(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを噴射するノズルに相当する複数の穴を形成してある金属板に該金属板とは反対側に予め撥水膜を形成した該樹脂シートを接合し、該金属板側よりレーザ照射を行うことにより該樹脂シートに該金属板の穴と連通するテーパー形状の内壁を有する穴を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリンタやファクシミリ等の画像記録装置に使用されるインクジェット記録ヘッド及びそれに使用されるノズル板の製造方法に関する。特に、本発明はインクジェット記録ヘッドにおいて一度に噴射されるインク量が微小（例えば２０ｐｌ以下）なノズルを有するノズル板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばプリンタにおいては、ワイヤを駆動し、インクリボン及び用紙を介してプラテンに押圧することで印字を行うワイヤ駆動型の記録ヘッドと、インクをノズルから噴射するインクジェット記録ヘッドとがある。後者のタイプは前者のタイプと比べて騒音が発生せず、オフィス内での使用に適しているとして注目されている。
【０００３】
従来のインクジェックト記録ヘッドは、ノズルと、圧力室と、インク供給系と、インクタンクと、トランスデューサとを備え、トランスデューサで発生した変位を圧力室に伝達することによってノズルからインクを噴射させ、紙等の記録媒体上に文字や画像を記録する。
一般によく知られている方式は、トランスデューサとして圧力室の外壁に接着された圧電素子ユニットを用いる。この圧電素子ユニットにパルス状の電圧を加え、圧力室の内壁を形成する加圧板を撓ませ、加圧板の撓みを圧力室内に伝達するものである。
【０００４】
従来のインクジェット記録ヘッドに用いられるノズル板の製造方法の一例が図１３に示されている。図１３に示されるノズル板１は電鋳法により製造される。すなわち、（Ａ）に示されるように、導電性を有する平板２の上に数μｍ以下の厚さの絶縁性のマスク（レジスト）３を形成し、（Ｂ）に示されるように、オーバーハングによる電鋳にてＮｉメッキ板４を形成し、（Ｃ）に示されるようにＮｉメッキ板４を平板２及びマスク３から剥離してノズル板１とする。マスク３の跡の部分がノズル５となる。
【０００５】
また、図１４に示されるノズル板１はプレス法により製造される。すなわち、（Ａ）に示されるように、金属板６に所望の形を有するピン７をプレスし、（Ｂ）に示されるように、金属板６の表面を研磨してプレスによるバリ等を除去してノズル板１とする。ピン７の跡の部分がノズル５となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
いずれの場合にも、ノズル板１のノズル５は非常に小さく、インク噴射側の穴径が例えば３５μｍ以下になる。このように非常に小さな穴径のノズル５を有するノズル板１を製造する場合、ノズル板１の厚さをある程度に確保するのが難しかった。所望の厚さのノズル板１を得ようとする場合、次のような問題点があった。
【０００７】
マスクを用いた電鋳法では、ノズル穴径の制御はメッキ時間、電流、メッキ液内のＮｉ濃度等を制御しなければならず、全てを適切に制御することは非常に困難である。ノズル板の厚さは形成するノズルの穴径とノズルピッチにより一義的に決定されるので、ノズルの穴径が小さいほど、ノズル板の厚さは薄くなる。ノズル形状がホーン状に変化するため、設計が困難である。また、ノズル形状はメッキ槽内の液の流れにより形が変形する。
【０００８】
また、プレス法では、ノズルの穴径が小さいほど、プレス用のピンが細くなり、ピン先端の寿命が短い。加工可能な金属板の厚さｔｍはプレスに用いるピンの径ｄｐに依存し、ｔｍ≦１．６×ｄｐの式の範囲で制限される。従って、ノズルの穴径が小さいと、金属板の厚さを厚くすることができない。
さらに、電鋳法及びプレス法のどちらの方法においても、ノズル板のインク飛翔側の表面に撥水膜を形成する場合、ノズル板のノズル内に撥水膜の材料がつまらないようにしなければならず、撥水膜を形成に際してノズル内にレジスト等を埋め込むことが必要になる。これは、ノズル内でのレジスト先端の位置制御が困難である。撥水膜形成後に穴内にレジストが残留する。
