(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
読み取りヘッドと、それぞれ第一の方向に延びて第二の方向に隙間を隔てて並ぶ複数の線を有するメインスケールとを具え、これら読み取りヘッドおよびメインスケールが前記第二の方向に相対移動可能である光電式スケール読み取り装置であって、
前記読み取りヘッドは、前記メインスケールに参照光を投射し、前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動によって光強度変調を検光子にもたらす光投射手段を有し、
前記検光子は、前記光強度変調から複数の移相電気信号を発生させるための位相エンコーダを具え、この位相エンコーダは、前記第一の方向に延びる細長い複数の分光エンコード要素のアレイを具え、これら分光エンコード要素は、同じ分光エンコード特性を有する複数の分光エンコード要素をそれぞれ持った複数の組に振り分けられると共に反復パターンの前記アレイとして形成され、
前記複数の移相電気信号が組み合わされて直角位相の関係を有する正弦波形を描いて変化する一対の信号を生じ、これらが前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動の大きさおよび方向を決定するために用いられることを特徴とする光電式スケール読み取り装置。
【請求項２】
前記メインスケールは、光を透過することを特徴とする請求項１に記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項３】
前記メインスケールは、光を反射することを特徴とする請求項１に記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項４】
前記光投射手段は、複数のコヒーレント光源と、回折スケールとを具え、前記参照光は、前記複数のコヒーレント光源から前記回折スケールへ向けて投射され、前記検光子に間欠的な光パターンを発生させることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項５】
読み取りヘッドと、それぞれ第一の方向に延びて第二の方向に隙間を隔てて並ぶ複数の線を有するメインスケールとを具え、これら読み取りヘッドおよびメインスケールが前記第二の方向に相対移動可能である光電式スケール読み取り装置であって、
前記読み取りヘッドは、光源と、インデックスグレーティングとを具え、前記光源からの光が前記メインスケールおよび前記インデックスグレーティングの何れか一方を通過し、そして前記メインスケールおよび前記インデックスグレーティングの何れか他方を通過または反射して検光子に間欠的な光パターンを与え、
前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動によって光強度変調が前記検光子にもたらされ、前記メインスケールまたは前記インデックスグレーティングは、前記光強度変調から複数の移相電気信号を発生させるための前記第一の方向に延びる細長い複数の分光エンコード要素のアレイを具え、これら分光エンコード要素は、同じ分光エンコード特性を有する複数の分光エンコード要素をそれぞれ持った複数の組に振り分けられると共に反復パターンの前記アレイとして形成され、
前記複数の移相電気信号が組み合わされて直角位相の関係を有する正弦波形を描いて変化する一対の信号を生じ、これらが前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動の大きさおよび方向を決定するために用いられることを特徴とする光電式スケール読み取り装置。
【請求項６】
前記検光子からの光が入射する複数の分光フィルタと、これら分光フィルタからの光を前記複数の移相電気信号にデコードするための複数の光検出器とをさらに具えたことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項７】
前記検光子から前記複数の分光フィルタに光を伝達するための光ファイバを具えたことを特徴とする請求項６に記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項８】
少なくとも一つの前記光源は、光ファイバの出射端であることを特徴とする請求項７に記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項９】
少なくとも一つの前記光源は、可視分光領域の多色光を放射することを特徴とする請求項６から請求項８の何れかに記載の光電式スケール読み取り装置。
