(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射層を有し、複数の溝が平行に形成された回折格子を用いて光学ユニットを調整する方法であって、
（ａ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で上記回折格子を上記光軸とほぼ直交しかつ上記溝と交差する方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射された光が上記回折格子で回折した異なる次数の２つの回折光の干渉によりシェアリング干渉像を形成し、形成された少なくとも２つの上記シェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差に基づいて上記光学ユニットのレンズの特性を求め、
上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、
（ｂ）上記光学ユニットのレンズと上記シェアリング干渉像の受光素子との間において、上記光軸と交わる位置で上記回折格子を上記光軸方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射され上記回折格子で反射した後に上記光学ユニットの受光素子で受光した光の強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する工程と、
を備えた光学ユニットの調整方法。
【請求項２】
（ａ）光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で回折格子をその格子溝が上記光軸と直交成分を有する方向に移動させ、上記回折格子を透過した異なる次数の回折光によるシェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差から上記光学ユニットのレンズの特性を求め、上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、
（ｂ）上記光軸と交わる位置で透明板を透過した光の光強度分布に基づいて上記光学ユニットのレンズの位置を調整する工程と、
を備えた光学ユニットの調整方法。
【請求項３】
光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で回折格子をその格子溝が上記光軸と直交成分を有する方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射された光が回折格子で回折した異なる次数の回折光を干渉させてシェアリング干渉像を形成し、
上記シェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差をもとに上記光学ユニットのレンズの特性を求め、
上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する
光学ユニットの調整方法。
【請求項４】
（ａ）光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で回折格子をその格子溝が上記光軸と直交成分を有する方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射された光が回折格子で回折した異なる次数の回折光を干渉させてシェアリング干渉像を形成し、
上記シェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差をもとに上記光学ユニットのレンズの特性を求め、
上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、
（ｂ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸上において上記光軸方向に上記回折格子を移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射され上記回折格子で反射した後に上記光学ユニットの受光素子で受光した光の強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する工程と、
を備えた光学ユニットの調整方法。
【請求項５】
求めた光学ユニットのレンズの特性が、光学ユニットのレンズの収差であることを特徴とする請求項１から４いずれか記載の光学ユニットの調整方法。
【請求項６】
（ａ）反射層を有し、直線状の溝が複数平行に形成され、光学ユニットのレンズから出射された光を回折させてシェアリング干渉像を形成する回折格子と、
（ｂ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸とほぼ直交しかつ上記溝と交差する方向に上記回折格子を移動させる第１の移動機構と、
（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットのレンズの特性を求める検出器と、
（ｄ）上記検出器で求めた結果に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する第１の調整機構と、
（ｅ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸方向に上記回折格子を移動させる第２の移動機構と、
