(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
カッタに振動を付与してワークにスクライブ線を形成するスクライブ装置であって、
振動を発生する振動発生部と、
前記カッタが取り付けられ、前記振動発生部の振動を前記カッタに伝える軸と、
前記軸がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内手段と、
前記カッタから前記ワークに加えられる荷重を調整する荷重調整手段とを備え、
前記軸の外周には軸線方向に延びる転動体転走部が形成され、
前記案内手段は、前記軸に嵌まり合い、内周に前記転動体転走部に対応する転動体転走部が形成される外筒と、前記軸の前記転動体転走部と前記外筒の前記転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、を備え、さらに、
前記案内手段は、前記荷重調整手段によって前記軸が移動するのを案内し、且つ、前記振動発生部によって前記軸が振動するのを案内することを特徴とするスクライブ装置。
【請求項２】
前記スクライブ装置はさらに、前記カッタを前記ワークに沿って移動させる移動機構を備えることを特徴とする請求項１に記載のスクライブ装置。
【請求項３】
前記振動発生部の中心線と前記軸の中心線が実質的に一直線になることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクライブ装置。
【請求項４】
前記振動発生部は収納ケースに収納され、該収納ケースには前記軸の振動を前記振動発生部の振動に追従させるために皿状に形成されたばねが設けられることを特徴とする請求項１ないし３いずれかに記載のスクライブ装置。
【請求項５】
カッタに振動を付与してワークにスクライブ線を形成するスクライブ装置であって、
前記ワークに対して移動可能なテーブルと、
振動を発生する振動発生部と、
前記カッタが取り付けられ、前記振動発生部の振動を前記カッタに伝える軸と、
前記テーブルに取り付けられ、前記軸がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部と、
磁力を用いて前記カッタから前記ワークに加えられる荷重を調整する磁石と、
を備え、
前記軸の外周には軸線方向に延びる転動体転走部が形成され、
前記案内部は、
前記軸に嵌まり合い、内周に前記転動体転走部に対応する転動体転走部が形成される外筒と、
前記軸の前記転動体転走部と前記外筒の前記転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、
を備えることを特徴とするスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス、半導体等の脆性材料からなるワークにスクライブ線を形成するスクライブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来からワークの表面にスクライブ線を形成するスクライブ装置が知られている。振動させたカッタをワークの表面に押し付けると、ワークの表面に厚さ方向に延びる縦クラックが発生する。ワークの表面に沿ってカッタを移動させると、ワークの表面に連続したスクライブ線（亀裂）が形成される。ワークにスクライブ線を形成した後、スクライブ線に沿ってワークを折り曲げるとワークが切断される。
【０００３】
図７は、出願人が提案したスクライブ装置を示す。このスクライブ装置はカッタ１を振動させるスクライブ本体２を備える。スクライブ本体２のハウジング３には、振動発生部としての圧電素子が収納されている。ハウジング３の下部からは軸４が突出し、この軸４はハウジング３内に設けた案内部によって上下方向に直線運動可能に案内されている。軸４の下端にはカッタ１が取り付けられる。カッタには、例えば四角錐形状に形成されたダイヤモンド四角錐工具が使用される。圧電素子を振動させると、軸４が振動し、軸４と一緒にカッタ１が振動する。
【０００４】
ハウジング３はスライドブロック５に取り付けられ、このスライドブロック５は案内部７（例えば直動ガイド）を介してテーブル６に取り付けられる。この案内部７は、スライドブロック５、ハウジング３、軸及びカッタ１で構成されるスクライブ本体２をテーブル６に対して直線運動可能に案内する。テーブル６は移動機構１０によってワーク９に対して移動される。
【０００５】
