(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ08）を備えたホルダ支持装置、
（Ａ01）互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿った荷電粒子ビームの外側を囲むように配置された鏡筒、
（Ａ02）前記鏡筒を貫通し、且つＹ軸方向に移動可能且つＸＹ平面内で回動可能に支持されたホルダ支持部材、
（Ａ03）前記ホルダ支持部材の内端部にＹ軸方向に伸縮可能な圧電体を介して連結されたホルダ、
（Ａ04）前記ホルダの内端部に設けられ且つ前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される荷電粒子ビーム照射部、
（Ａ05）前記ホルダ支持部材のＹ軸方向の位置を粗調節可能なＹ軸方向粗動機構および微調節可能なＹ軸方向微動機構、
（Ａ06）前記ホルダ支持部材をＸＹ平面内で回動させてホルダ支持部材内端部のＸ軸方向の位置を微調節可能なＸ軸方向微動機構、
（Ａ07）前記ホルダの温度を検出する温度センサ、
（Ａ08）前記ホルダの熱膨張により生じる前記荷電粒子ビーム照射部のＹ軸方向の位置変化をキャンセルするように、前記温度センサの検出温度に応じて前記圧電体を駆動してホルダのＹ軸方向の位置を調節する熱膨張変位防止装置。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ01），（Ａ04），（Ａ09）〜（Ａ014）を備えたホルダ支持装置、
（Ａ01）互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿った荷電粒子ビームの外側を囲むように配置された鏡筒、
（Ａ09）前記鏡筒内部において前記荷電粒子ビームに垂直なステージ支持面により移動可能に支持されたステージ、
（Ａ010）前記鏡筒をＹ軸方向に貫通し且つＹ軸方向に移動可能且つ前記ＸＹ平面内で回動可能に支持され、内端部が前記ステージに連結された円筒状のパイプ、
（Ａ011）前記パイプの内端部に熱伝達可能に嵌合し且つ前記パイプを貫通するとともに、内端部にホルダが連結され且つ前記パイプによりＹ軸方向に粗動可能に支持された前記ホルダ支持部材、
（Ａ04）前記ホルダの内端部に設けられ且つ前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される荷電粒子ビーム照射部、
（Ａ012）前記パイプに対するホルダ支持部材のＹ軸方向の位置を調節するＹ軸方向粗動機構、
（Ａ013）前記ステージにＹ軸方向の前記ホルダ支持部材の反対側から当接するＹ軸方向の位置を微調節可能なＹ軸方向位置決め部材を有する前記Ｙ軸方向微動機構、
（Ａ014）前記ステージにＸ軸方向から当接し且つ常時内端側に移動する力を受けるＸ軸方向ステージ押圧部材と、前記ステージに前記Ｘ軸方向ステージ押圧部材の反対側から当接するＸ軸方向の位置を微調節可能なＸ軸方向位置決め部材とを有するＸ軸方向微動機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷電粒子ビーム装置（電子顕微鏡装置、電子ビーム、イオンビーム等を用いた分析装置、等）の荷電粒子ビームのビーム径を絞る絞り孔が形成された絞り板を保持する絞り板ホルダや試料ホルダ等のホルダを支持するホルダ支持装置に関し、特に、荷電粒子ビームのビーム中心に絞り孔または試料等の中心部を正確に配置することが可能なホルダ支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記種類のホルダ支持装置として、下記の構成要件（１）〜（６）を備えたものが従来公知である。
（１）互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿った荷電粒子ビーム（ビーム）の通路の外側を囲むように配置された鏡筒、
（２）前記鏡筒をＹ軸方向に貫通し且つＹ軸方向に移動可能且つ球面軸受けにより回転可能に支持されたホルダ支持部材、
（３）前記ホルダ支持部材の内端部に連結された絞り板ホルダ、
（４）前記絞り板ホルダに支持され且つ前記荷電粒子ビーム（ビーム）が通過する際にその外径を絞る複数の絞り孔が形成された絞り板、
（５）前記ホルダ支持部材をＹ軸方向に位置調節するＹ軸粗動機構およびＹ軸微動機構、
（６）前記ホルダ支持部材をＸ軸方向に位置調節するＸ軸微動機構。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記ホルダ支持装置を使用して、荷電粒子ビーム装置においては荷電粒子ビーム（荷電粒子ビーム）のビーム径を調整するには、前記ホルダ支持部材をＹ軸方向に粗動調節してから微動調節を行い、また、Ｘ軸方向に微動調節して、径の異なる前記絞り孔を荷電粒子ビームの通路に移動させる。
前記従来のホルダ支持装置は、電子ビームの加速電圧が高い超高圧電子顕微鏡（例えば１０００ＶＫ）で使用した場合、前記絞り板および絞り板ホルダが電子ビームにより１００℃〜２００℃に加熱される。そのため熱膨張係数の小さい材料を使用したとしても、１００μｍ以上の熱膨張が生じ、時間の経過とともに、絞り孔のセンタがビームからずれてしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）絞り板および絞り板ホルダや試料ホルダの熱膨張により絞り板の絞り孔や試料ホルダの試料保持部の位置が電子ビーム中心線から位置ずれするのを防止すること。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００６】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明のホルダ支持装置は、下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿った荷電粒子ビームの外側を囲むように配置された鏡筒（２）、
（Ａ02）前記鏡筒（２）を貫通し、且つＹ軸方向に移動可能且つＸＹ平面内で回動可能に支持されたホルダ支持部材（２６）、
（Ａ03）前記ホルダ支持部材（２６）の内端部にＹ軸方向に伸縮可能な圧電体（２７）を介して連結されたホルダ（２８）、
（Ａ04）前記ホルダ（２８）の内端部に設けられ且つ前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）、
