(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストを基板(10)表面に塗布してペースト膜(11)を形成し
周辺の少なくとも一部にそれぞれ同一のピッチでくし歯(12b)が形成された複数のブレード(12)の前記くし歯(12b)を前記ペースト膜(11)にそれぞれ所定の間隔をあけて又は密着してつき刺した状態で前記ブレード(12)又は前記基板(10)を一定方向に移動することにより前記基板(10)表面にリブ状物(13)を形成する方法であって
前記複数のブレード(12)のそれぞれの前記くし歯(12b)は前記くし歯(12b)の隙間が前記ブレード(12)又は前記基板(10)の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するように前記ペースト膜(11)につき刺された
ことを特徴とするリブ状物の形成方法。
【請求項２】
隣接する一対のブレードが先行してリブ状物(13)を形成する先行ブレード(12)と後続してリブ状物(13)を形成する後続ブレード(12)からなり前記先行ブレード(12)のくし歯(12b)の隙間面積が前記後続ブレード(12)のくし歯(12b)の隙間面積より大きく形成されかつ前記先行ブレード(12)及び前記後続ブレード(12)のそれぞれのくし歯(12b)の隙間の中心線を移動方向に一致させて前記先行ブレード(12)及び前記後続ブレード(12)のそれぞれの前記くし歯(12b)を前記ペースト膜(11)につき刺した状態にする請求項１記載のリブ状物の形成方法。
【請求項３】
隣接する一対のブレードが先行してリブ状物(13)を形成する先行ブレード(12)と後続してリブ状物(13)を形成する後続ブレード(12)からなり前記後続ブレード(12)のくし歯(12b)を前記先行ブレード(12)のくし歯(12b)より深くペースト膜(11)につき刺した状態にする請求項１又は２記載のリブ状物の形成方法。
【請求項４】
隣接する一対のブレードが先行してリブ状物(13)を形成する先行ブレード(12)と後続してリブ状物(13)を形成する後続ブレード(12)からなり前記先行ブレード(12)のくし歯(12b)の隙間の形状が前記後続ブレード(12)のくし歯(12b)の隙間の形状と同一でありかつ前記後続ブレード(12)の隙間が前記先行ブレード(12)の隙間と幅方向に僅かにずれるように前記先行ブレード(12)及び前記後続ブレード(12)のそれぞれのくし歯(12b)をペースト膜(11)に同一の深さにつき刺した状態にする請求項１記載のリブ状物の形成方法。
【請求項５】
隣接する一対のブレードが先行してリブ状物(13)を形成する先行ブレード(12)と後続してリブ状物(13)を形成する後続ブレード(12)からなり前記先行ブレード(12)のくし歯の隙間の形状が前記後続ブレード(12)のくし歯の隙間の形状と同一でありかつ後続ブレードの隙間が先行ブレードの隙間と移動方向において一致するように前記先行ブレード(12)及び前記後続ブレード(12)のそれぞれの前記くし歯をペースト膜につき刺した状態にする請求項１記載のリブ状物の形成方法。
【請求項６】
３以上のブレードの最先端のブレード(12)を含む先行する２以上の先行ブレードが請求項２ないし４いずれかに係る関係を有し最後端のブレード(12)を含む後続する２以上の後続ブレードが請求項５に係る関係を有するリブ状物の形成方法。
【請求項７】
最後端の後続ブレードが仕上げ用ブレード(12)であって前記仕上げ用ブレード(12)が目的とするリブ状物(13)の横断面形状と同一に形成されたくし歯(12b)及びその隙間面積を有する請求項１ないし５いずれか記載のリブ状物の形成方法。
【請求項８】
請求項１ないし７いずれ記載の方法により形成されたリブ状物を乾燥焼成してなるセラミックリブ。
【請求項９】
請求項８記載のセラミックリブを有するＦＰＤ。
【請求項１０】
基板(10)を水平に支持する基台(21)と
前記基台(21)の上方に水平に移動可能に設けられた移動ヘッド(22)と
前記移動ヘッド(22)に取付けられたブレードホルダ(23)と
くし歯(12b)を有する下部をそれぞれ水平にして前記基板(10)に対向しかつ前記移動ヘッド(22)の移動方向に直交して前記ブレードホルダ(23)に取付けられた複数のブレード(1212)と
前記移動ヘッド(22)を水平に移動させるアクチュエータ(24)と
を備え
前記複数のブレード(12)のそれぞれの前記くし歯(12b)の隙間が移動ヘッド(22)の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するように前記複数のブレード(12)のそれぞれの前記くし歯(12b)を前記基板(10)の表面に形成されたセラミックペースト膜(11)につき刺して前記複数のブレード(1212)を水平方向に移動することにより前記基板(10)表面にリブ状物(13)を形成するように構成されたリブ状物の形成装置。
【請求項１１】
基板を水平に支持しかつ前記基板を水平に移動する移動台を有する基台と
前記移動台の上方に固定して設けられた固定ヘッドと
前記固定ヘッドに取付けられたブレードホルダと
くし歯を有する下部をそれぞれ水平にして前記基板に対向しかつ前記移動台の移動方向に直交して前記ブレードホルダに取付けられた複数のブレードと
前記移動台を水平に移動させるアクチュエータと
を備え
