(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて希土類合金を研削する第１ステップ、
前記研削部から排出される研削液からスラッジを表面磁束密度が０．２５Ｔ以上である磁気分離手段を用いて磁気的に分離する第２ステップ、および
前記第２ステップを経た前記研削液を、内部に障壁板が設けられたタンクに流入させ、前記タンク内において前記研削液に含まれるスラッジを磁気的に凝集し沈澱させて前記研削液から分離する第３ステップを備え、
前記スラッジの分離処理が施された研削液を前記研削部に供給して循環使用し、
前記磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、前記軸方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置され、かつ前記周方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置されている、磁性部材の研削方法。
【請求項２】
水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて希土類合金を研削するための研削処理手段、
表面磁束密度が０．２５Ｔ以上でありかつ前記研削部から排出される研削液からスラッジを分離するための磁気分離手段、
前記磁気分離手段の下流側に配置されかつ前記研削液が供給され、磁気的に凝集されたスラッジが沈澱するタンク、
前記タンク内に設けられる障壁板、および
前記スラッジの分離処理が施された研削液を前記研削部に供給して循環使用するための循環手段を備え、
前記磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、前記軸方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置され、かつ前記周方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置されている、磁性部材の研削装置。
【請求項３】
水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類合金を研削する第１ステップ、
前記研削部から排出される研削液からスラッジを表面磁束密度が０．２５Ｔ以上である磁気分離手段を用いて磁気的に分離する第２ステップ、および
前記第２ステップを経た前記研削液を、内部に障壁板が設けられたタンクに流入させ、前記タンク内において前記研削液に含まれるスラッジを磁気的に凝集し沈澱させて前記研削液から分離する第３ステップを備え、
前記スラッジの分離処理が施された研削液を前記研削部に供給して循環使用し、
前記磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、前記軸方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置され、かつ前記周方向に隣接する前記磁石は異極が対応するように配置されている、磁性部材の研削方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は磁性部材の研削方法および研削装置に関し、特にたとえば研削時に発生するスラッジを含んだ研削廃液を浄化して再利用する、磁性部材の研削方法および研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
研削液を浄化する技術の一例が特開平１０−３０９６４７号において開示されている。ここでは、異物が混入した研削液がタンク内に貯蔵され、その研削液がノズルによって攪拌されて研削液からスラッジおよび砥粒が分離され、さらにマグネットセパレータによってスラッジがタンク外に排出される技術が提案されている。
また、関連技術の他の例が特開平８−２９９７１７号において開示されている。ここでは、研削液を浄化するために濾材を用いる技術が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前者の関連技術では、細かいスラッジを十分に取り除くことができなかった。細かいスラッジを沈澱させて十分に取り除こうとすれば、一台の装置につき３０００リットル程度の大容量のタンクが必要であり、装置が大型化するという問題点があった。
