(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非晶質の酸化珪素で構成されている基層と、
前記基層上に形成された、酸化物で構成されるバッファ層と、
ルテニウム酸ストロンチウムを含む電極を前記バッファ層側に備える電極対と、
前記電極対間に形成された、リラクサ系誘電体から構成される圧電体層と、を備え、
前記バッファ層は、（００１）配向の金属酸化物から構成されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記圧電体層を構成する前記リラクサ系誘電体は室温で（００１）配向の菱面体晶系または疑似立方晶系の結晶構造を備えている、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記リラクサ系誘電体はＰＭＮ−ＰＴである、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記リラクサ系誘電体はＰＭＮｘ−ＰＴ（１−ｘ）で表した場合の組成比ｘが０．６から０．８までの範囲内である、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記ルテニウム酸ストロンチウムを含む電極は（００１）配向を備える、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記バッファ層は、酸化ストロンチウム、酸化セリウム、およびイットリウム安定化ジルコニウムからなる群から選ばれる一以上の材料により構成されている、請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１乃至請求６の何れか一項に記載の圧電アクチュエータを備えた液滴噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴噴射ヘッドを備えた液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は強誘電体材料を結晶させて形成された圧電体層を備える圧電アクチュエータに係り、特に、下部電極にルテニウム酸ストロンチウムを、圧電体層にＰＭＮ−ＰＴ、を備えた圧電アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電アクチュエータは、電気機械変換機能を呈する圧電体層を２つの電極で挟んで構成されている。圧電体層の材料としては、電歪セラミックス、圧電セラミックスが知られている。圧電アクチュエータの特性改善のために、圧電体層を形成するセラミックス材料と、圧電体層を結晶成長させる下地となる下部電極材料と、の両面から研究が進められてきた。
【０００３】
圧電セラミックスとしては、ペロブスカイト型結晶構造を有し化学式ＡＢＯ３で示すことのできる複合酸化物が知られ、例えばＡには鉛（Ｐｂ）、Ｂにジルコニウム（Ｚｒ）とチタン（Ｔｉ）の混合を適用したチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）が有名である。ＰＺＴの他には、鉛を使用しないという利点があり変位量が大きく原料が安価であり使用実績が多いチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）が存在する。
【０００４】
また、大きな電気機械結合定数と圧電定数とを持ち、ＰＺＴ系セラミックスに代わる材料として、リラクサ系強誘電体材料が注目されている。リラクサ系強誘電体材料としては、例えば、ＰＭＮ−ＰＴ（Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３―ＰｂＴｉＯ３）やＰＺＮ−ＰＴ（Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３―ＰｂＴｉＯ３）が有力な材料として挙げられる。
【０００５】
