(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、
前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなしていて、保持対象物を下方から支持した状態で保持すると共に、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されている一対の保持部位と、
前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
移動機構と、を備え、
前記一対の保持部位のうち少なくとも一方の前記保持部位には、前記保持対象物の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に、前記保持対象物を吸着保持するための吸着部が設けられ、
前記吸着部の前記保持対象物に対する吸着面が少なくとも所定角度範囲内で他方の前記保持部位の側に傾斜可能に構成されていて、
前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記保持対象物が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記保持対象物に当接するように前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ垂直に移動させられる、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記吸着部は前記一対の保持部位のいずれにも設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記吸着部を有しない前記保持部位には、支持突起が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、
前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなしていて、保持対象物を保持すると共に、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されている一対の保持部位と、
前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
移動機構と、を備え、
前記一対の保持部位には、前記保持対象物の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に、前記保持対象物を吸着保持するための吸着部が設けられ、
前記吸着部の前記保持対象物に対する吸着面が、前記一対の保持部位の間に最下点を有する湾曲面に沿う方向に、少なくとも所定角度範囲内で傾斜可能に構成されていて、
前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記保持対象物が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記保持対象物に当接するように前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ垂直に移動させられる、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
前記吸着部は、前記吸着面が少なくとも所定角度範囲内で全方位に向けて傾斜自在に構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
複数の前記保持部位がそれぞれ並列してなる一対の保持列が相互に間隔を隔てて配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記移動機構を制御する制御手段を有し、前記制御手段は、
前記一対のアームを前進させるステップ、前記一対のアームを上昇させるステップ、前記吸着部により前記保持対象物を下方から吸着保持させるステップ、及び、前記一対のアームを後退させるステップを順次実行する引き取り動作モードと、
前記一対のアームを前進させるステップ、前記吸着部による前記保持対象物の吸着保持状態を解除させるステップ、前記一対のアームを下降させるステップ、及び、前記一対のアームを後退させるステップを順次実行する引き渡し動作モードと、
を実行可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項８】
相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、
前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなし、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されると共に、基板を吸着保持するための吸着部が、基板の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に設けられる一対の保持部位と、
前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
を備えた搬送装置により基板を保持して搬送する基板の搬送方法であって、
前記一対のアームがほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記基板が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記基板の対向する一対の外縁の近傍に当接するように前記一対のアームをほぼ垂直に移動させ、
当接された前記一対の保持部位の前記吸着部により前記一対の外縁の近傍を吸着して支持し、
前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送することを特徴とする基板の搬送方法。
【請求項９】
相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、
前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなし、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されると共に、基板を吸着保持するための吸着部が、基板の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に設けられる一対の保持部位と、