また、磁性部材、特に希土類合金を研削したときに発生するスラッジは２、３μｍ程度の細かいものであるが、濾材を用いる後者の関連技術では、目づまりを起こし、このような細かいスラッジを効率よく除去することが困難であった。
さらに、十分にスラッジを除去していない研削液を用いて、磁性部材を耐熱性樹脂と超砥粒とを含む研削刃で切断する場合、刃先の摩耗が早くなる。
それゆえに、この発明の主たる目的は、小型化できかつ細かいスラッジの分離に有効な、磁性部材の研削方法および研削装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１に記載の磁性部材の研削方法は、水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて希土類合金を研削する第１ステップ、研削部から排出される研削液からスラッジを表面磁束密度が０．２５Ｔ以上である磁気分離手段を用いて磁気的に分離する第２ステップ、および第２ステップを経た研削液を、内部に障壁板が設けられたタンクに流入させ、タンク内において研削液に含まれるスラッジを磁気的に凝集し沈澱させて研削液から分離する第３ステップを備え、スラッジの分離処理が施された研削液を研削部に供給して循環使用し、磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、軸方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置され、かつ周方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置されていることを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載の磁性部材の研削装置は、水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて希土類合金を研削するための研削処理手段、表面磁束密度が０．２５Ｔ以上でありかつ研削部から排出される研削液からスラッジを分離するための磁気分離手段、磁気分離手段の下流側に配置されかつ研削液が供給され、磁気的に凝集されたスラッジが沈澱するタンク、タンク内に設けられる障壁板、およびスラッジの分離処理が施された研削液を研削部に供給して循環使用するための循環手段を備え、磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、軸方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置され、かつ周方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の磁性部材の研削方法は、水を主成分とする研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系希土類合金を研削する第１ステップ、研削部から排出される研削液からスラッジを表面磁束密度が０．２５Ｔ以上である磁気分離手段を用いて磁気的に分離する第２ステップ、および第２ステップを経た研削液を、内部に障壁板が設けられたタンクに流入させ、タンク内において研削液に含まれるスラッジを磁気的に凝集し沈澱させて研削液から分離する第３ステップを備え、スラッジの分離処理が施された研削液を研削部に供給して循環使用し、磁気分離手段は軸方向および周方向に配置される複数の磁石を有するマグネットロールを含み、軸方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置され、かつ周方向に隣接する磁石は異極が対応するように配置されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項１に記載の磁性部材の研削方法では、たとえばマグネットセパレータなどの磁気分離手段によって、使用済みの研削液からスラッジを磁気的に分離できるので、従来とは異なり大きなタンクを用いる必要はなく、装置を小型化できる。
【００１２】
