(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光を照明光学系でＴＩＲプリズムに導き、そのＴＩＲプリズムで全反射した光をＤＭＤで反射させることにより光変調を行い、その光変調後に前記ＴＩＲプリズムを透過した光を投影光学系で被投影面上に投影する投影システムであって、
前記照明光学系が、前記光源からの光を平滑化する機能を備え、
前記ＴＩＲプリズムが、前記照明光学系から射出した光を全反射させる第１プリズムと、前記ＤＭＤでの光変調後に前記第１プリズムを透過した光を透過させる第２プリズムと、から成り、
前記照明光学系のＤＭＤ側のＦナンバーをFaとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fa≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFaに対して、以下の条件式を満足することを特徴とする投影システム；
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fa))}]≦xa≦L／tan(θD-0.87θD)
ただし、
xa ：ＤＭＤから照明光学系のＤＭＤ側の瞳までの距離、
L  ：ＤＭＤの光軸位置から最軸外位置までの距離、
θD：ＤＭＤを構成しているマイクロミラーの回転角、
である。
【請求項２】
前記第２プリズムが、前記ＤＭＤで反射された光を内面反射させない形状を有することを特徴とする請求項１記載の投影システム。
【請求項３】
前記第２プリズムにおいて、前記ＤＭＤで反射された光が入射する側面に、断面が鋸歯状のシートを接合したことを特徴とする請求項１記載の投影システム。
【請求項４】
前記照明光学系を構成している最もＤＭＤ側の光学素子が光軸に対して傾いていることを特徴とする請求項１記載の投影システム。
【請求項５】
前記投影光学系のＤＭＤ側のＦナンバーをFbとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fb≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFbに対して、更に以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１記載の投影システム；
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fb))}]≦xb≦L／tan(θD-0.87θD)
ただし、
xb：ＤＭＤから投影光学系のＤＭＤ側の瞳までの距離、
である。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は投影システムに関するものであり、更に詳しくは、光変調素子としてＤＭＤ(Digital Micromirror Device)を備えた投影システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
最近、投影システムの光変調素子としてＤＭＤが注目されている。ＤＭＤは多数のマイクロミラーがマトリックス状に配置された表示面を有しており、そのマイクロミラー１枚で表示画像の１画素を構成するものである。光変調のために各マイクロミラーの傾きは個別に駆動制御される構成になっており、各マイクロミラーはＯＮ状態とＯＦＦ状態との２つの傾き状態をとり得るようになっている。ＯＮ状態のマイクロミラーでは照明光が投影光学系内に向けて反射され、ＯＦＦ状態のマイクロミラーでは照明光が投影光学系外に向けて反射される。したがって、ＯＮ状態のマイクロミラーで反射された光のみが投影光学系によって被投影面(例えばスクリーン面)上に到達し、その結果、明暗のパターンから成る表示画像が被投影面上に形成される。
【０００３】
上記ＤＭＤを備えた投影システムの第１従来例を図１６に示す。図１６(Ａ)は投影光学系(PL)によるイメージサークル(3)とＤＭＤ(2)との位置関係を示しており、図１６(Ｂ)は投影光学系(PL)の光軸(AX1)に対して垂直方向から見た投影システムの要部を示している。投影光学系(PL)は非テレセントリックに構成されており、照明光学系(IL)はＤカットレンズ等(他のレンズは図中省略する。)で構成されている{AX2：照明光学系(IL)の光軸}。照明光学系(IL)を通過した光は、ＤＭＤ(2)を斜め45°方向から照明する。ＤＭＤ(2)は、各マイクロミラーが軸(ax)を中心とした２つの傾き状態(ＯＮ状態とＯＦＦ状態)をとり得るように構成されているため、ＯＮ状態のマイクロミラーでは光が投影光学系(PL)に向けて反射され、ＯＦＦ状態のマイクロミラーでは光が投影光学系(PL)外に向けて反射される。その結果、ＯＮ状態のマイクロミラーで反射された光で被投影面(1)上に表示画像が形成される。
