(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続搬送支持体に検査光を照射し、その透過光及び／または反射光を受光して、前記連続搬送支持体の表面を検査する検査装置において、
円柱状の光伝達部材であって、前記連続搬送支持体の幅手方向に配置され、受光した光をその一端又は両端に設けられた光検出装置に伝達する検出機構と、
前記連続搬送支持体と前記検出機構との間に設けられ、前記透過光及び／または反射光を受光して、前記検出機構に集光するレンズであって円柱の一部を軸方向に亘って切断して除去して得られる形状のレンズと、
前記光伝達部材を保持する光伝達部材保持機構とを備え、
前記光伝達部材保持機構は前記光伝達部材の側面から当接して保持する凹部を形成した光伝達部材接触部材を有し、
前記光伝達部材接触部材は光伝達部材支持部材の送りねじによる回転で移動可能であり、
前記光伝達部材支持部材の先端部は前記光伝達部材接触部材に回動可能に挿入され、この先端部に形成した環状溝にスプリングピンを前記光伝達部材支持部材の回転を許容可能に係合して抜け止したことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記レンズを保持するレンズ保持機構を備え、
前記レンズ保持機構は前記レンズの側面に当接して保持する斜面を形成したレンズ接触部材を有し、
前記レンズ接触部材を移動するレンズ支持部材を前記レンズの軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記レンズ接触部材は、前記レンズの除去した面以外の両側面に当接して２列に配置したことを特徴とする請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記レンズ接触部材は、ポリ四ふっ化エチレンであることを特徴とする請求項２または請求項３記載の検査装置。
【請求項５】
前記レンズ接触部材は前記レンズ支持部材の送りねじによる回転で移動可能であり、
前記レンズ支持部材の先端部は前記レンズ接触部材に回動可能に挿入され、
前記先端部に形成した環状溝にスプリングピンを前記レンズ支持部材の回転を許容可能にレンズの軸方向と直交する方向に係合して抜け止したことを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の検査装置。
【請求項６】
前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を箱体の両側板に備え、
前記両側板を前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に着脱可能な連結部材で連結可能に構成したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の検査装置。
【請求項７】
前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了後に、両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞可能に構成したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の検査装置。
【請求項８】
前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を箱体の両側板に備え、
前記両側板にリブを側板長手方向に形成したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の検査装置。
【請求項９】
請求項６記載の検査装置の組立て方法であって、
前記箱体の両側板の挿通孔に前記連結部材を挿通して連結し、
前記箱体に前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を組付け、
前記レンズ保持機構の前記レンズ支持部材により前記レンズの軸方向の中央部分から両端部に向かって前記レンズ接触部材を移動させて前記レンズに当接する位置決めをし、
前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了した後に前記連結部材を取り外し、
