(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波励磁された第１のコイルと、
コイル長が上記第１のコイルのコイル長よりも短く、中心軸が上記第１のコイルの中心軸と一致し、高周波励磁された第２のコイルと、
上記第１のコイルの中心軸方向に対して相対移動自在に、この第１のコイル内に挿入された磁性材料からなるコアと、
上記第１のコイルのインピーダンスと上記第２のコイルのインピーダンスとの差に基づき、上記コアと上記第１のコイルとの相対移動位置を検出する検出手段とを備え、
上記第２のコイルは、上記コアの移動によりインピーダンス変化が生じない位置に設けられること
を特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
上記コアの挿入方向の上記第１のコイルの先端部分の近傍に固定されて設けられた高透磁率材料を備えること
を特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械や産業用ロボット等の可動部分の絶対移動位置を検出する位置検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より工作機械や産業用ロボット等の可動部分の移動量や移動位置を検出する位置検出装置として、例えば、差動トランス方式の位置検出装置が知られている。
【０００３】
図１４に、この差動トランス方式による従来の位置検出装置を示す。
【０００４】
従来の位置検出装置１００は、励磁コイル１０１と、この励磁コイル１０１の巻回の中心軸方向（以下、コイルの巻回の中心軸方向を巻回方向という。）の両端に隣接して設けられた第１と第２の検出コイル１０２，１０３とを備えている。
【０００５】
第１と第２の検出コイル１０２，１０３は、励磁コイル１０１に対してその中心軸が一致するように端部に隣接して設けられ、その巻回方向の長さＬ（以下、コイルの巻回方向の長さをコイル長という。）が励磁コイル１０１のコイル長と同一となっている。励磁コイル１０１は、図示しない駆動回路により例えば２ｋＨ〜３ｋＨ程度の周波数の信号で励磁される。第１と第２の検出コイル１０２，１０３は、励磁コイル１０１と磁気的に結合されており、この励磁コイル１０１から発生する磁束により電気的な出力が誘起される。
【０００６】
また、従来の位置検出装置１００は、丸棒状の磁性材料からなるコア１０４と、長手方向の一端が工作機械や産業用ロボット等の可動部１０６に取り付けられ、他端にコア１０４の長手方向の一端が取り付けられたスピンドル１０５とを備えている。
コア１０４は、長手方向の中心軸が励磁コイル１０１の中心軸と一致するように、励磁コイル１０１、第１の検出コイル１０２及び第２の検出コイル１０３内に移動自在に挿入されている。コア１０４は、スピンドル１０５がＸ１方向及びＸ２方向に直線移動する可動部１０６に取り付けられているため、この可動部１０６の移動に応じて、上記励磁コイル１０１、第１の検出コイル１０２、第２の検出コイル１０３内をＸ１方向及びＸ２方向に直線移動する。
【０００７】
以上のような構成の従来の位置検出装置１００では、各検出コイル１０２，１０３のインダクタンスがコア１０４の挿入量に応じて変化する。そのため、この従来の位置検出装置１００では、励磁コイル１０１から発生する磁束により励起される電気的な出力に基づき、各検出コイル１０２，１０３のインダクタンスを検出し、その差動出力を求めることで、コア１０４と各検出コイル１０２，１０３との相対移動位置を検出することができる。従って、この位置検出装置１００では、スピンドル１０５を介してコア１０４に取り付けられた上記可動部の絶対移動位置を検出することができる。
【０００８】
図１５に、この従来の位置検出装置１００の出力特性図を示す。
【０００９】
例えば、第１の検出コイル１０２と第２の検出コイル１０３に対して均等な挿入量となる位置にコア１０４があるときには、第１の検出コイル１０２と第２の検出コイル１０３の内部の磁束量が同一となる。そのため、第１の検出コイル１０２の出力Ｃ１と第２の検出コイル１０３の出力Ｃ２とは同一となり、その差動出力（Ｃ２−Ｃ１）は０となる。このときの状態を平衡状態とする。
