(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷台にワークを載せて搬送する走行台車上に、前記荷台と外部との間で前記ワークを移載する移載ロボットを搭載した無人搬送車において、
前記荷台に設けられ、前記移載ロボットに対向する前面側が開放しており、上下方向に複数段のワーク収納部を有する棚と、
前記ワーク収納部の背面に設けられた吹出口より前記ワーク収納部内に空気を吹き出す送気装置と、
前記棚を昇降させることで前記ワーク収納部に対する前記移載ロボットのハンドの位置決めを行う昇降機構と、
を備え、
前記送気装置は、
前記吹出口に取付けられた棚側送風ダクトと、
前記走行台車に設けられ、前記移載ロボットの駆動部と前記昇降機構の駆動部とを冷却する走行台車側送風ダクトと、
前記棚側送風ダクトと前記走行台車側送風ダクトとを接続し、前記棚の昇降に際して伸縮する伸縮ダクトと、
前記走行台車側送風ダクトの前記伸縮ダクト側の端部に設けられ、前記棚側送風ダクトに向かって風を送る送風ファンと、
前記吹出口に設けられた空気清浄フィルタと、
を有することを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
クリーンルーム内に配備され、前記ワークとしてウェーハを多数収納した容器を搬送することを特徴とする請求項１に記載の無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にクリーンルーム内においてウェーハカセットを搬送するために用いられる無人搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造を行うクリーンルームにおいては、移載ロボットを搭載した無人搬送車によりウェーハカセット（ウェーハを多数収納する容器）の搬送を行っている。従来では、この搬送に際し、無人搬送車の荷台にウェーハカセットを平面的に複数個（例えば４個）並べて搬送していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、最近の技術傾向に従って大径のカセットを採用した場合、荷台に複数個のカセットを平面的に並べるには、荷台を大きくしたり、移載ロボットを大きくしたりしなくてはならず、結果的に、走行台車自体を大型にしなくてはならない。従って、クリーンルーム内のスペースの有効利用を図るという要請に反するおそれが生じていた。
【０００４】
本発明は、上記事情を考慮し、走行台車自体を大型化することなく、大径のカセットを多数積載可能な無人搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、荷台にワークを載せて搬送する走行台車上に、前記荷台と外部との間で前記ワークを移載する移載ロボットを搭載した無人搬送車において、前記荷台に設けられ、前記移載ロボットに対向する前面側が開放しており、上下方向に複数段のワーク収納部を有する棚と、前記ワーク収納部の背面に設けられた吹出口より前記ワーク収納部内に空気を吹き出す送気装置と、前記棚を昇降させることで前記ワーク収納部に対する前記移載ロボットのハンドの位置決めを行う昇降機構とを備え、前記送気装置は、前記吹出口に取付けられた棚側送風ダクトと、前記走行台車に設けられ、前記移載ロボットの駆動部と前記昇降機構の駆動部とを冷却する走行台車側送風ダクトと、前記棚側送風ダクトと前記走行台車側送風ダクトとを接続し、前記棚の昇降に際して伸縮する伸縮ダクトと、前記走行台車側送風ダクトの前記伸縮ダクト側の端部に設けられ、前記棚側送風ダクトに向かって風を送る送風ファンと、前記吹出口に設けられた空気清浄フィルタと、を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１において、クリーンルーム内に配備され、前記ワークと
してウェーハを多数収納した容器を搬送するものであることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は実施形態の無人搬送車の側断面図、図２は平面図である。この無人搬送車は、主として半導体製造設備のクリーンルーム内に配備されるものであり、本体部分として、４個あるいは３個の車輪１ａで走行する走行台車１を備えている。走行台車１上には、外部との間でワークＷを移載する移載ロボット２が搭載されている。
【００１２】
移載ロボット２は、本体駆動部２ａより主軸３を上に延ばし、主軸３の上端に水平移動するアーム４を設けたもので、アーム４の先端に設けたハンド５によりワークＷを把持できるようになっている。この移載ロボット２は、特にハンド５の位置を上下に移動させるための昇降機構は持っておらず（若干の調整機構は保有）、ハンド５は略一定の高さで操作可能となっている。なお、ここでのワークＷは、ウェーハを多数枚収容したウェーハカセットである。
【００１３】
また、走行台車１の一部には荷台スペースが確保され、そのスペースには、上下方向に複数段のワーク収納部７を持つ昇降棚６が配設されている。この昇降棚６は、昇降ロッド１１の上端に固定されており、昇降機構１０の駆動部１０ａにより昇降ロッド１１を伸縮することにより昇降させられ、移載ロボット２のハンド５の高さに位置合わせされる。この昇降棚６には、左右方向に２つずつワークＷを収納できる２段のワーク収納部７が設けられている。ワーク収納部７は、移載ロボット２側に面した前面側がワークＷの出入口として開放しており、背面側が、空気清浄フィルタ９ａの装着された吹出口９を介して送風ダクト８に連通している。この棚側の送風ダクト８は、昇降棚６の背面壁６ａとワーク収納部７との間に確保され、下方に延びている。
