(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１変位部材の内部を第２変位部材が相対的に変位可能に設けられ、前記第１変位部材と前記第２変位部材の間隙から流体が漏洩することを防止するシール構造において、
前記第２変位部材の外周面に沿って溝状に形成される係合部と、前記係合部に嵌着され前記第１変位部材と前記第２変位部材の間隙を通じた圧力流体の流通を防止するＯリングとを備え、
前記係合部は、前記第２変位部材の軸線と直交方向に延在する一組の第１及び第２の壁部と、
前記第１の壁部と第２の壁部との間に形成され、前記第２変位部材の軸線と平行な底部と、
前記第１の壁部と前記底部との間を連続的に接続し、前記圧力流体の流通方向となる該第１の壁部側から前記第２の壁部側に向かって徐々に縮径するように傾斜した傾斜部と、
を有し、
前記圧力流体の圧力が前記Ｏリングに付与されていない場合に、該Ｏリングの内周面が前記傾斜部に当接し、前記Ｏリングに対して前記圧力が付与されると、該Ｏリングの内周面が前記底部に当接することを特徴とするシール構造。
【請求項２】
請求項１記載のシール構造において、
前記シール構造は、減圧弁に設けられることを特徴とするシール構造。
【請求項３】
請求項１または２記載のシール構造において、
前記第１変位部材はシリンダであり、前記第２変位部材はピストンであることを特徴とするシール構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、減圧弁等の流体圧機器の摺動部に設けられ、圧力流体の漏洩を防止するシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流体圧機器の摺動部に設けられるシール構造は、例えば、図５に示すように、流体圧機器１０のピストン１４に周回して画成された溝状の係合部１６にＯリング１８が挿入された構成が知られている。前記Ｏリング１８は前記係合部１６を形成する底部とシリンダ１２の内壁に弾性的に当接して圧力流体の流路を閉塞し、該圧力流体が漏洩することを防止する。
【０００３】
また、他の従来技術によれば、図６に示すように、ピストン１４に画成された溝部２２に合成ゴムの如き材料で形成されたパッキン２４が挿入され、該パッキン２４には断面略Ｖ字状の溝部２６が画成される構造のものが採用されている。
【０００４】
さらに他の従来技術では、図７に示すように、パッキン３２が合成樹脂の如き材料で形成され、シリンダ１２の内壁に当接するシール部３４ａ、３４ｂと、ピストン１４の外周に当接するシール部３６ａ、３６ｂと、前記シリンダ１２に画成された溝部３８に係合して当該パッキン３２の位置決めをする保持部４０とが形成される構造のものも存在している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図５に示すＯリング１８では、シリンダ１２とピストン１４の間隙に、図中、矢印Ａ方向に圧力流体が導入されると、Ｏリング１８は圧力流体の圧力により前記係合部１６を形成する一方の壁部１６ａに押圧されるとともに、２点鎖線で示すように、略楕円形状に変形する。このため、Ｏリング１８は、点Ｃでシリンダ１２に押圧され、一方、点Ｄでピストン１４に押圧される。結局、ピストン１４がシリンダ１２の内部を摺動する際、Ｏリング１８とシリンダ１２との摺動抵抗が大きくなる。
【０００６】
また、図６に示すパッキン２４では、シリンダ１２とピストン１４の間隙に圧力流体が、図中、矢印Ａ方向に導入されると、該圧力流体の圧力によって前記溝部２６を形成する一方の壁部２８ａは半径方向外方、すなわち、シリンダ１２の内壁に向かって押圧され、他方の壁部２８ｂは半径方向内方、すなわち、ピストン１４に画成された溝部２２を形成する底部に向かって押圧される。従って、ピストン１４がシリンダ１２の内部を摺動する際、パッキン２４とシリンダ１２との摺動抵抗が大きくなる。
【０００７】
さらに、図７に示すパッキン３２では、シリンダ１２とピストン１４の間隙に圧力流体が、図中、矢印Ａ方向に導入されると、該圧力流体の圧力によって前記シール部３４ａは半径方向外方に押圧されて、点Ｅにおいてシリンダ１２の内壁を押圧し、一方、前記シール部３６ａは半径方向内方に押圧されて、点Ｆにおいてピストン１４の外壁を押圧する。結局、ピストン１４がシリンダ１２の内部を摺動する際、パッキン３２とピストン１４との摺動抵抗が大きくなる。