電極材料としては、伝統的にＰｔ等の金属材料が用いられてきたが、近年、ルテニウム酸ストロンチウム（ＳｒＲｕＯ３等）が注目されている。この理由は、ルテニウム酸ストロンチウムがＰＺＴ系の圧電体層と同様なペロブスカイト結晶構造を備えているため、界面での接合性に優れＰＺＴ等のエピタキシャル成長を実現しやすいからである。またこの材料は圧電体層中のＰｂの拡散を防止するバリア層としての特性にも優れている。
【０００６】
ＰＺＴからなる圧電体層とルテニウム酸ストロンチウムからなる電極とを組み合わせることで、好適な特性を有する圧電アクチュエータを提供することができる。例えば、特開２００１−１２２６９８号公報には、ルテニウム酸ストロンチウムからなる下部電極上にＰＺＴからなる圧電体層を形成する場合における、バッファ層を用いた複合電極構造について開示している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ルテニウム酸ストロンチウム等の金属酸化物電極は、直接接する圧電体層の強誘電体材料と格子定数が適合していること、およびシリコン基板および圧電体層との密着性がよいことが望まれる。バッファ層の材料と圧電体層の強誘電体材料とを任意に組み合わせて用いるわけにいかない。具体的には、強誘電体材料の格子定数に適合するように下部電極のルテニウム酸ストロンチウム等の酸化物の結晶状態を制御し同時にシリコン基板や下部電極との密着性を確保する化学的性質を満たしていなければならない。
【０００８】
従来実験されているのは、ＰＺＴを圧電体層の材料として用いた場合の金属酸化物電極の構造であり、ＰＺＴ以外の強誘電体材料を用いた場合に、金属酸化物電極としてどのような層構造や結晶状態が必要であるかは不明であった。特に優れた圧電体特性を有するＰＭＮ−ＰＴやＰＺＮ−ＰＴなどのリラクサ系強誘電体材料、環境保護の観点から好適なチタン酸バリウムなどを金属酸化物電極とともに用いた場合には、好適な圧電アクチュエータが提供できると予想できる。
【０００９】
本発明は、特に、下部電極にルテニウム酸ストロンチウム等の金属酸化物を用い、圧電体層を形成する強誘電体材料にＰＭＮ−ＰＴを用いた場合における圧電アクチュエータを提供することを目的とする。そして、この圧電アクチュエータを備えた液滴噴射ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
本発明による圧電アクチュエータは、基層と、基層上に形成された、酸化物で構成されるバッファ層と、ルテニウム酸ストロンチウムを含む電極をバッファ層側に備える電極対と、電極対間に形成された、リラクサ系誘電体から構成される圧電体層と、を備えている。より具体的には、バッファ層としては（１００）配向の金属酸化物が好適である。このとき、基層は非晶質の酸化珪素で構成されている。
【００１１】
酸化物の存在により、ルテニウム酸ストロンチウムを含む電極を（００１）配向に配向制御することができ、（００１）配向に制御されたルテニウム酸ストロンチウム上にはペロブスカイト結晶構造のリラクサ系誘電体から構成される圧電体層をエピタキシャル成長させることができるからである。
【００１２】
このとき、リラクサ系誘電体は室温で（００１）配向の菱面体晶系または疑似立方晶系の結晶構造を備えている。このリラクサ系誘電体としては、ＰＭＮ−ＰＴが挙げられる。
【００１３】
具体的には、リラクサ系誘電体はＰＭＮｘ−ＰＴ（１−ｘ）で表した場合の組成比ｘが０．６から０．８までの範囲内である。
【００１４】
バッファ層は、例えば、酸化ストロンチウム、酸化セリウム、イットリウム安定化ジルコニウム（ＹＳＺ）からなる群から選ばれる一以上の材料が挙げられる。
【００１７】
本発明は、上記したような構成の圧電アクチュエータを備えた液滴噴射ヘッドでもある。また、本発明は、このような液滴噴射ヘッドを備えたプリンタでもある。
【００１８】
本発明の圧電アクチュエータは、基層との密着性を確保しながら電気機械変換特性および圧電特性に優れた材料で圧電体層を形成することができるため、耐久性に優れておりインクの吐出性能に優れたヘッドとプリンタを提供できるのである。
