(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
送信側にも受信側にもはたらく超音波送受波器を少なくとも一対設け、流体の流れの中を上流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波の送受信を行い、その各方向の到達時間より流量を求める超音波流量計で、かつ、各方向毎に、先ず一方の送受波器を送信側として送信し、他方の受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると再び送信側送受波器を発信させて送信し、これを複数回繰り返すように構成し、各方向毎に最初の送信から複数回目の受信までの時間をまとめて測定し、その測定結果から順方向と逆方向の伝播時間を求める超音波流量計において、
受信波検知部は、各方向毎に、第１回目の受信は１つの発信による一群の受信波のうち特定番目と判断した波のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知し、第２回目以後前記複数回目までは、前回の送信から到達ポイントまでの時間から一定時間を減じた時間だけその回の送信時から経過した時以後の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知する機能を有し、
順方向と逆方向のそれぞれについて複数回分の到達時間をまとめて測定した測定値から、順方向について得た伝播時間と逆方向について得た伝播時間の和あるいは逆数和を演算する演算機能と、この演算結果を記憶する記憶機能と、最新の和あるいは逆数和の値をそれ以前の記憶していた和あるいは逆数和の値と比較する比較機能とを具備し、
前記両値の差が一定値より小さいときは、測定成功として到達時間の測定値を用いて流速さらに流量を求めることを特徴とする超音波流量計。
【請求項２】
送信側にも受信側にもはたらく超音波送受波器を少なくとも一対設け、流体の流れの中を上流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波の送受信を行い、その各方向の到達時間より流量を求める超音波流量計で、かつ、各方向毎に、先ず一方の送受波器を送信側として送信し、他方の受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると再び送信側送受波器を発信させて送信し、これを複数回繰り返すように構成し、各方向毎に最初の送信から複数回目の受信までの時間をまとめて測定し、その測定結果から順方向と逆方向の伝播時間を求める超音波流量計において、
受信波検知部は、各方向毎に、第１回目の受信は１つの発信による一群の受信波のうち特定番目と判断した波のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知し、第２回目以後前記複数回目までは、前回の送信から到達ポイントまでの時間から一定時間を減じた時間だけその回の送信時から経過した時以後の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知する機能を有し、
順方向と逆方向のそれぞれについて複数回分の到達時間をまとめて測定した測定値から、順方向について得た伝播時間と逆方向について得た伝播時間の逆数和を演算する演算機能と、この演算結果を記憶する記憶機能と、最新の逆数和の値をそれ以前の記憶していた逆数和の値と比較する比較機能とを具備し、
前記両値の差が一定値より小さいときは、測定成功として到達時間の測定値を用いて流速さらに流量を求めることを特徴とする超音波流量計。
【請求項３】
前記一定時間を超音波振動の約半周期弱の時間としたことを特徴とする請求項１又は２記載の超音波流量計。
【請求項４】
前記両値の差が一定値以上の時は、測定は失敗として測定をやり直すようにしたことを特徴とする請求項１，２又は３記載の超音波流量計。
【請求項５】
前記両値の差が一定値以上の時は、測定は失敗として前回値を採用するようにしたことを特徴とする請求項１，２又は３記載の超音波流量計。
【請求項６】
前記一定値を、狙った波を正しく捉えられなかった時に１到達時間に対して生じる１周期の差程度に定めたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【請求項７】
前記一定値を、送受波器の固有周波数の１周期程度に定めたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【請求項８】
前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の固有周波数の１周期分間違えて生じる差程度の大きさとしたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【請求項９】
前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の１周期分間違えて生じる差の半分程度の大きさとしたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【請求項１０】
