(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、
外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、
前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、
前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、
前記全ての素板は該素板同士を連結固定するため複数積層された振動変換部の周面において接合手段を用いたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記接合手段は素板の周面に接着剤を施したことを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記接合手段は素板の周面にろう付けを施したことを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記接合手段は素板の周面にかしめを施したことを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記接合手段は素板の周面にかしめを有するホールドカバーによることを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項６】
圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、
外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、
前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、
前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、
前記全ての素板は該素板同士を連結固定するため複数積層された振動変換部の全てを含むモールド接合手段を用いたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項７】
前記モールド接合手段は樹脂モールドであることを特徴とする請求項６記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記モールド接合手段は金属めっきであることを特徴とする請求項６記載の超音波モータ。
【請求項９】
圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、
外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、
前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、
前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、
前記全ての素板の切り欠き部間には貫通孔が設けられ、該素板同士を連結固定するための前記貫通孔を貫通するピンによることを特徴とする超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、定在波型の超音波モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
定在波型の超音波モータには、超音波振動の縦振動と捻り振動との組み合わせでロータを回転駆動する楕円軌跡を生成するものがある。図１３は、そのような超音波モータであるランジュバン型振動子からなる超音波モータを示している。図１３に示すように、この超音波モータのステータは、縦振動モードで振動する一対の圧電素子が円筒状の一対の金属ブロックにて挟持されたランジュバン振動子を備えている。両金属ブロックによる各圧電素子の挟持は、それぞれの中心を貫通する図示しないボルトにて行われている。一方、ロータは前記ボルトと一体で同軸に設けられた支持軸にて、ステータの上面に摺接する状態で回動可能に支持されている。
【０００３】
この超音波モータでは、縦振動の捻り振動への変換が、外周部に複数のスリットが設けられたステータの一部により行われている。このスリットは全て同一形状に形成され、外周部において周方向に等角度間隔で設けられている。各スリットは、ステータの周面からある程度深い位置まで形成されている。
【０００４】