前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
を備えた搬送装置により、電気光学装置の一部を構成する基板を搬送する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、
前記一対のアームがほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記基板が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記基板の対向する一対の外縁の近傍に当接するように前記一対のアームをほぼ垂直に移動させ、
当接された前記一対の保持部位の前記吸着部により前記一対の外縁の近傍を吸着して支持し、
前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
前記湾曲した状態は、前記基板の対向する一対の外縁を支持した場合に前記基板が自重で湾曲する自然湾曲状態と実質的に等しい状態であることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
前記保持部位により前記基板を下方から支持することを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
前記一対の保持部位は、外側から前記基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動した位置にある４半部位よりも外側で前記基板を保持することを特徴とする請求項９乃至請求項１１のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
複数の前記保持部位がそれぞれ並列してなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて配置し、
前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保持部位により前記基板を保持することを特徴とする請求項９乃至請求項１２のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
基板収容部内において前記基板の対向する一対の外縁を支持し、前記基板を前記一対の外縁間で下方に湾曲させた状態で収容された状態とし、
前記一対のアームを前記基板収容部内に導入し、前記基板の前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持し、前記基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収容部から搬出することを特徴とする請求項９乃至請求項１５のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
前記保持部位にて保持された前記基板を基板収容部内に導入し、
前記基板収容部内において前記基板を湾曲させた状態のまま引き渡し、前記基板の前記一対の外縁が支持された状態で収容することを特徴とする請求項９乃至請求項１４のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び、電気光学装置の製造方法に係り、特に、電気光学装置の一部を構成する基板を搬送する搬送装置及び搬送方法として好適な搬送技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気光学装置の一種である液晶表示装置を製造する場合には、複数の液晶表示装置を構成可能な大判の基板を貼り合わせて大判パネルを構成し、この大判パネルを分割して液晶パネルを形成する場合がある。このような方法を用いる製造工程においては、大判の基板（マザーガラス）上に透明導電体からなる導体パターンを形成する工程、ＳｉＯ２やＴｉＯ２などの硬質保護膜を形成する工程、配向膜を形成する工程、配向膜に配向処理（ラビング処理）を施す工程、反射層（反射電極）を形成する工程、カラーフィルタを形成する工程などがあり、これらの工程間においてそれぞれ基板を搬送する必要がある。
【０００３】
上記の基板を搬送するには、図９に示すような略コ字型の平面形状を有する吸着保持器１０を備えた搬送装置を用いる場合がある。この吸着保持器１０は、相互に所定間隔を隔てて平行に配置された一対のアーム１１，１１を有し、これらのアーム１１上にはそれぞれ吸着部１１ａが設けられ、これらの吸着部１１ａによって基板１１０の下面を下方から吸着保持することができるようになっている。この吸着保持器１０を備えた搬送装置は、上記各製造工程間において図９に示す多段式のマガジン５０に対して基板１１０を出し入れしたり、各種処理装置に対して基板１１０を給材したり除材したりする場合に用いられる。
【０００４】
上記マガジン５０内には、ガラス等で構成された基板１１０が上下方向に多数配列された状態で収容されている。マガジン５０内の基板１１０は、その対向する一対の外縁１１０ｂがマガジン５０の左右内面にそれぞれ設けられた係合部５１により支持された状態で配置されている。上記マガジン５０は多数の基板１１０を一括して搬送するための搬送用カセットとして使用されることもあり、また、多数の基板１１０に対して洗浄等の処理を施すための処理用カセットとして使用される場合もある。なお、液晶パネルの製造工程において用いる基板１１０としては、通常、厚さ０．３〜１．２ｍｍ程度、幅３００〜５００、長さ５００〜８００ｍｍ程度の矩形の平面形状を有するガラス板で構成され、図示のように自重によって中央１１０ａが下方に下がる態様で湾曲している。
【０００５】
上記のように構成されたマガジン５０から基板１１０を取り出す場合には、図示点線で示すように吸着保持器１０のアーム１１を上下の基板１１０の間に挿入し、アーム１１をゆっくりと上昇させて吸着部１１ａを基板１１０の下面に当接させ、図示実線で示すように元基板１１０をやや持ち上げてから吸着部１１ａによって吸着保持させる。そして、そのまま吸着保持した基板１１０とともに水平方向手前にアーム１１を移動させ、基板１１０をマガジン５０の外側へと引き出すようにしている。
