(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体パッケージの端子の平坦度を検査する半導体パッケージの検査装置において、
前記半導体パッケージの端子部を所定の角度をもって斜め上方から撮像する撮像手段と、
この撮像手段の撮像データに基づいて前記半導体パッケージの端子の平坦度を検査する検査手段と、
前記半導体パッケージを収容する容器と、
前記半導体パッケージの端子部分をＰ偏光波で照明する照明手段と、
を具え、
前記撮像手段の前記撮像方向を前記容器の側面壁に対してブリュースタ角に設定するようにした半導体パッケージの検査装置。
【請求項２】
前記撮像手段は、
前記半導体パッケージの上方に配置されてその撮像軸が前記半導体パッケージの上面に対して略直角に設定されている１台の視覚カメラ手段と、
前記半導体パッケージと前記視覚カメラ手段の間に配設され、前記視覚カメラ手段によって前記半導体パッケージの端子部を所定の角度をもって斜め上方方向から撮像するよう前記視覚カメラ手段の視野内に半導体パッケージの端子部の像を導く導光手段と、
を具える請求項１記載の半導体パッケージの検査装置。
【請求項３】
前記導光手段は、ミラーまたはプリズムである請求項２記載の半導体パッケージの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体パッケージ端子の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
ＣＣＤカメラ等で捕らえた被検査対象の映像を画像処理して検査、形状認識などの処理を行わせる際、ＣＣＤカメラの焦点を被検査対象に合わせることが、精度のよい撮像を行う上で必須となる。
【０００３】
しかし、被検査対象の異なる面を撮像する際や、複数の被検査対象のＣＣＤカメラまでの光路長が異なる場合には、被検査対象の一部にカメラの焦点を合わせると、その他の部分はピントがぼけてしまう。
【０００４】
すなわち、図３３に示すように、ＣＣＤカメラまでの距離が異なる２つの平面Ａ，Ｂを１つのＣＣＤカメラで撮像しようとした場合、平面Ａにカメラの焦点を合わせると、平面Ｂの図形はぼけてしまうという問題がある。
【０００５】
また、上記ＣＣＤカメラなどの撮像装置を用いた検査として、半導体パッケージの検査がある。この半導体パッケージの検査項目としては、
(1)リードの平坦度（コプラナリティ）の検査
(2)リードのピッチばらつき、位置ズレの検査
(3)パッケージ上面に刻印されたマークの文字欠け、かすれ、位置ズレ等の検査
などがある。
【０００６】
ここで、表面実装タイプのＳＯＰ（small outline package）等のＩＣパッケージのリードの平坦度を検査する際には（図３４に示すように、浮いたリードを有するＩＣを発見する）、図３５(b)に示すように、ＩＣを側方から撮像したＩＣ側面画像が必要になる。
【０００７】
そこで、このようなリード平坦度検査を来なう際、従来は、図３５(a)に示すように、カメラをＩＣの側方に配設するようにしていた。このようにカメラをＩＣの側方に配設する手法は、ＩＣが平らなトレイ上に載置されている際には、ＩＣ画像を適格に捕らえることができる。
【０００８】
しかし、ＩＣが図３６に示すようなエンボステープＥに収納されている場合には、カメラをＩＣ側方に配していたのでは、ＩＣ側面画像を得ることは不可能である。ここで、エンボステープＥは、製造後のＩＣを多数個ストックするために用いられ、黒色のプラスチック材料から成っている。また、併設された複数のＩＣ収納部ＥＡにはそれぞれＩＣを１個ずつが収納できるような四角形の段差が形成されている。なお、ＩＣをストックする際には、エンボステープＥはリールに巻回される。
【０００９】
すなわち、ＩＣストッカとしてエンボステープが用いられる場合には、ＩＣは製造後エンボステープに収容されるように工程手順が設定されているが、従来技術のように、リード平坦度検査を来なう際にカメラをＩＣの側方に配置するようにしていたのでは、ＩＣを平らなトレイ上に載置するという工程を追加しなくてはならず、製造効率の面で不利である。そこで、ＩＣをエンボステープに収容したままの状態でリード平坦度検査をなし得るための検査手法が望まれていた。
【００１０】
ところで、半導体のパッケージ検査には、前述したように、リードの平坦度検査の他にパッケージ上面に刻印されたマークの文字欠け、かすれ、位置ズレ等の検査があるが、この検査を行うためには半導体パッケージの上面の平面図像が必要となる。そこで、従来は、半導体の側方及び上方にそれぞれ各別のカメラを配置し、これらカメラの撮像データに基づいて上記の各検査を行うようにしていたので、多くのカメラが必要になり、コスト高になる、カメラ用に多くのスペースを必要にする、多くのカメラをバランス良く調整するのが難しい等の不都合がある。
