(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を垂直に支持する基板支持装置に基板を装着し、基板支持装置から基板を取り外す基板着脱装置であって、
基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、ベース板と、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
各支持爪は、一端がベース板に取り付けられ、先端が基板の周縁に接触して基板を垂直に支持するものとなっており、
これらの複数の支持爪の一部は基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、残りの支持爪は、基板の着脱の際には移動しない固定支持爪であり、
可動支持爪は、ベース板に連結されたアームに一端が固定され、アームを介してベース板に取り付けられており、
アームは、基板の周縁が固定支持爪に接触した際、可動支持爪の先端が基板の周縁の他の位置で接触するようにする第一の位置と、可動支持爪が基板の周縁から離間するようにする第二の位置との間で可動であり、
前記爪開閉部材は、基板の着脱時に前記基板支持装置のアームを所定部位で押圧することで前記可動支持爪を開閉するものであり、
前記爪開閉部材は、基板の装着時には、基板を支持した前記基板ピックアップの支持部材が垂直方向の第一の向きに移動して基板の周縁を固定支持爪の先端に当接させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧してアームを前記第一の位置とするものであり、基板の取り外し時には、前記基板ピックアップの支持部材が第一の向きとは逆の向きに移動して基板を支持する状態となって基板を固定支持爪から離間させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧してアームを前記第二の位置とするものであることを特徴とする基板着脱装置。
【請求項２】
基板を垂直に支持する基板支持装置に基板を装着し、基板支持装置から基板を取り外す基板着脱装置であって、
基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、ベース板と、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
各支持爪は、後端がベース板に取り付けられ、先端が基板の周縁に接触して基板を垂直に支持するものとなっており、
これらの複数の支持爪の全部は、基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、
各可動支持爪は、ベース板に連結されたアームに一端が固定され、アームを介してベース板に取り付けられており、
アームは、各支持爪が基板の周縁に接触する第一の位置と、可動支持爪が基板の周縁から離間する第二の位置との間で可動となっており、
前記爪開閉部材は、基板の着脱時に前記基板支持装置のアームを所定部位で押圧することで前記可動支持爪を開閉するものであり、
前記爪開閉部材は、基板の装着時には、基板を支持した前記基板ピックアップの支持部材が垂直方向の第一の向きに移動した後に所定位置で停止して基板を所定の支持位置に位置させる際、支持部材と一体に移動してアームを押圧して各可動支持爪の先端を基板の周縁に接触させるものであり、基板の取り外し時には、前記基板ピックアップの支持部材が第一の向きとは逆の向きに移動して基板を支持する状態となって基板を支持位置から上昇又は下降させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧して各可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させるものであることを特徴とする基板着脱装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の基板着脱装置によって基板が装着され、基板が取り外される前記基板支持装置。
【請求項４】
前記可動支持爪は、基板から離れるのが弾性部材によって抑制された状態で基板の周縁に当接するよう設けられていることを特徴とする請求項３記載の基板支持装置。
【請求項５】
基板を垂直に支持する基板支持装置に対して基板着脱装置により基板を装着し、基板着脱装置により基板支持装置から基板を取り外す基板着脱方法であって、
基板着脱装置は基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
これらの複数の支持爪の一部は基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、残りの支持爪は、基板の着脱の際には移動しない固定支持爪であり、
基板の装着時には、基板を支持した基板ピックアップの支持部材を垂直方向の第一の向きに移動させて基板の周縁を固定支持爪に当接させた後に支持部材が基板を支持しない状態とする際、支持部材と一体に移動する前記爪開閉部材のその一体の移動により可動支持爪を移動させて可動支持爪の先端を基板の周縁に当接させ、
基板の取り外し時には、基板ピックアップの支持部材を第一の向きとは逆の向きに移動させて基板を支持しない状態から基板を支持する状態として基板の周縁を固定支持爪から離間させる際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により可動支持爪を駆動して可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させることを特徴とする基板着脱方法。
【請求項６】
基板を垂直に支持する基板支持装置に基板着脱装置により基板を装着し、基板着脱装置により基板支持装置から基板を取り外す基板着脱方法であって、
基板着脱装置は基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
支持爪の全部は、基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、
基板の装着時には、基板を支持した基板ピックアップの支持部材を垂直方向の第一の向きに移動させて基板を支持しない状態となる際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により各可動支持爪を移動させて各可動支持爪の先端が基板の周縁に当接して基板を支持した状態とし、
