(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液通路を流通する処理液から金属粉を収集するマグネットフィルタを洗浄回路で清掃し、マグネットフィルタから排水回路に向けて金属粉を除去するようにしたマグネットフィルタの清掃装置であって、
前記マグネットフィルタは、循環配管に取り付けられる筒体と、この筒体に連通し且つ循環配管内に向けて張出す金属付着部としての複数の集粉筒と、各集粉筒の内部に出入可能な複数の磁石と、これら磁石を一括して進退動させるエアシリンダユニットを備え、前記複数の集粉筒は、筒体の中心部とその周囲に設けられ、前記筒体の中心部に設けられた集粉筒近傍に、マグネットフィルタの清掃時期を判断する清掃時期検出手段を設け、この検出手段の検出信号によって前記マグネットフィルタの下流の処理液通路に接続された洗浄回路および前記マグネットフィルタの上流の処理液通路に接続された排水回路のバルブを作動させ、マグネットフィルタの清掃を自動で開始するようにしたことを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記清掃時期検出手段は、マグネットフィルタの金属付着部に付着した金属粉の付着量を測定する検出部を備え、この検出部の測定データによって清掃時期を判断するようにされることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項３】
請求項２に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記検出部は、マグネットフィルタの金属付着部に近接して超音波を発信し、反射波を受信する超音波センサによって構成され、反射波の強度により清掃時期を判断するようにされることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項４】
請求項１に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記清掃時期検出手段は、マグネットフィルタより下流の処理液中の金属粉の量を測定する検出部を備え、この検出部の測定データによって清掃時期を判断するようにされることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項５】
請求項１に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記清掃時期検出手段は、マグネットフィルタの前後の処理液中の金属粉の量を測定するそれぞれの検出部を備え、各検出部の測定データの比較によって清掃時期を判断するようにされることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記検出部は、処理液中の超音波の透過速度を測定する超音波センサによって構成されることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項７】
請求項６に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記超音波センサが取付けられる処理液通路の配管は、超音波センサの取付面が平坦になるよう加工されることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【請求項８】
請求項４又は請求項５に記載のマグネットフィルタの清掃装置において、前記検出部は、処理液配管の近傍に配置されるコイルによって構成されることを特徴とするマグネットフィルタの清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば自動車車体の塗装前処理槽の処理液から金属粉を除去するマグネットフィルタの清掃装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば自動車の車体に塗装前処理を施す際、処理液中に含まれる金属粉を除去する装置として、例えば特開平８−２９６０８９号のような金属粉除去装置が知られている。
【０００３】
