(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおいて、
前記プローブ針の針圧による周囲の部材の撓みに伴う、プローブ針と前記薄板の端子との間の傾きを吸収し、すべてのプローブ針と前記薄板の端子とを互いに接触させる傾き吸収手段を備え、
当該傾き吸収手段が、複数群に分類されたプローブ針群を有して構成され、これらプローブ針群のうち、針圧の大きいプローブ針群の前記薄板に対する高さを低く、針圧の小さいプローブ針群の高さを高くしたことを特徴とするプローバ。
【請求項２】
請求項１に記載のプローバにおいて、
前記傾き吸収手段が、前記プローブ針を支持して昇降させる昇降機構によって構成されたことを特徴とするプローバ。
【請求項３】
請求項１に記載のプローバにおいて、
前記傾き吸収手段が、可撓性を有すると共に複数のプローブ針を一体的に支持し、プローブ針の針圧の大きさに応じて撓み量が変化するプローブ針取付部によって構成されたことを特徴とするプローバ。
【請求項４】
検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおいて、
配列位置で複数群に分類され、各群同士で互いに独立して可動し得るプローブ針群を、針圧の大きい順に前記薄板の端子に接触させ、針圧の小さい順に前記薄板の端子から離すことを特徴とするプローバのプローブ針接触方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶板等のように、表面に電気回路が設けられた薄板にプローブ針を接触させて点灯試験等を行うプローバ及びプローブ針接触方法に関し、特にプローブ針の接触時の針圧による不具合を解消したプローバ及びプローブ針接触方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プローバは、図２に示すように、主に架台１と、本体３とから構成されている。
【０００３】
架台１は本体３をその下側から支持する部材である。即ち、架台１の上に本体３が設置されている。この架台１の内部には装置全体を制御するコントロールボックス２が設けられている。
【０００４】
本体３は、図中の右側に設けられたパネルセット部５と、図中の左側に設けられたワークテーブル部９とを有して構成されている。
【０００５】
パネルセット部５は、ワークテーブル部９で検査する液晶表示パネル１５を取り付ける部分である。パネルセット部５にはワークテーブル４が取り付けられている。このワークテーブル４は、パネルセット部５とワークテーブル部９との間で移動できるようになっており、パネルセット部５に位置するときに液晶表示パネル１５が取り付けられ、ワークテーブル部９に送られるようになっている。ワークテーブル４には、液晶表示パネル１５を真空引きによって保持するための真空引き機構（図示せず）が設けられている。パネルセット部５の上部には、液晶表示パネル１５に刻まれたアライメントマークを映し出すためのＣＲＴ６が設けられている。
【０００６】
ワークテーブル部９は、液晶表示パネル１５の点灯試験を行う部分である。このワークテーブル部９は、アライメントステージ１３と、コンタクトＺステージ１４と、ワークテーブル４とを備えて構成されている。アライメントステージ１３は、Ｘ，Ｙ，θステージによって構成され、Ｘ，Ｙ，θ方向の調整を行う。コンタクトＺステージ１４は、ワークテーブル４を支持してＺ方向の調整を行う。コンタクトＺステージ１４はアライメントステージ１３に取り付けられてＸ，Ｙ，θ方向に移動される。これにより、ワークテーブル４は、アライメントステージ１３及びコンタクトＺステージ１４によってＸ，Ｙ，Ｚ，θ方向の調整が行われるようになっている。さらに、アライメントステージ１３は移動機構（図示せず）に取り付けられている。ワークテーブル４は、アライメントステージ１３及びコンタクトＺステージ１４を介してこの移動機構に支持され、パネルセット部５とワークテーブル部９との間を移動するようになっている。この移動機構により、ワークテーブル４がパネルセット部５に移動されたときに液晶表示パネル１５が取り付けられ、この液晶表示パネル１５を支持したワークテーブル４がワークテーブル部９へ搬送されて、アライメントステージ１３等でアライメント動作及びコンタクト動作が行われるようになっている。
