(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする試料ホルダ、
（Ａ01）試料ホルダ搬送部材に保持されるときに試料ホルダ搬送部材に対向する側面であるホルダ後面および試料ステージに装着されるときに試料ステージに対向する側面であって前記ホルダ後面と反対側のホルダ前面と、前記ホルダ後面およびホルダ前面を接続する左右一対のホルダ側面と、前記左右のホルダ側面の上端から左右に突出する被支持部とを有する試料ホルダ、
（Ａ02）前記ホルダ後面の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ前面側から接近した前面側ホルダ保持アームの後側の端部に設けられた回転可能な第２のホルダ保持ローラによって挟持されるとともにホルダ後面側から接近した一対の後面側ホルダ保持アームの前側の端部に設けられた回転可能な第１のホルダ保持ローラが接触する後側被挟持部、
（Ａ03）前記ホルダ前面の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ後面側から接近した後面側ホルダ保持アームの前側の端部の第１のホルダ保持ローラによって挟持されるとともにホルダ前面側から接近した一対の前面側ホルダ保持アームの後側の端部の第２のホルダ保持ローラが接触する前側被挟持部、
（Ａ04）前記前面側ホルダ保持アームの第２のホルダ保持ローラにより挟持された後側被挟持部に接近した前記後面側ホルダ保持アームの第１のホルダ保持ローラを前記第２のホルダ保持ローラの内側にガイドするように形成された前記ホルダ後面、
（Ａ05）前記後面側ホルダ保持アームの第１のホルダ保持ローラにより挟持された前側被挟持部に接近した前記前面側ホルダ保持アームの第２のホルダ保持ローラを前記第１のホルダ保持ローラの内側にガイドするように形成された前記ホルダ前面。
【請求項２】
下記の構成要件（Ｂ01）〜（Ｂ07）を備えたことを特徴とする試料ホルダ搬送部材、
（Ｂ01）試料ホルダ搬送部材に対向する側面であるホルダ後面と前記ホルダ後面と反対側のホルダ前面と前記ホルダ後面およびホルダ前面を接続する左右一対のホルダ側面とが設けられたホルダ下部と、前記左右のホルダ側面の上端から左右に突出する被支持部が設けられたホルダ上部とを有する試料ホルダを支持するホルダ支持部材、
（Ｂ02）前端部が開口するＵ字状に形成され且つ前記ホルダ下部が挿入されるホルダ下部挿入溝と前記ホルダ上部の被支持部の下面を支持するホルダ上部支持部とを有する前記ホルダ支持部材、
（Ｂ03）前記ホルダ支持部材の下面に回転可能に支持され且つ左右方向に離れて前後方向に延びる一対のホルダ保持アーム、
（Ｂ04）前記一対のホルダ保持アームの前端部にそれぞれ回転可能に設けられ、前記試料ホルダのホルダ前面の両側に設けた被挟持部を挟持するホルダ保持ローラ、
（Ｂ05）前記一対のホルダ保持アームの前端部を接近させるように作用するアーム前端部接近用弾性部材、
（Ｂ06）前記一対のホルダ保持アームの前端部の間隔を所定間隔以上に保持するアーム間隔保持部材、
（Ｂ07）前記アーム間隔保持部材により所定間隔に保持された前記一対のホルダ保持アームの前端部のホルダ保持ローラを試料ホルダのホルダ後面に押圧したときに前記一対のホルダ保持ローラが前記試料ホルダの側面により押し広げられて左右の側面に沿ってホルダ前面に移動した状態で前記試料ホルダを保持する前記一対のホルダ保持アーム。
【請求項３】
ホルダ前面と前記ホルダ前面と反対側のホルダ後面と前記ホルダ前面およびホルダ後面を接続する左右一対のホルダ側面とが設けられた試料ホルダを、試料ホルダの前面側に配置された前面側ホルダ保持部材と前記試料ホルダの後面側に配置された後面側ホルダ保持部材との間で受渡しを行う試料ホルダ受渡し方法において、
前記後面側ホルダ保持部材は試料ホルダを保持した状態では試料ホルダの左右のホルダ側面に沿って前記試料ホルダの前面の左右両側部に延びる一対の後面側ホルダ保持アームと前記後面側ホルダ保持アームの前側の端部に回転可能に設けられ且つ前記試料ホルダの前面の左右両側部を挟持する第１のホルダ保持ローラとを有し、
前記前面側ホルダ保持部材は試料ホルダを保持した状態では試料ホルダの左右のホルダ側面に沿って前記試料ホルダの後面の左右両側部に延びる一対の前面側ホルダ保持アームと前記前面側ホルダ保持アームの後側の端部に回転可能に設けられ且つ前記試料ホルダの後面の左右両側部を挟持する第２のホルダ保持ローラとを有し、
