(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段を備え、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含み、上部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構は、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成されるフィルム剥離搬送装置において、
上流側下部ベルト車は、変位自在に支持されると共にばね手段によって、上流側無端ベルトの最下面と基板の搬送面との間の隙間が最少となる基準位置に位置付けられ、基板の搬送経路に該隙間を越える厚さを有する基板が搬送されると、上流側下部ベルト車は、該基板の押上作用により、ばね手段に抗して該隙間が拡大される下流方向上方に変位させられて該基板の搬送が許容される、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。
【請求項２】
上流側下部ベルト車は、静止枠手段に可動支持手段を介して変位自在に支持され、ばね手段は、静止枠手段と可動支持手段との間に配設されている、請求項１記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項３】
上流側下部ベルト車は、基板の搬送経路の幅方向に延在する回転軸に配設され、静止枠手段は、基板の搬送経路を幅方向に挟んだ両側に設置された側枠を含み、可動支持手段は、側枠の各々に設けられた案内支持手段と、案内支持手段の各々に移動自在に支持された可動支持部材とを備え、上流側下部ベルト車の回転軸の両端部は、対応する可動支持部材に軸受を介して回転自在に支持され、案内支持手段の各々には、対応する可動支持部材の移動を規制する移動規制部が設けられ、ばね手段は、側枠の各々と、対応する可動支持部材との間に配置され、ばね手段が、対応する可動支持部材を移動規制部に押圧することにより上流側下部ベルト車は基準位置に位置付けられ、基板の搬送経路に該隙間を越える厚さを有する基板が搬送されると、上流側下部ベルト車は、該基板の押上作用により、可動支持部材の各々が、対応するばね手段に抗して移動規制部から離れるよう案内支持手段に沿って下流方向上方に移動させられることにより同方向に変位させられる、請求項２記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項４】
上流側下部ベルト車が下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルトの張力が増加させられる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項５】
下流側下部ベルト車は、上流側下部ベルト車よりも高い位置に配置され、上流側下部ベルト車が下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルトの、下流側の下端部であって上流側下部ベルト車の外周面に巻き掛けられている領域よりも上方の領域における外周面が、対向する下流側下部ベルト車の外周面の一部領域に、下流側下部ベルト車に巻き掛けられた下流側無端ベルトを介して圧接される、請求項４記載のフィルム剥離搬送装置。
【請求項６】
剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段を含み、下部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構を含み、下側ベルト機構は、基板の搬送面に下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下流側に配置された下流側上部ベルト車と、下流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車と、該上流側ベルト車間に巻き掛けられた上流側無端ベルトと、該下流側ベルト車間に巻き掛けられた下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって下方に延びるフィルム搬送経路が形成され、上流側上部ベルト車に巻き掛けられた上流側無端ベルトの最上面は、基板の搬送面と実質的に同一面上に配置され、該隙間は、上側ベルト機構の上流側無端ベルトの最下面と、下側ベルト機構の上流側無端ベルトの最上面との間に形成される、請求項１〜５のいずれか１項に記載のフィルム剥離搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段を備え、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含み、上部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含んでいる形態の、フィルム剥離搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の両面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において両表面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
