(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームに接続された半導体装置を分離して搬送する半導体装置製造用プレス搬送装置において、
駆動源と、
前記駆動源により回転駆動されるカム軸に各被駆動部へ所定のタイミングで各々駆動伝達する複数のカムを有する駆動伝達機構と、
前記半導体装置が接続されたリードフレームをプレスして該半導体装置をリードフレームと分離するプレス手段と、
前記プレス手段により前記リードフレームより分離された半導体装置が移載される回転トレイを有し、該回転トレイを整列用に向きを変える回転テーブルと、
前記回転テーブルより半導体装置が整列して移載される整列用トレイと、
前記プレス手段と前記回転テーブル、前記回転テーブルと前記整列用トレイとの間を同時に往復動して半導体装置を各々保持して搬送する搬送手段とを備え、
前記駆動源により駆動伝達機構を作動させてカム軸に取り付けられた複数のカムを１回転駆動する間に、前記プレス手段により前記リードフレームより半導体装置を分離し、該分離した半導体装置を前記搬送手段により保持して前記回転テーブルへ搬送すると同時に、前記回転テーブル上に移載されていた半導体装置を前記搬送手段により保持して前記整列用トレイへ搬送することを特徴とする半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項２】
前記プレス手段は、リードフレームを切断して半導体装置を分離するパンチとダイを備えており、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて前記ダイを上動させてリードフレームを支持すると共に前記パンチを下動させて前記リードフレームを切断することを特徴とする請求項１記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項３】
前記プレス手段は、前記リードフレームのプレス位置へのセットミスを検知するミス検知ピンを備えており、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて前記ダイ及び前記パンチにより前記リードフレームを切断する前に、前記ミス検知ピンを上動させて前記リードフレームの検知穴に挿入することによりセットミスを検知することを特徴とする請求項２記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項４】
前記ミス検知ピンを上下動するリンク機構の一部に上下動シリンダを備え、前記ミス検知ピンによりリードフレームのセットミスを検知すると装置の駆動を停止させ、手動操作により前記上下動シリンダを駆動させて上動した前記ミス検知ピンを下動させてリードフレームを取り外し可能にしたことを特徴とする請求項３記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項５】
前記回転トレイの下部にテーブルギヤが一体に組み付けられ、該テーブルギヤと噛み合う伝達ギヤが回転可能に設けられ、前記駆動伝達機構に連繋して往復動するロッドの直動動作を前記伝達ギヤの回動動作に変換することにより、前記回転トレイが所定量回動することを特徴とする請求項１記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項６】
前記伝達ギヤと前記テーブルギヤとのギヤ比を変更することにより、前記回転テーブルの回転量を変更可能にしたことを特徴とする請求項５記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項７】
前記半導体装置を前記回転テーブル上に設けられた左右の回転トレイに移載する前に、前記左右の回転トレイをそれぞれ支持可能な回転トレイ支持部材を、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて回転中心に向かって同時に移動させて前記回転トレイをセンター基準で整列ピッチにピッチ合わせを行うことを特徴とする請求項１記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【請求項８】
前記回転テーブルに設けられた左右の回転トレイの整列ピッチ合わせは、前記回転テーブルの回転動作に同期して行われることを特徴とする請求項７記載の半導体装置製造用プレス搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームに接続された半導体装置を分離して整列する半導体装置製造用プレス搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
樹脂モールドタイプの半導体装置は、樹脂モールド後にダムバーカットとリードフォーミング（リード曲げ）などの加工が施される。これらの加工はプレス金型を備えたプレス装置により行われている。
このプレス装置は、一般に、パンチを支持するパンチホルダとダイを支持するダイホルダとの間に、上型と下型を位置合わせしてプレス装置内にセットし、油圧若しくは電動により上下動する上型を、下型から上型にわたって立設したガイドポストによりガイドしながらプレス加工を施すように構成されている。
【０００３】
また、上記半導体装置は、リードフレームに接続されたまま、所謂セパレート型と呼ばれるプレス金型を備えたプレス装置に搬入されて、リードフレームより半導体装置が切断されて分離される。上記リードフレームはスクラップとして取り除かれ、分離された半導体装置は、シリンダ駆動（エアーシリンダ）によりスライド可能な搬送用ピックアップハンドにより吸着保持されたまま、一旦回転テーブル上に搬送される。そして、上記回転テーブルを所定量回転させて向きを変えた後、該回転テーブル上の半導体装置はシリンダ駆動によりスライド可能な整列用ピックアップハンドにより吸着保持されたまま、整列用トレイへ搬送されていた。該整列用トレイに整列された半導体装置は、シリンダ駆動によりスライド可能な収納用ピックアップハンドにより吸着保持されたまま、収納部に収納されていた。
【０００４】
上記半導体装置の切断から、回転テーブル上への搬送、整列用トレイへの整列、更には収納部への収納に至るまで、各ユニットが独立しているため、半導体装置を送ったり、受け取ったりする際には、半導体装置の有無を確認する確認用のセンサーが必要であり、半導体装置の有無をセンサーにより確認してから、個別に分離された半導体装置を各ピックアップハンドに吸着保持したり、各シリンダを駆動させて各ピックアップハンドをスライドさせて吸着された半導体装置を受け渡すという作業が繰り返し行われていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記プレス装置においては、プレス部におけるリードフレームの切断などの各工程はインデックスタイムを１５０ｓｐｍ（ｓｔｒｏｋｅ・ｐｅｒ・ｍｉｎｕｔｅ）程度まで高速化することが可能であったが、樹脂封止後のリードフレームからダムバーやレジンカットを行った後、リードフレームより半導体装置を分離してから収納するまでの一連の工程を高速化することが困難であった。
即ち、半導体装置の分離から、回転テーブル上への搬送、整列用トレイへの搬送、更には収納部への収納に至るまで、各ユニットが独立しており、半導体装置を送ったり受け取る際には、センサーにより該半導体装置の有無を検知してから行う必要があり、センサーが膨大な数必要となる。そして、上記各センサーからの信号を待って制御部は半導体装置の吸着や吸着解除、シリンダ駆動によるピックアップハンドのスライド動作などの各ユニットの動作を制御していたため、電気的制御が複雑化するため高速化に限界があり、インデックスタイムの短縮化が困難であった。
【０００６】
また、ピックアップハンド、送りアーム等による半導体装置の搬送は、主に駆動源としてエアーシリンダを用いていたため、移動し始めから移動停止するまで一気に動き出してストッパに突き当たって突然停止するため、半導体装置に作用する衝撃力が大きく、製品保護の観点から、高速化に向いていない。
【０００７】
本発明の第１の目的は、上記従来技術の課題を解決し、リードフレームより半導体装置の分離動作から整列動作に至る迄のインデックスタイムを短縮化して、プレス工程から半導体装置の収納工程に至る迄の装置全体の作業効率を高めることが可能な半導体装置製造用プレス搬送装置を提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、半導体装置を移動させる際の移動し始めと停止する際の衝撃を和らげて、製品の安全性を保持しつつ高速化を実現できる半導体装置製造用プレス搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。即ち、リードフレームに接続された半導体装置を分離して搬送する半導体装置製造用プレス搬送装置において、駆動源と、前記駆動源により回転駆動されるカム軸に各被駆動部へ所定のタイミングで各々駆動伝達する複数のカムを有する駆動伝達機構と、前記半導体装置が接続されたリードフレームをプレスして該半導体装置をリードフレームと分離するプレス手段と、前記プレス手段により前記リードフレームより分離された半導体装置が移載される回転トレイを有し、該回転トレイを整列用に向きを変える回転テーブルと、前記回転テーブルより半導体装置が整列して移載される整列用トレイと、前記プレス手段と前記回転テーブル、前記回転テーブルと前記整列用トレイとの間を同時に往復動して半導体装置を各々保持して搬送する搬送手段とを備え、前記駆動源により駆動伝達機構を作動させてカム軸に取り付けられた複数のカムを１回転駆動する間に、前記プレス手段により前記リードフレームより半導体装置を分離し、該分離した半導体装置を前記搬送手段により保持して前記回転テーブルへ搬送すると同時に、前記回転テーブル上に移載されていた半導体装置を前記搬送手段により保持して前記整列用トレイへ搬送することを特徴とする。
