(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一部が酸素イオン導電性の固体電解質体によって形成されたサンプルガス室と，
該サンプルガス室内にサンプルガスを導くサンプルガス導入路と，
上記サンプルガス室内に面した上記固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極からなる酸素ポンプセルと，
上記サンプルガス室内に面した上記固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極からなり，上記サンプルガス室中の検出ガス濃度を検出するための検出セルとからなるガスセンサであって，
上記サンプルガスが上記サンプルガス導入路，上記酸素ポンプセルを経て上記検出セルに到達する拡散経路は上記ガスセンサの幅方向または厚み方向に設けられており，
かつ上記サンプルガス導入路は上記ガスセンサの長手方向に複数個配置されていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
請求項１において，上記検出セルの検出信号は上記検出セルに一定電圧を加えた場合の限界電流値であることを特徴とするガスセンサ。
【請求項３】
請求項１または２において，上記サンプルガス導入路，上記サンプルガス室，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルからなるユニットは上記ガスセンサの長手方向に複数個配置され，
かつ上記ユニットはそれぞれ電気的に並列接続されていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項４】
請求項３において，上記各ユニットの上記サンプルガス室は互いに連通していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において，上記サンプルガス室の酸素ポンプセルに対面する位置には第二酸素ポンプセルが設けられていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において，上記サンプルガス導入路，上記サンプルガス室，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルはガスセンサの幅方向に配置され，
かつ上記サンプルガス導入路は上記酸素ポンプセルの中央部，もしくは上記酸素ポンプセルの中央部よりも上記検出セルから離れた位置に配置されていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において，上記酸素ポンプセルは，上記ガスセンサの幅方向よりも長手方向に長くなるよう形成されていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項において，上記酸素ポンプセルは上記検出セルの両側に配置され，
かつ上記両酸素ポンプセルは互いに電気的に導通しており，
更に上記サンプルガス導入口は上記両酸素ポンプセルにそれぞれ設けられていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか一項において，上記検出セルは上記酸素ポンプセルの両側に配置され，
かつ上記両検出セルは互いに電気的に導通していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項１０】
請求項１〜５のいずれか一項において，上記酸素ポンプセルと上記検出セルとは上記ガスセンサの厚み方向に配置されてなると共に両者の間は電気的に絶縁された状態にあり，
かつ上記検出セルは検出ガス室を有し，該検出ガス室と上記サンプルガス室との間には上記ガスセンサの厚み方向に連絡通路が設けてあることを特徴とするガスセンサ。
【請求項１１】
請求項１０において，上記検出セルは少なくともその一部が上記酸素ポンプセルの投影面の内側にあり，
また上記連絡通路は上記検出セル及び上記酸素ポンプセルの共通投影面の内部に配置されていることを特徴とするガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，サンプルガス中に混在している特定の検出ガス濃度，例えば内燃機関の排ガス中に存在するＮＯｘガス濃度等を検出するガスセンサに関する。
【０００２】
【従来技術】
従来より，内燃機関の排気経路には，後述の図４，図５に示すごとく，内燃機関の燃焼制御等の目的からＮＯｘセンサが設けてある。
上記ＮＯｘセンサとしては，固体電解質体の酸素イオン導電性（具体的には，安定化ジルコニア等の酸素イオン導電性）を利用して，排ガス中に存在するＮＯｘガス濃度を検出するものが知られている。
【０００３】
上記ＮＯｘセンサについて以下に説明する。
上記ＮＯｘセンサは，一部が酸素イオン導電性の固体電解質体によって形成されたサンプルガス室と，該サンプルガス室内にサンプルガス（この場合は内燃機関より排出された排ガス）を導くサンプルガス導入路と，上記サンプルガス室内に面した上記固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極よりなる検出セルとを有する。
なお，上記サンプルガス室内に面する上記検出セルの電極は，上記ＮＯｘ中の酸素原子を酸素イオンに還元する活性電極である。
【０００４】
このようなＮＯｘセンサにおいては，上記検出セルがＮＯｘ中の酸素原子を還元反応によりイオン化し，酸素イオンとなす。このイオン化した酸素が上記固体電解質体を流通することにより，該固体電解質体にはイオン電流が発生する。上記イオン電流の大きさはＮＯｘガス量と比例することから，該イオン電流の値を測定することにより，ＮＯｘガス濃度を検出することができる。
【０００５】
しかしながら，上記サンプルガス（この場合は排ガス）は，通常は酸素ガスも含有している。このため，上記検出セルはＮＯｘ中の酸素原子と共に，酸素中の酸素原子をもイオン化してしまう。即ち，上記イオン電流はＮＯｘガス由来の酸素イオンと，酸素ガス由来の酸素イオンとが合算されたものである。
従って，上記構造のＮＯｘセンサにおいては正しくＮＯｘガス濃度に比例した検出値を得ることができなかった。
【０００６】
このため，従来，検出セルよりもサンプルガス流れの上流側に，該サンプルガス中の酸素ガスを除去するための酸素ポンプセルを設けたＮＯｘセンサが提案されている（ＳＡＥ９６０３３４）。
【０００７】