【０００４】
上記第１従来例の構成では、投影光学系(PL)の光路と照明光学系(IL)の光路とを分離するために、フルシフトの像円径が必要になる。つまり図１６(Ａ)に示すように、イメージサークル(3)のうちの極一部しかＤＭＤ(2)の配置に使用することができない。このため、広い画角が必要とされるリアプロジェクション方式の投影システムにおいては、投影光学系(PL)の低コスト化が困難になる。また、投影光学系(PL)と照明光学系(IL)との干渉を避けるためには、投影光学系(PL)の後ろ絞り化やＤカットレンズの使用が必要になるが、図１６(Ｂ)に示すようにＤカットレンズを用いると照度分布を一様にするのが困難になる。
【０００５】
図１７，図１８に第２従来例の要部を示す。図１７はＤＭＤ(2)のマイクロミラーがＯＮ状態のときの投影光の光路を示しており、図１８はＤＭＤ(2)のマイクロミラーがＯＦＦ状態のときの投影光の光路を示している。この投影システムは、第１プリズム(PR1)と第２プリズム(PR2)から成るＴＩＲ(Total Internal Reflection)プリズム(PR)を備えている(PL：投影光学系，AX：光軸)。ＤＭＤ(2)のミラー回転角{つまりＤＭＤ(2)を構成しているマイクロミラーの回転角}が±10°の場合、ＴＩＲプリズム(PR)を用いることにより、完全テレセントリックの構成でＦナンバーを最大の3.0にすることができる。したがって、光の利用効率が高くなって、明るい投影画像を得ることができる。
【０００６】
しかし、第２従来例のようにＤＭＤ(2)から投影光学系(PL)までの距離が短い１チップタイプの投影システムでは、図１８に示すようにＯＦＦ状態のマイクロミラーで反射された光のうち、投影光学系(PL)寄りの反射光と、第２プリズム(PR2)の側面で内面反射された光と、が投影光学系(PL)内に入射してしまう。これらの反射光はゴースト光になり、コントラスト低下の原因となる。またＤＭＤ(2)側にテレセントリックな構成では、テレセントリック側の正レンズに対して光線が高い位置で入射するため、倍率色収差を小さくすることが困難になる。
【０００７】
図１９，図２０に第３従来例の要部を示す。図１９はＤＭＤ(2)のマイクロミラーがＯＮ状態のときの光路を示しており、図２０はＤＭＤ(2)のマイクロミラーがＯＦＦ状態のときの光路を示している。第３従来例は、上述した第２従来例よりも投影光学系(PL)のバック長が長く確保された構成をとっている。このため、ＯＦＦ状態のマイクロミラーで反射された投影光学系(PL)寄りの光が投影光学系(PL)内に入射するのを回避することができる。しかし、投影光学系(PL)が大型化して低コスト化が困難になり、倍率色収差も悪化してしまう。
【０００８】
上述したように第２従来例では、ＯＦＦ状態のマイクロミラーで反射された光が、投影光学系(PL)に入射することにより、コントラストの低下を招いてしまう。また第３従来例では、投影光学系(PL)の大型化が避けられず、収差補正も困難である。特開平８−２５１５２０号公報で提案されているビデオプロジェクターでは、これらの問題を解決するためにＯＦＦ状態のマイクロミラーで反射された光を光源に戻す構成を採用している。しかし、照明光学系と投影光学系との共有部分があるため、その共有部分の面間ゴーストによるコントラストの低下は避けられない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
投影システムには、上述した問題点が解決されることに加え、デジタルテレビやプリンターへの適用に際して高い性能が要求される。例えば、プリンター用の投影システムとしては、照度分布の一様性(軸上と最軸外との明るさの差が数％以下)・対称性、投影光学系(PL)の倍率色収差(最軸外で0.2ピクセル以下)と歪曲収差(0.05％以下)の充分な補正、更にはコンパクト性が要求される。デジタルテレビ用の投影システムとしては、コントラストアップ、投影光学系(PL)のコンパクト化・低コスト化や倍率色収差の充分な補正が要求される。
