(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装基板を製造するために一連に実行される複数の工程の少なくとも２箇所にそれぞれ画像処理による検査を行う検査機を配備して、その工程実行後の基板の画像を用いた検査を実行するようにした方法であって、
各検査機と通信可能な情報処理装置を設置するとともに、各検査機において、検査対象の基板上の個々の部品に対応する検査領域を、それぞれ検査機間に共通の識別情報により特定できるようにしておき、
各検査機において、あらかじめ登録された設定データに基づき、前記基板の画像に各部品に対応する検査領域を設定して検査領域毎に検査を実行し、検査領域毎の良否判定結果をそれぞれ前記検査領域および基板の識別情報に対応づけた検査結果情報を作成して前記情報処理装置に送信するステップａと、前記検査に用いられた各検査領域の画像データを、それぞれ前記検査領域および基板の識別情報により読み出し可能な状態でメモリに保存するステップｂとを実行するとともに、前記情報処理装置から所定の基板および検査領域の識別情報を含む送信要求を受信したとき、これらの識別情報を用いて前記送信要求に応じた画像データを前記メモリから読み出して、情報処理装置に送信するステップｃを実行し、
前記情報処理装置は、各検査機からの検査結果情報のいずれかに不良判定を示す情報が含まれていたとき、当該不良判定を含む検査結果情報を用いてその不良判定に対応づけられた検査領域および基板の識別情報を特定するステップＡ；ステップＡで特定した各識別情報を含む送信要求を作成して、すべての検査機に送信するステップＢ；前記送信要求に応じて各検査機から送信された画像データを、前記送信情報に含めた検査領域および基板の各識別情報に対応づけてメモリに保存するステップＣ；ステップＣで保存された画像データに対応づけられた検査領域および基板の各識別情報の組み合わせの中から一組を特定して、その組み合わせに対応するすべての画像データを前記メモリから読み出して表示するステップＤ；の各ステップを実行する、
ことを特徴とする部品実装基板用の検査方法。
【請求項２】
前記各検査機では、ステップａにおいて、検査機間で共通の設定データを用いて、基板上の各部品に対応する検査領域を設定する、請求項１に記載された部品実装基板用の検査方法。
【請求項３】
前記情報処理装置は、前記ステップＤにおいて、前記メモリから読み出した各画像データを１つの画面内に配置して表示するようにした、請求項１に記載された部品実装基板用の検査方法。
【請求項４】
部品実装基板を製造するために一連に実行される複数の工程の少なくとも２箇所にそれぞれ画像処理による検査を行う検査機を配備して、その工程実行後の基板の画像を用いた検査を実行するとともに、各検査機との通信が可能な情報処理装置が設けられたシステムであって、
各検査機は、
検査対象の基板の画像に個々の部品に対応する検査領域を設定するための設定データが検査領域毎に登録されるとともに、各検査領域につき、それぞれ当該領域を特定するための情報として検査機間に共通の識別情報が登録される登録手段と、
前記検査に使用した画像データを保存するための画像データベースと、
前記設定データに基づき、前記基板の画像に各部品に対応する検査領域を設定して検査領域毎に検査を実行する検査実行手段と、
前記検査実行手段による検査結果に基づき、検査領域毎の良否判定結果をそれぞれ検査領域および基板の識別情報に対応づけた検査結果情報を作成して前記情報処理装置に送信する検査結果情報送信手段と、
前記検査に用いられた各検査領域の画像データを、それぞれ前記検査領域および基板の識別情報により読み出し可能な状態で前記画像データベースに保存する画像保存手段と、
前記情報処理装置から所定の検査領域および基板の識別情報を含む送信要求を受信したとき、これらの識別情報を用いて前記送信要求に応じた画像データを前記画像データベースから読み出して、情報処理装置に送信する画像送信手段とを具備し、
前記情報処理装置は、
各検査機から送信された画像データを保存するためのメモリと、
前記メモリから読み出された画像データを表示するための表示手段と、
各検査機からの検査結果情報のいずれかに不良判定を示す情報が含まれていたとき、当該不良判定を含む検査結果情報を用いて、その不良判定に対応づけられた検査領域および基板の識別情報を特定し、特定した各識別情報を含む送信要求を作成してすべての検査機に送信する送信要求手段と、
前記送信要求に応じて各検査機から送信された画像データを、前記送信要求に含めた検査領域および基板の識別情報に対応づけて前記メモリに保存する画像保存手段と、
前記メモリに保存された画像データに対応づけられた検査領域および基板の各識別情報の組み合わせの中から一組を特定して、その組み合わせに対応するすべての画像データを前記メモリから読み出し、これらを前記表示手段に表示させる表示制御手段とを、具備して成る部品実装基板用の検査システム。
【請求項５】
前記登録手段には、各検査領域の設定データとして、検査機間で共通の設定データが登録される、請求項４に記載された部品実装基板用の検査システム。
【請求項６】
前記情報処理装置の表示制御手段は、前記メモリから読み出した各画像データを１つの画面内に配置した表示用画像データを作成して、この表示用画像データを前記表示手段に出力する、請求項４に記載された部品実装基板用の検査システム。
