(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス体に形成された円筒状の穴の内壁をエッチング液で処理し、該穴の内壁を透明に仕上げる装置において、
前記穴の開口を下側に位置させ、該穴の軸を垂直に向けて該ガラス体を保持し、該ガラス体を該軸を中心に回転させるガラス体回転手段と、
エッチング液に侵されない材料でなる毛を柱状の軸体の外周に植えてなり、前記軸体の軸心を垂直に向けて該軸体の下部で保持され、上部から前記穴に同軸に挿入され、該軸体には前記エッチング液が下部から上端へ向けて流される流路が形成されており、該流路の上端がエッチング液噴出口をなすエッチングヘッドと、
前記エッチング液噴出口から噴出し前記穴の内壁及び前記エッチングヘッドを伝って垂れた前記エッチング液を受けて溜めるとともに、前記軸体の下部に連結されて該軸体を垂直に保持するトレイと、
前記トレイが載置され、該トレイに保持された前記軸体の軸心を前記穴の軸に一致させるように該トレイの水平面内位置を調整するとともに、前記軸体の軸心を前記穴の軸に一致するように前記トレイの水平面内位置が調整されたとき、前記トレイを上方へ移動することにより前記エッチングヘッドを前記開口から前記穴に挿入し、または前記エッチングヘッドが前記穴に挿入されているとき、前記トレイを下方に下げることにより該エッチングヘッドを該穴から離脱させるトレイ位置調整手段と、
前記流路に前記エッチング液を送り込むエッチング液供給手段と
を備えることを特徴とする円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【請求項２】
前記トレイ位置調整手段は、前記トレイの水平面内振動を吸収するバネで該トレイを水平面内で保持していることを特徴とする請求項１に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【請求項３】
前記トレイ位置調整手段が前記エッチングヘッドを前記穴に同軸に挿入し、前記ガラス体回転手段が前記ガラス体を該穴の軸を中心に回転させるとき、前記毛の先端が該穴の内壁を擦る程度の長さを前記毛が有することを特徴とする請求項１又は２に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【請求項４】
前記エッチング液供給手段は、エッチング液を送り出す液体ポンプと、該液体ポンプのエッチング液吐出口を前記流路に繋ぐエッチング液供給パイプとを有してなり、
前記トレイは底から上方へ盛り上がった盛り上がり部を有し、該盛り上がり部の中央に垂直方向に貫通するパイプ挿入穴を有し、該パイプ挿入穴の下部は下方になるに従い大きい径となる円錐状またはラッパ状空間を形成しており、該パイプ挿入穴の上部には前記エッチング液供給パイプが挿入されており、
前記軸体は、前記流路の下端の中央を前記パイプ挿入穴の上端中央に一致させて、前記盛り上がり部に嵌合されている
ことを特徴とする請求項１，２又は３に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【請求項５】
前記軸体に超音波振動を伝える超音波振動子が設けてあることを特徴とする請求項１又は２に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【請求項６】
前記トレイは底から上方へ盛り上がった盛り上がり部を有し、
前記盛り上がり部の中央上端にはエッチング液送出口が有り、該該盛り上がり部の側壁にエッチング液取り入れ口があり、該エッチング液取り入れ口と該エッチング液送出口とを繋ぐ導液路が該盛り上がり部内に形成してあり、
前記エッチング液供給手段は、エッチング液を送り出す液体ポンプと、該液体ポンプのエッチング液吐出口に一端を接続され前記エッチング液取り入れ口に他端を接続されたエッチング液供給パイプと、前記導液路とでなり、
