(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体で覆う精密基板収納容器において、
前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、
このヒンジ手段は、該収納容器の周壁上部に間隔をおいて複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該収納容器の周壁上部に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に向ける第二の嵌合リブと、前記蓋体の周壁に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複数の支持リブ間に架設されて該第一、第二の嵌合リブに複数の該切欠部を介し支持されるシャフトとを含んでなることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体で覆う精密基板収納容器において、
前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、
このヒンジ手段は、前記収納容器の周壁上部に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複数の支持リブ間に架設されたシャフトと、前記蓋体の周壁に間隔をおいて複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該蓋体の周壁に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に向ける第二の嵌合リブとを含み、前記シャフトと該第一、第二の嵌合リブとを複数の該切欠部を介し嵌合したことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項３】
前記蓋体を所定の角度以上で開放方向に回転させた時、前記第一、第二の嵌合リブから前記シャフトを軸方向にスライドさせて分離可能とした請求項１又は２記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコンウェーハなどを収納、搬送、又は保管する精密基板収納容器に関し、より詳しくは、精密基板収納容器の開閉構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の精密基板収納容器は、図２７に示すように、上部が開口した外箱１Ａ、上下部がそれぞれ開口した整列内箱６Ａ、シリコンウェーハなどの半導体ウェーハ（以下、ウェーハと略称する）Ｗ用の押さえ板２１、及び開閉用の蓋体７Ａを備え、精密洗浄された後に使用される。
【０００３】
このような精密基板収納容器にウェーハＷを収納する場合には、先ず、整列内箱６Ａに複数のウェーハＷを整列収納し、外箱１Ａに整列内箱６Ａを収納し、外箱１Ａの開口上部の周縁部にシール部材であるパッキン２Ａを嵌入する。そして、蓋体７Ａの内面に押さえ板２１をセットし、外箱１Ａの開口上部に蓋体７Ａを被せて被覆し、その後、外箱１Ａの両側壁上部の係止部２２に蓋体７Ａの両側壁の係止フック２３をそれぞれ両手でセットすれば、精密基板収納容器にウェーハＷを機密状態に収納することができる。
【０００４】
これに対し、精密基板収納容器からウェーハＷを取り出す場合、先ず、蓋体７Ａの係止フック２３をそれぞれ両手で外して外箱１Ａの上部から蓋体７Ａを取り外し、周囲の適当な箇所に蓋体７Ａを置いた後、外箱１Ａから整列内箱６Ａを取り出せば、ウェーハＷを取り出して加工することができる。このような蓋体７Ａの開閉や整列内箱６Ａの取り出しは、ウェーハＷの製造工程の一部において頻繁に行われる。
【０００５】
ところで、精密基板収納容器は、精密洗浄の作業効率を高めるため、外箱１Ａと蓋体７Ａとが二部品で構成され、これら外箱１Ａと蓋体７Ａとが使用時においても二部品の状態のままで使用されるが、これでは部品の分散を招くこととなる。そこで、精密洗浄の作業時に外箱１Ａと蓋体７Ａとを二部品とし、使用時においては組み立てて一部品とする精密基板収納容器が要望されている。
【０００６】
この種の精密基板収納容器としては、図２８に示すように、外箱１Ａの背面壁の上部に一対のナックル２４を間隔をおき並べ備えた袖体２５を、蓋体７Ａの背面壁には単一のナックル２６を先端部に備えた羽体２７をそれぞれ設け、一対のナックル２４にナックル２６を挟持させて直列状態とし、これら一対のナックル２４及びナックル２６にシャフト２８を挿着して回転可能に接合する蝶番タイプの構成が考えられる。
【０００７】
なお、この種の精密基板収納容器に関する先行技術文献として特開平６−４０４６１号、実開昭６３−８２７８８号、実開昭６３−１６６９４８号、及び特開平９−１０７０２５号公報などがあげられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の精密基板収納容器は、以上のように両手で係止フック２３を外して蓋体７Ａを開閉しなければならないので、開閉作業が煩雑、かつ面倒で、作業性を向上させることができないという問題があった。また、アンローダなどの自動機に対する置き換えも困難であるという問題があった。また、取り外した蓋体用の十分な空きスペースが必要になるとともに、散在したり、紛失しないよう蓋体７Ａの管理や保管に留意しなければならなかった。