【００１０】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであって、高いコントラストの投影画像が得られる高性能の投影システムを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、第１の発明の投影システムは、光源からの光を照明光学系でＴＩＲプリズムに導き、そのＴＩＲプリズムで全反射した光をＤＭＤで反射させることにより光変調を行い、その光変調後に前記ＴＩＲプリズムを透過した光を投影光学系で被投影面上に投影する投影システムであって、前記照明光学系が、前記光源からの光を平滑化する機能を備え、前記ＴＩＲプリズムが、前記照明光学系から射出した光を全反射させる第１プリズムと、前記ＤＭＤでの光変調後に前記第１プリズムを透過した光を透過させる第２プリズムと、から成り、前記照明光学系のＤＭＤ側のＦナンバーをFaとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fa≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFaに対して、以下の条件式を満足することを特徴とする。
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fa))}]≦xa≦L／tan(θD-0.87θD)
ただし、
xa ：ＤＭＤから照明光学系のＤＭＤ側の瞳までの距離、
L  ：ＤＭＤの光軸位置から最軸外位置までの距離、
θD：ＤＭＤを構成しているマイクロミラーの回転角、
である。
【００１２】
第２の発明の投影システムは、上記第１の発明の構成において、前記第２プリズムが、前記ＤＭＤで反射された光を内面反射させない形状を有することを特徴とする。
【００１３】
第３の発明の投影システムは、上記第１の発明の構成において、前記第２プリズムにおいて、前記ＤＭＤで反射された光が入射する側面に、断面が鋸歯状のシートを接合したことを特徴とする。
【００１４】
第４の発明の投影システムは、上記第１の発明の構成において、前記照明光学系を構成している最もＤＭＤ側の光学素子が光軸に対して傾いていることを特徴とする。
【００１５】
第５の発明の投影システムは、上記第１の発明の構成において、前記投影光学系のＤＭＤ側のＦナンバーをFbとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fb≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFbに対して、更に以下の条件式を満足することを特徴とする。
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fb))}]≦xb≦L／tan(θD-0.87θD)
ただし、
xb：ＤＭＤから投影光学系のＤＭＤ側の瞳までの距離、
である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施した投影システムを、図面を参照しつつ説明する。なお、前述した従来例(図１６〜図２０)や実施の形態の相互で、同一の部分や相当する部分には同一の符号を付して重複説明を適宜省略する。
【００１７】
図３〜図５に、第１〜第３の実施の形態の光学構成をそれぞれ示す。第１〜第３の実施の形態はいずれも、光源(5)，照明光学系(IL)，ＴＩＲプリズム(PR)，ＤＭＤ(2)及び投影光学系(PL)を備えた投影システムである(AX:光軸)。そのうち、第１，第２の実施の形態はデジタルテレビ用の投影システムであり、第３の実施の形態はプリンター用の投影システムである。投影画像のカラー化は、回転可能なカラーホイール(不図示)を光路中に配置することにより達成することができる。例えば、透過色又は反射色の異なる複数(Ｒ,Ｇ,Ｂ)のカラーフィルターで構成されたカラーホイールを光路中で回転させて、投影する色光が時間的に順次切り替わるようにすればよい。
【００１８】
各実施の形態において、光源(5)はランプ，リフレクタ等から成り、光源(5)からの光は照明光学系(IL)によってＴＩＲプリズム(PR)に導かれる。照明光学系(IL)は複数枚のレンズ等(図３，図４中、7：折り返しミラー)から成り、更に光源(5)からの光を平滑化する機能をも備えている。照明光の平滑化機能は、ＤＭＤ(2)の表示面上での軸上と最軸外との照度差をなくす(つまり照度分布を一様にする)機能である。この平滑化機能は、第１，第３の実施の形態ではインテグレータロッド(6)により達成され、第２の実施の形態では第１レンズアレイ(8a)と第２レンズアレイ(8b)により達成される。
