(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手矩形板状の第１の振動体と第２の振動体とを進行方向に対して互いに平行に所定の距離離間させて配し、前記第１の振動体と第２の振動体の振動面を略同一平面に配してなる物体搬送装置において、
前記第１の振動体と第２の振動体とを同時に励振する超音波励振手段と、
物体を搬送させる搬送手段とを備え、
前記第１の振動体の厚みは、物体搬送路の幅方向における中央側が厚肉に構成され、縁側が薄肉に構成されてなり、前記第２の振動体は前記前記第１の振動体と同一の構成を有し、前記第１の振動体と第２の振動体とは厚肉の中央側で対向し、
前記第１の振動体と第２の振動体の放射圧は、物体搬送路の幅方向における両縁側が中央に比して大であるように設定され、
同時に励振される前記第１の振動体と第２の振動体との音波の放射圧により該振動体の表面上に被搬送物体を浮揚させ、搬送させること
を特徴とする物体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は超音波の放射圧を利用して物体を空中に浮揚させる物体浮揚装置を具備した物体搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置として、本願出願人に係る特開平７−１８７３８８号公報において開示されているものがあり、該公報の開示内容の一部である物体搬送装置を図１０に示す。
【０００３】
図示のように、当該物体搬送装置は、矩形板状に形成された振動体１０１と、この振動体１０１の長手方向一端側に設置されて該振動体１０１を励振する超音波励振手段１３０と、該超音波励振手段１３０とほぼ同様の構成を有して該振動体１０１の他端側に配置されたエネルギー変換手段１３１とを備えている。
【０００４】
上記超音波励振手段１３０はホーン１０２を具備しており、上記振動体１０１は該ホーン１０２の先端に固着されている。
【０００５】
なお、図において、ホーン１０２による超音波振動の方向を矢印Ｕにて示している。このように、ホーン１０２は縦振動を行う。振動体１０１の長さ（図の左右方向の寸法）及び幅（図で紙面に直角な方向の寸法）は、ホーン２から伝達される振動に基づく撓み振動の共振長に定められ、図で記号Ｔで示す撓み曲線のような振動をする。この撓み振動は振動体１０１の長さ方向及び幅方向において生じ、縞状の振動モードとなる。
【０００６】
上記ホーン１０２は、振動体１０１に対する結合部とは反対側において振動子１０４と結合されている。この振動子１０４の電極１０４ａと発振器１０５とが接続されており、振動子１０４は該発振器１０５によって駆動されて超音波振動を発する。ホーン１０２は、この振動子１０４が発する振動を機械的に増幅するものである。
【０００７】
上記ホーン１０２にはフランジ部１０２ｂが形成されており、該ホーン１０２の下半部分及び上記振動子１０４を収容するケース１０６に対して、該フランジ部１０２ｂでパッキン１０２ｃを介して締結されている。
【０００８】
一方、振動体１０１の他端側に配設されたエネルギー変換手段１３１は、搬送対象たる物体１０７を振動体１０１上で搬送させる搬送手段として作用するもので、超音波励振手段１３０により励振された振動体１０１が発する超音波のエネルギーを再び電気エネルギーに戻すべく変換する。
【０００９】
具体的には、該エネルギー変換手段１３１が具備する振動子１０４の電極１０４ａに、抵抗Ｒ及びコイルＬからなる回路が接続されており、機械的エネルギーである超音波エネルギーより変換された電気エネルギーはこの回路を経ることによって更にジュール熱に変換され、放散される。
【００１０】
上述した物体搬送装置においては、超音波励振手段１３０の作動によって振動体１０１が撓み振動を行い、該振動体１０１より音波が放射される。よって、物体１０７はこの音波の放射圧により振動体１０１上で僅かに浮揚する。
【００１１】
この浮揚状態で上記エネルギー変換手段１３１が作動することによって、図で矢印Ｓにて示すように、振動体１０１に生ずる撓み振動の波が進行波となり、物体１０７はこの進行波に乗る状態にて搬送される。
【００１２】