【００１０】
この平衡状態から、コア１０４が第１のコイル１０２側に移動すると、第１のコイル１０２の出力Ｃ１は増加し、第２のコイル１０３の出力Ｃ２は減少する。従って、その差動出力（Ｃ２−Ｃ１）は減少する。また、この平衡状態から、コア１０４が第２のコイル１０３側に移動すると、第１のコイル１０２の出力Ｃ１は減少し、第２のコイル１０３の出力Ｃ２は増加する。従って、その差動出力（Ｃ２−Ｃ１）は増加する。
【００１１】
このように、この従来の位置検出装置１００では、コア１０４の移動位置に応じて出力が直線的に変化するため、このコア１０４に接続されている可動部１０６の移動位置をこの出力に基づき検出することができる。
【００１２】
以上のように、従来の位置検出装置１００では、各検出コイル１０２，１０３のインダクタンス変化の差動出力を取ることで、ノイズに強く、直線性の良い位置検出を行うことができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、差動トランス方式による従来の位置検出装置１００は、コア１０４の移動距離と同じ長さ以上のコイル長を持つコイルを３つ必要としていた。すなわち、従来の位置検出装置１００では、全コイルのコイル長の合計の長さが、移動位置を検出することが可能な有効長に対して３倍以上の長さを必要としていた。そのため、この従来の位置検出装置１００では、コア１０４の移動方向の大きさが、少なくとも有効長の３倍程度必要となり、装置全体の小型化をすることが困難であった。
【００１４】
本発明は、このような実情を鑑みてなされたものであり、高精度であり、かつ、小型化した位置検出装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明に係る位置検出装置は、高周波励磁された第１のコイルと、コイル長が上記第１のコイルのコイル長よりも短く、中心軸が上記第１のコイルの中心軸と一致し、高周波励磁された第２のコイルと、上記第１のコイルの中心軸方向に対して相対移動自在に、この第１のコイル内に挿入された磁性材料からなるコアと、上記第１のコイルのインピーダンスと上記第２のコイルのインピーダンスとの差に基づき、上記コアと上記第１のコイルとの相対移動位置を検出する検出手段とを備え、上記第２のコイルは、上記コアの移動によりインピーダンス変化が生じない位置に設けられることを特徴とする。
【００１６】
この位置検出装置では、上記コアの移動位置に応じて変化する高周波励磁された上記第１のコイルと第２のコイルのインピーダンスの差を検出し、このインピーダンスの差に基づき上記コアに取り付けられた物体の移動位置を検出する。
【００１７】
本発明に係る位置検出装置は、上記コアの挿入方向の上記第１のコイルの先端部分の近傍に固定されて設けられた高透磁率材料を備えることを特徴とする。
【００１８】
この位置検出装置では、上記コアの移動位置に応じて変化する高周波励磁された上記第１のコイルと第２のコイルのインピーダンスを検出し、このインピーダンスの差に基づき上記コアに取り付けられた物体の移動位置を検出する。また、この位置検出装置では、上記第１と第２のコイルから生じる磁束が上記高透磁率材料を通過する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
まず、直線移動範囲が１０ｍｍである可動部の移動位置を検出する本発明の第１の実施の形態の位置検出装置について説明する。
【００２０】
図１に、本発明を適用した第１の実施の形態の位置検出装置の断面図を示す。
【００２１】
位置検出装置１は、工作機械や産業用ロボットの直線移動部分である可動部２の移動位置を検出する。可動部２は、例えば、図中Ｘ１方向又はＸ２方向に直線移動する。この可動部２の移動量は、１０ｍｍとなっている。位置検出装置１では、この可動部２の移動を１０ｍｍの範囲で位置検出することができるように、位置検出が可能な有効長が１０ｍｍ以上となっている。
【００２２】
位置検出装置１は、円筒状の筐体３と、第１のボビン４に巻回されてこの筐体３内に収納された第１のコイル５と、第２のボビン６に巻回されてこの筐体３内に収納された第２のコイル７と、筐体３を閉塞する蓋体８とを備えている。
