(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の間隔でパッケージを支持したテープを巻き出すローダ側のテープキャリアと、パッケージに導電性ボールを搭載した後、前記テープを巻き取るアンローダ側のテープキャリアと、前記ローダ側のテープキャリアからアンローダ側のテープキャリアに向けて前記テープをＸ方向に間歇移送する駆動手段を備えたテープ移送装置と、搭載位置に位置決めされたパッケージのＸ方向位置及び該Ｘ方向と直交するＹ方向位置を検出する検出装置と、下面に前記パッケージの電極パターンと同じ配列で複数の吸着穴が形成されたマスクを有する搭載治具と、前記搭載治具をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動する搬送手段と、前記検出したパッケージの位置と予め設定されている基準位置とを比較して前記搭載治具のＸ，Ｙ方向の補正量を算出する図形処理装置と、導電性ボールの供給手段と、フラックスの供給手段とを備え、前記搭載治具で導電性ボールを吸着し、吸着した導電性ボールの下端を前記フラックスに浸漬して導電性ボールにフラックスを供給した後、前記パッケージに導電性ボールを搭載することを特徴とする導電性ボール搭載装置。
【請求項２】
所定の間隔でパッケージを支持したテープを巻き出すローダ側のテープキャリアと、パッケージに導電性ボールを搭載した後、前記テープを巻き取るアンローダ側のテープキャリアと、前記ローダ側のテープキャリアからアンローダ側のテープキャリアに向けて前記テープをＸ方向に間歇移送する駆動手段を備えたテープ移送装置と、搭載位置に位置決めされたパッケージのＸ方向位置及び該Ｘ方向と直交するＹ方向位置並びにΘ方向の姿勢を検出する検出装置と、下面に前記パッケージの電極パターンと同じ配列で複数の吸着穴が形成されたマスクを有する搭載治具と、前記搭載治具をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動する搬送手段と、前記パッケージを支持して姿勢を補正する支持プレートと、前記検出したパッケージの位置と予め設定されている基準位置とを比較して前記搭載治具のＸ，Ｙ方向の補正量とパッケージのΘ方向の補正量を算出する図形処理装置と、導電性ボールの供給手段と、フラックスの供給手段とを備え、前記搭載治具で導電性ボールを吸着し、吸着した導電性ボールの下端を前記フラックスに浸漬して導電性ボールにフラックスを供給した後、前記パッケージに導電性ボールを搭載することを特徴とする導電性ボール搭載装置。
【請求項３】
前記テープ移送手段が、アンローダ側でテープの両側を挾持して搬送する各一対の搬送ローラおよびピンチローラと、ローダ側でテープの両側を挾持して搬送方向とは逆方向に回転する各一対のテンションローラおよびピンチローラとを備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電性ボール搭載装置。
【請求項４】
前記テープ移送手段が、移送されるテープを案内するテープガイドと、このテープガイドの間隔を調整する調整手段とを設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の導電性ボール搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｃａｌｅ  ＰａｃｋａｇｅまたはＣｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）など、入出力端子の数が多い大規模集積回路のパッケージにはんだボールなどの導電性ボールを搭載するための導電性ボール搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
入出力端子の数が多い大規模集積回路のパッケージを電子回路基板上に搭載する構造として、パッケージの下面に形成された接続端子に突出接点を設け、この突出接点を電子回路基板上の回路電極に接続するようにしたものが提案されている。
【０００３】
パッケージに突出接点を形成する方法として、例えば、特開平４−６９９４５号公報に開示されたものが提案されている。
【０００４】
この形成方法は、配列装置上にパッケージに形成された接続端子と同じ配列で支持された導電性ボールに、搬送用のテープに支持されたパッケージの一つを接触させ、前記テープの上からボンディングツールで加熱し、導電性ボールを溶融させてパッケージの接続端子に転写するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このような方法では、パッケージを通して導電性ボールを加熱するため、導電性ボールをパッケージに転写するまでに時間がかかり生産性が低いものになる。また、パッケージに必要以上の熱衝撃や加圧力を加えることになり、パッケージにクラックなどの損傷を与える原因になることがある。
