(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パスラインを通過した短冊状のリードフレームを、マガジンの収納部に順次収納してストックするマガジンスタッカにおいて、
複数の前記マガジンの両側部を一対のアングル材で支持して保持した保持状態及び前記両アングル材を離反して前記マガジンの保持状態を解除する保持解除状態を形成するストックレールと、
該ストックレールの下部に設けられ、前記マガジンの両側部を一対の支持バーで支持するとともに、該支持バーで支持された前記マガジンを一端側へ向けて移動する機構を有した上部搬送部と、
前記ストックレールの前記両アングル材間に移動して当該ストックレールに保持された前記マガジンを受け取り、前記上部搬送部の前記両支持バー間に移動して前記ストックレールから受け取った前記マガジンを前記上部搬送部へ引き渡す為の支持板と、
該支持板を支持したロッドのシリンダからの突出量を制御して前記支持板を上下移動するリフタと、
前記上部搬送部の一端側へ移送された前記マガジンを着脱自在に保持する上部ホルダと、
該上部ホルダを上下移動して保持した前記マガジンの前記収納部を前記パスラインの高さ位置に合わせて移動制御する上部エレベーションと、
該上部エレベーションに設けられたスライダをスライド自在に支持するスライドレールと、
前記上部ホルダが前記上部搬送部に近接又は離間するように前記スライダを前記スライドレールに沿って移動するボールねじ及び該ボールねじを駆動するモータからなるボールねじ駆動構造と、
前記上部エレベーションで下降された前記上部ホルダの前記マガジンが一端部に載置され、そのマガジンを他端側へ移動する機構を有するとともに、前記上部搬送路の下部に配置された前記中間搬送部と、
該中間搬送部の他端部に移送された前記マガジンを着脱自在に保持する下部ホルダと、
該下部ホルダを上下移動する下部エレベーションと、
該下部エレベーションで下降された前記下部ホルダの前記マガジンが他端部に載置され、そのマガジンを一端側へ移動する機構を有するとともに、前記中間搬送部の下部に配置された下部搬送部と、
を備え、
前記上部エレベーション及び該上部エレベーションを支持する前記スライドレール並びに前記ボールねじ駆動構造で構成されたユニットを前記下部搬送部より上方に配置して、該下部搬送部を前記ユニットの下部まで延長する一方、
前記上部搬送部上の前記マガジンに不足が生じた際に、前記ストックレール間に保持された前記マガジンを前記支持板上に載置できる位置まで当該支持板を前記リフタで上昇する上昇手段と、
前記ストックレール間の前記マガジンを前記支持板上に載置した状態で前記ストックレールによる前記マガジンを前記保持解除状態にする保持解除手段と、
前記支持板上の前記マガジンを前記上部搬送部で支持する位置まで前記リフタで下降する下降手段と、
を備えたことを特徴とするマガジンスタッカ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームを収容したマガジンをストックするマガジンスタッカに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップをボンディングする際には、短冊状のリードフレームを搬送路に沿って移動し、半導体などのチップを各リードフレームへ順次ボンディングしていた。
【０００３】
このような半導体製造装置において、図８に示すように、前記搬送路７０１には、前記リードフレーム７０２，・・・が通過するパスライン７０３が設定されており、該パスライン７０３の下流側には、マガジンスタッカ７０４が設置されている。
【０００４】
