(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハンドによって物品を保持しながら移載する移載装置の使用方法であって、
該ハンドには、前記物品を吸引し保持するための第一吸引孔と、該第一吸引孔に通り溝を介して接続される第一空気孔と、が形成され、
更に該ハンドには、第二吸引孔と、該第二吸引孔に通り溝を介して接続される第二空気孔と、が形成され、
前記移載装置には、前記第一空気孔に接続される第一吸引手段と、前記第二空気孔に接続される第二吸引手段とが備えられると共に、前記第二吸引手段の吸引圧力を検出する第二圧力検出手段が設けられ、
前記ハンドによって前記物品が適正な位置に保持された場合に、前記第二吸引孔が、前記物品によって閉鎖されない位置であって、前記適正な位置に保持された物品の外郭線に近接し、前記適正な位置にある前記物品の外郭線の外側に前記物品がズレた場合には閉鎖される位置にあるようにする、
ことを特徴とする移載装置の使用方法。
【請求項２】
更に、前記ハンドには、第三吸引孔を形成して、
該第三吸引孔を前記第一吸引手段に接続させ、前記移載装置には、該第一吸引手段の吸引圧力を検出する第一圧力検出手段を設け、
前記ハンドによって前記物品が適正な位置に保持された場合に、前記第三吸引孔が、前記物品によって閉鎖される位置であって、前記適正な位置に保持された物品の外郭線に近接し、前記適正な位置にある前記物品の外郭線の内側に前記物品がズレた場合には閉鎖される位置にあるようにする、
ことを特徴とする請求項１に記載の移載装置の使用方法。
【請求項３】
前記移載装置において、前記第三吸引孔は前記第一空気孔に接続されるものとし、かつ、前記第一吸引孔と前記第一空気孔とを接続する前記通り溝の少なくとも一部が、前記第三吸引孔と前記第一空気孔とを接続する通り溝としても用いられることを特徴とする、
請求項２に記載の移載装置の使用方法。
【請求項４】
前記移載装置において、前記第二吸引手段および前記第二圧力検出手段は、第一吸引手段への電力供給が断たれた後の前記物品の位置検出の際にのみ、作動させることを特徴とする、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の移載装置の使用方法。
【請求項５】
前記移載装置において、前記第二吸引手段は、前記第一空気孔に接続される前記第一吸引手段を、バルブを介して前記第二空気孔に接続したものとすることを特徴とする、
請求項１から請求項４のいずれかに記載の移載装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品（特に平板状物品）を空気吸引によってハンドに保持して移載する、移載装置の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、平板状物品（枚葉物）、例えばウエハや液晶用ガラスをハンド上に吸引保持して、ウエハ等を収納するカセットから取り出して検査装置や処理装置へ移載する、移載装置が知られている。
この移載装置においては、ハンドには、物品を吸引し保持するための吸引孔と、吸引手段に接続される空気孔と、該空気孔と前記吸引孔とを連通させる通り溝が備えられ、吸引手段によって空気を吸引することによって、ハンドに物品を保持する構成となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この構成において、物品をハンドに吸着させた状態で、例えば移載装置に電力を供給する電源部に何らかの異常が発生して、停電した場合を考える。この場合は、前記吸引手段の駆動も停止されて、ハンドの物品に対する吸着保持力が失われることになる。
ハンドが移載作業を行っていないときに停電した場合は、保持力が失われても物品がハンドに対しズレてしまうことはあまり考えられず、停電から復帰して再び吸引手段が駆動された場合は、物品はハンドに対して適正位置を保ったまま再び吸着保持されることになるから、物品を適正位置に調整するような作業は不要である。