【０００６】
一方、上記とは逆に基板１１０をマガジン５０内に収納する場合には、アーム１１の吸着部１１ａにて基板１１０を吸着保持した状態で、図示実線のようにマガジン５０内に基板１１０及びアーム１１を挿入し、その後、吸着部１１ａの吸着を解除した後に、ゆっくりと吸着保持器１０のアーム１１を下降させることにより、図示点線で示すように基板１１０の外縁１１０ｂがマガジン５０内の左右の係合部５１に支持されるようにし、さらに吸着保持器１０を降下させてアーム１１の吸着部１１ａを基板１１０の下面から離反させ、その後、アーム１１をマガジン５０の外部へと引き出すようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、携帯機器の小型化・軽量化の要請から液晶表示パネルを構成する基板の厚さが急速に薄くなってきているため、上記のように基板１１０をマガジン５０内に収容した場合、以前に較べると基板１１０がより大きく湾曲するようになってきている。この場合、基板１１０は、吸着保持器１０によってほとんど湾曲しない平坦な状態でマガジン５０に対して出し入れされるので、出し入れ時に上下に隣接する湾曲した他の基板１１０に接近し、接触してしまう恐れがあるため、基板１１０の出し入れ作業が困難になってきているという問題点がある。
【０００８】
より具体的には、基板１１０同士が接触すると基板１１０の表面に形成された電極パターン等が損傷を受けたり異物が付着したりする危険性があるので、出し入れしようとする基板１１０と、これに隣接する基板とが接触しないように、吸着保持器１０の位置制御を精密に行う必要があり、また、基板１１０の出し入れ作業を慎重に行う必要があるので、作業に時間がかかり、製造効率が低下する。一方、マガジン５０内の基板１１０の収容密度を低下させて（すなわち、マガジン５０内に収容される基板１１０の間隔を広げて）基板１１０同士の抵触を防止しようとすると、マガジン５０の収容枚数が低下し、或いは、マガジン５０のサイズが大きくなってその取り扱いが困難になる。
【０００９】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、自重による撓み量が大きい薄い基板であっても支障なく基板収容部に対して出し入れすることができる吸着保持器及びこれを備えた搬送装置、或いは、基板の搬送方法を提供することにある。また、このような搬送方法を用いることによって効率的に製造を行うことのできる電気光学装置の製造方法を実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のある態様では、搬送装置が、相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、
前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなしていて、保持対象物を下方から支持した状態で保持すると共に、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されている一対の保持部位と、前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、移動機構と、を備えている。そして、前記一対の保持部位のうち少なくとも一方の前記保持部位には、前記保持対象物の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に、前記保持対象物を吸着保持するための吸着部が設けられ、前記吸着部の前記保持対象物に対する吸着面が少なくとも所定角度範囲内で他方の前記保持部位の側に傾斜可能に構成されている。さらに、前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記保持対象物が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記保持対象物に当接するように前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ垂直に移動させられる。
【００１１】
保持部位がアームの幅方向中央より外側の位置に配置されていることにより、保持対象物の外縁が支持されるように構成された設置場所に対して保持対象物を出し入れする際に、
アームを設置場所に干渉させることなく、保持対象物の保持姿勢を設置場所の設置姿勢に近い状態とすることが可能になるため、当該設置場所に対する出し入れ作業を容易に行うことが可能になる。
【００１２】
他の態様では、前記吸着部は前記一対の保持部位のいずれにも設けられている。
【００１３】
さらに他の態様では、前記吸着部を有しない前記保持部位には、支持突起が設けられている。
【００１４】
本発明のある態様によれば、搬送装置が、相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなしていて、保持対象物を保持すると共に、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されている一対の保持部位と、前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、移動機構と、を備えている。そして、前記一対の保持部位には、前記保持対象物の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に、前記保持対象物を吸着保持するための吸着部が設けられ、前記吸着部の前記保持対象物に対する吸着面が、前記一対の保持部位の間に最下点を有する湾曲面に沿う方向に、少なくとも所定角度範囲内で傾斜可能に構成されている。さらに、前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記保持対象物が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記保持対象物に当接するように前記一対のアームが前記移動機構によってほぼ垂直に移動させられる。
【００１５】
他の態様では、前記吸着部は、前記吸着面が少なくとも所定角度範囲内で全方位に向けて傾斜自在に構成されている。
【００１６】
さらに他の態様では、複数の前記保持部位がそれぞれ並列してなる一対の保持列が相互に間隔を隔てて配置されている。
