(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を用いてワークに少なくとも浸漬洗浄を行なう前洗浄工程と、該前洗浄工程を終えたワークに界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液を用いて少なくとも浸漬洗浄を行なう後洗浄工程とを有する洗浄方法において、
前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程で、ワークを洗浄液の界面で上下動させながら引き上げる工程を有し、かつ、
前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程で、ワークを傾けながら洗浄液から引き上げる工程を有し、
前記ワークは液晶を封入後の液晶パネルを複数枚重ねたものであることを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネルなどのワークの洗浄方法、およびこの洗浄方法を用いた液晶装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
表示装置などとして用いられる液晶装置を製造するにあたっては、２枚の基板を貼り合わせてパネルを形成した後、このパネルの間に減圧注入などの方法で液晶を充填する。次に、パネルの液晶注入口を封止した後、あるいはパネルを切断した後、パネルを洗浄し、パネル表面に付着した液晶などを除去した後、異方性導電膜などを用いてフレキシブル配線基板などを接続する。
【０００３】
このような洗浄に用いられる洗浄液としてはフッ素系洗浄液があるが、フッ素系洗浄液はオゾン層を破壊する原因となるため、その使用が制限、禁止される傾向にある。そこで、フッ素系洗浄液に代えて、炭化水素系洗浄液が使用されつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、炭化水素系洗浄液は、有機物系の汚れは除去できるが、無機物系の汚れを十分に除去できないという問題点がある。また、水洗浄を組み合わせることにより無機物系の汚れを洗い落す方法もあるが、水洗浄を採用すると、廃水処理に多大なコストがかかるとともに、乾燥に手間がかかるという問題点がある。
【０００５】
そこで、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を用いることにより、液晶パネルに付着した有機系および無機系のいずれの汚れをも洗い落す方法が考えられるが、このような洗浄液を用いたときには、洗浄後の液晶パネルに残存した界面活性剤の影響が懸念されるという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の目的は、炭化水素系洗浄液で洗浄したときでも、ワークから有機物系および無機物系のいずれのタイプの汚れも完全に除去できるとともに、界面活性剤が残存することのない洗浄方法、およびこの洗浄方法を用いた液晶装置の製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を用いてワークに少なくとも浸漬洗浄を行なう前洗浄工程と、該前洗浄工程を終えたワークに界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液を用いて少なくとも浸漬洗浄を行なう後洗浄工程とを有する洗浄方法において、前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程で、ワークを洗浄液の界面で上下動させながら引き上げる工程を有し、かつ、前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程で、ワークを傾けながら洗浄液から引き上げる工程を有し、前記ワークは液晶を封入後の液晶パネルを複数枚重ねたものであることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を用いてワークに少なくとも浸漬洗浄を行なう前洗浄工程と、該前洗浄工程を終えたワークに界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液を用いて少なくとも浸漬洗浄を行なう後洗浄工程とを有する洗浄方法において、前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程で、ワークを洗浄液の界面で上下動させながら引き上げることを特徴とする。
上記課題を解決するために、本発明では、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を用いてワークに少なくとも浸漬洗浄を行なう前洗浄工程と、該前洗浄工程を終えたワークに界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液を用いて少なくとも浸漬洗浄を行なう後洗浄工程とを有する洗浄方法において、前記後洗浄工程では、ワークを洗浄液に浸漬した状態で洗浄槽内を減圧する操作と大気圧に戻す操作とを繰り返すことを特徴とする。
【０００８】
