで、本発明の目的は、従来技術が抱えている上述した問題を解決できる技術を開発することにあり、とくにエッチング加工性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金材料を提供することにある。
発明の開示
発明者らは、上掲の課題について、エッチング孔の形状不良を起こさない非金属介在物にするべく種々の検討を行った。即ち、実験室にてまず、Ｆｅ−３６ｗｔ％Ｎｉ合金を溶解し、次いで、その合金溶湯中にＣａＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｆ系スラグを添加し、その後、Ｓｉ、Ｍｎ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｃａなどの脱酸剤にて脱酸し、鋼塊を作製した。この鋼塊を、鍛造または熱間圧延を施し、その後、製品板厚である０．１１ｍｍまで冷間圧延した。その後、塩化第二鉄水溶液（４５ボーメ、温度６０℃）を用いてエッチングし、エッチング開孔部周辺の介在物による腐食状況を調査した。
その結果、発明者らは、Ｆｅ−Ｎｉ合金材料中の非金属介在物は、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系、ＳｉＯ２、ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネルのうちのいずれか１種または２種以上の組成のものであれば、エッチング孔形状不良を防止することができ、ひいてはエッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ合金が得られることを見い出した。
さらに、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物中に含まれるＣａＯ，ＭｇＯの和が３０ｗｔ％を超える場合には、これらの酸化物がエッチング液に溶解してしまい、腐食が進行し、孔形状不良が起こることをつきとめた。
本発明は、上記知見に基づいて開発されたものである。すなわち、本発明は、Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％、Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％、Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％、Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％、Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下、Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下、Ｎｂ：０．０１〜１．０ｗｔ％およびＣｏ：１〜８ｗｔ％を含み、残部としてＦｅおよび不可避的不純物からなる合金組成を有し、その他に、塩化第２鉄に対して不溶性である非金属介在物、即ち、その組成が、ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％，ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％，Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％であるＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物と、ＳｉＯ２介在物および／またはＭｇＯ：５〜４５ｗｔ％，Ａｌ２Ｏ３：５５〜９５ｗｔ％の組成を有するＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３スピネル介在物とからなるもの、または前記ＳｉＯ２介在物とＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３介在物とからなるものを０．０２ｗｔ％以下含有するＦｅ−Ｎｉ合金材料である。ただし、前記ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物はその中に混入する酸化物成分であるＣａＯとＭｇＯの和は３０ｗｔ％以下である。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明に係る合金材料の化学成分とその組成を限定した根拠を、Ｆｅ−Ｎｉ合金の作用とともに説明する。
Ｎｉ：２６〜３７ｗｔ％
Ｎｉは、熱膨張に影響を及ぼす元素であり、Ｃｏを含まない場合、２００℃では３６ｗｔ％付近で熱膨張率が極小となることが知られている。また、Ｃｏを含有する場合は、ＣｏとＮｉの含有量の和が３５〜３８ｗｔ％の範囲で熱膨張率が小さくなる。そこで、Ｎｉの含有量は２６〜３７ｗｔ％と定めた。
