(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗布されたウエハを回転させつつ、該ウエハの周辺部のフォトレジストに、露光光を照射することにより、該フォトレジストを露光する周辺露光装置であって、
センサ光を投光する投光部と、該センサ光を受光する受光部とから構成される、ウエハエッジ検知手段と、
上記ウエハエッジ検知手段を、上記ウエハの略中心方向に移動させる、ウエハエッジ検知手段移動機構と、
照射領域を有する露光光を照射する露光光照射部と、
上記露光光の照射領域を移動させる、照射領域移動機構と、
上記投光部から、センサ光を上記ウエハの周辺部に投光し、上記ウエハのエッジ部分に照射したセンサ光を上記受光部で受光し、該受光部の受光量が一定になるように、上記ウエハエッジ検知手段移動機構を制御するとともに、該ウエハエッジ検知手段の移動方向及び移動量と同じ方向に同じ量だけ、上記照射領域を移動するように、上記照射領域移動機構を制御しながら、上記露光光照射部から露光光を出射する制御部とを有する周辺露光装置において、
上記ノッチを検知する、ノッチ検知手段を、上記ウエハエッジ検知手段の上流側に、上記ウエハエッジ検知手段と一体に設け、
上記制御部は、ウエハが回転し、上記ウエハエッジ検出手段が上記ウエハのエッジを検出し、上記露光光照射部から出射される露光光の照射領域が、ウエハの周辺部を露光している場合に、上記ノッチ検知手段よりノッチの始まりを示す信号を受け、上記照射領域がノッチの始まりに達するまでの時間を経過後、ノッチの始まりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後、上記照射領域がノッチの終わりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を再開させ、周辺部の露光を行うことを特徴とする周辺露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、外周部にＶ字形のノッチが形成された半導体ウエハの表面に塗布されたフォトレジストのうち、ウエハ周辺部のフォトレジストを除去するために、ウエハ周辺部を露光する周辺露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８は、従来の周辺露光装置の概略構成を示す図、図９は、従来の周辺露光装置の制御部の概略構成を示す図、図１０は、従来の周辺露光装置によりウエハの周辺が露光される様子、及びノッチ部分の露光状態を示す図である。
以下に、図８乃至１０を用いて、従来の周辺露光装置について説明する。
光源部１には、紫外線を含む光を放射するランプ１１、例えば定格電力２５０Ｗの超高圧水銀ランプが配置され、該ランプ１１からの放射光は、集光鏡１２によって、ライトガイドファイバ１３の入射端面１３ａに集光される。
ランプ１１とライトガイドファイバ１３の入射端面１３ａとの間には、シャッタ駆動機構１５の駆動により開閉されるシャッタ１４が配置されている。
そして、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵからシャッタ駆動機構駆動部ＭＤ３に、シャッタＯＰＥＮ信号が送信され、シャッタ駆動機構駆動部ＭＤ３が、シャッタ駆動機構１５を駆動して、シャッタ１４を開くと、集光鏡１２によって集光された光が、ライトガイドファイバ１３の入射端面１３ａに入射し、該ライトガイドファイバ１３の出射端面１３ｂに取り付けられた露光光照射部２から、所定の照射領域Ｓを有する露光光となって照射される。
【０００３】
露光光照射部２は、ウエハエッジ検知手段４（詳細については、後述する。）と一体に設けられ、ウエハエッジ検知手段移動機構３によって、ウエハＷのエッジＥの接線に対して略直角方向、即ちウエハの略中心方向Ｏに向かって（図８内の両矢印Ｄ方向に）移動可能に支持されている。
したがって、露光光照射部２から照射される、所定の照射領域Ｓを有する露光光は、ウエハエッジ検知手段４と同じ方向に同じ量だけ移動する。
【０００４】
一方、処理ステージ６上には、外周部にノッチＮが形成され、フォトレジストＲが塗布されたウエハＷが載置され、不図示の固定手段、例えば真空吸着により固定される。また、処理ステージ６は、処理ステージ回転機構６１により、回転可能に支持されている。
そして、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵから処理ステージ回転機構駆動部ＭＤ４に、ステージ回転開始信号が送信されると、処理ステージ回転機構駆動部ＭＤ４は、処理ステージ回転機構６１を駆動して、入力部７に入力された回転速度、回転角度または回転回数等のデータに基づき、処理ステージ６の回転を開始する。
【０００５】
次に、従来の周辺露光装置の、ウエハ周辺部の露光手順について説明する。
▲１▼最初に、ウエハ搬送及び載置手段（図示しない）により、外周部にノッチＮが形成され、フォトレジストＲが塗布されたウエハＷが搬送され、ウエハＷの中心Ｏと処理ステージ６の回転中心が略一致した状態で、処理ステージ６上に載置される。
▲２▼次に、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵから露光幅設定機構駆動部ＭＤ２に、露光幅設定開始信号が送信されると、露光幅設定機構駆動部ＭＤ２は、入力部７に予め入力されていた露光幅Ａ（露光を行なう、ウエハＷのエッジＥからの幅）データに基づいて、露光幅設定機構８を駆動して、露光光の照射領域Ｓを所望の位置（後述するウエハエッジ検知手段４がウエハＷのエッジＥを捕らえたときに、ウエハＷのエッジＥから幅Ａの領域を露光することができる位置）に移動する。