【請求項７】
処理対象の基板を複数の工程に順に導いて各工程による処理を実行するとともに、少なくとも２つの工程に画像処理による検査を行う検査機を設置して、その工程実行後の基板の画像を用いた検査を実行するようにした部品実装基板の製造方法において、
各検査機と通信可能な情報処理装置を設置するとともに、各検査機において、検査対象の基板上の個々の部品に対応する検査領域を、それぞれ検査機間に共通の識別情報により特定できるようにしておき、
各検査機において、あらかじめ登録された設定データに基づき、前記基板の画像に各部品に対応する検査領域を設定して検査領域毎に検査を実行し、検査領域毎の良否判定結果をそれぞれ前記検査領域および基板の識別情報に対応づけた検査結果情報を作成して前記情報処理装置に送信するステップａと、前記検査に用いられた各検査領域の画像データを、それぞれ前記検査領域および基板の識別情報により読み出し可能な状態でメモリに保存するステップｂとを実行するとともに、前記情報処理装置から所定の基板および検査領域の識別情報を含む送信要求を受信したとき、これらの識別情報を用いて前記送信要求に応じた画像データを前記メモリから読み出して、情報処理装置に送信するステップｃを実行し、
前記情報処理装置は、各検査機からの検査結果情報のいずれかに不良判定を示す情報が含まれていたとき、当該不良判定を含む検査結果情報を用いてその不良判定に対応づけられた検査領域および基板の識別情報を特定するステップＡ；ステップＡで特定した各識別情報を含む送信要求を作成して、すべての検査機に送信するステップＢ；前記送信要求に応じて各検査機から送信された画像データを、前記送信情報に含めた検査領域および基板の各識別情報に対応づけてメモリに保存するステップＣ；ステップＣで保存された画像データに対応づけられた検査領域および基板の各識別情報の組み合わせの中から一組を特定して、その組み合わせに対応するすべての画像データを前記メモリから読み出して表示するステップＤ；の各ステップを実行する、
ことを特徴とする部品実装基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、処理対象の基板を複数の工程に順に導いて各工程による処理を実行して部品実装基板を製造する技術に関する。特に、この発明は、前記複数の工程の少なくとも２箇所に検査機を配備して、その工程実行後の基板に画像処理による検査を実行するようにした技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装基板の一般的な製造工程には、プリント配線板にクリームはんだを印刷する工程（はんだ印刷工程）、クリームはんだが塗布された位置に部品を搭載する工程（部品実装工程）、部品登載後の基板を加熱して部品を基板にはんだ付けする工程（はんだ付け工程）が含められる。これらの工程を一連に実行するようにした基板製造ラインには、各工程で生じた不良基板が下流に流れないように、工程毎に外観検査用の検査機を設けて検査を実行し、不良と判定された基板を取り除くようにしたものがある。
【０００３】
また、従来の検査システムには、各検査機と通信可能なサーバーを設け、各検査機からサーバーに基板毎の検査結果を送信するようにしたものがある。この場合、サーバーにおいて、不良の出現頻度や検査結果の推移を検査機毎に分析して、不良の発生を予防したり、製品の品質を改善するのに有効なメンテナンスルールを作成し、そのルールを各工程にフィードバックするようにしたシステムが提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特許３４４１１１１号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された検査システムでは、工程毎に、その工程で生じた不良の内容と製造用装置（はんだ印刷機、マウンタ、リフロー炉などを指す。）に生じたトラブルとの関係を導き出すようにしているので、製造用装置の経時変化により発生する不良を予防するには有効である。しかしながら、基板製造過程で生じる不良は、製造用装置の経時変化によるものに限らず、不明確な原因により突発的に生じるものもある。このような突発的な不良の原因を解明するには、その不良が発生した工程の基板に着目するのみならず、不良が発生するより前の工程での基板がどのような状態にあったかを確認するのが望ましい。
【０００６】
また、自動化された工程を一連に実行するようにした基板製造ラインでは、途中の工程で不良が発生しても、その不良基板を取り除かずに下流に流してしまう場合がある。この場合に、発生した不良が軽微なもので、下流の工程でその不良が是正されたり、下流の工程の処理により不良部位が隠れてしまうなどすると、下流の工程では、同じ基板が良品と判定されることがある。このような基板に対しては、各工程における基板がどのような状態であったかをユーザー自身が確認し、最終的な良否判断を行うのが望ましい。
【０００７】
また、中間工程の検査機に設定されている検査基準が厳しすぎるために、その検査機では不良判定がなされるが、下流の工程では良品と判定されるケースもある。このような場合に、ユーザー自身が各工程における基板の状態を確認できるようにすれば、前記不良と判定された基板を良品としても差し支えないことを確認した上で、この判定をした検査機の検査基準を修正するなど、適切な対応をとることができる。