【０００９】
また、前記プレス手段は、リードフレームを切断して半導体装置を分離するパンチとダイを備えており、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて前記ダイを上動させてリードフレームを支持すると共に前記パンチを下動させて前記リードフレームを切断するのが好ましい。
また、前記プレス手段は、前記リードフレームのプレス位置へのセットミスを検知するミス検知ピンを備えており、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて前記ダイ及び前記パンチにより前記リードフレームを切断する前に、前記ミス検知ピンを上動させて前記リードフレームの検知穴に挿入することによりセットミスを検知するのが望ましい。
また、前記ミス検知ピンを上下動するリンク機構の一部に上下動シリンダを備え、前記ミス検知ピンによりリードフレームのセットミスを検知すると装置の駆動を停止させ、手動操作により前記上下動シリンダを駆動させて上動した前記ミス検知ピンを下動させてリードフレームを取り外し可能にしても良い。
また、前記回転トレイの下部にテーブルギヤが一体に組み付けられ、該テーブルギヤと噛み合う伝達ギヤが回転可能に設けられ、前記駆動伝達機構に連繋して往復動するロッドの直動動作を前記伝達ギヤの回動動作に変換することにより、前記回転トレイが所定量回動するようにしても良い。
また、前記伝達ギヤと前記テーブルギヤとのギヤ比を変更することにより、前記回転テーブルの回転量を変更可能にしても良い。
また、前記半導体装置を前記回転テーブル上に設けられた左右の回転トレイに移載する前に、前記左右の回転トレイをそれぞれ支持可能な回転トレイ支持部材を、前記駆動伝達機構より駆動伝達されて回転中心に向かって同時に移動させて前記回転トレイをセンター基準で整列ピッチにピッチ合わせを行っても良い。
また、前記回転テーブルに設けられた左右の回転トレイの整列ピッチ合わせは、前記回転テーブルの回転動作に同期して行われるのが望ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の態様を添付図面に基づいて詳細に説明する。
本実施例は、プレス装置にリードフレームに接続された半導体装置を切断するセパレート型を装備した半導体装置製造用プレス搬送装置について説明する。
図１は駆動伝達機構の正面図、図２は図１に示す駆動伝達機構の平面図、図３はプレス装置の駆動機構の説明図、図４は図３の下型の平面図、正面図、及び上型の下面側の説明図、図５はプレス装置の平面図、正面図、左側面図、図６は回転テーブルの回転駆動機構の説明図、図７は回転トレイ支持部材の駆動機構の説明図、図８は回転トレイ支持部材の移動構造及び回転テーブルの回転量の切換構造を示す説明図、図９は回転テーブルの説明図、図１０は搬送用ピックアップハンドの駆動機構の説明図、図１１は搬送用ピックアップハンドの説明図、図１２は駆動伝達機構に装備した複数のカムの動作のタイミングチャート、図１３は半導体装置製造用プレス搬送装置の平面図、図１４は図１３の半導体装置製造用プレス搬送装置の正面図、図１５は図１３の半導体装置製造用プレス搬送装置の右側面図である。
【００１１】
（全体構成）
先ず、図１３〜図１５を参照して半導体装置製造用プレス搬送装置の概略構成について説明する。
図１４において、１は駆動部であり駆動源である電動モータを装備している。２は駆動伝達機構であり、上記駆動部１によりカム軸３を回転駆動して各駆動部へ所定のタイミングで各々駆動伝達する複数のカムを有している。
４はプレス手段としてのプレス装置であり、セパレート型であるパンチとダイを備えており、半導体装置が接続されたリードフレームをプレスして該半導体装置をリードフレームと分離する。短冊状のリードフレームは、図１３，図１４に示す矢印Ｒ方向からローラ搬送によりプレス装置４へ供給される。
【００１２】
また、図１３において、５は回転テーブルであり、上記プレス装置４により前記リードフレームより分離した半導体装置が移載されて位置決めしながら回転する。６は搬送手段としての搬送用ピックアップである。この搬送用ピックアップ６は、上記プレス装置４と回転テーブル５を往復動する排出用ピックアップハンド７と、上記回転テーブル５と整列用トレイ９との間を往復動する整列用ピックアップハンド８とを一体に装備しており、半導体装置を各々吸着保持して搬送用レール１０に沿って同時に往復動する。
【００１３】
上記整列用トレイ９は、定量的に往復動する整列用ピックアップハンド８により半導体装置を受け渡されるため、例えば１個取りの場合や２個取りであってトレイの長手方向に載置する場合には、図示しない駆動機構により矩形移動させて半導体装置を長手方向に２列分のトレイ凹部へ交互に載置される。また、２個取りであってトレイの幅方向に載置する場合には、整列用トレイ９を長手方向にトレイピッチ分だけ移動させて幅方向１列分のトレイ凹部へ２個同時に載置される。また、１１は収納用ピックアップハンドであり、上記整列用トレイ９に半導体装置が全て装填されると、これらを一括して吸着保持して、収納部１２に搬送する。上記収納部１２には、図示しない収納用トレイが装備されており、上記収納用ピックアップハンド１１により吸着された半導体装置は、上記収納用トレイに移載される。そして、図１５に示すように、半導体装置を装填された収納用トレイは、収納用トレイ排出積載部１３へ移送して下方より順次積載される。また、空の収納用トレイは、供給用扉１５を開けて収納用トレイ供給部１４へ積載収納されている。この収納用トレイ供給部１４に積載された収納用トレイのうち最下側のものより順次移送されて、収納用ピックアップハンド１１により搬送された半導体装置が移載され、上記収納用トレイ排出積載部１３へ収納される。
【００１４】
次に半導体装置製造用プレス搬送装置の各部の構成について図１〜図１１を参照して説明する。
【００１５】
（駆動部）
図１４において、駆動部１には駆動源としての電動モータ（図示せず）が装置ベース部に設けられている。上記電動モータの出力軸に設けられたモータプーリよりプーリ間に掛け渡されたＶベルト、タイミングベルトやギヤ列などを介して駆動伝達される。また、図１に示すように、カム軸３の一端に設けられたカム軸ギヤプーリ３０と、上記電動モータより駆動伝達されて回転する図示しないギヤプーリとの間にはタイミングベルト３１が掛け渡されている。
よって、上記電動モータを起動すると、Ｖベルト、タイミングベルトやギヤ列などを介して駆動伝達機構２へ駆動伝達され、上記タイミングベルト３１を介してカム軸ギヤプーリ３０を回転させてカム軸３を回転駆動するように構成されている。
【００１６】
（駆動伝達機構）
次に、駆動伝達機構の構成について図１及び図２を参照して説明する。
カム軸３は、装置フレーム３２に両側を回転可能に軸支されており、その一端にはタイミングベルト３１が掛けられたカム軸ギヤプーリ３０が取り付けられている。また、上記カム軸３の他端には、回転角度を検知して制御可能なロータリーエンコーダ３３が取り付けられている。また上記カム軸３の上方には、該カム軸３と平行に装置フレーム３２に両側を回動可能に軸支された第１アーム回動軸３４が設けられている。この第１アーム回動軸３４には、後述するように、カム軸３に設けられた複数のカムの作用面に圧接して回動可能な複数のアームが取り付けられている。また、図２に示すように、装置フレーム３２の長手方向奥側には、上記カム軸３と平行に設けられた第２アーム回動軸３５が該装置フレーム３２に両側を回動可能に軸支されている。この第２アーム回動軸３５には、複数のアームが回動可能に設けられている。上記第１アーム回動軸３４に設けられた複数のアームと上記第２アーム回動軸３５との間は、後述するように複数のリンクにより連結されている。
【００１７】
また、上記カム軸３には、被駆動部へ駆動伝達するための複数のカム（本実施例では６枚のカム）が長手方向に設けられている。以下、各カムの機能について具体的に説明する。
３６は搬送用ピックアップ前後動用カムであり、該搬送用ピックアップ前後動用カム３６の作用面に圧接する前後動アーム３７を第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、搬送用ピックアップ６を搬送用レール１０に沿って往復移動させる。上記前後動アーム３７は、引っ張りバネ３７ａにより付勢されて搬送用ピックアップ前後動用カム３６の作用面に圧接している（図２参照）。
３８は搬送用ピックアップ上下動用カムであり、該搬送用ピックアップ上下動用カム３８の作用面に圧接する上下動アーム３９を第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、上記搬送用ピックアップ６や搬送用レール１０を上下動させる。上記上下動アーム３９は、引っ張りバネ３９ａにより付勢されて搬送用ピックアップ上下動用カム３８の作用面に圧接している（図２参照）。
【００１８】