▲３▼続いて、制御部５０内の演算処理部ＣＰＵからウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に、ウエハエッジ検知開始信号が送信されると、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を駆動して、ウエハエッジ検知手段４をウエハＷに向かって移動させ、ウエハエッジ検知手段４によりウエハＷのエッジＥ位置の検知を開始する。
▲４▼制御部５０は、ウエハエッジ検知手段４の受光部４２より、ウエハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号を受け取ると、シャッタ駆動機構１５を駆動してシャッタ１４を開き、露光光照射部２を介して、所定の照射領域Ｓを有する露光光をウエハＷの周辺部に照射する。
また、制御部５０は、シャッタ１４を開くとほぼ同時に、処理ステージ回転機構６１を駆動し、入力部７に予め入力されていた回転速度、角度範囲でウエハＷを回転させながら、その周辺部を露光していく。
この時、制御部５０は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウエハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号を制御部５０に出力する位置に、ウエハエッジ検知手段４を移動させている。また、上述したように、露光処理前に、露光光の照射領域Ｓは、ウエハエッジ検知手段４がウエハＷのエッジＥを捕らえたときに、ウエハＷのエッジＥから幅Ａの領域を露光することができる位置に移動され、且つ露光処理時には、該照射領域Ｓは、ウエハエッジ検知手段４と同期して、同じ方向に同じ量だけ移動するので、ウエハＷのエッジＥから一定の露光幅Ａで、ウエハＷの周辺部を露光することができる。
▲５▼ウエハＷの周辺部の露光処理が完了すると、制御部５０は、シャッタ１４を閉じ、処理ステージ６の回転を終了し、更に露光光照射部２を初期の位置に戻す。
【０００６】
次に、ウエハのエッジの検知方法について、詳細に説明する。
ウエハＷのエッジＥを検知するための、ウエハエッジ検知手段４は、センサ光を投光する投光部４１と、該センサ光を受光する受光部４２とから構成され、投光部４１から受光部４２に投光されるセンサ光の光量によって増減するアナログ信号を制御部５０に出力する。
そして、制御部５０は、受光部４２からの上記アナログ信号を、増幅器ＡＣ１により、例えば、処理ステージ６上に載置されたウエハＷにより完全に遮光された場合に得られる信号を−５Ｖ、全く遮光されない場合に得られる信号を＋５Ｖに増幅する。
上記増幅器ＡＣ１において増幅された上記電圧信号は、ＰＩＤ回路ＰＣにて演算処理され、上記電圧信号を一定電圧にするための制御信号がウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に出力される。
制御部５０内のウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、受光部４２からの信号が、例えば０Ｖになる位置、即ち投光部４１からのセンサ光が半分遮光され、残りの半分が受光部４２に受光される位置に、ウエハエッジ検知手段４が位置するよう、ウエハエッジ検知手段移動機構３を駆動する。
したがって、ウエハエッジ検知手段４は、常に上述した位置、すなわちウエハＷのエッジＥ位置に移動する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したように、従来の周辺露光装置は、ウエハＷのエッジＥを常に捕らえながら、ウエハＷの周辺を露光していくので、外周部にＶ字形のノッチＮが形成され、フォトレジストＲが塗布されたウエハＷを露光処理すると、ウエハエッジ検知手段４は、ノッチＮ部分においても、ウエハＷのエッジＥを捕らえようとして、Ｖ字状に移動する。
この時、ウエハエッジ検知手段４と同期して移動する、露光光の照射領域Ｓも、ノッチＮ部分でＶ字状に移動するため、結果として、ウエハＷ内部の露光不要な領域ＵＥまで露光してしまう、という現象が生じる。（図１０（ｂ））
したがって、上記の領域ＵＥ付近には、半導体素子形成領域（回路等のパターン）を設けることができず、半導体素子の生産性向上を妨げる原因となっていた。
【０００８】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、本発明の目的は、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動して、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してしまうことの無い、周辺露光装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の周辺露光装置は、外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗布されたウエハを回転させつつ、該ウエハの周辺部のフォトレジストに、露光光を照射することにより、該フォトレジストを露光する周辺露光装置であって、センサ光を投光する投光部と、該センサ光を受光する受光部とから構成される、ウエハエッジ検知手段と、上記ウエハエッジ検知手段を、上記ウエハの略中心方向に移動させる、ウエハエッジ検知手段移動機構と、照射領域を有する露光光を照射する露光光照射部と、上記露光光の照射領域を移動させる、照射領域移動機構と、上記投光部から、センサ光を上記ウエハの周辺部に投光し、上記ウエハのエッジ部分に照射したセンサ光を上記受光部で受光し、該受光部の受光量が一定になるように、上記ウエハエッジ検知手段移動機構を制御するとともに、該ウエハエッジ検知手段の移動方向及び移動量と同じ方向に同じ量だけ、上記照射領域を移動するように、上記照射領域移動機構を制御しながら、上記露光光照射部から露光光を出射する制御部とを有する周辺露光装置において、
