(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨テープと、該研磨テープを移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープのテープ面を板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構と、該研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構とからなり、上記テープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、該各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなることを特徴とする板状部材研磨装置。
【請求項２】
上記圧接部材をテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構を備えてなることを特徴とする請求項１記載の板状部材研磨装置。
【請求項３】
上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなることを特徴とする請求項１又は２記載の板状部材研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば多層プリント配線基板、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）用テープ、銅板等の表面研磨に用いられる板状部材研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の多層プリント配線基板、ＴＡＢ用テープや等の板状部材研磨装置として、ＴＡＢテープ等の板状部材の表面に存在する絶縁樹脂層やメッキ層の染み出しの発生による溢れた部分等を砥石による回転モードで除去研磨する構造のものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記回転モードによる構造の場合、砥石のチッピングが生じ易いことや表面の平滑化が損なわれることがあると共に最適な研磨条件を見いだすことが非常に困難であるという不都合を有している。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明はこのような課題を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項１記載の装置の発明は、板状部材を保持可能な保持台と、該板状部材の研磨面を研磨可能な研磨テープと、該研磨テープを移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープのテープ面を板状部材の研磨面に圧接可能な圧接機構と、該研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構とからなり、上記テープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、該各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなることを特徴とする板状部材研磨装置にある。
【０００５】
又、請求項２記載の装置の発明は、上記圧接部材をテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させる揺振機構を備えてなることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなることを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１乃至図５は本発明の実施の形態例を示し、１は機台、２は移動機構であって、この場合、機台１上に摺動部３により前後方向に移動自在に保持台４を配設し、この保持台４を往復移動用モータ５及びボールネジ機構６により往復移動可能に設け、この保持台４に多層プリント配線基板やＴＡＢ用テープ等の研磨すべき板状部材Ｗを研磨面Ｗ1を上面にして位置決め状態で固定載置可能な図外の吸着固定機構を配設している。
【０００７】
７はテープ移送機構、８は圧接機構であって、この場合、機台１の側部に支持機体９を立設し、支持機体９に上下移動台１０を摺動部１１により上下動作可能に設け、上下移動台１０を上下動作させる上下動用モータ１２及びボールネジ機構１３を設け、上下移動台１０にテープ機体１４を取付け、テープ機体１４の上下位置にテープ面Ｔ1にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる研磨テープＴを巻き取った実巻リール１５及び実巻リール１５から解かれた研磨テープＴを巻き取る空リール１６を軸着し、実巻リール１５及び空リール１６を制御回転させると共に送り用モータ１７により研磨テープＴを送り、研磨テープＴを実巻リール１５から空リール１６へと送りロール１７ａ、複数個の案内ロール１７ｂ及び圧接機構８を介して連続的又は間欠的に移送案内するように構成している。
【０００８】
又、上記圧接機構８の圧接部材２１は揺振機構１８により研磨テープＴのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動すると共にテープ平面運動機構３２により平面運動し、この場合、テープ平面運動機構３２は、回転機構１９及び偏心輪機構２０からなり、この回転機構１９及び偏心輪機構２０により圧接部材２１は循環平面運動し、この場合、上記テープ機体１４に支持ブラケット２１ａ・２１ａを突設し、支持ブラケット２１ａ・２１ａの上部間に摺動部２２・２２により揺振台２３を揺振摺動自在に架設し、支持ブラケット２１ａ・２１ａの前部間に取付片２４によりシリンダ２５を取付け、シリンダ２５のロッド２５ａを揺振台２３に連結し、揺振台２３に一対の支持軸２６・２６を一対の軸受筒２７・２７及び軸受２８により回転自在に縦設すると共に揺振台２３の上部間に取付片２８ａを架設し、取付片２８に回転用モータ２９を取付け、回転用モータ２９と一方の支持軸２６とを継手３０により直結すると共に一方の支持軸２６と他方の支持軸２６との間にプーリー３１ａ・３１ａ及びベルト３１ｂからなるベルト伝動機構３１を介装し、一対の支持軸２６・２６の下端部間に圧接部材２１を架設すると共に各支持軸２６・２６と圧接部材２１との間に偏心輪機構２０・２０をそれぞれ介装し、この場合、偏心輪機構２０・２０は、図３の如く、上記支持軸２６・２６の下部に回転軸線Ｏに対して偏心量ｅの軸線Ｏ1をもつ偏心軸部２６ａ・２６ａを形成し、この偏心軸部２６ａ・２６ａ間に圧接部材２１を軸受３３により軸受架設し、かつ、圧接部材２１の両側面に研磨テープＴをたるみ状に移送案内可能な案内バー部材３４・３４を設けると共に圧接部材２１の下面に弾性ウレタンゴム材等の弾性材からなる圧接パッド３５を取付けて構成している。
【０００９】
