(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子フィルムの少なくとも片面に表面抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と表面抵抗１×１０１０Ω／□以上のマージン部、および該金属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属蒸着膜部より該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有し、該金属蒸着膜がＡｌとＺｎの合金からなり、かつＡｌの含有量比（Ａｌ含有量／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））を蒸着膜表面においてＣ１、蒸着膜厚の中間においてＣ２、蒸着膜と高分子フィルムの界面においてＣ３としたときＣ２＜Ｃ１ ≦Ｃ３又はＣ２＜Ｃ３≦Ｃ１と連続的に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌの含有量比（Ａｌ含有量×１００／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））が０．５〜１５ｗｔ％であることを特徴とする金属蒸着フィルム。
【請求項２】
境界膜部の幅が０．１〜０．５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項３】
境界膜部の幅が０．２〜０．３ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項４】
マージン部がオイルで覆われていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。
【請求項５】
オイルが鉱物油、またはシリコーンオイルであることを特徴とする請求項４に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項６】
オイルがシリコーンオイルであることを特徴とする請求項５に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項７】
シリコーンオイルの重量平均分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１であることを特徴とする請求項６に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項８】
シリコーンオイルがジメチルポリシロキサンオイルまたはメチルフェニルシリコーンオイルであることを特徴とする請求項５〜請求項７のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。
【請求項９】
シリコーンオイルがメチルフェニルシリコーンオイルであることを特徴とする請求項８に記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１０】
Ａｌの含有量比が８〜１２ｗｔ％であることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１１】
Ａｌの含有量比がＣ２＜Ｃ１≦Ｃ３であることを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれかに記載の金属蒸着フィルム。
【請求項１２】
真空蒸着機内において高分子フィルム表面にオイルを蒸発、またはオイルを塗布した後、金属を蒸着する工程において、蒸発オイル量、または塗布オイル量を制御することを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１３】
オイルを蒸発、またはオイルを塗布する際、オイル蒸発器内のオイル圧力を測定、制御することを特徴とする請求項１２に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１４】
真空蒸着機内において金属を蒸着後、酸素原子を含むガスを用いた低温プラズマにて該金属蒸着膜表面を処理することを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の金属蒸着フィルムの製造方法。
【請求項１５】
請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の金属蒸着フィルムを用いてなることを特徴とするコンデンサ。
【請求項１６】
コンデンサにおいて含浸剤としてマージンを覆っているオイルと相溶するオイルを用いたことを特徴とする請求項１５に記載のコンデンサ。
【請求項１７】
マージンを覆っているオイルおよび含浸剤のオイルがシリコーンオイルであることを特徴とする請求項１６に記載のコンデンサ。
【請求項１８】
シリコーンオイルがジメチルポリシロキサンオイルあるいはメチルフェニルシリコーンオイルであることを特徴とする請求項１７に記載のコンデンサ。
