(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠陥を検出する検査方法であって、
香類の燃焼で粒子径が１〜１０μｍの微粒子を発生させた後、
発生させた前記微粒子を１〜３０Ｐａの加圧力で多孔質のハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルター内へ導入し、
次いで、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターの近傍であって、前記ハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルターの微粒子排出面と略平行に通過するように、指向性の強い光を発生させて、前記光が、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターから排出される前記微粒子を照射して微粒子を可視化することを特徴とする欠陥を検出する検査方法。
【請求項２】
前記光を面状に発生させて、欠陥を二次元的に検出することを特徴とする請求項１に記載の欠陥を検出する検査方法。
【請求項３】
可視化検出された微粒子排出面の像をカメラにより記録することを特徴とする請求項１又は２に記載の欠陥を検出する検査方法。
【請求項４】
欠陥を検出する検査装置であって、
香類の燃焼で粒子径が１〜１０μｍｍの微粒子を発生させる微粒子発生手段と、
前記微粒子発生手段で発生させた微粒子を１〜３０Ｐａの加圧力で多孔質のディーゼルパーティキュレートフィルター内へ導入する微粒子導入手段と、
前記ディーゼルパーティキュレートフィルター近傍であって、前記ハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルターの微粒子排出面と略平行に通過するように、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターから排出される微粒子に照射し、前記微粒子を可視化するように指向性の強い光を発生させる光発生手段と
を備えたことを特徴とする欠陥を検出する検査装置。
【請求項５】
前記光発生手段が面状に光を発生させる手段であることを特徴とする請求項４に記載の欠陥を検出する検査装置。
【請求項６】
可視化検出された微粒子排出面の像を記録する記録手段を更に備えることを特徴とする請求項４又は５に記載の欠陥を検出する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多孔質のハニカム構造体の欠陥を検出する検査方法及び検査装置に関し、特に欠陥が感度よく検出され、短時間で検査及び後処理をすることができるハニカム構造体の欠陥の検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
欠陥を検出するための検査が必要な被検体として、例えば多孔質体などが挙げられる。多孔質体は、フィルターや触媒担体などに多く用いられており、例えば内燃機関等の熱機関又はボイラー等の燃焼装置の排気ガス浄化装置、液体燃料又は気体燃料の改質装置、上下水の浄化処理装置等に多孔質体が用いられている。また、ディーゼルエンジンから排出される排気ガスのような含塵流体中に含まれる粒子状物質を捕集除去するためにハニカム形状の多孔質体がディーゼルパーティキュレートフィルターや高温ガス集塵装置として用いられている。
【０００３】
このような目的で使用される多孔質体は、多孔質体の細孔中を被処理流体が通過する際に、不要な粒子状物質を捕集除去したり、多孔質体の表面及び細孔中に触媒を担持させ、触媒と被処理流体とを接触させたりする働き等をする。このような働きを効率よく行わせるために、薄い膜状や壁状の多孔質体をチューブ形状、モノリス形状、ハニカム形状などの形状として被処理流体との接触面積を増やすことが一般的に行われている。従って、多孔質体の膜や壁を貫通するような穴、即ち欠陥があると多孔質体の濾過性能や触媒担体としての性能を発揮できない。また、多孔質体でない場合、欠陥となる穴があると本来の性能が発揮できない場合は多々ある。このような多孔質体や非多孔質体の欠陥を検査する最も簡易な方法は目視によるものである。
【０００４】
しかし、多孔質体や非多孔質体である被検体の形状、検出すべき欠陥の位置、大きさによっては検査が困難な場合がある。例えばハニカム構造体は、一般に図８に示されるように、隔壁により仕切られた軸方向（Ｘ方向）に貫通する多数の流通孔を有している。更に図２に示されるように流通孔の端部は互い違いに封じられ、多孔質の隔壁により粒子状物質が捕集除去されるように構成されている場合がある。従ってこのような構造の隔壁の欠陥は外部から観察することはできない。
