(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被解凍物を収容するチャンバと、
このチャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、
前記チャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、
前記チャンバ内における放電を検知する放電センサとを具備すると共に、
前記チャンバ内を減圧する行程とそのチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射させて前記被解凍物の解凍を行う制御手段を具備するものにおいて、
その制御手段が、前記復圧行程中、前記放電センサにより放電が複数回検知されたときに、少なくともマイクロ波の照射を終了させるようにしたことを特徴とする真空マイクロ波解凍機。
【請求項２】
制御手段が、復圧行程中、放電センサにより放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを一旦停止させ、その後、マイクロ波の照射を再開させると共に、更にその後の、放電センサにより放電が検知されたときに解凍運転を終了させることを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項３】
制御手段が、減圧行程中、放電センサにより放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを停止させることを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項４】
制御手段が放電センサによる放電の検知に基づいて解凍運転を終了させたとき、そのことを機外に報知する報知手段を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項５】
制御手段が、放電センサの作動を確認するチェック機能を有することを特徴とする請求項１記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項６】
制御手段が、放電センサの作動の確認を、解凍運転のマイクロ波照射の開始前の時点で行うことを特徴とする請求項５記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項７】
制御手段が、放電センサの作動の確認を、チャンバ内を照明する庫内灯の光により行うことを特徴とする請求項５又は６記載の真空マイクロ波解凍機。
【請求項８】
制御手段が、放電センサの作動の確認を、機外の光により行うことを特徴とする請求項５又は６記載の真空マイクロ波解凍機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、減圧状態でマイクロ波を照射することにより冷凍食品等の被解凍物の解凍を行う真空マイクロ波解凍機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、真空マイクロ波解凍機においては、被解凍物を収容するチャンバが具えられると共に、そのチャンバ内を減圧する真空ポンプと、チャンバ内を復圧する復圧弁、及びチャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器が具えられ、これらによって、チャンバ内を減圧する行程とチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射することにより、被解凍物の解凍が行われるようになっている。
【０００３】
このように被解凍物の解凍を行う真空マイクロ波解凍機の長所は、減圧によって被解凍物の表面部分の昇華（固体から気体へ）が促進されることにより、該被解凍物の表面部分の水分（液体）にマイクロ波が及ぶことによる昇温が抑えられ、もって被解凍物の表面部分が昇温し過ぎることなく内部と均一に解凍できる点にある。
【０００４】
しかしながら、このものの場合、減圧状態でマイクロ波が照射されることにより、チャンバ内で放電が発生しやすい。この放電は、被解凍物に発生するものと、チャンバに発生するものとがある。そのうち、特にチャンバに発生した放電は、チャンバに損傷を与えるおそれがあり、避けなければならない。このため、従来の真空マイクロ波解凍機においては、放電センサが具えられ、これによってチャンバ内での放電の発生が検知されたときに、マイクロ波の照射を終了し、もしくは解凍運転を全面的に終了するようにしたものが供されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のものの場合、チャンバ内に発生した放電が、被解凍物に発生したものか、チャンバに発生したものかの判断はできず、このため、解凍運転中、やたらに、マイクロ波の照射が終了されたり、もしくは解凍運転が全面的に終了されたりして、解凍運転が正常に完遂できないまま終わってしまうケースが多々見られていた。
