(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス供給源と圧力容器との間の選択的流体連通を成しまた圧力容器とバラ材料処理構造との間の選択的流体連通を成すように成された弁組立体において、前記弁組立体は、
弁体、エンドキャップおよびピストンシートを含み、前記弁体は第１端部、第２端部、圧力容器と流体連通するためのポートおよびチャンバを画成する内側面とを含み、前記チャンバは前記ポートと流体連通し、前記エンドキャップは前記弁体の前記第２端部に取付けられまたガス供給源と前記弁体の前記チャンバとの間の流体流通を成すように内部を貫通する流体通路を含み、前記エンドキャップは側壁を有する中心ハブを有しその側壁と前記弁体とはそれらの間にキャビティを形成しており、前記ピストンシートは前記バラ材料処理構造との流体連通を成す排出ポートを有するように成された弁ハウジングと、
前記エンドキャップと前記ピストンシートとの間において前記弁体の前記チャンバの中に配置され、前記チャンバ中において延長位置と後退位置との間を選択的に滑動自在であり、ダイヤフラムとスカートとを含み、前記ダイヤフラムは第１側面、反対側の第２側面および外周縁を有し、前記スカートは前記ダイヤフラムの前記外周縁にそって前記ダイヤフラムから外側に延在し、前記スカートは前記弁体の前記内側面に密接に隣接して配置されるとともに、前記ピストンが前記後退位置にあるときに前記中心ハブと前記弁体との間の前記キャビティ内に配置されるようになっており、前記ダイヤフラムはこのダイヤフラムの前記第１側面から第２側面までダイヤフラムを貫通する１つまたは複数の流体通路を含むように成されたピストンと、
前記エンドキャップと前記ピストンとの間に延在し、前記ピストンを前記後退位置から前記延長位置まで弾発する弾発手段とを含み、
このようにして前記ピストンが前記延長位置にある時、前記ダイヤフラムの前記１つまたは複数の流体通路が前記エンドキャップの前記流体通路と前記弁体の前記ポートとの間の流体連通を成しまた前記ピストンが前記ピストンシートに密封的に係合して前記ピストンシートの前記排出ポートを前記弁体の前記ポートとの流体連通から遮断し、また前記ピストンが前記後退位置にある時、前記ピストンは前記弁体の前記ポートと前記ピストンシートの前記排出ポートとの間の流体連通を可能とする事を特徴とする弁組立体。
【請求項２】
ガス供給源と圧力容器との間の選択的流体連通を成しまた圧力容器とバラ材料処理構造との間の選択的流体連通を成すように成された弁組立体において、前記弁組立体は、
弁体とピストンシートとを含み、前記弁体が第１端部、第２端部、圧力容器と流体連通するポートおよびチャンバを成す内側面を含み、前記チャンバが前記ポートと流体連通し、前記弁体の前記第２端部がガス供給源と前記弁体の前記チャンバとの間の流体連通を成すための流体通路を含み、前記ピストンシートが前記弁体に対して着脱自在に係合した第１端部、および前記弁体の前記チャンバとバラ材料処理構造との間の流体連通を成すための排出ポートを有する第２端部を有するように成された弁ハウジングと、
前記弁体の前記チャンバの中に前記弁体の第２端部と前記ピストンシートとの間に配置されたピストンであって、前記チャンバは、前記ピストンと前記弁体の前記第２端部との間に、前記弁体の前記第２端部の前記流体通路に流体連通を成すサブチャンバを有し、前記チャンバの中において、前記ピストンシートに密封的に係合して前記排出ポートを閉鎖する延長位置と、前記ピストンが前記ピストンシートから離間されて前記排出ポートを開放する後退位置との間を選択的に滑動自在に成されたピストンであって、前記ピストンが前記後退位置にあるときに前記ピストンの前記排出ポートが前記弁体の前記チャンバの前記サブチャンバと前記バラ材料処理構造との間を液体連通にするようになっているピストンと、
前記弁体の前記第２端部と前記ピストンとの間に延在し、前記ピストンを前記の後退位置から前記の前進位置に弾発する弾発手段とを含み、
