(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバにより保たれた不活性雰囲気中でコンベヤにより搬送されるワークにはんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置において、
チャンバ内に不活性ガスを供給する給気部と、
チャンバ内の不活性ガスを排気する排気部と、
排気部から排気された不活性ガスを冷却しながら不活性ガス中に混入した不純物を分離除去して不活性ガスのみを給気部に循環する冷却浄化器とを具備し、
給気部は、ワークの一側部上にこの一側部と対向した不活性ガス吹出ノズルを有し、
排気部は、ワークの他側部上で開口した不活性ガス吸引口を有し、
不活性ガス吹出ノズルと対向するワークの一側部は、ワーク幅の変更があっても幅方向に移動しない幅方向不変位置に位置し、
冷却浄化器は、
不活性ガスが上下方向に移動する不活性ガス移動室部と、
不活性ガス移動室部の上部から下部へ不活性ガスを移動させる循環送風機と、
不活性ガス移動室部に熱交換面板を介して隣接させた冷却風移動室部と、
冷却風移動室部の下部から上部へ冷却風を移動させる冷却送風機とを備えた
ことを特徴とする不活性雰囲気はんだ付け装置。
【請求項２】
不活性ガス移動室部は、少なくとも不活性ガス入口に対向する位置で配置したフィルタを有する
ことを特徴とする請求項１記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。
【請求項３】
不活性ガス移動室部は、不活性ガスの撹拌、冷却およびガス通路断面積の拡大の少なくとも一つのためのフィンを有する
ことを特徴とする請求項１または２記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。
【請求項４】
不活性ガス移動室部は、その下部に不活性ガス中より分離除去された不純物を回収する回収箱を備えた
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。
【請求項５】
熱交換面板は、不活性ガス移動室部に対し開閉可能に設けられた
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。
【請求項６】
循環送風機は、ファンとこのファンの軸を駆動するモータとの間に低温不活性ガスの供給を受ける断熱軸受部を有する
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、不活性雰囲気中ではんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
チャンバ内に窒素ガスなどを供給することにより保たれた不活性雰囲気中で基板に噴流式はんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置は、チャンバ内部の酸素濃度を低く抑えるためチャンバ内部の不活性雰囲気と外部の大気との混合を防ぐように密閉空間ではんだ付けが行われるから、チャンバ内部の雰囲気温度が高くなり、大気中ではんだ付けを行う開放形はんだ付け装置と比較して基板上面の搭載部品の温度上昇が大きくなる傾向にある。
【０００３】
このため、開放形はんだ付け装置と比較して温度上昇の大きい不活性雰囲気はんだ付け装置においては、熱的に弱い部品が搭載されている場合や、基板上面の表面実装部品に再溶融のおそれがある場合は問題となる。
【０００４】
また、チャンバ内部の不活性雰囲気は停滞しているため、はんだ付け時に煙状に発生するフラックスヒュームなどの不純物蒸気も、チャンバ内部に充満することになり、チャンバ内部にはこの汚れが堆積し、定期的に清掃を行う必要がある。
【０００５】
そこで、はんだ付け装置の運転中も、チャンバ内の不活性雰囲気をフィルタリング（浄化処理）する必要がある。
【０００６】
従来の雰囲気フィルタリング手段としては、特開平６−１９８４２５号公報に示されるように、触媒を用いて可燃成分を燃焼除去するものや、図６に示されるように、溶融はんだ噴流ノズル1a，1bを内蔵した噴流式はんだ槽２の上部に被嵌されたチャンバ３内の不活性雰囲気を、粉塵除去用のエアフィルタ４を経てブロア５により循環させることにより、不活性ガス中の不純物をエアフィルタ４にて濾過するものがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の触媒によるフィルタリングでは、燃焼反応により発生する熱により、浄化処理された不活性ガスが温度上昇するため、これをチャンバ内に戻すことにより、チャンバ内部の不活性雰囲気温度を結果的に上昇させる問題がある。
