(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
押圧対象物に押し荷重を加えるために移動可能な移動側組立体と、この移動側組立体を移動可能に保持し、装置の固定側として作用するボンネット本体と、前記移動側組立体とボンネット本体との相対移動の際に発生する摩擦抵抗を低減させるために設けられた少なくとも一対の静圧空気軸受（エアーベアリング）とを有する空気圧シリンダ装置と；
前記空気圧シリンダ装置の出力をコントロールするために空気圧シリンダ装置の出力側ポートに連結された荷重コントロール用調圧装置と；
前記空気圧シリンダ装置の出力を実質的に解除するように作用させることができるように空気圧シリンダ装置のリターン側ポートに連結されたリターン側減圧弁と；
前記空気圧シリンダ装置の静圧空気軸受（エアーベアリング）を作用させるために当該静圧空気軸受（エアーベアリング）に一定の圧縮空気を供給するために連結された軸受用減圧弁と；を有する押し圧荷重コントロール装置であって、
前記空気圧シリンダ装置の移動側組立体は、少なくとも一対のロッドと、当該ロッドの両端部にそれぞれ固着された押圧作用板および連結板と、当該押圧作用板および連結板にそれぞれ対向配置するように固着された押圧側ピストン部材およびリターン側ピストン部材を有し、
前記空気圧シリンダ装置のボンネット本体は、その両端部に、前記押圧側ピストン部材およびリターン側ピストン部材に対応して、押圧側シリンダ部材およびリターン側シリンダ部材がそれぞれ対向配置されており、前記押圧側ピストン部材と押圧側シリンダ部材との間、および前記リターン側ピストン部材とリターン側シリンダ部材との間には、ダイヤフラム作動膜がそれぞれ介在されており、しかも前記ボンネット本体には、対向するシリンダ部材の対向方向に沿って少なくとも一対の前記静圧空気軸受が形成されており、当該静圧空気軸受に前記ロッドが挿通されており、
前記荷重コントロール用調圧装置は、入力された一次圧を二次圧として出力する際に出力側の二次圧を調整するための調圧機構の主要部となる調圧本体部と、該調圧本体部の調圧設定制御を行うための回動式押圧機構部とを有し、当該回動式押圧機構部は、出力側の二次圧を設定するために前記調圧本体部に連結される調圧ねじユニットと、前記調圧ねじユニットを作動させて調圧度合いを調整するための回転駆動部と、当該回転駆動部の回転量を制御するための回転制御部とを備え、当該回転制御部からの制御信号に基づき、前記回転駆動部を作動させて、当該荷重コントロール用調圧装置から供給される空気の圧力をコントロールすることによって、前記空気圧シリンダ装置の移動側組立体を押圧対象物に向けて移動させ、前記押圧作用板を押圧対象物に実質的に当接できるとともに押圧をコントロールできるようになっており、
前記リターン側減圧弁は、当該リターン側減圧弁から供給される空気の圧力（出力方向とは逆の方向に作用する）によって、空気圧シリンダ装置の移動側組立体の自重を実質的にキャンセルできるようになっており、
前記軸受用減圧弁は、空気圧シリンダ装置の静圧空気軸受（エアーベアリング）に所定の圧力の空気を連続的に供給することができ、この静圧空気軸受に供給される空気の圧力によって、静圧空気軸受に挿通されている前記ロッドは静圧空気軸受と非接触の状態で軸受けされるようになっていることを特徴とする押し圧荷重コントロール装置。
【請求項２】
前記荷重コントロール用調圧装置の調圧ねじユニットは、摩擦抵抗を低減させるためのボールねじ機構を備えてなる請求項１に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項３】
前記押圧側シリンダ部材と押圧側ボンネット内孔部とにより押圧側シリンダ内部空間が形成されており、当該押圧側シリンダ内部空間は、前記出力側ポートと連通しており、
前記リターン側シリンダ部材とリターン側ボンネット内孔部とによりリターン側シリンダ内部空間が形成されており、当該リターン側シリンダ内部空間は、前記リターン側ポートと連通しており、
前記押圧側シリンダ内部空間には、前記移動側組立体の押圧側ピストン部材がダイヤフラム作動膜を介して摺動可能に装着されており、
前記リターン側シリンダ内部空間には、前記移動側組立体のリターン側ピストン部材がダイヤフラム作動膜を介して摺動可能に装着されており、
前記各ダイヤフラム作動膜は、それぞれ、各ピストン部材の少なくとも対向する面をそれぞれ覆うように配置されるとともに、各ダイヤフラム作動膜の周縁部は、各ボンネット本体と各シリンダ部材によりそれぞれ挟持されている請求項１または請求項２に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項４】
前記押圧側シリンダ部材および前記リターン側シリンダ部材は、互いに同軸上に対向配置されている請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項５】
前記ダイヤフラム作動膜は、布入りのゴム膜から構成され、かつピストン部材壁からシリンダ部材壁へと転がるリング状の折り返し部分を備えてなる請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項６】
前記荷重コントロール用調圧装置は、調圧機構の主要部となる調圧本体部と、該調圧本体部の調圧設定制御を行うための回動式押圧機構部とを有し、
前記調圧本体部は、二次側空気の二次圧をコントロールするためのコントロール室を備え、該コントロール室には、二次圧に応じて圧縮・膨張するカプセル体が配置されており、
前記カプセル体の上面には、上下方向に移動できるカプセルロッドが接触配置されており、該カプセルロッドによるカプセル体の押圧量により実質的に二次側空気の二次圧が調整されるようになっており、
当該カプセルロッドによるカプセル体の押圧量を規制するために前記回動式押圧機構部がカプセルロッドに実質的に連接されており、
前記回動式押圧機構部は、調圧ねじユニット、回転駆動部および回転制御部を備え、当該回転制御部からの制御信号に基づき前記回転駆動部を作動させて、調圧ねじユニットを介してカプセルロッドが所定量移動して実質的にカプセル体を押圧することができるようになっている請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項７】
前記回転駆動部の回転量と、制御される二次圧の値との関係が予め求められており、当該関係を用いて二次圧の設定制御が行なわれてなる請求項６に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項８】
