(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの主要ガス成分を含有するガス混合物から、圧力変動吸着方法により前記主要ガス成分を分離して採取するガス分離方法において、
前記ガス混合物を加圧した後、第１の主要ガス成分に対して難吸着性であって第２の主要ガス成分に対して易吸着性である第１の吸着剤が充填された第１の吸着筒に導入して第１の主要ガス成分を第１の製品ガスとして分離するＡ工程と、
このＡ工程が終了した後に第１の吸着筒を大気圧に減圧して第１の吸着剤を再生するＢ工程と、
前記ガス混合物を加圧した後、第１の主要ガス成分に対して易吸着性であって第２の主要ガス成分に対して難吸着性である第２の吸着剤が充填された第２の吸着筒に導入して第２の主要ガス成分を第２の製品ガスとして分離するＣ工程と、
このＣ工程が終了した後に第２の吸着筒を大気圧に減圧して第２の吸着剤を再生するＤ工程とを有し、
Ａ工程とＤ工程を同時に実施し、Ｂ工程とＣ工程を同時に実施し、
Ａ工程とＤ工程を同時に実施する工程と、Ｂ工程とＣ工程を同時に実施する工程を交互に繰り返し、
Ｂ工程で第１の吸着筒から排出される第２の主要ガス成分およびＤ工程で第２の吸着筒から排出される第１の主要ガス成分を前記ガス混合物に循環させ、
前記ガス混合物がクリプトン及びゼノンの少なくとも１成分を含む窒素であり、前記第１の吸着剤が窒素を選択的に吸着するゼオライトであり、前記第２の吸着剤がクリプトン及びゼノンの少なくとも１成分を選択的に吸着する活性炭であり、
前記Ａ工程と前記Ｃ工程とが、各Ａ、Ｃ工程で分離する製品ガスを製品槽に蓄積する工程を備えてなるとともに、各Ａ、Ｃ工程の後に、前記製品槽内の製品ガスを用いて、該製品ガスを分離した吸着剤をパージ洗浄する工程を行うことを特徴とするガス分離方法。
【請求項２】
請求項１記載のガス分離方法において、第１の吸着剤がＮａ−Ａ型ゼオライトであることを特徴とするガス分離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の成分を含有するガス混合物から、有用な成分ガスを分離回収するガス分離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
空気を原料として、空気を構成している酸素及び窒素の両成分を分離し、回収する方法として、従来より深冷空気分離方法が広く採用されている。この方法は原料空気を液化し、酸素と窒素との沸点の差違を利用して精留分離するもので、そのための分離装置設備に多大の投資を必要とすることから、比較的大量に消費する設備に供給するための、大規模な量の生産に適しているとされている。
【０００３】
又、上記空気成分の分離回収方法として、吸着剤を使用して分離する圧力変動吸着（プレッシャー・スイング・アドソープション、以下「ＰＳＡ」という）法による分離方法が、近年広く採用されている。この方法は、例えば空気を原料として酸素を製品として分離回収しようとする場合、吸着剤としてゼオライトを使用して、このゼオライトを充填した吸着筒に、空気を加圧して流通せしめると、易吸着成分である窒素が前記ゼオライトの吸着剤に吸着固定され、一方難吸着成分である酸素が吸着筒を通過して流出する（吸着工程）。次いで、ゼオライト吸着剤を充填した吸着筒を前記吸着工程よりも低い圧力に減圧するよう、吸着筒内を大気圧に向けて解放すると、前記吸着工程ゼオライト吸着剤に吸着固定された窒素が脱着されて、吸着筒より流出して回収される（再生工程）。
【０００４】
このようなＰＳＡ法によるガスの分離方法では、相対的に高い圧力で吸着工程を行い、そして相対的に低い圧力で再生工程を行い、これを短い時間で順次切替操作して繰り返すので、吸着剤の単位質量当たりの所望製品の回収採取量を高くすることが容易であり、それ故、設備がコンパクトな装置になる利点がある。
