(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層基板を形成するための樹脂シートとして利用されるシート材に設けられたビアホールとなる孔内に、導電ペーストである流動状物質を充填する充填装置であって、
前記シート材を保持するためのシート材保持部と、
前記シート材保持部に保持されたシート材の端部を押えるシート材端部押え部と、
前記シート材の表面に当接して移動し、前記流動状物質をシート材の孔内に充填する流動状物質充填部とを備え、
前記シート材保持部は、前記シート材の外周縁の内側近傍であって、前記シート材に設けられた孔にかからない範囲に位置する閉じた経路の溝からなる吸引部を有し、
前記吸引部を介して前記シート材を真空吸引保持し、
前記シート材端部押え部は、前記シート材に設けられた孔にかからない範囲で、前記流動状物質充填部の移動方向における前記シート材の両側の端部を押え、
前記流動状物質充填部は、前記シート材端部押え部に挟まれた領域のシート材表面上を移動し、当該流動状物質充填部に設けられた前記シート材の表面に当接するスキージにより、前記シート材の表面に供給された前記流動状物質を前記シート材に設けられた孔内に充填することを特徴とする流動状物質の充填装置。
【請求項２】
前記樹脂シートが、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の流動状物質の充填装置。
【請求項３】
前記樹脂シートの厚さが、２５μｍから１２５μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または２に記載の流動状物質の充填装置。
【請求項４】
前記シート材保持部における前記シート材を保持する面は、前記閉じた経路の溝からなる吸引部の内側に、他の真空吸引部を有していないことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の流動状物質の充填装置。
【請求項５】
前記閉じた経路の溝からなる吸引部が、２本以上あることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の流動状物質の充填装置。
【請求項６】
前記シート材端部押え部は、前記シート材保持部に設けた吸引部の内側にかかる位置までシート材を押えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載の流動状物質の充填装置。
【請求項７】
前記シート材端部押え部は、該シート材端部押え部の押える前記シート材の一方側の端部から他方側の端部にかけて設けられた２本のレールからなる、前記流動状物質充填部の移動を案内するための充填部案内部と一体形成され、
前記流動状物質充填部が前記充填部案内部に沿って、前記シート材端部押え部により押えられた前記シート材の両端部の間を直線的に移動することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の流動状物質の充填装置。
【請求項８】
前記充填部案内部と一体形成された前記シート材端部押え部は、前記流動状物質充填部を上に載せて収納する領域を有し、
前記領域に収納した前記流動状物質充填部と共に、前記シート材の上方に持ち上げて、前記シート材に平行な面内で前記充填部案内部に沿った前記流動状物質充填部の移動方向と垂直な方向に、移動可能なことを特徴とする請求項７に記載の流動状物質の充填装置。
【請求項９】
前記流動状物質充填部は、ペースト保持室と該ペースト保持室に隣接して配置される排気室とを有してなり、
前記排気室の開口側の先端部に形成されたシール材を前記シート材の表面に当接することによって第１の密閉空間を形成し、この第１の密閉空間を減圧し、
前記ペースト保持室の開口側の先端部に形成されたシール材を前記シート材の表面に当接することによって第２の密閉空間を形成し、この第２の密閉空間において、前記流動状物質を前記シート材に設けられた孔内に押し込むための押し込み部を構成するヘッドが移動可能に支持され、
前記排気室と前記シート材によって形成される前記第１の密閉空間内にある前記シート材に設けられた孔内が真空排気された後、その真空排気された孔が前記第２の密閉空間内に位置するように前記流動状物質充填部を移動し、
前記押し込み部を構成する前記ヘッドの前記シート材に対向する側の表面に設けられた前記スキージにより、前記第２の密閉空間内における前記シート材の表面に供給された前記流動状物質が前記真空排気されたシート材に設けられた孔内に押し込まれることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１つに記載の流動状物質の充填装置。