前記回転駆動部の回転量と、制御される二次圧との関係が実質的に比例関係部分を有するように装置設定されており、当該比例関係部分を用いて二次圧の実質的な比例制御が行なわれてなる請求項７に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項９】
前記カプセル体の下面側には、パイロット弁体を備えるパイロット弁棒がカプセル体の下面でカプセル体に向かってばねで付勢されているとともに、パイロット弁体と組み合わされるパイロット弁シートを有し、
これらのパイロット弁体とパイロット弁シートを備えるパイロット弁機構部は、前記コントロール室とパイロット室との連通の開閉をつかさどるようになっており、パイロット室には圧力調整のための上側ダイヤフラムが配置され、前記上側ダイヤフラムと対向するように下側ダイヤフラムが配置されるとともに、これらのダイヤフラムにより排気弁シートを有する排気弁シート部材が挟持されており、
下側ダイヤフラム側に排気弁シートが位置し、その弁開閉のための排気弁体が排気弁シートと対をなして形成されており、当該排気弁体は、排気弁シート側に向かって付勢されている共同弁棒体の一方端に形成され、共同弁棒体の他方端には、主弁体が形成されており、当該主弁体は主弁シートと対をなし、一次側空気と二次側空気との連通の開閉をつかさどるように作用してなる請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１０】
前記排気弁シートと排気弁体による排気弁機構部は、二次側空気と大気との連通の開閉をつかさどるように作用し、そのための大気排気孔が対向するダイヤフラム間に形成されてなる請求項９に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１１】
前記パイロット室の中の圧力を安定させるためにパイロット室の空気を外部に逃がすためのブリード孔がパイロット室と連通して形成されてなる請求項１０に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１２】
前記調圧本体部は、パイロット室の中の圧力を安定させるためにパイロット室のパイロット弁機構部で主弁機構部を作動させる機構を備えてなる請求項６ないし請求項１１のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１３】
前記調圧本体部は、定常状態で常に主弁機構部、パイロット弁機構部をわずかに開いており、二次側で空気が消費されなくても一次側から二次側に空気は少量流れているように作用してなる請求項６ないし請求項１２のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１４】
前記回動式押圧機構部は、調圧ねじユニットと回転駆動部の間に介在される回転駆動力伝達用の伸縮連結継手を備え、当該伸縮連結継手は、所定の閉空間部を形成するように略対向配置された外周円状の可撓性の対向部材を備え、
対向部材の一方の部材は、その略中央に回転駆動部との連結部を備え、
対向部材の他方の部材は、その略中央に調圧ねじとの連結部を備えてなる請求項６ないし請求項１３のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１５】
前記回転駆動力伝達用の伸縮連結継手は、回転方向に対して対向部材の実質的な変形は発生せず、軸方向の移動変位量に対してのみ対向部材の変形が生じるように設定されてなる請求項１４に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１６】
前記対向部材は、樹脂製からなる請求項１５に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１７】
前記対向部材の一方および他方の部材は、それぞれ、椀形状をなし、これらの部材の周縁部が互いに接合されてなる請求項１４ないし請求項１６のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１８】
前記対向部材の一方の部材が平板形状をなし、前記対向部材の他方の部材が椀形状をなし、これらの部材の周縁部が互いに接合されてなる請求項１４ないし請求項１６請求項のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項１９】
前記対向部材の一方および他方の部材は、それぞれ、平板形状をなし、これらの部材の周縁部がリング状の側面部材を介して互いに接合されてなる請求項１４ないし請求項１６請求項のいずれかに記載の押し圧荷重コントロール装置。
【請求項２０】
前記椀形状をなす対向部材は、その湾曲表面上の中心部から外周部に向けて放射状に伸びる複数の突出したリブを備えてなる請求項１８または請求項１９に記載の押し圧荷重コントロール装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、押圧対象物に押し荷重を加えるための押し圧荷重コントロール装置に関し、特に、出力の発生における立ち上がり特性に優れ、出力のオーバーシュートを防止でき、極めて精度が高く、再現性の良い出力値を、ある程度長時間保持できる、押し圧荷重コントロール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
空気圧（機器）を利用した省力化、設備の自動化があらゆる分野で近年活発化してきており、それにともなって、装置の駆動機構の一手段である空気圧シリンダ装置に要求される特性も多種多様に亘っている。
【０００３】
精密分野で適用される空気圧シリンダ装置としては、空気の漏れをなくしかつ摩擦抵抗を減らして精密な動作が保証できるように、シリンダ壁とピストン壁との間にダイヤフラム作動膜（布入りのゴム作動膜）を介在させたものが一般によく知られている。また、ダイヤフラム作動膜を用いることにより摺動部が無くなるので、摺動抵抗が少なく応答性に優れるために、例えば、液晶装置や半導体装置等の駆動源として当該シリンダ装置は極めて有用である。
【０００４】
