(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ保管容器本体か、ウェーハカセットを積載する底蓋のいずれかが上又は下方向に移動してウェーハ保管容器本体中にカセットが収納され、底蓋がロックされるウェーハ保管容器において、
ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを設け、このフックに係合するウェーハ押さえを備え、
上記係合は、フックに対して垂直方向から斜め下方向に向かうように形成した溝に対して左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトを係合することによって行うようにしたことを特徴とするウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
【請求項２】
ウェーハ保管容器本体か、ウェーハカセットを積載する底蓋のいずれかが上又は下方向に移動してウェーハ保管容器本体中にカセットが収納され、底蓋がロックされるウェーハ保管容器において、
ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを介してシャフトを設け、このシャフトに係合するウェーハ押さえを備え、
上記係合は、左右一対のウェーハ押さえに対して内側面から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成した溝に対してシャフトを係合することで行うようにしたことを特徴とするウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
【請求項３】
請求項１又は２記載のフックとシャフトは夫々ウェーハ容器本体内に上下２段に配置するようにしたウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
【請求項４】
請求項１記載のウェーハ押さえは、袋状に形成し、上記フックとシャフトとの摺動部を被覆するようにしたウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハ保管容器本体の内壁に取り付けられ、ウェーハ収納の際に不揃いなウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器本体を運搬する際にウェーハの横ずれを防止する機能を果たすウェーハ押さえ具に係り、特に、ウェーハ保管容器本体からの着脱が簡便となるように改良したウェーハ押さえ具に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積度が２５６Ｍビットを超すＬＳＩの量産期には、微粒子のみならず空気中に含まれる各種汚染ガスが歩留まりに悪影響を及ぼすと考えられており、ウェーハを微粒子や種々の空気中の汚染物質から保護する目的で、ウェーハ保管容器が開発されている。
【０００３】
従来のウェーハ保管容器の構成を図４を用いて説明する。
同図に示すようにウェーハ保管容器８は、ウェーハ保管容器本体１、蓋２、１対のウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂ及び２対のリンク１４ａ〜１４ｄから構成されている。リンク１４ａ〜１４ｄはウェーハ保管容器本体１の内壁及びウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂに取り付けられ、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂの動きに伴って自由に回動できるようになっている。
また、ウェーハ保管容器本体１及び蓋２は樹脂製が一般的であるが、ウェーハ保管容器８を洗浄してベーキングが必要な用途に対しては、熱に耐えられるように金属製となっていることもある。
しかし、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂとリンク１４ａ〜１４ｄは摺動部を含むため発塵しにくい樹脂製になっていることが多い。
【０００４】
次に、ウェーハ保管容器８の従来のウェーハ押さえ具９の作用を図５を用いて説明する。
同図（Ａ）には、ウェーハ２０を収納するウェーハ収納カセット２１を蓋２の上部に置き、カセット２１がウェーハ保管容器本体の１内部に完全に収納される前のウェーハ保管容器８の状態が示されている。この場合には、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂとカセット２１内部の全てのウェーハ２０が接触しておらず、カセット２１内部のウェーハ２０の位置が不揃いである。
【０００５】
ところで、この状態で蓋２を押し上げると蓋２の上面とウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂの下面とが接触してウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂが持ち上げられる。それにより、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂはリンク１４ａ〜１４ｄの作動によりウェーハ収納カセット２１側に押し出されることになる。