【０００５】
例えば、２筒の吸着筒を用いて、前記した吸着工程、再生工程のＰＳＡ操作をそれぞれの筒で異なる工程にして交互に行うと、同一の所望製品を連続的に採取することができる。そして、多くの場合、吸着剤に吸着固定されずに吸着筒を通過して流出する難吸着成分を高純度の製品として採取している。これは、吸着筒から導出される成分の純度によるところが大きく、易吸着成分を所望する採取製品とする場合、吸着剤には易吸着成分が吸着されると同時に難吸着成分が少々吸着されるとともに、吸着剤間の空隙にも難吸着成分が存在するので、吸着筒の減圧再生工程で吸着筒から脱着ガスとともに難吸着ガスが導出される。したがって、製品とすべき易吸着成分中にはかなりの量の難吸着成分を含むこととなる。なお、この再生工程で脱着導出される易吸着成分と難吸着成分との混合割合は、使用する吸着剤の特性に依存するものである。
【０００６】
このようなことより、上記易吸着成分を高純度化して製品として採取する場合には、再生工程で吸着工程に入る前に、製品とされた易吸着成分（前工程で脱着導出して採取された）を用いて、吸着工程終了後の状態にある吸着筒内をパージする工程を行うことが必要となり、分離採取するための工程を複雑化するとともに、前記パージのために圧縮機を追加することが必要となる等、設備の構成機器を増大せしめることとなっていた。
【０００７】
又、従来のＰＳＡ法によるガスの分離方法や装置においては、所望する高純度の製品ガスを分離採取するに当たっては、複数成分よりなるガス混合物中の１成分のみを目標成分にすることが多かった。
ＰＳＡ法により、ガス混合物を構成している成分から複数成分を高純度で製品として分離採取しようとする試みは、例えば特開昭５５−１４７１１９号公報に開示された技術が提案されている。該公報に開示されている技術は、空気を原料として、空気中に含まれているＨ2Ｏ及びＣＯ2を選択的に吸着する吸着剤を充填した予備処理カラム、及び酸素より窒素を選択的に吸着する吸着剤を充填した主カラムとからなる吸着装置を使用したもので、酸素を富化した酸素富化空気と高純度の窒素との２種の製品を分離採取する方法に関するものである。
【０００８】
上記した特開昭５５−１４７１１９号公報に開示された、従来のＰＳＡ法による空気の分離方法について、図３の系統概略図を参照して説明する。
この方法に使用するＰＳＡ法空気分離装置５０では、Ｈ2Ｏ及びＣＯ2を選択的に吸着する吸着剤を充填した予備処理カラムＹ1、Ｙ2、及び窒素を選択的に吸着するゼオライトのごとき吸着剤を充填した主カラムＺ1、Ｚ2とが、それぞれ予備処理カラムＹ1−主カラムＺ1、予備処理カラムＹ2−主カラムＺ2と連結して２組の処理装置が、原料空気の供給を交互に切替可能に行えるように連結されている。そして、一方の１組に原料空気を供給して窒素成分を吸着し酸素富化空気を採取している間（吸着工程）、他方の１組は前工程の吸着工程で吸着剤に吸着された窒素成分を脱着して高純度窒素を導出して採取する（再生工程）。
【０００９】
即ち、例えば、予備処理カラムＹ1−主カラムＺ1の組が吸着工程にあって、予備処理カラムＹ2−主カラムＺ2の組が再生工程にある場合には、次のごとき運転状態とされる。
予備処理カラムＹ1−主カラムＺ1での吸着工程では、原料空気が管路５１に導入され、弁Ｖ51を介してブロワー５２で所定圧力に加圧された状態で管路５３、弁Ｖ52、及び管路５４を介して予備処理カラムＹ1に供給される。そして該予備処理カラムＹ1でＨ２Ｏ及びＣＯ２が吸着除去され、次いで弁Ｖ53を介して吸着剤ゼオライトが充填された主カラムＺ1に供給される。そして主カラムＺ1を通過する際、空気中の窒素成分が吸着剤に吸着され、吸着されない酸素成分が富化されて酸素富化空気となり、この酸素富化空気が管路５５に導出されて、弁Ｖ54、管路５６を経て酸素富化空気貯槽５７に採取貯蔵される。そして管路５８によって適宜使用先に供給される。
