(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材上に形成した透明導電層を有する反射防止コートにおいて、
酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物で形成した透明導電層に、前記透明導電層より膜の緻密度が低い酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物で形成した中間層を設けた膜構成を有することを特徴とする電磁波低減反射防止コート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電磁波シールド効果を有する反射防止コートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、オフィスオートメーション機器、テレビのブラウン管やその他の電子機器から放射される電磁波が、人体へ影響を与えるのではないかという疑問が提起され、関心が高まっている。これら電磁波による影響を避けるために、従来しばしば見られる方法は、金網などの透視可能の導電物で覆うことであった。しかし、ブラウン管などをこれら導電物で覆った場合、金網などを構成する細線で画面が見えにくくなり、使用者の目が疲れるという問題があった。
【０００３】
これに対して、画面表面などに金属細線の網の代わりに透光性薄膜の積層体を設け、反射防止効果と共に電磁波低減効果を得ようとする試みが提案されている。例えば、特開平６−３４８０１号公報に開示されたものは、基材から順に透明導電体層として酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、低屈折率層として酸化シリコン、高屈折率層として酸化チタンの３層の積層体を用いている。これは、反射防止効果によって画面が見やすくなったが、透明導電層の膜厚が３００オングストローム以下と薄く、電磁波のシールド効果が低く、十分な効果を上げていない。
【０００４】
また、特願平９−２６９２０４号に開示されたものは、透光性低屈折率層と透光性高屈折率層の積層構造において、高屈折率層に透明導電層として、酸化インジウム錫を材料として用い、その膜厚を１０００オングストローム以上としたものである。
【０００５】
導電層を厚くしたことにより、シート抵抗が低下し、電磁波シールド効果は向上し、実用上十分な性能が得られた。しかし、プラスチック透明基材に形成したとき、高温高湿環境で保管すると、コート膜の色ムラや膜浮きが生じやすく、耐環境性の点で問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記課題を解決するためになされたものである。即ち、オフィスオートメーション機器、テレビのブラウン管や他の機器から発生する電磁波を有効に遮断することが出来、視界を妨げることがなく、目の疲労を少なくすることが出来る耐環境性に優れた電磁波低減反射防止膜を提供することを目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、下記構成を採ることによって達成される。
【０００８】
１．透明基材上に形成した透明導電層を有する反射防止コートにおいて、
酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物で形成した透明導電層に、前記透明導電層より膜の緻密度が低い酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物で形成した中間層を設けた膜構成を有することを特徴とする電磁波低減反射防止コート。
【００１７】
【実施例】
次に、本発明の電磁波低減反射防止コートの実施例を説明する。
【００１８】
本発明の電磁波低減反射防止コートの構成は、図１で示す構成１を基本構成としている。
【００１９】
（構成１）
図１（ａ）で示すように、透明基材から順に第１の低屈折率層Ｌ１、第１の高屈折率層Ｈ１、第２の低屈折率層Ｌ２、第２の高屈折率層Ｈ２、第３の低屈折率層Ｌ３の積層体の形成、又は図１（ｂ）で示すように、透明基材から順に第１の高屈折率層Ｈ１、第２の低屈折率層Ｌ２、第２の高屈折率層Ｈ２、第３の低屈折率層Ｌ３の積層体の形成を基本構成としている。
【００２０】
透明基材は、ガラス基材、プラスチック基材（アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ゼオネックス樹脂等の透明樹脂）が用いられ、低屈折率層Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３は酸化シリコン層又はフッ化マグネシューム層で形成され、高屈折率層Ｈ１は酸化インジューム層又はインジュームと錫の混合酸化物層（ＩＴＯ）、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化タンタル等の１種類又は混合層、インジュームと亜鉛の混合酸化物層、高屈折率層Ｈ２は透明導電層よりなっていて、透明導電層Ｈ２の膜厚は１０００Å以上で形成されている。
【００２１】
（Ａ）透明導電層が中間層との積層で形成した場合は次の通りである。
【００２２】
図２は、透明導電層の高屈折率層Ｈ２が中間層との積層で形成している図で、（ａ）は中間層が１層の場合、（ｂ）は中間層が２層の場合の図である。
【００２３】