上記ノッチを検知する、ノッチ検知手段を、上記ウエハエッジ検知手段の上流側に、上記ウエハエッジ検知手段と一体に設け、
上記制御部は、ウエハが回転し、上記ウエハエッジ検出手段が上記ウエハのエッジを検出し、上記露光光照射部から出射される露光光の照射領域が、ウエハの周辺部を露光している場合に、上記ノッチ検知手段よりノッチの始まりを示す信号を受け、上記照射領域がノッチの始まりに達するまでの時間を経過後、ノッチの始まりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後、上記照射領域がノッチの終わりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を再開させ、周辺部の露光を行うことを特徴としている。
【００１０】
【作用】
本発明の請求項１に記載の周辺露光装置によれば、制御部は、上記ウエハエッジ検知手段より、ノッチの始まりを示す信号を受けた時、上記露光光照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後または、上記ウエハエッジ検知手段よりノッチの終わりを示す信号を受けた時、上記露光光照射領域移動機構の動作を再開させるので、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動することはない。
また、本発明の請求項２に記載の周辺露光装置によれば、制御部は、ノッチ検知手段より、ノッチの始まりを示す信号を受けて所定時間経過した後、上記露光光照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後、上記露光光照射領域移動機構の動作を再開させるので、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動することはない。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置について説明する。
本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置の構成は、図８に示したものとほぼ同一の構成を有する。したがって、図８に示した、従来の周辺露光装置と同様に、露光光照射部２とウエハエッジ検知手段４とが一体に設けられており、露光光照射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動は、ウエハエッジ検知手段移動機構３によって行われる。すなわち、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、照射領域移動機構としての機能も兼ね備えている。
一方、本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置は、図８に示したものと比較して、詳細には、制御部の構成に差異を有する。
【００１２】
図１は、本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置の制御部の構成を示す図である。
本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置の制御部５１には、微分回路ＤＣ，比較回路ＣＣ１が新たに設けらていれる。比較回路ＣＣ１は、入力された信号値を、予め設定された設定値と比較し、設定値よりも大きければ、ノッチＮが検知されたとしてＯＮ信号を、小さければＯＦＦ信号を演算処理部ＣＰＵ，ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に出力するものである。
【００１３】
従来と同様に、ウエハエッジ検知手段４の受光部４２からのアナログ信号を、制御部５１内の増幅器ＡＣ１により増幅する。そして、制御部５１内のウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、増幅された電圧信号が０Ｖになる位置、即ちウエハＷのエッジＥの位置に、ウエハエッジ検知手段４が位置するように、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御する。
また、上述の増幅器ＡＣ１によって増幅された信号は、微分回路ＤＣにも入力される。
微分回路ＤＣは、上述の信号を微分し、その微分データを比較回路ＣＣ１に出力する。
比較回路ＣＣ１は、入力された上記微分データを、予め設定された設定値Ｉ１と比較し、設定値Ｉ１よりも大きければ、ＯＮ信号をウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１と演算処理部ＣＰＵとに出力する。
ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、ＯＮ信号が入力されると、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止する。
一方、演算処理部ＣＰＵは、ＯＮ信号が入力されると、後述する計算を行ない、所定時間経過後にウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、動作再開信号を出力する。ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、動作再開信号が入力されると、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する。
【００１４】
次に、本発明の第１の実施例において、外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗布されたウエハのエッジを検知しながら、ウエハの周辺部を露光していく様子を、図２を用いて説明する。
図２は、ウエハのノッチ部分を拡大して示している。
処理ステージ６上に載置されたウエハＷは、処理ステージ駆動機構６１の駆動により、時計周りに回転し、ウエハエッジ検知手段４は、○の位置でウエハＷのエッジＥを検知している。露光光出射部２から出射される露光光の照射領域Ｓは、ウエハＷ表面上で、投光部４１からのセンサ光がウエハＷの周辺部に照射されている位置、即ち○の位置とほぼ同じ位置にある。
【００１５】
▲１▼ウエハのノッチ以外のエッジ部分をウエハエッジ検知手段が検知している場合（図２（ａ））：
制御部５１は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウエハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号、すなわちある一定のアナログ信号を制御部５１に出力する位置に、ウエハエッジ検知手段４を移動させているので、受光部４２に投光される、投光部４１からのセンサ光の光量は、ほとんど変化しない。また、ウエハＷの中心Ｏと処理ステージ６の回転中心とが一致せず、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、エッジＥは、なめらかな円弧であるので、受光部４２からの信号に、急激な変化が現れることはない。
したがって、制御部５１の微分回路ＤＣから比較回路ＣＣ１に出力される微分データは、設定値Ｉ１よりも小さく、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
ここで、設定値Ｉ１は、微分データのノイズをカットする為に設けられたものであり、例えば、制御部５１が、ウエハＷのエッジＥのキズなどをノッチＮと誤認識することが無いように設けられた閾値である。
【００１６】
▲２▼ウエハエッジ検知手段がウエハのノッチの始まりに達した場合（図２（b））：
ウエハＷが時計周りに回転し、ウエハＷのノッチＮの始まりＮsがウエハエッジ検知手段４の検知位置○に達すると、ノッチＮ部分では、センサ光を遮っていたウエハＷが切り欠かれて無くなっているため、受光部４２に投光される、投光部４１からのセンサ光の光量が、急激に増加する。
その結果、制御部５１の微分回路ＤＣから比較回路ＣＣ１に出力される微分データは、設定値Ｉ１よりも大きくなり、比較回路ＣＣ１からウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１と演算処理部ＣＰＵとにＯＮ信号が出力される。
そして、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止し、演算処理部ＣＰＵは、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する時間を演算する。
演算方法としては種々の方法があるが、例えば、ＳＥＭＩ規格により定められているノッチＮの切欠寸法Ｌと、入力部７に入力された、処理ステージ６の回転速度データとに基き、ウエハエッジ検知手段４が、ノッチＮの始まりＮsから終わりＮeに至るまでの時間Ｔを求める。
【００１７】
▲３▼ウエハエッジ検知手段がノッチ部（ウエハの切欠部）内にある場合（図２（c））：
ウエハエッジ検知手段移動機構３が動作を停止した状態で、露光光は出射され、処理ステージ６上に載置されたウエハＷは、設定された回転速度で回転を続ける。
▲４▼ウエハエッジ検知手段がノッチの始まりＮsに達した後、時間Ｔを経過した場合（図２（d））：
ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する時間Ｔが経過する。制御部５１内の演算処理部ＣＰＵからは、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する信号が出力される。
ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作は再開され、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
【００１８】
次に、本発明の実施例の作用を説明する。