前記軸体は、前記流路の下端を前記エッチング液送出口に合わせて、前記盛り上がり部に嵌合されており、
前記超音波振動子は前記盛り上がり部に固定してある
ことを特徴とする請求項５に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、粗加工された円筒状ガラス内壁の仕上げ処理をするエッチング装置に関し、特にリングレーザジャイロ（ＲＬＧ）ブロック内部の太管の内壁を透明化するのに適した円筒状ガラス内壁エッチング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス製品には、加熱し溶融したガラスを型に流し込み、冷却させて成型できるものも多い。しかし、ＲＬＧブロックは、ガラス成型品ではあるが、温度変化に伴う寸法の変動を小さく抑える必要があので、その材料には熱膨張率の極めて小さい特殊なガラスを用いている。このような特殊材料のガラスでなるＲＬＧブロックは、溶融ガラスを型へ流し込む方法では成型できず、超音波ドリル加工により成型している。
【０００３】
超音波ドリル加工では、ダイヤモンドの先端を持つドリルを超音波で振動させながらガラスを破砕することによりガラスを加工する。この加工法では、ＲＬＧブロックに必要な各種サイズの円筒形の穴を成型できる。しかし、超音波ドリル加工法はガラスを機械的に破砕する加工方法である。そこで、超音波ドリル加工法による仕上がり表面は、粗く、微小な凹凸やクラックがある曇りガラス状を呈し、透明な表面に比べ大きい表面積を有し、ひいてはガスを吸着し易く、ＲＬＧにとって好ましくない。
【０００４】
そこで、この超音波ドリル加工法で加工した円筒状穴の内壁表面が透明になるまで該表面を滑らかに仕上げるための処理、すなわちガラス体の円筒状穴の内壁透明化処理が従来から行われている。ＲＬＧブロック等のガラス体における円筒状穴の従来の内壁透明化処理は砥粒研磨で行っていた。砥粒研磨では、砥粒で懸濁させた水（懸濁水）を被研磨円筒状穴へ連続的に流し込みながら、研磨パッドの巻き付けられたシャフト軸をその円筒状穴へ挿入し、そのシャフト軸を回転させる。研磨パッドの弾性と回転による遠心力とにより砥粒は被研磨面、すなわち円筒状穴の内壁、に押し付けられ、この押し付け圧力により砥粒は被研磨面を研磨する。研磨パッドは通常不織布でなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の砥粒研磨では、砥粒を被研磨面へ押し付けるために、研磨パッドは被研磨の円筒状穴の内壁に密着するように挿入される。このように状態で研磨を継続していると、研磨パッドの摩耗および弾性の低下並びに研磨による円筒状穴の径の増大により、砥粒を円筒状穴の内壁へ押し付ける圧力が次第に低下し、研磨効率が低下し、その研磨の途中に研磨パッドの交換を要することが多い。このようなこともあり、砥粒研磨によるＲＬＧブロックの円筒状穴の研磨は、３〜４時間というかなり長い時間を要し、研磨効率が低い。
【０００６】
また、シャフト軸へ研磨パッドを巻き付けるときの、研磨パッドの締付の程度、その他の研磨パッドの巻き付け状態により、研磨効率が著しく相違し、ＲＬＧブロックの円筒状穴の研磨時間が一定せず、研磨による円筒状穴の径の変化を研磨工程の途中で検査する必要を生ずることがある。
【０００７】
このように、砥粒研磨によるガラス体の円筒状穴の透明化処理には、研磨効率が低く、また不安定であるという欠点があった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ＲＬＧブロック等のガラス体における円筒状穴の内壁を効率よく、しかも安定に透明化する装置の提供にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するために本発明は次の手段を提供する。
