(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直列して配置された複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを、そのウェーハが接着されているスライスベースから一枚ずつ剥離して枚葉化するスライスベース剥離装置において、
熱水が貯留される熱水槽と、
前記ウェーハに接着されているスライスベースを前記熱水中に浸漬させた状態で保持する保持手段と、
前記熱水槽に沿って配設されたガイド部材と、
前記ガイド部材に沿って走行する走行体と、
前記走行体に設けられ、前記熱水中に浸漬されているスライスベースからウェーハを一枚ずつ剥離する剥離手段と、
前記ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、前記走行体に押されて移動する複数の移動体と、
前記各移動体に設けられ、ウェーハのロット間に挿入される仕切板と、
前記各移動体と接続されることにより、前記各移動体を前記ガイド部材に沿って移動させる移動体駆動手段と、
前記移動体駆動手段で前記各移動体を前記ガイド部材に沿って移動させる過程で、前記スライスベースに接着されているウェーハのロット間を検出するロット検出手段と、
前記剥離手段で前記ウェーハを剥離してゆく過程で、前記ウェーハのロット間に挿入された各仕切板を検出する仕切板検出手段と、
前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記ウェーハのロット間に挿入するとともに、前記仕切板検出手段から出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記ウェーハの間から退避させる仕切板挿入手段と、
前記各移動体と前記移動体駆動手段とを接続するとともに、前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて、その接続を解除する接続手段と、
からなることを特徴とするスライスベース剥離装置。
【請求項２】
前記移動体駆動手段は、
前記熱水槽を挟んで前記ガイド部材の反対位置に配設された第２ガイド部材と、
前記第２ガイド部材に沿って走行する第２走行体と、
からなり、前記接続手段を介して前記各移動体と分離可能に接続されることを特徴とする請求項１記載のスライスベース剥離装置。
【請求項３】
前記接続手段は、
前記熱水槽の下部空間に配設され、一方端を前記第２走行体に連結された接続部材と、
前記接続部材に設けられ、前記各移動体に形成されたピン穴に挿入されることにより、前記接続部材と前記移動体とを接続するピンと、
前記ピンを前記各移動体に形成されたピンに挿入するピン挿入手段と、
からなることを特徴とする請求項２記載のスライスベース剥離装置。
【請求項４】
前記ロット検出手段は、前記接続手段に設けられ、前記熱水槽を挟んで互いに対向するように配設された投光手段と受光手段とからなり、前記投光手段から投光された光が前記受光手段で受光されたことを検出することにより、前記スライスベースに接着されているウェーハのロット間を検出することを特徴とする請求項３記載のスライスベース剥離装置。
【請求項５】
前記仕切板検出手段は、前記走行体と前記移動体の接触及び前記移動体同士の接触を検出することにより、前記ウェーハのロット間に挿入された各仕切板を検出することを特徴とする請求項１記載のスライスベース剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はスライスベース剥離装置に係り、特に種類の異なる複数本のインゴットをワイヤソーで多数枚同時切断して得られたウェーハを、そのウェーハが接着されているスライスベースから１枚ずつ剥離するスライスベース剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インゴットの切断装置の一つとしてワイヤソーがある。ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列にインゴットを押し付け、その接触部にスラリを供給することにより、ワイヤによる一種のラッピング作用によってインゴットを多数枚のウェーハに切断する。
【０００３】
ところで、ワイヤソーでインゴットを切断する場合、通常は一回の切断に対して一本のインゴットを切断するようにしているが、近年、その切断効率を上げるために、マルチ方式と呼ばれる一度に複数本のインゴットを同時に切断する切断方法が採用されるようになっている。このマルチ方式は、図１６に示すように、マウンティングプレートＭに複数のインゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃを直列して接着し、この状態でマウンティングプレートＭをワイヤソーに装着することによって各インゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃを同時に切断するものである。この方法によれば、複数本のインゴットを一度にまとめて切断することができるため、効率的にインゴットを切断することができるという利点がある。
【０００４】
ところで、前記の如くワイヤソーでインゴットを切断した場合、その切断されたウェーハは全てスライスベースに接着された状態で切り出される。このため、切断終了後にウェーハをスライスベースから剥離する必要があるが、このワイヤソーで切断されたウェーハをスライスベースから剥離する方法としては、従来二つの方法が用いられていた。一つはスライスベースに接着されているウェーハを熱水中に浸漬させ、熱軟化による自然剥離によってウェーハを一度に全部剥離する方法であり、他の一つは、ウェーハをパットで吸着し、そのパットの揺動動作によってウェーハを一枚ずつ剥離する方法である。そして、この剥離方法は、マルチ切断されたウェーハを剥離する場合も同様であり、上記いずれかの方法が用いられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の剥離方法によってマルチ切断されたウェーハを剥離すると、ウェーハが一度に或いは連続的に剥離されてしまうため、各種類ごとにウェーハを回収するということができず、種類の異なるウェーハが混入して後工程に問題が生じるという欠点があった。
【０００６】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたもので、種類の異なる複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにスライスベースから剥離することができるスライスベース剥離装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、直列して配置された複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを、そのウェーハが接着されているスライスベースから一枚ずつ剥離して枚葉化するスライスベース剥離装置において、熱水が貯留される熱水槽と、前記ウェーハに接着されているスライスベースを前記熱水中に浸漬させた状態で保持する保持手段と、前記熱水槽に沿って配設されたガイド部材と、前記ガイド部材に沿って走行する走行体と、前記走行体に設けられ、前記熱水中に浸漬されているスライスベースからウェーハを一枚ずつ剥離する剥離手段と、前記ガイド部材に沿って移動自在に設けられ、前記走行体に押されて移動する複数の移動体と、前記各移動体に設けられ、ウェーハのロット間に挿入される仕切板と、前記各移動体と接続されることにより、前記各移動体を前記ガイド部材に沿って移動させる移動体駆動手段と、前記移動体駆動手段で前記各移動体を前記ガイド部材に沿って移動させる過程で、前記スライスベースに接着されているウェーハのロット間を検出するロット検出手段と、前記剥離手段で前記ウェーハを剥離してゆく過程で、前記ウェーハのロット間に挿入された各仕切板を検出する仕切板検出手段と、前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記ウェーハのロット間に挿入するとともに、前記仕切板検出手段から出力される検出信号に基づいて前記仕切板を前記ウェーハの間から退避させる仕切板挿入手段と、前記各移動体と前記移動体駆動手段とを接続するとともに、前記ロット検出手段から出力される検出信号に基づいて、その接続を解除する接続手段と、からなることを特徴とする。
【０００８】
本発明の作用は、次の通りである。まず、ウェーハが接着されたスライスベースを保持手段に保持させる。これにより、スライスベースが熱水中に浸漬される。次に、移動体駆動手段と各移動体とを接続手段によって接続し、この状態で移動体駆動手段を駆動して各移動体をガイド部材に沿って移動させる。この移動体がガイド部材に沿って移動すると、その移動過程において前記スライスベースに接着されているウェーハのロット間がロット検出手段によって検出される。仕切板挿入手段は、このロット検出手段から出力される検出信号に基づいて各仕切板を各ウェーハのロット間に挿入してゆく。また、この仕切板の挿入作業と同時に、接続手段はロット検出手段から出力される検出信号に基づいて、挿入された仕切板が設けられた移動体と移動体駆動手段との接続を解除してゆく。以上の操作により、各ウェーハのロット間に仕切板が挿入される。そして、この仕切板の挿入作業が終了したのち、剥離手段による剥離作業が開始される。
【０００９】
剥離手段によってスライスベースに接着されたウェーハを順次剥離してゆくと、各ウェーハのロット間に挿入しておいた仕切板が現れる。この現れた仕切板は仕切板検出手段によって検出され、これによってロットの切り替わりを検出することができる。
前記のごとく仕切板が検出されると、仕切板挿入手段は仕切板をウェーハから退避させる。そして、同様の手順で次のロットのウェーハをスライスベースから順次剥離してゆく。
【００１０】
なお、退避させた仕切板が設けられている移動体は、走行体に押されながらガイド部材に沿って移動してゆく。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るスライスベース剥離装置の好ましい実施の形態について詳説する。
