(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に形成された絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、
前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、所定の金属元素を含む第１の導電層を形成する工程と、
前記基板を酸化雰囲気に暴露することにより、前記第１の導電層の表面に前記金属元素の酸化物層を形成する工程と、
前記酸化物層の表面に、前記金属元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第２の導電層を堆積する工程と、
前記基板を真空中でアニール処理し、前記酸化物層を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記第１の導電層と前記第２の導電層との界面に前記Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、
前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第２の導電層を除去する工程と、
前記第２の導電層の除去後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、前記絶縁層の溝或いは孔内に前記配線を埋め込み形成する工程との間に、
前記溝或いは孔の側面に形成される前記Ａｌ元素の酸化物層を残しつつ、前記溝或いは孔の底面に形成される前記Ａｌ元素の酸化物層を除去する工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記金属元素がＷ，Ｔｉ，Ｔａ或いはＮｂであり、第１の導電層がＷ，Ｔｉ，Ｔａ或いはＮｂの窒化物であることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
半導体基板上に形成された所定元素の酸化物を含む絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、
前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、前記所定元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第１の導電層を形成する工程と、
前記基板を真空中でアニール処理し、前記所定元素の酸化物を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記絶縁層と第１の導電層との界面に該Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、
前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第１の導電層を除去する工程と、
前記第１の導電層の除去後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項５】
半導体基板上に形成された所定元素の酸化物を含む絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、
前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、前記所定元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第１の導電層を形成する工程と、
前記基板を真空中でアニール処理し、前記所定元素の酸化物を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記絶縁層と第１の導電層との界面に該Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、
前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第１の導電層を除去する工程と、
前記第１の導電層の除去後に、前記Ａｌ元素より酸化物の生成自由エネルギーが高い金属元素を含む第２の導電層を堆積する工程と、
前記第２の導電層を堆積した後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記所定元素がＳｉであることを特徴とする請求項４又は５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記所定元素がＳｉ，前記Ａｌ元素より酸化物の生成自由エネルギーが高い金属元素がＷ，Ｔｉ，Ｔａ或いはＮｂ，且つ第２の導電層がＷ，Ｔｉ，Ｔａ或いはＮｂの窒化物であることを特徴とする請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線材の拡散を抑制するバリアメタルを具備する半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置のバリアメタルとして用いられるＴｉＮ層の表面を酸化雰囲気にさらすことにより、Ａｌに対する拡散バリア性が向上することが知られている。これは、ＴｉＮの表面と結晶粒界に沿って、バリア性の高いＴｉ酸窒化物層が形成されるためと考えられている。