本発明では、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液でワークを洗浄することにより、ワークに付着していた有機系および無機系の汚れを除去した後（前洗浄工程）、ワークを界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に洗浄し、ワークに付着していた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を洗い落す（後洗浄工程）。また、後洗浄工程では、ワークを洗浄液に浸漬した状態で洗浄槽内を減圧する操作と大気圧に戻す操作とを繰り返すため、減圧時に、ワークの隙間、あるいはワークとワークとの間で気泡が成長して結合し、大きな気泡となって隙間から出ていく。このため、洗浄液は、隙間にスムーズに浸透していくので、隙間に入り込んでいた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に完全に置換することができる。それ故、洗浄後のワークでは、有機系および無機系の汚れが完全に除去されているとともに、前洗浄工程で用いた洗浄液に含まれていた界面活性剤がワークに残存することもない。
【０００９】
本発明において、前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程では、ワークを傾けながら洗浄液から引き上げることが好ましい。このようにしてワークを引き上げると、通常の姿勢では流れ出ないような洗浄液もワークから流れ出てくれる。それ故、洗浄液から引き上げられたワークに付着している洗浄液を大幅に減らすことができる。
【００１０】
本発明において、前記前洗浄工程および前記後洗浄工程のうちの少なくとも一方の工程では、ワークを上下動させながら洗浄液から引き上げることが好ましい。このように構成すると、ワークの隙間、あるいはワークとワークとの間に入り込んでいる汚れた洗浄液と、洗浄槽に貯留されていた洗浄液とを確実に置換することができる。
【００１１】
本発明において、前記前洗浄工程と前記後洗浄工程との間に、ワークに対する乾燥処理を行なうことが好ましい。このように構成すると、ワークの隙間、あるいはワークとワークとの間に入り込んでいる洗浄液をいったん除去した後、後洗浄工程に移すことができるので、後洗浄工程を行なう際、ワークの隙間、あるいはワークとワークとの間に洗浄液がスムーズに入り込んで良好に後洗浄を行なうことができる。
【００１２】
本発明に係る洗浄方法は、例えば、液晶を封入後の液晶パネルを前記ワークとして洗浄するのに適用できる。すなわち、液晶パネルを構成する一対の基板のうちの少なくとも一方の基板にソーダガラス基板を用いた場合には、ソーダガラス基板は安価である代わりに、加熱した際に基板自身からアルカリ金属が表面に出て塩を生成するという欠点がある。それでも、本発明では、このような無機物質も界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液で洗い落とすので、本発明によれば、アルカリ金属が表面に出て塩を生成し、コロージョンを発生させるというガラス基板の問題点を解消することができる。
【００１３】
本発明は、液晶パネルが複数枚を重ねた状態で洗浄される場合に適用するとより効果的である。本発明では、後洗浄工程において、液晶パネルを洗浄液に浸漬した状態で減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すので、減圧時に気泡が成長して結合し、大きな気泡となって隙間から出ていく。このため、洗浄液は、隙間にスムーズに浸透していくので、液晶パネルの隙間、あるいは液晶パネルと液晶パネルとの間に入り込んでいた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に完全に置換することができる。それ故、洗浄後の液晶パネルでは、有機系および無機系の汚れが完全に除去されているとともに、前洗浄工程で用いた洗浄液に含まれていた界面活性剤が残存することもない。
【００１４】
【発明の実施の形態】
添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、本発明の各実施の形態を説明する前に、洗浄対象（ワーク）としての液晶パネルの構成、およびその製造方法を説明しておく。
【００１５】
［ワーク／液晶パネルの構成］
図１および図２はそれぞれ、液晶表示装置（液晶装置）に用いる液晶パネルの構成を示す縦断面図、および平面図である。図３は、この液晶パネルに液晶を減圧注入する工程を示す説明図である。
【００１６】
図１に示す液晶パネル１は、単純マトリクス型の液晶装置用であり、ガラス板からなる透明な薄い第１の透明基板１０と、同じくガラス板からなる透明な薄い第２の透明基板２０とを有している。これらの透明基板の一方にはシール剤３０が印刷等によって形成され、このシール剤３０を挟んで第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とは、所定の間隙３１（セルギャップ）を隔てて接着固定されている。ここで、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とのセルギャップは、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間に挟まれた多数のスペーサ３２によって規定されている。
【００１７】
