(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ源を含むレーザビーム入射光学系、回転多面鏡およびレーザビーム出射光学系などからなる走査光学系の検査装置であって、ビーム検出センサによりビーム像を検出、計測する走査光学系の検査装置において、前記走査光学系の合焦点位置に走査面内で回転する円盤タイプのオパールガラス拡散板を設け、該オパールガラス拡散板に結像したビーム像を前記ビーム検出センサにより検出し、３つのレーザ測長器により前記オパールガラス拡散板の３点の位置を検出することにより前記オパールガラス拡散板の位置ずれを測定する位置ずれ測定手段を設けたことを特徴とする走査光学系の検査装置。
【請求項２】
前記オパールガラス拡散板を光軸方向に移動自在に支持し、前記位置ずれ測定手段の信号により前記オパールガラス拡散板を定位置に保持するようになした請求項１に記載の走査光学系の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、走査光学系の検査方法および検査装置に関し、詳しくは、レーザ源を含むレーザビーム入射光学系、回転多面鏡およびレーザビーム出射光学系などからなる走査光学系の出射レーザビーム（以下ビームという）の検査方法および検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
レーザプリンタ、複写機等に用いられる走査光学系は、一般に、光源である半導体レーザを含み、コリメターレンズ、シリンドリカルレンズなどからなるレーザビーム入射光学系と、偏光器である回転多面鏡（ポリゴンミラー）と、fθレンズを含むレーザビーム出射光学系からなり、レーザを集束して走査面である感光体面にレーザビームを走査しつつ照射するものである。
【０００３】
この走査光学系の機能は、照射されるビームの光量分布、ビーム形状あるいはビーム径と合焦点距離で規定され、これらの値を許容値の範囲に収めるためビーム形状あるいは合焦点距離を測定する検査が行われている。
【０００４】
走査光学系の検査においては、ＣＣＤラインセンサあるいはエリアセンサなどのビーム受光手段を、ビームの光軸方向、主走査方向および副走査方向（走査面において主走査方向に直交する方向）に移動可能なスライダに取り付け、被検査走査光学系のレーザ出力を変調しつつ、タイミングを合わせて受光手段にビーム像を取り込み、これを画像処理して、各空間位置におけるビームのウェスト位置（ビーム径が最小になる位置）を検出し、合焦点位置を求めている。また、逆に、設計走査位置におけるビームの光量分布からビーム形状、ビーム径を定め、ビームの集束度合いを検査している。
【０００５】
例えば、特開平６−１５８６９号公報には、３次元方向に移動可能な測定部（画像増強管とエリアセンサからなる）と、画像処理部と、測定部を制御するパルス発生部と、画像処理の結果を表示する表示部と、演算制御部とからなるレーザ走査光学系の検査装置が記載され、特開平６−３４３２９号公報には、被検査レーザの変調手段と、レーザビームを検出する受光素子アレイ（ラインセンサ）と検出信号から主走査方向のビーム径を算出するビーム径算出手段を備えた検査装置が記載されている。
【０００６】
また、特開平８−２６２３５０号公報には、光センサからなるビーム検出部と、ビーム検出部の移動機構と、光センサの出力に応じて移動機構あるいは走査光学系を移動させる調整装置が記載され、走査中のビームの測定技術が示されており、特開平９−２１９６８号には、走査光学系の変調駆動手段と、ＣＣＤカメラ（エリアセンサ、受光手段）と、露光タイミング制御手段と、画像データからビーム径を演算する手段とカメラ移動手段とからなるビーム径測定装置が記載されている。
【０００７】
さらに、特開平１０−１０４５４１号公報には回転多面鏡が回転状態でのレーザビームの結像性能を検査するため、走査光学系の結像位置を移動させて、測定部（２次元センサ）で結像状態（ビーム形状）を測定して主走査方向の合焦点位置をもとめている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