【００１９】
ＴＩＲプリズム(PR)は、第１プリズム(PR1)と第２プリズム(PR2)とから成っており、このＴＩＲプリズム(PR)によって、ＤＭＤ(2)に対する入力光と出力光との分離が行われる。第１プリズム(PR1)は、照明光学系(IL)から射出した光を全反射させる。そして、第１プリズム(PR1)で全反射した光はＤＭＤ(2)を照明し、その照明光がＤＭＤ(2)での反射により光変調される。第２プリズム(PR2)は、ＤＭＤ(2)での光変調後に第１プリズム(PR1)を透過した光を透過させる。
【００２０】
このようにしてＤＭＤ(2)による光変調後にＴＩＲプリズム(PR)を透過した光は、複数のレンズ等(図中、部分的に省略。)から成る投影光学系(PL)によって、被投影面(1；ただし、図３，図４中では省略する。)上に投影される(図５中、9：折り返しミラー)。ただし、投影光学系(PL)に入射して投影されるのは、後述するＯＮ状態のマイクロミラー(M)で反射された光のみである。なお、第１，第２の実施の形態での被投影面(不図示)はスクリーン面に相当し、第３の実施の形態での被投影面(1)は感光体ドラムや感光紙の感光面に相当する。
【００２１】
ＤＭＤ(2)による光変調を更に詳しく説明する。図１にＤＭＤ(2)のマイクロミラー(M)がＯＮ状態のときの光路を示し、図２にＤＭＤ(2)のマイクロミラー(M)がＯＦＦ状態のときの光路を示す。ＤＭＤ(2)は多数のマイクロミラー(M)がマトリックス状に配置された表示面を有しており、そのマイクロミラー(M)１枚で表示画像の１画素(例えば16μｍピッチ)を構成する。光変調のために各マイクロミラー(M)の傾きは個別に駆動制御される構成(例えばミラー回転角=±10°の傾斜)になっており、各マイクロミラー(M)はＯＮ状態(図１)とＯＦＦ状態(図２)との２つの傾き状態をとり得るようになっている。
【００２２】
ＯＮ状態のマイクロミラー(M)では照明光が投影光学系(PL)内に向けて反射され(この反射光を以下「ＯＮ光」ともいう。)、ＯＦＦ状態のマイクロミラー(M)では照明光が投影光学系(PL)外に向けて反射される(この反射光を以下「ＯＦＦ光」ともいう。)。したがって、ＯＮ状態のマイクロミラー(M)で反射されたＯＮ光のみが投影光学系(PL)によって被投影面上に到達し、その結果、明暗のパターンから成る表示画像が被投影面上に形成される。
【００２３】
ＯＦＦ光は被投影面上での画像形成には必要ない不要光であり、このＯＦＦ光が投影光学系(PL)内に入射してしまうと、前述したようにコントラストの低下を招いてしまう。各実施の形態では、照明光学系(IL)と投影光学系(PL)との間での光の伝達を非テレセントリック状態で行うことにより、ＯＦＦ光{特に投影光学系(PL)寄りのＯＦＦ光}が投影光学系(PL)内に入射するのを防ぎ、また投影光学系(PL)の収差補正の負担を軽くしている。照明光学系(IL)と投影光学系(PL)との間での光の伝達を非テレセントリック状態で行うための条件は、ＤＭＤ(2)側のＦナンバーとＤＭＤ(2)側の瞳位置とに関して、以下に説明するように規定される。
【００２４】
瞳への主光線の入射角をθとすると、(Ｆナンバー)＝{1／(2sinθ)}を最も明るい光学系としたときの範囲内であれば、ＤＭＤに対する入力光と出力光との分離が可能である。したがって、その範囲内でＦナンバーを暗くして、その分できるだけ瞳位置を近づけるために非テレセントリックにする。ＤＭＤの光軸位置(すなわち表示画面中心)から最軸外位置までの距離(最大像高)をLとし、光学系のＦナンバーをFとし、ＤＭＤのミラー回転角を±θDとし、ＴＩＲプリズムでの最大透過角(入力光と出力光を分離できる最も大きい透過角度)の空気換算角をγ(ここでγ≒θDであり、ただしγはθDを超えない。)とし{この場合、最大F=1／(2sinθ)(テレセントリック時)の光線を考える。}、光学系のＤＭＤ側の光線角(主光線に対する角度)をαとすると、ＤＭＤから瞳までの距離(瞳位置)xは以下の式(i)で表され、入射角θは以下の式(ii)で表される。
x＝L／tanθ  …(i)
θ＝γ−α＝θD−sin-1{1/(2・F)}  …(ii)
【００２５】
