(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉粒状固体を２〜５０容量％含有するプラスチツクフイルムを支持体とし、この支持体の表面に上記の粉粒状固体が露出し、その上に感圧接着剤組成物の層が設けられてなる熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項２】
支持体を構成するプラスチツクフイルムがポリイミド（アミド）からなる請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項３】
粉粒状固体が酸化アルミニウムまたは窒化ホウ素である請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項４】
感圧接着剤組成物が（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―を主剤とする請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項５】
感圧接着剤組成物が熱伝導性充填剤を含む請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【請求項６】
感圧接着剤組成物がシランカツプリング剤を含む請求項１に記載の熱伝導性感圧接着シ―ト類。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品の固定、とくに電子部品と放熱部材との固定や、その他、建材、車輌、航空機、船舶などの各種分野での部材の固定などの用に供される、熱伝導性感圧接着シ―ト類に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ハイブリツトパツケ―ジ、マルチモジユ―ル、あるいはプラスチツクや金属による密封型集積回路などの電子部品では、ＩＣ回路の高集積化などにともなつて発熱量が増大し、温度上昇のために電子部品が機能障害を生じるおそれがあることなどにより、電子部品にヒ―トシンクなどの放熱部材を付設して、上記の機能障害などを予防する方策が講じられている。
【０００３】
電子部品に放熱部材を付設する方法として、重合性アクリル酸エステルモノマ―とフリ―ラジカル開始剤を含む組成物にアルミニウム粉などを加えた接着剤を用いる方法が知られている（米国特許第４，７２２，９６０号明細書）。しかし、この方法は、上記接着剤を電子部品と放熱部材の一方または両方に塗設したのち、プライマ―を用いるか酸素を遮断して硬化処理する必要があり、その接着処理に多時間、多労力を要し、また硬化するまでの間、被着体を仮固定しておく必要があるなど、電子装置の製造効率に乏しい問題があつた。
【０００４】
また、接着剤層中にその層厚より大きい粒径の銀粒子を含ませた接着シ―トを用いる方法も提案されている（米国特許第４，６０６，９６２号明細書）。しかし、銀粒子を含ませると、接着剤組成物の調製中に粘度が極端に上昇して流動性に欠け、取り扱い性とくに塗工作業性が悪化し、シ―ト化する場合に厚さ精度が出なかつたり、ひどい場合はシ―ト化できない問題があつた。
【０００５】
さらに、極性基を持つアクリル系ポリマ―に熱伝導性電気絶縁粒子をランダムに分散させてなる熱伝導性感圧接着テ―プを用いる方法も提案されている（特開平６−８８０６１号公報：欧州特許ＥＰ−５６６０９３−Ａｌ）。しかし、この接着テ―プは、支持体を持たないため、電子部品の端子部分が感圧接着剤層中に食い込んだ場合に電気絶縁性（体積抵抗値、破壊電圧）が著しく損なわれ、電気絶縁材料としての信頼性が強く要求される部位には使用できない。
【０００６】
また、特開平５−１９８７０９号公報（米国特許第５，２１３，８６８号明細書）には、熱源と熱放散器との間に配置する熱伝導性境界面材料として、ナイロン、ポリエステル、ポリイミドなどの電気絶縁性プラスチツクフイルムからなる支持体上に、熱伝導性電気絶縁粒子を含ませたアクリル系感圧接着剤層を設け、これに熱源と熱放散器との間の空気を除去する貫通穴、エンボス、溝などを形成したものが提案されている。しかし、この材料は、支持体と感圧接着剤層との間の密着性が悪く、高温使用下で両界面で簡単に投錨破壊する問題があつた。
【０００７】