この装置は、処理液中の金属粉を除去する金属粉除去部を備え、この金属粉除去部は、処理液が循環する循環路内に張出す筒状の集粉部と、この集粉部の筒内と筒外を移動自在な集粉磁石を備えるとともに、筒内に集粉磁石を移動させた状態で、循環路内を通過する処理液から金属粉を引寄せて集粉部の表面に付着させるようにしている。そして集粉部を清掃する時は、集粉部の周囲のバルブ等を制御して洗浄回路に連通させ、集粉磁石を集粉部の筒内から引抜いて磁石による磁力の影響を消した後、洗浄回路から洗浄液、洗浄エアを導入して集粉部表面等に付着する金属粉を洗浄し除去するようにしている。そしてこのような清掃を定期的に行うようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記技術では、集粉部の清掃を定期的に行うようにしているため、例えば生産量や機種等が変化して金属粉の発生量が多くなると、集粉部の表面に多量の金属粉が層状に溜まって限界を越えるようになる。そしてこのように収集量が限界を越えると、層状に溜まった部分から塊状の金属粉の一部が剥げ落ちて、例えば循環路を通して処理槽の中に戻され（リークし）、しかも多少磁気を帯びているため、車体の表面に容易に付着して悪影響を与える等の不具合がある。
【０００５】
そこで本発明は、収集した金属粉の量が金属除去装置の限界を越えて塊状の金属粉が剥げ落ちるような不具合を防止することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明は、請求項１において、処理液通路を流通する処理液から金属粉を収集するマグネットフィルタを洗浄回路で清掃し、マグネットフィルタから排水回路に向けて金属粉を除去するようにしたマグネットフィルタの清掃装置において、
前記マグネットフィルタは、循環配管に取り付けられる筒体と、この筒体に連通し且つ循環配管内に向けて張出す金属付着部としての複数の集粉筒と、各集粉筒の内部に出入可能な複数の磁石と、これら磁石を一括して進退動させるエアシリンダユニットを備え、前記複数の集粉筒は、筒体の中心部とその周囲に設けられ、前記筒体の中心部に設けられた集粉筒近傍に、マグネットフィルタの清掃時期を判断する清掃時期検出手段を設け、この検出手段の検出信号によって前記マグネットフィルタの下流の処理液通路に接続された洗浄回路および前記マグネットフィルタの上流の処理液通路に接続された排水回路の洗浄回路のバルブを作動させ、マグネットフィルタの清掃を自動で開始するようにした。
【０００７】
そして清掃時期検出手段によって、マグネットフィルタで収集した金属粉が限界に達する前の所定量の時点で自動的に清掃が行われるようにすれば、マグネットフィルタから塊状の金属粉が剥げ落ちるような不具合を防止することが出来る。
ここで、マグネットフィルタとは、例えば特開平８−２９６０８９号に示されるような磁石移動型の金属粉除去部等が適用出来る。
【０００８】
また清掃時期検出手段は、例えばマグネットフィルタで収集した金属粉の量を直接センサ等で検出するようにしても良く、或いは、マグネットフィルタの下流またはマグネットフィルタの前後の処理液中に含まれる金属粉の量を検出して、間接的にマグネットフィルタの収集能力の限界を判断するようにしても良い。
【０００９】
また請求項２では、清掃時期検出手段として、マグネットフィルタの金属付着部に付着した金属粉の付着量を測定する検出部を設け、この検出部の測定データによって清掃時期を判断するようにした。
【００１０】
このようにマグネットフィルタの金属付着部に付着した金属粉の付着量を直接検出すれば、清掃時期の判断を適切に行うことが出来る。
ここで、金属粉の付着量を測定する検出部として、例えば付着した金属粉によって伝搬路が遮られる超音波センサとか、光センサ等が適用出来る。
【００１１】
また請求項３では、前記検出部を、マグネットフィルタの金属付着部に近接して超音波を発信し反射波を受信する超音波センサによって構成し、反射波の強度により清掃時期を判断するようにした。
【００１２】
そしてマグネットフィルタの金属付着部に金属粉が付着していない状態では、超音波が金属付着部の近傍をそのまま通過し、金属粉の付着量が所定量に達すると、超音波が遮られて、反射波の強度（音圧）が弱まるようにする。そしてこの反射波の強度（音圧）の減衰が一定値に達した時点で清掃を開始するようにする。
ここで、超音波センサとして、単一のセンサで発信、受信を行うようにすれば、取付場所等に制約が少なくなり簡素に構成出来る。
【００１３】
