(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査装置であって、
シャドウマスクの一方の面側には、拡散板を介して、光をシャドウマスクへ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部と、シャドウマスクの他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔の長手方向に略平行に設けられたラインセンサと、ラインセンサからの画像データ信号を処理するデータ処理部とを備えたもので、前記データ処理部は、
ラインセンサからの画像データ信号群を取り込む、シャドウマスクの搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリと、
基準データを格納する基準データメモリと、前記入力画像データメモリに格納された入力画像データを、前記基準データと比較して規格化する規格化演算部と、
規格化された画像データを格納する規格化画像データメモリと、
前記規格化画像データメモリの規格化された画像データを所定の許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行う第一の比較部と、
前記規格化画像データメモリの規格化された画像データを所定の許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行う第二の比較部と、
前記第一の比較部にて２値化された２値化データを格納する第一の２値化データメモリと、
前記第二の比較部にて２値化された２値化データを格納する第二の２値化データメモリと、
前記第一の２値化データメモリ及び前記第二の２値化データメモリの２値化データに対して、相前後して拡大演算処理、縮小演算処理を施す一つの拡大演算処理部・縮小演算処理部と、
前記拡大演算処理部・縮小演算処理部により拡大演算処理、縮小演算処理が施された２値化データに対し、値１の画素の数をカウントする画素数カウント部と、
前記画素数カウント部でカウントされた画素の数が所定数未満であるか否かでムラの良否を判定する第一の判定部と、
を有することを特徴とするスリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記データ処理部は、規格化画像データメモリに格納された規格化された画像データを、
−Ｓ３  ≦（１−Ｍ（ｍ、ｎ））  ≦＋Ｓ３          
（但し、Ｍ（ｍ、ｎ）は規格化画像データメモリのデータ、ｍ、ｎは規格化画像データメモリの行番号、列番号、Ｓ３は所定の許容値（正数）を示す。）
と比較し、上記の式に当てはまらないものを値１、当てはまるものを値０とし、２値化する第三の比較部と、
前記第三の比較部にて２値化された２値化データを格納する第三の２値化データメモリと、
前記第三の２値化データメモリの２値化データに対して、値１の画素の数が所定数未満であるか否かで良否を判定する第２の判定部と、
を有することを特徴とするスリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査装置。
【請求項３】
スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査方法であって、
シャドウマスクの一方の面側には、拡散板を介して、光をシャドウマスクへ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部を配し、シャドウマスクの他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔長手方向に略平行に設けられたラインセンサを配し、ラインセンサからの画像データ信号をデータ処理部にて処理するもので、順に、
ラインセンサからの画像データ信号群を、シャドウマスクの搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリに取込む画像データ取込み工程と、
前記入力画像データメモリに取り込まれた入力画像データを、基準データメモリに格納された対応する基準データと比較して規格化し、規格化された画像データを生成する画像データ規格化工程と、
第一の比較部で、前記規格化された画像データを、所定の許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、第二の比較部で、前記規格化された画像データを、所定の許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、前記第一の比較部及び前記第二の比較部で得られた２値化データに対し、拡大演算処理部・縮小演算処理部において拡大演算処理、縮小演算処理を相前後して施し、この拡大演算処理、縮小演算処理が施された２値化データに対し、値１の画素の数をカウントし、カウントされた画素の数が所定数未満であるか否かでムラの良否を判定する工程と、
