(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに空間的に異なるレンズを通した光路を介して測定すべき対象の映像が結像される１対の光センサアレイを有し、該光センサアレイの各光センサの受光強度に応じた映像出力信号により前記対象までの距離を測定する距離測定装置において、
前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記各光センサの所定部分を、受光有効領域として選択する選択手段を備え、
前記光センサの受光領域が半導体領域であり、該受光領域の上に、平面形状が前記光センサの前記光センサアレイの長手方法に対して垂直方向に分離する電極を備え、該電極に与える電気信号により、光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記受光領域を分離もしくは接続することで、前記受光有効領域を選択することを特徴とする距離測定装置。
【請求項２】
前記選択手段は、前記レンズの中心と前記光センサの中心との位置の、前記センサアレイの長手方向に対して垂直方向においてのずれ量に応じて、選択する受光有効領域の中心を、前記光センサの中心から、前記ずれ量を減ずる方向へずらして選択することを特徴とする請求項１に記載の距離測定装置。
【請求項３】
前記所定部分は一定となるようにすることを特徴とする請求項２に記載の距離測定装置。
【請求項４】
前記選択手段は、選択状態を記憶する記憶手段を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の距離測定装置。
【請求項５】
互いに空間的に異なるレンズを通した光路を介して測定すべき対象の映像が結像される１対の光センサアレイを有し、該光センサアレイの各光センサの受光強度に応じた映像出力信号により前記対象までの距離を測定する距離測定装置において、
前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記各光センサから所定部分を選択された受光有効領域を有し、
前記光センサの受光領域が半導体領域であり、該受光領域の上に、平面形状が前記光センサの前記光センサアレイの長手方法に対して垂直方向に分離する電極を備え、該電極に与える電気信号により、光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記受光領域を分離もしくは接続することで、前記受光有効領域を選択することを特徴とする距離測定装置。
【請求項６】
前記受光有効領域は、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記光センサの少なくとも一方の端部分を分離した領域であることを特徴とする請求項５に記載の距離測定装置。
【請求項７】
前記分離した領域が一定となるようにすることを特徴とする請求項６に記載の距離測定装置。
【請求項８】
前記レンズの中心から光センサの平面に向かって垂直に引いた直線と前記光センサの平面との交点と前記光センサの中心との位置の、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向においてのずれが、所定量以内の場合、前記受光有効領域を、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、中心位置が変わらないように前記光センサの両端を分離した領域とし、前記ずれ量が所定量を超えた場合、前記ずれの内前記所定量を超えた量と同等以上の距離を前記交点と前記受光有効領域の中心との距離を減ずる逆方向に移動させることを特徴とする請求項５に記載の距離測定装置。
【請求項９】