支持体と感圧接着剤層との密着性を改良するために、下塗りと呼ばれる層を支持体と感圧接着剤層との間に１層以上設けることがよく行われている。これは、支持体と感圧接着剤層との中間の極性を有する材料を有機溶剤などに溶解させ、これを支持体上に塗布、乾燥して、形成される。しかし、この場合、製造作業の煩雑、有機溶剤などの使用による環境悪化などの不具合を生じる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように、公知の熱伝導性感圧接着テ―プなどによると、電子部品と放熱部材との固定などに際し、多時間、多労力を要さず、簡単に接着処理できる利点はあるが、支持体を持たないものでは絶縁信頼性の面で問題があり、一方支持体を持つものでは支持体と感圧接着剤層との間の密着性に問題があり、これを下塗り層で解決しようとすると製造作業の煩雑、環境悪化などの不具合があつた。
【０００９】
本発明は、このような事情に照らし、電子部品の固定、とくに電子部品と放熱部材との固定や、その他、建材、車輌、航空機、船舶などの各種分野での部材の固定などの用に供される熱伝導性感圧接着シ―ト類として、支持体と感圧接着剤層とから構成されて、絶縁信頼性の面での問題がなく、しかも製造作業の煩雑、環境悪化などの不具合を生じる下塗り層を形成することなく、支持体と感圧接着剤層との間の密着性の改良された、高温使用下での保持性能にすぐれた熱伝導性感圧接着シ―ト類を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成するため、鋭意検討した結果、支持体として、粉粒状固体を特定量含有するプラスチツクフイルムであつて、このフイルム表面に上記の粉粒状固体が露出したものを使用し、この上に感圧接着剤組成物の層を設けるようにしたときに、下塗り層を設けなくても、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性にすぐれ、高温使用下での保持性能にすぐれた熱伝導性感圧接着シ―ト類が得られることを知り、本発明を完成するに至つた。
【００１１】
すなわち、本発明は、粉粒状固体を２〜５０容量％含有するプラスチツクフイルムを支持体とし、この支持体の表面に上記の粉粒状固体が露出し、その上に感圧接着剤組成物の層が設けられてなる熱伝導性感圧接着シ―ト類（請求項１）に係るものである。とくに、本発明は、このような熱伝導性感圧接着シ―ト類として、上記の支持体を構成するプラスチツクフイルムがポリイミド（アミド）からなるもの（請求項２）、上記の粉粒状固体が酸化アルミニウムまたは窒化ホウ素からなるもの（請求項３）、上記の感圧接着剤組成物が（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―を主剤としたもの（請求項４）、上記の感圧接着剤組成物が熱伝導性充填剤を含むもの（請求項５）、上記の感圧接着剤組成物がシランカツプリング剤を含むもの（請求項６）を、提供することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明において、支持体としては、粉粒状固体を２〜５０容量％含有する厚さが通常１２μｍ〜４mmのプラスチツクフイルムが用いられる。プラスチツクフイルムのポリマ―材質には、ポリイミド（アミド）、ポリエチレンテレフタレ―ト、ポリエチレンナフタレ―ト、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエ―テルケトン、ポリエ―テルスルホン、ポリメチルペンテン、ポリエ―テルイミド、ポリスルホン、ポリフエニレンサルフアイド、ポリエステルイミド、芳香族ポリアミドなどがある。これらのうち、熱寸法安定性、長期耐熱信頼性の点より、ポリイミド（アミド）、つまりポリイミドまたはポリイミドアミドが好ましく、その他、ポリテトラフルオロエチレンなとも好ましく用いられる。
【００１３】
粉粒状固体としては、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）、窒化ホウ素（ＢＮ）、ＳｉＯ2 、ＴｉＢ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＴｉＯ2 、ＭｇＯ、ＮｉＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、ＣｕＯなどがある。これらのうち、熱伝導性や入手の容易さの面で、酸化アルミニウムまたは窒化ホウ素が好ましい。粒子径は、通常０．５〜２５０μｍ、好ましくは１〜１００μｍ、より好ましくは２〜１０μｍである。形状は、球形、針状、フレ―ク状、スタ―状などのいかなる形状でもよい。含有量は、フイルム中、２〜５０容量％、好適には１０〜３５容量％である。２容量％より少ないと、熱伝導性や感圧接着剤組成物の層との密着性の点で好結果が得られにくい。５０容量％を超えてしまうと、フイルム強度などの点で問題を生じやすい。
