(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に各一対の櫛歯状の入力電極および出力電極を弾性表面波の伝播方向に沿って並設してなる弾性表面波デバイスと、前記各入力電極および前記各出力電極にそれぞれ電気的に接続された複数の接続部とからなる弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、
前記各接続部を、前記入力電極および前記出力電極から前記弾性表面波デバイス上面に沿ってそれぞれ延設された導電性薄膜よりなる第１および第２導出部と、前記各第１および第２導出部から導出した各導電部材とから構成するとともに、
前記入力電極および前記出力電極を液密に覆って前記弾性表面波デバイスの上面に密着して形成した絶縁層と、前記入力電極が形成されている入力電極形成領域、前記出力電極が形成されている出力電極形成領域および両領域の間を少なくとも残して前記各導電部材を液密に覆って同導電部材との間に空間を形成するカバーとを設けたことを特徴とする弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載の弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、
前記絶縁層および前記弾性表面波デバイスの上面に密着して腐食防止層を形成したことを特徴とするセンサ。
【請求項３】
請求項１および請求項２のいずれか一つに記載の弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、
前記弾性表面波デバイスはベースの上面に固定されるとともに、前記導電部材は前記ベースに固定した入力端子および出力端子に接続されることを特徴とするセンサ。
【請求項４】
前記請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、
前記入力電極及び前記出力電極を構成する複数の電極指をそれぞれダブル電極により構成したことを特徴とするセンサ。
【請求項５】
前記請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、
前記弾性表面波装置の出力電極に検波回路を電気的に接続し、
該検波回路は、前記弾性表面波装置から出力された液体の特性値の測定結果を表す高周波信号を検波することを特徴とするセンサ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサを用いて液体の特性値を測定する方法において、
前記弾性表面波装置は、発振器からの高周波信号を入力して作動し、センシング面に接触する液体の特性値を測定してその測定結果を表す高周波信号を出力し、
この信号を検波回路により検波して直流電圧に変換し、
この直流電圧値をＡ／Ｄ変換器によりデジタル信号に変換し、
このデジタル信号に基づいてマイクロコンピュータにより前記特性値を演算することを特徴とする液体の特性値を測定する方法。
【請求項７】
請求項６に記載の液体の特性値を測定する方法において、
前記特性値の演算は、前記デジタル信号を前記特性値に変換するためのテーブルを用いて行うことを特徴とする液体の特性値を測定する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波装置を備えて弾性表面波を利用し液体の粘性率、導電率、誘電率などの液体の特性値を測定するためのセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の装置は、例えば図９（Ａ）（Ｂ）に示すように、金属板製のベース１の上面に固定された圧電基板２上に各一対の櫛歯状の入力電極３ａ，３ｂおよび出力電極４ａ，４ｂを弾性表面波の伝播方向に沿って並設した弾性表面波デバイス５と、ベース１を上下方向に貫通するように絶縁させてそれぞれ固定した各一対の入力端子６ａ，６ｂおよび出力端子７ａ，７ｂと、各入出力電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂから導出し各入出力端子６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂにそれぞれ接続する各導電部材（例えば、金属製の線材）８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと、各入出力電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ、各入出力端子６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂおよび各導電部材８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄを液体から保護するためにベース１上に形成したシリコンゴムなどよりなる保護層９を備えている。この保護層９には、入力電極３ａ，３ｂと出力電極４ａ，４ｂの間の弾性表面波が伝播する部分であって液体と接触するセンシング面５ａを露出させる貫通穴９ａが設けられている。そして、この装置を用いた液体の性質の測定に際しては、貫通穴９ａに被測定用の液体を満たし、入力電極３ａ，３ｂに発振器からの高周波信号を印加するとともに出力電極４ａ，４ｂから出力される信号を検出し、この検出した信号の電圧値に基づいて液体の粘性率などを算出するようにしている。