【００２３】
筐体３は、例えば、直径が８ｍｍ、長手方向の長さが１２５ｍｍの外形寸法の円筒状の形状を有している。この筐体３は、長手方向が可動部２の移動方向に平行となり、一方の開口部３ａがこの可動部２に対向する位置に固定されている。
【００２４】
第１のコイル５は、例えば、直径が０．０６ｍｍのＣｕ線が第１のボビン４に１層分巻回されることにより形成されている。この第１のコイル５の巻回の中心軸方向の長さ（コイル長）は、可動部２の可動範囲すなわちこの装置の有効長よりも長くなっており、例えば、２５ｍｍとなっている。また、この第１のコイル５のコイル径は例えば４ｍｍとなっている。第１のボビン４に巻回された第１のコイル５は、その中心軸が円筒状の筐体３の中心軸に一致するように、この筐体３の内部に収納されている。
【００２５】
第２のコイル７は、例えば、直径が０．０６ｍｍのＣｕ線が第２のボビン６に１層分巻回されることにより形成されている。この第２のコイル７のコイル長は、上記第１のコイル５のコイル長より短く、例えば、３ｍｍとなっている。また、この第２のコイル７のコイル径は、上記第１のコイル５のコイル径と同一で、例えば４ｍｍとなっている。第２のボビン６に巻回された第２のコイル７は、その中心軸が円筒状の筐体３の中心軸に一致するように、この筐体３の内部に収納されている。
【００２６】
ここで、第１のコイル５と第２のコイル７は、可動部２の移動方向に対して、端部をつきあわせた形で、隣接した位置に配置されている。例えば、第１のコイル５は可動部２に対向する筐体３の一方の開口部３ａ側に配置され、第２のコイル７は可動部２に対向しない筐体３の一方の開口部３ｂ側に配置される。
【００２７】
このように配置された第１のコイル５及び第２のコイル７は、筐体３の可動部２に対向しない一方の開口部３ｂが有底筒状の蓋体８により閉塞されることにより、筐体３内の所定の位置に固定されている。この第１のコイル５と第２のコイル７は、コイルを構成するＣｕ線の一端どうしが接続され、筐体３内から外部に挿出された信号線５ａに接続している。また、第１のコイル５のＣｕ線の信号線５ａに接続されていない一端が筐体３内から外部に挿出された信号線５ｂに接続され、第２のコイル７のＣｕ線の信号線５ａに接続されていない一端が筐体３内から外部に挿出された信号線７ａに接続されている。そして、各コイル５，７は、信号線５ａ，５ｂ，７ａを介して後述する駆動検出回路に接続し、この駆動検出回路によりそれぞれ高周波励磁されている。
【００２８】
また、この位置検出装置１は、第１のコイル５内に挿入された丸棒状のコア９と、このコア９を支持するスピンドル１０とを備えている。
【００２９】
コア９は、例えば、ＳＫ材から構成されている。このコア９は、磁性材料から構成されるものであればどのようなものであってもよく、例えば、Ｆｅ、ＮｉＦｅ等でもよい。また、コア９は、高透磁率材料であるパーマロイや、Ｓｉ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｂ等により構成されるアモルファス合金を用いてもよい。このコア９は、長手方向の長さがこの装置の有効長よりも長い長尺状の形状となっており、例えば、直径が２ｍｍ、長手方向の長さが２１．５ｍｍの丸棒状の形状を有している。
【００３０】
このコア９は、その中心軸が、第１のコイル５の中心軸と一致するように、この第１のコイル５内に挿入されている。このコア９は、第１のコイル５の中心軸方向に移動可能とされており、第１のコイル５の中心軸方向の中心位置ｏを中心として、少なくとも、可動部２の可動量すなわちこの位置検出装置の有効長である１０ｍｍの範囲で移動可能となっている。このようなコア９は、可動部２に対向する方向の一端が、スピンドル１０に取り付けられている。
【００３１】
スピンドル１０は、丸棒状の形状を有しており、蓋体８が取り付けられていない筐体３の開口部３ａから、この筐体３内に挿入されている。このスピンドル１０は、筐体３の内壁に摺動自在に支持され、長手方向に移動自在となっている。
【００３２】
このスピンドル１０は、筐体３に挿入された方向の一端に、丸棒状の中心軸が一致するようにコア９が取り付けられている。また、このスピンドル１０は、コア９が取り付けられていない一端が、可動部２に取り付けられている。
