(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
予熱された空気と燃料を均一に混合する１次ガス混合部（１）と、
前記１次ガス混合部（１）で混合されたガスを表面燃焼させるために表面に触媒がコーティングされた平板と屈曲薄板を一層にして４層を形成した後，これを巻回して渦巻き状にした触媒部材（９）と，前記触媒部材（９）を両端部を固定する触媒層支持部（１３）と，前記触媒部材（９）を外周上から支える外部空間支持部（１４）と，それにより上記触媒部材（９）の外部に形成される環状外部空間（１５）から構成される触媒燃焼部（２）と、
前記触媒部材（９）を通った表面燃焼された反応ガスと前記環状外部空間（１５）から流入される表面燃焼されなかった未反応ガスを混合させる２次ガス混合部（３）と、
前記２次ガス混合部（３）で混合されたガスを燃焼させる火炎燃焼部（４）から構成されることを特徴とする段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項２】
前記１次ガス混合部（１）は、空気ノズルから供給される空気を予熱するためのガスバーナー（２３）および電気ヒーター（６）と、燃料を噴射するための燃料噴射ノズル（７）と、予熱された空気と燃料を均一に混合させる１次混合器（８）と混合された混合ガス量を調整する多孔板から成る流量調整部（２２）から構成されることを特徴とする請求項１記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項３】
前記１次混合器（８）は、旋回式構造からなる旋回器タイプ、または線形ミキサータイプの混合器であることを特徴とする請求項１又は２記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項４】
前記触媒部材（９）の一つの層は、表面に触媒がコーティングされていない薄板から構成されることを特徴とする請求項１記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項５】
前記２次ガス混合部（３）は旋回式構造からなる２次混合器（１０）が装着されていることを特徴とする請求項１記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項６】
前記２次混合器（１０）のベーン軸方向角度（α）とベーン旋回角度（β）はそれぞれ２０〜６０°であることを特徴とする請求項５記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項７】
前記火炎燃焼部（４）は、ラッパ管状のバーナータイル構造の火炎燃焼室（１１）であることを特徴とする請求項１記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【請求項８】
前記火炎燃焼部（４）のバーナータイル構造からなる火炎燃焼室（１１）の広がり角度（γ）は１０〜４５°であることを特徴とする請求項１又は７記載の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高温、高圧の燃焼条件に好適な触媒燃焼を用いた複合燃焼方式のバーナーに関し、特に、１次混合ガスのうち触媒燃焼によって燃焼された反応ガスと、燃焼されなかった未反応ガスとを２次混合して安定化した超希薄条件での高温火炎燃焼で行い、NOxの発生を完全に防止すると同時に高温燃焼を達成できる段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーに関する。
【０００２】
【従来の技術】
石炭、石油、天然ガスに対するCO2排出比率は１０：８：６であって、これらの中で天然ガスは最も清浄で、CO2排出も最も少ない燃料である。したがって、米国、天然ガス研究所（Natural Gas Research）ではこれから２０年後には世界発電量の約５０％をガスタービンが占めると予想しており、このような予想に伴ってガスタービンの需要は益々増加しつつある。
【０００３】