【０００３】
例えば、Ａｌ配線がＳｉ基板の拡散層と接続するコンタクトホールに、拡散バリアとしてＴｉＮ膜を堆積した後、微量の酸素を含む窒素雰囲気でアニール（スタッフィング処理）を行った上でＡｌ膜を堆積すると、その後の熱履歴によるＡｌとＳｉの相互拡散を効果的に阻止することができる。
【０００４】
そこで、半導体装置のＣｕダマシン配線の製造工程に対しても同様に、ＴｉＮ層の表面または粒界にＴｉ酸化物（ＴｉＯx ，Ｔｉ（ＯＮ）x ）を形成し、Ｃｕの拡散を抑制する方法が提案されている。
【０００５】
この製造プロセスを図５の工程断面図を用いて説明する。先ず、図５（ａ）に示すように、絶縁層１２に形成された配線溝１４とヴィアホール１３にＴｉＮ層１５を堆積する。ヴィアホール１３は下層の配線１１との接続部位であり、底部は配線１１が露出している。次いで、図５（ｂ）に示すように、ＴｉＮ層１５の表面にＴｉ酸化物（ＴｉＯx ）１６を形成する。Ｔｉ酸化物１６は、大気中暴露、酸素プラズマ処理、微量酸素を含む窒素アニール（ｓｔｕｆｆｉｎｇ処理）することで形成することができる。次いで、図５（ｃ）に示すように、Ｃｕ１９を堆積し、配線溝１４とヴィアホール１３をＣｕ１９で埋め込む。そして、図５（ｄ）に示すように、ＣＭＰにより絶縁層１２上の余分なＣｕ１９及びＴｉＮ層１５を除去し、Ｃｕダマシン配線１９を形成する。
【０００６】
しかしながら、以上の方法では、ＴｉＮ層のＣｕ拡散に対するバリア性が十分でなく、製造プロセスの熱履歴によリＣｕが絶縁層中に拡散する恐れがある。Ｃｕ膜とＴｉＮ層の界面のＴｉ酸化物の存在により、Ｃｕ膜とＴｉＮ層の密着強度が低下してＣＭＰで不良が発生する問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、バリアメタル層のＴｉＮの表面を酸化雰囲気にさらすことによって、Ａｌに対するバリア性が向上することが知られているが、Ｃｕ膜に対してのバリア性の顕著な向上が見られないという問題点がある。また、Ｔｉ酸化物とＴｉＮ層との界面にＴｉ酸化物が存在することによって、密着強度が不足しＣＭＰ時に不良が発生するという問題点がある。
【０００８】
本発明の目的は、配線材に対するバリア性の向上を図ると共に、ＣＭＰ時の膜剥がれによる不良の発生を抑制し得る半導体装置の製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
［構成］
本発明は、上記目的を達成するために以下のように構成されている。
【００１０】
（１）本発明（請求項１）の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に形成された絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、所定の金属元素を含む第１の導電層を形成する工程と、前記基板を酸化雰囲気に暴露することにより、前記第１の導電層の表面に前記金属元素の酸化物層を形成する工程と、前記酸化物層の表面に、前記金属元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第２の導電層を堆積する工程と、前記基板を真空中でアニール処理し、前記酸化物層を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記第１の導電層と前記第２の導電層との界面に前記Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第２の導電層を除去する工程と、前記第２の導電層の除去後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００１２】
（２）本発明（請求項４）の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に形成された所定元素の酸化物を含む絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、前記所定元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第１の導電層を形成する工程と、前記基板を真空中でアニール処理し、前記所定元素の酸化物を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記絶縁層と第１の導電層との界面に該Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第１の導電層を除去する工程と、前記第１の導電層の除去後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程と、を含むことを特徴とする。