【請求項１０】
少なくとも一つの前記光源は、赤外分光領域の多色光を放射することを特徴とする請求項６から請求項８の何れかに記載の光電式スケール読み取り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、二つの部材の相対変位を測定するため、例えば、工作機械の如き座標位置決め機械に使用される光電式スケール読み取り装置に関する。
【０００２】
なお、本明細書の記述は、本件特許出願の優先権の基礎たる英国特許出願第ＧＢ  ９４２５９０７. ４号（１９９４年１２月２２日出願）の明細書および図面の記載に基づくものであって、この英国特許出願を参照することによって、当該英国特許出願の明細書および図面の記載内容が本明細書の一部分を構成するものとする。
【０００３】
【従来の技術】
インデックスグレーティングおよび検光用グレーティングを有する読み取りヘッドを組み込んで光電式スケール読み取り装置を構成することは、ＧＢ  １５０４６９１から周知である。この読み取りヘッド内の光源からメインスケールに向けて投射される光ビーム（参照光）は、インデックスグレーティングを透過し、この光ビームと影響し合って検光用グレーティングの面に複数の空間的縞模様を発生させる。メインスケールと読み取りヘッドとの間の相対移動は、対応する空間的縞模様と検光用グレーティングとの間の相対移動をもたらし、光強度の変調を引き起こす。縞模様に対する検光用グレーティングのシャッタ動作の結果、移動する縞模様がメインスケールから離れた検光用グレーティングの側から観察することができる。複数の移相光強度変調は、必要な位相角と対応した格子ピッチの分数で相互にシフト線を持つ複数の検光用グレーティングを与えることにより発生させることができる。例えば、１／３ピッチずつ相互にオフセットした３つの検光用グレーティングは、ＥＰ  ２７２２９７に示したように、１２０°の相転移を有する光強度変調の三つの組み合わせを結果としてもたらす。
【０００４】
複数の移相電気信号を発生する他の方法は、検光用グレーティングの代わりにエレクトログレーティングとして知られた明確な構造を持つ光検出器を与えることである。このエレクトログレーティングは、メインスケールの線と平行な方向に延びる細長い感光性要素のアレイからなり、例えば、Ａ, Ｂ, Ｃなどの複数の組、つまり要求した移相信号の数に対応する感光性要素の組数にグループ分けされる。これらの感光性要素は、共通に電気的に結合されるそれぞれの組の感光性要素と共に、例えば、Ａ, Ｂ, Ｃ, Ａ, Ｂ, Ｃ, ・・・の繰り返しパターンで与えられる。同一の組の任意の二つの感光性要素の間の間隔は、読み取りヘッドによって発生した干渉縞模様のピッチの整数倍と等しく、この結果、所与の組の全ての感光性要素は、光の強度とほぼ対応して露光される。メインスケールと読み取りヘッドとが相対移動すると、その縞模様がエレクトログレーティングの面を横切って動き、その結果、ＥＰ  ５４３５１３で知られたエレクトログレーティングの感光性要素の組から連続した位相変調電気信号を発生する。
【０００５】
上述したエレクトログレーティングは、複数の移相信号をそれぞれ発生させる光が実質的にメインスケールの同じ領域から起こるという点で長所を有する。この長所は、例えば、スケールにほこりが付着したり、引っ掻き傷が形成されたりする結果、スケールが汚れることとなるが、このようなスケールの汚れに対して悪影響を受け難い装置を実現することができることを意味する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
種々の状況に対応すべく、従来に増して選択可能な自由度を得ることができるように、上述したエレクトログレーティングを使用しない新たな光電式スケール読み取り装置が望まれている。
【０００７】
【発明の目的】
本発明の目的は、従来のエレクトログレーティングを使用しない新たな光電式スケール読み取り装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の形態は、読み取りヘッドと、それぞれ第一の方向に延びて第二の方向に隙間を隔てて並ぶ複数の線を有するメインスケールとを具え、これら読み取りヘッドおよびメインスケールが前記第二の方向に相対移動可能である光電式スケール読み取り装置であって、前記読み取りヘッドは、前記メインスケールに参照光を投射し、前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動によって光強度変調を検光子にもたらす光投射手段を有し、前記検光子は、前記光強度変調から複数の移相電気信号を発生させるための位相エンコーダを具え、この位相エンコーダは、前記第一の方向に延びる細長い複数の分光エンコード要素のアレイを具え、これら分光エンコード要素は、同じ分光エンコード特性を有する複数の分光エンコード要素をそれぞれ持った複数の組に振り分けられると共に反復パターンの前記アレイとして形成され、前記複数の移相電気信号が組み合わされて直角位相の関係を有する正弦波形を描いて変化する一対の信号を生じ、これらが前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動の大きさおよび方向を決定するために用いられることを特徴とするものである。