ガスタービンから発生されるNOxを抑制または除去するための技術には燃焼処理技術と排煙処理技術がある。排煙処理にはＳＣＲ（Selective Catalytic Reduction）法が最も多く使用されているが、大部分の還元剤としてアンモニアを使用することから、運転コストが高すぎるという問題点がある。また、燃焼処理技術は、燃焼条件を改善したり、燃焼装置を改善したりして窒素酸化物の発生を抑制させる技術であって、代表的なものには希薄混合燃焼技術がある。しかし、希薄燃焼は、火炎不安定による騒音、振動、多量のCO、未燃焼の炭化水素が発生する面で問題がある。
【０００４】
そこで、最近では前記問題点を克服できる新規の技術として、触媒の表面反応を活用して超希薄条件でも安定した燃焼を可能にする触媒燃焼法が活発に研究されている。この触媒燃焼は、火炎燃焼だけでは安定的燃焼が困難である希薄条件でも安定的な燃焼を可能にし、火炎の温度を熱窒素酸化物（Thermal NOx）の発生しない低い温度に下げることができるため、窒素酸化物の生成を根本的に解決できる画期的な方法と言える。
【０００５】
前記触媒燃焼を用いたガスタービン燃焼器は、その反応の特性から一般ガスタービン燃焼器とは異なる設計上の特徴を有し、かかる燃焼器を既存のガスタービンに適用しなければならない現実的な観点から見ると、単純に燃焼器を入れ替えることに止まらず、ガスタービンを構成する他の諸要素にも設計変更を加えるべきと思われる。つまり、ガスタービンの燃焼器の他に、外部ケース、内部孔のあるライナー、燃料噴射系統と始動点火系統に有機的な影響を及ぼし、したがって、既存のガスタービンに燃焼器部分だけをモジュールタイプで適用させる場合、環状型（Annular Type）の燃焼器よりは多重缶型（Multi-Can Type）の燃焼器が好適である。
【０００６】
多重缶型の燃焼器は、前述した様々な理由から触媒燃焼の制御が簡便で、世界的にも好まれている。また、研究の方向も既存の燃焼器を除いたガスタービンの部分にモジュール化した触媒燃焼器を装着する方法が主流となっているが、その理由は、既存のガスタービン燃焼器を触媒を用いた燃焼器に代えたとき、次のような効果が期待されるからである。
【０００７】
その一つは、超希薄状態で既存のガスタービン燃焼器に比べて燃焼効率が高くなる。これは既存のガス流動に依存した燃焼とは異なり、触媒支持体表面で完全表面燃焼が起こるため、既存のガスタービン燃焼器に比べて燃焼効率が高くなる。このような触媒燃焼の完全燃焼により、熱効率を高めるために競争的に行われてきた高温運転条件化の多くの部分が解決されると予想される。
【０００８】
第二に、NOx、CO、炭化水素生成物の発生量が減少する。一般の火炎燃焼より温度が低いためNOxの発生量が減り、完全燃焼であるため炭素化合物の発生量が減り、タービンブレードの磨耗低減効果につながる。つまり、ガスタービンブレード寿命短縮の主な原因は、燃焼器から発生した炭素屑が衝突して損傷を起こすことにあるが、触媒燃焼を通じてこのような問題を改善することができる。
【０００９】
第三に、燃焼器から発生した高温ガスの最高温度が下がるため、既存のガスタービンにおいて複雑な構造で構成された冷却装置の改善が期待される。実際に、非触媒ガスタービン燃焼器の運転時に使用されるメタンを用いた燃焼の場合、燃焼器の最小温度は約１０００℃であって、これは、既存の全ての小型産業用タービンと大部分のガスタービンを通じて最小負荷運転時に得られる最小温度である。これに対し、触媒燃焼器で最高温度は表面燃焼を通じた温度と予混合システムにおけるガスの当量比と圧力、温度、混合器の自発火温度から決定され、その最高温度は１０００℃前後であり、火炎燃焼が伴われる場合、火炎の温度を熱窒素酸化物（Thermal NOx）が少なく発生される温度まで下げられる。したがって、高温から起こり得る様々な複雑な構造的問題点が低減されると期待される。
【００１０】
そこで、日本では、１９７０年代から電力会社を中心として形成された研究コンソーシアム、例えば、１）大阪ＧＡＳ、東洋ＣＣＩ、神戸製鋼所、２）東京電力-東芝、３）電力中央研究所-関西電力の三つのグループによって研究が主導的に行われ、１４００℃でも比表面積が大きく減少されない耐高圧素材のHexaaluminate素材とＣＳＴ燃焼器を開発したが、セラミック触媒体の耐熱衝撃（Thermal
