(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法であって、
純水を前記ヘッド内流路に通水してこれを洗浄する純水洗浄工程と、
前記純水洗浄工程の後、アルコールを前記ヘッド内流路に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工程と、
前記アルコール洗浄工程の後、前記機能液の溶剤を前記ヘッド内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程とを備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項２】
前記溶剤洗浄工程の後、前記ヘッド内流路に前記溶剤を充填する溶剤充填工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項３】
前記溶剤充填工程における前記溶剤の充填は、前記溶剤の通液を停止することで行われることを特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項４】
前記純水洗浄工程において、通水する前記純水の流速を緩急させることを特徴とする請求項１、２または３に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項５】
前記純水洗浄工程において、通水する前記純水に気泡を混入させることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項６】
前記アルコール洗浄工程において、通液する前記アルコールの流速を緩急させることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項７】
前記アルコール洗浄工程において、通液する前記アルコールに気泡を混入させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項８】
前記アルコール洗浄工程において、前記アルコールの流路を閉回路とし、前記アルコールを循環使用することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項９】
前記溶剤洗浄工程において、通液する前記溶剤の流速を緩急させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項１０】
前記溶剤洗浄工程において、通液する前記溶剤に気泡を混入させることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項１１】
前記溶剤洗浄工程において、前記溶剤の流路を閉回路とし、前記溶剤を循環使用することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
【請求項１２】
機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置であって、
前記機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメントと、
前記吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメントと、
前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続アタッチメントを介して、前記ヘッド内流路に純水、アルコールおよび前記機能液の溶剤を、個々に通液する洗浄液供給手段と、
前記洗浄液供給手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、前記洗浄液供給手段を空気圧で制御することを特徴とする請求項１２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１４】
前記制御手段は前記洗浄液供給手段を制御し、前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤の順で通液することを特徴とする請求項１２または１３に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１５】
前記洗浄液供給手段は、
流入パイプを介して、前記導入口接続アタッチメントに接続される純水タンク、アルコールタンクおよび溶剤タンクと、
流出パイプを介して、前記ノズル接続アタッチメントに接続される吸引ポンプとを有することを特徴とする請求項１２、１３または１４に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１６】
前記吸引ポンプは、単一のもので構成され、
前記流入パイプの上流側で相互に合流接続する、前記純水タンクに連通する純水供給パイプ、前記アルコールタンクに連通するアルコール供給パイプおよび前記溶剤タンクに連通する溶剤供給パイプを有し、
前記純水供給パイプ、前記アルコール供給パイプおよび前記溶媒供給パイプには、前記制御手段により選択制御される流入側開閉弁がそれぞれ介設されていることを特徴とする請求項１５に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１７】
前記吸引ポンプの吐出側には、排水系に連通する純水排水パイプ、前記アルコールタンクに連通するアルコール回収パイプおよび前記溶剤タンクに連通する溶剤回収パイプが分岐接続され、
前記純水排水パイプ、前記アルコール回収パイプおよび前記溶媒回収パイプには、前記制御手段により選択制御される流出側開閉弁がそれぞれ介設されていることを特徴とする請求項１５または１６に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１８】
前記純水タンクには、純水の供給源に連通する補給水パイプが接続されていることを特徴とする請求項１５、１６または１７に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項１９】
前記流入パイプまたは前記流出パイプには、通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤の流速を緩急させる洗浄促進弁が介設されていることを特徴とする請求項１５ないし１８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２０】
前記流入パイプには、通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤に気泡を混入させるエアーパイプが接続され、
前記エアーパイプには、気泡混入弁が介設されていることを特徴とする請求項１５ないし１９のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２１】
キャリッジに前記機能液滴吐出ヘッドを複数搭載したヘッドユニットに適用される請求項１５ないし１８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置であって、
前記導入口接続アタッチメントおよび前記ノズル接続アタッチメントは、これら複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続部を備えており、
前記導入口接続アタッチメントには、該導入口接続アタッチメントの前記複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流入パイプが接続され、且つ前記複数本の個別流入パイプには流入側マニホールドを介して前記流入パイプが接続され、
前記ノズル接続アタッチメントには，該ノズル接続アタッチメントの前記複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流出パイプが接続され、且つ前記複数本の個別流出パイプには流出側マニホールドを介して前記流出パイプが接続されていることを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２２】
前記各個別流入パイプまたは前記各個別流出パイプには、通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤の流速を緩急させる洗浄促進弁が介設され、
前記各個別流入パイプには、通液する前記純水、前記アルコールおよび前記溶剤に気泡を混入させるエアーパイプが接続され、且つ前記各エアーパイプには、気泡混入弁が介設されていることを特徴とする請求項２１に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２３】
前記各個別流入パイプおよび／または前記各個別流出パイプは、液流を外部から視認可能な樹脂チューブで構成されていることを特徴とする請求項２１または２２に記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２４】
前記各個別流入パイプを、前記流入側マニホールドに接続される上流側部分と、前記導入口接続アタッチメントに接続される下流側部分とに分離し、前記キャリッジに前記各個別流入パイプの上流側部分を前記各個別流入パイプの下流側部分に接続するワンタッチジョイントを搭載することを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２５】
前記ノズル接続アタッチメントを支持するアタッチメント支持部材と、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジを前記アタッチメント支持部材で支持される前記ノズル接続アタッチメントの上に重ねるようにして支持するキャリッジ支持部材とを備え、
前記キャリッジ支持部材に前記キャリッジを支持させることで前記機能液滴吐出ヘッドの前記吐出ノズルが前記ノズル接続アタッチメントに接続されるようにしたことを特徴とする請求項１２ないし２４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置。
