(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、中央部に凹状の窪みが形成されるとともに、前記本体の略中央部に設けられた支持部に前記中央部が固定された円盤状の振動板と、前記振動板の少なくとも一方の面に固定された平板状の圧電素子と、前記圧電素子の裏表面に設けられた一対の電極と、前記振動板および圧電素子を収納して前記本体を閉塞するように前記本体に取付けられた閉塞部材と、前記閉塞部材に設けられ、前記一対の電極からの出力を取り出す取り出し手段とを備え、
前記振動板の素材圧延方向の反りおよび前記反りと略直交する方向のスリッター反りが同一方向の場合に、前記素材圧延方向の反りおよび前記スリッター反りの方向と前記窪みの形成方向とが逆方向になるようにプレス加工された前記振動板を用いたことを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
本体と、中央部に凹状の窪みが形成されるとともに、前記本体の略中央部に設けられた支持部に前記中央部が固定された円盤状の振動板と、前記振動板の少なくとも一方の面に固定された平板状の圧電素子と、前記圧電素子の裏表面に設けられた一対の電極と、前記振動板および圧電素子を収納して前記本体を閉塞するように前記本体に取付けられた閉塞部材と、前記閉塞部材に設けられ、前記一対の電極からの出力を取り出す取り出し手段とを備え、
前記取り出し手段は前記圧電素子の表面に設けられた電極と前記振動板の中央部に対し略対向した２箇所で接続され、前記２箇所の接続の位置を結ぶ直線は前記振動板の素材圧延方向に対して１５度以内であることを特徴とする加速度センサ。
【請求項３】
前記取り出し手段は、前記電極の一方に接続される複数の接続部材を有し、前記接続部材は、前記振動板の素材圧延時のロール目方向に合わせて前記圧電素子の内周部近傍の少なくとも１箇所以上の位置で前記電極に接続固定され、
前記振動板に、前記振動板の素材圧延時のロール目方向を認識する認識マークが設けられたことを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
【請求項４】
本体と、中央部に凹状の窪みが形成されるとともに、前記本体の略中央部に設けられた支持部に前記中央部が固定された円盤状の振動板と、前記振動板の少なくとも一方の面に固定された平板状の圧電素子と、前記圧電素子の裏表面に設けられた一対の電極と、前記振動板および圧電素子を収納して前記本体を閉塞するように前記本体に取付けられた閉塞部材と、前記閉塞部材に設けられ、前記一対の電極からの出力を取り出す取り出し手段とを備え、
前記振動板の素材圧延方向の反りおよび前記反りと略直交する方向のスリッター反りが逆方向の場合に、前記振動板は、前記素材圧延方向の反りおよび前記スリッター反りの方向と前記窪みの形成方向とが無関係にプレス加工され、
前記取り出し手段は、前記電極の一方に接続される複数の接続部材を有し、前記接続部材は、前記振動板の素材圧延時のロール目方向に合わせて前記圧電素子の内周部近傍の少なくとも１箇所以上の位置で前記電極に接続固定され、
前記振動板に、前記振動板の素材圧延時のロール目方向を認識する認識マークが設けられたことを特徴とする加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は振動を電気信号に変換する加速度センサに関し、特に自動車等に搭載され、ノッキング制御・エアバッグ制御等を行うことができる加速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、加速度センサとして実用化されているものは電磁型・圧電型・半導体型・コンデンサ型等種々の方式があり、また、特性方式としては、所望周波数範囲にて感度の共振周波数ｆ0点を利用する共振型と平坦特性部を利用する非共振（フラット）型とがある。
【０００３】
この中で、圧電・共振型の加速度センサを例に図12、図13に基づいて説明する。
【０００４】
図12は従来の加速度センサを示す図であり、図12において、有底筒状の金属ケース１の下部には測定物（エンジン等）に固定のためのネジ部１ａが形成されている。
【０００５】
