(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号伝播時間測定用穴とケーブル長調整用穴とが形成されたパレットを準備し、該パレットの上記信号伝播時間測定用穴に一端の被覆が除去されたマルチフラットケーブルの各ケーブル対の被覆除去部が位置するように第一のケーブル固定具で固定し、上記マルチフラットケーブルの他端側が上記ケーブル長調整用穴上を通るように第二のケーブル固定具と第三のケーブル固定具とで固定した後、上記パレットを１軸テーブル上に配置し、プローブ昇降手段により各ケーブル対の各被覆除去部の信号線及びグランド線にプローブを接触させ、該プローブに接続された測定手段で各ケーブル対の信号伝播時間を測定し、上記１軸テーブルにより上記パレットを上記マルチフラットケーブルの幅方向に順次移動させて上記マルチフラットケーブルの全ケーブル対の信号伝播時間を測定した後、全ケーブル対について下記数式を用いてＹｎの値を求め、Ｙn の値に基づき、全ケーブル対のうち最も長い信号伝播時間を有するケーブル対を除く他のケーブル対の夫々に必要な加算長を計算し、上記１軸テーブルにより上記パレットを上記マルチフラットケーブルの幅方向に順次移動させて、該計算データに基づき、上記ケーブル長調整用穴に位置したマルチフラットケーブルの該他のケーブル対をプッシャー昇降手段によりプッシャーで押すことによりケーブル長を調整するように制御装置で制御することを特徴とするマルチフラットケーブルのスキュー調整方法。
Ｙn ＝Ｘ1 −Ｘn
（数式中、Ｘ1は最長の信号伝播時間、Ｘnはｎ対目の信号伝播時間、Ｙnはｎ対目の調整伝播時間である。）
【請求項２】
信号伝播時間測定用穴とケーブル長調整用穴とが形成され、一端の被覆が除去されたマルチフラットケーブルの各ケーブル対の被覆除去部が上記信号伝播時間測定用穴に位置するように第一のケーブル固定具で固定し、上記マルチフラットケーブルの他端側が上記ケーブル長調整用穴上を通るように第二のケーブル固定具及び第三のケーブル固定具で固定するパレットと、各ケーブル対の信号伝播時間を測定するための測定手段と、該測定手段に接続され、各ケーブル対の被覆除去部の信号線及びグランド線に接触するプローブと、上記信号伝播時間測定用穴の上方に配置され、各ケーブル対の被覆除去部に上記プローブを接触させるため上記プローブを昇降させるプローブ昇降手段と、上記ケーブル長調整用穴の上に配置され、ケーブル対を押すことによりケーブル長を調整するためのプッシャーと、該プッシャーを昇降させるプッシャー昇降手段と、各ケーブル対の各ケーブル長を順次測定、調整するため上記パレットを上記マルチフラットケーブルの幅方向に移動させるための１軸テーブルと、各ケーブル対のケーブル長を順次測定、調整するように上記各部材を制御する制御装置とを備えたことを特徴とするマルチフラットケーブルのスキュー調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチフラットケーブルのスキュー調整方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８はスルー法を用いたマルチフラットケーブルのスキュー調整装置の従来例を示す概念図である。
【０００３】
パルスジェネレータ１からのパルスをディバイダ２で分割し、テスト・セット３の入力端子及びマルチフラットケーブル４の一端（図では下側）に入力する。パルスジェネレータ１とマルチフラットケーブル４の一端との間の信号の伝播時間と、パルスジェネレータ１とマルチフラットケーブル４の他端（図では上側）との間の信号伝播時間とを等しくすることにより、マルチフラットケーブル４の始端である一端での波形がオシロスコープ５に表示される。また、マルチフラットケーブル４のケーブル対の一端に入力され、マルチフラットケーブル４を伝播したパルスをテスト・セット３の出力端に入力した波形がオシロスコープ５に表示される（図９参照）。なお、６〜１０は接続ケーブルである。
【０００４】
図９は図８に示したスキュー調整装置のオシロスコープの波形であり、横軸が時間軸を示し、縦軸が電圧軸を示す。Ｌ１は入力波形を示し、Ｌ２は出力波形を示し、ｔ１は信号の伝播時間を示す。
【０００５】
以下にスキュー調整方法の詳細を示す。
【０００６】
(a)   マルチフラットケーブル４の両端に、手作業で一対ごとコネクタ１１、１２を付ける（図１０（ａ）、（ｂ）参照）。