Shock）に対する限界性があった。
【００１１】
一方、米国では、１９７０年代からガスタービン用触媒燃焼器を研究してきており、耐熱衝撃に優れた金属薄板に触媒をコーティングしたメタルハニカム（Metal Honeycomb）を対象として研究を行ってきていることから、信頼性に優れていると判断され、また、カタライティカ  エナージイ  インコーポレイテッド（Catalytica Energy Inc.）は、かかる触媒素材を使用して業界最初の触媒燃焼器の常用化に成功し、NOx<３ppm、 CO<１０ppmの超低公害性能を示した。しかし、燃焼器の寸法によって流れ調節板の構造が異なることから触媒体設計も異にしなければならない不便さがあり、装置の拡大適用性（Scale-Up）に対する資料が足りなく、また、火炎燃焼領域で移動火炎（Lift flame）の不安定な火炎をなすため高精度の制御を必要とする問題点があった。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明は、前述した部分過熱（Hot Spot）や不安定な移動燃焼 （Lift combustion）および逆火（flash back）などの従来の触媒燃焼器の問題点を解決するために開発されたもので、低温複合火炎を形成することによってNOxの発生の低減と燃焼器の運転の側面において技術的にさらに向上した段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーは、予熱された空気と燃料を均一に混合する１次ガス混合部と、前記１次ガス混合部で混合されたガスを表面燃焼させるために表面に触媒がコーティングされた平板と屈曲薄板を一層にして４層を形成した後，これを巻回して渦巻き状にした触媒部材９と，前記触媒部材９を両端部を固定する触媒層支持部１３と，前記触媒部材９を外周上から支える外部空間支持部１４と，それにより上記触媒部材９の外部に形成される環状外部空間１５から構成される触媒燃焼部と、前記触媒部材を通過した表面燃焼された反応ガスと前記環状外部空間１５から流入される表面燃焼されなかった未反応ガスを混合させる２次ガス混合部と、前記２次ガス混合部で混合されたガスを燃焼させる火炎燃焼部から構成されることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明を構成する前記１次ガス混合部は、空気ノズルから供給される空気を予熱するためのガスバーナーまたは電気ヒーターと、燃料を噴射するための燃料噴射ノズルと、予熱された空気と燃料を均一に混合させる１次混合器と、混合された混合ガス量を調整する多孔板からなる流量調整部２２から構成されることを特徴とする。
【００１５】
一方、本発明を構成する前記２次ガス混合部は、旋回式構造となる２次混合器が装着されており、前記火炎燃焼部は、ラッパ管状のバーナータイル構造の火炎燃焼室であることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーの構成を示す概略図であり、図２は、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する１次ガス混合部の構成を示す詳細図であり、図３は、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する触媒燃焼部および２次ガス混合部の詳細断面図であり、図４は、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する燃焼触媒部の正断面図であり、図５は、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する２次ガス混合部の混合器に対する詳細図である。
【００１８】
図１ないし図５に示すように、本発明では、燃料と空気の混合ガスが触媒燃焼反応が起こり得るように、１次ガス混合部１で空気を予熱させ、予熱された空気を燃料と均一に１次混合して４５０℃程度の温度に保持するが、初期始動と触媒反応開始温度の保持のためにガスバーナー２３および電気ヒーター６を使用して燃焼用空気をまず昇温させた後にガス噴射によって拡散および混合する。
【００１９】
