(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向するＴＦＴアレイ基板と、対向基板との間に電気光学物質を挟持し、前記ＴＦＴアレイ基板上に複数の表示用電極と、前記表示用電極ごとに対として設けられた複数のスイッチング素子とを備えた電気光学装置であって、
前記対向基板の外側の面には、透明な防塵ガラスが設けられるとともに、前記防塵ガラスの外側の面には、多層構造を有するコート部が形成され、
前記多層構造には、シリカ層と、ジルコニア層と、透明な帯電防止性材料からなるコーティング層と、が少なくとも含まれ、
前記多層構造における最上層の一つ前の層には、前記コーティング層が設けられることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
対向するＴＦＴアレイ基板と、対向基板との間に液晶を挟持し、前記ＴＦＴアレイ基板上に複数の表示用電極と、前記表示用電極ごとに対として設けられた複数のスイッチング素子とを備えた電気光学装置であって、
前記対向基板の外側の面に設けられた透明な防塵ガラスと、
前記防塵ガラスから離間して設けられた偏光板と、をさらに備え、
前記防塵ガラスの外側の面、および、前記偏光板の表裏面には、多層構造を有するコート部がそれぞれ形成され、
前記多層構造には、シリカ層と、ジルコニア層と、透明な帯電防止性材料からなるコーティング層と、が少なくとも含まれ、
前記多層構造における最上層の一つ前の層には、前記コーティング層が設けられることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
前記帯電防止性材料は、ＩＴＯ、または、ＩＺＯであり、
前記コーティング層は、グランド電位とされていることを特徴とする請求項１または２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記コーティング層の電気抵抗値は、１０１２〔Ω〕以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の電気光学装置からなるライトバルブと、
前記ライトバルブに投射光を入射する光源と、前記ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学系と、前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファンとを備えたことを特徴とする投射型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気光学装置及び電子機器の技術分野に属し、特に、電子機器の一例たる投射型表示装置のライトバルブに適用されて好適な電気光学装置、及び、投射型表示装置それ自体の技術分野に属するものである。
【０００２】
【背景技術】
液晶表示装置等の電気光学装置としては、例えば、マトリクス状に配列された画素電極及び該電極の各々に接続された薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor；以下適宜、「ＴＦＴ」という。）、該ＴＦＴの各々に接続され、行及び列方向に平行にそれぞれ設けられた走査線及びデータ線等を備えることによって、いわゆるアクティブマトリクス駆動が可能なものが知られている。
【０００３】
このような電気光学装置は、例えば投射型表示装置のライトバルブとして広く使用されている。投射型表示装置とは、光源から発せられた光を前記ライトバルブに導く光学系及び該ライトバルブを透過した光を映写幕に導く光学系等を備えてなる。この際、電気光学装置の内部では、画素毎に光の透過率が制御されることによって、映写幕上に画像を表示することが可能となる。また、投射型表示装置それ自体は小型であるにもかかわらず、前記光学系によって光の拡大を実現することができるから、比較的大きなサイズの画像を表示させることができる。
【０００４】
さらに、このような投射型表示装置としては、カラー表示可能なものも既に広く知られている。これは、前記したライトバルブ、すなわち電気光学装置を三つ用意するとともに、これら三つの電気光学装置に対して、例えば赤色光、青色光及び緑色光等の独立した三色をそれぞれ投射するとともに、これを適当なプリズム等によって合成することで、カラー画像を得ることの可能な装置である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来における電気光学装置、とりわけ該電気光学装置をライトバルブとして用いた投射型表示装置においては、次のような問題点があった。すなわち、上述の投射型表示装置では、ライトバルブの表面にごみや埃等（以下、単に「粉塵」という。）が付着すると、映写幕上にその粉塵の像もまた投影されてしまうことで、画像の品質を低下させる可能性があったのである。
【０００６】
そこで、従来においては、このような問題点に対処するため、ライトバルブの表面に所定の厚さを有する防塵ガラスを貼付することが行われていた。これにより、粉塵が付着する面は該防塵ガラスの表面ということになり、これによって粉塵が画像上に投影されることを防止することが可能となるのである。というのも、前記光学系等によって、光源から発せられた光はライトバルブ中の所定の箇所（例えば、液晶層）に焦点を結ぶように集光された後、拡大されるのが一般的であることから、所定の厚さを有する防塵ガラス上に付着したごみ等は、前記焦点から外れた位置に存在する（すなわち、デフォーカスされる。）こととなり、これが映写幕上に投影されるということがなくなるからである。
【０００７】
しかしながら、このような防塵ガラスを用いる解決手段にあっては、該防塵ガラスは、前記「所定の厚さ」を有することが必須である。なぜなら、防塵ガラスがこの所定の厚さよりも薄いと、上述のデフォーカスの効果が十分に得られなくなるからである。そして、ここにいう「所定の厚さ」は、一般に比較的大きな値（例えば２ｍｍ、場合により数ｍｍ程度の厚さ）となる。
【０００８】
これは、投射型表示装置ないし電気光学装置の小型化・高精細化が一般に望まれていることからすると、それに逆行する措置といわざるを得ない。例えば、電気光学装置の一例たる液晶表示装置においては、液晶層を挟んで対向配置される二枚の基板間の距離、すなわちいわゆるセルギャップが、今般、３〜５μｍないしそれ以下という精度で製造される段階に至っているのに、それを遥かに超える前記所定の厚さを有する防塵ガラスを別途設けることは、せっかくの小型化・高精細化を無意味なものとしてしまう。
【０００９】
また、上述のような「厚い」防塵ガラスを設けてしまうと、電気光学装置から発する熱をその外側に放散することが困難となる点も問題となる。電気光学装置内部に許容される以上の熱が蓄積されてしまうと、装置全体の安定的な動作が不可能となってしまうからである。このような問題は、当該電気光学装置が前記投射型表示装置のライトバルブとして使用される際に、とりわけ懸念される。なぜなら、投射型表示装置においては、前記光源として比較的強力なものを使用するのが一般的で、電気光学装置内部における蓄熱はより生じやすい状況にあるといえるからである。
【００１０】