【００１０】
（１）ガラス体に形成された円筒状の穴の内壁をエッチング液で処理し、該穴の内壁を透明に仕上げる装置において、
前記穴の開口を下側に位置させ、該穴の軸を垂直に向けて該ガラス体を保持し、該ガラス体を該軸を中心に回転させるガラス体回転手段と、
エッチング液に侵されない材料でなる毛を柱状の軸体の外周に植えてなり、前記軸体の軸心を垂直に向けて該軸体の下部で保持され、上部から前記穴に同軸に挿入され、該軸体には前記エッチング液が下部から上端へ向けて流される流路が形成されており、該流路の上端がエッチング液噴出口をなすエッチングヘッドと、
前記エッチング液噴出口から噴出し前記穴の内壁及び前記エッチングヘッドを伝って垂れた前記エッチング液を受けて溜めるとともに、前記軸体の下部に連結されて該軸体を垂直に保持するトレイと、
前記トレイが載置され、該トレイに保持された前記軸体の軸心を前記穴の軸に一致させるように該トレイの水平面内位置を調整するとともに、前記軸体の軸心を前記穴の軸に一致するように前記トレイの水平面内位置が調整されたとき、前記トレイを上方へ移動することにより前記エッチングヘッドを前記開口から前記穴に挿入し、または前記エッチングヘッドが前記穴に挿入されているとき、前記トレイを下方に下げることにより該エッチングヘッドを該穴から離脱させるトレイ位置調整手段と、
前記流路に前記エッチング液を送り込むエッチング液供給手段と
を備えることを特徴とする円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１１】
▲２▼前記トレイ位置調整手段は、前記トレイの水平面内振動を吸収するバネで該トレイを水平面内で保持していることを特徴とする前記▲１▼に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１２】
▲３▼前記トレイ位置調整手段が前記エッチングヘッドを前記穴に同軸に挿入し、前記ガラス体回転手段が前記ガラス体を該穴の軸を中心に回転させるとき、前記毛の先端が該穴の内壁を擦る程度の長さを前記毛が有することを特徴とする前記▲１▼又は▲２▼に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１３】
▲４▼前記エッチング液供給手段は、エッチング液を送り出す定量送液ポンプなどの液体ポンプと、該液体ポンプのエッチング液吐出口を前記流路に繋ぐエッチング液供給パイプとを有してなり、
前記トレイは底から上方へ盛り上がった盛り上がり部を有し、該盛り上がり部の中央に垂直方向に貫通するパイプ挿入穴を有し、該パイプ挿入穴の下部は下方になるに従い大きい径となる円錐状またはラッパ状空間を形成しており、該パイプ挿入穴の上部には前記エッチング液供給パイプが挿入されており、
前記軸体は、前記流路の下端の中央を前記パイプ挿入穴の上端中央に一致させて、前記盛り上がり部に嵌合されている
ことを特徴とする前記▲１▼，▲２▼又は▲３▼に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１４】
▲５▼前記軸体に超音波振動を伝える超音波振動子が設けてあることを特徴とする前記▲１▼又は▲２▼に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１５】
▲６▼前記トレイは底から上方へ盛り上がった盛り上がり部を有し、
前記盛り上がり部の中央上端にはエッチング液送出口が有り、該該盛り上がり部の側壁にエッチング液取り入れ口があり、該エッチング液取り入れ口と該エッチング液送出口とを繋ぐ導液路が該盛り上がり部内に形成してあり、
