(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂一体構造で外形が所定径、所定厚みの円板体に、その軸方向一端から所定径、所定深さに亘って開口部を形成するとともに、一端が上記開口部に開口し他端が上記円板体の外周面に開口する貫通孔を上記円板体の周方向に所定の間隔で複数形成してなり、回転駆動され上記開口部から導入された砥粒を上記貫通孔を経て上記円板体の周方向外方へ噴射する噴射用ロータであって、
上記各貫通孔から噴射される砥粒の噴射拡散角度が最小となるよう、上記各貫通孔の中心軸の方向を上記円板体の径方向から所定角度傾斜させ、
超高分子量ポリエチレン樹脂の一体構造で形成された上記円板体を素材としてこれに機械切削により上記開口部および貫通孔を形成し、
上記円板体とほぼ同径の金属円板からなるバランス体を上記円板体の反開口部側に一体に固着する構成としたことを特徴とする噴射用ロータ。
【請求項２】
円板体の回転方向を時計方向としたとき、各貫通孔の中心軸の方向を円板体の径方向から反時計方向に１２〜２２°傾斜させたことを特徴とする請求項１記載の噴射用ロータ。
【請求項３】
貫通孔は、その内面に筒状セラミック材が嵌め込まれた構成としたことを特徴とする請求項１または２記載の噴射用ロータ。
【請求項４】
円板体の開口部側に固着され周囲から上記開口部内にエアーを吸入するエアー吸入手段を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の噴射用ロータ。
【請求項５】
回転軸が水平となる姿勢で配置された請求項１ないし４のいずれかに記載の噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、および上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面を閉塞するようにベルトを上記噴射用ロータの外周の一部に係合させるベルト係合手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記ベルトによる閉塞が開放される位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付ける研磨装置。
【請求項６】
回転軸が水平となる姿勢で配置された請求項１ないし４のいずれかに記載の噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面と微少の間隙を介して対向し中央に所定深さの溝を形成した対向面を有するエアーブロック、およびこのエアーブロックの溝と上記噴射用ロータの外周面とにより周方向に延在して形成されるエアー空間に上記噴射用ロータの回転方向に沿うエアーの流れを形成するエアー供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記エアーブロックの開放端の位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付ける研磨装置。
【請求項７】
砥粒供給手段を、開口部への砥粒供給方向を鉛直下方から噴射用ロータの回転方向へ所定角度ずらす砥粒ガイドを備えたものとすることにより、上記噴射用ロータ外周のベルトにより閉塞する周方向距離またはエアーブロックの周方向寸法を短縮せしめたことを特徴とする請求項５または６記載の研磨装置。
【請求項８】
開口部を上にして回転軸が垂直となる姿勢で配置された請求項１ないし４のいずれかに記載の噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、および上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの周方向外方に噴出させ上記噴射用ロータの周囲に所定の間隔で配置された複数の被研磨材に同時に吹き付ける研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、砥粒を回転遠心力により被研磨材に吹き付け、その表面を研磨するための噴射用ロータおよびこの噴射用ロータを使用した研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
被研磨材に砥粒を吹き付けてその表面を研磨する研磨装置は、従来からその被研磨材の種別や形状・大きさ、また研磨加工の内容、要求精度等に応じて種々のタイプのものが実用化されている。しかし、それら研磨装置で使用され、砥粒に回転遠心力を与えて噴射させる噴射用ロータは、例えば、特開平９−３１４４６８号公報や実開昭６３−１１６２６５号公報に見られるように、基本となる構造は、ほぼ定まっている。
即ち、２枚の金属円板の間にその周方向に所定の間隔で配置した複数の羽根を挟持し、上記金属円板の一方の中央に砥粒を導入する開口部を形成したものである。