【請求項１９】
請求項１５〜請求項１８のいずれかに記載のコンデンサが安全規格用コンデンサであることを特徴とするコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電気・電子回路に用いられる金属蒸着高分子フィルムコンデンサ、特にアクロスライン等に用いられるコンデンサに関するものであり、中でも落雷時等に突入するサージ電流によってコンデンサが破壊、発火などをおこすことのないよう規定された各種の安全規格に適合した安全規格コンデンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
各種家庭用電気機器、あるいは電子機器にはラインから入るノズルを除去、あるいは機器で発生するノイズが電源ラインに入るのを防ぐためにフィルターコンデンサが使用されている。これらのコンデンサへは落雷時等に生じる大きな突入電流が入ることがあり、これらの突入電流によってコンデンサが破壊、あるいは発火することのないよう、厳しい試験を課す規格が各国で規定されている。例えばＵＬ  １４１４、ＣＡＳ  Ｃ２２．２  ＮＯ１、ＶＤＥ  ０５６５−１、ＩＥＣ  ３８４−１４、ＳＥＶ  １０５５、ＪＩＳ  Ｃ５１５１などであり、さらにＮＥＭＫＯ、ＳＥＭＫＯ、ＤＥＭＫＯ、ＥＩ、ＢＳなどの規格がある。
【０００３】
これらは大きな突入電流を想定し、定格電圧に比べ極めて高い電圧を一定時間かけ、異常あるいは破壊しないことを規定している。
【０００４】
これらの規格に適合するため、従来は１１〜１２μｍの厚いポリエステルフィルムを用い、かつ広巾のマージンを有するアルミ蒸着フィルムが用いられていたが、本対策においても規格に適合するにぎりぎりの品質のため、製造工程での不良率が大きいこと、具体的には検査工程の耐電圧テストにおいて不良が発生する率が大きいことが問題であった。一方コンデンサの小型化に対する強い要望があるが、小型化のためにフィルム厚みを薄くすると当然不良率が増大し、小型化に対する技術にいきづまっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は不良率を少なくするとともに、さらに小型の安全規格に適合したコンデンサ及びそれに用いられるコンデンサ用金属蒸着フィルムを提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この目的に沿うための本発明の金属蒸着フィルムは、高分子フィルムの少なくとも片面に表面抵抗１Ω／□〜１５Ω／□の電極となる金属蒸着膜部と表面抵抗１×１０１０Ω／□以上のマージン部、および該金属蒸着膜部と該マージン部の間に該金属蒸着膜部より該マージン部にかけ金属蒸着膜厚が連続的に低減する幅０．０２〜１ｍｍの境界膜部を有し、
該金属蒸着膜がＡｌとＺｎの合金からなり、かつＡｌの含有量比（Ａｌ含有量／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））を蒸着膜表面においてＣ１、蒸着膜厚の中間においてＣ２、蒸着膜と高分子フィルムの界面においてＣ３としたときＣ２＜Ｃ１ ≦Ｃ３又はＣ２＜Ｃ３≦Ｃ１と連続的に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌの含有量比（Ａｌ含有量×１００／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量））が０．５〜１５ｗｔ％であることを特徴とする金属蒸着フィルム。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施態様例である金属蒸着フィルムの概略断面図を図１に示す。なお、本発明は本実施態様例に限定されるものではない。
【０００８】
図１において、１は本発明の金属蒸着フィルムであり、２は高分子フィルム、３はマージン部、４は金属蒸着部、５は境界膜部であり、Ｌは境界膜部の幅を表す。
【０００９】
本発明でいう高分子フィルム２とは天然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したもので、中でも合成高分子樹脂からなる高分子フィルムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点からより好ましい。
【００１０】
好ましい合成高分子樹脂としてポリオレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアリレン樹脂などを挙げることができる。特にポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネイト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより好ましい。中でもポリプロピレン、およびポリエチレンテレフタレートが交流耐電圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから特に好ましい。
