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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
方向性珪素鋼板を製造する際に、その脱炭焼鈍前の鋼板をアルカリ脱脂を行う鋼板洗浄後に、珪酸塩を含む溶液中で少なくとも２極以上からなる交番電解で、かつ最終極での鋼板の極性を負極として電解し、次いで脱炭焼鈍後に MgOを主体とする焼鈍分離剤を塗布し、仕上焼鈍に供することを特徴とする方向性珪素鋼板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、均一かつ密着性の優れたフォルステライト被膜を有する方向性珪素鋼板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
方向性珪素鋼板は主として変圧器、発電器の鉄心材料として使用されるが、磁気特性、絶縁被膜特性が優れていることが重要である。
一般に方向性珪素鋼板はSiを約３％含有する珪素鋼材を熱間圧延し、必要に応じて熱延焼鈍し、中間焼鈍をはさむ２回の冷間圧延で仕上げ厚みの冷延板を得、次に脱炭焼鈍を施した後に、 MgOを主体とする焼鈍分離剤を塗布し、仕上焼鈍を施してゴス方位を有する２次再結晶を発現させ、さらにＳ、Se、Ｎなどの不純物を除去するとともにフォルステライト被膜を生成させ、さらに平坦化焼鈍および絶縁コーティングを施して製造される。
【０００３】
このとき、均一性と密着性のよいフォルステライト被膜を形成する方法としては、特開昭50−71526 号公報に脱炭焼鈍前に最終冷延板の表面層を３ｇ／ｍ2 以上除去するように酸洗し、表面付着物と地鉄表層部を除去し、脱炭反応およびSiO2を主体とした酸化物形成反応をむらなく進行させる方法が開示されている。また特開昭61−96062 号公報では脱炭焼鈍前に鋼板表面をアランダム砥粒等を含む軟材質からなる研削材で、滑らかになるよう研削し、同時に付着物酸化物、汚れを除去し、平滑なSiO2等の酸化膜を形成する方法が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらの方法によれば、脱炭焼鈍前の表面清浄化あるいは平滑化により、それなりの被膜改善効果が奏されるであろうが、一方、過度の表面平滑化により、脱炭焼鈍時に形成されるサブスケール量が、過少となる場合には仕上焼鈍時のフォルステライト形成が不十分となり、エッジ部で黒模様を生じたり密着性を損なう場合がある。通常、仕上焼鈍はバッチ焼鈍（箱焼鈍）されるが、コイル中巻下部では温度上昇が遅れ、ガス流通性も悪いため、脱炭焼鈍時に形成されるサブスケール量が過少となる場合にはこのような現象が起こりやすい。
【０００５】
本発明では、まず必要量のサブスケールを仕上焼鈍前の鋼板に形成せしめ、鋼板全面にわたり外観の均一かつ密着性の良好なるフォルステライト被膜を有する方向性珪素鋼板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、方向性珪素鋼板を製造する際に、その脱炭焼鈍前の鋼板をアルカリ脱脂を行う鋼板洗浄後に、珪酸塩を含む溶液中で少なくとも２極以上からなる交番電解で、かつ最終極での鋼板の極性を負極として電解し、次いで脱炭焼鈍後に MgOを主体とする焼鈍分離剤を塗布し、仕上焼鈍に供することを特徴とする方向性珪素鋼板の製造方法である。
【０００７】
【作用】
本発明によれば、脱炭焼鈍前の鋼板をアルカリ脱脂を行う鋼板洗浄後に珪酸塩を含む溶液中で、少なくとも２極以上からなる交番電解で、かつ最終極での鋼板の極性を負極で電解することにより、
（１）鋼板表面の珪素化合物電着量を電気量密度の変更により容易に制御せしめ、脱炭焼鈍時に生成するサブスケール量を雰囲気の酸化性一定のもとでも変化させ得る。
（２）図２に示すように最終極での鋼板の極性を正極とするよりも最表面のSi量が多い。図２はオージェ分光分析の結果である。この表層Si富化効果により脱炭焼鈍時のサブスケール形成および仕上焼鈍時のフォルステライト被膜形成を促進、安定化させるものと考えられる。
（３）また、図３に示すように交番電界とすることにより、効率よく鋼板表面の珪素化合物電着量を増加させ得る。この図で電極数０は板を負極とし直接通電した場合を示している。
【０００８】
そして、 MgOを主体とする焼鈍分離剤塗布後、仕上箱焼鈍を行い、コイル下部の黒模様長さ発生率とコイル下部 100mmの位置での被膜密着性を比較すると、鋼板の最終極性を負極とし、脱炭焼鈍後酸化物量の多い方が被膜均一性・密着性が改善される結果となった。
【０００９】
【実施例】
重量％で、Ｃ：0.045 ％、Si：3.30％、Mn：0.075 ％、Se：0.018 ％、Sb：0.025 ％を含有し、残部がFeと不可避的不純物からなる珪素鋼スラブより公知の方法で最終冷延まで行い、アルカリ脱脂と軽酸洗の後、界面活性剤を微量添加した３％オルソケイ酸ナトリウム液中で４対の電極で２秒間、電気量密度を０〜６Ｃ／dm2 で電解し、次いで水蒸気分圧と水素分圧の比（PH2O／ PH2）が0.54の雰囲気で脱炭焼鈍を行った。
【００１０】
図１には、鋼板の極性が＋−＋−と最終極性が負極の場合と、−＋−＋と最終電極が正極の場合を示すが、負極の場合の方が電気量密度の増加により電着Si量が増加して、脱炭焼鈍後の酸化物量が増加していることが分かる。電着Si量は蛍光Ｘ線分析により、脱炭焼鈍後の酸化物量は化学分析により求めた。
図１より分かるように、本発明の実施例の場合、仕上焼鈍後のコイル下部の黒模様発生率が減少しており、また剥離を生じない限界曲げ径も向上している。黒模様はフォルステライト被膜がポーラスな結果であり、鉄損劣化につながる。また、フォルステライト被膜が剥離すると導通しやすくなり、渦電流が生じ、これまた鉄損劣化の原因となる。
【００１１】
【発明の効果】
本発明は、脱炭焼鈍前の鋼板をアルカリ脱脂を行う鋼板洗浄後に珪酸塩を含む溶液中で最終極での鋼板の極性を負極とすることにより、鋼板表面の珪素化合物電着量を容易に増加せしめ、電気量密度の制御により脱炭焼鈍時に生成するサブスケール量を必要量確保し、仕上焼鈍時のフォルステライト形成を安定させ、均一性、密着性の優れた方向性珪素鋼板の製造が可能となった。また本発明では、交番電解することにより効率よく鋼板表面の珪素化合物電着量を制御でき生産性の向上にも寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】電気量密度の増加により、鋼板の最終極性を負極とすることにより鋼板表面の電着Si量が増加し、脱炭焼鈍時の酸化物量が増加し、仕上焼鈍後の被膜均一性、密着性が向上することを示すグラフ。
【図２】同一電気量密度において鋼板最終極性の負極の方が最表面のSi強度が大きいことを示すグラフ。
【図３】交番回数の多い方が電着Si量は増加しやすいことを示すグラフ。
【図１】
0003931350.tif 000002
【図２】
0003931350.tif 000003
【図３】
0003931350.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状に沿った微細な凹凸形状からなる潜像パターンを視認すべく眺める方向と垂直となる領域の線幅を他の領域の線幅より大きくした潜像パターンを設けたことを特徴とする偽造防止パターン。
