(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠に、所定の張力を加えた状態でメッシュ状の支持体スクリーンを保持する、紗張り工程と、
その周辺に前記支持体スクリーンとの接合に供する接合部を有する印刷版を用意し、当該印刷版を前記支持体スクリーンの所定の箇所に配置し、当該印刷版と当該支持体スクリーンとを前記接合部の一部で接合する、第一の接合工程と、
前記印刷版の接合部内側の前記支持体スクリーンを切り取る、切除工程と、
前記支持体スクリーンと、前記印刷版の接合部の残りの部分とを接合する、第二の接合工程とを含むことを特徴とするコンビネーションマスクの製造方法。
【請求項２】
枠に、所定の張力を加えた状態でメッシュ状の第一支持体スクリーンを保持する、第一の紗張り工程と、
その周辺でかつ両面に支持体スクリーンとの接合に供する接合部を有する印刷版を用意し、当該印刷版を前記第一支持体スクリーンの所定の箇所に配置し、当該印刷版と当該第一支持体スクリーンとを前記印刷版の一方面接合部の一部で接合する、第一の接合工程と、
前記印刷版の一方面接合部内側の前記第一支持体スクリーンを切り取る、第一の切除工程と、
メッシュ状の第二支持体スクリーンを用意し、前記印刷版に対して前記第一支持体スクリーンとは反対側に配置し、前記枠に、所定の張力を加えた状態で当該第二支持体スクリーンを保持する、第二の紗張り工程と、
前記印刷版と前記第二支持体スクリーンとを前記印刷版の他方面接合部の一部で接合する、第二の接合工程と、
前記印刷版の他方面接合部内側の前記第二支持体スクリーンを切り取る、第二の切除工程と、
前記第二支持体スクリーンと、前記印刷版の他方面接合部の残りの部分とを接合する、第三の接合工程と、
前記第一支持体スクリーンと、前記印刷版の一方面接合部の残りの部分とを接合する、第四の接合工程とを含むことを特徴とするコンビネーションマスクの製造方法。
【請求項３】
前記枠が平面視四角形状で形成され、前記支持体スクリーンが縦横の線で構成され、当該縦もしくは横の線が当該四角形枠のいずれかの辺に対して略直角に張られていることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のコンビネーションマスクの製造方法。
【請求項４】
前記印刷版の平面視形状が、多角形もしくは多角形のコーナー部を曲線とした形状であることを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のコンビネーションマスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ状積層電子部品などの微細なパターン形成の分野で用いられる、スクリーン印刷用コンビネーションマスク、その製造方法、およびそれを用いた印刷方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップ状積層電子部品の分野において、その内部電極を形成するためにスクリーン印刷が行なわれている。このスクリーン印刷にはコンビネーションマスクが使用されている。
【０００３】
従来のコンビネーションマスクの製造方法を図８ないし図１０に基づいて説明する。図８（ａ）ないし（ｅ）はコンビネーションマスクの製造方法を示す斜視図、図９（ａ）ないし（ｅ）はそのＢ−Ｂ´断面図、図１０はパターン用開口部が形成された印刷用メタルシート（印刷版）を示す図である。
【０００４】
まず、平面視四角形状の枠４１を用意する。そして、図８（ａ）、図９（ａ）に示すように、この枠４１に支持体スクリーン４２を所定の張力を加えた状態で接合する。支持体スクリーン４２はメッシュ状であって縦横の線で構成されている。このとき、支持体スクリーン４２の縦横の線の枠４１に対する平面視張り角度は任意である。次に、図１０に示すような所定の大きさで平面視四角形状の印刷用メタルシート４３を用意する。この印刷用メタルシート４３には親基板に例えば積層チップコンデンサの内部電極を印刷するために、四角形状のマスク部５０が設けられている。このマスク部５０の中に、微細なパターン用開口部５１が多数形成されている。なお、図８、図９においては、印刷用メタルシート４３に形成されたパターン用開口部は図示していない。