（ｆ）上記回折格子で反射された光が上記光学ユニットの受光素子で受光した光の光強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する第２の調整機構と、
を備えた光学ユニットの調整装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学ユニットの調整方法及びその方法に関し、例えば光ディスク方式の情報記憶媒体（例えばＤＶＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）に情報を読み書きする光学ユニットの調整する方法及び装置に関する。
【０００２】
【発明の背景】
光ディスク方式の高密度情報記憶媒体から情報を読み取り、またこの高密度情報記憶媒体に情報を記憶する光学ユニットは、対物レンズを透過した光が情報記録媒体上の目的の場所に正確に結像される必要がある。また、情報記録媒体で反射した光が対物レンズを逆方向に透過した後、目的の受像素子に正確に結像されなければならない。そのために、光学ユニットはその製造過程で様々なパラメータ（例えば、レンズ系の収差、受像素子の位置、対物レンズの中心とこの対物レンズを透過して結像される像の中心との位置ずれ）が検査（評価）され、必要に応じて補正される。
【０００３】
（Ａ）レンズ系の収差調整
レンズ系の収差評価及び補正には、例えば、シェアリング干渉法に基づいて対物レンズの収差を検出し、その結果を利用して対物レンズを調整する回折干渉法（本出願人が特願平１１−１３８５８４号で提案した方法）が好適に用いられる。
【０００４】
回折干渉法を利用して光学ユニット（光ヘッド）の対物レンズを調整する装置を図４に示す。この調整装置において、光学ユニット１０の光源（例えば半導体レーザ）１２で生成されたされた光は対物レンズ１４を介して出射される。対物レンズ１４の結像位置には透過型回折格子１２０’が配置されており、透過型回折格子１２０’に入射された光は、例えば０次、±１次、±２次・・・のオーダの回折光に分解される。図示する調整装置では、図５に示すように、コリメータレンズ１０６の開口領域で、０次の回折光が＋１次の回折光、また０次回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って干渉縞を生じるように、透過型回折格子及び他の光学要素が設計されている。
【０００５】
次に、コリメータレンズ１０６を透過した光は結像レンズ１０８で撮像素子１１０に結像される。撮像素子１１０に結像された像において、０次回折光と±１次回折光の干渉領域１６０（図６参照）は、図７に示す干渉縞を含む。この図７において、（Ａ）はデフォーカスによる干渉縞、（Ｂ）と（Ｃ）はコマ収差による干渉縞、（Ｄ）は非点収差による干渉縞、（Ｅ）は球面収差による干渉縞をそれぞれ示す。一般に、これらの収差は複合的に発生し、実際に得られる干渉縞は（Ａ）から（Ｅ）の干渉縞が重なり合った模様となる。ただし、対物レンズ１４が回折格子１２０’に正確に焦点合わせされている場合、図７（Ｆ）のように、干渉領域１６０に何らの模様も現れない。
【０００６】
干渉縞における各点は固有の位相を有する。したがって、上記回折干渉法では、回折格子１２０’を光軸１１と直交する方向に一定の速度で移動し、回折光の干渉領域に複数の点をとり、ある点における光強度の変化と別の点における光強度の変化の位相差を求め、その位相差を解析して各収差を評価し、結像レンズ等の光学要素を調整する。
【０００７】
（Ｂ）受像素子の位置調整
次に、受像素子の位置調整について簡単に説明する。図８に示すように、光学ユニット１０において、光源１２で生成された光は、コリメータレンズ１６で略平行光に調整され、ビームスプリッタ１８を透過した後、対物レンズ１４により目的の位置（例えば、光ディスク）に入射される。光ディスク１０２に入射された光は、この光ディスク１０２に含まれる情報を含む反射光となって入射光と逆の方向に進み、対物レンズ１４で再び略平行な光に調整された後、ビームスプリッタ１８で反射し、受光レンズ２０で集束される。集束された光は、第２のビームスプリッタ２２に入射し、入射方向とほぼ直交する方向に進行する第１の光束２４と、第２のビームスプリッタ２２を透過した第２の光束２６に分割される。また、第２の光束２６はミラー２８で反射され、第１の光束２４とほぼ平行な方向に向けられる。そして、第１と第２の光束２４，２６はそれぞれ第１と第２の受像素子３０，３２に入射される。
【０００８】
ここで、第２の光束２６は、第２のビームスプリッタ２２の下流側で偏向されるので、第１の光束２４の結像位置３４と第２の光束２６の結像位置３６は、これら光束に平行な方向にずれている。また、第１の受像素子３０は第１の光束２４の結像位置３４の手前側に配置され、第２の受像素子３２は第２の光束２６の結像位置３６の遠方に配置されている。
【０００９】
したがって、光ディスク１０２が結像レンズ１４に接近する方向に移動すると、第１の光束２４の結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が拡大し、第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３２との距離が縮小する。逆に、光ディスク１０２が対物レンズ１４から遠ざかる方向に移動すると、第１の光束２４の結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が縮小し、第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３２との距離が拡大する。また、結像位置と受像素子との距離が拡大すると受像素子で受像される光の強度が低下し、逆に、結像位置と受像素子との距離が縮小すると受像される光の強度が増加する。また、受像素子の出力電圧は、受像した光の強度に応じて変化する。そのため、第１と第２の受像素子３０，３２の出力電圧差Ｖは、対物レンズ１４と光ディスク１０２との距離に応じて、図９に示すように変化する。
