(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を基板に形成する過程と、
前記感光性配向膜の第１の領域に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、
前記感光性配向膜の第２の領域に第２のエネルギ密度を与えて基板の面内方向に平行な方向で前記第１の配向軸と互いに直交するように第２の配向軸を形成する過程と、
を含む配向膜の配向軸決定方法。
【請求項２】
請求項１記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１のエネルギ密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第１の領域を第１の期間で露光し、
前記第２のエネルギ密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第２の領域を第２の期間で露光するものである、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項３】
請求項１記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１のエネルギを与える過程は、前記感光性配向膜の第１の領域を第１の強度で露光し、
前記第２のエネルギー密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第２の領域を第２の強度で露光するものである、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項４】
請求項１記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１及び第２の配向軸を形成する過程は、前記感光性配向膜の各領域に形状及び透過度が対応した遮蔽パターンのマスクを用いて露光する工程を含む、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項５】
与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を基板上に形成する過程と、
前記感光性配向膜に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、
前記第１の配向軸が形成された配向膜の一部に更に第２のエネルギ密度を与えて基板の面内方向に平行な方向で前記第１の配向軸を第２の配向軸に変更する過程と、
を含む配向膜の配向軸決定方法。
【請求項６】
請求項１又は５記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１のエネルギ密度と前記第２のエネルギ密度とは大きさが異なる、
ことを特徴とする配向軸決定方法。
【請求項７】
請求項１又は５記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１の配向軸と前記第２配向軸とが互いに直交するように形成される、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項８】
請求項１又は５記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記第１及び第２のエネルギ密度が線形偏光された紫外線によって与えられる、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項９】
請求項１又は５記載の配向膜の配向軸決定方法であって、
前記感光性配向膜は、ＰＳＣＮ−１，ＰＳＣＮ−２，ＰＳＣＮ−３及びＰＳＣＮ−４のいずれかから選択される、
ことを特徴とする配向膜の配向軸決定方法。
【請求項１０】
与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を第１の基板に形成する過程と、
前記感光性配向膜の第１の領域に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、
前記感光性配向膜の第２の領域に第２のエネルギ密度を与えて基板の面内方向に平行な方向で前記第１の配向軸と互いに直行するように第２の配向軸を形成する過程と、
第２の基板に配向膜を形成する過程と、
前記第１の基板及び第２の基板を互いに対向して配置する過程と、
前記第１の基板及び前記第２の基板相互間に液晶を注入する過程と、
を含むマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１のエネルギ密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第１の領域を第１の期間で露光する第１の露光工程からなり、
