(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、前記燃料流路は、鉛直方向に向けて形成されて前記燃料が鉛直方向上方に向けて供給され、前記隔壁の表面に、鉛直方向および水平方向にそれぞれ延長される鉛直方向溝および水平方向溝を、前記凹部より深くなるよう設け、前記水平方向溝は、前記鉛直方向溝の下流側に配置されていることを特徴とする積層型蒸発器。
【請求項２】
高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、前記燃料流路は、鉛直方向に向けて形成されて前記燃料が鉛直方向上方に向けて供給され、前記隔壁の表面に、鉛直方向に延長されかつ前記凹部より深い鉛直方向溝を設けるとともに、この鉛直方向溝の下流側の端部に、鉛直方向溝より深い位置まで屈曲するクランク通路を、前記燃料流路の両側の隔壁相互間で形成したことを特徴とする積層型蒸発器。
【請求項３】
前記クランク通路の屈曲方向と反対側の前記隔壁の高温流体流路側に、前記クランク通路に対応する高温流体側凹部を設けたことを特徴とする請求項２記載の積層型蒸発器。
【請求項４】
前記凹部は、前記液体燃料の流れ方向と交差する溝で構成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の積層型蒸発器。
【請求項５】
前記溝は、互いに交差する溝で構成されることを特徴とする請求項４記載の積層型蒸発器。
【請求項６】
前記鉛直方向溝を、前記互いに交差する溝の交差部に設けたことを特徴とする請求項５に記載の積層型蒸発器。
【請求項７】
前記互いに交差する溝の交差部に、前記交差する溝相互を隔てる仕切壁を設けたことを特徴とする請求項５に記載の積層型蒸発器。
【請求項８】
高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、この凹部は、前記液体燃料の流れ方向と交差しかつ互いに交差する溝で構成され、前記互いに交差する溝における前記燃料流路の下流側端部の交差部に、前記互いに交差する溝相互を隔てて該交差する各溝を流れる液体燃料の合体を阻止する仕切壁を設けたことを特徴とする積層型蒸発器。
【請求項９】
前記凹部は、ショットピーニングにより形成されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の積層型蒸発器。
【請求項１０】
前記凹部は、濡れ性を高める表面処理が施されていることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の積層型蒸発器。
【請求項１１】
前記凹部は、エッチング加工により形成されるとともに、前記高温流体流路および前記燃料流路を形成する互いに積層される隔壁相互は、拡散接合により接合されることを特徴とする請求項１ないし８，１０のいずれか１項に記載の積層型蒸発器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、高温流体が流れる高温流体流路と、高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１７は、燃料電池１に供給する水素を生成するための燃料改質システムを示している。この燃料改質システムは、燃料タンク３内の水およびメタノールからなる混合液Ｆを、蒸発器５で蒸発させる。蒸発した水とメタノールの混合蒸気Ｊは、混合器７により、圧縮機９から送られる空気Ａと混合し、ＡＴＲ（オートサーマル反応器）１１に送られる。ＡＴＲ１１では、メタノールを、水並びに空気内の酸素を用いて触媒反応により燃料改質し、水素リッチな改質ガスを生成する。
【０００３】
改質ガスには、一酸化炭素が含まれており、この一酸化炭素を、シフト反応器１３およびＰＲＯＸ（選択酸化）反応器１５からなる一酸化炭素クリーナシステムにより除去した後、水素リッチとなった改質ガスを前記した燃料電池１に供給する。
【０００４】