一方、ハンドがまさに移載作業を行っている途中であり、特に物品を保持したまま加速中あるいは停止中に停電が起きたような場合は、慣性力が作用する物品がハンドから位置ズレすることも十分考えられる。この状態では、停電から復帰し吸引手段が再び駆動されても、物品はハンドに対して位置ズレして保持されることになって、このままでは他の装置に物品を適正に受渡しできないトラブルの原因となる。従って、この場合は、物品を適正な位置に戻してハンドに保持させる作業が必要になる。
【０００４】
しかし、従来の移載装置は、物品がハンドに適正に保持されているかを検出するセンサをハンドに取り付けることが困難だったのである。即ち、平板状物品をカセット等に収納する場合は、収納スペースの節約のために短い間隔を置いて多数積層させた状態で収納するのが通例であり、そのような狭い空間に挿入して物品を取り出すハンドには必然的に高度のコンパクト性が要求され、センサをハンドに取り付けるスペースの余裕はなかったのである。
【０００５】
従って、物品がハンドに適正な位置で保持されているのか、それとも停電発生時にズレが発生して不適正な位置で保持されているのかの確認が自動的にはできなかった。
結局このような場合は、作業者が移載装置のところまで赴いて、ハンドを目視可能な位置まで移動させた上で、物品がハンドに適正な位置で保持されているのか否かの確認をするほかなく、この確認作業が非常に煩雑だったのである。
【０００６】
本発明はこの点に鑑みてされたものであり、その目的は、ハンドのコンパクト性を損なうことなく、ウエハや液晶用ガラス等の物品がハンドに適正に保持されているか否かを簡単に検出することができる移載装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
即ち、請求項１においては、
ハンドによって物品を保持しながら移載する移載装置の使用方法であって、
該ハンドには、前記物品を吸引し保持するための第一吸引孔と、該第一吸引孔に通り溝を介して接続される第一空気孔と、が形成され、
更に該ハンドには、第二吸引孔と、該第二吸引孔に通り溝を介して接続される第二空気孔と、が形成され、
前記移載装置には、前記第一空気孔に接続される第一吸引手段と、前記第二空気孔に接続される第二吸引手段とが備えられると共に、前記第二吸引手段の吸引圧力を検出する第二圧力検出手段が設けられ、
前記ハンドによって前記物品が適正な位置に保持された場合に、前記第二吸引孔が、前記物品によって閉鎖されない位置であって、前記適正な位置に保持された物品の外郭線に近接し、前記適正な位置にある前記物品の外郭線の外側に前記物品がズレた場合には閉鎖される位置にあるようにする、ものである。
【０００９】
請求項２においては、
更に、前記ハンドには、第三吸引孔を形成して、
該第三吸引孔を前記第一吸引手段に接続させ、前記移載装置には、該第一吸引手段の吸引圧力を検出する第一圧力検出手段を設け、
前記ハンドによって前記物品が適正な位置に保持された場合に、前記第三吸引孔が、前記物品によって閉鎖される位置であって、前記適正な位置に保持された物品の外郭線に近接し、前記適正な位置にある前記物品の外郭線の内側に前記物品がズレた場合には閉鎖される位置にあるようにする、ものである。
【００１０】
請求項３においては、
前記移載装置において、前記第三吸引孔は前記第一空気孔に接続されるものとし、かつ、前記第一吸引孔と前記第一空気孔とを接続する前記通り溝の少なくとも一部が、前記第三吸引孔と前記第一空気孔とを接続する通り溝としても用いられるものである。
【００１１】
請求項４においては、
前記移載装置において、前記第二吸引手段および前記第二圧力検出手段は、第一吸引手段への電力供給が断たれた後の前記物品の位置検出の際にのみ、作動させる、ものである。
請求項５においては、
前記移載装置において、前記第二吸引手段は、前記第一空気孔に接続される前記第一吸引手段を、バルブを介して前記第二空気孔に接続したものとする、ものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図１はクリーンルーム内の無人搬送車の様子を示す斜視図である。
図２は無人搬送車の側面断面図、図３は同じく平面図である。
図４はウエハの平面図であり、（ａ）はオリフラを形成した構成のウエハを、（ｂ）はノッチを有するウエハを、それぞれ示す。
【００１３】
まず、本発明の移載装置を備える無人搬送車１の全体構成について説明する。なお、以下の説明においては、便宜上、図１における矢視Ｆ方向を前方として説明する。