式(i)と式(ii)から、瞳位置xの下限値を以下の式(iii)で表すように設定することができる。また、最も明るい場合としてF＝1／{2sin(0.85θD)}を考えた場合、θ=(1-0.85)θDなので、これよりも小さくθを設定してθ=(1-0.87)θDとする。この瞳位置xの上限値と式(iii)の下限値とから、瞳位置xの範囲を以下の式(iv)で規定することができる。
x＝L／[tan{θD-sin-1(1/(2・F))}]  …(iii)
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・F))}]≦x≦L／tan(θD-0.87θD)  …(iv)
【００２６】
上述した観点から、照明光学系(IL)のＤＭＤ(2)側のＦナンバーをFaとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fa≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFaに対して、以下の条件式▲１▼を満足することが望ましい。
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fa))}]≦xa≦L／tan(θD-0.87θD)  …▲１▼
ただし、
xa ：ＤＭＤ(2)から照明光学系(IL)のＤＭＤ(2)側の瞳までの距離、
L  ：ＤＭＤ(2)の光軸(AX)位置から最軸外位置までの距離、
θD：ＤＭＤ(2)のミラー回転角{マイクロミラー(M)の回転角}、
である。
【００２７】
条件式▲１▼の上限を超えると、照明光学系(IL)のＤＭＤ(2)側の主光線の角度がテレセントリックに近づく{つまり、瞳からＤＭＤ(2)までの距離が∞に近づく}ため、ＴＩＲプリズム(PR)内でのＯＮ光とＯＦＦ光との分離が困難になり、ＯＦＦ光が投影光学系(PL)内に入り込む。そのため、コントラストが低下する。条件式▲１▼の下限を超えると、ＴＩＲプリズム(PR)内で照明光の一部に全反射条件を満たさない光線が出てくる。このため、ＯＮ光として投影光学系(PL)に入る光線が少なくなり暗くなる。
【００２８】
また、投影光学系(PL)のＤＭＤ(2)側のＦナンバーをFbとしたとき、1／{2sin(0.85θD)}≦Fb≦1／{2sin(0.3θD)}で表される範囲のFbに対して、更に以下の条件式▲２▼を満足することが望ましい。
L／[tan{θD-sin-1(1/(2・Fb))}]≦xb≦L／tan(θD-0.87θD)  …▲２▼
ただし、
xb：ＤＭＤ(2)から投影光学系(PL)のＤＭＤ(2)側の瞳までの距離、
である。
【００２９】
条件式▲２▼の上限を超えると、投影光学系(PL)のＤＭＤ(2)側の主光線の角度がテレセントリックに近づく(つまり、瞳からＤＭＤ(2)までの距離が∞に近づく)ため、投影光学系(PL)の最終面を通る光線が光軸(AX)から離れてしまう。このため、特に倍率色収差や歪曲収差の補正が困難になる。また、投影光学系(PL)の大型化を招くことになる。条件式▲２▼の下限を超えると、投影光学系(PL)で使用できる光線の一部が、全反射条件を満たさない光線となる。このため、ＯＮ光として投影光学系(PL)に入る光線が少なくなり暗くなる。
【００３０】
各実施の形態のようにＴＩＲプリズム(PR)とＤＭＤ(2)を用いた投影システムにおいて、照明光学系(IL)のＤＭＤ(2)側のＦナンバーを大きく(すなわち暗く)し、かつ、射出瞳位置を短くして、テレセントリック性を外す構成をとれば、ＯＮ光とＯＦＦ光が分離しやすくなり、ＯＦＦ光(不要光)の影響によるコントラストの低下を改善することができる。テレビにとって重要なコントラストを大きく改善することができるため、例えば第１，第２の実施の形態の投影システムをデジタルテレビに適用することにより、高画質の投影画像を得ることができる。
【００３１】
また、照明光学系(IL)の瞳位置及びＦナンバーにマッチした投影光学系(PL)は、そのＦナンバーが大きいため、低コスト化・コンパクト化が達成可能となる。しかも、テレセントリック状態から外れているため、ＤＭＤ(2)に近い正レンズに対する軸外光束の入射位置はそれほど高くはない。したがって、倍率色収差の発生量は小さくなり、高性能化を達成することができる。特に、対称に近いタイプの光学系(ガウス型等)を投影光学系(PL)として使うことができる画角と瞳位置の領域では、倍率色収差や歪曲収差をほぼ零にすることが可能となる。したがって、第３の実施の形態のようにプリンター用として最適な投影システムを提供することができる。また収差補正の容易さから、低コスト材料を使用することが可能になるため、コンシューマー用として重要な低コスト化をより効果的に達成することができる。
