(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クランプアームを一体に備えたピストンロッドをアンクランプ角度位置からクランプ角度位置へ旋回させてから軸方向へ移動させてワークをクランプするクランプシリンダであって、シリンダチューブ内にピストンを回転阻止した状態で軸方向移動可能に設け、ピストンにピストンロッドを軸方向に所定量相対移動かつ旋回可能に設け、ピストンロッドに設けた旋回用案内溝とピストンのガイド部材を係合し、アンクランプ角度位置からクランプ角度位置へ旋回させるときには、ピストンロッドの後端部に設けた係止端面とヘッドカバーに設けた規制端面とが当接してピストンロッドの軸方向移動を規制し、ピストンロッドがクランプ角度位置にある時にはピストンロッドの係止部とヘッドカバーの係合部とが嵌まり込んでピストンロッドを軸方向へ摺動するようにした定位置旋回のクランプシリンダにおいて、シリンダチューブを、シリンダ孔の周壁外周にセンサが溝内部に収容される溝形状となっているチューブ軸線方向のセンサ取付け溝を形成した断面のアルミ型材で構成し、ヘッドカバーを前記センサ取付け溝に対応した部分にセンサ挿通溝を形成すると共に、シリンダチューブとの締結ボルトのボルト孔を形成した断面のアルミ型材で構成し、ヘッドカバーの内側中心に耐摩耗性の高い鉄系材質から成る係合ブッシュを固定し、係合ブッシュに長孔から成る係合部を形成すると共に係合ブッシュのロッド側端面をピストンロッドの係止端面を受止めてピストンロッドの軸方向後退を規制する規制端面とし、ピストンロッドの後部に細い段付軸を形成し、段付軸の後端部に前記係合部の長孔に嵌まり込み可能な２面幅部から成る係止部を形成すると共に段付軸の後端面を係合ブッシュの規制端面にのみ当接してピストンロッドの軸方向後退を規制する係止端面とし、ピストンに係合ブッシュの外径より外側となる大きさの環状の磁石を設け、その磁石の磁力でセンサ取付け溝に取付けられたセンサを作動するようにしたことを特徴とするクランプシリンダ。
【請求項２】
シリンダチューブは、シリンダ孔内面が冷間引抜きされていることを特徴とする請求項１記載のクランプシリンダ。
【請求項３】
ロッドカバーを耐摩耗性の高い鉄系材料から構成し、ピストンには、シリンダ孔に対するシール部材に対して、ロッドカバーの反対側に前記磁石を取付けて成ることを特徴とする請求項１または２記載のクランプシリンダ。
【請求項４】
シリンダチューブを、シリンダ孔の周壁外周にセンサが溝内部に収容される溝形状となっているチューブ軸線方向のセンサ取付け溝と円周方向に複数の浅い溝を形成すると共に周壁に片側配管用の軸方向孔を形成した断面のアルミ型材で構成したことを特徴とする請求項１または２記載のクランプシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、クランプシリンダに関し、特に、シリンダチューブ外周壁にセンサ取付け溝を形成し、チューブ内側のピストンに備えた磁石により、前記センサ取付け溝に取付けたセンサを動作可能としたクランプシリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
このようなクランプシリンダは実用新案登録第２５０４５４９号で知られている。これによればシリンダチューブはヘッドカバーが一体成形され、そのシリンダチューブの前側をロッドカバーで塞ぎ、シリンダ室内を前後に摺動するピストンにリング状の磁石を取付け、その磁石によりシリンダチューブの半径方向外方に広がる磁界によって動作する磁気感応センサをシリンダチューブ外側のセンサ取付け溝を利用して取付けている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記によれば、シリンダチューブとヘッドカバーとを一体成形しているため、シリンダ孔内面を、シリンダチューブの開口側端部からヘッドカバーに至るまで加工する必要があり、特にシリンダ全長が長い場合にはシリンダ孔の奥まった部分が極めて加工しにくい。