前記エッチング液供給手段は、エッチング液を送り出す定量送液ポンプなどの液体ポンプと、該液体ポンプのエッチング液吐出口に一端を接続され前記エッチング液取り入れ口に他端を接続されたエッチング液供給パイプと、前記導液路とでなり、
前記軸体は、前記流路の下端を前記エッチング液送出口に合わせて、前記盛り上がり部に嵌合されており、
前記超音波振動子は前記盛り上がり部に固定してある
ことを特徴とする前記▲５▼に記載の円筒状ガラス内壁エッチング装置。
【００１６】
【実施の形態】
次に本発明の実施の形態を挙げ、本発明を一層詳しく説明する。
【００１７】
図１は本発明の第1の一実施の形態の円筒状ガラス内壁エッチング装置を概念的に示す正面図、図２はその要部を示す断面図である。図１では、図２に詳しく示したエッチングヘッド３の構造や、トレイ９の中央盛り上がり部９ａの構造は簡略化して図示してある。図において、１は定量送液ポンプ、２は送液パイプ、３はエッチングヘッド、３ａはエッチング液流路、３ｂはエッチング液噴出口、３ｃはエッチングヘッド軸体、３ｄは植毛、４は再循環パイプ、５は上下可動台、６はＸ−Ｙステージ、７はトレイ保持枠、８はバネ、９はトレイ、９ａは中央盛り上がり部、１０はＲＬＧブロック、１１ａ，１１ｂ，１１ｃは円筒状穴、１２は保持具、１３は回転軸、１８は円錐状空間、１９はエッチング液である。
【００１８】
ＲＬＧブロック１０には、止まり穴である円筒状穴１１ａ，１１ｂ，１１ｃが超音波ドリルにより開けられている。円筒状穴１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、径が１５ｍｍ，深さが２０ｍｍであり、内壁が曇りガラス状で不透明である。この実施の形態の円筒状ガラス内壁エッチング装置はこれら円筒状穴１１ａ，１１ｂ，１１ｃの内壁をエッチングし透明化するものである。
【００１９】
図１では、ＲＬＧブロック１０は、円筒状穴１１ａの内壁を透明化しようとするときの状態で保持具１２に取り付けられている。このとき、円筒状穴１１ａの開口は下側に位置し、円筒状穴１１ａの軸は垂直を向いている。回転軸１３は保持具１２に固定されており、電動モーター（図示省略）により回転する。回転軸１３の軸を円筒状穴１１ａの軸に一致させるような姿勢及び位置で、保持具１２はＲＬＧブロック１０を保持している。
【００２０】
エッチングヘッド３は、テフロン（登録商標）製のエッチングヘッド軸体３ｃにテフロン製の毛（植毛３ｄ）を植えてなる。植毛３ｄは、エッチングヘッド軸体３ｃの側面に、該側面から外方に伸びる向きに植えられている。植毛３ｄの先端を連ねた包絡面は円筒状をなし、その包絡面の径は円筒状穴１１ａの径より１０％大きく、１６．５ｍｍである。エッチングヘッド軸体３ｃの軸心にはエッチング液流路３ａが形成されている。エッチング液流路３ａの上端がエッチング液噴出口３ｂをなしており、エッチング液噴出口３ｂはエッチングヘッド軸体３ｃの上端面の中央にある。
【００２１】
トレイ９はエッチング液の受け皿である。トレイ９の中央には、中央盛り上がり部９ａがある。中央盛り上がり部９ａには垂直方向に貫通して開けられたパイプ挿入穴がある。このパイプ挿入穴の下部の径は、下方に向かうに従い拡大し、円錐状空間１８を形成している。中央盛り上がり部９ａにおけるパイプ挿入穴の上部の径は送液パイプ２の外形と同じである。送液パイプ２は、パイプ挿入穴の上部に挿入され、パイプ挿入穴の上部の内壁に接着材で接着されている。
【００２２】
中央盛り上がり部９ａの上部の外径より僅かに大きい内径の嵌合穴がエッチングヘッド軸体３ｃの下部に設けてある。エッチングヘッド軸体３ｃは、その嵌合穴を中央盛り上がり部９ａの上部に嵌めることにより、軸心を垂直にして、トレイ９に固定される。エッチングヘッド軸体３ｃのその嵌合穴には、図示しない突起が設けてあり、この突起が中央盛り上がり部９ａの上部の外周に設けられている切り込み（図示を省略）に嵌まる。ＲＬＧブロック１０が回転軸１３の回転力により回転して、植毛３ｄを介してエッチングヘッド３が回転力を受けたときにも、その突起と切り込みの嵌合により、エッチングヘッド３はトレイ９と一体であり、エッチングヘッド３が回転することはない。