本発明の周辺露光装置によれば、制御部は、ウエハエッジ検知手段より、ノッチの始まりを示す信号を受けた時、すなわち露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達した時、露光光照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後、すなわち露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの終わりＮｅに達した時、露光光照射領域移動機構の動作を再開させるので、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動して、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してしまうことはない。
【００１９】
なお、本実施例においては、ウエハエッジ検知手段４より、ノッチＮの始まりＮｓを示す信号を受けた時、制御部５１は、露光光照射領域移動機構３の動作を停止させ、所定時間経過後、露光光照射領域移動機構３の動作を再開させたが、これに限るものではなく、ウエハエッジ検知手段４よりノッチＮの終わりＮｅを示す信号（ノッチＮの終わりＮｅを示す信号は、ノッチＮの始まりＮｓを示す信号の場合とは反対に、ウエハＷのノッチＮの終わりＮｅがウエハエッジ検知手段４の検知位置○に達し、センサ光を遮るウエハＷのエッジＥが現れ、受光部４２に投光される投光部４１からのセンサ光の光量が急激に減少したときに出力される。）を受けた時、露光光照射領域移動機構３の動作を再開させても良い。
【００２０】
次に、本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置について説明する。
本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の構成は、図８に示したものとほぼ同一の構成を有し、詳細には、ノッチ検知用の検知手段を別に設けた点に、差異を有する。
一方、図８に示した、従来の周辺露光装置と同様に、露光光照射部２とウエハエッジ検知手段４とが一体に設けられているので、露光光照射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動は、ウエハエッジ検知手段移動機構３によって行われる。したがって、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、照射領域移動機構としての機能も兼ね備えている。
【００２１】
図３に、本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の概略構成、図４に、本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置のノッチ検知手段の構成、図５に、本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の制御部の構成を示す。
本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置には、ウエハＷのエッジＥを検知する、ウエハエッジ検知手段４とは別に、ノッチＮの検知のみを行なう、ノッチ検知手段９が設けられている。
ノッチ検知手段９の構成は、ウエハエッジ検知手段４と同様に、センサ光を投光する投光部９１と、該センサ光を受光する受光部９２とからなる。そして、ウエハＷ回転時、ウエハエッジ検知手段４より先にウエハＷのノッチＮを検知することができる位置、例えば、図４に示すように、ウエハエッジ検知手段４の５ｍｍほど上流側（ウエハエッジ検知手段に近づいていくウエハ周辺部を上流、ウエハエッジ検知手段から遠ざかるウエハ周辺部を下流とする。）に、ノッチ検知手段９は設けられる。ここで、ノッチ検知手段９は、ウエハエッジ検知手段４と一体に設けられているので、ウエハエッジ近傍にセンサ光を投光することができる。
【００２２】
また、本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の制御部５２には、上記ノッチ検知手段９の受光部９２からの信号を処理するための、増幅器ＡＣ２，比較回路ＣＣ２が新たに設けられている。比較回路ＣＣ２は、入力された信号値を、予め設定された設定値と比較し、設定値よりも大きければ、ノッチＮが検知されたとしてＯＮ信号を、小さければＯＦＦ信号を演算処理部ＣＰＵに出力するものである。
ウエハエッジ検知手段４の受光部４２からのアナログ信号と同様に、ノッチ検知手段９の受光部９２からのアナログ信号は、制御部５２内の増幅器ＡＣ２により増幅され、比較回路ＣＣ２に入力される。
比較回路ＣＣ２は、入力された上記信号の値を、あらかじめ設定された設定値Ｉ２と比較し、設定値Ｉ２よりも大きければ、ＯＮ信号を演算処理部ＣＰＵに出力する。
演算処理部ＣＰＵは、ＯＮ信号が入力されると後述する計算を行ない、所定時間後にウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、動作停止信号を出力して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止させ、更に、所定時間経過後、動作再開信号を出力してウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する。
【００２３】