従って、上記圧接部材２１は、揺振機構１８のシリンダ２５の進退動作によりテープ移送方向と交差する方向に行き戻りを繰り返す揺振運動をなすと共に、テープ平面運動機構３２の支持軸２６・２６の回転及び偏心輪機構２０・２０により圧接部材２１は循環平面運動することになる。
【００１０】
この実施の形態例は上記構成であるから、研磨すべき板状部材Ｗを保持台４に保持し、保持台４を移動機構２により移動させると共にテープ移送機構７により実巻リール１５から空リール１６へと研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送させ、圧接機構８としての上下移動台１０により圧接部材２１を降下させ、圧接部材２１をテープ平面運動機構３２により平面運動させ、移送される研磨テープＴのテープ面Ｔ1を受圧部材２１により板状部材Ｗの研磨面Ｔ1に圧接して研磨することになり、この際、上記研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構３２は、並列状に縦設された一対の支持軸２６・２６と、一対の支持軸２６・２６のうち、一方の支持軸２６を回転させる回転用モータ２９及び一方の支持軸２６と他方の支持軸２６との間に介装され、一方の支持軸２６の回転により他方の支持軸２６を回転させるためのベルト伝動機構３１とからなる回転機構１９と、一対の支持軸２６・２６の下端部間に架設される圧接部材２１と、各支持軸２６・２６と圧接部材２１との間にそれぞれ介装される偏心輪機構２０・２０とを具備してなるから、上記圧接部材２１を並列状に縦設された一対の支持軸２６・２６により支持すると共に一対の支持軸２６・２６のうち、一方の支持軸２６を回転用モータ２９により回転させ、この一方の支持軸２６の回転によって、一方の支持軸２６と他方の支持軸２６との間に介装されたベルト伝動機構３１により他方の支持軸２６を回転させ、この両支持軸２６・２６の回転により偏心輪機構２０・２０を介して圧接部材２１を循環平面運動させて板状部材Ｗを研磨することになり、従って、研磨テープＴの移送及び圧接部材２１による研磨テープＴの循環平面運動の相互作用により板状部材Ｗを研磨することができると共に圧接部材２１は縦設された一対の支持軸２６・２６により支持されているので、圧接部材２１の動的剛性を高めることができ、研磨テープＴによる研磨精度を高めることができ、表面の平滑化及び表面粗さを高めることができ、良好な研磨を行うことができる。
【００１１】
又、この場合、上記圧接部材２１を揺振機構１８により研磨テープＴのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させることができ、研磨テープＴの揺振運動が加わることにより、板状部材Ｗの研磨を一層良好に行うことができ、又、この場合、上記保持台４を上記研磨テープＴの走行方向に移動させる移動機構２を備えてなるから、板状部材Ｗの研磨面積に対応することができると共に板状部材Ｗの移動が加わることにより、板状部材Ｗの研磨を一層良好に行うことができる。
【００１２】
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、移動機構２、保持台４、テープ移送機構７、圧接機構８、圧接部材２１、揺振機構１８の構造や支持軸２６、偏心輪機構２０の構造等は適宜変更して設計される。
【００１３】
又、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、例えば、上記実施の形態例においては、乾式研磨構造となっているが、板状部材Ｗと研磨テープＴとの間に各種材質の遊離砥粒や化学剤を含む加工液体や潤滑剤を供給する所謂湿式研磨構造とすることもあり、板状部材Ｗの種類や研磨条件により選択して設計される。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、研磨すべき板状部材を保持台に保持し、研磨テープを連続的又は間欠的に移送させ、圧接機構により圧接部材を降下させ、圧接部材をテープ平面運動機構により平面運動させ、移送される研磨テープのテープ面を受圧部材により板状部材の研磨面に圧接して研磨することになり、この際、上記研磨テープを平面運動させるテープ平面運動機構は、並列状に縦設された一対の支持軸と、該一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転させる回転用モータ及び該一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装され、該一方の支持軸の回転により該他方の支持軸を回転させるためのベルト伝動機構とからなる回転機構と、該一対の支持軸の下端部間に架設される圧接部材と、各支持軸と圧接部材との間にそれぞれ介装される偏心輪機構とを具備してなるから、上記圧接部材を並列状に縦設された一対の支持軸により支持すると共に一対の支持軸のうち、一方の支持軸を回転用モータにより回転させ、この一方の支持軸の回転によって、一方の支持軸と他方の支持軸との間に介装されたベルト伝動機構により他方の支持軸を回転させ、両支持軸の回転により偏心輪機構を介して圧接部材を循環平面運動させて板状部材を研磨することになり、従って、研磨テープの移送及び圧接部材による研磨テープの循環平面運動の相互作用により板状部材を研磨することができると共に圧接部材は縦設された一対の支持軸により支持されているので、圧接部材の動的剛性を高めることができ、研磨テープによる研磨精度を高めることができ、表面の平滑化及び表面粗さを高めることができ、良好な研磨を行うことができる。
【００１５】
又、請求項２記載の発明にあっては、上記圧接部材を揺振機構により研磨テープのテープ移送方向と交差する方向に揺振運動させることができ、研磨テープの揺振運動が加わることにより、板状部材の研磨を一層良好に行うことができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記保持台を上記研磨テープの走行方向に移動させる移動機構を備えてなるから、板状部材の研磨面積に対応することができると共に板状部材の移動が加わることにより、板状部材の研磨を一層良好に行うことができる。
【００１６】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態例の全体側面図である。
【図２】  本発明の実施の形態例の部分側断面図である。
【図３】  本発明の実施の形態例の部分正断面図である。
【図４】  本発明の実施の形態例の部分平断面図である。
【図５】  本発明の実施の形態例の部分説明斜視図である。
【符号の説明】
Ｗ  板状部材
Ｔ  研磨テープ
２  移動機構
７  テープ移送機構
８  圧接機構
１８  揺振機構
１９  回転機構
２０  偏心輪機構
２１  圧接部材
２９  回転用モータ
３１  ベルト伝動機構
３２  テープ平面運動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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