(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンタルソースを収容するタンクと、前記タンタルソースを気化する加熱手段と、前記タンクに収容された前記タンタルソース内に先端部が浸され、前記タンタルソースを取り出して前記加熱手段に供給するためのタンタルソース供給ラインと、前記タンク内の上部に存在する空間に先端部が連通し、前記タンタルソースを前記タンクから前記タンタルソース供給ラインに押し出すためのガスを前記タンク内に供給する押し出しガス供給ラインとを有し、前記加熱手段により気化したタンタルソースを成膜室に供給して成膜を行う成膜装置であって、
前記タンタルソースがＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5であり、前記タンタルソース供給ラインには、配管洗浄用Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインが接続されることを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
前記タンタルソース供給ラインには、さらに、Ｃ2Ｈ5ＯＨ排出ラインが接続されることを特徴とする請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
タンタルソースを収容したタンクと、先端部が前記タンクのタンタルソースに浸された第１の配管と、先端部が前記タンクの上部の空間に連通した第２の配管とを有するタンクユニットが接続された場合に、前記タンクのタンタルソースを加熱手段により加熱・気化させて成膜を行う成膜装置であって、
前記第１の配管に接続され、前記タンクのタンタルソースを取り出して前記加熱手段に供給するためのタンタルソース供給配管と、
前記第２の配管に接続され、前記タンクのタンタルソースを前記タンクから押し出すためのガスを前記タンクに供給する押し出しガス供給配管とを有し、
前記タンタルソースがＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5であり、前記タンタルソース供給配管には、配管洗浄用Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインが接続されることを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
タンタルソースを収容するタンクと、前記タンクに収容された前記タンタルソース内に先端部が浸され、前記タンタルソースを取り出して外部に供給するためのタンタルソース供給ラインと、前記タンク内の上部に存在する空間に先端部が連通し、前記タンタルソースを前記タンクから前記タンタルソース供給ラインに押し出すためのガスを前記タンク内に供給する押し出しガス供給ラインと、を有するタンタルソース供給部の前記タンタルソース供給ラインを洗浄する方法であって、
前記タンタルソースがＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5であり、
前記タンタルソース供給ラインには、Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインとＣ2Ｈ5ＯＨ排出ラインとが接続され、
前記Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインから前記タンタルソース供給ラインにＣ2Ｈ5ＯＨを流して前記タンタルソース供給ラインを洗浄し、前記タンタルソース供給ラインに流れたＣ2Ｈ5ＯＨを前記Ｃ2Ｈ5ＯＨ排出ラインより排出することを特徴とするタンタルソース供給ラインの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は成膜装置に関し、特にＴａ2Ｏ5膜成膜装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、従来のＴａ2Ｏ5膜成膜装置に使用されるＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部を説明するための図である。
【０００３】
この従来のＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部２００は、タンタルソース押し出しガスライン３０と、タンタルソースタンク１０と、タンタルソース供給ライン１４０とを備えている。タンタルソースタンク１０内にはＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 ２０が入れられており、その上部には空間１１が存在する。タンタルソース押し出しガスライン３０の先端配管部３９はその空間１１に連通し、タンタルソース供給ライン１４０の先端配管部４９はＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 ２０内に浸されている。タンタルソース押し出しガスライン３０のタンタルソースタンク１０上部にはバルブ３３が設けられ、その上流側には継ぎ手３２を介して押し出しガス供給配管３１が設けられている。タンタルソース供給ライン１４０のタンタルソースタンク１０上部にはバルブ４３が設けられ、その下流側には継ぎ手４２を介してタンタルソース供給配管１４１が設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
タンタルソースタンク１０の交換は、バルブ３３、４３を閉めた状態で、継ぎ手３２および継ぎ手４２を外すことによって行うが、このＴａソース［Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 ］は空気中の水分とすぐに反応し固体になる。
【０００５】
そのため、バルブ４３より下流側のタンタルソース供給ライン１４０に、この反応生成物が生じてしまい。その結果、配管の詰まりや、流量の不安定や、パーティクルの発生等の問題が生じていた。
【０００６】
従って、本発明の目的は、上記従来技術の問題を解決し、配管詰まりの防止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄与することができる成膜装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、タンタルソースを収容するタンクと、前記タンタルソースを気化する加熱手段と、前記タンクに収容された前記タンタルソース内に先端部が浸され、前記タンタルソースを取り出して前記加熱手段に供給するためのタンタルソース供給ラインと、前記タンク内の上部に存在する空間に先端部が連通し、前記タンタルソースを前記タンクから前記タンタルソース供給ラインに押し出すためのガスを前記タンク内に供給する押し出しガス供給ラインとを有し、前記加熱手段により気化したタンタルソースを成膜室に供給して成膜を行う成膜装置であって、前記タンタルソースがＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5であり、前記タンタルソース供給ラインには、配管洗浄用Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインが接続されることを特徴とする成膜装置が提供される。
【０００８】
このように、タンタルソース供給ラインに配管洗浄用Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインを設けているので、タンタルソース供給ラインの配管を洗浄することができ、その結果、タンタルソース供給ラインの配管詰まりの防止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄与することができる。