【０００６】
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従ってその目的は、主として、チャンバ内に発生した放電が、チャンバに発生したものであることの判断ができて、適切な制御ができる真空マイクロ波解凍機を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の真空マイクロ波解凍機は、被解凍物を収容するチャンバと、このチャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内を復圧する復圧手段と、前記チャンバ内に照射するマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、前記チャンバ内における放電を検知する放電センサとを具備すると共に、前記チャンバ内を減圧する行程とそのチャンバ内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ内にマイクロ波を照射させて前記被解凍物の解凍を行う制御手段を具備するものにおいて、その制御手段が、前記復圧行程中、前記放電センサにより放電が複数回検知されたときに、少なくともマイクロ波の照射を終了させるようにしたことを特徴とする（請求項１の発明）。
【０００８】
既述のように、真空マイクロ波解凍機においては、減圧状態でマイクロ波が照射されることにより、チャンバ内で放電が発生しやすい。この放電について、発明者が探究したところ、減圧度の大きい領域では、被解凍物とチャンバの双方に放電が発生しやすいものの、減圧度が小さくなるに連れて被解凍物の放電は少なくなる。しかし、チャンバの放電は、減圧度が小さくなっても少なくならないことが判明した。
【０００９】
そこで、上述のように、復圧行程中、放電センサにより放電が複数回検知されたときは、減圧度が漸次小さくなっているにもかかわらずる放電が発生しているのであるから、チャンバに放電が発生していると判断できるものであり、この状況で、少なくともマイクロ波の照射を終了させることにより、チャンバの放電をなくし、チャンバに損傷を与えることのないようにできる。
一方、復圧行程中、放電センサにより放電が複数回検知されるまでは、被解凍物に放電が発生しているとも考えられ、この状況では、以後、放電センサにより放電が検知されることがなければ、マイクロ波の照射を伴う解凍運転を続けることにより、解凍運転を完遂できる。
【００１０】
この場合、制御手段は、復圧行程中、放電センサにより放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを一旦停止させ、その後、マイクロ波の照射を再開させると共に、更にその後の、放電センサにより放電が検知されたときに解凍運転を終了させるようにすると良い（請求項２の発明）。
このものでは、より精細な制御で、解凍運転の完遂、並びにチャンバの損傷防止ができる。
【００１１】
又、制御手段は、減圧行程中、放電センサにより放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを停止させるようにすると良い（請求項３の発明）。
減圧行程中、放電センサにより放電が検知されたときは、被解凍物の種類により該被解凍物に放電が発生していると判断できるものであり、しかも、それは減圧が進むことによって、より発生しやすくなる。そこで、この状況では、マイクロ波の照射のみを停止させることにより、被解凍物の放電をなくし、解凍運転を続ける。
【００１２】
更に、制御手段が放電センサによる放電の検知に基づいて解凍運転を終了させたとき、そのことを機外に報知する報知手段を有するのも良い（請求項４の発明）。
このものでは、解凍運転途中の運転の終了が、使用者に分かりやすくできる。
【００１３】
そのほか、制御手段は、放電センサの作動を確認するチェック機能を有すると良い（請求項５の発明）。
このものでは、放電センサの作動の確認をした上で、チャンバ内に発生した放電の検知ができることにより、その放電の検知がより確実にできる。
又、制御手段は、放電センサの作動の確認を、解凍運転のマイクロ波照射の開始前の時点で行うようにすると良い（請求項６の発明）。
このものでは、放電センサの作動の確認をした後に、マイクロ波が照射されるので、放電の検知が更に確実にできる。
【００１４】