を有することを特徴とするスリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，カラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクの検査装置および検査方法に関し、特に、シャドウマスクのムラ領域を抽出するための検査装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるシドウマスクは、高い解像性の要求に対し、当初はシャドウマスク自体の高精度な加工にて対応してきたが、近年、シャドウマスクを陰極線管（ＣＲＴ）に組み込み色選別に用いた際の、電子ビームによる熱膨張による色ズレが無視できないことが認識され、シャドウマスクの素材として、低膨張のインバー材を使用したり、シヤドウマスクのフレームへの固定に際してシャドウマスクにテンションをかけて用いるスリットタイプのものが採用されるようになってきた。
スリットタイプのシャドウマスクは、通常、図６に示すような形状をしており、エッチング加工により作製されている。
尚、図６（ａ）は全体の概略図で、図６（ｂ）は図６（ａ）の点線丸部Ｃ０を拡大して示した図であり、図６（ｃ）（イ）、図６（ｃ）（ロ）は、それぞれ図６（ｂ）のＣ１−Ｃ２における断面を示した図である。
スリット開孔の断面形状が、図６（ｃ）（イ）の場合は、板厚が薄いため、片面からのみのエッチングによる貫通したもので、図６（ｃ）（ロ）の場合は、エッチングを両面から行った場合のものである。
そして、このようなシャドウマスクは、図７に示すように、シャドウマスク７６０をカラー陰極線管（ＣＲＴ）７００に、フレーム７７０に固定されて、組み込まれる。
カラー陰極線管（ＣＲＴ）７００は、偏向ヨーク７２０にて偏向制御されながら走査される電子銃７１０からの電子線７１５を、シャドウマスク７６０のスリット部にて通過させ、螢光面７５０へ当て発光させるもので、螢光面の発光をパネル７４０前の人が観る。
【０００３】
このスリットタイプのシャドウマスクの、カラー陰極線管（ＣＲＴ）への組み込みのためのフレームによる固定方法としては、熱膨張を利用したものと、フレーム加圧によるものが知られている。
熱膨張を利用したものは、ゼニス社のＦＴＭ（Ｆｌａｔ  Ｔｅｎｓｉｏｎ  Ｍａｓｋ）と言われるもので、２５μｍ程度の厚さをもつ金属製のスリットタイプのシャドウマスクとセラミックフレームの熱膨張差を利用して、高温中に組立て、常温で、金属の収縮に伴ってテンションがかかるようにしたものである。
また、フレーム加圧によるものは、１００μｍ程度の厚さを持つスリットタイプのシャドウマスク（アパーチャグリルとも言う）を用いたもので、オタイコと呼ばれるＲ面をもつフレームとこれにマスクを介して嵌合するフレームとを用い、Ｒ面上にマスクを挾み（チャッキング）、テンションを付与し、フレーム位置決めによるＲ成形後、フレーム加圧を行い、マスクをこの加圧されたフレームに溶接固定するものである。
【０００４】
これらスリットタイプのシャドウマスクにおいては、従来、図５に示すように、エッチング加工されたシャドウマスク（５１０）１枚毎に、その両端に所定の張力をかけ、支持しながら、且つ、シャドウマスク５１０の一方の面側に拡散板５３０を介して光５４１を照射し、開孔部を通り抜けた透過光５４２を人が目で観て、図５（ｂ）（イ）のような部分的に暗い黒ムラ５１３や、図５（ｂ）（ロ）に示すような部分的に明るい白ムラ５１５を欠陥として抽出していた。
しかしながら、図５（ａ）に示すようなムラの抽出方法では、人の目に依存するため、人による差や、疲労による差があり、同じ評価ができず問題となっていた。
また、製造ラインに組み込める自動のムラ検査装置が望まれていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、スリットタイプのシャドウマスクにおいては、一層の品質の向上、安定化、自動化が望まれており、図５（ｂ）に示すような、透過光が部分的に明るくなる、または暗くなるムラ欠陥の自動検査も必要となってきた。
一方、従来のシャドウマスクの検査技術としては、特開平６−２２２９７３６号公報等にて、空間フィルターを用いたムラ抽出検査方法が知られているが、いずれもムラの大きさに合わせた空間フィルターを用いて検査する方式で、各種サイズ、形状のムラに合わせた空間を準備する必要があり、実用的には実現が難しかった。