請求項１ないし８に記載の距離測定装置を備えたことを特徴とするカメラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、カメラの自動焦点機構に用いられる距離測定装置で、互いに空間的に異なるレンズを通した光路を介して測定すべき対象の映像が結像される１対の光センサアレイを有し、該光センサアレイの各光センサの受光強度に応じた映像出力信号により前記対象までの距離を測定する距離測定装置において、光センサアレイの長手方向に垂直な方向にレンズが光センサアレイに対してずれた場合に補正ができる距離測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５は、三角測距の原理に基づく原理図である。この三角測距の原理については、富士時報Ｖｏｌ．６８  Ｎｏ．７  １９９５  ｐｐ４１５−ｐｐ４２０などに説明されている。
被写体５５の光がレンズ５１、５２を通して、光センサアレイ５３、５４上に被写体像５６、５７として結像する。点Ｇ、点Ｈは、正面の無限遠からレンズ５１、５２の中心点Ｃ、Ｄを通過する光線（光軸５８、５９）と光センサアレイ５３、５４との交点である。点Ｇと点Ｈの間の距離をＢ、光センサアレイ５３、５４とレンズ５１、５２との距離をｆｅ（焦点距離と等しい）とする。また、光軸５８、５９からの被写体像５６、５７のずれをＸ１、Ｘ２とする。このＸ１とＸ２を足した長さをＸとする。尚、６１は測定系を示す。
【０００３】
ここで三角形ＡＣＥと三角形ＣＦＧおよび三角形ＡＥＤと三角形ＤＨＩはそれぞれ相似であることから、被写体５５までの距離ｄは次式で求められる。
【０００４】
【数１】
ｄ＝Ｂ・ｆe ／（Ｘ１＋Ｘ２）＝Ｂ・ｆe ／Ｘ
Ｘは被写体５５が無限遠にあるとき、すなわち二つの被写体像５６、５７がレンズ５１、５２の光軸５８、５９と光センサアレイの交点にある場合を基準とした２像の相対変移である。Ｂとｆｅは定数であるので、Ｘを検出することで距離ｄを求めることができる。
【０００５】
図６は、三角測距の原理に基づく距離測定装置の構成図である。測距原理については、前記した通りである。また、構成図は内部が分かる分解斜視図で示した。
この距離測定装置は、１対のレンズ７１、７２と、１対の光センサアレイ８１、８２を内蔵するオートフォーカスＩＣ（以下ＡＦＩＣ７６と称す）と、遮光箱７３とで構成され、必要に応じてＩＲ（赤外線）カットフィルタ７１が挿入される。ＡＦＩＣ７６と１対のレンズ７１、７２は遮光箱７３に固定して組み立てられる。
【０００６】
図７は、ＡＦＩＣに封止されている半導体チップの要部構成図で、同図（ａ）は半導体チップの平面図、同図（ｂ）は光センサアレイの平面図、同図（ｃ）は光センサの平面図である。
半導体チップ８０は、１対の光センサアレイ８１、８２と、その回りに配置される増幅回路８３ａ、８３ｂ、８４ａ、８４ｂ、アドレス回路８５ａ、８５ｂ、８６ａ、８６ｂ、基準電圧回路８７ａ、８７ｂなどが集積される。尚、８８ａ、８８ｂはボンデングパッドアレイである。
【０００７】
また、１対の光センサアレイ８１、８２は、それぞれ多数の光センサ９１ａ、９１ｂから構成される。
また、各光センサ９１ａ、９２ｂは受光領域９８（受光部）とピックアップ電極９２で構成され、受光領域９８はフォトダイオードやフォトトランジスタで形成され、これらのフォトダイオードやフォトトランジスタは、半導体基板の表面層に拡散で形成される。
【０００８】
図８は、レンズと光センサアレイが合わせ位置ずれを生じた場合の測距対象となる被写体像の位置を説明する図で、同図（ａ）は合わせ位置ずれがない場合、同図（ｂ）は、合わせ位置ずれがＸ方向にある場合、同図（ｃ）は合わせ位置ずれがＹ方向にずれた場合、同図（ｄ）は、同図（ｃ）の光センサを拡大した図、同図（ｅ）は、同図（ａ）および同図（ｃ）について側面から見た場合を示す概略図である。
【０００９】
同図（ａ）において、測距対象となる被写体像９５ａ、９５ｂの位置は、光センサアレイ８１、８２内にあり、同図（ｃ）においても、位置ずれがない場合は測距対象被写体の像が光センサアレイ内にあり、正確な測距ができる。