基板の取り外し時には、基板ピックアップの支持部材を基板を支持しない状態から第一の向きとは逆の向きに移動させて基板を支持した状態とする際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により各可動支持爪を移動させて可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させることを特徴とする基板着脱方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、基板の表面に所定の処理を施す基板処理装置等において基板を支持する目的で使用される基板支持装置に関する。また、本願の発明は、基板支持装置に基板を装着し、基板支持装置から基板を取り外す基板着脱装置及び基板着脱方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
基板の表面に所定の処理を施すことは、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、情報記録ディスク等の製作において盛んに行われている。このうち、ハードディスク等の情報記録ディスクの製作の分野では、中央に開口を有する基板を垂直に支持する基板支持装置が使用される場合がある。
【０００３】
図９は従来の基板支持装置の構成を示す正面概略図、図１０は図９に示す基板支持装置の動作を説明する斜視概略図である。図９及び図１０に示す基板支持装置は、垂直に立てて配置されたベース板１１と、このベース板１１に設けられた固定支持爪１２及び可動支持爪１３によって主に構成されている。
【０００４】
図９及び図１０に示すように、ベース板１１は、方形の板部材に「Ｊ」の字の形状の切り欠きを設けたような形状のものである。そして、その「Ｊ」の字の切り欠きの曲線部分（以下、曲線部）に四つの固定支持爪１２が設けられている。四つの固定支持爪１２は、図９及び図１０に示すように、「Ｊ」の字の最下点を通る垂直な線（以下、中心軸線１０）に対して線対称となる位置関係で配置されている。
【０００５】
各々の固定支持爪１２は、短い帯板状の部材を曲げてＬ字状にしたような形状の部材である。ベース板１１の切り欠き部分には、段差が設けられており、この段差に係止させるようにして各固定支持爪１２が配置され、ネジ止め等の方法によってベース板１１に対して固定されている。そして、各固定支持爪１２の先端は、曲線部の曲率の中心点に向かっており、その先端部分は、図１０に示すようなＶ字状の凹部が形成されている。
【０００６】
一方、可動支持爪１３はベース板１１の上面に固定されている。可動支持爪１３は、帯板状の部材の先端をＬ字状に曲げた形状を有する。可動支持爪１３の後端はベース板１１の上端面にネジ止め等によって固定されており、Ｌ字状の先端部分はちょうど中心軸線１０上に位置して下方に向いている。そして、下方に向いた先端部分には、固定支持爪１２と同様にＶ字状の凹部が形成されている。
【０００７】
上記従来の基板支持装置の動作について説明する。
上記基板支持装置は、ハードディスク用の基板のような円形の板状で中央に開口２０を有する基板２を支持するよう構成され、基板２を保持する基板ピックアップ３を備えた搬送機構４によって基板２が着脱されるようになっている。
【０００８】
また、図１０に示すように、基板支持装置１の付近には、基板支持装置１の可動支持爪１３を開閉する開閉装置５が設けられる。上述した可動支持爪１３は板ばねになっており、開閉装置５は、可動支持爪１３の先端を上方に変位させて可動支持爪１３を撓ませる開閉ピン５１と、開閉ピン５１を水平方向及び垂直方向に移動させる移動機構５２とから構成されている。
【０００９】
まず、上記基板支持装置１に基板２を装着する場合について説明する。基板ピックアップ３は基板２の中央の開口２０に先端を挿入させて基板２を保持しながら、基板２を基板支持装置１の近傍まで水平に搬送する。この際、開閉装置５の開閉ピン５１は移動機構５２によって予め水平に移動して基板支持装置１の可動支持爪１３の下方に進入し、さらに所定距離上方に移動して図９に点線で示すように可動支持爪１３を撓ませて可動支持爪１３が開いた状態にしている。
【００１０】
基板ピックアップ３は、基板支持装置１のベース板１１の位置まで基板２を移動させ、可動支持爪１３と固定支持爪１２との間の位置に基板２を位置させる。そして、搬送機構４が基板ピックアップ３を少し下降させ、基板２が固定支持爪１２の上に載って支持されるようにする。
【００１１】
次に、開閉装置５の移動機構５２が開閉ピン５１を所定距離下降させ、可動支持爪１３の撓みを解消させて可動支持爪１３がほぼ水平な姿勢になるようにする。この結果、可動支持爪１３の先端部分が基板２の上縁に当接し、基板２を上から抑える状態となる。その後、基板ピックアップ３は後退し、別の基板２の保持等のため、搬送機構４によって所定の位置まで送られる。また、開閉ピン５１も後退して所定の退避位置に退避する。
【００１２】
基板２を基板支持装置１から取り外す場合は上記の手順と逆であり、まず開閉装置５の移動機構５２が開閉ピン５１を水平移動させて可動支持爪１３の下方に進入させ、所定距離上昇させて可動支持爪１３を撓ませる。そして、搬送機構４が基板ピックアップ３を駆動し、基板ピックアップ３の先端を基板２の中央の開口２０に挿入させる。この状態で基板ピックアップ３が少し上昇して基板２を保持して持ち上げ、基板ピックアップ３が後退して基板２を基板支持装置１から引き抜くことで取り外しが完了する。
【００１３】
上述したような基板支持装置１は、基板２の表面に所定の薄膜を作成する薄膜作成装置に採用されることが多い。図１１は、図９及び図１０に示す基板支持装置を採用した薄膜作成装置の例の概略構成を示す正面図である。
図９に示す薄膜作成装置は、基板着脱チャンバー６１と成膜チャンバー６２とを隣接して配置した構造である。成膜される基板２は基板着脱チャンバー６１で基板支持装置１に装着され、基板支持装置１ごと成膜チャンバー６２に送られる。そして、成膜チャンバー６２で成膜を行った後、再び基板着脱チャンバー６１に戻され、基板支持装置１から取り外される。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成に係る従来の基板支持装置は、基板の着脱動作を短時間に行うことが求められている。例えば、基板支持装置が上述した薄膜作成装置に採用される場合、その薄膜作成装置の生産性は、基板の着脱に要する時間によって大きく左右される。
即ち、基板支持装置への装着、成膜処理、基板支持装置からの取り外しという一連の動作を行う一回の成膜処理において、基板の装着及び取り外しに要する時間を着脱タクトと呼び、成膜処理に要する時間を成膜タクトと呼ぶが、一回に成膜処理する基板の枚数を増やすことを考慮しない場合、薄膜作成装置の生産性は、着脱タクトと成膜タクトのうちのどちらか長い方のタクトにより決まる。
