(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のＩＣ収納容器の前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のＩＣ収納容器の前記各他端部を前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ移動自在に突出して前記ＩＣ収納容器の前記一端部を係止する第１のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ移動自在に突出して前記ＩＣ収納容器の前記他端部を係止する第２のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置された押板と、
前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動または前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動させる押圧手段と、
前記ＩＣ収納容器を前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、
を備えたＩＣ収納容器供給装置を用いたＩＣ収納容器供給方法において、
前記第１のマガジンストッパを前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁側へ、前記第２のマガジンストッパを前記第２のマガジンガイドの前記第２の内壁側へそれぞれ突出させ、前記ＩＣ収納容器の前記一端部を前記第１の内壁側に、前記ＩＣ収納容器の前記他端部を前記第２の内壁側にして、前記複数のＩＣ収納容器を前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置する工程と、
前記複数のＩＣ収納容器が前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置された後に、前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各ＩＣ収納容器に取り付けられている前記ゴムストッパを押圧して、前記複数のＩＣ収納容器の前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列する工程と、
前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除した後に、前記取り出し手段により、前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記複数のＩＣ収納容器から所望のものを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する工程と、
を有することを特徴とするＩＣ収納容器供給方法。
【請求項２】
立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のＩＣ収納容器の前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のＩＣ収納容器の前記各他端部を、前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ突出して前記ＩＣ収納容器の前記一端部を係止し、または前記第１の内壁側から後退して前記一端部から離脱する第１のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ突出して前記ＩＣ収納容器の前記他端部を係止し、または前記第２の内壁側から後退して前記他端部から離脱する第２のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置され、前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置される前記各ＩＣ収納容器に取り付けられている前記ゴムストッパを押圧する押板と、
前記複数のＩＣ収納容器が前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置されたか否かを検出するセンサと、
前記複数のＩＣ収納容器が正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各ＩＣ収納容器の前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のＩＣ収納容器の前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させ、この整列後に前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除させる押圧手段と、
前記押圧が解除された後に前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記ＩＣ収納容器を前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、
を備えたことを特徴とするＩＣ収納容器供給装置。
【請求項３】
立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のＩＣ収納容器の前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のＩＣ収納容器の前記各他端部を、前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、
