(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成形品をクランプすると共に短冊状のリリースフィルムをパーティング面に密着させて支持するモールド金型を有するプレス部と、
前記被成形品を被成形品供給部より前記プレス部へ搬入するため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進退移動可能な被成形品搬入手段と、
前記プレス部において前記モールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う前記短冊状のリリースフィルムを供給するリリースフィルム供給機構と、
成形後の成形品を前記プレス部より成形品収容部へ搬出するため、該プレス部に対して該成形品を保持して進退移動可能な成形品搬出手段と、
前記プレス部より搬出された前記成形品より前記短冊状のリリースフィルムを除去するリリースフィルム除去機構を具備し、
前記リリースフィルム供給機構は、予め短冊状に切断されたリリースフィルムを被成形品搬入手段へ供給し該被成形品搬入手段はリリースフィルムを吸着保持したまま被成形品と共に前記プレス部に搬入してモールド金型に受け渡し、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりリリースフィルムに覆われた成形品がプレス部から搬出されると当該成形品からリリースフィルムを剥離させ、成形品は不要樹脂と分離して回収されることを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
前記プレス部は、前記短冊状のリリースフィルムを前記モールド金型のパーティング面に形成された吸引穴により吸着して保持することを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。
【請求項３】
リリースフィルムの周囲が枠体に挟持された当該枠体がモールド金型に搬入されるとリリースフィルムが金型面に密着し、金型に突設された回動ピンが枠体に設けられた位置決め孔に嵌合して当該回動ピンを回転させることで枠体が保持されることを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装置。
【請求項４】
前記リリースフィルム除去機構は、前記成形品搬出手段により前記プレス部より前記成形品と共に搬出される際に、前記リリースフィルムの先端側を吸着して該成形品より剥離して除去されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の樹脂封止装置。
【請求項５】
前記被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設され、各々個別に備えた駆動源により移動可能になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の樹脂封止装置。
【請求項６】
前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段は、前記リリースフィルム供給機構と前記リリースフィルム除去機構との間に移動可能に配設されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の樹脂封止装置。
【請求項７】
前記リリースフィルム供給機構及び前記リリースフィルム除去機構は、前記プレス部を挟む両側に対向して配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の樹脂封止装置。
【請求項８】
前記プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、前記被成形品搬入手段は、上動した下型上に成形前の被成形品を移載すると共に上型に対して前記短冊状のリリースフィルムを受け渡し、前記成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動することにより成形後の成形品及び前記短冊状のリリースフィルムを回収することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１記載の樹脂封止装置。
【請求項９】
前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段には、前記プレス部に進退移動する際に上下金型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニングされた塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとを各々備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の樹脂封止装置。
【請求項１０】
前記被成形品供給部、前記プレス部及び前記成形品収容部は各々ユニット化されており、前記被成形品搬入手段及び前記成形品搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１つのユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項記載の樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、成形前の被成形品が短冊状のリリースフィルムと共にローダーにより被成形品供給部よりプレス部に搬入され、成形後の成形品がアンローダーにより該プレス部より搬出されてリリースフィルム及び不要樹脂が除去された成形品のみが成形品収容部に収容される樹脂封止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、樹脂封止装置としてトランスファモールド装置等の自動モールド装置が使用されている。この自動モールド装置は、短冊状のリードフレーム等の被成形品を被成形品供給部よりローダーによりモールド金型へ搬入してクランプして樹脂封止を行い、成形品をアンローダーによりモールド金型より搬出して成形品と不要樹脂とを分離して該成形品のみを成形品収容部へ収納するようになっている。
【０００３】
また、本件出願人は、先にモールド金型のパーティング面をリリースフィルムで被覆して樹脂封止する樹脂封止装置を提案した（特開平８−１４２１０５号、特開平８−１４２１０６号、特開平９−５７７８５号等）。これらの樹脂封止装置は、モールド金型の固定プラテン及び／又は可動プラテンのキャビティを含むパーティング面を通過する長尺状のリリースフィルムにより被覆して樹脂封止するものである。これにより、封止樹脂をモールド金型に接触することなく樹脂封止することを可能とし、離型用のエジェクタピンを省略して金型の構造を簡略化できると共に成形品の離型を容易にすることができる等の作用効果が得られる。また、樹脂封止用に用いられる封止樹脂として、一般に用いられる樹脂タブレットの他に、顆粒状樹脂、液状樹脂等を使用することが可能となった。
【０００４】
また、リリースフィルムとしては、モールド金型より剥離し易くしかも耐熱性を有する長尺状のフィルムが用いられ、例えばＦＥＰシートフィルム、ＰＥＴシートフィルム、ポリ塩化ビリニジン、フッ素含浸ガラスクロスフィルム等が好適に用いられる。このリリースフィルムは、繰り出し側に供給リールにロール状に巻き取られており、樹脂封止が行われる度に順次定寸送りされて使用済みのリリースフィルムは回収リールに巻き取られたり、或いは収納箱に収納されるようになっている。
【０００５】