ここに前記ピストンシートは検査、修理および交換のために前記弁体から選択的に取り外し可能である事を特徴とする弁組立体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエアキャノンなどの通気装置に関連して使用される通気装置弁組立体に関するものであり、特に滑動自在ピストンを備えこのピストンがその適正の整列を保持するための円筒形スカートとピストンのダイヤフラムを通して延在する複数の流体通路とを含むように成された通気装置弁組立体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
貯蔵容器、サイロおよび類似物中の粒状の類似バラ材料の貯蔵は、このバラ材料が橋かけまたはその他の理由から流れようとしない傾向を有するので、特にのこの種の材料の排出に関して多くの問題点を示す。バラ材料の処理および通気に関してエアキャノンなどの通気装置が使用されている。通気装置は圧力タンクの中に多量の圧下空気または圧下ガスを貯蔵し、次にこのガスを瞬間的に貯蔵容器の中に急速に放出すると、空気の噴流が閉塞性のバラ材料を移動させてバラ材料を貯蔵容器から自由に流出させる事ができる。
【０００３】
【課題を解決するための手段】
本発明の弁組立体は、圧下ガスの供給源と圧力容器との間の選択的流体流通を生じ、また圧力容器と貯蔵容器との間の選択的流体流通を成すように構成される。この弁組立体は、弁体、エンドキャップおよびピストンシートを有する弁ハウジングを含む。前記弁体は第１導管部材を含み、この第１導管部材は第１末端と、第２末端と、圧力容器と流体流通を成すポートとを含む。第１導管部材は、前記ポートと流体連通するチャンバを成す内側面を含む。前記エンドキャップは弁体の前記第１導管部材の第２端部に固着され、またエンドキャップ中を貫通する流体通路を含み、この流体通路が第１導管部材の前記チャンバと圧下ガス供給源との間の流体連通を成す。前記ピストンシートは第２導管部材を含み、この第２導管部材は、弁体の前記第１導管部材に密着された第１端部と、前記貯蔵容器と流体連通する排出ポートとを有する。
【０００４】
前記弁体の第１導管部材のチャンバの中に、前記エンドキャップとピストンシートとの間にピストンが配置されている。このピストンは第１導管部材のチャンバ中を延長位置と後退位置との間において選択的に滑動自在である。前記ピストンは中心ダイヤフラムとダイヤフラムの外周から外側に延在する円筒形スカートとを含む。前記ダイヤフラムは第１側面と反対側の第２側面とを有する。ダイヤフラムの第１側面から第２側面まで１つまたは複数の孔がダイヤフラムを貫通し、それぞれダイヤフラムを通しての流体通路を成す。前記第１導管部材は円筒形軸受を含み、この軸受は第１導管部材の内側面の一部を成す。円筒形スカートがこの円筒形軸受の内側面に隣接して延在する。エンドキャップとピストンとの間にコイルバネなどの弾発手段が延在し、ピストンを後退位置から延長位置位置に向かって弾発する。
【０００５】
ピストンが延長位置にある時、ピストンのダイヤフラムの流体通路がエンドキャップの流体通路と弁体の第１導管のポートとの間の流体連通を成し、従って加圧ガス供給源と圧力容器との間に流体連通が形成され、またピストンがピストンシートに密封的に係合してピストンシートの排出ポートを第１導管部材のポートとの流体流通から遮断する。ピストンが後退位置にある時、ピストンが弁体の第１管状部材のポートとピストンシートの排出ポートとの間の流体流通を可能とするので、圧力容器と貯蔵容器との間の流体連通が生じる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の通気弁組立体は、全体としてＴ形の弁体１２を有する弁ハウジング１１を含む。弁体１２は中心縦方向軸線１６を有する細長い中空円筒形導管またはパイプ１４を含む。導管１４は第１フランジ１８を有する第１末端１５と、第２フランジ２０を有する第２末端１７とを含む。導管１４はポート２１を含む。第１フランジ１８はその内周にそって延在する円形の凹形シート２２を含む。また弁体１２は全体として中心に配置された円筒形延長導管またはパイプ２４を含み、この導管２４は導管１４に取付けられた第１端部２６とフランジ３０を有する第２端部２８とを有する。導管１４は、ポート２１と流体流通するチャンバ３２を成す内側面３１を含む。延長導管２４は流体通路３４を含み、この通路３４はポート２１およびチャンバ３２と流体連通する。延長導管２４のフランジ３０は圧力容器またはタンク３６に連接される。好ましくはフランジ３０と圧力タンク３６との間にガスケット３８が備えられ、延長導管２４の流体通路３４は圧力タンク３６のチャンバ３０と流体連通させられている。導管１４と２４は好ましくは前部金属から成る。