前記複数のブレードのそれぞれの前記くし歯の隙間が前記移動台の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するように前記複数のブレードのそれぞれの前記くし歯を前記基板の表面に形成されたセラミックペースト膜につき刺して前記移動台を水平方向に移動することにより前記基板表面にリブ状物を形成するように構成されたリブ状物の形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＰＤＰ（plasma display panel: プラズマディスプレイパネル）、ＰＡＬＣ（plasma addressed liquid crystal display）等のＦＰＤ（flat panel display）のセラミックリブ（ceramic rib）を形成する製造工程において基板表面にリブ状物を形成する方法及びその成形装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のリブの第１の形成方法では、図１５に示すようにリブ８はガラス基板１の上にガラス粉末を含むリブ形成用ペースト２を厚膜印刷法により所定のパターンで位置合わせをして多数回重ね塗りし、乾燥した後、焼成して、基板１上に所定の間隔をあけて作られる。このリブ８の高さＨは通常１００〜３００μｍ、リブの幅Ｗは通常５０〜１００μｍ程度であって、リブとリブで挟まれるセル９の広さＳは通常１００〜３００μｍ程度である。
またリブの第２の形成方法として、サンドブラスト法が知られている。この方法では、図１６に示すようにガラス基板１の全面にガラス粉末を含むセラミックペーストを厚膜法で塗布し、乾燥することにより、或いはガラス粉末を含むセラミックグリーンテープを積層することにより、１５０〜２００μｍの高さのパターン形成層３を形成した後、このパターン形成層３を感光性フィルム４で被覆し、更にこのフィルム４上をマスク５で覆って、露光、現像を行うことにより所定のパターンのレジスト層６を形成する。次にこのレジスト層６の上方からサンドブラスト処理を施してセル９となる部分を取除いた後、更に剥離剤等を用いて上記レジスト層６を除去して、所望のリブ８を得ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の第１の形成方法では、リブの幅Ｗが５０〜１００μｍ程度と比較的狭くかつ印刷後にペーストがだれ易いため、厚膜の一回塗りの厚さは焼成上がりで１０〜２０μｍ程度に小さく抑えなければならない。この結果、この方法では高さＨが１００〜３００μｍのリブを作るために、厚膜を１０〜２０回もの多くの回数重ね塗りする必要があり、その上重ね塗りした後のリブの高さＨをリブの幅Ｗで除したＨ／Ｗが１．５〜４程度と大きいために、厚膜印刷時に十分に位置合わせをしても精度良くリブを形成しにくい欠点があった。
また上記従来の第２の形成方法は、レジスト層の形成のために感光性フィルムの被覆し、露光、現像等の複雑な工程を必要とし、またサンドブラスト処理でパターン形成層の大部分を取除くため、パターン形成層の材料を多く必要とする不具合があった。
本発明の目的は、少ない工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良く形成できる基板表面にリブ状物を形成する方法及びその成形装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は図１に示すようにペーストを基板１０表面に塗布してペースト膜１１を形成し周辺の少なくとも一部にそれぞれ同一のピッチでくし歯１２ｂ形成された複数のブレード１２のそのくし歯１２ｂをペースト膜１１にそれぞれ所定の間隔をあけて又は密着してつき刺した状態でブレード１２又は基板１０を一定方向に移動することにより基板１０表面にリブ状物１３を形成する方法であってその複数のブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂはくし歯１２ｂの隙間がブレード１２又は基板１０の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するようにペースト膜１１につき刺されたことを特徴とする。
くし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺した状態でブレード１２又は基板１０を一定方向に移動することにより基板１０表面に形成された膜１１のブレード１２のくし歯１２ｂに対応する箇所のペースト１１はくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取られ複数のブレード１２，１２のくし歯１２ｂ，１２ｂにおける隙間の重なり部分におけるペーストのみが基板１０上に残存して基板１０表面にリブ状物１３が形成される。
【０００５】
複数のブレード１２，１２のくし歯１２ｂの先端を基板１０表面から所定の高さ浮上するようにそれぞれペースト膜１１につき刺し、ブレード１２を移動するか又は基板１０を一定方向に移動させれば、図１２に示すように、基板１０表面から所定の高さまでのペーストは基板表面上に残存して下地層１４を形成し、この下地層１４より上方のペーストであってブレード１２のくし歯１２ｂに対応する箇所はくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取られ、複数のブレード１２，１２のくし歯１２ｂ，１２ｂにおける隙間の重なり部分におけるペーストのみが下地層１４上に残存してリブ状物２３が形成される。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明であって、隣接する一対のブレードが先行してリブ状物１３を形成する先行ブレード１２と後続してリブ状物１３を形成する後続ブレード１２からなり、先行ブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積が後続ブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積より大きく形成されかつ先行ブレード１２及び後続ブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂの隙間の中心線を移動方向に一致させて先行ブレード１２及び後続ブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺した状態にするリブ状物の形成方法である。