(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸とＹ軸は互いに直交し、
固定側基台に第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構で、上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、
上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を調整し、
上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、
上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンねじをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、
上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を固定保持するようにしたことを特徴とする精密機器の調整固定機構装置。
【請求項２】
Ｘ軸，Ｙ軸とＺ軸は互いに直交し、
固定側基台からＺ軸方向に進退するＰｚ軸調整ボルトで支持され、第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動及びＹ軸まわり回転可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動及びＸ軸まわり回転可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構の少なくとも３組で、
上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、
上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を調整し、
上記Ｐｚ軸調整ボルトを移動位置にロックナットで締め付け、
上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、
上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、
上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を固定保持するようにしたことを特徴とする精密機器の調整固定機構装置。
【請求項３】
上記Ｐｚ軸調整ボルトは差動ねじであり、円筒状大径ボルトとその貫通孔にねじ込まれた小径ボルトで構成されて、上記大径ボルトの外周面のねじピッチと上記大径ボルトの貫通孔のねじピッチが異なっている請求項２記載の精密機器の調整固定機構装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、精密機器、例えば、宇宙用の光学望遠鏡に搭載される副鏡ユニット等の精密機器の調整固定機構装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図５は従来のＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度調整固定機構装置の概念を表す図である。５自由度調整固定機構装置は、正三角形の頂点の位置に３組の調整固定機構１ａ，１ｂ，１ｃが副鏡ユニット（移動テーブル）２に取り付けられている。図６は図５の調整固定機構１ａの拡大図で、図７のＢ―Ｂ方向から見た断面図である。図７はこの調整固定機構を図６のＡ―Ａ方向よりみた断面図である。３ａ，３ｂはＢｘ軸調整固定ボルト、４ａ，４ｂはＢｙ軸調整固定ボルト、５はＢｚ軸調整固定ボルトである。６は位置固定用ロックナットで、Ｂｘ軸調整固定ボルト３ａ，３ｂで副鏡ユニット２のＸ軸方向位置を調整後、位置固定用ロック６をボルト位置決め金具７に締め付けて、副鏡ユニット２のＸ軸方向位置を固定する。同様にして、Ｂｙ軸調整固定ボルト４ａ，４ｂで副鏡ユニット２のＹ軸方向位置を調整後、位置固定用ロック６をボルト位置決め金具７に締め付けて、位置固定用ロックナット６で副鏡ユニット２のＹ軸方向位置を固定する。
【０００３】
ボルト位置決め金具７は、Ｂｘ軸調整固定ボルト３ａ，３ｂ、Ｂｙ軸調整固定ボルト４ａ，４ｂ、Ｂｚ軸調整固定ボルト５に対して共用される１体の金具である。８は固定側フランジである。９は位置固定用ロックナットで、Ｂｚ軸調整固定ボルト５で副鏡ユニット２のＺ軸方向位置を調整後、位置固定用ロックナット９を固定側フランジ８に締め付けて、副鏡ユニット２のＺ軸方向位置を固定する。１０は副鏡ユニット２を固定側フランジ８側へ引く引きバネである。
【０００４】
次に動作について説明する。副鏡ユニット２に取り付けられた調整固定機構１ａ，１ｂ，１ｃは、３組のＢｘ軸調整固定ボルト３ａ，３ｂを同時に押し引きすることにより、副鏡ユニット２をＸ軸方向に位置調整することができる。同様に、３組のＢｙ軸調整固定ボルト４ａ，４ｂを同時に押し引きすることにより、副鏡ユニット２をＹ軸方向に位置調整することができる。さらに、３組のＢｚ軸調整固定ボルト５を押し引きすることにより、副鏡ユニット２をＺ軸方向に位置調整することができる。３組のＺ軸方向高さをそれぞれ独立に調整することにより、Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの位置調整をすることができる。Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの位置調整を行った後、位置固定用ロックナット６をボルト位置決め金具７に、位置固定用ロックナット９を固定側フランジ８にそれぞれ締め付けることにより位置の固定を行うことができる。以上のようにすることにより、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度を調整固定することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の調整固定機構装置は、以上のように構成されているので、手動にて位置固定する際に、位置固定用ロックナット６，９を軸まわりに回転させるので、Ｂｘ軸調整固定ボルト３ａ，３ｂ，Ｂｙ軸調整固定ボルト４ａ，４ｂ，Ｂｚ軸調整固定ボルト５が、それぞれＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向にずれることがあった。位置決め調整精度が１／１０ｍｍ程度のときには従来の手法でも精度的に問題はないが、調整精度が数μｍの精度であると、位置固定用ロックナット６，９の軸まわり回転によるズレ量が問題になる。
