(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナット部材のねじ溝とねじ軸のねじ溝との間に複数のボールが介装され、前記ナット部材とねじ軸との間でトルクを推力に変換させたり、推力をトルクに変換させたりする構成のボールねじ装置であって、
前記ナット部材と前記ねじ軸との対向面間に配設されて転動方向に隣り合う各ボールを離隔させた状態で回転可能に保持する保持器リングを備え、
前記保持器リングが、前記ナット部材の内周面またはねじ軸の外周面によって回転案内される状態で配設されており、前記保持器リングを回転案内する側の部材の周面においてねじ溝の両肩部に前記保持器リングを案内する突部を設けるとともに、前記突部の間で且つねじ溝を除く領域に、凹みを設けて保持器リングとの間に空間を形成し、前記凹みを潤滑剤溜まりとしたことを特徴とするボールねじ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のボールねじ装置において、
前記ねじ溝が転造加工により形成されており、
前記突部は、前記転造加工に伴い塑性流動した肉によって前記ねじ溝の両肩部に形成された隆起部であることを特徴とするボールねじ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボール相互間の干渉を防ぐための保持器リングを有するボールねじ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ボールねじ装置は、ナット部材のねじ溝とねじ軸のねじ溝との間に介装される複数のボール相互の干渉を防ぐために保持器リングが用いられている。この保持器リングは、例えば、ナット部材またはねじ軸によって回転案内される状態で配設される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記ボールねじ装置では、保持器リングがそれを回転案内するナット部材またはねじ軸のランド部表面に対して接触することによって、前記ランド部表面の潤滑剤が掻き取られるなどして潤滑不足が起こりやすくなり、トルクの増加や保持器リングおよびそれを回転案内する側の部材の早期摩耗につながるおそれがある。
【０００４】
このような事情に鑑み、本発明は、保持器リングを有するボールねじ装置において、保持器リングとそれを回転案内する側の部材との接触部分における潤滑性を高めることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るボールねじ装置は、ナット部材のねじ溝とねじ軸のねじ溝との間に複数のボールが介装され、前記ナット部材とねじ軸との間でトルクを推力に変換させたり、推力をトルクに変換させたりする構成のボールねじ装置であって、前記ナット部材と前記ねじ軸との対向面間に配設されて転動方向に隣り合う各ボールを離隔させた状態で回転可能に保持する保持器リングを備え、前記保持器リングが、前記ナット部材の内周面またはねじ軸の外周面によって回転案内される状態で配設されており、前記保持器リングを回転案内する側の部材の周面においてねじ溝の両肩部に前記保持器リングを案内する突部を設けるとともに、前記突部の間で且つねじ溝を除く領域に、凹みを設けて保持器リングとの間に空間を形成し、前記凹みを潤滑剤溜まりとしている。
【０００７】
本発明の請求項２に係るボールねじ装置は、請求項１に記載のボールねじ装置において、前記ねじ溝が転造加工により形成されており、前記突部は、前記転造加工に伴い塑性流動した肉によって前記ねじ溝の両肩部に形成された隆起部である。
【００１０】
上記請求項１に係るボールねじ装置では、保持器リングを回転案内する側の部材に対して潤滑剤溜まりを設けているから、保持器リングが前記回転案内部材に接触して案内されるときに両者に付着されてある潤滑剤が掻き取られたとしても、ねじ溝間の領域に設けてある潤滑剤溜まりに存在する潤滑剤が保持器リングなどに対して転移供給される。これにより、保持器リングとそれを回転案内する部材との接触部分における潤滑性が継続的に良好に保たれることになり、前記接触部分の摺動抵抗が長期にわたって軽減される。
【００１１】
