(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を用いて下引き層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項２】
導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなる感光層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行うことを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されていることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ微粉末であることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【請求項６】
請求項１記載の電子写真感光体の製造方法により形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けたことを特徴とする電子写真感光体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性支持体表面を粗面化し、さらに該粗面化表面に下引き層を形成し、該下引き層上に感光層を設ける電子写真感光体の製造方法及び前記構成からなる電子写真感光体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、露光光源としてレーザ光などの可干渉光を用いる電子写真装置に使用される感光体は、前記光源によって露光したときに感光層への入射光と層界面からの反射光などによって干渉を起こし、形成される画像上に干渉縞を発生させるという重大な欠陥を防止するため、導電性支持体の表面を粗面化することが行われている。また、該粗面化表面に感光層を直接設けると接着不足による剥離、導電性支持体からの電荷注入による帯電性の低下、導電性支持体の欠陥に基づく画像不良の発生などの理由から、感光層と導電性支持体との間に下引き層あるいは中間層を設けるのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の導電性支持体の粗面化や下引き層の形成に関しては、これまで数多くの提案がなされており、たとえば特開平６−６７４４１号公報には湿式ホーニング処理により無切削アルミニウム素管表面を粗面化し、かかるホーニング処理されたアルミニウム管を導電性支持体として使用し、これに感光層を直接設けるか、あるいはジルコニウムなどの塗布液からなる下引き層を介して感光層を設ける電子写真感光体が提案されている。また、特開平５−８８３９５号公報には無切削素管を導電性支持体として用い、該導電性支持体上に１種もしくは複数種の樹脂による中間層を形成すると共に該中間層の膜厚及び表面粗さを規定することが提案されいる。
しかしながら、これらの提案による導電性支持体の粗面化と下引き層もしくは中間層の形成は、いずれも別々のプロセスにより行うためブロセスコストの上昇を招くのみならず得られる効果も十分ではない。
本発明はこのような背景に鑑みてなされたもので、導電性支持体表面の均一な粗面化とその表面に形成する下引き層とを一連のプロセスとすることにより、プロセスコストの上昇を防ぐと共に両者の密着性を向上させて感光層の剥離を防ぎ、さらに導電性支持体の欠陥に基づく画像不良などの発生を抑制することができる電子写真感光体の製造方法及びそれによる電子写真感光体を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、第一に、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を用いて下引き層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第二に、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなる感光層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第三に、請求項１又は２記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行うことを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第四に、請求項１乃至３の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されていることを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第五に、請求項１乃至３の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ微粉末であることを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第六に、請求項１記載の電子写真感光体の製造方法により形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けたことを特徴とする電子写真感光体が提供される。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳細に説明する。
上述のように、本発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により微細に粗面化し、その後、プラズマ溶射により下引き層を形成するものであり、ブラスト処理により可干渉光の露光による干渉縞の発生を抑えることができると共に、その後プラズマ溶射によって形成される下引き層との密着性をも向上させることができ、さらに該プラズマ溶射による下引き層を形成し、その上に感光層を形成することにより、感光層との密着性を向上させ、また導電性支持体上の欠陥に起因するような画像不良の発生もない感光体が得られることを見出したものである。
上記本発明において、ブラスト処理による導電性支持体表面の粗面化とプラズマ溶射による下引き層の形成は、プラズマ溶射装置を用いて行うことができ、これにより該二つのプロセスを同一装置により行うことができるため、プロセスの簡略化を行うことができ、コスト上昇の抑制に貢献することができる。
