(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上となったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段、
の少なくともいずれか１つの異常判定手段を備え、該異常判定手段が異常であると判定したときにターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、
前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、
前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置。
【請求項２】
ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上に増大なったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、
を備え、前記回転数異常判定手段が異常であると判定し、且つ、前記変位異常判定手段が異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、
前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、
前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置。
【請求項３】
ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段と、
を備え、前記回転数異常判定手段が異常であると判定し、且つ、前記電流異常判定手段が異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、
前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、
前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置。
【請求項４】
ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上になったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、
前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段と、
を備え、
前記回転数異常判定手段と前記変位異常判定手段と前記電流異常判定手段がいずれも異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、
前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、
前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体プロセス等に使用されるターボ分子ポンプの異常検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプは真空ポンプの一種であり、半導体プロセス等において多用されている。
例えば、半導体プロセスにおいては、ウェハ面に薄膜を形成する薄膜製造技術としてＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）がある。ＣＶＤは、ウェハ等の基板上に対して原料ガスを供給し、この基板上でのガスの吸着及び化学反応を経て、基板上に所望の薄膜を形成する技術である。このＣＶＤでは、原料ガスの安定供給と、基板面上の化学反応を有効に進行させるため基板面周囲のクリアな環境保持が必要不可欠である。このクリアな環境保持には、一般に真空雰囲気の形成によって実現しており、これを実現する手段としてターボ分子ポンプを含む機器から構成される真空排気系がある。
【０００３】
ターボ分子ポンプは、特開２０００−４５９４４等に開示されているように、例えば約９００００ｒｐｍで回転するロータにより気体分子を圧縮しつつ排気するように構成されている。
図２は、ターボ分子ポンプの一例を示したものであり、一部を破断して示す斜視図である。
ターボ分子ポンプＰは、上半部１ａおよび下半部１ｂとからなるケーシング１を備え、上半部１ａには吸気口１ｃ、下半部１ｂには排気口１ｄがそれぞれ形成されている。
【０００４】
ケーシング１の内部におけるロータ室２には、ロータ４が配設されている。ロータ４は、鉛直に立設されたロータシャフト４ａと、当該ロータシャフト４ａの周囲に放射状に配置された動翼５とを備えて構成されている。また、ケーシング１の上半部１ａには静翼３が固定されている。このロータ４は、高速回転する部材であるから、一般には軽量かつ応力強度の高いアルミニウム合金等で構成されている。
【０００５】
ロータシャフト４ａの下端部には、スラスト磁気ディスク６が設けられている。このスラスト磁気ディスク６の上下面には、これに対向した形でスラスト磁気軸受け８が設けられている。また、ロータシャフト４ａとケーシング１の下半部１ｂとの対向面における上方及び下方には、それぞれラジアル磁気軸受け７ａ、７ｂが設けられている。さらに、ロータシャフト４ａの上端部にラジアル用上部保護軸受けとして設けられたボールベアリング９、同下端ネック部にはラジアル及びスラスト用下部保護軸受けとして設けられたボールベアリング１０が設けられている。そして、ケーシング１の下半部１ｂには、ロータ駆動用モータ１１が設けられている。
【０００６】
このターボ分子ポンプＰは、上記構成から明らかなように、軸受けとして能動型磁気軸受けを有し、これらとロータ駆動用モータ１１の発生する駆動力とにより、ロータ４の回転が実現されるようになっている。
そして、このターボ分子ポンプＰは、例えば、半導体プロセスで利用されるＣＶＤ装置等に、ロータリポンプ、デフュージョンポンプ等と共に排気系の一部として付設されて使用され、ＣＶＤ装置に同時に付設されるチャンバ内の排気を行うことを目的として利用されることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このターボ分子ポンプＰを有するＣＶＤの真空排気系を運転している時に、何らかの理由により真空状態が破られて、真空排気系に大気が導入されることがある（以下、この現象を「大気突入」と称す）。大気突入の原因は、人為的なオペレーションミスや、真空排気系に設置された真空計のガラス部分の破損等の事故によるものなどが考えられる。
【０００８】
この大気突入が発生すると、ターボ分子ポンプＰにおいて、風損により動翼５が揚力を受け、ロータ４がスラスト方向に変位する結果、保護軸受けとしてのボールベアリング９やボールベアリング１０に接触する。この揚力は大型機では約１０００ｋｇｆにもなる。ロータ４と前記ベアリング９，１０は、正常回転時に許容できる振れ回りの範囲で運転できるように間隙を有して構成されているが、大気突入が発生すると、ロータ４は前記ベアリング９，１０との間隙内でランダムに移動し、ベアリング９，１０との衝突を繰り返すこととなる。
【０００９】
そして、この時の衝撃により、ベアリング９，１０の潤滑剤の飛散や、熱による劣化や、変形によるガタの発生等が生じて、ベアリング９，１０の寿命が短くなるという問題がある。