前記両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞したことを特徴とする検査装置の組立て方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、検査装置及び検査装置の組立て方法に関するもので、さらに詳しくは、欠陥情報を含んだ光を検知する検査装置及び検査装置の組立て方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、フライングスポット方式の光学系で、各走査位置での光量を検出する場合、特公昭５４−３９７５３号、実公平６−４３７６２号などで知られるように円柱状の光伝達用透明部材の円柱軸方向に拡散反射帯を形成し、その円柱軸方向に沿って入射する光をその一端又は両端に設けた光検出器へと導光する光伝達部材、または光伝達部材を使用する検査装置が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようする課題】
特に、感光性材料の表面検査の場合、光被りを生じないような微光量で、検査を行なう必要があり、例えば写真印画紙表面での拡散反射光は完全拡散に近い分布形状を有しており、円柱状の光伝達用透明部材の長手方向に沿って形成された拡散反射体により、入射する光をその一端または両端に設けた光検出器へと導光して使用する光検出装置における、円柱状の光伝達用透明部材自身のレンズ効果のみでは、入射光が拡散反射体に集光しきれず、光検出の効率を十分に得られないことがある。
【０００４】
そこで、光検出器の前段に、集光用の円柱レンズを配置し、光検出の効率を向上させることが考えられるが、長尺の円柱レンズは型による成形等の手段では、長尺の場合、型の製作が高価で且つ容易でなく、成形後も材料のヒケ等で、所望の形状を得にくかった。
【０００５】
この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、入射光を集光させて光検出の効率が向上可能な検査装置を提供することを目的とし、光検出の効率向上に加え、小型、軽量化が可能で、かつ組付精度及び組付性の向上を図る検査装置の組立て方法を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、
連続搬送支持体に検査光を照射し、その透過光及び／または反射光を受光して、前記連続搬送支持体の表面を検査する検査装置において、
円柱状の光伝達部材であって、前記連続搬送支持体の幅手方向に配置され、受光した光をその一端又は両端に設けられた光検出装置に伝達する検出機構と、
前記連続搬送支持体と前記検出機構との間に設けられ、前記透過光及び／または反射光を受光して、前記検出機構に集光するレンズであって円柱の一部を軸方向に亘って切断して除去して得られる形状のレンズと、
前記光伝達部材を保持する光伝達部材保持機構とを備え、
前記光伝達部材保持機構は前記光伝達部材の側面から当接して保持する凹部を形成した光伝達部材接触部材を有し、
前記光伝達部材接触部材は光伝達部材支持部材の送りねじによる回転で移動可能であり、
前記光伝達部材支持部材の先端部は前記光伝達部材接触部材に回動可能に挿入され、この先端部に形成した環状溝にスプリングピンを前記光伝達部材支持部材の回転を許容可能に係合して抜け止したことを特徴としている。連続搬送支持体と検出機構との間にレンズを配置することで、透過光及び／または反射光を受光して検出機構に集光させて検出の効率を向上させ、例えば感光性材料の表面検査の場合、光被りを生じないような微光量でも検出可能である。また、光伝達部材支持部材の先端部の環状溝にスプリングピンを係合して抜け止めすることで、スプリングピンが光伝達部材と干渉することがなく、光伝達部材接触部材の剛性を確保しながら薄くすることができ装置を小型、軽量化することが可能である。しかも、スプリングピンにより例えばＣリング等に比較して容易に着脱でき、これにより光伝達部材支持部材と光伝達部材接触部材とを繰り返し組立て分解することができる。
【００１２】
請求項２記載の発明の検査装置は、前記レンズを保持するレンズ保持機構を備え、前記レンズ保持機構は前記レンズの側面に当接して保持する斜面を形成したレンズ接触部材を有し、このレンズ接触部材を移動するレンズ支持部材を前記レンズの軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したことを特徴としている。レンズに加工上反りが生じた場合でも、レンズの軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したレンズ支持部材によりレンズ接触部材を移動させてレンズの反りを軽減することができる。
【００１３】