【００１４】
本発明においては、このような粉粒状固体を含有するプラスチツクフイルムを支持体として使用するが、この支持体の表面、つまりフイルム表面に、上記の粉粒状固体が露出していることが重要であり、この露出表面に感圧接着剤組成物の層を設けることにより、この層と支持体との密着性の改善に格段にすぐれた効果が得られるものである。すなわち、プラスチツクフイルム中に粉粒状固体を含有していても、この粉粒状固体がフイルム表面に露出していない場合には、上記の層と支持体との密着性に乏しいものとなる。
【００１５】
支持体の表面に粉粒状固体を露出させるには、たとえば、ポリテトラフルオロエチレンなどのポリマ―に粉粒状固体を含有させて焼結しこれをバイトなどで削つてフイルム化する、いわゆる切削法を採用すればよい。また、別の有効な方法として、ポリマ―に粉粒状固体を含ませた組成物をキヤステイング法や押出し法でフイルム化したのち、その表面をスパツタエツチング処理、コロナ処理、サンドブラスト処理、ケミカルエツチング処理などによりエツチング処理して、フイルム表面に粉粒状固体を露出させるようにしてもよい。
【００１６】
エツチング処理を高周波スパツタリング処理で行う場合、処理時の雰囲気圧が０．０００５〜０．５Ｔｏｒｒ、周波数が数百ＫＨｚ〜数十ＭＨｚ、実用上は工業用割り当て周波数の１３．５６ＭＨｚ、放電電力が０．１〜５．０Ｗ／cm2 の条件で行えばよい。処理時間は、放電電力が小さい程長くする必要があるため、実用的には放電電力を大きくして処理時間を少なくするのがよい。処理度合は、ほぼ放電電力と処理時間の積として表わされる。雰囲気ガスは、すべての気体が使用可能であるが、塩素ガスやフツ素ガスなどの著しく活性なガスやスパツタエツチング時に放電重合する有機ガスは避けた方がよい。実用上は、アルゴンなどの不活性ガス、空気、窒素、水蒸気、炭酸ガスなどが用いられる。
【００１７】
このような切削法やエツチング処理にて得られるプラスチツクフイルムにおいて、表面に粉粒状固体が露出しているかどうかは、ＥＳＣＡ（光電子分光法）による表面観察を行うことで容易に確認できる。たとえば、粉粒状固体が酸化アルミニウムや窒化ホウ素である場合、ＥＳＣＡによる表面分析により、アルミニウム（Ａｌ）やホウ素（Ｂ）のピ―クがみられるかどうかを観察することで、上記粉粒状固体の表面露出の有無を確認することができる。
【００１８】
本発明において、感圧接着剤組成物としては、各種のゴムや合成樹脂を主剤としたものを広く使用できるが、長期信頼性の面より、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―を主剤としたものが好ましい。このポリマ―は、溶液重合法、乳化重合法、懸濁重合法、塊状重合法などで合成できるが、紫外線や電子線などを照射して重合させる塊状重合法で合成するのが望ましい。これは、有機溶剤の残存による電子部品の腐食や、高温での気化膨張による膨れ、剥がれ、ずれなどの問題がなく、また乳化剤のブリ―ドによる汚染、接着不良、耐湿性低下などの心配もなく、さらに比較的弱い強度の紫外線などを照射することによりポリマ―の分子量を高くでき、高い架橋度と大きな凝集力を有する耐熱性にとくにすぐれた感圧接着剤組成物の調製が可能となるためである。
【００１９】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―を合成する際には、主単量体として、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸２−エチルヘキシルなどのアルキル基の炭素数が２〜１４の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが用いられる。また、これらの主単量体と共重合可能な改質用単量体として、アクリル酸、イタコン酸、スルホプロピルアクリレ―ト、ヒドロキシアルキルアクリレ―ト、シアノアルキルアクリレ―ト、アクリルアミド、置換アクリルアミド、Ｎ−ビニルカプロラクタム、アクリロニトリル、２−メトキシエチルアクリレ―ト、アクリル酸グリシジル、カプロラクトン変性アクリレ―ト、カプロラクタン変性ヒドロキシエチルアクリレ―ト、酢酸ビニル、スチレンなどの単量体が、１種または２種以上用いられる。