【請求項１０】
前記吸引部の真空度は、前記排気室の真空度と同等以上であることを特徴とする請求項９に記載の流動状物質の充填装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート材に設けられた孔内に流動状物質を充填する充填装置であって、薄くて柔らかいシート材に設けられた孔内にも、孔底まで確実に流動状物質を充填することが可能な充填装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
シート材に設けられた孔内に流動状物質を充填する充填装置として、例えば、スクリーン印刷機が知られている。スクリーン印刷機は、プリント基板を構成する絶縁シートに形成された孔（ビアホール）内に、流動状物質である導電ペーストを充填する。
【０００３】
この従来からあるスクリーン印刷機においては、貫通孔に対してはペーストを問題なく押し込むことができるが、例えば底部に配線パターンのパッドを設けたようなビアホールが有底孔となる場合には、印刷時に孔の奥の空気とペーストとがうまく入れ替わることができず、孔の下部に空気が残ってしまい充填不良が生ずる。
【０００４】
この問題を解決するために、本発明者らは、スクリーン印刷機のような印刷スクリーンを用いることなく、シートに設けられた微細な有底孔内にも流動状物質を充填することが可能な充填装置を発明した。
【０００５】
図３に、この充填装置２００による充填の様子を、模式的に示す。
【０００６】
図３においては、導電ペースト充填用の孔１０を設けたシート１がベース部７に上に設けられた保持部２の上に置かれ、保持部２の全面に渡って等間隔に形成された複数の吸引孔３によってシート１を保持部２の方向に吸引することで、シート１が保持部２に固定される。このようにして固定されたシート１に対して、スキージ５を取り付けたヘッド６０を移動しながら、スキージ５を介して導電ペースト４を孔１０内に押し込んでいく。尚、図３では図示を省略したが、この発明の充填装置２００では、ヘッド６０，スキージ５，導電ペースト４が、シート１と当接する２重の真空室の内側の真空室に配置され、外側の真空室によって導電ペースト４を充填する直前の孔１０の内部を真空排気する。このようにして、真空排気された孔１０に導電ペースト４を押し込んでいくことで、有底孔の場合においても、導電ペースト４を孔２０内に確実に充填することができる。
【０００７】
尚、この発明については、すでに特許出願済み（出願番号２００１−３１３１２０）である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
前記発明の充填装置２００では、厚いシート材や硬いシート材に対しては、微細で深い有底孔にも導電ペーストを確実に充填することができる。一方、薄くて柔らかいシート材に対しては、図４に示したような問題が生じる。
【０００９】
図４は、薄くて柔らかいシート材に対して前記発明の充填装置２００を用いた場合の、充填済みシートにおける問題発生部位を拡大して示したものである。尚、図４において図３と同様の部分については同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【００１０】
保持部２には全面に渡って複数の吸引孔３が等間隔に形成されているが、保持部２の上に置かれているシート１が薄くて柔らかい場合には、シート１の吸引孔３に面した部分が真空吸引により変形し、図４に示したようにくぼみが発生する。従って、保持部２の全面に渡って等間隔に形成されている吸引孔３の近傍に導電ペーストの充填孔２２，２３が位置してしまうと、シート１の変形によりシート１とスキージ５との密着性が悪化し、充填孔２２，２３へのペーストの充填量が不足して、図４に示したようにペーストの充填不良４２，４３が発生する。
【００１１】