このとき、温度は、触媒反応開始温度よりやや低い約４５０℃程度に予熱する。燃料と高温空気は１次混合器８で均一に混合される。１次混合器８は旋回式構造の旋回器あるいは、線形構造のミキサーなどが使用される。
【００２０】
また、前記１次混合器８のガス排出口の周囲には円形の混合用多孔板２５が設けられてガスを混合しながら排出する。
【００２１】
前記１次混合器８を通った混合ガスは、多孔板から成る流量調整部２２を通過しながらガスの流量が調節され、適正量の１次混合ガスが触媒燃焼部２に送られる。
【００２２】
前記流量調整部２２を通って触媒燃焼部２に送られた１次混合ガスの大部分は触媒部材９を通過し、残余の部分は触媒部材９と燃焼器本体の内部壁の間に形成された触媒の無い環状外部空間１５を通過するようになるが、このとき、触媒部材９を通過する未反応混合ガスと触媒部材９の触媒層と担持されなかった未反応混合ガスは温度が高い状態で触媒燃焼反応ガスと混合される。
【００２３】
前記触媒燃焼部２において、中央部に触媒部材９が位置するが、このような触媒部材９は表面積の高い形態を維持するように前記触媒層支持部１３が前記触媒部材９の両側端部を支えていて、触媒部材９の外周上には外部空間支持部anyura-１４が一定間隔で位置してそれにより環状外部空間１５が形成される。
【００２４】
前記触媒部材９の後端部には２次ガス混合部３を構成する２次混合器１０が断熱材１２の内周面に接するように設けられ、設けられる２次混合器１０の長手方向の寸法は触媒部材９の直径Ｄ１の１／２になるように作製、設置される。
【００２５】
また、前記２次混合器１０の後尾部空間から火炎燃焼室（バーナータイル;１１）までの距離が触媒部材９の直径Ｄ１の３／２になるように断熱材１２空間を形成するのが好ましく、前記２次混合器１０の内側に向いてベーン角度をなす旋回式構造で形成される。
【００２６】
また、前記２次混合器１０の内側へベーン角度を形成する長さは断熱材１２に形成された貫通口直径Ｄ２の１／２寸法に形成される。
【００２７】
図６ａおよび図６ｂは、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する金属触媒器の触媒担体に対する詳細構成図である。
【００２８】
前記触媒部材９は、図６ａないし図６ｂに示すように、一枚の平板と屈曲薄板を１層にして４層（１７１、１８１）、（１７２、１８２）、（１７３、１８３）、（１７４、１８４）を形成し、溶接しないで、これを巻いて渦巻き状のハニーカム（Honeycomb）の構造に形成する。
【００２９】
このとき、平板と屈曲薄板の表面にはPdやZr、Tiなどの触媒コーティング層２４が形成されており、４層ともコーティングしたものを使用してもよく、一つの層を除いた三つの層だけをコーティングした薄板を使用して触媒部材９を製造してもよい。ここで、触媒コーティングしなかった１層の薄板を使用するのは、触媒コーティングしなかった層を不活性触媒層として形成して１次混合ガスが未反応状態に通過されるようにし、活性触媒層で反応する発生熱を未反応ガスが冷却するようにして触媒層の局部過熱を防止するためである。
【００３０】
そして、前述した触媒部材９は燃焼器本体内面によく固定して屈曲薄板の膨らみによる広がり現象を防止するための触媒層支持部１３と、その外部は外部空間支持部１４により支えられ、燃焼器本体内部壁と触媒部材の間に環状外部空間１５を形成する。
【００３１】
このように触媒燃焼部２を構成する理由は、触媒部材９の不活性触媒層を通過する未反応混合ガスと環状外部空間１５を通過する未反応混合ガスが活性触媒層の壁を冷却するようにして１次混合ガスが触媒部材９を通過しながら触媒燃焼されるときに発生される熱を冷却させ、局部過熱を防止するためである。
【００３２】
また、前記触媒部材９を多層構造にし、中心部から外側に巻回しながら渦巻き状に形成したのは、触媒体が大きくなるほど発生し得る局部的な熱衝撃を防止して触媒燃焼による触媒体の損失を最小化するためである。
【００３３】
前記２次ガス混合部３は、触媒燃焼された反応ガスと環状外部空間１５および不活性触媒層を通りながら昇温された未反応された１次混合ガスを均一に混合しながらも逆火や高温火炎層から触媒体側への熱輻射を防止できるようになっており、旋回式構造の２次混合器１０が装着されている。