前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ突出して前記ＩＣ収納容器の前記一端部を係止し、または前記第１の内壁側から後退して前記一端部から離脱する第１のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ突出して前記ＩＣ収納容器の前記他端部を係止し、または前記第２の内壁側から後退して前記他端部から離脱する第２のマガジンストッパと、
前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置された、前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置される前記各ＩＣ収納容器に取り付けられている前記ゴムストッパを押圧する押板と、
前記複数のＩＣ収納容器が前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置されたか否かを検出するセンサと、
前記押板を移動自在に支持し、弾性力により前記押板を前記各ＩＣ収納容器の前記ゴムストッパから引き離して前記第１の内壁側へ後退させる移動支持手段と、
前記複数のＩＣ収納容器が正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記弾性力に抗して前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各ＩＣ収納容器の前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のＩＣ収納容器の前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させる押圧手段と、
前記押圧が解除された後に前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記ＩＣ収納容器を前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、
を備えたことを特徴とするＩＣ収納容器供給装置。
【請求項４】
前記押圧手段は、
前記第１のマガジンガイドに固定されたシリンダと、
前記シリンダ内に配設されたシャフトと、
前記シリンダ内にエアを供給するエアチューブと、
前記センサの検出結果に基づき生成された制御信号により開閉が制御され、前記エアチューブに前記エアの供給を制御する電磁弁と、
を有することを特徴とする請求項２又は３記載のＩＣ収納容器供給装置。
【請求項５】
前記押圧手段は、バイブレータで構成したことを特徴とする請求項２又は３記載のＩＣ収納容器供給装置。
【請求項６】
前記移動支持手段は、
前記第１のマガジンガイドに固定され、前記押板を移動自在に支持するリニアブッシュと、
前記リニアブッシュを前記第２のマガジンガイドから前記第１のマガジンガイド方向へ付勢するバネと、
により構成したことを特徴とする請求項３記載のＩＣ収納容器供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣパッケージの特性選別装置などに用いられ、ＩＣ収納容器（以下、チューブマガジンと呼ぶ）を供給する際のチューブマガジン供給方法、及びチューブマガジン供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハプロセスが終了すると、ＬＳＩテスタを用いてウェハ状態で良品チップの選別が行われる。良品チップは切断され、ＩＣパッケージにマウントされた後、ボンディングされる。ＩＣパッケージにキャップがかぶせられて、溶着密封される（以下、この状態のＩＣパッケージを単にＩＣパッケージと呼ぶ）。そして、ＩＣパッケージの特性選別装置により、ＩＣパッケージの最終テストが行われ、良品／不良品が判別されて、外観検査などを経て、良品が出荷される。
このＩＣパッケージの特性選別装置は、ＩＣパッケージを収納したチューブマガジンをハンドラに供給する供給部、ＩＣパッケージを測定部に搬送するハンドラ、ＩＣパッケージの電気特性や機能のテストをする測定部、良品／不良品を空のチューブマガジンに収納する収納部により構成される。
【０００３】
図２は、チューブマガジンとゴムストッパの斜視図である。
特性選別装置で用いるチューブマガジン１は、筒状をなし、収納するＩＣパッケージが落下しないように、一端部がゴムストッパ２で閉塞され、他端部が解放されている。そして、解放された他端部からＩＣパッケージを供給／収納している。
チューブマガジン１を供給部に一定量搭載した状態でチューブマガジン１を下から１本ずつロードし、搬送して、ＩＣパッケージをハンドラに供給する。ＩＣパッケージは、１個ずつハンドラのロボットハンドなどで吸着して、搬送し、アライメントステージにて位置決めする。
そして、測定部に搬送して、良品／不良品の判定を行った後、良品／不良品の毎に、収納部の空のチューブマガジン１に収納して行き、チューブマガジン１が一杯になると、一定量搭載された空のチューブマガジン１を下から１本ずつロードして、この空のチューブマガジン１に良品／不良品のＩＣパッケージを収納して行く。
このように供給部では、ＩＣパッケージが収納されたチューブマガジン１を下から一本ずつロードし、収納部では、空のチューブマガジン１を下から１本ずつロードする。このようなチューブマガジン１を下からロードする装置をチューブマガジン供給装置と呼ぶ。
【０００４】
図３は、従来のチューブマガジン供給装置の側面図である。
従来のチューブマガジン供給装置は、筐体１１、ベース板１２、マガジンガイド１３−１，１３−２、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２、センサ１５、シリンダ１６−１，１６−２、ガイド１７−１、ＬＭガイド１７−２、シリンダ１７−３、及びシャフト１７−４などを備えている。
