(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の絶縁基板と第２の絶縁基板との間に液晶を挟持した液晶表示装置であって、
前記第１の絶縁基板には第１の透明電極が複数本形成され、前記第２の絶縁基板には第２の透明電極が複数本形成され、
前記第１及び第２の絶縁基板の対向面に対して垂直な方向から見た場合、前記第１の透明電極と前記第２の透明電極は互いに交差し、当該交差部により画素が構成されており、
前記第１及び第２の絶縁基板は、表示部において、前記第１の透明電極と前記第１の絶縁基板との間、並びに前記第２の透明電極と前記第２の絶縁基板との間のそれぞれに、前記第１或いは第２の透明電極に接して設けられた、前記第１及び第２の透明電極より幅の狭い、配線抵抗低減用の少なくとも１層以上の金属補助電極を有し、
前記表示部において、前記金属補助電極の側面は前記金属補助電極が形成されている面に向かって末広がりの傾斜を有し、
前記第１及び第２の絶縁基板は、前記液晶を配向させるためにラビング法による配向処理が行われた配向膜を有し、
前記金属補助電極の側面及び上面を覆う前記第１及び第２の透明電極上に、前記第１或いは第２の透明電極に接して前記配向膜が形成されていることを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、液晶表示装置に係り、特に、液晶のパルス駆動のクロストークによって生じる輝度むら（シャドウイングと称される）を低減する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は、例えば、表示用透明画素電極と配向膜等をそれぞれ積層した面が対向するように所定の間隙を隔てて２枚の透明ガラスからなる絶縁基板を重ね合せ、該両基板間の縁部に枠状に設けたシール材により、両基板を貼り合せると共に、シール材の一部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に液晶を封入、封止し、さらに両基板の外側に偏光板を設けてなる液晶表示素子（すなわち、液晶表示部；液晶表示パネル；ＬＣＤ：リキッドクリスタルデイスプレイ）と、液晶表示素子の下に配置され、液晶表示素子に光を供給するバックライトと、液晶表示素子の外周部の外側に配置した液晶表示素子の駆動用回路基板と、これらの各部材を保持するモールド成形品である枠状体と、これらの各部材を収納し、液晶表示窓があけられた金属製フレーム等を含んで構成されている。
【０００３】
なお、液晶表示素子と駆動用回路基板とは、例えば、液晶表示素子駆動用の半導体集積回路チップを搭載したテープキャリアパッケージ（以下、ＴＣＰと記す）により電気的に接続されている。さらに詳しくいうと、回路基板の多数の出力端子とＴＣＰの多数の入力端子（入力側アウターリード）とは半田付けにより接続され、ＴＣＰの多数の出力端子（出力側アウターリード）と表示用電極に接続された液晶表示素子の多数の入力端子（液晶表示素子を構成する一方の透明ガラス基板面上の端部に配列形成されている）とは異方性導電膜により接続されている。また、ＴＣＰに搭載された半導体集積回路チップの多数の入力端子は、ＴＣＰの多数の出力側インナーリードと接続され、他方、半導体集積回路チップの多数の出力端子は、ＴＣＰの多数の入力側インナーリードと接続されている。
【０００４】
なお、このような液晶表示装置が記載された文献としては、例えば特開昭６１−２１４５４８号、実開平２−１３７６５号公報等が挙げられる。
【０００５】
図２３（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ従来の２枚の上下の電極基板の透明電極配線を示す概略平面図である。
【０００６】
すなわち、液晶表示素子を構成する２枚の電極基板である上電極基板（データ電極基板やセグメント電極基板とも称す）１１の面上に複数本平行に形成された上電極（データ駆動素子電極やセグメント電極とも称す）３１と、下電極基板（走査電極基板やコモン電極基板とも称す）１２の面上に複数本平行に形成された下電極（走査駆動素子電極やコモン電極とも称す）３２を示す。
【０００７】
これらの２枚の上下電極基板１１、１２を重ね合わせて組み立て、単純マトリクス方式の液晶表示素子が完成するが（図２、図９参照）、両基板の対向面にそれぞれ複数本が平行に配線された上電極３１、下電極３２は、完成後の液晶表示素子において両基板面と垂直な方向から見た場合、互いに直角に交差し（実際には交差しない）、この交差部により１つの画素が構成され、すなわち、交差する領域により有効表示領域が構成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置では、電源回路から供給された電圧をＬＳＩ（半導体集積回路）を介して液晶表示素子に印加し、液晶を駆動する。液晶を駆動するには、交流を用いるが、前記ＬＳＩや液晶表示素子の透明電極の抵抗および液晶のパルス駆動のクロストークにより、波形に変形（なまり）が生じ、点灯時に輝度むら、すなわち、シャドウイングが発生するという問題がある。このシャドウイングを低減し、観察者の目に見えないようにするためには、透明電極の抵抗を下げることが最良の方法である。一般的に、ＩＴＯ（インジウム−チン−オキサイド、すなわち、ネサ）膜からなる透明電極配線のシート抵抗を約２Ω／□以下とし、また、駆動素子の出力抵抗を約１００Ω以下とし、さらに、バイアス回路の設定精度を約０．２％以下にする必要があると言われている。したがって、液晶表示素子に対する要請は、見かけ上のシート抵抗が約２Ω／□以下ということになるが、現状のカラーＳＴＮ−ＬＣＤでは、約１０Ω／□である。例えば表示画面が９．４インチの液晶表示素子における走査電極の配線抵抗は、端から端まで約６４００Ωということになる。シャドウイングを観察者の目に見えないようにするには、これを約１２８０Ω以下にすることが要請される。しかし、従来のＬＣＤでは、シャドウイングを低減することが困難であった。
【０００９】
このような技術が記載された文献としては、例えば特開平３−２３９２２５号、特開平３−２３９２２６号、特開平６−５１３３３号公報等が挙げられる。
【００１０】
なお、前記シャドウイングを低減する方法の１つとして、液晶表示素子の透明電極の配線抵抗を低減（抑制）することが挙げられる。例えば特開昭５６−４６２８９号、特開昭５７−１１８２１７号公報には、透明電極の上に抵抗率の低い金属からなる金属補助電極を追加することにより、透明電極の配線抵抗を低減する例が記載されている。
【００１１】
しかし、この公知例では、金属補助電極を透明電極上に形成するため、該金属補助電極が熱処理、配向処理時の外力などにより剥がれるという問題がある。また、透明電極と金属補助電極との接触面積が小さいので、透明電極の配線抵抗の充分な低減効果が得られにくい問題がある。
【００１２】
また、金属補助電極を設けた部分がその厚さ分だけ厚くなるため、その部分において、対向する透明電極間の間隔（ギャップ）に急激な変化が生じ、液晶の配向状態が変わり、金属補助電極近傍において、電圧無印加時に黒表示となるノーマリブラックモード液晶表示素子では、駆動電圧にかかわらず、光が透過（光漏れ）してしまい、同様に電圧無印加時に白表示となるノーマリホワイトモード液晶表示素子では、駆動電圧にかかわらず、光が遮光されてしまう光学的不具合が発生する問題がある。
