(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直磁気記録ヘッド部と再生ヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドにおける前記垂直磁気記録ヘッド部によって、軟磁性層と垂直磁気記録層とを積層してなる垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号の書込みを行い、書込みが行われた該トラックの定められた一部領域に該垂直磁気記録ヘッド部によって上書きを行い、該上書き直後の前記トラックについて前記再生ヘッド部により前記下地信号の読出しを行い、前記一部領域における前記上書き及び該上書き直後における前記読出しを複数回繰返し、該複数回の読出しによって得られた再生出力から前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常を検出することを特徴とする複合型磁気ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記再生ヘッド部の前記読出しによる再生出力の振幅平均値から前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常を検出することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記書込みを前記１つのトラックのほぼ全周に渡って行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記振幅平均値が閾値以下であれば前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常が出現したと判別することを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記読出しを前記上書き直後からあらかじめ定めた期間行うことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記書込み及び前記上書きの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記読出しの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記上書き及び前記読出しの終了位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記上書き及び前記読出しがオントラックとなるように前記複合型磁気ヘッドの角度を制御することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記垂直磁気記録ヘッド部に可変の外部磁界を印加した状態で前記検査を行うことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記書込みの周波数と前記上書きの周波数とが互いに異なることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
垂直磁気記録ヘッド部と再生ヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドにおける前記垂直磁気記録ヘッド部によって、軟磁性層と垂直磁気記録層とを積層してなる垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号の書込みを行う手段と、書込みが行われた該トラックの定められた一部領域に該垂直磁気記録ヘッド部によって上書きを行う手段と、該上書き直後の前記トラックについて前記再生ヘッド部により前記下地信号の読出しを行う手段と、前記上書きを行う手段による前記一部領域への前記上書き及び前記読出しを行う手段による前記上書き直後における前記読出しを複数回繰返す手段と、該複数回の読出しによって得られた再生出力から前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常を検出する手段とを備えたことを特徴とする複合型磁気ヘッドの検査装置。
【請求項１３】