【００１１】
この発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、撮像手段までの光路長の異なる複数の被検査対象を１台の撮像手段で撮像するに際し、全ての被検査対象に対して焦点を同時に合わせることができるようにして、撮像に要する時間を短縮すると共に、撮像エリアの全領域で高品質の撮像画像を得ることができるようにした被検査物の撮像装置を提供することを目的とする。
【００１２】
またこの発明では、収容容器に収容された半導体パッケージでも端子部の平坦度検査をなし得るようにした半導体パッケージの検査装置を提供することを目的とする。
【００１３】
またこの発明では、半導体パッケージのリードの平坦度検査を半導体パッケージのパッケージ面のほぼ真上または真下に配した１台のカメラによる撮像画像にのみに基づいて行えるようにした半導体パッケージの検査装置を提供することを目的とする。
【００１４】
またこの発明は、半導体パッケージの上面検査と側面端子部との検査を１台の撮像手段を用いてなし得るようにした半導体パッケージの検査装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段及び作用効果】
この発明では、半導体パッケージの端子の平坦度を検査する半導体パッケージの検査装置において、半導体パッケージの端子部を所定の角度をもって斜め上方から撮像する撮像手段と、この撮像手段の撮像データに基づいて半導体パッケージの端子の平坦度を検査する検査手段とを具えるようにしている。
【００２０】
係る発明によれば、半導体パッケージの端子部を所定の角度をもって斜め上方から撮像し、この撮像データに基づいて半導体パッケージの端子の平坦度を検査するようにしたので、半導体パッケージがエンボステープなどの収容容器に収容されている状態で端子の平坦度検査を行うことができ、これにより検査の際にいちいち半導体パッケージを平坦なトレイ上に配置する必要がなくなり、検査作業を短縮化できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施例を添付図面に従って詳細に説明する。
【００２６】
〔第１実施例〕
図１にこの発明の第１実施例を示す。この第１実施例は、本発明の１つの発想を原理的に示すものである。
【００２７】
図１において、ＣＣＤカメラ１は、カメラ１までの距離が異なる２つの平面Ａ，Ｂを撮像する。これら平面Ａ，Ｂ間の距離をｄとする。
【００２８】
ここで、カメラ１までの距離が長い平面Ａとカメラ１との間の光路上には、屈折率Ｒが空気と異なる（この場合はＲ＞１）、光透過率の高い、例えば石英硝子から成る光学部材４を介在させており、この光学部材４の介在によって、平面Ａ，Ｂの撮像距離の差を吸収するようにしている。
【００２９】
光学部材４の厚さをＴとすると、この部材４の光学的な厚さは、空気換算（空気の屈折率は１とする）でＴ／Ｒとなる。したがって、図１において、ＣＣＤカメラ１の焦点があった撮像面Ｊが平面Ａの位置にあったとした場合、ＣＣＤカメラ１と平面Ｂの間に光学部材４を介在させると、その場合の撮像面位置は平面Ｂの方にＴ（１−(１／Ｒ)）だけ遠ざかることになる。
【００３０】
このため、平面Ｂについての撮像面位置を平面Ａから距離ｄだけ遠ざけようとすれば、
ｄ＝Ｔ（１−(１／Ｒ)）
で定めることができる光学部材４をＣＣＤカメラ１と平面Ｂの間に介在させることで実現することができる。
【００３１】
上式をＴについて解くと、下式（１）が成立する。
【００３２】
Ｔ＝ｄＲ／（Ｒ−１）            …（１）
したがって、この第１実施例では、上式（１）が成立する厚さＴの光学部材を被検査対象とカメラ１との間に挿入して、各被検査対象までの光路長差を吸収して、全ての被検査対象に同時に焦点を合わせられるようにしている。
【００３３】
ここで、ｄ＝５ｍｍとし、光学部材２を石英硝子とすると、その屈折率Ｒ＝１．５１６８なので、
Ｔ＝１４．７…
なので、約１５ｍｍの石英硝子を配置すればよい。
【００３４】
〔第２実施例〕
図２にこの発明の第２実施例を示す。
【００３５】
図２(a)の実施例は上記第１の実施例をＩＣパッケージ（ＳＯＰ）の検査に適用したものであり、また図２(b)の実施例は第１の実施例をリード付きコネクタの検査に適用したものである。
【００３６】
