(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向側面に軌道溝が形成された軌道レール，前記軌道溝と対向する軌道溝が形成され且つ前記軌道レール上を相対摺動するスライダ，及び前記軌道溝を潤滑する潤滑装置を具備する直動案内ユニットにおいて，
前記潤滑装置は，前記軌道レールを跨いだ状態に配設されるケース，該ケース内に収容された潤滑剤を含有する潤滑剤含有部材，及び前記ケースに形成された転動体保持部によって前記潤滑剤含有部材と摺接する状態で回転自在に保持され且つ前記軌道レールの前記軌道溝を転走する潤滑用転動体から成り，
前記潤滑用転動体は，前記潤滑剤含有部材から受け取った前記潤滑剤を前記軌道レールの前記軌道溝に供給することによって前記軌道溝を潤滑し，
前記転動体保持部は，前記ケースの厚み方向に隔置して形成された前記潤滑用転動体を挟む一対の保持腕部及び該一対の保持腕部を連結する連結部を有しており，
前記潤滑用転動体は，一対の前記保持腕部と前記連結部とによって形成されている凹部内に回転自在に保持され，
前記潤滑剤含有部材は，超高分子量の合成樹脂微粒子を所定の金型に充填して加熱成形して作製された多孔質の焼結樹脂部材であって，前記潤滑用転動体が摺接する凹面状の摺接面を備えていることを特徴とする直動案内ユニット。
【請求項２】
前記潤滑装置は，前記スライダ又は前記スライダに固定されて前記スライダと共に移動する取付体に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット。
【請求項３】
前記スライダは，前記軌道レールの前記軌道溝に対向する前記軌道溝を備えたケーシング，前記軌道溝間を転走する転動体，前記ケーシングの両端面にそれぞれ固定されたエンドキャップ，及びエンドシールを具備しており，前記ケースは前記エンドキャップの端面に取り付けられており，前記エンドシールは前記ケースの端面に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の直動案内ユニット。
【請求項４】
前記ケースは，内部下方に前記潤滑剤含有部材を収容すると共に内部上方に前記潤滑剤を収容する容器であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項５】
前記容器の上壁には，前記潤滑剤を補給するための給油口が設けられており，前記給油口は空気口を兼ねていることを特徴とする請求項４に記載の直動案内ユニット。
【請求項６】
前記潤滑剤は，樹脂パウダ，金属パウダ又はフェルトが混入されている潤滑油であることを特徴とする請求項４又は５に記載の直動案内ユニット。
【請求項７】
前記ケースは，上部，該上部の両端から垂下する側部，及び前記側部の下端から前記軌道レールに向かって延びる下部とから成る枠体であり，前記潤滑剤含有部材は前記枠体内に嵌め込まれて保持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項８】
前記ケースは，前記上部，前記側部，及び前記下部に一体的に接続し且つ前記スライダの摺動方向と交差する方向に延びて前記潤滑剤含有部材のいずれか一方の端面を覆う端板部が設けられていることを特徴とする請求項７に記載の直動案内ユニット。
【請求項９】
前記ケースの前記上部又は前記側部には窓孔が形成されており，前記窓孔には前記潤滑剤含有部材に形成された凸部が嵌合していることを特徴とする請求項７又は８に記載の直動案内ユニット。
【請求項１０】
前記ケースには前記エンドキャップに設けられたグリースニップル又は潤滑油供給管継ぎ手に対応する挿通孔が形成されていることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項１１】
前記ケースは，金属，合成樹脂又は合成ゴムから製作されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項１２】
前記潤滑剤含有部材は，前記軌道レールの前記長手方向両側面に形成された前記各軌道溝をそれぞれ転走する前記潤滑用転動体に個別に摺接する二分割された潤滑剤含有部分から成ることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
【請求項１３】
二分割された前記潤滑剤含有部分は，前記軌道レールの両側に対称形に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，各種ロボット，半導体製造装置，切削・研削機械等に適用される直動案内ユニットに関し，特に，摺動部分に潤滑剤を供給する潤滑装置を備えた直動案内ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年，メカトロ技術の発展がめざましく，各種ロボット，半導体製造装置，検査装置，切削・研削機械等の各技術分野において，各種の機械や装置の往復動作が求められる部分には，高精度，高速化，小型化等の要求を満たすために直動案内ユニットが組み込まれている。直動案内ユニットにおいては，高精度や高速化等の性能向上に加えてメンテナンスフリーが重視されるようになっており，摺動部分に対しては，長期に渡って自己潤滑できることが要求されている。
【０００３】
従来の直動案内ユニットの一例が，図１６に示されている。図１６に示した直動転がり案内ユニットは，軌道レール２と，軌道レール２に跨架した状態で載置されたスライダ１とから成る。軌道レール２の長手方向両側面３には軌道溝４が形成されており，スライダ１は，軌道溝４を転走する転動体７を介して軌道レール２上を摺動自在である。軌道レール２の長手方向上面１４に開口するように軌道レール２に隔置して形成された取付け孔１３にボルトを挿通し，そのボルトをベッド，機台，加工台等の取付けベース２０に形成されたねじ穴（図示せず）に螺入することによって，軌道レール２が取付ベース２０に固定されている。スライダ１は，軌道レール２に対して相対移動可能なケーシング５，及びケーシング５の両端にそれぞれ取り付けたエンドキャップ６を有している。ケーシング５の上部には，他の機器，機械部品，チャック，把持装置等を取り付けるための取付穴１９が形成されている。
