(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
給排気口を有するポンプユニットを仕切り板の所定の面にそれぞれ装着すると共に、共用する１つの吸引口を外側に設けた連結ケース本体と、前記各ポンプユニットを囲繞する態様で前記連結ケース本体の所定の面に一方の面を装着し、ポンプ室をそれぞれ形成する各ケース本体と、前記各ケース本体の他方の面にそれぞれ装着し、吐出口をそれぞれ設けた各蓋本体とによってハウジングを構成し、ハウジング内で分岐した吸引流路を介して、前記吸引口と前記各ポンプユニットの吸気口とをそれぞれ連通させ、前記装着した蓋本体とケース本体との間にそれぞれ設けた各吐出流路を介して、前記各蓋本体の吐出口と前記各ポンプユニットの排気口とをそれぞれ連通させ、各ポンプユニットを並列接続したことを特徴とするエアポンプ装置。
【請求項２】
前記吸引流路を、前記仕切り板の所定の面を連通する連通部と、前記吸引口と前記連通部とを連通するように前記仕切り板に穿設した細隙状の吸引流路部とから構成した請求項１に記載した二連形のエアポンプ装置。
【請求項３】
前記ポンプユニットはダイアフラム式エアポンプであって、外部の空気を第１ダイアフラム室に吸気する第１吸気口と、前記第１ダイアフラム室の空気を前記ポンプ室に排気する第１排気口と、前記ポンプ室の空気を第２ダイアフラム室に吸気する第２吸気口と、前記第２ダイアフラム室の空気を外部に排気する第２排気口とを備え、前記第１吸気口を前記吸引流路に接続すると共に、前記第２排気口を前記吐出流路に接続した請求項１または請求項２に記載した二連形のエアポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気の吸引力で被吸着物を保持する際などに使用するエアポンプ装置であって、特に同様な構成による複数のポンプユニットを一体に連結すると共に、各ポンプユニットを並列状態に接続して吸引流量を増大させたエアポンプ装置に関し、例えばクリーンルーム内における半導体ウエハの真空吸着を行う場合などに好適なエアポンプ装置である。
【０００２】
【従来の技術】
この種のエアポンプ装置としては、例えば特許文献１〜３に開示されたものなどがあり、これらのエアポンプ装置ではポンプ室内に設けたダイアフラムを電磁石と永久磁石を併用した電磁式駆動手段よって、膨張又は圧縮作動させて吸気又は排気を行っている。
【０００３】
【特許文献１】
実公昭５６−９１０３号公報
【特許文献２】
実公昭６３−４６７０４号公報
【特許文献３】
実用新案登録第２５６５６２６号公報
【０００４】
上記特許文献を含む従来のダイアフラム式エアポンプ装置は、オイルレスなので使用される周囲の環境を汚染しないこと、低振動で騒音の発生が少ないこと、構成部材の劣化が少なくて長寿命であることからメンテナンスの点で有利であることなど、他の方式によるエアポンプ装置と比較して利点があり、例えば半導体ウエハの真空吸着を行う吸引ポンプなどのように、特に環境を損なうことを嫌い且つ長期間に亘って安定した性能を維持する用途には好適である。
【０００５】
しかし、必要なポンプ能力に、可変調整では不可能な大幅な増加を伴う変更が必要になった場合に、例えばウエハの吸着を目的としたエアポンプにおいて、寸法及び重量の大きなウエハ吸着用に転用する際などには、必要なポンプ能力を充足できる能力の高い別のエアポンプに取り替えて使用したり、それまでのものと同程度の能力のエアポンプをもう１台追加し、２台の流路を外部配管で直列に連結した状態で同時に使用したりすることになる。
【０００６】
このために、前者の場合には需用者は能力の高い高価なエアポンプを新たに購入したり、それまで使用していたエアポンプが不要になったりするなどの経済的負担と損失を負うことになり、後者の場合にはポンプ本体だけではなく電源ユニットや外部配管も含めて２台分が必要であって、経済的負担と装置全体が大型化すること及び個別のものを同時に運転させる操作上の煩わしさなどがあり、これらのエアポンプを供給するメーカー側でも、ポンプ能力の異なる各種のエアポンプを個別に生産する必要があり、コストの低減や在庫管理の簡素化を図る上での支障になるなど、改善を必要とする課題があった。
【０００７】
上記したような従来技術の課題を改善し得るエアポンプ装置として、本件発明者らは先に特許文献４に開示されているエアポンプ装置の提案を行ったが、このエアポンプ装置では、同様な構成による複数のポンプユニットを一体に連結すると共に、各ポンプユニットを直列状態に接続し、これによって吸引圧力を増大させるようにしている。