【０００７】
弁体１２の導管１４は内周にそって延在する全体として円筒形のシート４４を含み、このシートは導管１４の第２末端１７からボート２１に連接する位置まで縦方向に延在する。この円筒形シート４４の中に円筒形軸受４６が配置される。軸受４６は円筒形内側面４８を含み、この内側面４８が導管１４の内側面３１の一部を成す。軸受４６は、ボート２１に隣接配置された第１末端５０と導管１４の第２末端１７に配置された第２末端５２とを有する。また軸受４６の内側面４８は導管１４の内側面３１の内径とほぼ同一の内径を有する。軸受４６は、鋼の裏あてを有し、多孔性青銅内側構造とＰＴＦＥ被覆とを備えた自己潤滑性軸受とする事が好ましい。好ましい軸受はガーロック軸受インコーポレイテッド（Ｇａｒｌｏｃｋ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｉｎｃ．）によって製造されるモデル第１０４ＤＵ４８号である。
【０００８】
弁ハウジング１１はエンドキャップ５８を含む。このエンドキャップ５８は全体として円形の板５９を含み、この板が導管１４のフランジ２０と密封係合するように着脱自在に取り付けられる。エンドキャップ５８は中心ハブ６０を含み、このハブ６０は全体として円筒形の側壁６２と全体として円形の端壁６４とを有し、この端壁が板５９から内側にチャンバ３２の中に突出している。全体として円筒形のステム６６が板５９の外側面から外側に外端６８まで延在する。流体通路７０が前記ステム６６の外端６８からハブ６０の内側端壁までエンドキャップ５８を通して延在する。流体通路７０はステム６６の外端６８に配置された内側にネジ山を有する孔７２を含み、このネジ孔７２は、ステム６６の内部を同心的にハブ６０まで延在する円筒形の孔７４と流体連通する。この円筒形孔７４は、ハブ６０の内側端壁６４から内側に延在する円錐形の孔７６と流体連通する。円錐形孔７６はハブ６０の内端壁６４から内側に円筒形孔７４まで集中する。フランジ２０と板５９との間に弾性Ｏリング８２が配置されてその間の気密を成す。中心ハブ６０、ステム６６および流体通路７０は中心軸線１６回りに同心的に配置される。図１に図示のようにハブ６０の円筒形側壁６２は円筒形軸受４６および導管１４から離間されてその間に環状キャビテイ８４を形成している。エンドキャップ５８は好ましくは前部金属から成る。
【０００９】
エンドキャップ５８のステム６６は弁９０と接続されて、この弁が流体通路７０と流体連通する。また弁９０は空気または窒素などの圧下ガス供給源９２と連通し、またまたガス排出口９４を備える。弁９０はソレノイド弁とし、流体通路７０を選択的に圧下ガス供給源９２または排気口９４に流体接続させる事ができる。
【００１０】
また弁ハウジング１１はピストンシート１００を含む。このピストンシート１００は、流体通路１０４を形成する中空を有する全体として円筒形の導管１０２を含む。導管１０２は第１末端１０６から第２末端１０８まで延在する。導管１０２の第１末端１０６はこの導管１０２の回りに外側に延在する円筒形ベース１１０を含む。このベース１１０は全体として円筒形の外側壁１１２を有する。この外側壁１１２は導管１０２の外側面の直径より大きな直径を有する。ベース１１０は外側に延在する円形フランジ１１４を含む。ピストンシート１００は、導管１０２が軸線１６回りに同心的に配置されるように弁体１２の導管１４の中に配置されている。ベース１１０の外側面１１２は導管１４の内側面３１に隣接配置され、またピストンシート１００のフランジ１１４は弁体１２の第１フランジ１８の円形シート２２の中に配置される。弾性Ｏリング１１６がフランジ１１４とフランジ１８との間に配置されてその間の気密を成す。ベース１１０を超えて延在するピストンシート１００の導管１０２の部分は弁体１２の導管１４の内側面３１から離間していて、その間に環状チャンバ１１８が形成されている。導管１０２の第２末端１０８は排出ポート１１９と、この導管１０２の内周面にそって形成された円筒形凹部１２０とを含む。図５において最もよく見られるように、導管１０２の第２末端１０８は内側に面取りされた密封面１２２を含む。この密封面１２２は環状であって排出ポート１１９を画成する。この面取りされた密封面１２２は導管１０２の内側面と中心軸線１６とに対して角度「Ａ」で配置される。この角度「Ａ」は好ましくは約２７゜とする。ピストンシート１００は好ましくは全部、鋳造アルミニウムなどの金属から成る。