【００１７】
さらに他の態様によれば、前記搬送装置が、前記移動機構を制御する制御手段を有している。ここで、前記制御手段は、前記一対のアームを前進させるステップ、前記一対のアームを上昇させるステップ、前記吸着部により前記保持対象物を下方から吸着保持させるステップ、及び、前記一対のアームを後退させるステップを順次実行する引き取り動作モードと、前記一対のアームを前進させるステップ、前記吸着部による前記保持対象物の吸着保持状態を解除させるステップ、前記一対のアームを下降させるステップ、及び、前記一対のアームを後退させるステップを順次実行する引き渡し動作モードと、を実行可能に構成されている。
【００１８】
本発明のある態様によれば、相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなし、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されると共に、基板を吸着保持するための吸着部が、基板の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に設けられる一対の保持部位と、前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
を備えた搬送装置により基板を保持して搬送する基板の搬送方法が、前記一対のアームがほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記基板が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記基板の対向する一対の外縁の近傍に当接するように前記一対のアームをほぼ垂直に移動させ、当接された前記一対の保持部位により前記一対の外縁の近傍を支持し、前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送する。
【００１９】
本発明の他の態様によれば、相互に間隔を隔てて配置された一対のアームと、前記一対のアームのそれぞれに配置されることで対をなし、前記一対のアームの幅方向中央より外側の位置にそれぞれ配置されると共に、基板を吸着保持するための吸着部が、基板の外縁を支持するように、前記アームの外側に向けて開放する開口部の内部に設けられる一対の保持部位と、前記一対のアームの一方の先端側と基端側とに設けられた２つの検出器と、
を備えた搬送装置により、電気光学装置の一部を構成する基板を搬送する工程を有する電気光学装置の製造方法が、前記一対のアームがほぼ水平に移動させられた後で前記２つの検出器によって前記先端側と前記基端側との双方に前記基板が存在することが確認された場合に、前記一対の保持部位が前記基板の対向する一対の外縁の近傍に当接するように前記一対のアームをほぼ垂直に移動させ、当接された前記一対の保持部位により前記一対の外縁の近傍を支持し、前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送する。
【００２０】
他の態様によれば、前記湾曲した状態は、前記基板の対向する一対の外縁を支持した場合に前記基板が自重で湾曲する自然湾曲状態と実質的に等しい状態である。
【００２１】
さらに他の態様によれば、上記電気光学装置の製造方法が、前記保持部位により前記基板を下方から支持することを含んでいる。
【００２２】
さらに他の態様では、前記一対の保持部位は、外側から前記基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動した位置にある４半部位よりも外側で前記基板を保持する。
【００２３】
さらに他の態様では、上記電気光学装置の製造方法が、複数の前記保持部位がそれぞれ並列してなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて配置することと、前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保持部位により前記基板を保持することと、を含んでいる。
【００２４】
さらに他の態様では、上記電気光学装置の製造方法が、基板収容部内において前記基板の対向する一対の外縁を支持し、前記基板を前記一対の外縁間で下方に湾曲させた状態で収容された状態とし、前記一対のアームを前記基板収容部内に導入し、前記基板の前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持し、前記基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収容部から搬出する。
【００２５】
さらに他の態様にでは、上記電気光学装置の製造方法が、前記保持部位にて保持された前記基板を基板収容部内に導入し、前記基板収容部内において前記基板を湾曲させた状態のまま引き渡し、前記基板の前記一対の外縁が支持された状態で収容する。
【００５８】
【発明の実施の形態】
次に、図面を参照して本発明に係る吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び電気光学装置の製造方法の実施形態について詳細に説明する。
【００５９】
［第１実施形態］
まず、図１乃至図５を参照して本発明における第１実施形態について説明する。図１は本発明に係る第１実施形態の吸着保持器２０とマガジン５０に収納された基板１１０との関係を模式的に示す概略断面図、図２は吸着保持器２０とマガジン５０に収容された基板１１０との関係を示す概略斜視図、図３は吸着保持器２０の全体構造を示す概略斜視図、図４（ａ）は吸着保持器２０の細部構造を示す拡大平面図、図４（ｂ）は吸着保持器２０の細部構造を示す拡大断面図である。図５は第１実施形態の搬送装置２００の主要部分を模式的に示す概略斜視図である。
【００６０】
（吸着保持器の構造）
最初に、吸着保持器２０の構造について説明する。図３に示すように、吸着保持器２０は全体として略コ字状の平面形状を有し、ロボット機構などに取り付けられる基部２０Ａに対して一対のアーム２１，２１が所定の間隔を隔てて相互に平行に設けられている。アーム２１には吸着部材２２が設置された保持部位が２つずつ配置されている。これらの保持部位は、アーム２１の幅方向中央よりも外側（すなわち、他方のアーム２１とは反対側）にシフトされた位置に配置されている。また、一方のアーム２１には、上記２つの保持部位の近傍に（すなわち、アーム２１の先端側と基端側に）それぞれ光学センサ等からなる検出器２９が配置されている。
