(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
すべり振動モードを励振する角柱状の圧電体を具備しており、その矩形状のずれひずみ面は、その縦寸法をＴとし、その横寸法をＬｅとしたとき、電気機械結合係数ｋが極大値近傍となる縦横比Ｌｅ／Ｔは、
Ｌｅ／Ｔ＝｛α・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋β｝±０．３
（但し、Ｓ44E及びＳ33Eは弾性コンプライアンス、α＝０．２７・ｎ＋０．４５、β＝１．０９・ｎ＋０．３１であり、ｎは正の整数）
で表されることを特徴とする圧電すべり共振子。
【請求項２】
前記ずれひずみ面と直交し、かつ、前記圧電体のずれ方向と平行な両主面上には励振電極が形成されており、これらの対向しあった励振電極同士が重なりあう長さＬと前記ずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅは、
０．８６≦Ｌ／Ｌｅ≦１
で表されることを特徴とする請求項１に記載の圧電すべり共振子。
【請求項３】
対向しあっている前記ずれひずみ面同士の間隔Ｗと前記ずれひずみ面の縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔは、
（１）Ｗ／Ｔ≦１．２
（２）１．３≦Ｗ／Ｔ≦１．５
（３）１．７≦Ｗ／Ｔ≦２．０
（４）２．２≦Ｗ／Ｔ≦２．５
（５）２．６≦Ｗ／Ｔ≦３．０
のうちのいずれかで表されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電すべり共振子。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の圧電すべり共振子を振動部材とする複合材料振動装置であって、
音響インピーダンスがＺ１である振動部材と、第１の音響インピーダンスＺ１よりも低い第２の音響インピーダンスＺ２を有し、前記振動部材に連結された反射層と、第２の音響インピーダンスＺ２よりも高い第３の音響インピーダンスＺ３を有し、前記反射層に連結された保持部材とを備えており、前記振動部材から前記反射層に伝播してきた振動を前記反射層と前記保持部材との界面で反射する構成であることを特徴とする複合材料振動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電すべり共振子及び複合材料振動装置に係り、詳しくは、複合材料振動装置の振動部材として使用される圧電すべり共振子と、この圧電すべり共振子を振動部材としながらエネルギー閉じ込め型ではない構成とされた複合材料振動装置とに関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電発振子や帯域通過型フィルタ（Ｂ．Ｐ．Ｆ）などとして使用される圧電共振子のうちには、特開平５−２４３８８９号公報や特開平７−１４７５２７号公報で開示されているものがある。すなわち、特開平５−２４３８８９号公報で開示された厚みすべり圧電振動素子は、ＬｉＴａＯ3 からなる圧電基板の両主面上に励振電極が形成されたものであり、共振周波数の近傍に発生する不要なリップルを抑制するため、励振電極同士が互いに対向しあって重なりあう長さと圧電基板の厚みとの関係を適当な範囲内で規制することを特徴としている。
【０００３】
一方、特開平７−１４７５２７号公報で開示されている圧電共振子は、矩形面を有する圧電体における長辺側の両主面上に共振電極が対向しあって形成されたものであり、その長辺及び短辺それぞれの長さ比をポアソン比との関係で規制することを特徴としている。そして、このような構成の圧電共振子であれば、特定の長さ比を採用することにより、共振部のエネルギー閉じ込め効率を向上させることが可能となり、その小型化を実現し得るという利点が確保される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、特開平５−２４３８８９号公報で開示されているのは通常のエネルギー閉じ込め型といわれる圧電すべり共振子であるが、このようなエネルギー閉じ込め型の構成である場合は、比帯域（通過帯域幅／中心周波数）の大きな厚みすべり共振子を構成することが困難となってしまう。また、通常のエネルギー閉じ込めとは、励振電極同士の重なりあい部分付近に対して振動エネルギーが局所的に集中する振動現象をいうが、上記構成の圧電すべり共振子では、振動部分から無振動部分にわたる領域、つまり、振動減衰域を構成するのに多大な面積を要するため、小型化に適しないこととなる。
【０００５】
これに対し、特開平７−１４７５２７号公報で開示されている圧電すべり共振子もエネルギー閉じ込め型であることに変わりないが、エネルギー閉じ込め効率が大幅に向上するため、通常のエネルギー閉じ込め型に比べると、その小型化を実現することが可能となる。しかしながら、このような構成とされた圧電すべり共振子であっても、比帯域を大きくすることはでき得ないのが実情である。
【０００６】
