(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて且つ各部品同士を溶着し、この溶着作業を全ての部品について完了することにより樹脂製品の完成品を製造する溶着可能な樹脂製品の製造方法において、
前記樹脂が弗素系樹脂であり、
各部品の溶着面に遠赤外線エネルギの集中を促す高さ０．５〜３ｍｍの凸部を複数形成し、当該弗素系樹脂の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を高放射率で放射し得る材料からなる放射体を備えたヒータを２５０℃から５８０℃未満に加熱して溶着すべき部品の溶着面間に挿入し、前記凸部の上端面から前記ヒータの放射体の表面との間を１〜２．５ｍｍとなるように保持して前記溶着面に設けられた前記凸部をその上端面から溶着面に向かって非接触で均一に軟化させた後、前記ヒータを除去し、そして、溶着面同士を押し付けることにより前記凸部を押し潰し当該溶着面を全面にわたって溶着することを特徴とする溶着可能な樹脂製品の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の溶着可能な樹脂製品の製造方法において、
前記樹脂が、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＰＶＤＦであることを特徴とする溶着可能な樹脂製品の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の溶着可能な樹脂製品の製造方法において、
樹脂製品の完成品を製造した後、熱による内部応力を除去することを特徴とする溶着可能な樹脂製品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、溶着可能な樹脂製品の製造方法及びその製造方法によって溶着された樹脂製品並びに樹脂物品の溶着方法に係り、特に、一体成型すると金型、射出成型機等が大型化し経済性が問題となるような樹脂製品の製造方法及びその製造方法によって溶着された樹脂製品並びに樹脂物品の溶着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工場では、シリコンウエハをテフロン（登録商標）製のキャリアに入れて各種の処理工程を行い、あるいは、各処理工程間の移動を行っている。キャリアとしてテフロンを用いるのは、シリコンウエハをキャリアごと強酸等の薬品に漬ける場合があるからである。かかるシリコンウエハは、従来、４、５、６インチから８インチへと移行してきており、１９９８年には１２インチ、さらには、１４インチ、１６インチのものも試作品が完成したと新聞等に報じられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来、４〜８インチのシリコンウエハ用のテフロン製キャリアは、形状が複雑であるため圧縮成形法によって作ることはできず、各製造メーカーとも各種の技術的困難性を克服して射出成型により製造している。テフロンを射出成型するには、４００℃以上の高温と高圧が必要で、分解温度に接近している上に溶融粘度が高いため高度な製造技術を必要とする。さらに、射出成型した後に製品を取り出すための機構を考慮すると極めて高価で大型の射出成型機械が必要となっていた。
【０００４】
今後、シリコンウエハのサイズの増大に応じて、１２インチ以上のシリコンウエハ用のテフロン製キャリアを一体成型による射出成型で製造した場合、技術的にも資金的にも多くの問題を抱え込むこととなる。まず、これを一体成型する場合は、射出成型機だけで２０００〜４０００トンのものが必要で、金型も数億単位となることが予想される。また、金型については、成型用のもの、アニリング用のもの共サイズが大きくなるため、ヒートサイクルもそれにつれて長くなり、一日に数回しか成型できなくなる欠点がある。これら生産性の観点からも、また、コスト的にも問題となる。
【０００５】
本発明は、上述したような従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、一体成型すると金型、射出成型機等が大型化し経済性が問題となるような樹脂製品の製造方法及びその製造方法によって溶着された樹脂製品並びに樹脂物品の溶着方法を提供することを目的とする。
【０００６】