【０００４】
ケーシング５及びエンドキャップ６の各下面には，ケーシング５及びエンドキャップ６とが軌道レール２に跨がって移動するように凹部１０が形成されている。凹部１０には，軌道レール２の各軌道溝４と対向した位置に，それぞれ軌道溝９が形成されている。ケーシング５に組み込まれているボール等の転動体７が，対向する軌道溝４，９で構成される負荷軌道路を転走する。また，ケーシング５から転動体７が脱落するのを防止するために，保持バンド１８が多数の転動体７を囲むようにケーシング５に取り付けられている。更に，スライダ１の下面に設けられた下面シール８が，軌道レール２とスライダ１との間をシールしている。
【０００５】
エンドキャップ６には，軌道レール２の長手方向両側面３に対応して，軌道レール２の軌道溝４から転動体７をすくう爪，及び転動体７の循環のために転動体７を方向転換させる方向転換路が形成されている。また，エンドキャップ６には，軌道レール２とスライダ１の長手方向両端部との間のシールを達成するエンドシール１７が取り付けられている。エンドキャップ６は，複数の取付孔（図示せず）に貫通させた取付けねじ２５等によりケーシング５の両端面に取り付けられる。軌道溝４，９で構成される軌道路，エンドキャップ６内に形成された方向転換路，及びケーシング５の内部に軌道溝９と平行して形成されたリターン通路孔１２は，転動体７のための無限循環路を構成している。転動体７が軌道路において負荷された状態であっても，多数の転動体７が軌道溝４，９に対してころがり接触することにより，スライダ１は，軌道レール２に対してスムーズに相対移動することができる。なお，転動体７が転走する軌道溝４，９に潤滑剤を供給するため，グリースニップル１１が，エンドシール１７を挿通してエンドキャップ６に取り付けられている。
【０００６】
図１６に示すような直動案内ユニットの転走路を潤滑する潤滑剤として，一般的には，グリース又は潤滑油が使用されている。該潤滑剤がグリースの場合には，グリースは，グリースニップル１１を通じて転動体の転走路に供給される。潤滑油の場合には，潤滑油は，グリースニップルの代わりに取り付けられた配管継ぎ手を通じて転走路に供給される。潤滑についてメンテナンスフリーを実現するため，ケーシングに取り付けられるエンドキャップの外面側に，補強板，潤滑剤含有部材及びサイドシールをこの順に重ね合わせた状態で固定した直動案内ユニットが提案されている（例えば，特開平９−５３６３７号公報参照）。補強板は，エンドキャップの外形に合わせたほぼコ字状の鋼板であり，軌道レールとは非接触である。潤滑剤含有部材は，エンドキャップの外形に合わせたほぼコ字形状に形成されている。潤滑剤含有部材の内面には，軌道レールの断面形状に合わせて軌道レールの上面及び外側面に摺接可能な凸部が形成されている。軌道レールに常時潤滑剤を供給するため，潤滑剤含有部材に形成した複数の貫通孔にリング状部材を嵌め込むか，又は潤滑剤含有部材に弾性部材を適用すること等により，潤滑剤含有部材の凸部が軌道レールの軌道溝に押し付けられている。
【０００７】
本出願人は，軌道溝が形成された軌道レール及び前記軌道レール上を相対摺動するスライダから成る直動案内ユニットとして，前記スライダを，前記軌道レールの前記軌道溝に対向して形成された軌道溝を備えたケーシング，前記軌道溝間を転走する転動体，前記ケーシングの両端面にそれぞれ固定されたエンドキャップ，前記エンドキャップの端面に取り付けられた潤滑プレート及び前記潤滑プレートの端面に取り付けられたエンドシールとから構成し，前記潤滑プレートを潤滑油が含浸された多孔質構造を有する焼結樹脂部材から構成したものを既に出願している（特願平９−１７６８０号（特開平１０−２０５５３４号公報参照））。この直動案内ユニットにおいては，潤滑プレートの外周面を覆う弾性金属製のカバーのばね力によって，潤滑プレートが軌道レールの軌道溝に押し付けられている。本出願人は，更に，特願平９−２５９４４１号，及び特願平９−２７０３４８号においても，別の構造を有する潤滑プレートを備えた直動案内ユニットを提案している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
前記提案された直動転がり案内ユニットでは，潤滑プレートにおける潤滑剤含有部材が軌道レールの軌道溝に直接に押し付けられているので，スライダが軌道レールに対して摺動すると潤滑剤含有部材が軌道レールの軌道溝に対して摺接し，そのすべり摩擦力はスライダの摺動抵抗が大きくなる要因となっている。そのため，直動転がり案内ユニットが組み込まれている装置を高速作動させようとしてスライダの移動速度を大きくさせる場合等には，上記のような潤滑プレートを備えた直動転がり案内ユニットでは，不向きな構造となっている。
【０００９】
また，直動案内ユニットの端面には，通常，ニトリルブタジエンラバー（ＮＢＲ）等から成るゴム部材と芯金とから構成されるエンドシールが配設され，ごみや埃がスライダ内に入らないように防塵されている。しかしながら，近年では，直動案内ユニットの使用範囲も多種広範囲にわたり，給油できない状況，或いは過酷な使用条件，例えば，多量のごみや埃，切り屑等が発生して付着するような環境下でも使用される傾向にある。そのため，使用環境によっては，潤滑プレートの潤滑剤含有部材に摩耗粉等が付着して目詰まりし易く，潤滑剤含有部材に目詰まりが生じると，潤滑剤の供給に支障をきたすおそれがある。更に，潤滑プレートの潤滑剤含有部材は直接に軌道レールの軌道溝に摺接しているので，摺接面積も大きく潤滑剤の消費量も多いという問題もある。
【００１０】
ところで，転がり走行は，すべり走行よりも，走行抵抗を格段に減らすことができるという特性がある。したがって，このことに着目し，軌道レールの軌道溝を転がり走行するものに潤滑剤の供給機能を持たせることができれば，軌道レールの軌道溝との走行抵抗を減じつつ，同時に軌道溝に潤滑剤を供給して，軌道レールやスライダの軌道溝を潤滑することができるという解決すべき課題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記課題を解決することであり，従来の，直動案内ユニットのように，スライダが軌道レールに対して摺動するときに，潤滑プレートの潤滑剤含有部材が軌道レールに対してすべり抵抗のような高い走行抵抗を受けることなく，走行抵抗を小さくしつつ潤滑剤の供給を可能にする潤滑プレートを備えた直動案内ユニットを提供することである。