【０００９】
また、ノズル板の厚さを増加するために、穴あきの複数の板を積層してノズル板を形成した場合、各板の穴を整合させるのが難しく、ノズル内に複数の板を接合するときのずれからくる段差が発生するという問題がある。
本発明の目的は、微小な穴径のノズルをもち、十分な厚さをもったノズル板を備えたインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によるインクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法は、インクを噴射するノズルに相当する複数の穴を形成してある金属板に該金属板とは反対側に予め撥水膜を形成した該樹脂シートを接合し、該金属板側よりレーザ照射を行うことにより該樹脂シートに該金属板の穴と連通するテーパー形状の内壁を有する穴を形成することを特徴とする。
【００１２】
この場合、金属板に樹脂シートを接合し、金属板側から全面にレーザー光を照射する。レーザー光としてはエキシマレーザー等の加工性のあるものとし、金属板が樹脂シートへのレーザ照射の際のマスクとして作用し、金属板の微小穴を通過したレーザ光が接合してある樹脂シートに当たり、樹脂シートの照射された部分のみを加工する（削る）。よって、複数の微小な穴径のノズルを有するノズル板がノズル内に段差がなく得られる。
【００１３】
上記構成とともに次の構成を採用することができる。
該ノズル板の該金属板と該樹脂シートとの接合部において、該ノズル板の表面と平行をなす該樹脂シート面が該金属板の穴から露出していない。
該樹脂シートの穴の内壁のノズルの中心と平行な線に対する角度と該金属板の穴の内壁のノズルの中心と平行な線に対する角度との差がが３０度以下である。
【００１４】
該ノズル板の該金属板と該樹脂シートの厚さの比は、５０：１〜０．４：１の範囲内にある。
該ノズル板の該金属板の厚さ（ｔｍ）は、該ノズルとして形成する穴の直径（Ｄ）に対して、０．００２Ｄ≦ｔｍ≦１．０×Ｄの範囲内の厚さである。
該樹脂シートとして用いる材料としては、ＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳ等の耐インク性のあるもの、並びにドライフィルムレジストのいずれかを用いる。
【００１５】
ドライフィルムレジストを用いる場合、該樹脂シートを該金属板にラミネートし、加熱硬化を行った後に、レーザ照射にてノズル穴形成を行う。
該金属板と該樹脂シートとの接合面に熱硬化性接着剤が塗布してある。
該樹脂シートには該金属板とは反対側に撥水膜が形成してある。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１０は、インクジェット記録ヘッド１０を有するプリンタ１２を示す側面図である。図１０において、プリンタ１２はキャリッジ１４を有し、インクジェット記録ヘッド（以下単にヘッドと言う）１０とインクタンク１６とがキャリッジ１４に取り付けられている。プリンタ１２はさらに送りローラ１８及びそのピンチローラ２０、ヘッド１０と対向するプラテン２２、排出ローラ２４及びそのピンチローラ２６、並びにスタッカ２８を有する。印刷用紙等の記録媒体３０は、送りローラ１８及びピンチローラ２０によってヘッド１０とプラテン２２の間へ搬送され、ヘッド１０によってインクを噴射され、印字等の処理を行われた後、排出ローラ２４及びそのピンチローラ２６によってスタッカ２８へ排出される。
【００１７】
図１１はヘッド１０を示す分解斜視図である。図１２はヘッド１０を示す部分断面図である。図１１において、ヘッド１０は、ノズル３２を有するノズル板３４と、インク流露形成板３６、３８と、加圧板４０と、トランスデューサとしての圧電素子ユニット４２とからなる。圧電素子ユニット４２はホルダ４４に配置され、ノズル板３４とインク流露形成板３６、３８と加圧板４０は順番に重ねられてホルダ４４に取り付けられる。ピン４６はこれらの板部材をホルダ４４に対して位置決めする。
【００１８】