スクライブ本体２側及びテーブル６側それぞれに取り付けられる一対の磁石８ａ，８ｂは、互いに反発し、カッタ１からワークに加えられる静荷重を調整する。磁石８ａ，８ｂの反発力によってカッタ１を浮き上がらせると、カッタ１からワーク９に加わる静荷重（振動発生部が振動していないときにカッタからワークに加わる荷重）が調整される。このときスクライブ本体２は、案内部７によって浮き上がるのが案内されている。
【０００６】
上記スクライブ装置によれば、カッタ１を振動させることができると共に、カッタ１からワーク９に加わる静荷重をワークの種類、厚さ等に応じて最適に調整することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のスクライブ装置では、スクライブ本体２が浮き上がるのを案内する浮上用の案内部７と、軸４が振動するのを案内する振動用の案内部とが別々に設けられ、しかも浮上用の案内部７と振動用の案内部とは左右方向に位置が距離Ｌだけずらされている。このため、軸４が振動するとスクライブ本体２を片持ち支持する浮上用の案内部７にモーメント荷重が発生する。
【０００８】
モーメント荷重が発生すると、縦方向（図中上下方向）だけでなく、横方向（図中左右方向）にもカッタ１が振動する。カッタ１が横方向に振動すると、カッタ１からワーク９に加えられる荷重に横方向の分力が生じてしまい、これによりワーク９の表面に水平クラック等が生じ、ワーク９の品位が悪くなるおそれがある。
【０００９】
また振動発生部が振動すると、カッタ１のみならずスクライブ本体２も振動するが、案内部７に働くモーメント荷重によって案内部７の追従性が悪くなり、このためスクライブ本体２が振動するときに抵抗が生じる。
【００１０】
さらに浮上用の案内部７と振動用の案内部を別に設けると、スクライブ本体の構造が複雑化し、スクライブ本体の質量が大きくなる。ワーク９の平坦度が悪い場合や、一旦形成したスクライブ線に交差するようにカッタを移動させる場合は、スクライブ本体２が上下に浮き沈むので、スクライブ本体の全体の質量が大きくなると、スクライブ本体の慣性力が大きくなる。このため、カッタ１からワーク９に加えられる荷重の変動も大きくなる。
【００１１】
そこで、本発明は、カッタが横方向に振動するのを抑え、カッタを縦方向にのみ振動させることができるスクライブ装置を提供する。
【００１２】
また本発明のさらに他の目的は、構造を単純にして振動する部分の質量を軽減することができるスクライブ装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。
【００１４】
本発明者は上記課題を解決するために、浮上用の案内部と振動用の案内部とを兼用し、スクライブ本体の構造を簡略化した。
【００１５】
具体的には請求項１の発明は、カッタ（１２）に振動を付与してワーク（１１）にスクライブ線（１３）を形成するスクライブ装置であって、振動を発生する振動発生部（１４）と、前記カッタ（１２）が取り付けられ、前記振動発生部（１４）の振動を前記カッタ（１２）に伝える軸（１５）と、前記軸（１５）がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内手段（２８）と、前記カッタ（１２）から前記ワーク（１１）に加えられる荷重を調整する荷重調整手段（１７ａ，１７ｂ）とを備え、前記軸（１５）の外周には軸線方向に延びる転動体転走部（１５ａ）が形成され、前記案内手段（２８）は、前記軸（１５）に嵌まり合い、内周に前記転動体転走部（１５ａ）に対応する転動体転走部（１６ａ）が形成される外筒（１６）と、前記軸（１５）の前記転動体転走部（１５ａ）と前記外筒（１６）の前記転動体転走部（１６ａ）との間に介在される複数の転動体と、を備え、さらに、前記案内手段（２８）は、前記荷重調整手段（１７ａ，１７ｂ）によって前記軸（１５）が移動するのを案内し、且つ、前記振動発生部（１４）によって前記軸（１５）が振動するのを案内することを特徴とするスクライブ装置により、上述した課題を解決する。
【００１６】
この発明によれば、振動発生部によって軸が振動するのを案内する案内手段と、荷重調整手段によって軸が移動（例えば浮上）するのを案内する案内手段とを兼用することができる。このため、従来のスクライブ装置のように案内手段を別々に設けることによってモーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタが横振れするのを防止することができ、カッタを縦方向にのみ円滑に振動させることができる。