また、上記請求項１に係るボールねじ装置では、保持器リングを回転案内する側の部材に対して突部を設けているから、保持器リングが前記回転案内部材に対して接触する面積が小さくなり、摺動抵抗が軽減されるとともに、両者に付着されてある潤滑剤が掻き取られにくくなる。
【００１２】
また、上記請求項４では、ねじ溝を転造加工により形成することによって塑性流動する肉の隆起を利用して保持器リング案内用の突部と潤滑剤溜まり用の凹みを形成するようにしているから、これらをわざわざ後加工で形成する場合に比べて無駄が省ける。しかも、従来では、前記突部と凹みとを無くすように、転造加工の後で研磨加工などを行っていたが、それも省ける。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の詳細について図面に示す実施形態を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１から図１０に本発明の一実施形態を示している。図１は、ボールねじ装置の縦断面図、図２は、図１の状態からナット部材を軸心方向一方へ移動させた状態を示す縦断面図、図３は、ボールねじ装置の分解斜視図、図４は、ボールねじ装置において一部を断面にした平面図、図５は、図４の（５）−（５）線断面の矢視図、図６は、ボール循環経路を模式的に示す側面図、図７は、図６のボール循環経路の正面図、図８は、ナット部材の縮み方向での強制停止構造を示す斜視図、図９は、図１のＡ部を拡大して示す図、図１０は、ねじ軸の一部表面の展開図である。
【００１５】
図例のボールねじ装置１では、ナット部材２と、ねじ軸３と、複数のボール４と、保持器リング５とを備えており、ナット部材２とねじ軸３との対向面間でボール４群を循環させるようになっている。
【００１６】
ナット部材２には、その一方軸端から他方軸端まで連続する１本のねじ溝２１が形成されており、また、ねじ軸３には、その軸心方向途中領域に不連続の約２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂが形成されている。これらナット部材２のねじ溝２１とねじ軸３のねじ溝３１ａ，３１ｂとは、互いに同じリード角に設定されている。これら両ねじ溝２１，３１ａ，３１ｂの断面形状は、ゴシックアーク形状とされているが、半円形状とすることもできる。
【００１７】
ところで、この実施形態では、ナット部材２とねじ軸３とを最大に引き離した最大伸長状態で軸心方向所定長さの重合領域を確保して、この重合領域にねじ軸３の約２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂを配置させるように設定し、この２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂをそれぞれ独立した閉ループとし、この閉ループにした２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂ内に配置されるボール４群をそれぞれ独立して転動循環させるようにしている。
【００１８】
具体的に、ねじ軸３の軸心方向で隣り合う２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂの間に存在するねじ山（ランド部）３２には、２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂを個別に閉ループとするボール循環溝３３，３４が設けられている。この２つのボール循環溝３３，３４は、それぞれ、２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂの上流側と下流側とを個別に連通連結するものであり、各巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂの下流のボール４群を内径側へ沈みこませてナット部材２のねじ山（ランド部）２２を乗り越えさせて上流へ戻すように蛇行した形状になっている。
【００１９】
保持器リング５は、複数のボール４それぞれを円周等間隔に離隔配置して回転可能に保持するものである。この保持器リング５は、薄肉の円筒部材からなり、その円周数ヶ所には、軸心方向に沿う長孔形状のボールポケット５１が設けられており、このボールポケット５１に対してそれぞれ２つずつボール４が収納される。
【００２０】