また、本発明の第２の形態は、読み取りヘッドと、それぞれ第一の方向に延びて第二の方向に隙間を隔てて並ぶ複数の線を有するメインスケールとを具え、これら読み取りヘッドおよびメインスケールが前記第二の方向に相対移動可能である光電式スケール読み取り装置であって、前記読み取りヘッドは、光源と、インデックスグレーティングとを具え、前記光源からの光が前記メインスケールおよび前記インデックスグレーティングの何れか一方を通過し、そして前記メインスケールおよび前記インデックスグレーティングの何れか他方を通過または反射して検光子に間欠的な光パターンを与え、前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動によって光強度変調が前記検光子にもたらされ、前記メインスケールまたは前記インデックスグレーティングは、前記光強度変調から複数の移相電気信号を発生させるための前記第一の方向に延びる細長い複数の分光エンコード要素のアレイを具え、これら分光エンコード要素は、同じ分光エンコード特性を有する複数の分光エンコード要素をそれぞれ持った複数の組に振り分けられると共に反復パターンの前記アレイとして形成され、前記複数の移相電気信号が組み合わされて直角位相の関係を有する正弦波形を描いて変化する一対の信号を生じ、これらが前記読み取りヘッドと前記メインスケールとの相対移動の大きさおよび方向を決定するために用いられることを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の形態による光電式スケール読み取り装置において、スケールは、光を透過するものであっても良いし、光を反射するものであっても良い。
【００１０】
また、光投射手段は、複数のコヒーレント光源と、回折スケールとを具え、光はコヒーレント光源から回折スケールへ向けて投射され、検光子にて間欠的な光パターンを発生させるものであって良い。
【００１２】
本発明の第１および第２の形態による光電式スケール読み取り装置において、検光子からの光が入射する複数の分光フィルタと、これら分光フィルタからの光を複数の移相電気信号にデコードするための複数の光検出器とをさらに具えることも可能である。この場合、検光子から複数の分光フィルタに光を伝達するための光ファイバを具えるようにしても良い。
【００１３】
なお、少なくとも一つの光源は、光ファイバの出射端であっても良く、可視分光領域の多色光を放射するものであっても良く、赤外分光領域の多色光を放射するものであっても良い。
【００１４】
【実施例】
本発明による光電式スケール読み取り装置の実施例について、図１〜図６を参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
第一の実施例の概念を表す図１に示すように、本実施例における光電式スケール読み取り装置は、複数の非反射線１０Ａと複数の反射線１０ＢとをＹ方向に沿って交互に形成したメインスケール１０を具える。非反射線１０Ａおよび反射線１０Ｂの線幅はそれぞれ同じ幅を有し、それぞれ相互に平行にＸ方向に延びて全体としてＸＹ平面内に拡がっている。このメインスケール１０からＺ方向にオフセットした読み取りヘッド１２は、メインスケール１０に対してＹ方向に沿って移動可能であり、本発明のインデックスグレーティングとしてのグレーティング１６を通してメインスケール１０上に光ビーム（参照光）を投射する多色拡散光源１４を具える。
【００１６】
前記メインスケール１０は、グレーティング１６に近接して位置する検光子１８の面に、例えば、干渉縞模様の形態の間欠的な光パターンが発生するように、ここに入射する光ビームと相互に影響し合う。メインスケール１０の非反射線１０Ａおよび反射線１０Ｂとほぼ平行に広がるこの干渉縞模様は、Ｙ方向に実質的に隙間を隔てており、それらの光強度は、Ｙ方向に沿って実質的に正弦波形を描くように変調する。
【００１７】