更に、制御手段は、放電センサの作動の確認を、チャンバ内を照明する庫内灯の光により行うようにすると良い（請求項７の発明）。
このものでは、チャンバ内を照明する庫内灯を利用して放電センサの作動の確認ができる。
そして、制御手段は、放電センサの作動の確認を、機外の光により行うようにしても良い（請求項８の発明）。
このものでは、機外の光を利用して放電センサの作動の確認ができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例につき、図１ないし図７を参照して説明する。
まず、図３には、真空マイクロ波解凍機の全体を正面形で示しており、下部に機械収納部１を有するキャビネット２の前面上部に、把手３を有するドア４を設け、その上方部に操作部５と表示部６とを設けている。このうち、操作部５は、使用者が真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の操作をするためのもので、多数の操作キー５ａを有している。
【００１６】
表示部６は、真空マイクロ波解凍機の運転に係る各種の表示をするもので、この場合、デジタル表示をする表示器６ａと、各種の表示ランプ６ｂとを有している。なお、表示ランプ６ｂの中には、異常表示ランプが存している。
キャビネット２の底部の外下面には複数個のキャスタ７を設けている。
【００１７】
次いで、図４には、上記キャビネット２の内部の上部に配設したチャンバ８を示しており、これは金属製の耐圧容器から成っていて、その内壁はマイクロ波を反射し得る構造となっている。又、このチャンバ８は前面部が開放し、その開放口を上記ドア４が開閉するようになっている。なお、ドア４は、詳しくは図示しないが、裏面の周縁部にパッキンを有しており、閉鎖状態では、このパッキンをチャンバ８の上記開放口の周縁部に圧接させて該開放口を気密に封鎖するようになっている。
【００１８】
チャンバ８の内底部には、ターンテーブル９を設けている。このターンテーブル９は、支軸１０の上端部に着脱可能に取付けており、支軸１０はチャンバ８の底壁を上下に貫通して軸受１１により回転可能に支承され、下端部を減速機付きのモータ１２の出力軸１２ａに接続している。従って、ターンテーブル９は、モータ１２により、支軸１０を介して回転駆動される。
【００１９】
一方、チャンバ８の上方部には、真空圧力センサ１３と、庫内灯１４、大気開放弁１５、並びに調圧弁１６を設けている。これらのうち、真空圧力センサ１３はチャンバ８内の真空圧力を検知する圧力検知手段として機能する。又、庫内灯１４は、チャンバ８の上壁に形成した密閉透光部１７を透してチャンバ８内を照明するようになっている。なお、透光部１７は、チャンバ８内の後述する真空圧力に耐え得ると共に、マイクロ波を遮断するものから成っている。
大気開放弁１５はチャンバ８内を大気に開放させる大気開放手段として機能し、調圧弁１６はチャンバ８内の真空圧力を調整、特には後述のごとく減圧した該チャンバ８内を復圧させる復圧手段として機能するようになっている。
【００２０】
そして、チャンバ８の背部には、マイクロ波を発生するマイクロ波発生器たるマグネトロン１８と、このマグネトロン１８が発生したマイクロ波をチャンバ８内に導く導波管１９とを配設しており、これらによって、チャンバ８内にマイクロ波が照射されるようになっている。
【００２１】
更に、チャンバ８の背部には、下部に、真空ポンプ２０を、逆止弁２１ａを有する減圧管路２１を介して接続している。この真空ポンプ２０はチャンバ８内を減圧する減圧手段として機能するもので、モータ２２により駆動されるようになっている。なお、この真空ポンプ２０とこれの駆動用モータ２２、及び前記ターンテーブル９駆動用のモータ１２等を、前記機械収納部１に収納している。
【００２２】
チャンバ８の背部の上部には、放電センサ２３を設けている。この放電センサ２３は、チャンバ８内の放電を検知する放電検知手段たるものであり、この場合、放電光でもって放電を検知する光センサ、特には放電光の検知がより確実にできる紫外線センサから成っている。
【００２３】
以上に対して、図５には、真空マイクロ波解凍機の運転全般を制御する制御手段たる制御装置２４を示している。この制御装置２４は、マイクロコンピュータ等により構成したもので、前記操作部５から操作入力回路２５を介して操作信号が入力されると共に、放電センサ２３から検知入力回路２６を介して放電検知信号が入力され、更に、真空圧力センサ１３から検知入力回路２７を介して圧力検知信号が入力されると共に、前記ドア４の開閉を検知するように設けたドア開閉センサ２８（詳しくは図示せず）から検知入力回路２９を介して開閉検知信号が入力されるようになっている。
【００２４】