さらに、大気突入を繰り返してベアリング９，１０が寿命に達すると、究極的には、ベアリング９，１０が焼き付いたり、動翼５と静翼３の設計ギャップが保証されなくなり、その結果、動翼５と静翼３が接触し運転不能になる。
また、塩化アルミニウムのエッチングプロセスに使用した場合には、ベアリング９，１０に塩化アルミニウムが堆積して、ベアリング９，１０の寿命を短縮するという問題もある。
したがって、大気突入によりターボ分子ポンプに異常が生じたことを検出することができれば、早期対応が可能で、装置保護の上で有利である。しかしながら、従来、そのような異常検出装置は存在しなかった。
そこで、この発明は、大気突入によるターボ分子ポンプの異常を検出することができるターボ分子ポンプの異常検出装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載した発明は、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上となったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段、の少なくともいずれか１つの異常判定手段を備え、該異常判定手段が異常であると判定したときにターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置である。
【００１１】
ターボ分子ポンプに大気突入が発生すると、ターボ分子ポンプのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下したり、ターボ分子ポンプの回転軸のスラスト変位が正常運転時よりも大きくなったり、ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が正常運転時よりも急激に増大したりするので、回転数異常判定手段と変位異常判定手段と電流異常判定手段のうち少なくとも１つの異常判定手段を備えていれば、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出することが可能になる。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることが可能になる。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することが可能になる。
【００１２】
請求項２に記載した発明は、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上に増大なったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、を備え、前記回転数異常判定手段が異常であると判定し、且つ、前記変位異常判定手段が異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置である。
【００１３】
ターボ分子ポンプのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサの信号線が破断した時にも起こり、また、ターボ分子ポンプの回転軸のスラスト変位が正常運転時よりも大きくなるのは、磁気軸受け等の軸受けの故障や、地震などの外部加振を受けた時にも起こるが、回転数異常判定手段と変位異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、軸受けの故障や、外部加振などに起因する誤判定を排除することが可能になる。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることが可能になる。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することが可能になる。
【００１４】
請求項３に記載した発明は、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段と、を備え、前記回転数異常判定手段が異常であると判定し、且つ、前記電流異常判定手段が異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置である。
【００１５】
ターボ分子ポンプのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサの信号線が破断した時にも起こり、また、ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が正常運転時よりも大きくなるのは、ターボ分子ポンプにプロセスによりチャンバから一瞬ガスが入ったり、電源の故障で過電流が流れたりした時にも起こるが、回転数異常判定手段と電流異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になる。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることが可能になる。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することが可能になる。
【００１６】
請求項４に記載した発明は、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上になったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段と、を備え、前記回転数異常判定手段と前記変位異常判定手段と前記電流異常判定手段がいずれも異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第１の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、前記カウンタのカウント値が第１の所定回数よりも大きい第２の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置である。
【００１７】
ターボ分子ポンプのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサの信号線が破断した時にも起こり、また、ターボ分子ポンプの回転軸のスラスト変位が正常運転時よりも大きくなるのは、磁気軸受け等の軸受けの故障や、地震などの外部加振を受けた時にも起こり、ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が正常運転時よりも大きくなるのは、ターボ分子ポンプにプロセスによりチャンバから一瞬ガスが入ったり、電源の故障で過電流が流れたりした時にも起こるが、回転数異常判定手段と変位異常判定手段と電流異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、軸受けの故障や、外部加振や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になる。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることが可能になる。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することが可能になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の実施の形態を図１から図９の図面を参照して説明する。