【００１３】
また、非点灯部において、点灯には関与しないダミー透明電極を、対向する両基板上に同一形状（パターン）に形成した液晶表示素子では、金属補助電極を該ダミー透明電極上にも形成すると、点灯部の金属補助電極の互いに対向する部分の面積と、非点灯部の金属補助電極の互いに対向する部分の面積との差が大きくなり、両基板間のギャップを均一にするのが難しくなる。
【００１４】
本発明の目的は、液晶のパルス駆動のクロストークによって画面上に生じるシャドウイング（輝度むら）を低減し、表示品質を向上することができる液晶表示装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明は、第１の絶縁基板と第２の絶縁基板との間に液晶を挟持した液晶表示装置であって、前記第１の絶縁基板には第１の透明電極が複数本形成され、前記第２の絶縁基板には第２の透明電極が複数本形成され、前記第１及び第２の絶縁基板の対向面に対して垂直な方向から見た場合、前記第１の透明電極と前記第２の透明電極は互いに交差し、当該交差部により画素が構成されており、前記第１及び第２の絶縁基板は、表示部において、前記第１の透明電極と前記第１の絶縁基板との間、並びに前記第２の透明電極と前記第２の絶縁基板との間のそれぞれに、前記第１或いは第２の透明電極に接して設けられた、前記第１及び第２の透明電極より幅の狭い、配線抵抗低減用の少なくとも１層以上の金属補助電極を有し、前記表示部において、前記金属補助電極の側面は前記金属補助電極が形成されている面に向かって末広がりの傾斜を有し、前記第１及び第２の絶縁基板は、前記液晶を配向させるためにラビング法による配向処理が行われた配向膜を有し、前記金属補助電極の側面及び上面を覆う前記第１及び第２の透明電極上に、前記第１或いは第２の透明電極に接して前記配向膜が形成されているという構成になっている。
【００４０】
【作用】
本発明では、透明電極と電極基板との間に、金属補助電極を設けたので、配線抵抗が低減し、液晶を駆動する波形のなまりやクロストークの歪みを低減することができるため、シャドウイングを低減し、観察者の目に見えないようにすることができ、表示品質を向上することができる。
【００４１】
また、金属補助電極の主材料としてＡｌを用いることにより、配線抵抗を約１／５〜１／１０に低減することができるので、シャドウイングを低減することができる。
【００４２】
また、酸、アルカリに弱いＡｌ膜等からなる金属補助電極の上をＩＴＯ膜等からなる透明電極で覆うので、液晶表示素子の製造工程中に用いる酸、アルカリによる金属補助電極の腐食を防止することができる。
【００４３】
また、Ａｌ膜等からなる金属補助電極と電極基板、および透明電極との間にＣｒ膜やＮｉ膜を介在させることにより、金属補助電極と電極基板、および透明電極との密着性を向上することができ、金属補助電極の剥がれを防止するとともに電気的接続性を向上し、信頼性を向上することができる。
【００４４】
また、電極基板の端部上に１列に並んで複数個設置されるＴＣＰ等の駆動素子と接続される透明電極の端子群の間の広い間隔が空いた部分に、前記第１のダミー電極を設け、さらに、この第１のダミー電極にも透明電極と同様に金属補助電極を設けることにより、ＴＣＰ間の凹部をなくすことができるので、上下両基板間のギャップを均一にすることができる。また、複数本の端子間のすき間に設けた前記第２のダミー電極にも透明電極と同様に金属補助電極を設けることにより、両基板間のギャップを均一にすることができる。さらに、透明電極の端子、引き出し配線、透明電極の端部、第１、第２のダミー電極等の端子部を対向する電極基板の端部に複製する場合も、対向する端子部と同様に、金属補助電極を設けることにより、両基板間のギャップを均一にすることができる。したがって、シール材の内側（液晶が介在する側）で、表示部（点灯部）の外側の非点灯部である、いわゆる額縁部と称される部分を含む両基板間のギャップが均一なので、ギャップ変動に起因する色むらが生じず、本来均一な黒となるべき額縁部の不均一な濃淡むらの発生を防止することができ、額縁部を均一な黒にすることができ、表示品質を向上することができる。
【００４５】
また、金属補助電極の側面に該金属補助電極形成面に向かって末広がりの傾斜を付けたことにより、金属補助電極の傾斜した側面および上面を覆う透明電極の接着面積が増すので、外力に対して該金属補助電極が剥がれにくくなる。
【００４６】
また、金属補助電極を透明電極で覆うと共に、該金属補助電極の下側にも第２の透明電極を設け、該金属補助電極を２枚の透明電極で挟むことにより、金属補助電極と透明電極との接触抵抗が低減され、透明電極の配線抵抗の低減効果を大きくすることができる。
【００４７】
また、前記金属補助電極とそれを設けた前記基板との間に、前記金属補助電極に沿って遮光膜を設けたことにより、金属補助電極追加部分におけるギャップ変動に起因する、該金属補助電極近傍における光漏れあるいは遮光という光学的不具合を抑制することができる。
【００４８】
また、非点灯部に、点灯には関与しないダミー透明電極を有する液晶表示装置において、非点灯部に設けた透明電極には金属補助電極あるいはそれに対応する遮光膜を省略することにより、液晶表示素子組み立て後における点灯部と非点灯部の金属補助電極の交差する面積の違いに起因するギャップ変動を抑制することができる。
【００４９】
また、金属補助電極の側面と該金属補助電極形成面との成す角度は、金属補助電極のパターニングエッチング時のエッチング溶液の混合比を調整することにより、所定の値に調整することができる。
【００５０】
さらに、前記遮光膜と点灯ドット間を遮光するブラックマトリクスとは同一の材料からなり、前記遮光膜のパターニング用マスクと前記ブラックマトリクスのパターニング用マスクとを共用することにより、製造工程を簡略化することができる。
【００５１】
なお、上記の特開昭５６−４６２８９号、特開昭５７−１１８２１７号、特開平３−２３９２２５号、特開平３−２３９２２６号、特開平６−５１３３３号公報には、上記の本発明の思想、構成、作用、効果は一切記載されていない。従来、単純マトリクス方式の液晶表示素子の透明電極に配線抵抗低減用の金属補助電極を設けたものがあるが、ＩＴＯ膜の上にＣｒ膜をつけたものであり、また、前述のように、両基板間のギャップ均一性を考慮して、ダミー電極につけたものはない。
【００５２】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明する。
【００５３】
図６は、液晶表示素子６２と、この液晶表示素子６２を駆動するための駆動回路と、光源をコンパクトに一体にまとめた液晶表示モジュール６３を示す分解斜視図である。
【００５４】
液晶表示素子６２を駆動する半導体ＩＣチップ３４を実装したＴＣＰ１０は、中央に液晶表示素子６２を嵌め込むための窓部を備え、液晶駆動用の回路が形成された枠状体のプリント回路基板３５に搭載される。液晶表示素子６２を嵌め込んだプリント回路基板３５はプラスチックモールドで形成された枠状体４２の窓部に嵌め込まれ、これに金属製フレーム４１を重ね、その爪４３を枠状体４２に形成されている切込み４４内に折り曲げることによりフレーム４１を枠状体４２に固定する。
