(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品収納用のケーシング内に昇降可能なテーブルが配設され、このテーブル上に部品収納用のトレイを積み重ねた状態で載置することにより前記ケーシング内に部品を収納するように構成され、前記トレイとして、上面に凸部を具備する一方、下面に前記凸部に対応する凹部を具備し、これら凹凸部を互いに嵌合させた状態で積層するように形成されたトレイを収納する部品収納装置において、
前記テーブル上に最大収納量のトレイが積層されたときの略上側半分のトレイに対応するように前記ケーシングに形成されるトレイの出し入れ口と、
この出し入れ口を開閉する扉と、
前記テーブルが昇降する空間内であって、かつ前記テーブルの昇降ストロークの途中部分に挿入される作動位置と前記空間の外側に待避する待避位置とに変位可能な支持板を有し、この支持板を前記作動位置に配置した状態で、前記テーブル上に積層されたトレイのうち当該支持板の上側に位置するトレイを当該支持板により支持する支持手段とを備え、
前記扉は、その下端部において略水平軸回りに回動可能に設けられ、ケーシング外側に引き倒されることにより前記出し入れ口を開放するように構成されるとともにこの開放状態において略水平に保持されるように構成され、
前記支持手段は、前記扉の開放状態において当該扉の上面と前記支持板によるトレイの支持面とが略面一となるように構成されていることを特徴とする部品収納装置。
【請求項２】
請求項１記載の部品収納装置において、
前記テーブル上にトレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねるとともに、最上位のトレイが一定の高さ位置に配設されるように前記テーブルを下降させるように構成されるものであって、
前記テーブル上に積層されるトレイの間に介挿されることにより上下のトレイの間に隙間を形成するスペーサと、前記テーブルが昇降する前記空間の外側に設けられる待機位置と前記テーブル上に積層されるトレイとの間で前記スペーサを搬送するスペーサ搬送手段とを備え、前記テーブル上に特定数のトレイが積層されると、前記待機位置に置かれたスペーサが前記スペーサ搬送手段により最上位のトレイ上に搬送されてそれ以降のトレイが該スペーサ上に積層され、さらに前記テーブル上に予め定められた数のトレイが積層されると、前記支持手段が前記挿入位置に移動して前記スペーサにより形成されたトレイ間の前記隙間に挿入され、さらに前記テーブルが所定量だけ下降することにより前記スペーサより上側に積層されているトレイが前記支持手段により下側から支持されて該トレイと前記スペーサを含むそれ以外のトレイとが分離されるように構成されていることを特徴とする部品収納装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣチップ等の電子部品を試験する部品試験装置に組込まれる部品収納装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があり、従来からそのような試験を自動的に行う部品試験装置が提案されている。
【０００３】
この種の装置は、試験前後の部品をトレイに載置した状態で収納する部品収納部と、部品の試験を実施するテストヘッドと、これら部品収納部とテストヘッドとの間で部品を搬送する搬送装置とを有しており、電子部品を収納したトレイから部品を取出しながらこれをテストヘッドに搬送して試験に供し、試験後、試験結果に対応して設けられた各トレイに部品を収納するように構成されている。
【０００４】
部品収納部には、未試験部品を収納した複数のトレイが昇降テーブル上に積層状態で載置されており、最上位のトレイから未試験部品が取出されながら、最上位のトレイが空になると、そのトレイが排除されて次ぎのトレイから部品が取出されるように構成されている。また、試験済み部品を収納するトレイも同様に昇降テーブル上に載置されており、トレイに部品が収納されながら、このトレイが満載状態となると、新たな空トレイがその上に積層されるように構成されている。そして、未試験部品を収納した最上位のトレイと、試験済み部品を収納した最上位のトレイとが同じ高さに位置するように各昇降テーブルの高さ位置が駆動制御されることにより、搬送手段による部品の取出しおよび収納が同じ高さ位置で行われるように構成されている。
【０００５】
なお、部品収納部に対するトレイの出し入れは、一般に、昇降テーブルを特定の高さ位置にセットした状態で装置側面に設けられる扉を開くことにより、該側面に形成された出し入れ口を介して行うようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の部品試験装置では、近年、部品収納部へのトレイの出し入れに伴う作業の中断回数を軽減し、これにより稼働率を上げることが要求されており、例えば、部品収納部におけるトレイの収納容量を増大させることが行われている。
【０００７】
ところが、このようにトレイの収納容量を増大させると、積層トレイの増大によりトレイの総重量が増すとともに、積層高さが大きくなることにより出し入れ時のバランス確保が難しくなり、トレイの出し入れが困難なものとなる。
【０００８】
そこで、トレイを複数回に分割して出し入れすることも考えられる。しかし、上下のトレイは凹凸部分を嵌合させて互いに水平方向に位置決めした状態で積層するのが一般的であり、またトレイの収納スペースは通常必要最小限のスペースしか有していないため、例えば、未試験部品の収納部に対しては、複数段に積まれたトレイを順次積み重ねることにより複数回に分けて収納することもある程度は可能であるが、試験済み部品の収納部においては、既に満載状態に積み上げられたトレイを分割しながら取り出すのは上記の事情により困難である。
【０００９】
また、トレイの収納容量の増大に伴い収納扉が大きくなるため、その分、開閉に必要なスペースが大きくなり、装置の設置場所が制限されるおそれがある。例えば、扉を引き倒して略水平に開放させることにより、トレイ出し入れ時のガイドとして扉を機能させる装置もあり、この種の装置では扉の大型化に比例して開閉スペースが拡大することとなり極めて都合が悪い。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できるようにする一方で、トレイの出し入れ作業を容易に行い得るようにすること、より好ましくは、扉開閉スペースの拡大を抑えることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の部品収納装置は、部品収納用のケーシング内に昇降可能なテーブルが配設され、このテーブル上に部品収納用のトレイを積み重ねた状態で載置することにより前記ケーシング内に部品を収納するように構成され、前記トレイとして、上面に凸部を具備する一方、下面に前記凸部に対応する凹部を具備し、これら凹凸部を互いに嵌合させた状態で積層するように形成されたトレイを収納する部品収納装置において、前記テーブル上に最大収納量のトレイが積層されたときの略上側半分のトレイに対応するように前記ケーシングに形成されるトレイの出し入れ口と、この出し入れ口を開閉する扉と、前記テーブルが昇降する空間内であって、かつ前記テーブルの昇降ストロークの途中部分に挿入される作動位置と前記空間の外側に待避する待避位置とに変位可能な支持板を有し、この支持板を前記作動位置に配置した状態で、前記テーブル上に積層されたトレイのうち当該支持板の上側に位置するトレイを当該支持板により支持する支持手段とを備え、前記扉は、その下端部において略水平軸回りに回動可能に設けられ、ケーシング外側に引き倒されることにより前記出し入れ口を開放するように構成されるとともにこの開放状態において略水平に保持されるように構成され、前記支持手段は、前記扉の開放状態において当該扉の上面と前記支持板によるトレイの支持面とが略面一となるように設けられているものである（請求項１）。
