(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ移載装置の正面壁に装着板を介して着脱可能に取付けられると共に、前記装着板の下端部に台車が着脱可能に取付けられる構成のロードポート装置であって、
前記台車は、
開口面を下方に向けて配置されて、上面に前記ロードポート装置を起立して支持するための支持部が一体に設けられた箱状の外側フレームと、
開口面を上方に向けて前記外側フレームの内部に複数の圧縮ばねを介在させて下方に付勢された状態で配置されて、複数のキャスタが一体に取付けられた箱状の内側フレームと、
前記各圧縮ばねの付勢力に抗して前記外側フレームに対して内側フレームを最大に接近させた状態で外側及び内側の各フレームを一体にロックすると共に、当該ロックの解除により前記各圧縮ばねが自在に撓んで各キャスターに対して前記支持部を浮動状態にするためのロック装置とを備え、
前記ウェハ移載装置の正面壁に装着されているロードポート装置を取り外して台車で搬送させるために、当該ロードポート装置の装着板の下端部と台車の支持部とをボルトを介して連結する際には、前記台車のロック装置の解除により前記支持部を浮動状態にして、前記支持部と前記装着板の下端部の各連結部の位置合わせを容易にし、
前記ウェハ移載装置から取り外されたロードポート装置を搬送させる際には、前記ロック装置により外側及び内側の各フレームをロックして一体化させることを特徴とする台車を備えたロードポート装置。
【請求項２】
前記ウェハ移載装置から取り外されて、前記台車に起立状態で支持されたロードポート装置が転倒することを防止するために、前記ロードポート装置の背面側の下端部に補助足が退避可能となって取付けられることを特徴とする請求項１に記載の台車を備えたロードポート装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロードポート装置の下端部に着脱可能に装着した台車によって当該ロードポート装置の搬送を安定して行えると共に、ウェハ移載装置の正面壁に装着されたロードポート装置に対する台車の連結作業を容易に行える台車を備えたロードポート装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８に示されるように、ウェハ移載装置Ｄには、ロードポート装置Ｌが取付けられていて、該ロードポート装置Ｌの上面には、所定枚数のウェハ（図示せず）を収容したウェハキャリアＣが設置されている。前記ウェハキャリアＣに収容されたウェハは、ウェハ移載装置Ｄを構成するウェハ移載ロボット（図示せず）によって取り出され、ウェハ処理装置に移載されて所定の処理が施される。
【０００３】
このロードポート装置は、保守・点検の際、或いは処理されるウェハの大きさが変更された場合、ウェハ移載装置から取り外す必要がある。従来、この着脱作業及び搬送作業は、人手によって行われている。しかし、ロードポート装置は重量物であり、人手によって的確な作業を行うことは困難である。このため、ロードポート装置を搬送するための台車が公知（例えば、特開平11-220001 号公報）である。しかし、この公報に開示された台車は、専用のレール上のみを移動可能であるため、ロードポート装置を自在な場所（例えば、前記レールから離れた場所）に搬送させることは困難である。
【０００４】
上記した不具合を解消するため、すべてのロードポート装置に、搬送のためのキャスタを取付けることが想定される。しかし、この場合、ロードポート装置の製作コストが高くなるという問題がある。しかも、前記ロードポート装置がウェハ移載装置に取付けられると、前記キャスタは不要となってしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、ロードポート装置の下端部に着脱可能に装着した台車によって当該ロードポート装置の搬送を安定して行えると共に、ウェハ移載装置の正面壁に装着されたロードポート装置に対する台車の連結作業を容易にすることを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための第１の発明は、ウェハ移載装置の正面壁に装着板を介して着脱可能に取付けられると共に、前記装着板の下端部に台車が着脱可能に取付けられる構成のロードポート装置であって、前記台車は、開口面を下方に向けて配置されて、上面に前記ロードポート装置を起立して支持するための支持部が一体に設けられた箱状の外側フレームと、開口面を上方に向けて前記外側フレームの内部に複数の圧縮ばねを介在させて下方に付勢された状態で配置されて、複数のキャスタが一体に取付けられた箱状の内側フレームと、前記各圧縮ばねの付勢力に抗して前記外側フレームに対して内側フレームを最大に接近させた状態で外側及び内側の各フレームを一体にロックすると共に、当該ロックの解除により前記各圧縮ばねが自在に撓んで各キャスターに対して前記支持部を浮動状態にするためのロック装置とを備えていることを特徴としている。
