(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面表示装置の真空外囲器を構成すべく対向配置される２枚のプレートのうち一方のプレートの外面に、その略全面を覆う平らな剛体からなる第１吸着面を吸着せしめることで、他方のプレートに対向する一方のプレートの内面の平面度を高めた状態で一方のプレートを保持する第１保持機構と、
真空外囲器を構成したとき２枚のプレート間のギャップを保つための複数のスペーサを備えた板状のグリッドを、一方のプレートの内面に対向する側と反対側から吸着することで、複数のスペーサが内面に面接する複数の当接面が同一平面に略揃うようにしてグリッドを保持する第２保持機構と、
一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが略平行に対面する位置関係に第２保持機構を保持する保持部材と、
第１保持機構を一方のプレートの内面と略平行な方向に移動して一方のプレートとグリッドとを所定の位置関係に位置合わせする位置合わせ機構と、
一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが微小ギャップを介して略平行に対面するように、保持部材を一方のプレートに近付く方向に移動させて第２保持機構を位置決めする位置決め機構と、を備え、
第２保持機構は、グリッドの略全面を覆う平らな剛体からなる第２吸着面を有し、磁力を発生させてグリッドを第２吸着面に吸着せしめる平面表示装置の製造装置。
【請求項２】
第１保持機構は、一方のプレートの外面に負圧を生じて第１吸着面に吸着せしめる請求項１に記載の製造装置。
【請求項３】
第２保持機構は、一方のプレートとグリッドを所定の位置関係に位置合わせした後、磁力による吸着を解除してグリッドの保持を解除する請求項１に記載の製造装置。
【請求項４】
平面表示装置の真空外囲器を構成すべく対向配置される２枚のプレートのうち一方のプレートの外面に、その略全面を覆う平らな剛体からなる第１吸着面を吸着せしめることで、他方のプレートに対向する一方のプレートの内面の平面度を高めた状態で一方のプレートを保持する第１保持機構と、
真空外囲器を構成したとき２枚のプレート間のギャップを保つための複数のスペーサを備えた板状のグリッドを、一方のプレートの内面に対向する側と反対側から吸着することで、複数のスペーサが内面に面接する複数の当接面が同一平面に略揃うようにしてグリッドを保持する第２保持機構と、
一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが微小ギャップを介して略平行に対面するように、第２保持機構を位置決めする位置決め機構と、
第２保持機構を位置決めした状態で第１保持機構を一方のプレートの内面と略平行な方向に移動して一方のプレートとグリッドとを上記微小ギャップを保ったまま所定の位置関係に位置合わせする位置合わせ機構と、を備え、
第２保持機構は、グリッドの略全面を覆う平らな剛体からなる第２吸着面を有し、磁力を発生させてグリッドを第２吸着面に吸着せしめる平面表示装置の製造装置。
【請求項５】
第１保持機構は、一方のプレートの外面に負圧を生じて第１吸着面に吸着せしめる請求項４に記載の製造装置。
【請求項６】
第２保持機構は、一方のプレートとグリッドを所定の位置関係に位置合わせした後、磁力による吸着を解除してグリッドの保持を解除する請求項４に記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、表面伝導型電子放出装置（以下、ＳＥＤと称する）などの平面表示装置の製造装置に係り、特に、ＳＥＤの真空外囲器を構成する２枚のプレート（リアプレートおよびフェースプレート）のうちいずれか一方とグリッドとを位置合わせして組み立てるためのＳＥＤの製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、平面表示装置として、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）や、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、ＳＥＤの開発が進められている。
【０００３】