【請求項２６】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２７】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上の多数の画素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２８】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造方法。
【請求項２９】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項３０】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項３１】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３２】
前記多数のフィルタエレメントおよび前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、
前記フィルタエレメントを形成した後に、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項３１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項３４】
前記多数のＥＬ発光層と前記基板との間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、
前記バンクを形成する前に、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特徴とする請求項３３に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３５】
前記多数のＥＬ発光層および前記バンクを覆うように対向電極が形成されており、
前記ＥＬ発光層を形成した後に、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とする請求項３４に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３６】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項３７】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。
【請求項３８】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項３９】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。
【請求項４０】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法または請求項１２ないし２５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの洗浄装置で洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットに代表される機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いて行う液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。
【０００３】
例えば、図１ないし図３に示す如く、単一のキャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を搭載して成るヘッドユニット１を用い、このヘッドユニット１を図４に示す描画装置Ａに投入して、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考えられている。この描画装置Ａは、ヘッドユニット１を搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙し、カラーフィルタの基板といったワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１０２と、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１０３とを備えている。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニット１を、ワーク移動部１０２を挟んでユニット投入部１０４とメンテナンス部１０３との間で移動させる。ヘッドユニット１を投入セットする場合には、ヘッド移動部１０１がユニット投入部１０４側に移動し、その仮置き台１０５がユニット投入部１０４に臨んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０５上に仮置きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移動部１０１に送り込むようにしてセットされる。そして、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程では、ヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補正）が行われるが、フィルタ材料（機能液）を吐出する描画工程では、ワークＷがＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査および副走査が行われる。尚、メンテナンス部１０３には吸引キャップ１０６が配置され、描画工程開始前に機能液滴吐出ヘッド３に残留する液体を吸引キャップ１０６により吸引除去するクリーニングを行う。
【０００４】
上記ヘッドユニット１は、Ｘ軸方向に二分して６個宛計１２個の機能液滴吐出ヘッド３を備えており、各機能液滴吐出ヘッド３は各ヘッド保持部材４を介してキャリッジ２に固定されている。キャリッジ２は、Ｘ軸方向両側の長辺部分に取り付けた一対の支持部材２ａ，２ａと、両支持部材２ａ，２ａの端部に立設した一対のハンドル２ｂ，２ｂとを備えており、ハンドル２ｂ，２ｂを手持ち部位としてヘッドユニット１を描画装置Ａ等に投入できるようにしている。また、キャリッジ２には、二分された機能液滴吐出ヘッド群の上側に位置させて、これら機能液滴吐出ヘッド３に接続される一対の導入口接続アタッチメント５，５および一対の配線接続アタッチメント６，６が搭載されている。各導入口接続アタッチメント５は、描画装置Ａのフィルタ材料供給系に配管接続され、同様に各配線接続アッセンブリ６は、描画装置Ａの制御系に配線接続されるようになっている。各導入口接続アタッチメント５は、キャリッジ２上にスペーサ５ａを介して架設したプレート５ｂと、このプレート５ｂに搭載した６組の配管アダプタ５ｃとで構成されている。各配管アダプタ５ｃは、上端の配管接続部５ｄと下端のヘッド接続部５ｅとを備えており、ヘッド接続部５ｅをプレート５ｂの下方に突出させた状態でプレート５ｂに固定されている。また、各配線接続アッセンブリ６は、キャリッジ２の長辺部分の上方に屈曲支持部材６ａを介して架設したコネクタベース６ｂと、コネクタベース６ｂ上に取り付けた配線コネクタ６ｃ付きのヘッド中継基板６ｄとで構成されている。そして、配線接続アッセンブリ６はカバー６ｅ（図２にのみ図示）で上方から覆われている。尚、図１は、一方の導入口接続アタッチメント５を省略して、描かれている。
【０００５】
上記機能液滴吐出ヘッド３はいわゆる２連のものであり、図５ないし図７に示す如く、２連の針状の機能液導入口３ａを有する液体導入部３ｂと、液体導入部３ｂの側方に連なる２連のヘッド基板３ｃと、液体導入部３ｂの下方に連なる２連のポンプ部３ｄと、ポンプ部３ｄに連なるノズル形成プレート３ｅとを備えている。上記導入口接続アタッチメント５のプレート５ｂをスペーサ５ａ上にねじ５ｆ止めすると、導入口接続アタッチメント５の２連の配管アダプタ５ｃのヘッド接続部５ｅが機能液導入口３ａに嵌合接続される。また、ヘッド基板３ｃには、上記配線接続アタッチメント６のヘッド中継基板６ｄから導出されるフレキシブルフラットケーブル（図示せず）が接続されている。一方、上記ポンプ部３ｄとノズル形成プレート３ｅとにより、キャリッジ２に形成したヘッド装着開口２ｃを通してその裏面側に突出する方形のヘッド本体が構成されている。また、ノズル形成プレート３ｅには、多数の吐出ノズル３ｆが２列に形成されている。ポンプ部３ｄは、シリコンゴム等の弾性体３ｇに形成したノズル数に対応する圧力室３ｈと圧電素子３ｉとを有し、各圧力室３ｈは対応する吐出ノズル３ｆに連通している。そして、圧電素子３ｉへの通電による圧電素子３ｉを介しての圧力室３ｈの伸縮で吐出ノズル３ｆから液滴が吐出される。また、ポンプ部３ｄの基部側は、液体導入部３ｂを受けるべく方形フランジ状に形成され、このフランジ部３ｊには、機能液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定する小ねじ用の一対のねじ孔３ｋが形成されている。
【０００６】
ところで、上記吐出ノズル３ｆは微小であって目詰まりを生じやすく、機能液滴吐出ヘッド３の製造後、ヘッド内に保存液を充填して、ヘッド内に空気中の塵埃等の異物が混入しないようにしている。そして、従来は、機能液滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に搭載してヘッドユニット１を組立てた後、描画装置Ａにヘッドユニット１を投入して上記吸引キャップ１０６により機能液滴吐出ヘッド３内の保存液を吸引除去し、その後でフィルタ材料を供給して描画作業を行うようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の如く機能液滴吐出ヘッド３内に保存液を充填しておいても、時間が経つと保存液中の不純物が析出して、目詰まりの原因になることがある。ここで、機能液滴吐出ヘッド３内の保存液を吸引キャップ１０６により単純に吸引するだけでは、圧力室３ｈのコーナ部等に保存液が残留し易く、吐出ノズル３ｆの目詰まりを確実に防止することはできない。また、保存液は一般に水溶性であり、機能液の吐出時に残留保存液により機能液が分離して、吐出不良を生ずることもある。
