(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードの針先が接触されるコンタクト板と、該コンタクト板の上方に空間を形成するフレームと、前記空間に配置されたカードホルダであって前記コンタクト板に対応する箇所に開口を有し、前記プローブカードを受ける受け部を前記開口の周りに有するカードホルダと、該カードホルダに配置されたプローブカードの上に配置される接続装置であってそのプローブカードのプローブに接続される接続装置と、前記カードホルダを前記フレームに、前記開口が前記コンタクト板の上方に位置する第１の位置と、少なくとも前記プローブカードが前記空間の外に位置する第２の位置であって前記第１の位置から水平方向に間隔をおいた第２の位置とに移動可能に組み付ける組み付け手段と、前記接続装置の上方にあって前記フレームに上下方向へ移動可能に配置された押圧板と、前記フレームに支持されて前記押圧板を前記接続装置に押圧する押圧体とを含み、前記接続装置は、前記プローブカードの上側に配置される板状の接続器であってそのプローブカードのプローブに接続される複数の第１の導電体を有する接続器と、該接続器の上側に配置された板状の中継器であって前記第１の導電体に接続された複数の第２の導電体を有し、前記フレームに配置された中継器と、前記接続器及び前記中継器を解除可能に結合する結合機構とを備え、前記中継器は前記押圧板に組み付けられている、プローブカードの検査装置。
【請求項２】
さらに、前記コンタクト板の上方に位置するベースであって前記カードホルダを着脱可能に受けかつ前記コンタクト板に対応する箇所に第２の開口を有するベースを含み、前記カードホルダは、その一部を前記第２の開口に位置させた状態に前記ベースに配置されている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記組み付け手段は、前記フレームに間隔をおいて配置されて水平方向へ伸びる一対のレールと、該レールに沿って移動可能に配置されたスライドトレーと、該スライドトレーに回転可能に配置された昇降用リングと、該昇降用リングの内側に昇降可能に配置された昇降トレーであって前記カードホルダが配置された昇降トレーとを備え、前記昇降トレー及び前記昇降用リングの一方は係止部を有し、前記昇降トレー及び前記昇降用リングの他方は前記係止部が滑動可能に係止する傾斜した溝を有する、請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記中継器及び前記押圧板は、それぞれ、前記押圧板及び前記押圧体に組み付けられている、請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記結合機構は、前記接続装置の周りを角度的に回転可能に前記押圧板又は前記中継器に配置されたリングであって前記接続器を相対的移動可能に受けるリングと、該リングを前記接続装置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板又は前記中継器に配置された駆動機構とを備え、前記中継器は前記リングに該リングの角度的回転にともなって解除可能に係止されている、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記結合機構は、さらに、前記回転リングの回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの一方に配置された複数のローラと、前記回転の回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの他方に配置された複数の係止片であって前記ローラに解除可能に係止する係止片と、前記回転リングを前記接続装置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板に配置された駆動機構とを備える、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記フレームは、左右方向に間隔をおいて前記ベースに配置された下部フレームと、該下部フレームと共同して前記空間を形成すべく前記下部フレームに配置された上部フレームであって前記押圧体を支持しかつ前記空間を上方へ開放する上部フレームとを備え、前記カードホルダは、その一部を前記第２の開口に位置させ状態に前記ベースフレームに配置されていると共に、前記下部フレームの前方への開放箇所を介して前記空間に出入り可能である、請求項２から６のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路のような被検査体の通電試験に用いるプローブカードを検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブカードは、一般に、その製作途中、製作後、使用途中等において、プローブ先端の高さ位置のばらつき、電極への接触状態の良否等の検査をされる。
