(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台（１）の中央に軸（２）を固定し、
四角形に構成したリンクレバー機構（３）の第１のレバー（３ａ）の一方端部と第３のレバー（３ｃ）の一方端部を、前記軸（２）に回動しうるように取付け、
前記第２のレバー（３ｂ）の一方端部を、前記第１のレバー（３ａ）の他方端部に回動しうるように取付けるとともに、第４のレバー（３ｄ）の一方端部を、前記第３のレバー（３ｃ）の他方端部に回動しうるように取付け、
前記第２のレバー（３ｂ）の他方端部と、前記第４のレバー（３ｄ）の他方端部に把持部（４）を取付け、
駆動装置の駆動により前記リンクレバー機構（３）を伸縮させて、把持部（４）を径方向に移動するフロッグレッグ形のウェハ搬送装置において、
前記第１のレバー（３ａ）の他方端部に、リニアモータの第１の可動子（６）と位置検出器（９）の可動子（９ｂ）を取付けるとともに、第３のレバー（３ｃ）の他方端部に、リニアモータの第２の可動子（７）と位置検出器（９）の可動子（９ｂ）を取付け、
かつ、前記基台（１）上に、前記リニアモータの第１の可動子（６）および第２の可動子（７）と対向させて、リニアモータの固定子（５）を円周方向に複数個並べて配置するとともに、前記位置検出器（９）の可動子（９ｂ）と対向させて、前記位置検出器（９）の固定子（９ａ）を円周方向に複数個並べて配置したことを特徴とするウェハ搬送装置。
【０００１】
【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハを載置して搬送するフロッグレッグ形のウェハ搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のフロッグレッグ形のウェハ搬送装置は、図７および図８に示すように構成している。
図において、３０は基台で、この基台３０にモータ等を内蔵したあるいはモータ等を本体とした駆動装置３１が取付けてある。３２は駆動装置３１の回転軸３１ａに取付けた歯車である。３３は前記基台３０に取付けた軸で、この軸３３に前記歯車３２と同じ歯数の歯車３４を前記歯車３２に噛み合わせて取付けている。３５は四辺形に構成したリンクレバー機構で、このリンクレバー機構３５の第１のレバー３５ａの一方端部を前記駆動装置３１の回転軸３１ａに固定している。前記リンクレバー機構３５の第１のレバー３５ａの他方端部にピン３６を取付け、このピン３６に第２のレバー３５ｂの一方端部を取付けている。３５ｃはリンクレバー機構３５の第３のレバーで、一端を前記軸３３に固定し、他方端部にピン３７を取付け、このピン３７に第４のレバー３５ｄの一方端部を取付けている。３８はウェハ等を把持する把持部で、この把持部３８に設けた軸３９、４０のそれぞれに同じ歯数の歯車４１、４２を、歯車４１、４２同志を噛み合わせて取付けており、さらに前記軸３９に第２のレバー３５ｂの他方端部を固定し、前記軸４０に第４のレバー３５ｄの他方端部を固定している。
つぎに、このように構成したフロッグレッグ形のウェハ搬送装置の動作について説明をする。
駆動装置３１を駆動すると、この駆動装置３１の回転軸３１ａに取付けた歯車３２を介して歯車３４が回転する。この歯車３４が回転すると、この歯車３４の軸３３が回転する。前記駆動装置３１の回転軸３１ａに取付けたリンクレバー機構３５の第１のレバー３５ａが作動するとともに、軸３３に取付けた第３のレバー３５ｃが矢印Ｃ方向に作動する。この第１のレバー３５ａに取付けた第２のレバー３５ｂおよび第３のレバー３５ｃに取付けた第４のレバー３５ｄの一方端部が前記第１のレバー３５ａおよび第３のレバー３５ｃに追従して作動し、第２のレバー３５ｂの他方端部に設けた歯車４１と第４のレバー３５ｄの他方端部に設けた歯車４２が噛み合っているので、リンクレバー機構３５に取付けた把持部３８は矢印Ｄ方向に作動する。前記把持部３８が所定の位置に達すると、駆動装置３１に内蔵した位置検出器（図示せず）により駆動装置３１を停止し、把持部３８を所定の位置に停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のフロッグレッグ形のウェハ搬送装置は、位置検出器内蔵の駆動装置からの駆動力をリンクレバー機構３５を介して先端の把持部３８に伝達しているため、位置検出器による角度誤差がリンクレバー機構３５の第１のレバー３５ａと第３のレバー３５ｃの先端において拡大され、把持部３８の正確な位置決めができないという問題があった。