上記リリースフィルムを用いた樹脂封止装置の一例について、特開平９−５７７８５号を参照して説明する。図２１において、プレス部Ａで指定回数の樹脂モールド作業を行う毎に、固定プラテン１０１及び可動プラテン１０２に装備された上型１０３及び下型１０４の各パーティング面上にリリースフィルム１０５を供給部Ｂより供給して回収部Ｃに回収するようになっている。具体的には、供給部Ｂに備えた供給リール１０６より繰り出されたリリースフィルム１０５は、上型１０３及び下型１０４のパーティング面を経て回収リール１０７に巻き取られる。リリースフィルム１０５は、上型１０３及び下型１０４のパーティング面に形成された吸着穴により各々吸着保持されて被成形品をクランプするようになっている。そして、樹脂成形後に型開きを行った状態で、成形品が搬出された後で吸着を解除してリリースフィルム１０５を定寸送りするようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、長尺状のリリースフィルム１０５を用いた樹脂封止装置においては、以下に述べる課題があった。即ち、リリースフィルム１０５は、十分な耐久性や耐熱性を有するが、樹脂封止動作を何ショットも繰り返すうちに万一破れた場合には、封止樹脂がモールド金型上に漏れ出してバリを生ずる。特に長尺状に連続するフィルムにおいては、モールド金型を跨いで張設されているためバリをクリーニングするには、供給リール１０６や回収リール１０７を取り外す必要があるため、メンテナンスに手間がかかるうえに、加熱されたモールド金型間に手を差し入れてリリースフィルム１０５の交換作業をするのは危険を伴う。
また、樹脂封止装置始動時に、リリースフィルム１０５をセットする作業も手間取る上に、該リリースフィルム１０５の先端部分や終端部分、及び樹脂封止部分どうしの間にはどうしても無駄になるフィルム部分が生じやすく歩留りを考慮すると無駄が生ずる。
また、特願平９−９３８１０号などで本件出願人が提案した樹脂封止装置からプレス機能のみを有するプレス部などを基本ユニットに対して着脱可能なモジュールタイプの樹脂封止装置においては、被成形品の搬入搬出動作を考慮すると、長尺状のリリースフィルム１０５をモールド金型を跨いで張設するのはセットし難いという実情もあった。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、リリースフィルムのセットや回収を効率的に行うことでメンテナンスやクリーニングを効率的に行え、しかもリリースフィルムの無駄な使用を無くした樹脂封止装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
被成形品をクランプすると共に短冊状のリリースフィルムをパーティング面に密着させて支持するモールド金型を有するプレス部と、前記被成形品を被成形品供給部より前記プレス部へ搬入するため、該プレス部に対して該被成形品を保持して進退移動可能な被成形品搬入手段と、前記プレス部において前記モールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う前記短冊状のリリースフィルムを供給するリリースフィルム供給機構と、成形後の成形品を前記プレス部より成形品収容部へ搬出するため、該プレス部に対して該成形品を保持して進退移動可能な成形品搬出手段と、前記プレス部より搬出された前記成形品より前記短冊状のリリースフィルムを除去するリリースフィルム除去機構を具備し、前記リリースフィルム供給機構は、予め短冊状に切断されたリリースフィルムを被成形品搬入手段へ供給し該被成形品搬入手段はリリースフィルムを吸着保持したまま被成形品と共に前記プレス部に搬入してモールド金型に受け渡し、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりリリースフィルムに覆われた成形品がプレス部から搬出されると当該成形品からリリースフィルムを剥離させ、成形品は不要樹脂と分離して回収されることを特徴とする。
【０００９】
また、プレス部は、短冊状のリリースフィルムをモールド金型のパーティング面に形成された吸引穴により吸着して保持することを特徴とする。
また、リリースフィルムの周囲が枠体に挟持された当該枠体がモールド金型に搬入されるとリリースフィルムが金型面に密着し、金型に突設された回動ピンが枠体に設けられた位置決め孔に嵌合して当該回動ピンを回転させることで枠体が保持されることを特徴とする。
また、リリースフィルム除去機構は、成形品搬出手段によりプレス部より成形品と共に搬出される際に、リリースフィルムの先端側を吸着して該成形品より剥離して除去されることを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、装置本体に互いに重なり合うよう配設され、各々個別に備えた駆動源により移動可能になっていることを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は、リリースフィルム供給機構とリリースフィルム除去機構との間に移動可能に配設されていることを特徴とする。
また、リリースフィルム供給機構及びリリースフィルム除去機構は、プレス部を挟む両側に対向して配置されていることを特徴とする。
また、プレス部は、上型に対して下型が上下動可能に装備されており、被成形品搬入手段は、上動した下型上に成形前の被成形品を移載すると共に上型に対して短冊状のリリースフィルムを受け渡し、成形品搬出手段は型開きした下型上へ下動することにより成形後の成形品及び短冊状のリリースフィルムを回収することを特徴とする。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段には、プレス部に進退移動する際に上下金型を各々クリーニングするクリーナーと、クリーニングされた塵埃などを吸引する吸引口及びこれに接続する吸引ダクトとを各々備えたことを特徴とする。
また、被成形品供給部、プレス部及び成形品収容部は各々ユニット化されており、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段を有する基本ユニットに対して少なくとも１つのユニットが着脱可能に装備されていることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の態様を添付図面に基づいて詳細に説明する。
本実施例は、プレス装置の一例として半導体装置製造に用いるトランスファーモールドによる樹脂封止装置を用い、下型にプランジャを設置したロアープランジャ方式によるもので、マルチポットタイプのモールド金型を使用する、ロアーマルチプランジャ方式を採用した樹脂封止装置を用いて説明する。
【００１１】
図１（ａ）〜（ｃ）は上型のパーティング面に対するリリースフィルムの張設状態を示す説明図、図２はモールド金型の断面説明図、図３はローダー及びアンローダーの説明図、図４（ａ）〜（ｃ）はリリースフィルム供給機構のフィルム供給動作の説明図、図５（ａ）〜（ｃ）はリリースフィルムを張設する枠体の説明図、図６（ａ）〜（ｃ）は他例に係るリリースフィルムを張設する枠体の説明図、図７（ａ）〜（ｆ）は図６の枠体に張設されたリリースフィルムを枠体ごと上型に保持させる構成を示す説明図、図８は他のリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図、図９は図８のローダー及びアンローダーの右側面図、図１０は他例に係るリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図、図１１は他例に係るリリースフィルム供給機構の説明図、図１２（ａ）（ｂ）及び図１３（ａ）（ｂ）はリリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図、図１４は第１実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図１５は図１４の樹脂封止装置の右側面図、図１６及び図１７は第２実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図１８は第２実施例に係る樹脂封止装置の正面図、図１９は第３実施例に係る樹脂封止装置の平面図、図２０は第３実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【００１２】
〔第１実施例〕
