(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一辺寸法を，一辺寸法を大きくした大きいサイズの露光マスクに合わせて正方形に形成した板状体を備え，この板状体を，投影露光装置において前記大きいサイズの露光マスクを装着するよう構成した露光マスクホルダに，前記大きいサイズの露光マスクに代えて装着できるように構成し，この板状体に，一辺寸法を前記大きいサイズの露光マスクにおける一辺寸法よりも小さくした小さいサイズの露光マスクが着脱自在に嵌め込まれる正方形の貫通孔を，当該貫通孔における一つの内側面が前記板状体における一つの側面に開口するように穿設して，前記小さいサイズの露光マスクをこの開口部から前記貫通孔内に着脱自在に嵌め込みできるように構成する一方，前記板状体の下面側に，その貫通孔内に嵌めた小さいサイズの露光マスクに対する受け片を，当該受け片における上面を前記板状体の下面と同一平面にして設けて，この受け片を，前記貫通孔における残りの三つの内側面の全体にわたって連続する形態に構成したことを特徴とする投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造。
【請求項２】
前記請求項１の記載において，前記板状体における一つの側面に，前記小さいサイズの露光マスクを前記貫通孔内に嵌め込んだ状態に保持するようにした開閉片を設けたことを特徴とする投影露光装置における露光マスクサイズ変換用治具の構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，半導体装置又は液晶表示装置の製造に際しその半導体ウエハー等の基板に表面に対し露光マスク（レチクル）を使用して各種のパターンを投影露光するようにした投影露光装置において，この投影露光装置に対して，大きさ及び厚さの異なる各種の露光マスクを使用できるようにした治具の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
一般に，半導体装置の製造に際しその半導体ウエハーに対して各種のパターンを投影露光するために使用する露光マスクには，半導体ウエハーの大きさに合わせて，一辺寸法が大きい（例えば，６インチ）正方形にした大きいサイズの露光マスクと，一辺寸法が小さい（例えば，５インチ）正方形にした小さいサイズの露光マスクとがあり，更に，前記各サイズの露光マスクには，その厚さを厚く（例えば，０．２５インチ）した厚型の露光マスクと，厚さを薄く（例えば，０．０９インチ）した薄型の露光マスクとが存在する。
【０００３】
しかし，前記投影露光装置は，例えば，特開平７−２９８０２号公報等に記載されているように，下面にパターン膜が形成されている露光マスク（レチクル）を，投影露光装置における露光マスクホルダに対して，当該露光マスクの下面の周囲が当該露光マスクホルダの上面に密接するようにして装着するように構成しており，従来における投影露光装置では，一つのサイズで，且つ，一つの厚さの露光マスクしか使用することができないように構成していることにより，大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に対して，小さいサイズの露光マスクを使用することができないから，不便で，作業性が低いばかりか，複数種類の露光マスクを有効に利用できず，このために，投影露光に要するコストが可成りアップすると言う問題があった。
【０００４】
本発明は，大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に，小さいサイズの露光マスクをそのまま使用できるようにした治具を提供することにより，前記した問題を解消することを技術的課題とするものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この技術的課題を達成するため本発明は，
「一辺寸法を，一辺寸法を大きくした大きいサイズの露光マスクに合わせて正方形に形成した板状体を備え，この板状体を，投影露光装置において前記大きいサイズの露光マスクを装着するよう構成した露光マスクホルダに，前記大きいサイズの露光マスクに代えて装着できるように構成し，この板状体に，一辺寸法を前記大きいサイズの露光マスクにおける一辺寸法よりも小さくした小さいサイズの露光マスクが着脱自在に嵌め込まれる正方形の貫通孔を，当該貫通孔における一つの内側面が前記板状体における一つの側面に開口するように穿設して，前記小さいサイズの露光マスクをこの開口部から前記貫通孔内に着脱自在に嵌め込みできるように構成する一方，前記板状体の下面側に，その貫通孔内に嵌めた小さいサイズの露光マスクに対する受け片を，当該受け片における上面を前記板状体の下面と同一平面にして設けて，この受け片を，前記貫通孔における残りの三つの内側面の全体にわたって連続する形態に構成した。」
と言う構成にした。
【０００６】
【発明の作用・効果】
このような構成において，板状体における貫通孔内に，小さいサイズの露光マスクを嵌め込むことで，この小さいサイズの露光マスクは，前記板状体に対して，当該小さいサイズの露光マスクにおける表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が前記板状体の下面と同一平面になるように，換言すると，当該小さいサイズの露光マスクにおけるパターン膜を板状体における下面と同一平面に揃えた状態にして装着できる。
【０００７】
一方，前記板状体は，その一辺の寸法を大きいサイズの露光マスクに合わせた正方形に形成されているから，この板状体を，投影露光装置における露光マスクホルダに対し，当該露光マスクホルダに装着される大きいサイズの露光マスクに代えて装着することにより，この大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に対して，前記した小さいサイズの露光マスクを，前記板状体を介して，当該小さいサイズの露光マスクの下面におけるパターン膜を，露光マスクホルダの上面と同一高さに正確に揃えた状態にして確実に装着できるのである。
【０００８】
また，厚型の露光マスクであっても，薄型の露光マスクであっても，前記と同様に，大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に対して，板状体を介して確実に装着できるのである。