しかも、シリンダ孔内に収容されるピストンに対してヘッド側となるシリンダ室への流体供給を、ロッドカバー側から行うようにした、いわゆる片側配管の場合には、ロッドカバー側の流体給排用の配管ポートとヘッド側（後側）シリンダ室とを連絡する軸方向孔をシリンダチューブ周壁に別途、穿孔加工の必要があった。これらの理由により、ヘッドカバーとシリンダチューブを一体成形するものは、加工時間が長く、加工コストが低減できない欠点がある。また、前記シリンダチューブ外周にはピストン位置検出用のセンサが取付けられるが、センサ全体がチューブ外周面から外側に出っ張るため、クランプシリンダの取付けのために大きな空間を必要とし、また、取付態様が限定される欠点がある。
【０００４】
本願の課題は、シリンダチューブ外側に配置される磁気感応センサを動作させる磁石をピストンに備えているクランプシリンダであって、片側配管の場合にシリンダチューブに必要となる連絡用の軸方向孔の加工を不要にでき、加えて、ヘッドカバーの製造コストを下げることで、装置全体の製造コストを低減させることができ、しかも、チューブ外周に取付けるセンサが出っ張らないようにしたクランプシリンダを提供することにある。また本願は、シリンダ孔加工を不要とする上記シリンダを提供する事にある。また、本願の別の課題は、センサを動作させる磁石の磁界が弱められることのない前記クランプシリンダを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題解決のため、本発明は、クランプアームを一体に備えたピストンロッドをアンクランプ角度位置からクランプ角度位置へ旋回させてから軸方向へ移動させてワークをクランプするクランプシリンダであって、シリンダチューブ内にピストンを回転阻止した状態で軸方向移動可能に設け、ピストンにピストンロッドを軸方向に所定量相対移動かつ旋回可能に設け、ピストンロッドに設けた旋回用案内溝とピストンのガイド部材を係合し、アンクランプ角度位置からクランプ角度位置へ旋回させるときには、ピストンロッドの後端部に設けた係止端面とヘッドカバーに設けた規制端面とが当接してピストンロッドの軸方向移動を規制し、ピストンロッドがクランプ角度位置にある時にはピストンロッドの係止部とヘッドカバーの係合部とが嵌まり込んでピストンロッドを軸方向へ摺動するようにした定位置旋回のクランプシリンダにおいて、シリンダチューブを、シリンダ孔の周壁外周にセンサが溝内部に収容される溝形状となっているチューブ軸線方向のセンサ取付け溝を形成した断面のアルミ型材で構成し、ヘッドカバーを前記センサ取付け溝に対応した部分にセンサ挿通溝を形成すると共に、シリンダチューブとの締結ボルトのボルト孔を形成した断面のアルミ型材で構成し、ヘッドカバーの内側中心に耐摩耗性の高い鉄系材質から成る係合ブッシュを固定し、係合ブッシュに長孔から成る係合部を形成すると共に係合ブッシュのロッド側端面をピストンロッドの係止端面を受止めてピストンロッドの軸方向後退を規制する規制端面とし、ピストンロッドの後部に細い段付軸を形成し、段付軸の後端部に前記係合部の長孔に嵌まり込み可能な２面幅部から成る係止部を形成すると共に段付軸の後端面を係合ブッシュの規制端面にのみ当接してピストンロッドの軸方向後退を規制する係止端面とし、ピストンに係合ブッシュの外径より外側となる大きさの環状の磁石を設け、その磁石の磁力でセンサ取付け溝に取付けられたセンサを作動するようにしたことを特徴とする（請求項１）。
また、本発明は、シリンダチューブのシリンダ孔内面が冷間引抜きされていることを特徴とする（請求項２）。