【０００３】
しかし、上記装置にあっては、溶剤（例えば、シンナー）の特性値を測定する際には、溶剤の浸潤によりシリコンゴム（保護層９）が膨潤し変形するので、保護層９内に埋設している導電部材８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ（図９（Ｂ）参照）に無理な力が加わって断線したり、浸潤した液体が入力電極３ａ，３ｂおよび出力電極４ａ，４ｂに到達し、これらの電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂを腐食してしまい液体の粘性率などの測定ができなくなる場合があった。また、シリコンゴムが硬くなるにしたがって弾性表面波の減衰率は大きくなるので、液体の温度変化やシリコンゴムの膨潤によりシリコンゴムの硬度が変化すると装置の出力特性が変わってしまい正確な液体の粘性率などの測定ができない場合があった。
【０００４】
そこで、本願出願人は、上記問題に対処するために、先願（特願平１１−３３５８１２号）にて、シリコンゴムなどよりなる保護層９の代わりに、図１０（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）に示すような金属製の一対のカバー１１ａ，１１ｂで覆うことにより各入出力電極３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ、各入出力端子６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂおよび各導電部材８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄを液体から保護する弾性表面波装置を提案した。このとき、カバー１１ａ，１１ｂは、弾性表面波デバイス５のセンシング面５ａの左右両側に配置され所定距離だけ隔ててベース１上面両端部に固定されて、入力電極３ａ，３ｂと各線材８ａ，８ｂ、出力電極４ａ，４ｂと各線材８ｃ，８ｄをそれぞれ液密に覆ってこれらとの間に空間Ｓ（図１０（Ｂ）参照）をそれぞれ形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述した装置にあっては、カバー１１ａ，１１ｂのベース１の外周に沿った部分は溶接により固定されるとともに、上記以外の部分であって弾性表面波デバイス５およびベース１との間に隙間が生じる部分はシリコンゴムなどからなる封止部材１２ａ，１２ｂにより封止されている（図１０（Ｃ）参照）。これにより、弾性表面波の伝播面上に塗布されるシリコンゴムの塗布量および塗布範囲は上述した装置と比較するとかなり少なくまたは小さくすることができるようになったが、依然としてシリコンゴムが伝播面上に塗布されているので、上述したようなシリコンゴムの硬度変化の影響を弾性表面波が受けることにより装置の出力特性が変わってしまい正確な液体の粘性率などの測定ができないという問題を完全に解消するには至らなかった。また、封止部材１２ａ，１２ｂは手作業にて塗布されているので、塗布した量、範囲をほぼ一定に保ちにくく装置個体間の出力特性のばらつきが大きいという問題があった。
【０００６】
本発明は上記問題に対処するためになされたもので、その目的は、弾性表面波の伝播面に温度変化に応じて弾性表面波の減衰率を変化させる物質を設けることなく入出力電極と導電部材を液密に覆うことにより、正確に液体の粘性率などを測定するようにした弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の構成上の特徴は、圧電基板上に各一対の櫛歯状の入力電極および出力電極を弾性表面波の伝播方向に沿って並設してなる弾性表面波デバイスと、各入力電極および各出力電極にそれぞれ電気的に接続された複数の接続部とからなる弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサにおいて、各接続部を、入力電極および出力電極から弾性表面波デバイス上面に沿ってそれぞれ延設された導電性薄膜からなる第１および第２導出部と、各第１および第２導出部から導出した各導電部材とから構成するとともに、入力電極および出力電極を液密に覆って弾性表面波デバイスの上面に密着して形成した絶縁層と、入力電極が形成されている入力電極形成領域、出力電極が形成されている出力電極形成領域および両領域の間を少なくとも残して各導電部材を液密に覆って同導電部材との間に空間を形成するカバーとを設けたことにある。
【０００８】
