(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備え、
上記高分子アクチュエータ素子の複数個が、それら各イオン交換樹脂成形板の自由端部側同士の突き合わせた状態で配置されているとともに、それら各イオン交換樹脂成形板の他端部側は一体に連らなる環状形の一対の電極により固定保持されていることを特徴とする膜型アクチュエータ。
【請求項２】
イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備え、
上記高分子アクチュエータ素子を構成するイオン交換樹脂成形板が高分子電解質材料から構成されており、この高分子電解質材料製のイオン交換樹脂成形板と弾性膜及び一対の電極とで形成される空間内には、イオン交換樹脂成形板を膨潤状態に維持する液媒が封入されていることを特徴とする膜型アクチュエータ。
【請求項３】
振動発生部及び振動受部のいずれか一方に連結される取付部材と他方に連結される取付部材並びに両取付部材間に設けられた弾性体により形成される中空閉空間内に、該空間内部を主、副二つの液室に区画する仕切り壁が両液室の体積を相対的に可変する方向に変位可能に張設されているとともに、両液室を互いに連通させて振動発生時の主液室内の液圧変動を吸収する制限通路が設けられてなる液体封入式防振装置であって、
上記仕切り壁として、下記（ａ）の膜型アクチュエータを中空閉空間内に張設していることを特徴とする膜型アクチュエータを用いた液体封入式防振装置：
（ａ）イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備えている膜型アクチュエータ。
【請求項４】
流体通路内に、その通路面積を可変もしくは開閉する方向に変位可能な可動部材を設けてなる流体制御装置であって、
上記可動部材として、下記（ａ）の膜型アクチュエータを流体通路内に設置していることを特徴とする膜型アクチュエータを用いた流体制御装置：
（ａ）イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備えている膜型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、イオン交換樹脂成形板を湾曲及び変形可能とした高分子アクチュエータ素子を動作主要部として利用してなる膜型アクチュエータ及びその膜型アクチュエータを、主として自動車用エンジンマウント等のような防振装置の可動部に利用してなる液体封入式防振装置並びにその膜型アクチュエータを、例えば弁やポンプ等の流体機器における流体流れの制御用可動要素に利用してなる流体制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
軽量小型かつ安価で、省電力化、応答性、耐環境性等に優れたアクチュエータとして、例えば特開平６−６９９１号公報や特開平１０−２０６１６２号公報等に開示されているように、イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板に湾曲及び変形を生じさせるようにした高分子アクチュエータ素子が従来より提案されている。また、この高分子アクチュエータ素子を可動部に利用して構成される応用装置として、例えば特開平８−１０３３６号公報に開示されているように、血管挿入用カテーテルや内視鏡の導入部等の医療用チューブ、あるいは、例えば特開平６−２８８６０６号公報や特開平９−１３７８７２号公報等に開示されているように、流体流れの変向や流体通路の開閉等の流体制御を行なう流体制御装置も従来より提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来より提案されている高分子アクチュエータ素子は、その素子単独で大面積の変位を行なうことができず、変位面積を大きくするためには素子の両端を固定するか、あるいは、素子の全周を固定することが必要となり、このような固定手段を採用すると、変位量が低下して非常に微小な変位量しか得られなくなる。そのために、軽量小型かつ安価であるとともに小電力下で応答性よく動作し、さらに各種の液中や大気中でも作動可能で耐環境性にも優れているという特性を有しながらも、その適用範囲は、上述した応用装置からも明らかなように、血管を通る程度の非常に細い医療用チューブや、流体をμｌ単位で微小制御する流体制御装置等のごとく微小、微細な動作範囲の装置用可動部等に制約され、大きな動作範囲をもつ装置の可動部等としては利用することができず、優れた特性を持つ高分子アクチュエータ素子の適用が自ずと狭い範囲に制約されている現状にある。
【０００４】
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、高分子アクチュエータ素子が有する応答性、耐環境性等の本来の特性を失うことなく、変位量及び変位面積を拡大して適用範囲の著しい拡充を図ることができる膜型アクチュエータを提供することを主たる目的としている。