本発明は、以上の点に鑑み、機能液滴吐出ヘッドを確実に洗浄して、その後の目詰まりや機能液の分離といった不具合を防止できるようにした洗浄方法および洗浄装置、並びにこの洗浄方法や洗浄装置で洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いた液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供することをその課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の洗浄方法は、機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法であって、純水をヘッド内流路に通水してこれを洗浄する純水洗浄工程と、純水洗浄工程の後、アルコールをヘッド内流路に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工程と、アルコール洗浄工程の後、機能液の溶剤をヘッド内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、ヘッド内流路の保存液等が純水洗浄工程でほぼ洗い落とされ、引き続くアルコール洗浄工程と溶剤洗浄工程とでヘッド内流路を完全に洗浄でき、更に、溶剤洗浄工程を最後に行うことにより、その後の機能液の供給吐出時にヘッド内流路で機能液の顔料と溶剤が分離するといった不具合も生じない。ここで、純水洗浄工程に続いて溶剤洗浄工程を実行すると、ヘッド内流路に水が残留し易くなるが、本発明では、中間工程として水と溶剤との両方に対し親和性の高いアルコールによる洗浄を行うため、ヘッド内流路に水が残留することはなく、最後に残るのは溶剤だけになり、機能液の吐出不良を生ずることはない。
【００１０】
尚、洗浄後のヘッド内流路への異物の混入を防止するため、ヘッド内流路に溶剤を充填する溶剤充填工程を実行することが望ましい。この場合、溶剤洗浄工程の最後に溶剤の通液を停止することで溶剤の充填を行うようにすれば、溶剤充填工程のための時間を別途確保せずに済み、作業能率が向上する。
【００１１】
ところで、純水、アルコール、溶剤といった洗浄液を一定流速の定常流として流すと、ヘッド内流路の壁面近傍に滞留層が生成され、洗浄効果が低下する。これに対し、通液する洗浄液の流速を緩急させれば、上記滞留層の生成が抑制され、洗浄効果が向上する。通液する洗浄液に気泡を混入させることによっても、滞留層の生成を抑制して洗浄効果を向上できる。
【００１２】
また、ランニングコストの低減を図るには、洗浄液の流路を閉回路とし、洗浄液を循環使用することが望ましい。但し、洗浄初期工程では洗浄液が汚れ易く、洗浄液を循環使用すると、ヘッド内流路の壁面に汚れが再付着する。そこで、洗浄初期工程たる純水洗浄工程では純水を循環使用せずに洗浄を行うが、純水は低コストであって、このようにしてもランニングコストはさほど増加しない。換言すれば、最初に純水洗浄工程を行うことにより洗浄効果を向上させつつランニングコストの低減を図ることができる。
【００１３】
上記本発明の洗浄方法の実施に用いる本発明の洗浄装置は、機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメントと、吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメントと、導入口接続アタッチメントおよびノズル接続アタッチメントを介して、ヘッド内流路に純水、アルコールおよび機能液の溶剤を、個々に通液する洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。そして、制御手段により洗浄液供給手段を制御して、純水、アルコールおよび溶剤の順で通液し、純水洗浄工程、アルコール洗浄工程および溶剤洗浄工程を順に実行する。尚、アルコール、溶剤は引火性があり、安全性を確保するため、制御手段は洗浄液供給手段を空気圧で制御するように構成することが望ましい。
【００１４】
また、洗浄液供給手段は、流入パイプを介して導入口接続アタッチメントに接続される純水タンク、アルコールタンクおよび溶剤タンクと、流出パイプを介してノズル接続アタッチメントに接続される吸引ポンプとを有するものに構成すれば良い。これによれば、各タンク内の純水やアルコールや溶剤を、流入パイプと導入口接続アタッチメントと機能液滴吐出ヘッドとノズル接続アタッチメントと流出パイプとを介して吸引ポンプで吸引し、ヘッド内流路に純水やアルコールや溶剤を通液できる。
【００１５】
この場合、流入パイプの上流側で相互に合流接続する、純水タンクに連通する純水供給パイプ、アルコールタンクに連通するアルコール供給パイプおよび溶剤タンクに連通する溶剤供給パイプを設け、これら純水供給パイプ、アルコール供給パイプおよび溶媒供給パイプに、前記制御手段により選択制御される流入側開閉弁をそれぞれ介設すれば、吸引ポンプが単一であっても、流入側開閉弁を選択的に開弁することにより純水、アルコールおよび溶剤を個々に通液することができ、構造の簡素化を図れる。
【００１６】
また、吸引ポンプの吐出側に、排水系に連通する純水排水パイプ、アルコールタンクに連通するアルコール回収パイプおよび溶剤タンクに連通する溶剤回収パイプを分岐接続し、これら純水排水パイプ、アルコール回収パイプおよび溶媒回収パイプに、制御手段により選択制御される流出側開閉弁をそれぞれ介設すれば、これら流出側開閉弁を選択的に開弁することにより、吸引ポンプで吸引された洗浄後の純水は排水し、洗浄後のアルコールや溶剤は対応するタンクに回収できる。即ち、アルコールや溶剤の流路を閉回路化してアルコールや溶剤を循環使用することができる。尚、純水タンクには、純水の供給源に連通する補給水パイプを接続し、排水で減少する純水を補給できるようにする。
【００１７】
更に、流入パイプまたは流出パイプには、通液する純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させる洗浄促進弁を介設することが望ましい。上記の如く吸引ポンプを用いると、洗浄促進弁を単純な開閉式の弁で構成しても、閉弁時に吸引ポンプの吸引力により発生する負圧の影響で開弁時に流速がピーク的に増加し、流速に大きな緩急変化を付けられ、洗浄効果が向上する。また、流入パイプにエアーパイプを接続することにより、通液する純水、アルコールおよび溶剤に気泡を混入して、洗浄効果を向上することもできる。この場合、気泡の混入を制御し得るよう、エアーパイプに気泡混入弁を介設しておくことが望ましい。
【００１８】
ところで、キャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに適用される洗浄装置では、導入口接続アタッチメントおよびノズル接続アタッチメントを、ヘッドユニットの複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数の接続部を備えるものに構成し、複数の機能液滴吐出ヘッドに対する導入口接続アタッチメントやノズル接続アタッチメントの接続作業を纏めて簡便に行うことができるようにする。この場合、導入口接続アタッチメントには、該導入口接続アタッチメントの複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流入パイプを接続し、ノズル接続アタッチメントには、ノズル接続アタッチメントの複数の接続部に個別に連通する複数本の個別流出パイプを接続するが、配管構造をすっきりさせるには、複数本の個別流入パイプに流入側マニホールドを介して流入パイプを接続すると共に、複数本の個別流出パイプに流出側マニホールドを介して流出パイプを接続することが望ましい。
【００１９】
また、ヘッドユニットに適用される洗浄装置において、複数の機能液滴吐出ヘッドに共通の洗浄液流路となる流入パイプや流出パイプに洗浄促進弁を介設して、純水やアルコールや溶剤といった洗浄液の流速を緩急させることも可能であるが、これでは機能液滴吐出ヘッド毎に洗浄液の流速変化にばらつきを生じ易くなる。そのため、各個別流入パイプまたは各個別流出パイプに洗浄促進弁を介設し、各機能液滴吐出ヘッドに通液する洗浄液の流速を各洗浄促進弁で個別に緩急変化し得るようにすることが望ましい。同様に、各個別流入パイプにエアーパイプを接続し、各エアーパイプに気泡混入弁を介設することが望ましい。この場合、各個別流入パイプおよび／または各個別流出パイプが液流を外部から視認可能な樹脂チューブで構成されていれば、気泡の混入具合を目視確認でき、有利である。また、各個別流入パイプを、流入側マニホールドに接続される上流側部分と、導入口接続アタッチメントに接続される下流側部分とに分離し、キャリッジに各個別流入パイプの上流側部分を各個別流入パイプの下流側部分に接続するワンタッチジョイントを搭載しておけば、流入側マニホールドと導入口接続アタッチメントとの間の配管作業が容易になると共に、描画装置にヘッドユニットを投入したときに、描画装置の機能液用配管部材をこのワンタッチジョイントを介して導入口接続アタッチメントに接続できるため、描画装置にワンタッチジョイントを設ける必要がなく、コストダウンを図る上で有利である。
【００２０】
また、洗浄装置に、ノズル接続アタッチメントを支持するアタッチメント支持部材と、機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジをアタッチメント支持部材で支持されるノズル接続アタッチメントの上に重ねるようにして支持するキャリッジ支持部材とを設け、キャリッジ支持部材にキャリッジを支持させることで機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルがノズル接続アタッチメントに接続されるようにしておけば、機能液滴吐出ヘッドに対するノズル接続アタッチメントの接続作業を別途行わずに済み、作業能率が向上する。
【００２１】
上記本発明の洗浄方法や洗浄装置によれば、機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰まり等による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから機能液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法にも本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いることができる。
【００２２】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