【０００５】
このような被検体の欠陥の検査方法として、従来は例えば、図８に示されるようなハニカム構造体の上端面を白色の布で覆い、ディーゼル燃料軽油の燃焼により発生させられたすす状物質をハニカム構造体の下端面から流入させ、上端面から排出されるすす状物質を白色の布に付着させることにより図７のような模様を得て、欠陥を検出する方法が知られており、スートプリント法と呼ばれている。この場合、すすが多く付着して黒くなった部分に欠陥があることを示す。この方法は、簡便であり欠陥のレベル検出及び欠陥場所の特定に優れているが、すす状物質を用いるために、検査後にハニカム構造体に付着したすす状物質を熱処理により取り除く必要があり、このための後処理に数時間を要する。また、１つの検体を検査するのに５〜６分の時間を必要とする。
【０００６】
他の方法は、ハニカム構造体を水中に入れ、一方の端面からエア圧をかけ他方の端面からの発泡現象により欠陥の有無を検査する方法である。この方法の場合、後処理時間は前述のスートプリント法ほどかからないが、検査後に乾燥する必要があり、また検査前に水中で脱泡する必要があり時間がかかる。
【０００７】
また、多孔質体を形成させる場合、原料を所定形状の成形体に成形した後、焼成することにより気孔を形成させて多孔質体とする場合がある。従って、焼成前の非多孔質体の状態で既に形成されている欠陥を検出できれば、焼成前に欠陥品を排除することができ経済的に有利である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、上記事情に鑑み、外部から欠陥の確認できない形状のハニカム構造体であっても、欠陥が感度よく検出される欠陥の検査方法及び検査装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、欠陥場所の特定が容易な、欠陥の検査方法及び検査装置を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、欠陥場所の記録が容易にできる欠陥の検査方法及び検査装置を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、検査時間及び検査前後の前処理、後処理時間が短い又は不要な、欠陥の検査方法及び検査装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は第一に、欠陥を検出する検査方法であって、香類の燃焼で粒子径が１〜１０μｍの微粒子を発生させた後、発生させた前記微粒子を１〜３０Ｐａの加圧力で多孔質のハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルター内へ導入し、次いで、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターの近傍であって、前記ハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルターの微粒子排出面と略平行に通過するように、指向性の強い光を発生させて、前記光が、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターから排出される前記微粒子を照射して微粒子を可視化することを特徴とする欠陥を検出する検査方法を提供するものである。
【００１０】
また、本発明の検査方法において、欠陥場所の特定を容易にする観点から、上記光を面状に発生させて、欠陥を二次元的に検出することが好ましい。更に、検出場所の記録を容易にする観点から、可視化検出された微粒子排出面の像をカメラにより記録することが好ましい。
【００１１】
本発明は第二に、欠陥を検出する検査装置であって、香類の燃焼で粒子径が１〜１０μｍｍの微粒子を発生させる微粒子発生手段と、前記微粒子発生手段で発生させた微粒子を１〜３０Ｐａの加圧力で多孔質のディーゼルパーティキュレートフィルター内へ導入する微粒子導入手段と、前記ディーゼルパーティキュレートフィルター近傍であって、前記ハニカム構造体からなるディーゼルパーティキュレートフィルターの微粒子排出面と略平行に通過するように、前記ディーゼルパーティキュレートフィルターから排出される微粒子に照射し、前記微粒子を可視化するように指向性の強い光を発生させる光発生手段と
を備えたことを特徴とする欠陥を検出する検査装置を提供するものである。
【００１２】
