(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気穴が穿孔してありウエハ収容凹部を設けた一方向に延びる平坦な基板ホルダ−と、下面が開口したＭ個（Ｍ≧２）の離隔した室に分かれ各室に棚を持つ枠体と着脱可能な蓋を持ち基板ホルダ−の上を摺動する拡散用治具と、拡散用治具を基板ホルダ−の上で摺動させるための操作棒と、ウエハ収容凹部の近傍に設けた熱電対と、基板ホルダ−の全体を収容し真空に引くことのできる管と、管を加熱するヒータとよりなり、拡散用治具の各室は、試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハを底に置いたか或いは５族元素単体を棚に収容したか何れかである５族元素室と、棚にはＺｎを含む拡散原料を置いた拡散室の何れかとし、拡散用治具の各室は前端から５族元素室、拡散室が交替に並ぶようにしたことを特徴とする３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散装置。
【請求項２】
排気穴が穿孔してありウエハ収容凹部を設けた一方向に延びる平坦な基板ホルダ−と、下面が開口したＭ個（Ｍ≧１）の離隔した室に分かれ各室に棚を持つ枠体と着脱可能な蓋を持ち基板ホルダ−の上を摺動する拡散用治具と、拡散用治具の前端に固定した試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハと、拡散用治具を基板ホルダ−の上で摺動させるための操作棒と、ウエハ収容凹部の近傍に設けた熱電対と、基板ホルダ−の全体を収容し真空に引くことのできる管と、管を加熱するヒータとよりなり、拡散用治具の各室は、試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハを底に置いたか或いは５族元素単体を棚に収容したか何れかである５族元素室と、棚にＺｎを含む拡散原料を置いた拡散室の何れかとし、拡散用治具の各室は前端から拡散室、５族元素室が交替に並ぶようにしたことを特徴とする３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散装置。
【請求項３】
前記３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハは粗い表面を持つことを特徴とする請求項２に記載の３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散装置。
【請求項４】
拡散用治具はカーボン製であって表面を非晶質カーボン或いはＳｉＣによってコ−ティングしてあることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散装置。
【請求項５】
拡散用治具の後端に試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハを固定したことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散装置。
【請求項６】
排気穴が穿孔してありウエハ収容凹部を設けた一方向に延びる平坦な基板ホルダ−のウエハ収容凹部に３−５族化合物半導体の試料ウエハを挿入し、下面が開口したＭ個（Ｍ≧１）の離隔した室に分かれ各室に棚を持つ枠体と枠体の前端に固定した試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体よりなるノンドープ蓋用ウエハと枠体に対して着脱可能な蓋とよりなる拡散用治具の蓋をとり、一番前の室の棚にＺｎを含む原料を置き拡散室とし、二番目の室には５族元素単体を棚に置くか試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハを底に置き５族元素室とし、以下拡散室と５族元素室が交替するようにして、拡散用治具の蓋を閉じ、拡散用治具を前記基板ホルダ−の上に置き、拡散用治具に操作棒を取付け、基板ホルダ−を真空に引くことのできる管に入れ、管を真空に引き、拡散用治具の各室を排気穴の直上に運んで各室を真空に引き、前端に固定された３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハによって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、管をヒータに装填して、ヒータによって基板ホルダ−、ウエハ、拡散用治具を加熱し、拡散に適した温度に到達した時、拡散原料が収容された拡散室によって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、一定拡散温度でウエハに拡散原料を気相拡散させ、所望の時間が経過すると、５族元素単体或いは３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハが存在する５族元素室がウエハの上になるように拡散用治具を摺動させ、その位置で次の拡散に適する温度まで温度変化させ、ついで拡散原料が収容された次の拡散室がウエハを覆う位置に移動させて第２の拡散を行うというように拡散と温度変化を繰り返し、最後の拡散が終了した時は拡散用治具の拡散室からウエハを離隔させた状態で冷却するようにしたことを特徴とする３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散方法。
【請求項７】
排気穴が穿孔してありウエハ収容凹部を設けた一方向に延びる平坦な基板ホルダ−のウエハ収容凹部に３−５族化合物半導体の試料ウエハを挿入し、下面が開口したＭ個（Ｍ≧２）の離隔した室に分かれ各室に棚を持つ枠体と枠体に対して着脱可能な蓋とよりなる拡散用治具の蓋をとり、一番目の室には５族元素単体を棚に置くか試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハを底に置き５族元素室とし、二番目の室の棚にＺｎを含む原料を置き拡散室とし、以下５族元素室と拡散室が交替するようにして、拡散用治具の蓋を閉じ、拡散用治具を前記基板ホルダ−の上に置き、拡散用治具に操作棒を取付け、基板ホルダ−を真空に引くことのできる管に入れ、管を真空に引き、拡散用治具の各室を排気穴の直上に運んで各室を真空に引き、最初の５族元素単体或いは３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハが存在する５族元素室によって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、管をヒータに装填して、ヒータによって基板ホルダ−、ウエハ、拡散用治具を加熱し、拡散に適した温度に到達した時、拡散原料が収容された拡散室によって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、一定拡散温度でウエハに拡散原料を気相拡散させ、所望の時間が経過すると、５族元素単体又は３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハが存在する次の５族元素室がウエハの上になるように拡散用治具を摺動させ、その位置で次の拡散に適する温度まで温度変化させ、ついで拡散原料が収容された次の拡散室がウエハを覆う位置に移動させて第２の拡散を行うというように拡散と温度変化を繰り返し、最後の拡散が終了した時は拡散用治具の拡散室からウエハを離隔させた状態で冷却するようにしたことを特徴とする３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散方法。