ホルダ４４はインクタンク１６に通じるインク通路４８を含み、このインク通路４８は加圧板４０に設けられた穴状のインク通路４０ａ、流露形成板３６、３８に設けられた穴状のインク通路３６ａ、３８ａを介して、流露形成板３６に設けられた溝状のインク通路３６ｉに連通する。さらに、流露形成板３６、３８はノズル板３４のノズル３２と対応して形成された小孔３６ｐ、３８ｐを有し、これらの小孔３６ｐ、３８ｐは図１２に示される圧力室Ｐを形成する。各圧力室Ｐは溝状のインク通路３６ｉに通じている加圧板４０は切り欠きによって分離された振動壁部４０ｑを有する。加圧板４０の振動壁部４０ｑは図１２に示されるように圧力室Ｐの外壁を形成し、隣接する振動壁部４０ｑは弾性部４０ｒで接続される。圧電素子ユニット４２は接着剤５０によって振動壁部４０ｑに固着される。
【００１９】
ホルダ３０の圧電素子ユニット４２の後側にはプリント板が設けられており、図示しないインクジェット記録装置本体からの印字信号がプリント板を介して圧電素子ユニット４２へ伝えられる。圧電素子ユニット４２に電圧を印加すると、圧電素子ユニット４２は伸縮し、加圧板４０の振動壁部４０ｑを動かして圧力室Ｐ内のインクに圧力を発生させ、ノズル板３４のノズル３２からインク滴Ｉを噴射させる。図１１及び図１２においては、ノズル板３４は４列のノズル３２を有する。
【００２０】
図１はヘッド１０のノズル板３４を製造する手順及びノズル板３２の特徴を示す図である。図１においては、（Ａ）に示されるように、所定の厚さの金属板５２と所定の厚さの樹脂シート５４とが準備される。金属板５２は製造すべきノズル板３４のノズル３２に相当する複数の微小穴径の穴５６と、位置決めピン４６を挿入するための位置決め穴５８とを有する。樹脂シート５４は基本的に穴をもたない。
【００２１】
図１の（Ｂ）に示されるように、樹脂シート５４は金属板２４に接合される。それから、図１の（Ｃ）に示されるように、樹脂シート５４と金属板２４との積層体に、金属板５２側から全面にレーザー光（Ｌ）を照射する。レーザー光としてはエキシマレーザー等の加工性のあるものとする。金属板５２が樹脂シート５４へのレーザ照射の際のマスクとして作用し、金属板５２の微小な穴５６を通過したレーザ光が接合してある樹脂シート５４に当たり、金属板５２の穴５６を透過したレーザ光が樹脂シート５４を加工する（削る）。
【００２２】
よって、図２に示されるように、樹脂シート５４には金属板５２の穴５６と連通する穴６０が形成される。金属板５２と樹脂シート５４との積層体がノズル板３４となり、穴５６と穴６０がノズル３２となる。使用においては、樹脂シート５４がヘッド１０の表面側、すなわちインクの飛翔側に配置される。
このように、ノズル板３４は、金属板５２と樹脂シート５４の積層体からなる構成とすることにより、比較的に薄い金属板５２にノズル３２に相当する穴５６を形成し、この金属板５２に接合された樹脂シート５４に金属板５２の穴５６に基づいて穴６０を形成して、ノズル３２をもったノズル板３４を製造することができる。こうして、微小な穴径のノズル３２をもった、所望の厚さのノズル板３４を得ることができる。これによって、ノズル板３４のノズル３２のインク噴射側の穴径が３５μｍ以下であっても、十分な厚さのノズル板３４を得ることができる。さらに、金属板５２と樹脂シート５４とを接合してノズル板３４を形成し、樹脂シート５４を外面側に配置して使用することにより、ノズル板３４からインクを噴射した後にノズル板３４の表面に付着したインクを除去する場合、金属単体のノズル板よりも容易にインクを除去することができる。
【００２３】
金属板５２と樹脂シート５４との接合部において、ノズル板３４の表面と平行をなす樹脂シート面が金属板５２の穴５６から露出していない。つまり、穴５６の内壁と穴６０の内壁とは段差がなく連続する。もしノズル３２の内壁が連続でなく、金属板５２と樹脂シート５４との接合面の一方がノズル３２から露出している場合は、樹脂シート５４に形成した穴６０と金属板５２に形成した穴５６との段差に気泡が残留したり、インクのメニスカスの移動時に段差部で挙動が不連続となり、安定したインク飛翔が得られない。
【００２４】
金属板５２をマスクとしてレーザ光の照射により形成された樹脂シート５４の穴６０は概してテーパーをもつ形状になる。テーパーの角度はレーザ光の照射の仕方によって制御できる。
