(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸収式冷凍機の耐圧部の組立完了後におけるヘリウムガスによるリークテストに用いるヘリウムリークテスト方法であって、
被試験体の最下部を床面から所定高さとしてフードで覆った後にそのフード内をヘリウムガスで置換し、ついで被試験体内部を真空排気してその排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定し、その測定結果に基づいてリークの有無を判定することを特徴とする吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項２】
ヘリウムガスへの置換が、ヘリウムガスをフード内の複数個所から供給することによりなされることを特徴とする請求項１記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項３】
フード内のガスを撹拌しながらテストをなすことを特徴とする請求項１記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項４】
フード内のガスの撹拌が、フード内上部のガスを吸引し、ついでその吸引したガスをフード内下部所定位置から噴出させることによりなされることを特徴とする請求項３記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項５】
フード内の酸素濃度を計測することを特徴とする請求項１記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項６】
フード内のガス採取が、被試験体の近傍で該被試験体の最下部と同レベルにおいてなされることを特徴とする請求項５記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法。
【請求項７】
吸収式冷凍機の耐圧部の組立完了後におけるヘリウムガスによるリークテストに用いるヘリウムリークテスト装置であって、
該ヘリウムリークテスト装置が、被試験体を覆うフードと、該フード内のガスを撹拌するガス撹拌装置と、前記フード内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給装置と、被試験体を載置する載置台と、被試験体内部を真空排気する排気装置と、ヘリウムガス検知装置と、酸素濃度計測装置とを備えてなることを特徴とする吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項８】
フード内面に無駄空間抑制部が設けられてなることを特徴とする請求項７記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項９】
無駄空間抑制部が、膨出自在な袋体とされてなることを特徴とする請求項８記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１０】
フードが昇降自在とされるとともに、その裾が床に設けられた収納部に昇降自在に収納されてなることを特徴とする請求項７記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１１】
ガス撹拌装置が、フード内面に沿って立設された吸引パイプと、該吸引パイプの下端からフード中心に向けて延伸された連絡パイプと、該連絡パイプの先端から立設された吐出パイプと、該吐出パイプ内に装着されたファンとを備えてなることを特徴とする請求項７記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１２】
ヘリウムガス供給装置がヘリウムガス供給パイプを有し、該ヘリウムガス供給パイプがその先端にノズルを備え、該ノズルがガス撹拌装置のパイプ内にその先端を覗かせて装着されてなることを特徴とする請求項７記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１３】
ヘリウムガス供給パイプが、主供給パイプと、該主供給パイプから分岐された補助供給パイプとからなることを特徴とする請求項１２記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１４】
酸素濃度計測装置のガス採取部が、被試験体の近傍において被試験体の最下部と同レベルに配設されてなることを特徴とする請求項７記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置。
【請求項１５】