【０００８】
この発明は、上記の点に着目してなされたもので、複数の工程のいずれかにおいて、所定の基板の所定の部品に対応する検査領域に不良があると判定されたとき、その不良判定にかかる部品について、各検査機が対応する検査領域の検査に使用した画像を、ユーザーが比較しながら確認できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、処理対象の基板を複数の工程に順に導いて各工程による処理を実行する方法で部品実装基板を製作する場合に適用される。複数の工程には、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程の３工程が含まれるのが望ましい。これらの工程の間に、基板を搬送するためのコンベア装置を設けた場合には、処理対象の基板を各工程に順に送り込んで各工程による処理を一連に実施し、部品実装基板を完成させることができる。ただし、各工程は必ずしも繋がっている必要はなく、ある工程と次の工程とが物理的に切り離された状態であってもよい。
【００１０】
この発明にかかる部品実装基板の検査方法および検査システムは、部品実装基板を製造するために一連に実行される複数の工程の少なくとも２箇所にそれぞれ画像処理による検査を行う検査機を配備して、その工程実行後の基板の画像を用いた検査を実行するものである。また、この発明では、各検査機に通信可能な情報処理装置を設置するようにしている。
【００１１】
前記検査機は、カメラを有する外観検査装置として構成することができる。または、Ｘ線による透視画像を用いた検査装置とすることもできる。検査機、情報処理装置とも、１台または複数台のコンピュータで構成することができる。また、各検査機と情報処理装置との通信は、ＬＡＮ回線などのネットワーク回線を介して行われるのが望ましいが、これに限らず、無線による通信を行うようにしてもよい。また、各検査機の間でも、相互に通信ができるようにしてもよい。
【００１２】
この発明にかかる部品実装基板用の検査方法では、各検査機において、あらかじめ登録された設定データに基づき、前記基板の画像に各部品に対応する検査領域を設定して検査領域毎に検査を実行し、検査領域毎の良否判定結果をそれぞれ前記検査領域および基板の識別情報に対応づけた検査結果情報を作成して前記情報処理装置に送信するステップａと、前記検査に用いられた各検査領域の画像データを、それぞれ前記検査領域および基板の識別情報により読み出し可能な状態でメモリに保存するステップｂとを実行するとともに、前記情報処理装置から所定の基板および検査領域の識別情報を含む送信要求を受信したとき、これらの識別情報を用いて前記送信要求に応じた画像データを前記メモリから読み出して、情報処理装置に送信するステップｃを実行する。一方、情報処理装置は、各検査機からの検査結果情報のいずれかに不良判定を示す情報が含まれていたとき、当該不良判定を含む検査結果情報を用いてその不良判定に対応づけられた検査領域および基板の識別情報を特定するステップＡ；ステップＡで特定した各識別情報を含む送信要求を作成して、すべての検査機に送信するステップＢ；前記送信要求に応じて各検査機から送信された画像データを、前記送信情報に含めた検査領域および基板の各識別情報に対応づけてメモリに保存するステップＣ；ステップＣで保存された画像データに対応づけられた検査領域および基板の各識別情報の組み合わせの中から一組を特定して、その組み合わせに対応するすべての画像データを前記メモリから読み出して表示するステップＤ；の各ステップを実行する。
【００１３】
上記において、「基板の識別情報」は、基板毎に個別に付与される情報であって、基板の適所に、バーコード、２次元コード、文字列などの形で付すことができる。この場合、各検査機では、検査対象の基板の画像から識別情報を読み取ってから、後の処理に使用することができる。また、各工程で基板が処理される順序が変更されず、また途中の工程で基板が取り除かれることがない場合には、各工程で、基板を受け付ける毎に、検査順序に対応する識別情報（番号など）を設定してもよい。
【００１５】
上記の方法によれば、いずれかの検査機において不良判定が行われると、情報処理装置では、この不良判定を行った検査機からの検査結果情報を用いて、不良判定がなされた基板および検査領域の識別情報を特定する。そして、特定された各識別情報を含む送信要求をすべての検査機に送信することにより、各検査機からこれらの識別情報に対応する画像データを送信させ、送信された画像データを、送信要求に含めた検査領域および基板の各識別情報に対応づけてメモリに保存する。さらに、このようにして保存された画像データを、検査領域および基板の各識別情報の組み合わせにより特定してメモリから読み出し、表示するので、ユーザーは、いずれかの工程の検査機で不良と判定された部位について、すべての検査機で生成された画像を比較しながら確認することができる。
【００２０】
また、この方法によれば、各検査機から情報処理装置に送信される画像データを、１つの検査領域の画像データに絞り込むことができるので、情報の容量を削減して効率の良い画像送信処理を行うことができる。また、情報処理装置でも、ユーザーが必要とする画像データのみを蓄積することで、メモリ資源を有効に使用することができる。