【０００７】
請求項１の発明によれば、前記ウェハ移載装置の正面壁に装着されているロードポート装置を取り外して台車で搬送させるために、当該ロードポート装置の装着板の下端部と台車の支持部とをボルトを介して連結する際には、前記台車のロック装置のロックの解除により前記支持部を浮動状態すると、例えば床面が特定の方向に傾斜していても、前記支持部と前記装着板の下端部にそれぞれ設けられた各連結部の位置合わせが容易となって、台車の支持部にロードポート装置の装着板の下端部を連結する作業が容易となる。この状態でウェハ移載装置の正面壁に対するロードポート装置の連結を解くと、台車の支持部にロードポート装置が起立状態で支持される。次に、前記ウェハ移載装置から取り外されたロードポート装置を搬送させる際には、前記ロック装置により外側及び内側の各フレームをロックして一体化させると、支持部に起立状態で支持されたロードポート装置を安定して搬送できる。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記ウェハ移載装置から取り外されて、前記台車に起立状態で支持されたロードポート装置が転倒することを防止するために、前記ロードポート装置の背面側の下端部に補助足が退避可能となって取付けられることを特徴としている。
【０００８】
請求項２の発明によれば、台車に支持されたロードポート装置の背面側は、補助足で支持されるため、ロードポート装置が背面側に転倒するのを防止できると共に、補助足が不要な場合には、上方に退避させられる。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は本発明に係る台車Ａの斜視図、図２は同じく平面図、図３は同じく側面断面図、図４は同じく一部を破断した背面図である。図１ないし図４に示されるように、本発明に係る台車Ａは、箱状の外側フレーム１と、該外側フレーム１の上面に取付けられ、ロードポート装置Ｌの装着板２（図８参照）と連結されて該ロードポート装置Ｌを起立状態で支持するための支持部３と、前記外側フレーム１の内側に配設され、複数本の圧縮ばね４を介して、前記外側フレーム１に対して浮動状態で取付けられると共に、その底面部に複数個のキャスタ５が取付けられた内側フレーム６とから成る。
【００１４】
図３及び図４に示されるように、外側フレーム１の底面は開口されていて、その下端部に、前記外側フレーム１の強度を補強するための補強板部１ａが、該外側フレーム１の全周に亘って張り出して設けられている。そして、外側フレーム１における左右方向の両側で前記補強板部１ａの底面部には各ストッパ板７が固着されていて、該外側フレーム１の内側に配設された内側フレーム６が落下することを防止している。また、外側フレーム１の両側面部には、それぞれ取手８が取付けられている。
【００１５】
次に、内側フレーム６について説明する。この内側フレーム６は、図３に示されるように、上面が開口された箱状を成しており、その外側寸法は、前記外側フレーム１の内側寸法よりも僅かに小さい。また、内側フレーム６の高さは、外側フレーム１の内側の高さよりも低い。この内側フレーム６は、その開口面を上にして外側フレーム１の内側に配設され、上記した各ストッパ板７により落下防止状態で取付けられる。この状態で、外側フレーム１の内周面１ｂと、内側フレーム６の外周面６ａとの間には、僅かな隙間ｅが設けられている。また、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フレーム６の上端面６ｂとの間にも、隙間ｈが形成されている。
【００１６】