【００１５】
ハードディスク等の情報記録ディスクの製作では基板に作成される薄膜は薄くなる傾向にあり、成膜タクトは短くなってきている。従って、薄膜作成装置の生産性は着脱タクトによって決まる傾向があり、着脱タクトを短くすることが生産性向上のポイントになってきている。
【００１６】
ここで、上述したように、従来の基板支持装置では、固定支持爪１２への基板載置動作とは別に可動支持爪１３の開閉動作が必要になっている。即ち、固定支持爪１２への基板載置動作に先立って予め可動支持爪１３を開いて基板載置完了後に閉じる動作や、固定支持爪１２からの基板の持ち上げに先立って予め可動支持爪１３を開いて基板引き抜き後に閉じる動作が必要である。従って、このような可動支持爪１３の開閉動作のため、従来の基板支持装置では、着脱タクトが短くできない欠点がある。
【００１７】
着脱タクトを短くする構成としては、上記可動支持爪１３を用いずに固定支持爪１２による支持のみとする構成が考えられる。しかしながら、可動支持爪１３を用いないと、基板２は固定支持爪１２の上に載っているだけなので、基板２の保持が不十分となり、僅かな振動等によって基板２が倒れたり落下したりしてしまう。
【００１８】
これを避けるためには、固定支持爪１２の先端部分の凹部を深くして固定支持爪１２が基板２の下縁を保持するよう構成すればよいが、これにも問題がある。即ち、ハードディスク等の情報記録ディスクの製作では、記録容量を多くするため、基板２の表面のより広い領域に成膜することが要請されている。しかしながら、上記のように固定支持爪１２の先端部分の凹部が深くなると、基板２の周縁の部分がこの凹部によって遮蔽された状態となるため、この部分への成膜が不十分となってしまう。
【００１９】
本願発明は、かかる課題を解決するためになされたものである。即ち、基板の着脱が短時間に終了し、かつ、処理領域も広く取れるようにすることを本願発明は目的としている。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本願の請求項１記載の発明は、基板を垂直に支持する基板支持装置に基板を装着し、基板支持装置から基板を取り外す基板着脱装置であって、
基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、ベース板と、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
各支持爪は、一端がベース板に取り付けられ、先端が基板の周縁に接触して基板を垂直に支持するものとなっており、
これらの複数の支持爪の一部は基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、残りの支持爪は、基板の着脱の際には移動しない固定支持爪であり、
可動支持爪は、ベース板に連結されたアームに一端が固定され、アームを介してベース板に取り付けられており、
アームは、基板の周縁が固定支持爪に接触した際、可動支持爪の先端が基板の周縁の他の位置で接触するようにする第一の位置と、可動支持爪が基板の周縁から離間するようにする第二の位置との間で可動であり、
前記爪開閉部材は、基板の着脱時に前記基板支持装置のアームを所定部位で押圧することで前記可動支持爪を開閉するものであり、
前記爪開閉部材は、基板の装着時には、基板を支持した前記基板ピックアップの支持部材が垂直方向の第一の向きに移動して基板の周縁を固定支持爪の先端に当接させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧してアームを前記第一の位置とするものであり、基板の取り外し時には、前記基板ピックアップの支持部材が第一の向きとは逆の向きに移動して基板を支持する状態となって基板を固定支持爪から離間させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧してアームを前記第二の位置とするものである。
また、上記課題を解決するため、請求項２記載の発明は、基板を垂直に支持する基板支持装置に基板を装着し、基板支持装置から基板を取り外す基板着脱装置であって、
基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、ベース板と、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
各支持爪は、後端がベース板に取り付けられ、先端が基板の周縁に接触して基板を垂直に支持するものとなっており、
これらの複数の支持爪の全部は、基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、
各可動支持爪は、ベース板に連結されたアームに一端が固定され、アームを介してベース板に取り付けられており、
アームは、各支持爪が基板の周縁に接触する第一の位置と、可動支持爪が基板の周縁から離間する第二の位置との間で可動となっており、
前記爪開閉部材は、基板の着脱時に前記基板支持装置のアームを所定部位で押圧することで前記可動支持爪を開閉するものであり、
前記爪開閉部材は、基板の装着時には、基板を支持した前記基板ピックアップの支持部材が垂直方向の第一の向きに移動した後に所定位置で停止して基板を所定の支持位置に位置させる際、支持部材と一体に移動してアームを押圧して各可動支持爪の先端を基板の周縁に接触させるものであり、基板の取り外し時には、前記基板ピックアップの支持部材が第一の向きとは逆の向きに移動して基板を支持する状態となって基板を支持位置から上昇又は下降させる際に支持部材と一体に移動してアームを押圧して各可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させるものである。
また、上記課題を解決するため、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の基板着脱装置によって基板が装着され、基板が取り外される前記基板支持装置である。
また、上記課題を解決するため、請求項４記載の発明は、請求項３の基板支持装置であって、前記可動支持爪は、基板から離れるのが弾性部材によって抑制された状態で基板の周縁に当接するよう設けられている。
また、上記課題を解決するため、請求項５記載の発明は、基板を垂直に支持する基板支持装置に対して基板着脱装置により基板を装着し、基板着脱装置により基板支持装置から基板を取り外す基板着脱方法であって、
基板着脱装置は基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