このようなことを鑑みるに、防塵ガラスのみでもって、粉塵の投影の問題を解決することは、十分に好ましい解決策とはいえないことがわかる。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、粉塵の投影の問題を解決して高品質な画像を表示することが可能であるとともに、その更なる小型化を図ることができ、また、その内部に熱を蓄積させるようなことなく安定的な動作が可能な電気光学装置、及び該電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。また、本発明は、電子機器の一例たる投射型表示装置を提供することをも課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、対向するＴＦＴアレイ基板と、対向基板との間に電気光学物質を挟持し、ＴＦＴアレイ基板上に複数の表示用電極と、表示用電極ごとに対として設けられた複数のスイッチング素子とを備えた電気光学装置であって、対向基板の外側の面には、透明な防塵ガラスが設けられるとともに、防塵ガラスの外側の面には、多層構造を有するコート部が形成され、多層構造には、シリカ層と、ジルコニア層と、透明な帯電防止性材料からなるコーティング層と、が少なくとも含まれ、多層構造における最上層の一つ前の層には、コーティング層が設けられることを特徴とする。
【００１３】
この接続構造によれば、防塵ガラスの外側の面に反射防止および帯電防止機能を有するコート部を形成したことにより、粉塵の付着を未然に防ぐとともに、無用な反射によるロスを低減し、効率的な導光を可能にすることにより、高品質な画像を得ることができる。
コート部の多層構造に含まれるシリカ層と、ジルコニア層とは、屈折率が異なるため、これらの層が積層されることにより反射防止作用を得ることができる。
さらに、多層構造における最上層の一つ前の層にコーティング層を設けることにより、シリカ層と、ジルコニア層とによる反射防止作用と、コーティング層による粉塵付着防止作用とを最も効果的に発揮させることができる。
また、防塵ガラスにコート部を設けたことにより粉塵の付着が低減されるため、防塵ガラスの厚さを薄くすることができるとともに、仮に粉塵が付着した場合においては、防塵ガラスのデフォーカス効果を得ることができる。
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置は、対向するＴＦＴアレイ基板と、対向基板との間に液晶を挟持し、ＴＦＴアレイ基板上に複数の表示用電極と、表示用電極ごとに対として設けられた複数のスイッチング素子とを備えた電気光学装置であって、対向基板の外側の面に設けられた透明な防塵ガラスと、防塵ガラスから離間して設けられた偏光板と、をさらに備え、防塵ガラスの外側の面、および、偏光板の表裏面には、多層構造を有するコート部がそれぞれ形成され、多層構造には、シリカ層と、ジルコニア層と、透明な帯電防止性材料からなるコーティング層と、が少なくとも含まれ、多層構造における最上層の一つ前の層には、コーティング層が設けられることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る電気光学装置によれば、帯電防止性材料は、ＩＴＯ、または、ＩＺＯであり、コーティング層は、グランド電位とされていることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る電気光学装置によれば、コーティング層の電気抵抗値は、１０１２〔Ω〕以下であることが好ましい。
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明の投射型表示装置は、前記記載の電気光学装置からなるライトバルブと、ライトバルブに投射光を入射する光源と、ライトバルブから出射した投射光を投射する光学系と、ライトバルブに対する送風を行う送風ファンとを備えたことを特徴とする。
【００１８】
なお、「帯電性防止材料からなるコーティング部材」の、より具体的な態様としては、該コーティング部材の全体が帯電性防止材料からなる場合を含む他、例えば、該コーティング部材の表面に帯電性防止材料からなる粉末を塗布するような形態等も含む。
【００１９】
また、本発明にいう「表示用電極」としては、一対の基板のうちの一方の基板上においては、マトリクス状に配列された画素電極が、その他方の基板上においては、その全面に形成された対向電極（共通電極）が、それぞれ該当すると考えることができ、「スイッチング素子」とは、ＴＦＴ、あるいは薄膜ダイオード（ＴＦＤ）が該当すると考えることができる。これによれば、アクティブマトリクス駆動が可能となる。
【００２０】
さらに、「表示用電極」の別の例としては、一対の基板それぞれの上に形成され、相互に交差する関係にあるストライプ状の電極が、それに該当すると考えることもできる。これによれば、パッシブマトリクス駆動が可能となる。
【００２１】
本発明の第１の電気光学装置の一態様では、前記コーティング部材は、前記一対の基板のうちの他方の基板上に備えられている。
【００２２】
この態様によれば、コーティング部材は、例えば上述のアクティブマトリクス駆動が可能な電気光学装置において、そのいわゆる対向基板上に形成されることとなるから、典型的には、光の入射側に配置されることとなる。したがって、本態様によれば、光の入射側に関する粉塵の付着を防止することが可能となる。
【００２３】
この態様では特に、前記コーティング部材は、前記他方の基板上に形成された防塵ガラス上に備えられているようにするとよい。
【００２４】
このような構成によれば、本発明に係るコーティング部材のほか、従来用いられてきた防塵ガラスをも併せもつ。したがって、本態様では、コーティング部材による粉塵付着防止作用を期待することができるとともに、仮に粉塵が付着したとしても、上述したデフォーカス効果の恩恵にも与ることが可能となって、粉塵の投影に関する問題はより発生しにくい状況となり、上述にも増して高品質な画像を表示することが可能となる。
【００２５】
ここで、本態様にいう「防塵ガラス」は、基本的に、従来用いられてきたそれと同様の材料ないし構成としてよいが、その厚さは、従来のそれに比べて、より小さくすることが可能である。なぜなら、本態様では、コーティング部材が設けられているからである。したがって、本態様においても、上述したような、電気光学装置の製造コスト削減若しくはその小型化、あるいは該電気光学装置の内部の熱の放散等を、それ相応に実現することができる。
【００２６】
なお、このような事情から、本態様では、粉塵の投影防止に係る作用効果と、電気光学装置の小型化、あるいは熱の放散に係る作用効果とは、トレードオフの関係にあると考えられる。つまり、防塵ガラスの厚さを大きくすれば、前者の作用効果はより確実になるが、後者の作用効果は弱くなり、該厚さを小さくすれば、その逆となる。本態様の防塵ガラスの厚さは、このような事情を勘案して決せられることになる。より具体的には、理論的、経験的、実験的又はシミュレーション等によって適宜決定すればよい。
【００２７】
本発明の第１の電気光学装置の他の態様では、前記コーティング部材は、無反射コートの少なくとも一部を構成する。
【００２８】
この態様によれば、通常、電気光学物質の外側の構成要素として貼着されてなる無反射コートの少なくとも一部に、前述のコーティング部材が含まれてなるのであるから、装置構成全体の簡略化・効率化を図ることができる。
【００２９】
なお、この無反射コートとは、例えば空気とガラス基板との間というように、屈折率が変じる界面に置かれる部材で、該界面における光の反射を可及的に生じさせることなく、空気からガラス基板、あるいはガラス基板から空気という光の導入を効率的に行うための光学要素である。本態様において、この無反射コートの具体的な態様として、一般的に知られている種々の構成を採ることが可能である。
【００３０】
また、本態様では、無反射コートの「少なくとも一部」がコーティング部材であればよいから、場合によっては、無反射コートの全部がコーティング部材であるような場合、すなわち該無反射コート全体がコーティング部材の役割を担いうる、というような構成としてもよい。
