(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に貫通した貫通孔を有しており、かつ光記録媒体に対向する位置に配されるレンズホルダと、
このレンズホルダに対し、その平坦な上面に対して接続された鏡筒内に支持された恰好で保持された第１のレンズと、
この第１のレンズよりも上記光記録媒体に接近するように上記レンズホルダの貫通孔内に配されており、かつ上記第１のレンズを透過した光ビームを集束させる第２のレンズと、
磁界発生用のコイルと、
を備えた光学ヘッドであって、
上記コイルおよび上記コイルを覆う透明な絶縁保護膜が片面に形成された透明基板を備えているとともに、
この透明基板の上記片面とは反対の面には、上記第２のレンズが接着されており、かつ、
上記透明基板は、これに接着された上記第２のレンズが上記レンズホルダの上記貫通孔内に収容されるようにして、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面の全面に対して重ね合わせて接着されていることを特徴とする、光学ヘッド。
【請求項２】
上記第２のレンズは、平凸レンズであり、かつこの第２のレンズの平面状のレンズ面が上記透明基板に面接触している、請求項１に記載の光学ヘッド
【請求項３】
上記第２のレンズの外周縁には、上記レンズホルダの貫通孔に嵌合するフランジ部が形成されている、請求項１または２に記載の光学ヘッド。
【請求項４】
上記第１のレンズは、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面とは反対の面上に取り付けられている、請求項３に記載の光学ヘッド。
【請求項５】
上記レンズホルダは、非導電性部材からなる、請求項１ないし４のいずれかに記載の光学ヘッド。
【請求項６】
上記レンズホルダがバネ性を有するサスペンションに支持されていることにより、上記光記録媒体の回転時にこの光記録媒体から浮上するスライダとして構成されている、請求項１ないし５いずれかに記載の光学ヘッド。
【請求項７】
透明な第１の集合基板の片面に、磁界発生用の複数のコイルおよびこれら複数のコイルを覆う透明な絶縁保護膜を形成する工程と、
厚み方向に貫通した複数の貫通孔を有する第２の集合基板を作製する工程と、
上記第１および第２の集合基板を重ね合わせて接着する工程と、
上記第１および第２の集合基板を切断することにより、上記各貫通孔を備えた上記第２
の集合基板の切断片としてのレンズホルダと、このレンズホルダの片面に接着され、かつ上記各コイルを備えた上記第１の集合基板の切断片としての透明基板とを備えた複数の切断品を作製する切断工程と、
上記切断工程の後または前において、上記レンズホルダに対して第１レンズを組み付け、上記第２の集合基板に対して第２のレンズを接着する工程と、
を有しており、かつ、
上記第１および第２のレンズのうち、光記録媒体寄りに配される第２のレンズについては、上記貫通孔内に収容することにより上記透明基板に接着させる一方、光記録媒体に対して遠位に位置する上記第１レンズについては、これを保持した鏡筒を上記レンズホルダの上面の平坦面に接続することにより組み付けることを特徴とする、光学ヘッドの製造方法。
【請求項８】
上記第１の集合基板の片面に上記複数のコイルおよび上記絶縁保護膜を形成した後であって、上記第１および第２の集合基板を重ね合わせる前に、上記第１の集合基板の厚みを薄くする加工工程をさらに有している、請求項７に記載の光学ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、光記録媒体へのデータの記録・再生処理を行なうための光学ヘッド、および光学ヘッドを製造するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気ディスクのデータ記録密度を高める方法として、対物レンズのＮＡ（開口数）を高くすることが、従来よりなされている。対物レンズのＮＡを高くする手段としては、対物レンズを複数のレンズによって構成する手段が一般的に用いられている。対物レンズのＮＡを高くすると、光磁気ディスク上に形成されるビームスポットの径を小さくすることが可能である。ただし、光磁気ディスクのチルトに起因するコマ収差はＮＡの３乗に比例し、光磁気ディスクの厚みむらに起因する球面収差はＮＡの４乗に比例する。したがって、ＮＡを高くすると、それらの収差が大きくなってしまう虞れがある。また、記録密度を高め、かつ転送速度を速めるためには、表面記録型の磁界変調コイルも必要となる。
【０００３】
