(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送ラインに沿って移動された基板を作業台に移送し、該作業台で作業された後の基板を再び搬送ラインに戻す基板用搬送装置であって、
上記搬送ラインに沿って配設された搬送レールと、
該搬送レールに係合して移動する搬送台車と、
該搬送台車に着脱自在に装着され、垂直状態とされた基板の上部を把持する搬送治具と、
上記搬送レールの側方に配置され、上記基板を把持した上記搬送治具を、上記基板が垂直となる状態で複数一時保管するバッファ部と、
該バッファ部の下方且つ側方に配置された上記作業台と上記バッファ部との間で、上記基板を把持した上記搬送治具を、移動させる移載装置とを備え、
該移載装置が、上記バッファ部の下方に配置された
ことを特徴とする基板用搬送装置。
【請求項２】
上記搬送治具が、垂直状態の上記基板の上部に沿うように配置されその上部の両端からそれぞれ所定長さ突出して形成された水平部材と、該水平部材に備えられ垂直状態の上記基板の上部を把持する把持部とを有し、
上記移載装置が、上記バッファ部の下方にて垂直に立てられた状態で昇降するフォークと、そのフォークに備えられ、上記基板の上部両端から突出した上記水平部材を下方から支持する支持部とを有する請求項１に記載の基板用搬送装置。
【請求項３】
上記移載装置が、上記フォークに支持された垂直状態の基板を水平状態として上記作業台に移載するため、垂直に立てられた上記フォークを水平方向に回動させる回動部を有する請求項２に記載の基板用搬送装置。
【請求項４】
上記バッファ部が、上記基板の上部両端から突出した水平部材をその下方から支持すると共に上記基板の直交方向に移動自在の一対のアームを備えた請求項２又は３に記載の基板用搬送装置。
【請求項５】
上記バッファ部が、上記搬送台車から、上記基板を把持した上記搬送治具を受け取るべく、その基板の直交方向に移動自在で且つ昇降自在であり、上記基板の上部両端から突出した水平部材をその下方から支持する移載アームを備えた請求項２から４のいずれかに記載の基板用搬送装置。
【請求項６】
上記バッファ部が、
上記搬送台車から払い出された上記基板を把持した上記搬送治具を、複数一時保管する払出しバッファ部と、
上記作業台にて作業が施された上記基板を把持した上記搬送治具を、上記搬送台車に受け取らせるため複数一時保管する受取りバッファ部とから成る請求項１から５のいずれかに記載の基板用搬送装置。
【請求項７】
上記払出しバッファ部及び上記受取りバッファ部が、上記搬送レールに沿って隣接配置され、
上記移載装置が、上記搬送レールに沿って配設されたガイドレールに案内されて、上記払出しバッファ部と上記受取りバッファ部との間を移動するものである請求項６に記載の基板用搬送装置。
【請求項８】
上記搬送台車が、上記基板を複数支持する支持フレームを有する請求項１から７のいずれかに記載の基板用搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板を垂直状態で搬送する基板用搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ等の基板の製造工場には、基板に加工を施す複数の製造加工ブロックが設けられており、各製造加工ブロック間で基板を搬送する搬送装置が設けられている。
【０００３】
従来、基板を搬送する装置には、基板を水平状態にして、真空吸着のハンドを有するロボットで受け渡しを行う搬送装置と、水平のローラコンベヤで搬送を行う搬送装置とがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年では基板が大型化しており、長さが１ｍを越えるものもでてきている。
【０００５】
しかしながら、上述の搬送装置では、基板の搬送や保管が水平状態で行われているために、基板が大型化すると、その自重によって、中央部に撓みが発生する等、変形が生じてしまうといった問題があった。
【０００６】
また、搬送を行うためのスペースが大きく必要となり、生産設備内で占める割合が大きくなってしまうと共に、設備の製造コストが高くなっていた。また、製造加工ブロックを設置するためのスペースの割合が小さくなり、基板の生産性があまりよくなかった。
【０００７】
特に、ロボットで受け渡しを行う装置では、そのロボット自体が大型化し、設備の製造コストがさらに高くなると共に、製造加工ブロックを設置するためのスペースが一層狭くなってしまっていた。
【０００８】