このＳＥＤは、所定のギャップを介して対向配置されたフェースプレートおよびリアプレートを有し、これらのプレートは、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合するとともに内部を真空にすることにより真空外囲器を構成している。フェースプレートの内面には３色の蛍光体層が形成され、リアプレートの内面には、蛍光体を励起する電子放出源として、画素毎に対応する多数のエミッタが配列されている。各エミッタは、電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の電極等で構成されている。
【０００４】
また、両プレート間には板状のグリッドが配設されている。このグリッドには、エミッタに対して整列した位置関係で多数のビーム通過孔が形成されているとともに、フェースプレートの内面およびリアプレートの内面に当接することでプレート間のギャップを維持するための複数の柱状のスペーサが設けられている。
【０００５】
しかして、各エミッタから放出された電子ビームが、スペーサグリッドの対応するビーム通過孔を通り所望の蛍光体層上に収束され、蛍光体が励起発光されて画像が表示されるようになっている。
【０００６】
上記ＳＥＤにおいて、フェースプレート、リアプレート、および枠状の側壁によって形成された真空外囲器には、高い真空度が要求されている。このため、グリッドに設けられた複数の柱状のスペーサは、大気圧によりフェースプレートやリアプレートが破壊されることを防止するよう機能する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記ＳＥＤにおいて良質な画像を表示させるためには、リアプレートの内面に設けられたエミッタと、スペーサグリッドに形成されたビーム通過孔と、フェースプレートの内面に形成された蛍光体層と、が画素毎に正確に一致するように、フェースプレート、スペーサグリッド、およびリアプレートを位置合わせすることが重要となる。
【０００８】
位置合わせが不十分だと種々の問題を生じる。例えば、任意の画素の組合せにおいてエミッタとビーム通過孔との位置合わせが不十分だと、エミッタから放出されるビームの一部、もしくは全部のけられが発生する。また、ビーム通過孔と蛍光体との位置合わせが不十分だと、蛍光体にビームが全く収束しなかったり、蛍光体を必要輝度に発光させるに十分な量のビームが収束しなかったりする。結果として、画像を表示をした際に、画面全体の輝度不足、輝度ムラや、フォーカス不足をまねいてしまう。
【０００９】
また、リアプレート、スペーサグリッド、およびフェースプレートを組み合わせる際、リアプレート、スペーサグリッド、フェースプレートの少なくとも１つに歪みを生じていると、グリッドに設けられたスペーサの先端（当接面）がリアプレートの内面やフェースプレートの内面に接触してしまう。スペーサとプレート内面が接触すると、スペーサに不所望なせん断力が作用して折れてしまったり、リアプレート内面のエミッタ、或いはフェースプレート内面の蛍光体層が傷ついたりする。
【００１０】
このため、スペーサを破損したりプレート内面を傷付けることなく、リアプレート、或いはフェースプレートとスペーサグリッドとを高精度に位置合わせして組み立てできる平面表示装置の製造装置の開発が望まれていた。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の実施の形態に係る平面表示装置の製造装置は、平面表示装置の真空外囲器を構成すべく対向配置される２枚のプレートのうち一方のプレートの外面に、その略全面を覆う平らな剛体からなる第１吸着面を吸着せしめることで、他方のプレートに対向する一方のプレートの内面の平面度を高めた状態で一方のプレートを保持する第１保持機構と、真空外囲器を構成したとき２枚のプレート間のギャップを保つための複数のスペーサを備えた板状のグリッドを、一方のプレートの内面に対向する側と反対側から吸着することで、複数のスペーサが内面に面接する複数の当接面が同一平面に略揃うようにしてグリッドを保持する第２保持機構と、一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが略平行に対面する位置関係に第２保持機構を保持する保持部材と、第１保持機構を一方のプレートの内面と略平行な方向に移動して一方のプレートとグリッドとを所定の位置関係に位置合わせする位置合わせ機構と、一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが微小ギャップを介して略平行に対面するように、保持部材を一方のプレートに近付く方向に移動させて第２保持機構を位置決めする位置決め機構と、を備え、第２保持機構は、グリッドの略全面を覆う平らな剛体からなる第２吸着面を有し、磁力を発生させてグリッドを第２吸着面に吸着せしめる。