【請求項８】
拡散用治具の後端には試料ウエハの表面半導体層を構成する５族元素を含む３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハが固定され、最後の拡散が終了したときは、拡散用治具後端の３−５族化合物半導体ノンドープ蓋用ウエハによって試料ウエハを覆った状態で冷却するようにしたことを特徴とする請求項６又は７に記載の３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散方法。
【請求項９】
拡散原料がＺｎ３Ｐ２、ＺｎＰ２、Ｚｎ３Ｐ２＋Ｐ（赤燐）、ＺｎＰ２＋Ｐ（赤燐）、Ｚｎ３Ａｓ２、ＺｎＡｓ２、Ｚｎ３Ａｓ２＋Ａｓ、ＺｎＡｓ２＋Ａｓの何れかであることを特徴とする請求項６、７、８の何れかに記載の３−５族化合物半導体結晶へのＺｎ拡散方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、３−５族化合物半導体結晶にＺｎを拡散する方法とそのための治具に関する。３−５族化合物半導体というのは、３族のＧａ、Ｉｎ、Ａｌと、５族のＡｓ、Ｐ、Ｓｂなどの組み合わせになる半導体である。基板が得やすいのはＧａ、ＩｎＰ、ＧａＰなどである。ここではＧａＡｓ、ＩｎＰなどの場合を例にして説明する。発光素子や受光素子、その他の半導体素子の基板にＧａＡｓやＩｎＰが使われる。
【０００２】
基板は多くの場合ｎ型である。ｐｎ接合を作るため、ｐ型不純物を含む薄膜層をエピタキシャル成長させるか、ｐ型不純物をイオン注入するか、ｐ型不純物を拡散する必要がある。マスクを使って局所的にｐ型領域を作る場合は、エピタキシャルは不適である。イオン注入は装置が大がかりであり工数も多くなり基板をアニールしなくてなならずコスト高である。多くの場合ｐ型領域を作るために拡散が用いられる。ＧａＡｓやＩｎＰの中では、Ｚｎはｐ型不純物である。ｐ型不純物としてＭｇ、Ｃｄなどもあるが最も頻用されるのはなんといってもＺｎである。だからＺｎ拡散は発光素子、受光素子、その他の半導体素子を作る際に重要な技術である。拡散によって結晶中に局所的にｐ型領域を作るのがＺｎ拡散の目的である。
【０００３】
ここで結晶といっているのは基板結晶、基板の上にエピタキシャル層を設けた結晶などを含む。制御性に優れ有害な原料を使わず大口径の基板（ウエハ）にも適用できるＺｎ拡散方法を提供するのが本発明の目的である。
【０００４】
本発明は気相拡散法の新規な一種である。従来の気相拡散とは趣を異にする。その手法は液相エピタキシャルにむしろ近い。手法、装置などは液相エピタキシャルからの流用ともいえる。治具などは液相エピタキシャルに近似するものを利用する。しかし気相拡散である。治具には原料液体ではなくて、Ｚｎの気体が充満する。しかもエピタキシ−でなく拡散である。液相エピタキシャルからも截然と区別される。
【０００５】
【従来の技術】
拡散には、不純物がどのような相（phase）から供給されるかによって気相拡散と固相拡散の別がある。液相拡散というのはない。固相拡散は、Ｚｎを含むＩｎＧａＡｓＰ薄膜をｎ型ＩｎＰ結晶の上に一旦エピタキシャル成長しその後熱拡散するものである。本発明者らが初めて提案したものである（特願平５−１７７２３３、特開平７−１４７９１）。一旦結晶の表面にＩｎＧａＡｓＰ薄膜を付けるから加熱してもＰが抜けないという利点がある。しかし固層拡散は工数多く時間がかかりいまだ実際的には使われていない。
【０００６】
つまりＺｎ拡散は専ら気相拡散によっている。これが現状である。気相拡散にも二つの手法がある。一つは閉管法（closed tube）である。今一つは開管法（open tube）である。この二つは良く知られている。が、製造業において盛んに実施されているのは閉管法だけである。開管法は研究段階で小規模に利用されるだけである。未だ数々の難点が克服されていないからである。
【０００７】
［Ａ．閉管法］
図１４によって閉管法を説明する。石英管６１の一方の端６０にＧａＡｓやＩｎＰのウエハ６２を、反対側の端６５にＺｎ拡散源６６を入れ真空にしてから酸水素炎バーナーによって密封する。拡散源６６を入れる部分は細頚６３にすることもある。Ｚｎ拡散源６６はＺｎとＡｓの化合物、或いはＺｎとＰの化合物であって気化しやすい材料である。ＺｎＰ２、ＺｎＡｓ２等である。化合物であって昇華しやすい（固体から気化する）ものでしかも他の物質を含まないものという条件があるので先述のような化合物が選ばれる。このような状態で石英管６０を真空に引き、酸水素炎によって封じる。
【０００８】
密封した石英管を水平に炉６７、６８の中に入れる。全体を加熱する。Ｚｎ拡散源を入れた側６５の温度を上げる。ウエハ６２側の温度はそれより低くする。拡散源が蒸発する。拡散源の蒸気はＧａＡｓやＩｎＰのウエハまで飛んでウエハに付着する。Ｚｎは熱によってさらに結晶の内部まで浸透してゆく。拡散深さは温度と時間で制御する。所定の拡散時間が経過すると、炉の温度を下げる。石英管を取り出してこれを割る。割ってＧａＡｓ、ＩｎＰウエハを取り出す。
【０００９】
図１５は閉管法の一つの改良形である。石英管７０の一方の端７５に拡散源７６を置く。他方の端７２に半開管７３とＧａＡｓ、ＩｎＰウエハ−７４を置く。そして真空に引いて石英管を封じる。ヒ−タ７９を用いて拡散源７６の辺りを最も高い温度に加熱する。中間部はヒ−タ８０で最低温度に加熱し拡散源の一部が蒸着７８するようにする。これをさらに加熱して拡散源を気化しウエハ−７４の表面に飛んで行くようにする。このほかにも閉管法にはいくつもの改良形がある。
【００１０】
閉管法は何故に管を閉じる必要があるか？それは５族蒸気圧制御のためである。密封した空間であるから５族元素蒸気圧は、拡散源の分解速度で決まりそれは温度Ｔによって決まる。拡散源の温度Ｔによって蒸気圧制御が容易なのである。ウエハ表面で５族の離脱と吸着が平衡するような状態に保って、Ｚｎ化合物をウエハ表面に気相で運び、ウエハ表面から内部にＺｎを拡散させてゆくのである。
【００１１】
温度と時間によって拡散の深さと拡散濃度を制御する。現在産業的規模で利用されているのは閉管法だけである。閉管法は外界と遮断した環境でＺｎ拡散するからウエハが汚染されない。大量のガスが不要である。また酸化されない。拡散が安定している。拡散深さが深い場合は再現性もよい。閉管法はすでに歴史があって熟している。そのままの技術を述べた文献は示しにくい。改良の提案を述べる。
【００１２】
例えば▲１▼特開昭６０−５３０１８号「化合物半導体への不純物拡散方法」はＩｎＰへのＺｎ気相拡散を述べている。従来は石英管にＩｎＰウエハと、ＺｎＰ２、Ｚｎ３Ｐ２などの拡散源だけを封入していたがそれでは拡散速度が速すぎる、という問題を指摘している。それで拡散源の他にＰの固体を追加するという提案をしている。密封された石英管内にＰを封入し温度を上げるのでＰの蒸気圧が高くなる。逆にＺｎ化合物気体の蒸気圧が減る。そのためウエハに到達するＺｎ量が減少し拡散速度が遅くなる。
【００１３】
