(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをテーブルにセットし、
前記テープの主要部をカバーする大きさの接触部を有し、前記接触部が前記テープに対し角度を持って接触するように傾斜したプッシャーを下降させ、
前記テープを前記リングフレームから剥離することを特徴とするテープ剥離方法。
【請求項２】
前記プッシャーの接触部に吸着部兼ブロー部を設け、
剥離した前記テープを吸着して搬送し、ブローを行って廃棄することを特徴とする請求項１記載のテープ剥離方法。
【請求項３】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームをセットするテーブルと、
前記テープの主要部をカバーする大きさの接触部を有し、前記接触部が前記テープに対し角度を持って接触するように傾斜したプッシャーと、
前記プッシャーを上下に移動させる駆動装置と、
を備えたことを特徴とするテープ剥離装置。
【請求項４】
前記プッシャーの接触部に吸着部兼ブロー部を設け、
剥離した前記テープを吸着して搬送し、ブローを行って廃棄することを特徴とする請求項３記載のテープ剥離装置。
【請求項５】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームを収納するリングマガジンの天板に剥離用穴を設け、
前記テープの主要部をカバーする大きさの接触部を有し、前記接触部が前記テープに対し角度を持って接触するように傾斜したプッシャーを前記剥離用穴を通して下降させ、
前記テープを前記リングフレームから剥離することを特徴とするテープ剥離方法。
【請求項６】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームを収納する天板に剥離用穴を設けたリングマガジンと、
前記テープの主要部をカバーする大きさの接触部を有し、前記接触部が前記テープに対し角度を持って接触するように傾斜したプッシャーと、
前記プッシャーを上下に移動させる駆動装置とを備え、
前記プッシャーを前記剥離用穴を通して下降させて、前記テープを前記リングフレームから剥離することを特徴とするテープ剥離機構。
【請求項７】
前記リングマガジンの底板にテープ排出用穴を設けたことを特徴とする請求項６記載のテープ剥離機構。
【請求項８】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームを収納するリングマガジンの天板に複数の剥離用穴を設け、
前記テープの主要部を押下するように、前記複数の剥離用穴に対応して、先端部が球状で、全体として前記テープに対し角度を持って接触するように長さが異なる複数のプッシャーバーを有するブッシャーを下降させ、
前記プッシャーバーが前記複数の剥離用穴を通して前記テープを前記リングフレームから剥離することを特徴とするテープ剥離方法。
【請求項９】
半導体チップを接着したテープが貼付けられたリングフレームを収納する天板に複数の剥離用穴を設けたリングマガジンと、
前記テープの主要部を押下するように、前記複数の剥離用穴に対応して、先端部が球状で、全体として前記テープに対し角度を持って接触するように長さが異なる複数のプッシャーバーを有するプッシャーと、
前記プッシャーを上下に移動させる駆動装置とを備え、
前記プッシャーを下降させ、前記プッシャーバーが前記複数の剥離用穴を通して前記テープを前記リングフレームから剥離することを特徴とするテープ剥離機構。
【請求項１０】
前記リングマガジンの底板部に受け皿を設け、
剥離した前記テープを前記受け皿に収容することを特徴とする請求項６又は請求項９記載のテープ剥離機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造工程において利用されるテープの剥離技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に半導体装置の製造工程のうちアッセンブリ工程は、ウェハーマウント、ダイシング、ＵＶ（紫外線）照射、ダイスボンド、テープ剥離、ペーストベーク、ワイヤボンド等の工程で構成される。
【０００３】
ウェハーマウント工程では、スクライブリング等と称されるリングフレームに貼付けられたテープ（ＵＶテープ、フィルム、シート等を総称する、以下同じ）に半導体ウエハーが接着される。