また、燃料電池１にて余剰となった水素や空気は、触媒燃焼器１７に供給されて燃焼し、この燃焼熱が前記した蒸発器５にて使用される。
【０００５】
このような、改質システムにおける蒸発器５は、特に自動車などの移動体に適用する場合には、高い熱交換効率で応答性が高く、コンパクトなものが要求される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
蒸発器として、例えば特開２０００−１６８０１号公報に記載されたものは、内管内に供給される高温媒体により、内管とで二重管を構成する外管の内面に形成した螺旋状の溝に供給される燃料が、内管と外管との間に介装してある焼結金属管を浸透して蒸発する。
【０００７】
ところが、このものは、高温媒体が内管内を流れるのみで、内管の外側に供給される燃料は、焼結金属管の通路抵抗を受けるとともに、燃料が内管により直接加熱されず、気体（加熱蒸気）を介して間接的に加熱される構造であるため、高効率な熱交換が難しく、コンパクト化を図ることができない。
【０００８】
また、実公平３−２７２６０号公報に記載されたものは、空気により冷媒を蒸発させる場合に、液管内では、二相域において、気泡が成長することによって、体積が急激に増大し、また気（泡）化していない液が下流に吹き飛ばされるため、この下流に吹き飛ばされた液を気化するために、下流側にも蒸発面を設けなければならず、蒸発器としてコンパクト化を図ることができない。
【０００９】
そこで、この発明は、蒸発器として熱交換効率が高く、かつコンパクト化を図ることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、請求項１の発明は、高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、前記燃料流路は、鉛直方向に向けて形成されて前記燃料が鉛直方向上方に向けて供給され、前記隔壁の表面に、鉛直方向および水平方向にそれぞれ延長される鉛直方向溝および水平方向溝を、前記凹部より深くなるよう設け、前記水平方向溝は、前記鉛直方向溝の下流側に配置されている構成としてある。
【００１１】
請求項２の発明は、高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、前記燃料流路は、鉛直方向に向けて形成されて前記燃料が鉛直方向上方に向けて供給され、前記隔壁の表面に、鉛直方向に延長されかつ前記凹部より深い鉛直方向溝を設けるとともに、この鉛直方向溝の下流側の端部に、鉛直方向溝より深い位置まで屈曲するクランク通路を、前記燃料流路の両側の隔壁相互間で形成したものとしてある。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項２の発明の構成において、前記クランク通路の屈曲方向と反対側の前記隔壁の高温流体流路側に、前記クランク通路に対応する高温流体側凹部を設けたものとしてある。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれか１項の発明の構成において、前記凹部は、前記液体燃料の流れ方向と交差する溝で構成されるものとしてある。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項４の発明の構成において、前記溝は、互いに交差する溝で構成されるものとしてある。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項５の発明の構成において、前記鉛直方向溝を、前記互いに交差する溝の交差部に設けた構成としてある。
【００１７】
請求項７の発明は、請求項５の発明の構成において、前記互いに交差する溝の交差部に、前記交差する溝相互を隔てる仕切壁を設けた構成としてある。
請求項８の発明は、高温流体が流れる高温流体流路と、前記高温流体に加熱されて蒸発する液体燃料が流れる燃料流路とが、隔壁を隔てて交互に形成される積層型蒸発器において、前記燃料流路における前記隔壁の表面に凹部を設け、この凹部は、前記液体燃料の流れ方向と交差しかつ互いに交差する溝で構成され、前記互いに交差する溝における前記燃料流路の下流側端部の交差部に、前記互いに交差する溝相互を隔てて該交差する各溝を流れる液体燃料の合体を阻止する仕切壁を設けた構成としてある。
