(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出方法であって、
一体として移動すると共に第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、前記第１機能液を封止する封止性を有すると共に前記第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドを用い、
前記ワークへの吐出パターンデータに基づいて、前記各機能液滴吐出ヘッドに且つ前記複数種の機能液滴吐出ヘッド相互に、前記機能液を選択的に吐出させ、
前記描画エリアに対し、前記第１機能液滴吐出ヘッドにより前記第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、前記第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置であって、
第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、
前記第１機能液を封止する封止性を有すると共に前記第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを搭載した単一のキャリッジと、
前記複数種の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、
前記キャリッジを介して前記複数種の機能液滴吐出ヘッドを、前記ワークに対し相対的に移動させる移動機構と、
前記移動機構に同期させて前記複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を個々に制御する制御手段とを備え、
前記描画エリアに対し、前記第１機能液滴吐出ヘッドにより前記第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、前記第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを生成するパーソナルコンピュータに接続されていることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記キャリッジに対し前記各機能液滴吐出ヘッドは、その最外端に位置する基準吐出ノズルを副走査方向における同位置に揃えて搭載されていることを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出を行う液滴吐出方法および液滴吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットプリンタ（カラープリンタ）等では、キャリッジに複数のインクジェットヘッドを搭載し、これに複数色のインクを導入することでカラー印刷を行うが、かかる場合には、同一仕様のインクジェットヘッドを搭載している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）の応用技術では、機能液の吐出対象となるワークによっては、複数種の機能膜等を形成すべく、粘性の異なる複数種の機能液を吐出することが考えられる。例えば、プレパラート上の検体に染色剤を塗布し、これをコーティング材で封止固着させて、カバーグラスを省略するプレパラートの作成技術などでは、機能液滴吐出ヘッドにより検体染色剤（機能液）の吐出とコーティング材（機能液）の吐出とを行う必要がある。かかる場合には、粘性の低い検体染色剤と粘性の高いコーティング材とでは、仕様の異なる機能液滴吐出ヘッドを用いる必要が生じ、単純に考えると、仕様の異なる機能液滴吐出ヘッドを搭載した２台の液滴吐出装置を用いるか、或いは１台の液滴吐出装置に対し機能液滴吐出ヘッド（機能液供給系を含む）を適宜交換して用いる必要がある。
しかし、このようにすると、ワークの他の液滴吐出装置への搬送や、機能液滴吐出ヘッド等の付け替え（交換）に時間を要するため、全体として各ワークに対する液滴吐出処理が極めて煩雑になる。
【０００４】
本発明は、機能液の多彩な液滴吐出を可能とすることによりワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出方法は、マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出方法であって、一体として移動すると共に第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、第１機能液を封止する封止性を有すると共に第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドを用い、ワークへの吐出パターンデータに基づいて、各機能液滴吐出ヘッドに且つ複数種の機能液滴吐出ヘッド相互に、機能液を選択的に吐出させ、描画エリアに対し、第１機能液滴吐出ヘッドにより第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、第２機能液滴吐出ヘッドにより前記第２機能液の吐出を行うことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、ワークに対し、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを一体として走査し機能液を選択的に吐出させるため、その仕様に基づく機能液の多彩な液滴吐出が可能になる。