(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が開口した箱状をしていて、内壁面に移載ロボットのレールが水平に取付けられたウェハ移載装置を構成する既設の装置ユニットに、同一構成の別の装置ユニットを接続して増設する際に、当該別の装置ユニットの内壁面に、既設の装置ユニットのレールに対して真直性を保持させてレールを接続するために用いられるレールの真直性保持装置であって、
前記レールが内側面に取付けられて、垂直配置されるベースプレートの長手方向の両端部を下方から支持することにより、当該ベースプレートの両端の高さを調整して当該ベースプレートを水平に配置するために、前記別の装置ユニットの両開口に臨んだ位置に配置される左右一対の高さ調整装置と、
前記一対の高さ調整装置により水平に配置された前記ベースプレートを垂直に配置して前記別の装置ユニットの内壁面に固定すべく、当該別の装置ユニットのレール取付方向の両端部の背面側に配置される左右一対の第１取付位置調整装置、及び当該別の装置ユニットのレール取付方向の中央部の背面側に配置される第２取付位置調整装置、とを備え、
前記第２取付位置調整装置は、前記装置ユニットの内壁面に取付けられた第２固定ブラケットに対してベースプレートの垂直度を調整して固定可能とするために、当該ベースプレートの幅方向及び前記第２固定ブラケットの上下方向の両端部に上下方向に沿って所定間隔をおいて固定ボルト及び押しボルトが一組となってそれぞれ取付けられ、前記第２固定ブラケットに対してベースプレートの長手方向の中央部を所定の隙間を有して上下二組の固定ボルト及び押しボルトを介して垂直を保持して連結する構成であり、
前記第１取付位置調整装置は、前記第２取付位置調整装置により垂直配置された前記ベースプレートの両端部を、別の装置ユニットの内壁面に取付けられた第１固定ブラケットに対して垂直を保持して固定するために、前記第１固定ブラケットの内側面に固定された三角ベースの上下の各斜辺部と前記ベースプレートの背面との間にそれぞれくさび部材が挿入されて、前記ベースプレート及び上下一対の各くさび部材は固定ボルトを介して前記第１固定ブラケットに固定されて、ベースプレートの長手方向の両端部は、ほぼ全面が上下一対の前記くさび部材に当接した状態で前記第１固定ブラケットに固定される構成であることを特徴とするウェハ移載装置の装置ユニット接続時に用いられるレールの真直性保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、両端が開口した箱状をしていて、内壁面に移載ロボットのレールが水平に取付けられたウェハ移載装置を構成する既設の装置ユニットに、同一構成の別の装置ユニットを接続して増設する際に、当該別の装置ユニットの内壁面に、既設の装置ユニットのレールに対して真直性を保持させてレールを接続するための装置ユニット接続時に用いられるレールの真直性保持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハ移載装置は、装置単体で設備されている。このため、例えば試作品のように、多数の処理工程を必要とするウェハを少量だけ生産する場合、図１２に示されるように、複数基のウェハ移載装置を並列状態に設置していた。このような場合、最初のウェハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１で所定の処理がされたウェハを、別のウェハ移載装置Ａ”に搬送させるための手段が必要であり、通常、無人搬送車５１が使用されている。このため、次に示す不具合が存している。（１）すべてのウェハＵに対して、最初のウェハ移載装置Ａ’での処理が終了しないと、別のウェハ移載装置Ａ”へ搬送させることができない。しかも、最初のウェハ移載装置Ａ’のウェハ処理部１において処理が終了したウェハＵを、無人搬送車５１により、いちいち搬送させなければならない。このため、すべてのウェハＵに所定の処理を施すために長時間を要している。特に試作品のように、少量だけ生産される半導体に対して多数の工数を必要とするため、全体の作業効率が低下する。（２）ウェハが搬送されている間、最初のウェハ移載装置Ａ’内で処理途中のウェハが長時間放置されると、該ウェハに塵埃が付着したり、酸化したりするおそれがある。