上記酸素ポンプセルは，上記サンプルガス室内に面した固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極からなる。上記一対の電極間に電圧を付加することにより，上記酸素ポンプセル近傍の酸素ガスは酸素イオンとなって固体電解質体中を移動する。これにより，上記サンプルガス中の酸素ガスをサンプルガス室の外部に排出することができる。なお，上記サンプルガス室に面する上記酸素ポンプセルの電極は，上記ＮＯｘ中の酸素原子を酸素イオンに還元しない不活性電極である。
【０００８】
また，ＳＡＥ９６０３３４にかかるＮＯｘセンサにおいては，上記サンプルガス室内の酸素ガス濃度を監視・制御するための酸素濃淡電池式の酸素センサセルを上記固体電解質体に設けてある。
上記酸素濃淡電池式の酸素センサセルは一対の電極からなり，一方の電極は上記サンプルガス室に，他方の電極はサンプルガス室とは別に設けた大気室に面するよう設けてある。なお，上記大気室には大気中の空気が導入されている。
【０００９】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来のＮＯｘセンサには以下に示す問題点がある。
上記ＮＯｘセンサにおいて，固体電解質体には酸素センサセルが設けてある。このため，上記酸素センサセルの大きさ分，上記酸素ポンプセルの大きさが制限され，その電極面積が小さくなる。上記酸素ポンプセルの酸素排出量は電極面積に比例するため，酸素ポンプセルの酸素排出量が減少してしまう。
この場合，サンプルガス中への酸素ガス残留を防止するために，上記サンプルガス室へのサンプルガス導入量を減じなくてはならない。
【００１０】
しかし，サンプルガス導入量を減じた場合には，上記ＮＯｘセンサの検出セルにおいて検出されるイオン電流はＮＯｘの単位濃度あたり略２〜６μＡ／１０００ｐｐｍとなってしまう。
即ち，上記酸素センサセルを設けることにより感度の低いＮＯｘセンサしか得ることができなくなるおそれがあった。
【００１１】
以上は，ＮＯｘガスを検出するＮＯｘセンサについて述べたが，これと同様の問題は，ＳＯｘガス濃度を検出するＳＯｘセンサ，Ｈ2 Ｏガス濃度を検出するＨ2 Ｏセンサ，ＣＯ2 を検出するＣＯ2 センサ等，検出セルにおいて検出ガスを還元することにより得られた酸素イオンが該検出セルを設けた固体電解質体を流通する際のイオン電流を元に検出ガス濃度を検出する構造のガスセンサにおいて共通に発生する。
【００１２】
本発明は，かかる問題点に鑑み，センサ出力に対する酸素ガス濃度の悪影響を排除でき，感度の高いガスセンサを提供しようとするものである。
【００１３】
【課題の解決手段】
請求項１の発明は，一部が酸素イオン導電性の固体電解質体によって形成されたサンプルガス室と，
該サンプルガス室内にサンプルガスを導くサンプルガス導入路と，
上記サンプルガス室内に面した上記固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極からなる酸素ポンプセルと，
上記サンプルガス室内に面した上記固体電解質体の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極からなり，上記サンプルガス室中の検出ガス濃度を検出するための検出セルとからなるガスセンサであって，
上記サンプルガスが上記サンプルガス導入路，上記酸素ポンプセルを経て上記検出セルに到達する拡散経路は上記ガスセンサの幅方向または厚み方向に設けられており，
かつ上記サンプルガス導入路は上記ガスセンサの長手方向に複数個配置されていることを特徴とするガスセンサにある。
【００１４】
本発明の作用につき，以下に説明する。
本発明にかかるガスセンサにおいて，上記サンプルガス導入路，上記酸素ポンプセルを経て上記検出セルに到達する拡散経路はガスセンサの幅方向または厚み方向に設けられている（図１，図１１参照）。
更に，上記サンプルガス導入路は上記ガスセンサの長手方向に複数個配置されている。
【００１５】
これにより，上記拡散経路の長さをより短くすることができる。
また，上記サンプルガス導入路を長手方向に複数個設け，分散させることにより，一つのサンプルガス導入路より導入するサンプルガス量を少なくすることができる。このため，短い拡散経路においても充分に酸素ポンプセルによる酸素ガスの除去を行うことができる。
そして，上述の従来技術に示したごとく，上記サンプルガス中の酸素ガスが少なければ少ないほど，検出セルにおいて生じる酸素イオンはより正確に検出ガス量と比例することができる。このため，検出セルの値はより正確に検出ガス量と比例することができる。
【００１６】
また，上記拡散経路が短いことからサンプルガスは比較的短時間で検出セルに到達することができる。
すなわち，本発明にかかるガスセンサは拡散経路が短くかつ該拡散経路中において酸素ガスが充分に除去されているため，検出ガスに対する感度の高いガスセンサである。
【００１７】
以上のように，本発明によれば，センサ出力に対する酸素ガス濃度の悪影響を排除でき，感度の高いガスセンサを提供することができる。
【００１８】
なお，上記ガスセンサとしては，例えば，自動車用内燃機関の排ガス中におけるＮＯｘガス濃度を検出するＮＯｘセンサ，ＳＯｘガス濃度を検出するＳＯｘセンサ，Ｈ2 Ｏガス濃度を検出するＨ2 Ｏセンサ，ＣＯ2 を検出するＣＯ2 センサ等を挙げることができる。
【００１９】
なお，上記固体電解質体としては，特に上記ガスセンサがＮＯｘガス濃度を検出するＮＯｘセンサである場合には，安定化ジルコニアを用いることができる。さらに，上記酸素ポンプセルにおいて，サンプルガス室内に面するよう設けた電極としては，ＮＯｘガスを酸素イオンに還元しないＰｔ−Ａｕ合金よりなる不活性電極を用いることができる。
また，上記検出セルにおいて，サンプルガス室内に面するよう設けた電極としては，ＮＯｘガスを酸素イオンに還元するＰｔよりなる活性電極を用いることができる。
【００２０】
また，上記ガスセンサには，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルにおける電極を加熱するためのヒータを設けることが好ましい。
これにより，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルの温度を一定に保つことができる。この結果，冷間時におけるガスセンサの始動性及び検出精度を高めることができる。
【００２１】
次に，請求項２の発明のように，上記検出セルの検出信号は上記検出セルに一定電圧を加えた場合の限界電流値であることが好ましい。
これにより，上記サンプルガス室内の僅かな検出ガス濃度の変化に対しても検出セルの大きな出力変化を得ることができる。従って，ガスセンサの感度をより高めることができる。
【００２２】