【００１２】
また、本発明の実施の形態に係る平面表示装置の製造装置は、平面表示装置の真空外囲器を構成すべく対向配置される２枚のプレートのうち一方のプレートの外面に、その略全面を覆う平らな剛体からなる第１吸着面を吸着せしめることで、他方のプレートに対向する一方のプレートの内面の平面度を高めた状態で一方のプレートを保持する第１保持機構と、真空外囲器を構成したとき２枚のプレート間のギャップを保つための複数のスペーサを備えた板状のグリッドを、一方のプレートの内面に対向する側と反対側から吸着することで、複数のスペーサが内面に面接する複数の当接面が同一平面に略揃うようにしてグリッドを保持する第２保持機構と、一方のプレートの内面と複数のスペーサの複数の当接面とが微小ギャップを介して略平行に対面するように、第２保持機構を位置決めする位置決め機構と、第２保持機構を位置決めした状態で第１保持機構を一方のプレートの内面と略平行な方向に移動して一方のプレートとグリッドとを上記微小ギャップを保ったまま所定の位置関係に位置合わせする位置合わせ機構と、を備え、第２保持機構は、グリッドの略全面を覆う平らな剛体からなる第２吸着面を有し、磁力を発生させてグリッドを第２吸着面に吸着せしめる。
【００１５】
上述した平面表示装置の製造装置によると、第１保持機構の第１吸着面に一方のプレートの外面を吸着させてその内面の平面度を高め、第２保持機構の第２吸着面にグリッドを吸着させて複数のスペーサの当接面が同一平面に略揃うようにしたため、一方のプレートの内面と複数のスペーサの当接面とを微小ギャップを介して対面させたとき、両者が接触することを防止できる。
【００１６】
これにより、一方のプレートおよびグリッドの少なくとも一方に歪みを生じていた場合であっても、一方のプレートとグリッドとを位置合わせする際、プレート内面とスペーサが接触することがなくなり、スペーサの破壊およびプレート内面の損傷を防止できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１８】
図１には、この発明の実施の形態に係る後述する製造装置によって製造される平面表示装置の一例として表面導電型電子放出装置（ＳＥＤ）１の断面図を示してある。また、図２には、ＳＥＤ１に組み込まれるスペーサグリッド１０の外観斜視図を示してある。ＳＥＤ１の製造装置および製造方法について説明する前に、まず、ＳＥＤ１について説明する。
【００１９】
ＳＥＤ１は、それぞれ矩形板状のガラスからなるリアプレート２およびフェースプレート４を有する。これら２枚のプレート２、４は、高精度に位置合わせされた状態で所定のギャップを介して対向配置されている。そして、リアプレート２およびフェースプレート４は、ガラスからなる矩形枠状の側壁６を介して周縁部同志が接合され、扁平な真空外囲器を構成している。
フェースプレート４がリアプレート２に対向する側の内面４ａには蛍光体スクリーン１１が形成されている。この蛍光体スクリーン１１は、赤、青、緑の蛍光体層、および黒色着色層を並べて構成されている。これらの蛍光体層はストライプ状あるいはドット状に構成されている。また、蛍光体スクリーン１１上には、アルミニウム等からなるメタルバックが形成されている。
【００２０】
リアプレート２がフェースプレート４に対向する側の内面２ａには、蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の電子放出素子（エミッタ）１２が設けられている。これらの電子放出素子１２は、各画素に対応して複数列および複数行に配列されている。
【００２１】
接合部材として機能する側壁６は、例えば、低融点ガラスからなるフリットガラス１３により、リアプレート２の周縁部とフェースプレート４の周縁部に封着され、リアプレート２とフェースプレート４を接合している。
【００２２】
また、リアプレート２とフェースプレート４との間には、スペーサグリッド１０が配設されている。スペーサグリッド１０は、金属製の矩形板状のグリッド８の表裏に、それぞれ上スペーサ１４、下スペーサ１５を所定の間隔をおいて接合配置して形成される。スペーサグリッド１０は、大気圧によるリアプレート２およびフェースプレート４の破壊を防止するよう機能する。
【００２３】
また、グリッド８には、電子放出素子１２から放出された電子を蛍光体スクリーン１１に到達させるための電子通過孔１６が設けられている。すなわち、電子放出素子１２、電子通過孔１６、および蛍光体スクリーン１１の蛍光体層は、各画素毎に対応して一列に並んでいる。
【００２４】
上記構成のＳＥＤ１は以下のようにして画像を表示する。