【００１２】
この発明は，長手方向側面に軌道溝が形成された軌道レール，前記軌道溝と対向する軌道溝が形成され且つ前記軌道レール上を相対摺動するスライダ，及び前記軌道溝を潤滑する潤滑装置を具備する直動案内ユニットにおいて，
前記潤滑装置は，前記軌道レールを跨いだ状態に配設されるケース，該ケース内に収容された潤滑剤を含有する潤滑剤含有部材，及び前記ケースに形成された転動体保持部によって前記潤滑剤含有部材と摺接する状態で回転自在に保持され且つ前記軌道レールの前記軌道溝を転走する潤滑用転動体から成り，
前記潤滑用転動体は，前記潤滑剤含有部材から受け取った前記潤滑剤を前記軌道レールの前記軌道溝に供給することによって前記軌道溝を潤滑し，
前記転動体保持部は，前記ケースの厚み方向に隔置して形成された前記潤滑用転動体を挟む一対の保持腕部及び該一対の保持腕部を連結する連結部を有しており，
前記潤滑用転動体は，一対の前記保持腕部と前記連結部とによって形成されている凹部内に回転自在に保持され，
前記潤滑剤含有部材は，超高分子量の合成樹脂微粒子を所定の金型に充填して加熱成形して作製された多孔質の焼結樹脂部材であって，前記潤滑用転動体が摺接する凹面状の摺接面を備えていることを特徴とする直動案内ユニットに関する。
【００１３】
このように構成される直動案内ユニットにおいては，スライダが，長手方向側面に軌道溝が形成された軌道レール上を相対摺動すると，潤滑装置のケース内に回転自在に保持された潤滑用転動体は軌道レールの軌道溝を転走するときに自転し，ケース内に収容された潤滑剤含有部材と摺接して，潤滑剤含有部材が含有していた潤滑剤を表面に付着した状態で受け取る。潤滑用転動体が軌道レールの軌道溝を転走するときに，潤滑用転動体の表面に付着した潤滑剤は，軌道レールの軌道溝に移されて軌道溝を潤滑する。
【００１４】
前記転動体保持部は，前記潤滑用転動体を前記ケースの厚み方向に隔置して形成された一対の保持腕部及び該一対の保持腕部を連結する連結部を有しており，前記潤滑用転動体は一対の前記保持腕部と前記連結部とによって形成されている凹部内に回転自在に保持されている。一対の前記保持腕部と前記連結部とによって形成される凹部は，潤滑用転動体のケースの厚み方向両側の部分と，軌道レールの軌道面に接触することとなる部分とは径方向に反対側の部分とに潤滑用転動体が係合して，潤滑用転動体を回転自在に保持する。
【００１５】
前記潤滑装置は，前記スライダ又は前記スライダに固定されて前記スライダと共に移動する取付体に取り付けられている。潤滑装置は軌道レールと相対摺動するときに，潤滑用転動体が軌道レールの軌道溝に潤滑剤を供給するので，潤滑装置はスライダに直接取り付けてもよく，或いはスライダに固定されてスライダと共に移動する取付体に取り付けてもよい。
【００１６】
前記スライダは，前記軌道レールの前記軌道溝に対向する前記軌道溝を備えたケーシング，前記軌道溝間を転走する転動体，前記ケーシングの両端面にそれぞれ固定されたエンドキャップ，及びエンドシールを具備しており，前記ケースは前記エンドキャップの端面に取り付けられており，前記エンドシールは前記ケースの端面に取り付けられている。スライダは，既知の，ケーシング，転動体，エンドキャップ，及びエンドシールを具備した構造を有することができる。
【００１７】
前記ケースは，内部下方に前記潤滑剤含有部材を収容すると共に内部上方に前記潤滑剤を収容する容器である。潤滑剤含有部材に含有されている潤滑剤は，直動案内ユニットの使用に伴って消費されていくが，容器内に蓄えられた潤滑剤が潤滑剤含有部材に補給される。潤滑剤含有部材に予め含有されている潤滑剤と容器内に蓄えられた潤滑剤とが消費されるまで，潤滑剤の供給が継続される。また，前記容器の上壁には前記潤滑剤を補給するための給油口が設けられているので，容器内に蓄えられている潤滑剤が消費された場合，給油口から潤滑剤を補給することができる。なお，給油口は空気口を兼ねているので，容器内に蓄えられている潤滑剤が消費されても，容器内は，軌道レールの軌道溝への潤滑剤の供給を妨げる負圧となることがない。なお，前記潤滑剤は，グリース又は，樹脂パウダ，金属パウダ又はフェルトが混入されている潤滑油である。
【００１８】
また，前記ケースは，上部，該上部の両端から垂下する側部，及び前記側部の下端から前記軌道レールに向かって延びる下部とから成る枠体であり，前記潤滑剤含有部材は前記枠体内に嵌め込まれて保持されている。この場合，ケースは潤滑剤を蓄えることができる容器ではないので，潤滑剤はすべて潤滑剤含有部材に含有されることになる。前記ケースは，前記上部，前記側部，及び前記下部に一体的に接続し且つ前記スライダの摺動方向と交差する方向に延びて前記潤滑剤含有部材のいずれか一方の端面を覆う端板部が設けられている。この場合，潤滑剤含有部材の一側は端板部によって覆われているので，潤滑剤含有部材のケース内での保持が一層確実になる。潤滑剤含有部材は，ケースに対して一方向にのみ開口した側から装填と取出しが行われる。
【００１９】
前記ケースの前記上部又は前記側部には窓孔が形成されており，前記窓孔には前記潤滑剤含有部材に形成された凸部が嵌合している。ケースに形成された窓孔と潤滑剤含有部材に形成された凸部とが嵌合していることにより，潤滑剤含有部材のケースにおける保持が一層確実になる。また，窓孔を通して，潤滑剤含有部材に潤滑剤の補給を行うことも可能である。
【００２０】
前記ケースには前記エンドキャップに設けられたグリースニップル又は潤滑油供給管継ぎ手に対応する挿通孔が形成されている。また，前記ケースは，金属，合成樹脂又は合成ゴムから製作されている。
【００２１】