【０００８】
このように、前記の従来技術によれば、圧力流体の圧力が大きくなるとピストン１４とシリンダ１２との摺動抵抗が大きくなり、このシール構造を圧力制御弁、例えば、減圧弁のバルブに用いて該バルブのストローク調整（開度調整）により導出口（２次側）の圧力を制御する場合、移動するバルブにパッキンが摺動する構造であると、パッキンの受ける圧力により摺動抵抗が変化する結果、制御圧力に変動が生じるという問題があった。また、長期間の使用によってＯリング１８またはパッキン２４、３２が摩耗して流体圧機器の耐久性が低下し、圧力流体が漏洩する懸念が生じるという問題があった。
【０００９】
さらに、ピストン１４とシリンダ１２との摺動抵抗が大きくなると、ピストン１４の変位速度が低下するため、このパッキンを用いたシリンダ１２を、例えば、メータアウト回路に用いてピストンの速度制御を行う場合、圧力流体供給源の圧力流体の圧力が変動したときにピストンの速度に誤差が生じるという欠点があった。
【００１０】
本発明は前記の課題を解決すべくなされたものであって、圧力流体の圧力が変化しても摺動抵抗が変化せず、耐久性に富み、減圧弁に用いた場合には２次側の圧力の変動を減少させ、メータアウト回路に用いた場合にはピストンの速度誤差を減少させることが可能なシール構造を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、第１変位部材の内部を第２変位部材が相対的に変位可能に設けられ、前記第１変位部材と前記第２変位部材の間隙から流体が漏洩することを防止するシール構造において、
前記第２変位部材の外周面に沿って溝状に形成される係合部と、前記係合部に嵌着され前記第１変位部材と前記第２変位部材の間隙を通じた圧力流体の流通を防止するＯリングとを備え、
前記係合部は、前記第２変位部材の軸線と直交方向に延在する一組の第１及び第２の壁部と、
前記第１の壁部と第２の壁部との間に形成され、前記第２変位部材の軸線と平行な底部と、
前記第１の壁部と前記底部との間を連続的に接続し、前記圧力流体の流通方向となる該第１の壁部側から前記第２の壁部側に向かって徐々に縮径するように傾斜した傾斜部と、
を有し、
前記圧力流体の圧力が前記Ｏリングに付与されていない場合に、該Ｏリングの内周面が前記傾斜部に当接し、前記Ｏリングに対して前記圧力が付与されると、該Ｏリングの内周面が前記底部に当接することを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、Ｏリングの装着される係合部に、前記第２変位部材の軸線と平行な底部を設けると共に、第１の壁部側から前記第２の壁部側に向かって徐々に縮径するように傾斜した傾斜部を設けることにより、前記Ｏリングに対する圧力流体の圧力が増加すると、該Ｏリングが変形してその外周面による第１変位部材の内周面を押圧する力が増加する。一方、Ｏリングの内周面は傾斜部から底部にへと移動する。このため、第１変位部材の内周面を押圧する力が相殺され、該第１変位部材の内周面を押圧する力は変化せず、前記第１変位部材とＯリングとの間の摺動抵抗を圧力流体の圧力に拘わらず一定とすることができる。
【００１３】
この場合、前記シール構造が減圧弁に設けられると、圧力流体の圧力が変化しても摺動抵抗は変化しないため、圧力流体の圧力の変化による導出口（２次側）の圧力の誤差が少なく、また、耐久性に富む減圧弁が得られ、好適である。
【００１４】
また、この場合、前記第１変位部材がシリンダであり、前記第２変位部材がピストンであると、摺動抵抗が増加することのないシリンダおよびピストンが得られ、好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明に係るシール構造について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１６】