【００１９】
なお、本発明の圧電アクチュエータは、液滴噴射ヘッドに備えられ、印刷用途のインクジェット式記録ヘッドとして、またはプリンタとしてのみならず、表示装置製造や基板印刷のために工業材料を吐出させるための液滴噴射ヘッド、およびそれを用いた装置にも適用可能である。また当該圧電アクチュエータの層構造は、誘電体メモリ、強誘電体キャパシタ、不揮発性半導体記憶装置、薄膜コンデンサ、パイロ電気検出器、センサ、表面弾性波光学導波管、光学記憶装置、空間光変調器、ダイオードレーザ用周波数二倍器等のような強誘電体装置、誘電体装置、パイロ電気装置、圧電装置、および電気光学装置に適応することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の好適な実施の形態を、図面を参照して説明する。
（実施形態１）
本発明の実施形態１は、下部電極に金属酸化物、圧電体層にリラクサ系強誘電体材料を用いた場合の圧電アクチュエータに関する。本実施形態は、例えばインクジェット式記録ヘッドに適用するために適した圧電アクチュエータである。
【００２１】
図１に、実施形態１の圧電アクチュエータおよびそれを備えるインクジェット式記録ヘッドの層構造を説明する部分断面図を示す。図１は、一つのインク吐出要素を拡大して示したものである。
【００２２】
図１に示すように、圧電アクチュエータ４０は、絶縁膜３１上に、バッファ層４１、下部電極４２、圧電体層４４および上部電極４３を積層して構成されている。インクジェット式記録ヘッドに関する構成要素として、インクを溜める圧力室２１が形成されている圧力室基板２０、インク液滴を吐出するノズル１１を備えるノズルプレート１０、および圧力室２１に溜められたインクに圧力を加えるために圧電アクチュエータ４０の変位に応じて振動可能に構成された前記絶縁膜３１を備えている（図５参照）。本実施形態では、絶縁膜３１のほぼ全面にバッファ層４１および下部電極４２を重ねて形成してあるので、絶縁膜３１、バッファ層４１、および下部電極４２の全体が振動板３０として機能するようになっている。
【００２３】
圧力室基板２０は、必要とされる機械的強度および化学的耐性を備えた加工しやすい材料、例えばシリコンで構成される。その厚みはヘッドの仕様に応じて定められるが、シリコン単結晶基板（ウェハ）を利用する場合にはその基板の厚みとなる。インクジェット式記録ヘッドの場合、求められる解像度に応じて圧力室２１の寸法が定められている。圧力室基板２０は、例えば（１００）配向または（１１０）配向を備えている。
【００２４】
なお、インクジェット式記録ヘッド以外に本圧電アクチュエータを適用する場合等で絶縁膜３１を設ける必要がない場合には、この圧力室基板２０を本発明の基層として作用させることができる。
【００２５】
絶縁膜３１は、インクジェット式記録ヘッドの振動板として機能可能な弾性と機械的強度を備えた導電性のない材料、例えば非晶質の酸化珪素（ＳｉＯ２）若しくは酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、又は酸化珪素と酸化ジルコニウムの積層体により構成される。当実施形態ではこの絶縁膜が本発明の基層となっている。
【００２６】
バッファ層４１は、金属酸化物、例えば、酸化ストロンチウム、酸化セリウム等により構成される。バッファ層はこれら金属酸化物と他の層、例えばイットリア安定化ジルコニウム（ＹＳＺ）との積層構造を備えていてもよい。バッファ層の配向性としては、基層として非晶質の絶縁膜３１を設ける場合には（１００）配向にし、（００１）配向の下部電極４１をエピタキシャル結晶成長させやすいようにする。なお、絶縁膜を用いず、基層として（１００）配向または（１１０）配向のシリコン基板を直接適用する場合には、バッファ層は（１１０）配向になり、シリコン基板との密着性を確保しながら（００１）配向の下部電極を結晶成長させることを可能にする。
【００２７】