請求項７ないし請求項１４のいずれかに記載の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置が、エアリークテスト部およびハロゲンリークテスト部とオンラインとされてなることを特徴とする吸収式冷凍機の漏れ検査システム。
【請求項１６】
オンラインとされたヘリウムリークテスト装置と、エアリークテスト部とハロゲンリークテスト部とに並列的に手直し部が配設されてなることを特徴とする請求項１５記載の吸収式冷凍機の漏れ検査システム。
【請求項１７】
請求項１５または１６に記載の吸収式冷凍機の漏れ検査システムを備えてなることを特徴とする吸収式冷凍機の製造設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法およびヘリウムリークテスト装置に関する。さらに詳しくは、ヘリウムリークテスト、エアリークテストおよびハロゲンリークテストがオンラインでなし得る吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法およびヘリウムリークテスト装置に関する。なお、吸収式冷凍機には吸収式冷温水機も含むものとする。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、吸収式冷凍機(以下、単に冷凍機という)においては、その性能確保の観点から耐圧部分の組立が完了した時点、つまりケーシング装着前の時点で耐圧部の最終検査としてヘリウムガスを用いた漏れ検査(以下、リークテストともいう)がなされている。
【０００３】
この漏れ検査は、図８に示すように、製造ラインＭＬとは離れた場所に設置されている真空試験室Ｖに被試験体（冷凍機）を搬入した後に耐圧部(真空部)にヘリウムガスを充填し、ついで真空試験室Ｖ内を排気してその排気ガス中のヘリウムガス濃度をチェックすることによりなされている。
【０００４】
このように、従来のヘリウムガスを用いる漏れ検査は製造ラインＭＬと離れた場所に設置されている真空試験室Ｖにおいてなされているため、いわゆるオフラインで漏れ試験がなされているため、生産性の低下を招来しているという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、ヘリウムリークテスト、エアリークテストおよびハロゲンリークテストがオンラインでなし得る吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法およびヘリウムリークテスト装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法は、吸収式冷凍機の耐圧部の組立完了後におけるヘリウムガスによるリークテストに用いるヘリウムリークテスト方法であって、被試験体の最下部を床面から所定高さとしてフードで覆った後にそのフード内をヘリウムガスで置換し、ついで被試験体内部を真空排気してその排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定し、その測定結果に基づいてリークの有無を判定することを特徴とする。
【０００７】
本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法においては、ヘリウムガスへの置換が、ヘリウムガスをフード内の複数個所から供給することによりなされるのが好ましい。
【０００９】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法においては、フード内のガスを撹拌しながらテストをなすのが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法においては、フード内のガスの撹拌が、フード内上部のガスを吸引し、ついでその吸引したガスをフード内下部所定位置から噴出させることによりなされるのが好ましい。
【００１１】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法においては、フード内の酸素濃度を計測するのが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト方法においては、フード内のガス採取が、被試験体の近傍で該被試験体の最下部と同レベルにおいてなされるのが好ましい。
【００１３】
一方、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置は、吸収式冷凍機の耐圧部の組立完了後におけるヘリウムガスによるリークテストに用いるヘリウムリークテスト装置であって、該ヘリウムリークテスト装置が、被試験体を覆うフードと、該フード内のガスを撹拌するガス撹拌装置と、前記フード内にヘリウムガスを供給するヘリウムガス供給装置と、被試験体を載置する載置台と、被試験体内部を真空排気する排気装置と、ヘリウムガス検知装置と、酸素濃度計測装置とを備えてなることを特徴とする。