【００２１】
上記方法の好ましい態様では、各検査機において、ステップａにおいて、検査機間で共通の設定データを用いて、基板上の各部品に対応する検査領域を設定する。
他の好ましい態様では、前記情報処理装置は、前記ステップＤにおいて、前記メモリから読み出した各画像データを１つの画面内に配置して表示する。なお、この表示は、情報処理装置に付属のモニタ装置で行ってもよいが、これに限定されるものではない。たとえば、通信回線または所定の記憶媒体用のドライブ装置を画像データの出力先とすれば、ユーザーの使用する端末用コンピュータで各画像データを表示させることができる。
この態様によれば、各検査機からの画像データを１つの画面内に配置して表示することができるので、ユーザーは、各工程における不良部位の画像を簡単に比較することができる。
【００２２】
つぎに、上記検査方法を実施するための部品実装基板用の検査システムでは、各検査機は、検査対象の基板の画像に個々の部品に対応する検査領域を設定するための設定データが検査領域毎に登録されるとともに、各検査領域につき、それぞれ当該領域を特定するための情報として検査機間に共通の識別情報が登録される登録手段と、前記検査に使用した画像データを保存するための画像データベースと、前記設定データに基づき、前記基板の画像に各部品に対応する検査領域を設定して検査領域毎に検査を実行する検査実行手段と、前記検査実行手段による検査結果に基づき、検査領域毎の良否判定結果をそれぞれ検査領域および基板の識別情報に対応づけた検査結果情報を作成して前記情報処理装置に送信する検査結果情報送信手段と、前記検査に用いられた各検査領域の画像データを、それぞれ前記検査領域および基板の識別情報により読み出し可能な状態で前記画像データベースに保存する画像保存手段と、前記情報処理装置から所定の検査領域および基板の識別情報を含む送信要求を受信したとき、これらの識別情報を用いて前記送信要求に応じた画像データを前記画像データベースから読み出して、情報処理装置に送信する画像送信手段とを具備する。一方、前記情報処理装置は、各検査機から送信された画像データを保存するためのメモリと、前記メモリから読み出された画像データを表示するための表示手段と、各検査機からの検査結果情報のいずれかに不良判定を示す情報が含まれていたとき、当該不良判定を含む検査結果情報を用いて、その不良判定に対応づけられた検査領域および基板の識別情報を特定し、特定した各識別情報を含む送信要求を作成してすべての検査機に送信する送信要求手段と、前記送信要求に応じて各検査機から送信された画像データを、前記送信要求に含めた検査領域および基板の識別情報に対応づけて前記メモリに保存する画像保存手段と、前記メモリに保存された画像データに対応づけられた検査領域および基板の各識別情報の組み合わせの中から一組を特定して、その組み合わせに対応するすべての画像データを前記メモリから読み出し、これらを前記表示手段に表示させる表示制御手段とを、具備する。
【００２３】
上記検査システムの検査機において、検査実行手段、検査結果情報送信手段、画像保存手段、画像送信手段は、いずれも、その手段を実行するためのプログラムがセットされたコンピュータにより構成される。また、画像データベースは、このコンピュータに内蔵または外付けされたメモリ内に設けることができる。
【００２４】
なお、上記の段落で言うところのコンピュータは、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭのほか、通信回路などの周辺回路を含む広義のコンピュータであり、たとえばパーソナルコンピュータにより構成することができる。前記検査結果情報送信手段や画像送信手段は、通信回路を用いて情報処理装置への情報送信処理を行うことができる。
【００２５】
また、このコンピュータには、検査のための機能を持たせる必要があるので、２台以上のコンピュータにより検査機を構成し、検査および検査結果情報送信手段の機能を１のコンピュータに設定し、前記メモリ、画像保存手段、画像送信手段を他のコンピュータに設定するようにしてもよい。
【００２６】
また、基板の識別情報を、バーコード、２次元コード、文字列などにより基板に付与しておく場合には、各検査機には、検査対象の基板にかかる識別情報を認識する手段を設けるのが望ましい。この認識手段は、たとえば、検査対象の画像から基板に付された識別コードを抽出し、その内容を認識するものとなる。
【００２７】
情報処理装置側の送信要求手段、画像保存手段、表示制御手段も、プログラムにより、通信機能を有するコンピュータに設定することができる。メモリは、前記コンピュータに内蔵または外付けすることができる。また、相互に通信可能な２台のコンピュータに上記の手段を振り分けて設定することもできる。
【００２８】
上記システムの好ましい態様では、前記検査装置の登録手段には、各検査領域の設定データとして、検査機間で共通の設定データが登録される。
【００２９】
上記システムの他の好ましい態様では、前記情報処理装置の表示制御手段は、前記メモリから読み出した各画像データを１つの画面内に配置した表示用画像データを作成して、この表示用画像データを前記表示手段に出力する。
【００３０】