これらの複数の支持爪の一部は基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、残りの支持爪は、基板の着脱の際には移動しない固定支持爪であり、
基板の装着時には、基板を支持した基板ピックアップの支持部材を垂直方向の第一の向きに移動させて基板の周縁を固定支持爪に当接させた後に支持部材が基板を支持しない状態とする際、支持部材と一体に移動する前記爪開閉部材のその一体の移動により可動支持爪を移動させて可動支持爪の先端を基板の周縁に当接させ、
基板の取り外し時には、基板ピックアップの支持部材を第一の向きとは逆の向きに移動させて基板を支持しない状態から基板を支持する状態として基板の周縁を固定支持爪から離間させる際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により可動支持爪を駆動して可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させる方法である。
また、上記課題を解決するため、請求項６記載の発明は、基板を垂直に支持する基板支持装置に基板着脱装置により基板を装着し、基板着脱装置により基板支持装置から基板を取り外す基板着脱方法であって、
基板着脱装置は基板ピックアップを備えており、
基板ピックアップは、基板に接触して基板を支持する支持部材と、支持部材に連結され支持部材と一体に移動する爪開閉部材を備えており、
基板支持装置は、基板を垂直に支持する複数の支持爪とを備えており、
支持爪の全部は、基板の着脱の際に移動する可動支持爪であり、
基板の装着時には、基板を支持した基板ピックアップの支持部材を垂直方向の第一の向きに移動させて基板を支持しない状態となる際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により各可動支持爪を移動させて各可動支持爪の先端が基板の周縁に当接して基板を支持した状態とし、
基板の取り外し時には、基板ピックアップの支持部材を基板を支持しない状態から第一の向きとは逆の向きに移動させて基板を支持した状態とする際、支持部材と一体に移動する爪開閉部材のその一体の移動により各可動支持爪を移動させて可動支持爪の先端を基板の周縁から離間させる方法である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態について説明する。
図１は、本願発明の第一の実施形態の基板支持装置の概略構成を示す正面図、図２は図１に示す基板支持装置のアームの構成を示す平面図である。図３は図１の基板支持装置及びこの基板支持装置に使用される第一の実施形態の基板着脱装置の斜視概略図である。
【００２２】
図１及び図３に示す基板支持装置は、中央に開口２０を有する基板２に所定の処理を施すために当該基板２を垂直に支持するよう構成されている。基板２は、具体的には、例えば３．５インチサイズのハードディスク用の基板であり、直径は例えば９５ｍｍ、中央の開口２０の大きさは例えば直径２５ｍｍ程度である。尚、２．５インチサイズのハードディスク用基板の場合、基板直径６５ｍｍ、開口の直径２０ｍｍ程度である。
【００２３】
この基板支持装置は、垂直な姿勢のベース板１１と、基板２の周縁に当接して基板２を垂直に支持するようベース板１１に設けられた複数の固定支持爪１２及び可動支持爪１３とから主に構成されている。
ベース板１１は、方形の板に図１に示すようなほぼ「Ｕ」の字状の切り欠きを設けたような形状の部材である。そして、「Ｕ」の字の切り欠きの最下点を通る垂直な線（以下、同様に中心軸線１０）に対して線対称となる位置関係で、同一垂直面上に四つの固定支持爪１２が配置されている。
【００２４】
各々の固定支持爪１２は、短い帯板状の部材を曲げてＬ字状にしたような形状の部材であり、ベース板１１の切り欠き部分に設けられた段差に係止させるようにして各固定支持爪１２が配置され、ネジ止め等の方法によってベース板１１に対して固定されている。
そして、各固定支持爪１２の先端は、曲線部の曲率の中心点に向かっており、その先端を結んだ円周の大きさは、基板２の周縁にほぼ等しくなっている。また、固定支持爪１２の先端部分は、図８に示すのと同様にＶ字状の凹部が形成されている。
【００２５】
一方、可動支持爪１３は、ベース板１１の上端部分で開閉されるアーム１４に固定されている。アーム１４は、一端がベース板１１の上端部分に軸支されている。ベース板１１の上端部分の片側には、アーム１４の一端を軸支するための凹部が形成されている。アーム１４の一端はこの凹部内に配置されており、図２に示すように、ベース板１１とアーム１４の一端とを貫通させて設けた軸支ピン１４０によってアーム１４の一端が軸支されている。これによって、アーム１４は軸支ピン１４０の回りに所定角度回転可能になっている。
アーム１４は、図１に示すように、ベース板１１の「Ｕ」の字状の切り欠きを上端部分で塞ぐ長さよりも少し短い程度の長さである。そして、アーム１４の長さの中央より少し先端よりの位置に可動支持爪１３が固定されている。
【００２６】
可動支持爪１３は、固定支持爪１２と同様に、短い帯板状の部材を曲げてＬ字状にしたような形状の部材であり、先端を下方に向けた姿勢になっている。この可動支持爪１３の先端部分も固定支持爪１２と同様にＶ字状の凹部が形成されている。
また、アーム１４の先端部分には、図１に示すように下方に突出させて設けた突出部１４１が形成されている。この突出部１４１には、支持する基板２の厚さ方向に貫通させた円形の貫通穴１４２が形成されている。
【００２７】
上記アーム１４の先端部分の上面には、コイルスプリング１５の一端１５１が係止されている。このコイルスプリング１５の他端１５２は、ベース板１１に係止されている。より詳しくは、コイルスプリング１５の他端１５２は、アーム１４の一端を軸支したベース板１１の上端部分とはＵ字状の切り欠きを挟んで反対側の上端部分に係止されている。尚、軸支ピン１４０の部分を支点としてアーム１４が回転した際、コイルスプリング１５は、他端１５１を支点にして所定角度範囲で回転する。
【００２８】
上記コイルスプリング１５の作用について、図１を使用して説明する。
アーム１４の先端に設けられたコイルスプリング１５は、図１に実線で示すように、固定支持爪１２に基板２が載置されて支持された際に、固定支持爪１２が基板２から離れるのが抑制された状態で基板２の周縁に当接するようにするためのものである。
【００２９】