以上の従来技術においては、走査光学系のビームの合焦点距離あるいは合焦点位置の測定また各走査位置におけるビーム形状の検出、画像処理によるビーム径の算出は可能であるが、主走査方向と副走査方向のビーム径とその合焦点位置あるいは走査光学系の非点収差など同時測定は行っていない。また、検査装置においては、各移動ステージ、スライダあるいは移動機構の負担が大きく装置が複雑になると言った問題が残され、更には、コヒーレントなレーザ測定に際して発生する干渉縞による障害の問題も残されている。本発明は、このような課題を解決した新規な検査方法および検査装置を提供するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、レーザ源を含むレーザビーム入射光学系、回転多面鏡およびレーザビーム出射光学系などからなる走査光学系の検査装置であって、ビーム検出センサによりビーム像を検出、計測する走査光学系の検査装置において、前記走査光学系の合焦点位置に走査面内で回転する円盤タイプのオパールガラス拡散板を設け、該オパールガラス拡散板に結像したビーム像を前記ビーム検出センサにより検出し、３つのレーザ測長器により前記オパールガラス拡散板の３点の位置を検出することにより前記オパールガラス拡散板の位置ずれを測定する位置ずれ測定手段を設けたことを特徴とする検査装置である。これにより被検査ビームが拡散され、コヒーレンシィが減少するので検査光学系における干渉が解消でき、検査誤差が無くなる。
【００１４】
拡散板を走査面内で回転するようになしたものは、拡散板によるビーム径の変化を平準化し、測定精度を確保することができる。また、拡散板の位置ずれ測定手段を設けたもの、拡散板を光軸方向に移動自在に支持し、前記位置ずれ測定手段の信号により前記拡散板を定位置に保持するようになしたものは、拡散板の動きに伴う誤差を解消することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下図面に基づいて本各発明を詳細に説明する。
【００２０】
先ず、走査光学系の検査方法について説明する。図１は、この方法を実施する検査装置の模式的平面図であり、図１において、検査対象である走査光学系１は同期検知用ＰＤ（フォトダイオード）を搭載した光源用ＬＤ（レーザダイオード）ユニット２（レーザビーム入射光学系）からのビームをポリゴンミラー３（回転多面鏡）で走査し、結像レンズ４（レーザビーム出射光学系）により走査面Ｓに結像する。例えば、レーザプリンタにおいては、走査面Ｓは円筒状の感光体の周面となる。
【００２１】
ＣＣＤエリアセンサを内蔵した受光装置１０（以下、エリアセンサ１０と称する）は、移動ステージ１１上に取り付けられ、図の矢印の方向に移動自在に設けられる。
【００２２】
さて、走査光学系１の出射ビームを検査する際は、移動ステージ１１上をエリアセンサ１０が走査面Ｓの前後を移動しつつ、順次ビーム像を検出し、図２に示すように、光軸方向の位置に対する主走査方向および副走査方向のビーム径の変化曲線ＬｍおよびＬｓを取得する。
【００２３】
なお、ビーム径を取得する際の、ビームの発光状態は、エリアセンサ１０の受光面にビームが入射する位置でポリゴンミラー３を停止し、静的な状態で取得するか、若しくは、ＬＤユニット２に搭載した同期検知用ＰＤの出力パルスをトリガとして、点滅時間を指定して、受光可能なタイミングでＬＤをパルス発光する。また、エリアセンサ１０のビーム像から、ビーム径を算出する方法は適宜の公知技術を採用できる。
【００２４】
走査光学系の合焦点位置は、変化曲線ＬｍおよびＬｓの最小値を示すエリアセンサ１０の光軸方向の位置Ｐ１、Ｐ２に求められ、これらのＰ１、Ｐ２が設計合焦点距離（走査面位置）の許容範囲内か否かを判定する。また、同時に、主副走査方向のビーム径の合焦点位置の距離ΔＦすなわちＰ２−Ｐ１を非点収差として評価する。
【００２５】
次に、走査線あるいは像面湾曲の検査方法について述べる。図３に示すようにエリアセンサ１を取り付けた移動ステージ１１を主走査方向に移動する移動ステージ１２に載置し、エリアセンサ１０を、光軸方向に加えて主走査方向に移動することにより得られる主副両走査方向のビーム径から図４に示すように主走査方向の各位置での主走査方向のビーム径の変化曲線Ｌｍ−１、Ｌｍ−２…Ｌｍ−Ｎを取得して、各変化曲線Ｌｍ−１、Ｌｍ−２…Ｌｍ−Ｎの最小値すなわちビームウエスト位置をつなげることにより走査線ＳＬを得る。なお、図４において、Ａ軸は主走査方向位置、Ｂ軸は光軸方向位置、Ｃ軸はビーム径を表す軸である。
【００２６】
得られた走査線ＳＬと設計値とを比較することにより、走査光学系の検査、検証が可能となる。なお、ビームウエスト位置（光軸方向の位置）は、主走査方向の径のビームウエスト位置と副走査方向の径のビームウエスト位置の平均値を取ることもできる。なお、この際のＬＤ発光状態は、同期検知用ＰＤの出力パルスをトリガとしてエリアセンサ１０の受光面位置でパルス発光させる方法の他、一定間隔で、主走査方向に複数位置でパルス発光させ、その発光位置にあわせて、移動ステージ１２の移動量を制御することにより行う。