【００１８】
請求項９の発明は、請求項１ないし３のいずれか１項の発明の構成において、前記凹部は、ショットピーニングにより形成される構成としてある。
【００１９】
請求項１０の発明は、請求項１ないし９のいずれか１項の発明の構成において、前記凹部は、濡れ性を高める表面処理が施されている構成としてある。
【００２０】
請求項１１の発明は、請求項１ないし８，１０のいずれか１項の発明の構成において、前記凹部は、エッチング加工により形成されるとともに、前記高温流体流路および前記燃料流路を形成する互いに積層される隔壁相互は、拡散接合により接合される構成としてある。
【００２１】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、隔壁の表面に設けた凹部に液体燃料が捕捉され、捕捉された液体燃料の液滴が表面張力により凹部内にて薄い液膜を形成するので、液体燃料は高温流体によって効率よく加熱され、熱伝達効率を向上させることができ、蒸発器としてコンパクト化を図ることができる。
また、隔壁に沿って流れる液体燃料が水平方向溝に入り込み、その後鉛直方向溝に沿って鉛直方向下方の上流側へ向けて流下するので、隔壁を流れる過程で気化しきれない液体燃料を確実に気化させることができる。
【００２２】
請求項２の発明によれば、隔壁に沿って流れる液体燃料がクランク通路に入り込み、その後鉛直方向溝に沿って鉛直方向下方の上流側へ向けて流下するので、隔壁を流れる過程で気化しきれない液体燃料を確実に気化させることができる。
【００２３】
請求項３の発明によれば、クランク通路に対応する隔壁の高温流体流路側に高温流体側凹部を設けることで、高温流体流路がよりクランク通路に近接することになり、クランク通路内の液体燃料の気化を促進させることができる。
【００２４】
請求項４の発明によれば、液体燃料は、液体燃料の流れ方向と交差する溝により、確実に捕捉される。
【００２５】
請求項５の発明によれば、液体燃料は、互いに交差する溝の交差部にて流れの抵抗を受け、より確実に捕捉される。
【００２７】
請求項６の発明によれば、鉛直方向溝を上流側へ流下してくる液体燃料を、互いに交差する溝の交差部から下流側に効率よく流すことができる。
【００２８】
請求項７または８の発明によれば、仕切壁を隔ててその両側の溝内の液体燃料の液滴の合体が回避され、液滴の大型化による下流への吐出を防止することができる。
【００２９】
請求項９の発明によれば、ショットピーニングにより形成した凹部により、液体燃料が捕捉され、捕捉された液体燃料の液滴が表面張力により凹部内にて薄い液膜を形成するので、液体燃料は高温流体によって効率よく加熱され、熱伝達効率を向上させることができ、蒸発器としてコンパクト化を図ることができる。
【００３０】
請求項１０の発明によれば、凹部は、表面処理により濡れ性が高められているので、液体燃料が凹部内にて薄い液膜を形成しやすくなる。
【００３１】
請求項１１の発明によれば、凹部は、エッチング加工により形成することで、形状自由度が高まるので、熱伝達および液滴の捕捉機能に対して最適な形状の設定が可能となる。また、高温流体流路および燃料流路を形成する互いに積層される隔壁相互を、拡散接合により接合することで、ろう材などの接合剤が不要となり、軽量化および接合信頼性の向上を図ることができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００３３】
図１は、この発明の第１の参考例を示す蒸発器の内部構造を示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。この蒸発器は、隔壁としての２種のプレート２１，２３を交互に積層し、プレート２１，２３相互間に燃料流路２５と高温流体流路２７とをそれぞれ交互に形成したものである。