４０はプレス装置４に装備したセパレート型駆動用カムであり、該セパレート型駆動用カム４０の作用面に圧接する第１セパレート型駆動アーム４１を第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、該セパレート型駆動アーム４１に一端が接続する第１接続ロッド４２を長手方向に前後動させる。上記第１接続ロッド４２の他端は第２セパレート型駆動アーム４３に接続されている。この第２セパレート型駆動アーム４３は、第２アーム回動軸３５を中心に回動し、該第２セパレート型駆動アーム４３に一端が接続された第２接続ロッド４４の他端にカム取付部材を介して接続する板カム４５を前後動させることにより、セパレート型を駆動する。具体的には、後述するダイ及びミス検知ピンを上動させると共にパンチを下動させて半導体装置をリードフレームより切断する。上記第２セパレート型駆動アーム４３は、引っ張りバネ４３ａにより第２アーム回動軸３５を中心に常時時計回り方向に付勢されており、上記第１接続ロッド４２を介して上記第１セパレート型駆動アーム４１をセパレート型駆動用カム４０の作用面に圧接させている（図２参照）。
【００１９】
４６はミス検知駆動用カムであり、該ミス検知駆動用カム４６の作用面に圧接するミス検知駆動アーム４７を第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、該ミス検知駆動アーム４７に一端が接続する第３接続ロッド４８を長手方向に前後動させる。上記第３接続ロッド４８の他端は、シリンダ保持アーム４９に接続されており、該シリンダ保持アーム４９には、上下動シリンダ５０（エアーシリンダ）がシリンダ取付板９５（図３（ｃ）（ｅ）参照）を介して取り付けられている。上記シリンダ保持アーム４９を第２アーム回動軸３５を中心に回動させることにより、上下動シリンダ５０を前後に移動させて、シリンダロッドの先端に接続されたリンク機構を介してミス検知ピンを上動させて、先ずセットミスが生じているか否かを検知することができる。また、上記上下動シリンダ５０は、リードフレームのセットミスが生じた場合に駆動させて、ミス検知ピンを下動させてリードフレームを取り外し易くする。上記シリンダ保持アーム４９は、引っ張りバネ４９ａにより第２アーム回動軸３５を中心に時計回り方向に付勢されており、上記第３接続ロッド４８を介して上記ミス検知駆動アーム４７を上記ミス検知駆動用カム４６の作用面に圧接させている（図２参照）。
【００２０】
５１はスライド用カムであり、後述する回転テーブル５に装備した左右の回転トレイ支持部材９９を同時にセンター基準でスライドさせる。上記スライド用カム５１の作用面に圧接する第１スライドアーム５２は、第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、該第１スライドアーム５２に一端が接続する第４接続ロッド５３を長手方向に前後動させる。上記第４接続ロッド５３の他端は、第２スライドアーム５４に接続されており、該第２スライドアーム５４は第２アーム回動軸３５を中心に回動する。上記第２スライドアーム５４は、上記回転トレイ支持部材９９をスライドさせるためのプッシュロッド１０７に接続されており、上記第２スライドアーム５４は第２アーム回動軸３５を中心に回動することにより、回転テーブル５上に設けられた上記左右の回転トレイ支持部材９９をセンター基準でスライドさせて、整列ピッチにピッチ合わせを行う。
上記第２スライドアーム５４は、引っ張りバネ５４ａにより第２アーム回動軸３５を中心に時計回り方向に付勢されており、上記第４接続ロッド５３を介して上記第１スライドアーム５２を上記スライド用カム５１の作用面に圧接させている（図２参照）。
【００２１】
５５はテーブル回転用カムであり、回転テーブル５を所定量回転させる。上記テーブル回転用カム５５の作用面に圧接する第１テーブル回転アーム５６は、第１アーム回動軸３４を中心に回動させることにより、該第１テーブル回転アーム５６に一端が接続する第５接続ロッド５７を長手方向に前後動させる。上記第５接続ロッド５７の他端は、第２テーブル回転アーム５８に接続されており、該第２テーブル回転アーム５８は第２アーム回動軸３５を中心に回動する。上記第２テーブル回転アーム５８には、第６接続ロッド５９の一端が接続しており、該第６接続ロッド５９の他端は第１プーリ６０の側面に設けられた偏心軸６１に接続されている。上記第２テーブル回転アーム５８を第２アーム回動軸３５を中心に回動させることにより、第６接続ロッド５９の直動を第１プーリ６０の回動に変換して、後述するプーリ機構を介して回転テーブル５を所定量回動させる。
上記第２テーブル回転アーム５８は、引っ張りバネ５８ａにより第２アーム回動軸３５を中心に時計回り方向に付勢されており、上記第５接続ロッド５７を介して上記第１テーブル回転アーム５６を上記テーブル回転用カム５５の作用面に圧接させている（図２参照）。
【００２２】
（プレス装置）
先ず、プレス装置４の構成について図３〜図５を参照して説明する。
図３（ａ）〜（ｅ）は上記プレス装置４の駆動機構を示す正面図、左側面図、右側面図、板カムの説明図、上下動シリンダの動作を示す説明図、図４（ａ）〜（ｃ）は下型側の平面図、正面図及び上型の下面側の説明図、図５（ａ）〜（ｃ）はプレス装置４の平面図、正面図、左側面図である。尚、上記各図においては、１個取り用のセパレート型を例示して説明するものとする。
先ず、図５において、プレス装置４には、リードフレームを切断して半導体装置を分離するセパレート型であるパンチ６２とダイ６３を備えている。前述した駆動伝達機構２のカム軸３に設けられたセパレート型駆動用カム４０により後述する駆動機構を介して上記ダイ６３を上動させてリードフレームを支持すると共に上記パンチ６２を下動させてリードフレームを切断する。
【００２３】
上記パンチ６２は、パンチプレート６４に取り付けられており、下型ベース７０上に設けられたガイドポスト６５にガイドされて上下動する。上記ガイドポスト６５の一部にはコイルスプリング６６が嵌め込まれており、上記パンチプレート６４の下動及びダイ６３の上動による振動を吸収している。上記パンチプレート６４は、両側に設けられたパンチプレート支持部材６７により（図５（ｂ）では片側のみ表示した）上下方向にそれぞれ支持されている。
【００２４】
また、上記ダイ６３は下型ダイプレート６８に取り付けられており、該下型ダイプレート６８は下型プレート６９に上下動可能に支持されている。この下型プレート６９は、下型ベース７０上に支持固定されており、該下型ベース７０は下型ベースプレート７１に支持固定されている。上記下型ダイプレート６８にはガイドポスト７２が上下方向に設けられており、上記下型プレート６９を挿通して下端が下型ベース７０を挿通可能に垂設されている。また、上記下型ダイプレート６８には、プレス位置へ搬送されたリードフレームのパイロット穴に挿通して位置決めするためのパイロットピン７３が複数箇所に設けられている。このパイロットピン７３は、上記下型ダイプレート６８に嵌め込まれたコイルスプリング７４により上方に付勢されて、上記ダイ６３を挿通して先端が上部に突出可能に装備されている。
【００２５】
また、上記下型ダイプレート６８にはプレス位置へ搬送されたリードフレームの検知穴に挿通してセットミスを検知するためのミス検知ピン７５が、複数箇所に設けられている。このミス検知ピン７５は下型ベース７０に立設された支持ロッド７６により支持されており、下型ダイプレート６８内に設けられたコイルスプリング７７により上方に付勢されて、ダイ６３を挿通して先端が上部に突出可能に装備されている。また、上記ミス検知ピン７５は下端には、透過型の光電センサ７５ａが組み込まれており、異常時に上記光電センサ７５ａを断光してセットミスを検知するようになっている（図５（ｃ）参照）。
【００２６】
７８はプレス位置に搬送されるリードフレームの長手方向両側をガイドするための搬送ガイドであり、図４（ｃ）に示すように、下型ベース７０上に設けられたガイドブロック７９に支持されている。上記搬送ガイド７８のリードフレームＬのサイドレールに臨む側には、該サイドレールの通過をガイドするガイド溝７８ａがそれぞれ形成されている。
【００２７】
次に上記プレス装置４の駆動機構について詳細に説明する。図５（ｃ）に示すように、上記パンチプレート６４を支持するパンチプレート支持部材６７の下端は、第１水平リンク材８０の両側に設けられたＴ型スロット８０ａに連結している。また、図３（ｂ）（ｃ）に示すように、上記第１水平リンク材８０は、下型ベースプレート７１に設けられたコイルスプリング８０ｂにより上方に付勢されており、上下動の際の振動を吸収している。上記第１水平リンク材８０には、垂直リンク材８１の上端が両側で連結されており、該垂直リンク材８１の下端は第２水平リンク材８２によって連結されている。この第２水平リンク材８２にはパンチ可動用カムフォロワ８３が取り付けられている。
【００２８】
また、図５（ｂ）に示すように、下型ベース７０には下型上下動用リンク材８４の上端が下型プレート６９、下型ダイプレート６８を一体として移動可能に連結している。また、図３（ｂ）に示すように、上記下型上下動用リンク材８４の下端には、下型可動用カムフォロワ８５が取り付けられている。上記下型上下動用リンク材８４の上端側には、コイルスプリング８６が嵌め込まれており、下型ベースプレート７１上に支持されて、下型下動時の振動を吸収している。
【００２９】