【０００３】
従来のこの種の検査装置は、開口を有するベースプレートを針先が接触するコンタクト板の上方にコンタクト板と平行に設け、テストボードをベースフレームの開口を閉鎖するように鉤型の複数のボード押えによりベースフレームの上にベースフレームと平行に組み付け、プローブカードをテストボードの下側に電気的接続装置を介して組み付けている。
【０００４】
テストボードは、外周部の複数箇所においてボード押えによりベースフレームに装着されている。検査時、プローブカードとコンタクト板とが相対的に押圧されて、プローブの針先とコンタクト板とが接触される。このときプローブカードに作用する反力（すなわち、針圧に対する反力）は、電気的接続装置、テストボード及びボード押えを介してベースフレームに伝達される。
【０００５】
上記の検査装置において、プローブカードの交換は、テストボードをベースフレームから取り外し、プローブカードを電気的接続装置及びテストボードから外し、その後新たなプローブカードを電気的接続装置及びテストボードに組み付け、そのテストボードをベースフレームに組み付けることにより行われる。
【０００６】
【解決しようとする課題】
このため、上記の検査装置では、プローブカードの交換作業が面倒である。特に、プローブ数の多い大型のプローブカードの場合、電気的接続装置及びテストボードも大型化し、検査装置自体も大きくなるため、プローブカード、電気的接続装置及びテストボードの取り扱いが難しく、作業者にとって危険である。
【０００７】
それゆえに、プローブカードの検査装置においては、プローブカードの交換作業を容易にすることが重要である。
【０００８】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係るプローブカード検査装置は、プローブカードの針先が接触されるコンタクト板と、該コンタクト板の上方に空間を形成するフレームと、前記空間に配置されたカードホルダであって前記コンタクト板に対応する箇所に開口を有し、前記プローブカードを受ける受け部を前記開口の周りに有するカードホルダと、該カードホルダに配置されたプローブカードの上に配置される接続装置であってそのプローブカードのプローブに接続される接続装置と、前記カードホルダを前記フレームに、前記開口が前記コンタクト板の上方に位置する第１の位置と、少なくとも前記プローブカードが前記空間の外に位置する第２の位置であって前記第１の位置から水平方向に間隔をおいた第２の位置とに移動可能に組み付ける組み付け手段とを含む。
【０００９】
プローブカードはそのプローブの針先をカードホルダの開口からコンタクト板側に突出させた状態にカードホルダの受け部に配置されており、カードホルダは第１の位置に移動されている。その状態において、プローブカードはコンタクト板に押圧される。
【００１０】
プローブカードを交換するとき、カードホルダが第１の位置から第２の位置へ移動される。これによりプローブカードが空間の外に移動されるから、プローブカードを持ち上げてカードホルダから取り出し、新たなプローブカードを上方からカードホルダに配置することができる。
【００１１】
上記の結果、本発明の検査装置によれば、従来装置に比べ、プローブカードの交換の作業性がよく、交換作業が安全になると共に交換作業を速く行うことができ、しかも熟練を要しない。
【００１２】
検査装置は、さらに、前記コンタクト板の上方に位置するベースであって前記カードホルダを着脱可能に受けかつ前記コンタクト板に対応する箇所に第２の開口を有するベースを含み、前記カードホルダを、その一部が前記第２の開口に位置する状態に配置することができる。このようにすれば、針先をコンタクト板に接近させることができる。
【００１３】