【００１１】
金属蒸着膜４の金属はＡｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｎ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉあるいはこれらの合金など導電性を有するものが使用でき、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｎなどは耐コロナ劣化性が少ない。なかでも、本願発明では耐湿性、耐コロナ劣化性および自己回復特性の点からＡｌ−Ｚｎの合金を用いる。さらに本願発明では、蒸着合金膜中のＡｌ含有量比｛（Ａｌ含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有量）｝が、蒸着膜表面においてＣ１、蒸着膜中央においてＣ２、フィルム界面においてＣ３とするとＣ２＜Ｃ１≦Ｃ３又はＣ２＜Ｃ３≦Ｃ１と連続的に変化し、かつ蒸着膜全体のＡｌ含有量比が０．５〜１５ｗｔ％である。また、蒸着膜全体のＡｌ含有量が８〜１２ｗｔ％となるＡｌ−Ｚｎの合金からなる蒸着金属膜が好ましい。なかでもＡｌの含有量比がＣ２＜Ｃ１≦Ｃ３となる分布をするＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくより好ましい。蒸着金属膜の膜抵抗は１〜１５Ω／□であり、２〜１２Ω／□が好ましい。またメタリコンとの密着性を向上させるため、図２のごとくメタリコンの密着部２〜５ｍｍ程度の蒸着膜を厚く、いわゆるヘビーエッジにした場合の、電極部（アクティブ部）の抵抗を４〜１２Ω／□にすることによって特に耐圧とｔａｎδ特性を向上させる。
【００１２】
さらにこれら蒸着金属膜の耐湿性を上げるため、該蒸着金属膜表面に超薄層のオイル膜又はケイ素、あるいはケイ素化合物を設けることがより好ましい。
【００１３】
金属蒸着フィルムは、金属蒸着膜部４とマージン部３の間に境界膜部５を有することが重要である。境界膜部とは図１のごとく金属蒸着膜部４よりマージン部３にかけ蒸着膜部の蒸着膜の厚みがマージン部３へ連続的に低減していく状態を指し、光学顕微鏡で観察した場合、図１のように金属蒸着膜部４の暗い部分からマージン部３の明るい部分にかけ幅（Ｌ）が０．０２〜１ｍｍ、より好ましくはＬ：０．１〜０．５ｍｍ程度、特に好ましくはＬ：０．２〜０．３ｍｍにかけ徐々に暗い部分から明るい部分へ明るさが変化する領域がある状態をさす。従来のコンデンサ用金属蒸着フィルムはＪＩＳ−Ｃ２３１９−１９７７（コンデンサ用メタライズポリエステルフィルム）の４・３耳幅に規定されているよう蒸着金属膜の端に連続して不鮮明な箇所があってはならないとされている。このため従来よりマージンを形成する方法には蒸着される高分子フィルム上にマスクとなるマージンと同じ幅のテープをはわせ未蒸着部（マージン）を形成するテープマージン法があり、蒸着膜とマージンの境がはっきりしたマージンが形成されることおよびプレス性が良いことから好ましく利用されてきた。また他の方法としては蒸着膜に高分子フィルム上にマージンの幅にオイルを蒸着し、オイル部に蒸着膜が付着しないことを利用したオイルマージン法があるが、テープマージン同様にマージンとの境をはっきりさせるため（境界部５生じさせないため）、特公平３−５９９８１号公報のごとく、蒸着金属がより付着しにくいフッ素系オイルが使用され、さらに特公昭６３−５７９３２号公報のごとく、色々な工夫がなされていた。
【００１４】
本発明はこれら従来の技術とは全く逆に蒸着境界部５を設けることによって、逆に安全規格コンデンサのテストにある高い電圧の印加に対しても破壊、特にマージンと蒸着金属膜境界における高分子フィルムの絶縁破壊をふせぎうることを見出し、なされたものである。
【００１５】
さらに図３のごとくマージン部３がオイル６で覆われていることがより好ましい。オイルの量はわずかなため定量化できないが、図４のごとく、本金属蒸着フィルムを巻回、または積層してコンデンサとした際の上下の２枚の金属蒸着フィルムの間のマージン部分がオイル６で満たされること、より好ましくは空気の層がないようになることである。この場合オイル６がコンデンサの含浸オイルと相溶することによってオイルと含浸オイルによってマージン部が満たされ、空気の層がなくなることでも良い。つまりマージン部にオイルが存在し、コンデンサにした時金属蒸着フィルムの間のマージン部分が空気層のないようにオイルで充満されることが好ましい。
【００１６】