請求項３記載の発明の検査装置は、前記レンズ接触部材を、前記レンズの除去した面以外の両側面に当接して２列に配置したことを特徴としている。レンズの除去した面以外の両側面にレンズ接触部材を当接させて、両側の２列からレンズを押さえてより効果的にレンズの反りを軽減することができる。
【００１４】
請求項４記載の発明の検査装置は、前記レンズ接触部材が、ポリ四ふっ化エチレンであることを特徴としている。樹脂製の円柱のレンズは、温度による線膨張率が金属の数倍あるため、レンズに直接力をかけて押さえるレンズ接触部材にスベリ性がよいポリ四ふっ化エチレンを用いることで、周囲温度によるレンズの伸縮を吸収してレンズの反りや変形を軽減することができる。
【００１５】
請求項５記載の発明の検査装置は、前記レンズ接触部材がレンズ支持部材の送りねじによる回転で移動可能であり、前記レンズ支持部材の先端部は前記レンズ接触部材に回動可能に挿入され、前記先端部に形成した環状溝にスプリングピンを前記レンズ支持部材の回転を許容可能にレンズの軸方向と直交する方向に係合して抜け止したことを特徴としている。レンズ支持部材の回転によりレンズ接触部材をレンズに当接させて簡単かつ確実に支持することができる。また、レンズ接触部材はレンズの軸方向と直交する方向に係合したスプリングピンによりレンズ支持部材に対して抜け止されているから、レンズ接触部材がレンズの反り等に応じて僅かにスプリングピンを支点に回動して馴染むことができ、レンズを傷付けることなく確実に組み付けることができる。
【００１６】
請求項６記載の発明の検査装置は、前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を箱体の両側板に備え、前記両側板を前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に着脱可能な連結部材で連結可能に構成したことを特徴としている。レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に、箱体の両側板を連結部材で連結することで組付けの反力により側板が撓むことを簡単かつ確実に抑えて組み付けることができ、組付けが終了すると連結部材を取り外す。
【００１７】
請求項７記載の発明の検査装置は、前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了後に、前記両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞可能に構成したことを特徴としている。レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了後に、連結部材を取り外して両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞して遮光する。
【００１８】
請求項８記載の発明の検査装置は、前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を箱体の両側板に備え、前記両側板にリブを側板長手方向に形成したことを特徴としている。箱体の両側板にリブを側板長手方向に形成する簡単な構造で、側板を補強して組付けの反力により側板が撓むことを確実に抑えることができる。
【００１９】
請求項９記載の発明の検査装置の組立て方法は、請求項６記載の検査装置の組立て方法であって、前記箱体の両側板の挿通孔に前記連結部材を挿通して連結し、この箱体に前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構を組付け、前記レンズ保持機構の前記レンズ支持部材により前記レンズの軸方向の中央部分から両端部に向かって前記レンズ接触部材を移動させて前記レンズに当接する位置決めをし、前記レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了した後に前記連結部材を取り外し、この両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞したことを特徴としている。レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に、箱体の両側板を連結部材で連結することで組付けの反力により側板が撓むことを抑え、さらにレンズの軸方向の中央部分から両端部に向かって位置決めをすることで、レンズの加工上の反りを抑えて箱体に組み付けることができ、組付精度及び組付性の向上を図ることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の検査装置及び検査装置の組立て方法の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【００２１】