前記後面側ホルダ保持部材および前面側ホルダ保持部材のうちの一方のホルダ保持部材に試料ホルダを保持した状態で前記試料ホルダと他方のホルダ保持部材とを接近させたとき、一方のホルダ保持部材のホルダ保持アームの内側に他方のホルダ保持部材のホルダ保持アームが進入して前記一方のホルダ保持部材のホルダ保持アームは前記他方のホルダ保持アームの外側に移動し、他方のホルダ保持部材が前記試料ホルダを保持する状態となることを特徴とする試料ホルダ受渡し方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子線装置で使用する試料ホルダ、試料ホルダ搬送部材と、試料ホルダ受渡し方法に関し、特に、試料ホルダに対して試料ホルダ搬送部材を接近および離隔させるだけで着脱可能な試料ホルダ、試料ホルダ搬送部材、および試料ホルダ受渡し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の前記試料ホルダ搬送部材は、真空室を貫通する棒状搬送部材と、その内端に設けたホルダ保持部材と、外端部に設けた操作部材とを有している。前記ホルダ保持部材に試料ホルダを保持して、前記棒状搬送部材の外端部の操作部材を内外に移動させることにより試料ホルダを搬送する。また、試料ホルダをホルダ保持部材を着脱する操作は、前記操作部材を回転させることにより行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来技術では、試料ホルダ搬送部材の搬送方向への移動操作と、試料ホルダの着脱作業は全く異なる作業を行わなければならず、作業が複雑で、作業時間も長くかかるという問題点があった。
また、試料ホルダ搬送部材の棒状搬送部材を真空室の外側で折り曲げるように構成したものも従来知られている。この折り曲げ可能な試料ホルダ搬送部材では、前記操作部材の回転位置が所定の回転位置でのみ折り曲げ可能となったものが知られているが、このような試料ホルダ搬送部材では折り曲げの際に前記操作部材の回転位置を所定位置に回転させなければ折り曲げられないという問題点もあった。
【０００４】
本発明は前述の事情に鑑み、下記（Ｏ01），（Ｏ02）の記載内容を課題とする。
（Ｏ01）試料ホルダ搬送部材をその搬送方向に沿う軸回りに回転させることなく、試料ホルダと着脱できるようにすること。
（Ｏ02）試料ホルダを保持したホルダ保持部材と試料ホルダを保持していないホルダ保持部材とを接近させた後に離隔させる動作のみにより両ホルダ保持部材間で試料ホルダの受渡しを可能にすること。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決するために案出した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００６】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の試料ホルダは、下記の要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする、
（Ａ01）試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）に保持されるときに試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）に対向する側面であるホルダ後面（１）および試料ステージ（ＳＴ）に装着されるときに試料ステージ（ＳＴ）に対向する側面であって前記ホルダ後面（１）と反対側のホルダ前面（２）と前記ホルダ後面（１）およびホルダ前面（２）を接続する左右一対のホルダ側面（３，４）と前記左右のホルダ側面（３，４）の上端から左右に突出する被支持部（６）とを有する試料ホルダ（Ｈ１）、
（Ａ02）前記ホルダ後面（１）の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ前面（２）側から接近した前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の後側の端部に設けられた回転可能な第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）によって挟持されるとともにホルダ後面（１）側から接近した一対の後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の前側の端部に設けられた回転可能な第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）が接触する後側被挟持部（１ａ，１ａ）、
