(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップがボンディングされたテープを巻回したテープ供給リールを有するローダ部と、このローダ部より供給されたテープのデバイス部に樹脂の封止材を滴下する滴下装置を有する封止材滴下部と、この封止材滴下部で滴下された封止材を乾燥させるキュア装置を有するキュア部と、このキュア部で封止材を乾燥させたテープを巻き取るテープ巻取りリールを有するアンローダ部とからなる封止材キュア用搬送装置において、前記キュア装置は、前記テープの両側部をガイドする一対のガイドレールと、封止材を乾燥させるヒータと、テープの搬送経路及び上方が開放し、少なくとも前記一対のガイドレールを内部に設けたキュア本体と、このキュア本体の上方を塞ぎ該キュア本体に開閉自在に設けられたカバーとからなり、かつ前記キュア装置は、テープが搬送される方向と直交する方向に配設されたガイドレールに摺動自在に嵌挿されたスライダに固定されていることを特徴とする封止材キュア用搬送装置。
【請求項２】
前記キュア部は、複数列のキュア装置を有し、キュア装置の出口側と次の段のキュア装置の入口側には、テープを上下反転させるスプロケットホィールが設けられ、前記各キュア装置は、テープが搬送される方向と直交する方向に前記各キュア装置に対応して配設されたガイドレールに摺動自在に嵌挿されたスライダに固定され、それぞれ単独にテープが搬送される方向と直交する方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の封止材キュア用搬送装置。
【請求項３】
前記ヒータは、テープに滴下された封止材に対向してキュア本体又はカバーに設けられていることを特徴とする請求項１記載の封止材キュア用搬送装置。
【請求項４】
前記一対のガイドレールは、レール本体と、前記テープの上面を部分的にガイドするように前記レール本体の上面に固定されたガイド部材とからなることを特徴とする請求項１記載の封止材キュア用搬送装置。
【請求項５】
前記ガイド部材は、前記テープの幅方向をガイドするように、前記テープの搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定された幅方向ガイド部と、前記テープの上下方向をガイドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下方向ガイド部とからなることを特徴とする請求項４記載の封止材キュア用搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープにおける封止材キュア用搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図５（ａ）に示すように、連続したテープ１には、リード部２が形成され、リード部２には半導体チップ３がボンディングされている。即ち、テープ１は、ピッチ単位で半導体チップ３がボンディングされた帯状フィルムである。このテープ１には、図５（ｂ）に示すように、封止材滴下装置でリード部２に素子保護用の樹脂等よりなる封止材４が塗布され、次にキュア装置で封止材４の乾燥が行われる。なお、図示しないが、テープ１の両側部には、ピッチ移送するためのスプロケット穴が等間隔に形成されている。
【０００３】
キュア装置では、封止材から発生する有機物のガス化したものや、テープの搬送によって生じる粉塵等がテープの両側部をガイドする一対のガイドレールに付着するため、定期的にクリーニング等のメンテナンスが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
キュア装置におけるテープの搬送は、テープの搬送方向が開放したトンネル内を搬送され、またヒータ等をテープに接近させて配設されている。このため、テープ搬送状態におけるクリーニング等のメンテナンスには難点があった。
【０００５】
またテープの搬送中に何らかのトラブルが生じた時に、装置を停止させてテープをガイドレールのガイド溝より引き出す必要がある。しかし、従来のガイド溝は連続しているので、テープをガイド溝より脱着するのが困難であった。
【０００６】
本発明の第１の課題は、メンテナンスが容易に行える封止材キュア用搬送装置を提供することにある。
【０００７】
