(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺の振動体の一端に発振側の振動子を設けるとともに、他端に受波側の振動子を設け、該振動体に進行波を発生させてその放射圧により振動体の表面上で物体を浮揚させた状態で搬送する物体浮揚搬送装置であって、
前記発振側の振動子に設けられた電圧が供給されない圧電素子と、
前記圧電素子に接続されるとともにインピーダンスが可変の外部インピーダンスと、
前記発振側の振動子を励振させる励振手段と、
前記受波側の振動子の出力電圧を検出する出力電圧検出手段と、
前記振動体を振動させる振動系の環境温度を検出する温度検出手段と、
前記出力電圧検出手段及び温度検出手段の検出信号に基づいて、受波側の振動子のエネルギー変換用素子の出力電圧が所定の値未満となると振動系の基準温度における共振周波数と振動系の環境温度における共振周波数とのずれを修正するように前記外部インピーダンスを調整する制御手段とを備えた物体浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記振動系の基準温度における共振周波数と振動系の環境温度における共振周波数とのずれがない状態で前記出力電圧が所定の値未満となった場合は前記励振手段の出力を調整する請求項１に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項３】
前記受波側の振動子にも前記振動体を振動させる振動系のインピーダンスを調整するための外部インピーダンスが設けられている請求項１又は請求項２に記載の物体浮揚搬送装置。
【請求項４】
前記受波側のエネルギー変換用素子を、負荷回路と前記励振手段とに切換接続可能に構成し、前記発振側の振動子も前記負荷回路と前記励振手段とに切換接続可能に構成し、前記負荷回路及び励振手段と前記エネルギー変換用素子及び発振側の振動子との接続状態を切換える接続切換え手段により前記振動体から発生する進行波の向きを変更可能にした請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の物体浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば音波等の放射圧を用いて物体を浮揚状態で搬送する物体浮揚搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の物体浮揚搬送装置は、例えば特開平７−１３７８２４号公報、特開平９−２０２４２５公報等に開示されている。この装置は長尺の平板状の振動体を使用し、平行に配置された複数の振動体に進行波を発生させて、平板状の物体を振動体の振動による音波の放射圧で浮揚させた状態で搬送する。
【０００３】
物体浮揚搬送装置では、振動子として圧電素子（ピエゾ素子）を使用したランジュバン形振動子が使用されている。圧電素子を使用した振動子では、共振周波数で振動子を励振させることで、振動体を必要な強さ（振幅）で振動させる。
【０００４】
特開平５−１４６１７８号公報には、圧電素子を用いたステータを備えた振動モータにおいて、ステータに励振用の第１の圧電素子の他に、加えられる振動に応じた電圧を発生する第２の圧電素子を設け、第２の圧電素子に負荷インピーダンスを接続する構成が開示されている。そして、負荷インピーダンスの値を変えることにより、曲げ振動の共振周波数を変えることが可能なことが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
圧電素子を使用した振動子で振動体を励振させる振動系の場合、部品の製造誤差及び組み付けの誤差等により、振動体を含む振動系の共振周波数を所望の値に設定するには、振動子と振動体とを連結するホーンの研磨などにより、合わせ込む必要がある。そのため、装置を組み立てる際の周波数の調整に時間がかかり、コスト高となっていた。また、共振周波数は負荷（搬送すべき物体）の有無や、温度によっても変化するため、組立の際に所定の共振周波数に調整した場合でも、使用時に共振周波数が調整した値から変化する場合がある。そして、振動体を複数平行に配置して使用する構成の場合は、前記の問題が顕著になる。
【０００６】
特開平５−１４６１７８号公報には負荷インピーダンスの値を変えることにより、ステータの曲げ振動の共振周波数を変更可能なことが開示されているが、進行波を使用する物体浮揚搬送装置に関してはなんら記載がない。
【０００７】