（Ａ03）前記ホルダ前面（２）の左右にそれぞれ設けられて、ホルダ後面（１）側から接近した後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の前側の端部の第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）によって挟持されるとともにホルダ前面（２）側から接近した一対の前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の後側の端部の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）が接触する前側被挟持部（２ａ，２ａ）、
（Ａ04）前記前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）により挟持された後側被挟持部（１ａ，１ａ）に接近した前記後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）を前記第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）の内側にガイドするように形成された前記ホルダ後面（１）、
（Ａ05）前記後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）により挟持された前側被挟持部（２ａ，２ａ）に接近した前記前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）を前記第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）の内側にガイドするように形成された前記ホルダ前面（２）。
【０００７】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた第１発明の試料ホルダ（Ｈ１）は、試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）に保持されるときに試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）に対向する側面であるホルダ後面（１）および試料ステージ（ＳＴ）に装着されるときに試料ステージ（ＳＴ）に対向する側面であって前記ホルダ後面（１）と反対側のホルダ前面（２）と前記ホルダ後面（１）およびホルダ前面（２）を接続する左右一対のホルダ側面（３，４）と前記左右のホルダ側面（３，４）の上端から左右に突出する被支持部（６）とを有する。
【０００８】
前記ホルダ後面（１）の左右にそれぞれ設けられた後側被挟持部（１ａ，１ａ）は、ホルダ前面（２）側から接近した前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の後側の端部に設けられた回転可能な第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）によって挟持される。前記前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）により後側被挟持部（１ａ，１ａ）が挟持された状態で、前記後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）に設けられた回転可能な第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）がホルダ後面（１）に接近したとき、第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）は前記ホルダ後面（１）の後側被挟持部（１ａ，１ａ）に接触する。前記ホルダ後面（１）は、第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）を前記第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）の内側にガイドする。
したがって、後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）は、前記第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）および前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）を押し広げながら、試料ホルダ（Ｈ１）の側面（３，４）に沿って移動し、ホルダ前面（２）の前側被挟持部（２ａ，２ａ）を挟持する。
【０００９】