本発明は、また、溶着すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を放射し得る材料を放射体として選択することで、短時間且つ低温度で樹脂部品の端面を軟化することができ、従って、それに要するエネルギ消費量を小さくすることができる樹脂製品の製造方法及びその製造方法によって溶着された樹脂製品並びに樹脂物品の溶着方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて且つ各部品同士を溶着し、この溶着作業を全ての部品について完了することにより樹脂製品の完成品を製造する溶着可能な樹脂製品の製造方法において、樹脂が弗素系樹脂であり、各部品の溶着面に遠赤外線エネルギの集中を促す高さ０．５〜３ｍｍの凸部を複数形成し、弗素系樹脂の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を高放射率で放射し得る材料からなる放射体を備えたヒータを２５０℃から５８０℃未満に加熱して溶着すべき部品の溶着面間に挿入し、凸部の上端面からヒータの放射体の表面との間を１〜２．５ｍｍとなるように保持して溶着面に設けられた凸部をその上端面から溶着面に向かって非接触で均一に軟化させた後、ヒータを除去し、そして、溶着面同士を押し付けることにより凸部を押し潰し溶着面を全面にわたって溶着することを特徴とする溶着可能な樹脂製品の製造方法を提供する。
【０００８】
製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて製造するため、１つ１つの部品は簡単且つ従来の射出成型機を用いて安価に製造することができる。各部品同士の溶着面の凸部は、射出成型の場合にはどのような形状にも形成できるため、試作品の実験等を通じで最適の形状、高さを選定することができる。ヒータを溶着すべき部品の溶着面間に挿入して保持すると、熱エネルギは凸部に集中する性質を有するため溶着面に設けられた凸部が最初に軟化する。溶着すべき両部品の溶着面に形成された凸部がそれぞれほぼ同一の所定の深さまで軟化した後、ヒータを除去して溶着面同士を押し付け溶着する。この溶着作業を、順次、全ての部品について完了することにより樹脂製品の完成品を製造する。また、放射体を所定の温度に加熱すると、接続すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を高放射率で放射する。樹脂部品、特に、溶着面に形成される凸部は、吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線により加熱されるため、放射体の温度が従来の加熱装置に比較して低い温度であっても短時間に軟化温度に達し軟化し始める。また凸部の高さが約０．５〜３ｍｍである場合、上面が過度に溶け出す前に凸状帯全体が軟化し、理想的な溶着が達成される。さらに、一旦、放射体が所定の温度に達してしまえば、発熱体により加熱し続けなくても所定の遠赤外線を放射し続ける。これらの性質と放射体の温度が従来のものに比較して低くても良いことにより、樹脂部品の端面を軟化するのに必要とされるエネルギは小さくて済む。放射体の加熱温度を低い温度に抑えることにより、樹脂の過熱による有毒ガス等の発生、溶着部の気泡発生を防止する。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の溶着可能な樹脂製品の製造方法において、樹脂が、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＰＶＤＦであることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の溶着可能な樹脂製品の製造方法において、樹脂製品の完成品を製造した後、熱による内部応力を除去することを特徴とする。製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて製造し、それらの溶着面同士を部分的に溶着して完成品とするため、完成品内部には熱による内部応力が生じる。これを除去することにより、完成品である樹脂製品のねじれ、変形等を取り除く。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法及びその製造方法によって溶着された樹脂製品並びに樹脂物品の溶着方法について詳細に説明する。
【００２１】