【００１７】
また案内手段を兼用することで、構造を簡単にすることができ、振動する部分の質量も軽量化することができる。これにより、荷重の変動を小さくすることができる。
【００１８】
さらにこの発明によれば、軸の周囲を外筒で案内しているので、軸が振動するときに軸を安定して案内することができる。また軸と外筒との間には転動体が介在されるので、軸が外筒に対して振動するときに生じる抵抗も小さくなる。
なお、案内手段には軸が往復運動するのを案内することができれば種々のものを用いることができ、例えばリニアガイド、ボールスプラインガイド、ボールブッシュガイド、すべり軸受けガイド等を用いることができる。
【００１９】
請求項２の発明は、請求項１に記載のスクライブ装置において、前記スクライブ装置はさらに、前記カッタ（１２）を前記ワーク（１１）に沿って移動させるための移動機構（１９）を備えることを特徴とする。
【００２０】
カッタをワークに沿って移動させると、ワークにスクライブ線が形成される。
【００２３】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載のスクライブ装置において、前記振動発生部（１４）の中心線と前記軸（１５）の中心線が実質的に一直線になることを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、振動発生部の中心線方向の振動を軸に効率良く伝えることができる。これに対し、振動発生部の中心線と軸の中心線がずれると軸にモーメント荷重が加わってしまう。
【００２５】
請求項４の発明は、請求項１ないし３いずれかに記載のスクライブ装置において、前記振動発生部（１４）は収納ケース（２４）に収納され、該収納ケース（２４）には前記軸（１５）の振動を前記振動発生部（１４）の振動に追従させるために皿状に形成されたばね（２９）が設けられることを特徴とする。
【００２６】
振動発生部は中心線の方向への振動のみならず、中心線の方向以外への振動を発生させる場合がある。この発明によれば、皿状に形成されたばねによって、振動発生部は中心線の方向への振動のみが引き出され易くなる。
【００２７】
また本発明は、請求項５に記載のように、カッタ（１２）に振動を付与してワーク（１１）にスクライブ線（１３）を形成するスクライブ装置であって、前記ワーク（１１）に対して移動可能なテーブル（１８）と、振動を発生する振動発生部（１４）と、前記カッタ（１２）が取り付けられ、前記振動発生部（１４）の振動を前記カッタ（１２）に伝える軸（１５）と、前記テーブル（１８）に取り付けられ、前記軸（１５）がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部（２８）と、磁力を用いて前記カッタ（１２）から前記ワーク（１１）に加わる荷重を調整する磁石（１７ａ，１７ｂ）と、を備え、前記軸（１５）の外周には軸線方向に延びる転動体転走部（１５ａ）が形成され、前記案内部（２８）は、前記軸（１５）に嵌まり合い、内周に前記転動体転走部（１５ａ）に対応する転動体転走部（１６ａ）が形成される外筒（１６）と、前記軸（１５）の前記転動体転走部（１５ａ）と前記外筒（１６）の前記転動体転走部（１６ａ）との間に介在される複数の転動体と、を備えることを特徴とするスクライブ装置としても構成することができる。
【００２８】
この発明によれば、振動発生部によって軸が振動するのを案内する案内部と、磁石によって軸が浮上するのを案内する案内部とを兼用することができる。このため、従来のスクライブ装置のように案内部を別々に設けることによってモーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタが横振れするのを防止することができ、カッタを縦方向にのみ振動させることができる。
【００２９】
また案内部を兼用することで、構造を簡単にすることができ、振動する部分の質量も軽量化することができる。これにより、荷重の変動を小さくすることができる。
【００３０】