【０００５】
本発明の他の目的は、上記のような適用範囲の広い膜型アクチュエータを有効利用して、広い周波数領域の振動に対する防振効果の向上及びコンパクト化を図ることができる液体封入式防振装置を提供することにある。
【０００６】
本発明のもう一つの目的は、上記のような適用範囲の広い膜型アクチュエータを有効に利用して、流体流れの制御範囲の拡大とともに制御性能の向上を図ることができる流体制御装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記主たる目的を達成するために、請求項１に記載の本発明に係る膜型アクチュエータは、
イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備え、上記高分子アクチュエータ素子の複数個が、それら各イオン交換樹脂成形板の自由端部側同士の突き合わせた状態で配置されているとともに、それら各イオン交換樹脂成形板の他端部側は一体に連らなる環状形の一対の電極により固定保持されていることを特徴とするものである。
【０００８】
上記請求項１に記載の本発明によれば、高分子アクチュエータ素子における一対の電極に通電して含水状態のイオン交換樹脂成形板の両面に電位差をかけることにより、イオン交換樹脂成形板中のイオン移動に伴う水分子の移動で両面側の水分量に差が生じて該イオン交換樹脂成形板が電極により挟み固定された他端部側を支点としてその自由端部側が湾曲変形する。このような高分子アクチュエータ素子の湾曲変形動作に伴って、これよりも大きな面積を有する弾性膜が同一方向に変位し、アクチュエータ全体としての変位量及びその変位範囲（面積）を大きく確保することが可能である。
【０００９】
また、上記請求項１に記載の発明によれば、高分子アクチュエータ素子の複数個をそれら各イオン交換樹脂成形板の自由端部側同士の突き合わせた状態で配置するとともに、それら各イオン交換樹脂成形板の他端部側を一体に連らなる環状形の一対の電極により固定保持するという構成を採用することによって、膜型アクチュエータ全体をできるだけ小型化、軽量化しつつ、複数個の高分子アクチュエータ素子におけるイオン交換樹脂成形板の各自由端部が突き合わせ集合状態で湾曲変形することに伴って、弾性膜を広い面積範囲に亘り大きく、かつ、強い力で変位させることができる。
【００１０】
また、上記膜型アクチュエータにおける高分子アクチュエータ素子を構成するイオン交換樹脂成形板としては高分子電解質材料から構成されたものを用いてもよい。この場合は、請求項２に記載のように、その高分子電解質材料製のイオン交換樹脂成形板と弾性膜及び一対の電極とで形成される空間内に、イオン交換樹脂成形板を膨潤状態に維持する液媒を封入する構成を採用することによって、イオン交換樹脂成形板を常に高い含水率に維持して、空気中での長時間に亘る使用に際しても所定どおりに湾曲変形動作させることができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の本発明に係る液体封入式防振装置は、振動発生部及び振動受部のいずれか一方に連結される取付部材と他方に連結される取付部材並びに両取付部材間に設けられた弾性体により形成される中空閉空間内に、該空間内部を主、副二つの液室に区画する仕切り壁が両液室の体積を相対的に可変する方向に変位可能に張設されているとともに、両液室を互いに連通させて振動発生時の主液室内の液圧変動を吸収する制限通路が設けられてなる液体封入式防振装置であって、上記仕切り壁として、下記（ａ）の膜型アクチュエータを中空閉空間内に張設していることを特徴とするものである。
（ａ）イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備えている膜型アクチュエータ。
【００１２】
上記請求項３に記載の本発明によれば、膜型アクチュエータの変位動作部を構成する高分子アクチュエータ素子における一対の電極への通電をオン・オフあるいは通電電圧をコントロールしてイオン交換樹脂成形板にかける電位差を調整することにより、該膜型アクチュエータで構成される仕切り壁を定位置に固定したり、主、副二つの液室の体積が相対的に可変されるように変位させてその動ばね定数を加減したりすることが可能であり、これによって、低周波領域の振動はもちろん、高周波領域の振動に対しても主、副両液室の体積弾性率を任意かつ応答性よく変更させて広い周波数領域の振動に対して優れた防振性能を発揮させることが可能である。また、膜型アクチュエータを利用する仕切り壁自体の薄型化、軽量化が可能であることから、防振装置全体のコンパクト化を図りやすい。
【００１３】
さらに、請求項４に記載の本発明に係る流体制御装置は、流体通路内に、その通路面積を可変もしくは開閉する方向に変位可能な可動部材を設けてなる流体制御装置であって、上記可動部材として、下記（ａ）の膜型アクチュエータを流体通路内に設置していることを特徴とするものである。