そこで、近年においては、フロントイルミネーション方式がよく採用されている。この方式は、光磁気ディスクの記録層と光学ヘッドとの間に光磁気ディスクの透明な基板が介在しないように、それら記録層と光学ヘッドとを対向接近させる方式である。このフロントイルミネーション方式において高ＮＡ化を図る場合、光学ヘッドの構造は、たとえば１つのレンズホルダに、対物レンズとしてのたとえば２枚のレンズと、磁界発生用のコイルとが搭載された構造とされている。また、このような構造をもつ光学ヘッドは、光磁気ディスクが高速回転するときに、この光学ヘッドとレンズホルダとの間に空気が流れ込む作用によって光磁気ディスクに対して微小間隔を隔てて浮上するように構成される場合が多い。このような構成によれば、上記コイルを光磁気ディスクに対してμｍオーダ、あるいはサブμｍオーダで接近させることができる。したがって、光磁気ディスクのデータ記録密度を高め、かつ転送速度を速めるのにより好適となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したような従来の光学ヘッドにおいては、次のような不具合があった。
【０００５】
すなわち、光学ヘッドの２枚のレンズが所定の姿勢から傾いた角度でレンズホルダに取り付けられている場合には、コマ収差が発生する。既述したとおり、高ＮＡ化が図られている場合には、そのコマ収差は非常に大きいものとなる。したがって、上記２枚のレンズについては、できる限り傾きの無いようにレンズホルダに取り付ける必要がある。とくに、光磁気ディスク寄りのレンズについては、光磁気ディスクから遠いレンズよりも傾きを少なくすることがより厳しく要求される。
【０００６】
ところが、従来においては、レンズをレンズホルダに装着する場合に、このレンズに傾きを生じないようにするのに良好な手段は、とくに提案されていないのが実情であった。したがって、従来においては、レンズに傾きがない品質の高い光学ヘッドを効率良く生産するのに苦慮していた。
【０００７】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、対物レンズの傾きに起因するコマ収差の発生を抑制することが可能な品質の高い光学ヘッドを提供することをその課題としている。また、本願発明は、そのような光学ヘッドを効率良く製造することができる光学ヘッドの製造方法を提供することを他の課題としている。
【０００８】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【０００９】
本願発明の第１の側面によって提供される光学ヘッドは、厚み方向に貫通した貫通孔を有しており、かつ光記録媒体に対向する位置に配されるレンズホルダと、このレンズホルダに対し、その平坦な上面に対して接続された鏡筒内に支持された恰好で保持された第１のレンズと、この第１のレンズよりも上記光記録媒体に接近するように上記レンズホルダの貫通孔内に配されており、かつ上記第１のレンズを透過した光ビームを集束させる第２のレンズと、磁界発生用のコイルと、を備えた光学ヘッドであって、上記コイルおよび上記コイルを覆う透明な絶縁保護膜が片面に形成された透明基板を備えているとともに、この透明基板の上記片面とは反対の面には、上記第２のレンズが接着されており、かつ、上記透明基板は、これに接着された上記第２のレンズが上記レンズホルダの上記貫通孔内に収容されるようにして、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面の全面に対して重ね合わせて接着されていることを特徴としている。上記第２のレンズは、平凸レンズであり、かつこの第２のレンズの平面状のレンズ面が上記透明基板に面接触している構成とすることもできる。
【００１０】
このような構成によれば、上記第２のレンズの姿勢は上記透明基板により規定することができるとともに、上記透明基板の姿勢は上記レンズホルダのうちの上記透明基板が重ね合わされる面により規定することができる。このため、上記第２のレンズの姿勢を上記レンズホルダの所定の面に対応した姿勢に設定することが、正確にかつ容易に行なえることとなる。その結果、上記第２のレンズを上記レンズホルダに対して不当な傾きの無い状態、あるいは少ない状態に組み付けることが可能となり、上記第２のレンズの傾きに起因するコマ収差の発生を抑制し、光記録媒体に対する高密度でのデータ記録・再生処理を適切に行なうことが可能となる。また、上記第２のレンズを不当な傾きの無い状態、あるいは少ない状態に設定する作業が容易化されるために、光学ヘッドの生産性も向上する。