従って，本発明によると，大きいサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に対して，小さいサイズの薄型露光マスク，及び，小さいサイズの厚型露光マスクを，当該投影露光装置に通常適用される大きいサイズの露光マスクと同じようにして使用することができるから，不便さを解消できて作業性を向上できると共に，複数種類の露光マスクを有効に利用できて，投影露光に要するコストの低減を達成できる効果を有する。
【０００９】
また，前記板状体に穿設する貫通孔を，当該貫通孔における一つの内側面が前記板状体における一つの側面に開口するように穿設して，前記小さいサイズの露光マスクをこの開口部から前記貫通孔内に着脱自在に嵌め込みできるように構成したことにより，前記板状体を，投影露光装置に対して装着した状態のもとで，この板状体に対して小さいサイズの露光マスクを，前記開口部から着脱自在に装着することができるから，その作業性をより向上できる利点を有する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の実施の形態を，図１及び図２の図面について説明する。
この図において，符号１は，アルミニウム等のの金属板製の板状体示し，この板状体１は，その厚さ寸法Ｔを０．２５インチ（Ｔ＝６．３５ｍｍ）で，一辺の寸法Ａを６インチ（Ａ＝１５２．４ｍｍ）にした正方形に形成することにより，６インチサイズ，つまり，大きいサイズの露光マスク（レチクル）を使用する投影露光装置に対して適用できるように構成されている。
【００１１】
また，符号２は，厚さ寸法Ｔ１を０．０９インチ（Ｔ１＝２．２８６ｍｍ）で，一辺の寸法Ｂを５インチ（Ｂ＝１２７ｍｍ）の正方形にした５インチサイズ，つまり，小さいサイズの薄型露光マスク（レチクル）を示し，この露光マスク２の下面に，パターン膜が形成れている。
そして，前記板状体１に，前記小さいサイズの薄型露光マスク２が着脱自在に嵌まる貫通孔３を，当該貫通孔３が前記板状体１における一つの側面１ａに対して開口するように穿設して，前記小さいサイズの露光マスク２をこの開口部から前記貫通孔３内に着脱自在に嵌め込みできるように構成する一方，前記板状体１の下面１ｂに，前記貫通孔３における三つの内側面３ａ，３ｂ，３ｃの各々から内向きに突出する受け片４を，当該受け片４における上面４ａが前記板状体１の下面１ｂと同一平面になるようにして設けるのである。
なお，図面においては，前記受け片４を，前記貫通孔３における三つの内側面３ａ，３ｂ，３ｃの各々に部分的に設けるという構成にしているが，本発明においては，貫通孔３における三つの内側面３ａ，３ｂ，３ｃの全体にわたって連続するという形態に構成している。
【００１２】
この構成において，前記板状体１における貫通孔３内に，前記５インチサイズの薄型露光マスク２を嵌め込むことで，この５インチサイズの薄型露光マスク２は，前記板状体１に対して，当該露光マスク２における表裏両面のうちパターン膜が形成されている下面が前記板状体１の下面１ｂと同一平面になるように，換言すると，当該露光マスク２におけるパターン膜を板状体１における下面１ｂの同一平面になるように正確に揃えた状態にして確実に装着されることになる。
【００１３】
この場合において，前記板状体１は，その厚さ寸法Ｔ及び一辺の寸法Ａを６インチサイズの露光マスクに合わせたものに構成されているから，この板状体１を，６インチサイズの露光マスクを使用する投影露光装置における露光マスクホルダに対し，当該露光マスクホルダに装着される大きいサイズの露光マスクに代えて装着することにより，この６インチサイズの露光マスクを使用する投影露光装置に対して，前記した５インチサイズの露光マスク２を，前記板状体１を介して，当該５インチサイズの露光マスク２の下面におけるパターン膜を，露光マスクホルダの上面と同一高さに揃えた状態にして確実に装着できるのである。
【００１４】
また，前記板状体１に対して，前記５インチサイズの薄型露光マスク２を装着することに代えて，５インチサイズで厚さを０．２５インチと言うように厚くした厚型露光マスクを装着することもできるのである。
なお，前記板状体１における上面の三箇所には，これを投影露光装置に装着したときにおける位置合わせのためのアライメントマーク５が設けられる。
【００１５】
また，この板状体１の全表面，特に，下面１ｂには，露光光線の反射を防ぐための表面処理（例えば，酸化クロム層の形成とか，黒色塗料の塗布等）が施されている。
更にまた，前記板状体１における貫通孔３は，板状体１における一つの側面に開口することにより，前記板状体１を，投影露光装置に対して装着した状態のもとで，この板状体１に対して５インチサイズの露光マスク２を着脱自在に装着することができるように構成されている。なお，このように構成する場合には，前記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面１ａに，開閉片６を設けることにより，露光マスク２を貫通孔３内に嵌めた状態に保持するように構成されている。
【００１６】
また，図３に示す別の実施の形態のように，前記板状体１のうち貫通孔３が開口する一つの側面１ａに開閉片６を設けて，この開閉片６により露光マスク２を貫通孔３における奥の内側面３ｂに対して密着するように押圧するように構成することに加えて，貫通孔３における一つの内側面３ａに，板ばね７等の押圧付勢手段を設けて，この押圧付勢手段により露光マスク２を貫通孔３における別の内側面３ｃに対して密着するように押圧するように構成することにより，前記露光マスク２を，板状体１に対して正確に位置決めすることができるのである。
【００１７】
更にまた，前記貫通孔３における二つの内側面３ａ，３ｃのうちいずれか一方又は両方に，複数個のコロ又はボールを回転自在に設けることにより，前記貫通孔３内への露光マスク２の着脱を容易にすることができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】  図１のII−II視拡大側面図である。
【図３】  本発明の別の形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１                    板状体
２                    ５インチサイズ（小さいサイズ）の露光マスク
３                    貫通孔
４                    受け片
５                    アライメントマーク
６                    開閉片
７                    板ばね
【図１】
0003912884.tif 000002
【図２】
0003912884.tif 000003
【図３】
0003912884.tif 000004