（ａ）イオン交換樹脂成形板に含水状態で電位差をかけることにより該イオン交換樹脂成形板が湾曲及び変形可能に構成された高分子アクチュエータ素子と、
この高分子アクチュエータ素子の両面側に相互に電気絶縁状態に配置されてイオン交換樹脂成形板の一端部側が湾曲変形可能な自由端部となるように、イオン交換樹脂成形板の他端部側を両側から挟み固定保持する一対の電極と、
上記高分子アクチュエータ素子よりも大きな面積を有し、イオン交換樹脂成形板の自由端部側の湾曲変形動作に伴いそれと同一方向に変位可能な状態に配置された弾性膜とを、備えている膜型アクチュエータ。
【００１４】
上記構成の請求項４に記載の本発明によれば、膜型アクチュエータの変位動作部を構成する高分子アクチュエータ素子における一対の電極への通電をオン・オフあるいは通電電圧をコントロールしてイオン交換樹脂成形板にかける電位差を調整することにより、該膜型アクチュエータで構成される可動部材を流体通路の面積を可変もしくは開閉する方向に応答性よく、かつ、大きく変位させることが可能であり、これによって、大口径の流体通路における開閉弁や流量調整弁にも適用することができるとともに、流量を敏速に調整するといったように流体制御性能の向上も図ることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面にもとづいて説明する。
図１は本発明に係る膜型アクチュエータの原理構成図であり、この膜型アクチュエータの構成及び動作は、次のとおりである。
【００１６】
すなわち、高分子アクチュエータ素子１，１の主要構成となるイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａは電解質材料から構成されており、この電解質材料製のイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａをそれらの一端部１ａ，１ａが湾曲変形可能な自由端部となるように相互突き合わせ状態に配置した上、それらの他端部１ｂ，１ｂを各イオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａの両面に接し相互に電気絶縁状態に配置された上下一対の電極２，２により挟み固定保持する。これら高分子アクチュエータ素子１，１の両側にはそれぞれ、高分子アクチュエータ素子１，１よりも面積が大きいゴム等の弾性膜３，３が配置され、これら弾性膜３，３とイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａ及び一対の電極２，２とにより形成され、かつ、Ｏリング等のシール部材４，４を介して密封された空間部にイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａを膨潤状態に維持するための水などの液媒５を封入した状態で、高分子アクチュエータ素子１，１、弾性膜３，３及び電極２，２を一体的に組み付けることにより膜型アクチュエータＡが構成されている。
【００１７】
上記構成の膜型アクチュエータＡにおいては、一対の電極２，２に通電し液媒５によって膨潤状態にある高分子アクチュエータ素子１，１のイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａの両面に電位差をかけることにより、イオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａ中の正イオンの陰極（一方の電極２）側への移動に伴う水分子の移動で両面側の水分量に差が生じて該イオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａが図１の仮想線に示すように、電極２，２により挟み固定された他端部１ｂ，１ｂ側を支点としてその自由端部１ａ，１ａ側が湾曲変形する。このような高分子アクチュエータ素子１，１の湾曲変形動作に伴って大きな面積の弾性膜３が同一方向に湾曲変位し、アクチュエータＡ全体としての変位量及びその変位範囲（面積）を大きく確保することができる。
【００１８】
図２〜図４は、上記のような原理構成を持つ膜型アクチュエータＡの実施品の一例であり、短冊状に形成された複数個（図面上では６個で示すが、３個以上であればよい）の高分子アクチュエータ素子１…が、それらの各イオン交換樹脂成形板１Ａ…の自由端部１ａ…を円の中心に向けて延び中心部において互いに突き合わせる状態で円形状に配置されているとともに、それら各イオン交換樹脂成形板１Ａ…の他端部１ｂ…側は円周方向に一体に連なる環状形の一対の電極２，２間に挟み込まれ、また、複数個の高分子アクチュエータ素子１…の表裏両面側には弾性膜として円形の弾性シールゴム３，３がそれら高分子アクチュエータ素子１…全体を被覆し、かつ、その周縁部が一対の電極２，２間に挟み込まれるように配置されている。そして、環状形の一対の電極２，２をその円周方向に適当間隔置きに配置した断面コ字形状の複数個の締付部材６…及びボルト７…を介して締付け固定することにより、複数個の高分子アクチュエータ素子１…の他端部１ｂ…及び弾性シールゴム３，３の周縁部を一対の電極２，２間に強力に固定保持させ、これによって、円形状の膜型アクチュエータＡを構成している。
