(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の各構成を有することを特徴とする板ばねプローブ。
（イ）予め定められた長さ及び幅を有する弾性導体板材で形成され、その長さ方向の一方の端にプローブ先端部を備え、上側長辺の予め定められた部位には、凹状に切欠かれた前後方向位置決め凹部を備えた複数の板ばね
（ロ）上部表面に前記複数の板ばねそれぞれの下側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね下辺用溝が予め定められた深さ及び間隔で互いに平行に配列形成され、前記複数の板ばね下辺用溝の配列の外側部位には上ホルダーとの位置決め係合部を備えた絶縁材料製の下ホルダー
（ハ）下面側に前記複数の板ばねそれぞれの上側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね上辺用溝が配列形成され、これら複数の板ばね上辺用溝の配列の外側部位には前記下ホルダーの位置決め係合部と係合して前記下ホルダーに対する前後方向及び溝配列ピッチ方向の位置を決定する位置決め係合部を備え、この位置決め係合部による前記下ホルダーとの係合状態で、前記複数の板ばね上辺用溝及び板ばね下辺用溝への前記複数の板ばねの挿入保持が可能であって、この挿入保持状態の複数の板ばねの前後方向位置決め凹部と対応する部位に、上部表面側からくり抜かれてこれら前後方向位置決め凹部が露出するように形成された対ロケーションプレート位置決め係合収容部を備えた絶縁材料製の上ホルダー
（ニ）前記上ホルダーの対ロケーションプレート位置決め係合収容部に係合し収容されると、前記下ホルダー及び上ホルダーに保持状態の複数の板ばねそれぞれの前後方向位置決め凹部にはめ込まれ、これら複数の板ばねの前後方向の位置を決定する絶縁材料製のロケーションプレート
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は板ばねプローブに関し、特に所定の回路の複数の電極と対応接続する複数枚の板ばねを所定の間隔で配列した板ばねプローブに属する。
【０００２】
【従来の技術】
板ばねプローブは、例えば配線基板に形成された所定の回路の機能を検査するような場合に、配線基板上に所定の間隔で配列された複数個の電極（パッド）に接触接続して測定装置や他の回路との接続を行う。特に、電極の間隔は狭くその数が多い場合には、板ばねプローブは必要不可欠である。
このような板ばねプローブは、従来、所定の長さ及び幅を有する導電性板材で形成され長さ方向の一方の端に、所定の回路の電極（パッド）と接触接続するためのプローブ先端部を備えて板ばねの表面に絶縁コーティングを施し、この板ばねを複数枚積層して、絶縁材料で形成された所定のホルダーに収納、保持する構造となっていた。
隣接する板ばね相互間の間隔（ピッチ）は、絶縁コーティングの層の厚さによって決定される。
【０００３】
このような板ばねプローブでは、板ばね自身の板厚のばらつきや、絶縁コーティングの層厚も、これを精度よく抑えることは難しく比較的大きなばらつきがあるため、複数の板ばね、従ってそのプローブ先端部を、精度の高いピッチで配列することが困難となり、プローブ先端部のピッチと配線基板等の電極のピッチとが合わなくなるという問題点、及び、ピッチの精度を高めるために高精度の板厚の板ばね材を使用すると高価になるという問題点や、異なるピッチを混在させてこれら板ばねを積層する場合には、そのピッチに合わせて絶縁コーティングの層厚を変える必要があり、組立てが複雑になる上、積層順に間違いが発生する危険性もあり、積層順を間違えると、プローブ先端部のピッチと配線基板等の電極のピッチとが合わなくなるため、使用できなくなる、という問題点がある。
【０００４】
そこで、弊社では、これらの問題点を解決するための次のような板ばねプローブを提案した（出願番号：特願平９−２４１９１３）。
この板ばねプローブは、図５に示されるように、下ホルダー１００、複数の板ばね２００、ロケーションプレート３００、及び上ホルダー４００から構成され、これら各部の構造及び相互関係は次のとおりである。
【０００５】
複数の板ばね２００それぞれは、所定の長さ及び幅をもつ導電性板材で形成され、長さ方向の一方の端に、配線基板等の所定の回路の電極（パッド）と接触接続するためのプローブ先端部２１０を備え、上側長辺部分の所定の部位に前後方向位置決め凹部２２０が形成されている。
【０００６】