初めに、このターボ分子ポンプの異常検出装置の検出原理について説明する。
本出願人は、図２に示す従来のものと同様の構成からなるターボ分子ポンプＰに対して実験的に大気突入を発生させて各種データを採取したところ、多数の実験結果において概ね同様の傾向を示した。図４のグラフはその実験結果の一例である。
【００１９】
この図４は、横軸を時間軸として、（１）ロータシャフト（回転軸）４ａの回転数、（２）ロータ４のスラスト変位、（３）下ラジアル変位、（４）上ラジアル変位、（５）吸気口１ｃにおける吸気圧力、（６）排気口１ｄにおける排気圧力、（７）駆動用モータ１１のモータ電流、のそれぞれ時間的変化を示している。
そして、この実験結果から、大気突入の発生により、ロータ４の回転数が急激（急速）に低下すること、ロータ４のスラスト変位が急激（急速）に増大すること、モータ１１のモータ電流が急激に増大することが判明した。
【００２０】
そこで、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置では、ロータ４の回転数、スラスト変位、モータ電流を管理項目として、これら管理項目の値に異常が見られたときに、ターボ分子ポンプＰに大気突入による異常が発生したと判定することとした。
以下、ターボ分子ポンプの異常検出装置の実施の形態を具体的に説明する。
【００２１】
〔第１の実施の形態〕
初めに、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第１の実施の形態を図１から図３の図面を参照して説明する。
ターボ分子ポンプＰの構成については、図２に示す従来のものと同じであるので、説明を省略する。
図１は、半導体プロセスにおける真空排気系のシステム構成図である。ターボ分子ポンプＰの吸気口１ｃにはゲートバルブ２１を介してチャンバー２２が接続されており、ターボ分子ポンプＰの排気口１ｄには、バルブ２３を介して補助ポンプ２４が接続されている。
【００２２】
ターボ分子ポンプＰは、ロータシャフト（回転軸）４ａの回転数を検出するためのポンプ回転数センサ２５と、ロータシャフト４ａのスラスト変位を検出するためのスラスト変位センサ２６と、駆動モータ１１のモータ電流を検出するためのモータ電流センサ２７を備えている。ポンプ回転数センサ２５とスラスト変位センサ２６とモータ電流センサ２７の各検出信号は制御装置３０に入力され、また、モータ電流センサ２７は制御装置３０内のモータ駆動回路部の出力電流を検出する。制御装置３０はこれらセンサ２５，２６，２７の検出信号に基づいて大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定する。
ただし、この第１の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置においては、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００２３】
次に、第１の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置の異常検出制御を図３のフローチャートに従って説明する。
まず、ポンプ回転数センサ２５の検出値を取り込み（ステップＳ１０１）、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数（ロータシャフト４ａの回転数）の時間的変化を算出し、ポンプ回転数が急激に低下したか、すなわち、ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上か否か判定する。
【００２４】
ステップＳ１０２における判定結果が「ＮＯ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度より小さい）である場合は、ステップＳ１０３に進んで「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ１０２における判定結果が「ＹＥＳ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上）である場合は、ステップＳ１０４に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。
【００２５】
ステップＳ１０４の実行後、大気突入発生カウンタのカウント値を「１」だけインクリメントし（ステップＳ１０５）、前記カウンタのカウント値が予め設定した警報回数（第１の所定回数）Ｎ１に達しているか否か判定する（ステップＳ１０６）。
ステップＳ１０６における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達していない）である場合は、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ１０６における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達している）である場合は、ステップＳ１０７に進み、前記カウンタのカウント値が警告回数（第２の所定回数）に達しているか否か判定する。ここで、警告回数Ｎ２は警報回数Ｎ１よりも大きく設定しておく（Ｎ２＞Ｎ１）。
【００２６】
ステップＳ１０７における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達していない）である場合は、ステップＳ１０８に進んで、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ１０７における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達している）である場合は、ステップＳ１０９に進んで、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして、本ルーチンの実行を一旦終了する。
【００２７】
以上のように、第１の実施の形態のターボ分子ポンプの異常検出装置によれば、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数（ロータシャフト４ａの回転数）の変化に基づいて、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出することができ、しかも、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
【００２８】
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
なお、この警報回数Ｎ１と警告回数Ｎ２は、ターボ分子ポンプＰの仕様や、真空排気系システム全体を考慮して決定されるべきものであり、予め実験により、あるいは、真空排気系システムの実運転により経験的に設定するのが好ましい。
【００２９】
〔第２の実施の形態〕
次に、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第２の実施の形態を図５の図面を参照して説明する。