【００１９】
なお、上記円形状の膜型アクチュエータＡにおいて、弾性シールゴム３，３、イオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａ及び電極２，２とにより形成され、かつ、Ｏリング等のシール部材４，４を介して密封された空間部にイオン交換樹脂成形板１Ａ，１Ａを膨潤状態に維持するための水などの液媒５が封入されていることは原理構成で述べたとおりである。また、この円形状の膜型アクチュエータＡの動作も既述の原理構成のもので述べたものとほぼ同様であるが、特に、円形状に配置された複数個の高分子アクチュエータ素子１…におけるイオン交換樹脂成形板１Ａ…の各自由端部１ａ…が突き合わせ集合状態で湾曲変形することに伴って、弾性シールゴム３を広い面積範囲に亘り大きく、かつ、強い力で変位させることができる。
【００２０】
図５は上記円形状膜型アクチュエータＡを用いて構成される液体封入式防振装置の縦断面構造である。この液体封入式防振装置は、自動車用エンジン等の振動発生源側に連結される取付部材１１と自動車用フレーム等の振動受部側に連結される取付部材１２並びに両取付部材１１，１２間に介設される略環状円錐形の弾性ゴム（弾性体）１３とにより形成される中空閉空間内に、該中空閉空間内部を主、副二つの液室１５，１６に区画形成する仕切り壁１４が両液室１５，１６の体積を相対的に可変するａ−ｂ方向に変位可能に設置されているとともに、主液室１５の底部側にはダイヤフラム１７を介して気体（空気）の封入された空気室１８が形成されている。また、仕切り壁１４と上記取付部材１２に固定連結された筒形ケーシング１９との間には、両液室１５，１６を相互に連通させて振動発生時の弾性ゴム１３の弾性変形に伴い圧縮される主液室１５内の封入液体の一部を副液室１６側に流動させて主液室１５内の液圧変動をダイヤフラム１７の変形と相俟って吸収する緩衝用制限通路（オリフィス）２０が形成されている。
【００２１】
上記のような基本構成を有する液体封入式防振装置における仕切り壁１４として、図２〜図４に示す構成を備えた膜型アクチュエータＡを使用し、これを中空閉空間内に張設し、その膜型アクチュエータＡ｛仕切り壁（１４）｝における電極２，２への通電のＯＮ・ＯＦＦ及び通電電流を増減する制御装置（図示省略）が設けられている。
【００２２】
上記構成の液体封入式防振装置において、低周波領域の振動が作用する条件下では、電極２，２への通電をＯＦＦにすることによって、仕切り壁１４となる膜型アクチュエータＡの動ばね定数が大きくなり、仕切り壁１４は固定される。この状態では、振動付加に伴う弾性ゴム１３の変形により圧縮される主液室１５内の封入液体の一部が制限通路２０を通して副液室１６側に制限流動されて主液室１５内の液圧変動が吸収されることになり、これによって、低周波領域の振動を減衰し所定の防振機能を発揮させることができる。
【００２３】
一方、高周波領域の振動が作用する条件下では、電極２，２への通電をＯＮにし、かつ、その通電電流を増減することによって、仕切り壁１４となる膜型アクチュエータＡの動ばね定数が小さくなり、振動周波数に応じて仕切り壁１４が主、副液室１５，１６の体積を相対的にａ−ｂ方向に応答性よく可変することになる。これによって、広い高周波領域の振動に対しても十分に大きな防振機能を発揮させることができる。
【００２４】
図６及び図７は上記円形状膜型アクチュエータＡを用いて構成される流体制御装置の一例である弁の縦断側面図及び底面図である。この弁は、弁ケーシング２１内の流体通路２２でその上流側通路２２Ａから下流側通路２２Ｂへの入口部に設けた弁座２３に対向して通路２２を開閉する弁体（可動部材）２４として、図２〜図４に示す構成を備えた円形状の膜型アクチュエータＡを設置し、この膜型アクチュエータＡにおける弾性シールゴム３を複数個の高分子アクチュエータ素子１…の湾曲変形に伴って変位させることにより、流体通路２２を開閉すべく構成したものである。
【００２５】
上記構成の弁においては、膜型アクチュエータＡにおける電極２，２への通電をＯＦＦにすることによって、この膜型アクチュエータＡにおける弾性シールゴム３｛弁体（２４）｝が図６のように、弁座２３に密着された閉弁状態となり、上流側通路２２Ａから下流側通路２２Ｂへの流体流れを停止することができる。一方、電極２，２への通電をＯＮにすることによって、弁体２４となる膜型アクチュエータＡにおける弾性シールゴム３が図８に示すように、弁座２３から離間する方向に変位された開弁状態となり、上流側通路２２Ａから下流側通路２２Ｂへ向けて流体を矢印のように流すことができ、このとき、通電電流を増減して弁体２４の変位量、つまりは、開度を調整することにより、流体の流量を任意かつ応答性よく調整することができる。
