(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体を準備する工程と、
当該準備された磁気記録媒体を初期化する初期化工程とを、有する磁気記録媒体の初期化方法であって、
前記磁気記録媒体を準備する工程における磁気記録媒体は、平板状の非磁性基板の上に、軟磁性裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、
該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデータトラックの間に位置する領域、またはサーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、
前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され、
前記初期化工程は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界でかつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方向に予め磁化させ、
しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラックまたはサーボ信号が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなることを特徴とする磁気記録媒体の初期化方法。
【請求項２】
磁気記録媒体を準備する工程と、
当該準備された磁気記録媒体を初期化する初期化工程とを、有する磁気記録媒体の初期化方法であって、
前記磁気記録媒体を準備する工程における磁気記録媒体は、平板状の非磁性基板の上に、軟磁性裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、
該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデータトラックの間に位置する領域、およびサーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、
前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され、
前記初期化工程は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界でかつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方向に予め磁化させ、
しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラックおよびサーボ信号が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなることを特徴とする磁気記録媒体の初期化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピュータのハードディスク等の磁気記録媒体、特に磁気記録媒体面に対して垂直な方向に磁化を記録するいわゆる垂直磁気記録媒体であって、初期化された媒体およびその初期化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
計算機の記録容量の増大に伴い、磁気記録装置の記録容量はますます大容量化される傾向にある。面記録密度を向上させるためには、磁気ヘッドから発生する信号磁界によって形成される磁気記録層中の記録磁区列をいかに微細化できるかがポイントとなる。
【０００３】
従来より用いられている、いわゆる長手記録方式においては、磁気ヘッドの走行方向に磁化を安定して存在させるために、記録がなされる磁気記録層としては、走行方向に高い保磁力、大きな角型比を持つことが要求される。記録磁区列の微細化に伴い、この要求は一段と大きくなっている。
【０００４】
しかしながら、ハードディスクの面記録密度の上昇が年率２００％以上といわれる現在、線記録密度の上昇に伴い、記録磁化の減磁が顕著になるとともに、１つの磁気粒子（磁気クラスター）の大きさの微細化に伴う活性化体積の低下により、熱揺らぎによる磁化反転の影響が無視できなくなり、これまで以上の超記録密度においては、長手方式の記録は不可能と言われている。
【０００５】
そこで、このような長手記録方式に替わり、より高密度記録に適用可能な方式として、いわゆる垂直記録方式が提案されている。この方式は、記録層面内に記録磁化を書き込む長手方式に対し、記録層面に対して垂直方向に磁化させることによって記録することを特徴とする方式である。
【０００６】