次に，請求項３の発明のように，上記サンプルガス導入路，上記サンプルガス室，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルからなるユニットは上記ガスセンサの長手方向に複数個配置され，かつ上記ユニットはそれぞれ電気的に並列接続されていることが好ましい。
上記検出セルの出力が該検出セルに一定電圧を加えた場合の限界電流である場合には，上記ユニットを並列に接続することにより，各ユニットの限界電流を加算した値をガスセンサ全体の出力とすることができる。
これにより，上記限界電流の増減をより大とすることができるため，上記ガスセンサの感度を大きく高めることができる。
【００２３】
次に，請求項４の発明のように，上記各ユニットの上記サンプルガス室は互いに連通していることが好ましい。
これにより，各ユニットを構成する検出セルに平均した量の検出ガスを拡散させることができ，センサ出力を安定化することができる。
【００２４】
次に，請求項５の発明のように，上記サンプルガス室の酸素ポンプセルに対面する位置には第二酸素ポンプセルが設けられていることが好ましい。
これにより，サンプルガス室の両側より酸素ガスを除去することができるため，よりサンプルガス中の酸素ガス濃度を低くすることができる。
また，酸素ポンプセルの電極面積を小さくすることが可能となり，上記拡散経路も短くすることができる。
【００２５】
次に，請求項６の発明のように，上記サンプルガス導入路，上記サンプルガス室，上記酸素ポンプセル及び上記検出セルはガスセンサの幅方向に配置され，かつ上記サンプルガス導入路は上記酸素ポンプセルの中央部，もしくは上記酸素ポンプセルの中央部よりも上記検出セルから離れた位置に配置されていることが好ましい。
【００２６】
これにより，固体電解質体に対してより酸素ポンプセルの占める面積を高めることができるため，酸素ガスをより多く除去することが可能となり，サンプルガス中の酸素ガス濃度を低くすることができる。
また，上記サンプルガス導入路からサンプルガス室内に流入したサンプルガス中の酸素ガスは，上記酸素ポンプセルによって十分に排出される。このため，酸素ガスがほとんど含まれず，ＮＯｘガス濃度が高いサンプルガスが上記検出セルに到達することができる。従って，酸素ガス濃度に依存しない優れた精度をもつガスセンサを提供することができる。
【００２７】
次に，請求項７の発明のように，上記酸素ポンプセルは，上記ガスセンサの幅方向よりも長手方向に長くなるよう形成されていることが好ましい。
これにより，上記サンプルガス導入路から上記検出セルまでの拡散経路を短くすることができ，よって，センサ感度を向上させることができる。
【００２８】
請求項８の発明のように，上記酸素ポンプセルは上記検出セルの両側に配置され，かつ上記両酸素ポンプセルは互いに電気的に導通しており，更に上記サンプルガス導入口は上記両酸素ポンプセルにそれぞれ設けられていることが好ましい。
また，これとは反対に，請求項９の発明のように，上記検出セルは上記酸素ポンプセルの両側に配置され，かつ上記両検出セルは互いに電気的に導通していることが好ましい。
これにより，上記酸素ポンプセルと上記検出セル間の拡散経路を短くとることが可能となるため，検出セルへのサンプルガス拡散量が増え，ガスセンサの感度を高めることができる。
【００２９】
次に，請求項１０の発明のように，上記酸素ポンプセルと上記検出セルとは上記ガスセンサの厚み方向に配置されてなると共に両者の間は電気的に絶縁された状態にあり，かつ上記検出セルは検出ガス室を有し，該検出ガス室と上記サンプルガス室との間には上記ガスセンサの厚み方向に連絡通路が設けてあることが好ましい。
【００３０】
これにより，上記サンプルガス導入路から上記検出セルまでの拡散経路をガスセンサの厚み分程度の短さとすることができるため，より感度の高いガスセンサを得ることができる。
更に，酸素ポンプセルと検出セルとの間の絶縁が確保されているため，両者の間の電気的な干渉を防止することができ，精度の高いガスセンサを得ることができる。
【００３１】
次に，請求項１１の発明のように，上記検出セルは少なくともその一部が上記酸素ポンプセルの投影面の内側にあり，また上記連絡通路は上記検出セル及び上記酸素ポンプセルの共通投影面の内部に配置されていることが好ましい。
これにより，酸素ガスが酸素ポンプセルによって十分に除去された後の検出ガス濃度が高いサンプルガスを，最短距離で上記検出セルに拡散させることができる。従って，酸素ガス濃度に依存しない優れた精度及び感度をもつガスセンサを提供することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態例にかかるガスセンサにつき，図１〜図７を用いて説明する。なお，本例のガスセンサにおいて，サンプルガスは車両用の内燃機関より排出される排ガス，また検出ガスは上記排ガスに含まれるＮＯｘガスである。
なお，後述の図４，図５に示すごとく，上記ガスセンサは上記内燃機関の排気経路中に配置されている。
【００３３】
図１〜図３に示すごとく，本例のガスセンサ１は，一部が酸素イオン導電性の第一及び第二固体電解質体１２，１３によって形成されたサンプルガス室１００と，該サンプルガス室１００内にサンプルガス８を導くサンプルガス導入路１２１を有する。
【００３４】
また，図２に示すごとく，上記ガスセンサ１は，上記サンプルガス室１００内に面した上記第一及び第二固体電解質体１２，１３の１つの面及びその反対面１２９，１３９に設けられた一対の電極２１８，２１９，３１８，３１９からなる第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１を有する。
また，上記サンプルガス室１００内に面した上記第一及び第二固体電解質体１２，１３の１つの面及びその反対面１２９，１３９に設けられた一対の電極３８，３９，３３８，３３９からなり，上記サンプルガス室１００中の検出ガス濃度を検出するための第一及び第二検出セル３，５１を有する。
【００３５】
図２に示すごとく，上記サンプルガス８が上記サンプルガス導入路１２１，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１を経て上記第一及び第二検出セル３，５１に到達する拡散経路は，上記ガスセンサ１の幅方向に設けてある。
なお，図１に示すごとく，上記ガスセンサ１は，サンプルガス導入路１２１，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，上記第一及び第二検出セル３，５１によりなるユニット３０が長手方向に３つ配置された構造を有する。
【００３６】
上記サンプルガス室１００内における，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の電極２１８，３１８は，上記検出ガスを酸素イオン８７に還元しない不活性電極である。