また、逆に前記後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）により前側被挟持部（２ａ，２ａ）が挟持された状態で、前記前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）がホルダ前面（２）に接近したとき、第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）は前記ホルダ前面（２）の前側被挟持部（２ａ，２ａ）に接触する。前記ホルダ前面（２）は、第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）を前記第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）の内側にガイドする。
したがって、前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）は、前記第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）および後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）を押し広げながら、試料ホルダ（Ｈ１）の側面（３，４）に沿って移動（前進）し、ホルダ後面（１）の後側被挟持部（１ａ，１ａ）を挟持する。
【００１０】
（第２発明）
前記課題を解決するために、第２発明の試料ホルダ搬送部材は、下記の要件（Ｂ01）〜（Ｂ07）を備えたことを特徴とする、
（Ｂ01）試料ホルダ搬送部材に対向する側面であるホルダ後面（１）と前記ホルダ後面（１）と反対側のホルダ前面（２）と前記ホルダ後面（１）およびホルダ前面（２）を接続する左右一対のホルダ側面（３，４）とが設けられたホルダ下部（Ｈ１ａ）と、前記左右のホルダ側面（３，４）の上端から左右に突出する被支持部（６）が設けられたホルダ上部（Ｈ１ｂ）とを有する試料ホルダ（Ｈ１）を支持するホルダ支持部材（１２）、
（Ｂ02）前端部が開口するＵ字状に形成され且つ前記ホルダ下部（Ｈ１ａ）が挿入されるホルダ下部挿入溝（１３）と前記ホルダ上部（Ｈ１ｂ）の被支持部（６）の下面を支持するホルダ上部支持部（１４，１４）とを有する前記ホルダ支持部材（１２）、
（Ｂ03）前記ホルダ支持部材（１２）の下面に回転可能に支持され且つ左右方向に離れて前後方向に延びる一対のホルダ保持アーム（１６，１６）、
（Ｂ04）前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部にそれぞれ回転可能に設けられ、前記試料ホルダ（Ｈ１）のホルダ前面（２）の両側に設けた被挟持部（２ａ，２ａ）を挟持するホルダ保持ローラ（１７，１７）、
（Ｂ05）前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部を接近させるように作用するアーム前端部接近用弾性部材（１８）、
（Ｂ06）前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部の間隔を所定間隔以上に保持するアーム間隔保持部材（１９，１９）、
（Ｂ07）前記アーム間隔保持部材（１９，１９）により所定間隔に保持された前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部のホルダ保持ローラ（１７，１７）を試料ホルダ（Ｈ１）のホルダ後面（１）に押圧したときに前記一対のホルダ保持ローラ（１７，１７）が前記試料ホルダ（Ｈ１）の側面（１，３，４）により押し広げられて左右の側面（３，４）に沿ってホルダ前面（２）に移動した状態で前記試料ホルダ（Ｈ１）を保持する前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）。
【００１１】
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明の試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）は、試料ホルダ搬送部材に対向する側面であるホルダ後面（１）と前記ホルダ後面（１）と反対側のホルダ前面（２）と前記ホルダ後面（１）およびホルダ前面（２）を接続する左右一対のホルダ側面（３，４）とが設けられたホルダ下部（Ｈ１ａ）と、前記左右のホルダ側面（３，４）の上端から左右に突出する被支持部（６）が設けられたホルダ上部（Ｈ１ｂ）とを有する試料ホルダ（Ｈ１）を支持して搬送する際に使用される。
試料ホルダ搬送部材（Ｈ２）のホルダ支持部材（１２）は、前端部が開口するＵ字状に形成されたホルダ下部挿入溝（１３）とホルダ上部支持部（１４，１４）とを有する。前記ホルダ下部挿入溝（１３）は前記ホルダ下部（Ｈ１ａ）が挿入される。ホルダ上部支持部（１４，１４）は、前記ホルダ上部（Ｈ１ｂ）の被支持部（６）の下面を支持する。
【００１２】
