(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにおいて、
前記走行経路中に設けられ、前記ＴＣＰを前記ＴＣＰテープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、
前記ＴＣＰテープを挟んで前記パンチ装置と反対側に、前記ＴＣＰテープの他方の面に対して接離方向に移動可能に設けられ、前記他方の面を支持可能な支持装置と、
前記パンチ装置が接続されたシリンダ本体と、前記シリンダ本体を軸方向に移動可能に支持するスライドガイド部と、前記支持装置が接続され、前記シリンダ本体に対して所定ストロークで出入可能なロッドと、前記ロッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置から挿入方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材とを備え、前記シリンダ本体が前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によって前記ロッドの移動が規制された後の残りストロークだけ前記スライドガイド部に支持されながら軸方向に移動するように設けられた移動装置とを備え、
前記移動装置は、前記ＴＣＰテープの走行中には前記支持装置を前記他方の面から離間するように移動し、前記打ち抜き動作の際には前記支持装置を前記他方の面に近接させた後、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープの一方の面に接近させる
ことを特徴とするＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項２】
前記移動装置の移動動作及び前記パンチ装置の打ち抜き動作を制御する制御装置を備え、
前記試験装置は試験結果を前記制御装置に出力し、
前記制御装置は前記 試験装置の試験結果に応じて前記移動動作及び前記打ち抜き動作を制御することを特徴とする請求項１記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項３】
前記制御装置は、前記移動動作及び前記打ち抜き動作の際、前記ＴＣＰテープの走行を停止することを特徴とする請求項２記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【請求項４】
前記シリンダ本体と前記ストッパ部材との間に、前記シリンダ本体と前記ストッパ部材とが離間する方向に付勢力を有する付勢部材を設けたことを特徴とする請求項３記載のＴＣＰ用ハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰ（Tape Carrier Package）が複数連接されたＴＣＰテープを走行させるとともに、デバイスを試験装置に接続することにより選別するＴＣＰ用ハンドラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、ＴＣＰは、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）技術を用いることによりフィルム上に半導体チップ（デバイス）を実装している。実際に、デバイスがプリント基板に搭載される前の搬送段階では、ＴＣＰは複数が連接されたテープ状となっている。このようなテープ形態のＴＣＰ（以下、「ＴＣＰテープ」と称する）におけるデバイスは、専用のＴＣＰ用ハンドラによって選別される。
【０００３】
従来におけるＴＣＰ用ハンドラは、ＴＣＰテープが巻かれている供給リールと、ＴＣＰテープを巻き取ることによって走行させる収容リールと、試験装置による試験結果に基づいて、ＴＣＰフィルムに前記試験結果に関する情報を含む所定のマーク穴を形成するマークパンチ部と、前記試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰのデバイスを打ち抜くリジェクトパンチ部とを備えている。前記試験装置の内、プローブカードはＴＣＰテープの走行経路中に設けられる。ＴＣＰのテストパッドにプローバを接触させて、デバイスを試験する。
【０００４】
図３にＴＣＰ用ハンドラの全体図を示す。