次に、本発明の第２の実施例において、外周部にノッチが形成され、フォトレジストが塗布されたウエハのエッジを検知しながら、ウエハの周辺部を露光していく様子を、図６を用いて説明する。
図６は、ウエハのノッチ部分を拡大して示している。
処理ステージ６上に載置されたウエハＷは、処理ステージ駆動機構６１の駆動により、時計周りに回転し、ウエハエッジ検知手段４は、○の位置でウエハＷのエッジＥを検知している。露光光出射部２から出射される露光光の照射領域Ｓは、ウエハＷ表面上で、投光部４１からのセンサ光がウエハＷの周辺部に照射されている位置、即ち○の位置とほぼ同じ位置にある。
また、ノッチ検知手段９は、ウエハＷの上流側、すなわち◎の位置でウエハＷのエッジＥを検知している。
【００２４】
▲１▼ウエハのノッチ以外のエッジ部分をノッチ検知手段が検知している場合（図６（a））：
制御部５２は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウエハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号、すなわちある一定のアナログ信号を制御部５２に出力する位置に、ウエハエッジ検知手段４を移動させているので、受光部４２に投光される、投光部４１からのセンサ光の光量は、ほとんど変化しない。また、ウエハＷの中心Ｏと処理ステージ６の回転中心とが一致せず、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、エッジＥは、なめらかな円弧であるので、受光部４２からの信号に、大きな変化が現れることはない。
また、ノッチ検知手段９は、ウエハＷのエッジＥを検知する、ウエハエッジ検知手段４の近傍に、ウエハエッジ検知手段４と一体に設けられているので、ノッチ検知手段９の受光部９２に入力されるセンサ光の光量は、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、ウエハエッジ検知手段４の受光部４２に受光される光量とほぼ同値である。
したがって、制御部５２の比較回路ＣＣ２には、受光部４２と同様のアナログ信号が出力される。
すなわち、比較回路ＣＣ２に入力される上記信号値は、設定値Ｉ２よりも小さく、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
ここで、設定値Ｉ２は、アナログ信号のノイズをカットする為に設けられたものであり、例えば、制御部５２が、ウエハＷのエッジＥのキズなどをノッチＮと誤認識することが無いように設けられた閾値である。
【００２５】
▲２▼ノッチ検知手段がウエハのノッチの始まりに達した場合（図６（b））：
ウエハＷが時計周りに回転し、ウエハＷのノッチＮの始まりＮsがノッチ検知手段９の検知位置◎に達すると、ノッチＮ部分では、光を遮っていたウエハＷが切り欠かれて無くなっているため、受光部９２に投光される、投光部９１からのセンサ光の光量が、急激に増加する。
その結果、制御部５２の比較回路ＣＣ２に出力されるアナログ信号は、設定値Ｉ２よりも大きくなり、比較回路ＣＣ２から演算処理部ＣＰＵにＯＮ信号が出力される。
演算処理部ＣＰＵは、上記ＯＮ信号に基き、処理ステージ６の回転速度と、ノッチ検知手段９の検知位置◎とウエハエッジ検知手段４の検知位置○の間隔（本実施例の場合、５ｍｍ）から、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮsに達するまでの時間Ｔ１を算出する。
【００２６】
▲３▼ノッチ検知手段がノッチの始まりに達した後、時間Ｔ１を経過した場合：（図６（c））
ノッチ検知手段９がノッチＮの始まりＮｓに達した後、時間Ｔ１を経過すると、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達する。演算処理部ＣＰＵはウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に動作停止信号を出力し、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、該信号に基づきウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止する。
また、演算処理部ＣＰＵは、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止してから再開する時間Ｔ２を演算する。
演算方法としては種々の方法があるが、例えば、ＳＥＭＩ規格により定められているノッチＮの切欠寸法Ｌと、入力部７に入力された、処理ステージ６の回転速度データとに基き、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮsから終わりＮeに至るまでの時間Ｔ２を求める。
【００２７】
▲４▼露光光の照射領域が、ノッチの始まりに達した後、時間Ｔ２を経過した場合（図６（d））：
露光光の照射領域Ｓが、Ｎの始まりに達した後、時間Ｔ２を経過すると、露光光の照射領域Ｓは、ノッチＮの終わりＮｅに達する。制御部５２内の演算処理部ＣＰＵからは、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する信号が出力される。
ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作は再開され、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