（Ａ05）前記ホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置を粗調節可能なＹ軸方向粗動機構（Ｕ１）および微調節可能なＹ軸方向微動機構（Ｕ２）、
（Ａ06）前記ホルダ支持部材（２６）をＸＹ平面内で回動させてホルダ支持部材内端部のＸ軸方向の位置を微調節可能なＸ軸方向微動機構（Ｕ３）、
（Ａ07）前記ホルダ（２８）の温度を検出する温度センサ（３１）、
（Ａ08）前記ホルダ（２８）の熱膨張により生じる前記荷電粒子ビーム照射部のＹ軸方向の位置変化をキャンセルするように、前記温度センサ（３１）の検出温度に応じて前記圧電体（２７）を駆動してホルダ（２８）のＹ軸方向の位置を調節する熱膨張変位防止装置（Ｕ４）。
【０００７】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた第１発明のホルダ支持装置では、荷電粒子ビームは、互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿って配置された鏡筒（２）の内部をＺ軸方向に通過する。
前記鏡筒（２）を貫通するホルダ支持部材（２６）は、Ｙ軸方向に移動可能且つＸＹ平面内で回動可能に支持される。前記記ホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置はＹ軸方向粗動機構（Ｕ１）により粗調節され、Ｙ軸方向微動機構（Ｕ２）により微調節される。また、前記ホルダ支持部材（２６）はＸ軸方向微動機構（Ｕ３）によりＸＹ平面内で回動させられてＸ軸方向の位置が微調節される。前記ホルダ支持部材（２６）内端部に圧電体（２７）を介して保持されたホルダ（２８）は、前記Ｙ軸方向粗動機構（Ｕ１）、Ｙ軸方向微動機構（Ｕ２）およびＸ軸方向微動機構（Ｕ３）により、ＸＹ平面内の位置が微調節されて、前記ホルダ（２８）の内端部に設けられた荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）は前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される。
【０００８】
前記荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）に荷電粒子ビームを照射すると、前記ホルダは照射される荷電粒子ビームにより加熱されて温度が上昇する。この温度上昇によりホルダ（２８）は熱膨張し、このとき、前記荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）のＹ軸方向の移動する。荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）がＹ軸方向に移動すると荷電粒子ビームを所望の位置に照射することができなくなる。
温度センサ（３１）は前記ホルダ（２８）の温度を検出する。熱膨張変位防止装置（Ｕ４）は、前記ホルダ（２８）の熱膨張により生じる前記荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）のＹ軸方向の位置変化をキャンセルするように、前記温度センサ（３１）の検出温度に応じて前記圧電体（２７）を駆動して絞り板（２９）のＹ軸方向の位置を調節する。
【０００９】
（第２発明）
前記課題を解決するために、第２発明のホルダ支持装置は、下記の構成要件（Ａ01），（Ａ04），（Ａ09）〜（Ａ014）を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿った荷電粒子ビームの外側を囲むように配置された鏡筒（２）、
（Ａ09）前記鏡筒（２）内部において前記荷電粒子ビームに垂直なステージ支持面（１１ｂ）により移動可能に支持されたステージ（１２）、
（Ａ010）前記鏡筒（２）をＹ軸方向に貫通し且つＹ軸方向に移動可能且つ前記ＸＹ平面内で回動可能に支持され、内端部が前記ステージ（１２）に連結された円筒状のパイプ（２１）、
（Ａ011）前記パイプ（２１）の内端部に熱伝達可能に嵌合し且つ前記パイプ（２１）を貫通するとともに、内端部にホルダ（２８）が連結され且つ前記パイプ（２１）によりＹ軸方向に粗動可能に支持された前記ホルダ支持部材（２６）、（Ａ04）前記ホルダ（２８）の内端部に設けられ且つ前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）、
（Ａ012）前記パイプ（２１）に対するホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置を調節するＹ軸方向粗動機構（Ｕ１）、
（Ａ013）前記ステージ（１２）にＹ軸方向の前記ホルダ支持部材（２６）の反対側から当接するＹ軸方向の位置を微調節可能なＹ軸方向位置決め部材（５２）を有する前記Ｙ軸方向微動機構（Ｕ２）、
（Ａ014）前記ステージ（１２）にＸ軸方向から当接し且つ常時内端側に移動する力を受けるＸ軸方向ステージ押圧部材（６８）と、前記ステージ（１２）に前記Ｘ軸方向ステージ押圧部材（６８）の反対側から当接するＸ軸方向の位置を微調節可能なＸ軸方向位置決め部材（５２′）とを有するＸ軸方向微動機構（Ｕ３）。
【００１０】
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明のホルダ支持装置では、荷電粒子ビームは、互いに直交する水平なＸ軸およびＹ軸に直交する鉛直なＺ軸に沿って配置された鏡筒（２）の内部をＺ軸方向に通過する。前記鏡筒（２）内部に支持されたステージ（１２）は、前記荷電粒子ビームに垂直なステージ支持面（１１ｂ）上で移動可能である。前記鏡筒（２）をＹ軸方向に貫通し且つ内端部が前記ステージ（１２）に連結された円筒状のパイプ（２１）は、Ｙ軸方向に移動可能且つ前記ＸＹ平面内で回動可能に支持される。前記ステージ（１２）は、前記パイプ（２１）の外端に作用する大気圧により常時前記パイプ（２１）に連結されている側と反対側に移動するように押圧されている。
前記パイプ（２１）によりＹ軸方向に粗動可能に支持されたホルダ支持部材（２６）は、前記パイプ（２１）の内端部に熱伝達可能に嵌合し且つ前記パイプ（２１）を貫通する。Ｙ軸方向粗動機構（Ｕ１）は、前記パイプ（２１）に対するホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置を調節する。このとき、前記ホルダ支持部材（２６）内端部に圧電体（２７）を介して保持されたホルダ（２８）は、前記Ｙ軸方向の位置が粗調節される。