すなわち図２(a)では、ガルウィング状のリード６を有するＳＯＰ５の上方に配した１台のＣＣＤカメラ１の撮像データに基づき、ＳＯＰ上面に刻印されたマークの文字欠け等の検査と、リード６の平坦度の検査とを行うようにしており、このため、ＳＯＰ５の上面画像Ｚと側面画像Ｗとが必要になる。
【００３７】
ここで、ＳＯＰ５の上面画像はそのままカメラ１で撮像する事ができるが、ＳＯＰ５の側面画像はそのままではカメラ１で撮像することはできない。そこで、この第２の実施例では、ＳＯＰ５の両側方に石英硝子などで構成される、反射面７ａを有するプリズムミラー７を配設するようにしている。
【００３８】
また、この構成の場合、ＳＯＰ５の上面からカメラ１までの光路長と、ＳＯＰ５の側面からプリズムミラー７を経由してカメラ１に至る光路長には、差があるために、プリズムミラー７の厚さを先の第１の実施例の第（１）式に基づいて計算した値に設定するようにして、上記光路長の差を吸収するようにしている。
【００３９】
このようにこの実施例によれば、１台のカメラ１でＩＣパッケージ５の上面画像及び側面画像を同一画面上に撮像し、かつその際これら両撮像画像に対し同時に焦点を合わせることができるので、検査精度及び検査速度を向上させることができる。
【００４０】
次に、図２(b)においては、リード付きコネクタ８の上方に配した１台のＣＣＤカメラ１の撮像データに基づき、コネクタ８の上面に形成されたギャップ（嵌合部）９の検査と、実装リード１１の平坦度の検査とを行うようにしており、このため、図２(a)の実施例と同様、コネクタ７の上面画像Ｚと側面画像Ｗとが必要になる。
【００４１】
そこで、この図２(b)の実施例においても、コネクタ８の側方にプリズムミラー７を配設すると共に、このプリズムミラー７の厚さを先の第１の実施例の第（１）式に基づいて計算した値に設定するようにして、光路長の差を吸収するようにしている。
【００４２】
〔第３実施例〕
図３にこの発明の第３実施例を示す。この図３に示す第３実施例から図１８に示す第１５実施例までは、ＩＣパッケージ（この場合ＳＯＰ）５が前述したエンボステープＥに収容されている場合を想定しており、この状況下ではＳＯＰ５のリード平坦度検査に必要なＳＯＰ５の側面画像は、カメラをＳＯＰ５の側面に正対させたのでは撮像することができない。また、このような状況下では、先の第２の実施例のように、ＳＯＰ５の側方にプリズムミラー６を配設することもできない。
【００４３】
そこで、この第３実施例では、所定の角度θをもって斜め上方向から撮像するＣＣＤカメラ２，３によってＳＯＰ５のリード６を撮像し、この撮像データに基づいてリード６の平坦度検査を行うようにしている。
【００４４】
なお、ＳＯＰ５の上面画像は、通常通りＳＯＰ５の上方に正対させたカメラ１で撮像するようにしており、この撮像データに基づいてＳＯＰ５の上面の刻印マークの検査が行われる。
【００４５】
すなわちこの第３実施例では、図４に示すように、浮いたリードと正常なリードとでは、ｘ´方向のリード先端位置が異なるため、これを斜め方向からのカメラ２で撮像して検出することにより、リード６の平坦度検査を行なうことができる。
【００４６】
なお、この場合、ＳＯＰ５の上方に設けたカメラ１でもリード６を撮像するようにすれば、浮いたリードと正常なリードとのｘ方向の位置ズレを検出することができるので、これらカメラ１および２の撮像データに基づいてリード６のｚ方向の座標位置を算出するようにすれば、カメラ２のみに比べより正確な検査をなし得る。
【００４７】
〔第４実施例〕
図５にこの発明の第４実施例を示す。
【００４８】
この第４実施例では、先の第３の実施例で行っていたＳＯＰ５の上面の刻印マーク検査とリード平坦度検査を１台のＣＣＤカメラ１で行うようにする。
【００４９】
すなわちこの場合は、カメラ１の視野エリアの中央領域１−ａではＳＯＰ５の上面画像が真上から撮像するようにするとともに、カメラ１の視野エリアの端部領域１−ｂ，１−ｃではＳＯＰ５のリード部６を所定の角度θをもって撮像できるようにミラー１２の配設位置および配設角度を調整している。したがって、この第４実施例においても、先の第３の実施例と実質的に同じＳＯＰ５のリード部像を得ることができる。
【００５０】
このようにこの実施例では、ＣＣＤカメラ１の視野エリアの中央部１−ａをＳＯＰ５のマーク検査用の上面画像として用い、同ＣＣＤカメラ１の視野エリアの側端部１−ｂ，１ーｃをＳＯＰ５のリード６の平坦度測定用の画像として用いるようにしており、このため、この実施例では先の第３の実施例に比べ、コスト、スペース、カメラの位置調整の容易さなどの面で有利となる。
【００５１】