【００１４】
図１に示すように、無人搬送車１は、クリーンルーム内の走行レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車に構成され、車体本体２が前後左右四隅の各走行輪９により支持され、それぞれの走行輪９を駆動モータ８（図２）で駆動し、走行レール２０・２０上で四輪駆動にて走行させている。
【００１５】
前記走行レール２０・２０に沿って、処理装置２１・２１・・・、ストッカ２２が配設され、該ストッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・・が所定間隔を空けて並設されている。
各カセット２３・２３・・・は箱状に構成するとともに、その開口を走行レール２０・２０側へ向けて置かれ、該開口を挟んだ該カセット２３の内面にはそれぞれ、ウエハ１０の側端を保持する棚が上下方向に等間隔をおいて多数段設けられて、各棚にウエハ１０・１０・・・が水平に置かれて収納されている。
本実施例ではストッカ２２を平置型としているが、この代わりに、カセット２３の搬出入口と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット２３を移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫に構成しても構わない。
【００１６】
図２及び図３に示すように、前記無人搬送車１の車体本体２の中央には、ウエハ１０・１０・・・を移載する枚葉移載装置３が配設され、それを挟むようにして前後に、姿勢合わせ装置４と、バッファカセット５が配置される。
姿勢合わせ装置４はウエハ１０・１０・・・の方向及び中心位置を揃えるためのものであり、バッファカセット５は、ウエハ１０・１０・・・を一時的に収納するためのものである。
前記枚葉移載装置３は、前記装置群２１・２２から受け取ったウエハ１０をバッファカセット５内の棚に一時的に収納したり、バッファカセット５内の棚にあるウエハ１０を取り出して、姿勢合わせ装置４にてウエハ１０の位置や姿勢を調整した上で前記処理装置２１に受け渡したり、といった移載作業に用いられる。
【００１７】
前記ウエハ１０は、シリコン単結晶からなる略円盤状に形成されている。
シリコンの結晶には方位性があるので、その方向を識別するための手段が形成されている。例えば、図４（ａ）に示すように、ウエハ１０の外周の一部を直線状に切り欠いて形成されるオリエンテーションフラット（オリフラ）１０ａを有するようにしたり、図４（ｂ）に示すように、ウエハ１０の外周の一部を切り欠いたノッチ１０ｂを有するようにしたりしている。
いずれの場合でも、その表面又は裏面における周部に、ウエハの製造履歴等、ウエハ情報を符号化したＩＤマーク１１が刻印されている。このＩＤマーク１１は前述の姿勢合わせ装置４内に設置される適宜のマーク読取装置によって読み取られ、これによって無人搬送車１はウエハの情報を得ることができる。
【００１８】
次に、前記移載装置３について説明する。
図２及び図３に示すように、移載装置３は、移載アーム３０Ｍ・３０Ｓ、基台３８、ターンテーブル３９等から成る。
基台３８は車体本体２中央に埋設され、図示しない昇降機構にて昇降自在に構成されている。該基台３８上面にターンテーブル３９が回転自在に取り付けられ、該ターンテーブル３９上に一対の移載アーム３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられている。
【００１９】
前記移載アーム３０Ｍ（３０Ｓ）は、移載ハンド３１と、第一アーム３２と、第二アーム３３とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、図示せぬサーボモータにより伸縮自在に構成されている。
【００２０】
前記移載ハンド３１は平板状に形成され、その二股に分かれた先端部にはそれぞれ吸引孔３４・３４が設けられ、真空ポンプで吸引して移載ハンド３１に物品たるウエハ１０を吸着・保持するように構成されている。この詳細な構成は詳述する。
【００２１】
一方の移載アーム３０Ｍには、移載ハンド３１の吸引孔３４・３４とは反対側の端部に、マッピングセンサ３５が取り付けられている。