【００３３】
以上のような構成の位置検出装置１では、可動部２が、図中Ｘ１方向又はＸ２方向に直線移動すると、スピンドル１０もこの移動にともなって筐体３内を図中Ｘ１方向又はＸ２方向に直線移動する。このことにより、コア９が、可動部２の移動にともなって、第１のコイル５の内部を、この第１のコイル５の中心軸方向に有効長の範囲で直線移動する。
【００３４】
ここで、第１のコイル５は、コア９の挿入量に応じてインピーダンスが変化する。すなわち、この第１のコイル５は、コア９との相対位置の関係によって、インピーダンスが変化する。
【００３５】
例えば、図２に示すように、第１のコイル５のコイル長をＬとし、コア９が挿入されていない空心部分の第１のコイル５の長さをｘとする。このｘが、第１のコイル５とコア９との相対移動位置を示す。すなわち、ｘ＝０となっているときにコア９が第１のコイル５内に完全に挿入された状態となり、ｘ＝Ｌとなっていることきにコア９が第１のコイル５に全く挿入されていない状態となる。ここで、コア９が、第１のコイル５内を距離ｘだけ移動したとする。このときの第１のコイル５の全体のインピーダンスＺallは、コア９が挿入されていない空心部分（ｘ）のインピーダンスＺ1と、コア９が挿入されている有心部分（Ｌ−ｘ）のインピーダンスＺ2との総和となり、以下の式（１）で表される。
【００３６】
Ｚall＝Ｚ1（ｘ）＋Ｚ2（Ｌ−ｘ）  但し  ｘ≦Ｌ    ・・・（１）
このように、第１のコイル５の全体のインピーダンスＺallは、第１のコイル５とコア９との相対移動位置ｘの関数となる。
【００３７】
従って、位置検出装置１では、コア９が移動することによって第１のコイル５のインピーダンスが変化することから、この第１のコイル５のインピーダンスを検出することにより、このコア９とスピンドル１０を介して接続された可動部２の移動位置を検出できる。
【００３８】
また、このような第１のコイル５に対して、第２のコイル７は、コア９との相対位置の関係によってインピーダンスが変化しない。すなわち、第２のコイル７は、上述したように、可動部２に対向しない筐体３の一方の開口部３ｂ側に、第１のコイル５につきあわせたかたちで隣接して配置されていることから、可動部２が移動しても内部にコア９が常に挿入されず、インピーダンスが変化しない。そのため、位置検出装置１では、第１のコイル５のインピーダンスを検出するとともに、第２のコイル７のインピーダンスを検出し、この差分を求めることにより、温度変化や電気的なノイズの影響を除去することができ、高精度な位置検出を行うことができる。
【００３９】
このような第１のコイル５のインイーダンスの変化を検出するため位置検出装置１では、筐体３の外部に駆動検出回路を備えている。位置検出装置１では、この駆動検出回路により、第１のコイル５及び第２のコイル７を高周波で励磁するとともに、第１のコイル５のインピーダンスと第２のコイル７のインピーダンスとをを直流電圧として検出して、その差分に基づき上記可動部２の移動位置を検出する。
【００４０】
図３に位置検出装置１に備えられる駆動検出回路の回路図を示す。
【００４１】
位置検出装置１に備えられる駆動検出回路１１は、発振回路１２と、発振回路１２からのパルス信号に基づき第１のコイル５及び第２のコイル７の駆動電流をスイッチングするスイッチング回路１３と、第１のコイル５の出力電圧を検出して平滑化する第１の平滑回路１４と、第１のコイル５と並列に接続された第２のコイル７の出力電圧を検出して平滑化する第２の平滑回路１５と、平滑化された第１のコイル５と第２のコイル７との出力電圧の差分を増幅する差動増幅回路１６とを備えている。
【００４２】
第１のコイル５と第２のコイル７とは、図３に示すように、スイッチング回路１３に対して並列接続されている。第１のコイル５は、一端が抵抗ｒ1を介して電源電圧Ｖｃｃが供給され、他端がスイッチング回路１３を介して接地されている。また、第２のコイル７は、一端が上記抵抗ｒ1と同一の抵抗値の抵抗ｒ2を介して電源電圧Ｖｃｃが供給され、他端がスイッチング回路１３を介して接地されている。この第１のコイル５及び第２のコイル７は、それぞれ抵抗ｒ1，ｒ2との接続点から検出出力が取り出される。