つぎに、この発明にかかる部品実装基板の製造方法は、処理対象の基板を複数の工程に順に導いて各工程による処理を実行するとともに、少なくとも２つの工程に検査機を設置して、その工程実行後の基板の画像を用いた検査を実行するものである。この方法でも、各検査機と通信可能な情報処理装置が設置され、各検査機および情報処理装置において、前記した検査システムと同様の方法が実行される。
【００３１】
上記の製造方法において、複数の工程には、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程を含めることができる。検査機はこれらの工程毎に設けるのが望ましいが、これに限らず、たとえば、はんだ印刷工程とはんだ付け工程、または部品実装工程とはんだ付け工程に設けることができる。また、はんだ印刷工程では、はんだ印刷機の前段にも検査機を設け、はんだ印刷前のプリント配線板の状態も検査するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３２】
この発明によれば、複数の工程に設置された検査機のいずれかで不良判定がなされたとき、その不良と判定された基板の不良判定部位について、不良と判定された基板を各検査機が検査したときに使用した対応する検査領域の画像データを、情報処理装置に集めて表示するようにしたから、ユーザは、各画像データを比較しながら確認することができる。よって、いずれかの工程で突発的な不良が生じたときに、その不良と判定された部位について、各検査機が対応する検査領域の検査に使用した画像を比較して、不良の発生原因などを詳細に分析することができる。また、途中工程で不良と判定されたのに、最終工程で良品と判定された基板については、ユーザーが各工程での画像を確認して、正しい判定をすることができる。また、不良判定がなされた途中工程の検査機の検査基準を見直す目的で各画像を確認することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
図１は、この発明が適用された基板製造ラインの構成を示す。
この実施例の基板製造ラインは、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程の３つの工程をコンベアでつないだ構成のものである。処理対象のプリント基板（以下、単に「基板」という。）を各工程に順に送り込むことにより、各種部品が適所にはんだ付けされた部品実装基板が製作される。なお、この基板製造ラインに送り込まれる基板には、固有の識別コードを示すバーコードラベルが貼付される（以下、この識別コードを「基板コード」という。）。
【００３４】
各工程には、それぞれ製造用装置３，４，５と検査機１Ａ，１Ｂ，１Ｃとが配備される。はんだ印刷工程の製造用装置３は、はんだ印刷機であり、基板の供給を受けると、シルクスクリーン印刷などにより前記基板の電極の位置にクリームはんだを塗布する。検査機１Ａは、はんだ印刷後の基板を対象として、はんだの塗布位置や量の適否などを検査する。以下、この検査機１Ａを「はんだ印刷検査機１Ａ」という。
【００３５】
部品実装工程の製造用装置４はマウンタであって、前記はんだ印刷工程を経た基板に各種部品を搭載する処理を実行する。なお、この部品実装工程では、汎用部品を実装するための高速マウンタと、それ以外の部品を実装するための異形マウンタの２種類を使用する場合がある。検査機１Ｂは、部品実装後の基板を対象として、部品の有無、位置ずれ、方向の適否などを検査する。以下、この検査機１Ｂを「部品実装検査機１Ｂ」という。
【００３６】
はんだ付け工程の製造用装置５はリフロー炉であって、前記部品実装工程を経た基板を加熱処理して、各部品を基板にはんだ付けする。検査機１Ｃは、リフロー炉５を通過した基板を対象として、はんだの位置、大きさ、傾斜状態などの適否を判別するほか、部品に対し、前記部品実装機１Ｂと同様の検査を実行する。以下では、この検査機１Ｃを「はんだ付け検査機１Ｃ」という。
【００３７】
各工程の検査機１Ａ，１Ｂ，１Ｃは、いずれも、その工程の製造用装置３，４，５から搬出された基板を取り込み、その基板を撮像して得られた画像を用いて外観検査を行うものである。なお、以下では、各検査機１Ａ，１Ｂ，１Ｃをまとめて表す場合には、単に、「検査機１」という。
【００３８】
各検査機１は、ＬＡＮ回線などのネットワーク回線７を介して相互に通信可能な状態に設定される。さらに、このネットワーク回線７には、情報処理装置であるサーバー２が接続される。このサーバー２は、詳細は後記するが、各検査機１との通信により、基板毎の検査結果を取り込むほか、必要に応じて、検査に使用した画像データなどの送信を受ける。送信された画像データは、サーバー２のハードディスクに保存される。
【００３９】
図２は、前記各検査機１に共通する構成を示す。
各検査機１は、制御本体として、２台のパーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」と略す。）１１，１２を具備する。一方のＰＣ１１は、検査のためのもので、他方のＰＣ１２は、検査に使用した画像を保存するために使用される（以下、ＰＣ１１，１２を個別に指す場合には、それぞれ「検査用ＰＣ１１」、「画像保存用ＰＣ１２」という。）。これらのＰＣ１１，１２は、前記ネットワーク回線７により相互に通信を行うことができる。また、いずれのＰＣ１１，１２も、他方のＰＣに依存することなく、他の工程の検査機１やサーバー２との通信を単独で行うことができる。