なお、図２に示すように振動板を絶縁膜３１だけで形成する場合、下部電極の形成領域より狭い領域にバッファ層４１ｂをパターン形成し、それを覆うように下部電極４２ｂを形成することが望ましい。こうすることにより潮解性を有する酸化ストロンチウムを外気に触れないようにすることができる。
【００２８】
下部電極４２は、圧電体層４４を挟む電極対の一方の電極であり、圧力室基板２０上に形成される複数の圧電アクチュエータ４０に共通な電極として機能するように絶縁膜３１と同じ領域に形成される。ただし、図２に示すように圧電体層４３と同様の大きさに、すなわち上部電極と同じ形状に形成することも可能である。下部電極４２は、導電性金属酸化物、具体的にはルテニウム酸ストロンチウムにより（ＳＲＯ）構成される。この下部電極のルテニウム酸化ストロンチウムは（００１）配向になっている。下部電極４２を二層のＳＲＯ間にイリジウム又は白金の層を挟み込んだ構造としても良い。ここでＳＲＯは、ペロブスカイト構造をとり、Ｓｒｎ＋１ＲｕｎＯ３ｎ＋１（ｎは１以上の整数）で表される。ｎ＝１のときＳｒ２ＲｕＯ４となり、ｎ＝２のときＳｒ３Ｒｕ２Ｏ７となり、ｎ＝∞のときＳｒＲｕＯ３となる。本実施形態における下部電極としてＳＲＯを用いるときは、導電性及び圧電体層の結晶性を高めるため、組成としてＳｒＲｕＯ３が好ましい。また、前述のように２層のＳＲＯ間にイリジウム又は白金の層を挟み込んだ構造とする場合には、圧電体層側のＳＲＯを、ＳｒＲｕＯ３とすることが好ましい。
【００２９】
圧電体層４４は、ペロブスカイト型結晶構造を持つ圧電セラミックスであり、下部電極４２上に所定の形状で形成されている。圧電体層４４の組成は、リラクサ系誘電体である。リラクサ系強誘電体材料としては、例えば、ＰＭＮ−ＰＴ（Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３―ＰｂＴｉＯ３）である。各元素の組成比は厳密なものではなく、本来の特性が失われない限り若干のずれがあってもよい。例えば、ＰＭＮ−ＰＴの組成をＰＭＮｘ−ＰＴ（１−ｘ）で表した場合、組成比ｘが０．６から０．８までの範囲内にあるように組成制御をして圧電体層を構成することが好ましい。リラクサ系誘電体は室温で（００１）配向の菱面体晶系または疑似立方晶系の結晶構造を備えている。（００１）配向の金属酸化物から構成される下部電極上には、このように（００１）配向の菱面体晶系または疑似立方晶系の結晶構造を備えたリラクサ系誘電体の結晶を成長させることができる。
【００３０】
上部電極４３は、圧電体層４４に電圧を印加する電極対の他方の電極となり、導電性を有する材料、例えば白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）等で構成されている。アルミニウムを用いる場合、電蝕対策のため更にイリジウム等を積層することが好ましい。
【００３１】
図３および図４の製造工程断面図を参照しながら、本実施形態の圧電アクチュエータおよびインクジェット式記録ヘッドの製造工程を説明する。
【００３２】
基板及び絶縁膜の形成工程では、図３（ＳＴ１）に示すように、圧力室基板２０に振動板としての絶縁膜３１を成膜する。圧力室基板２０として、例えば、直径１００ｍｍ、厚さ２００μｍの（１１０）配向シリコン単結晶基板を用いる。絶縁膜３１は、シリコン基板の表面を熱酸化して形成する。例えば、１１００℃程度の炉の中で、乾燥酸素を流して２２時間程度熱酸化させることで、厚さ２μｍ以下、好ましくは約１μｍの膜厚の非晶質熱酸化膜が形成される。この方法ではＳｉＯ２からなる絶縁膜３１がシリコン基板の両面に形成される。そのうち一方の絶縁膜３１が振動板として使用される。
【００３３】
なお、熱酸化法による他、ＣＶＤ法等の成膜法を適宜選択して成膜してもよい。また絶縁膜３１は、二酸化珪素に限られず、酸化ジルコニウム、または、酸化ジルコニウムと二酸化珪素との積層膜により形成されていてもよい。
【００３４】
