(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、第１電極と、発光層と、第２電極とが、この順に形成され、かつ、該発光層を仕切る土手とを有する発光基板の製造方法であって、
底辺が対辺より長い断面形状である土手を有する金属型を用い、樹脂型を形成する工程と、
前記基板と前記樹脂型とを接触させる工程と、
前記基板と前記樹脂型との間に形成される空間にガラス前駆体を進入させて固化し、前記基板上に透明電極側に接する辺が対辺より長くなる断面形状となるよう前記土手を形成する工程と、
前記土手で仕切られた領域に、有機ＥＬ材料を溶解した溶液をインクジェットプリンティング装置により吐出して前記発光層を形成する工程と、を備えることを特徴とする発光基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は発光ディスプレイに係わり、更に詳しくは有機発光材料（以後有機ＥＬ材料という）を用いた発光ディスプレイに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年液晶表示体がワードプロセッサー、パーソナルコンピュータ等の表示部として盛んに用いられている。この液晶表示体は非発光素子であり、明るさの点、特に反射型ディスプレイで用いるとき問題となる。ここへきて薄型、軽量の特徴を有する有機ＥＬ材料を用いた発光ディスプレイが注目されている。
【０００３】
この発光ディスプレイの断面図を図１に示す。図において１はアルミニウム電極を、２は有機ＥＬ材料を、３はＩＴＯ透明電極を、４はガラス基板を、５は電源をそれどれ示す。
【０００４】
図よりわかる様に透明基板がわずかに厚みを要求される他はマイクロメータのオーダーであり、非常に薄いディスプレイである。
【０００５】
この発光ディスプレイの製造方法は以下の通りである。まず透明基板にスパッター法、又は蒸着法等によりＩＴＯ透明電極を作製する。しかる後、ホトリソグラフィー法等により所望の形状の電極を形成する。更に、この基板状にスピンコート法、蒸着法等により有機ＥＬ材料を成膜し発光層とする。更にこの上に仕事関数の低い金属、例えば、マグネシウム、カルシウム、アルミニウム、リチウム、銀、あるいはこられ金属の合金を蒸着法、スパッター法等により成膜することにより対向電極とする。
【０００６】
以上が基本の工程であるが、発光効率を上げるために、更に透明電極と発光層の間にホール輸送層、例えば、Ｎ，Ｎ‘−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−（２，４−ジメチルフェニル）−１，１‘−ビフェニル−４，４’ジアミン層を設けてもよい。また発光層と対向電極の間に電子輸送層、例えば２−（４−ビフェニル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキシジアゾール層を設けてもよい。
【０００７】
この対向する電極間に電界を印可することにより発光させることが出来る。この発光ディスプレイの特徴として、１０ボルト以下の電圧で駆動できることがある。この有機ＥＬ材料を用いた発光ディスプレイは将来有望な技術であるが、フルカラー化をねらう場合問題があった。即ち、赤、緑、青をどのように別々に区分けするかが問題であった。。しかしここへきてリソグライフィー法等により電極上に発光層を仕切る土手を形成し、その土手内に吐出装置を用い赤、緑、青の有機ＥＬ材を溶解した溶液を吐出し、吐出後溶媒を乾燥除去し、発光層とする方法が注目されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来、土手はホトリソグラフィー法により形成されていた。そしてその形状は、図２、図３に示す様に矩形が一般的であった。最近、逆テーパを付け、対向電極に接する土手の鋭角を利用し、土手に一種のマスクの役割をさせて、対向電極蒸着後の電極に切れ目をいれ、短冊状に電極を作る方法が提案されている。
【０００９】
尚、図２は矩形状の土手を有す、短冊上に区切られた透明電極付き基板上に有機ＥＬ材料を溶解した溶液を吐出装置により吐出する工程を示す概念図である。また、図３はマトリクス状に、ＴＦＴ素子と、この素子と直結するＩＴＯ透明電極とを配置した土手を有す基板上に、有機ＥＬ材料を溶解した溶液を吐出装置により吐出する工程を示す概念図である。図２、３において２１、３１は有機ＥＬ材料を溶解した溶液を吐出するノズルを、２２、３２は有機ＥＬ材料を、２３、３３は土手を、２４、３４はＩＴＯ透明電極を、２５、３５はガラス基板を、３６は絶縁層を、３７はＴＦＴ素子をそれぞれ示す。
【００１０】
従来の土手はこれらの図に示す様に、矩形であるか、透明電極に接する辺の方が短い、すなわち逆テーパを有する形状であった。そのため、発光部分に対して有機ＥＬ材を打ち込む面積が狭くなる欠点が有る。このため吐出装置による赤、緑、青をうち分けることが困難になる欠点があった。
