(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底円筒状のセラミックス成形体を円柱状の芯材に緩挿した状態で焼成する有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、上記芯材の熱膨張係数が上記焼結体の熱膨張係数以上である場合において、上記芯材が白金、白金−ロジウム合金、組成として、Ｎｉが２０〜４５％含まれる鉄基耐熱合金、ニッケル基耐熱合金、コバルト基耐熱合金のいずれかより選ばれる金属製部材からなることを特徴とする有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する場合において、
有底円筒状のセラミックス成形体を円柱状の芯材に緩挿する工程と、
焼結可能な温度において、上記成形体の円筒内壁面の少なくとも一部が上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備える有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する場合において、
有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部から有底部の内壁面までの距離よりも短い円柱状の芯材に緩挿し、且つ、その開口部を下向きにして該成形体を倒立せしめる工程と焼結可能な温度に昇温する過程において、上記成形体の有底部の内壁面側の少なくとも一部を上記心材の端部に当接せしめて懸架した中間焼成体を形成する工程と、
上記焼結可能な温度において、上記中間焼成体の円筒内壁面の少なくとも一部を上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体の有底部の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて懸架した状態を保持したまま、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備える有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載の有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、
有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部から有底部の内壁面までの距離よりも長い円柱状の芯材に緩挿し、且つ、上記成形体の有底部の内壁面側の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて該成形体を倒立、懸架せしめる工程と焼結可能な温度に昇温する過程において、上記成形体の円筒内壁面の少なくとも一部が上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体の有底部の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて懸架した状態を保持したまま、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備えることを特徴とする有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、有底円筒状セラミックスの製造方法に関する。焼成時に発生する円筒の反りや真円度不良を低減し、寸法精度に優れた円筒状セラミックスを量産するのに好適である。例えば、ナトリウム硫黄電池に用いられるベータアルミナ等からなる固体電解質管状体の製造方法等に適用可能である。
【０００２】
【従来の技術】
セラミックスは高強度、耐摩耗性、耐食性といった構造材料としての特性に優れ、従来の金属材料では使用できない高温環境下でも使用できるため、様々な分野で構造材料としての適用が検討されている。また、構造材料特性以外にも、イオン導電性を有する材料を用いて、電池用の固体電解質やセンサー等の素子への適用も種々検討されている。
【０００３】
これらの分野にセラミックス材料を適用する場合、上記特性以外で問題になるのは、セラミックスの焼き上げ寸法精度である。本発明が対象とする筒状セラミックス焼結体は、形状的には単純ではあるが、焼き上げ寸法にて要求される形状精度を出すことは意外と困難なことである。これは、焼成収縮に伴い発生する、反りや歪みが原因である。たとえば、円筒状のセラミックス焼結体は、保護管、焼成容器等の耐火物、あるいはナトリウム硫黄電池に用いられる固体電解質管状体などに用いられるものであるが、これらの用途で要求される真円度、反りといった円筒としての形状精度を出すことはかなり困難である。近年、これらの用途分野では実用化に向けて盛んな開発が行われており、それに伴い、焼結体の寸法の大型化への要求が更に高まってきている。