【請求項２】
請求項１に記載の偽造防止パターンを、有価証券のいずれかの場所に形成したしたことを特徴とする有価証券。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紙幣、株券、商品券、宝くじ等の有価証券に施されている偽造防止手段の１つである潜像パターンに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
偽造防止手段として、ホロクラムを有価証券に貼り付けたり、紙に透かし模様を入れたり、視認する位置によって像が表示される潜像パターン、複写で再現できないマイクロ文字、細紋を印刷したり、蛍光インキ、赤外吸収インキ、ＵＶインキ等を用いて印刷する等の各種の方法が複合的に施されている。
【０００３】
この偽造防止手段の１つである潜像パターンは、図３に示すように、他の偽造防止手段とともに有価証券（１０）の一部分に設けられている。この有価証券を真上方向から見ると、図４（ａ）のように単なる細紋（１１）の模様とでして認識できないが、この部分に微細な凹凸形状で潜像パターン（１２）を形成しておくと、有価証券を傾けたり或いは視点方向を移動させると、凹凸による影が生じて図４（ｂ）のように潜像パターン（１２）が浮かび上がり、認識できるようになる。
【０００４】
潜像パターンとして、図５に示すように「Ｔ」の文字を例にとって説明する。
例えば、文字「Ｔ」パターンの領域内は横（水平）方向の線状に沿って微細な凹凸形状（１３）にし、文字「Ｔ」パターンの領域外は縦（垂直）方向の線状に沿って微細な凹凸形状（１４）に成形されている。
【０００５】
この図５（ａ）及び図１（ａ）に図示した潜像パターンを、紙面に対して上下方向に傾けて観察すると、図１（ｂ）に示す如く、縦（垂直）方向に圧縮された潜像パターンとなって視認されてしまう。
例えば、図１（ａ）において、潜像パターンの各寸法の比率、ＡＹ：ＡＴ＝１：１．５、ＬＴ：ＬＹ＝１：１となっていた場合、図１（ｂ）に示す如く、傾けて視認される潜像パターンの各寸法の比率、ＡY´：ＡＴ´＝１：１、ＬＴ´：ＬＹ´＝０．７：１となり、縦（垂直）方向に縮んだ形で視認される。
従って、視認された潜像パターンは歪んだものとなってしまう。
【０００６】
従来、このように歪んで視認されることを防止するために、予め潜像パターン全体の横／縦の比率（上記例に於けるＡＹ／ＡＴ）は、縮む量を見込んで潜像パターンを作製していた。しかし、線幅の比率（上記例に於けるＬＴ／ＬＹ）に関しては考慮して作製されておらず、横方向の線幅（ＬＴ´）が細くなって視認されてしまう。これでは、最適な潜像パターンとは言い難く、又、線が細ってしまい視認し難くなると言う問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上のような問題点に着目してなされたもので、視認時において、歪みが無く、且つ、視認が易い最適な潜像パターンが得られる偽造防止パターンを提供することを課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は、線状に沿った微細な凹凸形状からなる潜像パターンを視認すべく眺める方向と垂直となる領域の線幅を他の領域の線幅より大きくした潜像パターンを設けたことを特徴とする偽造防止パターンである。
【０００９】
また請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の偽造防止パターンを、有価証券のいずれかの場所に形成したしたことを特徴とする有価証券である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１１】
図２は、図１を用いて説明したように、視認すべく眺める方向と垂直となる領域の線幅、すなわち、横方向の線幅（ＬＴ）を大きくした潜像パターンを示すものである。
【００１２】
横方向の線幅を大きくする方法としては、潜像を形成している凹凸形状の本数を多くすることで実現できる。
【００１３】
上記の例のように、傾けて潜像パターンを視認した場合において、横方向の線幅（ＬＴ）が、縦方向の線幅（ＬＹ）に対して０．７に縮小されて視認されるならば、図２（ａ）に示すように横方向の線幅（ＬＴ）を１．４３倍（１／０．７）の大きさに拡大して潜像を形成する。
【００１４】
このように形成された潜像は、図２（ｂ）に示すように、傾けて潜像を視認した際、ＬＴ´：ＬＹ´≒１：１で通常の変形されない文字パターンとして視認される。
【００１５】
上記の例として、文字「Ｔ」パターンの領域内は横（水平）方向の線状に沿って微細な凹凸形状を、文字「Ｔ」パターンの領域外は縦（垂直）方向の線状に沿って微細な凹凸形状を成形していたが、逆に、文字「Ｔ」パターンの領域内は縦（垂直）方向の線状に沿って微細な凹凸形状を、文字「Ｔ」パターンの領域外は横（水平）方向の線状に沿って微細な凹凸形状を成形しておいても構わない。
【００１６】
この潜像を形成するには、透明インキをインキ被膜が大きい凹版印刷方式、或いはスクリーン印刷方式でインキ被膜層によって凹凸形状を形成したり、金型に用いてプレス方式で紙等の有価証券基材に直接で凹凸形状を形成する通常の方法が用いられる。この凹凸形状のピッチは５〜２０本／mm程度、凹凸の高低差は１０〜３０μｍ程度である。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、潜像パターンを視認すべく眺める方向と垂直となる領域の線幅を他の領域の線幅より大きくした潜像パターンとしたことにより、視認時において、歪みが無く、且つ、視認が易い最適な潜像パターンが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の潜像パターンを説明する１例であり、（ａ）は潜像パターン、（ｂ）は視認される潜像パターンを示す平面図である。
【図２】本発明の潜像パターンを説明する１例であり、（ａ）は潜像パターン、（ｂ）は視認される潜像パターンを示す平面図である。
【図３】有価証券に潜像パターンを施した平面図である。
【図４】図３の細紋部に潜像パターンを施した例を示し、（ａ）は細紋パターン、（ｂ）は細紋部に潜像パターンを示した平面図である。
【図５】潜像パターンの構成を示し、（ａ）は潜像パターンの全体、（ｂ）は（ａ）の（イ）部のＸ−Ｘ部に於ける拡大断面図、（ｃ）は（ａ）の（ロ）部のＹ−Ｙ部に於ける拡大断面図、をそれぞれ示す。
【符号の説明】
１０…有価証券
１１…細紋
１２…潜像パターン
１３、１４…凹凸形状
【図１】
0003931557.tif 000002
【図２】
0003931557.tif 000003
【図３】
0003931557.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003931557.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