Ｓｉ：０．００１〜０．２ｗｔ％
Ｓｉは、溶鋼の脱酸に必要な元素であるとともに、介在物組成をＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系あるいはＳｉＯ２に制御するために必要な元素である。このＳｉの含有量は０．００１ｗｔ％未満だと、介在物の成分をＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系、またはＳｉＯ２に制御できなくなり、必要なエッチング加工性の確保が難しくなる。一方、０．２ｗｔ％を超えると、熱膨張率が大きくなり、要求特性に応えられなくなってしまう。そこで、本発明では、Ｓｉの含有量を０．００１〜０．２ｗｔ％と定めた。この範囲内で好ましくは、０．０１〜０．１ｗｔ％である。
Ｍｎ：０．０１〜０．６ｗｔ％
Ｍｎは、介在物組成をＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系に制御するために有用な元素である。しかしながら、熱膨張率を上げる元素でもあり、この観点からは、できるだけ低濃度であることが望まれる。即ち、Ｍｎ含有量が０．０１ｗｔ％未満では介在物組成がＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系に制御できず、０．６ｗｔ％を超えると熱膨張率が大きくなり、要求特性を満足することができなくなる。そこで、Ｍｎの含有量を０．０１〜０．６ｗｔ％と定めた。この範囲内で好ましくは、０．０３〜０．４ｗｔ％である。
Ａｌ：０．０００１〜０．００３ｗｔ％
Ａｌは、介在物組成を耐食性に優れるＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系、もしくはＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３系に制御するために有効な元素である。しかし、Ａｌが高濃度となると介在物組成がアルミナとなって、クラスターを形成しやすくなり、表面性状を劣化させて、要求品質を満足しなくなる。そこで、本発明では、このＡｌの含有量を０．０００１〜０．００３ｗｔ％と定めた。この範囲で好ましくは０．０００２〜０．００２ｗｔ％である。
Ｍｇ：０．００１ｗｔ％以下
Ｍｇは、介在物組成をＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３に制御するという観点からは、有用な元素であるが、０．００１ｗｔ％を超えるとＭｇＯ単体の介在物が主体となり、エッチング加工性に悪影響を及ぼす。ただし、Ｍｇを含有しなくとも、介在物組成はエッチング加工性に優れるＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系となるため、Ｍｇの含有量は０．００１ｗｔ％以下と規定した。好ましくは０．０００９ｗｔ％以下とする。
Ｃａ：０．００１ｗｔ％以下
Ｃａは、０．００１ｗｔ％を超えると、介在物中のＣａＯ濃度を上昇させて、エッチング加工性に悪影響を及ぼす元素である。したがって、Ｃａの添加は極力低減することが望ましい。このような観点から、Ｃａは０．００１ｗｔ％以下と規定した。好ましくは、０．０００９ｗｔ％以下である。
Ｎｂ：０．０１〜１．０ｗｔ％
Ｎｂは、微量の場合、熱膨張係数を下げる効果があり、有効な元素である。しかし、１．０ｗｔ％を超えると逆に熱膨張係数が増大する。そのため、Ｎｂを添加するときは、０．０１〜１．０ｗｔ％とする。好ましくは、０．０２〜０．５ｗｔ％の範囲とする。
Ｃｏ：１〜８ｗｔ％
Ｃｏは、熱膨張係数に影響を与える元素である。Ｃｏを含有するＦｅ−Ｎｉ系合金の場合、Ｃｏが１〜８ｗｔ％の範囲を外れると、熱膨張率が大きくなり、シャドウマスク用として適さなくなる。したがって、Ｃｏの含有量は１〜８ｗｔ％と定めた。
次に、本発明にかかるＦｅ−Ｎｉ合金材料において所期した効果を得るためには、かかるＦｅ−Ｎｉ合金のマトリックス中に含まれる酸化物形態の非金属介在物の組成を制御することが不可欠であるとの結論を得た。
本発明において求められる非金属介在物の形態としては、主要成分がＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系、ＳｉＯ２、ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３のうち、１種または２種以上の形態を有することである。
特に、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物の組成は、ＭｎＯ：２５〜５０ｗｔ％、ＳｉＯ２：４０〜６０ｗｔ％、Ａｌ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の範囲内のものが、良好であることがわかった。その理由は、この組成範囲内だと、介在物がガラス状になり、エッチング液に対する溶解が起きにくくなるためである。しかし、ＭｎＯが５０ｗｔ％を超えて混入すると、ＣａＯ、ＭｇＯほどでないものの、エッチング液に溶解する現象が確認された。