【００３２】
各実施の形態に用いられているＴＩＲプリズム(PR)は、図６に示すように、第２プリズム(PR2)がＤＭＤ(2)で反射された光を内面反射させない形状、つまり投影光学系(PL)側を光軸(AX)に対して垂直方向に突出させた３角形状を有している。前記従来例(図１７〜図２０)では第２プリズム(PR2)の側面が光軸(AX)に対して平行になっているため、その側面で内面反射したＯＦＦ光が投影光学系(PL)に入射してしまうが、図６に示すように第２プリズム(PR2)の側面(10)を光軸(AX)に対して傾斜させれば、ＯＦＦ光が側面(10)に入射しないため、ＯＦＦ光が内面反射して投影光学系(PL)に入射するのを回避することができる。したがって、ＯＦＦ光の内面反射によるコントラストの低下を防止することができる。
【００３３】
上記のように第２プリズム(PR2)の側面(10)を傾斜させる代わりに、図７に示すように、ＤＭＤ(2)で反射されたＯＦＦ光が入射する側面(10)に、断面が鋸歯状(例えばフレネル状)のシート(11)を接合してもよい。第２プリズム(PR2)のＯＦＦ光が入射する側面(10)に鋸歯状のシート(11)を接合すれば、ＯＦＦ光は側面(10)とシート(11)を通過することになる。したがって、ＯＦＦ光が内面反射して投影光学系(PL)に入射するのを回避することができる。このようにシート(11)を用いることにより、ＯＦＦ光の内面反射によるコントラストの低下を防止するとともに、第２プリズム(PR2)の軽量・小型化が可能となる。
【００３４】
また第３の実施の形態(図５)では、照明光学系(IL)を構成している最もＤＭＤ(2)側のレンズが光軸(AX)に対して傾いている。このように照明光学系(IL)のＤＭＤ(2)側の光学素子を傾けることにより、照明エリアのフォーカス状態を良くすることができる。したがって、光の利用効率が高くなって、明るい投影画像を得ることができる。
【００３５】
【実施例】
以下、本発明を実施した投影システムの構成を、光学系のコンストラクションデータ，収差図等を挙げて、更に具体的に説明する。以下に挙げる実施例１の光学系(PL,IL)は、前述した第１，第２の実施の形態を構成している投影光学系(PL)及び照明光学系(IL)に対応するものであり、また実施例２の光学系(PL,IL)は、前述した第３の実施の形態を構成している投影光学系(PL)及び照明光学系(IL)に対応するものである。図８に実施例１の投影光学系(PL)のレンズ構成を示し、図１０に実施例１の照明光学系(IL)のレンズ構成を示す。また、図１２に実施例２の投影光学系(PL)のレンズ構成を示し、図１４に実施例２の照明光学系(IL)のレンズ構成を示す。なお、各光学系(PL,IL)の端部に配置されている平板は、ＴＩＲプリズム(PR)及びＤＭＤ(2)のカバーガラスに相当する。
【００３６】
各実施例のコンストラクションデータにおいて、ri(i=1,2,3,...)は被投影側又は光源(5)側から数えてi番目の面の曲率半径(mm)、di(i=1,2,3,...)は被投影側又は光源(5)側から数えてi番目の軸上面間隔(mm)を示しており、Ni(i=1,2,3,...),νi(i=1,2,3,...)は被投影側又は光源(5)側から数えてi番目の光学要素のｄ線に対する屈折率(Ｎd),アッベ数(νd)をそれぞれ示している。全系の横倍率(β)、物体距離(S1)及び有効Ｆナンバー(有効FNO)、並びに各実施例における条件式▲１▼,▲２▼の対応値及び関連データを併せて示す。なお、投影光学系(PL)の物体距離(S1)はレンズ前面(r1)から被投影面(スクリーン面又は感光面)までの距離であり、照明光学系(IL)の物体距離(S1)はレンズ前面(r1)からＤＭＤ(2)の共役面{例えばインテグレータロッド(6)の端面等}までの距離である。また、各実施例におけるＤＭＤ(2)のミラー回転角θDは±10(°)である。
【００３７】
曲率半径riに*印が付された面は、非球面で構成された面であることを示し、非球面の面形状を表わす以下の式(AS)で定義されるものとする。各非球面の非球面データを他のデータと併せて示す。
X(H)＝(C・H2)／{1+√(1-ε・C2・H2)}＋(A4・H4+A6・H6+A8・H8)  …(AS)