図１および図２において、参照符号５０は、本実施の形態に係るシール構造を示す。このシール構造５０はシリンダ５２と、該シリンダ５２の内部を摺動自在に設けられた略円柱状のピストン５４とを備え、該ピストン５４の外周には溝状の係合部５６が周回して形成され、該係合部５６には天然ゴムまたは合成ゴムの如き材料で環状に形成されたＯリング６６が係合する。前記係合部５６は、図２に示すように、前記Ｏリング６６の軸線方向に対して直交する壁部５８ａ、５８ｂと、前記Ｏリング６６の軸線方向に平行な底部６０とを有し、一方の壁部５８ａと底部６０との間にはテーパ状の斜面部６２が形成される。前記斜面部６２は圧力流体が印加される方向（矢印Ａ方向）に沿って徐々にその直径が小さくなる形状、すなわち、ピストン５４の軸心側へと傾斜する面として形成されている。前記Ｏリング６６は一方の壁部５８ｂに点Ｉで当接して該Ｏリング６６が矢印Ａ方向に変位することが規制され、また、前記Ｏリング６６は点Ｈで前記係合部５６の斜面部６２に、点Ｇでシリンダ５２の内周に当接して支持される。
【００１７】
本実施の形態に係るシール構造５０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、このシール構造５０が使用される減圧弁７０について、図３を参照して説明する。
【００１８】
この減圧弁７０は後述するボンネット１２０と螺合して一体化される本体部７２を備える。該本体部７２の下部には雌ねじが螺刻された孔部７４が画成され、該孔部７４は雄ねじが形成されたバルブガイド７６によって閉塞される。該バルブガイド７６にはその軸線方向に沿って凹部７８が画成され、該凹部７８の底部にはコイルスプリング８２の一端部が着座する。前記コイルスプリング８２の他端部は、略円筒状に形成され一方が閉塞された弁体８４の内部に挿入される。該弁体８４は前記バルブガイド７６の凹部７８に摺動自在に挿入され、従って、前記凹部７８を形成する壁部は前記シリンダ５２を構成し、弁体８４は前記ピストン５４を構成する。前記弁体８４の上部中央には孔部８８が画成され、該孔部８８には棒状に形成されたバルブ９０の一端部が挿入され、該バルブ９０に形成された段部９２が前記孔部８８を構成する壁部に係合する。前記バルブ９０の他端部には徐々に直径が小さくなる湾曲部９４が形成されている。
【００１９】
前記孔部７４の上部には通路９６を介して導入口９８が連通し、該導入口９８には図示しない圧縮空気供給源が接続される。前記孔部７４には第１の室１００が連通し、該第１の室１００を形成する壁部の下部に設けられた着座部１０１には前記弁体８４の上面が当接自在である。前記第１の室１００には導出口１０２が連通し、該導出口１０２は前記本体部７２の外部に開口して、図示しない他の流体圧機器に接続される。前記第１の室１００の上部には孔部１０４が画成され、該孔部１０４には前記バルブ９０が挿通自在である。前記孔部１０４は第２の室１０６に連通し、該第２の室１０６を構成する底部の一部には前記導出口１０２に連通する静圧管としての管体１０８が設けられる。
【００２０】
前記本体部７２の上部に螺合するボンネット１２０は第３の室１２３が画成されることによって略円筒状に形成され、該ボンネット１２０の下部と前記本体部７２の上部によってダイヤフラム１２１が挟持される。前記ボンネット１２０の外周の一部には雄ねじ１２２が螺刻され、該雄ねじ１２２にはナット１２４が締結される。前記ボンネット１２０の上部中央には孔部１２６が画成され、さらに、該ボンネット１２０の上縁部近傍にはリリーフポート１２８が画成される。
【００２１】
前記ダイヤフラム１２１の中央にはリリーフ弁１３２が設けられ、該リリーフ弁１３２はリング部材１３３によって前記ダイヤフラム１２１に固着される。該リリーフ弁１３２の中央には孔部１３４が画成される。該孔部１３４の下部には下方に向かってその直径が徐々に大きくなるテーパ部１３６が形成され、該テーパ部１３６には前記バルブ９０の湾曲部９４が当接自在である。前記リング部材１３３の上部にはコイルスプリング１３８の一端部が着座し、該コイルスプリング１３８の他端部にはナット１４０が当接する。該ナット１４０の内部にはガイドロッド１４１の雄ねじ１４２が螺入され、該雄ねじ１４２の下部にはフランジ部１４４が形成され、該フランジ部１４４により該ナット１４０の矢印Ａ方向への最大変位範囲が規制される。前記ガイドロッド１４１の上部は前記孔部１２６に挿通してハンドル１４６に固着される。該ハンドル１４６の縁部は下方に延在して前記ボンネット１２０の上部を囲繞する円筒部１４８が形成され、該円筒部１４８の下部には半径方向内方に突出するフランジ部１５０が形成される。該フランジ部１５０は前記ボンネット１２０の外周に周回して形成された突部１５２に係合して前記ボンネット１２０からハンドル１４６が脱落することを防止する。
