(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドラーの本体上側に取り付けられた設置台に水平移動自在に取り付けられてハンドラーの片側からデバイスをピックアップして他の側に移送するものであって、
前記設置台に移動自在に取り付けられる垂直板と、
前記垂直板の下段部に案内部材を媒介に左右側に水平移動自在に並んで取り付けられて左右ピッチ調整が可能になった複数の可変ピッチブロックと、
前記各可変ピッチブロックの前後方に各々案内部材を媒介に昇降可能に取り付けられ、相互に上下反対方向に連動するように結合されてデバイスを交互にピックアップ及び解除する一対のピックアップ部材と、
前記可変ピッチブロックを左右片側に移動させるためのブロック駆動手段と、
前記各ピックアップ部材を相互に上下反対方向に連動させるためのピックアップ部材駆動手段と、を含み、
前記ピックアップ部材駆動手段は、
前記各可変ピッチブロックの一側面の上段及び下段に回動自在に取り付けられた駆動プーリー及び従動プーリーと、
前記駆動プーリーを回動させる電動モーターと、
前記駆動プーリー及び従動プーリーに掛けるように結合されて駆動プーリーの回動によって上下に駆動するベルトと、
一端が前記ベルトの片側に結合され他端が前方側のピックアップ部材に結合される前方の連結ブラケットと、
一端が前記ベルトの他の片側に結合され他端が後方のピックアップ部材に結合される後方の連結ブラケットで構成されることを特徴とするハンドラーのデバイスピッカー。
【請求項２】
前記ブロック駆動手段は、
前記設置板に取り付けられる電動モーターと、
前記電動モーターに結合されて回動するピニアンギア部と、
前記可変ピッチブロックの上段部に固定されて前記ピニアンギア部と噛み合った側に直線運動するラックギア部と、
を含めてなることを特徴とする請求項１に記載のハンドラーのデバイスピッカー。
【請求項３】
前記各々ピックアップ部材はその下段部に真空圧によってデバイス表面を吸い込む真空ノズルを備えていることを特徴とする請求項１に記載のハンドラーのデバイスピッカー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハンドラーのデバイスをピックアップ移送するピッカーに関するもので、特に、ハンドラーの片側の位置から複数対のデバイスを同時にピックアップして他側の位置に移動して取り付けるハンドラー用デバイスのピッカーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、メモリー又は非メモリー半導体素子などのデバイス及びこれらを適切に一つの基板上に回路的に構成したモジュールは、生産後各種テスト過程を経た後に出荷されるが、ハンドラーとは前記のようなデバイス及びモジュールラムなどの自動テストに用いられている装置のことをいう。
【０００３】
通常、このようなハンドラーのうち、多数が常温状態における一般的な性能テストのみならず、密閉されたチャンバー内に電熱ヒーター及び液化窒素噴射システムを介して高温及び低温の極限温度状態の環境の下で、前記デバイス及びモジュールラムなどがこのような極限温度条件でも正常的な機能が行われるか否かをテストする高温テスト及び低温テストも行えるようになっている。
【０００４】
尚、添付の図１はメモリー半導体パッケージのようなデバイスをテストするハンドラー構成を示すもので、図１に示すように、ハンドラーの前方部にはテストするデバイスなどが多数収納されている顧客用トレイなどが積まれるローディングスタッカー１０が取り付けられ、該ローディングスタッカー１０の片側部にはテスト済みのデバイスがテスト結果によって分けられて顧客用トレイに収納されるアンローディングスタッカー２０が取り付けられる。
【０００５】
また、ハンドラーの中間部分の両側部には、前記ローディングスタッカー１０から移送されてきたデバイスなどを一時的に取り付けるバッファ部４０が前後進可能に取り付けられている。これらのバッファ部４０の間には、バッファ部４０のテストするデバイスを移送してテストトレイＴに再装着する作業とテストトレイのテスト完了されたデバイスをバッファ部４０に装着する作業とが成されるようになっている交換部５０が取り付けられている。
【０００６】
前記ローディングスタッカー１０及びアンローディングスタッカー２０が配置されているハンドラーの前方部と前記交換部５０及びバッファ部４０が配置されたハンドラーの中間部との間には、Ｘ−Ｙ軸に線形運動し、デバイスをピックアップ移送する第１ピッカー３１と第２ピッカー３２が各々設置されている。前記第１ピッカー３１は、ローディングスタッカー１０及びアンローディングスタッカー２０とバッファ部４０の間を移動してデバイスをピックアップして移送する役割を果たし、前記第２ピッカー３２は、バッファ部４０と交換部５０の間を移動しながらデバイスをピックアップして移送する役割をしている。
【０００７】
また、ハンドラーの後方部には、多数に分割された密閉チャンバーなどの中に高温又は低温の環境を作った後デバイスが装着されたテストトレイＴなどを順次に移送して所定温度の条件下でデバイスの性能をテストするテストサイト７０が位置される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記のように構成された従来のハンドラーでは前記第１ピッカー３１と第２ピッカー３２などが一回に一対、即ち、２個ずつのデバイスだけをピックアップして移送するように構成されていてテスト効率が低下するという問題があった。