従って、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂは不揃いであったウェーハ２０の位置を揃える機能を果たす。この状態のウェーハ保管容器の状態を図５（Ｂ）に示す。
更に、ウェーハ押さえ１３ａ、１３ｂはウェーハ保管容器８を運搬する際のウェーハ２０の横ずれを防止する機能も果たしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ウェーハ保管容器の使用頻度、使用目的に応じて、ウェーハ保管容器を洗浄してベーキングをする必要がある。
前述のように、ウェーハ押さえ及びリンクは摺動部を含むため発塵しにくい樹脂製になっていることが多いが、樹脂は熱に弱いためベーキングを行う際には、ウェーハ押さえ及びリンクを取り外す必要がある。
しかし、ウェーハ保管容器本体に対するリンクの取り付けは、図示は省略したが、ねじを利用しているため、簡単には取り外しができないようになっている。
また、ベーキングを目的としない場合でも、ウェーハ保管容器の分解・組立の作業を行う必要があり、ウェーハ押さえとリンクの取り付け、取り外しに時間と手間が掛かってしまうという問題があった。
本発明は、上記従来のものの課題（問題点）を解決するために、ウェーハ保管容器本体からの着脱が簡便なウェーハ押さえ具を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のウェーハ押さえ具は、ウェーハ保管容器において、ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを設け、このフックに係合するウェーハ押さえを備え、上記係合は、フックに対して垂直方向から斜め下方向に向かうように形成した溝と左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトとを係合することによって行うように構成した。
このように構成すると、ウェーハ押さえ具のウェーハ保管容器本体からの着脱は容易である。
【０００８】
また、これに代え、ウェーハ保管容器本体の内壁にフックを介してシャフトを設け、このシャフトに係合するウェーハ押さえを備え、上記係合をシャフトに対して側面方向から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成した溝に対して、左右一対のウェーハ押さえを連結するシャフトとを係合することによって行うように構成しても同様な効果を有する。
【０００９】
この場合、上記のフックとシャフトは夫々ウェーハ容器本体内に上下２段に配置するのが望ましい。
【００１０】
さらに、上記ウェーハ押さえを、袋状に形成し、上記フックとシャフトとの摺動部を被覆するように構成すれば、シャフトが溝の案内に沿って滑るときに発生する微粒子の飛散を当該ウェーハ押さえにより防止することが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
第１の実施の形態：
本発明の第１の実施の形態の構成を、図１（Ａ）、（Ｂ）を用いて説明する。
同図（Ａ）は、本発明であるウェーハ押さえ具７の要部縦断側面図で、同図（Ｂ）は上面図である。
本発明のウェーハ押さえ具７は、同図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェーハ保管容器本体１の内壁に上下２段に設けた各１対のフック６ａ〜６ｄ、２本のシャフト４ａ、４ｂを貫通して一体に設けたウェーハ押さえ３ａ、３ｂを備え、このウェーハ押さえ３ａ、３ｂをシャフト４ａ、４ｂの両端をフック６ａ〜６ｄの後述する溝５ａ〜５ｄに係合することで支承するような構成となっている。
なお、各フック６ａ〜６ｄに設けられる溝５ａ〜５ｄは、図１（Ａ）に示すように垂直方向から所定角度折れ込むようにし、垂直方向の溝と所定角度の溝とを連通して形成される斜め上方向に向かう溝となるように形成される。
従って、各ウェーハ押さえ３ａ、３ｂを貫通して設けられたシャフト４ａ、４ｂの両端は夫々各１対のフック６ａ、６ｃ及び６ｂ、６ｄの各溝５ａ、５ｃ及び５ｂ、５ｄに係合され、最終的には各溝の底部により支承される。
以上で、本発明の第１の実施の形態のウェーハ押さえ具７は構成される。
【００１２】
本実施の形態の場合も、各ウェーハ押さえ３ａ、３ｂにより不揃いのウェーハも従来のものと同様に整理される。
次に、ウェーハ押さえ具７を解体するときは、ウェーハ押さえ具７を上方に持ち上げるだけでシャフト４ａ、４ｂが溝５ａ〜５ｄに案内され、フック６ａ〜６ｄの溝５ａ〜５ｄは上方が開放されているため、シャフト４ａ、４ｂと一体化したウェーハ押さえ３ａ、３ｂを容易に取り外すことができ、かつ取り付けも簡便である。なお、フック６ａ〜６ｄは金属製であり、上記の通りウェーハ保管容器１の内壁に固定されている。
また、ウェーハ押さえ３ａ、３ｂとシャフト４ａ、４ｂは発塵のしにくい樹脂製であるため、熱に弱く、ベーキング等の際には取り外しをしなければならないが、この取り外しは、上記のように簡便に行うことができる。
【００１３】
第２の実施の形態：
本発明の第２の実施の形態の構成を図２により説明する。