【００６１】
図４（ａ）及び（ｂ）は上記保持部位の近傍を拡大して示すものである。上記アーム２１には、アーム２１の外側に向けて開放された形状の（すなわちアーム２１の外側面から切り込まれてなる切り欠き状に形成された）開口部２１ａが設けられ、この開口部２１ａの内部に吸着部が設けられている。この吸着部には、上面が吸着面２２ａとして構成された上記の吸着部材２２と、アーム２２に取り付けられた第１回転軸２３と、第１回転軸２３に取り付けられた軸支部材２４と、軸支部材２４に取り付けられた一対の第２回転軸２５，２５とが含まれる。ここで、第２回転軸２５は上記吸着部材２２に接続されている。
【００６２】
軸支部材２４は第１回転軸２３を介してアーム２２に対して第１回転軸２３の軸線周りに回転自在に構成され、また、吸着部材２２は第２回転軸２５を介して軸支部材２４に対して第２回転軸２５の軸線周りに回転自在に構成されている。この結果、吸着部材２２の吸着面２２ａは、アーム２１に対してその周囲の全方位に向けて傾斜自在に取り付けられている。ただし、吸着部材２２の外周面と上記軸支部材２４の内面との間、及び、軸支部材２４の外面とアーム２１の開口部２１ａの内面との間にはそれぞれ僅かな隙間しか存在しないので、実際には吸着部材２２の吸着面２２ａの傾斜可能な角度範囲は所定の角度以内に限定されている。この所定の角度は保持対象物に応じて適宜に設定されることが好ましいが、例えば後述する液晶パネルを構成するための基板を吸着保持する場合には５〜１０度、好ましくは７〜８度程度とすることが望ましい。
【００６３】
吸着部材２２は、保持対象物に損傷を与えないように保持対象物よりも柔らかい素材や弾性素材（ウレタン樹脂や合成ゴムなど）で構成されていることが好ましい。本実施形態では、吸着部材２２はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン polyetheretherketone）で構成されている。このＰＥＥＫはきわめて安定な樹脂素材であり、特に電気光学装置の製造工程に影響を与え難い素材として知られている。
【００６４】
吸着部材２２は、その吸着面２２ａ内に凹部２２ｂを有し、凹部２２ｂ内には吸気路２２ｃが開口している。吸着部材２２には接続管２６が取り付けられ、この接続管２６は上記吸気路２２ｃに連通している。接続管２６は可撓性チューブ２７に接続され、この可撓性チューブ２７は接続管２８を介してアーム２１内に構成された吸気路２１ｂに接続されている。吸気路２１ｂは図示しない排気手段に接続され、この排気手段により吸着部材２２の凹部２２ｂ内から上記吸気路２２ｃ、接続管２６、可撓性チューブ２７及び接続管２８を通って空気が排出されるように構成されている。なお、吸着部材２２の吸着面２２ａは、周囲部分（アーム２１の上面）よりも僅かに（１〜５ｍｍ程度、より好ましくは１．５ｍｍ程度）高くなるように形成されている。
【００６５】
（搬送装置の構成）
次に、上記吸着保持器２０を備えた搬送装置２００の構成例を図５に模式的に示す。この搬送装置２００は、制御手段２１０と、移動機構２２０と、排気手段２３０とを備えている。制御手段２１０はＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）等で構成され、駆動回路２１１に移動機構２２０に対する制御指令を送出するとともに、入出力回路２１２を介して各種センサ信号を受信したり、その他の制御対象に対して制御指令を送出したりするように構成されている。
【００６６】
移動機構２２０は、基部２２１と、この基部２２１に対して上下動可能及び回転可能に構成された垂直軸部２２２と、垂直軸部２２２の上端に接続されて水平に伸びる水平軸部２２３と、水平軸部２２３に取り付けられ吸着保持器２０を水平軸部の長手方向に移動させるスライダ２２４とを有している。上記垂直軸部２２２、水平軸部２２３及びスライダ２２４はいずれも駆動回路２１１による駆動信号によって動作するように構成されている。
【００６７】
移動機構２２０の各部にはそれぞれ位置検出用の各種センサが取り付けられ、これらのセンサからの信号は入出力回路２１２を介して上記制御手段２１０に送られる。また、上記検出器２９の出力信号もまた同様に制御手段２１０に送られる。
【００６８】
吸着保持器２０には排気手段２３０が制御弁２３１を介して接続されている。制御手段２１０は、入出力回路２１２を介して制御弁２３１を開閉駆動し、吸着部材２２による吸着保持状態を制御するように構成されている。
【００６９】
上記搬送装置２００は、制御手段２１０による移動機構２２０の制御駆動により吸着保持器２０を適宜に移動させる。そして、図２に示すマガジン５０から基板１１０を取り出し、搬送して、図５に示す基板載置台６０上に、或いは、その他の製造装置に供給したり、その逆に、他の場所から搬送して図２に示すマガジン５０に基板１１０を格納したりする。なお、図５に示す基板載置台６０は、垂直に立設された複数の支柱６１を有し、これらの支柱の上端部で基板１１０を支持するように構成されている。この基板載置台６０は、載置された基板１１０の上面に対して種々の処理を施す支持台として使用することができ、或いは、基板１１０を受け渡す中継台として使用することもできる。なお、図示点線に示すように、基板載置台６０としては、基板１１０をほぼ平坦に支持するように構成されていてもよい。
【００７０】
（吸着保持器及び搬送装置の動作、並びに、基板の搬送方法）
次に、上述の吸着保持器２０及びこれを備えた搬送装置２００によって基板１１０を搬送する方法について説明する。まず、図１及び図２に示すマガジン５０内に収容されている基板１１０を取り出す際の手順について以下に説明する。
【００７１】
マガジン５０内においては、係合部５１によって基板１１０の対向する一対の外縁１１０ｂが下方から支持され、これによって基板１１０は全体として中央１１０ａが下方に下がるように湾曲した状態となっている。そして、このように湾曲した基板１１０はマガジン５０内において上下方向に所定間隔で多数配置されている。
【００７２】