一方，上記第一及び第二検出セル３，５１の電極３８，３９，３３８，３３９と，上記反対面１２９，１３９に設けられた上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の電極２１９，３１９は，上記検出ガスを酸素イオン８７に還元する活性電極である。
【００３７】
更に，図２に示すごとく，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１は，上記サンプルガス室１００内において相対向する位置に設けられ，しかもその回路２４５は電源２４６に対し電気的に並列接続されている。そして，電源２４６により常に一定の電圧（例えば０．８Ｖ）が電極２１８，２１９間及び電極３１８，３１９間に印加されており，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス濃度を略０（例えば０．０１ｐｐｍ以下）に制御するよう構成されている。
【００３８】
次に，上記ガスセンサ１につき詳細に説明する。
図２，図３に示すごとく，上記ガスセンサ１は２枚の第一及び第二固体電解質体１２，１３と，アルミナ基板１２５，１３５，アルミナヒータ基板１４１，アルミナ保護基板１４２とより構成された積層型のガスセンサである。
【００３９】
上記第一及び第二固体電解質体１２，１３と上記アルミナ基板１２５とによりサンプルガス室１００が，また上記第二固体電解質体１３，上記アルミナ基板１３５，上記アルミナ保護基板１４２とにより開放室１５０が構成されている。
ここで上記開放室１５０は，上記第二酸素ポンプセル３１及び上記第二検出セル５１により排出される酸素ガス８９及び酸素イオン８７が開放される空間である。ここに開放された酸素ガス８９及び酸素イオン８７は，小穴１４６を通過しガスセンサ１の外部に拡散する。
また，上記アルミナヒータ基板１４１にはヒータ部１４０が設けてあり，上記アルミナ保護基板１４２は該ヒータ部１４０を被覆するよう設けてある。
【００４０】
上記第一固体電解質体１２には，図２に示すごとく，第一酸素ポンプセル２１及び第一検出セル３を構成する電極２１８，２１９，３８，３９が設けてある。また，上記電極２１８，２１９，３８，３９に，図３に示すごとく，回路２４５，３５を接続するための端子部２６７，２６８，２６９が設けてある。
更に，上記電極２１８，２１９，３８，３９と上記端子部２６８，２６９とを導通させるためのリード部２５８，２５９が設けてある。
なお，上記端子部２６８と２６７との間は第一固体電解質体１２を貫通するスルーホール２６６により導通がとられている。
【００４１】
図３に示すごとく，同様に上記第二固体電解質体１３には，第二酸素ポンプセル３１及び第二検出セル５１を構成する電極３１８，３１９，３３８，３３９が設けてある。また，上記電極３１８，３１９，３３８，３３９に回路２４５，３５を接続するための端子部３６８，３６９が設けてある。更に，上記電極３１８，３１９，３３８，３３９と上記端子部３６８，３６９とを導通させるためのリード部３５８，３５９が設けてある。
【００４２】
なお，上記端子部３６８と２６７との間は第一固体電解質体１２，アルミナ基板１２５を貫通するスルーホール２６６により導通がとられており，上記端子部３６９と２６９との間は第一固体電解質体１２，アルミナ基板１２５及び第二固体電解質体１３を貫通するスルーホール２６６により導通がとられている。
【００４３】
また，図３に示すごとく，上記スルーホール２６６は，上記電源２４６に対し，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，上記第一及び第二検出セル３，５１とを電気的に並列接続する役目をも担っている。
また，上記第一固体電解質体１２にはサンプルガス導入路１２１を構成する３つのピンホールが電極２１８，２１９を貫通して設けてある。そして，上記アルミナ基板１２５にはサンプルガス室１００を形成するための３つの窓部１２６が，上記アルミナ基板１３５には開放室１５０を形成するための１つの窓部１３６がそれぞれ設けてある。
【００４４】
上記３つの窓部１２６は，隔離壁１２７により独立した３つのサンプルガス室１００を形成する。但し，この隔離壁１２７は各サンプルガス室１００の間のガス移動を必ずしも完全に隔離しなくても良い。
また，上記窓部１３６は４つの隔離壁１３７を備えるが，開放室１５０は共有される。また，アルミナヒータ基板１４１にはヒータ部１４０が設けてある。
更に，上記アルミナヒータ基板１４１及び上記アルミナ保護基板１４２には，上記開放室１５０から酸素ガスを排出するための小穴１４６がそれぞれ設けてある。
【００４５】
また，図３に示すごとく，上記アルミナヒータ基板１４１におけるヒータ部１４０は，上記小穴１４６と干渉しないように設けてある。上記ヒータ部１４０は，アルミナヒータ基板１４１の反対面に設けた端子部１４７と導通したリード部１４９を設けてある。なお，上記端子部１４７とリード部１４９との導通は，アルミナヒータ基板１４１に設けたスルーホール１４６によりとられている。
【００４６】
また，図２に示すごとく，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１において，上記電極２１８，３１８及び２１９，３１９との問には，電源２４６，電圧計Ｖ１を介して回路２４５が形成されている。上記電圧計Ｖ１は，電極２１８，２１９間及び電極３１８，３１９間の電圧を検出するためのものである。
【００４７】
また，図２に示すごとく，上記第一及び第二検出セル３，５１において，上記電極３８，３３８及び３９，３３９との問には，電源３６，電流計Ａ０を介して回路３５が形成されている。上記電流計Ａ０は，電極３８，３９間及び電極３３８，３３９間に流れる限界電流の和を検出するものである。
【００４８】
上記第一及び第二固体電解質体１２，１３はイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）より構成されており，幅７ｍｍ，長さ６１ｍｍ，厚さ０．１６ｍｍである。上記アルミナ基板１２５，１３５，アルミナヒータ基板１４１，アルミナ保護基板１４２はアルミナよりなり，幅７ｍｍ，長さ６１ｍｍ，厚さ０．１６ｍｍである。
【００４９】
また，上記サンプルガス室１００内における，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の電極２１８，３１８はＰｔ−Ａｕ合金からなり，該合金におけるＡｕの含有量は１重量％である。
