(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを回転可能に保持する主軸と、
その主軸上のワークに対して研削加工を施すための砥石車と、
ワーク形状を表すカムプロファイルデータを記憶するためのカムプロファイルデータ記憶部と、
そのカムプロファイルデータからワークを研削するためのプロファイルデータを生成するプロファイルデータ生成手段とを備えた研削盤において、
前記カムプロファイルデータと加工済みワークの実測値との間の形状誤差を記憶する誤差データ記憶部と、
前記誤差データ記憶部の誤差データが許容値内か否かを判別する誤差データ判別手段と、
前記誤差データの許容値を設定する設定手段と、
前記誤差データに基づき上記カムプロファイルデータを補正してカムプロファイルデータを書き換えるための自動調整が可能か否かを判別する調整判別手段と
を備え、
上記調整判別手段により自動調整が不可能と判断された場合には、研削盤を構成する砥石車、ワークレスト又は砥石台の異常箇所として警告表示を行うように構成したことを特徴とする研削盤。
【請求項２】
請求項１において、
前記誤差データの所定部分を抽出するデータ抽出手段と、
前記データ抽出手段において抽出された誤差データを周波数分析する周波数分析手段と、
前記周波数分析手段における分析結果から特定の周波数を抽出する周波数抽出手段とを備えたことを特徴とする研削盤。
【請求項３】
請求項２において、研削盤の各部位の固有振動数を記憶する振動数記憶手段と、
前記周波数抽出手段により抽出された特定の周波数と前記振動数記憶手段に記憶されている固有振動数とを比較して、振動発生源部位を特定する振動発生源特定手段とを備えたことを特徴とする研削盤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、円形ワークの加工の他、カムやクランク等に代表されるワークの加工に用いて好適な研削盤に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のカムシャフトやクランクピンの円筒研削盤においては、ワークの加工精度の向上を目的として加工中のワークを測定したり、あるいは、加工後のワークを測定することが行われる。これに基づき、砥石車の磨耗とアンバランス状況、あるいは、ワークレストシューの磨耗状況を検査して、砥石車のバランスを取り直したり、ドレッシングしたり、砥石車を交換したり、あるいは、ワークレストを調整したりしている。このように実際にワークの寸法を測定して、磨耗があればその部分に対して修正したり、交換したりすることで安定的な加工精度を保持している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した修正や交換が十分に行われない場合には、ワーク支持の変化や研削盤を構成している各部位の変化により機械振動が発生し、この振動が研削対象としてのワークに伝播し、ワークの加工精度を低下させる要因となる。このため、従来、研削盤においては、加工中において頻繁にワークの寸法を測定し、それらの砥石の交換時期や修正時期、バランス調整あるいはワークレストの調整時期を見極める工程が必要となる問題点を有する。また、これらの交換時期や修正時期等の見極めや、その修正作業には、熟練した技術や経験が必要で、その熟練をもってしても、ワークの加工精度を測定して機械振動の発生源を特定するような作業を行うことは、作業効率を低下させる問題点を有する。
【０００４】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、ワークの加工精度が低下して加工不良になる前に機械振動の発生箇所を自動的に特定してそれを表示することができ、振動の発生源部位を調査して、ワークに与える振動を軽減して高精度加工を可能にする研削盤を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、ワークを回転可能に保持する主軸と、その主軸上のワークに対して研削加工を施すための砥石車と、ワーク形状を表すカムプロファイルデータを記憶するためのカムプロファイルデータ記憶部と、そのカムプロファイルデータからワークを研削するためのプロファイルデータを生成するプロファイルデータ生成手段を備えた研削盤において、前記カムプロファイルデータと加工済みワークの実測値との間の形状誤差を記憶する誤差データ記憶部と、前記誤差データ記憶部の誤差データが許容値内か否かを判別する誤差データ判別手段と、前記誤差データの許容値を設定する