【００３１】
さらに、本態様をより具体的にいえば、無反射コートが導電性材料からなる場合とか、あるいは無反射コートが帯電防止性材料からなる場合等を考えることができる。
【００３２】
この態様では特に、前記無反射コートは、多層構造を有するようにするとよい。
【００３３】
このような構成によれば、コーティング部材を、多層構造中の任意の一層として、あるいは二層以上に設けることが可能となる。
【００３４】
より具体的な態様としては、例えば、光の入射側から順に、例えば、ＺｒＯ２、ＩＴＯ等からなるコーティング部材、ＳｉＯ２及びＺｒＯ２というような四層からなる構成を採用することが可能である。
【００３５】
なお、一般的には、光入射側を最上層とすると、その最上層の一つ前の層において、本発明に係るコーティング部材を含んでいる方が好ましいといえる（上述の具体的態様はその一例である。）。このような場合には、無反射コート本来の機能とコーティング部材が発揮すべき機能との協調的な調和が図れるからである。
【００３６】
本発明の第１の電気光学装置の他の態様では、前記コーティング部材は、透明導電性材料からなる。
【００３７】
この態様によれば、コーティング部材が透明材料であるから、電気光学装置全体としての透明性ないしその透過率を損なうことなく、粉塵の付着を防止するコーティング部材を構成することが可能となる。
【００３８】
なお、本態様にいう「透明導電性材料」として、具体的には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）等が考えられる。
【００３９】
この態様では特に、前記透明導電性材料からなる前記コーティング部材は、グランド電位とされているようにするとよい。このような構成によれば、粉塵付着防止作用を、より確実に発揮させることができるからである。また、コーティング部材を浮遊電位としておくと、無用な容量カップリングを生じさせる可能性があるなど、電気光学装置の動作にとって好ましくない影響を及ぼす可能性があるが、本態様では、そのような心配をする必要もない。
【００４０】
本発明の第１の電気光学装置の他の態様では、当該電気光学装置から離間して設けられた光学要素を更に備え、前記コーティング部材は、前記光学要素に設けられている。
【００４１】
この態様によれば、電気光学装置の外側の構成として通常設けられる、偏光板又は位相差板等の光学要素が、当該電気光学装置から離間して設けられ、かつ、該光学要素には前記コーティング部材が設けられていることになる。これにより、次のような作用効果が奏されることになる。
【００４２】
すなわち、前記した偏光板又は位相差板等もまた、画像構成に寄与する光を透過させる光学要素の一つであることからすると、該光学要素の表面等に粉塵等が付着するのであっては、粉塵の投影の問題を有効に解消することができないことになる。しかるに、本態様においては、コーティング部材もまた、当該偏光板又は当該位相差板等に対して貼着されてなる構成等を採ることが可能となるから、偏光板又は位相差板等の表面についても、それに対する粉塵の付着という事象を発生させないようにし、ひいては粉塵の画像上への投影という問題をより有効に解消することが可能となるのである。
【００４３】
このような作用効果は、本態様にいう光学要素に平行光を投射する場合において特に有効である。平行光では、光学要素が分離されていたとしても、デフォーカス効果が十分には発揮されないからである。
【００４４】
なお、本態様においては、電気光学装置から離間してコーティング部材を設けるとしても、これと併せて、電気光学装置を構成する一方の基板又は他方の基板の少なくとも一の上に直接的に貼付されるコーティング部材を別に備える形態としても何ら問題はない。すなわち、例えば、電気光学装置の両面に貼着されたコーティング部材と、上述の偏光板又は位相差板等の両面に貼着されたコーティング部材との両者が存在する（この場合、都合４つのコーティング部材が存在することになる）ような形態としてもよい。むろん場合によっては、離間して設けられた光学要素のみにコーティング部材が設けられる形態としてもよいことは勿論である。
【００４５】
また、上述のように、偏光板又は位相差板等を電気光学装置とは離間して設ける形態によると、それ自体に基づく次のような作用効果も得られる。
【００４６】
すなわち、もし、偏光板又は位相差板等の光学要素を、電気光学装置を構成する一方の基板又は他方の基板面に直接的に貼付するような形態をとると、該光学要素内に比較的大きなピンホール等が存在する場合、粉塵の投影の問題と同様にして、ピンホール等の投影問題が生じてしまう。しかるに、本態様においては、そのような懸念が殆どないのである。なぜなら、偏光板又は位相差板等は、電気光学装置から「離間」して設けられおり、その分のデフォーカス効果が期待されるからである。このことは、複数の光学要素を設ける場合にあって、これらを適当な接着剤等により貼着する場合にも同様に当てはまる。当該接着剤等に粉塵が混入すると、上述と同様に、その接着剤中の粉塵が投影されるという問題が発生する可能性があるからである。
【００４７】
以上により結局、本態様によれば、当該偏光板又は当該位相差板等の光学要素に関する設計ルールを緩和することが可能となるのである。つまり、比較的大きなピンホール等が当該光学要素内に存在したとしても、また、複数の光学要素間（例えば、偏光板及び位相差板間）に粉塵が混入したとしても、上記デフォーカス効果によって、それらが画像上に投影されることはないのである。よって、本態様によれば、全体的に安価な電気光学装置を提供することが可能となる。
本発明の第１の電気光学装置の他の態様では、前記コーティング部材の電気抵抗値は、１０１２〔Ω〕以下である。
【００４８】
この態様によれば、コーティング部材の電気抵抗値は、帯電防止領域、導電性領域及び導体領域のいずれかに属することとなるから、上述したような粉塵付着防止作用をより確実に期待することができる。
【００４９】
本発明の第２の電気光学装置は、上記課題を解決するために、電気光学物質を挟持してなる一対の基板と、該一対の基板のうちの一方の基板上に、表示用電極と、該表示用電極にスイッチング素子を介して又は直接に接続された配線とを備えた電気光学装置であって、該電気光学装置は、前記一対の基板の少なくとも一方における、前記電気光学物質に対向しない側の、その少なくとも表面において界面活性剤を含むコーティング部材を備えてなる。
【００５０】
本発明の第２の電気光学装置によれば、上述の本発明の第１の電気光学装置と同様に、電気光学物質に対する電界印加、それにより引き起こされる該電気光学物質の状態変化を通じて、画像を表示することが可能となる。
【００５１】
ここで本発明においては特に、前記一対の基板の少なくとも一方における、前記電気光学物質に対向しない側の、その少なくとも表面において界面活性剤を含むコーティング部材を備えている。ここで、界面活性剤とは、プラスイオンのアニオン系、マイナスイオンのカチオン系に大別することができるが、本発明ではどちらを使用するようにしてもよい。いずれにしても、本発明によれば、この界面活性剤の作用により、粉塵の付着を未然に防止することが可能となる。これは、前述したように、該粉塵の付着が、多くの場合、静電気力を起因として生じるからに他ならない。したがって、本発明に係る電気光学装置によっても、粉塵の像が投影されるなどといった事態を未然に防止することが可能であり、高品質な画像を表示することが可能となるのである。
【００５２】