【００１２】
この構成によると、積層されたトレイをテーブルの移動を利用して上下方向に一旦分離させてからその上側部分から取り出すことができるので、上下のトレイを凹凸部分等により互いに位置決めしながらテーブル上にトレイを積み上げる収納形式であっても、収納されたトレイを難なく分割して取り出すことが可能となる。そのため、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できる一方で、トレイの取り出し作業を容易に行えるようになる。しかも、トレイの荷重を扉で支えながらケーシングに対してトレイの出し入れすることができるので、トレイの出し入れ作業をさらに容易に行うことが可能となる。
【００１６】
具体的には、前記テーブル上に順次トレイを載置しながら各トレイに部品を収納することにより前記テーブル上にトレイを積み重ねるとともに、最上位のトレイが一定の高さ位置に配設されるように前記テーブルを下降させるようにし、例えばテーブル上にトレイが満載状態となった時に、前記支持手段の支持板を待避位置から作動位置に移動させてテーブル上のトレイのうちその途中部分のトレイを支持させ、この状態で前記テーブルを下降させるようにすれば、テーブル上のトレイを、前記支持板により支持したトレイを含む上側部分とそれ以外の下側部分とに分離させることができる。
【００１７】
なお、この装置は、上記のように空トレイに部品を収納しながら該トレイを積み重ねる場合以外にも、部品を収納したトレイを予め前記テーブル上に積み重ねておき、最上位のトレイから順次部品を取り出す場合にも適している。この場合には、テーブル上に前記トレイを積層する作業を分割して行うことができるという利点がある。すなわち、テーブルを前記支持手段よりも下側に配置するとともに、前記支持板を作動位置に移動させておき、この状態で、適当な数に積み上げたトレイを前記支持板に支持させ、その後、前記テーブルを上昇させて該テーブル上のトレイと支持手段により支持されたトレイとを上下に合体させることにより、前記テーブル上へのトレイの収納を分割して行うことが可能となる。
【００２０】
なお、上記のように空トレイに部品を収納しながらトレイをテーブル上に積み重ねる場合には、支持手段により支持された上側部分のトレイをまず取り出した後、前記テーブルを上昇させて残置トレイを出し入れ口に対応する高さ位置に配置することにより該テーブル上の残置トレイを取り出すことができる。
【００２１】
一方、部品を収納したトレイを予め前記テーブル上に積み重ねておき、最上位のトレイから順次部品を取り出す場合には、まず適当な数に積み上げたトレイを出し入れ口から収納して前記支持手段により支持させた後、これらのトレイを前記テーブルの昇降動作に伴いテーブル上に移し、さらに適当な数に積み上げたトレイを出し入れ口から収納して前記支持手段により支持させた後、前記テーブルを上昇させて先にテーブル上に載置されているトレイ上に後から収納したトレイを積み上げることにより前記テーブル上に必要な数のトレイを積層した状態で載置することが可能となる。
【００２４】
なお、前記テーブル上に空トレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねることにより前記ケーシング内に部品を収納する場合には、前記テーブル上に積層されるトレイの間に介挿されることにより上下のトレイの間に隙間を形成するスペーサと、前記テーブルが昇降する前記空間の外側に設けられる待機位置と前記テーブル上に積層されるトレイとの間で前記スペーサを搬送するスペーサ搬送手段とを備え、前記テーブル上に特定数のトレイが積層されると、前記待機位置に置かれたスペーサが前記スペーサ搬送手段により最上位のトレイ上に搬送されてそれ以降のトレイが該スペーサ上に積層され、さらに前記テーブル上に予め定められた数のトレイが積層されると、前記支持手段が前記挿入位置に移動して前記スペーサにより形成されたトレイ間の前記隙間に挿入され、さらに前記テーブルが所定量だけ下降することにより前記スペーサより上側に積層されているトレイが前記支持手段によりその下側から支持されて該トレイと前記スペーサを含むそれ以外のトレイとが分離されるように構成されているのが好ましい（請求項２）。
【００２５】
このようにスペーサを介挿して上下のトレイ間に隙間を形成し、その隙間に前記支持手段を挿入してトレイを支持するように構成すれば、トレイ自体に特別な構造を設けることなく、テーブル上に積層されたトレイを上下に分離させることが可能となる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにＸ軸、Ｙ軸を示している。
【００２７】
図１及び図２は、本発明に係る部品収納装置が適用される部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装置本体３とから構成されている。
【００２８】
試験装置本体３は、上面にテストヘッド４を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判断するように構成されている。
【００２９】
試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テスト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハンドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテストヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。
【００３０】
ハンドラ２は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００３１】
ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分けて、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領域に分けられている。
【００３２】
トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図２の左側から順に第１〜第４の４つのトレイ収納部１１〜１４が並設されている。そして、第２トレイ収納部１２に試験前（未検査）の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に空のトレイＴｒが、第４トレイ収納部１４に試験後の部品のうち合格品（Pass）を載せたトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３に試験後の部品のうち不合格品（Fail）を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。なお、各トレイＴｒは何れもＹ軸方向に細長の平面視矩形に形成されており、図示を省略するが、例えばその表面には複数の部品収納凹部が区画形成されており、ＩＣチップ等の部品が各部品収納凹部内に収納されるように構成されている。
【００３３】
前記トレイ収納部１１〜１４のうち、第１トレイ収納部１１はトレイＴｒを基台２ａ上に積み重ねた状態で載置するように構成されている。一方、他のトレイ収納部１２〜１４は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で基台下のスペースに収納し、最上位のトレイＴｒのみを基台上に形成された開口部１２ａ〜１４ａに臨ませるように構成されている。具体的に説明すると、図３及び図４に示すように、各トレイ収納部１２〜１４には、上下方向に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテーブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモータ１８により作動する、レール１７と平行なボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着されている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によるボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇降することにより、テーブル１６上に積み重ねられたトレイＴｒの数に応じてその最上位のものが各開口部１２ａ〜１４ａに臨むように構成されている。
【００３４】
なお、トレイＴｒには、その表面適所に凸部が、裏面に該凸部に対応する凹部がそれぞれ形成されており、トレイＴｒが積層されると上下の対応する凹凸同士が互いに嵌合して各トレイＴｒが水平方向に位置決めされ、その結果、トレイＴｒがバランス良く積層され得るようになっている。
【００３５】
ハンドラ２の側壁（ケーシングの側面）には、各トレイ収納部１２〜１４に対応してトレイＴｒの出し入れ口１２ｃ〜１４ｃが設けられるとともに、各出し入れ口１２ｃ〜１４ｃを開閉する扉１２ｂ〜１４ｂが設けられている。
【００３６】
各扉１２ｂ〜１４ｂは、図４に示すように、下端部がヒンジを介してハンドラ２の側壁に組み付けられており、同図の一点鎖線に示すように手前（同図では左側）に引き倒すことにより出し入れ口１２ｃ〜１４ｃを開放するとともに、この開放状態において扉自体が略水平に保持されるように構成されている。これにより、トレイＴｒの出し入れ時には、トレイＴｒを支持しながら各トレイ収納部１２〜１４内に案内するガイドとして扉１２ｂ〜１４ｂを機能させるように構成されている。
【００３７】
各出し入れ口１２ｃ〜１３ｃの高さ方向の寸法Ｈａは、同図に示すようにトレイ収納部１２〜１４における最大収納時の高さＨｂよりも小さく設定されており、当実施形態では、例えば最大収納時の概ね上側半分に積層されたトレイＴｒに対応するようにその位置および高さ方向の寸法Ｈａが設定されている。
【００３８】
なお、当実施形態では、前記トレイ収納部１１〜１４のうち、合格品（Pass）を載せたトレイＴｒを収納する第４トレイ収納部１４に本願発明の部品収納装置の構成が適用されており、以下に詳しく説明するように、スペーサ収納装置１５やトレイＴｒの支持手段がこの第４トレイ収納部１４に対して設けられている。
【００３９】
すなわち、前記基台２ａにおける開口部１４ａの側方には、図３及び図５に示すようにスペーサ収納装置１５が設けられており、ここにスペーサ５が収納保持されている。
【００４０】
スペーサ５は、前記テーブル１６上に積層されるトレイＴｒの途中部分に介挿されることにより上下のトレイＴｒの間に隙間を形成するための部材である。このスペーサ５は、トレイＴｒと略同等の外形寸法を有したＹ軸方向に細長の平面視略矩形の板状部材で、その周縁部分には各長辺部分に２カ所ずつ合計４つの切欠部５ａ〜５ｄが形成されており、トレイＴｒの間に介挿されることにより上下のトレイＴｒの周縁部分に前記切欠部５ａ〜５ｄによる隙間を形成するようになっている。なお、スペーサ５の表裏面にはトレイＴｒと同様の位置決め用の凹凸部が形成されており、トレイＴｒの間に介挿された状態で他のトレイＴｒと同様に水平方向に位置決めされ得るように構成されている。
【００４１】
スペーサ収納装置１５は、前記スペーサ５の収納テーブル１５１を有しており、この収納テーブル上に前記スペーサ５を載置した支持するとともに、エアシリンダ１５４の作動によりこの収納テーブル１５１を前記開口部１４ａ外側の待機位置（図５の実線位置）と、開口部１４ａ上方の供給位置（図５の一点鎖線位置）とにわたって略水平に移動させるように構成されている。すなわち、収納テーブル１５１には、Ｘ軸方向に延びる一対のレール部材１５２が固定されおり、これらレール部材１５２が基台２ａに固定されたガイド１５３にスライド自在に支持されるとともに、基台２ａに固定されたエアシリンダ１５４のロッド１５４ａが連結されている。そして、エアシリンダ１５４の駆動状態の切り換えに応じて、収納テーブル１５１が前記ガイド１５３等に案内されながら前記待機位置と供給位置とにわたって変位するように構成されている。
【００４２】
なお、収納テーブル１５１の表面には位置決め用の凸部１５１ａが設けられており、スペーサ載置時には、この凸部１５１ａがスペーサ裏面に形成される凹部に嵌合することにより、スペーサ５が収納テーブル１５１上に位置決めされた状態で支持されるように構成されている。
【００４３】
また、図３，図６及び図７に示すように、第４トレイ収納部１４の内部には、スペーサ５の介挿によりトレイ間に形成される隙間を利用してテーブル１６上のトレイＴｒを支持する支持手段が設けられている。
【００４４】
この支持手段は、テーブル１６の昇降する空間を挟んで配設される合計４つの支持装置１６１から構成されている。各支持装置１６１は、トレイＴｒをその下側から支持するための平坦な表面（上面）を有する支持板１６３と、この支持板１６３を水平方向に進退駆動するエアシリンダ１６２とを有しており、第４トレイ収納部１４の各仕切壁１４ｄにそれぞれ２つずつ、前記支持板１６３を仕切壁１４ｄに貫通させた状態でその外側から組付けられている。そして、各エアシリンダ１６２の作動により、支持板１６３を、テーブル１６が昇降する空間から外側に待避させた待機位置（図６の実線位置）と該空間内に突出させた作動位置（図６の一点鎖線位置）とにわたって進退移動させ得るように構成されている。
