(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、前記プローブ固定部を前記ベース部に対して上下動可能に当該ベース部にそれぞれ連結する第１のリンク部および第２のリンク部とを備え、前記第１のリンク部は、その一端が前記案内方向に直交する第１の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記ベース部に連結されると共に他端が前記第１の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結され、前記第２のリンク部は、その一端が前記案内方向に直交し前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記ベース部に連結されると共に他端が前記第２の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結されていることを特徴とするコンタクトプローブ用固定具。
【請求項２】
前記ベース部は、互いに固着可能な第１および第２のベース部用部材で構成され、前記プローブ固定部は、互いに固着可能な第１および第２のプローブ固定部用部材で構成され、前記第１のリンク部は、その一端が前記弾性変形部を介して前記第１のベース部用部材に連結されると共に他端が前記弾性変形部を介して前記第１のプローブ固定用部材に連結され、前記第２のリンク部は、その一端が前記弾性変形部を介して前記第２のベース部用部材に連結されると共に他端が前記弾性変形部を介して前記第２のプローブ固定用部材に連結されていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項３】
前記第１および第２のリンク部は、一端が前記弾性変形部を介して前記ベース部に連結された第１の連結用アームと、一端が前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結された第２の連結用アームとをそれぞれ備え、前記第１および第２の連結用アームは、その他端同士が、両端に弾性変形部が形成された他の連結用アーム、または弾性変形部を介して連結されていることを特徴とする請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項４】
前記弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部を円弧状に切り欠いて形成された円弧切り欠き支点によって構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【請求項５】
少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することにより、当該プローブ本体と電気的に接続されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロービング対象体にプローブ本体を接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ用固定具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のコンタクトプローブ用固定具を備えたコンタクトプローブ（以下、「プローブ」ともいう）として、図５に示すプローブ３１が従来から知られている。このプローブ３１は、先端Ｐａがプロービング対象体に接触させられるプローブ本体Ｐと、プローブ本体Ｐを固定するための固定用アーム３２とを備えて構成されている。固定用アーム３２の一端側には、プローブ案内機構（図示せず）に固定するための固定用孔３４ａ，３４ｂが形成されると共に、他端側には、プローブ本体Ｐを固定するためのプローブ固定部３３が形成されている。この場合、プローブ本体Ｐおよび固定用アーム３２は、導電性素材でそれぞれ形成されており、プローブ本体Ｐをプローブ固定部３３に圧入することにより一体化されると共に、先端Ｐａと固定用アーム３２とが互いに電気的に接続される。
【０００３】
プローブ３１を用いてプロービング対象体に対するプロービングを行う場合には、まず、図６（ａ）に示すように、プローブ案内機構によってプローブ３１の先端Ｐａをプロービング対象体Ｘの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構の案内に従って同図（ａ）の矢印Ａの向きで固定用アーム３２を下動させ、同図（ｂ）に示すように、先端Ｐａをプロービング対象体Ｘの表面Ｘａに接触させる。次いで、固定用アーム３２をさらに矢印Ａの向きで下動させると、同図（ｃ）に示すように、固定用アーム３２が、矢印Ｂの方向に弾性変形し、その弾性力によって先端Ｐａが、同図に示す矢印Ａの向きでプロービング対象体Ｘ側に付勢される。これにより、先端Ｐａとプロービング対象体Ｘの表面Ｘａとの電気的接続が完全となる。この後、プローブ案内機構が、固定用アーム３２およびプローブ本体Ｐの先端Ｐａを介して出力した測定用電圧をプロービング対象体Ｘに印加することにより、所定の電気的検査を実行する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のプローブ３１には、以下の問題点がある。