また、本発明は、ロッドカバーを耐摩耗性の高い鉄系材料から構成し、ピストンには、シリンダ孔に対するシール部材に対して、ロッドカバーの反対側に磁石を取付けて成ることを特徴とする（請求項３）。
【０００６】
また、本発明は、シリンダチューブを、シリンダ孔の周壁外周にセンサが溝内部に収容される溝形状となっているチューブ軸線方向のセンサ取付け溝と円周方向に複数の浅い溝を形成すると共に周壁に片側配管用の軸方向孔を形成した断面のアルミ型材で構成したことを特徴とする（請求項４）。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１において、１は円筒状のシリンダチューブでアルミ押し出し又はアルミ冷間引き抜きの型材から成り、その周壁１ａ外周には、図２に示すようにチューブ軸線方向にセンサ取付け溝２が形成され、また、周壁１ａには、チューブ軸線方向に貫通して、複数のボルト貫通孔３が形成されていると共に流体通過孔（片側配管用の軸方向孔）４ａ，４ｂが形成された断面を有する。シリンダチューブのシリンダ孔５は、チューブ外形がアルミ押し出しで形成されている場合でも、冷間引き抜き加工で形成されている。冷間引き抜き加工によりシリンダ孔５が形成されているため、寸法精度が大変良い。そのため、これまでのように鉄系材料（非磁性材料であればステンレス鋼等）で削り出して加工する必要がなく、また、アルミ押し出しでシリンダ孔を形成した場合と比較すると、冷間引き抜き加工したものは切削などの加工が全く不要で安価に生産できる。また、周壁１ａ外周には、センサ取付け溝２のほか、比較的広い幅で浅い溝６が円周方向に複数形成されている。このように周壁１ａに浅い溝６をいくつか設けておくことで、シリンダチューブ１を作業者が握ったときに一種の滑り止め効果が期待でき、また、円筒状の外形のシリンダチューブ１が転がりにくくなり、組み付け時に便利であり、更に、最外周面の面積が小さくなって運搬などで傷が付きにくくなり外観が向上する。７は他方のカバー部材として示すロッドカバーで、ピストンロッド４４が摺動孔８内を摺動するので、耐摩耗性の高い鉄系材料、例えばダクタイル鋳鉄でパーライト系の材質から成る。図３に示すように、ロッドカバー７は、外形がシリンダチューブ１の外形よりさらにチューブ半径方向の外側に広がった略矩形を成し、その背面９から前記シリンダ孔５に嵌入される短い嵌入軸部１０が突出している。背面９において、前記シリンダチューブ１の端面と対向する部分がシール面１１となっている。背面９のシール面１１のチューブ半径方向外側部分は、機械ベースなど固定側部材１００への取付け面１２となっている。シール面１１と取付け面１２とは同一平面を形成している。
【０００８】
ロッドカバー７には、その側面７ａに一対の側面配管ポート１５ａ，１５ｂが設けてある。一方の側面配管ポート１５ａは、嵌入軸部１０の後端面（図では下端面）に開口して前側シリンダ室Ｐ１に連通する第１連通路１６ａに連通している。他方の側面配管ポート１５ｂは、シール面１１に開口して前記シリンダチューブ１の一方の流体通過孔４ｂに連通する第２連通路１６ｂに連通している。また、取付け面１２には、各側面配管ポート１５ａ，１５ｂに連通する端面配管ポート１７ａ，１７ｂが開口している。ロッドカバー７の背面９には、さらに前記シリンダチューブ１のボルト貫通孔３と対向して所定深さの有底のめねじ孔１８が形成されている。ロッドカバー７の前面（ピストンロッド４４突出側）は、摺動孔８から外方へ向けて傾斜面１９が形成されている。傾斜面１９には、機械ベースなどの固定側部材への取付けボルト用のボルト孔２０が設けてある。
【０００９】