【００１０】
一方、再生工程にある予備処理カラムＹ2−主カラムＺ2は、まず弁Ｖ65を開状態にして、主カラムＺ2に滞留する酸素成分を含む窒素ガスを管路６５より導出し、弁Ｖ65、管路６９、及び管路６０を介して排出ガス貯槽６１に貯蔵する。該排出ガスは予備処理カラムＹ1、Ｙ2の再生洗浄用に使用される。その後、前記弁Ｖ65を閉止し、弁Ｖ63、Ｖ66を開状態にするとともに、真空ポンプ６２を駆動して、主カラムＺ2の吸着剤に吸着されている窒素成分を脱着し、Ｖ63、予備処理カラムＹ2、管路６４，弁Ｖ66、管路６３、管路６７を介して真空ポンプ６２に吸引し、窒素貯槽６８に製品として高純度窒素ガスを採取貯蔵する。そして、管路７０より適宜使用先に供給される。
【００１１】
このようにして、予備処理カラムＹ1−主カラムＺ1の組と予備処理カラムＹ2−主カラムＺ2組とは、吸着工程と再生工程とを適宜弁操作により工程を交互に切り替えて運転される。然るに、上記した製品窒素を、純度を維持して採取するため、再生工程後、吸着工程に先駆けて、採取された窒素を窒素貯槽６８より管路７１の弁V67、管路７２の循環ブロワー７３、管路７４の弁Ｖ７５又は弁Ｖ７６を介して主カラムＺ1、又はＺ2に導入し、洗浄工程を行って、主カラムＺ1又はＺ2内の窒素成分濃度をより一層高めておいて、製品窒素の高純度化を達成せしめていた。
【００１２】
しかしながら、再生工程での窒素の脱着は、吸着工程における原料空気の導入流に対して向流で行われるため、再生工程で脱着して得られる高純度窒素は予備処理カラムを通って導出されるので、予備処理カラムで吸着されていたＨ2Ｏ、ＣＯ2が導出される高純度窒素に同伴されてきて、高純度窒素の不純物として含まれることとなる。それ故、これらを除く必要が生じ、これらを除くためには、追加のブロワー等の送気手段や、乾燥器等の精製手段が必要となり、設備全体の構成が複雑化するとともに、増大し、更には設備価格を高めることとなる。
【００１３】
又、特開平１−２９７１１９号公報には、前記した特開昭５５−１４７１１９号公報に開示されている空気の分離方法と基本的な構成は類似しているが、濃縮して得られた製品窒素によって主カラムを洗浄する洗浄工程で排出される酸素を比較的高濃度に含有する排出ガスを、特開昭５５−１４７１１９号公報の方法では原料空気の系統に回収していたのを、特開平１−２９７１１９号公報の方法では、製品として酸素富化空気の一部として採取するようにした点に相異が認められる。しかしながら、採取する製品窒素に不純物としてＨ2Ｏ、ＣＯ2が含有してくるという、不都合な点や、全体構成が複雑である点等においては、両者に共通している。
【００１４】
更に又、特開昭５２−５２１８１号公報には、吸着特性の異なる２種類の吸着剤、モレキュラシーブカーボン（分子篩活性炭、以下「ＭＳＣ」という）とゼオライトを用いて、これらの吸着剤を充填した吸着床を連鎖して連結せしめて構成し、これらの連鎖的に連結した吸着床に原料を順次接触通過せしめて、９９％の高純度酸素ガスを採取する方法が開示されている。この方法は、ゼオライトを吸着剤として使用して空気から酸素を採取する方法が、ゼオライトの吸着特性から採取される製品酸素中にアルゴンが含有されることとなって、吸着分離後の酸素濃度の上限がせいぜい９５％程度であって、９５％以上の濃度の酸素を得るため、原料のガス混合物の組成に対応して、それぞれの組成に応じて異なる吸着特性の吸着剤を用いて、吸着分離するようにして、採取すべき酸素の濃度の高濃度化を図ったものである。