最初に、図２に示すように吸着保持器２０をマガジン５０内に導入する。このとき、図１に点線で示すように、吸着保持器２０のアーム２１をマガジン５０内に収容された上下の基板１１０に抵触しないように両基板の間に挿入し、アーム２１が完全にマガジン５０内に配置されるようにする。次に、検出器２９によってアーム２１の先端部と基端部の双方の上に基板１１０が共に存在していることを確認した後に、吸着保持器２０を上昇させ、アーム２１に設けられた吸着部材２２が上方に配置された基板１１０の下面に当接し、基板１１０をやや上方に持ち上げるようにする。ここで、吸着部材２２によって持ち上げられた基板１１０は、マガジン５０の係合部５１に近い部位にて吸着部材２２により下方され支持されているので、係合部５１によって外縁１１０ｂが支持されていたときとほぼ同様の湾曲した状態となっている。その後、制御弁２３１を開いて吸着部材２２により基板１１０の下面を吸着保持する。このとき、基板１１０は上記のように湾曲した状態となっているので、吸着部材２２は基板１１０の湾曲した下面にその吸着面２２ａを合わせるように内側に自律的に傾斜し、基板１１０の湾曲状態をほとんど変えることなく吸着保持する。このようにして吸着保持部２０に吸着保持された基板１１０は、図１に実線で示すように、マガジン５０の係合部５１に支持されていた収容時の湾曲状態にほぼ等しい湾曲状態となっている。したがって、マガジン５０に対して基板１１０を出し入れする際に、出し入れする基板１１０と上下に隣接する他の基板とが接触する可能性を従来よりも低減することができる。また、マガジン５０内の基板の設置間隔を従来よりも低減することができる。
【００７３】
特に、本実施形態の場合、吸着保持器２０の一対のアーム２１は、マガジン５０の左右内壁に設けられた一対の係合部５１の内側に隣接した位置に配置されていて、その結果、マガジン５０内において基板１１０が一対の係合部５１によって支持される外縁１１０ｂのすぐ内側の部位が吸着部材２２によって吸着保持されるようになっている。このとき、一対のアーム２１の外側部がマガジン５０の係合部５１の内端に抵触しないように、一対のアーム２１の外側部の間隔は左右の係合部の内端の間隔よりも小さくしなければならないが、本実施形態では上記のようにアーム２１の幅方向中央よりも外側にシフトして吸着部材２２が取り付けられているので、アーム２１と係合部５１との抵触を避けながら、吸着部材２２によって吸着保持される基板部位を基板の外縁１１０ｂに近い位置に設定することが可能になっている。例えば、アーム２１の外側部と、マガジン５０の係合部５１の内端との間隔は、抵触事故を避けるために３〜８ｍｍ程度確保することが望ましいが、この程度の間隔を設けても、基板１１０をマガジン５０の係合部５１が支持する部位と、吸着部材２２が吸着保持する中心部位との距離は５〜１０ｍｍ程度とすることができる。このようにマガジン５０の係合部５１によって支持される基板１１０の外縁１１０ｂと、吸着部材２２によって吸着保持される基板部位との距離が小さいことによって、係合部５１に支持された基板１１０のマガジン５０内での収容姿勢の湾曲度合と、吸着保持器２０に吸着保持された基板１１０の搬送姿勢の湾曲度合とを実質的に同程度にすることができる。したがって、マガジン５０内において吸着保持器２０によって吸着保持される基板１１０と、上下に隣接する他の基板１１０との抵触の危険性をさらに低減することができ、また、マガジン５０内の基板１１０の収容間隔もさらに狭めることが可能になる。
【００７４】
ところで、従来の図８及び図９に示す吸着保持器１０においては、基本的に吸着保持された基板１１０が平坦になるように構成されている。より具体的に言えば、吸着保持器１０のアーム１１に設けられた吸着部１１ａは、基板１１０の全幅を４等分したときの中央１１０ａ寄りの部分と外側の部分との境界部位（換言すれば、基板１１０の外縁１１０ｂから全幅の１／４の距離だけ中央１１０ａ側に移動した位置にある部分、以下、単に「４半部位」という。）を吸着保持するように構成されていることにより、吸着保持する部位の内側にある基板部分の重量と外側にある基板部分の重量とがほぼバランスし、しかも、吸着部１１ａの吸着面は水平姿勢で固定されているので、吸着保持したときに基板を水平姿勢に矯正するように作用するため、基板１１０は吸着保持器１０によって吸着保持されている状態ではほぼ平坦な姿勢となる。
【００７５】
一方、本実施形態の吸着保持器２０では、基板１１０の４半部位よりも外側の部位を吸着部材２２によって吸着保持するように構成されているので、基板１１０は自重によって中央１１０ａが下方に垂れ下がるように湾曲する。また、吸着保持器２０の吸着部材２２は傾斜自在に構成されているので、基板１１０が自重によって自ら湾曲することを妨げず、特に、吸着部材２２が吸着した基板部位の近傍においても基板１１０の自然湾曲状態がそのまま維持される。
【００７６】
上記のようにしてマガジン５０内で基板１１０を吸着保持した吸着保持器２０は、図５に示す移動機構２２０によってマガジン５０から導出され、図３に示す状態で吸着保持した基板１１０をマガジン５０の外部へ搬出する。
【００７７】
次に、上記説明とは逆に、図３に示すように吸着保持器２０により基板１１０が湾曲状態で吸着保持された状態で搬送され、図１及び図２に示すマガジン５０に基板１１０を格納する場合について説明する。この場合には、基板１１０を吸着保持した吸着保持器２０を図２に示すようにマガジン５０に導入する。具体的には、図１に実線で示すように、吸着保持されている基板１１０の外縁１１０ｂが係合部５１よりもやや上方に位置する高さに配置されるように、吸着保持器２０をマガジン５０内に挿入する。その後、図５に示す制御弁２３１を切り換えて吸着部材２２の吸着作用を解除してから、ゆっくりと吸着保持器２０を降下させることにより、図１に点線で示すように基板１１０の外縁１１０ｂがマガジン５０の係合部５１に係合して支持されるようにし、さらに、吸着保持器２０を下降させて基板１１０の下面から吸着部材２２の吸着面２２ａを離反させ、その後、吸着保持器２０をマガジン５０の外側へ退出させる。
【００７８】
以上説明した本実施形態では、基板１１０をその自然湾曲状態に近い状態で湾曲させたまま搬送するように構成されているので、搬送時の基板１１０の姿勢が安定し、基板１１０の搬送時の振動や変形を低減することができるという２次的な効果も得られる。
【００７９】
［第２実施形態］
