(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
排水中に含まれる粉体材料を回収する装置であって、上部と下部にそれぞれ水の投入口と排出口とを有するタンクと、そのタンクの内部に配設され、タンクの内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置と排出口より下方の下位置との間で上下動可能なフィルターと、フィルターの下位置より下側にてタンクの底を覆うように配設されたパンとを備えてなることを特徴とする粉体材料の回収装置。
【請求項２】
フィルターを超音波振動させる機構を設けた請求項１に記載の粉体材料の回収装置。
【請求項３】
フィルターに逆圧をかける機構を設けた請求項１記載の粉体材料の回収装置。
【請求項４】
排水中に含まれる粉体材料を回収する装置であって、上部と下部にそれぞれ水の投入口と排出口とを有するタンクと、そのタンクの内部に配設され、タンクの内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置と排出口より下方の下位置との間で上下動可能なフィルターと、下位置にあるフィルターの下面とタンクの底面の両面に接触しながらタンクの側壁下端にある除去口へ向けて移動可能な押し板とを備えてなることを特徴とする粉体材料の回収装置。
【請求項５】
フィルターを超音波振動させる機構を設けた請求項４に記載の粉体材料の回収装置。
【請求項６】
フィルターに逆圧をかける機構を設けた請求項４に記載の粉体材料の回収装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学的処理に使用された排水の中に含まれる粉体材料の回収装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来よりこの種の回収装置は、電子機器を始めとする各種製品の製造工程において化学的処理に使用された排水から無機物や有機物の粉体を回収する場合に使用されている。例えば、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の製造工程について言えば、電極、リブ、蛍光面等をフォトリソグラフィー法により形成した際に、現像工程の排水中に含まれる銀粉、ガラス粉、蛍光体粉等を回収する装置が使用されており、この回収装置としては、フィルターで濾過して回収するタイプのものが一般的である。ここで、ＰＤＰについてその製造工程を説明しておく。
【０００３】
一般にＰＤＰは、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にＮｅ，Ｘｅ等を主体とするガスを封入した構造になっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させる。このＰＤＰには、電極が放電空間に露出している直流型（ＤＣ型）と絶縁層で覆われている交流型（ＡＣ型）の２タイプがあり、双方とも表示機能や駆動方法の違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式とメモリー駆動方式とに分類される。
【０００４】
図１にＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示す。この図は前面板と背面板を離した状態で示したもので、図示のように２枚のガラス基板１，２が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板２上に互いに平行に設けられたリブ３により一定の間隔に保持されるようになっている。前面板となるガラス基板１の背面側には透明電極である維持電極４と金属電極であるバス電極５とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層６が形成されており、さらにその上に保護層７（ＭｇＯ層）が形成されている。また、背面板となるガラス基板２の前面側には前記複合電極と直交するようにリブ３の間に位置してアドレス電極８が互いに平行に形成されており、これを覆って誘電体層９が形成され、さらにリブ３の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光体１０が設けられている。このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、空間に漏れた電界で放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そしてこの放電により生じる紫外線により蛍光体１０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認するようになっている。
【０００５】
上記の如きＰＤＰにおける背面板は、ガラス基板２の上にアドレス電極８を形成し、必要に応じてそれを覆うように誘電体層９を形成した後、リブ３を形成してそのリブ３の間に蛍光体１０からなる蛍光面を設けることで製造される。電極８の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法、厚膜法等によって基板２上に電極材料の膜を形成し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングする方法と、厚膜ペーストを用いたスクリーン印刷法によりパターニングする方法とが知られている。また、誘電体層９はスクリーン印刷等により形成され、リブ３はスクリーン印刷による重ね刷り、或いはサンドブラスト法、フォトリソグラフィー法等によって形成されている。