(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略矩形の板ガラスからなり、該板ガラスの各角部が内側に凹んだ略円弧状に面取りされてなることを特徴とする電子部品用板ガラス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面波フィルター用基板、水晶発振子の小型パッケージ、固体撮像素子、発光素子、受光素子等の光半導体パッケージ等に使用する電子部品用板ガラスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子部品用板ガラス、例えば、光半導体の固体撮像素子を収納するパッケージの光透過窓に使用する板ガラスは、図４に示すように、略矩形の薄板ガラスの４つの角部を直線的なＣ面取り１ａが施された板ガラス１が使用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の板ガラス１の場合、図４に示すように、板ガラス１の各角部のＣ面取り１ａの形状とパッケージ２の嵌入部３の形状が略等しいため、応力が集中し易いＣ面取り１ａに接着剤４が十分に回り込まず、気密封止部の接着強度及び温度サイクル負荷による熱応力に対する信頼性が不足するといった懸念がある。
【０００４】
本発明は、以上のような従来の問題点を解決した電子部品用板ガラスを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電子部品用板ガラスは、略矩形の板ガラスからなり、該板ガラスの各角部が内側に凹んだ略円弧状に面取りされてなることを特徴とする。
【０００６】
【作用】
本発明の電子部品用板ガラスによれば、略矩形の板ガラスからなり、該板ガラスの各角部が内側に凹んだ略円弧状に面取りされてなるので、板ガラスとパッケージとの接着面積が従来より３〜１０％大きくなり、板ガラスの各略円弧状の面取り部とパッケージの嵌入部の各面取り部との間隙に接着剤を十分に溜めることができるため、接着の信頼性を向上させることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明に係る電子部品用板ガラスの説明図であって、１は電子部品用板ガラスを、２はパッケージを、３は電子部品用板ガラス１が嵌入されるパッケージ２の嵌入部を、４は接着剤を各々示しており、前記で説明した図４と同一部分には同一符号を付してそれぞれ示してある。
【０００８】
本発明の電子部品用板ガラス１（以下、板ガラス１と称す）は、例えば、膨張係数が５０〜７０×１０-7／℃のホウ珪酸ガラスからなり、長辺１１．０ｍｍ、短辺１０．０ｍｍ、厚さ０．５〜１．４ｍｍの寸法を有し、その表面は鏡面に研磨されており、各角部に施された面取り１ａは、曲率半径が１．５ｍｍ、弦の長さが１．４ｍｍとなる内側に凹んだ略円弧状をしている。また、全てのエッジ部には一辺が約０．１ｍｍの糸面取り１ｂが施されている。
【０００９】
上記板ガラス１を構成する材料としては、ホウ珪酸ガラスの他、無アルカリガラス等が使用可能である。材料の膨張係数は、電子部品のパッケージに近いものであることが好ましい。
【００１０】
上記板ガラス１を使用して、固体撮像素子をパッケージする場合を説明する。
【００１１】
板ガラス１のパッケージ２と当接する部分にスクリーン印刷機を用いて熱硬化性を有するエポキシ系の接着剤４を印刷して塗布する。この際、板ガラス１の内側に凹んだ略円弧状の面取り１ａに多くの接着剤４を付着させておく。次に、接着剤４が塗布された板ガラス１をパッケージ２の上部の嵌入部３に嵌入する。次いで、板ガラス１が嵌入されたパッケージ２をオーブンに入れ、接着剤４を硬化させて板ガラス１をパッケージ２に接着する。
【００１２】
上記板ガラス１の面取り１ａとパッケージ２の嵌入部３との接着面積は従来のＣ面取りが施された板ガラスに比べて約５％増え、これによって接着強度が向上し、かつ、面取り部１ａと嵌入部３との間隙３ａに蓄えられる接着剤４により、応力が集中しやすい角部に対する緩衝層が形成され、各角部を保護する。