このマッピングセンサ３５は、先端が二股に分かれた平面視「Ｖ」字状の形状で、その先端が光電センサ３５ａ・３５ａとなっている。この構成で、前記基台３８を上昇させて該移載アーム３０Ｍを屈伸させ、該マッピングセンサ３５をバッファカセット５に近接させた上で、基台３８を下降させながら光電センサ３５ａ・３５ａでバッファカセット５の各棚を探知することで、各棚にウエハ１０が載置されているか否かを検出することができる。
【００２２】
次に、本発明の移載ハンド３１の構造を説明する。
図５は移載ハンドの斜視図、図６は移載ハンドにおけるウエハの位置検出を説明する斜視図である。
【００２３】
移載ハンド３１は長方形平板状に構成され、その長手方向一側（移載ハンド３１先端側）がＵ字状に欠設され、先端側が対称状に二股に分岐される如きの形状とされている。そして、分岐されたそれぞれの先端の上面に、前記ウエハ１０を吸着して移載ハンド３１に保持するための吸着孔３４・３４を形成してある。この一対の吸着孔３４・３４は本発明における第一吸引孔に相当するものである。
【００２４】
吸着孔３４を形成した側と長手方向で反対側に位置する部位において、移載ハンド３１の上面には第一空気孔４０を形成してある。この第一空気孔４０にはエアパイプ５０の一端が接続され、このエアパイプ５０は前記第一アーム３２・第二アーム３３内部を通された上で、その他端側に吸引手段たる第一真空ポンプ４１が接続される。また、該エアパイプ５０には第一圧力検出スイッチ４２が接続されて第一真空ポンプ４１による吸引圧力を検出できるようにし、該第一圧力検出スイッチ４２は無人搬送車１の図示せぬ制御装置に接続されている。
【００２５】
前記移載ハンド３１の内部には第一通り溝４３が形成される。該第一通り溝４３は平面視「コ」字状に形成され、その両端には前記吸着孔３４が接続されるとともに、その中途部において前記第一空気孔４０が接続される。この構成によって第一通り溝４３は、単一の前記第一空気孔４０と二つの吸着孔３４とを相互連通することになる。
【００２６】
さらに、前記移載ハンド３１の長手方向中途部には、一対の位置ズレ検出孔４４・４４が形成される。この位置ズレ検出孔４４・４４は、移載ハンド３１上にウエハ１０を適正な位置で保持した場合に、平面視において該ウエハ１０と重複しない位置に設けられている。ただし、位置ズレ検出孔４４・４４が形成される箇所は、適正位置に保持されたウエハ１０の外郭線に近接した箇所としている。
この位置ズレ検出孔４４・４４は、本発明における第二吸引孔に相当するものである。
【００２７】
一方、前記第一空気孔４０に近い箇所において前記移載ハンド３１には第二空気孔４５が設けられる。この第二空気孔４５にはエアパイプ５１の一端が接続され、このエアパイプ５１は前記第一アーム３２・第二アーム３３内部を通された上で、その他端側に吸引手段たる真空ポンプ４６が接続される。また、該エアパイプ５１には第二圧力検出スイッチ４７が接続されて真空ポンプ４６による吸引圧力を検出できるようにし、該第二圧力検出スイッチ４７は無人搬送車１の図示せぬ制御装置に接続されている。
なお、この真空ポンプ４６は常時駆動されるものではなく、後述するように、停電等が発生した後のウエハ１０の位置検出の際にのみ用いられる。
【００２８】
前記移載ハンド３１の内部には第二通り溝４８が形成される。該第二通り溝４８は平面視「コ」字状に形成され、前記第一通り溝４３に平行にかつその内側に配置されている。第二通り溝４８の両端には前記位置ズレ検出孔４４・４４が接続され、その中途部には前記第二空気孔４５が接続される。この構成によって第二通り溝４８は、単一の前記第二空気孔４５と二つの位置ズレ検出孔４４・４４とを相互連通することになる。
【００２９】
さらに、前記移載ハンド３１の長手方向中途部には、一対の位置ズレ確認孔４９・４９が形成される。この位置ズレ確認孔４９・４９は、移載ハンド３１上にウエハ１０を適正な位置で保持した場合に、平面視において該ウエハ１０と重複する位置に設けられている。ただし、位置ズレ確認孔４９・４９が形成される箇所は、適正位置に保持されたウエハ１０の外郭線に近接した箇所としている。
この位置ズレ確認孔４９・４９は、本発明における第三吸引孔に相当するものである。