前記検出する手段が前記再生ヘッド部の前記読出しによる再生出力の振幅平均値から前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常を検出する手段であることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記書込みを行う手段が、前記書込みを前記１つのトラックのほぼ全周に渡って行う手段であることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記検出する手段が、前記振幅平均値が閾値以下であれば前記垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常が出現したと判別する手段であることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記読出しを行う手段が、前記読出しを前記上書き直後からあらかじめ定めた期間行う手段であることを特徴とする請求項１２から１５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記書込みを行う手段及び前記上書きを行う手段が、それぞれ、前記書込み及び前記上書きの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることを特徴とする請求項１２から１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記読出しを行う手段が、前記読出しの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることを特徴とする請求項１２から１７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
前記上書きを行う手段及び前記読出しを行う手段が、それぞれ、前記上書き及び前記読出しの終了位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることを特徴とする請求項１２から１８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
前記上書き及び前記読出しがオントラックとなるように前記複合型磁気ヘッドの角度を制御する手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１２から１９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
前記検査中に、前記垂直磁気記録ヘッド部に可変の外部磁界を印加する手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１２から２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記外部磁界を印加する手段が、前記垂直磁気記録媒体の表面に垂直又は平行な磁界を前記垂直磁気記録ヘッド部に印加するコイル又は永久磁石であることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記外部磁界を印加する手段が、前記垂直磁気記録ヘッド部と中心が一致して設けられていることを特徴とする請求項２１又は２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記書込みを行う手段及び前記上書きを行う手段が、互いに異なる前記書込みの周波数と前記上書きの周波数とを用いることを特徴とする請求項１２から２３のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複合型磁気ヘッドにおける垂直磁気記録ヘッド部の記録信号消去動作を検査する方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
近年、ハードディスク装置の面記録密度の増大に伴って、それまでの面内磁気記録方式とは異なる垂直磁気記録方式の開発が盛んとなってきている。
【０００３】
垂直磁気記録方式は、面内磁気記録方式に比べて記録媒体の熱揺らぎの影響を受けにくく、かつ磁化転移部分での減磁界を非常に小さくでき磁化転移幅を狭くすることができるので、高密度化が可能である。
【０００４】
軟磁性裏打ち層と垂直磁気記録層とを積層してなる垂直２層膜磁気記録媒体に対する垂直磁気記録ヘッドとして、従来より、記録主磁極とリターンヨークとなる補助磁極とこれらに作用する励磁コイルとを備えた単磁極構造を有するものを使用することが提案されている。
【０００５】
最近、このような先端が細い主磁極を有する構造の垂直磁気記録ヘッドを用いて磁気記録媒体に信号記録を行うと、書込み動作の数百回に１回程度の確率で、記録した信号を記録ヘッド自らが消去してしまう媒体磁化消去異常（以下、ポールイレージャ（ｐｏｌｅ  ｅｒａｓｕｒｅ）と称する）現象の生ずることが本願発明者等によって発見された。
【０００６】