また、この実施例においては、ＣＣＤカメラ１の撮像画像に、ＳＯＰ５のリード６を２つの異なる方向から撮像したデータが得られるので、この撮像データを用いて各リード６の先端の高さ方向の座標位置を三角測量を用いて計測することができるようになる。すなわち、この実施例では１台のカメラによる撮像データのみを用いてリード先端のコプラナリティの検査を三角測量法を用いて高精度に行うことができる。
【００５２】
〔第５実施例〕
図６にこの発明の第５実施例を示す。
【００５３】
この第５実施例においては、先の第４の実施例のミラー１２の代わりにプリズム１３を配置し、このプリズム１３によってＳＯＰ５のリード部６を斜め上方から撮像した像をカメラ１に導くようにしている。また、この実施例では、２つのプリズム１３の間に間隔を設け、この間隙を介してＳＯＰ５の上面像がカメラ１に入射されるようにしている。
【００５４】
したがって、この実施例においては、プリズム１３によって、ＳＯＰ５の上面からカメラ１までの光路長と、ＳＯＰ５のリード部からプリズム１３を経由してカメラ１に至る光路長との差を吸収することにより、これら両撮像対象（ＳＯＰの上面およびリード部）に対して同時に焦点を合わせることができるようにしている。すなわち、この場合、プリズム１３の厚さ及び屈折率は、先の第（１）式に基づいて設定するようにしている。
【００５５】
〔第６実施例〕
図７にこの発明の第６実施例を示す。
【００５６】
この第６実施例では、２つのプリズム１３を間隙無く並べて配置し、カメラ１に対してＳＯＰ５のリード部分の像のみを入射するようにしている。すなわち、この場合は、ＳＯＰ５の上面の平面図像はカメラ１には入射するようにはしていない。
【００５７】
〔第７実施例〕
図８にこの発明の第７実施例を示す。
【００５８】
この第７実施例においても、ＳＯＰ５のリード部分の像のみをプリズム１３を介してカメラ１に入射するようにしているが、この場合には、図面上、右側のリード部像はカメラ１の右側の視野エリアに入射され、また左側のリード部像はカメラ１の左側の視野エリアに入射されるようになっている。
【００５９】
〔第８実施例〕
図９にこの発明の第８実施例を示す。
【００６０】
この第８実施例においては、図８に示した第７実施例の２つのプリズム１３間に間隙を設け、この間隙を介してＳＯＰ５の上面像がカメラ１に入射されるようにしている。
【００６１】
またこの場合、プリズム１３の厚さ及び屈折率は、先の第（１）式に基づいて設定するようにしており、ＳＯＰの上面像およびリード部像に対して同時に焦点を合わせることができる。
【００６２】
〔第９実施例〕
図１０にこの発明の第９実施例を示す。
【００６３】
この第９実施例においては、２つのプリズム１４のＳＯＰ５の上面上に位置する部分１５を省略することにより、これらプリズム１４がＳＯＰ５の上面の撮像の邪魔にならないようにしている。
【００６４】
この実施例においても、プリズム１４の厚さ及び屈折率は、先の第（１）式に基づいて設定するようにして、ＳＯＰの上面像およびリード部像に対して同時に焦点を合わせることができるようにしている。
【００６５】
なお、前述した各実施例においては、照明については特に言及してはいないが、図２、図６〜図１０などに示す実施例のようにプリズムを用いる場合は、波長分散が生じ、虚報の原因となるので、照明としては単色の光源を用いるようにしたほうが好ましい。
【００６６】
〔第１０実施例〕
この第１０実施例は、ＳＯＰ５がエンボステープＥ内のＩＣ収納部ＥＡからずれた場合の不具合を解消しようとするものである。
【００６７】
すなわち、図１１(c)に示すように、ＳＯＰ５のリード６をカメラで真上から撮像しようとした場合、図１１(a)に示すように、ＳＯＰ５がエンボステープＥ内のＩＣ収納部ＥＡからずれると、図１１(a)(b)に示すように、エンボステープＥの側面壁ＥＧにリード６の反射像が映ってしまい、カメラには図１１(c)に示すように、リード像だけでなく側面壁でのリード反射像も入射されてしまう。この結果、このような場合には、リードの測定精度が悪くなったり、検査不能になったりする不都合が発生することになる。
【００６８】
そこで、この第１０実施例では、ＳＯＰ５のリード部に対する照明をＰ偏光にすると共に、カメラの撮像方向をエンボステープＥの側面壁に対してブリュースタ角ψBの付近（ブリュースタ角±２０゜）に一致させるようにする。
【００６９】
すなわち、エンボステープＥの表面における入射角ψに対する振幅反射係数γを、Ｐ偏光波（γp）およびＳ偏光波（γs）についてそれぞれ求めると、図１２に示すようになる。
【００７０】
この図１２に示される反射特性によれば、エンボステープに対する入射角ψがブリュースタ角（通常５０゜〜６０゜）の付近になると、Ｐ偏光の反射が零になる。
【００７１】