他の２種類である、ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３およびＳｉＯ２も同様に、塩化第二鉄水溶液に不溶性であるため、孔形状不良を引き起こさない。
また、発明者らが行った種々の実験から、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物中に、ＣａＯもしくはＭｇＯが混入している場合には、エッチング液中で、腐食が著しく進行することが明らかになった。特に、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系介在物中に、ＣａＯとＭｇＯの和が３０ｗｔ％を超える量を混入している場合は、著しく腐食し、エッチング孔形状が乱れる傾向が見られた。そのため、本発明では、ＣａＯとＭｇＯの和は３０ｗｔ％を上限とした。好ましくは、５ｗｔ％程度に抑制するか、さらには含有しないようにする方が好ましい。
実施例
電気炉において、Ｆｅ−Ｎｉ合金を溶解し、その合金の溶湯をＡＯＤまたはＶＯＤにおいて、ＣａＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−Ｆ系スラグを添加して、脱酸処理を行った。処理後の合金溶湯を、連続鋳造機にて鋳造してスラブを作製した。その後、熱間圧延し、引き続き、製品板厚である０．１１ｍｍまで冷間圧延した。このようにして得られた冷延板から、２００ｍｍ×４００ｍｍの試験片を切り出し、塩化第二鉄水溶液（４５ボーメ、温度６０℃）でエッチング穿孔し、孔周辺の介在物による腐食状況、すなわち孔形状不良を調査した。
評価方法は以下の通りである。
▲１▼化学成分：スラブから切り出したサンプルについて、蛍光Ｘ線分析装置により分析した。
▲２▼介在物組成：ＥＤＳ（エネルギー分散型分析装置）を用いて、介在物をランダムに２０点定量分析を行った。
▲３▼孔形状不良：エッチング孔をランダムに１００点、電子顕微鏡で観察し、形状不良の孔をカウントした。
表１に、実施例および上掲の評価結果を示す。本発明例では、介在物組成がすべてＭｎＯ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３濃度が適正領域で、ＭｇＯとＣａＯの和が３０ｗｔ％以下のシリケート系、あるいはシリカあるいはスピネルに制御されており、エッチングによる孔形状不良は起きていない。
一方、比較例について説明する。Ｎｏ．１０では、ＭｇとＣａの濃度が高く、シリケート系介在物中にＭｇＯとＣａＯの和が３０ｗｔ％を超えて混入しており、孔形状不良が確認された。Ｎｏ．１１では、Ｓｉの下限値が外れたため、介在物がＭｎＯ主体のシリケートとなり、孔形状不良が確認された。Ｎｏ．１２では、Ｍｇが高く、介在物がすべてＭｇＯ単体となり、孔形状不良が発生した。Ｎｏ．１３では、Ｃａが高く、介在物がＣａＯ主体のシリケートとなり、孔形状不良が発生した。Ｎｏ．１４では、Ｓｉが上限を超えて高く、介在物組成は問題なかったものの、熱膨張率が要求レベルを超え、不良品となった。Ｎｏ．１５では、ＡｌおよびＭｇが高く、介在物がスピネル系、マグネシア単体およびアルミナとなった。そのため、孔形状不良のみならず、アルミナクラスターによる表面性状不良も同時に確認された。Ｎｏ．１６では、Ｍｎが下限を外れて低くなり、シリケート系介在物が適正範囲に入らず、ＭｇＯとＣａＯの和も同時に３０％を超え、孔形状不良を起こした。
【表１】
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産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明の材料は、合金中に含まれる非金属介在物の組成を、ＭｎＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系、ＳｉＯ２、ＭｇＯ・Ａｌ２Ｏ３系のうちのいずれか１種または２種以上に制御したことで、その介在物がエッチング液に対して安定となり、孔形状の良好なＦｅ−３６％Ｎｉ合金系シャドウマスク材料を得ることができる。なお、本発明は、磁性材料やリードフレーム，バイメタルなどの電気材料としても使用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
図１は、介在物起因のエッチング開孔の形状を示す説明図である。
【図１】
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