例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液の吐出を行う場合、成分の異なる機能液の吐出を行う場合等において、対応する仕様の複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
また、上記したように、例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液の吐出を行う場合、成分の異なる機能液の吐出を行う場合等において、対応する複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
さらに、マトリクス状の描画エリアに吐出した揮発性の機能液を、これに重ねて吐出した封止性の機能液により、時間を経ずして封止することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、マトリクス状の描画エリアを形成したワークに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置であって、第１機能液が導入される第１機能液滴吐出ヘッドと、第１機能液を封止する封止性を有すると共に第１機能液と異なる第２機能液が導入される第２機能液滴吐出ヘッドと、複数種の機能液滴吐出ヘッドを搭載した単一のキャリッジと、複数種の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ機能液を供給する機能液供給機構と、キャリッジを介して複数種の機能液滴吐出ヘッドを、ワークに対し相対的に移動させる移動機構と、移動機構に同期させて複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を個々に制御する制御手段とを備え、描画エリアに対し、第１機能液滴吐出ヘッドにより第１機能液の吐出を行った後、これに重ねて、第２機能液滴吐出ヘッドにより第２機能液の吐出を行うことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを単一のキャリッジに搭載し、これを移動機構により相対的に移動させながら、ワークに対し機能液滴を選択的に吐出するようにしているため、１つのワークに対し、複数種の機能液滴吐出ヘッドによる多彩な液滴吐出が可能になる。
また、上記したように、例えば、１のワークに対し、粘性の異なる機能液で吐出を行う場合、成分の異なる機能液で吐出を行う場合等において、対応する複数種の機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出を行うことができる。
さらに、マトリクス状の描画エリアに吐出した揮発性の機能液を、これに重ねて吐出した封止性の機能液により、時間を経ずして封止することができる。
【００２９】
この場合、制御手段は、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを生成するパーソナルコンピュータに接続されていることが、好ましい。
【００３０】
この構成によれば、複数種の機能液滴吐出ヘッドの吐出パターンデータを、パーソナルコンピュータで生成して、これを制御手段に導入するようにしているため、ワークおよび複数種の機能液滴吐出ヘッドに対応して吐出データの生成を容易に行うことができる。
【００３１】
これらの場合、キャリッジに対し各機能液滴吐出ヘッドは、その最外端に位置する基準吐出ノズルを副走査方向における同位置に揃えて搭載されていることが、好ましい。
【００３２】
この構成によれば、複数種の機能液滴吐出ヘッドにおける、制御上の基準点が副走査方向の同位置に揃うため、吐出パターンデータのデータ構成を単純化することができ、且つキャリッジに対し各機能液滴吐出ヘッドを精度良く搭載することができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置について説明する。インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（機能液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば機能液（吐出対象液）に特殊なインクや、発光性或いは感光性の樹脂等を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。
【００４０】