また、検出場所の特定を容易にする観点から、本発明の検査装置は、前記光発生手段が面状に光を発生させる手段であることが好ましい。更に、欠陥場所の記録を容易にする観点から、本発明の検査装置は、可視化検出された微粒子排出面の像を記録する記録手段を更に備えていることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明するが本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
【００１４】
本発明の検査方法の重要な特徴は、指向性の強い光を発生させて、被検体の欠陥部分を通って排出される微粒子に照射し微粒子を可視化検出することである。この光を微粒子に照射することにより、外部から欠陥が確認できない形状の被検体であっても欠陥を感度よく検出することができる。
【００１５】
以下、図２に示されるのハニカム構造体の欠陥の検出を例に本発明の原理を詳細に説明するが本発明はハニカム構造体にのみ適用できるのではなく、各種の形状や材質の被検体に適用することができる。
【００１６】
図２に示されるハニカム構造体が多孔質体である場合において、隔壁５８に欠陥６２のある流通孔５６にＡ方向から微粒子が導入される。導入された微粒子は欠陥６２を通って、微粒子排出面５４より排出される。微粒子排出面５４近傍のＢ方向に指向性の強い光を照射しておくと排出された微粒子は光を乱反射させ可視化される。ここで、より大きな欠陥がある場合、より大きな微粒子がより多くその流通孔から排出されるが、より大きな微粒子は光をより多く乱反射させる。従って、より大きな欠陥のある箇所は、光をより多く乱反射し、これにより欠陥のある流通孔を検出することができる。また、封止部６０に欠陥がある場合も、その欠陥のある流通孔から、より大きな粒子径の微粒子又はより多くの微粒子が排出され、封止部に欠陥のある流通孔を検出することができる。被検体が非多孔質の場合、例えば図２に示されるハニカム構造体が焼成前の成形体である場合、導入された微粒子は、隔壁５８又は封止部６０に欠陥のある流通孔のみから排出され、排出された微粒子が光を乱反射させ可視化される。これにより欠陥のある流通孔を検出することができる。
【００１７】
排出された微粒子が拡散することにより感度が低下することを防止する観点から、光が微粒子排出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面の直上から３ｍｍまでの範囲内を通過することが好ましい。光は平面状に通過するように発生させることが好ましいが、光を面状に発生させるためには、光発生装置３０の前にレンズ３２を備え、光を面状に拡散させることが好ましい。また、光発生装置３０を走査させることによっても光を面状に発生させることができる。光は指向性が強く、本方法に用いられる微粒子により乱反射される波長の光であれば特に制限はないが、レーザー光が好ましく、固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色素レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなどを好適に用いることができる。また、光の波長にも特に制限はなく、例えば６５０ｎｍ程度の赤色レーザー光、５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４００ｎｍ程度の紫色レーザー光などを好適に用いることができる。
【００１８】
次に本発明における検出方法の全体の構成について説明する。先ず微粒子を発生させる。微粒子を発生させる方法には、特に制限はなく、例えば線香などの香類を燃焼させる方法、グリコール類及び／又は水を噴霧することによりこれらの微粒子を発生させる方法、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音波加湿器などにより水の微粒子を発生させる方法、市販の標準粒子発生装置を用いる方法、炭酸カルシウム等の微粒子粉末を振動装置やブロアなどで発塵させる方法などがあり、これらを用いることができる。微粒子発生手段により発生させる微粒子の粒子径は、検査対象となる被検体の形状や被検体が多孔質体の場合の細孔径などにより適宜に選ぶことができる。例えば後述の実施例に示されるように欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布の関係を調べることにより検査対象に合った適切な粒子径を選ぶことができるが（図３、図４参照）、被検体が多孔質体の場合、粒子径が大きすぎると多孔質体の細孔内に捕集される量が多くなりすぎ、後処理により除去する必要が生じる。粒子径が小さすぎると、図４に示すように、欠陥の有無により排出される微粒子量に差が現れにくい。好ましい粒子径は前述のように０．３〜２００μｍ、更に好ましくは０．５〜５０μｍ、更により好ましくは１〜１０μｍである。但し、発生させる微粒子に上記範囲外の粒子径を有する微粒子が含まれていても、上記範囲の微粒子が本発明の目的を達成できる程度の量で含まれていれば好ましい範囲に入る。また、発生させる好ましい微粒子は経時変化により粒子径が変化しない微粒子である。
