(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体と撮影装置との相対的な移動による移動距離長と、被検査体表面を仮想の画像面として撮影された撮影画像における穴底の初期位置と移動後の位置を測長手段により算出した位置ずれ長と、被検査体表面と撮影装置のレンズ中心までの離隔長とから穴の深さを下式に基づいて算出し、穴の深さの良否判定を行うことを特徴とする穴検査方法。
ｄ／Ｈ＝Ｄ／（Ｈ＋Ｌ）                （１）
∴  Ｌ＝Ｈ×（Ｄ−ｄ）／ｄ                （２）
Ｄ：撮影装置と被検査体との相対的な移動距離長
ｄ：仮想の画像面の撮影画像における穴底の位置ずれ長
Ｈ：被検査体表面（仮想の画像面）からレンズ中心までの離隔長
Ｌ：穴の深さ
【請求項２】
被検査体と撮影装置とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出し、算出された穴開口と穴底との中心座標が一致するか否かに基づいて穴の真直度の良否判定することを特徴とする穴検査方法。
【請求項３】
被検査体と撮影装置とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出し、算出された穴開口と穴底の中心座標が撮影装置の光軸位置と直線状に配置されるか否かに基づいて穴の真直度を判定することを特徴とする穴検査方法。
【請求項４】
測長手段は下式の相互相関係数に基づいて位置ずれ長を算出する請求項１または２または３に記載の穴検査方法。
ｆ＝Σ（Ｕａ（ｉ，ｊ）×Ｕｂ（ｉ，ｊ））            （３）
Ｕａ（ｉ，ｊ）：初期位置におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度
Ｕｂ（ｉ，ｊ）：移動後におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度
【請求項５】
撮影画像が直交する二方向から撮影されたものである請求項３に記載の穴検査方法。
【請求項６】
撮影装置の光軸位置を撮影画像の中心座標とする請求項３に記載の穴検査方法。
【請求項７】
撮影装置の光軸位置を穴開口の直交する径方向の各長さが等しくなる座標点とする請求項３に記載の穴検査方法。
【請求項８】
撮影装置に光軸落射光装置が組み込まれている請求項１から７のいずれかに記載の穴検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種製品に形成される穴の成形不良を検査する穴検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
自動車のシリンダヘッドやシリンダブロックのようなダイカスト製品の鋳抜き穴の場合、成形不良を生じ易いうえに穴の成形不良はエンジンの故障原因となるためダイカスト製品に形成された全ての穴を検査する必要があった。この検査は、浅い穴の場合は検査員が目視により穴の良否を検査できるが、深い穴の場合、検査員は光を穴内に照射して穴の深さを目視検査して良否判定をしたり、図６に示されるような検知棒１０を被検査体の穴に挿し込んで穴の深さを検査して良否判定を行っていた。しかし、穴が斜め穴になっている場合、光や検知棒１０ではどの程度穴が斜めになっているかを検査することが極めて難しく良否を判別しがたいという問題があった。しかも、大量のダイカスト製品に形成された全ての穴を人手で検査しなければならず、時間がかかり生産性を低下させるという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は前記のような問題を解決し穴検査の自動化を可能とした穴検査方法を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するため本発明は、被検査体と撮影装置との相対的な移動による移動距離長と、被検査体表面を仮想の画像面として撮影された撮影画像における穴底の初期位置と移動後の位置を測長手段により算出した位置ずれ長と、被検査体表面と撮影装置のレンズ中心までの離隔長とから穴の深さを下式に基づいて算出し、穴の深さの良否判定を行う穴検査方法を請求項１の発明とし、
