(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰ（ｘ1）が複数連接され、茶褐色の半透明樹脂を母材とするＴＣＰテープ（Ｘ）を順次間欠送りしつつ各ＴＣＰ（ｘ1）のテストパッド（ｘ4）を半導体集積回路試験装置の測定ピンに接触接続するものであって、ＴＣＰテープ（Ｘ）に照明光を照射して得られる各ＴＣＰ（ｘ1）からの透過光を受光して各ＴＣＰ（ｘ1）のＴＣＰ画像を撮像し、半導体チップ(ｘ3）やパンチ穴（ｘ5）の有無を検出し、ＴＣＰテープ（Ｘ）の移送を制御するＴＣＰ用ハンドラにおいて、
ＴＣＰ（ｘ1）上の半導体チップ（ｘ3）、パンチ穴（ｘ5）についてコントラストの良いＴＣＰ画像を得るように、照明光の強度が切り換えられることにより、母材に対して、照明光の透過率を切り換えられる光源（６Ｂ，６Ｃ）を備えることを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
前記パンチ穴（ｘ5）は、良品と不良品とを識別するための穴であることを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項３】
照明光の切り換えを行う手動設定手段を設けたことを特徴とする請求項１または２に記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項４】
ＴＣＰ（ｘ1）が複数連接され、茶褐色の半透明樹脂を母材とするＴＣＰテープ（Ｘ）に照明光を照射して得られる透過光を受光することによりＴＣＰ画像を取得し、当該ＴＣＰ画像に基づいてＴＣＰ（ｘ1）上の半導体チップ（ｘ3）、パンチ穴（ｘ5）の有無を検出する場合のＴＣＰ用ハンドラに用いられる照明方法であって、
コントラストの良いＴＣＰ画像を得るように、照明光の強度を切り換えることにより、母材に対して、照明光の透過率を切り換えることを特徴とするＴＣＰの照明方法。
【請求項５】
前記パンチ穴（ｘ5）は、良品と不良品とを識別するための穴であることを特徴とする請求項５記載のＴＣＰの照明方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数がテープ状に連接された各ＴＣＰ（tape carrier package）のテストパッドを測定ピンに順次接続させるＴＣＰ用ハンドラ及びＴＣＰの照明方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のようにＴＣＰは、ＴＡＢ（tape automated bonding）技術を用いることによりフィルム上に半導体チップを実装したものであり、実際にプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数が連接されたテープ形態となっている。特開平７−８６３５５号公報には、このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、ＴＣＰテープという）を間欠移送しつつ各ＴＣＰ上のテストパッドを半導体集積回路試験装置（通称、ＩＣテスタ）の測定ピンに接触接続させて動作試験を行うＴＡＢ試験装置が開示されている。このＴＡＢ試験装置は、ＴＣＰテープを間欠移送しつつ各ＴＣＰ上のテストパッドを上記測定ピンに接触接続させるＴＣＰ用ハンドラ（ＴＡＢハンドラとも言う）と、測定ピンを介して半導体チップと信号の授受を行うことにより半導体チップの動作を試験するＩＣテスタ本体とから構成されている。
【０００３】
上記ＴＡＢ試験装置では、撮像カメラを用いてＴＣＰ（ＴＡＢ）を撮影し、撮像カメラの画像データを画像処理することにより半導体チップの有無やマーク穴の有無を高精度に検出し、この検出結果に基づいてＴＣＰテープの間欠移送を制御している。そして、このＴＡＢ試験装置では、撮像カメラを用いてＴＣＰを撮影する際の照明として、ＴＣＰを挟んで撮像カメラと対向配置された光源ボックスを用いている。この光源ボックスは、ＴＣＰ全体を偏りなく照明する大きさの発光面を備えている。撮像カメラは、このような光源ボックスから放射された照明光がＴＣＰを透過して得られる透過光を受光することにより、ＴＣＰの画像を撮影する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ＴＡＢ試験装置のようにＴＣＰからの透過光を受光することによりＴＣＰの画像（ＴＣＰ画像）を取得して半導体チップやマーク穴の有無を検出する手法においては、ＴＣＰ画像のコントラストが低い場合に半導体チップやマーク穴の有無を確実かつ正確に検出し得ないという問題点がある。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、コントラストの高いＴＣＰ画像を得ることにより検出対象物を確実かつ高精度に検出することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第１の手段として、ＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテープを順次間欠送りしつつ各ＴＣＰのテストパッドを半導体集積回路試験装置の測定ピンに接触接続するものであって、ＴＣＰテープに照明光を照射して得られる各ＴＣＰからの透過光を受光して各ＴＣＰのＴＣＰ画像を撮像し、当該ＴＣＰ画像に基づいてＴＣＰテープの移送を制御するＴＣＰ用ハンドラにおいて、ＴＣＰ上の各検出対象物についてコントラストの良いＴＣＰ画像を得るように、検出対象物に応じて照明光を調整する光源を備えるという手段を採用する。