測定にあっては、入力電極に発振器からの高周波信号を印加し出力電極から出力される信号により入出力電極およびそれらの間の全領域に接触する液体の粘性率などを検出する。このとき、カバーは入出力電極およびそれらの間の全領域（センシング面）を残して各導線部材を覆い、したがって、センシング面上には温度変化に応じて弾性表面波の減衰率を変化させる物質が存在しないので、液体の温度が変化しても装置の出力特性をほぼ一定に保つことができる。
【０００９】
また、本発明による弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサは、絶縁層および弾性表面波デバイスの上面に密着して腐食防止層を形成することが好ましい。これによれば、上記と同様な作用に加えて、液体が腐食防止層内に侵入して入力電極、出力電極および弾性表面波デバイスに到達することはない。
【００１０】
また、本発明による弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサは、弾性表面波デバイスをベースの上面に固定するとともに、導電部材はベースに固定した入力端子および出力端子に接続されることが好ましい。これによっても、上記と同様な作用を得ることができる。
【００１１】
また、本発明による弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサは、前記入力電極及び前記出力電極を構成する複数の電極指をそれぞれダブル電極により構成することが好ましい。これによれば、電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すことができる。
【００１２】
また、本発明による弾性表面波装置を備えた液体の特性値を測定するためのセンサを用いて液体の特性値を測定する方法において、弾性表面波装置は発振器からの高周波信号を入力して作動しセンシング面に接触する液体の特性値を測定してその測定結果を表す高周波信号を出力し、この信号を検波回路により検波し直流電圧に変換し、この直流電圧値をＡ／Ｄ変換器によりデジタル信号に変換し、このデジタル信号に基づいてマイクロコンピュータにより液体の特性値を演算する。
【００１３】
また、液体の特性値の演算は、デジタル信号を液体の特性値に変換するためのテーブルを用いて行うことが好ましい。
【００１４】
【発明の効果】
本発明によれば、液体の特性値を測定する際に、弾性表面波が伝播するセンシング面に接して温度変化に応じて弾性表面波の減衰率を変化させる物質が存在しないので、液体の温度が変化しても液体の特性値を測定するための弾性表面波装置の出力特性をほぼ一定に保つことができる。したがって、液体の温度が変化しても正確に液体の粘性率などを測定することができる。また、弾性表面波装置個体間の出力特性のばらつきを少なくすることができる。
【００１５】
また、絶縁層および弾性表面波デバイスの上面に密着して腐食防止層を形成する弾性表面波装置によれば、液体が腐食防止層内に侵入して入力電極、出力電極および弾性表面波デバイスに到達することはないので、入力電極、出力電極および弾性表面波デバイスは液体から保護される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明すると、図１は本発明を適用した粘性率測定装置を示す外観図であり、図２は粘性率測定装置の構成を示すブロック図である。
【００１７】
この粘性率測定装置は、被測定用の液体の粘性率を測定するためのものであり、液体の粘性率を検知し電気信号に変換して出力するセンサ部２０と、この出力された電気信号を入力し液体の粘性率を演算して表示する測定部３０から構成されている。センサ部２０は本発明による弾性表面波装置４０および検波回路２１からなり、これらは先端が閉じられた金属製の円筒体２３内に収納されている。測定部３０は、発振器３１、Ａ／Ｄ変換器３３、マイクロコンピュータ３４、記憶装置３５、表示器３６および電源スイッチ３７からなり、発振器３１、Ａ／Ｄ変換器３３およびマイクロコンピュータ３４は箱体３８内に収納され、表示器３６および電源スイッチ３７は箱体３８の正面に設けられている。なお、センサ部２０と測定部３０はケーブル２４により接続されている。
【００１８】
センサ部２０に設けた弾性表面波装置４０は、図３および図４に示すように、金属板製のベース４１の上面に銀ペーストを介して固定された弾性表面波デバイス４２を備えている。弾性表面波デバイス４２は、圧電基板４３上に櫛歯状の正規型電極でそれぞれ構成した入力電極４４および出力電極４５を弾性表面波の伝播方向に沿って並設してなる。なお、圧電基板４３はニオブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、水晶などの圧電材料で薄い板状に形成されている。
【００１９】