前記潤滑用転動体はころ又は球であるので，潤滑用転動体が回転するとき潤滑剤含有部材の凹面状の摺接面に摺接し潤滑剤を潤滑用転動体の表面に受け取る。前記潤滑剤含有部材は，前記軌道レールの前記長手方向両側面に形成された前記各軌道溝をそれぞれ転走する前記潤滑用転動体に個別に摺接する二分割された潤滑剤含有部分から成る。二分割された前記潤滑剤含有部分は，前記軌道レールの両側に対称形に配置されている。このように構成すると，潤滑剤含有部分は同じ形状・構造となり，潤滑剤含有部材の製造コストが低減される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下，図面を参照して，この発明による直動転がり案内ユニットの実施例を説明する。図１はこの発明による直動案内ユニットの第１実施例を示す側面図，図２は図１に示した直動案内ユニットの分解斜視図，図３は図１に示した直動案内ユニットの正面図，図４は図１の直動案内ユニットに組み込まれた潤滑装置を示す平面図，図５は図４に示した潤滑装置の正面図，図６は図５に示した潤滑装置の矢視Ａ−Ａで見た断面図，図７は図４に示した潤滑装置の矢視Ｂ−Ｂで見た断面図，そして図８は図４及び図５に示した潤滑装置の矢視Ｃ−Ｃで見た断面図である。図１〜図８に示したこの発明の第１実施例において，図１６に示した従来の直動転がり案内ユニットと同一の構造及び機能を有する構成要素には同一の符号を付している。
【００２３】
この第１実施例の直動案内ユニットは，図１〜図３に示すように，後述する潤滑装置１５以外は，図１６に示した従来の構造と同様な構造を有している。この直動案内ユニットは，一対の長手方向側面３に軌道溝４を形成した軌道レール２と，軌道レール２上を跨架して摺動可能に装着されたスライダ１とから構成されている。軌道溝４は，軌道レール２の一対の長手方向側面３に断面凹状の円弧状に形成されている。スライダ１は，軌道レール２に対して相対摺動可能なケーシング５，及びケーシング５の摺動方向即ち長手方向両端にそれぞれ取り付けられたエンドキャップ６を備えている。スライダ１及び軌道レール２には，図１６に示した従来のものと同様に，テーブル，又は搭載装置を固定するための取付けボルト（図示せず）が挿通される取付け孔１９，１３が形成されている。
【００２４】
ケーシング５は，図示しないが，図１６に示した従来のスライダ１と同様の内部構造を有している。即ち，各軌道溝４に対向する位置に軌道溝９が形成されており，スライダ１には，スライダ１が軌道レール２上を滑らかに摺動可能とするため，対向する軌道溝４，９間を相対移動可能に転走する多数の転動体７が設けられている。また，ケーシング５には，ケーシング５から転動体７が脱落するのを防止するための保持バンド１８と，ケーシング５及びエンドキャップ６と軌道レール２の長手方向側面３との間の隙間をシールするための下面シール８とが取り付けられている。スライダ１の軌道溝９と軌道レール２の軌道溝４とから成る負荷域を走行する転動体７は，エンドキャップ６内に形成された方向転換路に導かれ，更にケーシング５の軌道溝９と平行に形成されたリターン通路孔１２に移動し，多数の転動体７は無限循環路内を無限循環する。
【００２５】
エンドキャップ６の端面１６には，図４〜図８に示す潤滑装置１５が，軌道レール２上を相対摺動可能に配設されている。エンドシール１７は，潤滑装置１５の端面に配置され且つ軌道レール２上を相対摺動するように設けられている。潤滑装置１５をケーシング５の長手方向両端にそれぞれ取り付けられたエンドキャップ６の端面１６に取り付けるために，潤滑装置１５を構成するケース２１には，四隅において補強部２２が形成されており，各補強部２２には取付けボルト２５が挿通する取付孔２４が貫通して形成されている。潤滑装置１５の取付孔２４に対応して，ケース２１を両側から挟み込むエンドキャップ６とエンドシール１７とにも，それぞれ，取付けボルト２５が挿通する取付孔２６，２７が形成されている。エンドシール１７の取付孔２７，ケース２１の取付孔２４及びエンドキャップ６の取付孔２６をこの順で挿通する取付けボルト２５が，スライダ１のケーシング５のボルト穴に螺入されることにより，エンドキャップ６，ケース２１，及びエンドシール１７がスライダ１に取り付けられ，ケース２１は，エンドキャップ６とエンドシール１７とで挟持した状態で保持される。ケース２１が合成樹脂製である場合，ケース２１が取付けボルト２５の締め付ける際の押圧力によって変形しないように，取付孔２４内に配置されて両端がそれぞれエンドキャップ６とエンドシール１７とに当接するカラー２３を嵌入させることができる。
【００２６】
ケース２１は，全体として門形の形状を有する厚みの薄い容器であって，容器の素材は，金属，合成樹脂又は合成ゴムであってもよい。特に図７に示すように，潤滑装置１５のケース２１は，後述する潤滑剤含有部材４３を収容し且つ潤滑油又はグリースのような潤滑剤を貯留するタンク状に構成されている。ケース２１の上壁２８には潤滑剤等をケース２１内に注入するための給油口２９が形成されている。給油口２９は，消費した潤滑剤量に見合う空気をケース２１内に導入するための空気口としても機能する。なお，給油口２９は，ケース２１の上壁２８に代えて，袖部３０の側壁の上方の部位に設けてもよい。ケース２１は，例えば，図４のＢ−Ｂ断面で２分割した形状に形成された半体を互いに向き合わせて接合すれば容易に製作することができる。潤滑剤含有部材４３は，分割された半体を互いに接合する前に内部４１に配設しておき，接合後に給油口２９から潤滑剤をタンク内に供給する。
【００２７】
ケース２１の両側の袖部３０を構成する内壁３１には，ボールである潤滑用転動体４０（以下，この実施例において，簡略のために単に転動体４０という。）が，転動体保持部３３によって回転自在に保持されている。ケース２１は，転動体４０を，軌道レール２の軌道溝４と接触する部分が軌道レール２の軌道溝４側に向かって露出する状態となるように保持している。転動体保持部３３は，ケース２１の厚み方向に隔置して形成された一対の保持腕部３４と，軌道溝４側に露出した側とは転動体４０の径方向の反対側において転動体４０に沿ってケース２１の一対の側壁３２を繋いで形成された連結部３５とから構成されている。保持腕部３４は一対の側壁３２から軌道レール２側に向かって延びており，保持腕部３４の先端には，転動体４０の半球を僅かに超える部分まで延びて転動４０を抱持する爪部３６が形成されている。転動体４０は，一対の保持腕部３４と連結部３５とで形成される凹部３８内に収容され，保持腕部３４の先端に形成されている爪部３６をかしめることによって，転動体４０は凹部３８内に脱落しないように抱持された状態となる。転動体保持部３３は，袖部３０の高さ方向には，転動体４０の直径よりも小さい円状の開口縁３７を有しており，凹部３８内に収容された転動体４０が袖部３０の高さ方向に抜け出すのを防止している。