設定手段と、前記誤差データに基づき上記カムプロファイルデータを補正してカムプロファイルデータを書き換えるための自動調整が可能か否かを判別する調整判別手段とを備え、上記調整判別手段により自動調整が不可能と判断された場合には、研削盤の砥石車、ワークレスト又は砥石台の異常箇所として警告表示を行うように構成したことを要旨とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１において、前記誤差データの一部分を抽出するデータ抽出手段と、前記データ抽出手段において抽出された誤差データを周波数分析する周波数分析手段と、前記周波数分析手段における分析結果から特定の周波数を抽出する周波数抽出手段とを備えたことを要旨とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明では、請求項２における研削盤の各部位の固有振動数を記憶する振動数記憶手段と、前記周波数抽出手段により抽出された特定の周波数と、前記振動数記憶手段に記憶されている固有振動数とを比較して、振動発生源部位を特定する振動発生源特定手段とを備えたことを要旨とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、この発明がカム研削盤に適用された第１の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１及び図２に示すように、ワーク支持台１は基台２の一側上面に図２の矢印Ｚにて示す水平方向へ移動可能に支持されている。主軸台３は、ワーク支持台１の上面に配設され、カムシャフトＷの一端を着脱可能に支持するための主軸４及び主軸４を回転させるためのサーボモータよりなる主軸用モータ５を備えている。心押台６は、主軸４との間隔を調整自在にワーク支持台１の上面に配設され、ワークとしてのカムシャフトＷが主軸４とこの心押台６との間においてＺ方向へ延びるように着脱可能に支持される。
【００１２】
前記カムシャフトＷには、複数の非円形カムＷａが軸方向に所定の間隔で形成され、これらカムＷａの外周面が被研削面Ｗｂとなっている。非円形カムＷａの具体的な形状は、図６に示すように、ベース円部（等径部）Ｂ、リフト部Ｒ、トップ部Ｔを有するほぼ卵形とされている。そして、カムシャフトＷは、前記主軸４と心押台６との間に支持された状態で、主軸用モータ５の駆動にともなう主軸４により自身の軸線を中心に回転される。
【００１３】
パルスジェネレータ７は、主軸用モータ５に取り付けられ、このパルスジェネレータ７は主軸用モータ５の回転にともない回転検出パルスを発生する。
砥石台８は、基台２上にカムシャフトＷの軸線と直交する水平方向（図中矢印Ｘにて示す）へ移動可能に支持されている。サーボモータよりなる砥石台モータ９は、基台２の側部に取り付けられ、この砥石台モータ９によりボールスクリュー１０が回転されて、砥石台８がカムシャフトＷと近接または離間する矢印Ｘ方向へ移動される。パルスジェネレータ１１は、砥石台モータ９に取り付けられ、このパルスジェネレータ１１は砥石台モータ９の回転にともない回転検出パルスを発生する。
【００１４】
砥石車１２は、カムシャフトＷと対向するように砥石台８の一端に支軸１３により回転可能に支持されている。砥石回転用モータ１４は、砥石台８上に配設され、この砥石回転用モータ１４によりプーリ１５，１６およびベルト１７を介して砥石車１２が一方向に回転される。なお、砥石台８には、図示しない加工液の供給機構が配設されており、カムシャフトＷの被研削面Ｗｂ及び砥石車１２の研削面に対して加工液が供給される。
【００１５】
図９に示すように、一対のワークレスト５３はワーク支持台１上に設けられ、砥石車１２により加工されるカムシャフトＷの背面を支持するように先端にワークレストシュー５０を備え、ワークレストシュー５０はカムシャフトＷにと接する支持位置が調整可能である。
【００１６】
図３は、この発明の一実施形態における制御装置１８の構成を示す。なお、図１及び図２と同一の部材には、同一の参照符号が付されている。制御装置１８は、マイクロコンピュータ（図示しない）及びメモリ３１を中心に構成された制御部２３を備えている。前記パルスジェネレータ７，１１、リニア測定器１９及び形状測定装置４１からの信号が制御部２３に入力される。そして、制御部２３は駆動回路２４を介して前記主軸用モータ５、砥石台モータ９及び砥石回転用モータ１４の回転を制御する。
【００１７】