同図（ｂ）において、光センサアレイ８１、８２の受光領域の長さ（長手方向（Ｘ方向）の長さ）は、測距の対象となる被写体像９６ａ、９６ｂより数倍長い。これは、特公平３−６７２０３号公報に開示されているように、この距離測定装置に対して、正面方向以外の斜め方向の距離を測定できるようにするためである。
【００１０】
そのため、光センサアレイが長手方向（Ｘ方向）にずれた場合には、測距対象となる被写体像９６ａ、９６ｂの位置は、光センサアレイ８１、８２内にあり、正確な測距ができる。
同図（ｃ）、同図（ｄ）および同図（ｅ）に示すように、光センサアレイの長手方向（Ｘ方向）に対して、直交する方向（Ｙ方向）に対しては、つまり、光センサ８１、８２の長手方向に対しては、被写体を結像する測距対象となる被写体像９７ａ、９７ｂと光センサアレイ８１、８２の受光領域の大きさはほぼ同じで余裕がない。
【００１１】
そのために、光センサアレイが長手方向（Ｘ方向）に対して直交する方向（Ｙ方向）にずれている場合は、測距対象なる被写体像９７ａ、９７ｂの一部は、光センサアレイ８１、８２の外にでてしまい、光センサアレイは測距対象となる被写体との関係のない画像を得ることになる。よって、るために、正確な測距ができなくなる。同図（ｄ）のＬが、測距対象となる被写体像９７ａが受光領域９８からはみ出した量である。
【００１２】
同図（ｅ）において、実線により記載されているセンサアレイ８１は同図（ａ）に対応する側面図であり、点線により記載されているセンサアレイ８１は同図（ｃ）に対する側面図である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
前記したように、Ｘ方向のずれがあった場合でも、光センサアレイの受光領域には余裕があり、レンズと光センサアレイの合わせ位置ずれに対しては許容量が大きく容易に合わせ位置ずれを補正できる。
しかし、Ｙ方向のずれに対しては許容量（通常、数十μｍ）が小さく、合わせ位置ずれに余裕がないため、レンズと光センサアレーの合わせ位置ずれが許容量を超えて大きくなると、被写体の結像する受光有効領域が光センサアレイの受光領域の外にはみ出してしまい、正確な距離の測定が困難となる。
【００１４】
カメラなどに組み込んだ際には、このようなＹ方向の合わせ位置ずれに対しては、従来は光センサアレイ自体の角度を変えるなどの機械的な補正手段を講じていたが、このような機械的な対応では、メカ機構が必要となる。そのため、製造コストが高くなり、装置が大型化する。
この発明の目的は、前記の課題を解決して、光センサアレイの長手方向に直角方向（光センサの長手方向：Ｙ方向）でのレンズと光センサアレイとの合わせ位置ずれを電気的に補正できる、低コストで小型の距離測定装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、互いに空間的に異なるレンズを通した光路を介して測定すべき対象の映像が結像される１対の光センサアレイを有し、該光センサアレイの各光センサの受光強度に応じた映像出力信号により前記対象までの距離を測定する距離測定装置において、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記各光センサの所定部分を、受光有効領域として選択する選択手段を備え、前記光センサの受光領域が半導体領域であり、該受光領域の上に、平面形状が前記光センサの前記光センサアレイの長手方法に対して垂直方向に分離する電極を備え、該電極に与える電気信号により、光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記受光領域を分離もしくは接続することで、前記受光有効領域を選択する構成とする。
【００１６】
また、前記選択手段は、前記レンズの中心と前記光センサの中心との位置の、前記センサアレイの長手方向に対して垂直方向においてのずれ量に応じて、選択する受光有効領域の中心を、光センサの中心から、前記ずれ量を減ずる方向（受光有効領域の中心と光センサの中心との距離が減ずる方向）へずらして選択するとよい。
【００１７】
また、前記所定部分は一定となるようにするとよい。