前記組み付け手段は、前記フレームに間隔をおいて配置されて水平方向へ伸びる一対のレールと、該レールに沿って移動可能に配置されたスライドトレーと、該スライドトレーに回転可能に配置された昇降用リングと、該昇降用リングの内側に昇降可能に配置された昇降トレーであって前記カードホルダが配置された昇降トレーとを備え、前記昇降トレー及び前記昇降用リングの一方は係止部を有し、前記昇降トレー及び前記昇降用リングの他方は前記係止部が滑動可能に係止する傾斜した溝を有することができる。この場合、プローブカードは前記昇降トレーに配置することができる。このようにすれば、昇降用リングを回転させることにより、昇降用トレーを上げ下げすることができるから、常時は昇降用トレーを下降させてプローブの針先を開口から突出させ、プローブカードの交換時は昇降用トレーを上昇させてプローブの針先を開口の上方に位置させることができ、その結果がプローブの針先がスライドトレーの引き出しに妨げにならず、したがって交換作業がより容易になる。
【００１４】
本発明に係る前記検査装置は、さらに、前記接続装置の上方にあって前記フレームに上下方向へ移動可能に配置された押圧板と、前記フレームに支持されて前記押圧板を前記接続装置に押圧する押圧体とを含む。これにより、針先がコンタクト板に押圧されたときの反力を、接続装置、押圧板及び押圧体を介してフレームに伝達することができる。
【００１５】
また、本発明の前記接続装置は、前記プローブカードの上側に配置される板状の接続器であってそのプローブカードのプローブに接続される複数の第１の導電体を有する接続器と、該接続器の上側に配置された板状の中継器であって前記第１の導電体に接続された複数の第２の導電体を有し、前記フレームに配置された中継器と、前記接続器及び前記中継器を解除可能に結合する結合機構とを備え、前記接続器が前記押圧板に組み付けられる。このようにすれば、接続器と中継器との係合を解除して、押圧板を上昇させることにより、接続器を中継器から切り離すことができ、したがって中継器をスライドとレート共に引き出すことなく、プローブの交換をすることができる。また、中継器を各種のプローブカードに共通に用い、プローブカードの交換時に接続装置を新たなプローブカードに対応した接続装置に交換することにより、同じ検査装置を複数種類のプローブカードの検査に用いることができる。
【００１６】
前記中継器及び前記押圧板を、それぞれ、前記押圧板及び前記押圧体に組み付けることができる。このようにすれば、押圧体を上昇させることにより、中継器を接続器から離間させることができる。
【００１７】
前記結合機構は、前記接続装置の周りを角度的に回転可能に前記押圧板又は前記中継器に配置されたリングであって前記接続器を相対的移動可能に受けるリングと、該リングを前記接続装置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板又は前記中継器に配置された駆動機構とを備え、前記接続器を前記リングに該リングの角度的回転にともなって解除可能に係止させてもよい。このようにすれば、リングを回転させることにより、接続器を押圧板に対し着脱することができる。
【００１８】
前記結合機構は、さらに、前記回転リングの回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの一方に配置された複数のローラと、前記回転の回転方向に間隔をおいて前記接続器及び前記回転リングの他方に配置された複数の係止片であって前記ローラに解除可能に係止する係止片と、前記回転リングを前記接続装置に対して角度的に回転させるべく前記押圧板に配置された駆動機構とを備えることができる。このようにすれば、回転リングをわずかに回転させるだけで、ローラと係止片とに係合及びその解除をさせることができる。
【００１９】
前記フレームは、左右方向に間隔をおいて前記ベースに配置された下部フレームと、と共同して前記空間を形成すべく前記下部フレームに配置された上部フレームであって前記押圧体を支持しかつ前記空間を上方へ開放する上部フレームとを備え、前記カードホルダを、前記下部フレームの前方への開放箇所を介して前記空間に出入り可能にすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明においては、後に説明するスライドトレーを出し入れする水平の方向を前後方向（Ｙ方向）といい、前後方向と直角の水平の方向を左右方向（Ｘ方向）という。
【００２１】
図１から図４を参照するに、プローブカード検査装置１０は、プローブカード１２の検査に用いられる。プローブカード１２は、図４に示すように、導電性金属細線から製作されたニードルタイプの複数のプローブ１４をそれらの針先が下方へ突出した状態に配線基板１６に装着している。各プローブ１４の針先は、集積回路のような被検査体の通電試験時に、被検査体の電極部に押圧される。プローブカード１２は、プローブ１４を図示しないテスターに接続するための複数のテスターランド１８（図１０参照）を配線基板１６の外周縁部に有する。