また、シート１の端部１１の下には吸引孔３が配置されないため、シート１の端部１１は真空吸引による固定が不十分となる。このため、シート１が薄くて柔らかい場合には、スキージの動きによって図４に示したように端部１１が変形してめくれ上がり易い。従って、前記と同様、変形した端部１１に導電ペーストの充填孔２１があると、シート１の変形により充填孔２１へのペーストの充填量が不足して、図４に示したようにペーストの充填不良４１が発生する。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、薄くて柔らかいシート材であっても、確実に孔内に流動状物質を充填することができる充填装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の流動状物質の充填装置は、多層基板を形成するための樹脂シートとして利用されるシート材に設けられたビアホールとなる孔内に、導電ペーストである流動状物質を充填する充填装置であって、前記シート材を保持するためのシート材保持部と、前記シート材保持部に保持されたシート材の端部を押えるシート材端部押え部と、前記シート材の表面に当接して移動し前記流動状物質をシート材の孔内に充填する流動状物質充填部とを備え、前記シート材保持部は前記シート材の外周縁の内側近傍であって前記シート材に設けられた孔にかからない範囲に位置する閉じた経路の溝からなる吸引部を有し、前記吸引部を介して前記シート材を真空吸引保持し、前記シート材端部押え部は前記シート材に設けられた孔にかからない範囲で前記流動物質充填部の移動方向における前記シート材の両側の端部を押え、前記流動状物質充填部は前記シート材端部押え部に挟まれた領域のシート材表面上を移動し、当該流動状物質充填部に設けられた前記シート材の表面に当接するスキージにより、前記シート材の表面に供給された前記流動状物質を前記シート材に設けられた孔内に充填することを特徴としている。
【００１４】
本充填装置によれば、シート材保持部に載せられたシート材は、外周縁の内側近傍であってシート材に設けられた孔にかからない位置にある閉じた経路の溝からなる吸引部で真空吸引され、シート材保持部に固定される。従って、流動状物質が充填されるシート材に設けられた孔の近傍に吸引部が位置することがないため、流動状物質が充填される孔の位置ではシート材の変形が生じない。従って、シート材と流動物質充填部に設けられたシート材の表面に当接するスキージとの密着性が悪化することによる、孔への流動状物質の充填不足も発生しない。
【００１５】
さらに、吸引部は閉じた経路の溝で構成されるため、当該閉じた経路の溝によって囲まれる領域におけるシート材とシート材保持部の間の空間が、真空排気される。このためシート材は、閉じた経路の溝に囲まれた面積全体に渡って大気による圧力が印加されており、その押圧力によってシート材保持部に固定されている。従って、複数の吸引孔によってスポット的にシート材を固定する場合に較べて、大気圧の受圧面積が格段に大きくなるため、シート材の固定力も格段に大きくすることができる。
【００１６】
また、前記充填部の移動方向におけるシート材の両端部は、シート材に設けられた孔にかからない範囲で、シート材端部押え部によって押えられる。このため、充填部の動きによってシート材の端部がめくれ上がり、変形することもない。従って、前記と同様に、シート材と流動物質充填部に設けられたシート材の表面に当接するスキージとの密着性が悪化することによる、孔への流動状物質の充填不足も発生しない。
【００１７】
このようにして、本充填装置によれば、シート材に設けられた全ての孔に対して、確実に流動状物質を充填することができる。
【００１８】
上記流動状物質の充填装置は、柔らかい請求項２に記載の熱可塑性樹脂からなる樹脂シートへの導電ペーストの充填を目的としたものであり、請求項３に記載の厚さが２５μｍから１２５μｍの範囲にある樹脂シートへの充填に好適な装置となっている。また上記のような柔らかい樹脂シートを取り扱う必要があるため、請求項４に記載のように、シート材保持部におけるシート材を保持する面の閉じた経路の溝からなる吸引部の内側に他の真空吸引部を有していない構造が好ましい構造となる。
請求項５に記載したように、前記閉じた経路の溝からなる吸引部は、２本以上の溝からなることが好ましい。これによれば、外側の閉じた経路の溝の真空引きによってシート材が固定され、内側の閉じた経路の溝によって、外側の閉じた経路の溝によって固定されたシート材の内側が確実に真空引きされる。このように２本以上の閉じた経路の溝による真空引きを相乗的に働かせることで、閉じた経路の溝が１本の場合に較べ、より確実にシート材を固定することができる。
【００１９】
請求項６に記載したように、前記充填部の移動方向におけるシート材の両端部は、シート材端部押え部によって、シート材保持部に設けた吸引部の内側にかかる位置の範囲まで押えられることが好ましい。シート材端部押え部により、吸引部の内側にかかる位置までシート材を押えることで、真空引きにより吸引部近傍のシート材が変形していても、吸引部の近傍に位置する孔に対するシート材の変形の影響を低減することができ、吸引部の近傍に位置するシート材の孔への流動状物質の充填をより確実に行うことができる。