本実施形態の液滴吐出装置は、仕様の異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドを用い、図５に示すように、ワークである基板Ｗにおいて、バンク１０２により形成したマトリクス状の描画エリア１０１の各凹部１０３に、揮発性の第１機能液１０４を吐出すると共に、各凹部１０３に第１機能液１０４を封止すべく描画エリア１０１全体にオーバーコート用の第２機能液１０５を吐出するものである。さらに、第１機能液１０４および第２機能液１０５に吐出不良が生じた場合、不良品として基板Ｗのマーキングエリア１０６に、第３機能液１０７による不良マークを描画するものである。
【００４１】
或いは、図６に示すように、ワークである基板Ｗにおいて、描画エリア１０１の各凹部１０３に２液タイプの発光機能液（或いはカラーフィルタのフィルタ機能液）であるＡ機能液（発光剤）１１１とＢ機能液（硬化剤）１１２とを順次吐出すると共に、上記と同様に、マーキングエリア１０６に第３機能液１０７による不良マークを描画するものである。
【００４２】
図１に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に設置した移動機構３であるＸ軸テーブル４およびこれに直交するＹ軸テーブル５と、Ｘ軸テーブル５に移動自在に取り付けたメインキャリッジ６と、メインキャリッジ６に搭載したヘッドユニット７とを備えている。詳細は後述するが、ヘッドユニット７には、サブキャリッジ９を介して、仕様の異なる複数種（３種類）の機能液滴吐出ヘッド１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）が搭載されている。また、ワークである基板Ｗは、Ｙ軸テーブル５に搭載されている。
【００４３】
さらに、液滴吐出装置１には、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０に機能液をそれぞれ供給する機能液供給機構１２が組み込まれると共に、上記の移動機構３および複数種の機能液滴吐出ヘッド１０等の駆動を制御する制御手段１３が組み込まれている。そして、制御手段１３には、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０の吐出パターンデータを生成するためのパーソナルコンピュータ１４が接続されている。
【００４４】
さらに、図示では省略したが、液滴吐出装置１には、機能液滴吐出ヘッド１０の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの機能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニットや、機能液滴吐出ヘッド１０のノズル面をワイピングするワイピングユニットの他、機能液滴吐出ヘッド１０の機能液吸引および保管を行うクリーニングユニット等が、組み込まれている。
【００４５】
Ｘ軸テーブル４は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ１７駆動のＸ軸スライダ１６を有し、これに上記のメインキャリッジ６を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル５は、Ｙ軸方向の駆動系が構成するモータ１９駆動のＹ軸スライダ１８を有し、これに吸着テーブル等から成るセットテーブル２０を移動自在に搭載して、構成されている。そして、セットテーブル２０上に基板Ｗが位置決め状態でセットされるようになっている。
【００４６】
本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル４による各機能液滴吐出ヘッド１０の移動に同期して各機能液滴吐出ヘッド１０が駆動（機能液滴の選択的吐出）する構成であり、機能液滴吐出ヘッド１０のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル４のＸ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル５による基板のＹ軸方向への往動動作により行われる。そして、上記走査における各機能液滴吐出ヘッド１０の駆動は、上記のパーソナルコンピュータ１４で作成された吐出パターンデータに基づいて行われる。
【００４７】
一方、機能液供給機構１２は、各機能液滴吐出ヘッド１０に対応する３種類のサブタンク２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）を備えると共に、図示では省略した各サブタンク２３に接続された３種類のメインタンク、および各メインタンクの機能液を対応するサブタンク２３に送液する圧力送液装置を備えている。各メインタンクの機能液（図５の基板処理では、第１機能液１０４、第２機能液１０５および第３機能液１０７）は、対応する第１サブタンク２３ａ、第２サブタンク２３ｂおよび第３サブタンク２３ｃにそれぞれ圧力送液される。そして、各サブタンク２３で圧力的に縁切りされた機能液は、それぞれ対応する各機能液滴吐出ヘッド（後述する）１０のポンプ作用により、各機能液滴吐出ヘッド１０に送液される。なお、図示では省略したが、上記の圧力送液装置も上記の制御手段１３により制御される。