グレーティング１６とメインスケール１０とのＺ方向の間隔およびメインスケール１０と検光子１８とのＺ方向の間隔は、検光子１８の面に間欠的な光パターンを発生するために必要なグレーティング１６とメインスケール１０との相対ピッチと共に、それ自体が良く知られており、例えばＧＢ １５０４６９１（ＮＲＤＣ）に記述されている。
【００１８】
間欠的な光パターンを形成する光は、複数の移相電気信号が発生するように、分光エンコード機能を有する検光子１８に入射してこれを通過する。本実施例における分光エンコード処理は、光を３つの分解色にエンコードすることによって行われ、これら各分解色の光強度は、メインスケール１０と読み取りヘッド１２との相対移動に応じた位相転移の関係に変調される。
【００１９】
検光子１８を透過した３つの色帯域のそれぞれの光は、３つのダイクロイックフィルタ３０, ３２, ３４によってデコードされ、これらダイクロイックフィルタ３０, ３２, ３４から３つの対応する光検出器４０, ４２, ４４にそれぞれ向けられる。光検出器４０, ４２, ４４の位相変調出力は、それ自体、周知の方法で組み合わされ、メインスケール１０と読み取りヘッド１２との相対移動の大きさおよび方向の両方を決定するのに利用できるように、直角位相の関係を有する一対の正弦波形を描いて変化する電気信号を発生する。
【００２０】
次に、検光子１８の概念とその光強度分布を表す図２を参照し、検光子１８とその色エンコードとの相互作用について、この検光子１８に入射する干渉縞模様と共に以下に説明する。
【００２１】
検光子１８は、光透過性の複数の細長い分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇのアレイを具える。これら分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇは、メインスケール１０の非反射線１０Ａおよび反射線１０Ｂに対してほぼ平行、かつメインスケール１０と読み取りヘッド１２との相対移動方向、すなわちＹ方向に対してほぼ直角に延びる。本実施例における分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇは、それぞれ赤（Ｒ）および青（Ｂ）および緑（Ｇ）の色フィルタであり、反復パターンで与えられ、これら各色の分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇ、例えば赤に対応した分光エンコード要素５２Ｒの中心間距離は、干渉縞模様の間隔の整数倍と等しい間隔を持ち、これは他の色の分光エンコード要素５２Ｂ, ５２Ｇについてもまったく同じである。
【００２２】
このような検光子１８の幾何学的配列の結果、与えられた色、例えば赤に対応した分光エンコード要素５２Ｒにそれぞれ入射する干渉縞模様の光強度は、メインスケール１０と読み取りヘッド１２とに任意に与えた相対変位に対して実質的に同じとなる。このため、干渉縞模様が検光子１８に対して移動するにつれ、各組の分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇは、実質的に１２０°の位相転移を有する赤および青および緑の光強度変調を伴い、実質的に正弦波形を描く光強度変調をそれぞれ伝達する。
【００２３】
なお、例えば、黄色の如き色フィルタの分光エンコードの組をさらに付加することによって、追加の移相信号の組を得ることもできる。
【００２４】
隣接する分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇの間の異なる位相角は、干渉縞模様のピッチに対して分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇの相互の中心間距離を修正することによって得られる。例えば、９０°の位相角に対応させるためには、分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇの中心間距離を１／４ピッチにすれば良い。
【００２５】
Ｙ方向に沿った分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇの幅寸法の減少に伴い、アレイの個々の分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇの幅を横切って入射する光強度の変化がそれぞれ減少するので、分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２Ｇが反復パターンとなったアレイによる解像力（読み取り精度）は、干渉縞模様のピッチに対する分光エンコード要素５２Ｒ, ５２Ｂ, ５２ＧのＹ方向に沿った幅寸法の減少に伴って増大する。