バッファ層の形成工程では、図３（ＳＴ２）に示すように、絶縁膜３１上に酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）からなるバッファ層４１を、例えばＲＦスパッタ法により形成する。ＳｒＯから構成されるバッファ層は、界面の密着性を確保するためおよび潮解性を有しているため膜厚が薄いことが好ましく、例えば３０ｎｍまたはそれ以下の厚みとする。バッファ層４１はスパッタ法に限らず、レーザアブレーション法、ＰＶＤ法（物理的蒸着法）などによって形成してもよい。この工程により（００１）に面内配向（二軸配向）したＳｒＯ膜が形成される。
【００３５】
なお、絶縁膜を使用せず（１００）配向または（１１０）配向のシリコン基板上に直接バッファ層を形成する場合には、バッファ層のＳｒＯは（１１０）配向になる。
【００３６】
絶縁膜３１全面にバッファ層を形成した後、図３（ＳＴ２）に示すように、バッファ層４１の周囲を異方性エッチング等により選択的にエッチングする。これによりバッファ層４１は、後に下部電極が形成された場合に絶縁膜３１と下部電極４２に全体を覆われた構造となる。バッファ層が潮解性を有する材料である場合には、この密封構造により空気を遮断することができる。
【００３７】
なお、圧電アクチュエータを図２に示すような層構造で作成するためには、各圧電体層の形状より若干小さな面積となるように、全面形成されたバッファ層をパターニングする。
【００３８】
下部電極の形成工程では、図３（ＳＴ３）に示すように、バッファ層４１の上に下部電極４２を成膜する。下部電極４２として上述のＳＲＯを所定の厚さ、例えば約５００ｎｍに成膜する。成膜方法としては例えばレーザアブレーション法を用いる。またこれに限らず、ＭＯＣＶＤ法など公知の薄膜作製法をとってもよい。
【００３９】
圧電体層の形成工程では、図３（ＳＴ４）に示すように、下部電極４２上に、圧電体層４４を成膜する。本実施形態では、リラクサ系強誘電体材料、特にＰＭＮ−ＰＴを公知の成膜法、例えばゾ塗布熱分解法（ＭＯＤ法）で成膜する。
【００４０】
例えばＭＯＤ法を適用する具体例としては、まず有機金属アルコキシド溶液からなるゾルをスピンコート等の塗布法にて下部電極４２上に塗布する。ＰＭＮ−ＰＴを形成するならＰｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３とＰｂＴｉＯ３との二元固溶体を利用する。次いで塗布したゾルを一定温度で一定時間乾燥させ、溶媒を蒸発させる。ゾルの乾燥後、さらに大気雰囲気下において所定の高温で一定時間脱脂し、金属に配位している有機の配位子を熱分解させて金属酸化物とする。この塗布→乾燥→脱脂の各工程を所定回数繰り返して複数層の圧電体前駆体膜を積層する。これらの乾燥と脱脂処理により溶液中の金属アルコキシドと酢酸塩とは配位子の熱分解を経て金属−酸素−金属のネットワークを形成する。次いでこの圧電体前駆体膜を所定の温度で焼成し結晶化させる。この熱処理により、アモルファス状態の前駆体からリラクサ系強誘電体のペロブスカイト結晶構造が、下部電極の結晶構造の影響を受けながら結晶成長する。
【００４１】
なお、本実施形態ではＭＯＤ法で圧電体層を形成したが、他の方法で形成してもよい。例えば、ゾル・ゲル法や、特開平８−３１６０９８号に記載されているようなスパッタリング法により圧電体層を形成してもよい。
【００４２】
本実施形態では（００１）配向のＳＲＯ上でリラクサ系強誘電体材料をエピタキシャル成長させるため、圧電体層４４は室温で（００１）配向の菱面体晶系の結晶構造を備えている。圧電体薄膜層の厚みはクラックが発生しない程度で所望の特性が得られる厚みとする。
【００４３】
上部電極の形成工程は、図３（ＳＴ５）に示すように、圧電体層４４上に上部電極４３を形成する工程である。具体的には、導電性を有する材料、例えば白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）等をスパッタ法で成膜する。アルミニウムを用いる場には合、電蝕対策のため更にイリジウム等を積層することが好ましい。上部電極は、例えば１００ｎｍの膜厚に成膜する。
【００４４】