【０００７】
(b)   図８に示すようにスキュー調整装置にマルチフラットケーブル４を接続し、マルチフラットケーブル４の一対毎にスルー法を実施し、各対の伝播時間ｔ１を測定する。
【０００８】
(c)   (b) より手計算でマルチフラットケーブル４のスキューを求める。この工程でスキューが規格外となれば不良品扱いとなる。しかし、ケーブル長の余裕があればそのケーブル対の一端を一括切断し、スキューが規格値におさまるまで測定、切断を繰り返し、マルチフラットケーブル４の一端を融着し製品化する。なお、図１０（ａ）はマルチフラットケーブルの外観斜視図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の領域１３の部分拡大図である。
【０００９】
１４は融着部、１５は非融着部、１６は信号線、１７はグランド線、１８ａ、１８ｂ、…、１８ｎはケーブル対をそれぞれ示す。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、マルチフラットケーブルはコンピュータや周辺機器等の接続に使用される。最近のコンピュータの高速化に伴い、内部動作クロックの高速化が必要となるため、内部機器接続用マルチフラットケーブルの低スキュー化が強く求められている。
【００１１】
しかしながら、この低スキュー化においては、下記のような問題がある。
【００１２】
(1) マルチフラットケーブルの全ケーブル対を一括切断してケーブル長を短くするため、低スキュー化に限界がある。
【００１３】
(2) スキュー調整毎に、ケーブル切断、コネクタ付け、測定等の作業を繰り返すので、時間と手間がかかる。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、スキュー調整を短時間で高精度に行えるマルチフラットケーブルのスキュー調整方法及び装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明のマルチフラットケーブルのスキュー調整方
法は、信号伝播時間測定用穴とケーブル長調整用穴とが形成されたパレットを準備し、該パレットの上記信号伝播時間測定用穴に一端の被覆が除去されたマルチフラットケーブルの各ケーブル対の被覆除去部が位置するように第一のケーブル固定具で固定し、上記マルチフラットケーブルの他端側が上記ケーブル長調整用穴上を通るように第二のケーブル固定具と第三のケーブル固定具とで固定した後、上記パレットを１軸テーブル上に配置し、プローブ昇降手段により各ケーブル対の各被覆除去部の信号線及びグランド線にプローブを接触させ、該プローブに接続された測定手段で各ケーブル対の信号伝播時間を測定し、上記１軸テーブルにより上記パレットを上記マルチフラットケーブルの幅方向に順次移動させて上記マルチフラットケーブルの全ケーブル対の信号伝播時間を測定した後、全ケーブル対について下記数式を用いてＹｎの値を求め、Ｙn の値に基づき、全ケーブル対のうち最も長い信号伝播時間を有するケーブル対を除く他のケーブル対の夫々に必要な加算長を計算し、上記１軸テーブルにより上記パレットを上記マルチフラットケーブルの幅方向に順次移動させて、該計算データに基づき、上記ケーブル長調整用穴に位置したマルチフラットケーブルの該他のケーブル対をプッシャー昇降手段によりプッシャーで押すことによりケーブル長を調整するように制御装置で制御するものである。
Ｙn ＝Ｘ1 −Ｘn
（数式中、Ｘ1は最長の信号伝播時間、Ｘnはｎ対目の信号伝播時間、Ｙnはｎ対目の調整伝播時間である。）
【００１６】
本発明のマルチフラットケーブルのスキュー調整装置は、信号伝播時間測定用穴とケーブル長調整用穴とが形成され、一端の被覆が除去されたマルチフラットケーブルの各ケーブル対の被覆除去部が信号伝播時間測定用穴に位置するように第一のケーブル固定具で固定し、マルチフラットケーブルの他端側がケーブル長調整用穴上を通るように第二のケーブル固定具及び第三のケーブル固定具で固定するパレットと、各ケーブル対の信号伝播時間を測定するための測定手段と、測定手段に接続され、各ケーブル対の被覆除去部の信号線及びグランド線に接触するプローブと、信号伝播時間測定用穴の上方に配置され、各ケーブル対の被覆除去部にプローブを接触させるためプローブを昇降させるプローブ昇降手段と、ケーブル長調整用穴の上に配置され、ケーブル対を押すことによりケーブル長を調整するためのプッシャーと、プッシャーを昇降させるプッシャー昇降手段と、各ケーブル対の各ケーブル長を順次測定、調整するためパレットをマルチフラットケーブルの幅方向に移動させるための１軸テーブルと、各ケーブル対のケーブル長を順次測定、調整するように各部材を制御する制御装置とを備えたものである。