この金属ケース１の底面の略中央部には支持部１ｂが形成されており、この支持部１ｂには金属等からなる振動板２が溶接等によって固定されている。この振動板２の上面にはドーナツ形状の圧電素子３が接着等によって固定されており、この圧電素子３の両面には電極４ａ、４ｂが取付けられている。なお、金属ケース１は溶接等により振動板２と電気的に接続されるため、一般的には後段電気回路のアースとなるように構成されている。
【０００６】
また、振動板２の中央部には凹状の窪み２ａが形成されており、この振動板２はプレスによって成形されている。なお、この窪み２ａは後述する溶接時の変形、バリ発生時の逃げ、バラツキ減少等のために設けられている。
【０００７】
また、圧電素子３の電極４ａにはリード線５（またはワイヤボンデング）によって金属等からなるコネクタ本体６の出力端子７が接続されており、リード線５は半田５ａ、５ｂによって出力端子７と電極４ａに固定されている。
【０００８】
また、コネクタ本体６は金属ケース１の上端開口部にカシメ１ｃにより連結固定されており、この連結部分には０リング８が介装されることにより、防水処理が施されている。
【０００９】
また、一方の電極４ｂは振動板２および金属ケース１に電気的に接続されている。したがって、この従来例にあっては、出力端子としては金属ケース１およびコネクタ本体６からなる筐体をアースと兼用する一端子タイプである。なお、一端子タイプ以外に二本の出力端子を用いる二端子タイプ等もある。
【００１０】
このような構成を有する加速度センサにあっては、加速度センサに加わる振動（加速度）により、振動板２および圧電素子３からなる振動部が振動し、圧電素子３に応力歪みを与えるので電荷〔Ｑ〕が発生し、圧電素子３の容量〔Ｃ〕とにより、〔Ｖ〕＝Ｑ／Ｃより発生電圧として出力端子７から取り出すことができるようになっている。
【００１１】
一般的に、振動板３は共振し易さ等から薄い円盤形状のものが多く用いられる。振動振幅としては振動板３の外周端付近が最大となるが、圧電素子３への応力歪みとしては伸びまたは縮みであり、内周部の支点付近が最大値を示すと考えられる。
【００１２】
図13は振動板２・圧電素子３の斜視図を示し、図12と同一部分は同一番号で示している。
【００１３】
図14はこの加速度センサの振動（一定加速度）に対する周波数特性例であり、同図に示すように、共振点ｆ0付近は高いＱ0を有するが中・低域は平坦な感度Ｖ0となる特性を示す。使用目的により、平坦部またはｆ0近傍の振動出力を使用するのが一般的である。
【００１４】
また、共振点を使用する共振型の場合は、前記共振周波数ｆ0での高いＱ0を用い、ｆ0を所望の値とし対応する。
【００１５】
また、共振型の場合は使い易い適度なＱ0にするために、加速度センサと並列に抵抗を接続してＱ0をダンプするのが一般的である（例えば、特許登録番号１６５０６３３号参照）。
【００１６】
ここで、共振周波数ｆ0は中心固定の円形振動板の場合には一般的に下記に示すものである。
ｆ0＝α・ｔ／Ｒ2・｛Ｅ／ρ（１−σ2）｝1/2
α：０．１７２    ｔ：板厚    Ｒ：半径
Ｅ：ヤング率      ρ：密度    σ：ポアソン比
例えば、上記に於いて、振動板の材料としてＮｉ鋼を用いた場合には、
ｔ＝０．４（ｍｍ）、Ｒ＝７（ｍｍ）、
Ｅ＝２×１０11 （Ｎ／ｍ2 ）、ρ＝７．８×１０3 （ｋｇ／ｍ3  ）、
σ＝０．２８
とすると  ｆ0＝７．４１（ｋＨｚ）となる。
【００１７】
但し、実際の振動板のｆ0は圧電素子の分が付加され平均化するために多少値が違ってくる。また、主体は振動板（振動体）で決定されるが、僅かながら筐体（ケース）等の影響も受けるので、実際の共振周波数ｆ0は全体的な平均で決定されることになる。
【００１８】
前記式から、所望の共振周波数ｆ0を得るために板厚ｔと半径Ｒを適度に選定し対応するのが一般的であり、特に半径Ｒの影響が大きいことが分かる。実験的に確認した結果では、同板厚の場合に於いて、円盤型の振動板外径を変化すると約１〜２％／０．１ｍｍ程度のｆ0が変化することが分かっている。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の加速度センサに於いては、下記に示すような問題がある。
共振周波数ｆ0近傍で特性異常（スプリアス不良）が発生し易く、不良率の増加を招いてしまうため、品質低下およびコストアップにつながってしまう。特に、この特性異常（スプリアス不良）は共振型で使用する場合の重要課題となる。
【００２０】
図15は共振点付近のみをクローズアップした場合の特性例であり、（ａ）は正常な場合、（ｂ）は特性異常（スプリアス不良）がある場合である。
