(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板上に順次Ｎｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜が形成され、前記保護膜上に潤滑剤層が形成されてなる円板状の磁気記録媒体の評価手法において、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域における前記Ｎｉ−Ｐ層上に複数の微細な円形クレーター状のバンプが形成されており、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）を求めることを特徴とする磁気記録媒体の評価手法。
【請求項２】
非磁性基板上にＮｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜を成膜し、潤滑剤をコートして、円板状の磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の設計方法において、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域に対応した領域の前記Ｎｉ−Ｐ層上に、レーザー加工により円形クレーター状の微細な複数のバンプを形成する際に、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）がある一定値以下となるように、前記バンプを形成することを特徴とする磁気記録媒体の設計方法。
【請求項３】
前記ある一定値が、０．５５ｍｍ２であることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の設計方法。
【請求項４】
前記ある一定値が、０．４５ｍｍ２であることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の設計方法。
【請求項５】
前記ある一定値が、０．２８ｍｍ２であることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の設計方法。
【請求項６】
前記ある一定値が、０．２５ｍｍ２であることを特徴とする請求項２に記載の磁気記録媒体の設計方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピューター等の情報処理装置の外部記録装置として用いられるハードディスク装置に用いて好適な磁気記録媒体の評価手法および設計方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、ハードディスク装置には、薄い円板状の磁気記録媒体（ディスク）が用いられている。この装置においては、使用時にはディスクが回転し、その風圧により磁気記録ヘッドが浮上し、停止時にはディスクの回転も停止し、それに伴って磁気記録ヘッドは記録媒体と接触状態となるという、いわゆるＣＳＳ（Contact start and stop方式）が、採用されている。
【０００３】
この制御方式では、停止時には磁気記録ヘッドと記録媒体との吸着を防止する必要がある。また、回転の立ち上がり時には、磁気記録ヘッドが記録媒体上を摺動しながら浮上するが、この際の摩擦係数の低減を図り信頼性を確保する必要がある。そのために、記録媒体表面には意図的にあるコントロールされた粗さを機械的に付与したり、レーザーによる加工やリソグラフィにより微細な凹凸を付与している。前記磁気記録ヘッドと記録媒体との吸着力が記録媒体を回転させるモーターのトルク以上である場合は、当然ドライブは動作しない。また、磁気記録ヘッドと記録媒体とが摺動する時の摩擦係数が高すぎる場合、ＣＳＳサイクルを繰り返していくと、磁気記録ヘッドがクラッシュする危険性がある。
【０００４】
近年、高記録密度媒体においては、磁気記録および読み取り精度を向上させるために、磁気記録ヘッドの記録媒体からの浮上寸法を低減化する努力が続けられている。このような磁気記録ヘッドの低浮上化を可能とするために、極めて粗さの小さな平滑な表面と上記のＣＳＳを行う領域にのみレーザーで凹凸を形成している。このような記録媒体は、レーザーゾーンテクスチャー（ＬＺＴ）記録媒体と呼称され、磁気記録媒体における最近の主流となっている。なお、前記凹凸の凸部はバンプと呼称されている。
【０００５】
前述のＬＺＴ記録媒体において、吸着性やＣＳＳ耐久性と関係する制御因子としては、バンプ高さ、バンプのピッチ、バンプ密度が議論されている。その中でも磁気記録ヘッドと記録媒体との間の摩擦係数やＣＳＳ耐久性との関係は、主にバンプ高さ、バンプピッチで規定されていることが多い。しかし、バンプ高さやバンプピッチ以外に前記制御因子として考えられるものに、バンプ先端の形状や曲率半径の寸法を上げることができる。ところが、従来、これらの制御因子と、前述の摩擦係数、吸着性、ＣＳＳ耐久性との関係については、定量的な議論は皆無に等しかった。
【０００６】