入力電極４４は、導電体帯（導電性の薄膜）により形成された第１および第２連結部４４ａ，４４ｂ、並びに複数の第１および第２電極指４４ｃ，４４ｄを備えている。第１および第２連結部４４ａ，４４ｂは、所定距離だけ隔てて平行かつ相対向して弾性表面波の伝播方向（図示左右方向）に沿って延設されている。複数の第１および第２電極指４４ｃ，４４ｄは、第１および第２連結部４４ａ，４４ｂから直角方向にそれぞれ延設されて互いに交差している。なお、第１および第２連結部４４ａ，４４ｂからは導電体帯（導電性の薄膜）により形成された第１および第２導出部４６ａ，４６ｂが弾性表面波デバイス４２上面に沿って出力電極４５と反対方向に延設されている。
【００２０】
出力電極４５も、入力電極４４と同様に、導電体帯により形成された第１および第２連結部４５ａ，４５ｂ、並びに複数の第１および第２電極指４５ｃ，４５ｄを備えており、入力電極４４と左右対称となるように形成されている。なお、第１および第２連結部４５ａ，４５ｂからは導電体帯（導電性の薄膜）により形成された第１および第２導出部４６ｃ，４６ｄが弾性表面波デバイス４２上面に沿って入力電極４４と反対方向に延設されている。また、図３は入出力電極４４，４５を簡略して示しており、実際には電極指の幅および隣り合う電極指間の距離は共に等しく設定されている（例えば、λ／４に設定されている。λは弾性表面波の波長を表す。）。また、本実施形態では、各第１および第２導出部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄを図示左右方向に延設したが、第１導出部４６ａ，４６ｃおよび第２導出部４６ｂ，４６ｄを図示上下方向であって電極外部に向けてそれぞれ延設するようにしてもよい。
【００２１】
なお、入出力電極４４，４５を構成する各第１および第２電極指４４ｃ，４４ｄ，４５ｃ，４５ｄを、それぞれダブル電極により構成するようにしてもよい。このとき、各第１および第２電極指４４ｃ，４４ｄ，４５ｃ，４５ｄは各第１及び第２連結部４４ａ，４４ｂ，４５ａ，４５ｂの延設方向に２つに分割された一対の分割電極指によりそれぞれ構成されていて、これら分割電極指の幅および隣り合う電極指間の距離は共に等しく設定されている（例えば、λ／８に設定されている。）。これによれば、電極指端で生じる弾性表面波の音響的反射を打ち消すことができる。本願明細書においては、一対の分割電極指で構成する電極指をダブル電極といい、１つの電極指で構成するものをシングル電極という。
【００２２】
入出力電極４４，４５上には、図３（Ｃ）および図４に示すように、入出力電極４４，４５を覆うように一対の絶縁層４８，４８が弾性表面波デバイス４２上面に密着して形成されている。各絶縁層４８は絶縁材料（例えば、酸化シリコンＳｉＯ2）からなり、スパッタリングなどにより形成される。また、これら絶縁層４８，４８上には、外部から入出力電極４４，４５への電磁気的影響を遮断するための導電膜（例えば、アルミニウム膜）４９，４９が蒸着されている。これら導電膜４９は金属製の線材４９ａを介してベース４１にそれぞれ接地されている。また、絶縁層４８および導電膜４９は、各第１および第２導出部４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄの一部をも覆っている。
【００２３】
なお、入力電極４４と出力電極４５の間の圧電基板４３上には、入力電極４４と出力電極４５との電磁結合を防止するためのアース用の導電膜４９が蒸着されている。この導電膜４９は金属製の線材４９ａを介してベース４１に接地されている。
【００２４】
また、圧電基板４３表面で弾性表面波が伝播する部分のうち入力電極４４が形成されている入力電極領域、出力電極４５が形成されている出力電極領域および両領域の間が、液体に接触するセンシング面４３ａとなる。液体がセンシング面４３ａに接触している場合、センシング面４３ａに接触する液体の粘性および荷重により液体とセンシング面４３ａとの間に摩擦が生じるので、センシング面４３ａの表面部の変位が抑制され、弾性表面波は減衰されて伝播する。したがって、センシング面４３ａにより液体の粘性率を検出できる。なお、本明細書において、液体がセンシング面４３ａに接触するということは、液体が直接センシング面４３ａに接触することだけでなく、例えば、液体が導電膜４７，４９、絶縁層４８、腐食防止層５６などを介してセンシング面４３ａに間接的に接触する場合のことも含んでいる。
【００２５】
ベース４１の両端部には、このベース４１を上下方向に貫通するように絶縁させてそれぞれ固定した各一対の入力端子５１ａ，５１ｂおよび出力端子５２ａ，５２ｂが設けられている。各入出力端子５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは、金属製のピンで構成されている。入力電極４４から延設された第１および第２導出部４６ａ，４６ｂの左端部から導出された金属製の各線材５３ａ，５３ｂは、入力端子５１ａ，５１ｂにそれぞれ電気的に接続されている。出力電極４５から延設された第１および第２導出部４６ｃ，４６ｄの右端部から導出された金属製の各線材５３ｃ，５３ｄは、出力端子５２ａ，５２ｂにそれぞれ電気的に接続されている。
【００２６】