【００４０】
さらに、この検査機１には、カラー画像生成用のＣＣＤカメラ１０（以下、単に「カメラ１０」という。）、基板ステージ１４、および位置調整機構１３などが設けられる。カメラ１０および位置調整機構１３は、各ＰＣ１１，１２に個別に接続される。なお、ここでは、図示しないが、各ＰＣ１１，１２には、カメラ１０からの画像信号をディジタル変換するためのＡ／Ｄ変換回路が含まれている。また各ＰＣ１１，１２には、内蔵または外付けのハードディスクが設けられており、ＰＣ１１側のハードディスクには、検査結果を保存するためのデータベース（以下、「検査結果データベース」という。）が設定される。また、ＰＣ１２側のハードディスクには、前記検査に使用した画像データを保存するためのデータベース（以下、「画像データベース」という。）が設定される。
【００４１】
前記位置調整機構１３は、カメラ１０および基板ステージ１４の位置を調整することにより、検査対象の基板にカメラ１０を位置合わせするためのものである。この位置調整機構１３は、通常は、検査用ＰＣ１１の制御を受ける。ただし、何らかの原因で、画像保存用ＰＣ１２の画像保存処理が遅れた場合などに、画像保存用ＰＣ１２が制御を行う場合もある。この場合の制御は、画像の保存が終了するまで、カメラ１０や基板ステージ１４を停止させておくためのものである。
【００４２】
検査用ＰＣ１１は、位置調整機構１３を制御することにより、基板ステージ１４上の基板の所定範囲がカメラ１０の視野に含められるように調整した後、カメラ１０を駆動して検査対象の画像を生成させる。ここで生成された画像は、各ＰＣ１１，１２に同時に入力される。検査用ＰＣ１１は、あらかじめ設定された検査ロジックに基づき、前記入力画像を用いた検査を実行する。この間、検査用ＰＣ１１は、画像保存用ＰＣ１２と通信して、検査時の動作の内容などを伝達している。画像保存用ＰＣ１２は、その伝達情報に基づき、検査の流れに応じた所定のタイミングで入力画像を画像ファイルに変換し、前記画像データベースに保存する。
【００４３】
なお、この実施例では、検査対象の基板に、そのサイズに応じて複数の撮像対象領域を設定し、これらの撮像対象領域毎にカメラ１０を位置決めして、その撮像対象領域の画像を生成するようにしている。画像保存用ＰＣ１２は、前記画像データベースを構成するメモリ領域に、基板毎に個別のフォルダを設定し、１枚の基板について得た複数の入力画像をそれぞれ個別の画像ファイルにして、前記フォルダ内に保存するようにしている。なお、このフォルダには、対応する基板コードを含むフォルダ名が付与される。また、この実施例では、検査結果に関わらず、各基板の画像データを３．５日の期間、保存することにしている。
【００４４】
この実施例の各検査機１は、基板上の部品の実装位置毎に検査領域を設定するが、各検査機１間で共通の設定データを用いて、この検査領域を設定するようにしている。この検査領域は、部品、はんだ、基板上のランド（電極）を十分に含む大きさに設定される。各検査機１の検査用ＰＣ１１では、この共通の設定データに基づく検査領域を設定した後、検査の目的に応じて、その検査領域内に専用の検査領域（以下、「検査用ウィンドウ」という。）を設定し、その検査用ウィンドウ内の画像を計測し、その適否を判別する。たとえば、はんだ付け工程の検査用ＰＣ１１では、検査領域内のランドを含むように検査用ウィンドウが設定される。また、部品実装工程やはんだ付け工程の検査用ＰＣ１１では、前記ランドに対する検査用ウィンドウのほか、部品に対応する場所にも、その部品や部品側電極の大きさに応じた検査用ウィンドウが設定される。
【００４５】
なお、前記共通の検査領域には、それぞれ個別のコード情報が付与されている。このコード情報は、ユーザーにその領域内に実装される部品の識別番号として示されるもので、以下、これを「領域コード」という。検査用ＰＣ１１では、検査領域毎に、その検査領域で実行した計測結果や良否判定結果を含む検査結果ファイルを作成し、これを前記検査結果データベースに保存する。この検査結果ファイルのファイル名は、前記検査領域の領域コードを含むものとなる。また、検査結果データベースには、個々の基板毎に、その基板コードをフォルダ名とするフォルダが設定され、その中に、そのフォルダに対応する基板について得た各検査結果ファイルが格納される。
【００４６】
さらに、検査用ＰＣ１１は、前記検査結果ファイルとは別に、各検査領域毎の良否判定結果をまとめた検査結果情報を作成し、これを前記サーバー２に送信する。この検査結果情報は、たとえば、各検査領域の良否判定結果（ＯＫまたはＮＧ、具体的には「１」または「０」である。）を前記領域コードの順に配列し、その配列の前方に前記基板コードを付けた構成となる。
【００４７】
図３は、各検査機１に共通する検査の手順を示す。なお、この図３は、前記２台のＰＣによる処理をとりまとめたものであり、また１枚の基板に対する処理に相当する。複数枚の基板を処理する場合には、基板毎に図３の手順を繰り返す必要がある。なお、図３および以下の説明では、各処理のステップを「ＳＴ」として示す。
【００４８】
まずＳＴ１では、前段の製造用装置から検査対象の基板を搬入する。つぎのＳＴ２では、前記位置調整機構１３を用いてカメラ１０を基板の所定位置に合わせ、撮像を開始する。この撮像開始時は、まず前記基板上のバーコードラベルを撮像して、その画像中のバーコードを復号することにより、基板コードを認識する。なお、この認識処理は、検査用ＰＣ１１により行われるが、認識した基板コードは画像保存用ＰＣ１２にも転送される。