食品を収納する加熱室と、マイクロ波を発振するマグネトロンと、このマグネトロンから発振するマイクロ波を前記加熱室に導く導波管と、前記加熱室内に設けられた回転アンテナと、この回転アンテナを回転させる駆動モータと、を備えた高周波加熱装置において、前記導波管内のマイクロ波の入射信号と反射信号を検知するマイクロ波検知装置を前記導波管に設置し、前記マイクロ波検知装置により検知された前記駆動モータの回転角度毎のマイクロ波の入射信号と反射信号に基づき所定の回転角度を演算し、この回転角度においては他の回転角度に比べて長く前記回転アンテナの回転を停止させるようにしたことを特徴とする高周波加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波を利用して食品を加熱する高周波加熱装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の高周波加熱装置においては、例えば特開２０００−２５７８７３号公報に見られるように、食品載置用回転体が一回転する間において、入力電流あるいは入力電力が最大となる位置で回転体を停止させ、回転体上の食品にマイクロ波を集中照射して、加熱効率を高めようとしたものが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の技術では、食品載置用回転体が一回転する間の入力電流あるいは入力電力が最大となる位置で回転体を停止させ食品を加熱するようになっている。しかし、入力電流、入力電力が最大の場合、回転体の位置が必ずしも食品に最大のマイクロ波が照射され加熱されるとは言えず、入力電流や入力電力の値からでは食品が効率よく加熱されないという問題点があった。さらに、回転体を停止してしまうと極端な加熱むらが生じるという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために本発明では、食品を収納する加熱室と、マイクロ波を発振するマグネトロンと、このマグネトロンから発振するマイクロ波を前記加熱室に導く導波管と、加熱室内に設けられた回転アンテナと、この回転アンテナを回転させる駆動モータと、を備えた高周波加熱装置において、導波管内のマイクロ波の入射信号と反射信号を検知するマイクロ波検知装置を導波管に設置し、マイクロ波検知装置により検知された駆動モータの回転角度毎のマイクロ波の入射信号と反射信号に基づき所定の回転角度を演算し、この回転角度においては他の回転角度に比べて長く回転アンテナの回転を停止させるようにしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例について図面を参照して説明する。
図１は高周波加熱装置の要部の断面図で、１は食品である。２は食品１を加熱する加熱室である。３はテーブルプレートで、加熱室２の下部に、加熱室２の底面との間に空間２ａを横成するために設けられていると共に、加熱する食品１を戴置するものである。４は回転アンテナで、テーブルプレート３と加熱室２の底面との間の空間２ａに設けられ回転自在とし、食品１の加熱を制御するものである。
【０００６】
５はマイクロ波を発振するマグネトロンである。６は導波管で、加熱室２の底面外部に設けられ、マグネトロン５で発生したマイクロ波を加熱室２へ導くものである。７は導波管６の長辺面に設置したマイクロ波の動作情報を検出するマイクロ波検知装置である。８は駆動モータで、導波管６の下部外側に設けられ、加熱室２と導波管６に設けられた開口２ｂを貫通する駆動軸８ａを有し、その上端に回転アンテナ４を固定し、回転アンテナ４を回転自在にしている。この駆動モータ８は回転角度の制御が可能な、例えばステッピングモータなどである。前記開口２ｂと駆動軸８ａは同軸伝送路を構成しており導波管６から加熱室２へマイクロ波を送り込むようになっている。
【０００７】
９は制御演算装置で、マイクロ波検知装置７で検出したマイクロ波の信号の動作情報を基に演算し、この演算で得られた情報を基に駆動モータ８の動作を制御するところである。
【０００８】
次に、上記構成からなる本実施例の動作について説明する。
テーブルプレート３に食品１を載せ、加熱をスタートするとマグネトロン５が発振し、導波管６から開口２ｂを経て回転アンテナ４がある空間２ａに達する。また、加熱スタートと同時に駆動モータ８も動作し回転アンテナ４が回転する。そしてマイクロ波は回転アンテナ４により拡散され、テーブルプレート３を透過し食品１を加熱する。
【０００９】
一方、マイクロ波検知装置７においても加熱スタートと同時に駆動モータ８の回転角度毎のマイクロ波の入射信号や反射信号を取り込み、制御演算装置９へ送信され、ここで反射係数Γもしくは電圧定在波比ρが計算され、この値の最小値を基準とした小さな値を複数選ぶ。例えば図２は、回転アンテナ４が一回転したときの回転角度と反射係数Γの関係を表したものであるが、この図２における最小値であるＡ点および小さな値であるＢ点とＣ点を求め、制御演算装置９にそれぞれの位置が記憶される。そしてＡ、Ｂ、Ｃ各点のそれぞれの位置で回転アンテナ４が、例えば十秒間ずつ停止するよう制御演算装置９により駆動モータ８を制御し、回転アンテナ４を停止させ食品１の加熱を続ける。
【００１０】
この回転アンテナ４の停止の動作は食品１の形状、重さ、加熱時間などに応じて変わるものである。例えば回転アンテナ４のＡ、Ｂ、Ｃ各点での停止時間は、反射係数Γもしくは電圧定在波比ρの値の小さい順に停止時間を長く配分するなどしている。また、停止する回数も加熱時間の長さにより変わるよう予め設定される。
【００１１】
そして定められた温度もしくは時間に達すると加熱は終了する。
【００１２】
このように、マグネトロン５から発振したマイクロ波から反射係数Γもしくは電圧定在波比ρを求め、この値から回転アンテナ４の停止位置を決定し、回転アンテナ４を停止させ食品１を加熱させることにより、食品１の量や形状および置く位置が変わっても、効率良くかつ、むらなく加熱することができる。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、加熱する食品の量や形状および置く位置が変わっても、効率良くかつ、むらなく加熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の高周波加熱装置の一実施例を示す要部断面図である。
【図２】回転アンテナが一回転したときに得られる回転アンテナの回転角度と反射係数との関係を表した図である。
【符号の説明】
１・・食品
２・・加熱室
３・・テーブルプレート
４・・回転アンテナ
５・・マグネトロン
６・・導波管
７・・マイクロ波検知装置
８・・駆動モータ
９・・制御演算装置
【図１】
0003931091.tif 000002
【図２】
0003931091.tif 000003