また案内部を兼用することで、構造を簡単にすることができ、スクライブ本体のも軽量化することができる。これにより、荷重の変動を小さくすることができ、薄いワークにも良好なスクライブ線を形成することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１及び図２は、本発明の第１の実施形態におけるスクライブ装置を示す。このスクライブ装置は、ガラス、半導体、セラミクス等の脆性材料からなる薄板状のワーク１１の表面に厚さ方向に延びるスクライブ線を形成する。ワーク１１の表面にはカッタ１２が当接している。カッタ１２を振動すると、ワーク１１の表面部分に垂直な縦クラックが発生する。カッタ１２をワーク１１に沿って移動させると、ワーク１１には縦クラックが連続した亀裂、すなわちスクライブ線１３が形成される。
【００３２】
スクライブ装置は、振動を発生する振動発生部１４と、下端部にカッタ１２が取り付けられ、振動発生部１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１５がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部２８（案内手段）と、磁力を用いてカッタ１２からワーク１１に加わる荷重（主に静荷重）を調整する一対の磁石１７ａ，１７ｂ（荷重調整手段）とを備える。案内部２８は移動機構１９によって移動されるテーブル１８に取り付けられる。移動機構１９は、カッタ１２がワーク１１に沿って移動することができるように、テーブル１８をＸＹ２軸方向、あるいはＸＹＺ３軸方向等に移動される。
【００３３】
カッタ１２には、四角錐形状に形成されたダイヤモンド四角錐工具が使用される。ワーク１１が薄い場合にはダイヤモンド四角錐工具が使用されるが、ワーク１１が厚い場合あるいはワーク１１がガラス等からなる場合には算盤玉状に形成されたホイール工具が使用されることもある。
【００３４】
振動発生部１４には、例えば外部電界を加えると歪を生じる圧電素子（ピエゾアクチュエータ）が用いられる。圧電素子に印加する電圧を所定の周波数で変化させると、圧電素子が周期的に伸縮する。外部電界を加えることによって圧電素子に応力が発生し、この応力がカッタ１２に伝わる。カッタ１２に応力が伝わると、ワーク１１の表面に四角錐の凹みと共に垂直クラックが形成される。
【００３５】
振動発生部１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５は、断面略円形をなし、軸１５の中心線の方向に直線運動可能に案内部２８に支持される。軸１５の下端側には工具保持部２０が設けられる。一方軸１５の上端は振動発生部１４に連結されている。軸１５の外周には軸線方向に延びる複数列の転動体転走部としてのボール転走溝１５ａが形成される（図３及び図４参照）。なお、軸１５の形状は円形でなくでも四角形等の多角形であってもよい。また軸１５は、軸線方向において断面形状が変化してもよい。さらに軸１５は、中実に形成されても中空に形成されてもよい。
【００３６】
振動発生部１４の中心線と軸１５の中心線とは、振動発生部１４の中心線方向の振動を軸１５に効率良く伝えることができるように実質的に一直線になっている。仮に振動発生部１４の中心線と軸１５の中心線がずれると軸１５にモーメント荷重が加わってしまう。
【００３７】
軸１５がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部２８は、軸に嵌まり合う外筒２１と、軸１５と外筒２１との間に介在される複数の転動体としてのボール２２…とから構成される。案内部２８はブラケットを介してテーブル１８に取り付けられている。この案内部２８は、一対の磁石１７ａ，１７ｂの浮力によって軸１５が移動（例えば浮上）するのを案内する機能と、振動発生部１４によって軸１５が振動するのを案内する機能とを兼用する。
【００３８】
図３ないし図５は案内部２８の一例を示す。図３は案内部２８の斜視図を示し、図４は案内部２８の正面図を示し、図５は案内部２８の側面図を示す。スプライン軸のように形成された軸１５には軸線方向に延びる複数列のボール転走溝１５ａが形成される。軸１５に嵌め込まれる外筒２１の内周には、軸１５に形成されたボール転走溝１５ａに対応し、軸線方向に延びる複数列の転動体転走部としてのボール転走溝２１ａが形成される。軸１５のボール転走溝１５ａと外筒２１のボール転走溝２１ａとの間には、複数のボール２２…が転がり運動可能に介在される。外筒２１の内部には、ボール２２…を循環させる無限循環経路が形成されると共に複数のボール２２…を保持する保持器３４が組み込まれる。外筒２１に対する軸１５の相対的な直線運動によってボール２２…が外筒２１と軸１５との間を転がり運動する。ボール２２…は転がり運動しながら、無限循環路を循環する。なお軸１５の振幅が小さく設定されることを考慮すると、ボールを循環させる無限循環経路を設けない有限循環路も採用しうる。また案内部２８には、軸１５が往復運動するのを案内することができれば種々のものを用いることができ、上述のボールスプラインガイド以外に、例えばリニアガイド、ボールブッシュガイド、すべり軸受けガイド等も用いることができる。