また、前記選択手段は、選択状態を記憶する記憶手段を有するとよい。
また、互いに空間的に異なるレンズを通した光路を介して測定すべき対象の映像が結像される１対の光センサアレイを有し、該光センサアレイの各光センサの受光強度に応じた映像出力信号により前記対象までの距離を測定する距離測定装置において、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記各光センサから所定部分を選択された受光有効領域を有する構成とする。
【００１８】
また、前記受光有効領域は、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、前記光センサの少なくとも一方の端部分を分離した領域であるとよい。
また、前記分離した領域が一定となるようにするとよい。
また、前記レンズの中心から光センサの平面に向かって垂直に引いた直線と前記光センサの平面との交点と前記光センサの中心との位置の、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向においてのずれが、所定量以内の場合、前記受光有効領域を、前記光センサアレイの長手方向に対して垂直方向において、中心位置が変わらないように前記光センサの両端を分離した領域とし、前記ずれ量が所定量を超えた場合、前記ずれの内前記所定量を超えた量と同等以上の距離を前記ずれ方向とは逆方向（ずれ量が減ずる方向）に移動させるとよい。
【００２０】
また、前記した距離測定装置を備えたカメラとする。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１は、この発明の第１実施例の距離測定装置の要部構成図であり、同図（ａ）は光センサの要部平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図である。
ｎ半導体基板１の表面層にＬＯＣＯＳ酸化膜７を選択的に形成し、このＬＯＣＯＳ酸化膜７で挟まれたｎ半導体基板１の表面層にｐウエル領域２を形成し、このｐウエル領域２の表面層に分離された複数のｎ領域３ａ〜３ｅ（総称した場合はｎ領域３という）を形成する。このｎ領域３に挟まれたｐウエル領域２上にゲート酸化膜４を介してポリシリコンなどのゲート電極配線５ａ〜５ｄ（総称した場合はゲート電極配線５という）を形成し、ｐウエル領域２の中央部に形成されたｎ領域３ｃ上にピックアップ電極６を形成し、ピックアップ電極６ａにＡｌなどの金属配線６ｂを接続し、表面をＢＰＳＧ膜８で被覆する。ゲート電極配線５は光センサ１２間ではＬＯＣＯＳ酸化膜７上に形成し、また金属配線６ａと交差する箇所では図示しない層間絶縁膜で互いを電気的に絶縁する。このＡＦＩＣ（オートフォーカスＩＣ）は、通常のＣＭＯＳプロセスを用いて形成する。また、前記のｎ領域３ａ〜３ｅとｐウエル領域２とで、分割受光領域９ａ〜９ｅが形成される。
【００２２】
ｎ領域３とｐウエル領域２のｐｎ接合がフォトダイオードとなり、光センサの働きをする。被写体の光センサ１２への結像によりｐｎ接合にはキャリアが発生し、そのキャリアがピックアップ電極６ａに集められて、金属配線６ｂに流れ出して、図７の増幅回路８３ａ、８３ｂ、８４ａ、８４ｂなどに伝達される電気信号となる。
【００２３】
図１においては、４本のゲート電極配線５で、光センサ１２の受光領域を第１分割受光領域９ａから第５分割受光領域９ｅの５個の分割受光領域に分割している。尚、光センサ１２の受光領域の分割数は、５分割に限ったことではなく、さらに増加させても構わない。
つぎに、レンズと光センサアレーとの合わせ位置ずれついて説明する。
【００２４】
図２は、第１の受光有効領域を示し、受光有効領域の長手方向の中心が光センサの長手方向の中心とほぼ等しい場合の光センサの図で、同図（ａ）は光センサの平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図である。通常光センサの長手方向の中心とレンズの中心との位置を合わせる。