上記構成の物体搬送装置は、物体を完全に非接触の状態で搬送することが出来ると共に、次のような優位点を有する。
【００１３】
▲１▼  磁性体であるや否やなど、扱う物体の材質等の制約を受けることがなく、また、磁界中におくことができないもの等、あらゆる物体を搬送することができ、しかも、物体の重量及び寸法が比較的大きくとも対処可能である。
【００１４】
▲２▼  装置自体に関しては、実質的に、振動体とこれを励振する超音波励振手段を最小限設けるだけでよいから、小型化及びコストの低減が達成されると共に、消費電力も極めて少なくて済み、省エネルギー化に寄与する。
【００１５】
▲３▼  電気エネルギーを変換した音波の放射圧による浮揚作用であるため、作業者の安全性についても容易に確保し得ると共に、給電及びその断をなすことにより簡単に制御できる。
【００１６】
上記した各優位点に鑑み、装置の実用化の一例として、液晶ディスプレイなどとして利用されるガラス基板やシリコンウェハーの搬送に利用することを考えている。何となれば、これらの品物は、その主たる面に対して塵埃（ｐａｒｔｉｃｌｅ）が付着すること、および微細にても傷が発生することを可能な限り避けねばならないと同時に、磁場等に曝すことは厳禁とされる故である。
【００１７】
ところで、近年、エレクトロニクス産業の発展に伴って上記ガラス基板及びシリコンウェハーの需要が増加し、その形状も大型化している。そこで、このような形状の大きい品物を搬送するためには、上述した物体搬送装置において振動体１０１を大きくすることが考えられ、実際に試作が行われた。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この試作装置による搬送実験の結果、下記の問題が判明した。
【００１９】
まず、実用化を目指すことを前提とした該試作装置においては、図１０及び図１１に示すように、円錐（ｃｏｒｎ）状のホーン１０２によって略一点に集中して伝達される振動を幅広な振動体１０１の全幅に均一に伝える必要があることから、ホーン１０２と振動体１０１との間に副振動体１１１が介装された。この副振動体１１１とは、有限要素法解析で先端面が均一な振動分布になるように設計されたプレート状のホーンである。
【００２０】
ところが、ホーン１０２からは縦振動のみが付与されるにも拘らず、この副振動体１１１のポアソン（Ｐｏｉｓｓｏｎ）比の影響によって横方向の振動が誘起され、これによって振動分布が不均一になり、きれいな進行波を得ることが難しい。
【００２１】
また、図１１に示すように、上記横方向の振動を抑圧すべく副振動体１１１にスリット１１１ａが形成されたが、その効果は充分ではない。反面、このスリット１１１ａを設けたことによって、同図で破線の矢印Ｅ1 ，Ｅ2 にて示すように、振動体１０１の搬送経路中央部に対するとその両側部に対するとではエネルギーの伝達距離が大きく異なり、甚しい場合は正常な進行波（矢印Ｗ1 にて示す）とは逆向きに進む波（矢印Ｗ2 で示す）が両側で発生してしまい、振動体１０１の全幅にわたって同相の進行波を得ることは必ずしも容易ではない。
【００２２】
他方、振動体１０１の大型化、すなわち、音波が放射される面積の増加によって、発生する音が大きくなり、この音を騒音レベル以下に抑えるための大掛りな遮音壁等を必要とし、コスト面から好ましくない。
【００２３】
更に、大きな振動体１０１を振動させるためにはそのエネルギーのロスも大きく、この点、省エネルギー化の観点から解決されるべき問題となっている。
【００２４】
本発明は上記した点に鑑みてなされたものであって、その主目的とするところは、形状の大きな物体を同相かつ均一な整った進行波に乗せて円滑に搬送することができ、また、遮音対策も無用か最小限で足り、しかも、エネルギーの利用効率が高い物体搬送装置を提供することである。
【００２５】