本発明の第２の課題は、メンテナンス及びテープをガイドするガイドレールからのテープの脱着が容易に行える封止材キュア用搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の第１の手段は、半導体チップがボンディングされたテープを巻回したテープ供給リールを有するローダ部と、このローダ部より供給されたテープのデバイス部に樹脂の封止材を滴下する滴下装置を有する封止材滴下部と、この封止材滴下部で滴下された封止材を乾燥させるキュア装置を有するキュア部と、このキュア部で封止材を乾燥させたテープを巻き取るテープ巻取りリールを有するアンローダ部とからなる封止材キュア用搬送装置において、前記キュア装置は、前記テープの両側部をガイドする一対のガイドレールと、封止材を乾燥させるヒータと、テープの搬送経路及び上方が開放し、少なくとも前記一対のガイドレールを内部に設けたキュア本体と、このキュア本体の上方を塞ぎ該キュア本体に開閉自在に設けられたカバーとからなり、かつ前記キュア装置は、テープが搬送される方向と直交する方向に配設されたガイドレールに摺動自在に嵌挿されたスライダに固定されていることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の第２の手段は、上記第１の手段において、前記キュア部は、複数列のキュア装置を有し、キュア装置の出口側と次の段のキュア装置の入口側には、テープを上下反転させるスプロケットホィールが設けられ、前記各キュア装置は、テープが搬送される方向と直交する方向に前記各キュア装置に対応して配設されたガイドレールに摺動自在に嵌挿されたスライダに固定され、それぞれ単独にテープが搬送される方向と直交する方向に移動可能に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の第３の手段は、上記第１の手段において、前記ヒータは、テープに滴下された封止材に対向してキュア本体又はカバーに設けられていることを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の第４の手段は、上記第１の手段において、前記一対のガイドレールは、レール本体と、前記テープの上面を部分的にガイドするように前記レール本体の上面に固定されたガイド部材とからなることを特徴とする
【００１２】
上記課題を解決するための本発明の第５の手段は、上記第４の手段において、前記ガイド部材は、前記テープの幅方向をガイドするように、前記テープの搬送方向に一定間隔を保って前記レール本体に固定された幅方向ガイド部と、前記テープの上下方向をガイドするように、前記幅方向ガイド部に設けられた上下方向ガイド部とからなることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１乃至図５により説明する。図１に示すように、本実施の形態は、図５（ａ）に示すテープ１を供給するローダ部１０と、図５（ｂ）に示す封止材４をリード部２に滴下する封止材滴下部３０と、封止材４を乾燥させるキュア部４０と、テープ１を巻き取るアンローダ部２０とから構成されている。
【００１４】
ローダ部１０は、図５（ａ）に示すテープ１に保護テープ１１が重ね合わせられて巻回されたテープ供給リール１２と、保護テープ１１を巻き取る保護テープ巻取りリール１３とが配設されている。アンローダ部２０には、保護テープ２１が巻回された保護テープ供給リール２２と、キュア部４０により封止材４の乾燥が終了したテープ１に保護テープ２１を重ね合わせて巻き取るテープ巻取りリール２３とが配設されている。保護テープ巻取りリール１３及びテープ巻取りリール２３は、それぞれ図示しない駆動手段で矢印Ａ、Ｂ方向に回転させられる。またテープ供給リール１２及び保護テープ供給リール２２も、それぞれ図示しない駆動手段で矢印方向に回転させられる。なお、１４はテープ１を封止材滴下部３０に導くガイド部材、２４はテープ１をテープ巻取りリール２３に導くガイド部材を示す。
【００１５】
封止材滴下部３０には、周知構造よりなる２台の滴下装置３１、３２が図５（ａ）に示す半導体チップ３の１ピッチ（デバイスピッチ）間隔離れて配設されている。
【００１６】
キュア部４０には、３個のキュア装置４１、４２、４３が下方から上方に一定間隔離れて配設されている。第１段目のキュア装置４１の出口側４１ｂと第２段目のキュア装置４２の入口側４２ａには、テープ１の図示しないスプロケット穴に係合するスプロケットホィール４４が配設されている。第２段目のキュア装置４２の出口側４２ｂと第３段目のキュア装置４３の入口側４３ａにも同様に、テープ１の図示しないスプロケット穴に係合するスプロケットホィール４５が配設されている。第３段目のキュア装置４３の出口側には、テープ１をアンローダ部２０に導くガイドローラ４６が配設されている。スプロケットホィール４４、４５は、それぞれ図示しない駆動手段で矢印Ｃ、Ｄ方向に回転させられる。
【００１７】
図１乃至図３に示すように、装置の背面板５０には、キュア装置４１、４２、４３をそれぞれ単独にガイドするガイドレール５１が装置前方（テープが搬送される方向と直交する方向）に向けて固定されている。ガイドレール５１にはスライダ５２が摺動自在に嵌挿され、スライダ５２にはキュア装置４１、４２、４３のベース板６０が固定されている。
【００１８】