また請求項４では、他の清掃時期検出手段として、マグネットフィルタより下流の処理液中の金属粉の量を測定する検出部を設け、この検出部の測定データによって清掃時期を判断するようにした。
【００１４】
このようにマグネットフィルタより下流の処理液中の金属粉の量を検出することで間接的にマグネットフィルタの収集能力の限界等を知るようにすれば、例えばセンサ等を制約の少ない配管に取付けることが出来、簡易に且つ安価に構成出来る。
ここで、検出部としては、例えば処理液中の音波の伝搬速度を測定して金属粉含有量を検出する超音波透過法とか、或いは処理液中を金属粉（導電物）が移動する際の誘導電流の変化を測定するコイル検出方式等が適用出来る。
【００１５】
また請求項５では、その他の清掃時期検出手段として、マグネットフィルタの前後の処理液中の金属粉の量を測定するそれぞれの検出部を設け、各検出部の測定データの比較によって清掃時期を判断するようにした。
【００１６】
ここで、通常はマグネットフィルタの前（上流側）の方が後（下流側）の方に較べて金属粉の含有量が多いが、マグネットフィルタへの金属付着量が限界に達すると、マグネットフィルタの後の方が金属量が多くなる。そこで、例えば測定値が逆転した時点等を清掃開始時期とする。
そしてこの場合も、センサ等を制約の少ない配管に取付けることが出来、比較的簡素に且つ安価に構成出来る。
【００１７】
また請求項６では、マグネットフィルタの下流、またはマグネットフィルタの前後の処理液中の金属粉の量を測定する検出部を、処理液中の超音波の透過速度を測定する超音波センサによって構成した。
【００１８】
すなわち、処理液中を透過する音波の伝搬速度を測定することで、処理液中に含まれる金属粉の量を判定する。ここで、音の伝搬速度は、処理液中に含まれる金属粉の量によって変化し、例えば水中の音速が１５００m/secの時、同条件で鋼の音速は５９００m/secのため、処理液が綺麗な時に較べて金属粉の含有量が多くなると、伝搬速度は速くなり伝搬時間が短くなる。
【００１９】
また請求項７では、上記超音波センサが取付けられる処理液通路の配管を、超音波センサの取付面が平坦になるよう加工した。
【００２０】
ここで、超音波センサを配管の曲面に取付けると、センサの取付面と配管の間に空気層が介在し、測定時にノイズ等が発生する原因になる。そこで、センサの取付面と配管が密着するよう、例えば配管表面をフライス加工して平坦面とする。
【００２１】
また請求項８では、マグネットフィルタの下流、またはマグネットフィルタの前後の処理液中の金属粉の量を測定する検出部を、処理液配管の近傍に配置されるコイルによって構成した。
【００２２】
すなわち、例えば処理液通路の配管に近接してコイルを配設し、このコイルに電流を流して処理液の流れに対して直角に磁界をかけて誘導電流を発生させるとともに、この誘導電流の変化を測定することで、処理液中に含まれる金属粉の量を判定する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について添付した図面に基づき説明する。
ここで図１は本清掃装置の回路構成図、図２はマグネットフィルタの構成例図、図３は超音波反射法のセンサの取付位置を示す図２のＡ視拡大図、図４は超音波反射法の測定原理を説明する説明図、図５は超音波透過法の測定方法の説明図、図６は超音波透過法のセンサの取付状態の説明図、図７はコイル検出方式の説明図、図８は清掃装置の回路のバルブの制御方法等を説明するチャートである。
【００２４】
本発明に係るマグネットフィルタの清掃装置は、例えば自動車の車体に静電塗装を施す前処理工程において、脱脂、化成処理、水洗等の処理液に混入する金属粉を除去するマグネットフィルタを清掃する装置として構成され、このようなマグネットフィルタは、例えば処理槽の貯溜される処理液の一部を抜出して循環させる循環路の途中に配設されるとともに、マグネットフィルタで金属粉を除去した処理済みの処理液は、再び処理槽に戻されるようになっている。
【００２５】
すなわち、図１に示すように、この循環路１には、不図示の処理槽等から金属粉を含む処理液を吸込むポンプ２と、このポンプ２の下流の循環路１を開閉制御する第１電磁弁Ｖ1と、この第１電磁弁Ｖ1の下流で金属粉を収集するマグネットフィルタ３と、このマグネットフィルタ３に付着した金属粉の量を検出する検出部４と、この検出部４の下流の循環路１を開閉制御する第２電磁弁Ｖ2が配設されており、この第２電磁弁Ｖ2を通過した処理液は、例えば処理槽等に戻されるようになっている。
