(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面及び／又は他面に貼着された絶縁樹脂にフィルムが貼着された基板に作用して、フィルムの一端部を絶縁樹脂から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えているフィルム剥離装置において、
基板の一端部において、絶縁樹脂の一端は基板の一端から所定の距離だけ他端方向に後退した位置に配置され、フィルムの一端部は、絶縁樹脂の一端から基板の一端方向に基板の表面に隙間をおいて張り出すよう構成され、端部剥離手段は、基板を端部剥離位置に停止させる停止手段と、該位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段と、該位置にクランプされた基板のフィルムの一端部と基板の表面との間の該隙間にエアを噴射してフィルムの一端部を絶縁樹脂から部分的に剥離させるエア噴射手段と、該位置にクランプされた基板の一端部における片面及び／又は他面に隙間をおいて対向するよう位置付けられる基板保持手段とを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
エア噴射手段は、基板の搬送経路の幅方向に延在しかつ軸方向に間隔をおいて複数個のエア噴射口が形成されたエア供給パイプと、エア供給パイプを、実質的に該搬送経路を横切る作用位置と、該搬送経路から退避する非作用位置との間を選択的に移動させることができるアクチュエータとを備えている、請求項１記載のフィルム剥離装置。
【請求項３】
エア供給パイプはアクチュエータに連結された枠体に支持され、枠体は該搬送経路の幅方向に延在しかつエア供給パイプの上流側に位置するストッパ壁を備え、停止手段は該ストッパ壁により構成され、該ストッパ壁の、エア供給パイプのエア噴射口の各々に整合された位置にはそれぞれエア通過開口が形成されている、請求項２記載のフィルム剥離装置。
【請求項４】
エア噴射口の各々は上下方向に延びる長孔により構成され、エア通過開口の各々は、エア噴射口の各々よりも上下方向の長さが長い長孔により構成されている、請求項３記載のフィルム剥離装置。
【請求項５】
基板保持手段は、基板の搬送経路の幅方向に延在する上保持部材及び／又は下保持部材と、上保持部材及び／又は下保持部材を、上保持部材の下面及び／又は下保持部材の上面が、該位置にクランプされた基板の一端部の片面及び／又は他面におけるフィルムの表面に隙間をおいて対向する保持位置と、該保持位置よりも上方及び／又は下方に離隔した非保持位置との間を選択的に移動させるアクチュエータとを備えている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項６】
上保持部材及び／又は下保持部材は、該搬送経路の幅方向に延在する上保持板部及び／又は下保持板部を備え、上保持板部及び／又は下保持板部は網目板により形成されている、請求項５記載のフィルム剥離装置。
【請求項７】
フィルムは、絶縁樹脂の一端から基板を該位置にクランプしているクランプ手段の下流端までの一端部剥離範囲だけ剥離される、請求項１〜６のいずれか１項に記載のフィルム剥離装置。
【請求項８】
クランプ手段は、上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の片面及び他面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の片面及び他面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えている、請求項７記載のフィルム剥離装置。
【請求項９】
上クランプ部材及び／又は下クランプ部材には、基板の片面及び／又は他面において部分的に剥離されたフィルムの表面に向けて下流方向にエアを噴射するエア噴射手段が装着されている、請求項８記載のフィルム剥離装置。
【請求項１０】
フィルムは基板の片面に貼着された絶縁樹脂に貼着されており、基板は該片面を上面にして基板の搬送経路を搬送され、端部剥離手段の下流側には、該絶縁樹脂に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段が備えられ、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含み、上部フィルム剥離搬送手段は、該搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構は、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成され、フィルムの一端から、該一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、上流側無端ベルトの最下端から、上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部までの、上流側無端ベルトの外周面の長さに規定されている、請求項７記載のフィルム剥離装置。
【請求項１１】
フィルムは基板の他面に貼着された絶縁樹脂に貼着されており、基板は該他面を下面にして基板の搬送経路を搬送され、端部剥離手段の下流側には、該絶縁樹脂に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段が備えられ、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段を含み、下部フィルム剥離搬送手段は、該搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構を含み、下側ベルト機構は、基板の搬送面に下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下流側に配置された下流側上部ベルト車と、下流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車と、該上流側ベルト車間に巻き掛けられた上流側無端ベルトと、該下流側ベルト車間に巻き掛けられた下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって下方に延びるフィルム搬送経路が形成され、フィルムの一端から、該一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、上流側無端ベルトの最上端から、上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部までの、上流側無端ベルトの外周面の長さに規定されている、請求項７記載のフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、基板に貼着された保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置、更に詳しくは、基板の片面及び／又は他面に貼着された絶縁樹脂層にフィルムが貼着された基板に作用して、フィルムの一端部を絶縁樹脂層から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えているフィルム剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線基板の製造においては、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層したプリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリント配線基板素材の片面及び／又は他面に回路パターンを照射してフォトレジスト層を露光し、その後において片面及び／又は他面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を剥離している。