【００３９】
図１に示すように、磁力を用いてカッタ１２に浮力を与える磁石１７ａ，１７ｂは、軸１５が振動する方向に離間された一対の永久磁石からなる。磁石１７ａ，１７ｂのうち一方１７ａはテーブル１８側に取り付けられ、他方１７ｂは振動するスクライブ本体２３側（この実施形態では振動発生部１４が収納される収納ケース２４）に取り付けられる。テーブル１８にはブラケット２５が固定されており、このブラケット２５に磁石１７ａが取り付けられる。収納ケース２４にもブラケット２６が固定されており、このブラケット２６に磁石１７ｂが取り付けられる。ここで磁石１７ｂは収納ケースに取り付けられているが、振動するスクライブ本体２３側のいずれの部分（例えば軸１５）に取り付けられてもよい。磁石１７ａ，１７ｂは互いに同極（例えばＮ極同士）が対面しており、永久磁石１７ａ，１７ｂ間に働く反発力によってカッタ１２からワーク１１に加わる静荷重が減じられる。
【００４０】
なお、カッタ１２からワーク１１に加わる静荷重を変化させることができるように、磁石１７ａは図示しないマイクロメータ等の位置調整機構を用いてその高さが調整されてもよい。また永久磁石の代わりに、磁力を調整可能な電磁石を用いてもよい。さらに磁石１７ａ，１７ｂは、その中心が軸の中心線上に位置するリング状に形成されてもよい。
【００４１】
振動発生部１４は収納ケース２４に収納される。振動発生部１４の下端は軸１５の上端に設けたホルダ２７に当接していて、振動発生部１４の上端は収納ケース２４の上部に設けた調整ねじ２８に当接している。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を振動発生部１４の振動に追従させるためばね２９が設けられる。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿状に形成される。ばね２９はその弾性復元力でホルダ２７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４に取り付けられた調整ねじ２８との間で振動発生部１４に与圧（振動発生部１４を軸方向に圧縮する力）を与えている。振動発生部１４が振動する際にカッタ１２がワーク１１から跳ね上がるのを防止するために、収納ケース２４に錘が取り付けられてもよいし、あるいは収納ケース２４を下方側に付勢するばね、磁石等を設けても良い。
【００４２】
このスクライブ装置の系は、振動発生部１４を挟んで質量Ｍ１（軸１５及びカッタ１２の質量）の錘と、質量Ｍ２（収納ケース２４及び浮き上がり防止用の錘の質量等）の錘が存在するモデルに近い。このため、振動発生部１４に生じる応力を効率良くカッタ１２に伝達するためには、振動発生部１４の両側に設けられる質量Ｍ１と質量Ｍ２の錘のバランスを最適に設定することが重要である。一般的には質量Ｍ２を質量Ｍ１よりも大きくすれば、振動発生部１４に生じる応力を効率良くカッタ１２に伝達することができる。
【００４３】
上記スクライブ装置の使用方法を説明する。まず、水平のベース３０にワーク１１を位置決めして水平にセットする。移動機構１９によりテーブル１８をワーク１１に対して水平移動させると、カッタ１２がワーク１１の縁に当たってからワーク１１の上面に乗り上げる。カッタ１２がワーク１１に載り上げると、カッタ１２からワーク１１に静荷重が付与される。ここで磁石１７ａの高さを調整すると、磁力による反発力の分だけ静荷重が減じられ、静荷重が調整される。静荷重を大きくしすぎると、ワーク１１の表面に横クラックが発生してしまうことがある。逆に、静荷重をあまりに小さくしすぎると、スクライブ本体２３を振動させたとき、カッタ１２がワーク１１から浮き上がり、ワーク１１の表面にダメージを与える。静荷重の大きさはワーク１１の材質や厚さに応じて設定される。
【００４４】
所定の静荷重が得られたら、振動発生部１４に高周波電界をかけて振動発生部１４を周期的に振動させる。振動発生部１４の振動は軸を介してカッタ１２に伝わる。カッタ１２が振動するとワーク１１の上面には凹み、並びにこの凹みに連なって垂直クラックが形成される。