【０００８】
同様に、従来のエアフィルタ４により濾過する場合も、管路６やブロア５などで発生する摩擦熱などにより不活性ガスが温度上昇する傾向があり、チャンバ３内の不活性雰囲気の温度を結果的に上昇させる問題がある。
【０００９】
一方、基板の上面側には耐熱性の弱い部品や、比較的融点の低いはんだにより表面実装された部品があり、このような場合は実装部品の熱破壊やはんだ再溶融などの問題が生ずる。
【００１０】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、チャンバ内部を不活性雰囲気に保つ不活性ガスを冷却しながら、そのフィルタリングを効率良く行うことにより、従来の問題点を解決することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された発明は、チャンバにより保たれた不活性雰囲気中でコンベヤにより搬送されるワークにはんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置において、チャンバ内に不活性ガスを供給する給気部と、チャンバ内の不活性ガスを排気する排気部と、排気部から排気された不活性ガスを冷却しながら不活性ガス中に混入した不純物を分離除去して不活性ガスのみを給気部に循環する冷却浄化器とを具備し、給気部は、ワークの一側部上にこの一側部と対向した不活性ガス吹出ノズルを有し、排気部は、ワークの他側部上で開口した不活性ガス吸引口を有し、不活性ガス吹出ノズルと対向するワークの一側部は、ワーク幅の変更があっても幅方向に移動しない幅方向不変位置に位置し、冷却浄化器は、不活性ガスが上下方向に移動する不活性ガス移動室部と、不活性ガス移動室部の上部から下部へ不活性ガスを移動させる循環送風機と、不活性ガス移動室部に熱交換面板を介して隣接させた冷却風移動室部と、冷却風移動室部の下部から上部へ冷却風を移動させる冷却送風機とを備えた不活性雰囲気はんだ付け装置である。
【００１２】
そして、チャンバの排気部から排気された不活性ガスを、冷却浄化器により冷却しながら効率良くフィルタリングして、不活性ガス中の不純物を分離除去し、冷却された不活性ガスのみをチャンバの給気部に戻す。その際、冷却浄化器により低温化された不活性ガスは、給気部の不活性ガス吹出ノズルからワークの一側部に吹付けられ、ワークの他側部上で開口した不活性ガス吸引口での吸引力により、ワーク面に沿って幅方向に移動し、不活性ガス吸引口に吸込まれる。特に、ワーク幅の変更があっても、不活性ガス吹出ノズルから吹出された不活性ガスは、常にワークの一側部に吹付けられ、この一側部から他側部へ供給される。また、不活性ガス移動室部で移動する高温の不活性ガスと、冷却風移動室部で移動する低温の冷却風とを熱交換面板で熱交換させ、不活性ガスを空冷することにより、不活性ガス中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気をミスト化またはパウダー化させる。このとき、不活性ガス移動室部を下降する不活性ガスは、下方ほど低温の温度分布となっている冷却風移動室部より、下降するほど強い冷却作用を受け、不活性ガス中に含まれる不純物蒸気のパウダー化が下降するほど効率良く進行する。
【００１３】
請求項２に記載された発明は、請求項１記載の不活性雰囲気はんだ付け装置における不活性ガス移動室部が、少なくとも不活性ガス入口に対向する位置で配置したフィルタを有するものである。
【００１４】
そして、不活性ガス入口に対向するフィルタに不活性ガスを直接当てることにより、不活性ガス中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気をこのフィルタで効率良くミスト化して捕捉除去するとともに、不活性ガスを不活性ガス移動室部の全断面に拡散させ、このフィルタより後方での除去効率も上げる。
【００１５】
請求項３に記載された発明は、請求項項１または２記載の不活性雰囲気はんだ付け装置における不活性ガス移動室部が、不活性ガスの撹拌、冷却およびガス通路断面積の拡大の少なくとも一つのためのフィンを有するものである。
【００１６】