平面から見て矩形をなすプリント配線基板素材のような基板の、少なくとも片面（上面）からフィルムを剥離することができるフィルム剥離搬送装置は、例えば特開平１０−１２０２９２号公報に開示されている。該公報に開示されたフィルム剥離搬送装置は、少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段を備え、剥離手段は、基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを、基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含んでいる。上部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含んでいる。上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで基板の搬送方向に向けて搬出する上側搬送搬出経路が形成されている。
【０００４】
上部フィルム剥離搬送手段の上側ベルト機構は、搬送経路に接近して配置された上流側下部ベルト車と、上流側下部ベルト車の上方に間隔をおいて配置された上流側上部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下流側に間隔をおいて配置された上部搬出ベルト車と、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下流側下部ベルト車の上方に間隔をおいて配置された下流側上部ベルト車と、下流側上部ベルト車の下流側に間隔をおいて配置された下部搬出ベルト車と、上流側下部ベルト車、上流側上部ベルト車及び上部搬出ベルト車間に巻き掛けられた上流側無端ベルトと、下流側下部ベルト車、下流側上部ベルト車及び下部搬出ベルト車間に巻き掛けられた下流側無端ベルトとを含んでいる。下流側下部ベルト車は上流側下部ベルト車よりも高い位置に配置されている。上流側無端ベルトの、上端部であって上流側上部搬出ベルト車と上流側下部ベルト車との間の外周面の一部は、下流側上部ベルト車の外周面の一部領域に下流側無端ベルトを介して巻き掛けられている。上流側無端ベルトと下流側無端ベルトとの間には、基板の搬送経路を側方に見てほぼ逆Ｌ形状をなす上側搬送搬出経路が形成される。
【０００５】
上記剥離手段は、上部フィルム剥離搬送手段の他に、エア噴射手段を含んでいる。エア噴射手段は、基板の搬送経路よりも上方位置であって、上部フィルム剥離搬送手段よりも下流側の位置に配置され、幅方向に延在する円筒部材の軸方向に間隔をおいて形成された複数のエア噴射孔から圧縮エアが、基板の搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。なお、基板の搬送経路の、上部フィルム剥離搬送手段よりも上流側の位置には、基板の片面に貼着されたフィルムの一端部を部分的に剥離するための端部剥離手段が配置されている。
【０００６】
端部剥離手段によって片面のフィルムの一端部である前端部が部分的に剥離された基板が、搬送経路に沿って上側ベルト機構の下方に搬送されると、エア噴射手段から圧縮エアが、基板と、前端部から部分的に剥離されたフィルムとの間に吹き付けられる。これによりフィルムの剥離が促進され、その前端部が上方に偏向させられる。上方に偏向させられたフィルムは、上側ベルト機構の上流側無端ベルトと下流側無端ベルトとの間に挟まれ、上側搬送搬出経路に沿って上方に、次いで基板の搬送方向に向かって搬送され、下流端から搬出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記フィルム剥離搬送装置において、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された、上側ベルト機構の上流側下部ベルト車の回転軸は、所定の位置から実質的に動かないように支持されている。したがって、上流側下部ベルト車に巻き掛けられた上流側無端ベルトの最下面と基板の搬送面との間の隙間は、一定に設定されている。該隙間は、最大厚さの基板の通過が許容されるよう、該基板の厚さよりも大きく設定されている。例えば、基板の厚さが０．１ｍｍ〜３．２ｍｍ、フィルムの厚さが０．０２ｍｍの場合、該隙間は、５．０ｍｍ程度に設定される。このため、基板が該隙間を通過するに際しては、基板の上面と、上流側無端ベルトの最下面との間には、常に、４．８８ｍｍ〜１．７８ｍｍの隙間が存在することになる。該隙間の存在に起因して、上記したように、エア噴射手段から圧縮エアが、基板と、前端部から部分的に剥離されたフィルムとの間に吹き付けられたときの衝撃によって、基板が比較的大きく振動させられるおそれがある。基板が比較的大きく振動させられると、基板の円滑な搬送が妨げられ、基板が損傷するおそれもある。このような不具合の発生の可能性は、基板の厚さが薄くなるほど高くなる。
【０００８】
本発明の目的は、基板と、一端部から部分的に剥離されたフィルムとの間に、エア噴射手段から圧縮エアが吹き付けられても、基板の振動を抑制ないし実質的に防止して、基板の円滑な搬送を保証しかつ基板の品質を確保することを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、上記目的に加えて更に、フィルムの剥離作用をより円滑かつ迅速にしかもより効果的に促進する、新規なフィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、少なくとも基板の片面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段を備え、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含み、上部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構は、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成されるフィルム剥離搬送装置において、