【００５５】
液晶表示素子６２の上下端に配置される冷陰極蛍光管３６、この冷陰極蛍光管３６からの光を液晶表示セル６０に均一に照射させるためのアクリル板からなる導光体３７、金属板に白色塗料を塗布して形成された反射板３８、導光体３７からの光を拡散する乳白色の拡散板３９が図６の順序で、枠状体４２の裏側からその窓部に嵌め込まれる。冷陰極蛍光管３６を点灯するためのインバータ電源回路（図示せず）は枠状体４２の右側裏部に設けられた凹部（図示せず。反射板３８の凹所４５に対向する位置にある。）に収納される。拡散板３９、導光体３７、冷陰極蛍光管３６および反射板３８は、反射板３８に設けられている舌片４６を枠状体４２に設けられている小口４７内に折り曲げることにより固定される。
【００５６】
図７は、液晶表示モジュール６３を表示部に使用したラップトップパソコンのブロックダイアグラム、図８は、液晶表示モジュール６３をラップトップパソコン６４に実装した状態を示す図である。このラップトップパソコン６４においては、マイクロプロセッサ４９で計算した結果を、コントロール用ＬＳＩ４８を介して液晶駆動用半導体ＩＣチップ３４で液晶表示モジュール６３を駆動するものである。
【００５７】
図９は、液晶表示素子６２の要部斜視図である。
【００５８】
図９において、液晶層５０を挟持する２枚の上、下電極基板１１、１２間で液晶分子がねじれたらせん状構造をなすように配向させるには、例えばガラスからなる透明な上、下電極基板１１、１２上の、液晶に接する、例えばポリイミドからなる有機高分子樹脂からなる配向膜２１、２２の表面を、例えば布などで一方向にこする方法、いわゆるラビング法が採られている。このときのこする方向、すなわちラビング方向、上電極基板１１においてはラビング方向６６、下電極基板１２においてはラビング方向６７が液晶分子の配列方向となる。このようにして配向処理された２枚の上、下電極基板１１、１２をそれぞれのラビング方向６６、６７が互いにほぼ１８０度から３６０度で交叉するように間隙ｄ1をもたせて対向させ、２枚の電極基板１１、１２を液晶を注入するための切欠け部、すなわち、液晶封入口５１を備えた枠状のシール材５２により接着し、その間隙に正の誘電異方性をもち、旋光性物質を所定量添加されたネマチック液晶を封入すると、液晶分子はその電極基板間で図中のねじれ角θ2のらせん状構造の分子配列をする。なお３１、３２はそれぞれ例えば酸化インジウムまたはＩＴＯからなる透明な上、下電極である。このようにして構成された液晶セル６０の上電極基板１１の上側に複屈折効果をもたらす部材（以下複屈折部材と称す。藤村他「ＳＴＮ−ＬＣＤ用位相差フィルム」、雑誌電子材料１９９１年２月号第３７−４１頁）４０が配設されており、さらに、この部材４０および液晶セル６０を挟んで上、下偏光板１５、１６が設けられる。
【００５９】
液晶５０における液晶分子のねじれ角θ2は１８０度から３６０度の範囲の値を採り得るが、好ましくは２００度から３００度であるが、透過率−印加電圧カーブのしきい値近傍の点灯状態が光を散乱する配向となる現象を避け、優れた時分割特性を維持するという実用的な観点からすれば、２３０度から２７０度の範囲がより好ましい。この条件は基本的には電圧に対する液晶分子の応答をより敏感にし、優れた時分割特性を実現するように作用する。また優れた表示品質を得るためには液晶層５０の屈折率異方性Δｎ1とその厚さｄ1の積Δｎ1・ｄ1は好ましくは０.５μｍから１.０μｍ、より好ましくは０.６μｍから０.９μｍの範囲に設定することが望ましい。
【００６０】
複屈折部材４０は液晶セル６０を透過する光の偏光状態を変調するように作用し、液晶セル６０単体では着色した表示しかできなかったものを白黒の表示に変換するものである。このためには複屈折部材４０の屈折率異方性Δｎ2とその厚さｄ2の積Δｎ2・ｄ2が極めて重要で、好ましくは０.４μｍから０.８μｍ、より好ましくは０.５μｍから０.７μｍの範囲に設定する。
【００６１】
さらに、この液晶表示素子６２は複屈折による楕円偏光を利用しているので偏光板１５、１６の軸と、複屈折部材４０として一軸性の透明複屈折板を用いる場合はその光学軸と、液晶セル６０の電極基板１１、１２の液晶配列方向６、７との関係が極めて重要である。
【００６２】
図１０は、カラーフィルタを有する液晶表示素子の上電極基板部の一例の一部切欠斜視図である。
【００６３】
図１０に示す如く、上電極基板１１上に赤、緑、青のカラーフィルタ３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂ、各フィルター同志の間に光遮光膜３３Ｄを設けることにより、多色表示が可能になる。
【００６４】
なお、図１０においては、各フィルタ３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂ、光遮光膜３３Ｄの上に、これらの凹凸の影響を軽減するため絶縁物からなる平滑層２３が形成された上に上電極３１、配向膜２１が形成されている。
【００６５】
実施例１
図１（Ａ）は、本発明の実施例１の金属補助電極を示す概略断面図、（Ｂ）、（Ｃ）は本発明による（Ａ）と比較するための図で、（Ｂ）は金属補助電極の概略平面図、（Ｃ）は（Ｂ）の概略断面図である。
【００６６】
１２は電極基板、３２はＩＴＯ膜からなる透明電極、１０は透明電極３２の上に形成したＣｒ膜からなる金属補助電極である。
【００６７】
（Ｂ）、（Ｃ）に示す比較例の金属補助電極１０は、Ｃｒ膜１層からなり、ＩＴＯ膜からなる透明電極３２の中央部の上に、透明電極３２と平行に透明電極３２の幅より狭く形成したものである。ＩＴＯ膜からなる透明電極３２の膜厚は約０．２μｍ、幅は約３００μｍ、Ｃｒ膜からなる金属補助電極１０の膜厚は約０．３μｍ、幅は約２０〜３０μｍである。
【００６８】
このような構成の金属補助電極１０では、次のような問題がある。
【００６９】
すなわち、▲１▼Ｃｒの抵抗は高いので、配線抵抗は２０％程度しか低減することができない。すなわち、例えば、膜厚約０．３μｍ、幅約２０μｍのＣｒ膜からなる金属補助電極１０を、膜厚約０．２μｍ、幅約３００μｍ、シート抵抗約１０Ω／□のＩＴＯ膜からなる透明電極３２の上に形成した場合、見かけのシート抵抗は８Ω／□程度にしかならない。
【００７０】
そこで、▲２▼配線抵抗をもっと下げようとして、Ｃｒ膜からなる金属補助電極１０の幅を広げると、液晶表示素子の表示開口率が低下し、画面が暗くなる。また、Ｃｒ膜からなる金属補助電極１０の膜厚を０．３μｍ以上とすると、Ｃｒ膜にクラックが生じ、断線が起きやすく、断線が起きた場合は、金属補助電極のシャント（抵抗低減）機能をなさなくなる。また、上下両電極基板間のギャップの均一性を確保するのが難しくなる。
【００７１】
▲３▼また、Ｃｒ膜の代わりに、Ａｌ膜１層からなる膜厚約０．３μｍ、幅約２０μｍの金属補助電極１０を図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、透明電極３２上に形成した場合では、ＩＴＯ膜からなる透明電極３２の見かけ上のシート抵抗は２Ω／□と、１／５に下がる。しかし、Ａｌ膜は、材料の性質上、酸化しやすく、液晶表示素子の製造工程において、用いる酸、アルカリ等により腐食してしまう問題がある。