図１に示されているように、本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法は、概略的に、製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて且つ各部品同士の溶着面に熱エネルギの集中を促す凸部を有するように製造する工程（ステップ１）と、ヒータを溶着すべき部品の溶着面間に挿入して該溶着面に設けられた凸部を所定の深さまで軟化させる工程（ステップ２）と、ヒータを除去して溶着面同士を溶着する工程（ステップ３）と、そして、この溶着作業を順次全ての部品について完了することにより樹脂製品の完成品を製造する工程（ステップ４）とを含んで構成されている。さらに、熱による内部応力を除去する工程（ステップ５）及び溶着面部にひび割れなどの瑕疵が存在していないか否かを検査するする工程（ステップ６）を加えることもできる。
【００２２】
製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて製造するため、１つ１つの部品は簡単且つ従来の射出成型機を用いて安価に製造することができる。図２は、シリコンウエハのテフロン製キャリアを示すもので、（ａ）はキャリアを５つの部品に分割して示した斜視図であり、（ｂ）はそれら部品を本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法によって溶着し、完成品たるキャリアとした状態の斜視図である。
【００２３】
図示されてるように、キャリア１０は、上面部品１２と、右側面部品１４と、左側面部品１６と、背面部品１８と、下面部品２０とに分割可能である。これら部品は、ほとんど平板状の部品となるため、また、形状が極めて単純であるため、既存の射出成型機を用いて簡単且つ安価に製造することができる利点を有する。尚、各部品の斜線部分は溶着面２２を示し、後述する熱エネルギの集中を促す凸部２４が形成されている。溶着面２２の凸部２４は、射出成型の場合にはどのような形状にも形成できるため、試作品の実験等を通じで最適の形状、高さを選定することができる。溶着面２２は、どの部品とどの部品をどのように溶着するのかによって、適宜適当な位置に且つ適宜の形状に設定される。
【００２４】
図示された好ましい実施形態では、図７に示されているように、左側面部品１６と背面部品１８とを溶着し、次に、溶着された組立体と右側面部品１４とを溶着し、さらに、右側面部品１４と左側面部品１６と背面部品１８からなる溶着組立体と下面部品２０とを溶着し、最後に、上面部品１２を溶着した。従って、このような順番の溶着に適したように各部品の溶着面２２が設定されている。後述するように、各部品の溶着は吸盤を用いて部品を保持し、これを他方の部品又は組立体に押し付けるという動作を行う。そのため、各部品には吸盤を押し付ける部位に対応して吸着面を形成しておくことが好ましい。図示されたキャリア１０の場合は、全ての部品の表面側が平面となっているため、特別に吸着面といったものは形成されていない。
【００２５】
凸部２４としては、図３（ａ）〜（ｂ）に示したような、独立形の突起２４ａとすることも、図４（ａ）〜（ｄ）に示したような、凸状帯２４ｂとすることも、あるいは、図４（ｅ）〜（ｆ）に示したような、ハニカム構造とすることもできる。図４（ａ）に示した断面は、大口径のパイプやポンプハウジングに見られるもので、図４（ｂ）に示した断面は、ポンプのインペラーである。図４（ｃ）〜（ｄ）に示した断面は、それぞれ、円柱及び角柱である。図４（ｃ）〜（ｆ）に示したような凸状帯２４ｂは、図２に示したごとき部品間の溶着面に採用すると最適である。
【００２６】
独立形の突起２４ａの場合、最大幅を約８ｍｍとする。凸状帯２４ｂの幅を約１〜８ｍｍとする。こうすると、ヒータの挿入により突起２４ａ又は凸状帯２４ｂの上端面から溶着面２２に向ってほぼ均一に軟化が進行し溶着を確実なものとする。射出成型における金型の抜けを良くするため、突起２４ａは上面側が細く根元側、すなわち、溶着面２２に一体的に連結する側が太くなるように設定する。凸状帯２４ｂの場合も、同様に、両側面をハ字形に傾斜させることが好ましい。また、図４（ｂ）に示したように単一の凸状帯２４ｂによって又は図４（ａ），（ｃ）及び（ｄ）に示したように隣接する凸状帯２４ｂとによって、溶着した後溶着部の内側に外部に繋がらない空間部を形成する。溶着部に空間部を閉じ込めることによって、この溶着部を液中に浸漬した上で加熱又は外部を真空引きする（検査工程）ことにより、溶着部のひび割れや溶着不良を発見することができる。さらに、突起２４ａ又は凸状帯２４ｂの高さを約０．５〜３ｍｍとした場合、上面が過度に溶け出す前に凸部２４全体が軟化し、理想的な溶着が達成される。なお、図４（ｂ）に示したように単一の凸状帯２４ｂによって又は図４（ａ），（ｃ）及び（ｄ）に示したように隣接する凸状帯２４ｂとによって、溶着した後溶着部の内側に外部に繋がらない空間部を形成するには、凸部２４の高さを上述の最大値よりも大きく設定する。