【０００７】
これら、ワークテーブル４、アライメントステージ１３及びコンタクトＺステージ１４は傾斜して設けられている。これにより、液晶表示パネル１５が、ワークテーブル４に傾斜して取り付けられ、試験中の視認性を向上させている。
【０００８】
ワークテーブル部９には、ベースプレート１２が、ワークテーブル４に面した状態で傾斜して設けられている。このベースプレート１２は、ワークテーブル４に対して一定間隔をおいて配設されている。ベースプレート１２の中央部には大きな四角形の開口が設けられ、後述のプローブベース１６を支持するようになっている。
【０００９】
ベースプレート１２の外側面（図３中の左側面）にはプローブユニット１０が取り付けられている。このプローブユニット１０は、プローブベース１６と、プローブブロック１１とから構成されている。プローブベース１６は、ベースプレート１２の開口に対応した四角形の開口が設けられ、それらの開口が整合した状態でベースプレート１２に直接固定される。プローブブロック１１は、その先端部（下端部）でプローブ針７を支持している。具体的には、複数のプローブ針７を並列に整合した状態で一体的に支持している。このプローブブロック１１は、プローブベース１６の四角形の開口の隣り合う辺に複数個配設されている。具体的には、図２中の四角形開口の左側の短辺（液晶表示パネル１５のゲート側端子２２側の辺）に３個、四角形開口の下側の長辺（液晶表示パネル１５のデータ側端子２３側の辺）に６個のプローブブロック１１がそれぞれ設けられている。なお、ここではプローブブロック１１が短辺に３個、長辺に６個設けられているが、これは一例であり、２個以下４個以上、５個以上７個以上の場合もある。
【００１０】
ベースプレート１２の上方両側には、液晶表示パネル１５と各プローブブロック１１との位置決めを行うアライメントカメラ８が２つ設けられている。各アライメントカメラ８は、液晶表示パネル１５に刻まれたアライメントマークを撮影し、ＣＲＴ６に映し出す。
【００１１】
以上のように構成されたプローブユニットは、コントロールボックス２の制御によって次のように動作する。
【００１２】
ワークテーブル４は予めパネルセット部５側に移動されている。このワークテーブル４に、検査を行う液晶表示パネル１５が載置されると、真空引き機構によってこの液晶表示パネル１５が固定される。
【００１３】
ワークテーブル４は、液晶表示パネル１５を固定した状態で、ワークテーブル部９側へ移動される。ワークテーブル部９では、アライメントカメラ８で撮影されたアライメントマークを基に、アライメントステージ１３で位置決めが行われる。位置決めが終了すると、コンタクトＺステージ１４でワークテーブル４が上昇され、各プローブブロック１１のプローブ針７が、液晶表示パネル１５のゲート側端子２２及びデータ側端子２３に接触される。プローブ針７とゲート側端子２２等が互いに接触した時点で、ワークテーブル４がさらに僅かに上昇されて、いわゆるオーバードライブがかけられる。
【００１４】
次に、液晶表示パネル１５の点灯検査が行われる。点灯検査が完了すると、コンタクトＺステージ１４によってワークテーブル４が下降されて、パネルセット部５に移動される。次いで、液晶表示パネル１５の真空固定が解除され、ワークテーブル４から取り外される。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
前記構成のプローバにおいては、ワークテーブル４が上昇して、液晶表示パネル１５のゲート側端子２２及びデータ側端子２３と、各プローブブロック１１のプローブ針７とが接触した状態で、オーバードライブがかかると、これらの間に大きな圧力が生じる。特に、プローブブロック１１が６個設けられたデータ側端子２３側に大きな圧力がかかる。例えば、データ側端子２３側に２０〜３０ｋｇｆの圧力がかかってしまう。
【００１６】
この圧力は、そのまま反力として、プローブブロック１１を介して、プローブベース１６及びベースプレート１２に作用する。これにより、図４に示すように、プローブベース１６及びベースプレート１２が山型に撓んでしまう。
【００１７】