また、上記保持器リング５は、ねじ軸３の外径側に対して軸心方向でほぼ不動に位置決めされた状態で、かつ相対回転可能な状態で取り付けられている。そのために、ねじ溝３の自由端側に縮径部３５を、また、保持器リング５の一端に径方向内向きのフランジ５２をそれぞれ設け、ねじ軸３の縮径部３５に対して保持器リング５のフランジ５２をはめ込み、さらにねじ軸３の縮径部３５に設けてある周溝に対して止め輪７を係合させている。但し、止め輪７は、ねじ軸３の縮径部３５とねじ溝２１の形成部分との境にできる段壁面３６から離れた位置に取り付けられていて、これら止め輪７と段壁面３６との間に対して保持器リング５のフランジ５２が軸心方向に若干の遊びを持つ状態で配置されている。これにより、保持器リング５が、ねじ軸３に対して軸心方向ほぼ不動で、相対回転が許容される状態になる。
【００２１】
なお、上記ナット部材２は、ブラケット８に対して一体的に結合されている。このブラケット８は、図示しないモータなどの回転動力源が減速歯車１０を介して噛合されるとともに、円筒形状のねじ軸３の中心孔に軸心方向移動可能に挿通される筒軸１１に対して転がり軸受１２を介して支持される。また、上記ねじ軸３は、筒軸１１の内径側に対してスプライン嵌合されている回転軸１３に対して転がり軸受１４を介して支持されている。この回転軸１３は、図示しないが、ケースなどの固定部分に対して軸心方向不動にかつ回転自在に支持されている。
【００２２】
上記ブラケット８は、上半分の断面がほぼ逆向きコ字形の金属材で形成されている。つまり、このブラケット８は、径方向内外に同心状に設けられる内筒部８１および外筒部８２の軸心方向一端側を連接した形状である。内筒部８１は、ねじ軸３の中心孔内に非接触状態で配置されて上記筒軸１１に対して転がり軸受１２を介して支持されている。また、外筒部８２は、ナット部材２の軸心方向一端側の領域外周に一体的に嵌合されており、図３に示すように、外筒部８２の付け根側の内周面に設けられるセレーション８３とナット部材２の嵌入方向奥側の外周面に設けられるセレーション２３とを嵌合することにより、ブラケット８とナット部材２とを周方向で一体的に結合するようになっている。この外筒部８２の外周面には、樹脂製のギヤ９が一体に成形されている。また、ブラケット８とナット部材２との結合工程において両者の位相合わせを容易とするために、両セレーション８３，２３の１つの歯をなくすことにより、ブラケット８とナット部材２とを所定の位相でしか結合できないようにすることができる。
【００２３】
このように、二重筒のようなブラケット８を用いてナット部材２を筒軸１１に対して支持させる構造としていれば、ナット部材２の軸心方向寸法が大きくならずに済むので、ボールねじ装置１の軸心方向寸法を無駄に大型化せずに済む。
【００２４】
ところで、上述したボールねじ装置１の組み立て手順を説明する。まず、ねじ軸３に対して保持器リング５を取り付けてから、保持器リング５のボールポケット５１に対して、それを埋め尽くす状態に潤滑剤としてグリースを塗布しておいて、このボールポケット５１に対して必要数のボール４を入れる。ここでのグリースは、ボール４が自重落下しない粘性を有するウレア系のグリースとされ、このグリースでもってボール４がボールポケット５１内に保持される。このようにしてから、保持器リング５をねじ軸３に対して回さないようにした状態で、ナット部材２に組み込む。
【００２５】
次に、上述したボールねじ装置１の動作を説明する。まず、図示しないモータを駆動することによりブラケット８およびナット部材２を回転させると、このナット部材２自身が回転しながらねじ軸３に沿って軸心方向一方へ向けて直線的に移動させられることによって、例えば図１に示す状態から図２に示す状態になる。一方、上記モータを前記と逆回転方向に駆動すると、ナット部材２が前述と逆向きに回転しながら軸心方向他方へ向けて移動させられることによって、例えば図２に示す状態から図１に示す状態になる。
【００２６】
このように、ナット部材２を軸心方向に往復移動させることにより、ナット部材２とねじ軸３とが軸心方向で重合する範囲が大小変化するが、ねじ軸３においてボール循環溝３３，３４により個別に閉ループとしたねじ軸３の２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂ内でそれぞれボール群４が保持器リング５にガイドされながら転動循環することにより、ナット部材２の螺旋運動が円滑にガイドされるとともに、ナット部材２が所定の移動ストローク範囲を往復移動する過程において、ボール４が抜け出す現象を確実に防止できるようになる。