従来のバンプ高さやバンプ密度という制御因子を用いてＬＺＴ記録媒体を設計しようとした場合、個々の設計仕様が異なる磁気記録ヘッドに対しては、前記制御因子と吸着性やＣＳＳ耐久性との関係を上手く捉えられないという問題がある。そのため、経験的、試行錯誤的にレーザーゾーンテクスチャーにおけるバンプ設計を行わざるを得ず、その結果、記録媒体の良好な設計を行うための吸着性やＣＳＳ耐久性の検討に多大な時間を要するという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、前記従来の問題点を解決し、磁気記録ヘッドとの間に生じる吸着性やＣＳＳ耐久性を効果的に改善した磁気記録媒体の評価手法および設計方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前述の課題を達成するために鋭意実験、検討を重ねたところ、以下の知見を得るに至った。
【０００９】
記録媒体と磁気記録ヘッドのスライダー面との接触面積は、磁気記録媒体表面にレーザー等により形成された円形メサ形バンプの先端の円形平坦な部分（以下、バンプ先端と記す）の半径から、近似的に算出される。そして、記録媒体における単位面積当たりの前記近似接触面積を所定の値以下とすれば、停止時に磁気記録ヘッドと記録媒体との間に生じる吸着を駆動開始を阻害しない好適な範囲に設定することができる。そして、このような記録媒体における単位面積当たりの近似接触面積の制御は、レーザーバンプの先端曲率半径の値とバンプ密度の値とを適宜組み合わせることにより達成される。
【００１０】
一方、ＣＳＳ耐久性については、例え、バンプ密度が同じ場合であっても、磁気記録ヘッドのスライダーの最小幅に対応するバンプの個数により著しい差が認められる。そして、高いＣＳＳ耐久性は、磁気記録ヘッドのスライダーの最小幅に対応するバンプの個数を所定の値以上にすることにより達成される。
【００１１】
本発明は、前記知見に基づいて成されたものである。すなわち、本発明にかかる磁気記録媒体の評価手法は、非磁性基板上に順次Ｎｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜が形成され、前記保護膜上に潤滑剤層が形成されてなる円板状の磁気記録媒体の評価手法であり、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域における前記Ｎｉ−Ｐ層上に複数の微細な円形クレーター状のバンプが形成されており、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）を求めることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の磁気記録媒体の設計方法は、非磁性基板上にＮｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜を成膜し、潤滑剤をコートして、円板状の磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の設計方法であり、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域に対応した領域の前記Ｎｉ−Ｐ層上に、レーザー加工により円形クレーター状の微細な複数のバンプを形成する際に、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）がある一定値以下となるように、前記バンプを形成することを特徴とする。
【００１３】
本発明の設計方法では、前記ある一定値が、０．５５ｍｍ２であることが好ましい。さらに、前記ある一定値が、０．４５ｍｍ２であることがより好ましい。また、前記ある一定値が、０．２８ｍｍ２であることがさらに好ましく、前記ある一定値が、０．２５ｍｍ２であることが特に好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明は、磁気記録媒体の評価手法および設計方法に関する。具体的には、以下の通りである。
【００１５】
本発明にかかる磁気記録媒体の評価手法は、非磁性基板上に順次Ｎｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜が形成され、前記保護膜上に潤滑剤層が形成されてなる円板状の磁気記録媒体の評価手法である。この評価手法では、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域における前記Ｎｉ−Ｐ層上に複数の微細な円形クレーター状のバンプが形成されており、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）を求めることを特徴とする。
【００１６】
さらに本発明は、磁気記録媒体の設計方法に関する。この設計方法は、非磁性基板上にＮｉ−Ｐ層，中間層，磁性層，保護膜を成膜し、潤滑剤をコートして、円板状の磁気記録媒体を得る磁気記録媒体の設計方法である。この方法では、該磁気記録媒体の該媒体と組み合わせて使用される磁気記録ヘッドによるコンタクト・スタート・ストップが行われる領域に対応した領域の前記Ｎｉ−Ｐ層上に、レーザー加工により円形クレーター状の微細な複数のバンプを形成する際に、該バンプの直径をｒ、該バンプ先端の曲率半径をＲｃ、該バンプの単位面積１ｍｍ2あたりの密度をＤとし、該バンプ上の媒体表面と前記磁気記録ヘッドのスライダー面とのバンプ１個あたりの近似接触面積を（π×ｒ×Ｒｃ）として定義した場合、前記コンタクト・スタート・ストップが行われる領域における単位面積１ｍｍ2あたりの近似接触面積（π×ｒ×Ｒｃ×Ｄ）がある一定値以下となるように、前記バンプを形成することを特徴とする。