また、下型ベースプレート７１には、リンクガイド板８７が取り付けられており、図３（ｂ）に示すように、上記垂直リンク材８１や下型上下動用リンク材８４をガイド部材を介して上下動可能に取り付けている。また、上記リンクガイド板８７には、図３（ａ）に示すように、水平ガイドレール８８が取り付けられている。この水平ガイドレール８８には、水平スライドガイド８９がスライド可能に嵌め込まれており、該水平スライドガイド８９には、カム取付部材９０が一体に連結されている。このカム取付部材９０には、前記セパレート型駆動用カム４０により駆動伝達されて前後動する第２接続リンク４４の他端が接続されており、上記カム取付部材９０の側面には、板カム４５が一体に取り付けられている。上記板カム４５の上下両側の作用面には、図３（ｄ）に示すように、テーパー面が形成されている。
【００３０】
上記板カム４５を水平ガイドレール８８に沿って図３（ｃ）の左側に移動することにより、下面側がパンチ可動用カムフォロワ８３に圧接して下動させることにより、第２水平リンク材８２を介して垂直リンク材８１の上端に接続する第１水平リンク材８０を下動させる。そして、上記第１水平リンク材８０の両側に設けられたＴ型スロット８０ａに連結するパンチ支持部材６７を介してパンチプレート６４に取り付けられたパンチ６３を下動させる。
【００３１】
また、上記板カム４５の上面側が下型可動用カムフォロワ８５に圧接して上動させることにより、下型上下動用リンク材８４を介してその上端に接続する下型ダイプレート６８を上動させる。そして、上記下型ダイプレート６８に設けられたダイ６３を上動させてリードフレームを支持すると共に、該下型ダイプレート６８に支持されたミス検知ピン７５をダイ６３の上方に突出させる。また、上記下型ダイプレート６８に支持されたパイロットピン７３もリードフレームのパイロット穴に挿通する。
【００３２】
また、図３（ａ）に示すように、上記下型ベースプレート７１には垂直取付プレート９１が垂設されており、該垂直取付プレート９１には垂直ガイドレール９２が上下方向に設けられている。この垂直ガイドレール９２には、垂直スライドガイド９３を介して下型上下動用突き当て部材９４が上下にスライド可能に嵌め込まれている。
【００３３】
また、図３（ｃ）（ｅ）に示すように、シリンダ取付板９５には、上下動シリンダ５０が取り付けられている。上記シリンダ取付板９５は、シリンダ保持アーム４９に連結されており、該シリンダ保持アーム４９はミス検知駆動用カム４６より駆動伝達されて回動する。上記シリンダ保持アーム４９の回動に伴って、シリンダ取付板９５も前後動してシリンダロッド５０ａの先端に一端が接続されたトグルリンク９６，９７を同時に開閉する。上記上下動シリンダ５０のシリンダロッド５０ａは常時伸長した状態にあり、上記上下動シリンダ５０をシリンダ取付板９５と共に前後動させると、上記トグルリンク９６，９７をくの字状に折れ曲がった状態と上下に一直線状になった状態との間で変位を繰り返す。図３（ｂ）に示すように、上記トグルリンク９６の他端は上記下型上下動用突き当て部材９４に連結されており、上記トグルリンク９７の他端は垂直取付プレート９１に固定されている。
【００３４】
よって、上記トグルリンク９６，９７がくの字状に折れ曲がった状態から一直線状になった状態まで変位すると、下型上下動用突き当て部材９４を垂直ガイドレール９２に沿って上動させ、該下型上下動用突き当て部材９４の突き当て部９４ａを下型上下動用リンク材８４の下端に突き当てて下型を押し上げる。従って、リードフレームより半導体装置を切断する前に、下型ベース７０に支持されたミス検知ピン７５をダイ６３の上方に突出させてリードフレームのセットミスを検知することができる。
【００３５】
尚、上記ミス検知ピン７５が、セットミスを検知した場合には、装置の駆動を停止させると共にリードフレームを取り出す必要がある。リードフレームをダイ６３より取り外すためには、上動した下型を下動させてリードフレームに進入したミス検知ピン７５を引き抜く必要がある。そこで、マニュアル操作により、上記上下動用シリンダ５０を作動させて、シリンダロッド５０ａを縮めることにより、上下に開いたトグルリンク９６，９７を逆くの字状に折り曲げてダイ６３を下動させてミス検知ピン７５をリードフレームより引き抜いて取り外し易くすることができる。
【００３６】
また、上記下型上下動用突き当て部材９４は、板カム４５に先立って下型上下動用リンク材８４を上動させてミス検知ピン７５をリードフレームの検知穴に挿通するが、更に上記板カム４５がパンチ可動用カムフォロワ８３と下型可動用カムフォロワ８５間に進入することにより、上記下型上下動用リンク材８４を更に上動させてダイ６３によりリードフレームを支持すると共に、パンチ６２によりリードフレームを切断する。切断後の半導体装置は、後述するように排出用ピックアップハンド７により吸着保持されて搬送され、リードフレームはスクラップ排出口１４７（図１４参照）より排出される。
【００３７】
（回転テーブル）
次に回転テーブル５の構成について図６〜図９を参照して詳細に説明する。図６（ａ）〜（ｃ）は回転テーブルの回転駆動機構の平面図、正面図、右側面図、図７（ａ）〜（ｄ）は回転トレイ支持部材の駆動機構を示す平面図、正面断面図、右側断面図、左側面図、図８（ａ）〜（ｃ）は回転トレイ支持部材の移動構造の平面図、正面図、右側面図、図８（ｄ）〜（ｆ）は揺動部材の平面図、部分正面図、部分右側面図、図８（ｇ）は回転テーブルの回転量の切換構造を示す説明図、図９（ａ）〜（ｃ）は回転テーブル５の平面図、正面図、右側面図、図９（ｄ）は半導体装置の回転テーブルへの搬送態様を示す説明図である。
【００３８】
図９（ａ）において、９８はリードフレームより分離した半導体装置を受け渡される回転トレイであり、本実施例では２個取り用として左右２枚装備されている。図９（ｂ）に示すように、上記左右の回転トレイ９８は、整列ピッチに合わせてセンター基準で移動可能な回転トレイ支持部材９９にそれぞれ嵌め込まれている。上記左右の回転トレイ９８には，半導体装置を受け渡される凹部９８ａがそれぞれ形成されており、該凹部９８ａには図示しない吸引装置によりエアーを吸引する吸引穴９８ｂ、更には該吸引穴９８ｂに接続する吸引ノズル９８ｃ（図９（ｃ）参照）がそれぞれ設けられている。上記吸引穴９８ｂよりエアーを吸引することにより、排出用ピックアップハンド７に吸着された半導体装置の上記回転トレイ９８への受け渡しが確実に行われる。
【００３９】
図８（ａ）示すように、上記回転トレイ支持部材９９は、回転台１００の左右に立設されたレール支持部材１０１に架設された複数の移動レール１０２に沿って移動可能に取り付けられている。上記移動レール１０２の中央部には固定支持部材１０３が設けられており、上記回転トレイ支持部材９９は上記固定支持部材１０３を中心にセンター基準で同時にスライド可能に設けられている。上記固定支持部材１０３及び左右の回転トレイ支持部材９９には、上記吸引装置に接続する吸引穴１０３ａ，９９ａがそれぞれ形成されている。
【００４０】
上記回転台１００には、揺動部材１０４が揺動支点１０４ａを中心に揺動可能に設けられている。また、上記揺動部材１０４の上端には、揺動リンク１０５の一端が回動支点１０６により回動可能に連結している。上記揺動リンク１０５の他端は、上記回転トレイ支持部材９９に回動可能に連結されている。また上記揺動部材１０４の下端は、プッシュロッド１０７の上端に当接して支持されている。上記揺動部材１０４とこれに連結する揺動リンク１０５は、図８（ｃ）（ｄ）に示すように、左右の回転トレイ支持部材９９に応じて左右一対設けられている。
【００４１】
図８（ｅ）（ｆ）において、例えば右側の揺動部材１０４について説明すると、上記プッシュロッド１０７を上動することにより上記揺動部材１０４は揺動支点１０４ａを中心に反時計回り方向に回転する。このとき、上記揺動部材１０４の上端に連結する揺動リンク１０５の一端が左側に引っ張られるので、該揺動リンク１０５の他端に連結する右側の回転トレイ支持部材９９を移動レール１０２に沿って固定支持部材１０３に向かって移動させる。同様に左側の揺動部材１０４についても、揺動支点１０６を中心に時計回り方向に回転することにより、揺動リンク１０５に連結する左側の回転トレイ支持部材９９を移動レール１０２に沿って固定支持部材１０３に向かって移動させる。
【００４２】
よって、図８（ｂ）において、上記プッシュロッド１０７の上動により、２つの揺動部材１０４が時計回り方向・反時計回り方向にそれぞれ回転することにより左右の回転トレイ支持部材９９を移動レール１０２に沿って固定支持部材１０３に向かって同時に移動させて、回転トレイ９８を整列ピッチに合わせて移動させることができる。
【００４３】
尚、半導体装置によって整列ピッチを変更する場合には、図９（ｂ）に示す上記回転トレイ９８の移動方向の厚さＨをそれぞれ変更することにより整列ピッチを変更することができる。
また、半導体装置を１個取りする場合には、回転トレイ（図示せず）は固定支持部材１０３に固定されるため整列ピッチ合わせの動作は不要である。この場合、回転トレイは左右両側の回転トレイ支持部材９９を回転中心に向かって移動できないよう上記固定支持部材１０３への取付部分のブロックの厚さが厚いものが使用される。具体的には、図７（ｂ）に示すプッシュロッド１０７は、上記回転トレイの取付部分により常時押し下げられた状態となる。この状態は、図２に示すスライド用カム５１のカム曲線が最大径となった状態であるため、上記スライド用カム５１が更に回転してカム曲線が若干小径となると上記スライド用カム５１とこれに圧接する第１スライドアーム５２に設けられたカムフォロワとの間に隙間が生ずる。よって、１個取りの場合には、上記スライド用カム５１が回転しても、プッシュロッド１０７に対して駆動が伝達されないので、上記左右両側の回転トレイ支持部材９９は移動することがない。
