(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロライドと、粒径が２０００μｍ以下である以下の有機高分子とからなる１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロライド組成物。
有機高分子：ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、ポリアクリロニトリル、ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリフッ化エチレンおよびこれら有機高分子の単量体を少なくとも１種以上含む共重合体からなる群より選ばれた少なくとも一種の有機高分子
【請求項２】
有機高分子がポリエチレンまたはポリプロピレンである請求項１記載の組成物。
【請求項３】
粒径が２５０μｍ以下の有機高分子を少なくとも１０重量％含有する請求項１記載の組成物。
【請求項４】
粒径が６００μｍ以下の有機高分子を少なくとも２０重量％含有する請求項１記載の組成物。
【請求項５】
粒径が１０００μｍ以下の有機高分子を少なくとも２５重量％含有する請求項１記載の組成物。
【請求項６】
粒径が２０００μｍ以下の有機高分子を少なくとも３０重量％含有する請求項１記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロライド（以下、ＮＱＣと称する）組成物に関する。詳しくはＮＱＣを安全に取り扱うための新規な組成物に関する。ＮＱＣはフォトレジストの原料として有用である。
【０００２】
【従来の技術】
通常、ＮＱＣは１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホン酸ナトリウムとクロルスルホン酸またはホスゲン等と反応させた後、不純物、水分、溶媒などを除去し、乾燥品として取り扱い、貯蔵、輸送されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＮＱＣは自己反応性の物質であり、安全性が懸念されたので、その危険性を調べた結果、ＮＱＣの乾燥品は比較的小さな衝撃や火花でも着火する可能性を有し、しかも空気が存在しなくても塩酸ガス、亜硫酸ガス等の有害ガスを発生しながら激しく分解する性質を有することが判った。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、ＮＱＣを安全に取り扱う方法について鋭意検討した結果、ＮＱＣを有機高分子と均一に混合することによって、安全に取り扱い、貯蔵、輸送できることを見いだし、本発明を完成するに至った。
【０００５】
すなわち、本発明は、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロライドと、粒径が２０００μｍ以下であるの有機高分子とからなる１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−５−スルホニルクロライド組成物である。
有機高分子：ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル、ポリアクリロニトリル、ポリイソプレン、ポリブタジエン、ポリフッ化エチレンおよびこれら有機高分子の単量体を少なくとも１種以上含む共重合体からなる群より選ばれた少なくとも一種の有機高分子
【０００６】
本発明に用いられる上記有機高分子は、ＮＱＣに対して不活性であり、ＮＱＣと均一に混合させることにより、ＮＱＣの危険性感度を低下させる有機高分子であり、この中でポリエチレンまたはポリプロピレンが好ましく用いられる。
【０００７】
本発明のＮＱＣ組成物は、通常、ＮＱＣが不溶性の溶媒のＮＱＣスラリーに有機高分子を添加、混合し、溶媒分離、乾燥して、または乾燥ＮＱＣに有機高分子を添加、混合して、できるだけ均一な混合物として得る。
【０００８】
本発明において、粒径が小さい有機高分子の方が少ない量で危険性感度を低下させることができるので好ましい。粒径が約２０００μｍを越えると均一混合が難しくなり、危険性感度を低下させるために必要な量が多くなり好ましくない。均一混合の容易さ、添加量からより好ましくは粒径が約１０００μｍ以下のものが、更に好ましくは粒径が約５００μｍ以下のものが用いられる。ＮＱＣと有機高分子との組成物はできるだけ均一な混合物であることが望ましいが、その均一混合物にする手段は特に限定されない。
【０００９】