ところで、例えば、小型部品同士の溶接は、簡便性、確実性、生産性等に優れる高周波融着が用いられることが多い。高周波融着は接合する部品同士を重ね、適度の押圧を加えながら高周波を印加して行う溶剤フリーの接着技術である。近年の融着対象となる部品の小型化、複雑化により、部品同士の融着もかなりの条件設定範囲が狭くなってきており、製品歩留まりを向上させつつ生産性を上げるためには押圧圧力の極めて高い精度、精度の高い保持時間、出力の瞬時の立ち上げ等が要求される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような観点から、上記の問題を解決するためにダイヤフラムを用いたシリンダ装置と、精度の良い調圧装置を組み合わせた制御システムの開発が試みられている。さらには調圧装置にいわゆる電流ー空気圧変換機を組み込み、電気信号のコントロールにより空気圧をコントロールする方法も試みられている。しかしながら、従来の制御システムでは、近年の厳しい要求を満足するまでの制御システムとなっていないのが現状である。
【０００６】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、上記の問題点を解決して、出力の発生における立ち上がり特性に優れ、出力のオーバーシュートを防止でき、極めて精度が高く、再現性の良い出力値を、ある程度長時間保持できることが確認できる、押し圧荷重コントロール装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、押圧対象物に押し荷重を加えるために移動可能な移動側組立体と、この移動側組立体を移動可能に保持し、装置の固定側として作用するボンネット本体と、前記移動側組立体とボンネット本体との相対移動の際に発生する摩擦抵抗を低減させるために設けられた少なくとも一対の静圧空気軸受（エアーベアリング）とを有する空気圧シリンダ装置と；
前記空気圧シリンダ装置の出力をコントロールするために空気圧シリンダ装置の出力側ポートに連結された荷重コントロール用調圧装置と；
前記空気圧シリンダ装置の出力を実質的に解除するように作用させることができるように空気圧シリンダ装置のリターン側ポートに連結されたリターン側減圧弁と；
前記空気圧シリンダ装置の静圧空気軸受（エアーベアリング）を作用させるために当該静圧空気軸受（エアーベアリング）に一定の圧縮空気を供給するために連結された軸受用減圧弁と；を有する押し圧荷重コントロール装置であって、
前記空気圧シリンダ装置の移動側組立体は、少なくとも一対のロッドと、当該ロッドの両端部にそれぞれ固着された押圧作用板および連結板と、当該押圧作用板および連結板にそれぞれ対向配置するように固着された押圧側ピストン部材およびリターン側ピストン部材を有し、
前記空気圧シリンダ装置のボンネット本体は、その両端部に、前記押圧側ピストン部材およびリターン側ピストン部材に対応して、押圧側シリンダ部材およびリターン側シリンダ部材がそれぞれ対向配置されており、前記押圧側ピストン部材と押圧側シリンダ部材との間、および前記リターン側ピストン部材とリターン側シリンダ部材との間には、ダイヤフラム作動膜がそれぞれ介在されており、しかも前記ボンネット本体には、対向するシリンダ部材の対向方向に沿って少なくとも一対の前記静圧空気軸受が形成されており、当該静圧空気軸受に前記ロッドが挿通されており、
前記荷重コントロール用調圧装置は、入力された一次圧を二次圧として出力する際に出力側の二次圧を調整するための調圧機構の主要部となる調圧本体部と、該調圧本体部の調圧設定制御を行うための回動式押圧機構部とを有し、当該回動式押圧機構部は、出力側の二次圧を設定するために前記調圧本体部に連結される調圧ねじユニットと、前記調圧ねじユニットを作動させて調圧度合いを調整するための回転駆動部と、当該回転駆動部の回転量を制御するための回転制御部とを備え、当該回転制御部からの制御信号に基づき、前記回転駆動部を作動させて、当該荷重コントロール用調圧装置から供給される空気の圧力をコントロールすることによって、前記空気圧シリンダ装置の移動側組立体を押圧対象物に向けて移動させ、前記押圧作用板を押圧対象物に実質的に当接できるとともに押圧をコントロールできるようになっており、
前記リターン側減圧弁は、当該リターン側減圧弁から供給される空気の圧力（出力方向とは逆の方向に作用する）によって、空気圧シリンダ装置の移動側組立体の自重を実質的にキャンセルできるようになっており、
前記軸受用減圧弁は、空気圧シリンダ装置の静圧空気軸受（エアーベアリング）に所定の圧力の空気を連続的に供給することができ、この静圧空気軸受に供給される空気の圧力によって、静圧空気軸受に挿通されている前記ロッドは静圧空気軸受と非接触の状態で軸受けされるように構成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【０００９】
図１は、本発明の押し圧荷重コントロール装置１の全体構成図（全体システム図）を模式的に示したものである。図１に示されるように、本発明の押し圧荷重コントロール装置１は、押圧対象物５００に制御された押し荷重を加えるために設けられた空気圧シリンダ装置５と、この空気圧シリンダ装置５の出力をコントロールするために空気圧シリンダ装置５の出力側ポート９１に連結された荷重コントロール用調圧装置１００と、前記空気圧シリンダ装置５の出力を実質的に解除するように作用させるために空気圧シリンダ装置のリターン側ポート９５に連結されたリターン側減圧弁２００と、前記空気圧シリンダ装置５に設けられた静圧空気軸受（エアーベアリング）を作用させるために当該静圧空気軸受（エアーベアリング）に一定の圧縮空気を供給するために空気圧シリンダ装置のエアーベアリングポート９９に連結された軸受用減圧弁３００とを有して構成される。押し圧荷重コントロール装置１全体の具体的制御を説明する前に、各構成装置の具体的好適例について最初に説明しておく。
【００１０】
（１）空気圧シリンダ装置５
押圧対象物５００に押し荷重を加えるように作用することができる圧空気圧シリンダ装置５の好適な具体例が図２〜図７に示される。
【００１１】
図２には、本発明に用いられる空気圧シリンダ装置５の概略斜視図が、図３には図２の正面図の要部を断面で示した図が、図４には図２の側面図の要部を断面で示した図が、図５には図２の平面図が、図６には図２の底面図が、図７には図２の正面図が、それぞれ示される。
【００１２】
図２〜図４に主に示されるように、本発明で用いられる空気圧シリンダ装置５は、装置の固定側として作用する（つまり固定して用いられる）ボンネット本体１０と、実際に可動できる移動側組立体５０を備えて構成される。本実施の形態の場合、ボンネット本体１０の背面に固定用ベース１３が固着されており、これを用いることによりボンネット本体１０の固定が容易にできるようになっている。