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、光源からの照射光が斜め下方に照射するようにする制光体と、制光体で拡散される拡散光の通路を形成する傾斜板とからなる足元灯であって、制光体は光源の前面に装着されるスリットまたはレンズであり、傾斜板は拡散光の下方であって且つ拡散光の領域外に設けられ、拡散光の照射方向に沿って傾斜していることを特徴とする足元灯。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は、壁面に取り付けられて足元を照射する足元灯に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は、従来の足元灯を示すものであり、この足元灯は、光源１（ここでは発光ダイオード）と、光源１から下向きに照射される照射光が反射する反射板２と、光源１から下向きに照射される照射光が上向きに照射されるのを遮光する遮光部２１とからなり、器具本体を壁面等の造営面に埋込配設するものである。器具本体は、その前面に開口部８を有し、開口部８を略覆う様に枠３が取付けられている。そして、反射光４と直接光５とが床面に照射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来例に示す様な足元灯では、光源１から下向きに照射される照射光により反射板２が明るくなってしまうので、器具本体自体の発光が生じてしまい、足元灯としての機能を損なってしまう、という問題点が生じてしまう。
【０００４】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、器具本体自体の発光を防止しつつ床面を照射することができる足元灯を低コストで提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、請求項１記載の発明によれば、光源と、光源からの照射光が斜め下方に照射するようにする制光体と、制光体で拡散される拡散光の通路を形成する傾斜板とからなる足元灯であって、制光体は光源の前面に装着されるスリットまたはレンズであり、傾斜板は拡散光の下方であって且つ拡散光の領域外に設けられ、拡散光の照射方向に沿って傾斜していることを特徴とする。
【０００６】
【実施の形態】
（実施の形態１）図１は、本発明に係る第１の実施の形態の足元灯を示すものであり、この足元灯は、光源１（ここでは発光ダイオード）と、光源からの照射光が斜め下方に照射するようにする制光体７と、制光体７で拡散される拡散光の通路を形成する傾斜板６とからなる足元灯であって、制光体７は光源１の前面に装着されるスリットまたはレンズであり、傾斜板７は拡散光の下方であって且つ拡散光の領域外に設けられ、拡散光の照射方向に沿って傾斜しており、器具本体を壁面等の造営面に埋込配設するものである。器具本体は、その前面に拡散光を透過させる開口部８を有し、開口部８を略覆う様に枠３が取付けられている。
【０００７】
なお、光源１は、光ファイバーや冷陰極ランプやＬＥＤランプなどの光源であり、本。制光体７は、スリットや集光レンズやプリズムレンズを用いている。
【０００８】
以上の様に構成することにより、制光体７による拡散光が傾斜板６に照射されるのを防止することができ、器具本体自体の発光を防止しつつ床面を照射することができる。
【０００９】
（実施の形態２）
図２は、本発明に係る第２の実施の形態の足元灯の外観を示すものであり、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図を示す。
【００１０】
この足元灯は、光源１１から下向きに照射される照射光が通過する制光体１２（ここでは、スリット部）と、制光体１２で拡散される拡散光の通路を形成する２つの傾斜板６とからなり、制光体１２は光源１１の前面に装着されるスリットまたはレンズであり、傾斜板６は拡散光の下方であって且つ拡散光の領域外に設けられ、拡散光の照射方向に沿って傾斜しており、器具本体を壁面等の造営面に埋込配設するものである。器具本体は、その前面に拡散光を透過させる開口部８を有し、開口部８を略覆う様に枠３が取付けられている。
【００１１】
合成樹脂製のボディ１５とカバー１７とを組立結合して器具本体が構成される。ボディ１５の内部には光源１１（ここではＬＥＤランプ）とプリント基板１６とが収納されており、プリント基板１６には、焦電素子を具備して人体から放射される熱線により人の動きを検出する人体検知センサ１４が実装されている。焦電素子と焦電素子の出力を増幅する増幅回路（図示せず）とは、ボディ１５の内部に収納されている。カバー１７には、光源１１を前面に臨ませ、且つ、光源１１からの照射光を透過させるのに十分なだけの広い開口を有する開口部８と、人体検知センサ１４の受光面を前面に臨ませるセンサ窓１３とが設けてあり、鉛直方向に対してセンサ窓１３の下方に開口部８が配置されている。制光体１２は、透光性を有する合成樹脂により全体が外側に膨出しないような形状に形成されて光源１１の前面に装着される。またセンサ窓１３には、外部の光（熱線を含む）を人体検知センサ１４の受光面に集光するためのフレネルレンズから成るレンズが装着される。
【００１２】
以下、動作を簡単に説明する。
制御回路は、人体検知センサ１４からの検知信号入力に基づいて光源１１を発光させると同時に保持時間Ｔｄの限時を開始し、保持時間Ｔｄ内に再度人体検知センサ１４から検知信号の入力があった場合には、保持時間Ｔｄを再度最初から限時しなおすことで光源１１の発光保持時間を延長するようになっている。つまり、所謂、リトリガブル機能を有している。そして、保持時間Ｔｄの限時が完了したら、制御回路は光源１１を消灯する。ところで本実施形態においては、ボディ１５とカバー１７とから成る器体を壁面等の造営面に埋込配設するために、埋込型の配線器具用に規格化された既製の取付枠に取り付けることができる寸法に形成してある。このような取付枠としては、例えばＪＩＳで規格化されている大角形連用配線器具の取付枠がある。
【００１３】
なお、本実施の形態では、周囲照度を検知しする明るさセンサを設けてもよく、明るさセンサを設けた場合には、周囲が明るい場合には光源部を消灯し、周囲が一定値以下に暗くなると点灯する様に構成しても良く、他の動作を行う様に構成してもよい。
【００１４】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、制光体７による拡散光が傾斜板６に照射されるのを防止することができ、器具本体自体の発光を防止しつつ床面を照射することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１の実施の形態の模式的な側面図を示す。
【図２】本発明に係る第２の実施の形態の、（ａ）は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図を示す。
【図３】本発明に係る従来例の模式的な側面図を示す。
【符号の説明】
１    光源
１１  光源
６    傾斜板
７    制光体
１２  制光体
【図１】
0003931471.tif 000002
【図２】
0003931471.tif 000003
【図３】
0003931471.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともフレームの上面開口に装着された細長型の振動体と、この振動体を保持するとともにスリットが設けられた複数の補強リブと、上記スリットに挿入されるとともに両端近傍を上記フレームに結合してなるダンパーとを有するスピーカ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種音響・映像機器に使用されるスピーカに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のスピーカを図３と図４により説明する。図３は細長型のスピーカの一種であるダイレクトドライブ方式の防磁型スピーカの分解斜視図であり、図４は同要部である補強リブとダンパーの結合状態を説明する斜視図である。
