(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持台と、前記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、前記下部吸着機構の直上部を原点位置として前記支持基板の上面側を吸着させて保持する上部吸着面を具備しガイドレールに沿って水平方向に移動自在な上部吸着機構と、前記支持台上に設けられ、前記上部吸着機構の側面部で該上部吸着機構の上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触して前記上部吸着機構を連動させつつ移動することにより前記上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構と、を備えたことを特徴とする貼付けウエハ分離装置。
【請求項２】
前記上部吸着面の一部が、前記支持基板と前記上部吸着面の接触あるいは前記支持基板との距離を感知するセンサを具備していることを特徴とする請求項１記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項３】
支持台と、前記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、前記支持台上に設けられ、前記下部吸着機構の直上部を原点位置として前記支持基板の上面側を吸着させて保持すべく設けられた上部吸着面および前記上部吸着面周囲で下側に向くよう設けられたローラーを具備しかつガイドレールに沿って水平方向に移動自在な上部吸着機構と、前記支持台上の前記上部吸着機構から所定距離離れた部位に、前記上部吸着機構の側面部で該上部吸着機構の上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させて上部吸着面に対して水平方向から応力を加えるべく設けられた水平方向駆動機構と、前記支持台上に設けられ、前記ローラーと接触して前記上部吸着面の位置を修正すべく水平面に対して傾斜させたテーパ付レールと、を備え、前記水平方向駆動機構の移動によって前記上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めて前記ローラーが前記テーパ付レールに接触し前記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに前記ローラーが前記上部吸着面を押し上げながら前記テーパ付レール上を転動することを特徴とする貼付けウエハ分離装置。
【請求項４】
前記テーパ付レールが、水平面に対する傾斜角度を任意に調節可能とする傾斜角度調整機構を具備していることを特徴とする請求項３記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項５】
前記テーパ付レールの水平面に対する傾斜角度の正接値が、前記ウエハのアスペクト比（厚さ／直径）の１０倍以下であることを特徴とする請求項３または４記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項６】
前記ローラーが初めて前記テーパ付レールに接触する位置は、前記ウエハが前記支持基板に対して４０％以上剥がれた箇所であることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項７】
前記下部吸着機構あるいは前記上部吸着機構のいずれか一方あるいは両方が、加熱する機能も兼ね備えていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項８】
前記下部吸着機構の下部あるいは上部吸着機構の上部のいずれか一方に、前記下部吸着面と前記上部吸着面に吸着された支持基板とを面全体で接触させるべく設けられた複数のばね部材からなる面方向調整機構が設けられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項９】
前記上部吸着機構に付随する面方向調整機構と前記ガイドレールの間に設けられた上部ホルダーの側面には原点復帰用フックが備えられ、前記水平方向駆動機構には、前記水平方向駆動機構が前記上部吸着機構を押して前記支持基板を水平方向にスライドさせる時には前記原点復帰用フックとフリーな状態になり、前記水平方向駆動機構が原点復帰時には前記原点復帰用フックを引っ掻けて牽引し、前記上部吸着機構を原点位置まで復帰させる牽引ホルダーが備えられていることを特徴とする請求項８記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１０】
前記下部吸着機構と前記支持台の間に前記下部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１１】
前記上部吸着機構と前記ガイドレールの間に前記上部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１２】
前記上部吸着機構あるいは前記下部吸着機構のいずれか一方が、前記ウエハまたは前記支持基板に加重する機構を具備することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１３】
前記垂直方向駆動機構が、前記ウエハと前記支持基板間の分離の度合いに応じて前記上部吸着面あるいは下部吸着面の垂直方向の位置を制御することを特徴とする請求項1０または１１記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１４】
前記垂直方向駆動機構が、前記下部吸着面あるいは前記上部吸着面の水平方向近傍に設けられたセンサからの信号を制御用信号として用いることを特徴とする請求項１３記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１５】
前記上部吸着面と前記下部吸着面のいずれか一方あるいは両方が、着脱可能な板状部材で形成されていることを特徴とする請求項1ないし１４のいずれか１項記載の貼付けウエハ分離装置。
【請求項１６】
支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、前記支持基板が上部吸着機構に設けられた上部吸着面を前記支持基板と接触する位置まで前記下部吸着機構を上昇させ接触後に前記支持基板を吸着させる工程と、前記支持基板およびウエハを前記下部吸着面または前記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより前記接着剤を溶融させる工程と、前記ウエハに正の加重をかけながら水平方向駆動機構によって前記上部吸着機構の側面部で該上部吸着機構の上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより前記支持基板から前記ウエハを分離する工程と、前記分離中のウエハが前記支持基板の端部に位置した際に前記ウエハにかかる加重をゼロもしくは負になるように制御する工程と、を含んでなる貼付けウエハ分離方法。