このため、これらスリットタイプのシャドウマスクにおいては、比較的簡単にシャドウマスクのムラ欠陥を抽出する検査装置および方法が求められていた。
本発明は、このような状況のもと、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、ムラ領域を比較的簡単に抽出できる検査装置および方法を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査装置は、スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査装置であって、シャドウマスクの一方の面側には、拡散板を介して、光をシャドウマスクへ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部と、シャドウマスクの他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔の長手方向に略平行に設けられたラインセンサと、ラインセンサからの画像データ信号を処理するデータ処理部とを備えたもので、前記データ処理部は、ラインセンサからの画像データ信号群を取り込む、シャドウマスクの搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリと、基準データを格納する基準データメモリと、前記入力画像データメモリに格納された入力画像データを、前記基準データと比較して規格化する規格化演算部と、規格化された画像データを格納する規格化画像データメモリと、前記規格化画像データメモリの規格化された画像データを所定の許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行う第一の比較部と、
前記規格化画像データメモリの規格化された画像データを所定の許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行う第二の比較部と、前記第一の比較部にて２値化された２値化データを格納する第一の２値化データメモリと、前記第二の比較部にて２値化された２値化データを格納する第二の２値化データメモリと、前記第一の２値化データメモリ及び前記第二の２値化データメモリの２値化データに対して、相前後して拡大演算処理、縮小演算処理を施す一つの拡大演算処理部・縮小演算処理部と、前記拡大演算処理部・縮小演算処理部により拡大演算処理、縮小演算処理が施された２値化データに対し、値１の画素の数をカウントする画素数カウント部と、前記画素数カウント部でカウントされた画素の数が所定数未満であるか否かでムラの良否を判定する第一の判定部とを有することを特徴とするものである。
そして上記において、前記データ処理部は、規格化画像データメモリに格納された規格化された画像データを、
−Ｓ３  ≦（１−Ｍ（ｍ、ｎ））  ≦＋Ｓ３          
（但し、Ｍ（ｍ、ｎ）は規格化画像データメモリのデータ、ｍ、ｎは規格化画像データメモリの行番号、列番号、Ｓ３は所定の許容値（正数）を示す。）
と比較し、上記の式に当てはまらないものを値１、当てはまるものを値０とし、２値化する第三の比較部と、前記第三の比較部にて２値化された２値化データを格納する第三の２値化データメモリと、前記第三の２値化データメモリの２値化データに対して、値１の画素の数が所定数未満であるか否かで良否を判定する第２の判定部と、を有することを特徴とするものである。
【０００７】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査方法は、スリット開孔を有するカラー陰極線管の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、該スリットタイプのシャドウマスクのムラ領域を抽出する検査方法であって、シャドウマスクの一方の面側には、拡散板を介して、光をシャドウマスクへ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部を配し、シャドウマスクの他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔長手方向に略平行に設けられたラインセンサを配し、ラインセンサからの画像データ信号をデータ処理部にて処理するもので、順に、ラインセンサからの画像データ信号群を、シャドウマスクの搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリに取込む画像データ取込み工程と、前記入力画像データメモリに取り込まれた入力画像データを、基準データメモリに格納された対応する基準データと比較して規格化し、規格化された画像データを生成