【００２７】
図５及び図６に示されているように、ヒータ３０は、概略的に、第一及び第二の平坦な赤外線透過性のガラス板３０ｃ、３０ｄと、第一及び第二のガラス板３０ｃ、３０ｄの外面にそれぞれ積層された薄いセラミック層３０ｅ、３０ｆと、両ガラス板の間に間挿された電気的に加熱可能な板状タングステンヒータ３０ａと、そして、両ガラス板の少なくとも板状タングステンヒータ３０ａを取り囲む位置に且つ板状タングステンヒータ３０ａの厚さよりも僅かに高い高さだけ肉盛りされた該ガラス板に接着可能な石英ガラスからなる肉盛り部３０ｂとを備えて構成されている。
【００２８】
ヒータ３０は、例えば、図７（ａ）に示すように、左側面部品１６を単一又は複数の吸盤（図示されていない）で保持し、背面部品１８を同様に吸盤で保持する。左側面部品１６の溶着面（図においては、反対側となって見えていない）と背面部品１８の溶着面２２（正面を向いている面の左側）との中間に、ヒータ３０を挿入する。ヒータ３０のヒータ表面と左側面部品１６及び背面部品１８の溶着面２２との距離は等しくする。
【００２９】
左側面部品１６及び背面部品１８の溶着面２２に形成された凸部２４が所定の深さまで加熱されて軟化状態となった後、図７（ａ）に示すＸ方向にヒータ３０を引き抜き、左側面部品１６を背面部品１８の方向（Ｙ方向）に突き合わせ両者を接続する。そして、かかる溶着作業を、図７（ｂ）〜（ｅ）に示すように、各部品１４、２０、１２について行い完成品たるキャリア１０を製造する。
【００３０】
ヒータ３０は、加熱位置に挿入する前に所定の温度まで予熱しておくことができ、加熱位置に挿入した時には、電源からの電気の供給は停止させておくことができる。
セラミック層３０ｅ、３０ｆは、接続すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を高放射率で放射し得る材料からなる。
【００３１】
樹脂の素材としては、溶着できる樹脂であればどのようなものでも良く、例えば、ＰＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ等の弗素系樹脂、ＰＰＳ等の高級エンジニアリングプラスチック、あるいは、ＰＥ、塩化ビニール等の実用的な熱可塑性樹脂等がある。
図８は、代表的な金属を加熱した時の波長と分光放射率との関係を示したものである。そして、図９は、各種の樹脂の赤外線吸収スペクトルである。
【００３２】
図８に示されているように、金属では近赤外線での放射率は、０．４〜０．６程度の値を有しているが遠赤外線領域の放射率は０．３以下である。しかるに、各種の樹脂の赤外線吸収スペクトルを観察すると、一般に樹脂などの高分子材料は、６μｍ以上の波長の遠赤外線の吸収率が高く近赤外線の吸収率は極めて小さい。これが、ニクロム系（ＮｉーＣｒ）発熱体や鉄・クロム・アルミ系（ＦｅーＣｒーＡｌ）発熱体により、樹脂を加熱しようとした時、高温且つ時間を要する理由であり、従って、加熱に必要とするエネルギも多大なものとなっていた。
【００３３】
本発明では、溶着すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域を含む遠赤外線を高放射率で放射し得る材料を放射体として選択することにより、低温で且つ短時間に樹脂部品の凸部２４を軟化させている。このように、放射体の加熱温度を低い温度に抑えることにより、樹脂の過熱による有毒ガス等の発生、溶着部の気泡発生を防止する。
【００３４】
図１０は、ＰＶＤＦの吸収スペクトル図であるが、この図からも分かるように、波長領域６〜１０μｍにおいて遠赤外線の吸収率が０．５以上となっている。図１１は、セラミック層１０ｅ、１０ｆとしてセラスタッツＢＨＡ（商品名：販売元は大阪市中央区の島貿易株式会社で製造元は大阪市東区のパーカー株式会社）を用いた場合における赤外線分光放射出力を表している。基準値として、５００℃の黒体炉を選択し、セラミック層１０ｅ、１０ｆの表面温度が、６８６℃、５００℃、３００℃及び２５０℃の各場合についてフーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）で測定した。
【００３５】