【００４５】
本発明では、振動発生部１４によって軸が振動するのを案内する案内部２８と、磁石１７ａ，１７ｂによって軸１５が浮上するのを案内する案内部２８とを兼用している。このため、従来のスクライブ装置のように案内部を別々に設けることによってモーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタ１２が横振れするのを防止することができ、カッタ１２を縦方向にのみ振動させることができる。
【００４６】
カッタ１２を振動させながら移動機構１９によってテーブルを水平方向に移動すると、ワーク１１の表面部分に縦クラックからなるスクライブ線１３が形成される。スクライブ線１３が形成されたワーク１１は、ベース３０から取り外され、図示しない破断装置によりスクライブ線に沿って破断される。
【００４７】
図６は、本発明の第２の実施形態におけるスクライブ装置を示す。この実施形態のスクライブ装置も、振動を発生する振動発生部１４と、下端部にカッタ１２が取り付けられ、振動発生部１４の振動をカッタ１２に伝える軸１５と、軸１５がその中心線方向に直線運動するのを案内する案内部２８と、磁力を用いてカッタ１２からワーク１１に加わる荷重を調整する一対の磁石（図示せず）とを備える。案内部２８は移動機構によって移動されるテーブル（図示せず）に取り付けられている。
【００４８】
この実施形態では、振動発生部として磁界を加えると磁性体に歪を生じる磁性材料が用いられ、具体的には特により変位量の大きい超磁歪素子３１が用いられている。
【００４９】
超磁歪素子３１の周囲には磁界を与えるためのコイル３２が巻かれている。この超磁歪素子３１も収納ケース２４に収納される。超磁歪素子３１の下端は軸１５の上端に設けたホルダ２７に当接していて、超磁歪素子３１の上端は収納ケース２４の上部に当接している。収納ケース２４の下部には、軸１５の振動を超磁歪素子３１の振動に追従させるためばね２９が設けられる。このばね２９は、周方向の断面形状が一定となる皿状に形成される。ばね２９は、その弾性復元力でホルダ２７を上方に付勢し、ホルダ２７と収納ケース２４の上部との間で超磁歪素子３１に与圧（超磁歪素子３１を軸方向に圧縮する力）を与えている。
【００５０】
超磁歪素子３１に印加する磁界を所定の周波数で変化させると、超磁歪素子３１が周期的に伸縮する。すなわち外部磁界を加えることによって、超磁歪素子３１に応力が発生し、この応力がカッタ１２に伝わる。一般に超磁歪素子３１はその発生応力が圧電素子よりも大きい。このため、超磁歪素子３１は、カッタ１２に大きな応力が伝わるのが望ましいガラス等を切断するときに用いられる。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、振動発生部によって軸が振動するのを案内する案内手段と、静荷重調整手段によって軸が移動（例えば浮上）するのを案内する案内手段とを兼用しているので、従来のスクライブ装置のように案内手段を別々に設けることによりモーメント荷重が生じることがない。したがって、カッタが横振れするのを防止することができ、カッタを縦方向にのみ円滑に振動させることができる。また案内手段を兼用することで、構造を簡単にすることができ、振動する部分の質量も軽量化することができる。これにより、荷重の変動を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるスクライブ装置を示す正面図。
【図２】上記図１のスクライブ装置の側面図。
【図３】上記図１のスクライブ装置の案内部を示す斜視図。
【図４】上記案内部の正面図（一部断面を含む）。
【図５】上記案内部の側面図（一部断面を含む）。
【図６】本発明の第２の実施形態におけるスクライブ装置を示す垂直方向断面図。
【図７】従来のスクライブ装置を示す図。
【符号の説明】
１１…ワーク
１２…カッタ
１３…スクライブ線
１４…振動発生部
１５…軸
１５ａ…ボール転走部（転動体転走部）
１６ａ…ボール転走部（転動体転走部）
１６…外筒
１７ａ，１７ｂ…磁石（荷重調整手段）
１８…テーブル
１９…移動機構
２２…ボール（転動体）
２４…収納ケース
２８…案内部（案内手段）
２９…ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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