【０００７】
また、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第２の手段として、上記第１の手段において、光源は、検出対象物に応じて照明光の色を切り換えるという手段を採用する。
【０００８】
また、ＴＣＰ用ハンドラに係わる第３の手段として、上記第２の手段において、ＴＣＰ上の半導体チップを検出対象とする場合には、照明光を赤色とするという手段を採用する。
【０００９】
ＴＣＰ用ハンドラに係わる第４の手段として、上記第２または第３の手段において、ＴＣＰ上に形成されたパンチ穴を検出対象とする場合には、照明光を青色とするという手段を採用する。
【００１０】
一方、本発明では、ＴＣＰの照明方法に係わる第１の手段として、ＴＣＰに照明光を照射して得られる透過光を受光することによりＴＣＰ画像を取得し、当該ＴＣＰ画像に基づいてＴＣＰ上の各検出対象物を検出する場合の照明方法であって、コントラストの良いＴＣＰ画像を得るように、検出対象物に応じて照明光を調整するという手段を採用する。
【００１１】
また、ＴＣＰの照明方法に係わる第２の手段として、上記第１の手段において、検出対象物に応じて照明光の色を調整するという手段を採用する。
【００１２】
ＴＣＰの照明方法に係わる第３の手段として、上記第２の手段において、ＴＣＰ上の半導体チップを検出対象とする場合には、照明光を赤色とするという手段を採用する。
【００１３】
ＴＣＰの照明方法に係わる第４の手段として、上記第２または第３の手段において、ＴＣＰ上に形成されたパンチ穴を検出対象とする場合には、照明光を青色とするという手段を採用する。
【００１４】
ＴＣＰの照明方法に係わる第５の手段として、上記第１の手段において、検出対象物に応じて照明光の強度を調整するという手段を採用する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるＴＣＰ用ハンドラ及びＴＣＰの照明方法の実施形態について説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部構成図である。この図において、符号ＸはＴＣＰテープ、１は供給リール、２は収容リール、３Ａ，３Ｂはスプロケット、４はプッシャ、５Ａ〜５ＣはＣＣＤカメラ、６Ａはハロゲンランプ、６Ｂ，６Ｃは２色光源ボックス（光源）、７はパンチユニット、８は画像処理ユニット、９は制御ユニット、１０はモニタテレビである。
【００１７】
ＴＣＰテープＸは、図２に示すように、ＴＣＰｘ1が複数連接されると共に両側にスプロケット孔ｘ2が一列に形成されたものである。各ＴＣＰｘ1は、中央に半導体チップｘ3が搭載されると共に、半導体チップｘ3上の各接続パッドにリードパターンを介して接続された複数のテストパッドｘ4が設けられている。また、各ＴＣＰｘ1には、動作試験の結果に応じてパンチ穴ｘ5が形成される。このパンチ穴ｘ5は、各ＴＣＰｘ1について良品と不良品とを識別するための穴である。
【００１８】
このように形成されたＴＣＰテープＸは、茶褐色の半透明樹脂を母材としており、当該母材上に半導体チップｘ3を搭載すると共に、リードパターンやテストパッドｘ4をパターン形成したものである。なお、上記半導体チップｘ3及びパンチ穴ｘ5は、本実施形態における検出対象物である。
【００１９】
供給リール１は、ＴＣＰテープＸを多重巻回したものであり、スプロケット３Ａ，３Ｂの回転に伴ってＴＣＰテープＸを順次送り出す。収容リール２は、このような供給リール１から送り出されたＴＣＰテープＸを巻き取る。スプロケット３Ａ，３Ｂは、プッシャ４の両側に設けられ、制御ユニット９による制御の下に回転駆動される。各スプロケット３Ａ，３Ｂは、周面に形成された突起をスプロケット孔ｘ2に噛み合わせることによりＴＣＰテープＸを収容リール２側に順次間欠送りする。プッシャ４は、停止状態のＴＣＰテープＸを押圧することにより各ＴＣＰｘ1のテストパッドｘ4をＩＣテスタ本体の測定ピン（図示略）に接触接続させる。
【００２０】
ＣＣＤカメラ５Ｂ，５Ｃは、２色光源ボックス６Ｂ，６ＣからＴＣＰテープＸにそれぞれ照射される照明光の透過光を受光することにより各ＴＣＰｘ1の画像（ＴＣＰ画像）を取得して画像処理ユニット８に出力する。図示するように、本ＴＣＰ用ハンドラでは、３つのＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃを備えている。これらＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃのうち、ＣＣＤカメラ５Ａは、プッシャ４の位置におけるハロゲンランプ６Ａの照明光の反射画像であるＴＣＰ画像を取得するものであり、測定ピンに対するＴＣＰｘ1（正確にはテストパッドｘ4）の位置決め用に設けられている。一方、ＣＣＤカメラ５Ｂ，５Ｃは、ＴＣＰｘ1上における半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5の有無を検出するために設けられている。