【０００８】
【特許文献４】
特開２００１−３８７３号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献４のエアポンプ装置は、特許文献１〜３のエアポンプ装置における前記したような各種の課題を解決することが可能であり、特に各ポンプユニットを直列状態に接続して吸引圧力を増大させると、被吸着物に対する吸着盤の吸着保持力を高めることができるが、用途によっては未だ不十分な点があり、改善の余地が残されていた。
【００１０】
すなわち、各ポンプユニットを直列状態に接続して吸引圧力を増大しても、吸引流量は変わらないので、被吸着物に外周縁部を当接して吸着を行う吸着盤の口径が大きい場合には、吸着盤内に保有する空気量が多くて吸着保持するまでに時間を要し、吸着の応答性を改善することができず、また吸着盤の口径を小さくして吸着盤内に保有する空気量を少なくした場合には、被吸着物には局部的に大きな吸引圧力が作用するので、被吸着物にダメージを与える恐れもある。
【００１１】
特に、被吸着物が半導体ウエハの場合には、近年になって益々大口径化しているので、この大口径の半導体ウエハを安定且つ迅速に吸着保持するためには、口径の大きな吸着盤と吸引流量の大きなエアポンプ装置の使用が望ましい。そこで本発明では、これらの機能を小型で比較的安価な構成によって達成し得るエアポンプ装置の提供を主たる目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
給排気口を有するポンプユニットを仕切り板の所定の面にそれぞれ装着すると共に、共用する１つの吸引口を外側に設けた連結ケース本体と、前記各ポンプユニットを囲繞する態様で前記連結ケース本体の所定の面に一方の面を装着し、ポンプ室をそれぞれ形成する各ケース本体と、前記各ケース本体の他方の面にそれぞれ装着し、吐出口をそれぞれ設けた各蓋本体とによってハウジングを構成し、ハウジング内で分岐した吸引流路を介して、前記吸引口と前記各ポンプユニットの吸気口とをそれぞれ連通させ、前記装着した蓋本体とケース本体との間にそれぞれ設けた各吐出流路を介して、前記各蓋本体の吐出口と前記各ポンプユニットの排気口とをそれぞれ連通させ、各ポンプユニットを並列接続した。
【００１３】
このエアポンプ装置によると、一体に形成したハウジング内に収容した複数台の各ポンプユニットに対し、外部配管は勿論内部配管も用いることなく、ハウジング自体で形成した吸引流路及び吐出流路を介して、容易且つ小形化した状態で並列接続することが可能であると共に、吸引流量を増大して被吸着物に対する吸着保持を迅速且つ容易にすることができる。また、連結ケース本体の所定の面に複数のケース本体を装着すると共に、各ケース本体に各蓋本体を装着すると、並列接続されたエアポンプ装置を構成できるので、組み付け作業が簡単で且つメンテナンスも容易である。
【００１４】
（削除）
【００１５】
（削除）
【００１６】
前記エアポンプ装置に対し、吸引口から導入した空気を、連結ケース本体に設けた細隙状の吸引開口から、仕切り板に穿設した吸引流路を介して仕切り板の所定の面に連通する連通部の内部に流入させ、連通部で分岐して各ポンプユニットの吸気口でそれぞれ吸引する形態を採ることができる。
【００１７】
このエアポンプ装置によると、所定の面に各ポンプユニットを装着して各ケース本体の各ポンプ室を区分する連結ケース本体の仕切り板を利用し、分岐した吸引流路を小形化した状態で容易に形成することが可能である。
【００１８】
前記エアポンプ装置に対し、前記ポンプユニットはダイアフラム式エアポンプであって、外部の空気を第１ダイアフラム室に吸気する第１吸気口と、前記第１ダイアフラム室の空気を前記ポンプ室に排気する第１排気口と、前記ポンプ室の空気を第２ダイアフラム室に吸気する第２吸気口と、前記第２ダイアフラム室の空気を外部に排気する第２排気口とを備え、前記第１吸気口を前記吸引流路に接続すると共に、前記第２排気口を前記吐出流路に接続した形態を採ることができる。
【００１９】
このエアポンプ装置には、同様な機能を達成できる公知の各種ポンプユニットの使用が可能であるが、この実施形態のようにダイアフラム式エアポンプを使用すると、オイルレスで周囲の環境を汚染しないこと、低振動で騒音の発生が少ないこと、構成部材の劣化が少なくて長寿命であること、等の特長を生かして特に半導体ウエハの真空吸着を行う吸引ポンプには好適である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のエアポンプ装置に付いて、好適な実施形態を示す添付図面を参照して詳細に説明するが、図１及び２は本発明を適用した二連形エアポンプ装置１の分解斜視図であり、図１は上面側から見た分解斜視図を、図２は下面側から見た分解斜視図を示し、上蓋部２と、第１ケース部３と、連結ケース部４と，第２ケース部５と，下蓋部６を主要な構成要素としている。