する画像データ規格化工程と、第一の比較部で、前記規格化された画像データを、所定の許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、第二の比較部で、前記規格化された画像データを、所定の許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、前記第一の比較部及び前記第二の比較部で得られた２値化データに対し、拡大演算処理部・縮小演算処理部において拡大演算処理、縮小演算処理を相前後して施し、この拡大演算処理、縮小演算処理が施された２値化データに対し、値１の画素の数をカウントし、カウントされた画素の数が所定数未満であるか否かでムラの良否を判定する工程とを有することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置は、上記のように構成することにより、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、ムラ欠陥を抽出する検査装置の提供を可能とするものである。詳しくは、ラインセンサからの画像データ信号群を入力画像データメモリに取込み、得られた入力画像データを基準データメモリに格納された対応する基準データと比較して規格化し、規格化された画像データを生成して、該規格化された画像データの各画素を、比較部で所望の許容値と比較して、各画素毎に２値化し、２値化データを２値化データメモリに格納した後、格納された２値化データに対し、拡大演算処理部・縮小演算処理部において拡大演算処理、縮小演算処理を相前後して施し、ムラ領域を求めるものであることにより、これを達成している。具体的には、比較部として、第一の比較部、第二の比較部を有し、且つ２値化データメモリとして第一の２値化データメモリと第二の２値化データメモリを有し、第一の比較部で規格化された画像データを所定の許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、各画素毎に２値化して明るい画素部を抽出し、且つ、第二の比較部で、規格化された画像データを所定の許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下のものを値１、それ以外のものを値０とする２値化を行い、暗い画素部を抽出できるものとしており、更に、それぞれ、得られた２値化データに対して、順次、拡大演算処理、縮小演算処理を施す、あるいは順次、縮小演算処理、拡大演算処理を施すことにより、白ムラ、黒ムラの領域を一部拡大して、分かり易くできるものとしている。また、拡大演算処理、縮小演算処理後に得られたデータに対し、２値化された画素の１ないし０の数をカウントし、その数が所定数未満であるか否かでムラ領域の良否の判定を行う。
【０００９】
また、データ処理部は、規格化画像データメモリに格納された規格化された画像データに対し、所定の許容値と比較する第三の比較部を有し、所定の許容値と比較することにより２値化データを得て、得られた２値化データにより、各画素に対応する、シャドウマスクの各位置における欠陥の有無を判定するものであることにより、ムラ領域を自動で抽出するととも、図５（ｃ）に示すカケ欠陥部５１７や大孔欠陥部５１９の抽出もできるものとしている。
【００１０】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法は、上記のように構成することにより、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクにおける、シャドウマスクのムラの抽出を可能としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置を、図にもとづいて説明する。図１は本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置の概略断面図であり、図２は図１のＡ０側からみた概略平面図であり、図３はそのデータ処理部の概略構成を示した図であり、図４は、拡大処理、縮小処理を説明するための図である。図１、図２、図３、図４、図５中、１００は検査装置、１１０は光源部、１１５は光源、１２０は拡散板、１３０はラインセンサ、１５０はデータ処理部、２００はシャドウマスク、２００Ｓはシャドウマスク素材、２１０はグリル、３１１は入力画像データメモリ、３１２は１スリット分基準画像データメモリ、３１３は１画像分データメモリ、３２１、３２２は切換部、３３０は規格化演算部、３３１は規格化画像データメモリ、３４１、３４２、３４３は比較部、３５１、３５２、３５３は２値化データメモリ、３６０は拡大演算処理部、３７０は縮小演算処理部、３８０は画素数カウント部、３９１、３９２は判定部である。