本発明は前記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は長尺の振動体に進行波を発生させて物体を浮揚状態で安定して搬送することができる物体浮揚搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、長尺の振動体の一端に発振側の振動子を設けるとともに、他端に受波側の振動子を設け、該振動体に進行波を発生させてその放射圧により振動体の表面上で物体を浮揚させた状態で搬送する物体浮揚搬送装置であって、前記発振側の振動子に設けられた電圧が供給されない圧電素子と、前記圧電素子に接続されるとともにインピーダンスが可変の外部インピーダンスと、前記発振側の振動子を励振させる励振手段と、前記受波側の振動子の出力電圧を検出する出力電圧検出手段と、前記振動体を振動させる振動系の環境温度を検出する温度検出手段と、前記出力電圧検出手段及び前記温度検出手段の検出信号に基づいて、受波側の振動子のエネルギー変換用素子の出力電圧が所定の値未満となると振動系の基準温度における共振周波数と振動系の環境温度における共振周波数とのずれを修正するように前記外部インピーダンスを調整する制御手段とを備えた。
【０００９】
この発明では、物体は振動体から発生する進行波によって、発振側の振動子が設けられた側から受波側の振動子が設けられた側へ浮揚状態で振動体の表面に沿って搬送される。振動体を含む振動系の共振周波数が外部インピーダンスの値を変更することにより変更され、発振側の振動子を励振させた際に受波側の振動子が最も良く振動する共振周波数となる値に外部インピーダンスの値が設定された状態に調整される。そして、物体浮揚搬送装置を運転する際は、出力電圧検出手段及び温度検出手段の検出信号により受波側の振動子の振動状態が制御手段に確認され、受波側の振動子のエネルギー変換用素子の出力電圧又は出力電流が所定の値以上になるように、発振側の振動子を励振させる励振手段の出力及び前記外部インピーダンスの少なくとも一方が制御手段によって制御される。その結果、物体が振動体に沿って安定した浮揚状態で搬送される。
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記制御手段は、前記振動系の基準温度における共振周波数と振動系の環境温度における共振周波数とのずれがない状態で前記出力電圧が所定の値未満となった場合は前記励振手段の出力を調整する。この発明では、物体がより安定した浮揚状態で搬送される。
【００１０】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記受波側の振動子にも前記振動体を振動させる振動系のインピーダンスを調整するための外部インピーダンスが設けられている。この発明では、前記振動系の共振周波数を調整するのが容易になる。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記受波側のエネルギー変換用素子を、負荷回路と前記励振手段とに切換接続可能に構成し、前記発振側の振動子も前記負荷回路と前記励振手段とに切換接続可能に構成し、前記負荷回路及び励振手段と前記エネルギー変換用素子及び発振側の振動子との接続状態を切換える接続切換え手段により前記振動体から発生する進行波の向きを変更可能にした。
【００１２】
この発明では、発振側の振動子が設けられた側から振動体に沿って搬送される物体が停止位置に近づいたときに、発振側の振動子を負荷回路に接続するとともに受波側のエネルギー変換用素子を励振手段と接続することにより進行波の進行方向が変更されて物体が減速される。また、発振側の振動子及び受波側のエネルギー変換用素子の励振手段及び負荷回路への接続状態を短時間で交互に切り替えることにより、物体を所定位置で浮揚状態に保持できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を具体化した第１の実施の形態を図１及び図２に従って説明する。
【００１４】
図１に示すように、物体浮揚搬送装置１は複数（この実施の形態では２個）の長尺の振動体２ａ，２ｂを備えている。両振動体２ａ，２ｂは同じ大きさの矩形平板状に形成されるとともに、互いに平行に配置されて、搬送すべき物体３を両者で共同して浮揚搬送するようになっている。各振動体２ａ，２ｂの一端には発進側の振動子４がホーン５を介して連結され、他端には受波側の振動子６がホーン５を介して連結されている。ホーン５は偏平なほぼ直方体状に形成され、その先端において振動体２ａ，２ｂにその長手方向と直交する状態で図示しないネジにより締結されている。
【００１５】