即ち、基板２が何らかの弾みで固定支持爪１２から跳ね上がろうとすると、基板２は可動支持爪１３を押してアーム１４を上方に（反時計回りに）向けて回転させるようにする。しかしながら、アーム１４がこの向きに回転すると、コイルスプリング１５は、アーム１４の先端に固定されたコイルスプリング１５の一端１５１とベース板１１に固定された他端１５２との間隔が狭まりながら他端１５２を中心にして上方に（反時計回りに）回転する。
【００３０】
コイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２との間隔が狭まると、コイルスプリング１５の弾性力はそれに逆らうように作用するから、アーム１４の上方への回転を抑えるよう作用する。このため、基板２が固定支持爪１２から跳ね上がるのが抑えられる。
しかしながら、アーム１４が上方にさらに回転して、ある位置を越えてしまうと、今度はコイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２が遠ざかる動きになり、コイルスプリング１５の弾性力は、アーム１４を上方に弾き出すように作用する。
【００３１】
このコイルスプリング１５の作用が変化する臨界点は、コイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２との距離が最も接近した地点である。この地点は、アーム１４の回転中心（軸支ピン１４０）とコイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２とが一直線上になる状態であり、デッドポイントと呼ばれる。
デッドポイントを越えてアーム１４が反時計回りに回転すると、コイルスプリング１５の弾性力は、アーム１４を下方に抑える向きから上々に弾き出す向きに変化する。但し、現実のデッドポイントは、アーム１４の自重や軸支ピン１４０の部分での摩擦等から上記地点から僅かに下方の地点になる。
【００３２】
尚、基板２が固定支持爪１２に支持されその上に可動支持爪１３が載っている状態では、コイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２との間隔は、自由状態（外から力が加わらない状態）の間隔よりも少し狭い間隔になっている。即ち、基板２が装着された状態では、コイルスプリング１５の弾性力は基板２を下方に僅かに抑えるよう作用する。但し、基板２が装着された状態でコイルスプリング１５の一端１５１と他端１５２の間隔が丁度自由状態の間隔になるよう構成してもよい。
【００３３】
また、ベース板１１の右上端部分には、図１に示すような形状のストッパ１６が固定されている。ストッパ１６は、アーム１４が軸支ピン１４０の回りに反時計回りに回転する際、水平な姿勢よりも上に回転しないようにするためのものである。上述の通り、デッドポイントを越えてアーム１４が回転すると、アーム１４はコイルスプリング１５によって上方への回転が付勢されるが、その後アーム１４はストッパ１６に当たり、水平な姿勢より上には回転しないようになっている。
【００３４】
次に、上記基板支持装置に基板を着脱する本実施形態の基板着脱装置の構成について図３を使用して説明する。本実施形態の基板着脱装置は、基板２の中央の開口２０に挿入されて当該基板２を保持する基板ピックアップ３と、基板ピックアップ３に一体に設けられた開閉棒７と、基板ピックアップ３を水平及び垂直に移動させる搬送機構４とを備えている。
【００３５】
基板ピックアップ３は、側方から見たときにＬ字状であるピックアップ本体３１と、ピックアップ本体３１の水平部の先端に設けた支持板３２と、ピックアップ本体３１の上端に固定されて側方に延びる取付ロッド３３と、ピックアップ本体３１と搬送機構４とを連結する駆動ロッド３４とから主に構成されている。
【００３６】
支持板３２は、基板２の中央の開口２０に挿入されて直接基板２を支持する部材である。支持板３２は、ピックアップ本体３１の水平部の先端から垂直上方に立てて設けられ、その先端縁は円弧状の形状になっている。その先端縁の円弧の曲率は、基板２の中央の開口２０の曲率にほぼ等しくなっている。また、その先端縁は、断面Ｖ字状の溝が形成されており、この溝に基板２の開口２０の縁を落とし込んだ状態で基板２を支持するようになっている。
【００３７】
開閉棒７は、取付ロッド３３の先端から前方に向けて延びるよう取付ロッド３３に固定されている。この開閉棒７は、図１及び図３に示すように、基板支持装置のアーム１４を開閉する際にアーム１４の先端の突出部１４１の貫通穴１４２に挿通される位置関係で配置されている。
【００３８】
上記基板ピックアップ３を水平方向及び垂直方向に移動させる搬送機構４は、駆動ロッド３４を先端に連結した搬送ロボットによって構成されている。搬送ロボットは、少なくとも、基板支持装置のベース板１１の板面に直角な水平方向（以下、Ｘ方向）及び垂直方向に直線運動可能に構成される。また、必要に応じてこれ以外の方向の直線運動や垂直な回転軸の回りの回転運動等を行うように構成される。
【００３９】
次に、上記構成に係る本実施形態の基板支持装置及び基板着脱装置の動作について説明する。以下の説明は、基板着脱方法の発明の実施形態の説明でもある。
まず、基板支持装置１に基板を装着する場合について説明する。
基板２は、最初は基板支持装置１から所定距離離れた待機位置に位置している。基板２は、この待機位置で、中央の開口２０の縁が基板ピックアップ３の支持板３２の先端縁に落とし込まれた状態で基板ピックアップ３によって垂直な姿勢で保持されている。尚、基板２の板面はベース板１１に平行である。また、この待機位置の高さは、基板支持装置１に正しく装着された際の高さよりも少し高い位置に設定されている。また、基板支持装置１のアーム１４は、図１に点線で示す位置、即ちストッパに当接した水平な姿勢の位置に位置している。
【００４０】
この状態で搬送機構４が基板ピックアップ３をＸ方向に移動させ、基板２を基板支持装置１に向けて搬送する。そして、基板２が基板支持装置１のベース板１１の切り欠き内の位置（以下、停止位置）まで搬送されると、基板ピックアップ３の移動が停止される。尚、この停止位置では、基板２の中心はベース板１１の中心軸線１０上に位置する。
【００４１】
上記のように基板ピックアップ３によって基板２がＸ方向に搬送されて停止位置まで移動する際、基板ピックアップ３に一体に設けられた開閉棒７は基板ピックアップ３と一体にＸ方向に移動し、アーム１４の先端の突出部１４１に設けられた貫通穴１４２に挿入される。
【００４２】
この状態で、搬送機構４は基板ピックアップ３を所定距離下方に移動させる。これによって、基板２の下縁が固定支持爪１２の上に載って基板が固定支持爪１２に支持される。基板２が固定支持爪１２に載った後も基板ピックアップ３は少し下降を続け、支持板３２全体が基板２の開口２０の中央に位置した状態で停止する。