【００１０】
そして、光学ユニット１０では、第１と第２の受像素子３０，３２の出力電位差Ｖを出来るだけ大きく設定し、光ヘッドの回転中に生じる光ヘッドの光軸方向の変移に拘わらず光ヘッドに記録されている情報を正確に再現できるように又光ヘッドに正確に情報を記録できるように、第１と第２の受像素子３０，３２の位置が調整される。具体的に、実際の調整では、光ヘッド又はこれに相当する部材を光軸方向に振動し、このとき第１と第２の受像素子から出力される信号の電圧を測定し、それら２つの電圧の差が最も大きくなるように第１と第２の受像素子３０，３２の位置が調整される。
【００１１】
（Ｃ）対物レンズの位置ずれ調整
続いて、対物レンズの中心とこの対物レンズを透過して結像される像における光強度分布の中心との位置ずれの調整を説明する。この調整では、光学ユニット１０から出射された光を結像レンズで撮像素子１１０に入射し、この撮像素子に受像された像を画像表示部１１４に表示し、この像の中心とこの像における光強度分布の中心（最大光強度位置）との位置ずれを検出し、その検出結果に基づいて、光軸１１に直交する平面上で対物レンズ１４を移動し、その位置ずれを消去する。
【００１２】
このように、上述した３つの調整は異なる構成を必要とする。すなわち、レンズ系の収差調整（補正）は回折格子を必要とし、受像素子の位置調整は反射部材を必要とし、対物レンズの位置ずれ調整はこれらの部材を必要としない。
【００１３】
そのため、上述した各調整装置を利用する限り、光学ユニットは、まず第１の調整位置でレンズ径の収差を補正し、次に第２の調整位置で受像素子を位置調整し、続いて第３の調整位置で対物レンズの位置ずれを調整しなければならない。その結果、第１から第３の位置に光学ユニットを移動する必要から、その搬送時間の分だけ調整に要する時間が大きくなるという問題があった。
【００１４】
そこで、本発明は、上記３つの調整のうち少なくとも２つを一つの場所で行うことができ、そのために光学ユニットの調整を短時間で行い得る光学ユニットの調整方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【発明の概要】
この目的を達成するために、本発明に係る光ヘッドの調整方法は、反射層を有し、複数の溝が平行に形成された回折格子を用いて光学ユニットを調整する方法であって、（ａ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で上記回折格子を上記光軸とほぼ直交しかつ上記溝と交差する方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射された光が上記回折格子で回折した異なる次数の２つの回折光の干渉によりシェアリング干渉像を形成し、形成された少なくとも２つの上記シェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差に基づいて上記光学ユニットのレンズの特性を求め、上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、（ｂ）上記光学ユニットのレンズと上記シェアリング干渉像の受光素子との間において、上記光軸と交わる位置で上記回折格子を上記光軸方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射され上記回折格子で反射した後に上記光学ユニットの受光素子で受光した光の強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る他の形態の光学ユニットの調整方法は、（ａ）光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で回折格子をその格子溝が上記光軸と直交成分を有する方向に移動させ、上記回折格子を透過した異なる次数の回折光によるシェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差から上記光学ユニットのレンズの特性を求め、上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、（ｂ）上記光軸と交わる位置で透明板を透過した光の光強度分布に基づいて上記光学ユニットのレンズの位置を調整する工程と、を備えたことを特徴とする。
さらに、本発明に係る他の形態の光学ユニット調整方法は、（ａ）光学ユニットのレンズから出射された光の光軸と交わる位置で回折格子をその格子溝が上記光軸と直交成分を有する方向に移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射された光が回折格子で回折した異なる次数の回折光を干渉させてシェアリング干渉像を形成し、上記シェアリング干渉像上の複数の点における光強度の変化の位相差をもとに上記光学ユニットのレンズの特性を求め、上記求めた光学ユニットのレンズの特性に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する工程と、（ｂ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸上において上記光軸方向に上記回折格子を移動させ、上記光学ユニットのレンズから出射され上記回折格子で反射した後に上記光学ユニットの受光素子で受光した光の強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