（全体構成）
先ず、図１４を参照して樹脂封止装置の概略構成について説明する。
１は装置本体としての基本ユニットであり、プレス機能のみを装備した２台のプレス部２を着脱自在に装備している。このように、本実施例で用いる樹脂封止装置は、プレス部２が着脱自在なモジュールタイプの樹脂封止装置について説明する。尚、プレス部２は基本ユニット１の占有エリア内に位置しているので、プレス部２を着脱しても装置本体の占有エリアが変化することはない。また、プレス部２は複数台装備する場合に限らず単数装備されていても良い。
【００１３】
基本ユニット１は、単数又は複数の被成形品（リードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂ）を供給可能に収容するリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４と、樹脂封止後のリードフレームを収容するリードフレーム収容部５を装備している。また、基本ユニット１にはリードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂをプレス部２へ搬入するための被成形品搬入手段としてのローダー６と、樹脂封止後のリードフレームをプレス部２よりリードフレーム収容ユニット５へ搬出する成形品搬出手段としてのアンローダ７を装備している。ローダー６はアンローダー７の上に重なり合うように配設されている。各々個別に備えた駆動源により回動位置Ｏを中心に各々回動してプレス部２に対向する進退位置Ｐまで移動路９を移動可能になっている。
【００１４】
また、ローダー６及びアンローダー７は、リリースフィルム供給機構１１とリリースフィルム除去機構１２との間に移動可能に配設されている。このリリースフィルム供給機構１１は、プレス部２においてモールド金型のうち少なくとも樹脂成形部を含むパーティング面を覆う短冊状のリリースフィルム３２をローダー６により供給する。また、リリースフィルム除去機構１２は、プレス部２よりアンローダー７により搬出される成形品より短冊状のリリースフィルム３２を剥離して除去する。
【００１５】
ローダー６は、リードフレーム供給部３より回転テーブル３ｂを備えたフレーム整列部３ａへ供給されたリードフレームを受け渡され、次いでリリースフィルム供給機構１１より供給された短冊状のリリースフィルム３２を吸着保持して９０°回転した後、樹脂供給部４よりカセット４ａに供給された樹脂タブレット４ｂをそのカセット４ａより受け渡されて、更に９０°回転してこれらを型開きしたいずれか一方のプレス部２へ搬入する。また、アンローダー７は、成形品をプレス部２より回収し搬出する際にリリースフィルム除去機構１２によりリリースフィルム３２が剥離され、成形品をディゲート部８へ搬出する。
【００１６】
尚、リードフレーム供給部３やリードフレーム収容ユニット５は、基本ユニット１の基台上に角ロッド等により支持されたベースプレート（図示せず）上に設けられている。樹脂封止前のリードフレームを収容した供給マガジンや樹脂封止後のリードフレームを収容した収容マガジンは、ベースプレート上より取り出されて補充されたり、成形品が取り出されたりする。また、樹脂供給部４は、ベースプレートより下方の基台上に装備されており、カセット４ａはこの基台上の供給位置と上部の受け渡し位置とを往復移動している。
【００１７】
基本ユニット１の上記ローダー６及びアンローダー７の移動路９の両側には、装置基台の一部にプレス着脱部１０が設けられており、該プレス着脱部１０にはプレス部２が着脱自在に装着される。
また、基本ユニット１には図示しない操作部が設けられており、樹脂封止動作の開始や動作モードを選択操作する。また、図示しない制御部は操作部より入力された指令に基づき、基本ユニット１に装備された各部の動作を制御する。
【００１８】
リードフレーム供給部３及び樹脂供給部４より供給されたリードフレーム４２、樹脂タブレット４ｂ、及びリリースフィルム供給機構１１より供給されたリリースフィルム３２はローダー６に保持されて、各プレス部２に搬入されモールド金型１にクランプされて樹脂封止が行われる。
樹脂封止後の成形品は、リリースフィルム３２と共にアンローダー７に保持されてディゲート部８へ搬出される際にリリースフィルム３２のみが除去された後、ゲートブレイクが行われて不要樹脂が分離され、成形品のみリードフレーム収容部５へ移送されて収容される。
【００１９】
（プレス部の構成）
次に、プレス部２の概略構成について、図１４及び図１５を参照して説明する。図１５において、プレスベースと下型１４を支持する可動プラテンとの間を図示しない昇降機構により連繋し、該昇降機構を電動モータ（サーボモータ）や油圧機構（図示せず）等を作動させることによって可動プラテンに支持された下型１４を昇降させて、上固定プラテンに固定された上型１３との型開閉が行われる。また、下型１４にはポットに供給された樹脂をキャビティへ圧送すべくプランジャを上下動させるトランスファ駆動機構（図示せず）が装備されている。トランスファ駆動機構は電動モータや油圧機構などにより駆動される。プレス部２にも固有の操作部や制御部が装備されており、プレス動作を制御可能に構成されている。
【００２０】
また、プレス着脱部１０には、図１４及び図１５に示すように、プレス部２の底部を支持して着脱するため、該プレス部２の着脱方向に沿って複数のローラー１０ａがユニット支持面１０ｄに回動可能に設けられている。また、プレス着脱部１０のプレス部２の装着方向奥側には突き当て部１０ｂが形成されている。また、ユニット支持面１０ｄの長手方向両側には、プレス部２の幅方向をガイドするためのガイドレール１０ｃが設けられている。プレス着脱部１０の設置面より下型１４の加工面（パーティング面）までの距離は、金型の品種が変わっても一義的に決まるように設定されている。
【００２１】
尚、プレス着脱部１０に設けられたローラー１０ａは、該ローラー１０ａの変形や摩耗等を考慮すると、プレス部２の底部を着脱時支持する位置からプレス着脱部１０ａの内部に退避するように構成しても良い。この場合には、プレス着脱部１０のユニット支持面（平面）１０ｄによりプレス部２を支持するので、着脱を繰り返しても高さ出しの精度が変動することがない。また、ローラー１０ａの代わりに枠体に金属ボールが回転自在に取り付けられたボールベアリングを用いたり、ユニット支持面（平面）１０ｄを鏡面状にして滑り易くしても良い。プレス着脱部１０に装着されたプレス部２は、先端に螺合部を形成された位置決めピン１０ｅにより位置決め固定される。また、プレス部２の着脱作業は、予め専用の治具により平面位置及び高さ出しが行われた後、専用の移動台車Ｋなどにより運搬されてプレス着脱部１０に移載される（図１４参照）。
【００２２】
（被成形品搬入手段及び成形品搬出手段の構成）
次に、ローダー６及びアンローダー７の構成について、図３を参照して具体的に説明する。図３において、ローダー６及びアンローダー７は上下に配設されており、同一平面に沿って移動可能に装備されている。このように、ローダー６及びアンローダー７を近接して対向配置することで、装置本体の占有面積を可能な限り少なくすることができる。また、ローダー６及びアンローダー７には、回動モータ（電動モータ）１５，１６が個別に装備されている。この回動モータ１５，１６のモータギヤと回動軸１７，１８に同軸状に設けられたプーリギヤ１９，２０との間にタイミングベルト（図示せず）が掛け渡されており、回動モータ１５，１６を駆動することにより、ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を中心にそれぞれ回動される。回動軸１７，１８の内部には、ローダー６及びアンローダー７の駆動部分への配線用のカールケーブル１７ａ，１８ａがそれぞれ配設されている。
【００２３】