【００２１】
上蓋部２は、浅い箱形に形成した上蓋本体７を備え、上蓋本体７の内面側に凹溝状の吐出穴８Ａと、一端が吐出穴８Ａに連通して他端が側面側に開口する吐出管８Ｂからなる吐出流路８を設け、上蓋本体７の表面側に露出する態様で電源スイッチ９を装着すると共に、板面を貫通する複数の取付け孔１０を設けている。
【００２２】
第１ケース部３は、中間に設けた仕切り板１１の外周縁部から、上蓋部２側に突出する肉薄状をした一方の外周壁１２と、連結ケース部４側に突出する肉厚状をした他方の外周壁１３を形成した第１ケース本体１４を備え、外周壁１２の内部に浅い箱形空間を形成すると共に、外周壁１３の内部に深い箱形空間を形成している。
【００２３】
第１ケース本体１４には、吐出穴８Ａに嵌合する筒状に形成した連通部１５を仕切り板１１に設け、連通部１５を介して外周壁１２側の箱形空間と外周壁１３の箱形空間を連通させると共に、連通部１５にはフィルター１６を装着し、仕切り板１１には取付け孔１０に整合する位置に、ボス状突出させた取付けねじ穴１７を設け、外周壁１２の内側に外周壁１３を貫通する取付け孔１８を設けている。
【００２４】
連結ケース部４は、詳細を後述するように、連結ケース本体１９の両側にそれぞれポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）を装着すると共に、連結ケース本体１９の側面には吸気受部３７を設けて吸引部２１を装着している。
【００２５】
第２ケース部５は、第１ケース部３の場合と同様に、中間に設けた仕切り板２２の外周縁部から、下蓋部６側に突出する肉薄状をした一方の外周壁２３と、連結ケース部４側に突出する肉厚状をした他方の外周壁２４を形成した第２ケース本体２５を備え、外周壁２３の内部に浅い箱形空間を形成すると共に、外周壁１３の内部に深い箱形空間を形成している。
【００２６】
第２ケース本体２５には、筒状に形成した連通部２６を仕切り板２２に設け、連通部２６を介して外周壁２３側の箱形空間と外周壁２４の箱形空間を連通させると共に、連通部２６にはフィルター（図示を省略）を装着し、仕切り板２２にはボス状突出させた取付けねじ穴２７を設け、外周壁２３の内側に外周壁２４を貫通する取付け孔２８を設けている。
【００２７】
下蓋部６は、略平板状に形成した下蓋本体２９を備え、下蓋本体２９内面側に連通筒２６が嵌合する凹溝状の吐出穴３０Ａと、一端が吐出穴３０Ａに連通して他端が下蓋本体２９の側面側に開口する吐出管３０Ｂからなる吐出流路３０を設け、下蓋本体２９の表面側にゴム等の弾性部材で形成した脚部３１を装着すると共に、板面を貫通する複数の取付け孔３２を設けている。
【００２８】
連結ケース部４は、図３〜５で示すように、中間に設けた仕切り板３３の外周縁部から、第１ケース部３側及び第２ケース部５に突出する肉薄状をした外周壁３４で連結ケース本体１９を形成し、仕切り板３３の一方の面及び他方の面には、ポンプ本体３５（３５Ａ，３５Ｂ）と電磁石３６（３６Ａ，３６Ｂ）によるポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）を装着すると共に、外周壁３４の側面に吸引部２１を装着する吸引受部３７を形成している。
【００２９】
連結ケース本体１９は、吸引受部３７を除く仕切り板３３の両側が対称形状であって、仕切り板３３の両面にはポンプ本体３５（３５Ａ，３５Ｂ）を取り付けるボス状の取付部３８と、電磁石３６（３６Ａ，３６Ｂ）を取り付けるボス状の取付部３９を突設すると共に、仕切り板３３の両側を連通させる筒状体による連通部４０を設け、外周壁３４の内側には仕切り板３３を貫通する取付け孔４１を設けている。
【００３０】
吸引受部３７は、外周壁３４の側面から突出した有底の筒状体で形成し、筒状体の外周面には吸引部２１の取付部４２に対してねじ止めされる取付受部４３を設け、筒状体の内底面にはフィルター（図示を含む説明は後述する）を装着した際における間隙の形成のために、多数の小径突起４４を突設している。
【００３１】