そして、この金属円板は例えば数千ＲＰＭ程度の高速度で回転されるものであるので、この回転時の発生機械力に十分耐える強度を備える必要があり、具体的には、両金属円板と各羽根とは、例えば溶接で固着する、また、適当な組み合わせ構造を採用してボルト締めにより一体に仕上げる等の構造が採用されることになる。
【０００３】
従来の噴射用ロータは以上のような基本構造を有するものであるので、以下の問題点が存在する。
即ち、溶接で固着する構造の場合、形状が小さい場合はよいが、大きくなるにつれ羽根枚数も多くなり、溶接作業自体が困難になるとともに、いわゆる溶接歪みのため高速回転に耐える回転バランス精度に仕上げるのが至難の業となり、現実的には、煩雑なバランス調整策を施す必要があり生産性が悪く結果として高価なものとならざるを得ない。
また、ボルト締め構造を採用した場合は、ボルト締め箇所が多いことから組立が複雑で回転バランス調整も煩雑となる。更に、使用時の遠心力により発生する緩みが無視できず、保守費用も増大する結果となる。
更に、いずれのものも、回転体としての重量が必然的に大きくなり、回転駆動するためのモータも大型化し、回転使用時の振動騒音も大きくなる。
また、単に羽根を放射状に配置しただけでは、砥粒が広い角度に噴射し、砥粒を被研磨材に効率よく吹き付けるという点で十分でなかった。
【０００４】
この発明は以上のような問題点を解消するためになされたもので、軽量で生産性に優れ、しかも砥粒を被研磨材に効率よく噴射できる噴射用ロータおよびそれを使用した研磨装置を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る噴射用ロータは、樹脂一体構造で外形が所定径、所定厚みの円板体に、その軸方向一端から所定径、所定深さに亘って開口部を形成するとともに、一端が上記開口部に開口し他端が上記円板体の外周面に開口する貫通孔を上記円板体の周方向に所定の間隔で複数形成してなり、回転駆動され上記開口部から導入された砥粒を上記貫通孔を経て上記円板体の周方向外方へ噴射する噴射用ロータであって、
上記各貫通孔から噴射される砥粒の噴射拡散角度が最小となるよう、上記各貫通孔の中心軸の方向を上記円板体の径方向から所定角度傾斜させたものである。
更に、この発明に係る噴射用ロータは、超高分子量ポリエチレン樹脂の一体構造で形成された円板体を素材としてこれに機械切削により開口部および貫通孔を形成したものである。
更に、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体とほぼ同径の金属円板からなるバランス体を上記円板体の反開口部側に一体に固着する構成としたものである。
【０００６】
また、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体の回転方向を時計方向としたとき、各貫通孔の中心軸の方向を円板体の径方向から反時計方向に１２〜２２°傾斜させたものである。
【０００７】
また、この発明に係る噴射用ロータの貫通孔は、その内面に筒状セラミック材が嵌め込まれた構成としたものである。
【０００８】
また、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体の開口部側に固着され周囲から上記開口部内にエアーを吸入するエアー吸入手段を備えたものである。
【０００９】
また、この発明に係る研磨装置は、その回転軸が水平となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、および上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面を閉塞するようにベルトを上記噴射用ロータの外周の一部に係合させるベルト係合手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記ベルトによる閉塞が開放される位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付けるものである。
【００１０】
また、この発明に係る研磨装置は、その回転軸が水平となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面と微少の間隙を介して対向し中央に所定深さの溝を形成した対向面を有するエアーブロック、およびこのエアーブロックの溝と上記噴射用ロータの外周面とにより周方向に延在して形成されるエアー空間に上記噴射用ロータの回転方向に沿うエアーの流れを形成するエアー供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記エアーブロックの開放端の位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付けるものである。