【００２３】
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上の多数の画素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
【００２４】
本発明の電子放出装置の製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００２５】
本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを背面基板に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００２６】
本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に吐出して多数の泳動体を形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成することを特徴とする。
【００２８】
またこの場合、多数のフィルタエレメントおよびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、フィルタエレメントを形成した後に、複数の液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を形成することが、好ましい。
【００２９】
本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
【００３０】
またこの場合、多数のＥＬ発光層と基板との間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、バンクを形成する前に、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成することが、好ましい。
【００３１】
さらにこの場合、多数のＥＬ発光層およびバンクを覆うように対向電極が形成されており、ＥＬ発光層を形成した後に、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、好ましい。
【００３２】
本発明のスペーサ形成方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の基板に対し相対的に走査し、粒子材料を選択的に吐出して基板上にスペーサを形成することを特徴とする。
【００３３】
本発明の金属配線形成方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料を選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とする。
【００３４】
本発明のレンズ形成方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを形成することを特徴とする。
【００３５】
本発明のレジスト形成方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成することを特徴とする。
【００３６】
本発明の光拡散体形成方法は、上記した本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した複数の機能液滴吐出ヘッドを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成することを特徴とする。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、図１ないし図３に示したヘッドユニット１のキャリッジ２に搭載されている複数の機能液滴吐出ヘッド３の洗浄に本発明を適用した実施形態について説明する。
【００３８】
図８および図９は、上記機能液滴吐出ヘッド３の洗浄を行う洗浄装置Ｂの全体構造を示している。この洗浄装置Ｂは、図４に示した描画装置Ａの近傍に配置されるもので、架台２００とその上方のカバー２０１とを備えている。架台２００内には、図１０および図１１に示す如く、純水を入れる純水タンク２０２と、エタノール等のアルコールを入れるアルコールタンク２０３と、描画装置Ａで機能液滴吐出ヘッド３から吐出させる機能液の溶剤を入れる溶剤タンク２０４とが設けられている。そして、図５ないし図７に示した機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るヘッド内流路に、洗浄液たる上記タンク２０２，２０３，２０４からの純水、アルコール、溶剤を順に通液してヘッド内流路の洗浄を行う。そのために、洗浄装置Ｂには、機能液導入口３ａに接続される先に説明した導入口接続アタッチメント５および吐出ノズル３ｆに接続されるノズル接続アタッチメント７（後述する）を介して、ヘッド内流路に純水、アルコールおよび溶剤を個々に通液する洗浄液供給手段と、洗浄液供給手段を制御する制御手段とが設けられている。
【００３９】
ノズル接続アタッチメント７は、図１５に示す如く、支持板７０に、機能液滴吐出ヘッド３に対する接続部となるキャップ７１を装着して成るもので、機能液滴吐出ヘッド３がヘッドユニット１に６個宛２列に配設されているのに合わせて、キャップ７１を支持板７０に６個宛２列に配設している。各キャップ７１は、図１６に示す如く、支持板７０に対する取付けベース７２と、取付けベース７２にばね７３で上方に付勢して支持させたキャップ本体７４と、キャップ本体７４の上面の窪み７４ａの開口部周縁に装着したパッキン７５とを備えており、機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成プレート３ｅの周辺部にパッキン７５が密着する。キャップ本体７４には、窪み７４ａに連通するエルボ管７６が連結されており、ノズル形成プレート３ｅに形成した多数の吐出ノズル３ｆがキャップ本体７４を介してエルボ管７６に接続される。尚、本実施形態では、キャップ７１を、描画装置Ａに設ける吸引キャップ１０６の流用品で構成しているため、窪み７４ａに多孔質の吸液板７７が装着され、また、窪み７４ａに連通する大気開放弁７８が設けられているが、これらは必要不可欠ではない。
【００４０】
前記架台２００の上面に装着する天板２０５には、図１０に示す如く、比較的短い柱状のアタッチメント支持部材２０６が前後（Ｙ軸方向）に離間して左右（Ｘ軸方向）各一対に立設されると共に、比較的長い柱状のキャリッジ支持部材２０７が左右に離間して前後各３本立設されている。そして、ノズル接続アタッチメント７の支持板７０の前後に左右各一対に形成した位置決め孔７０ａをアタッチメント支持部材２０６の上端部に嵌合させることにより、ノズル接続アタッチメント７をアタッチメント支持部材２０６で位置決めして支持し、また、ヘッドユニット１のキャリッジ２の左右の各支持部材２ａ，２ａに前後３個形成した位置決め孔２ｄをキャリッジ支持部材２０７の上端部に嵌合させることにより、キャリッジ２、即ち、ヘッドユニット１をキャリッジ支持部材２０７で位置決めして支持し得るようにした。この状態では、ノズル接続アタッチメント７の上にヘッドユニット１が重なり、上記キャップ本体７４がばね７３の付勢力に抗して押し下げられ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成プレート３ｅの周辺部にキャップ本体７４がパッキン７５を介して密着する。尚、機能液滴吐出ヘッド３とキャップ７１との接続をより確実にするため、キャリッジ２をキャリッジ支持部材２０７の上端に螺合するねじ２０７ａで上方から押さえるようにしている。
【００４１】
洗浄液供給手段の回路構成は図１７に示す通りであり、導入口接続アタッチメント５に接続される流入パイプ２０８の上流側に、純水タンク２０２に連通する純水供給パイプ２０２ａと、アルコールタンク２０３に連通するアルコール供給パイプ２０３ａと、溶剤タンク２０４に連通する溶剤供給パイプ２０４ａとがマニホールド２０９を介して合流接続されている。そして、純水供給パイプ２０２ａ、アルコール供給パイプ２０３ａおよび溶剤供給パイプ２０４ａに、それぞれ流入側開閉弁２１０，２１１，２１２を介設している。尚、流入パイプ２０８には、液圧センサ２１３とその近傍の第１大気開放弁２１４とが接続され、更に、マニホールド２０９を介して第２大気開放弁２１５が接続されている。
【００４２】
導入口接続アタッチメント５には、その複数の配管アダプタ５ｃに個別に連通する複数本の個別流入パイプ２１６が接続されており、これら複数本の個別流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介して前記流入パイプ２０８が接続されている。尚、導入口接続アタッチメント５は左右一対に設けられているため、流入側マニホールド２１７も左右一対に設け、流入パイプ２０８をその下流側のマニホールド２１８で２つのパイプ２０８ａ，２０８ｂに分岐して、一方のパイプ２０８ａを一方の流入側マニホールド２１７、他方のパイプ２０８ｂを他方の流入側マニホールド２１７に接続している。また、各１個の機能液滴吐出ヘッド３に各２個の配管アダプタ５ｃ，５ｃが接続されるため、各１本の個別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）を介して各２個の配管アダプタ５ｃ，５ｃに接続している。
【００４３】
また、各個別流入パイプ２１６には、洗浄液たる純水、アルコールおよび溶剤の流速を緩急させる開閉式の洗浄促進弁２１９が介設されている。更に、各個別流入パイプ２１６に流入側マニホールド２１７を介してエアーパイプ２２０を接続し、純水、アルコールおよび溶剤に気泡を混入し得るようにしている。各エアーパイプ２２０には、開閉式の気泡混入弁２２１と、手動で操作する流量調整弁２２２とが介設されている。尚、エアーパイプ２２０は、エアー源２２３に接続される左右一対のエアーマニホールド２２４，２２４から複数本宛分岐されており、左方のエアーマニホールド２２４から分岐したエアーパイプ２２０を左方の流入側マニホールド２１７に接続し、右方のエアーマニホールド２２４から分岐したエアーパイプ２２０を右方の流入側マニホールド２１７に接続している。また、個別流入パイプ２１６は、洗浄促進弁２１９を介設した上流側部分と、配管アダプタ５ｃに接続される下流側部分とに分断されており、下流側部分を上流側部分にワンタッチジョイント２１６ａを介して着脱自在に接続している。そして、洗浄後は下流側部分を配管アダプタ５ｃに接続したまま上流側部分から切り離し、描画装置Ａにヘッドユニット１を投入したとき、描画装置Ａの機能液供給用の配管部材に下流側部分を同様のワンタッチジョイントを介して簡便に接続できるようにしている。