【００２８】
転動体４０が凹部３８内に収容された状態では，開口縁３７と連結部３５との間の開口部３９において，転動体４０はケース２１の内部に露出している。ケース２１の内部４１の上部には，給油口２９から注油された潤滑剤４２が貯えられている。また，ケース２１の内部４１の下部には，貯えられている潤滑剤４２を含有することができ且つ潤滑剤４２が適度に滲み出す程度の大きさの潤滑剤含有部材４３が配設されている。潤滑剤含有部材４３が占める以外の残り部分は潤滑剤のタンクになっている。潤滑剤含有部材４３は開口縁３７と連結部３５との間の開口部３９に臨んでおり，開口部３９において潤滑剤含有部材４３は転動体４０に接触している。転動体４０が回転するとき転動体４０は潤滑剤含有部材４３と摺接するので，潤滑剤含有部材４３が含有する潤滑剤は，回転する転動体４０の表面に逐次付着するように供給される。したがって，潤滑剤含有部材４３は，ケース２１の内部４１に蓄えられている潤滑剤を転動体４０の表面に誘導する機能を有している。
【００２９】
ケース２１内に蓄えられる潤滑剤は，単独の潤滑剤が封入されるか，或いは潤滑剤と補助材との混合物が封入される。単独の潤滑剤としては油，又はグリースが挙げられる。グリースを用いる場合，潤滑剤含有部材４３に導かれるためには，粘度が高いものは好ましくなく，稠度番号１番の粘度のもの，例えば，リチウム系グリースが一般的である。
【００３０】
潤滑剤含有部材４３は，多孔体の構造を有する焼結樹脂（高分子焼結多孔体）を用いて形成されている。焼結樹脂部材は，超高分子量ポリエチレン樹脂の微粒子，例えば，細粒径が３０μｍで，粗粒径が２５０〜３００μｍの粉末を，所定の成形型に充填し，加圧加熱成形して作製したオープンポアから成る多孔質の焼結樹脂部材で作製されている。多孔質構造の焼結樹脂部材は，多孔部に潤滑油が含浸され，徐々に且つ滑らかに滲み出す機能を有している。また，焼結樹脂は，合成樹脂の微粒子を加圧加熱成形して作製されるので，成形性が良く，耐摩耗性にも優れており，且つ安価に製作することが可能である。焼結樹脂部材の一例として，スペイシーケミカル株式会社製の高分子焼結多孔質体であるスペイシー（登録商標）を挙げることができる。潤滑剤含有部材７３の多孔質の焼結樹脂部材の空間率は，例えば，４０〜５０％のものを使用できる。
【００３１】
また，潤滑剤含有部材４３は，多孔質の焼結樹脂部材を，潤滑油であるタービン油に浸漬し，潤滑油を多孔部に含浸させることによって製作される。例えば，潤滑剤含有部材４３を３０分間浸漬することによって，潤滑油の含有率を４１ｗｔ％，潤滑油の含有量を２ｃｃ程度に調整することができる。潤滑油の含有率は，スライダ１の使用条件等に対応して調整することができる。上記の材質以外にも，潤滑剤含有部材４３を構成する潤滑油と焼結樹脂部材とは互いに適合するような材質を選定できるので，その取り扱い，仕様変更も簡単にできる。更に，潤滑剤含有部材４３を構成する焼結樹脂部材は，高精度に簡単に成形することができ，例えば，±０．０２５ｍｍ程度の加工精度を確保でき，精密機械に組み込まれる直動案内ユニットとしては極めて最適な部品として提供できる。
【００３２】
潤滑装置１５を取り付けたスライダ１が，軌道レール２に組み込まれたとき，転動体保持部３３に保持された転動体４０は，ケース２１から露出する部分において軌道レール２の軌道溝４に接触する。軌道溝４は軌道レール２の長手方向側壁に断面円弧状の溝として形成されているので，保持腕部３４は，軌道溝４とは接触しないが，円弧状の溝に入り込むような形状となっている。このように構成された直動案内ユニットにおいて，スライダ１が軌道レール２上を摺動すると，ケース２１の内部４１に封入された潤滑剤であるグリース，或いは潤滑油及び樹脂パウダに含まれる油分は，開口部３９を通して潤滑剤含有部材４３から転動体４０の表面に逐次少量ずつ付着する。一方，転動体４０は軌道レール２の軌道溝４を転走するので，転動体４０の表面上の潤滑剤４２は軌道レール２の軌道溝４に常時且つ僅かずつ供給される。軌道溝４に塗布された潤滑剤は，更には，スライダ１の一群の転動体７及びスライダ１の軌道溝９にも広がって行き，転動体７の転走をスムーズにし，その結果スライダ１の軌道レール２に対する摺動をスムーズにする。ケース２１内に封入されていた潤滑剤４２が消費されて無くなった場合には，ケース２１に備わる給油口２９から潤滑剤４２を補給することのみで，再度使用可能となり，その他はメンテナンスフリーである。
【００３３】
以下，図９〜図１５を参照して，この発明による潤滑装置を備えた直動転がり案内ユニットの別の実施例を説明する。図９はこの発明による潤滑装置を備えた直動案内ユニットの別の実施例を示す分解斜視図，図１０は図９に示した直動案内ユニットに組み込まれた潤滑装置を示す平面図，図１１は図１０に示した潤滑装置の正面図，図１２は図１０に示した潤滑装置の側面図，図１３は図１１に示した潤滑装置の裏面図，図１４は図１１に示した潤滑装置の矢視Ｄ−Ｄで見た断面図，及び図１５は図１０及び図１１に示した潤滑装置の矢視Ｅ−Ｅで見た断面図である。上記各図面に示したこの発明の実施例において，図１〜図８に示した直動案内ユニットの実施例と同一の構造及び機能を有する部品には，同一の符号を付し，重複する詳細な説明を省略する。
【００３４】