【００２６】
また、マグネットフィルタ３の下流の循環路１には、洗浄回路５が接続されており、この洗浄回路５は、マグネットフィルタ３に向けて洗浄エアを送り込むエア洗浄回路５ａと、洗浄水を送り込む洗浄水洗浄回路５ｂを備えるとともに、マグネットフィルタ３に溜まっている金属粉等を、洗浄エアまたは洗浄水で排水回路６に向けて排出出来るようにしている。
【００２７】
そしてこの排水回路６には第３電磁弁Ｖ3を配設し、また前記洗浄回路５のうち、エア洗浄回路５ａには第４電磁弁Ｖ4を配設し、洗浄水洗浄回路５ｂには第５電磁弁Ｖ5を配設している。
尚、前記ポンプ２と第１電磁弁Ｖ1の間には、戻し回路７を設け、この戻し回路７には、第６電磁弁Ｖ6を配設している。そしてこの戻し回路７は、いずれか一方のマグネットフィルタ３を清掃中に、ポンプ２に負荷がかからないよう処理液を処理槽に戻すためのものである。
【００２８】
前記マグネットフィルタ３は、図２に示すように、循環配管１０に取付けられる筒体１１と、この筒体１１に連通し且つ循環配管１０内に向けて張出す金属付着部としての複数の集粉筒１２、…と、各集粉筒１２、…の内部に出入可能な複数の磁石１３、…と、これら磁石１３、…を一括して進退動させるエアシリンダユニット１４を備え、前記複数の集粉筒１２、…は、実施形態では筒体１１の中心部に設けられる集筒１２と、その周囲の６本の集粉筒１２、…の合計７本とされている。
【００２９】
そして、各磁石１３、…が各集粉筒１２、…内部に挿入された状態では、処理液中に含まれる金属粉が磁石１３、…に引寄せられて各集粉筒１３、…の表面に付着するようにし、またエアシリンダユニット１４の作動によって、磁石１３、…が各集粉筒１２、…から引抜かれると、各集粉筒１２、…に付着する金属粉に対して磁力の影響が及ばなくなるようにしている。
【００３０】
前記検出部４は、第１構成例では、マグネットフィルタ３に取付けられ、集粉筒１２に付着した金属粉の付着量を超音波反射法により検出するようにしている。
すなわち、図２及び図３に示すように、集粉筒１２、…近傍のマグネットフィルタ３の隔壁を透明なアクリル板３ａとし、このアクリル板３ａのうち、中央の集粉筒１２に近接して超音波センサ１５を取付け、集粉筒１２の周壁の軸方向に沿って超音波を発信した後、集粉筒１２の底面で反射する反射波を受信することが出来るようにしている。
【００３１】
そしてこのような超音波反射法による測定を、図４に基づき説明すると、図４（Ａ）に示すように、集粉筒１２に金属粉が付着していない場合は、右方のグラフに示すように、超音波波形の時間ｔ（横軸）経過時の、反射の強さｈ（縦軸）が検知されるが、図４（Ｂ）に示すように、金属粉ｋが付着している場合は、右方のグラフに示すように、縦軸の反射の強さｈ´が減衰し、例えば超音波ビームが半分遮られると、反射の強さは半分のｈ／２に減衰する（数dB下がる。）。
またこの超音波反射法による超音波センサ１５は、ビームの広がりが少ない高い周波数（例えば１０ＭＨｚ程度）のものが好ましい。
【００３２】
ここで、中央の集粉筒１２に近接して取付けているのは、周辺の集粉筒１２より中央の集粉筒１２の方が、金属粉が安定した状態で付着するからである。
また、超音波センサ１５の取付部を透明なアクリル板３ａとしているのは、同部から集粉筒１２、…に付着した金属粉が目視で確認出来るため便利なためである。
尚、図４（Ｂ）の金属粉ｋの付着表示は軸方向に沿って複数段に分れて付着した状態をやや誇張して表示しているが、実際の付着もこのように軸方向に波打った状態で段状に付着することが多い。
【００３３】
以上のような要領で、集粉筒１２に付着する金属粉が所定量に達したことが検知されると、清掃開始信号が発せられるようにし、後述する要領で電磁弁等を制御するようにしている。
因みに、この清掃開始のタイミングは、マグネットフィルタ３が収集限度に達するより前の段階である。
【００３４】
次に、検出手段を、超音波透過法とする場合の第２構成例について、図５に基づき説明する。
超音波透過法は、超音波を斜めに伝搬するためのくさび１６に超音波振動子１７が接着されたセンサ１８を循環配管１０の上下に斜めに取付け、超音波パルスの発信、受信を交互に行うようにされ、パルスの伝搬時間から処理液中に含有される金属粉の量を求める方式であり、例えば水中における音速が１５００m/secである時、鋼での音速は５９００m/secであり、金属粉の含有量が多くなって処理液が汚れてくると、伝搬時間が短くなる。