【００２７】
新機種や位置データを記憶していない検査対象である走査光学系を新規に検査する際には、主走査方向の位置とビーム径変化曲線から得られるビームウエスト位置を光軸方向の位置として、２次元配列に格納し、コンピュータ等の記憶装置に取り込む。２回目からの計測では走査面上で記憶している位置データに仮位置決めし、その位置より光軸方向に移動ステージ１１を動かすことで、ビーム径変化曲線を取得する。次に、記憶された次の位置データに基づき移動ステージ１２を移動し、仮位置決めとする。仮位置決めの位置を限定することにより、自動検査を実施する場合でも、より短時間でビームウエスト位置を検出することが可能となり、誤動作を防ぐことが可能となる。このように、主走査方向に位置を変化させて、ビーム径の変化曲線を取得する際は、同一機種の先の位置データに基づきエリアセンサ１０を粗位置決めし、この位置を基準に所定の範囲エリアセンサ１０を移動して変化曲線を求めるようにするとエリアセンサ１０の位置決め時間が短縮できるのである。
【００２８】
ビームの測定に際しては、図５に示すように、エリアセンサ１に鏡筒１３、有限補正型の対物レンズ１４を固定し、対物レンズ１４の先端から作動距離分はなれた位置を走査光学系の走査面Ｓとなるような光学系設定とすれば、エリアセンサ１０に取り込まれるビーム像が拡大され、ビーム径の算出精度が向上する。
【００２９】
さらに、検査を効率よく行うために、走査光学系の光源を変調し、一定時間間隔で点滅させ、複数のビーム像（ドットという）が受光面に入射するように対物レンズの倍率を設定すると、図６に示すような画像が得られ、その画像に、ラベリング、各ラベル画像のフィレ座標を検出することにより、各ドットの主副両走査方向のビーム径ｘ１、ｙ１、ｘ２、ｙ２、…を同時に検出することが可能となる。これら主副両走査方向のビーム径の光軸方向の変化を変化曲線とし、走査位置データは移動ステージの移動距離と各ラベル画像の重心位置とから検出できる。
【００３０】
なお、本検査方法に用いるエリアセンサとしてＣＣＤエリアセンサを説明したが。２次元的にビーム像を検知できるものであればＣＣＤに限らず任意のエリアセンサを用いることができる。
【００３１】
次ぎに、走査光学系の検査装置について説明する。この検査装置は前述の検査方法に用いて特に効果のあるものであるが、必ずしもこの方法に限られるものではない。本検査装置は、図７に示すように、エリアセンサ１０に結像レンズ１５を接続し、光軸方向に移動可能な小型移動ステージ１１ａ上に無限遠補正型の対物レンズ１４ａを取り付ける。対物レンズ１４ａと結像レンズ１１の距離は可変であるため、対物レンズ１４ａの作動距離を変えてビーム径の変化曲線を取得する場合、検出領域の空間が狭くエリアセンサ１０本体を近くに設置できない場合、主走査方向への移動ステージの可搬重量が小さい場合、光軸方向の移動を精度よく、短時間に行わなければならない場合など、エリアセンサ１０と比較して軽量で小型の対物レンズ１４ａを移動させるだけで、前記検出を可能とする。このときの光学系の倍率は結像レンズの倍率をｍ倍、結像レンズの倍率をＭ倍とするとｍＭ倍となる。
【００３２】
また、本装置において、図８に示すように、対物レンズホルダー１６を設けて対物レンズ１４ａを着脱可能なものとし、倍率などの異なるレンズと交換が可能とすれば、作動距離が異なるときは受光用の機材を移動すること無く、対物レンズ１４ａが小型移動ステージ１１ａ上を移動することにより、異なる走査光学系に対し検査光学系を対応させることが可能となる。
【００３３】
また、仮に、走査光学系の走査ビームが検査光学系の光軸と最大θだけ角度をもつとしても、対物レンズの開口数Ｎ．Ａ．を対物レンズと走査光学系間の媒質の屈折率をｎとして以下の条件を満たすように設定すれば支障無く検査が可能となる。
【００３４】
Ｎ．Ａ． ＞ ｎ×Ｓｉｎθ   （空気中ではｎ＝１）
【００３５】
さらに、図９に示すように、エリアセンサ１０に取り付けた結像レンズ１５と小型移動ステージ１１ａ上に設置した対物レンズ１４ａをジャバラ状の伸縮可能な遮光筒１７で接続することにより、対物レンズ１４ａを交換して作動距離を変更する場合や、光軸方向に対物レンズ１４ａを移動する場合でも、対物レンズ１４ａと結像レンズ１５の間を覆うため、迷光を受光せず誤検出を低減できる。
【００３６】