（３）無人搬送車５１の保守、点検が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ウェハ移載装置を構成する既設の装置ユニットに対して別の装置ユニットを接続して増設する際に、既設の装置ユニットのレールに対する別の装置ユニットのレールの真直性を簡単に出して接続できるようにすることを課題としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、両端が開口した箱状をしていて、内壁面にウェハ移載ロボットのレールが水平に取付けられたウェハ移載装置を構成する既設の装置ユニットに、同一構成の別の装置ユニットを接続して増設する際に、当該別の装置ユニットの内壁面に、既設の装置ユニットのレールに対して真直性を保持させてレールを接続するために用いられるレールの真直性保持装置であって、前記レールが内側面に取付けられて、垂直配置されるベースプレートの長手方向の両端部を下方から支持することにより、当該ベースプレートの両端の高さを調整して当該ベースプレートを水平に配置するために、前記別の装置ユニットの両開口に臨んだ位置に配置される左右一対の高さ調整装置と、前記一対の高さ調整装置により水平に配置された前記ベースプレートを垂直に配置して前記別の装置ユニットの内壁面に固定すべく、当該別の装置ユニットのレール取付方向の両端部の背面側に配置される左右一対の第１取付位置調整装置、及び当該別の装置ユニットのレール取付方向の中央部の背面側に配置される第２取付位置調整装置とを備え、前記第２取付位置調整装置は、前記装置ユニットの内壁面に取付けられた第２固定ブラケットに対してベースプレートの垂直度を調整して固定可能とするために、当該ベースプレートの幅方向及び前記第２固定ブラケットの上下方向の両端部に上下方向に沿って所定間隔をおいて固定ボルト及び押しボルトが一組となってそれぞれ取付けられ、前記第２固定ブラケットに対してベースプレートの長手方向の中央部を所定の隙間を有して上下二組の固定ボルト及び押しボルトを介して垂直を保持して連結する構成であり、前記第１取付位置調整装置は、前記第２取付位置調整装置により垂直配置された前記ベースプレートの両端部を、別の装置ユニットの内壁面に取付けられた第１固定ブラケットに対して垂直を保持して固定するために、前記第１固定ブラケットの内側面に固定された三角ベースの上下の各斜辺部と前記ベースプレートの背面との間にそれぞれくさび部材が挿入されて、前記ベースプレート及び上下一対の各くさび部材は固定ボルトを介して前記第１固定ブラケットに固定されて、ベースプレートの長手方向の両端部は、ほぼ全面が上下一対の前記くさび部材に当接した状態で前記第１固定ブラケットに固定される構成であることを特徴としている。
【０００５】
請求項１の発明によれば、既設側の装置ユニットに別の装置ユニットを接続して増設する際に、当該別のユニットの両端開口に臨んで配置された左右一対の高さ調整装置により、ベースプレートを水平に配置した状態で、前記別の装置ユニットのレール取付方向に沿った中央部に配置された第２取付位置調整装置により水平配置されたベースプレートを垂直に配置させて、その状態を維持させる。即ち、第２取付位置調整装置を構成する上下二組の固定ボルト及び押しボルトの調整により、別の装置ユニットの内壁面に取付けられた第２固定ブラケットとの間に所定の隙間を形成した状態で、当該第２固定ブラケットにベースプレートの長手方向の中央部を垂直を保持して連結させる。この状態で、別の装置ユニットのレール取付方向の両端部に配置された一対の第１取付位置調整装置を構成する上下一対のくさび部材を互いに接近又は離間させて、上下一対のくさび部材とベースプレートの両端部とを当接させた状態で、ベースプレートの両端部と上記一対の各くさび部材とを固定ボルトを介して第１固定ブラケットに固定する。上記のようにして、内側面にレールが取付けられているベースプレートが水平で、しかも側面が垂直に配置されると、当該ベースプレートの内側面に取付けられたレールは、既設の装置ユニットに取付けられたレールに対して真直性が保持されることになる。
【０００６】