上流側下部ベルト車は、変位自在に支持されると共にばね手段によって、上流側無端ベルトの最下面と基板の搬送面との間の隙間が最少となる基準位置に位置付けられ、基板の搬送経路に該隙間を越える厚さを有する基板が搬送されると、上流側下部ベルト車は、該基板の押上作用により、ばね手段に抗して該隙間が拡大される下流方向上方に変位させられて該基板の搬送が許容される、
ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
【００１１】
上流側下部ベルト車は、静止枠手段に可動支持手段を介して変位自在に支持され、ばね手段は、静止枠手段と可動支持手段との間に配設されている、ことが好ましい。
上流側下部ベルト車は、基板の搬送経路の幅方向に延在する回転軸に配設され、静止枠手段は、基板の搬送経路を幅方向に挟んだ両側に設置された側枠を含み、可動支持手段は、側枠の各々に設けられた案内支持手段と、案内支持手段の各々に移動自在に支持された可動支持部材とを備え、上流側下部ベルト車の回転軸の両端部は、対応する可動支持部材に軸受を介して回転自在に支持され、案内支持手段の各々には、対応する可動支持部材の移動を規制する移動規制部が設けられ、ばね手段は、側枠の各々と、対応する可動支持部材との間に配置され、ばね手段が、対応する可動支持部材を移動規制部に押圧することにより上流側下部ベルト車は基準位置に位置付けられ、基板の搬送経路に該隙間を越える厚さを有する基板が搬送されると、上流側下部ベルト車は、該基板の押上作用により、可動支持部材の各々が、対応するばね手段に抗して移動規制部から離れるよう案内支持手段に沿って下流方向上方に移動させられることにより同方向に変位させられる、ことが好ましい。
上流側下部ベルト車が下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルトの張力が増加させられる、ことが好ましい。
下流側下部ベルト車は、上流側下部ベルト車よりも高い位置に配置され、上流側下部ベルト車が下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルトの、下流側の下端部であって上流側下部ベルト車の外周面に巻き掛けられている領域よりも上方の領域における外周面が、対向する下流側下部ベルト車の外周面の一部領域に、下流側下部ベルト車に巻き掛けられた下流側無端ベルトを介して圧接される、ことが好ましい。
剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段を含み、下部フィルム剥離搬送手段は、基板の搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構を含み、下側ベルト機構は、基板の搬送面に下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下流側に配置された下流側上部ベルト車と、下流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車と、該上流側ベルト車間に巻き掛けられた上流側無端ベルトと、該下流側ベルト車間に巻き掛けられた下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって下方に延びるフィルム搬送経路が形成され、上流側上部ベルト車に巻き掛けられた上流側無端ベルトの最上面は、基板の搬送面と実質的に同一面上に配置され、該隙間は、上側ベルト機構の上流側無端ベルトの最下面と、下側ベルト機構の上流側無端ベルトの最上面との間に形成される、ことが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の実施形態を詳細に説明する。
【００１３】
図１を参照して、本発明によるフィルム剥離搬送装置１００は、全体を図示しないフィルム剥離装置の一部として備えられている。フィルム剥離搬送装置１００を説明する前に、先ず、フィルム剥離装置についてその概要を説明する。
【００１４】
フィルム剥離装置は、図１において右方である入口側に配置された、全体を図示しない基板搬送手段を備えている。基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列された複数個の搬送ローラ２を備えている。これらの搬送ローラ２は電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを基板Ｐの搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｆに移動させることができる。なお、この実施形態においては、基板Ｐは、片面である上面及び他面である下面の両面にフィルムが貼着されたプリント配線基板から構成されている。
【００１５】
基板搬送手段の下流端部には、図示しないクランプ手段及び位置決め手段、そして端部剥離手段４が配設されている。クランプ手段は基板Ｐの搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対のクランプ部材を備え、基板Ｐを搬送経路上に解除自在にクランプできるよう構成されている。位置決め手段は、反射型光学式センサによって搬送ローラ２により搬送されてくる基板Ｐの前端を検出し、基板Ｐを所定の位置に停止させるよう構成されている。
【００１６】