【０００６】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、移動テーブル（副鏡ユニット）のＸ軸方向，Ｙ軸方向の２自由度、または、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度を調整できると共に、調整後のずれが少なく、かつ、振動に対してずれの少ない調整固定機構装置を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる精密機器の調整固定機構装置は、Ｘ軸とＹ軸は互いに直交し、固定側基台に第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構で、上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を調整し、上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンねじをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を固定保持するようにしたものである。
【０００８】
また、この発明に係わる精密機器の調整固定機構装置は、Ｘ軸，Ｙ軸とＺ軸は互いに直交し、固定側基台からＺ軸方向に進退するＰｚ軸調整ボルトで支持され、第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動及びＹ軸まわり回転可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動及びＸ軸まわり回転可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構の少なくとも３組で、上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を調整し、上記Ｐｚ軸調整ボルトを移動位置にロックナットで締め付け、上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を固定保持するようにしたものである。
【０００９】
また、上記Ｐｚ軸調整ボルトは差動ねじであり、円筒状大径ボルトとその貫通孔にねじ込まれた小径ボルトで構成されて、上記大径ボルトの外周面のねじピッチと上記大径ボルトの貫通孔のねじピッチが異なっているものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１である精密機器の調整固定機構装置、この例では、副鏡５自由度調整固定機構装置を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）はその側面図である。図1において、１１は宇宙用光学望遠鏡の副鏡を取り付けるための副鏡ユニット（移動側テーブル）で、外形が１２角形状で、中央が三つ葉のクローバ状に切り取られた骨組みで形成されている。１２はこの副鏡ユニット１１を光学望遠鏡に取り付けるための固定側フランジ（固定側基台）で、外形が１２角形状で、中央が切り取られた外枠で形成されている。１３ａ，１３ｂ，１３ｃは正三角形の頂点の位置に配置された３組の調整固定機構で、固定側フランジ１２の基板と副鏡ユニット１１の基板間に配置されている。この３組の調整固定機構で５自由度調整固定機構の主要部を構成する。１４ａ，１４ｂは副鏡ユニット１１をＸ軸方向に移動させるためのアクチュエータ（図示せず）用あて面である。１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂは副鏡ユニット１１をＹ軸方向に移動させるためのアクチュエータ（図示せず）用のあて面である。１７は副鏡の設置部である。
【００１１】
図２は図１の調整固定機構１３ｂの拡大正面図である。図３は図２のＣ―Ｃ断面図であり、図４は図２のＤ―Ｄ断面図である。図３，図４に示すように、調整固定機構１３ｂは、固定側フランジ１２の基板と副鏡ユニット１１の基板間に配置されている。図２，図３と図４において、２１は副鏡ユニット１１の据付孔２２に調整固定機構１３ｂを取り付けるためのドーナツ状フランジで、ボルト２３で四方から副鏡ユニット１１に固定されている。２４は十字形状に円柱を組み合わせて固定した十字形ピンで、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を構成する。
【００１２】