【００４４】
図７（ｂ）において、上記プッシュロッド１０７は、回転体１０８の中心に上下動可能に嵌め込まれている。この回転体１０８は、回転体取付台１０９にベアリングを介して回転可能に取り付けられている。上記回転体１０８の上面は、回転台１００の下部に形成されたギヤ取付部１１０を支持している。このギヤ取付部１１０にはテーブルギヤ１１１がボルト締めにより取り付けられている。また上記回転体１０８の上面は、上記テーブルギヤ１１１の中心に嵌め込まれて一体となって回転する（図８（ｂ）参照）。
【００４５】
上記回転体１０８の周面部には９０°位相がずれた位置に切欠部１０８ａが２か所に形成されている。上記回転体取付台１０９に設けられたロック部材１１２の突起部１１２ａを上記切欠部１０８ａに嵌め込んで固定ボルト１１２ｂで固定することにより、例えば装置が停止状態にあるとき、回転テーブル５を基準位置に固定することができる。また、上記ロック部材１１２は、回転体１０８の２か所に形成された切欠部１０８ａを選択してロックすることにより、回転テーブル５を９０°位相を異なる位置で固定させることができる。例えば、図９（ｄ）に示すように、半導体装置をプレス装置４より２個取りして回転テーブル５に載置する場合に、製品によって向きを代えて固定して使用することも可能である。
【００４６】
また、上記回転体１０８の上面には、上記回転支持部材９８や固定支持部材１０３の吸引穴９８ｂ，１０３ａに接続する複数の吸引穴１０８ｂがそれぞれ設けられている。また、上記回転体取付台１０９の側面には、図７（ｂ）（ｄ）に示すように、上記回転体１０８の各吸引穴１０８ｂに連通する複数の吸引穴１０９ａが設けられている。この吸引穴１０９ａは、図示しない吸引装置に接続されている。
【００４７】
また、図７（ｂ）において、プッシュロッド１０７の下端は、前記スライド用カム５１より駆動伝達されて第２アーム回動軸３５を中心に回動する第２スライドアーム５４に連結されている（図２参照）。上記プッシュロッド１０７の下端と回転体１０８との間にはコイルスプリング１１３が嵌め込まれており、上記第２スライドアーム５４が揺動することにより上記コイルスプリング１１３の付勢力に抗してプッシュロッド１０７を押し上げ、前述した回転トレイ９８をセンター基準でスライドさせて整列ピッチに合わせることができる。
【００４８】
また、上記回転体取付台１０９には、上記プッシュロッド１０７に近接してテーブル用回転軸１１４がベアリングを介して回転可能に上下方向に取り付けられている。このテーブル用回転軸１１４の上端には、テーブルギヤ１１１に噛合する伝達ギヤ１１５が嵌め込まれている。また、この伝達ギヤ１１５の中心には、シュパンリング１１６が嵌め込まれている。
このシュパンリング１１６は、図８（ｂ）に示すように、奥側ほど穴径が小径となるようにテーパー面が形成された圧入ブッシュ１１６ａに、先端側が小径となるようにテーパー面が形成された圧入リング１１６ｂが、一体に嵌め込まれて形成されている。
【００４９】
よって、図８（ａ）示す圧入ねじ１１７を締めることにより、上記圧入リング１１６ｂが軸方向に圧入ブッシュ１１６ａの奥側に進入することで、該圧入ブッシュ１１６ａによる径方向外側への押圧力を強めることができる。よって、上記圧入ブッシュ１１６ａが嵌め込まれる、伝達ギヤ１１５を交換してその軸穴径が変わっても、上記圧入ねじ１１７を締め込むことによって、圧入リング１１６ｂを圧入ブッシュ１１６ａの奥側に進入させて取り付けることができる。
【００５０】
上記テーブルギヤ１１１と伝達ギヤ１１５とのギヤ比を変えることにより、回転テーブル５の回転量を種々に変更制御することができる。本実施例では、例えば、図８（ｇ）に示すように、テーブルギヤ１１１と伝達ギヤ１１５とのギヤ比を４：１（９０°）、２：１（１８０°）、４：３（２７０°）にそれぞれ変更可能に構成されている。
これによって、整列用トレイ９に合わせて、回転トレイ９８の向きを変更すると共に、整列ピッチ合わせを行うことができる。
【００５１】
また、図７（ｂ）において、回転体取付台１０９は回転体取付ベース板１１８に支持されており、該回転体取付ベース板１１８の下側に突出する上記テーブル用回転軸１１４の下端には、テーブル回転用プーリ１１９が嵌め込まれている。また、図６（ａ）〜（ｃ）において、上記回転体取付ベース板１１８と、垂直取付板１１８ａ，１１８ｂを介して対向するように取り付けられた回転軸取付板１２０ａ，１２０ｂとの間には、第１プーリ回転軸１２１、第２プーリ回転軸１２２がそれぞれ上下方向にそれぞれ立設されている。この第１プーリ回転軸１２１には第１プーリ６０が回転可能に嵌め込まれており、該第１プーリ６０の下側面には、偏心軸６１が垂設されている。この偏心軸６１にはテーブル回転用カム５５により駆動伝達されて第２アーム回動軸３５を中心に回動する第２テーブル回転アーム５８に一端が接続する第６接続ロッド５９の他端が接続されている。上記第２テーブル回転アーム５８を第２アーム回動軸３５を中心に回動させることにより第６接続ロッド５９を前後動させ（図２参照）、該第６接続ロッド５９の直動を第１プーリ６０の回動動作に変換している。
【００５２】
また、上記第２プーリ回転軸１２２には、外径の異なる第２プーリ１２３及び第３プーリ１２４が同軸に嵌め込まれており、これらは一体となって回動可能取り付けられている。上記第１プーリ６０と第２プーリ１２３との間には、タイミングベルト１２５が掛け渡されており、上記第３プーリ１２４と上記テーブル回転用プーリ１１９との間には、タイミングベルト１２６が掛け渡されている。
【００５３】
上述したように、テーブル回転用カム５５により駆動伝達されて第６接続ロッド５９の前後動させると、偏心軸６１を介して第１プーリ６０を回動させる。この第１プーリ６０の回動はタイミングベルト１２５を介して第２プーリ１２３及び第３プーリ１２４を第２プーリ回転軸１２２を中心に回動させ、タイミングベルト１２６を介して上記テーブル回転用プーリ１１９を３６０°回動させることができる。
【００５４】
上記テーブル回転用プーリ１１９を３６０°回動させると、テーブル用回転軸１１４の上端にシュパンリング１１６により嵌め込まれた伝達ギヤ１１５と噛合するテーブルギヤ１１１とのギヤ比により９０°，１８０°，２７０°のうちいずれかを選択して回転テーブル５を回転させることができる。
【００５５】
（搬送用ピックアップ）
次に、搬送用ピックアップ６の構成について図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０（ａ）〜（ｃ）は搬送用ピックアップハンドの駆動機構の平面図、正面図、右側面図、図１１（ａ）〜（ｃ）は搬送用ピックアップハンドの平面図、正面図、右側面図である。尚、図１１は、半導体装置を１個取り用の搬送用ピックアップハンドを例示した。
【００５６】
先ず、搬送用ピックアップ６の構成について図１１を参照して説明する。搬送用レール１０は搬送用レール取付部材１２７に取り付けられており、上記搬送用レール１０には搬送用スライドガイド１２８がスライド可能に嵌め込まれている。上記搬送用スライドガイド１２８は、搬送用スライドガイド取付部材１２９に取り付けられており、該搬送用スライドガイド取付部材１２９は搬送用ベース板１３０にノックピン１３１を嵌め込むことにより一体に取り付けられている。
【００５７】
上記搬送用ベース板１３０の一側面にはハンド取付板１３２がボルト止めにより上下方向に取り付けられている。上記ハンド取付板１３２には上下方向に上下動スライドレール１３３が２か所に設けられている。
上記２か所に設けられた上下動スライドレール１３３には、上下動スライドガイド１３４を介して排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８がそれぞれ上下動可能に取り付けられている。また、上記上下動スライドレール１３３の上端には、抜け止め部材１３５がそれぞれ設けられており、上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８が取り付けられた上下動スライドガイド１３４が上記上下動スライドレール１３３より外れるのを防止している。また、上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８を交換する際には、図１１に示す搬送用ベース板１３０をノックピン１３１より取り外して搬送用ピックアップ６全体を交換すれば良い。
【００５８】
上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８の上部には緩衝ボルト１３６，１３７がそれぞれ嵌め込まれており、該緩衝ボルト１３６，１３７の周囲にはコイルスプリング１３８，１３９がそれぞれ嵌め込まれている。
上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８は、通常上記上下動スライドレール１３３の下方に位置しているが、下動した際に吸引した半導体装置を回転トレイ９８や整列用トレイ９に着地させて移載する場合に、上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８には上記上下動スライドレール１３３に沿って上動する方向に押圧力がそれぞれ作用するが、この押圧力をコイルスプリング１３８，１３９によって吸収している。
【００５９】