【００１５】
しかし、この特開昭５２−５２１８１号公報に開示されている吸着分離方法は、第１の吸着剤を充填した吸着床から導出して得られるガス混合物が、原料ガスに対して主要ガス成分の含有比率が高められた状態にあって、連鎖されている次の第２の吸着床への供給原料として使用されたり、あるいは連鎖連結されている吸着床の最後の吸着床からの製品ガスとして使用されることを特徴としている。それ故、装置の構成として、一方の吸着床からの脱着ガスを他方の吸着床又は自らの吸着床に再循環する送気用のポンプユニットを設備する必要となり、装置構成が複雑となるばかりか、設備費用も高価となることは避けられない不都合があった。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来のＰＳＡ法によるガス分離方法と装置にあっては、採取される高純度の製品は、原料であるガス混合物中の１成分のみを対象として分離採取することが多く、複数の成分を高純度で分離採取して製品とするのに適した優れた方法や装置が無く、その出現が望まれていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ガス混合物よりこれを構成している複数成分を同時に高純度の濃度にして分離採取することを可能とし、かつ装置設備が簡略で装置価格が安価であるとともに、操作が容易なＰＳＡ法によるガス分離方法と装置を提供することを本発明の課題とするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するため、
請求項１にかかる発明は、少なくとも２つの主要ガス成分を含有するガス混合物から、圧力変動吸着方法により前記主要ガス成分を分離して採取するガス分離方法において、
前記ガス混合物を加圧した後、第１の主要ガス成分に対して難吸着性であって第２の主要ガス成分に対して易吸着性である第１の吸着剤が充填された第１の吸着筒に導入して第１の主要ガス成分を第１の製品ガスとして分離するＡ工程と、
このＡ工程が終了した後に第１の吸着筒を大気圧に減圧して第１の吸着剤を再生するＢ工程と、
前記ガス混合物を加圧した後、第１の主要ガス成分に対して易吸着性であって第２の主要ガス成分に対して難吸着性である第２の吸着剤が充填された第２の吸着筒に導入して第２の主要ガス成分を第２の製品ガスとして分離するＣ工程と、
このＣ工程が終了した後に第２の吸着筒を大気圧に減圧して第２の吸着剤を再生するＤ工程とを有し、
Ａ工程とＤ工程を同時に実施し、Ｂ工程とＣ工程を同時に実施し、
Ａ工程とＤ工程を同時に実施する工程と、Ｂ工程とＣ工程を同時に実施する工程を交互に繰り返し、
Ｂ工程で第１の吸着筒から排出される第２の主要ガス成分およびＤ工程で第２の吸着筒から排出される第１の主要ガス成分を前記ガス混合物に循環させ、
前記ガス混合物がクリプトン及びゼノンの少なくとも１成分を含む窒素であり、前記第１の吸着剤が窒素を選択的に吸着するゼオライトであり、前記第２の吸着剤がクリプトン及びゼノンの少なくとも１成分を選択的に吸着する活性炭であり、
前記Ａ工程と前記Ｃ工程とが、各Ａ、Ｃ工程で分離する製品ガスを製品槽に蓄積する工程を備えてなるとともに、各Ａ、Ｃ工程の後に、前記製品槽内の製品ガスを用いて、該製品ガスを分離した吸着剤をパージ洗浄する工程を行うことを特徴とするガス分離方法である。
【００１８】