図３において、ＴＣＰ測定システムＳは、ＴＣＰテープ１を走行させるＴＣＰ用ハンドラ１００と、ＴＣＰテープ１の走行経路中に設けられ、ＴＣＰテープ１のデバイスと接続することによりデバイスを試験する試験装置２００とを備えている。ＴＣＰテープ１は、図４に示すように、フィルムにデバイス（半導体チップ）を貼付したＴＣＰ（Tape Carrier Package）が複数連接されたものである。
【０００５】
更に、ＴＣＰ用ハンドラ１００は、ＴＣＰテープ１を装着する供給リール２Ａと、供給リール２Ａに装着されているＴＣＰテープ１を巻き取る収容リール２Ｂとを備えている。収容リール２Ｂは、試験装置２００によって電気試験あるいは分類識別されたＴＣＰテープ１を巻き取る。供給リール２Ａ及び収容リール２Ｂのそれぞれには傾斜ガイド２１，２２が設けられている。また、供給リール２Ａと収容リール２Ｂとの間におけるＴＣＰテープ１の走行経路中には、スプロケット３Ａ、プーリ４Ａ、ガイド５Ａ、テンションプーリ６Ａ、スプロケット７Ａ、スプロケット７Ｂ、テンションプーリ６Ｂ、ガイド５Ｂ、プーリ４Ｂ、スプロケット３Ｂが設けられている。そして、これらスプロケット、プーリ、ガイド、テンションプーリ、及び収容リールによって、ＴＣＰテープ１を所定の速度・張力で走行させるＴＣＰ用ハンドラ１００が構成されている。ここで、各スプロケットが制御されて回転することによりＴＣＰテープ１が移送されるが、ＴＣＰテープ１は、これらスプロケットによって間欠送りされる。
【０００６】
試験装置２００は、プローブカード１２と、アタッチメントユニット１３と、テストヘッド１４とを備えている。プッシャ９，１０がＴＣＰテープ１を押下することにより、ＴＣＰのテストパッドと測定ピンとが接触導通する。試験装置２００の試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。
デバイスを試験する際、ＴＣＰテープ１を間欠送り可能なＴＣＰ用ハンドラ１００はＴＣＰのデバイスと試験装置２００とを位置合わせしつつＴＣＰテープ１の走行を停止する。前記位置合わせはカメラ１５によるＴＣＰの撮像結果に基づいて行われる。つまり、カメラ１５によるＴＣＰ画像の撮像結果は画像処理装置１５Ｃに出力され、画像処理装置１５Ｃはカメラ１５による画像データに基づいて画像処理し、処理結果を制御装置ＣＯＮＴに出力する。制御装置ＣＯＮＴは画像処理装置１５Ｃの処理結果に基づいて、ＴＣＰのデバイスと試験装置２００の測定ピンとが位置合わせされるように試験時のＴＣＰを位置制御する。
【０００７】
ＴＣＰテープ１の走行経路のうち測定部の下流側には、ＴＣＰのフィルムに対してマーク穴を形成可能なマークパンチ部１１と、ＴＣＰのデバイスをＴＣＰテープから打ち抜き可能なリジェクトパンチ部（パンチ装置）３０とが設けられている。マークパンチ部１１は、試験装置２００の試験結果に基づいてＴＣＰのフィルムにマーク穴を打ち抜く。リジェクトパンチ部３０は試験装置２００の試験結果に基づいて不良と判断されたＴＣＰを打ち抜く。
【０００８】
供給リール２Ａの走行経路下流側には検出器群２３が配置されており、収容リール２Ｂの走行経路上流側には検出器群２５が配置されている。検出器群２３は、リーダテープ及び被試験ＴＣＰの有無を感知する。検出器群２３の検出結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。制御装置ＣＯＮＴは、カメラ１５Ａで検出されたＴＣＰが測定部に移動したとき、前記検出結果に基づいてＴＣＰの試験の可否を試験装置２００に指示する。検出器群２５も、ＴＣＰテープ１の有無を感知する。また、測定部の上流側及び下流側のそれぞれにはＴＣＰテープ１の画像を撮像可能なカメラ１５Ａ，１５Ｂが設けられている。これらカメラ１５Ａ，１５Ｂの撮像信号は画像処理装置１５Ｃに出力され、この画像処理結果によって、走行するテープがリーダテープか被試験ＴＣＰかの確認や、デバイスの有無の確認及びＴＣＰの試験の可否の判断、あるいはパンチ穴を検出できる。
【０００９】