【００２０】
請求項７に記載したように、前記シート材端部押え部は、該シート材端部押え部の押える前記シート材の一方側の端部から他方側の端部にかけて設けられた２本のレールからなる、前記流動状物質充填部の移動を案内するための充填部案内部と一体形成され、前記流動状物質充填部が前記充填部案内部に沿って、前記シート材端部押え部により押えられた前記シート材の両端部の間を直線的に移動することが好ましい。流動状物質充填部をシート材端部押え部に設けた充填部案内部に沿って直線的に動かすことで、流動状物質充填部はシート材端部押え部によって押えられたシート材に対して常に一定の動きとなるため、流動状物質の充填をより安定的に行うことができる。
【００２１】
請求項８に記載したように、前記充填部案内部と一体形成された前記シート材端部押え部は、前記流動状物質充填部を上に載せて収納する領域を有し、前記領域に収納した前記流動状物質充填部と共に、前記シート材の上方に持ち上げて、前記シート材に平行な面内で前記充填部案内部に沿った前記流動状物質充填部の移動方向と垂直な方向に、移動可能にすることが好ましい。これにより、シート材端部押え部に流動状物質充填部を収納した状態で、シート材端部押え部，充填部案内部，流動状物質充填部の全体を移動することができる。このシート材端部押え部，充填部案内部，流動状物質充填部の全体的な移動と、充填部案内部に沿った流動状物質充填部の移動によって、シートの任意の位置において、流動状物質充填部を充填部案内部に沿ってシート材に対して常に一定に動かしながら、流動状物質を安定的にシート材の孔内に充填していくことができる。
【００２２】
例えば請求項９に記載したように、前記流動状物質充填部は、ペースト保持室と該ペースト保持室に隣接して配置される排気室とを有してなり、前記排気室の開口側の先端部に形成されたシール材を前記シート材の表面に当接することによって第１の密閉空間を形成し、この第１の密閉空間を減圧し、前記ペースト保持室の開口側の先端部に形成されたシール材を前記シート材の表面に当接することによって第２の密閉空間を形成し、この第２の密閉空間において、前記流動状物質を前記シート材に設けられた孔内に押し込むための押し込み部を構成するヘッドが移動可能に支持され、前記排気室と前記シート材によって形成される前記第１の密閉空間内にある前記シート材に設けられた孔内が真空排気された後、その真空排気された孔が前記第２の密閉空間内に位置するように前記流動状物質充填部を移動し、前記押し込み部を構成する前記ヘッドの前記シート材に対向する側の表面に設けられた前記スキージにより、前記第２の密閉空間内における前記シート材の表面に供給された前記流動状物質が前記真空排気されたシート材に設けられた孔内に押し込まれる構成とすることができる。
【００２３】
これによれば、流動状物質が押し込み部を構成するヘッドのシート材に対向する側の表面に設けられたスキージにより孔内に押し込まれる際には、孔内の気体が排気されているので、流動状物質は、孔の内部に確実に押し込まれる。このため、孔の内部全体を、流動状物質によって充填することができる。
【００２４】
このように流動状物質充填部が孔を真空排気する排気室を備えている場合、流動状物質充填部は、シート材に対して、シート材保持部から引き離す方向に力を作用させる。この場合、請求項１に記載のように、シート材とシート材保持部との間の空間を真空排気しておけば、シート材は強固にシート材保持部に保持できるので、流動状物質充填部がシート材を引き離すように力を作用させても、シート材がシート材保持部から浮き上がることはない。
【００２５】
尚、シート材保持部によるシート材の保持をより確実にするためには、請求項１０に記載したように、吸引部による真空度は、排気室の真空度と同等以上であることが好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による流動状物質の充填装置について、実施の形態を図に基づいて説明する。本実施の形態では、流動状物質である導電ペーストをシート材である樹脂シートに形成された孔（ビアホール）内に充填するための充填装置を例にとって示す。
【００２７】
図１は充填装置を側面から見た時の断面を示す模式図であり、図２は充填装置を上面から見た時の模式図である。
【００２８】