ｄ／Ｈ＝Ｄ／（Ｈ＋Ｌ）                （１）
∴  Ｌ＝Ｈ×（Ｄ−ｄ）／ｄ                （２）
Ｄ：撮影装置と被検査体との相対的な移動距離長
ｄ：仮想の画像面の撮影画像における穴底の位置ずれ長
Ｈ：被検査体表面（仮想の画像面）からレンズ中心までの離隔長
Ｌ：穴の深さ
また、被検査体と撮影装置とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出し、算出された穴開口と穴底との中心座標が一致するか否かに基づいて穴の真直度の良否判定する穴検査方法を請求項２の発明とし、被検査体と撮影装置とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出し、算出された穴開口と穴底の中心座標が撮影装置の光軸位置と直線状に配置されるか否かに基づいて穴の真直度を判定する穴検査方法を請求項３の発明とし、請求項１または２または３の発明において、測長手段は下式の相互相関係数に基づいて穴底の位置ずれ長を算出する穴検査方法を請求項４の発明とし、
ｆ＝Σ（Ｕａ（ｉ，ｊ）×Ｕｂ（ｉ，ｊ））            （３）
Ｕａ（ｉ，ｊ）：初期位置におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度
Ｕｂ（ｉ，ｊ）：移動後におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度
そして、請求項３の発明において、撮影画像が直交する二方向から撮影されたものである穴検査方法を請求項５の発明とし、撮影装置の光軸位置を撮影画像の中心座標とする穴検査方法を請求項６の発明とし、撮影装置の光軸位置を穴開口の直交する径方向の長さが等しくなる座標点とする穴検査方法を請求項７の発明とし、請求項１から７の発明において、撮影装置に光軸落射光装置が組み込まれているいずれかに記載の穴検査方法を請求項８の発明とするものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態を図１〜５に基づいて詳細に説明する。
図１に示されるように、本発明は被検査体の穴を撮影して撮影画像を得る撮影装置１と、撮影装置１と該撮影装置１に対向配置される被検査体とを相対的に移動させる移動装置２と、被検査体表面を仮想の画像面として撮影装置１により撮影された撮影画像における初期位置と移動後の穴底位置との位置ずれ長を算出する測長手段３と、撮影装置１と被検査体との移動距離長から測長手段により算出された穴底の位置ずれ長を減算し該減算値を前記位置ずれ長で除算した値を被検査体と撮影装置１との離隔長で乗算する演算処理および前記演算結果に基づいて穴の深さの良否判定する判定装置４とからなるものであり、この検査方法では、撮影装置１または被検査体の移動により穴底がどれだけずれたかが分かれば穴の深さを測定できるものである。
【０００６】
また、測長手段３は撮影装置１により撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、算出された位置ずれ長から穴開口と穴底を判別して各穴開口と穴底の中心座標を算出することができるものである。さらに、判定装置４は算出された穴開口と穴底との中心座標が一致するか否か、あるいは、穴開口と穴底の中心座標が撮影装置１の光軸位置と直線状に配置されるか否かに基づいて穴の真直度を判定することができる。
【０００７】
前記撮影装置１は撮像部１ａとレンズ１ｂと光軸落射光装置５とからなるもので、撮像部１ａはＣＣＤまたはＣＭＯＳ等のメッシュ状の感光部をもつ撮像素子よりなるもので、感光部に記録された撮影映像はメッシュ状のディジタルデータとしてメモリに記録されるようになっている。前記した光軸落射光装置５は撮影装置１の光軸上に４５°の角度をもたせたハーフミラー５ａを配置するとともに、ハーフミラー５ａを介して光軸と直交する方向に光源を配置したものであり、光源からの水平光をハーフミラー５ａにより光軸と一致する垂直光として照射し穴底内を照明するようになっている。光軸落射光装置５を用いることにより穴直径の２０倍程度の穴底まで影を生じさせることなく照明できるので、種々の深さをもつ種々の穴に略対応できるものとなる。
