(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板収納容器のそれぞれの蓋を開閉する基板収納容器の蓋開閉装置であって、
(a) 前記基板収納容器から前記蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、
(b) 前記蓋着脱手段を前記複数の基板収納容器の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、
を備え、
前記駆動手段は、前記蓋着脱手段を前記蓋開閉装置外部に設けられた蓋待避位置に移動させることも可能であり、
前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行うことが可能であることを特徴とする基板収納容器の蓋開閉装置。
【請求項２】
複数の基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置であって、
(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を設けた載置台と、
(b) 前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、
(c) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段と、
(d) 前記蓋着脱手段を前記複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、
(e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置と、
を備え、
前記駆動手段は、前記蓋着脱手段を前記蓋待避位置に移動させることも可能であり、
前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行うことを特徴とする基板搬入搬出装置。
【請求項３】
複数の基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置であって、
(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を設けた載置台と、
(b) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段と、
(c) 前記基板受渡手段に設けられ、前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、
(d) 前記基板受渡手段を前記複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、
(e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置と、
を備え、
前記駆動手段は、前記基板受渡手段を前記蓋待避位置に移動させることも可能であり、
前記蓋着脱手段は、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行うことを特徴とする基板搬入搬出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体基板や液晶ガラス基板などの薄板状基板（以下、「基板」と称する）が収納された複数の基板収納容器のそれぞれの蓋を開閉する蓋開閉装置および当該基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板に対してレジスト塗布処理等の処理を行う基板処理装置には、装置外部から未処理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ(front opening unified pod；以下、単に「ポッド」と称する)とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にポッドを使用した場合は、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クレーンルームに要するコストを低減することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、一般に、基板処理装置の基板搬入搬出部には搬送されてきたポッドを載置する複数のステージが設けられている。そして、ステージに載置されたポッドは、そのステージと一体的に設けられたポッドオープナによって蓋が開けられ、基板処理装置内の基板移載ロボットによってポッドから基板の取り出しが行われる。
【０００５】
しかし、ポッドオープナはステージと一体的に設けられているため、ステージの数と同じだけのポッドオープナおよびそのコントローラが必要となり、コストアップが生じるとともに、それらの設置スペースおよび消費電力は大きなものとなっていた。
【０００６】
また、制御面からも複数のポッドオープナごとに通信を必要とするため、制御方式が複雑なものとならざるを得なかった。
【０００７】
さらに、複数のポッドオープナを設けることによって基板搬入搬出部全体としての構造も複雑なものとなっていた。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、簡単な構造で容易に制御でき、設置スペースおよび消費電力も小さな基板収納容器の蓋開閉装置および基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、複数の基板収納容器のそれぞれの蓋を開閉する基板収納容器の蓋開閉装置であって、(a) 前記基板収納容器から前記蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、(b) 前記蓋着脱手段を前記複数の基板収納容器の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、を備え、前記駆動手段によって前記蓋着脱手段を前記蓋開閉装置外部に設けられた蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記蓋着脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行うことが可能である。