【００２１】
２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃは、２色発光機能を有する可視光光源であり、制御ユニット９による制御に基づいて赤色あるいは青色に発光する。図３は、各２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃの外観構成を示す斜視図である。この図に示すように、２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃは、ＴＣＰｘ1を均一な光度で照明するようにＴＣＰｘ1とほぼ同一サイズの発光面６０を備えている。２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃは、ＴＣＰテープＸを挟んでＣＣＤカメラ５Ｂ，５Ｃに対向配置されており、ＴＣＰｘ1の全体領域を均一に照明する。
【００２２】
上記発光面６０は、ＬＥＤ（発光ダイオード）を多数密集配置することにより形成されており、より具体的には赤色光を発光するＬＥＤ（赤色ＬＥＤ）と青色光を発光するＬＥＤ（青色ＬＥＤ）とが互いに隣り合うように交互に配置して形成されている。発光面６０は、赤色ＬＥＤのみが駆動された場合は均一な光度で赤色発光し、一方、青色ＬＥＤのみが駆動された場合には青色に均一発光する。
【００２３】
パンチユニット７は、制御ユニット９の制御に基づいて動作し、ＩＣテスタ本体によるＴＣＰｘ1の動作試験の結果に応じてＴＣＰｘ1にパンチ穴ｘ5を形成する。画像処理ユニット８は、各ＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃから入力されるＴＣＰ画像を画像処理することにより半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5の有無を検出し、この検出結果を制御ユニット９に出力する。制御ユニット９は、画像処理ユニット８の検出結果に基づいてＴＣＰテープＸの移送動作、すなわちスプロケット３Ａ，３Ｂあるいは供給リール１や収容リール２等の動作を制御する。
【００２４】
また、各ＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃは、モニタテレビ１０と接続し、各ＣＣＤカメラ５Ａ〜５ＣによるＴＣＰ画像を切り換える。モニタテレビ１０で、ＴＣＰ画像を確認する。
【００２５】
次に、このように構成されたＴＣＰ用ハンドラの動作について説明する。
【００２６】
本ＴＣＰ用ハンドラでは、ＣＣＤカメラ５Ａが取得したＴＣＰ画像を画像処理ユニット８で画像処理することによりＴＣＰｘ1の位置が検出される。そして、制御ユニット９は、この位置検出結果に基づいてスプロケット３Ａ，３Ｂ等を制御することにより、ＴＣＰｘ1上のテストパッドｘ4がＩＣテスタ本体の測定ピンに正確に接触接続するようにＴＣＰｘ1を位置決めする。
【００２７】
一方、ＣＣＤカメラ５Ｂは、矢印で示すＴＣＰテープＸの移送方向においてＣＣＤカメラ５Ａの上流側に位置するので、動作試験前のＴＣＰ画像を取得する。そして、画像処理ユニット８は、ＣＣＤカメラ５ＢのＴＣＰ画像を画像処理することにより半導体チップｘ3の有無を検出する。制御ユニット９は、この半導体チップｘ3の検出結果に基づいてＴＣＰテープＸの移送を制御することにより、半導体チップｘ3が搭載されているＴＣＰｘ1のみプッシャ４の位置で停止させて動作試験を行わせる。この場合、ＣＣＤカメラ５Ｂに対向する２色光源ボックス６Ｂの発光色は、制御ユニット９によって「赤色」に自動設定されるので、半導体チップｘ3の有無が正確に検出される。
【００２８】
さらに、ＣＣＤカメラ５Ｃは、ＴＣＰテープＸの移送方向においてパンチユニット７の下流側に位置し、パンチユニット７によってパンチ穴ｘ5が形成されたＴＣＰ画像を取得する。そして、画像処理ユニット８は、ＣＣＤカメラ５ＣのＴＣＰ画像を画像処理することによりパンチ穴ｘ5の有無を検出する。制御ユニット９は、このパンチ穴ｘ5の検出結果に基づいて動作試験結果に対応してパンチ穴ｘ5が確実に形成されているか否かを判断する。この場合には、ＣＣＤカメラ５Ｃに対向する２色光源ボックス６Ｃの発光色は、制御ユニット９によって「青色」に自動設定されるので、パンチ穴ｘ5の有無が正確に検出される。
【００２９】