【００１４】
本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、フード内面に無駄空間抑制部、例えば膨出自在な袋体が設けられてなるのが好ましい。
【００１５】
また、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、フードが昇降自在とされるとともに、その裾が床に設けられた収納部に昇降自在に収納されてなるのが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、ガス撹拌装置が、フード内面に沿って立設された吸引パイプと、該吸引パイプの下端からフード中心に向けて延伸された連絡パイプと、該連絡パイプの先端から立設された吐出パイプと、該吐出パイプ内に装着されたファンとを備えてなるのが好ましい。
【００１７】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、ヘリウムガス供給装置がヘリウムガス供給パイプを有し、該ヘリウムガス供給パイプがその先端にノズルを備え、該ノズルがガス撹拌装置のパイプ内にその先端を覗かせて装着されてなるのが好ましい。
【００１８】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、ヘリウムガス供給パイプが、主供給パイプと、該主供給パイプから分岐された補助供給パイプとからなるのが好ましい。
【００１９】
さらに、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置においては、酸素濃度計測装置のガス採取部が、被試験体の近傍において被試験体の最下部と同レベルに配設されてなるのが好ましい。
【００２０】
しかして、本発明の吸収式冷凍機のヘリウムリークテスト装置は、エアリークテスト部およびハロゲンリークテスト部とオンラインとされて吸収式冷凍機の漏れ検査システムとされる。その場合、オンラインとされたヘリウムリークテスト装置と、エアリークテスト部とハロゲンリークテスト部とに並列的に手直し部が配設されてなるのが好ましい。
【００２１】
また、この吸収式冷凍機の漏れ検査システムは吸収式冷凍機の製造設備に備えられる。
【００２２】
【作用】
本発明は前記の如く構成されているので、ヘリウムリークテストをエアリークテストおよびハロゲンリークテストとオンラインでなし得る。そのため、冷凍機の耐圧部の組立完了後における漏れ検査が迅速になし得る。
【００２３】
また、本発明の好ましい形態によれば、フード内の酸素濃度の計測がなされてフード内のヘリウムガス量が算出されるので、フード内が充分にヘリウムガスと置換されたことを確認してヘリウムリークテストがなし得る。つまり、均一な条件下でヘリウムリークテストがなし得る。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００２５】
本発明の一実施形態に係る冷凍機のヘリウムリークテスト方法が適用されている漏れ検査システムを図１にブロック図で示す。
【００２６】
漏れ検査システムＳは、エアリークテスト部１と、ハロゲンリークテスト部２と、ヘリウムリークテスト部３とにより検査ラインＩＬが形成されるとともに、この検査ラインＩＬでリークが検知された被試験体(冷凍機)Ｔの手直しをする手直し部４とが前記検査ラインＩＬに並列的に形成されてなるものである。
【００２７】
つまり、エアリークテスト部１と、ハロゲンリークテスト部２と、ヘリウムリークテスト部３とがオンラインとされてなるものである。但し、ここでいうオンラインとは、エアリークテスト部１と、ハロゲンリークテスト部２と、ヘリウムリークテスト部３とが、必ずしも直線状に配列されていることのみを意味するものではなく、エアリークテストと、ハロゲンリークテストと、ヘリウムリークテストとが一連の工程でなされるようにされていることを含むものとされる。
【００２８】
エアリークテスト部１は、被試験体Ｔ内部、例えば真空部内に空気（または窒素ガス）を充填した後に所定圧力（０．８−１．０ｋｇ／ｃｍ2Ｇ）に加圧し、検査対象部、例えば溶接線に石鹸水やライポンＦ（ライオン（株）製商品名）を塗布しながら、目視により発泡の有無を確認して外部漏れ個所の検知を行うものである。なお、このエアリークテスト部１の構成は従来と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【００２９】