【００２５】
まず、図示しない信号源から入力される画像信号に基づいて、リアプレート２の内面２ａに設けられた複数の電子放出素子１２から電子ビームが放出される。各電子放出素子１２から放出された電子ビームは、グリッド８の対応する電子通過孔１６を通過し、所望の蛍光体層１１上に収束される。これにより、蛍光体が励起発光されて画像が表示される。
【００２６】
次に、図３乃至図５を参照して、この発明の実施の形態に係るＳＥＤ１の製造装置１００について説明する。ここでは、ＳＥＤ１のリアプレート２とスペーサグリッド１０とを高精度に位置合わせして組み立てるための製造装置１００について説明する。尚、本実施の形態では、製造装置１００に投入されるリアプレート２の内面２ａには、予め、枠状の側壁６が接合されているとともに、後述するように位置合わせされた状態のスペーサグリッド１０を仮留めするための金属製の複数個の突起９が接合されている。
【００２７】
製造装置１００は、リアプレート２の外面２ｂを吸着せしめて保持するバキューム吸着板２１（第１保持機構）を有する。バキューム吸着板２１は、略矩形板状に形成され、リアプレート２の略全面を覆う大きさの平面、すなわちリアプレート２の外面２ｂに面接する吸着面２１ａ（第１の吸着面）を有する。バキューム吸着板２１の内部には、負圧を生じせしめるための複数の負圧チャンバー２２が形成されている。吸着面２１ａは、外力によって変形することのない平らな剛体によって形成されている。また、吸着面２１ａには、負圧チャンバー２２に連通した複数の孔２２ａが形成されている。
【００２８】
また、バキューム吸着板２１の周辺部には、後述する位置合わせ用のマークを検出するための照明用の複数の貫通孔２１ｂが形成されている。さらに、バキューム吸着板２１には、後述する離間機構２４の複数本の押し上げロッド２４ａを挿通せしめるための複数の貫通孔２１ｃが形成されている。
【００２９】
上記構造のバキューム吸着板２１は、作業台１０１上に設置された矩形板状のベース１００ａ上に設けられた複数の滑動部材１０２を介して、製造装置１００に対して脱着自在にセットされる。つまり、バキューム吸着板２１は、製造装置１００にセットした状態で、略水平面に沿ってあらゆる方向に移動可能となっている。
【００３０】
ベース１００ａには、バキューム吸着板２１の貫通孔２１ｂに対応した位置に複数の貫通孔１００ｂが形成されている。各貫通孔１００ｂの下端近くには、照明用の光源１０３がそれぞれ設けられている。また、ベース１００ａには、押し上げロッド２４ａを挿通するための複数の貫通孔１００ｃが、バキューム吸着板２１の貫通孔２１ｃにそれぞれ対応して形成されている。尚、押し上げロッド２４ａを挿通するための複数の貫通孔２１ｃ、１００ｃは、少なくとも一方が押し上げロッド２４ａの径より大きな径を有する。
【００３１】
また、ベース１００ａの周辺部近くには、バキューム吸着板２１を水平面に沿った図中矢印Ｘ方向および図中矢印Ｙ方向に移動させるための複数の位置合わせ機構２３が、ベース１００ａから突設された支持部材２３ａを介して、それぞれ取り付けられている。各位置合わせ機構２３は、バキューム吸着板２１の対応する端辺に当接して押し込むことでバキューム吸着板２１を所定方向に移動させるように機能する。この際、ベース１００ａとバキューム吸着板２１との間に設けられた滑動部材１０２がバキューム吸着板２１の移動を滑らかにする。
【００３２】
さらに、バキューム吸着板２１の下方であってベース１００ａより下方には、離間機構２４が設けられている。離間機構２４は、ベース１００ａの貫通孔１００ｃおよびバキューム吸着板２１の対応する貫通孔２１ｃを貫通可能な複数本の押し上げロッド２４ａを有する。各押上ロッド２４ａは、連結板２４ｂから突設され、その先端２４ｃがバキューム吸着板２１の吸着面２１ａに面接したリアプレート２の外面２ｂに当接可能となっている。
【００３３】
つまり、図５に示す状態から、離間機構２４を上昇させることにより、各押し上げロッド２４ａの先端２４ｃがリアプレート２を押し上げる。このとき、バキューム吸着板２１による負圧が解除されていれば、バキューム吸着板２１の吸着面２１ａとリアプレート２の外面２ｂとが離間されることになる。
【００３４】
また、製造装置１００のベース１００ａ上には、スペーサグリッド１０を吸着せしめたマグネット吸着板４１を昇降移動させて、スペーサグリッド１０をリアプレート２に対して位置決めするための位置決め機構３０が設けられている。
【００３５】