このようなスリットをステータの外周部に形成するには、従来、エンドミルやメタルソーを用いて切削加工していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、金属にて円筒状に形成されたステータの外周面にエンドミル、メタルソーにより複数のスリットを切削加工すると、その加工時間が長くかかり生産性が低い問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、スリットを備え縦振動を捩り振動に変換もしくは捻り振動を縦振動に変換する振動変換部を有する超音波モータ、超音波モータ用ステータ及びロータにおいて、スリットの切削加工なしで容易に信頼性のある振動変換部を形成することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の請求項1では、圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、特徴部分を前記全ての素板は該素板同士を連結固定するため複数積層された振動変換部の周面において接合手段を用いている。
【０００８】
さらに本発明の請求項２から５において、請求項１の接合手段は請求項2では素板の周面に接着剤を施したこと、請求項3ではろう付けを施したこと、請求項4ではかしめを施したこと、請求項5ではかしめを有するホールドカバーによることを特徴としている。
【０００９】
さらに、本発明の請求項６では圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、特徴部分を全ての素板は該素板同士を連結固定するため複数積層された振動変換部の全てを含むモールド接合手段を用いたことを特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明の請求項７から８では、請求項６のモールド接合手段は請求項７では樹脂モールドであること、請求項８では金属めっきであることを特徴としている。
【００１１】
さらに、前記請求項９では圧電素子を備え、該圧電素子により超音波の縦振動もしくは捻り振動が励起される弾性振動励起部と、外周部には周面に開口するスリットが形成され、該スリットの作用により前記弾性振動励起部に励起された前記縦振動を捻り振動に変換、もしくは、前記捻り振動を縦振動に変換する振動変換部と、前記弾性振動励起部にて励起された超音波振動と、前記振動変換部にて変換された超音波振動との合成により生成される楕円振動により回転駆動される回転部とを備え、前記振動変換部は、ほぼ円板状に形成され外周部にはほぼ径方向に延びるように形成されるとともに周面に開口する切り欠き部が形成された素板を中心軸方向に複数個積層して形成され、前記各スリットは、積層された各素板の切り欠き部にて形成された超音波モータであって、特徴部分を前記全ての素板の切り欠き部間には貫通孔が設けられ、該素板同士を連結固定するための前記貫通孔を貫通するピンによることを特徴とする。
【００１２】
【作用】
この発明の超音波モータは、請求項1記載の発明によれば、板状の素板の外周部に形成された切り欠き部により、各素板にて形成される振動変換部の外周部にスリットが形成される。振動変換部が縦振動もしくは捻り振動すると、縦振動の一部がスリットの作用により捻り振動に変換もしくは捻り振動の一部が縦振動に変換される。そして、各素板が積層された振動変換部のスリットの設けられる周面に結合手段を用いているので各素板の相互間が結合され一体化される。よって、弾性振動励起部からの振動を確実に楕円振動に変換することができる。
【００１３】
請求項2記載の発明によれば、結合手段に接着剤を用いたので特別な器具を必要とせずに短時間で素板を結合し一体化することができる。請求項3記載の発明によれば、結合手段にろう付けを用いたので金属相互間の密着度が強固で素板を結合し一体化することができる。請求項４記載の発明によれば、結合手段にかしめを用いたので他の材料を必要とせずに素板を結合し一体化することができる。請求項５記載の発明によれば、結合手段にかしめを有するホールドカバーを用いたのでホールドカバーを接触部分として利用しながら、素板を結合し一体化することができる。さらに、請求項６記載の発明によれば、各素板が積層された振動変換部の全てをモールド結合手段を用いているので安定的に各素板の相互間が結合され一体化される。請求項７記載の発明によれば、モールド結合手段に樹脂モールドを用いたので安定的に各素板を結合し一体化することができ、樹脂部分を接触部分のライニング材としても利用できる。請求項８記載の発明によれば、モールド結合手段に金属めっきを用いたので安定的に各素板を結合し一体化することができ、金属めっき部分を接触部分の仕上げとしても利用できる。請求項９記載の発明によれば、各素板の切り欠き部間の貫通孔をピンが貫通するので特に周方向へのずれが生じ難くなり安定的に各素板の相互間が結合され一体化される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照して説明し、図１〜図３は、本発明の実施形態に係る超音波モータの代表図である。