また、本発明は、上記に加えて更に他の効果をも併せ奏し得る物体搬送装置を提供することも目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記主目的達成のために、本発明による物体搬送装置は、長手矩形板状の第１の振動体と第２の振動体とを進行方向に対して互いに平行に所定の距離離間させて配し、前記第１の振動体と第２の振動体の振動面を略同一平面に配し、前記第１の振動体と第２の振動体とを同時に励振する超音波励振手段と、物体を搬送させる搬送手段とを備え、前記第１の振動体の厚みは、物体搬送路の幅方向における中央側が厚肉に構成され、縁側が薄肉に構成されてなり、前記第２の振動体は前記前記第１の振動体と同一の構成を有し、前記第１の振動体と第２の振動体とは厚肉の中央側で対向し、前記第１の振動体と第２の振動体の放射圧は、物体搬送路の幅方向における両縁側が中央に比して大であるように設定され、
同時に励振される前記第１の振動体と第２の振動体との音波の放射圧により該振動体の表面上に被搬送物体を浮揚させ、搬送させるように構成されている。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明は、比較的大きな寸法のガラス基板やシリコンウェハー等を超音波の放射圧により浮揚させて搬送する場合に、整然とした進行波に乗せて搬送させると共に、騒音の発生とエネルギーの無駄な消費を極力抑えるために実施される。
【００２８】
【実施例】
次に、本発明の実施例としての物体搬送装置を、添付図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図１乃至図４に示すように、この本発明に係る物体搬送装置は、２基の搬送ユニット１を互いに平行に並べてなる。両搬送ユニット１は全く同様に構成されている故、以下、片方の搬送ユニット１の説明を以て双方の搬送ユニットの説明に代える。但し、両搬送ユニット１の各構成部分について、互いに対応するものには同じ参照符号を付して示している。
【００３０】
図１乃至図４に示すように、搬送ユニット１は、長手矩形板状に形成された振動体３を有しており、２基の搬送ユニット１が夫々具備する該振動体３は、夫々の振動面が略同一平面となるように平行に配されている。該振動体３は、搬送されるべき物体７をその表面上で浮揚させるためのものである。この振動体３の長手方向両端部には、副振動体４が各々結合されている。該副振動体４は、後述する超音波励振手段が発する縦振動を該振動体３に対して該振動体３の厚み方向で伝達すべく介装されたものである。
【００３１】
上記振動体３は、その材質としてジュラルミン等が選定され、寸法としては、一例として、長さＬ（図２参照）が１０２９ｍｍ、幅Ｂ（図２及び図５参照）が７０ｍｍ、厚みｔ（図３及び図５参照）が３ｍｍに設定されている。
【００３２】
また、副振動体４としては、有限要素法解析で先端面が均一な振動分布になるように設計されたプレート状のホーンが用いられ、振動体３の端部に対して複数のねじ９（図１及び図２に図示）を用いて締結してある。但し、振動体３と副振動体４の結合は、このようにねじによる他、接着、ロウ付け、溶接等によってもよい。
【００３３】
上記副振動体４は、その下端部にて略円錐型のホーン１２の先端部に結合されている。該ホーン１２に対する副振動体４の取付けに関しても、上記ロウ付けや溶接など、種々の手段が用いられる。該ホーン１２は略円錐形状であるが故に、後述する振動子が発する振動を略一点に集中して伝達するが、副振動体４はこの集中する振動を振動体３の全幅に、すなわち物体搬送路の幅方向において均一に拡散して伝える作用をなす。
【００３４】
上記のホーン１２は、上記振動体３の両端部に対応して配設された２つの超音波振動発生部１４が夫々具備するものである。図１及び図２から明らかなように、該超音波振動発生部１４は、隣り合う２基の搬送ユニット１に関して２つずつ、合計４つ設けられており、これら４つの超音波振動発生部１４は図７に示す発振器１５と共に超音波励振手段を構成する。但し、上記した副振動体４も、この超音波励振手段に含まれる。続いて、該超音波振動発生部１４について詳述する。
【００３５】
図３に示すように、該超音波振動発生部１４において、上記ホーン１２は、副振動体４に対する結合部とは反対側、すなわち下端側において振動子１６と結合されている。この振動子１６の電極１６ａと上記発振器１５（図７参照）とが接続（接続の形態は後述する）されており、振動子１６は該発振器１５によって駆動されて超音波振動を発生する。ホーン１２は、この振動子１６が発する振動を機械的に増幅するものである。