前記ホルダ支持部材（１２）の下面に回転可能に支持された一対のホルダ保持アーム（１６，１６）は、左右方向に離れて前後方向に延びている。アーム前端部接近用弾性部材（１８）は、前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部を接近させるように作用し、アーム間隔保持部材（１９，１９）は、前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部の間隔を所定間隔以上に保持する。
前記アーム前端部接近用弾性部材（１８）およびアーム間隔保持部材（１９，１９）により前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）の前端部のホルダ保持ローラ（１７，１７）は、通常は所定間隔に保持される。前記所定間隔に保持されたホルダ保持ローラ（１７，１７）を試料ホルダ（Ｈ１）のホルダ後面（１）に押圧したときに前記一対のホルダ保持ローラ（１７，１７）が前記試料ホルダ（Ｈ１）の側面（１，３，４）により押し広げられて左右の側面（３，４）に沿ってホルダ前面（２）に移動する。そのとき、前記一対のホルダ保持アーム（１６，１６）前端部にそれぞれ回転可能に設けられたホルダ保持ローラ（１７，１７）は、前記試料ホルダ（Ｈ１）のホルダ前面（２）の両側に設けた被挟持部（２ａ，２ａ）を挟持する。この状態で試料搬送部材（Ｈ２）は、前記試料ホルダ（Ｈ１）を保持する。
【００１３】
（第３発明）
第３発明の試料ホルダ受渡し方法は、ホルダ前面（２）と前記ホルダ前面（２）と反対側のホルダ後面（１）と前記ホルダ前面（２）およびホルダ後面（１）を接続する左右一対のホルダ側面（３，４）とが設けられた試料ホルダ（Ｈ１）を、試料ホルダ（Ｈ１）の前面側に配置された前面側ホルダ保持部材（ＳＴ）と前記試料ホルダ（Ｈ１）の後面側に配置された後面側ホルダ保持部材（Ｈ２）との間で受渡しを行う試料ホルダ受渡し方法において、
前記後面側ホルダ保持部材（Ｈ２）は試料ホルダ（Ｈ１）を保持した状態では試料ホルダ（Ｈ１）の左右のホルダ側面（３，４）に沿って前記試料ホルダ（Ｈ１）の前面の左右両側部に延びる一対の後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）と前記後面側ホルダ保持アーム（１６，１６）の前側の端部に回転可能に設けられ且つ前記試料ホルダ（Ｈ１）の前面の左右両側部を挟持する第１のホルダ保持ローラ（１７，１７）とを有し、
前記前面側ホルダ保持部材（ＳＴ）は試料ホルダ（Ｈ１）を保持した状態では試料ホルダ（Ｈ１）の左右のホルダ側面（３，４）に沿って前記試料ホルダ（Ｈ１）の後面の左右両側部に延びる一対の前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）と前記前面側ホルダ保持アーム（２４，２４）の後側の端部に回転可能に設けられ且つ前記試料ホルダ（Ｈ１）の後面の左右両側部を挟持する第２のホルダ保持ローラ（２５，２５）とを有し、
前記後面側ホルダ保持部材（Ｈ２）および前面側ホルダ保持部材（ＳＴ）のうちの一方のホルダ保持部材（Ｈ２）に試料ホルダ（Ｈ１）を保持した状態で前記試料ホルダ（Ｈ１）と他方のホルダ保持部材（ＳＴ）とを接近させたとき、一方のホルダ保持部材（Ｈ２）のホルダ保持アーム（１６，１６）の内側に他方のホルダ保持部材（ＳＴ）のホルダ保持アーム（２４，２４）が進入して前記一方のホルダ保持部材（Ｈ２）のホルダ保持アーム（１６，１６）は前記他方のホルダ保持アーム（２４，２４）の外側に移動し、他方のホルダ保持部材（ＳＴ）が前記試料ホルダ（Ｈ１）を保持する状態となることを特徴とする試料ホルダ受渡し方法。
【００１４】
（第３発明の作用）
前記第３発明の試料ホルダ受渡し方法では、前記後面側ホルダ保持部材（Ｈ２）および前面側ホルダ保持部材（ＳＴ）のうちの一方のホルダ保持部材（Ｈ２）に試料ホルダ（Ｈ１）を保持した状態で前記試料ホルダ（Ｈ１）を保持していない他方のホルダ保持部材（ＳＴ）に接近させたとき、一方のホルダ保持部材（Ｈ２）のホルダ保持アーム（１６，１６）の内側に他方のホルダ保持部材（ＳＴ）のホルダ保持アーム（２４，２４）が進入して前記一方のホルダ保持部材（Ｈ２）のホルダ保持アーム（１６，１６）は前記他方のホルダ保持アーム（２４，２４）の外側に移動し、他方のホルダ保持部材（ＳＴ）が前記試料ホルダ（Ｈ１）を保持する状態となる。