表示手段としての表示部２７は、液晶表示板を有し、制御部２３から制御情報に応じて表示出力を生成して液晶表示板上に所定の表示を行う。なお、表示部２７には、液晶表示板以外に警告ランプや発音体等が設けられている。操作入力部２８は、設定スイッチ及びテンキー等の操作部材を有し、これらの操作部材の状態に応じた操作情報を生成して制御部２３に供給する。
【００１８】
さらに、制御部２３は、プロファイルデータ発生手段としてのプロファイルデータ生成部３２，データ抽出手段としてのデータ抽出部６１、記憶手段としての記憶部３１、周波数抽出手段としての周波数抽出部６４、誤差データ判別手段及び振動源特定手段としての誤差データ判定部３３、調整判別手段としての調整判別部３４、周波数分析手段としての周波数分析部６２をそれぞれ備えている。また、記憶部３１は、カムプロファイルデータ記憶部３１ａ、誤差データ記憶部３１ｂ、許容値データ記憶部３１ｃ、固有振動数データ記憶部３１ｄをそれぞれ備えている。
【００１９】
操作入力部２８により操作されることにより加工に先立ってカムプロファイルデータと、許容値データと、固有振動数データとがそれぞれメモリ３１のカムプロファイルデータ記憶部３１ａ、許容値データ記憶部３１ｃ、固有振動数データ記憶部３１ｄに登録される。
【００２０】
カムプロファイルデータは、図４（ａ）に示されている。このカムプロファイルデータは、カムＷａの仕上がり寸法を示す情報で、カムＷａの回転角度に応じたカムＷａの回転中心からの外周面までの距離（半径）との関係を規定する。すなわち、図４（ａ）は、ほぼ卵形をなすカムのカムプロファイルデータを示す。図４（ａ）における横軸がカムＷａの回転角度であり、縦軸がカム中心とカム面との間の距離（半径）である。
【００２１】
図４（ａ）及び図６（ｂ）に示すようにカムＷａのベース円部Ｂの中央を回転角度の０度に対応させ、トップ部Ｔの中央を回転角度の１８０度に対応させた場合には、カムプロファイルデータは、当然のことながらトップ部Ｔの中央で最大値となる。なお、以下、この説明においては、便宜上トップ部Ｔの中央を回転角度の１８０度に対応させ、ベース円部Ｂの中央を回転角度の０度に対応させているものとして説明する。
【００２２】
許容値データ及び固有振動数データは、後述する誤差データ判定部３３においてなされる判定処理に用いられる情報である。具体的には、誤差データは、図６（ａ）の上部に示すように、カムＷａの表面の仕上げ精度を示すものであり、言い換えれば、理想の仕上がりに対する誤差を示すものである。許容値データは、複数の情報からなり、その一つは、前記誤差データに対する上限値を示す情報であり、その値は、例えばカムＷａの仕上がり不良となる範囲に対して上限に任意に設定される。また、許容値データには、図７に示すように、周波数分析結果に対する上限値５１を示す情報も含まれる。周波数分析に関しては後述する。さらに、固有振動数データは、研削盤各部を構成する部位の通常状態で発生する固有振動数を示す情報である。
【００２３】
実際にカムシャフトＷに対して加工を実施する場合には、メモリ３１に格納されている図４（ａ）に示すカムプロファイルデータが読み出され、プロファイルデータ生成手段３２に供給される。そして、プロファイルデータ生成手段において、カムプロファイルデータに基づいて図４（ｂ）に示す主軸速度プロファイルデータが生成される。プロファイルデータは、主軸用モータ５と、砥石台モータ９を制御するための情報であり、カムＷａの回転角度と主軸モータ５の回転速度の関係を規定するとともに、カムＷａの回転角度と砥石台８の移動量とを規定する。
図４（ｂ）は、卵形カムのプロファイルデータの主軸モータ５の回転速度を示す。図４（ｂ）における横軸が回転角度であり、縦軸が回転速度である。図４（ｂ）に示すようにカムＷａのリフト部Ｒとリフト部Ｒ以外の部分とにおいて主軸モータ５の回転速度が異なるようにプロファイルデータが生成される。具体的には、リフト部Ｒ以外の部分の回転速度が６０rpm とされ、リフト部Ｒの回転速度が３０rpm とされ、リフト部Ｒの回転速度がリフト部Ｒ以外の部分に比べて１／２程度の速度とされる。
【００２４】
そして、制御部２３は、２個のパルスジェネレータ７，１１からの回転検出パルスと、前記プロファイルデータとに基づいて３個の駆動回路２４にそれぞれに制御信号を出力する。そして、駆動回路２４のそれぞれにおいてモータ駆動出力が生成される。その結果、研削加工時には、主軸４がカムＷａの回転角度に応じた速度で回転されるとともに、砥石台８がカムＷａの回転角度に応じて進退移動されて、カムＷａが所定形状に研削される。
【００２５】