図５に示すようにシリンダチューブ１の後端（図では下端）を塞ぐ一方のカバー部材としてのヘッドカバー２１は、前記センサ取付け溝２と対応してセンサ１０５を軸線方向から出し入れするためのセンサ挿通溝２２とボルト貫通孔３に対応するボルト孔２３が断面として形成されているアルミの引き抜き型材から構成され、その型材を必要厚さ（必要軸線方向長さ）に切断し、その切断部材を加工して、シリンダ孔５に嵌まり込む短い嵌入軸部２４と、ピストンロッド４４の後端部が入りこむ段付孔２５と、後側シリンダ室Ｐ２と一方の流体通過孔４ｂとを連通させる連絡溝２６と、ボルト孔２３の入り口の座ぐり孔２７が形成されている。ヘッドカバー２１の背面（シリンダチューブ１に対向する面）はすべてシール面２８になっており、前記連絡溝２６は嵌入軸部２４からシール面２８にかけて設けてある。ボルト孔２３は、その円周の一部が切りかかれた形状となっていてもよい。なお、本実施形態において、他方の流体通過孔４ａは使用していない。
【００１０】
ロッドカバー７の背面９とシリンダチューブ１の前端面（上端面）の間、及び、ヘッドカバー２１とシリンダチューブ１の後端面（下端面）との間には、シール材として薄い板状のガスケット３０、３１が夫々介在される。ガスケット３０、３１は、弾性を有するゴム材料等から成るシール板の間に薄い金属板（アルミ、あるいは鋼板）を挟んで成る。ヘッドカバー２１とシリンダチューブ１との間のガスケット３１（図７）は、前記センサ挿通溝２２、ボルト孔２３、及び連絡溝２６に対応する部分２２Ｅ、２３Ｅ、２６Ｅが切りかかれており、嵌入軸部２４の外側に嵌め込まれる。一方、ロッドカバー７とシリンダチューブ１との間のガスケット３０（図６）は、めねじ孔１８、第２連通孔１６ｂ、端面配管ポート１７ａ、１７ｂ、及びボルト孔２０に対応する部分１８Ｅ、１６ｂＥ、１７ａＥ、１７ｂＥ、２０Ｅが切り欠かれており、嵌入軸部１０の外側に嵌め込まれて、シール面１１のみならず、その外側の取付け面１２全体に広がる大きさになっている。
ロッドカバー７、シリンダチューブ１、ヘッドカバー２１は、これらのガスケット３０、３１を挟んでヘッドカバー２１のボルト孔２３から４本の締結ボルト３２を通し、締結ボルト３２は、シリンダチューブ１のボルト貫通孔３を通って、先端のおねじ部がロッドカバー７のめねじ孔１８にねじ込まれて一体に共締めされてシリンダ本体が構成され、ロッドカバー７、ヘッドカバー２１とシリンダチューブ１前後端面間は、ガスケット３０、３１でシールされる。
【００１１】
シリンダ孔５には中空のピストン４０が軸方向移動自在に嵌装されている。ピストン４０外周には軸方向案内溝４１が形成され、この案内溝４１はシリンダチューブ１に取付けた半径方向のガイドピン４２と係合してピストン４０を回り止めして直線移動のみさせるようにしてある。ピストン４０の中心孔４３にピストンロッド４４が回転かつ軸方向に移動するように嵌め込まれ、ピストンロッド４４はロッドカバー７の摺動孔８を貫通して前方へ突出し、突出部にはクランプアーム４５が一体に設けてある。ピストンロッド４４には、ピストンロッド４４に対するピストン４０の前進端を決めるフランジ４６が一体に設けてある。ピストンロッド４４の後部は細い段付軸４７に形成され、段付軸４７には、ピストンロッド４４に対するピストン４０の軸方向後退端を決めるリング状の規制部材４８が嵌め込まれ、直径方向の取付ピン４９で一体に取付けてある。段付軸４７は規制部材４８より後方に突出している。
【００１２】
ピストンロッド４４の外周には、断面が半円弧の旋回用案内溝（案内カム溝）５１が形成されている。ピストン４０には半径方向のガイド部材収容孔５２が設けてあり、その収容孔５２には、りん青銅から成り、前記旋回用案内溝５１に係合する鋼球５３を回転自在に支持する球受部材５４が、球受部材５４とシリンダ孔５との間にウエアリング５５を介在して埋設してある。旋回用案内溝５１は、後述の２面幅部５６が長孔５８から軸方向に抜け出た状態で、ピストン４０がピストンロッド４４に対して後退端から前進端へ移動すると、鋼球５３との係合でクランプアーム４５（ピストンロッド４４）がクランプ角度位置Ａからアンクランプ角度位置Ｂに旋回し、前進端から後退端へ移動するとアンクランプ角度位置Ｂからクランプ角度位置Ａに旋回するように形成されている。