上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８の下端部には、それぞれ吸着パッド７ａ，８ａがそれぞれ設けられており、図示しない吸引装置によりエアー吸引することにより、半導体装置を吸着保持する。上記吸着パッド７ａ，８ａの上側には、図示しない吸引ホースを接続可能な吸引口７ｂ，８ｂが形成されており、上記搬送用ベース板１３０の上面にも図示しない吸引ホースを接続可能な吸引口１３０ａ，１３０ｂが形成されている。
【００６０】
次に、上記搬送用ピックアップ６の駆動機構の構成について図１０を参照して説明する。
図１０（ｃ）に示すように、搬送用レール１０が取り付けられた搬送用レール取付部材１２７は、搬送用レール支持部材１４０の上端に連結されて支持されている。上記搬送用レール支持部材１４０は、上記搬送用レール取付部材１２７の長手方向に２か所に設けられており、下型ベースプレート７１に嵌め込まれた軸受部材１４１を挿通して下端側は軸受リンク材１４２にそれぞれ連結している。上記軸受部材１４１と搬送用レール取付部材１２７との間、上記軸受部材１４１と軸受リンク材１４２との間には、それぞれコイルスプリング１４３，１４４がそれぞれ嵌め込まれており、上下動する際の振動を吸収している。
【００６１】
上記軸受リンク材１４２には、搬送用ピックアップ上下動用カム３８に圧接して第１アーム回動軸３４を中心に回動する上下動アーム３９が回動可能に連結している。よって、上記搬送用ピックアップ上下動用カム３８が回転すると、上記上下動アーム３９が回動して軸受リンク材１４２を矢印方向に上下動させる。これによって上記軸受リンク材１４２に支持された搬送用レール取付部材１２７、更にはこれに連結する搬送用ベース板１３０を上下動させて、該搬送用ベース板１３０にハンド取付板１３２を介して一体に取付られた排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８を上下動させる。
【００６２】
また、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、搬送用スライドガイド取付部材１２９の一端には、前後動アーム取付部材１４５が一体に取り付けられている。この前後動アーム取付部材１４５には、搬送用ピックアップ前後動用カム３６に圧接して第１アーム回動軸３４を中心に回動する前後動アーム３７が回動可能に連結している。また、上記前後動アーム取付部材１４５と前後動アーム３７との間には引っ張りバネ１４６が架設されており、上記前後動アーム３７の移動端における衝撃を吸収している。
【００６３】
よって、上記搬送用ピックアップ前後動用カム３６が回転すると、上記前後動アーム３７が回動して前後動アーム取付部材１４５が連結する搬送用スライドガイド取付部材１２９を搬送用スライドガイド１２８を介して搬送用レール１０に沿って長手方向に前後動させる。これによって、上記搬送用スライドガイド取付部材１２９にノックピン１３１を介して連結する搬送用ベース板１３０を前後動させて、該搬送用ベース板１３０にハンド取付板１３２を介して一体に取り付けられた排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８を前後動させる。上記排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８は、通常図１０（ａ）（ｃ）の下方に待機している。
【００６４】
（プレス搬送動作）
次に、上述のように構成された半導体装置製造用プレス搬送装置のプレス搬送動作について図１２に示すカムのタイミングチャートを参照しながら説明する。尚、カム軸３に設けられた複数のカムを１回転駆動する間に、プレス装置４においてリードフレームより半導体装置が分離され、該分離された半導体装置を回転テーブル５へ搬送する動作と、回転テーブル上に載置されていた半導体装置を整列用トレイ９へ搬送する動作がシンクロナイズする状態を各カムの回転駆動を中心に説明する。
【００６５】
先ず、リードフレームがプレス装置４のプレス位置にセットされると、駆動部１の電動モータを起動して駆動伝達機構２のカム軸３に駆動を伝達してプレス動作が開始される（図１３，１６参照）。
【００６６】
図１２において、先ずプレス装置４の搬送ガイド７８に両側をガイドされてプレス位置にセットされたリードフレームに対して、セットミスが生じているか否かを検知する。具体的には、ミス検知駆動用カム４６の回転により、図３に示す下型上下動用突き当て部材９４を下型上下動用リンク材８４に突き当てて上動させることにより下型ダイプレート６８を上動させ、ミス検知ピン７５をリードフレームの検知穴に挿通する（カム作用線Ｂ参照）。
【００６７】
このとき、リードフレームにセットミスが生じた場合には、装置の駆動を停止させ、上記ミス検知ピン７５をリードフレームより引き抜いて該リードフレームを取り外してセットし直す必要がある。このとき、マニュアル操作で上下動シリンダ５０を作動させて、強制的に上記下型上下動用リンク材８４を下動させることによりミス検知ピン７５をリードフレームより引き抜くことができ、リードフレームを容易に取り外すことができる。
【００６８】
次に、リードフレームが、プレス位置に正常にセットされていた場合には、先ず搬送用ピックアップ６を下動させて、半導体装置を排出用ピックアップハンド７の吸着パッド７ａにより吸着保持させる。また、回転テーブル５に移載されて向きをかえると共に２個取りの場合には整列ピッチ合わせが行われた半導体装置を整列用ピックアップハンド８の吸着パッド８ａに吸着保持させる。具体的には、搬送用ピックアップ上下動用カム３８の回転により、図１０に示す軸受リンク材１４２及び搬送用レール支持部材１４０を下動させることにより、搬送用ベース板１３０にハンド取付板１３２などを介して一体に取り付けられた排出用ピックアップハンド７と整列用ピックアップハンド８を下動させる（カム作用線Ａ参照）。
【００６９】
次いで、パンチ６２とダイ６３により半導体装置をリードフレームより切断して分離する。具体的には、セパレート型駆動用カム４０の回転により、図３に示す板カム４５をパンチ可動用カムフォロワ８３と下型可動用カムフォロワ８５に進入させることにより、上記板カム４５の下面側の作用面によりパンチ支持部材６７を介してパンチ６２を下動させると共に、上記板カム４５の上面側の作用面により下型上下動用リンク材８４を更に上動させて、ダイ６３がリードフレームの下面を支持する位置まで上動させる。また、上記パンチ６２はリードフレームを切断してダイ６３に進入する位置まで下動して、半導体装置が分離される（カム作用線Ｃ参照）。
【００７０】
また、上記搬送用ピックアップ上下動用カム３８の更なる回転により、上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップハンド８に半導体装置を吸着保持させたまま上動させる（カム作用線Ａ参照）。
【００７１】
そして、上記セパレート型駆動用カム４０の更なる回転により、上記板カム４５がパンチ可動用カムフォロワ８３と下型可動用カムフォロワ８５との間から退避することにより、パンチ６２を上動させダイ６３を下動させる。このとき、上記リードフレームより分離された半導体装置は、予め排出用ピックアップハンド７の吸着パッド７ａに吸着保持されているので、下方に落下することはない（カム作用線Ｃ参照）。
また、上記ミス検知駆動用カム４６の更なる回転により、下型上下動用突き当て部材９４を下動させて、ダイ６３を更に下動させ、ミス検知ピン７５をダイ６３と共に下動させる（カム作用線Ｂ参照）。
【００７２】
次に、整列用トレイ９に合わせて向きを変えるため所定量（本実施例では９０°）回転していた回転トレイ９８をプレス装置４からの搬送された半導体装置の受け取りのため９０°回転させる。具体的には、テーブル回転用カム５５の回転により、図６〜図８に示すように、第１プーリ６０、第２プーリ１２３などを介してテーブル用回転軸１１４の下端に嵌め込まれた上テーブル回転用プーリ１１９を３６０°回転させる。そして、上記テーブル用回転軸１１４の上端にシュパンリング１１６を介して取り付けられた伝達ギヤ１１５と噛み合うテーブルギヤ１１１とのギヤ比（本実施例では４：１）により回転テーブル５が９０°回転する（カム作用線Ｆ参照）。
【００７３】
また、半導体装置をそれぞれ吸着保持して上動する上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップ８を搬送用レール１０に沿ってスライドさせて、プレス装置４より回転テーブル５へ、回転テーブル５より整列用トレイ９へそれぞれ搬送する。具体的には、搬送用ピックアップ前後動カム３６の回転により、図１０（ｃ）に示すように、前後動アーム３７が回転して、前後動アーム取付部材１４５などを介して搬送用ベース板１３０を搬送用レール１０に沿って矢印Ｐ方向へスライドさせる。これによって、上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップ８にそれぞれ吸着保持された半導体装置を、回転テーブル５及び整列用トレイ９の上方に搬送する（カム作用線Ｅ参照）。
【００７４】
また、上記回転テーブル５に設けられた回転トレイ９８を、整列用トレイ９の半導体装置の整列ピッチに合わせるため、上記回転トレイ９８の整列ピッチ合わせを行う。具体的には、スライド用カム５１の回転により、図７及び図８に示すように、プッシュロッド１０７を上動させて、１対の揺動部材１０４を揺動支点１０４ａを中心に時計回り方向・反時計回り方向にそれぞれ回転させる。そして、上記揺動部材１０４にそれぞれ回動可能に連結する揺動リンク１０５を介して回転トレイ支持部材９９を移動レール１０２に沿ってセンター基準で固定支持部材１０３に向かって同時に移動させることにより、上記回転トレイ支持部材９９に支持された回転トレイ９８を整列ピッチに合わせることができる（カム作用線Ｄ参照）。