【００１１】
また、請求項２の発明は、複数の基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置であって、(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を設けた載置台と、(b) 前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、(c) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段と、(d) 前記蓋着脱手段を前記複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、(e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置と、を備え、前記駆動手段によって前記蓋着脱手段を前記蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記蓋着脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行わせることが可能である。
【００１３】
また、請求項３の発明は、複数の基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置であって、(a) 前記複数の基板収納容器を載置する複数の載置部を設けた載置台と、(b) 前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受渡手段と、(c) 前記基板受渡手段に設けられ、前記基板収納容器から蓋を取り外すことと前記基板収納容器に前記蓋を装着することが可能な蓋着脱手段と、(d) 前記基板受渡手段を前記複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段と、(e) 前記基板収納容器から取り外された前記蓋を待避させる蓋待避位置と、を備え、前記駆動手段によって前記基板受渡手段を前記蓋待避位置に移動させることも可能であり、前記蓋着脱手段に、前記蓋待避位置との間で前記蓋の受け渡しを行わせることが可能である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
＜第１の実施の形態＞
図１は、基板を収納するポッドの一例を示す斜視図である。また、図２および図３は、ポッドの内部の状態を示す平面図および正面図である。
【００１７】
ポッド１の内部には複数の溝１ａが刻設されており、各溝１ａはそれぞれ基板Ｗを水平姿勢にて保持できるように構成されている。また、ポッド１には蓋２が後述するロック機構によって着脱自在とされており、蓋２が閉じられた状態（ポッド１に蓋２が着けられた状態）では、ポッド１の内部は密閉され、外部の雰囲気から遮蔽された状態となる。
【００１８】
半導体基板等の基板を製造する工場では、複数の基板Ｗがポッド１に収納された状態で蓋２が閉じられ、そのポッド１がＯＨＴ(over-head hoist transport)やＰＧＶ(personal guided vehicle)などの搬送機構によって搬送される。すなわち、複数の基板Ｗはポッド１内に外部の雰囲気から遮蔽された清浄な状態で収容され、ポッド１とともに基板処理装置に搬送されることになる。
【００１９】
基板処理装置にはポッド１との間で基板Ｗの受け渡しを行うインデクサ１０（基板搬入搬出装置）が設けられている。図４は、インデクサ１０の外観斜視図である。また、図５はインデクサ１０の平断面図であり、図６はインデクサ１０の縦断面図である。なお、図４以降の各図においては、それらの方向関係を明確にするため適宜ＸＹＺ直交座標系を付している。
【００２０】
インデクサ１０には、基板処理装置外部から搬送されてきたポッド１を載置するためのステージ１２（載置部）を４個備えた載置台１１が設けられている。インデクサ１０の壁面のうち４個のステージ１２のそれぞれに隣接する部分には開口２２が設けられており、ポッド１に収容された基板Ｗは開口２２を介して搬出搬入が行われることとなる。ここで、ステージ１２にポッド１が載置されていない状態においては、開口２２から装置外部のパーティクル等が流入するのを防止するため、シャッター２３が閉じられて開口２２が遮蔽される。
【００２１】
また、インデクサ１０には、ポッド１の蓋２を開閉するためのポッドオープナ３０（蓋着脱手段）およびポッド１から未処理基板Ｗを取り出すとともにポッド１に処理済み基板Ｗを渡す基板移載ロボット５０（基板受渡手段）が設けられている。これらの構成および動作については後述する。
【００２２】
さらに、インデクサ１０のポッドオープナ３０および基板移載ロボット５０の上方にはファン２５とフィルタ２６とが設けられており、清浄な空気がインデクサ１０の上方から下方へと流れ、ポッドオープナ３０などから発生したパーティクルが舞い上がって基板Ｗに付着するのを防止している。
【００２３】
