(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、予め基板内周部を遮蔽する遮蔽部材が搭載されたスパッタ装置において、前記遮蔽部材に半径方向へ摺動可能な突出部材が内蔵され、該突出部材が所定の制御信号により凹凸パターンを為して、所定の遮蔽パターンを形成することを特徴とするスパッタ装置。
【請求項２】
光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、予め基板内周部を遮蔽する遮蔽部材が搭載されたスパッタ装置において、前記遮蔽部材に、基板に連通する複数の貫通孔を有し、更に、それら貫通孔には所定の制御信号により連通を妨げる開閉機構が設けられた遮蔽部材を有することを特徴とする請求項１記載のスパッタ装置。
【請求項３】
光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、成膜する基板の固有情報から所定の遮蔽パターンを生成し、そのパターン信号により遮蔽部材を制御する制御装置を有することを特徴とする請求項１記載のスパッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクの製造方法、及び、該光ディスクの製造方法に使用して好適なスパッタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年の光ディスクの普及に伴い、その生産量の増加も著しく、この状況は、生産者に対し、管理体制の強化を強いることとなった。再生専用あるいは記録再生用光ディスクの生産においては、各生産品の品種，生産日，ロッドナンバー等を管理しなければならない。このため、
▲１▼生産品の元型に相当するスタンパ内周部に数字あるいはバーコードによって記録されている情報の素性を示す情報を形成し管理する手法、或いは、
▲２▼基板毎にインクジェットプリンタ等によりナンバリングを行い生産日やロッドナンバー管理を行う手法等が一般的に採用されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の手法では、
▲１▼スタンパに情報を形成する場合、固定された情報しか形成できず、基板固有情報が記録できない。
▲２▼プリンタによるナンバリングをする場合、生産ライン上にナンバリング用のステージ（工程）が必要である。また、情報の改竄が容易に可能である等の問題を有していた。
【０００４】
更に、現在の光ディスクの一部には複製を制限する機能がなく、違法な複製品が容易に作製されている。このため、特開平９−５１４８９９号公報では、基板固有の個別情報を基板毎に付与し、その個別情報を利用して違法な複製を防止することを実現している。しかしながら、この方法では、個別情報を表す、バーコードを形成する専用ステージを生産ライン中に設ける必要がある、あるいは、バーコードの形成中に、ダストを生じる危険性があった。
【０００５】
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
▲１▼従来の光ディスク生産ラインに新たな工程を付加することなく、
▲２▼光ディスク基板に固有の生産管理情報を形成することができ、
▲３▼また、この固有情報にはその基板に記録されている情報の複製に関する情報あるいは制約も記録することができ、
▲４▼各光ディスク固有の情報を付与する手段としては、スパッタ工程の際に用いる内周遮蔽部材に所定のパターンを形成するだけで達成することができ、
▲５▼更に、この内周遮蔽部材は複数の遮蔽円盤により構成されており、これら遮蔽円盤の組み合わせにより所定の遮蔽パターンを形成し、成膜完了後には回収再利用することができ、大量に生産される光ディスク基板それぞれに対応する遮蔽部材を準備する必要がなく、
▲６▼スパッタ装置の基板投入空間に余裕がある生産ラインにおいては、スパッタ装置内の内周遮蔽部材にバーコード生成機構を組み込むことで、基板投入時のロボット作業量を軽減することができ、
▲７▼また、バーコード形態以外の基板管理情報にも対応が可能であり、
▲８▼スパッタ装置内の遮蔽部材の遮蔽パターン制御は、スパッタ装置に組み込まれた制御装置により制御され、完全に全自動運転を可能とし、
▲９▼更に、これらの手法により製造された光ディスク基板には、基板に記録されている情報の複製に関する情報あるいは制約が記録され、これより違法に複製品を作ることを防止することができるようにしたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、予め基板内周部を遮蔽する遮蔽部材が搭載されたスパッタ装置において、前記遮蔽部材に半径方向へ摺動可能な突出部材が内蔵され、該突出部材が所定の制御信号により凹凸パターンを為して、所定の遮蔽パターンを形成することを特徴としたものである。
【００１０】
請求項２の発明は、光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、予め基板内周部を遮蔽する遮蔽部材が搭載されたスパッタ装置において、前記遮蔽部材に、基板に連通する複数の貫通孔を有し、更に、それら貫通孔には所定の制御信号により連通を妨げる開閉機構が設けられた遮蔽部材を有することを特徴としたものである。
【００１１】