下ホルダー１００は、その上部表面に、所定の深さで互いに平行かつ所定の間隔をもって配列され複数の板ばね２００それぞれの下側長辺部分を対応して挿入し保持する複数の溝１１０と、これら複数の溝１１０の配列外側部位に、ピッチ方向位置決め凹部１２０及び前後方向位置決め結合部１３０が形成されている。
【０００７】
ロケーションプレート３００は、下面に、下ホルダー１００の複数の溝１１０それぞれと対応して複数の溝３１０が配列形成され、これら複数の溝３１０それぞれに、複数の板ばね２００それぞれの上側長辺部分に形成された前後方向位置決め凹部２２０の底辺部分を対応挿入して保持し、複数の溝３１０の配列外側の部位にこれら溝３１０と平行な２つの側面をもって絶縁材料により所定の大きさに形成されている。
【０００８】
上ホルダー４００は、下面側の所定の部位に、ロケーションプレート３００の２つの側面と面接触してこのロケーションプレート３００を収納保持するロケーションプレート収納凹部４１０、及び複数の板ばね２００それぞれのプローブ先端部２１０を対応して挿入し保持する複数の溝４５０が形成され、かつ下ホルダー１００のピッチ方向位置決め凹部１２０と結合してこの下ホルダー１００に対するピッチ方向の位置決めを行う対下ホルダーピッチ方向位置決め凸部４２０と、下ホルダー１００の前後方向位置決め結合部１３０と結合して下ホルダー１００に対する前後方向の位置決めを行う対下ホルダー前後方向位置決め結合部４３０と、複数の板ばね２００それぞれの前後方向位置決め凹部２２０と結合して複数の板ばね２００に対する前後方向の位置決めを行う対板ばね前後方向位置決め凸部４４０とを備えている。
【０００９】
そして、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す手順でこれら各部を組み立てる。
なお、これら相互間の固定は、下ホルダー１００と上ホルダー４００との間のねじ止めによって行われる。また、複数の板ばね２００のプローブ先端部２１０の反対側の端の部分は、例えば他の装置や回路等と接続される。
【００１０】
この例（改良例）では、板ばね材の板厚に多少のばらつきがあっても、また異なるピッチが混在していても、複数の板ばね２００及びそのプローブ先端部２１０の各ピッチ、並びにこれらのピッチ方向全体を高精度で位置決めすることができ、しかも組立てが容易で、かつ板ばね材として、板厚が高精度に抑えられたものを使用しなくて済むので、全体を安価に製作することができる。
【００１１】
また、高さ方向の位置決めは、下ホルダー１００の溝１１０及び板ばね２００の機械加工の精度と同程度に高く保つことができ、更に、前後方向の位置決めは、前後方向位置決め結合部１３０等を含む前後方向位置決め構造によって、同様に機械加工の精度と同程度に高く保つことができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の板ばねプローブにおいて、板ばね積層構造のものに対する改良例として、下ホルダー１００、複数の板ばね２００、ロケーションプレート３００、及び上ホルダー４００の４つの部分に分割し、下ホルダー１００には、板ばね２００の下側長辺部分を挿入保持する複数の溝１１０を設けて板ばね２００のピッチ方向及び高さ方向の位置を溝形成時の機械加工精度に保ち、ロケーションプレート３００には板ばね２００の上側長辺部分を挿入保持する複数の溝３１０を設けて板ばね２００を一括安定保持するようにし、板ばね２００には前後方向位置決め凹部２２０を、上ホルダー４００には対板ばね前後方向位置決め凸部を設けて板ばね２００の前後方向の位置をこれらの機械加工精度に保ち、また、上ホルダー４００にはロケーションプレート収納凹部４１０を設けてこれにロケーションプレート３００を収納すると同時に下ホルダー１００と結合して全体を組立て上げる構造のものが提案されており、このような構造、構成とすることにより、板ばね積層構造のものの諸問題は解決できるが、組立て時に、ロケーションプレート３００の複数の溝３１０それぞれに板ばね２００の上側長辺部分を挿入（はめ込み）保持するという、困難かつ時間のかかる作業があり、また、破損した板ばねを交換するような場合にも、一端、ロケーションプレート３００を複数の板ばね２００全てから取り外してその板ばねを交換し、改めて、ロケーションプレート３００の溝３１０に複数の板ばね２００全てをはめ込み保持するという作業が必要となり、組立て時、及び破損プローブ交換時に、困難かつ時間のかかる作業が必要になるという問題点がある。
【００１３】