このように、プローブベース１６及びベースプレート１２が山型に撓むと、ゲート側端子２２の３個のプローブブロック１１が液晶表示パネル１５に対して傾いてしまう。これにより、液晶表示パネル１５のゲート側端子２２と、これに接触する各プローブブロック１１のプローブ針７との位置がずれてしまう。
【００１８】
この現象は、各プローブブロック１１のプローブ針７がゲート側端子２２及びデータ側端子２３にそれぞれ接触した状態で、オーバードライブをかけたときに生じる。このとき、ゲート側端子２２に接触したプローブブロック１１のプローブ針７は、オーバードライブにより、プローブベース１６等が撓む前にゲート側端子２２に強く押し付けられるため、図５に示すように、ゲート側端子２２に針キズ１７を付く。
【００１９】
さらに、点灯検査が完了すると、ワークテーブル４が下降されて、各プローブ針７がゲート側端子２２及びデータ側端子２３から離れていくが、その前にプローブベース１６及びベースプレート１２に作用していた反力が小さくなる。即ち、プローブ針７がゲート側端子２２等から離れる前に、プローブベース１６及びベースプレート１２の山型の撓みが減少するため、プローブ針７と液晶表示パネル１５との傾きがもとの状態に戻る。このとき、ゲート側端子２２側の各プローブ針７は、傾きがもとに戻るに従ってゲート側端子２２に斜め方向に針キズ１８を付けてしまう。そして、この針キズ１８は、数十ミクロンの間隔で並ぶ各ゲート側端子２２の間の絶縁膜１９を越えて隣のゲート側端子２２にまで及ぶことがある。この場合は、絶縁膜１９の一部が壊れてしまい、後で行うボンディングにおいてハンダ漏れが発生して隣接するゲート側端子２２が電気的に短絡してしまうという問題点がある。
【００２０】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、多数のプローブ針の接触に伴う圧力による撓みを吸収して端子間の電気的短絡を確実に防止できるプローバ及びプローブ針接触方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
第１の発明に係るプローバは、検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおいて、前記プローブ針の針圧による周囲の部材の撓みに伴う、プローブ針と前記薄板の端子との間の傾きを吸収し、すべてのプローブ針と前記薄板の端子とを互いに接触させる傾き吸収手段を備え、当該傾き吸収手段が、複数群に分類されたプローブ針群を有して構成され、これらプローブ針群のうち、針圧の大きいプローブ針群の前記薄板に対する高さを低く、針圧の小さいプローブ針群の高さを高くしたことを特徴とする。
【００２２】
前記構成により、プローブ針の針圧により、プローブ針と薄板の端子との間に傾きが生じたとき、傾き吸収手段がその傾きを吸収する。この結果、プローブ針と薄板の端子とが、針圧による影響を受けることなく、互いに正確に接触する。また、針圧の大きいプローブ針群が端子に接触すると、その針圧に対応して反力も大きいため、各部が撓む。このとき、針圧の小さいプローブ針群は、高い位置に支持されているため、各部が撓むまで端子に接触しない。このとき、針圧の小さいプローブ針群の高さは、針圧の大きいプローブ針群による各部が十分に撓んだ後に接触する程度に設定される。これにより、端子に接触したプローブ針が撓みによって端子やその周辺を傷つけてしまうことがなくなる。
【００２３】
第２の発明に係るプローバは、前記傾き吸収手段が、前記プローブ針を支持して昇降させる昇降機構によって構成されたことを特徴とする。
【００２４】
前記構成により、傾き吸収手段を構成する昇降機構がプローブ針を支持して昇降させる。これにより、昇降機構で支持されていないプローブ針の端子への接触で撓みが生じる場合は、昇降機構で支持したプローブ針を、他のプローブ針よりも高い位置で支持し、他のプローブ針が端子に接触して撓みが生じた後に、昇降機構でプローブ針を降下させて端子に接触させる。この結果、撓みによるプローブ針のずれで、端子の周辺が傷つくのを防止することができる。
【００２５】
第３の発明に係るプローバは、前記傾き吸収手段が、可撓性を有すると共に複数のプローブ針を一体的に支持し、プローブ針の針圧の大きさに応じて撓み量が変化するプローブ針取付部によって構成されたことを特徴とする。