【００１１】
前記大気圧が作用するパイプ（２１）により押圧されるステージ（１２）には、前記パイプ（２１）との連結部と反対側の側面にＹ軸方向位置決め部材（５２）が当接している。Ｙ軸方向微動機構（Ｕ２）は、前記Ｙ軸方向位置決め部材（５２）のＹ軸方向の位置を微調節することにより、ステージ（１２）のＹ軸方向の位置を微調節する。
したがって、前記パイプ（２１）に対するホルダ支持部材（２６）の位置が固定された状態（前記パイプ（２１）に対するホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置を調節するＹ軸方向粗動機構（Ｕ１）を停止した状態）で、前記Ｙ軸微動機構により前記ステージ（１２）のＹ軸方向の位置を微調節することによりステージ（１２）に連結されたパイプ（２１）および前記ホルダ支持部材（２６）のＹ軸方向の位置を微調節することができる。
【００１２】
前記ステージ（１２）にＸ軸方向から当接するＸ軸方向ステージ押圧部材（６８）は、前記ステージ（１２）を前記当接する側と反対側に押圧する。前記ステージ（１２）に前記Ｘ軸方向ステージ押圧部材（６８）の反対側から当接するＸ軸方向位置決め部材（５２′）は、Ｘ軸方向の位置が微調節される。このとき、ステージ（１２）のＸ軸方向の位置が微調節される。
前記ホルダ支持部材（２６）内端部に圧電体（２７）を介して保持されたホルダ（２８）は、前記Ｙ軸方向粗動機構（Ｕ１）、Ｙ軸方向微動機構（Ｕ２）およびＸ軸方向微動機構（Ｕ３）により、ＸＹ平面内の位置が微調節されるので、前記ホルダ（２８）の内端部に設けられた荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）は前記荷電粒子ビームが通過する位置に配置される。
【００１３】
前記荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）に荷電粒子ビームを照射すると、前記ホルダ（２８）は照射される荷電粒子ビームにより加熱されて温度が上昇する。この温度上昇によりホルダ（２８）は熱膨張し、このとき、前記荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）はＹ軸方向に移動する。荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜２９ｃ）がＹ軸方向に移動すると荷電粒子ビームの照射位置がずれてしまう。そこで、前記ホルダ（２８）の温度上昇を低くする必要がある。  この第２発明では、前記ステージ（１２）に連結されたパイプ（２１）の内端部に前記ホルダ支持部材（２６）が熱伝達可能に嵌合しているので、荷電粒子ビーム照射時に生じるホルダ（２８）の熱は前記パイプ（２１）およびステージ（１２）に伝達されて放熱される。したがって、ホルダ（２８）の温度上昇を低くすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１のホルダ支持装置は前記第１または第２発明において次の構成要件（Ａ001）を備えたことを特徴とする。
（Ａ001）前記荷電粒子ビームが通過する際にその外径を絞る複数の絞り孔（２９ａ〜２９ｃ）が荷電粒子ビーム照射部（２９ａ〜（２９ｃ）として形成された絞り板（２９）を支持する絞り板ホルダ（２８）である前記ホルダ（２８）。
【００１５】
（実施の形態１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態１のホルダ支持装置では、荷電粒子ビームが照射されたときに生じる熱により熱膨張する絞りホルダ（２８）の絞り孔（２９ａ〜２９ｃ）の位置の移動を少なくすることができる。
【００１６】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２のホルダ支持装置は前記第１発明または第２発明において次の構成要件（Ａ002）を備えたことを特徴とする。
（Ａ002）前記荷電粒子ビームの通路に試料を保持する試料保持部が荷電粒子ビーム照射部として設けられた試料ホルダである前記ホルダ。
【００１７】
（実施の形態２の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態２のホルダ支持装置では、荷電粒子ビームが照射されたときに生じる熱により熱膨張する試料ホルダ（２８）の試料保持部の位置の移動を少なくすることができる。
【００１８】
（実施例）
次に図面を参照しながら、本発明の絞りホルダの実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００１９】
図１は本発明の実施例のホルダ支持装置を有する電子顕微鏡の概略説明図である。
図１において、本発明の実施例のホルダ支持装置Ｓを有する透過型電子顕微鏡Ｕは、内部を真空に保持された鏡筒２を有し、鏡筒２上端に荷電粒子銃３が設けられている。前記荷電粒子銃３から出射される荷電粒子ビームの中心線は、鉛直なＺ軸に沿って配置されている。鏡筒２下端部には、観察窓４および、実線で示す観察位置と二点鎖線で示す退避位置との間で移動可能な蛍光板５が設けられている。また、前記蛍光板５の下方には電子顕微鏡画像を撮影するためのフィルムＦを撮影位置に配置するための装置が配置されている。
前記荷電粒子銃３の下方には荷電粒子ビーム集束用の集束レンズ７が配置され、前記蛍光板５の上方には拡大結像用の結像レンズ８が配置されている。そして、前記集束レンズ７および結像レンズ８の間には、絞り板ホルダを支持するホルダ支持装置Ｓと、試料ホルダＨを支持するゴニオステージＧＳおよびゴニオメータＧＭとが設けられている。
【００２０】
図２は同実施例のホルダ支持装置の平面図である。
図３は同実施例のホルダ支持装置の正断面図で、前記図２のIII−III線断面図である。
図４は前記図３の要部拡大図で、ステージおよびＹ軸方向微動機構を示す図である。
図１、図２において、ホルダ支持装置Ｓは、鏡筒２の一部を形成するステージ支持部材１１を有している。