第１の受光有効領域１４ａの場合は、第１ゲート電極配線５ａと第４ゲート電極配線５ｄにゲート電圧を印加しない（または、ゲート電圧をしきい値電圧より低くすること）で、ゲート電極配線５ａ、５ｄ直下にｎチャネル領域を形成しないようにする。そうすると、第１分割受光領域９ａと第２分割受光領域９ｂおよび第４分割受光領域９ｄと第５分割受光領域９ｅとはそれぞれ分離される。また、第２ゲート電極配線５ｂと第３ゲート電極配線５ｃに正のゲート電圧を印加する。そうすると、ゲート電極配線５ｂ、５ｃ直下にｎチャネル領域１５ｂ、１５ｃが形成され、第２分割受光領域９ｂと第３分割受光領域９ｃおよび第４分割受光領域９ｄと第３分割受光領域９ｃはそれぞれ接続して、第１の受光有効領域１４ａとなり、被写体の結像領域となる。
【００２５】
この場合は、第１分割受光領域９ａと第５分割受光領域９ｅは受光有効領域とはならず、距離測定動作には関与しない。
図３は、第２の受光有効領域１４ｂを示し、受光有効領域の長手方向の中心がＹ方向に移動した場合の光センサの図で、同図（ａ）は光センサの平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図である。この場合は、光センサアレイの合わせ位置ずれがレンズの中心に対してＹと逆方向にずれた第２の受光有効領域の場合である。
【００２６】
光センサ９の長手方向（Ｙ方向）の図面上側に、合わせ位置ずれが許容値を超えた場合は、第３ゲート電極配線５ｃにゲート電圧を印加しないで（ＯＦＦ）、第１ゲート電極配線５ａ、第２ゲート電極配線５ｂに正の電圧を印加して（ＯＮ）、第３分割受光領域９ｃと第４分割受光領域９ｄを分離し、第１分割受光領域９ａ、第２分割受光領域９ｂおよび第３分割受光領域９ｃをｎチャネル領域１５ａ、１５ｂでそれぞれ接続して、第２の受光有効領域１４ｂとする。
【００２７】
こうすることで、第２の受光有効領域１４ｂを図２の第２分割受光領域９ｂ〜第４分割受光領域９ｄの３領域から、図３の第１分割受光領域９ａ〜第３分割受光領域９ｃの３領域に移動させることができて、合わせ位置ずれがあった場合でも、正確な測距をすることができる。
尚、第４ゲート電極配線５ｄにはゲート電圧を印加しなくても、また正の電圧を印加してもどちらでも構わないが、ゲート電圧を印加しないで、第４分割受光領域９ｄと第５分割受光領域９ｅを分割した方が、これらの非動作領域からの受光有効領域１４への電位変動等の影響をカットする確率を高くできるために好ましい。
【００２８】
当然、第２ゲート電極配線５ｂにゲート電圧を印加しないで、第３ゲート電極配線５ｃ、第４ゲート電極配線５ｄに正の電圧を印加して、第２分割受光領域９ｂと第３分割領域９ｃを分離し、第３分割受光領域９ｃ、第４分割受光領域９ｄおよび第５分割受光領域９ｅをそれぞれ接続することで、受光有効領域１４を、図２の第２分割受光領域９ｂ〜第４分割受光領域９ｄの３領域から、第３分割受光領域９ｃ〜第５分割受光領域９ｅの３領域に移動させ：第３の受光有効領域（図示せず）とすることができて、合わせ位置ずれがあった場合でも、正確な測距をすることができる。
【００２９】
尚、第１ゲート電極配線５ａにはゲート電圧を印加しなくても、また正の電圧を印加してもどちらでも構わないが、ゲート電圧を印加しないで、第１分割受光領域９ａと第２分割受光領域９ｂを分割した方が、これらの非動作領域からの受光有効領域１４への電位変動等の影響をカットする確率を高くできるために好ましい。
【００３０】
前記のように、第１ゲート電極配線５ａから第４のゲート電極配線５ｄにゲート電圧を印加するか（ＯＮ）、または、印加しない（ＯＦＦ）ことで、第１から第４のゲート電極配線５ａ〜５ｄ直下にｎチャネル領域を形成したり、形成しないようにすることで、隣接する分割受光領域を互いに接続したり、分離したりする。
【００３１】