第１の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出される回転数のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしていたが、この第２の実施の形態では、スラスト変位センサ２６で検出されるロータシャフト４ａのスラスト変位のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００３０】
ターボ分子ポンプＰの構成、真空排気系のシステム構成については、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。また、第２の実施の形態における異常検出制御は、基本的には第１の実施の形態の場合と同じであり、相違点はステップＳ１０１，Ｓ１０２だけである。図５はこの相違する部分だけを記載したフローチャートである。
【００３１】
第２の実施の形態では、ステップＳ１０１Ａにおいて、スラスト変位センサ２６の検出値を取り込み、次に、ステップＳ１０２Ａに進んで、ターボ分子ポンプＰの回転軸（ロータシャフト４ａ）のスラスト変位が大きく変動したか、すなわち、スラスト変位センサ２６で検出したスラスト変位が所定値以上か否か判定する。
【００３２】
ステップＳ１０２Ａにおける判定結果が「ＮＯ」（スラスト変位が所定値より小さい）である場合は、第１の実施の形態におけるステップＳ１０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ１０２Ａにおける判定結果が「ＹＥＳ」（スラスト変位が所定値以上）である場合は、第１の実施の形態におけるステップＳ１０４に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。ステップＳ１０３，Ｓ１０４以降は第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００３３】
以上のように、第２の実施の形態のターボ分子ポンプの異常検出装置によれば、ターボ分子ポンプＰの回転軸（ロータシャフト４ａ）のスラスト変位の変化に基づいて、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出することができ、しかも、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
【００３４】
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
【００３５】
〔第３の実施の形態〕
次に、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第３の実施の形態を図６の図面を参照して説明する。
第１の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしていたが、この第３の実施の形態では、モータ電流センサ２７で検出される駆動モータ１１のモータ電流のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００３６】
ターボ分子ポンプＰの構成、真空排気系のシステム構成については、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。また、第３の実施の形態における異常検出制御は、基本的には第１の実施の形態の場合と同じであり、相違点はステップＳ１０１，Ｓ１０２だけである。図６はこの相違する部分だけを記載したフローチャートである。
【００３７】
第３の実施の形態では、ステップＳ１０１Ｂにおいて、モータ電流センサ２７の検出値を取り込み、次に、ステップＳ１０２Ｂに進んで、駆動モータ１１のモータ電流が急激に増大したか、すなわち、モータ電流センサ２７で検出したモータ電流が所定値以上か否か判定する。
【００３８】
ステップＳ１０２Ｂにおける判定結果が「ＮＯ」（モータ電流が所定値より小さい）である場合は、第１の実施の形態におけるステップＳ１０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ１０２Ｂにおける判定結果が「ＹＥＳ」（モータ電流が所定値以上）である場合は、第１の実施の形態におけるステップＳ１０４に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。ステップＳ１０３，Ｓ１０４以降は第１の実施の形態と同様であるので説明を省略する。
【００３９】
以上のように、第３の実施の形態のターボ分子ポンプの異常検出装置によれば、ターボ分子ポンプＰの駆動モータ１１のモータ電流の変化に基づいて、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出することができ、しかも、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
【００４０】
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
【００４１】
〔第４の実施の形態〕
次に、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第４の実施の形態を図７の図面を参照して説明する。
第１の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数のみに基づいて、また、第２の実施の形態では、スラスト変位センサ２６で検出されるロータシャフト４ａのスラスト変位のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしていたが、この第４の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数と、スラスト変位センサ２６で検出されるロータシャフト４ａのスラスト変位の両方に基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００４２】
ターボ分子ポンプＰの構成、真空排気系のシステム構成については、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置の異常検出制御を図７のフローチャートに従って説明する。
まず、ステップＳ２０１において、ポンプ回転数センサ２５の検出値とスラスト変位センサ２６の検出値を取り込む。
次に、ステップＳ２０２において、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数（ロータシャフト４ａの回転数）の時間的変化を算出し、ポンプ回転数が急激に低下したか、すなわち、ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上か否か判定する。
【００４３】
ステップＳ２０２における判定結果が「ＮＯ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度より小さい）である場合は、ステップＳ２０３に進んで「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ２０２における判定結果が「ＹＥＳ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上）である場合は、ステップＳ２０４に進み、ターボ分子ポンプＰの回転軸（ロータシャフト４ａ）のスラスト変位が大きく変動したか、すなわち、スラスト変位センサ２６で検出したスラスト変位が所定値以上か否か判定する。
