(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台上に複数の板ガラス材を接着・積層して積層体とし、該積層体を所定の寸法に切り分けて基台上に隣立する複数の四角柱体を形成し、相隣り合う該四角柱体の互いに相対向する角部を一斉に角取りし、次いで前記四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りし、その後前記四角柱体の接着を解いて個々の板ガラスに分離することを特徴とする電子部品用板ガラスの製造方法。
【請求項２】
基台上の角取りされた四角柱体をエッチング液に浸漬して該四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りすることを特徴とする請求項１に記載の電子部品用板ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面波フィルター用基板、水晶発振子の小型パッケージ、固体撮像素子、発光素子、受光素子等の光半導体パッケージ等に使用する電子部品用板ガラスの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品用板ガラス、例えば、固体撮像素子等の光半導体を収納するパッケージの光透過窓に使用する板ガラスは、図５に示すように、所定の厚さを有する薄板ガラスを略パッケージに使用する寸法に切断した角形の板ガラス６を治具１０に整列、積層し、板ガラス６同士を接着剤３を使用し接着して四角柱体５にした後、四角柱体５の角部５ａを回転砥石１１に当接させ角取りして角取り部５ｄを形成し、次いで四角柱体５を構成する板ガラス６の全てのエッジ部を面取りし、その後、接着剤３を除去して個々の板ガラス６に分離し、洗浄して光透過窓用の板ガラスを製造している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の電子部品用板ガラスの製造方法では、略パッケージに使用する寸法形状をした板ガラス６を治具１０を使用し整列、積層して四角柱体５を作製する作業及び個々の四角柱体５の各角部５ａを回転砥石１１に当接させて除去する作業が必要になるので、これらの作業中に板ガラス６を破損してしまう問題がある。また、上記のように多くの作業が必要になるので効率が悪く、コストが高くなる問題もある。
【０００４】
本発明は、以上のような従来の問題点を解決した電子部品用板ガラスの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電子部品用板ガラスの製造方法は、基台上に複数の板ガラス材を接着・積層して積層体とし、該積層体を所定の寸法に切り分けて基台上に隣立する複数の四角柱体を形成し、相隣り合う該四角柱体の互いに相対向する角部を一斉に角取りし、次いで前記四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りし、その後前記四角柱体の接着を解いて個々の板ガラスに分離することを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の電子部品用板ガラスの製造方法は、基台上の角取りされた四角柱体をエッチング液に浸漬して該四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りすることを特徴とする。
【０００７】
【作用】
本発明の電子部品用板ガラスの製造方法によれば、基台上に複数の板ガラス材を接着・積層して積層体とし、該積層体を所定の寸法に切り分けて基台上に隣立する複数の四角柱体を形成し、相隣り合う該四角柱体の互いに相対向する角部を一斉に角取りし、次いで前記四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りし、その後前記四角柱体の接着を解いて個々の板ガラスに分離するので、角部を角取りする際に板ガラスを整列する作業が不要となり、この角取りの作業中に材料を破損する虞れがなくなり、複数の四角柱体の角部を効率よく角取りできる。
【０００８】
また、本発明の電子部品用板ガラスの製造方法によれば、角取りされた四角柱体を基台上に載せたままエッチング液に浸漬して該四角柱体を構成する各板ガラスのエッジ部を面取りするので、各板ガラスをエッチング用の治具に整列、保持する作業をすることなく各板ガラスの全てのエッジ部を一斉に面取りできる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１〜図４は、本発明に係る電子部品用板ガラスの製造方法の説明図であって、１は基台を、２は板ガラス材を、３は接着剤を、４は板ガラス材２の積層体を、５は四角柱体を、６は四角柱体５を構成する板ガラスを、７は電子部品用板ガラスを各々示しており、先に説明した図５と同一部分には同一符号を付してそれぞれ示してある。
【００１０】
本発明の電子部品用板ガラスの製造方法では、図１（Ａ）に示すように、ホウ珪酸ガラスからなり、２００ｍｍ×３００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍの寸法を有する５０枚の研磨仕上げされた板ガラス材２を逐次重ね合わせて基台１上に積層し、基台１と板ガラス材２のスペース及び積層した板ガラス材２の相互のスペースに、加熱され液体状となった接着剤３を充填し、その後、冷却して接着剤３を固化させ積層体４を形成する。
【００１１】
次に、図１（Ｂ）に示すように、上記の積層体４を、回転駆動軸１２に１２ｍｍピッチに配置された複数の回転する厚さ２ｍｍの切断刃１３を備えたマルチブレード切断機に装着して碁盤割りに切り分け、基台１上に５５１本の縦１０ｍｍ、横１０ｍｍ、高さ３５ｍｍの寸法を有する四角柱体５を隣立した状態に形成する。
【００１２】
次に、図２（Ａ）に示すように、超音波振動を用いる複数本の角取り用ツール１４を１２ｍｍピッチに配置した角取り装置１５を使用して、図２（Ｂ）に示すように、基台１上の内側の４つの四角柱体５の相対向する４つの角部５ａ、外側の辺の対向する２つの角部５ｂ、及び外側のコーナーの角部５ｃを、それぞれツール１４により各角部のガラスを微細に砕いて一斉に角取りし、角取り部５ｄを形成する。
【００１３】
次いで、図３に示すように、基台１上の角取り部５ｄが形成された四角柱体５を、弗化水素酸を含むエッチング液１６を満たした槽１７に漬浸して四角柱体５を構成する全ての板ガラス６のエッジ部６ａ、６ｂを一斉に面取りする。
【００１４】
その後、四角柱体５の接着剤３を溶媒に溶かして基台１から個々の板ガラス６を分離し、洗浄、乾燥して、図４に示すような角部及びエッジ部が面取りされた２７，５５０枚の電子部品用板ガラス７を製造する。
【００１５】
上記の発明の実施の形態では、略正方形の電子部品用板ガラス７を製造する方法を示したが、本発明の製造方法は、ファクシミリやスキャナー等の画像入力装置のラインセンサを保護する幅９ｍｍ、長さ４０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ等の短冊状の板ガラスにも適用が可能である。
【００１６】
尚、本発明の製造方法では、角取り装置１５のツール１４は、超音波振動を用いるものに限らず、砥石を回転させて角柱体５の角部を研削し角取りするものでもよい。また、ＣＯ2 レーザーや高温のコテで角部を溶融、除去するもの等も使用可能である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明の電子部品用板ガラスの製造方法によれば、材料を破損することなく、欠けが生じ難い電子部品用板ガラスを高い効率で製造できる優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子部品用板ガラスの製造方法の説明図であって、（Ａ）は積層体の側面図を、（Ｂ）は積層体を切り分けて四角柱体を形成する工程の説明図。
【図２】基台上の四角柱体の角部を角取り用装置を用いて一斉に角取りする説明図であって、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は平面図。
【図３】エッチングにより板ガラスのエッジ部を面取りする工程の説明図。
【図４】本発明の製造方法により作製した電子部品用板ガラスの斜視図。
【図５】従来の電子部品用板ガラスの製造方法の説明図。
【符号の説明】
１  基台
２  板ガラス材
３  接着剤
４  積層体
５  四角柱体
６  板ガラス
７  電子部品用板ガラス
１０  治具
１１  回転砥石
１２  回転駆動軸
１３  切断刃
１４  ツール
１５  角取り装置
１６  エッチング液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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