【００１５】
図１は超音波モータ１を示す摸式斜視図であり、図２は同じく分解斜視図である。図１に示すように、超音波モータ１は、弾性振動励起部としてのステータ２及び回転部としてのロータ３を備えている。ステータ２は、第１振動励起部としての第１ブロック４、第２振動励起部としての第２ブロック５、第１圧電素子６、第２圧電素子７、第１電極８及び第２電極９を備えている。尚、本実施の形態では、第１圧電素子６及び第２圧電素子７にて圧電素子が構成されている。
【００１６】
第１ブロック４は、ほぼ円筒状の回転体に形成されている。第１ブロック４は、下側ブロック１０と、振動変換部としての上側ブロック１１を備えている。図２に示すように、下側ブロック１０は導電性金属にて円筒状に形成され、中心軸方向に貫通する孔１２（図３に図示）を備えている。下側ブロック１０の外周面においてその上側周縁には、モータ固定用のフランジ部１３が設けられている。
【００１７】
上側ブロック１１は、図２に示すように、導電性金属にて円環状に形成された複数の素板１４を中心軸方向に積層して形成されている。各素板１４はプレス加工にて全て同一形状に形成され、図９から図１２に示す実施形態例により接合されている。
【００１８】
素板１４の中心には中心軸方向に貫通する軸孔１６が形成され、外周部には複数の同一形状の切り欠き部１７が形成されている。各切り欠き部１７は、素板の径方向に延びるように形成されるとともにその周面１４ａに開口するように形成されている。
【００１９】
上側ブロック１１の外周部には、複数の同一形状のスリット１５が周方向に等角度間隔で設けられている。各スリット１５は、上側ブロック１１の中心軸に対して傾斜した状態で形成され、周面１１ａに開口されている。この各スリット１５の作用により、上側ブロック１１に励起された超音波の縦振動の一部が捻り振動に変換されるようになっている。各スリット１５は、中心軸回りに順次ずらすように積層された各素板１４の切り欠き部１７にて形成されている。
【００２０】
第１ブロック４の上面には、第１電極８、第１圧電素子６、第２電極９及び第２圧電素子７がこの順で積層されている。圧電素子６、７は圧電材料にて円板状に形成され、中心軸方向に貫通する軸孔１８、２１を備えている。圧電素子６、７には、縦振動モードの高周波振動を発生する分極処理が施されている。電極８、９は円板状に形成され、中心軸方向に貫通し前記軸孔１８、２１と同径の軸孔１９、２２を備えている。電極８、９の周面には、外周側に突出する端子片２０、２３が設けられている。電極間８、９に高周波交流電圧が供給されると、圧電素子６、７が縦振動するようになっている。
【００２１】
同じく、第２圧電素子７も円板状に形成され、中心軸方向に貫通し前記軸孔１８と同径の軸孔２１を備えている。
【００２２】
第１圧電素子６及び第２圧電素子７は、分極方向がそれぞれ上下逆にされている。図３は、超音波モータ１の中心軸を含む平面における断面図である。図３に示すように、第１ブロック４、第１電極８、第１圧電素子６、第２電極９及び第２圧電素子７には、第１ブロック４の下面側から貫通シャフト２４と固定シャフト２７が挿通されている。
【００２３】
図3によれば、この貫通シャフト２４は下かしめ部２５と上かしめ部２６とを備え、下かしめ部２５は下側ブロック１０と密着し、上かしめ部２６は第２ブロック５と密着している。そして、固定シャフト２７は下側が下かしめ部２５および下側ブロック１０と当接するようにリベット状に潰されて径が大きくなった頭部２７ａとなっている。固定シャフト２７の頭部２７ａは第１ブロック４の下面に設けられた収容凹部２９に回動が規制されない状態で収容され、固定シャフト２７のロータ側先端はボルト状の螺である先端側雄ねじ部２８が彫ってあり、ナット３８が噛合されている。また、この貫通シャフト２４の外側には絶縁材で形成されたカラー３０が嵌挿されている。カラー３０には第１電極、第１圧電素子、第２電極及び第２圧電素子が嵌合されている。カラー３０の上端は、第２圧電素子７の上面よりやや低い高さとなっている。
【００２４】