【００１７】
本発明によれば、マルチフラットケーブルの各ケーブル対の信号伝播時間を測定した後、その信号伝播時間データを基に全ケーブル対の信号伝播時間を許容範囲におさめるためのケーブル長をコンピュータで算出させ、マルチフラットケーブルのケーブル１対毎にケーブル長調整を行うことにより、各対の信号伝播時間の均一化が行われ、マルチフラットケーブルの低スキュー化が可能になる。
【００１８】
マルチフラットケーブルの各ケーブル対の信号伝播時間の測定において、オシロスコープのＴＤＲを利用し、プローブをマルチフラットケーブルの信号線とグランド線とに接触させることで測定時間が短縮される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２０】
図１は本発明のマルチフラットケーブルのスキュー調整方法を適用したスキュー調整装置の一実施の形態を示す概念図である。図２は図１に示したスキュー調整装置に用いられるパレットの外観斜視図である。図３は図１に示したスキュー調整装置に用いられるマルチフラットケーブルの外観斜視図である。図４は図１に示したスキュー調整装置に用いられるプローブの断面図である。
【００２１】
本スキュー調整装置は、スキュー調整されるマルチフラットケーブル２０が載置されるパレット２１と、マルチフラットケーブル２０の各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの信号伝播時間を測定するための測定手段としてのオシロスコープ２３と、オシロスコープ２３に接続され、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの被覆除去部４３の後述する信号線２５及びグランド線２６に接触するプローブ２７と、パレット２１の信号伝播時間測定用穴２８の上方に配置され、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの被覆除去部２４にプローブ２７を接触させるためプローブ２７を矢印２９方向に昇降させるプローブ昇降手段３０と、パレット２１のケーブル長調整用穴３１の上に配置され、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎのケーブル長を調整するため各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを押す先端の丸い棒状のプッシャー３２と、プッシャー３２を矢印３３方向に昇降させるプッシャー昇降手段３４と、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの各ケーブル長を順次測定、調整するためパレット２１をマルチフラットケーブル２０の幅方向（矢印３５方向）に移動させるための１軸テーブル３６と、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎのケーブル長を順次測定、調整するように各部材を制御する制御装置としてのコンピュータ３７とで構成されたものである。
【００２２】
なお、４６はプローブケーブル、４７は制御ケーブル、４８はプッシャー昇降手段３４に用いられる駆動用のステッピングモータ、４９は１軸テーブル３６に用いられる駆動用のステッピングモータ、６０はプローブ昇降手段３０に用いられる駆動用のステッピングモータをそれぞれ示す。
【００２３】
図２に示すパレット２１は、板状部材３８に信号伝播時間測定用穴２８とケーブル長調整用穴３１とが形成され、信号伝播時間測定用穴２８の近傍に第一のケーブル固定具３９を設け、ケーブル長調整用穴３１の近傍にケーブル長調整用穴３１を挟むように第二のケーブル固定具４０及び第三のケーブル固定具４１を設けたものである。このパレット２１は、各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの一端の被覆が除去されたマルチフラットケーブル２０の各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの被覆除去部４３が信号伝播時間測定用穴２８に位置するように第一のケーブル固定具３９で固定し、マルチフラットケーブル２０の他端側がケーブル長調整用穴３１上を通るように第二のケーブル固定具４０及び第三のケーブル固定具４１で固定するようになっている。なお、マルチフラットケーブル２０の４４は融着部を示し、４５は非融着部を示す。