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１はウェハ移載装置の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 が接続された状態の平面図、図２は増設ユニットＡ2 の正面図、図３は同じく平面断面図、図４は同じく側面図である。本明細書では、ウェハ移載装置の既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 を接続させる場合について説明する。そして、増設ユニットＡ2 を構成する部材であって、既設側の標準ユニットＡ1 を構成する部材と対応するものには、同一の符号に「’」を付して説明する。最初に、既設側の標準ユニットＡ1 、及び、増設ユニットＡ2 について説明し、次に、各ユニットＡ1,Ａ2 のチャンバ３，３’どうしを接続させる構造、及び一対のガイドレール６，６’どうしを接続させる構造について説明する。
【０００８】
既設側の標準ユニットＡ1 について説明する。図１ないし図４に示されるように、この標準ユニットＡ1 を構成する箱状のチャンバ３の内側には、ウェハ移載ロボットＲが配設されている。チャンバ３の正面壁３ａの外側には、複数基（本実施例の場合、３基）のロードポート装置Ｌが取付けられていて、各ロードポート装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハＵが収納されたウェハキャリアＣが設置されている。また、チャンバ３の正面壁３ａの内側には、その長手方向に沿ってベースプレート４が縦方向に配設されていて、該ベースプレート４にリニアモータＭの二次側固定子５が縦方向に取付けられている。前記ベースプレート４には、一対のガイドレール６が相上下して水平に取付けられていて、各ガイドレール６に装着されたガイドブロック７には、ウェハ移載ロボットＲを固定するロボットベース８が取付けられている。そして、前記ロボットベース８において、リニアモータＭの二次側固定子５と相対向する部分には、リニアモータＭの一次側移動子９が取付けられている。この結果、リニアモータＭを駆動させることにより、前記ウェハ移載ロボットＲが一対のガイドレール６にガイドされ、チャンバ３の長手方向に沿って往復直線移動する。このウェハ移載ロボットＲは、その上面に設けられたウェハ移載用フォーク１１により、ウェハキャリアＣに収納されたウェハＵを１枚ずつ取り出して自身に移載させ、その状態で水平搬送し、ウェハ処理部１を介して別の装置（図示せず）に移載させるという機能を備えている。なお、図１において１２は、ウェハＵの向き（結晶の配列）を定めるためのオリエンタである。
【０００９】
そして、前記チャンバ３における一方側（オリエンタ１２が取付けられていない側）の側面壁には、増設ユニットＡ2 のチャンバ３’を接続させるための接続部Ｅが設けられている。既設側の標準ユニットＡ1 における接続部Ｅの構成は、後述する増設ユニットＡ2 における接続部Ｅの構成と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【００１０】
次に、増設ユニットＡ2 について説明する。図１ないし図４に示されるように、この増設ユニットＡ2 は、標準ユニットＡ1 に接続されて増設されるためのもので、各種の大きさのものが用意されている。本実施例における増設ユニットＡ2 は、２基のロードポート装置Ｌを取付けることができるものである。この増設ユニットＡ2 を構成する箱状のチャンバ３’の正面壁３'aには、ロードポート装置Ｌが配設されている。本実施例では、チャンバ３’の正面視における右側にのみロードポート装置Ｌが配設されていて、その左側には、ロードポート装置Ｌの取付用開口孔１３を閉塞するための閉塞板１４が取付けられている。チャンバ３’における両側面部には、標準ユニットＡ1 のチャンバ３に接続するための接続部Ｅが設けられている。
【００１１】
次に、接続部Ｅについて説明する。図３及び図４に示されるように、チャンバ３’の両側面部には、ウェハ移載ロボットＲを走行させるための走行用開口孔１５’が設けられていて、該走行用開口孔１５’の開口縁に沿って、断面略Ｌ字状の接続部材１６’が固着されている。そして、前記接続部材１６’には、その全周に亘ってパッキン１７が取付けられていると共に、該接続部材１６’の幅方向の両側には、連結ボルト１８を通すためのＵ字状の切欠部１６'aが高さ方向に所定の間隔をおいて設けられている。
【００１２】