この垂直記録方式により、上述したような線記録密度の上昇に伴う記録磁化の減磁を抑えることができるだけでなく、密度が高くなるほど反磁界が減り、記録磁化をより安定化させることができる。また、記録層の膜厚を小さくしなければ面内方向に磁化させることが困難である長手方式に対し、垂直記録方式ではある程度膜厚を持たせた方が、形状異方性の効果で記録に有利となる。さらに、垂直記録方式は、熱揺らぎによる磁化反転の影響も大幅に低減できるという利点がある。
【０００７】
しかしながらそれでも、１００Gbit／in2以上の超記録密度となると、ヘッド側面から発生するサイドフリンジングによって、隣接トラックへの書き込みの問題が生じてしまう。そのため、現行の連続膜（単なるベタ膜）への記録では、それ以上の記録密度の実現は不可能となってしまう。
【０００８】
そこで、提唱されているのが、記録層の円周方向に非磁性体の列を形成し、磁性体部分のみ記録していく、いわゆるディスクリートトラック媒体である。非磁性体部分の存在により、上述した隣接したトラックへの書き込みの問題を回避でき、良好な記録再生特性を得ることができる。
【０００９】
このようなディスクリートトラック媒体の従来例として、例えば、特開平４−３１０６２１号公報、特開平７―１２９９５３号公報には、記録層を直接エッチングすることにより凹部を設け、この凹部にガードバンドとなる非磁性体を埋め込み、しかる後、平滑化処理をすることによりトラック方向に並んだ磁性体列を形成してなる媒体を提案している。しかしながら、これらの媒体は、記録層そのものを直接エッチングしており、エッチング時の熱履歴による記録層（磁性体）へのダメージが発生し、磁気記録層の磁気特性が劣化するおそれがある。
【００１０】
また、特開昭５６−１１９９３４号公報や特開平２−２０１７３０号公報では、非磁性体（基板）表面にエッッチングにより凹部を形成し、その凹部に磁性体を埋め込んだ後、平坦化処理をすることによりトラック方向に並んだ磁性体列を形成してなる媒体を提案している。しかしながら、これらの媒体において、微細な溝の中に良好な結晶配向性および垂直異方性を保持したまま磁性体を形成させることは不可能に近いと言える。
【００１１】
また、上記いずれの方法においても、ＣＭＰ（chemical mechanical polishing）等による表面平滑化処理過程における磁性層（記録層）表面の研磨によって、磁気記録層の磁気特性が劣化するおそれがある。
【００１２】
また、平滑・平坦化処理を行っても、記録層あるいは非磁性層のディッシング等により、媒体表面に凹凸が残り表面が均一でないために、安定したヘッドディスクインターフェイス（ＨＤＩ）を実現することが困難である。
【００１３】
このような問題を解決するために本出願に係る発明者らは、すでに、特願２００１−２００３８０号として、新規な磁気記録媒体の構造を提案している。本発明は、すでに提案した特願２００１−２００３８０号の媒体のいわゆる初期化に関する技術提案であり、本発明の目的は、磁性層に覆われてその下に位置するパターニングされたトラックの位置等を光学的または磁気的に検出することができるように初期化された磁気記録媒体および初期化方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明は、磁気記録媒体を準備する工程と、当該準備された磁気記録媒体を初期化する初期化工程とを、有する磁気記録媒体の初期化方法であって、前記磁気記録媒体を準備する工程における磁気記録媒体は、平板状の非磁性基板の上に、軟磁性裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデータトラックの間に位置する領域、またはサーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され、前記初期化工程は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界でかつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラックまたはサーボ信号が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように構成される。
【００１７】
また、本発明は、磁気記録媒体を準備する工程と、当該準備された磁気記録媒体を初期化する初期化工程とを、有する磁気記録媒体の初期化方法であって、前記磁気記録媒体を準備する工程における磁気記録媒体は、平板状の非磁性基板の上に、軟磁性裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備え、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデータトラックの間に位置する領域、およびサーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成され、前記初期化工程は、垂直磁気記録層面に対して垂直方向の磁界でかつ垂直磁気記録層の保磁力よりも大きい磁界を垂直磁気記録層に印加して、垂直磁気記録層全体を一様に一方向に予め磁化させ、しかる後、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界でかつ前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化のみを反転できる大きさの磁界を垂直磁気記録層に印加して、データトラックおよびサーボ信号が記録される領域のサーボマークに相当する垂直磁気記録層の磁化を反転させてなるように構成される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的実施の形態について詳細に説明する。