本発明の金属蒸着フィルムの特徴である境界膜部を生じさせ、金属蒸着フィルムの間のマージン部分をオイルで充満させるため、および電気特性の点からオイルは鉱物油、またはシリコーンオイルが好ましい。中でもシリコーンオイルがより好ましい。特に重量平均分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８００が好ましく、中でも重量平均分子量ＭＷが４００≦ＭＷ≦８００で、かつ数平均分子量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のシリコーンオイルがより好ましく、さらに電気特性の点からジメチルポリシロキサンオイルまたはメチルフェニルシリコーンオイルが好ましく、中でもフェニル・メチル・ジメチルポリシロキサンが最も特性的に優れている。
【００１７】
図７は本発明の金属蒸着フィルムを製造するための一装置の概略図である。なお本発明は本実施態様例に限定されるものではない。
【００１８】
真空蒸着機７内において、巻きだしロール８より送り出された高分子フィルム２に、内部のオイル蒸気圧を測定し、規定のオイル蒸気圧に制御されたオイル蒸発ノズル１１のマージン部幅に開けられた開口部を通じ、所定のオイルを蒸着、付着させる。次いでＡｌ蒸着源１２よりＺｎの核付けとなるＡｌを定量蒸発させ、高分子フィルム２に蒸着し、引き続きＺｎ蒸発源１３よりＺｎを金属蒸着膜の表面抵抗が規定の抵抗になるよう蒸着する。次いで低温プラズマ装置１４にて該金属蒸着膜および境界膜部表面を酸素原子を含むガスのプラズマにて処理し、さらに内部のオイル蒸気圧を測定、制御したオイル蒸発器１５の狭い開口部を通じ、金属蒸着膜部表面にオイルを蒸発、付着させる。
【００１９】
本方法においてオイル蒸発ノズル１１とオイル蒸発器１５内部の蒸気圧を測定、制御することは、各々境界膜の幅の制御するうえと金属蒸着フィルム表面のオイルによる滑りからくるコンデンサ素子巻き性の制御のし易さの点から極めて重要である。さらに低温プラズマで処理することは境界膜の幅の制御と同時にｔａｎδの悪化を防ぐ上で同じく極めて重要である。
【００２０】
なお低温プラズマとは、低圧のガス中に直流、または低周波、中周波、高周波等の交流、あるいはマイクロ波等の高電圧を印加することによって開始、維持する放電によって生成するプラズマを指すものである。
【００２１】
本発明の金属蒸着フィルムを通常の方法によって、巻回、又は積層することによって耐電圧の高い良好なコンデンサができる。特にマージン部３を覆っているオイルと相溶し、かつ電気絶延性の高いオイルを含浸オイルとして用いるとさらに耐電圧の高いコンデンサができ、より好ましい。
【００２２】
オイルと相溶するかどうかは、１００ｃｃのサンプル瓶にマージン部３を覆うに用いられているオイルと含浸オイルを各々３０ｃｃづつ入れ、栓をし、よく振ったのち、３０分間静置した際、二層に分離したり、懸濁せず、透明に相溶することをさす。より簡易な方法としてはＪＩＳ−Ｋ６７６８−１９７１「エチレンおよびポリプロピレンフィルムのぬれ試験法」に準じ含浸オイルを含んだ綿棒で蒸着フィルムの金属蒸着膜表面からマージン部３へ含浸オイルを塗布した際、マージン部にて含浸オイルの塗布幅がせばまらず、同等幅か広がる含浸オイルが好ましいとして見分ける方法が用いられる。
【００２３】
本発明の金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは高い耐電圧を要求する用途のコンデンサに適している。中でも安全規格コンデンサとして優れている。
【００２４】
なお本発明の金属蒸着フィルムは従来の金属蒸着フィルムと異り、マージン部がオイルで覆われているため、プレス条件等従来のコンデンサ製造条件を変更することが必要になる場合があるが、各々の金属蒸着フィルムに合った最適な加工条件を設定することはあたり前のことである。
【００２５】
本発明の金属蒸着フィルムのマージン部３とは図１のごとく金属蒸着膜とメタリコン部との絶縁を確保するために設けられるマージン（フリーマージン、又はＪＩＳ−Ｃ２３１９−１９９７に呼称されている耳幅）のみならず特公平１−２１６１３号公報、特開平４−２２５５０８号公報、特開平７−８６０８８号公報、ＵＳＰ５０５７９６７などに提案されている保安機構用マージン、あるいは電極を分割するためのマージンをもさすものである。
【００２６】
このような保安機構用マージンや分割電極用マージンを有する従来のコンデンサは金属蒸着膜とマージン部の境で絶縁破壊を起し、例えばヒューズ部の金属蒸着膜とヒューズ部を形成するマージン部との境で絶縁破壊し、ヒューズが切れたり、あるいは分割電極のマージンが重った部分が絶縁破壊するなどして容量を低下させる問題があったが、本発明の金属蒸着フィルムを用いたコンデンサではこのような問題が著しく改良される。
【００２７】
このようなマージンを形成する本法としては、特開昭６３−１１４９５６号公報（ＵＳＰ４８３２９８３）の方法が優れているが、本発明の金属蒸着フィルムを作るうえで異る重要な点は、特開昭６３−１１４９５６号公報では蒸着後マージンを形成するためのオイルが消失する必要があることが強調されているが、本発明は逆に蒸着後オイル６が残り、マージン部３を覆い、かつ境界膜部５が生じていることである。
【００２８】