【００２１】
また、中心固定による共振型では一般的に図16に示すような振動モードが存在することがＦＥＭ解析により分かった。
【００２２】
図16において、（ａ）は１／２振動モード、（ｂ）は１／１振動モードであり、この振動モードを共振周波数ｆ0として使用する。（ｃ）は１／４振動モードである。
【００２３】
１／２振動モードはｆ0の約数分の一に、１／４振動モードはｆ0近傍に発生するのが一般的である。１／２振動モードと１／４振動モードは本来均等にその振動モードが現れていれば、圧電素子３には±の発生電圧が均等となり出力は零となるはずであるが、僅かな不均等性があると発生することになり、その位相の乱れにより出力レベルが変化することになる。
【００２４】
共振型の場合、前述したように１／４振動モードによる特性異常（スプリアス不良）が課題となるが、この発生原因としては振動板・圧電素子の寸法、支持部の不均一性、出力取り出し用リード線の影響等々が考えられる。
【００２５】
すなわち、図17に示すように、振動板２・圧電素子３を上面から見て直交するＸ軸・Ｙ軸を仮定した場合、各軸を幾何学的に見て相似形状とする（一方の軸を９０°回転して同一）ことにより、ある程度良好なものにすることができることが分かっている。
【００２６】
図17ではリード線５を圧電素子３の特性に影響の少ない内周部付近に直交して半田付けした場合の例である。
【００２７】
このようにＸ軸・Ｙ軸相似形に構成してもスプリアスのディップを押さえる方向に多少の改善は見られるが完全な改善は望めなかった。したがって、前記のような各種要因を排除すれば、特性異常（スプリアス不良）は発生しないはずであるが、どうしても大レベルのものが数％〜１０％程度の不良が発生してしまうのが実態である。
【００２８】
本発明は、従来の問題を解決するためになされたもので、スプリアス不良の低減を簡単に行なうことができ、低価格で高い性能を有する優れた共振型の加速度センサを提供することを目的とする。
【００２９】
【課題を解決するための手投】
本発明の加速度センサは、本体と、中央部に凹状の窪みが形成されるとともに、前記本体の略中央部に設けられた支持部に前記中央部が固定された円盤状の振動板と、前記振動板の少なくとも一方の面に固定された平板状の圧電素子と、前記圧電素子の裏表面に設けられた一対の電極と、前記振動板および圧電素子を収納して前記本体を閉塞するように前記本体に取付けられた閉塞部材と、前記閉塞部材に設けられ、前記一対の電極からの出力を取り出す取り出し手段とを備え、前記振動板の素材圧延方向の反りおよび前記反りと略直交する方向のスリッター反りが同一方向の場合に、前記素材圧延方向の反りおよび前記スリッター反りの方向と前記窪みの形成方向とが逆方向になるようにプレス加工された前記振動板を用いて構成される。
【００３０】
本発明の加速度センサは、本体と、中央部に凹状の窪みが形成されるとともに、前記本体の略中央部に設けられた支持部に前記中央部が固定された円盤状の振動板と、前記振動板の少なくとも一方の面に固定された平板状の圧電素子と、前記圧電素子の裏表面に設けられた一対の電極と、前記振動板および圧電素子を収納して前記本体を閉塞するように前記本体に取付けられた閉塞部材と、前記閉塞部材に設けられ、前記一対の電極からの出力を取り出す取り出し手段とを備え、前記取り出し手段は前記圧電素子の表面に設けられた電極と前記振動板の中央部に対し略対向した２箇所で接続され、前記２箇所の接続の位置を結ぶ直線は前記振動板の素材圧延方向に対して１５度以内となる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に基づいて説明する。
図１〜図10は本発明に係る加速度センサの第１実施の形態を示す図であり、この加速度センサは、自動車に適用してノッキング制御・エアバッグ制御等を行うものに適用することができる。
【００３２】
まず、構成を説明する。図１、図２において、有底筒状の金属ケース（本体）21の下部には測定物（エンジン等）に固定のためのネジ部21ａが形成されている。
【００３３】
この金属ケース21の底面の略中央部には支持部21ｂが形成されており、この支持部21ｂには金属等からなる振動板22が溶着等によって固定されている。この振動板22の上面にはドーナツ形状の圧電素子23が接着等によって固定されており、この圧電素子23の両面には電極24ａ、24ｂが取付けられている。なお、金属ケース21は溶接等により振動板22と電気的に接続されるため、一般的には後段電気回路のアースとなるように構成されている。