【０００３】
特開昭６２−８３９７４号公報（米国特許第４７２４０３２号明細書及び図面）には、プリント回路基板素材の如き基板から、その片面及び／又は他面から保護フィルムの如きフィルム（本明細書にて使用する語句「フィルム」は比較的薄い帯状部材のみならず比較的厚い、いわゆるシートと称される帯状部材をも含む）を剥離するのに適用することができるフィルム剥離装置が開示されている。
【０００４】
このフィルム剥離装置は、基板搬送手段、クランプ手段、端部剥離手段及び剥離手段を備えている。基板搬送手段は、片面及び／又は他面にフィルムが貼着された基板を実質上水平な状態で、その前端部が端部剥離位置に達するまで所定方向に搬送して一旦停止させ、そして更に上記所定方向に搬送する。基板搬送手段は、基板の搬送経路を規定する複数個の搬送ローラを含んでいる。クランプ手段は搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された一対のクランプ部材を備え、搬送経路上に解除自在にクランプできるよう構成されている。端部剥離手段は、搬送経路の幅方向に往復移動させられるよう構成された移動体と、搬送経路を挟んで上下に間隔を置いて配置された複数対の圧接ローラを備えている。複数対の圧接ローラは、搬送経路上の基板を解除自在に圧接できるよう構成されている。基板がクランプ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、圧接ローラの各対は、基板の一端部（搬送方向前端部）における片面及び／又は他面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接される。この状態で圧接ローラの各対は、移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的に剥離される。このように、端部剥離手段は上記端部剥離位置に位置付けられた基板の前端部に作用してフィルムの前端部を部分的に基板から剥離させる。前端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に分離させるための剥離手段は、搬送方向に移動させられている基板とフィルムの前端部との間に圧縮気体を噴射する気体噴射手段と、気体噴射手段によって前端部の分離が促進されたフィルムを基板の片面及び／又は他面から剥離させて上方及び／又は下方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手段を含んでいる。気体噴射手段は、基板の幅方向に延在しかつ複数個の気体噴射孔が間隔をおいて形成された中空部材を備えている。静止部材であるこの中空部材は、適宜の連通手段を介して圧縮気体発生源に接続されている。フィルム剥離搬送手段は上側ベルト機構及び下側ベルト機構を備えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のフィルム剥離装置において、搬送方向に移動させられている基板の前端部が端部剥離位置に到達すると、基板がクランプ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、端部剥離手段の圧接ローラの各対が、基板の一端部における片面及び／又は他面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接されて移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的に剥離される。上記した如くフィルムは、基板の片面及び／又は他面に形成された銅張積層板に積層されたフォトレジスト層に貼着されており、その密着強度は比較的弱いので、上記した如き端部剥離手段による剥離作用、すなわちいわゆるナーリングによって部分的な剥離を遂行することができる。
【０００６】
ところで、電子機器の高密度化、高機能化に伴い、プリント配線基板についても高密度配線、微細化と共に機能の向上が要求されるようになってきている。このような背景から近年、ビルドアップ工法が注目されるようになった。ビルドアップ工法は、一例として、コア板の片面及び／又は他面に、熱硬化性樹脂等の感光性絶縁樹脂（以下、単に「絶縁樹脂」と略称する）を積層し、これらの絶縁樹脂に露光・現像あるいはレーザ照射を遂行した後、電解銅めっきあるいは無電解銅めっきを施し、更に表面パターン作成等の工程を経て一つの層を完成し、更に層を重ねるために絶縁樹脂の積層以降の工程を繰り返すことによって所定のプリント配線基板を製造するものである。上記の如きビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板においても、絶縁樹脂の表面を保護するために貼着されたフィルムをその製造工程のなかで剥離しなければならない。
【０００７】
そこで上記した如き従来の端部剥離手段によってナーリングを遂行したところ、十分確実に剥離することができなかった。本発明者等がその理由を究明したところ、ビルドアップ工法により製造されるプリント配線基板において、フィルムは上記絶縁樹脂に貼着されているため、この絶縁樹脂とフィルムとの密着強度は、先に述べたフォトレジスト層とフィルムとの密着強度よりも強力であることが判明した。これに対して上記した従来の端部剥離手段によるナーリングの遂行では十分確実な剥離効果が得られないのみならず、絶縁樹脂に縞模様の傷が大きく付いて不良基板となる、望ましくない現象も認められた。
【０００８】
本発明は上記事実に基づいてなされたものであり、その目的は、基板の片面及び／又は他面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムの一端部を、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、基板の片面及び／又は他面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムの一端部を、実質的に絶縁樹脂を傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にすると共に、一端部が絶縁樹脂から剥離されたフィルムを、更に、絶縁樹脂から完全に剥離することを可能にする、新規なフィルム剥離装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、片面及び／又は他面に貼着された絶縁樹脂にフィルムが貼着された基板に作用して、フィルムの一端部を絶縁樹脂から部分的に剥離させる端部剥離手段を備えているフィルム剥離装置において、