【００３０】
前記位置ズレ確認孔４９・４９は、前述した第一通り溝４３の中途部に連通され、該第一空気孔４０と接続されている。これは言い換えれば、吸着孔３４と第一空気孔４０とを繋ぐ第一通り溝４３の一部が、位置ズレ確認孔４９と第一空気孔４０とを繋ぐ通り溝として兼用されていることを意味する。
【００３１】
以上の構成の作用を、図６を参照して説明する。
図６において実線で示されているウエハ１０の位置Ａは、移載ハンド３１上のウエハ１０の適正保持位置である。通常はこの位置にウエハ１０をおいて、前記第一真空ポンプ４１を駆動させて真空を発生させ、吸着孔３４で吸着させて保持し、この状態で移載装置３による移載作業を行わせる。
ウエハ１０が適正位置Ａにて移載ハンド３１に保持されているときは、図６に示すように、移載ハンド３１の前記位置ズレ確認孔４９・４９はウエハ１０によって閉鎖される一方、位置ズレ検出孔４４・４４は閉鎖されない。
【００３２】
この構成において、ウエハ１０を移載ハンド３１に吸着させた状態で、例えば移載装置３に電力を供給する電源部に何らかの異常が発生して、停電した場合を考える。この場合は、前記第一真空ポンプ４１に対する電力供給も断たれて、移載ハンド３１のウエハ１０に対する吸着保持力が失われることになる。
ここで、移載ハンド３１が移載作業を行っていないようなときに停電したような場合は、保持力が失われてもウエハ１０が移載ハンド３１に対し前記適正位置Ａからズレてしまうことはあまり考えられず、停電から復帰して再び第一真空ポンプ４１が駆動された場合は、ウエハ１０は移載ハンド３１に対し適正位置を保ったまま再び吸着保持されることになるから、停電からの復帰にあたって、ウエハ１０を適正位置に調整するような作業は不要である。
一方、移載ハンド３１がまさに移載作業を行っている途中であり、特にウエハ１０を保持したまま加速中あるいは停止中に停電が起きたような場合は、慣性力が作用するウエハ１０が移載ハンド３１から位置ズレするようなことも十分考えられる。この状態では、停電から復帰し第一真空ポンプ４１が再び駆動されても、ウエハ１０は鎖線で示すように、前記適正位置からズレた位置（例えば、位置Ｂや位置Ｃ）に移動した状態で保持されることになって、このままでは他の装置に対しウエハ１０を適正に受渡しできないトラブルの原因となる。従って、この場合は、ウエハ１０を適正な位置に戻して移載ハンド３１に保持させる作業が必要になる。
【００３３】
本実施例では、ウエハ１０の位置が適正位置Ａにあるか否かの検出を、以下のようにして行うものである。
停電から復帰して電力が供給される。すると、停電を検知していた移載装置３の制御装置は電力の再供給を検知し、先ず二つの真空ポンプ４１・４６を駆動して、二つの圧力検出スイッチ４２・４７が検出する圧力を調べる。
【００３４】
ウエハ１０の位置が適正位置Ａにあれば、位置ズレ確認孔４９はウエハ１０によって塞がれて（吸着孔３４が塞がれているのは勿論である）、第一圧力検出スイッチ４２は真空圧になる。一方、位置ズレ検出孔４４は開放されるので、第二圧力検出スイッチ４２は大気圧を検出することになる。
【００３５】
一方、ウエハ１０の位置が前方にズレた位置Ｂにあれば、位置ズレ確認孔４９及び位置ズレ検出孔４４がともに開放されるので、二つの圧力検出スイッチ４２・４７はいずれも大気圧を検出することになる。
【００３６】
一方、ウエハ１０の位置が後方にズレた位置Ｃにあれば、位置ズレ確認孔４９及び位置ズレ検出孔４４が閉鎖されるので、二つの圧力検出スイッチ４２・４７はいずれも真空圧を検出することになる。
【００３７】
従って、制御装置は、停電から復帰後、二つの圧力検出スイッチ４２・４７が検出する圧力をそれぞれ調べて、第一圧力検出スイッチ４２が真空圧を検出し、第二圧力検出スイッチ４７が大気圧を検出することをもって、ウエハ１０が適正位置Ａからズレていないものと判断する。
一方、前述の二つの圧力検出スイッチ４２・４７の検出値の組合せが前述のもの以外である場合には、ウエハ１０の位置ズレが生じているものと判断する。
【００３８】
移載装置３の制御装置は無人搬送車システムのコントローラと信号のやり取りが可能とされており、前記ウエハ１０の位置ズレが生じているか否か等の信号を、コントローラに伝達できるようになっている。