以前から行われていた面内磁気記録方式では、このようなポールイレージャ現象は生じていなかったため、この現象を検出し、評価する検査方法及び装置は全く存在しなかった。
【０００７】
単に記録信号が消去されるかどうかを検出するには、書込みを行った毎にその記録信号の読出しを行い、これを繰り返すことによって再生出力の変化量を調べればよいが、この方法では、ポールイレージャ現象で見られるような、微小なかつあるビット領域におきる信号消去異常については、大きな出力変動に埋もれてしまって検出することが不可能である。また、このポールイレージャ現象は、同じ条件下においても出現する場合としない場合とがあるため、即ち確率的に出現するため、発見が非常に困難であった。さらに、このポールイレージャ現象を定量化することができなかったため、垂直磁気記録ヘッドの信頼性を評価することが不可能であった。
【０００８】
従って本発明の目的は、ポールイレージャ現象を確実に検出できる複合型磁気ヘッドの検査方法及び検査装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、垂直磁気記録ヘッド部と再生ヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドにおける垂直磁気記録ヘッド部によって、軟磁性層と垂直磁気記録層とを積層してなる垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号の書込みを行い、書込みが行われたトラックの定められた一部領域に垂直磁気記録ヘッド部によって上書きを行い、上書き直後のトラックについて再生ヘッド部により下地信号の読出しを行い、この一部領域における上書き及びその直後における読出しを複数回繰返し、複数回の読出しによって得られた再生出力から垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常、即ちポールイレージャ現象、を検出する複合型磁気ヘッドの検査方法が提供される。
【００１０】
最初に垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号としての記録信号が書込まれる。次いで、そのトラックの決められた一部領域に上書きが行われ、その上書き直後のトラックについて、下地信号の読出しが行われる。この上書き及び読出しが複数回繰返され、得られた再生出力からポールイレージャ現象が検出される。再生されるのは、上書きされた信号ではなく、上書きが行われた直後に位置する下地信号である。垂直磁気記録ヘッド部の消去異常が生じれば、その部分の下地信号は失われてしまい２度と再生されないから、このように行うことによって、消去が行われたかどうか容易に検出することができる。この上書き及び読出し動作を繰返して行えば、確率的に出現するポールイレージャ現象について、確実に検出することができる。その結果、ポールイレージャ現象の生じる垂直磁気記録ヘッド部を有する複合型磁気ヘッドを容易に選別することができ、ヘッドの設計、検査及び出荷段階で用いて、信頼性の高い複合型磁気ヘッドを容易に提供することができる。
【００１１】
再生ヘッド部の読出しによる再生出力の振幅平均値から垂直磁気記録ヘッド部のポールイレージャ現象を検出することが好ましい。
【００１２】
書込みを１つのトラックのほぼ全周に渡って行うことも好ましい。
【００１３】
振幅平均値が閾値以下であれば垂直磁気記録ヘッド部のポールイレージャ現象が出現したと判別することがより好ましい。
【００１４】
読出しを上書き直後からあらかじめ定めた期間行うことも好ましい。
【００１５】
書込み及び上書きの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御するが好ましい。
【００１６】
読出しの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御することも好ましい。
【００１７】
上書き及び読出しの終了位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御することもさらに好ましい。
【００１８】
上書き及び読出しがオントラックとなるように複合型磁気ヘッドの角度を制御することが好ましい。
【００１９】
垂直磁気記録ヘッド部に可変の外部磁界を印加した状態で検査を行うことがより好ましい。外部磁界を印加することによりポールイレージャ現象が出現し易くなり、その印加磁界の強度を変えることによりその垂直磁気記録ヘッド部の耐ポールイレージャ現象に関して定量化を行うことがより容易となる。
【００２０】
書込みの周波数と上書きの周波数とが互いに異なることも好ましい。
【００２１】