なお、図１２は、セラミック層１０ｅ、１０ｆの表面温度とタングステンヒータ１０ａの温度との相関関係を示す図である。この図の根拠となる実測値は以下の通りであった。すなわち、セラミック層１０ｅ、１０ｆの表面温度（赤外線放射温度計にて計測）が、６８６℃、５００℃、４００℃、３００℃及び２５０℃の各場合におけるタングステンヒータ１０ａの温度（ヒータ内に設置したセンサによって計測）は、それぞれ、５００℃、４００℃、２９７℃、２２１℃及び１９２℃であった。
【００３６】
図１１より明らかなように、セラミック層１０ｅ、１０ｆの表面温度が５００℃以下の場合、６μｍを越える波長領域では放射されるエネルギの絶対値はそれ程大きくはない。従って、そのような波長領域における遠赤外線放射体の放射率が低いと、例えば、０．５以下であると、加熱しようとする物体がそのような波長領域において吸収率が高い場合、効率的に熱エネルギに変換されないこととなる。逆に言うと、そのような波長領域における遠赤外線放射体の放射率が高い材質、加工方法等を採用すると低い表面温度で且つ短時間で、物体を加熱することができる。
【００３７】
図１０に示されたＰＶＤＦの場合、吸収率が０．５以上の波長領域は６〜１０μｍであるから、この波長領域における放射率が高い材料を放射体として選択することにより、ＰＶＤＦ製部品の凸部２４を効率的に、且つ短時間に加熱することができる。
【００３８】
図１３は、ＰＦＡの吸収スペクトル図であるが、この図からも分かるように、ＰＶＤＦの場合と同様に波長領域６〜１０μｍにおいて遠赤外線の吸収率が０．５以上となっている。従って、この波長領域における放射率が高い材料を放射体として選択することにより、ＰＦＡ製部品の凸部２４を効率的に且つ短時間に加熱することができる。
【００３９】
図１４は、ＰＰＳの吸収スペクトル図であるが、この図からも分かるように、ＰＰＳの場合は、波長領域２．５〜３．５μｍ及び６〜１３μｍにおいて断続的に吸収率が０．５以上となっている。従って、この波長領域における放射率が高い材料を放射体として選択することにより、ＰＰＳ製の部品を効率的に且つ短時間に加熱することができる。
【００４０】
上述の説明より明らかなように、加熱しようとする物体の吸収率がより高い値の領域に着目して、そのような領域の放射率の高い材質を放射体として選定すると、より効率的な加熱が可能である。例えば、ＰＦＡ及びＰＶＤＦの場合、放射率が０．６以上の波長領域が６．８〜９．２μｍ及び７．２〜８．８μｍとなっているため、そのような波長領域における放射率が、特に高い材料を放射体として選択することにより、それらをを効率的に、且つ短時間に加熱することができる。
【００４１】
セラミック層１０ｅ、１０ｆとして上述したセラスタッツＢＨＡを採用し、その表面温度が５００℃の場合におけるＰＦＡ、ＰＶＤＦ及びＰＰＳ製部品の溶着面２２に形成された凸部２４における時間的な温度変化は、表１の通りである。
【００４２】
【表１】
0003909136.tif 000002
【００４３】
表１に示されているように、いずれの場合も凸部２４における温度降下は緩やかとなっている。これは、電源を切った後もヒーター装置は遠赤外線を放射し続けているからである。この間も、凸部２４の上端面から奥に向って軟化は進み所定の軟化深さまで凸部２４を軟化することができる。
なお、セラミックは、一般に遠赤外線領域における放射率が大きいこと、および耐熱性に優れているため、遠赤外線放射体として広く用いられている。
しかしながら、各セラミックスの赤外線放射特性は、それを構成する金属元素の電子配列と抵抗率に密接に関わっており、また、加工の仕方や材料の複合の仕方によって大きくことなる。
【００４４】
図１５は、ＩＩ〜ＩＶ族の金属酸化物セラミックスの分光放射率である。図１５に示されているように、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）は１０〜２０μｍの遠赤外線の放射率は必ずしも高くなく、溶着すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域が１０〜２０μｍであった場合には適さない。
【００４５】
一般に数種類の材料が複合されたものは、複合される原材料のそれぞれの物性を併せ持った物性を示すことが多く、赤外線放射特性についても同様の傾向がある。これらの傾向を知った上で、溶着すべき樹脂部品の吸収スペクトルの中で比較的吸収率の高い波長領域の赤外線を高放射率で放射する最適の材料を選択することが可能となる。
【００４６】
図示された本発明の好ましい実施例において、赤外線透過性のガラス板は、石英ガラスを用いたが、赤外線透過性のガラス板であればどのようなものでも良く、例えば、アルミン酸カルシウム、ゲルマニウム酸塩ガラス及び硫化ヒ素ガラスとすることもできる。