【００４３】
この基板ピックアップ３の下降の際、開閉棒７も基板ピックアップ３と一体に下降する。開閉棒７はアーム１４の先端の突出部１４１の貫通穴１４２にされているので、開閉棒７の下降によってアーム１４は下方に（時計回りに）回転する。この際、アーム１４がデッドポイントを越える前は、開閉棒７はコイルスプリング１５の弾性力に逆らってアーム１４を回転させる。
【００４４】
アーム１４がデッドポイントを越えると、アーム１４はコイルスプリング１５の弾性力によって付勢されて回転し、アーム１４に設けた可動支持爪１３が基板２の上の縁に当接することで回転が停止する。その後、基板ピックアップ３は、Ｘ方向に基板支持装置１から遠ざかる向きに移動し、当初の待機位置に戻る。これによって基板支持装置１への基板２の装着が完了する。
【００４５】
次に、基板支持装置１から基板２を取り外す場合について説明する。
まず、基板ピックアップ３が搬送機構４によって搬送され、Ｘ方向を基板支持装置１に向けて移動する。この際の搬送ラインの高さは、基板ピックアップ３の支持板３２の高さが基板支持装置１に支持されている基板２の中央の開口２０の高さに等しくなるような高さとされる。
【００４６】
基板ピックアップ３が基板支持装置１に達し、支持板３２が基板２の中央の開口２０内に位置すると、基板ピックアップ３は移動を停止する。この際、開閉棒７も基板ピックアップ３と一体に移動してアーム１４の先端の突出部１４１の貫通穴１４２に挿通される。
【００４７】
次に、搬送機構４によって基板ピックアップ３が垂直上方に向けて所定距離移動する。この結果、支持板３２の先端縁が基板２の開口２０の縁に当接して基板ピックアップ３が基板２を支持した状態となる。さらに基板ピックアップ３は上昇し、基板２の装着の際の停止位置と同じ位置に達すると停止する。
【００４８】
この基板ピックアップ３の上昇に連動して開閉棒７も上昇するので、開閉棒７はアーム１４を持ち上げて反時計回りに回転させる。この際、当初はコイルスプリング１５の弾性力に逆らって開閉棒７はアーム１４を回転させるが、アーム１４が前記デッドポイントを越えると、アーム１４はコイルスプリング１５の弾性力によって付勢されて回転し、ストッパ１６に当たって回転が停止する。尚、アーム１４がストッパ１６に当たって停止した際、可動支持爪１３は基板２の上縁から離間して少し上方に位置する。
そして、搬送機構４が基板ピックアップ３をＸ方向に基板支持装置１から離れる向きに移動させ、前記待機位置まで搬送する。これによって、基板２の取り外し動作が完了する。
【００４９】
上記説明から明らかな通り、本実施形態の基板支持装置及び基板着脱装置によれば、基板ピックアップ３の垂直方向の移動に連動して開閉棒７が可動支持爪１３を移動させ、基板２の上縁に当接させたり離間させたりするようになっている。このため、可動支持爪１３の移動を別に行う従来の装置に比べ、基板２の装着動作に要する時間が短くなっている。
また、可動支持爪１３が基板２の上縁を抑えるので、基板２の支持が安定し、固定支持爪１２や可動支持爪１３の先端部分の凹部の深さを深くする必要もない。このため、基板２の周縁まで処理領域を広く取ることができる。
【００５０】
次に、本願発明の第二の実施形態の基板支持装置及びこの基板支持装置に使用される第二の実施形態の基板着脱装置について説明する。図４は、第二の基板支持装置の概略構成を示す正面図、図５は図４の基板支持装置及び第二の実施形態の基板着脱装置の斜視概略図である。
【００５１】
まず、図４に示す基板支持装置は、方形な枠状のベース板１１と、このベース板１１に設けられる左右一対のアーム１４と、アーム１４に固定された左右二つずつ計四つの可動支持爪１３と、各アーム１４に弾性力を作用させる一対のコイルスプリング１５とから主に構成されている。
方形な枠状のベース板１１は、板面を垂直にして立てて設けられている。左右一対のアーム１４は、ベース板１１の中心を通る垂直な線（以下、中心軸線１０）を挟んで左右対称な配置になっている。
【００５２】
各々のアーム１４は、下端がベース板１１の下辺部に軸支されて上方に延びる直線部１４３と、この直線部１４３の上端に設けられた屈曲部１４４とからなる形状である。ベース板１１の下辺部の上面には半円状の溝が形成されており、直線部１４３の下端はこの溝の嵌め込まれている。そして、直線部１４３の下端と溝の両側のベース板１１の肉厚の部分に貫通させるようにして軸支ピン１４０が設けられており、アーム１４は、この軸支ピン１４０を中心として所定角度回転するようになっている。
【００５３】
左右二つずつの可動支持爪１３は、互いに向かい合うようにして直線部１４３に固定されている。一つの側の二つの可動支持爪１３は、長い帯板状の部材の両端を図４に示すように折り曲げることで形成され、中腹部を直線部１４３にネジ止めすることにより固定されている。
そして、図４に示すように、四つの可動支持爪１３によって基板２は左右両側から支持されるようになっている。一つの側の二つの可動支持爪１３は、基板２の中心の高さの位置を挟んで上下に設けられるとともに、左右の可動支持爪１３は基板２の中心を通る中心軸線１０に対して線対称状に配置されている。
【００５４】
尚、四つの可動支持爪１３は、いずれも先端が基板２の中心点に向かう形状であり、それらの先端は基板２の周縁に相当する円周上に位置している。また、各々の可動支持爪１３の先端部分には第一の実施形態と同様のＶ字状の凹部が形成され、このＶ字状の凹部に基板２の周縁が嵌め込まれるようになっている。
【００５５】
左右の屈曲部１４４も、図４に示すように、中心軸線１０に対して左右対称状の形状になっている。各々の屈曲部１４４は、正面から見ると図４に示すような形状の板材である。各屈曲部１４４の輪郭は、基板装着時に基板着脱装置の外側開閉棒７１が当接する外側テーパー部１４５と、基板取り外し時に基板着脱装置の内側開閉棒７２が当接する内側テーパー部１４６とを有している。内側テーパー部１４６も外側テーパー部１４５も中心軸線１０に向けて斜め上方に傾斜している。
【００５６】
また、屈曲部１４４の上端には、コイルスプリング１５の一端１５１が固定されている。このコイルスプリング１５の他端１５２は、ベース板１１の上辺部に固定されている。アーム１４は、外側開閉棒７１及び内側開閉棒７２によって開閉されるが、この際、コイルスプリング１５は他端１５２を中心にして所定角度回転するようになっている。
【００５７】
このコイルスプリング１５も第一実施形態の場合と同様であり、アーム１４の回転位置の如何によって、基板２に近づく向きにアーム１４を付勢したり、基板２から遠ざかる向きにアーム１４を付勢したりするようになっている。