【００４５】
各支持装置１６１は全て同一の高さ配置に配設されており、具体的には、前記扉１４ｂが開放されて略水平に支持されたときの該扉上面（図４に符号Ｈｃで示す高さ位置）と前記支持板１６３の上面とが略面一となるように設定されている。また、各支持装置１６１の平面的な配置は、図７に示すようにトレイ上にスペーサ５が載置された状態でスペーサ５の前記切欠部５ａ〜５ｄに対応する配置とされている。つまり、トレイＴｒにスペーサ５が介挿された状態で、図６に示すようにスペーサ５に対応する位置で前記支持板１６３を作動位置にセットすると、スペーサ５の前記切欠部５ａ〜５ｄに対して支持板１６３が外側から挿入され（すなわち、スペーサ５により形成される上下のトレイ間の隙間に支持板１６３が挿入され）、この状態でテーブル１６を下降させると、スペーサ５よりも上側に積層されたトレイＴｒが前記各支持板１６３に下側から支持され、前記スペーサ５を含むそれより下側に積層されたトレイＴｒ等から分離されるようになっている。
【００４６】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robot）２０が設けられている。
【００４７】
Ｐ＆Ｐロボット２０は、移動可能なヘッド２３を有しており、このヘッド２３によって第２トレイ収納部１２のトレイＴｒから部品を取り出して後記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収納部１３又は第４トレイ収納部１４のトレイＴｒに移載するもので、さらに、第１トレイ収納部１１とその他のトレイ収納部１２〜１４との間でトレイＴｒを搬送するトレイ搬送装置として機能するとともに、後述するようにスペーサの搬送手段としても機能するように構成されている。
【００４８】
すなわち、上記基台２ａ上にはＹ軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装着されている。また、図示を省略するが、前記固定レール２１と平行に延びてサーボモータにより回転駆動されるボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールねじ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示していないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可能に装着されるとともに、前記固定レールと平行に延びてサーボモータにより回転駆動されるボールねじ軸が配設され、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナット部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボモータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動することにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１４及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を移動）し得るように構成されている。
【００４９】
ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズル部材２４ａ，２４ｂと、トレイＴｒおよび前記スペーサ５を吸着するためのノズル部材２５（便宜上、トレイ用ノズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されている。
【００５０】
部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂは、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のトレイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いトレイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して予め定められた方向で部品が収納されるように構成されている。
【００５１】
トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイＴｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２トレイ収納部１２から第１トレイ収納部１１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸着して第３又は第４のトレイ収納部１３，１４に移送するように構成されている。また、前記スペーサ収納装置１５の収納テーブル上に置かれている前記スペーサ５を吸着して第４トレイ収納部１４のトレイ上に移送するとともに、トレイ上のスペーサ５を吸着してスペーサ収納装置１５の収納テーブル上に移送するように構成されている。
【００５２】
なお、トレイ用ノズル部材２５には、その先端部（下端部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けられることにより広い吸着面積が設けられており、その結果、トレイＴｒやスペーサ５を良好に吸着し得るように構成されている。
【００５３】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間にＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４が配設されている。このカメラ３４は、Ｐ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイＴｒへの収納に先立って撮像するように構成されている。
【００５４】
一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。
【００５５】
テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面には、部品をセットするための複数のソケット（図示省略）が配設されており、当試験装置１においては２つのソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。
【００５６】
各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチップ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【００５７】