すなわち、従来のプローブ３１では、プローブ案内機構によって固定用アーム３２が下動させられることにより、図７に示すように、まず、先端Ｐａがプロービング対象体Ｘの表面Ｘａに接触する。次いで、さらに下動させられることにより、固定用アーム３２が一点鎖線で示すように弾性変形すると共に、先端Ｐａが一点鎖線で示すプロービング対象体Ｘの表面Ｘａ側に付勢される。なお、同図では、動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ３１およびプロービング対象体Ｘについては、固定用アーム３２の固定用孔３４ａ，３４ｂを基準とした相対的な位置に図示している。
【０００５】
この場合、先端Ｐａは、固定用孔３４ａ，３４ｂの位置を基準とすれば、矢印Ｃで示すように、固定用孔３４ｂの近傍を中心とした円弧状の軌跡で移動する。この結果、先端Ｐａは、図８に示すように、最初に接触させられた位置から、プロービング対象体Ｘの表面Ｘａを矢印Ｄの方向に距離Ｓだけ移動させられる。このため、このプローブ３１には、先端Ｐａがプロービング対象体Ｘの表面Ｘａを移動することにより、大きな接触痕を残してしまうという問題がある。
【０００６】
また、この従来のプローブ３１は、プロービング対象体Ｘの表面側に付勢された際の許容変形量が小さいため、その破損を防止するために、その付勢量を監視しなければならない。このため、従来のプローブ３１には、監視装置などを設けることにより装置の大型化を避けられず、しかも装置コストが高騰しているという問題がある。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プロービングの際の接触痕を可能な限り小さくすることが可能なコンタクトプローブ用固定具を提供することを主目的とする。また、プロービングの際の許容変形量が大きなコンタクトプローブ用固定具を提供することを他の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、プローブ固定部をベース部に対して上下動可能にベース部にそれぞれ連結する第１のリンク部および第２のリンク部とを備え、第１のリンク部は、その一端が案内方向に直交する第１の方向に沿って形成された弾性変形部を介してベース部に連結されると共に他端が第１の方向に沿って形成された弾性変形部を介してプローブ固定部に連結され、第２のリンク部は、その一端が案内方向に直交し第１の方向と交差する第２の方向に沿って形成された弾性変形部を介してベース部に連結されると共に他端が第２の方向に沿って形成された弾性変形部を介してプローブ固定部に連結されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具において、ベース部は、互いに固着可能な第１および第２のベース部用部材で構成され、プローブ固定部は、互いに固着可能な第１および第２のプローブ固定部用部材で構成され、第１のリンク部は、その一端が弾性変形部を介して第１のベース部用部材に連結されると共に他端が弾性変形部を介して第１のプローブ固定用部材に連結され、第２のリンク部は、その一端が弾性変形部を介して第２のベース部用部材に連結されると共に他端が弾性変形部を介して第２のプローブ固定用部材に連結されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１または２記載のコンタクトプローブ用固定具において、第１および第２のリンク部は、一端が弾性変形部を介してベース部に連結された第１の連結用アームと、一端が弾性変形部を介してプローブ固定部に連結された第２の連結用アームとをそれぞれ備え、第１および第２の連結用アームは、その他端同士が、両端に弾性変形部が形成された他の連結用アーム、または弾性変形部を介して連結されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項１から３記載のコンタクトプローブ用固定具では、プローブ案内機構によってプローブ本体の先端部がプロービング対象体に接触させられた状態で、案内方向にさらに付勢されたときに、プローブ固定部における第１のリンク部との連結部位が、ベース部における第１のリンク部との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。同時に、プローブ固定部における第２のリンク部との連結部位が、ベース部における第２のリンク部との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。この場合、プローブ固定部とベース部とは、各弾性変形部を介して第１および第２のリンク部によって連結されており、その各弾性変形部は、プローブ案内機構の案内方向と直交し、かつ互いに交差する第１，第２の方向に沿って形成されている。このため、プローブ固定部は、結果的にベース部に対して平行に直動する。したがって、プローブ固定部に固定されたプローブ本体の先端部もベース部に対して直動する。この結果、プローブ本体の先端部が最初にプロービング対象体に接触させられてから、さらに付勢されたときまでの間において、プローブ本体の先端部の位置ずれが防止され、これにより、プロービング対象体の接触痕を限りなく小さくすることが可能になる。
【００１２】