さらに、各製造装置には効率的な製造運用を図るために、基板の出入り部に一時保管スペースが設けられることが多いが、この保管スペースも生産設備内で占める割合が大きくなってしまう。
【０００９】
そこで、本発明は上記問題を解決するために案出されたものであって、その目的は、大型の基板であってもその変形を防止できると共に、設置スペースの縮小化を図れる基板用搬送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、搬送ラインに沿って移動された基板を作業台に移送し、該作業台で作業された後の基板を再び搬送ラインに戻す基板用搬送装置であって、上記搬送ラインに沿って配設された搬送レールと、該搬送レールに係合して移動する搬送台車と、該搬送台車に着脱自在に装着され、垂直状態とされた基板の上部を把持する搬送治具と、上記搬送レールの側方に配置され、上記基板を把持した上記搬送治具を、上記基板が垂直となる状態で複数一時保管するバッファ部と、該バッファ部の下方且つ側方に配置された上記作業台と上記バッファ部との間で、上記基板を把持した上記搬送治具を、移動させる移載装置とを備え、該移載装置が、上記バッファ部の下方に配置されたものである。
【００１１】
上記構成によれば、基板を垂直状態としてその上部を把持して搬送するようにしたので、基板の自重による変形を防止することができると共に、水平方向の面積を減らすことができ、搬送装置の設置スペースの縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイニシャル及びランニングコストを低く押えることができる。また、基板用搬送装置の設置スペースの縮小した分、製造加工ブロックを設置するためのスペースを大きく採ることもでき、基板の生産性を向上させることができる。
【００１２】
上記搬送治具が、垂直状態の上記基板の上部に沿うように配置されその上部の両端からそれぞれ所定長さ突出して形成された水平部材と、該水平部材に備えられ垂直状態の上記基板の上部を把持する把持部とを有し、上記移載装置が、上記バッファ部の下方にて垂直に立てられた状態で昇降するフォークと、そのフォークに備えられ、上記基板の上部両端から突出した上記水平部材を下方から支持する支持部とを有することが好ましい。
【００１３】
上記移載装置が、上記フォークに支持された垂直状態の基板を水平状態として上記作業台に移載するため、垂直に立てられた上記フォークを水平方向に回動させる回動部を有することが好ましい。
【００１４】
上記バッファ部が、上記基板の上部両端から突出した水平部材をその下方から支持すると共に上記基板の直交方向に移動自在の一対のアームを備えることが好ましい。
【００１５】
上記バッファ部が、上記搬送台車から、上記基板を把持した上記搬送治具を受け取るべく、その基板の直交方向に移動自在で且つ昇降自在であり、上記基板の上部両端から突出した水平部材をその下方から支持する移載アームを備えることが好ましい。
【００１６】
上記バッファ部が、上記搬送台車から払い出された上記基板を把持した上記搬送治具を、複数一時保管する払出しバッファ部と、上記作業台にて作業が施された上記基板を把持した上記搬送治具を、上記搬送台車に受け取らせるため複数一時保管する受取りバッファ部とから成ることが好ましい。
【００１７】
上記払出しバッファ部及び上記受取りバッファ部が、上記搬送レールに沿って隣接配置され、上記移載装置が、上記搬送レールに沿って配設されたガイドレールに案内されて、上記払出しバッファ部と上記受取りバッファ部との間を移動するものであることが好ましい。
【００１８】
上記搬送台車が、上記基板を複数支持する支持フレームを有することが好ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２０】
図１は本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態を示した全体斜視図、図２は本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態の搬送治具を示した斜視図、図３は本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態のバッファ部を示した斜視図、図４は基板の製造工場の概略を示した平面図である。
【００２１】
まず、基板の製造工場の概略を説明する。
【００２２】
図４に示すように、基板の製造工場には、基板（図１から図３参照）１を搬送するメインループ２の周囲に複数の分岐搬送路３が設けられている。この分岐搬送路３の周囲には、基板の各種製造工程を行うための製造加工ブロック４が複数配設されている。メインループ２及び分岐搬送路３には、本発明に係る基板用搬送装置５が設けられている。