図２に示すように、シール剤３０には、液晶を注入する際の液晶注入口３０１としての途切れ部分が形成され、この液晶注入口３０１は紫外線硬化樹脂からなる封止剤３０５で封止されている。
【００１８】
再び図１において、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０との間隙３１のうち、シール剤３０で区画形成された液晶封入領域３００内には液晶４０が封入されている。第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の各々の対向面に形成されたストライプ状電極１０５、２０５の双方には表面上に配向膜１０１、２０１が形成され、液晶４０をＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）方式で用いるようになっている。
【００１９】
第１の透明基板１０および第２の透明基板２０の各外側表面には偏光板１０２、２０２がそれぞれ貼られている。なお、液晶パネル１を反射型の液晶パネル１として構成する際には、第２の透明基板２０に貼られている偏光板２０２に対しては反射板２０３が貼られる。
【００２０】
第１の透明基板１０の内側表面には、たとえば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜によって、横方向に延びる複数のストライプ状電極１０５が形成され、第２の透明基板２０の内側表面には、ＩＴＯ膜によって、縦方向に延びる複数のストライプ状電極２０５が形成されている。これらのストライプ状電極１０５、２０５同士の各交差部分に画素が構成される。第２の透明基板２０は第１の透明基板１０よりも大きいので、第２の透明基板２０はその一部が第１の透明基板１０の下端縁から張り出しており、この張り出し部分の端部に構成されている端子２０６には、異方性導電膜３などを介してフレキシブル配線基板２が接続される。ここで、端子２０６は、たとえば、第２の透明基板２０に形成されているストライプ状電極２０５がそのまま張り出し部分においても配線（延在）形成されたものと、第１の透明基板１０に形成されているストライプ状電極１０５が導通剤（図示せず）によって第１の透明基板１０と第２の透明基板１０の両基板間での電気的接続が図られて張り出し部分において配線形成されたものとが配列されて接続に利用されている。従って、フレキシブル配線基板２を介して外部回路から各種制御信号や電源等の駆動信号を入力すると、この駆動信号に基づいて所望する適宜のストライプ状電極１０５、２０５に電圧を印加することができる。それ故、各画素における液晶４０の配向状態を制御し、液晶パネル１に所望の画像を表示することができる。
【００２１】
［液晶パネルの製造方法］
このような液晶パネル１の製造方法において、第１の透明基板１０および第２の透明基板２０はいずれも、途中まではこれらの基板を多数枚取りできる大型基板の状態でストライプ状電極１０５、２０５などが形成された後、大型基板の状態でシール剤３０を介して貼り合わされる。そして、大型基板の状態で貼り合わせた後、短冊状に切断した状態で、図３に示す液晶注入工程が行われる。
【００２２】
図３において、液晶注入工程を行う際、短冊状のパネル１００の切断部分には、液晶パネル１となる各部分に液晶注入口３０１がそれぞれ開口している状態にある。従って、短冊状のパネル１００を液晶注入装置の処理室内に配置した後、この処理室内を真空にし、この状態で、液晶４０の貯留されている容器４１を上昇させ、液晶注入口３０１が容器４１内の液晶４０に浸かった状態にし、この状態で、処理室内を大気開放して真空状態を解除する。その結果、第１の透明基板１０と第２の透明基板２０とによって挟まれた間隙３１内は真空状態のままなので、液晶４０は、液晶注入口３０１から間隙３１内に吸引されていく。
【００２３】
このようにして液晶４０の注入が終了した後は、図２を参照して説明したように、液晶注入口３０１を紫外線硬化樹脂からなる封止剤３０５で封止する。
【００２４】
このようにして、液晶４０の注入・封止工程を終えた後、あるいは短冊状のパネル１００を切断して単品の液晶パネル１とした後、付着している液晶や切断時に付着したガラス粉を洗浄、除去する。
【００２５】
（洗浄機の全体構成）
図４は、本発明に係る洗浄方法を実施するためのを蒸留再生機能付き洗浄機の全体構成を示すブロック図である。図５は、図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で浸漬洗浄を行なっている様子を示す説明図である。図６は、図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で液晶パネルを洗浄するのに用いたホルダーの説明図である。図７は、図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機でシャワー洗浄および蒸気洗浄を行なっている様子を示す説明図である。図８は、図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で乾燥工程を行なっている様子を示す説明図である。
【００２６】
図４において、本形態の蒸留再生機能付き洗浄機５００（以下、洗浄機５００という）は、概ね、液晶パネル１などのワークを洗浄する洗浄部６００と、この洗浄部６００で使用された洗浄液を蒸留再生するための蒸留再生部７００とから構成されている。
【００２７】