この請求項２に係る発明では、先行ブレード１２のくし歯１２ｂに対応するペースト膜１１は、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみが基板１０上に残存して基板１０表面に比較的大きな断面積を有するリブ状物１３を最初に形成する。後続ブレード１２は、そのリブ状物の外周におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、先行ブレード１２により形成された比較的大きな断面積を有するリブ状物１３を、目的とするリブ状物１３の断面形状に相応して整形する。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に係る発明であって、図８に示すように、隣接する一対のブレードが先行してリブ状物１３を形成する先行ブレード１２と後続してリブ状物１３を形成する後続ブレード１２からなり、後続ブレード１２のくし歯１２ｂを先行ブレード１２のくし歯１２ｂより深くペースト膜１１につき刺した状態にするリブ状物の形成方法である。
この請求項３に係る発明では、先行ブレード１２は基板１０表面から所定の高さまでのペーストを基板表面上に残存させて下地層１４を形成し、この下地層１４より上方のペーストをくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取り、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみがその下地層１４上に残存してリブ状物１３を形成する。後続ブレード１２は、先行ブレード１２により形成された下地層１４におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、目的とする断面形状を有するリブ状物１３を基板上に形成する。
【０００８】
請求項４に係る発明は、請求項１に係る発明であって、図７に示すように、隣接する一対のブレードが先行してリブ状物１３を形成する先行ブレード１２と後続してリブ状物１３を形成する後続ブレード１２からなり、先行ブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状が後続ブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状と同一でありかつ後続ブレード１２の隙間が先行ブレード１２の隙間と幅方向に僅かにずれるように先行ブレード１２及び後続ブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂをペースト膜１１に同一の深さにつき刺した状態にするリブ状物の形成方法である。
この請求項４に係る発明では、後続ブレード１２は、先行ブレード１２により形成されたリブ状物の一方の側部におけるペースト（図７の破線と実線で囲まれる範囲のペースト）を掃き取ることにより、先行ブレード１２により形成された比較的大きな幅を有するリブ状物１３を目的とするリブ状物１３の幅に整形する。
【０００９】
請求項５に係る発明は、請求項１に係る発明であって、図示しないが、隣接する一対のブレードが先行してリブ状物１３を形成する先行ブレード１２と後続してリブ状物１３を形成する後続ブレード１２からなり、先行ブレード１２のくし歯の隙間の形状が後続ブレード１２のくし歯の隙間の形状と同一でありかつ後続ブレードの隙間が先行ブレードの隙間と移動方向において一致するように先行ブレード１２及び後続ブレード１２のそれぞれのくし歯をペースト膜につき刺した状態にするリブ状物の形成方法である。
この請求項５に係る発明では、先行ブレードにより目的とする断面形状を有するリブ状物が基板上に形成され、後続ブレードは、先行ブレードにより形成されたリブ状物の外周面を掃き取ることにより、表面に存在する凹凸をならしてそのリブ状物を目的とする断面形状に整形する。
【００１０】
請求項６に係る発明は、請求項１に係る発明であって、図１３に示すように、３以上のブレードの最先端のブレード１２を含む先行する２以上の先行ブレードが請求項２ないし４いずれかに係る関係を有し、最後端のブレード１２を含む後続する２以上の後続ブレードが請求項５に係る関係を有するリブ状物の形成方法である。
この請求項６に係る発明では、先行する２以上の先行ブレードにより目的とする断面形状を有するリブ状物１３が形成され、後続する２以上の後続ブレードによりそのリブ状物１３の表面に存在する凹凸がならされてそのリブ状物は目的とする断面形状に整形される。
【００１１】
請求項７に係る発明は、請求項１ないし５いずれかに係る発明であって、最後端の後続ブレードが仕上げ用ブレード１２であって、仕上げ用ブレード１２が目的とするリブ状物１３の横断面形状と同一に形成されたくし歯１２ｂ及びその隙間面積を有するリブ状物の形成方法である。
この請求項７に係る発明では、仕上げ用ブレード１２により目的とする横断面形状を有するリブ状物１３を成形することができる。特に下地層がない場合には、リブ状物１３以外の基板１０上のペーストを完全に掃き取ることができる。
請求項８に係る発明は、請求項１ないし７いずれ記載の方法により形成されたリブ状物を乾燥焼成してなるセラミックリブであり、請求項９に係る発明は、請求項８記載のセラミックリブを有するＦＰＤである。
【００１２】
請求項１０に係る発明は図１４に示すように基板１０を水平に支持する基台２１と基台２１の上方に水平に移動可能に設けられた移動ヘッド２２と移動ヘッド２２に取付けられたブレードホルダ２３とくし歯１２ｂを有する下部をそれぞれ水平にして基板１０に対向しかつ移動ヘッド２２の移動方向に直交してブレードホルダ２３に取付けられた複数のブレード１２１２と移動ヘッド２２を水平に移動させるアクチュエータ２４とを備え複数のブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂの隙間が移動ヘッド２２の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するように複数のブレード１２のそれぞれのくし歯１２ｂを基板１０の表面に形成されたセラミックペースト膜１１につき刺して複数のブレード１２１２を水平方向に移動することにより基板１０表面にリブ状物１３を形成するように構成されたリブ状物の形成装置である。