【００１１】
また、この発明に係る研磨装置は、その砥粒供給手段を、開口部への砥粒供給方向を鉛直下方から噴射用ロータの回転方向へ所定角度ずらす砥粒ガイドを備えたものとすることにより、上記噴射用ロータ外周のベルトにより閉塞する周方向距離またはエアーブロックの周方向寸法を短縮せしめたものである。
【００１２】
また、この発明に係る研磨装置は、その開口部を上にして回転軸が垂直となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、および上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの周方向外方に噴出させ上記噴射用ロータの周囲に所定の間隔で配置された複数の被研磨材に同時に吹き付けるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１における研磨装置の全体構成を一部断面にして示すもので、同図（ａ）は、噴射用ロータの軸方向から見た正面図、同図（ｂ）は、側面図である。図において、１は図示しない被研磨材を含めすべての機能部分を内部に収容するケースで、移動可能に構成された基台２上に固定されている。３は、回転軸が水平となる姿勢でケース１内に取り付けられた噴射用ロータで、モータ４により図中矢印で示す向きに回転駆動される。なお、噴射用ロータ３については、図２で更に詳述する。
５および６は、砥粒供給手段を構成するベルトコンベアおよび砥粒ガイドで、ベルトコンベア５はケース１の下部に溜まった砥粒を上方へ搬送し、砥粒ガイド６が一定量の割合で噴射用ロータ３の開口部に砥粒を供給する。
７および８は、ベルト係合手段を構成するベルトおよびプーリで、無端のベルト７が、噴射用ロータ３の下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍まで噴射用ロータ３の外周を閉塞している。そして、４つのプーリ８がベルト７に従動して回転し、噴射用ロータ３の開口部に導入された砥粒は、噴射用ロータ３の回転による遠心力で後述する貫通孔を経て、図中、３本の矢印で示す方向に噴射し図示を省略した被研磨材に吹き付けられ所望の研磨機能を発揮する訳である。被研磨材に噴射された砥粒は、ケース１の下部に溜まり、再び、ベルトコンベア５を経て噴射用ロータ３に導入される。
【００１４】
図２は噴射用ロータ３の詳細構造を示す図で、同図（ａ）は、その軸方向から見た正面図、同図（ｂ）は、側面図である。図において、３０は超高分子量樹脂の一体構造で形成された、所定径、所定厚みの円板体、３１は円板体３０の軸方向一端（図（ａ）の手前側、図（ｂ）の左端側）から機械切削により所定径、所定深さに亘って形成された開口部、３２は内方の一端が開口部３１に開口し、外方の他端が円板体３０の外周面に開口する円柱状の貫通孔で、同じく機械切削により周方向に等間隔で複数形成されている。
３３は円板体３０と同径の金属円板からなるバランス体で、円板体３０の軸方向に形成された取付用孔３４を貫通するボルト３５により、円板体３０の反開口部側（図（ｂ）の右端側）に固定されている。そして、モータ４の回転軸は、このバランス体３３に連結される。
なお、円板体３０の素材である超高分子量樹脂としては、耐摩耗性が高く、かつ摩擦係数が小さい、例えば、超高分子量ポリエチレンが望ましい。
【００１５】
次に、図２（ａ）にＡで示す、貫通孔３２の傾斜角度について説明する。図中、Ａは、円板体３０の回転方向を時計方向としたとき、貫通孔３２の中心軸の方向Ｃが、円板体３０の径方向Ｒから反時計方向に傾斜する角度として定義されるものである。
発明者等は、この樹脂一体構造の噴射用ロータとして、その傾斜角度Ａを種々変化させたものを試作し、最適の角度を求める実験を行った。
【００１６】
以下、この実験の要領およびその結果について図３、図４を参照して説明する。砥粒を被研磨材に吹き付けて研磨する場合、通例は、砥粒が被研磨材表面の所望の位置に集中して吹き付けられるのが、研磨効率上望ましい。従って、ここでは、傾斜角度Ａを変えた場合の、貫通孔３２から噴射される砥粒の噴射拡散角度を定量的に計測し、その結果から噴射拡散角度が最小となる傾斜角度Ａを求める実験を行った。但し、現実には、噴射拡散角度自体を計測するのは困難であり精度も期待できないので、図３に示すように、噴射用ロータ３の砥粒噴出端から一定の距離（２００ｍｍ）の位置に、噴射方向と直角に遮蔽板１０を置き、その中央に中心を噴射の中心に合わせた開口１１（直径１３ｍｍの円形の孔）を設けている。