ハロゲンリークテスト部２は、被試験体Ｔ内部、例えば真空部内を所定の真空（７５０ｍｍＨｇ以下）に排気して、フロンガス（Ｒ−１３４ａアサヒクリン（旭硝子（株）製商品名））などのハロゲンガスを充填した後に所定圧力（０．８−１．０ｋｇ／ｃｍ2Ｇ）に加圧し、検査対象部、例えば溶接線を検知器、例えばリーク・キャッチャー(ＩＮＦＩＣＯＮ製商品名)により探査して外部漏れ個所の検知を行うものである。なお、このハロゲンリークテスト部２の構成も、従来と同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【００３０】
ヘリウムリークテスト部３は、乾式フード法により外部漏れ個所の検知を行うものである。
【００３１】
ヘリウムリークテスト部３を構成するヘリウムリークテスト装置３Ａは、具体的には図２および図３に示すように、被試験体Ｔを覆うフード１０と、ガス撹拌装置２０と、ヘリウムガス供給装置３０と、被試験体Ｔを載置する載置台４０と、被試験体Ｔ内部を真空に排気する排気装置５０と、ヘリウムガス検知装置６０と、酸素濃度計測装置７０とを主要部として備えてなるものとされる。
【００３２】
フード１０は、ヘリウムガスが透過困難でかつ耐久性を有するシート、例えばビニールシートとされ、その厚さはリークテストの際に機器がフード１０に当たっても破れない厚さとされる。具体的には、フード１０は厚手のビニールシートとされる。また、そのサイズは被試験体Ｔの最大のものを覆うことができるよう調整されるとともに、その裾１１が所定幅(例えば１０ｃｍ程度)で床面ＦＬを這うようにされている（図４参照）。フード１０の裾１１をこのようにして床面ＦＬを這わせることにより、外部からの漏れ込み空気量を低く抑えることができてフード１０内の空気とヘリウムガスとの置換が迅速になされる。
【００３３】
前述したように、フード１０のサイズは被試験体Ｔの最大のものを覆うことができるよう調整されているので、小さな被試験体Ｔのリークテスト時にはフード１０内には無駄な空間が発生する。そこで、この実施形態ではフード１０内面の適宜個所に膨出自在な袋体(無駄空間抑制部)１２が設けられていて、小さな被試験体Ｔのリークテストの際における無駄な空間の発生が抑制されて、ヘリウムガスの消費量の低減が図られている(図５参照)。ここで、袋体１２の膨出は例えば袋体１２内部に空気を吹き込むことによりなされる。なお、袋体１２に代えてエアマットなどの無駄空間抑制部材を充填することにより、無駄な空間の発生を抑制してもよい。
【００３４】
ガス撹拌装置２０は、フード１０内上部に滞留しているヘリウムガスを吸引してフード１０内の下部中央より噴出させて、フード１０内のヘリウムガス濃度をできるだけ均一とするものである。このガス撹拌装置２０は、具体的には、フード１０内面に沿って垂設された吸引パイプ２１と、この吸引パイプ２１の下端から下部中央に向けて水平に延伸された連絡パイプ２２と、この連絡パイプ２２の先端から垂設された吐出パイプ２３と、この吐出パイプ２３内に配設された吸引ファン２４とを備えてなるものとされる。
【００３５】
ヘリウムガス供給装置３０は、ヘリウムガス供給源であるヘリウムガスボンベ３１と、このヘリウムガスボンベ３１からのヘリウムガスをフード１０内に供給するヘリウムガス供給パイプ３２と、このヘリウムガス供給パイプ３２からのヘリウムガスをフード１０内に噴出するノズル３３とを備えてなるものとされる。
【００３６】
ヘリウムガス供給パイプ３２は、主供給パイプ３２Ａと、必要に応じて主供給パイプ３２Ａから分岐させて設けられる補助供給パイプ３２Ｂとからなるものとされる。主供給パイプ３２Ａのヘリウムガスボンベ３１との接続部には、ヘリウムガスボンベ３１のヘリウムガス圧力をフード１０内に供給できる圧力にまで調節する調圧器３４が設けられ、またこの調圧器３４の前後には１次および２次圧力計３５，３６が設けられている。そして、この２次圧力計３６の下流側から補助供給パイプ３２Ｂが分岐されている。また、主供給パイプ３２Ａの補助供給パイプ３２Ｂの分岐点下流側には止め弁３７が介装されるとともに、各補助供給パイプ３２Ｂの分岐端には止め弁３７が介装されている。
【００３７】
主供給パイプ３２Ａおよび各補助供給パイプ３２Ｂは、それぞれフード１０の裾１１下を潜らせてフード１０内の所定位置に導かれている。主供給パイプ３２Ａに設けられたノズル３３は、ガス撹拌装置２０の吐出パイプ２３の下端にノズル３３先端をパイプ内部に覗かせて装着される一方、各補助供給パイプ３２Ｂのそれぞれの先端に設けられたノズルは、明瞭には図示されていないが、主供給パイプ３２Ａからのヘリウムガスが行き渡りがたい個所に配設される。なお、主供給パイプ３２Ａのノズル３３の装着位置は吐出パイプ２３に限定されるものではなく、適宜パイプとでき例えば連絡パイプ２２とされてもよい。
【００３８】
載置台４０は、被試験体Ｔをフード１０内のヘリウムガスに置換された部位に位置せしめ、かつガス撹拌装置２０の吐出パイプ２３の吐出端より上方に位置せしめるようにその高さが調整されている。具体的には、載置台４０の高さは床面ＦＬより５０ｃｍ以上とされている。