【０００４】
一般に、円筒状のセラミックス焼結体を製造する場合、機械的あるいは電気的特性以外に、その真円度や反りといった寸法精度が品質を左右することになる。しかし、上記の用途分野で要求される大型の製品では、焼成時に反りや歪みが発生しやすく、歩留まりの向上が困難であった。このため、製品のコスト低減が図られず、セラミックス部品の利用拡大の障害の一つとなっていた。
【０００５】
これらの問題を解決するために、種々の治具を用いて吊るして焼成する方法が、特開平３−８８２７９号公報や特開平７−２３２９５７号公報に開示されているが、成形体の治具への配置方法が複雑であり、量産には向いていないという問題があった。また、有底円筒状のベータアルミナ焼結体の焼成方法として、成形体の開口端を下方から支持する方法が特開平３−８８２７８号公報に開示されている。しかし、この方法では円筒の有底部は何ら治具等で支持されておらず、焼成収縮時に傾きを生じて真円度が悪化する場合があり、寸法精度の厳しい製品の焼成方法には適用できないといった問題があった。更に、成形体１本に対して焼成容器も１本ずつ必要なため量産に不向きであり、コスト低減が困難であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の従来の諸問題を解決するものであり、簡便な手法により形状精度に優れた有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法を提供することを目的とする。特には、真円度が高く、反りが少なく、形状精度に優れた有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法として好適である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、芯材を構成する材質に白金、白金−ロジウム合金、組成として、Ｎｉが２０〜４５％含まれる鉄基耐熱合金、ニッケル基耐熱合金、コバルト基耐熱合金のいずれかより選ばれる金属製部材を用いることを要旨とする。
上記芯材に金属製部材を用いる理由は、主に以下の2つの理由による。まず第１に、金属製部材は加工が容易なため高い寸法精度の芯材を安価に作製することができるからである。第２に、金属製部材は熱伝導率が高く、且つ、耐熱衝撃性に優れるため、焼成プロファイルの昇温、冷却のスピードを早めて焼成工程の時間短縮を図ることができるからである。焼成工程の時間短縮を図ることで、製品の製造コストを低減することが可能となる。本発明にいう「有底円筒状」とは、その断面形状が真円、楕円、規則的な変形を伴う変形円または不規則的な変形を伴う変形円等からなる一切の円筒状を含んだ形状をもいう。
本発明では、上記芯材の熱膨張係数を上記焼結体の熱膨張係数よりも大きいものを用いる。かかる構成によれば、焼成収縮によって発生する成形体の円筒内壁面による芯材への把持が、冷却過程において容易に開放できるようになり、焼結体の芯材へのかみ込みを効果的に防止できる。これは、熱膨張係数がより大きい芯材の方が、冷却過程で焼結体よりもより多く収縮する性質を利用したものである。
尚、芯材と焼結体の熱膨張係数の差としては、１．０×１０−６／℃以上であることが望ましい。
【０００９】
金属製部材としては、白金あるいは白金−ロジウム合金といった融点が１７００〜２０００℃付近にある貴金属系材料を用いることができる。白金−ロジウム合金の具体例としては、白金−ロジウム（２０％）が挙げられる。これら高融点の貴金属系材料は、１２５０〜１９００℃程度の高温下での繰り返し焼成にも十分耐えることができる。貴金属系の金属製部材以外には、鉄基、ニッケル基又はコバルト基の耐熱合金を用いることができる。これらの金属製部材は加工が容易なため、寸法精度の高い芯材が容易に製造できる。これらの芯材を用いれば、寸法精度の高い有底円筒状セラミックス焼結体を得ることが可能となる。
【００１０】
鉄基耐熱合金はその組成比により、９００〜１２００℃程度の高温下での繰り返し焼成にも十分耐えることができる。組成としては、Ｎｉ：２０〜４５％、Ｃｒ：０〜３５％、Ｃｏ：０〜２５％、Ｍｏ：０〜６％、Ｗ：０〜５％、Ｎｂ：０〜５％、Ａｌ：０〜１．５％、Ｔｉ：０〜３％、Ｍｎ：０〜２％、Ｓｉ：０〜２％、Ｃ：０〜０．４％、Ｂ：０〜０．０２％、残部がＦｅである組成系が挙げられる。具体的には、Ｎｉ：４２．５％、Ｃｒ：１２．５％、Ｍｏ：５．７％、Ａｌ：０．２％、Ｔｉ：２．８％、Ｍｎ：０．１％、Ｓｉ：０．１％、Ｃ：０．０５％、残部がＦｅである鉄基耐熱合金（Ｉｎｃｏｌｏｙ  ９０１）が好適である。