具体的には、この実施形態におけるコイルスプリング１５のデッドポイントも、コイルスプリントの一端１５１、他端１５２、及び、アーム１４を支える軸支ピン１４０の三点が一直線上に並ぶ地点である。この地点から内側にアーム１４が位置していると、コイルスプリング１５はアーム１４が内側に向けて回転するよう弾性力を作用させ、デッドポイントよりも外側にある場合、コイルスプリング１５はアーム１４が外側に向けて回転するよう弾性力を作用させるようになっている。
【００５８】
尚、デッドポイントより外側にアーム１４が位置すると、アーム１４がコイルスプリング１５によって外側に向けて弾き出されるが、アーム１４は図４に点線で示すようにベース板１１の側辺部に当接し、それ以上外側には開かないようになっている。
【００５９】
次に、図５に示す第二実施形態の基板着脱装置の構成について説明する。この第二実施形態の基板着脱装置も、第一実施形態と同様であり、基板２の中央の開口２０に挿入されて当該基板２を保持する基板ピックアップ３と、基板ピックアップ３に一体に設けられた開閉棒７１，７２と、基板ピックアップ３を水平及び垂直に移動させる搬送機構４とを備えている。
【００６０】
また、基板ピックアップ３は、側面から見たときにＬ字状であるピックアップ本体３１と、ピックアップ本体３１の水平部の先端に設けた支持板３２と、ピックアップ本体３１の上端に固定されて両側方に延びる一対の取付ロッド３３と、ピックアップ本体３１と搬送機構４とを連結する駆動ロッド３４とから主に構成されている。
【００６１】
この第二実施形態では、一対の取付ロッド３３に各々の二本計四本の開閉棒７１，７２が固定されている。各開閉棒７１，７２は、取付ロッド３３からＸ方向に延びている。そして、中心軸線１０に対して外側に位置するのが一対の外側開閉棒７１であり、内側に位置するのが一対の内側開閉棒７２である。
【００６２】
次に、上記構成に係る第二実施形態の基板支持装置及び第二実施形態の基板着脱装置の動作について説明する。以下の説明も、基板着脱方法の実施形態の説明でもある。
まず、基板支持装置に基板２を装着する場合について説明する。基板ピックアップ３は、前記実施形態と同様に支持板３２の先端縁で基板２を支持した状態で待機位置で待機している。待機位置及び待機位置で基板２の姿勢については、第一実施形態と同様である。尚、基板支持装置のアーム１４の位置は、図４に点線で示す位置であり、デッドポイントより外側であってベース板１１の側辺部に当接した状態になっている。
【００６３】
搬送機構４が基板ピックアップ３をＸ方向に搬送し、基板２がベース板１１内に達すると基板２は停止する。この際、基板２の中心はベース板１１の中心軸線１０上に位置する。また、基板ピックアップ３と一体に開閉棒７１，７２も移動し、先端がベース板１１内に達する。この際の各開閉棒７１，７２の位置は、図４に点線で示す位置であり、外側開閉棒７１が外側テーパー部１４５の上端付近に位置し、内側開閉棒７２が内側テーパー部１４６の上端から少し離れた位置に位置する。
【００６４】
この状態で、搬送機構４が基板ピックアップ３を所定距離下方に移動させる。これに伴い基板２は下降するが、この際、外側開閉棒７１の作用により左右一対のアーム１４が閉じるよう回転する。
即ち、基板ピックアップ３が下降すると、連動して外側開閉棒７１も下降する。下降する外側開閉棒７１は、外側テーパー部１４５に当接して屈曲部１４４を下方に押し下げるよう力を作用させる。この際、外側開閉棒７１は外側テーパー部１４５を滑りながら下降するので、アーム１４は内側に向けて回転することになる。尚、アーム１４がデッドポイントに達するまでは、外側開閉棒７１はコイルスプリング１５の弾性力に逆らってアーム１４を回転させる。
【００６５】
そして、アーム１４が外側開閉棒７１の下降によってデッドポイントを越えて回転すると、コイルスプリング１５の弾性力はアーム１４を内側に向けて付勢するよう作用する。そして、下降してきた基板２の周縁にアーム１４の可動支持爪１３が当接すると、アーム１４の回転は停止する。これによって、図４に実線で示すように、四つの可動支持爪１３によって基板２が支持された状態となり、基板支持装置１への基板２の装着が完了する。
【００６６】
次に、基板支持装置１から基板２を取り外す場合について説明する。
まず、基板ピックアップ３は、支持板３２が基板支持装置１内の基板２の開口２０の高さの位置になる状態で、基板支持装置１から離れた位置で待機している。この状態で搬送機構４が基板ピックアップ３をＸ方向に基板支持装置１に向けて搬送させる。そして、基板ピックアップ３の支持板３２が基板２の開口２０内に達すると、基板ピックアップ３は移動を停止する。
【００６７】
この際、基板ピックアップ３と一体に設けられている四つの開閉棒７１，７２の先端はベース板１１内に達する。この際の四つの開閉棒７１，７２の位置は、図４に実線で示す位置であり、外側開閉棒７１が外側テーパー部１４５の下端から少し離れた位置に位置し、内側開閉棒７２が内側テーパー部１４６の上端付近に位置する。
【００６８】
この状態で、搬送機構４が基板ピックアップ３を所定距離上方に移動させる。これによって、支持板３２の上端縁が基板２の開口２０の縁に当接して基板２を支持し、その状態で少し基板２を持ち上げる。
【００６９】
そして、この基板ピックアップ３の上昇に連動して四つの開閉棒７１，７２も上昇する。この際、内側開閉棒７２は、屈曲部１４４の内側テーパー部１４６に当接して内側テーパー部１４６に沿って滑りながら上昇する。この上昇に伴って、アーム１４が外側に向けて（反時計回りに）回転する。最初はコイルスプリング１５の弾性力に逆らってアーム１４は回転するが、デッドポイントを越えると、逆にコイルスプリング１５の弾性力によって付勢されて外側に向けて回転する。そして、ベース板１１の側辺部に当接するとアーム１４の回転が停止する。
【００７０】
このようにして、基板ピックアップ３による基板２の持ち上げに連動してアーム１４が開き、基板２はベース板１１から抜き取り可能となる。その後、搬送機構４は、基板ピックアップ３をＸ方向に基板支持装置１から遠ざかる向きに移動させ、所定位置まで搬送すると基板支持装置１からの基板２の取り外しが完了する。
【００７１】
上述した構成及び作用の第二実施形態においても、基板ピックアップ３の垂直方向の移動に連動して、可動支持爪１３が基板２の周縁に当接したり基板２の周縁から離れるよう移動するので、基板２の着脱に要する時間が従来に比べ短くなっている。そして、基板２が装着された状態では、コイルスプリング１５の弾性力によって四つの可動支持爪１３が基板の周縁に押し付けられるので、基板２の支持も安定化し、可動支持爪１３の先端の凹部を深くする必要がない。
【００７２】