【００３６】
なお、図３において、ホーン１２による超音波振動の振動方向を矢印Ｕにて示している。このように、ホーン１２は縦振動を行う。
【００３７】
また、上記ホーン１２にはそのノーグルポイント部にフランジ部１２ｂが形成されており、該ホーン１２の下半部分と上記振動子１６を収容するケース１８に対して、該フランジ部１２ｂにてパッキン１２ｃを介して締結されている。
【００３８】
かかる構成の物体搬送装置においては、上記ホーン１２を通じて伝達される縦振動に基づき、振動体３がその長さ方向及び幅方向で撓み振動をする。すなわち、平面的には縞状の振動モードとなる。具体的には、駆動周波数は１９．５１ｋＨｚに設定され、該ホーン１２の先端に締着したねじ９（図１及び図２参照）の頭部に１０μｍｐ−ｐ程度の振動振幅がのせられる。
【００３９】
ここで、平行に２基設けられた搬送ユニット１が各々具備する振動体３の形状について詳述する。
【００４０】
図１乃至図６に示すように、両振動体３は長尺の矩形板状に形成され、特に図５及び図６から明らかなように、各々外側にして下面側にほぼ全長にわたって断面矩形状の切欠部３ａが形成されている。但し、この切欠部３ａは、副振動体４との結合部にまでは及んでいない。
【００４１】
上記切欠部３ａを形成したことにより、両振動体３は、物体搬送路の中央及びその両側に対応する各部位が夫々、厚肉部３ｂ及び薄肉部３ｃとなっている。すなわち、両振動体３はその厚みが、物体搬送路の幅方向における中央から両縁側に向って段階的に小さくなるように変化している。この変化は、このように段階的に限らず、連続的、すなわちテーパ状に形成することによってもよい。
【００４２】
図５において、上記切欠部３ａの深さと幅は各々、０．２ｍｍ、２０ｍｍに設定されている。従って、振動体３の上記厚肉部３ｂの厚みは３ｍｍ（＝ｔ：前述）、幅は５０ｍｍ（＝Ｂ−２０：〔Ｂ＝７０ｍｍ：前述〕）である。
【００４３】
また、薄肉部３ｃの厚みは２．８ｍｍ（＝３−０．２）、幅は２０ｍｍである。
【００４４】
次に、当該物体搬送装置が備える２基の搬送ユニット１（図１等参照）について、図７に示す発振器１５との接続の構成を説明する。
【００４５】
なお、図７に示すように、この発振器１５にはプラスの端子１５ａとマイナスの端子１５ｂが各々２つずつ設けられ、このプラス及びマイナスで１組とされる端子が２基の搬送ユニット１の夫々に対して接続される。双方の搬送ユニット１と発振器１５との接続は全く同様になされる故、図では１基の搬送ユニット１と発振器１５に関する接続のみを示し、以下、これを説明し、他方の搬送ユニットとの接続状態の図示、説明は省略する。
【００４６】
図７において、両振動子１６が並列に設けられ、共に陰極が接地されている。同様に発振器１５についても陰極が接地されている。発振器１５の陽極はリレー２１のスイッチ２１ａに接続されている。このリレー２１の一方の端子２１ｂは他のリレー２２の一方の端子２２ｂと共に片方の振動子１６の陽極に接続されている。
【００４７】
また、リレー２１の他方の端子２１ｃは該リレー２２の他方の端子２２ｃと共に他方の振動子１６の陽極に接続されている。このリレー２２のスイッチ２２ａには、並列に設けられた負荷抵抗Ｒ及び整合用インダクタンス（コイル）Ｌの各一端が接続され、該負荷抵抗Ｒ及びインダクタンスＬの他端は接地されている。そして、図示のように、両リレー２１及び２２の各スイッチ２１ａ，２２ａは互いに連動するようになされている。本例では、該負荷抵抗Ｒは３００Ω、インダクタンスＬは４．８１ｍＨとなされ、上記発振器１５については５５Ｗ〜８５Ｗとされている。
【００４８】
上記各スイッチ２１ａ及び２２ａの切替えは、図１に示した２つのフォトセンサ２４及び２５から発せられる検知信号に基づいて行われる。これらのフォトセンサ２４，２５は夫々いわゆる反射型のもので、発光素子と受光素子とを内蔵し、該発光素子から発せられた照射光が搬送中の物体７の表面で反射し、この反射光が該受光素子に入射することによって該受光素子が上記検知信号としての受光出力を発する。
【００４９】
なお、図１から明らかなように、上記両フォトセンサ２４及び２５は、振動体３による物体搬送路の搬送方向端よりも所定距離だけ手前側に配設されている。