【００２２】
前記減圧弁７０は以上のように構成されており、次に、この減圧弁７０の動作について説明する。
【００２３】
先ず、ハンドル１４６を回転させてガイドロッド１４１を回転させると、ナット１４０が矢印Ａ方向に変位してコイルスプリング１３８の弾発力が強くなり、ダイヤフラム１２１が湾曲して下方に変位する（図３参照）。このため、バルブ９０が押圧されて弁体８４がコイルスプリング８２の弾発力に抗して矢印Ａ方向に変位し、導入口９８と第１の室１００とが連通する。図示しない圧縮空気供給源を付勢すると、圧縮空気が導入口９８から第１の室１００に導入され、導出口１０２に導出されるとともに、管体１０８を介して第２の室１０６に導入される。導入口９８から供給される圧縮空気の圧力が大きくなると第２の室１０６の内部の圧力が大きくなり、ダイヤフラム１２１はコイルスプリング１３８の弾発力に抗して矢印Ｂ方向に変位し、このため、バルブ９０を介して弁体８４がコイルスプリング８２の弾発力により上昇し、該弁体８４は着座部１０１に当接する。従って、圧縮空気の流通が阻止され、導出口１０２の流体圧力は小さくなる。
【００２４】
一方、導出口１０２から圧縮空気が図示しない流体圧機器に導出され、第２の室１０６の内部の圧力が小さくなると、ダイヤフラム１２１はコイルスプリング１３８の弾発力により下方に変位し、これによってバルブ９０が弁体８４と一体的に下降して該弁体８４は着座部１０１から離間する。このため、第１の室１００と孔部７４との流路が連通し、圧縮空気が導入口９８から第１の室１００を通って導出口１０２に導出され、該導出口１０２の圧力が大きくなる。
【００２５】
他方、例えば、導出口１０２に接続される図示しない流体圧機器に導入される圧縮空気の量が減少する等により、導出口１０２の内部の圧縮空気の圧力が所定の値より上昇すると、第１の室１００の内部の圧力が上昇し、該圧力により弁体８４の上面が受圧面として押圧され、バルブ９０が該弁体８４と共に矢印Ａ方向に変位する。同時に、導出口１０２と管体１０８を介して連通する第２の室１０６内の圧縮空気がダイヤフラム１２１を押圧して該ダイヤフラム１２１を矢印Ｂ方向に変位させる。このため、バルブ９０の湾曲部９４は孔部１３４のテーパ部１３６から離間し、第２の室１０６と第３の室１２３とが孔部１３４を介して連通する。該第３の室１２３はリリーフポート１２８を介して減圧弁７０の外部に連通している。このため、圧縮空気は導出口１０２から第３の室１２３を経てリリーフポート１２８から外部に排気され、結局、導出口１０２の圧力が低下する。
【００２６】
このように、導出口１０２側の圧縮空気の圧力は、導入口９８に供給される圧縮空気の圧力や導出口１０２に接続される流体圧機器に導入される圧縮空気の量に拘わらず、一定に保たれることになる。
【００２７】
ところで、圧縮空気の圧力が加わっていないとき、Ｏリング６６は、図２に実線で示すように、点Ｇでシリンダ５２の内周を押圧し、点Ｈで斜面部６２を押圧し、さらに点Ｉで壁部５８ｂを押圧している。シリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗は、点Ｇと点ＨにおいてＯリング６６がシリンダ５２および斜面部６２を押圧する力が弱ければ少なくなり、強ければ大きくなる。そして、この押圧する力は点Ｇと点Ｈの間隔によって決定され、間隔が大きければ押圧する力が弱くなり、間隔が小さければ押圧する力が強くなる。従って、圧縮空気の圧力が加わっていないときの摺動抵抗は点Ｇと点Ｈの間隔によって決定される。
【００２８】