【００２３】
図１に示すように、係る基板用搬送装置５は、基板１を垂直状態で搬送するものであって、基板１の搬送ライン（メインループ２及び分岐搬送路３）６の上部に配置された搬送レール７と、垂直状態の基板１の上部を把持する把持部８を少なくとも２箇所以上有する水平部材９からなる搬送治具１１と、その搬送治具１１を基板１と一体で支持して搬送レール７に沿って移動する搬送台車１２と、基板１を水平状態に載置して各種の製造作業を行う作業台１４の側部に設けられ基板１を一時保管するバッファ部１５と、そのバッファ部１５と作業台１４との間で搬送治具１１と一体の基板１を移動させる移載装置１６とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
搬送レール７は、所定の強度を有したメンバの鉄骨等から構成されており、その長手方向に沿って、後に詳述する搬送台車１２が走行するためのガイド部（図示せず）が形成されている。
【００２５】
図２に示すように、搬送治具１１は、水平部材９の下部に、複数（図２においては３箇所、図１及び図３では４箇所に示している）の把持部８を有している。把持部８は、２枚の板材１７を有しており、これら板材１７には、基板１を挟持すべく付勢力を与えるバネ等の付勢手段（図示せず）が設けられている。板材１７の基板１との接触面には、樹脂等のクッション材が設けられており、基板１の損傷を防止している。水平部材９は、基板１の上部両端からそれぞれ所定長さ突出するように形成されている。
【００２６】
搬送台車１２は、搬送治具１１をその上部から把持する。搬送台車１２には搬送治具１１を支持するための係止部１８が形成されている。この係止部１８は搬送治具１１の把持部８に対応する位置にそれぞれ配置されている。係止部１８には、搬送治具１１の把持部８を開閉するための移動アーム１９が設けられている。この移動アーム１９は、把持部８に設けられた回動ピン２１を押すことによって、一方の板材１７が付勢手段に対抗して開き、基板１の把持を解除するようになっている。
【００２７】
図３に示すように、バッファ部１５は、基板１の直交方向に移動自在の一対のアーム２３を備えている。このアーム２３は、搬送治具１１をその水平部材９の基板１の上部両端から突出した部分２４の下部から支持するようになっている。アーム２３は所定長さを有しており、複数の基板１及び搬送治具１１を所定間隔で吊り下げ保管するようになっている。バッファ部１５は、後述する移載装置１６に、基板１を受け渡す前に一時保管する払出しバッファ部２５と、製造加工作業が終了して、移載装置１６から戻された後に一時保管する受取りバッファ部２６とが形成されている。
【００２８】
バッファ部１５には、搬送台車１２から搬送治具１１と一体の基板１を受け取って、アーム２３に掛け渡すための移載アーム２７が設けられている。この移載アーム２７には、その上面に搬送治具１１を載せて支持するための載置部２８が形成されている。移載アーム２７は、上記アーム２３とオフセットした位置に配置され、アーム２３とはズレた位置で、水平部材９の基板１の上部両端から突出した部分２４の下部から載置部２８で支持するようになっている。移載アーム２７は、基板１の直交方向に移動自在で且つ若干高さ昇降自在に設けられており、基板１を搬送台車１２から受け取って、アーム２３上の任意の位置に移動できるようになっている。
【００２９】
作業台１４は、製造加工ブロック４内に設けられており、基板１を水平状態で支持すべく、上方に突出した複数の固定支持ピン（図１参照）２２が設けられている。
【００３０】
移載装置１６は、バッファ部１５と作業台１４との間に配置されており、基板１を吸着する吸盤（図示せず）と搬送治具１１の水平部材９を支持する支持部５９とを有するフォーク３１と、そのフォーク３１を回動させる回動部３２とを備えている。
【００３１】
吸盤はフォーク３１の基板１側に複数設けられている。支持部５９は、フォーク３１の先端にその長手方向に延びた板材にて構成されており、フォーク３１が水平になったときに、水平部材９を固定支持するようになっている。
【００３２】
回動部３２は、起立時（図１中左側に示す）にフォーク３１をバッファ部１５に移動させると共に、水平時（図１中右側に示す）にフォーク３１を作業台１４上に移動させるべくスライド機構を有している。
【００３３】
なお、作業台１４の側部には、搬送治具１１の基板１の把持を解除する基板着脱装置（図示せず）が設けられており、作業台１４上では、基板１が搬送治具１１から外された状態で作業を行うようになっている。