【００２６】
前記構成により、プローブ針取付部で一体的に支持されたプローブ針が端子に接触すると、プローブ針の針圧の反力がプローブ針取付部に及ぶ。プローブ針取付部はこの反力によって撓み、プローブ針の針圧を吸収する。プローブ針の針圧が大きい場合はそれに応じて撓み量が大きくなる。
【００２９】
第４の発明に係るプローブ針接触方法は、検査対象である薄板の複数の端子にそれぞれ対応して複数本を一体的に支持されたプローブ針を前記端子に正確に接触させて試験を行うプローバにおいて、配列位置で複数群に分類され、各群同士で互いに独立して可動し得るプローブ針群を、針圧の大きい順に前記薄板の端子に接触させ、針圧の小さい順に前記薄板の端子から離すことを特徴とする。
【００３０】
前記構成により、プローブ針群を前記薄板の各端子に接触させるとき、針圧の大きいプローブ針群から順に端子に接触させることで、早い段階で各部の撓みを生じさせる。プローブ針群を薄板の端子から離すときは、針圧の小さいプローブ針群から順に離すことで、各部の撓みがもとに戻る前に針圧の小さいプローブ針群を端子から離すことができる。これにより、端子及びその周辺に針キズが付くのを防止することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るプローバ及びプローブ針接触方法について、添付図面を参照しながら説明する。
【００３２】
［第１実施形態の構成］
本実施形態では、プローバ及びプローブ針接触方法について説明する。図１は本実施形態に係るプローバの要部を示す要部斜視図、図６から図８は本実施形態に係るプローバのプローブ針接触方法を示す動作説明図である。
【００３３】
本実施形態に係るプローバの全体構成は、前記従来のプローバとほぼ同様であるので、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３４】
本実施形態のプローバの特徴は、ゲート側端子２２側の３個のプローブブロック５７の取り付け構造を改良した点にある。プローブベース５６の全体構成は前記従来のプローバと同様である。また、データ側端子２３側のプローブブロック１１の構成も前記従来のプローバと同様である。
【００３５】
ゲート側端子２２側のプローブブロック５７は傾き吸収手段としてのブロック昇降機構５０に支持されている。このブロック昇降機構５０は、プローブブロック５７の昇降を案内するリニアガイド取付板５１及びリニアガイド５２と、プローブブロック５７を昇降させるエアーシリンダ５３及びシリンダ取付ブロック５４と、各プローブブロック５７を一体的に支持するプローブブロック取付板５５とから構成されている。
【００３６】
リニアガイド取付板５１は、プローブベース５６の上面に対向して一対設けられている。各リニアガイド取付板５１の内側面には、互いに対向させて２つのリニアガイド５２が設けられている。各リニアガイド５２にプローブブロック取付板５５が固定されている。これにより、プローブブロック取付板５５は、リニアガイド５２に案内されて昇降するようになっている。
【００３７】
シリンダ取付ブロック５４は、プローブブロック取付板５５の近傍において、プローブブロック取付板５５の上側面の中央部に臨ませて設けられている。このシリンダ取付ブロック５４の基端部はプローブベース５６に固定されている。このシリンダ取付ブロック５４の上端部にはエアーシリンダ５３がプローブブロック取付板５５に臨ませた状態で取り付けられている。このエアーシリンダ５３のピストン部５３Ａの下端部がプローブブロック取付板５５の上側面中央部に固定されている。エアーシリンダ５３は、コントロールボックス２に接続され、アライメントステージ１３及びコンタクトＺステージ１４と共に制御される。エアーシリンダ５３には、圧縮空気の供給源（図示せず）が接続され、電磁弁（図示せず）等によって制御されている。
【００３８】