形状測定装置４１は、加工が実施された加工済みのカムＷａをその軸心を中心に回転させてカムＷａの外周を定期的に測定し、そのカムＷａの回転角度に応じた外周の測定結果を制御部２３に供給する。制御部２３において、形状測定装置４１からのカムＷａの回転角度に応じた測定結果と、カムプロファイルデータとの差を算出することにより、回転角度に応じた図６（ａ）に示す誤差データが生成される。この誤差データが逐次メモリ３１の該当領域に蓄積される。
【００２６】
誤差データ判定部３３は、形状測定装置４１から測定結果が供給されて誤差データがメモリ３１に蓄積される度に振動源検出処理を実施する。また、それと共に、調整判別部３４は、誤差データ判定部３３からの検出情報に応じたデータ修正もしくは調整警告処理を実施する。
【００２７】
すなわち、誤差データ判定部３３においては加工状態検出処理が行われる。この加工状態検出処理においては、先ず、現誤差データと、各部位が許容値内に調整を必要とする許容値データとがメモリ３１から読み出され、回転角度ごとに現誤差データと許容値データとが比較され、誤差データが許容値内かどうかが判定される。そして、判定により誤差データが許容値を外れている部分があると判定される場合には、誤差データ判定部３３において、許容値を越えた部分とその大きさを示す検出情報とが生成される。そして、誤差データ判定部３３において生成された情報が調整判別部３４に供給される。
【００２８】
調整判別部３４は、誤差データ判定部３３からの検出情報に応じて、先ず、カムプロファイルデータの調整可能かどうかを判定する。つまり、あらかじめ定められた範囲内で主軸回転速度や砥石台送りの加減速時定数をどちらかと言えば低めに調整可能であると判定される場合には、検出情報が示す許容値を越えた部分とその大きさに応じた分だけカムプロファイルデータを修正して書き換える。このデータを書き換えることにより、機械振動を低くできる。このカムプロファイルデータの書き換えは、加工精度を実質的に低下させない範囲内で行われる。また、誤差量が大きいために、自動調整が不可能と判断される場合には、警告表示を行うための制御情報が形成され、この制御情報が表示部２７に供給される。従って、この場合においては、表示部２７において許容値を越えた部分、すなわち、異常箇所と、その大きさを示す警告表示がなされると共に、警告音が発せられる。
【００２９】
すなわち、この警告が行われる場合は、カムＷａのベース円部Ｂの誤差データが許容値より大きくなったと検出された場合で、この場合には「砥石車を調整して下さい」と表示されると共に、警告音が発せられる。このため、作業者は、表示を確認することで砥石車１２の摩耗確認やバランス調整をすること、あるいは交換作業を行うことができ、加工不良の発生する前の段階で適切に対処することができる。
【００３０】
次に、誤差データ判定手段３３においてなされる振動源検出処理の手順について説明する。図５は、振動源検出処理の処理手順を示す。
加工傾向検出処理においては、先ず、蓄積されている誤差データと、許容値データと、固有振動数データとがメモリ３１から読み出される（ステップＳ１）。そして、カムＷａの全周の誤差データのうち、ベース円部Ｂの部分に対応する誤差データのみが抽出される（ステップＳ２）。
【００３１】
図６は、誤差データとカムＷａの関係を示す。図６（ｂ）において４５で示されるのが回転角度０度〜９０度までのベース円部Ｂであり、図６（ｂ）において４６で示されるのが回転角度２７０度〜３６０度（０度）までのベース円部Ｂである。これらのベース円部Ｂ（４５，４６）は、カムＷａの回転中心４７から等距離にあり、主軸４の回転速度が一定に制御される部分である。このため、ベース円部Ｂ（４５，４６）に対応する誤差データのみを抽出することで、次の周波数分析後に行われる異常振動数の識別を容易にする。
【００３２】
誤差データの抽出処理が完了すると、ステップＳ３において、次に周波数分析が実施される。具体的には、誤差データに対してフーリエ変換ＦＴ（Fourier Transform) 処理を所定アルゴリズムで実施することにより、各周波数帯域におけるパワースペクトルを得ることができる。図７は、周波数分析により得られる周波数特性を示す。図７における横軸が周波数であり、縦軸が強度（振幅）を示す。
【００３３】
そして、ステップＳ４において、周波数分析の各周波数帯域の結果に対してその数値が許容値内かどうかが判定され、許容値内であると判定される場合には、一連の振動源検出処理が終了される。また、ステップＳ４において、周波数分析の結果が許容値から外れていると判定される場合には、ステップ５に移行し、異常振動数の抽出がなされる。例えば、図７において５１で示されるように許容値が５０Hz〜２００Hzの周波数帯域において一定強度に設定されているものとすると、この場合には、５２で示されるピークが異常振動数の抽出対象とされる。そして、ピーク５２に対応した５３で示される周波数（＝１４３Hz）が異常振動数ｆとして抽出される。