ではどうして拡散速度を下げないといけないのか？拡散速度が速いとスループットも増えるはずで結構な事ではないか？それが違う。石英管は長く肉厚が厚いのでかなりの熱容量を持っている。炉に入れて所望の５００℃〜６００℃の温度までに昇温するには１５分かかる。拡散深さによって時間は違うが、たとえば２μｍ程度の浅いｐ型領域を作るための拡散時間は１０分である。そのあと炉の温度を下げるがこれにも数十分かかる。長く大きい石英管の全体を加熱冷却するから時間が掛かるのである。
【００１４】
熱容量が大きいので温度は連続的に変化する。不連続変化しない。昇温の過程で既に不純物が蒸発し始め拡散が始まってしまう。また冷却の過程でも拡散はある程度持続する。つまり拡散時間外にも拡散は起こるのである。温度だけで制御するから、拡散を正確に開始し停止するという訳に行かない。昇温や冷却に拡散時間以上の時間が掛かるのでは精密に拡散深さを制御できない。さらに冷却時にＺｎがウエハの表面に付くので表面がＺｎによって汚染されるという問題もある。それで▲１▼はＰ固体を石英管に入れてＰ蒸気圧を上げＺｎ化合物蒸気圧を下げる。拡散速度を落とし、昇温冷却時における余分な拡散を抑制しようとしているのである。
【００１５】
［Ｂ．開管法］
両端に開口部を有する石英管にＩｎＰ或いはＧａＡｓウエハを入れ、これを適当な温度に加熱し、Ｚｎの有機金属化合物ガスと、ＡｓやＰを含む気体であるアルシン（ＡｓＨ３）、フォスフィン（ＰＨ３）ガスとを石英管に通す。Ｚｎの有機金属というのは例えば、ジメチルＺｎ（Ｚｎ（ＣＨ３）２）など常温で液体になり得るものである。それだけだと気体にならないから水素でバブリングして気体として石英管に導く。混合気体はウエハの上にいたるが、ウエハが加熱されているからジメチルＺｎが熱分解する。Ｚｎがウエハの上に吸着される。温度が高く拡散係数が高くなっており、Ｚｎ濃度がウエハの内外で異なるから次第にＺｎが内部に入って行くのである。
【００１６】
単にウエハを加熱するとウエハから５族元素が抜ける。これを抑えるためにアルシンやフォスフィンのようなガスを入れて５族蒸気圧を上げている。蒸気圧が高いので５族が抜けても同じだけの５族が表面に吸着され収支が平衡する。ガスを流しながらウエハを包み込むので動的な蒸気圧平衡であり、閉管法より不完全である。しかしながら開管法はより口径の大きいウエハを処理できる。石英管を封じきる必要がないからである。ウエハサイズ大型化可能というのが開管法の最大の利点である。また石英管を浪費しないという長所もある。ガスをバルブ操作で流したり止めたりできるので制御性が良いのではないかと考えられている。しかし産業規模で開管法は実施されていない。単に大学での研究に用いられている程度である。
【００１７】
例えば▲２▼T.Tsuchiya, T.Taniwatari, T.Haga, T.Kawano,"High-quality Zn-diffused InP-related materials fabricated by the open-tube technique", 7th International conference of Indium Phosphide and Related Materials p664 (1995,Sapporo)は、ＭＯＣＶＤ装置を使って、水素Ｈ２、ジメチルＺｎ、フォスフィンを原料としてＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰエピタキシャルウエハにＺｎ拡散を行った。Ｚｎ拡散によってＩｎＧａＡｓＰに転位や欠陥は発生しなかったとしている。これは開管法独特の装置を作ったのではなくて、ＭＯＣＶＤ装置を転用しただけである。ガスを流し基板を加熱する装置があればいいからＭＯＣＶＤ装置を一次的に流用できる。大規模に行うのでないならそれでも差し支えない。しかしＭＯＣＶＤはエピタキシャルの為の装置でこれを転用するのは無駄が多い。産業的規模では使えない手法である。
【００１８】
▲３▼特開昭６２−１４３４２１「不純物拡散方法および拡散装置」は開管法に属する提案である。閉管法は昇温の過程で一部で拡散が起こってしまう、ということを問題にしている。図１６にこれを示す。石英管８３のある箇所にＩｎＰウエハ８４をおき、別の箇所にＺｎ不純物（Ｚｎ２Ｐ）８８を置く。石英管８３の中間部に接続する管８５から不活性ガスを吹き込む。これによってウエハ８４とＺｎ不純物８８の間のガス流通を不活性ガスによって遮断できるようにしている。昇温、冷却の間は不活性ガスを、ウエハとＺｎ不純物の間に吹き込んで両者を離隔しておく。拡散の時は不活性ガス流入を停止し、Ｚｎ不純物８８の側の管８６から水素ガスを流してウエハ８４を通過させるようにする。バルブ８９、９０から操作棒が延びており拡散源８８とウエハ−８４を平行移動できるようになっている。ガスの切り替えによって冷却時や昇温時には拡散が起こらないようにできる。拡散深さなどをより精密に制御できる、という。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】
閉管法は５族ガスの圧力制御が容易であり、ガスを浪費しない。実績があり優れた方法である。現在大量生産規模で使用される唯一のＺｎ拡散法である。しかし反面ウエハ−の大口径化が困難である。石英アンプルにウエハ−を入れるのであるから、ウエハ−の直径より大きい直径の石英アンプルを使わなければならない。透明石英管にウエハ−や、拡散源を入れて端を酸水素ガスバーナーによって封止するのは熟練作業者の手作業によっている。石英は耐熱性が高いので酸素と水素の混合ガスを用いる。炎によって石英管を軟化させる一方から真空に引いているから石英管の直径は減少してゆく。次第に溶融軟化した部分の直径が減少してついに相互に融着してしまう。そうなると試料が入っていない方の石英管を引っ張って分離させる。封止された石英管の尖った部分をさらに溶かして丸めて丸底にする。これらは手作業で行う。
【００２０】
真空封止作業に要する技術は石英管の口径が大きくなるにしたがって困難になる。従来は１インチ径のＩｎＰウエハ−などを扱っていたが、スループットを上げるためより広い２インチ径のＩｎＰウエハ−を扱う必要がある。２インチ径のＩｎＰウエハ−を厚み３ｍｍの石英管に封入する場合、外径は最小でも５６ｍｍとなる。そのような大径の石英管を真空封止するのは、不可能とは言えないが極めて難しい。高度の熟練を持った技術者の手練が要求される。
さらに、閉管法は石英管を割ってウエハ−を取り出す。高価な透明石英である。割った石英管は再利用できない。捨てるしかない。また割るので破片が飛び散る。ウエハ−にも破片がつくこともある。付くだけなら良いが破片によって傷つく可能性もある。
【００２１】
閉管法には別の欠点がある。温度によってしか拡散を制御できないので制御性が悪いという事である。石英管温度を上げて行くのに時間が掛かるのでその間にもＺｎ拡散が起こってしまう。また冷却するにも時間が掛かりその間にもＺｎ拡散が起こる。昇温過程、冷却過程の温度プロフィルの時間変化を毎回同じにするのは難しい。温度プロフィルが毎回違うので拡散深さがばらつく。特に拡散深さが浅い場合は再現性に欠ける。また冷却過程において気化したＺｎがウエハ−表面に堆積してしまう。このように閉管法にはウエハ−が大口径化した場合の石英管封止の技術的困難と、制御性の乏しさという問題がある。より大口径のウエハ−をも処理できる拡散法が望まれる。より制御性優れた拡散法が必要である。
【００２２】