本発明の電子機器は、上記課題を解決するため、上述した本発明の第１又は第２の電気光学装置（ただし、その各種態様を含む。）を具備してなる。
【００５３】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるから、粉塵の投影の問題について殆ど心配することのない、高品質な画像を表示することの可能な、液晶テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル等の各種電子機器を実現することができる。
【００５４】
本発明の投射型表示装置は、上記課題を解決するため、上述した本発明の第１又は第２の電気光学装置（ただし、その各種態様を含む。）からなるライトバルブと、該ライトバルブに投射光を入射する光源と、該ライトバルブから出射した前記投射光を投射する光学系と、前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファンとを備えている。
【００５５】
本発明の投射型表示装置によれば、光源から発せられた光は、ライトバルブとしての電気光学装置に投射され、該電気光学装置を出射した後、これを光学系によって拡大することで、比較的大きな画像を映写幕等の上に表示することが可能となる。また、本発明では、前記ライトバルブに対する送風を行う送風ファンが備えられている。この送風ファンによれば、ライトバルブの冷却が可能となる。
【００５６】
そして本発明では特に、この送風ファンに関して次のような作用効果が奏される。すなわち、本発明における投射型表示装置では、ライトバルブが上述の本発明の電気光学装置からなることから、既に述べたように、防塵ガラスの設置不要、あるいはその厚さの減少に起因して、該ライトバルブからの熱の放散が容易なのである。したがって、本発明に係る送風ファンには、特段に大きな出力を持つことが要求されない。そうでなくても十分な冷却が行いうるからである。
【００５７】
したがって、本発明によれば、送風ファンに必要となる消費電力の削減が可能となり、また、出力を低下させてもよいことから、ファンによるいわゆる風きり音を小さくすることが可能となり、静穏化した投射型表示装置を提供することが可能となるのである。
【００５８】
また、本発明に係る送風ファンによれば、ライトバルブの表面に付着しそうな粉塵を、その付着前に吹き飛ばすことが可能となる。特に、本発明に係るライトバルブは、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるから、これのみでも相当程度に高い確度で粉塵の付着が生じないことに加え、前記送風ファンによれば、このような作用効果をより確実ならしめることが可能となるのである。
【００５９】
したがって、本発明に係る投射型表示装置によれば、より高品質な画像を表示することが可能となる。
【００６０】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【００６１】
【発明の実施の形態】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００６２】
（第１実施形態）
まず、第１実施形態に係る電気光学装置の全体構成を、図１乃至図３を参照して説明する。なお、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素とともに対向基板２０の側からみた平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ´断面図である。また、図３は、図２において符号ＣＲを付した円内部分を拡大した断面図である。なお、図３においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【００６３】
図１及び図２において、第１実施形態に係る電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間には、液晶５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００６４】
ここで、液晶５０は、例えば一種又は数種類のネマテッィク液晶を混合した液晶からなり、後述する一対の配向膜間で、所定の配向状態をとるものである。
【００６５】
また、画像表示領域１０ａは、ＴＦＴアレイ基板１０上において、マトリクス状に配列された画素電極９ａ、該画素電極９ａの各々に接続されたＴＦＴ、該ＴＦＴに接続された走査線及びデータ線（いずれについても、図８乃至図１０を参照して後述する。）等が設けられた領域、あるいは該領域に対向し且つ対向基板２０上において対向電極２１が設けられた領域のことであり、図１においてロの字状を有する額縁遮光膜５３によって規定される領域のことである。
【００６６】
この画像表示領域１０ａでは、図１の紙面に向かってこちら側から向こう側に至る（すなわち、対向基板２０側からＴＦＴアレイ基板１０側に至る）光の透過が可能とされており、画像の表示に寄与することとなる。なお、光の透過が可能とされるのは、前記の画素電極９ａ又はその一部、あるいは対向電極２１が透明材料からなるとともに、該画素電極９ａの各々に対する電界の印加によって前記液晶５０の状態が変更を受けることによる。また、画素電極９ａの一つ及び前記ＴＦＴの一つを少なくとも含むものを一単位として、一画素が定義される。
【００６７】
さらに、シール材５２は、図１に示すように、画像表示領域１０ａの周囲を囲むように、平面的にみて、「ロ」の字状に設けられている。ただし、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とによって挟まれた間隙内に液晶を導入するために、前記ロの字状の一部においては、図１の下方に示すように、切り欠きが形成されて液晶注入口５２ａが設けられている。また、完成された電気光学装置においては、液晶注入口５２ａが存在する部分に対応して、前記間隙に導入された液晶５０が外部に漏れることのないようにするため、例えば紫外線硬化型アクリル系樹脂からなる封止材５４が設けられている。
【００６８】
このようなシール材５２を構成する材料としては、例えば、紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等を挙げることができる。ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０を貼り合わせるにあたっては、適当な圧力をかけて両基板１０及び２０を圧着するとともに、シール材が紫外線硬化樹脂からなるのであれば該シール材に対して紫外線を照射することにより、また、熱硬化樹脂からなるのであれば加熱を行うこと等により、硬化させられている。
【００６９】
また、このシール材５２中には、両基板１０及び２０に挟まれた間隙の間隔、すなわちセルギャップを所定値とするため、スペーサの一種たるギャップ材（不図示）が散布されている。このギャップ材は、例えばグラスファイバ、あるいはガラスビーズ等からなり、略球状の形状を有しているのが一般的である。
【００７０】
また、図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜１６が形成されている。他方、対向基板２０上には、画素電極９ａが形成される領域にほぼ対応する開口領域を規定するため格子状に配された上側遮光膜２３が、及び、該上側遮光膜２３上にＩＴＯ等の透明材料からなる対向電極２１が形成され、さらにその上側に塗布・焼成・ラビング処理等が施された配向膜２２が形成されている。
【００７１】