【００１１】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記第２のレンズの外周縁には、上記レンズホルダの貫通孔に嵌合するフランジ部が形成されている。このような構成によれば、上記第２のレンズの位置合わせ作業が容易化される。
【００１２】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記第１のレンズは、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面とは反対の面上に取り付けられている。このような構成によれば、上記第１のレンズの姿勢を、上記レンズホルダの所定の面によって規定することも可能となり、上記第１のレンズについても、上記レンズホルダに対して不当な傾きの無い状態、あるいは少ない状態に組み付けることが可能となり、コマ収差の発生を一層抑制することができる。また、上記第１のレンズの組み付け作業も容易であるために、光学ヘッドの生産性をより向上させることも可能となる。
【００１３】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記レンズホルダは、非導電性部材からなる。レンズホルダの材質としては、このレンズホルダの剛性を高めて反りなどを少なくする観点からセラミック系のものが用いられる場合があるが、このセラミック系には導電性を有するものがある。この場合、絶縁保護膜の側面に予め絶縁膜を形成しておく必要がある。絶縁膜の成膜条件によっては、コイルに電流を流したときに、セラミック系からなるレンズホルダに並列抵抗成分、キャパシタンスが発生する虞れがある。そこで、レンズホルダの材質としては、非導電性の性質をもつアルミナなどを用いれば、上記したような絶縁膜を形成する必要がなく生産性を高めることができ、かつインピーダンス特性も良好なのにすることができる。
【００１４】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記第２のレンズと上記透明基板とは、屈折率が同一または略同一である。このような構成によれば、上記第２のレンズと上記透明基板との接合面において光の大きな屈折を生じさせないようにし、これらを一体のレンズとして取り扱うことが可能となる。本願発明においては、上記第２のレンズの厚みは、上記透明基板の厚み分だけ薄くされている構成とすることができる。
【００１５】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記第１および第２のレンズは、色消しレンズとして構成されている。このような構成によれば、光ビームの波長のシフトに好適に対処できることとなる。
【００１６】
本願発明の他の好ましい実施の形態においては、上記レンズホルダがバネ性を有するサスペンションに支持されていることにより、上記光記録媒体の回転時にこの光記録媒体から浮上するスライダとして構成されている。本願発明においては、光学ヘッドをこのような構成にした場合の光ディスク装置として、上記光学ヘッドを一対で有しており、かつこれら一対の光学ヘッドは、光ディスクを挟んで互いに対向している構成とすることもできる。この場合、上記一対の光学ヘッドは、上記光ディスクに同等または略同等の負荷がかかるようにされた構成とすることができる。このような構成によれば、光ディスクの反りを少なくし、収差の減少およびスライダの浮上安定性の向上を図ることができる。
【００１７】
本願発明の第２の側面によって提供される光学ヘッドの製造方法は、透明な第１の集合基板の片面に、磁界発生用の複数のコイルおよびこれら複数のコイルを覆う透明な絶縁保護膜を形成する工程と、厚み方向に貫通した複数の貫通孔を有する第２の集合基板を作製する工程と、上記第１および第２の集合基板を重ね合わせて接着する工程と、上記第１および第２の集合基板を切断することにより、上記各貫通孔を備えた上記第２の集合基板の切断片としてのレンズホルダと、このレンズホルダの片面に接着され、かつ上記各コイルを備えた上記第１の集合基板の切断片としての透明基板とを備えた複数の切断品を作製する切断工程と、上記切断工程の後または前において、上記レンズホルダに対して第１レンズを組み付け、上記第２の集合基板に対して第２のレンズを接着する工程と、を有しており、かつ、上記第１および第２のレンズのうち、光記録媒体寄りに配される第２のレンズについては、上記貫通孔内に収容することにより上記透明基板に接着させる一方、光記録媒体に対して遠位に位置する上記第１レンズについては、これを保持した鏡筒を上記レンズホルダの上面の平坦面に接続することにより組み付けることを特徴としている。
【００１８】