開管法はウエハ−サイズの大型化には適している。反応管を大きくすれば良いのである。石英管封止という問題はない。しかし、５族ガス、Ｚｎ化合物ガスを石英管に流通させるので５族元素蒸気圧が不安定である。ウエハ−の一部から５族元素が抜けることもある。開管法にはもっと大きな欠点がある。５族ガスの蒸気圧を保つため５族ガスを常時大量に反応管に通さなければならない。それに使われるアルシン（ＡsＨ３）、フォスフィン（ＰＨ３）は極めて有毒である。そのために、大がかりな排ガス処理設備が必要である。産業用の製造装置とするには極めて大がかりな装置になってしまう。ために非常に高価な設備となる。このような理由もあって開管法は未だ生産装置としては利用されていない。
【００２３】
大口径のウエハ−に対して簡単安価にＺｎ拡散できる装置及び方法を提供する事が本発明の第１の目的である。高価な設備を用いる必要の無いＺｎ拡散装置及び方法を提供する事が本発明の第２の目的である。昇温時や降温（冷却）時に余分な拡散が起こらないようにしたＺｎ拡散装置及び方法を提供する事が本発明の第３の目的である。拡散の開始終了を温度以外の手段によって的確に制御できるＺｎ拡散装置及び方法を提供することが本発明の第４の目的である。５族空孔密度を制御できるＺｎ拡散方法及び装置を提供することが本発明の第５の目的である。有毒ガスを使わないＺｎ拡散装置及び方法を提供することが本発明の第６の目的である。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明のＺｎ拡散方法は、排気穴が穿孔してありウエハ−収容凹部を設けた一方向に延びる平坦な基板ホルダ−のウエハ収納凹部に３−５族の試料ウエハを挿入し、（Ｍ−１）個の隔壁を持ち下面が開口したＭ個（Ｍ≧１）の離隔した室に分かれ各室に棚をもつ枠体と枠体の前端に固定した蓋用ノンドープウエハ−と枠体に対して着脱可能な蓋とよりなる拡散用治具の蓋をとり、前から順に各室の棚に、Ｚｎを含む拡散原料、５族元素（又はノンドープ蓋用ウエハ）、…を交互に戴置して蓋を閉じ、拡散用治具を前記基板ホルダ−の上におき、拡散用治具に操作棒を取付け、基板ホルダ−を真空に引くことのできる管に入れ、管を真空に引き、拡散用治具の各室を排気穴の直上に運んで各室を真空に引き、蓋用ノンドープウエハ−によって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、管をヒ−タに装填してヒ−タによって基板ホルダ−、ウエハ、拡散用治具を加熱し、拡散に適した温度に到達した時、拡散原料が収容された拡散室によって試料ウエハが覆われる位置へ拡散用治具を摺動させ、一定拡散温度でウエハに拡散原料を気相拡散させ、所望の時間が経過すると、５族元素（又は蓋用ウエハ）が存在する５族元素・蓋用ウエハ室がウエハの上になるように拡散用治具を摺動させ、その位置で次の拡散に適する温度まで温度変化させ、ついで拡散原料が収容されたつぎの拡散室がウエハを覆う位置に移動させて第２の拡散を行うというように拡散と温度変化を繰り返し、最後の拡散が終了したときは拡散用治具の拡散室からウエハから離隔させた状態で冷却するようにしたものである。
【００２５】
本発明では拡散用治具という特別の治具を使う。拡散用治具は下方が開口したＭ個の離隔した室を持っている。それぞれの室は棚があり、棚に５族元素、拡散原料の固体が戴置される。加熱されるとそれぞれの室は拡散原料の蒸気、５族元素の蒸気で充たされる。拡散用治具だけでもよいが、拡散用治具の前端に蓋用ノンドープウエハ−を付けることもある。そのような拡散用治具を長い基板ホルダ−の上に置く。操作棒によって拡散用治具を基板ホルダ−の上でスライドさせる。
【００２６】
基板ホルダ−には一部にウエハ収容凹部がありウエハ−がここに固定される。基板ホルダ−は石英管のような真空に引く事ができまた水素を導入できる管に入れる。一旦真空に引いてから水素を管に導入する。水素を入れるのは対流と熱伝導により加熱、冷却を迅速に行うためである。この管はヒ−タによってあらかじめ加熱された反応炉のなかに装填する。ヒ−タ熱によって管、基板ホルダ−、拡散用治具、５族元素、拡散原料などが加熱される。拡散用治具が前後に移動することによって、ウエハ−の上に拡散室、５族元素室などが交互に位置する。５族元素室によってウエハ−を覆った状態で昇温し、所定の拡散温度に達したとき拡散用治具をスライドさせ拡散室がウエハ−の上に来るようにする。
【００２７】
拡散原料が蒸気になっているから気相拡散がなされる。拡散が終わると操作棒によって拡散用治具を動かし拡散室をウエハ−から離す。２種以上の拡散を行うときは５族元素室（又は蓋用ウエハ）によってウエハ−を覆い温度変化させ、所望の拡散温度になったとき拡散室をウエハ−上に動かして気相拡散を行う。５族元素室は蓋用ウエハによって下部開口を閉じるようにしてもよい。冷却は拡散用治具の拡散室からウエハ−を切り離した状態で行う。拡散用治具全体をウエハ−から離すか、或いは拡散用治具の後端に蓋用ウエハ−をつけておきこれでウエハ−を押さえた状態で冷却する。
【００２８】
このように蓋用ウエハ−＋拡散用治具或いは拡散用治具を、基板ホルダ−の上にスライドさせる。拡散用治具はＭ個の互いに離隔し下部の開放した室をもつ。前端に蓋用ウエハ−を付ける場合と付けない場合がある。
【００２９】
蓋用ウエハ−がない場合はＭは２以上（Ｍ≧２）である、拡散用治具の中に少なくとも一つの５族元素室と拡散室が必要だからである。Ｋ回の異なる拡散を行う場合は、Ｋ個の５族元素室とＫ個の拡散室が交互に設けられる。だからこの場合Ｍ＝２Ｋである。しかし冷却のためにもう一つ５族元素室を設けてもよい。その場合はＫ＋１個の５族元素室と、Ｋ個の拡散室を設けることになる。拡散用治具はＭ＝２Ｋ＋１個の室をもつことになる。
【００３０】
前端に蓋用ウエハ−を付ける場合は、これが５族元素室の代わりをするから、拡散用治具の室数Ｍは１以上であればよい（Ｍ≧１）。Ｋ回の異なる拡散を行う場合は、Ｋ−１個の５族元素室とＫ個の拡散室を拡散原料に設ける。室数Ｍ＝２Ｋ−１である。冷却のために拡散用治具にもう一つ５族元素室を設けると、拡散用治具の室数Ｍ＝２Ｋとなる。また5族元素は蓋用ウエハによって代用することができる。
【００３１】
冷却のために、拡散用治具の後端にノンドープウエハ−をつけ、これで冷却中試料ウエハ−を覆うようにしても良い。いろいろな場合がある。２Ｋ回の拡散を行うとして、つぎの６つの場合がありうる。
【００３２】
１．蓋用ウエハ−＋室数（２Ｋ−１）の拡散用治具
２．              室数２Ｋの拡散用治具
３．蓋用ウエハ−＋室数２Ｋの拡散用治具
４．              室数（２Ｋ＋１）の拡散用治具
５．蓋用ウエハ−＋室数（２Ｋ−１）の拡散用治具＋蓋用ウエハ−
６．              室数２Ｋの拡散用治具＋蓋用ウエハ−
【００３３】
１、３、５は昇温過程で蓋用ウエハ−によって、試料ウエハ−を囲むものである。２、４、６は拡散用治具の５族元素室によって試料ウエハ−を囲むものである。これらは昇温過程での違いである。
【００３４】
３つのカテゴリ−は冷却過程の違いから生ずる。１と２は水素中で試料ウエハ−の冷却を行うことになる。拡散用治具をウエハ−から離してウエハ−冷却するからである。以下に述べる実施の形態はすべてこれである。１の場合、拡散用治具は、拡散室＋５族元素室＋…＋拡散室となる。２の場合拡散用治具は、拡散室＋５族元素室＋…＋５族元素室となる。
【００３５】