【００４３】
発振回路１２は、例えば、周波数１ＭＨｚ，パルス幅２００ｎｓのパルス信号を発生する。スイッチング回路１３は、このパルス信号に基づき、並列接続された第１のコイル５及び第２のコイル７に流れる電流をスイッチングする。このことにより、第１のコイル５及び第２のコイル７が高周波パルス電流で励磁される。
【００４４】
発振回路１２による第１のコイル５及び第２のコイル７の駆動は、パルス信号に限られず、例えば、正弦波信号であってもよい。もっとも、パルス信号で駆動することにより、回路を安価にすることができ、さらに、デューティー比を変化させることで消費電力を抑えつつインピーダンス特性を良好にすることができる。
【００４５】
また、第１のコイル５は、駆動する信号の周波数を上げていくことにより、そのインピーダンス特性の変化の直線性が良好となっていく。さらに、第１のコイル５及び第２のコイル７は、駆動する信号の周波数を上げていくことにより、その応答速度が高速となっていく。従って、発振回路１２による第１のコイル５及び第２のコイル７の駆動は、良好なインピーダンス特性が得られて応答速度が高速となる高周波信号であればよく、例えば、１０ｋＨｚ〜１０ＭＨｚ程度の信号で駆動することができる。また、第１のコイル５の特性によっては、例えば、５０ｋＨｚ〜１ＭＨｚ程度の信号であれば良好な特性を得ることができる。
【００４６】
第１の平滑回路１４は、第１のコイル５と抵抗ｒ1との接続点の電圧を検出して平滑化する。第２の平滑回路１５は、第２のコイル７と抵抗ｒ2との接続点の電圧を検出して平滑化する。
【００４７】
差動増幅回路１６は、第１の平滑回路１４により平滑化された第１のコイル５の出力電圧と、第２の平滑回路１５により平滑化された第２のコイル７の出力電圧との差動電圧を検出して、この差動電圧を増幅した信号を生成し、この信号を可動部２の位置信号として出力する。
【００４８】
以上のように駆動検出回路１１は、第１のコイル５に高周波のパルス電流を励磁することができる。また、第２のコイル７は、上述したようにインピーダンスの変化が生じないので、第１のコイル５と第２のコイル７との差分を取ることにより、第１のコイル５のインピーダンス変化に比例して変化する電圧値を検出して、この値を可動部２の位置信号として出力することができる。
【００４９】
図４に、可動部２の位置（Position）に対する駆動検出回路１１の出力特性図を示し、図５に、可動部２の位置に対する出力の直線性誤差（Error）を示す。
【００５０】
図４に示すように、この位置検出装置１では、可動部２の移動範囲である有効長１０ｍｍ内で、約０．６３ボルトから０．２０ボルトの範囲で直線的に電圧変動する出力を得ることができる。また、図５に示すように、この位置検出装置１では、可動部２の移動範囲である有効長１０ｍｍ内で、直線性誤差を０．５パーセント以下とすることができる。
【００５１】
以上のように本発明の第１の実施の形態の位置検出装置１では、高い精度で可動部２の移動位置を検出することができる。また、この位置検出装置１では、駆動検出回路１１により高周波励磁した第１のコイル５を用いて位置検出を行うので、コイル長に対して位置検出可能な有効長を長くすることができる。そのため、位置検出装置１では、装置全体の小型化を図り、また、回路規模を小さくすることができる。
【００５２】
また、この位置検出装置１では、高周波励磁をした第１のコイル５のインピーダンスを検出をするので、応答性に優れ、この第１のコイル５の巻き線数を少なくすることができる。
【００５３】
さらに、この位置検出装置１では、コア９との相対位置によってもインピーダンス変化が生じない第２のコイル７との差分を検出して、第１のコイル５のインピーダンスを検出しているので、温度変化や電気的なノイズの影響を受けずに、位置検出をすることができる。また、第２のコイル７のコイル長は、位置検出可能な有効長に影響を及ぼさないので、十分短いものとすることができ、装置全体を小型化することができる。
【００５４】
つぎに、直線移動範囲が１０ｍｍである可動部の移動位置を検出する本発明の第２の実施の形態の位置検出装置について説明する。なお、この第２の実施の形態の位置検出装置を説明するのにあたり、上記第１の実施の形態の位置検出装置１と同一の構成要素については、図面中に同一の符号を付け、その詳細な説明を省略する。