図２においては、金属板５２の穴５６はテーパーをもつ形状に形成され、樹脂シート５４の穴６０も金属板５２の穴５６のテーパーと同様のテーパーをもつ形状に形成される。従って、金属板５２の穴５６と樹脂シート５４の穴６０とはほぼ単一の円錐面形状の内壁をもったノズル３２を形成する。
【００２５】
図３においては、樹脂シート５４の穴６０の内壁のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｐと金属板５２の穴５６の内壁のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｍとが異なっている。θｍ≧θｐである。
図４においては、樹脂シート５４の穴６０の内壁のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｐと金属板５２の穴５６の内壁のノズル３２の中心と平行な線に対する角度θｍとの差が３０度以下である。すなわち、（θｍ−θｐ）＜３０°である。
【００２６】
このように、ノズル板３４における金属板５２の穴６０の内壁と樹脂シート５４の穴６０の内壁との角度差を３０度以下にすることで、インク噴射後のインク飛翔位置がノズル板３４に形成したノズル３２の中心線上に集まり、記録媒体上の所望の位置に印字が可能となる。金属板５２の穴６０の内壁と樹脂シート５４の穴６０の内壁との角度差を小さくすることで、インク飛翔位置のバラツキは小さくなる。
【００２７】
図５は、ノズル板３４を形成するための金属板５２を形成する例を示す図である。図５においては、金属板５２は電鋳法により形成される。すなわち、導電性の板６２に絶縁性の突起６４を形成しておき、導電性の板６２を一方の電極としてニッケルメッキを行うと、ニッケルメッキ層として金属板５２が形成される。金属板５２を導電性の板６２の板から剥離すると、穴５６は絶縁性の突起６４の跡に形成される。
【００２８】
図６は、ノズル板３４を形成するための金属板５２を電鋳法により形成する他の例を示す図である。図６においては、導電性の板６２に絶縁性の突起６４を形成しておき、突起６４が円錐形の形状を有するものとする。導電性の板６２を一方の電極としてニッケルメッキを行うと、ニッケルメッキ層として金属板５２が形成される。金属板５２を導電性の板６２の板から剥離する、テーパーをもった穴５６が絶縁性の突起６４の跡に形成される。金属板５２の形成においては、ノズル板３４の金属板５２がインクに接触してもインク内の成分、例えば染料等に対してこれらを凝集もしくは析出させないように、スルファミン酸系のメッキ液を用いることとする。
【００２９】
従来はノズル板全体を電鋳法のみによって形成せしめようとしていたため、形成する所望の穴径に対して板の厚さが得られず、ノズル部でのインク保持力か小さくなっていた。これに対して、本発明では電鋳による金属部分は微小穴径形成のみを目的とし、後に金属板に樹脂シートを接合することから、ノズル部でのインク保持力は接合し、微小穴形成をした樹脂シートから得られることから、ノズルとして有効となる。
【００３０】
図７は、ノズル板３４を形成するための金属板５２をプレス法により形成する例を示す図である。図７においては、金属板５２を先端がテーパー形状のピン６６でプレスする。テーパーをもった穴５６がピン６６の跡に形成される。本発明においては、ノズル板３４は金属板５２と樹脂シート５４との積層体として形成されるので、金属板５２自体には金属単体でノズル板を形成する場合ほどの厚さは要求されない。そして、図２から図４に示したようにノズルがテーパー形状に形成される場合、樹脂シート５４の穴６０が小さくても、金属板５２の穴５６の大きさは金属単体でノズル板を形成する場合よりも微小でなくてもよい。
【００３１】
ノズル板３４の金属板５２と樹脂シート５４の厚さの比は、５０：１〜０．４：１の範囲内にあるのが望ましい。ノズル３２の穴５６、６０の内壁が形成する角度差の上記条件内において、ノズル板３４を形成する金属板５２の厚さｔｍの範囲は、５μｍ≦ｔｍ≦１００μｍにあるのが好ましい。金属板５２の厚さが５μｍより薄い場合は樹脂シート５４を接合する時にしわや変形が極端に増加し、１００μｍより厚い場合は微小穴径の加工性が低下する。また、ノズル板３４の金属板５２に関し、金属板５２の厚さｔｍは、ノズル３２として形成する穴５６の最小直径（Ｄ）に対して、０．００２Ｄ≦ｔｍ≦１．０２×Ｄ  の範囲内の厚さであるのが好ましい。