この洗浄機５００において、洗浄部６００には、まず、超音波発振器６２６を備える第１の予備洗浄槽６０２と、超音波発振器６２７を備える第１の予備洗浄槽６０２とが配置され、これら２つの予備洗浄槽６０２、６０３によって、前洗浄工程が行われる。第１の予備洗浄槽６０２と第２の予備洗浄槽６０３とは一体に構成され、第２の予備洗浄槽６０３から第１の予備洗浄槽６０２に洗浄液がオーバーフローする構成になっている。
【００２８】
ここで、第１の予備洗浄槽６０２と第２の予備洗浄槽６０３には、主成分であるノルマルノナンやノルマルデカンなどのノルマルパラフィンに界面活性剤が添加された界面活性剤入り炭化水素系洗浄液が貯留されている。この界面活性剤は、たとえば、脂肪酸アルカノールアミドおよびＮアルキルアルキレンジアミン脂肪酸塩であり、このような添加剤はいずれも、たとえば５重量％以下の濃度で添加される。本形態では、添加剤として、下式
Ｒ1ＣＯＮ（Ｒ2ＯＨ）2・ＮＨ（Ｒ2ＯＨ）2
（但し、Ｒ1およびＲ2はアルキル基）
表わされる脂肪酸アルカノールアミドと、
下式
Ｒ3ＮＨ・Ｒ4Ｈ2・２Ｒ5ＣＯＯＨ
(但し、Ｒ3およびＲ5はアルキル基、Ｒ4はアルキレン基）
で表わされるＮアルキルアルキレンジアミン脂肪酸塩がそれぞれ５重量％以下の濃度で添加されている。
【００２９】
また、洗浄部６００には、後洗浄工程を行なう洗浄槽６０１が配置されている。この洗浄槽６０１の構成については、蒸留再生部７００からの配管構造とともに後述するが、洗浄槽６０１で使用される洗浄液は、ノルマルノナンやノルマルデカンなどを主成分とする炭化水素系洗浄液である。但し、この洗浄液には界面活性剤は配合されていない。
【００３０】
さらに、洗浄部６００には、洗浄対象（ワーク）となる液晶パネル１を搭載した洗浄籠６８５を第１の予備洗浄槽６０２、第２の予備洗浄槽６０３、および洗浄槽６０１の順に搬送するロボット（矢印Ｄで示す）が配置されている。
【００３１】
一方、蒸留再生部７００には、洗浄槽６０１からオーバフローしてきた洗浄液が洗浄液排出管７０２を介して回収される管理槽７０１が配置され、この管理槽７０１から供給されてくる洗浄液を蒸留再生する蒸留再生器は多段に構成されている。すなわち、蒸留再生部７００では、管理槽７０１から洗浄液が供給される第１段目（初段）の蒸留再生器７２１と、この蒸留再生器７２１で蒸留再生された再生洗浄液を蒸留再生する第２段目（終段）の蒸留再生器７２２とが直列に接続されている。
【００３２】
また、各蒸留再生器７２１、７２２には、蒸留再生器から蒸発してくる蒸気を液化するコンデンサ７３１、７３２と、これらのコンデンサ７３１、７３２で液化した再生洗浄液を貯留しておく中間槽７４１、７４２とが構成されている。
【００３３】
ここで、第１段目の蒸留再生器７２１と第１段目の中間槽７４１とは、コンデンサ７３１やバルブが介挿された再生洗浄液排出管７６１で接続されているとともに、第１段目の中間槽７４１と第２段目の蒸留再生器７２２とは、バルブが介挿された再生洗浄液供給管７８１で接続されている。このため、第１段目の蒸留再生器７２１で蒸留再生された再生洗浄液を第１段目の中間槽７４１を経て第２段目の蒸留再生器７２２に供給可能である。
【００３４】
また、第２段目の蒸留再生器７２２と第２段目の中間槽７４２とは、コンデンサ７３２が介挿された再生洗浄液排出管７６２で接続されている。
【００３５】
さらに、本形態では、蒸留再生器７２１、７２２の下方位置には、これらの蒸留再生器から排出される洗浄液や残滓をそれぞれ受ける受け槽７９１、７９２が配置されている。
【００３６】
このように構成した洗浄機５００において、第１段目の中間槽７４１は、バルブが介挿された浸漬洗浄液供給管７８２を介して洗浄槽６０１に接続され、第１の蒸留再生器７２１で蒸留再生された洗浄液を浸漬洗浄液として洗浄槽６０１に供給可能である。
【００３７】
第２段目の中間槽７４２は、バルブが介挿されたシャワー用洗浄液供給管７５２を介して洗浄槽６０１に接続され、第２の蒸留再生器７２２で蒸留再生された洗浄液をシャワー洗浄液として洗浄槽６０１に供給可能である。また、第２段目の中間槽７４２は、バルブが介挿された浸漬洗浄液供給管７５０を介して洗浄槽６０１に接続され、第２の蒸留再生器７２２で蒸留再生された洗浄液を浸漬洗浄液として洗浄槽６０１に供給可能である。さらに、第２段目の蒸留再生器７２２は、バルブが介挿された洗浄剤蒸気供給管７５６を介して洗浄槽６０１に接続され、洗浄剤蒸気を洗浄槽６０１に供給可能である。
【００３８】
図５において、洗浄部６００に配置されている洗浄槽６０１の高さ方向における略中間位置には洗浄液供給口６７１が配置され、この洗浄液供給口６７１に浸漬洗浄液供給管７５０、７８２が接続されている。なお、洗浄槽６０１には、洗浄液の液面を維持するための洗浄液排出管７０２が接続され、洗浄槽６０１内の洗浄液が洗浄液排出管７０２を介して管理槽７０１（図４を参照）にオーバーフローすることにより液面が維持される。
【００３９】
（洗浄槽６０１の構成）
このように構成した洗浄機５００でワーク（液晶パネル１）を洗浄するにあたっては、例えば、図６に示すホルダー６８０が使用される。このホルダー６８０を用いて液晶パネル１を洗浄するときには、液晶パネル１が重ねた状態で搭載されたホルダー６８０を多段積みにし、洗浄籠６８５に入れる。このため、１つの洗浄籠６８５に２０００〜５０００枚の液晶パネル１を入れることができ、一括して洗浄工程を行うことができるが、その分、液晶パネル１の間には隙間がほとんどない。