【００１９】
次に発生した微粒子を検査対象である被検体内へ導入する。導入する方法に特に制限はないが、例えば発生した微粒子を粒子室に溜めて、一定濃度としてから一定圧力を加えることにより被検体内へ導入する方法、又は被検体上部へダクトを設け、ファン等で排気することにより、粒子室より微粒子を被検体内へ導入する方法などが好ましい。被検体内へ導入する微粒子の濃度に特に制限はなく、指向性の強い光、例えばレーザー光等により検出できる程度の濃度であって、欠陥部分とそれ以外の部分とのコントラストが明確になるような濃度を適宜選択できる。加圧力に特に制限はなく被検体の種類や形状等に応じて適宜選択することができるが、欠陥の数が多いほど、又は欠陥の大きさが大きい程被検体内の圧力損失は小さいため、小さい加圧力で欠陥の検出が可能となるが、欠陥の数が少ないほど、又は欠陥の大きさが小さいほど被検体内の圧力損失が大きく、大きな加圧力を必要とする。また、加圧力が高いほど被検体から排出される微粒子が層流で流れる距離が長くなり、被検体から離れて光を通過させても検出できるようになるが、被検体が多孔質体の場合には、加圧力が大きすぎると多量の微粒子が多孔質体を通って流出するため、微粒子がより多く必要となることや、回収が困難になる等コスト上好ましくない。
【００２０】
検査対象となる被検体は、欠陥が発生する可能性のあるものであれば、形状、材質、多孔質体の場合の細孔径、用途等に特に制限はなく、あらゆる形状、材質、多孔質体の場合の細孔径、用途等の被検体に本発明の方法を適用可能であるが、例えば被検体が多孔質体の場合においては、被処理流体が面状部分、特に好ましくは平面状部分から排出される被検体であることが好ましい。また、被検体が多孔質体、非多孔質体のいずれの場合であっても、本発明において微粒子が面状部分、特に好ましくは平面状部分から排出される被検体が好ましい。本発明は被検体が多孔質体であっても適用できるため、被検体が多孔質体であることも好ましい。また外部から直接欠陥を検出しにくい被検体、例えばハニカム構造体であることも好ましく、特に、ディーゼルパーティキュレートフィルターや高温ガス集塵装置等に用いられるものであることが更に好ましい。また、非多孔質体であるが焼成することにより多孔質体となるもの、例えば成形後、焼成前の状態のハニカム構造体などを被検体とすることも焼成前の段階で欠陥を発見できるため好ましい。このような場合には、一定形状に成形して、形状を保つために乾燥した後に被検体とすることが好ましい。
【００２１】
次に、上述のように、指向性の強い光が検査対象である被検体の近傍を通過するように光を発生させ、光が被検体から排出される微粒子に乱反射した像を観察することにより、欠陥を検出することができる。可視化された像を記録するためには写真機、光学ビデオカメラ、ＣＣＤカメラなどが好適に用いられる。
【００２２】
以下、図１に従って本発明の検査装置について説明する。
図１は本発明の検査装置の好適な一実施形態を示したものである。図１において、本発明の検査装置は、粒子室１、２つの設置台２２、光発生装置３０として２つのレーザー光発生装置、２つのフード３４、２つのＣＣＤカメラ３６を備える。尚、図１は２つの被検体を検査するように構成されているが、本発明の検査装置は１つの被検体用でも３つあるいはそれ以上の被検体用でもよい。
【００２３】
粒子室１内には微粒子発生手段として線香台３上に線香４が立てられ、線香４が燃焼することにより、線香煙が発生するように構成されている。線香煙は、粒子径が０．３〜１０μｍ程度の微粒子である。本発明において微粒子発生手段には特に制限はなく、上記線香などの香類を燃焼させる装置の他、グリコール類及び／又は水を噴霧することによりこれらの微粒子を発生させる装置、固体二酸化炭素、液体窒素、噴霧器、超音波加湿器などにより水の微粒子を発生させる装置、市販の標準微粒子発生装置、炭酸カルシウム等の微粒子粉末を振動装置やブロアなどで発塵させる装置などがあり、これらを用いることができる。微粒子発生手段は粒子室１内にある必要はなく、粒子室外に微粒子発生手段を設け、発生した微粒子を粒子室１内へ導入してもよい。
【００２４】