上記の各工程によって、圧電アクチュエータの層構造が形成される。下部電極４１と上部電極４３との間に所定の電圧を印加することで両電極間に電界が生じ、この電極により圧電体層４４中の結晶構造が圧電定数に応じたひずみを生ずる。これが全体として圧電アクチュエータの体積変化となる。
【００４５】
当該圧電アクチュエータは、応用する装置の仕様に応じて適する形状に加工して使用する。その用途に限定はないが、例えば後述する実施形態におけるインクジェット式記録ヘッドである。
【００４６】
本実施形態によれば、圧電特性に優れたＰＭＮ−ＰＴのリラクサ系強誘電体材料とする圧電体層と、当該圧電体層や基層との密着性に優れるルテニウム酸ストロンチウムを使用した電極と、を組み合わせたので、圧電体特性および耐久性が共に優れた圧電アクチュエータを提供することができる。
【００４７】
【実施例１】
本実施形態１に基づいて圧電アクチュエータを製造した。本実施例では、バッファ層に酸化ストロンチウム、酸化セリウム、およびイットリア安定化ジルコニアの積層構造、下部電極に（００１）配向の酸化ストロンチウムを形成し、その上にＰＭＮ０．７−ＰＴ０．３のリラクサ系誘電体材料で圧電体層を結晶成長させたものを製造した。バッファ層の膜厚は１００ｎｍであり、下部電極の膜厚は２００ｎｍであり、圧電体層の膜厚は１０００ｎｍであった。
【００４８】
図７に、実施例の圧電アクチュエータの配向性を調べるために、Ｘ線回折分析を実施した結果のＸＲＤパターン図を示す。圧電体層は２１．８°付近に（００１）配向のピークおよび３１°付近に（１１０）配向のピークを有している。図７に示すように、（１１０）配向は（００１）配向の５％未満であり、実質的にＰＭＮ−ＰＴからなる圧電体層は（００１）配向が優勢に現れていることが判った。
【００４９】
図８（ａ）および（ｂ）に、本実施例の圧電アクチュエータの層構造を調べるために電子顕微鏡でその断面を撮影したＳＥＭ写真を示す。図８（ｂ）は図８（ａ）の部分拡大図である。図８に示すように、本実施例の圧電アクチュエータでは酸化ストロンチウムの下部電極上でＰＭＮ−ＰＴの柱状結晶が成長していることが確認できた。このような柱状結晶で構成されている圧電体層は圧電特性を示すのである。
【００５０】
図９に、Ｐｔで形成した下部電極上にＰＺＮ−ＰＴの誘電体材料を使用して結晶成長させた比較例を示す。図９は膜厚        μｍの結晶膜を作製したものである。図９に示すように、従来用いられた材料として下部電極にＰｔを用いて結晶成長を試みた場合には、ＰＺＮ−ＰＴの結晶が小粒径の結晶粒からなり図８（ａ）や（ｂ）に示すような柱状結晶になっていない。柱状に結晶が成長しないと好適な圧電特性が期待できないため従来のＰｔ電極上にリラクサ系誘電体の圧電体層を形成しても圧電アクチュエータにならないことが解る。。
【００５１】
（実施形態２）
本発明の実施形態２は、本発明の圧電アクチュエータを適用したインクジェット式記録ヘッドに関する。
【００５２】
図５に、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図を示す。図５に示すように、本インクジェット式記録ヘッド１は、圧力室基板（シリコン基板）２０、その一方の面に固定され、背面（図示されない面）に本発明の圧電アクチュエータ４０（図５に図示せず）が形成されている振動板３０、および圧力室基板２０の他方の面に固定されたノズルプレート１０を備えて構成され、オンデマンド形のピエゾジェット式ヘッドとして構成されている。本実施形態で使用する圧電アクチュエータ４０としては、実施形態１で説明したリラクサ系強誘電体材料で圧電体層を形成したもの、または、実施形態２で説明したようなチタン酸バリウムで圧電体層を形成したものが、共に使用可能である。
【００５３】
圧力室基板２０は、圧力室（キャビティ、圧力室）２１、側壁（隔壁）２２、リザーバ２３および供給口２４を備えている。圧力室２１は、吐出されるべきインクを貯蔵する空間となっている。側壁２２は複数の圧力室２１の間を仕切るよう形成されている。リザーバ２３は、インクを共通して各圧力室２１に補充するためのインクの一時的貯蔵部となっている。供給口２４は、リザーバ２３から各圧力室２１にインクを導入する供給口として形成されている。