次に、増設ユニットＡ2 のベースプレート４’を支持するための構成について説明する。図２及び図３に示されるように、前記チャンバ３’の正面壁３'aの内側には、ベースプレート４’が該正面壁３'aに略平行となって縦方向に取付けられている。このベースプレート４’は、その厚み方向（チャンバ３’の幅方向）の取付位置を微調整するための第１及び第２の各取付位置調整装置Ｂ1,Ｂ2 と、その高さ方向の位置を調整するための高さ調整装置Ｂ3 とによって支持されている。第１取付位置調整装置Ｂ1 は、チャンバ３’の長手方向の両端部に配設されていて、第２取付位置調整装置Ｂ2 は、同じくほぼ中央部に配設されている。また、高さ調整装置Ｂ3 は、両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側に配設されている。
【００１３】
第１取付位置調整装置Ｂ1 について説明する。図３及び図５に示されるように、チャンバ３’の正面壁３'aの内側に固着されたブラケット１９に、横断面略二等辺三角形状の三角ベース２１が取付けられていて、その斜辺部２１ａの側に、２本の固定ボルト２２によってベースプレート４’が縦方向に固定されている。そして、この三角ベース２１の各斜辺部２１ａと前記ベースプレート４’との間に形成された上下の隙間部分には、該隙間部分を形成する角度に対応する角度を備えた三角形状の各くさび部材２３a,２３b が、前記斜辺部２１ａ及びベースプレート４’の背面部に当接しながら上下移動可能にして装着されている。そして、各くさび部材２３a,２３b の上下には、それらを別々に上下移動させてベースプレート４’の取付位置を微調整するための各調整ボルト２４a,２４b が、それぞれブラケット２５a,２５b によって取付けられている。作業者は、ベースプレート４’を固定するための各固定ボルト２２を仮締めさせた状態で、各調整ボルト２４a,２４b の締付量を調整しながら各くさび部材２３a,２３b を上下移動させることにより、ベースプレート４’の取付位置、及び取付角度を微調整することができる。
【００１４】
次に、第２取付位置調整装置Ｂ2 について説明する。図２、図３及び図６に示されるように、チャンバ３’の正面壁３'aの内側で、その長手方向のほぼ中央部には支柱２６が立設されていて、上記した第１取付位置調整装置Ｂ1 を構成するブラケット１９とほぼ同一の高さに、ブラケット２７が固着されている。このブラケット２７に対して、ベースプレート４’が、固定ボルト２８によって隙間ｅ（図６参照）を介して配設されていると共に、該ブラケット２７の側から前記ベースプレート４’を押圧するための押しボルト２９が取付けられている。即ち、ベースプレート４’は、前記固定ボルト２８と前記押しボルト２９とによって押し引きされた状態で固定されている。前記固定ボルト２８と前記押しボルト２９の締付量を調整することによって、ベースプレート４’の取付位置、及び取付角度を微調整することができる。即ち、一対のガイドレール６’の取付位置が、チャンバ３’の幅方向に微調整できる。該ベースプレート４’は長尺物であるため、第１取付位置調整装置Ｂ1 によって、その両端部のみの取付位置、及び取付角度を微調整しても、その中央部における取付位置、及び取付角度は規定値から外れてしまう場合がある。しかし、本実施例の場合、ベースプレート４’の中央部でも、その取付位置、及び取付角度を微調整することができるため、該ベースプレート４’の全長に亘って高精度に調整可能である。
【００１５】
次に、高さ調整装置Ｂ3 について説明する。図２、図３及び図５に示されるように、チャンバ３’の両接続部Ｅにおける接続部材１６’の内側には、ブラケット３１が固着されていて、該ブラケット３１の先端部に、その高さ方向に沿って高さ調整ボルト３２が螺合されている。この高さ調整ボルト３２は、ベースプレート４’の直下に配置されていて、該ベースプレート４’を常に押し上げている。
【００１６】
次に、ベースプレート４，４’、及び一対のガイドレール６，６’を接続する構造について説明する。図７及び図８に示されるように、上記したベースプレート４，４’には、一対のガイドレール６，６’が相上下して水平に取付けられる。即ち、ベースプレート４，４’の上下の部分には、該ベースプレート４，４’の長手方向に沿って各段差部３３，３３’が形成されていて、一対のガイドレール６，６’の幅方向の端面部が各段差部３３，３３’に突き当てられて取付けられる。そして、上側の段差部３３，３３’の下方、及び下側の段差部３３，３３’の上方には、ベースプレート４，４’の長手方向に沿ってそれぞれ凹溝部３４，３４’が形成されている。図７に示されるように、ベースプレート４，４’が接続される際に、上下の凹溝部３４，３４’に押えプレート３５が嵌装される。各押えプレート３５の片側（ガイドレール６，６’に当接される側）はストレート状であり、その反対側はテーパ状である。また、各押えプレート３５の最大幅は、凹溝部３４，３４’の内幅よりも広い。このため、各押えプレート３５が凹溝部３４，３４’に嵌装されることによって、一対のガイドレール６，６’は強固にベースプレート４，４’の段差部３３，３３’に押圧される。
