(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有し、一方の面側のハーフエッチング部と他方の面側のハーフエッチング部とが平面視で互いの一部分が重なり合った状態になっているエッチング部品を、ブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工するエッチング部品の製造方法であって、
１）金属薄板の一方の面側に、エッチング部品の表面のハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を露出する表面エッチングレジストパターンを形成し、また、他方の面側に、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位にはエッチング速度調整用のダミーパターンを有し、貫通部となる部位を露出する裏面エッチングレジストパターンを形成するパターニング工程、
２）金属薄板の両面側からエッチングを行い、一方の面側の、ハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を所定の深さにエッチングして、一方の面側にエッチング部品の表面のハーフエッチング部を形成すると同時に、他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を、各々の所定の深さの半ばまでをエッチングする第一エッチング工程、
３）金属薄板の一方の面側に、第二エッチング後にエッチング部品を多面付けした状態にて保持するためのバックシートを貼り付ける貼り付け工程、
４）金属薄板の他方の面側からエッチングを行い、金属薄板の他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位を所定の深さにエッチングすると同時に、裏面エッチングレジストパターンから露出した貫通部となる部位をエッチングして貫通部をも形成する第二エッチング工程、
を少なくとも具備することを特徴とするエッチング部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エッチング部品の製造方法に関するものであり、特に、両面にハーフエッチング部を有するエッチング部品をブリッジで連結させずに廉価に製造するエッチング部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレーム、蛍光表示管用グリッドなどのエッチング部品は、個々のエッチング部品をブリッジで連結させ多面付けした状態でエッチング加工が行われる。ブリッジにはハーフエッチングが施されており、エッチング加工後にこの部分を折り曲げ破断や、金型による断裁等で連結を解除し個々のエッチング部品としている。
しかし、このような、エッチング部品間をブリッジで連結させた状態でエッチング加工が出来ないエッチング部品もあり、例えば、可変コンデンサー用の部品が挙げられる。
【０００３】
図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、可変コンデンサー用の部品の一例の説明図である。図１（ａ）は、可変コンデンサー用の部品の表面の平面図、（ｂ）は、裏面の平面図、（ｃ）は、Ｘ−Ｘ’線の断面図である。
図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、この可変コンデンサー用の部品は、直径（φ）２ｍｍ程度、厚さ（ｔ）０．３５ｍｍ程度の円板状のものである。
表面には斜線で示す深さ（ｔ1 ）６０μｍ程度のハーフエッチング部（１）、裏面には同じく斜線で示す深さ（ｔ2 ）０．２ｍｍ程度のハーフエッチング部（２）が形成されている。ハーフエッチング部（１）とハーフエッチング部（２）の位置関係は、図１中（Ａ）で示すように、互いの一部分が重なり合った状態になっている。
【０００４】
尚、図１（ａ）に示す、表面のハーフエッチング部（１）の図中左方の周縁部の幅（ｗ）は０．１ｍｍ程度、図中右方のハーフエッチング部でない矩形状部位の縦（ａ1 ）×横（ｂ1 ）は１ｍｍ×０．３ｍｍ程度のものである。
また、図１（ｂ）に示す、裏面のハーフエッチング部（２）の矩形状部位の縦（ａ2 ）×横（ｂ2 ）は１．５ｍｍ×０．５ｍｍ程度、円部の直径（φ1 ）は０．３ｍｍ程度のものである。
【０００５】
従来、上述した可変コンデンサー用の部品をフォトエッチング法によって製造する際、部品同士をブリッジで連結させた状態でエッチング加工する場合が多かった。図２は、部品同士を連結したブリッジ近傍を拡大したものであり、可変コンデンサー用の部品（２１ａ、２１ｂ）がブリッジ（２２）によって連結された状態でエッチング加工がなされている。ブリッジ（２２）と部品（２１）との連結部にはハーフエッチングが施されており、点線で示す部分が折り曲げ破断され一個の可変コンデンサー用の部品（２１ａ）となる。