【０００８】
前記移動装置２には撮影装置１が取り付けられ、撮影装置１を移動させるものであり、移動方向はＸ−Ｙ方向あるいは斜め方向に移動できるものとしている。撮影装置１の移動距離長は穴の深さを演算する際に必要で、正確に分かっていなければならないため、移動装置２にはその移動量を正確に計測できる距離センサ、ロータリエンコーダ等の測距装置が備えられるものとしている。また、移動装置２は少なくとも穴直径の２倍以上の範囲を移動できるものとしている。これは被検査体の載置位置が大きくずれた場合にも、撮影装置１により穴を確実に撮影できるようにするためである。
【０００９】
また、前記測長手段３による穴底の位置ずれ長の検出は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等メッシュ状の撮像素子の撮像部に記録された撮影画像をメモリに転送して行われる。メモリに転送された撮影画像は図４に模式的に示されるように、１０×１０または５０×５０個の画素を集合させた多数のユニットによりなるものとしている。この画素は撮像素子の撮像部に対応するパターンとする。そして、穴の初期位置と移動後に撮影され穴の画像データはメモリに転送されたうえ、判定装置４に組み込まれた輪郭強調フィルタ処理手段により輪郭強調処理が行われる。これにより穴底外縁や穴開口の輪郭が背景から強調されて表されることとなる。
【００１０】
さらに、初期位置と移動後に撮影されたメッシュ状の撮影画像の各画素や各ユニットには番地が付されているので、番地を走査することにより画素やユニットの各番地毎の輝度を調べることができる。このため、ＸまたはＹ方向あるいは斜め方向に番地を順次加算しつつ各画素や各ユニットの輝度を読み取り相互相関係数に基づいて積和演算することにより、初期位置の番地の輝度と同じ輝度をもつ番地が初期位置の番地から何番地シフトした位置にあるかを知ることができる。ここで相互相関係数を用いるのは、全画素や全ユニットの初期位置の各番地と平行移動後の各番地を検索する際、初期位置の輝度に近い輝度をもつ番地がシフト間の番地に含まれることがあり、このような場合にも正確にシフト数を得られるようにするためである。また、ユニット単位で処理する場合には、１０×１０または５０×５０個の画素よりなる１ユニットにおける輝度は１０×１０または５０×５０画素の輝度の平均値とし、ユニットの番地は画素を１０×１０または５０×５０個毎に切り分けたものとする。
【００１１】
相互相関係数は次式の通りである。
ｆ＝Σ（Ｕａ（ｉ，ｊ）×Ｕｂ（ｉ，ｊ））            （３）
Ｕａ（ｉ，ｊ）：初期位置におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度Ｕｂ（ｉ，ｊ）：平行移動後におけるｉ，ｊ番地の画素またはユニットの輝度
ｆ値の極値に基づいて移動前の穴開口および穴底の番地から画素またはユニットのシフト数を求めることができる。
【００１２】
この相互相関係数に基づいてシフト数が得られれば１画素または１ユニットのサイズは分かっているからシフトした数を乗算すれば、位置ずれ長を検出することができる。このとき、撮影装置１の撮影倍率が等倍であれば、物理的な画素またはユニットの大きさにシフト数を乗算すれば位置ずれ長が得られる。撮影倍率が異なる際には、物理的な画素またはユニットの大きさになるように倍数を乗算すればよい。また、ユニット単位では相関関係がよく分からない場合には、画素単位の番地に基づいてシフト数を調べれば位置ずれ長を得ることができる。また、ユニットを用いずに画素の番地に基づいてシフト数を求めることも可能でるあるが、１ユニットは１０×１０または５０×５０の画素からなるため、１０倍から５０倍処理量が増え処理時間が１０〜５０倍かかり遅くなるので、最初はユニット単位で処理してユニット単位では相関関係がよく分からない場合や精度をより高めたい場合のみ最終的に画素単位で処理するのが好ましい。
【００１３】
さらに、移動距離長によっては、初期位置の番地の輝度全体が一つの画素やユニットに含まれず隣接する画素やユニットに部分的に含まれることがある。このような場合は相互相対係数では明確にシフト数を得られないので、隣接する前後または左右の画素やユニットの輝度に基づいて補間を行うものとする。