この実施例においては，エンドキャップ６の端面１６には，潤滑装置４５が配置されている。潤滑装置４５は，ケース４６と，ケース４６内に支持され且つ潤滑剤を含有することができる潤滑剤含有部材７３と，潤滑剤含有部材７３から潤滑剤の供給を受け且つ軌道レール２上を転走可能な潤滑用転動体７０（以下，簡略のために，単に転動体７０と記す。）とを具備している。潤滑装置４５は，ケーシング５の端面形状に合わせた略コ字状の形状を有する均一な厚みの板状体であり，コ字状の開口側を軌道レール２に跨がせて設けられる。エンドシール１７は，潤滑装置４５の端面に配置され且つ軌道レール２上を相対摺動するように設けられる。ケース４６は，上部４７，上部４７の左右両端から垂下する一対の側部４８，及び一対の側部４８の下端から互いに向かって延びる下部４９から構成されており，全体として門形の枠体の形状を有している。
【００３５】
潤滑剤含有部材７３からの潤滑油の供給と合わせて，潤滑油剤又は潤滑油を外部から軌道溝４へ給油するグリースニップル１１（又は潤滑油供給管継ぎ手，以下同じ）をスライダ１のエンドキャップ６に取り付ける場合がある。このような要請に対応して，ケース４６は，従来どおりグリースニップルが配設できるものになっている。即ち，図９に示すように，グリースニップル１１はスライダ１の摺動方向端部の中央位置に設けられること，及び強度上，比較的剛性の高いケース４６を貫通させるのが好ましいことから，グリースニップル１１が通るグリースニップル孔５８は，エンドシール１７に形成された挿通孔１７ａに対応して，ケース４６の上部４７に設けられた中央部分５０に形成されている。中央部分５０は，ケース４６の上部４７において軌道レール２の上面１４に向かって延びており，グリースニップルを挿通させるためにグリースニップル孔５８が形成されている。
【００３６】
潤滑装置４５を軌道レール２に装着した状態では，上部４７は軌道レール２の上面１４と平行に延び，側部４８は軌道レール２の長手方向側面３に平行に垂下し，下部４９は，上部４７と平行に且つ軌道レール２の長手方向側面３に向かって延びている。ケース４６は，軌道レール２に対向する区域を除いて潤滑剤含有部材７３の周囲を取り囲んで支持している。即ち，潤滑剤含有部材７３を保持したケース４６を組み込んだスライダ１が軌道レール２に装着されたとき，潤滑剤含有部材７３は，軌道レール２に面する側で軌道溝４に対向して開放された状態となる。潤滑剤含有部材７３のスライダ１の摺動方向に面する端面，即ち，エンドキャップ６及びエンドシール１７と面するいずれかの端面は，端板部５７によって覆われている。したがって，スライダ１に組み付けられる前の個々の状態では一方の端面では外部に露出しているが，スライダ１に組み付けられた状態でエンドキャップ６及びエンドシール１７に覆われる。潤滑剤含有部材７３のいずれか一方の端面をケース４６の端板部５７に保持させることによって，潤滑装置４５の保管や運搬時に各潤滑剤含有部分７４がケース４６から脱落することを防止することができる。
【００３７】
ケース４６は，金属，合成樹脂，又は合成ゴム等で作製される。端板部５７を一部省略したケース４６は，潤滑装置４５を軌道レール２或いはスライダ１に装着する場合に，弾性変形又は復元可能な変形をするので，潤滑装置４５の取扱いが容易になる。即ち，ケース４６は，破損はしないが容易に弾性変形をするので，潤滑装置４５を組付け又は分解をする場合には潤滑剤含有部材７３をケース４６に簡単に組み込んだり取り外すことができ，直動案内ユニットにおいてケーシング５，エンドキャップ６及びエンドシール１７を軌道レール２上に置いたままの状態でも，潤滑装置４５を軌道レール２を跨ぐように拡開することによって，潤滑装置４５を簡単に軌道レール２に装着することができる。
【００３８】
潤滑装置４５をスライダ１の長手方向両端にそれぞれ取り付けられたエンドキャップ６の端面に押し当てた状態でケーシング５に取り付けるために，第１実施例の場合と同様に，潤滑装置４５のケース４６には，四隅において補強部５２が形成されており，各補強部５２には取付けボルト２５が挿通する取付孔５４が形成されている。ケース４６を両側から挟み込むエンドキャップ６とエンドシール１７とにそれぞれ形成された取付孔２６，２７及びケース４６の取付孔５４に挿通した取付けボルト２５をスライダ１のケーシング５のボルト穴に螺入することにより，エンドキャップ６，ケース４６及びエンドシール１７をスライダ１に取り付け，且つケース４６をエンドキャップ６とエンドシール１７との間に挟持した状態で保持することができる。ケース４６が合成樹脂や合成ゴムで製作されている場合，ケース４６がボルトの締付け力によって変形しないように，取付孔５４内に配置したカラー５３に取付けボルト２５を挿通して，カラー５３に取付けボルト２５の締付け力の大部分を負担させることができる。
【００３９】
潤滑剤含有部材７３は，軌道レール２の左右両側に二分割された潤滑剤含有部分７４，７４から構成されている。潤滑剤含有部分７４は，ケース４６に組み立てた状態では，ケース４６の中央部分５０によって区分されて配置されており，各潤滑剤含有部分７４は，中央部分５０を有する上部４７，側部４８，及び下部４９によって囲まれることによって互いに分離した状態でケース４６に保持される。グリースニップル孔５８を設けなければ，潤滑剤含有部材７３は分割することなく，コ字状に一体的に成形したものでよい。ケース４６は，両潤滑剤含有部分７４を囲むことによって，潤滑剤含有部分７４を安定した状態に保持すると共に，スライダ１への組付け状態では潤滑剤含有部材７３の大部分の外周面を被覆して，上記のような防塵，破損の防止，及び潤滑油の漏れの防止というカバーの機能も果たしている。各潤滑剤含有部分７４は，潤滑すべき軌道溝４への潤滑に必要なボリュームのものを用意すればよいので，潤滑剤含有部材７３の小型化が図られる。
【００４０】
潤滑剤含有部分７４，７４を軌道レール２の両側に対称形に配置するので，潤滑剤含有部分７４，７４は，同じ形に量産されたものを，線Ｅ−Ｅに対して一方を他方に対して反転した状態でケース４６に組み付けられる。この場合，ケース４６も，対称形に形成するのが好ましい。潤滑剤含有部分７４の成形型は，同じものを用いるので，潤滑装置４５の製造コストが低減される。
【００４１】