このように、ブリッジ（２２）で連結された状態でエッチング加工された可変コンデンサー用の部品（２１ａ）は、外形が円形のエッチング部品としては、その真円度が低下したものとなる。また、その表面の平滑な状態が破断の影響で悪化したものとなる。
【０００６】
すなわち、図２に示すように、円形状の部品の円周において、エッチング加工によって形成された部分の円の直径（φ2 ）に比較し、破断によって形成された部分の円の直径（φ3 ）は小さく、その真円度が低下したものとなり、真円度が要求される可変コンデンサー用の部品としては好ましいものではない。
また、図２に示す点線部で折り曲げ破断を行うと、その端部がバリ状となり可変コンデンサー用の部品（２１ａ）の表面又は裏面に突き出し、平滑な面が平滑でなくなり、表面に平滑性が要求される可変コンデンサー用の部品としては好ましいものではない。
【０００７】
従って、このような真円度の低下や、平滑性の悪化を回避するために、可変コンデンサー用の部品をエッチング加工する際にエッチング部品間をブリッジで連結させずに多面付けした状態で得る製造方法を行う場合もある。
図３（イ）〜（ヘ）は、可変コンデンサー用の部品のように、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有するエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工を行う製造方法の一例の説明図である。
【０００８】
図３（イ）に示すように、可変コンデンサー用の部品に加工する板状の材料として、例えば、板厚（ｔ）０．３５ｍｍ程度、大きさ４０ｃｍ×５０ｃｍ程度の金属薄板（３０）を用いる。
先ず、フォトレジストとしてドライフィルムを用い、ドライフィルムを金属薄板（３０）の両面に貼り付けて表面用フォトレジスト層（３３ａ）、裏面用フォトレジスト層（３３ｂ）を形成する。可変コンデンサー用の部品は、多数個の部品を多面付けした状態でエッチング加工を行うものであるが、図３においては多面付け状態の一部分を示した。（φ）は可変コンデンサー用の部品の一個の領域を表し、図１に示す部品の領域を表している。
【０００９】
次に、一回目のパターニングを行う。図３（ロ）は一回目のパターニングが行われた状態を示している。
所定のパターンを有する露光用フォトマスク、例えば、表面露光用フォトマスクとしては、ハーフエッチング部となる部位（３１）及び貫通部となる部位（３５ａ）を遮光部とし、それ以外の部位を光透過部としたものを、また、裏面露光用フォトマスクとしては、ハーフエッチング部となる部位（３２）及び貫通部となる部位（３５ｂ）を遮光部とし、それ以外の部位を光透過部としたものを用い、紫外線の照射によるパターン露光、現像・硬膜処理を行う。
【００１０】
これにより、金属薄板（３０）の表面側には、金属薄板表面のハーフエッチング部となる部位（３１）及び貫通部となる部位（３５ａ）を露出する表面エッチングレジストパターン（３４ａ）が、また、裏面側には、金属薄板表面のハーフエッチング部となる部位（３２）及び貫通部となる部位（３５ｂ）を露出する裏面エッチングレジストパターン（３４ｂ）が形成される（図３（ロ））。
【００１１】
次に、一回目のエッチングを金属薄板（３０）の両面側から行う。
金属薄板（３０）の表面側には、表面エッチングレジストパターン（３４ａ）から露出したハーフエッチング部となる部位（３１）及び貫通部となる部位（３５ａ）をエッチングして所定の深さ（ｔ1 ）を有するハーフエッチング部（１）を形成し、また、金属薄板（３０）の裏面側には、裏面エッチングレジストパターン（３４ｂ）から露出したハーフエッチング部となる部位（３２）及び貫通部となる部位（３５ｂ）をエッチングして所定の深さ（ｔ2 ）を有するハーフエッチング部（２）を形成する。
図３（ハ）は一回目のエッチングが行われた状態を示している。
【００１２】
次に、二回目のパターニング、及び二回目のエッチングを行う。図３（ニ）は二回目のエッチングが行われた状態を示している。
二回目のパターニングは、図３（ハ）及び（ニ）に示すように、一回目のエッチング後に表面エッチングレジストパターン（３４ａ）及び裏面エッチングレジストパターン（３４ｂ）を除去し、新たにドライフィルムを両面に貼り付け、貫通部（３８）となる部位を露出する表面エッチングレジストパターン（３６ａ）及び裏面エッチングレジストパターン（３６ｂ）を形成するものである。
【００１３】
この二回目のパターニングで形成した表面エッチングレジストパターン（３６ａ）及び裏面エッチングレジストパターン（３６ｂ）によって、金属薄板（３０）の表面側の所定の深さ（ｔ1 ）を有するハーフエッチング部（１）及び裏面側の所定の深さ（ｔ2 ）を有するハーフエッチング部（２）は、二回目のエッチングから保護されたものとなる。