そして、制御装置２４は、それらの入力とＲＯＭ２４ａにあらかじめ記憶した制御プログラムに基づいて、前記表示部６の作動を表示制御回路３０を介して制御すると共に、前記庫内灯１４の作動を点灯制御回路３１を介して制御し、ブザー３２（これも詳しくは図示せず）の作動を鳴動制御回路３３を介して制御するようになっている。更に、制御装置２４は、前記ターンテーブル駆動用のモータ１２を駆動制御回路３４を介して制御すると共に、前記真空ポンプ駆動用モータ２２を駆動制御回路３５を介して制御し、前記マグネトロン１８を駆動制御回路３６を介して制御し、そして、大気開放弁１５を開閉制御回路３７を介して制御し、調圧弁１６を開閉制御回路３８を介して制御するようになっている。
【００２５】
次に、上記構成のものの作用を述べる。
上記構成のもので、被解凍物を解凍するには、まず、ドア４を開ける。すると、ドア開閉センサ２８がそれを検知してドア開検知信号を出力するので、制御装置２４は、それに基づき、庫内灯１４を点灯させ、チャンバ８内を照明させる。同時に、制御装置２４は、その庫内灯１４の光を放電センサ２３が検知したか否かの判断をし、これによって、放電センサ２３の作動の確認（チェック）をする。この場合、庫内灯１４の光を放電センサ２３が検知したと判断されたときに、放電センサ２３は正常に作動すると判定される。
【００２６】
さて、このようにドア４を開けた状態で、チャンバ８内のターンテーブル９上に被解凍物を載置し、かくして、該被解凍物をチャンバ８が収容する状態として、その後にドア４を閉じる（これにより、庫内灯１４は消灯する）。そして、操作部５を操作することにより、解凍運転を開始させる。
【００２７】
すると、制御装置２４が、最初に、大気開放弁１５と調圧弁１６とを閉鎖させた状態で、真空ポンプ駆動用モータ２２を作動させることにより、真空ポンプ２０を駆動させ、これによって、真空ポンプ２０が減圧管路２１を介してチャンバ８内の空気を吸引し、該チャンバ８内の減圧をする。従って、チャンバ８内の気圧は、図６にＡで示すように、大気圧の約１０１〔ｋＰａ〕（参考値：７６０〔Ｔｏｒｒ〕）から減じられるもので、このチャンバ８内の気圧Ａが減圧平衡域Ｂに達するまで、真空ポンプ２０を駆動させ続けて、減圧行程が実行される。この減圧行程により、被解凍物の予備解凍が行われる。
【００２８】
なお、減圧平衡域とは、単位時間当たりの減圧量がきわめて小さくなる領域であり、この減圧平衡域における平衡圧力はチャンバ８内の飽和蒸気圧によって上下するが、この減圧平衡域に達したか否かの判断は、制御装置２４が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００２９】
その後、制御装置２４は、真空ポンプ２０を停止させた状態で、調圧弁１６を所定の開度で開放させる。これにより、チャンバ８内の気圧は、図６にＣで示すように、減圧平衡域Ｂから上昇し復されるもので、このチャンバ８内の気圧Ｃが復圧上限値Ｈ｛例えば約６．７〔ｋＰａ〕（参考値：５０〔Ｔｏｒｒ〕）｝に達するまで、調圧弁１６を開放させ続けて、復圧行程が実行される。
【００３０】
又、この復圧行程におけるチャンバ８内の気圧Ｃが一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ1 （例えば約１．３〔ｋＰａ〕（参考値：１０〔Ｔｏｒｒ〕）を越えた後のＥ点からは、マグネトロン１８からチャンバ８内へのマイクロ波の照射を開始する。
上記復圧上限値Ｈに達したか否かの判断も、制御装置２４が真空圧力センサ１３からの圧力検知信号に基づき演算して行う。
【００３１】
この後、制御装置２４は、調圧弁１６を閉鎖させた状態で、再び真空ポンプ駆動用モータ２２を作動させることにより、真空ポンプ２０を駆動させて、減圧行程を実行する。そして、それにより、チャンバ８内の気圧Ａ´が上述の一般的に真空放電を起こさない下限値Ｐ1 に達する手前のＦ点に達するまで、上記マグネトロン１８によるチャンバ８内へのマイクロ波の照射を継続することにより、被解凍物を加熱する。
【００３２】
更にその後、制御装置２４は、チャンバ８内の気圧Ａ´が減圧平衡域Ｂ´に達した後、上述同様の復圧行程、減圧行程を、上述同様のマイクロ波の照射を伴って繰り返し実行する。すると、被解凍物の温度が上昇するのに伴い、チャンバ８内の飽和蒸気圧が上昇するので、減圧平衡域Ｂ，Ｂ´…における減圧値は漸次上昇し、この減圧平衡域Ｂ，Ｂ´…の減圧値が所定の値に達したと判断されたときに、大気開放弁１５を開放させて解凍運転を終了する。
【００３３】
このように、本構成のものでは、減圧状態で（チャンバ８内の気圧が復圧上限値Ｈ未満の状態にあるとき）マイクロ波を照射することにより被解凍物の解凍を行う。
【００３４】