【０００４】
ダイスボンディング工程において、図７に示すように、リングフレーム１に貼付けられたテープ２には、良品の半導体チップをボンディングした後の半導体チップの不良品、即ち不良チップ３が接着されている。
【０００５】
図８は従来のテープ剥離方法を示す図で、テープ２に不良チップ３が接着された状態を断面にして示している。
【０００６】
リングフレーム１を収納するための図示してないリングマガジンからリングフレームを１枚又は複数枚取り出した後、人の手でリングフレーム１の内側近傍を矢印で示した剥離方向に押し出して、リングフレーム１とテープ２の接着部分を片側から剥がしている。
【０００７】
また、最近では人の手の代りに剥離体でテープの端部を押し出し、剥がれた端部をクランプして剥離するようにした自動化装置も提案されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、人間の手によるテープ剥離方法ではその分工数がかかり、安全面でも問題があり、また従来の自動化装置は機構が複雑であった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、第１にテープの主要部をカバーする大きさの接触部を有し、その接触部がテープに対し角度を持って接触するように傾斜したプッシャーを下降させてリングフレームからテープを剥離するものである。
【００１０】
第２にリングフレームを収納するリングマガジンの天板に剥離用穴を設け、この穴を通してプッシャーを下降させてリングフレームからテープを剥離するものである。
【００１１】
第３に表面が粘着性のある巻取用テープにテープを接着させてローラーで巻き取るようにしたものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の第１の実施形態を示す図で、リングフレーム１、テープ２、不良チップ３は従来と同じである。
【００１３】
不良チップ３を接着したテープ２が貼付けられたリングフレーム１は剥離用のテーブル４の上にセットされる。
【００１４】
テーブル４にはテープ２が剥がされて、下方に落ちるように穴が設けられている。
【００１５】
テープ２の上方には、テープ２を剥離するためのプッシャー５が設けられ、プッシャー５はエアシリンダ、モーター等の駆動装置６により上下方向に作動する。
【００１６】
プッシャー５は、テープ２がリングフレーム１に接着している部分を除いたテープ２のほとんどの部分である主要部をカバーする大きさの接触部５１を有している。
【００１７】
プッシャー５が下降してテープ２に接触するときに、接触部５１はテープ２に対し角度を持って接触するように傾斜している。このように構成することによりテープ２を端部から徐々に剥がすことができる。
【００１８】
プッシャー５の全体の形状としては、円柱状あるいは角柱状のものの先端を斜めにカットしたもの、その中を中空状にしたもの、又は適度な肉厚の筒状のものでも良い。
【００１９】
次にテープの剥離方法について説明すると、良品の半導体チップをダイスボンドした後、リングマガジンから取り出したリングフレーム１を搬送アーム等でテーブル４の上にセットする。
【００２０】
駆動装置６が作動してプッシャー５を剥離方向Ａに下降させる。プッシャー５の接触部５１はテープ２に対して傾斜しているので、図１ではテープ２の右端の方から接触し、リングフレーム１と接着している部分を徐々に剥がして、最終的には接触部５１の全体でリングフレーム１からテープ２を剥離する。
【００２１】
テープ２は不良チップ３が接着したままテーブル４の穴から下方に落下するので、テーブル４の下側に受け皿等を用意し、そこにストックするようにしておいて適当な時機に廃棄すれば良い。
【００２２】
以上のように、第１の実施形態によれば、簡単な機構により自動でテープ２を剥離することができる。
【００２３】
詳細に述べれば、人間の手により剥離するのに比べ、剥離する際の工数の削減が図れ、不良チップ３の破片で負傷することもなく、また装置構成もシンプルなので極めて実用的である。
【００２４】
また、テープ２の端部から徐々に剥離するので、負荷が小さくて済み、テープ２の接着剤である糊がリングフレーム１に残らないという効果もある。
【００２５】
図２はプッシャーの他の例を示す図で、断面で示している。
【００２６】