【００１７】
本発明の設計方法では、前記ある一定値が、０．５５ｍｍ２であることが好ましい。さらに、前記ある一定値が、０．４５ｍｍ２であることがより好ましい。また、前記ある一定値が、０．２８ｍｍ２であることがさらに好ましく、前記ある一定値が、０．２５ｍｍ２であることが特に好ましい。
【００２２】
（作用）
本発明によれば、レーザーバンプの先端曲率半径から算出されるレーザーバンプとヘッドスライダー面との近似接触面積を所定の値以下とすることにより低い摩擦係数を得ることが出来ることが実験の結果見出され、耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【００２３】
また、通常ヘッドは一つの機種に対し複数のヘッドメーカーのデザインが異なるヘッドが使用されることが多く、それぞれのヘッドに対するレーザーバンプのバンプ高さや密度などの最適値を見出すため、膨大な数のＣＳＳ試験をする必要があり、多大な時間を要していた。しばしばヘッドのデザインは媒体開発の当初明らかになっていない場合が多い。このようなヘッドのデザインが既知でない場合においても、本発明は先端曲率半径から算出されるＣＳＳゾーンの単位面積１ｍｍ2当たりの近似接触面積を０．５５ｍｍ2以下、好ましくは０．４５ｍｍ2以下とすることにより、レーザーバンプや密度を設計するための指針を示し、低い摩擦係数を有する耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【００２４】
本発明によれば、ヘッドのスライダーデザインが既知の場合スライダー面に対する近似接触面積を規定することにより、より精度高く好ましいレーザーバンプとバンプ密度を選択することが出来、耐吸着特性に優れた磁気記録媒体を提供できる。
【００２５】
一方、スライダーの幅の最小部分の幅に対するバンプの個数が２個以上、好ましくは３個以上配置することにより、媒体にとってもう一方の重要な特性であるＣＳＳ耐久性を向上させることが出来ることが実験の結果判明した。スライダーの幅の最小部分の幅に対するバンプの個数を規定した本発明によれば、ＣＳＳ耐久性に優れた磁気記録媒体を提供することが出来る。
【００２６】
【実施例】
以下に本発明の実施例および比較的について説明する。
【００２７】
図１は、本発明の一実施例と比較例を説明するために示した磁気記録媒体の断面図である。図中、符号１はアルミニウム合金基板（非磁性基板）、２はＮｉ−Ｐメッキ層，３はＣｒまたはＣｒ合金からなる中間層（下地層）、４はＣｏ合金磁性層、５はカーボン系保護膜、６は潤滑層から構成されている。
【００２８】
アルミニウム合金基板１の上に約１０μｍのＮｉ−Ｐメッキ層２を施し、このメッキ層２の表面をポリッシュ加工してＲａ１０Åの表面粗さとした。その後、１μｍサイズのダイヤスラリーで円周方向にテクスチャー加工を行い、表面粗さＲａ１３Åの仕上げ面とした。
【００２９】
続いて、このメッキ層２上に、図２（ａ）に示すように、半径位置ｒ１６〜ｒ２０のリング状のＣＳＳ領域内に、ＩＢＭ製のレーザー加工装置を用いて、レーザーバンプを形成した。その際、半径方向のレーザービームの送りを調整することにより、図２（ｂ）に示すように、半径方向のバンプピッチ（以下、Ｐｒと記す）を可変させた。同様に、レーザーの発振周波数と基板の回転数を調整することにより、各種の円周方向のバンプピッチ（以下、Ｐθと記す）を可変させた。さらに、レーザービーム径、レーザーパワーとレーザー発振周波数の組み合わせを調整することにより、バンプ径およびバンプ高さを可変させた。このようにして、下記の実施例および比較例に示すような、各種の試料を作製した。図３（ａ）（ｂ）に形成されたバンプ形状の断面の代表例の測定結果を示した。レーザーパワーとレーザー発振周波数の組み合わせにより、図３（ａ）に示すようなＶ型や図３（ｂ）に示すようなＷ型と呼ばれるバンプ形状を作製することができる。
【００３０】
前述のようにしてレーザーバンプをＮｉＰメッキ層２上に形成した後、このＮｉＰメッキ層２上に、順次、Ｃｒ合金中間層３、Ｃｏ合金磁性層４、カーボン系保護膜４をスパッタ法にて成膜し、保護膜４上に、さらにパーフルオロアルキルエーテル潤滑剤Ｚ−Ｄｏｌをディップ法で１７Å塗布し、潤滑剤とカーボン膜の密着性を高めるための１２０℃、１時間の加熱処理を行って、潤滑層６を形成した。このようにして、下記のような実施例および比較例の磁気記録媒体を作製した。
【００３１】
なお、レーザー加工を行うＣＳＳ領域は、ドライブの機種により変わりうる。また、上記作製工程において、メッキ後のポリッシュ加工した表面に直接レーザー加工し、その後のテクスチャー加工しても良い。または、テクスチャー加工を省き、直接レーザー加工を行い、その後、そのままスパッタ成膜を行ってもかまわない。
【００３２】
前述の手順により作製した試料は、ＡＦＭにてバンプ高さの測定を行い、図３に示すＡＦＭ断面形状のバンプ先端部分に対し２次曲線でフィッティングを行って、先端曲率半径を求めた。
【００３３】