前記第２のエネルギ密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第２の領域を第２の期間で露光する第２の露光工程からなる、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１２】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１のエネルギ密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第１の領域が第１の強度で露光される第３の露光工程からなり、
前記第２のエネルギー密度を与える過程は、前記感光性配向膜の第２の領域が第２の強度で露光される第４の露光工程からなる、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１３】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記感光性配向膜の第１及び第２の領域にそれぞれ前記第１及び第２の配向軸を形成する２つの過程は、
前記感光性配向膜に形成されるべき前記第１の領域及び前記第２の領域に形状及び透過度が対応した遮蔽パターンのマスクを用いる露光工程によって同時に実行される、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１４】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１及び第２のエネルギ密度は、線形偏光された紫外線によって与えられる、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１５】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記感光性配向膜は、ＰＳＣＮ−１，ＰＳＣＮ−２，ＰＳＣＮ−３及びＰＳＣＮ−４のいずれかから選択される、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１６】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１及び第２の配向軸は互いに直交するように形成される、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１７】
請求項１０記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１のエネルギ密度と第２のエネルギー密度とは大きさが異なる、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１８】
請求項１１記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
前記第１の露光工程は、前記感光性配向膜の第１の領域及び第２の領域を共に前記第１の露光期間で露光する共通露光工程によりなされ、
前記第２の露光工程は、前記第１の領域をマスクして前記第１及び第２の領域に更に露光を行い、前記第２の領域が前記第２の露光期間となるようにする追加露光工程によりなされる、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項１９】
請求項１２記載のマルチドメイン液晶セルの製造方法であって、
遮蔽パターンの各領域の形状及び透過度がそれぞれ前記感光性配向膜の第１の領域及び第２の領域に対応して形成されたマスクを用いて、前記第３及び第４の露光工程を同時に行う、
ことを特徴とするマルチドメイン液晶セルの製造方法。
【請求項２０】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の方法であって、
前記感光性配向膜は、与えられるエネルギ密度に反応して配向軸を形成すると共に、所定のエネルギ密度を境にして配向軸の向きを変える特性を有する、
ことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶装置等において液晶分子を所定方向に配向（配列）する配向膜の改良に関し、特に、配向膜に複数の配向方向を形成する配向方向の決定方法及びこの方法を用いたマルチドメイン液晶セルの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光学的情報を記録し映像化する液晶表示装置の基本的構成要素は二つの基板とその間に注入される液晶からなっている。それに情報を貯蔵し、読出すためには液晶表示素子の均一な明るさと高いコントラスト比を有する液晶セルを作るべきであり、このために、できるだけ液晶分子が均一な配向になるようにしなければならない。
【０００３】