基板の一端部において、絶縁樹脂の一端は基板の一端から所定の距離だけ他端方向に後退した位置に配置され、フィルムの一端部は、絶縁樹脂の一端から基板の一端方向に基板の表面に隙間をおいて張り出すよう構成され、端部剥離手段は、基板を端部剥離位置に停止させる停止手段と、該位置に停止させられた基板を該位置にクランプするクランプ手段と、該位置にクランプされた基板のフィルムの一端部と基板の表面との間の該隙間にエアを噴射してフィルムの一端部を絶縁樹脂から部分的に剥離させるエア噴射手段と、該位置にクランプされた基板の一端部における片面及び／又は他面に隙間をおいて対向するよう位置付けられる基板保持手段とを備えている、
ことを特徴とするフィルム剥離装置、が提供される。
【００１１】
エア噴射手段は、基板の搬送経路の幅方向に延在しかつ軸方向に間隔をおいて複数個のエア噴射口が形成されたエア供給パイプと、エア供給パイプを、実質的に該搬送経路を横切る作用位置と、該搬送経路から退避する非作用位置との間を選択的に移動させることができるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
エア供給パイプはアクチュエータに連結された枠体に支持され、枠体は該搬送経路の幅方向に延在しかつエア供給パイプの上流側に位置するストッパ壁を備え、停止手段は該ストッパ壁により構成され、該ストッパ壁の、エア供給パイプのエア噴射口の各々に整合された位置にはそれぞれエア通過開口が形成されている、ことが好ましい。
エア噴射口の各々は上下方向に延びる長孔により構成され、エア通過開口の各々は、エア噴射口の各々よりも上下方向の長さが長い長孔により構成されている、ことが好ましい。
基板保持手段は、基板の搬送経路の幅方向に延在する上保持部材及び／又は下保持部材と、上保持部材及び／又は下保持部材を、上保持部材の下面及び／又は下保持部材の上面が、該位置にクランプされた基板の一端部の片面及び／又は他面におけるフィルムの表面に隙間をおいて対向する保持位置と、該保持位置よりも上方及び／又は下方に離隔した非保持位置との間を選択的に移動させるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
上保持部材及び／又は下保持部材は、該搬送経路の幅方向に延在する上保持板部及び／又は下保持板部を備え、上保持板部及び／又は下保持板部は網目板により形成されている、ことが好ましい。
フィルムは、絶縁樹脂の一端から基板を該位置にクランプしているクランプ手段の下流端までの一端部剥離範囲だけ剥離される、ことが好ましい。
クランプ手段は、上クランプ部材及び下クランプ部材と、上クランプ部材及び下クランプ部材を、該位置に停止させられた基板の片面及び他面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板の片面及び他面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータとを備えている、ことが好ましい。
上クランプ部材及び／又は下クランプ部材には、基板の片面及び／又は他面において部分的に剥離されたフィルムの表面に向けて下流方向にエアを噴射するエア噴射手段が装着されている、ことが好ましい。
フィルムは基板の片面に貼着された絶縁樹脂に貼着されており、基板は該片面を上面にして基板の搬送経路を搬送され、端部剥離手段の下流側には、該絶縁樹脂に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段が備えられ、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段を含み、上部フィルム剥離搬送手段は、該搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構を含み、上側ベルト機構は、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成され、フィルムの一端から、該一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、上流側無端ベルトの最下端から、上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部までの、上流側無端ベルトの外周面の長さに規定されている、ことが好ましい。
フィルムは基板の他面に貼着された絶縁樹脂に貼着されており、基板は該他面を下面にして基板の搬送経路を搬送され、端部剥離手段の下流側には、該絶縁樹脂に貼着されたフィルムの一端部が部分的に剥離されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段が備えられ、剥離手段は、部分的に剥離された該フィルムを基板から下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段を含み、下部フィルム剥離搬送手段は、該搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構を含み、下側ベルト機構は、基板の搬送面に下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車と、上流側上部ベルト車の下流側に配置された下流側上部ベルト車と、下流側上部ベルト車の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車と、該上流側ベルト車間に巻き掛けられた上流側無端ベルトと、該下流側ベルト車間に巻き掛けられた下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって下方に延びるフィルム搬送経路が形成され、フィルムの一端から、該一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、上流側無端ベルトの最上端から、上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部までの、上流側無端ベルトの外周面の長さに規定されている、ことが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の一実施形態を詳細に説明する。
【００１３】