【００３４】
一方のプレート２１は、図１中で左右両側部に接合用リブ２９が形成され、この接合用リブ２９が、プレート２１の図１中で手前側に位置する図示されていないプレート（プレート２３と同種のもの）に接合固定される。この接合により、プレート２１の図１中で手前側に、上記した燃料流路２５が形成される。
【００３５】
他方のプレート２３には、図１中で上下両側部に接合用リブ３１が形成され、この接合用リブ３１がプレート２１の図１中で紙面裏側に接合固定される。この接合により、プレート２１とプレート２３との間に、上記した高温流体流路２７が形成される。
【００３６】
上記したプレート２１，２３相互の接合方法としては、例えば拡散接合があるが、これに限定されるものでない。
【００３７】
上記したような接合構造により、それぞれ複数設けたプレート２１とプレート２３とが順次積層されて、燃料流路２５と高温流体流路２７とがそれぞれ交互に形成される。そして、ここでは液体燃料Ｆが、燃料流路２５を図１中で下部側から鉛直方向上方へ向けて供給される一方、高温流体である高温ガスＧが、図１中で左から右方向に向けて供給され、この高温ガスＧにより液体燃料Ｆが、プレート２１，２３を介して加熱されて蒸発する。
【００３８】
燃料流路２５を形成するその両側の各プレート２１，２３の表面３３には、凹部としての溝３５が、図１中で上下方向に沿って等間隔に複数形成されている。この溝３５は、鉛直方向に対し互いに逆方向に傾斜した傾斜溝３５ａ，３５ｂの下端相互および上端相互がそれぞれ連通接続されて水平方向に沿ってジグザグ状に形成されている。すなわち、上記した溝３５は、液体燃料Ｆの流れ方向に対して交差し、かつ傾斜溝３５ａ，３５ｂ相互が互いに交差していることになる。このような溝３５の形成は、例えばエッチング加工によって行うが、エッチング加工に限定されるものではない。
【００３９】
上記した蒸発器によれば、液体燃料Ｆが燃料流路２５を、図１中で下部側から鉛直方向上方に向けて流れる際に、高温流体流路２７を流れる高温ガスＧと熱交換を行い、気泡Ｂが発生する。このとき、気泡Ｂの成長により押し出された気泡下流の液体燃料は、ジグザグ状の溝３５によって流れの抵抗を受け捕捉されると同時に、溝３５内では、図３に溝３５の拡大した断面図で示すように、液体燃料Ｆの表面張力により薄い液膜ＴＦが形成される。
【００４０】
これにより、溝３５内の液膜ＴＦとなった液体燃料Ｆが効率よく気化され、液滴のまま下流側へ流れることを防止する。このため、下流側にさらに蒸発面を設ける必要がなく、熱交換効率を高く維持しつつ、蒸発器としてのコンパクト化を達成することができる。
【００４１】
図４は、この発明の第１の実施形態を示している。この実施形態は、図１に示した傾斜溝３５ａと傾斜溝３５ｂの上端相互が交差する交差部３７に、図４の拡大したＢ−Ｂ断面図である図５に示すように、傾斜溝３５ａと傾斜溝３５ｂとを仕切る仕切壁３９を設けている。仕切壁３９を設けることで、図６（ａ）のように、各傾斜溝３５ａ，３５ｂをそれぞれ流れてくる液滴４０が、交差部３７にて合体せずに分離された状態となり、表面３３からの液滴４０の突出を防ぎ、液滴４０の下流側への移動を防止する。
【００４２】
仕切壁３９を設けていない場合には、図６（ａ）に示してある各傾斜溝３５ａ，３５ｂの液滴４０が、図６（ｂ）のように、交差部３７にて合体し、液滴４０ａのように大きくなって表面３３から突出した状態となり、突出した液滴４０ａは、その一部もしくは全部が下流側へ運ばれてしまうことになる。
【００４３】
図７は、この発明の第２の参考例を示している。この参考例は、溝３５を、液体燃料Ｆの流れ方向に対して交差し、かつ互いに交差する複数の傾斜溝３５ｃ，３５ｄにより構成している。この場合、傾斜溝３５ｃのみでも、また傾斜溝３５ｄのみでも構わない。
【００４４】
図８は、この発明の第３の参考例を示している。この参考例は、水平方向に延長して形成した溝３５を、上下方向に沿って等間隔に複数形成したものである。水平方向の溝３５に代えて、図８中で上下方向の鉛直方向に延長される溝を複数設けるようにしてもよい。