【００３４】
異常振動数の抽出処理が完了すると、次にステップ６において、固有振動数データと異常振動数の値とが照合され、異常振動数の値が含まれる固有振動数帯が存在するかどうかが判定され、含まれると判定される場合には、ステップＳ７に移行する。ステップＳ７においては、異常振動数の値が含まれる固有振動数帯に対応する部位名が特定される。図８は、固有振動数データと異常振動数の値との照合処理の一例を概念的に示す。図８において５５で示される部分には、部品名（砥石車，ワークレスト，砥石台，主軸，テーブル，ベース）が格納され、５６で示される部分には、部品名に対応する固有振動数帯（Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３，Ｆ４，Ｆ５，Ｆ６）が格納されている。そして、Ｆ１〜Ｆ６の固有振動数帯に対して異常振動数がどの振動数帯に属するかが順次判定される。例えば、前述した図７に示す場合には、異常振動数ｆが１４３Hzとされているため、Ｆ１（１４０〜１５０Hz）に該当すると判定され、Ｆ１に対応する「砥石台」が特定される。
【００３５】
このようにステップＳ７において振動源の部位が特定されると、ステップＳ８に進行して、振動発生源を示す表示が行われる。また、ステップＳ６において、異常振動数の値が含まれる固有振動数帯が存在しないと判定される場合には、ステップＳ９に移行し、通常の表示が行われる。
【００３６】
すなわち、許容値を越える異常振動数が発生している場合には、調整判別部３４において、警告表示を行うための情報が形成され、この情報が表示部２７に供給される。従って、表示部２７において振動発生源を示す警告表示がなされると共に、警告音が発せられる。具体的には、「砥石車を調整して下さい。」と表示されると共に、警告音が発せられる。
【００３７】
このため、作業者は、表示を確認することで、砥石車１２の摩耗確認と調整あるいはバランスを調整したりすることで、加工不良の発生する前の段階で適切に対処することができる。
【００３８】
以上のように、この実施形態においては以下の効果を発揮する。
・  カムＷａの加工に際して、加工精度が許容値から外れた場合には、その部分を示す表示がなされる。このため、作業者は、表示を確認することで容易にその不調箇所を調整したり、あるいは部品交換したりする作業を行うことができる。従って、加工精度の許容値を加工不良レベル以下に設定しておけば、加工不良の発生を未然に防止でき、高精度加工を維持できる。しかも、回転速度が一定で加工されたベース部分Ｂの誤差データのみが抽出され、この抽出された誤差データに対して周波数分析が実施され、許容値を越える周波数が抽出される。このため、容易に不要振動を発生させる振動発生源を容易に特定することが可能となり、その部分の交換時期や修正時期等の見極めを誤りなく行うことができる。
【００３９】
・  誤差データ判定部３３の判定処理に用いられる許容値を任意に設定することができる。このため、加工対象や設置環境、あるいは要求される加工精度のレベル等に対して柔軟に対応することができる。
【００４０】
（第２の実施形態）
次に、この発明の第２の実施形態を図１０に基づいて説明する。
この第２の実施形態においては、形状測定装置４１においてプロファイルデータから誤差データを生成し、得られた誤差データを制御部２３に供給するようにし、そのままメモリ３１に蓄積するように構成したものである。
【００４１】
このため、この第２の実施形態においては、前記第１の実施形態における調整判別部３４，誤差データ判定部３３，周波数分析部６２，周波数抽出部６４，データ抽出部６１，メモリ３１を形状測定装置４１に設けている。そして、これらの調整判別部３４，誤差データ判定部３３，周波数分析部６２，周波数抽出部６４，データ抽出部６１，メモリ３１による前述した各種機能を形状測定装置４１側で処理するようになっている。
【００４２】
従って、この第２の実施形態においても前記第１の実施形態と同様な効果を期待できる。
（その他の実施形態）
なお、この発明は、前記第１，第２の実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様で具体化することができる。
【００４３】