【００１３】
段付軸４７の後端部（下端部）には、所定軸方向長さで係止部としての２面幅部５６が形成され、この２面幅部５６はクランプアーム４５がクランプ角度位置Ａにあって、ヘッドカバー２１に一体に設けた係合ブッシュ５７の係合部としての長孔５８に嵌まり込んでいるときには（図１，４の状態）、ピストンロッド４４を旋回させないように機能する。段付軸４７の後端面は、前記２面幅部５６が長孔５８から軸方向に抜け出た状態において、ピストンロッド４４がアンクランプ角度位置Ｂからクランプ角度位置Ａに向けて旋回するとき、係合ブッシュ５７のロッド側端面（上端面）で形成される規制端面５９と当接して、ピストンロッド４４の軸方向後退を規制する係止端面６０となっている。前記係合ブッシュ５７は鉄系材料から成り、ヘッドカバー２１に対して一対の固定ピン６１により旋回方向を位置固定され、また、軸線方向はＣ型止め輪６２等で規制されている。ピストン４０は、シリンダ孔５との間のシール部材６５に対して、ロッドカバー７と軸方向反対側にセンサ用の環状永久磁石６６が取付けてある。磁石６６は前記規制部材４８より大径であって、規制部材４８の半径方向外側となる大きさであり、軸線方向をＣ型止め輪６７等で位置規制されている。
【００１４】
薄いガスケット３０，３１でシールする構造としたことで、ロッドカバー７、ヘッドカバー２１のシリンダ孔５への嵌入軸部１０，２４に従来のようにＯリング溝を形成しなくてよく、Ｏリング溝形成のための軸線方向長さが不要となり、シリンダ本体全長が短かくなる。また、シリンダチューブ１と前後のカバー７，２１とをヘッドカバー２１側からの締結ボルト３２で共締めしたので、締結ボルト３２の数が少なくてすむ上に、ロッドカバー７の前面にめねじ孔１８が貫通していないので、ロッドカバー７が上向きとなる使用形態において、上方から機械加工により切粉が落下してもめねじ孔１８に切粉が入りこまず、切粉排出性が良い。また、締結ボルト３２はシリンダチューブ１のボルト貫通孔３を通って、外部から見えないので、シリンダ装置の外観がよい。また、シリンダチューブ１をアルミ型材として、締結ボルト３２をヘッドカバー２１側からロッドカバー７側へ貫通させるためのボルト貫通孔３がシリンダチューブ１の周壁１ａに予め断面形状の一部として設けてあるため、シリンダチューブ１にボルト貫通孔３を別途加工する必要が無く、シリンダチューブ１は、型材を必要長さに切断することで直ちに得ることが出来、加工が容易である。また、ヘッドカバー２１も、センサ挿通溝２２や、ボルト孔２３を断面形状として有するアルミ型材を母材として、必要部分に追加加工をしているだけなので、製造容易である。また、ヘッドカバー２１をアルミ型材としたものでも、ピストンロッド４４の旋回を規制する係合ブッシュ５７を鉄系材料で別部材としてヘッドカバー２１に取付けたことで、鉄系材料からなるピストンロッド４４の２面幅部５６や係止端面６０との摺接があっても、耐久性が高い。
【００１５】