【００４４】
ステップＳ２０４における判定結果が「ＮＯ」（スラスト変位が所定値より小さい）である場合は、ステップＳ２０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ２０４における判定結果が「ＹＥＳ」（スラスト変位が所定値以上）である場合は、ステップＳ２０５に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。
【００４５】
ステップＳ２０５の実行後、大気突入発生カウンタのカウント値を「１」だけインクリメントし（ステップＳ２０６）、前記カウンタのカウント値が予め設定した警報回数（第１の所定回数）Ｎ１に達しているか否か判定する（ステップＳ２０７）。
ステップＳ２０７における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達していない）である場合は、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ２０７における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達している）である場合は、前記カウンタのカウント値が警告回数（第２の所定回数）に達しているか否か判定する（ステップＳ２０８）。ここで、警告回数Ｎ２は警報回数Ｎ１よりも大きく設定しておく（Ｎ２＞Ｎ１）。
【００４６】
ステップＳ２０８における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達していない）である場合は、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ２０９）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ２０８における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達している）である場合は、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ２１０）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
【００４７】
ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサ２５の信号線が破断した時にも起こり、また、ターボ分子ポンプＰのロータシャフト４ａのスラスト変位が正常運転時よりも大きくなるのは、磁気軸受け８等の軸受けの故障や、地震などの外部加振を受けた時にも起こるが、この第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置においては、ポンプ回転数の回転数異常とスラスト変位異常の両方を検出したときに、ターボ分子ポンプＰに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサ２５の信号線の破断や、軸受け８の故障や、外部加振（地震）などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度が向上する。
【００４８】
また、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出したときに、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
【００４９】
〔第５の実施の形態〕
次に、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第５の実施の形態を図８の図面を参照して説明する。
第１の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数のみに基づいて、また、第３の実施の形態では、モータ電流センサ２７で検出される駆動モータ１１のモータ電流のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしていたが、この第５の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数と、モータ電流センサ２７で検出される駆動モータ１１のモータ電流の両方に基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００５０】
ターボ分子ポンプＰの構成、真空排気系のシステム構成については、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
第５の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置の異常検出制御を図８のフローチャートに従って説明する。
まず、ステップＳ３０１において、ポンプ回転数センサ２５の検出値とモータ電流センサ２７の検出値を取り込む。
次に、ステップＳ３０２において、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数（ロータ４の回転数）の時間的変化を算出し、ポンプ回転数が急激に低下したか、すなわち、ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上か否か判定する。
【００５１】
ステップＳ３０２における判定結果が「ＮＯ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度より小さい）である場合は、ステップＳ３０３に進んで「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ３０２における判定結果が「ＹＥＳ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上）である場合は、ステップＳ３０４に進み、駆動モータ１１のモータ電流が急激に増大したか、すなわち、モータ電流センサ２７で検出したモータ電流が所定値以上か否か判定する。
【００５２】
ステップＳ３０４における判定結果が「ＮＯ」（モータ電流が所定値より小さい）である場合は、ステップＳ３０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ３０４における判定結果が「ＹＥＳ」（モータ電流が所定値以上）である場合は、ステップＳ３０５に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。
【００５３】
ステップＳ３０５の実行後、大気突入発生カウンタのカウント値を「１」だけインクリメントし（ステップＳ３０６）、前記カウンタのカウント値が予め設定した警報回数（第１の所定回数）Ｎ１に達しているか否か判定する（ステップＳ３０７）。
ステップＳ３０７における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達していない）である場合は、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ３０７における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達している）である場合は、前記カウンタのカウント値が警告回数（第２の所定回数）に達しているか否か判定する（ステップＳ３０８）。なお、警告回数Ｎ２は警報回数Ｎ１よりも大きく設定しておく（Ｎ２＞Ｎ１）。