そこで、本発明は、把持部の位置決め精度を高めたウェハ搬送装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、基台の中央に軸を固定し、四角形に構成したリンクレバー機構の第１のレバーの一方端部と第３のレバーの一方端部を、前記軸に回動しうるように取付け、前記第２のレバーの一方端部を、前記第１のレバーの他方端部に回動しうるように取付けるとともに、第４のレバーの一方端部を、前記第３のレバーの他方端部に回動しうるように取付け、前記第２のレバー（３ｂ）の他方端部と、前記第４のレバーの他方端部に把持部を取付け、駆動装置の駆動により前記リンクレバー機構を伸縮させて、把持部を径方向に移動するフロッグレッグ形のウェハ搬送装置において、前記第１のレバーの他方端部に、リニアモータの第１の可動子と位置検出器の可動子を取付けるとともに、第３のレバーの他方端部に、リニアモータの第２の可動子と位置検出器の可動子を取付け、かつ、前記基台上に、前記リニアモータの第１の可動子および第２の可動子と対向させて、リニアモータの固定子を円周方向に複数個並べて配置するとともに、前記位置検出器の可動子と対向させて、前記位置検出器の固定子を円周方向に複数個並べて配置するようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の側面図である。図２は本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の平面図である。
図において、１は基台で、この基台１の中央に軸２を固定している。３は第１のレバー３ａ、第２のレバー３ｂ、第３のレバー３ｃ、第４のレバー３ｄとを四辺形に構成したリンクレバー機構で、第１のレバー３ａの一端部と第３のレバー３ｃの一方端部を前記軸２に回動しうるように取付けている。前記リンクレバー機構３の第２のレバー３ｂの他方端部および第４のレバー３ｄの他方端部には把持部４を取付けている。５は前記基台１の上面に円周方向に複数個並べて配置したリニアモータの固定子、６は第１のレバー３ａの他方端部に取付けたリニアモータの第１の可動子で、電機子を構成している。前記リニアモータの第１の可動子６は、固定子５によって第１のレバー３ａを前記軸２を中心に円周方向に回動させる。７は第３のレバー３ｃの他方端部に取付けたリニアモータの第２の可動子で、電機子を構成している。前記リニアモータの第２の可動子７は前記固定子５によって第３のレバー３ｃを前記軸２を中心に円周方向に回動させる。８は第１のレバー３ａの他方端部および第３のレバー３ｃの他方端部に取付けたローラで、基台１の上面を走行できるようにしている。９は位置検出器で、この位置検出器の固定子９ａを前記基台１に前記リニアモータの固定子３に近接させて取付け、可動子９ｂを前記リニアモータの第１の可動子６および第２の可動子７に近接させて取付けている。
つぎに、このように構成したフロッグレッグ形のウェハ搬送装置の動作について説明をする。
リニアモータの第１の可動子６を、第１の可動子６が時計方向に回動するように励磁し、リニアモータの第２の可動子７を、第２の可動子７が反時計方向に回動するように励磁すると、第１の可動子６および位置検出器９の可動子９ｂを取付けた第１のレバー３ａを軸２を中心に時計方向に回動するとともに、第２の可動子７および位置検出器７の可動子９ｂを取付けた第３のレバー３ｃを軸２を中心に反時計方向に回動する。この第１のレバー３ａと第２のレバー３ｃの回動により、第１のレバー３ａに取付けた第２のレバー３ｂ、および第３のレバー３ｃに取付けた第４のレバー３ｄを介して把持部４を矢印Ａ方向に移動する。
前記把持部４が所定の位置に達すると、前記位置検出器９がその位置を検出して第１の可動子６および第２の可動子７を停止し、前記把持部４を停止する。つぎに、第１の可動子６および第２の可動子７を逆に励磁すると、把持部４が矢印Ａ方向と逆方向に移動して停止する。