一方，上記第一及び第二検出セル３，５１の電極３８，３９，３１８，３３９と，上記反対面１２９，１３９に設けられた上記第一酸素ポンプセル２１及び第二酸素ポンプセル３１の電極２１９，３１９はＰｔからなる。
【００５０】
また，上記第一酸素ポンプセル２１及び第二酸素ポンプセル３１の電極２１８，２１９，３１８，３１９の面積は，それぞれ略４０ｍｍ2 である。上記第一及び第二検出セル３，５１の電極３８，３９，３３８，３３９の面積は，それぞれ略３０ｍｍ2 である。
さらに，上記ヒータ部１４０はＰｔからなる。
【００５１】
また，上記サンプルガス導入路１２１は径０．２ｍｍのピンホールよりなる。更に，図２に示すごとく，上記サンプルガス導入路１２１は上記ガスセンサ１の長手方向に３個配置されている。また，上記サンプルガス導入路１２１は上記第一酸素ポンプセル１２にかかる電極２１９の端部であって，第一検出セル３から離れた反対側の端部に設けてある。
【００５２】
次に，上記ガスセンサ１の組み立て及び製造につき説明する。
まず，焼成後には第一及び第二固体電解質体１２，１３及びアルミナ基板１２５，１３５，アルミナヒータ基板１４１，アルミナ保護基板１４２となるグリーンシートを作成する。なお，それぞれのグリーンシートの形状は，図３に示す焼成後の形状とほぼ同じである（ただし，焼成によって若干縮小するため，グリーンシートの状態では若干サイズが大きくなっている）。
【００５３】
次いで，焼成後には第一固体電解質体１２となるグリーンシートに対し，電極２１８，２１９，３８，３９，リード部２５８，２５９，端子部２６７，２６８，２６９を印刷形成する。
また，焼成後には第二固体電解質体１３となるグリーンシートに対し，電極３１８，３１９，３３８，３３９，リード部３５８，３５９，端子部３６８，３６９を印刷形成する。
【００５４】
更に，焼成後にはアルミナヒータ基板１４１となるグリーンシートに対し，ヒータ部１４０，リード部１４９，端子部１４７を印刷形成する。
次に，各グリーンシートを図３に示す構成となるよう積層して積層体となし，該積層体を加圧しながら約１５００℃〜１６００℃で焼成し，一体とする。これにより，ガスセンサ１を得る。
【００５５】
次に，本例にかかるガスセンサ１を自動車の排気経路に取り付ける方法につき説明する。
図５に示すごとく，上記ガスセンサ１は，ガスセンサアッセンブリ４に組み付けられ，このガスセンサアッセンブリ４ごと排気経路に取り付ける。
【００５６】
図４に示すごとく，上記ガスセンサアッセンブリ４は，ガスセンサ１を保持するホルダ４２と，該ホルダ４２の前方を被覆し，サンプルガス８である排ガスよりガスセンサ１を保護するためのカバー４１よりなる。
また，上記ガスセンサ１には，出力の引き出し，電圧の印加等の目的から複数のリード線が接続されているが，該リード線を格納するためのハウジング４４が上記ガスセンサアッセンブリ４に設けてある。
【００５７】
更に，上記ガスセンサアッセンブリ４には，これを排気経路に固定するためのフランジ４３が設けてある。なお，上記カバー４１にはサンプルガス８となる排ガスを流通させるための通気穴４１０が複数段けてある。
なお，上記リード線は１つに束ねられて，ハウジング４４より被覆線４９として引き出されてある。
【００５８】
そして，図５に示すごとく，上記ガスセンサアッセンブリ４は，自動車用エンジン５１の排気経路である排気管５０において，三元触媒５３の下流側に設置される。そして，上記排気経路にはフランジ４３において図示されていないガスケットを介しボルトにより固定されている。
なお，上記三元触媒５３の上流側にはＡ／Ｆセンサ５２が配置される。上記の構成において，本例のガスセンサ１及びＡ／Ｆセンサ５２の信号をもとに，上記エンジン５１のリーンバーン精密制御，あるいは三元触媒５３の劣化検出が行われる。
【００５９】
次に，本例における作用効果につき説明する。
本例のガスセンサ１において，サンプルガス８中の検出ガス濃度，即ち排ガス中のＮＯｘガス濃度は以下に示すごとく検出される。
まず，図５に示すごとく，上記エンジン５１から排出された排ガスは上記三元触媒５３を経て，上記ガスセンサ１のまわりにサンプルガス８として到達する。そして，図２に示すごとく，上記サンプルガス８は上記サンプルガス導入路１２１を通過し，上記サンプルガス室１００内に拡散する。そして，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス８９は，第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１によってガスセンサ１の外部に排出される。
【００６０】
この時，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス濃度は一定電圧（例えば０．８Ｖ）がかけられた上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１によって，略０（例えば０．０１ｐｐｍ以下）になるまで低減される。
よって，酸素ガス濃度が低い状態にある状態にあるサンプルガス８が，上記第一及び第二検出セル３，５１の電極３８，３３８の周囲に到達する。
【００６１】
図２に示すごとく，上記第一及び第二検出セル３，５１において，上記サンプルガス８中の検出ガス，即ちＮＯｘガスは，上記電極３８，３３８と接触し，還元され，酸素イオン８７となる。
そして，上記第一及び第二検出セル３，５１と導通した回路３５においては，電源３６により常に一定の電圧（例えば０．５Ｖ）が電極３８，３９間及び電極３３８，３３９間に印加されており，上記酸素イオン８７の濃度に対応した限界電流値を電流計Ａ０において検出することができる。
【００６２】
ここで，本例にかかるガスセンサ１において，上記サンプルガス８が上記サンプルガス導入路１２１，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１を経て上記第一及び第二検出セル３，５１に到達する拡散経路は，図２に示すごとく，主としてガスセンサ１の幅方向に設けられている。
よって，図１に示すごとく，各サンプルガス導入路１２１より導入されたサンプルガス８がたどる拡散経路に設けられた第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の電極２１８，２１９，３１８，３１９の長手方向の長さを比較的長くすることができる。具体的には，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の形状を，ガスセンサ１の幅方向よりガスセンサ１の長手方向に長く（略２倍）とすることができる。
【００６３】