そして、噴射用ロータ３の開口部３１への砥粒の単位時間当たりの供給量を一定に保った状態で、遮蔽板１０の開口１１を単位時間（３秒）に通過した砥粒の重量を計測した。噴射拡散角度が大きいと砥粒の通過量が少なく、噴射拡散角度が小さいと砥粒の通過量が多くなることから、この通過量の計測結果から拡散角度が最小となる、換言すれば噴射の集中密度が最大となる傾斜角度Ａを求めることが出来る。
【００１７】
図４は、傾斜角度Ａを変化させた場合の砥粒の通過量をプロットしたもので、噴射用ロータ３への砥粒の供給量が比較的多い場合（図の点線の特性）と、比較的少ない場合（図の実線の特性）とで実験したが、ほぼ同様の傾向が見られ、Ａ＝１６゜前後で極大値をなし、この極大値から９０％以内の範囲を最適角度範囲とすると、Ａ＝１２〜２２゜が得られた。
このように、傾斜角度に最適範囲が存在し、この範囲より大きくても小さくても噴射拡散角度が増大してシャープな噴出特性が得られなくなるのは、砥粒が高速で回転する貫通孔３２の内壁に当接滑走することにより発生する遠心力と抵抗力の大きさのバランスによるものと考えられる。即ち、傾斜角度が小さいと、抵抗力は小さいが遠心力も小さく、逆に傾斜角度が大きいと、遠心力は大きいが抵抗力も大きくなり、両者が程良くバランスした範囲が存在するものと考えられる。
【００１８】
次に、噴射用ロータ３を中心とした動作について説明する。図１において、モータ４により噴射用ロータ３を矢印の方向に回転駆動すると共に、ベルトコンベア５そして砥粒ガイド６を経て噴射用ロータ３の開口部３１に砥粒を供給すると、砥粒は貫通孔３２内で遠心加速力を得て、ベルト７による閉塞が解除される噴射用ロータ３の上端近傍から勢いよく噴射される。この場合、噴射用ロータ３を構成する円板体３０の素材として超高分子量ポリエチレンを採用するとともに、その貫通孔３２は勿論、開口部３１も機械切削で加工仕上げているので、その内表面が滑らかで摩擦が極めて小さく、円板体３０の回転によって発生する遠心力が無駄なく砥粒に付加され大きな噴射力が得られる。
更に、上述した貫通孔３２の傾斜角Ａを、その最適範囲１２〜２２゜内に設定することにより、砥粒の噴射拡散角度が最小となり、被研磨材への集中密度の高い吹き付けが可能となり、極めて効率的な研磨効果が得られる。
【００１９】
また、円板体３０は樹脂の一体構造で構成され、従来の、部品点数の多い溶接構造や複雑な組立構造を採用していないので、軽量かつ製造も簡便安価となり、モータ４も容量の小さいもので済む。また、一体構造であるので、必要に応じて貫通孔も多数設けることが出来、交換も簡単で保守も容易となる。
なお、全周に亘って多数の貫通孔３２を機械加工で形成するので、加工精度によっては回転体として多少のアンバランスが生じ得るが、円板体３０と一体に結合されるバランス体３３の存在で問題が生じることはない。即ち、バランス体３３は単純形状の金属円板でなり、普通精度の加工で仕上げても完全な回転バランスが得られ、かつ、円板体３０は樹脂製で軽量であるため、円板体３０の部分の回転アンバランス成分が相対的に小さくなりバランス体３３に吸収される形で全体として十分な回転バランス性が得られる。この結果、振動騒音も軽微なレベルとなる。
また、超高分子量ポリエチレンは、機械的強度が大きいことは勿論、極めて高い耐摩耗性を有するので、高速度の砥粒による摩耗にも十分耐えて長寿命が得られ、保守面の経済性も得られる。
【００２０】
実施の形態２．
図５はこの発明の実施の形態２における噴射用ロータの主要部を示す構成図である。これは、噴射用ロータ３を構成する円板体３０に形成する貫通孔３２の変形例である。即ち、ここでは、先の図２で示した、貫通孔３２の外方端の一部を残して内径を拡大し、この内径を拡大した部分に円筒状のセラミック材３６を嵌め込んでいる。
これにより、砥粒が高速度で接触通過する貫通孔３２内面の耐摩耗性が一層増大するとともに摩擦係数も減少し、寿命の増大と研磨効率の増大が得られる。
また、以上のような簡単な嵌め込み機構で、強大な遠心力に耐える円板体３０との一体構造が実現する。
【００２１】
実施の形態３．
図６はこの発明の実施の形態３における噴射用ロータの主要部を示す構成図である。同図（ａ）は、噴射用ロータ３の軸方向から見た正面図、同図（ｂ）は、側面図である。ここでは、噴射用ロータ３の開口部側にエアー吸入手段を追設している。即ち、円板体３０の開口部３１外周縁に受座３７をボルトで取り付け、更に、この受座３７には周方向に所定のピッチで複数の羽根３８が固定されている。そして、噴射用ロータ３が回転すると、これらの羽根３８が、図６（ｂ）の矢印で示すように、ケース１内においてエアーを開口部３１内に吸入する。
この結果、貫通孔３２を経て外部に噴射される砥粒の噴射速度が増大し、研磨効果が増大する。
ところで、被研磨材に吹き付けられる砥粒の速度を上げるため、噴射軌跡に沿って圧縮エアーを供給する方法が採用されることがある。しかし、特に、砥粒として一定の湿度を持たせた材料を採用する場合、外部から導入した圧縮エアーがケース１内の乾燥度を上げ、砥粒を早期に乾燥させてしまい、所望の研磨効果が短時間に消滅する。