粒子室１の上部には、該粒子室１から被検体２０へ微粒子を導入する微粒子導入口６が設けられており、微粒子導入手段として、加圧機構１０が設けられている。粒子室１内部は加圧機構１０により加圧され、粒子室１内の微粒子は微粒子導入口６を通って、検査対象である被検体２０内へ導入される。粒子室１内の圧力を一定に保つ観点から、加圧機構１０はレギュレータが備えられたコンプレッサーなどが好適に用いられる。好ましい加圧力は、被検体が多孔質体の場合は１〜３０Ｐａであり、被検体が非多孔質の場合は１００〜２００００Ｐａであるため、加圧機構は、このような範囲の加圧力を付与できることが好ましい。
【００２５】
粒子室１には、圧力計１１及び微粒子濃度計１３が備えられており、粒子室１内の圧力及び微粒子濃度の管理が可能となる。更に、排出された微粒子を粒子室１内へ戻すための、微粒子循環口８及び微粒子循環管９が設けられている。図１における本発明の装置は、２つの被検体２０の検査ができるように構成されており、２つの微粒子導入口６にはシリンダー１７の上下により微粒子導入口６の開閉が可能なように、各々シリンダー１７と連結された微粒子導入口蓋１６が備えられている。このシリンダー１７の上下により微粒子導入口６の開閉が可能となり、使用しない微粒子導入口６を閉じておくことが可能となる。
【００２６】
微粒子導入口６の上には、微粒子導入口６につながる開口部を有する設置台２２が、被検体２０を着脱可能に設置できるように設けられている。被検体２０はシール２４により外周をシールされた状態で設置台２２に設置される。シール２４は、検査対象である被検体２０の形状に合わせて種々の形状を取ることができる。設置台２２がこのように構成されているので微粒子導入口６を通った微粒子は総て被検体２０内へ導入される。
【００２７】
被検体２０の上方には、上下に移動可能なようにシリンダー３５と連結されたフード３４が備えられており、検査時にはフード３４は下方へ移動し、被検体２０から排出される微粒子の流れを乱す外乱、例えば風などを防止する。
【００２８】
更に被検体２０の上方には光発生装置３０としてレーザー光発生装置が備えられている。指向性の強い光発生手段であるレーザー光発生装置も上下動が可能なように備えられることが好ましく、検査時には光が排出面の直上から５ｍｍまで、更に好ましくは排出面の直上から３ｍｍまでの範囲内を通過するように備えられることが好ましい。光が、被検体２０の微粒子排出面５４と平行に面状に通過するように光を拡散させるため、光発生装置３０の前にレンズ３２が備えられている。図１において、光発生装置として、Ｈｅ−Ｎｅレーザー光発生装置が備えられているが、本発明の光発生手段には特に限定はなく、本方法の微粒子発生手段により発生させられる微粒子により乱反射される波長の指向性の強い光であればよいが、レーザー光が好ましく、例えば固体レーザー、気体レーザー、半導体レーザー、色素レーザー、エキシマレーザー、自由電子レーザーなどの光発生手段を備えていることが好ましい。このような光発生手段から発生する光は、例えば６５０ｎｍ程度の赤色レーザー光、５３２ｎｍ程度の緑色レーザー光、４００ｎｍ程度の紫色レーザー光などがある。
【００２９】
被検体２０の更に上方には、乱反射したレーザー光を撮影し記録できるように記録手段としてモニター３８に接続されたＣＣＤカメラ３６が垂直下向きに設置されている。記録手段としては、ＣＣＤカメラの他に、写真機、光学ビデオカメラなどを用いることもできる。更に、ＣＣＤカメラ３６のレンズの垂直下方にはカメラレンズに微粒子が付着するのを防ぐように正圧をかけることができるエアーパージ機構３７が備えられている。
【００３０】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、以下の試験において、直径１５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍの円筒形であって、セル密度が４０個／ｃｍ2であり、ディーゼルパーティキュレートフィルターとして用いられる多孔質のハニカム構造体（以下フィルターと略す）を評価用被検体として用いた。また、実施例及び比較例には３個の上記フィルター（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）を用いた。
【００３１】
（欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布との関係）
各々直径０．１ｍｍの円形、直径０．３ｍｍの円形及び０．８ｍｍ×２ｍｍの長方形の欠陥のある流通孔（セル）及び欠陥のないセル（正常セル）を有するフィルターを用意し、図３に示される装置を用いて、パーティクルカウンタにより欠陥セルを通った微粒子を吸引し、吸引した微粒子の粒度分布を測定した。図４に欠陥６２の種類と、欠陥セルを通って微粒子排出面５４へ排出される微粒子の粒度分布の測定例を示す。欠陥セルより排出される微粒子の個数は０．３〜１μｍの範囲では正常セルより少なかったが、より多くの乱反射光を発する１〜１０μｍの範囲では正常セルより多かった。従って、検査対象が上記フィルターであり、対象とする欠陥の径が０．１〜０．８ｍｍ程度であれば、１〜１０μｍ程度の粒子径の微粒子が欠陥の検出に適切であることが判った。