【００１９】
図１（Ａ）には本発明のディスク状の磁気記録媒体１の全体形状を表す概略平面図が示され、図１（Ｂ）には、図１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分１００の部分拡大概略図が示される。特に、図１（Ｂ）においては、サーボ信号領域９０およびデータ領域８０（記録再生のためのデータトラック群）の位置を概念的に現すために、本発明において、これらの上に被着されている垂直磁気記録層は除かれた状態で描かれている。図２（Ａ）および（Ｂ）には、それぞれ、本発明の磁気記録媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面図が示され、これらの図は、図１（Ｂ）のα−α矢視断面図に実質的に相当する。図３（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明のいやゆる初期化の操作が行われる前段階における磁気記録媒体の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するための概略断面図である。図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の初期化の方法を経時的に説明するための概略断面図である。
図１（Ａ）において、図示されてはいないがディスク基板上には記録再生のための複数のデータトラック群が同心円状に配置・形成されている。また、ディスクの中心から外方に向けて、放射状にサーボ信号領域（図面で線状に描かれている箇所）が形成されている。
【００２０】
図２（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、本発明の磁気記録媒体１は、非磁性基板２上に、軟磁性裏打ち層１０と、垂直磁気記録層２０とを備える磁気記録媒体であり、垂直磁気記録層２０には後述するようにパターニングされたトラックの位置等を光学的または磁気的に検出することができるように初期化の操作が施されている。
【００２１】
本発明における軟磁性裏打ち層１０は、記録再生が行われるデータトラック２２とデータトラック２２の間に位置する箇所（いわゆるガードバンド部）に、隣接するデータトラックが磁気的に分離されるごとくディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部１０ａを備えるとともに、その凹部１０ａには非磁性材が充填され非磁性層１５が形成されている。
【００２２】
なお、ディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部１０ａは、上記のデータトラック間のみならず、さらに、サーボ信号が記録される領域（図１のサーボ信号領域９０）において、その信号が機能する形態に設けてもよい。すなわち、サーボ信号領域９０においてサーボ信号パターンに応じた欠如凹が形成されるようにしてもよい。
【００２３】
図２（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、本発明における軟磁性裏打ち層１０および非磁性層１５の上に形成される垂直磁気記録層２０は、少なくとも基板２の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜として構成される。ここで、「意図的に形成された欠如凹部が存在しない」とは、従来公知の技術である特開平７−１２９９５３号公報に開示されているごとく、例えば、リソグラフィー法等によって、意識的に磁性層を欠いて凹部を形成したものを排除する趣旨である。それゆえ、垂直磁気記録層２０の成膜により生じる、例えば、ナノメートル（ｎｍ）単位の表面凹凸部は意図的に形成されたものではない。
【００２４】
図２（Ａ）における欠如凹部１０ａは、それが形成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚さ方向（図面の上下方向）の一部を欠如させるように形成されている。この態様に限定されることなく、前記欠如凹部１０ａは、図２（Ｂ）に示されるようにそれが形成される場所において、軟磁性裏打ち層１０の厚さ方向の実質的全部を欠如させるように形成してもよい。ここで、「実質的全部」とは、本発明の作用効果を逸脱しない範囲で、基板２の一部までをわずかにエッチングして基板の一部に非磁性材が充填されている態様をも含む趣旨である。厳密に軟磁性裏打ち層１０のみを完全に除去することは極めて困難といえるからである。