そして、不活性ガス移動室部のフィンにより、ガス通路断面積を拡大させて不活性ガスを断熱膨張させることにより不活性ガス中に含まれる不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進させるとともに、フィンにより不活性ガスを撹拌することにより、不活性ガス温度の均一化を図り、不活性ガス中に含まれる不純物をフィン面または壁面で捕捉する慣性集塵作用を促進させ、熱交換面板から不活性ガス移動室部に突出するフィンにより不活性ガスを冷却する。
【００１７】
請求項４に記載された発明は、請求項１乃至３のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置における不活性ガス移動室部が、その下部に不活性ガス中より分離除去された不純物を回収する回収箱を備えたものである。
【００１８】
そして、不活性ガス移動室部を下降する不活性ガス中に含まれる不純物蒸気をパウダー化すると、パウダー化した不純物はそのまま回収箱に回収される。
【００１９】
請求項５に記載された発明は、請求項１乃至４のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置における熱交換面板が、不活性ガス移動室部に対し開閉可能に設けられたものである。
【００２０】
そして、不活性ガス移動室部内の壁面などを清掃するときは、熱交換面板を開くことにより、不活性ガス移動室部を外部に開放する。
【００２１】
請求項６に記載された発明は、請求項１乃至５のいずれか記載の不活性雰囲気はんだ付け装置における循環送風機が、ファンとこのファンの軸を駆動するモータとの間に低温不活性ガスの供給を受ける断熱軸受部を有するものである。
【００２２】
そして、断熱軸受部に低温不活性ガスを供給することにより、ファンとモータとの間を冷却してモータ側からファン側への熱伝導を遮断するとともに、断熱軸受部内に生じた不活性ガス圧により、外部の大気が断熱軸受部を経てファン側へ吸込まれることを防ぐ。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図１乃至図５を参照しながら説明する。
【００２４】
図１に示されるように、噴流式はんだ槽11の上部にチャンバ12が被嵌されている。さらに、噴流式はんだ槽11およびチャンバ12などは、装置本体13により密閉されている。
【００２５】
噴流式はんだ槽11は、溶融はんだ供給ダクト14の一側部にはんだ吸込口15を持つポンプ機構16が設けられ、溶融はんだ供給ダクト14の他側部に溶融はんだ噴流ノズル（以下、単に噴流ノズルという）17が設けられ、そして、ポンプ機構16によりダクト14内に供給され、噴流ノズル17から噴流した溶融はんだＳは、ワークとしての部品実装基板（以下、単に基板Ｐという）にはんだ付けを行う。
【００２６】
この基板Ｐを搬送するコンベヤ21は、噴流ノズル17の上部一側上に固定ガイドレール22を配設するとともに、噴流ノズル17の上部他側上に固定ガイドレール22に対しワーク幅の変更に応じて平行に移動可能の可動ガイドレール23を配設し、これらの各ガイドレール22，23にそれぞれ無端回行する一対の搬送チェン24，25を摺動自在に嵌装し、これらの搬送チェン24，25に所定ピッチで搬送爪26，27を取付け、一側の搬送爪26と他側の搬送爪27とにより基板Ｐを挟持しながら移動する。
【００２７】
前記チャンバ12は、下端開口縁12a をはんだ槽11内の溶融はんだ面Saに挿入したので、図示されない窒素タンクなどから図示されない補給管路を経てチャンバ12内に補給された窒素（Ｎ2 ）ガスなどの不活性ガスにより形成された不活性雰囲気を維持することができる。
【００２８】
このように、チャンバ12により保たれた不活性雰囲気中でコンベヤ21により搬送される基板Ｐにはんだ付けを行う不活性雰囲気はんだ付け装置において、チャンバ12内にて固定ガイドレール22の上側に、不活性ガスＧを循環供給するための給気部31を配置するとともに、チャンバ12内にて可動ガイドレール23の上側に、不活性ガスＧを循環排気するための排気部32を配置する。
【００２９】
給気部31は、基板Ｐの一側部上にこの一側部と対向した不活性ガス吹出ノズル33を有し、また、排気部32は、基板Ｐの他側部上で開口した不活性ガス吸引口34を有している。
【００３０】
不活性ガス吹出ノズル33は、固定ガイドレール22側の搬送爪26により保持された基板Ｐの一側部と対向する位置に設けられている。すなわち、不活性ガス吹出ノズル33と対向する基板Ｐの一側部は、基板幅の変更があっても幅方向に移動しない幅方向不変位置に位置する。
【００３１】