【０００９】
このような問題を解消するには、精密基板収納容器を前記蝶番タイプに構成する方法が考えられるが、この方法には以下の問題が考えられる。先ず、蝶番を射出成形で成形する場合、一対のナックル２４及びナックル２６にシャフト２８を挿着する関係上、ナックル２４、２６の貫通孔がアンダーカット部となり、このアンダーカット部用のスライド機構を射出成形用金型に設けなければならない。したがって、構成の複雑化に伴い、射出成形用金型が非常に高価になり、生産性の悪化を招くこととなる。また、シャフト２８が別部品なので、精密洗浄作業時の分解や組立が困難化し、しかも、シャフト２８が紛失するおそれがある。さらに、シャフト２８を挿着固定するので、固定後においてはナックル２４、２６の貫通孔を直接洗浄することができず、この結果、洗浄効果が小さく、十分な乾燥効果を期待することができないおそれがある。
【００１０】
本発明は、前記従来の問題に鑑みなされたもので、蓋体の開閉作業の作業性を向上させ、各種装置に対する置き換えを容易化し、しかも、蓋体用の空きスペースを省略することのできる精密基板収納容器を提供することを目的としている。また、生産性を向上させ、洗浄作業時の分解や組立を容易化し、十分な洗浄効果と乾燥効果とを得ることを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明においては、前記課題を達成するため、精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体で覆うものにおいて、
前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、
このヒンジ手段は、該収納容器の周壁上部に間隔をおいて複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該収納容器の周壁上部に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に向ける第二の嵌合リブと、前記蓋体の周壁に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複数の支持リブ間に架設されて該第一、第二の嵌合リブに複数の該切欠部を介し支持されるシャフトとを含んでなることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項２記載の発明においては、前記課題を達成するため、精密基板用の収納容器の開口上部を蓋体で覆うものにおいて、
前記収納容器と前記蓋体とを回転可能に接合するヒンジ手段を備え、
このヒンジ手段は、前記収納容器の周壁上部に間隔をおいて設けられた複数の支持リブと、この複数の支持リブ間に架設されたシャフトと、前記蓋体の周壁に間隔をおいて複数設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか一方向に向ける第一の嵌合リブと、該蓋体の周壁に設けられ、ほぼＵ字形の切欠部の開口を上下いずれか他方向に向ける第二の嵌合リブとを含み、前記シャフトと該第一、第二の嵌合リブとを複数の該切欠部を介し嵌合したことを特徴としている。
なお、前記蓋体を所定の角度以上で開放方向に回転させた時、前記第一、第二の嵌合リブから前記シャフトを軸方向にスライドさせて分離可能とすることが好ましい。
【００１３】
ここで、特許請求の範囲における「精密基板」には、少なくとも電気電子や半導体の製造分野で使用される単数複数のアルミディスク、液晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ、又はマスク基板などが含まれる。また、「回転」には回動や揺動などの技術が含まれる。また、「ほぼＵ字形」は、技術的思想に着目した実質的な意味に理解されなければならず、少なくともコ字形、半円形、又は半楕円形などの類似の形状を含む。
【００１４】
請求項１又は２記載の発明によれば、蓋体が回転して収納容器の開口上部を開閉する。この際、シャフトを中心にして蓋体が接合状態のまま回転するので、開放位置や開放軌道などが一定化し、自動化に適するとともに、収納容器の周囲などに蓋体用の置き場所などを要しない。また、精密基板収納容器を射出成形で製造する場合でも、アンダーカット部のないヒンジ手段を用いるので、スライド機構を射出成形用金型に設ける必要がない。また、蓋体にシャフトが一体構成されるので、洗浄時の分解や組立作業が容易化し、部品の紛失のおそれもない。さらに、従来のナックルに相当するものがなく、全ての部分を直接洗浄することができる。
また、請求項３記載の発明によれば、収納容器と蓋体とは、用途に応じて二部品に取り外されたり、一部品に組み立てて一体化される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図１ないし図２６を参照して本発明の実施の形態を説明する。本実施形態における精密基板収納容器は、図１に示すように、外箱１、整列内箱６、及び蓋体７を含み、さらに外箱１と蓋体７とを回転可能に接合するヒンジ手段９を備えている。
【００１６】