次に、図６及び図７を参照して、本発明における第２実施形態の吸着保持器について説明する。この実施形態の吸着保持器３０は、第１実施形態と同様の搬送装置に用いることができ、基本的には同様に動作するので、以下、共通部分についての説明は省略する。
【００８０】
図６に示すように、吸着保持器３０は、第１実施形態とほぼ同様に略コ字状の平面形状を有し、相互に平行に伸びる一対のアーム３１，３１を備えている。アーム３１にはそれぞれ吸着部材３２が取り付けられ、また、アーム３１の長さ方向にほぼ均等に分散した位置に複数（図示例では３つ）の支持ピン３８が取り付けられている。また、一方のアーム３１にはアーム３１の長さ方向に離隔した位置（図示例ではアーム３１の先端側と基端側の２箇所）に検出器３９が取り付けられている。
【００８１】
吸着部材３２には、図７に示すように、その上部に設けられた吸着面３２ａ内に凹部３２ｂが設けられ、この凹部３２ｂ内には吸気路３２ｃが開口している。この吸着部材３２は第１実施形態と同様の素材で構成される。また、吸着部材３２は、凸球面状の凸状外周面を有する内側部材３３Ａと、凹球面状の凹状内周面を有する外側部材３３Ｂとが相互に摺動自在に構成されてなる球面自在継手３３を介してアーム３１に取り付けられ、この球面自在継手３３によってアーム３１の上面に対して全方位に向けて傾斜自在に構成されている。ただし、吸着部材３２はアーム３１の凹部３１ａ内に収容され、凹部３１ａの内周面と吸着部材３２の外周縁との間隔は僅かであるので、吸着部材３２の傾斜可能な角度範囲はほぼ第１実施形態と同様に制限されている。
【００８２】
吸着部材３２はガスケット３５を介して接続部材３４と接続され、接続部材３４は接続管３６を介して可撓性チューブ３７に接続されているので、吸着部材３２内の吸気路３２ｃは接続部材３４及び接続管３６を経て可撓性チューブ３７の内部と連通している。この可撓性チューブ３７は第１実施形態と同様に図５に示す排気手段２３０に接続される。
【００８３】
一方、支持ピン３８は、アーム３１に設けられた穴部に嵌合され、図示しない止めネジ等の固定手段によって固定されている。支持ピン３８は吸着部材３２と同じ素材（好ましくはＰＥＥＫ）で構成されることが好ましい。支持ピン３８は、周囲部分に対する上記吸着部材３２の突出高さとほぼ等しい高さとなるように、アーム３１の上面よりも僅かに突出している。なお、実用上、支持ピン３８の高さは調節可能に構成されていることが好ましい。
【００８４】
この実施形態では、基板１１０の湾曲方向の吸着部位３２の位置などは第１実施形態とほぼ同様に構成されているが、一対のアーム３１のそれぞれに配置された複数の保持部位において、保持部位の一つにのみ吸着部材３２が設けられ、その他の保持部位には支持ピン３８が設けられている点で第１実施形態とは異なる。この支持ピン３８は、基板１１０を吸着保持する機能は備えていないけれども、基板１１０を下方から支持することにより保持する機能を有しているので、一対のアーム３１にそれぞれ最低一つずつ設けられていれば基板１１０の安定性に寄与し得る。
【００８５】
この実施形態においては、第１実施形態とは異なり、吸着部材３２が一対のアーム３１にそれぞれ一つずつ設けられているだけであるので、吸着保持部３０の構造の簡略化や軽量化を図ることができるとともに、基板１１０は、その湾曲中心（中央１１０ａ）の両側においてそれぞれ一箇所だけで吸着保持されているので、吸着部材から複雑な応力を受けることが少なくなるため、搬送時における歪を低減できる。すなわち、吸着部材３２が設けられている部位以外の保持部位には単に下方から基板を支持するだけの支持ピン３８が設けられているだけであるので、基板１１０の形状に複雑な矯正力を与えることが少なくなり、自然な湾曲状態により近い状態で搬送することが可能になる。
【００８６】
上記実施形態の吸着保持器２０，３０においては、２箇所以上の保持部位に吸着部を設けているが、最低１箇所に吸着部が設けられていれば、基板その他の保持対象物を吸着保持することができる。また、上記実施形態ではいずれも保持対象物を下方から支持することにより保持するようにしているが、逆に、保持対象物を上方から吸着保持することも可能である。この場合、上記の基板１１０を上方から吸着保持するには、基板の湾曲方向に間隔を隔てて配置された一対の吸着保持部が設けられていることが、基板を確実且つ実用的に保持し、搬送する上で好ましい。
【００８７】
［電気光学装置の製造方法］
次に、図１０を参照して本発明に係る電気光学装置（液晶パネル）の製造方法について説明する。
【００８８】
液晶パネルの製造方法としては、複数の液晶パネルを構成し得る大判の基板を貼り合わせて大判パネルを構成し、この大判パネルを分割して個々の液晶パネルを製造する方法が知られている。この方法は、特に小形の液晶パネルを製造する場合に、製造効率を高め、製造コストを低減する上で有利である。このように大判の基板を用いる製造方法では、基板の厚さに比して平面サイズが大きくなるので、その分だけ基板の自重による撓み量が大きくなり、その取り扱いが困難になるから、このような製造方法に本発明を適用することが特に効果的である。もちろん、本発明の電気光学装置の製造方法はこのような大判の基板を用いる製造方法に限定されるものではない。
【００８９】
この製造方法においては、図１０（ａ）に示す大判の基板１１０，１２０の内面に、それぞれＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）等の透明導電体で構成された電極パターンをスパッタリング法やフォトリソグラフィ技術を用いて形成し、この電極パターンの上に、配向膜を塗布形成する。配向膜には所定の配向処理（ラビング処理など）が施される。また、製造される液晶パネルの構造に応じて、カラーフィルタや反射層などが適宜に形成される。例えば、カラー表示液晶パネルを製造する場合には、基板の表面上にカラーフィルタが形成され、その後、上記電極パターンが形成される。また、反射型液晶パネル（反射半透過型液晶パネルを含む。）を製造する場合には、反射層を形成し、その上に透明絶縁膜を形成してから、上記電極パターンを形成する。この場合、透明導電体で構成された電極パターンを形成する代わりに、反射層と電極とを兼ねる反射電極を形成する場合もある。
【００９０】