そして、第１実施形態では特に、図２及びその一部拡大図たる図３に示すように、対向基板２０における液晶５０に対向しない側（図３中、上側）に、該対向基板２０の方からみて、ＡＲ（Anti Reflection；無反射）コート５００、偏光板７０１及びコーティング部材４０１が順次設けられている。
【００７２】
このうち、ＡＲコート５００は、例えばジルコニア（ＺｒＯ２）、シリカ（ＳｉＯ２）等の単層、あるいは複数層からなる。例えば、ジルコニア、シリカ、ジルコニア、シリカという４層構造としたり、これに続けて、更にジルコニア、シリカを繰り返して、より多層の構造を有するようにしてもよい。これにより、例えば、空気層（図３中上方）から対向基板２０内（図３中下方）という異なる屈折率を有する部材間において、無用な反射によるロスを避けることが可能となり、当該部材間にわたる効率的な導光が可能となる。また、偏光板７０１は、液晶５０に入射させるべき光を適当な偏光状態とする。これにより、液晶５０の配向状態を適当に定めることで、該偏光状態と該配向状態とが一定の関係にある場合には、偏光光たる入射光がほぼ完全に透過する状態となり、そこから連続的に、該入射光がほぼ完全に遮蔽される状態に至るまでの調整を行うことが可能となる。
【００７３】
そして、第１実施形態において特徴的なコーティング部材４０１は、透明導電性材料の一例たるＩＴＯからなる。また、このコーティング部材４０１は、その少なくとも一部において電気的な配線が接続されて、グランド電位に落とされている。
【００７４】
以上のような構成のほか、図１乃至図３においては、シール材５２の外側の領域に、後述するデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給することにより該データ線を駆動するデータ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている一方、後述する走査線に走査信号を所定のタイミングで供給することにより該走査線を駆動する走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する二辺に沿って設けられている。なお、走査線に供給される走査信号遅延が問題にならないのならば、走査線駆動回路１０４は片側だけでもよいことは言うまでもない。また、データ線駆動回路１０１を画像表示領域１０ａの辺に沿って両側に配列してもよい。
【００７５】
ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺には、画像表示領域１０ａの両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも一箇所においては、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的に導通をとるための上下導通材１０６が設けられている。
【００７６】
なお、ＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、複数のデータ線６ａに画像信号を所定のタイミングで印加するサンプリング回路、複数のデータ線６ａに所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００７７】
以上のような構成を有する第１実施形態の電気光学装置では、上述のコーティング部材４０１の存在により、次のような作用効果が奏されることになる。
【００７８】
まず、第１実施形態においては、透明導電性材料の一例たるＩＴＯからなるコーティング部材４０１を備えていたことにより、電気光学装置の最外表面（図３中最上面）における粉塵の付着が殆ど生じない。これは、コーティング部材４０１が、導電性を有しているため、帯電した粉塵が静電気力によって付着するという事象の発生を、未然に防止することが可能だからである。したがって、第１実施形態によれば、粉塵の投影の問題が殆ど生ぜず、高品質な画像を表示することが可能となる。
【００７９】
また、第１実施形態の電気光学装置によれば、図２及び図３に示したように、防塵ガラスを設ける必要がない。これは、コーティング部材４０１において、上述したような作用が発揮されることで、もはや粉塵の付着について殆ど心配する必要がないからである。したがって、第１実施形態によれば、粉塵の画像上の投影の問題を解決するため、比較的肉厚の防塵ガラスを設けていたことに起因する従来の不具合を被ることがない。すなわち第一に、防塵ガラスを設けなくてよいことによるコスト削減が可能である。また第二に、電気光学装置全体の小型化を実現することができる。そして第三に、電気光学装置の内部に蓄えられる熱を外部に放散することが容易であり、電気光学装置の正確な動作を実現することが可能となる。
【００８０】
以上のように、第１実施形態によれば、上述したような各種作用効果が奏されることになるのである。
【００８１】
なお、上においては、コーティング部材４０１が、ＩＴＯからなるとしていたが、これに代えて、透明導電性材料の別の例たるＩＺＯを使用してもよい。また、コーティング部材４０１は、必ずしも導電性を有する材料からなるものとする必要はなく、帯電した粉塵の付着を防止する作用という観点からして、少なくとも「帯電防止性材料」からなるようにしておけばよい。そのような材料としては種々考えられるが、より具体的には、該コーティング部材４０１の電気抵抗値が１０１２〔Ω〕以下であるようなものを選択すれば、相応の粉塵付着防止作用の発揮が期待できる。
【００８２】
さらに、本発明においては、上述のような構成に代えて又は加えて、コーティング部材の表面に界面活性剤を含ませてもよい。このような形態であっても、上述と略同様な作用効果が奏される。というのも、界面活性剤には、帯電防止作用を有するもの（例えば特に、プラスイオンのアニオン系）が知られており、これをコーティング部材の表面に設けることによれば、帯電した粉塵の付着を防止する作用が期待できるからである。
【００８３】
加えて、図２及び図３においては、コーティング部材４０１が対向基板２０側にのみ設けられた形態を示したが、本発明は、このような形態に限定されるものではない。場合によっては、ＴＦＴアレイ基板１０側にのみ、あるいはＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の両側に、コーティング部材４０１等を設けるような構成としてよい。
【００８４】
加えて更に、図２及び図３においては、偏光板７０１が備えられていたが、これを必ずしも設ける必要はない。すなわち、そのような場合においては、図３の下から順に、対向基板２０、ＡＲコート５００及びコーティング部材４０１という構成となる。この場合更に、偏光板７０１を設けるのであれば、それは、電気光学装置本体からは分離して設けるような形態としてもよい（後述の第４実施形態参照）。
【００８５】
ちなみに、上に述べたような各種の変形形態に関する事情は、以下で説明する各種の実施形態においても、そのまま、あるいは適宜変形した上で当てはめることが可能であり、そのようなものも本発明の範囲内にあることは言うまでもない。
【００８６】
（第２実施形態）
以下では、本発明の第２実施形態について、図４を参照しながら説明する。ここに、図４は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその態様が異なるものを示すものである。なお、図４において示されている構成であって、図３と同一の符号が付されている構成については、上記第１実施形態と同様であるので、その説明を省略することとする。このことは、以下で説明する第３実施形態以降についても同様である。
【００８７】