プローブブロック５７は、基端側水平棒部５７Ａと、先端側垂直棒部５７Ｂとからなり、全体をＬ字型に形成されている。先端側垂直棒部５７Ｂの先端部（下端部）には、多数本並列に配設されたプローブ針７が取り付けられている。このプローブブロック５７の基端側水平棒部５７Ａがプローブブロック取付板５５の下側面に固定されている。このプローブブロック５７は、エアーシリンダ５３による高さの調整で、ゲート側端子２２側であるブロック昇降機構５０に支持されたプローブ針７の高さが、データ側端子２３側のプローブ針７の高さよりも高くなるように支持される。この高さの違いは、データ側端子２３側の各プローブ針７がデータ側端子２３に接触した後オーバードライブがかかってプローブベース５６等がほぼ撓んでしまった状態（望ましくは、完全に撓みきった状態）でも、ゲート側端子２２側のプローブ針７がゲート側端子２２に接触しない程度に設定されている。
【００３９】
［動作］
予めパネルセット部５側に移動されているワークテーブル４に液晶表示パネル１５を載置し、真空引き機構によって固定する。
【００４０】
ワークテーブル４は、液晶表示パネル１５を固定した状態で、ワークテーブル部９側へ移動される。ワークテーブル部９では、アライメントマークを基に、アライメントステージ１３で位置決めが行われる。位置決めが終了すると、図６の状態から、コンタクトＺステージ１４でワークテーブル４が上昇されて、図７に示すように、データ側端子２３側（図７中の左側）の各プローブブロック５７のプローブ針７が、液晶表示パネル１５のデータ側端子２３に接触される。このとき、ゲート側端子２２側（ブロック昇降機構５０に支持された側）のプローブ針７はまだ接触していない。
【００４１】
この状態でワークテーブル４が僅かに上昇されて、データ側端子２３と接触したプローブ針７にオーバードライブがかけられる。これにより、プローブ針７の針圧でプローブベース５６及びベースプレート１２が山型に撓む。このとき、ゲート側端子２２側のプローブ針７はまだ接触していない。即ち、針圧の大きい順にプローブ針７が接触される。
【００４２】
次いで、図８に示すように、エアーシリンダ５３が作動されてプローブブロック取付板５５に取り付けられたプローブブロック５７が下降される。これにより、プローブブロック５７の各プローブ針７がゲート側端子２２に接触する。さらに、エアーシリンダ５３が作動されてオーバードライブがかけられる。
【００４３】
次に、液晶表示パネル１５の点灯検査が行われる。点灯検査が完了すると、まずエアーシリンダ５３が作動されてプローブブロック５７が上昇され、ゲート側端子２２に接触しているプローブ針７が離される。即ち、針圧の小さい順にプローブ針７が離される。このため、ゲート側端子２２に接触しているプローブ針７は、プローブベース５６等の撓みが戻る前に、ゲート側端子２２から離される。
【００４４】
次いで、ワークテーブル４が下降されてデータ側端子２３に接触しているプローブ針７がデータ側端子２３が離される。その後、ワークテーブル４がパネルセット部５に移動され、真空固定が解除される。次いで、液晶表示パネル１５がワークテーブル４から取り外されて、点灯検査作業が終了する。
【００４５】
なお、データ側端子２３側のプローブ針７のオーバードライブによりプローブベース５６等が撓むと、ゲート側端子２２側のプローブ針７とゲート側端子２２との位置が多少ずれる。このずれは各プローバによって微妙に異なるため、各装置毎に実際にオーバードライブをかけてずれを生じさせ、それぞれのずれに合わせてゲート側端子２２側とプローブ針７との相対的位置調整を行う。
【００４６】
［効果］
以上のように、ブロック昇降機構５０を設けると共に、針圧の大きいデータ側端子２３側のプローブ針７を先に接触させてプローブベース５６等を予め撓ませてからブロック昇降機構５０でゲート側端子２２側のプローブ針７をゲート側端子２２に接触させ、さらに針圧の小さいゲート側端子２２側のプローブ針７をプローブベース５６等の撓みがもとに戻る前にゲート側端子２２から離すようにしたので、オーバードライブをかけたとき又は解除したときに、ゲート側端子２２側のプローブ針７がゲート側端子２２に接触した状態でずれて針キズ１８を付けてしまうことがなくなる。これにより、端子間の絶縁膜１９が壊されることがなくなり、ボンディング時にハンダ漏れによる端子間の電気的短絡を防止することができる。