前記内側フレーム６の底面部には、複数個（本実施例の場合、３個）のキャスタ５が取付けられている。これらのキャスタ５は、図２ないし図４に示されるように、内側フレーム６における前部の左右方向（幅方向）の両側に２個、同じく後部のほぼ中央部に１個取付けられている。そして、該内側フレーム６の内側で、上記した各キャスタ５のほぼ直上部分には、それぞれ円筒体９が固着されていて、各円筒体９に圧縮ばね４が弾装されている。前記外側フレーム１の天井面１ｃにおいて各円筒体９と相対向する位置には、円板状のばねサポート１１が固着されている。各ばねサポート１１の外径は、圧縮ばね４の内径よりも少し小さいため、各圧縮ばね４の上端部が、対応するばねサポート１１に嵌まり込む。このため、内外の各フレーム１，６が、前後左右方向に大きく相対移動することが防止されている。また、内側フレーム６は、各圧縮ばね４の弾性復元力によって常に下方に押し付けられている。このようにして内外の各フレーム１，６は浮動状態で取付けられていて、水平面のほぼ全方向、或いは特定方向に、隙間ｅ，ｈの分だけ、相対的に僅かに傾斜可能である。
【００１７】
次に、支持部３について説明する。外側フレーム１の上面には、ロードポート装置Ｌを起立状態で支持するための支持部３が設けられている。この支持部３の前端部には、ロードポート装置Ｌの装着板２に当接される当接部３ａが形成されている。即ち、ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部には、ねじ孔１２が４箇所に設けられていて、その背面側に六角ナット１２ａが固着されている（図１１参照）。そして、前記当接部３ａにおいて、前記ねじ孔１２と対応する部分には、各ねじ孔１３が設けられている。図８に示されるように、ロードポート装置Ｌの下方に台車Ａが配置される。ロードポート装置Ｌにおける装着板２の各ねじ孔１２と、台車Ａにおける支持部３の当接部３ａのねじ孔１３とが合致され、手前側から固定ボルト１４が締め込まれる。このようにして、ロードポート装置Ｌと台車Ａとが連結される。
【００１８】
本実施例の台車Ａには、ロック装置Ｂが取付けられている。このロック装置Ｂは、トグル機構によって、上記した外側フレーム１と内側フレーム６とを圧接させてロックするためのものである。次に、ロック装置Ｂについて説明する。図３及び図４に示されるように、平面視における支持部３において、そのほぼ中央部よりも少し前方の部分には、トグルクランプ１５が直立状態で取付けられている。そして、そのロッド１５ａは、外側フレーム１の下方の内側に突出されている。内側フレーム６において、前記トグルクランプ１５のロッド１５ａと対向する部分には連結ブラケット１６が取付けられていて、連結ボルト１７により、前記ロッド１５ａと連結されている。なお、図３において、１８は、前記連結ボルト１７を締め付けるためのレンチを挿通させるための挿通孔である。
【００１９】
図５に示されるように、直立状態にあるトグルクランプ１５のレバー１５ｂを回動させ、ほぼ水平状態にさせると、そのロッド１５ａが引き上げられる。この引き上げ力は、各圧縮ばね４の弾性復元力よりも大きい。このため、内外の各フレーム１，６は、各圧縮ばね４の弾性復元力に抗して相対的に昇降される。そして、外側フレーム１の天井面１ｃと、内側フレーム６の上端面６ｂとが圧接され、内外の各フレーム１，６は、あたかも一体化された状態で保持される。ほぼ水平状態にあるトグルクランプ１５のレバー１５ｂを、逆方向に回動させると、そのロッド１５ａが押し下げられ、内外の各フレーム１，６は再び浮動状態となる。このように、内側フレーム６に取付けられた各キャスタ５が、外側フレーム１に対して、それぞれ個別に相対昇降される。
【００２０】
次に、補助足１９について説明する。図６及び図７に示されるように、本実施例の台車Ａは、別体の補助足１９を２本備えている。図６に示されるように、この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り外されて、台車Ａの支持部３に起立状態で支持されたロードポート装置Ｌの装着板２の背面側（台車Ａが取付けられる側の反対側）に取付けられて、該ロードポート装置Ｌをより安定状態で保持させるためのものである。補助足１９について説明する。図６に示されるように、この補助足１９は、平面視においてコの字状のブラケット２１の内側に脚部２２が取付けられた構成であり、前記脚部２２の下端部にキャスタ２３が取付けられている。