【００５４】
ステップＳ３０８における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達していない）である場合は、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ３０９）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ３０８における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達している）である場合は、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ３１０）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
【００５５】
ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサ２５の信号線が破断した時にも起こり、また、駆動モータ１１のモータ電流が正常運転時よりも大きくなるのは、ターボ分子ポンプＰにプロセスによりチャンバから一瞬ガスが入ったり、電源の故障で過電流が流れたりした時にも起こるが、この第５の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置においては、ポンプ回転数の回転数異常とモータ電流異常の両方を検出したときに、ターボ分子ポンプＰに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサ２５の信号線の破断や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度が向上する。
【００５６】
また、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出したときに、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
【００５７】
〔第６の実施の形態〕
次に、この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置の第６の実施の形態を図９の図面を参照して説明する。
第１の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数のみに基づいて、また、第２の実施の形態では、スラスト変位センサ２６で検出されるロータシャフト４ａのスラスト変位のみに基づいて、さらに、第３の実施の形態では、モータ電流センサ２７で検出される駆動モータ１１のモータ電流のみに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしていたが、この第６の実施の形態では、ポンプ回転数センサ２５で検出されるロータシャフト４ａの回転数と、スラスト変位センサ２６で検出されるロータシャフト４ａのスラスト変位と、モータ電流センサ２７で検出される駆動モータ１１のモータ電流の３つに基づいて、大気突入によるターボ分子ポンプＰの異常が発生したか否かを判定するようにしている。
【００５８】
ターボ分子ポンプＰの構成、真空排気系のシステム構成については、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
第６の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置の異常検出制御を図９のフローチャートに従って説明する。
まず、ステップＳ４０１において、ポンプ回転数センサ２５の検出値と、スラスト変位センサ２６の検出値と、モータ電流センサ２７の検出値を取り込む。
次に、ステップＳ４０２において、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数（ロータ４の回転数）の時間的変化を算出し、ポンプ回転数が急激に低下したか、すなわち、ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上か否か判定する。
【００５９】
ステップＳ４０２における判定結果が「ＮＯ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度より小さい）である場合は、ステップＳ４０３に進んで「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ４０２における判定結果が「ＹＥＳ」（ポンプ回転数の低下速度が所定の低下速度以上）である場合は、ステップＳ４０４に進み、ターボ分子ポンプＰの回転軸（ロータシャフト４ａ）のスラスト変位が大きく変動したか、すなわち、スラスト変位センサ２６で検出したスラスト変位が所定値以上か否か判定する。
【００６０】
ステップＳ４０４における判定結果が「ＮＯ」（スラスト変位が所定値より小さい）である場合は、ステップＳ４０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ４０４における判定結果が「ＹＥＳ」（スラスト変位が所定値以上）である場合は、ステップＳ４０５に進み、駆動モータ１１のモータ電流が急激に増大したか、すなわち、モータ電流センサ２７で検出したモータ電流が所定値以上か否か判定する。
【００６１】
ステップＳ４０５における判定結果が「ＮＯ」（モータ電流が所定値より小さい）である場合は、ステップＳ４０３に進み、「異常なし」と判定して、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ４０５における判定結果が「ＹＥＳ」（モータ電流が所定値以上）である場合は、ステップＳ４０６に進み、大気突入が発生したと判定し、制御装置３０に「大気突入発生」のランプを点滅して報知する。
【００６２】
ステップＳ４０６の実行後、大気突入発生カウンタのカウント値を「１」だけインクリメントし（ステップＳ４０７）、前記カウンタのカウント値が予め設定した警報回数（第１の所定回数）Ｎ１に達しているか否か判定する（ステップＳ４０８）。
ステップＳ４０８における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達していない）である場合は、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ４０８における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警報回数Ｎ１に達している）である場合は、ステップＳ４０９に進み、前記カウンタのカウント値が警告回数（第２の所定回数）に達しているか否か判定する。ここで、警告回数Ｎ２は警報回数Ｎ１よりも大きく設定しておく（Ｎ２＞Ｎ１）。
【００６３】
ステップＳ４０９における判定結果が「ＮＯ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達していない）である場合は、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ４１０）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