そして、ベース４１上面両端部には、圧電基板４３の前述したセンシング面４３ａよりも左右両側に配置した金属製の一対のカバー５４ａ，５４ｂが所定距離だけ隔てて固定されている。カバー５４ａ，５４ｂは、各線材５３ａ，５３ｂ、各線材５３ｃ，５３ｄをそれぞれ液密に覆ってこれらとの間に空間Ｓ（図３（Ｂ）参照）をそれぞれ形成している。なお、カバー５４ａ，５４ｂのベース４１の外周に沿った部分は溶接により固定されており、上記以外の部分であって導電膜４９、絶縁層４８、弾性表面波デバイス４２およびベース４１との間に隙間が生じる部分はシリコンゴムなどよりなる封止部材５５により封止されている（図３（Ｃ）参照）。したがって、センシング面４３ａ上には温度変化に応じて弾性表面波の減衰率を変化させる物質が存在しないので、液体の温度が変化しても装置の出力特性をほぼ一定に保つことができる。また、カバー５４ａ，５４ｂは線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄを液密に覆っているので、液体がカバー５４ａ，５４ｂ内に侵入して線材４９ａ，４９ｂ，４９ｃ，４９ｄに到達することはない。
【００２７】
なお、このように構成した弾性表面波装置４０は、センシング面４３ａだけが円筒体２３の先端部に設けた開口２３ａ（図１参照）から露出されるようにして円筒体２３内に密封されている。このとき、円筒体２３と弾性表面波装置４０との隙間はシリコンゴムなどで封止されている。
【００２８】
また、測定部３０に設けた発振器３１からの高周波信号はケーブル２４を介して弾性表面波装置４０の入力電極４４に印加され、これにより圧電基板４３に生成された弾性表面波は圧電基板４３の表面（センシング面４３ａ）を伝播して出力電極４５により取り出され、検波回路２１に出力される。
【００２９】
弾性表面波装置４０から出力された高周波信号は、検波回路２１により検波され直流電圧に変換されてケーブル２４を介して測定部３０のＡ／Ｄ変換器３３に入力されデジタル信号に変換されてマイクロコンピュータ３４に入力される。マイクロコンピュータ３４は、Ａ／Ｄ変換器３３からの前記直流電圧を表すデジタル信号を電圧値に換算し、記憶装置３５に予め記憶された電圧値を粘性率に変換するためのテーブルを用いて前記換算した電圧値から粘性率を演算し、演算した粘性率を表示器３６に表示する。
【００３０】
次に、上述した粘性率測定装置を用いて被測定用の液体の粘性率の測定について説明する。センシング面４３ａが液体に接触するようにセンサ部２０を被測定用の液体の中に入れた後、電源スイッチ３７をオンにする。弾性表面波装置４０は発振器３１からの高周波信号を入力して作動し、センシング面４３ａに接触する液体の粘性率を測定してその測定結果を表す高周波信号を出力する。この信号は検波回路２１により検波され、Ａ／Ｄ変換器３３によりデジタル信号に変換されてマイクロコンピュータ３４に入力される。そして、マイクロコンピュータ３４はこのデジタル信号の信号値に応じた表示信号を表示器３６に出力して、粘性率の測定結果を表示器３６に表示する。
【００３１】
上述した弾性表面波装置４０によれば、液体の特性値を測定する際に、弾性表面波が伝播するセンシング面４３ａに接して温度変化に応じて弾性表面波の減衰率を変化させる物質が存在しないので、液体の温度が変化しても液体の特性値を測定するための弾性表面波装置の出力特性をほぼ一定に保つことができる。したがって、液体の温度が変化しても正確に液体の粘性率などを測定することができ、また弾性表面波装置毎の出力特性のばらつきを少なくすることができる。さらに、圧電基板４３において入力電極４４が形成されている入力電極領域および出力電極４５が形成されている出力電極領域をもセンシング面４３ａとして利用しているので、センシング面４３ａの弾性表面波の伝播方向の長さを従来の装置と比較して短くすることができる。したがって、弾性表面波装置自体を小型化することができる。
【００３２】
次に、上記実施形態に関する変形例について図５および図６を用いて説明する。この変形例は、上記実施形態による弾性表面波装置４０のうち液体が接して腐食する部分例えば絶縁層４８、導電膜４７，４９を保護するようにしたものである。すなわち、弾性表面波デバイス４２の上面には、腐食防止層５６が絶縁層４８、各導電膜４７，４９を覆うように密着して形成されている。腐食防止層５６は絶縁材料（例えば、酸化シリコン）で形成され一層構造となっている。なお、腐食防止層５６は液体の物性に応じて多層構造に形成される場合もあり、この場合例えば下から順番に絶縁材料（例えば、酸化シリコン）、クロムおよび金の各層が形成されている。これによれば、上記と同様な作用および効果に加えて、液体が腐食防止層５６内に侵入して入力電極４４、出力電極４５および弾性表面波デバイス４２に到達することはないので、入力電極４４、出力電極４５および弾性表面波デバイス４２は液体から保護される。
【００３３】