【００３４】
前記２次混合器１０は、１次混合ガスと高温触媒燃焼ガスを完全混合しながらも２次混合器の後流に再循環領域が形成されないようにベーン（Vane）軸方向角度（α）を２０〜６０°に形成し、ベーン旋回角度（β）を２０〜６０°にするのが好ましい。
【００３５】
触媒燃焼後の高温ガスと１次混合された燃料／空気混合ガスとの２次混合は、旋回式２次混合器１０によって行われる。旋回流強度は中間程度であって旋回数（Swirl Number）が０．３〜０．６程度に保持されるように設計し、弱い旋回による不充分な未混合流と強い旋回による再循環流の生成を防止しながらも完全混合を保持するようにベーン旋回角度（Vane Angle; β）を設計する。ベーン角度３０°未満では旋回数も０．３以下となって完全混合が難しく、ベーン角度７０°以上では旋回強度も強くなって内部再循環流が形成されてしまい、かえって逆火を促進する結果となる。
【００３６】
また、前記２次混合器のベーン長さ（Vane Length）は、燃焼室で発生する高温火炎の輻射によって金属触媒部材に加えられる熱損傷を防止し、逆火を防止できるように設計する。
【００３７】
特に、混合後のベーン出口でガスの線速度を火炎伝播速度より大きく設計しないと、逆火を防止できなくなる。
【００３８】
前記火炎燃焼部４は２次混合ガスが火炎燃焼される燃焼区間であって、NOxが発生しない上にも安定化した火炎保持の完全燃焼が行えるようにラッパ管式バーナータイルで構成するものの、ラッパ式バーナータイルの広がり角度（γ）を１０〜４５°にするのが好ましい。
【００３９】
広がり角度が大きすぎると、バーナータイル中央に再循環流を形成して安定化した火炎は形成できるものの、火炎温度が高くなってNOxが生成され、バーナータイル表面近傍でも外部再循環流を形成するため、１０〜４５°の角度に制限するのが好ましい。
【００４０】
【発明の効果】
上述の如く、本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーは次のような効果がある。
【００４１】
第一に、燃料と空気の段階的混合方式を用いた触媒／火炎複合燃焼を通じて火炎燃焼の最大温度を熱窒素酸化物（Thermal NOx）の発生しない温度以下に保持し、火炎燃焼領域でも局部的過熱や濃度勾配を低減させ、全体的にNOx生成がごく少ない条件を保持することができる。
【００４２】
すなわち、図７ａに示すように、実際に触媒燃焼反応開始のための空気予熱用ガスバーナーによる火炎燃焼過程で熱窒素酸化物（Thermal NOx）が２ppm程度発生し、触媒層出口でも同程度の濃度を保持した。又、燃焼室出口で測定したNOx発生量は３ppm程度であって実際の触媒燃焼過程ではNOxが殆ど発生されなかった。しかし、図７ｂに示すように、予熱温度と燃空比の変化によって触媒燃焼器で窒素酸化物が発生されることがわかる。  すなわち、燃空比が一定な条件で混合器の予熱温度を増加させると、断熱火炎温度が高くなりながら窒素酸化物の排出量が比例的に増加し、燃空比が増加されると、燃焼ガスの断熱火炎温度が大きく上昇しながら窒素酸化物の排出も幾何級数的に増加する傾向を示し、適正運転が重要なことがわかる。
【００４３】
第二に、触媒部材と触媒担持技術によって触媒反応開始温度は異なるが、発明者が製造したPdとZr二元触媒のメタン燃焼反応の結果では、図８に示すように、過剰空気比に関係なく約３４０℃で略一定になった。しかし、過剰空気比にしたがって触媒層後端の温度が異なってくるが、いずれも火炎燃焼保持に必要な温度８００℃以上を保持することができた。
【００４４】
また、仮に触媒燃焼によってNOxが発生しなかったとしても２次混合と火炎燃焼のためのバーナータイル設計によってもNOx発生が大きく異なってくる。例えば、図９は、２次混合器がなく、バーナータイルの広がり角度も４５°と広い状態で測定された結果であるが、触媒燃焼の行われる３０mm地点までの燃焼ガスの温度は１０００℃前後に保持し、NOxは全く発生しなかった。しかし、２次混合の行われる６０mm地点からバーナータイルがある１２０mmまでは温度が急に上昇し、燃焼器の最高温度が１３２０℃と測定され、NOxの発生量も４ppm程度発生されたが、これは、不充分な混合とバーナータイルでの外部再循環による局部燃焼から局部温度が大きく増加したためであって、２次混合器とバーナータイル角度の設計がNOx生成に大きな影響を及ぼすことがわかる。