図３において、ローダー６及びアンローダー７は、回動軸１７，１８を一体に支持する可動支持板５５が、移動路９に設けられた取付台５６の長手方向にガイドレール５７に沿って往復移動可能になっている。また、ガイドレール５７と平行に設けられたボールネジ５８には、可動支持板５５の一部に設けられたナット５５ａが螺合している。移動モータ５９を起動すると、ボールネジ５８が回転し、可動支持板５５がガイドレール５７に沿って移動する。尚、図３には主としてアンローダー７側の移動構成について図示し、ローダー６側の移動構成の詳細は省略した。これによって、ローダー６及びアンローダー７は、図１４に示す回動位置Ｏとプレス部２に対応する進退位置Ｐとの間を往復移動するように構成されている。
【００２４】
また、図３において、ローダー６及びアンローダー７は、型開きしたプレス部２に対して被成形品及びリリースフィルム３２を保持して進退移動可能な搬入移動体２１及び成形品及びリリースフィルム３２を保持して進退移動可能な搬出移動体２２をそれぞれ装備している。以下、この搬入移動体２１及び搬出移動体２２の具体的な構成について説明する。
【００２５】
先ず、ローダー６に装備された搬入移動体２１の概略構成について説明する。搬入移動体２１は、リードフレーム４２や樹脂タブレット４ｂを保持するチャックハンド２３、上型１３のパーティング面をクリーニングするための上クリーナー２４、該上クリーナー２４により掻き落とされた不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口２５及びこれに接続する吸引ダクト（図示せず）などを可動フレーム２６に装備している。この吸引ダクトは可動フレーム２６の周囲に沿って配設されており、ローダー６の回転軸１７付近に設けられた回転ダクト４３に接続されている。
【００２６】
上クリーナー２４は搬入移動体２１がモールド金型内に進入するときのみ、上型１３側へ突出するように図示しないシリンダ駆動によりパーティング面に接離動するようになっている。また、チャックハンド２３は、成形前のリードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂを保持してモールド金型へ搬送する。また、可動フレーム２６は、後述するリリースフィルム供給装置より供給される短冊状のリリースフィルム３２を上面に吸着保持してモールド金型へ搬送する。
【００２７】
次に、アンローダー７に装備された搬出移動体２２の構成について説明する。搬出移動体２２は、成形品及びリリースフィルム３２を保持するチャックハンド２７、下型１４のパーティング面をクリーニングするための下クリーナー２８、該下クリーナー２８により掻き出された不要樹脂や塵埃などを吸引する吸引口２９及びこれに接続する吸引ダクト（図示せず）などを可動フレーム３０に装備されている。この吸引ダクトは可動フレーム３０の周囲に沿って配設されており、回転ダクト４４に接続されている。
【００２８】
吸引口２９は、下クリーナー２８とは別個に、該下クリーナー２８より退避方向後側に形成されている。これは、下クリーナー２８は、搬出移動体２２がプレス部２より退避する際に下型１４のクリーニングを行うため、下クリーナー２８の退避方向後側に配設されているのが望ましいからである。また、チャックハンド２７は、進退移動時の下型１４や成形品との干渉を回避するため、ハンドベースシリンダ３１により下型１４のパーティング面に対して接離動可能に構成されている。
【００２９】
成形後のリードフレーム及びリリースフィルム３２を保持して搬出するチャックハンド２７は、該リリースフィルム３２の脱落を有効に防止するため、リードフレームやリリースフィルム３２の端部を挟持するタイプのハンドが好ましい。例えば、本件出願人が提案した特開平１０−９２８５０号公報に示すようにリードフレームの一端近傍を挟圧して片持ち状にチャックするロータリーチャックやリードフレームの端部に爪を係止させて挟圧する開閉式のチャックなどが好適に用いられる。これによってチャックハンド２７の先端の爪部分を下型１４より離型した成形品に確実に潜り込ませて成形品の回収を確実に行うことができる。
【００３０】
搬入移動体２１及び搬出移動体２２の進退動作について説明する。搬入移動体２１及び搬出移動体２２に各々設けられた進退用モータ（電動モータ）３３，３４に連繋するピニオンギヤ３３ａ，３４ａは可動フレーム２６，３０に設けられたラック２６ａ，３０ａとそれぞれ噛合している。進退用モータ３３，３４を正逆回転駆動することにより、可動フレーム２６，３０を進退位置Ｐとプレス部２との間を図示しない枠体に設けられたリニアガイドに沿って進退移動させる。搬入移動体２１及び搬出移動体２２は上下に配置されているので、可動フレーム２６，３０は型開きしたプレス部２に同時に進入させることも可能である。
【００３１】
（リリースフィルム供給機構の構成）
次に、リリースフィルム供給機構１１の構成について、図３乃至図５を参照して具体的に説明する。
図３において、短冊状のリリースフィルム３２は、フィルム供給装置３５よりローダー６に供給される。即ち、ローダー６がリードフレームをチャックするため回転テーブル３ｂを備えたフレーム整列部３ａへ進入する際に、フィルム供給装置３５の吸引穴３５ａより吸引されて吸着保持されたリリースフィルム３２が可動フレーム２６の上面に受け渡される。
図４（ａ）において、可動フレーム２６にはパッド収容穴２６ｂが形成されており、該パッド収容穴２６ｂ内には搬送用吸着パッド３６が可動フレーム２６の上面より進退可能に設けられている。この搬送用吸着パッド３６には、吸引穴３６ａが形成されている。フィルム供給装置３５は、短冊状のリリースフィルム３２が積層された供給トレイ３７より最上側のものより１枚ずつ吸着保持して、ローダー６の進退位置（図１４の斜線部）に待機している。そして、ローダー６がリードフレームをチャックハンド２３によりチャックすべくフレーム整列部３ａへ進入すると、リリースフィルム３２を吸着したフィルム供給装置３５が下動して吸引穴３５ａによる吸着を解除し、同時に可動フレーム２６の搬送用吸着パッド３６の吸引穴３６ａによる吸引を開始してリリースフィルム３２のローダー６への受け渡しが行われる。図４（ａ）において供給トレイ３７に装備されるリリースフィルム３２は図５に示すような枠体３９に張設されたものでも良い。
尚、本実施例では、フィルム供給装置３５はエア吸着方式を採用しているが、これに限定されるものではなく、機械的に圧着させる方式や挟持方式など様々な方式を採用し得る。
【００３２】
次に、ローダー６に吸着保持されたリリースフィルム３２の上型１３への受渡し動作について説明する。図４（ｂ）において、リードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂと共にリリースフィルム３２を吸着保持した搬入移動体２１の可動フレーム２６は、プレス部２の型開きしたモールド金型内に進入する。そして、図４（ｃ）に示すように、搬送用吸着パッド３６を図示しないシリンダ駆動によりスプリング３７の弾性力に抗して可動フレーム２６より上方に突出させてリリースフィルム３２を吸着したまま上型１３のパーティング面に押圧し、同時に上型１３に形成された吸引穴１３ａより吸引動作を開始し、吸引穴３６ａによる吸着を解除してリリースフィルム３２が上型１３に受け渡される。
搬送用吸着パッド３６は吸着動作を停止しシリンダ駆動を停止すると、スプリング３８の弾性力により可動フレーム２６のパッド収容穴２６ｂ内に強制的に退避するようになっている。
尚、リリースフィルム供給機構１１は、フレーム整列部３ａと回動位置Ｏとの間に設けたが、設置スペースが無い場合には、基本ユニット１の他のスペースに設けても良い。
【００３３】
ここで、上型１３のパーティング面に張設されるリリースフィルム３２のサイズについて図１（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。リリースフィルム３２は、図１（ａ）に示すように、上型１３と略同サイズのフィルムを使用したり、或いは図１（ｂ）に示すように、上型１３より四方がはみ出す大きさのものを用いても良い。図１（ｂ）の場合、リリースフィルム３２を上型１３に張設する場合に、該リリースフィルム３２を図５（ａ）〜（ｃ）に示すような枠体３９を用いて四辺を挟持することにより張設したものを上型１３のパーティング面に吸着保持するようにしてもよい。枠体３９のフィルム挟持面には四辺に渡って凹溝３９ａ及び凸部３９ｂが形成されており、リリースフィルム３２を噛み込むことにより所定のテンションを付与するようになっている。尚、この場合には、枠体３９ごとリリースフィルム３２を上型１３に搬入して保持させるための機構（図示せず）が必要となる。