次ぎに、走査光学系の検査装置について説明する。本検査装置も前述の検査装置と同じく走査光学系の出射ビームの検査装置であり、被検査走査光学系１の構成およびエリアセンサ１０、移動ステージ１１、１２の構成は先の検査装置と変わるところはないので、同一の機能のものは同一の符号で示す。
【００３７】
さて、図１０に示すように、レーザダイオード（ＬＤ）ユニット２から出射されたビームは、回転するポリゴンミラー３で反射され、結像レンズであるｆθレンズ４を透過し、ビーム検出センサであるエリアセンサ１０に対物レンズ１４、鏡筒１３を介して受光される。エリアセンサ１０は光軸方向に移動する第１の移動ステージ１１に取り付けられ、光軸方向に移動可能であり、同時に第１の移動ステージ１１は、走査光学系１の主走査方向に移動する第２の移動ステージ１２に取り付けられているので、エリアセンサ１０は主走査方向にも移動可能である。走査光学系１の設計合焦点位置すなわち設計走査面Ｓ（実機では感光体表面位置に相当）にオパールガラス拡散板２０を裏面が走査光学系１の方を向くように設置し、同様に対物レンズ１４の焦点位置を一致させるオパールガラス拡散板２０により、走査ビームは完全拡散され、完全拡散した画像がエリアセンサ１０によって取得される。また、ポリゴンミラー３、ＬＤユニット２はパルスジェネレータを装備したコンピュータＣＰにより制御され、ポリゴンミラー３は所定の回転数で回転し、一定スピードで走査ビームを走査させる。また、ＬＤユニット２からのビームも点灯、点滅の間隔を制御でき、また、コンピュータＣＰはエリアセンサ１０からの画像を処理する画像処理装置をもって、ビームの光量、プロファイルを検出する。本装置において、測定ビームは、オパールガラス拡散板２０で完全拡散され、コヒーレンス性を完全に除去し、光路長と光源のコヒーレント長の関係を無視して検査光学系を構築可能とし、２次元受光面と光源との間に設置する各種フィルタ、カバーガラス等の光学素子表面での反射などによる干渉ジマ発生を解消して、走査光学系１のビームを取得可能となる。
【００３８】
図１１に示すように、エリアセンサ１に対物レンズ１４、鏡筒１３を介して、走査光学系１からのビームを受光する際、モータ２１を用いて、円盤タイプのオパールガラス拡散板２０Ａを回転することにより、ガラス中に含有されるオパール結晶の位置的な偏りを時間的にランダムにすることを可能とする。画像にオパールガラス拡散板２０Ａの位置的な影響を除去することが可能となる。また、ベルト２２はモータ側のプーリーなどを換えることにより回転数を変更するために用いる。このように、この機構を用いることにより、ビームを拡散させる拡散板等の構成材料の種類、配置等によるビームの拡散光に乗るノイズを空間的にランダムにすることにより、拡散状態の平滑化、ノイズの低減が可能となる。
【００３９】
図１２に示すように、オパールガラス拡散板２０Ｂとそれを回転するモータ２１は支持台２３上に一体的に取り付けられ、支持台２３は、移動ステージ２４の上を走査光学系の主走査方向に微動、粗動可能に保持される。回転するオパールガラス拡散板２０Ｂに主走査方向への微動を加えることにより、オパールガラス拡散板２０Ｂの位置的な影響を更に除去することと、粗動により全走査面をサイズの小さい拡散板で網羅することが可能となる。このように、拡散状態を更にランダム化することを可能とし、また、広い走査範囲に追従して干渉ジマの除去されたビームを取得可能とする。
【００４０】
図１３に示すように、レーザ測長器３０からのレーザをミラー３１、ビームスプリッター３２を用いて、走査光学系のビームを検出する検査光学系の光軸に一致させるように設置し、オパールガラス拡散板２０Ｂ裏面での反射光を捉えてオパールガラス拡散板２０Ｂの位置を検出し、スライダなどの直線位置決め精度等の影響による位置ずれ量と走査光学系の設計値（焦点深度）から走査光学系の本来のビーム径を検出する。この装置においては、光軸方向への拡散板等のビーム拡散手段がずれた場合、その面へのビームの投影像は変形、変倍してしまうため、光軸方向のずれ量を検出することにより、検出値から計算等により所望のビームの検出値を取得することを可能とする。
【００４１】
図１４に示すように、オパールガラス拡散板２０Ｂとそれを回転するモータ２１を支持台２３ａ上に一体的に取り付け、この支持台２３ａを光軸方向に移動自在に保持する移動ステージ２５を、主走査方向に移動させる移動ステージ２４上に設け、レーザ測長器３０で得られたオパールガラス拡散板２０Ｂの位置ずれをステージ２５上で支持台２３ａを移動させて補正することにより、正確に感光体面上をオパールガラス拡散板２０Ｂがトレースし、ビーム測定が実行可能となる。このように、拡散板等の位置ずれを機械的に補正することにより、本来の検出位置でのビームを投影し、受光手段に取得することを可能とする。