第２圧電素子７の上側には、第２ブロック５が設けられている。第２ブロック５は導電性金属にて円柱状の回転体に形成されており内周に空隙部３１を有している。空隙部３１の下部には、貫通シャフト２４の上かしめ部２６が当接されている。
【００２５】
第２ブロック５の上側には、ロータ３が設けられている。ロータ３は金属にて円柱状に形成されている。ロータ３の中心軸方向の中央部には、その下面に開口する挿通孔３２と、該挿通孔３２よりも大径の軸受孔３３と、該軸受孔３３よりも大径に形成されロータ３の上面に開口する収容穴３４とがこの順で同一中心軸上に形成されている。軸受孔３３には軸受３５が支持されている。
【００２６】
挿通孔３２にはその下方から固定シャフト２７が挿通され、該固定シャフト２７は軸受３５にて支持されている。収容穴内３４には固定シャフト２７の先端側雄ねじ部２８が配置され、該先端側雄ねじ部２８には軸受３５の上面との間にばね受け３６及び板ばね３７を介在した状態でナット３８が螺合されている。
【００２７】
ロータ３の下面にはライニング材３９が接着され、該ライニング材３９を介してロータ３が第２ブロック５に摺接されている。この超音波モータ１では、前記第１圧電素子６には、第１電極８と第２電極９とが電気的に接続され、第２圧電素子７には、第２電極９と、第１電極８に電気的に接続されている第２ブロック５が電気的に接続されている。
【００２８】
次に、以上のように構成された超音波モータ及び超音波モータ用ステータの作用について説明する。第1電極8及び第2電極9に高周波交流電圧が供給されると、第1電圧素子６及び第2電圧素子７には極性が逆であるため、両圧電素子６、７は同じ状態の縦振動モードで振動する。言い換えると、第1圧電素子が伸びるときには第2圧電素子７も伸び、第1圧電素子６が縮むときには第2圧電素子７も縮む。その結果、ステータ２には圧電素子が1個であるときよりも振幅の大きな縦振動が励起される。
【００２９】
第1ブロック４に励起された縦振動は、各スリット１５の作用により捻り振動に変換される。その結果、第２ブロック５のロータ３との摺接面に縦振動と捻り振動とが合成された楕円振動が発生し、この楕円振動によりロータ３が一方に回転駆動される。
【００３０】
次に、図８（ｂ）の振動変換部材９５をもとに本発明のポイントとなる素板の相互間を密着させる説明を図９から図１２に従い説明する。図9は請求項1から４に相当する実施形態例であり、図１０は請求項５に相当する実施形態例であり、図１１は請求項６から８に相当する実施形態例であり、図１２は請求項９に相当する実施形態例である。
【００３１】
図9は、板材から打ち抜いて形成された素板９３を土台９４に載せていく。この土台９４には突出部９４ａが形成されており、これは製造する振動変換部９５のスリット９５aの角度と同じ傾斜をしている。この土台９４の突出部９４ａに素板９３の切り欠き部９３ａを次々と嵌め込んでいき、複数の素板９３が積層された振動変換部９５の密着前状態が完成する。この状態からスリット９５ａ相互間のほぼ中央部である振動変換部外周９５ｃに全ての素板９３に渡るように軸線方向に沿って接着剤９６を塗布する。この接着剤９６により素板９３の相互間が密着され複数の素板９３が一体化した振動変換部９５になる。このときの状態が図９である。各素板が積層された振動変換部のスリットの設けられる周面に結合手段を用いているので各素板の相互間が結合され一体化される。よって、弾性振動励起部からの振動を確実に楕円振動に変換することができる。さらに、結合手段に接着剤９６ａを用いたので特別な器具を必要とせずに短時間で素板９３を結合し一体化することができる。
【００３２】
前述では接合手段として接着剤９６ａが設けられているが、振動変換部外周９５ｃの他の接合手段としてろう付け９６ｂが考えられる。製造方法として接着剤９６ａのときとほぼ同じように、スリット９５ａ相互間のほぼ中央部における振動変換部外周９５ｃに全ての素板９３に渡るように軸線方向に沿って溶融金属であるろう付け９６ｂを塗布する。このときの状態が図９の状態である。ろう付けの場合、金属を溶かす特別な手段が必要であるがろう付けは素板９３と同様に金属材料からなるので接着剤よりも密着力もありに結合手段にろう付け９６ｂを用いたので金属相互間の密着度が強固で素板を結合し一体化することができる。
【００３３】
また、振動変換部９５の他の接合手段としてかしめ手段９６ｃが考えられる。製造方法として接着剤９６ａのときとほぼ同じように、スリット９５ａ相互間のほぼ中央部における振動変換部外周９５ｃに全ての素板９３に渡るように軸線方向に沿ってかしめ９６ｃを施したものであり各素板９３の周面に下方に進む切り込みを入れてすぐ下で積層する素板９３に食い込み結合させるものである。このかしめ手段９６ｃで積層し密着したときの状態が図９の状態である。かしめ手段９６ｃの場合、他の材料を必要とせずに素板９３を結合し一体化することができる。