ケース４６の上部４７と側部４８とには，それぞれ窓孔５５，窓孔５６が形成されている。ケース４６に窓孔５５，５６を形成することによって，ケース４６を作製するときの素材の材料を節約し，且つ外部からケース４６に遮られることなく潤滑剤含有部材７３にアクセスすることができる。例えば，窓孔５５，５６を通して潤滑剤含有部材７３の状態を確認することができると共に，潤滑剤を消費した場合には，窓孔５５，５６を通して潤滑剤含有部材７３に潤滑剤を給油することができる。
【００４２】
潤滑剤含有部分７４は，概略，ケース４６を構成する上部４７，側部４８及び下部４９の内側輪郭と同様の外径を有しているが，窓孔５５，５６に対応した部分において形成されている嵌合凸部７５，７６が，それぞれ窓孔５５，５６に係合している。嵌合凸部７５，７６は，窓孔５５，５６の深さの約半分程度の深さで嵌合しているので，潤滑剤含有部分７４は，ケース４６の外側に突出することがなく，ケース４６により確実に支持されてスライダ１に組み込む前，又はスライダ１から取り外した場合に，潤滑剤含有部分７４がケース４６から脱落することがない。嵌合凸部７５，７６を窓孔５５，５６に係合させるには，ケース４６を若干広がるように，又は潤滑剤含有部分７４を圧縮するように，何れか又は双方を弾性変形させることにより行われる。
【００４３】
潤滑剤含有部材７３は，第１実施例における潤滑剤含有部材４３と同様，超高分子量のポリエチレンなどを焼結して成形した多孔質構造を有する焼結樹脂部材とかかる多孔質構造の多孔部に含浸された潤滑油とから構成されているので，再度の説明を省略する。また，潤滑剤含有部材７３に含浸させる潤滑剤の組成についても，第１実施例における潤滑剤と同様でよく，再度の説明を省略する。
【００４４】
各潤滑剤含有部分７４は，ケース４６に回転自在に保持されている転動体７０と個別に摺接している。各潤滑剤含有部分７４が含有する潤滑剤を受け取り軌道レール２の軌道溝４に付着させるボールである転動体７０は，ケース４６において転動体保持部６３によって回転自在に保持されている。転動体保持部６３は，ケース４６の厚み方向両側に形成された一対の保持腕部６４と，両保持腕部６４を連結するようにケース４６の一部を省略したの端板部５７又は端板部５７から転動体７０の背面側を延びる連結部６５とから構成されている。一対の保持腕部６４は，ケース４６の厚みの範囲内に納まるように，且つ軌道レール２の軌道溝４へ入り込むように，それぞれ端板部５７と連結部６５の先端とからケース４６の内方に凸状に延びて形成されている。一対の保持腕部６４と連結部６５とは，転動体７０をその一部が軌道レール２の軌道溝４側に露出する状態で回転自在に保持する凹部６８を形成している。保持腕部６４の先端には，転動体７０の最大径部分を僅かに超えた位置において転動体７０を抱くように屈曲させた爪部６６が形成されており，転動体７０の保持腕部６４からの抜出しを防止している。
【００４５】
潤滑剤含有部材７３，及び転動体７０から組み立てられたケース４６をスライダ１に組み付けた状態で軌道レール２に装着したとき，各転動体７０は，ケース４６内に回転自在となり且つ軌道レール２の軌道溝４上を転走可能である以外，ケース４６の転動体保持部６３と軌道レール２の凹状の軌道溝４とで拘束された状態となる。各転動体７０は，一対の保持腕部６４と連結部６５を除く略半球部分で潤滑剤含有部分７４と接触しており，スライダ１が軌道レール２に対して相対摺動するときに回転する転動体７０は潤滑剤含有部分７４と摺接し，転動体７０の表面には，潤滑剤含有部分７４が含有する潤滑剤が逐次付着する。転動体７０上の潤滑剤は，スライダ１が軌道レール２上を摺動することによって，軌道レール２の軌道溝４に供給され，更にスライダ１の一群の転動体７とスライダ１の軌道溝９に供給される。
【００４６】
潤滑装置４５の軌道レール２への装着については，状況に応じて適宜の方法を採用できる。潤滑剤含有部材７３をケース４６に組み付けて潤滑装置４５として完成したものについては，僅かに下方部を拡開して軌道レール２の上方から直接装着することができる。また，軌道レール２への装着に際して潤滑装置４５の拡開変形量が大き過ぎる場合には，潤滑剤含有部材７３を軌道レール２の端部から嵌入するか，又は軌道レール２の各側面で潤滑剤含有部材７３をケース４６に組み付けて潤滑装置４５を完成させることもできる。
【００４７】
以上，図示された実施例に基づいてこの発明による潤滑装置を備えた直動案内ユニットを説明したが，上記各実施例は，この発明による潤滑装置を備えた直動案内ユニットの例を示したに過ぎない。第１実施例では，潤滑装置１５のケース２１については，スライダ１に取り付けられた例を示した。しかしながら，潤滑装置１５は，スライダ１に固定されてスライダ１と共に移動する取付体に取り付けてもよい。また，上記各実施例に対して，適宜の変更をなし得るものである。例えば，ケース２１，４６に形成されている取付け孔２４，５４やグリースニップル１１のためのグリースニップル孔５８に代えて，ケース２１，４６を外側から切り欠いた切欠き部を形成し，切欠き部に嵌合させたカラーに取付けボルトやグリースニップル１１を挿通させてもよい。ケース２１とエンドキャップ６との間には，鋼板の薄板から構成される間座を配置して，取付けボルト２５で締め付けた時に，エンドキャップ６及びケース２１に変形等が発生しないようにすることができる。また，上記実施例では，転動体７をボールとし且つ軌道溝４の形状を断面円弧状としたが，転動体４０がころである場合には，ころが摺接する潤滑剤含有部材４３には，ころの形状に合わせた形状の面とすることができる。
【００４８】
この発明による直動案内ユニットは，滑らかなスライドを実現すると共に，滑らかなスライドのために使用される潤滑剤が外部に流れても，直ちに処理される設備，即ち，使用環境を油で汚さない半導体製造装置のようなクリーンな設備，や，油分が洗い流される食品設備，或いはダストが油分を吸収することで奪ってしまう木工機械等に特に適用可能である。油分の消費が進んでも，ケースに潤滑剤を補充すること以外，メンテナンスフリーで長期間，スライダと軌道レールとの間に良好な潤滑を与えることができる。
【００４９】