【００１７】
そして、ベースプレート４，４’の高さ方向のほぼ中央部には、リニアモータＭの二次側固定子５，５’が水平に取付けられている。ベースプレート４，４’が接続される際、増設ユニットＡ2 の一対のガイドレール６，６’及び二次側固定子５，５’は、標準ユニットＡ1 のベースプレート４，４’に乗り上げる形態で取付けられる。このため、ベースプレート４，４’の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール６，６’の接続部分Ｐ2 が、長手方向に沿ってずれていて、ベースプレート４，４’の接続部分Ｐ1 と、一対のガイドレール６，６’の接続部分Ｐ2 におけるウェハ移載ロボットＲの走行中の振動が分散され、該振動を最小に抑えることができる。しかも、一対のガイドレール６，６’における端部には、テーパ状の逃し部３６，３６’が設けられている。このため、一対のガイドレール６，６’を接続する際に多少の取付誤差があっても、ウェハ移載ロボットＲは前記ガイドレール６，６’に引っ掛かることなく、また、振動を最小に抑えて走行する。
【００１８】
次に、標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 を接続する場合の作用について説明する。図９及び図１０に示されるように、増設ユニットＡ2 が搬送用治具３７，３８に設置される。これらの搬送用治具３７，３８には、キャスタ３７a,３８a が取付けられているため、増設ユニットＡ2 を容易に搬送させることができる。増設ユニットＡ2 をＯＨＴライン３９（図１０参照）に沿って移動させ、標準ユニットＡ1 の近傍に設置させる。ここで、ＯＨＴライン３９とは、ウェハ移載ロボットＲが往復直線移動するラインと平行で、増設ユニットＡ2 を設置する際の基準となるラインである。増設ユニットＡ2 に取付けられているアジャスターフット４１を使用して、増設ユニットＡ2 の高さ調整及び水平出しを行った後、標準ユニットＡ1 の接続部Ｅと増設ユニットＡ2 の接続部Ｅとを接続させる。各チャンバ３，３’の接続部材１６，１６’どうしは、それらの間にパッキン１７を介装させた状態で締め付けられるため、当該接続部Ｅにおける気密が図られる。
【００１９】
続いて、標準ユニットＡ1 を構成するベースプレート４と増設ユニットＡ2 を構成するベースプレート４’とを接続させる。最初に、高さ調整装置Ｂ3 を構成する高さ調整ボルト３２の締付量を調整して、増設ユニットＡ2 のベースプレート４’の高さを、標準ユニットＡ1 のベースプレート４の高さに合致させる。そして、一対のガイドレール６，６’を接続する。続いて、第１取付位置調整装置Ｂ1 を構成する調整ボルト２４a,２４b の締付量を調整すると共に、第２取付位置調整装置Ｂ2 の固定ボルト２８と押しボルト２９の締付量を調整することによって、ベースプレート４，４’の取付位置及び取付角度を調整し、両ガイドレール６，６’の真直性を微調整する。
【００２０】
このとき、増設ユニットＡ2 の一対のガイドレール６’は、標準ユニットＡ1 のベースプレート４に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプレート４，４’の接続部分Ｐ1 の位置と、両ガイドレール６，６’の接続部分Ｐ2 の位置とが異なっている。このため、接続部分Ｐ1,Ｐ2 における振動を分散させることができ、ウェハ移載ロボットＲに作用する振動を最小にすることができる。
【００２１】
そして、両ガイドレール６，６’の接続部分Ｐ2 の凹溝部３４，３４’に、押えプレート３５が嵌装される。該押えプレート３５が両ガイドレール６，６’の接続部分Ｐ2 を強固に押圧するため、前記接続部分における両ガイドレール６，６’の真直性が、ウェハ移載ロボットＲの走行中に悪化することはない。次に、標準ユニットＡ1 の二次側固定子５と増設ユニットＡ2 の二次側固定子５’とを接続する。増設ユニットＡ2 の二次側固定子５’も、標準ユニットＡ1 のベースプレート４に乗り上げた状態で取付けられるため、両ベースプレート４，４’の接続部分Ｐ1 における剛性が高められる。