基板の上に液晶分子の配列を均一にするためには重合体物質（ポリマー）を塗布して特殊な処理を実施すべきである。このような処理方法に一番よく使用される方法の一つは、重合体薄膜の表面を柔らかい布で一方向にこする操作によって、下地ポリマー分子を配向させ、この下地ポリマー分子の配向状態を液晶分子が感じとって液晶分子が配向するようさせる、いわゆるラビング法である。
【０００４】
しかしながら、ラビングは幾つかの重大な不具合を持っている。第一に、ラビング時に、配向膜の上に塵や静電気が発生し、これによって薄膜トランジスタが破壊されるおそれがある。第二に、ラビング時に生じる不規則な微細な溝が光の散乱と液晶セルの不規則な位相歪曲を招くこともある。
【０００５】
他の配向処理法としては、偏光された紫外線を感光性重合体(photosensitive polymer)に照射して液晶の配列を制御する方法も知られている(M.Schadt et al.，Jpa.J.Appl.Phys.，31(1992)，p2155;T.Marusii及びYu.Rezunikov，Mol.Master,3(1993),pl61)。感光性物質の配向能力は光照射により生成される異方性により決定される。現在、ポリビニルシンナメート(PVCN:polyvinylcinna mate，M.Schadt et al.,Jpn.J.Appl.Phys.,31(1992),p2155)、ポリシロキサン(PS:polysiloxane、韓国特許出願95-42222)及ぴポリイミド等は液晶表示装置の配向膜を成す光配向物質として広く使用されている。光配向物質のうちで、配向軸(easy axis)方向が偏光された紫外線の偏光方向に垂直に再配列する光配向物質を配向膜に用いて液晶分子の配向を制御することができる。
【０００６】
このような光配向処理はラビングによる配向処理より利点が多い。ラビング法とは異なり、ラビングによって発生する配向膜表面の静電気及び塵が生じなく、光配向物質の感光性重合体は配向軸方向と方位角のアンカーリングエネルギの量を調節することが可能であるので、液晶セルで液晶の方向子(director)の分布を任意に調節することが可能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光配向法を適用して作るマルチドメイン液晶セルを得るための二つの方法が提案されている。Gibbon等による方法(W.Gibbon et al.,Nature,35l(1991).p49)は、単一方向に感光物質をラビングしてから、偏光光線のマスクを介して更に紫外線を基板に照射し、初期のラビング方向に対して直角に配向された配向軸を作って、液晶のツイスト構造を形成する。上記方法で、二つのドメインが形成された基板と初期のラビング方向に決定されるモノドメインが形成された基板と、これらの間に液晶の注入される液晶セルでは、上記光配向工程で透明部に該当する領域で90度ツイストされた構造を有する。
【０００８】
しかしながら、この方法は配向面の上に微細な溝を形成して塵、静電気を発生させる重合体のラビング法を使用することが必須であるので、ラビングにより発生する問題を依然として持っている。
【０００９】
上記方法の他にShenon等が提案した方法(P.Shenon et al.,Nature,368(1994),p532)によっても作られる。配向膜の表面をラビングに代わって偏光された光を照射し初期配向するように照射することが上記方法とは異なる。
【００１０】
この方法によって上記不具合は克服されるが、製造工程において光学性質(配向軸の方向)をマルチドメインに対応して別々に付与するために偏光方向が異なる偏光光線によって２回露光することが必要であり、これによって、照射装置を再配置しなければならないという不具合がある。
【００１１】
よって、本発明の目的は、上記従来の方法が有する不具合を解決するため、ラビング法を使用せずに、液晶セルのマルチドメインを製造する方法を提供することである。
【００１２】
また、本発明の他の目的は、マルチドメイン液晶セルの製造工程において製造装置の光学性質をさらに調整することなく、同一の光学装置の配置でマルチドメインを形成し得るマルチドメイン液晶セルの製造方法を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の配向膜の配向軸決定方法は、与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を基板に形成する過程と、上記感光性配向膜の第１の領域に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、上記感光性配向膜の第２の領域に第２のエネルギ密度を与えて第２の配向軸を形成する過程と、を含む。
【００１４】