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みて、板ばね積層構造のものが持つ問題点を解決した上で更に、組立て作業、及び破損した板ばねの交換作業等が短時間で容易にできる板ばねプローブを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の板ばねプローブは、上記の目的を達成するために次の各構成を有することを特徴とする。
（イ）予め定められた長さ及び幅を有する弾性導体板材で形成され、その長さ方向の一方の端にプローブ先端部を備え、上側長辺の予め定められた部位には、凹状に切欠かれた前後方向位置決め凹部を備えた複数の板ばね
（ロ）上部表面に前記複数の板ばねそれぞれの下側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね下辺用溝が予め定められた深さ及び間隔で互いに平行に配列形成され、前記複数の板ばね下辺用溝の配列の外側部位には上ホルダーとの位置決め係合部を備えた絶縁材料製の下ホルダー
（ハ）下面側に前記複数の板ばねそれぞれの上側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね上辺用溝が配列形成され、これら複数の板ばね上辺用溝の配列の外側部位には前記下ホルダーの位置決め係合部と係合して前記下ホルダーに対する前後方向及び溝配列ピッチ方向の位置を決定する位置決め係合部を備え、この位置決め係合部による前記下ホルダーとの係合状態で、前記複数の板ばね上辺用溝及び板ばね下辺用溝への前記複数の板ばねの挿入保持が可能であって、この挿入保持状態の複数の板ばねの前後方向位置決め凹部と対応する部位に、上部表面側からくり抜かれてこれら前後方向位置決め凹部が露出するように形成された対ロケーションプレート位置決め係合収容部を備えた絶縁材料製の上ホルダー
（ニ）前記上ホルダーの対ロケーションプレート位置決め係合収容部に係合し収容されると、前記下ホルダー及び上ホルダーに保持状態の複数の板ばねそれぞれの前後方向位置決め凹部にはめ込まれ、これら複数の板ばねの前後方向の位置を決定する絶縁材料製のロケーションプレート
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態は、予め定められた長さ及び幅を有する弾性導体材料で形成され、その長さ方向の一方の端にプローブ先端部を備え、上側長辺の予め定められた部位には、凹状に切欠かれた前後方向位置決め凹部を備えた複数の板ばねと、上部表面にこれら複数の板ばねそれぞれの下側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね下辺用溝が予め定められた深さ及び間隔で互いに平行に配列形成され、上記複数の板ばね下辺用溝の配列の外側部位には上ホルダーとの位置決め係合部を備えた絶縁材料製の下ホルダーと、下面側に上記複数の板ばねそれぞれの上側長辺部分を挿入保持するための複数の板ばね上辺用溝が配列形成され、これら複数の板ばね上辺用溝の配列の外側部位には上記下ホルダーの位置決め係合部と係合して上記下ホルダーに対する前後方向及び溝配列ピッチ方向の位置を決定する位置決め係合部を備え、この位置決め係合部による上記下ホルダーとの係合状態で上記複数の板ばね上辺用溝及び板ばね下辺用溝への上記複数の板ばねの挿入保持が可能であって、この挿入保持状態の複数の板ばねの前後方向位置決め凹部と対応する部位に、上部表面側からくり抜かれてこれら前後方向位置決め凹部が露出するように形成された対ロケーションプレート位置決め係合収容部を備えた絶縁材料製の上ホルダーと、この上ホルダーの対ロケーションプレート位置決め係合収容部に係合し収容されると、上記下ホルダー及び上ホルダーに保持状態の複数の板ばねそれぞれの前後方向位置決め凹部にはめ込まれ、これら複数の板ばねの前後方向の位置を決定する絶縁材料製のロケーションプレートと、を有する構成、構造となっている。
【００１６】
このような構成、構造とすることにより、複数の板ばねの組込みが、下ホルダーと上ホルダーとを係合させた状態でこれら板ばねを板ばね下辺用溝及び板ばね上辺用溝に挿入するという、単純かつ容易な作業で短時間にできるようになり、また、破損した板ばねの交換も、ロケーションプレートを取り外せば、複数の板ばねを配列、保持したままで、破損した板ばねのみを引き抜いて正常な板ばねと交換（挿入）することができるので、組立て、及び破損した板ばねの交換が、極めて単純かつ容易な作業で短時間に行うことができる。また同時に、板ばね積層構造のものが持つ問題点も解決することができる。
【００１７】
【実施例】
次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図１は本発明の一実施例を示す分解斜視図、図２はこの実施例の一部断面分解側面図、図３はこの実施例の一部断面分解正面図である。