【００３９】
排気装置５０は被試験体Ｔ内部、例えば真空部内の圧力をリークテストが可能な圧力まで低下させるものであって、つまり被試験体Ｔ内部を粗引きするものであって、排気セット５１と、この排気セット５１と被試験体Ｔ内部とを接続する排気パイプ５２とを備えてなるものとされる。
【００４０】
排気セット５１は真空ポンプを備えた公知の排気セットとされ、例えば（株）島津製作所製ＶＳ．０−６００−３０００型排気セットとされる。
【００４１】
排気パイプ５２は、その被試験体Ｔ側端部は被試験体Ｔの接続座と溶接接続されて、この接続個所から排気パイプ５２内へヘリウムガスが流入するのが防止され、またその排気セット５１側には標準リーク量を検知するための標準リーク量検知バルブ５３の取付座、およびヘリウムガス検知装置６０との接続座が、被試験体Ｔ側からこの順で設けられている。また、この排気パイプ５２のフード１０内からの導出は、排気パイプ５２をフード１０の裾１１下を潜らせることによりなされる。
【００４２】
ヘリウムガス検知装置６０は、排気パイプ５２から分流された排気ガスを所定の真空度まで排気して、その排気ガス中に含まれているヘリウムガスを検知するものである。かかる機能を有するヘリウムガス検知装置６０としては、例えば（株）島津製作所製ＭＳＥ−１１Ａ型ヘリウムガスリーク検知器を好適に用いることができる。
【００４３】
酸素濃度計測装置７０は、フード１０内のヘリウムガスの濃度をその計測した酸素濃度から下記式（１）により換算して求めるためのものである。そのため、この酸素濃度計測装置７０のガス採取部７１は、計測空間中においてヘリウムガス濃度が最も低いと想定される被試験体Ｔの最下部近傍において、被試験体Ｔの最下部と同レベルにセットされ、またガス採取部７１と本体７２との接続線(または接続管)７３はフード１０の裾１１下を潜らせてフード１０外に導出される。なお、計測精度の向上を図る観点から被試験体Ｔの最上部と同レベルにもガス採取部を設けてもよい。
【００４４】
Ｋｔ＝（１−Ｏ2ｔ／Ｏ2ｓ）ｘ１００                            （１）
【００４５】
ここに、
Ｋｔ：計測時のヘリウムガス濃度［％］
Ｏ2ｔ：計測時の酸素濃度［％］
Ｏ2ｓ：ヘリウムガス供給前の酸素濃度［％］
【００４６】
手直し部４は、前記エアリークテスト部１およびハロゲンリークテスト部２のいずれかにおいてリークが検知された個所や、ヘリウムリークテスト部３によりリークが検知された被試験体Ｔ対してハロゲンリークテストにより漏れ個所を発見し、それらの個所を手直しした後にエアリークテストにより手直しの良否を判定するよう構成されてなるものである。その具体的な構成は、この種の手直し部において用いられている各種の構成を好適に用いることができるので、その詳細な説明は省略する。
【００４７】
しかして、この手直し部４のエアリークテストに合格した被試験体Ｔは、ヘリウムガスリークテスト部３に搬出される一方、不合格となった被試験体Ｔは再度手直しされる。
【００４８】
次に、図６に示すフローチャートを参照しながら、かかる構成とされている漏れ検査システムＳによるリークテストについて説明する。なお、図６中、符号Ｓ１〜Ｓ１０はステップ番号を示す。
【００４９】
（１）被試験体Ｔのエアリークテストを実行する。すなわち、被試験体Ｔ内部に空気(または窒素ガス)を封入した後、所定圧力まで昇圧する。(ステップ１)
【００５０】
（２）エアリークが検知されたか否か判定し、エアリークが認められなければステップ３に移行する一方、エアリークが認められれば手直し工程(ステップ８)に移行する。(ステップ２)
【００５１】
（３）被試験体Ｔのハロゲンリークテストを実行する。すなわち、被試験体Ｔ内部にハロゲンガスを封入した後、所定圧力まで昇圧する。(ステップ３)
【００５２】
（４）リークが検知されたか否か判定し、リークが認められなければステップ５に移行する一方、リークが認められれば手直し工程(ステップ８)に移行する。
(ステップ４)
【００５３】
（５）被試験体Ｔのヘリウムリークテストを実行する。すなわち、被試験体Ｔをフード１０内に搬入した後にフード１０内をヘリウムガスで置換し、ついで被試験体Ｔ内部を真空排気してヘリウムガス検知装置６０によりヘリウムガスの検知を行う。(ステップ５)
【００５４】
（６）所定時間経過後においてもヘリウムガス濃度が所定値以上であるか否か判定し、所定値未満であれば最終合格として漏れ検査工程を終了する一方、所定値以上であれば不合格としてリーク個所発見工程に移行する。(ステップ６)
【００５５】
（７）被試験体Ｔに対するハロゲンリークテストにより、リーク個所の発見を行う。(ステップ７)
【００５６】