ポッドオープナ３０は、蓋開閉部材３１とエアシリンダ３２とピストン３３とを備えている。蓋開閉部材３１は蓋２のロック機構を開閉して、ポッド１から蓋２を取り外すことおよびポッド１に蓋２を装着することが可能である。また、エアシリンダ３２およびピストン３３によって蓋開閉部材３１は鉛直方向（Ｚ方向）に移動することが可能である。すなわち、エアシリンダ３２およびピストン３３は、ポッドオープナ３０の鉛直方向移動機構としての役割を果たしている。
【００２４】
また、ポッドオープナ３０は、Ｘ方向移動機構３５およびＹ方向移動機構４０によってそれぞれＸ方向とＹ方向とに移動することが可能である。Ｘ方向移動機構３５は、プーリ３６とベルト３７とによって構成されており、プーリ３６に接続されたモータ（図示省略）が回転することによって、プーリ３６に掛けられたベルト３７が回走し、その動作に伴ってベルト３７に係止されたポッドオープナ３０がＸ方向に移動する。
【００２５】
一方、Ｙ方向移動機構４０は、ボールネジ４１とガイドレール４２とモータ４３とによって構成されている。そして、上記Ｘ方向移動機構３５の下部はガイドレール４２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボールネジ４１に螺合されている。モータ４３の正または逆回転はそのままボールネジ４１に伝達され、ボールネジ４１の回転動作にともなってＸ方向移動機構３５およびポッドオープナ３０がＹ方向、すなわちポッド１が載置されたステージ１２の配列の方向に沿って移動する。Ｙ方向移動機構４０の各ステージ１２に対向する位置にはセンサ４４が設けられており（図５には便宜上１つのみ図示）、このセンサ４４によってポッドオープナ３０の位置を検出しつつＹ方向移動の制御を行う。
【００２６】
基板移載ロボット５０は、アーム５１と伸縮機構５５と鉛直方向移動機構６５とＹ方向移動機構６０とを備えている。本実施形態におけるアーム５１は、「Ｉ」字型の形状であり、その上面には３つの基板支持ピン５１ａが設けられている。アーム５１が基板Ｗを保持するときには、３つの基板支持ピン５１ａに基板Ｗが支持された状態となる。なお、アーム５１の形状は「Ｉ」字型に限定されるものではなく、例えば「Ｕ」字型であってもよい。
【００２７】
基板移載ロボット５０の伸縮機構５５は、プーリ５６とベルト５７とによって構成されている。図示を省略するモータによってプーリ５６が回転され、そのプーリ５６に掛けられたベルト５７が回走し、ベルト５７に係止されたアーム５１が前後に（Ｘ方向に）伸縮動作を行う。
【００２８】
また、基板移載ロボット５０は、鉛直方向移動機構６５およびＹ方向移動機構６０によってそれぞれＺ方向とＹ方向とに移動することが可能である。鉛直方向移動機構６５は、ボールネジ６７とモータ６８とによって構成されている。ボールネジ６７には、基板移載ロボット５０の支持台６６が螺合されており、モータ６８によってボールネジ６７が正または逆方向に回転すると、その回転動作にともなって基板移載ロボット５０が鉛直方向に移動する。
【００２９】
一方、Ｙ方向移動機構６０は、ボールネジ６１とガイドレール６２とモータ６３とによって構成されている。そして、上記鉛直方向移動機構６５の下部はガイドレール６２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボールネジ６１に螺合されている。モータ６３の正または逆回転はそのままボールネジ６１に伝達され、ボールネジ６１の回転動作にともなって基板移載ロボット５０がＹ方向に移動する。
【００３０】
インデクサ１０には、上記の他に、シャッター２３を開閉するためのシャッター開閉機構２４と、インデクサ１０内部の各機構を制御するコントローラ５と、ポッドオープナ３０が取り外した蓋２を待避させるための蓋待避部７０とが設けられている。
【００３１】
次に、ステージ１２に載置されたポッド１とインデクサ１０との基板受渡動作について説明する。
【００３２】
まず、ＯＨＴ等の搬送機構によって搬送されてきたポッド１が４個のステージ１２のうちのいずれかに載置される。この時点においては、蓋２とシャッター２３との間に若干の間隔が生じるようにポッド１が載置される（図６参照）。４個のステージ１２のそれぞれには図示を省略するポッド駆動機構が設けられており、ステージ１２に載置されたポッド１をＸ方向に移動させることが可能に構成されている。このポッド駆動機構は、ベルト送り機構などを用いて構成すればよい。
【００３３】
ステージ１２にポッド１が載置されると、上記ポッド駆動機構がポッド１を（−Ｘ）方向に（シャッター２３に向けて）移動させるとともに、シャッター開閉機構２４がシャッター２３を開ける。そして、当該ポッド１が載置されているステージ１２に対向する地点にポッドオープナ３０が位置するように、Ｙ方向移動機構４０がポッドオープナ３０を移動させる。
【００３４】
ポッドオープナ３０のＹ方向移動が完了すると、Ｘ方向移動機構３５がポッドオープナ３０を（＋Ｘ）方向に（ポッド１に向けて）移動させ、蓋開閉部材３１を蓋２に接触させる。なお、蓋開閉部材３１の上下位置は開口２２と一致するように、予めエアシリンダ３２によって調整されている。図７は、蓋開閉部材３１が蓋２に接触した状態を示す部分縦断面図である。
【００３５】
次に、蓋開閉部材３１が蓋２のロック機構を解除する。図８は蓋２のロック機構を示す図であり、図９は蓋開閉部材３１のロック解除機構を示す図である。図８に示すように、本実施形態におけるロック機構は、ラックとピニオンを用いた機構であり、ピニオン２ｂが回転することによってラック２ａが上下動し、ロック機構が開閉される。一方、図９に示すように、蓋開閉部材３１にはロック解除機構として２本のピン状の連結部材３１ａとモータ３１ｂとが設けられている。蓋開閉部材３１が蓋２のロック機構を解除するときには、２本のピン状の連結部材３１ａがピニオン２ｂの２つの孔に嵌入された状態で、連結部材３１ａをモータ３１ｂが回転させ、その回転にともなってピニオン２ｂが回転することにより蓋２のロック機構が解除される。