請求項３の発明は、光ディスクの製造過程で、情報記録面から情報の再生あるいは記録再生を行うための金属膜を形成する工程において、前記金属膜を形成するのに使用するスパッタ装置であって、成膜する基板の固有情報から所定の遮蔽パターンを生成し、そのパターン信号により遮蔽部材を制御する制御装置を有することを特徴としたものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明により製造された光ディスク基板の一例を示す図で、図中、１０は光ディスク基板を示し、該基板１０の最内周部の一部に、反射膜あるいは記録膜（以下金属膜）１１の有る部分と無い部分１２からなるパターン１３が形成されている。このパターン１３は、バーコード情報の形態を有しており、所定の再生装置で読み取り可能である。このバーコード情報（パターン）１３には、例えば、再生専用メディアでは、記録されている情報の内容やスタンパのロッドナンバーの共通情報の他に、生産日やメディアのシリアルナンバー等の基板個別情報が記録されている。更に、そのメディアに許されている複製の制約、例えば、許可，不許可の情報も記録されている。なお、このバーコード情報が記録されている領域を、一般の再生装置でもアクセスできる領域に設定すれば、コピーガードとしての機能を有する光ディスクメディアとなる。当然のことながら、このコピーガード機能は前述の再生装置のみならず、一般の記録再生装置でも機能する。
【００１６】
図２は、図１に示した光ディスク基板を作製する製造装置の一例を説明するための図で、成膜ステージに投入される直前の基板キャリアプレートの模式図である。基板キャリアプレート２１には、まず、情報のディスク基板２２が載置され、次に、本発明による所定の遮蔽パターン２３ａが刻まれた遮蔽部材２３が載置され、その上部に、これら２部材を固定する押さえ部材２４が載置される。この遮蔽部材２３は、予め準備された部材であり、各基板毎に所定のパターンを有する遮蔽部材が供給されてくる。
【００１７】
図３は、遮蔽部材２３の一例を示す図で、この遮蔽部材２３は、複数の円盤、図示例の場合、２３1，２３2の２枚の遮蔽部材により構成されている。これら遮蔽円盤には決まった遮蔽パターン２３Ａ，２３Ｂが施されており、これらのパターンの組み合わせにより所定の遮蔽パターンを形成している。一連の成膜工程が完了し、基板キャリアプレート２１から外された、これら遮蔽部材（円盤群）２３1，２３2は、回収され、その後のパターン形成へと再利用される。
【００１８】
図４は、本発明による光ディスクの製造に用いられるスパッタ装置に搭載されている基板内周部の遮蔽部材の概略図である。この遮蔽部材２５には半径方向に突出自在な部材が組み込まれており、別に設置されたバーコード情報生成装置から送られてくる制御信号により突出する部分と突出しない部分とが決定される（４（Ａ）に斜視図，４（Ｂ）にバーコード突出時の正面図を示す）。この遮蔽部材２５から突出した部分２５ａは中心部の遮蔽部材と共に、所定の情報を含む遮蔽パターンを形成する。この遮蔽部材２５で通常の成膜工程を経ることで前述した光ディスク基板を得ることができる。
【００１９】
図５は、本発明による光ディスクの製造に用いられるスパッタ装置に搭載されている基板内周部の遮蔽部材の概略図である。この遮蔽部材２６の外周部には成膜すべきディスク基板と連通する複数の貫通孔２６ａが設けられている。これら貫通孔２６ａにはその連通を遮る開閉機構が組み込まれており、別に設置されたメディア情報生成装置から送られてくる制御信号によりそれら貫通孔２６ａの開閉を制御している。
【００２０】
図６は、図５に示した遮蔽部材２６により製造された光ディスク基板を示し、この図６から明らかなように、基板内周部には各種の基板情報を含んだ反射率変動パターン１３が形成され、前述のバーコード情報と同様に扱うことができる。
【００２１】
以上の方法により製造された光ディスク基板には、その基板固有の生産管理情報の他に、その基板に記録されている情報の複製に関する制限も記録されていることから、コピーガード情報として機能する。
【００２２】
【発明の効果】
上述のように、本発明によれば、
従来の光ディスク生産ラインに新たな工程を付加することなく、光ディスク基板に固有の生産管理情報を形成することができる。また、この固有情報にはその基板に記録されている情報の複製に関する情報あるいは制約も記録することができる。
【００２３】
各光ディスク固有の情報を付与する手段としては、スパッタ工程の際用いる内周遮蔽部材に所定のパターンを形成するだけで達成することができる。
【００２４】
更に、この内周遮蔽部材は複数の遮蔽円盤により構成されており、これら遮蔽円盤の組み合わせにより所定の遮蔽パターンを形成し成膜完了後には回収再利用することから、大量に生産される光ディスク基板それぞれに対応する遮蔽部材を準備する必要がない。
【００２５】
また、スパッタ装置の基板投入空間に余裕がある生産ラインにおいては、スパッタ装置内の内周遮蔽部材にバーコード生成機構を組み込むことで、基板投入時のロボット作業量を軽減することができる。
また、バーコード形態以外の基板管理情報にも対応が可能である。
【００２６】
スパッタ装置内の遮蔽部材の遮蔽パターン制御は、スパッタ装置に組み込まれた制御装置により制御されており、完全に全自動運転を可能としている。
【００２７】
上述の手法により製造された光ディスク基板には、基板に記録されている情報の複製に関する情報あるいは制約が記録されているので、違法に複製品を作ることを防止することできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明により作製された光ディスク基板の一例を示す図である。
【図２】  本発明によるバーコード情報の形成方法の一例を説明するための概要図である。
【図３】  本発明による遮蔽部材の一例を説明するための図である。
【図４】  本発明によるスパッタ装置内蔵の内周遮蔽部材の一例を説明するための図である。
【図５】  本発明によるスパッタ装置内蔵の内周遮蔽部材の他の例を説明するための図である。
【図６】  図５に示した遮蔽部材を用いて作成された光ディスク基板を示す図である。
【符号の説明】
１０…光ディスク基板、１１…記録膜（金属膜）、１３…コードパターン、２１…基板キャリアプレート、２２…ディスク基板、２３，２５，２６…遮蔽部材、２３ａ，２５ａ…遮蔽パターン、２４…押え部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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