また、図１（ｃ）に示すように、リリースフィルム３２は四辺のうち対向する一対の２辺側（図１（ｃ）の左右方向）が対応する上型１３の２辺よりはみ出すサイズのものを用いても良い。この場合には、リリースフィルム３２をはみ出した長手方向両側より引っ張ることにより上型１３のパーティング面に吸着保持させても良い。
【００３４】
尚、上型１３のパーティング面には、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、吸引穴１３ａの他に、リードフレーム４２を位置決めするための下型１４に立設されたガイドピン１４ａ（図２参照）が嵌まり込むガイドピン穴１３ｆや、リリースフィルム３２を上型１３のパーティング面に吸着させるため、キャビティ１３ｅの底部に設けられたキャビティ吸引穴１３ｇ、キャビティ１３ｅの周囲に設けられたたるみ吸収溝１３ｈなどが形成されている。また、リリースフィルム３２は、図２に示すように、少なくとも上型１３のカル１３ｂ、ランナ１３ｃ、ゲート１３ｄ及びキャビティ１３ｅなどの樹脂成形部を覆うサイズのものが好ましいが、上型１３のパーティング面に樹脂バリが生ずるおそれがなければ、キャビティ１３ｅやランナ１３ｃ、ゲート１３ｄ部分のみを覆うサイズのもの（例えば、リードフレームと略同じサイズやＢＧＡ基板を収容するキャビティと略同一サイズのものなど）を用いても良い。また、リリースフィルム３２は１枚ずつ上型１３に吸着保持させていたが，複数枚重ね合わせたものを同時に吸着させても良い。また、図２において下型１４にはポット１４ｂが形成されており、該ポット１４ｂ内には樹脂タブレット４ｂが装填されている。この樹脂タブレット４ｂは、プランジャ６１により押動されて、上型１３に密着保持されたリリースフィルム３２に覆われたランナ１３ｃ、ゲート１３ｄを経てキャビティ１３ｅに圧送されて半導体チップ６２が樹脂封止される。
【００３５】
また、リリースフィルム３２を枠体３９に張設して該枠体３９ごとモールド金型へ搬入する場合、リリースフィルム３２を上型１３のパーティング面に必ずしも吸着保持しなくてもフィルムが密着できるようになっていれば良い。例えば、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、枠体３９に位置決め穴３９ｃが形成されたものを用いて短冊状のリリースフィルム３２を張設する。また、図７（ｄ）〜（ｆ）に示すように、上型１３側にＬ字状の回動ピン６０が回動可能に垂設されており、枠体３９に設けられた位置決め穴３９ｃに嵌合するようになっている。この回動ピン６０は、図７（ｄ）に示すように位置決め穴３９ｃに嵌合すると、図７（ｆ）に示すように例えば９０°回転させることにより、図７（ｅ）に示すようにリリースフィルム３２が上型１３のパーティング面に密着したまま枠体３９を保持するようになっている。この場合の枠体３９と上型１３との位置関係を図７（ａ）〜（ｃ）に示す。
本実施例の場合、モールド金型（上型１３）には吸引穴は不要であるため、通常のモールド金型が使用可能となる。また、リリースフィルム３２も、伸縮性に富む材質を用いた場合には、封止樹脂を注入すれば、型面に沿ってフィルムが伸びるため、エア吸引によりパーティング面に吸着させなくても、リリースフィルム３２がランナ１３ｃ、ゲート１３ｄやキャビティ１３ｅに倣って凹面を形成するので好適である。
【００３６】
（リリースフィルム除去機構の構成）
次に、リリースフィルム除去機構１２の構成について図１２及び図１３を参照して説明する。４０は送りローラ対であって、成形品の送り方向に沿って複数箇所に設けられている。この送りローラ対４０は、一方側（例えば下側）のローラが図示しない駆動源より回転駆動され、他方側（例えば上側）は従動回転するようになっている。４１は剥離用吸着パッドであり、内部に吸引ノズルが形成されている。この剥離用吸着パッド４１は送りローラ対４０より送り方向下流側であってリリースフィルム３２の幅方向に複数箇所に、図示しないシリンダ駆動により上下動可能に設けられている。
【００３７】
樹脂封止後に型開きしたモールド金型内にアンローダー７が進入して成形品をチャックハンド２７によりチャックすると、ディゲート部８へ搬出される。このとき、成形品であるリードフレーム４２及びリリースフィルム３２は両側をチャックハンド２７に挟持されたまま、送り方向に複数箇所に設けられた送りローラ対４０に受け渡される。このとき、リードフレーム４２の先端側に延出するリリースフィルム３２を剥離用吸着パッド４１により吸着されて上方に引き上げられることにより、リードフレーム４２よりリリースフィム３２が剥離されて除去される。リードフレーム４２は送りローラ対４０によりそのままディゲート部８に搬送される。
尚、リリースフィルム除去機構１２は回動位置Ｏとディゲート部８との間（図１４の斜線部）に設けたが、設置スペースが無い場合には、ゲートブレイクを行った後に剥離するようにしても良い。
【００３８】
次に、ローダー６の被成形品搬入動作及びアンローダー７の成形品搬出動作について、図３、図１２、図１３及び図１４を参照しながら説明する。先ずローダー６は、図１４の回動位置Ｏにおいて、搬入移動体２１から可動フレーム２６を前進させ、フレーム整列部３ａの回転テーブル３ｂに切り出されたリードフレームをチャックハンド２３によりチャックする。このとき、ローダー６より前進した可動フレーム２６の上面近傍に、リリースフィルム供給機構１１に装備されたフィルム供給装置３５が下動して、吸着された短冊状のリリースフィルム３２が搬送用吸着パッド３６に受け渡される。可動フレーム２６は一旦後退させた後、回動モータ１５を作動させてローダー６を９０°回転させ、可動フレーム２６を再び前進させてカセット４ａより樹脂タブレット４ｂをチャックする。そして、可動フレーム２６ａを後退させて、時計回り若しくは反時計回りに９０°回転させた後、図３に示す移動モータ５９を作動させて、ローダー６をその回動軸１７が回動位置Ｏより進退位置Ｐへ到達するまで移動路９を移動させる。回転軸１７の回動位置Ｏから進退位置Ｐへの移動とローダー６の回動を複合的に行えば、マシンサイクルの短縮化ができる。
【００３９】
図３において、進退用モータ３３を駆動させて型開きしたプレス部２内に搬入移動体２１は、可動フレーム２６を進入させ、上動させた下型１４上にチャックハンド２３に保持したリードフレーム４２や樹脂タブレット４ｂを移載する。このとき、可動フレーム２６の上面に吸着保持したリリースフィルム３２は、搬送用吸着パッド３６を上動させることにより、上型１３のパーティング面に形成された吸引穴１３ａにより吸引されて吸着される。また、可動フレーム２６が型開きしたプレス部２に進入するとき、上クリーナー２４を上型１３のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引しながら進入する。よって、金型面をクリーンな状態に保ちながらリリースフィルム３２を張設することができる。尚、可動フレーム２６は、被成形品を搬入後プレス部２より退避するときには、上クリーナー２４を上型１３より退避させた状態で進退位置Ｐへ退避させる。
【００４０】
また、樹脂封止後に型開きしたプレス部２より成形品を取り出す場合には、アンローダー７を図１４に示す進退位置Ｐに移動させた状態で、図３に示すように搬出移動体２２は、進退用モータ３４を駆動させて型開きしたプレス部２内に可動フレーム３０を進入させる。尚、可動フレーム３０がプレス部２へ進入するときには、下クリーナー２８を下型１４より離間させた状態で進入する。