本発明の検査装置は、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するカラー陰極線管（ＣＲＴ）の色選別に用いられるスリットタイプのシャドウマスクを、搬送方向に直交する方向にスリット開孔を向け、搬送させながら、シャドウマスクのムラ欠陥を抽出する検査装置であり、図１に示すように、シャドウマスク２００の一方の面側には、拡散板１２０を介して、光をシャドウマスク２００へ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部１１０と、シャドウマスク２００の他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔の長手方向に略平行に設けられたラインセンサ１３０と、ラインセンサ１３０からの画像データ信号を処理するデータ処理部１５０とを備えたものである。そして、データ処理部１５０は、ラインセンサ１３０からの画像データ信号群を、シャドウマスク２００の搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリに取込み、得られた入力画像データを処理しムラ領域を求めるものであり、入力画像データを、基準データメモリに格納された対応する基準データと比較して規格化し、規格化された画像データを生成して、規格化画像データメモリに得るもので、規格化された画像データの各画素を、第一の比較部でプラスレベルの所定の許容値と比較して、各画素毎に２値化し、第一の２値化データを第一の２値化データメモリに得るとともに、規格化された画像データの各画素を、第二の比較部でマイナスレベルの所定の許容値と比較して、各画素毎に２値化し、第二の２値化データを第二の２値化データメモリに得た後、第一の２値化データ及び第二の２値化データに対し、拡大演算処理部において拡大演算処理、縮小演算処理部において縮小演算処理を相前後して施し、ムラ領域を求めるものである。図１に示す装置におけるラインセンサ１３０は、カメラに組み込まれたもので、ＣＣＤ素子等である。
【００１２】
図１に示す検査装置１００においては、ラインセンサ１３０からの画像データ信号は、シャドウマスク２００の搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる入力画像データメモリに、一端入力され、これを単位画像データメモリとして、データ処理部１５０にてデータ処理を行い、シャドウマスクのムラ領域を抽出するものであるが、単位画像データメモリの大きさは、シャドウマスクの大きさを分割したサイズに対応する大きさとしても、シャドウマスクの大きさをそのもののサイズに対応した大きさとしても良い。
【００１３】
次に、図３に基づいてデータ処理部１５０の処理フローを説明する。同時に、本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法のデータ処理を以下、説明する。
Ｓ３１〜Ｓ４２は各ステップを示すものである。
先ず、図１に示すラインセンサ１３０にて得られた画像データ信号１３０Ｄは、順次、ラインセンサ１３０の各画素位置、シャドウマスクの位置に対応させ、所定数の走査（スキャン）分だけ、入力画像データメモリ３１１に蓄積される。（Ｓ３１）
シャドウマスクは、図１に示すように、矢印の方向に搬送移動されながら、ラインセンサ１３０にて画像が取り込まれるため、得られた画像データ信号の各画素のシャドウマスクにおける撮影位置は、ラインセンサ１３０の幅方向の何番目の画素で、何番目のスキャン（走査）であるかで特定できる。
即ち、シャドウマスク搬送位置数とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなるメモリにより、シャドウマスクの位置とメモリの画素位置とを対応させることができる。
【００１４】
次いで、この入力画像データメモリ３１１の各位置におけるデータ毎に、規格化演算部３３０により基準データと比較して規格化し（Ｓ３２）、結果を規格化画像データメモリ３３１に蓄積する。（Ｓ３３）
基準データにスリット間で差がない場合には、基準となる１スリット分のデータ３１２と、入力画像データメモリ３１１の各走査（スキャン）方向位置のデータとを比較演算するが、基準データにスリット間に差がある場合には、基準となる１画面分のデータメモリ３１３と、対応する入力画像データメモリ３１１の位置におけ各画素の画像信号データとを比較演算するものである。
規格化の１例を挙げると、基準データにグレイディングがある場合、規格化画像データメモリ３３１のデータ３３１Ｄの各画素の値Ｍ（ｍ、ｎ）は、通常、入力画像データ群をＩ（ｍ、ｎ）、基準となる１画像分のデータメモリ群をＩok（ｍ、ｎ）とした場合、