次に、二回目のエッチングを金属薄板（３０）の両面側から行い、貫通部（３８）となる部位の金属薄板の厚みを更に薄いものとする（図３（ニ））。
【００１４】
次に、図３（ホ）に示すように、金属薄板（３０）の表面側にバックシート（３７）を貼り付ける。このバックシート（３７）の貼り付けは、この方法ではエッチング部品を連結させるブリッジがないので、三回目のエッチング後にもエッチング部品を多面付けした状態に保つために予め行われるものである。
次に、三回目のエッチングを金属薄板（３０）の裏面側から行い、多面付けされたエッチング部品間に貫通部（３８）を形成する。
続いて、表面エッチングレジストパターン（３６ａ）、裏面エッチングレジストパターン（３６ｂ）、及びバックシート（３７）を剥離除去し、可変コンデンサー用のエッチング部品（３９）を得る。
【００１５】
上記の一例に示すように、可変コンデンサー用のエッチング部品のような、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有するエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工を行う方法は、合計二回のパターニングと三回のエッチングを必要とするため手間がかかり、製造コストがかさむため、エッチング部品としては高価なものとなっている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を鑑みなされたものであり、可変コンデンサー用のエッチング部品のような、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有し、真円度や平滑性が要求されるエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工によって製造する際に、その工程を簡略し、エッチング部品を廉価に製造することのできるエッチング部品の製造方法を提供するこを課題とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有し、一方の面側のハーフエッチング部と他方の面側のハーフエッチング部とが平面視で互いの一部分が重なり合った状態になっているエッチング部品を、ブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工するエッチング部品の製造方法であって、
１）金属薄板の一方の面側に、エッチング部品の表面のハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を露出する表面エッチングレジストパターンを形成し、また、他方の面側に、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位にはエッチング速度調整用のダミーパターンを有し、貫通部となる部位を露出する裏面エッチングレジストパターンを形成するパターニング工程、
２）金属薄板の両面側からエッチングを行い、一方の面側の、ハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を所定の深さにエッチングして、一方の面側にエッチング部品の表面のハーフエッチング部を形成すると同時に、他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位及び貫通部となる部位を、各々の所定の深さの半ばまでをエッチングする第一エッチング工程、
３）金属薄板の一方の面側に、第二エッチング後にエッチング部品を多面付けした状態にて保持するためのバックシートを貼り付ける貼り付け工程、
４）金属薄板の他方の面側からエッチングを行い、金属薄板の他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位を所定の深さにエッチングすると同時に、裏面エッチングレジストパターンから露出した貫通部となる部位をエッチングして貫通部をも形成する第二エッチング工程、
を少なくとも具備することを特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明によるエッチング部品の製造方法の一実施例を詳細に説明する。
図４（イ）〜（ホ）は、本発明によるエッチング部品の製造方法の一実施例を断面で示す説明図である。可変コンデンサー用の部品は、多数個の部品を多面付けした状態でエッチング加工を行うものであるが、図４においては多面付け状態の一部分を示した。（φ）は可変コンデンサー用の部品の一個の領域を表し、図１に示す部品の領域を表している。
【００１９】
可変コンデンサー用の部品を一実施例にしたが、図４（イ）に示すように、加工する板状の材料として、例えば、板厚（ｔ）０．３５ｍｍ程度、大きさ４０ｃｍ×５０ｃｍ程度の金属薄板（４０）を用いる。