すなわち、ホルダ保持部材（Ｈ２）および（ＳＴ）のいずれか一方に試料ホルダ（Ｈ１）を保持し他方に保持していない状態で、ホルダ保持部材（Ｈ２）および（ＳＴ）を互いに接近させた後に離隔させる動作だけで、ホルダ保持部材（Ｈ１）および（ＳＴ）間で試料の受渡しを行うことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の試料ホルダ搬送部材の実施の形態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向、示す側および示す側の端をそれぞれ、前方（Ｘ方向）、後方（−Ｘ方向）、右方（Ｙ方向）、左方（−Ｙ方向）、上方（Ｚ方向）、下方（−Ｚ方向）、前側（Ｘ側）、後側（−Ｘ側）、右側（Ｙ側）、左側（−Ｙ側）、上側（Ｚ側）、下側（−Ｚ側）、および前端（Ｘ端）、後端（−Ｘ端）、右端（Ｙ端）、左端（−Ｙ端）、上端（Ｚ端）、下端（−Ｚ端）とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【００１６】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の試料ホルダ搬送部材およびそれに保持された試料ホルダの説明図であり、図１Ａは試料ホルダ搬送部材の先端部に保持された試料ホルダの上面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ａの矢印ＩＣから見た図、図１Ｄは前記図１Ｂの矢印ＩＤから見た図である。
図２は同実施例１の試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに装着する場合の作用説明図で、図２Ａは試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに搬送した状態を示す図、図２Ｂは前記図２Ａの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｃは前記図２Ｂの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｄは前記図２Ｃの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｅは前記図２Ｄの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた試料ホルダが試料ステージに保持された状態を示す図である。
図３は実施例１の試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに装着する場合の断面図で、図３Ａは前記図２ＡのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図、図３Ｃは前記図３ＡのIIIＣ−IIIＣ線断面図である。
図４は前記図２Ａまたは図３Ａに示す部材の斜視図である。
【００１７】
図１において、試料ホルダＨ１は、ホルダ下部Ｈ１ａおよび円形のホルダ上部Ｈ１ｂを有している。ホルダ下部Ｈ１ａは、試料ホルダ搬送部材Ｈ２に保持されるとともに試料ホルダ搬送部材（後面側ホルダ保持部材）Ｈ２に対向する側面であるホルダ後面１および試料ステージ（前面側ホルダ保持部材）ＳＴ（図４参照）に装着されるとき試料ステージＳＴに対向する側面であって前記ホルダ後面１と反対側のホルダ前面２と、前記ホルダ後面１およびホルダ前面２を接続する左右一対のホルダ側面３，４とを有している。
前記ホルダ後面１には上下方向に延びる凹部により形成された左右一対の後側被挟持部１ａ，１ａが形成されており、前記ホルダ前面２には上下方向に延びる凹部により形成された左右一対の前側被挟持部２ａ，２ａが形成されている。
前記ホルダ下部Ｈ１ａの下面には、前後に延びるあり溝５が形成されている。
【００１８】
前記ホルダ上部Ｈ１ｂは前記ホルダ下部Ｈ１ａの上端から外方に広がる部分（被支持部）６を有している。被支持部６は前記ホルダ側面３，４の上端から左右に突出する部分を有しており、その部分は試料ホルダ搬送部材Ｈ２により支持される部分である。また、ホルダ上部Ｈ１ｂの上面の中央部には試料（図示せず）が保持されるように構成されている。
【００１９】
試料ホルダ搬送部材Ｈ２は、搬送方向に延びるロッド１１と、ロッド１１の前端部に連結された板状のホルダ支持部材１２とを有している。ホルダ支持部材１２の前端部はＵ字状に形成されており、前端が開口するホルダ下部挿入溝１３が形成されている。前記ホルダ下部挿入溝１３は前記試料ホルダＨ１の側面が挿入される溝である。前記ホルダ下部挿入溝１３の左右両側部分の上面によりホルダ上部支持部１４，１４が構成されており、ホルダ上部支持部１４，１４は、前記試料ホルダＨ１の被支持部６の下面を支持する部分である。
【００２０】