【００４０】
本形態において、液晶パネル１を図５に示す洗浄槽６０１で洗浄するには、洗浄槽６０１の下半部に形成されている浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に洗浄籠６８５を置くことになる。この浸漬洗浄室６１０には、界面活性剤の配合されていない炭化水素系の洗浄液が貯留されているので、洗浄籠６８５を浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に置いた状態で、洗浄籠６８５内の液晶パネル１は洗浄液に漬かる。
【００４１】
ここで、ワーク台６２０の下面側には、ワーク台６２０と一体の超音波発振器６２５が配置されている。また、ワーク台６２０は昇降機構（矢印Ａで示す。）に連結されており、昇降機構は、ワーク台６２０を超音波発振器６２５とともに上下に移動させることが可能である。さらに、浸漬洗浄室６１０に対しては、ここに貯留されている洗浄液の循環経路６１５が形成され、この循環経路６１５の途中位置には冷却器６１６が介挿されている。
【００４２】
本形態では、洗浄槽６０１の上半部は、浸漬洗浄室６１０よりもひと回り小さな処理室６３０になっている。この処理室６３０内には、下方に向けて濯ぎ用の洗浄液を噴射するシャワーノズル６３１が配置されているとともに、下方に向けて濯ぎ用の洗浄剤蒸気を噴出する蒸気吹き出し口６５５が配置されている。
【００４３】
また、処理室６３０の壁面には、真空引き装置（矢印Ｂで示す。）に接続された排気口６３５が開口しており、この排気口６３５から処理室６３０内を真空引きすることが可能である。また、洗浄槽６０１において、昇降機構がワーク台６２０を図５に示す位置から図８に示すように持ち上げたとき、ワーク台６２０はシャッターとして、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全に仕切る。従って、この状態では、浸漬洗浄室６１０から洗浄液の蒸気が処理室６３０内に侵入することがなく、かつ、排気口６３５から真空引きすると、処理室６３０内を真空状態にすることが可能である。
【００４４】
（前洗浄工程）
本形態において、液晶パネル１を洗浄機５００で洗浄するには、まず、洗浄籠６８５に搭載された液晶パネル１を第１の予備洗浄槽６０２に貯留されている洗浄液（界面活性剤入り炭化水素系洗浄液）に浸漬して超音波洗浄（浸漬洗浄）を行ない、次に、第２の予備洗浄槽６０３に貯留されている洗浄液（界面活性剤入り炭化水素系洗浄液）に浸漬して超音波洗浄（浸漬洗浄）を行なう。
【００４５】
（後洗浄工程）
このようにして前洗浄工程を終えた後、洗浄籠６８５を洗浄槽６０１の浸漬洗浄室６１０のワーク台６２０上に置き、液晶パネル１を洗浄液（界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液）に浸漬する。
【００４６】
次に、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を、６．６７×１０3〜１３．３３×１０3Ｐａ（５０〜１００Ｔｏｒｒ)にまで減圧した状態と、ほぼ通常の大気圧に戻した状態とを繰り返す。
【００４７】
次に、浸漬洗浄室６１０内を略大気圧に戻した状態で、超音波発振器６２５を作動させて、洗浄液を介して液晶パネル１に超音波振動を与えながら、浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう。
【００４８】
そして、所定の時間が経過した後、超音波発振器６２５を停止させて、再度、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返す。
【００４９】
次に、再度、浸漬洗浄室６１０内を大気圧に戻した状態で、超音波発振器６２５を作動させて、洗浄液を介して液晶パネル１に超音波振動を与えながら、浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう。
【００５０】
このようなサイクルを必要に応じて所定の回数、繰り返して浸漬洗浄（超音波洗浄）を終える。
【００５１】
このようにして超音波洗浄を行う際に、本形態では、洗浄対象への影響や蒸発による洗浄液のロスが問題にならない範囲内で洗浄液をたとえば５０〜８０℃にまで加熱して汚れなどの粘度を低下させるとともに、洗浄液の浸透性を高めることにより洗浄能力を高める一方、冷却器６１６によって洗浄液を冷却して温度制御を行い、超音波によって洗浄液が過熱されるのを防止する。このような温度制御により、引火性を有する洗浄液であっても、引火点より１０℃位、低めの温度を保つことができる。
【００５２】
なお、超音波発振器６２５を作動させて液晶パネル１に超音波振動を与えながら、排気口６３５からの真空引きと、空気の導入とを繰り返し、浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返してもよい。
【００５３】
次に、昇降機構を作動させて、ワーク台６２０を図５に示す位置から図７に示す位置近くにまで持ち上げ、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全には仕切らない状態で、まず、スプレーノズル６３１から洗浄液を液晶パネル１に噴射して第１回目の濯ぎ洗浄を行なう。