このような構成によれば、本願発明の第１の側面によって提供される光学ヘッドを適切に製造することができる。とくに、上記構成によれば、第１および第２の集合基板から複数個の光学ヘッドを得ることができるために、その生産性が一層良好となる。
【００１９】
本願発明の好ましい実施の形態においては、上記第１の集合基板の片面に上記複数のコイルおよび上記絶縁保護膜を形成した後であって、上記第１および第２の集合基板を重ね合わせる前に、上記第１の集合基板の厚みを薄くする加工工程をさらに有している。このような構成によれば、第１の集合基板にコイルや絶縁保護膜を形成するときには、この第１の集合基板としては厚みの大きなものを用いておくことにより、プロセス工程における第１の集合基板の割れなどの損傷を防止しておくことができる。上記加工工程においては、第１の集合基板の厚みと第２のレンズの厚みとの和が、所望の値となるまで第１の集合基板の厚みを薄くすればよい。言い換えれば、第２のレンズの厚みは、第１の集合基板の厚み分だけ薄くしておくことになる。
【００２０】
本願発明のその他の特徴および利点については、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２２】
図１および図２は、本願発明に係る光学ヘッドの一実施形態を示している。本実施形態の光学ヘッドＡは、レンズホルダ２、対物レンズとしての第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂ、透明基板１、コイル４、および絶縁保護膜５を具備して構成されている。
【００２３】
レンズホルダ２は、たとえばセラミック製の板状またはブロック状であり、厚み方向に貫通する貫通孔２０を有している。このレンズホルダ２は、アーム６０に取り付けられたサスペンション６１に支持されており、光磁気ディスクＤの記録層９９の上方に配置される。光磁気ディスクＤは、透明な基板９８の上面に記録層９９が形成されたものであり、本実施形態においては、光学ヘッドＡと記録層９９とが基板９８を介することなく対面するフロントイルミネーション方式が採用されている。アーム６０は、レンズホルダ２を光磁気ディスクＤの半径方向（トラッキング方向Ｔｇ）に移動させることができるように、同方向に往復動自在な直動型のアーム、あるいは所定部分を中心として揺動自在な揺動アームとして構成されている。アーム６０の先端部には、図示されていないレーザ光源から進行してくるレーザ光を第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂに順次入射させるように反射するミラー６２が搭載されている。サスペンション６１は、フォーカス方向Ｆｓに弾性変形可能なものであり、光磁気ディスクＤが高速回転することによってこの光磁気ディスクＤの表面と絶縁保護膜５との間に高速空気流が流れ込むと、この光学ヘッドＡは微小間隔を隔てて光磁気ディスクＤから浮上するスライダとして作用するようになっている。
【００２４】
透明基板１は、たとえばガラス製であり、その下面１ａにはコイル４および絶縁保護膜５が形成されている。この透明基板１は、その上面１ｂがレンズホルダ２の下面２ａの全面に密接するようにして、レンズホルダ２に重ね合わされて接着されている。その接着手段としては、たとえば接着剤が用いられている。透明基板１とレンズホルダ２とのそれぞれの接着面１ｂ，２ａは、いずれも平面状である。この光学ヘッドＡにおいては、絶縁保護膜５の一端部に傾斜面１９ａを形成する面取り処理が施されている。この面取り処理は、光学ヘッドＡと光磁気ディスクＤとの間に空気流を安定性良く流れ込ませるためである。
【００２５】
第１のレンズ３Ａは、外周縁にフランジ部３０が形成された凸レンズであり、鏡筒３９内に保持されている。この第１のレンズ３Ａは、鏡筒３９が貫通孔２０の上部開口部の周縁に接着されていることにより、貫通孔２０の上部開口部を塞ぐようにしてレンズホルダ２の上面２ｂ上に取り付けられている。レンズホルダ２に対する鏡筒３９の接着には、たとえば接着剤が用いられている。第１のレンズ３Ａの取り付け手段としては、鏡筒３９を用いることなく、フランジ部３０をレンズホルダ２の上面２ｂに直接接着させる手段を採用することもできる。
【００２６】