【００３４】
また、圧電素子23の電極24ａには一対のリード線（接続部材）25ａ、25ｂを介して金属等からなるコネクタ本体（閉塞部材）26の出力端子27が接続されており、リード線25ａは半田28ａによって出力端子27と電極24ａに固定されている。なお、リード線の代りにワイヤボンデングを用いても良い。
【００３５】
また、コネクタ本体26は金属ケース21の上端開口部にカシメ21ｃにより連結固定されており、この連結部分には０リング29が介装されることにより、防水処理が施されている。
また、一方の電極24ｂは振動板22および金属ケース21に電気的に接続されている。
【００３６】
したがって、この従来例にあっては、出力端子としては金属ケース21およびコネクタ本体26からなる筐体をアースと兼用する一端子タイプである。なお、一端子タイプ以外に二本の出力端子を用いる二端子タイプ等もある。
【００３７】
また、本実施の形態では、金属ケース21、振動板22、リード線25ａ、出力端子27およびコネクタ本体26は一対の電極24ａ、24ｂからの出力を取り出す取り出し手段を構成している。
【００３８】
本実施の形態において従来例と相違する点は、図２に示すように圧電素子23の電極24ａからの出力取り出し用リード線25ａ、25ｂを振動板22の素材圧延時のロール目方向Ｘに略合わせて、圧電素子23の内周部近傍に略対向して２箇所の位置で半田28ｂ等により接続固定している点と、後述するように、振動板22の素材圧延方向の反りおよびこの反りと略直交する方向のスリッター反りが逆方向の場合に、素材圧延方向の反りおよびスリッター反りの方向と振動板22の窪みの形成方向とが逆方向にプレス加工された振動板22を用いた点である。
【００３９】
次に、この点を詳しく説明する。
従来例で示す図17のＸ軸・Ｙ軸相似形に構成しても多少の改善（ディップを押さえる方向）は見られるが完全な改善は望めなかった。この原因を追及するために実験により確認を行ったので次に述べる。
【００４０】
現状の実態として、略対向した２箇所の位置に半田28ｂ等によるリード線25ａ、25ｂを接続した場合、取付方向により発生の優劣が現れることが分かった。
【００４１】
この結果から次のようなことが推測される。
（Ａ）振動板22の反り等と接続位置の関係があるのではないか。
（Ｂ）反りは薄い振動板の場合には、一般的に１／２振動モードを誘発し易いセンターラインを対象とする１／２の半反りが多い。
（Ｃ）従って、（Ｂ）の反り状態において、ランダム方向で略対向した位置２箇所に半田28ｂ等によるリード線25ａ、25ｂを接続したことにより、この負荷が１／４振動モードを誘発してしまうのではないか。
【００４２】
また、圧電素子23の反りの影響も考えられるが、振動板22よりも反りは小さく、かつ共振への影響度も振動板22よりも小さいので、対スプリアスに関しても小さいと考えられる。
【００４３】
したがって、主要因は振動板22の反りと考えられる。
図３は振動板22の圧延時のロール目方向Ｘを基準に、略対向した位置２箇所に半田28ｂ等によるリード線25ａ、25ｂの接続を行う角度を変えて確認した実験結果であり、同図はロール目に対する角度とスプリアス発生率の関係を示している。
【００４４】
図４は図３において、スプリアスの小〜大の判定レベルを示す特性例である。
図３の平均値は全方向にランダムに付けた場合を推測して下記式により求めている参考値である。
平均値＝（０°＋３０°×２＋６０°×２＋９０°）／６
【００４５】
スプリアスの小〜大の影響レベルとしては、判断レベルの特性を見ても分かるように実質使用状態で弊害となるのは大レベルであり、この発生率を低減する必要がある。
【００４６】
同結果から次のことが分かった。
（１）ロール目に対する角度でスプリアスの発生率に違いがあり、最小となるのは０°方向である。また、最大となるのは９０°方向である。
（２）０°方向は他の方向と比較し、スプリアスの小〜大の全レベル的に減少している。
（３）また、前記方向はスプリアスレベル大では、ランダムに付けた場合の推測平均値に比較し、約０．５７ 倍にできる効果がある。
【００４７】