このマガジンスタッカ７０４のベース７１１には、起立壁７１２と支柱７１３とが離間して立設されており、該支柱７１３と前記起立壁７１２間には、前記リードフレーム７０２，・・・を収納する収納部７１４，・・・が上下に複数設けられたマガジン７１５を保持する上部レール７１６が設けられている。この上部レール７１６には、スライダ７１７に支持された押圧壁７１８が当該上部レール７１６に沿って移動自在に設けられており、この上部レール７１６上に配列されたマガジン７１５，・・・を前記起立壁７１２側へ移動できるように構成されている。前記上部レール７１６と前記起立壁７１２間には、該起立壁７１２に沿って上下移動するエレベーション７１９が配設されており、前記押圧壁７１８で押圧され端部に移動されたマガジン７１５を載置して、下降できるように構成されている。
【０００５】
これにより、前記エレベーション７１９によって前記マガジン７１５の収納部７１４，・・・を前記パスライン７０３の高さ位置に合致させ、このパスライン７０３を通過したリードフレーム７０２を前記収納部７１４へ収納できるように構成されており、該収納部７１４のピッチ分のエレベーション７１９の下降と、前記収納部７１４へのリードフレーム７０２の収納とを繰り返すことによって、マガジン７１５の総ての収納部７１４，・・・へリードフレーム７０２，・・・を収納できるように構成されている。
【０００６】
また、前記ベース７１１には、前記エレベーション７１９の下限位置の延長上に下部レール７２１が設けられており、前記エレベーション７１９は、載置したマガジン７１５，・・・を当該下部レール７２１上へ押し出せるように構成されている。この下部レール７２１の先端部には、リミットスイッチ７２２が設けられており、当該先端部にマガジン７１５が到達したことを感知できるように構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなマガジンスタッカ７０４にあっては、半導体製造装置に組み込まれて使用される都合上、装置の幅寸法が制限されてしまい、マガジン７１５，・・・のストック数が制約されてしまうという問題があった。
【０００８】
このため、ストックされたマガジン７１５，・・・が下部レール７２１先端部に到達し、リミットスイッチ７２２が作動した際には、オペレータによる早急な対応を要する。また、頻繁に装置を停止させなければならず、長時間の継続した自動運転の阻害要因となっていた。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、マガジンのストック量を増大することができるマガジンスタッカを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明のマガジンスタッカにあっては、パスラインを通過した短冊状のリードフレームを、マガジンの収納部に順次収納してストックするマガジンスタッカにおいて、複数の前記マガジンの両側部を一対のアングル材で支持して保持した保持状態及び前記両アングル材を離反して前記マガジンの保持状態を解除する保持解除状態を形成するストックレールと、該ストックレールの下部に設けられ、前記マガジンの両側部を一対の支持バーで支持するとともに、該支持バーで支持された前記マガジンを一端側へ向けて移動する機構を有した上部搬送部と、前記ストックレールの前記両アングル材間に移動して当該ストックレールに保持された前記マガジンを受け取り、前記上部搬送部の前記両支持バー間に移動して前記ストックレールから受け取った前記マガジンを前記上部搬送部へ引き渡す為の支持板と、該支持板を支持したロッドのシリンダからの突出量を制御して前記支持板を上下移動するリフタと、前記上部搬送部の一端側へ移送された前記マガジンを着脱自在に保持する上部ホルダと、該上部ホルダを上下移動して保持した前記マガジンの前記収納部を前記パスラインの高さ位置に合わせて移動制御する上部エレベーションと、該上部エレベーションに設けられたスライダをスライド自在に支持するスライドレールと、前記上部ホルダが前記上部搬送部に近接又は離間するように前記スライダを前記スライドレールに沿って移動するボールねじ及び該ボールねじを駆動するモータからなるボールねじ駆動構造と、前記上部エレベーションで下降された前記上部ホルダの前記マガジンが一端部に載置され、そのマガジンを他端側へ移動する機構を有するとともに、前記上部搬送路の下部に配置された前記中間搬送部と、該中間搬送部の他端部に