したがって、図１３に示すように、ＳＯＰ５のリード部に対する撮像用照明をＰ偏光にすると共に、カメラの撮像方向をエンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBに一致させるようにすれば、エンボステープ側面壁ＥＧでの反射光はカメラに映らないようになり、前述した不具合を解消することができるようになる。
【００７２】
〔第１１実施例〕
図１４にこの発明の第１１実施例を示す。
【００７３】
この第１１実施例は、先の図１３に示す第１０実施例を具現化したもので、左右両リード部をそれぞれ撮像すべく２台のカメラ２，３を配設するようにしている。すなわち、カメラ２で図面上右側リード部を撮像し、カメラ３で左側リード部を撮像する。ここで、各カメラ２，３の撮像方向は、エンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBに一致させるようにしている。
【００７４】
また、リード部に対する照明として、照明２０，２１と、各照明光をＰ偏光にする偏光板２２，２３を設けている。なお、照明２０，２１の種類、配設位置などは、リード部を好適に照明できるものであれば任意である。
【００７５】
〔第１２実施例〕
図１５にこの発明の第１２実施例を示す。
【００７６】
この第１２実施例では、１台のカメラ１でＳＯＰ５の左右両リード部を撮像するために、４つのミラー２４〜２７を配設するようにしている。この場合においても、左右リード部に対するカメラ１の撮像方向は、エンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBになるようにミラー２４〜２７の配設位置および配設角度が設定されている。また、リード部に対する照明として、前記同様、照明２０，２１と、各照明光をＰ偏光にする偏光板２２，２３を設けている。
【００７７】
〔第１３実施例〕
図１６にこの発明の第１３実施例を示す。
【００７８】
この第１３実施例は、先の図６に示す第５実施例に対し、エンボステープでの反射光を防止する前述した構成を追加したものであり、このためカメラ１の視野エリアの側部領域１−ｂ，１−ｃに関するカメラ１の撮像方向がエンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBに一致するように、プリズム１３を設定するとともに、リード部に対する照明として、照明２０，２１と、各照明光をＰ偏光にする偏光板２２，２３を設けている。
【００７９】
〔第１４実施例〕
図１７にこの発明の第１４実施例を示す。
【００８０】
この第１４実施例は、先の図８に示す第７実施例に対し、エンボステープでの反射光を防止する前述した構成を追加したものであり、このためカメラ１の撮像方向がエンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBに一致するように、プリズム１３を設定するとともに、リード部に対する照明として、照明２０，２１と、各照明光をＰ偏光にする偏光板２２，２３を設けている。
【００８１】
〔第１５実施例〕
図１８にこの発明の第１５実施例を示す。
【００８２】
この第１５実施例は、先の図１０に示す第９実施例に対し、エンボステープでの反射光を防止する前述した構成を追加したものであり、このためカメラ１の撮像方向がエンボステープＥの側面壁に対して略ブリュースタ角ψBに一致するように、プリズム１３を設定するとともに、リード部に対する照明として、照明２０，２１と、各照明光をＰ偏光にする偏光板２２，２３を設けている。
【００８３】
〔第１６実施例〕
図１９にこの発明の第１６実施例を示す。
【００８４】
この実施例では、ＳＯＰ５の上方にプリズム１３を配し、さらにその上方にカメラ１を配するようにしており、プリズム１３を介在させることによりＳＯＰ５のリード先端像を１台のカメラ１で２つの異なる方向から撮像できるようにしている。すなわち、ＳＯＰ５の左リード端子Ｌnは光路Ａ，Ｃを経由してその像がカメラ１に入射され、右リード端子Ｒnは光路Ｂ，Ｄを経由してその像がカメラ１に入射される。
【００８５】
図２０(a)はＳＯＰ５を上方からみた平面図であり、ＳＯＰ５は左リード端子Ｌ1〜Ｌn及び右リード端子Ｒ1〜Ｒnを有している。図２０(b)は図２０(a)に示すＳＯＰ５をカメラ１によって撮像した画像を示すもので、各リード端子Ｌ1〜ＬnおよびＲ1〜Ｒnは、カメラ１による１つの撮像画像内で２つの異なるｘ方向位置に撮像像Ｌ1A〜ＬnA，Ｌ1C〜ＬnCおよびＲ1A〜ＲnA，Ｒ1C〜ＲnCとしてそれぞれ写されている。例えば、左リード端子Ｌ1は、カメラ１による撮像画像中でＬ1AおよびＬ1Cの２箇所に写されている。