さらに、不活性ガスＧの外部循環系では排気部32と給気部31との間に位置する冷却浄化器35を、装置本体13の背面側に設置する。この冷却浄化器35は、排気部32の上部に設けられた排気口36から排気ホース37を経て排気された不活性ガスＧを受入れ、チャンバ12内で温度上昇した不活性ガスＧを冷却しながら不活性ガスＧ中に混入した不純物を分離除去して、不活性ガスＧのみを給気ホース38により給気部に設けられた給気口39へ循環するものである。
【００３２】
図２および図３に示されるように、前記冷却浄化器35は、装置本体13の後扉41に取付けられ不活性ガスＧが下降移動する不活性ガス移動室部42と、冷却風Ａが上昇移動する冷却風移動室部43とを、熱交換面板44を介して隣接させたものである。
【００３３】
不活性ガス移動室部42の上部には後扉41の内側に開口された不活性ガス入口45が設けられ、この不活性ガス入口45にチャンバ12の排気部32から引出された排気ホース37が連通接続される。
【００３４】
一方、不活性ガス移動室部42の下部には後扉41の内側に開口された不活性ガス出口46が設けられ、この不活性ガス出口46に循環送風機47の吸込口48が接続されている。この循環送風機47の吐出口49は、給気ホース38によりチャンバ12の給気部31に連通接続される。
【００３５】
不活性ガス移動室部42の内部には、不活性ガス入口45に対向する位置に、不活性ガス移動室部42の全断面を斜めに横断する形で設置された上部フィルタ51が設けられている。
【００３６】
この上部フィルタ51は、パンチングメタル板などのフレーム内にスポンジ状またはマット状のエアフィルタ材を設けたものであり、このエアフィルタ材に衝突した不純物蒸気をミスト化する機能、ミスト粒子を効率良く捕捉除去する粗取り機能、不活性ガス入口45から不活性ガス移動室部42に吸込まれた不活性ガスＧを全断面に拡散させる圧力分布の均一化機能などを有している。
【００３７】
このフィルタ51の取付部52より斜め下方へフィン53を突設し、このフィン53の上側および下側にて熱交換面板44より斜め下方へフィン54，55を突設し、さらに、不活性ガス移動室部42の内壁面部42a から斜め下方へ突設したフィン56と、このフィン56の下側にて熱交換面板44より斜め下方へ突設したフィン57との組合せを不活性ガス移動室部42内の上中下３段にそれぞれ設置する。
【００３８】
フィン56は、斜め下方へ突設された傾斜部56a と、この傾斜部56a の下側にて熱交換面板44と平行の絞り板部56b とが一体に形成され、絞り板部56b と熱交換面板44との間に狭いガス通路58を形成している。なお、全てのフィン53〜57が、不活性ガス移動室部42の一側板と他側板との間の全幅にわたって設けられている。
【００３９】
左方から突出されたフィン56は、主として不活性ガスＧを撹拌することにより、不活性ガスＧの温度を均一化する機能と、フィン56などの表面および裏面にフラックスヒュームなどの不純物蒸気から生じたミスト粒子やパウダー粒子を付着させる慣性集塵機能とを有するとともに、不活性ガスＧを傾斜部56a により絞り板部56b に沿った狭いガス通路58に導いた後に狭いガス通路58から大きな空間59にガス通路断面積を急激に拡大させる構造により、不活性ガスＧを断熱膨張させて不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進させる機能も有している。
【００４０】
一方、熱交換面板44より斜め下方へ突設したフィン54，55，57は、不活性ガスＧを撹拌する機能に加えて、不活性ガスＧを冷却する冷却フィンとしての機能を有する。
【００４１】
不活性ガス移動室部42の下部に設けられたフィン56は、狭いガス通路58の反対側が不活性ガス出口46に連通する折返部61となっており、この折返部61に下部フィルタ62を配置する。この下部フィルタ62は、上部フィルタ51と同様のエアフィルタ材を取付ける。
【００４２】
この下部フィルタ62と対向する不活性ガス移動室部42の底板部に、不活性ガス中より分離除去されたフラックスヒュームなどのパウダーを回収する回収箱63を着脱自在に設置する。
【００４３】
不活性ガス移動室部42の底板部より下側にて後扉41に取付板64を介して冷却送風機65が取付けられている。この冷却送風機65は、図３に示されるように冷却風移動室部43の全幅にわたって長尺に設けられたクロスフローファンである。
【００４４】