【００２８】
次に、本発明の実施例の作用を説明する。
本発明の周辺露光装置によれば、制御部は、ノッチ検知手段より、ノッチの始まりを示す信号を受けて所定時間経過した後、すなわち露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達した時、露光光照射領域移動機構の動作を停止させ、更に所定時間経過後、すなわち露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの終わりＮｅに達した時、露光光照射領域移動機構の動作を再開させるので、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動して、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してしまうことはない。
【００２９】
なお、本実施例においては、ノッチ検知手段９の受光部９２からのアナログ信号を、制御部５２内の増幅器ＡＣ２により増幅し、比較回路ＣＣ２にあらかじめ設定された設定値Ｉ２と比較し、設定値Ｉ２よりも大きい場合、ＯＮ信号を演算処理部ＣＰＵに出力したが、これに限るものではなく、第１の実施例と同様に、増幅回路ＡＣ２と比較回路ＣＣ２の間に、微分回路を設け、微分データと比較回路ＣＣ２に予め設定された設定値を比較し、設定値よりも大きい場合、ＯＮ信号を演算処理部ＣＰＵに出力するようにしても良い。
また、本実施例においては、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止してから再開する時間Ｔ２を、ＳＥＭＩ規格により定められているノッチＮの切欠寸法Ｌと、入力部７に入力された、処理ステージ６の回転速度データとに基いて求めたが、これに限るものではなく、例えば以下の方法によることもできる。
【００３０】
▲１▼ウエハのノッチ以外のエッジ部分をノッチ検知手段が検知している場合（図７（a））：
制御部５２は、ウエハエッジ検知手段移動機構３を制御して、ウエハエッジ検知手段４が、常にウエハＷのエッジＥを捕らえていることを示す信号、すなわちある一定のアナログ信号を制御部５２に出力する位置に、ウエハエッジ検知手段４を移動させているので、受光部４２に投光される、投光部４１からのセンサ光の光量は、ほとんど変化しない。また、ウエハＷの中心Ｏと処理ステージ６の回転中心とが一致せず、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、エッジＥは、なめらかな円弧であるので、受光部４２からの信号に、大きな変化が現れることはない。
また、ノッチ検知手段９は、ウエハＷのエッジＥを検知する、ウエハエッジ検知手段４の近傍に、ウエハエッジ検知手段４と一体に設けられているので、ノッチ検知手段９の受光部９２に入力されるセンサ光の光量は、ウエハＷが偏心して回転しているとしても、ウエハエッジ検知手段４の受光部４２に受光される光量とほぼ同値である。
したがって、制御部５２の比較回路ＣＣ２には、受光部４２と同様のアナログ信号が出力される。
すなわち、比較回路ＣＣ２に入力される上記信号値は、設定値Ｉ２よりも小さく、演算処理部ＣＰＵには、ＯＦＦ信号が入力される。演算処理部ＣＰＵはＯＦＦ信号に基づき、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を続けるように信号を出力する。ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
【００３１】
▲２▼ノッチ検知手段がウエハのノッチの始まりに達した場合（図７（b））：
ウエハＷが時計周りに回転し、ウエハＷのノッチＮの始まりＮsがノッチ検知手段９の検知位置◎に達すると、ノッチＮ部分では、光を遮っていたウエハＷが切り欠かれて無くなっているため、受光部９２に投光される、投光部９１からのセンサ光の光量が、急激に増加する。
その結果、制御部５２の比較回路ＣＣ２に出力されるアナログ信号は、設定値Ｉ２よりも大きくなり、比較回路ＣＣ２から演算処理部ＣＰＵにＯＮ信号が出力される。
演算処理部ＣＰＵは、上記ＯＮ信号に基き、処理ステージ６の回転速度と、ノッチ検知手段９の検知位置◎とウエハエッジ検知手段４の検知位置○の間隔（本実施例の場合、５ｍｍ）から、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮsに達するまでの時間Ｔ１を算出する。
【００３２】
▲３▼ノッチ検知手段がノッチの終わりに達した場合：（図７（c））
続いて、ノッチ検知手段９がノッチの終わりＮｅに達すると、ノッチ検知手段９の受光部９２に投光されるセンサ光の光量が減少し、ノッチＮ検知前のアナログ信号値に近づく。
したがって、比較回路ＣＣ２に入力される上記アナログ信号値は設定値Ｉ２よりも小さくなり、比較回路ＣＣ２はＯＦＦ信号を演算処理部ＣＰＵに出力する。
演算処理部ＣＰＵは、ＯＮ信号が出力されてから再び上記ＯＦＦ信号が出力されるまでの時間に基づき、露光光の照射領域ＳがノッチＮの始まりＮｓから終わりＮeに達するまでの時間Ｔ２を算出する。
【００３３】
▲４▼ノッチ検知手段がノッチの始まりに達した後、時間Ｔ１を経過した場合（図７（d））：