図１，２において、１は、熱可塑性樹脂からなる樹脂シートである。本例では、樹脂シート１としてポリエーテルエーテルケトン樹脂６５〜３５重量％とポリエーテルイミド樹脂３５〜６５重量％とからなる厚さ２５〜１２５μｍの樹脂シートを用いている。また樹脂シート１の大きさは、６００ｍｍ×５００ｍｍである。この樹脂シート１は、導電ペーストを充填後、複数枚積層して多層基板を形成するために利用するものである。
【００２９】
この樹脂シート１は、以下のように形成される。樹脂シート１の一方の面に銅箔やアルミニウム箔等の導体箔（図示略）が貼着され、この導体箔をパターニングすることにより樹脂シート１の一方の面上に配線パターンが形成される。次に、層間接続を行うべき位置にビアホール１０が形成される。このビアホール１０の形成は、導体箔のパターニング後ではなく、パターニング前の導体箔が貼着された状態で行っても良い。ビアホール１０は、樹脂シート１の配線パターンが形成されていないもう一方の面から炭酸ガスレーザを照射して、導体箔を底面とする有底ビアホール１０として形成される。ビアホール１０の形成では、炭酸ガスレーザの出力と照射時間等を調整することで、導体箔に穴を開けないようにしている。なお、炭酸ガスレーザ以外の手段を用いて有底ビアホール１０を形成しても良い。ビアホール１０の直径は１５０μｍで、前記の６００ｍｍ×５００ｍｍの大きさの樹脂シート１には、約１０万個のビアホール１０が形成されている。
【００３０】
ビアホール１０の形成が完了すると、ビアホール１０内に層間接続材料となる導電ペースト４を、図１，２に示す充填装置１００を用いて充填する。流動状物質である導電ペースト４は、銅，銀，スズ等の金属粒子にバインダ樹脂や有機溶剤を加え、これを混練してペースト化したものである。
【００３１】
尚、ビアホール１０への導電ペースト４の充填に際して、樹脂シート１上に、例えばポリエチレンテレフタレートからなる保護フィルムを設けても良い。この場合のビアホール形成については、保護フィルムと樹脂シート１とに対して炭酸ガスレーザを照射し、樹脂シート１にビアホール１０を形成するとともに保護フィルムにも孔を開ける。この保護フィルムは、導電ペースト４の充填完了後に、樹脂シート１から引き剥がされる。このように導電ペースト４の充填持に保護フィルムを用いると、導電ペースト充填後の樹脂シート１の表面を、清浄に保つことができる。
【００３２】
ここで、本実施形態における充填装置１００について説明する。尚、図３に示した充填装置２００と同様の部分については同じ符号を付け、その説明を省略する。
【００３３】
図１、２に示すように、充填装置１００には、樹脂シート１を載せるためのシート材保持部２が設けられる。このシート材保持部２には、樹脂シート１を固定するための閉じた経路の溝からなる２本の吸引部３１，３２が設けられている。２本の吸引部３１，３２は、樹脂シート１の外周縁１３の内側近傍であって、樹脂シート１に設けられた孔１０にかからない範囲に配置される。
【００３４】
樹脂シート１が保持部２上に載せられた後、樹脂シート１と保持部２の間の空間にある空気が、真空ポンプ８０によって吸引部３１，３２から吸引される。これによって、２本の閉じた経路の溝３１，３２によって囲まれる領域における樹脂シート１と保持部２の間の空間が、真空排気される。吸引部３１，３２の真空度は、後述する流動状物質充填部６に形成した排気室６２の真空度である０．０１Ｍｐａ以下にまで減圧される。尚、この真空引きに際しては、外側の閉じた経路の溝３１の真空引きによって樹脂シート１が固定され、内側の閉じた経路の溝３２によって、外側の閉じた経路の溝３１によって固定された樹脂シート１の内側が確実に真空引きされる。このように樹脂シート１を保持部２に真空引きにより固定する場合に、２本の閉じた経路の溝３１，３２を相乗的に働かせることで、閉じた経路の溝が１本の場合に較べより確実に樹脂シート１と保持部２との間の空間を真空引きすることができる。
【００３５】
保持部２上に載せられた樹脂シート１は、閉じた経路の溝３１，３２の内側で保持部２と樹脂シート１の間が真空状態となり、閉じた経路の溝３１，３２の内側面積全体に渡って樹脂シート１には大気圧がかかり、その押圧力によって樹脂シート１が保持部２に固定されている。閉じた経路の溝からなる吸引部３１，３２の真空度は０．０１Ｍｐａ以下に排気され、閉じた経路の溝３１，３２に囲まれた保持部２と樹脂シート１の間の真空度も０．０１Ｍｐａ以下となっている。従って、真空度０．０１Ｍｐａの排気室６２が樹脂シート１に対して、シート材保持部２から引き離す方向に力を作用させても、それ以上の力で樹脂シート１がシート材保持部２に固定されているので、樹脂シート１がシート材保持部２から浮き上がることはない。このようにして、薄くて柔らかい樹脂シート１であっても、確実にシート材保持部２に固定することができる。