【００５４】
ノズルプレート１０は、圧力室基板２０に設けられた圧力室２１の各々に対応する位置にノズル１１が設けられており、各ノズルが圧力室２１に対応する位置関係で圧力室基板２０に貼り合わせられている。ノズルプレート１０を貼り合わせた圧力室基板２０は筐体２５に納められ、図示しない供給経路によって外部のインクタンクからインクを圧力室基板内部に導入可能に構成されている。
【００５５】
振動板３０には、図１や図３（ＳＴ８）に示すように、本発明の圧電アクチュエータ４０が圧力室２１に対応する位置に設けられ、図示しないが下部電極と上部電極との間に共通にあるいは別々に電圧を印加することが可能なように配線されている。振動板３０には、インクタンク口（図示せず）が設けられて、図示しないインクタンクに貯蔵されているインクをリザーバ２３に供給可能になっている。
【００５６】
上記インクジェット式記録ヘッド１の構成における作用を説明する。
【００５７】
所定の吐出信号が出力されておらず各圧電アクチュエータ４０の下部電極４２と上部電極４３との間に電圧が印加されていない場合、その圧電アクチュエータ４０における両電極間には電界が生じないので圧電体層４４には変形を生じない。そのため吐出信号が供給されていない圧電アクチュエータ４０が設けられている圧力室２１には圧力変化が生じず、そのノズル１１からインクの液滴は吐出されない。
【００５８】
一方、所定の吐出信号が出力され圧体アクチュエータ４０の下部電極４２と上部電極４３との間に一定電圧が印加された場合、その圧電アクチュエータ４０における両電極間には電界が生じているので、圧電体層４４に変形を生じる。そして吐出信号が供給された圧電アクチュエータ４０が設けられている圧力室２１ではその振動板３０が大きくたわむ。このため圧力室２１内の圧力が瞬間的に高まり、ノズル１１からインクの液滴が吐出される。すなわち、印刷させたい位置の圧電アクチュエータに吐出信号を個別に供給することで、任意の文字や図形を印刷させることができる。
【００５９】
次にこのようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法を、図４の製造工程断面図を参照して説明する。この断面図は、図３を参照しながら実施形態１で説明した圧電アクチュエータの製造工程に引き続くものである。
【００６０】
圧電アクチュエータとしての層構造を形成後（図３（ＳＴ５）参照）、図４（ＳＴ６）に示すように、圧電体層４４及び上部電極４３を所定形状にエッチングして個々の圧電アクチュエータ４０を形成する。エッチングには、例えばフォトリソグラフィ法を適用する。まず上部電極４３上にレジストをスピンコートした後、圧力室が形成されるべき位置に合わせて露光・現像してパターニングする。不要なレジストを洗浄した後に残ったレジストをマスクとして上部電極４３、圧電体層４４をイオンミリング等の公知の方法でエッチングする。以上の工程により、圧電アクチュエータ４０が形成される。
【００６１】
次に、図４（ＳＴ７）に示すように、圧力室基板２０をエッチングして圧力室２１を形成する。本実施形態では圧力室基板２０として（１００）配向または（１１０）配向のシリコン基板を用いているので、圧力室２１の形成方法としては異方性エッチングを用いる。エッチングされずに残った部分が個々のユニットを隔てる側壁２２となる。
【００６２】
最後に、図４（ＳＴ８）に示すように、樹脂等を用いてノズルプレート１０を圧力室基板２０に接合する。ノズルプレート１０を圧力室基板２０に接合する際には、ノズル１１が圧力室２１の各々の空間に対応して配置されるよう位置合せする。以上の工程により、インクジェット式記録ヘッドが形成される。
【００６３】
本発明によれば、圧電特性に優れたＰＭＮ−ＰＴのリラクサ系強誘電体材料を圧電アクチュエータが使用している場合には、吐出特性および耐久性が共に優れたインクジェット式記録ヘッドを提供することができる。