【０００６】
前記の事情に鑑み、本発明の目的は、パッケージに必要以上の加圧力や熱衝撃を与えることなく、かつ生産性の高い導電性ボールの搭載装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本出願の第１の発明は、所定の間隔でパッケージを支持したテープを巻き出すローダ側のテープキャリアと、パッケージに導電性ボールを搭載した後、前記テープを巻き取るアンローダ側のテープキャリアと、前記ローダ側のテープキャリアからアンローダ側のテープキャリアに向けて前記テープをＸ方向に間歇移送する駆動手段を備えたテープ移送装置と、搭載位置に位置決めされたパッケージのＸ方向位置及び該Ｘ方向と直交するＹ方向位置を検出する検出装置と、下面に前記パッケージの電極パターンと同じ配列で複数の吸着穴が形成されたマスクを有する搭載治具と、該搭載治具をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動する搬送手段と、前記検出したパッケージの位置と予め設定されている基準位置とを比較して前記搭載治具のＸ，Ｙ方向の補正量を算出する図形処理装置と、導電性ボールの供給手段と、フラックスの供給手段とを備え、前記搭載治具で導電性ボールを吸着し、吸着した導電性ボールの下端を前記フラックスに浸漬して導電性ボールにフラックスを供給した後、前記パッケージに導電性ボールを搭載することを特徴とする。
【０００８】
また、第２の発明は、所定の間隔でパッケージを支持したテープを巻き出すローダ側のテープキャリアと、パッケージに導電性ボールを搭載した後、前記テープを巻き取るアンローダ側のテープキャリアと、前記ローダ側のテープキャリアからアンローダ側のテープキャリアに向けて前記テープをＸ方向に間歇移送する駆動手段を備えたテープ移送装置と、搭載位置に位置決めされたパッケージのＸ方向位置及び該Ｘ方向と直交するＹ方向位置並びにΘ方向の姿勢を検出する検出装置と、下面に前記パッケージの電極パターンと同じ配列で複数の吸着穴が形成されたマスクを有する搭載治具と、該搭載治具をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動する搬送手段と、前記パッケージを支持して姿勢を補正する支持プレートと、前記検出したパッケージの位置と予め設定されている基準位置とを比較して前記搭載治具のＸ，Ｙ方向の補正量とパッケージのΘ方向の補正量を算出する図形処理装置と、導電性ボールの供給手段と、フラックスの供給手段とを備え、前記搭載治具で導電性ボールを吸着し、吸着した導電性ボールの下端を前記フラックスに浸漬して導電性ボールにフラックスを供給した後、前記パッケージに導電性ボールを搭載することを特徴とする。
【０００９】
また、第３の発明は、前記第１もしくは第２の発明において、前記テープ移送手段が、アンローダ側でテープの両側を挾持して搬送する各一対の搬送ローラおよびピンチローラと、ローダ側でテープの両側を挾持して搬送方向とは逆方向に回転する各一対のテンションローラおよびピンチローラとを備えた。
【００１０】
さらに、第４の発明は、前記第１ないし第３のいずれかの発明において、前記テープ移送手段が、移送されるテープを案内するテープガイドと、このテープガイドの間隔を調整する調整手段とを設けた。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１ないし図６は、本発明による導電性ボール搭載装置の実施の形態を示すもので、図１は、導電性ボール搭載装置の構成を示す斜視図、図２は、テープ移送装置の配置を示す正面図、図３は、テープ移送装置における幅調整機構のアンローダ側の側面図、図４は、テープ移送装置における幅調整機構のローダ側の側面図、図５は、導電性ボールの搭載位置の平面図、図６は、導電性ボール搭載部の正面図である。
【００１２】
同図において、１はパッケージ。２はテープで、複数のパッケージ１を所定の間隔で支持している。３はローダ側のテープキャリアで、導電性ボール搭載前のパッケージ１を支持したテープ２が巻かれ、支持手段（図示せず）に回転可能に支持されている。４はアンローダ側のテープキャリアで、パッケージ１に導電性ボールを搭載後テープ２を巻き取るように、支持手段（図示せず）に支持され、比較的小さな回転力が付与されている。