【００７２】
このような問題点を考慮して、本発明の実施例１の金属補助電極１は、図１（Ａ）に示すように、下層Ｃｒ膜１ａ、Ａｌ膜１ｂ、上層Ｃｒ膜１ｃの３層からなり、電極基板１２と、ＩＴＯ膜からなる透明電極３２との間の該透明電極３２の中央部に、透明電極３２と平行に透明電極３２の幅より狭く形成したものである。ＩＴＯ膜からなる透明電極３２の膜厚は約０．２μｍ、幅は約３００μｍ、上層と下層のＣｒ膜１ａ、１ｃの膜厚は約０．０５μｍ、Ａｌ膜１ｂの膜厚は約０．３μｍ、金属補助電極１の幅は約２０μｍである。
【００７３】
このような構成により、本実施例１では、▲１▼金属補助電極１の主材料としてＡｌを用いるので、見かけのシート抵抗を約１〜２Ω／□と、約１／５〜１／１０に低減することができるので、シャドウイングを低減し、観察者の目に見えないようにすることができ、表示品質を向上することができる。
【００７４】
また、▲２▼酸、アルカリに弱いＡｌ膜１ｂの上をＩＴＯ膜からなる透明電極３２で覆うので、液晶表示素子の製造工程中に用いる酸、アルカリによるＡｌ膜１ｂの腐食を防止することができる。
【００７５】
また、▲３▼Ａｌ膜１ｂとガラスからなる電極基板１１、およびＩＴＯ膜からなる透明電極３１との間にＣｒ膜１ａ、１ｃを介在させたので、Ａｌ膜１ｂと電極基板１１、および透明電極３２との密着性を向上することができ、金属補助電極１の剥がれを防止するとともに電気的接続性を向上し、信頼性を向上することができる。なお、Ｃｒ膜の代わりに、Ｎｉ膜を用いても同様の効果が得られる。
【００７６】
図２（Ａ）〜（Ｃ）は、図１（Ａ）の実施例１を適用した液晶表示素子の要部概略平面図およびその対応する要部概略断面図である。
【００７７】
１５は上偏光板、７３は位相差板、１１は上電極基板、３１は上電極、７４は絶縁膜、２１は上配向膜、５２はシール材、５０は液晶層、７５はスペーサ、２２は下配向膜、３２は下電極、７６は平坦化膜、３３はカラーフィルタ、３３Ｄはブラックマトリクス、１２は下電極基板、１６は下偏光板、１′は上電極基板１１と上電極３１との間に形成した金属補助電極、１は下電極基板１２と下電極３２との間に形成した金属補助電極である。金属補助電極１、１′の構成は、図１（Ａ）に示したのと同様である。
【００７８】
図３（Ａ）は、上記実施例１を適用した液晶表示素子の透明電極３２の端子部を示す電極基板１２の部分概略平面図、（Ｂ）は（Ａ）の約４倍の範囲の部分概略平面図である。なお、（Ｂ）には、金属補助電極１、１″の図示は省略した。
【００７９】
３はＴＣＰ（ここでは図示せず。図５、図６の符号１０参照）の電極（前記出力側アウタリード）と接続される端子（接続用電極、すなわち、入力端子）、３′は表示用の透明電極３２と該端子３とを接続する引き出し配線の一部である斜め直線配線、４、５はダミー電極、１００は端子３、引き出し配線、透明電極３２の端部、ダミー電極４、５を含む端子部、７１はＴＣＰを電極基板１２上に実装する際のＴＣＰの位置合せ用マーク、５２はシール材が設けられる部分である。
【００８０】
電極基板１２上にそれぞれ平行に配線された複数本の透明電極３２のピッチよりも、電極基板１２の端部に引き出され、ＴＣＰに接続される各透明電極３２の端子３のピッチの方が狭く、したがって、両者を接続する斜め直線配線３′を含む引き出し配線が必要となる。
【００８１】
また、本実施例では、図３に示すように、電極基板１２の端部上に１列に並んで複数個設置されるＴＣＰ（図５の符号１０参照）との接続用の端子３からなる端子群３０（図３（Ｂ）参照）間のスペースに、ダミー電極４が設けてある。このダミー電極４は、前記スペースを埋めるような図示のような形状、すなわち、端子３と等しいピッチで等しい幅の平行電極４ａと、斜め直線電極４ｂとにより構成してある。斜め直線電極４ｂは、端子群３０の最も外側の隣り合う各端子３の斜め直線配線３′の間に、該斜め直線配線３′と等しい角度、等しいピッチで設けてある。なお、本実施例では、ダミー電極４はＩＴＯ膜からなり、電気的にはフローティングである。図３（Ａ）に示すように、透明電極３２と電極基板１２との間には、図１（Ａ）を用いて詳細に説明したように、配線抵抗低減用の金属補助電極１（図３（Ｂ）では図示省略）が設けてあり、ダミー電極４と電極基板１２との間にも、金属補助電極１と同様の構成で金属補助電極１″（図３（Ｂ）では図示省略）が設けてある。
【００８２】
従来は、複数個設置されるＴＣＰと接続される端子群３０の間の間隔が空いているため、例えば０．２〜０．３μｍと厚いＩＴＯ膜からなる端子３の膜厚により、端子３のある部分とない部分とで高さの差ができ、液晶表示素子の量産時に、表示用電極２上に形成する配向膜に配向処理（ラビング）を行うラビングローラにこの形状が転写され、このラビングローラを用いて配向処理を行うと、配向膜にラビング筋むらが生じてしまい、表示品質が低下するという問題があったが、本実施例では、ＴＣＰ間（端子群３０間）のスペースをダミー電極４で埋めることによって、該スペースをその両側と等しい凹凸条件、すなわち、ラビング条件とすることができるので、従来のように配向膜にラビング筋むらが生じず、表示品質を向上することができる。また、ＴＣＰ間のスペースにダミー電極４を設けることにより、ＴＣＰ間の約０．２μｍの凹部をなくすことができるので、上下両基板間のギャップを均一にすることができる。したがって、完成した液晶表示素子のシール材５２の内側（液晶が介在する側）で、上下電極基板の各電極が交差する部分である表示部（点灯部）の外側の非点灯部である、いわゆる額縁部と称される部分において不均一な濃淡むらがなく、均一な黒の非点等領域を実現することができ、また、両基板間のギャップを良好に制御することができるので、色むらが生じるのを防止することができるため、表示品質を向上することができる。
【００８３】
また、本実施例では、図３に示すように、額縁部における端子３どうしの間のスペースに、ダミー電極５が設けてある。なお、ダミー電極５のピッチは等しく、また、ダミー電極５とその両側の端子３との距離（両者の間隔の長さ）はそれぞれ等しく、本実施例では、隣り合う斜め直線配線１間の距離と等しい。また、本実施例では、ダミー電極５はＩＴＯ膜からなり、電気的にはフローティングである。ここでは、ダミー電極４と電極基板１２との間には、金属補助電極１と同様の構成の金属補助電極（図３（Ｂ）では図示省略）が設けてないが、設けてもよい。
【００８４】