【００６４】
（実施形態３）
本発明の実施形態３は、実施形態２のインクジェット式記録ヘッドを利用したプリンタに関する。
【００６５】
図６は、本発明の圧電アクチュエータを備えたインクジェットプリンタの構造を説明する斜視図である。本インクジェットプリンタは、図６に示すように、インクジェット式記録ヘッド１、本体２、トレイ３、排出口４、給紙機構６、ヘッド駆動機構７、制御回路８、操作パネル９を備えて構成されている。
【００６６】
インクジェット式記録ヘッド１としては、例えば実施形態３で説明したような構造のものを使用可能であるが、ピエゾジェット式ヘッドであれば、他の構造を備えていてもよい。具体的にインクジェット式記録ヘッド１は、イエロー、マゼンダ、シアン、ブラックの計４色のインクカートリッジに対応してそれぞれのヘッドが設けられており、フルカラー印刷が可能なように構成されている。
【００６７】
給紙機構６は、モータ６００、ローラ６０１および６０２を備え、制御回路８からの制御信号に応じてトレイ３に載置された用紙５を本体２内部に導入できるようになっている。
【００６８】
ヘッド駆動機構７は、モータおよび図示しない機構要素を備え、制御回路８からの制御信号に応じて、供給された用紙５の位置に対応させてヘッド１を図面矢印方向に適宜移動させ制御回路８から供給される吐出信号に対応させたタイミングでヘッド１から対応する色のインクを吐出させることが可能に構成されている。
【００６９】
排出口４からは、給紙機構６により供給されヘッド駆動機構７により印字が施された用紙５が排出されるようになっている。
【００７０】
本発明によれば、圧電特性に優れたＰＭＮ−ＰＴのリラクサ系強誘電体材料によりヘッドの圧電アクチュエータが採用している場合には、吐出特性および耐久性が共に優れたプリンタを提供することができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明によれば、圧電特性に優れたリラクサ系強誘電体であるＰＭＮ−ＰＴを材料とする圧電体層と、当該圧電体層や基層との密着性に優れるルテニウム酸ストロンチウムを使用した電極と、を組み合わせたので、圧電体特性および耐久性が共に優れた圧電アクチュエータを提供することができる。さらにこの圧電アクチュエータを備えた圧電特性と耐久性に優れる液滴噴射ヘッドおよびそれを用いた液滴噴射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係る圧電アクチュエータの層構造を説明する断面図である。
【図２】実施形態１の変形例に係る圧電アクチュエータの層構造を説明する断面図である。
【図３】実施形態１の圧電アクチュエータの製造方法を説明する製造工程断面図である。
【図４】実施形態２のインクジェット式記録ヘッドの製造方法を説明する製造工程断面図である。
【図５】実施形態２のインクジェット式記録ヘッドの構造を説明する分解斜視静図である。
【図６】実施形態３のプリンタの構造を説明する斜視図である。
【図７】実施例の圧電アクチュエータにおけるＸ線回折分析に係るＸＲＤパターン図である。
【図８】実施例の圧電アクチュエータの層構造を示す断面ＳＥＭ写真であり（ａ）が全体図、（ｂ）がその一部の拡大図である。
【図９】比較例のＰｔ電極上にＰＭＮ―ＰＴからなる圧電体層の形成を試みた場合の層構造を示す断面ＳＥＭ写真である。
【符号の説明】
１…インクジェット式記録ヘッド
２０…圧力室基板（シリコン基板）
３０…振動板
３１…絶縁膜
３２…バッファ層（酸化ストロンチウム、酸化セリウム、またはイットリア安定化ジルコニウム（ＹＳＺ））
４２…下部電極（ルテニウム酸ストロンチウム）
４４…圧電体層（ＰＭＮ−ＰＴ）
４３…上部電極
２１…圧力室
１０…ノズルプレート
１１…ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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