各ホーン５は振動体２ａ，２ｂが締結される面の反対側の面において振動子４，６に固定されている。ホーン５の先端面は振動子４，６の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン５及び振動子４，６の中心軸が鉛直方向に延びる状態で配置されている。振動子４，６はそれぞれベースプレートに支持ブラケット（いずれも図示せず）を介して固定されている。
【００１６】
図２（ａ）に示すように、振動子４には所謂ランジュバン形振動子が使用されるとともに、励振用のピエゾ素子７ａ，７ｂの他にインピーダンス調整用のピエゾ素子（圧電素子）８ａ，８ｂを備えている。リング状の電極板９が間に配置された一対のリング状のピエゾ素子７ａ，７ｂと、リング状の電極板１０が間に配置された一対のリング状のピエゾ素子８ａ，８ｂとは、３個の金属ブロック１１ａ〜１１ｃの間に挟持された状態で、図示しないボルトによって締め付け固定されている。ボルトは金属ブロック１１ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック１１ｃ側から螺合されている。金属ブロック１１ａ〜１１ｃはボルトを介して互いに導通された状態となっている。
【００１７】
発振側の振動子４のピエゾ素子７ａ，７ｂは励振手段としての共通の発振器１２に接続されている。電極板９は配線１３ａを介して発振器１２と接続され、発振器１２の接地端子が配線１３ｂを介して金属ブロック１１ｃに接続されている。
【００１８】
また、インピーダンス調整用のピエゾ素子８ａ，８ｂは、金属ブロック１１ａ，１１ｂ間に設けられ、電極板１０とピエゾ素子８ａとの間に外部インピーダンス１４が配線を介して接続されている。外部インピーダンス１４は、例えばコイルと、コイルに挿通される鉄芯とを備え、鉄芯の挿入量を変更することでインピーダンスの値が変更可能に構成されている。ピエゾ素子８ａ，８ｂ及び外部インピーダンス１４がインピーダンス調整手段を構成する。
【００１９】
図２（ｂ）に示すように、各振動体２ａ，２ｂの他端側に締結された受波側の振動子６のエネルギー変換用素子としてのピエゾ素子１５ａ，１５ｂは、抵抗Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負荷回路１６に、電極板１７及び金属ブロック１１ｃを介してそれぞれ接続されている。受波側の振動子６にも発振側の振動子４と同様なインピーダンス調整手段が設けられている。
【００２０】
各振動子６にはピエゾ素子１５ａ，１５ｂに発生する電圧を検出する電圧センサ１８が装備されている。電圧センサ１８は受波側の振動子６の振動状態を検出する振動状態検出手段を構成する。
【００２１】
発振器１２は制御手段としての制御装置１９からの制御信号により駆動される。制御装置１９はＣＰＵ（図示せず）を備え、一方の電圧センサ１８がＡ／Ｄ変換器、インタフェース（いずれも図示せず）を介して、ＣＰＵに接続されている。制御装置１９は電圧センサ１８の検出信号に基づいて、ピエゾ素子１５ａ，１５ｂの出力電圧が所定の値以上になるように発振器１２の出力を制御する。この実施の形態では、主に周波数を制御する。
【００２２】
制御装置１９は振動系の基準温度における共振周波数と、振動系の環境温度の基準温度からのずれ量と、共振周波数のずれ量との関係を示すマップ又は関係式が記憶されたメモリ（図示せず）を備えている。制御装置１９は温度変化に応じて発振器１２の出力周波数を調整し、また、温度変化がない状態で電圧センサ１８の出力電圧が低下した場合は、発振器１２出力電圧を上昇させるように制御する。
【００２３】
次に前記のように構成された装置の作用を説明する。
物体浮揚搬送装置１は２個の振動体２ａ，２ｂから発生する進行波により物体３を搬送するため、両振動体２ａ，２ｂから発生する進行波の位相及び振幅が同等でないと、安定した浮揚状態で物体３を搬送することは難しい。
【００２４】
圧電素子を使用した振動子では、振動体を必要な強さ（振幅）で振動させるには共振周波数で振動子を励振させる必要がある。各振動体２ａ，２ｂが属する両振動系の共振周波数が同じに設定されていれば、振動子４を共通の発振器１２に接続することで、両振動体２ａ，２ｂは位相及び振幅が同等の状態で励振される。
【００２５】
部品の製造及び組み付けの誤差により、両振動系の共振周波数を最初から同一に製造するのは難しい。しかし、この実施の形態の振動子４，６にはそれぞれインピーダンスの値が可変の外部インピーダンス１４が装備されているため、各振動系毎に外部インピーダンス１４を調整することにより、各振動系の共振周波数を同等に調整できる。
【００２６】
従って、この実施の形態の物体浮揚搬送装置１は運転に先だって、外部インピーダンス１４の調整が行われる。外部インピーダンス１４の調整は、各振動系について所定の周波数（共振周波数）で振動子４を励振し、その状態で電圧センサ１８の出力電圧が最大となるように、外部インピーダンス１４を調整する。そして、調整が完了した後、物体浮揚搬送装置１が運転される。