【００１３】
図３、図４において、５はベースフレーム。６はベースプレートで、ベースフレーム５の端面に固定されている。７はプレートで、ベースプレート６に固定されている。８はプレートで、ブラケット９を介してプレート７に固定されている。１０はガイドバーで、プレート７、８の間に平行に支持されている。
【００１４】
１１はモータで、ブラケット１２を介してベースプレート６に固定されている。１３はタイミングプーリで、モータ１１の回転軸に固定されている。１４はその軸方向に右ねじ１４ａと左ねじ１４ｂが形成されたねじ軸で、プレート７を貫通し回転可能に支持されている。１５はタイミングプーリで、ねじ軸１４の一端に固定されている。１６はタイミングベルトで、タイミングプーリ１３とタイミングプーリ１５の間に掛け渡されている。
【００１５】
１７、１８は搬送フレームで、前記ガイドバー１０に摺動可能に嵌合するスリーブ１９を介してガイドバー１０に移動可能に支持されている。２０は前記ねじ軸１４の右ねじ１４ａと螺合するナットで、搬送フレーム１７に固定されている。２１は前記ねじ軸１４の左ねじ１４ｂと螺合するナットで、搬送フレーム１８に固定されている。
【００１６】
２３はタイミングプーリで、アンローダ側のねじ軸１４に固定されている。２４はタイミングプーリで、ローダ側のねじ軸１４に固定されている。２５はタイミングベルトで、タイミングプーリ２３とタイミングプーリ２４の間に掛け渡されている。
【００１７】
したがって、モータ１１が作動して、タイミングプーリ１３、タイミングベルト１６およびタイミングプーリ１５を介してアンローダ側のねじ軸１４を回転させると、タイミングプーリ２３、タイミングベルト２５およびタイミングプーリ２４を介してローダ側のねじ軸１４が同時に回転する。そして、各ねじ軸１４には、右ねじ１４ａと左ねじ１４ｂが形成されているため、搬送フレーム１７、１８は互いに近接、離間する方向に同時に移動する。
【００１８】
２６はテープガイドで、図１、図２に示すように、搬送フレーム１７、１８に互いに対向するように固定されている。２７は支持プレートで、搬送フレーム１７、１８の両端部に互いに対向するように固定されている。２９はベースプレートで、ベースフレーム５の上面に固定されている。
【００１９】
３０はモータで、ブラケット３１を介してベースプレート２９に固定されている。３２は軸受で、ベースプレート２９の上面に固定されている。３３はシャフトで、軸受３２に回転可能に支持されている。３４はタイミングプーリで、モータ３０の回転軸に固定されている。３５はタイミングプーリで、シャフト３３の一端に固定されている。３６はタイミングベルトで、タイミングプーリ３４とタイミングプーリ３５の間に掛け渡されている。
【００２０】
３７はスライドシャフトで、前記シャフト３３にスプライン嵌合し、シャフト３３の軸方向に摺動可能に支持されている。３８はベアリングケースで、前記支持プレート２７に固定され、ベアリング３９を介して前記スライドシャフト３７を回転可能に支持している。
【００２１】
４０はシャフトで、前記スライドシャフト３７にスプライン嵌合し、スライドシャフト３７の軸方向に移動可能に支持されている。４１はスプロケットで、シャフト４０に摺動可能に装着され、キィ（図示せず）で結合されている。４２はスペーサカラーで、支持プレート２７を摺動および回転可能に貫通し、シャフト４０に嵌合している。４３はノブで、シャフト４０の一端に形成されたねじに螺合している。
【００２２】
したがって、モータ３０を作動させることにより、タイミングプーリ３４、タイミングベルト３６、タイミングプーリ３５、シャフト３３、スライドシャフト３７およびシャフト４０を介してスプロケット４１を回転させることができる。また、ノブ４３をシャフト４０から外し、スペーサカラー４２をシャフト４０から抜き取りシャフト４０をスライドシャフト３７から抜き取ることにより、スプロケット４１を取り外すことができる。
【００２３】
４４はスライドプレートで、支持プレート２７に螺合するボルト４５により移動可能に支持されている。４６はばねで、支持プレート２７に固定されたピン４７とスライドプレート４４に固定されたピン４８の間に掛け渡され、スライドプレート４４をピン４７側に向けて付勢している。
【００２４】
４９はカラーで、前記スライドプレート４４に固定されている。５０はローラシャフトで、前記支持プレート２７を径方向に移動可能に貫通しカラー４９に軸方向に摺動可能に支持されている。５１はピンチローラで、前記スプロケット４１と対応するように、ローラシャフト５０にベアリング５２を介して回転可能に支持されている。５３はノブで、ローラシャフト５０の一端に形成されたねじに螺合し、ローラシャフト５０をスライドプレート４４に固定している。