３と４は拡散用治具の最終室中でウエハ−を冷却するものである。３の場合拡散用治具は拡散室＋５族元素室＋…＋５族元素室となる。４の場合、拡散用治具は５族元素室＋拡散室＋…＋５族元素室となる。
【００３６】
５、６は蓋用ウエハ−で囲んだ状態でウエハ−冷却を行うものである。５の場合、拡散用治具は、拡散室＋５族元素室＋…＋拡散室となる。６の場合、拡散用治具は、拡散室＋５族元素室＋…＋５族元素室となる。
【００３７】
基板ホルダ−は拡散用治具が滑らかに摺動し、しかも気体の漏れがないような平坦平滑な板である。これはカーボンなどで作る事ができる。カーボンは摺動特性に優れ耐熱性がある。カーボンだと屑が出るからアモルファスカーボンやＳｉＣで被覆するとよい。また拡散用治具もカーボンとする。これもアモルファスカーボンなどの被覆をする。カーボンの蓋をカーボンのネジで拡散用治具に止めることは可能である。
【００３８】
Ｚｎ拡散源は固体であって加熱して蒸発するものであることが必要である。
Ｚｎ３Ｐ２、ＺｎＰ２、Ｚｎ３Ｐ２＋Ｐ（赤燐）、ＺｎＰ２＋Ｐ（赤燐）などがＺｎ拡散源として使う事ができる。５族元素は、試料ウエハ−の５族と同じものである。試料ウエハ−がＩｎＰであればＰである。試料ウエハ−がＧａＡｓであればＡｓである。
【００３９】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態：１室型：粗面化ウエハで蓋をするもの：１段階拡散］
昇温過程において試料ウエハから５族元素が抜けるのを防ぐため、粗面化ウエハによって蓋をしておく。拡散温度Ｔｄまで昇温してから拡散用治具を試料ウエハの上にスライドさせドーパントの拡散を開始する。拡散が終わると直ちに拡散用治具を動かして試料ウエハからドーパント雰囲気を切り離す。
【００４０】
図１、図２、図３によって本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は本発明の工程を示す。図２、図３は治具の平面図を示す。これはウエハ１枚の処理装置であるが、２枚並べて処理するように横幅が２倍あるような治具を作ることもできる。治具面積内でｍ枚のウエハが隣接するようにしても良い。スループットを上げるために治具の広さは自在に決めれば良い。
【００４１】
図１の全体は石英管のような反応容器（図５に現れる）に収められる。反応容器は全体を真空引きする事ができるようになっている。平坦平滑なカーボンの板である基板ホルダ−１は治具を摺動させるための長い台である。これは前記の石英管の内部に挿入される。カーボンであるのは耐熱性耐薬品性に優れ摺動特性が良いからである。カーボン地肌が露出していても良いが、摩擦によって粉が出ることもあるので適当な被覆をするのも良い。例えばＳｉＣ、ａ−Ｃ（アモルファスカーボン）などでコ−ティングする。耐熱性ある金属（タンタル、ステンレス）などによっても基板ホルダ−を作製できる。基板ホルダ−１の上にはウエハ収容凹部２が浅く穿たれる。これはウエハの形状寸法に合わせた凹部である。基板ホルダ−１にはさらに排気穴３を貫通して設ける。
【００４２】
拡散用治具４が重要である。拡散用治具４は上面側面を持ち下面の開口した小さい容器である。図２は蓋を除いた平面図であり、図３は蓋をした平面図である。この例では拡散室１０は幅３０ｍｍ、奥行き３０ｍｍ、高さ２０ｍｍで容積１８ｃｍ３の空間である。拡散用治具４は開口を下にして基板ホルダ−１の上を摺動する。前述の排気穴３の上にある時は拡散用治具内部を真空引きできる。拡散用治具４は長方形状の枠体５の上に蓋６を載せネジ７で固定したものである。
【００４３】
枠体５の下には何もなくて直接に基板ホルダ−１面に接触し摺動する。枠体５の下面も平坦平滑であって基板ホルダ−１の上に置かれると接触面での漏れがない。矩形状の枠体５は例えばカーボンで作る。カーボンは数ミクロンの精度で加工できる。枠対の幅は１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度である。その上に乗る蓋６もカーボンで作る事ができる。これらもカーボンのままでも良くＳｉＣ、アモルファスカーボンなどのコ−テイングをするのも良い。
【００４４】
蓋６と枠体５の一部には止め孔８が穿ってありここに操作棒９の先端が差し込まれる。操作棒９によって拡散用治具４の全体を前後に摺動させることができる。治具を操作棒によって基板ホルダ−の上を移動させるのは液相エピタキシャルでは良く行われる事である。治具をカーボン製とするのも液相エピタキシャルからの類推といえよう。しかし治具、ネジはステンレスそのほかの金属によっても作る事ができる。
【００４５】
枠体５と蓋６及び基板ホルダ−１によって拡散室１０が形成される。これは狭い空間であるが前後に移動自在である。移動できることが本発明の優れた制御性の源泉になる。枠体５の内壁の途中には、拡散用原料１１を収容する棚１２が設けられる。ＩｎＰウエハの場合、拡散用原料１１はＺｎとＰの化合物とする。Ｚｎ３Ｐ２、ＺｎＰ２等である。ＧａＡｓウエハの場合、拡散原料１１はＺｎとＡｓの化合物である。例えば、Ｚｎ３Ａｓ２、ＺｎＡｓ２等である。一般にウエハの５族元素とＺｎの化合物であって加熱によって気化（昇華）する材料である。拡散用治具に形成された棚１２は拡散原料を保持するものである。拡散用原料が加熱されるとその蒸気が拡散用密閉室１０に充満する。拡散用治具４と基板ホルダ−１のすり合わせに隙間がないので蒸気は外部には出て行かない。
【００４６】
拡散用原料１１の装填は次のように行う。蓋６を取って、枠体５の棚１２に拡散用原料１１を置き、蓋６を枠体５に置いてネジ７で蓋６を固定する。さらに操作棒９を止め孔８に差し込む。
【００４７】
拡散用治具４の前端面１６には粗面化した蓋用ノンドープウエハ１３が接着してある。蓋用ノンドープウエハ１３は拡散用治具４と共に動く。蓋用ノンドープウエハ１３はＺｎ拡散の対象となるウエハと同じ材料のウエハである。対象がＩｎＰなら、ＩｎＰウエハを、対象がＧａＡｓならＧａＡｓウエハを使う。これは対象となるウエハ１４を加熱する間これを覆い、５族元素の離脱を防ぐものである。ＩｎＰ、ＧａＡｓいずれも５族元素の高温での蒸気圧が高く加熱する際は、５族蒸気圧によって抑えておく必要がある。ウエハ１４を加熱すると同時に蓋用ノンドープウエハ１３も加熱される。蓋用ノンドープウエハ１３から５族元素が解離し狭い空間に５族の高い蒸気圧を与える。それによって目的となるウエハ１４からの５族元素の脱離を防ぐ。これは消極的に５族の解離を抑制するものである。
【００４８】
ノンドープであるのは不純物がこれから出て目的となるウエハ１４にドープされてはならないからである。また蓋用ノンドープウエハ１３はウエハ１４に対向する面は研磨しない。ザラザラの粗面にしておく。粗面の方が実効的な面積が広くて蓋用ノンドープウエハ１３の表面から出る５族元素の量が増える。だから蓋によって封じられた狭い空間での５族蒸気圧が大きくなる。基板ホルダ−１のウエハ収容凹部２の丁度下方になるところに熱電対１５の先端を接触させておく。
【００４９】
以上の構成において次のような操作を行う。図１には主な工程を示す。図４は各工程での温度変化プロフィルを示す。
【００５０】
｛準備工程｝
（１）ＩｎＰウエハ、ＧａＡｓウエハなど試料ウエハ１４をウエハ収容凹部２に入れる。
（２）あらかじめ過熱された炉に、反応管を挿入する。
（３）基板ホルダ−の上で、拡散用治具４を後退させておき前端面１６に蓋用ノンドープウエハ１３を固定する。