【００２０】
上記の主単量体と共重合可能な改質用単量体は、主単量体が７０〜１００重量％、好ましくは８０〜９５重量％で、共重合可能な改質用単量体が３０〜０重量％、好ましくは２０〜５重量％となる割合で使用するのがよい。改質用単量体は、接着性を改良し、またポリマ―のガラス転移温度をコントロ―ルして凝集力や耐熱性を改良するためのものであり、上記範囲内で使用することにより接着性、凝集力などのバランスをうまくとることができる。なお、接着特性に悪影響を与えない範囲内で、上記単量体のオリゴマ―や、ポリオ―ルやエ―テル系などの市販されているオリゴマ―増粘剤などを必要に応じて用いてもよい。
【００２１】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―からなる主剤には、剪断強度を増加させるために、トリレンジイソシアネ―ト、トリメチロ―ルプロパントリレンジイソシアネ―ト、ジフエニルメタントリイソシアネ―ト、ジフエニルメタントリイソシアネ―トなどの多官能イソシアネ―ト系架橋剤、ポリエチレングリコ―ルジグリシジルエ―テル、トリメチロ―ルプロパントリグリシジルエ―テルなどのエポキシ系架橋剤、メラミン樹脂系架橋剤、金属塩系架橋剤、金属キレ―ト系架橋剤、アミノ樹脂系架橋剤、過酸化物系架橋剤などを配合してもよい。その配合量は、主剤である（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―１００重量部あたり、通常０．０１〜１０重量部とするのがよい。
【００２２】
また、交叉結合剤として、多官能（メタ）アクリレ―トを使用することもできル。具体的には、トリメチロ―ルプロパントリ（メタ）アクリレ―ト、ペンタエリスリト―ルテトラ（メタ）アクリレ―ト、１，２−エチレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ―ト、１，６−ヘキサンジオ―ルジ（メタ）アクリレ―トなどを挙げることができる。これらの多官能（メタ）アクリレ―トの使用量は、前記の単量体１００重量部あたり、０．０２〜５重量部、好ましくは０．１〜３重量部とするのがよい。このような範囲内において、２官能の場合は多く、３官能やそれ以上の官能基数の場合は少なくすることができる。
【００２３】
本発明に用いる感圧接着剤組成物には、熱伝導性充填剤として、Ａｌ2 Ｏ3 、ＢＮ、ＳｉＯ2 、ＴｉＢ2 、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＴｉＯ2 、ＭｇＯ、ＮｉＯ、ＣｕＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 などを配合するのが望ましい。配合量は、主剤であるポリマ―１００重量部あたり、通常１０〜３００重量部、好ましくは１０〜１２０重量部とするのがよい。粒子径は通常０．５〜２５０μｍ、好ましくは１〜１００μｍ、より好ましくは２〜１０μｍである。形状は、単量体のレオロジ―および最終的な組成物のレオロジカルな性質に応じて、球形、針状、フレ―ク状、スタ―状などの種々の形状を選択できる。純度は、感圧接着剤組成物の調製中での極端な粘度上昇を避けるため、好ましくは９５重量％以上であるのがよい。
【００２４】
本発明に用いる感圧接着剤組成物には、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性をより一段と向上させるために、シランカツプリング剤を配合してもよい。シランカツプリング剤は、分子中に２個以上の異なつた反応基を持つ有機珪素単量体であり、上記反応基の一つは無機質と化学結合する反応基であり、もう一つは有機材料と化学結合する反応基である。無機質と化学結合する反応基には、メトキシ基、エトキシ基、シラノ―ル基などがあり、有機材料と化学結合する反応基には、ビニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、メルカプト基などがある。このシランカツプリング剤の使用量は、主剤であるポリマ―１００重量部あたり、通常０．０１〜２０重量部とするのがよい。
【００２５】
シランカツプリング剤には、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フエニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシランなどがある。これらのシランカツプリング剤の中から、感圧接着剤組成物との相溶性、増粘性、ゲル化の有無などを考慮して、適宜のものが選択される。