また，上記サンプルガス導入路１２１を長手方向に３個設け，分散させることにより，一つのサンプルガス導入路１２１より取り入れるサンプルガス８の量を少なくすることができる。このため，除去するべき酸素ガスの絶対量も少なく，短い拡散経路においても充分に第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１により酸素ガスの除去を行うことができる。
すなわち，短い拡散経路の中で酸素ガスを十分に排出することができるため，本例にかかるガスセンサ１はＮＯｘガスに対する高い感度を得ることができる。
【００６４】
ここで，更に詳細に効果を説明する。
一般に，図６に示すごとく，ガスセンサの出力はサンプルガス導入路の断面積に関係する。
例えば，サンプルガスの拡散する方向，即ち拡散経路に対して垂直方向にかかる酸素ポンプセルの幅を無限大と仮定する。このようなガスセンサの出力は同図に示す破線ａのごとくサンプルガス導入路の断面積に対し単調増加となる。
【００６５】
しかし，実際のガスセンサにおいて酸素ポンプセルの幅は有限である。そして，上記サンプルガス導入路の断面積が大きければ大きいほど，導入されるサンプルガスの量も増大するため，より大きな酸素ポンプセルが必要となる。
従って，必然的にサンプルガスの拡散経路は長くなる。これは上記酸素ポンプセルよりも下流側に検出セルを設置する必要があるため，拡散経路は少なくとも酸素ポンプセルの長さ分必要となるためである。
【００６６】
そして，上記拡散経路が長くなればなるほど検出セルに到達する検出ガスの拡散量は減少することから，サンプルガス導入路の断面積に対して，破線ｂのごとく，ガスセンサの出力に単調減少の特性か現れる。
以上より，実際のガスセンサの出力は，実線ｃのごとき状態を呈し，該実線ｃは極大値ｄ点を有する。
【００６７】
そして，図１〜図３に示すごとく本発明のガスセンサ１は，サンプルガス導入路１２１，第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，第一及び第二検出セル３，５１によりなるユニット３０が長手方向に３つ配置された構造を有するが，各ユニット３０における各サンプルガス導入路１２１は，図５における極大値ｄ点近傍の断面積を有するよう構成することが好ましい。
これにより，感度と応答性との双方に優れたガスセンサを得ることができる。
【００６８】
また，本例のガスセンサ１は，上記第一及び第二検出セル３，５１の検出信号は上記第一及び第二検出セル３，５１に一定電圧を加えた場合の限界電流値である。
これにより，上記サンプルガス室１００内のわずかなＮＯｘガス濃度の変化に対しても大きな第一及び第二検出セル３，５１の出力変化を得ることができる。従って，感度の高いガスセンサ１を得ることができる。
【００６９】
また，本例のガスセンサ１は，上記サンプルガス導入路１２１，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，上記第一及び第二検出セル３，５１は長手方向に３つのユニット３０から構成され，該各ユニット３０は電気的に並列接続されている。
これにより，上記ガスセンサ１の出力は各ユニット３０にかかる検出セル３，５１の限界電流の和の形で表れる。このため，本例のガスセンサ１は，ユニット３０がただ一つである場合と比較してより感度が高くなる。
【００７０】
また，本例のガスセンサ１において上記サンプルガス導入路１２１は上記酸素ポンプセル２１の中央部よりも上記検出セル３から離れた位置に設けられている。
これにより，上記サンプルガス導入路１２１からサンプルガス室１００内に流入したサンプルガス８中の酸素ガスは，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１によって十分に排出される。
そして，酸素ガスがほとんど含まれず，ＮＯｘガス濃度が高いサンプルガス８が上記第一及び第二検出セル３，５１に到達する。従って，酸素ガス濃度に依存しない優れた精度をもつガスセンサ１を提供することができる。
【００７１】
また，本例のガスセンサ１において，上記３つのサンプルガス導入路１２１に連結するサンプルガス室１００はそれぞれ２つの隔離壁１２６により独立している。これにより，各ユニット３を構成する第一及び第二検出セル３，５１に平均した量の検出ガスを拡散させることができ，センサ出力を安定させる。
【００７２】
また，本例のガスセンサ１において，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１は上記サンプルガス室１００内の相対向する位置に配設されている。よって，１個の酸素ポンプセルにより酸素ガスを排出する場合に排出できなかった該酸素ポンプセルの対向面近傍の酸素ガスを容易に排出することができる。
従って，サンプルガス室１００内の酸素ガス濃度を略０（例えば０．０１ｐｐｍ以下）になるまで低減できる。
また，二つの酸素ポンプセルにて酸素ガスを除去するため，一つの酸素ポンプセルの電極面積を小さくすることが可能となる。よって，上記サンプルガス導入路１２１から上記検出セル３，５１までの拡散経路を短くすることができる。
【００７３】
また，本例のガスセンサ１においては，第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，第一及び第二検出セル３，５１のまわりを加熱するためのヒータ部１４０が一体的に設けられている。
これにより，エンジン５１の始動後，短時間で各電極２１８，２１９，３１８，３１９，３８，３９を活性温度に加熱することができ，速やかにＮＯｘガス濃度を検出を行うことができる。
従って，エンジン５１の始動後，速やかにエンジン５１のリーンバーン精密制御，あるいは三元触媒５３の劣化検出が可能となる。
【００７４】
以上のように，本例によれば，センサ出力に対する酸素ガス濃度の悪影響を確実に排除し，かつ検出ガスであるＮＯｘガスに対する感度が高いガスセンサを提供することができる。
【００７５】
また，本例のガスセンサ１において，上記サンプルガス導入路１２１，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１，及び上記第一及び第二検出セル３，５１は長手方向に３つのユニット３０から構成され，図１に示すごとく，各ユニット３０は外観上区別できた。
これとは異なり，図７に示すごとく，ガスセンサ１９においては，各ユニット３０にかかる電極３９を一体化し，ユニットが外観上区別できないような構造とした。また，図示は略したが，他の電極２１８，３１８，３１９，３３８，３３９，３８も一体化した。
この場合には，電極２１８，２１９，３１８，３１９，３３８，３３９，３８，３９の形成がより容易となるため，製造工程を簡略化することができる。
【００７６】