請求項２にかかる発明は、請求項１記載のガス分離方法において、第１の吸着剤がＮａ−Ａ型ゼオライトであることを特徴とするガス分離方法である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下本発明のガス分離方法及び装置の実施の形態について図面を参照して説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明のＰＳＡ法によるガス分離方法の第１の実施形態を説明する系統図である。この第１の実施形態では、原料のガス混合物Ｍとして空気ＭAを用い、その主要ガス成分である酸素及び窒素を製品ガスとして分離採取するものである。
本実施形態の装置は、原料ガス混合物Ｍとして空気ＭAを圧縮する圧縮機１、空気ＭAの主要ガス成分である酸素（Ｏ２）及びび窒素（Ｎ２）に対し、それぞれ異なった吸着特性を持つ吸着剤を充填した吸着筒２Ａ、２Ｂが設備されている。即ち、吸着筒２Ａには窒素を選択的に吸着し、酸素成分を吸着し難いゼオライトを充填し、吸着筒２Ｂには酸素を選択的に吸着し、窒素成分を吸着し難い分子篩活性炭（ＭＳＣ 、「Molecular Sieving Carbon」の略 ）を充填してなるものである。そしてこれらの原料ガスの圧縮機１、吸着筒２Ａ、及び吸着筒２Ｂの構成機器は、原料の空気ＭAを吸着筒２Ａ、２Ｂそれぞれに切替導入し、流通せしめて、導出ガスを回収するよう管路と必要な弁によって連結されている。
【００２０】
原料の空気ＭAは圧縮機１で１００ｋＰａ〜１０００ｋＰａの圧力（以降ゲージ圧力を示す。）、好ましくは２００ｋＰａ〜８００ｋＰａの圧力まで圧縮され、管路３、管路４を流通して、原料供給弁５ａより吸着筒２Ａに導入する。吸着筒２Ａには前述のごとく窒素を選択的に吸着するゼオライトが充填されているので、導入された原料空気ＭAから易吸着成分である窒素（Ｎ2）を優先的に吸着し、難吸着性成分である酸素（Ｏ2）が出口側に導出され、製品導出弁６ａを介して管路７より酸素濃度８５〜９５％（以降％は容積％を示す。）の酸素富化ガスＭOが製品として得られる。
【００２１】
この間、吸着筒２Ａでは、吸着開始から時間の経過とともに、充填されているゼオライトは窒素を吸着した領域が吸着筒２Ａの出口に向かって順次前進する。そして、吸着筒２Ａの出口の管路７より導出される酸素富化ガスＭOの中に含まれる窒素分が許容できる範囲を超えた時、該吸着筒２Ａでの吸着工程を終了せしめる。即ち、原料供給弁５ａと製品導出弁６ａを閉とする。これとともに、吸着筒２Ｂに連結されている原料供給弁５ｂと製品導出弁６ｂを開状態にする。
【００２２】
このようにして原料供給弁５ｂと製品導出弁６ｂ弁を開状態とした結果、原料の空気ＭAは吸着筒２Ａへの導入に代わって、管路８、原料供給弁５ｂを介して吸着筒２Ｂに導入される。吸着筒２Ｂには前記した如く酸素を選択的に吸着する分子篩活性炭（ＭＳＣ）が充填されていて、該吸着筒２Ｂに導入された原料の空気ＭAは分子篩活性炭（ＭＳＣ）で易吸着成分である酸素（Ｏ2）が選択的に吸着されて、難吸着性成分である窒素（Ｎ2）が出口側に押し出され製品導出弁６ｂを介して管路９に流出して窒素濃度９９〜９９．９９％の窒素富化ガスＭNが製品として得られる。
【００２３】
この間、吸着筒２Ｂにおいて、吸着開始から時間の経過とともに、充填されている分子篩活性炭（ＭＳＣ）は酸素を吸着した領域が吸着筒２ｂの出口に向かって順次前進する。そして、吸着筒２ｂの出口の管路９より導出される窒素富化ガスＭN中に含まれる酸素分が許容できる範囲を超えた時に、原料供給弁５ｂと製品導出弁６ｂとを閉止して、吸着筒２Ｂの吸着工程を打ち切る。そして同時に、これに代えて、吸着筒２Ａに連接してある原料供給弁５ａ、製品導出弁６ａを開状態として、原料の空気ＭAを、先の吸着工程後の再生工程によって充填されているゼオライトを再生せしめておいた吸着筒２Ａに、供給するように切り替えて、再度酸素富化ガスＭOを製品として採取する。