前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の１周期分間違えて生じる差を判別できる値としたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【請求項１１】
前記一定値の値を、到達時間に対して１周期の差があった時生じる差程度に定めたことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は流体中の超音波の伝播方向を、上流から下流（順方向）と下流から上流（逆方向）の両方について測定して流速を算出し、さらに流量を求める超音波流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
測定原理の一例として、図５に示すように、流体中に距離Ｌを離して流管３の上流と下流に配置した１組の超音波送受波器の一方の送受波器１から他方の送受波器２への順方向伝播時間ｔ1 は、静止流体中の超音波の音速をＣ、流体の流れの速さをＶとすると、
ｔ1 ＝Ｌ／（Ｃ＋Ｖ）    ・・・（１）
となる。
【０００３】
また、送受波器２から送受波器１への逆方向伝播時間ｔ2 は、
ｔ2 ＝Ｌ／（Ｃ−Ｖ）    ・・・（２）
となる。
【０００４】
伝播時間ｔ1 とｔ2 とから流速Ｖを、
Ｖ＝（Ｌ／２）｛（１／ｔ1 ）−（１／ｔ2 ）｝
として求めていた。
【０００５】
上述の測定原理において、送信側の送受波器からの超音波が受信側の送受波器に到達する時期、つまり到達ポイントを特定する受信検知の方法として、特定波のゼロクロスポイントを検知するようにしたものがある。
【０００６】
図６は発信のタイミングを示す発信駆動信号と受信波を示している。実際の受信波は非常に小さく、先ず増幅される。同図の受信波は増幅後の波形を示している。
【０００７】
ａが到達点で、徐々に振幅が大きくなる。その後最大振幅となり徐々に小さくなる。
ところが到達点ａはノイズに隠れて検知できない。そこで、次のような方法が行われている。
【０００８】
ノイズより十分大きな基準電圧レベルとしてのしきい値ＶTHを決め、このレベルに最初に達した波、例えば同図の第３波がｂ点でしきい値に達した後ゼロレベルを通るゼロクロスポイントｃを検知して受信検知とする方法である。
【０００９】
しきい値ＶTHは常に何番目かのある特定の波（例えば第３波）のゼロクロスポイントを検知するように定めてあり、実際の伝播時間ｔは、ａ点からｃ点までの時間τを予め求めて記憶しておき、測定した到達時間ｔ＋τから時間τを減算することにより求めている。
【００１０】
送信から受信までの順方向伝播時間や逆方向伝播時間を求めるのに、単純に測定した到達時間ｔ＋τから時間τを減するのではなく、伝播時間計測の分解能を上げるために、受信と同時に次の送信を行うことを複数回（ｎ−１回）繰り返すことにより、一方向例えば順方向の送受信をｎ回連続して繰り返して、最初（第１回目）の順方向送信から最後（第ｎ回目）の受信までの時間ｎｔ1 （厳密には到達時間のｎ倍のｎｔ1 ＋ｎτ）を測定し、次に他方向例えば逆方向への送受信を同様にしてｎ回連続して繰り返して、最初の逆方向送信から最後（第ｎ回目）の受信までの時間ｎｔ2 （厳密には到達時間のｎ倍のｎｔ2 ＋ｎτ）を測定し、これらの各方向の複数回の送受信で得た測定値から各方向の伝播時間を計算して流速さらに流量を求める超音波流量計も公知である。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、受信波は必ずしも図６のようなきれいな波形とはならない。常にノイズが混入したり、また流体の流れによって波形が変動することもある。そのために、狙った特定波（例えば第３波）ではなく、その前或いはその後ろの波のゼロクロスポイントを間違って検出してしまうと、測定した到達時間は送受波器を構成している超音波振動子の共振周波数の１周期分の時間だけ違う値となり、この測定値をそのまま使用すると誤った流速さらに流量を導くことになる。
【００１２】
そこで、狙った特定波を正確に捉えたかどうかを検知するエラー検知が求められている。
各方向につき、それぞれ１回の送受信で測定する従来技術の前者では、波を間違って検出すると、正確に検出した場合に比較して、大きな割合の誤差が生じるため、その前回の測定値と比較する等の方法でエラー検知を容易に実現できる可能性がある。
【００１３】
ところが、前記従来技術の後者では、例えばｎ回のうち狙った波を１回外した場合の測定値は、ｎ回のすべてを正確に検知した場合の測定値と比較してその差が比率的にみて少ないため、エラー検知が容易でなく、流量計の測定精度を損なう大きな要因となっていた。
【００１４】
そこで、本発明は、前記従来技術の後者において、狙った特定波を正しく捉えられなかったことを検出し、そのときの測定値を不採用とすることで、流量計の測定精度の低下を防止できる超音波流量計を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明は、送信側にも受信側にもはたらく超音波送受波器を少なくとも一対設け、流体の流れの中を上流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波の送受信を行い、その各方向の到達時間より流量を求める超音波流量計で、かつ、各方向毎に、先ず一方の送受波器を送信側として送信し、他方の受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると再び送信側送受波器を発信させて送信し、これを複数回繰り返すように構成し、各方向毎に最初の送信から複数回目の受信までの時間をまとめて測定し、その測定結果から順方向と逆方向の伝播時間を求める超音波流量計において、