【請求項１７】
支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、上部吸着機構に設けられた上部吸着面を前記支持基板と接触する位置まで降下させ、接触後に前記支持基板を吸着させる工程と、前記支持基板およびウエハを前記下部吸着面または前記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより前記接着剤を溶融させる工程と、水平方向駆動機構によって前記上部吸着面の側面部で該上部吸着機構の上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより前記支持基板から前記ウエハを分離する工程と、前記分離中のウエハが所定位置に達した際に、前記上部吸着面の周囲で下側に向くよう設けられたローラーが初めてテーパ状レールに接触し前記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに前記ローラーが上部吸着面を押し上げながら前記テーパ付レール上を転動する工程と、を含んでなる貼付けウエハ分離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、熱可塑性接着剤により支持基板に貼付けた半導体ウエハを支持基板から分離する貼付けウエハ分離装置およびその分離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図８は、特開平７−１６９７２３号公報に示された（ａ）従来の貼付けウエハ分離装置の構造，および（ｂ）動作を示す側面図である。図８において、１０１はウエハを移動させるためのアーム、１０２はアーム１０１の先端に取付けられた上側吸着部、１０４は半導体ウエハで、１００μｍ程度に薄板化加工されている。１０３はウエハ１０４を熱可塑性接着剤１０５で貼付けた支持基板である。１０７は支持台、１０６は支持台１０７上に設けられたウエハよりも大きな直径を有する円柱形状の下側吸着部である。上側吸着部１０２および下側吸着部１０６の表面には、各々支持基板１０３またはウエハ１０４を吸着するための吸引装置等に接続された穴または溝（図示せず）が設けられている。また、上側吸着部１０２および下側吸着部１０６には、熱可塑性接着剤を溶融するための加熱手段が併せて設けられている。
【０００３】
次に、従来の貼付けウエハ分離装置の動作について説明する。
【０００４】
図８（ａ）に示すように、作業者がウエハ１０４を接着剤１０５で貼付けられた支持基板１０３の直上にアーム１０１および上側吸着部１０２を移動させた後、支持基板１０３を上側吸着部１０２により吸着させる。次に、作業者がアーム１０１を下側吸着部１０６の直上に移動させ、その後、図８（ｂ）のようにウエハ１０４側を下側吸着部１０６で吸引して吸着する。この後、上側吸着部１０２と下側吸着部１０６の両側から加熱することにより、熱可塑性接着剤１０５を溶融させる。
【０００５】
続いて、図８（ｃ）に示すように、作業者が上側吸着部１０２の上方に取付けたアーム１０１に水平方向の応力を加えることによって、上側吸着部１０２を水平方向に移動すると、上側吸着部１０２に吸着された支持基板１０３から、下側吸着部１０６に吸着されたウエハ１０４が分離される。
【０００６】
また図９は、別の従来のウエハ分離装置で、特開平６−２６８０５１号公報に示された構造および動作を示す側面図である。図９において、２０４は上側吸着部、２０８は支持台２０９上に設けられた円柱形状の下側吸着部である。また２０７は半導体ウエハで、支持基板２０５上に熱可塑性接着剤２０６で貼付けられている。上側吸着部２０４の上方には、支持軸２０３とカップリング２０２によってロボットアーム２０１が接続されている。上側および下側吸着部２０４，２０８は各々加熱機構を有し、接着剤を加熱・軟化させた後に上側吸着部２０４の上方に取付けたロボットアーム２０１を用いて上側吸着部２０４を回転あるいは揺動させながら、ロボットアーム２０１を垂直上方に移動させてウエハ２０７と支持基板２０５を分離する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従来の貼付けウエハ分離装置は以上のように構成されており、いずれの装置も上側吸着部上部に取付けたアームを用いて、水平方向または上方向に応力を加えることによりウエハから支持基板を分離しているので、ウエハの平坦面に対して垂直方向に少なからず応力が加わる。分離される半導体ウエハが例えばガリウム砒素（ＧａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）などのように壁開性を持つ場合は、僅かでもウエハ面に対して垂直方向に曲げ応力が加えられるとウエハが割れてしまうという問題が生じる。図９で示した従来例では当然のことながら垂直方向に応力が加えられる。本発明者らの実験によれば、図９で示した従来の貼付けウエハ分離作業では、ウエハの割れが多発することが判明している。
【０００８】
また、図８で示した従来例の場合でも、水平方向への応力は上側吸着部上部に取付けたアーム１０１を通じて加えられるため、水平方向へ移動する上側吸着部のウエハ平坦面に対する平行度を保持するには、ほとんど遊びの無いガイドレールを備える等の工夫が必要である。しかしながら、実際には上側吸着部の遊びを少なくするほど平行度の調整が困難になり、ウエハに対して余分な応力が加えられることになるため、ウエハの割れやウエハの表面または裏面に傷をつけるという問題を引き起こした。
【０００９】
これらの問題の解決策として、ウエハを押さえつけながら水平方向にスライドさせる方法があるが、この場合、支持基板端がウエハ端近傍にさしかかっても押し付け力が加えられたままになっており、この結果、ウエハ端が欠けてしまうという問題点があった。また、ウエハを押さえつけるため、ウエハを保持する吸着面に異物や損傷による突起があるとウエハが割れたり傷が生じるという問題があった。しかもその場合、吸着面（ウエハステージ）が加熱吸着機構と一体となっているために、補修や交換が容易ではないという問題点もあった。
【００１０】
更に図８に示した従来の装置の場合、垂直および水平方向への応力のかけ具合は作業者に依存しているため、作業の安定性に欠け、製品の歩留りが個々の作業者の能力や熟練度に強く影響されるといった問題点もあった。
【００１１】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、ウエハに割れや欠けが生じたり、ウエハ表面または裏面に傷が生じることなく、確実にウエハを支持基板から分離する装置およびその方法を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、支持台と、上記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、上記下部吸着機構の直上部を原点位置として上記支持基板の上面側を吸着させて保持する上部吸着面を具備しガイドレールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、上記支持台上に設けられ、上記上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触して上記上部吸着機構と連動して移動することにより上記上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構と、を備えた。