図１はレンズ及びその製造工程を示す図である。レンズ１の製造は、まず樹脂を押し出して所定長さの円柱２を成形する（ステップａ）。円柱２の押し出し成形の後に、円柱表面２ａの筋取り加工を行う（ステップｂ）。円柱２の押し出し成形の後に、センタレス機や旋盤等で円柱２の軸を中心とした回転研削が可能で、円柱表面２ａの筋取り加工を行うことで、容易にかつ高精度に真円加工を実施することができる。次いで、円柱２の一部を軸方向に除去し（ステップｃ）、さらに除去した面２ｂを研磨する（ステップｄ）。
【００２２】
除去した面２ｂを研磨した後に、必要に応じて円柱２を所定レンズ長さに切断する（ステップｅ）。円柱２を所定レンズ長さに切断することによって、所定レンズ長さのレンズ１を簡単にかつ大量に成形することができる。なお、円柱２を所定レンズ長さに切断しないで、レンズ１を予め所定レンズ長さに押し出し成形して製造してもよい。
【００２３】
このように、レンズ１は、押し出し加工によって成形された樹脂製の円柱２の一部を軸方向に除去し、除去した面２ｂを研磨することによって得られ、大きさに制約を受けずにレンズ１が成形され、しかもレンズ１は型による成形や平板からの削り出しよりも高精度でかつ安価である。
【００２４】
ここに、レンズ１の製作の一例を示すが、この発明の範囲から逸脱しない範囲において、種々変更することはできる。
【００２５】
レンズ（ｆ＝６０、長さ＝２０００ｍｍ）の場合は、円柱のアクリルロッド（Φ＝６０ｍｍ、長さ＝２０００ｍｍ）を、押し出し成形して得る。押し出し成形の場合、口金等の関係で、加工上の筋目が、残るので、これをセンタレス仕上げ等で取り除く。センタレス仕上げムラが残る場合には、バフ研磨等で、それらを除く。円柱のアクリルロッドを肉厚３２ｍｍくらいに断裁する。円柱のアクリルロッドをプレーナにかけて、平面且つ肉厚を仕上げる。サンドペーパ♯４００，♯８００，♯１０００，♯１２００で順次仕上げる。
【００２６】
図２は検査装置の概略構成図である。この検査装置１０では、連続搬送支持体である検査対象１２が矢印方向に搬送され、この検査対象１２に対して例えばフライングスポット方式の光学系１３により幅方向に走査される。フライングスポット方式の光学系１３は、レーザー光源１４、集光レンズ群１８とポリゴンミラー１５から構成され、上述のように検査対象１２に光を投光、走査する。検査対象１２として、シート状物があり、例えばフィルム、印画紙などのハロゲン化銀感光材料を製造する過程で、支持体の欠陥、あるいは支持体に塗布された乳剤の欠陥等の検査に用いられる。
【００２７】
検査対象１２に対向してレンズ１及び光伝達部材２０が配置され、このレンズ１及び光伝達部材２０は、円柱軸方向が検査対象２の幅方向に一致している。検査対象１２を走査した透過光または反射光がレンズ１により集光されて光伝達部材２０の表面の円柱軸方向から入射され、フライングスポット方式の光学系１３は、光伝達部材２０の光反射帯２０ａの対向した面に光を到達させることができる。
【００２８】
光伝達部材２０の軸方向の両端部には、光伝達部材２０により端面に導光される光を検出する光検出装置２１が配置され、この光検出装置２１により光を検出する。光検出装置２１は、例えば光電変換器で構成され、電気信号に変換する。
【００２９】
光伝達部材２０には、例えばアクリルロッドを用い、検査対象幅手に走査される光を、アクリルロッド側面から取り入れ、対面の光反射帯２０ａで、入射光をアクリルロッド内伝搬可能なべクトル成分に変換し、アクリルロッド端面に導光し、端部に配置した光検出装置２１を構成する光電変換器で受けて電気信号に変換し、それぞれ所定の出力波形２２を得る。このそれぞれの光検出装置２１の出力は、加算器２３に入力され、この加算器２３で光検出装置２１の出力をそれぞれ加算して所定の合成出力２４を得、検査対象１２の地合ノイズレベルを超えることのない検査装置１０を得ることができる。
【００３０】
検査対象１２に欠陥が発生している場合には、合成出力２４に凸部２４ａ、或は凹部２４ｂのような歪み部分が生じ、この合成出力２４の波形から欠陥を検出することができる。
【００３１】
このように、検査装置１０は、連続搬送支持体である検査対象１２に検査光を照射し、その透過光及び／または反射光を受光して、検査対象１２の表面を検査する。この検査装置１０は、円柱状の光伝達部材２０であって、検査対象１２の幅手方向に配置され、受光した光をその一端又は両端に設けられた光検出装置２１に伝達する検出機構Ａと、検査対象１２と検出機構Ａとの間に設けられ、透過光及び／または反射光を受光して、検出機構Ａに集光するレンズ１とを有している。検査対象１２と検出機構Ａとの間にレンズ１を配置することで、透過光及び／または反射光を受光して検出機構Ａに集光させて検出の効率を向上させ、例えば感光性材料の表面検査の場合、光被りを生じないような微光量でも検出可能である。