【００５５】
図６に、本発明を適用した第２の実施の形態の位置検出装置の断面図を示す。
【００５６】
この第２の実施の形態の位置検出装置２０では、可動部２の移動を１０ｍｍの範囲で位置検出することができるように、位置検出が可能な有効長が１０ｍｍ以上となっている。
【００５７】
位置検出装置２０は、円筒状の筐体３と、第３のボビン２１に巻回されてこの筐体３内に収納された第３のコイル２２と、筐体３を閉塞する蓋体８と、第３のコイル２２の内部に設けられた高透磁率材料であるパーマロイ２３とを備えている。
【００５８】
第３のコイル２２は、例えば、直径が０．０６ｍｍのＣｕ線が第３のボビン２１に１層分巻回されることにより形成されている。この第３のコイル２２のコイル長は、可動部２の可動範囲すなわちこの装置の有効長よりも長くなっており、また、上記第１の実施の形態の第１のコイル５のコイル長よりも短く、例えば、２０ｍｍとなっている。また、この第３のコイル２２のコイル径は例えば４ｍｍとなっている。第３のボビン２１に巻回された第３のコイル２２は、その中心軸が円筒状の筐体３の中心軸に一致するように、この筐体３の内部に収納されている。
【００５９】
ここで、第３のコイル２２と第２のコイル７は、可動部２の移動方向に対して端部をつきあわせたかたちで隣接した位置に配置されている。例えば、第３のコイル２２は可動部２に対向する筐体３の一方の開口部３ａ側に配置され、第２のコイル７は可動部２に対向しない筐体３の一方の開口部３ｂ側に配置される。
【００６０】
この第３のコイル２２と第２のコイル７は、筐体３の可動部２に対向しない一方の開口部３ｂが有底筒状の蓋体８により閉塞されることにより、筐体３内の所定の位置に固定されている。
【００６１】
また、第３のコイル２２には、可動部２に対向しない一方の筐体３の開口部３ｂに近接した端部に、すなわち、コア２４の挿入方向の先端部に、高透磁率材料であるパーマロイ２３が設けられている。パーマロイ２３は、例えば、直径が２ｍｍで、高さが３ｍｍの円柱状の形状を有している。
【００６２】
ここで、第３のコイル２２にパーマロイ２３を設けていない場合、励磁駆動した第３のコイル２２が発生する磁束は、図７（ａ）に示すように、コイル端部において拡散した状態となる。これに対して、第３のコイル２２にパーマロイ２３を設けた場合、励磁駆動した第３のコイル２２の磁束は、図７（ｂ）に示すように、コイル端部において理想的な平行状態となる。すなわち、第３のコイル２２の端部にパーマロイ２３を設けることにより、第３のコイル２２の内部を通過する磁束がパーマロイ２３に集束する。そのため、この第３のコイル２２では、磁束量の変化に対するインピーダンスの変化のリニアリティーが改善される。
【００６３】
また、パーマロイ２３を設ける位置は、コア７の挿入方向の先端部の近傍であれば、上記図７（ｂ）に示すような全体が完全に第３のコイル２２の内部に挿入されている位置に限られない。例えば、図８（ａ）に示すように、パーマロイ２３の一部が第３のコイル２２の外部に突出し、一部が内部に挿入されている位置に設けても良い。また、図８（ｂ）に示すように、パーマロイ２３を第３のコイル２２の外部に隣接した位置に設けても良い。また、図８（ｃ）に示すように、パーマロイ２３を第３のコイル２２の端部から離れた外部に設けても良い。
【００６４】
なお、この位置検出装置２０では、パーマロイ２３に変えて、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｂ等の高透磁率材料を第３のコイル２２に設けても良い。
【００６５】
また、この位置検出装置２０は、第３のコイル２２内に挿入された丸棒状のコア２４と、このコア２４を支持するスピンドル１０とを備えている。
【００６６】
コア２４は、材質等は、上記第１の実施の形態のコア９と同一であるが、長手方向の長さがコア９よりも短く１６．５ｍｍの丸棒状の形状を有している。
【００６７】