【００３２】
（実施例１）
図１に示された被検体の欠陥の検査装置の設置台２２にフィルター（ａ）を、シール２４を用いて設置した。次に線香を燃焼させ、図５に示される粒度分布の微粒子を発生させた。微粒子濃度が３００個／ｃｃとなったところで、加圧機構１０により１０Ｐａで加圧し、微粒子をフィルター（ａ）に導入した。光生装置３０としてＨｅ−Ｎｅレーザー光発生器を用い、レンズ３２を介してレーザー光を発生させ、フィルター（ａ）の３ｍｍ上方をフィルター（ａ）の上面（微粒子排出面５４）と略平行に面状にレーザー光を通過させた。排出された微粒子により乱反射したレーザー光をＣＣＤカメラ３６により撮影し、モニター３８により観察し記録した。検査開始から撮影までの時間は５秒だった。また、検査後に後処理を行わなくてもフィルターとしての機能は損なわれていなかった。撮影された画像を図６（ａ）に示した。図６（ａ）において、明るく見える部分が、微粒子によりレーザー光がより多く乱反射された箇所であり、この部分から大きな微粒子が多く排出されたこと、即ちこの部分に欠陥があったことを示している。
【００３３】
（実施例２及び３）
フィルター（ｂ）及び（ｃ）について、実施例１と同様の検査を行った。検査開始から撮影までの時間は５秒だった。また、検査後に後処理を行わなくてもフィルターとしての機能は損なわれていなかった。撮影した画像をそれぞれ図６（ｂ）及び図６（ｃ）に示した。
【００３４】
（比較例１〜３）
フィルター（ａ）〜（ｃ）についてスートプリント法により検査を行った。検査開始からスートプリントができるまでの時間は５分だった。検査後各フィルター内には大量のすすが付着し、これを約８時間かけて加熱燃焼させ取り除く必要があった。得られたスートプリントの像をそれぞれ図７（ａ）、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示した。
【００３５】
図６（本発明の方法）と図７（従来のスートプリント法）を比較すると、非常によい一致が見られ、本発明の方法の信頼性が確認された。また、本発明の方法により得られた画像のほうがセル単位の明暗が鮮明に示され、より高感度に、欠陥場所の特定ができた。
【００３６】
【発明の効果】
本発明の方法及び装置を用いることにより、外部から欠陥の確認できない形状の被検体であっても、欠陥を感度よく検出することができた。また、欠陥場所の特定が容易となり、欠陥場所の記録が容易にできるようになった。更に、検査時間及び検査前後の前処理、後処理時間が短く又は不要となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の好適な装置の模式図である。
【図２】  本発明の原理を示す模式図である。
【図３】  欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布との関係を調べる装置の模式図である。
【図４】  図３の装置を用いて得られた結果の一例を示すグラフである。
【図５】  線香を燃焼させることにより発生した微粒子の粒度分布を示すグラフである。
【図６】  実施例１〜３で得られた被検体の欠陥場所の画像を示す図である。
【図７】  比較例１〜３で得られた被検体の欠陥場所の画像を示す図である。
【図８】  ハニカム構造体の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…粒子室、３…線香台、４…線香、６…微粒子導入口、８…微粒子循環口、９…微粒子循環管、１０…加圧機構、１１…圧力計、１３…微粒子濃度計、１６…微粒子導入口蓋、１７…シリンダー、２０…被検体、２２…設置台、２４…シール、３０…光発生装置、３２…レンズ、３４…フード、３５…シリンダー、３６…ＣＣＤカメラ、３７…エアーパージ機構、３８…モニター、５４…微粒子排出面、５６…流通孔、５８…隔壁、６０…封止部、６２…欠陥部。
【図１】
0003904933.tif 000002
【図２】
0003904933.tif 000003
【図３】
0003904933.tif 000004
【図４】
0003904933.tif 000005
【図５】
0003904933.tif 000006
【図６】
0003904933.tif 000007
【図７】
0003904933.tif 000008
【図８】
0003904933.tif 000009