図１を参照して、フィルム剥離装置は、図１において右方である入口側に配置された、全体を図示しない基板搬送手段を備えている。基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列された複数個の搬送ローラ２を備えている。これらの搬送ローラ２は図示しない電動モータによって回転駆動され、基板Ｐを、基板Ｐの搬送経路における搬送面ＰＬに沿って搬送方向Ｄに移動させることができる。搬送面ＰＬは実質的に水平に延在するよう形成されている。なお、この実施形態において、基板Ｐは、片面である上面及び他面である下面の両面にフィルムが貼着されたプリント配線基板から構成されている。更に具体的に説明すると、図６に示すように、基板Ｐは、プリント配線基板の本体Ｐ１と、本体Ｐ１の両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２と、絶縁樹脂Ｐ２の各々の表面に貼着されたフィルムＦとから構成されている。絶縁樹脂Ｐ２の各々は、例えばエポキシ樹脂から構成されている。また、フィルムＦは、例えばＰＥＴから構成されている。基板Ｐの本体Ｐ１の一端部（搬送方向Ｄにおける前端部）において、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端は、基板Ｐ、更に具体的には本体Ｐ１の一端から所定の距離だけ他端方向（搬送方向Ｄにおける後端方向）に後退した位置に配置されている。また、フィルムＦの各々の一端部は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端から基板Ｐの本体Ｐ１の一端方向に基板Ｐの本体Ｐ１の表面に隙間Ｃをおいて張り出すよう構成されている。このようなフィルムＦの各々の張出部は剥離しろを構成する。
【００１４】
入口側の基板搬送手段における下流端部に配置された搬送ローラ２の、基板Ｐの搬送経路を挟んだ上方には、ピンチローラ４が支持枠６に回転自在に支持されている。支持枠６は、支持枠６の鉛直上方に配置されたアクチュエータであるエアシリンダ機構８のピストンロッド８ａに支持されている。ピンチローラ４は、エアシリンダ機構８によって、搬送ローラ２上に搬送された基板Ｐを搬送ローラ２と協働して挟む作用位置と、該基板Ｐから上方に離隔した非作用位置との間を選択的に移動させられる。なお、搬送ローラ２の最上端は、実質的に基板Ｐの搬送面ＰＬ上に位置付けられている。ピンチローラ４の下流側には、クランプ手段１０、ピンチローラ手段２０、基板保持手段３０、エア噴射手段４０、剥離手段５０等が、上流から下流に向かって上記した順序で配置されている。
【００１５】
後述する端部剥離位置に停止させられた基板Ｐを該位置にクランプするクランプ手段１０は、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２と、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２を、該位置に停止させられた基板Ｐの片面及び他面を上下方向に挟んでクランプするクランプ位置と、基板Ｐの片面及び他面から上方及び下方に離隔する非クランプ位置とに選択的に移動させるアクチュエータであるエアシリンダ機構１３及び１４とを備えている。上クランプ部材１１は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の上方を幅方向（図１において表裏方向）に延在するよう配置されている。上クランプ部材１１の下面及び下クランプ部材１２の上面は水平面をなすよう形成されている。上クランプ部材１１は、上クランプ部材１１の鉛直上方に配置されたエアシリンダ機構１３のピストンロッド１３ａに支持されている。下クランプ部材１２は、ほぼ直方体をなすブロック体から構成され、搬送経路の下方を幅方向に延在するよう配置されている。下クランプ部材１２は、下クランプ部材１２の鉛直下方に配置されたエアシリンダ機構１４のピストンロッド１４ａに支持されている。
【００１６】
上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２には、後述するとおりにして基板Ｐの両面において部分的に剥離された、フィルムＦの各々の表面に向けて下流方向にエアを吹き付けるエア噴射手段が装着されている。図２をも参照して、エア噴射手段は、上クランプ部材１１内をその長手方向（搬送経路の幅方向）に延在するよう形成されたエア供給孔１１ａと、一端が上クランプ部材１１の下流側端面に開口し、他端がエア供給孔１１ａ内に開口するエア噴射口１１ｂとを備えている。エア噴射口１１ｂは、上クランプ部材１１の長手方向に間隔をおいて複数個形成されている。エア供給孔１１ａの一端は閉塞され、他端は圧縮エア供給源である図示しないコンプレッサにパイプ等の適宜の連通手段を介して接続されている。エア噴射手段はまた、下クランプ部材１２内をその長手方向（搬送経路の幅方向）に延在するよう形成されたエア供給孔１２ａと、一端が下クランプ部材１２の下流側端面に開口し、他端がエア供給孔１２ａ内に開口するエア噴射口１２ｂとを備えている。エア噴射口１２ｂは、下クランプ部材１２の長手方向に間隔をおいて複数個形成されている。エア供給孔１２ａの一端は閉塞され、他端は圧縮エア供給源である図示しないコンプレッサにパイプ等の適宜の連通手段を介して接続されている。エア噴射口１１ｂ及びエア噴射口１２ｂは、後述するとおりにして基板Ｐの両面において部分的に剥離された、フィルムＦの各々の表面に向けて下流方向にエアを噴射することができるよう、各々の向きが規定されている。なお、エア噴射口１１ｂ及び１２ｂに相当する位置に図示しないエア噴射ノズルを装着してもよい。
【００１７】
ピンチローラ手段２０は、搬送経路の下方に配置された下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２と、搬送経路の上方に配置された１個の上ピンチローラ２３とを備えている。下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２は支持枠２４に回転自在に支持されている。支持枠２４は、支持枠２４の鉛直下方に配置されたアクチュエータであるエアシリンダ機構２５のピストンロッド２５ａに支持されている。上ピンチローラ２３は支持枠２６に回転自在に支持されている。支持枠２６は、支持枠２６の鉛直上方に配置されたアクチュエータであるエアシリンダ機構２７のピストンロッド２７ａに支持されている。下ピンチローラ２１と上ピンチローラ２３とは上下方向に対向する位置に配置されている。下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２と、上ピンチローラ２３とは、エアシリンダ機構２５及び２７とによって、後述する端部剥離位置に停止された基板Ｐを、下ピンチローラ２１及び上ピンチローラ２３と協働して挟む作用位置と、該基板Ｐから下方及び上方に離隔した非作用位置との間を選択的に移動させられる。下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２と、上ピンチローラ２３とが作用位置に位置付けられた状態で、下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２の最上端は、実質的に基板Ｐの搬送面ＰＬ上に位置付けられる。