図２〜図４において、ステージ支持部材１１はステージ収容孔１１ａを有しており、ステージ収容孔１１ａの底面により形成されたステージ支持面１１ｂ（図３参照）には後述のステージ１２が移動可能に支持される。ステージ支持面１１ｂは電子ビームに垂直な平面内に配置されている。ステージ支持部材１１には、Ｙ軸方向に延びるパイプ貫通孔１１ｃおよびＹ軸方向微動シャフト貫通孔１１ｄが形成されており、また、Ｘ軸方向に延びるステージ押圧部材収容孔１１ｅおよびＸ軸方向微動シャフト貫通孔１１ｆが形成されている。
【００２１】
図２〜図４において、前記ステージ収容孔１１ａのステージ支持面１１ｂ（図３参照）に支持されるステージ１２は、平面図でドーナツ状に形成されており、中央部にはビーム通過孔１２ａが形成されている。また、ステージ１２の下面には低摩擦材料製の複数のスライド部材１２ｂが固定されており、ステージ１２は前記スライド部材１２ｂと共に前記ステージ収容孔１１ａのステージ支持面１１ｂ上でスライド移動可能である。
図４において、前記ステージ１２には、前記ビーム通過孔１２ａの右側（Ｙ側）にＹ軸方向に延びるパイプ連結孔１２ｃが形成されており、また、前記ビーム通過孔１２ａの周囲には上端が開口する３個のネジ収容孔１２ｄが形成されている。ネジ収容孔１２ｄの底面にはネジ貫通孔１２ｅが形成されている。
【００２２】
前記３個のネジ収容孔１２ｄにネジ頭部が収容された各固定ネジ１３は前記ネジ貫通孔１２ｅを貫通して前記ステージ支持部材１１に固定されている。前記ネジ貫通孔１２ｅの内径に比較して固定ネジ１３の外径が小さく設定されており、それらの径の差の範囲で前記ステージ１２はステージ収容孔１１ａのステージ支持面１１ｂ上で移動可能である。前記固定ネジ１３の頭部とステージ収容孔１１ａのステージ支持面１１ｂとの間には圧縮バネ１４が配置されており、ステージ１２は前記圧縮バネ１４によりステージ収容孔１１ａのステージ支持面１１ｂに押圧されて、前記底面上の位置が安定している。
【００２３】
図５はホルダ支持部材およびそれを支持するパイプの外端部とＹ軸粗動機構の説明図で、図５Ａは前記図２の右端部拡大図、図５Ｂは前記図３の右端部拡大図で且つ図５ＡのＶＢ−ＶＢ線断面図である。
図２、図３、図５において、ステージ支持部材１１のパイプ貫通孔１１ｃの外端（右端、すなわち、Ｙ端）には、連結部材１６が固定されている。
図３、図５において、連結部材１６はパイプ貫通孔１６ａを有しており、連結部材１６の外端には球面軸受支持部材１７が連結されている。球面軸受支持部材１７にはＹ軸方向に沿ってパイプ貫通孔１７ａおよび軸受装着孔１７ｂが形成されている。前記軸受装着孔１７ｂには球面軸受１８が装着されている。球面軸受１８にはパイプ貫通孔１８ａが形成されている。
前記パイプ貫通孔１１ｃ，１６ａ，１７ａ，１８ａを貫通するパイプ２１は、その内端部２１ａがパイプ連結孔１２ｃに嵌合した状態（図４参照）でステージ１２に連結されている。前記パイプ２１の内端部２１ａ（図４参照）の内径は小さく形成されており、パイプ２１の外端部２１ｂの外径は大きく形成されている。前記パイプ２１は、前記パイプ貫通孔１１ｃ，１６ａ，１７ａの内周面との間に隙間が形成されており、前記球面軸受１８の中心を回転中心として小さな角度範囲で回転可能である。
前記パイプ貫通孔１６ａ内に収容されたパイプ２１の外周面にはベローズ連結部材２２が気密に装着されており、ベローズ連結部材２２と前記球面軸受支持部材１７の左端（−Ｙ端）との間には気密保持用のベローズ２３が設けられている。
【００２４】
図６は前記図５Ｂの矢印ＶIで示す部分の拡大図である。
図７はホルダ支持部材の説明図で、図７Ａは平面図、図７Ｂは正面図で前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図、図７Ｃは前記図７ＢのＶIIＣ−ＶIIＣ線断面図である。
図３において前記パイプ２１を貫通するホルダ支持部材２６は、図７に示されている。
図７において、ホルダ支持部材２６は円柱状部分２６ａと、その外端部（右端部）に設けた小径円板２６ｂ、中径円板２６ｃおよび大径円板２６ｄを有している。前記中径円板２６ｃの外周面には回り止め凹溝２６ｅが形成されている。
【００２５】
図７において、前記ホルダ支持部材２６の円柱状部分２６ａの内端（左端、すなわち、−Ｙ端）には円柱状の圧電体（ピエゾ素子）２７を介して絞り板ホルダ２８が連結されている。絞り板ホルダ２８の内端には絞り板２９が支持されている。絞り板２９には内径の異なる複数の絞り孔（アパーチャ）２９ａ〜２９ｃが形成されている。
また、前記絞り板２９には温度センサ３１が装着されており、絞り板２９の温度を検出している。
図４から分かるように、パイプ２１の内端部（左端部、すなわち、−Ｙ端部）２１ａの内径は小さく形成されており、その小内径部分には前記ホルダ支持部材２６の円柱状部分２６ａの内端部が嵌合している。その嵌合部ではパイプ２１とホルダ支持部材２６との間で熱伝達が行われるように構成されている。
【００２６】
図５において、前記パイプ２１の外端部２１ｂの外周面には円筒部材３２が固定されており、円筒部材３２の左端のフランジ部３２ａにはＵ字型部材３３の左端壁３３ａがネジ３４で連結されている。Ｕ字型部材３３は、左端壁３３ａとその上端および下端から右方に延びる上壁および下壁を有している。Ｕ字型部材３３の左端壁の左側面にはボルト連結プレート３６が当接しており、前記ボルト連結プレート３６に形成された複数のメスネジ孔にボルト３７の先端オスネジ部が螺合している。ボルト３７の外周面には円筒状スペーサ３８が装着されている。
【００２７】
図５Ｂにおいて、 前記パイプ２１と一体的に結合されたＵ字型部材３３にはブラケットＢＬが連結されており、ブラケットＢＬには粗動用モータＭ１が支持されている。粗動用モータＭ１の出力軸Ｍ１ａの先端部にはカム３９が装着されている。前記粗動用モータＭ１、出力軸Ｍ１ａ、カム３９等により、前記ホルダ支持部材２６、圧電体２７、絞り板ホルダ２８および絞り板２９等をＹ軸方向に粗動させるＹ軸方向粗動機構Ｕ１が構成されている。
前記パイプ２１、円筒部材３２、Ｕ字型部材３３、ネジ３４、ボルト連結プレート３６、ボルト３７、円筒状スペーサ３８、ブラケットＢＬ、粗動用モータＭ１等は一体的に連結されている。
【００２８】
前記円筒状スペーサ３８の外周面にはバネ収容筒４０が軸方向にスライド可能に装着されており、バネ収容筒４０内にはバネ収容筒４０を常時右側（Ｙ側）に押圧する圧縮コイルバネ４１が収容されている。バネ収容筒４０の外周面の左右方向（Ｙ軸方向）の中央部に段部４０ａが形成されており、段部４０ａの右側（Ｙ側）部分よりも左側（−Ｙ側）部分の外径が小さく形成されている。