図５は従来のリジェクトパンチ部３０の概略構成図である。リジェクトパンチ部３０は、走行するＴＣＰテープ１の上方に設けられたパンチ３１と、ＴＣＰテープ１の下方に設けられたダイス３２とを備えている。ダイス３２は走行するＴＣＰテープ１に対して離間する位置に固定されている。ＴＣＰテープ１とダイス３２とが離間しているのは、走行中において、ＴＣＰテープ１の上下両面に実装されているＴＣＰ（デバイス）とダイス３２とが干渉するのを防止するためである。そして、不良と判断されたＴＣＰを打ち抜く際には、ダイス３２とＴＣＰテープ１とを離間した状態で、パンチ３１をＴＣＰに対して下降する。ＴＣＰはダイス３２と接触したときに切断され、打ち抜かれる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来におけるＴＣＰ用ハンドラのリジェクトパンチ部３０において不良のＴＣＰを打ち抜く際、ダイス３２の位置が固定されているため、パンチ３１が下降すると、ダイス３２との間でＴＣＰが切断される前にＴＣＰテープ１が下方に反るように押し下げられる。この場合、打ち抜かれるべきＴＣＰの両隣りのＴＣＰに、ＴＣＰテープ１の反りに起因する曲げ方向や引っ張り方向の力が作用し、悪影響を与えてしまう場合がある。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ＴＣＰのデバイスを打ち抜く際、他のＴＣＰデバイスに打ち抜きの際の力を作用させないＴＣＰ用ハンドラを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、第１のＴＣＰ用ハンドラは、フィルムにデバイスを貼付したＴＣＰが複数連接されたＴＣＰテープを走行させ、前記ＴＣＰテープの走行経路中に前記デバイスと接続することにより各デバイスを試験装置で試験するＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記走行経路中に設けられ、前記ＴＣＰを前記ＴＣＰテープの一方の面から打ち抜き可能なパンチ装置と、前記ＴＣＰテープを挟んで前記パンチ装置と反対側に、前記ＴＣＰテープの他方の面に対して接離方向に移動可能に設けられ、前記他方の面を支持可能な支持装置と、前記ＴＣＰテープの走行中には前記支持装置を前記他方の面に対して離間するように移動し、前記打ち抜き動作の際には前記支持装置を前記他方の面に対して近接させるように移動する移動装置とを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、ＴＣＰのデバイスを一方の面から打ち抜く際、他方を面を支持装置で支持することにより、ＴＣＰテープは反らず、したがって、他のＴＣＰのデバイスに対してＴＣＰテープの反りに起因する力が作用しない。また、ＴＣＰテープの走行中には、支持装置はＴＣＰテープから離間しているので、ＴＣＰテープに実装されているＴＣＰと支持装置とは干渉しない。
【００１４】
第２のＴＣＰ用ハンドラは、第１のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記移動装置の移動動作及び前記パンチ装置の打ち抜き動作を制御する制御装置を備え、前記試験装置は試験結果を前記制御装置に出力し、前記制御装置は前記試験装置の試験結果に応じて前記移動動作及び前記打ち抜き動作を制御することを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、試験装置の試験結果に基づいて、移動装置の移動動作やパンチ装置の打ち抜き動作が制御されるので、試験結果に基づいて不良デバイスを確実に打ち抜ける。
【００１６】
第３のＴＣＰ用ハンドラは、第２のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記制御装置は、前記移動動作及び前記打ち抜き動作の際、前記ＴＣＰテープの走行を停止することを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、移動装置の移動動作及びパンチ装置の打ち抜き動作時においては、ＴＣＰ用ハンドラはＴＣＰテープの走行を停止するので、ＴＣＰテープに実装されているＴＣＰは支持装置から衝撃を受けずに安定して支持され、打ち抜かれる。
【００１８】
第４のＴＣＰ用ハンドラは、第１〜３の何れか一項記載のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記移動装置は、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープに対して接離方向に移動可能に支持し、前記支持装置を前記ＴＣＰテープの他方の面に近接させた後、前記パンチ装置を前記ＴＣＰテープの一方の面に接近させることを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、ＴＣＰテープに対して支持装置を接触させた後、反対側からパンチ装置がＴＣＰテープに接近することにより、パンチ装置の打ち抜き動作時においてＴＣＰテープは支持装置に確実に支持される。したがって、打ち抜き動作は安定する。