【００１１】
ニッケル基耐熱合金はその組成比により、１０００〜１２５０℃程度の高温下での繰り返し焼成にも十分耐えることができる。組成としては、Ｃｒ：１５〜５０％、Ｃｏ：０〜３０％、Ｍｏ：０〜２０％、Ｗ：０〜１５％、Ｎｂ：０〜５％、Ａｌ：０〜５％、Ｔｉ：０〜３％、Ｍｎ：０〜１％、Ｓｉ：０〜３％、Ｃ：０〜０．１％、Ｆｅ：０〜４０％、残部がＮｉである組成系が挙げられる。具体的には、
Ｃｒ：１５％、Ｎｂ：１％、Ａｌ：０．７％、Ｔｉ：２．５％、Ｍｎ：０．４％、Ｓｉ：０．６％、Ｃ：０．０５％、Ｆｅ：７％、残部がＮｉであるニッケル基耐熱合金（Ｉｎｃｏｎｅｌ  Ｘ−７５０）が好適である。
【００１２】
コバルト基耐熱合金はその組成比により、１０００〜１２５０℃程度の高温下での繰り返し焼成にも十分耐えることができる。組成としては、Ｃｒ：１５〜４０％、Ｎｉ：０〜３５％、Ｍｏ：０〜１０％、Ｗ：０〜１５％、Ｔａ：０〜１０％、Ｎｂ：０〜５％、Ａｌ：０〜４％、Ｔｉ：０〜３％、Ｍｎ：０〜２％、Ｓｉ：０〜２％、Ｃ：０〜１．５％、Ｆｅ：０〜２５％、Ｚｒ：０〜０．２％、残部がＣｏである組成系が挙げられる。具体的には、
Ｃｒ：２０％、Ｎｉ：１０％、Ｗ：１５％、Ｍｎ：１．５％、Ｓｉ：０．３％、Ｃ：０．１％、Ｆｅ：１．５％、残部がＣｏであるコバルト基耐熱合金（Ｌ−６０５）が好適である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する場合において、
有底円筒状のセラミックス成形体を柱状の芯材に緩挿する工程と、
焼結可能な温度において、上記成形体の円筒内壁面の少なくとも一部が上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備えることを要旨とし、請求項１に記載の発明の具体的な製造方法を例示したものである。
本発明の製造方法は、有底円筒状のセラミックス成形体を、該有底面を上にした状態で芯材に被せて倒立させた状態で焼成することで、上記成形体の焼成過程で発生する焼結体の反りや変形を芯材によって矯正して、反りや真円度に優れた円筒状セラミックス焼結体を容易に量産できるようにするものである。上記成形体は、焼成収縮の過程において、その円筒内壁面が上記芯材に内接、把持することになり、その結果、焼結体の反りや変形の発生が抑制される。焼成後は、冷却過程に発生する熱膨張・収縮差を利用することで、円筒内壁面の芯材への内接、把持を実質的に開放し、容易に上記焼結体を芯材から抜脱することができる。ちなみに、請求項２乃至請求項４に記載の発明においていう「実質的に開放」とは、焼成後の焼結体が芯材をかみ込むことなく抜脱できる程度の状態になることをいう。
焼成温度における芯材及び焼結体の熱膨張係数を勘案した上で、金属製部材よりなる芯材を用い、更にかかる製造工程を経ることによって、焼結体に発生する変形等を効果的に矯正し、その結果、高い寸法精度を有する有底円筒状セラミックス焼結体を低コストで量産することが可能である。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する場合において、
有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部から有底部の内壁面までの距離よりも短い円柱状の芯材に緩挿し、且つ、その開口部を下向きにして該成形体を倒立せしめる工程と、
焼結可能な温度に昇温する過程において、上記成形体の有底部の内壁面側の少なくとも一部を上記心材の端部に当接せしめて懸架した中間焼成体を形成する工程と、
上記焼結可能な温度において、上記中間焼成体の円筒内壁面の少なくとも一部を上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体の有底部の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて懸架した状態を保持したまま、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備えることを要旨とし、請求項１に記載の発明の具体的な製造方法を例示したものである。
本発明の製造方法は、有底円筒状のセラミックス成形体を、該有底面を上にした状態で芯材に被せて倒立させた状態で焼成することで、上記成形体の焼成過程で発生する焼結体の反りや変形を芯材によって矯正して、反りや真円度に優れた円筒状セラミックス焼結体を容易に量産できるようにするものである。本発明では、図１に示すように、芯材１５の長さを上記成形体１６の開口部から有底面の円筒内側までの距離よりも短く、且つ、芯材を用いずに焼成した円筒状セラミックス焼結体の開口部から有底面の円筒内側までの距離よりも長く設定することが重要である。焼成収縮初期の状態では、図１（ａ）に示すように、有底面を芯材１５からフリーにしておき、芯材１５が当たることで発生する有底面や有底面近傍の変形の発生を抑制する。そして、図１（ｂ）に示すように、有底面が芯材に当たっても変形を起さない程度に焼成した段階になってから、焼成収縮により該有底面に芯材１５があたって製品１６１を懸架する状態にして、次いで、円筒の反りや真円度を芯材によって矯正していくのである。本発明の製造方法は、特に重量があって変形しやすい大型の有底円筒状セラミックス焼結体を製造するのに好適である。