有機高分子の含有量は、ＮＱＣ組成物の燃焼速度がＮＱＣ単独の燃焼速度と比較して約半分以下になる量、好ましくはＮＱＣ組成物が燃焼を継続しない程度の量である。
【００１０】
即ち、有機高分子の含有量は有機高分子の種類によっても異なるが、通常、粒径が約２５０μｍ以下の場合は約１０重量％以上、好ましくは約４０重量％以上、約６００μｍ以下の場合は約２０重量％以上、好ましくは約４０重量％以上、約１０００μｍ以下の場合は約２５重量％以上、好ましくは約５０重量％以上、約１７００μｍ以下の場合は約３０重量％以上、好ましくは約５０重量％以上、約２０００μｍ以下の場合は約３０重量％以上、好ましくは約６０重量％以上である。含有量は多くても特に問題はない。通常、上記の燃焼速度が約半分以下になる最低量とそれより約２０〜３０重量％多い量の範囲から適宜選択される。
【００１１】
有機高分子は、通常、粒径の大きいものや小さいものを含む混合物で得られるので、篩分けして、または混合物のまま、その粒径分布と前記粒径と含有量の関係を勘案して含有量が決められる。
【００１２】
ＮＱＣは、通常、フォトレジストの製造に用いられるが、この添加された有機高分子は、通常、予めフォトレジストの製造に用いられる溶媒でＮＱＣを溶解することにより不溶分として分離される。従ってフォトレジストの製造に用いられる溶媒に溶解する有機高分子を添加することは好ましくなく、ＮＱＣに添加される有機高分子は用いられる溶媒を勘案して選定される。
【００１３】
【実施例】
試験例１
ＮＱＣの乾燥品について、その危険性評価試験を行った。結果を表１に示す。試験法の概要を以下に示す。
（１）ＢＡＭ着火性試験
ピストル型のガスライターのセリウム−鉄摩擦火を吹き付ける「セリウム−鉄火花着火試験」を行った。〔吉田忠雄「化学薬品の安全  スクリーニング試験」(1982)〕
（２）落槌感度試験
試験器の金しきの上に置いた２個の円筒ころの間にＮＱＣをはさみ、５ｋｇの鉄槌をその上に落として、その落高と爆発の有無との関係から、ＮＱＣの機械的衝撃に対する感度を調べた。〔日本工業規格「火薬類の性能試験」K-    4810-1979 〕
（３）圧力容器試験
オリフィスと圧力センサーを取り付けた圧力容器にＮＱＣ５ｇを入れ、加熱して分解させ、最大圧力が６kgf/cm2 G を越える限界のオリフィス径を求めた。〔渡辺正俊他「自己反応性物質熱分解の危険性評価試験」安全工学,27,    274 (1988)〕
（４）ＴＮＯデフラグレーション試験
アルミ管にＮＱＣを入れ、上端より点火し燃焼が管中を伝播する速度を測定した。〔吉田忠雄「化学薬品の安全  反応性物質の標準的試験方法」大成出版社(1982)〕
（５）ＩＭＯ燃速試験
全長２５０mm、断面が底辺２０mmの直角三角形であるプリズム型のＮＱＣを断熱板上に形成する。ガスライターでプリズム型のＮＱＣの端に着火させ、燃焼が１２０mm進んだ後、そこから１００mm燃焼が進行する間の時間を計測し、燃焼速度を求めた。〔吉田忠雄「化学薬品の安全    反応性物質の標準的試験方法」大成出版社 (1982) 、United Nations "Recommendation on     the Transport of Dangerous Goods, Special Recommendation Relating to    Class 4 " 6th Ed. (1989)〕
【００１４】
【表１】
0003870429.tif 000002
【００１５】
試験例２
ポリプロピレンを篩分けし、各種粒径のものについて含有量を変えてＩＭＯ燃速試験を行った。結果を表２に示す。
【００１６】
【表２】
0003870429.tif 000003
【００１７】
試験例３
ポリメタクリル酸メチル（粒径２５０μｍ以下、モード径７５μｍ）について含有量を変えてＩＭＯ燃速試験を行った。
結果を表３に示す。
【００１８】
【表３】
0003870429.tif 000004
【００１９】
試験例４
表４に示す有機高分子について、ＩＭＯ燃速試験を行った。
結果を表４に示す。
【００２０】
【表４】
0003870429.tif 000005
【００２１】
試験例５
篩分けし、粒径が６００〜１０００μｍが８１．２wt％、６００μｍ以下が１８．８wt％のポリプロピレンについて含有量を変えて圧力容器試験（オリフィス径１ｍｍ）を行い、消防法危険物第５類の自己反応性物質に該当するかを確認した。
結果を表５に示す。
【００２２】
【表５】
0003870429.tif 000006
【００２３】
【発明の効果】
本発明のＮＱＣ組成物は、ＮＱＣそのものに比べて危険性感度が非常に低く、ＮＱＣを安全に取り扱い、貯蔵、輸送することができる。