【０００９】
勿論、各々のピッカーのピックアップ手段を希望する量ほど増やせれば良いけれど、その場合ピッカーの全体構成が複雑になり、これによって機器の誤動作及びメンテナンスし難くなるという問題がある。
【００１０】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためのもので、デバイスピッカー全体の構成をあまり複雑にすることなく、一回に複数対のデバイスを同時にピックアップして移送できるようにすることでテストの効率を向上させ得るハンドラー用デバイスピッカーを提供することが目的である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明によると、ハンドラーの本体上側に取り付けられた設置台に水平移動自在に取り付けられてハンドラーの片側からデバイスをピックアップして他の側に移送するものであって、前記設置台に移動自在に取り付けられる垂直板と、前記垂直板の下段部に案内部材を媒介に左右側に水平移動自在に並んで取り付けられて左右ピッチ調整が可能になった複数の可変ピッチブロックと、前記各可変ピッチブロックの前後方に各々案内部材を媒介に昇降可能に取り付けられ、相互に上下反対方向に連動するように結合されてデバイスを交互にピックアップ及び解除する一対のピックアップ部材と、前記可変ピッチブロックを左右片側に移動させるためのブロック駆動手段と、前記各ピックアップ部材を相互に上下反対方向に連動させるためのピックアップ部材駆動手段と、を含み、前記ピックアップ部材駆動手段は、前記各可変ピッチブロックの一側面の上段及び下段に回動自在に取り付けられた駆動プーリー及び従動プーリーと、前記駆動プーリーを回動させる電動モーターと、前記駆動プーリー及び従動プーリーに掛けるように結合されて駆動プーリーの回動によって上下に駆動するベルトと、一端が前記ベルトの片側に結合され他端が前方側のピックアップ部材に結合される前方の連結ブラケットと、一端が前記ベルトの他の片側に結合され他端が後方のピックアップ部材に結合される後方の連結ブラケットで構成されることを特徴とする。
【００１２】
前記ブロック駆動手段は、前記設置板に取り付けられる電動モーターと、前記電動モーターに結合されて回動するピニアンギア部と、前記可変ピッチブロックの上段部に固定されて前記ピニアンギア部と噛み合った側に直線運動するラックギア部と、を含めてなることが望ましい。
【００１４】
前記各々ピックアップ部材はその下段部に真空圧によってデバイス表面を吸い込む真空ノズルを備えていることが望ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明を更に詳細に説明する。
【００１６】
図２ないし図６は本発明のデバイスピッカー構造を示すものである。デバイスピッカー１００は、ハンドラーの本体（図示せず）のバッファ部４０（図１参照）と交換部５０の上側を左右に横切るように取り付けた設置台３０に沿って摺動し、水平移動自在に取り付けられて、バッファ部４０と交換部５０との間にデバイス移送及び装着を行うことになる。
【００１７】
前記デバイスピッカー１００は、前記設置台３０にエルエムガイド３０のエルエムブロック（図示せず）を媒介にして結合された垂直板１０２と、前記垂直板１０２の下段部に並んで取り付けられている一対の可変ピッチブロック１０４ａ、１０４ｂとを備えている。ここで、前記可変ピッチブロックのうち、一方の可変ピッチブロック１０４ａは垂直板１０２に固定結合され、他側の可変ピッチブロック１０４ｂは垂直板１０２に取り付けられているエルエムガイド１０３のエルエムブロック１０３ａに結合されて左右に側方移動して左右側の間隔、即ち、ピッチ調整が可能なように構成されている。
【００１８】
また、前記可変ピッチブロック１０４ｂを側方に移動させるための駆動手段として、垂直板１０２の上側に電動モーター１０５が取り付けられ、前記電動モーター１０５の下側にはピニアンギア部１０６が結合されて電動モーター１０５の駆動力を伝えて回動するようになっている。前記ピニアンギア部１０６は可変ピッチブロック１０４ｂの上段部に固定されたラックギア部１０７と噛み合うように構成されて、前記電動モーター１０５によってピニアンギア部１０６が回転することによってラックギア部１０７が左右に直線運動して可変ピッチブロック１０４ｂが左右に移動することになる。
【００１９】
尚、前記各可変ピッチブロック１０４ａ、１０４ｂの前方面と後方面の各々にはデバイスをピックアップするためのピックアップ部材１１０ａ、１１０ｂがエルエムガイド１０９のエルエムブロック１０９ａを媒介に結合されており、各ピックアップ部材１１０ａ、１１０ｂはその下段部に真空圧によってデバイスを吸着する真空ノズル１１１を備えている。
【００２０】
前記各可変ピッチブロックに取り付けられている前方及び後方のピックアップ部材１１０ａ、１１０ｂは駆動手段に相互連動するように結合されて相互反対方向に乗降運動するように構成されていて、可変ピッチブロックの外側面の上段部と下段部の各々には駆動プーリー１１２と従動プーリー１１３が回転自在に取り付けられ、前記駆動プーリー１１２と従動プーリー１１３はベルト１１４によって相互結合され、前記駆動プーリー１１２は電動モーター１１５に結合されて回転力を伝えられるようになっている。