Ｍ（ｍ、ｎ）＝〔Ｉ（ｍ、ｎ）  −  Ｉ0(−、ｎ）〕／
〔Ｉok（ｍ、ｎ）−  Ｉ0(−、ｎ）〕    （１）
で表される。
但し、ｍ、ｎは規格化画像データメモリ３３１の行番号、列番号を示し、Ｉ0(−、ｎ）は暗電流値を示す。
ここで、基準データは計算によって求めたものでも良く、良品のシャドウマスク１枚のデータ、または複数の平均データでも良い。
切換部３２１、３２２により、規格化演算部３３０へ入力する画像信号データを選択する。
尚、規格化画像データメモリ３３１の規格化された画像データ信号３３１Ｄも、入力画像データメモリ３１１と同様、ラインセンサ１３０の各画素位置、走査（スキャン）位置に対応した画素群となる。
【００１５】
次いで、規格化画像データメモリ３３１の規格化された画像データ信号に対して、各画素毎に、プラスレベルの所定許容値（１＋Ｓ１）（Ｓ１は正数）と比較して、（１＋Ｓ１）以上の画素の値を１とし、それ以外の値の画素の値を０とする２値化を行い、結果を２値化データメモリ３５１へ格納する。（Ｓ３４）
この２値化は、画素のうち、所定レベルよりも明るい領域を値１で表示するものである。
【００１６】
また、規格化画像データメモリ３３１の規格化された画像データ信号に対して、各画素毎に、マイナスレベルの所定許容値（１−Ｓ２）（Ｓ２は正数）と比較して、（１−Ｓ２）以下の画素の値を１とし、それ以外の値の画素の値を０とする２値化を行い、結果を２値化データメモリ３５２へ格納する。（Ｓ３５）
この２値化は、画素のうち、所定レベルよりも暗い領域を値１で表示するものである。
【００１７】
次いで、２値化メモリ３５１のデータ３５１Ｄについて、拡大演算処理部３６０にて拡大演算処理を施した（Ｓ３６）後、縮小演算処理部３７０にて縮小処理を施す。（Ｓ３７）
拡大演算処理、縮小演算処理は、通常、別々に行い、それぞれ拡大演算処理後に、縮小演算処理を、少なくとも１回以上行う。
尚、場合によっては、２値化メモリ３５１のデータ３５１Ｄについて、縮小演算処理部３７０にて縮小処理を施した（Ｓ３７）後、拡大演算処理部３６０にて拡大演算処理を施しても良い。
【００１８】
同様に、２値化メモリ３５２のデータ３５２Ｄについて、拡大演算処理部３６０にて拡大演算処理を施した（Ｓ３６）後、縮小演算処理部３７０にて縮小処理を施す。（Ｓ３７）
同様に、拡大演算処理、縮小演算処理は、通常、別々に行い、通常、それぞれ拡大演算処理後に、縮小演算処理を、少なくとも１回以上行う。
また、同様に、場合によっては、２値化メモリ３５２のデータ３５２Ｄについて縮小演算処理部３７０にて縮小処理を施した（Ｓ３７）後、拡大演算処理部３６０にて拡大演算処理を施しても良い。
【００１９】
拡大演算処理、縮小演算処理を終えて得られた画像データに対し、それぞれ、値１の画素の数をカウントし（Ｓ３８）、所定数以上のものをムラと判定する。（Ｓ３９）
図３においては所定数以上のものを１としてムラ不良出力しており、所定数未満のものを０としてムラ良としている。
【００２０】
以上により、ムラ領域は得られ、ムラの良否が判定されるが、通常は、この他に、規格された画像メモリ３３１のデータ３３１Ｄの各画素を、（２）式にて示すような、所定の許容値Ｓ３（≧０）と比較部３７０にて比較し（Ｓ４０）、（２）式に当てはまらないものを値１、当てはまるものを値０として、結果を２値化メモリ３５３へ格納する。（Ｓ４１）
これにより、各画素毎に、図５（ｃ）（イ）のカケ欠陥５１７や図５（ｃ）（ロ）の大孔欠陥５１９のある箇所を値１の画素の位置として得ることができる。
２値化データメモリ３５３に格納されたデータ３５３Ｄについて、値１の画素の数が所定の数以上を不良、所定数未満を良として判断する。（Ｓ４２）
図３においては、判定部３９２は、所定数以上のものを１として不良出力しており、所定数未満のものを０として良としている。
−Ｓ３  ≦（１−Ｍ（ｍ、ｎ））  ≦＋Ｓ３          （２）
但し、前述の通り、Ｍ（ｍ、ｎ）は規格化画像データメモリ３３１のデータ３３１Ｄの各画素の値を表したもので、ｍ、ｎは規格化画像データメモリ３３１の行番号、列番号を示す。また、Ｓ３は正数である。尚、Ｓ３はＳ１、Ｓ２より大きい値である。
【００２１】
図３に示す拡大演算処理とは、２値化データメモリ３５１ないし３５２において、画素のうち値が１である領域について、その領域を拡大する処理を言い、図３に示す縮小演算処理とは、２値化データメモリ３５１ないし３５２において、画素のうち値が１である領域について、その領域を縮小する処理を言うが、図４に基づいて、拡大演算処理、縮小演算処理を更に具体的に説明する。