【００３５】
ここで、この超音波透過法によるセンサ１８の取付けは、マグネットフィルタ３の下流の配管１０に設けるか、或いはマグネットフィルタ３の前後の配管に設けるようにする。
そして、マグネットフィルタ３の下流側に設ける場合は、マグネットフィルタ３の収集能力が限界に達する時点における下流の処理液中の金属粉含有量で清掃開始指令が発せられるようにし、マグネットセンサ３の前後に設ける場合は、例えば、上流側の処理液中の金属含有量に較べて、下流側の処理液中の金属含有量が多くなった時点等で清掃開始指令が発せられるようにする。
【００３６】
またこの超音波透過法における超音波センサ１８の取付けは、図６（Ａ）に示すように、配管１０の外表面をフライス加工等によって平坦面１０ｈ、１０ｈにし両方のセンサ１８、１８のくさび１６、１６の取付面を平行にして取付ける。これは、図６（Ｂ）に示すように、配管１０が曲面のままであると、センサ１８のくさび１６の取付面と配管１０表面との間に空気層ｅが介在して、ノイズが発生する原因になるからである。
【００３７】
次に、検出手段をコイル検出方式にする第３構成例について、図７に基づき説明する。
このコイル検出方式は、磁界の中を導電性の物体が通過すると誘導電流が変化する性質を利用するものであり、図７に示すように、配管１０に近接してコイル２０を配設し、このコイル２０に電流を流して、処理液の流れに対して直角に磁界をかけるとともに、誘導電流の変化をアンプ２１を介して測定するものである。
【００３８】
そしてこのようなコイル２０は、マグネットフィルタ３の下流側の配管１０に設けるか、またはマグネットフィルタ３の前後の配管１０に設けるようにする。因みに、このコイル検出方式は手軽であるが、循環配管１０が鋼管等の磁性体であると測定出来ないため、例えば設置箇所の配管１０を塩化ビニル管、アクリル樹脂管等の樹脂管に置き換える必要がある。
【００３９】
次に、以上のような清掃装置による電磁弁制御等について、図１乃至図４の超音波反射法を代表にして図８に基づき説明する。尚、図８の上部の回路図は、図１の回路図と同じであるが、図８では処理槽Ｓ、排出タンクＨ、処理済槽Ｔ等を追加表示している。
【００４０】
すなわち、上部の回路図において、処理槽Ｓに貯溜される汚れた処理液は、除去すべき金属粉を多量に含んでおり、この処理液はポンプ２によって吸込まれた後、第１電磁弁Ｖ1及び循環路１を通ってマグネットフィルタ３に送り込まれる。
そしてマグネットフィルタ３では、集粉筒１２の筒内に磁石１３が挿入された状態であるため、金属粉は集粉筒１２の表面に付着し、金属粉が除去された処理液は、検出部４及び第２電磁弁Ｖ2を通して処理済槽Ｔに送られる。（図中、二重実線矢印）
【００４１】
この時の各電磁弁等の状態は、下図のタイムチャート左方の「脱鉄中」に示す通り、第１、第２電磁弁Ｖ1、Ｖ2が開いた状態で、残り第３、第４、第５電磁弁Ｖ3、Ｖ4、Ｖ5はいずれも閉じた状態にある。またマグネットフィルタ３の磁石１３は集粉筒１２の筒内に挿入されて集粉状態（ＯＮ）にある。
【００４２】
次に、検出部４が、集粉筒１２に付着した金属粉が所定量に達したことを検出すると、清掃開始信号が発せられ、洗浄回路５が作動する。
すなわち、第１電磁弁Ｖ1が閉じられた後、第２電磁弁Ｖ2が閉じられて第１電磁弁Ｖ1と第２電磁弁Ｖ2の間の循環路１が閉鎖系にされ、次いで第３電磁弁Ｖ3が開かれて第４電磁弁Ｖ4も開かれる。すなわち、エア洗浄回路５ａと排出回路６が循環路１の閉鎖系部分に連通する。
またマグネットフィルタ３の磁石１３が集粉筒１２から引抜かれて消磁状態（ＯＦＦ）とされる。
【００４３】
このため、洗浄エアがマグネットフィルタ３に向けて圧送され、閉鎖系内部に残留する処理液と、集粉筒１２に付着する金属粉が排出回路６を通って排出タンクＨ内に排出される。
そして一定時間が経過すると、第４電磁弁Ｖ4が閉じられて第５電磁弁Ｖ5が開かれ、洗浄エアに代って洗浄水が送給される。そしてこの洗浄水で集粉筒１２附近に付着残留する金属粉が綺麗に除去され、これも排出回路６を通して排出タンクＨ内に排出される。（図中、二重鎖線矢印）
尚、このような洗浄中、ポンプ２で送られる処理液は、戻し回路７を通して処理槽Ｓに戻され、ポンプ２に過大な負荷がかかるのが防止される。
【００４４】
