(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に微小な探針を有するカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出する変位検出手段と、前記カンチレバーまたは試料を振動させる振動手段と、試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、測定の基準を知るための較正試料と測定試料を並べて設置し、該測定試料に前記探針を接触させて測定試料成分を探針に付着させ、前記較正試料上で探針に付着した前記測定試料成分の物性を測定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記較正試料がＳｉ基板、ＳｉＯ2、窒化珪素、アルミナまたはＴｉＣなどのセラミック基板、グラファイト基板、一般金属基板などのかたさを持つ基板であることとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】
探針に付着した測定試料成分の物性を測定する際、付着物が無い探針により前記較正試料上で出力振幅を測定し、次に測定試料成分を付着後、同じく前記較正試料上で出力振幅を測定し、探針に付着した測定試料成分の粘弾性特性を測定することとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】
探針に付着物が無いときに前記較正試料上で入力信号に対する出力信号の時間的遅れを測定し、次に測定試料成分を付着後同様に前記較正試料上で入力信号に対する出力信号の時間的遅れを測定し、探針に付着した測定試料成分の物性として粘弾性特性を測定することとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】
前記較正試料に対して付着物付きの探針を接触と離しを繰り返し、離す際に必要なカンチレバーの変位量を得ることで探針に付着した測定試料成分の物性として吸着特性を測定することとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】
前記試料移動手段により探針に対して試料を水平方向に移動させ、該探針のねじれ量を測定することで探針に付着した測定試料成分の物性として摩擦特性を測定することとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項７】
前記探針を測定試料上でスキャンさせることにより、該探針に微量の測定試料を付着させることとした、請求項１から６のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】
カンチレバーへ電流を流す手段を有し、カンチレバー、および測定試料に予め導電性処理をして、探針を測定試料上に移動させて電流を流す、あるいは瞬間的に電圧を印加させることで該探針に微量の測定試料を電着により付着させることとした、請求項１から６のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項９】
カンチレバーを加熱する手段を設け、測定試料上で前記カンチレバーを加熱して試料成分を溶かし探針に測定試料を付着させ、前記カンチレバーの加熱を止めて前記探針に微量の測定試料を付着させることとした、請求項１から６記載のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１０】
測定試料成分を探針に付着させた状態でカンチレバーの前記加熱する手段により付着物を加熱し、付着成分の温度による物性変化を測定することとした、請求項１から９のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１１】
較正試料と複数の測定試料を並べて設置し、測定試料を探針に付着させて較正試料上に付着物を落とし、別の測定試料でも同様の操作を繰り返して前記較正試料上に複数の付着成分を落として複数の試料成分を独立に分散させることとした、請求項１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１２】
前記分散させた較正試料上に探針を移動させ、該較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性を測定比較することとした、請求項１１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１３】
出力振幅を比較することで較正試料上に分散した複数の測定試料成分の物性として粘弾性特性を測定比較することとした、請求項１２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１４】
入力信号に対する出力信号の時間的遅れを比較することで較正試料上に分散した複数の測定試料成分の物性として粘弾性特性を測定比較することとした、請求項１２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１５】
前記測定比較する物性が、吸着であることとした、請求項１２記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１６】
前記複数の試料成分を分散させた較正試料を測定する際、測定領域全体をマッピングすることとした、請求項１１記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１７】