【０００３】
同図によると、１は短径側が逆Ｕ字状で下方開放端側にコイル１ｃを巻線したボイスコイル部１ｂと、Ｕ字状の上方頂点側をダイアフラム部１ａとした細長型の振動体であり、硬質アルミニウム、紙、ガラス繊維入り樹脂等のシートを成型してダイアフラム部１ａとボイスコイル部１ｂを一体に形成したものである。
【０００４】
２は上記振動体１の上記ダイアフラム部１ａの外周に内周が結合されて上記振動体１の一部となり、外周がフレーム３の上面開口に結合されているエッジである。また、７は逆Ｕ字状の上記振動体１の内側と外側を本体８ａと腕部８ｂで挟持保持する複数の補強リブ８を介して振動体１を保持するダンパーであり、補強リブ８が上記ダンパー７のコルゲーションの略中央の溝７ａに接着剤により接着されるとともに、フレーム３の下側に結合されて振動体１を上述のごとく上記ダンパーにより振動自在に保持している。
【０００５】
６は上記フレーム３の中央凹部に配置されたヨーク４と磁石５で構成して磁気ギャップ６ａを形成した磁気回路である。この磁気回路６は接触しないように上記補強リブ８が配置される隙間６ｂを設けて複数個直線的に配置され、夫々の上記磁気ギャップ６ａに上記ダンパー７に保持された上記振動体１のボイスコイル部１ｂがはめ込まれている。なお、９はエッジ２をフレーム３とで挟持するガスケットである。
【０００６】
以上のように構成されたスピーカは外部よりの音声信号を上記ボイスコイル部１ｂのコイル１ｃに印加することにより振動体１を上下動させダイアフラム部１ａを振動させ音波を放射するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上述のスピーカは、ダンパー７と補強リブ８の接着結合をダンパー７の中央の頂部の溝７ａに補強リブ８を載置し接着剤にて結合するため、結合部分は補強リブ８の端面であり、接着面積が極めて限定され接着外れの可能性や、確実に接着硬化、乾燥するまで次工程に移動させることが困難で生産性のネックとなっていた。
【０００８】
また、スピーカとしての今後の重低音再生化や高耐入力化への対応が難しいという課題を有するものであった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のスピーカは、少なくともフレームの上面開口に装着された細長型の振動体と、この振動体を保持するとともにスリットが設けられた複数の補強リブと、上記スリットに挿入されるとともに両端近傍を上記フレームに結合してなるダンパーとで構成したものであり、補強リブに設けたスリットにダンパーを挿入してこのダンパーをフレームに結合するようにしたため、ダンパーと補強リブは接着不良による外れの可能性がなくなるとともに、重低音再生化や高耐入力化による振動体の大振幅化にも対応できる接合強度を有するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、少なくともフレームの上面開口に装着された細長型の振動体と、この振動体を保持するとともにスリットが設けられた複数の補強リブと、上記スリットに挿入されるとともに両端近傍を上記フレームに結合してなるダンパーとで構成したものであり、補強リブに設けたスリットにダンパーを挿入してこのダンパーをフレームに結合するようにしたため、ダンパーと補強リブは接着不良による外れの可能性がなくなるとともに、重低音再生化や高耐入力化による振動体の大振幅にも対応できる接合強度を有することで優れた性能のスピーカの供給を可能とするものである。
【００１１】
以下、本発明のスピーカの一実施の形態について図１、図２により説明する。
【００１２】
なお、説明にあたっては従来技術と同一部分には同一番号を付して説明を省略して説明する。
【００１３】
図１は本発明のスピーカの一実施の形態であるダイレクトドライブ方式の防磁型スピーカの分解斜視図であり、図２は同要部である補強リブとダンパーの結合状態を説明する斜視図である。
【００１４】
同図により従来技術との相違点のみ説明すると、８は補強リブであり、逆Ｕ字状の振動体１の内側と外側を本体８ａと腕部８ｂで挟持保持するとともに、下端近傍にはスリット８ｃが設けられている。このスリット８ｃにはダンパー７のコルゲーションの略中央の頂部の溝７ａが挿入してはめ込まれて装着されるとともに、更に接着剤により強固に固着されている。
【００１５】
以上のようにダンパー７は補強リブ８のスリット８ｃに挿入されているので外れることはなく、耐入力化にも十分対応できるスピーカが提供できるものである。
【００１６】
【発明の効果】
以上のように本発明のスピーカは、補強リブにスリットを設け、これにダンパーを挿入するようにしたので、ダンパーと補強リブは接着不良による外れの可能性がなくなるとともに、重低音再生化や高耐入力化による振動体の大振幅化にも対応できる接合強度を有するものである。
【００１７】
また、ダンパーと補強リブ間に接着剤を使用して結合位置の安定性を図ることにしても接着剤の完全硬化まで待つ必要がないため、生産性は従来のものより格段の向上が図れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスピーカの一実施の形態の分解斜視図
【図２】同要部である補強リブとダンパーの関係を説明するための斜視図
【図３】従来のスピーカの分解斜視図
【図４】同要部である補強リブとダンパーの関係を説明するための斜視図
【符号の説明】
１  振動体
３  フレーム
７  ダンパー
８  補強リブ
８ｃ  スリット
【図１】
0003931478.tif 000002
【図２】
0003931478.tif 000003
【図３】
0003931478.tif 000004
【図４】
0003931478.tif 000005
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明器具における器具本体とセードを嵌合し装着させる場合において、器具本体の四隅に一体成形とする屈曲した突出部を形成させると共に、他方、セードの木枠の四隅にも、中央部に受部を一体成形させた、樹脂製のコーナー支持具を取り付け、受部に、突出部の先端を当接させて、器具本体とセードを嵌合させてなる照明器具のセード取付装置であって、
前記突出部は、セードの木枠コーナー部に光を集める平面状の傾斜面を有する照明器具のセード取付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、照明器具のセ−ドの取付装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、照明器具において、器具本体（Ａ）に、セ−ド（Ｃ）を嵌合させるに際しては、その多くは例えば第６図の如く、器具本体（Ａ）の四隅に、略垂直に立上るガイド金具（Ｂ）を別途に設け、他方、セ−ド（Ｃ）の四隅にも、第７図の如く、ガイド金具（Ｂ）と対応する位置にコ−ナ−金具（Ｄ）を設け、ガイド金具（Ｂ）をコ−ナ−金具（Ｄ）に当接させて、器具本体（Ａ）とセ−ド（Ｃ）を嵌合していたものであるが、ガイド金具（Ｂ）は、うすい金属片であるため、セ−ド（Ｃ）の木枠を装着させる際に、セ−ド（Ｃ）の木枠に傷をつける危険があり、又嵌合に際しては、セ−ド（Ｃ）によりガイド金具（Ｂ）は必然に被覆されて見にくいため、操作しにくく、セ−ド（Ｃ）を傷つけぬために多分の注意と時間も要し、作業上の効率にも、又コストの点でも問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