端部剥離手段４は、基板Ｐの搬送経路の幅方向に往復移動させられるよう構成された図示しない移動体と、基板Ｐの搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対の圧接ローラ６を備えている。一対の圧接ローラ６は、搬送経路上の基板Ｐを解除自在に圧接できるよう構成されている。基板Ｐがクランプ手段により所定の位置にクランプされた状態で、圧接ローラ６の各対は、基板Ｐの一端部（搬送方向前端部）における各フィルムの両面に所定の圧力で圧接される。この状態で圧接ローラ６の各対は、移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板Ｐの各フィルムの一端部が部分的に剥離される。
【００１７】
端部剥離手段４の下流側には後に詳述するフィルム剥離搬送装置１００が配置されている。フィルム剥離搬送装置１００の下流側には、図示しない他の基板搬送手段が配置されている。この基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列された複数個の搬送ローラ８を備えている。これらの搬送ローラ８は電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを下流端に向けて移動させることができる。端部剥離手段４により一端部が部分的に剥離された基板Ｐの両面のフィルムは、それぞれフィルム剥離搬送装置１００によって完全に剥離され、後述するようにして図示しないフィルム収容容器内に搬送される。フィルム剥離装置の出口側に配置された基板搬送手段は、フィルムが完全に剥離されて存在しない基板Ｐを更に下流に向けて搬送する。
【００１８】
次に図１〜図３を参照して、本発明によるフィルム剥離搬送装置１００について説明する。フィルム剥離搬送装置１００は、基板Ｐの両面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段を備えている。この剥離手段は、基板Ｐの上面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板Ｐから上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段１０と、基板Ｐの下面に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離された該フィルムを基板Ｐから下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段１２と、上部エア噴射手段１４と、下部エア噴射手段１６とを含んでいる。上部エア噴射手段１４は、基板Ｐの搬送経路よりも上方位置であって、上部フィルム剥離搬送手段１０よりも下流側の位置に配置され、幅方向に延在する円筒部材１４ａの軸方向に間隔をおいて形成された複数のエア噴射孔から圧縮エアが、基板Ｐの搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。また下部エア噴射手段１６は、基板Ｐの搬送経路よりも下方位置であって、下部フィルム剥離搬送手段１２よりも下流側の位置に配置され、幅方向に延在する円筒部材１６ａの軸方向に間隔をおいて形成された複数のエア噴射孔から圧縮エアが、基板Ｐの搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。
【００１９】
上部フィルム剥離搬送手段１０は、基板Ｐの搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構２０を含んでいる。上側ベルト機構２０は、基板Ｐの搬送面ＰＬに上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車２１と、上流側下部ベルト車２１の上方に間隔をおいて配置された上流側上部ベルト車２２と、上流側下部ベルト車２１と上流側上部ベルト車２２との間に巻き掛けられた上流側無端ベルト２３と、上流側下部ベルト車２１の下流側に配置された下流側下部ベルト車２４と、下流側下部ベルト車２４の上方に間隔をおいて配置された下流側上部ベルト車２５と、下流側下部ベルト車２４と下流側上部ベルト車２５との間に巻き掛けられた下流側無端ベルト２６とを備えている。下流側下部ベルト車２４は、上流側下部ベルト車２１よりも高い位置に配置され、また下流側上部ベルト車２５は、上流側上部ベルト車２２の直上方に間隔をおいて配置されている。下流側無端ベルト２６の上流側の面及び上流側無端ベルト２３の下流側の面の大部分の領域は相互に対向しかつ実質的に密着するよう配置され、下流側無端ベルト２６の上流側の面における上端部の一部領域は、上流側上部ベルト車２２の外周面の下流側における一部領域に、上流側無端ベルト２３を介して圧接されている。各ベルト車２１、２２、２４及び２５は、それぞれの回転軸２１ａ、２２ａ、２４ａ及び２５ａに、軸方向に間隔をおいてかつ軸方向位置が相互に整合させられて、複数個配設されている。回転軸２１ａ、２２ａ、２４ａ及び２５ａの各々は、基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在するよう配置されている。上記のように構成された上側ベルト機構２０において、上流側無端ベルト２３及び下流側無端ベルト２６の各々の協働によって、基板Ｐの搬送面ＰＬ側から上流側に斜め上方に向かって延在するフィルム搬送経路２７が形成されている。
【００２０】