【００３２】
この検査装置１０は、図３乃至図１１に示すように光伝達部材を保持する光伝達部材保持機構と、レンズを保持するレンズ保持機構とを備えている。図３はユニットの側面図、図４はユニットの平面図、図５はユニットの半分を省略した側面図、図６は図５のVI-VI線に沿う断面図、図７は図５のVII-VII線に沿う断面図、図８は光伝達部材保持機構の拡大図、図９はレンズ保持機構の拡大図、図１０は組付け状態を示す図、図１１は箱体の他の実施の形態を示す断面図である。
【００３３】
検査装置１０のユニット５０は、箱体５１を有し、この箱体５１は底板５２、両側板５３、光が入射される開口部５４ａを有する蓋板５４から構成されている。箱体５１の両端部に光検出装置２１が取り付けられ、箱体５１の内部に光伝達部材２０を保持する光伝達部材保持機構６０と、レンズ１を保持するレンズ保持機構７０とが備えられている。
【００３４】
光伝達部材保持機構６０は、光伝達部材２０の両側面から当接して保持する凹部６１ａを形成した光伝達部材接触部材６１を有し、光伝達部材２０の軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置されている。光伝達部材接触部材６１には、一対のガイド軸６２の先端部６２ａが挿入され、先端部６２ａは光伝達部材接触部材６１のねじ穴６１ｂに螺着した止ねじ６３によって締付固定されている。一対のガイド軸６２は、側板５３にベアリング６４を介して挿通され、円滑にスライド可能になっている。
【００３５】
光伝達部材接触部材６１は光伝達部材支持部材６５の送りねじ６５ａによる回転で移動可能であり、光伝達部材支持部材６５の先端部６５ｂは光伝達部材接触部材６１の挿入孔６１ｃに回動可能に挿入されている。先端部６５ｂに形成した環状溝６５ｃに光伝達部材接触部材６１のピン孔６１ｄに挿入したスプリングピン６６は、光伝達部材接触部材６１を回動可能、すなわち回転を許容可能に係合して抜け止している。光伝達部材支持部材６５の送りねじ６５ａは、側板５３のねじ孔５３ａに噛み合っており、側板５３の外部に突出する端部の六角穴６５ｄに図示しない工具を係合して光伝達部材支持部材６１が回転可能になっている。
【００３６】
光伝達部材支持部材６５は、その先端部６５ｂの環状溝６５ｃにスプリングピン６６を係合して抜け止めすることで、スプリングピン６６が光伝達部材２０と干渉することがなく、光伝達部材接触部材６１の剛性を確保しながら薄くすることができ装置を小型、軽量化することが可能である。しかも、スプリングピン６６により例えばＣリング等に比較して容易に着脱でき、これにより光伝達部材支持部材６５と光伝達部材接触部材６１とを繰り返し組立て分解することができる。
【００３７】
レンズ保持機構７０は、レンズ１の側面に当接して保持する斜面７１ａを形成したレンズ接触部材７１を有し、このレンズ接触部材７１を移動するレンズ支持部材７２がレンズ１の軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置されている。レンズ１に加工上反りが生じた場合でも、レンズ１の軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したレンズ支持部材７２によりレンズ接触部材７１を移動させてレンズ１の反りを軽減することができる。
【００３８】
レンズ接触部材７１は、レンズ１の除去した面以外の両側面１ａに当接して２列に配置され、レンズ１の除去した面以外の両側面１ａにレンズ接触部材７１の斜面７１ａを当接させて蓋板５４に押圧し、両側の２列からレンズ１を押さえてより効果的にレンズ１の反りを軽減することができる。
【００３９】
レンズ接触部材７１は、ポリ四ふっ化エチレン（商品名テフロン）である。樹脂製の円柱のレンズ１は、温度による先膨張率が金属の数倍あるため、レンズ１に直接力をかけて押さえるレンズ接触部材７１にスベリ性がよいポリ四ふっ化エチレンを用いることで、周囲温度によるレンズ１の伸縮を吸収してレンズ１の反りや変形を軽減することができる。
【００４０】