本発明はこれらの不都合に鑑みて創案されたものであり、比帯域を大きくすることが可能な圧電すべり共振子と、この圧電すべり共振子を振動部材としながら小型化を実現することができる複合材料振動装置とを提供することを目的としている。なお、ここでの複合材料振動装置は、エネルギー閉じ込め型ではない構成とされている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る圧電すべり共振子は、すべり振動モードを励振する角柱状の圧電体を具備しており、その矩形状のずれひずみ面は、該ずれひずみ面の縦寸法をＴとし、その横寸法をＬｅとしたときの縦横比Ｌｅ／Ｔは、
Ｌｅ／Ｔ＝｛α・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋β｝±０．３
（但し、Ｓ44E及びＳ33Eは弾性コンプライアンス、α＝０．２７・ｎ＋０．４５、β＝１．０９・ｎ＋０．３１であり、ｎは正の整数）
で表されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項２に係る圧電すべり共振子は請求項１又は請求項２に記載したものであって、前記ずれひずみ面と直交し、かつ、前記圧電体のずれ方向と平行な両主面上には励振電極が形成されており、これらの対向しあった励振電極同士が重なりあう長さＬと前記ずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅは、
０．８６≦Ｌ／Ｌｅ≦１
で表されることを特徴としている。
【００１０】
本発明の請求項３に係る圧電すべり共振子は請求項１または２に記載したものであり、対向しあっている前記ずれひずみ面同士の間隔Ｗと前記ずれひずみ面の縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔは、
（１）Ｗ／Ｔ≦１．２
（２）１．３≦Ｗ／Ｔ≦１．５
（３）１．７≦Ｗ／Ｔ≦２．０
（４）２．２≦Ｗ／Ｔ≦２．５
（５）２．６≦Ｗ／Ｔ≦３．０
のうちのいずれかで表されることを特徴としている。
【００１１】
本発明の請求項４に係る複合材料振動装置は請求項１〜請求項３のいずれかに記載の圧電すべり共振子を振動部材とするものであって、音響インピーダンスがＺ１である振動部材と、第１の音響インピーダンスＺ１よりも低い第２の音響インピーダンスＺ２を有し、前記振動部材に連結された反射層と、第２の音響インピーダンスＺ２よりも高い第３の音響インピーダンスＺ３を有し、前記反射層に連結された保持部材とを備えており、前記振動部材から前記反射層に伝播してきた振動を前記反射層と前記保持部材との界面で反射する構成であることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は本実施の形態に係る圧電すべり共振子の構成を簡略化して示す斜視図、図２はずれすべり面の縦横比Ｌｅ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明図であり、図３はずれすべり面の縦横比Ｌｅ／Ｔと弾性コンプライアンスＳ44E，Ｓ33Eとの関係を示す説明図である。そして、図４は圧電すべり共振子の構成を簡略化して示す側面図、図５は対向しあった励振電極同士が重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅ及び周波数変位ｄＦOSC／ＦOSCの関係を示す説明図であり、図６は対向しあうずれひずみ面同士の間隔Ｗ、つまり、圧電体の幅寸法Ｗとずれひずみ面の縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔ及び電気機械結合係数ｋの関係を示す説明図である。
【００１４】
図１中の符号１は圧電すべり共振子であり、この圧電すべり共振子１は、ＬｉＴａＯ3 やＬｉＮｂＯ3 などのようなセラミックス材料を用いて作製された角柱状の圧電体２を具備している。そして、この圧電体２においてはその幅寸法がＷと設定されており、かつ、矩形状とされた側面であるずれひずみ面２ａの縦寸法及び横寸法それぞれがＴ，Ｌｅと設定されている。また、この圧電体２は軸心方向（長手方向）に沿って分極処理されており、図１中の矢印Ｐは分極方向を示している。
【００１５】
さらに、この際における圧電体２の主面、つまり、ずれひずみ面２ａのそれぞれと直交し、かつ、圧電体２のずれ方向と平行な両主面上には、励振電極３，４がそれぞれ形成されている。そこで、これらの互いに対向しあった励振電極３，４を介して交流電圧が印加されると、圧電体２は厚みすべり振動モードで振動することになり、圧電すべり共振子１として機能する。
【００１６】
ところで、本発明の発明者らが、圧電体２におけるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔに着目し、圧電すべり共振子１の電気機械結合係数ｋを検討してみたところ、ずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの間には、図２で示すような関係があることが見いだされた。そして、図２で示される検討結果からは、振動波数ｎがｎ＝１〜４のいずれであったとしても、ずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔの変化に対応して圧電すべり共振子１の電気機械結合係数ｋが周期的に変化し、ある特定の縦横比Ｌｅ／Ｔに対応して電気機械結合係数ｋが極大値を示すことが明らかとなる。