【００３４】
また、振動変換部９５の他の接合手段として図１０のようにホールドカバー９６ｄが考えられる。図１０（ａ）は積層した素板９３をホールドカバー９６ｄに挿入する前の斜視図であり、図１０（ｂ）は複数の素板９３をホールドカバー９６ｄに挿入しホールドカバー９６ｄと素板９３とを相互にかしめた状態の断面図である。製造方法として素板９３を積層しておき、その密着される前の振動変換部９５をホールドカバー９６ｄに圧入させるものである。複数の素板９３を全てホールドカバー９６ｄに収納した後、最下端の素板９３の周囲に等間隔で複数設けられた下かしめ爪９３ｂと、ホールドカバー９６ｄ最下端の周囲に等間隔で複数設けられた上かしめ爪９６ｅとの間で相互にかしめられ、複数の素板９３は結合し一体化することができる。結合手段にかしめを有するホールドカバー９６ｄを用いたのでホールドカバー９６ｄの一部を接触部分として利用しながら、素板を結合し一体化することができる。すなわちホールドカバー９６ｄの上面９６ｆが接触部分でありロータの下面もしくはステータの上面に使用できる。
【００３５】
図１１は各素板９３が積層された振動変換部９５の全てをモールド結合手段を用いた実施形態例であり、図１１（ａ）はモールド結合手段９７が施される前の振動変換部９５の状態を示す側面図であり、図１１（ｂ）はモールド結合手段９７が施された後の振動変換部９５の状態を示す側面図である。製造方法について説明すると、図１１（ａ）のようにモールド接合手段９７であるモールド樹脂９７ａが容器９８ａ溶融状態で準備されており、容器９８ａの上方には複数の素板９３を積層した密着前の振動変換部９５をアーム９８ｂが保持している。この状態から密着前の振動変換部９５が溶融したモールド樹脂９７ａに完全に浸るようにアーム９８ｂを下方に移動させる。そして、一定時間振動変換部９５をモールド樹脂９７ａに浸した後、アーム９８ｂを上方に持ち上げ振動変換部９５を容器から取り出す。その後アーム９８ｂで保持したまま振動変換部９５を放置させ、モールド樹脂９７ａを乾燥させる。乾燥した後アーム９８ｂを振動変換部９５から離すと複数の素板９３がモールド樹脂９７ａで取り囲まれることになり、相互間で密着され振動変換部９５はより一層完全に隙間なく一体化される。この状態が図１１（ｂ）である。この作業の後にロータまたはステータ接触面となる場所を研磨仕上げすればライニング材を設ける必要は無くなる。よって、モールド樹脂はライニング材として使用できる材質を選ぶと作業が簡単になる。
【００３６】
前述ではモールド接合手段としてモールド樹脂９７ａを使用しているが、振動変換部９５の他のモールド接合手段９７としてめっき金属９７ｂが考えられる。製造方法としてモールド樹脂９７ａのときとほぼ同じように、モールド接合手段９７であるめっき金属９７ｂが容器９８ａにイオン化された電解液として準備されており、容器９８ａの上方には複数の素板９３を積層した密着前の振動変換部９５をアーム９８ｂが保持している。この状態から密着前の振動変換部９５が電解液に完全に浸るようにアーム９８ｂを下方に移動させる。ここで、アーム９８ｂにマイナスの電荷を与えるとプラスに電荷した金属イオンがアーム９８ｂから振動変換部９５の周囲で金属化していく。この結果、振動変換部９５は金属めっき処理が行われ周囲ではめっき金属９７ｂで覆われていく。そして一定時間電解液に振動変換部９５を浸しアーム９８ｂにマイナス電荷を与えた後で、アーム９８ｂを上方に持ち上げる。すると振動変換部９５の全面に渡って完全にめっき金属９７ｂで覆われることになるので、素板９３の相互間の密着が完全に行われる。モールド結合手段にめっき金属を用いたので安定的に各素板９３を結合し一体化することができ、めっき金属部分がロータもしくはステータの接触部分の仕上げとしても利用できる。
【００３７】
図１２は各素板９３に貫通孔９３ｃを設け、貫通孔９３ｃを貫通するピン９９が設けられた実施形態例であり、貫通孔９３ｃにピン９９を差し込む前の状態を示す。製造方法については、あらかじめ板材から振動変換部材９５のもととなる素板９３を打ち抜く際に同時に貫通孔９３ｃも貫通し形成する。このとき積層する１枚１枚は切り欠き部からの角度が少しずつ異なる貫通孔９３ｃを持つように積層する枚数分の種類だけ形成されており、それらの複数種類の素板９３を貫通孔９３ｃが垂直に一致するように合わせて素板９３を積層する。この積層された密着前の振動変換部材９５の貫通孔９３ｃにピン９９を圧入する。ピン９９の直径は貫通孔９３ｃの内径よりも大きいのでピン９９は貫通孔９３ｃに圧入されることになる。この結果、ピン９９は素板９３の軸方向相互間を密着させる。さらに各素板の切り欠き部間の貫通孔をピンが貫通するので特に周方向へのずれが生じ難くなり安定的に各素板の相互間が結合され一体化される。