キュア装置４１、４２、４３は、図２及び図３に示すように、ほぼ同じ構造よりなっている。キュア装置４１、４２、４３は、ベース板６０、後面板６１及び前面板６２とからなるキュア本体６３とカバー６４とからなり、実線で示すようにカバー６４を閉じた場合には、テープ１の搬送方向が開放したトンネル状になっている。カバー６４は蝶番６５によって後面板６１に回動自在に結合されている。ベース板６０の前面には、キュア装置４１、４２、４３をガイドレール５１に沿って移動させるための把手６６が設けられている。カバー６４の前面にも、該カバー６４を開閉させるための把手６７が設けられている。
【００１９】
キュア本体６３の内部で前面板６２側のベース板６０上には、支持棒保持板７０が固定されており、支持棒保持板７０には２個の軸受７１、７２が固定されている。なお、図示の都合上、図２には一方の軸受７１のみを図示し、図３には他方の軸受７２を図示した。軸受７１、７２にはジョイント７３、７４が任意の方向に回転自在に嵌挿されており、ジョイント７３、７４には支持棒７５、７６が固定されている。
【００２０】
カバー６４の内側には、支持棒係合板７７が固定され、支持棒係合板７７には支持棒７５、７６の先端を係合させる係合穴７７ａが形成されている。そこで、支持棒７５、７６の先端は係合穴７７ａに係合できるように折り曲げられている。また支持棒７５、７６の長さは、図２及び図３に示すように異なっている。図２に示す使用状態においては、カバー６４の開状態は制限される。図３に示すようにキュア装置４１を引き出した場合には、カバー６４を充分な開状態とすることができる。そこで、支持棒７５の長さは支持棒７６の長さより短くなっている。
【００２１】
図２に示すように、カバー６４にはガス供給継手８０が固定され、ガス供給継手８０には、キュア本体６３とカバー６４で構成するトンネル内に被加熱物であるテープ１等の酸化を防止するために、予め加熱されたガスを供給するパイプ８１が固定されている。ガス供給継手８０は図示しないパイプを介して図示しないガス供給源に接続されている。
【００２２】
キュア本体６３の内側には、テープ１の両側部をガイドするように一対のガイドレール８２Ａ、８２Ｂが相対向して配設されている。ガイドレール８２Ａ、８２Ｂは、図４に示すように、レール本体８３Ａ、８３Ｂと、その上面にテープ１の搬送方向に沿って固定された複数個のガイド部材８４Ａ、８４Ｂとからなっている。ガイド部材８４Ａ、８４Ｂは、テープ１の幅方向をガイドする幅方向ガイド部となる軸部８５Ａ、８５Ｂと、テープ１の上下方向をガイドする上下方向ガイド部となるつば部８６Ａ、８６Ｂとからなっている。レール本体８３Ａ、８３Ｂの長さ方向の両端部は、それぞれ図２に示すように、レール支持板８７Ａ、８７Ｂに固定され、レール支持板８７Ａ、８７Ｂは支柱８８Ａ、８８Ｂを介してベース板６０上に固定されている。
【００２３】
第１段目及び第３段目のキュア装置４１、４３には、ヒータ９０がヒータ支持板９１を介してカバー６４に固定されている。第２段目のキュア装置４２には、ヒータ９０がヒータ支持板９１を介してベース板６０に固定されている。このように、第１段目及び第３段目のキュア装置４１、４３と第２段目のキュア装置４２でヒータ９０の配設が異なるのは次のような理由による。
【００２４】
ヒータ９０は図５（ｂ）に示す封止材４を乾燥させるものであるので、ヒータ９０は封止材４に対向して配設するのが効果的である。第１段目のキュア装置４１には、図５（ｂ）のように封止材４が上側でテープ１が搬送されるので、ヒータ９０をカバー６４に取付けた。第２段目のキュア装置４２には、図１に示すスプロケットホィール４４でテープ１が上下反転して搬送される。即ち、封止材４は下側となるので、ヒータ９０をベース板６０に取付けた。第３段目のキュア装置４３には、図１に示すスプロケットホィール４５でテープ１が再び上下反転して搬送される。即ち、第３段目のキュア装置４３には第１段目のキュア装置４１と同じ状態でテープ１は搬送されるので、ヒータ９０をカバー６４に取付けた。
【００２５】
次に作用について説明する。ローダ部１０のテープ供給リール１２が矢印方向に回転すると、保護テープ１１及びテープ１はテープ供給リール１２より繰り出される。保護テープ巻取りリール１３が矢印Ａ方向に回転すると、テープ供給リール１２より繰り出された保護テープ１１は保護テープ巻取りリール１３に巻き取られ、テープ１はテープ供給リール１２より垂れ下がる。このテープ１の垂れ下がりが一定範囲内になるように保護テープ巻取りリール１３の回転が制御される。
【００２６】
キュア部４０のスプロケットホィール４４、４５が回転すると、テープ１はキュア装置４１、４２、４３内を通過してアンローダ部２０に搬送される。封止材滴下部３０の滴下装置３１、３２は、図５（ａ）に示す半導体チップ３の１デバイスピッチ間隔離れて配設されているので、スプロケットホィール４４、４５は半導体チップ３の２ピッチずつ間欠的に回転させられる。図５（ａ）に示すリード部２が滴下装置３１、３２の真下に位置すると、滴下装置３１、３２より図５（ｂ）に示すように封止材４が滴下して塗布される。このテープ１がキュア部４０に搬送されると、封止材４はキュア装置４１、４２、４３によって乾燥される。