【００２３】
トレイ保持枠７は、Ｘ−Ｙステージ６に固定されており、トレイ９を上面に載置しており、トレイ９の水平面内の位置をバネ８により保持している。Ｘ−Ｙステージ６は、水平面内でトレイ９の位置を調整し、エッチングヘッド軸体３ｃの軸心を円筒状穴１１ａ穴の軸に合わせる。しかし、回転軸１３、円筒状穴１１ａ及びエッチングヘッド軸体３ｃの軸心を完全に一致させることは、実際上困難であり、ＲＬＧブロック１０が回転軸１３で回転させられるとき、エッチングヘッド３は振動する。バネ８はこの振動を吸収する。
【００２４】
上下可動台５は、Ｘ−Ｙステージ６を上下に移動させる装置であり、Ｘ−Ｙステージ６でエッチングヘッド３の軸（即ちエッチングヘッド軸体３ｃの軸）と円筒状穴１１ａの軸とを一致させたとき、Ｘ−Ｙステージ６を上方に上げ、エッチングヘッド３を円筒状穴１１ａへ挿入し、円筒状穴１１ａの内壁のエッチングの準備をする。また、円筒状穴１１ａの内壁のエッチングが終了すると、上下可動台５は、Ｘ−Ｙステージ６を下へ移動し、エッチングヘッド３を円筒状穴１１ａから離脱させる。
【００２５】
定量送液ポンプ１は、エッチング液をエッチング液吐出口から送出し、送液パイプ２及びエッチングヘッド３のエッチング液流路３ａを介して、エッチング液をエッチング液噴出口３ｂから噴出させる。定量送液ポンプ１の単位時間当たりエッチング液送出量は一定である。定量送液ポンプ１は、再循環パイプ４を介して、トレイ９に溜ったエッチング液を吸い戻し、ろ過し、エッチング残渣を除去し、再びエッチング液として送出する。
【００２６】
エッチング液はふっ酸、塩酸、水を２：４：４の体積比で混合してなり、有毒である。エッチング液の再利用により、環境への悪影響を除いている。
【００２７】
送液パイプ２は、Ｘ−Ｙステージ６の内部を通り、トレイ保持枠７の中央の円形穴７ａを抜け、円錐状空間１８を経て、中央盛り上がり部９ａの上部のパイプ挿入穴に挿入され、該パイプ挿入穴の内壁に接着されている。トレイ９が水平面内で振動したときに、送液パイプ２が受ける曲げ応力を軽減するために円錐状空間１８が設けてある。
【００２８】
図１の実施の形態の円筒状ガラス内壁エッチング装置において、円筒状穴１１ａの内壁を透明化するには、Ｘ−Ｙステージ６及び上下可動台５を操作し、エッチングヘッド３を円筒状穴１１ａへ挿入し、定量送液ポンプ１でエッチング液をエッチング液噴出口３ｂから噴出し、エッチング液を円筒状穴１１ａ内に流しながら、回転軸１３をモーターで回転する。この円筒状ガラス内壁エッチング装置による透明化処理は、エッチング液による処理であるから砥粒研磨による透明化処理より本来短時間になされるが、単なるエッチング液によるガラス体の溶解処理だけではない。
【００２９】
エッチングヘッド３と円筒状穴１１ａの内壁との相対運動により、その内壁はエッチングヘッド３の植毛３ｄで擦られ、エッチング液による内壁ガラスの溶解作用は促進され、透明化処理は砥粒研磨によるよりも格段に短時間になされる。例えば、砥粒研磨で４時間を要した円筒状穴１１ａの透明化が図１の装置によれば３０分で行える。
【００３０】
また、円筒状穴１１ａの内壁面に凹凸があれば、エッチングヘッド３はその内壁面の凸部により強く機械的に接触し、エッチング液の化学作用を凸部に対しより多く及ぼし、ひいては内壁面の凹凸を軽減する方向にエッチング液を作用させ、円筒状穴１１ａの円筒形を一層完全に近づける。
【００３１】
単にエッチング液を加工面に作用させるだけでは、エッチングによる残渣が加工面に付着し、エッチング作用を阻害するが、図１の実施の形態では、エッチングヘッド３が円筒状穴１１ａの内壁（加工面）を連続的に擦るから、残渣が加工面に付着することなく、加工面はムラなく、迅速に透明化される。