【００４５】
なお、上記した第２および第３の各参考例においては、溝３５を除く他の構成は図１のものと同様であり、図１のものと同一部分には、同一符号を付してある。そして、これら各参考例でも、液体燃料は、溝３５によって流れの抵抗を受け捕捉されると同時に、溝３５内では、図３に示したように、薄い液膜ＴＦが形成される。これにより、溝３５内の液膜ＴＦとなった液体燃料Ｆが効率よく気化され、熱交換効率を高く維持しつつ、蒸発器としてのコンパクト化を達成することができる。
【００４６】
図９は、この発明の第２の実施形態を示している。この実施形態は、図１に示した第１の参考例に対し、鉛直方向溝４１および水平方向溝４３を、溝３５より深くなるよう形成している。図１０は図９のＣ−Ｃ断面図、図１１は図９のＤ−Ｄ断面図である。なお、鉛直方向溝４１および水平方向溝４３は、プレート２１，２３の一方に設けても、双方に設けても構わない。
【００４７】
鉛直方向溝４１は、傾斜溝３５ａと傾斜溝３５ｂとの各下端相互が交差する交差部４５に沿って、図９中で上下方向（鉛直方向）に延長して形成されている。一方、水平方向溝４３は、鉛直方向溝４１の図中上部の下流側の端部相互を連通するよう形成されている。
【００４８】
この実施形態では、プレート２１，２３の表面３３および溝３５を流れる液体燃料Ｆは、蒸発しつつ、蒸発しきれないものが、水平方向溝４３に入り込み、ここに溜まった液体燃料Ｆは、鉛直方向溝４１に沿って流下し、上流側（図９中で下部側）へ運ばれる。鉛直方向溝４１に液体燃料Ｆが一定量溜まり、図１１に示すように、そこでの液面Ｌが溝３５の溝深さ（底面）を超えると、鉛直方向溝４１内の液体燃料Ｆは、溝３５に流れ出し、この溝３５に沿って流れる過程で蒸発する。
【００４９】
このように、図９に示した第２の実施形態では、表面３３および溝３５を流れる過程で蒸発しきれない液体燃料Ｆが、順次上流側に運ばれて蒸発するので、液体燃料Ｆの蒸発を確実に行うことができる。
【００５０】
図１２は、この発明の第３の実施形態を示している。図１３は、図１２のＥ−Ｅ断面図である。この実施形態は、図９に示した第２の実施形態における水平方向溝４３に代えて、鉛直方向溝４１より深い位置まで屈曲するクランク通路４７を設けたものである。その他の構成は、図９と同様である。ただし、ここでは、プレート２１側のみに溝３５を形成した場合を想定している。
【００５１】
クランク通路４７は、プレート２１の表面３３の下流側部分における、液体燃料Ｆの流れ方向と直交する幅方向（図１２中で左右方向）全域に、鉛直方向溝４１より深くなる凹部４９を設け、プレート２１の図１２中で紙面手前側に接合されるプレート２３に、凹部４９に入り込むよう突出する凸部５１を設けることで、形成される。
【００５２】
すなわち、上記したクランク通路４７は、プレート２１に形成した凹部４９と、プレート２３に形成した凸部５１との間に形成されるものである。
【００５３】
この場合にも、前記図９に示した第２の実施形態と同様に、表面３３および溝３５を流れる液体燃料Ｆは、蒸発しつつ、蒸発しきれないものが、クランク通路４７に入り込み、ここに溜まった液体燃料Ｆは、鉛直方向溝４１に沿って流下し、上流側へ運ばれる。鉛直方向溝４１に液体燃料Ｆが一定量溜まり、前記図１１と同様に、そこでの液面Ｌが溝３５の溝深さ（底面）を超えると、鉛直方向溝４１内の液体燃料Ｆは、溝３５に流れ出し、この溝３５に沿って流れる過程で蒸発する。
【００５４】
図１４は、この発明の第４の実施形態を示している。この実施形態は、図１３に示した第３の実施形態に対し、プレート２３の凸部５１に対応するその裏面側の高温流体流路２７側に、高温流体側凹部５３を形成している。これにより、クランク通路４７内の液体燃料Ｆの液滴が、高温ガスＧに対してより近い位置で加熱されることになり、液体燃料Ｆの気化が促進される。
【００５５】
図１５は、この発明の第４の参考例を示している。この参考例は、プレート２１（２３