補間式は次の通りである。
Ｐｎ‘＝Ｐｎ＋（Ｍｂ／Ｍｎ−Ｍａ／Ｍｎ）              （４）
Ｐｎ  ：輝度ピークがあると想定できる画素番地
Ｍｎ  ：Ｐｎにおける相関係数
Ｍａ  ：Ｐｎ−１番地画素の相関係数
Ｍｂ  ：Ｐｎ＋１番地画素の相関係数
Ｐｎ‘：サブピクセル化して求めた画素番地
である。
【００１４】
そして、被検査体と撮影装置１との相対的な移動距離長から、初期位置における撮影画像の穴底と移動後の撮影画像の穴底との位置ずれ長を減算し、該減算値を前記穴底外縁との位置ずれ長で除算した値を、被検査体と撮影装置１間との離隔長で乗算することにより穴の深さが算出され、穴の深さの良否判定が判定装置４により行われるものである。例えば、図２に示されるように、撮影装置１と被検査体との相対的な移動距離長Ｄに基づいて穴の中心が得られれば、穴の中心から撮影装置１の左右への移動距離Ｄ１、Ｄ２が得られる。さらに、仮想の画像面における撮影画像において、移動した位置における撮影装置１の光軸と穴底の中心からｄ１、ｄ２が得られることとなる。これから次式に基づいて穴の深さＬが求められる。
ｄ１／Ｈ＝Ｄ１／（Ｈ＋Ｌ）            （５）
ｄ２／Ｈ＝Ｄ２／（Ｈ＋Ｌ）            （６）
となり、
Ｌ＝Ｈ×（Ｄ１−ｄ１）／ｄ１          （７）
Ｌ＝Ｈ×（Ｄ２−ｄ２）／ｄ２          （８）
となる。
また、撮影装置１と被検査体との相対的な移動距離長Ｄから三角測量の原理に基づいて穴の深さを求める計算式は次式による。
ｄ／Ｈ＝Ｄ／（Ｈ＋Ｌ）          （１）
∴  Ｌ＝Ｈ×（Ｄ−ｄ）／ｄ          （２）
Ｄ：撮影装置／被検査体の相対的な移動距離長
ｄ：穴底画像の位置ずれ長
Ｈ：被検査体の表面（仮想の画像面）からレンズ中心までの距離（離隔長）
Ｌ：穴の深さ
である。
上記のように極めて簡単な計算式のため極めて高速で処理でき、リアルタイムで穴の検査が可能となる。なお、式（１）、（２）におけるＤおよびｄは前述の式（５）、（６）、（７）、（８）におけるＤ１とＤ２およびｄ１とｄ２の和、すなわちＤ＝Ｄ１＋Ｄ２、ｄ＝ｄ１＋ｄ２である。
【００１５】
さらに、測長手段３は穴の真直度を算出する際にも用いられる。穴の真直度の算出方法は、被検査体と撮影装置１とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段３により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出し、算出された穴開口と穴底との中心座標が一致するか否かに基づいて穴の真直度の良否を判定装置４により判定するものである。
【００１６】
具体的には、穴開口と穴底の中心座標は穴開口および穴底を形成する輝度の座標、すなわち撮影画像の画素またはユニットの番地を順次走査し、穴開口および穴底を形成する輝度の番地に基づいて前述した相互相関係数により位置ずれ長を算出する。この位置ずれ長から穴開口と穴底とは判別できるので、穴開口と穴底を構成する座標から穴開口と穴底の中心、すなわち、中心座標を算出するものである。中心座標を得る方法は穴開口または穴底の座標に基づく円弧を算出し、該円弧から中心座標を演算するか、穴開口または穴底の座標に基づいて穴開口または穴底のＸ−Ｙ方向の最大径部を算出し、該最大径部を二分した点を中心座標とする。また、穴底が先尖り状の場合、その中心が最も深くなるので、測長手段３により得られた位置ずれ長から直接中心座標を算出できるので、円弧や最大径部を二分して中心座標を求める必要がない。そして、得られた穴開口および穴底の中心座標が一致するかしないか（Ｚ軸上にあるかないか）を判定装置４により判定して穴の真直度を判定するものである。穴開口および穴底の中心が一致しなければ、穴は曲がっていると判定されることとなる。この判定の際、閾値を設けて真直度の許容範囲を設定するものとする。
【００１７】