また、蛍光面はスクリーン印刷によりリブ３の間に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の蛍光体ペーストを選択的に充填する方法により形成するか、或いは高精細タイプでは蛍光体ペーストを用いたフォトリソグラフィー法によりリブ間に蛍光面を形成するようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記で述べたＰＤＰの蛍光面形成方法のうち、フォトリソグラフィー法による蛍光面形成方法では、感光性の蛍光体ペーストをリブの上からベタでコーティングして乾燥させる工程と、露光と現像を行って所定のセル空間に蛍光体ペーストを残す工程とを必要な色数だけ繰り返し行った後、オーブン内での焼成工程を経て蛍光面を完成させる。このように、フォトリソグラフィー法により蛍光面を形成する場合、各色ごとの蛍光体ペーストについて露光と現像を繰り返し行うことになる。この現像工程は、水を用いたスプレー現像により行われるが、排水中に多量の蛍光体粉が含まれるので、回収して再利用する必要がある。現在は現像装置からの排水をフィルターで濾過して蛍光体粉を回収するようにしているが、濾過に要する時間が長く、回収効率が良くないという問題点があった。
【０００７】
このような蛍光面形成の場合だけでなく、電極やリブをフォトリソグラフィー法で形成する場合、さらにはＰＤＰの製造工程に限らず、その他の化学的処理に使用された排水中に粉体材料が含まれている場合についても、フィルターを使用した濾過タイプの回収装置を使用しているために同様の問題点がある。
【０００８】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡便な機構により回収効率の良い粉体材料の回収装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の問題点を解決するため、本発明に係る第１のタイプの回収装置は、排水中に含まれる粉体材料を回収する装置であって、上部と下部にそれぞれ水の投入口と排出口とを有するタンクと、そのタンクの内部に配設され、タンクの内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置と排出口より下方の下位置との間で上下動可能なフィルターと、フィルターの下位置より下側にてタンクの底を覆うように配設されたパンとを備えてなることを特徴とする。
【００１０】
また、同様の目的を達成するため、本発明に係る第２のタイプの回収装置は、排水中に含まれる粉体材料を回収する装置であって、上部と下部にそれぞれ水の投入口と排出口とを有するタンクと、そのタンクの内部に配設され、タンクの内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置と排出口より下方の下位置との間で上下動可能なフィルターと、下位置にあるフィルターの下面とタンクの底面の両面に接触しながらタンクの側壁下端にある除去口へ向けて移動可能な押し板とを備えてなることを特徴とする。
【００１１】
そして、いずれのタイプの回収装置においても、フィルターを超音波振動させる機構を設けるか、フィルターに逆圧をかける機構を設けるのが好ましいものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳述する。
【００１３】
図２は本発明に係る回収装置の一例を示す概略構成図であり、同図において１１はタンクで、その高い位置にある入口と低い位置にある出口にそれぞれ供給管１２と排出管１３が連結されている。排出管１３は排出バルブ１４を介してポンプ１５に接続されており、ポンプ１５から吐出される水は中間管路１６を経て濾過部Ｆを経由し排出管路１７を通って排水される。そして、ポンプ１５から濾過部Ｆに至る中間管路１６には流速計１８と圧力計１９が介挿されている。
【００１４】
図３は第１のタイプの回収装置を構成するタンクの断面図である。同図に示されるように、タンク１１は、タンク本体３１とそれを覆う蓋体３２とで外側が構成されており、タンク本体３１の側壁上部にある投入口と側壁下部にある排出口にそれぞれ前述の供給管１２と排出管１３が接続されている。３３はタンク本体３１内に配設されたフィルターで、タンク本体３１の内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置（図３（ａ）に示す位置）と排出口より下方の下位置（図３（ｂ）に示す位置）との間で上下動可能になっている。すなわち、フィルター３３は周囲に取付け枠３４を有すると共に、水圧で撓まないようにフレーム等で適宜補強されており、図示はしないが、周囲の取付け枠３４がタンク本体３１の内壁に水密状態で接触しながらフィルター３３を上下動させる機構が設けられている。また、停止したフィルター３３を超音波振動させる機構を設けておくか、或いは図４に示すように、タンク内を密閉できるようにし、フィルター３３の上からエアーで圧力をかける機構を設けておくようにする。さらに、フィルター３３の下位置より下側にてタンク本体３１の底を覆うようにパン３５が配設されている。このパン３５はタンク本体３１の側壁から出し入れが可能であるのが好ましい。
【００１５】
この構成からなる第１のタイプの回収装置では、図３（ａ）に示すようにフィルター３３が上位置にあり、かつ排出管１３の排出バルブ１４を閉じた状態で、例えばＰＤＰの蛍光面をフォトリソグラフィー法で形成する際に使用された現像装置からの排水が供給管１２を通してタンク本体３１内に供給される。タンク本体３１内に所定量の排水Ｗが供給されると、フィルター３３が下降してその排水Ｗの濾過が行われる。すなわち、フィルター３３の下降に伴い、排水Ｗが強制的にフィルター３３を通って上に移動するが、この時に排水中の蛍光体粉がフィルター３３の下側に残り、濾過された蛍光体粉の多くはパン３５の中に沈殿する。フィルター３３が下位置に達して排水の濾過が終わると、排出口１３の排出バルブ１４を開き、フィルター３３の上にある水を排出管１３から排出する。そして、図３（ｂ）に示すように水を排出し終えると、フィルター３３を上位置に戻し、かつ排出管１３の排出バルブ１４を閉じた状態にし、再び供給管１２から排水を供給して濾過．行う。なお、フィルター３３が下位置にある時にフィルター３３を超音波振動させ、フィルター３３に付いた蛍光体粉をパン３５の中に振るい落とすようにする。或いは、図４の如くエアーにて逆圧をかけることで、フィルター３３にトラップされた蛍光体粉を落とすようにする。また、必要に応じてパン３５を取り出し、パン３５に溜まった蛍光体粉を回収する。