【００１３】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記上部吸着面の一部が、上記支持基板と上記上部吸着面の接触あるいは上記支持基板との距離を感知するセンサを具備することとした。
【００１４】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、支持台と、上記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、上記支持台上に設けられ、上記下部吸着機構の直上部を原点位置として上記支持基板の上面側を吸着させて保持すべく設けられた上部吸着面および上記上部吸着面周囲で下側に向くよう設けられたローラーを具備しかつガイドレールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、上記支持台上の上記上部吸着機構から所定距離離れた部位に、上記上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させて上部吸着面に対して水平方向から応力を加えるべく設けられた水平方向駆動機構と、上記支持台上に設けられ、上記ローラーと接触して上記上部吸着面の位置を修正すべく水平面に対して傾斜させたテーパ付レールと、を備え、上記水平方向駆動機構の移動によって上記上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めて上記ローラーが上記テーパ付レールに接触し上記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに上記ローラーが上部吸着面を押し上げながら上記テーパ付レール上を転動することとした。
【００１５】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記テーパ付レールが水平面に対する傾斜角度を任意に調節可能とする傾斜角度調整機構を具備していることとした。
【００１６】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記テーパ付レールの水平面に対する傾斜角度の正接値を上記ウエハのアスペクト比（厚さ／直径）の１０倍以下とした。
【００１７】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記ローラーが初めて上記テーパ付レールに接触する位置を上記ウエハが上記支持基板に対して４０％以上剥がれた箇所とした。
【００１８】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記下部吸着機構あるいは上記上部吸着機構のいずれか一方あるいは両方が加熱する機能も兼ね備えた。
【００１９】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記下部吸着機構の下部あるいは上部吸着機構の上部のいずれか一方に、上記下部吸着面と上記上部吸着面に吸着された支持基板とを面全体で接触させるべく設けられた複数のばね部材からなる面方向調整機構が設けられていることとした。
【００２０】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記上部吸着機構に付随する面方向調整機構と上記ガイドレールの間に設けられた上部ホルダーの側面には原点復帰用フックが備えられ、上記水平方向駆動機構には、スライド時には原点復帰用フックとフリーな状態になり、原点復帰時には原点復帰用フックを引っ掻けて牽引し、上部吸着機構を原点位置まで復帰させる牽引ホルダーが備えられていることとした。
【００２１】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記下部吸着機構と上記支持台の間に上記下部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することとした。
【００２２】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記上部吸着機構と上記ガイドレールの間に上記上部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することとした。
【００２３】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記上部吸着機構あるいは上記下部吸着機構のいずれか一方が、ウエハまたは支持基板に加重する機構を具備することとした。
【００２４】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記垂直方向駆動機構が、上記ウエハと上記支持基板間の分離の度合いに応じて上記上部吸着面あるいは下部吸着面の垂直方向の位置を制御することとした。
【００２５】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記垂直方向駆動機構が、上記下部吸着面あるいは上記上部吸着面の水平方向近傍に設けられたセンサからの信号を制御用信号として用いることとした。
【００２６】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置は、上記上部吸着面と上記下部吸着面のいずれか一方あるいは両方が、着脱可能な板状部材で形成されることとした。
【００２７】
本発明に係る貼付けウエハ分離方法は、支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、上記支持基板が上部吸着機構に設けられた上部吸着面を上記支持基板と接触する位置まで上記下部吸着機構を上昇させ接触後に上記支持基板を吸着させる工程と、上記支持基板およびウエハを上記下部吸着面または上記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより上記接着剤を溶融させる工程と、水平方向駆動機構によって上記上部吸着機構の側面部で上記上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより上記支持基板から上記ウエハを分離する工程と、上記分離中のウエハが上記支持基板の端部に位置した際に上記ウエハにかかる加重をゼロもしくは負にすべく上記上部吸着機構を上方に移動させる工程と、を含んでなる。