【００４７】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図９に基づいて説明する。なお、本実施形態に係るプローブユニットの全体構成は、前記従来のプローブユニットとほぼ同様であるため、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４８】
本実施形態のプローバの特徴はプローブユニット１００の構成を改良した点にある。即ち、可撓性を有すると共に複数のプローブ針７を一体的に支持し、プローブ針７の針圧の大きさに応じて撓み量が変化するプローブ針取付部として、ゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５を設けた点にある。
【００４９】
本実施形態のプローブベース１０２は、全体的には従来のプローブベース１６と同様である。即ち、プローブベース１０２は、全体を四角形状に形成され、その中央部に四角形の開口が設けられている。このプローブベース１０２のうち、液晶表示パネル１５のゲート側端子２２に対応する位置に３個のプローブブロック１１が、データ側端子２３に対応する位置に６個のプローブブロック１１がそれぞれ設けられている。そして、これら３個及び６個のプローブブロック１１を挟む両端位置にはそれぞれスリット１０３が設けられて、ゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５が形成されている。これらゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５は、前記３個及び６個の各プローブブロック１１を一体的に支持して全体が同時に撓み得るようになっている。これらゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５は、各プローブブロック１１を一体的に支持した状態で、プローブ針７の針圧に応じた量の上下方向への撓みを許容すると共に、ねじれも許容できるように、その強度が設定されている。
【００５０】
［動作］
以上のように構成されたプローブユニットは、次のように動作する。
【００５１】
全体的な動作は前記第１実施形態の場合と同様であるので、ここではワークテーブル部９における動作のみを説明する。
【００５２】
ワークテーブル部９においては、ワークテーブル４が上昇して、ゲート側端子２２及びデータ側端子２３に各プローブ針７がそれぞれ接触され、オーバードライブがかけられる。これにより、ゲート側端子２２及びデータ側端子２３に、各プローブ針７による針圧が作用し、その反作用が各プローブブロック１１を介して、ゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５に及ぶ。各取付部１０４，１０５は、各プローブ針７の針圧の反力を受けて撓み、その反力を吸収する。特に、データ側プローブブロック取付部１０５側は６個のプローブブロック１１を有するため、ゲート側プローブブロック取付部１０４よりも大きな反力が作用する。このため、データ側プローブブロック取付部１０５が、ゲート側プローブブロック取付部１０４よりも大きく撓んで、反力を吸収する。即ち、データ側プローブブロック取付部１０５が大きく撓むことで、このデータ側プローブブロック取付部１０５のプローブ針７と液晶表示パネル１５との間の傾斜を吸収して、プローブ針７のゲート側端子２２等への接触状態を維持して、プローブ針７のずれを防ぐ。
【００５３】
これにより、各プローブ針７がゲート側端子２２及びデータ側端子２３に正確に接触して、点灯試験が行われる。
【００５４】
試験終了後に、ワークテーブル４が下降されるが、このときは、まずゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５の撓みがもとに戻る。その後に、各プローブ針７がゲート側端子２２及びデータ側端子２３から離れる。
【００５５】
［効果］
以上のように、各プローブ針７の針圧による反力（反作用）をゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５を撓ませることで吸収するようにしたので、プローブベース１０２等が撓むのを防止することができる。これにより、オーバードライブをかけたとき又は解除したときに生じるプローブ針７のずれ、即ち、プローブ針７の針圧でプローブベース１０２等が撓んだり、撓みが解消したりしたときにゲート側端子２２及びデータ側端子２３に接触した状態で生じるプローブ針７のずれを防止することができる。この結果、プローブ針７で端子間の絶縁膜１９が壊されることがなくなり、ボンディング時にハンダ漏れによる端子間の電気的短絡を防止することができる。
