(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して処理を施す複数個のユニットと、
基板の処理を規定したレシピに応じて前記各ユニットを制御する制御手段と、
前記制御手段が前記各ユニットを制御する前に、予め装置内における前記各ユニットの位置を含む構成を確認し、前記構成に応じて、前記各ユニット位置と、前記ユニット毎の接点名とこれに対応するアドレス番号との変換表を生成し、前記制御手段からの制御命令を前記変換表に応じて変換する変換手段と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記各ユニットと前記制御手段との間に介在し、前記変換手段によって変換された制御命令に基づいて前記各ユニットを制御する副制御手段を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置において、
前記ユニットは、純水洗浄処理部であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の基板処理装置において、
前記ユニットは、薬液処理部であることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の基板処理装置において、
前記ユニットは、搬送機構であることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置として、ユニットである二つの純水洗浄処理部と、二つの薬液処理部と、搬送機構とを備え、これらのユニットに対して直接的に接続され、レシピに基づいてそれらを統括的に制御する制御部を備えたものがある。
【０００３】
このような構成の装置では、制御部がレシピに基づき直接的に各ユニットに対して制御命令を発行し、それを受けた各ユニットがそれぞれ純水洗浄、薬液洗浄や搬送処理を基板に対して施すようになっている。
【０００４】
ところで、基板処理装置に求める能力はユーザーによって異なるのが一般的である。つまり、あるユーザーにとっては純水洗浄処理部と薬液処理部とをそれぞれ二台備えることが必要であるが、あるユーザーにとっては不要となることもある。そのために純水洗浄処理部と薬液処理部とをそれぞれ一つ装置から取り外して、装置の構成を変更することが行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は各ユニットが制御部に対して直接的に接続された構成であるので、このような構成の変更は、単にユニットの取り外しだけですむものではなく、当然のことながら制御部におけるプログラムの制御命令を変更に応じて変える必要が生じる。この作業は、ユニットの変更がユーザーごとに異なることもあり、検証にも時間を要し極めて煩雑であって、コストが嵩むという問題がある。
【０００６】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、予め装置の構成を確認して制御命令を変換することにより、装置の構成変更を容易に行なうことができ、変更に要するコストを低減することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に対して処理を施す複数個のユニットと、基板の処理を規定したレシピに応じて前記各ユニットを制御する制御手段と、前記制御手段が前記各ユニットを制御する前に、予め装置内における前記各ユニットの位置を含む構成を確認し、前記構成に応じて、前記各ユニット位置と、前記ユニット毎の接点名とこれに対応するアドレス番号との変換表を生成し、前記制御手段からの制御命令を前記変換表に応じて変換する変換手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の基板処理装置において、前記各ユニットと前記制御手段との間に介在し、前記変換手段によって変換された制御命令に基づいて前記各ユニットを制御する副制御手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記ユニットは、純水洗浄処理部であることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記ユニットは、薬液処理部であることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記ユニットは、搬送機構であることを特徴とするものである。
【００１３】
【作用】
請求項１に記載の発明の作用は次のとおりである。
すなわち、制御手段が各ユニットを制御するのに先立って、変換手段が装置内における各ユニットの位置を含む構成を確認するので、装置の構成を知ることができる。そして、変換手段が構成に応じて、各ユニット位置と、ユニット毎の接点名とこれに対応するアドレス番号との変換表を生成し、この変換表に応じて制御手段からの制御命令を変換する。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、変換された制御命令に基づいて各ユニットを副制御手段が制御する。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、ユニットとして純水洗浄処理部を備えた装置で構成変更が行なわれる。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、ユニットとして薬液処理部を備えた装置で構成変更が行なわれる。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、ユニットとして搬送機構を備えた装置で構成変更が行なわれる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２はこの発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はその概略構成を示したブロック図である。