【００７５】
そして、上記搬送用ピックアップ上下動用カム３８の更なる回転により、上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップハンド８に半導体装置を吸着保持させたまま下動させる。そして、上記回転トレイ９８が９０°向きを代えて、かつ回転トレイ９８の整列ピッチ合わせが行われた回転テーブル５に、排出用ピックアップハンド７に吸着保持された半導体装置が回転トレイ９８に吸着されて移載される。また、同時に整列用トレイ９に整列用ピックアップハンド８に吸着保持された半導体装置が移載される。
上記排出用ピックアップハンド７から回転テーブル５へ、整列用ピックアップハンド８から整列用トレイ９へそれぞれ半導体装置の受け渡しが行われると、上記搬送用ピックアップ上下動用カム３８の更なる回転により、上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップハンド８は再び上動する（カム作用線Ｂ参照）。
【００７６】
次に、前記テーブル回転用カム５５の更なる回転により、第１プーリ６０は逆方向に回転するため、テーブル用回転軸１１４に嵌め込まれたテーブル回転用プーリ１１９は逆向きに３６０°回転する。よって、伝達ギヤ１１５を介してテーブルギヤ１１１も逆向きに９０°回転して、再びプレス装置４から搬送される半導体装置を受け取り用に向きを変える（カム作用線Ｆ参照）。
【００７７】
また、前記搬送用ピックアップ前後動カム３６の更なる回転により、搬送用ベース板１３０を搬送用レール１０に沿って矢印Ｑ方向へスライドさせる（図１０（ｃ）参照）。これによって、上記排出用ピックアップハンド７及び整列用ピックアップ８を回転テーブル５の上方からプレス装置４の上方へ、整列用トレイ９の上方より回転テーブル５の上方へ移動させて次の半導体装置の搬送動作に備える（カム作用線Ｅ参照）。
【００７８】
また、前記スライド用カム５１の更なる回転により、プッシュロッド１０７を下動させて、１対の揺動部材１０４を揺動支点１０４ａを中心に逆方向にそれぞれ回転させることにより、揺動リンク１０５を介して回転トレイ支持部材９９を移動レール１０２に沿って固定支持部材１０３より反対側に向かってそれぞれ同時に移動させ（図７及び図８参照）、次の半導体装置の搬送動作に備える（カム作用線Ｄ参照）。
【００７９】
尚、整列用トレイ９は、前述したように、２個取りの場合には、該整列用トレイ９の長手方向に１ピッチ分スライドさせられ、１個取りの場合にはＸ−Ｙ方向に交互に移動して２列分を交互に移載するように移動する。
【００８０】
このように、カム軸３に設けられた６枚分のカムが１回転駆動する間に、プレス装置４、回転テーブル５、及び搬送用ピックアップ６をそれぞれ所定のタイミグでシンクロナイズして駆動することにより、プレス工程から半導体装置の収納工程に至るまでの各動作を高速化に行うことができる。このプレス搬送動作を繰り返し行うことにより、整列用トレイ９に半導体装置が全て移載されるまで連続動作により行われる。
上記半導体装置製造用プレス搬送装置を用いることによって、樹脂封止後のリードフレームよりダムバーとレジンカットを行った後、プレス装置４においてリードフレームより半導体装置を分離してから整列用トレイ９に搬送して収納部１２へ収納されるまでのインデックスタイムを測定したところ、従来３５ｓｐｍ程度であったところをおよそ８０ｓｐｍまで上昇させて高速化を実現することができた。
【００８１】
上記構成によれば、駆動部１の電動モータにより駆動伝達機構２を作動させてカム軸３に取り付けられた複数のカムを１回転駆動する間に、リードフレームより分離した半導体装置を回転テーブル５に搬送すると共に、前記回転テーブル５に移載された半導体装置を整列用トレイ９に搬送するようにしたので、上記駆動伝達機構２を介して有機的に連結するプレス装置４、回転テーブル５、及び搬送用ピックアップ６を同期取りしてシンクロナイズして駆動させるため、リードフレームより半導体装置を分離する工程から、回転テーブル５上への搬送や該回転テーブル５の向きを変えたり、整列ピッチ合わせをする工程、更には回転テーブル５から半導体装置を整列用トレイ９へ搬送する各工程に要するインデックスタイムを著しく短縮することができ、プレス工程から半導体装置の収納工程まに至る迄の装置全体の作業効率を高めることができる。
特に、上記駆動伝達機構２に装備したカム軸３に複数のカムを設けて駆動伝達を行うことにより、これらのカム曲線を半導体装置の搬送し始めと停止前を低速に、また搬送中は高速になるようにそれぞれ描くことで、半導体装置を傷付くことなく搬送することができ、製品の信頼性を高めることができる。
また、半導体装置を次の工程に送る際に、確認用のセンサを省略することができるので、製造コストを低減すると共に、制御動作も簡略化することができる。
【００８２】
また、プレス装置においては、ダイ６３を上動させてリードフレームを支持すると共にパンチ６２を下動させて前記リードフレームを切断することにより、上記パンチ６２及びダイ６３の移動量が少なくて済むため高速化に寄与できる。
特に、上記パンチ６２によりリードフレームを切断する前に、ミス検知ピン７５によりリードフレームのセットミスを検知すると、手動操作によりリンク機構の一部である上下動シリンダ５０を駆動させて上動した上記ミス検知ピン７５を下動させてリードフレームを取り外し可能にしたので、ミス検知駆動用カム４６やセパレート型駆動用カム４０の回転位置がどの位置にあっても、リードフレームの取り出しが容易に行えるため、作業性、操作性が良い。
【００８３】
また、上記搬送用ピックアップ６は、上記パンチ６２によりリードフレームを切断する前に、プレス位置において半導体装置を吸着保持し回転位置へ搬送する排出用ピックアップハンド７と、上記回転位置において半導体装置を吸着保持し、整列位置へ搬送する整列用ピックアップハンド８とを備え、前記リードフレームより半導体装置を切断後に上記プレス位置と回転位置、上記回転位置と整列位置との間を往復動して前記半導体装置を同時に搬送することにより、装置の高速化に寄与できる。
【００８４】
また、上記回転テーブル５の回転動作と同期させて該回転テーブル５上に設けられた左右の回転トレイ９８を支持する回転トレイ支持部材９９を回転中心に向かって移動させてセンター基準で上記左右の回転トレイ９８を整列ピッチに合わせることにより、装置の高速化に寄与できる。
特に、前記回転テーブルの回転量を、互いに噛合する伝達ギヤ１１５とテーブルギヤ１１１とのギヤ比を変更することにより、異なる品種の製品に応じて整列する向きを変更できるので、汎用性を高めることができる。
【００８５】
本発明は上記実施の態様に限定されるものではなく、プレス装置４はパンチ６２とダイ６３を単数のみならず複数有していても良い。また、半導体装置は１個取り、２個取りに限らず、更に複数個取り用に回転テーブル５、搬送用ピックアップ６を変更することも可能である。
【００８６】
また、上記実施例では、ミス検知ピン７５及びダイ６３の上下動を、セパレート型駆動用カム４０及びミス検知駆動用カム４６の２つのカムによりタイミングをずらせて別個に上下動させていたが、例えば単一の下型駆動用カムに圧接して回動可能な下型駆動アームを下型上下動用リンク材８４の下端に突き当てて上下動させても良い。具体的には、上記下型駆動アームの突き当て面には階段状のカム面が形成されており、上記下型駆動用カムの回転に応じて上記カム面の段差を利用してミス検知ピン７５及びダイ６３を徐々に上昇するように構成しても良い。上記下型駆動アームを回転させると、先ず１段目のカム面を上下動用リンク材８４の下端に突き当ててミス検知ピン７５を上動させてから、上記下型駆動用カムの更なる回転により２段面のカム面を上下動用リンク材８４の下端に突き当ててダイ６３を更にリードフレームの下面を支持するよう上動させても良い。
上記構成によれば、カムの枚数やリンク機構の部品点数を減らして構成を簡略化することができ、製造コストを低減できる。
【００８７】
また、上記実施例では、回転テーブル５の回転機構として、第６接続ロッド５９の直動を第１プーリ６０の回動に変換し、該１プーリ６０の回動を径の異なる第２プーリ１２３，第３プーリ１２４を介して回転量を調整してテーブル回転用プーリ１１９を３６０°回動させていたが、これに限定されるものではなく他の回転機構であっても良い。
例えば、上記第６接続ロッド５９の他端を、所定長に渡って外周面部にギヤ歯が形成された円弧状ラックを先端部に有するアームに接続し、該円弧状ラックにテーブル回転軸１１４に嵌め込まれたピニオンギヤを噛合するように構成しても良い。これによって、テーブル回転用カム５５の回転により第６接続ロッド５９を前後動させ、該第６接続ロッド５９が接続するアームを振り子状に回動させる。このとき、先端部の円弧状ラックとピニオンギヤとのギヤ比を調整することにより、上記円弧状ラックの回動により、ピニオンギヤを３６０°で回動させて、伝達ギヤ１１５とテーブルギヤ１１１との噛み合わせにより回転テーブル５を所定量回動させることができる。
上記構成によっても、回転機構の部品点数を減らして構成を簡略化することができ、製造コストを低減できる。
【００８８】
以上のように、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【００８９】