下部フィルム剥離搬送手段１２は、基板Ｐの搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構３０を含んでいる。下側ベルト機構３０は、基板Ｐの搬送面ＰＬに下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車３１と、上流側上部ベルト車３１の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車３２と、上流側上部ベルト車３１と上流側下部ベルト車３２との間に巻き掛けられた上流側無端ベルト３３と、上流側上部ベルト車３１の下流側に配置された下流側上部ベルト車３４と、下流側上部ベルト車３４の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車３５と、下流側上部ベルト車３４と下流側下部ベルト車３５との間に巻き掛けられた下流側無端ベルト３６とを備えている。下流側上部ベルト車３４は、上流側上部ベルト車３１よりも低い位置に配置され、また下流側下部ベルト車３５は、上流側下部ベルト車３２よりも低い位置に配置されている。下流側無端ベルト３６の上流側の面及び上流側無端ベルト３３の下流側の面の大部分の領域は相互に対向しかつ実質的に密着するよう配置され、上流側無端ベルト３３の下流側の面における上端部の一部領域は、下流側上部ベルト車３４の外周面の上流側における一部領域に、下流側無端ベルト３６を介して圧接されている。各ベルト車３１、３２、３４及び３５は、それぞれの回転軸３１ａ、３２ａ、３４ａ及び３５ａに、軸方向に間隔をおいてかつ軸方向位置が相互に整合させられて、複数個配設されている。回転軸３１ａ、３２ａ、３４ａ及び３５ａの各々は、基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在するよう配置されている。上記のように構成された下側ベルト機構３０において、上流側無端ベルト３３及び下流側無端ベルト３６の各々の協働によって、基板Ｐの搬送面ＰＬ側からほぼ鉛直下方に延在するフィルム搬送経路３７が形成されている。上流側上部ベルト車３１に巻き掛けられた上流側無端ベルト３３の最上面は、基板Ｐの搬送面ＰＬと実質的に同一面上に配置されている。
【００２１】
上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１は、変位自在に支持されると共にばね手段によって、上流側無端ベルト２３の最下面と基板Ｐの搬送面ＰＬとの間の隙間Ｓが最少となる基準位置に位置付けられ、基板Ｐの搬送経路に隙間Ｓを越える厚さを有する基板Ｐが搬送されると、上流側下部ベルト車２１は、基板Ｐの押上作用により、ばね手段に抗して隙間Ｓが拡大される下流方向上方に変位させられて基板Ｐの搬送が許容される。上流側下部ベルト車２１は、静止枠手段に可動支持手段を介して変位自在に支持され、ばね手段は、静止枠手段と可動支持手段との間に配設されている。以上の構成及び作用について更に具体的に説明する。
【００２２】
静止枠手段は、基板Ｐの搬送経路を幅方向に挟んだ両側に、相互に対向しかつ鉛直方向に延在するよう設置された一対の側枠４０を含んでいる。側枠４０の各々は適宜の平鋼板により形成することができる。なお、図２及び図３においては片側の側枠４０のみが示されている。可動支持手段は、側枠４０の各々に設けられた案内支持手段を構成する案内支持ロッド４２と、案内支持ロッド４２の各々に移動自在に支持された可動支持部材４４とを備えている。上側ベルト機構２０における上流側下部ベルト車２１の回転軸２１ａの両端部は、対応する可動支持部材４４に軸受４５を介して回転自在に支持されている。上流側下部ベルト車２１の回転軸２１ａの両端部を移動可能に支持する可動支持機構、すなわち可動支持手段を構成する案内支持ロッド４２、可動支持部材４４等の構成は、相互に実質的に同じ構成を有するので、以下、片方の側枠４０に配設された片方の可動支持機構について説明する。
【００２３】
側枠４０には、相互に実質的に同じ形状及び大きさを有する一対の案内支持枠４６が取り付けられている。比較的細長い矩形状をなす適宜の鋼板を折り曲げることにより形成することができる案内支持枠４６の各々は、平坦な基部４６ａと、基部４６ａの両端縁から相互に間隔をおいて平行に対向するよう直立する一対の側壁４６ｂ及び４６ｃとを有し、横断面がチャンネル形状をなしている。案内支持枠４６の各々は、相互に斜め上下方向に間隔をおいて側枠４０に取り付けられている。案内支持枠４６の各々の基部４６ａは側枠４０に固定され、案内支持枠４６の各々の側壁４６ｂ及び４６ｃは、それぞれ、図１に示すように、基板Ｐの搬送方向下流側の側壁４６ｂが高く、上流側の側壁４６ｃが低くなるように相互に斜め上下方向に対向するよう位置付けられている。案内支持枠４６の各々の側壁４６ｂ及び４６ｃの相互に対向する内側面は、基板Ｐの搬送経路を幅方向に見て、相互に間隔をおいて斜め上下方向（下流側が低く上流側が高い斜め上下方向）に平行に延在する一対の仮想平面上に位置付けられるよう配置される。したがって、案内支持枠４６の各々のチャンネル溝は上記斜め上下方向に間隔をおいて直線状に整合するよう配置される。案内支持枠４６の各々の側壁４６ｂ及び４６ｃ間には、案内支持ロッド４２が固定されている。丸棒部材から形成されている案内支持ロッド４２の各々の軸線は、前記幅方向に見て、該斜め上下方向に相互に平行に延在するよう位置付けられる。なお、案内支持ロッド４２の各々の軸線は、鉛直方向上方から見て、基板Ｐの搬送方向に延びる仮想直線上に位置付けられる。
【００２４】