【００３２】
金属板５２の加工範囲に対する樹脂シート５４の厚さの範囲は、金属板５２と樹脂シート５４との形成するノズル３２の毛管力等のインク保持力を考慮し、金属板５２の厚さが、５０μｍ≦ｔｍ≦１００μｍの場合には、樹脂シートの厚さｔｐの範囲は、２μｍ≦ｔｐ≦５０μｍとするのがよい。また、金属板５２の厚さが、５μｍ≦ｔｍ≦５０μｍの場合には、樹脂シートの厚さｔｐの範囲は、６μｍ≦ｔｐ≦１００μｍとするのがよい。
【００３３】
樹脂シート５４として用いる材料としては、ＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳ等の耐インク性のあるもの、もしくはドライフィルムレジストを用いるのがよい。樹脂シート５４と金属板５２との接合面に熱硬化性接着剤が塗布してある。ドライフィルムレジストを用いる場合、金属板５２上にラミネート後、加熱硬化を行った後に、レーザ照射にてノズル穴形成を行う。また、樹脂シート５４の熱硬化性接着剤の塗布面とは反対側に撥水膜が形成してある。
【００３４】
金属板５２の形成に電鋳法を用いる場合、図５及び図６に示されるように絶縁性の突起６４を用いる場合、形成する金属板５２の厚さｔｍは所望のノズル径に対応する絶縁性の突起（例えばレジスト）６４の直径ｄｒに対して、ｔｍ＜ｄｒの範囲とする。従来よりの問題点であったメッキ後の成長面の研磨は、電鋳による金属板５２の厚さをより厚くとろうとする場合に発生し、本発明における板厚さの範囲内では、微小穴径が３５μｍの場合に絶縁性の突起６４のまわりに形成される金属の厚さの増加は３μｍ以下であり、これは、後の工程で吸収可能な厚さである。また、本発明では樹脂シート５４接合後に金属板５２側からレーザ照射を行うために、本過程において金属板５２の微小穴内に残留したレジストは除去することが可能である。
【００３５】
金属板５２に形成する微小穴径に関し、前記金属板５２の厚さの範囲内で、金属製のピン６６によるプレス加工で形成する場合、本発明では後に金属板５２に樹脂シート５４を接合することから、ノズル部でのインク保持力は接合し、微小品形成をした樹脂シート５４により得られることから、ノズル３２として有効になる。
【００３６】
従来よりの加工法であるプレス法による微小穴に関し、金属板の厚さを最大限で得ようとするため、使用するピン６６の寿命が短くなる。本発明では、金属板５２は樹脂シート５４に微小穴を形成するためにレーザ照射用のマスクとして樹脂シート５４上に接合していればよいので、金属板５２にノズル３２の長さに対応する厚さを必要としない。このため、微小な穴が精度よく形成されていればよく、金属板５２の厚さは使用するピン６６に負担を与えない範囲とすることができる。
【００３７】
ノズル板３４の樹脂シート５４に用いる樹脂は、常にインクと接触していることから、インクに対して膨潤あるいは溶解等が発生してはいけない。インクには数パーセント程度のアルコール分が入っており、耐性のあるＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＥＳあるいはインクジェット記録ヘッドのインク流露を形成するために用いるドライフィルムレジストを用いることが望ましい。
【００３８】
樹脂シート５４を用いる場合には、予め厚さが均一で硬化後に耐インク性を有する接着剤が塗布してあるものとする。厚さの均一性は加工後のノズル３２の長さが接着剤部分でばらついた場合、ノズル３２のインク保持力（液体の抵抗）がノズル３２毎に異なり、結果として噴射するインクの量、速度にバラツキが発生する。
【００３９】
図８はノズル板３４を形成するための金属板５２を取り出すための基板７０を示す図である。基板７０は複数の（４個の）金属板５２を取り出すようになっている。基板７０はステンレス板であり、各金属板５２は穴５６を有する。金属板５２の厚さを２０μｍとし、穴５６の直径を２０μｍとし、穴５６の内壁の角度θｐを０度として形成した。基板７０は金属板５２を切り出すための弱め線６８を形成してある。
【００４０】