次に、この印刷用メタルシート４３を、図８（ｂ）、図９（ｂ）に示すように、支持体スクリーン４２上の所定の箇所に配置し、仮固定する。そして、図８（ｃ）、図９（ｃ）に示すように、全体を上下反転する。次に、図８（ｄ）、図９（ｄ）に示すように、印刷用メタルシート４３の周辺全体に接着剤４４を支持体スクリーン４２のメッシュを通して塗布する。これによって、印刷用メタルシート４３と支持体スクリーン４２とを接合する。次に、図８（ｅ）、図９（ｅ）に示すように、接合部内側に沿って支持体スクリーン４２ａを切り取り、除去する。この切り取りを行なったとき、印刷用メタルシート４３の接合部に張力が加わる。このようにして、張力が加えられた印刷用メタルシート４３を備えた、コンビネーションマスクを得ていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１０に示すようなパターン用開口部５１が形成されている印刷用メタルシート４３を使い、コンビネーションマスクを作製した場合、図１１に示すように、マスク部５０が、その４辺中央部付近が膨らんだいわゆる太鼓状に歪んでしまうという問題があった。これは次のような理由による。印刷用メタルシート４３に張力を加えるために、接合部内側の支持体スクリーンを切り取ったとき、張力は印刷用メタルシート４３の各辺と直角方向に均一に付加される。印刷用メタルシート４３内ではパターン用開口部５１が形成されている中央部分ほど周辺と比べ引っ張り強度が弱い。このため、均一に張力が付加された場合、印刷用メタルシート４３およびマスク部５０のコーナー部付近より４辺の中央部付近が相対的に伸び量が大きくなるためである。
【０００６】
さらに、印刷品位に影響を及ぼす印刷時の版離れは印刷用メタルシート４３に加えられる張力が大きい方が有利であり、このような印刷用メタルシート４３を備えたコンビネーションマスクが要求される。しかし、張力アップに伴い、マスク部５０はさらに大きな太鼓状の歪みを生じてしまう。この太鼓状の歪みのあるマスク部５０を持つコンビネーションマスクを用いて印刷した場合、例えば積層チップコンデンサの内部電極の位置ずれ不良を発生させるなど、チップ状積層電子部品などの歩留まりが悪化するという問題があった。
【０００７】
本発明は、上述の問題を鑑みてなされたものであり、マスク部の歪み量を低減できるコンビネーションマスク、その製造方法、およびそれを用いた印刷方法を提供し、チップ状積層電子部品などの歩留まりを向上させることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明のコンビネーションマスクの製造方法は、枠に、所定の張力を加えた状態でメッシュ状の支持体スクリーンを保持する、紗張り工程と、その周辺に前記支持体スクリーンとの接合に供する接合部を有する印刷版を用意し、当該印刷版を前記支持体スクリーンの所定の箇所に配置し、当該印刷版と当該支持体スクリーンとを前記接合部の一部で接合する、第一の接合工程と、前記印刷版の接合部内側の前記支持体スクリーンを切り取る、切除工程と、前記支持体スクリーンと、前記印刷版の接合部の残りの部分とを接合する、第二の接合工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
また、枠に、所定の張力を加えた状態でメッシュ状の第一支持体スクリーンを保持する、第一の紗張り工程と、その周辺でかつ両面に支持体スクリーンとの接合に供する接合部を有する印刷版を用意し、当該印刷版を前記第一支持体スクリーンの所定の箇所に配置し、当該印刷版と当該第一支持体スクリーンとを前記印刷版の一方面接合部の一部で接合する、第一の接合工程と、前記印刷版の一方面接合部内側の前記第一支持体スクリーンを切り取る、第一の切除工程と、メッシュ状の第二支持体スクリーンを用意し、前記印刷版に対して前記第一支持体スクリーンとは反対側に配置し、前記枠に、所定の張力を加えた状態で当該第二支持体スクリーンを保持する、第二の紗張り工程と、前記印刷版と前記第二支持体スクリーンとを前記印刷版の他方面接合部の一部で接合する、第二の接合工程と、前記印刷版の他方面接合部内側の前記第二支持体スクリーンを切り取る、第二の切除工程と、前記第二支持体スクリーンと、前記印刷版の他方面接合部の残りの部分とを接合する、第三の接合工程と、前記第一支持体スクリーンと、前記印刷版の一方面接合部の残りの部分とを接合する、第四の接合工程とを含むことを特徴とする。