【００２２】
検査装置１０は、直方体状の筐体２０を台車として用い、その上板を板状のベースすなわちベース板２２として用いている。筐体２０は、複数のキャスター２４により二次元的に移動可能である。ベース２２の上には、各種の情報及び指令を入力する操作パネル２６と、検査状態を映し出すモニタ２８と、後に説明する各種機器の配置空間を形成するフレーム３０とが配置されている。
【００２３】
ベース２２は、円形の開口３２を中央に有する。フレーム３０は、前後方向（図４において左右の方向）に間隔をおいた一対の下部フレーム３４と、下方に開放するコ字状の上部フレーム３６とを備える。両下部フレーム３４は、開口３２の上方の空間が両者の間に入るように、ベース２２に配置されている。上部フレーム３６は、一方の下部フレーム３４の上部にシャフト３８により枢軸運動可能に連結されている。
【００２４】
上部フレーム３６は、常時はフレーム３０により形成される内側空間を閉鎖しており、内側空間を開閉するときはシャフト３８がモータ４０により回転される。上部フレーム３６は、内側空間を閉鎖している間、内部空間を開放することを下部フレーム３４に設けられたフック４２により阻止されている。フック４２は、エアーシリンダのような適宜な駆動機構４３により、フック４２が上部フレーム３６による内側空間の開放を阻止する位置と、その開放を許容する位置とに移動される。
【００２５】
上部フレーム３６には、四角形の押圧板４４が配置されている。押圧板４４は、上部フレーム３６に設けられたエアーシリンダのような駆動機構４６により上下方向（Ｚ方向）に移動される。押圧板４４は上部フレーム３６の内側に設けられた複数のガイドレール４８により案内されるガイド部４４ａを有し、上部フレーム３６は複数の開口５０を駆動機構４６の周りに有する。
【００２６】
図５及び図６に示すように、導電性材料から形成されたコンタクト板５２は、筐体２０内に配置されたステージ５４の上に組み付けられている。ステージ５４は、筐体２０に備えられた板状のステージベース５６に配置されている。
【００２７】
ステージ５４は、左右方向（図６において左右方向）へ伸びる複数のＹガイドレール５８に沿って移動可能のＹステージ６０と、Ｙステージ６０に前後方向（図５において左右方向）へ移動可能に配置されたＸステージ６２と、Ｘステージ６２の移動により上下方向へ移動されるＺステージ６４と、Ｘステージ６２をＸ方向へ移動させる移動機構６６とを備える。
【００２８】
Ｙステージ６０は、上方に開放する箱の形をしており、また上下方向へ伸びる複数のガイドレール６８を内側に有する。Ｚステージ６４は、そのガイド部６４ａをガイドレール６８に滑動可能に嵌合させている。
【００２９】
図４から図８に示すように、検査装置１０は、また、プローブカード１２のプローブの電気的に接続される円板状の接続器７０と、接続器７０を図示しないテスターに接続する円板状の中継器７２とを含む。接続器７０及び中継器７２は、相互に組み合わされて接続装置を構成する。
【００３０】
接続器７０は、プローブカード１２のプローブ１４に個々に接続される細長い複数の第１の導電体７４を電気絶縁材料からなる円板状の接続板７６に配置し、第１の導電体７４を中継器７２に接続するための円板状の接続基板７８を接続板７６の上に複数のねじ部材により組み付けている。
【００３１】
中継器７２は、接続器７０によりプローブ１４に個々に接続される細長い複数の第２の導電体８０を電気絶縁材料からなる円板状の中継板８２に配置し、第２の導電体８０をテスターに接続するための円板状の中継基板８４を中継板８２の上に複数のねじ部材により組み付け、複数のコネクタ８６を中継基板８４の上に組み付けている。中継器７２は、押圧板４４の下側に複数のねじ部材により組み付けられている。
【００３２】
第１の導電体７４は、対応するプローブ１４のテスターランド１８に対向するように接続板７６に配置されており、また接続板７６を厚さ方向に貫通して上下にわずかに突出している。接続基板７８は、第１及び第２の導電体７４及び８０を相互に接続する複数の配線部を有する配線基板である。
【００３３】
第２の導電体８０は、接続基板７８の対応する配線部に対向するように中継板８２に配置されており、また中継板８２を厚さ方向に貫通して上下にわずかに突出している。中継基板８４は、第２の導電体８０とコネクタ８６とを相互に接続する複数の配線部を有する配線基板である。