図９は樹脂シート５４の例を示す図である。樹脂シート５４はＰＥＮ＃２６（ｔｐ＝１６μｍ）を基材とし、樹脂シート５４の金属面板５２との接合面側にパナック（株）製のポリウレタン系熱硬化型接着剤７０を５μｍ塗布し、樹脂シート５４の系熱硬化型接着剤の塗布面とは反対側に（株）永井表面技術研究所製の撥水性膜７２を２μｍコーティングした。基板７０から金属板５２をを切り出した後、金属板５２と樹脂シート５４とを熱硬化型接着剤７０を介して接合し、１２０℃・５ｋｇ／ｃｍ2 ・０．５ｍ／分でラミネートし、後に１５０℃にて２時間、１０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力下で硬化接着を行った。
【００４１】
この金属板５２と樹脂シート５４との積層体を金属板５４側からエキシマレーザを用いて樹脂シート５４に微小穴６０を形成した。エキシマレーザの条件は以下である。出力：５０Ｗ、パルス幅：１６ｎｓ、光強度：０．８５Ｊ／ｃｍ2 ・パルスであった。これにより、樹脂シート５４に金属板５２に形成した微小穴５６と同形状の微小穴６０が同時に形成できた。
【００４２】
本発明のノズル板３４を用いた場合、樹脂シート５４に形成したノズルの穴６０が従来のノズル板よりも長く形成できており、飛翔方向のバラツキも小さくなっている。特に、接着剤７０は樹脂シート５４に予め塗布する接着剤であるため、接合時に熱により再び溶解し、接着硬化が現れる熱硬化性接着剤であるのが好ましい。さらに、硬化後に耐インク性を有する接着剤としてはポリウレタン系が好ましい。
【００４３】
樹脂シート５４が金属のみを用いたノズル板よりも撥水性があり、ノズル表面に付着したインクを容易に除去できるが、よりワイピング性を向上させるには、樹脂シート５４上に撥水性膜７２をコーティングすることが望ましい。この場合、樹脂シート５４のノズル板３４のインク噴射側となる面の表面全部に予め撥水性膜７２を所望の厚さでコーティングしておき、金属板５２との接合後、金属板５２側からのレーザ照射にて樹脂シート５４に形成する穴加工時に同時に開口部を形成する。これにより、形成された微小穴６０まわりに均一に開口部のエッジるで撥水性膜７２が覆うことになり、良好なインク飛翔とワイピング特性が得られる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、複数の微小穴を有する金属板を用い、これに樹脂シートを接合後、レーザ照射による微小穴形成によって、微小で長いノズルをもつノズル板を得ることが可能となった。また、加工前にノズル板前面に撥水膜を形成することで、微小穴形成後、穴近傍まで確実に撥水膜が形成され、且つ穴内部のレジスト等の有機付着物も確実に除去可能である。さらに、プレスにて金属板に微小穴を形成する場合でも、金属板の厚さが薄くてよいことからピンの寿命を長くでき、結果としてノズル板のコスト低減にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によりノズル板を製造する手順を示す図である。
【図２】本発明により形成されたノズル板を示す断面図である。
【図３】ノズル板の変化例を示す断面図である。
【図４】ノズル板の変化例を示す断面図である。
【図５】ノズル板を形成するための金属板を作る例を示す図である。
【図６】金属板を作る他の例を示す図である。
【図７】金属板を作る他の例を示す図である。
【図８】ノズル板を形成するための金属板を形成するための基板を示す図である。
【図９】接着剤と撥水性膜を塗布した樹脂シートを示す断面図である。
【図１０】インクジェット記録ヘッドを有するプリンタを示す図である。
【図１１】インクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図１２】インクジェット記録ヘッドを示す部分断面図である。
【図１３】従来技術を説明する図である。
【図１４】従来技術を説明する図である。
【符号の説明】
３２…ノズル
３４…ノズル板
３６、３８…インク流露形成板
４０…加圧板
４２…圧電素子ユニット
５２…金属板
５４…樹脂シート
５６…穴
６０…穴
７０…接着剤
７２…撥水性膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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