以下同様な弁の切替操作を繰り返して行って、原料の空気ＭAを吸着筒２Ａと吸着筒２Ｂに切り替えて供給するようにして、一方の吸着筒２Ａより酸素富化ガスＭOを製品として採取し、他方の吸着筒２Ｂより窒素富化ガスＭNを製品として採取する。
【００２４】
上記した如く、一方の吸着筒２Ａ又は２Ｂが吸着工程にして運転している間、他方の吸着筒２Ｂ又は２Ａは、それぞれの吸着筒に充填されている吸着剤が前工程の吸着工程で易吸着成分によって飽和状態となっているので、これを脱着せしめて排除して再生するための再生工程がなされる。
この再生工程は次の如き態様で行われる。
例えば、前工程で吸着工程を終えた吸着筒２Ａの再生工程とする場合、原料供給弁５ａ及び製品導出弁６ａを閉とした後、吸着筒２Ａに配設した排気弁１０ａを開として吸着筒２Ａ内を大気に開放して、吸着剤及び筒内に保持されたガスを管路１１から大気に放出する。これにより、吸着筒２Ａ内の圧力が下がるとともに、吸着剤（ゼオライト）に吸着されていた窒素分が脱着して、再生するものである。再生後は前記排気弁１０ａを閉止し次回の吸着工程の運転まで待機する。
なお、吸着筒２Ｂにおける再生工程も同様な態様で行うものである。この場合、原料供給弁５ｂ及び製品導出弁６ｂを閉とした後、吸着筒２Ｂに配設した排気弁１０ｂを開として吸着筒２Ｂ内を大気に開放して、吸着剤及び筒内に保持されたガスを管路１２から大気に放出する。再生後は前記排気弁１０ｂを閉止し次回の吸着工程の運転まで待機する。
【００２５】
ここで、両吸着筒２Ａ、２Ｂにおける吸着工程／再生工程、即ち吸着筒２Ａの吸着工程時における吸着筒２Ｂの再生工程時間、吸着筒２Ａの再生工程時における吸着筒２Ｂの吸着工程時間の如き、吸着工程と再生工程とのそれぞれ相互間の時間は、対応した関係であることが望ましいが、どちらかの工程を長くすることも可能である。その時、時間を長くする必要のない工程はそのまま工程を継続するか、あるいはすべての弁を閉じて休止待機状態とすればよい。
【００２６】
上記した実施の形態では、空気ＭAを原料ガス混合物Ｍとし、酸素富化ガスＭOと窒素富化ガスＭNをそれぞれ分離採取する例について説明したが、原料ガス混合物Ｍとして、主要ガス成分をクリプトン及び窒素とした場合には、異なる吸着特性を持つ吸着剤として、Ｎａ−Ａ型ゼオライトと活性炭を使用することによっても、これらを分離採取することができる。
この場合、圧縮機１で圧力１００ｋＰａ〜２０００ｋＰａまで、好ましくは２００ｋＰａ〜１０００ｋＰａまでに圧縮されたガス混合物を、クリプトン濃度９９〜９９．９９９％のクリプトン富化ガスと、窒素濃度９９〜９９．９９９％の窒素富化ガスとに分離し、両者が製品として得られる。
【００２７】
＜第２の実施の形態＞
次に、第２の実施の形態を図２に図示した系統図を参照して説明する。この第２の実施の形態の特徴は、上記した図１に図示した第１の実施の形態における、吸着筒２Ａ及び吸着筒２Ｂのそれぞれの製品を導出する管路７及び管路９に、製品槽１３Ａ、１３Ｂを連設して設け、それぞれの吸着筒２Ａ及び吸着筒２Ｂでの吸着工程で採取される各製品をそれぞれ、これら製品槽１３Ａ及び製品槽１３Ｂに貯蔵するとともに、各吸着筒２Ａ、２Ｂの再生工程時において各吸着筒にパージガスとして流すようにしたものである。以下にこれを説明する。
【００２８】
図２において、図１と共通する機器については図１と同一符号を付して詳細な説明は省略する。
上記した第１の実施の形態での如き吸着筒２Ａの吸着工程で、製品導出弁６ａ、管路７より導出した製品酸素富化ガスＭOは、酸素富化ガス製品槽１３Ａに導入されて貯蔵され、貯蔵された製品は管路１４より適宜使用先に供給される。そして吸着筒２Ａの吸着工程が終了すると、吸着工程は吸着筒２Ｂに切替弁操作され該吸着筒２Ｂに原料空気Ｍが導入され、吸着筒２Ａは再生工程に操作運転される。