以上の結果から、略対向した位置２箇所に半田28ｂ等によるリード線25ａ、25ｂの接続を行う場合、最適な位置は振動板22の圧延時のロール目方向Ｘの位置（角度０゜）であることが確認できた。また、スプリアスの発生が大きくなる最悪の位置は角度±９０゜の直交位置と言える。
【００４８】
なお、実験結果から、図２においては、ロール目方向Ｘに対するリード線25ａ、25ｂの接続角度の許容範囲は約±１０〜±１５゜程度内であれば効果に大差ないと推測できる。
【００４９】
また、振動板22の反りに関して調査した結果、図５、図６、図７に示すようにロール目方向Ｘをセンターラインとする１／２の半反り、すなわち、スリッター加工による加工歪み（以下、単にスリッター反りという）32が確認できた。なお、図５において、（ａ）は振動板22の上面図、（ｂ）は振動板22の側面図を示し、図６、図７はフープ材の斜視図を示し、符号Ｘはロール目方向、符号30はロール反り（圧延方向の反り）、符号31はフープ材、符号33はロール目、符号40はスリッター部を示す。
【００５０】
また、反りの小さい振動板22でも支持部21ｂに溶接等を行い固定すると、結果的に上述したようにロール目方向Ｘをセンターラインとする１／２のスリッター反り32が発生し易いことも分かった。したがって、プレス加工によりフラット化のための平打ち処理加工等を施しても、溶接固定時の熱歪み等の印加で素材自体の反り癖が発生してしまうためと考えられる。
【００５１】
この反りの原因を考察すると、その方向性から素材圧延時の内部歪みでは無く（圧延歪みはロール目と直交方向と考えられる）、図７に示すように、幅広素材からプレス用に適した幅のフープ材31を作成する時のスリッター反り32であると考えられる。
【００５２】
したがって、極力このスリッター反り32を小さく加工する対策が考えられるが、材料歩留まりの関係等が大きく起因するためコストアップは免れないので最適な対策とは言えない。
【００５３】
そこで、本実施の形態では、振動板22のフープ材（金属素材）31の圧延時の圧延方向の反り30および圧延方向の反り30と略直交する方向のスリッター反り32の反りに着目し、その中央部の凹状の窪み22ａを有する振動板22をプレス加工する際に、圧延方向の反り30およびスリッター反り32の方向に関して最適な状態を実験的に確認することにした。
【００５４】
図６にスリッター加工による反り状態を示したが、実際は生産性等から幅広の圧延フープ素材を複数本にスリッター加工するのが一般的である。
図７は二分割にスリッター40を加工する場合の加工歪みを示すフープ素材の例である。
【００５５】
図７から分かるように、Ａロール、Ｂロールの二種類のスリッター素材が得られる。Ａロールはフープ材31の圧延方向の反り30およびスリッター反り32が同一方向の場合であり、Ｂロールはフープ材31の圧延方向の反り30およびスリッター反り32が逆方向の場合である。これらのＡロール、Ｂロールは、更に幅広の複数本のスリッター加工時にも同様に必ず両ロール品が得られることになる。したがって、反り歪みを考える場合は、図７のＡロール、Ｂロールの双方を考慮し検討すれば良いと言える。
【００５６】
図８はＡロール品を圧延歪みのロール癖に合わせて正巻に、Ｂロール品を圧延歪みの癖に逆らって逆巻にしたフープ材により、プレス時の金型への投入方向を（１）通常投入、（２）逆投入の二種類でプレス加工した場合の圧延方向の反り30およびスリッター反り32と振動板22完成品の反り状態との関係を示すものである。なお、振動板22はｆ0＝14．5kHzとするためにφ16.9ｘｔO.5とした場合の例である。
【００５７】
また、電極24からのリード線25ａ、25ｂの取り出しは、略対向した位置の２箇所で半田付け等によって行う場合であり、最適な位置である振動板22の圧延時のロール目方向Ａの位置（角度０゜）での確認である。このときの試作結果をＡロール品に関して図９に、Ｂロール品に関して図10に示す。
【００５８】
以上の結果から、Ａロール品に関しては（２）の逆投入品がスプリアスの発生を抑えることができる上で優位であり、Ｂロール品は（１）通常投入、（２）逆投入共に同程度で、かつ、Ａロール品よりも大差でスプリアスの発生を抑えることができる上で優位であることが分かる。したがって、スプリアス不良の主原因は、Ａロールの金属素材の圧延方向の反り30およびスリッター反り32が同一方向の場合であることが分かる。
【００５９】