また、吸引受部３７の内底面の中央には細隙状の吸引開口４５を穿設し、吸引開口４５は仕切り板３３を貫通する態様で穿設した吸引流路４６を介して、仕切り板３３の両側を連通する連通部４０に開口し、吸引流路４６は連通部４０の両側にある第１及び第２ケース部３，５の内部に２分岐されている。
【００３２】
なお、図示は省略するが吸引流路を２分岐する別の実施形態として、例えば仕切り板３３の両側に連通するように細隙状の吸引開口４５を２個所に穿設し、仕切り板３３の両側を膨出させて内部にそれぞれ吸引流路４６を形成して各吸引開口４５と連通させると共に、中間を仕切り板３３で分離した各連通部４０内に吸引流路４６を開口させる形態を採ることも可能である。
【００３３】
ポンプ本体３５（３５Ａ，３５Ｂ）は、その基端側を基台４７に枢着して左右対向状に配置した振動板４８，４９と、振動板４８，４９の先端側に装着した永久磁石５０，５１と、振動板４８，４９の中間に支持された状態で基台４７の両側に被着したダイアフラム５２，５３を主要な構成部材として形成し、基台４７の一方側には第１吸気口５４と第２吸気口５５を設け、基台４７の他方側には第１排気口５６と第２排気口５７を設けている。
【００３４】
ポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）は、特許文献４に開示されたものと同様の構造であり、ポンプ本体３５の内部構造を含む詳細な説明を省略するが、交流電源で励磁して交互に磁極を切り換える電磁石３６を作動させると、応動した永久磁石５０，５１で振動板４８，４９が振動し、これに連動してダイアフラム５２，５３が膨縮作動を行うことにより、内部に形成したダイアフラム室に対する給排気作動が行われる。
【００３５】
すなわち、第１，第２ダイアフラム５２，５３の膨縮作動によって、ダイアフラム室には膨張と圧縮とが交互に繰り返されるで、膨張時には第１吸気口５４と第２吸気口５５を介して外部から第１，第２ダイアフラム室５２ａ，５３ａ内に空気が吸引されると共に、圧縮時には第１排気口５６と第２排気口５７を介して第１，第２ダイアフラム室５２ａ，５３ａ内の空気が外部へ吐出される。
【００３６】
ポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）は、電磁石３６が取付部３９のねじ孔に螺合する取付ねじ５８によって連結ケース本体１９に装着すると共に、ポンプ本体３５（３５Ａ，３５Ｂ）は基台４７の両端に設けた支持ロッド６０に対して、取付部３８のねじ孔に螺合する長尺の取付ねじ５９を挿通し、連結ケース本体１９に装着し、これによって一体の連結ケース部４を構成する。
【００３７】
次に、図６〜８では組立状態における二連形エアポンプ装置１の縦断面を示すが、図６はポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）を取り外した状態におけるハウジングの斜視図であり、図７はポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）の一部を破断した状態における斜視図であり、図８はポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ）を含む全体の縦断面図である。
【００３８】
これらの各図で示すように、連結ケース本体１９には、第１ケース本体１４と第２ケース本体２５が両側に嵌合されており、これらの各ケース本体は各取付け孔１８，４１，２８に挿通した長尺のねじにナットを螺合してねじ止め（図示を省略）し、連結ケース部４に第１ケース部３と第２ケース部５を一体に連結する。
【００３９】
これにより、連結ケース部４の連結ケース本体１９両側には、第１ケース本体１４との間で形成したポンプ室６１Ａ及び、第２ケース本体２５との間で形成したポンプ室６１Ｂが設けられ、ポンプ室６１Ａにポンプユニット２０Ａを、ポンプ室６１Ｂにポンプユニット２０Ｂを装着するが、各ポンプ室６１（６１Ａ，６１Ｂ）を密封状態にするために、接合部分にはシール部材（図示を省略）を介在させる。
【００４０】
また、上蓋本体７は、取付け孔１０に挿通したねじを取付けねじ孔１７に螺合し、第１ケース本体１４にねじ止め（図示を省略）すると共に、下蓋本体２９は、取付け孔３２に挿通したねじを取付けねじ孔２７に螺合し、第２ケース本体２５にねじ止め（図示を省略）し、第１ケース部３と上蓋部２及び第２ケース部５と下蓋部６を一体に連結する。
【００４１】