【００４９】
つぎのＳＴ４では、最初の撮像対象領域にカメラ１０の視野を合わせ、撮像を行う。ＳＴ５では、前記共通の設定データに基づき、入力画像に複数の検査領域を設定し、これら領域毎に計測処理や良否判定処理を実行する。なお、このＳＴ４，５の処理も、検査用ＰＣ１１により行われるもので、検査領域毎に得た計測データや良否判定の情報から前記検査結果ファイルが作成され、前記検査用ＰＣ１１の検査データベースに保存される。
【００５０】
入力画像中のすべての検査領域に対する検査が終了すると、ＳＴ６に進む。このＳＴ６は、画像保存用ＰＣ１２により実行されるもので、前記ＳＴ５での検査に用いた画像を前記画像データベースに保存する処理が行われる。
【００５１】
画像保存処理が終了すると、ＳＴ７からＳＴ４に戻る。以下、ＳＴ４〜７のループを繰り返すことにより、各撮像対象領域毎に画像を取得して検査を実行し、その検査に使用した画像を保存する。
【００５２】
すべての検査が終了すると、ＳＴ７からＳＴ８に進み、各検査領域の良否判定結果に基づき、基板全体としての良否を判定する。ＳＴ９では、この判定結果をモニタ１４に表示したり、前記検査結果データベースに保存する処理を行う。さらに、つぎのＳＴ１０では、前記した検査結果情報を作成してサーバー２に送信する。しかる後に、ＳＴ１１に進んで、基板を下流側に搬出し、処理を終了する。
【００５３】
つぎに、図４を用いて、サーバー２における処理について説明する。なお、この図４も、１枚の基板に対して実行される手順であり、複数の基板について、この図４の手順による処理が並列で行われる場合もある。なお、この図４では、各ステップを１００番台の数値により示す。
【００５４】
まず最初のＳＴ１０１で、はんだ印刷検査機１Ａからの検査結果情報を取得すると、ＳＴ１０２では、その検査結果情報に付された基板コードを認識する。そして、ＳＴ１０３、１０４では、それぞれ部品実装検査機１Ｂ、はんだ付け検査機１Ｃから、前記ＳＴ１０２で認識した基板コードと同じコードが付された検査結果情報を受信する。
【００５５】
上記ＳＴ１０１〜１０４の処理によれば、特定の１枚の基板について、各検査機１Ａ，１Ｂ，１Ｃにおける検査結果情報を取り込むことができる。この後、サーバー２は、これらの検査結果情報を順にチェックして、不良判定情報（ＮＧ）が含まれていないかどうかをチェックする。ここで、所定の検査機１からの検査結果情報に不良判定情報が含まれていると、ＳＴ１０５が「ＹＥＳ」となり、ＳＴ１０６以下のステップを実行する。他方、いずれの検査結果情報にも不良判定情報が含まれていなかった場合には、ＳＴ１０５が「ＮＯ」となり、処理を終了する。
【００５６】
ＳＴ１０６では、前記検査結果情報における不良判定情報の位置からその不良判定情報が設定された検査領域の領域コードを認識する。つぎに、ＳＴ１０７では、各検査機１に対し、前記ＳＴ１０２で認識した基板コードとＳＴ１０６で認識した領域コードとを含むコマンドによって、前記不良判定情報が設定された検査領域にかかる情報の送信を要求する（以下、このコマンドを「送信要求」という。）。具体的には、この送信要求は、前記ＳＴ１０２で認識した基板コードの基板につき、ＳＴ１０６で認識した領域コードの検査領域における検査結果や画像データの送信を要求するものとなる。
【００５７】
前記送信要求に応じて各検査機１から応答情報（詳細は後記する。）が返送されると、ＳＴ１０８では、これらの応答情報を前記ハードディスク内に保存する。なお、この保存に際し、ハードディスクには、前記送信要求の基板コードおよび領域コードを含むフォルダ名が付されたフォルダが設定され、そのフォルダ内に各検査機１から受信した応答情報が順に格納される。
【００５８】
ＳＴ１０５で複数の不良判定情報が抽出された場合には、不良判定情報毎に上記ＳＴ１０６〜１０８の処理が実行される。すべての不良判定情報を処理すると、ＳＴ１０９が「ＹＥＳ」となり、処理を終了する。
【００５９】
ここで、前記送信要求に対する検査機１側の処理について説明する。
送信要求に対する応答処理は、画像保存用ＰＣ１２が中心となって実行する。画像保存用ＰＣ１２は、送信要求を受けると、その中の基板コードにより前記画像データベースを検索し、この基板コードをフォルダ名とするフォルダを抽出する。そして、このフォルダから、前記送信要求に含まれていた領域コードの検査領域が含まれる画像ファイルを抽出した後、そのファイル内の画像データから前記検査領域の画像データを切り出す。
【００６０】
つぎに、画像保存用ＰＣ１２は、前記検査用ＰＣ１１との通信により、前記送信要求に含まれていた領域コードをファイル名に含む検査結果ファイルの提供を受ける。そして、この検査結果ファイルから読み出した情報と前記切り出した画像とを含む応答情報を作成し、これをサーバー２に送信する。
【００６１】
上記一連の処理によれば、いずれの工程の検査機１において不良判定が行われると、その不良判定がなされた検査領域について、各検査機１の検査に使用された画像データを含む応答情報がサーバーに蓄積されることになる。
【００６２】