【００１３】
実際にストローク移動する移動側組立体５０は、一対のロッド５１，５１と当該ロッド５１，５１の両端部にそれぞれ固着された押圧作用板４１および連結板４５と、押圧作用板４１に実質的に固着された押圧側ピストン部材３１、および連結板４５に固着されたリターン側ピストン部材３５とを備えて構成される。
【００１４】
本実施例の場合、押圧作用板４１と押圧側ピストン部材３１との間には、押圧力を測定するためのロードセル３０が介在されているが、このロードセル３０は必須の部材となるものではない。ロードセル３０は、例えば、実際の押圧力を直接測定して確認するために備えつけられている。本実施の形態では、ロードセル３０は矩形形状をなし、このロードセル３０は、押圧作用板４１および押圧側ピストン部材３１とにそれぞれ固定されている。
【００１５】
押圧作用板４１および連結板４５は類似の形態を備えており、同一形状としてもよいが、押圧作用板４１が出力面（押圧作用面）として機能する。すなわち、出力面として機能することができる押圧作用板４１そのものが直接、あるいはこれにワーク等を介在させ設置することにより、押圧対象物５００に押し荷重が加えられるようになっている。
【００１６】
図３に示されるように前記空気圧シリンダ装置５のボンネット本体１０は、その軸方向両端部に、前記押圧側ピストン部材３１およびリターン側ピストン部材３５に対応して、押圧側シリンダ部材２１およびリターン側シリンダ部材２５がそれぞれ軸方向に対向配置されており、前記押圧側ピストン部材３１と押圧側シリンダ部材２１との間、および前記リターン側ピストン部材３５とリターン側シリンダ部材２５との間には、ダイヤフラム作動膜７１および７５がそれぞれ介在されており、しかも前記ボンネット本体１０には、対向するシリンダ部材２１，２５の対向方向に沿って少なくとも一対の静圧空気軸受８０，８０が形成されており、当該静圧空気軸受８０，８０に前記ロッド５１，５１が挿通されている。
【００１７】
静圧空気軸受８０，８０は、通常、エアーベアリングとも呼ばれ、静圧空気軸受８０，８０に所定の圧力の空気を連続的に供給することにより、供給される空気の圧力によって、静圧空気軸受８０，８０に挿通されている前記ロッド５１，５１は、静圧空気軸受８０，８０と非接触の状態で軸受けされるようになっている。これにより、軸受け抵抗は、ほとんどゼロに近くなり、本発明の良好な制御の実現に寄与することができる。なお、前述したように静圧空気軸受８０，８０には、前記軸受用減圧弁３００から所定の圧力の空気（軸受け可能な圧力に設定されている）が連続的に供給されるようになっている。
【００１８】
図３に示されるように、前記押圧側シリンダ部材２１と押圧側ボンネット内孔部１１とにより、押圧側シリンダ内部空間６１が形成されており、当該押圧側シリンダ内部空間６１は、前記出力側ポート９１と連通している。出力側ポート９１は、図３および図４に示されるように、固定用ベース１３に穿設された通気孔９１ａおよびボンネット本体１０に穿設された通気孔９１ｂを介して、押圧側シリンダ内部空間６１へと通じている。
【００１９】
図３に示されるように前記リターン側シリンダ部材２５とリターン側ボンネット内孔部１５とにより、リターン側シリンダ内部空間６５が形成されており、当該リターン側シリンダ内部空間６５は、前記リターン側ポート９５と連通している。リターン側ポート９５は、図３および図４に示されるように、固定用ベース１３に穿設された通気孔９５ａおよびボンネット本体１０に穿設された通気孔９５ｂを介して、リターン側シリンダ内部空間６５へと通じている。
【００２０】
図３および図４に示されるように、前記押圧側シリンダ内部空間６１には、前記移動側組立体１０の押圧側ピストン部材３１がいわゆるローリング作動するダイヤフラム作動膜７１を介して摺動可能に装着されている。同様に、前記リターン側シリンダ内部空間６５には、前記移動側組立体１０のリターン側ピストン部材３５がダイヤフラム作動膜７５を介して摺動可能に装着されている。これらのダイヤフラム作動膜７１，７５は、各ピストン部材３１，３５の少なくとも対向する面をそれぞれ覆うように配置されている。
【００２１】
そして、ダイヤフラム作動膜の周縁部（ビード部）７１ａ，７５ａは、それぞれボンネット本体１０とシリンダ部材２１および２５により挟持され固定されている。このようなダイヤフラム作動膜７１，７５は、それぞれ、ピストン部材３１，３５との当接部に切り欠き部を持たない一枚の連続膜であり、従来の復動式空気圧シリンダ装置のごとく膜を固定するためのリング状のリティナープレートは不要である。そのため、ピストン部材の小型化への対応も容易に実現可能となる。
【００２２】
なお、上記２枚のダイヤフラム作動膜７１，７５は、強度および気密性を配慮した布入りのゴム膜から構成され、極めて薄く設計されている。より具体的には、強力なポリエステル布等の上にゴムを被覆したもの（例えば、ＢＦダイヤフラムと称されるもの）が例示できる。さらに上記２枚のダイヤフラム作動膜７１，７５には、ピストン部材壁からシリンダ部材壁へと滑らかに摩擦なく転がりながら、ローリング作動が行えるように、リング状の折り返し部分７１Ｒ，７５Ｒが形成されている。
【００２３】
前述したように、出力側ポート９１は、一方の押圧側シリンダ内部空間６１に連通孔を通して連通しており、他方のリターン側ポート９５は、他方のリターン側シリンダ内部空間６５に連通している（図３および図４）。そして、リターン側シリンダ内部空間６５は、リターン側減圧弁２００より常に一定の制御された二次圧がかけられており、当該二次圧の大きさは、空気圧シリンダ装置５の移動側組立体１０の自重をキャンセルできる程度の大きさとされる。つまり、移動側組立体１０の自重にわずかに打ち勝って、移動側組立体１０を持ち上げるように二次圧が設定されている。この一方で、押圧側シリンダ内部空間６１は、荷重コントロール用調圧装置１００から、変動制御された制御圧がかかっている。
【００２４】
そして、荷重コントロール用調圧装置１００からの制御圧によるピストン部材３１に及ぼす圧力が、リターン側減圧弁２００からの二次圧（一定）によるピストン部材３５に及ぼす圧力よりも大きくなると、押圧作用板４１（移動側組立体１０）は、矢印（α）方向にストロークし、押圧作用板４１による押圧作用が実行される。
【００２５】