また、研削液に磁気的な分離処理を施すと、研削液から分離されなかったスラッジも同じく磁化されている。したがって、研削液を内部に障壁板が設けられたタンクに供給することによって、研削液に含まれる磁化されたスラッジを凝集させてタンク内で早く沈澱させることができる。このとき、沈澱し難い細かいスラッジであっても凝集して沈澱し研削液から早く分離できる。したがって、大きなタンクを用いる必要はない。
【００１３】
さらに、研削液の主成分を水にすれば、油に比べて粘度が低く、吸引時の抵抗が少ないため、より低い磁束密度でスラッジを吸引できる。
また、スラッジの分離処理が施された研削液を研削部に供給して循環使用することによって、研削液を有効利用できる。
【００１４】
研削手段が耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する場合には、研削液中に細かいスラッジが含まれると刃先が異常摩耗しやすいが、この発明は研削液から細かいスラッジをも分離できるのでそのような弊害の発生を抑制でき、特に有効となる。さらに、この発明は、希土類磁石を得る場合に効果的である。
【００１５】
また、希土類合金は酸化しやすく、スラッジになると一層酸化が進みやすく非磁性部分が多くなり、磁力の影響を受け難くなると考えられるので、希土類合金を含むスラッジは磁気的に吸引し難い。しかし、表面磁束密度が０．２５Ｔ以上である磁気分離手段を用いることによって、スラッジの分離能力を高め、その結果、研削手段の摩耗を少なくできる。請求項２に記載の磁性部材の研削装置、請求項３に記載の磁性部材の研削方法についても同様である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について説明する。
図１を参照して、この発明の一実施形態の磁性部材の研削装置１０は、磁性部材５４（後述）を研削する研削処理部１２、研削処理部１２での使用済みの研削液５８からスラッジ９０（ともに後述）を分離し研削液５８を浄化する浄化部１４、および浄化された研削液５８を再び研削処理部１２に供給する循環部１６を含む。
【００１７】
研削処理部１２はベース１８を含み、ベース１８上には、研削液５８を排出するための排出口２０を有しかつ上面開口のパン２２が配置される。パン２２には研削液５８が外部に飛散しないようにプレート２４が立設される。
パン２２上には、いわゆる片持ちタイプの一種であるオーバーハング型のＸフィード方式切断機２５が設けられる。切断機２５は、パン２２上に配置されるコラム２６を含む。コラム２６の一側面には支持部（図示せず）が設けられ、支持部によって回転軸２８が回動可能に支持される。
【００１８】
回転軸２８には切断刃ブロック３０が取り付けられ、回転軸２８の一端はサポートアーム３２によって支持され、回転軸２８の他端にはプーリ３４が取り付けられる。プーリ３４にはベルト３６が装着され、ベルト３６を回転軸モータ（図示せず）によって回転させることによって、回転軸２８、切断刃ブロック３０がたとえば矢印Ａ方向に回転される。
【００１９】
図２（ａ）を参照して、切断刃ブロック３０は、複数の切断刃３８を含み、各切断刃３８間には環状のスペーサ４０が介挿される。切断刃３８は中空円板状の台板４２を含み、台板４２の外周縁には刃先４４が装着される。
【００２０】
台板４２としては、たとえばタングステンカーバイドなどの超硬合金や高速度鋼等が用いられる。また、台板４２としては、特開平８−１０９４３１号や特開平８−１０９４３２号に示すような、ダイヤモンドまたはｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）等と超硬合金とを焼結処理したダイヤモンド焼結体合金製の台板も使用できる。
【００２１】
また、図２（ｂ）に示すように、刃先４４は、砥粒４４ａと耐熱性樹脂４４ｂとを混合して構成される。すなわち、砥粒４４ａが耐熱性樹脂４４ｂによって台板４２に被着される。
【００２２】
砥粒４４ａにはたとえば超砥粒が用いられる。この超砥粒としては、天然または合成工業用ダイヤモンド粉末や、ｃＢＮ粉末や、天然または合成工業用ダイヤモンド粉末−ｃＢＮ粉末の混合物などが用いられる。砥粒４４ａの粒径は１６０μｍ〜２５０μｍ程度に設定される。
耐熱性樹脂４４ｂには、たとえばフェノール樹脂やポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。また、耐熱性樹脂４４ｂに数ミクロン程度の金属粉を含ませてもよい。
【００２３】