【００２８】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離方法は、支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、上部吸着機構に設けられた上部吸着面が上記支持基板と接触する位置まで降下させ、接触後に上記支持基板を吸着させる工程と、上記支持基板およびウエハを上記下部吸着面または上記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより上記接着剤を溶融させる工程と、水平方向駆動機構によって上記上部吸着面の側面部で上記上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより、上記支持基板から上記ウエハを分離する工程と、上記分離中のウエハが所定位置に達した際に、上記上部吸着面の周囲で下側に向くよう設けられたローラーが初めてテーパ状レールに接触し、上記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに上記ローラーが上部吸着面を押し上げながら上記テーパ付レール上を転動する工程と、を含んでなる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１による貼付けウエハ分離装置およびその一連の動作を説明するための図である。なお、各機構は模式的に示しており、（ａ）は原点位置、（ｂ）はウエハ加熱時、（ｃ）は分離動作終了時の装置の状態をそれぞれ示す。
【００３０】
図１において、１は例えばリニアガイドに用いるガイドレール、２はガイドレールと上部吸着機構を接続する上部吸着機構ホルダー、３は上部吸着機構で、その下面には上部吸着面３’が設けられ、上部吸着面上には支持基板５を吸着するための真空吸着溝または穴（図示せず）が施されている。４は支持基板５と上部吸着機構３が接触したことを検出するためのセンサで、例えば歪みゲージや接触センサ、位置センサ等が使用できる。５は支持基板で熱可塑性接着剤６を介してウエハ７が貼付けられている。８は下部吸着機構で、その上面に下部吸着面８’が設けられ、下部吸着面上にはウエハ７を吸着するための真空吸着溝または穴（図示せず）が施されている。９は下部ホルダーで、さらに下部側に例えばエアシリンダーのような垂直方向駆動機構１０と接続され、支持台１１上に固定されている。１２は支持基板回収台で、垂直方向駆動機構１０と共に支持台１１の上に設置されている。１３は水平方向駆動機構で、例えばリニアドモーターによって水平方向に駆動される。なお、上述の各機構は、１つの支持台１１上に一体的に設けられている。
【００３１】
上部吸着機構３と下部吸着機構８には吸着のみならずヒーターによる加熱機構（図示せず）も施してある。加熱機構は、上部吸着機構３や下部吸着機構８内部の取付け穴（図示せず）に例えばカートリッジヒーターを挿入することによって実現できる。
【００３２】
次に、本発明の実施の形態１の貼付けウエハ分離装置による貼付けウエハ分離処理の一連の動作を順次説明する。
【００３３】
まず、図１（ａ）のように、支持基板５に接着剤６で接着されたウエハ７を下部吸着機構８の下部吸着面８’上にセットした後、吸着保持する。
【００３４】
次に、図１（ｂ）のように、垂直方向駆動機構１０を用いて、下部吸着機構８を上部吸着機構３下端の上部吸着面３’に支持基板５が接触するまで上昇させる。この時、センサ４を用いて支持基板５が上部吸着面３’に接触したことを検出する。なお、センサ４が上部吸着面３’と支持基板５との距離を測定するような距離センサでも同様な効果が得られる。その後、支持基板５とウエハ７を上下の吸着面３’、８’で保持し、上下両方の加熱機構によって接着剤６の溶融温度（例えば１５０℃）まで加熱する。
【００３５】
十分な昇温を行って接着剤６が溶融した後、水平方向駆動機構１３を用いて支持基板５の直上付近、つまり上部吸着機構３の側面部で上部吸着面３’の近傍の部位を水平方向に引っ張るようにして、図１（ｃ）のように、水平方向駆動機構１３の移動と連動させつつ上部吸着機構３をガイドレール１に沿わせながら水平方向へスライドさせて、上部吸着面３’に吸着保持された支持基板５を支持基板回収台１２の上部に運搬する。一方、下部吸着機構８の下部吸着面８’に吸着されたウエハ７は、支持基板５と分離して、下部吸着面８’上に保持されたままになる。
【００３６】
次いで、支持基板５を支持基板回収台１２上部に脱着させた後、垂直方向駆動機構１０を用いて下部吸着機構３を降下させてウエハ７を回収する。上述の一連の動作によって、貼付けウエハの分離処理は完了する。
【００３７】
上述の貼付けウエハ分離処理において、さらに、センサ４による支持基板５の位置に関する信号に基づいてエアシリンダー１０を用いた垂直方向駆動機構１０によって下部吸着機構８の垂直方向の位置を制御することでウエハ７に所望の加重を負荷することができ、さらに、上部吸着機構３の水平方向へのスライド時に、上部吸着機構３の位置に対してウエハ７への加重を任意に変化させることも可能である。
【００３８】
ウエハ７に予め加重を負荷する場合は、ウエハ７と支持基板５が分離する前に、下部吸収機構８に対する上部吸着機構３の位置をセンサ４でモニターすることより、必要な箇所で垂直方向駆動機構１０を駆動してウエハ７への加重をゼロもしくは負になるように制御すると、ウエハ７への垂直方向の不要な応力の付加に起因するウエハ割れを有効に防止できる。
【００３９】
なお、下部吸着面８’あるいは上部吸着面３’の水平方向近傍に設けられたセンサ（図示せず）によって水平方向から上部吸着機構３に対する支持基板５の位置を検出してその信号を制御用信号として用いると、加重を制御すべき位置がより正確に把握可能となる。
【００４０】
以上、実施の形態１の貼付けウエハ分離装置では、上部吸着面の側面部で吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させて上部吸着機構と連動して移動することにより上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構を備えたので、ウエハに加わる応力の方向をウエハ面にほぼ平行な方向とすることで、ウエハへの応力ストレスを極力抑制することができ、その結果ウエハに損傷を与えることなく分離できるため、貼付けウエハ分離工程での歩留まりが向上する効果がある。さらに、必要な箇所で垂直方向駆動機構を駆動してウエハへの加重をゼロもしくは負になるように制御するので、ウエハへの垂直方向の不要な応力の付加に起因するウエハ割れを有効に防止できる。
【００４１】
実施の形態２．
図２はこの発明を実施するための実施の形態２による貼付けウエハ分離装置を説明するための図であり、図２において、図１と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。基本的な装置構成は実施の形態１とほぼ同一で、その動作についてもほぼ同様であるが、下部吸着機構８と下部ホルダー９の間に面方向調整機構１４を挿入している点で両者は相違している。面方向調整機構１４は例えば３点支持のばね部材で構成すればよい。面方向調整機構１４を備えたことにより、下部吸着機構８の下部吸着面８’にセットされたウエハ７または支持基板５と上部吸着機構３の上部吸着面３’との、それぞれ対向した平坦面どうしを間隙なく沿わせるようなフレキシブルな構造となるため、ウエハ７または支持基板５と上部吸着機構３間の平行度を容易に保持することができる。