【００１７】
なお、図２中には、有限要素法を利用して解析された圧電すべり共振子１の各振動波数ｎにおける変位分布を示す模式的な縦断面図を付記している。
【００１８】
すなわち、振動波数ｎがｎ＝１である際には、縦横比Ｌｅ／Ｔ＝２．６付近で電気機械結合係数ｋの極大値、つまり、ｋ＝３８％が得られる。そこで、電気機械結合係数ｋが極大値近傍となるよう、圧電体２におけるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔを予め設定することとし、電気機械結合係数ｋの極大値近傍を圧電すべり共振子１で利用する構成とすれば、この圧電すべり共振子１の有する比帯域は大きくなる。そして、圧電すべり共振子１の比帯域が大きい場合には、製品品質のばらつきを低減し得ることとなり、共振特性の向上を実現することが可能となる。
【００１９】
また、圧電体２の材料定数に着目し、電気機械結合係数ｋが極大値を示すずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔを検討したところ、図３で示すような関係が見いだされた。すなわち、振動波数ｎがｎ＝１であるときの縦横比Ｌｅ／ＴはＬｅ／Ｔ＝０．７２・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋１．４１、ｎ＝２であるときはＬｅ／Ｔ＝１．００・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋２．４８となると共に、振動波数ｎがｎ＝３である場合の縦横比Ｌｅ／ＴはＬｅ／Ｔ＝１．２６・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋３．５９で表される。なお、ここでのＳ44E及びＳ33Eは、圧電体２の材料に応じて決定される弾性コンプライアンスである。
【００２０】
そして、これらの関係を解析してみたところによれば、電気機械結合係数ｋが極大値となるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔは、Ｌｅ／Ｔ＝α・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋βで表されることが分かった。但し、ここでの変数αはα＝０．２７・ｎ＋０．４５、変数βはβ＝１．０９・ｎ＋０．３１であり、かつ、ｎは正の整数である。さらに、これらのずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔについて、±０．３程度の公差は許容されることが実験的に明らかとなっているので、電気機械結合係数ｋが極大値となるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔの一般式は、Ｌｅ／Ｔ＝｛α・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋β｝±０．３となる。
【００２１】
すなわち、電気機械結合係数ｋが極大値となるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔは、弾性コンプライアンスＳ44E，Ｓ33E及び振動波数ｎに対応して定まることになっている。そこで、このようにして定まるずれすべり面２ａの縦横比Ｌｅ／Ｔを圧電体２に対して適用すれば、電気機械結合係数ｋの極大値近傍を圧電すべり共振子１で利用することが容易となり、その結果として圧電すべり共振子１の有する比帯域を大きくすることが可能となる。
【００２２】
さらに、図４で示すように、圧電体２の両主面上にそれぞれ形成されて対向しあう励振電極３，４同士の重なりあう長さＬに着目し、これらの重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅが変化することに対応した周波数変位ｄＦOSC／ＦOSCの変化を検討してみたところ、図５で示すような関係が見いだされた。そして、図５で示される検討結果によれば、励振電極３，４同士の重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅが０．８６以上で１以下の範囲内、つまり、０．８６≦Ｌ／Ｌｅ≦１の範囲内であれば、周波数変位ｄＦOSC／ＦOSCが殆ど変化しないことが明らかとなっている。
【００２３】
従って、一方側（図では上側）の励振電極３及び他方側（図では下側）の励振電極４の対向しあって重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅを０．８６以上かつ１以下の範囲内としている限り、励振電極３，４同士の重なりあう長さＬが変化することがあったとしても、圧電すべり共振子１における周波数の変化は小さくて済む。すなわち、このような関係を維持し続けている場合には、圧電すべり共振子１の周波数変化を抑制することが可能となる。
