(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を固定するためのテーブルと、該テーブルに対向して設けられ、複数のノズル孔が穿設された吐出板を有するノズルヘッドを備え、該ノズルヘッドと該基板との相対位置関係を変化させて、同一の基板上に複数のペーストパターンを形成するプラズマディスプレイ用蛍光基板製造用ペースト塗布装置において、基板にペーストを塗布する前に、該吐出板の少なくともノズル孔周辺部を拭き取る拭き取り手段を複数設け、該複数の拭き取り手段を該複数のペーストパターンの塗布開始位置近傍にそれぞれ配したことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
請求項１記載のプラズマディスプレイ用蛍光基板製造用ペースト塗布装置を用いて同一の基板上に複数のペーストパターンを設けるプラズマディスプレイ用蛍光基板の製造方法であって、それぞれのペーストパターンの塗布開始位置近傍に設けた拭き取り手段を用いて前記吐出板の少なくともノズル孔周辺部を拭き取る拭き取り動作を行った後に、ノズルヘッドをそれぞれのペーストパターンの塗布開始位置に移動し、前記ノズルヘッドと前記基板とを相対移動させて前記基板上にペーストを塗布する塗布動作を行うことによってそれぞれのペーストパターンを形成することを特徴とするプラズマディスプレイ用蛍光基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペーストを塗布する位置が、予め溝などにより規定されたガラス等の基板にペーストを塗布するペースト塗布装置および方法に関し、特にプラズマディスプレイ用蛍光基板の高精度化およびその生産性の向上を可能とするペースト塗布装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、基板上にペーストパターンを描画作成するペースト塗布装置としては、ノズルを使用するものが知られている。
【０００３】
このようなペースト塗布装置においては、ノズル孔からペーストの吐出を繰り返すうちに吐出板にペーストが付着したり、ペーストの吐出前に経時的にノズルヘッドの内圧あるいはペーストの自重によりペーストがノズル孔から流出してノズル面上を広がるなどすることで、塗布開始端部における塗布量のばらつきが生じ基板上に均一にペーストを塗布できなくなることがあった。
【０００４】
また、従来の塗布方法は、１枚の基板内に１つのペーストパターンを形成するためのもので、例えば多面取り基板のように１枚の基板内に複数のペーストパターンを形成する場合には次のような問題があった。例えば、１つ目のペーストパターンを形成した後に連続で２つ目以降のペーストパターンを形成すると、２つ目以降のペーストパターンの塗布開始端部における塗布量のばらつきが生じ基板上に均一にペーストを塗布できなくなることがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来技術の問題点に対して、１回目のペーストパターンを形成した後に吐出板を拭き取るという方法が用いられている。しかし、この方法では、ノズルヘッドを拭き取り装置まで移動させる際、吐出板に付着したペーストや、経時的にノズルヘッドの内圧あるいはペーストの自重によりノズル孔から流出したペーストが、形成済みのペーストパターン上もしくはペーストパターンを形成する予定の基板上に落下することで、所望のペーストパターンを得られなくなるという問題が生じることがわかった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、ノズルヘッドの吐出板の汚れを防止することで、ペーストの付着や流出に起因するペースト塗布時のパターン不良の発生を防止し、同一基板上に複数のペーストパターンを描画形成できるペースト塗布装置および方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のプラズマディスプレイ用蛍光基板製造用ペースト塗布装置は、基板を固定するためのテーブルと、該テーブルに対向して設けられ、複数のノズル孔が穿設された吐出板を有するノズルヘッドを備え、該ノズルヘッドと該基板との相対位置関係を変化させて、同一の基板上に複数のペーストパターンを形成するプラズマディスプレイ用蛍光基板製造用ペースト塗布装置において、基板にペーストを塗布する前に、該吐出板の少なくともノズル孔周辺部を拭き取る拭き取り手段を複数設け、該複数の拭き取り手段を該複数のペーストパターンの塗布開始位置近傍にそれぞれ配したことを特徴とする。
【０００９】
また、複数の拭き取り手段をテーブルと一体に構成することもできる。ノズルヘッドとの位置関係を常に一定に保つことができ、吐出板の拭き取りを迅速に行うことができ、拭き取り工程の繰り返しによるペースト塗布装置の塗布サイクルの遅延を最小限に抑えることができるためである。
【００１０】
また、本発明のペースト塗布方法は、上述のプラズマディスプレイ用蛍光基板製造用ペースト塗布装置を用いて同一の基板上に複数のペーストパターンを設けるプラズマディスプレイ用蛍光基板の製造方法であって、それぞれのペーストパターンの塗布開始位置近傍に設けた拭き取り手段を用いて前記吐出板の少なくともノズル孔周辺部を拭き取る拭き取り動作を行った後に、ノズルヘッドをそれぞれのペーストパターンの塗布開始位置に移動し、前記ノズルヘッドと前記基板とを相対移動させて前記基板上にペーストを塗布する塗布動作を行うことによってそれぞれのペーストパターンを形成することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のペースト塗布装置および方法の望ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施態様に係るペースト塗布装置を示している。図１において、２は、基板（本実施態様においてはプラズマディスプレイ用発光基板）を示している。塗布装置はＸ軸方向に可動なテーブル５を有している。吐出板とペースト貯留部を有するノズルヘッド１は、ノズル支持部８によって支持されており、ノズル支持部８はＺ軸方向に可動なＺ軸方向駆動装置７に設置されている。Ｚ軸方向駆動装置７はＹ軸方向に可動なＹ軸方向駆動装置６に設置されており、Ｙ軸方向駆動装置６は支持台９に設置されている。塗布前の拭き取り作業を行う拭き取り装置４はテーブル５の横に設置されている。