本実施形態によれば、照明光をＴＣＰテープＸの茶褐色の母材に対して透過率が高い赤色光あるいは透過率が低い青色光に自動設定することにより、半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5を高精度かつ確実に検出することができる。しかし、本発明は、上記半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5の検出に限定されることなく、ＴＣＰｘ1上の各種検出対象を検出するために応用することができる。
【００３０】
また、本発明は、ＴＣＰテープＸの母材に対して透過率が高い光と透過率が低い光とを切り換え設定することを趣旨とするものなので、照明光の色は赤色及び青色に限定されるものではない。例えば母材の変更等により透過率が高い光及び透過率が低い光が赤色及び青色以外の他の色となり得ることが考えられる。
【００３１】
さらに、ＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃによる半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5の検出では、半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5の検出領域をモニタテレビ１０でオペレータが確認してから個別に設定し、各検出領域のみの画像処理あるいはモニタリングによって半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5を検出する。このような検出領域の設定作業では、オペレータがＣＣＤカメラ５Ａ〜５Ｃの各ＴＣＰ画像をモニタで視認しながら検出領域を指定するので、例えば、半導体チップｘ3に関する検出領域を設定する場合には照明光を赤色とすることにより、半導体チップｘ3を容易に視認することができる。また、パンチ穴ｘ5に関する検出領域を設定する場合は、照明光を青色とすることによりパンチ穴ｘ5を容易に視認することができる。
なお、照明光の切り換えは、手動設定も可能にできる。
【００３２】
〔追加事項〕
上記実施形態では光源として、２色発光機能を有する２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃを用いることにより、検出対象物に応じて照明光の色を赤／青に切り換えるように構成したが、この照明光の色の変更に加えて、あるいは当該照明光の色の変更に代えて、照明光の強度を最適化することによりＴＣＰｘ1上の半導体チップｘ3やパンチ穴ｘ5についてコントラストの良いＴＣＰ画像を得るようにしても良い。
【００３３】
例えば、上記実施形態における２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃを用いる場合は、２色光源ボックス６Ｂの発光色を「赤色」に設定し、かつ、この赤色光の強度をＣＣＤカメラ５Ｂが撮影する半導体チップｘ3のＴＣＰ画像が最もコントラストが良くなる強度に設定すると共に、２色光源ボックス６Ｃの発光色を「青色」に設定し、かつ、この青色光の強度をＣＣＤカメラ５Ｃが撮影するパンチ穴ｘ5のＴＣＰ画像が最もコントラストが良くなる強度に設定する。
【００３４】
一方、上記２色光源ボックス６Ｂ，６Ｃに代えて、単一色の照明光を発光する光源６Ｂ’，６Ｃ’を用いる場合には、光源６Ｂ’の照明光の強度をＣＣＤカメラ５Ｂが撮影する半導体チップｘ3のＴＣＰ画像が最もコントラストが良くなる強度に設定すると共に、光源６Ｃ’の照明光の強度をＣＣＤカメラ５Ｃが撮影するパンチ穴ｘ5のＴＣＰ画像が最もコントラストが良くなる強度に設定する。
【００３５】
このような照明光の強度調節は、例えば制御ユニット９によって上記各種光源から出射される照明光の強度を段階的に順次切り替えると共に、各強度におけるＴＣＰ画像のコントラストを画像処理ユニット８によって検出し、このコントラストが最良になる照明光の強度を検出することにより実現される。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ＴＣＰ上の各検出対象物についてコントラストの良いＴＣＰ画像を得るように、検出対象物に応じて照明光を調節するので、各種検出対象を高精度かつ確実に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係わるＴＣＰ用ハンドラの要部構成図である。
【図２】  本発明の一実施形態におけるＴＣＰテープの正面図である。
【図３】  本発明の一実施形態における２色光源ボックスの斜視図である。
【符号の説明】
Ｘ……ＴＣＰテープ
ｘ1……ＴＣＰ
ｘ2……スプロケット孔
ｘ3……半導体チップ
ｘ4……テストパッド
ｘ5……パンチ穴
１……供給リール
２……収容リール
３Ａ，３Ｂ……スプロケット
４……プッシャ
５Ａ〜５Ｃ……ＣＣＤカメラ
６Ａ……ハロゲンランプ
６Ｂ，６Ｃ……２色光源ボックス（光源）
６０……発光面
７……パンチユニット
８……画像処理ユニット
９……制御ユニット
１０……モニタテレビ
【図１】
0003952494.tif 000002
【図２】
0003952494.tif 000003
【図３】
0003952494.tif 000004