セ−ドの木枠を、器具本体に嵌合装着させるに当って、セ−ドに傷をつけることなく、嵌合が容易に出来るようにし、商品の安全性と作業の効率を挙げることを課題とした。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、器具本体の四隅に、器具本体と一体の突出部を形成させると共に、これに対応するセードの木枠の四隅にも、前記突出部の受部を設け、前記突出部は、セードの木枠コーナー部に光を集める平面状の傾斜面を備えた。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る照明器具本体（１）の突出部（２）を示し、該突出部（２）は、器具本体（１）の四隅に、器具本体（１）を屈曲して一体に形成させ、本図の如く全体を大きく屈曲させる曲面構成とする傾斜面を呈するものである。
【０００６】
かかる屈曲面を呈する器具本体（１）の突出部（２）を、セ−ド（３）の木枠の四隅にこれを当接させて両者を嵌合するものであるが、この場合、セ−ド（３）の木枠の四隅には、樹脂製のコ−ナ−支持具（４）が図３の如く取り付けられ、その中央には、これも同じく樹脂製の受部（５）が一体に形成され、その内側は弧状の湾曲部を形成しており、この受部（５）の内側の湾曲部に、前記の本体（１）の突出部（２）の先端を図５の如く当接させて、セ−ド（３）の木枠と器具本体（１）を嵌合装着させるものである。
【０００７】
【発明の効果】
本発明は以上の通り、比較的弾力のある樹脂製の受部と、湾曲した突出部が当接するために、すべりがよく嵌合し易く、従来の如く、うすい金属片のガイド金具と異なり、セ−ドの木枠に傷つける心配もなく、又突出部は器具本体と一体に成形される所から、別途にガイド金具も取り付ける必要もなく、セ−ドと本体の嵌合が容易で作業効率がよい上に、別途にガイド金具を設ける必要がないから経済性も有し、そして更に、本体の突出部の形成により、セ−ドの木枠コ−ナ−部に光を集め、中心部とコ−ナ−部の明るさの「むら」を解消して照明器具としての見栄えの改善されたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  器具本体全体の斜視図
【図２】  図１の要部拡大図
【図３】  セ−ドの全体斜視図
【図４】  図３の要部拡大図
【図５】  突出部と受部の当接図
【図６】  従来例
【図７】  従来例
【符号の説明】
１  器具本体
２  突出部
３  セ−ド
４  コ−ナ−支持具
５  受部
Ａ  器具本体
Ｂ  ガイド金具
Ｃ  セ−ド
Ｄ  コ−ナ−金具
【図１】
0003931206.tif 000002
【図２】
0003931206.tif 000003
【図３】
0003931206.tif 000004
【図４】
0003931206.tif 000005
【図５】
0003931206.tif 000006
【図６】
0003931206.tif 000007
【図７】
0003931206.tif 000008
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
口部と肩部、八面体の胴部と底部とからなるプラスチックボトルであって、
肩部に複数個の減圧吸収面を周方向に等間隔に配設するとともに、減圧吸収面の中心線を八面体胴部の角部の円弧壁面の中心線上に位置するようしたことを特徴とするプラスチックボトル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラスチックボトル、とくに肩部に減圧吸収面を設けたボトルに関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
胴部を八角形とし、八面の減圧吸収面を配設した二軸延伸ボトルは、この出願前、本出願人の出願に係る特願２０００−０１６３６１号により提案されている。
【０００３】
上記発明は、包装フィルムのデザインと印刷内容を見易くするため、ボトル胴部の面の数を多くするとともに、八面体ボトルでありながら従来の六面体ボトルと同程度の減圧吸収面量を得るようにした加熱充填ボトルであった。
【０００４】
本発明は、減圧吸収効果をさらに高めることを課題とし、肩部に減圧吸収面を配設したボトルを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
減圧吸収面を配設したボトルとして、口部と肩部、八面体の胴部と底部とからなるプラスチックボトルであって、肩部に複数個の減圧吸収面を周方向に等間隔に配設するとともに、減圧吸収面の中心線を八面体胴部の角部の円弧壁面の中心線上に位置するようしたことを特徴とする構成を採用する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の第１実施形態について、図面を参照して説明する。
図１において、Ａはボトルであり、ＰＥＴその他の合成樹脂を用いて延伸ブロー成形され、内容液を加熱充填できる八面体のボトルである。
ボトルＡは、口部１と肩部２、断面が八角形の胴部３と底部４とからなっており、口部１外周には、ねじ５が螺設され、その下方にネックリング６が突設されている。
【０００７】
肩部２は、図２に示すように、球帯状の湾曲面７と、該湾曲面７を切截する八面の平坦壁８とからなり、平坦壁８は楕円形状の減圧吸収面８ａを形成している。
【０００８】
実施形態では、減圧吸収面を楕円形状の平坦壁８としているが、減圧吸収面８ａの外周については、楕円形状だけでなく、上下に延びる長方形、台形など四角形、円、その他の形状とすることができる。
減圧吸収面を平坦壁でなく、中央部を凹部とした湾曲面、複数の傾斜面とすることができる。
また、湾曲面７との間に段差部を設け、該段差部に接続した平底面としてもよい。
【０００９】
胴部３と肩部２との境目には、横リブ９が配設され、その下側は、細巾の円周面１０となっており、胴部３と底部４との境目には、横リブ１１が配設され、その上側は細巾の円周面１２となっている。
円周面１０と円周面１２との間の胴部３は断面が八角形となっており、各角部には、上下の円周面１０と円周面１２とを結び、ボトル軸方向にストレートに延びる円弧壁面１３が形成され、全ての隣り合う円弧壁面１３の間には、減圧吸収面１４が形成されている。
【００１０】
肩部２の減圧吸収面８ａと胴部３の形状との関係について説明すると、肩部２の減圧吸収面８ａは、その中心線が胴部３角部に形成された円弧壁面１３の中心線の延長線上に位置するよう配設されている。
【００１１】
減圧吸収面１４は、隣り合う円弧壁面１３の側縁１５と上下の円周面１０，１２に接続され、傾斜壁１６と該傾斜壁１６の内側の側縁１７に接続するわずかに湾曲した平担壁１８とからなっている。
平坦壁１８としては、わずかに湾曲した壁面とともに、平面状の壁面であってもよい。
平坦壁１８には、上下の二辺と該二辺と円弧で接続され、縦方向に延びる二辺からなり断面が弧状のリブ１９が設けられている。