前記Ｕ字型部材３３の右端には抜止プレート４２がネジで固定されている。抜止プレート４２には前記段部４０ａが係合して、前記バネ収容筒４０の右方への移動を防止している。
【００２９】
図５において、前記円筒部材３２の外周面にはＹ軸方向にスライド可能な可動円筒４３がＹ軸方向に移動可能に支持されている。可動円筒４３の左端（−Ｙ端）には前後方向（Ｘ軸方向）に突出するフランジ４３ａが設けられている。フランジ４３ａには前記ボルト３７および円筒状スペーサ３８が貫通する複数の貫通孔が形成されており、各貫通孔の右端（Ｙ端）にはバネ受４３ｂが設けられている。前記バネ受４３ｂには前記圧縮コイルバネ４１の左端（−Ｙ端）が支持されている。前記圧縮コイルバネ４１により可動円筒４３は常時左側（−Ｙ側）に移動する力を受けている。
【００３０】
図５Ｂにおいて可動円筒４３にはピンガイド孔４３ｃが形成されており、ピンガイド孔４３ｃは軸方向に延びる長孔により形成されている。前記ピンガイド孔４３ｃには前記円筒部材３２に固定されたピン４４が係合しており、可動円筒４３はピンガイド孔４３ｃの軸方向の長さに応じた所定の範囲で軸方向に移動可能である。
また、可動円筒４３に固定されたピン４５はホルダ支持部材２６の回り止め凹溝２６ｅに係合しており、可動円筒４３とホルダ支持部材２６との相対的回転は不能に構成されている。
【００３１】
図６において、可動円筒４３は、その右端部（Ｙ端部）内周面にメスネジ４３ｄおよび段部４３ｅが形成されており、前記段部４３ｅの左側には空気連通孔４３ｆが形成されている。前記メスネジ４３ｄには栓４６のオスネジ４６ａが螺合している。栓４６の左端（−Ｙ端）４６ｂは前記ホルダ支持部材２６の大径円板２６ｄの右端に当接して大径円板２６ｄを前記段部４３ｅに押圧している。したがって、ホルダ支持部材２６の右端は可動円筒４３および栓４６と一体的に結合されている。
図５Ｂにおいて、可動円筒４３の上側面にはカム係合ピン４３ｇが突出して設けられている。
【００３２】
図５Ｂにおいて、前記一体的に結合されたホルダ支持部材２６、可動円筒４３および栓４６は、前記ピンガイド孔４３ｃの軸方向の長さに応じた距離だけ前記パイプ２１に対して移動可能である。そして、可動円筒４３には、栓４６の右端（外端）に作用する大気圧により常時左方（内方）に移動させる力が作用している。
したがって、可動円筒４３は前記大気圧により左方へ移動する力を受けているが、前記カム係合ピン４３ｇが前記パイプ２１に支持されたカム３９に当接した状態で停止している。この状態では、パイプ２１にも前記栓４６の右端に作用する大気圧により内方（左方）に移動させる力が作用している。
【００３３】
図４において、前記パイプ２１の内端（左端）はステージ１２に連結されているので、前記パイプ２１を（左方）に移動させる力はステージ１２に伝達される。
ステージ１２の左側に形成されたＹ軸方向微動シャフト貫通孔１１ｄには微動シャフト５１がＹ軸方向に移動可能に収容されており、微動シャフト５１の先端部（右端部）には鉛直軸回りに回転可能なローラ（Ｙ軸方向位置決め部材）５２が支持されている。
前記ローラ５２は、ステージ１２の左側面に当接して、ステージ１２の左方への移動を規制して、ステージ１２のＹ軸方向の位置決めを行う部材である。
【００３４】
Ｙ軸方向微動シャフト貫通孔１１ｄの左端（外端）には、シャフト貫通孔５３ａを有する筒状連結部材５３が装着されており、筒状連結部材５３の左端にはテコ支持部材５４が連結されている。テコ支持部材５４はテコ５６を軸５６ａ回りに回転可能に支持している。テコ５６の上面には平滑なネジ当接面５６ｂが設けられている。前記テコ５６の右下部分には平滑なシャフト当接面５７ａを有するシャフト当接部材５７が設けられている。
前記微動シャフト５１の左端部分は、筒状連結部材５３のシャフト貫通孔５３ａを貫通している。微動シャフト５１の左端部分にはバネ受リング５１ａが固着されており、前記バネ受リング５１ａとシャフト貫通孔５３ａの右端壁との間には圧縮バネ５８が設けられている。前記圧縮バネ５８により微動シャフト５１は常時左方（−Ｙ方向）に移動する力を受けている。
微動シャフト５１の左端には球５１ｂが設けられており、球５１ｂは前記シャフト当接面５７ａに当接している。
【００３５】
図４において、テコ支持部材５４の上端は開口しており、その開口は蓋５９により閉塞されている。蓋５９にはネジ孔５９ａが形成されている。前記蓋５９の上面にはブラケット６１が固定されており、ブラケット６１にはＹ軸方向微動用モータＭ２が固定支持されている。Ｙ軸方向微動用モータＭ２はその出力軸Ｍ２ａにギヤＧ１が装着されている。
前記蓋５９のネジ孔５９ａにはネジ６２が螺合しており、ネジ６２の上端にはギヤＧ２が装着されている。ギヤＧ１およびＧ２は噛み合っており、前記Ｙ軸方向微動用モータＭ２が回転するとギヤＧ１，Ｇ２を介してネジ６２が回転する。ネジ６２はネジ孔５９ａに螺合しているので、回転すると回転方向に応じて上下に移動する。ネジ６２の先端は前記テコ５６のネジ当接面５６ｂに当接しているので、ネジ６２の上下方向の移動に応じてテコ５６は軸５６ａ回りに回動する。前記テコ５６の回動によりシャフト当接面５７ａは左右方向に移動し、球５１ｂを介して微動シャフト５１を左右方向に移動させる。
前記符号５１〜６２，ＢＬ，Ｇ１，Ｇ２，Ｍ２等で示された要素によりＹ軸方向微動機構Ｕ２が構成されている。
【００３６】
図２において、Ｘ軸方向微動シャフト貫通孔１１ｆの内部およびその前端（Ｘ端）にはＸ軸方向微動機構Ｕ３が設けられている。このＸ軸方向微動機構Ｕ３は、前記Ｙ軸方向微動機構Ｕ２と同様に構成されており、符号５１′〜６２′、ＢＬ′，Ｇ１′，Ｇ２′、Ｍ２′等で示された要素により構成されている。
図８はＸ軸方向ステージ押圧部材の説明図で、図８Ａは平面図、図８Ｂは前記図８ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図である。
図２、図８において、前記ステージ支持部材１１は、Ｘ軸方向に延びるステージ押圧部材収容孔１１ｅの外端部にＸ軸に垂直な、断面が円形のロッド支持部材収容孔１１ｇが形成されている。