プッシャー７の接触部７１に吸着部兼ブロー部７２を設け、それらは溝７３を通して吸着・ブロー装置８に接続される。駆動装置６によりプッシャー７が上下に作動することは図１と同じである。
【００２７】
プッシャー７を下降させてテープを剥離した後、剥離したテープを吸着兼ブロー部７２により吸着して廃棄部まで搬送し、ブローを行ってテープのまとわりつきを防止しながら廃棄することができる。
【００２８】
図３は本発明の第２の実施形態を示す図で、プッシャー５及び駆動装置６は第１の実施形態と同じである。
【００２９】
リングフレーム１の収納容器であるリングマガジン９の天板９１に剥離用穴９２を設けている。また底板９３にも必要に応じてテープ排出用穴９４を設けても良い。
【００３０】
リングマガジン９は、リングフレーム１を縦方向に複数収納できるように、側板９５に収納用溝９６が複数設けられている。
【００３１】
テープの剥離方法について説明すると、ダイスボンド後、不良チップを省略しているテープ２が貼付けてあるリングフレーム１は、リングマガジン９に複数、又は単数で収納される。
【００３２】
リングマガジン９は剥離機構のあるユニット上に設置され、第１の実施形態と同様にプッシャー５を剥離方向Ａに剥離用穴９２を通して下降させ、リングマガジン９内でテープ２をリングフレーム１から剥離する。
【００３３】
その後、底板９３の排出用穴９４から剥離したテープ２はリングマガジン９の下方に押し出され、廃棄用の受け皿等にストックされる。
【００３４】
なお、底板９３に排出用穴９４をあけないときは、テープ２は底板９３の上にストックされる。
【００３５】
以上のように、第２の実施形態によれば、第１の実施形態の効果に加えて、自動で複数のテープを一括剥離することができ、時間短縮の効果がある。
【００３６】
また、リングマガジン９内でテープ２の剥離をするので、リングフレーム１の取り出し、収納が不要で、その工数を削減することができる。
【００３７】
図４は本発明の第３の実施形態を示す図で、プッシャー及び駆動装置は省略されている。
【００３８】
この実施形態は第２の実施形態に廃棄テープ用の受け皿１０を設けたもので、リングマガジン９の天板９１には剥離用穴９２が設けられ、底板９３の上に受け皿１０を設けている。
【００３９】
剥離されたテープ２は底板部の受け皿１０にストックされ、剥離工程の完了後、受け皿１０を引き出し、廃棄テープを取り出して廃棄する。
【００４０】
以上のように、第３の実施形態によれば、第２の実施形態の効果に加え、リングマガジン９内から受け皿１０を引き出すことにより廃棄テープを簡単に取り出すことができ、省スペース化が図れるという効果がある。
【００４１】
図５は本発明の第４の実施形態を示す図で、複数の剥離用穴９２と、複数のプッシャーバー１１１を有するプッシャー１１を設けたものである。
【００４２】
リングマガジン９の天板９１には、全体として円周を描くように複数の剥離用穴９２が設けられる。
【００４３】
駆動装置６により上下に作動されるプッシャー１１は、テープの主要部を押下するように、複数の剥離用穴９２に対応した複数のプッシャーバー１１１を有している。
【００４４】
複数のプッシャーバー１１１は先端部が球状で、全体としてテープに対し角度を持って接触するように長さが異なるように形成されている。
【００４５】
また底板９３の上には必要に応じて受け皿１０が設けられている。
【００４６】
次にテープの剥離方法について説明すると、テープが貼付けられたリングフレームが単数又は複数収納されたリングマガジン９の上方から、プッシャー１１が下降し、複数のプッシャーバー１１１が対応する剥離用穴９２を通してテープに接触する。
【００４７】
このとき、複数のプッシャーバー１１１は先端部が全体として傾斜しているので、図では右側のプッシャーバー１１１からテープに接触し、リングフレームに接着したテープの端部から徐々に剥離する。
【００４８】
そして、左端のプッシャーバー１１１を含めて全体のプッシャーバー１１１によってリングフレームからテープをリングマガジン９内で剥離することができる。
【００４９】
剥離したテープは受け皿１０にストックされる。受け皿１０を設けないときは底板９３の上に、また底板９３に排出用穴を設けたときはリングマガジン９の外に排出される。
【００５０】