【００３６】
本充填装置１００によれば、樹脂シート１は、外周縁１３の内側近傍であって樹脂シート１に設けられた孔１０にかからない位置に配置された吸引部３１，３２で真空吸引され、保持部２に固定される。従って、導電ペースト４が充填される樹脂シート１の孔１０の位置には吸引部３１，３２が配置されていないため、孔１０の位置では樹脂シート１の真空吸引による変形がない。従って、樹脂シート１と流動状物質充填部６との密着性が悪化することを防止できるので、孔１０への導電ペースト４の充填不足も発生しない。
【００３７】
また、本充填装置１００によれば、充填部６の移動方向における樹脂シート１の両端部１１，１２は、樹脂シート１に設けられた孔１０にかからない範囲で吸引部３１，３２の内側にかかる位置まで、シート材端部押え部７１，７２によって押えられる。シート材端部押え部７１，７２は、厚さ１００μｍのステンレス箔により形成されている。本充填装置１００においては、充填部６がシート材端部押え部７１，７２と樹脂シート１の間を行き来するので、シート材端部押え部７１，７２をできるだけ薄くして、シート材端部押え部７１，７２と樹脂シート１の境界の段差を小さくすることが望ましい。一方、図１，２に示した充填装置１００にあっては、後述するように、充填部６がシート材端部押え部７１上に収納された状態で、一体形成されたシート材押え部７１，７２と充填部案内部７３を移動するため、シート材押え部７１，７２は適度な強度が必要である。
【００３８】
樹脂シート１の両端部１１，１２は端部押え部７１，７２により押えられているので、充填部６の動きによって、樹脂シート１の端部１１，１２がめくれ上がり、変形することはない。従って、樹脂シート１の端部付近に形成された孔１０への導電ペースト４の充填不足も発生しない。また、樹脂シート１は端部押え部７１，７２により吸引部３１，３２の内側にかかる位置まで押えられているので、樹脂シート１が薄くて真空引きにより吸引部３１，３２の近傍の変形していても、樹脂シート１の変形の影響を低減することができる。従って、吸引部３１，３２の近傍に位置する樹脂シート１の孔１０に対しても、充填を確実に行うことができる。
【００３９】
このようにして、本充填装置１００によれば、薄くて柔らかい樹脂シート１に設けられた全ての孔１０に対して、導電ペースト４を確実に充填することができる。尚、本充填装置１００では、樹脂シート１の両端部１１，１２は端部押え部７１，７２によって吸引部３１，３２の内側にかかる位置まで押えられたが、樹脂シート１が厚い場合や硬い場合には、端部押え部７１，７２により吸引部３１，３２にかからない範囲で樹脂シート１を押えても問題はない。
【００４０】
以上のようにして、ビアホール１０の形成面を上側にして樹脂シート１がシート材保持部２の上に保持されると、充填装置１００の充填部６が樹脂シート１に当接して、ビアホール１０内への導電ペースト４の充填が行われる。
【００４１】
以下、充填装置１００の充填部６の構成を説明する。充填部６は、図１，２に示すように、矩形柱状に形成されている。充填部６の内部では、中心部に流動状物質保持室であるペースト保持室６１が形成され、そのペースト保持室６１の両側に、同じく矩形柱状の排気室６２，６３が形成されている。すなわち、２個の排気室６２，６３とペースト保持室６１とは、１枚の壁を隔てて隣接して形成されている。
【００４２】
排気室６２，６３及びペースト保持室６１の開口側の先端部には、樹脂シート１と当接することにより、排気室６２，６３及び保持室６１を密閉空間とするためのシール材６４，６５が形成されている。さらに、排気室６２，６３とペースト保持室６１は、各々、真空ポンプ（図示を省略）と接続されている。このため、シール材６４，６５が樹脂シート１に当接すると、排気室６２，６３及びペースト保持室６１とも密閉された状態となり、このとき真空ポンプを駆動することにより、排気室６２，６３及びペースト保持室６１が排気され、減圧される。
【００４３】
ペースト保持室６１内には、導電ペースト４をビアホール１０内へ押し込むための押し込み部を構成するヘッド６０が移動可能に支持されている。図１に示すように、ヘッド６０は、樹脂シート１に対向する側の表面に、複数のスキージ５を有している。この複数のスキージ５は、弾性体からなるとともに、短冊状に先端部が分割されている。これにより、ヘッド６０の移動方向が回転等によって変化したり、樹脂シート１の表面に多少の凹凸があっても、短冊状に分割された先端部が柔軟に変形するため、樹脂シート１表面との接触状態を良好に保つことができる。