【００１１】
また弁ハウジング１１は好ましくは前部金属から成る延長導管組立体１２８を含む。この延長組立体１２８は全体として円筒形の延長導管１３０を含み、この導管１３０は第１末端１３２と第２末端１３４とを有する。第２末端１３４はフランジ１３６を含む。第１末端はネジ山を備えて、内側ネジ孔を有するフランジ１３８に係合する。延長導管１３０のフランジ１３６は導管１４の第１フランジ１８に対して着脱自在に連接されて、ピストンシート１００のフランジ１１４をフランジ１８と１３６との間に圧縮する。延長導管１３０はピストンシート１００の流体通路１０４と流体連通した流体通路１４０を有する。導管１３０は中心軸線１６の回りに同心的に配置されている。フランジ１３８は貯蔵タンクまたは貯蔵箱１４４などのバラ材料処理構造に対してボルト締め、溶接または類似の方法によって連接され、このバラ材料処理構造は粒状バラ材料を受けてその内部を通過させる。流体通路１４０は貯蔵容器１４４のチャンバ１４６と流体連通させられる。貯蔵容器１４４は貯蔵箱、サイロ、転送シート、ダクト装置またはその他のバラ材料処理構造とする事ができる。
【００１２】
また通気装置弁組立体１０はピストン１５０を含む。このピストン１５０は全体として円形の板状ダイヤフラム１５２と全体として円筒形の環状スカート１５４とを含む。このスカート１５４は開放端部を有する中空ポケット１５６を成す。ダイヤフラム１５２は外周縁１５７を有する。スカート１５４はこの外周縁１５７にそってダイヤフラム１５２の外周の回りに延在し、ダイヤフラム１５２から外側に垂直に延在する。ダイヤフラムの内側面１６０から外側面１６２までダイヤフラム１５２を通して複数の孔１５８が延在する。これらの孔１５８はそれぞれ流体通路を成す。またこれらの孔１５８はダイヤフラム１５２の中心の回りにまた軸線１６の回りに相互に対称的に配置される。ダイヤフラム１５２は、その外側面１６２の中心に配置されて外側に突出した隆起部分１６４を含む。この突起部分１６４は全体として円形であり、また円形の平坦面１６６と円形の傾斜密封面１６８とを有し、この密封面１６８は平坦面１６６の外周の回りに延在し、平坦面１６６に対して一定角度に配置される。前記のダイヤフラムを通る孔１５８はダイヤフラムの密封面１６８と外周縁１５７との間に配置される。傾斜密封面１６８はピストンシート１００の面取りされた密封面１２２と同一の角度で配置されて、これらの密封面１６８と密封面１２２が協働して、これらの面が相互に係合させられる時に相互に補形を成して係合して密封を成す。ピストン１５０は好ましくは全部鋳造アルミニウム金属から成る。
【００１３】
ピストン１５０はエンドキャップ５８とピストンシート１００との間において弁体１２の導管１４のチャンバ３２の中に滑動自在に配置される。ピストン１５０のスカート１５４はエンドキャップ５８に向かって配置され、またピストン１５０のダイヤフラム１５２の突起１５４はピストンシート１００に向かって配置される。ピストン１５０のダイヤフラム１５２とスカート１５４は軸線１６回りに同心的に配置されている。ピストン１５０は軸線１６にそってピストンシート１００とエンドキャップ５８との間を縦方向に滑動する。図１に図示のように、ピストン５０のスカート１５４はその外周にそって、弁体１２の円筒形軸受４６の内側面４８に滑動自在に係合する。またスカート１５４はエンドキャップ５８の中心ハブ１６０の回りに延在し、ハブ６０と弁体１２との間に形成された環状キャビティ８４の中に入る。スカート１５４はハブ６０の円筒形側壁６２から横方向に離間して配置され、その間に環状スペースを成す。
【００１４】