【００２５】
図２（Ａ）の態様において、実質的なディスクリート作用を働かせるための欠如凹部１０ａの深さ（非磁性材１５の厚さ）Ｄは、媒体を構成する各部材の材料選定によっても異なるが、軟磁性裏打ち層１０の厚さをＤsとした場合、Ｄ＝０．２〜０．９Ｄs程度とすることが望ましい。また、図２（Ａ）の態様のごとく軟磁性裏打ち層１０は下部で繋がっていることが望ましい。使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟磁性裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しやすく磁束密度の高い良好な記録ができるからである。
【００２６】
一方、図２（Ｂ）の態様の場合、軟磁性裏打ち層内に磁壁を形成することが困難となり、軟磁性裏打ち層の磁区に起因するノイズを抑制することができるというメリットがある。
【００２７】
本発明における非磁性基板２としては、アルミニウム、強化ガラス、結晶化ガラス、カーボンプラスチック等、通常この種の磁気記録媒体に使用されるものを用いれば良い。
【００２８】
本発明における軟磁性裏打ち層１０としては、ＮｉＦｅ，ＮｉＦｅＮｂ，ＮｉＦｅＭｏ，ＦｅＡｌＳｉ，ＦｅＴａＣ等が好適に用いられる。データトラックにおける軟磁性裏打ち層１０の厚さは、０．１〜１０μｍ程度とされる。この厚さが０．１μｍ未満となると、使用する単磁極ヘッドと、垂直磁気記録層２０、軟磁性裏打ち層１０との間で磁束が閉ループを形成しにくくなり、良好な再生出力を得ることができなくなってしまう。また、１０μｍを超えると膜の内部応力が増大して、膜にクラックが発生し易くなる傾向が生じてしまう。
【００２９】
本発明における垂直磁気記録層２０としては、ＣｏＣｒ，ＣｏＣｒＴａ，ＣｏＰｔ，ＣｏＣｒＰｔ，ＣｏＰｔＣｒＯ，ＴｂＦｅＣｏ等、通常この種の磁気記録媒体の垂直磁気記録層に使用されるものであればいかなるものであっても良い。このような垂直磁気記録層２０の厚さは、使用するヘッドや用いられる記録波長等を考慮しつつ適宜選定すれば良い。通常は、１０〜１００ｎｍ程度とされる。厚さが１０ｎｍ未満となると垂直磁気記録層２０に信号が記録された際の残留磁化量が非常に小さくなるために、信号の再生出力が著しく劣化してしまう傾向が生じる。
【００３０】
本発明の欠如凹部１０ａに充填される非磁性材（非磁性層１５を構成する材料）としては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｃ等が好適に用いられる。
【００３１】
また、垂直磁気記録層２０の上には、磁性層を保護する目的でＣ、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2等を主体とする保護膜を１〜１０ｎｍ程度の厚さに形成することが望ましい。あまり厚く形成し過ぎるとすると、スペーシングロスの問題が生じる傾向にあり、また、あまりに薄く形成し過ぎると、耐久性等の問題が生じる傾向にある。さらにこの保護膜の上に公知の種々の有機潤滑剤を含有させた潤滑膜を形成してもよい。
【００３２】
本発明の磁気記録媒体の製造方法
本発明の磁気記録媒体の製造方法の好適な一例を図３（Ａ）〜（Ｈ）および図４（Ａ）〜（Ｃ）に基づいて説明する。
【００３３】
まず、最初に図３（Ａ）に示されるように非磁性基板２の上に軟磁性裏打ち層１０をスパッタ法等により形成する。
【００３４】
次いで、図３（Ｂ）に示されるように軟磁性裏打ち層１０の上にレジスト層５０を形成する。
【００３５】
次いで、図３（Ｃ）に示されるようにトラック間隙、サーボ信号等の凹凸形状が微細加工された成形金型６０を準備して、このものを、レジスト層５０の表面に加熱しつつ加圧してインプリント（imprint）する。成形金型６０を外す（remove）ことによって図３（Ｄ）のインプリント形状（レジストパターン）が形成される。なお、レジストパターンは、電子ビームリソグラフィ等で形成してもよい。
【００３６】
次いで、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）等により、軟磁性裏打ち層１０をレジストパターンに沿ってエッチングしていき、図３（Ｅ）に示されるごとく複数の欠如凹部１０ａを形成する。この時、軟磁性裏打ち層１０のエッチング箇所において、深さ方向に一部の軟磁性裏打ち層１０を残せば、前述した図２（Ａ）に示される形態となり、また、深さ方向に実質的に全ての軟磁性裏打ち層１０を除去すれば、前述の図２（Ｂ）に示される形態となる。
【００３７】
軟磁性裏打ち層１０の上の残余のレジストを除去した後、図３（Ｆ）に示されるように非磁性材をスパッタ堆積させ、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部１０ａに非磁性層１５を形成させる。