一端部がゴムストッパ２で閉塞され、他端部が解放されたチューブマガジン１が、ベース板１２に支持され、対向して配設された２つのマガジンガイド１３−１，１３−２の内壁に沿って、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２に係止されて一定量搭載されている。センサ１５により、チューブマガジン１が正しく搭載されているかを確認した後、チューブマガジン１のロードを開始する。
ロードの際は、シリンダ１６−１，１６−２のシャフトを共に上昇し、シリンダ１６−１により、最も下に位置したチューブマガジン１を支持した後、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２を解放する。シリンダ１６−１のシャフトを下降して、チューブマガジン１をシリンダ１６−２に載せると共に、マガジンストッパ１４−１−１，１４−１−２により、チューブマガジン１を係止する。
シリンダ１６−２のシャフトを下降して、チューブマガジン１をガイド１７−１に沿って、ＬＭガイド１７−２に支持する。シリンダ１７−３のシャフト１７−４を移動して、ＬＭガイド１７−２をスライドさせて、マガジンガイド１３−１，１３−２の内壁に沿って、チューブマガジン１を搬送している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のチューブマガジン供給装置には、以下の課題があった。
図４は、従来の問題点を示す図である。
チューブマガジン１をロードする際、チューブマガジン１の一端部に嵌め込んであるゴムストッパ２が図４に示すようにマガジンガイド１３−１の内壁に引っ掛かり、斜め状態になり、上手く切り出すことがてきず、チョコ停の原因となる。この状態で、チューブマガジン１を強引に供給すると、チューブマガジン１が変形して、チューブマガジン１に収容されたＩＣパッケージ（供給部の場合）のリードを変形させてしまうという問題があった。リードが変形すると外観検査により、ＩＣパッケージは不良品と判定されてしまう。
図５（ａ），（ｂ）は、不具合の改善方法を示す図であり、特に、同図（ａ）は改善前、同図（ｂ）は改善後を示す図である。
上記不具合を改善するため、チューブマガジン１がマガジンガイド１３−１に引っ掛かりロードできない場合は、警告を出しており、この警告に従って、作業者が図５（ｂ）に示すように、マガジンガイド１３−１に引掛かったチューブマガジン１内にゴムストッパ２をチューブマガジン１に押し込む作業工数が発生するという問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のうちの請求項１に係る発明のチューブマガジン供給方法では、立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のチューブマガジンの前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のチューブマガジンの前記各他端部を前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ移動自在に突出して前記チューブマガジンの前記一端部を係止する第１のマガジンストッパと、前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ移動自在に突出して前記チューブマガジンの前記他端部を係止する第２のマガジンストッパと、前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置された押板と、前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動または前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動させる押圧手段と、前記チューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、を備えたチューブマガジン供給装置を用いている。
そして、前記第１のマガジンストッパを前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁側へ、前記第２のマガジンストッパを前記第２のマガジンガイドの前記第２の内壁側へそれぞれ突出させ、前記チューブマガジンの前記一端部を前記第１の内壁側に、前記チューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁側にして、前記複数のチューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置する工程と、前記複数のチューブマガジンが前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置された後に、前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンに取り付けられている前記ゴムストッパを押圧して、前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列する工程と、前記押圧手段により前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除した後に、前記取り出し手段により、前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記複数のチューブマガジンから所望のものを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する工程と、を有している。
【０００７】