【００２９】
この実施の形態の吸着筒２Ａの再生工程では、パージ弁１６ａ、排気弁１０ａを開にして、製品槽１３Ａから管路１５、パージ弁１６ａを通して製品槽１３Ａに貯蔵されている酸素富化ガスＭOを逆流させ吸着筒２Ａ内に導入し、吸着剤ゼオライトに吸着している窒素（Ｎ2）を脱着同伴して排気弁１０ａ、管路１１から系外に放出する。このようにすることで吸着筒２Ａ内の吸着剤（ゼオライト）に吸着されている成分（窒素）が、吸着工程中に製品として採取された難吸着性成分（酸素富化ガスＭO）でパージされ、易吸着性成分の脱着が促進される。
【００３０】
又、吸着筒２Ｂの再生工程でも同様な操作によって製品である窒素富化ガスＭNによってパージして吸着筒２Ｂに充填されている吸着剤分子篩活性炭ＭＳＣを再生する。即ち、この場合、パージ弁１６ｂ、排気弁１０ｂを開にして、製品槽１３Ｂから管路１８、パージ弁１６ｂを通して、吸着工程時に分離採取して製品槽１３Ｂに貯蔵されている窒素富化ガスＭNを逆流させ吸着筒２Ｂ内に導入し、吸着剤分子篩活性炭ＭＳＣに吸着している酸素（Ｏ2）を脱着同伴して排気弁１０ｂ、管路１２から系外に放出する。このようにすることで吸着筒２Ｂ内の吸着剤（分子篩活性炭ＭＳＣ）に吸着されている成分（酸素）が、吸着工程中に製品として採取された難吸着性成分（窒素富化ガスＭN）でパージされ、易吸着性成分の脱着が促進され、効率よく、かつ脱着効果を向上せしめて再生することが出来る。
【００３１】
上記第１の実施の形態及び第２の実施の形態におけるガス分離装置の吸着筒２Ａ及び吸着筒２Ｂのそれぞれの出口側の管路７及び９に個別に均圧タンク（図示せず）を配設しておいて、吸着工程終了後の再生工程に先駆けて吸着筒内の製品に近い濃度のガスを均圧タンクに導入して回収して貯蔵しておく。そして、再生工程終了後に、より低圧状態にある当該吸着筒に、前記均圧タンクに回収した製品に近い濃度のガスを、両者が等圧になるよう均圧タンクより導入して戻すことにより、供給した原料ガスを無駄なく有効に使用することとなり、製品の回収率を向上せしめることが出来る。
【００３２】
なお、上記実施の形態では、主要成分が２成分での分離例について説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、他のガス成分が混在している多成分系においても、各ガス成分に対応する吸着剤を用いた吸着筒を設備付加することにより、前記各実施の形態と同様に、多種の異種成分をそれぞれ同時に採取できる作用効果を奏することは勿論である。
【００３３】
【実施例】
＜実施例１＞
図１に図示する装置を用いて、一方の吸着筒２ＡにＮａ−Ｘ型ゼオライト、他方の吸着筒２Ｂに分子篩活性炭ＭＳＣを充填して使用した。両吸着筒ともそれぞれの吸着剤の原料空気流入端側に水分吸着除去用として活性アルミナを充填して配した。圧縮機１を用いて空気ＭAを７００ｋＰａに圧縮して、原料ガス混合物Ｍとして吸着筒２Ａ及び吸着筒２Ｂにそれぞれ供給した。そして、Ｎａ−Ｘ型ゼオライトを充填した吸着筒２Ａからは酸素９３％の酸素富化ガスを、分子篩活性炭ＭＳＣを充填した吸着筒２Ｂからは窒素９９％の窒素富化ガスを得ることができた。
【００３４】
なお、本実施例において、ゼオライトはＮａ−Ｘ型に限られるものではなく、Ｎａ−Ｘ型ゼオライトのＮａイオンの一部又は全部を他のアルカリあるいはアルカリ土類金属でイオン交換したゼオライト、Ｃａ−Ａ型ゼオライト、モルデナイト等を使うこともできる。
【００３５】
＜実施例２＞