【００２５】
なお、図示していないが、前記支持プレート２７には、前記スライドプレート４４を、前記ピンチローラ５１が前記スプロケット４１と係合する位置とは異なり、ピンチローラ５１がスプロケット４１から離れた退避位置に係止する係止手段を備えている。
【００２６】
図４において、５４はブラケットで、ベースプレート２９に固定され、軸受３２を支持している。５５はモータで、ブラケット５４に固定されている。このモータ５５の回転軸はジョイント５６を介してシャフト３３に結合されている。
【００２７】
したがって、モータ５５を作動させることにより、シャフト３３、スライドシャフト３７およびシャフト４０を介してスプロケット４１を回転させることができる。
【００２８】
なお、前記アンローダ側のスプロケット４１は、ローダ側のテープキャリア３からテープ２を引き出す方向に回転され、ローダ側のスプロケット４１は、アンローダ側のテープキャリア４からテープ２を引き出す方向に回転される。したがって、テープ２の引っ張り強度の範囲内で、アンローダ側のスプロケット４１の回転力をローダ側のスプロケット４１の回転力より大きく設定しておくことにより、両スプロケットを同時に回転させて、テープ２に所要の張力を付与しながらテープ２をテープキャリア３からテープキャリア４へ移動させることができる。
【００２９】
５７は原点検出用のドグで、ブラケット５８を介して搬送フレーム１７に固定されている。５９は幅検出用のドグで、ブラケット６０を介して搬送フレーム１８に固定されている。６１は原点検出用のセンサで、ドグ５７の移動経路と対向するようにブラケット６２を介してブラケット９に固定されている。６３は幅検出用のセンサで、それぞれドグ５７、もしくはドグ５８の移動経路と対向するようにブラケット６４を介してブラケット９に固定されている。
【００３０】
図５において、６５は第１のセンサで、ブラケット６６を介してテープガイド２６に、前記テープ移送装置によって移送されるテープ２の上方に位置するように配置されている。６７、６８は第２、第３のセンサで、それぞれブラケット６９、７０を介して搬送フレーム１７、１８に固定されている。なお、前記センサ６５は、移送されるテープ２上のパッケージ１の有無を検出する。また、センサ６７、６８は、テープ２の幅を検出するものである。
【００３１】
図１において、７１は搭載治具で、ホース７２を介して真空供給源７３に接続されている。７４はマスクで、搭載治具７１を介して真空供給源７３に連通する複数の小穴が、パッケージ１の導電性ボール搭載パターンと同じパターンで形成され、搭載治具７１の下面に固定されている。７５は搬送手段で、支持した搭載治具７１をＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動させる。なお、マスク７４に形成される小穴は、吸着する導電性ボールの直径より小さい吸着穴と、導電性ボールの直径より若干大きく、導電性ボールの半径より深く、直径より浅くなるように形成された位置決め穴とからなっている。
【００３２】
７６は導電性ボールとしてのはんだボール。７７は供給箱で、複数のはんだボール７６を収納している。なお、供給箱７７は、その底面に複数のエア吹出口を形成し、はんだボール７６を吹き上げるようにしてもよい。７８はフラックス供給手段で、供給されたフラックスを所要の厚さに引き延ばし、はんだボール７６に供給するように構成されている。
【００３３】
７９ははんだボール搭載部。図５、図６において、８０は回転補正用のモータで、ベース８１に支持されている。８２は支持プレートで、モータ８０の回転軸に固定されている。８３はシリンダで、支持プレート８２に立設されている。８４はパッケージ受台で、シリンダ８３に支持されている。８５はクッションで、パッケージより若干大きく形成され、パッケージ受台８４に固定されている。
【００３４】
８６はクランパで、前記クッション８５を囲うようにパッケージ受台８４に固定されている。８７はシリンダで、支持プレート８２に立設されている。８８はクランパで、テープ２を挾んでクランパ８６と対向するようにシリンダ８７に支持されている。
【００３５】
８９はＣＣＤカメラで、はんだボール搭載部７９の上方に位置するように配置されている。このＣＣＤカメラ８９は、はんだボール搭載部７９に位置決めされたパッケージ１を撮像し、その出力は図示しない画像処理装置に送られ、パッケージ１の位置、姿勢が算出される。