この実施例は、下ホルダー１０、複数の板ばね２０、ロケーションプレート３０、及び上ホルダー４０の４つの部分で構成され、これら各部の構造、及び相互関係は次のとおりである。
【００１８】
まず、複数の板ばね２０それぞれは、予め定められた長さ及び幅を有する導電性板材で形成され、その長さ方向の一方の端にはプローブ先端部２１を備え、上側長辺２４の中央部分には、凹状に切欠かれた前後方向位置決め凹部２２を備えている。
【００１９】
また、下ホルダー１０は、上部表面に複数の板ばね２０それぞれの下側長辺２３部分を挿入保持するための複数の板ばね下辺用溝１１が予め定められた深さ及び間隔で互いに平行に配列形成され、複数の板ばね下辺用溝１１の配列外側部位には、対上ホルダー位置決め係合部１２を備えている。
【００２０】
また、上ホルダー４０は、下面側に複数の板ばね２０それぞれの上側長辺２４部分を挿入保持するための複数の板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃが配列形成され、これら複数の板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃの配列外側部位には下ホルダー１０の対上ホルダー位置決め係合部１２と係合して下ホルダー１０に対する前後方向及び溝配列ピッチ方向の位置を決定する位置決め係合部４２を備え、この位置決め係合部４２による下ホルダー１０との係合状態で、複数の板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃ及び板ばね下辺用溝１１への複数の板ばね２０の挿入保持が可能であって、この挿入保持状態の複数の板ばね２０の前後方向位置決め凹部２２と対応する部位には、上部表面側からくり抜いてこれら複数の板ばね２０の前後方向位置決め凹部２２が露出するように、貫通穴を含んで凹状に形成された対ロケーションプレート位置決め係合収容部４３を備えている。
【００２１】
また、ロケーションプレート３０は、上ホルダー４０の対ロケーションプレート位置決め係合収容部４３に係合収容されて、下ホルダー１０及び上ホルダー４０に保持状態の複数の板ばね２０それぞれの前後方向位置決め凹部２２にはめ込まれ、これら複数の板ばね２０の前後方向の位置を決定する。
【００２２】
下ホルダー１０、上ホルダー４０、及びロケーションプレート３０相互間の係合固定は、ねじ止め構造としてもよいし、係合部分を、係合時に互いに嵌合、結合して固定する構造としてもよい。
【００２３】
次に、この実施例の組立て手順について、図４（ａ）〜（ｃ）を併せて参照し、説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、下ホルダー１０の対上ホルダー位置決め係合部１２に、上ホルダー４０の位置決め係合部４２を係合させて、下ホルダー１０と上ホルダー４０とを係合、結合させる。この状態で、複数の板ばね２０それぞれを、対応する板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃ及び板ばね下辺用溝１１に順次挿入する。
【００２４】
次に、図４（ｂ）に示すように、挿入保持された複数の板ばね２０の位置を、その前後方向位置決め凹部２２全てが上ホルダー４０の対ロケーションプレート位置決め係合収容部４３に露出するように整えて、ロケーションプレート３０を上ホルダー４０の対ロケーションプレート位置決め係合収容部４３に係合収容させると、ロケーションプレート３０が複数の板ばね２０それぞれの前後方向位置決め凹部２２にはめ込まれ、複数の板ばね２０の前後方向の位置が決まり、組立てが完了する（図４（ｃ））。
【００２５】
この実施例において、複数の板ばね２０の組込み（板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃ及び板ばね下辺用溝１１への挿入保持）は、互いに係合、結合した上ホルダー４０及び下ホルダー１０の対応する板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃ及び板ばね下辺用溝１１に板ばね２０を挿入すればよいので、極めて単純かつ容易な作業で短時間にできる。また、破損した板ばね２０の交換も、ロケーションプレート３０を取り外せば、複数の板ばね２０の組込み状態を保ったままで、破損した板ばねのみを交換（破損したものを引き抜き、正常なものを挿入）することができるので、同様に、極めて単純かつ容易に、短時間で可能である。
【００２６】