【００２６】
本発明に用いる感圧接着剤組成物には、上記成分のほか、さらに必要により、接着性能や本発明の効果を損なわない範囲内で、顔料、充填剤、老化防止剤、粘着付与剤、難燃剤などの公知の各種の添加剤を配合してもよい。本発明においては、このように構成される感圧接着剤組成物の層を、前記した支持体の粉粒状固体の露出表面に設けることにより、シ―ト状やテ―プ状などの形態とした熱伝導性感圧接着シ―ト類とすることができる。支持体上に設けられる感圧接着剤組成物の層の厚さは、通常１０〜３００μｍであるのがよい。
【００２７】
本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類の製造において、感圧接着剤組成物が（メタ）アクリル酸アルキルエステル系ポリマ―を主剤としたもので、かつこのポリマ―を光重合による塊状重合で得る場合は、以下のように重合処理すればよい。まず、前記の主単量体またはこれと共重合可能な改質用単量体に光重合開始剤を加え、これを部分的に重合して粘度が約５００〜５，０００センチポイズの塗工可能なシロツプ状にする。これに必要により多官能（メタ）アクリレ―ト、熱伝導性充填剤、シランカツプリング剤、追加の光重合開始剤、前記の各種の添加剤成分などを混合して、光重合性組成物を調製し、これを剥離ライナ上に塗布し、紫外線または放射線を照射して光重合させ、感圧接着剤組成物の層を形成する。この層を前記支持体の粉粒状固体の露出表面に転写することにより、熱伝導性感圧接着シ―ト類を得ることができる。また、上記の光重合性組成物を上記支持体の粉粒状固体の露出表面に直接塗布し、上記同様に光重合させて、感圧接着剤組成物の層を形成するようにしてもよい。
【００２８】
このように製造される本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類は、熱伝導性と感圧接着性にすぐれ、また、支持体上に環境悪化などの不具合を生じる下塗り層を設けていないにもかかわらず、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性にもすぐれており、上記両者間で投錨破壊を起こすおそれががない。このため、各種部材の固定などに用いた場合に、高温使用下で良好な保持性能を発揮する。
【００２９】
本発明の熱伝導性接着シ―ト類を用いて、たとえば、電子部品と放熱部材とを接着固定するには、両者間に上記の感圧接着シ―ト類を介装し、その感圧接着性を利用して圧着処理すればよく、これにより両者を熱伝導性良好にして、かつ高温下でも良好な接着強度で固定できる。
【００３０】
接着固定の対象となる電子部品は、とくに限定されないが、たとえば、ＩＣチツプ、ハイブリツドパツケ―ジ、マルチチツプモジユ―ル、パワ―トランジスタ、プラスチツクや金属よる密閉型の集積回路などが挙げられる。本発明では、ＩＣ回路を高度に集積したもののように、発熱量の大きい電子部品の接着固定に有利に適用することができる。また、接着固定の対象となる他方の放熱部材には、金属の板やシ―ト状物などからなるヒ―トシンク、その他の放熱器などが挙げられる。ヒ―トシンクの厚さとしては、１０μｍ〜１０mm、好ましくは１００μｍ〜３mmが一般的であるが、これに限定されない。また、放熱器は冷却フアンを有する形態などの適宜な構造であつてもよい。
【００３１】
本発明の熱伝導性感圧接着シ―ト類は、上記のような電子部品と放熱部材との接着固定に限らず、建材、車輌、航空機、船舶などの各種部材の固定目的などの用に供することができる。これらの用途目的に用いたときでも、上記と同様のすぐれた効果を奏することはいうまでもない。
【００３２】
【実施例】
以下、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。なお、以下において部とあるのはすべて重量部を意味するものである。
【００３３】
実施例１
アクリル酸イソオクチル７５部、アクリル酸ブチル２０部、アクリル酸５部および２，２−ジメトキシ−２−フエニルアセトン（光重合開始剤）０．１部からなるプレミツクスを、窒素ガス雰囲気中で紫外線に暴露して部分重合させ、粘度が約４０ポイズの塗工可能なシロツプを得た。このシロツプ１００部に、トリメチロ―ルプロパントリアクリレ―ト（交叉結合剤）０．２部と、窒化ホウ素（ＢＮ）４０部とを添加して、光重合性組成物を調製した。これを剥離ライナ上に塗布し、窒素ガス雰囲気中で光強度５ｍＷ／cm2 の高圧水銀ランプにて９００ｍｊ／cm2 の紫外線を照射して光重合したのち、熱風循環乾燥機により１３０℃で５分間乾燥処理して、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成した。