この冷却送風機65の空気吹出口は、冷却風移動室部43の下端に開口された空気吹込口66に臨んでいる。冷却風移動室部43の上端には空気吹出口67が開口されている。すなわち、冷却風移動室部43では、冷却送風機65により空気吹込口66から吹込まれた室温（２０〜２５℃）の空気が冷却風として上昇する。
【００４５】
前記循環送風機47は、ケーシング71の裏側に、後扉41に取付けられたモータ取付板72を介して電動モータ73のモータ本体を取付け、この電動モータ73の回転軸にケーシング71の内部で回転自在に軸支されたファン74を接続する。電動モータ73とファン74との間には冷却ガスの供給を受ける断熱軸受部75を設ける。ファン74は、回転することにより、その中央部に不活性ガスＧを吸引して、外周部より不活性ガスＧを吐出する。
【００４６】
そして、この循環送風機47は、不活性ガスＧを吸引することにより、チャンバ12の排気部32から排気ホース37を経て不活性ガス移動室部42の上部に不活性ガスＧを吸込み、不活性ガス移動室部42の上部から下部へ不活性ガスＧを移動させ、不活性ガス移動室部42の下部から吸出した不活性ガスＧを給気ホース38を経てチャンバ12の給気部31へ加圧供給する。
【００４７】
図３に示されるように、冷却浄化器35の冷却風移動室部43の内部は、縦方向の整流板76により複数に仕切られ、冷却送風機65から冷却風移動室部43内に吹込まれた冷却風が円滑に吹抜けることにより、この冷却風による冷却作用が効率良く行われるようになっている。
【００４８】
熱交換面板44は、冷却風移動室部43と一体に設けられているが、不活性ガス移動室部42に対し開閉自在に設けられている。すなわち、図３に示されるように、不活性ガス移動室部42と冷却風移動室部43との一側間には複数のヒンジ77が設けられ、反対側間には複数の止金78が設けられている。
【００４９】
そして、この止金78を外すことにより、ヒンジ77を支点に冷却風移動室部43と一体の熱交換面板44を不活性ガス移動室部42から開くことができ、これにより、不活性ガス移動室部42の内部、熱交換面板44の対向壁面および全てのフィン53〜57を外部に開放することができるので、これらに付着したフラックスヒュームなどの不純物を容易に清掃することができる。
【００５０】
図４（Ａ）から（Ｂ）に示されるように、装置本体13の背面側に設けられた後扉41はヒンジ81により開閉自在に軸支されており、この後扉41が開かれると、排気ホース37、給気ホース38および電動モータ73の電源コード82が後扉41と共に引出される。
【００５１】
この後扉41が開かれた状態では、循環送風機47を後扉41から容易に取外すことができるので、循環送風機47のメンテナンスも容易に行える。
【００５２】
図５は、循環送風機47のファン74と駆動モータ73との間に位置する断熱軸受部75を示し、ファン74の軸83を保持する一対のベアリング84が嵌着された軸孔空間85に対して、低温（室温）の窒素ガスなどの不活性ガスｇを供給するためのガス供給孔86を穿設し、また、ベアリング84よりファン74側にオイルシールなどのシール部材87を嵌着する。なお、ファン74の軸83はカップリング88によりモータ軸89と連結されている。
【００５３】
そして、断熱軸受部75のガス供給孔86に低温不活性ガスｇを供給することにより、ファン74とモータ73との間を冷却して、モータ73側からファン74側への熱伝導を遮断するとともに、断熱軸受部75の軸孔空間85に加圧供給された不活性ガスにより、外部の空気がこの軸孔空間85を経てファン74側へ吸込まれることを防いでいる。
【００５４】
次に、図示された実施形態の作用を説明する。
【００５５】
図１に示されるように、冷却浄化器35により低温化された不活性ガスＧは、チャンバ12の給気部31に供給され、この給気部31の不活性ガス吹出ノズル33から基板Ｐの一側部に吹付けられる。このとき、基板幅の変更があっても、不活性ガス吹出ノズル33から吹出された不活性ガスＧは、常に基板Ｐの一側部の決められた場所に吹付けられ、基板Ｐの他側部上で開口した排気部32の不活性ガス吸引口34での吸引力により、基板Ｐ面に沿って基板Ｐの幅方向に移動し、排気部32の不活性ガス吸引口34に吸込まれる。
【００５６】
このように、給気は基板Ｐの上面に向けられ、基板Ｐの上面に沿って低温化された不活性ガスＧが流れるので、基板Ｐの上面に搭載された部品の周辺の雰囲気温度を低下させることで、搭載部品の温度上昇を抑えることができる。
【００５７】
また、チャンバ12の上部に配置された排気部32の不活性ガス吸引口34は、発生するフラックスヒュームなどの不純物蒸気を効率良く吸引することができる。