ヒータ３０の中央部には、熱電対などの温度センサ３２が配設されている。軟化時におけるタングステンヒータ３０ａの温度は、この温度センサ３２により図１２を参照して適正な温度に制御設定される。
ヒータ３０におけるセラミック層３０ｅ、３０ｆと凸部２４の上端面とは非接触であり、ほぼ１〜１０ｍｍ好ましくは１．５〜２．５ｍｍの間隔をあける事が最適である。近すぎると、加熱時の凸部２４の膨脹によりその端面がヒータ３０に接触する虞があり、一方、遠くなるとヒータ３０の温度を高くしなければならないからである。この時の時間は、ほぼ５〜１５０秒で、安定した放射熱で凸部２４の上端面から均一に軟化される。
【００４７】
熱による内部応力の除去工程（ステップ５）では、溶着を通じて樹脂製品内部、特に、溶着部及びその付近に加えられた熱によって発生する内部応力を除去するものである。例えば、溶着を終えた樹脂製品を温水中に浸漬して暖めると、樹脂が軟化して内部応力を消滅させ、次に室温に戻したときには内部応力がない状態になる。尚、前述ように、溶着部の検査工程（ステップ６）は、樹脂製品を液中に浸漬して暖めるか、外部を真空引きするかして行われる。いずれの場合も、溶着部に閉じ込めた空間部の空気を膨脹させ、その膨脹圧力により気泡が割れ目から出てくるのを利用して溶着の瑕疵を発見することができる。前者の方法を採用すると、実質的に、内部応力の除去工程（ステップ５）と検査工程（ステップ６）とが同時に行う事ができる利点を有している。
【００４８】
【発明の効果】
本発明の溶着可能な樹脂製品の製造方法は、製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて且つ各部品同士の溶着面に熱エネルギの集中を促す凸部を有するように製造し、ヒータを溶着すべき部品の溶着面間に挿入して該溶着面に設けられた凸部が所定の深さまで軟化した後該ヒータを除去して溶着面同士を溶着し、この溶着作業を全ての部品について完了することにより樹脂製品の完成品を製造する。
製造すべき樹脂製品を複数の部品に分けて製造するため、１つ１つの部品は簡単且つ従来の射出成型機を用いて安価に製造することができる利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法の一実施例の手順を示すフローチャートである。
【図２】  （ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、シリコンウエハ用キャリアを５つの部品に分割した状態及びそれらを本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法によって溶着し完成品とした状態の斜視図である。
【図３】  （ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、溶着面に形成される独立形の突起の斜視図である。
【図４】  （ａ）〜（ｆ）は、それぞれ、溶着面に形成される凸状帯の平面図である。
【図５】  本発明に係る溶着可能な樹脂製品の製造方法に使用されるヒータの一実施例の横断面図である。
【図６】  図５のヒータ装置の縦断面図である。
【図７】  （ａ）〜（ｅ）は、それぞれ、図２（ａ）に示したシリコンウエハ用キャリアの５つの部品を用いて図２（ｂ）に示した完成品たるキャリアを組み立てる手順を説明するための斜視図である。
【図８】  代表的な金属を加熱した時の波長と分光放射率との関係を示したものである。
【図９】  各種樹脂の赤外線吸収スペクトルである。
【図１０】  ＰＶＤＦの吸収スペクトル図である。
【図１１】  セラミック層としてセラスタッツＢＨＡを用いた場合における赤外線分光放射出力を表している。
【図１２】  ヒータ装置のセラミック層の表面温度とタングステンヒータの温度との相関関係を示す図である。
【図１３】  ＰＦＡの吸収スペクトル図である。
【図１４】  ＰＰＳの吸収スペクトル図である。
【図１５】  ＩＩ〜ＩＶ族の金属酸化物セラミックスの分光放射率である。
【符号の説明】
１０  キャリア
１２  上面部品
１４  右側面部品
１６  左側面部品
１８  背面部品
２０  下面部品
２２  溶着面
２４  凸部
２４ａ  突起、２４ｂ  凸状帯
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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