外箱１は、機械的特性、汚染性、及び成形性に優れたポリカーボネイトなどを成形材料として上部が開口したトップオープンタイプのボックス構造に射出成形され、その開口上部の周縁が下方に折り返されて補強されており、この折り返し部と周壁との間には補強用のリブが間隔をおいて複数介在成形されている。この外箱１は、その上部に密封効果を発揮する枠形のパッキン２が着脱自在に嵌合され、底部が前後方向にやや傾斜した上げ底構造に成形されている。また、外箱１の正面壁３は、低く成形され、その折り返し部の表面両側から係止部４がそれぞれ突出している。これに対し、背面壁５は、正面壁３よりも高く成形され、補強用の凹部５０が成形されている。また、外箱１の左右両側壁の上部は、正面壁３から背面壁５に向かうにつれ徐々に高くなるようそれぞれ傾斜成形されている。
【００１７】
整列内箱６は、ポリプロピレンなどを成形材料として基本的には透明の角筒形に射出成形されている。この整列内箱６の開口上部はウェーハ（図示せず）の取り出しが容易となるよう広く形成され、開口下部は狭く形成されている。整列内箱６の左右両側壁の内面には複数の整列リブが所定のピッチ（例えば、１０ｍｍピッチ）でそれぞれ並べて一体成形され、この複数の整列リブが複数（例えば、１３枚又は２５枚）のウェーハを整列状態で収納する。
【００１８】
蓋体７は、ポリカーボネイトなどを成形材料として透明に射出成形されている。この蓋体７は、外箱１の形に対応して成形され、その表面の両側に補強用の凸部がそれぞれ成形されており、開口部の周縁には外方向に張り出す張り出し部が成形されている。また、蓋体７の垂下した正面壁は、補強用の凹部７０を備え、表面下部の両側からＬ字形の支持部８がそれぞれ突出し、この一対の支持部８には工程内で使用されるカードホルダ用の係止フック（図示せず）が回転可能に支持されており、この係止フックと外箱１の複数の係止部４とが係止することで蓋体７が固定される。
【００１９】
ヒンジ手段９は、外箱１に複数（本実施形態では２群）の第一の嵌合リブ群１０と、複数（本実施形態では２枚）の第二の嵌合リブ１１とがそれぞれ成形され、蓋体７には複数（本実施形態では２群）の支持リブ群１２が成形されており、各支持リブ群１２には円柱形のシャフト１３が成形されている。各第一の嵌合リブ群１０は、相互に対向する一対の第一の嵌合リブ１４、１４Ａを備え、この一対の第一の嵌合リブ１４、１４Ａが外箱１の背面壁５の折り返し部の側方に間隔をおき一体的に突出成形されている。各第一の嵌合リブ１４、１４Ａは、板形に成形され、逆Ｕ字形の切欠部１５が成形されており、各切欠部１５の開口が下方向に指向している。
【００２０】
各第二の嵌合リブ１１は、収納容器の背面壁５の折り返し部の側方に一体的に突出成形され、一対の第一の嵌合リブ１４、１４Ａの中間に位置している。この各第二の嵌合リブ１１は、板形に成形され、開口を上方向に指向させたＵ字形の切欠部１６が成形されており、この切欠部１６と各第一の嵌合リブ１４、１４Ａの切欠部１５とが相互に対向する。
【００２１】
さらに、各支持リブ群１２は、相互に対向する一対の支持リブ１７、１７Ａを備え、この一対の支持リブ１７、１７Ａが蓋体７の背面壁７１の張り出し部の側方に間隔をおき一体的に突出成形されるとともに、この一対の支持リブ１７、１７Ａが斜め下方に向け傾斜している。そして、この一対の支持リブ１７、１７Ａの間にはシャフト１３が一体的に架設成形され、このシャフト１３が第一の嵌合リブ１４、１４Ａの切欠部１５と第二の嵌合リブ１１の切欠部１６とに回転可能に嵌合軸支される。この嵌合軸支作用により、蓋体７は、開放時にシャフト１３を中心として外箱１の背面壁５の方向に一定の弧を描きつつ揺動し、閉そく時には外箱１の開口上部周縁に嵌合接触する。
【００２２】
ここで、図６ないし図１１に示す第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１、支持リブ１７、１７Ａ、及びシャフト１３などに関する寸法は、それぞれ以下のように設定されている。先ず、第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ１、ｎ２は、支持リブ１７、１７Ａの幅ｔよりも０．５〜１．５ｍｍ大きく設定されている。また、第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の幅ｍは、強度面と成形性との観点から３〜５ｍｍ程度に成形される。また、第一の嵌合リブ１４、１４Ａの開口基辺１８と第二の嵌合リブ１１の開口基辺１９との間隔ｒと開口幅ｓとは、シャフト１３の太さよりも０．５〜１．５ｍｍ大きく設定されている。
【００２３】
一対の支持リブ１７、１７Ａは、その厚みｉ、ｊがシャフト１３の太さと同等又は大きめの３．５〜１０ｍｍ、幅ｔが強度面と成形性との観点から２〜５ｍｍ程度に成形される。また、支持リブ１７の厚さｉと支持リブ１７Ａの厚さｊとには、０．５〜３ｍｍの厚み差ｋが付けられている、また、シャフト１３は、強度面と成形性の観点からφ３〜８に成形されている。また、図５におけるＰは蓋体７の回転支点、Ｑは外箱１と蓋体７との嵌合仮想点である。回転支点Ｐは、蓋体７の開閉時に整列内箱６の外壁６ａと蓋体７の内面７ａとの隙間を確保するため、嵌合仮想点Ｑの外側で水平線上、又は水平線よりも下方に設定される。
【００２４】