この一方で、荷重コントロール用調圧装置１００から押圧側シリンダ内部空間６１に供給される制御圧が例えば零となるように変動制御され、リターン側減圧弁２００からリターン側シリンダ内部空間６５に供給される一定の二次圧（リターン圧）の方が大きくなると、圧力のバランスは逆転して移動側組立体１０は、矢印(β)方向に一体的にストローク移動し、押圧出力は実質的に解除される。
本発明における前記一対のシリンダ部材２１，２５は、同軸上に対向配置されており、これに伴い一対のピストン部材３１，３５やダイアフラム作動膜７１，７５等も同軸上に対向配置される。なお、図２〜図７の態様の変形例として、対向する２対のシリンダ部材およびピストン部材を準備し、これらが、それぞれ２つの同軸上に対向して配置するような構成にしてもよい。
【００２６】
なお、前記ボンネット本体１０は、通常、好ましい形態として略直方体形状とされる。
【００２７】
（２）荷重コントロール用調圧装置１００
本発明で好適に用いることができる荷重コントロール用調圧装置１００の詳細な実施の形態が図８に示される。
【００２８】
図８に示されるように、荷重コントロール用調圧装置１００は、入力された一次側空気の一次圧（図面下方の左側から入る）を、二次側空気の二次圧として出力する（図面下方の右側から出る）際に出力側の二次圧を調整するための装置である。
【００２９】
図８に示されるように、当該装置１００は、調圧機構の主要部となる調圧本体部α１と、調圧室本体部α１の調圧設定を行う回動式押圧機構部β１とを有して構成される。
【００３０】
調圧本体部α１は、二次側空気の二次圧をコントロールするためのコントロール室１１０を備え、該コントロール室１１０には、二次圧に応じて圧縮・膨張するカプセル体１１１が配置されている。なお、本発明における方向を示す「上」および「下」という文言は、図１の状態に装置１００を設置した場合に、常識的に特定される各方向を示している。
【００３１】
カプセル体１１１の上面１１１ａには、上下方向に移動できるカプセルロッド１４１が当接した状態で配置されており、このカプセルロッド１４１によるカプセル体１１１の押圧量により実質的に二次側空気の二次圧が調整されるようになっている。
【００３２】
このカプセルロッド１４１によるカプセル体１１１の押圧量を規制するために、前記回動式押圧機構部β１がカプセルロッド１４１に実質的に連結されている。
【００３３】
回動式押圧機構部β１は、調圧ねじユニット１５０および回転駆動部１８０を備え、回転駆動部１８０へ電流を印加することにより、回転駆動部１８０が所定量の回転をし、その回転量の大きさに応じて調圧ねじユニット１５０を介してカプセルロッド１４１が軸方向に移動して実質的にカプセル体１１１を押圧することができるようになっている。
【００３４】
本発明における回転制御部６００において、前記回転駆動部１８０の回転量（例えば、印加される電流パルス量）と、制御される二次圧の値との関係が予め求められており、当該関係を用いて二次圧の設定制御が行なわれる。より好ましくは、前記回転駆動部１８０の回転量と、制御される二次圧との関係が実質的に比例関係部分を有するように装置設定されており、当該比例関係部分を用いて二次圧の実質的な比例制御が行なわれる。回転駆動部１８０の回転量を変動制御するために回転制御部６００が回転駆動部１８０に連結されおり、回転制御部６００から回転駆動部１８０へ制御信号（例えば、回転量を規制する電流パルス数など）が送られる。回動式押圧機構部β１のさらなる詳細な構造については後に述べる。
【００３５】
前記調圧本体部α１における前記カプセル体１１１の下面１１１ｂには、パイロット弁体１２５ａを備えるパイロット弁棒１２５がカプセル体１１１の下面１１１ｂに向かって、例えば板ばね１１２で付勢されている。パイロット弁体１２５ａはパイロット弁シート１２６と組み合わされてパイロット弁機構部を構成する。
【００３６】
このようなパイロット弁機構部は、前記コントロール室１１０とパイロット室１２０との連通の開閉をつかさどるようになっている。パイロット室１２０には圧力調整のための上側ダイヤフラム１３２が配置され、この上側ダイヤフラム１３２と対をなす下側ダイヤフラム１３１が対向配置されるとともに、これらの一対のダイヤフラム１３１、１３２により排気弁シート１１５ａを有する排気弁シート部材１１５が挟持されている。
【００３７】
排気弁シート部材１１５の下側ダイヤフラム１３１側には排気弁シート１１５ａが位置し、その弁開閉のための排気弁体１１６が排気弁シート１１５ａと対をなして形成されている。排気弁体１１６は、排気弁シート１１５ａ側に向かって付勢されている共同弁棒体１１７の一方端に形成されている。この一方で共同弁棒体１１７の他方端には、主弁体１０６が形成されており、当該主弁体１０６は主弁シート１０５と対をなし、一次側空気と二次側空気との連通の開閉をつかさどる弁機構部を構成している。なお、共同弁棒体１１７（排気弁体１１６）の排気弁シート１１５ａ側への付勢は、主弁ばね１０３によって行なわれている。
【００３８】
前記排気弁シート１１５ａと排気弁体１１６による排気弁機構部は、二次側空気と大気との連通の開閉をつかさどるように作用し、そのための大気排気孔１３３が対向配置されたダイヤフラム１３１，１３２間に形成されている。
【００３９】
さらに、パイロット室１２０には、図示のごとくパイロット室１２０内の圧力を安定させるためにパイロット室の空気を外部に逃がすためのブリード孔１２８が形成されている。
【００４０】
本実施の形態の場合、主弁体１０６と主弁シート１０５からなる主弁機構部を経て流入した空気（二次側空気）は、コントロール室１１０内へ流入できるように、バイパス１１３が形成されている。
【００４１】
このような調圧本体部α１の二次圧を実質的に制御している回動式押圧機構部β１は、図８に示される実施の形態では、調圧本体部α１の上に直列的に形成されている。
【００４２】
回動式押圧機構部β１は、カプセルロッド１４１に連結された調圧ねじユニット１５０と回転駆動部１８０を備え、さらに調圧ねじユニット１５０と回転駆動部１８０の間に回転駆動力伝達用の伸縮連結継手１６０が介在されている。
【００４３】
回転駆動部１８０としては、各種の回転制御可能な精密モータが用いられるが、中でも特に、５相ステッピングモータを用いることが好ましい。符号１８１はモータ本体を示し、符号１８２はモータ軸を示す。回転駆動部１８０には、前述したように、モータの回転量を制御するための回転制御部６００が接続されて構成される。回転制御部６００は、本発明の押圧作用を実行したり、押圧作用を解除したりするために回転駆動部１８０へ制御信号（例えば、回転量を規制する電流パルス数など）を送る。
【００４４】