【００１３】
上記の電子部品用板ガラス１を製造する場合、図２（Ａ）に示すように、例えば、５０枚の研磨仕上げされた短辺２００ｍｍ、長辺３００ｍｍ、厚さ０．５ｍｍの寸法を有するホウ珪酸ガラスからなる材料板ガラス１０を逐次重ね合わせて基台１１上に積層し、基台１１と材料板ガラス１０の間隙及び積層した材料板ガラス１０の相互の間隙に、加熱され液体状となった仮止め接着剤１２を充填し、冷却固化させて積層体１３を形成する。この積層体１３を、図２（Ｂ）に示すように、回転駆動軸１４に１２ｍｍピッチまたは１０ｍｍピッチに配置された複数の回転する厚さ２ｍｍの切断刃１５を備えたマルチブレード切断機（本体は図示せず）に装着して切り分け、基台１１上に縦１０ｍｍ、横８ｍｍ、高さ３５ｍｍの寸法を有する四角柱体１６を５５１本隣立した状態に形成する。
【００１４】
次に、図３（Ａ）に示すように、複数本の回転砥石からなる角取り用のツール１７を１２ｍｍピッチに配置した角取り装置１８を使用して、図３（Ｂ）に示すように、基台１１上の内側の４つの四角柱体１６の相対向する４つの角部１６ａ、外側の辺の対向する２つの角部１６ｂ、及び外側のコーナーの角部１６ｃを、ツール１７により研削して一斉に角取りし、面取り１６ｄを形成する。
【００１５】
次いで、基台１１上にあって面取り１６ｄが形成された四角柱体１６を、弗化水素酸を含むエッチング液を満たした槽（図示せず）内に浸漬して四角柱体１６を構成する全ての板ガラスのエッジ部に一辺が約０．１ｍｍとなるようにエッチング液の濃度、温度、及び四角柱体１６の浸漬時間を制御して糸面取りを施す。
【００１６】
その後、上記四角柱体１６の仮止め接着剤１２を溶媒に溶かして基台１１から個々の板ガラスを分離し、洗浄、乾燥して、図１に示すような角部が内側に凹んだ略円弧状の面取り１ａが施され、かつ、エッジ部に糸面取り１ｂが施された２７，５５０枚の電子部品用板ガラス１を得る。
【００１７】
上記の電子部品用板ガラス１は、整列配置された四角柱体１６の相対向する４つの角部１６ａを一斉に面取りすることができ、かつ、四角柱体１６をエッチング液に浸漬することにより一斉に糸面取りを施すことができる大量生産に適した形状を有するものである。
【００１８】
上記の実施の形態では、正方形に近い電子部品用板ガラスを示したが、本発明の電子部品用板ガラスは、ファクシミリやスキャナー等の画像入力装置のラインセンサを保護する短冊状のカバーガラスにも適用が可能である。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の電子部品用板ガラスによれば、電子部品のパッケージの気密性を向上させ、信頼性を高めることが可能であり、かつ、大量生産に適した形状を有するので安価に製造することができる実用上優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電子部品用板ガラスの説明図であって、（Ａ）は電子部品用板ガラスの斜視図、（Ｂ）は固体撮像素子パッケージの平面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＹ−Ｙ断面図
【図２】本発明の電子部品用板ガラスを製造する工程の説明図であって、（Ａ）は材料板ガラスからなる積層体の側面図、（Ｂ）は積層体を切り分ける工程の説明図
【図３】板ガラスの角部を回転砥石により一斉に角取りする工程の説明図であって、（Ａ）は断面図、（Ｂ）は平面図
【図４】従来の電子部品用板ガラスの説明図であって、（Ａ）は電子部品用板ガラスの斜視図、（Ｂ）は固体撮像素子パッケージの平面図、（Ｃ）は（Ｂ）のＹ−Ｙ断面図
【符号の説明】
１  電子部品用板ガラス
１ａ  面取り
１ｂ  糸面取り
２  パッケージ
３  嵌入部
４  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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