【００４２】
以上、実施の形態２の貼付けウエハ分離装置では、下部吸着機構８と下部ホルダー９の間に面方向調整機構１４を設けたので、常に被保持物の平坦面に対する上側または下部吸着機構の各吸着面の平行度を維持できると共に、加熱時における上側または下部吸着機構でウエハを保持する際の衝撃を緩和することができるため、ウエハに損傷を与えることがなく、歩留り向上が得られるという効果がある。
【００４３】
実施の形態３．
図３はこの発明を実施するための実施の形態３による貼付けウエハ分離装置を説明するための図であり、図３において、図２と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。実施の形態１、２の貼付けウエハ分離装置と異なり、垂直方向駆動機構１０および面方向調整機構１４は上部吸着機構３に設けられている。また、１８は水平方向駆動機構１３のラック部先端に設けられ、上部吸着機構３を押すようにして水平方向にスライドさせるためのヘッドである。さらに、１９は上部吸着機構３に付随する面方向調整機構１４とエアシリンダー（垂直方向制御機構）１０を接続するための上部ホルダーである。上部ホルダー１９の側面には原点復帰用のフック１５が、リニアドモーター１３のラック部先端には原点復帰時に原点復帰用フック１５を引っ掻けるようにして牽引するための牽引ホルダー１６が各々備えられ、支持部を構成する。また、１７はウエハをセットするための着脱可能な板状部材（ウエハステージ）である。
【００４４】
次に、貼付けウエハ分離処理の一連の動作を説明する。
【００４５】
まず、図３（ａ）が原点位置で、接着剤６を介してウエハ７が貼り付けられた支持基板５を、下部吸着機構８上に固定されたウエハステージ１７上にセットする。このウエハステージ１７の上面部は下部吸着面８’として機能する。
【００４６】
次に図３（ｂ）のように上部吸着機構３を、垂直方向駆動機構１０、例えばエアシリンダーを用いて支持基板５上に下降させ、支持基板５とウエハ７を各々上下吸着機構で保持しながら加熱する。上部吸着機構３は、下降時には面方向調整機構を構成するばね部材１４を介して垂直方向駆動機構１０に吊り下げられた状態にあるので、常にウエハ７または支持基板５の平坦面に沿うようなフレキシブルな構造になっている。
【００４７】
十分な昇温によって接着剤６が溶融した後、リニアドモーター１３を用いて支持基板５の直上付近の上部吸着機構３の側面部、つまり上部吸着面３’近傍の側面部を押すようにして、図３（ｃ）のように上部吸着機構３をガイドレール１に沿わせながら、支持基板５を支持基板回収台１２の上方まで水平方向へスライドさせる。また、このスライド時は、原点復帰用フック１５と牽引ホルダー１６はフリーな状態にあるので、上部吸着機構３の上方に余分な応力が加わることはなく、さらに面方向調整機構１４により上部吸着機構３は常にウエハ７の平坦面に対して平行度を保持することができる。
【００４８】
次に、支持基板回収台１２上に支持基板５を脱着した後、垂直方向駆動機構１０を用いて上部吸着機構３を上昇させる。その後、上部ホルダー１９側面に取付けた原点復帰用フック１５を牽引ホルダー１６で牽引しながら上部吸着機構３を水平方向に移動させて原点位置まで復帰させることにより、貼付けウエハ分離処理は完了する。
【００４９】
以上、実施の形態３の貼付けウエハ分離装置では、上部吸着面の側面部で吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させて上部吸着機構と連動して移動することにより上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構を備えたので、ウエハに加わる応力の方向をウエハ面にほぼ平行な方向とすることで、ウエハへの応力ストレスを極力抑制することができ、その結果ウエハに損傷を与えることなく分離できるため、貼付けウエハ分離工程での歩留まりが向上する効果がある。さらに、上部吸着機構の原点復帰を水平方向駆動機構に取り付けられた原点復帰用フックのような支持部による原点への移動用の機構によって行うので、水平駆動に要する機械精度に等しい位置精度で原点復帰位置を決めることができる効果がある。
【００５０】
実施の形態４．
図４はこの発明を実施するための実施の形態２による貼付けウエハ分離装置を説明するための図であり、（ａ）は貼付けウエハ分離装置の動作を説明するための図で、原点位置における配置を示すものであり、（ｂ）はテーパ付レールと上部吸着面との位置関係を示す上面側からの模式図である。図４において、図３と同一の符号を付したものは同一またはこれに相当するものである。
【００５１】
実施の形態４における貼付けウエハ分離装置の基本的な構成は実施の形態３のものとほぼ同一で、一連の動作についてもほぼ同様であるが、支持基板５を水平方向にスライドしている途中からスライド方向を軌道修正するためのテーパー付レール２２と直棒２３（レール架台）が下部吸着機構８に固定されている点が上述した実施の形態の装置とは異なる。図４（ｂ）に模式的に示すように、テーパー付レール２２は上部吸着機構３のスライド方向に平行な方向で下部吸着機構８の両側に２本取付けられている。さらに、上部吸着機構３の上部吸着面３’には、図４（ｂ）に示すように、ローラーホルダー２０と下部接触面上で転動すべく設けられたローラー２１が転動自在に固定されている。ローラー２１はテーパー付レール２２の上方に位置するように上部吸着機構３の両側に合計で少なくとも３個以上取付けられ、接触時にはローラー２１がテーパー付レール２２上を転動する。なお、３’’は上部吸着面に設けられた吸着用溝である。
【００５２】
ここで、本実施の形態において特徴的である、支持基板５を水平方向にスライドしている途中でスライド方向を軌道修正するための具体的な動作を説明する。図５はその動作の説明図である。なお、簡略化のため、上部吸着機構３から上側の構造は省略し、ローラー２１のみ図示している。固定された直棒２３上に2本のテーパー付レール２２が固定されている。テーパーは、テーパー付レール２２の位置が原点位置で最も低く、原点位置から離れるにつれて装置支持台１１に対して高くなるように設定されている。本実施の形態では、テーパー付レール２２の傾斜角度θは上部吸着機構３のスライド方向の軌道を上方修正した後のウエハ７に加わる応力方向と一致する。つまり、ローラー２１のテーパ付レール２２の接触前には水平方向にかかっていた応力が、接触後は水平面に対して角度θ分だけ傾斜した面方向にかかるようになる。ウエハ７に過度の上方向の応力がかかって割れてしまうのを防止するため、傾斜角度θの正接値（ｔａｎθ）がウエハ７のアスペクト比、つまりウエハ厚さ／ウエハ直径の１０倍を超えない角度内で調整する。例えばウエハの厚さ０．１mm、直径５０mmの場合はアスペクト比が０．００２となるため、θの値は１．１°以下、好ましくは０．２〜０．５°程度となる。