【００２７】
なお、上記ナット部材２を縮み方向に移動させる場合、所定のリミット位置で強制停止させるようにするために、図１、図２ならびに図８に示すように、ねじ軸３に対してストッパピン１８を、また、ナット部材２と一体のブラケット８に対して切欠き１９を設けている。この場合、ナット部材２を縮み方向に移動させたとき、ナット部材２が所定の停止位置に近づくことに伴い、ブラケット８の切欠き１９が、その幅狭側の端縁からねじ軸３のストッパピン１８に対して径方向で重合し始めて、最後に切欠き１９の幅広側の奥壁１９ａがストッパピン１８の周面に対して周方向から当接することになり、これで、ナット部材２およびブラケット８が物理的に強制停止されることになる。切欠き１９の幅広側の奥壁１９ａには、ストッパピン１８との衝突時の衝撃を緩和するとともに衝突音を抑制するために、熱可塑性エラストマー樹脂などの弾性体２０が取り付けられている。
【００２８】
次に、この実施形態の特徴について説明する。
【００２９】
つまり、上述したナット部材２、ねじ軸３、ボール４ならびに保持器リング５は、金属材で形成されているので、各接触部分を上述したグリースにより潤滑させるようにしているが、特に保持器リング５の接触部分について摩擦抵抗の軽減と摩耗の抑制を図るようにしている。
【００３０】
具体的に、上記保持器リング５は、ねじ軸３で回転案内される形態にされている。そのために、保持器リング５とねじ軸３との間の内径隙間Ｘ１を、保持器リング５とナット部材２との間の外径隙間Ｘ２よりも小さく設定している。ちなみに、内径隙間Ｘ１は、例えば０．１〜０．４ｍｍに設定するのが好ましい。
【００３１】
そして、図９および図１０に示すように、保持器リング５をガイドするねじ軸３のねじ溝３１ａ，３１ｂの両肩部に、突部３７を設けているとともに、ねじ軸３のランド部３２において両端の突部３７の間に、凹み３８を設けている。
【００３２】
この場合、上述したように、保持器リング５をねじ軸３の外径でガイドさせる形態にしているので、実質的に、保持器リング５は、ねじ軸３の突部３７に対して接触、摺動することになり、ランド部３２を平坦にしている場合に比べて接触面積が減少されることになるので、摺動抵抗が軽減されるとともに、両者に付着されてある潤滑剤がかきとられにくくなる。
【００３３】
また、上記凹み３８は、潤滑剤溜まりとなるので、ボール４や保持器リング５の存在する空間に多量の潤滑剤を入れることができるようになるとともに、この凹み３８内に存在する潤滑剤が保持器リング５などに対して転移供給されるようになるので、保持器リング５とねじ軸３との接触部分における潤滑性が継続的に良好に保たれることになり、前記接触部分の摺動抵抗が長期にわたって軽減される。
【００３４】
ところで、上述した突部３７と凹み３８は、ねじ溝３１ａ，３１ｂを転造加工により形成するときに同時に作られるものとしている。つまり、ねじ軸３に対してねじ溝３１ａ，３１ｂを形成するための転造加工を施すと、転造加工によって塑性流動する肉がねじ溝３１ａ，３１ｂの両肩部に隆起することによって、上記突部３７が作られるとともに、この突部３７によってそれらの間に上記凹み３８が作られるのである。
【００３５】
ちなみに、本願発明者らは、従来、上記ねじ溝３１ａ，３１ｂを転造加工により形成した後で、ねじ軸３の外周面を研磨加工することにより上記突部３７を除去してランド部３２を平坦に仕上げるようにしていた。しかし、本願発明者らは、ランド部３２に潤滑剤溜まりを作りたいという発想に基づき、上述したような研磨加工を省くことによって、上記突部３７と凹み３８とを確保しようと考えたのである。この場合、わざわざランド部３２に対して凹み３８を削りこむという加工を施す必要がなくなり、無駄を無くせる点で有利となる。
【００３６】
