(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板からなる薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合における薄板物品の位置決め装置において、薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移送するコンベアと、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を、昇降装置を介して上昇させることにより支持し、昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持させるようにする支持台と、薄板物品を支持した支持台をエアー圧にて浮上させるエアーベアリングと、エアー圧にて浮上している支持台に支持されている薄板物品のコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行うコンベアの幅方向に対向して配設した位置決めストッパと、薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に復帰させる支持台復帰手段としての位置決めシリンダとからなることを特徴とする薄板物品の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板物品の位置決め装置に関し、特に、液晶のガラス基板からなる薄板物品（本明細書において、単に、「薄板物品」という。）の移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の位置決め装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶の製造工場においては、予め定寸に形成されたガラス基板を、１つの装置から他の装置へ移送する場合に、ガラス基板の大型化に伴い、装置の相対位置の誤差や、装置の搬入搬出の移載精度の誤差が大きくなり、移載時にガラス基板が装置等に衝突する事故が発生していた。
これを防止するためには、ガラス基板の位置決めを正確に行う必要があり、ガラス基板を１つの装置から、他の装置へ移送する時にガラス基板の位置の補正を行うようにしている。
ところで、このガラス基板の位置の補正は、例えば、搬送コンベアの位置で、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接させることにより、ガラス基板の位置決めを行った後、移載機により他の装置又は搬送コンベアに移載することにより行うようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のガラス基板の位置の補正方法は、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接させて行うようにしているため、ガラス基板が小型の場合にはさほど支障はないが、生産効率の向上及び製造コストの低廉化の要請に応じるため、ガラス基板が大型化されると、ガラス基板自体の重量によって、コンベアとの摩擦抵抗も増し、脆弱なガラス基板のような薄板物品とコンベアとの間に大きな摩擦抵抗が発生し、高速で搬送されるガラス基板を位置決めストッパに直接当接させて位置決めを行うと、摩擦力や変形によりガラス基板が破損したり、剛性が不充分で変形が生じたりするおそれがあった。
これを未然に防ぎ、安定して位置決めを行うためには、ガラス基板の搬送速度を低下させる必要があるが、これによって、生産効率が低下するという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記従来の薄板物品の位置決め装置の有する問題点に鑑み、薄板物品の移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の薄板物品の位置決め装置は、ガラス基板からなる薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合における薄板物品の位置決め装置において、薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移送するコンベアと、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を、昇降装置を介して上昇させることにより支持し、昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持させるようにする支持台と、薄板物品を支持した支持台をエアー圧にて浮上させるエアーベアリングと、エアー圧にて浮上している支持台に支持されている薄板物品のコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行うコンベアの幅方向に対向して配設した位置決めストッパと、薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に復帰させる支持台復帰手段としての位置決めシリンダとからなることを特徴とする。
【０００６】
この薄板物品の位置決め装置は、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を支持台を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、エアーベアリングから噴射されるエアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めストッパにて少なくともコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行った後、支持台を昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持することにより位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出することにより、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができる。
また、薄板物品を他方の装置へ搬出した後、位置決めシリンダからなる支持台復帰手段にて、前記薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に戻すようにすることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の薄板物品の位置決め方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００８】
図１〜図２に、本発明の薄板物品の位置決め方法の一実施例を示す。
液晶の製造工場においては、予め定寸に形成されたガラス基板Ｇを、予め定められた製造工程に従って、連続的に或いは間欠的に、製造装置間を、例えば、コンベア等の移載装置を介して移送するようにしている。
ここでは、特に限定されるものではないが、大型のガラス基板Ｇを安定して移送できるように、アンロードポートにコンベア１を採用した場合について説明する。
【０００９】
このアンロードポートのコンベア１の終端部には、ガラス基板Ｇの位置決めを行って、移載装置３に受け渡すようにする位置決め装置２を配設する。
【００１０】
この位置決め装置２は、コンベア１の終端部の下方位置に配設し、ガラス基板Ｇの下面を支持する支持台２１と、支持台２１を機械的に昇降させる昇降装置２２と、昇降装置２２の頂面に配設し、噴射するエアー圧にてガラス基板Ｇの下面を支持した状態で支持台２１を浮上させるようにするエアーベアリング２３と、エアーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１を浮上させながらガラス基板Ｇを支持台２１と共に位置決めする少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位置決めストッパとしての位置決めシリンダ２４、２４とから構成され、これにより、コンベア１により搬入されたガラス基板Ｇを迅速かつ正確に位置決めして、後続の移載装置３に受け渡すことができるようにしている。