本発明の他の形態の光学ユニットの調整方法は、以上の調整方法において、求めた光学ユニットのレンズの特性が、光学ユニットのレンズの収差であることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る光学ユニットの調整装置は、（ａ）反射層を有し、直線状の溝が複数平行に形成され、光学ユニットのレンズから出射された光を回折させてシェアリング干渉像を形成する回折格子と、（ｂ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸とほぼ直交しかつ上記溝と交差する方向に上記回折格子を移動させる第１の移動機構と、（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットのレンズの特性を求める検出器と、（ｄ）上記検出器で求めた結果に基づいて上記光学ユニットのレンズの姿勢を調整する第１の調整機構と、（ｅ）上記光学ユニットのレンズから出射された光の光軸方向に上記回折格子を移動させる第２の移動機構と、（ｆ）上記回折格子で反射された光が上記光学ユニットの受光素子で受光した光の光強度に基づいて上記光学ユニットの受光素子の位置を調整する第２の調整機構と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の具体的実施の形態を説明する。
（１）第１実施形態
図１において、上述した光学ユニット１０（図８参照）の光学的特性を評価する装置１００は、光学ユニット１０の光軸１１上に、この光学ユニット１０の対物レンズ１４側から順次、回折格子ユニット１０４、コリメータレンズ１０６、結像レンズ１０８、撮像素子（光電変換素子：ＣＣＤ）１１０が配置されている。撮像素子１１０は画像処理部１１２に接続され、また画像処理部１１２は表示部１１４（例えば、ＣＲＴ）に接続されており、撮像素子１１０から出力された信号が画像処理部１１２で処理され、その処理結果が表示部１１４に表示できるようにしてある。
【００２０】
回折格子ユニット１０４は、光軸１１を横切るように配置された回折格子１２０を有する。また、回折格子ユニット１０４は、光軸１１と直交する方向（図面の水平方向）に回折格子１２０を一定の速度で移動させる水平移動機構１２２と、光軸１１と平行な方向（図面の上下方向）に回折格子１２０を振動させる垂直移動機構１２４を有する。なお、これらの水平移動機構１２２、垂直移動機構１２４には、ピエゾ素子を利用した微動機構を利用するのが好ましい。
【００２１】
回折格子１２０は、透過・反射型の回折格子で、透光性の材料からなる表面を反射性・不透光性の材料からなる層（図示せず）で被覆すると共に、この層に一定の間隔をあけて並列に複数の光学スリット（光の透過できる窓）１２１を形成した振幅型回折格子である。この透過・反射型回折格子は、透光性の材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の平行な溝を設けた位相型回折格子の上記表面を半透光性材料の被膜で被覆した位相型回折格子に代えることができる。したがって、回折格子１２０に入射された光は、その一部が入射方向と逆の方向に反射され、残る一部が光学スリット１２１を介して透過する。そして、光学スリット１２１は、入射された光から０次、±１次、±２次・・・のオーダの回折光を形成し、コリメータレンズ１６の開口領域において、０次の回折光が＋１次の回折光、また０次回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って干渉縞を生じるように設計されている。
【００２２】
以上の構成を用いた光学ユニット１０の評価手順等を説明する。この評価手順において、光学ユニット１０の光源（例えば、半導体レーザ）１２から出射された光（レーザ）は、対物レンズ１４から出射し、回折格子１２０に入射する。回折格子１２０に入射した光の一部は、光学スリット１２１において回折し、０次、±１次、±２次・・・のオーダの回折光を形成する。これら回折光のうち０次回折光と±１次回折光が、コリメータレンズ１０６の開口領域において互いに重なり合い（干渉し）、それらの干渉領域（シェアリング領域）に干渉縞（シェアリング干渉像）を生じる。次に、コリメータレンズ１０６によりコリメートされた光は結像レンズ１０８により結像され、撮像素子１１０に受像される。撮像素子１１０は受像した光に対応した一連の電気信号を作成し、この電気信号を画像処理部１１２に出力する。画像処理部１１２は、受信した信号を処理し、撮像素子１１０で受像した像を表示部１１４に表示する。
【００２３】
レンズ系の収差を評価する場合、水平移動機構１２２を駆動し、回折格子１２０を水平方向に移動する。これにより、表示部１１４に表示されたシェアリング干渉像における各点の光強度の位相が変化する。したがって、上述した回折干渉法を用い、シェリング干渉像上に複数の点を設定し、これらの点における光強度の位相差を求め、各種の収差（デフォーカス、球面収差、コマ収差、非点収差等）を評価する。また、収差評価結果をもとに、光学ユニット１０のレンズ系を調整する。例えば収差評価結果をもとに対物レンズ１４を調整する場合、この対物レンズ１４を支持している第１の調整機構１２６を操作し、光軸１１に対する対物レンズ１４の設定角度等を調整する。