【００４８】
図２に示すように、ヘッドユニット７は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ９と、サブキャリッジ９に精度良く位置決め固定した３種類の機能液滴吐出ヘッド１０とで、構成されている。この場合、３種類の機能液滴吐出ヘッド１０は、図示の左側から第１吐出ヘッド、第２吐出ヘッドおよび第３吐出ヘッドから成り、それぞれ最外端に位置する吐出ノズルを基準ノズル２５とし、この３つの基準ノズル２５ａ，２５ｂ，２５ｃが主走査方向に平行な仮想線Ｌ上に並ぶように、整列配置されている。また、サブキャリッジ９の左右中間位置には、位置決め用の一対の基準ピン（マーク）２６，２６が設けられている。
【００４９】
例えば、第１吐出ヘッド１０ａの両ノズル列間の着弾位置の補正（吐出パターンデータの補正）や、第１吐出ヘッド１０ａ、第２吐出ヘッド１０ｂおよび第３吐出ヘッド１０ｃの相互間における着弾位置の補正等において、各基準ノズル２５が位置決め基準となる。また、各吐出ヘッド１０ａ，１０ｂ，１０ｃのサブキャリッジ９への固定も、この基準ノズル２５が位置決め基準となる。一方、ヘッドユニット７の位置決め基準として、一対の基準ピン２６，２６が用いられる。
【００５０】
３種類の機能液滴吐出ヘッド１０は、相互に仕様の異なるものであり、例えば図示左端の第１吐出ヘッド１０ａは、１８０個の吐出ノズルを列設した２本のノズル列を有する仕様のもので構成され、左右中間の第２吐出ヘッド１０ｂは、９６個の吐出ノズルを列設した３本のノズル列を有する仕様のもので構成され、右端の第３吐出ヘッド１０ｃは、３個の吐出ノズルを列設した１本のノズル列を有する仕様のもので構成されている。
【００５１】
この場合、図５の基板処理では、例えば第１吐出ヘッド１０ａに上記した揮発性の第１機能液１０４を導入し、第２吐出ヘッド１０ｂにオーバーコート用の第２機能液１０５を導入し、第３吐出ヘッド１０ｃにマーキング用の第３機能液１０７を導入する。また、第１機能液１０４は比較的粘性が低く、第２機能液１０５は比較的粘性が高いものを用いられる。また、マーキング用の第３機能液１０７は、第２機能液１０５と略同一の粘性を有している。同様に、図６の基板処理では、例えば第１吐出ヘッド１０ａにＡ機能液１１１を導入し、第２吐出ヘッド１０ｂにＢ機能液１１２を導入し、第３吐出ヘッド１０ｃに第３機能液１０７を導入する。
【００５２】
このような３種類の機能液１０４，１０５，１０７とその吐出形態とを考慮し、第１吐出ヘッド１０ａは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が少なく、第２吐出ヘッド１０ｂは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が多く、第３吐出ヘッド１０ｃは、単位ノズル当りの機能液滴吐出量が極端に多い仕様となっている。
【００５３】
一方、制御手段１３は、液滴吐出装置１の構成装置を統括制御すると共にパーソナルコンピュータ１４に接続された制御部３１を有しており、制御部３１は、第１ヘッドドライバ３２を介して第１吐出ヘッド１０ａを駆動し、第２ヘッドドライバ３３を介して第２吐出ヘッド１０ｂを駆動し、第３ヘッドドライバ３４を介して第３吐出ヘッド１０ｃを駆動する。同様に、制御部３１は、Ｘ軸モータドライバ３５を介してＸ軸テーブル４を駆動し、Ｙ軸モータドライバ３６を介してＹ軸テーブル５を駆動する。
【００５４】
例えば、図５の基板処理では、ヘッドユニット７を走査し、第１吐出ヘッド１０ａにより各凹部１０３に第１機能液１０４を吐出し、続いて第２吐出ヘッド１０ｂにより描画エリア１０１に第２機能液１０５をべた塗り様に吐出する。また、図６の基板処理では、ヘッドユニット７の走査において、第１吐出ヘッド１０ａを第２吐出ヘッド１０ｂに先行させ（一方向のみの走査）、第１吐出ヘッド１０ａにより各凹部１０３にＡ機能液１１１を吐出し、その直後に第２吐出ヘッド１０ｂによりＡ機能液１１１上にＢ機能液１１２を吐出する。
【００５５】
なお、マーキング用の第３吐出ヘッド１０ｃは、上記の基板処理の後、図外の基板認識カメラによりドット抜けを画像認識し、その認識結果により適宜駆動するようにしている。第３吐出ヘッド１０ｃによるマーキングは、不良品を仕分けするための画像認識用であり、機能液滴吐出量が極端に多い第３吐出ヘッド１０ｃにより、短時間で描画可能である。
【００５６】
以上のように第１実施形態の液滴吐出装置１では、複数種の機能液を吐出する複数種の機能液吐出ヘッド１０を一体として搭載しているため、基板処理の形態に応じて複数種の機能液を自在に吐出することができる。このため、基板処理を効率良く行うことができる。特に、図５に例示した基板処理では、揮発性の第１機能液１０４が揮発する前にこれを第２機能液１０５で封止することができる。また、図６の例示では、２液タイプの機能液であるＡ機能液１１１とＢ機能液１１２を、時間を経ずして混合することができる。