位置決め機構３０は、上述したバキューム吸着板２１を矢印Ｘ方向に沿って挟む位置関係で、２つのレール支持台３１を有する。各レール支持台３１は、ベース１００ａから鉛直方向に一体的に立設され、互いに向かい合う面上に鉛直方向に延びたそれぞれ２本のレール３２を備えている。各レール３２には、スライダ３３を介して断面略Ｌ字状の保持部材３４が昇降移動可能に取り付けられている。
【００３６】
上記４つの保持部材３４は、以下に説明するマグネット吸着板４１の端辺を支持した状態でレール３２に沿って昇降移動する。各保持部材３４の下方には、保持部材３４の下面に当接することで保持部材３４の下方への移動を規制する当接部材３５がそれぞれ設けられている。当接部材３５は、その上端にある当接面３５ａを保持部材３４の移動方向、すなわち鉛直方向に高さ調整可能に設けられている。つまり、当接面３５ａの高さを調整することにより、保持部材３４の停止高さ、すなわちマグネット吸着板４１の吸着面４１ａの停止高さを調整可能となっている。
【００３７】
マグネット吸着板４１は、略矩形板状に形成され、剛体からなる平面、すなわち吸着面４１ａ（第２吸着面）を有する。平らな吸着面４１ａは、スペーサグリッド１０の略全面を覆う大きさを有する。
【００３８】
また、マグネット吸着板４１の背面４１ｂ側、すなわち吸着面４１ａから離間した側には、磁界を発生させるための複数の円筒形のマグネット４２を受け入れるための複数の受穴４１ｃが形成されている。マグネット吸着板４１は、これら複数の受穴４１ｃにそれぞれマグネット４２を受け入れた状態で、第２保持機構として機能する。複数のマグネット４２は、それぞれ支持ロッド４２ａを介して支持板４３に取り付けられてマグネットユニットを構成している。
【００３９】
さらに、マグネット吸着板４１の周辺部近くには、上述した貫通孔２１ｂ、１００ｂに対応する複数の貫通孔４１ｄが形成されている。各貫通孔４１ｄの上端のさらに上方には、位置合わせ用のマークを撮像するためのカメラ４４が配設されている。
【００４０】
上記構造のマグネット吸着板４１の周辺部には、上述した４つの保持部材３４それぞれに対応して係合する略矩形板状の４つの係合片４５が一体的に設けられている。すなわち、マグネット吸着板４１の吸着面４１ａにスペーサグリッド１０を磁力により吸着せしめた状態で、スペーサグリッド１０が下にくる姿勢にしてマグネット吸着板４１の周辺にある４つの係合片４５を４つの保持部材３４それぞれに係合させることで、マグネット吸着板４１を製造装置１００にセットできる。
【００４１】
次に、上記のように構成された製造装置１００を用いたＳＥＤ１の製造方法について、図６のフローチャートを参照して説明する。
【００４２】
まず、バキューム吸着板２１の負圧チャンバー２２を介して吸着面２１ａに負圧を生じさせ、リアプレート２の外面２ｂを吸着面２１ａに吸着させる（ステップ１）。本実施の形態では、バキューム吸着板２１は、予め製造装置１００にセットされているが、リアプレート２を吸着せしめた後、バキューム吸着板２１を製造装置１００にセットするようにしても良い。
【００４３】
リアプレート２を吸着させる際、リアプレート２をその外面２ｂを下にしてバキューム吸着板２１の吸着面２１ａ上の所定位置にセットした後、負圧チャンバー２２を介して負圧を生じさせる。これにより、平らな剛体からなる吸着面２１ａにリアプレート２の外面２ｂが押し付けられて面接され、リアプレート２に歪みを生じていた場合であっても、外面２ｂの平面度が高められ、結果としてリアプレート２の内面２ａの平面度も高められる。
【００４４】
次に、保持部材３４から取り外した状態のマグネット吸着板４１の背面側に形成された複数の受穴４１にマグネットユニットの複数のマグネット４２をセットし、マグネット吸着板４１をその吸着面４１ａが上を向くように設置する。そして、マグネット吸着板４１の吸着面４１ａ上の所定位置にスペーサグリッド１０を載置してスペーサグリッド１０を磁力によって吸着面４１ａに吸着させる（ステップ２）。マグネット４２は永久磁石で形成されても良いが、電磁石によって構成して吸着面４１ａ上にスペーサグリッド１０を載置した後に通電するようにしても良い。
【００４５】
尚、この際、スペーサグリッド１０がリアプレート２の内面２ａに対向する側と反対側に設けられた複数の上スペーサ１４の先端、すなわち当接面１４ａ（図２）がマグネット吸着板４１の吸着面４１ａに面接するように、スペーサグリッド１０がマグネット吸着板４１の吸着面４１ａに吸着される。或いは、マグネット吸着板４１の吸着面４１ａに上スペーサ１４を逃がすための複数の逃げ穴（図示せず）を形成しておき、吸着面４１ａにグリッド８の上面８ａを吸着させるようにしても良い。