本実施例では、額縁部を含む部分の各端子３間のすき間にダミー電極５を設けたので、額縁部の各端子３間のすき間から光漏れが生じるのを防止することができる。また、端子３と該端子３をそのまま延長した部分の面内密度が均一となり、上下両基板間のギャップを均一にすることができる。従来は、引き出し配線の斜め直線配線が放射線状なので、斜め直線配線間の間隔が表示用透明電極から端子に向かって狭くなるという不均一が生じ、この結果、額縁部の本来、均一な黒となるべきところに、不均一な濃淡むらができてしまうという問題があったが、本実施例では、ダミー電極４と５を設けたので、額縁部におけるギャップを均一にすることができ、この問題を解決し、額縁部を均一な黒にすることができ、表示品質を向上することができる。さらに、従来の液晶表示素子では、上下電極基板の０．２〜０．３μｍと厚いＩＴＯ膜からなる表示用透明電極および斜め直線配線がスペーサを支えるため、電極がない部分のスペーサはフリーとなり、ギャップ制御が効かず、また、従来の放射線状の斜め直線配線は前述のように配線密度が均一ではないため、額縁部のギャップ変動に起因する色むらが生じるという問題があった。特に、両電極基板間の高精度のギャップ（±０．１μｍ）が必要なＳＴＮ−ＬＣＤでは、そのギャップを出すためのスペーサが存在する有効密度が大きく影響する。本実施例では、ダミー電極４と５を設けたので、額縁部におけるギャップを均一にすることができるので、この問題を解決し、額縁部のギャップ変動に起因する色むらが生じず、表示品質を向上することができる。
【００８５】
本実施例では、ダミー電極５を電気的にはフローティングとしたが、引き出し配線の配線抵抗が他の引き出し配線と同一になるように、最小パターンの接続部により一点接続してもよい。
【００８６】
図４（Ａ）、（Ｂ）は、図３（Ａ）、（Ｂ）に例示したような端子３、引き出し配線、ダミー電極４、５を有する端子部１００を適用して形成した上電極基板１１と下電極基板１２の概略平面図である。
【００８７】
両電極基板１１、１２を重ね合せて液晶表示素子を組み立てたときに、各電極基板１１、１２の端部に形成した各透明電極３１、３２の端子部１００（図３）を、対向する電極基板１１、１２の端部の対向する面に両基板面と垂直方向から見た場合に、全く重なるようなパターンに複製してある。複製した端子部を符号１０１、１０２で示す。
【００８８】
複製した端子部（走査駆動素子電極の対向ダミー電極）１０１は、上電極基板１１の対向する２辺の端部の面上に複製され、それと対向する下電極基板１２の端部の面上の下電極３２の端子部の一部を同一パターン、同一材料で複写したものである。
【００８９】
複製した端子部（データ駆動素子電極の対向ダミー電極）１０２は、下電極基板１２の対向する２辺の端部の面上に複製され、それと対向する上電極基板１１の端部の面上の上電極３１の端子部の一部を同一パターン、同一材料で複写したものである。
【００９０】
なお、複製した端子部１０１、１０２においても、図３（Ａ）に例示したように、電極基板１１、１２と、透明電極１およびダミー電極４との間に、同一の構成（同じ材料、厚さ、幅等）の金属補助電極が形成してある。なお、電極基板１１、１２とダミー電極５との間に同一の構成の金属補助電極を設けてもよい。
【００９１】
複製した端子部１０１、１０２は、これらとこれらに対向する端子部との間の液晶を点灯させないようにするため、電気的にはフローティングにしてある。なお、端子部において、ダミー電極４どうしが対向する場合も、両者の間の液晶を点灯させないようにするため、電気的にフローティングにする。これにより、静電気等により該ダミー電極４に電荷が蓄積されても、液晶の高抵抗リークにより放電し、点灯を防止することができる。
【００９２】
すなわち、例えば、▲１▼上電極基板１１の端部の上電極３１の端子部１００（引き出し配線やダミー電極４、５を含む。以下、同様）の一部のパターンをコピーして下電極基板１２の対向する端部に配置形成する。▲２▼上電極基板１１の反対側の端部の上電極３１の端子部の一部のパターンを同様にコピーして下電極基板１２の対向する端部に配置形成する。▲３▼下電極基板１２の端部の下電極３２の端子部の一部のパターンをコピーして上電極基板１１の対向する端部に配置形成する。▲４▼下電極基板１２の反対側の液晶封入口側の端部の下電極３２の端子部（この端子部は、駆動素子であるＴＣＰの端子と接続されないが、本発明では、これも端子部と称す）の一部のパターンを同様にコピーして上電極基板１１の対向する端部に配置形成する。この後、２枚の電極基板１１、１２を重ね合せて組み立てると、上電極３１と下電極３２の端子部に対向して、基板面と垂直方向から見た場合に全く重なる同一パターンの端子部が対向配置される。複製した端子部は、上電極３１、下電極３２の端子部と同一パターンで上下に重なっているが、電気的にフローテイングなので、上電極３１、下電極３２に駆動電圧が印加されても、異常点灯は起きない。
【００９３】
すなわち、既述のように、従来は、上電極基板１１と下電極基板１２とを重ね合せて構成した液晶表示素子では、表示部には両基板１１、１２に電極３１、３２があるが、端子部には片方の基板にしか電極がないので、上電極３１、下電極３２を構成する０．２〜０．３μｍと膜厚の厚い透明電極材料であるＩＴＯ膜の分だけ、端子部のギャップが大きくなり、スペーサがフリーとなり、ギャップ制御が効かなかった。特に、ＳＴＮ−ＬＣＤのように、両電極基板間の高精度のギャップ（±０．１μｍ）が必要な液晶表示素子では、完成した液晶表示素子の周辺のギャップ変動に起因して、ＳＴＮ液晶の光学特性が変動し、表示部に色むらが生じる問題があった。ところが、本実施例では、上電極基板１１と下電極基板１２とを重ね合せて構成した液晶表示素子では、上記のように、表示部と同様に、端子部にも両基板に同一パターンの電極を設けたので、端子部のギャップも表示部のギャップと同一にすることができ、ギャップ変動に起因する表示部の色むらの発生を防止し、表示品質を向上することができる。
【００９４】
また、非点灯部の層構造を点灯部と同じにして、ギャップを均一化するので、電極上に形成する配向膜に配向処理（ラビング）を行うラビングローラに、端子のある部分とない部分との凹凸形状が転写され、配向膜にラビング筋むらが生じ、表示品質が低下するのを防止することができる。また、額縁部のギャップの不均一性に起因する、本来均一な黒となるべき額縁部の不均一な濃淡むらの発生を防止することができ、額縁部を均一な黒にすることができるので、表示品質を向上することができる。
【００９５】
なお、ここでいう端子部１００は、通常は、図３に例示するように、有効表示領域の外側の、端子３、透明電極３１、３２とその端子３とを接続する斜め直線配線３′を含む引き出し配線、あるいは透明電極３１、３２の端部の一部を含む。しかし、図４（Ｂ）の下電極基板１２の右側端部のように、ＴＣＰを実装しない電極基板の端部では、平行な透明電極の端部しかなく、この場合は、図４（Ａ）の上電極基板１１の右側端部に形成したように透明電極の端部だけ複製する。すなわち、複製した端子部１０１、１０２が、両電極基板１１、１２面と垂直な方向から見た場合、対向する基板１１、１２の対向する面の端子部１００のパターンと重なるような同一のパターンであることを特徴とする。
【００９６】
このように、２枚の電極基板１１、１２のうち、一方の電極基板１１、１２の端部に形成した端子３と引き出し配線とダミー電極４、５を、他方の電極基板１２、１１の対向する面に形成したことにより、両電極基板１１、１２間のギャップを均一にすることができるので、額縁部を均一な黒にすることができるとともに、額縁部のギャップ変動に起因する色むらが生じず、表示品質を向上することができる。
【００９７】
実施例２