移送された前記マガジンを着脱自在に保持する下部ホルダと、該下部ホルダを上下移動する下部エレベーションと、該下部エレベーションで下降された前記下部ホルダの前記マガジンが他端部に載置され、そのマガジンを一端側へ移動する機構を有するとともに、前記中間搬送部の下部に配置された下部搬送部と、を備え、前記上部エレベーション及び該上部エレベーションを支持する前記スライドレール並びに前記ボールねじ駆動構造で構成されたユニットを前記下部搬送部より上方に配置して、該下部搬送部を前記ユニットの下部まで延長する一方、前記上部搬送部上の前記マガジンに不足が生じた際に、前記ストックレール間に保持された前記マガジンを前記支持板上に載置できる位置まで当該支持板を前記リフタで上昇する上昇手段と、前記ストックレール間の前記マガジンを前記支持板上に載置した状態で前記ストックレールによる前記マガジンを前記保持解除状態にする保持解除手段と、前記支持板上の前記マガジンを前記上部搬送部で支持する位置まで前記リフタで下降する下降手段と、を備えている。
【００１１】
すなわち、パスラインを通過した短冊状のリードフレームを、マガジンの収納部にストックする際には、複数のマガジンを、ストックレールに保持するとともに、ストックレール下部の上部搬送部に載置して始動し、該上部搬送部に載置されたマガジンへのリードフレームの収納と、そのマガジンの中間搬送部及び下部搬送部へのストックを開始する。
【００１２】
このとき、前記上部搬送部上のマガジンに不足が生じた際には、上昇手段によって、前記ストックレール間に保持されたマガジンを、前記支持板上に載置できる位置までリフタで上昇するとともに、保持解除手段によって、前記ストックレール間のマガジンを前記支持板上に載置した状態で、前記ストックレールによるマガジンの保持状態が解除される。これにより、ストックレールに保持されたマガジンは、前記支持板上に載置される。
【００１３】
そして、前記支持板は、下降手段によって、載置されたマガジンを前記上部搬送部で支持できる位置までリフタで下降され、マガジンへのリードフレームの収納が継続して行われる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるマガジンスタッカ１の一使用形態を示す模式図であり、該マガジンスタッカ１を半導体製造装置２に使用した状態が示されている。
【００１５】
この半導体装置２では、短冊状のリードフレーム１１のボンディング箇所に、例えばＩＣチップとパワートランジスタチップとをボンディングする装置であり、リードフレーム１１，・・・が搬送される搬送レール１２の上流側には、ＩＣチップをボンディングする上流側ダイボンダ１３が配設されている。該上流側ダイボンダ１３の下流には、ＩＣチップがボンディングされたリードフレーム１１を下流側に搬送する第１搬送部１４が設けられており、該第１搬送部１４の下流には、前記マガジンスタッカ１が配設されている。
【００１６】
該マガジンスタッカ１の下流には、当該マガジンスタッカ１に保持されたリードフレーム１１を下流側へ供給する第２搬送部２１が設けられており、該第２搬送部２１の下流には、前記リードフレーム１１にパワートランジスタチップをボンディングする下流側ダイボンダ２２が配設されている。
【００１７】
前記マガジンスタッカ１は、前記搬送路１２に設定されたパスライン３１を通過するリードフレーム１１を、マガジン３２に順次収納してストックする装置であり、図２に示すように、前記マガジン３２は、枠型の箱状に形成されている（一箇所のみに詳細を図示し他は省略）。このマガジン３２の対向した内側面には、前記リードフレーム１１，・・・の両側部を支持する凹部が上下に多数形成されており、対向した凹部によってリードフレーム１１，・・・を収納する収納部３３，・・・が形成されている。
【００１８】