請求項２、４、５に係る発明のチューブマガジン供給装置では、立設された第１の内壁を有し、一端部及び他端部が解放された筒状をなして前記一端部がゴムストッパにより閉塞された複数のチューブマガジンの前記各一端部を、前記第１の内壁に沿ってそれぞれガイドする第１のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの前記第１の内壁に対向して立設された第２の内壁を有し、前記複数のチューブマガジンの前記各他端部を、前記第２の内壁に沿ってそれぞれガイドする第２のマガジンガイドと、前記第１のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第１の内壁側へ突出して前記チューブマガジンの前記一端部を係止し、または前記第１の内壁側から後退して前記一端部から離脱する第１のマガジンストッパと、前記第１のマガジンストッパに対向して前記第２のマガジンガイドの下部に設けられ、前記第２の内壁側へ突出して前記チューブマガジンの前記他端部を係止し、または前記第２の内壁側から後退して前記他端部から離脱する第２のマガジンストッパと、前記第１のマガジンガイドの内壁に沿って延在配置され、前記第１及び第２のマガジンガイド間に積層配置される前記各チューブマガジンに取り付けられている前記ゴムストッパを押圧する押板と、前記複数のチューブマガジンが前記第１及び第２のマガジンガイド間に正常に積層配置されたか否かを検出するセンサと、前記複数のチューブマガジンが正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させ、この整列後に前記押板を前記第２のマガジンガイドから離間させる方向へ移動して前記押圧を解除させる押圧手段と、前記押圧が解除された後に前記第１及び第２のマガジンストッパにて係止されている前記チューブマガジンを前記第１及び第２のマガジンガイドから取り出して所定の位置へ搬送する取り出し手段と、を備えている。
請求項３、４、５、６に係る発明のチューブマガジン供給装置では、請求項２の押圧手段に代えて、移動支持手段と、新たな押圧手段とを備えている。
前記移動支持手段は、前記押板を移動自在に支持し、弾性力により前記押板を前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパから引き離して前記第１の内壁側へ後退させるものである。さらに、前記新たな押圧手段は、前記複数のチューブマガジンが正常に積層配置されたことが前記センサによって検出されたことに応じて前記押板を駆動し、前記弾性力に抗して前記押板を前記第２のマガジンガイド方向へ移動して前記各チューブマガジンの前記ゴムストッパに押圧させて前記複数のチューブマガジンの前記他端部を前記第２の内壁に当接させて整列させるものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の側面図であり、図６は、図１のチューブマガジン供給装置の平面図である。
このチューブマガジン供給装置３０は、筐体３１、ベース板３２、マガジンガイド３３−１，３３−２、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２、シリンダ３４−２、ＬＭガイド３４−３、センサ３５、シリンダ３６−１，３６−２、ガイド３７−１、シリンダ３７−２、ＬＭガイド３７−３、シャフト３７−４、ストッパ３８、ガイド３９、押板４０、支持板４１、シリンダ４２−１、シャフト４２−２、エアチューブ４２−３、及び電磁弁４２−４を備えている。
チューブマガジン１を収納するチューブマガジン収納装置５０は、筐体３１、ベース板３２、マガジンガイド５１、シリンダ５２、チャック５３、シリンダ５４、及びレール５６などを備えている。
筐体３１には、電源部、及び制御部などが収納されている。制御部は、コンピュータを有し、チューブマガジン１をロードするプログラムをコンピュータ上で実行することにより、チューブマガジン１のロードは自動制御されるようになっている。
【０００９】
筐体３１上には、アルミニウムなどで構成されるベース板３２（支持手段）が水平に配設されている。ベース板３２には、前後に２つの第１のマガジンガイド３３−１と第２のマガジンガイド３３−２、第１のマガジンストッパ３４−１−１、第２のマガジンストッパ３４−１−２、及びガイド３９が配設されている。
第１及び第２のマガジンガイド３３−１，３３−２は、「コ」の字型になっており、「コ」の字の中央に沿って、チューブマガジン１が搭載されるようになっている。第１のマガジンガイド３３−１には、ゴムストッパ２により閉塞されたチューブマガジン１の一端部が近接して搭載され、第２のマガジンガイド３３−２には、解放されたチューブマガジン１の他端部が密着して搭載される。
「コ」の字型のマガジンガイド３３−１，３３−２は、チューブマガジン１の両端部及び両側面をガイドするものであり、その形状及びマガジンガイド３３−１，３３−２間の距離は、チューブマガジン１の大きさにより決定されるが、チューブマガジン１の温度による形状の変形、製造上のばらつきや作業者がチューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２に搭載しやすいように、チューブマガジン１を搭載した状態でのマガジンガイド３３−１，３３−２との間隙のクリアランスを設けている。
【００１０】
第１のマガジンストッパ３４−１−１は、第１のマガジンガイド３３−１の内壁に設けた第１の欠損部に貫通し、ベース板３２に支持されている。
第２のマガジンストッパ３４−１−２は、第２のマガジンガイド３３−２の内壁に設けた第２の欠損部に貫通し、ベース板３２に支持されている。
第１、第２のマガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２は、ＬＭガイド３４−３に連結され、ＬＭガイド３４−３と共に、水平に移動するようになっており、第１のマガジンストッパ３４−１−１は、チューブマガジン１を支持する第１の位置と解放する第２の位置との間を移動し、第２のマガジンストッパ３４−１−２は、チューブマガジン１を支持する第３の位置と解放する第４の位置との間を移動するようになっている。