【００３４】
支持体として、Ａｌ2 Ｏ3 を１７容量％含有する厚さが２５μｍのポリイミドフイルムを使用し、このフイルムの両面をスパツタエツチング処理（導入ガス：Ａｒ）した。ＥＳＣＡの表面分析により、Ａｌのピ―クがみられたことより、上記処理表面にＡｌ2 Ｏ3 が露出していることを確認した。この露出表面（両面）に、前記の厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を貼り合わせることにより、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３５】
実施例２
アクリル酸２−エチルヘキシル８５部、アクリル酸５部、カプロラクトン変性アクリレ―ト〔東亜合成化学（株）製の「アロニツクスＭ−５３００」〕１０部および２，２−ジメトキシ−２−フエニルアセトン（光重合開始剤）０．１部からなるプレミツクスを、窒素雰囲気中で紫外線に暴露して部分重合させ、粘度が約４０ポイズの塗工可能なシロツプを得た。このシロツプ１００部に、トリメチロ―ルプロパントリアクリレ―ト（交叉結合剤）０．２部と、窒化ホウ素（ＢＮ）４０部とを添加して、光重合性組成物を調製した。
【００３６】
支持体として、Ａｌ2 Ｏ3 を１７容量％含有する厚さが２５μｍのポリイミドフイルムを使用し、このフイルムの両面をサンドブラスト処理した。ＥＳＣＡの表面分析により、Ａｌのピ―クがみられたことより、上記処理表面にＡｌ2 Ｏ3 が露出していることを確認した。この露出表面（両面）に、前記の光重合性組成物を塗布したのち、窒素ガス雰囲気中で光強度５ｍＷ／cm2 の高圧水銀ランプにて９００ｍｊ／cm2 の紫外線を照射して光重合した。その後、熱風循環乾燥機により１３０℃で５分間乾燥処理して、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成し、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３７】
実施例３
アクリル酸２−エチルヘキシル９５部とアクリル酸５部を、酢酸エチル２１０部中で、２，２−アゾビスイソブチロニトリル０．４部の共存下、かつ窒素ガス置換下６０〜８０℃で攪拌しながら溶液重合処理して、粘度が約１２０ポイズ、重合率が９９．２重量％、固形分が３０重量％となるポリマ―溶液を得た。このポリマ―溶液１００部に、多官能イソシアネ―ト系架橋剤３部と、窒化ホウ素（ＢＮ）４０部と、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン０．２部とを添加して、感圧接着剤溶液を調製した。
【００３８】
この感圧接着剤溶液を、剥離ライナ上に塗布し、熱風乾燥機にて４０℃で５分間乾燥後、１３０℃で５分間乾燥処理して、厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を形成した。支持体として、実施例１と同じ両面にＡｌ2 Ｏ3 を露出させたポリイミドフイルムを用い、その露出表面（両面）に上記の感圧接着剤組成物の層を貼り合わせ、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００３９】
実施例４
支持体として、切削方法で作製した窒化ホウ素（ＢＮ）を１８容量％含有する厚さが２５μｍのポリテトラフルオロエチレンフイルムを用いた。ＥＳＣＡの表面分析でＢのピ―クがみられたことより、両面にＢＮが露出しているのを確認した。この露出表面（両面）に実施例１で形成した厚さが５０μｍの感圧接着剤組成物の層を貼り合わせ、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トとした。
【００４０】
実施例５
表面にＡｌ2 Ｏ3 を露出させたポリイミドフイルムの片面にのみ感圧接着剤組成物の層を貼り合わせるようにした以外は、実施例１と同様にして、全厚が７５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００４１】
比施例１