従来のコンデンサ用蒸着フィルムのマージンは境界膜部がなく、かつマージン部にオイルが残らないことが重要な品質であったが、本発明は逆に境界膜部を生じさせかつマージン部にオイルが残すことによって、極めて耐電圧の高い金属蒸着フィルムを発明するに至ったのである。
【００２９】
本発明の金属蒸着フィルムを巻回、積層するなど通常の方法にてコンデンサを作製することができる。該コンデンサは高い耐電圧を有する。中でもマージン部３を覆っているオイルと相溶する含浸剤を用いた場合は著しく高い耐電圧を有する。特にマージンを覆っているオイルがシリコーンオイルで、かつ含浸剤もシリコーンオイルがより好ましく、これらのシリコーンオイルとしては特にジメチルポリシロキサン、あるいはメチルフェニルシリコーンオイルが優れている。
【００３０】
本発明のコンデンサは高い電圧が印加される安全規格コンデンサに特に適している。
【００３１】
【物性値の測定】
（１）Ａｌ−Ｚｎ合金の組成分析
金属蒸着フィルムサンプル９ｃｍ2 を希硝酸で溶解したのち２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ型を用いた。
【００３２】
（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布
ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしながらＡｌおよびＺｎの定量分析を行なった。
【００３３】
Ａｒイオンエッチング条件
加速電圧：３ｋＶ
試料電流：１×１０−6 Ａ
エッチング速度：ＳｉＯ2 換算で１９μｍ／ｍｉｎ
測定条件
加速電圧：３ｋＶ
スリットＮｏ．：５
試料電流：８×１０−8 Ａ
試料傾斜角度：７２度
ビーム径：１０μｍ
【００３４】
なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフィルム界面にかけＡｌ含有量が多くなり、最大になった後減少していく、最大点の位置をフィルム界面とし、最大点の含有量比をＣ3 とする。
【００３５】
（２）境界膜部幅
蒸着膜とマージンの界面を光学顕微鏡下にて５０〜１００倍の倍率にて測定する。または金属蒸着フィルムのマージンの界面の断面の超薄切片を超高分解能電界放射型走査電子顕微鏡（（株）日立製作所製Ｓ−９００Ｈ型）を用い、加速電圧５ｋＶで観測する。ただし、後者の場合蒸着膜がマージン界面より、マージン部内で徐々に薄くなっているのが観測されるが、金属原子オーダーでの観察が可能になるため、光学顕微鏡で規定した本発明の境界膜部幅以上に蒸着金属がマージン内部へ入っていることが観察される。
【００３６】
（３）マージン部のオイルの有無
ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）にてマージン部を観測することによって、オイルの存在を確認できる。
【００３７】
装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６
励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ  Ａｌ  Ｋα１．２線（１４８６．６ｅｖ）
光電子脱出角度（θ）：３５°
エネルギー補正：ＣISメインピークの結合エネルギー値を２８４．６ｅｖに合わせた。
【００３８】
なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染によるオイルを検出することがあるが、マージン部がオイルで覆われている場合は検出されたオイルからの信号が著しく高く、汚染のオイルとは区別できる。
【００３９】
（４）マージンオイルの分子量分布測定
ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２４４（ＷＡＴＥＲＳ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行った。
【００４０】
なおフェニル基を有するシリコーンオイルの場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ（１）、Ｇ２５００ＨｘＬ（１）（東ソ（株））を用いた。
【００４１】
【実施例】
実施例１、比較例１、２、３、４
厚さ８μｍのポリプロピレンフィルムに実施例１、比較例１、２、３では蒸着膜幅ｘ1 ×２＝３３ｍｍのＡｌ−Ｚｎ合金蒸着膜とｘ2 ×２＝５ｍｍのマージン部（未蒸着部）を設けた。比較例４では同幅のＡｌ蒸着膜と同幅のマージン部を設けた。
【００４２】
実施例１、比較例１、２、３では真空蒸着機の巻出し側よりくり出されたポリプロピレンフィルムのマージンを形成するオイルを入れた金属パイプ（マージンノズル）を加熱し、該パイプの表面に形成されたマージンの幅より、幅方向の熱膨張分だけ短い幅で開けられた概略矩形の穴より該オイルを蒸発し、該フィルムの表面にマージン部となる部分に該オイルを付着させた。次いでＡｌを蒸着し、すぐにＺｎを連続的に蒸着し、続いて比較例３を除き該蒸着膜、該境界膜部、および該マージン部全面を低温プラズマし、次いで該マージンオイルと同じオイルを蒸発、付着させた後巻取りロールに巻きとった。比較例３ではＺｎ蒸着後そのまま巻取りロールに巻きとった。