前記構成において、精密洗浄・乾燥が完了した外箱１と蓋体７とを接合するには、先ず、蓋体７を裏返しにして蓋体７の表面を下方に位置させ、支持リブ１７、１７Ａを垂直に指向させる。次いで、図１２、図１３、及び図２４に示すように、第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ１にシャフト１３を挿入してこのシャフト１３を開口基辺１８に接触させ、回転支点Ｐを中心に蓋体７を１８０°回転させ、この蓋体７の表面を上方に、支持リブ１７、１７Ａを垂直にそれぞれ位置させる（図１４、図１５、図２５、及び図２６参照）。
【００２５】
この際、図２６に示すように、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７とに接触面Ｃが生ずるので、蓋体７は図の左側にはスライドせずに位置決めされる。次いで、蓋体７を平行にスライドさせて第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の配置間隔ｎ２に支持リブ１７を位置させる。この際、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７にも接触面Ｃが生ずるので、蓋体７は右側にはスライドせずに位置決めされる。
【００２６】
次いで、図１３、図１７、及び図２４に示すように、回転支点Ｐを中心に蓋体７を１８０°回転させてこの蓋体７の表面を下方に、支持リブ１７、１７Ａを垂直にそれぞれ位置させ、蓋体７を平行にスライドさせて（図１８、図１９、及び図２４参照）第一の嵌合リブ１４に支持リブ１７Ａを接触させる。この際、一対の支持リブ１７、１７Ａには厚み差ｋが形成されているので、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７Ａの接触面Ｃが発生し、蓋体７は右側にはスライドせずに位置決めされる（図１８、図１９、及び図２４参照）。
【００２７】
こうして蓋体７を位置決めしたら、回転支点Ｐを中心に蓋体７を回転させて外箱１の開口上部周縁に嵌合接触（図１、図２０、及び図２１参照）させ、外箱１と蓋体７との接合作業が終了する。この際、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７Ａの接触面Ｃが発生するので、外箱１と蓋体７との嵌合時の位置決めがなされる。
【００２８】
なお、蓋体７の表面が下方で、支持リブ１７、１７Ａが垂直の場合、換言すれば、ヒンジ手段９の接合途中の場合（図１２、図１３、図１７、図１８、及び図２４参照）には、蓋体７は、外箱１の置かれた作業テーブル２０の表面の延長線上よりも下方に位置しなければならない（図２４参照）。仮に、図２２に示すように、蓋体７の表面が外箱１の置かれた作業テーブル２０の表面上に位置すると、第一の嵌合リブ１４と支持リブ１７Ａとに接触面Ｃが発生し、蓋体７をスライドさせて位置をずらすことができなくなる。また、外箱１の第一、第二の嵌合リブ１４、１１の開口幅ｓの範囲に蓋体７の支持リブ１７が位置しなければ、蓋体７は左右方向にスライドすることがない。したがって、蓋体７は、嵌合状態の開閉中においては、分離不能に位置決めされる。
【００２９】
前記のように外箱１と蓋体７との接合作業が終了して精密基板収納容器を組み立てたら、整列内箱６に複数のウェーハを整列収納し、外箱１に整列内箱６を収納し、外箱１の開口上部に開放状態の蓋体７を被せて被覆すれば、精密基板収納容器にウェーハを機密状態に収納することができる。なお、外箱１と蓋体７とを精密洗浄・乾燥させるため、分離する場合には前記作業を逆に順次行えば、外箱１と蓋体７とを分離することができる。
【００３０】
前記構成によれば、片手又は自動機で蓋体７を容易に開閉することができるので、簡易な構成で開閉作業が簡素容易化し、作業性を著しく向上させることが可能になる。また、蓋体７の開放位置や開放軌道を一定化することができるので、アンローダなどの自動機に対する置き換えも実に容易になる。また、使用時には着脱可能な外箱１と蓋体７とを一体化することができるとともに、シャフト１３を支点として蓋体７が前後方向に回転するので、外箱１の前方や側方における蓋体用の空きスペースや作業スペースを省略したり、あるいは大幅に縮小することができる。そして、蓋体７の管理や保管になんら留意する必要性もない。
【００３１】
また、射出成形で製造する場合でも、アンダーカット部のないヒンジ手段９を用いるので、スライドコアなどのスライド機構を射出成形用金型に設ける必要性が全くない。したがって、射出成形用金型が安価になり、生産性の大幅な向上が期待できる。また、蓋体７にシャフト１３が一対の支持リブ１７、１７Ａを介し一体構成されているので、精密洗浄作業時の分解や組立が実に容易化し、部品の紛失のおそれをきわめて有効に排除することができる。また、従来のナックル２４、２６に相当するものがなく、直接洗浄の不可能な部分がないので、きわめて良好な洗浄効果と乾燥効果とを得ることができる。さらに、外箱１の底部が傾斜しているので、整列内箱６の収納時にウェーハが傾斜状態で貯蔵され、ウェーハのがたつくことがない。
【００３２】
なお、前記実施形態では図１などの外箱１、整列内箱６、及び蓋体７を示したが、これらの形状や構造などは適宜変更することが可能である。例えば、外箱１を有底円筒形に、整列内箱６をほぼ円筒形に、そして蓋体７を円形にそれぞれ構成することもできる。また、２群の第一の嵌合リブ群１０と支持リブ群１２とを示したが、なんらこれに限定されるものではなく、第一の嵌合リブ群１０と支持リブ群１２との数を適宜増減させても良い。