上記の製造工程は、いずれも大判の基板１１０，１２０に対して各種処理を行うものであり、スパッタリングや蒸着などの成膜技術、印刷やスピンコーティングなどの塗布技術、露光処理などが施される。また、ソフトエッチングや洗浄処理を行ったり、単に一時的に保管したりする場合もある。このような工程中においては、大判の基板１１０，１２０を適宜に移し変えるなどの移載作業（例えば、上記マガジン５０に多数の基板を収容して一括して洗浄処理を施したり、マガジン５０毎別の場所に搬送したりする場合に、マガジン５０に対して基板を出し入れする作業）、或る程度の距離基板を移動させる移動作業、製造装置などに基板を供給する給材作業、製造装置から基板を排除する除材作業などが必要になる。
【００９１】
上記の各種作業においては、上記第１実施形態及び第２実施形態にて説明した吸着保持器２０，３０を用いて基板１１０，１２０を保持し、搬送装置２００を用いて、基板の搬送を行ったり、マガジン５０や基板載置台６０などに対して基板を出し入れしたりする。
【００９２】
その後、基板１１０と基板１２０とが図示しないシール材を介して貼り合わせられ、図１０（ａ）に示す大判パネル１００が形成される。そして、大判パネル１００のパネル基板１１０，１２０の外面上には、図示Ｘ方向に伸びるスクライブ溝１００ｘが刻設され、このスクライブ溝１００ｘに沿ってパネル基板１１０，１２０が破断され、図１３（ｂ）に示す短冊状の中間パネル１３０が形成される。この中間パネル１３０に対しては、露出したシール材の開口部から液晶が注入され、その後、シール材の開口部は閉鎖され、液晶が中間パネル１３０内に封入される。さらに、中間パネル１３０に対しては図示Ｙ方向に伸びるスクライブ溝１００ｙが刻設され、このスクライブ溝１００ｙに沿って中間基板１３１，１３２が破断されることによって、図１３（ｃ）に示す液晶パネル１４０が形成される。
【００９３】
図１４及び図１５には、上記のようにして構成された液晶パネル１４０の平面透視図及び概略断面図を示す。液晶パネル１４０は、基板１４１と１４２とがシール材１４３によって貼り合わせられ、その間に液晶１４４が封入されている。ここで、シール材１４３には液晶注入用の開口部１４３ａが設けられ、この開口部１４３ａは封止材１４５によって封鎖されている。基板１４１の内面上には、上記基板１１０の電極パターンに設けられていた電極１１１、配線１１２及び入力端子１１３が配置されている。電極１１１の表面上には配向膜１４７が形成されている。また、基板１４２の内面上にも、基板１２０の電極パターンに設けられていた電極１２１、配線１２２及び入力端子１２３が配置され、電極１２１の表面上には配向膜１４９が形成されている。ここで、電極１１１，１２１はシール材１４３によって囲まれる液晶封入領域内に構成されており、この液晶封入領域内から配線１１２，１２２が基板張出部１４１Ｔ，１４２Ｔの表面上まで引き出され、その先端が入力端子部１１３，１２３となっている。
【００９４】
尚、本発明の吸着器及びこれを備えた搬送装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上記製造方法では複数の液晶パネルを製造するための大判の基板に対する搬送作業等の説明をしたが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、単一の液晶パネルを構成する基板を搬送する場合に適用させてもよい。また、本発明は、液晶パネル以外の電気光学装置、例えば、エレクトロルミネッセンスパネルの製造工程に適用することも可能である。
【００９５】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明によれば、相互に間隔を隔てて配置された一対の保持部位によって保持対象物を保持し、少なくとも一方の保持部位に傾斜可能な吸着部を設けることによって、保持対象物を湾曲させた状態のまま保持することができるようになることから、保持対象物の収納姿勢と搬送姿勢との差異を低減し、保持対象物の取り扱いを容易化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施形態の吸着保持器とマガジンに収納された基板との関係を模式的に示す概略断面図である。
【図２】第１実施形態の吸着保持器とマガジンに収納された基板との関係を模式的に示す概略斜視図である。
【図３】第１実施形態の吸着保持器の構造を示す概略斜視図である。
【図４】第１実施形態の吸着保持器の細部構造を示す拡大平面図（ａ）及び拡大断面図（ｂ）である。
【図５】第１実施形態の搬送装置の概略構成例を示す概略斜視図である。
【図６】第２実施形態の吸着保持器の構造を示す概略斜視図である。
【図７】第２実施形態の吸着保持器の細部構造を示す拡大平面図（ａ）及び拡大断面図（ｂ）である。
【図８】従来の吸着保持器とマガジンに収納された基板との関係を模式的に示す概略断面図である。
【図９】従来の吸着保持器とマガジンに収納された基板との関係を模式的に示す概略斜視図である。
【図１０】液晶パネルの製造工程を模式的に示す概略斜視図（ａ）〜（ｃ）である。
【図１１】液晶パネルの構造を模式的に示す概略平面透視図である。
【図１２】液晶パネルの構造を模式的に示す概略断面図である。
【符号の説明】
１０，２０，３０  吸着保持器
１１，２１，３１  アーム
２２，３２  吸着部材
２２ａ，３２ａ  吸着面
５０  マガジン
５１  係合部
６０  基板載置台
６１  支柱
１１０，１２０  基板
１１０ａ  中央
１１０ｂ  外縁
２００  搬送装置
２１０  制御手段
２１１  駆動回路
２１２  入出力回路
２２０  移動機構
【図１】
0004016622.tif 000002
【図２】
0004016622.tif 000003
【図３】
0004016622.tif 000004
【図４】
0004016622.tif 000005
【図５】
0004016622.tif 000006
【図６】
0004016622.tif 000007
【図７】
0004016622.tif 000008
【図８】
0004016622.tif 000009
【図９】
0004016622.tif 000010
【図１０】
0004016622.tif 000011
【図１１】
0004016622.tif 000012
【図１２】
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