それぞれスライダー部分の設計仕様が異なる３社の磁気記録ヘッドを使用して、単板ＣＳＳテスターによるＣＳＳ（Contact start and stop）テストを行った。初期Break awayトルクと、ＣＳＳ２０ｋ回後に２４時間放置した後のBreak awayトルクとを測定した。単板ＣＳＳテスターは、Lotus社のModel７２００を用い、ＣＳＳテストは、図４に示すようなドライブでのＣＳＳ動作に近づけるための定常回転に入ったところでseek動作が入るというシーケンスで行った。一方、実際のドライブ（以下、ＨＤＤと記す）でのＣＳＳも実施し、耐久性の評価を行った。
【００３４】
Ｐｒ／Ｐθを３０／３０μｍに固定し、バンプ径およびバンプ高さを変化させ、バンプの先端曲率半径を変化させた実施例および比較例と、Ｐｒ／Ｐθが３０／３０μｍ以外のバンプピッチの比較例とを、表１にまとめた。
【００３５】
（実施例１−１）
上記の構成において、表１に示すように、バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍとし、バンプ径は４μｍ、バンプ高さを１６０Åとした。バンプの先端半径は、バンプ径とバンプ高さに依存する関係が認められ、この場合のバンプの先端半径は１８μｍであった。
【００３６】
（実施例１−２）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍとし、バンプ径は６μｍ、バンプ高さを２２０Åとした。この場合のバンプの先端半径は２０μｍであった。
【００３７】
（実施例１−３）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍとし、バンプ径は６μｍ、バンプ高さを１９０Åとした。この場合のバンプの先端半径は２５μｍであった。
【００３８】
（比較例１−１）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍとし、バンプ径は６μｍ、バンプ高さを１６０Åとした。この場合のバンプの先端半径は３５μｍであった。
【００３９】
（比較例１−２）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍとし、バンプ径は６μｍ、バンプ高さを１３０Åとした。この場合のバンプの先端半径は５３μｍであった。
【００４０】
（比較例１−３）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝６４／６４μｍとし、バンプ径は１０μｍ、バンプ高さを２５０Åとした。この場合のバンプの先端半径は７５μｍであった。
【００４１】
（比較例１−４）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝４０／７０μｍとし、バンプ径は１０μｍ、バンプ高さを２２０Åとした。この場合のバンプの先端半径は８０μｍであった。
【００４２】
次に、バンプ高さを概ね１９０Åと固定し、Ｐｒ，Ｐθを変化させ、バンプ密度を変化させて、試料を作製した実施例，比較例を表２に示す。
【００４３】
（実施例２−１）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝６０／６０μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００４４】
（実施例２−２）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝４０／４０μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００４５】
（実施例２−３）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３５／３５μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００４６】
（実施例２−４）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝３０／４０μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００４７】
（実施例２−５）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。この場合のみバンプ形状はＷ型とし、Ｐｒ／Ｐθ＝３２／１３５μｍとし、バンプ径は１５μｍ、バンプ高さは２３０Åとした。この場合のバンプの先端半径は１８．５μｍであった。
【００４８】
（比較例２−１）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝２０／４０μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００４９】
（比較例２−２）
実施例１−１と同様の工程で試料作製を行った。バンプ形状はＶ型でＰｒ／Ｐθ＝２０／２０μｍとした。バンプ径、バンプ高さは、実施例１−３と同様にそれぞれ６μｍと１９０Åにした。
【００５０】