そして、図７に示されるように、脚部２２の上端部は、回動支点ピン２４により、前記ブラケット２１に対して回動可能に連結されている。また、ブラケット２１の一方側の側面部には、インデックスプランジャ２５が取付けられている。このインデックスプランジャ２５は、回動させた脚部２２のピン孔２２ａにピン（図示せず）を挿通させることによって、脚部２２を傾斜させた状態で保持させるという機能を有している。直立状態の脚部２２を回動させて、前記ピン孔２２ａをインデックスプランジャ２５のピンと対応する位置に配置させ、該ピンを前記ピン孔２２ａに挿通させる。この結果、脚部２２は、ブラケット２１に対して一定の角度で傾斜した状態で保持される。この補助足１９は、ウェハ移載装置Ｄから取り外されたロードポート装置Ｌにおける装着板２の背面側の下部で、その幅方向の両側に１個ずつ取付けられる。そして、補助足１９の脚部２２を回動させたときに、床面にほぼ接するようにして取付けられる。該台車Ａが使用されてないときには、図２に二点鎖線で示されるように、２本の補助足１９は台車Ａの支持部３に載置される。なお、図２において、２６は、各補助足１９を固定するためのローラキャッチである。
【００２１】
本発明に係る台車Ａの作用について説明する。図８及び図９に示されるように、ウェハ移載装置Ｄの正面壁に、ロードポート装置Ｌが取付けられている。ウェハキャリアＣを取り外し、台車Ａを走行させ、ロードポート装置Ｌにおける装着板２の下端部に当接させる。図１０に示されるように、台車Ａが配置された床面Ｆ’が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの幅方向に角度αだけ傾斜されていて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが合致していない場合、作業者は、外側フレーム１の幅方向の一端部に、ほぼ垂直方向の力Ｔを加える。この場合、図１０の図面視における外側フレーム１の右側に力Ｔを加える。図５に示されるように、外側フレーム１は内側フレーム６（各キャスタ５）に対して浮動状態となっているため、前記外側フレーム１を傾斜させて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致させることができる。この状態で、図１２に示されるように、六角ナット１２ａに固定ボルト１４を螺合させて、ロードポート装置Ｌの装着板２と台車Ａの支持部３とを連結させる。
【００２２】
また、図１１に示されるように、台車Ａが配置された床面Ｆ”が正規の床面Ｆに対して、台車Ａの前後方向に角度βだけ傾斜されていて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とが合致していない場合、作業者は、外側フレーム１の前端部に、ほぼ垂直方向の力Ｔを加える。そして、外側フレーム１の前部を下方に傾斜させて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａの支持部３のねじ孔１３とを合致させて、上記と同様に、六角ナット１２ａに固定ボルト１４を螺合させて、ロードポート装置Ｌの装着板２と台車Ａの支持部３とを連結させる。
【００２３】
この状態で、図５に示されるように、ロック装置Ｂを構成するトグルクランプ１５のレバー１５ｂを回動させ、そのロッド１５ａを引き上げる。各圧縮ばね４の弾性復元力に抗して、内外の各フレーム１，６が相対的に接近し、外側フレーム１の天井面１ｃと内側フレーム６の上端面６ｂとが圧接状態で密着される。そして、トグルクランプ１５のトグル機構により、この状態がロックされる。
【００２４】
続いて、図１３に示されるように、ロードポート装置Ｌの装着板２を固定している各固定ボルト２７を取り外す。ロードポート装置Ｌは、台車Ａの支持部３に起立状態で支持されているため、該ロードポート装置Ｌが落下するおそれはない。台車Ａを後退させて、ロードポート装置Ｌを起立状態のまま搬送させる。内外の各フレーム１，６は、ロック装置Ｂによって、あたかも一体化された状態でロックされているため、該ロードポート装置Ｌは安定状態で搬送される。
【００２５】