なお、本実施の形態のスライスベース剥離装置で剥離するウェーハは、図１６に示すように、種類の異なる３本のインゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃをワイヤソーでマルチ切断したウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを対象とする。このウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃは、おのおのスライスベースＳａ、Ｓｂ、Ｓｃを介してマウンティングプレートＭに接着保持されており、このマウンティングプレートＭに接着保持された状態でワイヤソーから搬送されてくる。
【００１２】
図１、図２は、それぞれ本発明に係るスライスベース剥離装置の実施の形態の構成を示す平面図と正面図である。
同図に示すように、前記スライスベース剥離装置１０は、熱水槽１２、剥離装置１４、仕切装置１６及び受渡装置１８を主要装置として構成されている。
まず、熱水槽１２の構成について説明する。熱水槽１２は矩形の箱型に形成されており、その内部に熱水２０が貯留されている。スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離するウェーハＷａ〜Ｗｃは、この熱水槽１２内に設けられたワーク保持部２２にセットされる。そして、このワーク保持部２２にセットされることにより、ウェーハＷａ〜Ｗｃに接着されたスライスベースＳａ〜Ｓｃが熱水２０中に浸漬される。
【００１３】
ワーク保持部２２は、図３及び図４に示すように、マウンティングプレートＭが載置されるテーブル２４と、そのテーブル２４上に載置されたマウンティングプレートＭをクランプするクランプユニット２６とから構成されている。
クランプユニット２６は、前記テーブル２４上に立設された一対のストッパーピン２８、２８と、そのストッパーピン２８、２８と対向するように設置された一対のクランパ３０、３０とから構成されている。
【００１４】
一対のクランパ３０、３０は共に回転軸３２に固着されており、該回転軸３２は、両端部が熱水槽１２に設けられた軸受３４、３４に回動自在に支持されている。また、この回転軸３２には図示しないロータリーアクチュエータが連結されており、該ロータリーアクチュエータを駆動することにより回動する。そして、この回転軸３２が回動することにより、クランパ３０、３０が揺動する。
【００１５】
前記のごとく構成されたワーク保持部２２にウェーハＷａ〜Ｗｃをセットする場合は、次の通りである。
まず、各ウェーハＷａ〜ＷｃのスライスベースＳａ〜Ｓｃが接着されているマウンティングプレートＭをワーク保持部２２のテーブル２４上に載置する。次いで、図示しないロータリーアクチュエータを駆動して回転軸３２を回転させる。これにより、クランパ３０、３０がストッパーピン２８、２８に向かって揺動し、この揺動したクランパ３０、３０によってマウンティングプレートＭがストッパーピン２８、２８に押し当てられて挟持される。この結果、ウェーハＷａ〜Ｗｃが所定位置に位置決めされてセットされる。
【００１６】
次に、剥離装置１４の構成について説明する。剥離装置１４は、熱水槽１２内にセットされたウェーハＷａ〜ＷｃをスライスベースＳａ〜Ｓｃから一枚ずつ剥離する装置である。
図１及び図２に示すように、前記熱水槽１２の右側部近傍には、熱水槽１２に沿って一対の第１ガイドレール３６、３６が配設されている。この第１ガイドレール３６、３６上には、リニアガイド３８、３８を介して第１スライドテーブル（走行体）４０がスライド自在に支持されている。
【００１７】
前記第１スライドテーブル４０の下面にはナット部材４２が固着されており、該ナット部材４２は、前記一対の第１ガイドレール３６、３６の間に配設されたネジ棒４４に螺合されている。このネジ棒４４の両端部は、軸受部材４６、４６によって回動自在に支持されており、また、このネジ棒４４の一方端には、第１ガイドレール３６、３６の一方端に設置された第１送りモータ４８が連結されている。ネジ棒４８は、この第１送りモータ４８を駆動することにより回動し、この結果、第１スライドテーブル４０が第１ガイドレール３６、３６に沿って移動する。
【００１８】
前記第１スライドテーブル４０上には、スライスベースＳａ〜ＳｃからウェーハＷａ〜Ｗｃを剥離するための剥離ユニット５０が設けられている。この剥離ユニット５０の構成は、以下のとおりである。
図５〜図７に示すように、第１スライドテーブル４０上には、軸受ブロック５２が設けられており、該軸受ブロック５２には、揺動フレーム５４の基端部に設けられた支軸５６が揺動自在に支持されている。
【００１９】
また、前記第１スライドテーブル４０上にはブラケット５８を介して揺動用ロータリーアクチュエータ６０が設置されており、該揺動用ロータリーアクチュエータ６０の出力軸には駆動ギア６２が固着されている。この駆動ギア６２には、従動ギア６４が噛合されており、該従動ギア６４は回転軸６８の先端部に固着されている。回転軸６８は軸受部材７０によって回動自在に支持されており、該軸受部材７０は、前記揺動用ロータリーアクチュエータ６０に固定された支持プレート７２に支持されている。
【００２０】
前記従動ギア６４には、円盤状に形成された回転プレート７４が同軸上に固着されており、該回転プレート７４には、コネクティングロッド７６の一方端がピン７８によって連結されている。そして、このコネクティングロッド７６の他方端は、前記揺動フレーム５４にピン８０によって連結されている。
以上の構成により、前記揺動フレーム５４は揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動することにより、その基端部に設けられた支軸５６を中心に揺動する。すなわち、前記揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動すると回転プレート７２が１８０°の範囲で往復回転し、その往復回転がコネクティングロッド７６を介して揺動フレーム５４に伝達され、揺動フレーム５４が揺動する。
【００２１】
前記揺動フレーム５４の上端部には、軸受ユニット８２が設けられており、該軸受ユニット８２には二本の回転軸８６、８８が回動自在に支持されている。この各回転軸８６、８８の先端部には、それぞれアーム９０、９２が固着されており、該アーム９０、９２の先端は、互いにピン９４、９６を介してパット支持プレート９８に連結されている。パット支持プレート９８には、所定の間隔をもって一対の剥離用吸着パット１００、１００が配設されており、この一対の剥離用吸着パット１００、１００によってウェーハＷａ〜Ｗｃが真空吸着されて保持される。
【００２２】
また、前記揺動フレーム５４の背面部には、支持プレート１０２が取り付けられており、該支持プレート１０２には昇降用ロータリーアクチュエータ１０４が設置されている。この昇降用ロータリーアクチュエータ１０４の出力軸には、扇形状に形成された回転プレート１０６が固着されており、該回転プレート１０６にはコネクティングロッド１０８の一方端がピン１１０によって連結されている。そして、このコネクティングロッド１１０の他方端は、一方のアーム９０にピン１１２によって連結されている。
【００２３】
以上の構成により、前記パット支持プレート９８に設けられた剥離用吸着パット１００、１００は、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動することにより昇降移動する。すなわち、前記昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動すると回転プレート１０６が１８０°の範囲で往復回転し、その往復回転がコネクティングロッド１０８を介してアーム９０に伝達され、一方のアーム９０が上下方向に往復角運動を行う。このアーム９０が往復角運動を行うと、他方側のアーム９２も揺りテコとなって往復角運動を行い、この結果、パット支持フレーム９８に設けられた剥離用吸着パット１００、１００が昇降移動する。
【００２４】
このように、ウェーハＷａ〜Ｗｃを吸着保持する剥離用吸着パット１００、１００は、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動することにより昇降移動する。
また、この剥離用吸着パット１００、１００が設けられているパット支持フレーム９８は、アーム９０、９２を介して揺動フレーム５４に接続されているので、揺動フレーム５４が揺動することにより前後方向に揺動する。
【００２５】
すなわち、剥離用吸着パット１００、１００は、揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動することにより前後方向に揺動し、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動することにより昇降移動する。そして、この剥離用吸着パット１００、１００でスライスベースＳａからウェーハＷａを剥離するときは、次のようにして行う。
【００２６】
まず、熱水槽１２内にセットされたウェーハＷａの端面を剥離用吸着パット１００、１００で吸着保持する。次いで、揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動して剥離用吸着パット１００、１００を前後方向（ウェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。
ここで、前記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接着している接着剤は、熱水２０中に浸漬されているため十分に熱軟化している。このため、ウェーハＷａは、複数回揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａから剥離される。
【００２７】
ウェーハＷａがスライスベースＳａから剥離されると、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４が駆動され、剥離したウェーハＷａを保持した状態で剥離用吸着パット１００、１００が上方に向かって移動する。そして、所定の受渡位置が停止する。
受渡位置に移送されたウェーハＷａは、後述する受渡装置１８に受け渡されたのち、該受渡装置１８によってシャトルコンベア１７２に移送され、該シャトルコンベア１７２によって次工程に搬送されてゆく。
【００２８】
一方、ウェーハＷａの受渡の終了した剥離用吸着パット１００、１００は、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４に駆動されて下方に移動し、元の剥離作業位置に復帰する。
ところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃは、前記のごとくその端面を剥離用吸着パット１００、１００によって揺動を与えることによりスライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されるが、ウェーハＷａ〜Ｗｃの中には剥離用吸着パット１００、１００で揺動を与える前から、スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離してしまっているものもある。この場合、ウェーハＷａ〜Ｗｃが前方に倒れて回収不能になるおそれがある。このため、剥離するウェーハＷａ〜Ｗｃの前方位置には、ウェーハＷａ〜Ｗｃが前方に倒れるのを防止するための倒止板１１４が配設されている。この倒止板１１４は、前記昇降用ロータリーアクチュエータ１０４が設置された支持プレート１０２に設けられており、前記剥離用吸着パット１００、１００と共に揺動する。
【００２９】
なお、剥離用吸着パット１００、１００は、前記倒止板１１４に形成された通路１１４ａを通って昇降移動する。
また、この倒止板１１４の上部には、二枚取り防止板１１６が固着されており、スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、この二枚取り防止板１１６に形成されたスリット１１６ａを通って所定の受渡位置まで移送される。このスリット１１６ａは、ウェーハが丁度一枚通れる幅で形成されており、これにより、例えば、ウェーハが二枚同時に剥離されたような場合に、その二枚のウェーハが互いにくっついて二枚同時に受渡位置まで移送されるのを防止することができる。
【００３０】
すなわち、スライスベースから二枚のウェーハが同時に剥離され、互いにくっついた場合であっても、二枚取り防止板１１６のスリット１１６ａを通過する際に、その一枚目のウェーハにくっついた二枚目のウェーハが、スリット１１６ａを通過できずに落下するので、常に一枚ずつ受渡位置に移送することができる。なお、この場合、スリット１１６ａを通過できずに落下したウェーハは、倒止板１１４によって前方に倒れるのを防止されるので、次回の剥離時に確実に回収することができる。
【００３１】
次に、仕切装置１６の構成について説明する。仕切装置１６は、熱水槽１２内にセットされたウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロット間に仕切板を挿入し、この挿入された仕切板をウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離過程で検出することにより、各ロットの終了地点を認識する。この仕切装置１６は、三台の仕切ユニット１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと、その仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを駆動する駆動ユニット１２２と、駆動ユニット１２２と仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃとを接続する接続ユニット１２４と、仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを所定位置に固定するブレーキユニット１２５とから構成されている。
【００３２】
まず、仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃの構成について説明する。図１に示すように、上述した剥離離置１４が設置された第１ガイドレール３６、３６上には、三台のスライドプレート（移動体）１２６Ａ、１２６Ｂ、１２６Ｃがスライド自在に支持されている。
各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｂ上には、図８及び図９に示すように、支持プレート１２８Ａ〜Ｃが垂直に立設されており、該支持プレート１２８Ａ〜１２８Ｃの頂部には、シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃが水平に支持されている。このシリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃのロッド先端部には、Ｌ字状に形成された連結アーム１３２Ａ〜１３２Ｃが固着されており、この連結アーム１３２Ａ〜１３２Ｃの先端部に仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃが固着されている。
【００３３】
各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃは、シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃを駆動することにより進退移動し、このシリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃを駆動制御することによって仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの挿入及び抜き取りを制御する。すなわち、シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃのロッドを伸長させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃの各ロット間に仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを挿入し、ロッドを収縮させることによりウェーハＷａ〜Ｗｃから仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを引き抜く。
【００３４】
ここで、一枚目の仕切板１３４Ａと二枚目の仕切板１３４Ｂは、図８及び図９に示すように、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを互いに接合させたときに（図８の状態）、同一面上に位置するように、各アーム１３２Ａ、１３２Ｂの長さと、高さ方向の設置位置が設定されている。
また、三枚目の仕切板１３４Ｃは、一枚目の仕切板１３４Ａと二枚目の仕切板１３４Ｂの直後に配置されるようにアーム１３２Ｃの長さが設定されている。
【００３５】
仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃは、以上のように構成される。なお、以下、必要に応じて仕切ユニット１２０Ａを第１仕切ユニット１２０Ａ、仕切ユニット１２０Ｂを第２仕切ユニット１２０Ｂ、仕切ユニット１２０Ｃを第３仕切ユニット１２０Ａという。シリンダ１３０Ａ〜１３０Ｃ及び仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃについても同様である。
【００３６】
次に、前記仕切ユニット１２０Ａ〜２０４Ｃを第１ガイドレール３６、３６に沿って移動させる駆動ユニット１２２の構成について説明する。
図１及び図１０に示すように、熱水槽１２の左側部近傍には、熱水槽１２に沿って一対の第２ガイドレール１３６、１３６が配設されている。この第２ガイドレール１３６、１３６上には、リニアガイド１３８、１３８を介して第２スライドテーブル（第２走行体）１４０がスライド自在に支持されている。
【００３７】
前記第２スライドテーブル１４０の下面にはナット部材１４２が固着されており、該ナット部材１４２は、前記一対の第２ガイドレール１３６、１３６の間に配設されたネジ棒１４４に螺合されている。このネジ棒１４４の両端部は、軸受部材１４６、１４６によって回動自在に支持されており、また、このネジ棒１４４の一方端には、第２ガイドレール１３６、１３６の一方端に設置された第２送りモータ１４８が連結されている。ネジ棒１４４は、この第２送りモータ１４８を駆動することにより回動し、この結果、第２スライドテーブル１４０が第２ガイドレール１３６、１３６に沿って移動する。
【００３８】
次に、前記駆動ユニット１２２と仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃとを接続する接続ユニット１２４の構成について説明する。
図８及び図９に示すように、前記スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの先端部上方には、矩形状に形成された接続プレート１５０が所定の隙間をもって配置されている。この接続プレート１５０上には、所定の間隔をもって三台のピン挿入装置１５１Ａ、１５１Ｂ、１５１Ｃが設置されている。
【００３９】
ピン挿入装置１５１Ａ〜１５１Ｃは、ガイドピンブッシュ１５２Ａ〜１５２Ｃ内に挿入された接続ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを、ピン挿入用シリンダ１５４Ａ〜１５４Ｃを駆動することにより、接続プレート１５０の下面から突出させる装置であり、この接続プレート１５０の下面から突出させた接続ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃに形成されている接続用ピン穴１５５Ａ〜１５５Ｃに挿入させることにより、接続プレート１５０と各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃとを接続する。
【００４０】
ここで、図１及び図１０に示すように、前記接続ユニット１２４の接続プレート１５０と、前記駆動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０とは、連結バー１５６を介して互いに連結されており、第２スライドテーブル１４０が移動すると、それに伴って接続プレート１５０も移動する。
したがって、前記接続プレート１５０と各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃとを連結させた状態で、すなわち、各接続ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの接続用ピン穴１５５Ａ〜１５５Ｃに挿入した状態で、第２スライドテーブル１４０を移動させることにより、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを移動させることができる。そして、このスライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを移動させるることにより、各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを熱水槽１２内にセットされているウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させることができる。