また、上記ブラスト処理による粗面化は、導電性支持体としてアルミニウムを主成分とする合金の素管を用いることによりブラスト処理を容易に行うことができる。また、上記ブラスト処理にアルミナ微粉末を研磨材として用いるときは硬度の高いアルミナ微粉末を用いることができるため支持体の粗面化を確実に行うことができる。さらにまた上記プラズマ溶射による下引き層をアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粉末により形成するときは上記ブラスト処理をアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粉末を研磨材として用いることとあいまってプロセスの簡略化を行うことができる。さらに同様な考え方から上記プラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなる下引き層を形成し、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなる感光層を形成することによりプロセスの簡略化を大きく進めることができる。
【０００６】
【実施例】
以下に本発明を実施例により具体的に説明する。
〔実施例１〕
図１は本発明による電子写真感光体の製造方法の第一工程を例示するものである。図において、１０は導電性支持体であるアルミニウム製円筒形基板、一点鎖線で囲んだ部分は高温プラズマ発生部を有するプラズマ溶射部６であり、２はノズル（陽極）、３は電極（陰極）、４は粒子（粉末）導入口、５はプラズマガスの導入部である。
導電性支持体として長さ３００ｍｍ、直径１８０ｍｍのアルミニウム製円筒形基板１０を使用した。この円筒形基板１０はＤＩ法で形成された表面を鏡面切削したものである。ここで、ＤＩ法とは、アルミニウムを主成分とする板材を深絞り加工によって引き抜き、次いで外側の表面をしごき加工し、片側に底のある円筒を製造する方法であり、一般には底を切断、端面処理し使用する。
プラズマ発生装置には図示するような高温プラズマ発生部を持つプラズマ溶射部６と、それに対向する基材ホルダー（図示せず）を持つ装置を用いた。雰囲気は大気開放である。該装置の基板ホルダーは、円筒形基板を支持することができ、内部にヒーターがあり、加熱できるようになっている。また、円筒全面を処理するために自転するようにしてある。
まず、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粒子を用いてブラスト処理を行うため、プラズマ溶射部６内へブラズマガス導入部５より圧縮空気またはアルゴンを導入し、粒子導入口４より導入したアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粒子を７５ｒｐｍで回転しているアルミニウム製円筒形基板１０上に吹き付けて、その表面を粗面化した（図２（ｂ）参照）。これによりアルミニウム製円筒形基板表面は微細に粗面化された。
なお、従来のホーニング処理では、主に溶液中に研磨材を懸濁させ、この懸濁液をポンプに送液しながら、空気導入管から圧送される圧縮気体を研磨材と共にガンから基板上に吹き付けている。そのため装置が複雑となる。さらに懸濁液を処理する機能も必要となる。また、吹き付けた研磨材の一部は懸濁液が水であっても粘性を持つため基板上に付着してしまう。これに対して本発明のブラスト処理では懸濁液を用いていないため装置は簡単である。また、本例で研磨材として用いたアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粒子は基板上に付着しにくく、付着している場合でも有機溶剤等で容易に除去することができる。
上記のようにして得た微細に粗面化されたアルミニウム製円筒形基板表面を有機溶剤を吹き付けて脱脂洗浄を行った。次いで、プラズマ発生部内へアルゴンガスを導入し、プラズマ点火を行った。  また、該円筒形基板１０を基板ホルダー内に設けたヒーターにより加熱した。加熱温度は１５０℃とした。円筒全面に成膜するため円筒が２０ｒｐｍで回転するように設定し、プラズマ発生部と円筒形基板との距離を３０ｃｍとした。図示するような原料導入口４より粒径０．５μｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）粒子を導入し、ＲＦプラズマ投入電力、アルゴンガス流量を制御して、高温プラズマ中でアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）粒子を溶融させ前記粗面化された円筒形基板１０上に供給して膜厚５μｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）層を成膜し下引き層３０ａとした（図２（ｃ）参照）。
次に、得られた下引き層３０ａ上に従来のＣＶＤ法により水素化アモルファスシリコン（ａ−ｓｉ：Ｈ）からなる感光層４０ａを形成し電子写真感光体とした（図２（ｄ）参照）。
上記のようにして得られた電子写真感光体を複写機に装填して画像評価試験を行った。波長を７４０ｎｍ、光量を３０μＷ／ｃｍ２、光ビーム径を６０μｍとし、帯電はスコロトロン方式で、印加電圧を６ＫＶとした。また、二成分現像剤を用い磁気ブラシ法で現像した。感光体の回転速度（線速度）は１５０ｍｍ／ｓとした。その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生はなかった。
【０００７】
〔実施例２〕
アルミニウム製円筒形基板としてＤＩ法により形成した表面無切削のものを用いた。該無切削円筒形基板は、実施例１の鏡面切削した基板と比べ表面粗さが大きいため、ブラスト処理は無切削基板表面の表面粗さを低くする条件と基板表面を微細に粗面化する条件とに分けて、処理を行った。それ以外は実施例１と同様にして電子写真感光体を得た。この電子写真感光体について実施例１と同様の画像評価試験を行ったところ、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。このように無切削表面の基板にも本発明を適用できるためコスト低減に大きく貢献することができる。
〔実施例３〕
プラズマ溶射による下引き層の形成に酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用いた以外は実施例１と同様にして電子写真感光体を得た（図３参照）。この電子写真感光体について実施例１とは光源部分のみ改造した（波長３８０ｎｍ、光量３０μＷ／ｃｍ２ 、光ビーム径６０μｍ）複写機を用いて画像評価試験を行った。