【００４４】
また、複数のスキージ５は、図１に示すように、それぞれ並行して配置されるとともに、樹脂シート１表面に対して、傾斜してヘッド６０に取り付けられている。このように、スキージ５が樹脂シート１表面に対して傾斜して設けられると、その傾斜面により導電ペースト４をビアホール１０内に押し込む押込力が発生するため、導電ペースト４を十分にビアホール１０内に充填することができる。
【００４５】
ヘッド６０は、図１に示す２本の回転シャフト６６，６７に連結されている。これらの回転シャフト６６，６７は、充填部６の上方に設けられたシャフト駆動部６８に連結され、それぞれ同方向に同一速度で回転する。一方、ヘッド６０は２本の回転シャフト６６，６７の先端に偏心して係合されている。この２本のシャフト６６，６７への偏心した係合により、２本の回転シャフト６６，６７が回転すると、ヘッド６０自体は回転することなく揺動する。このようにして、ヘッド６０は、スキージ５の向きを一定方向に保ったまま、ペースト保持室６１内で揺動運動をする。このため、樹脂シート１の表面に供給された導電ペースト４は、ヘッド６０と同様に揺動運動するスキージ５によって複数の方向からビアホール１０内に押し込まれるため、確実にビアホール１０に導電ペースト４を充填することができる。
【００４６】
ここで、導電ペースト４は、ペースト保持室６１において、ヘッド６０の上方の空間に保持されている。そして、導電ペースト４は、ヘッド６０の揺動運動に伴い、ヘッド６０とペースト保持室６１の側壁との隙間から樹脂シート１表面に向かって流動する。従って、本実施例では、導電ペースト４を樹脂シート１表面に供給するための特別な機構を設けずとも、単にヘッド６０の上方に導電ペースト４を保持するだけで、導電ペースト４を樹脂シート１表面に供給することができる。さらに、ヘッド６０が揺動運動を行うと、ヘッド６０とペースト保持室６１の側壁との隙間の間隔が周期的に増減するため、ポンプ作用が発生し、より確実に導電ペースト４を樹脂シート１の表面に向けて流動させることができる。なお、その導電ペースト４の流動量は、ヘッド６０とペースト保持室６１の側壁との間隔により調整できる。
【００４７】
上述した充填部６とシャフト駆動部６８は、シート材押え部７１，７２に一体的に設けられた２本のレールからなる充填部案内部７３上を、直線的に移動しながら、導電ペースト４を孔１０に充填していく。次に、この充填部６の動きに伴う孔１０への導電ペースト４の充填の様子を、図１，２において充填部６が左から右に移動する場合を例にして説明する。
【００４８】
最初に、充填部６を広いほうのシート材押え部７１上に収納した状態で、一体形成されたシート材押え部７１，７２と充填部案内部７３を樹脂シート１の上方に持ち上げ、充填部案内部７３に沿った充填部６の移動方向と垂直な方向に移動して、充填しようとする未充填の孔１０のある横列位置で停止する。次に、持ち上げていたシート材押え部７１，７２と充填部案内部７３を降ろして、シート材押え部７１，７２で、各々、樹脂シート１の両端部１１，１２の所定位置を押える。次に、広いほうのシート材押え部７１上に収納していた充填部６を一定速度で右方向に動かすと、充填部６はシート材押え部７１を離れて、樹脂シート１に当接しながら右方向に進んでいく。この充填部６の移動は、移動装置（図示省略）によって、シート材押え部７１，７２に一体的に設けられた２本のレールからなる充填部案内部７３上を、樹脂シート１の外周縁１３を跨いで左端１１から右端１２まで直線的に一定速度で行う。
【００４９】
図１，２に示したように、充填部６に設けられたシール材６４，６５は、シート材保持部２に保持された樹脂シート１に当接している。この状態で、進行方向前部の排気室６２は真空ポンプ（図示省略）によって排気され、高真空状態（０．０１Ｍｐａ）に減圧されている。そして、ペースト保持室６１内も真空ポンプ（図示省略）によって排気され、排気室６２よりも低真空の状態（例えば０．０６Ｍｐａ）に減圧されている。尚、進行方向後部の排気室６３は、充填した導電ペースト４を吸い出さないように、略大気圧状態（例えば０．１Ｍｐａ）にされている。
【００５０】