【００１２】
底部４は、横リブ１１に続く底部周壁２０と底端壁２１、底端壁２１より上方へ凹んだ底壁２２とからなっている。
底部周壁２０の中間には、横リブ２３が設けられており、底壁２２には、公知の放射状の補強リブが複数個設けられている。
【００１３】
次に肩部２と胴部３の減圧吸収面の構造と作用効果について説明する。
加熱充填後の減圧にあたって、まず、肩部２の作用について述べると、肩部２の上方部はやや厚肉であり、平坦壁８の両側は、肩部２の湾曲面７と交差しており、該湾曲面７の部分は柱の役割を果たすので、平坦壁８は湾曲面７との交差線を支軸とし中央部を凹ませるように湾曲する。
その際、平坦壁８の下端部は、胴部３の円弧壁面１３の上方に位置しているので、胴部３の減圧吸収面１４の変形の影響を受けないようになっている。
【００１４】
次に、胴部３の円弧壁面１３と減圧吸収面１４との構造の詳細と、それに基づく作用効果について、図３を参照して説明する。
前記円弧壁面１３と、その両側の傾斜壁１６ａ，ｂによって、胴部３の剛性を強化する柱部が形成され、二つの傾斜壁１６ａ，１６ｂのなす角度によって柱角度αが形成されている。
本実施形態では、柱角度αを、６０゜〜１１５゜の範囲、好ましくは７５゜以上としている。
【００１５】
従来の六面体胴部の場合、柱角度αは、０〜４５゜の範囲で、減圧吸収量は３０ｃｃ前後であるが、実施形態では、柱角度αを大きくし、６０゜〜１１５゜の範囲、とくに７５゜以上にすることによって、柱部の剛性を得るとともに、六面体ボトルと同様の減圧吸収量を確保することができた。
そして、肩部２に減圧吸収面８ａを設けたことにより、減圧吸収量を１０％近く向上させることができた。
【００１６】
前記実施形態では、胴部が八面体のボトルについて説明したが、ボトル胴部が、その断面が七面体のボトル、または九面体のボトルであってもよい。
また、六面体のボトルに適用することによって、従来のものより減圧吸収量を高めることができる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成されているから、次の効果を奏する。
胴部が八面体のボトルにおいて、柱角度を、６０゜〜１１５゜の範囲とすることによって、六面体ボトルと同等の減圧吸収量を得、肩部に減圧吸収面を配設することによって減圧吸収量をさらにを向上させることができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明ボトルの正面図である。
【図２】ボトル肩部の説明図で、（ａ）は上面図、（ｂ）図１のＡ−Ａ線における断面図である。
【図３】ボトル胴部の説明図で、（ａ）図１のＢ−Ｂ線における断面図、（ｂ）は減圧吸収面の拡大説明図である。
【符号の説明】
Ａ          ボトル
１          口部
２          肩部
３          胴部
７          湾曲面
８          平坦壁
８ａ        減圧吸収面
１３        円弧壁面
１４        減圧吸収面
１６ａ，ｂ  傾斜壁
１８        平坦壁
【図１】
0003904799.tif 000002
【図２】
0003904799.tif 000003
【図３】
0003904799.tif 000004
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛を含まない金属の帯板を打ち抜き加工により、実効的な幅を等間隔に狭めたのち、この幅を狭めた部分の表裏両面より溝条を形成し、この加工された金属の帯板の裏面に両面粘着テープを貼り付けたことを特徴とするバランス・ウエイト。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、自動車のタイヤのバランスをとるために車輪の内側に貼り付けるバランス・ウエイトに関し、特に、環境汚染の原因となる鉛を使用しないように構成したものである。
【０００２】
【従来の技術】
アルミニウムで作られた車輪（アルミ・ホイール）に取り付けるバランス・ウエイトは、図５の斜視図（ａ）および断面図（ｂ）に示すように、重量の異なる各種の扁平な鉛板８を作り、鉛板８の裏面に両面粘着テープ７を貼り付けたものが使用されている。そして、鉛板８は軟らかくて曲げ易いので、車輪６に取り付ける際には、指で鉛板８を車輪６の内側の曲面と合わせるように曲げたのち、両面粘着テープ７の剥離紙を剥がして、図６に示すように、車輪の内側の曲面に押し付けて貼り付けていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、廃棄処分される自動車の増加、特に、廃棄処分されるタイヤおよび車輪の増加に伴って、車輪に取り付けられたバランス・ウエイトの廃棄量も増加している。
【０００４】
車輪を廃棄するとき、タイヤは取り外されるが、バランス・ウエイトは取り外されることなくそのまま廃棄されたり、リサイクルに回されている。
【０００５】
廃棄処分されたバランス・ウエイトに雨水がかかると、基準値を上回る鉛が溶け出して環境を汚染することがあった。
【０００６】
そこで、この発明は、このような課題を解決するために考えられたもので、廃棄処分されても環境汚染をしないバランス・ウエイトを提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明のバランス・ウエイトは、鉛を含まない金属の帯板を打ち抜き加工により、実効的な幅を等間隔に狭めたのち、この幅を狭めた部分の表裏両面より溝条を形成し、この加工された金属の帯板の裏面に両面粘着テープを貼り付けたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
この発明のバランス・ウエイトの製法は、図１の平面図（Ａ）および側面図（Ｂ）に示すように、細長い鉄の帯板を打ち抜き加工により、等間隔に両側より幅方向の切り込み３を入れて帯板の幅を部分的に狭めたのち、図２に示すように、プレス加工により、両切り込み３の間に表面よりＶ字形または台形の溝条４を形成し、両切り込み３の間に裏面よりＶ字形の溝条５を形成する。
【０００９】
これら２つの溝条４、５の間に形成された残存部分２の厚みは、手で曲げることにより折れて容易に分割できる程度に薄く形成されている。
【００１０】
各溝条４、５の間で分割される各部分は、単位重量（例えば、５ｇ）のバランス・ウエイト１となるように重量が設定されている。
【００１１】
このように連なったバランス・ウエイト１は、包装の都合に合わせて一定長さ（例えば、１０ヶ分の長さ）ごとに切断される
【００１２】
このように加工された連続したバランス・ウエイト１の裏面に、両面粘着テープ７を貼り付ける。この貼り付けられた両面粘着テープ７は、バランス・ウエイト１に貼り付けたのち、分割位置で切断してもよいのである。この両面粘着テープ７として、両粘着面の間にクッション層を備えたものが適している。
【００１３】
車輪のリムの内側に貼り付けて固定する際には、連なっているバランス・ウエイト１を必要な重量分の個数だけ連ねた状態または分離した状態で切り離し、粘着テープ７の剥離紙71を剥がして、図３に示すように、車輪のリム６の内側に押しつけながら貼り付ける。粘着テープ７にはクッション層を備えているので、車輪のリムの内側が曲面であっても、確実に固定することができる。車輪のリム６の内側に、バランス・ウエイト１を複数個連ねた状態で貼り付けても、分割位置でリム６の曲面に合わせて曲げることができるので、確実に固定することができる。