例えば、値０と値１に各画素が２値化されたメモリにおいて、画素のうち値が１であるものと、画素のうち値が０であるものを、それぞれ、その画素位置に対応させて示した状態が、図４（ａ）に示す状態である場合、これを１画素分、行方向（±Ｘ方向）、列方向（±Ｙ方向）に拡大演算処理すると図４（ｂ）に示す状態となる。
図４（ａ）に示す、値１をもつ各画素について、メモリ領域内にある、その画素の±Ｘ方向、±Ｙ方向に隣接して位置する１画素、即ち図４において値１である各画素の上下左右に隣接して位置する１画素の値をそれぞれ値１とする処理が１画素拡大演算処理である。
尚、図４（ｂ）において▲１▼は、図４（ａ）において、値１である画素位置で、値１であることを示している。
【００２２】
次いで、図４（ｂ）に示す状態を、１画素分、行方向（±Ｘ方向）、列方向（±Ｙ方向）に縮小演算処理すると、図４（ｃ）に示す状態となる。
図４（ｂ）に示す、値０をもつ各画素について、メモリ領域内にある、その画素の±Ｘ方向、±Ｙ方向に隣接して位置する１画素、即ち図４において値０である各画素の上下左右に隣接して位置する１画素の値をそれぞれ値０とする処理が１画素縮小演算処理である。
尚、図４（ｃ）において▲１▼は、図４（ａ）において、値１である画素位置で、値１であることを示している。
【００２３】
このようにして、図４（ａ）では、値１の画素群は隙間（値０の画素）を多く持つものであるが、図４（ｃ）に示す値１の画素群では隙間（値０の画素）が少なくなる。
このようにしてムラ領域が明確化できる。
モニターに表示することによりムラの発生がよく分かる。
更に、図４（ｃ）に示す状態を、＋Ｘ方向（図４で値１の画素の右側）にのみ縮小演算処理を施すと、図４（ｄ）のようになり、図４（ａ）の左上のノイズと考えられる画素（値１の箇所）が除かれる。この状態でムラ領域を抽出しても良い。
図４（ｃ）を用いるか、図４（ｄ）を用いるかは、ムラの判定基準を変えるものとなるので、検査の目的、対象により適宜きめる。
尚、ムラ領域は、必ずしも、図４に示す、拡大演算処理、縮小演算処理に限定はされない。
拡大縮小を２〜１００画素分としても良い。１画素の大きさにしたがって変えれば良い。
また、場合によっては縮小演算処理から拡大演算処理の順に行っても良い。この場合は、はじめに縮小演算処理によりノイズと考えられる画素を除き、拡大演算処理によりムラ領域を明確化する。この際、縮小演算処理によりムラの一部も除去されるが、この影響が実質的に無視できることが必要である。
【００２４】
本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法のデータ処理は、以上の通りであるが、本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査方法においては、図１に示すように、シャドウマスク２００を、搬送方向に直交する方向にスリット開孔の長手を向け、搬送させながら、シャドウマスク２００の一方の面側には、拡散板を介して、光をシャドウマスク２００へ照射して、スリット開孔部を透過させる光源部１１０を配し、シャドウマスクの他方の面側には、スリット開孔部を透過した光を入力するための、スリット開孔のスリット（長手）方向に略平行に設けられたラインセンサ１３０を配し、ラインセンサからの画像データ信号を、シャドウマスクの搬送位置とラインセンサ画素幅に対応した所定数の画素からなる図３に示す入力画像データメモリ３１１に取り込む。
尚、図３において、ステップＳ３１が画像データ取込み工程で、ラインセンサからの画像データ信号は、ゲートＧ１によりシャドウマスクの搬送情報等に制御されて、入力画像データメモリに取り込まれる。
ステップＳ３２〜Ｓ３３が画像データ規格化工程で、入力画像データメモリ３１１に取り込まれた入力画像データ３１１Ｄを、基準データメモリ３１２（または３１３）に格納された対応する基準データと比較して規格化し、規格化画像データ３３１Ｄを規格化画像データメモリに格納する。
ステップＳ３４〜Ｓ３７までがムラ領域抽出工程で、規格化された画像データ３３１Ｄの各画素を、比較部で所定の許容値と比較して、各画素毎に２値化し、２値化データを得、得られた２値化データに対し、順次、拡大演算処理部において拡大演算処理、縮小演算処理部において縮小演算処理を施し、または順次、縮小演算処理、拡大演算処理を施し、ムラ領域を求める。
そして、ステップＳ３８、Ｓ３９により自動でムラの良否を判断する。
【００２５】
図１に示す装置においては、比較部として、第一の比較部と第二の比較部を持ち、２値化データメモリとして第一の２値化データメモリと第二の２値化データメモリを備えているが、比較部を１ケ、２値化データメモリを１ケでも、黒ムラ領域の抽出のみ、または白ムラ領域の抽出のみはできる。