【００２７】
制御装置１９からの制御信号により発振器１２が駆動されて、振動子４が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振される。振動子４が励振されるとホーン５が縦振動され、ホーン５を介して振動体２ａ，２ｂが励振されて撓み振動を行う。そして、振動体２ａ，２ｂから放射される音波の放射圧によって、物体３は振動体２ａ，２ｂの表面から浮揚する。浮揚距離は数１０〜数１００μｍである。
【００２８】
振動体２ａ，２ｂの振動は負荷回路１６に接続された振動子６に伝達され、振動子６を構成するピエゾ素子１５ａ，１５ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。この電気エネルギーが負荷回路１６の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、各振動体２ａ，２ｂに生じる振動の波が一方向へ進む進行波（この実施の形態では振動子４側から振動子６側へ進む進行波）となり、物体３は振動体２ａ，２ｂの一端側から他端側へ浮揚状態で搬送される。搬送の停止は発振器１２の駆動を停止することにより行われる。
【００２９】
制御装置１９は一方の電圧センサ１８の出力電圧が所定の値以上となるように発振器１２を制御する。具体的には、電圧センサ１８の出力電圧が所定値未満になると、図示しない温度センサの検出信号から、振動系の環境温度が、基準温度での共振周波数より共振周波数が大きくなる方向へずれているのか、小さくなる方向へずれているのかを判断し、ずれを修正するように発振器１２の周波数を変更する。また、出力電圧の低下が温度による共振周波数のずれ以外と判断したときは、発振器１２の出力電圧を上昇させる。その結果、物体３は安定した浮揚状態で搬送される。
【００３０】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）  発振側の振動子４に、電圧が供給されない圧電素子（ピエゾ素子８ａ，８ｂ）とインピーダンスが可変の外部インピーダンス１４とからなる調整手段が設けられている。従って、外部インピーダンス１４を調整することで振動体２ａ，２ｂを含む振動系のインピーダンスを調整でき、各振動系の共振周波数を変更できる。その結果、振動系が複数あっても、両振動系を同等の振幅で振動させて、物体３を安定した浮揚状態で搬送することができる。
【００３１】
（２）  受波側の振動子６の振動状態を検出する振動状態検出手段としてエネルギー変換用素子（ピエゾ素子１５ａ，１５ｂ）の出力電圧を検出する電圧センサ１８が使用されているため、受波側の振動子６の振動状態を簡単に検出できる。
【００３２】
（３）  制御装置１９が、電圧センサ１８の検出信号に基づいて、受波側の振動子６のピエゾ素子１５ａ，１５ｂの出力電圧が所定の値以上になるように発振器１２の出力を制御する。従って、温度変化や物体３の有無等により振動系の共振周波数が変化した場合にも、物体３の搬送に必要な振幅で振動体２ａ，２ｂを励振でき、物体３を安定した浮揚状態で搬送することができる。
【００３３】
（４）  温度変化や物体３の有無等により振動系の共振周波数が変化した場合に、制御装置１９が発振器１２の周波数を変化後の共振周波数に追随するように変更制御するため、より確実に振動体２ａ，２ｂを所定の振幅で振動させることができる。
【００３４】
（５）  受波側の振動子６にも振動体２ａ，２ｂを振動させる振動系のインピーダンスを調整するための外部インピーダンス１４が設けられている。従って、振動系の共振周波数を調整するのが容易になる。
【００３５】
（６）  調整手段がピエゾ素子８ａ，８ｂと外部インピーダンス１４との組合せで構成されているため、質量の異なる質量体を複数準備しておき、質量体を振動子４，６に螺着させて共振周波数の初期調整を行う構成に比較して、共振周波数の調整作業が容易になる。
【００３６】
（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態を図３に従って説明する。この実施の形態では振動体が１個の点と、進行波の進行方が変更可能に構成されている点が前記実施の形態と大きく異なっている。なお、前記実施の形態と同一部分は同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００３７】