２５ａ，２５ｂは一端部がドーナツ状フランジ２１にボルト２６で取り付けられ、ばね材で形成され、半割された軸受状ホルダーで、他端部が十字形ピン２４のＰｘ軸に支承され、十字形ピン２４のＰｘ軸の移動方向をＸ軸方向に拘束する。２７は半割軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂを（上下の軸受を引き寄せて）十字形ピン２４のＰｘ軸に、Ｐｘ軸に直角方向に挟圧して固定保持するホルダー固定用ボルト（ホルダー固定用ストッパ）で、十字形ピン２４のＰｘ軸を軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂに固定し、十字形ピン２４のＸ軸方向の移動を阻止する。２８は軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂに設けられ先端が半球状のずれ防止ピンねじで、十字形ピン２４のＰｘ軸のＸ軸方向の位置調整後、十字形ピン２４のＰｘ軸を軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂに固定後、十字形ピン２４のＰｘ軸が軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂからずれないようにＰｘ軸と直角方向にねじ込まれＰｘ軸を押し圧する。ずれ防止ピンねじ２８が十字形ピン２４のＰｘ軸に当たる円柱Ｐｘ軸の面は、平ら面１８になるように加工している。
【００１３】
２９ａ，２９ｂは十字形ピン２４のＰｙ軸を支承し、半割された軸受状ホルダーで、十字形ピン２４のＰｙ軸の移動方向をＹ軸方向に拘束する。軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂは下部で結合され一体となっている。３０は半割軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂを十字形ピン２４のＰｙ軸に、Ｐｙ軸に直角方向に挟圧して固定保持するホルダー固定用ボルト（ホルダー固定用ストッパ）で、十字形ピン２４のＰｙ軸を軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂに固定し、十字形ピン２４のＹ軸方向の移動を阻止する。３１は軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂに設けられ先端が半球状のずれ防止ピンねじで、十字形ピン２４のＰｙ軸のＹ軸方向の位置調整後、十字形ピン２４のＰｙ軸を軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂに固定後、十字形ピン２４のＰｙ軸が軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂからずれないようにＰｙ軸と直角方向にねじ込まれＰｙ軸を押し圧する。ずれ防止ピンねじ３１が十字形ピン２４のＰｙ軸に当たる円柱Ｐｙ軸の面は、平ら面１９になるように加工している。３２はドーナツ状フランジ２１を副鏡ユニット１１に固定するボルトである。
【００１４】
４１は十字形ピン２４を支持し、上端部が軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂの下端部に結合されたＰｚ軸調整ボルトで、Ｚ軸方向に進退して十字形ピン２４のＺ軸方向の移動を調整する。４２はワッシャ、４３はＰｚ軸調整ボルト４１で十字形ピン２４のＺ軸方向の移動位置を調整後、その位置を固定するＰｚ軸調整ボルト固定用ねじ（固定用ストッパ）で、Ｚ軸方向の移動位置を調整後、スペーサ４４を介在させて軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂを固定用ねじ４３でスペーサ４４に固定している。４５はＰｚ軸調整ボルト４１を構成し、固定側フランジ１２の貫通孔４６にねじ込まれ、Ｚ軸方向の差動移動を実現する差動ねじで、円筒状大径ボルト４７とその内側の貫通孔にねじ込まれた小径ボルト４８を有し、円筒状大径ボルト４７の外周面に切ったねじ（疎ねじ）と内周面に切ったねじ（密ねじ）のピッチを変えている。
【００１５】
４９は円筒状大径ボルト４７の端部に一体に形成された円筒状大径ボルト４７のねじ込み用ナットである。５０は小径ボルト４８の端部に一体に形成された小径ボルト４８のねじ込み用（回転阻止用）ナットである。差動ねじ４５で、十字形ピン２４を進退させるには、ねじ込み用（回転阻止用）ナット５０の回転を阻止し、ねじ込み用ナット４９を回転させれば、円筒状大径ボルト４７の外周面に切ったねじ（疎ねじ）と内周面に切ったねじ（密ねじ）のピッチの差だけ進退する。５１は差動ねじ４５の大径ボルト４７を固定側フランジ１２に位置固定する大径ボルト固定用ロックナット、５２は小径ボルト４８を差動ねじ４５の大径ボルト４７に対し位置固定する小径ボルト固定用ロックナットである。
【００１６】
次に実施の形態１の動作について説明する。宇宙用光学望遠鏡の副鏡ユニット１１におけるＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度を調整する際、固定側フランジ１２に副鏡ユニット１１を調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃの３箇所を用いて支持する。副鏡ユニット１１の位置調整前に、調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃのＰｘ軸のホルダー固定用ボルト２７、ずれ防止ピンねじ２８、及び、Ｐｙ軸のホルダー固定用ボルト３０、ずれ防止ピンねじ３１を、十字形ピン２４が自由にＸ軸方向、Ｙ軸方向にスライドできるように緩めておく。さらに、大径ボルト固定用ロックナット５１，小径ボルト固定用ロックナット５２、Ｐｚ軸調整ボルト固定用ねじ４３を緩め、スペーサ４４を引抜いておき、Ｐｚ軸調整ボルト４１を自由に進退できるようにする。
【００１７】
次に副鏡ユニット１１の位置調整について述べる。副鏡ユニット１１のＺ軸方向の位置は各調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃのＰｚ軸調整ボルト４１に取り付けられている差動ねじ４５を工具を使用して手動で回転させることによりＺ軸方向の位置決めを行う。このとき、ねじ込み用（回転阻止用）ナット５０の回転を阻止し、ねじ込み用ナット４９を回転させれば、円筒状大径ボルト４７の外周面に切ったねじ（疎ねじ）と内周面に切ったねじ（密ねじ）のピッチの差だけ進退する。ピッチの差だけ進退するようにしているので、微調整が容易になる。３組の調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃのＰｚ軸位置を独立に調整することにより、Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの位置を決めることができる。