請求項１１に係る発明は図示しないが基板を水平に支持しかつ前記基板を水平に移動する移動台を有する基台と移動台の上方に固定して設けられた固定ヘッドと固定ヘッドに取付けられたブレードホルダとくし歯を有する下部をそれぞれ水平にして基板に対向しかつ移動台の移動方向に直交してブレードホルダに取付けられた複数のブレードと移動台を水平に移動させるアクチュエータとを備え複数のブレードのそれぞれのくし歯の隙間が移動台の移動方向においてそれぞれ重なる部分を有するように複数のブレードのそれぞれのくし歯を基板の表面に形成されたセラミックペースト膜につき刺して移動台を水平方向に移動することにより基板表面にリブ状物を形成するように構成されたリブ状物の形成装置である。
【００１３】
この請求項１０及び１１に係る発明では、くし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺した状態でブレード１２を一定方向に移動するか、又は基板とともに移動台を一定方向に移動することにより、基板１０表面に形成された膜１１のブレード１２のくし歯１２ｂに対応する箇所のペースト１１はくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取られ、複数のブレード１２，１２のくし歯１２ｂ，１２ｂにおける隙間の重なり部分におけるペーストのみが基板１０上に残存して、基板１０表面にリブ状物１３が形成される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態を図面に基づいて詳しく説明する。
本発明のリブ状物を形成する方法は、図１に示すように、基板１０の表面にペーストを塗布して形成されたペースト膜１１に、周辺の少なくとも一部にそれぞれ同一のピッチでくし歯１２ｂが形成された複数のブレード１２のそのくし歯１２ｂを所定の間隔をあけてそれぞれつき刺し、この状態でブレード１２又は基板１０を一定方向に移動することにより基板１０表面にリブ状物１３を形成する方法である。ペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末と、樹脂と、溶媒（溶剤と可塑剤と分散剤）とを含むペーストであり、ガラス粉末はＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3，ＺｎＯ，ＰｂＯ等を主成分として、その軟化点が３００℃〜６００℃であることが必要である。
【００１５】
ガラス・セラミック混合粉末とはＳｉＯ2，Ｂ2Ｏ3，ＺｎＯ，ＰｂＯ等を主成分とするガラス粉末と、フィラーの役割を果すアルミナ，ジルコン，コージェライト，ムライト，フォルステライト等のセラミック粉末とを含むものであり、このセラミック粉末は形成されるリブ１３の熱膨張係数をガラス基板１０の熱膨張係数と均等にするため、及び焼成後のセラミックリブの強度を向上させるために混合される。セラミック粉末は６０容積％以下が好ましい。セラミック粉末が６０容積％以上になるとリブが多孔質になり好ましくない。なお、ガラス粉末及びセラミック粉末の粒径はそれぞれ０．１〜３０μｍであることが好ましい。ガラス粉末及びセラミック粉末の粒径が０．１μｍ未満であると凝集し易くその取扱いが煩わしくなる。また、３０μｍを越えると後述するブレード１２の移動時に所望のリブ１３が形成できなくなる不具合がある。
【００１６】
樹脂はバインダとしての機能を有し、熱分解しやすく、溶剤に溶けて高粘度を有するポリマーであって、セルロース系樹脂（エチルセルロース，メチルセルロース等），アクリル系樹脂（メチルメタクリル，エチルメタクリル等），塩化ビニル樹脂，フェノール樹脂などが挙げられる。
溶剤としては非水系溶剤（アルコール系，エーテル系，芳香族系，炭化水素系等の有機溶剤）が挙げられ、非水系溶剤はアルコール系及びエーテル系の溶剤が好ましい。好ましいアルコールとしてはトリエチレングリコール、テレピネオール等が挙げられ、好ましいエーテルとしてはジエチルエーテル等が挙げられる。
【００１７】
セラミックペーストは、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を５０〜９８重量％と、樹脂を０．１〜１０重量％と、溶媒（溶剤と可塑剤と分散剤）を２〜５０重量％とをそれぞれ配合して調製される。また、ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を７０〜９５重量％と、樹脂を０．２〜５重量％と、溶媒（溶剤と可塑剤と分散剤）を３〜３０重量％とをそれぞれ配合して調製されることが好ましい。ガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末を５０〜９８重量％の範囲に限定したのは、５０重量％未満ではブレードを用いて所定の形状のリブ状物を得るのが困難になり、９８重量％を越えると基板表面にペーストを均一に塗布することが困難になるからである。
【００１８】
樹脂を０．１〜１０重量％の範囲に限定したのは、０．１重量％未満ではブレードを用いて所定の形状のリブ状物を得るのが困難になり、１０重量％を越えると基板表面にペーストを均一に塗布することが困難になり、かつ焼成後のセラミックリブ内に有機物が残存するという不具合があるからである。また溶媒を２〜５０重量％の範囲に限定したのは、２重量％未満では基板表面にペーストを均一に塗布することが困難になるからであり、５０重量％を越えるとブレードを用いて所定の形状のリブ状物を得るのが困難になるからである。なお、ペーストの基板１０表面への塗布は、ロールコーティング法、スクリーン印刷法、ディップ法又はドクタブレード法等の既存の手段により行われる。
【００１９】