レンズ接触部材７１は、レンズ支持部材７２の送りねじ７２ａによる回転で移動可能であり、レンズ支持部材７２の先端部７２ｂはレンズ接触部材７１の挿入穴７１ｂに回動可能に挿入され、この先端部７２ｂに形成した環状溝７２ｃにスプリングピン７３をレンズ支持部材７２の回転を許容可能にレンズ１の軸方向と直交する方向に係合して抜け止している。レンズ支持部材７２の送りねじ７２ａは、側板５３の内側に固定したブロック７４のねじ孔７４ａに螺着され、頭部７２ｄを図示しない工具で回転することで、レンズ支持部材７２が移動する。
【００４１】
このように、レンズ支持部材７２の回転によりレンズ接触部材７１をレンズ１に当接させて簡単かつ確実に支持することができる。また、レンズ接触部材７１はレンズ１の軸方向と直交する方向に係合したスプリングピン７３によりレンズ支持部材７２に対して抜け止されているから、レンズ接触部材７１がレンズ１の反り等に応じて僅かにスプリングピンを支点に回動して馴染むことができ、レンズ１に無理な力が作用せずレンズ１を傷付けることなく確実に組み付けることができる。
【００４２】
レンズ１の軸方向には、所定間隔を隔ててガイド８０が複数個配置され、このガイド８０は側板５３の内側にねじ８１により締付固定されている。ガイド８０はレンズ１の側面に当接して支持し、レンズ１の側面と側板５３の内側との間に生じる隙間によってレンズ１が反ることを防止している。
【００４３】
また、箱体５１の両側板５３は、レンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０の組付け時に着脱可能な連結部材９０で連結可能に構成され、連結部材９０の両端部には、ねじ孔９０ａが形成されている。レンズ保持機構７０及び／または光伝達部材保持機構６０の組付け時に、連結部材９０を両側板５３の取付孔５３ｅに挿通し、両端部に押えプレート９１を介してねじ９２を螺着し、箱体５１の両側板５３を連結部材９０で連結することで組付けの反力により側板５３が撓むことを簡単かつ確実に抑えて組み付けることができ、組付けが終了するとねじ９２及び押えプレート９１を外して連結部材９０を取り外す。
【００４４】
レンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０の組付け終了後に、両側板５３の連結部材９０の取付孔５３ｅを遮光部材９５で閉塞可能に構成し、レンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０の組付け終了後に、連結部材９０を取り外して両側板５３の取付孔５３ｅを遮光部材９５で閉塞して遮光する。
【００４５】
また、両側板５３には、図１１に示すようにリブ５３ｆを側板長手方向に形成してもよく、簡単な構造で側板５３を補強して組付けの反力により側板５３が撓むことを確実に抑えることができる。
【００４６】
検査装置１の組立ては、箱体５１の両側板５３の挿通孔５３ｅに連結部材９０を挿通して連結し、その後に箱体５１にレンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０を組付け、この組付けではレンズ保持機構７０のレンズ支持部材７２によりレンズ１の軸方向の中央部分から両端部に向かってレンズ接触部材７１を移動させてレンズ１に当接する位置決めをして組み付ける。レンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０の組付け終了した後に連結部材９０を取り外し、この両側板５３の取付孔５３ｅを遮光部材９５で閉塞する。レンズ保持機構７０及び光伝達部材保持機構６０の組付け時に、箱体５１の両側板５３を連結部材９０で連結することで組付けの反力により側板５３が撓むことを抑え、さらにレンズ１の軸方向の中央部分から両端部に向かって位置決めをすることで、レンズ１の加工上の反りを抑えて箱体１に組み付けることができ、組付精度及び組付性の向上を図ることができる。
【００５１】
【発明の効果】
前記したように、請求項１記載の発明では、連続搬送支持体と検出機構との間に請求項１記載のレンズを配置することで、透過光及び／または反射光を受光して検出機構に集光させて検出の効率を向上させ、例えば感光性材料の表面検査の場合、光被りを生じないような微光量でも検出可能である。また、光伝達部材接触部材は光伝達部材支持部材の送りねじによる回転で移動可能であり、光伝達部材支持部材の先端部は光伝達部材接触部材に回動可能に挿入され、この先端部に形成した環状溝にスプリングピンを光伝達部材支持部材の回転を許容可能に係合して抜け止したからスプリングピンが光伝達部材と干渉することがなく、光伝達部材接触部材の剛性を確保しながら薄くすることができ装置を小型、軽量化することが可能である。しかも、スプリングピンにより例えばＣリング等に比較して容易に着脱でき、これにより光伝達部材支持部材と光伝達部材接触部材とを繰り返し組立て分解することができる。