また、板ばね材の板厚に多少のばらつきがあっても、異なるピッチが混在するような場合であっても、板ばね２０の配列ピッチやピッチ方向の全体の精度、高さ方向及び前後方向の精度を、板ばね下辺用溝１１、板ばね上辺用溝４１ａ〜４１ｃ、前後方向位置決め凹部２２、及び対上ホルダー位置決め係合部１２等を含む各部係合構造の機械加工精度と同程度に高く保つことができて、組立ても容易であり、板ばね積層構造のものが有する問題点も解決することができる。
【００２７】
なお、下ホルダー１０、上ホルダー４０、及びロケーションプレート３０相互間の係合固定をねじ止め構造とした場合に、これらを、各固定箇所それぞれにつき１本のねじでロケーションプレート３０上から同時に固定する構造とすることもできるが、この場合、下ホルダー１０と上ホルダー４０とをねじにて仮止めした状態で複数の板ばね２０を挿入保持した後、仮止めのねじを外してロケーションプレート３０を上ホルダー４０に係合し、ロケーションプレート３０上からねじにて本止めするようにすればよい。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、下ホルダー、複数の板ばね、上ホルダー、及びロケーションプレートで構成し、板ばねには、その上側長辺の予め定められた部位に、凹状に切欠かれた前後方向位置決め凹部を設け、下ホルダーには、その上部表面に複数の板ばね下辺用溝を配列形成し、かつこれら板ばね下辺用溝の配列外側部位には上ホルダーとの位置決め係合部を設け、上ホルダーには、その下面側に複数の板ばね上辺用溝を配列形成してその配列外側部位に、下ホルダーの位置決め係合部と係合する位置決め係合部を設け、この位置決め係合部による下ホルダーとの係合時に、上記複数の板ばね下辺用溝及び板ばね上辺用溝に複数の板ばねの挿入保持が可能であって、この挿入保持状態の複数の板ばねそれぞれの前後方向位置決め凹部と対応する部位に、上部表面を凹状にくり抜かれてこれら前後方向位置決め凹部が露出するように形成された対ロケーションプレート位置決め係合収容部を設け、ロケーションプレートを上ホルダーの対ロケーションプレート位置決め係合収容部に係合し収容することにより、このロケーションプレートが、下ホルダー及び上ホルダーに挿入済みの複数の板ばねの前後方向位置決め凹部にはめ込まれる構造とすることにより、複数の板ばねの組込み作業が、係合状態の下ホルダー及び上ホルダーの板ばね下辺用溝及び板ばね上辺用溝に挿入するという単純かつ容易な作業で短時間にでき、また、破損した板ばねの交換も、ロケーションプレートを取り外せば、複数の板ばねを配列、保持したままの状態で、破損した板ばねの引き抜き、正常な板ばねの挿入、という単純かつ容易な作業で短時間にできるという効果があり、これら効果は、板ばね積層構造のものが有する問題点も解決した上で得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示された実施例の一部断面分解側面図である。
【図３】図１に示された実施例の一部断面分解正面図である。
【図４】図１に示された実施例の組立て手順を示す斜視図である。
【図５】従来の板ばねプローブの一例を示す分解斜視図である。
【図６】図５に示された板ばねプローブの組立て手順を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０  下ホルダー
１１  板ばね下辺用溝
１２  対上ホルダー位置決め係合部
２０  板ばね
２１  プローブ先端部
２２  前後方向位置決め凹部
２３  下側長辺
２４  上側長辺
３０  ロケーションプレート
４０  上ホルダー
４１ａ〜４１ｃ  板ばね上辺用溝
４２  位置決め係合部
４３  対ロケーションプレート位置決め係合収容部
１００  下ホルダー
１１０  溝
１２０  ピッチ方向位置決め凹部
１３０  前後方向位置決め結合部
２００  板ばね
２１０  プローブ先端部
２２０  前後方向位置決め凹部
３００  ロケーションプレート
３１０  溝
４００  上ホルダー
４１０  ロケーションプレート収納凹部
４２０  対下ホルダーピッチ方向位置決め凸部
４３０  対下ホルダー前後方向位置決め結合部
４４０  対板ばね前後方向位置決め凸部
４５０  溝
【図１】
0004008610.tif 000002
【図２】
0004008610.tif 000003
【図３】
0004008610.tif 000004
【図４】
0004008610.tif 000005
【図５】
0004008610.tif 000006
【図６】
0004008610.tif 000007