【００３６】
前記の構成で、スライドプレート４４を退避位置へ移動させ係止手段で係止して、ピンチローラ５１をスプロケット４１から離間させる。ノブ４３を外し、スペーサカラー４２、シャフト４０を抜き取り、スプロケット４１を取り外す。
【００３７】
はんだボール７６を搭載するパッケージ１を支持したテープ２の幅により、その幅に対応するセンサ６３を検出可能な状態にする。モータ１１を作動させ、ねじ軸１４を回転させて搬送フレーム１７、１８を移動させる。センサ６３がドグ５７もしくはドグ５９を検出したら、その検出信号によりモータ１１を停止させる。
【００３８】
前記テープ２の幅に合わせたスプロケット４１を支持プレート２７の間に位置させ、シャフト４０を挿入してスプロケット４１を支持させる。さらに、スペーサカラー４２をシャフト４０に挿入してノブ４３で固定する。
【００３９】
テープ２が巻かれたテープキャリア３と空のテープキャリア４をそれぞれ所定の支持手段に取り付ける。テープキャリア３からテープ２を引出、スプロケット４１、テープガイド２６、はんだボール搭載部７９、テープガイド２６およびスプロケット４１を通し、その先端をテープキャリア４に巻きつける。
【００４０】
そして、スライドプレート４４を退避位置からピンチローラ５１がスプロケット４１と係合する位置へ移動させ、ピンチローラ５１でテープ２をスプロケット４１に押し付け、テープ２の浮き上がりを防止する。
【００４１】
一方、搭載治具７１のマスク７４を、テープ２に支持されたパッケージ１に対応したマスク７４と交換する。
【００４２】
モータ３０とモータ５５を作動させ、テープ２に所要の張力を与えながらテープ２をテープキャリア４に巻き取る。このとき、センサ６７もしくは６８でテープ２の幅を確認する。センサ６５の下にパッケージ１が到達すると、センサ６５がパッケージ１を検出して検出信号を発信する。
【００４３】
センサ６５から検出信号が発信された後、スプロケット４１が一定の回転数に達すると、パッケージ１がはんだボール７６の搭載位置に到達し、モータ３０とモータ５５が停止する。この時、テープ２には所定の張力がかかっている。
【００４４】
シリンダ８３が作動して、パッケージ受台８４を上昇させ、クッション８５およびクランパ８６をテープ２の下面に接触させるとともに、シリンダ８７が作動して、クランパ８８を下降させ、テープ２の上面に接触させて、クランパ８６とクランパ８８でテープ２を挾持し固定する。すると、モータ３０とモータ５５がテープ２の移送時とは逆方向に作動して、テープ２にかかる張力を解除する。
【００４５】
ＣＣＤカメラ８９がパッケージ１を撮像し、その結果を図形処理装置に送る。図形処理装置は、ＣＣＤカメラ８９の撮像結果に基づいてパッケージ１の位置、姿勢を算出し、予め設定されている基準位置、姿勢との比較によりパッケージ１の回転方向の補正量と、搭載治具７１のＸ、Ｙ方向の停止位置の補正量を算出する。
【００４６】
パッケージ１の姿勢を補正する必要があるときには、前記算出結果に基づいて、モータ８０が作動して支持プレート８２をΘ方向に回転させることにより、パッケージ受台８４を回転させ、介してパッケージ１の姿勢を補正して待機する。
【００４７】
一方、搬送手段７５は、搭載治具７１を供給箱７７の開口部に嵌合させる。真空供給源７３からの真空圧を搭載治具７１に接続するとともに、供給箱７７の底面から圧縮空気を噴出して、供給箱７７内のはんだボール７６をマスク７４に向けて吹き上げる。この状態で一定時間経過すると、マスク７４に形成された複数の小穴の全てにはんだボール７６が吸着される。このとき、はんだボール７６の一部はマスク７４の下面より下方に突出している。
【００４８】
搬送手段７５は、はんだボール７６を吸着した状態で搭載治具７１を供給箱７７から引き上げ、フラックス供給手段７８の上方へ移動させる。そして、搭載治具７１を、吸着したはんだボール７６の下端部がフラックスに浸漬される位置まで下降させる。このとき、搭載治具７１の下降端は、マスク７４の下端面がフラックスに接触しない位置とする。はんだボール７６をフラックスに浸漬することにより、はんだボール７６に所定量のフラックスを供給することができる。
【００４９】
搬送手段７５は、フラックス供給手段７８から搭載治具７１を引き上げ、はんだボール搭載部７９の上方へ移動し、姿勢が補正されて待機するパッケージ１の上方に搭載治具７１を位置決めする。このとき、搭載治具７１のＸ、Ｙ方向の位置は、前記画像処理装置によって算出された補正量により、搬送手段７５のＸ、Ｙ方向の移動量を補正する。