【００２０】
第５のＴＣＰ用ハンドラは、第４のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記移動装置は、シリンダ本体と、前記シリンダ本体を軸方向に移動可能に支持するスライドガイド部と、前記シリンダ本体に対して所定ストロークで出入可能なロッドと、前記ロッドの前記シリンダ本体に対する最も出た位置から挿入方向への移動を所定位置で規制するストッパ部材とを備え、前記所定ストロークのうち、前記ストッパ部材によって前記ロッドの移動が規制された後の残りストロークだけ前記シリンダ本体は前記スライドガイド部に支持されながら軸方向に移動するように設けられ、前記支持装置は前記ロッドに接続され、前記パンチ装置は前記シリンダ本体に接続されていることを特徴とする。
【００２１】
本発明によれば、ＴＣＰテープに対する支持装置の接近動作とパンチ装置の接近動作とを１つのシリンダで兼ねるので装置構成をシンプルかつコンパクト化できる。
【００２２】
第６のＴＣＰ用ハンドラは、第５のＴＣＰ用ハンドラにおいて、前記シリンダ本体と前記ストッパ部材との間に、前記シリンダ本体と前記ストッパ部材とが離間する方向に付勢力を有する付勢部材を設けたことを特徴とする。
【００２３】
本発明によれば、シリンダ本体とストッパ部材との間に付勢部材を設けたことにより、支持装置がＴＣＰテープに接近してからパンチ装置がＴＣＰテープに接近する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のＴＣＰ用ハンドラについて図面を参照しながら説明する。図１は本発明のＴＣＰ用ハンドラの特徴的な部分であるリジェクトパンチ部（パンチ装置）の概略構成図である。
ここで、図１のリジェクトパンチ部は、図３に示したＴＣＰ用ハンドラ１００（ＴＣＰ測定システムＳ）において説明したリジェクトパンチ部３０に設置されるものであり、以下の説明において、図１に示した構成部分と同一又は同等の構成部分については、その説明を簡略もしくは省略する。
【００２５】
図１において、リジェクトパンチ部（パンチ装置）３０は、ＴＣＰ用ハンドラ１００の走行経路中に設けられ、ＴＣＰをＴＣＰテープ１の上面から打ち抜き可能なパンチ（パンチ装置）３１を有するパンチ駆動部（パンチ装置、移動装置）４０と、ＴＣＰテープ１を挟んでパンチ３１と反対側に、ＴＣＰテープ１の下面に対して接離方向に移動可能に設けられ、ＴＣＰテープ１の下面を支持可能なダイス（支持装置）３２とを備えている。ここで、ＴＣＰテープ１はパンチ３１とダイス３２との間を紙面手前方向（＋Ｘ方向）に走行する。
【００２６】
パンチ駆動部４０は、ベース４１と、ベース４１の上部に固定されたシリンダ本体４２と、ベース４１の下部に配置され、シリンダ本体４２に対して所定ストロークで出入り可能なロッド４３と、ベース４１の下部に設けられた前記パンチ３１とを有している。シリンダ本体４２とロッド４３とによってエアシリンダが構成されており、ロッド４３はシリンダ本体４２に対して軸方向（図中、上下方向）に移動する。パンチ駆動部４０のベース４１は、貫通穴部４１ａを有しており、この貫通穴部４１ａを介して、基台部Ｂに鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部５０に上下方向に摺動可能に支持されている。このとき、シリンダ本体４２はその軸方向を上下方向としてベース４１に固定されているため、ベース４１に固定されているシリンダ本体４２は、スライドガイド部５０によって軸方向に移動可能に支持されている。更に、ベース４１に取り付けられているパンチ３１は、ベース４１の上下方向の移動に伴って上下方向に移動可能、すなわち、ＴＣＰテープ１の上面に対して接離方向に移動可能となっている。
【００２７】