（３）本発明（請求項５）の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に形成された所定元素の酸化物を含む絶縁層に溝或いは孔を形成する工程と、前記溝或いは孔が形成された絶縁層の表面に、前記所定元素より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ元素を含む第１の導電層を形成する工程と、前記基板を真空中でアニール処理し、前記所定元素の酸化物を前記Ａｌ元素により還元することにより、前記絶縁層と第１の導電層との界面に該Ａｌ元素の酸化物層を形成する工程と、前記Ａｌ元素の酸化物層の形成で酸化されずに残った前記第１の導電層を除去する工程と、前記第１の導電層の除去後に、前記Ａｌ元素より酸化物の生成自由エネルギーが高い金属元素を含む第２の導電層を堆積する工程と、前記第２の導電層を堆積した後に、前記絶縁層の溝或いは孔内にＣｕ配線を埋め込み形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００１４】
［作用］
本発明は、上記構成によって以下の作用・効果を有する。
【００１５】
請求項１によれば、配線のバリアメタル層として用いられる第１の導電層の表面に、配線材に対するバリア性に優れた薄い第２の金属元素の酸化物層（例えばＡｌ酸化物）を均一な厚みで選択的に形成することができる。抵抗が高い酸化物層は、薄く形成されるので、配線の電気抵抗の増加を抑制することができる。
【００１６】
また、請求項５によれば、酸素を含む絶縁層の表面に、配線材に対するバリア性に優れた薄い金属元素の酸化物層を均一な厚みで選択的に形成することができる。下層の配線に接続する絶縁層の溝或いは孔の表面には、金属酸化物の酸化物層が形成されないので、配線抵抗の増大の恐れがない。
【００１７】
【発明の実施の形態】
先ず、本発明の実施の形態を説明する前に、本発明の背景について説明する。
【００１８】
前述したように、ＴｉＮ層の表面を酸化雰囲気にさらすことにより、Ａｌに対する拡散バリア性が向上することが知られている。これは、ＴｉＮの表面と結晶粒界に沿って、バリア性の高いＴｉ酸窒化物層が形成されるためと考えられていた。しかしながら、上記のようなＴｉＮ層の表面酸化処理をＣｕに対して行った場合、Ａｌに対する拡散バリア性のような、顕著なバリア性の向上は認められない。
【００１９】
そこで、本発明者等は、表面酸化処理によりバリア性の向上が認められたＡｌとＴｉＮとの界面の詳細な解析を行った。先ず、シリコン酸化膜上にＴｉＮ膜を化成スパッタ法により膜厚２０ｎｍ堆積した後、酸素を微量含むＮ2 ガスを流しながらアニールを行い、ＴｉＮ膜表面の酸化処理を行って、Ｔｉ酸化膜を形成した。その後、Ｔｉ酸化膜上にＡｌ膜をスパッタリング法により膜厚２０ｎｍ堆積し、スパッタリング装置内の超高真空中で、Ａｌ膜に島状の凝集が生じるまでアニールを行った。凝集したＡｌのＴｉ酸化物に対する接触角を断面ＳＥＭで測定した結果、Ｔｉ酸化物上のＡｌの接触角とは大きく異なり、Ａｌ酸化物上の接触角に近いことが明らかになった。
【００２０】
次に、ＡｌとＴｉＮ界面での結合状態を調べるため、Ｘ線電子分光法（X-ray photoelectron spectroscopy：ＸＰＳ）による深さ方向の分析を行った結果、ＡｌとＴｉＮとの界面付近にＡｌ−Ｏ結合のピークが認められた。
【００２１】
以上のことから、本発明者等は、ＴｉＮの表面酸化処理によるＡｌに対するバリア性の向上は、単にＴｉＮ表面にＴｉ酸化物が形成されるためではなく、その後のＡｌとの界面反応によりＴｉ酸化物の還元が起こって、界面にバリア性の高いＡｌ酸化物が生成されるためであると考えるに至った。
【００２２】
本発明者等は、各種元素の酸化物について、以下のようなＣｕに対するバリア性の評価を試みた。Ｓｉ基板上に、基板へのＣｕ拡散を防止するため、ＬＰＣＶＤ法によりシリコン窒化膜を厚さ２００ｎｍ堆積した後、ＬＰＣＶＤ法によりアモルファスシリコン膜を膜厚１００ｎｍ堆積した。引き続き、化成スパッタ法によりＡｌ酸化物膜、Ｔａ酸化物膜、Ｎｂ酸化物膜、Ｗ酸化物膜、Ｔｉ酸化物膜或いはＳｉ酸化物膜を膜厚５ｎｍで堆積した後、Ｃｕ膜を厚さ２００ｎｍ堆積した。このようにして作成した試料を、真空中において４５０℃で４時間、１６時間のアニールを行い、Ｃｕ膜から酸化物膜を通してアモルファスシリコン膜に拡散したＣｕにより生成されたＣｕシリサイドの生成率（シリサイド化率）により、酸化物膜のバリア性の評価を行った。シリサイド化率の評価結果を表１に示す。
【００２３】
【表１】
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【００２４】
表１に示すように、Ｔａ酸化物、Ｎｂ酸化物、Ｗ酸化物又はＴｉ酸化物は、シリコン酸化膜に比べてＣｕに対するバリア性が高いが、Ａｌ酸化物は、それらの酸化物よりも更に優れたバリア性を持つことが確認された。
【００２５】
また、Ａｌ酸化物は、Ｃｕに対する密着性についても優れており、その後のプロセスで溝や孔にＣｕ埋め込み配線を形成する際に、ＣＭＰによる膜剥がれが生じる恐れが無かった。
【００２６】
次に、本発明の実施の形態を以下に図面を参照して説明する。
【００２７】
［第１実施形態］
図１，図２は、本発明の第１実施形態に係わる半導体装置の製造工程を示す工程断面図である。