ＬＭガイド３４−３がシャフトに連結されて、シャフトを内部に配設したシリンダ３４−２に連結される。シリンダ３４−２にはエアが供給されて、シャフトが前後に移動することにより、ＬＭガイド３４−３、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２が移動するようになっている。センサ３５は、ベース板３２上に前後に２つ、それぞれがチューブマガジン１の最下段の位置に合わせて配設されている。
【００１１】
シリンダ３６−１は、筐体３１から突出するように、前後に２つ配設されており、シリンダ３６−１に配設されたシャフトが内部に供給されるエアによって、チューブマガジン１を支持する第５の位置とシリンダ３６−２にチューブマガジン１を渡す第６の位置との間を昇降するようになっている。
シリンダ３６−２は、筐体３１から突出するように、前後に２つ配設されており、シリンダ３６−２に配設されたシャフトが内部に供給されるエアによって、シリンダ３６−１からチューブマガジン１を受け取る第７の位置とガイド３７−１にチューブマガジン１を渡す第８の位置との間を昇降するようになっている。
ガイド３７−１は、ロードしたチューブマガジン１をガイドするためのものであり、前後・左右に都合４個、ベース板３２上の所定の高さに配設されている。このガイド３７−１は、ＬＭガイド３７−３に連結されている。ＬＭガイド３７−３は、シャフト３７−４に連結されている。シャフト３７−４は、シリンダ３７−２内に配設されている。
【００１２】
シリンダ３７−２に供給されるエアによって、シャフト３７−４が移動して、シャフト３７−４の移動に伴い、ＬＭガイド３７−３がスライドして、チューブマガジン１が搬送されるようになっている。ガイド３７−１、シリンダ３７−２、ＬＭガイド３７−３、及びシャフト３７−４は、ロードしたチューブマガジン１を搬送する搬送手段であり、この搬送手段とシリンダ３６−１，３６−２などにより、チューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２から取り出して所定の位置へ搬送するための取り出し手段が構成されている。
ストッパ３８は、ＬＭガイド３７−３の停止位置を示すためのものであり、チューブマガジン１を供給する側と供給される側にそれぞれ配設されている。ガイド３９は、チューブマガジン１の搬送時にガイドするためのものであり、ベース板３２に支持され、マガジンガイド３３−１，３３−２に隣接して配設されている。
図７は、図６中のＢ部拡大図である。
図８は、図１中のＡ部拡大図である。
【００１３】
第１のマガジンガイド３３−１の内壁の中央部に近接して、押板４０が配設されている。マガジンガイド３３−１の外壁には、支持板４１が図示しないがネジにより固定されている。支持板４１と第１のマジジンガイド３３−１に設けた第３の欠損部を貫通して、第１のマガジンガイド３３−１の中央に、シリンダ４２−１が配設されている。シリンダ４２−１は図示しないがネジにより支持板４１に固定されている。
押板４０は、ネジ４３によりシリンダ４２−１に配設されたシャフト４２−２に固定されている。この押板４０は、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に密着した状態で、シャフト４２−２が最も第２のマガジンガイド３３−２に接近した時にゴムストッパ２を押圧する第１０の位置とシャフト４２−２が第２のマガジンガイド３３−２から最も離間した時、押板４０によるゴムストッパ２への押圧を解除する、例えば、押板４０がゴムストッパ２の先端から離間して、ゴムストッパ２との間に、間隙（例えば、２〜３ｍｍ程度）が生じる第９の位置との間を移動するように配設されている。
【００１４】
エアチューブ４２−３へのエアの供給は、電磁弁４２−４の開閉により行われるようになっている。電磁弁４２−４の開閉は、筐体３１の内部に配設された制御部のコンピュータからの制御信号によって制御されるようになっている。
チューブマガジン１をガイドするマガジンガイド５１が対向して、ベース板３２の上に支持されている。空（測定部にＩＣパッケージを供給する場合）又は満杯（測定部から測定済みのＣパッケージが供給される場合）のチューブマガジン１をレール５６側に移動して、チューブマガジン１をレール５６に接触させるためのシリンダ５４が配設されている。
チューブマガジン１を持ち上げ、次のチューブマガジン１を受け取るためのシリンダ５２が配設されている。チューブマガジン１を掴むためのチャック５３が前後、左右に４個配設されている。図示しないハンドラからＩＣパッケージを受け取る、又はハンドラにＩＣパッケージを渡すために、ＩＣパッケージを搬送するためのレール５６が配設されている。
以下、これらの図を参照しつつ、本発明の第１の実施形態のチューブマガジン供給方法及びチューブマガジン供給装置の動作の説明（ａ），（ｂ）をする。
【００１５】
（ａ）  チューブマガジン１のマガジンガイド３３−１，３３−２への搭載
ロードする際のチューブマガジン１よりも下の第６、第８の位置にシリンダ３６−１，３６−２の先端がそれぞれ位置するようにそれぞれ移動する。第１のマガジンストッパ３４−１−１を、第１の位置に、第２のマガジンストッパ３４−１−２を、第３の位置にそれぞれ移動し、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド３３−２から最も離間した位置にする。押板４０がシャフト４２−２と共に移動して、ゴムストッパ２への押圧が解除されて、作業者がチューブマガジン１を搭載し易い第９の位置まで来る。