【００１８】
Ｘ軸方向の位置決めは、副鏡ユニット１１のＸ軸駆動アクチュエータ用あて面１４ａ，１４ｂを利用し、アクチュエータで副鏡ユニット１１をＸ軸方向に駆動する。Ｙ軸方向の位置決めは、副鏡ユニット１１のＹ軸駆動アクチュエータ用あて面１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂを利用してアクチュエータで副鏡ユニット１１をＹ軸方向に駆動する。調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃの十字形ピン２４は、Ｘ軸方向には軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂにより、X軸方向移動およびＸ軸まわり回転が可能なように拘束されている。又、Ｙ軸方向には軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂにより、Ｙ軸方向移動およびＹ軸まわり回転が可能なように拘束されている。これらにより、十字形ピン２４は、ＸＹ平面内のスライド移動及び軸まわり回転が可能なように拘束される。３箇所の調製固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃそれぞれのＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの自由度により、副鏡ユニット１１のＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度の調整が可能となる。
【００１９】
次に位置調整後の固定保持について述べる。副鏡ユニット１１のＺ軸方向の位置、Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの位置をを決めた後、大径ボルト固定用ロックナット５１と小径ボルト固定用ロックナット５２を用いて差動ねじ４５のＺ軸方向位置を固定保持し、スペーサ４４を介在させて軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂを固定用ねじ４３でスペーサ４４に固定し、両方で、Ｐｚ軸調整ボルト４１のＺ軸方向位置を固定保持する。副鏡ユニット１１のＸ軸，Ｙ軸位置調整後、軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂをホルダー固定用ボルト２７でＰｘ軸に挟圧することにより、副鏡ユニット１１のＸ軸方向及びＸ軸まわり回転を固定保持する。又、軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂをホルダー固定用ボルト３０でＰｙ軸に押圧することにより、副鏡ユニット１１のＹ軸方向及びＹ軸まわり回転を固定保持する。さらにＸ軸固定用ずれ防止ピンねじ２８、Ｙ軸固定用ずれ防止ピンねじ３１を締め付けることで、十字形ピン２４のＰｘ軸及びＰｙ軸の位置固定を確実にする。このときＰｘ軸の軸受状ホルダー２５ａ，２５ｂ，ずれ防止ピンねじ２８、及び、Ｐｙ軸の軸受状ホルダー２９ａ，２９ｂ，ずれ防止ピンねじ３１を各軸と直角方向に押圧するため、軸方向の移動は生じない。
【００２０】
実施の形態１の５自由度調整固定機構装置は、上記のように構成したので、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわりθｘ，Ｙ軸まわりθｙの５自由度を調整することが可能であり、特にＸ軸、Ｙ軸の位置調整後の固定の際には、十字形ピン２４を固定保持する軸受状ホルダー及びずれ防止ピンねじを軸に直角方向に押圧するため、位置ずれを起こすことなく数μｍの精度で位置固定が可能であり、特に振動に対して、位置ずれをほとんどなくすることができる。
【００２１】
また、Ｘ軸駆動、Ｙ軸駆動アクチュエータには、ステッピングモータ等を用いてもよく、その際には副鏡ユニットの位置および移動量を正確に知ることができる。
実施の形態１では、３組の調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃで５自由度調整固定機構の主要部を構成したが、少なくとも３個以上、例えば４組の調整固定機構を、固定側フランジの基板と副鏡ユニットの基板間に配置させて、５自由度調整固定機構の主要部を構成しもよい。
なお、十字形ピン２４はＺ軸に直交する二軸（Ｘ軸，Ｙ軸）回りに回転できる機構ということで、ジンバルピンと呼ぶことができる。
【００２２】
実施の形態２．
実施の形態１では、３組の調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃで５自由度調整固定機構の主要部を構成したが、Ｐｚ軸調整ボルトを使用しないで、固定式とし、十字形ピン２４のＸ軸とＹ軸方向に移動可能とし、移動調整後に固定保持を行い、これらを実施の形態１と同様にすれば、移動用テーブルのＸ軸、Ｙ軸の２自由度調整固定機構装置を実現できる。この場合も、Ｘ軸、Ｙ軸の位置調整後の固定の際には、十字形ピン２４を固定保持する軸受状ホルダー及びずれ防止ピンねじを軸に直角方向に押圧するため、位置ずれを起こすことなく数μｍの精度で位置固定が可能であり、特に振動に対して、位置ずれをほとんどなくすことができる。
【００２３】
移動用テーブルのＸ軸、Ｙ軸の２自由度調整固定機構装置は、Ｚ軸固定式の３組の調整固定機構１３ａ，１３ｂ，１３ｃを用いて実現しているが、Ｚ軸固定式の１個の調整固定機構を用い、他はローラなどの支えで実現してもよい。