【００４１】
なお、前記連結バー１５６は、前記熱水槽１２の下部に形成されている空間に配設されており、この下部空間を移動する。
次に、前記各仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを固定するブレーキユニット１２５の構成について説明する。
図１に示すように、前記第１ガイドレール３６、３６の側部近傍には、第１ガイドレール３６、３６に沿ってブレーキプレート１５７が配設されている。このブレーキプレート１５７は、図９に示すように、先端部が水平に折り曲げられた逆Ｌ字状に形成されている。
【００４２】
一方、前記スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃには、前記ブレーキプレート１５７の水平部を挟むようにして一対のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８Ｃ、１５９Ａ〜１５９Ｃが配設されている（図９には第１仕切ユニット１２０Ａにおけるブレーキユニットの構成のみが図示されている。）。この一対のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８Ｃ、１５９Ａ〜１５９Ｃのうち、下側のブレーキパッド１５９Ａ〜１５９Ｃは支持部材１６０を介してスライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃに固定されている。一方、上側のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８Ｃは、それぞれ前記スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃ上に設置されたブレーキ用シリンダ１６１Ａ〜１６１Ｃのロッド先端部に固着されており、該ブレーキ用シリンダ１６１Ａ〜１６１Ｃを駆動することにより、スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃの下面から突出する。
【００４３】
前記のごとく構成されたブレーキユニット１２５では、ブレーキ用シリンダ１６１Ａ〜１６１Ｃを駆動して、一対のブレーキパッド１５８Ａ〜１５８Ｃ、１５９Ａ〜１５９Ｃでブレーキプレート１５７を挟持することにより、各仕切ユニット１２０Ａ〜１２０Ｃを固定する。
ところで、前記のごとく移動可能な仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃは、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入されて、ロットの切り替わりを認識するために用いられるが、この仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂを各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に自動で挿入するためには、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出する必要がある。
【００４４】
そこで、上記の仕切装置１６には、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を自動で検出するロット検出ユニット１６４が設けられており、該ロット検出ユニット１６４は、次のように構成されている。
図１及び図１０に示すように、前記接続ユニット１２４と駆動ユニット１２２とを連結する連結バー１５６には、熱水槽１２を挟んで一対の支持フレーム１６４Ｒ、１６４Ｌが垂直に立設されている。この一対の支持フレーム１６４Ｒ、１６４Ｌのうち一方の支持フレーム１６４Ｌの頂部には、投光センサ１６６Ｌが設置されており、他方の支持フレーム１６４Ｒの頂部には、受光センサ１６６Ｒが設置されている。
【００４５】
前記投光センサ１６６Ｌと受光センサ１６６Ｒは、互いに対向するように設置されており、投光センサ１６６Ｌから投光された光が、受光センサ１６６Ｒによって受光されるように構成されている。
また、投光センサ１６６Ｌと受光センサ１６６Ｒは、図８に示すように、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを互いに接合させたときに、一枚目の仕切板１３４Ａと同一の平面上に位置するように配置されている。
【００４６】
以上のように構成されたロット検出ユニット１６４は、次のようにして各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間のロットを検出する。
ロット検出ユニット１６４は連結バー１５６上に設置されているので、駆動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０を移動させることにより、ウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動する。
【００４７】
そこで、まず、図１１に示すように、ロット検出ユニット１６４を第３ロットであるウェーハＷｃの後段部に位置させる（図中（ａ）の位置）。そして、投光センサ１６６Ｌから受光センサ１６６Ｒに向けて光と投光させる。このとき、投光センサ１６６Ｌから投光された光は、前を遮るものが何もないので、そのまま受光センサ１６６Ｒで受光される。
【００４８】
次いで、駆動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０を移動させることにより、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させる。この結果、前記投光センサ１６６Ｌから投光された光は、第３ロットであるウェーハＷａによって遮られ、受光センサ１６６Ｒで受光されなくなる（図中（ｂ）の位置）。
【００４９】
図示しない制御装置は、前記受光センサ１６６Ｒで光が受光されなくなったことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、仕切板１３４Ｃの挿入操作を行う。なお、この仕切板１３４Ｃの挿入操作は後に更に詳述する。
前記仕切板１３４Ｃの挿入後、図示しない制御装置は、再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させる。
【００５０】
ここで、前記のごとく第２スライドテーブル１４０を移動させても、投光センサ１６６Ｌから発光された光は、ウェーハＷｃによって遮られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されない状態が続く。
しかし、前記第３ロットと第２ロットとの間には、一定の間隔が開いているので、この地点をロット検出ユニット１６４が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されるようになる（図中（ｃ）の位置）。制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、仕切板１３４Ｂの挿入操作を行う。
【００５１】
前記仕切板１３４Ｂの挿入後、図示しない制御装置は、再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させる。
前記第３ロットと第２ロットの間を通過すると、前記投光センサ１６６Ｌから発光された光は、第２ロットであるウェーハＷｂによって遮られるため、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されなくなる（図中（ｄ）の位置）。
【００５２】
しかし、前記同様第２ロットと第１ロットとの間には、一定の間隔が開いているので、この地点をロット検出ユニット１６４が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されるようになる（図中（ｅ）の位置）。制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、仕切板１３４Ａの挿入操作を行う。
【００５３】
以上のように、ロット検出ユニット１６４は、投光センサ１６６Ｌから発光された光を受光センサ１６６Ｒで検出することにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出を行う。そして、このロット検出ユニット１６４の検出結果に基づいて各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入していく。
【００５４】
なお、投光センサ１６６Ｌから発行される光の幅は、スライスベースＳａに接着されているウェーハの間隔（カーフロスの幅）よりも広く設定し、各ロット間の間隔よりも狭く設定する。これにより、たとえば、ウェーハの隙間から一部の光が通過して、受光センサ１６６Ｒで検出されたとしても、投光センサ１６６Ｌから投光された光の全てが受光センサ１６６Ｒで受光されていないことを理由に、誤検出を防止することができる。
【００５５】
また、この場合、複数の投光センサ１６６Ｌを横方向に配置するとともに（但し、各ロット間の間隔よりも狭くなるように配置する。）、これに対向するように複数の受光センサ１６６Ｒを設置し、全ての受光センサ１６６Ｒで光が受光されたことを検出することによって、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間を検出するようにしても、同様に誤検出を防止することができる。
【００５６】
各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出は以上のように行われ、これに基づいて仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂの挿入が行われるが、その各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入された仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの検出は、次の機構によって検出する。