本発明によれば、さらに、垂直磁気記録ヘッド部と再生ヘッド部とを備えた複合型磁気ヘッドにおける垂直磁気記録ヘッド部によって、軟磁性層と垂直磁気記録層とを積層してなる垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号の書込みを行う手段と、書込みが行われたトラックの定められた一部領域に垂直磁気記録ヘッド部によって上書きを行う手段と、上書き直後のトラックについて再生ヘッド部により下地信号の読出しを行う手段と、上書きを行う手段によるこの一部領域への上書き及び読出しを行う手段によるその直後における読出しを複数回繰返す手段と、複数回の読出しによって得られた再生出力から垂直磁気記録ヘッド部の媒体磁化消去異常、即ちポールイレージャ現象、を検出する手段とを備えた複合型磁気ヘッドの検査装置が提供される。
【００２２】
書込みを行う手段によって、最初に、垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号としての記録信号が書込まれる。次いで、上書きを行う手段によって、そのトラックの決められた一部領域に上書きが行われ、読出しを行う手段によって、その上書き直後のトラックについて下地信号の読出しが行われる。繰返す手段によって、この上書き及び読出しが複数回繰返され、検出する手段によって、再生出力からポールイレージャ現象が検出される。再生されるのは、上書きされた信号ではなく、上書きが行われた直後に位置する下地信号である。垂直磁気記録ヘッド部の消去異常が生じれば、その部分の下地信号は失われてしまい２度と再生されないから、このように行うことによって、消去が行われたかどうか容易に検出することができる。この上書き及び読出し動作を繰返して行えば、確率的に出現するポールイレージャ現象について、確実に検出することができる。その結果、ポールイレージャ現象の生じる垂直磁気記録ヘッド部を備えた複合型磁気ヘッドを容易に選別することができ、ヘッドの設計、検査及び出荷段階で用いて、信頼性の高い複合型磁気ヘッドを容易に提供することができる。
【００２３】
検出する手段が、再生ヘッド部の読出しによる再生出力の振幅平均値から垂直磁気記録ヘッド部のポールイレージャ現象を検出する手段であることが好ましい。
【００２４】
書込みを行う手段が、書込みを１つのトラックのほぼ全周に渡って行う手段であることも好ましい。
【００２５】
検出する手段が、振幅平均値が閾値以下であれば垂直磁気記録ヘッド部のポールイレージャ現象が出現したと判別する手段であることがさらに好ましい。
【００２６】
読出しを行う手段が、読出しを上書き直後からあらかじめ定めた期間行う手段であることが好ましい。
【００２７】
書込みを行う手段及び上書きを行う手段が、それぞれ、書込み及び上書きの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることも好ましい。
【００２８】
読出しを行う手段が、読出しの開始位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることも好ましい。
【００２９】
上書きを行う手段及び読出しを行う手段が、それぞれ、上書き及び読出しの終了位置をインデックスパルスからの遅延時間で一定に制御する手段であることも好ましい。
【００３０】
上書き及び読出しがオントラックとなるように複合型磁気ヘッドの角度を制御する手段をさらに備えたことが好ましい。
【００３１】
検査中に、垂直磁気記録ヘッド部に可変の外部磁界を印加する手段をさらに備えたことがより好ましい。外部磁界を印加することによりポールイレージャ現象が出現し易くなり、その印加磁界の強度を変えることによりその垂直磁気記録ヘッド部の耐ポールイレージャ現象に関して定量化を行うことがより容易となる。
【００３２】
この場合、外部磁界を印加する手段が、垂直磁気記録媒体の表面と垂直又は平行な磁界を垂直磁気記録ヘッド部に印加するコイル又は永久磁石であることがさらに好ましい。また、外部磁界を印加する手段が、垂直磁気記録ヘッド部と中心が一致して設けられていることも好ましい。
【００３３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態として、垂直磁気記録ヘッドの検査装置の構成を概略的に示すブロック図であり、図２は本実施形態における垂直磁気記録ヘッドの構造を示す図であり、同図（Ａ）は浮上面（ＡＢＳ）方向から見た側面図、同図（Ｂ）はそのＢ−Ｂ線断面図であり、図３は本実施形態における垂直磁気記録媒体の構造を示す断面図である。
【００３４】