このようなクランプシリンダは、機械や治具ベースなどの固定側部材１００にロッドカバー７のボルト孔２０を利用して取付けボルト１０１で締め付けられる。この時、ロッドカバー７の取付け面１２に、シール材を兼ねるガスケット３０が広がっているので、固定側部材１００との間にも前記ガスケット３０が挟持される。従って、クランプシリンダでワークやパレットをクランプし、工作機械により加工されるときに、クランプシリンダに振動が作用しても、ガスケット３０の弾性により、取付けボルト１０１の弛みが防止され、クランプ作用が確実である。また、固定側部材１００と取付け面１２との間がシールされることで、この部分にシールのない場合に比べて、取付け面１２から加工に伴う切削液などがシリンダチューブ１の外周面を伝い落ちることが防止でき、その結果、シリンダチューブ１の外周の磁気感応センサを切削液から保護できる。また、ガスケット３０が取付け面１２に設けてある端面配管ポート１７ａ，１７ｂと固定側部材１００との間をシールするため、従来のようにシールのために小さなＯリングが不要である。なお、端面配管ポート１７ａ，１７ｂに配管部材を接続するときには、側面配管ポート１５ａ，１５ｂは埋栓で塞ぐが、この時には、前記ガスケット３０が端面配管ポート１７ａ，１７ｂと配管部材との間のシールを兼用する。また、側面配管ポート１５ａ，１５ｂに配管する場合において、端面配管ポート１７ａ，１７ｂが固定側部材１００と対向しない場合や、固定側部材の表面が粗い場合などのように、前記ガスケット３０で端面配管ポート１７ａ，１７ｂがシール不可能な取付け状態であるとき等には、端面配管ポート１７ａ，１７ｂは埋栓で塞がれる。
【００１６】
次に動作を説明する。端面配管ポート１７ａ，１７ｂは固定側部材１００で塞がれ、側面配管ポート１５ａ，１５ｂから圧流体を給排するものとする。２面幅部５６が係合ブッシュ５７から抜け出た状態でアンクランプ角度位置Ｂとなっている状態（図８）から、ポート１５ａ、第１連通路１６ａを介して前側シリンダ室Ｐ１に流体を供給すると、ピストン４０がピストンロッド４４に対して前進端から後退する。この時、２面幅部５６と長孔５８との円周方向の位相がずれていて（図４の二点鎖線Ｂ１）、ピストンロッド４４は係止端面６０と係合ブッシュ５７の規制端面５９とが当接して後退を阻止され、鋼球５３と旋回用案内溝５１との係合でクランプアーム４５はアンクランプ角度位置Ｂからクランプ角度位置Ａへ水平に旋回する。鋼球５３がりん青銅の球受部材５２で転動案内されているので、旋回用案内溝５１内を転動するとき、転動抵抗が極めて小さく、ピストン４０を移動させる流体の作動圧力を小さくできる。クランプ角度位置Ａとなるとピストン４０が規制部材４８に当接し、２面幅部５６と長孔５８の両側面との位相が一致する。この状態でさらに流体作用でピストン４０が後退すると、ピストンロッド４４は２面幅部５６が係合ブッシュ５７の長孔５８の対向面により旋回を阻止された状態でピストン４０が規制部材４８を引っ掛けることで一体に後退し、軸線方向下方に引き込まれてワークＷをクランプする（図１の状態）。
【００１７】
２面幅部５６が係合ブッシュ５７の長孔５８に入りこんで、クランプ角度位置Ａでワークをクランプしている状態からポート１５ｂ、第２連通路１６ｂ、流体通過孔４ｂ、連絡溝２６を介して後側シリンダ室Ｐ２に圧流体を供給すると、２面幅部５６と係合ブッシュ５７の長孔５８との係合でピストンロッド４４が回転阻止されたまま、ピストン４０と共に一体に軸線方向に前進（上昇）し、クランプ角度位置Ａのまま、ワークＷからクランプアーム４５が直進して離れる。２面幅部５６が係合ブッシュ５７の長孔５８から軸線方向に抜けるタイミングでフランジ４６がロッドカバー７に当接してピストンロッド４４は前進を規制され、その状態でピストン４０が前進して前記旋回用案内溝５１と鋼球５３との係合でクランプアーム４５がクランプ角度位置Ａからアンクランプ角度位置Ｂへ水平に旋回する。
【００１８】