作業者は、一端部がゴムストッパ２により閉塞され、他端部が解放されたチューブマガジン１を、複数個、ゴムストッパ２を押板４０側にして搭載する。最下段のチューブマガジン１は、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２により支持され、上方にチューブマガジン１が積み上げられる。
【００１６】
（ｂ）  チューブマガジン１のロード
作業者は、筐体３１に設けられた図示しないロードスイッチを押す。センサ３５によってチューブマガジン１が正しい位置に搭載されたかをチェックして、正しい位置に搭載されていなければ、警告を出す。この警告に従って、作業者は、チューブマガジン１の搭載のやり直しを行う。
チューブマガジン１が正しい位置に搭載されると、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を第２のマガジンガイド３３−２に最も近づく位置にする。押板４０は、シャフト４２−２と共に移動し、第１０の位置にて、チューブマガジン１を閉塞するゴムストッパ２を押圧する。
この時、ゴムストッパ２を押圧する力は、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に密着して整列すると共に、チューブマガジン１の一端部に密着していないようなゴムストッパ２がチューブマガジン１の一端部に密着する程度とする。これにより、搭載された各チューブマガジン１は、第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列し、水平に搭載される。
【００１７】
シリンダ３６−１は、ロードする最下段のチューブマガジン１を持ち上げられる第５の位置に、シリンダ３６−２は、ロードするチューブマガジン１の直ぐ上のチューブマガジン１がマガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２に支持される第７の位置にそれぞれ上昇させる。シリンダ３６−２内のシャフトを移動させて、ＬＭガイド３４−３をスライドさせて、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２を解放する。
シリンダ３６−１をロード前の初期状態の第６の位置に下降させ、シリンダ３６−１に支持したチューブマガジン１を隣のシリンダ３６−２に移す。この時、搭載されたチューブマガジン１がマガジンガイド３３−１，３３−２に沿って下降するが、各チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列してあり、各チューブマガジン１が水平に搭載された状態となっており、ゴムストッパ２への押圧を解除している、例えば、ゴムストッパ２と押板４０との間には間隙が生じているので、チューブマガジン１が自重により下降する際に、押板４０に引っ掛かることがなくなり、確実にチューブマガジン１をロードすることができる。
【００１８】
マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２を閉じて、チューブマガジン１を係止する。シリンダ３６−２をロード前の初期状態の第８の位置まで下降させて、チューブマガジン１をガイド３７−１で支持する。
シャフト３７−４を移動させ、ＬＭガイド３７−３をスライドさせて、チューブマガジン１を、ガイド３９に沿って、ストッパ３８の停止位置まで移動する。シリンダ５４によりチューブマガジン１をレール５６側に移動させて、チューブマガジン１とレール５６との隙間をなくす。チャック５３を上昇させて、チューブマガジン１を支持する。
ハンドラにＩＣパッケージを供給する場合は、片方のチャック５３を更に上昇させ、チューブマガジン１を傾け、収容されていたＩＣパッケージを１個ずつレール５６に載せる。レール５６に載せられたＩＣパッケージは、ハンドラのロボットなどにより測定部に搬送され、良品／不良品の判別のテストが行われる。
測定部からＩＣパッケージを収納する収納部においては、ＩＣバッケージをロードされた空のチューブマガジン１に収容してゆき、チューブマガジン１にＩＣパッケージが一杯になると、シリンダ５２を上昇して、空のチューブマガジンのロードに備える。
【００１９】
チューブマガジン１がロードされると作業者が、適宜、チューブマガジン１をマガジンガイド３３−１，３３−２に搭載できるようするため、チューブマガジン１をロードする前は、上述したように、押板４０によりチューブマガジン１を押圧し、搭載したチューブマガジン１の解放端を第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列した後、上述したと同様に、押板４０の解放、シリンダ３６−１，３６−２の上昇、マガジンストッパ３４−１−１，３４−１−２の解放などをして、最下段のチューブマガジン１をロードするという動作を繰り返す。
以上説明したように、本第１の実施形態によれば、チューブマガジン１をロードする際は、シリンダ４２−１のシャフト４２−２を移動して、押板４０によりチューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２を押圧してチューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列し、その後、押板４０を解放してこの押板４０とゴムストッパ２との間に間隙を生じさせるので、ゴムストッパ２がマガジンガイド３３−１，３３−２に引っ掛かるようなことがなく、確実にロードすることができる。そのため、チョコ停低減、ＩＣパッケージのリード曲り防止、作業者によるゴムストッパ２の押し込みの工数の削減が期待できる。
【００２０】
（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の構成図であり、図１中の要素に共通する要素には共通の符号を付している。