フォトレジストとしてＰＶＡ感光液を用い、先ず、ＰＶＡ感光液を金属薄板（４０）の両面に塗布し表面用フォトレジスト層（４３ａ）、裏面用フォトレジスト層（４３ｂ）を形成する。
【００２０】
次に、パターニングを行う。図４（ロ）はパターニングが行われた状態を示している。
所定のパターンを有する露光用フォトマスクを用い、紫外線の照射によるパターン露光、現像・硬膜処理を行ってエッチングレジストパターンを形成する。
金属薄板（４０）の一方の面側に、エッチング部品の表面のハーフエッチング部となる部位（４１）及び貫通部となる部位（４５ａ）を露出する表面エッチングレジストパターン（４４ａ）を形成する。
また、他方の面側に、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位（４２）及び貫通部となる部位（４５ｂ）を露出する裏面エッチングレジストパターン（４４ｂ）を形成する。
ここで、本発明では、ハーフエッチング部となる部位（４２）にエッチングレジストにてエッチング速度調整用のダミーパターン（４４ｃ）を形成している（図４（ロ））。
【００２１】
図５（ａ）、（ｂ）は、図４に（Ｐ）で示す部分のダミーパターン（４４ｃ）の説明図である。図５（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、金属薄板（４０）の他方の面側のエッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位（４２）内にはエッチング速度調整用のダミーパターン（４４ｃ）が形成されている。
本発明によるエッチング部品の製造方法においては、主として金属薄板の他方の面側からのエッチングによって貫通部を形成させるものであり、ハーフエッチング部となる部位（４２）と貫通部となる部位（４５ｂ）が同時にエッチングされても、ハーフエッチング部となる部位（４２）が貫通せず、所定の深さにエッチングされるようにエッチング速度を調整するダミーパターン（４４ｃ）を設けている。すなわち、ダミーパターン（４４ｃ）の存在により、部位（４２）へのエッチング液の接触量が減り、部位（４２）のエッチング量が少なくなるためである。
【００２２】
このダミーパターン（４４ｃ）の平面形状は、点状、格子状などである。直径（φ）２ｍｍ程度のエッチング部品の場合には、点、格子のピッチは０．１〜０．２ｍｍ程度、点直径、線幅は４０〜５０μｍ程度のものであり、適宜選択して用いる。
なお、ハーフエッチング部となる部位（４２）内の、例えば、点状のダミーパターン（４４ｃ）が形成されていない部分（５２）は、金属薄板（４０）の表面が露出した状態になっており、エッチングはこの部分から開始され後述する第二エッチングの際に、所定の深さにエッチングされた時点ではダミーパターン（４４ｃ）の下部の金属薄板部位は両側からエッチングを受けることで除去される。
このため、第二エッチング終了時にはハーフエッチング部（２）の底部に点状のものはなく平滑な状態となる。
【００２３】
表面エッチングレジストパターン（４４ａ）及び裏面エッチングレジストパターン（４４ｂ）の形成後、第一エッチングを金属薄板（４０）の両面側から行う。一方の面側の、表面エッチングレジストパターン（４４ａ）から露出したハーフエッチング部となる部位（４１）及び貫通部となる部位（４５ａ）を所定の深さ（ｔ1 ）にエッチングして、一方の面側にエッチング部品の表面のハーフエッチング部（１）を形成する。
また同時に、他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位（４２）を、その所定の深さの半ば（ｔ3 ）をエッチング（１２）し、裏面エッチングレジストパターン（４４ｂ）から露出した貫通部となる部位（４５ｂ）を、その貫通する深さの半ば（ｔ4 ）をエッチングする。
ダミーパターン（４４ｃ）がハーフエッチング部となる部位（４２）内に設けられているので、ハーフエッチング部となる部位（４２）内のエッチング深さ（ｔ3 ）と貫通部となる部位（４５ｂ）のエッチング深さ（ｔ4 ）は、ｔ3 ＜ｔ4 の関係となる。尚、図４（ハ）は第一エッチング後の状態を示している。
【００２４】
次に、図４（ニ）に示すように、金属薄板（４０）の一方の面側にバックシート（４７）を貼り付ける。このバックシート（４７）の貼り付けは、本発明においてはエッチング部品を連結させるブリッジがないので、第二エッチング後にもエッチング部品を多面付けした状態に保持するために予め行われるものである。
【００２５】
次に、金属薄板（４０）の他方の面側から第二エッチングを行い、金属薄板（４０）の他方の面側の、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部となる部位（４２）を所定の深さ（ｔ2 ）にエッチングして、エッチング部品の裏面のハーフエッチング部（２）を形成する。
