(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のＵ字形ヒーターをその端部で交互に逆向きに接合して連続した波形にするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法であって、Ｕ字形ヒーター部材を互いに逆向き且つ平行に保持しながら該ヒーターのそれぞれの端面を整合させる工程と、弧状のガイド上で該Ｕ字形ヒーター部材を案内し支持しながら、接合面を相互に角度を持たせ、前記端面を合わせた二つのＵ字形ヒーター部材の該端面を溶着する工程とからなり、この連結操作を繰り返すことによって連続波形の弧状ヒーターを製造するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項２】
ヒーターの弧状面が加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求項１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項３】
弧状のヒーターが加熱炉の内壁全周に配置される形状を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項４】
個々のＵ字形ヒーター部材を接合することによって連続波形の弧状ヒーターを製造することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項５】
予め二個のＵ字形ヒーター部材を接合したヒーター部材を２連ずつ接合し、この連結操作を繰り返すことによって連続波形の弧状ヒーターを製造することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項６】
全てのヒーター部材が同形状であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
【請求項７】
多数のＵ字形ヒーターの平行部分がその端部から互いに逆向きに交互に延伸して連続した波形を形成するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置であって、Ｕ字形ヒーター部材を挟持してその端面を電気溶接するための一組の電極と、該電極間に挟持したＵ字形ヒーターの該端面を平行に整合し保持する弧状ガイドと、前記電極間に該Ｕ字形ヒーターを挟持する際に該Ｕ字形ヒーターの該端面を一定の圧力下で接触させる装置と、弧状の案内板上で該一対のＵ字形ヒーター部材を案内し支持しながら、接合面を相互に角度を持たせる装置からなるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項８】
個々のＵ字形ヒーター部材を接合することによって連続波形の弧状ヒーターを製造する装置であることを特徴とする請求項７記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項９】
予め二個のＵ字形ヒーター部材を接合したヒーター部材を２連ずつ接合し、この連結操作を繰り返すことによって連続波形の弧状ヒーターを製造する装置であることを特徴とする請求項７記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１０】
電極間にＵ字形ヒーター部材を挟持し、それぞれのＵ字形ヒーター部材の一端を相互に接触させ、通電加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着する装置を備えていることを特徴とする請求項７又は８記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１１】
Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極に、各Ｕ字形ヒーター部材を相互に平行に保持するガイドを設けたことを特徴とする請求項７〜１０のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１２】
Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材の連結方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１３】
Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドが、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする請求項１２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１４】
Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極が、それぞれ上下及び相互に離間又は接触させる方向に作動できる構造を備えていることを特徴とする請求項７〜１３のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１５】
Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の少なくとも１つが流体圧装置により作動する装置を備えていることを特徴とする請求項１４記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
【請求項１６】
Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒーター部材の連結方向のやや前方に位置することを特徴とする請求項１４又は１５記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
【請求項１７】
弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を設けたことを特徴とする請求項１２〜１６のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
【請求項１８】
弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を設けたことを特徴とする請求項１２〜１７のいずれかに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱炉等に使用する接合強度に優れ、かつ安定して製造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置に関する。なお、本明細書で使用するＭｏＳｉ２製ヒーターは、純ＭｏＳｉ２乃至ＭｏＳｉ２に絶縁性酸化物等を含有させて電気抵抗を増加させたＭｏＳｉ２主成分とするヒーターを含む。
【０００２】
【従来の技術】
二珪化モリブデン（ＭｏＳｉ２）を主成分とするヒーターは、優れた耐酸化特性を有するため、特に大気又は酸化性雰囲気下で使用する超高温ヒーターとして１９５０〜１９６０年頃から市販され、現在まで幅広い用途で使用されている。このヒーターは主成分として、ＭｏＳｉ２を７０ｗｔ％以上含有している。
従来、ガラス工業やセラミックス焼成等の多くの分野で使用されているヒーターは発熱部（なお、通常「発熱部」は、通電時に主として発熱するヒーターの径が細い部分（端子部以外）を意味する。）が１つのＵ字形を成す形状（２シャンク型）をしており、炉の天井や側壁から宙吊りに取付けられ、その炉の最高使用温度は１７００〜１８５０°Ｃに達する。
【０００３】
最近、半導体デバイスの微細化及びデバイス製造時間の短縮化と省エネルギー化に伴い、従来金属発熱体が使用されていた単結晶育成炉や拡散炉等の半導体製造装置にＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターが利用されるようになってきた。
ＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターは優れた耐熱特性を有し、金属発熱体の約１０倍の表面負荷が可能であり、また急速加熱昇温することができる大きな特長を有する。
一般に、半導体製造装置に使用される熱処理炉は炉内の温度分布を厳密に制御するなど、非常に高精度な温度特性が要求される。
【０００４】
ＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターは、図５に示すように通常Ｕ字形の発熱部の両端に端子部を溶接したＵ字形ヒーターが使用されている。図５においてＵ字形ヒーター２１は発熱部２２、溶接部２３、グリップ（端子）部２４、電極部２５からなる。
しかし、この端子部は発熱部に比べて温度低下が大きいので、上記のような精密な温度制御が必要となる炉では、端子部を減らすためにＵ字形の発熱部を多数連接した形状（マルチシャンク）のヒーターが提案されている。
このような多数連接したヒーターの形状は、炉の内外を貫通する端子部の数が減るので該端子部から放熱する熱損失を減少させることができ、炉の温度の均一化に一定の効果があると考えられている。
しかし、加熱炉等の内側全体に弧状に配置するためには、該平面上で波形に接合したヒーターをさらに全体的に弧状に屈曲する必要があるが、ＭｏＳｉ２を主成分とするヒーターを屈曲するためには、１５００°Ｃ程度の高温に加熱しなければならず、しかもすでに波形に接合されているために、これを弧状にすることは非常に難しく、かつ高精度なヒーターを製造することは難しいという問題があった。
また、接合が正確かつ十分でない場合には、溶着個所が破断するという事故があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、発熱部をもつ平行なＵ字形ヒーター部材を多数連結し、かつ加熱炉等の内壁に設置できるように、ヒーターが全体的に弧状の曲面をもつように溶着し、かつ接合強度に優れ、安定して製造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーター並びにその製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明者らは鋭意研究を行なった結果、ＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材の溶着時の配置及び溶着したＵ字形ヒーター部材の支持方法を工夫することにより、ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを正確にかつ安定して製造できるとの知見を得た。
本発明はこの知見に基づき、
１．平行部を有するＵ字形ヒーター部材が交互に向きを変えて端部が交互に接合されており、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面が相互に角度を持ち、連結する方向に一定の曲率の弧状面を有することを特徴とする連続波形を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。
２．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。
３．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴とする上記１又は２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター。
４．平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向きを変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続波形を形成するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法であって、接合時に各Ｕ字形ヒーター部材を平行に保持しながら端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
５．Ｕ字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されている一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材の２連を、該弧状ヒーター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、前記２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を一度に接合し、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