本第２の実施形態のチューブマガジン供給装置が第１の実施形態のチューブマガジン供給装置３０と異なる点は、第１の実施形態では、押板４０をシリンダ４２−１のシャフト４２−２にネジ４３により固定していたのに対して、第２の実施形態では、押板４０を、シリンダ４２−１のシャフト４２−２からは分離し、支持板４１の上下の位置に、バネ６２が周囲に巻かれたリニアブッシュ６１を設けて、そのリニアブッシュ６１の先端をネジ６３により、押板４０を支持するようにしたことである。
図１０は、図９中の拡大平面図である。
図１１は、図９中のＣ部拡大図である。
支持板４１の上下に、支持板４１及び第１のマガジンガイド３３−１に設けた欠損部を貫通して、リニアブッシュ６１が支持板４１に図示しないネジにより固定されている。リニアブッシュ６１の外側の先端に、バネ６２の一方の端部が固定されている。このバネ６２は、リニアブッシュ６１の周囲を取り囲んで巻かれており、他方の端部は、支持板４１に固定されている。リニアブッシュ６１の内側の先端は、ネジ６３によって、押板４０に固定されている。リニアブッシュ６１及びバネ６２により、移動支持手段が構成されている。
【００２１】
バネ６２が弛緩した状態で、押板４０とチューブマガジン１を閉塞したゴムストッパ２との間に間隙（２〜３ｍｍ程度）が生じ、且つ、押板４０がシャフト４４−２の先端により押されることにより、ゴムストッパ２を押圧するように、リニアブッシュ６１及びバネ６２の長さを決定している。支持板４１の中央に、シリンダ４２−１が固定されている。シリンダ４２−１には、シャフト４２−２が配設されているが、このシャフト４２−２と押板４０とは分離されている。
以下、図９の動作説明をする。
図９のチューブマガジン供給装置の動作は、第１の実施形態のチューブマガジン供給装置５０の動作とは、押板４０によって、ゴムストッパ２を押圧、押板４０の押圧の解放の動作が異なるので、この点を以下（ａ），（ｂ）に説明する。
（ａ）  ゴムストッパ２への押圧
チューブマガジン１をロードする前は、電磁弁４２−４の開閉を制御して、エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を最も内側の位置にする。シャフト４２−２が押板４０に接触し、押板４０が内側に移動すると共に、押板４０に固定されたリニアブッシュ６１がバネ６２を押し縮めながら、内側に移動する。そして、押板４０がゴムストッパ２を押圧する。
押板４０には、上下のリニアブッシュ６１の先端からも力を受けるので、押板４０には均一に力がかけられることになり、搭載されたチューブマガジン１を閉塞するゴムストッパ２を一様に押圧して、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２に沿って整列する。
【００２２】
（ｂ）  ゴムストッパ２への押圧の解放
エアチューブ４２−３からシリンダ４２−１に供給するエアを制御することにより、シャフト４２−２を最も外側の位置にして、押板４０への押圧を解放する。これにより縮んでいたバネ６２は、定常状態に戻り、リニアブッシュ６１が外側に移動し、押板４０がリニアブッシュ６１と共に移動する。これによって、ゴムストッパ２への押板４０による押圧が解放されて、例えば、ゴムストッパ２と押板４０との間に間隙が生じる。そして、チューブマガジン１をロードする。
以上説明したように、本第２の実施形態によれば、第１の実施形態と同様の利点がある上に、リニアブッシュ６１によって押板４０の上下に押圧をかけるので、押板４０が均一に押圧されて、全てのゴムストッパ２が一様に押板４０によって押圧されるため、より確実にチューブマガジン１をロードすることができる。
【００２３】
（第３の実施形態）
図１２は、本発明の第３の実施形態を示すチューブマガジン供給装置の構成図であり、図９中の要素に共通する要素には共通の符号を付している。
本第３の実施形態のチューブマガジン供給装置が第２の実施形態のチューブマガジン供給装置と異なる点は、第２の実施形態の支持板４１の中央に配設したシリンダ４２−１などを小型バイブレータ７１に代えたことである。
図１３は、図１２中のＤ部拡大図である。
支持板４１の中央部に設けた欠損部に貫通して、図示しないネジにより小型バイブレータ７１が固定されている。小型バイブレータ７１の先端部と押板４０とは、分離されている。この小型バイブレータ７１は、電磁振動と板バネ共振型のものであり、先端部が前後に振動し、且つ、この先端部の板バネに力をかけることによって、先端部が振動の際、最も外側に位置する位置まで移動するように構成されている。
【００２４】
その先端部が振動によって最も内側に位置した時に、押板４０に押圧をかけて、押板４０を移動させて、ゴムストッパ２を押圧する振動となるよう小型バイブレータ７１を設けている。小型バイブレータ７１は、制御部からの制御信号によってオン／オフの制御がなされるようになっている。
以下、図１２の動作説明をする。
第２の実施形態のチューブマガジン供給装置の動作とは、押板４０によって、ゴムストッパ２を押圧、押板４０の押圧の解放の動作が異なるので、この点を、以下（ａ），（ｂ）に説明する。
【００２５】
（ａ）  ゴムストッパ２への押圧
チューブマガジン１をロードする前は、小型バイブレータ７１を制御部からの制御信号によってオンする。小型バイブレータ７１は、オンすることにより、振動を開始する。この振動によって、押板４１及びバネ６２が振動し、ゴムストッパ２がランダムに押圧されて、チューブマガジン１の解放端が第２のマガジンガイド３３−２の内壁に沿って整列することになる。
（ｂ）  ゴムストッパ２への押圧の解放
小型バイブレータ７１を制御部からの制御信号によってオフする。バネ６２には、定常状態に戻ろうとする外側の方向の力が働く。この力がリニアブッシュ６１及び押板４１を通して、小型バイブレータ７１の先端部に加わり、先端が振動時の最も外側の位置に戻る。これにより、ゴムストッパ２への押板４０への押圧が解放されて、例えば、押板４１とゴムストッパ２との間に間隙（２〜３ｍｍ程度）が生じる。そして、チューブマガジン１をロードする。