【００５６】
［変形例］
（１）  前記各実施形態では、液晶表示パネル１５を例に説明したが、本発明はこれに限らず、検査時にオーバードライブによるプローブ針７のずれを防止する必要のある薄板であれば、本発明を適用することにより、前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００５７】
（２）  前記第１実施形態では、ブロック昇降機構５０をゲート側端子２２側に設けたが、データ側端子２３側に設けてもよい。ゲート側端子２２及びデータ側端子２３の両方に設けてもよい。これらによっても、前記第１実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００５８】
（３）  前記第１実施形態では、ブロック昇降機構５０によって３個のプローブブロック１１をリニアガイド５２に案内されたプローブブロック取付板５５に支持した状態でそのまま昇降させるようにしたが、ブロック昇降機構５０に傾斜角度を補正する手段を設けてもよい。即ち、液晶表示パネル１５とプローブ針７との傾き（具体的には、ワークテーブル４とプローブベース５６との傾き）を電気的、光学的、機械的又はその他の手段で検出して、その傾きに応じてプローブブロック取付板５５を補正する手段を設けてもよい。具体的には、プローブベース５６とワークテーブル４との距離を、２カ所以上で、近接センサやレーザ光等を用いて検出し、その差から傾きを検出する。エアーシリンダ５３を２個設けて、それぞれのピストン部５３Ａの延出量を、センサ等で検出した傾きに合わせて調整することで、プローブブロック取付板５５の傾きを補正して、液晶表示パネル１５のゲート側端子２２と各プローブ針７とを整合させる。これによっても、前記第１実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００５９】
（４）  前記第１実施形態では、傾き吸収手段としてプローブ針７を昇降させるブロック昇降機構５０を設け、プローブ針７の位置を検査時に可変できるようにしたが、ゲート側端子２２側とデータ側端子２３側のプローブ針７の高さを予め調整して固定するようにしてもよい。この場合、傾き吸収手段は、ブロック昇降機構５０の構成のままでもよく、エアーシリンダ５３をネジ機構等に置き換えてもよい。単純に、ネジ機構だけの構成でもよい。
【００６０】
この場合の高さの違いは、データ側端子２３側の各プローブ針７がデータ側端子２３に接触した後オーバードライブがかかり始めてプローブベース１６等がほぼ撓んでしまった後（望ましくは、完全に撓みきった後）に、ゲート側端子２２側のプローブ針７がゲート側端子２２に接触して十分なオーバードライブがかかる程度に設定される。即ち、オーバードライブによってワークテーブル４が数十ミクロン程度上昇されるが、その上昇行程の最終段階（オーバードライブでプローブベース１６等が撓んだ後）でゲート側端子２２側のプローブ針７がゲート側端子２２に接触して十分なオーバードライブがかかる程度に、各プローブ針７の高さが設定される。この高さ設定は、プローブ針７の本数、強度、撓むときのストローク長、プローブベース１６及びベースプレート１２の剛性等によって異なるため、それぞれのプローブユニットに応じて設定される。
【００６１】
（５）  前記第１実施形態では、ブロック昇降機構５０のプローブブロック取付板５５を昇降させる手段としてエアーシリンダ５３を用い、空気圧によってプローブブロック取付板５５を昇降させるようにしたが、油圧等の他の流体圧を用いてもよい。また、モータを用いてプローブブロック取付板５５を昇降させるようにしてもよい。
【００６２】
（６）  前記第２実施形態では、スリット１０３を形成して、傾き吸収手段としてのゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５を構成したが、ゲート側プローブブロック取付部１０４及びデータ側プローブブロック取付部１０５をプローブベース１０２から内側へ向けて突出させて形成してもよい。この場合、プローブベース１０２の開口は、内側へ向けて突出形成されたゲート側プローブブロック取付部１０４等に合わせて、大きく成形される。