すなわち、振動板22のＸ、Ｙ方向の反り歪みが逆の場合が望ましく、また、同一の場合は振動板22の窪み22ａの方向に逆となるように振動板22をプレス加工することが望ましいのである。
【００６０】
但し、Ｂロール品のみを使用することはコスト的に非常に不利である。したがって、Ａ、Ｂロール品の投入方向を最適な指定方向で対応することにより、容易にスプリアス不良の大幅改善が可能であるため、この対応が優位な対策方法と言える。なお、実施の形態では二箇所に半田付け等によるリード線25ａ、25ｂの接続を行う場合の最適な位置であるロール目方向Ｘの位置（角度０°）に合わせた場合であるが、他の方法等の場合でも多少の効果の減少はあるものの、同様な改善傾向が得られる。
【００６１】
このように本実施の形態では、図８において、Ａロール方向で逆投入した場合の図に示すように振動板22として、振動板22のフープ材31の圧延方向の反り30およびこの反り30と略直交する方向のスリッター反り32が同一方向の場合に、圧延方向の反り30およびスリッター反り32方向と振動板22の窪み22ａの形成方向とが逆方向になるようにプレス加工された振動板22を用いたため、振動板22および圧電素子23の１／４振動モードによる特性異常（スプリアス不良）を低減することができ、組立が簡単で部品点数を少なくして低価格で高性能な共振型の加速度センサを得ることができる。
【００６２】
また、振動板22のフープ材31の圧延方向の反り30およびこの反り30と略直交する方向のスリッター反り32が逆方向の場合に、圧延方向の反り30およびスリッター反り32方向と振動板22の窪み22ａの形成方向とを無関係になるようにプレス加工された振動板22を用いるようにしたため、このようにした場合でも、振動板22および圧電素子23の１／４振動モードによる特性異常（スプリアス不良）を低減することができ、組立が簡単で部品点数を少なくして低価格で高性能な共振型の加速度センサを得ることができる。
【００６３】
なお、本実施の形態ではＡロール品の圧延歪みのロール癖に逆らった逆巻品、Ｂロール品の圧延歪みの癖に合わせた正巻品のフープ材に関しては確認実施をしていないが、素材自身のＸ、Ｙ方向の反り歪み傾向は変化しないことから、スプリアス不良のレベルの大小はあるものの、上述した結果と同様な結果が得られるものと考えられる。
【００６４】
また、本実施の形態では、加速度センサの内部に電気回路等を有していないが、インピーダンス変換回路・アンプ回路等を構成したものもある。また、例えば、圧電素子23の電極24ａ、24ｂを分割し、検出用と自己診断用に構成した自己診断機能を付加するようにしても良い。
【００６５】
また、本実施の形態では加速度センサに関して述べているが、構造上密閉構造ではなく音波の導入孔又は放射孔を構成すれば、マイクロホンまたはスピーカ等の音響変換器としての機能も有し、その応用も考えられる。したがって、このような変換器への応用の場合でも、本発明の主旨と同一であることは言うまでもない。
【００６６】
図11は本発明に係る加速度センサの第２実施の形態を示す図であり、第１実施の形態と同様の構成には同一番号を付して説明を省略する。
【００６７】
図11は振動板22の素材圧延時のロール目方向Ｘを圧電素子23を接着剤等により固定した後でも容易に認識可能なように、振動板22の外周部付近に認識マーク41ａを付けたものである。なお、同図（ａ）は上面図、（ｂ）は星打ち41ｂの部分拡大図である。
【００６８】
本実施の形態では振動板22の表面に圧電素子23の電極24ａと電気的に導通接続し易くするための高さ数μmの微少な星打ちをプレス等の加工により振動板面に構成し、この星打ち41ｂを一部無くすことにより、認識マーク41ａとした場合の例である（星打ちの詳細については特公平７−７８４４８号公報参照）。
【００６９】
なお、本実施の形態では、ロール目方向Ｘに合わせて２箇所の位置に認識マーク41ａを形成しているが、数については別段指定するものではなく、一箇所であっても構わない。
【００７０】
したがって、上述したような認識マーク41ａの加工は何ら特性変化への影響およびコストアップもなく追加することが可能である。
なお、本実施の形態以外にも種々の認識マークが考えられるが、その目的が同一であれば本発明の主旨と同一であると言える。
【００７１】