請求項１記載のコンタクトプローブ用固定具は、第１および第２のリンク部によってベース部とプローブ固定部とが互いに連結された立体的構造を有している。このため、１つの金型を用いてコンタクトプローブ用固定具を一時に樹脂成形するのには困難を伴うおそれもある。一方、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具では、まず、分離された状態の、第１のリンク部を介して互いに連結された第１のベース部用部材および第１のプローブ固定部用部材からなる平面的な第１の部材と、第２のリンク部を介して互いに連結された第２のベース部用部材および第２のプローブ固定部用部材からなる平面的な第２の部材とを予め製作する。次いで、第１のベース部用部材と第２のベース部用部材とを固着し、かつ第１のプローブ固定部用部材と第２のプローブ固定部用部材とを固着することにより、ベース部、プローブ固定部および第１，第２のリンク部が容易に一体化される。この場合、分離した状態の平面的な第１の部材と第２の部材とを樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、第１の部材および第２の部材の製作に際して１つの金型を共通使用できるため、製作コストのさらなる低減を図ることが可能となる。
【００１３】
請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から３のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、弾性変形部は、各連結用アームにおける連結部位の一部を円弧状に切り欠いて形成された円弧切り欠き支点によって構成されていることを特徴とする。
【００１４】
弾性変形部としては、ヒンジ金具とつる巻バネとを用いた支点を連結用アームの両端に配設した構造などを採用することもできる。しかし、構造が複雑化することにより、製作コストの上昇を招くことになる。一方、このコンタクトプローブ用固定具では、弾性変形部を円弧切り欠き支点によって構成することで、何ら他の部品を用いることなく構成することが可能になる。この結果、製作コストの上昇を抑えることが可能となる。また、切り欠き度合を適宜変更することにより、弾性変形部の弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【００１５】
請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項１から４のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、少なくとも表面部位が導電材料で形成され、プローブ固定部にプローブ本体を固着することにより、プローブ本体と電気的に接続されることを特徴とする。
【００１６】
一般的に、検査機構としての例えば回路基板検査装置では、高精度で検査するために、極めて小さいタイプのプローブ本体が用いられている。したがって、プローブ本体と、プロービング対象体への通電電流を供給する供給手段との間を配線によって接続する場合、プローブ本体に対する配線の半田付けが極めて煩雑な作業となる。一方、このコンタクトプローブ用固定具では、例えば、導電性接着剤による接着や圧入により、プローブ固定部にプローブ本体を固着する。この状態では、コンタクトプローブ用固定具とプローブ本体との表面同士が接触し合うことにより、両者が電気的に接続される。併せて、コンタクトプローブ用固定具と通電電流の供給手段とを電気的に接続する。この後、プロービング対象体についての電気的検査を行う際には、コンタクトプローブ用固定具の表面部位およびプローブ本体を介してプロービング対象体に所定の電流が通電される。したがって、小型のプローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、検査機構の製作コストを低減することが可能になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具を回路基板検査装置に適用した実施の形態について説明する。なお、従来のプローブ３１と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１８】
最初に、本発明におけるコンタクトプローブ用固定具１０（以下、「固定具１０」という）を備えたプローブ１の構成について、図１（ａ），（ｂ）を参照して説明する。
【００１９】
プローブ１は、同図に示すように、プローブ本体Ｐおよび固定具１０を備えている。固定具１０は、プローブ案内機構ＰＭ（図２参照）に取り付けられる正方形形状のベース部３と、ベース部３に対向配置されプローブ本体Ｐを固定するための正方形形状のプローブ固定部２と、ベース部３に対してプローブ固定部２を上下方向に直動可能に連結するためのリンク部４，５とを備えており、全体が導電性樹脂で一体成形されている。この場合、プローブ固定部２には、固定用孔８が形成されており、プローブ本体Ｐを固定用孔８に圧入することにより、プローブ本体Ｐおよびプローブ固定部２が一体化されると共に、互いに電気的に接続される。一方、ベース部３には、取付用孔９ａ，９ｂが形成されており、この取付孔９ａ，９ｂを介してネジ止めすることにより、プローブ１は、プローブ案内機構ＰＭに固着される。なお、プローブ案内機構ＰＭは金属で形成されており、検査用電流を供給する電源部の出力部、または検査用電流を検出して基板検査を行う検査部の入力部と、プローブ案内機構ＰＭの任意の部位とを導線などで接続することにより、プローブ本体Ｐと、電源部または検査部とを容易に電気的に接続することができる。
【００２０】