【００３２】
さらに、図１の円筒状ガラス内壁エッチング装置では、植毛３ｄの長さで定まるエッチングヘッド３の径と円筒状穴１１ａの内径との関係、定量送液ポンプ１でおくるエッチング液の流量、エッチング液の種類等のエッチング条件を一定にすれば、透明化処理ごとの所要時間はほぼ一定であり、透明化効率は安定である。したがって、図１の実施の形態によれば、円筒状穴１１ａの内壁を所要の径に透明化加工するのが容易であり、透明化処理の途中で円筒状穴１１ａの径を検査する必要は通常はない。
【００３３】
図３は本発明の第２の実施の形態である円筒状ガラス内壁エッチング装置を概念的に示す正面図、図４はその要部を示す断面図である。図３では、図４に詳しく示したエッチングヘッド３の構造や、トレイ９の中央盛り上がり部９ｂの構造は簡略化して図示してある。図３及び図４では、図１及び図２の円筒状ガラス内壁エッチング装置と同様の部材には図１及び図２におけるものと同じ符号を付してある。
【００３４】
この図３、図４に示した円筒状ガラス内壁エッチング装置では、超音波振動子２０を中央盛上り部９ｂ内に備え、超音波振動子２０で超音波を発生し、その超音波をエッチングヘッド軸体３ｃに伝達する構造を採用している。超音波振動子２０を設けたことが、第２の実施の形態における最大の特徴である。図１、図２の構造と同様に、図３、図４の円筒状ガラス内壁エッチング装置においてもトレイ９には中央盛上り部９ｂが形成してあり、この中央盛上り部９ｂの上部の凸部にエッチングヘッド軸体３ｃ下部の凹部が嵌合され、両者は接着剤で固着されている。
【００３５】
このように、図３、図４の円筒状ガラス内壁エッチング装置では、中央盛上り部９ｂの中央部に超音波振動子２０を設けたことから、エッチング液供給手段が図１，図２の円筒状ガラス内壁エッチング装置とは相違している。盛り上がり部９ｂの中央上端にはエッチング液送出口が有る。このエッチング液送出口はエッチングヘッド軸体３ｃのエッチング液流路３ａの下端開口と合わさっている。
【００３６】
中央盛上り部９ｂの側壁部には結合端部９ｄが形成してある。この結合端部９ｄの先端にエッチング液取り入れ口が有る。このエッチング液取り入れ口と該エッチング液送出口との間の盛り上がり部９ｂにエッチング液流路９ｃ（前述の導液路に相当）が形成してある。結合端部９ｄは、送液パイプ２の端２ｃに差し込んである。定量送液ポンプ４から送液パイプ２に送出されたエッチング液は、結合端部９ｄの先端の開口（エッチング液取り入れ口）、エッチング液流路９ｃ、エッチング液送出口及びエッチング液流路３ａを経て、エッチング液噴出口３ｂから円筒状穴１１ａ内へ噴出される。
【００３７】
超音波振動子２０は、中央盛上り部９ｂの下部にある超音波振動子収納室に納められ、該収納室の壁面へネジで固定されている。該超音波振動子収納室には、超音波振動子２０を出し入れするための蓋が有る。該蓋は超音波振動子収納室の下面側にある。その蓋は図４には表されていない。超音波振動子２０は、励起した超音波を効率よくエッチングヘッド軸体３ｃに伝達できるように、中央盛上り部９ｂに固定してある。
【００３８】
超音波振動子２０には、超音波発振機から超音波領域の振動数の交流電力が電力線を介して供給される。超音波振動子２０の振動周波数は３０kHz程度である。超音波振動子２０の振動周波数としては、経済性、取り扱いの容易さ等から２０kHz〜５０kHzの範囲が採用し易い。
【００３９】