以上のような構成の位置検出装置２０では、可動部２が、図中Ｘ１方向又はＸ２方向に直線移動すると、スピンドル１０もこの移動にともなって筐体３内を図中Ｘ１方向又はＸ２方向に直線移動する。このことにより、コア２４が、可動部２の移動にともなって、第３のコイル２２の内部を、この第２のコイル２２の中心軸方向に有効長の範囲で直線移動する。
【００６８】
図９に、可動部２の位置（Position）に対する駆動検出回路１１の出力特性図を示し、図１０に、可動部２の位置に対する出力の直線性誤差（Error）を示す。
【００６９】
図９に示すように、この位置検出装置２０では、可動部２の移動範囲である有効長１０ｍｍ内で、約１．００ボルトから０．４８ボルトの範囲で直線的に電圧変動する出力を得ることができる。また、図１０に示すように、この位置検出装置１では、可動部２の移動範囲である有効長１０ｍｍ内で、直線性誤差を０．５パーセント以下とすることができる。
【００７０】
以上のように本発明の第２の実施の形態の位置検出装置２０では、高い精度で可動部２の移動位置を検出することができる。また、この位置検出装置２０では、駆動検出回路１１により高周波励磁した第３のコイル２２を用いて位置検出を行うので、コイル長に対して位置検出可能な有効長を長くすることができる。そのため、位置検出装置２０では、装置全体の小型化を図り、また、回路規模を小さくすることができる。
【００７１】
また、この位置検出装置２０では、高周波励磁をした第３のコイル２２のインピーダンスを検出をするので、応答性に優れ、この第３のコイル２２の巻き線数を少なくすることができる。
【００７２】
また、この位置検出装置２０では、コア２４との相対位置によってもインピーダンス変化が生じない第２のコイル７との差分を検出して、第３のコイル２２のインピーダンスを検出しているので、温度変化や電気的なノイズの影響を受けずに、位置検出をすることができる。また、第３のコイル２２のコイル長は、位置検出可能な有効長に影響を及ぼさないので、十分短いものとすることができ、装置全体を小型化することができる。
【００７３】
さらに、この位置検出装置２０では、コア２４の挿入方向の第３のコイル２２の先端部分に固定したパーマロイ２３を備えることにより、第３のコイル２２内の磁束を平行とすることができ、第３のコイル２２のコイル長に対してさらに有効長を長くすることができる。
【００７４】
なお、以上説明した実施の形態では、第２のコイル７を、第１のコイル５又は第３のコイル２２に対して、可動部２に対向しない筐体３の一方の開口部３ｂ側につきあわせたかたちで隣接して配置しているが、本発明では、コア９或いはコア２４との相対位置の関係によってインピーダンスが変化しない位置であれば、どのような位置に第２のコイル７を配置しても良い。
【００７５】
例えば、図１１に示す位置検出装置３０のように、第２のコイル７を、第３のコイル２２に対して、可動部２に対向した筐体３の一方の開口部３ａ側につきあわせたかたちで隣接して配置してもよい。この位置検出装置３０では、コア９が移動した場合であっても、第２のコイル７の内部に常にコア９が挿入された状態となっているため、第２のコイル７のインピーダンスは変化しない。
【００７６】
また、例えば、図１２に示す位置検出装置４０のように、可動部２に対向した筐体３の一方の開口部３ａ側の第１のコイル２２の端部の外周に、第２のコイル７を巻回しても良い。この位置検出装置４０では、コア２４が移動した場合であっても、第２のコイル７の内部に常にコア２４が挿入された状態となっているため、第２のコイル７のインピーダンスは変化しない。
【００７７】
また、例えば、図１３に示す位置検出装置５０のように、可動部２に対向していない筐体３の一方の開口部３ｂ側の第１のコイル２２の端部の外周に、第２のコイル７を巻回しても良い。この位置検出装置５０では、コア２４が移動した場合であっても、第２のコイル７の内部に常にコア２４が挿入されていない状態となっているため、第２のコイル７のインピーダンスは変化しない。
【００７８】
また、以上本発明の実施の形態を説明するにあたり、固定配置されたコイル内をコアが移動する位置検出装置を示したが、コイルとコアとの相対位置に応じてコイルのインピーダンスが変化するので、固定配置されたコアに対してコイルを移動させ、すなわち、筐体を可動部に取り付けて、位置検出をしてもよい。