調圧ねじユニット１５０は、回転駆動部１８０の回転運動を軸方向の直進運動に変換させるために用いられ、特にねじを回す際の抵抗をできるだけ零に近づけるためにボールねじ機構を備えるねじが好ましい。ボールねじ機構を備える調圧ねじユニット１５０は、ハウジングナット部１５１とねじ本体１５２とを供え、図面では見えないが、ハウジングナット部１５１とねじ本体１５２の組み合わせ部分にはそれぞれ螺旋溝が形成されており、それらの組み合わせられた螺旋状の空間に摩擦抵抗を低減させるためのボールが介在されている構成となっている。通常、ボールは螺旋溝に沿って連続的に複数個、配置される。このようなボールねじ機構を備える調圧ねじユニット１５０を用いることにより、回動の際の摩擦抵抗が極めて低減でき、急激な回動作動が可能となり、また、急激な回動作動であっても摩擦抵抗が小さいために発熱しない。応答性も極めて良好となる。
【００４５】
なお、調圧ねじユニット１５０のねじ本体１５２の上部１５２ａは、後述の回転駆動力伝達用の伸縮連結継手１６０に接合され、ねじ本体１５２の下部１５２ｂは、カプセルロッド１４１に接続される。
【００４６】
回転駆動力伝達用の伸縮連結継手１６０（以下、単に、『連結継手１６０』と称する）としては、種々の構造のものが用いられ得るが、中でも図８および図９に示される構造のものが好ましい。図９は、連結継手１６０付近を部分的に拡大するとともに、理解が容易になるようにさらに模式的に表示した要部断面図である。
【００４７】
連結継手１６０は、本実施形態の場合、接続ブロック１６４、１６５と伸縮部材１７０を有している。そして、図示のごとく一方の接続ブロック１６４には、回転駆動部１８０のモータ軸１８２が固着され、他方の接続ブロック１６５には、ねじ本体１５２の上部１５２ａが固着される。
【００４８】
この接続部材１６４、１６５の径の大きさは、通常、伸縮部材１７０との固着を容易、かつ固着面積を増やして伸縮部材１７０に局部的応力がなるべくかからないようにその大きさが設定されている。
【００４９】
図示のごとく接続ブロック１６４、１６５の間には、伸縮部材１７０が形成され、伸縮部材１７０は、所定の閉空間部Ｅを形成するように略対向配置された外周円状の可撓性の対向部材１７１，１７５を有している。そして、対向部材の一方の部材１７１は、図示のごとくその略中央が円形状に切り欠かれており、これによって円形状切り欠き部の周縁１７１ａが接続ブロック１６４と連結されている。対向部材の他方の部材１７５もまた部材１７１と同様に、その略中央が円形状に切り欠かかれており、これによって円形状切り欠き部の周縁１７５ａが接続ブロック１６５と連結されている。なお、閉空間部Ｅは、気密性を維持していても維持してなくてもよい。
【００５０】
図８に示される実施の形態において、対向部材１７１，１７５は、それぞれ、椀形状をなし、これらの部材の周縁部は互いに接合され、リング状の固定部材１７８で固定されている。なお、固定部材１７８を用いることなく、対向部材１７１，１７５を設置した後に、これらの周縁部を融着させて固着させることも可能である。
【００５１】
本発明で用いられる連結継手１６０の対向部材１７１，１７５の材質、肉厚、形状等の設計に際しては、軸の回転方向に対して対向部材１７１，１７５の実質的な変形は発生せず、軸方向の移動変位量に対してのみ対向部材の変形が生じるように配慮した設計をする必要がある。
【００５２】
上記の『実質的な変形が発生しない』とは、回転駆動力を正確に伝達できる範囲での変形をしない状態を言う。対向部材１７１，１７５の材質は、可撓性を有する材質、すなわち樹脂や厚さを制限した金属等が用いられ得るが、繰り返し疲労等の耐久性や作りやすさ等を考慮すれば、樹脂を用いることが最も好適である。
【００５３】
用いる樹脂としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂いずれのタイプでもよく、上記の変形性を考慮して、具体的な肉厚、形状等を適宜設定すればよい。また、図示のごとく対向部材１７１，１７５をそれぞれ椀形状とすることにより、軸方向の移動変位量の許容幅が広がり、移動変位量を広い範囲に設定することができるという優れたメリットを有する。
【００５４】
前述したように対向部材の他方の部材１７５には、接続ブロック１６５を介して、調圧ねじユニット１５０のねじ本体１５２が実質的に接続される。ねじ本体１５２は、調圧本体部α１と実質的に一体化されているものであり、ねじ本体１５２を回動させてこのものを軸方向に上下させることにより調圧本体部α１の出力側の二次圧を調整することができるようになっている。
【００５５】
なお、上記の対向部材１７１，１７５の内のいずれか一方を、略平板状の対向部材に変えてもよい。この場合、軸方向の移動変位量の許容幅は小さくなるが、比較的製造が容易になるというメリットが生じる。
【００５６】
また、椀形状の対向部材１７１，１７５の湾曲表面上に複数のリブを設けるよにするのも好ましい態様である。この場合、リブは、湾曲表面上の中心部から外周部に向けて放射状に伸びる複数の突出物として形成される。このようなリブを設けることによって、回転方向に対する強度をより一層高め、対向部材の回転方向の実質的な変形をより確実になくすることができる。また、対向部材の成形肉厚を減らし、コストダウンを図ることも可能である。
【００５７】
なお、リブの形態は、上記の作用を果たすことができるものであれば、採用可能であり、例えば、対向部材の外周円状に沿った、複数の同心円の突起物から構成される形態や、うず巻き状の突起物から構成される形態とすることもできる。
【００５８】
このように本発明で用いられる連結継手１６０は、いずれも、回転方向に対する対向部材の実質的な変形は発生せず、また、調圧ねじユニット１５０のねじ本体１５２が軸方向移動に伴い移動する際に、対向配置された外周円状の対向部材１７１，１７５が変形して軸方向の移動変位量を吸収し緩衝してなるように構成されているので、継手内でのバックラッシュ (backlash) がなく伝達精度が極めて良い。さらには、わずかな軸ずれを収して緩衝することも可能である。
【００５９】
本発明で用いられる荷重コントロール用調圧装置１００の作動原理について説明する。
【００６０】