また、測長手段３による真直度の別の算出方法は、前記と同様、被検査体と撮影装置１とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段３により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出する。また、穴底が先尖り状の場合、その中心が最も深くなるので、測長手段３により得られた位置ずれ長から直接中心座標を算出できるので、円弧や最大径部を二分して中心座標を求める必要がない。そして、撮影装置１の光軸位置と穴開口と穴底との中心座標とが直線状に配置されるか否かに基づいて判定装置４は穴の真直度を判定するものである。
【００１８】
具体的には直行するＸ−Ｙ方向の二方向から撮影した二つの撮影画像における画素またはユニットの番地を走査し、穴開口および穴底を形成する輝度の番地に基づいて前述した相互相関係数により位置ずれ長を算出する。この位置ずれ長から穴開口と穴底とは判別できるので、穴開口と穴底を構成する座標から穴開口と穴底の中心、すなわち、中心座標を算出するものである。中心座標を得る方法は前記と同様である。そして、図５に示されるように、二つの直行する方向の撮影画像における撮影装置１の光軸位置と穴開口および穴底の中心座標が直線状に配置されるか否かを判定装置４により調べる。このとき撮影装置１の光軸位置は撮影画像の中心座標としてもよいし、穴開口の直交する径方向の長さが等しくなる座標点を光軸位置としてもよい。そして、二つの撮影画像における撮影装置１の光軸位置と穴開口および穴底の中心座標が直線状に配置されれば穴は真直であり、一致していなければ穴は曲がっていると判定されることとになる。この判定の際、閾値を設けて真直度の許容範囲を設定するものとする。
【００１９】
このように構成されたものは、先ず、被検査体を測定台上に載置する。このとき撮影装置１は被検査体の穴が撮影されるように配置する。次いで、光軸落射光装置５により穴内に影が生じないように照明する。続いて、撮影装置１により被検査体の穴を撮影する。この撮影画像は撮影装置１の撮像部１ａのＣＣＤ撮像素子を介してメモリに記録される。次いで、メモリに記録されたデータを判定装置４の輪郭強調フィルタ処理手段により処理し、輪郭のみを強調して穴開口縁や穴底外縁を背景より強調表示させる。
【００２０】
次に、移動装置２により撮影装置１を移動させる。この移動距離長は距離センサ、ロータリエンコーダ等の測距装置により測定される。そして、移動後停止した位置で撮影装置１により被検査体の穴を撮影する。この撮影は前記同様撮影装置１のＣＣＤ撮像素子を介してメモリに記録される。次いで、前記と同様にメモリ上の２５６階調のデータを判定装置４の輪郭強調フィルタ処理手段により輪郭のみを強調して穴開口縁や穴底外縁を背景より強調表示させる。
【００２１】
次に、測長手段３によりメモリ上の図３に示されるような、初期位置における撮影画像の各ユニット番地毎の輝度と、移動後における前記同番地のユニットの輝度との積和を相対相関係数に基づいて各番地毎演算算出する。この演算処理により得られた極値ｆ値により、初期位置の輝度に近い輝度をもつ番地がシフト間の番地に含まれていても正しいシフト数を得られることとなる。図３では説明上、撮影装置１を固定として被検査体を移動させた状態としている。
【００２２】
そして、シフト数が得られれば、１画素または１ユニットのサイズは分かっているからシフトした数を乗算すれば穴底の位置ずれ長を検出することができる。次に、前記位置ずれ長を用いて三角測量の原理に基づいて判定装置４により穴の深さを演算算出する。この演算は被検査体と撮影装置１とを相対的に移動させた距離長から、位置ずれ長を減算し、該減算値を前記穴底との位置ずれ長で除算した値を、被検査体と撮影装置１との離隔長に乗算することに得られる。そして、判定装置４は得られた値をメモリに登録された設計寸法データと比較して穴の深さの良否を判定する。
【００２３】
このようにして被検査体の良否が判定されると、不良品は廃棄され良品は測長手段３により穴の真直度が検査されることとなる。穴の真直度の検出は、被検査体表面を仮想の画像面として撮影された初期位置と移動後の撮影画像に基づいて、測長手段３は相互相関係数に基づいて位置ずれ長を算出し、位置ずれ長から穴開口と穴底とを判別し、判別された穴開口と穴底の中心座標を算出し、穴開口と穴底との中心座標がＺ軸上で一致するか否かに基づいて行うか、測長手段３により算出された穴開口と穴底の中心座標が撮影装置１の光軸位置と一直線状に配置されるか否かに基づいて判定装置４により行うものとする。そして、穴の深さと穴の真直度が許容範囲内であれば被検査体を良品として次工程に搬出すればよい。