図１４に示されるように、ロードポート装置Ｌが所定の位置まで搬送されると、装着板２の背面側の下端部に、２本の補助足１９が取付けられる。ロードポート装置Ｌは、台車Ａの後部のキャスタ５と２本の補助足１９のキャスタ２３とによって支持される。この結果、ロードポート装置Ｌが、より安定状態で支持され、該ロードポート装置Ｌが転倒することが防止される。しかも、各補助足１９にはキャスタ２３が取付けられているため、この状態でロードポート装置Ｌを搬送させることも可能である。これらの補助足１９は着脱自在であるため、必要に応じて取り外し、図２に示されるように、台車Ａの支持部３の上面に載置させておくこともできる。また、図６及び図１４に二点鎖線で示されるように、回動支点ピン２４を中心に上方に回動させた状態で収納させることも可能である。
【００２６】
本発明に係る台車Ａを構成する各キャスタ５は、外側フレーム１に対して個別に、しかも相対的に昇降する構成である。しかし、例えば、左右２個ずつ配設された２組のキャスタが、各組毎に独立して相対的に昇降する構成であっても構わない。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、ウェハ移載装置の正面壁に装着されているロードポート装置を取り外して台車で搬送させるために、当該ロードポート装置の装着板の下端部と台車の支持部とをボルトを介して連結する際には、前記台車のロック装置のロックの解除により前記支持部を浮動状態すると、例えば床面が特定の方向に傾斜していても、前記支持部と前記装着板の下端部にそれぞれ設けられた各連結部の位置合わせが容易となって、台車の支持部にロードポート装置の装着板の下端部を連結する作業が容易となる。また、前記ウェハ移載装置から取り外されたロードポート装置を搬送させる際には、前記ロック装置により外側及び内側の各フレームをロックして一体化させると、支持部に起立状態で支持されたロードポート装置を安定して搬送できる。
【００２８】
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る台車Ａの斜視図である。
【図２】  同じく平面図である。
【図３】  同じく側面断面図である。
【図４】  同じく一部を破断した背面図である。
【図５】  ロック装置Ｂの作用を示す断面図である。
【図６】  ロードポート装置Ｌの背面図である。
【図７】  一部を破断した補助足１９の側面図である。
【図８】  台車Ａを走行させて、ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部に取付ける状態の作用説明図である。
【図９】  図８のＸ矢視図である。
【図１０】  外側フレーム１の幅方向に力Ｔを加えて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３とを合致させる状態の作用説明図である。
【図１１】  外側フレーム１の前後方向に力Ｔを加えて、ロードポート装置Ｌのねじ孔１２と台車Ａのねじ孔１３とを合致させる状態の作用説明図である。
【図１２】  ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部に、台車Ａを連結させる状態の作用説明図である。
【図１３】  ロードポート装置Ｌを台車Ａに支持させて、ウェハ移載装置Ｄから取り外す状態の作用説明図である。
【図１４】  ロードポート装置Ｌの装着板２の下端部に、補助足１９を取付けた状態の側面図である。
【符号の説明】
Ａ：台車
Ｂ：ロック装置
Ｄ：ウェハ移載装置
Ｌ：ロードポート装置
１：外側フレーム
２：装着板（ロードポート装置本体）
３：支持部
４：圧縮ばね
５：キャスタ
６：内側フレーム
１５：トグルクランプ（昇降手段）
１９：補助足
【図１】
0004021126.tif 000002
【図２】
0004021126.tif 000003
【図３】
0004021126.tif 000004
【図４】
0004021126.tif 000005
【図５】
0004021126.tif 000006
【図６】
0004021126.tif 000007
【図７】
0004021126.tif 000008
【図８】
0004021126.tif 000009
【図９】
0004021126.tif 000010
【図１０】
0004021126.tif 000011
【図１１】
0004021126.tif 000012
【図１２】
0004021126.tif 000013
【図１３】
0004021126.tif 000014
【図１４】
0004021126.tif 000015