弾性コイルバネ１７０がピストン１５０のダイヤフラム１５２の内側面１６０からエンドキャップ５８の板５９の内側面まで延在する。このバネ１７０はエンドキャップ５８の中心ハブ６０の外周の回りに延在し、ピストン１５０のスカート１５４のポケット１５６中を少なくともスカート１５４の内周に隣接して延在する。バネ１７０はピストン１５０をピストンシート１００に向かってまた延長装入位置に向かって弾発する。バネ１７０は好ましくは全部金属から成る。
【００１５】
バネ１７０は、圧力容器３６からの圧縮ガスの排出後に、図２の後退排出位置から図１の延長された延長装入位置までの急速な運動を生じる。バネ１７０は、その生じる弾発力がピストン１５０のダイヤフラム１５２の外周に向けられるような断面外径を有するように設計される。このバネ構造は、導管１４のチャンバ３２中のまた軸受４６中のピストンの不変の同心性と直線運動とを生じ、従ってピストン１５０とピストンシート１００との間の適正な密封を生じる。バネ１７０は圧力容器３６からの圧下ガスの排出後にピストンシート１００に対してピストン１５０を再密封し、このようにしてバラ材料が排出ポート１１９を通過して環状チャンバ１１８に入る事を防止し、サイクル時間を短縮させ、またショックまたは衝撃力を低減させる。
【００１６】
ピストン１５０は、このピストン１５０がピストンシート１００の第２末端１０８と密封面１２２とに密封的に係合している図１に図示の延長装入位置と、ピストン１５０がピストンシート１００の第２末端１０８から離間した図２に図示の後退排出位置との間を軸線１６にそって縦方向に滑動自在である。ピストン１５０が図２の後退位置に後退させられる時、ピストン１５０がバネ１７０を圧縮する。図２に図示の後退位置において、ダイヤフラム１５２の内側面１６０がエンドキャップ５８の末端壁体６４に係合して流体通路７０を被覆する事ができる。円筒形軸受４６が内部に配置されたピストン１５０の縦方向滑動を容易にし、部品の寿命を延長させ、金属の摩損を防止し、ピストンの不変の密封と走行とを保証する。ピストン１５０のスカート１５４は、ピストン１５０が弁体１２中を縦方向に滑動する際にピストンの整列と制御とを改良する。
【００１７】
操作に際して、図１に図示のようにピストン１５０がその延長装入位置にある時、ピストン１５０の密封面１６８がピストンシート１００の対応の面取り密封面１２２に密封的に係合して、これらの面の間に金属−金属密封シールを形成する。このようにして、エンドキャップ５８中の流体通路７０から孔１５８を通してピストンシート１００の流体通路１４０に達する流体通路がピストン１５０によって密封される。しかし、図１に図示のようにピストン１５０がその延長装入位置にある時、エンドキャップ５８の流体通路７０から、孔１５８を通して弁体１２の延長導管２４のポート２１および流体通路３４に達する流体通路が延在する。図１に図示のように、通路７０に入るガスはこの通路にそってスカート１５４によって形成されたポケット１５６の中に流入し、ピストン１５０のダイヤフラム１５２中の流体通路１５８を通して、ピストンシート１００と導管１４との間に形成された環状チャンバ１１８に達する。ガスはこの環状チャンバ１１８から、ポート２１を通って延長導管２４の流体通路３４に達し、圧力タンク３６のチャンバ４０の中に入る。流体通路７０を通って流れるガスはピストン１５０によって流体通路１０４の中に入らないように阻止される。ピストン１５０とピストンシート１００との間の金属−金属密封はピストン／ピストンシート密封を成すためにゴムまたはその他の弾性材料を使用する必要をなくす。従って高い操作温度、およびさもなければ生じうるゴムまたは弾性シールの汚染または劣化が通気装置弁組立体１０の動作を妨げる事はない。通気装置弁組立体１０は約２０００゜Ｆの操作温度で使用する事ができる。従って弁組立体１０はセメントキルンの予熱タワーなどのバラ材料操作構造において使用する事ができる。
【００１８】