例えば、カメラなどに組み込んだ場合、どの受光有効領域を選択するかを下記した補正方法により決め、どのゲート電極に電圧を印加するかを決める。この結果をＲＯＭなどの記憶手段を設け、記録する。その後は、この記憶手段から読み込んだ情報により受光有効領域を選択し固定する。
図９は、補正方法を説明する図である。同図（ａ）、（ｂ）に示すように、レンズ５１の光軸と第１の受光有効領域１４ａの中心を一致させるようにし、その１４ａをチャート側に逆投影して１４ａの逆投影像１４ａａを考える。そして逆投影像１４ａａの上端を境界として該境界より上が暗部、該境界より下が明部であるようなチャート４０を用意する。同様に１４ａａの下端を境界として、該境界より上が明部、該境界より下が暗部であるチャート４１を用意する。
【００３２】
実際の量産においてはレンズの光軸と第１の受光有効領域１４ａの中心が一致することはまれであり、例えば同図（ｃ）、（ｄ）に示すように理想位置１４ａから領域４２までずれてしまう。尚、この場合は図８（ｃ）に相当する。同図（ｃ）においてはチャート４０の暗部４０１が領域４２上に投影されてしまうため、領域４３の部分に光が照射されない事になる。逆に同図（ｄ）においてチャート４１の暗部４１１は領域４２上には投影されないため、領域４２には全て光が照射されることになる。
【００３３】
この状態を平面図で表したのが同図（ｅ）、（ｆ）である。同図（ｃ）が同図（ｅ）に、同図（ｄ）が同図（ｆ）にそれぞれ対応する。同図（ｅ）において、チャート４０の暗部４０１が４０１１に投影されている。そのため、光があたっている領域Ｓ１はＷ×Ｈ１に限定される。
一方、同図（ｆ）においてはチャート４１の暗部４１１の像４１１１は領域４２の外にあるため、光は領域４２の全領域Ｓ＝Ｗ×Ｈに照射される。同図（ｅ）、（ｆ）の状態でセンサから出力されるセンサ信号Ｑ１、Ｑ２は受光量に比例するのが通常であり、これより合わせ位置ずれのずれ量Ｈ２を次式で求めることができる。
【００３４】
【数２】
Ｈ２＝Ｈ（Ｈ−Ｈ１）／Ｈ＝Ｈ（αＨＷ−αＨ１Ｗ／αＨＷ＝Ｈ・（Ｑ２−Ｑ１）／Ｑ２＝Ｈ（Ｑｍａｘ−Ｑｍｉｎ）／Ｑｍａｘ・・・・・・・（１）
ここで、αは比例定数、Ｑｍａｘ＝ＭＡＸ（Ｑ１、Ｑ２）、Ｑｍｉｎ＝ＭＩＮ（Ｑ１、Ｑ２）である。
【００３５】
同図（ｃ）〜同図（ｆ）は実際の受光領域が理想位置１４ａに対し下側にずれた場合であるが、逆に上側にずれた場合でも上と同様に補正量Ｈ２は式（１）で求めることが出来る。但し、上側にずれた場合はチャート４０に対する出力がＱｍａｘとなり、チャート４１に対する出力がＱｍｉｎとなる。
上記より、以下のアルゴリズムで補正をすれば良い。
（１）チャート４０、４１に対するセンサ出力Ｑ１、Ｑ２を得る。
（２）Ｑ１＞Ｑ２の場合はレンズ光軸に対しセンサが上側にずれていると判断し、それを相殺する方向に補正をする。
（３）Ｑ１＜Ｑ２の場合はレンズ光軸に対しセンサが下側にずれていると判断し、それを相殺する方向に補正をする。
（４）Ｑ１＝Ｑ２となる場合はずれ無しと判断し、補正は行わない（１４ａのままとする）。
（５）補正の方向は（２）、（３）で定めるとおりとするが、補正量は式（１）で計算されるＨ２とする。
（６）ずれ無しと判断するのが（４）の場合だけだと、事実上すべての場合で補正することになり、実際の量産においては実用的ではない。そのため、所定量Ｈ０に対しＨ２≦Ｈ０であれば、ずれは大きくないと判断し、補正は行わない事とする（１４ａのままとする）。Ｈ０の大きさとしては、例えばＨの１／８〜１／２程度を考える。
【００３６】
本実施例では、合わせ位置ずれが所定値以内の場合、第１の受光有効領域を用い、所定値を超えた場合は第２の受光有効領域または第３の受光有効領域を用いることとした。
このように、分離受光領域９ａ〜９ｅの組み合わせを変えることで、受光有効領域１４を移動させ、レンズと光センサアレイの合わせ位置ずれが許容値を超えた場合でも、位置ずれの補正を行うことができる。また、受光有効領域１４の移動は前記したようにゲート電極配線５ａ〜５ｄに印加されるゲート電圧の有無で行うことができる。つまり、電気的に行うことができる。
【００３７】