図５、図７及び図８に示すように、前記剥離装置１４の第１スライドテーブル４０上には、第１タッチセンサ１６８が設けられている。一方、前記第１仕切ユニット１２０Ａのスライドプレート１２６Ａ上には、この第１タッチセンサ１６８Ａに当接する第１接触子１７０Ａが設置されている。
【００５７】
また、前記第１仕切ユニット１２０Ａのスライドプレート１２６Ａ上には、第２タッチセンサ１６８Ｂが設けられており、前記第２仕切ユニット１２０Ｂのスライドプレート１２６Ｂ上には、この第２タッチセンサ１６８Ｂに当接する第２接触子１７０Ｂが設置されている。
更に、前記第２仕切ユニット１２０Ｂのスライドプレート１２６Ｂ上には、第３タッチセンサ１６８Ｃが設けられており、前記第３仕切ユニット１２０Ｃのスライドプレート１２６Ｃ上には、この第３タッチセンサ１６８Ｃに当接する第３接触子１７０Ｃが設置されている。
【００５８】
図示しない制御装置は、各タッチセンサ１６８Ａ〜１６８Ｃの作動信号を入力することにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入された仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを検出する。
すなわち、ウェーハを剥離する剥離用吸着パット１００は、第１スライドテーブル４０を移動させることにより、ウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動する。そして、この剥離用吸着パット１００が、第１仕切板１３４Ａの設置位置まで移動すると、第１スライドテーブル４０上に設置された第１タッチセンサ１６８Ａが、スライドプレート１２６Ａ上に設置された第１接触子１７０Ａに接触する。この第１タッチセンサ１６８Ａは、第１接触子１７０Ａに接触することにより作動し、この第１タッチセンサ１６８Ａの作動信号を受けることにより、制御装置は第１仕切板１３４Ａを検出する。
【００５９】
また、第１仕切板１３４Ａの検出後、更に第１スライドテーブル４０を移動させて剥離用吸着パット１００を移動させると、第１スライドテーブル４０に押されてスライドプレート１２６Ａが移動する。そして、前記剥離用吸着パット１００が、第２仕切板１３４Ｂの設置位置まで移動すると、スライドプレート１２６Ａ上に設置された第２タッチセンサ１６８Ｂが、スライドプレート１２６Ｂ上に設置された第２接触子１７０Ｂに接触する。この第２タッチセンサ１６８Ｂは第２接触子１７０Ｂに接触することにより作動し、この第２タッチセンサ１６８Ｂの作動信号を受けることにより、制御装置は第２仕切板１３４Ｂを検出する。
【００６０】
また、第２仕切板１３４Ｂの検出後、更に第１スライドテーブル４０を移動させて剥離用吸着パット１００を移動させると、第１スライドテーブル４０に押されて移動するスライドプレート１２６Ａに押されてスライドプレート１２６Ｂが移動する。そして、前記剥離用吸着パット１００が、第３仕切板１３４Ｃの設置位置まで移動すると、スライドプレート１２６Ｂ上に設置された第３タッチセンサ１６８Ｃが、スライドプレート１２６Ｃ上に設置された第３接触子１７０Ｃに接触する。この第３タッチセンサ１６８Ｃは第３接触子１７０Ｃに接触することにより作動し、この第３タッチセンサ１６８Ｃの作動信号を受けることにより、制御装置は第３仕切板１３４Ｃを検出する。
【００６１】
このように、各タッチセンサ１６８Ａ〜１６８Ｃは、剥離用吸着パット１００が各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの設置点まで移動すると、順次作動し、これにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃ間に挿入されている仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃを検出することができる。
次に、受渡装置１８の構成について説明する。受渡装置１８は、剥離装置１４の剥離用吸着パット１００によってスライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃを剥離用吸着パット１００から受け取り、シャトルコンベア１７２に受け渡す装置である。この受渡装置１８は、図１及び図２に示すように、駆動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０上に設けられており、第２送りモータ１４８を駆動することにより、第２ガイドレール１３６、１３６に沿って移動する。具体的な構成は、以下のとおりである。
【００６２】
図１２〜図１４に示すように、前記駆動ユニット１２２の第２スライドテーブル１４０上には、支柱１７４が垂直に立設されている。この支柱１７４の頂部には、支持フレーム１７６が垂直に立設されており、該支持フレーム１７６には旋回用ロータリーアクチュエータ１７８が水平に設置されている。
前記旋回用ロータリーアクチュエータ１７８の出力軸には駆動ギア１８０が噛合されており、該駆動ギア１８０には旋回軸１８４に固着された従動ギア１８２が噛合されている。旋回軸１８４は、前記支持フレーム１７６の頂部に設置された軸受ユニット１８６に回動自在に支持されており、前記旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動することにより１８０°の範囲で回動する。
【００６３】
前記旋回軸１８４の基端部には、旋回フレーム１８８が固着されており、該旋回フレーム１８８には回転軸１９０が回動自在に支持されている。この回転軸１９０の基端部には、旋回フレーム１８８に設置された方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２の出力軸が固着されており、該方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２を駆動することにより、９０°の範囲で回動する。
【００６４】
前記回転軸１９０の先端部には、Ｌ字状に形成された旋回アーム１９４が固着されており、該旋回アーム１９４の先端部には支持プレート１９６が固着されている。この支持プレート１９６にはパット進退用シリンダ１９８が設けられており、該パット進退用シリンダ１９８のロッド先端部には、受渡用吸着パット２００が設けられている。前記剥離装置１４の剥離用吸着パット１００、１００によって剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、所定の受渡位置まで搬送されたのち、この受渡用吸着パット２００に受け渡される。
【００６５】
以上のように構成された受渡装置１８において、受渡用吸着パット２００に吸着保持されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動することにより、垂直面上を１８０°の範囲で旋回し（図１２参照）、方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２を駆動することにより、垂直状態から水平状態に方向転換される。
【００６６】
なお、仕切装置１４で剥離したウェーハＷａ〜Ｗｃの受け取り、及び、その受け取ったウェーハＷａ〜Ｗｃのシャトルコンベア１７２上への受け渡しは、次のように行う。
前述したように、スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離されたウェーハＷａ〜Ｗｃは、剥離用吸着パット１００、１００に吸着保持された状態で上昇して所定の受渡位置に移送される。この受渡位置には、すでに受渡用吸着パット２００が待機しており、ウェーハＷａ〜Ｗｃは、この受渡用吸着パット２００の軸心と同軸上に位置する。
【００６７】
前記ウェーハＷａ〜Ｗｃが受渡位置に移送されると、次いで、パット進退用シリンダ１９８が駆動されて、受渡用吸着パット２００がウェーハＷａに向かって所定量前進する。この結果、ウェーハＷａの端面に受渡用吸着パット２００が密着する。
次に、受渡用吸着パット２００が駆動され、該受渡用吸着パット２００によってウェーハＷａが吸着保持される。この受渡用吸着パット２００にウェーハＷａが吸着保持されると、次いで、剥離用吸着パット１００の駆動が停止され、これにより、ウェーハＷａが剥離用吸着パット１００から受渡用吸着パット２００に受け渡される。
【００６８】
ウェーハＷａを受け取った受渡用吸着パット２００は、パット進退用シリンダ１９８が駆動されて、剥離用吸着パット１００から後退する。一方、ウェーハＷａを受け渡した剥離用吸着パット１００は、下降して元の剥離作業位置に復帰する。
前記受渡用吸着パット２００が後退すると、次いで、旋回用ロータリーアクチュエータ１７８が駆動されて、旋回アーム１９４が１８０°旋回する。この結果、ウェーハＷａがシャトルコンベア１７２の上方位置に移送される。
【００６９】
ここで、シャトルコンベア１７２の上方に移送されたウェーハＷａは、シャトルコンベア１７２に対して直交した状態にあるので、移送後、方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２が駆動されて、旋回アーム１９４が回転軸１９０を中心に９０°回転する。この結果、ウェーハＷａがシャトルコンベア１７２から所定高さの位置に水平な状態で位置する。
【００７０】
前記方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２の駆動後、パット進退用シリンダ１９８が駆動されて、受渡用吸着パット２００がシャトルコンベア１７２に向かって所定量前進する。この結果、ウェーハＷａが、シャトルコンベア１７２上に載置される。
ウェーハＷａが、シャトルコンベア１７２上に載置されると、受渡用吸着パット２００の駆動が停止される。そして、パット進退用シリンダ１９８が駆動されて受渡用吸着パット２００がシャトルコンベア１７２から後退する。
【００７１】
以上により、ウェーハＷａの受け渡し作業は終了し、受渡用吸着パット２００は、上記と逆の動作で元の受渡位置に復帰する。一方、ウェーハＷａが受け渡されたシャトルコンベア１７２は、図示しない駆動手段に駆動されて、その受け渡されたウェーハＷａを次工程に搬送する。