図１１（Ａ）は本発明の実施例２の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＡ部拡大詳細図、図１２（Ｄ）は図１１（Ａ）、（Ｂ）の概略平面図である。なお、図１１（Ａ）、（Ｂ）は（Ｃ）のＡ−Ａ切断線における断面図に相当する。しかし、（Ａ）、（Ｂ）においては、配向膜、液晶、スペーサ等は図示省略してある（図２（Ｃ）参照）。
【００９８】
１１は上電極基板、１′は金属補助電極、３１は透明電極、１２は下電極基板、３３Ｄはブラックマトリクス、３３はカラーフィルタ、７６は平坦化膜、１は金属補助電極、３２は透明電極である。
【００９９】
まず、図１１（Ｂ）に示すように、ガラス等からなる下電極基板１２上に、クロム等の金属膜あるいは黒色顔料を含む樹脂等からなる遮光膜を形成し、フォトリソグラフィ法等を用いて所定の開口部を形成し、ブラックマトリクス３３Ｄとする。
【０１００】
次に、ブラックマトリクス３３Ｄの開口部に顔料を含む樹脂を所定の色、配列で形成し、カラーフィルタ３３とする。次に、ポリイミドやエポキシ等の樹脂からなる平坦化膜７６をスピンナ等を用いて形成し、ブラックマトリクス３３Ｄ、カラーフィルタ３３の形成によって生じた凹凸を低減する。
【０１０１】
ここでは、平坦化膜７６の上面が金属補助電極形成面７７になる。すなわち、この金属補助電極形成面７７上に、抵抗の低いＡｌ等の１層または複数層の金属膜（詳細は後述）をスパッタ法等を用いて形成し、金属補助電極１とする。
【０１０２】
ここで、金属膜は図１１（Ｃ）に示すように、単一の組成の１層構造でもよいが、例えば図１３（Ｅ）に示すように、金属補助電極形成面７７側から下層Ｃｒ膜１ｄ、中間層Ａｌ膜１ｅ、上層Ｃｒ膜１ｆの３層構造や、図１３（Ｆ）に示すように、下層Ａｌ膜１ｇ、上層Ｃｒ膜１ｈの２層構造の方が、金属補助電極形成面７７との密着性、および後でその上に形成する透明電極３２、３１との接触抵抗の低減を考慮すると望ましい。
【０１０３】
なお、金属補助電極１の総膜厚は、厚膜化すると膜の強度が低下することや、ギャップ変動の要因となり得ることから、５０００Å（０．５μｍ）以下が望ましい。
【０１０４】
また、図示はしていないが、金属補助電極形成面７７上に、金属補助電極１を形成する前に、すなわち、両者の間に、ＳｉＯ2膜等の導電性のない膜を１００〜５００Å程度下地膜として形成しておくと、密着性はさらに向上する。
【０１０５】
なお、本実施例では、金属補助電極１あるいは１′の側面１ｓに、該金属補助電極形成面７７に向かって末広がりの（テーパ状の）傾斜を付けたことを特徴とする。これにより、金属補助電極１（１′）の傾斜した側面１ｓおよび上面を覆う透明電極３２（３１）の接着面積が増すので、外力に対して該金属補助電極が剥がれにくくなる。
【０１０６】
金属補助電極（金属膜）１の側面（エッチング面）１ｓを金属補助電極形成面７７に向かって末広がりの傾斜を付ける方法としては、例えば該金属補助電極１のパターニングエッチング時のエッチング溶液の混合比を調整する方法がある。例えば、金属補助電極１の組成が単一のＡｌ膜の場合の金属補助電極１と透明電極３２の形成方法を図１４（Ａ）〜（Ｅ）を用いて説明する。
【０１０７】
まず、図１４（Ａ）に示すように、金属補助電極形成面７７上に、金属補助電極形成用の金属膜８０を形成した後、その上にフォトレジスト膜７８を形成し、金属膜８０を金属補助電極として残したい部分に、フォトレジスト膜７８を残す。
【０１０８】
次に、フォトレジスト膜７８をマスクとして、リン酸−酢酸−硝酸−水の混合液をエッチング液として用いて金属膜８０をエッチングすると、（Ｂ）に示すように側面に該金属補助電極形成面７７に向かって末広がりの傾斜を有する金属補助電極１が形成される。このエッチング液構成液のそれぞれの混合比を１６：１：２：１にすることにより、図１１（Ｃ）に示した金属補助電極１の側面１ｓと金属補助電極形成面７７との成す角度θが７０〜８０度に形成できた。もっとθの値を小さくするには、酢酸と水の混合比を高くすればよい。例えば前記混合比を１４：３：１：２にすることにより、θ＝約４０度が得られた。
【０１０９】
次に、フォトレジスト膜７８を除去したあと、（Ｃ）に示すように、金属補助電極１上に、ＩＴＯからなる透明導電膜８３をスパッタ法により形成する。
【０１１０】
次に、（Ｄ）に示すように、透明電極として残したい部分に、フォトレジスト膜７９を残す。
【０１１１】
次に、フォトレジスト膜７９をマスクとして透明導電膜８３をエッチングした後、フォトレジスト膜７９を除去すると、（Ｅ）に示すように、透明電極３２が形成され、本発明の特徴を有する基板が完成する。
【０１１２】
このように作成した構造を用い、１辺が１ｃｍの正方形の向かい合う２辺間の電気抵抗（単位Ω／ｃｍ2）と定義するシート抵抗が１０Ω／ｃｍ2、配線幅が１００μｍの透明電極３２に対し、Ｃｒ／Ａｌ／Ｃｒの３層構造で、各膜厚５００Å／３０００Å／５００Å、配線幅１０μｍの金属補助電極１を設けたところ、シート抵抗を約５０％低減でき、約５Ω／ｃｍ  2となった。
【０１１３】
また、本発明による基板では、透明電極３２上に形成され、液晶を配向させるための配向膜（図２、図９、図１０の符号２２、２１参照）の配向処理（例えば布で配向膜面を擦るラビングという方法）を行っても、金属補助電極１等の各膜は剥がれることがなかった。
【０１１４】
以上、図１１（Ｂ）に示したような、カラーフィルタ３３を有する下電極基板１２を例に説明したが、上電極基板１１においても、ブラックマトリクス３３Ｄ、カラーフィルタ３３、平坦化膜７６がないだけで、同様に製造することができる。
【０１１５】
これらの両基板に、配向膜を塗布し、配向処理を行い、粒径６μｍのポリマー製のスペーサを分散して、両基板をその枠周囲に設けたシール材により貼り合わせて基板間ギャップを保ち、封止した液晶を２４０度ツイストとして、点灯表示したところ、本発明を実施しない液晶表示装置と比較してシャドウイング量を約３０％低減することができた。
【０１１６】
実施例３
図１５（Ａ）は本発明の実施例３の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図である。なお、配向膜、液晶、スペーサ等は図示省略してある（図２（Ｃ）参照）。
【０１１７】
本実施例における構造、製造方法は、前記実施例２の図１１（Ａ）、（Ｂ）と比較すると明らかなように、金属補助電極１、１′を形成する前に、ＩＴＯからなる第２の透明電極８２、８１を形成する（すなわち、金属補助電極１、１′をそれぞれ上下の透明電極３２と８２、３１と８１とで挟む）点のみ異なり、その他は実施例１と同様である。
【０１１８】
第２の透明電極８２（８１）を形成した後は、図１４を用いて説明したように、金属補助電極１（１′）、透明電極３２（３１）を形成する。なお、本実施例において追加した透明電極８２、８１は、それぞれ透明電極３２、３１のエッチングの際に、同一のマスク（図１４（Ｄ）のフォトレジスト膜７９）を用いて同時にエッチングすればよい。
【０１１９】
本実施例によれば、透明電極３２、８２の合計前記シート抵抗１０Ω／ｃｍ2、配線幅１００μｍの透明電極に対し、Ｃｒ／Ａｌ／Ｃｒの３層構造で、各膜厚５００Å／３０００Å／５００Å、配線幅１０μｍの金属補助電極１を設けたところ、シート抵抗を約８０％低減でき、約２Ω／ｃｍ2となった。
【０１２０】