【００３４】
また、移載装置１６は、基板１の直交方向及び平行方向に移動自在に形成されている。具体的には、移載装置１６の下部に、基板１の直交方向に延びるガイドレール３３と、平行方向に延びるガイドレール３４が設けられており、これらガイドレール３３，３４に沿って、移載装置１６が走行するようになっている。移載装置１６は、基板１の直交方向に移動することによって、バッファ部１５と作業台１４間を移動する一方、基板１の平行方向に移動することによって、払出しバッファ部２５と受取りバッファ部２６間を移動する。
【００３５】
次に、上記構成の基板用搬送装置５による基板１の搬送動作を説明しながらその作用を説明する。
【００３６】
基板１は、製造工場内に搬入された後、その上部を搬送治具１１にて吊り下げ、把持され、その搬送治具１１と一体で、搬送台車１２に支持され、メインループ２から分岐搬送路３へと搬送される。
【００３７】
そして、所望の製造加工ブロック４に到着すると、バッファ部１５の内、払出しバッファ部２５の側部に搬送台車１２が停止して、移載アーム２７が搬送治具１１の水平部材９の下部に移動して若干上昇し、基板１及び搬送治具１１は搬送台車１２から離される。そして、基板１及び搬送治具１１は、移載アーム２７にてアーム２３の所定位置に移載され一時保管される。
【００３８】
このとき、基板１は搬送治具１１によって把持されているので、搬送台車１２やバッファ部１５に接触せず、損傷を防止できる。また、バッファ部１５では、搬送治具１１がスペーサの役目を果たすので、隣接する基板１同士が接触することはない。
【００３９】
その後、移載装置１６の回動部３２を回動させフォーク３１を払出しバッファ部２５の作業台１４側に位置する基板１の側部に起立させる。そして、フォーク３１の吸盤で基板１を固定し、支持部５９で搬送治具１１の水平部材９を固定した後、フォーク３１を若干上昇させて、水平部材９をアーム２３から離反させ、回動部３２を回動させて基板１及び搬送治具１１を基板着脱装置（図示せず）上に水平状態に寝かせる。そして、基板着脱装置で、搬送治具１１と基板１とを分離した後、基板１を作業台１４上に移動させる。このとき、基板１は、固定支持ピン２２にて支持されるので、移載装置１６をガイドレール３３に沿って、作業台１４から離反する方向に移動させることによって、フォーク３１を抜き取ることができる。
【００４０】
基板１の製造加工作業が終了すると、フォーク３１を基板１の下部に差し込んで、吸盤で吸着した後、基板１を基板着脱装置に移動させ、搬送治具１１を基板１に取り付ける。その後、回動部３２を回動させてフォーク３１を起立させ、移載装置１６をガイドレール３３に沿ってバッファ部１５側に移動させた後に、ガイドレール３４に沿って基板着脱装置に移動させて、基板１に搬送治具１１を取り付けた後、受取りバッファ部２６の側部に移動させる。
【００４１】
その後、搬送治具１１の水平部材９を受取りバッファ部２６のアーム２３に係止させて、一時保管する。そして、移載アーム２７によって、搬送レール７側で待機する搬送台車１２に基板１及び搬送治具１１を移動させる。
【００４２】
そして、基板１及び搬送治具１１は一体で、搬送保管用カセットに所定枚数収容されて、搬送される。
【００４３】
以上のように、本発明の基板用搬送装置５によれば、基板１を垂直状態としてその上部を把持して吊り下げて搬送するようにしたので、基板１に無理な力がかからず、自重による変形を防止することができる。
【００４４】
その他、基板１を垂直状態として、搬送及び一時保管を行うので、基板１の表面に、微小な屑等が付着するのを防止することができる。
【００４５】
さらに、本発明によれば、搬送時の水平方向の面積を減らすことができ、基板用搬送装置５の設置スペースの縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイニシャル及びランニングコストを低く押えることができる。また、基板用搬送装置５の設置スペースの縮小した分、製造加工ブロック４を設置するためのスペースを大きく採ることもでき、基板１の生産性を向上させることができる。
【００４６】
基板１を一時保管するスペースも小さくできるので、さらに製造加工ブロック４を設置するためのスペースを大きく採ることができ、基板１の生産性の一層の向上が達成される。
【００４７】