焼成温度における芯材及び焼結体の熱膨張係数を勘案した上で、金属製部材よりなる芯材を用い、更にかかる製造工程を経ることによって、焼結体に発生する変形等を効果的に矯正し、その結果、高い寸法精度を有する有底円筒状セラミックス焼結体を低コストで量産することが可能である。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部を下向きに倒立した状態で焼成する有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法であって、
有底円筒状のセラミックス成形体を、その開口部から有底部の内壁面までの距離よりも長い円柱状の芯材に緩挿し、且つ、上記成形体の有底部の内壁面側の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて該成形体を倒立、懸架せしめる工程と、
焼結可能な温度に昇温する過程において、上記成形体の円筒内壁面の少なくとも一部が上記芯材に内接、把持したセラミックス焼結体を得る工程と、
上記焼結可能な温度から降温する過程において、上記焼結体の有底部の少なくとも一部を上記芯材の端部に当接せしめて懸架した状態を保持したまま、上記焼結体による上記芯材への把持を実質的に開放する工程と、
上記降温後の焼結体を上記芯材から抜脱する工程と、を備えることを要旨とし、請求項１に記載の発明の具体的な製造方法を例示したものである。
本発明の製造方法は、有底円筒状のセラミックス成形体を、該有底面を上にした状態で芯材に被せて倒立させた状態で焼成することで、上記成形体の焼成過程で発生する焼結体の反りや変形を芯材によって矯正して、反りや真円度に優れた円筒状セラミックス焼結体を容易に量産できるようにするものである。本発明では、図２（ａ）に示すように、芯材１１の長さを上記成形体の開口部から有底面の円筒内側までの距離よりも長く設定する。こうして焼成収縮初期の状態から有底面１３を芯材１１に当てて成形体を懸架した状態で焼成することで、円筒の反りや真円度を芯材によって矯正していくのである。本発明の製造方法は、重量があって変形しやすい大型の有底円筒状セラミックス焼結体を製造するには不向きであるが、自重で有底面や有底面近傍に変形が発生しにくい比較的軽量の中〜小型の有底円筒状セラミックス焼結体を製造するに好適である。
焼成温度における芯材及び焼結体の熱膨張係数を勘案した上で、金属製部材よりなる芯材を用い、更にかかる製造工程を経ることによって、焼結体に発生する変形等を効果的に矯正し、その結果、高い寸法精度を有する有底円筒状セラミックス焼結体を低コストで量産することが可能である。
【００１６】
【実施例】
以下に、実施例によって本発明を詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（１）ベータアルミナ質有底円筒状セラミックス焼結体の製作
原料粉末には、純度９９．９％のα−アルミナ粉末、試薬１級品の炭酸ナトリウムおよび炭酸リチウムを用いた。これらの原料粉末を、酸化アルミニウム、酸化ナトリウムおよび酸化リチウムに換算したときの重量部で、それぞれ９０．４％、８．８５％および０．７５％となるように混合した。この混合物を１２５０℃で１０時間仮焼した後、振動ミルで粉砕しベータアルミナ質の原料粉末を得た。得られた原料粉末をバインダーと共に水溶媒で所定量混合してスラリとし、スプレードライ法にて造粒粉末を調製した。この造粒粉末をＣＩＰ（冷間静水圧プレス法）により内部長さ４９０ｍｍ×内径４８ｍｍ×肉厚２．５ｍｍの有底円筒状に成形した。焼成には、白金製の芯材を用いた。白金芯材の熱膨張係数は、１０．１×１０−６／℃であった。焼成に用いた芯材の形状は、土台部分の外径７６ｍｍ×芯材長さ４４５ｍｍ×芯材外径４２ｍｍとした。
焼成条件は、最高温度で１６００℃×３０分保持とし、各条件ごとに５０本ずつ焼成を行った。得られたベータアルミナ質焼結体の熱膨張係数は、７．８×１０−６／℃であった。芯材と焼結体の熱膨張係数は、ＪＩＳ  Ｒ  １６１８に従がって、２０〜１０００℃の範囲について測定した。
【００１７】
（２）Ｂａ−Ｎｄ−Ｔｉ系有底円筒状セラミックス焼結体の製作