第２のレンズ３Ｂは、下向きのレンズ面が平面状とされた平凸レンズである。この第２のレンズ３Ｂと透明基板１とは、屈折率が同一または略同一の材質とされている。コイル４の磁界発生効率を増大させて、そのインダクタンスを低くするには、コイル４の最内径はできるだけ小さくした方がよく、そのためには、第２のレンズ３Ｂおよび透明基板１の材質としては、屈折率が高いガラスを用いることが好ましい。絶縁保護膜５の屈折率もそれらと同一または略同一とされている。このようにすれば、第２のレンズ３Ｂ、透明基板１、および絶縁保護膜５が組み合わされている部分の全体を１つの対物レンズとして取り扱うことができる。また、それらの境界面（接合面）において光が大きく屈折しないようにすることができるためにレンズの設計が容易化される。さらに、第２のレンズ３Ｂの厚み公差や面内の位置ずれ、透明基板１の厚み公差、およびレーザ波長の変動に対する波面収差の悪化などを抑制することも可能となる。第２のレンズ３Ｂの厚みは、透明基板１の厚み分だけ薄くしておく。第２のレンズ３Ｂは、貫通孔２０内に収容され、かつその下面が透明基板１の上面１ｂに密着している。第２のレンズ３Ｂの外周縁にもフランジ部３１が形成されている。貫通孔２０の内径は、たとえば１．８ｍｍであるのに対し、フランジ部３１の直径はたとえば１．７ｍｍとされており、僅かな遊びをもってフランジ部３１が貫通孔２０に嵌合している。フランジ部３１と透明基板１とは、接着剤を介して接着されている。
【００２７】
コイル４は、導体薄膜により形成された渦巻状コイルであり、２層構造となっている。このコイル４の一対の引き出し部４０は、絶縁保護膜５の側面まで延びている。絶縁保護膜５の側面には、一対の引き出し部４０に導通する金属製の一対の電極４１が形成されており、この電極４１にコイル４への電力供給を行なうための図示されていないリード線が接続される。コイル４の中心は、レーザ光の光軸Ｃと一致しており、第２のレンズ３Ｂを通過したレーザ光はコイル４の中心部分を通過してから光磁気ディスクＤに到達するように構成されている。コイル４は、レーザ光の光路を遮らない範囲においてできる限りその内径が小さくなるように形成されている。絶縁保護膜５は、透明であり、コイル４を覆うように構成され、かつその下向き面は平面状である。この絶縁保護膜５の材質は、たとえばアルミナ、ＳｉＯ2 とすることができる。
【００２８】
次に、光学ヘッドＡの製造方法の一例について、図３〜図６を参照しつつ説明する。
【００２９】
まず、図３（ａ）に示すように、２つのウェハ１Ａ，２Ａを作製する。ウェハ１Ａは、本願発明でいう第１の集合基板の一例に相当し、ウェハ２Ａは、本願発明でいう第２の集合基板の一例に相当する。ウェハ１Ａは、その表面（図３の上向き面）に複数のコイル４と絶縁保護膜５とを形成したものであり、次のような手順を経て作製される。
【００３０】
ウェハ１Ａの原形となるウェハ１A'としては、図４（ａ）に示すように、厚みｔ１が比較的大きく、後述する処理に対して充分な耐久性をもつ透明なガラス製のものを用いる。ウェハ１A'の表面（上面）には、同図（ｂ１），（ｂ２）に示すように、複数のコイル４を適当な間隔でマトリクス状に並べて形成するとともに、これら複数のコイル４を覆う透明な絶縁保護膜５を形成する。複数のコイルは、ウェハ１A'の表面に形成したレジストを露光してパターンを形成したところにメッキを施すことにより、コイルパターンを形成して作製することができる。また、これに代えて、スパッタリングや蒸着によってウェハ１A'の表面上に導体の薄膜を形成した後に、エッチング処理によってその導体薄膜をパターニングして作製してもよい。本実施形態においては、コイル４が２層型であるため、一層目のコイルパターンの形成工程、これを覆う絶縁保護膜の形成工程、この絶縁保護膜上への２層目のコイルパターンの形成工程、およびこの２層目のコイルパターンを覆う絶縁保護膜の形成工程を行なう。むろん、１層目のコイルパターンと２層目のコイルパターンとはそれらの一部分どうしが導通している必要があるため、そのような導通部を形成するための工程も行なう。絶縁保護膜５は、たとえばスパッタリングやイオンプレーティングによって透明な薄膜を形成する工程により得ることができる。絶縁保護膜５全体の厚みは、たとえば８μｍ程度である。
【００３１】
複数のコイル４および絶縁保護膜５を形成した後には、ウェハ１A'の裏面を研磨し、図４（ｃ）に示すように、厚みｔ２が薄くされたウェハ１Ａとする。上記研磨工程は、厚みｔ２と第２のレンズ３Ｂの厚みとの和が所望の値になるように行う。厚みｔ２は、たとえば０．２ｍｍ程度である。
【００３２】
図３（ａ）に示したウェハ２Ａは、レンズホルダ２の原形となるものであり、セラミック製である。その厚みは、たとえば０．６ｍｍ程度である。このウェハ２Ａには、ウェハ１Ａの複数のコイル４に対応する複数の貫通孔２０を形成しておく。各貫通孔２０の形成手段としては、たとえばレーザ加工により下穴となる微小径の貫通孔を形成した後に、この貫通孔にワイヤを挿通して放電加工を行なうことによりその貫通孔の径を所定寸法まで拡大するといった手段を用いることができる。