各ポンプ室６１は、ポンプ室６１Ａが連通部１５を介して上蓋本体７の吐出穴８Ａと、ポンプ室６１Ｂが連通部２６を介して下蓋本体２９の吐出穴３０Ａに連通しており、各連通部１５，２６の中央には仕切り板１１，２２を貫通する連通孔を設けると共に、仕切り板１１，２２には各連通孔を囲繞する態様で各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂ側に突出する各連通筒６２，６３を設けている。
【００４２】
各ポンプ室６１には、各ポンプユニット２０の第１吸気口５４を気密状態で連通部４０に挿入し、ポンプユニット２０Ａの第２排気口５７を連通筒６２に、ポンプユニット２０Ｂの第２排気口５７を連通筒６３に、それぞれ気密状態で挿入すると共に、第１排気口５５及び第２吸気口５６は各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂ内にそれぞれ解放されている。
【００４３】
吸引部２１は、有底で内部に吸引穴を形成した吸引筒６４と、吸引筒６４の吸引穴に一端を連通させた吸引管６５と、吸引筒６４の外周にフランジ状に突設した取付け板６６を備え、取付け板６６の外周には取付部４２を設け、取付部４２を介して吸引受部３７の取付受部４３にねじ固着され、吸引受部３７との間に円環状のシール部材６７と円板状のフィルター６８が装着されている。
【００４４】
また、ケース本体１４，２５の連通部１５，２６にも、吸引部２１の場合と同様のシール部材６９とフィルター７０が装着されており、これらのシール部材６９とフィルター７０を介して、第１ケース部３及び第２ケース部５の各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂが、各吐出流路８，３０に連通されている。
【００４５】
これにより、吸引部２１の吸引管６５に吸引される空気は、吸引筒６４から吸引受部３７及び吸引流路４６を介して連通部４０に流入した後に、連通部４０内で２分岐して一方はポンプユニット２０Ａの第１吸気口５４によって吸気されると共に、他方はポンプユニット２０Ｂの第１吸気口５４によって吸気される吸引経路が構成される。
【００４６】
また、ポンプユニット２０Ａの第２排気口５７から排気された空気は、連通筒６２から吐出流路８の吐出穴８Ａに流出した後に、吐出管８Ｂを介して外部に吐出されると共に、ポンプユニット２０Ｂの第２排気口５７から排気された空気は、連通筒６３から吐出流路３０の吐出穴３０Ａに流出した後に、吐出管３０Ｂを介して外部に吐出される吐出経路が構成される。
【００４７】
従って、電源スイッチ９をＯＮにして電磁石３６（３６Ａ，３６Ｂ）を起動させると、第１，第２ダイアフラム５２，５３の膨縮作動が行われて膨張した際には、吸引管６５を介して第１吸気口５４から外部の空気が第１ダイアフラム室５２ａに吸引されると共に、第２吸気口５６から各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂ内の空気を第２ダイアフラム室５３ａに吸気する吸気作動が行われる。
【００４８】
次に、両ダイアフラム５２，５３が圧縮した際には、第１排気口５６から各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂ内に第１ダイアフラム室５２ａの空気を排気すると共に、第２排気口５７から吐出管８Ｂ，３０Ｂを介して第２ダイアフラム室５３ａの空気を外部に吐出する排気作動が行われる。
【００４９】
これら一連の吸排気作動が繰り返されると、各ポンプ室６１Ａ，６１Ｂ内の空気圧は次第に高圧化されて一定圧となり、この高圧状態の元で吸引管６５に吸引ホースを介して吸着板を装着させ、被吸着物に対する吸着作業が行われる。
【００５０】
この実施形態による二連形エアポンプ装置１のように、２台のポンプユニット２０Ａ，２０Ｂを並列接続した状態で一体に形成しておくと、装置を小型化して操作性を高めることができ、また吸引する空気量が倍増するので、吸着板による被吸着物の吸着時間を大幅に短縮することができると共に、被吸着物にダメージを与えることなく安定した吸着保持を行うことが可能となる。
【００５１】
なお、図示を省略しているが、各ポンプユニット２０の電磁石３６（３６Ａ，３６Ｂ）には、電源スイッチ９及び電源コードを介して交流電源が供給されており、特にこの実施形態では各電磁石３６Ａ，３６Ｂに対する結線の一部として、各ケース本体１９，１４，２５を連結する長尺のねじを流用して給電が行われている。
【００５２】