先ず、図１（ａ）に示すように、配線１１を覆うように形成された絶縁層１２に、配線１１に接続するヴィアホール１３、及びこのヴィアホール１３に接続する配線溝１４を形成する。なお、図１，図２において、配線１１及び絶縁層１２は、素子が形成された半導体基板上に形成されているが、素子及び半導体基板の図示を省略している。そして、全面に膜厚１０ｎｍのＴｉＮ層１５をロング・スロー・スパッタ法により堆積する。このとき、ＴｉＮ層１５が、ヴィアホール１３及び配線溝１４の内壁及び底面を被覆するような条件で形成する。
【００２８】
次いで、図１（ｂ）に示すように、微量の酸素を含む窒素雰囲気中でアニール（ｓｔｕｆｆｉｎｇ処理）を４５０℃で３０分行い、ＴｉＮ層１５の表面にＴｉ酸化物（ＴｉＯx ）１６を形成する。
【００２９】
次いで、図１（ｃ）に示すように、ロング・スロー・スパッタ法により、Ｔｉ（第１の金属元素）より酸化物の生成自由エネルギーが低いＡｌ（第２の金属元素）を堆積することにより、Ｔｉ酸化物１６の表面に膜厚１００ｎｍのＡｌ層１７を形成する。
【００３０】
次いで、図１（ｄ）に示すように、４５０℃で１５分間真空アニールを行って、Ａｌ層１７とＴｉ酸化物１６とを反応させて、Ａｌ層１７とＴｉ酸化物１６との界面にＡｌ酸化物層（ＡｌＯx ）１８を厚さ１〜３ｎｍ形成する。前述したようにＡｌはＴｉより酸化物の生成自由エネルギーが低いので、真空アニールによってＴｉ酸化物がＡｌにより還元されてＡｌ酸化物が生成される。Ａｌ酸化物層１８は、前述したように優れたバリア性を有するので、後に形成されるＣｕ配線の拡散を抑制することができる。
【００３１】
次いで、図２（ｅ）に示すように、反応せずに残ったＡｌ層１７を、リン酸を主成分とするウェット・エッチング液により除去する。なお、Ａｌ酸化物層１８の抵抗が高いので、配線１１と後に形成されるＣｕ配線との接触抵抗が高くなるので、異方性エッチング等を行うことによって、ヴィアホール１３の底面のＡｌ酸化物層１８を選択的に除去しても良い。なお、ヴィアホール１３底面のＡｌ酸化物層１８の除去と同時に、ヴィアホール１３底面のＴｉＮ層１５を除去しても良い。
【００３２】
次いで、図２（ｆ）に示すように、Ｃｕをロング・スロー・スパッタ法により堆積した後、４５０℃で１５分アニールを行ってリフローし、配線溝１４及びヴィアホール１３をＣｕ１９で埋め込む。
そして、図２（ｇ）に示すように、ＣＭＰにより絶縁層１２上の余分なＣｕ１９、ＴｉＮ層１５を除去し、Ｃｕダマシン配線１９を形成する。このＣＭＰ工程において、Ｃｕ１９とＴｉＮ層１５との間には、Ｃｕに対する密着性が優れたＡｌ酸化物層１８が形成されているので、膜剥がれが生じず、不良の発生を抑制することができる。
【００３３】
本方法によれば、Ｃｕダマシン配線１９とＴｉＮ層１５との界面に緻密で薄いＡｌＯx を形成することができるので、ＴｉＮ層１５のＣｕに対するバリア性が向上する。また、ＣｕとＡｌＯx は密着強度が高いので、ＣＭＰを良好に行うことができ、膜剥がれによる不良の発生を抑制することができる。
【００３４】
なお、Ｃｕダマシン配線１９と配線１１との界面には抵抗の高いＡｌ酸化物層１８が形成されるが、厚さを薄く形成できるのでトンネル効果により電流が流れ、電気抵抗の増加を抑制できる。なお、電気抵抗の増加が問題となる場合は、ＲＩＥなどの異方性エッチングによりヴィアホール底のＡｌ酸化物を選択的に除去すればよい。
【００３５】
［第２実施形態］
図３，図４は、本発明の第２実施形態に係わる半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。
先ず、図３（ａ）に示すように、配線１１を覆うように形成されたＳｉＯx 絶縁層（所定元素の酸化物）３２に、配線１１に接続するヴィアホール１３、及びこのヴィアホール１３に接続する配線溝１４を形成する。なお、図３，図４において、配線１１及びＳｉＯx 絶縁層３２は、素子が形成された半導体基板上に形成されているが、素子及び半導体基板の図示を省略している。そして、全面に膜厚１０ｎｍのＡｌ層１７をロング・スロー・スパッタ法により堆積する。このとき、Ａｌ層１７が、ヴィアホール１３及び配線溝１４の内壁及び底面を被覆するような条件で形成する。
【００３６】
次いで、図３（ｂ）に示すように、真空アニールを４５０℃で１５分行い、Ａｌ層１７とＳｉＯx 絶縁層３２を反応させ、Ａｌ層１７とＳｉＯx 絶縁層３２との界面に厚さ１〜３ｎｍのＡｌ酸化物（ＡｌＯx ）層１８を形成する。Ａｌ（金属元素）はＳｉ（所定元素）より酸化物の生成自由エネルギーが低いので、真空アニールにより、ＳｉＯx がＡｌによって還元され、Ａｌ酸化物が生成される。
【００３７】
次いで、図３（ｃ）に示すように、反応せずにＡｌ酸化物層１８上に残存するＡｌ層１７を、リン酸を主成分とするウェット・エッチング液により選択的に除去する。
次いで、図４（ｄ）に示すように、ＴｉＮ層１５をロング・スロー・スパッタ法により膜厚１０ｎｍ堆積する。Ｔｉ（第２の金属元素）はＡｌ（金属元素）より酸化物の生成自由エネルギーが高いので、後に加熱されてもＡｌ酸化物層１８を還元することがない。
【００３８】
そして、図４（ｅ）に示すように、大気中に暴露すること無く、Ｃｕをロング・スロー・スパッタ法により連続して堆横した後、４５０℃で１５分アニールによりリフローして、配線溝１４とヴィアホール１３内をＣｕ１９で埋め込む。