（４）ネジ７を外し蓋６を開き、棚１２に拡散用原料１１を置く。ウエハがＩｎＰの場合は、ＺｎＰ２、Ｚｎ３Ｐ２などの固体である。ウエハがＧａＡｓの場合はＺｎＡｓ２、Ｚｎ３Ａｓ２などの固体である。
（５）蓋６を枠体５においてネジ７をしめる。操作棒９を止め孔８に差し込む。
（６）この状態で基板ホルダ−１の全体を反応管である石英管２０（図５に現れる）に挿入する。
【００５１】
｛工程１（拡散室内真空排気）｝
（７）拡散用治具４は図１（１）の状態にある。反応管全体を真空に引く。基板ホルダ−１の上方つまり拡散用治具４の外側は真空になる。基板ホルダ−１の排気穴３からも真空引きされるので拡散用治具４の内部も真空になる。結局拡散用治具４の内外が同じ真空になる。
【００５２】
（８）適当な真空度になると、操作棒９を押して拡散用治具４を前進させ排気穴３から拡散用治具の内部空間をはずす。これで拡散用治具４の内外の空間が分離される。丁度蓋用ノンドープウエハ１３がウエハ収容凹部２の上に来る。ウエハ１４を上から覆う。真空排気の後、反応管に水素を導入する。水素は熱伝導や対流により加熱、冷却を迅速に行う。これが図１（２）の状態である。図４では室温のイロの部分である。
｛工程２（昇温過程）｝
（９）昇温工程において、ウエハ１４、蓋用ノンドープウエハ１３は加熱される。図４のロハの部分である。拡散温度Ｔｄを目指して温度が上昇する。加熱昇温によって蓋用ノンドープウエハ１３から５族原子が出るのでウエハ収容凹部２での５族蒸気圧が高くなる。ウエハ１４からの５族解離を防ぐことができる。蓋用ノンドープウエハ１３の役割は昇温過程での５族解離を防ぐことである。そのため蓋用ウエハは粗面化してある。しかし粗面化しても５族解離防止は完全ではない。積極的に５族ガスを充填しないからである。幾分の５族空格子が発生するであろう。
（１０）拡散用治具４も同様に加熱される。拡散用原料１１は昇華開始し、拡散用治具４内部に広がる。拡散室１０のＺｎ化合物の蒸気圧が上がって行く。しかしこの状態ではＺｎ蒸気とウエハ１４は離隔されているからＺｎ拡散は起こらない。温度は熱電対によってモニタする。やがて所望の拡散温度Ｔｄに到達する。
【００５３】
｛工程３（拡散工程）｝
（１１）Ｔ＝Ｔｄになると、操作棒９を押して拡散用治具４を前進させる。図１（３）の状態になる。拡散用治具４が丁度ウエハ収容凹部２の上に来る。図４のハの位置である。拡散用治具４の拡散室１０は十分濃密なＺｎ化合物蒸気によって充たされている。Ｚｎ化合物蒸気がウエハ１４に接触する。直ちにＺｎ拡散が始まる。狭い空間であってガスの巨視的流れがない。５族蒸気圧は安定している。拡散の時間ｔｃは、希望の拡散深さから決める。
｛工程４（冷却）｝
（１２）所定の拡散時間ｔｃが経過すると、操作棒９を押して拡散用治具４をウエハ収容凹部２から切り離す。直ちに拡散は停止する。図４のニ点である。
（１３）ウエハ１４が拡散用治具４から切り離された位置で冷却する。図１（４）に冷却時の関係をしめす。
図５は図１の装置の周辺部をも示す概略断面図である。基板ホルダ−１や拡散用治具４、操作棒９などの全体が石英管２０の内部に収納される。閉管ではなくて一方から真空引きできるようになっている。また操作棒９を外部から操作できるようになっている。石英管２０の全体がヒ−タ２１に差し込まれる。ヒ−タ２１は抵抗線２３を炉心にコイル状に巻き、炉材２２によって固めたものである。抵抗線２３に通電して抵抗加熱することができる。通常の電気炉である。
【００５４】
［第２の実施の形態：２室型：５族元素室で蓋をするもの：１段階拡散］
第２実施形態は、昇温過程において試料ウエハから５族元素が抜けるのをより積極的に防ぐものである。拡散用治具に５族元素室を作る。５族元素室でウエハを覆い積極的に５族蒸気圧を上げ試料ウエハ表面からの５族の解離を防止する。拡散温度Ｔｄに達するまで５族元素室でウエハを包囲しておく。拡散温度Ｔｄまで昇温してから拡散用治具の拡散室を試料ウエハの上にスライドさせドーパントの拡散を開始する。拡散が終わると直ちに拡散用治具を動かして試料ウエハからドーパント雰囲気を切り離す。ウエハで蓋をするだけの第１の実施形態に比べてより完全に５族の抜けを防ぐ。５族空孔の発生を防止する上でより有効な方法である。
【００５５】
図７は第２の実施形態の各工程をしめす。図８は蓋を取った状態の拡散用治具の平面図である。図９は蓋をした拡散用治具の平面図である。拡散用治具は２室よりなる。これが前例と異なる。前例のノンドープウエハ１３の代わりに、５族元素室３０を新たに拡散用治具内部に設けている。拡散用治具２４は枠体２５と蓋２６とを組み合わせたものである。枠体２５は摺動方向に伸びる直方体であり、中間に隔壁２８がある。隔壁２８によって拡散用治具２４は２室に分けられる。後方の拡散室１０はドーパントを拡散するものである。棚３４が壁面に形成してある。ここに拡散源１１の固体が置かれている。
【００５６】
前方には５族元素室３０がある。棚３２が設けられここに５族元素固体３１が戴置される。試料ウエハの５族元素と同じものを５族元素固体３１とする。ＩｎＰウエハが対象の場合は、燐Ｐである。ＧａＡｓが対象の場合は砒素Ａｓである。このような２室型の拡散用治具２４は昇温過程で、５族元素室３０によって試料ウエハ１４を覆う。ために昇温過程で５族空孔が発生しない。図７の各工程を順に説明する。図１０は工程ごとの熱電対１５の温度変化を示す。
【００５７】
｛準備工程｝
（１）ＩｎＰウエハ或いはＧａＡｓウエハなど試料ウエハ１４をウエハ収容凹部２に入れる。
（２）反応管を加熱された電気炉に入れる。
（３）拡散用治具２４を後退させ排気穴３の直上に５族元素室３０が来るようにする。
（４）ネジ７を外し蓋２６を開く。後方の拡散室１０の棚３４に拡散用原料１１を置く。ＩｎＰの場合はＺｎＰ２、Ｚｎ３Ｐ２など、ＧａＡｓの場合はＺｎＡｓ２、Ｚｎ３Ａｓ２などの固体である。前方の５族元素室３０の棚３２には、５族元素固体３１を置く。ＩｎＰの場合は燐Ｐで、ＧａＡｓの場合は砒素Ａｓである。以下の例ではＩｎＰウエハに対して、赤燐Ｐを使う場合を示す。
（５）蓋２６を枠体２５の上においてネジ２７をしめる。操作棒２９を止め孔３３に差し込む。
（６）この状態で基板ホルダ−１の全体を反応管である石英管２０（図５）に挿入する。
【００５８】
｛工程１（５族元素室内真空排気）｝
（７）拡散用治具２４は図７（１）の状態にある。反応管全体を真空に引く。基板ホルダ−１の上方つまり拡散用治具２４の外側は真空になる。基板ホルダ−１の排気穴３の上には丁度５族元素室３０がある。排気穴３から５族元素室３０が真空引きされる。温度は図１０のヘトの間であり常温である。
【００５９】
｛工程２（拡散室真空排気）｝
（８）操作棒を押して拡散用治具２４を前進させ、排気穴３の上に拡散室２０が位置するようにする。図７（２）の状態である。図１０ではトチの間で常温である。拡散室１０の内部が真空に引かれる。５族元素室３０の前壁は試料ウエハ１４のウエハ収容凹部２の上にある。５族元素室３０の外側もすでに真空であるから５族元素室３０の真空は維持される。こうして、拡散室１０、５族元素室３０ともに真空になる。ついで反応管に水素ガスを導入する。拡散室の外は水素雰囲気になる。温度プロフィルは図１０のトチの間で常温である。
【００６０】
｛工程３（昇温過程）｝
（９）拡散室１０が真空に引かれると操作棒２９を押して拡散用治具２４を前進させ試料ウエハ１４の上に５族元素室３０がスッポリと覆うようにする。図７（３）の状態になる。図１０のチである。