潤滑剤含有部材４３，７３については，多孔質の疎密を潤滑装置の各部分に応じて変更してもよい。例えば，転動体４０，７０に摺接する部分を多孔質の目を密部分に構成し，その他の部分は粗部分に構成すると，潤滑剤は粗部分から密部分に補給され，転動体４０，７０の表面へ潤滑剤をスムースに移すことができる。潤滑剤含有部材７３においては，転動体７０と摺接する部分と潤滑剤含有部材７３への潤滑油を含浸する窓孔５５，５６に対応する部分以外の潤滑剤含有部材７３の表面部を，表層部の温度を高めて目潰しするか樹脂コーティングすることによって，無孔質表層部に形成することもできる。
【００５０】
【発明の効果】
この発明による直動案内ユニットは，以上のように構成されているので，次のような効果を有する。即ち，この直動案内ユニットは，潤滑剤含有部材をケース又は支持体に有してなる潤滑装置に，軌道レールの軌道溝に摺接してなる転動体を設けたものである。転動体には，潤滑剤含有部材である多孔質の超高分子量でなる焼結樹脂部材を摺接しており，ケースには，転動体が軌道レールの軌道溝に摺接して転動するための転動体を回転自在に保持する転動体保持部が形成されている。かかる構成によって，スライダが軌道レール上を摺動するときに，潤滑剤含有部材から転動体の表面に潤滑剤がスムーズに移され，更に，転動体の表面から軌道レールの軌道溝に供給されるので，潤滑剤が徐々に軌道溝間に供給され，潤滑不良状態が発生することがなく，良好な潤滑状態を確保することができる。しかも，スライダが軌道レールに対して摺動するときの潤滑装置に起因する摺動抵抗を低減でき，摩耗等の発生を防止できる。
【００５１】
この発明による直動案内ユニットによれば，潤滑装置は，潤滑剤含有部材や転動体がケースに支持された状態で扱われ，エンドキャップ及びエンドシールと共に行われるケーシングへの組付けや分解，或いは給油部品としての保管に際しての取扱い作業が極めて簡便になる。ケース内に封入されている潤滑剤と潤滑剤含有部材とは，潤滑剤が含浸していくように，潤滑剤と多孔質構造を持つ焼結樹脂部材の成形品との使用条件が適合するものが選定される。また，この潤滑装置によれば，封入する潤滑剤をユーザーが決定でき，再封入も容易であり，その取り扱いや仕様変更も簡単にできる。
【００５２】
また，この直動案内ユニットは，基本仕様を全く変更することなく，従来の種々の既存の直動案内ユニットに組み込んで使用することができる。即ち，潤滑装置は，同じ規格の軌道レールを使用する直動案内ユニットであれば，たとえスライダの形や大きさが違っていても，同一のケースと潤滑剤含有部材が適用できるので，適用範囲の広い潤滑装置を提供することができる。また，潤滑装置は，既に切削機械等に組み込まれている従来の直動案内ユニットに対しても，軌道レールの上面等から装着することによってスライダの端面に簡単に取り付けることができるので，既存の機械における直動案内ユニットの自己潤滑性能を向上させることができる。更に，この直動案内ユニットによれば，過酷な使用条件でも自己潤滑を可能にして良好な潤滑状態が維持され，自己潤滑によって長寿命化が達成され，ケースのカバー機能によって潤滑に対する防塵性の向上，クリーンな環境を維持でき，給油のメンテナンスフリー等が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による直動案内ユニットの一実施例を示す側面図である。
【図２】図１に示した直動案内ユニットの分解斜視図である。
【図３】図１に示した直動案内ユニットの正面図である。
【図４】図１の直動案内ユニットに組み込まれた潤滑装置を示す平面図である。
【図５】図４に示した潤滑装置の正面図である。
【図６】図５に示した潤滑装置の矢視Ａ−Ａで見た断面図である。
【図７】図４に示した潤滑装置の矢視Ｂ−Ｂで見た断面図である。
【図８】図４及び図５に示した潤滑装置の矢視Ｃ−Ｃで見た断面図である。
【図９】この発明による直動案内ユニットの別の実施例を示す分解斜視図である。
【図１０】図９に示した直動案内ユニットに用いられる潤滑装置の平面図である。
【図１１】図１０に示した潤滑装置を示す正面図である。
【図１２】図１０に示した潤滑装置の側面図である。
【図１３】図１１に示した潤滑装置の裏面図である。
【図１４】図１１に示した潤滑装置の矢視Ｄ−Ｄで見た断面図である。
【図１５】図１０及び図１１に示した潤滑装置の矢視Ｅ−Ｅで見た断面図である。
【図１６】従来の直動案内ユニットを示す一部破断の斜視図である。
【符号の説明】
１    スライダ
２    軌道レール
３    軌道レールの側面
４，９    軌道溝
５    ケーシング
６    エンドキャップ
７    転動体
１１  グリースニップル
１２  リターン通路孔
１５，４５  潤滑装置
１６  エンドキャップの端面
１７  エンドシール
２１，４６  ケース
２９  給油口
３３，６３  転動体保持部
３４，６４  保持腕部
３５，６５  連結部
３６，６６  爪部
３８，６８  凹部
３９        開口部
４０，７０  潤滑用転動体
４１        内部
４２        潤滑剤
４３，７３  潤滑剤含有部材
４７        上部
４８        側部
４９        下部
５０        中央部分
５５，５６  窓孔
５７        端板部
７４        潤滑剤含有部分
７５，７６  凸部
【図１】
0003980778.tif 000002
【図２】
0003980778.tif 000003
【図３】
0003980778.tif 000004
【図４】
0003980778.tif 000005
【図５】
0003980778.tif 000006
【図６】
0003980778.tif 000007
【図７】
0003980778.tif 000008
【図８】
0003980778.tif 000009
【図９】
0003980778.tif 000010
【図１０】
0003980778.tif 000011
【図１１】
0003980778.tif 000012
【図１２】
0003980778.tif 000013
【図１３】
0003980778.tif 000014
【図１４】
0003980778.tif 000015
【図１５】
0003980778.tif 000016
【図１６】
0003980778.tif 000017