第２実施形態では、上記第１実施形態と比較して、防塵ガラス９０１が設けられている点が異なる。すなわち、対向基板２０側から順に、防塵ガラス９０１、ＡＲコート５００、偏光板７０１及びコーティング部材４０１が設けられた構成となっている。ここで防塵ガラス９０１は、例えば適当なガラス材料からなるものとすればよい。
【００８８】
このような第２実施形態によれば、上述のコーティング部材４０１による粉塵付着防止作用と相俟って、防塵ガラス９０１によるデフォーカスに係る作用効果をも期待することができ、粉塵の画像上の投影の問題は、より発生しにくくなる。つまり、図４における図中最上層において仮に粉塵が付着するようなことがあっても、その位置は、焦点位置から相当程度外れているため、該粉塵の像が映写幕上に現れることを未然に防止することが可能となるのである。
【００８９】
なお、この場合における防塵ガラス９０１の厚さは、従来に比べて、薄くすることが可能である。例えば具体的には、従来、十分なデフォーカス効果を得るためには、防塵ガラスの厚さとしては、２ｍｍ以上あることが必要とされていたのに比べ、第２実施形態では、それ程の厚さは必要ないということになる。したがって、その減ずる分に応じた電気光学装置の小型化や熱の放散の容易性は、第２実施形態においても享受することが可能である。
【００９０】
（第３実施形態）
以下では、本発明の第３実施形態について、図５を参照しながら説明する。ここに、図５は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその態様が異なるものを示すものである。
【００９１】
第３実施形態では、上記第１実施形態と比較して、ＡＲコート５０１の構成に特徴がある点で異なる。すなわち、図５に示すように、第３実施形態に係るＡＲコート５０１は、４層構造となっており、図中下方から順に、第１ジルコニア層５０２、シリカ層５０３、ＩＴＯ層４０３及び第２ジルコニア層５０４という構造を有している。このうち、ＩＴＯ層４０３は、本発明にいう「コーティング部材」の一例に該当している。つまり、第３実施形態においては、ＡＲコート５０１それ自体が、導電性を有するようにされているのである。
【００９２】
このような形態であっても、上述した第１実施形態と略同様な作用効果が発揮されることが明白である。
【００９３】
なお、本発明は、上述したようなＡＲコート５０１の構成のほか、その他種々の構成をとり得ることは言うまでもない。例えば、ジルコニア層及びシリカ層が交互に現れる多層構造中、その中の任意の一層又は二層以上が、コーティング部材たるＩＴＯ層等であってよい。ただ、一般的には、最上層の一つ前の層において、本発明に係る帯電防止性材料からなるコーティング部材を含んでいることが好ましい。このようにすると、ＡＲコート５０１が本来有すべき反射防止作用と粉塵付着作用とを最も効果的に発揮させることが可能となるからである。
【００９４】
（第４実施形態）
以下では、本発明の第４実施形態について、図６を参照しながら説明する。ここに、図６は、図３と同趣旨の図であって、同図とはその態様が異なるものを示すものである。
【００９５】
第４実施形態は、上記第３実施形態の変形形態である。すなわち、図６においては、図５に示したような、コーティング部材４０４ａを含むＡＲコート５０１Ａ及びコーティング部材４０４ｂを含むＡＲコート５０１Ｂ、並びに、これら二枚のＡＲコート５０１Ａ及び５０１Ｂに挟持された偏光板７０１（以下、これらの一体を「分離光学要素」という。）が、対向基板２０の表面からは離間して設置されている。このような形態であると、当該分離光学要素においてコーティング部材４０４ａ及び４０４ｂによる粉塵付着防止作用が発揮される他、防塵ガラスを設けなくても、分離光学要素は、電気光学装置本体から「離間」されて設置されているのであるから、所定のデフォーカス効果を得ることが可能となる。
【００９６】
したがって、第４実施形態においても、粉塵の画像上への投影の問題は殆ど生じることがなく、高品質な画像を表示することが可能となる。
【００９７】
なお、図６においては、分離光学要素中に含まれるコーティング部材４０４ａ及び４０４ｂが存在する他、電気光学装置それ自体についても対向基板２０上にコーティング部材４０４ｃが存在している。このコーティング部材４０４ｃもまた、第３実施形態で示したように、ＡＲコート５０１Ｃの一部を構成しているものである。本発明においては、このように、電気光学装置とは離隔してコーティング部材を設ける形態にあっても、当該電気光学装置に貼着してなるコーティング部材を設けるような形態としても何ら問題はない。むしろ粉塵の投影の問題の解消という点からすれば、より好ましい形態であるといえる。
【００９８】
また、上述では、分離光学要素は、ＡＲコート５０１Ａ及び５０１Ｂ並びに偏光板７０１から構成されていたが、本発明は、そのような形態に限定されるものではない。例えば、図６に示す構成要素に加え、位相差板等を追加する場合も考えられる。
【００９９】
さらに、図６においては、第３実施形態の変形形態のみを示したが、第２乃至第４実施形態についても、図６と同様に、「離隔」した分離光学要素を設ける構成としてよいことは勿論である。
【０１００】
（第５実施形態）
以下では、本発明の第５実施形態について、図７を参照しながら説明する。第５実施形態は、上述した各種の実施形態に係る電気光学装置を、電子機器の一例たる投射型表示装置に適用した場合に関するものであり、図７は、その投射型表示装置の一例たるカラー液晶プロジェクタを示す図式的断面図である。
【０１０１】
図７において、第５実施形態における投射型表示装置の一例たる液晶プロジェクタ１１００は、駆動回路がＴＦＴアレイ基板上に搭載された液晶装置を含む液晶モジュールを３個用意し、それぞれＲＧＢ用のライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂとして用いたプロジェクタとして構成されている。ここに、これら三つのライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂとして、上記各種実施形態に係る電気光学装置が使用されている。
【０１０２】
液晶プロジェクタ１１００では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット１１０２から投射光が発せられると、３枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロックミラー１１０８によって、ＲＧＢの三原色に対応する光成分Ｒ、Ｇ及びＢに分けられ、各色に対応するライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにそれぞれ導かれる。この際特に、Ｂ光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ１１２２、リレーレンズ１１２３及び出射レンズ１１２４からなるリレーレンズ系１１２１を介して導かれる。そして、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂによりそれぞれ変調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリズム１１１２により再度合成された後、投射レンズ１１１４を介してスクリーン１１２０にカラー画像として投射される。
【０１０３】