ここで、図１は、上述の解凍運転におけるチャンバ８内の放電に対応した制御の内容を示している。上述のように、最初の減圧行程から次の復圧行程に移行してマイクロ波の照射が始まると、チャンバ８内は減圧状態にあるため、放電が発生しやすい。チャンバ８内に放電が発生すれば、その放電光が放電センサ２３に達することにより、該放電センサ２３がチャンバ８内における放電を検知し、放電検知信号を出力する。
【００３５】
上述のチャンバ８内に発生する放電には、被解凍物に発生するものと、チャンバ８に発生するものとがあり、そのいずれも、マイクロ波を照射し始めた段階では発生しやすい。制御装置２４は、上記放電センサ２３の出力から、チャンバ８内に放電が発生したと判断すれば、マイクロ派の照射のみを一旦停止させる（Ｒ点）。
【００３６】
そして、所定時間である数秒の後（Ｓ点）に、マイクロ派の照射を再開させ、この再開したところで、再び放電センサ２３の出力から、チャンバ８内に放電が発生したと判断すれば、マイクロ派の照射のみを再び一旦停止させる（Ｒ′点）。
【００３７】
そして更に、所定時間である数秒の後（Ｓ′点）に、マイクロ派の照射を再開させ、この再開したところで、更に、放電センサ２３の出力から、チャンバ８内に放電が発生したと判断すれば、この場合、マイクロ派の照射のみならず、復圧運転（調圧弁１６の開放）も停止させ（Ｒ″点）、すなわち、解凍運転を終了させる（以後の解凍運転を行わない）。
【００３８】
又、このように解凍運転を終了したとき、制御装置２４は、表示部６における表示ランプ６ｂ中の異常表示ランプを点灯させると共に、ブザー３２を作動させ、更に、表示部６の表示器６ａに図７に示す「Ｅｒｒ１」の表示をさせることによって、解凍運転を終了したことの報知を行う。従って、それら異常表示ランプと、ブザー３２、及び表示器６ａは、放電センサ２３による放電の検知に基づいて解凍運転を終了させたことを機外に報知する報知手段として機能する。
【００３９】
又、この報知に関しては、異常表示ランプと表示器６ａとを上述のように作動させたまま、その後、使用者がドア４を開ければ、ブザー３２を再び作動させる。これにより、解凍運転が終了していることで、解凍が正常にできたものと思い込み勝ちな使用者に、解凍運転の途中終了（異常の発生）をより確実に分からせることができる。
【００４０】
一方、図２も、前述の解凍運転におけるチャンバ８内の放電に対応した制御の内容を示している。制御装置２４は、マイクロ波を照射しつつ、復圧行程から更に次の減圧行程へ移行したところで、チャンバ８内に放電が発生したと判断すれば、この場合、マイクロ派の照射のみを停止させ（Ｔ点）、減圧運転は継続する。又、この場合、次の復圧行程及び減圧行程も実行し、更にそれらの行程ではマイクロ波の照射を前述どおりに行う。
【００４１】
このように本構成のものでは、チャンバ８内を減圧する行程とそのチャンバ８内を復圧する行程とを交互に実行しつつ、チャンバ８内にマイクロ波を照射させて被解凍物の解凍を行う制御装置２４が、復圧行程中、放電センサ２３により放電が複数回検知されたときに、解凍運転を終了させるようにしている（図１）。
【００４２】
既述のように、発明者の探究結果によると、真空マイクロ波解凍機においては、減圧状態でマイクロ波が照射されることにより、チャンバ８内で放電が発生しやすい事情がある中で、減圧度の大きい領域では、被解凍物とチャンバ８の双方に放電が発生しやすく、減圧度が小さくなるに連れて被解凍物の放電は少なくなる。しかし、チャンバ８の放電は、減圧度が小さくなっても少なくならない。
【００４３】
そこで、上述のように、復圧行程中、放電センサ２３により放電が複数回検知されたときは、減圧度が漸次小さくなっているにもかかわらず放電が発生しているのであるから、チャンバ８に放電が発生していると判断できるものであり、この状況で、解凍運転を終了させることにより、チャンバ８の放電をなくし、チャンバ８に損傷を与えることのないようにできる。
【００４４】
なお、この場合、解凍運転を全面的に終了させるのではなく、マイクロ波の照射を終了させるだけであっても、チャンバ８の放電をなくし、チャンバ８に損傷を与えることのないようにできる。従って、制御装置２４は、復圧行程中、放電センサ２３により放電が複数回検知されたときに、少なくともマイクロ波の照射を終了させるようにすれば良い。
一方、復圧行程中、放電センサ２３により放電が複数回検知されるまでは、被解凍物に放電が発生しているとも考えられ、この状況では、以後、放電センサにより放電が検知されることがなければ、マイクロ波の照射を伴う解凍運転を続けることにより、解凍運転を完遂できる。
【００４５】