【００６３】
また、傾き吸収手段は、プローブ針７の針圧による反力を吸収して撓む構成であればよいため、プローブ針７を支持するプローブブロック１１自体が可撓性を有する構成にしてもよい。この場合、プローブブロック１１自体が傾き吸収手段となる。
【００６４】
【発明の効果】
以上、詳述したように本発明によれば、次のような効果を奏する。
【００６５】
プローブ針の針圧による、プローブ針と前記薄板の端子との間の傾きを吸収し、互いに正確に接触させる傾き吸収手段を備えた傾き吸収手段を設けたので、プローブ針にオーバードライブをかけたとき又は解除したときに、プローブ針が端子に接触した状態で大きくずれてしまうことがなくなる。この結果、端子及びその周囲の破損を防止でき、端子間の電気的短絡を防止することができる。
【００６６】
また、本発明の方法により、複数群に分類されたプローブ針を、各群同士で互いに独立して可動しうるようにして、各プローブ針群を、針圧の大きい順に薄板の端子に接触させ、針圧の小さい順に薄板の端子から離すようにしたので、前記同様に、プローブ針にオーバードライブをかけたとき又は解除したときに、プローブ針が端子に接触した状態で大きくずれてしまうことがなくなり、端子及びその周囲の破損、端子間の電気的短絡を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るプローバの要部を示す要部斜視図である。
【図２】従来のプローバを示す正面図である。
【図３】従来のプローバを示す側面図である。
【図４】従来のプローバにおいて、ベースプレート及びプローブベースが針圧で撓んだ状態を示す要部断面図である。
【図５】従来のプローバにおいて、プローブ針がゲート側端子に接触して針キズが付いた状態を示す模式図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るプローバの各プローブ針が接触していない状態を示す要部拡大図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るプローバのデータ側端子側のプローブ針が接触した状態を示す要部拡大図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係るプローバのゲート側端子及びデータ側端子のプローブ針が接触した状態を示す要部拡大図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るプローバのプローブユニットを示す平面図である。
【符号の説明】
１：架台、２：コントロールボックス、３：本体、４：ワークテーブル、５：パネルセット部、６：ＣＲＴ、７：プローブ針、８：アライメントカメラ、９：ワークテーブル部、１０：プローブユニット、１１：プローブブロック、１２：ベースプレート、１３：アライメントステージ、１４：コンタクトＺステージ、１５：液晶表示パネル、１６：プローブベース、１７，１８：針キズ、１９：絶縁膜、２２：ゲート側端子、２３：データ側端子、５０：ブロック昇降機構、５１：リニアガイド取付板、５２：リニアガイド、５３：エアーシリンダ、５４：シリンダ取付ブロック、５５：プローブブロック取付板、５６：プローブベース、５７：プローブブロック、１００：プローブユニット、１０２：プローブベース、１０３：スリット、１０４：ゲート側プローブブロック取付部、１０５：データ側プローブブロック取付部。
【図１】
0003958875.tif 000002
【図２】
0003958875.tif 000003
【図３】
0003958875.tif 000004
【図４】
0003958875.tif 000005
【図５】
0003958875.tif 000006
【図６】
0003958875.tif 000007
【図７】
0003958875.tif 000008
【図８】
0003958875.tif 000009
【図９】
0003958875.tif 000010