Ｘ軸方向ステージ押圧部材６６は、前記ステージ押圧部材収容孔１１ｅ内部にＸ軸方向にスライド可能に収容されたスライドロッド６７と、前記スライドロッド６７の前端部に鉛直軸回りに回転可能に支持されたローラ６８とを有している。スライドロッド６７の前後方向の中央部に段部６７ａを有し、段部６７ａの後側部（−Ｘ側部）６７ｂはその前側部分よりも外形の小さな断面形状（円筒形）に形成されている。
【００３７】
前記ステージ押圧部材収容孔１１ｅの外端部およびロッド支持部材収容孔１１ｇにはロッド支持部材６９が収容されている。ロッド支持部材６９は、その外端部にＸ軸に垂直な断面が円形のフランジ部６９ａと、前記フランジ部６９ａから前方（Ｘ方向）に延びる円筒形のロッド連結部６９ｂを有している。上側のロッド連結部６９ｂに軸方向に延びるスリット６９ｃが形成されている。
前記フランジ部６９ａはネジにて前記ロッド支持部材収容孔１１ｇにＯリングを介して固定され、前記スライドロッド６７は、圧縮コイルバネ７２により内端側に押圧されて、ロッド支持部材収容孔１１ｇ内に保持される。
前記スライドロッド６７の外形の小さな断面円筒形の後側部６７ｂはロッド連結部６９ｂ内側に配置されている。前記後側部６７ｂには上方に突出するピン７１が固定されており、ピン７１の先端部は前記スリット６９ｃの溝にガイドされ、スリット６９ｃに係合している。この構成によりスライドロッド６７はステージ押圧部材収容孔１１ｅ内でＸ軸方向に移動可能且つＸ軸回り回動不能に収容されている。
【００３８】
前記回り止め部６９は前記円筒形のロッド支持部材収容孔１１ｇに回転不能に嵌合している。前記スライドロッド６７の後側部６７ｂの外周には前記段部６７ａと前記ロッド連結部６９ｂとの間に圧縮コイルバネ７２が配置されている。前記圧縮コイルバネ７２によって前記スライドロッド６７およびローラ６８は前方（Ｘ方向）に移動する力を受けて、ローラ６８はステージ１２の後側面を押圧する。すなわち、ローラ６８はＸ軸方向ステージ押圧部材として構成されている。前記符号６７〜７２で示された要素により前記Ｘ軸方向ステージ押圧部材６６が構成されている。
【００３９】
（ホルダ支持装置の制御部の説明）
図９はホルダ支持装置の制御部のブロック線図である。
図９において、コントローラＣは、外部との信号の入出力および入出力信号レベルの調節等を行うＩ／Ｏ（入出力インターフェース）、必要な処理を行うためのプログラムおよびデータ等が記憶されたＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）、ならびにクロック発振器等を有するコンピュータにより構成されており、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。
【００４０】
（前記コントローラＣに接続された信号出力要素）
図９において、前記コントローラＣは、電源スイッチＳＷ、キーボードＫＢ、マウスＭ、温度センサ３１、Ｙ軸粗動用モータＭ１の回転角を検出するＭ１用回転センサＰ１、Ｙ軸微動用モータＭ２の回転角を検出するＭ２用回転センサＰ２、Ｘ軸微動用モータＭ３の回転角を検出するＭ３用回転センサＰ３、その他の信号入力要素からの信号が入力されている。
【００４１】
（前記コントローラＣに接続された被制御要素）
また、コントローラＣは、表示器Ｄ、Ｙ軸粗動用モータ駆動回路Ｄ１、Ｙ軸微動用モータ駆動回路Ｄ２、Ｘ軸微動用モータ駆動回路Ｄ３、圧電体駆動回路Ｄ４、その他の被制御要素に接続されており、それらの作動制御信号を出力している。
前記Ｙ軸粗動用モータ駆動回路Ｄ１はＹ軸粗動用モータＭ１を駆動して絞りホルダ２８および絞り板２９（図４参照）のＹ軸方向の位置を粗調節する。
前記Ｙ軸微動用モータ駆動回路Ｄ２はＹ軸微動用モータＭ２を駆動して、ステージ１２、絞りホルダ２８および絞り板２９（図４参照）のＹ軸方向の位置を微調節する。
前記Ｘ軸微動用モータ駆動回路Ｄ３はＸ軸微動用モータＭ３を駆動して、ステージ１２、絞りホルダ２８および絞り板２９（図４参照）のＸ軸方向の位置を微調節する。
前記圧電体駆動回路Ｄ４は圧電体２７を駆動して絞りホルダ２８および絞り板２９（図４参照）のＹ軸方向の位置を調節する。
前記圧電体駆動回路Ｄ４および圧電体２７により、絞りホルダ２８および絞り板２９（図４参照）等の熱膨張による絞り孔２９ａ〜２９ｃのＹ軸方向の位置変移を防止する熱膨張変移防止装置Ｕ４が構成されている。
【００４２】
（前記コントローラＣの機能）
前記コントローラＣは、前記信号出力要素からの入力信号に応じた処理を実行して、前記各制御要素に制御信号を出力する機能を有している。
すなわち、コントローラＣは次の機能を有している。
Ｃ1：Ｙ軸粗動用モータ制御手段  Ｙ軸粗動用モータ制御手段Ｃ1は絞り孔Ｙ軸方向粗動信号出力手段Ｃ１ａを有しており、Ｙ軸粗動用モータ駆動回路Ｄ１の制御信号を出力する。
Ｃ１ａ：絞り孔Ｙ軸方向粗動信号出力手段
絞り孔Ｙ軸方向粗動信号出力手段Ｃ１ａは、前記キーボードＫＢまたはマウスＭ等の入力信号により絞り孔２９ａ〜２９ｃ（図７参照）のいずれかが指定された場合には、指定された絞り孔２９ａ〜２９ｃが荷電粒子ビームの通路に移動するようにＹ軸粗動用モータ駆動回路Ｄ１の制御信号を出力する。
【００４３】
Ｃ２：Ｙ軸微動用モータ制御手段
Ｙ軸微動用モータ制御手段Ｃ２は絞り孔Ｙ軸方向微動信号出力手段Ｃ２ａを有しており、Ｙ軸微動用モータ駆動回路Ｄ２の制御信号を出力する。
Ｃ２ａ：絞り孔Ｙ軸方向微動信号出力手段
絞り孔Ｙ軸方向微動信号出力手段Ｃ２ａは、Ｙ軸粗動用モータＭ１によりラフに位置決めされた絞り孔が正確にビーム通路に配置されるようにＹ軸微動用モータ駆動回路Ｄ２の制御信号を出力する。
【００４４】
Ｃ３：Ｘ軸微動用モータ制御手段
Ｘ軸微動用モータ制御手段Ｃ３は絞り孔Ｘ軸方向微動信号出力手段Ｃ３ａを有しており、Ｘ軸微動用モータ駆動回路Ｄ３の制御信号を出力する。
Ｃ３ａ：絞り孔Ｘ軸方向微動信号出力手段
絞り孔Ｘ軸方向微動信号出力手段Ｃ３ａは、Ｙ軸粗動用モータＭ１によりラフに位置決めされた絞り孔が正確にビーム通路に配置されるようにＸ軸微動用モータ駆動回路Ｄ３の制御信号を出力する。
【００４５】
Ｃ４：圧電体駆動制御手段
圧電体駆動制御手段Ｃ４は熱ドリフト補正信号出力手段Ｃ４ａおよび温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂを有しており、圧電体駆動回路Ｄ４の制御信号を出力する。
Ｃ４ａ：熱ドリフト補正信号出力手段