【００２４】
さらにまた、本発明の発明者らが、圧電すべり共振子１の具備している圧電体２における幅寸法Ｗ、つまり、対向しあっているずれひずみ面２ａ同士の間隔Ｗとずれひずみ面２ａの縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔに着目し、電気機械結合係数ｋを検討したところ、図６で示すような関係があることが見いだされた。すなわち、図６で示す検討結果によれば、対向しあっているずれひずみ面２ａ同士の間隔Ｗとずれひずみ面２ａの縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔが、Ｗ／Ｔ≦１．２、１．３≦Ｗ／Ｔ≦１．５、１．７≦Ｗ／Ｔ≦２．０、２．２≦Ｗ／Ｔ≦２．５、２．６≦Ｗ／Ｔ≦３．０のうちのいずれかで表される関係にある限り、圧電すべり共振子１の有する電気機械結合係数ｋが大きくなることが分かる。
【００２５】
（実施の形態２）
図７は実施の形態２に係る複合材料振動装置の構成を簡略化して示す斜視図であり、図８はその変形例に係る構成を簡略化して示す斜視図である。なお、図７中の符号１１は実施の形態２に係る複合材料振動装置を示し、図８中の符号１２は変形例に係る複合材料振動装置を示している。
【００２６】
実施の形態２に係る複合材料振動装置１１は、実施の形態１で説明した圧電すべり共振子１を振動部材１３として構成されたものであり、角柱状の振動部材１３と、その軸心方向（長手方向）に沿う両端面のそれぞれに連結された反射層１４，１５と、これら反射層１４，１５の外端面それぞれに連結された保持部材１６，１７とを備えている。そして、ここでの振動部材１３が具備している圧電体２は、例えば、３．４×１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度である第１の音響インピーダンスＺ１を有するセラミックス材料から作製されており、その軸心方向に沿って分極されている。
【００２７】
また、この振動部材１３と連結された反射層１４，１５は、振動部材１３が有する第１の音響インピーダンスＺ１よりも低い第２の音響インピーダンスＺ２、例えば、１．８７×１０6Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンスＺ２を有するエポキシ樹脂からそれぞれ作製されている。さらに、この際における保持部材１６，１７は、例えば、３．４×１０7Ｋｇ／（ｍ2・ｓ）程度の音響インピーダンスＺ３、つまり、第２の音響インピーダンスＺ２よりも高い第３の音響インピーダンスＺ３を有するセラミックス材料からそれぞれ作製されている。
【００２８】
さらにまた、振動部材１３の軸心方向に沿った両端それぞれに反射層１４，１５を介したうえで保持部材１６，１７が連結されてなる複合材料振動装置１１の両主面上、つまり、圧電体２のずれひずみ面２ａと直交し、かつ、圧電体２のずれ方向と平行になる両主面上には、励振電極１８，１９がそれぞれ形成されている。そして、この際における一方側（図では上側）の励振電極１８は、複合材料振動装置１１を構成している振動部材１３と、その長手方向の一方側（図では右側）に連結された反射層１４及び保持部材１６との上側主面上に対して一体的に形成されている。
【００２９】
また、他方側（図では下側）の励振電極１９は、振動部材１３と、その長手方向の他方側（図では左側）に連結された反射層１５及び保持部材１７との下側主面上に対して一体的に形成されたものとなっている。なお、図７では、励振電極１８，１９のそれぞれが保持部材１６，１７の外端面上まで形成されているが、これらの励振電極１８，１９が保持部材１６，１７の外端面上にまで形成されている必然性はなく、主面上にのみ形成されたものであってもよいことは勿論である。
【００３０】
このような構成とされた複合材料振動装置１１では、振動部材１３が具備する圧電体２を挟んで対向しあう励振電極１８，１９を介して交流電圧が印加されると、振動部材１３の圧電体２が厚みすべり振動モードで振動する。そして、この振動部材１３で発生した振動は反射層１４，１５へと伝播し、反射層１４，１５へと伝播した振動は反射層１４，１５と保持部材１６，１７との界面それぞれで反射される。そのため、この際における保持部材１６，１７へと振動が伝播することは抑制されており、保持部材１６，１７にあっては振動に伴う変位も生じないため、これらの保持部材１６，１７を利用して複合材料振動装置１１を確実に支持することが可能となる。
【００３１】
ところで、本実施の形態２に係る複合材料振動装置１１は、振動部材１３の両端面に反射層１４，１５をそれぞれ連結し、かつ、これらの反射層１４，１５に保持部材１６，１７をそれぞれ連結したものとなっている。しかしながら、このような構成のみに限定されることはなく、図８で示すような複合材料振動装置１２、すなわち、振動部材１３の一方側（図では右側）の端面にのみ反射層１４を連結し、さらに、反射層１４の外端面に保持部材１６を連結してなる構成とされたものであってもよい。なお、図８において、図７と同一となる部品、部分については同一符号を付し、ここでの説明は省略する。