【００３４】
第１及び第２の導電体７４及び８０として、コイルばねとピンとを筒状部材内に配置したいわゆるポゴピンを用いることができる。しかし、第１及び第２の導電体７４及び８０は、導電性の金属線のような他の部材であってもよい。
【００３５】
図７及び図８に示すように、接続器７０と中継器７２とは、中継板８２に設けられた複数の位置決めピン８８が接続基板７８に設けられた穴９０に受け入れられることにより、相互に位置決められる。接続器７０と中継器７２とは、結合機構により解除可能に上記のように結合されて、接続装置を構成する。
【００３６】
そのような結合機構は、図７から図９に示すように、接続装置の周りを角度的に回転可能の結合用リング９２を備える。
【００３７】
回転リングすなわち結合用リング９２は、リング９２のを受ける複数の支持ローラ９４と、リング９２の外周面に接触する複数のサイドローラ９６とにより、押圧板４４に支持されていると共に、回転位置を規制されている。支持ローラ９４及びサイドローラ９６は、押圧板４４の下側に組み付けられている。
【００３８】
結合用リング９２は、また、複数のリンクアーム９８と、各リンクアーム９８を揺動させるエアーシリンダのような駆動機構１００とにより上下方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転される。
【００３９】
リンクアーム９８は、上下方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に押圧板４４の下面に組み付けられており、また結合用リング９２に設けられたピン９３と、ピン９３が滑動可能に係合するようにリンクアーム９８に形成された長穴９５とにより、結合用リング９２に係合されている。
【００４０】
駆動機構１００は、リンクアーム９８を角度的に回転させるように押圧板４４の下面に組み付けられている。接続器７０は、その外周部に角度的間隔をおいて設けられた複数の係合片１０２が結合用リング９２に設けられた結合ローラ１０４に受けられていることにより、中継器７２に結合される。
【００４１】
結合ローラ１０４は、ブラケット１０８により結合用リング９２に組み付けられている。結合用リング９２、支持ローラ９４、サイドローラ９６、リンクアーム９８及び駆動機構１００の１つ以上のものを中継器７２に組み付けてもよい。また、係合片１０２及び結合ローラ１０４をそれぞれ結合用リング９２及び接続器７０に配置してもよい。
【００４２】
図８は、接続器７０と中継器７２とが結合されている状態を実線で示し、そのような結合が解除されている状態を点線で示す。それゆえに、接続器７０と中継器７２とは、結合用リング９２が一方へ移動されることにより結合され、他方へ移動されることによりその結合を解除される。
【００４３】
図７に示すように、各コネクタ８６には、テスターに接続されるケーブル１１０の端部が結合される。ケーブル１１０は、押圧板４４に形成された開口１１２及び上部フレーム３６に形成された開口５０を介して伸びている。
【００４４】
図９から図１３に示すように、プローブカード１２は円形をしたカードホルダ１１４に受けられており、カードホルダ１１４は短い円筒状の昇降トレー１１６に配置されており、昇降トレー１１６はその周りに配置された回転リング１１８を介して引き出し状のスライドトレー１２０に配置されており、スライドトレー１２０は一対のスライドレール１２２により下部フレーム３４に出し入れ可能に支持されている。
【００４５】
カードホルダ１１４は、コンタクト板５２に対応する箇所に開口１２４を有し、プローブカード１２を受ける受け部１２６を開口１２４の周りに有する。受け部１２６は、その周りより低い段部である。カードホルダ１１４は、昇降トレー１１６の下端部に設けられた内向きのフランジ１２８に外周部を受けられている。
【００４６】
カードホルダ１１４に対するプローブカード１２及び接続器７０の位置決め及びその維持は、それぞれ、カードホルダ１１４に設けられた複数のピン１３０及び１３２がプローブカード１２及び接続器７０に形成された穴１３４及び１３６に嵌合されることにより行われる。
【００４７】
昇降トレー１１６に対するカードホルダ１１４の位置決め及びその維持は、昇降トレー１１６に設けられた複数のピン１３８がカードホルダ１１４に形成された穴１４０に嵌合されることにより、行われる。
【００４８】