【００４６】
いずれにしても、平らな剛体からなる吸着面４１ａにスペーサグリッド１０を吸着させることにより、スペーサグリッド１０に歪みを生じていた場合であっても、スペーサグリッド１０の平面度が高められ、結果として吸着面４１ａから離間した側の複数の下スペーサ１５の先端、すなわち複数の当接面１５ａが同一平面内に略揃うようにスペーサグリッド１０の歪みが補正される。
【００４７】
そして、上記のようにスペーサグリッド１０を吸着した状態のマグネット吸着板４１が製造装置１００にセットされる（ステップ３）。このとき、スペーサグリッド１０が下側に来るようにマグネット吸着板４１が図４に示す姿勢に反転され、この状態で、マグネット吸着板４１の周辺部に設けられた４つの係合片４５が位置決め機構３０の４つの保持部材３４上に係合される。尚、４つの係合片４５は４つの保持部材３４それぞれに固定されても良い。また、マグネット吸着板４１を製造装置１００にセットする際、位置決め機構３０の各保持部材３４は図４に示す上方位置に待機しており、スペーサグリッド１０とリアプレート２との間のギャップは十分に確保されている。
【００４８】
この状態で、複数組みの貫通孔１００ｂ、２１ｂ、４１ｄを介して、リアプレート２の図示しない位置合わせ用のマークおよびグリッド８の図示しない位置合わせ用のマークが光源１０３によって照明され、貫通孔４１ｄの上方に設けられたカメラ４４を介して、重ねられた２つのマークが撮影される。このとき、例えば、リアプレート２に形成されるマークは例えば印刷により形成され、グリッド８に設けられるマークは貫通孔として形成される。そして、カメラ４４を介して撮影された画像が図示しない表示部を介して表示され、オペレータによってマークのズレが監視される。
【００４９】
そして、複数の位置合わせ機構２３によってバキューム吸着板２１が平行移動され、マークのズレが無くなるように、リアプレート２とスペーサグリッド１０とが所定の位置関係に位置合わせされる（ステップ４）。この際、スペーサグリッド１０とリアプレート２との間に従分なギャップが保たれているため、下スペーサ１５とリアプレート２の内面２ａとが接触することはない。
【００５０】
さらに、図５に示すように、位置決め機構３０が動作されて４つの保持部材３４がレール３２に沿って下降され、スペーサグリッド１０を吸着保持した状態のマグネット吸着板４１がリアプレート２に向けて下降される（ステップ５）。このとき、リアプレート２に対してスペーサグリッド１０を位置合わせした状態のまま、スペーサグリッド１０が下降される。
【００５１】
そして、４つの保持部材３４の下端面３４ａが４つの当接部材３５の当接面３５ａにそれぞれ当接され、各保持部材３４が予定の高さ位置で停止されてマグネット吸着板４１が停止され、スペーサグリッド１０がリアプレート２に対して位置決めされる（ステップ６）。このとき、スペーサグリッド１０の複数の下スペーサ１５の当接面１５ａとリアプレート２の内面２ａとの間に、両者が接触することのない微小ギャップが形成される程度に、スペーサグリッド１０がリアプレート２の内面２ａに接近される。或いは、各下スペーサ１５の当接面１５ａが僅かな荷重でリアプレート２の内面２ａに接触する程度にスペーサグリッド１０の高さ位置が設定される。いずれにしても、このとき、下スペーサ１５が破壊されたりリアプレート２の内面２が損傷されたりすることを防止可能な高さに設定される。
【００５２】
この状態で、スペーサグリッド１０の周辺近くの数箇所が、リアプレート２の内面２ａに予め接合されている突起９に仮留めされる（ステップ７）。つまり、微小ギャップを介して位置合わせしたリアプレート２とスペーサグリッド１０が位置ずれを生じないように、スペーサグリッド１０がリアプレート２に対して固定される。このとき、リアプレート２の内面２の各突起９とスペーサグリッド１０の下面８ｂとが、複数箇所で、レーザ９０（図５）等によって溶接される。
【００５３】
ただし、スペーサグリッド１０が動いて位置ずれを起こさないようであれば、ステップ７の仮留め処理を省略して、スペーサグリッド１０を固定せずにリアプレート２上に載せておくだけでも良い。
【００５４】
この後、マグネット吸着板４１の背面側に設けられた複数の受穴４１ｃからマグネットユニットの複数のマグネット４２が抜き出され、マグネット吸着板４１による磁力が消磁される。そして、磁力による吸着力が無くなったマグネット吸着板４１がリアプレート２に仮留めされた状態のスペーサグリッド１０から離間され、すなわち４つの保持部材３４から取り外され、マグネット吸着板４１が製造装置１００から離脱される（ステップ８）。