リンク部４は、平板状に形成された連結用アーム４ａ，４ｂと、本発明における円弧切り欠き支点に相当し連結用アーム４ａ，４ｂの両端部を円弧状に切り欠いて形成された支点６ａ〜６ｃとから構成されている。この場合、支点６ａ〜６ｃは、プローブ案内機構ＰＭの案内方向である同図の矢印Ａの向きと直交し本発明における第１の方向に相当する矢印Ｅの方向に沿ってそれぞれ形成されており、支点６ａは、連結用アーム４ａを可動可能にベース部３に連結し、支点６ｂは、連結用アーム４ａ，４ｂをそれぞれ可動可能に連結し、支点６ａは、連結用アーム４ｂおよびプローブ固定部２をそれぞれ可動可能に連結する。
【００２１】
一方、リンク部５は、平板状に形成された連結用アーム５ａ，５ｂと、本発明における円弧切り欠き支点に相当し連結用アーム５ａ，５ｂの両端部を円弧状に切り欠いて形成された支点７ａ〜７ｃとから構成されている。この場合、支点７ａ〜７ｃは、プローブ案内機構ＰＭの案内方向である矢印Ａの向きと直交し本発明における第２の方向に相当する矢印Ｆの方向に沿ってそれぞれ形成されており、支点７ａは、連結用アーム５ａを可動可能にベース部３に連結し、支点７ｂは、連結用アーム５ａ，５ｂをそれぞれ可動可能に連結し、支点７ａは、連結用アーム５ｂおよびプローブ固定部２をそれぞれ可動可能に連結する。したがって、プローブ固定部２は、連結用アーム４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂによって、いわゆるサーラット平行運動的に、ベース部３に対して平行状態を維持しつつ上下方向に直動するように連結される。
【００２２】
次に、プロービング時のプローブ１の動作について、各図を参照して説明する。
【００２３】
まず、プローブ案内機構ＰＭが、図２（ａ），（ｂ）に示すように、プローブ本体Ｐの先端Ｐａをプロービング対象体Ｘの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構ＰＭが同図の矢印Ａの向きでベース部３を下動させる。これにより、プローブ本体Ｐがプローブ固定部２と共に下動し、その先端Ｐａは、プロービング対象体Ｘの表面Ｘａに接触させられる。次いで、プローブ案内機構ＰＭがベース部３を矢印Ａの向きにさらに下動させると、図３（ａ），（ｂ）および図１（ｂ）に示すように、支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃがそれぞれ弾性変形する。その際に、プローブ固定部２における連結用アーム４ｂとの連結部位が、ベース部３における連結用アーム４ａとの連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。同時に、プローブ固定部２における連結用アーム５ｂとの連結部位が、ベース部２における連結用アーム５ａとの連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。このため、プローブ固定部２は、結果的にベース部３に対して平行状態を維持しつつ相対的に上方に直動する。したがって、プローブ固定部２に固定されたプローブ本体Ｐの先端部Ｐａもプローブ案内機構ＰＭの案内方向に沿って直動する。次いで、例えば、回路基板における回路パターンの断線や短絡などを検査する場合には、一方のプローブ本体Ｐの先端Ｐａを介してプロービング対象体Ｘに電圧または電流を供給すると共に、他方のプローブ本体Ｐの先端Ｐａを介して電圧または電流を入力することにより、回路パターンの断線などを検査することができる。
【００２４】
このように、プローブ１では、先端Ｐａがプローブ案内機構ＰＭの案内方向に沿って上下方向に直動するため、プローブ本体の先端部が最初にプロービング対象体に接触させられてから、さらに付勢されたときまでの間において、プローブ本体Ｐの先端部Ｐａは、プロービング対象体Ｘ上の移動が防止されることにより、プローブ案内機構ＰＭの案内方向の向きでプロービング対象体Ｘの表面Ｘａに付勢されつつ確実に点接触させられる。したがって、従来のプローブ３１とは異なり、プロービング対象体Ｘの接触痕を限りなく小さくすることができるため、プロービング対象体Ｘの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【００２５】
また、このプローブ１では、円弧切り欠き支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃを弾性変形させることにより、何ら他の部品を用いることなく本発明における弾性変形部を構成することができる。このため、製作コストの上昇を抑えることができ、しかも、円弧切り欠き支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃの切り欠き度合を適宜変更することにより、その弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【００２６】
次に、本発明の他の実施の形態に係るコンタクトプローブ用固定具２０（以下、「固定具２０」という）を備えたプローブ１１の構成および組立方法について、図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。なお、前述したプローブ１と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００２７】