熱ドリフト補正信号出力手段Ｃ４ａは、温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂに記憶されている情報および前記温度センサ３１が検出する絞り板２９の検出温度等に応じ、絞り板ホルダ２８および絞り板２９等の熱膨張による絞り孔２９ａ〜２９ｃのビーム通路からのＹ軸方向の位置ずれを補償（キャンセル）するように圧電体駆動回路Ｄ４の制御信号を出力する。
【００４６】
Ｃ４ｂ：温度に対する圧電体駆動情報記憶手段
温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂは、温度センサ３１の検出温度に応じて圧電体２７に印加する駆動電圧を記憶している。
すなわち、温度センサ３１の検出温度がある値のときに、絞り孔２９ａ〜２９ｃのいずれかが荷電粒子ビームのビーム中心に配置された状態にある場合、その状態でのＹ軸粗動用および微動用モータＭ１およびＭ２の回転位置とＸ軸微動用モータＭ３の回転位置とが固定された状態で前記検出温度が変化すると、絞り板ホルダ２８および絞り板２９等の熱膨張による絞り孔２９ａ〜２９ｃのビーム通路からのＹ軸方向の位置ずれが発生する。そこで、予め、検出温度の変化に対するＹ軸方向の位置ずれ量と、前記位置ずれ量をキャンセルするのに必要な圧電体２７への印加電圧とを計測しておく。そして、前記検出温度に対応して圧電体２７に印加する駆動電圧を記憶しておく。
【００４７】
図１０は温度センサ３１の検出温度と圧電体２７が発生すべき変移量との関係の一例を示すグラフである。
図１０から分かるように検出温度に応じて圧電体２７が発生すべき変移量が定まり、前記変移量に応じて圧電体２７への必要な印加電圧が定まる。
【００４８】
Ｃ５：各絞り孔２９ａ〜２９ｃに対する各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置記憶手段前記各絞り孔２９ａ〜２９ｃに対する各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置記憶手段Ｃ５は、各絞り孔２９ａ〜２９ｃの中心が電子ビームの中心線上にある場合の各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置（回転位置センサＰ１〜Ｐ３の検出位置）を記憶する。
【００４９】
（実施例の作用）
前記構成を備えた実施例では、前記「温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂ」および「各絞り孔２９ａ〜２９ｃに対する各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置記憶手段Ｃ５」に、必要なデータを記憶させる必要がある。前記データは次のようにして記憶させる。
【００５０】
Ｙ軸方向粗動機構Ｕ１、Ｙ軸方向微動機構Ｕ２およびＸ軸方向微動機構Ｕ３をマニュアル操作することにより、絞り孔２９ａ〜２９ｃのいずれか（例えば、絞り孔２９ａ）の中心部を電子ビームの中心線上に移動させる。
この状態（絞り孔２９ａの中心がビーム中心に移動した状態）のときのＭ１用回転センサＰ１、Ｍ２用回転センサＰ２、およびＭ３用回転センサＰ３の回転位置（Ｒ１ａ，Ｒ２ａ，Ｒ３ａ）を検出し、前記「各絞り孔２９ａ〜２９ｃに対する各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置記憶手段Ｃ５」に記憶させる。
同様に、絞り孔２９ｂ、２９ｃについても、絞り孔の中心がビーム中心に位置した時の各回転センサＰ１、Ｐ２、Ｐ３の回転位置（Ｒ１ｂ、Ｒ２ｂ、Ｒ３ｂ）、（Ｒ１ｃ、Ｒ２ｃ、Ｒ３ｃ）を回転位置記憶手段Ｃ５に記憶させる（図９参照）。
【００５１】
前記各回転センサ（ポテンショメータ）Ｐ１〜Ｐ３の位置を、前記記憶した位置に移動した状態で、電子ビームにより前記絞り板２９および絞りホルダ２８を加熱するとそれらは、温度が上昇するに従って熱膨張するので、絞り孔の中心部が電子ビームの中心線（光軸）から位置ずれてしまう。
そこで、各絞り孔がビーム中心に配置された状態で、絞り孔の温度を変化させると共に、前記位置ずれが生じないように圧電体２７を駆動し、前記位置ずれが生じない状態での温度センサ３１の種々の検出温度に対する圧電体の駆動電圧（位置ずれ補正電圧）を前記「温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂ」に記憶させる。
【００５２】
前述のようにして、必要なデータを、「温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂ」および「各絞り孔２９ａ〜２９ｃに対する各モータＭ１〜Ｍ３の回転位置記憶手段Ｃ５」に記憶させてから、次に、前記絞り孔２９ａ〜２９ｃの中心部を電子ビームの中心線上に移動させる場合には、次の動作を行う。
例えば、表示器Ｄ（図９参照）に絞り孔選択画面が表示されている状態で、マウスにより絞り孔２９ａ〜２９ｃのいずれか（例えば、絞り孔２９ａ）を選択すると、コントローラＣは、前記回転位置記憶手段Ｃ５から絞り孔２９ａに対応して記憶されている回転位置データ（Ｒ１ａ，Ｒ２ａ，Ｒ３ａ）を読み出し、読み出した各データを、それぞれＹ軸粗動用モータ制御手段Ｃ1、Ｙ軸微動用モータ制御手段Ｃ２、Ｘ軸微動用モータ制御手段Ｃ３へ送る。
【００５３】
各制御手段Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３は、各センサＰ１、Ｐ２、Ｐ３から送られる現在の回転位置検出信号と、読み出された回転位置データの差に基づき、誤差を０にするための制御信号を発生し、各駆動回路Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３へ送る。
各駆動回路Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３は、その制御信号に基づき、現在の回転位置検出信号が読み出された回転位置データと一致するように各モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３を回転させ、一致した時点で停止させる。
そのため、移動が終了した時点では、各モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３は、回転位置Ｒ１ａ，Ｒ２ａ，Ｒ３ａで停止しており、その結果、絞り孔２９ａの中心がビーム中心に一致した状態となっている。