図１に戻って、パン２２上には２本のレール４６が敷設され、レール４６には摺動可能にＸスライダ４８が装着される。Ｘスライダ４８上にはチャックテーブル５０、その上に貼付板５２が取り付けられ、研削時には、貼付板５２上に接着剤によって磁性部材５４が固定される。磁性部材５４としては、たとえばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）用の希土類合金磁石部材が用いられる。このような希土類合金磁石部材は硬い主相とねばりの強い粒界相とを含むため非常に研削抵抗が高い。このような材料を樹脂と砥粒とで構成された刃先で研削するとき、刃先の摩耗が特に問題となる。
【００２４】
ここでいうボイスコイルモータは、たとえば米国特許第５，４４８，４３７号の図９に示されるようなディスクドライブに用いられる。この図９においてボイスコイルモータには３７の参照番号が付されている。希土類合金磁石部材が切断刃３８で切断されたのち表面処理されると、希土類磁石が得られる。このような希土類磁石は、たとえば米国特許第５，４４８，４３７号の図１、２の参照番号３、４、５、６に示される磁石に用いられる。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系の希土類磁石の製造方法等は米国特許第４，７７０，７２３号、第４，７９２，３６８号に示されている。希土類磁石はＲ−Ｔ−（Ｍ）−Ｂ系磁石を含み、ＲはＹを含む希土類元素、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏ、Ｍは添加物、Ｂはボロンである。
【００２５】
そして、Ｘスライダ４８を矢印Ｂ方向（Ｘ軸方向）に摺動させ、磁性部材５４を、矢印Ａ方向に回転している切断刃ブロック３０に向かって一定速度で相対移動させることによって、磁性部材５４を所定の寸法に切断できる。磁性部材５４の切断によってスラッジ９０が発生する。磁性部材５４の切断時には、図３にも示すように、切断刃３８の近傍に配置される研削液吐出装置５６から研削液５８が研削部６０に供給される。
【００２６】
使用する研削液５８は水を主成分とする。たとえば油であれば粘度が高いので研削液５８中でスラッジ９０が移動し難くなるが、水であれば粘度が低いのでスラッジ９０の移動が容易になる。したがって、研削液５８の主成分を水にすれば、より低い磁束密度でスラッジ９０を吸引できる。
【００２７】
研削液吐出装置５６は、研削液供給路６２に接続される滞留部６４を含み、滞留部６４には、研削液供給路６２からの研削液５８が供給される。研削液５８は、滞留部６４の先端に形成される吐出口６６から２αＰａ〜１０αＰａ（α＝９．８０６６５×１０4）の圧力で研削部６０に吐出される。なお、吐出口６６は、切断刃３８の大きさに応じてその角度を調整することができる。
【００２８】
図１に戻って、研削処理部１２で使用済みの研削液５８はパン２２の排出口２０から研削液排出路６８を介して、浄化部１４の貯留槽７０に供給される。貯留槽７０内には、研削液５８に含まれるスラッジ９０の沈澱を促進すべく障壁部材７２が設けられ、さらに障壁部材７２の近傍にはマグネットセパレータ７４が配置される。マグネットセパレータ７４は、スラッジ９０を吸着させるマグネットロール７６とマグネットロール７６上のスラッジ９０と研削液５８とを分離する絞りロール７８とを含む。なお、障壁部材７２は、研削液５８がマグネットロール７６に接触し易いように上部に反りあがるように形成される。
【００２９】
マグネットロール７６は、図４（ａ）に示すように、中空状の円筒体８０を含み、円筒体８０内には、主軸８１が貫通された円柱体８２が配置される。円柱体８２の外周面には、たとえば、軸方向および周方向にそれぞれ略等間隔で４個ずつ、計１６個の磁石８４が配置される。図４（ｂ）に示すように、磁石８４としては、それぞれ厚さ方向に磁化されている２種類の磁石が用いられる。周方向に隣接する磁石８４は異極が対応するように、軸方向に隣接する磁石８４も異極が対応するように、それぞれ配置される。磁石８４は、たとえば米国特許第４，７７０，７２３号に示されるようなネオジム磁石等によって構成される。スラッジ９０は、磁石８４によって吸引され、円筒体８０の表面に吸着される。
【００３０】