ところで、上述した実施形態のように、ボール４を内部循環させるために、循環こまを用いずに、ねじ軸３に対してボール循環溝３３，３４を設けた構造にしていれば、構成や組み付け作業を簡素化できるとともに、循環こまを用いる場合に必要となる高精度な位置合わせが不要になるなど、コスト低減と品質低下の回避ができる。しかも、ねじ軸３に対して２つのボール循環溝３３，３４をほぼ同一位相にかつ軸心方向隣り合わせに設けた構造を採用していれば、ねじ軸３のねじ溝３１ａ，３１ｂを軸心方向に詰めて配置できるようになって、軸心方向での占有面積を縮小するうえで有利となる。但し、この場合、ボール循環溝３３，３４に位置するボール４は、ラジアル荷重やアキシャル荷重を受けることができないので、２つのボール循環溝３３，３４を周方向および軸心方向で接近して設けると、円周上の所定角度範囲に荷重無負担領域ができることになる。しかしながら、上記実施形態のように、ナット部材２およびねじ軸３の軸心方向寸法を短くしたうえで外径寸法を大きく設定していれば、図７に示すように、円周上においてボール循環溝３３，３４が存在する領域の角度θ範囲が小さくて済むとともにボール循環溝３３，３４内に位置するボール４の数が少なくて済むから、荷重負担能力の低下を抑制できて、実用上支障ないものとなる。
【００３７】
なお、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、いろいろな応用や変形が考えられる。
【００３８】
例えば、上記実施形態では、ねじ軸３に設けた２巻きのねじ溝３１ａ，３１ｂの個々を閉ループとしてそれぞれ独立してボール４群を転動循環させるために、ねじ軸３にボール循環溝３３，３４を設けた例を挙げているが、従来一般的な循環こまをナット部材２に対して装着する形態としたものにも本発明を適用できる。この場合、ねじ軸３には、その全長範囲にわたって１本の連続するねじ溝を形成するから、ランド部３２も同様に長くなり、そこに形成するグリース溜まり用の凹み３８についても長くできるので、凹み３８に対するグリースの貯溜量を多くできる。
【００３９】
また、上記実施形態で示したねじ軸３の突部３７および凹み３８は、上述した方法以外でも形成することができる。例えば図１１および図１２に示すように、ランド部３２の軸心方向中間領域に対して長手方向に沿う凹み３８を削り加工または転造加工により形成すればよく、この場合、凹み３８を形成することによって凹み３８の両肩部が突部３７となる。この場合も、上記実施形態とほぼ同様の作用、効果が得られる。
【００４０】
また、上記実施形態で示した保持器リング５は、合成樹脂で形成することができる。その場合、装置の軽量化、ナット部材２の動作円滑化に貢献できるとともに、量産性に優れた成形により製造できて製造コストの低減に貢献できる。しかも、合成樹脂の母材として自己潤滑性を有する材料を選択し、それに強化繊維や固体潤滑剤を添加したものとすれば、耐摩耗性や、発熱による劣化を抑制できるなど、耐久性の向上に貢献できる。具体的に、母材となる合成樹脂は、ポリアミド（ＰＡ）系、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などとすることができるが、自己潤滑性に優れている点でポリアミド（ＰＡ）系またはポリアセタール（ＰＯＭ）が好ましい。また、強化繊維は、保持器リング５の機械的強度を高めるものであり、ガラス繊維（ＧＦ）、カーボン（炭素）繊維（ＣＦ）、チタン酸カリウイスカ（ＴｉＫ）などの無機繊維や、アラミド繊維（ＡＦ）などの有機繊維があり、いずれか単独あるいは複数が選択される。さらに、固体潤滑剤は、母材であるポリアミド系合成樹脂やポリアセタールの耐摩耗性ならびに発熱抑制効果を高めるために用いられ、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、二硫化モリブデン（ＭｏＳ2）、ポリ四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、グラファイト（Ｇｒ）などがあり、いずれか単独が選択される。
【００４１】
この他、上記ボールねじ装置１については、ナット部材２またはねじ軸３の一方を回転させることで他方を軸心方向に移動させる使用形態、あるいはナット部材２またはねじ軸３の一方を軸心方向に移動させることで他方を回転させる使用形態にすることができる。前者の使用形態については、トルクを推力に変換する正効率と言い、後者の使用形態については、推力をトルクに変換する逆効率と言う。以下で、正効率での使用形態に係る４パターン（Ａ−１〜Ａ−４）と、逆効率での使用形態に係る４パターン（Ｂ−１〜Ｂ−４）を説明する。