また、本発明による基板でも、実施例２と同様に、配向処理によっても金属補助電極１、１′等が剥がれることがなかった。
【０１２１】
本実施例でも、これらの両基板に、配向膜を塗布し、配向処理を行い、粒径５μｍのポリマー製のスペーサを分散して、両基板をその枠周囲に設けたシール材により貼り合わせて基板間ギャップを保ち、封止した液晶を２４０度ツイストとして、点灯表示したところ、本発明を実施しない液晶表示装置と比較してシャドウイング量を約５０％低減することができた。
【０１２２】
実施例４
図１６（Ａ）は本発明の実施例４の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図、（Ｃ）は（Ａ）、（Ｂ）の概略平面図である。なお、（Ａ）、（Ｂ）は（Ｃ）のＢ−Ｂ切断線における断面図に相当する。しかし、（Ａ）、（Ｂ）においては、配向膜、液晶、スペーサ等は図示省略してある（図２（Ｃ）参照）。
【０１２３】
本実施例における構造、製造方法は、前記実施例３の図１５（Ａ）、（Ｂ）と比較すると明らかなように、金属補助電極１の下側（の下電極基板１２とカラーフィルタ３３との間）に、金属補助電極１に沿って遮光膜３３Ｍを設けた点のみ異なり、その他は実施例２と同様である。この遮光膜３３Ｍは、前記「発明が解決しようとする課題」のところで説明した金属補助電極１、１′の存在によるギャップ変動に起因する、光漏れ、遮光等の前記光学的不具合を防止するためのものである。遮光膜３３Ｍは、基板１２面と垂直な方向から見た場合に、金属補助電極１、１′が遮光膜３３Ｍより内側にあるように、金属補助電極１、１′の中心線と遮光膜３３Ｍの中心線とが一致するように設けてある。
【０１２４】
ところで、前記光学的不具合は、金属補助電極１、１′の端部から約５〜１０μｍの範囲で発生しやすいことが本発明者らの試作により明らかとなった。したがって、例えば遮光膜３３Ｍの幅を金属補助電極１、１′の幅より０〜約３０μｍ、例えば約１０μｍ大きく設定し、遮光膜３３Ｍの両端部がそれぞれ金属補助電極１の端部より０〜約１５μｍ、例えば約５μｍ外側に出るようにした。
【０１２５】
なお、遮光膜３３Ｍと点灯ドット間を遮光するブラックマトリクス３３Ｄとは同一の材料からなり、遮光膜３３Ｍのパターンはブラックマトリクス３３Ｄのパターニング用マスクに書き込む。すなわち、遮光膜３３Ｍのパターニング用マスクとブラックマトリクス３３Ｄのパターニング用マスクとを共用することにより、製造工程を簡略化する。
【０１２６】
本実施例によれば、バックライトを有する透過型ノーマリブラックモード液晶表示装置に適用した場合、透明電極３２、８２の合計前記シート抵抗１０Ω／ｃｍ2、配線幅１００μｍの透明電極に対し、Ｃｒ／Ａｌ／Ｃｒの３層構造で、各膜厚５００Å／３０００Å／５００Å、配線幅１０μｍの金属補助電極１を設けたところ、シート抵抗を約８０％低減でき、約２Ω／ｃｍ2となった。
【０１２７】
また、本発明による基板でも、実施例２、３と同様に、配向処理によっても金属補助電極１、１′等が剥がれることがなかった。
【０１２８】
本実施例でも、これらの両基板に、配向膜を塗布し、配向処理を行い、粒径５μｍのポリマー製のスペーサを分散して、両基板をその枠周囲に設けたシール材により貼り合わせて基板間ギャップを保ち、封止した液晶を２４０度ツイストとして、点灯表示したところ、本発明を実施しない液晶表示装置と比較してシャドウイング量を約５０％低減することができた。
【０１２９】
なお、本実施例では、図１６（Ｂ）に示したように、遮光膜３３Ｍはその製造工程簡略化の面から、ブラックマトリクス３３Ｄを有する下電極基板１２側のみに設けたが、遮光膜３３Ｍを金属補助電極１、１′の片方または両方に沿って、それぞれ反対側の基板１１、１２に設けてもよい。また、金属補助電極１、１′の両方に沿って、遮光膜３３Ｍを基板１１、１２の片側のみ、あるいは両基板に格子状に設けてもよい。
【０１３０】
実施例５
図１７（Ａ）〜図２２（Ｆ）は実施例５を説明するための図である。図１７（Ａ）はデータ入力ＬＳＩと接続されるデータ入力端子９０をもつデータ電極基板１１の概略平面図、図１８（Ｂ）は図１７（Ａ）のＢ部（データ電極基板１１のコーナ部）拡大詳細図、図１９（Ｃ）は走査ＬＳＩと接続される走査端子９９をもつ走査電極基板１２の概略平面図、図２０（Ｄ）は図１９（Ｃ）のＣ部（走査電極基板１２のコーナ部）拡大詳細図である。図１７、１９、２１では透明電極の配線パターンを示し、図１８、２０、２２では透明電極と金属補助電極の配線パターンを示す。カラーフィルタ、ブラックマトリクス等は図示省略している。
【０１３１】
図１７（Ａ）、図１９（Ｃ）において、９１は点灯部、９２は非点灯部、図１８（Ｂ）、図２０（Ｄ）において、９３は点灯部、９４はダミー透明電極、９５は斜めダミー透明電極、９６は複製電極、９７は引き出し配線、９８は引き出し配線間ダミー透明電極である。
【０１３２】
本実施例では、図１８（Ｂ）、図２０（Ｄ）に示すように、非点灯部（図１７、１９の９２）にある隣り合う引き出し配線９７の端子部の間をダミー透明電極９４で埋め、また、隣り合う斜め配線の間は該斜め配線と等しい角度の斜めダミー透明電極９５で埋めている。
【０１３３】
ダミー透明電極９４と斜めダミー透明電極９５の他、さらに、点灯部１４の端から、所定の電圧波形を発生させるＬＳＩと接続するための端子部（電極）まで引き出すための引き出し配線９７、および該引き出し配線９７のすき間を埋めるための引き出し配線間ダミー透明電極９８を複製して、対向する基板の対向面上に形成する。すなわち、データ電極基板１１と走査電極基板１２の両基板の組み立て後、配線、電極を鏡面対称となるように形成する。なお、この複製電極９６は電気的にフローティングとしている。
【０１３４】
図１７（Ａ）、図１８（Ｂ）では、直接表示に関与するデータ入力端子９０から点灯部９１、９３に金属補助電極１′が配置され、直接表示に関与しないダミー電極９４には金属補助電極１′は配置していない。同様に、図１９（Ｃ）、図２０（Ｄ）では、直接表示に関与する走査端子９９から点灯部９１、９３に金属補助電極１が配置され、直接表示に関与しないダミーの電極には金属補助電極１は配置していない。また、斜めダミー透明電極９５、引き出し配線間ダミー透明電極９８、複製電極９６にも金属補助電極１、１′は形成していない。
【０１３５】
さらに、図１６に示した非点灯部における光漏れなどの光学的不具合を防止するための遮光膜３３Ｍは、直接表示に関与する部分に配置した金属補助電極１、１′の下のみに設けた。
【０１３６】
図１７（Ａ）に示したデータ電極基板１１と、図１９（Ｃ）に示した走査電極基板１２とに、配向膜を塗布し、配向処理を行い、所定の粒径のスペーサを分散してギャップを保ち、液晶を挟んで両基板を組み立てた後、液晶表示素子がほぼ完成する。
【０１３７】
図２１（Ｅ）は完成した液晶表示素子６２の配線形状を示す概略平面図、図２２（Ｆ）は図２１（Ｅ）のＤ部（液晶表示素子６２のコーナ部）拡大詳細図である。図２２（Ｆ）では複製電極９６の図示は省略した。
【０１３８】