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレイ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送しつつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。そして、第１トレイ収納部１１及び第４トレイ収納部１４の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し位置Ｐ１と、テストヘッド４側方に設定されたテストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２との間で前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動させながら該テーブル３２により部品を搬送するように構成されている。
【００５８】
テーブル３２には、試験前の部品を載置するためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが設けられており、各エリアにそれぞれ２個の部品を載置することができるように構成されている。図示を省略するが、各エリアにはそれぞれ負圧パッドが設けらており、移動中には、テーブル上の部品を下から吸着することにより該テーブル３２からの部品の脱落を防止するようになっている。
【００５９】
テストロボット４０は、上述のように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対して部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡す（排出する）装置である。
【００６０】
このテストロボット４０は、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられた高架２ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂによりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。
【００６１】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂは、それぞれ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対してＸ軸方向及びＹ軸方向の移動が可能に構成され、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【００６２】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、それぞれ部品吸着用のノズル部材（図示省略）が搭載されている。各ノズル部材は、ヘッド本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。また、各ヘッド本体４３ａ又は４３ｂの一方には、テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなるソケット認識カメラ６２が搭載されている。
【００６３】
テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが上向きに配設されている。これらのカメラ６４Ａ，６４Ｂは、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂによる部品の吸着状態をテストヘッド４への搬入に先立って撮像するもので、シャトルロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）からの搬送用ヘッド４２Ａ（又は４２Ｂ）による部品の取り上げ後、該搬送用ヘッド４２Ａ（又は４２Ｂ）が部品認識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に移動することにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂのノズル部材に吸着されている部品を撮像するように構成されている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッド４に亘って最短距離で移動させながその途中で試験前の部品を撮像し得るように構成されている。
【００６４】
なお、ハンドラ２の上部には、図１に示すように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間がこのカバー２ｃによって覆われている。
【００６５】
前記試験装置１には、図示を省略するが、論理演算を実行する周知のＣＰＵと、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭと、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭとを備えた制御装置（制御手段）が搭載されており、前記試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２や、前記スペーサ収納装置１５、Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及び支持装置１６１等の各コントローラ等がこの制御装置に電気的に接続されている。そして、この制御装置により前記Ｐ＆Ｐロボット２０等の駆動が統括的に制御されることにより順次部品の試験が行われるようになっている。以下、この部品試験動作について説明する。
【００６６】
まず、第１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１にセットされ、前記Ｐ＆Ｐロボット２０により第２トレイ収納部１２のトレイＴｒから未試験の部品が取り出されて前記テーブル３２上に載置される。この際、２つの部品が同時にトレイＴｒから取り出されてテーブル３２上に載置される。
【００６７】
次いで、該テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１から部品受渡し位置Ｐ２に移動することによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに部品が搬送され、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に到達すると、第１搬送用ヘッド４１Ａの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂによりテーブル３２上の部品が吸着されることによりテーブル３２からピックアップされる。なお、当該アップ動作の後、テーブル３２は、再度部品受渡し位置Ｐ１に移動し、Ｐ＆Ｐロボット２０から次の部品を受け取った後、再び部品受渡し位置Ｐ２に移動して待機する。
【００６８】