【００３９】
次に、図４（ｆ）に示すように、ＣＭＰによりＳｉＯx 絶縁層３２上の余分なＣｕ１９、ＴｉＮ層１５を除去し、Ｃｕダマシン配線１９を形成する。
【００４０】
本方法によれば、ＳｉＯx 絶縁層３２とＴｉＮ層１５との界面に薄いＡｌ酸化物層１８を形成されるので、ＴｉＮ層１５のＣｕダマシン配線１９に対するバリア性が向上する。また、ＴｉＮ層１５とＣｕ１９とを連続して堆積するので密着強度が低下することはなく、ＣＭＰを良好に行うことができる。Ｃｕダマシン配線１９と配線１１との接続する界面にはＡｌ酸化物が形成されないので、電気抵抗の増大の懸念がない。
【００４１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態において、第１の金属元素及び第２の金属元素としてそれぞれＡｌ及びＴｉを用いていたが、これに限るものではなく、二つの金属元素の酸化物の生成自由エネルギーが異なり、且つ第２の金属元素の酸化物の生成自由エネルギーが第１の金属元素より低い関係にあるならば任意の金属元素を用いることができる。
【００４２】
また、第２実施形態において、金属元素及び所定元素としてそれぞれＡｌ及びＳｉを用いていたが、これに限るものではなく、二つの元素の酸化物の生成自由エネルギーが異なり、且つ金属元素の酸化物の生成自由エネルギーが所定元素より低い関係にあるならば任意の金属元素を用いることができる。
【００４３】
上記実施形態では、ＴｉＮ層１５の堆積方法にロング・スロー・スパッタ法を用いたが、他の堆積方法、例えばプリカーサにＴＤＭＡＴを用いたＭＯＣＶＤのようなＣＶＤを用いてもよい。また、Ｔｉ酸化物１６の形成方法として、微量酸素を含む窒素アニール（ｓｔｕｆｆｉｎｇ処理）を用いたが、他の酸化処理、たとえは大気中暴露、酸素プラズマ処理を用いてもよい。また、ＴｉＮ以外に、Ｗ，Ｔａ或いはＮｂを少なくとも含む導電材料、例えばＷ，Ｔａ或いはＮｂの窒化物を用いることができる。
【００４４】
Ａｌ層１７を堆積したが、Ａｌ層の代りに、Ａｌ−Ｓｉ、ＡｌＣｕなどのＡｌ合金層を堆積してもよい。本実施形態では、Ａｌ層１７の堆積方法としてロング・スロー・スパッタ法を用いたが、他の堆積方法、たとえばＣＶＤを用いてもよい。また、還元反応を促進するためにＡｌ層の堆積後にアニールを行ったが、堆積時に加熱してもよいし、Ａｌ層の堆積時に反応が十分進行する場合は特に加熱、アニールの必要はない。また、反応せずに残ったＡｌ層の除去を行ったが、反応により残ったＡｌがＣｕと反応して配線抵抗を増加させるなどの問題が生じなければ、必ずしも除去する必要はない。
【００４５】
また、Ｃｕの堆積方法としてロング・スロー・スパッタ法を用いたが、他の堆積方法、たとえばＣＶＤまたは電解メッキまたは無電解メッキまたはそれらの成膜手法を組み合わせを用いてもよく、埋め込みを促進する必要がない場合は、加熱、アニールは不要である。
また、Ｃｕ以外の配線材を用いることができる。
その他、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが可能である。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、配線のバリアメタル層として用いられる第１の導電層の表面に、配線材に対するバリア性に優れると共に配線材との密着性に優れる薄い酸化物層を均一な厚みで選択的に形成することができる。抵抗が高い酸化物層は、薄く形成されるので、配線の電気抵抗の増加を抑制することができる。
【００４７】
また、酸素を含む絶縁層の表面に、配線材に対するバリア性に優れる薄い金属元素の酸化物層を均一な厚みで選択的に形成することができる。下層の配線に接続する絶縁層の溝或いは孔の表面には、金属酸化物の酸化物層が形成されないので、配線抵抗の増大の恐れがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係わる半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【図２】第１実施形態に係わる半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【図３】第２実施形態に係わる半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【図４】第２実施形態に係わる半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【図５】従来の半導体装置の製造方法を示す工程断面図。
【符号の説明】
１１…配線
１２…絶縁層
１３…ヴィアホール
１４…配線溝
１５…ＴｉＮ層
１６…Ｔｉ酸化物
１７…Ａｌ層
１８…Ａｌ酸化物層
１９…ダマシン配線
【図１】
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【図２】
0003974284.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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