一次側から主弁機構（主弁体１０６と主弁シート１０５の組み合わせ）を介して流入した二次側空気は、バイパス１１３を通りコントロール室１１０へ導かれ、カプセル体１１１に対して外圧として働く。定常状態では常時わずかな空気がパイロット弁機構（パイロット弁体１２５ａとパイロット弁シート１２６の組み合わせ）、パイロット室１２０、ブリード孔１２８を通り大気へと逃げてパイロット室１２０内の圧力は安定している。図８に例示されている調圧装置１００は、常時ブリード式であり、定常状態で常に主弁機構の弁体、およびパイロット弁機構の弁体をわずかに開いており、二次側で空気が消費されなくても一次側から二次側に空気は少量流れている状態にある。
【００６１】
二次側の設定圧を上昇させるために回動式押圧機構部β１を作動させ、カプセルロッド１４１が所定量押し込まれると、カプセル体１１１が押し下げられる。すると、板ばね１１２で持ち上げられていたパイロット弁棒１２５が押し下げられ、パイロット弁シート１２６との間隔が大きくなり多くの二次側空気が、パイロット室１２０に流れ込み、同室１２０の圧力を増加させる。その圧力により上側ダイヤフラム１３２の下向きの力が増加し、共同弁棒体１１７を介して主弁体１０６を押し下げ、主弁シート１０５との間隔を大きくし一次側より、より多量の空気を二次側に流し込み、二次圧を増加させる。
【００６２】
増加した二次圧はバイパス１１３を通りコントロール室１１０に流れ込みカプセル体を押圧し、カプセル体１１１が圧縮されるので板ばね１１２の力により板ばね１１２に固着されているパイロット弁棒１２５は上に引き上げられる。すると、パイロット弁体１２５ａとパイロット弁シート１２６の間隔が狭くなりコントロール室１１０に流れ込む空気が少なくなって同室１１０の圧力が低くなるので（ブリード孔１２８から常に一定の吹き出しがあるため）、下側ダイヤフラム１３１の上向きの力に負け、排気弁シート部材１１５（排気弁シート１１５ａ）が上に移動し、主弁体１０６は主弁ばね１０３の力により上向きに移動し主弁シート１０５との間隔を狭め、二次側への流れ込む空気量を少なくし、二次圧を下げる。この動作を繰り返し二次圧をより高い所望の設定圧に保つように作用する。
【００６３】
二次圧が設定圧より高くなると、カプセル体１１１をより多く圧縮してパイロット弁棒１２５（パイロット弁体１２５ａ）がより上方に動くため、パイロット室１２０の圧力が急激に低下する。このため、ダイヤフラムアッセンブリ全体は力の平衡が破れ上方に動く。それにつれて、主弁体１０６（共同弁棒体１１７）は、主弁ばね１０３の力により上向きに移動し、主弁体１０６と主弁シート１０５の間隔が狭くなり空気の流れ込む量が少なくなるので、二次側に流れ込む空気量を二次側で消費される空気量と釣り合って二次側圧力は元の状態に戻る。それでも、二次圧が設定圧より高いと下側ダイヤフラム１３１はさらに上向きに移動し、排気弁体１１６と排気弁シート１１５ａとの間が開き、その空隙を通り二次側空気が大気へ逃げ、二次圧を設定値まで下げる。この作用はいわゆるリリーフ(排気)作用と呼ばれている。このような調圧本体部は、定常状態で常に主弁機構部、パイロット弁機構部をわずかに開いており、二次側で空気が消費されなくても一次側の空気は少量流れているように作用している。
【００６４】
さらに、二次圧を変化させたい時には、例えば、回転駆動部１８０へ印加される電流パルス数（回転量と実質的に同じ）を変化させる。回転量と二次圧の関係は、前述したように比例制御可能な関係となっているために、簡易かつ確実で精度の良い二次圧設定が実現できる。
【００６５】
（３）リターン側減圧弁２００
図１に示されるようにリターン側減圧弁（リターン側レギュレータ）２００は、空気圧シリンダ装置５のリターン側ポート９５に連結されている。リターン側減圧弁２００は、圧縮空気供給源から供給される一次圧を所定の二次圧に変えて、当該一定の二次圧空気を空気圧シリンダ装置５のリターン側ポート９５に連続的に供給できるものであって、かつ、設定される二次圧の設定精度の良いものが好ましい（精密減圧弁と呼ばれるものが好ましい）。その装置の要部は、例えば前記荷重コントロール用調圧装置１００における回動式押圧機構部β１と同程度の機能を備えるものが好ましい。当該二次圧の設定操作は、人的操作によるもの（直接手動のもの）で十分であるが、空気圧操作式、機械的操作方式のものであってもよい。
【００６６】
リターン側減圧弁２００は、前記の荷重コントロール用調圧装置１００と一緒になって、前記空気圧シリンダ装置５に協働的に作用する。すなわち、前述したように荷重コントロール用調圧装置１００が連結される空気圧シリンダ装置５の出力側ポート９１は、一方の押圧側シリンダ内部空間６１に連通孔を通して連通している。
【００６７】
また、リターン側減圧弁２００が連結される他方のリターン側ポート９５は、他方のリターン側シリンダ内部空間６５に連通している（図３および図４）。そして、リターン側シリンダ内部空間６５は、リターン側減圧弁２００より常に一定の制御された二次圧がかけられており、当該二次圧の大きさは、空気圧シリンダ装置５の移動側組立体１０の自重をキャンセルできる程度の大きさとされる。つまり、移動側組立体１０の自重にわずかに打ち勝って、移動側組立体１０を持ち上げるように二次圧が設定されている。この一方で、押圧側シリンダ内部空間６１は、荷重コントロール用調圧装置１００から、変動制御された制御圧がかかっている。
【００６８】
そして、荷重コントロール用調圧装置１００からの制御圧によるピストン部材３１に及ぼす圧力が、リターン側減圧弁２００からの二次圧（一定）によるピストン部材３５に及ぼす圧力よりも大きくなると、押圧作用板４１（移動側組立体１０）は、矢印（α）方向にストロークし、押圧作用板４１による押圧作用が実行される。
【００６９】
この一方で、荷重コントロール用調圧装置１００から押圧側シリンダ内部空間６１に供給される制御圧が例えば零となるように変動制御され、リターン側減圧弁２００からリターン側シリンダ内部空間６５に供給される一定の二次圧（リターン圧）の方が大きくなると、圧力のバランスは逆転して移動側組立体１０は、矢印(β)方向に一体的にストローク移動し、押圧出力は実質的に解除される。
【００７０】
上記の説明からも明らかなように、リターン側減圧弁２００は、変圧制御される荷重コントロール用調圧装置１００の制御圧に勝ったときに、前記空気圧シリンダ装置５の出力を実質的に解除して押圧板４１を押圧対象物５００から離す（出力方向と反対方向にリターンさせる）ように作用させることができるようになっている（例えば、荷重コントロール用調圧装置１００からの制御圧が零に近くなった場合）。
【００７１】