また、比較部を２ケ、２値化データメモリを１ケとしても、白ムラ領域の抽出と黒ムラ領域の抽出を前後して行えば、できないことはない。
このうように、本発明の装置は、特に図１に示すものに限定はされない。
【００２６】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、エッチングにて貫通されたスリット開孔を有するスリットタイプのシャドウマスクの、ムラ欠陥を抽出する検査装置の提供を可能としている。
結果として、このようなスリットタイプのシャドウマスクにおいて、一層の品質の向上、安定化が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスリットタイプのシャドウマスクの検査装置の概略構成図
【図２】シャドウマスクとラインセンサとの位置関係を示した図
【図３】データ処理を説明するための図
【図４】拡大演算処理、縮小演算処理を説明するための図
【図５】シャドウマスクのむら欠陥を説明するための図
【図６】スリットタイプのシャドウマスクを説明するための図
【図７】カラー陰極線管（ＣＲＴ）を説明するための図
【符号の説明】
１００                    検査装置
１１０                    光源部
１１５                    光源
１２０                    拡散板
１３０                    ラインセンサ
１５０                    データ処理部
２００                    シャドウマスク
２００Ｓ                  シャドウマスク素材
２１０                    グリル
２２０                    スリット開孔
３１１                    入力画像データメモリ
３１２                    １スリット分基準画像データメモリ
３１３                    １画像分データメモリ
３２１、３２２            切換部
３３０                    規格化演算部
３３１                    規格化画像データメモリ
３４１、３４２、３４３    比較部
３５１、３５２、３５３    ２値化データメモリ
３６０                    拡大演算処理部
３７０                    縮小演算処理部
３８０                    画素数カウント部
３９１、３９２            判定部
５００                    シャドウマスク
５１０                    グリル
５１３                    黒ムラ
５１５                    白ムラ
５１７                    カケ欠陥
５１９                    大孔欠陥
５２０                    スリット開孔
５２０Ａ                  表面
５２０Ｂ                  裏面
５３０                    拡散板
５４０                    光源
５４１                    光
５４２                    透過光
５５０                    （人の）目
６００                    シャドウマスク
６１０                    グリル
６１５                    スリット
６２０                    周辺部
６２２                    ノッチ
６３０                    開孔領域
７００                    カラー陰極線管（ＣＲＴ）
７１０                    電子銃
７１５                    電子線
７２０                    偏向ヨーク
７３０                    ファンネル
７４０                    パネル
７５０                    螢光面
７６０                    シャドウマスク
７７０                    フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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