【００３８】
次いで、ＣＭＰ（chemical mechanical polishing）等の手法で軟磁性裏打ち層１０および非磁性層１５の平坦化処理（planarization）をすることにより、表面の平坦化が図られるとともに不要な非磁性層１５（非磁性材）が除去され、図３（Ｇ）の状態に至る。
【００３９】
次いで、図３（Ｈ）に示されるように垂直磁気記録層２０がスパッタ等で堆積形成される。なお、図面には示されていないが垂直磁気記録層２０の形成前に、良好な垂直磁気記録層２０を得るために予め、結晶配向層を下地層として設けるようにすることが好ましい。特に、軟磁性裏打ち層の欠如凹部が存在しない箇所（非磁性層が存在しない箇所）のみに結晶配向層を形成するようにすることは、本来良好な磁気特性が要望されるデータトラック部の垂直磁気記録層と良好な磁気特性が要望されないディスクリート部の垂直磁気記録層とで、本来の要求を満たすような磁気特性の差別化を図れるという点で特に好ましい。
【００４０】
上記図３（Ａ）〜（Ｈ）に基づき製造された磁気記録媒体は、従来技術の問題点、すなわち、磁気記録層の磁気特性の劣化のおそれや、表面の不均一性の発生のおそれを改善することができるなどの極めて優れた効果を発現する。しかしながら、上記図３（Ａ）〜（Ｈ）に基づき製造された磁気記録媒体は、そのままでは、その表面が垂直磁気記録層２０で一様に覆われているためにその下に位置するパターニングされたトラックやサーボ信号等を光学的または磁気的に検出することが困難である。そのため、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示されるような本発明の初期化方法（着磁方法）が採られる。なお、図４にはいわゆる両面記録型媒体の例示、すなわち、非磁性基板２の両面にそれぞれ本願発明の軟磁性裏打ち層１０と、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部に形成された非磁性層１５と、垂直磁気記録層２０とを備える媒体が例示されている。
【００４１】
最初に、図４（Ａ）に示されるように、垂直磁気記録層２０面に対して垂直方向の磁界（図４の場合、上から下方向の矢印（α１）で示される磁界）でかつ垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃよりも大きい外部磁界Ｈ1（Ｈ1＞＞Ｈｃ）を垂直磁気記録層２０の全面に印加して、垂直磁気記録層２０の全体を一様に一方向（図４の場合、上から下方向）に予め磁化させる。垂直磁気記録層２０中に模式的に記載された矢印が磁化方向を示している。
【００４２】
次いで、図４（Ｂ）に示されるように、前記予め磁化された磁化方向と反対方向の磁界（図４の場合、下から上方向の矢印（β）で示される磁界）で、かつ、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁気記録層２０の磁化のみを反転できる程度大きさの外部磁界Ｈ2を印加する。この場合の外部磁界Ｈ2の大きさは、外部磁界を発生させる、例えば幅広の記録ヘッド（永久磁石や電磁石）４０と軟磁性裏打ち層１５との磁気的結合（模式的に表示すれば、矢印（β）と矢印（γ）との磁気的結合）により、軟磁性裏打ち層１５が下方に位置する垂直磁気記録層２０のみの磁化を反転させることができる大きさとされる。この外部磁界Ｈ2は、例えば、垂直磁気記録層２０の保磁力Ｈｃと同等あるいはそれよりもやや小さめの磁界に設定される。
【００４３】
図４（Ｂ）に示されるような磁化反転操作を、例えば、媒体表面に沿って矢印４１方向に続けることにより、図４（Ｃ）に示されるように軟磁性裏打ち層１５と垂直磁気記録層２０とが磁気的に結合することができる所定位置（非磁性層１５が存在しない位置）の垂直磁気記録層２０の磁化反転が完了する。
【００４４】
このようにして前記非磁性層１５が下方に存在する位置における垂直磁気記録層２０の磁化方向と、前記非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化されることになる。このような初期化処理をすることにより、垂直磁気記録層２０に覆われてその下に位置するパターニングされたトラック位置やサーボ信号（サーボ信号が記録される領域のサーボマーク）を光学的または磁気的に検出することができるようになる。
【００４５】
なお、図示していないが、引き続き、基板の裏面側も図４（Ｂ）と同じ操作をすることにより、基板裏面側の垂直磁気記録層２０（図面の下側に位置する記録層）の初期化（磁化反転）が行われる。
【００４６】
なお、「非磁性層１５が存在する位置における垂直磁気記録層２０」とは、非磁性層１５の上に形成された垂直磁気記録層２０の部分をいい、この逆に、「非磁性層１５が存在しない位置における垂直磁気記録層２０」とは、非磁性層１５の上に形成された垂直磁気記録層２０の部分を排除する趣旨であり、換言すれば、軟磁性裏打ち層１５の上に垂直磁気記録層２０が磁気的に結合することができるような位置における垂直磁気記録層２０の部分ということになる。