図１において、１０はスピンドル１１を軸に回転するディスク状の垂直２層膜磁気記録媒体、１２は検査すべき垂直磁気記録ヘッド部及び巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）再生ヘッド部からなる複合型磁気ヘッド、１３はヘッドアンプ１４を介してこの複合型磁気ヘッド１２の信号端子に電気的に接続されており、複合型磁気ヘッド１２の読み書きを制御すると共に再生出力からポールイレージャ現象発生の有無を判別する制御・検査回路、１５は複合型磁気ヘッド１２に外部磁界を印加するための磁気コイル、１６は磁気コイル１５に電流を供給する電流発生源、１７は冷却ファンをそれぞれ示している。本実施形態の検査装置は、磁場発生装置付のＤＰ（ダイナミックパフォーマンス）テスタを部分的に改造して形成されている。
【００３５】
磁気コイル１５は、同図に示すように、垂直磁気記録媒体１０の表面に垂直な磁界を垂直磁気記録ヘッド１２に印加するものであっても良いし、垂直磁気記録媒体１０の表面に平行な磁界を垂直磁気記録ヘッド１２に印加するものであっても良い。また、中空のコイルであっても、磁芯入りのコイルであっても良い。さらに、磁気コイルに代えて永久磁石を用いても良い。
【００３６】
磁気コイル１５と、複合型磁気ヘッド１２との位置関係は、水平方向については、下側コイル部分がスピンドル１１に接触せずかつコイル中心が磁気ヘッド１２の中心と一致して設けられていることが望ましい。この条件を満たすためには、磁気コイル１５の直径をＤｍ、スピンドル１１の直径をＤｓ、磁気記録媒体１０の半径をＲｍｅｄｉａとすると、Ｄｍ／２＋Ｄｓ／２＜Ｒｍｅｄｉａとする必要がある。また、垂直方向には、磁気ヘッド１２の脱着が容易にできるように、磁気コイル１５の上側コイル部分の底と磁気記録媒体１０の表面との距離Ｈ１がＨ１≧５ｍｍであることが必要である。
【００３７】
この磁気コイル１５の発熱により、ピエゾ素子の温度特性に基づいてヘッド位置が変位し、オフトラックなどの不都合が生じないようにするため、冷却ファン１７が設けられている。
【００３８】
複合型磁気ヘッド１２は、図２に示すように、記録主磁極（メインポール）２０、リターンヨークとなる補助磁極２１、及びこれらに作用する励磁コイル２２を含む単磁極構造の垂直磁気記録ヘッド部と、ＧＭＲ素子２３を含むＧＭＲ再生ヘッド部とからなっている。
【００３９】
垂直磁気記録媒体１０は、図３に示すように、基板３０上に、軟磁性裏打ち層３１、垂直磁気記録層３２、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）による保護層３３及び潤滑層３４を順次積層した構成となっている。
【００４０】
図４は、本実施形態における検査方法の概略的な流れを示すフローチャートである。
【００４１】
まず、検査すべき垂直磁気記録ヘッド部とＧＭＲ再生ヘッド部とを有する複合型磁気ヘッド１２を検査装置に装着し、記録ヘッド部及び再生ヘッド部のオフセットを行う（ステップＳ１）。この場合のオフセットは、記録ヘッド部の記録主磁極２０と再生ヘッド部のＧＭＲ素子２３とが共にオントラックとなるように、例えばヘッドのスキュー角度を変化させることによって行う。
【００４２】
次いで、垂直磁気記録媒体１０の任意のトラックの全周に対して書込みを行い（ステップＳ２）、そのトラックの全周に渡って読出しを行う（ステップＳ３）。図５（Ａ）及び図６（Ａ）に示すように、記録媒体への下地信号の書込み段階においては、インデックスパルスから所定の遅延時間経た後に書込みゲート及び読出しゲートがほぼ全周に渡って開き、これによって第１の周波数の信号がほぼ全周に渡って記録され、その後、これが読み出される。この記録された信号はその後、上書きされない限り下地信号として、記録媒体上に残る。読出された信号は、後述するように、サンプリングされその最大値及び最小値が計算されて最終的にトラック平均振幅値（ＴＡＡ）が求められ、ＴＡＡ（０）として記憶される（ステップＳ４）。
【００４３】
次いで、垂直磁気記録媒体１０の一部領域に対して上書きを行い（ステップＳ５）、その上書き終了直後に読出しを行う（ステップＳ６）。図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）に示すように、記録媒体への１回目の上書き段階においては、インデックスパルスから所定の遅延時間経た後に書込みゲートを所定時間開き、これによって第１の周波数とは異なる第２の周波数の信号を上書きする。書込みゲートが閉じた直後に読出しゲートを所定時間開き、これによって読出しを行う。読出された信号は、後述するように、サンプリングされその最大値及び最小値が計算されて最終的にＴＡＡが求められ、ＴＡＡ（１）として記憶される（ステップＳ７）。書込みゲートの閉じる時間、読出しゲートの開く時間及び閉じる時間は、インデックスパルスから遅延時間で規定される。