一方、ステップＳ４０９における判定結果が「ＹＥＳ」（カウント値が警告回数Ｎ２に達している）である場合は、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに、警報を鳴らして（ステップＳ４１１）、本ルーチンの実行を一旦終了する。
【００６４】
前述したように、ターボ分子ポンプＰのポンプ回転数が正常運転時よりも急激に低下するのは、大気突入の時だけでなく、回転数センサ２５の信号線が破断した時にも起こり、また、ターボ分子ポンプＰのロータシャフト４ａのスラスト変位が正常運転時よりも大きくなるのは、磁気軸受け８等の軸受けの故障や、地震などの外部加振を受けた時にも起こり、また、駆動モータ１１のモータ電流が正常運転時よりも大きくなるのは、ターボ分子ポンプＰにプロセスによりチャンバから一瞬ガスが入ったり、電源の故障で過電流が流れたりした時にも起こるが、この第６の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出装置においては、ポンプ回転数の回転数異常とスラスト変位異常とモータ電流異常の全てを検出したときに、ターボ分子ポンプＰに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサ２５の信号線の破断や、軸受け８の故障や、外部加振（地震）や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度が向上する。
【００６５】
また、ターボ分子ポンプＰの大気突入による異常発生を検出したときに、制御装置３０において「大気突入発生」のランプが点滅し報知されるので、分解点検することなくトラブル原因を早期究明することができ、ターボ分子ポンプＰに対し必要な措置を早期に実行することができる。
また、大気突入の発生回数が警報回数Ｎ１に達したときに、制御装置３０の警報ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができる。
さらに、大気突入の発生回数が警告回数Ｎ２に達したときに、制御装置３０の警告ランプを点滅するとともに警報を鳴らすので、ベアリング９，１０等の保護装置とロータシャフト４ａの焼き付けや、ターボ分子ポンプＰの動翼５と静翼３の接触による破損等を未然に防止することができる。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明するように、請求項１に記載した発明によれば、ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出することができるという優れた効果が奏される。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができるという優れた効果が奏される。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することができるという優れた効果が奏される。
【００６７】
請求項２に記載した発明によれば、回転数異常判定手段と変位異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、軸受けの故障や、外部加振などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度が向上するという優れた効果が奏される。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができるという優れた効果が奏される。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することができるという優れた効果が奏される。
【００６８】
請求項３に記載した発明によれば、回転数異常判定手段と電流異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度が向上するという優れた効果が奏される。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができるという優れた効果が奏される。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することができるという優れた効果が奏される。
【００６９】
請求項４に記載した発明によれば、回転数異常判定手段と変位異常判定手段と電流異常判定手段が共に異常であると判定したときに、ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するようにしているので、回転数センサの信号線の破断や、軸受けの故障や、外部加振や、プロセスによるチャンバからのガスの流入や、電源故障による過電流などに起因する誤判定を排除することが可能になり、大気突入によるターボ分子ポンプ異常の検出精度がさらに向上するという優れた効果が奏される。
また、大気突入の発生回数が第１の所定回数以上になったときに警報手段が警報を発するので、ベアリング等の保護装置のメンテナンス時期を知らせることができるという優れた効果が奏される。
さらに、大気突入の発生回数が第２の所定回数以上になったときに警告手段が警告を発するので、ベアリング等の保護装置と回転軸の焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損等を未然に防止することができるという優れた効果が奏される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明に係るターボ分子ポンプの異常検出装置を備えた真空排気系システムの構成図である。
【図２】  ターボ分子ポンプの一例を示す図である。
【図３】  第１の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【図４】  ターボ分子ポンプに大気突入が発生した時の回転数等の挙動を示す一実験結果のグラフである。
【図５】  第２の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【図６】  第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【図７】  第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【図８】  第５の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【図９】  第６の実施の形態におけるターボ分子ポンプの異常検出制御のフローチャートである。
【符号の説明】
４ａ  ロータシャフト（回転軸）
１１  駆動モータ
Ｐ  ターボ分子ポンプ
Ｓ１０２，Ｓ２０２，Ｓ３０２，Ｓ４０２  回転数異常判定手段
Ｓ１０２Ｂ，Ｓ２０４，Ｓ４０４  変位異常判定手段
Ｓ１０２Ｃ，Ｓ３０４，Ｓ４０５  電流異常判定手段
Ｓ２０５，Ｓ３０５，Ｓ４０６  報知手段
Ｓ１０８，Ｓ２０９，Ｓ３０９，Ｓ４１０  警報手段
Ｓ１０９，Ｓ２１０，Ｓ３１０，Ｓ４１１  警告手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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