次に、本願発明の第三及び第四の実施形態の基板着脱装置について説明する。図６は第三実施形態の基板着脱装置の構成を示す斜視概略図、図７は第四実施形態の基板支持装置の構成を示す斜視概略図である。
この第三及び第四の実施形態の基板着脱装置は、基板ピックアップ３の構成が前述した第一の実施形態のものと異なっている。即ち、第三及び第四の実施形態では、基板ピックアップ３が基板２の下縁を支持しながら基板２全体を保持するよう構成されている。
【００７３】
まず、第三の実施形態では、図６に示すように基板ピックアップ３の支持板３２が基板２の下縁を支持するようになっている。支持板３２の先端縁は、基板２の周縁の円弧の曲率に等しい凹部が形成されている。
【００７４】
支持板３２の先端縁の板厚方向には、断面Ｖ字状の溝が形成されており、この溝に基板２の下縁が落とし込まれた状態で支持されるようになっている。この断面Ｖ字状の溝は、前述した固定支持爪１２の先端縁の凹部に比べて深くすることが可能である。というのは、基板２の処理の際には基板ピックアップ３は基板２から取り外されるので、支持板３２の先端縁の溝を深くしても基板２の処理には支障がないからである。尚、支持板３２の先端縁の溝を深くすることで、基板２の保持動作はより安定化する。
【００７５】
また、基板２を傷つけないように、支持板３２は基板２の材質よりも柔らかい材質例えばテフロンやポリイミド等の樹脂で製作されると好適である。尚、この実施形態の基板着脱装置を第一の実施形態の基板支持装置に使用する場合、支持板３２は固定支持爪１２にぶつからないようにする必要がある。具体的には、図１に示す四つの固定支持爪１２のうち中心軸線１０よりの二つの固定支持爪１２の間に位置するような構成にする。
【００７６】
この第三実施形態の基板着脱装置を使用する場合、基板２は中央に開口を有するものでなくともよい。例えば、半導体ウエハのような基板を着脱する装置としても使用できる。
【００７７】
次に、図７に示す第四の実施形態では、基板ピックアップ３は基板２の中央の開口の縁を支持する第一の支持板３２１と、基板２の下縁を支持する第二の支持板３２２とを有している。第一の支持板３２１は、第一の実施形態における支持板３２と同様のものであり、第二の支持板３２２は第三の実施形態における支持板３２と同様のものである。この第四の実施形態では、基板２を二カ所で支持するので基板２の保持が安定化する。
【００７８】
図８は、支持爪の先端部分の形状の他の例の構成について説明する斜視図である。前述した各実施形態の基板支持装置では、基板ピックアップ３の支持板３２の先端部分はＶ字状に形成されていたが、これ以外の構成も可能である。即ち、図８（ａ）で示すように先端部分が平坦なものや、（ｂ）に示すように先端部分が丸く円弧状に形成されたものでもよい。
【００７９】
上記各実施形態では、可動支持爪１３がコイルスプリング１５によって付勢されてので、このような形状の支持爪を使用しても十分安定して基板を支持することができる。このような形状の支持爪を用いると、支持爪によって基板の周縁が隠れることが無くなるので、薄膜作成等の表面処理を基板の周縁まで広い領域に行うことができる。
【００８０】
以上説明した各実施形態の構成において、可動支持爪１３は基板ピックアップ３の下降に連動して基板２の周縁に当接し、基板ピックアップ３の上昇に連動して基板２の周縁から離れるよう移動するが、逆の構成も可能である。即ち、基板ピックアップ３の上昇に連動して基板２の周縁に当接し、基板ピックアップ３の下降に連動して基板２の周縁から離れるよう移動するようにしてもよい。
【００８１】
また、弾性部材の例としてはコイルスプリング１５のみが説明されたが、これ以外の板バネやゴム材等の各種のものを使用することができる。
上述した各実施形態の基板支持装置は、図１１に示すような薄膜作成装置に採用されるが、これ以外にも、エッチング装置や表面改質装置等の処理装置に採用することが可能である。
さらに、基板２は円形であるもののみが説明されたが、液晶基板のような方形の基板であっても差し支えない。
【００８２】
【発明の効果】
以上説明した通り、本願発明の基板支持装置及び基板着脱装置並びに基板着脱方法によれば、基板ピックアップの移動に連動して支持爪が基板の周縁に当接したり基板の周縁から離れたりするので、基板の着脱動作に要する時間が短くできる。このため、装置の生産性の向上に寄与することができる。
また、請求項４の基板支持装置によれば、上記効果に加え、支持爪が基板から離れるのが弾性部材によって抑制された状態で基板の周縁に当接するので、基板の支持がさらに安定化されるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の第一の実施形態の基板支持装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】図１に示す基板支持装置のアームの構成を示す平面図である。
【図３】図１の基板支持装置及びこの基板支持装置に使用される第一の実施形態の基板着脱装置の斜視概略図である。
【図４】第二の基板支持装置の概略構成を示す正面図である。
【図５】図４に示す基板支持装置及び第二の実施形態の基板着脱装置の斜視概略図である。
【図６】第三実施形態の基板着脱装置の構成を示す斜視概略図である。
【図７】第四実施形態の基板支持装置の構成を示す斜視概略図である。
【図８】支持爪の先端部分の形状の他の例の構成について説明する斜視図である。
【図９】従来の基板支持装置の構成を示す正面概略図である。
【図１０】図９に示す基板支持装置の動作を説明する斜視概略図である。
【図１１】図９及び図１０に示す基板支持装置を採用した薄膜作成装置の例の概略構成を示す正面図である。
【符号の説明】
１  基板支持装置
１１  ベース板
１２  固定支持爪
１３  可動支持爪
１４  アーム
１５  コイルスプリング
２  基板
３  基板ピックアップ
４  搬送機構
７  開閉棒
７１  外側開閉棒
７２  内側開閉棒
【図１】
0003904647.tif 000002
【図２】
0003904647.tif 000003
【図３】
0003904647.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0003904647.tif 000007
【図７】
0003904647.tif 000008
【図８】
0003904647.tif 000009
【図９】
0003904647.tif 000010
【図１０】
0003904647.tif 000011
【図１１】
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