本実施の形態のスライスベース剥離装置１０は、以上のように構成される。なお、このスライスベース剥離装置１０の駆動は、全て図示しない制御装置によって自動制御されており、この制御装置から出力される駆動信号に基づいて各構成装置が作動する。
【００７２】
次に、前記のごとく構成された本実施の形態のスライスベース剥離装置１０の作用について説明する。
始動前の状態において、剥離ユニット５０が設置された第１スライドテーブル４０は、第１ガイドレール３６の一方端（図１において下端）に位置している（この位置を剥離作業開始位置という。）。一方、受渡装置１８が設置された第２スライドテーブル１４０は、第２ガイドレール１３６の他方端（図１において上端）に位置している（この位置を仕切作業開始位置という。）。そして、接続装置の接続プレート１５０には、ピン挿入装置１５１Ａ〜１５１Ｃによって各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃが接続されている。
【００７３】
まず、ワイヤソーでマルチ切断されたウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを熱水槽１２内に設置されたワーク保持部２２にセットする。これにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃが接着されたスライスベースＳａ〜Ｓｃが熱水槽１２内に貯留された熱水２０中に浸漬される。
なお、ウェーハＷａ〜Ｗｃのセッティングは、オペレータが手動で行ってもよいし、図示しないマニピュレータによって自動でワーク保持部２２に搬送して、自動でセットするようにしてもよい。
【００７４】
ウェーハＷａ〜Ｗｃが熱水槽１２内にセットされると、制御装置は、まず、第２送りモータ１４８を駆動して第２スライドテーブル１４０を図１中下側に向けて移動させる。これと同時に、制御装置は、ロット検出ユニット１６４の受光センサ１６６Ｒから受光信号の入力を開始する。
第２スライドテーブル１４０の移動開始から所定の間は、光を遮るものが何もないので、投光センサ１６６Ｌから発光された光は、そのまま受光センサ１６６Ｒで受光される。
【００７５】
しかし、ロット検出ユニット１６４が第３ロットのウェーハＷｃに到達すると、前記投光センサ１６６Ｌから投光された光は、ウェーハＷｃに遮られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されなくなる。
制御装置は、前記受光センサ１６６Ｒで光が受光されなくなったことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第３仕切ユニット１２０Ｃのブレーキ用シリンダ１６１Ｃを駆動して第３仕切ユニット１３０Ｃを固定する。
【００７６】
第３仕切ユニット１３０Ｃを固定後、制御装置は、シリンダ１３０Ｃを駆動して、第３仕切板１３４Ｃを前進させる。これにより、第３ロット（ウェーハＷｃ）の後段位置に第３仕切板１３４Ｃが挿入される。
また、制御装置は、前記第３仕切板１３４Ｃの挿入後、接続プレート１５０と第３スライドプレート１２６Ｃとの接続を解除する。すなわち、ピン挿入装置１５１Ｃのピン挿入用シリンダ１５４Ｃを駆動して、第３スライドプレート１２６Ｃに形成されている接続用ピン穴１５５Ｃから接続ピン１５３Ｃを抜き取る。これにより、接続プレート１５０と第３スライドプレート１２６Ｃとの接続が解除され、第２スライドテーブル１４０を移動させても、第３スライドプレート１２６Ｃが移動しなくなる。
【００７７】
制御装置は、前記第３スライドプレート１２６Ｃと接続プレート１５０との接続を解除したのち、再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させる。
ここで、前記のごとく第２スライドテーブル１４０を移動させても、光はウェーハＷｃによって遮られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されない状態が続く。
【００７８】
しかし、前記第３ロットと第２ロットの間には一定の間隔が開けられているので、この第３ロットと第２ロットの間をロット検出ユニット１６４が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されるようになる。
制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第２仕切ユニット１２０Ｂのブレーキ用シリンダ１６１Ｂ（図示せず）を駆動して第２仕切ユニット１３０Ｂを固定する。
【００７９】
第２仕切ユニット１２０Ｂを固定後、制御装置は、シリンダ１３０Ｂを駆動して、第２仕切板１３４Ｂを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハＷｂ）と第３ロット（ウェーハＷｃ）の間に第２仕切板１３４Ｂが挿入される。
また、制御装置は、前記同様に第２仕切板１３４Ｂの挿入後、接続プレート１５０と第２スライドプレート１２６Ｂとの接続を解除する。すなわち、ピン挿入装置１５１Ｂのピン挿入用シリンダ１５４Ｂを駆動して、第２スライドプレート１２６Ｂに形成されている接続用ピン穴１５５Ｂから接続ピン１５３Ｂを抜き取る。これにより、接続プレート１５０と第２スライドプレート１２６Ｂとの接続が解除され、第２スライドテーブル１４０を移動させても、第２スライドプレート１２６Ｂが移動しなくなる。
【００８０】
制御装置は、前記第２スライドプレート１２６Ｂと接続プレート１５０との接続を解除したのち、再び第２スライドテーブル１４０を移動させて、ロット検出ユニット１６４をウェーハＷａ〜Ｗｃの軸線に沿って移動させる。
ここで、前記同様、第２スライドテーブル１４０を移動させても、光はウェーハＷｂによって遮られるため、受光センサ１６６Ｒでは光が受光されない状態が続く。
【００８１】
しかし、前記同様、第２ロットと第１ロットの間には、一定の間隔が開けられているので、この第２ロットと第１ロットの間をロット検出ユニット１６４が通過すると、再び受光センサ１６６Ｒで光が受光されるようになる。
制御装置は、受光センサ１６６Ｒで再び光が受光されたことを検出すると、第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第１仕切ユニット１２０Ａのブレーキ用シリンダ１６１Ａを駆動して第１仕切ユニット１３０Ａを固定する。
【００８２】
第１仕切ユニット１２０Ｂを固定後、制御装置は、シリンダ１３０Ａを駆動して、第１仕切板１３４Ａを前進させる。これにより、第２ロット（ウェーハＷｂ）と第１ロット（ウェーハＷａ）との間に第１仕切板１３４Ａが挿入される。
また、制御装置は、前記同様に第１仕切板１３４Ａの挿入後、接続プレート１５０と第１スライドプレート１２６Ａとの接続を解除する。すなわち、ピン挿入装置１５１Ａのピン挿入用シリンダ１５４Ａを駆動して、第１スライドプレート１２６Ａに形成されている接続用ピン穴１５５Ａから接続ピン１５３Ａを抜き取る。これにより、接続プレート１５０と第１スライドプレート１２６Ａとの接続が解除され、第２スライドテーブル１４０を移動させても、第１スライドプレート１２６Ａが移動しなくなる。
【００８３】
図１５に示すように、以上一連の操作により、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃが挿入される。
制御装置は、前記第１スライドプレート１２６Ａと前記接続プレート１５０との接続を解除すると、再び第２スライドテーブル１４０を図１中下側に向けて移動させ、その第２スライドテーブル１４０を所定の受渡作業開始位置に位置させる。そして、この第２スライドテーブル１４０が受渡作業開始位置に位置したところで、ウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離作業が開始する。
【００８４】
まず、制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。
ここで、前記第１スライドテーブル４０上に設けられた剥離装置１４の倒止板１１４には、図示しない非接触接触式の位置センサが設けられており、該位置センサは、ウェーハＷａの端面までの距離が所定距離に達すると作動する。制御装置は、この位置センサの作動信号を入力することにより、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０とを停止させる。この結果、前記第１スライドテーブル４０上に設けられた剥離装置１４の剥離用吸着パット１００、１００がウェーハＷａの端面に当接する。制御装置は、ウェーハＷａの端面に当接した剥離用吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用吸着パット１００、１００にウェーハＷａを吸着保持させる。
【００８５】
制御装置は、次いで、揺動用ロータリーアクチュエータ６０を駆動して揺動フレーム５４を前後に揺動させ、剥離用吸着パット１００、１００を前後（ウェーハの軸線に沿った方向）に揺動させる。
ここで、前記ウェーハＷａとスライスベースＳａとを接着している接着剤は、熱水２０中に浸漬されているため十分に熱軟化している。また、剥離用吸着パット１００、１００は、ウェーハＷａとスライスベースＳａとの接着部近傍を揺動中心として揺動している。このため、ウェーハＷａは、剥離用吸着パット１００、１００によって複数回揺動が与えられると簡単にスライスベースＳａから剥離される。
【００８６】
制御装置は、前記剥離用吸着パット１００、１００を所定回数揺動させたところで揺動用ロータリーアクチュエータ６０の駆動を停止する。そして、これによりウェーハＷａがスライスベースＳａから剥離される。
制御装置は、次いで、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動してアーム９０、９２を上方に旋回させ、剥離用吸着パット１００、１００を上方に移動させる。
【００８７】
この際、剥離用吸着パット１００、１００に吸着保持されたウェーハＷａは、倒止板１１４の上部に固着された二枚取り防止板１１６のスリット１１６ａを通過することにより、二枚取りが防止される。すなわち、吸着パット１００、１００で吸着保持したウェーハＷａ1 に、次に剥離するウェーハＷａ2 がくっついてきた場合であっても、前記スリット１１６ａを通過する際に、くっついてきたウェーハＷａ2 が、スリット１１６ａを通過する際に剥がされるので、常に吸着パット１００、１００で吸着しているウェーハＷａ一枚のみを取り出すことができる。
【００８８】