また，本例のガスセンサ１において，上記サンプルガス導入路１２１はピンホール，上記開放室１５０からの酸素ガスの開放穴は小穴１４６としたが，ピンホールまたは小穴に多孔質体を充填した構造としても良い。
【００７７】
また，本例のガスセンサ１において，第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１と上記第一及び第二検出セル３，５１は単に並べて幅方向に設けた。
図８，図９に示すごとく，ガスセンサ３においては，第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１の間に上記検出セル３を挟んで配置させた。
上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１は上記検出セル３の両側に配置され，かつ上記両酸素ポンプセル２１，３１は互いに電気的に導通しており，更に上記サンプルガス８導入口１２１は上記両酸素ポンプセル２１，３１にそれぞれ設けられている。
【００７８】
これにより，上記第一及び第二酸素ポンプセル２１，３１と上記検出セル３との間の拡散経路をより短くすることが可能となる。よって，検出セル３へのサンプルガス８の拡散量を増大させることができる。よって，ガスセンサ３の感度を高めることができる。
【００７９】
なお，図８，図９においては，酸素ポンプセルの間に検出セルを配置させたが，逆に検出セルの間に酸素ポンプセルを配置させても同様の効果が得られる。
【００８０】
実施形態例２
本例は，図１０，図１１に示すごとく，３枚の固体電解質体１２，１３，１５と，３枚のアルミナ基板１２５，１３５，１５５，アルミナヒータ基板１４１，アルミナ保護基板１４２とにより構成された積層型のガスセンサ５であり，サンプルガス導入路１２１，酸素ポンプセル２１及び検出セル３を，ガスセンサ５における厚み方向に設けたものである。
そして，上記酸素ポンプセル２１と上記検出セル３との間は，上記アルミナ基板１２５等により電気的に絶縁された状態にある。
【００８１】
図１１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２１は固体電解質体１２の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極２１８，２１９からなる。
そして，図１０に示すごとく，上記電極２１９の中央はサンプルガス導入穴１２１が設けてある。
【００８２】
また，図１１に示すごとく，上記検出セル３は固体電解質体１３の１つの面及びその反対面に設けられた一対の電極３８，３９よりなる。
そして，上記検出セル３は上記電極３８と対面するように形成した検出ガス室１３０を有し，該検出ガス室１３０と上記サンプルガス室１００との間には上記ガスセンサ５の厚み方向に連絡通路１３２，１５２が設けてあり，該連絡通路１３２，１５２とによりサンプルガス室１００と連絡されている。
【００８３】
また，図１１に示すごとく，上記ガスセンサ５において，上記酸素ポンプセル２１と上記検出セル３との間にはサンプルガス室１００の酸素ガス濃度を検出する酸素センサセル２２が配置されている。
上記酸素センサセル２２は，上記固体電解質体１５の１つの面及びその反対面１５９に設けられた１対の電極２２８，２２９からなる。
上記酸素センサセル２２はアルミナヒータ基板１４１と固体電解質体１５との間に設けられ，サンプルガス室１００と連絡通路１５２にて連絡されたセンサ室１１０に対面している。
【００８４】
そして，図１１に示すごとく，上記酸素センサセル２２は，上記サンプルガス室１００と連絡され，該サンプルガス室１００において酸素ガ８９が除去されたサンプルガスが導入されているセンサ室１１０内の酸素ガス８９と接触する電極２２８と，大気に通じる大気室１６０内の反対面１５９に設けられた電極２２９間の電圧値Ｖ１を測定しながらサンプルガス８中の酸素ガス濃度を検出する。
【００８５】
なお，上記サンプルガス室１００内における上記酸素センサセル２２の電極２２８は，上記検出ガスを酸素イオン８７に還元しない不活性電極である。
また，上記反対面１５９に設けられた上記酸素センサセル２２の電極２２９は，上記検出ガスを酸素イオン８７に還元する活性電極である。
【００８６】
図１１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２１は，上記酸素センサセル２２からの信号値に基づき，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス濃度を一定値に保つよう構成されている。なお，上記信号値とは，上記酸素センサセル２２の両電極２２８，２２９間に発生する電圧値Ｖ１である。
【００８７】
また，図１１に示すごとく，上記酸素ポンプセル２１において，上記電極２１８と上記電極２１９との間には，コントローラ２１６を介して回路２１５が形成されている。上記コントローラ２１６は上記電極２１８と上記電極２１９との間に電圧を印加する電源と上記電圧を制御する可変抵抗器を有する。
【００８８】
また，図１１に示すごとく，上記酸素センサセル２２において，上記電極２２８と２２９との間には，電圧計Ｖ１を介して回路２２５が形成されている。上記電圧計Ｖ１は両電極２２８と２２９との間に発生する電圧を検出するものである。
また，電圧計Ｖ１と上記コントローラ２１６との間には，フィードバック回路２５が設けてなり，この回路を通じて上記電圧計Ｖ１において検知された電圧の値による，コントローラ２１６を利用した上記酸素ポンプセル２１の作動制御が行われる。
【００８９】
なお，上記サンプルガス室１００内における，上記酸素センサセル２２の電極２２８はＰｔ−Ａｕ合金からなり，該合金におけるＡｕの含有量は１重量％である。また，上記反対面１５９に設けられた上記酸素センサセル２２の電極２２９はＰｔからなる。
上記酸素ポンプセル２１の電極２１８，２１９の面積は略７０ｍｍ2 ，上記検出セル３の電極３８，３９の面積は略４０ｍｍ2 である。また，上記酸素センサセル２２の電極２２８，２２９の面積は略３０ｍｍ2 である。
【００９０】
更に，図１１に示すごとく，上記検出セル３は上記酸素ポンプセル２１の投影面の内側にあり，両者の間を連絡する連絡通路１５２及び１３２は上記検出セル３及び上記酸素ポンプセル２１の共通投影面の内部に配置されている。
なお，サンプルガス８中に含まれる酸素ガスを十分に排出させるために，この連絡通路１５２及び１３２は，上記サンプルガス導入路１２１と同軸上には設けられていない。
その他は，実施形態例１と同様である。
【００９１】
次に，本例における作用効果につき説明する。
本例のガスセンサ５において，サンプルガス８中の検出ガス濃度，即ち排ガス中のＮＯｘガス濃度は以下に示すごとく検出される。