【００４４】
洗浄装置Ｂには、更に、吸引ポンプ２２５が設けられており、この吸引ポンプ２２５をノズル接続アタッチメント７に流出パイプ２２６を介して接続している。吸引ポンプ２２５は単一であって、その吐出側には、排水系に連通する純水排水パイプ２２７、アルコールタンク２０３に連通するアルコール回収パイプ２０３ｂおよび溶剤タンク２０４に連通する溶剤回収パイプ２０４ｂが分岐接続されている。そして、純水排水パイプ２２７、アルコール回収パイプ２０３ｂおよび溶剤回収パイプ２０４ｂに、それぞれ流出側開閉弁２２８，２２９，２３０を介設し、更に、アルコール回収パイプ２０３ｂと溶剤回収パイプ２０４ｂとに、それぞれ再生フィルタ２３１，２３２を介設している。また、純水タンク２０２には、純水の供給源２３３に連通する補給水パイプ２０２ｂが接続されており、この補給水パイプ２０２ｂに介設した開閉弁２３４により純水タンク２０２に純水を補給できるようにしている。尚、本実施形態では、純水排水パイプ２２７の分岐部の下流側に純水とそれ以外の洗浄液との切り換えのための開閉弁２３５を設け、その下流側でアルコール回収パイプ２０３ｂと溶剤回収パイプ２０４ｂとを分岐している。
【００４５】
前記ノズル接続アタッチメント７には，その複数のキャップ７１に個別に連通する複数本の個別流出パイプ２３６が接続されており、これら複数本の個別流出パイプ２３６に流出側マニホールド２３７を介して前記流出パイプ２２６が接続されている。尚、ノズル接続アタッチメント７の複数のキャップ７１は左右２列に分設されているため、流出側マニホールド２３７も左右一対に設けており、左右の流出側マニホールド２３７，２３７からのパイプ２３７ａ，２３７ａを中継マニホールド２３８を介して流出パイプ２２６に合流接続している。また、個別流出パイプ２３６は、一端がノズル接続アタッチメント７の各キャップ７１のエルボ管７６に接続され、他端が流出側マニホールド２３７にワンタッチジョイント２３６ａを介して着脱自在に接続されている。
【００４６】
上記吸引ポンプ２２５は、空気圧で駆動されるダイヤフラム式ポンプで構成され、また、流量調整弁２２２を除く上記各弁２１０，２１１，２１２，２１４，２１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３０，２３４，２３５は全て空気圧で開閉制御されるようになっている。制御手段は、図示しないが、これら吸引ポンプ２２５と弁２１０，２１１，２１２，２１４，２１５，２１９，２２１，２２８，２２９，２３０，２３４，２３５とを空気圧で制御するように構成されている。このような空気圧制御方式を採用したことにより、洗浄液としてアルコールや溶剤といった引火性のあるものを用いても、安全性である。
【００４７】
ここで、吸引ポンプ２２５、流出側開閉弁２２８，２２９，２３０および洗浄液切換用の開閉弁２３５は、図８、図１０および図１１に示す如く、架台２００の上部の天板２０５で覆われる部分に配置されている。架台２００の上部には、更に、左右一対のエアーマニホールド２２４，２２４が天板２０５を通してその上方に露出するように配置されている。
【００４８】
図１２ないし図１４を参照して、流入側開閉弁２１０，２１１，２１２、第２大気開放弁２１５、マニホールド２０９，２１８および中継マニホールド２３８は、架台２００の天板２０５上に、ヘッドユニット１のセット場所よりも後方に位置するように配置され、また、流入側マニホールド２１７、洗浄促進弁２１９、気泡混入弁２２１、流量調整弁２２２、流出側マニホールド２３７およびワンタッチジョイント２１６ａ，２３６ａは、天板２０５上のヘッドユニット１のセット場所の左右両側に配置されている。更に、ヘッドユニット１のセット場所の左右両側には、導入口接続アタッチメント５を載置可能な支持板２３９が設けられている。ここで、ワンタッチジョイント２１６ａは比較的上方位置に配置されており、ワンタッチジョイント２１６ａと導入口接続アタッチメント５の配管アダプタ５ｃとの間の配管に用いる個別流入パイプ２１６は他の物に邪魔されずに目視できる。そこで、液流を外部から視認可能な樹脂チューブで個別流入パイプ２１６を構成し、洗浄時に洗浄液の通液具合を目視確認できるようにしている。尚、個別流出パイプ２３６が見やすい場所に配置されている場合には、個別流出パイプ２３６を上記樹脂チューブで構成しても良い。また、本実施形態では、各個別流入パイプ２１６に洗浄促進弁２１９を介設したが、各個別流出パイプ２３６に洗浄促進弁２１９を介設しても良い。
【００４９】
架台２００上には、図８に示す如く、アルコールや溶剤の漏れによる引火性ガスの発生に備えてガス検知器２４０が設けられている。また、液圧センサ２１３と第１大気開放弁２１４はカバー２０１上に設けられている。カバー２０１上には、更に、排気ダクト取付け口２４１と、排気圧確認用差圧ゲージ２４２と、排気圧確認用差圧スイッチ２４３とが設けられている。
【００５０】
上記洗浄装置Ｂによる洗浄に際しては、先ず、支持板２３９に導入口接続アタッチメント５を載置した状態で、予め導入口接続アタッチメント５の各配管アダプタ５ｃに接続されている各個別流入パイプ２１６の下流側部分をその上流側部分に各ワンタッチジョイント２１６ａを介して接続する。次に、キャリッジ２に複数の機能液滴吐出ヘッド３を装着して組み立てたヘッドユニット１を、キャリッジ支持部材２０７でキャリッジ２が支持されるように洗浄装置Ｂにセットし、キャリッジ２をねじ２０７ａでキャリッジ支持部材２０７上に固定する。これによれば、アタッチメント支持部材２０６で支持されているノズル接続アタッチメント７の各キャップ７１に各機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３ｆが接続される。その後、導入口接続アタッチメント５をキャリッジ２に装着して、各配管アダプタ５ｃを各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａに接続する。
【００５１】
次に、純水用の流入側開閉弁２１０を開弁させた状態で吸引ポンプ２２５を駆動し、このときの流入パイプ２０８の液圧変化を液圧センサ２１３で検出して、キャップ７１と機能液滴吐出ヘッドとの接続の良否を確認する。確認後は、一旦純水用の流入側開閉弁２１０を閉弁すると共に、第１大気開放弁２１４と純水用の流出側開閉弁２２８とを開弁し、流入パイプ２０８から各機能液滴吐出ヘッド３を介して流出パイプ２２６に至る洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排出する。
【００５２】
次に、純水用の流出側開閉弁２２８を開弁したまま、第１大気開放弁２１４を閉弁すると共に純水用の流入側開閉弁２１０を再度開弁する。これによれば、純水タンク２０２内の純水が洗浄経路を介して吸引ポンプ２２５に吸引され、純水排水パイプ２２７を介して排水系に排出される。このようにして、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路を純水で洗浄する純水洗浄工程を行う。尚、純水洗浄工程では、開閉弁２３４を適宜開弁して、純水タンク２０２に純水を補給する。
【００５３】
純水洗浄工程の終了時は、純水用の流出側開閉弁２２８を開弁したまま、純水用の流入側開閉弁２１０を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、洗浄経路内の液体を純水排水パイプ２２７を介して排出する。次に、純水用の流出側開閉弁２２８と第２大気開放弁２１５とを閉弁した後、アルコール用の流入側および流出側開閉弁２１１，２２９と洗浄液切換用の開閉弁２３５とを開弁する。これによれば、アルコールタンク２０３内のアルコールが洗浄経路を介して吸引ポンプ２２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２３１を介してアルコールタンク２０３に戻される。このようにして、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路をアルコールで洗浄するアルコール洗浄工程を行う。尚、アルコール洗浄工程では、アルコールの流路がアルコールタンク２０３から出てアルコールタンク２０３に戻る閉回路になり、アルコールが循環使用される。
【００５４】
アルコール洗浄工程の終了時は、アルコール用の流出側開閉弁２２９と洗浄液切換用の開閉弁２３５とを開弁したまま、アルコール用の流入側開閉弁２１１を閉弁すると共に第２大気開放弁２１５を開弁し、洗浄経路内の液体をアルコールタンク２０３に戻す。次に、アルコール用の流出側開閉弁２２８と第２大気開放弁２１５とを閉弁した後、溶剤用の流入側および流出側開閉弁２１２，２３０を開弁する。これによれば、溶剤タンク２０４内の溶剤が洗浄経路を介して吸引ポンプ２２５に吸引され、吸引ポンプ２２５から再生フィルタ２３２を介して溶剤タンク２０４に戻される。このようにして、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路を溶剤で洗浄する溶剤洗浄工程を行う。尚、溶剤洗浄工程では、溶剤の流路が溶剤タンク２０４から出て溶剤タンク２０４に戻る閉回路になり、溶剤が循環使用される。
【００５５】
溶剤洗浄工程の終了時は、溶剤用の流入側および流出側開閉弁２１２，２３０と洗浄液切換用の開閉弁２３５とを閉弁し、且つ、吸引ポンプ２２５を停止する。これによれば、各機能液滴吐出ヘッド３の機能液導入口３ａから吐出ノズル３ｆに至るノズル内流路に溶剤が充填された状態で溶剤の通液が停止される。従って、その後各個別流入パイプ２１６をワンタッチジョイント２１６ａから離脱させて、ヘッドユニット１を洗浄装置Ｂから取り出しても、ノズル内流路には溶剤が充填されたままになり、ノズル内流路への異物の混入等による吐出ノズル３ｆの目詰まりを確実に防止できる。尚、ノズル内流路に充填した溶剤は、ヘッドユニット１を描画装置Ａに投入した後、描画作業を開始する前に吸引キャップ１０６で吸引除去する。
【００５６】