超音波振動子２０の振動は、中央盛上り部９ｂを介してエッチングヘッド軸体３ｃに伝達され、更に植毛３ｄに伝達される。振動する植毛３ｄは、円筒状穴１１ａの壁面を振動しながら擦る。すると、エッチング液噴出口から円筒状穴１１ａに供給されたエッチング液は、円筒状穴１１ａの壁面の微少な凹凸にも拘わらず該壁面に万遍なく行き渡り、該壁面を均一にエッチングする。また、エッチングにより生成される物質であって、エッチング液に溶解せず、壁面に付着し易いいわゆる残渣は、植毛３ｄの振動により効率的に除去される。この残渣除去効率の向上は、エッチングの均一性及びエッチングの効率を向上する。また、エッチングの効率向上は毒劇物であるエッチング液の消費量の削減に寄与する。
【００４０】
上述のように、図３、図４に示した第２の実施の形態の円筒状ガラス内壁エッチング装置は、図１、図２に示した第１の実施の形態の円筒状ガラス内壁エッチング装置における特徴を一層促進し、強調する効果を上げることが出来る。
【００４１】
なお、以上に実施の形態を挙げ本発明を具体的に説明したが、本発明はこの実施の形態に限られず、請求項に記載した範囲で各種の形態で実施できる。たとえば、植毛３ｄの長さは、エッチングヘッド３の径が円筒状穴１１ａの径より１０％大きくなるようにするとしたが、植毛３ｄは、エッチングヘッド３の径が円筒状穴１１ａの径よりやや大きくなる長さであれば本発明は実現できる。また、円錐状空間１８は前記パイプ挿入穴の径を、パイプ挿入穴における位置が下方になるに従って比例して拡大させてなるが、円錐状空間１８に代えて、下方になるに従って放物線状に拡大したラッパ状空間にしても差し支えない。
【００４２】
また、図３、図４の実施の形態では、超音波振動子２０は中央盛上り部９ｂ内部の収納室の壁面に固着したが、超音波振動子２０を中央盛上り部９ｂに固定する構造には各種のものが考えられ、図４の構造に限定されるものではない。超音波振動子２０は、エッチングヘッド軸体３ｃへ直接に固着してもよいことは勿論である。
【００４３】
さらに、超音波振動子２０の振動数は２０kHz〜５０kHzが扱い易く、好ましいと述べたが、植毛３ｄを振動させてエッチング反応を促進し、エッチングの進行を均一化する作用は、この範囲外の周波数でも広い範囲に渡ってあるので、本発明を適用して有効な超音波振動子２０の振動数は２０kHz〜５０kHzより相当に広い範囲である。
【００４４】
【発明の効果】
以上に実施の形態を挙げ、詳しく説明したように、本発明によりば、ＲＬＧブロック等のガラス体における円筒状穴の内壁を効率よく、しかも安定に、均一に透明化する装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第1の実施の形態である円筒状ガラス内壁エッチング装置を概念的に示す正面図である。
【図２】図１の実施の形態の要部を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態である円筒状ガラス内壁エッチング装置を概念的に示す正面図である。
【図４】図３の実施の形態の要部を示す断面図である。
【符号の説明】
１・・・・・定量送液ポンプ
２・・・・・送液パイプ
３・・・・・エッチングヘッド
３ａ・・・・・エッチング液流路
３ｂ・・・・・エッチング液噴出口
３ｃ・・・・・エッチングヘッド軸体
３ｄ・・・・・植毛
４・・・・・再循環パイプ
５・・・・・上下可動台
６・・・・・Ｘ−Ｙステージ
７・・・・・トレイ保持枠
８・・・・・バネ
９・・・・・トレイ
９ａ,９ｂ・・・・・中央盛り上がり部
９ｃ・・・・・エッチング液流路
１０・・・・・ＲＬＧブロック
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ・・・・・円筒状穴
１２・・・・・保持具
１３・・・・・回転軸
１８・・・・・円錐状空間
２０・・・・・超音波振動子
【図１】
0004028103.tif 000002
【図２】
0004028103.tif 000003
【図３】
0004028103.tif 000004
【図４】
0004028103.tif 000005