ダイス３２は、連結部材４４を介してパンチガイド部４５と一体に固定されている。パンチガイド部４５はパンチ３１を案内するガイド穴部４５ａを有しており、パンチ３１はベース４１の移動に伴ってガイド穴部４５ａの内部を案内されつつ上下方向に移動可能となっている。また、連結部材４４は貫通穴部４４ａを有しており、この貫通穴部４４ａを介して、基台部Ｂに鉛直方向に延びて設けられたスライドガイド部５０に上下方向に摺動可能に支持されている。そして、ダイス３２と連結部材４４とパンチガイド部４５とは一体に固定されているため、これらダイス３２と連結部材４４とパンチガイド部４５とは一体でスライドガイド部５０に対して上下方向に摺動し、ダイス３２はＴＣＰテープ１の下面に対して接離方向に移動する。
【００２８】
パンチガイド部４５の上面はロッド４３に固定されている。したがって、ロッド４３の移動によってパンチガイド部４５は上下方向に移動する。そして、パンチガイド部４５とダイス３２とは連結部材４４を介して一体に固定されているため、ロッド４３の移動によってダイス３２も上下方向にスライドガイド部５０に案内されつつ移動する。
【００２９】
スライドガイド部５０の途中には、パンチガイド部４５の上方への移動を規制するストッパ部材５１が設けられている。そして、パンチガイド部４５はロッド４３に固定されているため、ストッパ部材５１がパンチガイド部４５の上方への移動を規制することによって、ロット４３のシリンダ本体４２に対する最も出た位置から挿入方向への移動を所定高さ位置で規制するようになっている。
【００３０】
また、シリンダ本体４２と固定されているベース４１とストッパ部材５１との間には、ベース４１とストッパ部材５１とが離間する方向に付勢力を有しているばね（付勢部材）５２が設けられている。このばね５２の付勢力によって、ベース４１は下方に落下しない。
【００３１】
次に、上述した構成を備えるＴＣＰ用ハンドラ１００のリジェクトパンチ部３０によって、試験装置２００で不良と判断されたＴＣＰを打ち抜く動作について図２を参照しながら説明する。
ＴＣＰ用ハンドラ１００によってＴＣＰテープ１が間欠送りされ、停止した状態で試験装置２００がＴＣＰを試験する。試験結果は制御装置ＣＯＮＴに出力される。
【００３２】
試験装置２００によって試験されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３０に移送される。なお、このとき（ＴＣＰテープ１が走行時で打ち抜き動作前）、図２（ａ）に示すように、エアシリンダのロッド４３はシリンダ本体４２から最も出た状態（下方に出た状態）となっており、ロッド４３にパンチガイド部４５及び連結部材４４を介して接続されているダイス３２も下方に移動された状態となっている。したがって、ダイス３２とＴＣＰテープ１の下面とは離間している。
【００３３】
試験装置２００によって不良と判断されたＴＣＰがリジェクトパンチ部３０に移送されたら、ＴＣＰ用ハンドラ１００は制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、ＴＣＰ用テープ１の走行を停止する。そして、リジェクトパンチ部３０は制御装置ＣＯＮＴの制御のもとで、打ち抜き動作を開始する。
まず、図２（ｂ）に示すように、エアシリンダのロッド４３が上昇する。ロッド４３が所定距離Ｌ１上方に移動すると、ダイス３２がＴＣＰテープ１の下面に接触し支持するとともに、パンチガイド部４５とストッパ部材５１とが当たる。このとき、所定距離Ｌ１はロッド４３のストロークＬより小さい。
ストッパ部材５１とパンチガイド部４５とが当たることにより、ダイス３２が高さ方向所定位置に設定される。ここで、ダイス３２がＴＣＰテープ１の下面と近接するように設定されている。
すなわち、ストッパ部材５１が、ロッド４３のシリンダ本体４２に対する最も出た位置から挿入方向（図中、上方向）への移動を所定位置（ダイス３２がＴＣＰテープ１の下面と近接する位置位置）で規制する。
【００３４】
次いで、ロッド４３の上方への移動、すなわち、ダイス３２の上方への移動がストッパ部材５１によって規制されたら、図２（ｃ）に示すように、エアシリンダのストロークＬのうち、ストッパ部材５１によってロッド４３の移動が規制された後の残りのストロークＬ２（＝Ｌ−Ｌ１）だけ、シリンダ本体４２がスライドガイド部５０に支持されながらばね５２の付勢力にうち勝って下方に移動する。すると、シリンダ本体４２に接続しているベース４１及びパンチ３１も下方に移動する。下降したパンチ３１は、ＴＣＰテープ１の上面に接近し、ＴＣＰを打ち抜く。