また、前記マガジンスタッカ１は、複数のマガジン３２，・・・を保持するストックレール４１を最上段に備えており、該ストックレール４１は、図３の（ｂ）に示すように、対向して設けられたＬ字状のアングル材４２，４２によって構成されている。両アングル材４２，４２は、図外の開閉装置に支持されており、該開閉装置を作動することによって両アングル材４２，４２間の離間距離を変更し、両アングル材４２，４２でマガジン３２，・・・の両側部を支持して保持した保持状態と、両アングル材４２，４２を離反してマガジン３２，・・・の保持状態を解除する保持解除状態とを形成できるように構成されている。
【００１９】
このストックレール４１の下部には、図２に示したように、上部搬送部５１が設けられている。該上部搬送部５１は、図３の（ｂ）に示すように、リフタ５２によって上下動自在に支持された支持板５３を備えており、このリフタ５２は、シリンダ５４と、該シリンダ５４からの突出量が制御され前記支持板５３の高さ位置を可変するロッド５５とによって構成されている。前記支持板５３は、長方形板状に形成されており、複数の前記マガジン３２，・・・を、その長さ方向に配列して載置できるように構成されている。この支持板５３の幅寸法は、前記ストックレール４１にマガジン３２，・・・を支持した状態で、両アングル材４２，４２間へ挿入できる寸法に設定されており、上昇時には前記ストックレール４１に支持されたマガジン３２，・・・を載置できるように構成されている。
【００２０】
この支持板５３の両側部には、図２及び図３に示すように、両端部がプーリ６１，６１に支持されたリング状のベルト６２が設けられており、前記支持板５３を下降した状態で、当該支持板５３上のマガジン３２を両ベルト６２，６２で支持できるように構成されている。また、両ベルト６２，６２の内側には、ベルト６２，６２上のマガジン３２，・・・を支持する支持バー６３，６３が延設されており、マガジン３２，・・・の重みによるベルト６２，６２の弛みを防止できるように構成されている。
【００２１】
また、前記プーリ６１の一方には、図２に示したように、モータからの駆動軸７１が連結されており、モータを制御することによって、両ベルト６２，６２に支持された前記マガジン３２，・・・を当該上部搬送部５１に沿って移動できるように構成されている。この上部搬送部５１の図中左方の先端部には、移動されたマガジン３２の脱落を防止するＬ字状のストッパー７２が設けられており、該ストッパー７２には、当該ストッパー７２上のマガジン３２の有無を検知するリミットスイッチ７３が設けられている。
【００２２】
前記上部搬送部５１の図中左方の先端側には、該上部搬送部５１の先端部へ搬送されたマガジン３２を着脱自在に保持する上部ホルダ８１が設けられており、該上部ホルダ８１は、上部エレベーション８２によって上下移動自在に支持されている。前記上部ホルダ８１は、前記上部搬送部５１先端部のマガジン３２を下面より支持する断面Ｌ字状のホルダ本体８３と、該ホルダ本体８３の上端部に上下動自在に支持された断面Ｌ字状のグリッパ８４とによって構成されており、該グリッパ８４を上下動することによって、前記マガジン３２を上下から挟持した挟持状態と、その挟持状態を解除した解除状態とを形成できるように構成されている。
【００２３】
前記上部エレベーション８２は、前記マガジンスタッカ１の中間ベース９１に対して起立したＺ軸スライドレール９２と、該Ｚ軸スライドレール９２に上下動自在に支持されたＺ方向スライダ９３，９３とを備えており、該Ｚ方向スライダ９３，９３には、前記上部ホルダ８１のホルダ本体８３が固定されている。前記Ｚ軸スライドレール９２の裏面には、ボールねじ９４が起立して設けられており、該ボールねじ９４の上端部には、当該ボールねじ９４を回転制御するＺ軸モータ９５が設けられている。また、このボールねじ９４には、螺合部材を介して前記上部ホルダ８１が支持されており、前記ボールねじ９４の回転量に応じて、上部ホルダ８１を上下移動できるように構成されている。
【００２４】
この上部ホルダ８１が上下動する範囲内には、前記パスライン３１が設定されており、前記Ｚ軸モータ９５を制御することによって、前記上部ホルダ８１に保持されたマガジン３２の収納部３３と前記パスライン３１との高さ位置を合致できるように構成されている。
【００２５】