受信波検知部は、各方向毎に、第１回目の受信は１つの発信による一群の受信波のうち特定番目と判断した波のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知し、第２回目以後前記複数回目までは、前回の送信から到達ポイントまでの時間から一定時間を減じた時間だけその回の送信時から経過した時以後の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知する機能を有し、
順方向と逆方向のそれぞれについて複数回分の到達時間をまとめて測定した測定値から、順方向について得た伝播時間と逆方向について得た伝播時間の和あるいは逆数和を演算する演算機能と、この演算結果を記憶する記憶機能と、最新の和あるいは逆数和の値をそれ以前の記憶していた和あるいは逆数和の値と比較する比較機能とを具備し、
前記両値の差が一定値より小さいときは、測定成功として到達時間の測定値を用いて流速さらに流量を求めることを特徴とする超音波流量計である。
請求項２記載の発明は、送信側にも受信側にもはたらく超音波送受波器を少なくとも一対設け、流体の流れの中を上流から下流の順方向及び下流から上流の逆方向に超音波の送受信を行い、その各方向の到達時間より流量を求める超音波流量計で、かつ、各方向毎に、先ず一方の送受波器を送信側として送信し、他方の受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると再び送信側送受波器を発信させて送信し、これを複数回繰り返すように構成し、各方向毎に最初の送信から複数回目の受信までの時間をまとめて測定し、その測定結果から順方向と逆方向の伝播時間を求める超音波流量計において、
受信波検知部は、各方向毎に、第１回目の受信は１つの発信による一群の受信波のうち特定番目と判断した波のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知し、第２回目以後前記複数回目までは、前回の送信から到達ポイントまでの時間から一定時間を減じた時間だけその回の送信時から経過した時以後の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとして受信波を検知する機能を有し、
順方向と逆方向のそれぞれについて複数回分の到達時間をまとめて測定した測定値から、順方向について得た伝播時間と逆方向について得た伝播時間の逆数和を演算する演算機能と、この演算結果を記憶する記憶機能と、最新の逆数和の値をそれ以前の記憶していた逆数和の値と比較する比較機能とを具備し、
前記両値の差が一定値より小さいときは、測定成功として到達時間の測定値を用いて流速さらに流量を求めることを特徴とする超音波流量計である。
【００１６】
第１回目の送信からその受信までの時間がｔ１１であった場合、２回目の受信波が到達するのは２回目の送信（第１の受信とともに行われる）後、およそｔ１１たったところである。したがって、その点に最も近いゼロクロスポイントを受信検知点として良い。３回目の送受信に関しても同様で、２回目の送受信の到達時間ｔ１２を用いて３回目の受信点を予想すればよい。以下同じである。
【００１７】
本発明によれば第２回目以降の受信は前回の送信から到達ポイントまでの時間から一定時間を減じた時間がその回の送信から経過した時以降の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとしていて、以後の受信も直前の到達時間から一定時間を引いた時間が送信より経過後の最初のゼロクロスポイントを到達ポイントとするようにしている。
【００１８】
こうすることで、１回目の受信で狙った波を捉えることができれば、その後のｎ−１回の受信でも正しく狙った波を捉えることができる。
本発明では、狙った波を正しく捉えた測定と正しく捉えられなかった測定で１到達時間に対し１周期の差が生じることから、簡単に間違った測定を判断して、間違った測定結果を不採用とすることにより誤差要因としないようにする。
【００１９】
順方向と逆方向のそれぞれの場合について複数回分の到達時間をまとめて測定した測定値から順方向と逆方向の各伝播時間ｔ1 ，ｔ2 を算出する。これらの伝播時間ｔ1 ，ｔ2 は、距離Ｌ、音速Ｃ及び流速Ｖと前記（１）（２）式の関係があるので、両伝播時間ｔ1 とｔ2 の和は、
ｔ1 ＋ｔ2 ＝２ＬＣ／（Ｃ2 −Ｖ2 ）
となる。そして、Ｃ≫Ｖであるから、上式は、
ｔ1 ＋ｔ2 ≒２Ｌ／Ｃ      ・・・（３）
となる。
【００２０】
また、両伝播時間の逆数和は、
0003958886.tif 000002
となる。
【００２１】
（３）（４）式で示すように、両伝播時間の和と、逆数和は流速Ｖの影響を受けない。温度変化が小さくて静止流体中の音速Ｃが殆ど変化しない短時間の間では一定となる。
【００２２】