【００４４】
次いで、この上書き及びその直後の読出しを指定回数ｎだけ繰り返したかどうか判別し（ステップＳ８）、繰り返していない場合はステップＳ５〜Ｓ７の処理を再び実行する。図５（Ｂ）及び図６（Ｃ）に示すように、記録媒体へのｎ回目の上書き段階においては、インデックスパルスから所定の遅延時間経た後に書込みゲートを所定時間開き、これによって第２の周波数の信号を上書きする。書込みゲートが閉じた直後に読出しゲートを所定時間開き、これによって読出しを行う。読出された信号は、サンプリングされその最大値及び最小値が計算されて最終的にＴＡＡが求められ、ＴＡＡ（ｎ）として記憶される（ステップＳ７）。
【００４５】
ＴＡＡの計算は、例えば、以下のようにして行われる。まず、図７（Ａ）に示すように、ＧＭＲ再生ヘッド部が読出したアナログ信号電圧をあるサンプリング間隔で取り込み、デジタル信号に変換する。次に、図７（Ｂ）に示すように、正のピーク電圧値を求めてその平均値ＶＰをＶＰ＝（ＶＰ１＋Ｖｐ２＋ＶＰ３＋・・・＋ＶＰｍ）／ｍから計算する。次に、図７（Ｃ）に示すように、負のピーク電圧値を求めてその平均値ＶＮをＶＮ＝（ＶＮ１＋ＶＮ２＋ＶＮ３＋・・・＋ＶＮｍ）／ｍから計算する。次に、図７（Ｄ）に示すように、ＴＡＡをＴＡＡ＝ＶＰ−ＶＮから求める。なお、下地信号の周波数が既知であるため、ピーク電圧の位置でのみサンプリングを行うように構成しても良いことは明らかである。
【００４６】
ステップＳ８において、上書き及びその直後の読出しを指定回数のｎ回繰り返したと判別した場合は、記憶されているＴＡＡ（０）、ＴＡＡ（１）〜ＴＡＡ（ｎ）のうちに閾値以下のものがあるかどうか判別する（ステップＳ９）。閾値以下のＴＡＡが存在する場合はポールイレージャ現象発生と判別し（ステップＳ１０）、閾値以下のＴＡＡが存在しない場合はポールイレージャ現象無しと判断する（ステップＳ１１）。
【００４７】
ＴＡＡは、図８（Ａ）に示すように、ポールイレージャ現象が存在しない場合は、上書き終了直後に下地信号が存在するので、閾値より大きな値となっている。しかしながら、図８（Ｂ）に示すように、ポールイレージャ現象が発生し、ｋ回目の書込み時にその直後の下地信号が消去されてしまうと、ＴＡＡ（ｋ）はもちろんのこと、それ以後のＴＡＡ（ｋ＋１）〜ＴＡＡ（ｎ）が全て閾値以下となる。
【００４８】
以上述べたように、本実施形態によれば、上書き直後のトラックについて下地信号の読出しが行われ、この上書き及び読出しが複数回繰り返され、得られた再生出力からＴＡＡが計算され、閾値と比較されてポールイレージャ現象が検出される。読出されるのは、上書きされた信号ではなく、上書きが行われた直後に位置する下地信号であることに注意すべきである。垂直磁気記録ヘッドの消去異常が生じれば、その部分の下地信号は失われてしまい２度と再生されないから、このように行うことによって、消去が行われたかどうか容易に検出することができる。この上書き及び読出し動作を繰り返して行えば、確率的に出現するポールイレージャ現象を確実に検出することができる。その結果、ポールイレージャ現象の生じる垂直磁気記録ヘッドを容易に選別することができ、ヘッドの設計、検査及び出荷段階で用いて、信頼性の高い垂直磁気記録ヘッドを容易に提供することができる。
【００４９】
読出しゲートの開いている時間を調節することにより、ある領域における微小な信号消去についても、大きな出力変動中に埋もれず観測することが可能となる。
【００５０】
なお、本実施形態では、下地信号と上書き信号とに互いに異なる周波数を用いているが、これらが同一の周波数であってももちろんよい。
【００５１】
以上述べた検出を外部磁界が印加された環境下で行えば、ポールイレージャ現象がより誘起し易くなるので、これを加速試験として利用することができる。さらに、ポールイレージャ現象が出現する外部印加磁界の強度から、ヘッドのポールイレージャ現象に対する耐性を定量化することが可能となる。外部印加磁界は、図１の電流発生源１６から磁気コイル１５に流す電流値を変えるか又は磁気コイル１５自体の寸法を変えることによって変化させることが可能である。
【００５２】
図９はある複合型磁気ヘッドについてこの耐性を実際に測定した結果を表しており、同図（Ａ）は印加された外部磁界Ｂ＝０、（Ｂ）はＢ＝１０（Ｏｅ）、（Ｃ）はＢ＝２０（Ｏｅ）、（Ｄ）はＢ＝３０（Ｏｅ）、（Ｅ）はＢ＝４０（Ｏｅ）の場合である。同図から分かるように、印加外部磁界強度を増大していくと、ポールイレージャ現象が出現し易くなるが、この複合型磁気ヘッドではＢ＝１０（Ｏｅ）までは、ＴＡＡがほとんど変化していない。しかしながら、Ｂ＝２０（Ｏｅ）以上の外部磁界印加状況下では上書き直後の下地信号が消去されてポールイレージャ現象が出現していることとなる。従って、この磁気ヘッドの外部印加磁界耐性は１０（Ｏｅ）までであるということが定量化されたこととなる。