【００５５】
さらに、バキューム吸着板２１による負圧が解除され（ステップ９）、離間機構２４の複数本の押し上げロッド２４ａがそれぞれベース１００ａの貫通孔１００ｃおよびバキューム吸着板２１の貫通孔２１ｃを介して突き上げられ、押し上げロッド２４ａの先端２４ｃによってリアプレート２の外面２ｂが押し上げられ、バキューム吸着板２１の吸着面２１ａとリアプレート２の外面２ｂとが離間される（ステップ１０）。
【００５６】
最後に、マグネット吸着板４１およびバキューム吸着板２１による吸着が解除された状態のアッセンブリ（リアプレート２とスペーサグリッド１０との組立体）が製造装置１００から取り出される（ステップ１１）。
【００５７】
以上のように、本実施の形態によると、バキューム吸着板２１の平らな剛体からなる吸着面２１ａにリアプレート２の外面２ｂを吸着させてその内面２ａの平面度を高め、マグネット吸着板４１の平らな剛体からなる吸着面４１ａにスペーサグリッド１０を吸着させて複数の下スペーサ１５の当接面１５ａが同一平面に略揃うようにしたため、リアプレート２の内面２ａと複数の下スペーサ１５の当接面１５ａとを微小ギャップを介して対面させたとき、両者が接触することを防止できる。
【００５８】
これにより、リアプレート２およびスペーサグリッド１０の少なくとも一方に歪みを生じていた場合であっても、リアプレート２とスペーサグリッド１０とを位置合わせする際、リアプレート２の内面２ａと下スペーサ１５の当接面１５ａが接触することがなくなり、下スペーサ１５を破壊することおよびリアプレート２の内面２ａに設けられた電子放出素子１２を損傷することを防止でき、両者を高精度に位置合わせできる。
【００５９】
尚、この発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。
【００６０】
例えば、上述した実施の形態ではリアプレート２とスペーサグリッド１０とを位置合わせして組み立てる場合について説明したが、フェースプレート４とスペーサグリッド１０とを位置合わせして組み立てる場合に本発明を適用しても良い。
【００６１】
また、上述した実施の形態では、ＳＥＤ１の製造装置について説明したが、ＦＥＤや、ＰＤＰ等の他の平面表示装置を製造するための製造装置として本発明を適用しても良い。
【００６２】
また、上述した実施の形態では位置合わせ機構２３を動作させてスペーサグリッド１０に対してリアプレート２を位置合わせした後に両者を接近させて微小ギャップを介して位置決めするようにしたが、先に両者を接近させて微小ギャップを形成した状態で位置合わせ機構２３を動作させて両者を位置合わせするようにしても良い。
【００６３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の実施の形態に係る平面表示装置の製造装置は、上記のような構成および作用を有しているので、スペーサを破損したりプレート内面を傷付けることなく、リアプレート、或いはフェースプレートとスペーサグリッドとを高精度に位置合わせして組み立てできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る製造装置および製造方法により製造されるＳＥＤの概略構成を示す断面図。
【図２】図１のＳＥＤに組み込まれるスペーサグリッドの外観を示す概略斜視図。
【図３】図１のＳＥＤを製造する本発明の実施の形態に係る製造装置の外観を示す概略斜視図。
【図４】図３の製造装置の構造を示す断面図。
【図５】図３の製造装置の構造を示す断面図。
【図６】図３の製造装置によるＳＥＤの製造方法を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
１…ＳＥＤ、
２…リアプレート、
２ａ…内面、
２ｂ…外面、
４…フェースプレート、
６…側壁、
８…グリッド、
９…突起、
１０…スペーサグリッド、
１１…蛍光体スクリーン、
１２…電子放出素子、
１４…上スペーサ、
１５…下スペーサ、
１６…電子通過孔、
２１…バキューム吸着板、
２１ａ…吸着面、
２２…負圧チャンバー、
２３…位置合わせ機構、
２４…離間機構、
３０…位置決め機構、
３４…保持部材、
３５…当接部材、
４１…マグネット吸着板、
４１ａ…吸着面、
４１ｃ…受穴、
４２…マグネット、
４４…カメラ、
１００…製造装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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