圧縮空気の圧力が高くなると、Ｏリング６６は圧縮空気によって矢印Ａ方向に押圧されるが、一方の壁部５８ｂによって該Ｏリング６６の変位が阻止される。このため、Ｏリング６６の断面は、図２に２点鎖線で示すように、略楕円形に変形してＯリング６６とシリンダ５２との接触点は点Ｋに移動し、Ｏリング６６がシリンダ５２の内周を押圧する力が増加するように作用する。一方、Ｏリング６６と係合部５６との接触点は底部６０の点Ｊに移動し、Ｏリング６６の内周の直径が小さくなる。このため、Ｏリング６６の外周により生じたシリンダ５２の内周を押圧する力は該Ｏリング６６の内周の直径が小さくなることにより相殺され、Ｏリング６６がシリンダ５２を押圧する力は変化せず、シリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗も変化しない。このため、例えば、Ｏリング６６とシリンダ５２との摺動抵抗を小さい状態で維持することができる。
【００２９】
このように、摺動抵抗が小さいシール構造５０が使用された減圧弁７０の導出口１０２（２次側）における圧縮空気の流量Ｑと圧力Ｐの関係のグラフを図４に示す。この図４において、流量Ｑ＝０より＋（プラス）側（図４中、右側）は導出口１０２から図示しない流体圧機器に流出する圧縮空気の流量Ｑと圧力Ｐとの関係（流量特性）を示し、一方、流量Ｑ＝０より−（マイナス）側（図４中、左側）は流体圧機器から導出口１０２を経て減圧弁７０に流入し、第３の室１２３を介してリリーフポート１２８から外部に排出される圧縮空気の流量Ｑと圧力Ｐとの関係（排気特性）を示す。
【００３０】
流量Ｑ＝０より＋（プラス）側の流量特性について説明すると、流量Ｑ＝０のときの圧力、すなわち減圧弁７０の設定圧力がＰ2 のときの、任意の流量Ｑo における導出口１０２の圧力Ｐは、
Ｐ＝Ｐ2 −ΔＰo                                             …（１）
で示される。このΔＰo は設定圧力Ｐ2 に対する誤差であって、極めて小さく、また、小さい方が好ましい。
【００３１】
バルブ９０を、図３において、矢印Ａ方向に変位させる力ｆo は、コイルスプリング１３８の弾発力によってダイヤフラム１２１がバルブ９０を押圧する力である。このため、力ｆo は、コイルスプリング１３８のたわみ量（コイルスプリング１３８が付勢されていない状態から押圧されて縮退されている長さ）をｇ1 、コイルスプリング１３８のばね定数をｋ1 、弁体８４の上部が第１の室１００を形成する壁部に当接して該第１の室１００が閉塞されている状態から前記弁体８４がどれだけ変位しているかを示す変位量をｌとすると、
ｆo ＝（ｇ1 −ｌ）ｋ1                                     …（２）
で表される。
【００３２】
一方、バルブ９０を矢印Ｂ方向に押圧する力ｆR は、第２の室１０６内の圧縮空気がその圧力によってダイヤフラム１２１を押圧する力と、コイルスプリング８２の弾発力と、Ｏリング６６とシリンダ５２との摺動抵抗により発生する力の合成力である。このため、力ｆR は、第３の室１２３の直径をＲa 、コイルスプリング８２のたわみ量をｇ2 、コイルスプリング８２のばね定数をｋ2 、Ｏリング６６とシリンダ５２との摺動抵抗により発生する力をｆとすると、
ｆR ＝πＲa 2 （Ｐ2 −ΔＰo ）／４＋（ｇ2 ＋ｌ）ｋ2 ＋ｆ    …（３）
である。バルブ９０はこの２つの力ｆo と力ｆR とが釣り合うまで矢印ＡまたはＢ方向に変位する。このとき、ｆo ＝ｆR であるため、
（ｇ1 −ｌ）ｋ1 ＝πＲa 2 （Ｐ2 −ΔＰo ）／４＋（ｇ2 ＋ｌ）ｋ2 ＋ｆ…（４）
である。このため、
ΔＰO ＝４｛（ｇ2 ＋ｌ）ｋ2 −（ｇ1 −ｌ）ｋ1 ＋ｆ｝／πＲa 2 ＋Ｐ2 …（５）
となる。
【００３３】
流量Ｑ＝０のとき、ｌ＝０、ΔＰo ＝０、ｆ＝０であるので、それぞれを前記式（２）、式（３）に代入すると、
ｆo ＝ｇ1 ｋ1                                               …（６）
ｆR ＝πＲa 2 Ｐ2 ／４＋ｇ2 ｋ2                             …（７）
となる。ここで、力ｆo と力ｆR とが釣り合うと、ｆo ＝ｆR であるため、
ｇ1 ｋ1 ＝πＲa 2 Ｐ2 ／４＋ｇ2 ｋ2                         …（８）
となり、従って、
Ｐ2 ＝４（ｇ1 ｋ1 −ｇ2 ｋ2 ）／πＲa 2                     …（９）
が成り立つ。これを式（５）に代入すると、
ΔＰo ＝４｛ｆ＋ｌ（ｋ1 ＋ｋ2 ）｝／πＲa 2               …（１０）