物性を測定比較するとき、出力振幅をマッピングすることで前記較正試料上に分散した複数の測定試料成分の粘弾性特性をマッピングすることとした、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１８】
物性を測定比較するとき、時間的遅れをマッピングすることで前記較正試料上に分散した複数の測定試料成分の粘弾性特性をマッピングすることとした、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項１９】
物性を測定比較するとき、記較正試料上に分散した複数の測定試料成分の吸着特性を測定しマッピングすることとした、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２０】
物性を測定比較するとき、較正試料上に分散した複数の測定試料成分の摩擦特性をマッピングすることとした、請求項１６記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２１】
複数の試料成分を分散させた較正試料表面を探針に対して水平方向に振動させながら測定することとした、請求項２０記載の走査型プローブ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる振動手段と試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の走査型プローブ顕微鏡は、先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーと試料間の距離を一定周期で所望の振幅量で振動させる手段と試料を移動させる試料移動手段を有し、測定したい個々の試料ごとに測定領域内における粘弾性特性などの表面物性が測定されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の走査型プローブ顕微鏡では、探針を試料表面に接触させるときカンチレバーの種類によるバラツキや同一種類でも探針形状の個々のバラツキにより針先Ｒが異なると、試料との接触面積が異なるため、先鋭化されているがゆえに小さなバラツキでも接触面積で決まる応力が大きく変化してしまい、試料毎に測定する表面物性を比較できない欠点があった。特に試料成分が針先に付着した状態では、測定試料面との接触面積も付着の進行で変化してしまう欠点があった。また、同一のカンチレバーで試料毎に順に測定比較するため複数試料のうちのある試料成分のみ針先に付着した状態で次の試料を測定することになるので複数の試料の表面物性を正確に測定比較できない欠点もあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するために、本発明では、先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーと試料間の距離を一定周期で所望の振幅量で振動させる手段と試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、較正試料と測定試料を並べて設置し、まず探針に付着物が無いときに較正試料上で物性を測定し、次に測定試料上に探針を接触させて測定試料成分を探針に付着させ、付着させたままの探針を較正試料上に移動させて、較正試料上で探針に付着した測定試料成分の物性を測定するようにした。また、較正試料上に複数の試料成分を独立に分散し、測定したい領域内を測定することで較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性を測定比較するようにした。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明は、図に示すように先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる振動手段と試料を移動させる試料移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、較正試料と測定試料を並べて設置し、まず探針に付着物が無いときに較正試料上で物性を測定し、次に測定試料上に探針を接触させて測定試料成分を探針に付着させ、付着させたままの探針を較正試料上に移動させて、較正試料上で探針に付着した測定試料成分の物性を測定するようにした。また較正試料上に複数の試料成分を独立に分散させ、測定したい領域内を測定することで、較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性測定比較を可能にした。
【０００６】
【実施例】
実施例について図面を参照して説明すると、図１、図２、図３は走査型プローブ顕微鏡の測定における本発明の方式の模式図である。
カンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる手段として、試料移動手段に内蔵する上下動作をモジュレーション入力として利用する場合について、また表面物性測定の中で粘弾性特性を測定する例を図１で説明する。カンチレバー１の先端には探針２があり、試料３と接触している。試料３は試料台４の上に設置されている。試料台４は試料移動手段５に設置されている。試料移動手段５は上下方向の動作と水平方向の動作が可能である。上下方向に動作させることで、針先を試料面に対して押し付けと離しの繰り返しの振動を与えることができる。水平方向の動作では、探針と試料面接触位置を相対的に移動させることができる。試料への振動は、試料移動手段５に内蔵する上下動作によりモジュレーション入力６として与えられる。カンチレバー１にはレーザ７が照射されていて、反射光は変位検出手段８に到達する。変位検出手段８への到達位置によりカンチレバー１の変位が出力信号９として得られる。