【００１８】
次に、図１〜図３を参照して、クランプ手段１０により、後述する端部剥離位置にクランプされた基板ＰのフィルムＦの各々の一端部と基板Ｐの本体Ｐ１の表面との間の隙間Ｃにエアを噴射してフィルムＦの各々の一端部を、対応する絶縁樹脂Ｐ２から部分的に剥離させるエア噴射手段４０について説明する。エア噴射手段４０は、枠体４１と、枠体４１に支持されたエア供給パイプ４２と、アクチュエータであるエアシリンダ機構４３とを備えている。枠体４１は、一定の幅で搬送経路の幅方向に水平に延在する底壁４１ａと、底壁４１ａの一側縁であって、基板Ｐの搬送方向上流側の一側縁から直立するストッパ壁４１ｂとを備えている。ストッパ壁４１ｂは、搬送経路を遮断することにより基板Ｐの移動を一時的に阻止して端部剥離位置に停止させる停止手段を構成している。
【００１９】
エア供給パイプ４２は、枠体４１の底壁４１ａの上方に間隔おいて、底壁４１ａに沿って平行に延在するよう、支持部材４１ｃを介して支持されている。このような構成により、エア供給パイプ４２は基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在するよう位置付けられる。ストッパ壁４１ｂは、エア供給パイプ４２の上流側に位置付けられる。エア供給パイプ４２の一端は閉塞され、他端は圧縮エア供給源である図示しないコンプレッサにパイプ等の適宜の連通手段を介して接続されている。図４をも参照して、エア供給パイプ４２にはエア噴射口４２ａが軸方向に間隔をおいて複数個形成されている。エア噴射口４２ａの各々は上下方向に延びる長孔により構成されている。枠体４１の底壁４１ａは、底壁４１ａの鉛直下方に配置されたエアシリンダ機構４３のピストンロッド４３ａに支持されている。このような構成により、エア供給パイプ４２は、実質的に搬送経路を横切る作用位置と、搬送経路から下方に退避する非作用位置との間を選択的に移動させられる。同時に、ストッパ壁４１ｂは、搬送経路を遮断する基板停止位置と、搬送経路から下方に退避する基板停止解除位置との間を選択的に移動させられる。枠体４１のストッパ壁４１ｂの、エア供給パイプ４２のエア噴射口４２ａの各々に整合された位置にはそれぞれエア通過開口４１ｄが形成されている。エア通過開口４１ｄの各々は、エア供給パイプ４２に形成されたエア噴射口４２ａの各々よりも上下方向の長さが長い長孔により構成されている。エア供給パイプ４２が作用位置に位置付けられた状態で、エア供給パイプ４２の軸心、エア噴射口４２ａの各々及びエア通過開口４１ｄの各々の長手方向の中心は、ほぼ基板Ｐの搬送面ＰＬ上に位置付けられる。なお、エア噴射口４２ａの各々に代えてエア噴射ノズルを装着する他の実施形態もある。
【００２０】
次に、端部剥離位置にクランプされた基板Ｐの一端部における両面に隙間をおいて対向するよう位置付けられる基板保持手段３０について説明する。図１〜図３を参照して、基板保持手段３０は、基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在する上保持部材３１及び下保持部材３２を備えている。上保持部材３１は、一定の幅で基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在する上保持板部３１ａと、上保持板部３１ａの下流側縁から上方に延び出す直立部３１ｂとから構成されている。実施形態において、上保持部材３１は、全体が断面Ｌ形状をなす網目板により形成されている。下保持部材３２は、一定の幅で基板Ｐの搬送経路の幅方向に延在する下保持板部３２ａと、下保持板部３２ａの下流側縁から上方に延び出す垂下部３２ｂとから構成されている。実施形態において、下保持部材３２は、全体が断面Ｌ形状をなす網目板により形成されている。上保持部材３１は、上保持部材３１の鉛直上方に配置されたエアシリンダ機構３３のピストンロッド３３ａに支持され、また、下保持部材３２は、下保持部材３２の鉛直下方に配置されたエアシリンダ機構３４のピストンロッド３４ａに支持されている。このような構成により、上保持部材３１及び下保持部材３２は、上保持部材３１の下面（したがって上保持板部３１ａの下面）及び下保持部材３２の上面（したがって下保持板部３２ａの上面）が、クランプ手段１０により端部剥離位置にクランプされた基板Ｐの一端部の両面におけるフィルムＦの表面に隙間をおいて対向する保持位置と、該保持位置よりも上方及び下方に離隔した非保持位置との間を、エアシリンダ機構３３及び３４によって選択的に移動させられる。
【００２１】
上記したクランプ手段１０、クランプ手段１０に備えられたエア噴射手段、基板保持手段３０、エア噴射手段４０等は、両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２にフィルムＦが貼着された基板Ｐに作用して、フィルムＦの一端部を絶縁樹脂Ｐ２から部分的に剥離させる端部剥離手段１００を構成する。
【００２２】
次に、端部剥離手段１００の下流側に配置されて、基板Ｐの絶縁樹脂Ｐ２の各々に貼着されたフィルムＦの一端部が部分的に剥離されたフィルムＦを、対応する絶縁樹脂Ｐ２から完全に剥離させる剥離手段５０について説明する。図１を参照して、剥離手段５０は、基板Ｐの片面の絶縁樹脂Ｐ２から部分的に剥離されたフィルムＦを基板Ｐから上方に強制的に搬送する上部フィルム剥離搬送手段と、基板Ｐの他面の絶縁樹脂Ｐ２から部分的に剥離されたフィルムＦを基板Ｐから下方に強制的に搬送する下部フィルム剥離搬送手段とを備えている。
【００２３】
上部フィルム剥離搬送手段は、搬送経路の上方に配置された上側ベルト機構６０を含んでいる。上側ベルト機構６０は、基板Ｐの搬送面ＰＬに上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車６１と、上流側下部ベルト車６１の上方に間隔をおいて配置された上流側上部ベルト車６２と、上流側下部ベルト車６１と上流側上部ベルト車６２との間に巻き掛けられた上流側無端ベルト６３と、上流側下部ベルト車６１の下流側に配置された下流側下部ベルト車６４と、下流側下部ベルト車６４の上方に間隔をおいて配置された下流側上部ベルト車６５と、下流側下部ベルト車６４と下流側上部ベルト車６５との間に巻き掛けられた下流側無端ベルト６６とを備えている。下流側下部ベルト車６４は、上流側下部ベルト車６１よりも若干高い位置に隣接して配置され、また下流側上部ベルト車６５は、上流側上部ベルト車６２の直上方に隣接して配置されている。下流側無端ベルト６６の上流側の面及び上流側無端ベルト６３の下流側の面の大部分の領域は相互に対向しかつ実質的に密着するよう配置され、下流側無端ベルト６６の上流側の面における上端部の一部領域は、上流側上部ベルト車６２の外周面の下流側における一部領域に、上流側無端ベルト６３を介して圧接されている。上記のように構成された上側ベルト機構６０において、上流側無端ベルト６３及び下流側無端ベルト６６の各々の協働によって、基板Ｐの搬送面ＰＬ側から上流側に斜め上方に向かって延在するフィルム搬送経路６７が形成されている。
【００２４】