したがって、流速が変わらない比較的短時間の間に行った順・逆方向の測定から得た順方向と逆方向の伝播時間ｔ1 ，ｔ2 の和あるいは逆数の和を監視することで受信波の特定波のエラー検知を行う。
請求項３の発明は、請求項１又は２の超音波流量計において、前記一定時間を超音波振動の約半周期弱の時間としたことを特徴とするものである。
請求項４の発明は、請求項１，２又は３の超音波流量計において、前記両値の差が一定値以上の時は、測定は失敗として測定をやり直すようにしたことを特徴とするものである。
請求項５の発明は、請求項１，２又は３の超音波流量計において、前記両値の差が一定値以上の時は、測定は失敗として前回値を採用するようにしたことを特徴とするものである。
請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値を、狙った波を正しく捉えられなかった時に１到達時間に対して生じる１周期の差程度に定めたことを特徴とするものである。
請求項７の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値を、送受波器の固有周波数の１周期程度に定めたことを特徴とするものである。
請求項８の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の固有周波数の１周期分間違えて生じる差程度の大きさとしたことを特徴とするものである。
請求項９の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の１周期分間違えて生じる差の半分程度の大きさとしたことを特徴とするものである。
請求項１０の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値を、前記伝播時間を送受波器の１周期分間違えて生じる差を判別できる値としたことを特徴とするものである。
請求項１１の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載の超音波流量計において、前記一定値の値を、到達時間に対して１周期の差があった時生じる差程度に定めたことを特徴とするものである。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に本発明の好ましい実施の形態を図面の実施例に基いて説明する。
図１は実施例の全体構成である。受信波検知部について図２に詳しく示して説明する。
【００２４】
送受波器１，２は超音波振動子で、送信にも受信にも使用できる。両送受波器は流体中を上流から下流及び下流から上流への超音波の送受を行う。
受信波検知部４は受信側の送受波器、例えば２が接続され受信波を検知すると受信波検知信号を出力する。送波器駆動部５はコントロール部６より第１送信指令信号を受けると送信側の送受波器、例えば１をまず駆動し、その後は受信波検知部４より受信波検知信号を受ける度に駆動する。但し、第１のカウンタ７より第ｎ受信波検知信号を受けると、それ以後は新たに第１送信指令信号を受けるまでは駆動を停止する。
【００２５】
第１のカウンタ７は受信波検知部４からの受信波検知信号をカウントし、ｎ番目の受信波検知信号を出力する。このカウンタ７はコントロール部６よりの第１送信指令信号でリセットされるようになっている。第２のカウンタ８は第１送信指令信号から第ｎ受信波検知信号までの時間を測定する。その時間（カウント値）はコントロール部６が読み取る。実施例では第１送信指令信号でカウント値がゼロクリアされ、カウントを開始するように構成されている。
【００２６】
コントロール部６は一定間隔で送受切替え信号を反転させて切替スイッチ９，１０を切り替えることにより２つの送受波器１，２の役割の切り替えを行う。
各切り替え後、毎回切り替えによるノイズ等がおさまる時間をおいて、第１送信指令信号を出力する。そして、第ｎ受信波検知信号を入力すると、カウンタ８の測定値（カウント値）を読み取り、直前に行った反対向きでの測定値とを用いて、その間の流速さらに流量を演算する。
【００２７】
図２は、前記受信波検知部４の、接続された送信側送受波器からの信号を増幅後の構成である。第１送信指令信号が受信波検知部に入力されている。実施例の場合、最初に基準電圧ＶTHを越えた波のゼロクロスポイントを到達ポイントとするよう構成されていて、なおかつ第３波が最初にＶTHを越えるように設定されている。
【００２８】
比較部１１が第３波を捉え、その出力がＨigh となると、この出力信号はスイッチ１２を介してＲＳフリップフロップ（RSFF）１３のＲに入力され、その出力ＱはＬowになる。
【００２９】
更に受信波がゼロクロスしたところでゼロクロス検知用比較器１４より出力される信号がＳ入力に入力され出力ＱはＨigh となり、立ち上がりがエッジ検知部１５で検知され、受信波検知信号として出力される。この信号はRSFF１６のＳ入力となっていてRSFF１６の出力ＱはＨigh となり、スイッチ１２はＨ側に切り替わり、RSFF１３のＲ入力へはデジタル比較記１７のＡ＝Ｂ出力が入力されるようになる。
【００３０】
また、前記受信波検知信号は記憶器１８のラッチ入力となっていて、この瞬間のカウント値ｔ１１を記憶する（図３参照）。更に、受信波検知信号はＯＲゲート１９を介してカウンタ２０をリセットするよう構成されていて（ラッチ後リセットする）、到達時間を記憶器１８が記憶するとリセットされ、次の到達時間の測定に移るようになっている。