【００３５】
このように、シリンダ本体４２及びロッド４３、スライドガイド部５０、ベース４１，パンチガイド部４５、連結部材４４、ストッパ部材５１によって、ＴＣＰテープ１の走行中にはダイス（支持装置）３２をＴＣＰテープ１の下面から離間し、パンチ３１による打ち抜き動作の際には、ダイス３２をＴＣＰテープ１の下面と近接させて支持するように移動する移動装置３００が構成されている。
【００３６】
打ち抜き動作が終了したら、ロッド４３が下降し、これに伴ってダイス３２が下降するとともにパンチ３１が上昇し、元の待機位置まで戻る。
【００３７】
以上説明したように、ＴＣＰのデバイスを打ち抜く際、下面をダイス３２で支持することにより、ＴＣＰテープ１はパンチ３１の下降に伴う反りを生じない。したがって、打ち抜かれるべきＴＣＰに隣接する他のＴＣＰに対してＴＣＰテープ１の反りに起因する力が作用しない。したがって、不良ＴＣＰを打ち抜く際の力が良品ＴＣＰに悪影響を及ぼすことを防止できる。また、ＴＣＰテープ１の走行中には、ダイス３２はＴＣＰテープ１から離間しているので、ＴＣＰテープ１に実装されているＴＣＰとダイス３２との干渉を発生させず、安定した走行を実現できる。
【００３８】
ダイス３２やパンチ３１のＴＣＰテープ１に対する接離方向の移動動作やパンチ３１の打ち抜き動作は、試験装置２００の試験結果に基づいて制御されるので、試験結果に基づいて不良なＴＣＰを確実にリジェクトできる。
【００３９】
ダイス３２やパンチ３１のＴＣＰテープ１に対する接離方向の移動動作やパンチ３１の打ち抜き動作においては、ＴＣＰ用ハンドラ１００はＴＣＰテープ１の走行を停止するので、ＴＣＰテープ１に実装されている良品のＴＣＰはダイス３２から衝撃を受けず、また不良なＴＣＰは安定して支持されてから打ち抜かれる。
【００４０】
ＴＣＰテープ１に対して下方からダイス３２を接触させた後、上方からパンチ３１がＴＣＰテープ１に接近することにより、パンチ３１の打ち抜き動作時においてＴＣＰテープ１をダイス３２によって確実に支持できる。したがって、打ち抜き動作は安定する。
【００４１】
また、本実施形態においては、ＴＣＰテープ１に対するダイス３２の接近動作とパンチ３１の接近動作とを１つのシリンダで兼ねるので装置構成をシンプルかつコンパクト化できる。
【００４２】
シリンダ本体４２に固定されたベース４１とストッパ部材５１との間にばね５２を設けたことにより、非打ち抜き動作時においてベース４１は落下せず、打ち抜き動作時において、１つのシリンダによってダイス３２をＴＣＰテープ１に接近させてからパンチ３１をＴＣＰテープ１に接近できる。
【００４３】
【発明の効果】
ＴＣＰのデバイスを打ち抜く際、ＴＣＰテープの一方の面を支持装置で支持するようにしたので、ＴＣＰテープにはパンチ装置の動作に伴う反りが生じない。したがって、打ち抜かれるべきＴＣＰに隣接する他のＴＣＰに対してＴＣＰテープの反りに起因する力は作用せず、所定のＴＣＰを打ち抜く際の力が他のＴＣＰに悪影響を及ぼすことを防止できる。また、ＴＣＰテープの走行中には、支持装置をＴＣＰテープから離間させているので、ＴＣＰテープに実装されているＴＣＰと支持装置とは干渉せず、安定した走行を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＴＣＰ用ハンドラのうち、本発明に係るパンチ装置の概略構成図である。
【図２】パンチ装置の動作を説明する図である。
【図３】ＴＣＰ用ハンドラの全体概略図である。
【図４】ＴＣＰテープを示す図である。
【図５】従来のパンチ装置を示す図である。
【符号の説明】
１    ＴＣＰテープ
３０    リジェクトパンチ部（パンチ装置）
３１    パンチ（パンチ装置）
３２    ダイス（支持装置）
５０    スライドガイド部
４２    シリンダ本体
４３    ロッド
５１    ストッパ部材
５２    ばね（付勢部材）
１００    ＴＣＰ用ハンドラ
２００    試験装置
３００    移動装置
ＣＯＮＴ    制御装置
【図１】
0004019673.tif 000002
【図２】
0004019673.tif 000003
【図３】
0004019673.tif 000004
【図４】
0004019673.tif 000005
【図５】
0004019673.tif 000006