【００８６】
なお、この場合は、カメラ１には、プリズム１３を経由しない光路Ａ，Ｃによるリード像と、プリズム１３を経由した光路Ｂ，Ｄによるリード像が入射されるが、これら光路長差を吸収できるようにプリズム１３の屈折率および厚さを設定するようにしている。
【００８７】
制御部２５では、カメラ１の撮像画像に基づいて三角測量の原理を用いてリード端子Ｌ1〜ＬnおよびＲ1〜Ｒnのｚ方向の高さ位置を演算する。すなわち、カメラ１には、各リード端子Ｌ1〜Ｌn，Ｒ1〜Ｒnを２つの異なる方向から撮像したリード端子像Ｌ1A〜ＬnA，Ｌ1C〜ＬnCおよびＲ1A〜ＲnA，Ｒ1C〜ＲnCが写し出されるので、それらのｘ座標を用いて各リード端子Ｌ1〜Ｌn，Ｒ1〜Ｒnのｚ座標を求めることができる。勿論、三角測量を用いてリード先端のｘ−ｙ位置を求めることもできる。
【００８８】
図２１は、三角測量を用いてリード先端のｚ方向座標位置を求めるための基本原理を説明するための図である。
【００８９】
図２１において、点Ｐを正常な設置状態のリード先端位置とし、点Ｐ´を或るリードの実際の先端位置であるとし、これら点ＰおよびＰ´間には、ｚ方向にｄｚの変位があるとする。
【００９０】
このｚ方向の変位量ｄｚは、２台の仮想カメラを用いた撮像を行った場合、各仮想カメラの撮像面３０Ｌ，３０Ｒにおいては、変位ｄＬ，ｄＲとして現れるが、変位ｄｚは幾何学的条件によって下式のようにｄＬ，ｄＲの関数として表される。
【００９１】
0003995030.tif 000002
ここで、カメラ１の撮像面の手前にプリズム１３Ｌ，１３Ｒが設置されることにより、上記左右仮想カメラの撮像面での変位量ｄＬ，ｄＲは、カメラ１の撮像面ではｄＬ´，ｄＲ´として現れる。
【００９２】
また、ｄＬ´，ｄＲ´とｄＬ，ｄＲとの関係は以下のようになる。
【００９３】
0003995030.tif 000003
なお、図２２に示すようなプリズムの場合は、プリズム固有の係数ＣLは以下のようになる。
【００９４】
ＣL＝（cosβcosγ1）／（cosδcosγ2）…（４）
したがって、カメラ１の撮像面上で正常な設置状態のリード先端位置Ｐに対応する像位置ＰXL，ＰXRを予め求めておき、これらの位置ＰXL，ＰXRと実際のリード端子の先端位置Ｐ´に対応する像位置Ｐ´XL，Ｐ´XRとの偏差ｄＬ´およびｄＲ´を求め、これら偏差ｄＬ´およびｄＲ´を先の第（２）式及び第（３）式に代入することで、正常状態に対する高さ変位ｄｚを求めることができる。
【００９５】
なお、図２１の場合は、リード先端の正常状態に対する高さ変位ｄｚを求めるようにしたが、三角測量の原理を用いてリード先端位置Ｐ´の３次元空間上のｘｙｚ座標位置を特定することもできる。
【００９６】
このようにこの第１６実施例によれば、カメラ１とＳＯＰ５の間にプリズム１３を介在させて、カメラ１に２つの異なる方向から見たリード端子像を入射するようにしたので、ＳＯＰの上方に設けた１台のカメラ１による撮像データのみによってリード端子のｘｙ位置のみならず高さ方向位置に関する情報が得られるようになり、これによりＳＯＰ５を斜めから直接撮像するカメラを省略することができ、システム構成をコンパクト且つ安価にすることができる。
【００９７】
また、プリズムによれば、先の図５に示した第４実施例のようにミラーを用いる方法に比べ、コンパクトである、画像の反転がない、面倒な角度調整が要らない、偏向角度の自由度が高い等の利点を有している。
【００９８】
〔第１７実施例〕
図２３にこの発明の第１７実施例を示す。
【００９９】
この実施例では、ＳＯＰ５の上方に２つのドーブプリズム１３を配し、さらにその上方にカメラ１を配するようにしており、２つのプリズム１３を介在させることによりＳＯＰ５のリード先端像を１台のカメラ１で３つの異なる方向から撮像できるようにしている。すなわち、ＳＯＰ５の左リード端子Ｌnは光路Ａ，Ｂ，Ｃを経由してその像がカメラ１に入射され、右リード端子Ｒnは光路Ｄ，Ｅ，Ｆを経由してその像がカメラ１に入射される。
【０１００】
また、この場合、２つのドーププリズム１３にＳＯＰ５の上面部幅に対応する間隔を設け、ＳＯＰ５の上面像はプリズム１３を介さないで直接カメラ１に入射されるようにして、１台のカメラ１で刻印マークの検査とコプラナリティの検査を同時に行えるようにしている。
【０１０１】