【００４７】
【実施例】
以下に具体的実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
【００４８】
図３（Ａ）〜（Ｈ）に示される製造プロセスに準じて本発明の磁気記録媒体サンプルを作製した。非磁性基板２として、外径６５ｍｍ、内径２０ｍｍ、厚さ０．６３ｍｍのハードディスク用の結晶化ガラスを用いた。軟磁性裏打ち層１０として、ＮｉＦｅパーマロイを用いてスパッタ成膜し、平坦部の厚さを５００ｎｍ、欠如凹部１０ａの深さを２５０ｎｍとした。欠如凹部１０ａに充填する非磁性材としてはＳｉＯ2を用いた。垂直磁気記録層２０として、ＣｏＣｒＰｔを厚さ５０ｎｍにスパッタ成膜した。
【００４９】
このようにして作製した本発明サンプルを図４（Ａ）〜（Ｃ）に示される方法で初期化した。初期化の際に用いた外部磁界Ｈ1は、８００ｋＡ／ｍ（１００００Ｏｅ）、外部磁界Ｈ2は、４００ｋＡ／ｍ（５０００Ｏｅ）とした。
【００５０】
このようにして作製した本発明サンプルについて、トラック位置およびサーボ信号を磁気的に検出する実験を試みたところ、これらの磁気的信号は確かに検出できることが確認できた。カー効果を用いた光学的検出もできることが確認できた。
【００５１】
加えて、本発明サンプルは、垂直磁気記録層２０には成膜後、エッチング処理を施さない構造を採択しているので、垂直磁気記録層２０の磁気特性の劣化を防止することができる。
【００５２】
さらに、本発明のサンプルは、軟磁性裏打ち層１０の欠如凹部１０ａのみに非磁性材を埋め込み、ＣＭＰ等により平滑・平坦化処理を行ってから垂直磁気記録層を形成する構造を備えている。そのため、従来技術のように例えば垂直磁気記録層に形成した欠如部に非磁性材を埋め込んでから平滑・平坦化を行うことにより発生し得る垂直磁気記録層へのダメージを回避することができ、この観点からも垂直磁気記録層２０の磁気特性の劣化を防止することができる。さらに、本発明のサンプルは、従来技術の媒体構成より必然的に発生していた垂直磁気記録層および非磁性層のディッシング等による媒体表面の凹凸を無くすことができる。
【００５３】
もちろん、上記の構成よりなる本発明サンプルは、いわゆるサイドクロストークの低減化（cross write/cross read の低減化）、およびトラッキング精度の向上を図り面記録密度の向上を図ることができることも実験的に確認された。
【００５４】
【発明の効果】
上記の結果より本発明の効果は明らかである。すなわち、本発明は、非磁性基板上に、軟磁性裏打ち層と、垂直磁気記録層とを備える磁気記録媒体であって、該媒体の軟磁性裏打ち層は、記録再生が行われるデータトラックとデータトラックの間に位置する領域、またはサーボ信号が記録される領域にディスクリート作用を発揮させるための欠如凹部を有するとともに、その凹部には非磁性材が充填されて非磁性層が形成されており、前記垂直磁気記録層は、少なくとも基板の鉛直方向に磁気異方性を有するとともに、意図的に形成された欠如凹部が存在しない平面膜であり、前記非磁性層が存在する位置における垂直磁気記録層の磁化方向と、前記非磁性層が存在しない位置における垂直磁気記録層の磁化方向とが反対となるように初期化されてなるので、垂直磁気記録層に覆われてその下に位置するパターニングされたトラックの位置やサーボ信号を光学的または磁気的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は本発明のディスク状の磁気記録媒体の全体形状を表す概略平面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の四角で囲まれた微小部分の部分拡大概略図である。
【図２】図２（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明の磁気記録媒体の好適な実施の形態を概念的に示す断面図である。
【図３】図３（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明の磁気記録媒体の好適な製造プロセスの一例を経時的に説明するための概略断面図である。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の初期化の方法を経時的に説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１…磁気記録媒体
２…非磁性基板
１０…軟磁性裏打ち層
１０ａ…欠如凹部
１５…非磁性層
２０…垂直磁気記録層
【図１】
0003934890.tif 000002
【図２】
0003934890.tif 000003
【図３】
0003934890.tif 000004
【図４】
0003934890.tif 000005