【００５０】
次に、上記した構成の物体搬送装置の動作を説明する。
【００５１】
まず、図７において、両リレー２１及び２２の各スイッチ２１ａ，２２ａが同図に示すように該両リレーの端子２１ｃ，２２ｂに夫々接触している場合、一方の振動子１６（図３も参照）が発振器１５によって励振される。但し、図７には、前述したように片方の搬送ユニット（１：図１等参照）の作動部分のみが示されており、この振動子の励振は他方の搬送ユニットの作動部分（図示せず）においても同時に行われる。
【００５２】
上記のように一方の振動子１６が励振されることによって、両振動体３（図１等参照）が縞状振動モードにて振動を行い、該両振動体３の表面から音波が放射される。この状態で、図１乃至図４に示すように該両振動体３上に物体７が供給されると、該物体７はこの音波の放射圧によって該振動体３の表面から距離ｅ1 （図３に図示）を隔てた状態で浮揚する。
【００５３】
図７に示す一方の振動子１６（図３も参照）の振動によって物体７が上述のように振動体３上で浮揚するのと同時に、該振動体３の振動は同じく図７（図３も参照）に示す他の振動子１６に伝わって、該振動子１６によって機械的エネルギーである超音波エネルギーが電気エネルギーに変換される。この電気エネルギーは、図７に示す負荷抵抗Ｒ及びインダクタンスＬからなる回路を経ることによって更にジュール熱に変換され、放散される。これにより、両振動体３に生ずる振動の波が進行波となり、物体７はこの進行波に乗る状態で矢印Ｇ（図１及び図３参照）にて示すように一方向へと搬送される。
【００５４】
なお、上記エネルギー変換に関しては、詳しくは、電気エネルギーは負荷抵抗Ｒにてジュール熱に変換されて消費され、インダクタンスＬはエネルギー変換の整合作用をなすもので、効率が最も大きくなる値に設定されている。
【００５５】
上記のようにして物体７が矢印Ｇ方向に搬送されると、図１に示す２つのフォトセンサ２４及び２５による検知位置を次々と通過することになる。この場合、これら２つのフォトセンサ２４及び２５の両者から物体７の通過を示す検知信号が順に発せられる。マイクロプロセッサ等からなって当該物体搬送装置の作動制御を司る制御部（図示せず）は、これらフォトセンサ２４，２５からの各検知信号の順番によって物体の搬送方向を確認することができる。そして、該制御部は、これらのフォトセンサ２４，２５からの検知信号が共に得られたならば、図７に示した両リレー２１及び２２の各スイッチ２１ａ，２２ａを切り替える。
【００５６】
両リレー２１，２２の各スイッチ２１ａ，２２ａが切り替えられて該両リレーの他方の端子２１ｂ，２１ｃに夫々接触すると、進行波の向きが逆となり、物体７は減速して停止し、直ちに上記矢印Ｇ方向とは逆の方向に搬送される。この方向転換時、物体７はその慣性によって、停止までにある距離を走ることとなる。前述したように、上記両フォトセンサ２４及び２５を物体搬送路の搬送方向端よりも所定距離だけ手前側に配置したのはこのためである。これによって、物体７が物体搬送路をその慣性により行き過ぎて脱落することが防止される。
【００５７】
上記から明らかなように、図７において、一方の振動子１６が超音波エネルギーを発しているときに、他方の振動子１６は、インダクタンスＬ及び負荷抵抗Ｒからなる回路と協働して該超音波エネルギーを電気エネルギーに変換して音波を進行波とするエネルギー変換手段として作用する。このエネルギー変換手段が、物体７を搬送させる搬送手段となる。
【００５８】
なお、物体７を搬送させる搬送手段としては、上記のようなエネルギー変換手段に限らず、例えば、当該物体搬送装置全体を傾斜せしめて重力の作用によって搬送する方式や、圧搾空気を物体７の後から吹き付ける方式等、種々の構成のものが適用可能である。すなわち、物体７に推力を付与させればよい訳である。
【００５９】
本実施例においては、上述のように、振動体３の長手方向両端に対応して２台の超音波振動発生部１４（図１など参照）を配設し、該両超音波振動発生部１４が発する超音波エネルギーについて選択的にエネルギー変換を行うことにより、物体７を往復搬送させることが可能となっている。
【００６０】