ここで、ヘッドユニット１の組立工程でキャリッジ２に搭載する新品の機能液滴吐出ヘッド３には保存液が充填されているが、この保存液は一般に水に溶けやすく、上記純水洗浄工程で保存液を効率良く洗い流すことができる。そして、上記アルコール洗浄工程と溶剤洗浄工程とにより機能液滴吐出ヘッド３内の微小な異物も完全に洗い落とすことができる。また、最初に純水洗浄工程を行うため、その後の洗浄工程では洗浄液があまり汚れず、アルコールと溶剤の循環使用によるランニングコストの低減が可能になる。更に、中間工程として水と溶剤との両方に対し親和性の高いアルコールによる洗浄を行うため、ヘッド内流路に水が残留することはなく、描画装置Ａで使用する際に、残留水により機能液の分離を生ずるようなことはない。
【００５７】
また、本実施形態では、純水、アルコール、溶剤から成る各洗浄液による洗浄工程において、洗浄液を一定の流速で所定時間（例えば６０秒）通液した後、気泡混入弁２２１を開閉して洗浄液に気泡を混入させ、次に、洗浄促進弁２１９を開閉して洗浄液の流速を緩急させるようにした。気泡を混入させると、洗浄液が断続的な流れになり、ノズル内流路の内壁面近傍に生じやすい滞留層の生成が抑制されて、内壁面の洗浄効果が向上する。気泡混入弁２２１の開閉は、例えば、開弁時間を１秒、閉弁時間を１５秒として５回行う。また、洗浄促進弁２１９を開閉すると、閉弁時に吸引ポンプ２２５の吸引力により発生する負圧の影響で開弁時に流速がピーク的に増加し、流速に大きな緩急変化を生ずる。そして、流速の緩急変化により滞留層の生成が抑制され、洗浄効果が向上する。洗浄促進弁２１９の開閉は、例えば、開弁時間を１秒、閉弁時間を１秒として１５回行う。好ましくは、一定流速での通液と気泡を混入させる通液と流速を緩急させる通液とを１サイクルとして、これを２サイクル以上行う。
【００５８】
尚、上記実施形態では、個別流入パイプ２１６の上流側部分と下流側部分とを接続するワンタッチジョイント２１６ａを洗浄装置Ｂに設けたが、図１８（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す如く、ヘッドユニット１のキャリッジ２に個別流入パイプ２１６用のワンタッチジョイント８を搭載しても良い。このワンタッチジョイント８は、キャリッジ２のＹ軸方向一端部（ハンドル２ｂ側の端部）にブラケット８０を介して取り付けられている。図１９（ａ）（ｂ）に明示されているように、ワンタッチジョイント８は、ブラケット８０にねじ止めされるＸ軸方向に長手のプレート８１を備えており、このプレート８１に、上下２列で計１２個のソケット８２を嵌合固定し、各ソケット８２に、導入口接続アタッチメント５の各配管アダプタ５ｃに接続される各個別流入パイプ２１６の下流側部分を管継手８３を介して接続するように構成されている。尚、配管アダプタ５ｃは各１個の機能液滴吐出ヘッド３に対し２個宛設けられているため、各個別流入パイプ２１６をＹ字継ぎ手（図示せず）を介して２個の配管アダプタ５ｃに接続する。各ソケット８２には、プラグ８４が着脱自在に嵌合しており、各プラグ８４に上記各洗浄促進弁２１９に連通する各個別流入パイプ２１６の上流側部分をエルボ管８５を介して接続しておく。かくて、各ソケット８２に各プラグ８４を着脱するだけで、各個別流入パイプ２１６の下流側部分にその上流側部分を接続、分離できる。そして、描画装置Ａの機能液用の配管部材に上記と同様のプラグを取り付けておくことにより、機能液用の配管部材を上記ワンタッチジョイント８を介して配管アダプタ５ｃに接続することができる。そのため、描画装置Ａに別途ワンタッチジョイントを設ける必要がなく、コストダウンを図れる。尚、上記プラグ８４は、プレート８１に両端のねじ８６で着脱自在に取り付けられる押えバー８７により抜け止めされている。また、図１ないし図３に示すものでは、プレート５ｂに複数の配管アダプタ５ｃを固定し、プレート５ｂをキャリッジ２上のスペーサ５ａにねじ５ｆ止めすることで、各配管アダプタ５ｃを各機能液滴吐出ヘッド３に接続するようにしたが、図１８に示すものでは、プレート５ｂを省略して、各機能液滴吐出ヘッド３に各配管アダプタ５ｃを個別に接続している。
【００５９】
ところで、上記洗浄装置Ｂにより上記の如く洗浄を行うと、機能液滴吐出ヘッド３は良好に洗浄され、目詰まり等による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズル３ｆから機能液を確実に精度良く吐出できる。そのため、上記の如く洗浄した機能液滴吐出ヘッド３を用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々の製品を精度良く製造できる。以下、上記の如く洗浄した機能液滴吐出ヘッド３（ヘッドユニット１）を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明する。
【００６０】
図２０は、液晶表示装置のカラーフィルタの部分拡大図である。図２０（ａ）は平面図であり、図２０（ｂ）は図２０（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００６１】
図２０（ａ）に示されるように、カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのインク（フィルタ材料）が導入されている。この例では赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ストライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わない。
【００６２】
図２０（ｂ）に示されるように、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されていない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成する。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【００６３】
図２１は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００６４】
膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る（図２１：Ｓ１）。
【００６５】
この基板をホットプレート上で、８０℃で５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピンコートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成する。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして所定のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリクス）４１４を得ることができる（図２１：Ｓ２）。遮光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。
【００６６】
この基板上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート法で塗布する（図２１：Ｓ３）。これを１００℃で２０分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切り４１３が形成される（図２１：Ｓ４）。このバンク層４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バンク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。
【００６７】
得られた遮光層４１４およびバンク層４１５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。
【００６８】
次に、描画装置Ａに投入した洗浄済みのヘッドユニット１を用い、仕切り４１３で区切られて形成された画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各インクをインクジェット方式により導入する（図２１：Ｓ５）。この際、機能液滴吐出ヘッド３から微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドの圧電素子を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。
【００６９】
インク（フィルタ材料）としては、例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたものを用いる。
【００７０】
次に、塗布したインクを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４２１が得られる（図２１：Ｓ６）。
【００７１】
上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、カラーフィルタ４００とする（図２１：Ｓ７）。
【００７２】
図２２は、上記の如く製造されるカラーフィルタ４００を使用した電気光学装置（フラットディスプレイ）の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【００７３】
このカラー液晶表示装置４５０は、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造される。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。また、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラーフィルタ４００が設置されている。
【００７４】
基板４６６とカラーフィルタ４００の対向するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成されている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【００７５】
なお、電気光学装置は、本発明では上記のカラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種々の電気光学手段を用いることができる。