【００２７】
アンローダ部２０では、テープ１の垂れ下がりが一定範囲内になるようにテープ巻取りリール２３の回転が制御される。保護テープ供給リール２２が矢印方向に回転すると、保護テープ２１が繰り出される。そして、テープ巻取りリール２３が矢印Ｂ方向に回転すると、テープ１に保護テープ２１が重ね合わせられてテープ巻取りリール２３に巻き取られる。
【００２８】
テープ１の搬送中にキュア装置４１、４２、４３で何らかのトラブル、例えばテープ１の搬送がスムーズでない場合等が生じた時には、装置を停止させる。そして、図２に示すように、把手６７を上方に持ち上げると、カバー６４は蝶番６５を中心として回動して開くので、支持棒７５を起こして該支持棒７５の先端を支持棒係合板７７の係合穴７７ａに挿入する。これにより、カバー６４は２点鎖線で示すように開状態に保持される。即ち、支持棒７５は、キュア装置４１、４２、４３を装置前方に引き出さずに済む場合に使用する。
【００２９】
そこで、テープ１の搬送トラブルを解消するために、テープ１をレール本体８３Ａ、８３Ｂ上より引き出す場合、テープ１をガイド部材８４Ａ、８４Ｂより外すせばよいので、テープ１をレール本体８３Ａ、８３Ｂより容易に引き出すことができる。また引き出して処置したらテープ１をガイド部材８４Ａ、８４Ｂに挿入すればよいので、テープ１をガイドレール８２Ａ、８２Ｂに容易に戻すことができる。第２段目及び第３段目のキュア装置４２、４３も同様に行うことができる。
【００３０】
またキュア装置４１、４２、４３を定期的にクリーニングする場合又は大きなトラブルの場合には、テープ１がガイドレール８２Ａ、８２Ｂに装着されていない状態で、把手６６を装置前方に引くと、図３に示すようにガイドレール５１に沿ってスライダ５２が移動し、キュア装置４１を装置前方に位置させることができる。そこで、把手６７を上方に持ち上げ、支持棒７６を起こして該支持棒７６の先端を支持棒係合板７７の係合穴７７ａに挿入する。即ち、支持棒７６は、キュア装置４１、４２、４３を装置前方に引き出した場合に使用する。
【００３１】
これにより、カバー６４は２点鎖線で示すように開状態に保持される。この状態では、カバー６４は広く開いているので、ガイドレール８２Ａ、８２Ｂの搬送部を容易にクリーニング又は修復及び保守点検をすることができる。第１段目のキュア装置４１のクリーニングが終了したら、前記と逆の動作により、支持棒７６を外してカバー６４を閉じ、図３に実線で示す状態とする。そして、把手６７を押して図２に実線で示す状態とする。第２段目及び第３段目のキュア装置４２、４３も同様にして行う。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の第１乃至第３の手段によれば、キュア装置を引出しカバーを開くことによりメンテナンスが容易に行える。本発明の第４及び第５の手段によれば、メンテナンス及びテープをガイドするガイドレールからのテープの脱着が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の封止材キュア用搬送装置の一実施の形態を示す概略構成正面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ線断面図である。
【図３】キュア装置を前方に引き出した状態の断面図である。
【図４】キュア装置のガイドレールを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は搬送方向より見た図である。
【図５】（ａ）は半導体チップがボンディングあれたテープの断面図、（ｂ）は封止材が塗布されたテープの断面図である。
【符号の説明】
１    テープ
２    リード部
３    半導体チップ
４    封止材
１０  ローダ部
１２  テープ供給リール
２０  アンローダ部
２３  テープ巻取りリール
３０  封止材滴下部
３１、３２  滴下装置
４０  キュア部
４１、４２、４３  キュア装置
４４、４５  スプロケットホィール
５１  ガイドレール
５２  スライダ
６３  キュア本体
６４  カバー
６５  蝶番
７５、７６  支持棒
７７  支持棒支持棒係合板
８２Ａ、８２Ｂ  ガイドレール
８３Ａ、８３Ｂ  レール本体
８４Ａ、８４Ｂ  ガイド部材
８５Ａ、８５Ｂ  軸部
８６Ａ、８６Ｂ  つば部
９０  ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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