なお、円筒体８０外周面の表面磁束密度が０．２５Ｔ（テスラ）以上であれば、磁石８４で吸引し難い希土類合金を含むスラッジであっても研削液５８から分離し易くなる。マグネットロール７６は図示しないモータによってたとえば矢印Ｃ方向（図５参照）に回転される。円筒体８０の表面磁束密度は、たとえばガウスメータとプルーブ（ともにベル社製、販売元：東陽通商株式会社）とを用い、プルーブを被測定物に接触させて測定される。
【００３１】
図１および図５を参照して、スラッジ９０を含む研削液５８は、障壁部材７２の上端から溢れるようにしてマグネットセパレータ７４に与えられる。スラッジ９０は、マグネットロール７６に吸着され、その後、マグネットロール７６上の研削液５８が絞りロール７８によって取り除かれる。さらに、マグネットロール７６の外表面に当接されたスクレーパ８６によって、マグネットロール７６に吸着されたスラッジ９０が掻き取られ、スラッジ受け８８に排出される。このようにしてマグネットセパレータ７４によって、使用済みの研削液５８からスラッジ９０が磁気的に分離される。マグネットセパレータ７４は、特に、細かいスラッジの分離に有効となる。
【００３２】
マグネットロール７６を通過した研削液５８は、マグネットロール７６の下方に設けられた排出口（図示せず）を介してマグネットセパレータ７４および貯留槽７０の下流側に配置されるタンク９２（障壁板９４で仕切られたタンク９２の右側）に流入される。希土類合金のスラッジ９０は小さいながらも磁石としての保磁力を有しているためマグネットロール７６に吸着されなかったスラッジ９０もマグネットロール７６によって磁化されているので、スラッジ９０どうしが凝集しタンク９２内で早く沈澱する。さらに、タンク９２内には、スラッジ９０の移動を阻止するための障壁板９４、９６および９８が配置され、流路が長くなることによってスラッジ９０の沈澱が促進される。このとき、研削液５８は矢印Ｄに示すような経路で流れる。したがって、タンク９２を通過する過程においてスラッジ９０はタンク９２で沈澱し、スラッジ９０と研削液５８との分離がさらに促進される。また、細かいスラッジであっても凝集して沈澱し研削液５８から早く分離できる。その結果、研削液５８からスラッジ９０を分離させるのに大きなタンクが不要となり、装置を小型化できる。
【００３３】
このようにしてスラッジ９０の分離処理が施され浄化されたタンク９２内の研削液５８は、循環部１６を構成するポンプ１００によって汲み上げられ、研削液供給路６２を介して研削液吐出装置５６に供給され、循環使用される。
【００３４】
このような研削装置１０の動作を簡単に説明する。
まず、研削処理部１２において研削液５８を研削部６０に供給しながら切断刃３８によって磁性部材５４が切断された後、スラッジ９０を含んだ研削液５８が研削液排出路６８を介して貯留槽７０に流入される。その研削液５８はマグネットセパレータ７４の表面に供給され、マグネットセパレータ７４の表面にスラッジ９０等の異物が吸着される。マグネットセパレータ７４を通過した研削液５８はタンク９２内に流入される。研削液５８中に残ったスラッジ９０等の異物がタンク９２内で沈澱される。このようにして得られたタンク９２内の上澄み液だけをポンプ１００で汲み上げて再循環させる。なお、タンク９２内に沈澱したスラッジ９０等の異物は、任意の手段によって適時掻き取られる。
【００３５】
このようにスラッジ９０を除去した研削液５８を循環使用して磁性部材５４を切断することによって、刃先４４の寿命をのばすことができる。
【００３６】
ここで、研削装置１０についての実験例について説明する。
実験条件を表１に示す。
【００３７】
【表１】
0003931149.tif 000002
【００３８】
表１に示すようにこの実験例では、刃先４４はフェノール樹脂とダイヤモンド砥粒（体積率２０％）とを含む。切断刃３８の外径は１２５ｍｍ、刃先４４の厚みは１．０ｍｍ、台板４２の厚みは０．９ｍｍ、台板４２の内径は４０ｍｍ、刃先量（刃先４４の高さ）は３ｍｍ〜４ｍｍである。
【００３９】
また、切断刃３８の回転速度（周速）は２０７０ｍ／ｍｉｎ、切断速度は１０ｍｍ／ｍｉｎである。研削液５８には、たとえばカストロール社製のＪＰ−０４９７Ｎを水で２％（重量％）希釈したものが用いられる。切断部材は希土類合金磁石部材であり、住友特殊金属株式会社製のネオマックス４４Ｈが用いられる。
【００４０】
実験によって、図６〜図８に示す結果が得られた。