６．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であることを特徴とする上記５記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
７．該連結したＵ字形ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを用いて各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせることを特徴とする上記４〜６のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
８．加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記４〜７のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
９．連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが加熱炉の内壁の半周又は全周に配置する形状を備えていることを特徴とする上記４〜８のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法。
を提供する。
【０００７】
本発明は、またさらに、
１０．平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向きを変え、端部を交互にずらせて接合することにより連続波形を形成するか、又はＵ字形が交互に向きを変えて連続波形が形成されている一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材の２連を一度に接合するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置であって、各Ｕ字形ヒーター部材を平行に保持しながら端面を整合させるとともに、各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着するか又は前記２連の弧状ヒーター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着する電極を設け、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得ることを特徴とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１１．２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材が溶着又は屈曲によりＵ字形に形成されたヒーター部材であることを特徴とする上記１０記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１２．電極間に各Ｕ字形ヒーター部材を挟持し、それぞれのＵ字形ヒーター部材の一端を相互に接触させ、通電加熱して接合面を相互に加圧しながら溶着することを特徴とする上記１０又は１１記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１３．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極に、各Ｕ字形ヒーター部材を相互に平行に保持するガイドを設けたことを特徴とする上記１２記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１４．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材の連結方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドを設けたことを特徴とする上記１０〜１３のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１５．Ｕ字形ヒーター部材又は弧状ヒーター部材を案内支持する弧状ガイドが、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率を備えていることを特徴とする上記１４記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１６．Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極が、それぞれ上下及び相互に離間又は接触させる方向に作動できる構造を備えていることを特徴とする上記１０〜１５のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１７．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の少なくとも１つが流体圧装置により作動することを特徴とする上記１６記載のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置。
１８．各Ｕ字形ヒーター部材を挟持する電極の挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒーター部材の連結方向のやや前方に位置することを特徴とする上記１６又は１７記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
１９．弧状ガイドの曲面部にショート防止用の絶縁体を設けたことを特徴とする上記１４〜１８のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
２０．弧状ガイドの曲面部に付着性又は粘着性の材料を設けたことを特徴とする上記１４〜１９のそれぞれに記載のＭｏＳｉ２製ヒーターの製造装置。
を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
一般に、ＭｏＳｉ２製ヒーターは耐火材炉壁に設けた孔に端子を貫通させ炉の内壁に取付けられているが、炉内の温度が不均一となる原因の一つとして、この端子を介して又はその貫通孔から熱が放散し端子（近傍）が温度低下することが挙げられる。