図２及び図３に示すように、ブレード１２には複数のくし歯１２ｂが等間隔にかつ同一方向に形成される。このブレード１２はペーストとの反応やペーストに溶解されることのない金属、セラミック又はプラスチック等により作られ、特に、寸法精度、耐久性の観点からセラミック若しくはＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏ基の合金が好ましい。但し、くし歯１２ｂのエッジ１２ａを基板１０の表面に接触させるブレード１２が仕上げ用ブレードであって、これが金属又はセラミックにより作られている場合には、基板１０の表面に傷を付けないように、ブレード１２のエッジ１２ａをフッ素でコーティングすることが好ましい。図１に戻って、本実施の形態では同一のピッチでくし歯１２ｂが形成された２枚のブレード１２，１２が使用され、ブレード１２が移動する際に、先行してリブ状物１３を形成するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積が後続してリブ状物１３を形成するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積より大きく形成される。図４に示すように、この実施の形態における先行するブレード１２は、破線で示す隙間の幅ｗ1及び深さｈ1が、後続するブレード１２の実線で示す隙間の幅ｗ2及び深さｈ2よりともに大きく形成される。この後続してリブ状物１３を形成するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間はこの目的とするリブ状物１３の断面形状に相応して形成される。
【００２０】
図１に示すように、この２枚のブレード１２，１２のそれぞれのくし歯１２ｂ，１２ｂは、それぞれのエッジ１２ａ，１２ａを基板１０の表面に接触するように、かつその隙間のそれぞれの中心線が移動方向に一致するようペースト膜１１にそれぞれつき刺される。リブ状物１３の形成は、ブレード１２のエッジ１２ａをペースト膜１１を形成した基板１０表面にそれぞれ接触させた状態で基板１０を固定して図１の実線矢印で示すようにブレード１２を一定方向に移動するか、又はブレード１２を固定して図１の破線矢印で示すように基板１０を一定方向に移動させることにより行われる。この移動により基板１０表面に塗布されたペーストのブレード１２のくし歯１２ｂに対応する箇所はくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取られ、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみが基板１０上に残存して基板１０表面にリブ状物１３が形成される。
【００２１】
２枚のブレード１２，１２を使用した本実施の形態では、図４に示すように、２枚のブレード１２，１２のくし歯１２ｂ，１２ｂにおける隙間の重なり部分におけるペーストのみが基板１０上に残存して基板１０表面にリブ状物１３が形成される。即ち、先行してリブ状物１３を形成するブレード１２のくし歯１２ｂに対応するペースト膜１１は、そのくし歯１２ｂの隙間（図４の破線で示す範囲）に移動するか若しくは掃き取られ、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみが基板１０上に残存して基板１０表面に比較的大きな断面積を有するリブ状物１３を最初に形成する。この場合、ブレード１２又はガラス基板１０を移動するときに掃き取られたペーストは先行するブレード１２の比較的大きな隙間に入り込みペースト膜１１の厚さ以上の高さを有するリブ状物１３が形成される。
【００２２】
その後、更にブレード１２又はガラス基板１０が移動すると、後続してリブ状物１３を形成するブレード１２は、そのリブ状物の外周におけるペースト（図４の破線と実線で囲まれる範囲のペースト）をそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、先行するブレード１２により形成された比較的大きな断面積を有するリブ状物１３を目的とするリブ状物１３の断面形状に相応して整形する。
図示しないが、このようして目的とする断面形状に整形されたリブ状物は、その後乾燥されてセラミックグリーンリブになり、更に脱バインダのため加熱され、引続いて焼成することによりセラミックリブになる。
【００２３】
なお、上述した実施の形態では、先行するブレード１２の隙間の幅ｗ1及び深さｈ1を後続するブレード１２の隙間の幅ｗ2及び深さｈ2より大きく形成したが、先行するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積が後続するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積より大きい限り、図５に示すように、先行するブレード１２の隙間の深さｈ1は後続するブレード１２の隙間の深さｈ2より小さくても良く、図６に示すように、先行するブレード１２の隙間の深さｈ1が後続するブレード１２の隙間の深さｈ2と略同一であっても良い。
【００２４】
また、上述した実施の形態では、先行するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積を後続するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間面積より大きく形成したが、先行するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状を後続するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状と同一にしても良い。この場合図７に示すように、ブレード１２，１２のそれぞれのエッジ１２ａ，１２ａを基板１０の表面に接触させ、かつ後続するブレードの隙間が先行するブレードの隙間と幅方向に僅かにずれるようにくし歯１２ｂをペースト膜につき刺せば、後続するブレード１２は、先行するブレードにより形成されたリブ状物の一方の側部におけるペースト（図７の破線と実線で囲まれる範囲のペースト）を掃き取ることにより、先行するブレード１２により形成された比較的大きな幅を有するリブ状物１３を目的とするリブ状物１３の幅に整形することができる。