【００３８】
なお、図９から図１１は図８の振動変換部をもとに説明をしたが、図８にこだわることなく他の実施形態例にも応用できる。つまり、図１〜図３や図６（ａ）のように第１振動励起部の第１ブロック４や、図４〜図５の他の超音波モータの弾性振動励起部としてのステータ６３や、図６（ｂ）や図７（ａ）のように第２振動励起部の第２ブロック５や、図７（ｂ）のように回転部としてのロータにも利用し素板の相互間を密着することができる。さらに、以上の説明では図９から図１１の実施形態例は単独で実施されたものを開示したが相互に組み合わせて実施しても良い。例えば、まず周面に接合手段を施して、その後、モールド接合手段を施す実施形態例（具体的には、接着剤で周面を接着し、その後モールド樹脂で固める実施形態例）や、まずモールド接合手段を施して、その後、接合手段を周面に施す実施形態例（具体的には、金属めっきを施し、その後ホールドカバーを用いる実施形態例）等が考えられる。
【００３９】
以上詳述したように、本実施の形態の超音波モータによれば、以下の効果も得ることができる。振動変換部（上側ブロック１１）を円板状に形成された素板１４を積層して形成し、各素板１４に設けた切り欠き部１７にて該振動変換部の外周部にスリット１５を形成した。従って、円柱状の金属材に対してエンドミル、メタルソー等でスリットの切削加工を行うことなく容易にスリット１５を備えた振動変換部を形成することができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、素板を積層して得られた振動変換部は、中央を貫通する連結シャフト２４に密着される内周に比べて外周は素板間の接合力が弱いのであるが、本発明の接合手段またはモールド接合手段が外周に施されることによって、内周から外周に至る素板全面に渡って素板相互間の密着度が向上するので、超音波振動が確実に回転方向への振動へ変換することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  積層素板を使用した超音波モータの実施形態例を示す斜視図。
【図２】  同じく分解斜視図。
【図３】  同じく断面図。
【図４】  積層素板をステータに使用した他の超音波モータを示す断面図。
【図５】  上記超音波モータに利用されるステータの一部を分解したステータを示す斜視図。
【図６】  （ａ），（ｂ）共に別個の超音波モータを示す正面図。
【図７】  （ａ），（ｂ）共に別個の超音波モータを示す正面図。
【図８】  （ａ）別例の超音波モータを示す正面図、（ｂ）別例の振動変換部を示す斜視図。
【図９】  図８の振動変換部を基本とし、本発明の素板相互間を密着させる第１実施形態例の製造段階を示す斜視図。
【図１０】  （ａ）は図８の振動変換部を基本とし、本発明の素板相互間を密着させる第１実施形態例の製造段階を示す側面図、（ｂ）は同じく製造完成後を示す側面図。
【図１１】  （ａ）は図８の振動変換部を基本とし、本発明の素板相互間を密着させる第１実施形態例の製造段階を示す斜視図、（ｂ）は同じく製造完成後を示す断面図。
【図１２】  図８の振動変換部を基本とし、本発明の素板相互間を密着させる第１実施形態例の製造段階を示す斜視図。
【図１３】  従来例の超音波モータを示す斜視図。
【符号の説明】
２… 弾性振動励起部としてのステータ、３… 回転部としてのロータ、４… 第1振動励起部としての第1ブロック、５… 第2振動励起部としての第2ブロック、６… 圧電素子を構成する第1圧電素子、７… 同じく第2圧電素子、１１… 振動変換部としての上側ブロック、１１ａ… 周面、１４… 素板、１５… スリット、１７… 切り欠き部、５１… ケース、５８… 回転軸、６３…弾性振動励起部としてのステータ、６５…振動変換部としての上側ブロック、６５ａ…周面、７１…素板、７２…スリット、７３…切り欠き部、７４…圧入嵌合部を構成する凸状勘合部、７５…同じく嵌合孔、７７…素板、８０…回転部としてのロータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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