【００３３】
ウェハ１Ａ，２Ａは、図３（ｂ）に示すように、ウェハ１Ａの裏面にウェハ２Ａの片面を接触させるようにして互いに重ね合わせ、かつ接着する。その際、ウェハ１Ａの各コイル４の中心と、ウェハ２Ａの各貫通孔２０との中心とを一致させる。次いで、それら２つのウェハ１Ａ，２Ａを接着させたまま、これらを図５に示す複数の仮想線Ｌｘ，Ｌｙに示す箇所において切断する。この切断作業により、図６に示すような複数の切断品Ａ’が得られる。この切断品Ａ’は、片面にコイル４および絶縁保護膜５が形成された透明基板１と、レンズホルダ２とが貼り合わされた構造を有している。透明基板１はウェハ１Ａの切断片に相当し、またレンズホルダ２はウェハ２Ａの切断片に相当する。この切断品Ａ’に対しては、たとえば図２に示した傾斜面１９を形成するために、図６の仮想線Ｌ１で示す箇所に面取処理を施したり、あるいはコイル４の引き出し部４０に導通する電極を絶縁保護膜５の一側面に形成するといった処理を行なう。
【００３４】
切断品Ａ’のレンズホルダ２には、第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂを組み付ける。第２のレンズ３Ｂについては、この第２のレンズ３Ｂを貫通孔２０内に投入してから、透明基板１の上面１ｂに接着する。第１のレンズ３Ａの組み付けは、第２のレンズ３Ｂの組み付けが終了した後に、鏡筒３９をレンズホルダ２上に載置して接着することにより行なう。第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂの組み付けに際しては、光学的手段を用いてそれらレンズの中心を確認しつつ、コイル４の中心に対する位置合わせを行なう。また、第１のレンズ３Ａの組み付け時には、この第１のレンズ３Ａと第２のレンズ３Ｂとの間の距離も、フォーカスが合うように正確に規定する。
【００３５】
上記した一連の工程により、図１および図２を参照して説明した光学ヘッドＡが得られる。上記製造方法によれば、一組のウェハ１Ａ，２Ａから光学ヘッドＡを多数個取りすることができるために、生産性がよい。
【００３６】
次に、光学ヘッドＡの作用について説明する。
【００３７】
まず、光学ヘッドＡの基本的な機能については、既存の光学ヘッドと同様であり、光磁気ディスクＤが回転したときには、この光学ヘッドＡを光磁気ディスクＤの上方に微小間隔を隔てて浮上させることができる。レーザ光源から進行してくるレーザ光は、第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂによって２段階に集束されることにより、光磁気ディスクＤの記録層９９上にはビームスポットが形成される。このビームスポットが形成された箇所には、コイル４によって発生させた磁界を作用させることができるために、たとえば磁界変調方式によるデータ記録が可能である。
【００３８】
この光学ヘッドＡにおいては、第２のレンズ３Ｂの平面状のレンズ面が透明基板１の上面１ｂに接着されており、かつこの透明基板１の上面１ｂはレンズホルダ２の平面状の下面２ａに接着されているために、第２のレンズ３Ｂについては、レンズホルダ２の下面２ａに対して傾きの無い姿勢に設定することができる。したがって、第２のレンズ３Ｂの傾きに起因するコマ収差の発生を抑制し、光磁気ディスクＤの記録層９９上に形成されるビームスポットの径を微小にすることができる。また、第２のレンズ３Ｂの組み付けに際しては、その傾きを修正するための特別な作業を施す必要はない。したがって、第２のレンズ３Ｂの組み付け作業も容易である。さらに、第２のレンズ３Ｂのフランジ部３１と貫通孔２０との嵌合作用によって、第２のレンズ３Ｂと貫通孔２０との概略的な中心合わせを行なうこともできるために、第２のレンズ３Ｂの中心合わせ作業も容易となる。第２のレンズ３Ｂを貫通孔２０に投入するときには、フランジ部３１を利用して第２のレンズ３Ｂの保持を行なえばよいから、第２のレンズ３Ｂのレンズ面に損傷を与えるようなことなく、貫通孔２０への投入作業も適切に行なうことが可能である。
【００３９】
第１のレンズ３Ａについては、鏡筒３９がレンズホルダ２の上面２ｂに接着された取り付け構造となっているために、このレンズホルダ２の上面２ｂがレンズホルダ２の下面２ａと平行であれば、この第１のレンズ３Ａについても、レンズホルダ２の下面２ａに対して傾きを生じないように取り付けることが可能となる。したがって、この第１のレンズ３Ａの傾きに起因するコマ収差の発生も抑制することができるとともに、第１のレンズ３Ａの組み付け作業も容易化される。第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂ間の距離については、レンズホルダ２の厚みによって規定することが可能である。したがって、レンズホルダ２の厚みを所定の正確な厚みにしておくことにより、第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂ間の距離を所定の正確な値に設定することも容易に行なうことができる。