【００５４】
続いて、排気口６３５から真空引きを行なって浸漬洗浄室６１０および処理室６３０内を６．６７×１０3〜１３．３３×１０3Ｐａ（５０〜１００Ｔｏｒｒ）の減圧状態にして、蒸留再生器７２２から洗浄剤蒸気供給菅７５６と蒸気吹き出し口６５５を介して洗浄蒸気を供給し、液晶パネル１に蒸気洗浄（第２回目の濯ぎ洗浄）を行なう。
【００５５】
次に、洗浄槽６０１内を大気圧に戻した状態で蒸気吹き出し口６５５から洗浄剤蒸気を噴出して液晶パネル１に蒸気洗浄（第３回目の濯ぎ洗浄）を行なう。
【００５６】
このようにして濯ぎ洗浄を終えた後は、ワーク台６２０を図８に示す位置にまで持ち上げ、ワーク台６２０をシャッターにして、下半部の浸漬処理室６１０と上半部の処理室６３０とを完全に仕切る。次に、排気口６３５から処理室６３０に対して真空引きを行なって処理室６３０内を２．６７×１０3Ｐａ（２０Ｔｏｒｒ）以下の減圧状態（真空状態）にして、液晶パネル１を真空乾燥させる。
【００５７】
そして、乾燥を終えた液晶パネル１を洗浄籠６８５とともに洗浄槽６０１から取り出した後、別の液晶パネル１の洗浄を行なう。
【００５８】
（本形態の洗浄方法の効果）
このように、本形態に係る液晶パネル１の製造方法では、まず、前洗浄工程において、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液で液晶パネル１を洗浄することにより、液晶パネル１に付着していた有機系および無機系の汚れを除去した後、後洗浄工程において、液晶パネル１を界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液で洗浄し、液晶パネル１に付着していた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を完全に洗い落す。
【００５９】
また、後洗浄工程では、液晶パネル１を浸漬洗浄室６１０内の洗浄液に浸漬した状態で浸漬洗浄室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すので、減圧時に気泡が成長して結合し、大きな気泡となって液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１同士の重なり部分から出ていく。このため、洗浄液は、隙間にスムーズに浸透していくので、液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１と液晶パネル１との間に入り込んでいた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に完全に置換することができる。それ故、洗浄後の液晶パネル１では、有機系および無機系の汚れが完全に除去されているとともに、前洗浄工程で用いた洗浄液に含まれていた界面活性剤が残存することもない。
【００６０】
さらに、本形態で用いた界面活性剤入り炭化水素系洗浄液であれば、安価なソーダガラス基板を加熱したときに出てくるアルカリ金属や表面に生成した塩を洗い落とすことができ、コロージョンを防止できるので、液晶パネル１に用いる一対の基板のうちの少なくとも一方の基板として安価なソーダガラス基板を用いることができる。
【００６１】
さらにまた、本形態では、洗浄液に浸漬した液晶パネル１に対して超音波振動を加えながらの浸漬洗浄（超音波洗浄）を行なう際には、冷却器６１６によって洗浄液を冷却し、超音波の印加によって洗浄液が高温になりすぎるのを防止する。従って、薄いガラス板からなる第１および第２の基板１０、２０（液晶パネル１）が変形してしまうのを防止することができる。それ故、液晶パネル１の基板間でスペーサ３２が移動して集中してしまうことに起因する表示品位の低下などが発生しない。
【００６２】
さらに、本形態では、浸漬洗浄を行った液晶パネル１に対して、浸漬洗浄室６１０にワーク台６２０（シャッター）を介して隣接する処理室６３０で液晶パネル１に濯ぎ洗浄および減圧乾燥処理を連続的に施すので、洗浄液が外部に漏れない。それ故、引火性のある炭化水素系洗浄液を用いたときでも安全である。また、処理室６３０を減圧するための真空引き装置をシャッターが開いた状態で作動させることにより、この真空引き装置をそのまま用いて、浸漬処理室６１０内を減圧した状態と大気圧に戻した状態とを繰り返すことができ、かつ、浸漬処理室６１０内の洗浄液から蒸気を発生させて蒸気洗浄を行うことができる。それ故、洗浄槽６０１には、真空引き装置が１台で済むという利点がある。
【００６３】
さらにまた、減圧状態で蒸留再生器７２２から蒸気を発生させるので、フッ素系洗浄液と比較して沸点が高い炭化水素系洗浄液であっても、蒸気洗浄を行いやすいという利点がある。
【００６４】
（蒸留再生操作）
このようにして洗浄が行われている間、蒸留再生部７００では、以下に説明するように、洗浄槽６０１で使用された洗浄液の蒸留再生が行われる。
【００６５】
まず、洗浄槽６０１で使用された洗浄液は、まず、管理槽７０１に蓄えられ、この管理槽７０１から第１段目の蒸留再生器７２１に定量的に送られる。この蒸留再生器７２１では、洗浄液が定量投入される状態で蒸留再生が行われる（第１の蒸留モード）。
【００６６】