下部フィルム剥離搬送手段は、搬送経路の下方に配置された下側ベルト機構７０を含んでいる。下側ベルト機構７０は、基板Ｐの搬送面ＰＬに下方から最も接近して配置された上流側上部ベルト車７１と、上流側上部ベルト車７１の下方に間隔をおいて配置された上流側下部ベルト車７２と、上流側上部ベルト車７１と上流側下部ベルト車７２との間に巻き掛けられた上流側無端ベルト７３と、上流側上部ベルト車７１の下流側に配置された下流側上部ベルト車７４と、下流側上部ベルト車７４の下方に間隔をおいて配置された下流側下部ベルト車７５と、下流側上部ベルト車７４と下流側下部ベルト車７５との間に巻き掛けられた下流側無端ベルト７６とを備えている。下流側上部ベルト車７４は、上流側上部ベルト車７１よりも若干低い位置に隣接して配置され、また下流側下部ベルト車７５は、上流側下部ベルト車７２よりも低い位置に配置されている。下流側無端ベルト７６の上流側の面及び上流側無端ベルト７３の下流側の面の大部分の領域は相互に対向しかつ実質的に密着するよう配置されている。上記のように構成された下側ベルト機構７０において、上流側無端ベルト７３及び下流側無端ベルト７６の各々の協働によって、基板Ｐの搬送面ＰＬ側からほぼ鉛直下方に延在するフィルム搬送経路７７が形成されている。
【００２５】
剥離手段５０にはまた、上部エア噴射手段８０と、下部エア噴射手段８２とが備えられている。上部エア噴射手段８０は、基板Ｐの搬送経路よりも上方位置であって、上側ベルト機構６０よりも下流側の位置に配置され、幅方向に延在する円筒部材８０ａの軸方向に間隔をおいて形成された複数のエア噴射口８０ｂからエアが、基板Ｐの搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。また下部エア噴射手段８２は、基板Ｐの搬送経路よりも下方位置であって、下側ベルト機構７０よりも下流側の位置に配置され、幅方向に延在する円筒部材８２ａの軸方向に間隔をおいて形成された複数のエア噴射口８２ｂからエアが、基板Ｐの搬送経路の上流方向に向けて噴射されるよう構成されている。剥離手段５０の下流側にはまた、出口側の基板搬送手段が配置されている。基板搬送手段は、基板Ｐの搬送方向Ｄに間隔を置いて実質上水平に配列された複数個の搬送ローラ９０を備えている。これらの搬送ローラ９０は図示しない電動モータによって回転駆動され、フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを、基板Ｐの搬送経路における搬送面ＰＬに沿って図示しない出口方向に移動させることができる。
【００２６】
次に以上のように構成された端部剥離手段１００を含むフィルム剥離装置の作用について説明する。図１及び図２を参照して、基板Ｐが搬送経路を搬送されるに際し、ピンチローラ４は非作用位置に位置付けられており、また、クランプ手段１０の上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２は非クランプ位置に位置付けられている（図１において実線で示される位置参照）。ピンチローラ手段２０の下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２と、上ピンチローラ２３とは、非作用位置に位置付けられており、また、基板保持手段３０の上保持部材３１及び下保持部材３２は、非保持位置に位置付けられている（図１及び図２において実線で示される位置参照）。エア噴射手段４０のエア供給パイプ４２は、非作用位置から上昇させられて実質的に搬送経路を横切る作用位置に位置付けられ、同時に、枠体４１のストッパ壁４１ｂは、基板停止位置から上昇させられて基板停止位置に位置付けられる（図１において２点鎖線で示される位置参照）。
【００２７】
搬送ローラ２が回転駆動されることにより搬送経路を搬送される基板Ｐは、その一端（先端）がストッパ壁４１ｂに当接させられることによりその移動が阻止され、端部剥離位置に停止させられる。搬送ローラ２の回転駆動が停止させられる。クランプ手段１０の上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２が非作用位置から相互に接近するよう移動させられて作用位置に位置付けられ、基板Ｐは端部剥離位置にクランプされる。基板保持手段３０の上保持部材３１及び下保持部材３２が、非保持位置から相互に接近するよう移動させられて保持位置に位置付けられる。上保持部材３１における上保持板部３１ａの下面及び下保持部材３２ａにおける下保持板部３２ａの下面が、クランプ手段１０により端部剥離位置にクランプされた基板Ｐの一端部の両面におけるフィルムＦの表面に対し、所定のわずかな隙間（例えば、０．９ｍｍ〜２．０ｍｍ）をおいて対向するよう位置付けられる（図１において２点鎖線、図２において実線で示される位置参照）。
【００２８】
次いで、エア噴射手段４０のエア噴射口４２ａの各々から比較的高圧に圧縮されたエア（例えば、０．７〜０．９Ｍｐ）が噴射される。この高圧エアは、ストッパ壁４１ｂに形成されたエア通過開口４１ｄの各々を通過した後、端部剥離位置にクランプされた基板Ｐの一端部の両面において、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端から基板Ｐの本体Ｐ１の一端方向に張り出しているフィルムＦの各々の一端部と、基板Ｐの本体Ｐ１の表面との間に形成されている隙間Ｃに向けて噴射される。この高圧エアのエアナイフ作用によって、フィルムＦの各々は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端から後端に向かって徐々にかつ迅速に剥離されてゆく。基板Ｐの一端部に形成されている上記フィルム剥離しろは、高圧エア噴射による最初の剥離作用の促進に寄与する。フィルムＦの各々は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端から基板Ｐを端部剥離位置にクランプしている上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２の下流端までの一端部剥離範囲だけ剥離される（図２参照）。上記したように、上保持部材３１における上保持板部３１ａの下面及び下保持部材３２における下保持板部３２ａの下面は、基板Ｐの一端部の両面におけるフィルムＦの表面に所定のわずかな隙間をおいて対向するよう位置付けられている。このような構成に起因して、高圧エア噴射圧力の衝撃による基板Ｐの一端部のぶれが最小限に抑えられるように基板Ｐの一端部が保持され、基板Ｐの損傷が確実に防止される。また、噴射された高圧エアは、剥離されたフィルムＦの各々の剥離面と、対応する絶縁樹脂Ｐ２の被剥離面との隙間内を基板Ｐの他端方向に向かうよう指向され（ガイドされ）、フィルムＦの各々の、対応する絶縁樹脂Ｐ２からの剥離作用を促進する。更にはまた、剥離されたフィルムＦの一端部が高圧エアによって基板Ｐの表面から大きく離隔する方向に吹き飛ばされないように、基板Ｐの両面に沿って延在するよう保持される。この作用はまた、噴射された高圧エアを、剥離されたフィルムＦの各々の接着−剥離境界部と、対応する絶縁樹脂Ｐ２の接着−被剥離境界部とにより形成される閉塞部に集中させるように指向させ、剥離効果の促進に大きく寄与するものである。