したがって、端子が多いほど炉の均熱性が悪くなると言う問題がある。この解決方法としては、端子数を極力少なくすることであるが、このためにはＵ字形のヒーターを円筒形の炉内壁に沿って半周又は全周に亘って連結した構造であることが望ましい。例えば半周が連結した構造であれば端子数は４個、全周であれば端子数が２個となるように、効果的に低減できるからである。
【０００９】
しかしながら、上述のように平行部を有するＵ字形ヒーター部材を交互に向きを変え、端部を交互にずらせて接合し平面的に連続波形を形成したＭｏＳｉ２製ヒーターを、さらに高温に加熱し、弧状に屈曲することは容易なことではない。本発明は、平行部を有するＵ字形ヒーター部材を通電加熱し、精密にかつ安定して溶着できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造方法及びその装置を提供するものである。
以下、図面に沿って説明する。
【００１０】
図１はＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材を溶接する場合の装置の概観を示す説明図であり、図２は平行部２、３を有するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を交互に向きを変え、端部４、５を交互にずらせて接合することにより連続波形を形成する装置の斜視図である。接合に際しては、例えばＵ字形ヒーター部材１の２個をそれぞれ上下の電極６、７間及び電極８、９間に挟持しそれぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接触させ、通電して溶着する。
この場合、各Ｕ字形ヒーター部材１を平行に保持しながら端面を整合させる必要があり、前記上下の電極６、７及び８、９がそれぞれ上下前後及び相互に離間又は接触させる方向に調整できる構造を備えている必要がある。なお、電極は銅製等の材料から作られている。またヒーター部材を挟持するための手段として、エアシリンダー、液圧シリンダー等の流体圧装置１０、１１を使用するのが適当である。この外クランク機構等の機械的手段によって行うこともできる。
【００１１】
接合するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１相互の平行度を維持するために、電極の表面にＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を整列させるためのガイドを設けることが望ましい。このガイドはＵ字形ヒーター部材１の平行部に整列する凸部のガイド１３又は溝状のガイド１４とすることができる。
また、各Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する上下電極間６、７及び電極間８、９の挟持位置が、流体圧装置による作用点よりもＵ字形ヒーター部材１の連結方向のやや前方に位置することが望ましい。これによって、Ｌ字形状の端子部でも溶接可能となり、また接合の操作や接合（溶着）の状況が容易に看視できるからである。
【００１２】
このＵ字形ヒーター部材１を挟持する上下電極の一方のみが移動でき、他方は固定されていても良い。しかしＵ字形ヒーター部材１の端部４、５の接合面を完全に整合するためには、相互に微調整できる構造であることが望ましい。Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する上下電極の左右の移動ができることも重要である。
それぞれの電極間に各Ｕ字形ヒーター部材１を挟持し、それぞれのＵ字形ヒーター部材１の一端を相互に接触させ、通電して溶着する際に適度な加圧力が必要であるからである。このための手段として、図１に示すようにエアシリンダーや液圧シリンダー等の流体圧装置（加圧シリンダー）１２を使用するのが適当である。この場合も同様に、Ｕ字形ヒーター部材１を挟持する電極の一方のみが左右に移動でき、他方は固定されていても良い。
溶着の際には、各Ｕ字形ヒーター部材１の接合端面がきれいに整合していることが必要である。これが不十分であると接合部から破断する事故が発生し易くなる。
図１及び図２において、符号１６は電極の上下調整機であり、符号１７は電極の前後調整機を示す。
【００１３】
上記においては、単に平行部２、３を有するＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材１を交互に向きを変え、端部４、５を交互にずらせて接合することにより連続波形を形成するという工程のみを示したが、この状態では平面的に連続波形が形成されるのみで、目的とするＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得ることはできない。
ここで、各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度を持たせて溶着することが必要となる。これによって、それぞれのＵ字形ヒーター部材１は単独では同一平面内に平行部を持つが、他のＵ字形ヒーター部材１との間では、同平行部が同一平面にはない。すなわち、このような接合を繰り返すことにより、Ｕ字形ヒーター部材１が次々に連結し弧状に接合したＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを得ることができる。
【００１４】
また、前記角度を調整することにより、弧状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大きさを変えることができる。
各Ｕ字形ヒーター部材１の平行面を相互に角度を持たせて溶着する場合、図３及び図４に示すように、Ｕ字形ヒーター部材１の連結方向に、該連結したＵ字形ヒーター部材１を案内支持する弧状ガイド１５を設けることにより、簡単に角度調整ができる。また、弧状ヒーターの曲面の曲率又は弧の大きさを変える場合には、この弧状ガイド１５を交換することにより、容易に変えることができる。なお、図４の上下電極間に端子部１８を挟持して接合する様子を示している。また、図４においては理解が容易となるように、連続する弧状ヒーター１の一部のみを示す。