【００４３】
蒸着膜が膜全体のＡｌ含有量比２．４ｗｔ％、Ｃ1 ＝６．０ｗｔ％、Ｃ2 ＝０．１ｗｔ％、Ｃ3 ＝１４．０ｗｔ％、および膜抵抗４Ω／□となるようにＡｌおよびＺｎの蒸着源の温度を制御した。
【００４４】
マージンオイルは実施例１、比較例１、２ではＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェニル・メチル・ジメチルポリシロキサン（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）社製ＳＨ７０２）を用い、実施例１では境界膜幅が０．２〜０．４ｍｍになるよう、比較例１では境界膜幅が０．０２ｍｍ未満（通常のオイルマージン条件）、比較例２では境界膜幅が１．３ｍｍになるよう、マージン蒸発ノズル内のオイル蒸発圧力を測定しながらマージンノズル温度を制御し、オイル蒸発圧力を制御した。
【００４５】
比較例３ではマージンオイルとしてパーフルオロポリエーテルオイルを用い、境界膜幅が０．０２ｍｍ未満になるようマージンノズル温度を制御した（通常オイルマージン条件）。
【００４６】
比較例４では、ｘ2 ×２＝５ｍｍの耐熱フィルムを用い、テープマージン法によりＡｌを蒸着膜抵抗４Ω／□になるよう蒸着した。
【００４７】
各々の蒸着フィルムを蒸着膜ｘ1 ＝１６．５ｍｍ、マージン幅ｘ2 ＝２．５ｍｍの蒸着フィルムリール（１９ｍｍ幅）となるよう細幅に通常の方法で切断した。
【００４８】
該スリットした蒸着フィルムを図２のごとく通常の方法で重ね合せ、巻回後、プレス、メタリコン、熱処理し、電極をとりつけ、次いでジメチルポリシロキサンオイル（粘度１００ｃｓｔ）を含浸後、エポキシを外装する通常の方法で０．１５μＦのコンデンサを作成した。
【００４９】
これらのコンデンサにＵＬ１４１４の規格に準拠し、１５００ＶＡＣ（６０Ｈｚ）の交流電圧を１分間印加し、破壊の状況を調べた。
【００５０】
さらに蒸着フィルムリールのマージン部をＸＰＳで観察し、マージン部がオイルで覆われているか調べた。
【００５１】
表１に示す結果のごとく、本発明品は全く破壊がなく、極めて優れた特性を示した。
【００５２】
【表１】
0003885280.tif 000002
実施例２、比較例５、６、７、８
実施例２では１０μｍ、比較例５、６、７、８は１２μｍのポリエステルフィルムを用い、他の条件は表２の条件で蒸着フィルムを作成し、次いで実施例１と同じようにしてコンデンサを作成した。なおコンデンサ作成条件は金属蒸着ポリエステルフィルムを用いコンデンサを作成する通常条件で行った。これらのコンデンサを実施例１と同じ方法でテストした。但し印加電圧は１２５０ＶＡＣと１５００ＶＡＣにした。これらの結果を表２に示す。
【００５３】
表２のごとく、本発明のコンデンサはフィルム厚みが比較例に比べ２μｍ薄いにもかかわらず優れた特性を示した。
【００５４】
【表２】
0003885280.tif 000003
【００５５】
【発明の効果】
本発明の金属蒸着フィルムは金属蒸着膜とマージンとの境界面において金属ボケがあり、かつマージン部がオイルで覆われているため、安全規格コンデンサに課せられる高電圧印加に対してもマージン際での破壊がおこらず、極めて高い安全性を有したコンデンサを作ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示した概略図である。
【図２】本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示した概略図である。
【図３】本発明の蒸着フィルムの断面形状の一例を示した概略図である。
【図４】本発明の金属蒸着フィルムをコンデンサを作るために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
【図５】本発明の金属蒸着フィルムをコンデンサを作るために重ねた断面形状の一例を示した概略図である。
【図６】本発明の金属蒸着フィルムの蒸着膜中のＡｌおよびＺｎの含有量比の一例を示した概略図である。
【図７】本発明の蒸着フィルムを製造するための一装置の概略図である。
【符号の説明】
１：本発明の金属蒸着フィルム
２：高分子フィルム
３：マージン部
４：金属蒸着膜部
５：境界膜部
６：マージン部を覆うオイル
７：真空蒸着機
８：巻き出しロール
９：巻き取りロール
１０：冷却ドラム
１１：オイル蒸発ノズル
１２：Ａｌ蒸発源
１３：Ｚｎ蒸発源
１４：低温プラズマ処理装置
１５：オイル蒸発器
【図１】
0003885280.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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