支持体として、Ａｌ2 Ｏ3 を含有しない厚さが２５μｍのポリイミドフイルムを使用した以外は、実施例１と同様にして、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００４２】
比施例２
支持体として用いたＡｌ2 Ｏ3 を含有するポリイミドフイルムの両面にスパツタエツチング処理を施さなかつた以外は、実施例１と同様にして、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。
【００４３】
比施例３
支持体として、キヤステイング法にて作製した窒化ホウ素（ＢＮ）を１８容量％含有する厚さが２５μｍのポリテトラフルオロエチレンフイルムを使用した以外は、実施例４と同様にして、全厚が１２５μｍの熱伝導性感圧接着シ―トを作製した。上記の支持体フイルムは、ＥＳＣＡの表面分析でＢのピ―クがみられず、フイルム表面にＢＮが露出していないことを確認した。
【００４４】
以上の実施例１〜５および比較例１〜３の各熱伝導性感圧接着シ―トにつき、以下の方法により、定荷重剥離試験および熱抵抗試験を行つた。これらの結果は、後記の表１に示されるとおりであつた。
【００４５】
＜定荷重剥離試験＞
実施例１〜４および比較例１〜３の各熱伝導性感圧接着シ―トについては、厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレ―トフイルムを裏打ちして試料とした。実施例５の熱伝導性感圧接着シ―トはそのまま試料とした。これらの各試料を幅２０mmに切断して、アルミニウム板に貼り合わせ、試験片とした。この試験片をアルミニウム板が上方に位置するように水平にし、試料の一方（右側）にのみ荷重（１５０ｇ）を付し、１３０℃の雰囲気中に３０分間放置したのちに、試料の一方の移動距離（剥離距離）とその破壊状態を観察した。
【００４６】
＜熱抵抗試験＞
ＴＯ−２２０パツケ―ジ中のトランジスタを、熱伝導性感圧接着シ―トを用いて、水に浸し一定温度になつたヒ―トシンクに、圧着圧力２Kg／cm2 で接着固定したのち、トランジスタに一定量の出力を供給し、トランジスタの温度（Ｔ２）と熱伝導性感圧接着シ―ト下側の表面温度（Ｔ１）の温度差（Ｔ２−Ｔ１）を測定した。この温度差より、下記の式にしたがつて、熱抵抗を算出した。
熱抵抗（℃・cm2 ／Ｗ）＝（Ｔ２−Ｔ１）×Ａ／Ｐ
Ａ：トランジスタの面積（cm2 ）
Ｐ：トランジスタの消費電力（Ｗ）
【００４７】
なお、トランジスタの温度（Ｔ２）は、トランジスタパツケ―ジの金属ベ―ス部分にスポツト溶接された熱電対により測定した。また、熱伝導性感圧接着シ―ト下側の表面温度（Ｔ１）は、ヒ―トシンクに微小の穴をあけ、熱電対を押し込むことにより測定した。その際、熱電対を熱伝導性感圧接着シ―トの接着面積に影響がでないように極力近接して保持するようにした。
【００４８】
0003909955.tif 000002
【００４９】
上記の表１の結果から明らかなように、本発明の実施例１〜５の各熱伝導性感圧接着シ―トは、定荷重剥離試験において移動距離が４cm以下と小さくかつその破壊状態は凝集破壊であり、支持体フイルムと感圧接着剤組成物の層との密着性にすぐれて、高温使用下でも良好な保持性能を示し、しかも熱抵抗試験による熱伝導性も十分に満足しているものであることがわかる。
【００５０】
これに対して、比較例１〜３の各熱伝導性感圧接着シ―トは、いずれも、定荷重剥離試験において移動距離が１５cm以上と大きくかつその破壊状態は投錨破壊であり、支持体フイルムと感圧接着剤組成物の層との密着性が悪く、高温使用下での保持性能に著しく劣つていることがわかる。さらに、比較例１の熱伝導性感圧接着シ―トは、熱抵抗試験による熱伝導性にも劣つている。
【００５１】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、支持体として、粉粒状固体を特定量含有するプラスチツクフイルムであつて、このフイルム表面に上記の粉粒状固体が露出したものを使用し、この上に感圧接着剤組成物の層を設けるようにしたことにより、下塗り層を設けなくても、支持体と感圧接着剤組成物の層との密着性にすぐれ、高温使用下での保持性能にすぐれた熱伝導性感圧接着シ―ト類を提供することができる。この熱伝導性感圧接着シ―ト類は、電子部品の固定、とくに電子部品と放熱部材との固定や、その他、建材、車輌、航空機、船舶などの各種分野での部材の固定などの用途目的に幅広く利用することができる。