ここで、「表面磁束密度」とは、マグネットセパレータ７４の円筒体８０外表面の磁束密度をいう。「スラッジ除去率」とは、研削処理直後の使用済み研削液５８をマグネットセパレータ７４に通すことによって、研削液５８中に含まれるスラッジ９０がどの程度除去できたかを示す値をいう。「加工除去量」とは、具体的には切断３００ｐａｓｓ当たりの、磁性部材５４を切断してスラッジ９０にされた部分の体積（切断刃３８の１枚当たり）をいう。「切断刃摩耗量」とは、具体的には切断３００ｐａｓｓ当たりの、切断刃３８の刃先４４が擦り減った部分の体積（切断刃３８の１枚当たり）をいう。「沈澱量」とは、測定量（本件では研削液５８が５００ｃｃ）当たりの、研削液５８に含まれているスラッジ９０の量をいう。「スラッジ含有率」とは、研削液５８が５００ｃｃ当たりに含むスラッジ９０の重量割合をいう。
【００４１】
表１に示す条件下で、以下の各実験を行った。
まず、実験１では、次の▲１▼〜▲４▼の各場合における加工除去量と切断刃摩耗量とを比較した（図６（ａ）および（ｂ））。
▲１▼マグネットセパレータが１つ（表面磁束密度０．３Ｔ）＋タンク、
▲２▼マグネットセパレータが１つ（表面磁束密度０．２５Ｔ）＋タンク、
▲３▼マグネットセパレータが１つ（表面磁束密度０．２Ｔ）＋タンク、
▲４▼マグネットセパレータなし＋タンク
【００４２】
図６（ａ）および（ｂ）に示すように、マグネットセパレータ７４の表面磁束密度が大きくなるほど切断刃摩耗量が少なくなる傾向がある。また、加工除去量が増えるほどすなわち切断回数が増えるほど、▲１▼〜▲４▼の各場合の切断刃摩耗量の差が大きくなる。
【００４３】
マグネットセパレータ７４を使用している場合でも、特に、磁束密度が０．２５Ｔ以上であるとスラッジ９０が効率よく除去され、切断刃３８の寿命を長くできる。
【００４４】
ついで、実験２では、次の▲５▼および▲６▼の場合についてマグネットセパレータ７４の設置数による効果の変化を比較した（図７（ａ）および（ｂ））。なお、この実験では、マグネットセパレータ７４の表面磁束密度を０．３Ｔとした。
▲５▼マグネットセパレータが１つ＋タンク、
▲６▼マグネットセパレータが２つ＋タンク
【００４５】
図７（ａ）および（ｂ）に示すように、マグネットセパレータ７４を増やすほどスラッジ９０を除去できることがわかる。
【００４６】
さらに、実験３では、次の▲７▼および▲８▼の場合について、マグネットセパレータ７４の表面磁束密度の違いによるスラッジ９０の分離効果を比較した（図８（ａ）および（ｂ））。
▲７▼マグネットセパレータが１つでタンクなし、
▲８▼マグネットセパレータが１つ＋タンク
で、それぞれ研削液吐出装置５６におけるスラッジ除去率を測定した。
【００４７】
図８（ａ）および（ｂ）に示すように、磁束密度０．２５Ｔ以上になるとスラッジ９０の除去率が飛躍的に伸びていることがわかる。
【００４８】
また、▲７▼より▲８▼の場合の方がスラッジ除去率が高くなることがわかる。これより、マグネットセパレータ７４でスラッジ９０を除去した後、タンク９２内でスラッジ９０を沈澱させることによって、さらにスラッジ９０を分離できることがわかる。
以上の実験例からもわかるように、研削装置１０によれば、研削液５８中のスラッジ９０を多く取り除くことができるので、研削液５８を循環使用できる。
【００４９】
すなわち、一般に、刃先が熱硬化性樹脂と超砥粒（ダイヤモンド系砥粒）とからなる切断刃を用いた研削装置では、スラッジを含んだ研削液が研削部に供給されると、研削部においてあるいは刃先と切断すべき磁性部材との間にスラッジが溜まることによって、切断刃の表面が目詰まりを起こしたり、研削時のスラッジの排出性が悪くなる。また、その際、切断抵抗も大きくなり、切断刃の樹脂部分が異常摩耗を起こし超砥粒が脱粒するので、切断効率も悪くなる。切断する磁性部材が硬い主相と粘りのある粒界相とからなる希土類合金磁石部材では切断負荷が特に大きく、切断効率は極めて悪くなる。その状況が続くと、研削液を循環させるポンプにおいてもスラッジが入り込んで異常摩耗を引き起こし、研削液の温度が上昇してしまうという弊害があった。
【００５０】
しかし、研削装置１０では、研削液５８からスラッジ９０を十分に取り除くことができるので、研削液５８を循環利用しても上述のような弊害の発生を抑制でき、切断刃３８の寿命を延ばすことができる。
