(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１、第２開口(2,3)を有する弁箱(1)内で上昇及び下降自在な一対のテーパ状の第１、第２弁板面(5,6)を有する弁板(90)を第１軸支部(7)を介して回動自在に設け前記弁箱(1)の底板(1a)を作動自在に貫通する弁棒(4)と、前記底板(1a)と前記弁棒(4)の下部に設けた固定板(42)との間に設けられ前記弁棒(4)を覆うための筒状ベローズ(44)と、前記筒状ベローズ(44)の上部の外周面に固定された固定部(40a)と、前記弁棒(4)を前記固定部(40a)に設けた第２軸支部(41)を介して回動自在に支持するための枠状の軸支体(40)と、前記軸支体(40)と前記固定板(42)との間に設けられ前記弁棒(4)を昇降させる昇降用シリンダ(43)と、前記固定板(42)の下方に設けられた下部開放型の枠体(33)内に設けられた横方向棒(34)と、前記弁棒(4)の下部に形成された長孔(30)に係合するピン(32)と、前記ピン(32)を有し前記横方向棒(34)に設けられると共に前記弁棒(4)の長手方向と直交する横方向に往復移動自在な横方向アクチュエータ(31)と、前記横方向アクチュエータ(31)の両側に設けられた一対の第１、第２ストッパ(35,36)と、前記第１、第２ストッパ(35,36)に接続された第１、第２ロックシリンダ(37,38)とを備え、
前記昇降用シリンダ(43)により前記弁棒(4)を上昇させた状態で、前記各ロックシリンダ(37,38)のうちの一方を作動させて一方の前記第２ストッパ(36)と横方向アクチュエータ(31)との係合を解除し、前記横方向アクチュエータ(31)を横方向に移動させることにより、前記弁棒(4)を前記第２軸支部(41)を介して傾動させ、前記各弁板面(5,6)の何れか一方を前記開口(2,3)に接合して閉弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゲート弁に関し、特に、液晶パネル等の大型部材を搬送させるための大型開口の開閉を、無摺動でかつ簡単に行うための新規な改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、用いられていたこの種の大型開口用のゲート弁としては、特許文献１及び特許文献２の構成を挙げることができる。
図７に示されるように、弁棒に設けた弁板を横方向に傾動させる構成が採用されていた。
すなわち、弁箱１の各開口２、３の一方のみを１枚の弁板９０の一面で開閉弁し、弁棒４の傾動と上下動は複雑なカムを用いて行っていた。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−４２７１５号公報
【特許文献２】特開平１０−１０８３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のゲート弁は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。すなわち、弁棒の上下動と傾動を複雑なカムで行っているため、機構が複雑となり、かつ、大型弁箱の開口に対しては弁板の重量が重く、大形化し、コスト高となっていた。
また、弁板の片面のみを用いて開口の開閉弁を行うため、Ｏリングの耐久性を保持することが難しく、信頼性を確立することが容易ではなく、メンテナンスのコストも高くなっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるゲート弁は、一対の第１、第２開口を有する弁箱内で上昇及び下降自在な一対のテーパ状の第１、第２弁板面を有する弁板を第１軸支部を介して回動自在に設け前記弁箱の底板を作動自在に貫通する弁棒と、前記底板と前記弁棒の下部に設けた固定板との間に設けられ前記弁棒を覆うための筒状ベローズと、前記筒状ベローズの上部の外周面に固定された固定部と、前記弁棒を前記固定部に設けた第２軸支部を介して回動自在に支持するための枠状の軸支体と、前記軸支体と前記固定板との間に設けられ前記弁棒を昇降させる昇降用シリンダと、前記固定板の下方に設けられた下部開放型の枠体内に設けられた横方向棒と、前記弁棒の下部に形成された長孔に係合するピンと、前記ピンを有し前記横方向棒に設けられると共に前記弁棒の長手方向と直交する横方向に往復移動自在な横方向アクチュエータと、前記横方向アクチュエータの両側に設けられた一対の第１、第２ストッパと、前記第１、第２ストッパに接続された第１、第２ロックシリンダとを備え、前記昇降用シリンダにより前記弁棒を上昇させた状態で、前記各ロックシリンダのうちの一方を作動させて一方の前記第２ストッパと横方向アクチュエータとの係合を解除し、前記横方向アクチュエータを横方向に移動させることにより、前記弁棒を前記第２軸支部を介して傾動させ、前記各弁板面の何れか一方を前記開口に接合して閉弁とするようにした構成である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によるゲート弁は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、弁棒に対して一対のテーパ状の弁板面を有する弁板を第１軸支部を介して回動自在に支持し、弁棒をシリンダからなる昇降用シリンダ及び横方向アクチュエータ及び一対のロックシリンダのみで昇降及び傾動させているため、極めて簡単な構成によって、弁箱の一対の開口の何れでも一対の弁板面を用いて摺動なしで自在に開閉弁することができ、高い信頼性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明は、一対のテーパ状の弁板面を有する弁板を弁棒に回動自在に設け、シリンダ等のアクチュエータ又はカム板とシリンダ等の組合せによって一対の弁板面を一対の開口の何れかに接合させ、簡単な構成で高い信頼性を得ることを目的とする。