ただし、式(AS)中、
X(H)：高さHの位置での光軸方向の変位量(面頂点基準)、
H   ：光軸に対して垂直な方向の高さ、
C   ：近軸曲率、
ε  ：２次曲面パラメータ、
Ai  ：i次の非球面係数、
である。
【００３８】
図９は実施例１の投影光学系(PL)の収差図、図１１は実施例１の照明光学系(IL)の収差図、図１３は実施例２の投影光学系(PL)の収差図、図１５は実施例２の照明光学系(IL)の収差図であり、いずれも有限距離物体に対するＤＭＤ(2)側での諸収差(左から順に、球面収差等，非点収差，歪曲収差である。Y':最大像高)を示している。球面収差図中、実線(ｄ)はｄ線に対する球面収差、一点鎖線(ｇ)はｇ線に対する球面収差、破線(ＳＣ)は正弦条件を表している。非点収差図中、破線(ＤＭ)はメリディオナル面でのｄ線に対する非点収差を表しており、実線(ＤＳ)はサジタル面でのｄ線に対する非点収差を表わしている。また、歪曲収差図中の実線はｄ線に対する歪曲収差を表している。
【００３９】
0004016538.tif 000002
0004016538.tif 000003
【００４０】
0004016538.tif 000004
【００４１】
0004016538.tif 000005
【００４２】
0004016538.tif 000006
【００４３】
0004016538.tif 000007
【００４４】
0004016538.tif 000008
0004016538.tif 000009
【００４５】
0004016538.tif 000010
0004016538.tif 000011
【００４６】
0004016538.tif 000012
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、照明光学系と投影光学系との間での光の伝達を非テレセントリック状態で行う構成になっているため、ＯＦＦ光の投影光学系内への入射が防止される。したがって、高いコントラストの投影画像を得ることができる。また、非テレセントリック状態により投影光学系の収差補正の負担が軽くなるため、高性能化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の投影システムにおいてＤＭＤのマイクロミラーがＯＮ状態のときの光路を示す光学構成図。
【図２】本発明の投影システムにおいてＤＭＤのマイクロミラーがＯＦＦ状態のときの光路を示す光学構成図。
【図３】第１の実施の形態を示す光学構成図。
【図４】第２の実施の形態を示す光学構成図。
【図５】第３の実施の形態を示す光学構成図。
【図６】第１〜第３の実施の形態を構成しているＴＩＲプリズムの作用を説明するための光学構成図。
【図７】第１〜第３の実施の形態に用いることができる他のＴＩＲプリズムの作用を説明するための光学構成図。
【図８】実施例１の投影光学系を示すレンズ構成図。
【図９】実施例１の投影光学系の収差図。
【図１０】実施例１の照明光学系を示すレンズ構成図。
【図１１】実施例１の照明光学系の収差図。
【図１２】実施例２の投影光学系を示すレンズ構成図。
【図１３】実施例２の投影光学系の収差図。
【図１４】実施例２の照明光学系を示すレンズ構成図。
【図１５】実施例２の照明光学系の収差図。
【図１６】第１従来例を示す光学構成図。
【図１７】第２従来例においてＤＭＤのマイクロミラーがＯＮ状態のときの投影光の光路を示す光学構成図。
【図１８】第２従来例においてＤＭＤのマイクロミラーがＯＦＦ状態のときの投影光の光路を示す光学構成図。
【図１９】第３従来例においてＤＭＤのマイクロミラーがＯＮ状態のときの投影光の光路を示す光学構成図。
【図２０】第３従来例においてＤＭＤのマイクロミラーがＯＦＦ状態のときの投影光の光路を示す光学構成図。
【符号の説明】
1  …被投影面
2  …ＤＭＤ
5  …光源
6  …インテグレータロッド
8a  …第１レンズアレイ
8b  …第２レンズアレイ
10  …側面
11  …シート
PL  …投影光学系
IL  …照明光学系
PR  …ＴＩＲプリズム
PR1  …第１プリズム
PR2  …第２プリズム
SP   …絞り
AX   …光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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