【００５３】
図５において、２１は上部吸着機構３の上部吸着面３’の周囲に取付けたローラーで、２１ａは上部吸着機構３が降下した後ウエハを加熱中のローラー位置を示し、２１ｂは水平方向へスライド中でスライド方向を上方に修正する位置を示す。２１ｃは水平方向へのスライドが完了し、支持基板５が支持基板回収台の上まで到達する位置を示す。上部吸着機構３の側面に取付けたローラー２１は２１ｂの位置でテーパ付レール２２に接触して、上部吸着機構３の自重によるウエハ７への加重がゼロになるとともに、支持基板５および上部吸着機構３は仰角θで上昇を開始する。２１ｂの箇所、つまりローラー２１がテーパー付レールに初めて接触する箇所は、ウエハ７から支持基板５をスライドさせて、ウエハ７が支持基板５に対して面積比で４０％以上露出した、つまり剥がれた状態となる位置が望ましく、６０〜９０％露出している状態がさらに好適である。これは、ウエハ分離が進行するにつれて、ウエハ７にかかる加重がウエハ７と支持基板５と密着されている部分に集中して、ウエハ割れを誘因するからである。よって、かかるウエハ分離方法の適用により、ウエハ７への曲げ応力を最小限に止め、ウエハ７を確実に支持基板５から分離することができるため、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００５４】
テーパー付レール２２は、図６で示すような角度調節可能なレールに置き換えてもよく、この場合、軌道修正後のスライド方向の傾斜角度が任意に調節でき、最適な傾斜角度に容易に設定できる利点がある。図６において、図５と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものである。２４は直棒レール、２５は角度調整用ネジ、２６はバネ付固定ネジである。ローラー２１の角度調節も同じ仕組みを利用して角度調節できる。角度調整用ネジ２５の先端位置を相対的に変えることにより、微妙な傾斜角度の調整が容易にできる。
【００５５】
以上、実施の形態４の貼付けウエハ分離装置では、実施の形態1ないし３の装置における効果に加えて、さらに、上部吸着機構３にローラーを設け、このローラーと接触して上部吸着面の位置を修正すべく水平面に対して傾斜させたテーパ付レールを設け、水平方向駆動機構の移動によって上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めてローラーがテーパ付レールに接触し水平方向駆動機構のさらなる移動とともにローラーが上部吸着面を押し上げながらテーパ付レール上を転動するようにしたので、ウエハへの垂直方向への応力を極力緩和でき、ウエハを支持基板から安定に分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００５６】
実施の形態５．
図７は、この発明を実施するための実施の形態５による、貼付けウエハ分離装置をより具体的に説明するための図であり、（ａ）はウエハ加熱前の原点位置における正面図で、（ｂ）はウエハ加熱時の側面図である。
【００５７】
図７において、３１はエアシリンダー、３３は上部ホルダーである。３２はエアシリンダー３１と上部ホルダー３３とを結合するための取付け板である。５１は上部吸着機構で、支持基板５０を吸着するための真空吸着溝または穴（図示せず）が施してある。３８は上部吸着機構取付け板で、３５で示した長ネジ棒が３７で示した固定ナットにより固定されている。長ネジ棒３５を備えた上部吸着機構５１はばね部材３４と加重調整ナット３６を介して上部ホルダー３３に吊り下げられている。支持基板５０およびウエハ４８の上に上部吸着機構５１を静置した状態において、上部ホルダー３３を支点にして上部吸着機構５１を完全に持ち上げることが可能な程度のバネ定数をばね部材３４が有することで、加重調整ナット３６を用いて上部吸着機構５１の自重の範囲で支持基板５０およびウエハ４８への加重の調整を可能にした。４６は下部吸着機構で、着脱可能なウエハステージ４７を備え、ウエハ４８を吸着するための真空吸着溝または穴（図示せず）が施してある。下部吸着機構４６は４４で示した下部吸着機構取付け板を介して４３で示した装置架台に取付けてある。装置架台４３にはウエハ分離処理時のスライド方向と平行に両側２本のレール架台４２が備え付けてあり、レール架台４２上にはレール４１が傾斜角度を任意に調整可能なように取付けてある。なお、傾斜角度を固定したければ、予め傾斜したテーパー付レールを用いてもよい。上部吸着機構５１は、ウエハ分離処理時にレールに乗り上げるためのローラー４０が、３点支持可能なように両側にローラーホルダー３９および上部吸着機構取付け板３８を介して合計で３個以上取付けてある。ローラーホルダー３９はレール４１の傾斜角度に合わせてローラー４０を任意の傾斜角度に調整可能な構造としてある。傾斜角度の調整には、例えば２個のバネ付き固定ネジと２個の突っ張り用ネジを備えれば可能となる。
【００５８】
加熱機構を備えた上部吸着機構５１または下部吸着機構４６は、各々装置側への熱伝導を防ぐために断熱板５２または４５を介して上部吸着機構５１は上部吸着機構取付け板３８へ、下部吸着機構４６は下部吸着機構取付け板４４へ接続されている。断熱板には例えばフッ素樹脂板を使用することができる。
【００５９】
なお、上部吸着機構に垂直および水平方向駆動機構、軌道修正機構、加重可変機構およびフレキシブル機構を設けたものを示したが、下部吸着機構に各機構を設けてもよい。
【００６０】
また、上記実施の形態５では、バネを利用した装置自重相殺方式の加重可変構造について説明したが、バネやエアシリンダーによる直接加重方式であってもよく、上記実施の形態５と同様の効果がある。
【００６１】
以上、実施の形態５の貼付けウエハ分離装置では、実施の形態1ないし３の装置における効果に加えて、さらに、上部吸着機構にローラーを設け、このローラーと接触して上部吸着面の位置を修正すべく水平面に対して傾斜させたテーパ付レールを設け、水平方向駆動機構の移動によって上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めてローラーがテーパ付レールに接触し水平方向駆動機構のさらなる移動とともにローラーが上部吸着面を押し上げながらテーパ付レール上を転動するようにしたので、ウエハへの垂直方向への応力を極力緩和でき、ウエハを支持基板から安定に分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００６２】
【発明の効果】
本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、支持台と、上記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、上記下部吸着機構の直上部を原点位置として上記支持基板の上面側を吸着させて保持する上部吸着面を具備しガイドレールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、上記支持台上に設けられ、上記上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触して上記上部吸着機構と連動して移動することにより上記上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構と、を備えたので、ウエハに加わる応力の方向をウエハ面にほぼ平行な方向とすることで、ウエハへの応力ストレスを極力抑制することができ、その結果ウエハに損傷を与えることなく分離できるため、貼付けウエハ分離工程での歩留まりが向上する効果がある。