【００３１】
減算器２１は記憶器１８で記憶された値（カウント値）がＣ入力として入力されていて、もう一方に一定値αが入力されている。そして、Ｃ−α、即ちｔ１１−αがデジタル比較器１７のＢ入力に出力されている。
【００３２】
また、カウンタ２０の出力がＡ入力としてデジタル比較器に入力されていて、そのＡＢの入力が等しくなると、Ａ＝Ｂ出力がＨigh となる。カウンタ２０のカウントが進み、ｔ１１−αと等しくなると、Ａ＝Ｂ出力がＨigh となり、RSFF１３の出力ＱはＬowとなり次のゼロクロスを待つ状態になる。
【００３３】
そして、実際にゼロクロスするとき、ゼロクロス検知用比較器１４の出力によりRSFF１３の出力ＱがＨigh となり再び受信波検知信号が出力される。ここで、再びカウンタ２０のカウント値ｔ１２が記憶器１８に記憶される。以下は同じである。
【００３４】
一定値αは超音波振動の約半周期弱の時間とした。
クロック発振器２２はこの約半周期分を検知できる周波数でよく、精度もそれほど要求されない。また、前記第２のカウンタ８用の基準クロック或いはその分周したものも使用可能である。
【００３５】
実施例は順・逆方向の伝播時間の逆数和を監視するもので、コントロール部６の構成要素であるマイクロコンピュータがそれを行っている。その作用を図４のフロー図で説明する。
【００３６】
コントロール部６は第１のカウンタ７より第ｎ受信波検知信号が入力されるとカウンタ８のカウント値より順逆の到達時間を得て、それらに基づき伝播時間の逆数和Ｘを計算する（ステップ１００）。
【００３７】
この値は、正しい逆数和として記憶されているＸｐと比較され（ステップ１０２）、その差が一定値ＦTHより小さければ今回の順逆の測定は正しかったと判定され、Ｘは新たなＸｐとして記憶される（ステップ１０４）。こうすることにより温度変化による音速のゆっくりした変化に追従できる。
【００３８】
測定が正しかったと判定された場合、この後、流速の演算が行われる。また、差が大きかった場合は測定は失敗とする。この場合、測定をやり直しても良いし、何回も測定するのが消費電流的に問題があれば再測定は行わず前回値を採用することもできる。
【００３９】
本実施例（図４）では本ルーチンで測定が成功だったかエラー（失敗）だったかをセットし（ステップ１０６，１０８）、続くルーチンでその判定結果に基づき処理を実行するようにしている。
【００４０】
実施例よりＬ＝０．１５ｍ、Ｃ＝４００ｍ／ｓｅｃを想定すると伝播時間はｔ＝Ｌ／Ｃ＝３７５μｓｅｃとなり、また送受波器１，２の固有周波数（共振周波数）を２５０ｋＨｚとしたので１周期間違えると４μｓｅｃ到達時間に差が出ることになり、よって伝播時間の逆数和は１周期間違えることにより、１／（０．０００３７５−０．０００００４）−１／０．０００３７５＝２８．７５Ｈｚの差が生じることになる。
【００４１】
これらより実施例では一定値Ｆthは１０Ｈｚに設定した。
順方向と逆方向の測定の各場合について、第２回目以後の送受信時の到達時間に間違いがあるかないかを、上述のようにしてコントロール部６のマイクロコンピュータで判断し、測定エラーのときは到達時間の測定値を捨て、測定成功のときは到達時間の測定値を用いて流速さらに流量を算出する。
【００４２】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、測定時の分解能向上の利点を生かしたまま、到達時点検知の間違い（エラー）を検出して、エラー検知のときは、到達時間の測定値を捨てて使わないようにしたため、到達時点の検知間違いによる誤差が、流速や流量の計測値に入り込むことがなく、流量計の精度が向上する。
【００４３】
また、各方向について、ｎ回の測定全てが狙った特定波を捉えるようにするために、Ｓ／Ｎの高い低ノイズの高価な増幅器を使う必要がなく、受信波を大きくするため送信電力を上げるなど消費電力の面からの不利な構成を使う必要もない。従って、低コスト化でき、電力消費の面から電池駆動の超音波流量計の実現が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の全体構成を示すブロック図である。
【図２】図１の実施例における受信波検知部の構成を示す電気回路図である。
【図３】実施例のタイミング図である。
【図４】実施例のフロー図である。
【図５】超音波流量計の原理を説明する略図である。
【図６】従来の超音波流量計の受信波検知部の動作を説明する電気信号波形を示す図である。
【符号の説明】
１，２        送受波器
４            受信波検知部
５            送波器駆動部
６            コントロール部
７，８，２０  カウンタ
１７          比較器
１８          記憶器
１３，１６    ＲＳフリップフロップ
【図１】
0003958886.tif 000003
【図２】
0003958886.tif 000004
【図３】
0003958886.tif 000005
【図４】
0003958886.tif 000006
【図５】
0003958886.tif 000007
【図６】
0003958886.tif 000008