【００４２】
図１５に示すように、オパールガラス拡散板２０Ｂとその回転機構を載せた支持台２３ｂと、対物レンズ１４および鏡筒１３を取り付けたエリアセンサ１０とを、ひとつの支持台２６に取り付け、この支持台２６を移動ステージ１１に設けて光軸方向に移動自在に保持し、エリアセンサ１０を光軸方向および主走査方向に移動可能とする。エリアセンサ１０で撮像されるビーム径の最小となるように光軸方向の移動スライダ１１で支持台２６を移動し、走査面全域をスライダ１２の移動により網羅することで、走査線すなわち像面湾曲の状態およびビーム径の変化曲線が取得可能となる。この装置では、拡散された走査ビームの系の最小になる位置をトレースすることにより、ビーム径変化曲線および走査線、像面湾曲の検出が可能となる
【００４３】
図１６に示すように、無限遠補正型の対物レンズ１４ａと、オパールガラス拡散板２０Ｂとその回転機構を載せたステージ２３ｂをひとつの支持台２７に取り付け、支持台２７を移動ステージ１１ｂ上に移動自在に設け、２次元ＣＣＤカメラであるエリアセンサ１０に結像レンズ１５を取り付け、エリアセンサ１０を支持台２７とは分離して固定することにより、検査光学系の光軸方向の移動が必要なとき、エリアセンサ１０を移動すること無く、調整が可能となるので、移動機構に与える負荷を小さくすることが可能となり、ＮＤフィルタなどの光路長を変えてしまうようなフィルタ等も対物レンズ１４ａと結像レンズ１５の間に設置することが可能となるなど、検査光学系の柔軟性を増すことも可能となる。この装置では、検査光学系移動機構にかかる負荷を低減可能とし、走査光学系の機種が変更になっても検査光学系の設定を容易にすることを可能とする。
【００４４】
なお、図１４に示した検査装置においては、レーザ側長器３０を一個を用いてビーム焦点の光軸方向の位置ずれを検出したが、例えば、図１７に示す装置のように、オパールガラス拡散板２０Ｂまでの光路長を等しく設置した、レーザ測長器３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃによりオパールガラス拡散板２０Ｂの３点の位置を検出することにより、オパールガラス拡散板２０Ｂの倒れを含んだ３次元的な位置ずれを検出し、ゴニオステージ等を用いて機械的に補正するか、ソフトウエアで計算し補正することが可能となり、オパールガラス拡散板２０Ｂの位置補正をより正確に行うことができる。
【００４５】
上記説明において、拡散板としてオパールガラス拡散板を例示したが、本発明に用いる拡散板はオパールガラスに限らず、拡散剤を含有させたすりガラス様の拡散板など、十分な剛性と正確な平面を有する拡散板であれば任意のものが用いられる。
【００４６】
以上、ビーム検出センサとして、ＣＣＤエリアセンサを説明したが、本発明装置においては、ＣＣＤエリアセンサに限らず、任意のエリアセンサ、また検出方法によってはラインセンサを採用することもできる。また、エリアセンサの移動機構としては支持台と移動ステージ（スライダを備えたもの）とからなるものを説明したが、直線移動機構は任意の公知の機構を使用することができることは言うまでもない。
【００４７】
最後に、走査光学系の検査方法、拡散板を用いた走査光学系の検査方法について説明する。オパールガラス拡散板のガラス基板に含有されるオパール結晶ランダム性を強化するために、回転、並進移動機構をつけ、拡散板の位置的な影響を除去し、時系列的に複数枚の画像を取得して、それらの各画像の平均を取ることにより、検査光学系における干渉誤差を回避し、且つ、時間軸上では変化しているオパールガラス拡散板の画像への影響を平均化し、時間軸上で不変な検査対象走査光学系の欠陥はそのまま残存させ、走査光学系の欠陥検出の信頼性をより向上させることが可能となる。このように、本発明方法では、干渉誤差を解消すると共に拡散板等の拡散手段の空間的なノイズの低減に加えて、時間的なランダム性により、ビームに乗る拡散板固有のノイズを低減することを可能とする。
【００４８】
２次元ＣＣＤエリアセンサにより取得した画像をコンピュータ内のメモリに格納し、それを複数回実施して得られた、複数枚の画像を、メモリ上で画素ごとに加算、平均して、平均画像を得るものは、精密な画像平準化を可能とする。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は、レーザ源を含むレーザビーム入射光学系、回転多面鏡およびレーザビーム出射光学系などからなる走査光学系の検査装置であって、ビーム検出センサによりビーム像を検出、計測する走査光学系の検査装置において、前記走査光学系の合焦点位置に拡散板を設け、該拡散板に結像したビーム像を前記ビーム検出センサにより検出するようになしたので、被検査ビームが拡散され、コヒーレンシィが減少するので検査光学系における干渉が解消でき、検査誤差が無くなる。