図３では２枚の弧状ガイド１５が示されているが、これから明らかなように、連結された各Ｕ字形ヒーター部材１は電極の溶着部位の左右に交互に整列させるとともに、連結されたＵ字形ヒーター部材１は弧状ガイド１５に沿って上に昇るように連続的に形成される。
弧状ガイド１５の曲面部に絶縁テープ等の絶縁体を設け、ショートを防止することが望ましい。また、弧状ガイドの曲面部に両面テープやマジックテープ等の付着性又は粘着性の材料を設け、ヒーターの自重によるたれを防止することができる。これによって、弧状ガイド１５の曲面に沿ってヒーターを安定保持することができるという効果がある。
【００１５】
上記については、１個づつのＵ字形ヒーター部材を接合する場合を説明したが、すでに溶着又は屈曲によりＵ字形に連続形成された一定の弧長を有するＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を２連準備し、該弧状ヒーター部材を平行に保持しながら該弧状ヒーター部材の端部にあるＵ字形ヒーター部材の端面を整合させ、かつ各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、前記２連のＭｏＳｉ２製弧状ヒーター部材を一度に接合することもできる。
加熱炉の内周全部にＭｏＳｉ２製弧状ヒーターを設置するために、Ｕ字形に連続的に形成しながら弧状にする場合には、製作中常時大きなスペースを要し、また製作中の弧状ヒーターの全体を支える装置が必要である。
しかし、前もって半円又は一定長の弧状ヒーターを複数個作製しておき、これを溶着により接合すれば、一時的なスペースと弧状ヒーターを一時的に支持するだけでよく、製作や装置の利用が簡単であるというメリットがある。
さらにまた、この前もって製作する半円又は一定長の弧状ヒーターは、かならずしも、溶着品である必要はなく、例えば屈曲によりＵ字形に連続形成された弧状ヒーターでも良いという利点がある。
一般に、屈曲によりＵ字形に連続形成された弧状ヒーターは接合部がないので、溶着ヒーターに比べ強度が高いという特長があるが、この特性を利用して弧状ヒーターの多くを屈曲によりＵ字形に連続形成し、そして一部を溶着によって接合するという選択ができる。本装置においては、このようなＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製作方法及び装置を含むものである。
【００１６】
Ｕ字形ヒーター部材１を案内支持する弧状ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材１の曲率は、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、又はやや小さい曲率とする。一般に、弧状ヒーターは加熱炉の内壁よりも２〜５ｍｍ程度離れた位置、すなわち炉の中心方向にやや径が小さくなった状態に設置する。これは弧状ヒーターを炉の内壁にぴったりと取付けてしまうとヒーターの放散効率が落ちるからである。このため、前記弧状ヒーターを案内支持する弧状ガイドも炉内壁の曲面よりもやや小さく、半径で２〜５ｍｍ程度小さくすることが望ましい。
したがって、本発明のＵ字形ヒーター部材１を案内支持する弧状ガイド１５又はＵ字形ヒーター部材１は、加熱炉の内壁曲面にほぼ一致する曲率とするか、又はやや小さい曲率とし、このような曲率を包含するものである。
本発明のＭｏＳｉ２製弧状ヒーターは、連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターとして加熱炉の内壁の一部又は加熱炉の内壁の半周若しくは全周に配置する形状に形成ができる。例えば、連続するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが半周の場合は、２組をもって加熱炉の全内周に設置する。また、部分的な弧を形成する場合には、加熱炉の全内周を設置できるように、それに応じた弧状ヒーターを適宜取り揃える。
ＭｏＳｉ２製弧状ヒーターへの端子の取付けは、端子の形状に合わせた保持溝を有する電極に交換して、同一の装置を用いて溶着が可能である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、発熱部をもつ平行なＵ字形ヒーター部材を多数連結し、各Ｕ字形ヒーター部材の平行面を相互に角度を持たせて溶着することにより、連結する方向に一定の曲率の弧状面を得、これによって加熱炉等の内壁に設置できるようにヒーターが全体的に弧状の曲面をもつようにし、かつ接合強度に優れ、安定して製造できるＭｏＳｉ２製弧状ヒーターが得られるという著しい特長を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｕ字形ヒーター部材を溶接するＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置の概観を示す斜視図である。
【図２】２個のＵ字形ヒーター部材相互を装填して接合する様子を示すＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置の概観を示す右斜視図である。
【図３】弧状ガイドを設けたＭｏＳｉ２製弧状ヒーターの製造装置の概観を示す右斜視図である。
【図４】弧状ガイドにそって既に連結されたＵ字形ヒーター部材を接合する様子を示す部分説明図である。
【図５】Ｕ字形発熱部の両側に端子を溶接した従来のＵ字形ヒーターの説明図である。
【符号の説明】
１  ＭｏＳｉ２製Ｕ字形ヒーター部材
２、３  平行部
４、５  端部
６、７、８、９  電極
１０、１１  エァーシリンダー等の流体圧装置
１２  加圧シリンダー
１３  凸状のガイド
１４  溝状のガイド
１５  弧状ガイド
１６  電極の上下調整機
１７  電極の前後調整機
１８  グリップ部（端子部）
２１  Ｕ形ヒーター
２２  発熱部
２３  溶接部
２４  グリップ部（端子部）
２５  電極部
【図１】
0003876131.tif 000002
【図２】
0003876131.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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