【００５７】
次に、図３を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ａについて説明する。同図に示すように、この液滴吐出装置１Ａでは、複数種の液滴吐出ヘッド１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ）がそれぞれサブキャリッジ９（９ａ，９ｂ，９ｃ）に搭載されて複数種のヘッドユニット７（７ａ，７ｂ，７ｃ）を構成しており、この複数種のヘッドユニット７が、機台２上に設けたユニットストッカ４１に横並びにストックされている。
【００５８】
一方、移動機構３は、ヘッドユニット７を把持するユニット把持機構４６を有するＸ軸テーブル４３と、Ｘ軸テーブル４３をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル４４およびＹ軸スライドレール４５とから成る、Ｘ・Ｙテーブルで構成されている。すなわち、移動機構３により、ユニットストッカ４１から任意の１つのヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド１０）７を引き出して、セットテーブル４７上の基板Ｗに液滴吐出を行わせるようになっている。
【００５９】
Ｘ軸テーブル４３は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ５２駆動のＸ軸スライダ５１を有し、これに上記のユニット把持機構４６を移動自在に搭載して、構成されている。Ｙ軸テーブル４４は、Ｙ軸方向の駆動系が構成するモータ５４駆動のＹ軸スライダ５３を有し、これに平行に配設したＹ軸スライドガイド４５と協働して、搭載したＸ軸テーブル４３を両持ちで移動自在に支持し、これを全体としてＹ軸方向に移動させる。一方、セットテーブル４７は、機台２に固定された吸着テーブル等から成り、基板Ｗはこれに位置決め状態で水平にセットされる。
【００６０】
機能液供給機構１２は、第１実施形態と同様に、各機能液滴吐出ヘッド１０に対応する３種類のサブタンク２３（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）を備えると共に、図示では省略した各サブタンク２３に接続された３種類のメインタンク、および各メインタンクの機能液を対応するサブタンク２３に送液する圧力送液装置を備えている。なお、この場合、各サブタンク２３と各ヘッドユニット（各機能液滴吐出ヘッド１０）７とを接続するチューブ５６は、移動機構３に導入されるヘッドユニット７に追従できるように、その中間部を上側から吊っておくことが好ましい。
【００６１】
また、各ヘッドユニット７は、ステンレス等の厚板で構成したサブキャリッジ９と、サブキャリッジ９に精度良く位置決め固定した機能液滴吐出ヘッド１０とで、構成されている。すなわち、第１ヘッドユニット７ａには上記の第１吐出ヘッド１０ａが搭載され、第２ヘッドユニット７ｂには上記の第２吐出ヘッド１０ｂが搭載され、第３ヘッドユニット７ｃには上記の第３吐出ヘッド１０ｃが搭載されている。
【００６２】
そして、各ヘッドユニット７のサブキャリッジ９には、その端部にユニット把持機構４６が把持するための、正三角形の一対の把持孔５８，５８が形成されている（図４参照）。また、図示しないが、各サブキャリッジ９には、機能液滴吐出ヘッド１０のヘッド基板に連なるコネクタ（雌）が設けられ、このコネクタは、ユニット把持機構４６がサブキャリッジ９を把持したときに、ユニット把持機構４６側のコネクタ（雄）と接続されるようになっている。
【００６３】
ユニットストッカ４１は、３種類のヘッドユニット７を横並びに水平姿勢で支持している。すなわち、各ヘッドユニット７は、上記の把持孔５８を移動機構３側に向けた状態で、ユニットストッカ４１に形成した一対の水平支持部材に両側部を支持されている（図示省略）。また、各ヘッドユニット７の支持位置（高さ）は、描画動作中のヘッドユニット７と同一平面内に位置しており、ヘッドユニット７は、移動機構３により水平に引き出され且つ水平に送り込まれる。
【００６４】
図４に示すように、ユニット把持機構４６は、Ｘ軸テーブル４３に取り付けられたベース部６１と、上記サブキャリッジ９の一対の把持孔５８，５８に嵌合する一対の把持突起６２，６２と、この一対の把持突起６２，６２を立設した昇降プレート６３、昇降プレート６３に対面すると共に一対の把持突起６２，６２が挿通する一対の挿通孔６５，６５を形成した把持受けプレート６４と、把持受けプレート６４に固定され昇降プレート６３を昇降させるソレノイド６６とを備えている。
【００６５】
把持受けプレート６４はベース部６１に固定され、昇降プレート６３はベース部６１に対して上下動自在に支持されている。すなわち、ソレノイド６６により昇降プレート６３は、把持受けプレート６４に対し上下方向に平行移動する。一方、各把持突起６２，６２は、僅かにテーパー形状を為しており、サブキャリッジ９の各把持孔５８，５８に嵌合し、把持孔５８の内面の３点に接触してこれを位置決め状態で把持する。なお、図３に示すように、ソレノイド６６は、ソレノイドドライバ６８を介して制御部３１に接続されている。