・  上述したこの発明の一実施形態においては、カム研削盤にこの発明を適用したが、円筒研削盤あるいはクランクピン研削盤に対して適用することができる。
【００４４】
・  上述したこの発明の一実施形態においては、液晶表示器による表示により警告を通知する場合について説明したが、音声により警告を通知するようにしても良い。この場合には、音声合成回路を設けて調整判別部３４からの情報に応じて警告を通知する音声信号を生成し、スピーカを介して音声を出力するように構成する。
【００４５】
・  上述したこの発明の一実施形態においては、振動源を特定して自動的に警告表示する場合について説明したが、振動源を特定する前の段階で得られる周波数分析結果を表やグラフにして液晶表示器において表示するようにしても良い。この場合には、作業者自身が許容値との対比や、振動源を特定するために固有振動数データとの照合を行い、振動源を特定することができ、現状認識が容易かつ確実になる。
【００４６】
・  上述した判定処理に代えて、現誤差データと、旧誤差データとの差を算出し、この差が許容値内かどうかが判定して、誤差データの変化が許容値を越えて大きく変化したと判定される場合に、判定結果に応じて振動発生源を特定するようにしても良い。
【００４７】
・  現誤差データと、旧誤差データとに対して所定の演算処理を行って統計的数値を得、この統計的数値が許容値内かどうか判定して、判定結果に応じて不良個所情報を生成するようにしても良い。さらに、これら複数の判定方法を組み合わせて総合的に装置の不調を判定するようにしても良い。
【００４８】
【発明の効果】
この発明は、以上のように構成されているため、次のような効果を奏する。請求項１に記載の発明では、ワーク加工にともなって生成される誤差データが許容値内か否かが判定されて、表示されるため、加工精度の低下を確実に認識でき、加工不良を未然に防止できる。
【００４９】
請求項１に記載の発明では、誤差データ判定手段の判定処理に用いられる許容値が任意に設定されため、加工対象や設置環境等に対して柔軟に対応することができる。
【００５０】
請求項１に記載の発明では、自動調整可能な場合には、誤差データに応じて研削盤を構成する各部位のカムプロファイルデータを修正して書き換えるように調整されるため、機械振動を低減して、加工精度を安定的に保持することができる。さらに、請求項１記載の発明は、調整判別手段により自動調整が不可能と判断された場合には、研削盤を構成する砥石車、ワークレスト又は砥石台の異常箇所として警告表示を行うようにしたので、加工不良が発生する前の段階で適切に対処することができる。
【００５１】
請求項２の発明では、判定に好適な所定部分の誤差データのみが抽出され、この抽出された誤差データに対して周波数分析が実施され、許容値を越える周波数が抽出される。このため、容易に不要振動を発生させる振動発生源を容易に特定することが可能となる。
【００５２】
請求項３の発明では、不要振動の発生源が特定されるため、その特定された部位の交換等を適切に行うことができ、高精度加工を確実に維持できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】研削盤の第１の実施形態の構成を示す一部破断側面図。
【図２】同じく平面図。
【図３】研削盤の電気的構成を示すブロック図。
【図４】カムプロファイルデータ及びプロファイルデータを示すグラフ。
【図５】動作を示すフローチャート。
【図６】（ａ）はカムの誤差データを示し、（ｂ）はカムを示す説明図。
【図７】周波数分析されたデータを示すグラフ。
【図８】振動発生源特定のデータを示す説明図。
【図９】ワークレストを示す一部平面図。
【図１０】第２の実施形態を示すブロック図。
【符号の説明】
５…主軸用モータ、８…砥石台、９…移動用モータ、１２…砥石車、１４…砥石回転用モータ、２３…制御部、２４…駆動回路、２７…表示手段としての表示部、２８…操作入力部、３１…カムプロファイルデータ記憶部，誤差データ記憶部を構成するメモリ、３２…プロファイルデータ生成手段としてのプロファイルデータ生成部、３３…誤差データ判定手段としての誤差データ判定部、３４…調整手段としての調整判別部、６１…データ抽出手段としてのデータ抽出部、６２…周波数分析手段としての周波数分析部、６４…周波数抽出手段としての周波数抽出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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