【００２０】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００２１】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。この第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００２２】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。
【００２３】
この第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に移動可能に構成されている。その移動方向の最も手前側には、第１処理部１７が配備されている。この第１処理部１７は、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理機能を備えている。
【００２４】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記の第１処理部１７に手前側で隣接する位置には、第２処理部１９が配備され、これに隣接して第３処理部２１が配備されている。
【００２５】
第２処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部１９ａを備えるとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を施すための薬液処理部１９ｂを備えている。また、これらの間でのみ複数枚の基板Ｗを受け渡すための副搬送機構１９ｃを備えている。
【００２６】
第３処理部２１は、上記の第２処理部１９と同じ構成を採用している。つまり、純水洗浄処理部２１ａと、薬液処理部２１ｂと、副搬送機構２１ｃとを備えている。
【００２７】
なお、上述した第１搬送機構１１と、第２搬送機構１３と、第３搬送機構１５と、第１処理部１７と、第２処理部１９の純水洗浄処理部１９ａ、薬液処理部１９ｂ，副搬送機構１９ｃと、第３処理部２１の純水洗浄処理部２１ａ、薬液処理部２１ｂ，副搬送機構２１ｃとが本発明における「ユニット」に相当する。
【００２８】
また、上記のような構成の基板処理装置とは別体で、ホストコンピュータ２５と、このホストコンピュータ２５に接続され、レシピ等を予め記憶しておく記憶装置２７とが配備されている。このホストコンピュータ２５は、基板処理装置に対してイーサネット２９（登録商標：富士ゼロックス株式会社）を介して接続されている。なお、イーサネット２９に代えてその他の形態のネットワークを採用してもよい。
【００２９】
上記のように構成された基板処理装置は、図２のブロック図に示す制御体系を採っている。
【００３０】
第１制御部３１は、イーサネット２９を介して上述したホストコンピュータ２５と接続されている。メモリ３３は、後述する各種表などを記憶する。また、第２制御部３５は、第１制御部３１と同じ役割を有し、メモリ３７もメモリ３３と同様の役割を有する。つまり、第１制御部３１は、第１搬送機構１１及び第２搬送機構１３並びに第３搬送機構１５を備えた間接処理グループ３９を対象にして制御する。また、第２制御部３５は、第１処理部１７と、第２処理部１９と、第３処理部２１とを備えた直接処理グループ４１を対象にして制御する。
【００３１】
なお、図１中における括弧書きは、基板処理装置内における「ユニット位置」を示している。この図１では、以下における説明の都合上、ユニット位置は、第１ユニット位置ＰＯＳ１〜第６ユニット位置ＰＯＳ６までとしている。
【００３２】
次に、図３のフローチャートを参照しながら、上述した基板処理装置の動作について説明する。
【００３３】
ステップＳ１
まず、ユニット別接点仮アドレス表をホストコンピュータ２５が準備する。例えば、純水洗浄処理部１９ａのユニット別接点仮アドレス表は、次の表１に示すようなものである。この表１に相当するデータは、記憶装置２７に保存されている。
【００３４】
【表１】
0003948916.tif 000002
【００３５】
また、例えば、薬液処理部１９ｂのユニット別接点仮アドレス表は、次の表２のようなものである。
【００３６】
【表２】
0003948916.tif 000003
【００３７】
このようにユニット別接点アドレス表は、第１処理部１７や純水洗浄処理部１９ａなどのようにユニット毎に接点名（ＡＶ０１，ＡＶ０２等）と仮アドレス番号とを対応付けるものである。接点名とは、ユニット毎に異なるものであり、制御プログラムはこの接点名を使って各ユニット内の部品を識別するとともに制御対象とする。
【００３８】
ステップＳ２
ユニット位置オフセット表をホストコンピュータ２５が準備する。この表は、例えば、次の表３に示すようなものである。
【００３９】
【表３】
0003948916.tif 000004
【００４０】
ユニット位置オフセット表は、基板処理装置内における各ユニットのオフセット位置を示し、これによって装置内のどのユニット位置であればアドレスのオフセット値がいくつになるかを示す。つまり、図１の第１ユニット位置ＰＯＳ２にある第１処理部１７は、アドレスオフセット「２０００」であることを示している。
【００４１】
ステップＳ３
ホストコンピュータ２５が、例えば、次の表４のような装置構成表を準備する。この装置構成表は、基板処理装置のどのユニット位置にどのユニットが配置されているかを示すものである。
【００４２】
【表４】
0003948916.tif 000005
【００４３】
なお、上記の表４は第３処理部２１が存在しない場合の装置構成表であるが、第３処理部２１を備えている場合には、純水洗浄処理部２１ａと薬液処理部２１ｂが追加されて次の表５のようになる。通常は、これらの装置構成表のうちいずれか一つだけが記憶装置２７に格納されている。
【００４４】
【表５】
0003948916.tif 000006
【００４５】
ステップＳ４
ユニット別接点アドレス表をホストコンピュータ２５が作成する。この表は、基板処理装置内におけるユニット毎の実アドレス番号を示したものである。これは、上述したユニット別接点仮アドレス表（表１，２）と、ユニット位置オフセット表（表３）とから計算によって求められる。つまり、ユニットにおける接点名の仮アドレス番号と、そのユニットのユニット位置におけるアドレスオフセットとを加算するのである。例えば、純水洗浄処理部１９ａに関するこの表は、次の表６に示すようなものとなる。
【００４６】
【表６】