図２４(a)は、左リード端子Ｌ1〜Ｌn及び右リード端子Ｒ1〜Ｒnを有するＳＯＰ５を上方からみた平面図である。図２４(b)は図２４(a)に示すＳＯＰ５を図２３のカメラ１によって撮像した画像を示すもので、カメラ１による１つの撮像画像内で左リード端子Ｌ1〜Ｌnは３つの異なる位置Ｌ1A〜ＬnA，Ｌ1B〜ＬnB，Ｌ1C〜ＬnCに撮像されることになり、また右リード端子Ｒ1〜Ｒnは３つの異なるｘｙ位置Ｒ1D〜ＲnD，Ｒ1E〜ＲnE，Ｒ1E〜ＲnEに撮像されることになる。例えば、リード端子Ｌ1は、Ｌ1A，Ｌ1B，Ｌ1Cの３位置上に撮像される。また、カメラ１の視野の中央部には、ＳＯＰの上面像が写されている。
【０１０２】
したがってこの場合、制御部２５では、カメラ１の撮像画像中に写っている３箇所のリード先端像のうち２箇所のリード先端のｘ座標の変位を求め、前述した三角測量の原理を用いてリード先端のｚ座標を求めることができる。
【０１０３】
なお、この実施例においても、カメラ１には、プリズム１３を経由しない光路ＧによるＳＯＰ上面像と、プリズム１３を経由した光路Ａ〜Ｆによるリード像が入射されるが、これら光路長差を吸収できるようにプリズム１３の屈折率および厚さを設定するようにしている。
【０１０４】
〔第１８実施例〕
図２５にこの発明の第１８実施例を示す。
【０１０５】
この第１８実施例においては、先の図１９に示す第１６実施例のＳＯＰ５の配置角度を９０度回転させるようにしている。したがって、図２６(a)に示すように、ＳＯＰ５を上方からみた場合、左リードＬ1〜Ｌnは上側に現れ、右リード像Ｒ1〜Ｒnは下側に現れている。
【０１０６】
この実施例においても、プリズム１３を介在させることによりＳＯＰ５のリード先端像を１台のカメラ１で２つの異なる方向から撮像できるようにした点は、先の図１９に示す実施例と同様である。すなわち、ＳＯＰ５の各リード端子Ｌ1〜Ｌn，Ｒ1〜Ｒnは２種類の光路Ａ，Ｂを経由してその像がカメラ１に入射される。
【０１０７】
図２６(b)は図２６(a)に示すＳＯＰ５を図２５のカメラ１によって撮像した画像を示すもので、カメラ１による１つの撮像画像内で左リード端子Ｌ1〜Ｌnは２つの異なる位置にあるリード像Ｌ1A〜ＬnA，Ｌ1B〜ＬnBとして撮像されることになり、また右リード端子Ｒ1〜Ｒnは２つの異なる位置にあるリード像Ｒ1C〜ＲnC，Ｒ1D〜ＲnDとして撮像されることになる。例えば、リード端子Ｌ1は、Ｌ1A，Ｌ1Bの２位置上に撮像される。
【０１０８】
したがってこの場合においても、１台のカメラ１の撮像データを用い前述した三角測量の原理に基づいてリード先端のｚ座標を求めることができる。
【０１０９】
〔第１９実施例〕
図２７にこの発明の第１９実施例を示す。
【０１１０】
この第１９実施例では、先の図５に示す第４の実施例、図６に示す第５実施例、図２３に示す第１７実施例などと同様、ＳＯＰ上面の刻印マーク検査とリード平坦度検査を１台のＣＣＤカメラ１で行うようにする。
【０１１１】
この場合は、２つのプリズム１３の間隔を拡げ、図２８(b)に示すように、カメラ１の視野エリアの中央領域１−ａではＳＯＰ５の上面画像をリード端子像を含めて真上から撮像できるようにするとともに、カメラ１の視野エリアの端部領域１−ｂ，１−ｃでＳＯＰ５のリード部６を所定の角度をもって撮像できるようにしている。この場合は、右リードＲ1〜Ｒnの撮像像がカメラ１の視野エリアの左端部領域１−ｂに入射され、左リードＬ1〜Ｌnの撮像像がカメラ１の視野エリアの右端部領域１−ｃに入射されるように、プリズム１３によってカメラ１の撮像軸を偏向するようにしている。
【０１１２】
なお、この実施例においても、カメラ１には、プリズム１３を経由しない光路Ｂ，Ｃ，ＤによるＳＯＰ上面像と、プリズム１３を経由した光路Ａ，Ｅによるリード像が入射されるが、これら光路長差を吸収できるようにプリズム１３の屈折率および厚さを設定するようにしている。
【０１１３】
〔第２０実施例〕
図２９にこの発明の第２０実施例を示す。
【０１１４】
この第２０実施例においては、ＤＩＰ（Dual Inline Pacage）８の各リード先端のコプラナリティの測定を行う。
【０１１５】
この場合は、ＤＩＰ８の裏面側を撮像できるようにカメラ１が配置され、さらにカメラ１とＤＩＰ８の間にはプリズム１３が配置されている。
【０１１６】
図３０(a)はＤＩＰ８を上方からみた平面図であり、ＤＩＰ８は左リード端子Ｌ1〜Ｌn及び右リード端子Ｒ1〜Ｒnを有している。図３０(b)は図３０(a)に示すＤＩＰ８を図２９のカメラ１によって撮像した画像を示すもので、カメラ１による１つの撮像画像内で左リード端子Ｌ1〜Ｌnは２つの異なる位置Ｌ1B〜ＬnB，Ｌ1D〜ＬnDに撮像されることになり、また右リード端子Ｒ1〜Ｒnは２つの異なる位置Ｒ1A〜ＲnA，Ｒ1C〜ＲnCに撮像されることになる。
【０１１７】