【００５４】
他の絞り孔を使用する場合には、マウスにより絞り孔２９ｂまたは２９ｃを指定すれば、全く同様に、指定された絞り孔に応じた回転位置データがコントローラＣにより読み出され、そのデータに基づいて指定された絞り孔の中心がビーム中心に一致した状態となるように、各モータが自動的に駆動される。
このようにして、任意に指定した絞り孔を自動的にビーム中心に一致させて配置することができる。そして、観察などのために電子ビームが絞り孔に照射されると、絞り板の温度が上昇し始め、ある温度に落ち着くまでの比較的長時間の間、熱ドリフトが生じる。
【００５５】
その熱ドリフトを補正するために、圧電体２７が駆動されるわけであるが、その圧電体２７の駆動電圧は「温度に対する圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂ」に記憶されているデータに基づいて決定される。
すなわち、圧電体駆動制御手段Ｃ４の熱ドリフト補正信号出力手段Ｃ４ａは、前記温度センサ３１が検出した絞り板２９の温度および使用されている絞り孔の情報に基づき、圧電体駆動情報記憶手段Ｃ４ｂに記憶されている使用中の絞り孔および検出温度に応じた「位置ずれ補正電圧」の情報を読み出し、その情報に基づく補正電圧が圧電体２７に供給されるように、圧電体駆動回路Ｄ４の制御信号を出力する。
従って、絞り板ホルダ２８および絞り板２９等の熱膨張による使用中の絞り孔のビーム通路からの位置ずれが、圧電体２７により補償（キャンセル）されることになる。そして、このような補償は、温度がさらに上昇を続けても継続して行われる。
【００５６】
したがって、使用中の絞り孔２９ａ〜２９ｃの中心部は電子ビームの中心上に常時保持される。
すなわち、絞り板２９および絞り板ホルダ２８の熱膨張により絞り板２９の絞り孔２９ａ〜２９ｃの位置が電子電子ビーム中心から位置ずれするのを防止することができる。
前記熱膨張による前記絞り孔２９ａ〜２９ｃの位置ずれを生じる熱膨張は、温度の平衡状態が保たれるまで続くため、従来は温度の平衡状態が保たれるまでの時間は前記位置ずれが発生していたが、前記実施例では、熱膨張が生じている間でも、前記絞り孔２９ａ〜２９ｃの位置ずれの発生を防止することができる。
【００５７】
また、本実施例ではステージ１２が、電子ビームに垂直なステージ支持面１１ｂ上にＸＹ方向に移動可能に支持されており、絞りホルダ２９はパイプ２１を介して前記ステージ１２に支持されるので、従来の片持ち式の絞りホルダに比較して振動による悪影響を受け難い。
また、前記実施例ではステージ１２に連結されたパイプ２１の内端部に前記ホルダ支持部材２６が熱伝達可能に嵌合しているので、荷電粒子ビーム照射時に生じるホルダ２８の熱は前記パイプ２１およびステージ１２に伝達されて放熱される。したがって、絞り板２９および絞りホルダ２８の温度上昇を低くすることができるので、絞り板２９および絞りホルダ２８の熱膨張による絞り孔２９ａ〜２９ｃのＹ軸方向の移動量を小さくすることができる。
【００５８】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）本発明は絞り板を保持する絞り板ホルダだけでなく、試料ホルダにも適用することが可能である。
（Ｈ02）前記温度センサ３１は絞り板２９に装着する代わりに絞り板ホルダ２８に装着することが可能である。また、ホルダが絞り板ホルダではなく試料ホルダの場合には、温度センサを試料ホルダに装着することが可能である。
【００５９】
【発明の効果】
前述の本発明のホルダ支持装置は、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）絞り板および絞り板ホルダや試料ホルダの熱膨張によって、絞り板の絞り孔や試料ホルダの試料保持部の位置が電子ビーム中心線から位置ずれするのを防止すること。
（Ｅ02）電子ビームの加速電圧が高い超高圧電子顕微鏡（例えば１０００ｋｖ）で使用した場合に発生する熱ドリフト（ホルダの熱膨張による絞り孔や試料保持部の位置変動）も、熱平衡状態を待つことなく本発明装置により補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施例のホルダ支持装置を有する電子顕微鏡の概略説明図である。
【図２】  図２は同実施例のホルダ支持装置の平面図である。
【図３】  図３は同実施例のホルダ支持装置の正断面図で、前記図２のIII−III線断面図である。
【図４】  図４は前記図３の要部拡大図で、ステージおよびＹ軸方向微動機構を示す図である。
【図５】  図５はホルダ支持部材およびそれを支持するパイプの外端部とＹ軸粗動機構の説明図で、図５Ａは前記図２の右端部拡大図、図５Ｂは前記図３の右端部拡大図で且つ図５ＡのＶＢ−ＶＢ線断面図である。
【図６】  図６は前記図５Ｂの矢印ＶIで示す部分の拡大図である。
【図７】  図７はホルダ支持部材の説明図で、図７Ａは平面図、図７Ｂは正面図で前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図、図７Ｃは前記図７ＢのＶIIＣ−ＶIIＣ線断面図である。
【図８】  図８はＸ軸方向ステージ押圧部材の説明図で、図８Ａは平面図、図８Ｂは前記図８ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢ線断面図である。
【図９】  図９はホルダ支持装置の制御部のブロック線図である。
【図１０】  図１０は温度センサ３１の検出温度と圧電体２７が発生すべき変移量との関係の一例を示すグラフである。
【符号の説明】
Ｕ１…Ｙ軸方向粗動機構、
Ｕ２…Ｙ軸方向微動機構、
Ｕ３…Ｘ軸方向微動機構、
Ｕ４…熱膨張変位防止装置、
２…鏡筒、
１１ｂ…ステージ支持面、
１２…ステージ、
２１…パイプ、
２６…ホルダ支持部材、
２７…圧電体、
２８…ホルダ、
２９…絞り板、
２９ａ〜２９ｃ…荷電粒子ビーム照射部、
３１…温度センサ、
５２…Ｙ軸方向位置決め部材、
６８…Ｘ軸方向ステージ押圧部材、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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