長尺の振動体２ａの一端側（発振側）に設けられた振動子４のピエゾ素子７ａ，７ｂと、他端側（受波側）に設けられた振動子６のピエゾ素子１５ａ，１５ｂは、発振器１２と負荷回路１６とに接続切換え手段２０を介して選択的に切り換え接続可能に構成されている。接続切換え手段２０には電磁リレーが使用され、図３に示すように、発振器１２のプラス端子及び負荷回路１６にピエゾ素子７ａ，７ｂの電極板９とピエゾ素子１５ａ，１５ｂの電極板１７とが電磁リレーの第１のｃ接点２１及び第２のｃ接点２２を介して接続されている。第１のｃ接点２１の共通端子２１ｃに発振器１２のプラス端子が、常開端子２１ａに電極板１７が、常閉端子２１ｂに電極板９がそれぞれ接続され、第２のｃ接点２２の共通端子２２ｃに負荷回路１６の一端が、常開端子２２ａに電極板９が、常閉端子２２ｂに電極板１７がそれぞれ接続されている。発振器１２の接地端子には負荷回路１６の他端と、振動子４，６の金属ブロック１１ｃとがそれぞれ接続されている。また、各振動子４，６にはピエゾ素子８ａ，８ｂ及び外部インピーダンス１４が装備されている。両ｃ接点２１，２２は、一方が常開端子と接続している状態では他方が常閉端子と接続するように、互いに異なる接続状態となるように連動して切り換え作動されるように構成されている。
【００３８】
制御装置１９には物体３が受波側の停止位置近傍に達したことを検出する図示しないセンサの出力が入力されるようになっている。
この実施の形態においては、常には図３に示すように、振動子４のピエゾ素子７ａ，７ｂが第１のｃ接点２１を介して発振器１２に接続され、振動子６のピエゾ素子１５ａ，１５ｂが第２のｃ接点２２を介して負荷回路１６に接続されている。そして、発振器１２が駆動されると、物体３は１個の振動体２ａから発生する進行波により、発振側から受波側に向かって浮揚状態で搬送される。
【００３９】
制御装置１９は物体３が停止位置近傍に達したことを確認すると、接続切換え手段２０を作動させ、第１及び第２のｃ接点２１，２２の接続状態を図３と逆の状態に切り換える。その結果、受波側の振動子６のピエゾ素子１５ａ，１５ｂが発振器１２に接続され、発振側の振動子４のピエゾ素子７ａ，７ｂが負荷回路１６に接続された状態となり、進行波が振動子６側から振動子４側へ進む状態となり、物体３が浮揚状態で減速される。そして、所定の停止位置に達した時点で発振器１２を停止させると、物体３は停止して振動体２ａ上に載置される。また、所定の停止位置に達した時点で、接続切換え手段２０を第１及び第２のｃ接点の接続状態が短時間で交互に切り換えられるように作動させると、物体３は浮揚状態で所定位置に保持される。
【００４０】
なお、振動系のインピーダンスの調整は前記実施の形態と同様にして、外部インピーダンス１４を調整することにより行われる。また、電圧センサ（図示せず）の出力電圧が所定値以上となるように、制御装置１９により発振器１２の出力が変更される。
【００４１】
この実施の形態では前記実施の形態の（１）〜（６）の効果の他に次の効果を有する。
（７）  発振側及び受波側の振動子４，６を、それぞれ負荷回路１６と発振器１２（励振手段）とに接続切換え手段２０を介して選択的に切り換え接続可能に構成した。従って、物体３が停止位置近傍に達した時点で、進行波の向きを変更することにより物体３の浮揚状態で減速を良好に行うことができる。また、接続切換え手段２０による切り換えを短時間で繰り返すことにより、所望の位置に浮揚状態で保持することもできる。
【００４２】
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○  荷の有無を検出するセンサを設け、荷有りの時と荷無しの時で発振器１２の出力電圧を切り換えるようにしてもよい。また、荷の重量に対応して出力電圧を調整する構成としてもよい。例えば、制御装置１９のメモリに、荷の重量と適正出力電圧との関係を記憶させておき、荷（物体３）の重量に対応して適正出力電圧を決定して、発振器１２から出力させる。荷の重量は予め判っている物が多いため、発振器１２の出力を適正に制御するのが容易になる。この場合、電圧センサ１８の出力に基づいて、その出力電圧が所定値未満になったときに、発振器１２の出力周波数を変更する制御は前記実施の形態と同様に実施する。
【００４３】
○  前記受波側の振動子の振動状態をエネルギー変換用のピエゾ素子１５ａ，１５ｂの出力電圧で判断する代わりに、出力電流の大きさで振動状態を判断したり、受波側の振動子６の振動の位相が発振側の振動子４の振動の位相とずれているか否かで判断してもよい。そして、出力電流で判断する場合、振動状態検出手段として電流センサ又は電圧センサを設ける。位相がずれているか否かで判断する場合は、例えば位相比較器を設ける。
【００４４】