回転リングすなわち昇降用リング１１８は、リング１１８を受ける複数のアンダローラ１４２と、リング１４４の外周面に接触する複数のサイドローラ１４４とにより、スライドトレー１２０に組み付けられていると共に、回転位置を規制されている。両ローラ１４２，１４４は、スライドトレー１２０に取り付けられている。
【００４９】
昇降用リング１１８は、スライドトレー１２０の前方に伸びる回転用グリップ１４６により、所定の角度範囲内で昇降用リング１１８の軸線の周りに回転させることができる。
【００５０】
昇降トレー１１６はその外周面に昇降用溝１４８を有し、昇降用リング１１８はこれの角度的回転にともなって溝１４８内を移動するＺアップローラ１５０を有する。昇降用溝１４８は、図１３に示すように、一端側が低く、他端側が高くなるように、中央において傾斜している。
【００５１】
昇降トレー１１６は、昇降用リング１１８が一方向へ回転されることにより低い位置から高い位置に上昇され、昇降用リング１１８が他方向へ回転されることにより高い位置から低い位置に下降される。これにより、カードホルダ１１４も昇降される。
【００５２】
昇降トレー１１６の昇降は、ブラケット１５２によりスライドトレー１２０に上下方向へ伸びる状態に組み付けられた複数のガイドレール１５４と、各ガイドレール１５４に滑動可能に嵌合するガイド１５６とにより案内される。ガイド１５６は、昇降トレー１１６に設けられている。
【００５３】
スライドトレー１２０は、フレーム３０により形成される内側空間から前方に突出する出し入れ用の取手１５８を有する。このため、スライドトレー１２０は、取手１５８を利用して、内側空間に出し入れすることができる。
【００５４】
検査装置１０において、図７に示すように、接続器７０及び中継器７２は、予め組み立てられていると共に、相互に結合されており、中継器７２は押圧板４４にねじ止めされている。
【００５５】
また、図５に示すように、スライトトレー１２０は、プローブカード１２をカードホルダ１１４に収容した状態で、プローブカード１２がコンタクト板５２の上方となる位置に移動されており、昇降トレー１１６はベース２２の開口３２に受け入れられた状態に下降されている。このため、プローブ１４はその針先をベース２２の下方へ突出させている。
【００５６】
上記状態において、上部フレーム３６が内部空間を閉鎖する位置に変位され、押圧板４４が下降されると、接続器７０及び中継器７２を組み合わせた接続装置は、プローブカード１２の上に重ねられて、押圧板４４によりプローブカード１２に押圧される（図５及び図６参照）。この状態において、カードホルダ１１４はその受け部１２６をベース２２の開口３２に位置され、プローブ１４はその針先をコンタクト板に接近される。
【００５７】
上記の結果、接続器７０の第１の導電体７４はプローブカード１２のテスターランド１８に押圧される。押圧板４４の最下端位置は、押圧板４４がスライドトレー１２０に設けられた複数のストッパ１６０に当接することにより、制限される。このため、接続装置及び押圧板が相互に及びカードホルダ１１４に過剰に押圧されることが防止される。
【００５８】
上記状態で、プローブ１４は、その先端の高さ位置のばらつき、電極に対する接触状態の良否等の検査をされる。検査時、コンタクト板５２は、ステージ５４により上昇されて、プローブカード１２の針先に押圧され、テスターから所定の電気信号を受ける。
【００５９】
検査の針圧に対する反力は、プローブカード１２から接続装置を介して押圧板４４に伝達される。しかし、プローブカード１２と接続装置、並びに、接続装置と押圧板４４が広範囲にわたって接触しているから、プローブカード１２がカードホルダ１１４の受け部１２６に受けられていることと相まって、部材相互間に必要な平行度が小さくてよく、しかも針圧に対する反力に起因する、プローブカード１２、接続装置及び押圧板４４の撓みが著しく小さい。
【００６０】
検査が終了すると、次のプローブカードを検査するために、検査済みのプローブカードが検査装置１０から取り出され、その代わりに新たなプローブカードが検査装置１０に配置される。
【００６１】
同種のプローブカードの交換は、次のように行われる。
【００６２】
先ず、押圧板４４が駆動機構４６により図４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続器７０及び中継器７２は、図１４（Ａ）に示す位置から図１４（Ｂ）に示す位置に移動される。すなわち、接続器７０及び中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除かれると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に移動される。