コントローラは、無人搬送車１についてウエハ１０の位置ズレが発生していることを、ランプやブザー等の報知手段によってオペレータに知らせることができるように構成してある。
従って、上述のように停電から復帰させた場合には、オペレータはウエハ１０が適正位置に保持されているか否かをその都度目視で点検する必要がなくなる。オペレータは、ウエハ１０の位置ズレが発生したことをコントローラから知らされたときにのみ、無人搬送車１の場所まで赴いて、ウエハ１０の位置調整作業を行えば足りる。
このため、停電の都度オペレータが目視で点検した場合に比し、移載装置３の移載作業をより早く再開させることができる。この結果、無人搬送車システムをより効率良く運用することができる。
【００３９】
なお、本実施例では、第一空気孔４０と第二空気孔４５とを別々の真空ポンプにより接続しているが、共通の真空ポンプに接続するようにしても良い。例えば、真空ポンプ４１からバルブを介して第二空気孔４５に接続するようにし、停電時等ウエハ１０の位置ズレを確認する場合に、バルブを開けるようにしても良い。
また、本実施例では、吸引手段として真空ポンプ４１・４６を用いているが、真空ポンプに限るものではなく、例えば、真空イジェクタ−等他の吸引手段でもよい。
さらに、本実施例では、ウエハ１０の位置ズレの確認は、停電時等特別な場合であるが、ウエハ１０を載置する度に確認しても良く、常時確認するようにしても良い。
【００４０】
なお、実際には、移載ハンド３１によりウエハ１０を受け渡される相手側の装置（処理装置２１等）は、該ウエハ１０の受渡し位置の若干の誤差を許容するので、その許容範囲を考慮して、前記位置ズレ検出孔４４や位置ズレ確認孔４９の開口位置を調整することとする。これにより、ウエハ１０が前記適正位置Ａに厳密に位置していなくても、該適正位置１０を中心とした一定の範囲（前記許容範囲に相当する範囲）内に位置していれば、制御装置は位置ズレなしと判断して、オペレータに対しウエハ１０の位置調整の必要を報知しないようになっている。
【００４１】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下に示すような効果を奏する。
【００４２】
即ち、請求項１においては、
物品がハンド上の適正位置にあるか否かを、目視によらず第二吸引孔の吸引圧力を圧力検出手段によって検出することによって判断できるので、オペレータは目視の確認作業を頻繁に強いられることがなくなる。
また、物品を吸着させるためのエア圧力を用いて物品がハンド上の適正位置にあるか否かを判定することになるから、ハンド上に特別のセンサを設ける構成に比べ、ハンドのコンパクト性が良好である。
【００４３】
請求項２においては、
物品が適正位置から一方にズレたときは第二吸引孔が開かれ、他方にズレたときは第三吸引孔が塞がれる。これを圧力検出手段に検出することで、物品がいずれの方向にズレたときも、そのズレを的確に検出することができる。
【００４４】
請求項３においては、
通り溝の構造を簡素化でき、製造コストの低減に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルーム内の無人搬送車の様子を示す斜視図。
【図２】無人搬送車の側面断面図。
【図３】同じく平面図。
【図４】ウエハの平面図。（ａ）はオリフラを形成した構成のウエハを、（ｂ）はノッチを有するウエハを、それぞれ示す。
【図５】移載ハンドの斜視図。
【図６】移載ハンドにおけるウエハの位置検出を説明する斜視図。
【符号の説明】
３  移載装置
１０  ウエハ（物品）
３１  移載ハンド（ハンド）
３４  吸着孔（第一吸引孔）
４０  第一空気孔
４１  第一真空ポンプ（吸引手段）
４２  第一圧力検出スイッチ（圧力検出手段）
４３  通り溝
４４  位置ズレ検出孔（第二吸引孔）
４５  第二空気孔
４６  第二真空ポンプ（吸引手段）
４７  第二圧力検出スイッチ（圧力検出手段）
４８  通り溝
４９  位置ズレ確認孔（第三吸引孔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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