【００２９】
上記したように、上保持部材３１及び下保持部材３２、したがって、上保持板部３１ａ及び下保持板部３２ａは網目板により形成されているので、エア噴射口４２ａの各々から噴射されてエア通過開口４１ｄの各々を通過した高圧エアの一部が、基板Ｐの一端からフィルムＦの各々の剥離しろを基板Ｐの表面から離隔する方向に拡散されるよう指向される。その結果、フィルムＦの各々の、対応する絶縁樹脂Ｐ２からの剥離作用が促進され、フィルムＦの各々の分離がより効果的に遂行される。上保持部材３１及び下保持部材３２、したがって、上保持板部３１ａ及び下保持板部３２ａを、網目板により形成することなく、通常の板から形成した場合には、上記したエアの拡散が規制され、実質的に全ての高圧エアが、基板Ｐの一端から後端に向かって流れるよう指向されるので、フィルムＦの各々が幾分ではあるが剥離しにくくなることが本発明者による実験で確認されている。このような理由から、少なくとも上保持板部３１ａ及び下保持板部３２ａを、網目板により形成することが好ましいが、通常の板から形成してもフィルムＦの各々の剥離は可能であるので、通常の板から形成する他の実施形態も成立することはいうまでもない。また、先に述べたように、エア噴射口４２ａの各々は上下方向に延びる長孔により構成され、エア通過開口４１ｄの各々は、エア噴射口４２ａの各々よりも上下方向の長さが長い長孔により構成されているので、上記したエアの拡散を効果的に促進する。
【００３０】
上記説明から明らかなように、本発明によるフィルム剥離装置によれば、基板Ｐの両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦの各々の一端部を、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするものである。
【００３１】
上記したとおりにして、フィルムＦの各々の一端部が絶縁樹脂Ｐ２から剥離された後、エア噴射手段４０による高圧エアの噴射が停止される。次いで、上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２に設けられたエア噴射口１１ｂ及びエア噴射口１２ｂから、基板Ｐの両面において部分的に剥離されたフィルムＦの各々の表面に向けて下流方向にエアが噴射される。部分的に剥離されたフィルムＦの各々は、基板Ｐの表面に向けて強制され、ある程度において基板Ｐの表面に戻される。その結果、部分的に剥離されたフィルムＦの各々は、しわや折れが発生することなく、下流側の剥離手段５０に向けて基板Ｐを送り込むことが可能になり、剥離手段５０における完全な剥離を容易にする。
【００３２】
上記したエアの噴射が終了した後、ピンチローラ４は非作用位置から下降させられて作用位置に位置付けられる（図１において２点鎖線で示される位置参照）。また、ピンチローラ手段２０の下ピンチローラ２１及び搬送ローラ２２と、上ピンチローラ２３とは、非作用位置から相互に接近する方向に移動させられて作用位置に位置付けられる（図１において２点鎖線で示される位置参照、また図３において実線で示される位置参照）。基板Ｐは、ピンチローラ４と搬送ローラ２、及び上ピンチローラ２３と下ピンチローラ２１によりニップされる。クランプ手段１０の上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２は、クランプ位置から相互に離隔する方向に移動させられて非クランプ位置に位置付けられる（図１において実線で示される位置参照）。エア供給パイプ４２は、作用位置から下降させられて非作用位置に位置付けられ、ストッパ壁４１ｂも同時に下降させられて基板停止解除位置に位置付けられる（図１及び図３において実線で示される位置参照）。これにより、基板Ｐの移動が許容される状態が形成される。そして、基板保持手段３０の上保持部材３１及び下保持部材３２は、保持位置から相互に離隔する方向に移動させられて非保持位置に位置付けられる（図１及び図３において実線で示される位置参照）。
【００３３】
図１及び図３を参照して、入口側の基板搬送手段における搬送ローラ２が再び回転駆動され、ピンチローラ４及びピンチローラ手段２０によりニップされた基板Ｐは搬送を再開させられる。基板Ｐが、剥離手段５０の上側ベルト機構６０及び下側ベルト機構７０が存在する領域に搬送されると、上部エア噴射手段８０から圧縮エアが、基板Ｐの絶縁樹脂Ｐ２の上面の一端部（前端部）から部分的に剥離されたフィルムＦとの間に吹き付けられる。これにより剥離されたフィルムＦの一端部が上方に偏向させられる。上方に偏向させられたフィルムＦは、上側ベルト機構６０の無端ベルト６３と６６との間に挟まれ、上側搬送搬出経路６７に沿って上方に搬送される。上側搬送搬出経路６７に沿って上方に搬送されたフィルムＦは、基板Ｐの搬送方向Ｄとは反対方向である上流方向に搬出され、図示しないフィルム収容容器内に収容される。ところで、フィルムＦの一端から、上記した一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、上流側無端ベルト６３の最下端Ｌ１（図３参照）から、上流側無端ベルト６３及び下流側無端ベルト６６のニップ部Ｌ２（図３参照）までの、上流側無端ベルト６３の外周面の長さに規定されている。このような構成により、フィルムＦの先端部は上流側無端ベルト６３及び下流側無端ベルト６６のニップ部Ｌ２により確実にニップされ、該ニップ力によって更なる剥離が円滑かつ確実に遂行され、基板Ｐの移動に従って完全な剥離が円滑かつ確実に行なわれる。
【００３４】
なお、図１〜図３において、上流側無端ベルト６３の外周面の上記長さに対し、上記した一端部剥離範囲の長さが著しく長く記載されているが、実際には、ストッパ壁４１ｄの上流側面から上クランプ部材１１及び下クランプ部材１２の下流側端面までの距離は、上側ベルト機構６０の上流側下部ベルト車６１及び下側ベルト機構７０の上流側上部ベルト車７１の直径の２倍程度であり、上記した長さの条件設定に矛盾はない。図面は、説明の便宜上、ノットスケールで記載したものである。
【００３５】
他方、基板Ｐが、剥離手段５０の上側ベルト機構６０及び下側ベルト機構７０が存在する領域に搬送されると、下部エア噴射手段８２から圧縮エアが、基板Ｐの絶縁樹脂Ｐ２の下面の一端部（前端部）から部分的に剥離されたフィルムＦとの間に吹き付けられる。これにより剥離されたフィルムＦの一端部が下方に偏向させられる。下方に偏向させられたフィルムＦは、下側ベルト機構７０の無端ベルト７３と７６との間に挟まれ、下側搬送搬出経路７７に沿って下方に搬送される。上側搬送搬出経路７７に沿って下方に搬送されたフィルムＦは下流方向に搬出され、図示しないフィルム収容容器内に収容される。ところで、フィルムＦの一端から、上記した一端部剥離範囲における上流端までの長さは、少なくとも、下流側無端ベルト７３の最上端Ｕ１（図３参照）から、上流側無端ベルト７３及び下流側無端ベルト７６のニップ部Ｕ２（図３参照）までの、上流側無端ベルト７３の外周面の長さに規定されている。このような構成により、フィルムＦの先端部は上流側無端ベルト７３及び下流側無端ベルト７６のニップ部Ｕ２により確実にニップされ、該ニップ力によって更なる剥離が円滑かつ確実に遂行され、基板Ｐの移動に従って完全な剥離が円滑かつ確実に行なわれる。以上のとおりにして上面及び下面から完全にフィルムが剥離された基板Ｐは、出口側の基板搬送手段における搬送ローラ９０により、下流側の図示しない装置に向けて搬送される。