また、この投射型カラー表示装置では、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに対する送風を行う送風ファン１１４１が装着されている。この送風ファン１１４１は、ランプユニット１１０２から発せられる強力な光を主な原因とする、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにおける熱の蓄積を緩和する目的を有している。なお、上述した各種構成は、全体的に、モールド１１５１内に収容されてなる。
【０１０４】
このような構成となる第５実施形態においては、まず、上述した各種実施形態に係る電気光学装置が、上記ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに適用されていることから、該ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにおいて、上述と略同様の粉塵付着防止に係る作用効果が奏されることになる。特に、第５実施形態では、図７に示すように、ダイクロックプリズム１１１２における光合成の後、投射レンズ１１１４による拡大表示が行われているから、粉塵付着が発生しないということにより享受される作用効果はとりわけ大きい。
【０１０５】
また、前記ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂが、上記各種実施形態に係る電気光学装置からなるということは、該ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂにおいて、防塵ガラスの省略ないしその厚さ減少による熱の放散が効率的に行われることを意味するから、第５実施形態では、送風ファン１１４１が特段に大きな出力をもつ必要がない。したがって、従来に比べて、消費電力を小さく、また、静穏化した投射型カラー表示装置を提供することが可能となる。なお、送風ファン１１４１の存在によって、ライトバルブ１００Ｒ、１００Ｇ及び１００Ｂに付着しそうな粉塵等は、いわば吹き飛ばされることになるから、送風ファン１１４１が設けられるということは、その点においても好ましい効果を生む。
【０１０６】
なお、上述においては、電子機器の一例として投射型表示装置に適用した例を説明したが、本発明はこのような形態に限定されるものではなく、既に述べたように、電子機器の別の例としての、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の液晶表示装置に適用可能であることは言うまでない。
【０１０７】
（電気光学装置内のより詳細な構成）
以下では、上述では触れることのできなかった電気光学装置の内部の構成、すなわちＴＦＴ、画素電極、走査線及びデータ線等の構成、あるいはこれらの動作等について、まとめて説明する。
【０１０８】
まず、本発明の実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図８から図１０を参照して説明する。ここに、図８は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。また、図９は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図であり、図１０は、図９のＡ−Ａ´断面図である。なお、図１０においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【０１０９】
図８において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
【０１１０】
また、ＴＦＴ３０のゲートに走査線３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【０１１１】
画素電極９ａを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【０１１２】
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄積容量７０は、走査線３ａに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量線３００を含んでいる。
【０１１３】
以下では、上記データ線６ａ、走査線３ａ、ＴＦＴ３０等による、上述のような回路動作が実現される電気光学装置の、より現実的な構成について、図９及び図１０を参照して説明する。なお、図１０においては、図２乃至図６に示したようなコーティング部材等の図示は省略している。
【０１１４】
まず、本実施形態に係る電気光学装置は、図９のＡ−Ａ´線断面図たる図１０に示すように、透明なＴＦＴアレイ基板１０と、これに対向配置される透明な対向基板２０とを備えている。ＴＦＴアレイ基板１０は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板からなり、対向基板２０は、例えばガラス基板や石英基板からなる。
【０１１５】
図１０に示すように、ＴＦＴアレイ基板１０には、画素電極９ａが設けられており、その上側には、配向膜１６が設けられている。画素電極９ａは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜等の透明導電性膜からなる。他方、対向基板２０には、その全面に渡って対向電極２１が設けられており、その下側には、配向膜２２が設けられている。このうち対向電極２１もまた、上述の画素電極９ａと同様に、例えばＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。
【０１１６】
一方、図９において、前記画素電極９ａは、ＴＦＴアレイ基板１０上に、マトリクス状に複数設けられており（点線部９ａ´により輪郭が示されている）、画素電極９ａの縦横の境界に各々沿ってデータ線６ａ及び走査線３ａが設けられている。また、走査線３ａは、半導体層１ａのうち図中右上がりの斜線領域で示したチャネル領域１ａ´に対向するように配置されており、走査線３ａはゲート電極として機能する。すなわち、走査線３ａとデータ線６ａとの交差する箇所にはそれぞれ、チャネル領域１ａ´に走査線３ａの本線部がゲート電極として対向配置された画素スイッチング用のＴＦＴ３０が設けられている。
【０１１７】
ＴＦＴ３０は、図１０に示すように、ＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造を有しており、その構成要素としては、上述したようにゲート電極として機能する走査線３ａ、例えばポリシリコン膜からなり走査線３ａからの電界によりチャネルが形成される半導体層１ａのチャネル領域１ａ´、走査線３ａと半導体層１ａとを絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜２、半導体層１ａにおける低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃ並びに高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅを備えている。
【０１１８】
なお、ＴＦＴ３０は、好ましくは図１０に示したようにＬＤＤ構造をもつが、低濃度ソース領域１ｂ及び低濃度ドレイン領域１ｃに不純物の打ち込みを行わないオフセット構造をもってよいし、走査線３ａの一部からなるゲート電極をマスクとして高濃度で不純物を打ち込み、自己整合的に高濃度ソース領域及び高濃度ドレイン領域を形成するセルフアライン型のＴＦＴであってもよい。また、本実施形態では、画素スイッチング用ＴＦＴ３０のゲート電極を、高濃度ソース領域１ｄ及び高濃度ドレイン領域１ｅ間に１個のみ配置したシングルゲート構造としたが、これらの間に２個以上のゲート電極を配置してもよい。さらに、ＴＦＴ３０を構成する半導体層１ａは非単結晶層でも単結晶層でも構わない。単結晶層の形成には、貼り合わせ法等の公知の方法を用いることができる。半導体層１ａを単結晶層とすることで、特に周辺回路の高性能化を図ることができる。