【００６６】
移動機構３により、ユニット把持機構４６をユニットストッカ４１のヘッドユニット７の位置まで移動させ、続いてソレノイド６６を励磁させると、昇降プレート６３と共に一対の把持突起６２，６２が上昇する。一対の把持突起６２，６２、サブキャリッジ９の一対の把持孔５８，５８に嵌合し、サブキャリッジ９を把持受けプレート６４に押し付けるようにして、ヘッドユニット７を把持する。また、基板Ｗへの描画が終了し、移動機構３によりヘッドユニット７がユニットストッカ４１に運び込まれると、ソレノイド６６が消磁され、上記と逆の手順でヘッドユニット７に対するユニット把持機構４６の把持状態が解かれる。
【００６７】
このように第２実施形態によれば、ユニットストッカ４１にストックされているヘッドユニット７を適宜引き出して、基板Ｗに描画（選択的な液滴吐出）を行うようにしているため、複数種の機能液滴吐出ヘッド１０を用いた多彩な描画が可能になる（図５および６参照）。すなわち、基板処理の形態に応じて複数種の機能液を自在に吐出することができ、複数種の機能液を用いた基板処理を迅速に且つ効率良く行うことができる。
【００６８】
なお、第２実施形態では、ユニット把持機構４６により各ヘッドユニット７を精度良く把持するようにしているが、新たにユニットストッカ４１からヘッドユニット７を導入したときには、図外のヘッド認識カメラにより、上記の基準ピン２６、或いは基準ノズル２５を画像認識して、上記の吐出パターンデータの補正を行うことが好ましい。
【００６９】
ところで、このように構成された第１・第２実施形態の液滴吐出装置１，１Ａは、各種の電気光学装置の製造に用いることが可能である。電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、上記したプレパラート形成を包含する装置が考えられる。
【００７０】
液晶表示装置や有機ＥＬ装置に用いるカラーフィルタの製造方法や、有機ＥＬ装置の素子部分の製造方法にあって、例えば図６の基板処理方法を応用し、機能液として２液タイプのフィルタ材料や発光材料を吐出することで、乾燥工程を省略することが可能となる。また、プレパラート形成にあっては、図５の基板処理方法を応用し、凹部に検体を投入しておき、機能液として染色剤および透明コーティング材を吐出することで、カバーグラスを省略することができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明の液滴吐出方法および液滴吐出装置によれば、ワークに対し、仕様が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッドにより、機能液の多彩な液滴吐出が可能になる。このため、機能液滴吐出ヘッドの交換等を必要とすることなく、所望の液滴吐出が可能となり、ワーク処理を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。
【図２】  実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドユニットの平面視模式図である。
【図３】  第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。
【図４】  第２実施形態に係る液滴吐出装置のユニット把持機構廻りの斜視図である。
【図５】  液滴吐出装置による基板処理の例（１）を示す断面図である。
【図６】  液滴吐出装置による基板処理の例（２）を示す断面図である。
【符号の説明】
１（１Ａ）  液滴吐出装置        ３  移動機構
４  Ｘ軸テーブル                ５  Ｙ軸テーブル
７  ヘッドユニット              ９  サブキャリッジ
１０  機能液滴吐出ヘッド        １２  機能液供給機構
１３  制御手段                  １４  パーソナルコンピュータ
２５  基準ノズル                ３１  制御部
４１  ユニットストッカ          ４３  Ｘ軸テーブル
４４  Ｙ軸テーブル              ４６  ユニット把持機構
１０１  描画エリア              １０４  第１機能液
１０５  第２機能液              １０６  マーキングエリア
１０７  第３機能液              １１１  Ａ機能液
１１２  Ｂ機能液                    Ｗ  基板
【図１】
0004019783.tif 000002
【図２】
0004019783.tif 000003
【図３】
0004019783.tif 000004
【図４】
0004019783.tif 000005
【図５】
0004019783.tif 000006
【図６】
0004019783.tif 000007