また、研削液５８を循環させるポンプ１００に混入するスラッジ９０の量も減るので、ポンプ１００のつまりがなくなり、その結果、ホンプ１００の異常摩耗を抑制することができる。
【００５１】
さらに、研削液５８を循環使用できるので、研削液５８を有効利用できる。
また、研削装置１０によれば、マグネットセパレータ７４によってスラッジ９０を除去しさらに凝集させて容易に沈澱させることができるので、従来とは異なり、大きなタンクを用いなくてもよく、装置を小型化できる。たとえば、従来では、３０００リットル程度の大容量のタンクを要していたが、研削装置１０で用いるタンク９２は、６００リットル程度の容量のもので足りる。
【００５２】
さらに、マグネットセパレータ７４の表面磁束密度を０．２５Ｔ以上にすればスラッジ９０の分離能力が高まるので、研削時に、スラッジ９０による耐熱性樹脂４４ｂの摩耗が少なくなる。特に、切断刃３８の刃先４４が耐熱硬化性樹脂とダイヤモンド系砥粒とからなる場合に効果が大きくなる。
【００５３】
希土類合金を含むスラッジは凝集しやすいので、目詰まりを起こしやすく錆やすい。したがって、フィルタ式の浄化装置では、フィルタをたびたび交換しなければならず、能率が悪かった。その点、研削装置１０では、フィルタを使用しないので、その取り替えも不要となり、操業コストを大幅に低減できる。
【００５４】
なお、上述の実施形態では、磁気分離手段としてのマグネットセパレータ７４に永久磁石が用いられた場合について説明したが、これに限定されず、電磁石等が用いられてもよい。また、研削手段としては、切断刃３８だけではなく任意の研削手段を用いることができる。他の研削手段としては、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の硬鋼線（ピアノ線）に粒径が３０μｍ〜６０μｍの超砥粒を厚さ３０μｍ〜６０μｍのフェノール樹脂等で固定したワイヤがあげられる。このワイヤを用いてワイヤソーを行う場合にも本発明は適用できる。
また、この発明は、研削液５８からスラッジ９０を分離する場合だけではなく、任意の廃液から希土類合金を含むスラッジを分離する場合に適用できる。
【００５５】
【発明の効果】
この発明によれば、磁気的に研削液からスラッジを分離できるので、従来とは異なり大きなタンクを用いる必要はなく、装置を小型化できる。また、研削手段が耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する場合には、研削液中に細かいスラッジが含まれると刃先が異常摩耗しやすいが、この発明は研削液から細かいスラッジをも分離できるのでそのような弊害の発生を抑制でき、特に有効となる。さらに、この発明は、希土類磁石を得る場合に効果的である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は切断刃ブロックを模式的に示す断面図であり、（ｂ）は刃先を模式的に示す部分断面図である。
【図３】切断刃の近傍に配置された研削液吐出装置を示す図解図である。
【図４】（ａ）はマグネットロールを示す斜視図であり、（ｂ）は磁石を示す斜視図である。
【図５】スクレーパの機能を説明するための図解図である。
【図６】（ａ）は実験１による結果を示すテーブル、（ｂ）はそのグラフである。
【図７】（ａ）は実験２による結果を示すテーブル、（ｂ）はそのグラフである。
【図８】（ａ）は実験３による結果を示すテーブル、（ｂ）はそのグラフである。
【符号の説明】
１０      研削装置
１２      研削処理部
１４      浄化部
１６      循環部
３０      切断刃ブロック
３８      切断刃
４４      刃先
４４ａ      砥粒
４４ｂ      耐熱性樹脂
５４      磁性部材
５６      研削液吐出装置
５８      研削液
６０      研削部
６２      研削液供給路
６８      研削液排出路
７０      貯留槽
７４      マグネットセパレータ
９０      スラッジ
９２      タンク
１００      ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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