【００２４】
図４に示すプローブ２７は、マルチフラットケーブル２０の各ケーブル対４２ａ（または４２ｂ、…、４２ｎ）の信号線５０ａ（または５０ｂ、…、５０ｎ）とグランド線５１ａ（または５１ｂ、…、５１ｎ）との間に挿入される絶縁性の心材５２と、心材５２の基部に心材５２を挟むように取付けられた絶縁体５３と、絶縁体５３の両側に取付けられ信号線５０ａ及びグランド線５１ａにそれぞれ個別に接触する導体片５４、５５と、両導体片５４、５５に接続されたコネクタ５６とで構成されたものである。
【００２５】
本スキュー調整装置は、オシロスコープ２３から電圧ステップ信号がテスト用の伝送線路（図示せず。）に伝播され、伝送線路上の特定ポイントの入力波形  （または反射電圧波形）をオシロスコープ２３でモニタし、マルチフラットケーブル２０の各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの信号伝播時間を測定する方法であるＴＤＲ（Ｔｉｍｅ  Ｄｏｍａｉｎ  Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｒｙ）を利用し、マルチフラットケーブル２０での信号伝播時間測定を行っている。以下にスキュー調整方法の詳細を示す。
【００２６】
▲１▼  マルチフラットケーブル２０をパレット（図２参照）２１にセットする。
【００２７】
▲２▼  図３に示すように予めマルチフラットケーブル２０の融着部４４に被覆除去部４３を設け、その被覆除去部４３に図４に示すようにプローブ２７を信号線５０ａ、５０ｂ、…、５０ｎとグランド線５１ａ、５１ｂ、…、５１ｎ（図１０  （ａ）参照）に接触させ、オシロスコープ２３に図５に示すようなプローブ２７の波形５７が得られる（プローブ接触点）。なお、５８はケーブル終端での反射波形を示し、ｔ２は伝播時間を示す。
【００２８】
図５は図１に示したスキュー調整装置による伝播時間測定時の波形であり、横軸が時間軸を示し、縦軸が電圧軸を示す。
【００２９】
図５に示すような凸字形状の波形５７はプローブ２７とマルチフラットケーブル２０とのインピーダンスの不整合によって生じる。この波形５７はマルチフラットケーブル２０の端末が開放端状態であるため生じる。これらの凸字形状の波形５７は反射波形を特定するため、故意にインピーダンス整合を行っていない。このオシロスコープ２３上での伝播時間ｔ２の表示は、反射波のため信号の往復時間となり、実際の伝播時間の２倍となる。そのため、最初の凸字形状の波形５７と次の凸字形状の波形との時間差の１／２を伝播時間ｔ２として扱う。
【００３０】
▲３▼  １軸テーブル３６を用いてマルチフラットケーブル２０をパレット２１ごとマルチフラットケーブル２０の幅方向にケーブルピッチ分ずつ移動させることにより、▲２▼の測定を全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎに対して行う。▲２▼の測定のデータに基づき、最も長い信号伝播時間の対を基準とし、それより短い信号伝播時間のケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎが長くなるように切断して信号伝播時間のバラツキの小さい低スキューマルチフラットケーブルを実現することができる。
【００３１】
本発明者らはこの場合のケーブル長の調整法として、図１及び図６に示すプッシャー押込み方法を提案した。
【００３２】
図６は図１に示したスキュー調整装置に用いられるプッシャーの説明図である。
【００３３】
プッシャー３２による押込み量とケーブル長との関係を予め測定しておき、コンピュータ３７の内部データとして記憶させておく。
【００３４】
▲２▼の測定データを用いて全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎについて下記の数１式を用いてＹn を計算する。
【００３５】
【数１】
Ｙn ＝Ｘ1 −Ｘn 
但し、  Ｘ1 ：最長の信号伝播時間（ｐｓｅｃ）