【００５３】
請求項２記載の発明では、レンズ保持機構がレンズの側面に当接して保持する斜面を形成したレンズ接触部材を有し、このレンズ接触部材を移動するレンズ支持部材をレンズの軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したから、レンズに加工上反りが生じた場合でも、レンズの軸方向に所定間隔を隔てて複数個配置したレンズ支持部材によりレンズ接触部材を移動させてレンズの反りを軽減することができる。
【００５４】
請求項３記載の発明では、レンズの除去した面以外の両側面にレンズ接触部材を当接させて、両側の２列からレンズを押さえてより効果的にレンズの反りを軽減することができる。
【００５５】
請求項４記載の発明では、樹脂製の円柱のレンズは、温度による先膨張率が金属の数倍あるため、レンズに直接力をかけて押さえるレンズ接触部材にスベリ性がよいポリ四ふっ化エチレンを用いることで、周囲温度によるレンズの伸縮を吸収してレンズの反りや変形を軽減することができる。
【００５６】
請求項５記載の発明では、レンズ支持部材の先端部はレンズ接触部材に回動可能に挿入され、この先端部に形成した環状溝にスプリングピンをレンズ支持部材の回転を許容可能にレンズの軸方向と直交する方向に係合して抜け止したから、レンズ支持部材の回転によりレンズ接触部材をレンズに当接させて簡単かつ確実に支持することができる。また、レンズ接触部材はレンズの軸方向と直交する方向に係合したスプリングピンによりレンズ支持部材に対して抜け止されているから、レンズ接触部材がレンズの反り等に応じて僅かにスプリングピンを支点に回動して馴染むことができ、レンズを傷付けることなく確実に組み付けることができる。
【００５７】
請求項６記載の発明では、レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に、箱体の両側板を連結部材で連結することで組付けの反力により側板が撓むことを簡単かつ確実に抑えて組み付けることができ、組付けが終了すると連結部材を取り外して光路の邪魔にならないようにする。
【００５８】
請求項７記載の発明では、レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け終了後には、連結部材を取り外して両側板の連結部材の取付孔を遮光部材で閉塞して遮光することができる。
【００５９】
請求項８記載の発明では、箱体の両側板にリブを側板長手方向に形成する簡単な構造で、側板を補強して組付けの反力により側板が撓むことを確実に抑えることができる。
【００６０】
請求項９記載の発明では、レンズ保持機構及び／または光伝達部材保持機構の組付け時に、箱体の両側板を連結部材で連結することで組付けの反力により側板が撓むことを抑え、さらにレンズの軸方向の中央部分から両端部に向かって位置決めをすることで、レンズの加工上の反りを抑えて箱体に組み付けることができ、組付精度及び組付性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レンズ及びその製造工程を示す図である。
【図２】検査装置の概略構成図である。
【図３】ユニットの側面図である。
【図４】ユニットの平面図である。
【図５】ユニットの半分を省略した側面図である。
【図６】図５のVI-VI線に沿う断面図である。
【図７】図５のVII-VII線に沿う断面図である。
【図８】光伝達部材保持機構の拡大図である。
【図９】光伝達部材保持機構の分解図である。
【図１０】組付け状態を示す図である。
【図１１】箱体の他の実施の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  レンズ
２  円柱
２ａ  円柱表面
２ｂ  除去した面
【図１】
0004019443.tif 000002
【図２】
0004019443.tif 000003
【図３】
0004019443.tif 000004
【図４】
0004019443.tif 000005
【図５】
0004019443.tif 000006
【図６】
0004019443.tif 000007
【図７】
0004019443.tif 000008
【図８】
0004019443.tif 000009
【図９】
0004019443.tif 000010
【図１０】
0004019443.tif 000011
【図１１】
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