【０００９】
本発明は、タンタルソース供給ラインとして、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給ラインを用いたときに特に優れた効果がある。Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 は通常は液体であり、そのためにそれを供給するためには、それを収容したタンクを備えるタンタルソース供給部が用いられることが多い。このタンタルソース供給部は、通常は、液体のＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 を収容するタンクと、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 を押し出すための押し出しガス用配管と、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 を取り出して外部に供給するためのタンタルソース供給配管と、押し出しガス用配管とタンタルソース供給配管の途中にそれぞれ設けられたバルブと、押し出しガス用配管におけるバルブ上流側の継ぎ手と、タンタルソース供給配管におけるバルブの下流側の継ぎ手とを備えている。そして、タンクの交換は、上記２つのバルブを閉めた状態で上記２つの継ぎ手を外して行うが、本発明のように、タンタルソース供給ラインに配管洗浄用Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインを設ければ、継ぎ手を外す前に、タンタルソース供給ラインの配管をＣ2Ｈ5ＯＨによって洗浄して、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 をタンタルソース供給ラインから予め取り除くことができる。その結果、その後継ぎ手を外しても、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 に起因する反応生成物が生じることはなく、その結果、配管の詰まりや、流量の不安定や、パーティクルの発生等の問題がなくなる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施の形態のＴａ2Ｏ5膜成膜装置に使用されるＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部を説明するための図である。
【００１２】
本実施の形態のＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部１００は、タンタルソース押し出しガスライン３０と、タンタルソースタンク１０と、タンタルソース供給ライン４０とを備えている。タンタルソースタンク１０内にはＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 ２０が入れられており、その上部には空間１１が存在する。タンタルソース押し出しガスライン３０の先端配管部３９はその空間１１に連通し、タンタルソース供給ライン４０の先端配管部４９はＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 ２０内に浸されている。タンタルソース押し出しガスライン３０のタンタルソースタンク１０上部にはバルブ３３が設けられ、その上流側には継ぎ手３２を介して押し出しガス供給配管３１が設けられている。タンタルソース供給ライン４０のタンタルソースタンク１０上部にはバルブ４３が設けられ、その下流側には継ぎ手４２を介してタンタルソース供給配管４１が設けられている。継ぎ手４２の下流のタンタルソース供給配管４１には、Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ライン４５がバルブ４４を介して接続されている。さらにその下流側のタンタルソース供給配管４１には、Ｃ2Ｈ5ＯＨ排出ライン４７がバルブ４８を介して接続されている。
【００１３】
タンタルソースとしてのＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 を供給するには、バルブ４４、４８を閉じておき、バルブ３３、４３を開いた状態で、タンタルソース押し出しガスライン３０から押し出しガスを流して、タンク１０からタンタルソースＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 をタンタルソース供給ライン４０に押し出す。そして、押し出されたタンタルソースＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 は図中省略の加熱手段により、３５０℃程度に加熱されて気化し、その後、成膜室等に供給され、Ｔａ2Ｏ5膜を成膜する。
【００１４】
タンタルソースタンク１０を交換する際には、バルブ３３、４３を閉じた状態で、バルブ４４を開いて、Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインからＣ2Ｈ5ＯＨをバルブ４３より下流側に流して洗浄し、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 をタンタルソース供給ライン４０から取り除く。なお、洗浄用のＣ2Ｈ5ＯＨは、洗浄すべき部分よりも下流側に設けられたＣ2Ｈ5ＯＨ排出ライン４７からバルブ４８を介して排出する。その後、継ぎ手３２および継ぎ手４２を外して、タンタルソースタンク１０の交換を行う。本実施の形態においては、予めＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 がタンタルソース供給ライン４０から取り除かれているから、継ぎ手３２、４２を外しても、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 に起因する反応生成物が生じることはなく、その結果、タンタルソース供給ライン４０において、配管の詰まりや、流量の不安定や、パーティクルの発生等の問題がなくなる。
【００１５】
【発明の効果】
このように、Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ラインを設けることにより、タンタルソース供給ラインの配管詰まりの防止、流量の安定、パーティクルの低減に大きく寄与することができ、メンテナンス時間の低減、再現性の確保に大きな効果が見られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のＴａ2Ｏ5膜成膜装置に使用されるＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部を説明するための図である。
【図２】従来のＴａ2Ｏ5膜成膜装置に使用されるＴａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…タンタルソースタンク
１１…空間
２０…Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5
３０…タンタルソース押し出しガスライン
３１…押し出しガス供給配管
３２、４２…継ぎ手
３３、４３、４４、４８…バルブ
４０…タンタルソース供給ライン
４１…タンタルソース供給配管
４５…Ｃ2Ｈ5ＯＨ供給ライン
４７…Ｃ2Ｈ5ＯＨ排出ライン
１００…Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5 供給部
【図１】
0003974683.tif 000002
【図２】
0003974683.tif 000003