また、スリット１１６ａを通過できずに落下したウェーハは、倒止板１１４によって前方に倒れるのを防止されるので、次回の剥離時に確実に回収することができる。
前記のごとく上方に移動した剥離用吸着パット１００、１００は、所定の受渡位置で停止する。この受渡位置には、受渡装置１８の受渡用吸着パット２００が待機しており、剥離用吸着パット１００、１００に吸着保持されたウェーハＷａは、この受渡用吸着パット２００の軸心と同軸上に位置する。
【００８９】
制御装置は、剥離用吸着パッド１００、１００が所定の受渡位置で停止すると、次いで、パット進退用シリンダ１９８を駆動して、受渡用吸着パット２００をウェーハＷａに向かって所定量前進させる。この結果、ウェーハＷａの端面に受渡用吸着パット２００が密着する。
制御装置は、次いで、受渡用吸着パット２００を駆動して、該受渡用吸着パット２００でウェーハＷａの端面を吸着保持する。そして、剥離用吸着パット１００の駆動を停止し、ウェーハＷａを受渡用吸着パット２００に受け渡させる。
【００９０】
前記剥離用吸着パット１００の駆動を停止すると、次いで、制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を駆動して、受渡用吸着パット２００を剥離用吸着パット１００から後退させる。
また、前記パット進退用シリンダ１９８の駆動後、制御装置は、昇降用ロータリーアクチュエータ１０４を駆動してアーム９０、９２を下方に旋回させ、剥離用吸着パット１００、１００を下方に移動させて、元の剥離作業位置に復帰させる。
【００９１】
これと同時に、制御装置は、前記パット進退用シリンダ１９８の駆動後、旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動して、旋回アーム１９４を１８０°旋回させ、ウェーハＷａをシャトルコンベア１７２の上方位置に移送する。そして、移送後、方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２を駆動して、旋回アーム１９４を回転軸１９０を中心に９０°回転させる。これにより、ウェーハＷａがシャトルコンベア１７２に対して平行な状態になる。制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を駆動して、受渡用吸着パット２００をシャトルコンベア１７２に向けて前進させる。この結果、ウェーハＷａが、シャトルコンベア１７２上に載置されるので、次いで、制御装置は、受渡用吸着パット２００の駆動を停止して、ウェーハＷａをシャトルコンベア１７２に受け渡す。
【００９２】
受渡用吸着パット２００の駆動を停止したのち、制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を駆動して受渡用吸着パット２００をシャトルコンベア１７２から後退させるとともに、シャトルコンベア１７２を駆動してウェーハＷａを次工程（洗浄工程等）に搬送する。
また、制御装置は、パット進退用シリンダ１９８を駆動後、方向転換用ロータリーアクチュエータ１９２及び旋回用ロータリーアクチュエータ１７８を駆動して受渡用吸着パット２００を元の受渡位置に復帰させる。
【００９３】
以上一連の工程で一枚目のウェーハＷａの剥離作業が終了する。制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を所定量前進させる。これにより、剥離用吸着パット１００、１００が、二枚目に剥離するウェーハＷａ2 の端面に当接する。制御装置は、この二枚目のウェーハＷａ2 を上記同様の方法で剥離する。
【００９４】
以上のようにしてスライスベースＳａに接着されているウェーハＷａ、Ｗａ、…を順次剥離し、次工程に搬送してゆく。
ここで、第１ロットのウェーハＷａの剥離が全て終了したとする。制御装置は、この段階では第１ロットの剥離が終了したことを認識することができず、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を駆動して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させようとする。
【００９５】
しかしながら、第１ロットのウェーハＷａと第２ロットのウェーハＷｂとの間には、第１仕切板１３４Ａが挿入されているので、前記第１スライドテーブル４０を前進させると、その第１スライドテーブル４０上に設置された第１タッチセンサ１６８Ａが、前記第１仕切板１３４Ａが設置されている第１スライドプレート１２６Ａ上に設置された第１接触子１７０Ａに接触して作動する。制御装置は、この第１タッチセンサ１６８Ａの作動信号を入力することにより、第１ロットのウェーハＷａの剥離が全て終了したことを検出する。そして、制御装置は、第１ロットのウェーハＷａの剥離が全て終了したことを次工程以降の各装置（洗浄装置やウェーハ格納装置等）に情報として流す。
【００９６】
これにより、次工程以降の各装置では、次にシャトルコンベア１７２から搬送されてくるウェーハＷｂは、種類の異なる第２ロットのウェーハＷｂであることを認識することができ、種類の異なるウェーハを混入させることなく処理、回収等することができる。
また、制御装置は、前記第１タッチセンサ１６８Ａの作動信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第１シリンダ１３０Ａを駆動して、第１仕切板１３０Ａを後退させる。
【００９７】
また、制御装置は、第１仕切板１３０Ａを後退させたのち、第１仕切ユニット１２０Ａのブレーキ用シリンダ１６１Ａの駆動を停止して第１仕切ユニット１３０Ａのロックを解除する。
前記のごとく次工程以降の各装置に第１ロットのウェーハＷａの剥離が終了したことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。このとき、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１３４Ａが設置された第１スライドプレート１２６Ａを押しながら前進する。
【００９８】
前記第１ロットのウェーハＷａを剥離したときと同様に、第２ロットのウェーハＷｂまでの距離が所定の距離に達すると倒止板１１４に設置された図示しない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入力することにより、制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０とを停止させる。この結果、剥離装置１４の剥離用吸着パット１００、１００が第２ロットのウェーハＷｂの端面に当接する。
【００９９】
制御装置は、ウェーハＷｂの端面に当接した剥離用吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用吸着パット１００、１００に第２ロットのウェーハＷｂを吸着保持させる。
以下、前記第１ロットのウェーハＷａを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｂに接着されているウェーハＷｂを順次剥離して、次工程に搬送してゆく。
【０１００】
ここで、第２ロットのウェーハＷｂの剥離が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段階では第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したことを認識することができず、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を駆動して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させようとする。
【０１０１】
しかしながら、第２ロットのウェーハＷｂと第３ロットのウェーハＷｃとの間には、第２仕切板１３４Ｂが挿入されているので、前記第１スライドテーブル４０を前進させると、その第１スライドテーブル４０に押されて移動する第１スライドプレート１２６Ａ上に設置された第２タッチセンサ１６８Ｂが、前記第２仕切板１３４Ｂが設置されている第２スライドプレート１２６Ｂ上に設置された第２接触子１７０Ｂに接触して作動する。制御装置は、この第２タッチセンサ１６８Ｂの作動信号を入力することにより、第２ロットのウェーハＷｂの剥離が全て終了したことを検出する。そして、制御装置は、前記第１ロットの場合と同様に、第２ロットのウェーハＷｂの剥離が全て終了したことを次工程以降の各装置に情報として流す。
【０１０２】
これにより、次工程以降の各装置では、次にシャトルコンベア１７２から搬送されてくるウェーハＷｃは、種類の異なる第３ロットのウェーハＷｃであることを認識することができ、種類の異なるウェーハを混入させることなく処理、回収等することができる。
また、制御装置は、前記第２タッチセンサ１６８Ｂの作動信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第２シリンダ１３０Ｂを駆動して、第２仕切板１３４Ｂを後退させる。
【０１０３】
また、制御装置は、第２仕切板１３０Ｂを後退させたのち、第２仕切ユニット１２０Ｂのブレーキ用シリンダ１６１Ｂの駆動を停止して第２仕切ユニット１３０Ｂのロックを解除する。
前記のごとく次工程以降の各装置に第２ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。このとき、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１３４Ａが設置された第１スライドプレート１２６Ａと第２仕切板１３４Ｂが設置された第２スライドプレート１２６Ｂとを押しながら前進する。
【０１０４】
前記第２ロットのウェーハＷｂを剥離したときと同様に、第３ロットのウェーハＷｃまでの距離が所定の距離に達すると倒止板１１４に設置された図示しない位置センサが作動する。そして、この作動信号を入力することにより、制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０とを停止させる。この結果、剥離装置１４の剥離用吸着パット１００、１００が第３ロットのウェーハＷｃの端面に当接する。
【０１０５】
制御装置は、ウェーハＷｃの端面に当接した剥離用吸着パット１００、１００を駆動し、該剥離用吸着パット１００、１００に第３ロットのウェーハＷｃを吸着保持させる。