可動支持部材４４は、本体部４４ａと、本体部４４ａの平坦な上面から直角に上方に延び出す受け部４４ｂとを備えている。本体部４４ａは、本体部４４ａの上面から見て一定の幅で比較的細長く延在する矩形状をなすよう形成され、相互に平行に延在する平坦な両側面と、両側面及び上面に対し直交する平坦面からなる両端面とを有するブロック体から構成されている。本体部４４ａの両端部における上面及び下面は、相互に平行に対向しかつ両側面及び両端面に直交する平坦面から構成されている。したがって、本体部４４ａの両端部の横断面は、相互に実質的に同じ大きさの矩形状をなすよう形成されている。受け部４４ｂは、本体部４４ａの長手方向中央よりも一端寄りの位置から突出するよう形成され、本体部４４ａと同じ幅の側面と矩形状の横断面を有し、その先端は平坦面をなしている。本体部４４ａの長手方向両端部を除く中央部は、下面から下方に突出するよう形成されている。本体部４４ａの該中央部には、支持孔４４ｃが両側面を貫通するよう形成されている。支持孔４４ｃには軸受４５が圧入・支持されている。本体部４４ａの両端部には、それぞれ、上面及び下面を貫通する被支持孔４４ｄが形成されている。被支持孔４４ｄの各々の軸線は、本体部４４ａを側面から見て相互に平行に延在し、被支持孔４４ｄの各々の軸心は、本体部４４ａを上面から見て幅方向中央に位置付けられている。以上のように構成された可動支持部材４４は、被支持孔４４ｄの各々が、対応する案内支持枠４６の案内支持ロッド４２に移動自在に嵌合されることにより、側枠４０に移動自在に支持される。可動支持部材４４の本体部４４ａの長手方向両端部の上面及び下面は、対応する案内支持枠４６の側壁４６ｂ及び４６ｃの相互に対向する内側面の間に所定量だけ移動しうるよう位置付けられる。
【００２５】
他方の側枠４０にも、上記したと実質的に同じとおりにして、案内支持ロッド４２を含む一対の案内支持枠４６が取り付けられ、可動支持部材４４が、案内支持枠４６の各々の案内支持ロッド４２に移動自在に支持される。
【００２６】
片方の側枠４０の案内支持枠４６の各々に移動自在に支持された可動支持部材４４に支持された軸受４５には、上側ベルト機構２０における上流側下部ベルト車２１の回転軸２１ａの一端部が回転自在に支持される。また、他方の側枠４０の案内支持枠４６の各々に移動自在に支持された可動支持部材４４に支持された軸受４５には、上記上流側下部ベルト車２１の回転軸２１ａの他端部が回転自在に支持される。以上の結果、上記上流側下部ベルト車２１は、側枠４０の各々に配設した案内支持枠４６の各々の案内支持ロッド４２に、可動支持部材４４を介して移動自在に支持される。
【００２７】
片方の側枠４０には、リテーナ部材５０が取り付けられている。リテーナ部材５０は、一端壁５１と、一端壁５１から直角に延び出す筒状壁５２とを備え、全体としてキャップ形状をなしている。筒状壁５２の外周面は横断面が矩形状をなすよう形成され、筒状壁５２の内側に形成されている孔５３の内周面は横断面が円形状をなすよう形成されている。リテーナ部材５０は、案内支持枠４６の各々に移動自在に支持された可動支持部材４４の受け部４４ｂの延長上に配置されている。すなわち、リテーナ部材５０の孔５３の軸線は、可動支持部材４４の受け部４４ｂの移動方向の軸線（案内支持枠４６の各々の案内支持ロッド４２の軸線と平行である）と共通の軸線上に配置され、リテーナ部材５０の開放端は、可動支持部材４４の受け部４４ｂの先端面に対し間隔をおいて対向するよう位置付けられている。リテーナ部材５０の一端壁５１には、孔５３と同軸上にねじ孔５１ａが形成され、ねじ孔５１ａにはばね力調整用のねじ部材５４がねじ係合されている。ねじ部材５４の一端面には回転操作用の溝が形成されている。ねじ部材５４にはロックナット５５がねじ係合されている。リテーナ部材５０の孔５３内には、可動受け部材５６が軸方向に移動可能に挿入されている。可動受け部材５６は、円板部５６ａと、円板部５６ａの軸方向片面の中央から延び出すピン部５６ｂとから構成されている。可動受け部材５６の円板部５６ａの外径は、リテーナ部材５０の孔５３の内径よりも若干小さく形成されている。可動受け部材５６の円板部５６ａの軸方向他面と可動支持部材４４の受け部４４ｂの先端面との間には、ばね手段である圧縮コイルばね６０が配設されている。
【００２８】
圧縮コイルばね６０のばね力により、可動受け部材５６のピン部５６ｂの先端面はねじ部材５４の他端面に圧接させられる。また、可動支持部材４４の本体部４４ａの両端部の下面が、案内支持枠４６の各々における側壁４６ｂ及び４６ｃのうち斜め下方に位置する側壁４６ｃの内側面に、シム７０を介して圧接させられる（図２参照）。したがって、側壁４６ｃの各々の内側面は、可動支持部材４４の移動を規制する移動規制部を構成する。この状態で、可動支持部材４４の本体部４４ａの両端部の上面は、案内支持枠４６の各々における側壁４６ｂ及び４６ｃのうち、斜め上方に位置する側壁４６ｂの内側面に対し、所定の移動ストロークを可能にする間隔が形成される。
【００２９】
他方の側枠４０にも、上記したと実質的に同じとおりにして、リテーナ部材５０、ねじ部材５４、ロックナット５５、可動受け部材５６及び圧縮コイルばね６０等が取り付けられ、可動支持部材４４との間に、上記したと実質的に同じ関係が形成されている。
【００３０】
上記圧縮コイルばね６０の各々が、対応する可動支持部材４４を案内支持枠４６の上記移動規制部に押圧することにより、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１は、上流側無端ベルト２３の最下面と基板Ｐの搬送面ＰＬとの間の隙間Ｓ（図２及び図３参照）が最少となる基準位置に位置付けられる。実施形態において、上記下側ベルト機構３０の上流側上部ベルト車３１に巻き掛けられた上流側無端ベルト３３の最上面は、基板Ｐの搬送面ＰＬと実質的に同一面上に配置される。そして上記隙間Ｓは、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１に巻き掛けられた上流側無端ベルト２３の最下面と、下側ベルト機構３０の上流側上部ベルト車３１に巻き掛けられた上流側無端ベルト３３の最上面との間に形成される。この隙間Ｓは、搬送経路を搬送される基板Ｐのうち、最少の厚さを有する基板Ｐの厚さに設定されることが好ましい。この隙間Ｓはまた、上記シム７０の厚さを変更することにより、適宜調整することが可能である。
【００３１】