そして、前記Ｚ軸スライドレール９２は、Ｙ方向スライダ１０１上に固定されており、該Ｙ方向スライダ１０１は、前記中間ベース９１に固定されたＹ軸スライドレール１０２に移動自在に支持されている。このＹ軸スライドレール１０２の端部には、Ｙ軸モータ１０３が設けられており、該Ｙ軸モータ１０３に接続されたボールねじ１０４には、前記Ｙ方向スライダ１０１の螺合部が螺合している。これにより、前記ボールねじ１０４の回転量に応じて、前記Ｙ方向スライダ１０１を横移動し、該Ｙ方向スライダ１０１のＺ軸スライドレール９２に支持された前記上部ホルダ８１を、前記上部搬送部５１へ近接する方向及び離間する方向へ横移動できるように構成されている。
【００２６】
前記中間ベース９１には、中間搬送部１１１が延設されている。該中間搬送部１１１は、三つのプーリ１１２，・・・と、各プーリ１１２，・・・に支持されたリング状のベルト１１３とによって形成されている。この中間搬送部１１１は、図中左方の基端部が前記上部エレベーション８２の下部に達するように構成されており、該上部エレベーション８２で下降された前記上部ホルダ８１のマガジン３２を載置できるように構成されている。中央のプーリ１１２には、モータからの駆動軸１１４が連結されており、モータを制御することによって前記ベルト１１３上に載置された前記マガジン３２，・・・を、当該中間搬送部１１１に沿って移動できるように構成されている。
【００２７】
前記中間搬送部１１１の図中右方の先端側には、該中間搬送部１１１の先端部へ搬送されたマガジン３２を着脱自在に保持する下部ホルダ１２１が設けられており、該下部ホルダは１２１は、下部エレベーション１２２によって上下動自在に支持されている。前記下部ホルダ１２１のホルダ本体１２３には、前記中間搬送部１１１先端部のマガジン３２を保持する断面Ｌ字状のグリッパ１２４，１２４が上下動自在に支持されており、このグリッパ１２４，１２４を上下に開閉することによって、前記マガジン３２を上下から挟持した挟持状態と、その挟持状態を解除した解除状態とを形成できるように構成されている。
【００２８】
前記下部エレベーション１２２は、当該マガジンスタッカ１の下部ベース９９に対して起立したＺ軸スライドレール１３１と、該Ｚ軸スライドレール１３１に上下動自在に支持されたＺ方向スライダ１３２，１３２とを備えており、該Ｚ方向スライダ１３２，１３２には、前記下部ホルダ１２１のホルダ本体１２３が固定されている。前記Ｚ軸スライドレール１３１の裏面には、シリンダ１３３が起立して設けられており、該シリンダ１３３からの突出量が制御されるロッド１３４の先端には、前記下部ホルダ１２１のホルダ本体１２３が連結されている。これにより、前記ロッド１３４の突出量を制御することによって、下部ホルダ１２１を上下移動できるように構成されている。
【００２９】
前記Ｚ軸スライドレール１３１は、Ｙ方向スライダ１４１上に固定されており、該Ｙ方向スライダ１４１は、前記下部ベース９９に固定されたＹ軸スライドレール１４２に移動自在に支持されている。前記下部ベース９９の下面には、シリンダ１４３が設けられており、該シリンダ１４３から突出したロッド１４４の先端には、前記Ｙ方向スライダ１４１に固定されている。これにより、前記ロッド１４４の突出量を制御することによって、前記Ｙ方向スライダ１４１を横移動し、該Ｙ方向スライダ１４１のＺ軸スライドレール１３１に支持された前記下部ホルダ１２１を、前記中間搬送部１１１へ近接する方向及び離間する方向へ横移動できるように構成されている。
【００３０】
前記中間搬送部１１１の下部には、下部搬送部１５１が延設されている。該下部搬送部１５１は、一対のプーリ１５２，１５２と、両プーリ１５２，１５２に支持されたリング状のベルト１５３とによって形成されている。この下部搬送部１５１は、その基端部が前記下部エレベーション１２２の下降位置とほぼ同じ高さに設定されており、該下部エレベーション１２２で下降された前記下部ホルダ１２１のマガジン３２を載置できるように構成されている。前記プーリ１５２の一方には、モータからの駆動軸１５４が連結されており、モータを制御することによって前記ベルト５３上に載置された前記マガジン３２，・・・を、当該下部搬送部１５１に沿って移動できるように構成されている。