（１０）昇温過程（工程３）において、ウエハ１４、拡散用治具２４、５族元素３１、拡散用原料１１が加熱される。図１０のチソの部分である。拡散室１０ではドーパントが蒸発しドーパント濃度が高くなる。５族元素室３０では５族元素３１が蒸発し、５族蒸気圧が次第に高くなる。ウエハ１４は５族元素室３０の中にあるから、高い５族蒸気圧によって保護される。５族が表面から解離しない。温度がチからリへと上がるに従って、５族蒸気圧とドーパント蒸気圧が高まって行く。やがて拡散温度Ｔｄに到達する。
【００６１】
｛工程４（拡散工程）｝
（１１）Ｔ＝Ｔｄになると、操作棒２９を押して拡散用治具２４を前進させる。図７（４）の状態になる。ウエハ１４を拡散室１０が覆う。ドーパントの蒸気圧がすでに高くなっているからドーパントがウエハ１４に付着し高温で拡散が起こる。Ｚｎの蒸気がウエハに接触する。表面からＺｎがウエハの内部に拡散する。図１０のリヌの拡散温度に対応する。拡散時間ｔｃは目的に応じて適当に選ぶ。
【００６２】
｛工程５（冷却）｝
（１２）所定の拡散時間ｔｃが経過すると、操作棒２９を押して拡散用治具２４をウエハ収容凹部２から切り離す。図７（５）のようになる。ウエハ１４はドーパント蒸気から離れる。直ちに拡散は停止する。図１０のヌ点である。
（１３）ウエハ１４が拡散用治具４から切り離された位置で冷却する。図１０のヌルに対応する。
【００６３】
［第３の実施の形態：３室型：２段階拡散］
第３の実施形態は、２回の拡散を行うものである。拡散用治具は３室を持つ。異なるドーパントによって２回異なる拡散を行う。或いは同一のドーパントを異なる温度で２回拡散を行うというような場合に利用できる。２種類の拡散に対応して２つの拡散室が拡散用治具に設けられる。その間には５族元素室を介在させる。だから３室からなる拡散用治具ということになる。昇温過程において試料ウエハを保護するのは、ノンドープウエハ１３である。第１拡散から第２拡散の間に試料ウエハを包囲し５族蒸気圧を与えるのは５族元素室（ノンドープウエハの場合もある）である。５族元素の抜け防止のために異なる二つの手段を使うことができる。以上に述べたものは２種類の拡散を行うためのものである。
【００６４】
本発明は一般に２種類といわず、３種類でも４種類のドーパントでも継時的に拡散することができる。Ｍ種のドーパントを拡散するには２Ｍ室、あるいは（２Ｍ−１）室の拡散用治具が必要である。
【００６５】
図１１は第３の実施形態に掛かる拡散用治具の断面図である。図１２は同じものの蓋を除いた状態の平面図である。（図１７は５族元素室に５族を置く代わりに蓋用ノンドープウエハで開口をふさいだ例である。５族元素は蓋用ウエハで置き換えることができる。）工程は容易にわかるので工程図は省いている。拡散用治具は３室よりなる。長方形枠体４５の中に隔壁５２、５３がある。これによって拡散用治具内空間が３つに仕切られる。前端から、第１拡散室５０、５族元素室３０、第２拡散室１０である。枠体４５の上に蓋４６をかぶせネジ４７で固定する。下部が開口した３つの空間５０、３０、１０は２段階の拡散をするための工夫である。最初の第１拡散室５０には棚５６があり、第１拡散用原料５１が戴置される。２番目の５族元素室３０には棚５５があって、５族元素固体３１が収容される。３番目の第２拡散室１０にも棚５４があって、第２拡散用原料１１が載せられている。終端には止め孔４８が穿孔される。ここに操作棒４９が差し込まれており拡散用治具４４の全体を前後に摺動するようになっている。
【００６６】
最前端には蓋用ノンドープウエハ１３が固定される。これは昇温過程においてウエハ１４が嵌込まれたウエハ収容凹部２を閉ざしウエハ１４の表面からの５族解離を抑える。これのかわりに５族元素室を増やして、拡散用治具を４室型としてもよい。
【００６７】
図１３に２段階拡散の温度プロフィルを示す。各工程を述べる。
【００６８】
｛準備工程｝
（１）試料ウエハ１４をウエハ収容凹部２に入れる。
（２）反応管を電気炉に入れる。
（３）拡散用治具４４を後退させ排気穴３の直上に第１拡散室５０が位置するよにする。
（４）ネジ４７を外し蓋４６を開く。後方の第２拡散室１０の棚５４に第２拡散用原料１１を置く。中間の５族元素室３０の棚５５には、５族元素固体３１を置く。ＩｎＰの場合は燐Ｐで、ＧａＡｓの場合は砒素Ａｓである。前方の第１拡散室５０の棚５６には第１拡散用原料５１をおく。
（５）蓋４６を枠体４５の上においてネジ４７をしめる。操作棒４９を止め孔４８に差し込む。
（６）の状態で基板ホルダ−１の全体を反応管である石英管２０（図５）に挿入する。
｛工程１（第１拡散室・５族元素室・第２拡散室内真空排気）｝
（７）反応管全体を真空に引く。拡散用治具４４の外側は真空になる。基板ホルダ−１の排気穴３の上には丁度第１拡散室５０がある。排気穴３から第１拡散室５０が真空引きされる。
（８）操作棒を押して拡散用治具４４を前進させ、排気穴３の上に５族元素室３０が位置するようにする。排気穴３から５族元素室３０が真空に引かれる。
（９）操作棒４９を押して拡散用治具４４を前進させる。排気穴３の上に第２拡散室１０が来た位置でとめる。排気穴３から第２拡散室１０が真空に引かれる。これらの３室５０、３０、１０が全て真空に引かれる。拡散室をずらせ、反応管と拡散室を切り離す。反応管に水素ガスを導入する。これは図１３のヲワに対応する。
【００６９】
｛工程２（昇温過程）｝
（１０）操作棒４９を押して拡散用治具４４を前進させ試料ウエハ１４の上をノンドープウエハ１３が覆うようにする。図１１はそのような状態を示している。全体を加熱し昇温する。図１３のワカに当たる。同じ結晶の蓋をしているから５族元素の解離をある程度防ぐことができる。第１拡散温度Ｔｄ１に到達するまで加熱する。
【００７０】
｛工程３（第１拡散工程）｝
（１１）Ｔ＝Ｔｄ１になると、操作棒４９を押して拡散用治具４４を前進させる。ウエハ１４を第１拡散室５０が覆う。第１拡散室５０ではドーパントの蒸気圧がすでに高くなっている。ドーパントがウエハ１４に付着し高温で拡散が起こる。表面からドーパントがウエハの内部に拡散する。図１０のカヨに対応する。拡散時間ｔ１は目的に応じて適当に選ぶ。
【００７１】
｛工程４（過渡的な冷却）｝
（１２）所定の拡散時間ｔ１が経過すると、操作棒４９を押して拡散用治具４４を前進させ、５族元素室３０がウエハ１４を覆う位置で止める。そのままの状態でヒ−タパワーを落とし、第２拡散温度Ｔｄ２に下げる。図１３のヨタである。Ｔｄ１〜Ｔｄ２の遷移において、ウエハ１４は５族元素蒸気圧によって囲まれる。ウエハ表面からの５族抜けが防がれる。
【００７２】
｛工程５（第２拡散工程）｝
（１３）第２拡散温度Ｔｄ２になると、操作棒４９を押して、拡散用治具４４を前進させ、ウエハ１４の上に第２拡散室１０が位置するようにする。第２拡散源の蒸気圧が高いのですぐに拡散が始まる。所定の拡散時間ｔ２が経過するまでその状態を続ける。
【００７３】
｛工程６（冷却工程）｝
（１４）操作棒４９を押して拡散用治具４４をウエハ収容凹部２から切り離す。直ちに拡散は停止する。徐々に炉の温度を下げる。図１３のレソの線に対応する。
【００７４】
【実施例】
図１、図２、図３にしめすようなＭ＝１の拡散用治具によって本発明のＺｎ拡散を行った。ただし、拡散用治具は幅３０ミリ、奥行き３０ｍｍ、高さ２０ｍｍで容積１８ｃｍ３である。前方に粗面ノンドープＩｎＰウエハ−をつけている。拡散用治具の棚にＺｎ３Ｐ２を４ｍｇおいた。比較のため次の２枚のウエハ−を試料とした。