以下、前記第２ロットのウェーハＷｂを剥離したときと同様の手順でスライスベースＷｂに接着されているウェーハＷｂを順次剥離して、次工程に搬送してゆく。
【０１０６】
ここで、第３ロットのウェーハＷｃの剥離が全て終了したとする。前記同様、制御装置は、この段階では第３ロットのウェーハＷｂの剥離が終了したことを認識することができず、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を駆動して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させようとする。
【０１０７】
しかしながら、第３ロットのウェーハＷｃの直後には、第３仕切板１３４Ｂがセットされているので、前記第１スライドテーブル４０を前進させると、その第１スライドテーブル４０に押されて移動する第２スライドプレート１２６Ｂ上に設置された第３タッチセンサ１６８Ｃが、前記第３仕切板１３４Ｃが設置されている第３スライドプレート１２６Ｃ上に設置された第３接触子１７０Ｃに接触して作動する。制御装置は、この第３タッチセンサ１６８Ｃの作動信号を入力することにより、第３ロットのウェーハＷｃの剥離、すなわち、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了したことを検出する。そして、制御装置は、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了したことを次工程以降の各装置に情報として流す。
【０１０８】
次工程以降の各装置では、これにより１サイクルの剥離作業が終了したことを認識することができる。
また、制御装置は、前記第３タッチセンサ１６８Ｃの作動信号を入力すると、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。そして、第３シリンダ１３０Ｃを駆動して、第３仕切板１３４Ｃを後退させる。
【０１０９】
また、制御装置は、第３仕切板１３０Ｃを後退させたのち、第３仕切ユニット１２０Ｃのブレーキ用シリンダ１６１Ｃの駆動を停止して第３仕切ユニット１３０Ｃのロックを解除する。
前記のごとく次工程以降の各装置に第３ロットのウェーハＷｃの剥離が終了したこと、すなわち、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了したことの情報を流したあと、制御装置は、再び第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８を同期させて駆動し、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０を前進させる（図１中上方向に移動させる）。このとき、第１スライドテーブル４０は、第１仕切板１３４Ａが設置された第１スライドプレート１２６Ａと第２仕切板１３４Ｂが設置された第２スライドプレート１２６Ｂ、及び第３仕切板１３４Ｃが設置された第３スライドプレート１２６Ｃを押しながら前進する。
【０１１０】
前記第２スライドテーブル１４０が、所定の仕切作業開始位置に到達すると（仕切作業開始位置に到達したことは図示しないタッチセンサ等で検出する。）、制御装置は、第１送りモータ４８と第２送りモータ１４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０と第２スライドテーブル１４０の移動を停止させる。
これにより、第２スライドテーブル１４０と各仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃが設置されたスライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃは初期位置に復帰する。制御装置は、各ピン挿入装置１５１Ａ〜１５１Ｃのピン挿入用シリンダ１５４Ａ〜１５４Ｃを駆動して、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃに形成されている接続用ピン穴１５５Ａ〜１５５Ｃに接続ピン１５３Ａ〜１５３Ｃを挿入し、各スライドプレート１２６Ａ〜１２６Ｃを接続プレート１５０に接続して次の剥離作業のために待機する。
【０１１１】
また、制御装置は、前記第２スライドテーブル１４０を所定の仕切作業開始位置に復帰させると、その後、第１送りモータ４８のみを駆動して、第１スライドテーブル４０を後退させる（図１中下側の方向に移動させる。）。
前記第１スライドテーブル４０が、所定の剥離作業開始位置に到達すると（剥離作業開始位置に到達したことは図示しないタッチセンサ等で検出する。）、制御装置は、第１送りモータ４８の駆動を停止して、第１スライドテーブル４０の移動を停止させる。これにより、第１スライドテーブル４０が初期位置に復帰する。
【０１１２】
以上により、１サイクルの剥離作業が終了する。オペレータ若しくは図示しないマニピュレータは、熱水槽１２内に残留しているスライスベース付マウンティングプレートＭを熱水槽１２内から取り出す。そして、次の剥離作業を続行する場合は、熱水槽１２内のワーク保持部２２に新たなウェーハＷａ〜Ｗｃをセットし、同様の手順で剥離作業を行う。
【０１１３】
このように本実施の形態のスライスベース剥離装置によれば、マルチ切断された種類の異なるウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを互いに混入させることなく剥離し、処理してゆくことができる。
また、本実施の形態のスライスベース剥離装置では、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂの挿入から剥離、次工程への搬送を全て全自動で行うことができるため、効率的な剥離作業を行うことができる。
【０１１４】
また、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂは、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間に挿入されることにより、各ウェーハＷａ〜Ｗｃのロット間の検出にのみ使用されるのではなく、倒れ止めとしても作用する。すなわち、例えば最後の一枚のウェーハを剥離しようとする場合に、その最後の一枚のウェーハが前進してきた剥離用吸着パット１００、１００に押されて後方に倒れてしまうことがあるが、このような場合であっても、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃがあることにより、後方に倒れたウェーハが支えられ、回収不能になることが防止される。
【０１１５】
なお、本実施の形態のスライスベース剥離装置では、仕切板１３４Ａ〜１３４Ｃの設置数を３枚としたが、これに限定されるものではなく、剥離するウェーハのロット数に応じて適宜変更して使用することができる。
また、本実施の形態のように仕切板１３４Ａ〜１３４Ｂの数が３枚の剥離装置でロット数が２のウェーハを剥離する場合は、第２仕切板１３４Ｂを使用せず、第１仕切板１３４Ａと第３仕切板１３４Ｃのみを使用して仕切作業を行うようにする（図１参照）。
【０１１６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、種類の異なる複数のインゴットを同時に切断して得られたウェーハを剥離する場合であっても、互いの種類を混入させることなく剥離し、処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】スライスベース剥離装置の全体構成を示す平面図
【図２】スライスベース剥離装置の全体構成を示す正面図
【図３】熱水槽の構成を示す正面断面図
【図４】熱水槽の構成を示す側面断面図
【図５】剥離装置の構成を示す平面図
【図６】剥離装置の構成を示す正面図
【図７】剥離装置の構成を示す側面図
【図８】仕切ユニットの構成を示す平面図
【図９】仕切ユニットの構成を示す正面図
【図１０】仕切装置の構成を示す正面図
【図１１】ロット検出ユニットによるロット検出方法の説明図
【図１２】受渡装置の正面図
【図１３】受渡装置の側面図
【図１４】受渡装置の平面図
【図１５】スライスベース剥離装置の作用の説明図
【図１６】マルチ切断による切断方法を説明する説明図
【符号の説明】
１０…スライスベース剥離装置
１２…熱水槽
１４…剥離装置
１６…仕切装置
１８…受渡装置
２２…ワーク保持部
３６…第１ガイドレール
４０…第１スライドテーブル
４８…第１送りモータ
５０…剥離ユニット
５４…揺動フレーム
６０…揺動用ロータリーアクチュエータ
９０、９２…アーム
１００…剥離用吸着パット
１０４…昇降用ロータリーアクチュエータ
１１４…倒止板
１２０Ａ〜１２０Ｃ…仕切ユニット
１２２…駆動ユニット
１２４…接続ユニット
１２５…ブレーキユニット
１２６Ａ〜１２６Ｃ…スライドプレート
１３０Ａ〜１３０Ｃ…シリンダ
１３４Ａ〜１３４Ｃ…仕切板
１３６…第２ガイドレール
１４０…第２スライドテーブル
１４８…第２送りモータ
１５０…接続プレート
１５１Ａ〜１５１Ｃ…ピン挿入装置
１５３Ａ〜１５３Ｃ…接続ピン
１５５Ａ〜１５５Ｃ…接続用ピン穴
１６４…ロット検出ユニット
１６６Ｌ…投光センサ
１６６Ｒ…受光センサ
１６８Ａ〜１６８Ｃ…タッチセンサ
１７０Ａ〜１７０Ｃ…接触子
１７２…シャトルコンベア
１７８…旋回用ロータリーアクチュエータ
１９４…旋回アーム
１９８…パット進退用シリンダ
２００…受渡用吸着パット
Ｗａ〜Ｗｃ…ウェーハ
Ｓａ〜Ｓｃ…スライスベース
Ｍ…マウンティングプレート
【図１】
0004022672.tif 000002
【図２】
0004022672.tif 000003
【図３】
0004022672.tif 000004
【図４】
0004022672.tif 000005
【図５】
0004022672.tif 000006
【図６】
0004022672.tif 000007
【図７】
0004022672.tif 000008
【図８】
0004022672.tif 000009
【図９】
0004022672.tif 000010
【図１０】
0004022672.tif 000011
【図１１】
0004022672.tif 000012
【図１２】
0004022672.tif 000013
【図１３】
0004022672.tif 000014
【図１４】
0004022672.tif 000015
【図１５】
0004022672.tif 000016
【図１６】
0004022672.tif 000017