【０００７】
モジュレーション入力６には一般に正弦波が利用され、出力信号９の波形は入力波形に対して時間的に遅れる特性となる。時間的遅れの大きさは試料３の粘弾性特性を代表する値となる。またモジュレーション入力の振幅をＡ０とすると出力信号の振幅はＡ１となる。試料３がやわらかければ出力振幅Ａ１は入力振幅Ａ０より小さくなる。従って出力振幅Ａ１の大きさでも試料３の粘弾性特性が測定できる。なおモジュレーション入力６として試料移動手段５の代わりにカンチレバー１側に設置された別の振動手段１０を用いてもよい。
【０００８】
次に探針先端に試料成分を付着する手順を図２および図３に示す。試料台上に較正試料１２と測定する試料３を並べて設置する。まず探針２を付着物が無い状態で較正試料１２上に移動させて較正試料上でモジュレーション入力を加え、入力波形に対する出力波形の応答を測定する。次に探針２を試料３上に移動させて探針２を試料に対して押し付けるなどの操作で探針先端に試料成分を付着させて付着試料１１を形成させる。次に付着試料の付いた探針を較正試料上１２へ移動させ較正試料１２上でモジュレーション入力を加え、入力波形に対する出力波形の応答を測定する。前述の時間的遅れ、あるいは出力振幅の大きさを測定比較し探針に付着した試料成分の粘弾性特性を測定する。
【０００９】
従来の走査プローブ顕微鏡のように測定試料毎に測定する場合には、探針が測定する試料上にある状態で入力波形に対する出力波形の応答を見ることになる。探針は先鋭化されているので試料表面への潜り方次第で接触面積はバラツキやすいため、接触面積で決まる応力もばらつく。また探針への付着の進行に伴い測定する試料との接触面積も変化しやすく同じく応力もばらつく。本実施例では付着物が無い探針により較正試料上で物性を測定して、次に探針に試料成分を付着させてから較正試料上で物性を測定し、物性の差を見ることで比較をする。較正試料は平面であり、変形の起きないかたさを持つことで付着物のみの粘弾性特性を測定することができる。
【００１０】
図４に探針でスキャンをさせて、探針に試料成分を付着させるとした別の実施例を示す。図４（Ａ）に示すように、まず探針２を試料３に接触させる。次に図４（Ｂ）に示すように、試料移動手段により試料３を左方向へ移動し、探針２を試料３上でスキャンさせることで測定試料成分を探針先端に絡め取り、探針２に微量の測定試料を付着させる。探針２に微量の試料３が付着した後スキャンを停止させて試料表面から探針を離すと、図４（Ｃ）に示すように探針２に微量の付着試料１１が形成された状態となる。
【００１１】
図５にカンチレバーに電位をかけて試料成分を付着させる別の実施例を示す。図５（Ａ）に示すようにカンチレバー１の表面に導電処理３１を施す。図５（Ｂ）に示すように電流を流す手段３２に取り付け、探針２を試料面に接触させる。電流を流す手段３２により、導電処理した探針２に試料３が例えば静電気力で付着するように探針２に印加する電位の方向を決める。探針２に試料が付着した後試料３から探針２を離すと、図５（Ｃ）に示すように探針２に微量の付着試料１１が形成された状態となる。
【００１２】
図６にカンチレバーを加熱させて試料成分を付着させる別の実施例を示す。図６（Ａ）に示すようにカンチレバー１の表面に粘着処理４１を施す。図６（Ｂ）に示すように加熱手段４２を取り付け、探針２を試料３に接触させる。カンチレバー１を加熱することで試料表面を溶かす、あるいは粘着性を上げる。探針２は試料３と接触した状態で粘着性が増え、カンチレバー１の加熱を止めることで、粘着成分が凝固あるいは室温にもどって微量の試料３が探針２に付着する。図６（Ｃ）で示すように、探針２を試料３より離せば、探針２に付着試料１１が形成された状態となる。またカンチレバー１の加熱手段４２の代わりに試料の下に加熱ヒータを設置し加熱して試料３を溶融させて、微量の試料３を探針２に付着させてもよい。
【００１３】
複数の試料を較正試料上に分散させる手順を図７に示す。図７（Ａ）で測定試料５１と別の測定試料５２と較正試料１２を試料台上で水平方向に並べて設置する。図７（Ｂ）でカンチレバー１は加熱手段４２に取り付けられ、探針２を試料５１上に移動させて探針２の先端に付着試料を形成させる。図７（Ｃ）で付着試料を形成させた探針２を較正試料１２上へ移動させる。図７（Ｄ）で加熱手段４２により探針２が加熱され、探針２の先端に形成された付着試料は較正試料１２上に落下し付着する。次に図７（Ｅ）で探針を別の測定試料５２上に移動させて探針２の先端に付着試料を形成させる。図７（Ｆ）で付着試料を形成させた探針２を較正試料１２上へ移動させて、同じく加熱手段４２により較正試料１２上へ落下し付着させる。図７（Ｇ）に示すように較正試料１２上には測定試料５１の成分と別の測定試料５２の成分が独立に分散された状態で付着する。また図７（Ｈ）に較正試料１２上に複数の試料を分散させた際の平面図を示す。複数の試料成分を分散させた領域について入力波形に対する出力波形の時間的遅れをマッピングすることで、複数試料の粘弾性特性を接触面積のバラツキに左右されることなく測定比較することができる。また同じく入力振幅に対する出力振幅の大きさをマッピングすることで複数試料の粘弾性特性を接触面積のバラツキに左右されることなく測定比較することもできる。また複数の試料成分を分散させた領域の表面凹凸像を測定後、各々の分散された試料成分上に探針２を移動させて粘弾性特性の比較をしてもよい。なお探針２の付着試料を較正試料上に落とす際、カンチレバー１の加熱手段４２の代わりに電流を流す手段により付着試料を静電気で離れるような電位の方向を決めて電位を印加してもよい。