【００５８】
さらに、チャンバ12の排気部32から排気された不活性ガスＧは、冷却浄化器35により冷却されながら浄化処理（フィルタリング）され、不活性ガスＧ中からフラックスヒュームなどの不純物が分離除去され、冷却された不活性ガスＧのみがチャンバ12の給気部31に戻される。
【００５９】
その際に、冷却浄化器35では、不活性ガス移動室部42で移動する高温の不活性ガスＧと、冷却風移動室部43で移動する低温の冷却風Ａとを主として熱交換面板44で熱交換させ、不活性ガスＧを空冷することにより、不活性ガスＧ中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気を効率良くミスト化またはパウダー化させ、不活性ガスＧ中から分離除去する。
【００６０】
この不純物を不活性ガスＧ中から分離除去するメカニズムは、不活性ガス入口45に対向するフィルタ51に不活性ガスＧを直接当てることにより、不活性ガスＧ中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気をこのフィルタ51で効率良くミスト化して不活性ガスＧから濾過分離するとともに、不活性ガスＧを不活性ガス移動室部42の全断面に拡散させ、このフィルタ51より後方での除去効率も上げる。
【００６１】
さらに、不活性ガス移動室部42に突出したフィン53，56により、ガス通路断面積を絞った後に拡大させ、不活性ガスＧを断熱膨張させる作用を繰返すことにより、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進させるとともに、フィン53〜57により不活性ガスＧを撹拌することにより、不活性ガス温度の均一化を図るとともに、不活性ガスＧ中に含まれる不純物をフィン面または壁面で捕捉する慣性集塵作用を促進させ、また、熱交換面板44およびこの熱交換面板44から不活性ガス移動室部42に突出するフィン54，55，57により不活性ガスＧを効率良く冷却することにより、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進させる。
【００６２】
また、不活性ガス移動室部42を下降する不活性ガスＧは、下方ほど低温の温度分布となっている冷却風移動室部43より、下降するほど強い冷却作用を受けて、不活性ガスＧ中に含まれる不純物蒸気のパウダー化が急速に進行し、パウダー化した不純物はそのまま不活性ガスＧの流れにより各フィン53〜57の斜面を滑り落ちるように移動し、回収箱63に回収される。
【００６３】
回収箱63の上側では、不活性ガスＧの流れが１８０°反転するため、不活性ガスＧより重い不純物のパウダー粒子は、不活性ガスＧの流れから遠心分離され、また、下部フィルタ62により不活性ガスＧから確実に濾過分離されて、回収箱63に落下する。この回収箱63は、不活性ガス移動室部42から熱交換面板44を開いたときに取出して空のものと交換する。
【００６４】
【実施例】
以上の実施形態における冷却浄化器35は、冷却風として使用する室内空気の温度が２０℃のとき、排気部32から循環風量０．６ｍ3 ／分で吸引した９０℃の不活性ガスを、給気部31に戻す際は４０℃に低下させて、フラックスヒュームを確実にパウダー化できることが確認されている。実際の基板Ｐに搭載された部品の温度も約１０℃低下したことが確認されている。
【００６５】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、チャンバの排気部から排気された不活性ガスを冷却浄化器によって冷却しながら、不活性ガス中の不純物を効率良く分離除去でき、チャンバ内部で発生する不純物蒸気による汚れの清掃に要する負担を軽減できる。また、冷却された不活性ガスのみをチャンバの給気部に戻すから、チャンバ内部の不活性雰囲気の温度上昇を効果的に抑制でき、ワークの温度上昇による問題を解決できる。その際、冷却浄化器により低温化された不活性ガスが、給気部の不活性ガス吹出ノズルからワークの一側部に吹付けられ、ワークの他側部上で開口した不活性ガス吸引口での吸引力により、ワーク面に沿って幅方向に移動し、不活性ガス吸引口に吸込まれるから、ワークの上面を効率良く冷却でき、例えば基板上面に耐熱性の弱い部品や、比較的融点の低いはんだにより表面実装された部品があっても、実装部品の熱破壊やはんだ再溶融などのおそれを防止できるとともに、はんだ付け時にワークから発生する不純物蒸気の排気も効率良く行うことができる。