前記ホルダ支持部材１２の下面には左右一対の搬送側ホルダ保持アーム（後面側ホルダ保持アーム）１６，１６の後端部が回転可能に支持されており、前記ホルダ保持アーム１６，１６が前後方向（Ｘ軸方向）に延びている。前記ホルダ保持アーム１６，１６の前端部にはそれぞれホルダ保持ローラ（アーム前端挟持部）１７，１７が上下軸回りに回転可能に支持されている。また、前記ホルダ保持アーム１６，１６は引張ばね（アーム前端部接近用弾性部材）１８により、前端部のホルダ保持ローラ１７，１７が常時接近する方向の力が作用し、且つ後端部（−Ｘ側端部）が開く方向の力が作用している。前記ホルダ保持アーム１６，１６の後端部は、前記ホルダ支持部材１２に固定されたストッパ（アーム間隔保持部材）１９，１９に当接するので、ホルダ保持アーム１６，１６の前端のホルダ保持ローラ１７，１７は所定距離に保持される。
【００２１】
図４において、試料ステージＳＴは、テーブル２１を有しており、前記テーブル２１の上面には、カンナ台２２が設けられている。カンナ台２２は前記ホルダ下部Ｈ１ａが前進してきたときに前記あり溝５が嵌合する部材である。カンナ台２２の前側（Ｘ側）にはストッパ２３が固定されている。
前記試料ステージＳＴ上面には前記カンナ台２２の左右に一対のステージ側ホルダ保持アーム（前面側ホルダ保持アーム）２４，２４の前端部（Ｘ端部）が回転可能に支持されている。前記ステージ側ホルダ保持アーム２４，２４の後端部（−Ｘ端部）にはそれぞれホルダ保持ローラ（アーム後端挟持部）２５，２５が上下軸回りに回転可能に支持されている。また、前記ステージ側ホルダ保持アーム２４，２４には引張ばね２６により、前端部のホルダ保持ローラ２５，２５が常時接近する方向の力（前端部（Ｘ側端部）が開く方向の力）が作用している。
【００２２】
試料ステージＳＴに試料ホルダＨ１が装着されていない状態では、前記ホルダ保持アーム２４，２４前端部（Ｘ端部）のホルダ保持ローラ２５，２５は、常時、前記カンナ台２２の前端部に当接した状態で保持される。
図４において、試料ホルダＨ１を保持した試料ホルダ搬送部材Ｈ２が試料ステージＳＴに向かって前進したとき、試料ステージＳＴのホルダ保持ローラ２５，２５は、ホルダ保持ローラ１７，１７の内側の周面に当接するようになっている。その状態でさらに試料ホルダ搬送部材Ｈ２を前進させると、ホルダ保持ローラ２５，２５は、試料ホルダＨ１の側面とホルダ保持ローラ１７，１７との間に侵入して、ホルダ保持ローラ１７，１７およびホルダ保持アーム１６，１６を外側に押し広げる。
【００２３】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施例１の試料ホルダ搬送部材Ｈ２は、図２Ａ、図４に示す状態（試料ホルダＨ１を保持した試料ホルダ搬送部材Ｈ２が試料ステージＳＴに向かって前進して、試料ステージＳＴのホルダ保持ローラ２５，２５が、ホルダ保持ローラ１７，１７の内側の周面に当接した状態）において、さらに試料ステージＳＴ側に前進すると、図２Ｂに示すように、試料ホルダＨ１を保持していたホルダ保持ローラ１７，１７およびホルダ保持アーム１６，１６はホルダ保持ローラ２５，２５により外側に押し広げられる。このとき、ホルダ保持ローラ２５，２５は試料ホルダＨ１の前側被挟持部２ａ，２ａの側面とホルダ保持ローラ１７，１７との間に侵入する。
このとき、試料ホルダＨ１下面のあり溝５の前端部（Ｘ端部）は、試料ステージＳＴのカンナ台２２の後端部（−Ｘ端部）に嵌合する。
【００２４】
前記図２Ｂの状態から試料ホルダ保持部材Ｈ２および試料ホルダＨ１をさらに試料ステージＳＴ側に前進させると、図２Ｃ、図２Ｄに示すように、ホルダ保持ローラ２５，２５は試料ホルダＨ１の左右のホルダ側面３，４に沿って後方（−Ｘ方向）に移動する。このとき、試料ホルダ保持部材Ｈ２のホルダ保持アーム１６，１６は外側に広がってホルダ保持ローラ１７，１７は、試料ステージＳＴのホルダ保持アーム２４，２４の外側面に沿って前方に移動する。
前記図２Ｄの状態から試料ホルダ保持部材Ｈ２および試料ホルダＨ１をさらに試料ステージＳＴ側に前進（Ｘ方向に移動）させると、図２Ｅに示すように、試料ステージＳＴのホルダ保持アーム２４，２４後端部（−Ｘ端部）のホルダ保持ローラ２５，２５は試料ホルダＨ１の後側被挟持部１ａ，１ａを挟持する。この図２Ｅの状態では、試料ホルダＨ１下面のあり溝５は、試料ステージＳＴのカンナ台２２に嵌合しており、試料ホルダＨ１のホルダ前面２は試料ステージＳＴのストッパ２３の後端面（−Ｘ端面）に当接している。
【００２５】
前記図２Ｅに示す状態は試料ホルダＨ１が試料ステージＳＴに装着された状態である。この図２Ｅに示す状態で、試料ホルダ保持部材Ｈ２を後退させる（−Ｘ方向に移動させる）と、試料ホルダＨ１は試料ステージＳＴに装着されたまま、試料ホルダ保持部材Ｈ２のみが後退し、試料ステージＳＴから離れる。
【００２６】
なお、前記試料ステージＳＴに試料ホルダＨ１が装着された状態（図２Ｅに示す状態、すなわち、試料ステージＳＴのホルダ保持アーム２４，２４後端部（−Ｘ端部）のホルダ保持ローラ２５，２５が試料ホルダＨ１の後側被挟持部１ａ，１ａを挟持する状態）で、後方（−Ｘ方向）から試料ホルダ保持部材Ｈ２が試料ステージＳＴに向かって前進してきた場合には、前記図２で説明したホルダ保持アーム２４，２４とホルダ保持アーム１６，１６との作用が逆になる。