【００５３】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【００５４】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、最初に垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号としての記録信号が書込まれる。次いで、そのトラックの決められた一部領域に上書きが行われ、その上書き直後のトラックについて、下地信号の読出しが行われる。この上書き及び読出しが複数回繰返され、得られた再生出力からポールイレージャ現象が検出される。再生されるのは、上書きされた信号ではなく、上書きが行われた直後に位置する下地信号である。垂直磁気記録ヘッド部の消去異常が生じれば、その部分の下地信号は失われてしまい２度と再生されないから、このように行うことによって、消去が行われたかどうか容易に検出することができる。この上書き及び読出し動作を繰返して行えば、確率的に出現するポールイレージャ現象について、確実に検出することができる。その結果、ポールイレージャ現象の生じる垂直磁気記録ヘッド部を備えた複合型磁気ヘッドを容易に選別することができ、ヘッドの設計、検査及び出荷段階で用いて、信頼性の高い複合型磁気ヘッドを容易に提供することができる。
【００５５】
本発明によれば、さらに、書込みを行う手段によって、最初に、垂直磁気記録媒体上の１つのトラックに下地信号としての記録信号が書込まれる。次いで、上書きを行う手段によって、そのトラックの決められた一部領域に上書きが行われ、読出しを行う手段によって、その上書き直後のトラックについて下地信号の読出しが行われる。繰返す手段によって、この上書き及び読出しが複数回繰返され、検出する手段によって、再生出力からポールイレージャ現象が検出される。再生されるのは、上書きされた信号ではなく、上書きが行われた直後に位置する下地信号である。垂直磁気記録ヘッド部の消去異常が生じれば、その部分の下地信号は失われてしまい２度と再生されないから、このように行うことによって、消去が行われたかどうか容易に検出することができる。この上書き及び読出し動作を繰返して行えば、確率的に出現するポールイレージャ現象について、確実に検出することができる。その結果、ポールイレージャ現象の生じる垂直磁気記録ヘッド部を備えた複合型磁気ヘッドを容易に選別することができ、ヘッドの設計、検査及び出荷段階で用いて、信頼性の高い複合型磁気ヘッドを容易に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態として、垂直磁気記録ヘッドの検査装置の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】図１の実施形態における垂直磁気記録ヘッドの構造を示す図であり、（Ａ）はＡＢＳ方向から見た側面図、（Ｂ）はそのＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】図１の実施形態における垂直磁気記録媒体の構造を示す断面図である。
【図４】図１の実施形態における検査方法の概略的な流れを示すフローチャートである。
【図５】図１の実施形態におけるインデックスパルスと書込みゲート及び読出しゲートとの関係を示す図である。
【図６】図１の実施形態における１周目の書込み、２周目以降の上書き及び読出しの期間を示す図である。
【図７】ＴＡＡの計算方法を説明する図である。
【図８】ポールイレージャ現象の有無におけるＴＡＡと閾値との関係を説明する図である。
【図９】ある複合型磁気ヘッドについて外部印加磁界耐性を実際に測定した結果を表す図である。
【符号の説明】
１０  垂直２層膜磁気記録媒体
１１  スピンドル
１２  複合型磁気ヘッド
１３  制御・検査回路
１４  ヘッドアンプ
１５  磁気コイル
１６  電流発生源
１７  冷却ファン
２０  記録主磁極（メインポール）
２１  補助磁極
２２  励磁コイル
２３  ＧＭＲ素子
３０  基板
３１  軟磁性裏打ち層
３２  垂直磁気記録層
３３  保護層
３４  潤滑層
【図１】
0003885620.tif 000002
【図２】
0003885620.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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