【００１１】
本実施例においては、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ２４、２４は、コンベア１によるガラス基板Ｇの移送方向に対して直角方向の位置決めを行うことができるように、コンベア１の上方にコンベア１の幅方向に対向して配設したが、これとは別に、ガラス基板Ｇの移送方向の位置決めを行うことができるように、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ（図示省略）をコンベア１の上方にコンベア１の送り方向に対向して配設するようにしたり、さらに、ガラス基板Ｇの移送方向及び移送方向に対して直角方向の位置決めの両方を一度に行うことができるように、コンベア１の上方のガラス基板Ｇの対角線上となる位置に対向して配設するようにすることもできる。
【００１２】
移載装置３は、コンベア１により搬入され、位置決め装置２により位置決めされ、再度、コンベア１上に降ろされたガラス基板Ｇを、ガラス基板Ｇの下方に挿入されるフォーク３２を扛上させてコンベア１から掬い上げるようにしてコンベア１とは異なる位置にある他の装置のロードポート上に移載することができるように構成されている。
このため、移載装置３は、アンロードポートのコンベア１と交わる方向に移動可能とし、他の装置へ移動可能な移載装置本体３１と、この移載装置本体３１に対し昇降と伸縮と旋回とをなすフォーク３２とより構成される。
【００１３】
さらに、位置決め装置２には、ガラス基板Ｇをコンベア１上に降ろした後、支持台２１を基準位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２５、２５を備え、ガラス基板Ｇを位置決めすることによって偏位している支持台２１を、必要に応じて、エアーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【００１４】
また、他方の装置となる受け渡し側のロードポート４は、液晶などの製造装置側で、図示のように、アンロードポートのコンベア１と対向する位置に配設する場合と、この対向位置と横方向に位置をずらした別の位置に配設することがある。
そして、この製造装置側は、１台だけでなく、複数台が隣接或いは所定の間隔をあけて配設され、この隣接或いは並列される製造装置間を移載装置３が移動するようにし、これにより、一方の装置から他方の任意の装置へガラス基板Ｇを確実に移送できるようにすることができる。
【００１５】
次に、この薄板物品の位置決め装置の動作について説明する。
アンロードポートのコンベア１上を、設定された速度にて搬送されてきたガラス基板Ｇは、図１（Ａ）に示すように、コンベア１の終端部に達すると、コンベアによる搬送が解除されるとともに、コンベア１の下方に配設された位置決め装置２が駆動される。
【００１６】
この位置決め装置２の駆動により、図１（Ｂ）に示すように、まず昇降装置２２が駆動されて支持台２１が降下した待機位置（図１（Ａ）に示す位置）から上昇し、コンベア１上のガラス基板Ｇはこの支持台２１にて下部から持ち上げられるようになり、支持台２１上に移載される。
この支持台２１を持ち上げた状態で、次にエアーベアリング２３からエアーを噴出させると、このエアー圧により支持台２１は、ガラス基板Ｇを支持した状態で浮遊状態となる。
【００１７】
このガラス基板Ｇが浮遊した状態で、対向する位置決めシリンダ２４、２４を操作することにより、浮遊するガラス基板Ｇを、支持台２１ごと、両方向から位置決めし、所定位置となるようにする。
この場合、ガラス基板Ｇは支持台２１と共に浮遊しているため、エアーベアリング２３との摩擦抵抗がないので、軽く、迅速かつ正確に位置決めが正確に行える。
次に、エアーベアリング２３からのエアー噴射を停止すると、ガラス基板Ｇを支持した支持台２１は、エアーベアリング２３上に直接支持されるようになる。
【００１８】
この状態で、昇降装置２２の操作により支持台２１を降下させ、コンベア１の下方位置に達すると、この支持台２１上に支持されていたガラス基板Ｇは、位置決めされた状態で再びコンベア１上に支持される。
【００１９】
この後、ガラス基板Ｇの下方位置に移載装置３のフォーク３２を挿入し、再び上昇させるとガラス基板Ｇは、位置決めされた状態で、コンベア１側からフォーク３２側に移載される。
【００２０】
次に、移載装置３がアンロードポートのコンベア１と受け渡し側のロードポート４間の走行路に添って移動する。この際、図示のように、アンロードポートのコンベア１と受け渡し側のロードポート４とが対向している場合は、この移載装置３はフォークを１８０度旋回させるだけで、受け渡し側のロードポート４と対向することができる。
次に、フォークを定位置まで降下させると、ガラス基板Ｇはフォーク側から受け渡し側のロードポート４へ移載される。
【００２１】
このようにガラス基板Ｇを、受け渡し側のロードポート４へ移載した後、フォーク３２を待機位置まで旋回させて停止する。この動作を繰り返すことにより順次ガラス基板Ｇを、正確に位置決めしてアンロードポートのコンベア１からロードポート４側へ移送することができる。
【００２２】
なお、ガラス基板Ｇをコンベア１上に降ろした後、位置決め装置２に備えられた支持台２１を基準位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２５、２５を駆動することにより、ガラス基板Ｇを位置決めすることによって偏位している支持台２１を、エアーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【００２３】
以上、本発明の薄板物品の位置決め装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の薄板物品の位置決め装置によれば、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を支持台を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、エアーベアリングから噴射されるエアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めストッパにて少なくともコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行った後、支持台を昇降装置を介して降下させることにより薄板物品をコンベア上に支持し、位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出することにより、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができる。
そして、特に、エアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めするようにしているので、摩擦力が浮上によりなくなり、小さな力で、大型の薄板物品を、破損することなく位置決めすることができる。
また、薄板物品を他方の装置へ搬出した後、位置決めシリンダからなる支持台復帰手段にて、前記薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に戻すようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の薄板物品の位置決め装置の一実施例を示し、（Ａ）は位置決め装置の位置でガラス基板が停止した状態を、（Ｂ）は位置決め装置にてガラス基板が持ち上げられ、位置決めされた状態を、それぞれ示す。
【図２】  アンロードポートのコンベア及び移載装置を示す外観斜視図である。
【符号の説明】
Ｇ    ガラス基板（薄板物品）
１    コンベア
２    位置決め装置
２１  支持台
２２  昇降装置
２３  エアーベアリング
２４  位置決めシリンダ（位置決めストッパ）
２５  位置決めシリンダ（支持台復帰手段）
３    移載装置
３１  移載装置本体
３２  フォーク
４    受け渡し側のロードポート
【図１】
0003976170.tif 000002
【図２】
0003976170.tif 000003