○  エネルギー変換用素子（ピエゾ素子１５ａ，１５ｂ）の出力電圧又は出力電流が所定の値以上になるように発振器１２の出力を制御する構成に代えて、外部インピーダンス１４のインピーダンスを変更する構成としてもよい。この場合、外部インピーダンス１４を構成する鉄芯を自動的に移動させる機構、例えば電気シリンダ、リニアアクチュエータ等を設け、制御装置１９からの指令で鉄芯を移動させる。また、発振器１２の出力と外部インピーダンス１４の値の両方を調整するようにしてもよい。
【００４５】
○  発振側の外部インピーダンス１４を要素に含むブリッジ回路を設け、ブリッジ回路の出力が一定になるように外部インピーダンス１４を調整する構成としてもよい。
【００４６】
○  外部インピーダンス１４はコイルに限らず、コイルとコンデンサあるいはコンデンサと抵抗とを組み合わせた回路を設け、コンデンサの容量を変更してインピーダンスを調整する構成としてもよい。
【００４７】
○  外部インピーダンス１４の調整を定期的に行ってもよい。
○  各振動子４，６に調整手段を構成するための圧電素子（ピエゾ素子８ａ，８ｂ）及び外部インピーダンス１４を設ける必要は必ずしもなく、受波側の振動子６のピエゾ素子８ａ，８ｂ及び外部インピーダンス１４を省略してもよい。この場合、調整手段の数が少なくなり、製造コストを低減できる。
【００４８】
○  振動子４のピエゾ素子７ａ，７ｂとピエゾ素子８ａ，８ｂとの間に金属ブロック１１ｂを設けずに、図４に示すように、金属ブロック１１ａ，１１ｃの間に励振用のピエゾ素子７ａ，７ｂ、電極板９、共振周波数調整用のピエゾ素子８ａ，８ｂ及び電極板２３を挟持した構成としてもよい。この場合、図２（ａ）のものより構成が簡単になり、同様な効果が得られる。また、受波側の振動子６のピエゾ素子１５ａ，１５ｂとピエゾ素子８ａ，８ｂも同様な構成で組み付けてもよい。
【００４９】
○  ホーン５の形状は扁平な直方体状に限らず、円柱状や円錐台状等先端側が細くなった形状としてもよい。
○  浮揚保持する物体３の形状は矩形等の四角形に限らず、三角形や他の多角形あるいは円形等任意の形状としてよい。
【００５０】
○  振動体２ａ，２ｂのホーン５への固定はネジによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
前記実施の形態から把握される技術思想について、以下に記載する。
【００５１】
（１）  請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記制御手段は前記励振手段の周波数を制御する。
（２）  請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記制御手段は、前記外部インピーダンスの値を調整する。
【００５２】
（３）  請求項１〜請求項４、（１）及び（２）のいずれかに記載の発明において、前記制御手段は、前記振動体上の荷の有無に基づいて、前記励振手段の出力電圧を制御する。
【００５３】
（４）  請求項１〜請求項４、（１）〜（３）のいずれかに記載の発明において、前記振動体は複数、平行に配置され、励振側の振動子は共通の発振器に接続されている。
【００５４】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、長尺の振動体に進行波を発生させて物体を浮揚状態で安定して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１の実施の形態の物体浮揚搬送装置の概略斜視図。
【図２】  （ａ）は発振側の振動子の模式正面図、（ｂ）は受波側の振動子の模式正面図。
【図３】  第２の実施の形態の物体浮揚搬送装置の模式図。
【図４】  別の実施の形態の発振側の振動子の模式正面図。
【符号の説明】
１…物体浮揚搬送装置、２ａ，２ｂ…振動体、４…発振側の振動子、３…物体、５…ホーン、６…受波側の振動子、７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ…圧電素子としてのピエゾ素子、１２…励振手段としての発振器、１４…外部インピーダンス、１５ａ，１５ｂ…エネルギー変換素子としてのピエゾ素子、１６…負荷回路、１８…振動状態検出手段としての電圧センサ、１９…制御手段としての制御装置、２０…接続切り換え手段。
【図１】
0003975667.tif 000002
【図２】
0003975667.tif 000003
【図３】
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【図４】
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