【００１０】
また、前記枠が平面視四角形状で形成され、前記支持体スクリーンが縦横の線で構成され、当該縦もしくは横の線が当該四角形枠のいずれかの辺に対して略直角に張られていることを特徴とする。
【００１１】
また、前記印刷版の平面視形状が、多角形もしくは多角形のコーナー部を曲線とした形状であることを特徴とする。
【００１４】
このように本発明においては、印刷用メタルシートの接合を２工程に分けて行なうことによって印刷用メタルシートに加える張力の大きさの調整ができ、マスク部の歪み量を低減できるコンビネーションマスクの製造方法を提供することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
［第一実施例、図１ないし図４］
以下、第一実施例であるコンビネーションマスクの製造方法を図に基づいて説明する。図１（ａ）ないし（ｆ）は各製造工程を示す斜視図、図２（ａ）ないし（ｆ）はそのＡ−Ａ´断面図、図３は支持体スクリーンの枠に対する張り角度を示す図、図４はパターン用開口部が形成された印刷用メタルシートを示す図である。各図において、１は枠、２は支持体スクリーン、３は印刷用メタルシート（印刷版）である。
【００１６】
まず、平面視四角形状の枠１を用意する。そして、図１（ａ）、図２（ａ）に示すように、この枠１に支持体スクリーン２を、エポキシ接着剤などを使い所定の張力を加えた状態で接合する。支持体スクリーン２はメッシュ状であって縦横の線で構成されている。このとき、支持体スクリーン２の縦もしくは横の線は四角形枠１のいずれかの辺に対して略直角に張られている（図３）。ここで、枠１は例えば金属製であり、支持体スクリーン２は弾力性が高い例えばポリエステル製である。次に、図４に示すような所定の大きさで、四角形のコーナー部をＲ（円弧）形状とした、金属箔などでできた印刷用メタルシート３を用意する。この印刷用メタルシート３には親基板に例えば積層チップコンデンサの内部電極を印刷するために、四角形状のマスク部１０が設けられている。このマスク部１０の中に、微細なパターン用開口部１１がエッチングなどによって寸法精度良く多数形成されている。また、マスク部１０は、その一辺が印刷用メタルシート３の一辺と略平行になるように設けられている。なお、図１、図２においては、印刷用メタルシートに形成されたパターン用開口部は図示していない。
【００１７】
次に、この印刷用メタルシート３を、図１（ｂ）、図２（ｂ）に示すように、支持体スクリーン２上に配置し、粘着テープ（図示せず）などで仮固定する。この印刷用メタルシート３を配置する箇所は、印刷用メタルシート３の一辺が枠１の一辺に略平行になる所定の箇所である。そして、図１（ｃ）、図２（ｃ）に示すように、全体を上下反転する。次に、図１（ｄ）、図２（ｄ）に示すように、この印刷用メタルシート３はその周辺に接合部があり、この接合部の一部である４コーナー部付近に例えばエポキシ接着剤４を支持体スクリーン２のメッシュを通して塗布する。これによって、印刷用メタルシート３と支持体スクリーン２とを接合する。
【００１８】
次に、図１（ｅ）、図２（ｅ）に示すように、接合部内側に沿って支持体スクリーン２ａを切り取り、除去する。これは、例えばコテによる溶融の方法が用いられる。この切り取りを行なったとき、印刷用メタルシート３の一辺と略直交する支持体スクリーン２の線によって、印刷用メタルシート３の接合している４コーナー部付近に張力が加わる。張力が加わることによる印刷用メタルシート３のコーナー部付近の伸び量は微量である。一方、接合していない４辺中央部付近には張力が加わらないため、この部分の伸び量は抑えられる。これによって、印刷用メタルシート３およびマスク部１０の形状がほぼ四角形となる。
【００１９】
しかも印刷用メタルシート３の形状を、四角形のコーナー部をＲとした形状にしたことによって、Ｒの無い形状に比べて、印刷用メタルシート３のコーナー部の外には支持体スクリーン２が長く残り、また、印刷用メタルシート３のマスク部１０のコーナー部と接合部のコーナー部間が縮まる（間隔３ａ）ため、マスク部１０のコーナー部に加わる張力が大きくなり、伸び量も大きくなる。この加わる張力の大きさは、Ｒに沿いながら４辺中央部に向かって徐々に弱くなる。従って、Ｒの無い形状に比べて、太鼓状歪みが小さくなる。