このように、光センサアレイの長手方向に対して直角方向（Ｙ方向）への合わせ位置ずれに対しても、電気的に補正できるために、従来のようにメカ機構が不要となり、製造コストの低減と装置の小型化を図ることができる。
図４は、この発明の第２実施例の距離測定装置の要部構成図である。この図は合わせ位置ずれ大幅に大きくなった場合に対応できる光センサの要部平面図である。
【００３８】
第１実施例との違いは、光センサの長手方向の長さをさらに長くし、分割受光領域の個数を増やし、さらに、複数個のピックアップ電極３２ａ〜３２ｅを形成した点である。
受光有効領域３５ａ〜３５ｃの移動が大きくなった場合、ピックアップ電極３２ａ〜３２ｅの位置もずらして、合わせ位置ずれを電気的に補正する。
【００３９】
【発明の効果】
この発明によれば、光センサの所定部分を受光有効領域として選択する選択手段を有することで、光センサアレイの長手方向に対して直角方向（Ｙ方向）の合わせ位置ずれを電気的に補正することができる。
また、電気的に補正できるため、従来の機械的（メカ的）補正と比べて、装置の製造コスト化と小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例の距離測定装置の要部構成図であり、（ａ）は光センサの要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図
【図２】第１の受光有効領域を示し、受光有効領域の長手方向の中心が光センサの長手方向の中心とほぼ等しい場合の光センサの図で、（ａ）は光センサの平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図
【図３】第２の受光有効領域１４ｂを示し、受光有効領域の長手方向の中心がＹ方向に移動した場合の光センサの図で、（ａ）は光センサの平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ線で切断した光センサの要部断面図
【図４】この発明の第２実施例の距離測定装置の要部構成図
【図５】三角測距の原理に基づく原理図
【図６】三角測距の原理に基づく距離測定装置の構成図
【図７】ＡＦＩＣに封止されている半導体チップの要部構成図で、（ａ）は半導体チップの平面図、（ｂ）は光センサアレイの平面図、（ｃ）は光センサの平面図
【図８】レンズと光センサアレイが合わせ位置ずれを生じた場合の測距対象となる被写体像の位置を説明する図で、（ａ）は合わせ位置ずれがない場合、（ｂ）は、合わせ位置ずれがＸ方向にある場合、（ｃ）は合わせ位置ずれがＹ方向にずれた場合、（ｄ）は、（ｃ）の光センサを拡大した図、（ｅ）は、（ａ）および（ｃ）について側面から見た場合を示す概略図
【図９】補正方法を説明する図
【符号の説明】
１    ｎ半導体基板
２    ｐウエル領域
３    ｎ領域（３ａ〜３ｅの総称）
３ａ〜３ｅ  ｎ領域
４    ゲート酸化膜
５    ゲート電極配線（５ａ〜５ｄの総称）
５ａ〜５ｄ  ゲート電極配線
６ａ  ピックアップ電極
６ｂ  金属配線
７    ＬＯＣＯＳ酸化膜
８    ＢＰＳＧ膜
９    受光領域（９ａ〜９ｅを合計した領域）
９ａ〜９ｅ  第１〜第５の分割受光領域
１２、３０  光センサ
１４ａ  第１の受光有効領域
１４ｂ  第２の受光有効領域
１５ａ〜１５ｃ  ｎチャネル領域
２０    光センサアレイ
３１    ゲート電極配線
３２ａ〜３２ｅ  ピックアップ電極
３３    金属配線
３４    受光領域
３５ａ〜３５ｃ  受光有効領域
【図１】
0003932936.tif 000002
【図２】
0003932936.tif 000003
【図３】
0003932936.tif 000004
【図４】
0003932936.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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