【００２４】
【発明の効果】
この発明の精密機器の調整固定機構装置は、Ｘ軸とＹ軸は互いに直交し、固定側基台に第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構で、上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を調整し、上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンねじをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、上記移動用テーブルのＸ軸とＹ軸の移動位置を固定保持するようにので、確実に位置ずれを精密に防止して精度よく固定保持することができ、振動に対して位置ずれを防止することができる。
【００２５】
この発明の精密機器の調整固定機構装置は、Ｘ軸，Ｙ軸とＺ軸は互いに直交し、固定側基台からＺ軸方向に進退するＰｚ軸調整ボルトで支持され、第１軸受状ホルダーを介してＰｙ軸がＹ軸方向移動及びＹ軸まわり回転可能に支承され、かつ移動用テーブルを第２軸受状ホルダーを介してＰｘ軸にＸ軸方向移動及びＸ軸まわり回転可能に支承し、互いに直交するＰｘ軸とＰｙ軸を有する十字形ピンを備える調整固定機構の少なくとも３組で、上記固定側基台に対して上記移動用テーブルを支承する精密機器の調整固定機構装置であって、上記固定側基台に対する上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を調整し、上記Ｐｚ軸調整ボルトを移動位置にロックナットで締め付け、上記第２軸受状ホルダーをＰｘ軸に第２ホルダー固定用ストッパでＰｘ軸に直角方向に押圧し、上記第２軸受状ホルダーから第２ずれ防止ピンねじをＰｘ軸にＰｘ軸に直角方向に押圧すると共に、上記第１軸受状ホルダーをＰｙ軸に第１ホルダー固定用ストッパでＰｙ軸に直角方向に押圧し、上記第１軸受状ホルダーから第１ずれ防止ピンをＰｙ軸にＰｙ軸に直角方向に押圧して、上記移動用テーブルのＸ軸，Ｙ軸とＺ軸の移動位置を固定保持するようにしたので、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向，Ｘ軸まわり，Ｙ軸まわりの５自由度を調整することができ、確実に位置ずれを精密に防止して精度よく固定保持することができ、振動に対して位置ずれを防止することができる。
【００２６】
また、Ｐｚ軸調整ボルトは差動ねじであり、円筒状大径ボルトとその貫通孔にねじ込まれた小径ボルトで構成されて、上記大径ボルトの外周面のねじピッチと上記大径ボルトの貫通孔のねじピッチが異なっているので、Ｚ軸調整を微調整できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１である精密機器の調整固定機構装置を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）はその側面図である。
【図２】  図１の調整固定機構の拡大正面図である。
【図３】  図２のＣ―Ｃ断面図である。
【図４】  図２のＤ―Ｄ断面図である。
【図５】  従来の５自由度調整固定機構装置の概念を表す図である。
【図６】  図５の調整固定機構の拡大図で、図７のＢ―Ｂ方向から見た断面図である。
【図７】  調整固定機構を図６のＡ―Ａ方向よりみた断面図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ，１ｃ  調整固定機構      ２  副鏡ユニット（移動テーブル）
３ａ，３ｂ  Ｂｘ軸調整固定ボルト      ４ａ，４ｂ  Ｂｙ軸調整固定ボルト
５  Ｂｚ軸調整固定ボルト              ６  位置固定用ロックナット
７  ボルト位置決め金具              ８  固定側フランジ
９  位置固定用ロックナット        １０  引きバネ
１１  副鏡ユニット（移動側テーブル）
１２  固定側フランジ（固定側基台）
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ  調整固定機構
１４ａ，１４ｂ  アクチュエータ用あて面
１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ  アクチュエータ用のあて面
１７  副鏡の設置部                  １８  平ら面
１９  平ら面                        ２１  ドーナツ状フランジ
２２  据付孔                        ２３  ボルト
２４  十字形ピン                    ２５ａ，２５ｂ  軸受状ホルダー
２６  ボルト
２７  ホルダー固定用ボルト（ホルダー固定用ストッパ）
２８  ずれ防止ピンねじ              ２９ａ，２９ｂ  軸受状ホルダー
３０  ホルダー固定用ボルト（ホルダー固定用ストッパ）
３１  ずれ防止ピンねじ              ３２  ボルト
４１  Ｐｚ軸調整ボルト                ４２  ワッシャ
４３  Ｐｚ軸調整ボルト固定用ねじ（固定用ストッパ）
４４  スペーサ                      ４５  差動ねじ
４６  貫通孔                        ４７  大径ボルト
４８  小径ボルト                    ４９  ねじ込み用ナット
５０  ねじ込み用（回転阻止用）ナット
５１  大径ボルト固定用ロックナット  ５２  小径ボルト固定用ロックナット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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