【００４０】
本願発明は、上述した実施形態の内容に限定されない。本願発明に係る光学ヘッドの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。同様に、本願発明に係る光学ヘッドの製造方法の各作業工程の具体的な構成も、種々に変更自在である。
【００４１】
たとえば、半導体レーザの発振波長は、温度が変化するとシフトする。レーザ光の波長に変化が生じると、対物レンズの屈折率も変化するため、ジャストフォーカスが困難となる虞れがある。このようなことに対処するため、本願発明においては、対物レンズを、たとえば集束レンズと発散レンズとが組み合わされた色消しレンズとして構成することも可能である。対物レンズは、本願発明でいう第１および第２のレンズに加えて、これら以外のレンズ（第３のレンズ）を備えたものとして構成されていてもかまわない。また、レンズとしては、レンズ面にホログラム（回折格子）を設けたものを用いることもできる。このような手段によっても、レーザ光の波長の変化に対処することが可能である。
【００４２】
本願発明に係る光学ヘッドの具体的な使用形態も限定されない。たとえば、光磁気ディスクが、透明な基板の両面に記録層を設けたものである場合には、図７に示すように、光磁気ディスクＤを挟んで一対の光学ヘッドＤを互いに対向させ、かつその対向状態が維持されるようにそれらの移動を制御するといった手段を用いることもできる。光学ヘッドを光磁気ディスクの片面上のみにおいて浮上させた場合には、光磁気ディスクが負荷を受けて反りを生じる虞れがある。これに対し、上記したように、一対の光学ヘッドＡを光磁気ディスクＤを挟んで対向させれば、負荷のバランスをとることにより、光磁気ディスクＤの反りを抑制することが可能となる。したがって、光磁気ディスクの反りに起因する収差を少なくし、光学ヘッドの浮上安定性を向上させることもできる。
【００４３】
光学ヘッドの製造に際しては、上述した実施形態のように、ウェハ１Ａ，２Ａを切断することにより複数の切断品Ａ’を製造した後に、これら複数の切断品Ａ’に第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂを組み付けるようにすると、第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂが切断作業時にダメージを受けるといった虞れがない。ただし、本願発明においては、このような手順に代えて、たとえばウェハ１Ａ，２Ａを切断する以前の段階において、ウェハ１Ａ，２Ａに第１および第２のレンズ３Ａ，３Ｂを組み付ける作業を行い、かつこの組み付け作業を終えてからウェハ１Ａ，２Ａを切断するようにしてもかまわない。
【００４４】
〔付記１〕  厚み方向に貫通した貫通孔を有しており、かつ光記録媒体に対向する位置に配されるレンズホルダと、
このレンズホルダに対し、その平坦な上面に対して接続された鏡筒内に支持された恰好で保持された第１のレンズと、
この第１のレンズよりも上記光記録媒体に接近するように上記レンズホルダの貫通孔内に配されており、かつ上記第１のレンズを透過した光ビームを集束させる第２のレンズと、
磁界発生用のコイルと、
を備えた光学ヘッドであって、
上記コイルおよび上記コイルを覆う透明な絶縁保護膜が片面に形成された透明基板を備えているとともに、
この透明基板の上記片面とは反対の面には、上記第２のレンズが接着されており、かつ、
上記透明基板は、これに接着された上記第２のレンズが上記レンズホルダの上記貫通孔内に収容されるようにして、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面の全面に対して重ね合わされて接着されていることを特徴とする、光学ヘッド。
〔付記２〕  上記第２のレンズは、平凸レンズであり、かつこの第２のレンズの平面状のレンズ面が上記透明基板に面接触している、付記１に記載の光学ヘッド。
〔付記３〕  上記第２のレンズの外周縁には、上記レンズホルダの貫通孔に嵌合するフランジ部が形成されている、付記１または２に記載の光学ヘッド。
〔付記４〕  上記第１のレンズは、上記レンズホルダの上記光記録媒体に対向する片面とは反対の面上に取り付けられている、付記３に記載の光学ヘッド。