【００３６】
蓋２のロック機構が解除されると、ポッドオープナ３０が（−Ｘ）方向に移動する。このときに、蓋開閉部材３１に連結された蓋２も蓋開閉部材３１とともに（−Ｘ）方向に移動し、ポッド１から外れる。その後、図１０に示すように、ポッドオープナ３０が鉛直方向下向きに降下し、蓋２の開放作業が終了する。
【００３７】
蓋２が開けられたポッド１に対しては、基板移載ロボット５０がアクセスし、未処理基板Ｗの取り出しや処理済み基板Ｗの収納を行う。すなわち、基板移載ロボット５０は、伸縮機構５５、鉛直方向移動機構６５およびＹ方向移動機構６０によって３次元的に移動することが可能であり、任意のステージ１２に載置されているポッド１のいかなる高さ位置に対しても基板Ｗの出し入れを行うことができる。
【００３８】
基板移載ロボット５０による基板Ｗの出し入れ作業が終了すると、上述したのとは逆の手順によって蓋２がポッド１に装着され、当該ポッド１が基板処理装置外部に搬出される。
【００３９】
以上のように、第１実施形態においては、１つのポッドオープナ３０がＹ方向移動機構４０によってステージ１２の配列の方向に沿って移動することが可能であるため、４個のステージ１２のいずれに載置されたポッド１についてもその１つのポッドオープナ３０によって蓋２の開閉作業を行うことができる。従って、インデクサ１０全体を簡単な構造にできるとともに、制御も容易なものとなり、設置スペースおよび消費電力も小さくすることが可能となる。
【００４０】
ところで、本実施形態においては、１つのポッドオープナ３０が４個のポッド１の蓋２の開閉作業を行うこととなる。一方、ポッドオープナ３０の蓋開閉部材３１は１つの蓋２しか保持しておくことができない。そこで、インデクサ１０には蓋待避位置である２ヶ所の蓋待避部７０が設けられている。蓋待避部７０は、蓋２を載置しておくことができる台である。ポッドオープナ３０があるポッド１の蓋２を取り外した直後に、他のポッド１の蓋２を取り外すときは、先に取り外した蓋２を一旦蓋待避部７０に待避・載置した後、当該他のポッド１の蓋２の開放作業を行う。このようにすれば、１つのポッド１の蓋２を取り外した後、その蓋２を装着することなく、他のポッド１の蓋２を取り外すことが容易に可能となる。なお、蓋待避部７０は２ヶ所に限定されるものではない。
【００４１】
＜第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２実施形態について図１１および図１２を参照しつつ説明する。図１１は第２実施形態のインデクサ１０の平断面図であり、また図１２は第２実施形態のインデクサ１０の縦断面図である。
【００４２】
第２実施形態が第１実施形態と異なるのは、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０に設けられている点である。すなわち、第１実施形態においては、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０とは別個独立に駆動されていたのに対し、第２実施形態ではポッドオープナ３０のＸ方向移動機構３５が基板移載ロボット５０の鉛直方向移動機構６５と一体に設けられており、ポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０のＹ方向移動機構６０によりステージ１２の配列の方向に沿って移動されるのである。
【００４３】
第２実施形態のＹ方向移動機構６０は、上記第１実施形態と同様に、ボールネジ６１とガイドレール６２とモータ６３とによって構成されており、鉛直方向移動機構６５およびＸ方向移動機構３５の下部はガイドレール６２に摺動自在に嵌合されるとともに、ボールネジ６１に螺合されている。モータ６３の正または逆回転はそのままボールネジ６１に伝達され、ボールネジ６１の回転動作にともなって基板移載ロボット５０およびポッドオープナ３０がＹ方向に移動する。
【００４４】
従って、基板移載ロボット５０のＹ方向移動機構６０は、基板移載ロボット５０とともにポッドオープナ３０をもＹ方向に移動させる役割を果たしている。但し、Ｙ方向に関しては基板移載ロボット５０とポッドオープナ３０とが１つの移動機構を共用しているものの、Ｘ方向およびＺ方向に関しては基板移載ロボット５０とポッドオープナ３０とが別個独立に移動され、各移動機構の構成については第１実施形態と同じである。また、残余の構成やポッドオープナ３０の動作についても第１実施形態と同じであるため説明を省略する。
【００４５】
以上のようにしても、第１実施形態と同様に、１つのポッドオープナ３０が基板移載ロボット５０のＹ方向移動機構６０によってステージ１２の配列の方向に沿って移動することが可能であるため、４個のステージ１２のいずれに載置されたポッド１についてもその１つのポッドオープナ３０によって蓋２の開閉作業を行うことができる。従って、インデクサ１０全体を簡単な構造にできるとともに、制御も容易なものとなり、設置スペースおよび消費電力も小さくすることが可能となる。またこの第２実施形態においては、ポッドオープナ３０と基板移載ロボット５０のＹ方向の移動をともにＹ方向移動機構６０によって行う構成としているので、移動機構の構成をより簡素化することができる。
【００４６】
＜変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、載置台１１に設けられたステージ１２の数は４個に限られるものではなく、２個以上であればよい。図１３は、２個のステージ１２を設けたインデクサ１０を示す模式図である。図示のようなインデクサ１０においても、１つのポッドオープナ３０がステージ１２の配列の方向に沿って移動することが可能であるため、２個のステージ１２のいずれに載置されたポッド１に対しても蓋２の開閉作業を行うことができ、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４７】