【００１４】
図２は、ノズルヘッド１の概略断面図である。図２においてノズルヘッド１の吐出板１１には、多数個の吐液を吐出するノズル孔１２が一列に所定の間隔をもって穿設されている。ノズルヘッド１の内部はペースト１０とその上方に位置する気体空間から形成されている。ノズルヘッド１の上部には圧力気体導通孔１３が設けられ、管路からなる圧力気体導通路１７の一端が連結されている。圧力気体導通路１７の他端は、設定圧に維持された圧力気体を有する圧力気体源１５に開口されている。圧力気体導通路１７には方向切替弁からなる開閉手段１６が設けられ、開閉手段１６の開閉の切替により、気体空間と圧力気体源１５との運通と遮断が行われる。開閉手段１６はノズル孔１３と基板１の相対位置を検出し、開閉手段のタイミングを制御する図示しない位置検出、吐出制御手段にて開閉のタイミングが制御されるようになっている。
【００１５】
図３は、拭き取り装置の概略図である。図３においてロール上に巻き取られた拭き取り布２１の供給する巻き出しローラー１９と、ローラー１９から供給された拭き取り布２１でノズルヘッド１の吐出板３を拭き取る拭き取りローラー１８と、拭き取りローラー１８で吐出板３に付着したペーストを拭き取った拭き取り布２１を巻き取る巻き取りローラー２０とを有している。ただし、拭き取り装置には拭き取り布以外にも、スポンジ、ゴムなどを用いることができる。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の詳細につき実施例を用いてさらに説明する。
図４はＺ軸上方から見下ろした図１のペースト塗布装置の一部を示している。基板１０上には、複数（本実施態様においては２つ）のペーストパターン３を形成する。１つ目のペーストバターンは、１回目の拭き取り動作後にノズルヘッドが塗布開始位置へ移動し、塗布動作を行うことで形成される（２３）。その後、多面取り基板１上を移動する際は切断代２２上を通るように塗布後のノズルヘッドを移動させて、1回塗布後に拭き取り位置２７まで移動する（２４）。このとき、塗布後のノズルヘッドが切断代２２上を通るように移動させることで、吐出板に付着したペーストや経時的にノズルヘッドの内圧あるいはペーストの自重によりノズル孔から流出したペーストが形成済みのペーストパターン上もしくはペーストパターンを形成する予定の基板上に落下することを防ぐことができる。
【００１７】
２つ目のペーストバターンは、２回目の拭き取り動作後にノズルヘッドが塗布開始位置へ移動し、塗布動作を行うことで形成される（２５）。このとき、多面取り基板１上では切断代２２上を通るように塗布後のノズルヘッドを移動させることで、経時的にノズルヘッドの内圧あるいはペーストの自重によりノズル孔から流出したペーストが形成済みのペーストパターン上もしくはペーストパターンを形成する予定の基板上に落下することを防ぐことができる。
【００１８】
また、図５にはＹ軸方向可動拭き取り装置２７を設けた場合のＺ軸上方から見下ろしたペースト塗布装置を示している。このとき、拭き取り装置２７はＹ軸方向に延設されたレール（図示略）上を移動可能になっている。拭き取り装置２７が１回目の塗布動作２３と連動して第２拭き取り位置２８まで移動することで、１回塗布後のノズル動作２４と２回目の塗布動作２５におけるノズルヘッド１の移動距離を短縮することができる。したがって、迅速に拭き取り動作を行うことができ、装置のペースト塗布サイクルの遅延を最小限に抑制することができる。また、拭き取り位置２７と２８のそれぞれに拭き取り装置１４を設けることでも、同様の効果を得ることができる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明のペースト塗布装置および方法によれば、同一基板上に複数のペーストパターンを形成する際、各ペーストパターンを形成する前にノズルヘッドの吐出板の表面に付着したペーストを確実に、しかも迅速に拭き取ることができるので、複数のペーストパターンを形成する場合にも、均一な所望のパターンを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様にかかるペースト塗布装置を示す概略図。
【図２】ノズルヘッドの概略断面図。
【図３】拭き取り装置の概略図。
【図４】Ｚ軸上方から見下ろした塗布装置を示す概略図。
【図５】複数の拭き取り位置を設けたときのノズル動作をＺ軸上方から見下ろした際の概略図。
【符号の説明】
１  ノズルヘッド
２  基板
３  ペーストパターン
４  拭き取り装置
５  Ｘ軸方向可動テーブル
６  Ｙ軸方向駆動装置
７  Ｚ軸方向駆動装置
８  ノズル支持部
９  支持台
１０  ペースト
１１  吐出板
１２  ノズル孔
１３  圧力気体導通孔
１４  ペースト貯留部
１５  圧力気体源
１６  開閉手段
１７  圧力気体導通孔
１８  拭き取りロール
１９  巻き出しロール
２０  巻き取りロール
２１  拭き取り布
２２  切断代
２３  拭き取り動作および塗布動作（１回目）
２４  １回塗布後のノズル動作
２５  拭き取り動作および塗布動作（２回目）
２６  ２回塗布後のノズル動作
２７  Ｙ軸方向可動拭き取り装置の第１拭き取り位置
２８  Ｙ軸方向可動拭き取り装置の第２拭き取り位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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