図９は、三連形エアポンプ装置７１であって、第１の実施形態による二連形エアポンプ装置１とほぼ同様の構成をした二連形エアポンプ装置１Ａの側面に、単連のエアポンプ装置１Ｂを一体に付加した構成を備え、内蔵された３台の各ポンプユニット２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）を並列接続し、吸引流量を３倍に増大させたものである。
【００５３】
すなわち、共通の吸引管６５で吸引した空気を各ポンプユニット２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを収容した各ポンプ室６１（６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ）で高圧化すると共に、各吐出穴８Ａ，３０Ａ，７２Ａと吐出流路を形成している吐出管（図示を省略）を介して、それぞれ空気の吐出を行うようにしている。
【００５４】
エアポンプ装置１Ｂは、ポンプ室６１Ｃを形成する第３ケース部７３と、排気穴７２Ａ及び吐出管で吐出流路を形成する側板部７４を備え、第３ケース部７３内にはポンプユニット２０Ａ，２０Ｂと角度が９０度変位する態様で、ポンプユニット２０Ｃを収容している。
【００５５】
ポンプユニット２０Ｃを含む構成と作動は、第１の実施形態の場合と同様なので重複した説明は省略するが、吸引管６５から導入して吸引流路４６を介して連通部４０に流入させた空気は、連通部４０で３分岐して吸引流路４６と延長状に設けた吸引流路７６（連通部）を介して、ポンプユニット２０Ｃの第１吸気口５４に流入させ、第２排気口５７は連通筒７７を介して吐出穴７２Ａに連通させている。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のエアポンプ装置を適用した実施形態による二連形エアポンプ装置であって、上面側から見た分解斜視図。
【図２】  本発明のエアポンプ装置を適用した実施形態による二連形エアポンプ装置であって、下面側から見た分解斜視図。
【図３】  図１及び２の二連形エアポンプ装置を構成する連結ケース部の連結ケース本体を、上面側から見た斜視図。
【図４】  図１及び２の二連形エアポンプ装置に使用するポンプユニットの側面図。
【図５】  図１及び２の二連形エアポンプ装置を構成する連結ケース部の連結ケース本体を、下面側から見た斜視図。
【図６】  図１及び２の二連形エアポンプ装置の要部縦断面であって、ポンプユニットを取り外した状態におけるハウジングの斜視図。
【図７】  図１及び２の二連形エアポンプ装置の縦断面であって、ポンプユニットの一部を破断した状態における斜視図。
【図８】  図１及び２の二連形エアポンプ装置の縦断面であって、ポンプユニットを含む全体の縦断面図。
【図９】  本発明のエアポンプ装置を適用した実施形態による三連形エアポンプ装置の縦断面であって、ポンプユニットの一部を破断した状態における斜視図。
【符号の説明】
１  二連形エアポンプ装置
２  上蓋部
３  第１ケース部
４  連結ケース部
５  第２ケース部
６  下蓋部
７  上蓋本体
８，３０  吐出流路
８Ａ，３０Ａ，７２Ａ  吐出穴
８Ｂ，３０Ｂ  吐出管
９  電源スイッチ
１０，１８，２８，３２，４１  取付け孔
１１  仕切り板
１２，１３，２３，２４，３４  外周壁
１４  第１ケース本体
１５，２６，４０  連通部
１６，６８，７０  フィルター
１７，２７  取付けねじ穴
１９  連結ケース本体
２０  ポンプユニット
２１  吸引部
２２，３３  仕切り板
２５  第２ケース本体
２９  下蓋本体
３１  脚部
３５  ポンプ本体
３６  電磁石
３７  吸引受部
３８，３９，４２  取付部
４３  取付受部
４４  小径突起
４５  吸引開口
４６  吸引流路
７６  吸引流路（連通部）
４７  基台
４８，４９  振動板
５０，５１  永久磁石
５２  第１ダイアフラム
５２ａ  第１ダイアフラム室
５３  第２ダイアフラム
５３ａ  第２ダイアフラム室
５４  第１吸気口
５５  第２吸気口
５６  第１排気口
５７  第２排気口
５８，５９  振動板
６０  支持ロッド
６１  ポンプ室
６２，６３  連通筒
６４  吸引筒
６５  吸引管
６６  取付け板
６７，６９  シール部材
７１  三連形エアポンプ装置
７３  第３ケース部
７４  側面板
７５  第１吸気口
７７  連通筒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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