【００３３】
また、第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の数を適宜増減したり、あるいは第一、第二の嵌合リブ１４、１４Ａ、１１の位置を逆にしても良い。また、図示しないが、蓋体７に複数の第一の嵌合リブ群１０と、複数の第二の嵌合リブ１１とをそれぞれ成形し、外箱１には複数の支持リブ群１２を成形して各支持リブ群１２にはシャフト１３を架設することもできる。さらに、各第一の嵌合リブ１４、１４Ａの切欠部１５の開口を上方向に指向させ、各第二の嵌合リブ１１の切欠部１６を下方向に指向させても良いのはいうまでもない。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように請求項１又は２記載の発明によれば、蓋体の開閉作業の作業性を向上させ、各種装置に対する置き換えを容易化し、蓋体用の空きスペースを省略することができる。また、例え射出成形で製造する場合でも、射出成形金型にスライド機構などを必要としないので、生産性を向上させることが可能になる。また、シャフトが別部品ではないので、洗浄作業時の分解や組立の容易化が期待でき、紛失のおそれもない。
さらに、請求項３記載の発明によれば、洗浄時には収納容器と蓋体とを分離することができるので、十分な洗浄効果と乾燥効果とを得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における嵌合状態を示す断面側面図である。
【図２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体を示す背面図である。
【図３】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における外箱を示す背面図である。
【図４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段を示す拡大説明図である。
【図５】図４の側面図である。
【図６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体のヒンジ部分を示す拡大説明図である。
【図７】図６の側面図である。
【図８】図６のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における外箱のヒンジ部分を示す拡大説明図である。
【図１０】図９の第一の嵌合リブのみを示す側面図である。
【図１１】図９のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段を示す説明図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線断面図である。
【図１４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。
【図１５】図１６のＸＶＩ−ＸＶＩ線断面図である。
【図１６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。
【図１７】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。
【図１８】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。
【図１９】図１８のＸＩＸ−ＸＩＸ線断面図である。
【図２０】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるヒンジ手段の接合作業状態を示す説明図である。
【図２１】図２０のＸＸＩ−ＸＸＩ線断面図である。
【図２２】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体の開放状態を示す断面説明図である。
【図２３】図２２のヒンジ手段を示す要部拡大断面図である。
【図２４】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における蓋体の完全な開放状態を示す断面説明図である。
【図２５】本発明に係る精密基板収納容器の実施の形態における蓋体の不完全な開放状態を示すを示す断面説明図である。
【図２６】図１４のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線断面図である。
【図２７】従来の精密基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図２８】蝶番の一例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
１      外箱（収納容器）
５      背面壁（周壁の一部）
６      整列内箱
７      蓋体
９      ヒンジ手段
１１    第二の嵌合リブ
１３    シャフト
１４    第一の嵌合リブ
１４Ａ  第一の嵌合リブ
１５    切欠部
１６    切欠部
１７    支持リブ
１７Ａ  支持リブ
Ｗ      ウェーハ（精密基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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