【００２０】
次に、図１（ｆ）、図２（ｆ）に示すように、印刷用メタルシート３の接合していない４辺中央部付近に例えばエポキシ接着剤５を支持体スクリーン２のメッシュを通して塗布する。これによって、印刷用メタルシート３と支持体スクリーン２とを接合する。このようにして、コンビネーションマスクを得ることができる。
【００２１】
本発明における第一実施例の製造方法をとれば、印刷用メタルシートの接合を２工程に分けて行なうことによって、印刷用メタルシートに加える張力の大きさの調整ができるため、マスク部の歪み量の低減が可能となる。すなわち、太鼓状歪みを小さくすることができる。また、支持体スクリーンの枠に対する張り角度を略直角に設定するため、張力を保持できる。さらに、印刷用メタルシートの形状を、四角形のコーナー部をＲとした形状としているため、マスク部のコーナー部に加わる張力を大きくすることができる。このため、太鼓状歪みを小さくすることができる。加えて、このコンビネーションマスクを使う場合においては、従来と同じ印刷方法を採用できる。このため、工程を変更することなくチップ状積層電子部品などの歩留まりを向上させることができる。
【００２２】
［第二実施例、図５ないし図７］
以下、第二実施例であるコンビネーションマスクの製造方法を図に基づいて説明する。図５（ａ）ないし（ｊ）は各製造工程を示す断面図、図６は図５（ｅ）の製造工程を示す斜視図、図７は図５（ｉ）の製造工程を示す斜視図である。第二実施例は第一実施例と同じ流れの工程により、支持体スクリーンを二重に構成している点が特徴である。第一実施例と同一もしくは同等の部分には同じ記号を附し、その説明を省略する。
【００２３】
まず、平面視四角形状の枠１を用意する。そして、図５（ａ）に示すように、この枠１に第一支持体スクリーン２を、エポキシ接着剤などを使い張力を加えた状態で接合する。この張力の大きさは、下記工程の図５（ｅ）においてマスク部につづみ状の歪みが形成できる大きさである。他は第一実施例の図２（ａ）と同じである。また、次の工程の図５（ｂ）ないし（ｄ）は第一実施例の図２（ｂ）ないし（ｄ）と同じである。
【００２４】
次に、図５（ｅ）、図６に示すように、接合部内側に沿って第一支持体スクリーン２ａを切り取り、除去する。この切り取りを行なったとき、印刷用メタルシート３の一辺と略直交する第一支持体スクリーン２の線によって、印刷用メタルシート３の接合している４コーナー部付近に張力が加わる。張力が加わることによりメタルシート３には、接合していない４辺中央部がへこんだいわゆるつづみ状の歪みが形成される。メタルシート３内のマスク部１０もほぼ同様の歪みが形成される。
【００２５】
次に、図５（ｆ）に示すように、全体を反転し、例えばポリエステル製でメッシュ状の第二支持体スクリーン２２を用意する。そして、この第二支持体スクリーン２２を、図５（ｇ）に示すように、印刷用メタルシート３に対して先に接合した第一支持体スクリーン２とは反対側に、配置する。そして、枠１に第二支持体スクリーン２２を、エポキシ接着剤などを使い張力を加えた状態で接合する。この張力の大きさは、下記工程の図５（ｉ）において先に形成されたつづみ状の歪みを小さくするために必要な大きさである。また、第二支持体スクリーン２２の枠１に対する張り角度は、平面視略直角である。次に、図５（ｈ）に示すように、この印刷用メタルシート３はその周辺に接合部があり、この接合部の一部である４辺中央部付近に例えばエポキシ接着剤２５を塗布する。これによって、印刷用メタルシート３と第二支持体スクリーン２２とを接合する。
【００２６】
次に、図５（ｉ）、図７に示すように、接合部内側に沿って第二支持体スクリーン２２ａを切り取り、除去する。この切り取りを行なったとき、印刷用メタルシート３の一辺と略直交する第二支持体スクリーン２２の線によって、印刷用メタルシート３の接合している４辺中央部付近に張力が加わる。張力が加わることにより、この部分が伸びるため先に形成されたつづみ状の歪みが低減される。これによって、印刷用メタルシート３およびマスク部１０の形状がほぼ四角形となる。