）の表面３３に、多数の凹部５５を形成したものである。このような凹部５５を形成することで、凹部５５に液体燃料Ｆが捕捉され、凹部５５内にて液体燃料Ｆが、前記図１に示した第１の参考例と同様にして表面張力により薄い液膜を形成し、この結果液体燃料Ｆが効率よく気化され、熱交換効率が向上する。
【００５６】
上記した凹部５５は、前述したようにエッチング加工により形成してもよいが、ショットピーニング加工によって形成する。このとき、酸化チタンなど濡れ性の高い球を用いてショットピーニング加工を行うことで、球が表面３３に衝突するときの発熱により、凹部５５の表面に濡れ性の高い薄膜５５ａを形成することができる。
【００５７】
これにより、図１６に示すように、表面３３を流れる液体燃料Ｆが、凹部５５に引き寄せられやすくなり、液体燃料Ｆの凹部５５での捕捉がより確実なものとなる。
【００５８】
また、前記した各実施形態や各参考例における溝３５に、酸化チタンなど濡れ性の高い塗布剤を塗布して表面処理加工を施すことで、液体燃料Ｆの溝３５での捕捉をより確実なものとすることができる。図１５の凹部５５についても、ショットピーニング加工時に濡れ性の高い球を用いない場合には、上記と同様にして濡れ性の高い塗布剤を塗布してもよい。
【００５９】
さらに、上記した溝３５および凹部５５をを除くプレート２１，２３の表面３３にも、濡れ性の高い塗布剤を塗布する表面処理加工を施すことで、表面３３全体で液体燃料Ｆの捕捉が行える。
【００６０】
また、溝３５および凹部５５は、エッチング加工により形成することで、形状自由度が高まり、熱伝達および液滴の捕捉機能に対して最適な形状の設定が可能となる。さらに、燃料流路２５および高温流体流路２７を形成する互いに積層されるプレート２１，２３は、互いの接合面を滑らかな平面に形成することで、拡散接合に適したものとなり、このような拡散接合を行うことで、ろう材などの接合剤が不要となり、軽量化および接合信頼性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の第１の参考例を示す蒸発器の内部構造を示す斜視図である。
【図２】  図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】  図２の溝の拡大した断面図である。
【図４】  この発明の第１の実施形態を示すプレートの斜視図である。
【図５】  図４の拡大したＢ−Ｂ断面図である。
【図６】  （ａ）は、図５の仕切壁によって液滴が分離されている状態を示す断面図、（ｂ）は、仕切壁を設けない場合の液滴の状態を示す断面図である。
【図７】  この発明の第２の参考例を示す蒸発器の内部構造を示す斜視図である。
【図８】  この発明の第３の参考例を示す蒸発器の内部構造を示す斜視図である。
【図９】  この発明の第２の実施形態を示すプレートの斜視図である。
【図１０】  図９のＣ−Ｃ断面図である。
【図１１】  図９のＤ−Ｄ断面図である。
【図１２】  この発明の第３の実施形態を示すプレートの斜視図である。
【図１３】  図１２のＥ−Ｅ断面図である。
【図１４】  この発明の第４の実施形態を示す、図１３に対応する断面図である。
【図１５】  この発明の第４の参考例を示すプレートの斜視図である。
【図１６】  図１５の凹部に液体燃料が流れ込む様子を示した断面図である。
【図１７】  燃料電池に供給する水素を生成するための燃料改質システムの全体構成図である。
【符号の説明】
２１，２３  プレート（隔壁）
２５  燃料流路
２７  高温流体流路
３３  表面
３５  溝（凹部）
３５ａ，３５ｂ  傾斜溝
３７  交差部
３９  仕切壁
４１  鉛直方向溝
４３  水平方向溝
４５  交差部
４７  クランク通路
５３  高温流体側凹部
５５  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0003930351.tif 000017
【図１７】
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