Ｘn ：ｎ対目の信号伝播時間（ｐｓｅｃ）
Ｙn ：ｎ対目の調整伝播時間
Ｙn に基づき、必要なケーブル対の加算長を計算し、データテーブルよりプッシャー３２による押込み量を全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎについて求めておく。
【００３６】
▲４▼  図２に示したスキュー調整装置の第二のケーブル固定具４０でマルチフラットケーブル２０を固く固定し、ケーブル長調整のため第三のケーブル固定具４１を緩く固定しておく。▲３▼での計算データに基づき、プッシャー３２でケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを１対ずつ押し込む。ケーブル押込み時にプッシャー３２がケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎから外れないように図６に示すようにケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを斜めに押し込むようにする。この押込みを信号伝播時間測定と同様に、１軸テーブル３６でマルチフラットケーブル２０をパレット２１ごとマルチフラットケーブル２０の幅方向にケーブルピッチ分ずつ移動させることにより全ケーブル対について行う。
【００３７】
▲５▼  第二のケーブル固定具４０でマルチフラットケーブル２０を固く固定し、パレット２１を１軸テーブル３６から外し、ケーブル切断用カッタ（図示せず。）でマルチフラットケーブル２０の全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを第三のケーブル固定具４１の近傍（切断線５９）で一括切断する。
【００３８】
▲６▼  再度、全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎの信号伝播時間を測定し、スキューが規格値内であるか確認する。
【００３９】
▲７▼  マルチフラットケーブル２０のバラ線部を融着し、他方の被覆除去部を切断し、両端を融着部として製品化する。
【００４０】
▲３▼で信号伝播時間の最遅ケーブル対の押込みを基準として▲５▼で全ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを切断することで、信号伝播時間の最遅ケーブル対のケーブル長が最短、伝播時間の最速ケーブル対のケーブル長が最長となる。
【００４１】
このようにして、ケーブル長を調整し低スキュー化を図る（図６）。
【００４２】
【実施例】
次に具体的な数値を挙げて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４３】
マルチフラットケーブル２０の長さを２５００ｍｍとし、ケーブル対数を２８対として、上述した▲１▼〜▲７▼を行った結果を図７に示す。
【００４４】
図７は図１に示したスキュー調整装置を用いてマルチフラットケーブルのスキューを調整した場合のケーブル対と伝播時間との関係を示す図であり、横軸がケーブル対軸を示し、縦軸が伝播時間軸を示す。
【００４５】
同図に示すように、従来法でのスキュー調整では１４７ｐｓｅｃであったのに対し、本発明によるスキュー調整では１３ｐｓｅｃとなり、高精度低スキュー化が図られているのが分る。また、スキュー調整時間は、従来法のコネクタ付け２０分、伝播時間測定２０分の計４０分に対し、本発明のスキュー調整方法では伝播時間測定１０分、ケーブル長調整１０分の計２０分と、従来法の半分の時間に短縮することができた。
【００４６】
（変形例）
なお、本実施の形態では伝播時間の測定及びケーブル対の押し込みを各ケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎに対して行う際、マルチフラットケーブル２０をパレット２１ごと移動させたが、これとは逆にパレット２１を固定し、プローブ２７及びプッシャー３２をマルチフラットケーブル２０の幅方向に移動させるように構成してもよい。また、本実施の形態では測定器としてオシロスコープ２３を用いた場合で説明したが、オシロスコープ機能、ＴＤＲ機能、電圧パルス発生機能を装備したコンピュータを用いてもよい。さらに本実施の形態ではプッシャー３２を用いてケーブル対４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎを押し込む場合で説明したが、プッシャー３２を用いる代りに第二のケーブル固定具４０と第三のケーブル固定具４１との間あるいは第三のケーブル固定具４１の外側でマルチフラットケーブル２０をケーブル対毎チャックして、第三のケーブル固定具４１の内側へ押し込むようにしてもよい。また、マルチフラットケーブル２０の信号伝播時間の最短な対を基準として、長い信号伝播時間の対のケーブル長を短くしてもよい。一般のマルチフラットケーブルに対し、本スキュー調整方法と同様に一括被覆除去部を設け、同様な処理作業を行ってもよい。