【００３１】
そして、この下部搬送部１５１の図中左方の先端部には、移動されたマガジン３２が当該先端部に到達した際にオン作動するリミットスイッチ１６１が設けられており、該リミットスイッチ１６１は、図４に示すように、制御装置１６２に接続されている。
【００３２】
この制御装置１６２は、ＲＯＭ及びＲＡＭ内蔵のマイコンを備えた制御部１７１を中心に構成されている。この制御部１７１には、前記ストックレール４１のアングル材４２，４２を開閉作動するストックレール駆動部１７２と、前記上部搬送部５１における支持板５３のリフタ５２を作動するリフタ駆動部１７３と、前記上部搬送部５１のベルト６２を作動する上部ベルト駆動部１７４と、前記上部搬送部５１に設けられたリミットスイッチ７３からの入力を伝達する空きセンサ部１７５と、前記上部エレベーション８２のＺ軸モータ９５を駆動する上部ホルダＺ方向駆動部１７６と、前記上部エレベーション８２のＹ軸モータ１０３を駆動して上部ホルダ８１を横移動する上部ホルダＹ方向駆動部１７７と、前記上部ホルダ８１のグリッパ８４を作動する上部グリッパ駆動部１７８と、前記中間搬送部１１１のベルト１１３を作動する中間ベルト駆動部１７９とが接続されている。
【００３３】
また、前記制御部１７１には、前記下部エレベーション１２１のＺ方向のシリンダ１３３を作動する下部ホルダＺ方向駆動部１８１と、前記下部エレベーション１２１のＹ方向のシリンダを作動して下部ホルダ１２１を横移動する下部ホルダＹ方向駆動部１８２と、前記下部ホルダ１２１のグリッパ１２４，１２４を作動する下部グリッパ駆動部１８３と、前記下部搬送部１５１のベルト１５３を作動する下部ベルト駆動部１８４と、前記下部搬送部１５１に設けられたリミットスイッチ１６１からの入力を伝達するストップセンサ部１８５と、当該制御部１７１からの制御信号をリードフレーム搬送装置１８６へ伝達する出力部１８７とが接続されている。
【００３４】
以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図５から図７に示すフローチャートに従って説明する。なお、初期段階において、マガジンスタッカ１上段のストックレール４１及び上部搬送部５１にはマガジン３２，・・・がセットされ、半導体製造装置２の作動に伴い、上部搬送部５１上の総てのマガジン３２，・・・にリードフレーム１１，・・・が収納され、下部の各搬送部１１１，１５１へ移動されているものとする。
【００３５】
すなわち、上部搬送部５１上にマガジン３２が無くなったか否かを、当該上部搬送部５１のリミットスイッチ７３の作動状態を空きセンサ部１７５から入力することにより判断し（Ｓ１）、マガジン３２有りと判断した場合には、ステップＳ６へ分岐する。また、マガジン３２無しと判断した場合には、リフタ駆動部１７３へ制御信号を出力してリフタ５２を作動し、上部搬送部５１の支持板５３上にストックレール４１に保持されたマガジン３２，・・・を載置する（Ｓ２）。
【００３６】
そして、ストックレール駆動部１７２へ制御信号を出力しストックレール４１のアングル材４２，４２を開作してマガジン３２，・・・の保持状態を解除するとともに（Ｓ３）、リフタ５２を所定位置まで下降して（Ｓ４）、前記ストックレール４１を閉作動する（Ｓ５）。
【００３７】
その後、上部ベルト駆動部１７４へ制御信号を出力して上部搬送部５１のベルト６２でマガジン３２，・・・を所定量先端方向へ移動し（Ｓ６）、上部グリッパ駆動部１７８へ制御信号を出力して上部ホルダ８１のグリッパ８４を開作動するとともに（Ｓ７）、上部ホルダＺ方向駆動部１７６へ制御信号を出力して上部ホルダ８１を上部エレベーション８２で前記上部搬送部５１の高さ位置まで移動する（Ｓ８）。
【００３８】