そして、ハンドベースシリンダ３１を作動させてチャックハンド２７を下型１４上へ下動させて、リリースフィルム３２に覆われた成形品をチャックして再び上動させた後、成形品を保持したままプレス部２より進退位置Ｐまで退避させる。可動フレーム３０は、プレス部２より退避するとき、下クリーナー２８を下型１４のパーティング面に接触させると共に回転させてクリーニングしつつ、塵埃を図示しない吸引ダクト内に吸引しながら退避する。
【００４１】
次に、図１４において、移動モータ５９（図３参照）を作動させてアンローダー７をその回動軸１８が進退位置Ｐより回動位置Ｏへ到達するまで移動路９を移動させる。そして、必要に応じて図３に示す回動モータ１６を起動してアンローダー７を１８０°回動させた後、進退用モータ３４を駆動させて回動位置Ｐよりディゲート部８へ可動フレーム３０を移動させてチャックハンド２７にチャックされたリリースフィルム３２に覆われた成形品がリリースフィルム除去機構１２の送りローラ対４０に受け渡される。図１２及び図１３に示すように、成形品は送りローラ対４０にディゲート部８へ搬送される際に、リリースフィルム３２が剥離用吸着パッド４１に吸着されて剥離される。
【００４２】
搬入移動体２１及び搬出移動体２２が可動フレーム２６，３０を進退させる動作のタイミングは、プレス部２へ可動フレーム３０を進入させて樹脂封止が行われた成形品をリリースフィルム３２と共にチャックして下型１４のパーティング面をクリーニングしながら該プレス部２より退避するとき、次の被成形品を保持した可動フレーム２６が上型１３のパーティング面をクリーニングしながら進入する。即ち、可動フレーム２６と可動フレーム３０が入れ替わるように移動するのが好ましい。成形品をチャックした可動フレーム３０をプレス部２より退避させると、下型１４を上動させ、可動フレーム２６のチャックハンド２３を解放して、リードフレーム４２及び樹脂タブレット４ｂを下型１４のキャビティやポットにセットする。そして、可動フレーム２６をプレス部２より退避させると、下型１４が更に上動して上型１３と型閉じして樹脂封止が行われる。
このように、型開きしたプレス部２へワークの搬入搬出動作を連繋して行い、かつ金型のクリーニング動作を該搬入搬出動作と同時に行うことで、装置の合理化とサイクルタイムの短縮化を促進することができる。
【００４３】
また、搬入移動体２１による被成形品の搬入動作において、チャックハンド２３の上下動を省略したのは、ローダー６自体の厚さを薄くして小型化できる他に、ローダー６とアンローダー７は上下に配設されているので、アンローダ７側の可動フレーム３０がプレス部２より退避したとき、ワークを保持した可動フレーム２６と下型１４との間に距離があるため、チャックハンド２３を下動させるより、型閉じ動作のため上動する下型１４の動作を利用して被成形品の搬入動作を行うことで、サイクルタイムを短縮化してより高速処理化が実現できるからである。
【００４４】
一方、搬出移動体２２による成形品の搬出動作において、チャックハンド２７の上下動を行うのは、下型１４が最下点まで下動したときに、エジェクションロッド（図示せず）により成形品を突き上げて離型させるため、チャックハンド２７により離型した成形品を取りに行かなければならないためである。また、エジェクションロッドによる成形品の突き上げは、可動プラテンの昇降動作を利用しているため、下型エジェクション専用の駆動源を省略できる。
しかしながら、成形品の離型動作が下型１４が最下点へ下動したときのみに行われるため、エジェクションロッドを設ける位置が規制されてしまう。このため、下型エジェクション専用の駆動源を下型ベース部に設ければ、チャックハンド２７の上下動は不要となり、また可動プラテンの位置によらずエジェクションロッドを突き上げて成形品を離型させることができるので、アンローダー７をローダー６の上側に配置することも可能となる。
【００４５】
次に、ローダー６及びアンローダー７において、可動フレーム２６，３０に形成された吸引ダクトの回転軸１７，１８付近の配管構造について図３を参照して説明する。吸引口２５，２９より可動フレーム２６，３０の周囲に沿って形成された吸引ダクト（図示せず）は、回転軸１７，１８近傍に装備された回転ダクト４３，４４にそれぞれ接続されている。この回転ダクト４３，４４は、回動軸１７，１８と共に回動するので、可動フレーム２６，３０の吸引ダクトが回転軸１７，１８に絡みつくことはない。また、回転ダクト４３，４４にそれぞれ形成された回転吸引口（図示せず）は、ローダー６及びアンローダー７が回動した際に、可動ダクト４５，４６の可動吸引口（図示せず）と各々接続されて図示しない集塵機により吸引動作が行われる。
【００４６】
（ディゲート部及び収容部の構成）
図１４において、リリースフィルム３２が除去された成形品はディゲート部８に搬送され、該ディゲート部８でゲートブレイクされてリードフレームと不要樹脂とが分離される。そして、不要樹脂を除去されたリードフレームのみが図示しない搬送手段によりリードフレーム収容部５へ搬送されて収容される。
ディゲート部８は、不要樹脂を分離させる際に樹脂が残留したり、リードフレームが変形したりしないよう、不要樹脂のいずれの部分においても剥離力が作用し、しかもゲートから徐々に剥離させるようにするのが望ましい。例えば、本件出願人が提案した特開平３−２９０２１８号に示すように、リードフレーム４２を支持パレットに支持してゲート側より回動させる構成が好適に用いられる。
また、リードフレーム収容部５には、収容マガジンが装備されており、回収されたリードフレーム４２は、１枚ずつ整列してマガジン内に収納される。この収容マガジンは、リードフレーム４２が一杯になると次のマガジンに交換して使用される。
【００４７】
上記構成によれば、短冊状のリリースフィルム３２を金型のパーティング面に張設して樹脂封止を行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持することができ、しかもクリーニング動作が容易に行える。また、仮にリリースフィルム３２が破れたとしても、短冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も容易に行える。
また、樹脂封止後、成形品とリリースフィルム３２を一緒に搬出するので、モールド金型に残存するバリ量が少なくなる。本実施例の場合、上型１３にバリが生ずることなく下型１４のみにバリが残るのみである。よって、モールド金型のクリーニング動作が容易になる。
また、短冊状のリリースフィルム３２を用いることにより、必要なサイズに切断されたものを用いれば足りるので、長尺状のリリースフィルムに比べて無駄な使用量を無くして製造コストを削減できる。
また、ロール状に巻き取られた長尺状のリリースフィルムを使用する場合に比べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義であり、しかもフィルムを常時張設する必要がないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出動作において複雑な制御動作が不要であるため、装置構成を簡略化することができる。
また、ローダー６及びアンローダー７は上下に配設され、しかもそれぞれ個別に移動可能に装備されているので、これらのプレス部２への搬入搬出動作を同時に行うことにより樹脂封止装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。
【００４８】
（リリースフィルム供給機構の他の構成）
次に、リリースフィルム供給機構１１の他の構成について図８及び図９を参照して説明する。上記実施例では、フィルム供給装置３５により供給トレイ３７に予め切断して積層されたリリースフィルム３２を吸着してローダー６に供給するように構成したが、これに限定されるものではなく、長尺状のリリースフィルム３２をロール状に巻き取られたフィルムロール４７を備えたフィルム供給切断装置４８をローダー６の可動フレーム２６の進退方向に移動可能に装備されていても良い。
【００４９】