【００１４】
一方、走行台車１の上面には、移載ロボット２の本体駆動部２ａ及び昇降機構１０の駆動部１０ａを覆うようにカバー１４が被せられており、カバー１４に設けた貫通孔１５、１６を通して、昇降機構１０のロッド１１及び移載ロボット２の主軸３が上に突き出ている。このカバー１４の内側には走行台車１側の送風ダクト１８が確保されており、この送風ダクト１８の移載ロボット２側の一端が、カバー１４に設けた通孔２３により、ワーク収納部７の前方の移載ロボット２の上方空間２４に連通している。
【００１５】
また、送風ダクト１８の昇降機構１０側の他端には、同他端の開口１９より上方へ向けて風を送る送風ファン２０が設けられている。この走行台車１側の送風ダクト１８の開口１９は、棚側の送風ダクト８の下端の開口８ａの真下に位置しており、両開口１９、８ａ間は蛇腹状の伸縮ダクト２２で接続されている。ここでは、空気清浄フィルタ９ａ、送風ダクト８、１８、伸縮ダクト２２、送風ファン２０によって、ワーク収納部７の背面の吹出口９よりワーク収納部７内へ清浄空気を吹き出す送気装置３０が構成されている。なお、図１において、空気の流れを点線矢印で示す。
【００１６】
次に作用を説明する。
昇降棚６と外部との間でワークＷのやり取りを行うには、まず、対象となるワーク収納部７の高さを、昇降機構１０により、移載ロボット２のハンド５の高さに位置合わせする。その状態で、移載ロボット２を駆動し、アーム４を水平面内で操作することにより、ワークＷを昇降棚６に収納したり、昇降棚６からワークＷを取り出したりすることができる。走行時は、昇降棚６をワークの出入れ時の位置のままに保持してもよいが、安定性確保のために下端位置に降ろして保持する。
【００１７】
このようなワークＷの取り扱い動作とは別に、送風ファン２０を駆動することにより、ワーク収納部７の背面から、清浄な空気をワーク収納部７内に向けて吹き出すことができる。その際、空気は、移載ロボット２側のカバー１４の通孔２３から送風ダクト１８内に吸い込まれ、移載ロボット２の駆動部２ａや昇降機構１０の駆動部１０ａを通過して、送風ファン２０により上方に送り出され、伸縮ダクト２２及び棚側の送風ダクト８を通過し、フィルタ９ａを通してワーク収納部７に吹き出される。そして、吹き出された空気は、ワーク収納部７の前面より移載ロボット２の上方空間２４に流出し、その一部は再び、走行台車１側の送風ダクト１８に吸い込まれ、循環する。このようにフィルタ９ａの通過で清浄化された空気がワーク収納部７の背後から供給されることにより、ワーク収納部７内が清浄な雰囲気に保たれ、その結果、ウェーハへの汚染の影響が軽減される。
【００１８】
この装置の場合、特に送風ファン２０を昇降棚６に設けずに、走行台車１上に設けているので、昇降棚６の昇降動作の負担を軽くすることができる。また、走行台車１側の送風ダクト１８と昇降棚６側の送風ダクト８を伸縮ダクト２２で接続しているので、昇降棚６の昇降動作や昇降位置に関係なく、常に送風ファン２０による風を、昇降棚６の吹出口９に送り込むことができる。また、走行台車１側の送風ダクト１８を、昇降機構１０の駆動部１０ａと移載ロボット２の本体駆動部２ａを通過するように設けているので、ダクト１８を通る風によって、それらの駆動部１０ａ、２ａを冷却することができる。
【００１９】
なお、移載ロボット２の仕様の変更が容易に可能な場合は、移載ロボット２側に昇降機構を設けてもよい。その場合は、棚が固定となるので、伸縮ダクト２２は不要となる。また、送風ファン２０の位置も棚側に設定してよくなる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、ワークを上下方向に多段に積載することができるので、ワークの径が大きくなっても、積載スペースの横方向への拡大を抑えることができる。従って、走行台車自体を大型化することなく、大径のカセットを多数積載することが可能となり、クリーンルーム内のスペースの有効利用を図ることができる。。
【００２１】
また、移載ロボット側で多段積載に対応するのではなく、棚側を昇降させることで多段積載に対応させるので、移載ロボット側の動きを複雑にする必要がなく、結果的に、移載時間の短縮による搬送能力の向上を図ることができる。
【００２２】
また、棚に多段に設けたワーク収納部の背後から清浄空気を吹き出すようにしたので、ウェーハカセット等のワークの汚染の軽減を図ることができる。
【００２３】
さらに、送気装置の送風ファンを棚側ではなく走行台車側に設置したので、棚側の昇降機構の負担を軽減することができる。また、伸縮ダクトで走行台車側の送風ダクトと棚側の送風ダクトを接続したので、棚の昇降に拘らず、走行台車側から棚側へ風を送ることができる。加えて、走行台車側の送風ダクトを、移載ロボットの駆動部と昇降機構の駆動部を通過するように設けたので、ワーク収納部に送り込む空気によって移載ロボットや昇降機構の駆動部を冷却することができる。また、本発明の無人搬送車は、請求項２のように、クリーンルーム内に配備してウェーハを搬送するときに特に有効性を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施形態の側断面図である。
【図２】  本発明の実施形態の平面図である。
【符号の説明】
１  走行台車
２  移載ロボット
２ａ  本体駆動部
５  ハンド
６  昇降棚
７  ワーク収納部
８  送風ダクト
１０  昇降機構
１０ａ  駆動部
１８  送風ダクト
２２  伸縮ダクト
２０  送風ファン
３０  送気装置
Ｗ  ワーク
【図１】
0003975507.tif 000002
【図２】
0003975507.tif 000003