【００７６】
次に、図２３ないし図３５を参照して、有機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説明する。
【００７７】
図２３ないし図３５は、有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表している。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工程と、封止工程とを具備して構成されている。
【００７８】
バンク部形成工程では、基板５０１に予め形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａと有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このように、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含まれる。
【００７９】
まず無機物バンク層５１２ａを形成する工程では、図２３に示すように、回路素子部５０２の第２層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａを、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面にＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜を形成する。
【００８０】
次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なるように形成しておく必要がある。このように、電極５１１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重なるように無機物バンク層５１２ａを形成することにより、発光層５１０の発光領域を制御することができる。
【００８１】
次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程では、図２４に示すように、無機物バンク層５１２ａ上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチングして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄを形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【００８２】
上部開口部５１２ｄは、図２４に示すように、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バンク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の中央側に延出された形になる。このようにして、上部開口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることにより、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【００８３】
次にプラズマ処理工程では、バンク部５１２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥インク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工程とに大別される。
【００８４】
まず、予備加熱工程では、バンク部５１２を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱することにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好ましい。
【００８５】
つぎに、親インク化工程では、大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ処理）を行う。このＯ2プラズマ処理により、図２５に示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理により、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付与される。図２５では、親インク処理された部分を一点鎖線で示している。
【００８６】
つぎに、撥インク化工程では、大気雰囲気中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（ＣＦ4プラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、図２６に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入されて撥インク性が付与される。図２６では、撥インク性を示す領域を二点鎖線で示している。
【００８７】
次に、冷却工程では、プラズマ処理のために加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズマ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例えばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却することにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度で行うことができる。
【００８８】
次に発光素子形成工程では、画素電極５１１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することにより発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するための第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが含まれる。
【００８９】
まず、第１液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。なお、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入／輸送層は形成されない）
【００９０】
図２７に示すように、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５１１ａ上に吐出する。
【００９１】
ここで用いる第１組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変えても良い。
【００９２】
図２７に示すように、吐出された第１組成物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上に吐出しても良い。
【００９３】
次に正孔注入／輸送層形成工程では、図２８に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させることにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料が濃縮されて析出する。
【００９４】
これにより図２８に示すように、乾燥処理によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形成される。
【００９５】
次に第２液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
【００９６】
しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【００９７】
そこでまず、表面改質工程について説明する。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより行う。
【００９８】
例えば、インクジェット法による塗布は、図２９に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出することにより行う。そして、図３０に示すように、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【００９９】
次に第２液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図３１に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
【０１００】
発光層形成材料としては、ポリフルオレン系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブレン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープすることにより用いることができる。
【０１０１】
非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【０１０２】
図３１に示すように、吐出された第２組成物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。この場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、各回毎に第２組成物量を変えても良い。
【０１０３】
次に発光層形成工程では、第２組成物を吐出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図３２に示すような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【０１０４】
続けて、図３３に示すように、青色（Ｂ）発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。
【０１０５】
次に対向電極形成工程では、図３４に示すように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例えば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成することが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これらの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防止できる点で好ましい。