【００１４】
以上までは探針を試料面に対して押し付けることで得られる物性として粘弾性特性の例で説明してきた。一方、探針を試料面から離すことに着目すれば得られる表面物性として、試料表面の吸着特性がある。探針に測定試料を付着後、付着試料付きの探針を較正試料に対して接触と離しを繰り返す実施例を図８、図９、図１０に示す。吸着の小さい試料上で上記した方法と同様の方法で探針２に吸着の小さい付着試料６１を形成させてから図８（Ａ）に示すように較正試料１２に接触させる。吸着特性の測定目的では、かたさ較正の試料ではなく、吸着特性の基準となる較正試料であればよい。図８（Ｂ）で較正試料１２を下方向へ移動させると、カンチレバー１はつり竿状態になる。探針２がどの程度試料側に引っ張られているかはカンチレバー１に照射されているレーザの反射光の位置を変位検出器で知ることで探針２の変位量を知ることができる。図８（Ｃ）でさらに較正試料１２を下方向に移動させれば、付着試料６１付きの探針２は較正試料１２から離れる。
【００１５】
次に吸着の大きい試料上で上記した方法と同様の方法で探針２に吸着の大きい付着試料６２を形成させてから図９（Ａ）に示すように較正試料１２に接触させる。図９（Ｂ）で試料を下方向へ移動させるとカンチレバー１はつり竿状態になる。探針２がどの程度較正試料１２側に引っ張られているかはカンチレバー１に照射されているレーザの反射光の位置を変位検出器で知ることで探針２の変位量を知ることができる。図９（Ｃ）でさらに較正試料１２を下方向に移動させれば、付着試料６２付きの探針２は、較正試料１２から離れる。吸着の大きい付着試料ではカンチレバー１のつり竿状態は顕著で探針の変位も大きく、吸着の小さい付着試料ではカンチレバーのつり竿状態の度合いは少なく探針の変位は小さくなる。較正試料から離れるときの探針２の変位を測定することで、探針に形成させた付着試料の吸着力の大小、つまり吸着特性を測定できる。
【００１６】
図１０、図１１に複数の試料を較正試料上に分散させて吸着特性を測定比較することとした別の実施例を示す。図１１（Ａ）で測定試料が付着していない探針２で複数の試料を分散させた較正試料１２を周期的に上下方向に振動させながらスキャンさせると、図１０（Ｂ）で吸着の小さい付着試料６１の部分ではカンチレバー１のつり竿状態の度合いは少なく探針２の変位は小さくなり、図１０（Ｃ）で吸着の大きい付着試料６２の部分ではカンチレバー１のつり竿状態は顕著で探針２の変位も大きくなる。探針２が離れるときの変位をマッピングしていけば、図１１に示す複数試料の吸着特性のマッピング像を得ることもできる。また複数の試料成分を分散させた領域の表面凹凸像を測定後、各々の分散された試料成分上に探針を移動させて吸着特性の比較をしてもよい。
【００１７】
測定試料を探針２に付着させた状態で試料移動手段により試料を水平方向に相対的にずらし、カンチレバーは摩擦などによりねじれて摩擦特性を測定する実施例を図１２、図１３に示す。摩擦の小さい試料上で上記した方法と同様の方法で探針２に摩擦の小さい付着試料８１を形成させた探針を図１２（Ａ）に示す。図１２（Ｂ）は探針２を有するカンチレバー１の長手方向が紙面と垂直の場合を示している。付着試料付きの探針２は較正試料１２表面に接触している。摩擦特性の測定目的ではかたさの較正の試料ではなく、摩擦特性の基準となる較正試料であればよい。図１２（Ｃ）でカンチレバー１がねじれやすいようにカンチレバー１の長手方向に直交する方向に較正試料１２を移動させると、摩擦の小さい付着試料８１の付いた探針２では、ねじれ量は小さくなる。次に摩擦の大きい試料上で上記した方法と同様の方法により探針に摩擦の大きい付着試料８２を形成させた探針を図１３（Ａ）に示す。図１３（Ｂ）は探針を有するカンチレバーの長手方向が紙面と垂直の場合を示している。摩擦の大きい付着試料８２の付いた探針２は較正試料１２面上に接触している。図１３（Ｃ）でカンチレバーがねじれやすいようにカンチレバーの長手方向に直交する方向に較正試料１２を移動させると、摩擦の大きい付着試料８２付きの探針２ではねじれ量は大きくなる。付着試料付きの探針２に対して較正試料１２を水平方向に移動させ、ねじれ量を変位検出手段により測定することで測定試料の摩擦特性を測定できる。
【００１８】
図１４に複数の試料を較正試料上に分散させて摩擦特性を測定比較する別の実施例を示す。図１４（Ａ）に示すように、複数の試料を分散させた較正試料１２を水平方向（図１４では左方向）に移動させて試料が付着していない探針２をスキャンさせると、図１４（Ｂ）で摩擦の小さい付着試料８１の部分ではカンチレバーのねじれ量は小さくなり、図１４（Ｃ）で摩擦の大きい付着試料８２の部分ではカンチレバーのねじれ量は大きくなる。ねじれ量を変位検出手段により測定することでねじれ変位をマッピングしていけば、図１５に示す複数試料の摩擦特性のマッピング像を得ることもできる。また複数の試料成分を分散させた領域の表面凹凸像を測定後、各々の分散された試料成分上に探針を移動させて摩擦特性の比較をしてもよい。また摩擦特性の測定目的では、試料を周期的に上下方向に振動させるかわりに、試料移動手段５の水平方向の動作で試料成分付きの探針に対して較正試料１２を水平方向に所望の振動数、所望の振動量で振動させながら試料面を測定していってもよい。摩擦の小さい試料を付着させるとねじれ量が小さく、摩擦の大きい試料を付着させるとねじれ量が大きくなる。また、試料が付着していない探針で、水平方向の振動（モジュレーション入力）をさせながら、同様に複数の試料を分散させた較正試料１２の摩擦特性のマッピング像を得ることもできる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２０】