なお、上記は、単に物体７の往復動についての説明であるが、物体７を所望の位置に停止させる場合、次のような制御が行われる。
【００６１】
すなわち、一方向に向って搬送されている物体７について、その搬送の慣性力を打ち消すように上記のスイッチ２１ａ，２２ａを切り替え、停止するまで逆方向の進行波を生じさせる。そして、物体７が停止したら、受動側すなわちエネルギー消費側の端子をオープン状態にし、定在波振動モードにするか、あるいは、駆動側である超音波振動発生側の駆動周波数をそれまでとは異なる共振点に変化させ、浮揚状態を保ったまま完全に停止させる。
【００６２】
ところで、当該物体搬送装置においては、下記の構成によって、物体搬送路側方への物体７の逸脱が防止されている。
【００６３】
すなわち、前述したように、両振動体３が、物体搬送路の中央及びその両側をなす厚肉部３ｂと薄肉部３ｃとを有している。つまり、両振動体３の厚みが、物体搬送路の幅方向における中央から両縁側に向って漸次変化、具体的には漸次小となるように設定されている。
【００６４】
かかる構成を採用したことにより、図６にて多数の矢印で示すように、両振動体３が発する音波の放射圧は、物体搬送路の幅方向における両縁側が中央に比して大となる。
【００６５】
この構成によれば、搬送中の物体７には、これを物体搬送路の中央に留めようとする力が常に作用し、該物体７が物体搬送路から側方に逸脱しようとすると該物体搬送路の両縁側の大きな放射圧により中央側へと押し戻される。よって、物体７は逸脱することなく物体搬送路の中心３０（図２に図示）に沿って確実に搬送される。
【００６６】
このような逸脱防止作用は、本実施例のように、物体搬送路の幅方向において振動体３の厚みに変化をもたせること等によって比較的簡単に実施できるからコストが安く済むものであり、しかも、当該物体搬送装置の構造の簡略化と小型化も併せて達成され、実用上非常に有効である。
【００６７】
以上から明らかなように、当該物体搬送装置においては、複数、この場合２枚の振動体３をその各々の振動面が略同一平面となるように平行に配している。
【００６８】
かかる構成によれば、個々の振動体３の幅寸法Ｂ（図２等参照）は小さくて済み、例えば副振動体４に関して言うなら、該副振動体４も幅の狭いものとなるからそのポアソン比やエネルギー伝達距離の相違等、振動体３の振動態様に悪影響を及ぼす因子は抑えられ、その結果、同相にして振動分布が均一な整った進行波が得られて物体７の搬送を円滑に行うことができる。
【００６９】
より具体的には、各振動体３の幅寸法Ｂ（本実施例で７０ｍｍとしている）は、ホーン１２より該振動体３の厚み方向に付与される縦振動の１波長の１／３以下に設定することにより、理想に近い結果が得られている。
【００７０】
また、本発明に係る上記の構成では、１枚の振動体３とその励振をなすための超音波振動発生部１４（振動子１６を含む）とを１つのユニット（本実施例における各搬送ユニット１に相当）として製作すれば、このユニットの数を必要に応じて２基、３基、４基、…と適宜増やすことによって、かなり大きな物体まで広範な種類の物体に対処し得、汎用性に優れる。
【００７１】
更に、本発明のように、幅の狭い振動体３を並設する構成では、その全体として発生する音のレベルも低くなり、遮音対策は不必要か、設けるとしても小規模のもので充分であり、コストが安く済む。
【００７２】
また、幅の狭い振動体３では、消費する電力、すなわちエネルギーのロスも少なく、エネルギー利用効率が高い。
【００７３】
なお、本実施例では、上述した如きユニット化を図るために、各振動体３に対して個別に超音波振動発生部１４（振動子１６を含む）を設けているが、これら２枚の振動体３を共通の超音波振動発生部によって励振させるようにしてもよい。
【００７４】
ここで、前述した構成の物体搬送装置を使用して行った物体搬送実験の結果について説明する。
【００７５】
＜単位面積当たりの重量と浮揚距離との関係＞
１枚の幅が７０ｍｍの振動板（前記振動体３）をレールのように２つ並列に並べ、駆動側のホーン振動振幅を互いに１０μｍp-p 一定に保ち、アクリル板（１６０×１６０×板厚２ｍｍ、重量６３．６ｇ）及び、８インチシリコンウエハー（５４．７９ｇ）を浮揚させ、駆動側のネジの近傍で浮揚距離を測定した結果を図８に示す。