【００６３】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記上部吸着面の一部が、上記支持基板と上記上部吸着面の接触あるいは上記支持基板との距離を感知するセンサを具備することとしたので、必要な箇所でウエハへの加重をゼロもしくは負になるように制御しやすくなるため、ウエハへの不要な垂直方向への応力の付加によるウエハ割れを有効に防止できる。
【００６４】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、支持台と、上記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、上記支持台上に設けられ、上記下部吸着機構の直上部を原点位置として上記支持基板の上面側を吸着させて保持すべく設けられた上部吸着面および上記上部吸着面周囲で下側に向くよう設けられたローラーを具備しかつガイドレールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、上記支持台上の上記上部吸着機構から所定距離離れた部位に、上記上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させて上部吸着面に対して水平方向から応力を加えるべく設けられた水平方向駆動機構と、上記支持台上に設けられ、上記ローラーと接触して上記上部吸着面の位置を修正すべく水平面に対して傾斜させたテーパ付レールと、を備え、上記水平方向駆動機構の移動によって上記上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めて上記ローラーが上記テーパ付レールに接触し上記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに上記ローラーが上部吸着面を押し上げながら上記テーパ付レール上を転動することとしたので、ウエハへの垂直方向への応力を極力緩和でき、ウエハを支持基板から安定に分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００６５】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記テーパ付レールが、水平面に対する傾斜角度を任意に調節可能とする傾斜角度調整機構を具備していることとしたので、ウエハへの垂直方向への応力をより最適に緩和でき、ウエハを支持基板から安定に分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００６６】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記テーパ付レールの水平面に対する傾斜角度の正接値が上記ウエハのアスペクト比（厚さ／直径）の１０倍以下としたので、ウエハへの曲げ応力を最小限に止め、ウエハを確実に支持基板から分離することができるため、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００６７】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記ローラーが初めて上記テーパ付レールに接触する位置は、上記ウエハが上記支持基板に対して４０％以上剥がれた箇所としたので、ウエハ分離動作中にウエハがスライド方向に引きずられて損傷することなく確実に支持基板から分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【００６８】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記下部吸着機構あるいは上記上部吸着機構のいずれか一方あるいは両方が、加熱する機能も兼ね備えたので、効率的に接着剤を溶融することができる。
【００６９】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記下部吸着機構の下部あるいは上部吸着機構の上部のいずれか一方に、上記下部吸着面と上記上部吸着面に吸着された支持基板とを面全体で接触させるべく設けられた複数のばね部材からなる面方向調整機構が設けられていることとしたので、常にウエハあるいは支持基板の平坦面に対する上部または下部吸着面の平行度を維持できると共に、上部または下部吸着面へウエハを保持する際の衝撃を緩和することができるため、ウエハに損傷を与えることがなく、ウエハ分離工程での歩留り向上が得られる。
【００７０】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記水平方向駆動機構が、上記面方向調整機構を上部に具備した上部吸着機構を上記ガイドレールに沿って原点位置に復帰させる際に、上記面方向調整機構と上記ガイドレール間に設けられた支持部と連動しながら移動可能とする機構を具備することとしたので、再現性よく安定に貼付けウエハの分離を繰り返すことができる。
【００７１】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記下部吸着機構と上記支持台の間に上記下部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することとしたので、ウエハあるいは支持基板と下部吸着面間の応力を制御性よく調整することができる。
【００７２】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記上部吸着機構と上記ガイドレールの間に上記上部吸着機構を上下方向に駆動すべく設けられた垂直方向駆動機構を具備することとしたので、ウエハあるいは支持基板と上部吸着面間の応力を制御性よく調整することができる。
【００７３】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記上部吸着機構あるいは上記下部吸着機構のいずれか一方が、ウエハまたは支持基板に加重する機構を具備することとしたので、ウエハにかかる垂直方向の応力を調整できる。
【００７４】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記垂直方向駆動機構が、上記ウエハと上記支持基板間の分離の度合いに応じて上記上部吸着面あるいは下部吸着面の垂直方向の位置を制御することとしたので、必要な箇所でウエハへの加重をゼロもしくは負になるように制御しやすくなるため、ウエハへの不要な垂直方向への応力の付加によるウエハ割れを有効に防止できる。