このように本実施の形態では、振動板22の外周部付近に、振動板22の素材圧延時のロール目方向Ｘを認識する認識マーク41ａを設けたため、圧電素子23が接着剤等により固定された後であっても、認識マーク41ａを目視することで振動板22の素材圧延時のロール目方向Ｘを確認することができ、ロール目方向Ｘの認識ミス等が発生するのを防止してリード線25ａ、25ｂを電極24ａに取付けることができる。
【００７２】
なお、上記各実施の形態では、圧電素子23の電極24ａからの出力取り出しを行うために、リード線25ａ等を半田付け28ｂ等により接続固定して取り出しているが、リード線25ａ等の代わりに他の接触端子ピン等により取り出しても、その接続点が本発明の趣旨の範囲内であれば構わない。
【００７３】
また、加速度センサとしての基本構成が違っていても、上述したように、本発明は振動板・圧電素子部からの出力の取り出し方法に関するものであり、その出力の取り出し位置が本発明と同様であれば本発明の主旨と同一である。
【００７４】
【発明の効果】
本発明によれば、振動板および圧電素子の１／４振動モードによる特性異常（スプリアス不良）を低減することができ、組立が簡単で部品点数を少なくして低価格で高性能な共振型の加速度センサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの断面図
【図２】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板・圧電素子部の部分拡大上面図を示す図
【図３】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサのリード線接続位置の違いによるロール目に対する角度とスプリアス発生率の関係の実験結果を示す図
【図４】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサのスプリアスの小〜大の判定レベルを示す特性例を示す図
【図５】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板を示す図
（ａ）振動板の上面図
（ｂ）振動板の側面図
【図６】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板素材のスリッター加工後のフープ材を示す斜視図
【図７】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板素材の二分割スリッター加工を行う場合のフープ材を示す斜視図
【図８】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板素材の圧延方向およびスリッター反りと振動板完成品との反り状態の関係を示す図
【図９】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板素材の圧延方向およびスリッター反りが同一方向の場合の実験結果を示す図
【図10】  本発明の第１の実施の形態の加速度センサの振動板素材の圧延方向およびスリッター反りが逆方向の場合の実験結果を示す図
【図11】  本発明の第２の実施の形態の加速度センサを示す図
（ａ）振動板の上面図
（ｂ）振動板に形成された星打ち部の部分拡大上面図
【図12】  従来の加速度センサの断面図
【図13】  従来の振動板・圧電素子部の斜視図を示す図
【図14】  従来の周波数特性を示す図
【図15】  従来の共振点付近のみをクローズアップした場合の特性図
（ａ）正常な場合の特性図
（ｂ）特性異常（スプリアス不良）がある場合の特性図
【図16】  従来の共振型での振動モードのＦＥＭ解析結果を示す図
【図17】  従来の振動板・圧電素子部の部分拡大上面図を示す図
【符号の説明】
21    金属ケース（本体、取り出し手段）
21ｂ    支持部
22    振動板（取り出し手段）
22ａ    窪み
23    圧電素子
24ａ、24ｂ    電極
25ａ、25ｂ    リード線（接続部材、取り出し手段）
26    コネクタ本体（閉塞部材）
27    出力端子（取り出し手段）
30    ロール反り（圧延方向の反り）
31    フープ材（素材）
32    スリッター反り
33    ロール目
41ａ    認識マーク
Ｘ    ロール目方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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