【００５２】
本発明は、走査光学系のビーム像の検査方法において、被検査ビームを、回転および／または移動する拡散板上に結像させ、該ビーム像をビーム検出センサにより検出するとともに同一測定位置で複数のビーム像を検出し、ビーム像の平均値を測定値とするので、拡散板を用いて干渉ノイズを防止し、また、拡散板を移動させてビーム測定を平準化すると共に複数回の測定により一層測定精度を上げることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態に係る検査方法を実施する検査装置の模式的平面図。
【図２】  本発明の実施の形態に係る検査方法におけるビーム径の変化曲線を示す図。
【図３】  本発明の実施の形態に係る検査方法を実施する検査装置の移動ステージの模式的平面図。
【図４】  本発明の実施の形態に係る検査方法における走査線を示す模式図。
【図５】  本発明の実施の形態に係る検査方法を実施する検査装置の模式的平面図。
【図６】  本発明の実施の形態に係る検査方法におけるドットを示す模式図。
【図７】  本発明の実施の形態に係る検査装置の一実施形態の模式的側面図。
【図８】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的部分側面図。
【図９】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的側面図。
【図１０】  本発明の実施の形態に係る検査装置の一実施形態の模式的平面図。
【図１１】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１２】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１３】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１４】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１５】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１６】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的平面図。
【図１７】  本発明の実施の形態に係る検査装置の他の実施形態の模式的部分平面図。
【符号の説明】
１      走査光学系
２      レーザビーム入射光学系
３      回転多面鏡
４      レーザビーム出射光学系
１０    エリセンサ（ＣＣＤエリアセンサ）
１３    鏡筒
１４    有限補正型対物レンズ
１４ａ  無限補正型対物レンズ
１５    結像レンズ
２０    拡散板（オパールガラス拡散板）
２０Ａ  拡散板（オパールガラス拡散板）
２０Ｂ  拡散板（オパールガラス拡散板）
３０    レーザ側長器（光側長器）
Ｌｍ    主走査方向のビーム径の変化曲線
Ｌｓ    副走査方向のビーム径の変化曲線
Ｓ      走査面
ＳＬ    走査線
ＣＰ    コンピュータ
【図１】
0003961204.tif 000002
【図２】
0003961204.tif 000003
【図３】
0003961204.tif 000004
【図４】
0003961204.tif 000005
【図５】
0003961204.tif 000006
【図６】
0003961204.tif 000007
【図７】
0003961204.tif 000008
【図８】
0003961204.tif 000009
【図９】
0003961204.tif 000010
【図１０】
0003961204.tif 000011
【図１１】
0003961204.tif 000012
【図１２】
0003961204.tif 000013
【図１３】
0003961204.tif 000014
【図１４】
0003961204.tif 000015
【図１５】
0003961204.tif 000016
【図１６】
0003961204.tif 000017
【図１７】
0003961204.tif 000018