また、他の配向膜の配向軸決定方法は、与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を基板上に形成する過程と、上記感光性配向膜に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、上記第１の配向軸が形成された配向膜の少なくとも一部に更に第２のエネルギ密度を与えて上記第１の配向軸を第２の配向軸に変更する過程と、を含む。
【００１５】
また、本発明のマルチドメイン液晶セルの製造方法は、与えられるエネルギ密度に対応して配向軸の向きが定まる特性を有する感光性配向膜を第１の基板に形成する過程と、上記感光性配向膜の第１の領域に第１のエネルギ密度を与えて第１の配向軸を形成する過程と、上記感光性配向膜の第２の領域に第２のエネルギ密度を与えて第２の配向軸を形成する過程と、第２の基板に配向膜を形成する過程と、上記第１の基板及び第２の基板を互いに対向して配置する過程と、上記第１の基板及び上記第２の基板相互間に液晶を注入する過程と、を含む。
【００１６】
本発明に使用される感光性配向膜は、与えられるエネルギに反応して配向軸を形成すると共に、所定のエネルギ密度を境にして配向軸の向きを変える特性を有する。
【００１７】
例えば、露光光源たる紫外線の偏光方向と９０度である配向軸方向を照射エネルギ密度が増えるのに従って初期配向軸方向から垂直に変える本発明の光配向物質の特性を利用する。
【００１８】
各領域毎に紫外線のエネルギ密度を異ならしめて付与するのは紫外線の照射時間や照射強度を変更することにより可能である。
【００１９】
また、露光に際しては、領域毎の露光量に対応した透過度のパターンを有するマスクを用いることが可能である。
【００２０】
かかる構成によれば、照射エネルギの調整で配向軸の異なるドメインを多数形成することが可能となるので、異なる配向軸を形成するために製造工程における光学系の機械的設定を原理的には変えず済む。
【００２１】
【発明の実施の形態】
(発明の構成及び作用)
本発明に使用される配向膜の感光性重合体の例をあげると、次の化学構造式で表されるポリシロキサンシンナメート(polysiloxane cinnamate:PSCN)を使用することが可能である。
【００２２】
ポリシロキサンシンナメート１(PSCN-1; polysiloxane cinnamate １):
【００２３】
【化１】
0003934214.tif 000002
【００２４】
ポリシロキサンシンナメート２(PSCN-2; polysiloxane cinnamate ２):
【００２５】
【化２】
0003934214.tif 000003
【００２６】
ポリシロキサンシンナメート３(PSCN-3; polysiloxane cinnamate ３):
【００２７】
【化３】
0003934214.tif 000004
【００２８】
ポリシロキサンシンナメート４(PSCN-4; polysiloxane cinnamate ４):
【００２９】
【化４】
0003934214.tif 000005
【００３０】
図４は、上記感光性重合体における、紫外線のエネルギ密度と配向軸方向(φ)との関係を示す図である。同図において、横軸はエネルギ密度（ｍＪ／ｃｍ2）を、縦軸は配向軸の角度を表している。
【００３１】
上記感光性重合体によって形成された配向膜の配向軸方向は、照射される紫外線の偏光方向によって決定された最初の方向を０度とした場合、Ｗ範囲以下のエネルギ密度では上記最初の配向軸方向を維持しているが、Ｗ範囲で不安定な配向軸方向(φ)になって配向軸方向を測定することができないようになる。しかしながら、上記Ｗ範囲以上の紫外線エネルギ密度を付与すると、上記最初の配向軸方向と垂直の方向(９０度)に変更された配向軸方向が決定される。上記紫外線のエネルギ密度(Ｄ)は紫外線の露光強度(Ｉexp)と紫外線の露光時間(ｔexp)によって決定される(Ｄ＝Ｉexp×ｔexp）。
【００３２】
例えば、ＰＳＣＮ−１物質(化学式１)によって形成されている配向膜に高圧水銀ランプで２５０ｎｍの波長を有する偏光された紫外線を２ｍＷ／ｃｍ2の強度で５分間照射すれば(Ｄ＝０．６Ｊ)、紫外線の偏光方向に水平な配向軸が形成され、この紫外線を１０分以上さらに照射すれば(Ｄ＝１．２Ｊ)、配向軸の方向は上記偏光方向に垂直になる。この中間の時間では安定した配向軸方向が設定される。
【００３３】
露光時間の代わりに露光強度を変更しても同じ配向軸変更効果を得ることができる。例えば、同一のＰＳＣＮ−１の配向膜に５分の露光時間と２ｍＷ／ｃｍ2の露光強度で偏光された紫外線(Ｄ＝０．６Ｊ)で露光された領域の配向軸方向は、上記紫外線の偏光方向と平行であるが、同じ露光時間(５分)に４ｍＷ／ｃｍ2の露光強度で露光(Ｄ＝１．２Ｊ)された領域の配向軸方向は、上記紫外線の偏光方向に垂直の方向に決定される。
【００３４】