【００１１】
本発明はこの様な課題を解決するためになされたもので、その目的は吐出装置による有機ＥＬ材料を困難を伴うこと無く吐出でき、発光層間の交じり合いの無い、良好な発光ディスプレイを提供するためになされたものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明による発光基板の製造方法は、基板上に、第１電極と、発光層と、第２電極とが、この順に形成され、かつ、該発光層を仕切る土手とを有する発光基板の製造方法であって、底辺が対辺より長い断面形状である土手を有する金属型を用い、樹脂型を形成する工程と、前記基板と前記樹脂型とを接触させる工程と、前記基板と前記樹脂型との間に形成される空間にガラス前駆体を進入させて固化し、前記基板上に透明電極側に接する辺が対辺より長くなる断面形状となるよう前記土手を形成する工程と、前記土手で仕切られた領域に、有機ＥＬ材料を溶解した溶液をインクジェットプリンティング装置により吐出して前記発光層を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
この様な土手を形成することにより発光面積に比べて、比較的大きく開いた、有機ＥＬ材料を受け止める部分を形成できる。そのため吐出装置の振れのマージンも大きくなる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下実施例により詳しく説明する。
【００１５】
（実施例１）
ＩＴＯ電極幅４０マイクロメータ、電極間１０マイクロメータで配置された短冊状電極付きガラス基板に非感光性ポリイミドＳＥ−８１２（日産化学製）を、回転速度２０００ｒｐｍ、回転時間２０秒の条件でスピンコートした。この基板を８０度Ｃ３０分間プレベークした後、マスクをし、露光した。露光後、エッチングを行い、１６０度Ｃで３０分間ポストベークをし、図４に示す土手付き基板を得た。図において４１は土手を、４２はＩＴＯ透明電極を、４３はガラス基板を示す。この基板に赤、緑、青の有機ＥＬ材を溶解する溶液をディスペンサにより吐出した。最後にＭｇ／Ａｇ（１：１０）合金を蒸着し、透明電極に直交するように電極を形成し、対向電極とした。
【００１６】
このようにして得た発光ディスプレイをマトリクス駆動した。
【００１７】
（実施例２）
図５に示す土手の形状を有す金属型と、シリコン樹脂（東芝シリコーン製）を用いシリコン樹脂型を作成した。この型をＴＦＴ素子とこのＴＦＴ素子に直結したＩＴＯ透明電極がマトリクス上に形成されたガラス基板に密着させ、この型の回りにガラス前駆体（ＥＴＳＢー７０００、テー・エス・ビー開発センター製）を設置し、シリコン樹脂型と基板の形成する空間にガラス前駆体を室温で進入させた。進入が完結したところで室温に放置し固化させた、固化したところでシリコン樹脂型を取り外し、２００度Ｃで２時間焼成し、図６に示すような土手付き基板を得た。図において６１は土手を、６２はＩＴＯ透明電極を、６３はガラス基板を、６４は絶縁層を、６５はＴＦＴ素子をそれぞれ示す。この基板の土手の間にインクジェットプリンティング装置を用い、赤、緑、青の有機ＥＬ材料を溶かした溶液を吐出した。その後、乾燥、溶媒除去してから、リチウム２％入りアルミニウムをスパッター法によりスパッタして対向電極とした。
【００１８】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の発光ディスプレイは、吐出装置を用い効率よく、各色の発光層間の混ざりもなく製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】発光ディスプレイの断面図。
【図２】短冊状の電極を有す発光ディスプレイの製造工程を示す概念図。
【図３】マトリクス状にＴＦＴ素子とＩＴＯ電極を有す発光ディスプレイの製造工程を示す概念図。
【図４】本発明の発光ディスプレイの土手の形状を示す断面図。
【図５】本発明の発光ディスプレイの土手の形成するシリコン樹脂型とシリコン樹脂型を形成する金型を示す断面図。
【図６】本発明の発光ディスプレイの土手の形状を示す断面図。
【符号の説明】
１．アルミニウム電極
２．有機ＥＬ材料
３．ＩＴＯ透明電極
４．ガラス基板
５．電源
２１．ノズル
２２．有機ＥＬ材料
２３．土手
２４．ＩＴＯ透明電極
２５．ガラス基板
３１．ノズル
３２．有機ＥＬ材料
３３．土手
３４．ＩＴＯ透明電極
３５．ガラス基板
３６．絶縁層
３７．ＴＦＴ素子
４１．土手
４２．ＩＴＯ透明電極
４３．ガラス基板
５１．金型
５２．シリコン樹脂型
６１．土手
６２．ＩＴＯ透明電極
６３．ガラス基板
６４．絶縁層
６５．ＴＦＴ素子
【図１】
0003885303.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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