【００６３】
次いで、昇降用リング１１８がハンドル１４６により回転される。これにより、昇降トレー１１６は、図１３及び図１４（Ｃ）に示すように、プローブ１４がスライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に上昇される。
【００６４】
次いで、スライドトレー１２０が図１５に示すように引き出される。この状態において、プローブカードの交換が行われる。図１５に示すスライドトレー１２０の位置は、少なくともプローブカード１２がフレーム３０による内部空間の外となる位置とすることができ、好ましくはカードホルダ１１４が内部空間の外となる位置とすることができる。
【００６５】
スライドトレー１２０が図１５に示すように引き出された状態において、検査済みのプローブカード１２がカードホルダ１１４から取り出され、その代わりに同種の他のプローブカードがカードホルダ１１４に配置される。
【００６６】
プローブカードの着脱時、交換時にケーブル１１０をコネクタ８６から外す必要がない。また、プローブカードの着脱作業をフレーム３０、押圧板４４及び接続装置に妨げられることなく行うことができるから、プローブカードの交換の作業性がよく、交換作業が安全になると共に交換作業を速く行うことができ、しかも熟練を要しない。
【００６７】
種類が異なるプローブカードの交換は、次のように行われる。
【００６８】
先ず、図１６（Ａ）に示す状態において、結合用リング９２が角度的に回転されて、接続器７０と中継器７２との結合が結合機構により解除される。
【００６９】
次いで、押圧板４４が駆動機構４６により図４に点線で示す位置に変位される。これにより、接続器７０はプローブカード１２と共にカードホルダ１１４に受けられているが、中継器７２は、図１６（Ａ）に示す位置から図１６（Ｂ）に示す位置に移動される。すなわち、中継器７２は、カードホルダ１１４から取り除かれると共に、スライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に移動される。
【００７０】
次いで、昇降用リング１１８がハンドル１４６により回転される。これにより、昇降トレー１１６は、図１３及び図１６（Ｃ）に示すように、プローブ１４がスライドトレー１２０の出し入れの妨げにならない位置に上昇される。
【００７１】
次いで、スライドトレー１２０が図１６に示すように引き出される。この状態において、プローブカードの交換が行われる。図１７に示すスライドトレー１２０の位置は、少なくともプローブカード１２及び接続器７０がフレーム３０による内部空間の外となる位置とすることができ、好ましくはカードホルダ１１４が内部空間の外となる位置とすることができる。
【００７２】
次いで、使用済みのプローブカード１２及び接続器７０がカードホルダ１１４から取り出され、その代わりに同種の他のプローブカード及び対応する接続器がカードホルダ１１４に配置される。
【００７３】
上記のように、種類の異なるプローブカードに交換するときは、接続器も交換される。これは、プローブカードのテスターランドの配置位置がプローブカードの種類により異なり、同じ接続器を異なるプローブカードに共通して用いることができないからである。したがって、新たな接続器は、新たなプローブカードのテスターランド１８を中継器７２の第２の導電体８０に接続することができるものである。
【００７４】
種類が異なるプローブカードの交換時においても、ケーブル１１０をコネクタ８６から外す必要がない。また、接続器及びプローブカードの着脱作業をフレーム３０、押圧板４４及び中継器に妨げられることなく行うことができるから、接続器及びプローブカードの交換の作業性がよく、交換作業が安全になると共に交換作業を速く行うことができ、しかも熟練を要しない。
【００７５】
上記実施例において、カードホルダ１１４は昇降トレー１１６と一体的であってもよい。また、接続器及び中継器は、それぞれ、ねじ止めされた２つの部材７６，７８及び８２，８４から形成しなくてもよい。
【００７６】
図１８は、接続器１７０及び中継器１７２をそれぞれ配線基板により形成された実施例を示す。接続器１７０及び中継器１７２を用いて検査されるプローブカード１２は、テスターランドの代わりに、それぞれが複数のプローブ１４に接続された複数のコネクタ１７４を配線基板１６の上面に有する。
【００７７】