このフィルム供給切断装置４８は、ローダー６の可動フレーム２６の進退方向に移動可能に設けられている。フィルム供給切断装置４８には、フィルムロール４７の繰り出し端部４７ａを吸着して固定可能なエア吸引部を備えた、上下動可能な吸着保持部４９、リリースフィルム３２を切断するため上下動可能に装備された切断刃５０を装備している。また、可動フレーム２６の進退方向後端側及び先端側には、リリースフィルム３２を吸着保持するエア吸引部を備えた搬送用吸着パッド５１，５２が各々設けられている。
【００５０】
フィルム供給切断装置４８は、図８の実線位置Ｒに待機している。予めフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持されており、また切断刃５０は上方に待機している。可動フレーム２６がフレーム整列部３ａへ進入してリードフレームのチャックを行う際に、フィルム供給切断装置４８は図８の二点鎖線位置Ｌへ移動して、吸着保持部４９を下動して搬送用吸着パッド５１に密着させる。そして吸着保持部４９のエア吸引を停止して、搬送用吸着パッド５１がエア吸引を開始してリリースフィルム３２の繰り出し端部４７ａを固定する。そして、フィルム供給切断装置４８は、二点鎖線位置Ｌから実線位置Ｒまで（左端から右端まで）移動する際にフィルムロール４７よりリリースフィルム３２が引き出される。
【００５１】
次に、フィルム供給切断装置４８が実線位置Ｒに移動すると、搬送用吸着パッド５２によりリリースフィルム３２を可動フレーム２６の上面に吸着させる。そして、吸着保持部４９により再びエア吸引を開始してリリースフィルム３２を吸着させた後、該吸着部の近傍において切断刃５０を一旦下動させてリリースフィルム３２を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム３２をローダー６に吸着保持させることができる。尚、切断後のフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持されている。
【００５２】
このように、リリースフィルム３２を可動フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、フィルム供給切断装置４８よりリリースフィルム３２を供給切断するタイミングは、可動フレーム２６がスライドするタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム４２のチャック動作時の他に樹脂タブレット４ｂのチャック動作時やプレス部２へ進入するタイミングなどに行っても良い。
【００５３】
次に、リリースフィルム供給機構１１の更に他の構成について図１０及び図１１を参照して説明する。図１０において、フィルムロール４７、該フィルムロール４７の繰り出し端部４７ａを吸着する吸着保持部４９及びリリースフィルム３２を切断する切断刃５０をローダー６の枠体内に予め固定されている。
【００５４】
予めフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持されており、切断刃５０は上方に待機している。可動フレーム２６は、例えばリードフレーム４２のチャックを行うため、フレーム整列部３ａへ移動する際に、図１０の右端から段階的に突出動作を行う。これにより、右先頭側の搬送用吸着パッド５２は、繰り出し端部４７ａを吸着保持する吸着保持部４９の付近まで移動する。該搬送用吸着パッド５２は、図示しない駆動源により上動し、吸引動作を開始して繰り出し端部４７ａを吸着する。そして、吸着保持部４９は吸引動作を停止する。
この状態で可動フレーム２６が右端側へ移動することにより、フィルムロール４７よりリリースフィルム３２が引き出される。そして、可動フレーム２６の移動が停止すると、搬送用吸着パッド５１及び吸着保持部４９がリリースフィルム３２を吸着した後、該吸着部の近傍において切断刃５０を一旦下動させてリリースフィルム３２を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム３２をローダー６に吸着保持させることができる。尚、切断後のフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは吸着保持部４９により吸着保持されているので、リリースフィルム３２が巻き出されたり巻き戻されたりすることはない。
【００５５】
このように、リリースフィルム３２を可動フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、リリースフィルム３２を供給切断するタイミングは、可動フレーム２６がスライドするタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム４２のチャック動作時の他に樹脂タブレット４ｂのチャック動作時やプレス部２へ進入するタイミングに行っても良い。
【００５６】
また、図１１において、フィルムロール４７を可動フレーム２６に設けられた上クリーナー２４の移動方向手前側近傍に一体に設けておき、吸着保持部４９及び切断刃５０を有するフィルム切断装置５３を可動フレーム２６の進退方向に移動可能に装備していても良い。また、フィルムロール４７の繰り出し側端部４７ａを吸着保持するための固定用吸着パッド５４が可動フレーム２６に設けられている。
【００５７】
フィルム切断装置５３は、図１１の実線位置Ｒに待機している。予めフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは固定用吸着パッド５４により吸着保持されており、また吸着保持部４９及び切断刃５０は上方に待機している。可動フレーム２６が、例えばフレーム整列部３ａへ進入してリードフレームのチャックを行うためローダー６より移動すると、吸着保持部４９の吸引を開始し固定用吸着パッド５４の吸引を停止して、該吸着保持部４９は繰り出し端部４７ａを吸着したまま上動する。そしてフィルム切断装置５３は図１１の二点鎖線位置Ｌへ移動することによりリリースフィルム３２がフィルムロール４７よりリリースフィルム３２が引き出される。そして、吸着保持部４９を下動して搬送用吸着パッド５１に密着させる。そして、吸着保持部４９のエア吸引を停止し、搬送用吸着パッド５１がエア吸引を開始してリリースフィルム３２の繰り出し端部４７ａを吸着する。また、搬送用吸着パッド５２や固定用吸着パッド５４によりリリースフィルム３２を可動フレーム２６の上面に吸着する。フィルム切断装置５３は再び図１１の実線位置Ｒへ移動し、固定用吸着パッド５４による吸着部の近傍において切断刃５０を一旦下動させてリリースフィルム３２を短冊状に切断してから再び待機位置へ上動する。これによって、短冊状に切断されたリリースフィルム３２をローダー６に吸着保持させることができる。
尚、切断後のフィルムロール４７の繰り出し端部４７ａは固定用吸着パッド５４により吸着保持されたまま保持される。
【００５８】
このように、リリースフィルム３２を可動フレーム２６の進退移動に伴ってロール状に巻き取られたフィルムロール４７よりリリースフィルム３２の先端を引き出して短冊状に切断しながら該可動フレーム２６に吸着保持させて、モールド金型に搬入するようにしても良い。
尚、フィルム切断装置５３よりリリースフィルム３２を供給切断するタイミングは、可動フレーム２６がスライドしたタイミングを狙って行えば良く、リードフレーム４２のチャック動作時の他に樹脂タブレット４ｂのチャック動作時などに行っても良い。
【００５９】
〔第２実施例〕
次に樹脂封止装置の他の実施例について図１６〜図１８を参照して説明する。図１６〜図１８において、樹脂封止装置は、プレス部２が装置本体に一体に組み込まれた一般に用いられているタイプの樹脂封止装置であっても良い。この樹脂封止装置では、ローダー６及びアンローダー７は該プレス部２の両側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列部３ａとプレス部２との間にはリリースフィルム供給機構１１が装備されている。このリリースフィルム供給機構１１としては、図１８に示すように、フィルムロール４７、吸着保持部４９及び切断刃５０を備え、ローダー６の進退方向に移動可能なフィルム供給切断装置４８（図８参照）やローダー６にフィルムロール４７、吸着保持部４９及び切断刃５０を固定しておくもの（図１０参照）や、或いはフィルム切断装置５３のみが可動となっているもの（図１１参照）のいずれを適用することも可能である。