となる。ここで、ｋ1 、ｋ2 およびＲa は一定値であるので、ΔＰo を小さくするには摺動抵抗により発生する力ｆを小さくすればよいことがわかる。すなわち、摺動抵抗が小さくなれば、減圧弁７０の設定圧力Ｐ2 に対する誤差が小さくなり、所謂、流量特性が向上する。また、このシール構造５０は圧力の設定値が変化しても摺動抵抗が一定であるため、図４に点線で示すように、設定圧力がＰ2 からＰ2 ’に変化してもΔＰo は変化しない。従って、該減圧弁７０の流量特性は任意の設定圧力について測定すれば、他の設定圧力における流量特性もわかり、流量特性の解析が容易となる。
【００３４】
さらに、このように摺動抵抗が小さいシール構造５０を使用すると、圧縮空気の圧力が増加してもＯリング６６の摩耗が増加することがなく、減圧弁７０の耐久性が向上する。
【００３５】
本実施の形態では、圧縮空気の圧力に拘わらずシリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗が一定となるようにしたが、シリンダ５２と底部６０との間隔、すなわち前記点Ｊと点Ｋとの間隔を大きくすると、圧縮空気の圧力が増加したときにＯリング６６が点Ｋでシリンダ５２を押圧する力が減少し、シリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗が減少する。一方、シリンダ５２と底部６０との間隔を小さくすると、圧縮空気の圧力が増加したときにＯリング６６が点Ｋでシリンダ５２を押圧する力が増加し、シリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗が増加する。このように、必要に応じて圧縮空気の圧力の増加に対してシリンダ５２とＯリング６６との摺動抵抗が増加または減少するように設定することも可能である。
【００３６】
【発明の効果】
本発明に係るシール構造によれば、以下のような効果ならびに利点が得られる。
【００３７】
圧縮空気の圧力が大きくなってもＯリングとシリンダとの摺動抵抗が増加することがなく、このシール構造が用いられた減圧弁の２次側の圧力の誤差が少なく、流量特性、排気特性が向上する。また、Ｏリングの摩耗が減少し、このＯリングを使用した流体圧機器の耐久性が向上する。
【００３８】
さらに、圧力流体の圧力によって摺動抵抗が変化することがないため、このＯリングを用いたシリンダのピストンの速度制御が容易になる。
【００３９】
さらにまた、溝状の係合部の底部とシリンダの内壁との間隔を変化させることにより、圧力流体の圧力の増加に対して摺動抵抗を増加または減少させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るシール構造を示す一部省略破断斜視図である。
【図２】図１のシール構造を表す一部省略縦断面図である。
【図３】図１のシール構造が使用される減圧弁を示す概略縦断面図である。
【図４】図３の減圧弁の流量特性および排気特性を示すグラフである。
【図５】従来技術に係るシール構造を示す一部省略縦断面図である。
【図６】従来技術に係る他のシール構造を示す一部省略縦断面図である。
【図７】従来技術に係るさらに他のシール構造を示す一部省略縦断面図である。
【符号の説明】
５０…シール構造                ５２…シリンダ
５４…ピストン                  ５６…係合部
５８ａ、５８ｂ…壁部            ６０…底部
６２…斜面部                    ６６…Ｏリング
７０…減圧弁                    ８２、１３８…コイルスプリング
８４…弁体                      ９０…バルブ
９８…導入口                    １０２…導出口
１２１…ダイヤフラム
【図１】
0004016216.tif 000002
【図２】
0004016216.tif 000003
【図３】
0004016216.tif 000004
【図４】
0004016216.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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