因みに、排出タンクＨの近傍には、金属粉と濾過液を分離するフィルタｆ、及びフィルタｆで収集した金属粉を溜める鉄粉タンクＸ等が設けられ、また排出タンクＨと処理槽Ｓの間には循環配管８を接続し、途中にポンプｐを配設している。そして濾過液のレベルが所定レベルに達すると、ポンプｐを作動させて濾過液を処理槽Ｓに戻すようにしている。
【００４５】
このような清掃が終えると、マグネットフィルタ３の磁石１３を集粉筒１２に挿入し（ＯＮ）、第５電磁弁Ｖ5と第３電磁弁Ｖ3を閉じた後、第２電磁弁Ｖ2を開き、最後に第１電磁弁Ｖ1を開いて脱鉄状態にする。
そして、以上のような電磁弁操作は自動的に制御される。
【００４６】
以上のような装置構成によって、マグネットフィルタ３が収集限界に達する前に清掃され、金属粉の除去能力の低下が防止されるが、超音波透過法、及びコイル検出方式による場合の電磁弁の制御等も同様な要領で行われる。
【００４７】
尚、本発明は以上のような実施形態に限定されるものではない。本発明の特許請求の範囲に記載した事項と実質的に同一の構成を有し、同一の作用効果を奏するものは本発明の技術的範囲に属する。
例えば本装置は自動車の車体塗装の前処理だけでなく、その他の処理液のマグネットフィルタ３の清掃装置に適用しても良く、また、マグネットフィルタ３の構成等も任意である。
【００４８】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るマグネットフィルタの清掃装置は、請求項１のように、マグネットフィルタの近傍に設けた清掃時期検出手段によって清掃時期を検出し、この検出信号で洗浄回路のバルブを作動させ、マグネットフィルタの清掃を自動で開始するようにしたため、マグネットフィルタの能力が低下するような不具合を防止出来、金属粉の除去作用を高めることが出来る。
また請求項２のように、清掃時期検出手段として、マグネットフィルタに付着した金属粉の付着量を測定する検出部を設ければ、清掃時期の判断を適切に行うことが出来るとともに、請求項３のように、検出部を、マグネットフィルタの金属付着部に近接して超音波を反射式に伝搬させる超音波センサによって構成すれば、単一のセンサで簡易に構成出来る。
【００４９】
また請求項４のように、他の清掃時期検出手段として、マグネットフィルタより下流の通路の処理液中の金属粉の量を測定する検出部を設ければ、センサ等を各種制約の少ない配管に取付けることが出来、簡易に且つ安価に構成出来る。
また請求項５のように、その他の清掃時期検出手段として、マグネットフィルタの前後の通路の処理液中の金属粉の量を測定するそれぞれの検出部を設けても、同様に簡素で且つ安価な構成に出来、しかも清掃時期の判断も適切に行える。
【００５０】
そして請求項６のように、処理液中の金属粉の量を測定する検出部を、処理液中の超音波の透過速度を測定する超音波センサによって構成すれば、例えば既存の流量センサ等を使用することが出来て便利である。また請求項７のように、超音波センサが取付けられる処理液通路の配管を平坦に加工すれば、測定精度を向上させることが出来る。
また請求項８のように、処理液中の金属粉の量を測定する検出部を、処理液配管の近傍に配置したコイルによって構成しても、簡単に構成出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本清掃装置の回路構成図
【図２】マグネットフィルタの構成例図
【図３】超音波反射法のセンサの取付位置を示す図２のＡ視拡大図
【図４】超音波反射法の測定原理を説明する説明図で、（Ａ）は金属付着部に金属粉が付着していない状態、（Ｂ）は金属付着部に金属粉が付着した状態図
【図５】超音波透過法の測定方法の説明図
【図６】超音波透過法のセンサの取付状態の説明図で、（Ａ）は配管の取付面を平坦にした状態、（Ｂ）は配管表面が曲面の状態図
【図７】コイル検出方式の説明図
【図８】清掃装置の回路のバルブの制御方法等を説明するチャート
【符号の説明】
１…循環路、３…マグネットフィルタ、４…検出部、５…洗浄回路、１０…配管、１２…集粉筒、１５…超音波センサ、１８…超音波センサ、２０…コイル、ｋ…金属粉、Ｖ1…第１電磁弁、Ｖ2…第２電磁弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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