また、ステージ１２の配列は直線に限定されるものではない。図１４は２個のステージ１２を円弧状に配列したインデクサ１０を示す模式図である。このインデクサ１０においては、ポッドオープナ３０が２個のステージ１２の配列と同心円の軌跡を描くように移動することが可能に構成されている。すなわち、この場合においても、１つのポッドオープナ３０は２個のステージ１２の配列の方向に沿って移動することが可能であり、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４８】
また、第１実施形態におけるポッドオープナ３０のＹ方向移動機構４０は、ボールネジ４１とガイドレール４２とモータ４３とによって構成されていたが、これを例えばベルト送り機構やその他の移動機構によって構成するようにしてもよい。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、蓋着脱手段を複数の基板収納容器の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段を備えているため、複数の基板収納容器のいずれに対しても１つの蓋着脱手段によって蓋の開閉作業を行うことができ、その結果、蓋開閉装置全体としての構造を簡素化できるとともに、制御も容易となり、設置スペースおよび消費電力も小さなものとすることが可能になる。また、蓋着脱手段は、蓋開閉装置外部に設けられた蓋待避位置との間で蓋の受け渡しを行うことが可能であるため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取り外すことが可能となる。
【００５１】
また、請求項２の発明によれば、蓋着脱手段を複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段を備えているため、複数の基板収納容器のいずれに対しても１つの蓋着脱手段によって蓋の開閉作業を行うことができ、その結果、基板搬入搬出装置全体としての構造を簡素化できるとともに、制御も容易となり、設置スペースおよび消費電力も小さなものとすることが可能になる。また、基板収納容器から取り外された蓋を待避させる蓋待避位置を備えているため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取り外すことが可能となる。
【００５３】
また、請求項３の発明によれば、蓋着脱手段を基板受渡手段に設け、基板受渡手段を複数の載置部の配列に沿って移動させることが可能な駆動手段を備えているため、複数の基板収納容器のいずれに対しても１つの蓋着脱手段によって蓋の開閉作業を行うことができ、その結果、基板搬入搬出装置全体としての構造を簡素化できるとともに、制御も容易となり、設置スペースおよび消費電力も小さなものとすることが可能になる。また、基板収納容器から取り外された蓋を待避させる蓋待避位置を備えているため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取り外すことが可能となる。
【００５４】
また、請求項６の発明によれば、基板収納容器から取り外された蓋を待避させる蓋待避位置を備えているため、一つの基板収納容器の蓋を取り外した後、その蓋を装着することなく、他の基板収納容器の蓋を取り外すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板を収納するポッドの一例を示す斜視図である。
【図２】ポッドの内部の状態を示す平面図である。
【図３】ポッドの内部の状態を示す正面図である。
【図４】インデクサの外観斜視図である。
【図５】図４のインデクサの平断面図である。
【図６】図４のインデクサの縦断面図である。
【図７】ポッドオープナの蓋開閉部材が蓋に接触した状態を示す部分縦断面図である。
【図８】蓋のロック機構を示す図である。
【図９】蓋開閉部材のロック解除機構を示す図である。
【図１０】ポッドオープナが蓋を開放した状態を示す部分縦断面図である。
【図１１】第２実施形態のインデクサの平断面図である。
【図１２】第２実施形態のインデクサの縦断面図である。
【図１３】２個のステージを設けたインデクサを示す模式図である。
【図１４】２個のステージを円弧状に配列したインデクサを示す模式図である。
【符号の説明】
１  ポッド
２  蓋
１０  インデクサ
１１  載置台
１２  ステージ
３０  ポッドオープナ
４０、６０  Ｙ方向移動機構
５０  基板移載ロボット
７０  蓋待避部
Ｗ  基板
【図１】
0003974992.tif 000002
【図２】
0003974992.tif 000003
【図３】
0003974992.tif 000004
【図４】
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【図５】
0003974992.tif 000006
【図６】
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【図７】
0003974992.tif 000008
【図８】
0003974992.tif 000009
【図９】
0003974992.tif 000010
【図１０】
0003974992.tif 000011
【図１１】
0003974992.tif 000012
【図１２】
0003974992.tif 000013
【図１３】
0003974992.tif 000014
【図１４】
0003974992.tif 000015