そして、テーブル３２から部品がピックアップされると、第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い該部品が部品認識カメラ６４Ａの上方に搬送され、ここで部品の吸着状態が画像認識され、さらにテストヘッド４の上方に搬送された後、各部品がテストヘッド４の各ソケットに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされる。これにより部品の試験が開始される。この際、前記ソケット認識カメラ６２によるソケット上のマークの画像認識結果と、部品認識カメラ６４Ａによる部品の吸着状態の画像認識結果とに応じて第１搬送用ヘッド４２Ａが駆動制御されることにより、ソケットと各部品との位置関係にずれがある場合にはそのずれが補正され、これにより各部品がソケット内に正確に位置決めされることとなる。
【００６９】
部品の試験が終了すると、各部品がテストヘッド４のソケットから取り外され、第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い第１シャトルロボット３０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送されてテーブル３２上に載置される。この際、テーブル３２上には、上述のように次ぎの部品（未試験の部品）が既に載置されており、従って、試験後の部品がテーブル３２上に移載されると、第１搬送用ヘッド４２Ａにより直ちにテーブル３２上の次の部品がピックアップされてテストヘッド４に搬送されることとなる。
【００７０】
一方、試験後の部品は、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２から部品受渡し位置Ｐ１に移動することによりテスト領域Ｔａからトレイ収納領域Ｓａに戻される。
【００７１】
トレイ収納領域Ｓａに戻された部品は、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３によりテーブル３２からピックアップされた後、部品認識カメラ３４の上方に搬送され、ここで部品の吸着状態が画像認識された後、試験結果に応じて第３トレイ収納部１３又は第４トレイ収納部１４に搬送されてトレイＴｒ内に収納される。この際、部品認識カメラ３４による部品の吸着状態の認識結果に応じてＰ＆Ｐロボット２０が駆動制御されることにより、各部品がトレイＴｒ内の所定の部品収納凹部に正確に位置決めされることとなる。
【００７２】
以上の説明では、第１シャトルロボット３０Ａおよび第１搬送用ヘッド４２Ａにより部品を搬送しながら試験を行う場合について説明しているが、この試験装置１では、上記のような第１シャトルロボット３０Ａ等による部品の搬送動作に時間差をもたせた状態で第２シャトルロボット３０Ｂおよび第２搬送用ヘッド４２Ｂによる部品の搬送動作が行われるように構成されている。つまり、第１シャトルロボット３０Ａ等による部品の搬送と、第２シャトルロボット３０Ｂ等による部品の搬送とが移相をずらして行われることにより、テストヘッド４に対してほぼ連続的に部品が搬入、搬出され、その結果、部品の試験が効率的に行われるように構成されている。なお、第２シャトルロボット３０Ｂおよび第２搬送用ヘッド４２Ｂによる部品の搬送動作は第１シャトルロボット３０Ａ等による動作と基本的に同一でありその説明は省略する。
【００７３】
ところで、上記のような試験操作中、トレイ収納領域Ｓａの各トレイ収納部１１〜１４は以下のように作動する。
【００７４】
すなわち、第２トレイ収納部１２には、未試験部品を収納したトレイＴｒが前記テーブル１６上に積層された状態で収納され、かつ最上位のトレイＴｒが所定の部品取り出し高さ位置に配置される。そして、部品（試験前の部品）の取り出しに伴い第２トレイ収納部１２のトレイＴｒ（最上位のトレイ）が空になると、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３（トレイ用ノズル部材２５）により該空トレイＴｒが吸着されて第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納部１１に移送されるとともに、トレイ１枚分だけテーブル１６が上昇する。これにより最上位のトレイＴｒが前記取り出し高さ位置に配置され、第２トレイ収納部１２において次ぎのトレイＴｒからの部品の取り出しが行われることとなる。
【００７５】
一方、第３トレイ収納部１３および第４トレイ収納部１４には、試験済みの部品を収納したトレイＴｒが前記テーブル１６上に積層された状態で収納され、かつ最上位のトレイＴｒが所定の部品収納高さ位置に配置される。そして、部品（試験済み部品）の収納に伴いトレイＴｒ（最上位のトレイ）が満載状態になると、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３により第１トレイ収納部１１に置かれた空トレイＴｒが吸着されて第３トレイ収納部１３等に移送されて最上位のトレイ上に積み重ねられるとともに、トレイ１枚分だけテーブル１６が下降する。これにより空トレイＴｒが前記部品収納高さ位置に配置され、第３トレイ収納部１３等に対して次ぎの部品の収納が行われることとなる。
【００７６】
なお、部品の収納に伴い所定数のトレイＴｒが積層されて第４トレイ収納部１４が満載状態となると、前記扉１４ｂが開放されて出し入れ口１４ｃからトレイＴｒが取り出されが、第４トレイ収納部１４においては、トレイＴｒを積み重ね過程で前記スペーサ５がトレイ間に介挿され、さらにトレイ取り出しの際には、前記支持装置１６１等が作動することにより、第４トレイ収納部１４内に収納されているトレイＴｒの取り出しが分割して行われることとなる。以下、図８，図９を用いてこの動作について、オペレータの作業も含めて説明することとする。
【００７７】
まず、部品の収納に伴い所定数のトレイＴｒ、具体的には前記出し入れ口１４ｃから同時に取り出し可能な所定数のトレイＴｒがテーブル上に積み上げられると、前記スペーサ収納装置１５等が作動してスペーサ５が最上位のトレイ上に積み重ねられる。具体的には、エアシリンダ１５４の作動によりスペーサ５が収納テーブル１５１と共に待機位置から開口部１４ａ上方の供給位置に移動するとともに、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３がこのスペーサ５の上方に移動し、トレイ用ノズル部材２５によりスペーサ５がその上側から吸着されることにより収納テーブル１５１からスペーサ５がピックアップされる（図８（ａ））。次いで、エアシリンダ１５４がロッド引き込み駆動状態に切り換えられることにより収納テーブル１５１が待機位置にリセットされた後、前記トレイ用ノズル部材２５が下降することによりスペーサ５が最上位のトレイ上に積み重ねられ（図８（ｂ））。そして、以後、このスペーサ５上にトレイＴｒが積み重ねられる（図８（ｃ））。
【００７８】