次に、上部ホルダＹ方向駆動部１７７へ制御信号を出力して上部ホルダ８１を前記上部搬送部５１側へ前進させ（Ｓ９）、上部グリッパ駆動部へ制御信号を出力して前記グリッパ８４を閉作動し当該上部ホルダ８１で上部搬送部５１先端部のマガジン３２を保持する（Ｓ１０）。この保持状態において、上部ホルダＹ方向駆動部１７７へ制御信号を出力して上部ホルダを後退し（Ｓ１１）、上部ホルダＺ方向駆動部１７６へ制御信号を出力して上部エレベーション８２によって、上部ホルダ８１に保持されたマガジン３２の下段の収納部３３がパスライン３１の高さ位置と一致するように制御する（Ｓ１２）。
【００３９】
この状態において、上流側ダイボンダ１３によるＩＣチップのボンディングが行われる一方、下流側ダイボンダ２２によるパワートランジスタチップのボンディングが停止している場合であっても、上流側ダイボンダ１３によるボンディングを継続し、該上流側ダイボンダ１３からのリードフレーム１１を、前記パスライン３１位置にセットされたマガジン３２の収納部３３へ収納する（Ｓ１３）。この収納部３３へリードフレーム１１を収納した時点において、前記上部エレベーション８２で上部ホルダ８１のマガジン３２を、前記収納部３３のピッチ分下降して、次段の収納部３３をパスライン３１位置にセットし（Ｓ１４）、当該マガジン３２の総ての収納部３３，・・・へのリードフレーム１１，・・・の収納が完了するまでステップＳ１４とステップＳ１５とを繰り返す。
【００４０】
前記マガジン３２の総ての収納部３３，・・・へのリードフレーム１１，・・・の収納が完了した際には、前記上部エレベーション８２によって上部ホルダ８１のマガジン３２を中間搬送部１１１まで下降した後（Ｓ１６）、上部ホルダ８１のグリッパ８４を開作動して保持されたマガジン３２を中間搬送部１１１のベルト１１３上に載置した後（Ｓ１７）、該中間搬送部１１１によって当該中間搬送部１１１上のマガジン３２，・・・を先端側へ所定量移動する（Ｓ１８）。
【００４１】
そして、下部グリッパ駆動部１８３へ制御信号を出力して下部ホルダ１２１のグリッパ１２４，１２４を開作動するとともに（Ｓ１９）、下部ホルダＺ方向駆動部１８１へ制御信号を出力して下部ホルダ１２１を下部エレベーション１２２で中間搬送部１１１の高さ位置まで上昇する（Ｓ２０）。
【００４２】
次に、下部ホルダＹ方向駆動部１８２へ制御信号を出力して下部ホルダ１２１を前記中間搬送部１１側へ前進させ（Ｓ２１）、下部グリッパ駆動部１８３へ制御信号を出力して前記グリッパ１２４，１２４を閉作動し当該下部ホルダ８１で中間搬送部１１１先端部のマガジン３２を保持する（Ｓ２２）。この保持状態において、下部ホルダＹ方向駆動部１８２へ制御信号を出力して下部ホルダ１２１を後退し（Ｓ２３）、下部ホルダＺ方向駆動部１８１へ制御信号を出力して下部エレベーション１２２によって、下部ホルダ１２１に保持されたマガジン３２を下部搬送部１５１の高さ位置まで下降する（Ｓ２４）。
【００４３】
その後、下部ホルダ１２１を前記下部搬送部１５１側へ前進させ（Ｓ２５）、前記グリッパ１２４，１２４を開作動して当該下部ホルダ８１のマガジン３２を下部搬送部１５１上に載置する（Ｓ２６）。そして、下部搬送部５１のベルト１５３によって当該下部搬送部１５１上のマガジン３２，・・・を先端側へ所定量移動し（Ｓ２７）、移動されたマガジンが３２下部搬送部１５１先端部に到達したか否かを、当該下部搬送部１５１のリミットスイッチ１６１の作動状態をストップセンサ部１８５から入力して判断し（Ｓ２８）、達していない場合には、メインルーチンへ戻る一方、達していた場合には、マイコンのＲＡＭに設定された満杯フラグをセットして（Ｓ２９）、メインルーチンへ戻る。
【００４４】
このメインルーチンにおいて、前記満杯フラッグがセットされていた場合には、出力部１８７を介して、リードフレーム搬送装置１８６へ停止信号を出力し、リードフレーム１１の搬送を停止する等の処理を行うものとする。
【００４５】
このように、リードフレーム１１を収納するマガジン３２を、上部搬送部５１のみならず、その上部のストックレール４１に保持することができ、前記上部搬送部５１上のマガジン３２に不足が生じた場合であっても、前記ストックレール４１に保持されたマガジン３２，・・・を上部搬送部５１に載置して、リードフレーム１１の収納を継続することができる。