液晶表示素子６２のギャップは、両基板１１、１２の凸部に依存する。金属補助電極１、１′を有する本発明による液晶表示素子６２において、そのギャップは交差する金属補助電極１、１′の厚さ、金属補助電極１、１′の交差する部分（基板面と垂直方向において重複する部分）の面積に依存する。しかし、例えば、点灯部におけるデータ電極基板１１側の金属補助電極１′の幅を１０μｍ、走査電極基板１２側の金属補助電極１の幅を２０μｍとしても、前記の交差面積は小さいため、ギャップに影響を及ぼさない。
【０１３９】
しかし、非点灯部において、ダミー電極９４等にも金属補助電極１、１′を、両基板１１、１２を貼り合わせたときに重なるように配置すると、前記交差面積が大きくなり、ギャップに影響を及ぼす。
【０１４０】
本実施例では、スペーサの粒径を５μｍとした場合、非点灯部のダミー透明電極９４、斜めダミー透明電極９５、引き出し配線間ダミー透明電極９８、複製電極９６にも金属補助電極１、１′を、両基板１１、１２を貼り合わせたときに重なるように配置した液晶表示装置のギャップのばらつきは±０．２μｍであった。これに対し、ダミー電極９４等に金属補助電極１、１′を配置しない本実施例による液晶表示装置では、ギャップに影響を及ぼさず、ギャップのばらつきは±０．１μｍであり、ギャップ変動に起因する色むらの発生は確認できなかった。
【０１４１】
なお、非点灯部におけるダミー電極９４等に金属補助電極１、１′をいずれか一方の基板１２、１１のみに設けてもよい。
【０１４２】
図５は、本発明が適用可能な液晶表示装置の、プリント回路基板３５と、駆動用半導体ＩＣチップ３４を搭載したＴＣＰ１０と、液晶表示素子６２との接続状態を示す平面図である。
【０１４３】
以上本発明を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。例えば、前記実施例では、透明電極３２、３１の中央部に、該透明電極１本当たり１本の金属補助電極１、１′を配置したが、該金属補助電極を片寄せして配置してもよく、また、複数本配置してもよい。また、前記実施例では、単純マトリクス方式の液晶表示装置に適用した例を示したが、これに限定されず、例えば薄膜トランスタ等をスイッチング素子とするアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置にも適用可能であることは言うまでもない。アクティブ・マトリクス方式の液晶表示素子に適用する場合、前記図１の表示用電極は、スイッチング素子を設ける方の基板において、走査信号線（すなわち、ゲート信号線あるいは水平信号線）または映像信号線（すなわち、ドレイン信号線あるいは垂直信号線）である。
【０１４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、透明電極と電極基板との間に、配線抵抗を低減する金属補助電極を設けたので、液晶を駆動する波形のなまりやクロストークの歪みを低減することができるため、シャドウイングを低減し、観察者の目に見えないようにすることができ、表示品質を向上することができる。また、該金属補助電極の上を透明電極で覆うので、液晶表示素子の製造工程中に用いる酸、アルカリによる金属補助電極の腐食を防止することができる。また、金属補助電極の上下に密着性のよい金属膜を介在させ、金属補助電極の側面に傾斜を付け、あるいは金属補助電極を２枚の透明電極で挟んで設けることにより、金属補助電極の剥がれを防止するとともに電気的接続性を向上し、信頼性を向上することができる。さらに、金属補助電極に沿って遮光膜を設けることにより、金属補助電極近傍における光漏れあるいは遮光という光学的不具合を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は本発明の実施例１の電極基板の金属補助電極を設けた透明電極を示す概略断面図、（Ｂ）、（Ｃ）は（Ａ）と比較する構造例を示す概略平面図、概略断面図である。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、実施例１を適用した液晶表示素子の要部概略平面図およびその対応する要部概略断面図である。
【図３】（Ａ）は、実施例１を適用した液晶表示素子の透明電極の端子部を示す電極基板の部分概略平面図、（Ｂ）は（Ａ）の約４倍の範囲の部分概略平面図を示す。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は、実施例１を適用し、かつ、透明電極の端子部を電極基板の対向面に複製した実施例を示す上電極基板と下電極基板の概略平面図である。
【図５】本発明が適用可能な液晶表示装置の、プリント回路基板と、駆動用半導体ＩＣチップを搭載したＴＣＰと、液晶表示素子との接続状態を示す平面図である。
【図６】本発明が適用可能な液晶表示モジュールの一例の分解斜視図である。
【図７】図６の液晶表示モジュールを表示部として搭載したラップトップパソコンの一例のブロックダイアグラムである。
【図８】図６のラップトップパソコンの一例の斜視図である。
【図９】液晶表示素子の一例の要部分解斜視図である。
【図１０】液晶表示素子の上電極基板部の一例の一部切欠斜視図である。
【図１１】（Ａ）は本発明の実施例２の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＡ部拡大詳細図（金属補助電極と透明電極の層構成を示す要部断面図）である。
【図１２】（Ｄ）は図１１（Ａ）、（Ｂ）の概略平面図である。
【図１３】（Ｅ）、（Ｆ）は図１１（Ｃ）とは別の金属補助電極と透明電極の層構成を示す要部断面図である。
【図１４】（Ａ）〜（Ｅ）は図１１に示した構造を実現するための製造工程断面図である。
【図１５】（Ａ）は本発明の実施例３の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図である。
【図１６】（Ａ）は本発明の実施例４の上電極基板側概略断面図、（Ｂ）は下電極基板側概略断面図、（Ｃ）は（Ａ）、（Ｂ）の概略平面図である。
【図１７】（Ａ）はデータ電極基板１１の概略平面図である。
【図１８】（Ｂ）はデータ電極基板１１のコーナ部（図１７（Ａ）のＢ部）の拡大詳細図である。
【図１９】（Ｃ）は走査電極基板１２の概略平面図である。
【図２０】（Ｄ）は走査電極基板１２のコーナ部（図１９（Ｃ）のＣ部）の拡大詳細図である。
【図２１】（Ｅ）は液晶表示素子６２の概略平面図である。
【図２２】（Ｆ）は液晶表示素子６２のコーナ部（図２１（Ｅ）のＤ部）の拡大詳細図である。
【図２３】（Ａ）、（Ｂ）は従来の２枚の上下電極基板の電極配線を示す概略平面図である。
【符号の説明】
１、１′、１″…金属補助電極、１ａ、１ｄ…下層Ｃｒ膜、１ｂ、１ｅ、１ｇ…Ａｌ膜、１ｃ、１ｆ、１ｈ…上層Ｃｒ膜、１ｓ…金属補助電極の側面、θ…金属補助電極の側面の角度、４、５…ダミー電極、１１…上電極基板、１２…下電極基板、３１、３２…ＩＴＯ膜からなる透明電極、３３…カラーフィルタ、３３Ｄ…ブラックマトリクス、３３Ｍ…遮光膜、７６…平坦化膜、７７…金属補助電極形成面、８１、８２…第２の透明電極、１００…端子部、１０１、１０２…複製した端子部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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