なお、前述したようにリターン側減圧弁２００の一定の二次圧は、空気圧シリンダ装置５の移動側組立体５０の自重を実質的にキャンセルできるような圧力とすることが好ましい。つまり、移動側組立体５０があたかも無重力で浮いている状態に近づけることが望ましい。これにより、押圧板４１の出力の発生（例えば、荷重コントロール用調圧装置１００からの制御圧が大きくなった場合）における（立ち上がり特性（特に立ち上がり特性の急峻性）を極めて優れたものとすることができる。
【００７２】
（４）軸受用減圧弁３００
軸受用減圧弁（軸受用レギュレータ）３００は、空気圧シリンダ装置５の静圧空気軸受８０，８０（エアーベアリング）に一定の圧縮空気を供給し、ロッド５１，５１との非接触の軸受けを実現させるために用いられる。
【００７３】
すなわち、前記軸受用減圧弁３００は、空気圧シリンダ装置５の静圧空気軸受８０，８０（エアーベアリング）に所定の圧力の空気を連続的に供給することができ、この静圧空気軸受８０，８０に供給される空気の圧力によって、静圧空気軸受８０，８０に挿通されているロッド５１，５１は静圧空気軸受と非接触の状態で軸受けされるようになっている。これにより摺動抵抗はほとんどゼロとなり、極めて応答性の良い本発明の動作が実現される。
【００７４】
軸受用減圧弁（軸受用レギュレータ）３００もやはり、圧縮空気供給源から供給される一次圧を所定の二次圧に変えるように作用する。当該所定の二次圧空気は、空気圧シリンダ装置５の静圧空気軸受８０，８０に常に供給されている。二次圧の設定は、静圧空気軸受８０，８０の軸受け効果が発現できるように調整すればよい。軸受用減圧弁（軸受用レギュレータ）３００は、精密であることにこしたことはないが、軸受け効果が発現できる範囲においてあまり、厳密な圧力制御をする必要なく、一般に良く使用されている減圧弁を用いてもよい。
【００７５】
本発明の押し圧コントロール装置１の作用
実際に本発明の押し圧コントロール装置１を用いて、空気圧シリンダ装置５の押圧出力（押圧作用板４１の出力＝１０Ｎ）を所定の時間間隔で発生させるとともに、１０Ｎの出力を所定時間保持させる出力再現性実験を行った。
【００７６】
この実験結果により得られた出力特性グラフを図１０に示した。横軸が時間（ｓｅｃ）であり、縦軸が押圧作用板４１の出力（Ｎ）である。
【００７７】
まず、最初に図１０のグラフに基づいて本発明装置の作用を説明する。
【００７８】
時間０〜５秒の間では、押圧作用板４１の出力はゼロである。この時、荷重コントロール用調圧装置１００から供給される制御圧力は零に近く、リターン側減圧弁２００からリターン側シリンダ内部空間６５に供給される所定圧の方が勝っている。そのため、移動側組立体５０は、押圧作用側に移動することなく、上方に待機した状態（出力解除の状態）にある。
【００７９】
ついで、５秒の時間がくると同時に回動制御部６００から荷重コントロール用調圧装置１００の回動駆動部１８０に制御信号が出され、例えば、信号パルス数に応じてモータが所定の回転量ほど高速回転する。すると、その回転量の大きさに応じて調圧ねじユニット１５０を介して、調圧本体部α１が作動し、荷重コントロール用調圧装置１００から供給される制御圧が上昇し、リターン側減圧弁２００の二次圧より高くなるために、移動側組立体５０は、押圧作用側に移動して押圧作用板４１の出力状態となる。
【００８０】
この出力の状態は、約１５秒保持され、しかる後、（スタートから２０秒のところで）、回動制御部６００から荷重コントロール用調圧装置１００の回動駆動部１８０に圧力を低下させるよう制御信号が出され、例えば、信号パルス数に応じてモータが所定の回転量ほど高速で逆回転して最初の状態に戻る。この時、荷重コントロール用調圧装置１００から供給される制御圧力は零に近く、リターン側減圧弁２００からリターン側シリンダ内部空間６５に供給される所定圧の方が勝っている。そのため、移動側組立体５０は、出力を解除するように上方に移動し、上方に待機した状態（出力解除の状態）に戻る。
【００８１】
このような一定時間の待機および出力保持を繰り返して、出力再現性の実験を行なった。その結果、図１０のグラフから明らかなように、本発明装置では、出力の発生における立ち上がり特性に優れ（その立ち上がり特性は任意に設定できるが、特に、立ち上がり特性の急峻性には目をみはるものがある）、出力のオーバーシュートを防止でき、極めて精度が高く、再現性の良い出力値を、ある程度長時間保持できることが確認できた。
【００８２】
同様な手順で、空気圧シリンダ装置５の押圧出力（押圧作用板４１の出力）を１Ｎ、５０Ｎ、１００Ｎ、１５０Ｎ、２００Ｎにそれぞれ変えて、出力再現性実験を行った。これらの実験においても、上記出力１０Ｎの場合と同様に優れた結果が得られることが確認できた。
【００８３】
ちなみに、従来の装置では、立ち上がり特性を急峻にするとオーバーシュートの発生が避けられず、また、極めて精度の高い出力値を、長時間保持することはできなかった。
【００８４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように構成されているので、出力の発生における立ち上がり特性に優れ（その立ち上がり特性は任意に設定できるが、特に、立ち上がり特性の急峻性には目をみはるものがある）、出力のオーバーシュートを防止でき、極めて精度が高く、再現性の良い出力値を、ある程度長時間保持できるという効果が発現する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の押し圧荷重コントロール装置１の全体構成図（全体システム図）を模式的に示したものである。
【図２】本発明に用いられる空気圧シリンダ装置５の概略斜視図である。
【図３】図２の正面図の要部を断面で示した図である。
【図４】図２の側面図の要部を断面で示した図である。
【図５】図２の平面図である。
【図６】図２の底面図である。
【図７】図２の正面図である。
【図８】本発明で好適に用いることができる荷重コントロール用調圧装置１００の詳細な実施の形態を示す要部断面図である。
【図９】連結継手１６０付近を部分的に拡大するとともに、理解が容易になるようにさらに模式的に表示した要部断面図である。
【図１０】出力再現性実験の結果、得られた出力特性グラフである。
【符号の説明】
１…押し圧荷重コントロール装置
５…空気圧シリンダ装置
１００…荷重コントロール用調圧装置
２００…リターン側減圧弁
３００…軸受用減圧弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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