クランプアーム４５がクランプ角度位置Ａでワークをクランプしている時、および、クランプアーム４５がアンクランプ角度位置Ｂにある時のピストン４０の各磁石位置に対応して磁気感応センサ１０５が前記シリンダチューブ１外側のセンサ取付け溝２に埋設してあり、クランプアーム４５が前記クランプ角度位置Ａでワークをクランプしている状態、および、クランプアーム４５がアンクランプ角度位置Ｂにある状態となったことがそれらの磁気感応センサ１０５により検出される。ピストンロッド４４に取付ける規制部材４８をアルミ合金などの非磁性材料で構成してあり、また、ヘッドカバー２１がアルミでそれに設けた鉄系材料から成る係合ブッシュ５７を磁石６６の内径より小径としたことで、磁石６６の磁界が係合ブッシュ５７に影響されることが少なく、磁石６６によるシリンダチューブ１の半径方向外側への磁界が弱められず、磁気感応センサ１０５が確実に作動できる。また、センサ１０５がセンサ取付け溝２内に埋設されて、チューブ１の外方へ露出していないため、クランプシリンダの取付け時に小さな取付け空間で取付けできる。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように本発明では、シリンダ孔を有する型材をシリンダチューブに使用したので、必要長さに切断することでシリンダチューブを得る事ができる。また、本発明では、磁界を弱める鉄系材料から成る係合ブッシュの外側に磁石があるので、磁石の磁界が係合ブッシュの影響を受けて弱まることを防止できる。  また、ヘッドカバーをアルミ型材を利用したものでも、旋回式クランプシリンダのピストンロッドと係脱するヘッドカバー部分は鉄系材料で別材料としたので、耐久性を良くできる。しかも、センサ取付け溝はセンサ埋設できる溝なので、センサ取付け状態でセンサがチューブ外周面より外側へ出ず、出っ張りがないため、狭い場所に取付けできる。さらに、ヘッドカバーもアルミ型材をベースにして製造するので、埋設タイプの溝に対応するセンサ挿通溝や、ボルト孔が予め成形されているため、それらの加工が不要で安価に加工できる。
また、本発明では、引き抜き加工によりシリンダ孔が高精度となり、シリンダ孔の内面加工が不要となり、一層安価になる。
また、本発明では、鉄系材料からなるロッドカバーから軸線方向に遠くなるようにピストンに磁石を取付けたので、磁石の磁界がロッドカバーで影響を受けず、センサを確実に動作させ得る。
また、本発明では、シリンダチューブ周壁外周に浅い溝を設けたことによりシリンダチューブを作業者が握った時に一種のすべり止め効果が期待できる。しかも、アルミ型材の断面に片側配管用の連絡用の軸方向孔を形成したので、従来のように追加の穿孔加工を不要にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願クランプシリンダの縦断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面拡大図である。
【図３】図１の平面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図１のＶ視図である。
【図６】ロッドカバー側のガスケットを、シール面、取付け面と共に示す図である。
【図７】ヘッドカバー側のガスケットを示す図である。
【図８】アンクランプ状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  シリンダチューブ
２  センサ取付け溝
５  シリンダ孔
７  ロッドカバー
２１  ヘッドカバー
２２  センサ挿通溝
３０  ガスケット
３１  ガスケット
４０  ピストン
４４  ピストンロッド
４８  規制部材
５１  旋回用案内溝
５３  鋼球（ガイド部材）
５６  ２面幅部（係止部）
５７  係合ブッシュ
５８  長孔（係止部）
５９  規制端面
６０  係止端面
６６  環状永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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