高屈折率層Ｈ２：Ｈ21，Ｈ22，Ｈ23，・・・Ｈ2i各々の膜厚の合計は１０００Å以上で、透明導電層であり、酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物、例えばインジュームと錫の混合酸化物（錫の混合割合が２〜１０重量％）、インジュームと亜鉛の混合酸化物（亜鉛の混合割合が２〜１０重量％）により形成される。
【００２４】
中間層のＨ2I-1，Ｈ2I-2，・・・Ｈ2I-jは、酸化シリコン、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化タンタル、低緻密度酸化インジューム、低緻密度インジュームを主成分とする酸化物の１種又は複数の混合物により形成される。
【００２５】
このような層構成の効果は、次の通りである。
【００２６】
Ｈ２層を中間層の無い１層構成とした時、酸化インジューム又はインジュームを主成分とした酸化物は、蒸着法で層状に形成した時大きな圧縮応力を持ち易く、図１（ａ）の構成では高温高湿環境（６０℃９０％湿度）に放置した時、コートの変色や筋状の膜うきが発生してしまう。しかし、中間層を１層又は複数層設けることにより、上記異常は減少し実用上問題は生じなくなる。
【００２７】
（構成２）
（Ｂ）構成１と同じ基本構成であり、透明導電層が下地層との積層で形成した場合は次の通りである。
【００２８】
図３は、透明導電層の高屈折率層Ｈ２が下地層との積層で形成している図で、下地層２層の場合の図である。
【００２９】
透明導電材料よりなるＨ21は、酸化インジューム又はインジュームを主成分とする酸化物、例えばインジュームと錫の混合酸化物（錫の混合割合が２〜１０重量％）、インジュームと亜鉛の混合酸化物（亜鉛の混合割合が２〜１０重量％）により形成され、膜厚１０００Å以上の透明導電層である。
【００３０】
下地層Ｈ2U-1は、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化タンタル、又は上記酸化物の混合物により形成され、下地層Ｈ2U-2は酸化シリコンにより形成される。
【００３１】
このような層構成の効果は、構成１の効果と同じで、高温高湿放置でのコートの変色、筋状膜うきがなくなる。
【００３２】
ここで、構成１、構成２における各種層の条件での比較例１に対する実施例１〜１１の結果を表１〜６に、又同様に構成１、構成２における各種層の条件での比較例２に対する実施例１２〜１４の結果を表７，８に示す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
【表２】
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【００３５】
【表３】
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【００３６】
【表４】
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【００３７】
【表５】
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【００３８】
【表６】
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【００３９】
【表７】
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【００４０】
【表８】
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【００４１】
耐環境性の６０℃９０％の環境に１週間放置した後のコート色の変化は、
×：変化大きく実用上不適
△：変化少、問題なし
○：変化なし、問題なし
膜うきは、
×：筋上にうき発生、実用上不適
○：うき発生なし、問題なし
で示した。
【００４２】
上記表１〜６で示すように、本実施例１〜１４のコートは環境性は何れも問題がなかった。又、光学特性（反射防止性能）は良好であり、電磁波低減効果は、シート抵抗５０Ω／ｃｍ2以下が可能となり、入力信号１００ＭＨZの電磁波における減衰率は２５ｄＢ以上であり、実用上良好であった。
【００４３】
この結果本発明は、各種機器から発生する電磁波を有効に遮断することが出来、視界を妨げることがなく、目の疲労を少なくすることが出来る耐環境性に優れた電磁波低減反射防止膜となった。
【００４４】
【発明の効果】
本発明により、オフィスオートメーション機器、テレビのブラウン管や他の機器から発生する電磁波を有効に遮断することが出来、視界を妨げることがなく、目の疲労を少なくすることが出来る耐環境性に優れた電磁波低減反射防止膜が提供されることとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】電磁波低減反射防止コートの基本構成を示す図である。
【図２】透明導電層の高屈折率層が中間層との積層で形成している図である。
【図３】透明導電層の高屈折率層が下地層との積層で形成している図である。
【符号の説明】
Ｈ１，Ｈ２，Ｈ21，Ｈ22，Ｈ23  高屈折率層
Ｈ2I-1，Ｈ2I-2  中間層
Ｈ2U-1，Ｈ2U-2  下地層
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３  低屈折率層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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