【００３６】
上記説明から明らかなように、本発明によるフィルム剥離装置によれば、基板Ｐの両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦの各々の一端部を、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にすると共に、一端部が絶縁樹脂Ｐ２から剥離されたフィルムＦの各々を、更に、絶縁樹脂Ｐ２から完全に剥離することを可能にするものである。
【００３７】
以上、本発明によるフィルム剥離装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形あるいは修正が可能である。例えば、上記実施形態において、基板Ｐの停止手段は、ストッパ壁４１ｄにより構成されているが、これに代えて、反射型光学式センサによって搬送ローラ２により搬送されてくる基板Ｐの前端を検出し、基板Ｐを所定の位置に停止させるよう構成する他の実施形態もある。また、上記実施形態において、基板Ｐの両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２にフィルムＦが貼着されているが、基板Ｐの片面及び／又は他面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２にフィルムＦが貼着された基板Ｐのいずれにも、本発明が適用されることはいうまでもない。したがって、基板保持手段３０は、端部剥離位置にクランプされた基板Ｐの一端部における片面及び／又は他面に隙間をおいて対向するよう位置付けられる構成でよい。更に具体的には、基板保持手段３０は上保持部材３１及び／又は下保持部材３２を備えた構成となる。また、クランプ手段１０に設けられるエア噴射手段は、上クランプ部材１１及び／又は下クランプ部材１２に装着される構成となる。更にはまた、剥離手段５０のエア噴射手段は、上部エア噴射手段８０及び／又は下部エア噴射手段８２が設けられる構成となる。更にはまた、クランプ手段１０に設けられるエア噴射手段、エア噴射手段４０、上部エア噴射手段８０及び下部エア噴射手段８２は、エアを噴射する手段であるが、エアに代えて他の気体を噴射する手段であっても、本発明が成立することはいうまでもない。
【００３８】
更にはまた、例えば、特開平１０−１２０２９２号公報に開示されているように、上側ベルト機構には、フィルムを上方に向けて搬送し次いで基板の搬送方向に向けて搬出する上側搬送搬出経路が形成される形態のものがある。この上側ベルト機構において、上流側無端ベルトと下流側無端ベルトとの間には、基板の搬送経路を側方に見てほぼ逆Ｌ形状をなす上側搬送搬出経路が形成される。本発明は、このような形態の上側ベルト機構を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用されるものである。したがって、上側ベルト機構は、上記実施形態に限定されるものではなく、基板の搬送面に上方から最も接近して配置された上流側下部ベルト車と、下端が上流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する上流側無端ベルトと、上流側下部ベルト車の下流側に配置された下流側下部ベルト車と、下端が下流側下部ベルト車に巻き掛けられて上方に向かって延在する下流側無端ベルトとを含み、該ベルトの各々の協働によって少なくとも下端部が上方に延びるフィルム搬送経路が形成されるよう構成されているものであればよい。
【００３９】
【発明の効果】
本発明に従って構成されたフィルム剥離装置によれば、基板の片面及び／又は他面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムの一端部を、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にする。また、基板の片面及び／又は他面に貼着されている絶縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムの一端部を、実質的に絶縁樹脂を傷めることなく、絶縁樹脂から十分確実に剥離することを可能にすると共に、一端部が絶縁樹脂から剥離されたフィルムを、更に、絶縁樹脂から完全に剥離することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の一実施形態の構成を概略的に示す要部側面図。
【図２】図１に示すフィルム剥離装置に含まれる端部剥離手段の要部の作動態様を示す側面概略図。
【図３】図１に示すフィルム剥離装置に含まれる剥離手段の要部の作動態様を示す側面概略図。
【図４】端部剥離手段に含まれる停止手段及びエア噴射手段の要部を基板の搬送方向上流側から見た正面図。
【図５】端部剥離手段に含まれる基板保持手段の上保持部材及び下保持部材の一部を示す斜視図。
【図６】基板の実施形態の一端部の構成を示す断面図。
【符号の説明】
１０  クランプ手段
１１  上クランプ部材
１１ａ  エア供給孔
１１ｂ  エア噴射口
１２  下クランプ部材
１２ａ  エア供給孔
１２ｂ  エア噴射口
２０  ピンチローラ手段
３０  基板保持手段
３１  上保持部材
３１ａ  上保持板部
３２  下保持部材
３２ａ  下保持板部
４０  エア噴射手段
４１ｂ  ストッパ壁
４１ｄ  エア通過開口
４２  エア供給パイプ
４２ａ  エア噴射口
５０  剥離手段
６０  上側ベルト機構
６１  上流側下部ベルト車
６３  上流側無端ベルト
６４  下流側下部ベルト車
６６  下流側無端ベルト
７０  下側ベルト機構
７１  上流側上部ベルト車
７３  上流側無端ベルト
７４  下流側上部ベルト車
７６  下流側無端ベルト
８０  上部エア噴射手段
８２  下部エア噴射手段
１００  端部剥離手段
Ｃ  隙間
Ｄ  基板の搬送方向
Ｆ  フィルム
Ｐ  基板
Ｐ１  基板の本体
Ｐ２  絶縁樹脂
ＰＬ  基板の搬送面
Ｌ１  上流側無端ベルトの最下端
Ｌ２  上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部
Ｕ１  上流側無端ベルトの最上端
Ｕ２  上流側無端ベルト及び下流側無端ベルトのニップ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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