特に、本構成のものの場合、制御装置２４は、復圧行程中、放電センサ２３により放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを一旦停止させ、その後、マイクロ波の照射を再開させると共に、更にその後の、放電センサ２３により放電が検知されたときに解凍運転を終了させるようにしている。
【００４６】
これにより、より精細な制御で、解凍運転の完遂、並びにチャンバ８の損傷防止ができる。
なお、この場合の、マイクロ波の照射を一旦停止するまでの放電の検知回数や、解凍運転を終了するまでの放電の検知回数は、上述より多くても、少なくても良い。
【００４７】
又、制御装置２４は、減圧行程中、放電センサ２３により放電が検知されたときにマイクロ波の照射のみを停止させるようにしている（図２）。この減圧行程中、放電センサ２３により放電が検知されたときは、被解凍物の種類により該被解凍物に放電が発生していると判断できるものであり、しかも、それは減圧が進むことによって、より発生しやすくなる。そこで、この状況では、マイクロ波の照射のみを停止させることにより、被解凍物の放電をなくし、運転を続けることによって、解凍運転を完遂できる。
【００４８】
更に、制御装置２４が放電センサ２３による放電の検知に基づいて解凍運転を終了させたとき、そのことを機外に報知する報知手段（表示ランプ６ｂ中の異常表示ランプと、ブザー３２、及び表示器６ａ）を有している。これにより、解凍運転途中の運転の終了が、使用者に分かりやすくできる。
【００４９】
そのほか、制御装置２４は、放電センサ２３の作動を確認するチェック機能を有している。これにより、放電センサ２３の作動の確認をした上で、チャンバ８内に発生した放電の検知ができるので、その放電の検知がより確実にできる。  又、制御装置２４は、放電センサ２３の作動の確認を、解凍運転のマイクロ波照射の開始前の時点で行うようにしている。これにより、放電センサ２３の作動の確認をした後に、マイクロ波が照射されるので、放電の検知が更に確実にできる。
【００５０】
更に、制御装置１４は、放電センサ２３の作動の確認を、チャンバ８内を照明する庫内灯１４の光により行うようにしている。これにより、チャンバ８内を照明する庫内灯１４を利用して放電センサ２３の作動の確認ができ、放電センサ２３の作動確認専用の光源を必要としない。
【００５１】
以上に対して、図８は本発明の異なる実施例を示すもので、上記実施例と同一の部分には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ述べる。
このものの場合、制御装置２４は、ドア４開放時とは別に、最初の減圧行程の初期（Ｕ点）に庫内灯１４を点灯させて、これの光を放電センサ２３が検知したか否かの判断をすることにより、放電センサ２３の作動の確認（チェック）をするようにしている。
このようにしても、放電センサ２３の作動の確認をした後に、マイクロ波が照射されるので、放電の検知が更に確実にできる。
【００５２】
なお、制御装置２４は、放電センサ２３の作動の確認を、ドア４を開けたときにチャンバ８内に入る機外の光により行うようにしても良い。このものでは、機外の光を利用して放電センサ２３の作動の確認ができるので、上述同様、放電センサ２３の作動確認専用の光源を必要としない。又、このものは、庫内灯１４を有しないものでの実施に適する。
そのほか、本発明は上記し且つ図面に示した実施例にのみ限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得る。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の真空マイクロ波解凍機によれば、主として、チャンバ内に発生した放電が、チャンバに発生したものであることの判断ができて、適切な制御ができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の制御内容を示す図６部分相当図
【図２】異なる制御内容を示す図６部分相当図
【図３】全体の正面図
【図４】内部構成の概略縦断側面図
【図５】電気的構成のブロック図
【図６】解凍運転全般の説明図
【図７】報知の一例を示す表示部の拡大正面図
【図８】本発明の異なる実施例を示す図６部分相当図
【符号の説明】
６ａは表示器（報知手段）、６ｂは表示ランプ（報知手段）、８はチャンバ、１４は庫内灯、１６は調圧弁（復圧手段）、１８はマグネトロン（マイクロ波発生器）、２０は真空ポンプ（減圧手段）、２３は放電センサ、２４は制御装置  （制御手段）、３２はブザー（報知手段）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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