【００２６】
分光エンコード要素のアレイの他の例を概略的に表す図３に示すように、個々の分光エンコード要素５２Ｒ′, ５２Ｂ′, ５２Ｇ′の間に光不透過領域５４を形成し、分光エンコード要素５２Ｒ′, ５２Ｂ′, ５２Ｇ′のＹ方向に沿った幅寸法を干渉縞模様のピッチに対して実質的に減少させることも可能である。本実施例の場合、例えば青の分光エンコード要素５２Ｂ′を透過した光の強度は、先の図２に示したアレイにおいて、Ｉ1 からＩ2 への変化と比較すると、Ｉ11からＩ12への変化となり、その変化量を少なくすることができる。このため、より小さな振幅の出力信号でもより鋭敏に取り出すことが可能となる。
【００２７】
上述した実施例で使用したグレーティング１６と検光子１８とを逆に配置することも可能であり、このような本発明による光電式スケール読み取り装置の第二の実施例の概念を図４に示す。
【００２８】
すなわち、読み取りヘッド１１２は、メインスケール１１０と対向するインデックスグレーティングとして用いられる光透過性の分光エンコードアレイ１１８と、メインスケール１１０に向けてこの分光エンコードアレイ１１８を透過する光ビームを投射するための光源１１４とを有する。光源１１４から分光エンコードアレイ１１８を通過した光は、複数の非反射線１１０Ａと複数の反射線１１０ＢとをＹ方向に沿って交互に形成したメインスケール１１０と相互に影響し合い、本発明の検光子としてのグレーティング１１６の表面に一連の色分けした干渉縞模様を形成する。メインスケール１１０と読み取りヘッド１１２との相対運動でもたらされ、その結果として生ずる光強度変調は、ダイクロイックフィルタ１３０，１３２，１３４により光検出器１４０，１４２，１４４でデコードされる。
【００２９】
本実施例における光透過性の分光エンコードアレイ１１８は、この分光エンコードアレイ１１８を構成する青および緑の分光エンコード要素が光源１１４から投射した赤の光を通さず、この分光エンコードアレイ１１８を構成するの赤および青の分光エンコード要素が光源１１４から投射した緑の光を通ず、分光エンコードアレイ１１８を構成するの緑および赤の分光エンコード要素が光源１１４から投射した青の光を通さないように、一般的なグレーティングと同じように機能する。
【００３０】
上述した二つの実施例では、検光子とインデックスグレーティングとを別々に形成したが、これらを一つの色エンコードアレイによって形成することも可能である。
【００３１】
このような本発明による光電式スケール読み取り装置の第三の実施例の概念を表す図５に示すように、読み取りヘッド２１２のインデックスグレーティングおよび検光子は、一つの光透過性を持つ分光エンコードアレイ２１８によって与えられる。つまり、光源２１４から投射された光ビームは、分光エンコードアレイ２１８を透過し、非反射線２１０Ａと反射線２１０ＢとをＹ方向に沿って交互に形成したメインスケール２１０と相互に影響し合い、その反射光が縞模様となって分光エンコードアレイ２１８の表面に形成される。そして、図示しないダイクロイックフィルタを介して光検出器によりデコードされるのは先の実施例とまったく同じである。
【００３２】
ところで、上述した各実施例における光源や、ダイクロイックフィルタ, 検光子などを光ファイバを介して読み取りヘッドから離して配置することも可能であり、このような本発明による光電式スケール読み取り装置の第四の実施例の概念を図６に示す。
【００３３】
すなわち、本実施例における光電式スケール読み取り装置は、非反射線４１０Ａと反射線４１０Ｂとを交互に形成したメインスケール４１０と、光源の形態として例示した光ファイバ３００の出射端と、ビームスプリッタ３１０と、メインスケール４１０に光を投射する偏向光学系３１２, ３１４とを有する。ガラスあるいは合成樹脂材料にて形成される光ファイバ３００内での光の減衰を減少させるため、赤外分光領域内で多色光である光は、光ファイバ３００の出射端から出射し、コリメータレンズ４２０によって平行光束となった後、ビームスプリッタ３１０にて偏向光学系３１２, ３１４からメインスケール４１０に照射される。そして、このメインスケール４１０にて反射した光は、インデックスグレーティング４１６を透過するが、これらメインスケール４１０から反射した光とインデックスグレーティング４１６との相互作用により、先に説明した構造の分光エンコードアレイの形態を持った検光子４１８の面に干渉縞模様を発生する。
【００３４】