次に、第１段目の蒸留再生器７２１で発生した洗浄剤蒸気は、再生洗浄液排出管７６１に介挿されているコンデンサ７３１で液化した後、第１段目の中間槽７４１に蓄えられ、第１段目の中間槽７４１に蓄えられた再生洗浄液は、再生洗浄液供給管７８１を介して第２段目の蒸留再生器７２２に定量的に送られる。この蒸留再生器７２２では、洗浄液が定量投入される状態で蒸留再生が行われる（第１の蒸留モード）。
【００６７】
次に、第２段目の蒸留再生器７２２で発生した洗浄剤蒸気は、再生洗浄液排出管７６２に介挿されているコンデンサ７３２で液化した後、第２段目の中間槽７４２に蓄えられる。
【００６８】
このように、本形態の洗浄機５００Ｃでは、洗浄に使用された洗浄液を多段に接続された複数の蒸留再生器７２１、７２２によって蒸留再生するため、不純物濃度の低い正常な洗浄液を得ることができる。すなわち、図９に示す沸点−組成特性において、蒸留再生前の洗浄液に矢印ｃで示す濃度の不純物が混入しているとした場合に、この洗浄液は、第１段目（初段）の蒸留再生器７２１で矢印ａで示すレベル近くにまで不純物濃度が下げられた後、第２段目の蒸留再生器７２２に投入される。この第２段目の蒸留再生器７２２では、すでに矢印ａで示すレベル近くにまで不純物濃度が下げられた洗浄液が投入されるため、矢印ｂで示すレベル近くにまで不純物濃度を下げることができる。それ故、濯ぎ洗浄に必要なレベルにまで清浄化した再生洗浄液を得ることができる。
【００６９】
また、多段に接続された各蒸留再生器７２１、７２２から不純物濃度がいろいろなレベルの再生洗浄液を得ることができる。従って、蒸留再生器７２１で１回の蒸留再生が行われただけの再生洗浄液（第１段目の中間槽７４１内の再生洗浄液）は、不純物濃度が比較的高いので浸漬洗浄に用い、蒸留再生器７２１、７２２で２回の蒸留再生が行われた再生洗浄液（第２段目の中間槽７４２内の再生洗浄液）は、不純物濃度がかなり低いので、主に濯ぎ洗浄に用いるなど、洗浄液の不純物レベルに応じて使い分けることができる。それ故、手間をかけて不純物濃度をかなり低下させた洗浄液を予備洗浄に用いるなどといった無駄が発生しない。
【００７０】
このような蒸留操作が行われている間、洗浄槽６０１で浸漬洗浄液が必要になったときには、第１段目の中間槽７４１に蓄えられている再生洗浄液は、浸漬洗浄液供給管７８２を介して予備洗浄槽６０１に送られる。また、洗浄槽６０１で浸漬洗浄液が必要になったときには、第２段目の中間槽７４２に蓄えられている再生洗浄液を浸漬洗浄液供給管７５０介して洗浄槽６０１に送ることも可能である。さらに、洗浄槽６０１でシャワー洗浄液が必要になったときには、第２段目の中間槽７４２に蓄えられている再生洗浄液は、シャワー洗浄液供給管７５２を介して洗浄槽６０１に送られる。さらにまた、洗浄槽６０１で蒸気洗浄に必要な洗浄剤蒸気が必要になったときには、第２段目の蒸留再生器７２２で発生している洗浄剤蒸気が洗浄剤蒸気供給管７５６を介して洗浄槽６０１に送られる。
【００７１】
なお、蒸留再生を進めていくと、各蒸留再生器７２１、７２２では、不純物濃度が高まっていく。従って、通常は、各蒸留再生器７２１、７２２に対して洗浄液を定量投入しながら蒸留再生を行なうが（第１の蒸留モード）、図９に矢印ｃ′、ａ′、ｂ′で示すように、各蒸留再生器７２１、７２２内、あるいはそこから排出される洗浄液の不純物濃度が上昇したとき、あるいは、不純物濃度が上昇したと予想されるとき、煮詰め操作という不純物低減の操作を行なう（第２の蒸留モード）。
【００７２】
この煮詰め操作は、蒸留再生器７２１、７２２に対する洗浄液の定量投入を停止し、その時点で各蒸留再生器７２１、７２２に貯留されている洗浄液に対して蒸留再生を行なう（第２の蒸留モード）。そして、洗浄液をある程度、回収した時点で蒸留再生を停止し、各蒸留再生器７２１、７２２内に残っている洗浄液を残滓（不純物）とともに受け槽７９１、７９２に廃棄し、しかる後に、再び、各蒸留再生器７２１、７２２に対して洗浄液を定量投入しながら、洗浄液の蒸留再生を行なう。従って、、蒸留再生器７２１、７２２内の不純物を効果的に廃棄することができるので、再生洗浄液の不純物濃度を低く抑えることができる。
【００７３】
［その他の実施の形態］
なお、上記形態では、前洗浄工程で浸漬洗浄を行い、後洗浄工程で浸漬洗浄、シャワー洗浄および蒸気洗浄を行なったが、前洗浄工程および後洗浄工程のいずれにおいても浸漬洗浄のみを行なう場合であって、本発明を適用すれば良好な洗浄を行なうことができる。
【００７４】
また、前洗浄工程あるいは後洗浄工程のいずれにおいても、図１０に示すように、液晶パネル１を洗浄液から引き上げる際に液晶パネル１の辺が斜めになるような姿勢に液晶パネル１を傾けることが好ましい。このようにして、液晶パネル１を引き上げると、通常の姿勢では流れ出ないような洗浄液も液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１と液晶パネル１との間から流れ出てくれる。従って、この方法を前洗浄工程に適用すれば、後洗浄工程に液晶パネル１を持ち込むとき、前洗浄工程で用いた界面活性剤入りの洗浄液が液晶パネル１に付着している量を大幅に減らすことができる。それ故、後洗浄工程では、液晶パネル１に付着していた界面活性剤入りの洗浄液を界面活性剤が配合されていない洗浄液に完全に置換することができる。また、この方法を後洗浄工程に適用すれば、液晶パネル１に付着している洗浄液を大幅に減らすことができる分、乾燥時間を短縮できる。
【００７５】