〔付記５〕  上記レンズホルダは、非導電性部材からなる、付記１ないし４のいずれかに記載の光学ヘッド。
〔付記６〕  上記第２のレンズと上記透明基板とは、屈折率が同一または略同一である、付記１ないし５のいずれかに記載の光学ヘッド。
〔付記７〕  上記第１および第２のレンズは、色消しレンズとして構成されている、付記１ないし６のいずれかに記載の光学ヘッド。
〔付記８〕  上記第２のレンズの厚みは、上記透明基板の厚み分だけ薄くされている、請求項１ないし７のいずれかに記載の光学ヘッド。
〔付記９〕  上記レンズホルダがバネ性を有するサスペンションに支持されていることにより、上記光記録媒体の回転時にこの光記録媒体から浮上するスライダとして構成されている、付記１ないし８のいずれかに記載の光学ヘッド。
〔付記１０〕  付記９に記載の光学ヘッドを一対で有しており、かつこれら一対の光学ヘッドは、光ディスクを挟んで互いに対向していることを特徴とする、光ディスク装置。
〔付記１１〕  上記一対の光学ヘッドは、上記光ディスクに同等または略同等の負荷がかかるように構成されている、付記１０に記載の光ディスク装置。
〔付記１２〕  透明な第１の集合基板の片面に、磁界発生用の複数のコイルおよびこれら複数のコイルを覆う透明な絶縁保護膜を形成する工程と、
厚み方向に貫通した複数の貫通孔を有する第２の集合基板を作製する工程と、
上記第１および第２の集合基板を重ね合わせて接着する工程と、
上記第１および第２の集合基板を切断することにより、上記各貫通孔を備えた上記第２の集合基板の切断片としてのレンズホルダと、このレンズホルダの片面に接着され、かつ
上記各コイルを備えた上記第１の集合基板の切断片としての透明基板とを備えた複数の切断品を作製する切断工程と、
上記切断工程の後または前において、上記レンズホルダに対して第１レンズを組み付け、上記第２の集合基板に対して第２のレンズを接着する工程と、
を有しており、かつ、
上記第１および第２のレンズのうち、光記録媒体寄りに配される第２のレンズについては、上記貫通孔内に収容することにより上記透明基板に接着させる一方、光記録媒体に対して遠位に位置する上記第１レンズについては、これを保持した鏡筒を上記レンズホルダの上面の平坦面に接続することにより組み付けることを特徴とする、光学ヘッドの製造方法。
〔付記１３〕  上記第１の集合基板の片面に上記複数のコイルおよび上記絶縁保護膜を形成した後であって、上記第１および第２の集合基板を重ね合わせる前に、上記第１の集合基板の厚みを薄くする加工工程をさらに有している、付記１２に記載の光学ヘッドの製造方法。
【００４５】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本願発明に係る光学ヘッドによれば、対物レンズの傾きに起因するコマ収差の発生を抑制することが可能であり、光記録媒体に対するデータの記録・再生を高密度で行なうのに好適となる。また、本願発明に係る光学ヘッドの製造方法によれば、上記したような光学ヘッドを効率良く、かつ適切に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係る光学ヘッドの一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１のII−II断面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、図１に示された光学ヘッドの製造工程の一部を示す斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ１），（ｃ）は、図１に示された光学ヘッドの製造工程の一部を示す斜視図であり、（ｂ２）は、（ｂ１）のIV−IV断面図である。
【図５】図１に示された光学ヘッドの製造工程の一部を示す斜視図である。
【図６】図１に示された光学ヘッドの製造工程の一部を示す断面図である。
【図７】本願発明の他の実施形態を示す説明図である。
【符号の説明】
Ａ  光学ヘッド
光磁気ディスク（光記録媒体）
１  透明基板
１Ａ  ウェハ（第１の集合基板）
２  レンズホルダ
２Ａ  ウェハ（第２の集合基板）
３Ａ  第１のレンズ
３Ｂ  第２のレンズ
４  コイル
５  絶縁保護膜
２０  貫通孔
３０  フランジ部
３１  フランジ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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