次に、以上のように構成されたフィルム剥離搬送装置１００の作用について説明する。図１〜図３を参照して、端部剥離手段４によって上面及び下面のフィルムの一端部が部分的に剥離され基板Ｐが、上側ベルト機構２０及び下側ベルト機構３０が存在する領域に搬送されると、上部エア噴射手段１４から圧縮エアが、基板Ｐの上面と該上面の一端部（前端部）から部分的に剥離されたフィルムとの間に吹き付けられる。これにより該フィルムの剥離が促進され、その一端部が上方に偏向させられる。上方に偏向させられた該フィルムは、上側ベルト機構２０の無端ベルト２３と２６との間に挟まれ、上側搬送搬出経路２７に沿って上方に搬送される。上側搬送搬出経路２７に沿って上方に搬送された該フィルムは、基板Ｐの搬送方向Ｆとは反対方向である上流方向に搬出され、図示しないフィルム収容容器内に収容される。他方、上側ベルト機構２０及び下側ベルト機構３０が存在する領域に搬送された基板Ｐの下面と該下面の一端部（前端部）から部分的に剥離されたフィルムとの間に、下部エア噴射手段１６から圧縮エアが吹き付けられる。これにより該フィルムの剥離が促進され、その一端部が下方に偏向させられる。下方に偏向させられた該フィルムは、下側ベルト機構３０の無端ベルト３３と３６との間に挟まれ、下側搬送搬出経路３７に沿って下方に搬送され、図示しないフィルム収容容器内に収容される。上面及び下面から完全にフィルムが剥離された基板Ｐは搬送ローラ８により下流側の図示しない装置に向けて搬送される。
【００３２】
基板Ｐの搬送経路に上記隙間Ｓと実質的に同じ厚さを有する基板Ｐ、すなわち最少の厚さを有する基板Ｐが搬送されて、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１に巻き掛けられた上流側無端ベルト２３の最下面と、下側ベルト機構３０の上流側上部ベルト車３１に巻き掛けられた上流側無端ベルト３３の最上面との間（該隙間Ｓが形成されている部位）に搬入させられると、基板Ｐの上面と上流側無端ベルト２３の最下面との間の隙間は実質的にゼロとなり、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１には、基板Ｐによる押上作用は実質的に発生しない。したがって、上流側下部ベルト車２１は基準位置に位置付けられた状態で変位することはなく、フィルムの剥離及び搬送が行なわれる。基板Ｐの上面と上流側無端ベルト２３の最下面との間の隙間が実質的にゼロであることに起因して、上部エア噴射手段１４及び下部エア噴射手段１６から圧縮エアが、基板Ｐの両面と該両面の一端部から部分的に剥離されたフィルムとの間にそれぞれ吹き付けられたときの衝撃による基板Ｐの振動は最少に抑制され、あるいは実質的に防止される。その結果、基板Ｐの円滑な搬送が保証され、基板Ｐが損傷するおそれもなくなって、基板Ｐの品質が確保される。
【００３３】
他方、基板Ｐの搬送経路に上記隙間Ｓを越える厚さを有する基板Ｐが搬送されると、上流側下部ベルト車２１は、基板Ｐの押上作用により、圧縮コイルばね６０のばね力に抗して隙間Ｓが拡大される下流方向上方に変位させられて基板Ｐの搬送が許容される。更に具体的には、基板Ｐの搬送経路に上記隙間Ｓを越える厚さを有する基板Ｐが搬送されると、上流側下部ベルト車２１は、基板Ｐの押上作用により、可動支持部材４４の各々が、対応する圧縮コイルばね６０に抗して上記移動規制部（案内支持枠４６の側壁４６ｃの内側面    上記実施形態においてはシム７０の内側面）から離れるよう案内支持ロッド４２に沿って下流方向上方に移動させられることにより、同じ方向に変位させられる。基板Ｐの上面と上側ベルト機構２０の上流側無端ベルト２３の最下面との間の隙間は実質的にゼロに保持されるのみならず、上記隙間Ｓを越える厚さの量が増加するにつれて圧縮コイルばね６０によるばね力が増加するので、上側ベルト機構２０の上流側無端ベルト２３の最下面と、下側ベルト機構３０の上流側無端ベルト３３の最上面との間の基板Ｐに対するニップ力が増加し、フィルムの剥離及び搬送が一層しっかりと行なわれる。また上部エア噴射手段１４及び下部エア噴射手段１６から圧縮エアが、基板Ｐの両面と該両面の一端部から部分的に剥離されたフィルムとの間にそれぞれ吹き付けられたときの衝撃による基板Ｐの振動は最少に抑制され、あるいは実質的に防止される。その結果、基板Ｐの円滑な搬送が保証され、基板Ｐが損傷するおそれもなくなって、基板Ｐの品質が確保される。なお、上記したように、基板Ｐの、上記隙間Ｓを越える厚さの量が増加するにつれて圧縮コイルばね６０によるばね力が増加して、上側ベルト機構２０の上流側無端ベルト２３の最下面と、下側ベルト機構３０の上流側無端ベルト３３の最上面との間の基板Ｐに対するニップ力が増加するが、基板Ｐの厚さも増加しているので、基板Ｐの強度もアップし、基板Ｐの剛性を損なうことはない。
【００３４】
本発明においては、上記したとおりにして、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１が下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルト２３の張力が増加させられるよう構成されている。すなわち、図１に示されている実施形態においては、上側ベルト機構２０の下流側下部ベルト車２４は、上流側下部ベルト車２１よりも高い位置に配置され、上流側下部ベルト車２１が上記したとおりにして下流方向上方に変位させられると、上流側無端ベルト２３の、下流側の下端部であって上流側下部ベルト車２１の外周面に巻き掛けられている領域よりも上方の領域における外周面が、対向する下流側下部ベルト車２４の外周面の一部領域に、下流側下部ベルト車２４に巻き掛けられた下流側無端ベルト２６を介して圧接される。このような作用によって、フィルム搬送経路２７を形成する上流側無端ベルト２３と下流側無端ベルト２６の下端部であるフィルムの入口部において、特に該ベルト２３及び２６間のニップ力が増加するので、フィルムの剥離作用をより円滑かつ迅速にしかもより効果的に促進する。