【００１４】
連続したバランス・ウエイト１の分割位置には、裏面からもＶ字形の溝５が形成されているので、折り曲げて分割したときにバリが発生しても、車輪のリム６の内側に傷をつけることはないのである。
【００１５】
なお、バランス・ウエイト１の材質は、鉄に限ることなく、比較的比重が大きくて廉価で、かつ公害発生のおそれが少ない金属を用いればよいのである。また、細長い鉄の帯板を打ち抜き加工して幅方向の切り込み３を入れる代わりに、図４に示すように、打ち抜き加工により中央部にスリット３ａを形成して、実効的な幅を狭めてもよいのである。
【００１６】
【発明の効果】
以上の実施の形態に基づく説明から明らかなように、この発明のバランス・ウエイトは、ほぼ同じ単位重量に統一された鉄材にクッション層を有する粘着テープ７を貼り付けたものであるから、車輪のリムの内側が曲面であっても、取付けが簡単であり、かつ確実に固定することができる。そして、この発明のバランス・ウエイトは、鉛を使用していないので、廃棄処分されても環境汚染をすることはないのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のバランス・ウエイトの実施の形態を示す平面図（Ａ）および正面図（Ｂ）、
【図２】連続したバランス・ウエイトの分割位置を示す正面図、
【図３】この発明のバランス・ウエイトを車輪に取り付けた状態を示す正面図、
【図４】この発明のバランス・ウエイトの他の実施の形態を示す平面図（Ａ）および正面図（Ｂ）、
【図５】従来のバランス・ウエイトを示す斜視図（Ａ）および正面図（Ｂ）、
【図６】従来のバランス・ウエイトを車輪に取り付けた状態を示す正面図である。
【符号の説明】
１  バランス・ウエイト
２  残存部分
３  切り込み
３ａ  スリット
４、５  溝条
６  車輪
７  粘着テープ
【図１】
0003904387.tif 000002
【図２】
0003904387.tif 000003
【図３】
0003904387.tif 000004
【図４】
0003904387.tif 000005
【図５】
0003904387.tif 000006
【図６】
0003904387.tif 000007
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
堆積反応器中で基板である半導体ウェハ上にエピタキシャル層を堆積させ、エピタキシャル層の堆積に続いて半導体ウェハをオゾン含有環境中で処理する半導体ウェハの製法において、半導体ウェハをロードロックステーションまたは処理室へ搬送し、該ロードロックステーションまたは該処理室中でオゾン含有環境中での処理を行うが、その際、半導体ウェハを該ロードロックステーションまたは該処理室へ搬送する間、非酸化環境中に保持し、かつ該ロードロックステーションまたは該処理室は堆積反応器に接続されていることを特徴とする、半導体ウェハの製法。
【請求項２】
半導体ウェハを周囲温度１０〜５０℃で、オゾン含有環境中で処理する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
半導体ウェハを他の半導体ウェハと一緒に、オゾン含有環境中で処理する、請求項１または２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明の目的は、半導体ウェハ、殊にエピタキシャル層を備えたシリコンウェハの製法である。本発明は殊に、エピタキシャル層を堆積させた後の半導体ウェハの処理に関する。
【０００２】
【従来の技術】
堆積されたばかりのエピタキシャル層の表面は、周囲の適当な分子と反応する傾向があることは公知である。このような半導体ウェハを更に加工する電子素子製造者は、半導体ウェハの表面が画一的な状態で存在する、即ち更に加工したい半導体ウェハが画一的な状態の表面を有することに関心を持っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題はこのような画一的な状態を有する表面を伴う半導体ウェハを提供することである。更に本発明の課題は、特別な手間を伴わずに、かつ特別な経費を伴わずに半導体ウェハのこの製造を、現存する方法に組み入れることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、堆積反応器中で基板ウェハ上にエピタキシャル層を堆積させることによる半導体ウェハの製法であり、これは、エピタキシャル層の堆積に続けて、半導体ウェハをオゾン含有環境中で処理することを特徴とする。
【０００５】
本発明は有利には、１個以上の堆積反応器の他に、取り入れ及び取り出しのための閉鎖可能な室（ロードロックステーション）も備えている現存の堆積法に組み入れるのが有利である。処理は勿論、付加的に用意された処理室でも行うことができる。オゾン含有環境の温度は１０℃〜５０℃、有利には室温である。処理時間は有利には５〜２０分である。この処理により、エピタキシャル層の表面上に薄い酸化物膜が生じ、これは、全てのこのように処理された半導体ウェハに関して、素子製造者が望む画一的な状態を有する。
【０００６】
エピタキシャル層の堆積の後に、かつオゾン含有環境中での処理の前に、半導体ウェハを非酸化環境に保持することが保証される場合には、特に有利である。窒素雰囲気中の半導体ウェハを堆積反応器から処理室に移動させるのが特に有利である。
【０００７】
オゾン含有環境を有利にはＵＶ線により、又は空気、特に有利には酸素が供給される市販のオゾン発生器を用いて用意する。オゾン発生器から供給されたオゾン含有ガスを処理室に導入するが、その際、そのときまでに室中に存在した雰囲気を除去する。もしくはこのために、この雰囲気を吸引し、その後、オゾン含有ガスを処理室に導入することもできる。
【０００８】
本方法の特に有利な１実施態様では、複数の基板ウェハを有するトレイ（Horde）を第１の室（ロードロックステーション）に取り入れ、かつ非反応性ガス雰囲気、有利に窒素雰囲気下に置く。引き続き、ウェハを調整された雰囲気下に堆積反応器に輸送し、かつその中で個々に、又はわずかな個数で、エピタキシャル層で被覆する。その後、生じた半導体ウェハを非反応性、殊に非酸化雰囲気下に、第２の室（ロードロックステーション）に移送し、かつもう１つのトレイに集める。トレイが充填されたら直ちに、半導体ウェハを第２の室中で、オゾン含有環境中で処理する。この時間の間に、第１の室に既に再び、基板ウェハを取り入れることができ、かつこの基板ウェハの第１のものはエピタキシャルに被覆される。勿論、半導体ウェハを被覆の後に、第１の室に戻し移送して、かつオゾン含有環境中での処理をこの室中で実施することも可能である。その間に、基板ウェハを第２の室から堆積反応器に移送し、かつ被覆することもできる。
【０００９】
前記の方法により、画一的な表面を有するエピタキシャルウェハの製造が可能である。同様の表面をそれにより用意することができる湿式化学的プロセスとは逆に、この方法は最低でも８０％の経費的利点を有する。