また、垂直に配向軸方向を転換するのに必要な時間は、偏光方向と垂直の配向軸方向のみを有する物質を本発明の感光性重合体の配向膜に添加することによって減少することが可能てある。
【００３５】
また、配向軸方向を転換するのに必要な強度も上記物質を添加することによって得ることができる。
【００３６】
例えば、本発明の感光牲重合体であるＰＳＣＮ−２（化学式２）の質量当たり１０％で垂直の配向軸のみを維持する物質を添加すれば、１ｍＷ／ｃｍ2の強度で５分間照射して偏光方向に平行な配向軸方向を得て、１０分間照射して偏光方向に垂直な配向軸方向を得る。同じ効果が他の感光性重合体であるＰＳＣＮ−３(化学式３)、ＰＳＣＮ−４(化学式４)でも得られる。
【００３７】
従って、各領域毎に視野角の方向が異なるマルチドメイン液晶セルを得る新たで、簡単な方法を提示することが可能になる。
【００３８】
本発明の基本的な理論は配向膜への吸収エネルギの密度を変更して配向膜の配向軸方向を調節するようにし、これで液晶セルに注入される液晶分子の方向子の方向を制御するようにするものである。
【００３９】
本発明によれば、マルチドメイン液晶セルの製造時、光マスクの使用回数が減少して光学装置を更に配列しなくても広視野角特性を有するマルチドメイン液晶表示表示装置を作ることが可能である。また、提示された方法は配向軸の２進法情報の暗号化が可能な高密度光学情報貯蔵のために適用することができる。
【００４０】
図１は、本発明による一実施例の基本的な装置を示している。同図において、基板６０は感光性物質５０が塗布されて配向膜が形成される。配向膜に吸収されたエネルギ密度(Ｄ)によって配向軸の方向が決定される効果を奏するように、水銀ランプ１０から放射された紫外線が、集光機２０、偏光板３０を通って基板上のマスク４０に照射される。
【００４１】
図２は、上記図１のマスク４０と基板６０に塗布された配向膜５０の拡大図である。同図において、マスク４０は光に対して互いに異なる透過度(Ｔ1，Ｔ2)を有する二つの領域で構成されている。この各透過度の大きさは与えられた紫外線の露光時間と露光強度の組み合せによって変わる。上記マスク４０の第１の透過度Ｔ1を有する領域を通過して配向膜の第１の領域に照射される照射エネルギ密度はしきい値(配向軸が垂直に変更する時のエネルギ密度)よりは小さくて光線の偏光方向に平行になるように配向軸方向Ｅ1を決定し、マスクの第２の透過度Ｔ2を有する領域を通過して配向膜の第２の領域に照射されたエネルギ密度はしきい値より大きいので紫外線の偏光方向と垂直になるように配向軸Ｅ2を作る。結果的に、配向膜の第１の領域は光線の偏光方向に平行な配向軸が付与され、第２の領域は光線の偏光方向と垂直の配向軸が付与される。
【００４２】
本発明に係る他の配向決定方法は露光時間を制御することによっても可能である。即ち、透明領域と不透明領域を有するマスクを通じて二つの段階にて基板に光照射を実施することによって、二つのドメインに分割された基板を得ることができる。例えば、第１の段階は一定時間の間に基板全体に対して光を照射して配向軸が光線の偏光方向に水平に決定されるようにし、第２の段階はドメインに従って光を遮蔽、或いは透過することができるマスクを配向膜の上に位置して透過部に位置した配向膜の領域は配向軸が偏光されることができる位置の光密度(Ｄthr)以上になるようにして配向軸が光線の偏光方向に垂直になるようにする。従って、本発明は液晶を垂直的に配列することができるので、光学的情報を２進法コードで記録、貯蔵するために利用することができる。
【００４３】
また、本発明は、広視野特性を有するマルチドメイン液晶表示装置を実現することを可能にする。図３は、基本的なＴＮ液晶表示装置において一つの画素に対する断面を示している。これは隣り合うドメインと９０度に互いに直交して配向され対向する基板の間で液晶がツイストされたＴＮ(twisted nematic)マルチドメイン構造を有している。各ドメインは隣り合うドメインと非対称の視野角を示すが、これらを合わせた巨視的な特性は均一な視野角特性を有する。
【００４４】
本発明の望ましい例は、特定の実施例を参照にしてさらに説明される。これら実施例が本発明を説明する唯一のものでなく、言及された条件と物質にのみ限るものではない。この技術分野の従事者等によって多様な修正を容易に加えることが可能である。
【００４５】
(第１実施例)
・露光強度の調節で生成されるマルチドメインの液晶セル
１，２デクロロエタン（ジクロロエタン）とクロロベンゼンを１：１で混合し、重合体物質であるＰＳＣＮ−１を溶解してこの重合体の濃度を１０ｇ／ｌで製造する。回転速度を２５００ｒｐｍでスピンコーティングし重合体を塗布してから、重合体で塗布した基板を２００℃で２時間の間予備乾燥する。
【００４６】