図５は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送台車を示した斜視図、図６は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送台車を示した側面図、図７は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具を示した側面図、図８は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具の把持部を示した側面図及び正面図、図９は本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具の把持部の解除状態を示した側面図である。
【００４８】
本実施の形態に係る基板搬送装置５の搬送台車１２は、搬送治具１１と一体の基板１を複数支持するように構成されている。
【００４９】
図５及び図６に示すように、搬送台車１２は、搬送レール７に沿って走行する走行部３５と、その走行部３５の下部に設けられ基板１を支持する支持フレーム３６とで構成されている。
【００５０】
支持フレーム３６は、側方から見て矩形に組まれており、その上部に両端には、搬送治具１１の基板１の上部両端から突出した水平部材９をその下部から支持するための係止部材３７が設けられている。係止部材３７は、例えば断面コ字状の溝型鋼３８が用いられており、その係止部材３７は、基板１の直交方向に所定長さ延出して、複数（本実施の形態では４枚）の基板１を同時に把持できるようになっている。
【００５１】
搬送治具１１の水平部材９の突出部分２４の下部には、下方に延びる突起部４１が軸方向に間隔をあけて２カ所ずつ形成されている。一方、係止部材３８には、上記突起部４１のうち外側の突起部４１が係合する穴（図示せず）が形成されている。この穴は、係止部材３８の長手方向に沿って所定ピッチで形成されており、各基板１の位置決めを行うものである。
【００５２】
なお、上記突起部４１のうち内側の突起部４１は、バッファ部１５のアーム２３（図６中破線にて示す）の上面に形成された穴（図示せず）に係合して、各基板１のバッファ部１５での位置決めを行うようになっている。
【００５３】
支持フレーム３６に下部には、基板１の底辺を支持する支持台４３が複数、設けられており、基板１の安定性を向上させている。
【００５４】
本実施の形態に係る基板搬送装置５の搬送治具１１の把持部８は、図７に示すように、水平部材９に複数（３カ所）設けられている。把持部８は、図８に示すように、水平部材９から下方に延びるブラケット４４を有し、そのブラケット４４には、逆Ｕ字状の板バネ４５が取り付けられている。板バネ４５の基端部はブラケット４４の略中間部にボルト４６によって固定されており、一旦上方に延出して下方に折り返され、その先端部はブラケット４４の下端部の位置まで延出している。板バネ４５の先端部とブラケット４４の下端部との間には、基板１を狭むクランパ４７が互いに向き合うように設けられている。クランパ４７は、クランパ押さえ部材４８を介して板バネ４５の先端部及びブラケット４４の下端部にそれぞれ固定されている。基板１は、板バネ４５の付勢力によって、クランパ４７に狭持される。
【００５５】
ブラケット４４と板バネ４５には、基板１の着脱時に利用される貫通穴５１，５２が互いにオフセットして形成されている。
【００５６】
次に、搬送治具１１に基板１を着脱する動作を説明する。
【００５７】
基板１は、作業台１４の側部等に配置された基板着脱装置（図示せず）にて、搬送治具１１に着脱される。基板着脱装置では、図９に示すように、基板１及び搬送治具１１は、横向きに配置される。
【００５８】
基板１を取り外す際には、把持部８の板バネ４５の貫通穴５２からピン５５を下方へと挿入してブラケット４４を押さえると共に、ブラケット４４の貫通穴５１からピン５６を上方へと挿入して板バネ４５を押し広げる。これによって、各クランパ４７が互いに離反して、基板１が解放される。そして基板１の下部に設けられたローラ５７を回転させることによって、基板１を移動させる。
【００５９】
一方、基板１を取り付ける際には、上述のように、板バネ４５を押し広げた後、基板１をクランパ４７間に移動させて、各ピン５５，５６を引き抜くことによって、板バネ４５の付勢力によって基板１が狭持される。
【００６０】
また、本実施の形態では、クランパ４７の基板１との接触面５３に、紫外線照射により硬化する低発塵の硬化ＵＶテープ５４が貼り付けられている。この硬化ＵＶテープ５４は、通常、半導体製造プロセスに適用される接着剤付テープを紫外線照射させて硬化させたものであって、接着力を低下させて利用している。この硬化ＵＶテープ５４は、硬化させた後も、低発塵であるという効果を有しており、基板１に付着する粒子を低減させることができる。