特に、不活性ガス吹出ノズルと対向するワークの一側部が幅方向不変位置に位置するから、不活性ガス吹出ノズルの位置を変えなくても、ワーク幅の変更に対応できる利点がある。また、不活性ガス移動室部で移動する高温の不活性ガスと、冷却風移動室部で移動する低温の冷却風とを熱交換面板で熱交換させ、不活性ガスを空冷することにより、不活性ガス中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気を効率良くミスト化またはパウダー化させることができ、単なるエアフィルタよりも優れた回収効率が得られる。このとき、不活性ガス移動室部を下降する不活性ガスが、下方ほど低温の温度分布となっている冷却風移動室部より、下降するほど強い冷却作用を受けるから、不活性ガス中に含まれる不純物蒸気のパウダー化を下降するほど効率良く進行させることができる。
【００６６】
請求項２記載の発明によれば、不活性ガス移動室部の不活性ガス入口に対向するフィルタに不活性ガスを直接当てることにより、不活性ガス中に含まれるフラックスヒュームなどの不純物蒸気をこのフィルタで効率良くミスト化して捕捉除去できる。また、不活性ガス入口にてフィルタに不活性ガスを当てることにより、不活性ガス移動室部に流入した直後の不活性ガスを不活性ガス移動室部の全断面に拡散させることができるから、このフィルタより後方での不純物除去効率も向上できる。
【００６７】
請求項３記載の発明によれば、不活性ガス移動室部のフィンにより、ガス通路断面積の拡大に基づく不活性ガスの断熱膨張により不活性ガス中に含まれる不純物蒸気のミスト化またはパウダー化を促進できる。また、フィンにより不活性ガスを撹拌することにより、不活性ガス温度の均一化と、不活性ガス中に含まれる不純物の慣性集塵作用とを促進できる。さらに、不活性ガスの冷却作用も促進できる。
【００６８】
請求項４記載の発明によれば、不活性ガス移動室部を下降する不活性ガス中に含まれる不純物蒸気をパウダー化すると、パウダー化した不純物をそのまま回収箱に回収できる。
【００６９】
請求項５記載の発明によれば、熱交換面板が、不活性ガス移動室部に対し開閉可能に設けられたから、熱交換面板を開くことにより、不活性ガス移動室部の全面を外部に開放でき、不活性ガス移動室部内の壁面やフィンなどを簡単に清掃することができ、メンテナンスの容易な冷却浄化器を提供できる。
【００７０】
請求項６記載の発明によれば、循環送風機が、ファンとこのファンの軸を駆動するモータとの間に低温不活性ガスの供給を受ける断熱軸受部を有するから、断熱軸受部に供給された低温不活性ガスによりファンとモータとの間を冷却してモータ側からファン側への熱伝導を遮断するとともに、断熱軸受部内に生じた不活性ガス圧により、外部の大気が断熱軸受部を経てファン側へ吸込まれることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の不活性雰囲気はんだ付け装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】  同上はんだ付け装置の冷却浄化器を示す断面図である。
【図３】  同上冷却浄化器の斜視図である。
【図４】  （Ａ）は同上冷却浄化器の後扉への取付状態を示す斜視図、（Ｂ）はその後扉を開いた状態の斜視図である。
【図５】  同上冷却浄化器における循環送風機の軸受部分を示す断面図である。
【図６】  従来の不活性雰囲気はんだ付け装置を示す断面図である。
【符号の説明】
Ｐ    ワークとしての部品実装基板
Ｇ    不活性ガス
Ａ    冷却風
12    チャンバ
21    コンベヤ
31    給気部
32    排気部
33    不活性ガス吹出ノズル
34    不活性ガス吸引口
35    冷却浄化器
42    不活性ガス移動室部
43    冷却風移動室部
44    熱交換面板
45    不活性ガス入口
47    循環送風機
51    フィルタ
53〜57    フィン
63    回収箱
65    冷却送風機
73    モータ
74    ファン
75    断熱軸受部
83    軸
【図１】
0003950499.tif 000002
【図２】
0003950499.tif 000003
【図３】
0003950499.tif 000004
【図４】
0003950499.tif 000005
【図５】
0003950499.tif 000006
【図６】
0003950499.tif 000007