各ビアホール１０は、最初に移動方向の前方に形成された右側の排気室６２内に入って、内部の気体が排気される。その後、充填部６の移動によって、ペースト保持室６１がその排気されたビアホール１０を含む位置となったとき、ヘッド６０のスキージ５が樹脂シート１の表面に供給された導電ペースト４をそのビアホール１０内に押し込む。この際、ヘッド６０は前述のようにペースト保持室６１内で揺動しており、ビアホール１０内の気体が排気されているので、導電ペースト４はビアホール１０の内部に確実に押し込まれる。このため、ビアホール１０の内部全体が導電ペースト４によって充填される。
【００５１】
尚、本例に示した排気室６２だけではなくペースト保持室６１も減圧する理由は、以下のとおりである。すなわち、移動方向前方の排気室６２によって各ビアホール１０内を減圧しても、そのビアホール１０がペースト保持室６１に入ったときにペースト保持室６１に気体が存在すると、その気体が即座にビアホール１０内に入り込んで、導電ペースト４の充填を困難にしてしまうためである。ただし、ペースト保持室６１を減圧する場合、上述したように、排気室６２よりも低真空となるように減圧する。導電ペースト４を保持するペースト保持室６１内を高真空に減圧すると、導電ペースト中の溶剤が急速に蒸発し、導電ペースト４が劣化してしまうためである。
【００５２】
このようにして、充填部６を樹脂シート１の左端１１から右端１２に移動して孔１０の充填が終わると、充填部６を逆向きに移動して、広いほうのシート材押え部７１上に収納する。尚、一旦充填した導電ペースト４を再び吸い出さないように、充填部６の左方向のシート材押え部７１への帰還の際には、ペースト保持室６１と排気室６３，６２とは略大気圧状態（例えば０．１Ｍｐａ）とする。
【００５３】
このようにして、充填部６がシート材押え部７１上から樹脂シート１の右端１２に到達し、再びシート材押え部７１上に戻る往復移動の一工程が終わると、一体となっているシート材押え部７１，７２と充填部案内部７３、およびシート材押え部７１上に収納された充填部６を、充填部案内部７３に沿った充填部６の移動方向と垂直な方向に移動する。このようにして、前記と同様に次の未充填の孔１０の列にペースト４を充填していく。尚、この一体となっているシート材押え部７１，７２と充填部案内部７３の移動時には、充填部６はシート材押え部７１上に収納されているので、導電ペースト４をペースト保持室６１に保持できることはいうまでもない。
【００５４】
本充填装置１００では、充填部６をシート材押え部７１，７２に一体的に設けた充填部案内部７３に沿って直線的に移動させたが、シート材押え部７１，７２と充填部６の移動をガイドする充填部案内部を別体として構成しても構わない。例えば、樹脂シート１の外周縁１３全体をシート材押え部で押え、充填部６をシート材押え部と関係なく移動させることができる。
【００５５】
この場合、充填部６の移動範囲は、樹脂シート１に複数形成されたビアホール１０の形成領域全体である。このように、樹脂シート１に形成された複数のビアホール１０の形成領域全体を移動できる移動装置としては、例えば、ロボットアームを用いたり、Ｘ軸及びＹ軸方向にレールを形成し、一方のレール上に上記充填部６とシャフト駆動部６８を移動可能に設置し、その一方のレールが他方のレール上を移動するように構成すれば、上記形成領域の任意の位置へ充填部６及び駆動部６８を移動させることができる。尚、移動装置として、樹脂シート１を保持する保持部２をＸ軸及びＹ軸方向に移動させるものを使用しても良い。要は、充填部６と樹脂シート１が相対的に移動すれば良いのであって、移動対象はどちらでも構わない。
【００５６】
以上のようにして、本充填装置１００は、薄くて柔らかいシート材１であっても、確実に孔１０内に流動状物質４を充填することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における充填装置の断面を示す側面模式図でる。
【図２】本発明における充填装置の上面模式図である。
【図３】改良前の充填装置によるペースト充填の様子を示す模式図である。
【図４】薄くて柔らかいシート材に対して改良前の充填装置を用いた場合における、問
【符号の説明】
１  シート材
１０  孔
２  シート材保持部
３１，３２  吸引部
４  流動状物質（導電ペースト）
５  スキージ
６  流動状物質充填部
６０  ヘッド
７１，７１  シート材端部押え部
１００  充填装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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