（８）リーク個所の手直し行う。(ステップ８)
【００５７】
（９）手直し後の被試験体Ｔに対してエアリークテストを行う。(ステップ９)
【００５８】
（１０）エアリークが検知されたか否か判定し、エアリークが認められなければステップ５に移行する一方、エアリークが認められればステップ８に戻る。(ステップ１０)
【００５９】
このように、この実施形態においては、ヘリウムリークテスト部３において、被試験体Ｔをフード１０で覆うようにするとともに、そのフード１０内をヘリウムガスで置換し、そして被試験体Ｔ内部を真空排気するようにしているので、ヘリウムリークテスト部３をエアリークテスト部１およびハロゲンリークテスト部２とオンラインに配置させることができる。そのため、リークテストに要する時間が著しく短縮される。
【００６０】
また、検査ラインＩＬに並列させて手直し部４が設けられているので、リークが検出された被試験体Ｔの手直しが迅速になされて作業能率の一層の向上が図られる。
【００６１】
さらに、フード１０内の無駄空間の発生を無駄空間抑制部や無駄空間抑制部材により抑制しているので、高価なヘリウムガスの消費量を必要最小限に抑えることができるとともに、フード１０内のガス置換に要する時間が短縮され作業能率のより一層の向上が図られる。
【００６２】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態では無駄空間抑制部や無駄空間抑制部材により無駄空間の発生を抑制しているが、無駄空間の発生の抑制手段は前記に限定されるものではない。例えば、図７に示すように、ヘリウムリークテスト部３の床部Ｂにフード裾収納部１６を設けるとともにフード１０全体を昇降自在として、被試験体Ｔの高さに応じてフード１０の天井高さを調節するようにしてもよい。また、図７に示す手法と無駄空間抑制部や無駄空間抑制部材とを併用してもよい。
【００６３】
さらに、ハロゲンリークテスト部２とヘリウムリークテスト部３との間に真空放置テスト部を設けてもよい。
【００６４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、被試験体をフードで覆うようにするとともに、そのフード内をヘリウムガスで置換し、そして被試験体内部を真空排気するようにしているので、ヘリウムリークテストをエアリークテストおよびハロゲンリークテストとオンラインにてなし得るという優れた効果が得られる。それに伴い、吸収式冷凍機の耐圧部の組立完了後における漏れ検査が迅速になし得るので、リークテストに要する時間が著しく短縮されて生産性が向上するという優れた効果も得られる。
【００６５】
また、本発明の好ましい形態によれば、フード内の酸素濃度の計測をなしてフード内のヘリウムガス濃度の算出がなされるので、ヘリウムリークテストを均一な条件下でなし得るという優れた効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のヘリウムリークテスト方法が適用されている漏れ検査システムのブロック図である。
【図２】本発明のヘリウムリークテスト装置の概略図である。
【図３】同装置のブロック図である。
【図４】同装置のフードの概略図である。
【図５】同フードの袋体を膨出させた状態の概略図である。
【図６】図１に示す漏れ検査システムにおけるリークテストの手順を示すフローチャートである。
【図７】本発明のヘリウムリークテスト装置の変形例の要部概略図である。
【図８】従来の吸収冷凍機の製造ラインの要部ブロック図である。
【符号の説明】
１      エアリークテスト部
２      ハロゲンリークテスト部
３      ヘリウムリークテスト部
３Ａ    ヘリウムリークテスト装置
４      手直し部
１０      フード
１１      裾
１２      袋体
１６      フード裾収納部
２０      ガス撹拌装置
２４      吸引ファン
３０      ヘリウムガス供給装置
４０      載置台
５０      排気装置
５１      排気セット
６０      ヘリウムガス検知装置
７０      酸素濃度計測装置
７１      ガス採取部
７２      本体
Ｂ      床部
Ｓ      漏れ検査システム
Ｔ      被試験体
ＩＬ      検査ライン
【図１】
0003931252.tif 000002
【図２】
0003931252.tif 000003
【図３】
0003931252.tif 000004
【図４】
0003931252.tif 000005
【図５】
0003931252.tif 000006
【図６】
0003931252.tif 000007
【図７】
0003931252.tif 000008
【図８】
0003931252.tif 000009