この実施例においても、カメラ１とＤＩＰ８の間にプリズム１３を介在させて、カメラ１に２つの異なる方向から見たリード端子像を入射するようにしたので、ＳＯＰの上方に設けた１台のカメラ１による撮像データのみによってリード端子のｘｙ位置のみならず高さ方向位置に関する情報が得られるようになる。
【０１１８】
〔第２１実施例〕
図３１にこの発明の第２１実施例を示す。
【０１１９】
この第２１実施例においては、ＢＧＡ９（Ball Grid Array）またはＣＳＰ（Chip Size Package）の各ボール状リード２１のコプラナリティの測定を行う。
【０１２０】
この場合は、表裏反転されたＢＧＡ９の上方にカメラ１が配置され、さらにカメラ１とＢＧＡ９の間にはプリズム１３が配置されている。
【０１２１】
図３２(a)はＢＧＡ９を上方からみた平面図であり、ＢＧＡ９は縦横に配列されたボール状リードＢ(1、1)〜Ｂ(n,m)を有している。図３２(b)は図３２(a)に示すＢＧＡ９を図３１のカメラ１によって撮像した画像を示すもので、プリズム１３が介在されることにより、カメラ１による１つの撮像面内でボール状リードＢ(1、1)〜Ｂ(n,m)は２つの異なる左右位置にある像Ｂ(1、1)A〜Ｂ(n,m)A、Ｂ(1、1)B〜Ｂ(n,m)Bとして撮像される。
【０１２２】
この実施例においても、カメラ１とＢＧＡ９の間にプリズム１３を介在させて、カメラ１に２つの異なる方向から見たボール状リード端子像を入射するようにしたので、ＢＧＡ９の上方に設けた１台のカメラ１による撮像データのみによってリード端子のｘｙ位置のみならず高さ方向位置に関する情報が得られるようになる。
【０１２３】
ところで、上記実施例では、本発明をＳＯＰ、ＤＩＰ、ＢＧＡに適用するようにしたが、本発明をＰＧＡ（Pin Grid Array）、ＱＦＰ（Quad flat package）、ＱＦＪ（Quad flat j-leaded package）など他の任意の半導体パッケージの端子検査に適用するようにしてもよい。また、本発明を、コネクタなどの電極配列検査に適用するようにしてもよい。また、本発明をボンディングワイヤの高さ検査などに適用することもできる。
【０１２４】
さらに本発明をリードフレームが切り離される前の状態のぶら下がった状態でのコプラナリティ検査に適用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施例を示す図。
【図２】この発明の第２実施例を示す図。
【図３】この発明の第３実施例を示す図。
【図４】第３実施例による作用を示す図。
【図５】この発明の第４実施例を示す図。
【図６】この発明の第５実施例を示す図。
【図７】この発明の第６実施例を示す図。
【図８】この発明の第７実施例を示す図。
【図９】この発明の第８実施例を示す図。
【図１０】この発明の第９実施例を示す図。
【図１１】従来技術の不具合を説明する図。
【図１２】エンボステープのＰ，Ｓ偏光波についての反射係数を示す図。
【図１３】この発明の第１０実施例を示す図。
【図１４】この発明の第１１実施例を示す図。
【図１５】この発明の第１２実施例を示す図。
【図１６】この発明の第１３実施例を示す図。
【図１７】この発明の第１４実施例を示す図。
【図１８】この発明の第１５実施例を示す図。
【図１９】この発明の第１６実施例を示す図。
【図２０】第１６実施例による撮像画像例などを示す図。
【図２１】三角測量によるリード高さ測定原理を説明する図。
【図２２】プリズム固有の係数を説明する図。
【図２３】この発明の第１７実施例を示す図。
【図２４】第１７実施例による撮像画像例などを示す図。
【図２５】この発明の第１８実施例を示す図。
【図２６】第１８実施例による撮像画像例などを示す図。
【図２７】この発明の第１９実施例を示す図。
【図２８】第１９実施例による撮像画像例などを示す図。
【図２９】この発明の第２０実施例を示す図。
【図３０】第２０実施例による撮像画像例などを示す図。
【図３１】この発明の第２１実施例を示す図。
【図３２】第２１実施例による撮像画像例などを示す図。
【図３３】従来技術を示す図。
【図３４】リード平坦度検査の対象を示す図。
【図３５】従来技術を示す図。
【図３６】エンボステープ内に収容されているＩＣパッケージを示す図。
【符号の説明】
１…カメラ
２…カメラ
３…カメラ
４…光透過性光学部材
５…ＳＯＰ
６…リード
７，１３，１４…プリズム
８…ＤＩＰ
９…ＢＧＡ
１２…ミラー
２０，２１…照明
２２，２３…偏光板
２５…制御部
Ｅ…エンボステープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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