つぎに、第１の可動子６および第２の可動子７を同方向に回転するように励磁すると、把持部４が矢印Ｂ方向に回動して停止し、把持部４の位置を変換できる。このように、基台１に位置検出器９の固定子９ａを取付け、第１のレバー３ａおよび第３のレバー３ｃの先端部に位置検出器９の可動子９ｂを取付けて、直接第１のレバー３ａおよび第３のレバー３ｃの先端部の位置を検出するようにしたので、検出誤差が拡大されることがなく把持部４の位置決め精度が向上する。
また、従来のものは、リンクレバー機構の根元部を駆動して、先端の把持部を移動させるので、モータの駆動力を大きくしなければならなかったが、本発明のものは、リンクレバー機構の第１のレバー３ａおよび第３のレバー３ｃの一方端部を駆動してリンクレバー機構の先端の把持部を移動させるので、駆動力が小さくてもよい。
図３および図４は本発明の第２の実施例を示すもので、基台１２を半円状にして、前記基台１２を固定部１１に取付けたモータ１０等で回転できるようにしたものである。このようにすることにより、基台１２を回転させて把持部４の向きを変えることができ、基台１に取付けたリニアモータの固定子５を少なくすることができる。
図５および図６は本発明の第３の実施例を示すもので、基台１に、基台１に対し垂直に設けた支持台１３を設け、この支持台１３の垂直な面に固定子５を取付けるとともに、前記固定子５に対向するリニアモータの第１の可動子を第１のレバー３ａの他方端部に取付け、かつ、第２の可動子１５を第３のレバー３ｃの他方端部に取付けるようにしたものである。このようにすることにより、第１の可動子１４と固定子５、および第２の可動子１５と固定子５との吸引力により、第１のレバー３ａの一方端部および第３のレバー３ｃの一方端部が浮上するので、第１のレバー３ａの一方端部および第３のレバー３ｃの一方端部にローラ８を設ける必要がなくなる。
なお、第１ないし第３の実施例では、リニアモータは可動子を電機子としたが、固定子を電機子とするようにしてもよい。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によればつぎのような効果がある。
（１）  位置検出器の固定子を基台に取付け、可動子を第１のレバーおよび第３のレバーの先端部に取付けているので、把持部の位置決め精度を向上することができる。
（２）  リンクレバー機構の第１のレバーおよび第３のレバーの先端部を駆動するので、リニアモータの駆動力を小さくすることができる。
（３）  基台を回動して把持部の向きを変えることもできるので、リニアモータの固定子を少なくすることができる。
（４）  固定子を基台に垂直に設けた支持台に取付け、この支持台の固定子に第１のレバーおよび第３のレバーの他方端部の可動子を対向させたので、第１のレバーおよび第３のレバーにローラを取付けなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の側面図である。
【図２】  本発明の第１の実施例を示すウェハ搬送装置の平面図である。
【図３】  本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送装置の側面図である。
【図４】  本発明の第２の実施例を示すウェハ搬送装置の平面図である。
【図５】  本発明の第３の実施例を示すウェハ搬送装置の側面図である。
【図６】  本発明の第３の実施例を示すウェハ搬送装置の平面図である。
【図７】  従来のウェハ搬送装置の平面図である。
【図８】  従来のウェハ搬送装置の側面図である。
【符号の説明】
１  基台、  ２  軸、  ３  リンクレバー機構、  ３ａ  第１のレバー、
３ｂ  第２のレバー、  ３ｃ  第３のレバー、  ３ｄ  第４のレバー、
４  把持部、  ５  固定子、  ６  第１の可動子、  ７  第２の可動子、
８  ローラ、  ９  位置検出器、  ９ａ  固定子、  ９ｂ  可動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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