圧力タンク３６のチャンバ４０中のガス圧がガス供給源９２の圧力に等しい場合、ピストン１５０の両側１６０、１６２のガス圧が同等であって、システムは停滞する。圧力タンク３６の中において所望のガス圧に達した時、弁９０が通気装置弁組立体１０に対する圧下ガスの供給９２を閉め切る。圧力タンク３６中のガスをバラ材料容器１４４の中に排出する場合、弁９０がガス排出口９４をエンドキャップ５８の通路７０と連通させる。図２に図示のように、ピストン１５０の内側１６０に配置されたガスは通気弁組立体１０から通路７０とガス排出口９４とを通して低圧区域に排出される。これは、ピストン１５０とエンドキャップ５８との間においてピストン１５０の内側１６０に残存するガスの圧力を低下させて差圧を生じ、ピストン１５０の外側面に対してガスが圧力を加える。この場合、ピストン１５０の外側面１６２に対するガス圧はピストンの内側面１６０に対するガス圧より大である。ガス圧の差異がピストン１５０の外側面１６２と内側面１６０に対してガスによって加えられる力の差異を生じる。ピストン１５０を後退位置まで滑動させようとするピストン１５０の外側面１６２に作用するガス圧の力は、ピストン１５０を延長位置まで滑動させようとするピストン１５０の内側面１６０に作用するガス圧およびバネ１７０によってピストン１５０に加えられる弾発力の合力より大である。ガス圧の差異とピストン１５０に加えられるガス圧の力の差異はピストン１５０を図１の延長装入位置から、バネ１７０を圧縮しながらエンドキャップ５８の方に図２の後退排出位置まで滑動させる。
【００１９】
延長位置から後退位置までのピストン１５０の運動は、ピストン１５０とピストンシート１００との間のシールを破り、延長導管２４の流体通路３４からポート２１を通してピストンシート１００の通路１０４に達する流体通路を開く。このようにして圧力タンク３６のチャンバ４０中に貯蔵されていた圧下ガスが通路３４とポート２１とを通って環状チャンバ１１８に達し、そこでガスはピストン１５０とピストンシート１００の第２端部１０８との間を流れ、排出ポート１１９を通って通路１４０に達する。ガスは通路１４０を通って貯蔵容器１４４の中に入り、容器中の粒状材料を移動させる。圧力タンク３６のチャンバ４０中に貯蔵されたガスは流体通路１４０を通して貯蔵容器１４４のチャンバ１４６の中に近似的にマッハ１の排出速度で排出される。ガスが圧力タンク３６から排出された直後に、ピストン１５０の外側面１６２に作用するガスの圧力が低下して、バネ１７０がピストン１５０を図２の後退位置から、図１の延長位置まで滑動させて、ピストン１５０をピストンシート１００によって再密封する。次に通気装置弁組立体１０の装入サイクルと排出サイクルが繰り返される。
【００２０】
延長導管１３０とフランジ１３８との間のネジ込み連接により、通気装置弁組立体１０を貯蔵容器１４４から容易に離脱させ交換する事ができる。さらに導管１４のフランジ１８が導管１３０のフランジ１３６に対して着脱自在に連接されているので、導管１４を導管１３０から選択的に取り外して、ピストンシート１００、ピストン１５０およびバネ１７０を導管１４の内部から容易に取り出し交換する事ができる。
【００２１】
本発明は前記の説明のみに限定されるものでなく、その主旨の範囲内において任意に変更実施できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ピストンが延長装入位置にある状態の本発明による通気装置弁組立体の断面図。
【図２】ピストンが後退排出位置にある状態の本発明による通気装置弁組立体の断面図。
【図３】図２の３−３線に沿った断面図。
【図４】図２の４−４線に沿った断面図。
【図５】ピストンシートの面取りされた密封面の部分的断面図。
【符号の説明】
１０  通気装置弁組立体
１１  弁ハウジング
１２  弁体
１４  （第１）導管
１５  弁体の第１末端
１７  弁体の第２末端
２１  ポート
２４  （圧力タンク）導管
３２  チャンバ
３６  圧力タンク
４６  軸受
５８  エンドキャップ
７０  流体通路
９０  ソレノイド弁
９２  圧下ガス供給源
９４  ガス排出口
１００  ピストンシート
１０２  （第２）導管
１０４  流体通路
１１９  排出ポート
１２２、１６８  密封面
１３０  延長導管
１４０  流体通路
１４４  バラ材料処理容器
１５０  ピストン
１５２  ダイヤフラム
１５４  スカート
１５８  流体通路（ダイヤフラムの孔）
１７０  バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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