接続器１７０は、プローブカード１２のコネクタ１７４に接続される複数のコネクタ１７６を下面に有すると共に、配線パターンによりコネクタ１７６に接続された複数のコネクタ１７８を上面に有する。中継器１７２は、接続器１７０のコネクタ１７８に接続される複数のコネクタ１８０を下面に有すると共に、配線パターンによりコネクタ１８０に接続された複数のコネクタ８６を上面に有する。各コネクタ８６には、ケーブル１１０が接続される。
【００７８】
コネクタ１７４及び１７６並びに１７８及び１８０は、それらの結合及びその解除に力を殆ど必要としないいわゆる無接点コネクタである。そのようなコネクタの一例は、例えば実用新案登録第２５７６２３３号に記載されている。しかし、そのようなコネクタの代わりに、一般的なコネクタを用いてもよい。
【００７９】
図１８に示す実施例においては、図１９に示すように、プローブカード１２をカードホルダ１１４に配置し、接続器１７０及び中継器１７２を重ね、中継器１７２を複数のねじ部材により押圧板４４の下面に組み付けることにより、検査可能なる。接続器１７０及び中継器１７２の結合の際に、コネクタ１７４及び１７６並びに１７８及び１８０がそれぞれ結合されて電気的に接続される。
【００８０】
プローブカード１２を交換するときは、接続器１７０及び中継器１７２を押圧板４４により上昇させた状態で、既に述べた実施例と同様に行えばよい。プローブと接続板１７０とを交換するときは、接続器１７０を中継器１７２から切り離した状態で、既に述べた実施例と同様に行えばよい。
【００８１】
上記実施例においては、接続器と中継器とにより接続装置を形成して、中継器を各種のプローブカードに共通に用いているが、接続装置をプローブカードの種類毎に用意してもよい。この場合、接続器及び中継器の機能を備えた接続装置とされる。
【００８２】
本発明は、上記実施例に限定されない。例えば、本発明は、ニードルタイプ以外のプローブ、例えばブレードタイプ、ピンタイプ等、他のタイプのプローブを用いたプローブカードの検査装置にも適用することができる。それゆえに、本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブ検査装置の一実施例を示す平面図
【図２】図１に示す検査装置の正面図
【図３】図１に示す検査装置の右側面図
【図４】検査装置の上部フレームを開いた状態を示す断面図
【図５】検査装置の主要部の縦断面図
【図６】図５における６−６線に沿って得た断面図
【図７】接続装置近傍の拡大断面図
【図８】図７の下面図
【図９】接続装置及びトレーの端部を拡大した断面図
【図１０】接続装置を除去した状態におけるトレーの部分の平面図
【図１１】図１０における１１−１１線に沿って得た断面図
【図１２】昇降トレー、昇降用リング及びスライドトレーとの関係を示す平面図
【図１３】昇降トレーを上昇させた状態で昇降トレー、昇降用リング及びスライドトレーとの関係を示す図
【図１４】プローブカードの交換動作を説明するための概略図
【図１５】図１４に示す状態からスライドトレーを引き出した状態を示す概略図
【図１６】プローブカード及び接続器の交換動作を説明するための概略図
【図１７】図１６に示す状態からスライドトレーを引き出した状態を示す概略図
【図１８】本発明で用いる接続装置の他の実施例を示す分解斜視図
【図１９】図１８の接続装置をプローブカードと共にカードホルダに配置した状態を示す概略図
【符号の説明】
１０  プローブカード検査装置
１２  プローブ
１４  プローブ
２０  筐体
２２  ベース
３０  フレーム
３２  ベースの開口
３４  下部フレーム
３６  上部フレーム
３８  軸
４０  上部フレーム用駆動機構
４４  押圧板
４６  押圧板用の駆動機構
５２  コンタクト板
５４  ステージ
７０，１７０  接続器
７２，１７２  中継器
７４，８０  第１及び第２の導電体
７６  接続板
７８  接続基板
８２  中継板
８４  中継基板
８６  コネクタ
９２  結合用リング（回転リング）
９４  支持ローラ
９６  サイドローラ
１００  駆動機構
１１４  カードホルダ
１１６  昇降トレー
１１８  昇降用リング
１２０  スライドトレー
１２２  スライドレール
１２４  カードホルダの開口
１２６  受け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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