0003948916.tif 000007
【００４７】
また、純水洗浄処理部２１ａについては、例えば、表７に示すようなものとなる。
【００４８】
【表７】
0003948916.tif 000008
【００４９】
ステップＳ５
第１制御部３１は、イーサネット２９を介して記憶装置２７にアクセスし、上記の装置構成表（表４，５）とユニット別接点アドレス表（表６，７）とから、間接処理グループ３９を構成するように、それらの表をまとめる。つまり、第１制御部３１の制御下におかれる間接処理グループ３９に含まれている各ユニット（第１搬送機構１１、第２搬送機構、第３搬送機構１５）を確認するとともに、これらの各ユニット位置と、ユニット毎の接点名とこれに対応するアドレス番号との対応データを作成する。この対応データは、メモリ３３に記憶される。これにより、第１制御部３１は、自分の制御下にどのユニットがあるかを理解し、その制御対象（部品）の接点名と実際のアドレス番号を知ることができる。
【００５０】
ステップＳ６
第２制御部３５は、上記第１制御部３１と同様に、直接処理グループ４１を構成するように装置構成表とユニット別接点アドレス表をまとめる。つまり、第２制御部３５の制御下におかれる直接処理グループ４１に含まれている各ユニットを調べ、対応データを作成してメモリ３７に記憶する。これにより第２制御部３５は、自分の制御下にあるユニットと制御対象等を知ることになる。
【００５１】
なお、上述したホストコンピュータ２５が本発明における制御手段に相当し、第１制御部３３，第２制御部３５が本発明における変換手段に相当し、対応データが本発明における変換表に相当する。
【００５２】
ステップＳ７
ユーザーがホストコンピュータ２５を介して、基板Ｗの処方であるレシピを指定する。
【００５３】
ステップＳ８
上記のステップＳ７で指示されたレシピは、イーサネット２９を介して第１制御部３１のメモリ３３と第２制御部３５のメモリ３７に転送される。これにより両制御部３１，３５は、どのユニットがどのような順序でどのように使用されてゆくかを知ることになる。
【００５４】
ステップＳ９
本発明における副制御手段に相当する第１，第２制御部３１，３５はレシピにしたがって制御プログラムを実行して各ユニットを制御するが、搬送に関する動作は間接処理グループ３９を制御下においている第１制御部３１が対応データに基づき担当し、副搬送、純水洗浄、薬液処理、乾燥処理については直接処理グループ４１を制御下においている第２制御部３５が対応データに基づき担当することになる。
【００５５】
例えば、基板処理装置が第３処理部２１を備えていない場合、つまり、装置構成表が表４のような場合には、上述したステップＳ１ないしＳ３において第３処理部２１を備えていない構成であることが判明し、ステップＳ４ないしＳ６においてそれに応じた対応データが作成される。したがって、この対応データに基づいて第１制御部３３と第２制御部３５とが各々の制御下にあるユニットを制御するので、第１制御部３３と第２制御部３５の制御プログラムを変更する必要がない。
【００５６】
上述したように第１制御部３１，第２制御部３５が装置内における各ユニットの位置を含む構成を予め確認して装置の構成を知るので、その構成に応じてホストコンピュータ２５からの制御命令を変換することができる。したがって、装置の構成変更に伴って制御プログラムの制御命令を変更する必要がなく、構成変更を容易に行なうことができる。これに伴って変更に要するコストを低減することができる。
【００５７】
なお、本実施例では基板処理装置として薬液処理を施すための装置を例に採って説明したが、本発明はこのような装置に限定されるものではなく、例えば、基板にフォトレジスト被膜を被着する塗布ユニットやベークユニットを備えた基板塗布装置や、基板に金属被膜を形成するメッキユニットと、不要な部分の金属被膜を除去するエッチングユニットを備えた基板エッチング装置などであっても適用することができる。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、変換手段が装置内における各ユニットの位置を含む構成を予め確認して装置の構成を知るので、変換手段が構成に応じて、各ユニット位置と、ユニット毎の接点名とこれに対応するアドレス番号との変換表を生成し、この変換表に応じて制御手段からの制御命令を変換することができる。したがって、装置の構成変更に伴ってプログラムの制御命令を変更する必要がなく、構成変更を容易に行なうことができる。これに伴って変更に要するコストを低減することができる。
【００６０】
請求項３に記載の発明によれば、各ユニットと制御手段との間に介在する副制御手段が、変換された制御命令に基づいて各ユニットを制御するので、制御手段の負荷を軽くして効率的に動作させることができる。
【００６１】
請求項４に記載の発明によれば、ユニットとして純水洗浄処理部を備えた装置で構成変更が行なわれても上記請求項１の効果を奏する。
【００６２】
請求項５に記載の発明によれば、ユニットとして薬液処理部を備えた装置で構成変更が行なわれても上記請求項１の効果を奏する。
【００６３】
請求項６に記載の発明によれば、ユニットとして搬送機構を備えた装置で構成変更が行なわれても上記請求項１の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
１１  …  第１搬送機構（ユニット）
１３  …  第２搬送機構（ユニット）
１５  …  第３搬送機構（ユニット）
１７  …  第１処理部（ユニット）
１９  …  第２処理部
１９ａ  …  純水洗浄処理部（ユニット）
１９ｂ  …  薬液処理部（ユニット）
１９ｂ  …  副搬送機構（ユニット）
２１  …  第３処理部
２１ａ  …  純水洗浄処理部（ユニット）
２１ｂ  …  薬液処理部（ユニット）
２１ｃ  …  副搬送機構（ユニット）
３１  …  第１制御部（変換手段、副制御手段）
３５  …  第２制御部（変換手段、副制御手段）
３９  …  間接処理グループ
４１  …  直接処理グループ
【図１】
0003948916.tif 000009
【図２】
0003948916.tif 000010
【図３】
0003948916.tif 000011