出発原料としては、純度９９．９％の炭酸バリウム、酸化ネオジウム、酸化チタン及び酸化イットリウムの粉末を、それぞれモル比で１７．０３：１４．９５：６７．０４：０．９８になるように秤量し、ミキサーによって乾式で粉砕、混合を行った。得られた混合粉末を大気雰囲気下、１１００℃で４時間仮焼を行った。この仮焼物に水を加えて湿式粉砕した後乾燥し、平均粒径約１．５μｍの粉末を得た。
この粉末と酸化鉛、二酸化ケイ素及び酸化ホウ素をモル比で５０：３０：２０の組成比で含有するガラス粉末（平均粒径：約１μｍ）とを重量比で９０：１０の混合比でエタノールを溶媒として混合し、乾燥後、樹脂バインダーを加えて増粒した。
この増粒粉末をＣＩＰ法（冷間静水圧プレス法）にて、内部長さ４９０ｍｍ×内径４８ｍｍ×肉厚２．５ｍｍの有底円筒形状に成形し、有底円筒状成形体を得た。焼成には、以下の３種類の金属製部材からなる芯材を用いた。
鉄基耐熱合金製芯材（Ｉｎｃｏｌｏｙ  ９０１、熱膨張係数：１８．３×１０−６／℃）
ニッケル基耐熱合金製芯材（Ｉｎｃｏｎｅｌ  Ｘ−７５０、熱膨張係数：１８．０×１０−６／℃）
コバルト基耐熱合金製芯材（Ｌ−６０５、熱膨張係数：１７．７×１０−６／℃）
焼成に用いた芯材の形状は、土台部分の外径７６ｍｍ×芯材長さ４４５ｍｍ×芯材外径４２ｍｍとした。
焼成条件は、最高温度で９００℃×２時間保持とし、各条件ごとに５０本ずつ焼成を行った。得られたＢａ−Ｎｄ−Ｔｉ（ＢＮＴ）系焼結体の熱膨張係数は、８．３×１０−６／℃であった。芯材と焼結体の熱膨張係数は、ＪＩＳ  Ｒ  １６１８に従がって、２０〜１０００℃の範囲について測定した。
【００１８】
（３）焼結体の反り検査
（１）及び（２）の各条件にて得られた焼結体の反りを以下のように測定・確認した。すなわち、図３に示すように、焼結体１７を水平基準面を有する水平板１８上（以下、基準面という）に置いて接地させたとき、該基準面から円筒表面までの距離が最も遠い部位の距離ｄを測定し、当該ｄの焼結体の円筒長さＬに対する割合（単位；％）を反り基準値として算出した。反りの評価は、５０本の焼結体のうち、反り基準値が０．２％以下のものを８０％以上含むものを合格とし、「反り評価合格率」として評価した。結果を表１に示した。
【００１９】
（４）焼結体の真円度検査
（１）及び（２）の各条件にて得られた焼結体の真円度を、以下のように測定した。すなわち、得られた焼結体の開口端部の内径の最大値Ｒと最小値ｒを測定し、以下の数式１によって真円度ＴＲを求めた。真円度の評価は、各条件ごとに焼成を行った５０本の焼結体のうち、真円度が１％以下のものを８０％以上含む条件を合格とし、「真円度評価合格率」として評価した。結果を表１に併記した。
【００２０】
【数１】
ＴＲ＝（Ｒ−ｒ）／ｒ
【００２１】
【表１】
0003939035.tif 000002
【００２２】
表１の結果より、本発明の範囲である試料番号１では、芯材に白金を用いることで、ベータアルミナの様な１６００℃という高温での焼成条件下でも、反り評価合格率で９４％、真円度評価合格率で９６％と良好な結果を示した。
また、本発明の範囲である試料番号１、試料番号３〜試料番号５でも、芯材に鉄基耐熱合金、ニッケル基耐熱合金及びコバルト基耐熱合金を用いることで、ＢＮＴの様な９００℃という比較的高温での焼成条件下でも、反り評価合格率で９６〜１００％、真円度評価合格率で９８〜１００％と良好な結果を示した。
一方、比較例である試料番号２及び試料番号６を見ると、５４〜６４％、真円度評価合格率で６８〜７０％であり、特には、反り評価合格率で劣る結果となった。
【００２３】
【発明の効果】
本発明の有底円筒状セラミックス焼結体の製造方法によれば、形状精度の優れた焼結体を歩留まり良く量産することが可能となる。特には、芯材を加工性の良好な金属性部材にすることで、焼結体の精度のみならず、焼成プロファイルの昇温・冷却時間の短縮による焼成工程の時間短縮による製造コストの低減をも図ることが可能である。本発明は、例えば、ナトリウム硫黄電池等に用いられるベータアルミナ等からなる固体電解質管状体の製造方法として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項５に記載の有底円筒状セラミック焼結体の焼成方法を示す説明図。
【図２】請求項６に記載の有底円筒状セラミック焼結体の焼成方法を示す説明図。
【図３】焼結体の反り検査の測定状態を示す説明図。
【符号の説明】
１５    芯材
２      焼成ケース
１０    台座
１６    有底円筒状成形体
１６１  有底円筒状焼結体
【図１】
0003939035.tif 000003
【図２】
0003939035.tif 000004
【図３】
0003939035.tif 000005