【００２５】
更に、図示しないが、先行してリブ状物を形成するブレードのくし歯の隙間の形状が後続してリブ状物を形成するブレードのくし歯の隙間の形状と同一である場合に、後続するブレードの隙間が先行するブレードの隙間と移動方向において一致するようにくし歯をペースト膜にそれぞれつき刺してもよい。この場合、先行するブレードにより目的とする断面形状を有するリブ状物が基板上に形成され、後続するブレードは、先行するブレードにより形成されたリブ状物の外周面を掃き取ることにより、表面に存在する凹凸をならしてそのリブ状物を目的とする断面形状に整形することができる。
【００２６】
次に本発明の第２の実施の形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図８及び図９に示すように、この実施の形態では、同一ピッチで同一の幅及び深さのくし歯１２ｂを有する同一形状のブレード１２が２枚使用され、先行してリブ状物１３を形成するブレード１２のエッジ１２ａが基板１０表面から所定の高さ浮上するように、基板１０の表面に塗布して形成されたペースト膜１１にそのくし歯１２ｂがつき刺される。後続してリブ状物１３を形成するブレード１２のくし歯１２ｂは、隙間の中心線が先行するブレード１２の隙間の中心線と移動方向に一致するようペースト膜１１につき刺され、そのくし歯１２ｂはエッジ１２ａがペースト膜１１の形成された基板１０表面に接触するように先行するブレード１２のくし歯１２ｂより深くペースト膜１１につき刺される。
【００２７】
即ち、この実施の形態におけるリブ状物の形成方法は、このように先行するブレード１２のくし歯１２ｂより深く後続するブレード１２のくし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺した状態でブレード１２又は基板１０を一定方向に移動することにより基板１０表面にリブ状物１３を形成する方法である。ペースト及びペーストの塗布に関しては上述した実施の形態と同一であるので繰返しての説明を省略する。この状態で基板１０を固定して図８の実線矢印で示すようにブレード１２を一定方向にそれぞれ移動するか、又はブレード１２を固定して破線矢印で示すように基板１０を一定方向に移動させると、この移動により先行するブレード１２は基板１０表面から所定の高さまでのペーストを基板表面上に残存させて下地層１４を形成し、この下地層１４より上方のペーストをくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取り、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみがその下地層１４上に残存してリブ状物１３が形成される。
【００２８】
その後、更にブレード１２又はガラス基板１０が移動すると、後続してリブ状物１３を形成するブレード１２は、先行するブレード１２により形成された下地層１４におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、目的とするリブ状物１３を基板上に形成する。このようして目的とする断面形状に形成されたリブ状物はその後乾燥されてセラミックグリーンリブ（図示せず）になり、更に脱バインダのため加熱され、引続いて焼成することによりに示すセラミックリブになる。
【００２９】
なお、上述した第２の実施の形態では、同一ピッチで同一の幅及び深さのくし歯１２ｂを有する同一形状のブレード１２を使用したが、先行するブレード１２のくし歯１２ｂより深く後続するブレード１２のくし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺す限り、図１０及び図１１に示すように、先行するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状が後続するブレード１２のくし歯１２ｂの隙間の形状と異なるものであっても良い。この場合、後続するブレードは、下地層１４におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取るとともに、先行するブレードにより形成されたリブ状物の外周におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより整形し、目的とするリブ状物１３を基板上に形成する。
【００３０】
また、上述した第２実施の形態では、後続するブレードのエッジ１２ａが基板１０表面に接触するようにくし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺さしたが、後続するブレードのくし歯が先行するブレード１２のくし歯１２ｂより深くペースト膜１１につき刺される限り、後続するブレード１２のエッジ１２ａを基板１０表面から所定の高さ浮上するように、ペースト膜１１にそのくし歯１２ｂをつき刺してもよい。この場合、後続するブレードは、先行するブレードにより形成された下地層１４における上側のペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、図１２に示すように基板１０表面から所定の高さまでのペーストを基板表面上に残存させて下地層１４を形成し、この下地層１４上にリブ状物１３を形成する。図示しないが、この下地層１４及びリブ状物１３はその後乾燥されてセラミックグリーン層及びセラミックグリーンリブになり、更に脱バインダのため加熱され、引続いて焼成することにより基板上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に形成されたセラミックリブになる。
【００３１】