【００６１】
具体的な数値を調べるために、本発明者は、従来、基板１との接触面５３に用いられていたＰＡＮ、ＰＥＥＫ及び上記効果ＵＶシートを接触面５３に貼り付けて、粒子の付着状態を計測した。
【００６２】
図１０のグラフに示すように、硬化ＵＶテープは、従来用いられていたＰＡＮやＰＥＥＫと比較して、押付回数が１００回の場合で付着粒子数が２０％以下に低減されることがわかった。また、基板の製造工程で押し付けられると考えられる程度の押付回数が少ない場合（２０回程度）には、さらに付着粒子数の低減率が高いということがわかった。
【００６３】
要するに、本実施の形態では、搬送治具１１の把持部８の基板１との接触面５３に、硬化ＵＶテープ５４を貼り付けたことによって、基板１に付着する塵等の粒子数を大幅に低減することができる。また、硬化ＵＶテープ５４は、元来接着力を有しているが、紫外線照射することによってその接着力が低減されるので、基板１の把持のリリース等の抵抗となることはない。
【００６４】
一方、本実施の形態では、搬送治具１１が複数（４枚）の基板１をまとめて搬送することができるので、搬送能力が向上し、基板１の製造効率が向上する。また、４枚程度を搬送単位としたことで、搬送スペースが広すぎず、小回りがきくといった作用も得られる。
【００６５】
なお、上記実施の形態の搬送治具１１や搬送台車１２等の各構成は、ほんの一例であって、上記構成に限られるものではない。
【００６６】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、基板を垂直状態としてその上部を把持して搬送するようにしたので、基板の自重による変形を防止することができると共に、水平方向の面積を減らすことができ、搬送装置の設置スペースの縮小化が図れ、その分、製造工場全体のイニシャル及びランニングコストを低く押えることができるという優れた効果を発揮する。
【００６７】
また、基板用搬送装置の設置スペースの縮小した分、製造加工ブロックを設置するためのスペースを大きく採ることもでき、基板の生産性を向上させることができる。
【００６８】
さらに、搬送台車を複数の基板を同時に搬送できるものとしたことによって、搬送効率が向上する。
【００６９】
また、搬送治具の把持部の基板との接触面に、硬化ＵＶテープを貼り付けたことによって、基板に付着する塵等の粒子数を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態を示した全体斜視図である。
【図２】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態の搬送治具を示した斜視図である。
【図３】本発明に係る基板用搬送装置の好適な実施の形態のバッファ部を示した斜視図である。
【図４】基板の製造工場の概略を示した平面図である。
【図５】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送台車を示した斜視図である。
【図６】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送台車を示した側面図である。
【図７】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具を示した側面図である。
【図８】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具の把持部を示した（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図９】本発明に係る基板用搬送装置の好適な他の実施の形態の搬送治具の把持部の解除状態を示した側面図である。
【図１０】搬送治具の把持部の接触面の押付材別付着粒子数を示したグラフである。
【符号の説明】
１  基板
５  基板用搬送装置
６  搬送ライン
７  搬送レール
８  把持部
９  水平部材
１１  搬送治具
１２  搬送台車
１４  作業台
１５  バッファ部
１６  移載装置
２３  アーム
２５  払出しバッファ部
２６  受取りバッファ部
２７  移載アーム
３１  フォーク
３２  回動部
３４  ガイドレール
３６  支持フレーム
５９  支持部
【図１】
0003997348.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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