また、図５および図６は、前記実施例１−１，１−２，１−３、および比較例１−１，１−２についてHeadＡ，Ｂ，Ｃに対するＣＳＳテストを行った結果を示したグラフである。図５はＣＳＳテストを行う初期のBreak awayトルクをプロットしたグラフであり、図６はＣＳＳを２０ｋ回行った後に２４時間放置した後のBreak awayトルクをプロットしたものである。これらの結果からわかるように、バンプピッチすなわちバンプ密度が同じ試料に対して、バンプの先端曲率半径が３５μｍを超えるあたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【００５１】
なお、バンプ先端の曲率半径は、バンプ径とバンプ高さの両方に依存する関係を持ち、同じバンプ径であればバンプ高さが高い方が先端曲率半径が小さい値を示す。したがって、実施例１−１と比較例１−１と比べてわかるように、バンプ高さが同じであれば、バンプ径が小さい方がバンプ先端の曲率半径が小さい値を示すことが分かる。
【００５２】
図７、図８は、実施例１−３、実施例２−１，２−２，２−３，２−４、および比較例２−１，２−２におけるバンプ径とバンプ高さを同じにするとともに、バンプピッチを変動させることによりバンプ密度を変化させた記録媒体試料に対して、Ａ社製の磁気記録ヘッドでＣＳＳテストを行った結果を示すグラフである。図７は初期Break awayトルク測定結果を示し、図８はＣＳＳを２０ｋ回行った後に２４時間放置した後のBreak awayトルク測定結果を示している。この場合、バンプ密度がバンプピッチＰｒ／Ｐθ＝２０／４０に対応する１２５０ドット／ｍｍ2あたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【００５３】
図９および図１０は、上記図５、図６に示した実施例１−１，１−２，１−３、および比較例１−１，１−２、並びに上記図７、図８に示した実施例２−１，２−２，２−３，２−４、および比較例２−１，２−２の結果に、さらに実施例２−５、比較例１−３，１−４の結果を加え、これらの全てのＣＳＳ結果を、バンプ密度（Ｄ：ドット／ｍｍ2)およびバンプ径（ｒ）とバンプ先端の曲率半径（Ｒｃ）から算出した単位面積当たりの近似接触面積（＝Ｒｃ×πｒ×Ｄ）に対して、グラフにまとめたものである。比較例１−１（バンプピッチＰｒ／Ｐθ＝３０／３０μｍ、バンプ径６μｍ、Ｂ．Ｈ１６０Å、この時バンプ先端曲率半径は３５μｍで、単位面積当りの近似接触面積は０．７３３ｍｍ2/ｍｍ2）と、比較例２−２（バンプピッチＰｒ／Ｐθ＝２０／４０μｍ、バンプ径６μｍ、Ｂ．Ｈ１９０Å、この場合バンプ先端曲率半径は２５μｍで、単位面積当たりの近似接触面積は０．５８９ｍｍ2/ｍｍ2）のあたりからBreak awayトルクが上昇し始め、吸着力が高まることがわかる。
【００５４】
従って、レーザーゾーン単位面積当たりの近似接触面積は、０．５５ｍｍ2/ｍｍ2以下、好ましくは０．４５ｍｍ2/ｍｍ2以下が望ましいことがわかる。
【００５５】
表３に、磁気記録ヘッドＡ，Ｂ，Ｃのスライダーの最小部の幅とスライダー面積（Ｓ）を示す。使用される磁気記録ヘッドが既知の場合には、バンプ密度とバンプ先端の曲率半径およびスライダー面積とから、スライダーとレーザーバンプが接触する面積（＝Ｒｃ×πｒ×Ｄ×Ｓ）を見積もることができる。実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドＡ，Ｂ，Ｃのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図９および図１０をプロットし直したものが、図１１および図１２である。
【００５６】
スライダーの形状や面積が異なる磁気記録ヘッドＡ，Ｂ，ＣについてBreak awayトルクは概ね一つのラインにのり、接触面積が０．３ｍｍ2以上になる辺りからＣＳＳ２０ｋ回＋２４時間放置後のBreak awayトルクが高まることがわかる。ＣＳＳ＋放置後のBreak awayトルクを良好なレベルを確保するためには、接触面積は０．２８ｍｍ2以下、好ましくは０．２５ｍｍ2以下が望ましい。
【００５７】
表４は、表１と表２に示した実施例および比較例についての測定項目と、半径方向のピッチ（Ｐｒ）とＣＳＳ耐久性との関係を明らかにするため、各ヘッドのＡＢＳの最小幅に対応するバンプ個数に着目して、表１と表２とを統合再整理したものである。
【００５８】
ＨＤＤ  ＣＳＳの結果を表５に示す。ＨＤＤ  ＣＳＳは、常温，常湿下で４０ｋ回行い、終了後の起動電流と記録媒体の損傷の有無の確認を行った。その結果、磁気記録ヘッドのＡＢＳ最小幅に対応するバンプの個数が２個未満の場合、明らかにクラッシュする確率が高まる。クラッシュを起こさないためには、磁気記録ヘッドのＡＢＳの最小幅に対して少なくとも２個以上のバンプが必要であり、好ましくは２．５個以上が望ましい。
【００５９】