【０１１９】
一方、図１０においては、蓄積容量７０が、ＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅ及び画素電極９ａに接続された画素電位側容量電極としての中継層７１と、固定電位側容量電極としての容量線３００の一部とが、誘電体膜７５を介して対向配置されることにより形成されている。この蓄積容量７０によれば、画素電極９ａにおける電位保持特性を顕著に高めることが可能となる。
【０１２０】
中継層７１は、導電性の膜からなり画素電位側容量電極として機能する。ただし、中継層７１は、後に述べる容量線３００と同様に、金属又は合金を含む単一層膜又は多層膜から構成してもよい。中継層７１は、画素電位側容量電極としての機能のほか、コンタクトホール８３及び８５を介して、画素電極９ａとＴＦＴ３０の高濃度ドレイン領域１ｅとを中継接続する機能をもつ。  容量線３００は、例えば金属又は合金を含む導電膜からなり固定電位側容量電極として機能する。この容量線３００は、平面的に見ると、図９に示すように、走査線３ａの形成領域に重ねて形成されている。より具体的には容量線３００は、走査線３ａに沿って延びる本線部と、図中、データ線６ａと交差する各個所からデータ線６ａに沿って上方に夫々突出した突出部と、コンタクトホール８５に対応する個所が僅かに括れた括れ部とを備えている。このうち突出部は、走査線３ａ上の領域及びデータ線６ａ下の領域を利用して、蓄積容量７０の形成領域の増大に貢献する。
【０１２１】
このような容量線３００は、好ましくは高融点金属を含む導電性遮光膜からなり、蓄積容量７０の固定電位側容量電極としての機能のほか、ＴＦＴ３０の上側において入射光からＴＦＴ３０を遮光する遮光層としての機能をもつ。また、容量線３００は、好ましくは、画素電極９ａが配置された画像表示領域１０ａからその周囲に延設され、定電位源と電気的に接続されて、固定電位とされる。  誘電体膜７５は、図１０に示すように、例えば膜厚５〜２００ｎｍ程度の比較的薄いＨＴＯ（High Temperature Oxide）膜、ＬＴＯ（Low Temperature Oxide）膜等の酸化シリコン膜、あるいは窒化シリコン膜等から構成される。  図９及び図１０においては、上記のほか、ＴＦＴ３０の下側に、下側遮光膜１１ａが設けられている。下側遮光膜１１ａは、格子状にパターニングされており、これにより各画素の開口領域を規定している。なお、開口領域の規定は、開口領域の規定は、図９中のデータ線６ａと、これに交差するよう形成された容量線３００とによっても、なされている。また、下側遮光膜１１ａについても、前述の容量線３００の場合と同様に、その電位変動がＴＦＴ３０に対して悪影響を及ぼすことを避けるために、画像表示領域からその周囲に延設して定電位源に接続するとよい。
【０１２２】
また、ＴＦＴ３０下には、下地絶縁膜１２が設けられている。下地絶縁膜１２は、下側遮光膜１１ａからＴＦＴ３０を層間絶縁する機能のほか、ＴＦＴアレイ基板１０の全面に形成されることにより、ＴＦＴアレイ基板１０の表面研磨時における荒れや、洗浄後に残る汚れ等で画素スイッチング用のＴＦＴ３０の特性変化を防止する機能を有する。
【０１２３】
加えて、走査線３ａ上には、高濃度ソース領域１ｄへ通じるコンタクトホール８１及び高濃度ドレイン領域１ｅへ通じるコンタクトホール８３がそれぞれ開孔された第１層間絶縁膜４１が形成されている。
【０１２４】
第１層間絶縁膜４１上には、中継層７１及び容量線３００が形成されており、これらの上には高濃度ソース領域１ｄへ通じるコンタクトホール８１及び中継層７１へ通じるコンタクトホール８５がそれぞれ開孔された第２層間絶縁膜４２が形成されている。
【０１２５】
なお、本実施形態では、第１層間絶縁膜４１に対しては、約１０００℃の焼成を行うことにより、半導体層１ａや走査線３ａを構成するポリシリコン膜に注入したイオンの活性化を図ってもよい。他方、第２層間絶縁膜４２に対しては、このような焼成を行わないことにより、容量線３００の界面付近に生じるストレスの緩和を図るようにしてもよい。
【０１２６】
第２層間絶縁膜４２上には、データ線６ａが形成されており、これらの上には中継層７１へ通じるコンタクトホール８５が形成された第３層間絶縁膜４３が形成されている。
【０１２７】
第３層間絶縁膜４３の表面は、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）処理等により平坦化されており、その下方に存在する各種配線や素子等による段差に起因する液晶層５０の配向不良を低減する。ただし、このように第３層間絶縁膜４３に平坦化処理を施すのに代えて、又は加えて、ＴＦＴアレイ基板１０、下地絶縁膜１２、第１層間絶縁膜４１及び第２層間絶縁膜４２のうち少なくとも一つに溝を掘って、データ線６ａ等の配線やＴＦＴ３０等を埋め込むことにより、平坦化処理を行ってもよい。
【０１２８】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置並びに電子機器及び投射型表示装置もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態の電気光学装置におけるＴＦＴアレイ基板を、その上に形成された各構成要素とともに対向基板の側から見た平面図である。
【図２】  図１のＨ−Ｈ´断面図である。
【図３】  本発明の第１実施形態に係り、図２に示す符号ＣＲを付した円内部分を拡大して示す断面図である。
【図４】  図３と同趣旨の図であるが、本発明の第２実施形態に係り、同図とは防塵ガラスが設けられている点で異なるものである。
【図５】  図３と同趣旨の図であるが、本発明の第３実施形態に係り、同図とはＡＲコートの構造が異なるものである。
【図６】  図３と同趣旨の図であるが、本発明の第４実施形態に係り、同図とはコーティング部材等が分離光学要素の一部を構成している点で異なるものである。
【図７】  投射型表示装置の一例たるカラー液晶プロジェクタの一例を示す図式的断面図である。
【図８】  本発明の実施形態の電気光学装置における画像表示領域を構成するマトリクス状の複数の画素に設けられた各種素子、配線等の等価回路を示す回路図である。
【図９】  本発明の実施形態の電気光学装置におけるデータ線、走査線、画素電極等が形成されたＴＦＴアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図である。
【図１０】  図９のＡ−Ａ´断面図である。
【符号の説明】
１０…ＴＦＴアレイ基板
２０…対向基板
５０…液晶
４０１…コーティング部材
４０３…ＩＴＯ層（「コーティング部材」の一例）
４０４、４０４ａ、４０４ｂ、４０４ｃ…（ＡＲコートの一部を構成する）コーティング部材
５００、５０１…ＡＲコート
５０２…第１ジルコニア層
５０３…シリカ層
５０４…第２ジルコニア層
７０１…偏光板
１１００…カラー液晶プロジェクタ
１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂ…ライトバルブ
１１４１…送風ファン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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