【００２７】
次に、図５（ｊ）に示すように、第二支持体スクリーン２２のメッシュを通して、印刷用メタルシート３の接合していないコーナー部付近に例えばエポキシ接着剤２４を塗布する。これによって、印刷用メタルシート３と第二支持体スクリーン２２とを接合する。また、第一支持体スクリーン２のメッシュを通して、印刷用メタルシート３の接合していない４辺中央部付近に例えばエポキシ接着剤５を塗布する。これによって、印刷用メタルシート３と第一支持体スクリーン２とを接合する。このようにして、コンビネーションマスクを得ることができる。
【００２８】
本発明における第二実施例の製造方法においては第一実施例と同様な効果が得られる。これに加えて、支持体スクリーンを二重にすることによって、大きな張力が加わわるため、印刷時の版離れが第一実施例よりさらに良いコンビネーションマスクを得ることができる。
【００２９】
なお、本発明においては、印刷用メタルシートの最初の接合時に接合しない部分の長さを調整することによって、さらに高張力が加えられた場合や、印刷用メタルシートの厚み、パターン用開口部の大きさ、およびパターン用開口部配置密度が異なった場合でも歪み量の低減が可能である。
【００３０】
また、印刷版が印刷用メタルシートの例を示したが、これに限定されるものではなく、印刷用メタルスクリーンでもよい。また、印刷版の形状は四角形のコーナー部をＲとした形状の例を示したが、これに限定されるものではなく、多角形または多角形のコーナー部を曲線とした形状であってもよい。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、印刷用メタルシートの接合を２工程に分けて行なうことによって印刷用メタルシートに加える張力の大きさの調整ができるため、マスク部の歪み量を低減できるコンビネーションマスクの製造方法を提供することができる。また、印刷用メタルシートの接合を２工程に分けて行なうとともに、支持体スクリーンを二重にすることによって、上記効果に加えて印刷時の版離れを良くすることができる。この結果、チップ状積層電子部品などの歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例であるコンビネーションマスクの各製造工程を示す斜視図である。
【図２】上記実施例の各製造工程を示す断面図である。
【図３】上記実施例の支持体スクリーンの枠に対する張り角度を示す図である。
【図４】上記実施例のパターン用開口部が形成された印刷用メタルシートを示す図である。
【図５】本発明の第二実施例であるコンビネーションマスクの各製造工程を示す断面図である。
【図６】上記実施例の一製造工程を示す斜視図である。
【図７】上記実施例の一製造工程を示す斜視図である。
【図８】従来のコンビネーションマスクの各製造工程を示す斜視図である。
【図９】上記従来例の各製造工程を示す断面図である。
【図１０】上記従来例のパターン用開口部が形成された印刷用メタルシートを示す図である。
【図１１】上記従来例のコンビネーションマスクを示す図である。
【符号の説明】
１                -----  枠
２、２２          -----  支持体スクリーン
３                -----  印刷用メタルシート
４、５、２４、２５-----  接着剤
１０              -----  マスク部
１１              -----  パターン用開口部
【図１】
0003975822.tif 000002
【図２】
0003975822.tif 000003
【図３】
0003975822.tif 000004
【図４】
0003975822.tif 000005
【図５】
0003975822.tif 000006
【図６】
0003975822.tif 000007
【図７】
0003975822.tif 000008
【図８】
0003975822.tif 000009
【図９】
0003975822.tif 000010
【図１０】
0003975822.tif 000011
【図１１】
0003975822.tif 000012