【００１６】
図５は第２のタイプの回収装置を構成するタンクの断面図である。同図に示されるように、タンク１１は、タンク本体４１とそれを覆う蓋体４２とで外側が構成されており、タンク本体４１の側壁上部にある投入口と側壁下部にある排出口にそれぞれ前述の供給管１２と排出管１３が接続されている。４３はタンク本体４１内に配設されたフィルターで、タンク本体４１の内壁に周囲が接触した状態で投入口より上方の上位置（図５（ａ）に示す位置）と排出口より下方の下位置（図５（ｂ）に示す位置）との間で上下動可能になっている。すなわち、フィルター４３は周囲に取付け枠４４を有すると共に、水圧で撓まないようにフレーム等で適宜補強されており、図示はしないが、周囲の取付け枠４４がタンク本体４１の内壁に水密状態で接触しながらフィルター４３を上下動させる機構が設けられている。また、この第２のタイプの回収装置では、タンク本体４１の側壁下端に蛍光体粉の除去口４５が設けられているとともに、この除去口４５と反対側から当該除去口４５まで移動可能な押し板４６が設けられており、押し板４６は下位置にあるフィルター４３の下面とタンク本体４１の底面の両面に接触しながら除去口４５へ向けてする。なお、先の例で述べたのと同様に、停止したフィルター３３を超音波振動させる機構を設けておくか、或いは、タンク内を密閉してフィルター３３の上からエアーで圧力をかける機構を設けておくようにするのが好ましい。
【００１７】
この構成からなる第２のタイプの回収装置では、図５（ａ）に示すようにフィルター４３が上位置にあり、かつ排出管１３の排出バルブ１４と除去口４５のバルブ４７を共に閉じた状態で、例えばＰＤＰの蛍光面をフォトリソグラフィー法で形成する際に使用された現像装置からの排水が供給管１２を通してタンク本体４１内に供給される。タンク本体４１内に所定量の排水Ｗが供給されると、フィルター４３が下降してその排水Ｗの濾過が行われる。すなわち、フィルター４３の下降に伴い、排水Ｗが強制的にフィルター４３を通って上に移動するが、この時に排水中の蛍光体粉がフィルター４３の下側に残り、濾過された蛍光体粉の多くはタンク本体４１の底に沈殿する。そして、図５（ｂ）に示すようにフィルター４３が下位置に達して排水の濾過が終わると、排出管１３の排出バルブ１４を開き、フィルター４３の上にある水を排出管１３から排出する。次いで、除去口４５のバルブ４７を開き、図５（ｃ）のように押し板４６を前進させ、フィルター４３の下面に付いた蛍光体粉を掻き取りながら、残りの排水と共にタンク本体４１の底にある蛍光体粉を除去口４５から外に送り出す。なお、押し板４６を前進させる前に、下位置にある時にフィルター３３を超音波振動させ、フィルター３３に付いた蛍光体粉をパン３５の中に振るい落とすようにするか、或いは、エアーにて逆圧をかけることで、フィルター３３にトラップされた蛍光体粉を落とすようにするのが好ましい。そして、除去口４５から残りの排水を排出し終えると、フィルター４３を上位置に戻すと共に押し板４６を元の位置に戻し、かつ排出管１３の排出バルブ１４と除去口４５のバルブ４７を共に閉じた状態にし、再び供給管１２から排水を供給して濾過及び蛍光体粉の取出しを行う。
【００１８】
上記したいずれのタイプの回収装置においても、タンク１１にて蛍光体粉が除去された水には、僅かではあるが小さな粒の蛍光体粉が残っている場合がある。そこで、前述のように、タンク１１から出た水は濾過部Ｆを通して排出するのが好ましい。図２に戻るが、濾過部Ｆは中間管路１６と排出管路１７の間にあり、２個のフィルター２６の前後に注入バルブ２７と吐出バルブ２８を介挿したラインが２つ平行して設けることで構成されている。すなわち、各ラインにおける注入バルブ２７と吐出バルブ２８を開状態と閉状態のいずれかにすることで、どちらか一方のラインを使用するようにし、使用しないラインではフィルター２６の清掃或いは交換を行うようにする。ポンプ１５から濾過部Ｆに至る中間管路１６に介挿された流速計１８と圧力計１９によりフィルター２６の交換時期を知ることができる。
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る粉体材料の回収装置によれば、タンク本体内に供給した排水を、タンク本体の内壁に周囲が接触した状態で上下動するフィルターで強制的に濾過するようにしたことにより、排水中に含まれる粉体材料を効率良く除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】プラズマディスプレイパネルの一例をその前面板と背面板とを離間状態で示す斜視図である。
【図２】本発明に係る回収装置の一例を示す概略構成図である。
【図３】第１のタイプの回収装置を構成するタンクの断面図である。
【図４】図３に示すタンクの変形例である。
【図５】第２のタイプの回収装置を構成するタンクの断面図である。
【符号の説明】
１，２  ガラス基板
３  リブ
４  維持電極
５  バス電極
６  誘電体槽
７  保護槽
８  アドレス電極
９  誘電体槽
１０  蛍光体
１１  タンク
１２  供給管
１３  排出管
１４  排出バルブ
１５  ポンプ
１６  中間管路
１７  排出管路
１８  流速計
１９  圧力計
２６  フィルター
２７  注入バルブ
２８  吐出バルブ
３１  タンク本体
３２  蓋体
３３  フィルター
３４  取付け枠
３５  パン
４１  タンク本体
４２  蓋体
４３  フィルター
４４  取付け枠
４５  除去口
４６  押し板
４７  バルブ
【図１】
0003995068.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0003995068.tif 000005
【図５】
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