これに対し、この実施の形態３では、噴射用ロータ３の回転を利用し、外気との遮断を行うケース１内でエアーを吸入し、このエアーで砥粒を加速させるので、ケース１内の乾燥度の変化がほとんどなく、砥粒の湿度を保ち所望の研磨効果が持続して得られる訳である。
【００２２】
実施の形態４．
図７は、この発明の実施の形態４における研磨装置の主要部を示す構成図である。ここでは、砥粒ガイド６Ａは、その先端が鉛直下方から噴射用ロータ３の回転方向に所定角度ずらしたものとしている。この結果、砥粒ガイド６Ａの先端から開口部３１内に供給される砥粒が、図で左寄りに落下し、ベルト７で閉塞すべき円板体３０の外周長を先の形態例の場合より短縮できる。これに伴い、４つのプーリ８を使用していた先の形態例に対し、この図７では、３つのプーリ８で構成し、その分構造が簡単安価となる利点がある。
【００２３】
実施の形態５．
図８は、この発明の実施の形態５における研磨装置の主要部を示す構成図である。同図（ａ）は噴射用ロータの軸方向から見た正面図、同図（ｂ）は側面図である。図において、噴射用ロータ３自体は先の形態例のものと同一である。１２は、ケース１内の支持板１３に取り付けられたエアーブロックで、その内周面が、図１で説明した、ベルト７による閉塞位置に相当する、噴射用ロータ３の下端近傍から回転方向に沿って上端近傍に至る範囲で噴射用ロータ３の外周面と微少な間隙を介して対向する構成となっている。また、エアーブロック１２の内周面の、貫通孔３２の外方開口位置に対応する中央部分には、同図（ｂ）に示すように、所定深さの溝１４が周方向に沿って形成されている。そして、この溝１４と噴射用ロータ３の外周面とで形成されるエアー空間に連通するダクト１６がエアーブロック１２内に形成され、更にその外方端に接続された複数のエアーノズル１５からダクト１６を経て上記エアー空間内にエアーが供給される構造となっている。
【００２４】
各エアーノズル１５からのエアー供給量を適当に調節し、エアー空間内に噴射用ロータ３の外周速度と同等以上のエアーの流れを形成することにより、高速で集中密度の高い砥粒の噴射が得られる。
この実施の形態５では、ベルト７やプーリ８の駆動部分が無いので、構造が簡単小型となり、保守面も有利となる効果がある。
【００２５】
実施の形態６．
図９は、この発明の実施の形態６における研磨装置の主要部を示す構成図である。同図（ａ）は噴射用ロータの軸方向から見た平面図、同図（ｂ）は側面図である。ここでは、噴射用ロータ３はその開口部３１を上にして回転軸が垂直となる姿勢で図示しないケース１内に取り付けられている。そして、砥粒は砥粒ガイド６を経て垂直上方から開口部３１内の中心位置に供給される。そして、噴射用ロータ３の外周は閉塞することなく開放されており、従って、砥粒は噴射用ロータ３の外周全周に分散して噴射する。これに対応して、被研磨材１７も全周に複数個配置し同時に研磨作業を行う。
砥粒ガイド６からの砥粒の供給量を適当に設定することにより、生産効率の高い研磨作業が実現できる利点がある。
【００２６】
なお、上記各実施の形態では、貫通孔３２の断面形状を比較的加工が容易な円形としたが、例えば、半円断面や矩形断面の形状としてもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、この発明に係る噴射用ロータは、樹脂一体構造で外形が所定径、所定厚みの円板体に、その軸方向一端から所定径、所定深さに亘って開口部を形成するとともに、一端が上記開口部に開口し他端が上記円板体の外周面に開口する貫通孔を上記円板体の周方向に所定の間隔で複数形成してなり、回転駆動され上記開口部から導入された砥粒を上記貫通孔を経て上記円板体の周方向外方へ噴射する噴射用ロータであって、
上記各貫通孔から噴射される砥粒の噴射拡散角度が最小となるよう、上記各貫通孔の中心軸の方向を上記円板体の径方向から所定角度傾斜させたので、部品点数が極端に少なく構造が簡単軽量となり、製造も容易となり、かつ、砥粒が高い集中密度で噴射され研磨効率も向上する。
更に、この発明に係る噴射用ロータは、超高分子量ポリエチレン樹脂の一体構造で形成された円板体を素材としてこれに機械切削により開口部および貫通孔を形成したので、機械的強度が高く、摩耗に強く長寿命で、高速度の噴射が得られる。
更に、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体とほぼ同径の金属円板からなるバランス体を上記円板体の反開口部側に一体に固着する構成としたので、回転バランスが簡単に得られ、振動騒音の低減が可能となる。
【００２８】