【００７９】
また、本発明の実施の形態を説明するにあたり、筐体、コア、コイル、スピンドルの形状を、円筒状或いは丸棒状とした位置検出装置を示したが、本発明では、その形状は限られず、例えば、矩形筒状の筐体、板状のコア，スピンドル、矩形に巻回されたコイル等を用いても良い。
【００８０】
さらに、本発明の実施の形態を説明するにあたり、直線移動をする可動部の移動位置を検出する位置検出装置について示したが、本発明では、直線移動に限られず、例えば、中心軸が円弧状となったコイルに、このコイルの中心軸の形状と同一のコアを挿入して、円移動する可動部の回転位置を検出しても良い。
【００８１】
【発明の効果】
本発明に係る位置検出装置では、コアの移動位置に応じて変化する高周波励磁された第１及び第２のコイルのインピーダンスの差を検出し、このインピーダンスの差に基づき上記コアに取り付けられた物体の移動位置を検出する。このことにより、この位置検出装置では、コイル長に対して位置検出可能な有効長を長くすることができ、そのため、装置全体の小型化を図ることができる。また、この位置検出装置では、第１と第２のコイルのインピーダンスの差を検出することから、外乱に対する影響が少なく、高精度な位置検出を行うことができる。また、この位置検出装置では、高周波励磁をした第１のコイルと第２のコイルのインピーダンスを検出をするので、応答性に優れ、コイルの巻き線数を少なくすることができる。
【００８２】
また、本発明に係る位置検出装置では、コアの挿入方向の第１のコイルの先端部分の近傍に固定した高透磁率材料を備えることにより、第１のコイル内の磁束を平行とすることができ、さらに、高精度な位置検出をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の位置検出装置の断面図である。
【図２】上記位置検出装置に備えられるコイルとコアとの相対位置に対するインピーダンスの変化を説明するための図である。
【図３】上記位置検出装置の駆動検出回路の回路図である。
【図４】可動部の位置に対する上記位置検出装置の駆動検出回路の出力特性図である。
【図５】可動部の位置に対する上記位置検出装置の駆動検出回路の出力の直線性誤差を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態の位置検出装置の断面図である。
【図７】コイル内の磁束の状態を説明するための図である。
【図８】コイルの端部に設けられパーマロイの位置を説明するための図である。
【図９】可動部の位置に対する上記位置検出装置の駆動検出回路の出力特性図である。
【図１０】可動部の位置に対する上記位置検出装置の駆動検出回路の出力の直線性誤差を示す図である。
【図１１】第２のコイルの配置位置を変えた位置検出装置の断面図である。
【図１２】第２のコイルの配置位置を変えた他の位置検出装置の断面図である。
【図１３】第２のコイルの配置位置を変えた他の位置検出装置の断面図である。
【図１４】従来の位置検出装置を示す図である。
【図１５】従来の位置検出装置の出力特性を示す図である。
【符号の説明】
１，２０，３０，４０，５０  位置検出装置、２  可動部、３  筐体、４  第１のボビン、５  第１のコイル、６  第２のボビン、７  第２のコイル、８  蓋体、９，２４  コア、１０  スピンドル、１１  駆動検出回路、２１  第３のボビン、２２  第３のコイル、２３  パーマロイ
【図１】
0003937372.tif 000002
【図２】
0003937372.tif 000003
【図３】
0003937372.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0003937372.tif 000007
【図７】
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【図８】
0003937372.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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