この光学的な機構は、ＥＰ  ２０７１２１に詳細に説明されている。検光子４１８およびビームスプリッタ３１０を透過した光の一部は、コリメータレンズ４２０によって再び光ファイバ３００の出射端から光ファイバ３００内に入射し、図示しないデコード光学系および光検出器に向けてこの光ファイバ３００内を伝送される。
【００３５】
上述したビームスプリッタ３１０および偏向光学系３１２, ３１４を省略するために、参照光を伝送するための光ファイバと、反射光を導入するための光ファイバとを使用することも可能であり、この場合には、ビームスプリッタ３１０による光の減衰を少なくすることができる。
【００３６】
このように、本発明の第一実施例においては、インデックスグレーティングとしてグレーティングを用い、検光子として光透過性の分光エンコードアレイを用いており、第二の実施例においては、インデックスグレーティングとして光透過性の分光エンコードアレイを用い、検光子としてグレーティングを用いており、第三の実施例においては、インデックスグレーティングおよび検光子の両方とも、光透過性の分光エンコードアレイにより構成しているが、さらに透過性あるいは反射性のメインスケールを分光エンコードアレイによって形成することも可能である。
【００３７】
仮に、光源からの光が波長の異なる複数のコヒーレントな光ビームの形態で与えられ、しかもメインスケールがグレーティングのように回折性を持つならば、インデックスグレーティングは必要がなく、間欠的な光パターンは、単にメインスケールとコヒーレントな光ビームとの相互作用によって発生する。この場合、コヒーレントな光ビームは、実質的に単一の波長のみを持ち、そのために一つのコヒーレントな光ビームは、複数の相に分光エンコードするのが不可能となるので、複数のビームが必要である。
【００３８】
さらに、検光子に間欠的な光パターンを発生するそれ自体周知の読み取りヘッドの形態として、例えば、単純なシャッタ原理で主として操作される接触型の読み取りヘッドの如き本発明による光透過性の分光エンコードアレイを採用することも可能である。
【００３９】
なお、上述した各実施例における光源からの光は、必ずしも可視分光領域内の電磁放射線に限定されるものではなく、紫外および赤外分光領域の光を用いて実施することも可能である。また、本発明の他の特徴は、上述したような実施例およびそれらの組み合わせに必ずしも制限されるものではない。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によると、エレクトログレーティングを使用しない新たな光電式スケール読み取り装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光電式スケール読み取り装置の第一実施例を表す幾何概念図である。
【図２】図１に示した実施例における検光子を模式的に表すと共にその透過光強度分布を表す説明図である。
【図３】検光子の他の例を模式的に表すと共にその透過光強度分布を表す説明図である。
【図４】本発明による光電式スケール読み取り装置の第二実施例を表す幾何概念図である。
【図５】本発明による光電式スケール読み取り装置の第三実施例を表す幾何概念図である。
【図６】本発明による光電式スケール読み取り装置の第四実施例を表す幾何概念図である。
【符号の説明】
１０  メインスケール
１０Ａ  非反射線
１０Ｂ  反射線
１２  読み取りヘッド
１４  多色拡散光源
１６  グレーティング
１８  検光子
３０，３２，３４  ダイクロイックフィルタ
４０，４２，４４  光検出器
５２Ｒ，５２Ｂ，５２Ｇ  分光エンコード要素
５２Ｒ′，５２Ｂ′，５２Ｇ′  分光エンコード要素
５４  光不透過領域
１１０  メインスケール
１１０Ａ  非反射線
１１０Ｂ  反射線
１１２  読み取りヘッド
１１４  光源
１１６  グレーティング
１１８  分光エンコードアレイ
１３０，１３２，１３４  ダイクロイックフィルタ
１４０，１４２，１４４  光検出器
２１０  メインスケール
２１０Ａ  非反射線
２１０Ｂ  反射線
２１２  読み取りヘッド
２１４  光源
２１８  分光エンコードアレイ
３００  光ファイバ
３１０  ビームスプリッタ
３１２，３１４  偏向光学系
４１０  メインスケール
４１０Ａ  非反射線
４１０Ｂ  反射線
４１８  検光子
４２０  コリメータレンズ
【図１】
0004001646.tif 000002
【図２】
0004001646.tif 000003
【図３】
0004001646.tif 000004
【図４】
0004001646.tif 000005
【図５】
0004001646.tif 000006
【図６】
0004001646.tif 000007