【００３５】
以上、本発明によるフィルム剥離搬送装置の実施の形態について説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形あるいは修正が可能である。例えば、特開平１０−１２０２９２号公報に開示されているように、上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで基板の搬送方向に向けて搬出する上側搬送搬出経路が形成される形態のものがある。この上側ベルト機構において、上流側無端ベルトと下流側無端ベルトとの間には、基板の搬送経路を側方に見てほぼ逆Ｌ形状をなす上側搬送搬出経路が形成される。本発明は、このような形態の上側ベルト機構を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用されるものである。したがって、上側ベルト機構は、上記実施形態に限定されるものではなく、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成されるよう構成されているものであればよい。
【００３６】
また上記実施形態において、上記隙間Ｓは、搬送経路を搬送される基板Ｐの最少の厚さに設定されており、したがって、最少の厚さの基板Ｐが搬送される場合には、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１を変位させることなく、本発明の目的を達成できるので、作動に無駄がなく効率的であるので実用的には好ましい。しかしながら、上記隙間Ｓを当初から実質的にゼロに設定する他の実施形態もあり得る。基板Ｐの最少の厚さが比較的厚い場合には、剛性が損なわれることはないので、この実施形態が成立する場合もあり得るのである。したがって、隙間Ｓの最少とは実質的にゼロの場合も含むものである。なお、基板Ｐの厚さとは、貼着されたフィルムをも含むことはいうまでもない。また、上記実施形態において、上記隙間Ｓの調整は、可動支持部材４４の本体部４４ａの両端部の下面と、案内支持枠４６の各々における側壁４６ｂ及び４６ｃのうち斜め下方に位置する側壁４６ｃの内側面との間に挿入されたシム７０の厚さを変えることにより自由に調整可能であるが、もちろん、上記隙間Ｓの調整手段は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、シム７０に代えて、適宜のねじ部材を案内支持ロッド４２の各々に設け、ねじ部材の端面を移動規制部とする他の実施形態、あるいは案内支持ロッド４２の各々の下端部を、可動支持部材４４の本体部４４ａの両端部の下面に当接して下方への移動を阻止する移動規制部とする他の実施形態等が考えられる。更にはまた、上記実施形態においては、基板Ｐの両面にフィルムが貼着されているが、少なくとも片面にフィルムが貼着されている基板Ｐであれば、本発明を適用することが可能である。仮に、片面にフィルムが貼着されている基板Ｐのみが搬送されるフィルム剥離装置においては、下側ベルト機構３０、下部エア噴射手段１６等が不要となるが、この場合、下側ベルト機構３０の上流側上部ベルト車３１に代えて適宜の搬送ローラが、上側ベルト機構２０の上流側下部ベルト車２１に対向して配置されることになる。
【００３７】
【発明の効果】
本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置によれば、基板と、一端部から部分的に剥離されたフィルムとの間に、エア噴射手段から圧縮エアが吹き付けられても、基板の振動を抑制ないし防止して、基板の円滑な搬送を保証しかつ基板の品質を確保することを可能にする。また、フィルムの剥離作用をより円滑かつ迅速にしかもより効果的に促進する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の実施形態の構成を概略的に示す側面図であって、一部を断面にして示す側面図。
【図２】主として図１に示す上側ベルト機構の上流側下部ベルト車の支持部の構成を示す概略図であって、その一部を上流側下部ベルト車の移動方向に沿った断面で示し、上側ベルト機構の上流側無端ベルトと下側ベルト機構の上流側無端ベルトとのニップ部を鉛直方向の断面で示す概略図。
【図３】主として図１に示す上側ベルト機構の上流側下部ベルト車の支持部の構成を示す概略図であって、その一部を上流側下部ベルト車の移動方向に沿った他の断面で示し、上側ベルト機構の上流側無端ベルトと下側ベルト機構の上流側無端ベルトとのニップ部を鉛直方向の断面で示す概略図。
【符号の説明】
１０  上部フィルム剥離搬送手段
１２  下部フィルム剥離搬送手段
１４  上部エア噴射手段
１６  下部エア噴射手段
２０  上側ベルト機構
２１  上流側下部ベルト車
２１ａ  回転軸
２３  上流側無端ベルト
２４  下流側下部ベルト車
２６  下流側無端ベルト
２７  フィルム搬送経路
３０  下側ベルト機構
３１  上流側上部ベルト車
３３  上流側無端ベルト
３７  フィルム搬送経路
４０  側枠
４２  案内支持ロッド
４４  可動支持部材
５０  リテーナ部材
６０  圧縮コイルばね
１００  フィルム剥離搬送装置
Ｆ  基板Ｐの搬送方向
Ｐ  基板
ＰＬ  基板の搬送面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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