こうしてスペーサ５の下側に積層されたトレイＴｒの数と同数のトレイＴｒがスペーサ上に積み上げられると、スペーサ５が各支持装置１６１に対応するように、具体的にはスペーサ５の上面と支持装置１６１の前記支持板１６３の上面とが略面一となるようにテーブル１６が高さ方向に移動する（図８（ｄ））。次いで、エアシリンダ１６２の作動により各支持装置１６１の支持板１６３が待機位置から作動位置に移動し、さらに前記テーブル１６が所定高さだけ下降することにより、スペーサ５よりも上側に積層されたトレイＴｒが前記各支持板１６３に支持された状態で前記スペーサ５を含むそれより下側のトレイＴｒ等から分離される（図９（ａ））。
【００７９】
そして、この状態で前記扉１４ｂが開放され、支持装置１６１により支持されているトレイＴｒがオペレータによって引き出されることにより、第４トレイ収納部１４内のトレイＴｒのうち、まず上側半分のトレイＴｒが同時に出し入れ口１４ｃから取り出される。この際、上述したように扉１４ｂが開放状態で略水平に保持され、かつ支持板１６３の上面が開放された前記扉１４ｂの上面と略面一になるように各支持装置１６１が設けられている結果、トレイＴｒを扉１４ｂの上に引き出して容易に運び出すことができ、トレイＴｒの取り出しが容易に行われることとなる。
【００８０】
第４トレイ収納部１４内の上側半分のトレイＴｒが取り出されると、テーブル上面が前記扉１４ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が高さ方向に移動し（図９（ｂ））、さらにスペーサ収納装置１５等が作動してスペーサ５が取り除かれる。具体的には、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３が開口部１４ａの上方に配置され、トレイ用ノズル部材２５によりスペーサ５が吸着されることによりトレイ上からピックアップされた後、収納テーブル１５１が待機位置から供給位置に移動する（図９（ｃ））。そして、スペーサ５が収納テーブル１５１上に移載された後、収納テーブル１５１が待機位置にリセットされることにより、スペーサ５が待機位置に戻される（図９（ｄ））。
【００８１】
このようにしてスペーサ５が取り除かれた後、オペレータによってテーブル上に支持されているトレイＴｒが引き出されることにより、第４トレイ収納部１４内の残りのトレイＴｒが同時に出し入れ口１４ｃから取り出される。このときも、上述したようにテーブル上面が扉１４ｂの上面と略面一になるように配置されていることにより、トレイＴｒを扉１４ｂの上に引き出すことができ、トレイＴｒの取り出しが容易に行われることとなる。
【００８２】
なお、そのほかのトレイ収納部については、例えば以下のようにしてトレイＴｒの出し入れが行われる。
【００８３】
まず、第２トレイ収納部１２へのトレイＴｒ（未試験部品を収納したトレイＴｒ）の収納は、扉１２ｂを開放された状態で、前記出し入れ口１２ｃから同時に挿入可能な数のトレイＴｒがこの扉上に積み上げられる。そして、テーブル上面が扉１４ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が配置された、扉上に積層されたトレイＴｒが出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込まれてテーブル１６上に移載される。その後、テーブル１６が下降し、適当な数に積層されたトレイＴｒをその上下から支えながらオペレータが出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に運びこみ、テーブル上に積層されたトレイＴｒの最上位に積み重ねることにより行われるようになっている。
【００８４】
一方、第３トレイ収納部１３からのトレイＴｒの取り出しは、テーブル上面が開放された前記扉１３ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が配置され、この状態でテーブル上に積層されているトレイＴｒが扉１３ｂの上に引き出されることにより行われる。すなわち、この種の試験では、合格品（Pass）に比べて不良部品（Fail）は極めて少なく、第４トレイ収納部１４のようにトレイＴｒを分割して取り出すことが要求される程、第３トレイ収納部１３にトレイＴｒが収納されることはない。従って、第３トレイ収納部１３には、スペーサ収納装置１５や支持装置１６１等が設けられていない。
【００８５】
以上説明したように、上記のような第４トレイ収納部１４を有する試験装置１によると、試験終了後の部品をトレイＴｒに収納しながら該トレイＴｒを積み重ねるようにしながらも、トレイＴｒを取り出す際には、上述したようにトレイＴｒを分割して取り出すことができるため、トレイＴｒの取り出し作業を容易に行うことができる。特に、この試験装置１では扉１４ｂがガイドを兼ねており、該扉上にトレイＴｒを引き出すことにより、トレイＴｒを難なく第４トレイ収納部１４から取り出すことができるため、その作業は極めて楽なものとなる。
【００８６】
従って、試験終了後の部品をトレイＴｒに収納しながらより多くのトレイＴｒをハンドラ２内に積み重ねた状態で収納しておくことができる一方で、該トレイＴｒの取り出しの際には、その作業を容易に行うことができるようになる。
【００８７】
しかも、トレイＴｒを分割して取り出せるようにしている結果、扉１４ｂ（出し入れ口１４ｃ）についても図４に示すように最大収納容量に対して小さくもので対応することができる。特に、この第４トレイ収納部１４では、扉１４ｂを引き倒して水平に保持することによりトレイ取り出し用のガイドとして兼用するが、上記のように扉１４ｂを最大収納容量に対して小さく設けることができる結果、同じ収納容量を有する従来のこの種の装置に比べると扉開閉に要するスペースが小さくて済む。従って、試験装置１の使用に際して要求されるスペースを縮小化することもできる。
【００８８】
ところで、以上説明した試験装置１は、本発明に係る部品収納装置を適用した部品試験装置の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することもできる。
【００８９】
▲１▼ トレイＴｒの底面に凹部を形成し、トレイＴｒを積層すると前記凹部によって上下のトレイ間に各支持装置１６１の支持板１６３を挿入可能な隙間が形成されるようにしてもよい。これによれば、スペーサ５を用いることなく積層されたトレイＴｒを上下に分割することが可能となるため、スペーサ収納装置１５が不要となり構成を簡略化することが可能となる。また、スペーサ５の供給、排出に要する時間を削減できるため、トレイＴｒの取り出しをより速やかに行えるようになるというメリットがある。
【００９０】
▲２▼ より多くのトレイＴｒを収納する場合には、トレイＴｒの積層過程で複数箇所にスペーサ５を介挿し、テーブル上に積層されるトレイＴｒを３つ以上に分割して取り出すようにしてもよい。
【００９１】