また、プレス部２とディゲート部８との間には、リリースフィルム除去機構１２装備されている。このリリースフィルム除去機構１２としては、図１２及び図１３に示すものが好適に用いられる。
【００６０】
〔第３実施例〕
次に樹脂封止装置の更に他の実施例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９及び図２０において、樹脂封止装置は、第２実施例と同様にプレス部２が装置本体に一体に組み込まれた一般に用いられているタイプの樹脂封止装置であり、ローダー６及びアンローダー７は該プレス部２の両側に各々対向して設けられている。また、フレーム整列部３ａとプレス部２との間にはリリースフィルム供給機構１１が装備されている。このリリースフィルム供給機構１１としては、図２０に示すように、フィルム供給装置３５が予め短冊状に切断されたリリースフィルム３２を供給トレイ３７より吸着してローダー６に供給するようになっている（図３参照）。
また、プレス部２とディゲート部８との間には、リリースフィルム除去機構１２装備されている。このリリースフィルム除去機構１２としては、図１２及び図１３に示すものが好適に用いられる。
【００６１】
尚、本発明は上記各実施の態様に限定されるものではなく、樹脂封止装置はプレス部のみが着脱できるのみならず、被成形品の供給部や成形品の収容部などが基本ユニット１に対して着脱自在なモジュールタイプのものや、これらが一体となっているタイプのものまで様々なタイプの樹脂封止装置に適用できる。
また、樹脂封止装置は、片面モールド用の金型に限らず、両面モールド用の金型を装備していても良く、該モールド金型の種類に合わせて短冊状のリリースフィルムを上型又は下型のみに張設する場合に限らず、上型及び下型に各々供給するようにしても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００６２】
【発明の効果】
本発明は前述したように、短冊状のリリースフィルムを金型のパーティング面に張設して樹脂封止を行えるので、モールド金型をクリーンな状態に維持することができ、しかもクリーニング動作が容易に行える。また、仮にリリースフィルムが破れたとしても、短冊状のフィルムの除去は容易であり、新たにセットする場合にも自動供給可能であるため、メンテナンス作業も容易に行える。
また、樹脂封止後、成形品とリリースフィルムを一緒に搬出するので、モールド金型に残存するバリ量が少なくなる。
また、短冊状のリリースフィルムを用いることにより、必要なサイズに切断されたものを用いれば足りるので、長尺状のフィルムに比べて無駄な使用量を無くして製造コストを削減できる。
また、ロール状に巻き取られた長尺状フィルムを使用する場合に比べて、樹脂封止装置内の設置面積を要さず半導体装置製造用のクリーンルームのスペースの有効利用が図れるため有意義であり、しかもフィルムを常時張設する必要がないため被成形品の搬入動作や成形品の搬出動作において複雑な制御動作が不要であるため、装置構成を簡略化することができる。
また、被成形品搬入手段及び成形品搬出手段は上下に配設され、それぞれ個別に移動可能に装備されているので、これらのプレス部への搬入搬出動作を同時に行うことにより樹脂封止装置のサイクルタイムを短縮化して、製品の量産化、高速処理化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】上型のパーティング面に対するリリースフィルムの張設状態を示す説明図である。
【図２】モールド金型の断面説明図である。
【図３】ローダー及びアンローダーの説明図である。
【図４】リリースフィルム供給機構のフィルム供給動作の説明図である。
【図５】リリースフィルムを張設する枠体の説明図である。
【図６】他例に係るリリースフィルムを張設する枠体の説明図である。
【図７】図６の枠体に張設されたリリースフィルムを枠体ごと上型に保持させる構成を示す説明図である。
【図８】他のリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図である。
【図９】図８のローダー及びアンローダーの右側面図である。
【図１０】他例に係るリリースフィルム供給機構を備えたローダー及びアンローダーの説明図である。
【図１１】他例に係るリリースフィルム供給機構の説明図である。
【図１２】リリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図である。
【図１３】リリースフィルム除去機構による成形品よりリリースフィルムの除去動作を示す側面及び正面説明図である。
【図１４】第１実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１５】図１４の樹脂封止装置の右側面図である。
【図１６】第２実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１７】第２実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図１８】第２実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【図１９】第３実施例に係る樹脂封止装置の平面図である。
【図２０】第３実施例に係る樹脂封止装置の正面図である。
【図２１】従来のリリースフィルムを用いた樹脂封止装置の説明図である。
【符号の説明】
１  基本ユニット
２  プレス部
３  リードフレーム供給部
３ａ  フレーム整列部
３ｂ  回転テーブル
４  樹脂タブレット供給部
４ａ  カセット
４ｂ  樹脂タブレット
５  リードフレーム収容部
６  ローダー
７  アンローダー
８  ディゲート部
９  移動路
１０  プレス着脱部
１０ａ  ローラー
１０ｂ  突き当て部
１０ｃ  ガイドレール
１０ｄ  ユニット支持面
１１  リリースフィルム供給機構
１２  リリースフィルム除去機構
１３  上型
１３ａ，３５ａ，３６ａ  吸引穴
１３ｂ  カル
１３ｃ  ランナ
１３ｄ  ゲート
１３ｅ  キャビティ
１３ｆ  ガイドピン穴
１３ｇ  キャビティ吸引穴
１３ｈ  たるみ吸収溝
１４  下型
１４ａ  ガイドピン
１４ｂ  ポット
１５，１６  回動モータ
１７，１８  回動軸
１７ａ，１８ａ  カールケーブル
１９，２０  プーリギヤ
２１  搬入移動体
２２  搬出移動体
２３，２７  チャックハンド
２４  上クリーナー
２５，２９  吸引口
２６，３０  可動フレーム
２６ａ，３０ａ  ラック
２６ｂ  パッド収容穴
２８  下クリーナー
３１  ハンドベースシリンダ
３２  リリースフィルム
３３，３４  進退用モータ
３３ａ，３４ａ  ピニオンギヤ
３５  フィルム供給装置
３６，５１，５２  搬送用吸着パッド
３７  供給トレイ
３８  スプリング
３９  枠体
３９ａ  凹溝
３９ｂ  凸部
４０  送りローラ対
４１  剥離用吸着パッド
４２  リードフレーム
４３，４４  回転ダクト
４５，４６  可動ダクト
４７  フィルムロール
４７ａ  繰り出し端部
４８  フィルム供給切断装置
４９  吸着保持部
５０  切断刃
５３  フィルム切断装置
５４  固定用吸着パッド
５５  可動支持板
５５ａ  ナット
５６  取付板
５７  ガイドレール
５８  ボールネジ
５９  移動モータ
６０  回動ピン
６１  プランジャ
６２  半導体チップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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