【００４７】
（応用例）
(1) 本スキュー調整装置のパレットは、ステッピングモータでマイクロメータ単位で制御される。ケーブルの線間ピッチがずれている場合、伝播時間が測定できなくなることを利用してケーブルの線間ピッチのずれ検査に使用できる。
【００４８】
(2) 本スキュー調整装置は、ケーブルの始端と終端とをオシロスコープでモニタし、伝播時間を測定する。ケーブル終端部はケーブル長よりおよその伝播時間を計算し、オシロスコープで反射波形をモニタし、正確な伝播時間を測定する。従って、終端部の反射波形がモニタの測定範囲を超え、伝播時間が測定できなくなった場合、ケーブルの断線と考えられケーブルの断線検査に使用できる。
【００４９】
(3) 本スキュー調整装置に、マルチフラットケーブルを間欠的に融着してマルチフラットケーブルにするための装置を設けてもよい。
【００５０】
(4) 本スキュー調整装置に、マルチフラットケーブルの融着部の一括被覆除去装置を設けてもよい。
【００５１】
(5) 本スキュー調整装置に、スキュー調整前後のマルチフラットケーブル両端の一括切断装置を設けてもよい。
【００５２】
(6) 本スキュー調整装置に、コネクタ接続装置を設けてもよい。
【００５３】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような優れた効果を発揮する。
【００５４】
スキュー調整を短時間で高精度に行えるマルチフラットケーブルのスキュー調整方法及び装置の提供を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のマルチフラットケーブルのスキュー調整方法を適用したスキュー調整装置の一実施の形態を示す概念図である。
【図２】図１に示したスキュー調整装置に用いられるパレットの外観斜視図である。
【図３】図１に示したスキュー調整装置に用いられるマルチフラットケーブルの外観斜視図である。
【図４】図１に示したスキュー調整装置に用いられるプローブの断面図である。
【図５】図１に示したスキュー調整装置による伝播時間測定時の波形である。
【図６】図１に示したスキュー調整装置に用いられるプッシャーの説明図である。
【図７】図１に示したスキュー調整装置を用いてマルチフラットケーブルのスキューを調整した場合のケーブル対と伝播時間との関係を示す図である。
【図８】スルー法を用いたマルチフラットケーブルのスキュー調整装置の従来例を示す概念図である。
【図９】図８に示したスキュー調整装置のオシロスコープの波形である。
【図１０】（ａ）はマルチフラットケーブルの外観斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の領域１３の部分拡大図である。
【符号の説明】
２０  マルチフラットケーブル
２３  オシロスコープ（測定器）
２７  プローブ
３０  プローブ昇降手段
３２  プッシャー
３４  プッシャー昇降手段
３６  １軸テーブル
３７  コンピュータ（制御装置）
４２ａ、４２ｂ、…、４２ｎ  ケーブル対
５０ａ、５０ｂ、…、５０ｎ  信号線
５１ａ、５１ｂ、…、５１ｎ  グランド線
【図１】
0003968956.tif 000002
【図２】
0003968956.tif 000003
【図３】
0003968956.tif 000004
【図４】
0003968956.tif 000005
【図５】
0003968956.tif 000006
【図６】
0003968956.tif 000007
【図７】
0003968956.tif 000008
【図８】
0003968956.tif 000009
【図９】
0003968956.tif 000010
【図１０】
0003968956.tif 000011