【００５０】
パッケージ１とマスク７４の基準位置を一致させた後、搬送手段７５は、搭載治具７４を下降させ、搭載治具７４に吸着したはんだボール７６をパッケージ１に押しつける。すると、はんだボール７６は付着しているフラックスによりパッケージ１に搭載される。このとき、過大な押付力が作用すると、クッション８５が余分な押付力や衝撃力を吸収する。
【００５１】
はんだボール７６がパッケージ１に搭載されると、搭載治具７１に供給されていた真空圧が遮断され、搭載治具７１の内部が大気圧に連通されて、はんだボール７６の吸着を解除する。すると、搬送手段７５は、搭載治具７１を上昇させて次のはんだボール７６の吸着に向かう。
【００５２】
一方、パッケージ１にはんだボール７６が搭載されると、モータ８０が作動して、支持プレート８２をパッケージ１の姿勢補正時とは逆方向に回転させ、テープ２の曲がりを解除する。また、シリンダ８３とシリンダ８７が作動して、パッケージ受台８４、クッション８５およびクランパ８６を下降させ、クランパ８８を上昇させてテープ２を開放する。
【００５３】
モータ３０とモータ５５が作動して、テープ２に所要の張力を与えながらテープ２を次のパッケージ１が搭載位置に到達するまでテープキャリア４側に移送する。テープキャリア４側のスプロケット４１から送り出されたテープ２は、テープキャリア４に巻き取られる。
【００５４】
このような操作を繰り返すことによりテープ２に支持されたパッケージ１に順次はんだボール７６を搭載することができる。
【００５５】
本実施の形態によれば、パッケージ１を支持するテープ２の幅が変わっても、搬送フレーム１７、１８の間隔を変更し、かつスプロケット４１を交換するだけで対応することができ、テープ２の幅にあわせて複数台の装置を配置する場合に比較して、装置の休止時間を減らして稼動率を向上させることができる。
【００５６】
図７は、本発明における導電性ボール搭載部の他の実施の形態を示す正面図である。
【００５７】
同図において、図６と同じものは同じ符号をつけて示してある。９０は旋回機構で、前記搬送手段７５に支持され、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に移動する。この旋回機構９０の旋回軸に、搭載治具７１が支持されている。
【００５８】
このような構成とすることにより、前記クランプ８６、８８をなくし、テープ２に張力を付与した状態でパッケージ１にはんだボール７６を搭載することができる。したがって、第１の実施の形態に比べ、装置の構成、制御を簡略にすることができる。
【００５９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、パッケージに必要以上の加圧力を加えることなく、生産性の高い導電性ボールの搭載装置を提供することができる。また、品種の切り替えによってパッケージを支持するテープの幅が変わっても、容易に対応することができ、装置全体の稼動率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による導電性ボール搭載装置の構成を示す斜視図。
【図２】図１におけるテープ移送装置の配置を示す正面図。
【図３】テープ移送装置における幅調整機構のアンローダ側の側面図。
【図４】テープ移送装置における幅調整機構のローダ側の側面図。
【図５】導電性ボールの搭載位置の平面図。
【図６】導電性ボール搭載部の正面図。
【図７】導電性ボール搭載部の他の実施の形態を示す正面図。
【符号の説明】
１…パッケージ、２…テープ、３…テープキャリア、４…テープキャリア、
１１…モータ、１４…ねじ軸、１７…搬送フレーム、１８…搬送フレーム、
２０…ナット、２１…ナット、２６…テープガイド、２７…支持プレート、
３０…モータ、３３…シャフト、３７…スライドシャフト、４０…シャフト、
４１…スプロケット、５１…ピンチローラ、５５…モータ、７１…搭載治具、
７４…マスク、７５…搬送手段、７６…はんだボール、７７…供給箱、
７８…フラックス供給手段、８０…モータ、８４…パッケージ受台、
８６…クランパ、８８…クランパ、８９…ＣＣＤカメラ、９０…旋回機構。
【図１】
0003950946.tif 000002
【図２】
0003950946.tif 000003
【図３】
0003950946.tif 000004
【図４】
0003950946.tif 000005
【図５】
0003950946.tif 000006
【図６】
0003950946.tif 000007
【図７】
0003950946.tif 000008