プローブ１１は、同図に示すように、プローブ本体Ｐおよび固定具２０を備えている。固定具２０は、プローブ案内機構ＰＭに取り付けられる正方形形状の第１のベース部用部材１３ａおよび第２のベース部用部材１３ｂからなるベース部１３と、正方形形状の第１のプローブ固定用部材１２ａおよび第２のプローブ固定用部材１２ｂからなりベース部１３に対向配置されてプローブ本体Ｐを固定するプローブ固定部１２と、第１のプローブ固定用部材１２ａを第１のベース部用部材１３ａに対して上下方向に直動可能に連結するためのリンク部４と、第２のプローブ固定用部材１２ｂを第２のベース部用部材１３ｂに対して上下方向に直動可能に連結するためのリンク部５とを備えている。この場合、プローブ固定部１２には、固定具１０のプローブ固定部２と同様にして固定用孔８が形成され、ベース部１３には、固定具１０のベース部３と同様にして取付用孔９ａ，９ｂが形成されている。
【００２８】
リンク部４は、プローブ１のリンク部４とほぼ同様にして構成されており、連結用アーム４ａの一端が、図４（ａ）の矢印Ｅの方向に沿って形成された支点６ａを介して第１のベース部用部材１３ａの側面に連結されると共に、連結用アーム４ｂの一端が、矢印Ｅの方向に沿って形成された支点６ｃを介して第１のプローブ固定用部材１２ａの側面に連結され、これらは導電性樹脂によって一体成形されている。一方、リンク部５は、連結用アーム５ａの一端が、図４（ａ）の矢印Ｆの方向に沿って形成された支点７ａを介して第２のベース部用部材１３ｂの側面に連結されると共に、連結用アーム５ｂの一端が、同図の矢印Ｆの方向に沿って形成された支点７ｃを介して第２のプローブ固定用部材１２ｂの側面に連結され、これらも導電性樹脂によって一体成形されている。
【００２９】
このプローブ１１では、プローブ１の固定具１０とは異なり、固定具２０が、第１のプローブ固定用部材１２ａおよび第１のベース部用部材１３ａと一体成形されたリンク部４と、第２のプローブ固定用部材１２ｂおよび第２のベース部用部材１３ｂと一体成形されたリンク部５との２つの部材を互いに固着することにより構成される。したがって、プローブ１１の組立てに際しては、まず、金型による樹脂成形によって両部材を製作し、次いで、両部材を導電性接着剤で接着して一体化することにより固定具２０を形成する。この際に、図４（ａ），（ｂ）に示すように、支点６ａ，６ｃの円弧切欠部分が平行で、かつ支点７ａ，７ｃの円弧切欠部分が平行となるように、第１のプローブ固定用部材１２ａと第２のプローブ固定用部材１２ｂとを接着すると共に、第１のベース部用部材１３ａと第２のベース部用部材１３ｂとを接着する。これにより、プローブ固定部１２およびベース部１３が形成されると共に、各部が一体化する。
【００３０】
次に、プローブ固定部１２に固定用孔８を形成すると共に、ベース部１３に取付用孔９ａ，９ｂを形成する。これにより、プローブ１の固定具１０と同様の機能を有する固定具２０が完成する。この後、プローブ本体Ｐを固定用孔８に圧入することにより、プローブ１１が完成する。このプローブ１１でも、プロービング時に、図４（ｂ）に示すように、プローブ固定部１２がリンク部４，５によってベース部１３に対して相対的に平行状態を維持しつつ直動する。このため、プローブ１と同様にしてプロービング対象体Ｘの表面Ｘａに大きな接触痕を残すことなくプロービングを行うことができる。
【００３１】
このように、プローブ１１では、それぞれ別体に形成したリンク部４およびリンク部５を導電性接着剤によって接着することによって固定具２０を形成している。このため、プローブ１の固定具１０とは異なり、分離した状態の平面的なリンク部４，５を樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、リンク部４，５が同一形状のため、樹脂成形に際して１つの金型を共通使用できるため、製作コストのさらなる低減を図ることができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、プローブ固定部２およびベース部３を正方形形状に構成し、支点６ａ，６ｃの形成方向と支点７ａ，７ｃの形成方向とを直交させているが、プローブ固定部２およびベース部３の形状を任意の形状に構成すると共に、その形状に合致するように、支点６ａ，６ｃの形成方向と支点７ａ，７ｃの形成方向とが交差するように形成されていればよい。かかる場合であっても、プローブ固定部２を直動させることができる。
【００３３】
また、本発明の実施の形態では、リンク部４（または５）は、支点６ｂ（または７ｂ）を介して連結用アーム４ａ（または５ａ）および連結用アーム４ｂ（または５ｂ）が連結されて構成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、連結用アーム４ａおよび連結用アーム４ｂを他の連結用アームを介して連結すると共に、連結用アーム５ａおよび連結用アーム５ｂを他の連結用アームを介して連結して構成することもできる。
【００３４】
さらに、本発明の実施の形態では、固定具１０，２０を導電性樹脂で形成した例について説明しているが、本発明はこれに限定されず、プローブ本体Ｐとプローブ案内機構ＰＭとを導線などで電気的に接続することもできる。また、本発明の実施の形態では、プローブ固定部２，１２に対してプローブ本体Ｐを圧入することにより、両者を一体化しているが、プローブ固定部２、第１のプローブ固定用部材１２ａを製造する際にプローブ本体Ｐをインサート成形することにより両者を一体化することもできる。この場合、樹脂製の固定具１０，２０全体に導電性塗料を塗布することにより、固定具１０，２０とプローブ本体Ｐとを電気的に接続することができる。また、固定具１０，２０とプローブ本体Ｐとを金属などの導電性材料を用いることで電気的に接続することもできる。