【００４５】
又、図１０は、旋回角度が３０°の２次混合器を備えている場合と備えていない場合の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーのNOx発生量を示すもので、２次混合器のない場合はバーナータイルの急激な広がり角度により燃焼室内の局部的な温度も上昇し、局部的なNOx濃度も高く平均８．２ppm位だったが、２次混合器を備える場合は温度がNOx濃度に比較的に均一にし、NOxの平均濃度は４．４ppmで低い状態を維持した。
【００４６】
要するに、本発明によれば、NOx発生量（３ppm未満）の少ない高温／高圧型燃焼器の開発が可能なため、大規模マンションを中心に快適ながらも低い運転コストで運営できる熱併合複合発電が可能であるとともに、高効率・低公害自動車用のハイブリッドガスタービンエンジンおよびその他の小型熱負荷装置、大規模熱併合発電ガスタービンにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーの構成を示す概略図。
【図２】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する１次混合部の構成を示す詳細図。
【図３】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する触媒燃焼部および２次ガス混合部の詳細断面図。
【図４】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する燃焼触媒部の正断面図。
【図５】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する２次ガス混合部の混合器に対する詳細図。
【図６ａおよび図６ｂ】本発明による段階的混合方式の高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーを構成する金属触媒器の触媒担体に対する構成図。
【図７ａ】燃焼用空気を予熱するに際してガスバーナーを使用した場合のNOx発生量を示すグラフ。
【図７ｂ】ガスタービン触媒器で常圧燃焼する場合のNOx発生量を示すグラフ。
【図８】予熱温度と過剰空気比による触媒開始反応および全体燃焼特性を予熱器温度対比触媒器温度で示すグラフ。
【図９】２次混合器がなく、バーナータイルの広がり角度も４５°と広い状態で作製された高圧触媒／火炎複合燃焼式バーナーの安定火炎特性およびNOx発生量を示すグラフ。
【図１０】３０°の旋回角度の二次混合器を備えている場合と備えていない場合の高圧触媒/火炎複合燃焼式バーナーのNOx発生量を示すグラフ。
【符号の説明】
１  １次ガス混合部
２  触媒燃焼部
３  ２次ガス混合部
４  火炎燃焼区間
６  予熱用電気ヒーター
７  燃料噴射ノズル
８  １次混合器
９  触媒部材
１０  ２次混合器
１１  火炎燃焼室（バーナータイル）
１２  断熱材（Castable）
１３  触媒層支持部
１４  外部空間支持部
１５  環状の外部空間
１６  ２次混合器ベーン角度
２２  流量調整部
２３  予熱用ガスバーナー
２４  コーティング層
２５  混合用多孔板
【図１】
0003876204.tif 000002
【図２】
0003876204.tif 000003
【図３】
0003876204.tif 000004
【図４】
0003876204.tif 000005
【図５】
0003876204.tif 000006
【図６ａ】
0003876204.tif 000007
【図６ｂ】
0003876204.tif 000008
【図７ａ】
0003876204.tif 000009
【図７ｂ】
0003876204.tif 000010
【図８】
0003876204.tif 000011
【図９】
0003876204.tif 000012
【図１０】
0003876204.tif 000013