以上のように、第４の実施形態によれば、第２又は第３の実施形態の効果に加え、天板９１に設ける剥離用穴９２が複数の小さな穴になるので、大きな剥離用穴９２を設けるのに比べ、天板９１の強度が増すという効果がある。
【００５１】
図６は参考形態を示す図である。この参考形態は前記した実施形態と異なり、表面が粘着性のある巻取用テープ２１にテープ２を接着させてローラーで巻き取るようにしたものである。
【００５２】
不良チップ３を接着したテープ２が貼付けられたリングフレーム１はテーブル４にセットされる。
【００５３】
テーブル４の下側には剥離ローラーユニット、即ち、表面が粘着性のある巻取用テープ２１と、巻取用テープ２１を懸架した貼付けローラー２２と、巻取用テープ２１を駆動する駆動側ローラー２３及び従動側ローラー２４とが設けられている。駆動ローラー２３は図示しないモーターにより駆動される。
【００５４】
テーブル４の上方には、図示しない駆動装置により上下に移動する突き破りローラー２５が設けられている。
【００５５】
なお、チップ廃棄プレート２６はテープ２から不良チップ３を分離させるためのものである。
【００５６】
次にテープの剥離方法について説明すると、テープ２が貼付けられたリングフレーム１がリングマガジンから１枚ずつ取り出され、搬送されてテーブル４にセットされる。
【００５７】
突き破りローラー２５がテープ２の端部にテーブル４の上方から下降し、テーブ２の端部をリングフレーム１から剥離する。
【００５８】
テープ２の剥離した端部は巻取用テープ２１に接触して接着する。テープ２は、端部が巻取用テープ２１に接着されると、駆動側ローラー２３が回転することにより、リングフレーム１から剥がされながら巻取用テープ２１に接着して巻き取られる。
【００５９】
それと同時に、リングフレーム１は剥がされた応力によりテーブル４の上を剥離方向Ｂのように右側へスライドし、テープ２がリングフレーム１から完全に剥がされた後、収納部側へ搬送される。
【００６０】
また、貼付けローラー２２上の巻取用テープ２１によりテープ２を剥離する際、不良チップ３とテープ２の間にチップ廃棄プレート２６が入り込み、不良チップ３をテープ２から分離することができる。
【００６１】
上記の説明は突き破りローラー２５が下降する例であるが、貼付ローラー２２を図示しない手段により上下に移動できるように構成しても良い。
【００６２】
この場合には、貼付ローラー２２が上昇し、巻取用テープ２１がテープ２の端部に接触し、接着する。その後、駆動側ローラー２３によりテープ２をリングフレーム１から剥がしながら巻取用テープ２１に接着して巻き取ることは上記と同じである。
【００６３】
ただし、巻取用テープ２１の接着だけでテープ２を剥がすので、巻取用テープ２１の粘着力はテープ２の粘着力より強いことが必要である。このようにすれば、突き破りローラー２５を不要にすることができる。
【００６４】
巻取用テープ２１に接着して巻き取られたテープ２は駆動側ローラー２３に順次巻き取られ、巻取用テープ２１と共に廃棄することができる。
【００６５】
以上のように、参考形態によれば、第１の実施形態の効果に加えて、リングフレーム１からテープ２を剥離しながら巻取用テープ２１に接着して巻き取るので、不要テープを効率的に搬送でき、受け皿を設けることもなく廃棄スペースを削減することができる。
【００６６】
また、チップ廃棄プレート２６を設ければ、テープ２と不良チップ３の分離が可能になり、分別廃棄が可能となる。
【００６７】
【発明の効果】
上記したように、本発明は簡単な機構でテープを自動的に剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す図
【図２】プッシャーの他の例を示す図
【図３】本発明の第２の実施形態を示す図
【図４】本発明の第３の実施形態を示す図
【図５】本発明の第４の実施形態を示す図
【図６】参考形態を示す図
【図７】不良チップを接着したテープとリングフレームを示す図
【図８】従来のテープ剥離方法を示す図
【図１】
0004001671.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0004001671.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004001671.tif 000008
【図８】
0004001671.tif 000009