【００２１】
また、前記ベルト１１４の何れか一方には一端が前方側のピックアップ部材に結合された前方側の連結ブラケット１１６の他端が結合され、ベルト１１４の他の一方には一端が後方側ピックアップ部材に結合された後方側連結ブラケット１１７の他端が結合される。
【００２２】
従って、前記電動モーターによって駆動プーリー１１２が回動するとこれに結合されたベルト１１４が上下に駆動することになり、これによって連結ブラケット１１６，１１７を媒介にベルト１１４と結合されている前後のピックアップ部材などがベルトの運動方向に沿って相互反対に乗降運動する。
【００２３】
前記のように、前記ピックアップなどはデバイスピッカーの前列に位置するのと、後列に位置するものが交互に乗降しデバイスをピックアップするように構成される。
即ち、各可変ピッチブロック１０４ａ、１０４ｂの前方のピックアップ１１０ａなどが共に上昇又は下降すると、これと反対に後方のピックアップ１１０ｂなどが共に下降又は上昇してデバイスをピックアップする作業を行うことになる。
【００２４】
前記のように構成された本発明のデバイスピッカーは次のように動作する。
ハンドラーの第１ピッカー３１がローディングスタッカー１０のトレイからバッファ部４０にテストするデバイスを載置すると、第２ピッカーとして働く本発明のデバイスピッカー１００がバッファ部４０の直上側でデバイスをピックアップするように整列され、次に電動モーター１１５が作動し前列のピックアップ部材１１０ａが下降して真空ノズル１１１がデバイスを吸い込んだ後更に電動モーター１１５が逆に動作して前列のピックアップ部材１１０ａが上昇する。
この時前記のように後列のピックアップ１１０ｂは前列のピックアップ１１０ａと相反する運動をする。
【００２５】
また、バッファ部４０が所定距離だけ、即ち、後列のピックアップ１１０ｂがバッファ部４０の次のデバイスをピックアップできる位置に移動すると、前記電動モーター１１５が動作して後列のピックアップ部材１１０ｂを下降させて真空ノズル１１０ｂがデバイスを吸い込んで更に電動モーター１１５が逆に動作してピックアップ部材１１０ｂを上昇させる。
【００２６】
この時、前記前列のピックアップ部材１１０ａと後列のピックアップ部材１１０ｂは移送中、ハンドラーの他の構造物と衝突することを防止するために同一の高さに位置させるのが望ましい。
以降、デバイスピッカー１００がデバイスをピックアップした状態で垂直板１０２が別の駆動手段、例えば、リニアモーター又はボールスクリューなど（図示せず）によって設置台３０に沿って交換部５０に移動してテストトレイ（図示せず）にデバイスを再装着させる。
この時デバイスのピッカー１００の動作は前記のように成される。
【００２７】
交換部５０のテストトレイ（Ｔ）に収納されたテスト完了されたデバイスをバッファ部４０に移送する作業は、前記デバイスピッカー１００の動作に従うのでその詳細な説明は省略する。
【００２８】
尚、ハンドラーでテストするデバイスの種類が異なると、これによってデバイスを収納するトレイなどの種類も変わってくるし、トレイのデバイスが載置される格子の大きさも変わるが、トレイのデバイスとデバイスのピッカーのピックアップ部材の間に整列が成されないようになる。
【００２９】
このような前記デバイスピッカー１００のピックアップ部材１１０ａ、１１０ｂの間隔を調節すべきであるが、側方へのピッチ調整は可変ピッチブロック１０４ｂを移動させることによってなされ、前後方向のピッチ調整はハンドラーの本体上でバッファ部４０の前後進の移動量を調整することで成される。
【００３０】
従って、前記電動モーター１０５を設定された量だけ作動させてピニアンギア部１０６を回動させると、ラックギア部１０７が与えられた距離だけ移動してピックアップ部材１１０ａ、１１０ｂの間隔が調節され整列がなされることになる。
【００３１】
以上本発明の好適な一実施形態に対して説明したが、前記実施形態のものに限定されるわけではなく、本発明の技術思想に基づいて種々の変形又は変更が可能である。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、次のような効果がある。
即ち、デバイスのピッカーの構造を簡単に維持させながら一回に前後に四つ又はそれ以上のデバイスをピックアップして移送できるようにすることでテストの効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般的なハンドラー構成を概略的に示す平面構成図である。
【図２】本発明のデバイスピッカーが取り付けられているハンドラーの構成部を示す斜視図である。
【図３】本発明のデバイスピッカーの一部構成要素を省略して示す分解組立て図である。
【図４】本発明のデバイスピッカーの結合された構造を示す斜視図である。
【図５】図４のデバイスピッカーの正面図である。
【図６】図４のデバイスのピッカーの側面図である。
【符号の説明】
３０  設置台
４０  バッファ部
５０  交換部
１００  デバイスピッカー
１０２  垂直板
１０４  可変ピッチブロック
１０５  電動モーター
１０６  ピニアンギア
１０７  ラックギア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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