先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段とカンチレバーまたは試料を一定周期で所望の振幅量で振動させる振動手段と試料を移動させる移動手段とからなり、試料の表面物性を測定する走査型プローブ顕微鏡において、較正試料と測定試料を並べて設置し、まず探針に付着物が無いときに較正試料上で物性を測定し、次に測定試料上に探針を接触させて測定試料成分を探針に付着させ、付着させたままの探針を較正試料上に移動させて較正試料上で探針に付着した測定試料成分の物性を測定するようにした。また、較正試料上に複数の試料成分を独立に分散させ測定したい領域内を測定することで、較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性を測定比較するようにした。較正試料を測定してカンチレバーの応力のバラツキを得ることで複数の試料の表面物性をバラツキなく測定し比較できる効果がある。また、較正試料上に複数の試料成分を独立に分散させ測定したい領域内を測定することで、較正試料に付着した複数の測定試料成分の物性をバラツキなく同時に得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】走査型プローブ顕微鏡で粘弾性特性を測定するときの本発明の模式図。
【図２】走査型プローブ顕微鏡で探針に試料を付着させることを説明する模式図。
【図３】走査型プローブ顕微鏡で試料の粘弾性特性を得る順序の説明図。
【図４】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡でスキャンによって試料成分を探針へ付着させる場合の実施例を示す模式図。
【図５】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で導電処理によって試料成分を探針へ付着させる場合の実施例を示す模式図。
【図６】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で粘着処理によって試料成分を探針へ付着させる場合の実施例を示す模式図。
【図７】（Ａ）から（Ｆ）は、走査型プローブ顕微鏡で複数の試料を較正試料に分散させる場合の実施例を示す模式図。
【図８】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で探針に付着した吸着の小さい試料成分の吸着特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図９】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で探針に付着した吸着の大きい試料成分の吸着特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図１０】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で複数の試料成分を較正試料に分散後、吸着特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図１１】走査型プローブ顕微鏡で複数の試料成分分散した較正試料の吸着特性のマッピングの模式図。
【図１２】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で探針に付着した摩擦の小さい試料成分の摩擦特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図１３】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で探針に付着した摩擦の大きい試料成分の摩擦特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図１４】（Ａ）から（Ｃ）は、走査型プローブ顕微鏡で試料成分を較正試料に分散後、摩擦特性を求める場合の実施例を示す模式図。
【図１５】走査型プローブ顕微鏡で複数の試料成分分散した較正試料の摩擦特性のマッピングの模式図。
【符号の説明】
１  カンチレバー
２  探針
３  試料
４  試料台
５  試料移動手段
６  モジュレーション入力
７  レーザ
８  変位検出手段
９  出力信号
１０  別の振動手段
Ａ０  入力振幅
Ａ１  出力振幅（較正試料のとき）
１１  付着試料
１２  較正試料
３１  導電性処理
３２  電流を流す手段
４１  粘着処理
４２  加熱手段
５１  測定試料
５２  別の測定試料
６１  吸着の小さい付着試料
６２  吸着の大きい付着試料
８１  摩擦の小さい付着試料
８２  摩擦の大きい付着試料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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