【００７６】
振動板の間隔を２０ｍｍ〜７０ｍｍ（最大幅１６０ｍｍ〜２１０ｍｍ）に広げることで、物体が音波を直接受ける部分の底面積が変化し、単位底面積当たりにかかる重量が変化するので、これをパラメータにして浮揚距離を測定した。図８から浮揚距離は、物体の単位底面積当たりの重量のほぼ−１乗に比例することが判明した。
【００７７】
＜振動板の幅と搬送速度の関係＞
次に同じように、振動板の間隔を２０ｍｍ〜７０ｍｍ（最大幅１６０ｍｍ〜２１０ｍｍ）に広げることで、単位底面積当たりにかかる重量を可変させ、同物体の平均搬送速度を測定した結果を図９に示す。
【００７８】
搬送速度は単位底面積当たりの重量に反比例することが確認出来た。また、浮揚に寄与する部分の底面積を変化させた場合、浮揚距離は大きく変化したが、平均搬送速度の変化率は少ないことが明らかになった。
【００７９】
＜まとめ＞
進行波を励振させたたわみモード振動板を２枚用いて、非接触で大きい形状の物体を搬送する装置を試作した。その結果、次のことが明らかになった。
▲１▼振動板を２枚並列に用いることにより、振動板の幅より大きな形状の物体の非接触搬送が可能であること。この結果から、さらに大きな形状の物体を非接触搬送させる場合は、３連、４連と振動板を複数用いればよいこと。
▲２▼浮揚距離は、浮揚物体の単位底面積あたりの重量の−１乗に比例すること。
▲３▼搬送速度は、浮揚物体の単位底面積あたりの重量に反比例すること。
▲４▼最も安定した搬送が得られるのは、２つの振動板の幅と浮揚物体の幅が一致した場合であること。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による物体搬送装置においては、複数の振動体をその各々の振動面が略同一平面となるように平行に配している。
かかる構成によれば、個々の振動体の幅寸法は小さくて済み、例えば副振動体におけるポアソン比やエネルギー伝達距離の相違等、振動体の振動態様に悪影響を及ぼす因子は抑えられ、その結果、同相にして振動分布が均一な整った進行波が得られて物体の搬送を円滑に行うことができる。
また、この構成では、１つの振動体とその励振をなすための超音波振動発生部とをユニット化すれば、該ユニットの数を必要に応じて増やすことによって、かなり大きな物体まで広範な種類の物体に対処し得、汎用性が高い。
更に、本発明のように、幅の狭い振動体を並設する構成では、その全体として発生する音のレベルも低くなり、遮音対策は不必要か、設けるとしても小規模のもので充分であり、コストが安く済む。
また、幅の狭い振動体では、消費する電力、すなわちエネルギーのロスも少なく、エネルギー利用効率が高い。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施例としての物体搬送装置の要部の、一部断面を含む斜視図である。
【図２】図２は、図１に示した物体搬送装置の平面図である。
【図３】図３は、図１及び図２に示した物体搬送装置の、一部断面を含む正面図である。
【図４】図４は、図２に関するＡ−Ａ矢視図である。
【図５】図５は、図３に関するＣ−Ｃ矢視図である。
【図６】図６は、図１乃至図３に示した物体搬送装置の一部の拡大図である。
【図７】図７は、図１乃至図３に示した物体搬送装置が具備するエネルギー変換部の回路図である。
【図８】図８は、本発明に係る物体搬送装置を用いて行われた搬送実験の結果を示すグラフである。
【図９】図９は、本発明に係る物体搬送装置を用いて行われた搬送実験の結果を示すグラフである。
【図１０】図１０は、従来の物体搬送装置の、一部断面を含む正面図である。
【図１１】図１１は、図１０に示した物体搬送装置の一部を拡大した斜視図である。
【符号の説明】
１    搬送ユニット
３    振動体
４    副振動体
７    物体
１２    ホーン
１４    超音波振動発生部
１５    発振器
１６    振動子
２１，２２    リレー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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