【００２４】
受像素子３０，３２の位置を調整する場合、垂直移動機構１２４を駆動し、回折格子１２０を光軸方向に往復移動する。これにより、既に説明したように、２つの受像素子３０，３２で受像される光の強度及びその光強度に応じて出力される電圧が変化する。そして、２つの受像素子３０，３２に接続された信号処理部１２８は、これら受像素子３０，３２から出力された電圧の差をもとに、駆動部１３０を作動し、図８に示すように、受像素子３０，３２を支持している支持部１３２を移動し、受像素子３０，３２の出力電圧差が最大になるように受像素子３０，３２の位置を調整する。
【００２５】
（２）第２実施形態
図２は本発明の第２実施形態を示す。本実施形態において、回折格子ユニット１４０は、対物レンズ１４とコリメータレンズ１０６の間に配置されたフレーム１４２を有する。フレーム１４２には、上述した透過・反射型の回折格子１２０と、所定の厚みを有する透明板１４４が保持されている。透過・反射型の回折格子１２０としては、上述した２種類の透過・反射型回折格子のいずれを用いてもよい。また、回折格子１２０は、水平移動機構１４６を介してフレーム１４２に連結されており、回折格子１２０がフレーム１４２に対して水平方向に一定速度で移動できるようにしてある。一方、フレーム１４２は、手動又は電気機械的駆動機構１４８により、透明板１４４が光軸１１を横切る位置（図２参照）と、回折格子１２０が光軸１１を横切る位置（図示せず）との間を移動できるようにしてある。
【００２６】
本実施形態においてレンズ系の収差を求める場合、回折格子１２０が光軸１１を横切る位置にフレーム１４２を設定し、上述した第１実施形態と同様に、水平移動機構１４６で回折格子１２０を移動しながら、表示部１１４に表示されたシェアリング干渉像を利用してレンズ系の収差を求め、例えば対物レンズ１４の光軸１１に対する角度を調整する。
【００２７】
対物レンズ１４の位置ずれ調整では、まず撮像素子１１０に受像された像の中心と、この像における光強度分布の中心とが一致しているか一致していないかは、表示部１１４に表示された像を用いて判断される。そして、両中心が不一致の場合、対物レンズ１４を支持している調整機構１５０を操作し、対物レンズ１４を水平方向に移動し、両中心を一致させる。
【００２８】
具体的に、図３に示すように、表示部１１４に表示された円形の像の輪郭から対物レンズ１４の中心座標Ｏ（０，０）を求める。次に、像中の各画素〔座標（Ｘｓ，Ｙｓ）〕の光強度Ｉｓを求めた後、各画素についてＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓを計算する。続いて、各画素について求めたＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓをそれぞれ累計し、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）を計算する。そして、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）がゼロか否かを判断し、その累計値がゼロでない又はゼロに近い一定の範囲に入っていなければ、その累計値に応じて対物レンズ１４を水平面に平行に移動して同様の処理、計算を行い、累計値がゼロになるか又はゼロに近い一定範囲に入るまで対物レンズ１４の位置を調整する。
【００２９】
なお、第２実施形態では、光学ユニット１０の収差調整と対物レンズ１４の位置ずれ調整を同一の場所で行うものとしたが、フレーム１４２に回折格子１２０を光軸方向に移動する垂直移動機構（図１参照）を設けることで、受像素子３０，３２の位置調整を含めた３つの調整を同一の場所で行うことができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明のように、本発明に係る光学ユニット調整装置によれば、従来、別々の装置及び場所で行っていた複数の調整作業（光学ユニットの収差調整、結像レンズの位置ずれ調整、受光素子の位置調整）のうち少なくとも２つの調整を同一の場所で行うことができるので、光学ユニットの全調整時間を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る光学ユニット調整装置の第１実施形態の構成を示す図。
【図２】  本発明に係る光学ユニット調整装置の第２実施形態の構成を示す図。
【図３】  対物レンズの位置ずれを示す図（ａ）と、対物レンズの位置ずれを調整するプロセスを示すフローチャート（ｂ）。
【図４】  光学ユニットのレンズ系（対物レンズ）の収差を評価し補正する装置の構成を示す図。
【図５】  回折格子を透過した回折光が干渉する状態を示す図。
【図６】  表示部に表示されるシェアリング干渉像を示す図。
【図７】  シェアリング干渉像の干渉模様を示す図。
【図８】  光学ユニットに含まれる光学系の断面図。
【図９】  受像素子から出力される信号電圧差が光ディスクの光軸方向変移に基づいて変化する様子を示す図。
【符号の説明】
１０…光学ユニット、１２…光源、１４…対物レンズ、３０，３２…受像素子、１２０…透過・反射型回折格子、１２２…水平移動機構、１２４…垂直移動機構、１２６、１５０…対物レンズ調整機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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