【発明の効果】
本発明は前述したように、駆動手段により駆動伝達機構を作動させてカム軸に取り付けられた複数のカムを１回転駆動する間に、リードフレームより分離した半導体装置を回転テーブルに搬送すると共に、該回転テーブルに移載された半導体装置を整列用トレイに搬送するようにしたので、上記駆動伝達機構を介して有機的に連結するプレス装置、回転テーブル、及び搬送用ピックアップを同期取りしてシンクロナイズして駆動させるため、リードフレームより半導体装置を分離する工程から、前記回転テーブル上への搬送や該回転テーブルの向きを変えたり、整列ピッチ合わせなどを行う工程、更には前記回転テーブルから半導体装置を前記整列用トレイへの搬送する各工程に要するインデックスタイムを著しく短縮化することができ、プレス工程から半導体装置の収納工程に至るまでの装置全体の作業効率を高めることができる。
特に、前記駆動伝達機構に装備したカム軸に複数のカムを設けて駆動伝達を行うことにより、これらのカム曲線を半導体装置の搬送し始めと停止前を低速に、また、搬送中は高速になるようにそれぞれ描くことで、半導体装置を傷つくことなく搬送することができ、製品の信頼性を高めることができる。
また、例えば半導体装置を次の工程に送る際に、確認用のセンサを省略することができるので、製造コストを低減すると共に、制御動作も簡略することができる。
【００９０】
また、前記プレス装置は、ダイを上動させてリードフレームを支持すると共にパンチを下動させて前記リードフレームを切断することにより、前記パンチ及びダイの移動量が少なくて済むため高速化に寄与できる。
特に、前記パンチによりリードフレームを切断する前に、ミス検知ピンによりリードフレームのセットミスを検知すると、リンク機構の一部である上下動シリンダを駆動させて上動した前記ミス検知ピンを強制的に下動させてリードフレームを取り外し可能にしたので、カムの回転位置がどの位置にあっても、リードフレームの取り出しが容易に行えるため、作業性、操作性が良い。
【００９１】
また、前記搬送用ピックアップは、前記パンチによりリードフレームを切断する前に、前記プレス位置において半導体装置を吸着保持し回転位置へ搬送する排出用ピックアップハンドと、前記回転位置において半導体装置を吸着保持し、整列位置へ搬送する整列用ピックアップハンドとを備え、前記リードフレームより半導体装置を切断後に前記プレス位置と回転位置、回転位置と整列位置との間を往復動して前記半導体装置を同時に搬送することにより、装置の高速化に寄与できる。
【００９２】
また、前記回転テーブルの回転動作と同期させて該回転テーブル上に設けられた左右の回転トレイを支持する回転トレイ支持部材を回転中心に向かって移動させてセンター基準で前記左右の回転トレイを整列ピッチに合わせることにより、装置の高速化に寄与できる。
特に、前記回転テーブルの回転量を、互いに噛合する伝達ギヤとテーブルギヤとのギヤ比を変更することにより、異なる品種の製品に応じて整列する向きを変更できるので、汎用性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】駆動伝達機構の正面図である。
【図２】図１に示す駆動伝達機構の平面図である。
【図３】プレス装置の駆動機構の説明図である。
【図４】図３の下型の平面図、正面図、及び上型の下面側の説明図である。
【図５】プレス装置の平面図、正面図、左側面図である。
【図６】回転テーブルの回転駆動機構の説明図である。
【図７】回転トレイ支持部材の駆動機構の説明図である。
【図８】回転トレイ支持部材の移動構造及び回転テーブルの回転量の切換構造を示す説明図である。
【図９】回転テーブルの説明図及び半導体装置の回転テーブルへの搬送状態を示す説明図である。
【図１０】搬送用ピックアップハンドの駆動機構の説明図である。
【図１１】搬送用ピックアップハンドの説明図である。
【図１２】駆動伝達機構に装備した複数のカムの動作のタイミングチャートである。
【図１３】半導体装置製造用プレス搬送装置の平面図である。
【図１４】図１３の半導体装置製造用プレス搬送装置の正面図である。
【図１５】図１３の半導体装置製造用プレス搬送装置の右側面図である。
【符号の説明】
１  駆動部  ２  駆動伝達機構  ３  カム軸  ４  プレス装置  ５  回転テーブル  ６  搬送用ピックアップ  ７  排出用ピックアップハンド  ７ａ，８ａ  吸着パッド  ７ｂ，８ｂ，１３０ａ，１３０ｂ  吸引口  ８  整列用ピックアップハンド  ９  整列用トレイ  １０  搬送用レール  １１  収納用ピックアップハンド  １２  収納部  １３  収納用トレイ排出積載部  １４  収納用トレイ供給部  １５  供給用扉  ３０  カム軸ギヤプーリ  ３１，１２５，１２６  タイミングベルト  ３２  装置フレーム  ３３  ロータリーエンコーダ  ３４  第１アーム回動軸  ３５  第２アーム回動軸  ３６  搬送用ピックアップ前後動用カム  ３７  前後動アーム  ３７ａ，３９ａ，４３ａ，４９ａ，５４ａ，５８ａ，１４６  引っ張りバネ  ３８  搬送用ピックアップ上下動用カム  ３９  上下動アーム  ４０  セパレート型駆動用カム  ４１  第１セパレート型駆動アーム  ４２  第１接続ロッド  ４３  第２セパレート型駆動アーム  ４４  第２接続ロッド  ４５  板カム  ４６  ミス検知駆動用カム  ４７  ミス検知駆動アーム  ４８  第３接続ロッド  ４９  シリンダ保持アーム  ５０  上下動シリンダ  ５１  スライド用カム  ５２  第１スライドアーム  ５３  第４接続ロッド  ５４第２スライドアーム  ５５  テーブル回転用カム  ５６  第１テーブル回転アーム  ５７  第５接続ロッド  ５８  第２テーブル回転アーム  ５９  第６接続ロッド  ６０  第１プーリ  ６１  偏心軸  ６２  パンチ  ６３  ダイ  ６４  パンチプレート  ６５，７２  ガイドポスト  ６６，７４，７７，８６，１１３，１３８，１３９，１４３，１４４  コイルスプリング  ６７  パンチ支持部材６８  下型ダイプレート  ６９  下型プレート  ７０  下型ベース  ７１  下型ベースプレート  ７３  パイロットピン  ７５  ミス検知ピン  ７５ａ  光電センサ  ７６  支持ロッド  ７８  搬送ガイド  ７８ａ  ガイド溝  ７９  ガイドブロック  ８０  第１水平リンク材  ８０ａ  Ｔ型スロット  ８１  垂直リンク材  ８２  第２水平リンク材  ８３  パンチ可動用カムフォロワ  ８４  下型上下動用リンク材  ８５  下型可動用カムフォロワ  ８７  リンクガイド部材  ８８  水平ガイドレール  ８９  水平スライドガイド  ９０  カム取付部材  ９１  垂直取付プレート  ９２  垂直ガイドレール  ９３  垂直スライドガイド  ９４  下型上下動用突き当て部材  ９５  シリンダ取付部材  ９６，９７  トグルリンク  ９８  回転トレイ  ９８ａ  凹部  ９８ｂ  ９９ａ，１０３ａ，１０８ｂ  吸引穴  ９８ｃ  吸引ノズル  ９９  回転トレイ支持部材  １００  回転台  １０１  レール支持部材  １０２  移動レール  １０３  固定支持部材  １０４  揺動部材  １０４ａ  揺動支点  １０５  揺動リンク  １０６  回動支点１０７  プッシュロッド  １０８  回転体  １０８ａ  切欠部  １０９  回転体取付台  １１０  ギヤ取付部  １１１  テーブルギヤ  １１２  ロック部材  １１２ａ  突起部  １１２ｂ  固定ボルト  １１４  テーブル用回転軸  １１５伝達ギヤ  １１６  シュパンリング  １１６ａ  圧入ブッシュ  １１６ｂ  圧入リング  １１７  圧入ねじ  １１８  回転体取付ベース板  １１８ａ，１１８ｂ  垂直取付板  １１９  テーブル回転用プーリ  １２０ａ，１２０ｂ  回転板取付板  １２１  第１プーリ回転軸    １２２  第２プーリ回転軸  １２３  第２プーリ  １２４  第３プーリ  １２７  搬送用レール取付部材  １２８  搬送用スライドガイド  １２９  搬送用スライドガイド取付部材  １３０  搬送用ベース板  １３１  ノックピン  １３２  ハンド取付板  １３３  上下動スライドレール  １３４  上下動スライドガイド  １３５  抜け止め部材  １３６，１３７  緩衝ボルト  １４０  搬送用レール支持部材  １４１  軸受部材  １４２  軸受リンク材  １４５  前後動アーム取付部材  １４７  スクラップ排出口
【図１】
0003989055.tif 000002
【図２】
0003989055.tif 000003
【図３】
0003989055.tif 000004
【図４】
0003989055.tif 000005
【図５】
0003989055.tif 000006
【図６】
0003989055.tif 000007
【図７】
0003989055.tif 000008
【図８】
0003989055.tif 000009
【図９】
0003989055.tif 000010
【図１０】
0003989055.tif 000011
【図１１】
0003989055.tif 000012
【図１２】
0003989055.tif 000013
【図１３】
0003989055.tif 000014
【図１４】
0003989055.tif 000015
【図１５】
0003989055.tif 000016