上記した結果、標準ユニットＡ1 のガイドレール６と増設ユニットＡ2 のガイドレール６’とが、真直性を保持した状態で接続される。このようにして、標準ユニットＡ1 と増設ユニットＡ2 とが接続される。この状態で、ウェハ移載ロボットＲは増設ユニットＡ2 におけるロードポート装置Ｌの部分まで走行可能である。しかも、両ユニットＡ1,Ａ2 の接続部分は、パッキン１７によって気密が図られているため、前記ウェハ移載ロボットＲによって、標準ユニットＡ1 から増設ユニットＡ2 に移載されるウェハＵが汚染されることがない。即ち、両ユニットＡ1,Ａ2 は、あたかも１台の装置として作動する。この結果、無人搬送車等のウェハ搬送の設備が不要である。
【００２２】
上記した接続部Ｅは、増設ユニットＡ2 のチャンバ３’の両側面部に設けられているため、前記増設ユニットＡ2 に、更に別のユニット（図示せず）を接続させることも可能である。また、増設ユニットＡ2 は、前述した接続作業を逆に行うことによって、簡単に標準ユニットＡ1 から分離させることができる。
【００２３】
また、上記した標準ユニットＡ1 及び増設ユニットＡ2 の各チャンバ３，３’は、内部を真空引き可能な真空チャンバとすることも可能である。この場合、チャンバ３，３’の一方、或いは両方に真空排気手段、及び給気手段が更に設けられる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、両端が開口した箱状をしていて、内壁面に移載ロボットのレールが水平に取付けられたウェハ移載装置を構成する既設の装置ユニットに、同一構成の別の装置ユニットを接続して増設する際に、左右一対の高さ調整装置、及び第２取付位置調整装置によって、内側面にレールが取付けられたベースプレートを水平配置、及び垂直配置して、装置ユニットのレール取付方向の中央部に配置された第２固定ブラケットに連結した状態において、装置ユニットのレール取付方向の両端部に配置された左右一対の第２取付位置調整装置によって、前記ベースプレートが水平配置及び垂直配置された状態を保持して、当該ベースプレートの両端部のほぼ全面を上下一対のくさび部材に当接させた状態で、第１固定ブラケットに固定できる。このため、増設側の装置ユニットの内側面にベースプレートが取付けられて、当該ベースプレートの内側面に取付けられたレールは、既設の装置ユニットに取付けられたレールに対して真直性が保持されることになる。
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【図面の簡単な説明】
【図１】  ウェハ移載装置の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 が接続された状態の平面図である。
【図２】  増設ユニットＡ2 の正面図である。
【図３】  同じく平面断面図である。
【図４】  同じく側面図である。
【図５】  図２のＸ1 −Ｘ1 線断面図である。
【図６】  同じくＸ2 −Ｘ2 線断面図である。
【図７】  一対のガイドレール６，６’を接続させる状態を示す斜視図である。
【図８】  同様の状態を示す平面図である。
【図９】  既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 を接続させる状態の作用説明図である。
【図１０】  同様の状態を示す平面図である。
【図１１】  既設側の標準ユニットＡ1 に、増設ユニットＡ2 が接続された状態の作用説明図である。
【図１２】  従来のウェハ移載装置Ａ',Ａ”の平面図である。
【符号の説明】
Ａ1 ：標準ユニット（装置ユニット）
Ａ2 ：増設ユニット（装置ユニット）
Ｂ1 ：第１取付位置調整装置
Ｂ2 ：第２取付位置調整装置
Ｂ3 ：高さ調整装置
Ｅ：接続部
Ｍ：リニアモータ
Ｐ1,Ｐ2 ：接続部分
Ｒ：ウェハ移載ロボット
３，３’：チャンバ
４，４’：ベースプレート
６，６’：ガイドレール（レール）
１９：ブラケット（第１固定ブラケット）
２２：固定ボルト（第１取付位置調整装置）
２７：ブラケット（第２固定ブラケット）
２８：固定ボルト（第２取付位置調整装置）
２９：押しボルト（第２取付位置調整装置）
３５：押えプレート
３６，３６’：逃し部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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