ウエハ−▲１▼…キャリヤ濃度１×１０１８ｃｍ−３のＳｎドープＩｎＰ
ウエハ−▲２▼…キャリヤ濃度５×１０１５ｃｍ−３のノンドープＩｎＰ
【００７５】
試料ウエハ−をウエハ収容凹部２に入れて、拡散用治具の蓋を閉じ、拡散用治具を基板ホルダ−の上において、操作棒を後端に取り付けた。基板ホルダ−を石英管に入れた。石英管を１×１０−６Ｔｏｒｒの真空に引いた。拡散用治具４の拡散室１０を排気穴３の上に持ってくる。これによって拡散室１０の内部が真空になる。そのあと熱伝導率の良い、水素ガスを石英管に導入した。その状態で石英管を反応炉に差し入れた。
【００７６】
炉のヒ−タに通電し、基板ホルダ−、拡散用治具、ウエハ−を加熱した、試料ウエハ−の温度は熱電対１５によって測定している。熱電対が５８０℃で安定した時点で、操作棒９によって拡散用治具４を押し拡散室１０を試料ウエハ−１４の上に来るようにした。Ｚｎ３Ｐ２の蒸気にウエハ−が接触する。ウエハ−温度を５８０℃にしてＺｎ拡散した。蒸気にウエハ−が接触している時間が拡散時間である。拡散を終了させるためには拡散用治具を押して、拡散室１０をウエハ−から切り離せば良い。この点で閉管法より制御性が格段に優れる。拡散用治具がウエハ−から離隔した状態で冷却する。
【００７７】
石英管から基板ホルダ−を抜き出す。基板ホルダ−から試料ウエハ−を外す。試料ウエハ−は、劈開して断面を出し、フェリシアン化カリウム＋水酸化カリウム水溶液からなるエッチング液によってエッチングした。このエッチング液は、ｎ型ＩｎＰとｐ型ＩｎＰではエッチング速度が違う。それでエッチングされた断面図を顕微鏡で観察することによって拡散深さが分かる。
【００７８】
ここで拡散の深さと言うのはＺｎ原子が、ｎ−ＩｎＰ結晶にどこまで拡散していったかということである。ただし初めのｎ−ＩｎＰの電子密度（ｎキャリヤ密度）が違うから、拡散の深さというものも違う。Ｚｎ密度は拡散のなだらかなカーブを描くのでここまでがＺｎ拡散の境界であるという点を決めることができない。そこでｐｎ接合であるｐ＝ｎとなる深さまでを拡散深さとする。
【００７９】
ウエハ−▲１▼は比較的高濃度のｎ型でｎ＝１０１８ｃｍ−３であるから、Ｚｎ濃度が１０１８ｃｍ−３になる（ｎ＝ｐ）となるところまでがｐ型領域である。これより深いｎ型の領域にもＺｎは存在する。
【００８０】
ウエハ−▲２▼はノンドープでありキャリヤ数が少なくｎ＝５×１０１５ｃｍ−３であるから、Ｚｎ濃度が５×１０１５ｃｍ−３になったところがｐｎ接合でありこれが拡散深さということになる。
【００８１】
拡散時間を様々に変えて拡散深さを測定した。その結果を図６に示す。横軸は時間そのものではなく、時間の平方根である。黒丸はノンドープＩｎＰウエハ−▲２▼の拡散時間と深さの関係をしめす。４分で５μｍ程度、１０分で８μｍ程度、１８分で１０μｍ程度である。拡散深さが時間の平方根に大体比例する。黒三角はＳｎドープのウエハ−▲１▼の結果である。拡散深さが浅いのは、もとのｎ−ＩｎＰのｎキャリヤ密度が高いからである。５分で１．８μｍ、１０分で２．３μｍ、２８分で４．２μｍ程度である。これも深さが時間の平方根にほぼ比例している。つまり時間によって拡散を精密に制御できるということである。拡散開始時にウエハ−が初めて拡散原料蒸気に接触し、拡散が終わると同時に拡散原料蒸気からウエハ−が切り離されるから昇温、冷却時に余分な制御不能な拡散が起こらない。時間を増やせば任意の深さまで拡散させることができる。
【００８２】
ここでは１インチ径のウエハ−を対象にしたが、拡散用治具の寸法を大きくすれば２インチウエハ−でも簡単にＺｎ拡散することができる。
【００８３】
【発明の効果】
本発明は大口径のウエハであっても容易にＺｎ拡散することができる。ウエハ径が大きければ、拡散用治具の拡散室や５族元素室の面積を増やせば良い。２インチ径を越える大面積のウエハであってもｐ型ドーパントを熱拡散できる。この点で閉管法より優れたものである。また昇温過程、冷却過程では拡散が起こらない。だから拡散濃度プロフィルが所望のものになる。拡散深さの制御性が向上する。冷却中のウエハ表面へのドーパント堆積と言うことも起こらない。この点でも閉管法よりも優れる。
【００８４】
５族元素の解離を防ぐための蒸気圧を与える空間が極めて狭いし閉じられているからガスを大量に消費しない。毒性の強いガスを大量に流す開管法よりも優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】１室型拡散用治具を使う本発明の第１の実施形態に掛かる拡散方法の工程図。（１）は拡散室真空排気工程、（２）は昇温工程、（３）は拡散工程、（４）は冷却工程を示す。
【図２】第１の実施形態において用いる１室からなる拡散用治具の蓋を除いた状態の平面図。
【図３】第１の実施形態において用いる拡散用治具の平面図。
【図４】第１の実施形態における温度の時間変化を示すグラフ。
【図５】拡散用治具を収容した石英管と、反応炉の全体を示す断面図。
【図６】５８０℃でのＺｎ拡散の時間と、拡散深さの測定値を示すグラフ。横軸は時間の平方根、縦軸は拡散深さである。
【図７】２室型拡散用治具を使う本発明の第２の実施形態に掛かる拡散方法の工程図。（１）は赤リン室（５族元素室）真空排気工程、（２）は拡散室真空排気工程、（３）は昇温工程、（４）は拡散工程、（５）は冷却工程を示している。
【図８】第２実施形態で用いる２室拡散用治具の蓋を取り外した状態の平面図。
【図９】同じものの蓋をした状態の平面図。
【図１０】第２の実施形態にかかる拡散方法の温度の時間変化を示すグラフ。
【図１１】２回の拡散を行う第３の実施形態にかかる拡散方法のための３室型拡散用治具の断面図。
【図１２】同じ拡散用治具の蓋を除いた状態の平面図。
【図１３】２回の拡散を行う第３の実施形態における温度の時間変化を示すグラフ。
【図１４】閉管法にかかる不純物拡散装置の一例の断面図。
【図１５】閉管法にかかる不純物拡散装置であって、特公平２−２４３６９号によって提案されている装置の断面図。
【図１６】開管法に掛かる不純物拡散装置であって、特開昭６２−１４３４２１号に提案されている装置の断面図。
【図１７】２回の拡散を行う第３の実施形態にかかる拡散方法を行うための３室型拡散用治具であって５族元素の代わりに蓋用ノンドープウエハを使用したものの断面図。
【符号の説明】
１  基板ホルダ−
２  ウエハ収容凹部
３  排気穴
４  拡散用治具
５  枠体
６  蓋
７  ネジ
８  止め孔
９  操作棒
１０  拡散室
１１  拡散用原料
１２  棚
１３  蓋用ノンドープウエハ
１４  ウエハ
１５  熱電対
１６  前端面
２０  石英管
２１  ヒ−タ
２２  炉材
２３  抵抗線
２４  拡散用治具
２５  枠体
２６  蓋
２７  ネジ
２８  隔壁
２９  操作棒
３０  ５族元素室
３１  ５族元素
３２  棚
３３  止め孔
３４  棚
４４  拡散用治具
４５  枠体
４６  蓋
４７  ネジ
４８  止め孔
４９  操作棒
５０  第１拡散室
５１  拡散原料
５２  隔壁
５３  隔壁
５４  棚
５５  棚
５６  棚
５７  蓋用ノンドープウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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