また、前洗浄工程あるいは後洗浄工程のいずれにおいても、図１１に示すように、液晶パネル１を洗浄液から引き上げる際に、矢印Ｅで示すように、洗浄液の界面で液晶パネル１を上下動させることが好ましい。このような方法を採用すると、液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１と液晶パネル１との間に入り込んでいる汚れた洗浄液と、洗浄槽内に貯留されている洗浄液とを確実に置換することができる。従って、この方法を前洗浄工程に適用すれば、汚れた洗浄液が大量に付着した液晶パネル１を後洗浄工程に持ち込むことを防止することができる。また、この方法を後洗浄工程に適用すれば、汚れた洗浄液が大量に付着したまま液晶パネル１に乾燥処理を施すことを防止することができる。
【００７６】
さらに、前洗浄工程と後洗浄工程との間に、液晶パネル１に対して温風を吹き付けるなどの乾燥処理を行なうことが好ましい。このように構成すると、液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１と液晶パネル１との間に入り込んでいる洗浄液をいったん除去した後、後洗浄工程に移すことができる。それ故、後洗浄工程を行なう際、液晶パネル１の隙間、あるいは液晶パネル１と液晶パネル１との間に洗浄液がスムーズに入り込んで良好に後洗浄工程を行なうことができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液でワークを洗浄することにより、ワークに付着していた有機系および無機系の汚れを除去した後、ワークを界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に洗浄し、ワークに付着していた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を完全に洗い落す。しかも、後洗浄工程では、ワークを洗浄液に浸漬した状態で洗浄槽内を減圧する操作と大気圧に戻す操作とを繰り返すため、減圧時に、ワークの隙間、あるいはワークとワークとの間で気泡が成長して結合し、大きな気泡となって隙間から出ていく。このため、洗浄液は、隙間にスムーズに浸透していく。従って、隙間に入り込んでいた界面活性剤入りの炭化水素系洗浄液を界面活性剤が配合されていない炭化水素系洗浄液に完全に置換することができる。それ故、洗浄後のワークでは、有機系および無機系の汚れが完全に除去されているとともに、前洗浄工程で用いた洗浄液に含まれていた界面活性剤が残存することもない。
【００７８】
また、本発明の洗浄方法を液晶装置の製造方法に用いることは、液晶装置の洗浄効果を高めるだけでなく、一度に大量の液晶装置を処理できることから、製造時間の短縮やコストの低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】液晶装置に用いる液晶パネルの構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す液晶パネルの平面図である。
【図３】図１に示す液晶パネルの製造工程のうち、液晶注入工程において基板間に液晶を注入する方法を示す説明図である。
【図４】本発明に係る洗浄方法を実施するための蒸留再生機能付き洗浄機の全体構成を示すブロック図である。
【図５】図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で浸漬洗浄を行なっている様子を示す説明図である。
【図６】図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で液晶パネルを洗浄するのに用いたホルダーの説明図である。
【図７】図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機でシャワー洗浄および蒸気洗浄を行なっている様子を示す説明図である。
【図８】図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機で乾燥工程を行なっている様子を示す説明図である。
【図９】図４に示す蒸留再生機能付き洗浄機において、多段蒸留を採用した効果を説明するために沸点−組成特性を示したグラフである。
【図１０】本発明のその他の実施の形態に係る洗浄方法において、液晶パネルを引き上げる様子を示す説明図である。
【図１１】本発明のその他の実施の形態に係る洗浄方法において、液晶パネルを別の方法で引き上げる様子を示す説明図である。
【符号の説明】
１    液晶パネル（ワーク／液晶装置）
２    フレキシブル配線基板
１０  第１の透明基板
２０  第２の透明基板
３０  シール剤
３１  間隙
３２  スペーサ
４０    液晶
１００  パネル
１０５、１０６  ストライプ状電極
３００  液晶封入領域
３０１  液晶注入口
３０５  封止剤
５００  蒸留再生機能付き洗浄機
６００  洗浄部
６０１  洗浄槽
６０２  第１の予備洗浄槽
６０３  第２の予備洗浄槽
６１０  浸漬洗浄室
６３０  処理室
６３１  シャワーノズル
６５５  蒸気吹き出し口
７００  蒸留再生部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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