【００４２】
（Ａ−１）上記実施形態で説明したように、ナット部材２を回転させながら軸心方向に移動させる。この場合、ねじ軸３を非回転かつ軸心方向不動にしておいて、ナット部材２を回転駆動させればよい。
【００４３】
（Ａ−２）ナット部材２を回転させずに軸心方向に移動させる。この場合、ねじ軸３を軸心方向不動にする一方で、ナット部材２を非回転にしておいて、ねじ軸３を回転駆動させればよい。
【００４４】
（Ａ−３）ねじ軸３を回転させながら軸心方向に移動させることができる。この場合、ナット部材２を非回転かつ軸心方向不動にしておいて、ねじ軸３を回転駆動させればよい。
【００４５】
（Ａ−４）ねじ軸３を回転させずに軸心方向に移動させる。この場合、ねじ軸３を非回転にする一方で、ナット部材２を軸心方向不動にしておいて、ナット部材２を回転駆動させればよい。
【００４６】
（Ｂ−１）ナット部材２を軸心方向不動で回転させる。この場合、ナット部材２を軸心方向不動にする一方で、ねじ軸３を非回転にしておいて、ねじ軸３を軸心方向に移動させればよい。
【００４７】
（Ｂ−２）ナット部材２を軸心方向に移動させながら回転させる。この場合、ねじ軸３を軸心方向不動かつ非回転にしておいて、ナット部材２を軸心方向に移動させればよい。
【００４８】
（Ｂ−３）ねじ軸３を軸心方向不動で回転させる。この場合、ねじ軸３を軸心方向不動にする一方で、ナット部材２を非回転にしておいて、ナット部材２を軸心方向に移動させればよい。
【００４９】
（Ｂ−４）ねじ軸３を軸心方向に移動させながら回転させる。この場合、ナット部材２を軸心方向不動かつ非回転にしておいて、ねじ軸３を軸心方向に移動させればよい。
【００５０】
上記いずれのパターンでも、ボール抜け出しを阻止するために、保持器リング５を、軸心方向に移動される部材側に対して軸心方向ほぼ不動に位置決めさせるようにすればよい。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１の発明では、保持器リングを回転案内する側の部材に対して潤滑剤溜まりを設けているから、保持器リングが前記回転案内部材に接触して案内されるときに両者に付着されてある潤滑剤が掻き取られたとしても、ねじ溝間の領域に設けてある潤滑剤溜まりに存在する潤滑剤が保持器リングなどに対して転移供給される。これにより、保持器リングとそれを回転案内する部材との接触部分における潤滑性が継続的に良好に保たれることになり、前記接触部分の摺動抵抗が長期にわたって軽減される。
【００５３】
さらに、請求項１の発明では、保持器リングを回転案内する側の部材に対して突起を設けているから、保持器リングが前記回転案内部材に対して接触する面積が小さくなり、摺動抵抗が軽減されるとともに、両者に付着されてある潤滑剤がかきとられにくくなり、動作円滑化と耐久性の向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るボールねじ装置の縦断面図
【図２】図１の状態からナット部材を軸心方向一方へ移動させた状態を示す縦断面図
【図３】ボールねじ装置の分解斜視図
【図４】ボールねじ装置において一部を断面にした平面図
【図５】図４の（５）−（５）線断面の矢視図
【図６】ボール循環経路を模式的に示す側面図
【図７】図６のボール循環経路の正面図
【図８】ナット部材の縮み方向での強制停止構造を示す斜視図
【図９】図１のＡ部を拡大して示す図
【図１０】ねじ軸の一部表面の展開図
【図１１】本発明の他の実施形態で、図９に対応する図
【図１２】図１１に示す実施形態で、図１０に対応する図
【符号の説明】
１      ボールねじ装置
２      ナット部材
３      ねじ軸
３１ａ，３１ｂ    ねじ軸のねじ溝
３２      ランド部
３７      ねじ軸の突部
３８      ねじ軸の凹み
４      ボール
５      保持器リング
【図１】
0003934392.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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