ノッチ検知手段９がノッチＮの始まりＮｓに達した後、時間Ｔ１を経過すると、露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達する。演算処理部ＣＰＵはウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に動作停止信号を出力し、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１は、該信号に基づきウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を停止する。
【００３４】
▲５▼露光光の照射領域が、ノッチの始まりに達した後、時間Ｔ２を経過した場合（図７（ｅ））：
露光光の照射領域Ｓが、ノッチＮの始まりＮｓに達した後、時間Ｔ２を経過すると、露光光の照射領域Ｓは、ノッチＮの終わりＮｅに達する。制御部５２内の演算処理部ＣＰＵからは、ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部ＭＤ１に対して、ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作を再開する信号が出力される。
ウエハエッジ検知手段移動機構３の動作は再開され、ウエハエッジ検知手段移動機構３は、露光光出射部２から照射される露光光の照射領域Ｓの移動を行ないつつ、周辺部の露光を行なう。
【００３５】
また、上述した、本発明の第１，第２の実施例に係る周辺露光装置においては、露光光照射部とウエハエッジ検知手段とが一体に設けられており、露光光照射部から照射される露光光の照射領域の移動は、ウエハエッジ検知手段移動機構によって露光光照射部を移動させることにより行ったが、これに限るものではなく、露光光照射部から照射される露光光の照射領域を移動させる、照射領域移動機構と、ウエハエッジ検知手段を移動させる、ウエハエッジ検知手段移動機構とを別々に設け、該ウエハエッジ検知手段の移動方向及び移動量と同じ方向に同じ量だけ、該照射領域が移動するように構成しても良い。
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１に記載の周辺露光装置によれば、制御部は、ウエハが回転し、上記ウエハエッジ検出手段が上記ウエハのエッジを検出し、上記露光光照射部から出射される露光光の照射領域が、ウエハの周辺部を露光している場合に、上記ノッチ検知手段よりノッチの始まりを示す信号を受け、上記照射領域がノッチの始まりに達するまでの時間を経過後、ノッチの始まりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を停止させ、所定時間経過後、上記照射領域がノッチの終わりに達した時、上記照射領域移動機構の動作を再開させ、周辺部の露光を行うので、ウエハのノッチ部分で照射領域がＶ字状に移動して、ウエハ内部の露光不要な領域まで露光してしまうことはない。
したがって、ノッチが形成されたウエハであっても、その周辺部を所定の露光幅で露光することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施例に係る周辺露光装置の制御部の構成を示す図である。
【図２】  ウエハの周辺部を露光していく様子を示す図である。
【図３】  本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の概略構成を示す図である。
【図４】  本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置のノッチ検知手段の構成を示す図である。
【図５】  本発明の第２の実施例に係る周辺露光装置の制御部の構成を示す図である。
【図６】  ウエハの周辺部を露光していく様子を示す図である。
【図７】  ウエハの周辺部を露光していく様子を示す図である。
【図８】  従来の周辺露光装置の概略構成を示す図である。
【図９】  従来の周辺露光装置の制御部の概略構成を示す図である。
【図１０】  従来の周辺露光装置によりウエハの周辺が露光される様子、及びノッチ部分の露光状態を示す図である。
【符号の説明】
１  光源部
１１  ランプ
１２  集光鏡
１３  ライトガイドファイバ
１３ａ  ライトガイドファイバの入射端面
１３ｂ  ライトガイドファイバの出射端面
１４  シャッタ
１５  シャッタ駆動機構
２  露光光照射部
３  ウエハエッジ検知手段移動機構
４  ウエハエッジ検知手段
４１，９１  投光部
４２，９２  受光部
５０，５１，５２  制御部
６  処理ステージ
６１  処理ステージ回転機構
７  入力部
８  露光幅設定機構
９  ノッチ検知手段
Ａ  露光幅
ＡＣ１，ＡＣ２  増幅器
ＣＣ１，ＣＣ２  比較回路
ＣＰＵ  演算処理部
Ｄ  露光光照射部の移動方向
ＤＣ  微分回路
Ｅ  エッジ
Ｉ１，Ｉ２  設定値
Ｌ  ノッチの切欠寸法
ＭＤ１  ウエハエッジ検知手段移動機構駆動部
ＭＤ２  露光幅設定機構駆動部
ＭＤ３  シャッタ駆動機構駆動部
ＭＤ４  処理ステージ回転機構駆動部
Ｎ  ノッチ
Ｎe  ノッチの終わり
Ｎs  ノッチの始まり
Ｏ  ウエハの中心
ＰＣ  ＰＩＤ回路
Ｒ  フォトレジスト
Ｓ  照射領域
Ｔ  ノッチの始まりから終わりに至るまでの時間
ＵＥ  ウエハ内部の露光不要な領域
Ｗ  ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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