【０１０６】
また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとなる。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いることが好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のためにＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【０１０７】
最後に、図３５に示す封止工程では、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続することにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られる。なお、上記の撥インク膜、陰極５０３、画素電極５１１等においても、それぞれ液体材料を用い、インクジェット法で形成するようにしてもよい。
【０１０８】
同様に、本実施形態のヘッドユニットは、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができる。
【０１０９】
電子放出装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念である。
【０１１０】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【０１１１】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、インク材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。尚、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが、好ましい。
【０１１２】
また、洗浄済みのヘッドユニット１は、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用可能である。
【０１１３】
スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３にスペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。
【０１１４】
金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に液状金属材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。
【０１１５】
レンズ形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にレンズ材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１１６】
レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にレジスト材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【０１１７】
光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に光拡散材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１１８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の洗浄方法および洗浄装置によれば、保存液等が充填されている機能液滴吐出ヘッドを良好に洗浄でき、目詰まり等による吐出不良を生ずることなく、吐出ノズルから機能液を確実に精度良く吐出できる。そのため、本発明の洗浄方法や洗浄装置により洗浄した機能液滴吐出ヘッドを用いることにより、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置といった種々の製品を精度良く製造でき、更に、スペーサ、金属配線、レンズ、レジストおよび光拡散体も精度良く形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の洗浄対象物となるヘッドユニットの一例の平面図である。
【図２】  図１のヘッドユニットの正面図である。
【図３】  図１のヘッドユニットの側面図である。
【図４】  ヘッドユニットを用いてカラーフィルタ等の製品を製造する描画装置の模式図である。
【図５】  ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッド廻りの断面図である。
【図６】  機能液滴吐出ヘッドを模式的に表した斜視図である。
【図７】  機能液滴吐出ヘッドの拡大断面図である。
【図８】  本発明に係わる洗浄装置の一例を示す全体斜視図である。
【図９】  洗浄装置の正面図である。
【図１０】  天板を取り外した状態の洗浄装置の斜視図である。
【図１１】  天板を取り外した状態の洗浄装置の平面図である。
【図１２】  天板上に配置する洗浄液供給用の弁類のレイアウトを示す斜視図である。
【図１３】  図１２の上方から見た平面図である。
【図１４】  図１２の前方から見た正面図である。
【図１５】  ノズル接続アタッチメントを示す斜視図である。
【図１６】  ノズル接続アタッチメントに装着するキャップの断面図である。
【図１７】  洗浄液供給手段の構成を示す回路図である。
【図１８】  （ａ）ヘッドユニットの他の例を示す平面図、（ｂ）その正面図、（ｃ）その側面図である。
【図１９】  （ａ）図１８のヘッドユニットに搭載するワンタッチジョイントを示す斜視図、（ｂ）その断面図である。
【図２０】  （ａ）実施形態のカラーフィルタの製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図、（ｂ）その断面図である。
【図２１】  （Ｓ１）〜（Ｓ７）実施形態のカラーフィルタの製造方法を模式的に示す製造工程断面図である。
【図２２】  実施形態のカラーフィルタの製造方法により製造される液晶表示装置の断面図である。
【図２３】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図である。
【図２４】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図である。
【図２５】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図である。
【図２６】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図である。
【図２７】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図２８】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図２９】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図３０】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図３１】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図３２】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図３３】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図３４】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における対向電極形成工程の断面図である。
【図３５】  実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における封止工程の断面図である。
【符号の説明】
Ａ  描画装置                          Ｂ  洗浄装置
１  ヘッドユニット                    ２  キャリッジ
３  機能液滴吐出ヘッド              ３ａ  機能液導入口
３ｆ  吐出ノズル                        ５  導入口接続アタッチメント
５ｃ  配管アダプタ（接続部）            ７  ノズル接続アタッチメント
７１  キャップ（接続部）                ８  ワンタッチジョイント
２０２  純水タンク                  ２０２ａ  純水供給パイプ
２０２ｂ  補給水パイプ                  ２０３  アルコールタンク
２０３ａ  アルコール供給パイプ        ２０３ｂ  アルコール回収パイプ
２０４  溶剤タンク                  ２０４ａ  溶剤供給パイプ
２０４ｂ  溶剤回収パイプ                ２０６  アタッチメント支持部材
２０７  キャリッジ支持部材            ２０８  流入パイプ
２１０  純水用流入側開閉弁            ２１１  アルコール用流入側開閉弁
２１２  溶剤用流入側開閉弁            ２１６  個別流入パイプ
２１７  流入側マニホールド            ２１９  洗浄促進弁
２２０  エアーパイプ                  ２２１  気泡混入弁
２２５  吸引ポンプ                    ２２６  流出パイプ
２２７  純水排水パイプ                ２２８  純水用流出側開閉弁
２２９  アルコール用流出側開閉弁      ２３０  溶剤用流出側開閉弁
２３６  個別流出パイプ                ２３７  流出側マニホールド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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