すなわち、試料ステージＳＴのホルダ保持アーム２４，２４先端部のホルダ保持ローラ２５，２５が試料ホルダＨ１の後側被挟持部１ａ，１ａを挟持している状態（図２Ｅ参照）で、試料ホルダ保持部材Ｈ２が前進してくると、試料ホルダ保持部材Ｈ２のホルダ保持アーム１６，１６のホルダ保持ローラ１７，１７が、試料ホルダＨ１の後側被挟持部１ａ，１ａの側面とホルダ保持ローラ１７，１７との間に侵入する。そして、さらに試料ホルダ保持部材Ｈ２を前進させると、ホルダ保持ローラ１７，１７は試料ホルダＨ１の左右のホルダ側面３，４に沿って前進し、前側被挟持部２ａ，２ａを挟持する。その状態で、試料ホルダ保持部材Ｈ２を後退させることにより、試料ホルダＨ１を試料ステージＳＴから離脱させて後方（−Ｘ方向）に移動させることができる。
【００２７】
したがって、前記試料ステージＳＴ、試料ホルダＨ１、試料ホルダ保持部材Ｈ２は、試料ホルダ保持部材Ｈ２の前進および後退のみで、試料ホルダＨ１を試料ステージＳＴと試料ホルダ保持部材Ｈ２との間で交換可能（着脱可能）であり、且つ、試料ホルダ保持部材Ｈ２に装着した試料ホルダＨ１を搬送可能である。
【００２８】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。次に変更例を示す。
（Ｈ01）あり溝５とカンナ台２２の代わりに、一対の向き合った断面コ字型のガイド溝とその溝に嵌合する凸条とを使用することが可能である。
【００２９】
【発明の効果】
前述の本発明の試料ホルダ搬送部材は、下記の効果を奏することができる。
（Ｅ01）試料ホルダ搬送部材をその搬送方向に沿う軸回りに回転させることなく、試料ホルダと着脱させることができる。
（Ｅ02）試料ホルダを保持したホルダ保持部材と試料ホルダを保持していないホルダ保持部材とを接近させた後に離隔させる動作のみにより両ホルダ保持部材間で試料ホルダの受渡しを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は本発明の実施例１の試料ホルダ搬送部材およびそれに保持された試料ホルダの説明図であり、図１Ａは試料ホルダ搬送部材の先端部に保持された試料ホルダの上面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ａの矢印ＩＣから見た図、図１Ｄは前記図１Ｂの矢印ＩＤから見た図である。
【図２】  図２は同実施例１の試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに装着する場合の作用説明図で、図２Ａは試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに搬送した状態を示す図、図２Ｂは前記図２Ａの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｃは前記図２Ｂの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｄは前記図２Ｃの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた状態を示す図、図２Ｅは前記図２Ｄの状態から試料ホルダ搬送部材をさらに前進させた試料ホルダが試料ステージに保持された状態を示す図である。
【図３】  図３は実施例１の試料ホルダ搬送部材に保持した試料ホルダを試料ステージに装着する場合の断面図で、図３Ａは前記図２ＡのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図、図３Ｃは前記図３ＡのIIIＣ−IIIＣ線断面図である。
【図４】  図４は前記図２Ａまたは図３Ａに示す部材の斜視図である。
【符号の説明】
Ｈ１…試料ホルダ、Ｈ１ａ…ホルダ下部、Ｈ１ｂ…ホルダ上部、Ｈ２…試料ホルダ搬送部材、ＳＴ…試料ステージ、
１…ホルダ後面、１ａ…後側被挟持部、２…ホルダ前面、２ａ…前側被挟持部、３，４…左右のホルダ側面、６…被支持部、１２…ホルダ支持部材、１３…ホルダ下部挿入溝、１４…ホルダ上部支持部、１６…後面側ホルダ保持アーム、１７…アーム前端挟持部、１８…アーム前端部接近用弾性部材、１９…アーム間隔保持部材、２４…前面側ホルダ保持アーム、２５…アーム後端挟持部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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