サーバー２は、所定の時点で、図示しないキーボードからの呼び出し操作を受け付けて、ハードディスクに蓄積された各フォルダに順にアクセスする。そして、フォルダ毎に、そのフォルダに格納されている応答情報を用いて１枚の表示用の画像データを編集し、これを図示しないモニタなどに出力する。
【００６３】
図５は、前記応答情報ファイルにより編集された表示画面の例を示す。
この例では、はんだ印刷工程、部品実装工程、はんだ付け工程の各工程毎に、画像用ウィンドウ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが設定され、これらのウィンドウ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ内に、それぞれその工程の検査機１の応答情報から抽出された画像が表示されている。いずれの画像も、前記した共通の検査領域内の画像を同じ倍率で表したものである。また、各画像用ウィンドウ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの下方には、検査項目毎の検査の結果（ＯＫが○、ＮＧが×）や計測結果を表示した検査結果用のウィンドウ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが設定される。これらのウィンドウ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ内の表示情報も、前記応答情から抽出されたものである。
【００６４】
前記画像用ウィンドウ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの上方位置には、検査対象の基板に関する情報が表示されるが、この中に前記基板コードを示す情報２２や、検査領域の領域コードに相当する部品番号２３が含まれている。また、不良判定のなされた工程に対応する画像用ウィンドウ（図示例ではウィンドウ２０Ｂ）には、不良判定マーク２４が設定される。表示画面の左右の端部には、それぞれ１つ前の不良基板、１つ後の不良基板に表示を切り替えるための切替ボタン２５，２６が設定される。
【００６５】
なお、サーバー２では、特定の基板コードの入力を受け付けて、その基板コードに対応する表示のみを行うこともできる。また、このサーバー２に、別途、端末用のＰＣが接続された場合、このＰＣで前記キーボードと同様の操作を行って、表示用画像データを作成し、それをＰＣ側で表示するようにしてもよい。
【００６６】
また、この実施例では、各基板にバーコードラベルによる基板コードを付与したが、製造途中で基板の抜き取りが行われることがない場合には、各検査機において各基板に処理順に識別番号を付与し、この識別番号を前記基板コードに代えて使用してもよい。
【００６７】
また、この実施例では、画像保存用ＰＣにおいて、撮像対象領域毎に画像を保存するようにしたが、これに代えて、入力画像から検査領域毎に画像を切り出して保存するようにしてもよい。この場合の各画像ファイルには、ファイル名として、対応する検査領域の領域コードを付与することができるから、サーバーからの送信要求を受信した場合には、その送信要求の基板コードおよび領域コードにより、対応する画像ファイルを速やかに読み出すことができる。
【００６８】
さらに、この実施例の検査機１では、サーバー２からの送信要求に応じて、その送信要求により指定された情報、すなわち自装置または他の検査機１で不良と判別された基板にかかる画像データや検査結果をサーバー２に送信しているが、さらに、この基板の前後に検査した複数枚の基板の情報を送信してもよい。この場合にも、各基板毎に読み出す情報は、不良判別がなされた検査領域の画像データや検査結果に限定することができる。また、サーバー２側では、これら不良発生前後の基板についても、図５に示したのと同様に、前記不良判定がなされた検査領域について、各工程における同一基板の画像を並べて表示することができる。また、不良が発生した工程について、不良基板およびその前後の複数枚の基板における同一検査領域（前記の不良が発生した領域）の画像を並べて表示することもできる。また、不良が発生した基板の当該不良発生にかかる工程（たとえば、部品実装工程）の画像を中央に表示するとともに、その左右に、不良発生前後の基板の前工程（たとえばはんだ付け工程）における画像を配置するなどしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明が適用された基板製造ラインの一例を示す説明図である。
【図２】検査機１のブロック図である。
【図３】検査の手順を示すフローチャートである。
【図４】サーバーにおける照合処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】サーバーのモニタ表示画面の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  検査機１
２  サーバー
３  はんだ印刷機
４  マウンタ
５  リフロー炉
７  ネットワーク回線
１０  カメラ
１１  検査用ＰＣ
１２  画像保存用ＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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