次に本発明の第３の実施の形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１３に示すようにこの実施の形態では、同一ピッチで同一の幅及び深さのくし歯１２ｂを有する同一形状のブレード１２が３枚使用され、ブレード１２が移動する際に、先行してリブ状物１３を形成する最先端のブレード１２のエッジ１２ａを基板１０表面から所定の高さ浮上するように、そのブレード１２のくし歯１２ｂを基板１０の表面に塗布して形成されたペースト膜１１につき刺す。後続してリブ状物１３を形成する中間及び最後端のブレード１２のくし歯１２ｂは、隙間の中心線が先行するブレード１２の隙間の中心線と移動方向に一致するようそれぞれペースト膜１１につき刺され、そのくし歯１２ｂはエッジ１２ａがペースト膜１１の形成された基板１０表面に接触するようにペースト膜１１にそれぞれつき刺される。
【００３２】
この状態で基板１０を固定して実線矢印で示すようにブレード１２を一定方向にそれぞれ移動するか、又はブレード１２を固定して破線矢印で示すように基板１０を一定方向に移動させると、この移動により先行する最先端のブレード１２は基板１０表面から所定の高さまでのペーストを基板表面上に残存させて下地層１４を形成し、この下地層１４より上方のペーストをくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取り、くし歯１２ｂの隙間に位置するペーストのみがその下地層１４上に残存してリブ状物１３を形成する。後続してリブ状物１３を形成する中間のブレード１２は、先行するブレード１２により形成された下地層１４におけるペーストをそのくし歯１２ｂの隙間に移動させるか若しくは掃き取ることにより、目的とする断面形状を有するリブ状物１３を基板上に形成する。更に後続する最後端のブレード１２は、中間のブレード１２により形成された目的とする断面形状を有するリブ状物１３の外周面を掃き取ることにより、表面に存在する凹凸をならしてそのリブ状物を目的とする断面形状に整形する。
【００３３】
なお、上述した第１〜第３の実施の形態におけるブレードは、くし歯の隙間形状が鉛直軸に対して対称形状であるものを使用したが、最後端のブレードのくし歯１２ｂの隙間形状が目的とするリブ状物１３の断面形状に相応して形成される限り、その隙間形状は対称形状でなくても良い。また、後続するブレードの隙間の中心線が先行するブレード１２の隙間の中心線と移動方向に一致するようそれぞれペースト膜１１につき刺したが、最後端のブレードにより目的とする断面形状を有するリブ状物１３が得られる限り、必ずしも中心線を一致させる必要はない。
また、上述した第１〜第３の実施の形態では２枚又は３枚のブレードを使用する例を示したが、ブレードの使用枚数はペーストの種類又は形成すべきリブ状物の形状等により適宜決定され、４枚、５枚又は６枚若しくは７枚以上使用するものであっても良い。
【００３４】
次に本発明のリブ状物を形成する装置を説明する。
図１４に示すように、本発明の形成装置２０は、基板１０を水平に支持する基台２１と、この基台２１の上方に水平に移動可能に設けられた移動ヘッド２２と、移動ヘッド２２に取付けられたブレードホルダ２３と、このブレードホルダ２３に取付けられた複数のブレード１２と、移動ヘッド２２をブレードホルダ２３とともに水平に移動させるアクチュエータ２４とを備える。
【００３５】
基台２１は上面が水平に形成され、図示しないがこの水平な上面には図示しないバキュームポンプに連通する複数の小孔が形成される。基板１０は基台２１の上面に配置され、小孔からエアを吸引することにより基板１０は基台２１の上面に密着するように構成される。基台２１の上面の四隅部にはそれぞれ支柱２１ａ（図では１本のみ示す）が設けられ、支柱２１ａには一対の雄ねじ軸２６が水平にかつ互いに平行に架設される。移動ヘッド２２はこの一対の雄ねじ軸２６に架設され、雄ねじ軸２６が挿通する両端部にはこの雄ねじ軸２６に螺合する雌ねじ軸受２７がそれぞれ装着される。移動ヘッド２２は一対の雄ねじ軸２６の回転によりその雄ねじ軸２６に沿って基台２１の上方で水平に移動可能に構成される。
【００３６】
ブレードホルダ２３はホルダ押下手段２８を介して取付けられ、この実施の形態におけるホルダ押下手段は移動ヘッド２２に取付けられたエアシリンダ２８である。ブレードホルダ２３の下部にはスリット２３ａが移動ヘッド２２の移動方向に直交して２本形成され、２枚のブレード１２の上部をこのスリット２３ａにそれぞれ挿入して固定することにより、ブレード１２はくし歯１２ｂが形成された下部を水平にして基板１０に対向しかつ移動ヘッド２２の移動方向に直交してブレードホルダ２３に取付られる。
【００３７】
エアシリンダ２８はブレード１２の両端又は両端近傍に相応する移動ヘッド２２に一対設けられ、一対のエアシリンダ２８にはエア圧調整装置２８ａを介してエアタンク２８ｂがそれぞれ接続される（図１）。それぞれのエアシリンダ２８のロッド２８ｃは移動ヘッド２２を貫通して下方に突出し、ブレードホルダ２３はそのロッド２８ｃの下端に取付けられる。エア圧調整装置２８ａを介してエアタンク２８ｂから圧縮エアが供給されるとエアシリンダ２８はロッド２８ｃを突出し、エア圧調整装置２８ａによりエアシリンダ２８からエアを排出することによりロッド２８ｃは没入するように構成される。ロッド２８ｃが突出又は没入することによりブレードホルダ２３は移動ヘッド２２に対して上下動し、エア圧調整装置２８ａがエアタンク２８ｂ内の圧縮エアをエアシリンダ２８に供給してエアシリンダ２８内部のエア圧を一定の圧力に維持することにより、エアシリンダ２８は一定圧力でロッド２８ｃを突出し、ブレード１２は下方に押下げられてくし歯１２ｂの下端が基板１０に一定の圧力で接触するように構成される。
【００３８】
一対の雄ねじ軸２６が架設されたー方のそれぞれの支柱２１ａには移動ヘッド２２を水平に移動させるアクチュエータであるモータ２４（図では１つのみ示す）が設けられる。このモータ２４の回転軸は雄ねじ軸２６に連結され、モータ２４は図示しないモータ駆動回路により制御される。このモータ２４はモータ駆動回路からの信号に基づいて一対の雄ねじ軸２６を回転させることにより、移動ヘッド２２を移動可能に構成される。