また、本発明による弾性表面波装置は、液体の導電率および誘電率を測定するための測定装置にも適用できる。この場合、図７に示すように、方形状に形成した開口４７ｂを中央に設けた導電膜４７が弾性表面波デバイス４２の上面に設けられている。弾性表面波装置４０は、開口４７ｂを介して液体からの電磁気的影響を受けることにより、液体の導電率および誘電率を測定することができる。なお、液体の導電率および誘電率を測定するための測定装置においても、図８に示すように、弾性表面波デバイス４２の上面には、前述した変形例と同様な腐食防止層５６を形成することができる。
【００３４】
また、上記実施形態および変形例においては、２つのカバー５４ａ，５４ｂをベース４１の上面両端部に接して設けることにより線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄを空間をおいて覆うようにしたが、中央に設けた開口部の周縁に弾性表面波装置のセンシング面を囲む内枠が固着されベース４１より若干小さいカバーをベース４１の上面に接して設けることにより線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄを空間をおいて覆うようにしてもよい。このとき、カバーのベース４１の外周に沿った部分は溶接により固定されており、内枠下端と弾性表面波デバイス４２およびベース４１との間に隙間が生じる部分はシリコンゴムなどにより封止されている。これによっても、上記実施形態と同様な作用および効果を期待できる。
【００３５】
また、上記実施形態および変形例においては、入出力電極４４，４５と入出力端子５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂは空間Ｓ内を通る金属製の各線材５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄを介して電気的に接続するようにしたが、絶縁層を介してカバーの内側面に沿って形成した導電体帯または絶縁層を介してベースの表面に沿って形成した導電体帯により電気的に接続するようにしてもよい。なお、導電体帯をカバーに形成した場合は、カバーがベースに固定される際に、導電体帯が各入出力電極および各入出力端子に押圧されて当接されるようにする。この場合でも、上記実施形態と同様な作用および効果を期待できる。
【００３６】
また、本発明は、上述した入出力電極を正規型電極で構成する場合だけでなく、例えば重み付け電極などで構成する場合にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を適用した粘性率測定装置の外観図である。
【図２】  図１の粘性率測定装置の構成を示すブロック図である。
【図３】  （Ａ）は図２の弾性表面波装置を示す平面図であり、（Ｂ）は図３（Ａ）の弾性表面波装置の３Ｂ−３Ｂ線に沿った断面図であり、（Ｃ）は図３（Ａ）の弾性表面波装置の３Ｃ−３Ｃ線に沿った断面図である。
【図４】  図３（Ａ）の弾性表面波装置の４−４線に沿った部分拡大断面図である。
【図５】  （Ａ）は変形例に係る弾性表面波装置を示す平面図であり、（Ｂ）は図５（Ａ）の弾性表面波装置の５Ｂ−５Ｂ線に沿った断面図であり、（Ｃ）は図５（Ａ）の弾性表面波装置の５Ｃ−５Ｃ線に沿った断面図である。
【図６】  図５（Ａ）の弾性表面波装置の６−６線に沿った部分拡大断面図である。
【図７】  液体の導電率および誘電率を測定するための測定装置に適用した本発明による弾性表面波装置の平面図である。
【図８】  液体の導電率および誘電率を測定するための測定装置に適用した本発明による弾性表面波装置の平面図である。
【図９】  （Ａ）は従来技術に係る弾性表面波装置を示す平面図であり、（Ｂ）は同装置の９Ｂ−９Ｂ線に沿った断面図である。
【図１０】  （Ａ）は従来技術に係る弾性表面波装置を示す平面図であり、（Ｂ）は図１０（Ａ）の弾性表面波装置の１０Ｂ−１０Ｂ線に沿った断面図であり、（Ｃ）は図１０（Ａ）の弾性表面波装置の１０Ｃ−１０Ｃ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
２４…ケーブル、２０…センサ部、３０…測定部、４０…弾性表面波装置、２１…検波回路、２３…円筒体、３１…発振器、３３…Ａ／Ｄ変換器、３４…マイクロコンピュータ、３５…記憶装置、３６…表示器、３７…電源スイッチ、３８…箱体、４１…ベース、４２…弾性表面波デバイス、４３…圧電基板、４３ａ…センシング面、４４…入力電極、４５…出力電極、４４ａ，４４ｂ、４５ａ，４５ｂ…第１および第２連結部、４４ｃ，４４ｄ，４５ｃ，４５ｄ…第１および第２電極指、４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４６ｄ…第１および第２導出部、４７，４９…導電膜、４８…絶縁層、５１ａ，５１ｂ…入力端子、５２ａ，５２ｂ…出力端子、５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ…線材、５４ａ，５４ｂ…カバー、５５…封止部材、５６…腐食防止層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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