まず，実施形態例１にかかる図４に示すごとく，上記エンジン５１から排出された排ガスは上記三元触媒５３を経て，上記ガスセンサ１のまわりにサンプルガス８として到達する。その後上記サンプルガス導入路１２１を通過し，上記サンプルガス室１００内に拡散する。
そして，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス８９は，酸素ポンプセル２１によってセンサ外部に排出される。
【００９２】
この時，上記サンプルガス室１００内の酸素ガス濃度は，上記酸素センサセル２２の両電極２２８，２２９間における電圧値によって監視されている。この電圧値は大気中の酸素ガス濃度とサンプルガス室１００内の酸素ガス濃度の差に対応する。上記電圧値は酸素センサセル２２と導通した回路２２５中の電圧計Ｖ１によって検知される。
【００９３】
この電圧値が一定（例えば，０．４５Ｖ）となるように，フィードバック回路２５を通じて，上記酸素ポンプセル２１と導通した回路２１５中のコントローラ２１６が制御される。これにより，上記酸素ポンプセル２１の酸素ポンプ能力を酸素センサセル２２により制御することができる。
【００９４】
即ち，酸素センサセル２２において酸素ガス濃度が高い場合には，電圧計Ｖ１の値が目標とする酸素ガス濃度を示す電圧値ｖ０より小さな電圧値ｖ１へと低下する。この場合には，フィードバック回路２５を通じて上記電圧値ｖ１の値がコントローラ２１６に対し入力され，該コントローラ２１６は回路２１５の電圧を高め，酸素ポンプセル２１における酸素ガス８９の放出を促進する。
【００９５】
一方，酸素ガス濃度が低い場合には，電圧計Ｖ１の値が目標とする酸素ガス濃度を示す電圧値ｖ０より大きな電圧値ｖ２へと増加する。
この場合には，上記コントローラ２１６は回路２１５の電圧を下げて，酸素ポンプセル２１における酸素ガス８９の放出を抑制する。
以上の制御により，酸素ポンプセル２１周りを通過するサンプルガス８中の酸素ガス濃度はほぼ略０（例えば０．０００１ｐｐｍ）一定となる。
【００９６】
そして，このように酸素ガス濃度が低い状態にあるサンプルガス８が，連絡通路１５２，センサ室１１０及び連絡通路１３２を経て，検出ガス室１３０内の検出セル３周りに到達する。
このとき，上記サンプルガス導入路１２１，上記酸素ポンプセル２１，上記酸素センサセル２２及び上記検出セル３はセンサの積層方向に設けられている。
【００９７】
しかも，上記酸素ポンプセル２１及び上記検出セル３は，上記ガスセンサ５の長手方向に対して垂直でサンプルガス導入路１２１を含む平面内において互いに重なり合い，かつ該重なり部に上記酸素ポンプセル２１と上記検出セル３間を連絡する連絡通路１５２及び１３２が設けられている。
【００９８】
これにより，上記酸素ポンプセル２１から上記検出セル３までの拡散経路の長さを，固体電解質体１５と３枚のアルミナ基板１２５，１３５，１５５，アルミナヒータ基板１４１，アルミナ保護基板１４２の合計の厚さ（０．９６ｍｍ）に抑えることができる。
【００９９】
従って，酸素ガスが上記酸素ポンプセル２１によって十分に排出された後のＮＯｘガス濃度が高いサンプルガス８を，最短距離で上記検出セル３に拡散させることができ，酸素ガス濃度に依存しない優れた精度及び感度をもつガスセンサ５を提供することができる。
【０１００】
また，同時に，本例にかかるガスセンサ５において，各セルの対面するサンプルガス室１００，センサ室１１０，検出ガス室１３０は独立に構成されている。よって，上記酸素ポンプセル２１，上記酸素センサセル２２及び上記検出セル３間の出力信号の干渉を確実に抑制することができる。
【０１０１】
そして，上記検出セル３に到着した上記サンプルガス８中の検出ガス，即ちＮＯｘガスは上記電極３８と接触し，還元され，酸素イオン８７となる。
そして，上記検出セル３と導通した回路３５においては，電源３６により常に一定の電圧（例えば０．５Ｖ）が電極３８，３９間に印加されており，上記酸素イオン８７の濃度に対応した限界電流値を電流計Ａ０において検出することができる。ここに，サンプルガス室１００における酸素ガス濃度はほぼ一定であることから，上記酸素ガス由来の酸素イオン８７の量もほぼ一定である。従って，電流計Ａ０に与える影響もほぼ一定となる。
以上により，上記限界電流の値により，ＮＯｘガス濃度の変動を検知することができる。
その他は，実施形態例１と同様である。
【０１０２】
また，本例において，サンプルガス室内に拡散する酸素の濃度を一定に保つための酸素センサセルの信号は，酸素センサセル電極間の電圧値としたが，酸素センサセルの両電極間に一定電圧を加えた場合の限界電流値としても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１における，ガスセンサの平面図。
【図２】実施形態例１における，ガスセンサの図１にかかるＡ−Ａ線矢視断面図。
【図３】実施形態例１における，ガスセンサの展開説明図。
【図４】実施形態例１における，ガスセンサアッセンブリの一部断面説明図。
【図５】実施形態例１における，自動車用エンジンの排気経路中における，ガスセンサの配置説明図。
【図６】実施形態例１における，サンプルガス導入路の断面積とガスセンサの出力との関係を示す線図。
【図７】実施形態例１における，３つのユニットにかかる酸素ポンプセル等の電極が一体化されたガスセンサの平面説明図。
【図８】実施形態例１における，二つの酸素ポンプセルに対し検出セルを介在させて設けたガスセンサの平面説明図。
【図９】実施形態例１における，図８にかかるガスセンサのＢ−Ｂ線矢視断面図。
【図１０】実施形態例２における，厚み方向に酸素ポンプセル及び検出セルを設けたガスセンサの平面図。
【図１１】実施形態例２における，図１０にかかるガスセンサのＣ−Ｃ線矢視断面図。
【符号の説明】
１，１９，３，５．．．ガスセンサ，
１００．．．サンプルガス室，
１２．．．第一固体電解質体，
１２１．．．サンプルガス導入路，
１３．．．第二固体電解質体，
１３０．．．検出ガス室，
１３２，１５２．．．連絡通路，
１２９，１３９．．．反対面，
１５．．．固体電解質体，
２１．．．第一酸素ポンプセル，
２１８，２１９，３１８，３１９，３３８，３３９，３８，３９．．．電極，
２２．．．酸素センサセル，
３．．．第一検出セル，
３１．．．第二酸素ポンプセル，
３０．．．ユニット，
５１．．．第二検出セル，
８．．．サンプルガス，
８７．．．酸素イオン，
８９．．．酸素ガス，
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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