【００２６】
以上説明したように、本第３の実施形態によれば、小型バイブレータ７１によって先端を振動させ、ゴムストッパ２にランダムに押圧をかけるので、チューブマガジン１が整列し、ロードの際は、小型バイブレータ７１をオフして、押板４０によるゴムストッパ２への押圧を解放して、押板４０とゴムストッパ２との間に間隙を生じさせるので第２の実施形態と同様の利点がある。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず種々の変形が可能である。その変形例としては、例えば次のようなものがある。
（１）  実施形態では、測定部にＩＣパッケージを供給するためのチューブマガジンの供給、測定したＩＣパッケージを収容するために、空のチューブマガジンを供給する場合を例に説明したが、水平に複数段搭載したチューブマガジンを下からロードする場合にも、適用可能である。
（２）  図１では、シリンダ４２−１などは１個としたが、複数個あってもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１〜６に係る発明によれば、第１、第２のマガシンガイド間に正常に積層配置された複数のチューブマガジンに対して押板により各チューブマガジンに取り付けられているゴムストッパを押圧するようにしている。即ち、チューブマガジンを積層する際には、チューブマガジンが充分収納されるようなスペースを第１、第２のマカジンガイド間に準備し、複数のチューブマガジンが第１、第２のマガジンガイド間に正常に積層配置された後に、第１のマガジンガイドの延在方向に沿って配置されている押板を第２のマガジンガイドの方向へと移動してゴムストッパを押圧した後に、押板を第２のマガジンガイドから離間させる方向へと移動させるようになっている。つまり、ゴムストッパを確実にチューブマガジンに密着させるため、整列配置したチューブマガジンに対して押板で押圧するものとしている。
このように、正常に積層配置された後にチューブマガジンの端部を閉塞するゴムストッパをチューブマガジンの端部へ密着させるために押板を動作させ、押板にてゴムストッパを押圧した後は、チューブマガジンの落下を阻害しないように押板を移動（チューブマガジンから離間）させるようにしている。この結果、大規模な構造の変更をすることもなく、チューブマガジンからゴムストッパが外れて不測の引っ掛かりを発生することをも低減させることができ、チョコ停が少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図２】  チューブマガジンとゴムストッパとを示す図である。
【図３】  従来のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図４】  従来の問題点を示す図である。
【図５】  不具合の改善方法を示す図である。
【図６】  図１のチューブマガジン供給装置の平面図である。
【図７】  図６中のＢ部拡大図である。
【図８】  図１中のＡ部拡大図ある。
【図９】  本発明の第２の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図１０】  図９中の拡大平面図である。
【図１１】  図９中のＣ部拡大図である。
【図１２】  本発明の第３の実施形態のチューブマガジン供給装置の側面図である。
【図１３】  図１２中のＤ部拡大図である。
【符号の説明】
３１                                        筐体
３２                                    ベース板
３３−１                                第１のマガジンガイド
３３−２                                第２のマガジンガイド
３４−１−１                            第１のマガジンストッパ
３４−１−２                            第２のマガジンストッパ
３４一２，３６−１，３６−２            シリンダ
３７−２，４２−１                      シリンダ
３４−３，３７−３                      ＬＭガイド
４０                                    押板
４１                                    支持板
４２−２ シャフト
４２−３                                エアチューブ
４２−４                                電磁弁
６１                                    リニアブッシュ
６２                                    バネ
７１                                    小型バイブレータ
【図１】
0003986599.tif 000002
【図２】
0003986599.tif 000003
【図３】
0003986599.tif 000004
【図４】
0003986599.tif 000005
【図５】
0003986599.tif 000006
【図６】
0003986599.tif 000007
【図７】
0003986599.tif 000008
【図８】
0003986599.tif 000009
【図９】
0003986599.tif 000010
【図１０】
0003986599.tif 000011
【図１１】
0003986599.tif 000012
【図１２】
0003986599.tif 000013
【図１３】
0003986599.tif 000014