【実施例１】
【０００８】
以下、図面と共に本発明によるゲート弁の好適な実施の形態について説明する。
図１及び図２は本発明によるゲート弁の第１実施例を示すもので、（Ａ）から（Ｄ）迄は可逆的に開閉弁動作を示している。
【０００９】
図１において符号１で示されるものは全体形状が箱型をなし、第１、第２開口２、３を有する弁箱であり、前記弁箱１内に昇降自在に設けられた弁棒４の上端にはテーパ状の第１、第２弁板面５、６を両側に有する弁板９０が第１軸支部７を介して回動可能に設けられている。尚、この各弁板面５、６は、下部から上部に向けて先細り状となるテーパ形状で構成されている。
【００１０】
前記各弁板面５、６を有する弁板９０は、図４及び図５で示されているように、弁棒４の上部に設けられた第１軸支部７を介して回動自在に設けられている。尚、各弁板面５、６はＯリング９０ａを有している。
【００１１】
前記弁棒４は、前記弁箱１の底板１ａを作動自在に貫通して下方へ延設されており、その下部に形成された長孔３０には横方向アクチュエータ３１のピン３２が係合している。
前記横方向アクチュエータ３１は、下部開放型の枠体３３に設けられた横方向棒３４を案内として左右何れかの方向に移動できるように、周知のエアー式等のシリンダ型又は電磁駆動型等で構成されている。
【００１２】
前記横方向アクチュエータ３１の両側と前記枠体３３との間には、第１、第２ストッパ３５、３６が位置し、前記各ストッパ３５、３６には第１、第２ロックシリンダ３７、３８が接続されている。
従って、前記各ストッパ３５、３６が図１の（Ａ）のように、横方向アクチュエータ３１と枠体３３との間に位置する場合は、横方向アクチュエータ３１は横方向に移動することができず、弁棒４は傾動することのない中立の直立状態となるように構成されている。
【００１３】
前記弁棒４のほぼ中間位置には、固定板４２が固定され、この固定板４２と弁箱１の底板１ａとの間には、前記弁棒４を外部から覆って遮断する状態で筒状の筒状ベローズ４４が伸縮自在に設けられている。
【００１４】
前記筒状ベローズ４４の上部には枠状の軸支体４０が配設され、この軸支体４０の内側には、図３で示されるように、前記ベローズ４４の外周面に固定された固定部４０ａが設けられ、この軸支体４０に設けられたピン等からなる軸支部４１が前記固定部４０ａの支持孔４０ｂに嵌入し、この軸支部４１を回転中心としてベローズ４４と共に弁棒４が回動可能に構成されている。
前記軸支体４０と固定板４２との間には、昇降用シリンダ４３が設けられている。
【００１５】
次に動作について述べる。まず、図１の（Ａ）の状態は、昇降用シリンダ４３が作動して固定板４２と共に弁棒４が降下されており、各弁板面５、６は開口２、３から逃げた開弁状態に構成されている。
【００１６】
次に、図１の（Ｂ）のように、昇降用シリンダ４３を作動させて縮めることにより、ベローズ４４も圧縮されて弁棒４は上昇し、弁板９０の各弁板面５、６は各開口２、３に対応した位置となる。
前述の状態下で、図２の（Ｃ）の状態のように、第２ロックシリンダ３８の第２ストッパ３６を引き込んだ後に、横方向アクチュエータ３１を図上で右方向に移動させると、一方のロックが解除され、弁棒４は図２の（Ｄ）の状態のように右側へ回動されて第１弁板５が第１開口２に接合して、第１開口２が閉弁される。従って、各弁板面５、６は、図１及び図２の矢印で示されるように、前述とは逆方向の動作も可である。
尚、図６は前述の各実施例における弁板９０の動作を従来例の図７の構成と比較して示している。従って、弁板９０の各弁板面５、６に設けられているＯリング９０ａが交互に用いられている状態を示している。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明は、真空ゲート弁以外の一般の搬送用の開閉にも適用可である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明によるゲート弁の実施例１の構造及び動作を示す動作構成図である。
【図２】図１の動作の続きを示す動作構成図である。
【図３】図１の要部を示す断面図である。
【図４】本発明のゲート弁を示す拡大斜視図である。
【図５】図１１の他の形態を示す斜視図である。
【図６】本発明のゲート弁の動作を示す説明図である。
【図７】従来のゲート弁の動作を図１３の動作と対比して示す説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    弁箱
１ａ    底板
２、３    第１、第２開口
４    弁棒
５、６    第１、第２弁板面
７    第１軸支部
３０    長孔
３１    横方向アクチュエータ
３２    ピン
３３    枠体
３４    横方向棒
３５、３６    第１、第２ストッパ
３７、３８    第１、第２ロックシリンダ
４０    軸支体
４１    第２軸支部
４２    固定板
４３    昇降用シリンダ
４４    筒状ベローズ
９０    弁板
９０ａ  Ｏリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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