図１で説明された形態で基板が準備され、水銀ランプが紫外線のエネルギ源として使用され、光マスク面で紫外線の総電力は２５０ｍＷから２ｍＷである。光マスク自体は４×４ｍｍ2の大きさの正方形であって、各領域毎に二つの異なる透過度を有している。光マスクの照射された全体部位は２×３ｃｍ2である。“透明な”画素の透過度は８５％であり、“不透明な”画素の透過度は３０％である。基板に紫外線の照射される総時間は１０分である。基板の光照射と乾燥後に、液晶セルは普通サンドイッチ法を使用して貼り合わされる。セルのギャップは５０μｍになるように調節し、液晶セルに液晶物質ＺＬＩ４８０１−０００を室温で注入する。方向子が互いに垂直の方向に配列されたことが偏光顕微鏡で観察された。
【００４７】
(第２実施例)
・露光強度の調節で生成されるマルチドメインの液晶セル
ＰＳＣＮ−２の物質２０％とＰＳＣＮ−１の物質８０％を光配向組成物として使用した他には第１実施例と同一の条件で実施した。基板への光照射は５分間行われ、第１の実施例と同一の結果が得られた。
【００４８】
(第３実施例)
・露光強度の調節で生成されるマルチドメインの液晶セル
ＰＳＣＮ−３の物質を光配向組成物と使用した他には第１実施例と同一の条件で実施した。１００℃でセルに液晶を注入し、ＺＬＩ ４８０−１０００は等方状である。基板への紫外線の照射は１６分間行われ、第１実施例と同一の結果が得られた。
【００４９】
(第４実施例)
・露光強度の調節で生成されるマルナドメインの液晶セル
ＰＳＣＮ−４の物質を光配向組成物として使用した他には第１の実施例と同一の条件で実施した。１００℃でセルに液晶を注入しＺＬＩ ４８０１−０００は等方状である。基板への紫外線の照射は２０分間行われ、第１の実施例と同一の結果が得られた。
【００５０】
(第５実施例)
・露光時間の調節で生成されるマルチドメインの液晶セル
第１の実施例と同一の条件で基板を準備した。基板に光マスクを用いずに紫外線の照射を５分間行った。即ち、基板全体の領域に均一な光エネルギ密度が分布されている。その後、基板に光マスクを通じて紫外線を１０分間照射した。光マスクは４×４ｃｍ2の大きさの正方形の形態で構成され、二つの透過度を有している。光マスクの照射地域は２×３ｃｍ2である。マスクの“透明な”領域の透過度は９８％であり、“不透明な”領域の透過度は１％である。その後、光マスクは除去され、液晶セルが組立られた後、上記液晶ＺＬＩ ４８０１−０００が注入される。結果的に、第１実施例と類似するマルチドメインの液晶セルが生産された。
【００５１】
(第６実施例)
・広視野角特性を有する液品表示装置の製造
上記透明電極及び光配向電極層に塗布された二つの基板が第１実施例によって準備される。基板は３×３ｍｍ2の大きさの“透明部(Ｔ＝８５％)”及び“不透明部（Ｔ＝３０％)”の正方形で構成されたチェス板のような配列パターンを有する光マスクを通じて照射された。照射は１５分間行われた。セルのギャップを５μｍに調整した液晶セルの方向子方向がツイストされた構造のドメインを作るように配置する。セルに１００℃の温度で液晶が注入され、注入された液晶ＺＬＩ ４８０１−０００は等方状てある。
【００５２】
上述したように、種々の実施例を通じて本発明は上記目的を達成することができた。即ち、従来のラビング法が有する不具合を克服し、液晶セルのマルチドメインを製造する方法を提供し、工程中で光学的性質をさらに調整することなく、同一の光学装置でマルチドメインを有する配向膜を得る方法を提供した。これによって、既存のラビング法による塵や静電気による基板の損傷を防止することができるだけでなく、１回の光照射によってマルチドメインを形成することが可能であるので、工程数を減らすことが可能である。これによって、簡単にマルチドメインの液晶セルを得ることが可能になる。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、感光性配向膜の複数の領域に異なるエネルギを与えることによって、配向膜に異なる配向方向を形成することが出来る。このため、少ない工程数で、しかも塵や静電気による基板の損傷のない、マルチドメインの液晶セルを製造することが可能となって好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の配向工程を実施するための光照射装置を示す図である。
【図２】図２は、図１の部分拡大図である。
【図３】図３は、本発明により製造されたＴＤＴＮ液晶セルの断面図である。
【図４】図４は、本発明の光配向物質に吸収された光エネルギと配向方向の角度との関係を示す図である。
【符号の説明】
図面の主要部分に関する符号の説明
１０…水銀(Ｈg)ランプ
２０…集光機
３０…偏光機
４０…光マスク
５０…配向膜
６０…基板
【図１】
0003934214.tif 000006
【図２】
0003934214.tif 000007
【図３】
0003934214.tif 000008
【図４】
0003934214.tif 000009