【００７５】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記垂直方向駆動機構が、上記下部吸着面あるいは上記上部吸着面の水平方向近傍に設けられたセンサからの信号を制御用信号として用いることとしたので、より正確にウエハへの加重の調整が可能となり、ウエハへの不要な垂直方向への応力の付加によるウエハ割れを有効に防止できる。
【００７６】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離装置では、上記上部吸着面と上記下部吸着面のいずれか一方あるいは両方が、着脱可能な板状部材で形成されることとしたので、板状部材の洗浄・補修・交換を容易にし、板状部材の損傷や汚染によるウエハへの損傷を回避できるようにした結果、貼付けウエハ分離工程における歩留り向上が図れる。
【００７７】
本発明に係る貼付けウエハ分離方法では、支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、上記支持基板が上部吸着機構に設けられた上部吸着面を上記支持基板と接触する位置まで上記下部吸着機構を上昇させ接触後に上記支持基板を吸着させる工程と、上記支持基板およびウエハを上記下部吸着面または上記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより上記接着剤を溶融させる工程と、水平方向駆動機構によって上記上部吸着機構の側面部で上記上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより上記支持基板から上記ウエハを分離する工程と、上記分離中のウエハが上記支持基板の端部に位置した際に上記ウエハにかかる加重をゼロもしくは負にすべく上記上部吸着機構を上方に移動させる工程と、を含んでなるので、分離動作中には加重を付加できるためウエハがスライド方向に引き摺られるということがなく、しかも分離する以前に加重をゼロもしくは負にできるのでウエハの割れや欠けを確実に防ぎ、損傷を与えることなく確実に支持基板からウエハを分離することができるため、貼付けウエハ分離工程における歩留り向上が得られる。
【００７８】
また、本発明に係る貼付けウエハ分離方法では、支持台上に設けられた下部吸着機構の下部吸着面上に接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する工程と、上部吸着機構に設けられた上部吸着面が上記支持基板と接触する位置まで降下させ、接触後に上記支持基板を吸着させる工程と、上記支持基板およびウエハを上記下部吸着面または上記上部吸着面のいずれか一方あるいは両方を介して加熱することにより上記接着剤を溶融させる工程と、水平方向駆動機構によって上記上部吸着面の側面部で上記上部吸着面近傍の部位に水平方向の応力を加えることにより、上記支持基板から上記ウエハを分離する工程と、上記分離中のウエハが所定位置に達した際に、上記上部吸着面の周囲で下側に向くよう設けられたローラーが初めてテーパ状レールに接触し、上記水平方向駆動機構のさらなる移動とともに上記ローラーが上部吸着面を押し上げながら上記テーパ付レール上を転動する工程と、を含んでなるので、ウエハへの垂直方向への応力を極力緩和でき、ウエハを支持基板から安定に分離することが可能となる結果、貼付けウエハ分離工程での歩留まり向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施の形態１の貼付けウエハ分離装置を説明するための図で、（ａ）は原点位置における装置構成を示す図，（ｂ）は下部吸着機構が上昇しウエハ加熱時の装置構成を示す図，（ｃ）は上吸着機構がスライドし分離動作終了時の装置構成を示す図である。
【図２】  実施の形態２の貼付けウエハ分離装置を説明するための図である。
【図３】  実施の形態３の貼付けウエハ分離装置の動作を説明するための図で、（ａ）は原点位置における装置構成を示す図、（ｂ）は上部吸着機構が下降し、ウエハ加熱時の装置構成を示す図、（ｃ）は上部吸着機構がスライドした分離動作終了時の装置構成を示す図である。
【図４】  （ａ）は実施の形態４の貼付けウエハ分離装置の動作を説明するための図で、原点位置における配置を示す図、（ｂ）はテーパ付レールと上部吸着面との位置関係を示す上面側からの模式図である。
【図５】  実施の形態４のテーパ付レールおよびローラーによる軌道修正原理を説明するための図である。
【図６】  実施の形態４のテーパ付レールおよびローラーの角度調節機構を説明するための図である。
【図７】  実施の形態５の貼付けウエハ分離装置を説明するための図である。
【図８】  従来のウエハ剥がし装置を説明するための概略図である。
【図９】  別の従来のウエハ剥がし装置を説明するための概略図である。
【符号の説明】
１  ガイドレール、  ２  上部吸着機構ホルダー、  ３  上部吸着機構、  ３’  上部吸着面、  ３’’  上部吸着用溝、  ４  センサ、  ５  支持基板、  ６  接着剤、  ７  ウエハ、  ８  下部吸着機構、  ８’  下部吸着面、  ９  下部ホルダー、  １０  エアシリンダー、  １１  装置支持台、  １２  支持基板回収台、  １３  リニアドモーター、  １４  面方向調整機構（ばね）、  １５  原点復帰用フック、  １６  牽引ホルダー、  １７  ウエハステージ、  １８  ヘッド、  １９  上部ホルダー、  ２０  ローラーホルダー、  ２１  ローラー、  ２２  テーパー付きレール、  ２３  直棒（レール架台）、  ２４  直棒レール、  ２５  角度調整用ネジ、  ２６  バネ付き固定ネジ、  ３１  エアシリンダー、  ３２  ホルダー取付け板、  ３３  上部ホルダー、  ３４  スプリング、  ３５  長ネジ棒、  ３６  加重調整ナット、  ３７  固定ナット、  ３８  上部吸着機構取付け板、  ３９  ローラーホルダー、  ４０  ローラー、４１  直棒レール、  ４２  レール架台、  ４３  装置支持台、  ４４  下部吸着機構取付け板、  ４５  下側断熱板、  ４６  下部吸着機構、  ４７  ウエハステージ、  ４８  ウエハ、  ４９  接着剤、  ５０  支持基板、  ５１  上部吸着機構、  ５２  上側断熱板、  １０１  アーム、  １０２  上側吸着部、１０３  支持基板、  １０４  ウエハ、  １０５  熱可塑性接着剤、  １０６下側吸着部、  １０７  支持台、  ２０１  ロボットアーム、  ２０２  カップリング、  ２０３  支持軸、  ２０４  上側吸着部、  ２０５  支持基板、  ２０６  熱可塑性接着剤、  ２０７  ウエハ、  ２０８下側吸着部、  ２０９支持台。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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