その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。本例のように下引き層が酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなるため、プラズマ溶射によって容易に形成することができる。
【０００８】
〔実施例４〕
プラズマ溶射により下引き層及び感光層を酸化亜鉛（ＺｎＯ）で形成した以外は実施例１と同様にして電子写真感光体を得た（図４参照）。図１に示すように原料導入口４より酸化亜鉛（ＺｎＯ）粒子を導入し、高温プラズマ中で溶融させて、円筒形基板１０上へ供給し、酸化亜鉛からなる下引き層３０ｂを成膜した。次にＲＦプラズマ投入電力、アルゴンガス流量を制御し、５分間で膜厚１００μｍの感光層４０ｂを成膜した。使用した酸化亜鉛粒子の粒径は５μｍである。このようにして得られた電子写真感光体について、実施例１とは光源部分のみ改造した（波長３８０ｎｍ、光量３０μＷ／ｃｍ２ 、光ビーム径６０μｍ）複写機を用いて、印加電圧−６ＫＶで画像評価試験を行った。その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。本例のようにプラズマ溶射により下引き層と感光層を酸化亜鉛（ＺｎＯ）粒子で形成することができるため、同一の素材で下引き層と感光層を形成することができ、プロセスを簡略化することができる。
本例では酸化亜鉛（ＺｎＯ）粒子を用いたが、これのみでなく、前記酸化亜鉛粒子中に感光波長域が広くなる元素または抵抗率が高くなる元素を含む不純物がドーピングされた、いわゆる物理増感された酸化亜鉛粒子を用いてもよい。  また、実施例は全てアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）微粒子によりブラスト処理を行ったが、酸化亜鉛（ＺｎＯ）粒子によってもブラスト処理は可能である。
【０００９】
【発明の効果】
以上のように請求項１の発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）を用いて下引き層を形成する、とするものであり、この製造方法によれば、導電性支持体表面をブラスト処理により微細に粗面化しているので可干渉光の露光による干渉縞の発生を抑えることができると共に、その後プラズマ溶射によって形成される下引き層との密着性をも向上させることができ、さらに該プラズマ溶射により下引き層を形成し、その上に感光層を形成するので、感光層との密着性も向上し、さらに導電性支持体上の欠陥に起因するような画像不良を発生させることがない電子写真感光体を得ることができる。
請求項２の発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛（ＺｎＯ）からなる感光層を形成するので、これによればプラズマ溶射により形成された下引き層が酸化亜鉛であり、感光層がブラズマ溶射により形成された酸化亜鉛であるので、下引き層形成と感光層形成に用いる微粒子を同一にすることができ、プロセスの簡略化を大きく進めることができる。
請求項３の発明は、請求項１又は２の構成において、上記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行う、とするものであり、これによればブラスト処理とプラズマ溶射を同一の装置を用いて行うことができるためプロセスの簡略化を行うことができ、プロセスコストの上昇を抑制することができる。
請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れか一項の構成において、上記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されている、とするものであり、これによれば導電性支持体にアルミニウム素管を用いることができるためブラスト処理を容易に行うことができる。
請求項５の発明は、請求項１乃至３の何れか一項の構成において、上記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）微粉末である、とするものであり、これによれば硬度の高いアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）微粉末を用いてブラスト処理をするので支持体表面の粗面化を確実に行うことができる。
請求項６の発明は、請求項１の製法に基づいて形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けた電子写真感光体であり、この構成によれば導電性支持体表面がブラスト処理により微細に粗面化されているので、可干渉光により露光されても干渉縞の発生を見ることがなく、さらに次にプラズマ溶射により積層される下引き層との密着性をも向上させることができる。また該プラズマ溶射による下引き層を介して感光層が形成されるため、感光層との密着性も向上し、さらに導電性支持体の欠陥に起因するような画像不良を発生させることがない電子写真感光体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明における電子写真感光体の第一の製造工程を例示する説明図。
【図２】実施例における電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【図３】実施例における電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【図４】実施例おける電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【符号の説明】
２：ノズル（陽極）
３：電極（陰極）
４：粒子（粉末）導入口
５：プラズマガス導入部
６：プラズマ溶射部
１０：アルミニウム製円筒形基板
２０：粗面化表面
３０ａ：アルミナ下引き層
３０ｂ：酸化亜鉛下引き層
４０ａ：アモルファスシリコン感光層
４０ｂ：酸化亜鉛感光層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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