【００２４】
なお、前記好ましい実施の形態では、移動装置２は撮影装置１を取り付けたものとしているが、移動装置２を被検査体搬送用のコンベアとしてもよいことは勿論である。この場合コンベアは検査中停止させるために間歇駆動できるものとしたり、撮影装置１により穴を確実に撮影できるように調整移動ができるものとするか、撮影装置１を移動装置２に取り付けて調整移動は移動装置２により行うようにしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】
本発明は前記説明によって明らかなように、被検査体と撮影装置との相対的な移動距離長と、被検査体表面を仮想の画像面として撮影装置により撮影された撮影画像における穴底の初期位置と移動後の位置を測長手段により算出した位置ずれ長と、被検査体表面と撮影装置のレンズ中心までの離隔長とから穴の深さを三角測量の式に基づいて算出して穴の深さの良否判定を行うことにより、リアルタイムで自動検査が可能となり、生産ラインに組み込んで穴の検査ができるので生産性を大幅に向上させることができるうえに、ほとんど人手を要しないので人件費を削減し生産コストを低減できることとなる。しかも、この方法では撮影位置を高精度に位置決めする必要がないので装置の工作精度を高くする必要がなく安価に提供できるものとなる。
【００２６】
請求項２や請求項３のように、被検査体と撮影装置とを相対的に移動させて、被検査体表面を仮想の画像面として撮影した初期位置と移動後の撮影画像に基づいて測長手段により穴開口と穴底との位置ずれ長を算出し、位置ずれ長に基づいて穴開口と穴底を判別したうえ穴開口と穴底の中心座標を算出するものであるから、穴の深さを調べるために撮影した撮影画像を用いて穴の真直度の良否判定することができるので、効率よく短時間で検査を進めることができる。請求項４のように、測長手段は相互相関係数の式に基づくものとすることにより、輝度に基づいて穴の輪郭や穴底の中心点等の位置ずれ長を正確に得ることができ、精度の高い検査が可能となるうえに、検査の自動化を図るのに極めて有効な手段となる。請求項５のように、撮影画像が直交する二方向から撮影されたものとすることにより、穴の中心座標が求めやすくなり、処理速度を速めることができる。請求項６のように、撮影装置の光軸位置を撮影画像の中心座標とすることにより、演算することなく光軸位置を得られるので、処理速度をより速くすることができるうえに、測長手段への負荷を低減できることとなり、高性能なＣＰＵを用いる必要がなく安価に提供できるものとなる。請求項８のように、撮影装置に光軸落射光装置を組み込むことにより、深い穴底内も明確に撮影できるので、深い穴の検査も可能となる等種々の利点を有するものである。
従って、本発明は従来の問題点を解決した穴検査方法として業界の発展に寄与するところ大なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい実施の形態を示す正面図である。
【図２】本発明の好ましい実施の形態における検査原理を示す説明図である。
【図３】本発明の好ましい実施の形態における検査方法を説明する説明図である。
【図４】本発明の好ましい実施の形態におけるユニットの説明図である。
【図５】本発明の好ましい実施の形態において穴の真直度の検査する方法の説明図である。
【図６】従来の検査方法を示す断面図である。
【符号の説明】
１  撮影装置
２  移動装置
３  測長手段
５  光軸落射光装置
【図１】
0003932169.tif 000002
【図２】
0003932169.tif 000003
【図３】
0003932169.tif 000004
【図４】
0003932169.tif 000005
【図５】
0003932169.tif 000006
【図６】
0003932169.tif 000007