【００３５】
また、本発明の実施の形態では、２つのリンク部４，５でプローブ固定部２およびベース部３を連結する例について説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、３つ以上のリンク部でプローブ固定部２およびベース部３を連結してもよい。また、本発明の実施の形態では、弾性変形部として円弧切り欠き支点を用いた例について説明したが、双曲線切り欠き支点や楕円切り欠き支点などを用いることもできるし、その形状については適宜変更することができる。
【００３６】
【発明の効果】
以上のように、請求項１から３に記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、第１のリンク部および第２のリンク部とによってプローブ固定部をベース部に対して上下動可能にベース部にそれぞれ連結したことにより、プローブ固定部をベース部に対して平行状態を維持しつつ直動させることができる。これにより、プローブ固定部に固定されたプローブ本体の先端部もベース部に対して直動させることができる結果、プロービング対象体の接触痕を極限まで小さくすることができる。
【００３７】
また、請求項２記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、第１のリンク部を介して互いに連結された第１のベース部用部材および第１のプローブ固定部用部材と、第２のリンク部を介して互いに連結された第２のベース部用部材および第２のプローブ固定部用部材とを分離した状態で製作することができるため、樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、１つの金型を共通使用して分離した２つの部材を樹脂成形できるため、製作コストのさらなる低減を図ることができる。
【００３８】
さらに、請求項４記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、弾性変形部を円弧切り欠き支点で形成したことにより、コストを低減することができると共に、切り欠き度合を適宜変更することにより、リンク機構における弾性変形量および弾性変形部の弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【００３９】
また、請求項５記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、小型のプローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、検査機構の製作コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブ１の外観図であって、（ａ）は支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形していない状態の外観斜視図、（ｂ）は支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形している状態の外観斜視図である。
【図２】支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形していない状態のプローブ１の側面図であって、（ａ）は図１の矢印Ｅの方向から見た側面図、（ｂ）は同図の矢印Ｆの方向から見た側面図である。
【図３】支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形している状態のプローブ１の側面図であって、（ａ）は図１の矢印Ｅの方向から見た側面図、（ｂ）は同図の矢印Ｆの方向から見た側面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るプローブ１１の外観図であって、（ａ）は支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形していない状態の外観斜視図、（ｂ）は支点６ａ〜６ｃ，７ａ〜７ｃが弾性変形している状態の外観斜視図である。
【図５】従来のプローブ３１の外観斜視図である。
【図６】従来のプローブ３１の側面図であって、（ａ）はプローブ案内機構によってプロービング対象体Ｘの上方に位置させられた状態の側面図、（ｂ）はプロービング対象体Ｘに接触させられた状態の側面図、（ｃ）はプロービング対象体Ｘ側に付勢された状態の側面図である。
【図７】従来のプローブ３１の動作を説明するための説明図である。
【図８】従来のプローブ３１の動作を説明するための他の説明図である。
【符号の説明】
１  プローブ
２  プローブ固定部
３  ベース部
４  リンク部
４ａ  連結用アーム
４ｂ  連結用アーム
５  リンク部
５ａ  連結用アーム
５ｂ  連結用アーム
６ａ〜６ｃ  支点
７ａ〜７ｃ  支点
８  固定用孔
１０  コンタクトプローブ用固定具
１１  プローブ
１２  プローブ固定部
１２ａ  第１のプローブ固定用部材
１２ｂ  第２のプローブ固定用部材
１３  ベース部
１３ａ  第１のベース部用部材
１３ｂ  第２のベース部用部材
２０  コンタクトプローブ用固定具
Ｐ  プローブ本体
ＰＭ  プローブ案内機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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