本実施の形態のものでは、フック６ａ〜６ｄには溝を設けず、これに代えウェーハ押さえ３ａ、３ｂ側に溝５ａ〜５ｄを設けるようにしたものである。図２（Ａ）に示すように、ウェーハ保管容器１の内壁に金属製のシャフト４ａ、４ｂをフック６ａ〜６ｄを介して固定し、このシャフト４ａ、４ｂが係合する溝５ａ〜５ｄをウェーハ押さえ３ａ、３ｂの方に、図２（Ａ）に示すように側面方向から斜め上方向に向かい、それから垂直方向に向かうように形成される。従って、ウェーハ押さえ３ａ、３ｂを持ち上げて、シャフト４ａ、４ｂに係合させると、シャフト４ａ、４ｂは溝５ａ〜５ｄに案内され、嵌着される。この場合、溝５ａ〜５ｄの下方が開放されているため簡便に取り付け、取り外しが可能である。
【００１４】
本実施の形態のものでも、上述の溝５ａ〜５ｄを斜め上方向に向かい、それから垂直方向に所定角度折れ込むような縦方向の形状とすることにより、第１の実施の形態と同様ウェーハ押さえ３ａ、３ｂが蓋（図示せず）に持ち上げられることによりウェーハ収納カセット（図示せず）方向に押し出され、ウェーハカセット収納時にウェーハ２０の位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器の運搬時にウェーハ２０の横ずれを防止できる。
【００１５】
第３の実施の形態：
第１の実施の形態の変形例である本発明の第３の実施の形態の構成を図３（Ａ）、（Ｂ）により説明する。
本実施の形態のウェーハ押さえ具７Ａは、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェーハ押さえ３ａ′、３ｂ′を中空部を有する袋状に形成し、このウェーハ押さえ３ａ′、３ｂ′をフック６ａ〜６ｄに形成した溝５ａ〜５ｄとシャフト４ａ、４ｂとの摺動部を縦方向に被覆するように構成される。このように構成すると、シャフト４ａ、４ｂが溝５ａ〜５ｄの案内に沿って滑るときに発生する微粒子の飛散をウェーハ押さえ３ａ′、３ｂ′を盾にして防止することができる。
なお、図３（Ａ）は、上記ウェーハ押さえ３ａ′、３ｂ′を溝５ａ〜５ｄとシャフト４ａ、４ｂとの摺動部に取り付けた状態での縦断側面図であり、また同図（Ｂ）はその上面図である。
【００１６】
本発明は、上記各実施の形態には制限を受けない。
即ち、上述の各実施の形態では、フックを上下２段に構成した例を示したが、これは２段１体の構成としても良い。
また、本発明は溝の形状や、ウェーハ押さえ具を構成する各部分の材質によっては制限されない。
例えば、図１及び図２に示した溝５ａ〜５ｄの形状とは異なり、着脱がより容易な滑らかな曲線を成型する改良も考えられる。また、上記ではウェーハ押さえ３ａ、３ｂやシャフト４ａ、４ｂが発塵しにくい樹脂製と述べたが、これとは異なる材質であっても本発明が適用されるのは勿論のことである。
【００１７】
【発明の効果】
本発明のウェーハ保管容器のウェーハ押さえ具は、引っかけ方式でウェーハ保管容器本体の内壁から着脱する方式としたため、従来のものに比較して、以下のような優れた効果を有する。
（１）ウェーハ保管容器を分解洗浄したり、ベーキングを行ったりするにはウェーハ押さえ具を取り外すときに、従来のものでは時間と手間がかかっていたが、本発明のウェーハ押さえ具ではシャフトと溝との引っ掛け方式で着脱するようにしたから、非常に簡便に着脱が行えるようになる。
（２）また、フックまたはウェーハ押さえ自体に成型した溝を垂直方向から所定角度折れ曲がる形状とすることにより、上記の引っ掛けによる係合が確実に行われるため、ウェーハカセット収納時にウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器運搬時にウェーハの横ずれを確実に防止できる。
（３）更に、ウェーハ押さえを中空部を有する袋状に形成し、当該ウェーハ押さえを上記フックに形成した溝と上記シャフトとの摺動部を縦方向に被覆するように設けることにより、ウェーハの位置を揃えると共に、ウェーハ保管容器運搬時にウェーハの振動を防止するために必要なウェーハ押さえの機構を、微粒子による汚染の心配なく動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、同図（Ａ）はウェーハ押さえ、シャフト、フックより構成されるウェーハ押さえ具の要部縦断側面図であり、同図（Ｂ）は上面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す図で、同図（Ａ）はウェーハ押さえ、シャフトから構成されるウェーハ押さえ具の要部縦断側面図であり、同図（Ｂ）は上面図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す図で、同図（Ａ）はウェーハ押さえを溝とシャフトとの摺動部に取り付けた状態での縦断側面図であり、また同図（Ｂ）はその上面図である。
【図４】従来のウェーハ保管容器の構成を示す縦断側面図である。
【図５】従来のウェーハ保管容器の機能を示す図であり、同図（Ａ）はウェーハ入りカセットを収納する前のウェーハ保管容器の縦断側面図、同図（Ｂ）はウェーハ入りカセット収納後のウェーハ保管容器の縦断側面図である。
【符号の説明】
１：ウェーハ保管容器本体
２：ウェーハ保管容器の蓋
３ａ、３ｂ：ウェーハ押さえ
４ａ、４ｂ：シャフト
５ａ〜５ｄ：溝
６ａ〜６ｄ：フック
７、７Ａ：ウェーハ押さえ具
８：ウェーハ保管容器
２０：ウェーハ
２１：ウェーハ収納用カセット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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