【００４６】
一方、リードフレーム１１を収納したマガジン３２がストックされる中間搬送部１１１の下部には、下部搬送部１５１が設けられており、当該下部搬送部１５１上にもマガジン３２，・・・をストックすることができる。
【００４７】
これにより、マガジンスタッカ１の幅寸法を広げること無く、マガジン３２，・・・のストック量を増大することができる。したがって、ストック量が許容量に達するまでの時間を長くすることができ、継続した自動運転時間を延ばすことができる。また、オペレータによるマガジン３２，・・・交換頻度を減少することができるとともに、半導体製造装置２の停止頻度も低減することができ、稼動効率及び作業性を高めることができる。
【００４８】
なお、本実施の形態にあっては、当該マガジンスタッカ１を、上流側ダイボンダ１３と下流側ダイボンダ２２との稼動状態を調整するバッファとして利用した場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものでは無く、例えばボンディングが完了したリードフレーム１１１，・・・をマガジン３２，・・・へ収納する用途に利用しても良い。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のマガジンスタッカにあっては、上部搬送部上にマガジンを保持するストックレールを設けるとともに、リードフレームを収納したマガジンを載置する中間搬送部の下に下部搬送部を設けたため、装置の幅寸法を広げること無く、マガジンのストック量を増大することができる。
【００５０】
これにより、ストック量が許容量に達するまでの時間を長くすることができ、継続した自動運転時間を延ばすことができる。また、オペレータによるマガジン交換頻度を減少することができるとともに、装置の停止頻度も低減することができ、稼動効率及び作業性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態の一利用形態を示す模式図である。
【図２】  同実施の形態を示す模式図である。
【図３】  （ａ）は、図２のＡ矢示図であり、（ｂ）は図２のＢ矢示図である。
【図４】  同実施の形態の制御装置を示すブロック図である。
【図５】  同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図６】  図５に続くフローチャートである。
【図７】  図６に続くフローチャートである。
【図８】  従来のマガジンスタッカを示す模式図である。
【符号の説明】
１    マガジンスタッカ
２    半導体製造装置
１１    リードフレーム
１２    搬送レール
３１    パスライン
３２    マガジン
３３    収納部
４１    ストックレール
４２    アングル材
５１    上部搬送部
５２    リフタ
５３    支持板
５４    シリンダ
５５    ロッド
６２    ベルト
６３    支持バー
７１    駆動軸
８１    上部ホルダ
８２    上部エレベーション
１０１    Ｙ方向スライダ
１０２    Ｙ軸スライドレール
１０３    Ｙ軸モータ
１０４    ボールねじ
１１１    中間搬送部
１１３    ベルト
１１４    駆動軸
１２１    下部ホルダ
１２２    下部エレベーション
１５１    下部搬送部
１５３    ベルト
１５４    駆動軸
１６２    制御装置
【図１】
0004017872.tif 000002
【図２】
0004017872.tif 000003
【図３】
0004017872.tif 000004
【図４】
0004017872.tif 000005
【図５】
0004017872.tif 000006
【図６】
0004017872.tif 000007
【図７】
0004017872.tif 000008
【図８】
0004017872.tif 000009