同時に、裏面エッチングレジストパターンから露出した貫通部となる部位（４５ｂ）をエッチングして貫通部（４８）を形成する。
続いて、表面エッチングレジストパターン（４４ａ）、裏面エッチングレジストパターン（４４ｂ）、及びバックシート（４７）を剥離除去し、可変コンデンサー用のエッチング部品（４９）を得る。
【００２６】
上記のように、本発明によるエッチング部品の製造方法は、可変コンデンサー用のエッチング部品のような、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有するエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工を行う際に、合計一回のパターニングと二回のエッチングとなり、その製造工程が大幅に短縮されたものとなる。
従って、使用する材料も削減され、このようなエッチング部品を廉価に製造することができる。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、１）金属薄板の一方の面側に、表面エッチングレジストパターンを形成し、他方の面側に、ハーフエッチング部となる部位にはエッチング速度調整用のダミーパターンを有する裏面エッチングレジストパターンを形成するパターニング工程、２）金属薄板の両面側からエッチングを行い、一方の面側に表面のハーフエッチング部を形成し、また、他方の面側の、ハーフエッチング部となる部位を、その所定の深さの半ばをエッチングし、貫通部となる部位の深さの半ばをエッチングする第一エッチング工程、３）金属薄板の一方の面側へのバックシートの貼り付け工程、４）金属薄板の他方の面側からエッチングを行い、裏面のハーフエッチング部となる部位を形成し、また、貫通部を形成する第二エッチング工程、を少なくとも具備する、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有し、一方の面側のハーフエッチング部と他方の面側のハーフエッチング部とが平面視で互いの一部分が重なり合った状態になっているエッチング部品を、ブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工するエッチング部品の製造方法であるので、可変コンデンサー用のエッチング部品のような、金属薄板の両面に所定の深さのハーフエッチング部を有し、真円度や平滑性が要求されるエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工によって製造する際に、その工程を簡略し、エッチング部品を廉価に製造することのできるエッチング部品の製造方法となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、可変コンデンサー用のエッチング部品の一例の説明図である。
【図２】可変コンデンサー用のエッチング部品をブリッジで連結させた状態でエッチング加工をした場合の説明図である。
【図３】（イ）〜（ヘ）は、金属薄板の両面にハーフエッチング部を有するエッチング部品をブリッジで連結させずに多面付けした状態でエッチング加工を行う方法の一例の説明図である。
【図４】（イ）〜（ホ）は、本発明によるエッチング部品の製造方法の一実施例を断面で示す説明図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、ダミーパターンの説明図である。
【符号の説明】
１・・・表面ハーフエッチング部
２・・・裏面ハーフエッチング部
２１ａ、２１ｂ・・・可変コンデンサー用の部品
２２・・・ブリッジ
３０、４０・・・金属薄板
３１、４１・・・表面のハーフエッチング部となる部位
３２、４２・・・裏面のハーフエッチング部となる部位
３３ａ、４３ａ・・・表面用フォトレジスト層
３３ｂ、４３ｂ・・・裏面用フォトレジスト層
３４ａ、３６ａ、４４ａ・・・表面エッチングレジストパターン
３４ｂ、３６ｂ、４４ｂ・・・裏面エッチングレジストパターン
３５ａ、３５ｂ、４５ａ、４５ｂ・・・貫通部となる部位
３８、４８・・・貫通部
３７、４７・・・バックシート
３９、４９・・・可変コンデンサー用のエッチング部品
４４ｃ・・・エッチング速度調整用のダミーパターン
５２・・・点状のダミーパターンが形成されていない部分
Ａ・・・表面ハーフエッチング部と裏面ハーフエッチング部とが重なり合った部分。
φ・・・可変コンデンサー用の部品の直径
ｔ・・・可変コンデンサー用の部品の厚さ
ｔ1 ・・・表面ハーフエッチング部の深さ
ｔ2 ・・・裏面ハーフエッチング部の深さ
【図１】
0003991711.tif 000002
【図２】
0003991711.tif 000003
【図３】
0003991711.tif 000004
【図４】
0003991711.tif 000005
【図５】
0003991711.tif 000006