図１に図示する装置を用いて、一方の吸着筒２ＡにＮａ−Ａ型ゼオライト、他方の吸着筒２Ｂに活性炭を充填して用いた。圧縮機１を用いて乾燥した窒素とクリプトンのガス混合物を原料ガス混合物Ｍとして７００ｋＰａに圧縮した後、吸着筒２Ａ及び吸着筒２Ｂのそれぞれに供給し、ゼオライトを充填した吸着筒２Ａからは純度９９．９９％のクリプトン富化ガスを、活性炭を充填した吸着筒２Ｂからは純度９９．５%の窒素富化ガスを得ることができた。
【００３６】
次に、本実施例２において、原料ガス混合物Ｍを窒素とゼノンのガス混合物に変更して圧縮機１により前記と同じ圧力に加圧して、前記した吸着剤を充填した各吸着筒２Ａ及び吸着筒に２Ｂに供給したところ、クリプトンと同様に、Ｎａ−Ａ型ゼオライトを充填した吸着筒２Ａから、純度９９．９９％のゼノン富化ガスが導出され、活性炭を充填した吸着筒２Ｂからは、純度９９．５％の窒素富化ガスを得ることができた。
本実施例２で分離採取したクリプトンおよびゼノンは極めて希少なガスであり、該ガスを分離系の系外に排出することは経済的に適当でない。そこで、図１に図示された排ガスの管路１１、管路１２を圧縮機１の原料吸入管路に合流させて、排ガスを循環させるように配管することによって、希少で高価なクリプトン，ゼノンの分離に伴うロスを低減せしめる上で有効であった。
【００３７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明にあっては、吸着特性の相異なる吸着剤を充填した吸着筒に複数成分よりなる原料ガス混合物を導入して、それぞれの成分を分離採取するようにしたので、極めて簡略化された装置構成でクリプトンまたはゼノンと窒素からなる原料ガス混合物からクリプトンまたはゼノンと窒素をそれぞれ濃縮して製品ガスとして取り出すことができる。
しかも、この製品ガスは吸着工程で難吸着性成分として取り出されるため、原料ガス混合物の吸着筒への導入圧力を保持した状態で得られ、製品ガスを使用先に供給する際に特段の加圧手段を必要とせず、設備費を節減できるとともに運転費をも節減できる。
さらに、高価なクリプトン及びゼノンの分離に伴うロスを低減できる。
【００３８】
また、２つ以上の吸着筒に対して交互に原料ガスを供給するため、その圧縮機を連続して運転でき、有効に稼動させることができる。
さらに、１筒式ＰＳＡで見られるような圧縮操作と排気操作を交互に繰り返すことがないので、圧縮機を過酷な条件で運転させる必要がなく、定常駆動状態を継続して運転されるので、その寿命を延ばすことができる。
【００３９】
また、製品槽を各吸着筒の製品導出管路に連結して付設し、この製品槽に吸着工程で採取して貯蔵した製品ガスを、各吸着筒の再生工程における吸着剤に吸着された易吸着成分の脱着のためのパージガスに使用してパージ工程を実施するものでは、製品ガスの収率の大幅に向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のＰＳＡ法によるガス分離装置の第１の実施の形態を説明する系統図。
【図２】  本発明のＰＳＡ法によるガス分離装置の第２の実施の形態を説明する系統図。
【図３】  従来のＰＳＡ法による空気分離方法の一例を示す系統概略図。
【符号の説明】
１…圧縮機、  ２Ａ、２Ｂ…８吸着筒、
３、４、７、８、９、１１、１２、１４、１５、１７、１８…管路、
５ａ、５ｂ…原料供給弁、  ６ａ、６ｂ…製品導出弁、
１０ａ、１０ｂ…排気弁、  １３Ａ、１３Ｂ…製品槽、
１６ａ、１６ｂ…パージ弁、  Ｍ…原料ガス混合物、  ＭO…酸素富化ガス、
ＭN…窒素富化ガス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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