▲３▼ トレイＴｒの最大収納時の下側半分に積層されるトレイＴｒに対応するように扉１４ｂ（出し入れ口１４ｃ）の位置を設定し、積層されたトレイＴｒのうち下側半分のトレイＴｒから順に取り出すようにしてもよい。この場合には、図９（ａ）に示す如くテーブル上のトレイＴｒを分割して下側半分のトレイＴｒをまず取り出した後、支持装置１６１により支持されている上側半分のトレイＴｒを前記テーブル１６の昇降に伴い受け取ってから該トレイＴｒを出し入れ口１４ｃに対応する高さ位置に配置するようにすればよい。この場合、スペーサ５はトレイＴｒと共に取り出し、オペレータが回収するようにすればよい。但し、上記▲１▼の構成を採用すれば、このようなスペーサ５の回収は不要となる。
【００９２】
▲４▼ 試験前の部品を収納する第２トレイ収納部１２に、第４トレイ収納部１４と同様の配置で支持装置１６１を設けるようにしてもよい。これによれば、トレイＴｒの収納作業をより簡単に行うことが可能となる。
【００９３】
すなわち、支持装置１６１を設けた場合には、次のようにしてトレイＴｒを収納することができる。まず、扉１２ｂを開放し、出し入れ口１２ｃから同時に挿入可能な所定数のトレイＴｒを扉上に積み上げるとともに、開放された前記扉１２ｂの上面とテーブル上面とが略面一になるようにテーブル１６を配置し、扉１２ｂ上に積層した前記トレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込みテーブル１６上に移載する。次いで、次に収納するトレイＴｒをさらに扉上に積層する一方で、最上位のトレイＴｒが出し入れ口１２ｃの下端より下側に位置するようにテーブル１６を下降させ、支持装置１６１の各支持板１６３を作動位置にセットする。そして、扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込み支持装置１６１により支持し、その後、テーブル１６を上昇させて先に収納したトレイＴｒに対して後から収納したトレイＴｒを積み上げ、各支持板１６３を待機位置に移動させる。
【００９４】
このようにすれば、第２トレイ収納部１２に多くのトレイＴｒを収納する場合でもその作業を難なく行うことが可能となり、トレイ収納時の作業性を向上させることが可能になるというメリットがある。
【００９５】
なお、このように支持装置１６１を設ける代わりにスペーサ５を使って同様の作業を行うことも可能である。すなわち、開放された扉１２ｂの上面とテーブル上面とが略面一になるようにテーブル１６を配置し、まず扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込みテーブル１６上に移載する。次いで、スペーサ５をその最上位のトレイ上に積み重ね、開放された扉１２ｂの上面と該スペーサ５の上面とが面一となるようにテーブル１６を下降させる一方で、次に収納するトレイＴｒをさらに扉上に積層する。そして、扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを前記スペーサ上をスライドさせながら出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込み、スペーサ５上に積み重ねるようにする。
【００９６】
このようにしてもトレイ収納時の作業性を向上させることができる。但し、この場合には、上記のようにスペーサ５に対してトレイＴｒが前後方向（出し入れ方向）にスライドし得るように両者を構成しておく必要がある。また、部品の取り出しに伴い、スペーサ５が最上位にきたときに該スペーサ５をＰ＆Ｐロボット２０により吸着して搬出する必要もある。
【００９７】
▲５▼ 実施形態では、Ｐ＆Ｐロボット２０のテーブル３２およびスペーサ収納装置１５にスペーサ５の搬送を行っている。つまり、Ｐ＆Ｐロボット２０およびスペーサ収納装置１５により本発明のスペーサ搬送手段が構成されているが、勿論、スペーサ搬送手段は、単一の装置でスペーサ５を搬送するように構成してもよい。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ケーシング内に配設された昇降可能なテーブル上に部品収納用のトレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねながら収納する一方で、該トレイの取り出し時には、テーブル上に積層されたトレイのうち予め定めた高さ位置にある特定のトレイを支持し、この状態で前記テーブルを下降させて前記テーブル上のトレイを前記特定のトレイを含む上側部分とそれ以外の下側部分とに分離させることにより、前記上側部分のトレイをケーシング側面の取り出し口から取り出すことができるので、上下のトレイを凹凸部分等により互いに位置決めしながらトレイをテーブル上に積み上げる収納形式であっても、トレイを分割しながらケーシング側面の取り出し口から容易に取り出すことができる。そのため、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できるようにしながらも、トレイの取り出し作業を容易に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品収納装置が組込まれた部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図２】部品試験装置を示す平面図である。
【図３】トレイ収納領域の各トレイ収納部の構成を示す断面図である。
【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】スペーサ収納装置の構成を示す平面略図である。
【図６】第４トレイ収納部（特に支持手段）の構成を示す要部断面図である。
【図７】第４トレイ収納部（特に支持手段）の構成を示す図６のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、第４トレイ収納部におけるトレイ取り出し時の動作を時系列的に示した模式図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、第４トレイ収納部におけるトレイ取り出し時の動作を時系列的に示した模式図である。
【符号の説明】
１  部品試験装置
２  ハンドラ
３  試験装置本体
４  テストヘッド
５  スペーサ
１１  第１トレイ収納部
１２  第２トレイ収納部
１３  第３トレイ収納部
１４  第４トレイ収納部
１５  スペーサ収納装置
１５１  収納テーブル
３０Ａ  第１シャトルロボット
３０Ｂ  第２シャトルロボット
４０  テストロボット
４２Ａ  第１搬送用ヘッド
４２Ｂ  第２搬送用ヘッド
４３ａ，４３ｂ  ヘッド本体
１６１  支持装置（支持手段）
１６３  支持板
Ｓａ  トレイ収納領域
Ｔａ  テスト領域
Ｔｒ  トレイ
【図１】
0004028263.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004028263.tif 000007
【図７】
0004028263.tif 000008
【図８】
0004028263.tif 000009
【図９】
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