【００３９】
このリブ状物の形成装置では、ペーストを塗布して表面にセラミックペースト膜１１を形成した基板１０を基台２１の上面に配置し、基台２１の小孔からエアを吸引してその基板１０を基台２１の上面に密着させて、基板１０を基台２１に支持させる。次に圧縮エアをエアシリンダ２８に供給してロッド２８ｃを突出させてブレードホルダ２３を下降させ、ブレードホルダ２３に保持されたブレード１２のくし歯１２ｂをペースト膜１１につき刺し、そのくし歯１２ｂの下端を基板１０に一定の圧力で接触させる。この状態でモータ２４により一対の雄ねじ軸２６を回転させて移動ヘッド２２を図の実線矢印で示す方向に移動させる。
移動ヘッド２２を移動させると、移動ヘッド２２に取付けられたブレードホルダ２３も２枚のブレード１２とともに移動する。ブレード１２が一定方向に移動することにより、基板１０表面に塗布されたペースト膜１１のブレード１２のくし歯１２ｂに対応する箇所はくし歯１２ｂの隙間に移動するか若しくは掃き取られ、くし歯１２ｂの隙間に位置するペースト膜１１のみが基板１０上に残存し、基板１０表面にリブ状物１３が形成される。
【００４０】
なお、上述した形成装置２０は基板１０を水平に支持する基台２１と、この基台２１の上方に水平に移動可能に設けられた移動ヘッド２２ととを備えるものを説明したが、図示しないが成形装置は基板１０を水平に支持しかつ基板１０を水平に移動する移動台を有する基台と、移動台の上方に固定して設けられた固定ヘッドとを備えるものであっても良い。このような装置であっても、基板１０の表面にペーストを塗布して形成されたペースト膜１１に、ブレード１２に形成されたくし歯１２ｂをつき刺して基板１０を一定方向に移動することにより基板１０表面にリブ状物１３を形成することができる。
また、上述した形成装置２０では２枚のブレードをブレードホルダ２３に保持させたが、ブレードホルダ２３に保持させるブレードの枚数はペーストの種類又は形成すべきリブ状物の形状等により適宜決定され、４枚、５枚又は６枚若しくは７枚以上保持させるものであっても良い。
【００４１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、ブレードに形成されたくし歯をペースト膜につき刺し、ブレードのエッジを成膜した基板表面に接触させた状態でブレード又は基板を一定方向に移動することにより、ブレードのくし歯に対応する箇所のペーストはくし歯の隙間に移動するか若しくは掃き取られ、くし歯の隙間に位置するペーストのみが基板上に残存して、基板の表面にリブ状物を形成することができる。このため、リブとなる部分を厚膜印刷で重ね塗りする従来の厚膜印刷法や、或いはレジスト層形成のための露光、現像等の複雑な工程を経てセルとなる部分をサンドブラスト処理で取除く従来の方法と比べて、極めて簡便である。このリブ状物はその後乾燥、加熱及び焼成することにより基板上に形成されたセラミックリブになり、プラズマディスプレイパネル、液晶表示装置、蛍光表示装置、混成集積回路等の製造工程における発光体のセルの隔壁やバス電極上に形成される絶縁保護層となるセラミックリブの効率の良い量産を図ることができる。この結果、本発明のリブ状物を形成する方法及びその成形装置では、少ない工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良くリブ状物を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態におけるリブ状物の形成状態を示す斜視図。
【図２】そのブレードの正面図。
【図３】図２のＢ−Ｂ線断面図。
【図４】その先行するブレードと後続するブレードの重なり状態を示す図。
【図５】別のブレードの重なり状態を示す図。
【図６】更に別のブレードの重なり状態を示す図。
【図７】同一の隙間形状を有する２枚のブレードを僅かにずらせて重ねた状態を示す図。
【図８】本発明の第２実施形態におけるリブ状物の形成状態を示す斜視図。
【図９】その先行するブレードと後続するブレードの重なり状態を示す図。
【図１０】その別のブレードの重なり状態を示す図。
【図１１】その更に別のブレードの重なり状態を示す図。
【図１２】基板表面に下地層を介してリブ状物が形成された状態を示す断面図。
【図１３】本発明の第３実施形態におけるリブ状物の形成状態を示す斜視図。
【図１４】本発明のリブ状物の形成装置の斜視図。
【図１５】従来のセラミックリブの形成を工程順に示す断面図。
【図１６】従来の別のセラミックリブの形成を工程順に示す断面図。
【符号の説明】
１０  ガラス基板
１１  ペースト膜
１２  ブレード
１２ａ  エッジ
１２ｂ  くし歯
１３  リブ状物
１４  下地層
２０  形成装置
２１  基台
２２  移動ヘッド
２３  ブレードホルダ
２４  モータ（アクチュエータ）
【図１】
0003991500.tif 000002
【図２】
0003991500.tif 000003
【図３】
0003991500.tif 000004
【図４】
0003991500.tif 000005
【図５】
0003991500.tif 000006
【図６】
0003991500.tif 000007
【図７】
0003991500.tif 000008
【図８】
0003991500.tif 000009
【図９】
0003991500.tif 000010
【図１０】
0003991500.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
0003991500.tif 000015
【図１５】
0003991500.tif 000016
【図１６】
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