【００３２】
すなわち、この変形例に係る複合材料振動装置１２でも、振動部材１３が音響インピーダンスＺ１を有し、かつ、反射層１４が第１の音響インピーダンスＺ１よりも低い第２の音響インピーダンスＺ２を有するのに対し、保持部材１６が第２の音響インピーダンスＺ２よりも高い第３の音響インピーダンスＺ３を有することに変わりはない。従って、複合材料振動装置１２にあっても、振動部材１３で発生した振動は反射層１４と保持部材１６との界面で反射されることになり、保持部材１６に対する振動の伝播は抑制される。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１に係る圧電すべり共振子では、圧電体のずれひずみ面における縦横比Ｌｅ／Ｔを、電気機械結合係数ｋが極大値近傍となるように、ずれひずみ面の縦横比Ｌｅ／ＴがＬｅ／Ｔ＝｛α・（Ｓ44E／Ｓ33E）1/2＋β｝±０．３（但し、Ｓ44E及びＳ33Eは弾性コンプライアンス、α＝０．２７・ｎ＋０．４５、β＝１．０９・ｎ＋０．３１であり、ｎは正の整数）で表される。このような関係に基づく縦横比Ｌｅ／Ｔを圧電体に適用する際には、電気機械結合係数ｋの極大値近傍を圧電すべり共振子で利用することが容易となり、その結果、圧電すべり共振子の比帯域を大きくすることができる。また、製品品質のばらつきを低減し、かつ、共振特性の向上を実現することが可能になる。
【００３５】
本発明の請求項２に係る圧電すべり共振子では、圧電体の主面上に形成されて対向しあった励振電極同士が重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅが、０．８６≦Ｌ／Ｌｅ≦１で表される。そして、このような関係を有している限りは、励振電極同士の重なりあう長さＬが変化しても、周波数変位ｄＦOSC／ＦOSCが殆ど変化しないため、圧電すべり共振子における周波数の変化を抑制することができる。
【００３６】
本発明の請求項３に係る圧電すべり共振子では、ずれひずみ面同士の間隔Ｗとその縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔが、Ｗ／Ｔ≦１．２、１．３≦Ｗ／Ｔ≦１．５、１．７≦Ｗ／Ｔ≦２．０、２．２≦Ｗ／Ｔ≦２．５、２．６≦Ｗ／Ｔ≦３．０のうちのいずれかで表される。このような関係であれば、圧電すべり共振子の有する電気機械結合係数ｋが大きくなるため、圧電すべり共振子の比帯域をより大きくすることが可能となる。
【００３７】
本発明の請求項４に係る複合材料振動装置は、圧電すべり共振子からなる振動部材に反射層を連結し、かつ、この反射層に保持部材を連結したものであり、反射層の有する音響インピーダンスＺ２が、振動部材及び保持部材の有する音響インピーダンスＺ１，Ｚ３よりも低くなっている。そのため、振動部材から反射層へと伝播してきた振動は、反射層と保持部材との界面で反射されてしまう。
【００３８】
すなわち、このような構成とされた複合材料振動装置であれば、振動部材の振動特性に影響を及ぼすことなく、保持部材を利用したうえで複合材料振動装置を支持することが可能となる。従って、エネルギー閉じ込め型のものと比べた場合には、その比帯域を大きくしながら小型化を実現することができるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る圧電すべり共振子の構成を簡略化して示す斜視図である。
【図２】ずれすべり面の縦横比Ｌｅ／Ｔと電気機械結合係数ｋとの関係を示す説明図である。
【図３】ずれすべり面の縦横比Ｌｅ／Ｔと弾性コンプライアンスＳ44E，Ｓ33Eとの関係を示す説明図である。
【図４】圧電すべり共振子の構成を簡略化して示す側面図である。
【図５】対向しあった励振電極同士が重なりあう長さＬとずれひずみ面の横寸法Ｌｅとの比Ｌ／Ｌｅ及び周波数変位ｄＦOSC／ＦOSCの関係を示す説明図である。
【図６】対向しあうずれひずみ面同士の間隔Ｗとずれひずみ面の縦寸法Ｔとの比Ｗ／Ｔ及び電気機械結合係数ｋの関係を示す説明図である。
【図７】実施の形態２に係る複合材料振動装置の構成を簡略化して示す斜視図である。
【図８】その変形例を簡略化して示す斜視図である。
【符号の説明】
１    圧電すべり共振子
２    圧電体
２ａ  ずれひずみ面
３    励振電極
４    励振電極
Ｔ    ずれひずみ面２ａの縦寸法
Ｌｅ  ずれひずみ面２ａの横寸法
Ｗ    圧電体２の幅寸法（ずれひずみ面２ａ同士の間隔）
Ｌ    励振電極３，４同士が重なりあう長さ
【図１】
0003870770.tif 000002
【図２】
0003870770.tif 000003
【図３】
0003870770.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003870770.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
0003870770.tif 000009