その理由は、以下のように考察される。ＣＳＳ動作では、記録媒体（ディスク）がある回転数以上になると、その風圧により磁気記録ヘッドは完全に浮上する。しかし、その回転数以下のところでは、磁気記録ヘッドは、記録媒体上を摺動または断続的に衝突する状態となっている。すなわち、この場合、記録媒体上のレーザーバンプは、磁気記録ヘッドによる摩擦・摩耗や衝突によるストレスを受けている。ストレスに対する耐久性が不十分な場合、摩耗したり、膜破壊を起こしたりといったクラッシュ状態に至る。このストレスは、バンプの個数が多ければ、それら複数のバンプに分散することができ、耐久性を上げることができることになる。一方、磁気記録ヘッドのスライダーには、通常、クラウン形状が付与されていて、バンプに接触するのは磁気記録ヘッドの進行方向の一部であり、実質的に接触して磁気記録ヘッドの荷重が集中する部分は、スライダー（ＡＢＳ）の最も幅の狭い部分と考えられる。したがって、スライダーの最小幅に対応する記録媒体の半径方向に存在する個数のバンプで衝突エネルギーが分散されると考えられ、そのようなバンプ数としては、前述のように、少なくとも２個以上必要であり、好ましくは２．５個以上が望ましいことになる。
【００６０】
以上を総合すると、吸着性の観点から、レーザーゾーンの単位面積当たりの近似接触面積は、０．５５ｍｍ2/ｍｍ2以下が要求される。また、実際に磁気記録ヘッドのＡＢＳの面積が既知の場合、記録媒体上のレーザーバンプと磁気記録ヘッドのＡＢＳとの接触面積は、０．２８ｍｍ2以下とする必要がある。一方、ＣＳＳ耐久性の面からは、磁気記録ヘッドのＡＢＳの最小幅に対して少なくとも２個以上のバンプが必要と結論される。
【００６１】
【表１】
0004019561.tif 000002
【００６２】
【表２】
0004019561.tif 000003
【００６３】
【表３】
0004019561.tif 000004
【００６４】
【表４】
0004019561.tif 000005
【００６５】
【表５】
0004019561.tif 000006
【００６６】
【発明の効果】
上記実施例から明らかなように、本発明によれば、従来、試行錯誤的に多くの時間を要していたレーザーゾーンテクスチャーによる記録媒体上のバンプ高さやバンプ密度、バンプピッチの決定について系統的な指針を与えることができ、耐吸着性ならびに耐摩耗性に優れた高い信頼性を有する磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】磁気記録媒体の部分断面図である。
【図２】本発明の実施例を説明するためのもので、（ａ）は円板状の記録媒体上のレーザーバンプ形成領域を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のレーザーバンプを形成した部分の拡大図である。
【図３】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上に形成したレーザーバンプの断面形状を測定したグラフであり、（ａ）はＶ型のレーザーバンプの断面形状を示し、（ｂ）はＷ型のレーザーバンプの断面形状を示している。
【図４】本発明の実施例の記録媒体に対するＣＳＳテストのシーケンスパターン図である。
【図５】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ先端の曲率半径とＣＳＳ初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図６】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ先端の曲率半径と経時後のＣＳＳBreak awayトルクの関係を示すグラフである。
【図７】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ密度とＣＳＳ初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図８】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上のレーザーバンプ密度とＣＳＳ経時後Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図９】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上の単位面積あたりのレーザーバンプとヘッドスライダーの接触面積とＣＳＳ初期Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施例を説明するためのもので、記録媒体上の単位面積あたりのレーザーバンプとヘッドスライダーの接触面積とＣＳＳ経時後Break awayトルクの関係を示すグラフである。
【図１１】本発明の実施例を説明するためのもので、本発明の実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドＡ，Ｂ，Ｃのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図９のグラフをプロットし直したグラフである。
【図１２】本発明の実施例を説明するためのもので、本発明の実施例と比較例に対して磁気記録ヘッドＡ，Ｂ，Ｃのそれぞれに対する接触面積を計算し、その接触面積に対して、図１０のグラフをプロットし直したグラフである。
【符号の説明】
１  非磁性基板
２  Ｎｉ−Ｐメッキ層
３  Ｃｒ下地層
４  Ｃｏ合金磁性層
５  カーボン系保護膜
６  液体潤滑層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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