【００２６】
図９は上記円形状膜型アクチュエータＡを用いて構成される流体制御装置の他の例であるポンプの吐出圧調整装置の縦断側面図である。このポンプの吐出圧調整装置は、入口部及び出口部にそれぞれ逆止弁３１Ａ，３１Ｂを有するアキュムレータ室３２の底部に、ポンプからの吐出圧を一定に制御するための吐出圧制御用の可動部材３３として、図２〜図４に示す構成を備えた円形状の膜型アクチュエータＡを設置したものである。
【００２７】
上記構成のポンプの吐出圧調整装置においては、ポンプから吐出される液体が一方の逆止弁３１Ａを通してアキュムレータ室３２に導入される。このとき、膜型アクチュエータＡにおける電極２，２への通電をＯＮにして該膜型アクチュエータＡにおける弾性シールゴム３｛可動部材（３３）｝を図１０のように、アキュムレータ室３２を拡大する方向に湾曲変位させることによって、液圧の脈動を吸収しながらポンプから吐出された液体を一次側流路３４Ａ、逆止弁３１Ａを経てアキュムレータ室３３にアキュムレートすることができる。
【００２８】
そして、アキュムレート室３３内の液圧が設定時に達したとき、一方の逆止弁３１Ａが閉弁され他方の逆止弁３１Ｂが開弁されてアキュムレータ室３２の液体が逆止弁３１Ｂを通して二次側流路３４Ｂに排出される。このとき、膜型アクチュエータＡにおける電極２，２への通電電流値を逆にして弾性シールゴム３｛可動部材（３３）｝を図１１のように、アキュムレータ室３２を縮小する方向に湾曲変位させることによって、アキムレート室３２の液体を他方の逆止弁３１Ｂを経て二次側流路３４Ｂにほぼ一定の圧力で送出することができる。
【００２９】
なお、上記各実施例及び応用例では、外殻形状が円形に構成された膜型アクチュエータＡについて説明したが、外殻形状は正方形、長方形等の角形でもあってもよく、また、弾性シールゴムの大きさ（面積）、形状にも特別な制限はなく、目的、用途に応じて自由に設定することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように、請求項１〜２に記載の本発明によれば、高分子アクチュエータ素子が本来的に有するところの、軽量小型かつ安価で、省電力化、応答性、耐環境性等に優れた特性を保ちつつ、高分子アクチュエータ素子の湾曲変形動作に伴い面積の大きい弾性膜を変位させてアクチュエータ全体としての変位量及びその変位範囲（面積）の拡大並びに応答性の向上を達成することができる。したがって、動作範囲の大きく、かつ、敏速な動作性が要望される各種装置の可動部等として有効に利用可能で、適用範囲の著しい拡充を図ることができるという効果を奏する。
【００３１】
また、請求項３に記載の本発明によれば、上記のごとき効果を有する膜型アクチュエータを仕切り壁として利用することによって、広い高周波数領域の振動に対して防振性能に優れ、しかもコンパクトな液体封入式防振装置を提供することができる。
【００３２】
さらに、請求項４に記載の本発明によれば、上記のごとき効果を有する膜型アクチュエータを弁体等の可動部材として利用することによって、大口径の流体通路における開閉弁や流量調整弁にも適用できるとともに、流量を敏速に調整可能な優れた流体制御性能を持つ流体制御装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係る膜型アクチュエータの原理構成図である。
【図２】  上記膜型アクチュエータの実施品の一例を示す外観斜視図である。
【図３】  同上実施品の平面造図である。
【図４】  図３のＧーＧ線に沿った縦断面図である。
【図５】  上記膜型アクチュエータの応用品の一例である液体封入式防振装置の縦断面図である。
【図６】  上記膜型アクチュエータの応用品の他の例である弁の要部拡大縦断側面図である。
【図７】  同上弁の底面図である。
【図８】  同上弁の作動状態を示す縦断側面図である。
【図９】  上記膜型アクチュエータの応用品のもう一つの例であるポンプの吐出圧調整装置の要部拡大縦断面図である。
【図１０】  同上ポンプの吐出圧調整装置の一つの作動状態を示す縦断側面図である。
【図１１】  同上ポンプの吐出圧調整装置の他の作動状態を示す縦断側面図である。
【符号の説明】
１  高分子アクチュエータ素子
１Ａ  イオン交換樹脂成形板
１ａ  イオン交換樹脂成形板の自由端部
１ｂ  イオン交換樹脂成形板の固定側端部
２  電極
３  弾性膜（弾性シールゴム）
１１，１２  取付部材
１３  弾性ゴム（弾性体）
１４  仕切り壁
１５  主液室
１６  副液室
２０  制限通路
２２  流体通路
２４  弁体（可動部材）
３３  吐出圧制御用の可動部材
Ａ  膜型アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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