また、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体の回転方向を時計方向としたとき、各貫通孔の中心軸の方向を円板体の径方向から反時計方向に１２〜２２°傾斜させたので、砥粒の噴射が最良の集中密度でなされる。
【００２９】
また、この発明に係る噴射用ロータの貫通孔は、その内面に筒状セラミック材が嵌め込まれた構成としたので、耐摩耗性が一層増大し、寿命が増大する。
【００３０】
また、この発明に係る噴射用ロータは、その円板体の開口部側に固着され周囲から上記開口部内にエアーを吸入するエアー吸入手段を備えたので、砥粒の噴射速度が増大して研磨効率が向上する。
【００３１】
また、この発明に係る研磨装置は、その回転軸が水平となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、および上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面を閉塞するようにベルトを上記噴射用ロータの外周の一部に係合させるベルト係合手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記ベルトによる閉塞が開放される位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付けるので、所定の一方向から被研磨材に向かう集中密度の高い砥粒の噴射流を得ることが出来る。
【００３２】
また、この発明に係る研磨装置は、その回転軸が水平となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段、上記噴射用ロータの下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍に至る位置においてその外周面と微少の間隙を介して対向し中央に所定深さの溝を形成した対向面を有するエアーブロック、およびこのエアーブロックの溝と上記噴射用ロータの外周面とにより周方向に延在して形成されるエアー空間に上記噴射用ロータの回転方向に沿うエアーの流れを形成するエアー供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの上端近傍の上記エアーブロックの開放端の位置から周方向外方に噴出させ被研磨材に吹き付けるので、所定の一方向から被研磨材に向かう集中密度の高い砥粒の噴射流を得ることが出来、しかも、駆動部分の少ない小型軽量の研磨装置が得られる。
【００３３】
また、この発明に係る研磨装置は、その砥粒供給手段を、開口部への砥粒供給方向を鉛直下方から噴射用ロータの回転方向へ所定角度ずらす砥粒ガイドを備えたものとすることにより、上記噴射用ロータ外周のベルトにより閉塞する周方向距離またはエアーブロックの周方向寸法を短縮せしめたので、ベルトとそのガイド機構またはエアーブロックの小型化が実現する。
【００３４】
また、この発明に係る研磨装置は、その開口部を上にして回転軸が垂直となる姿勢で配置された上記噴射用ロータ、この噴射用ロータを回転駆動する駆動手段、および上記噴射用ロータの開口部内に砥粒を供給する砥粒供給手段を備え、
上記開口部から導入された砥粒を貫通孔を経て上記噴射用ロータの周方向外方に噴出させ上記噴射用ロータの周囲に所定の間隔で配置された複数の被研磨材に同時に吹き付けるので、研磨作業の生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１における研磨装置の全体を示す構成図である。
【図２】  図１の噴射用ロータ３の詳細構成を示す図である。
【図３】  貫通孔３２の最適傾斜角度Ａを求めるための実験要領を説明する図である。
【図４】  砥粒の通過量と傾斜角度Ａとの関係をプロットした実験結果を示す図である。
【図５】  この発明の実施の形態２における噴射用ロータの主要部を示す構成図である。
【図６】  この発明の実施の形態３における噴射用ロータの主要部を示す構成図である。
【図７】  この発明の実施の形態４における研磨装置の主要部を示す構成図である。
【図８】  この発明の実施の形態５における研磨装置の主要部を示す構成図である。
【図９】  この発明の実施の形態６における研磨装置の主要部を示す構成図である。
【符号の説明】
３  噴射用ロータ、４  モータ、５  ベルトコンベア、
６，６Ａ  砥粒ガイド、７  ベルト、８  プーリ、１２  エアーブロック、
１４  溝、１５  エアーノズル、１７  被研磨材、３０  円板体、
３１  開口部、３２  貫通孔、３３  バランス体、３６  セラミック材、
３７  受座、３８  羽根、Ａ  傾斜角度。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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