(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置において、
回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、
この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置された研磨装置本体部と、を有し、
この研磨装置本体は、この研磨装置本体部の下方側に設けられ上記治具を保持する治具保持部と、
上記治具の長手方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそれぞれ付加する荷重付加手段と、を有し、
上記荷重付加手段は、上記治具を所定形状に変形させるために、上記荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加することを特徴とする磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項２】
上記荷重付加手段は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直方向の荷重を付加する垂直方向荷重付加手段を有する請求項１記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項３】
上記荷重付加手段は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平方向の荷重を付加する水平方向荷重付加手段を有する請求項１又は請求項２に記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項４】
上記荷重付加手段は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転方向の荷重を付加する回転方向荷重付加手段を有する請求項１乃至３の何れか１項に記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項５】
上記治具保持手段は、上記治具をその長手方向のほぼ中央で保持するようにしている請求項１記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項６】
上記研磨装置本体部は、研磨装置本体部を上記研磨面に平行な傾動軸を中心として傾動可能に保持する傾動手段を有する請求項１記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項７】
更に、上記研磨装置本体部を揺動可能に保持する揺動手段を有する請求項１記載の磁気ヘッドの研磨装置。
【請求項８】
治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨方法において、
回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置されると共にその下方側に上記治具を保持する治具保持部を有する研磨装置本体部を準備する工程と、
上記治具保持部にその長手方向に沿って複数の荷重付加部を備えた治具を取り付ける工程と、
上記治具を所定形状に変形させるために上記荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加させながら、上記被研磨物の複数の磁気ヘッドを研磨する工程と、
を有することを特徴とする磁気ヘッドの研磨方法。
【請求項９】
上記研磨工程は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直方向の荷重を付加する垂直方向荷重付加工程を有する請求項８記載の磁気ヘッドの研磨方法。
【請求項１０】
上記研磨工程は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平方向の荷重を付加する水平方向荷重付加工程を有する請求項８又は請求項９に記載の磁気ヘッドの研磨方法。
【請求項１１】
上記研磨手段は、上記治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転方向の荷重を付加する回転方向荷重付加工程を有する請求項８乃至１０の何れか１項に記載の磁気ヘッドの研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電算機のディスクドライブ装置に用いる薄膜磁気ヘッドのバッチ式製造過程において、セラミックバー（個々に切り離されてスライダとなる）に多数個の磁性薄膜を含む変換部を１列に配置した被研磨物を研磨することで、変換部のギャップのスロートハイトをデータ信号の読み書きに最適な値に設定することが行われている。
薄膜磁気ヘッドのスロートハイトを研磨工程で適切な値とする場合に、被研磨物であるセラミックバーが歪んでいたり、セラミックバーに望ましくない湾曲が存在することが問題となっている。つまり、セラミックバーに歪や湾曲があると、研磨装置の回転研磨用テーブルでセラミックバーが均一に研磨されないため、例えばセラミックバー中央部の薄膜磁気ヘッドのスロートハイトは適性値であっても、両端部の薄膜磁気ヘッドのスロートハイトは過大又は過小となって不良となる可能性がある。
【０００３】
このため、米国特許第５６２０３５６号に示された磁気ヘッド研磨装置では、セラミックバーを板状の横長治具の底面に貼り付け、セラミックバーに多数配列された薄膜磁気ヘッドのスロートハイトにより変化する抵抗値を測定しながら、セラミックバーの曲がりを修正して研磨することで、セラミックバー上に形成された各々の薄膜磁気ヘッドのスロートハイトを適性値に設定することが提案されている。
【０００４】
この米国特許に開示された従来の研磨装置では、スロートハイトにより変化する抵抗値により求められた研磨量に応じて、セラミックバーが貼り付けられた横長治具の長手方向の３個所に上下方向に荷重を作用させて、セラミックバーの曲りを修正するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、今後ますますスロートハイトの高精度化が要求されることになるが、この米国特許の研磨装置では、横長治具の長手方向の３箇所に対して荷重を上下方向に作用させているため、セラミックバーを４次曲線に近似されるような形状にしか変形させることができない。このため、修正可能なスロートハイトのパターンも４次以下の低次数の曲線に近似されるような形状に限られる。
これに対し、実際の研磨後のセラミックバーにおける磁気ヘッドのスロートハイトの値は、磁気ヘッドのスロートハイトの値の分布は、例えば６次以上の高次曲線に近似されるような、より複雑なパターンを呈している。そのため、従来の研磨装置では、この高次曲線に近似されるようなスロートハイトの分布パターンに対応できない部分では、スロートハイトの修正は十分に行われないという問題がある。
【０００６】
図２８は、従来の研磨装置を使用し、スロートハイトの制御を自動的に行いながら、例えは約５０mmの長さのセラミックバーの研磨を行ったときの、最終的なスロートハイトの分布の一例を表したものである。この図２８において、実線はスロートハイトの分布の６次曲線を表し、破線はスロートハイトの分布の４次曲線を表している。この図２８から明らかなように、この例では、最終的なスロートハイトの分布は、６次曲線に近似される。
このように、研磨前のセラミックバーにおけるスロートハイトの実際の分布パターンは、６次以上の次数の曲線に近似されるものであるのに対し、上述した従来の研磨装置では、修正可能なスロートハイトの分布パターンは４次以下の曲線に近似されるものに限られる。そのため、図２８に示すように、研磨後のスロートハイトの分布パターンでは、高次成分が修正されないまま残ってしまう。
このように、従来の研磨装置では、磁気ヘッドのスロートハイトの高精度化が要求される場合には、十分な修正を行なうことができないという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、上記の従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、被研磨物の歪み及び湾曲をより精度良く修正することが出来るできる磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法を提供することを目的としている。
また、本発明は、被研磨物の歪み及び湾曲の分布パターンに応じて精度良く修正することができる磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明は、治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨装置において、回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置された研磨装置本体部と、を有し、この研磨装置本体は、この研磨装置本体部の下方側に設けられ治具を保持する治具保持部と、治具の長手方向に沿って設けられた複数の荷重付加部に所定の荷重をそれぞれ付加する荷重付加手段と、を有し、荷重付加手段は、治具を所定形状に変形させるために、荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加することを特徴としている。
【０００９】
このように構成された本発明においては、荷重付加手段により、荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加して、治具を所定形状に変形させるようにしているため、例えば、研磨前において、被研磨物の各磁気ヘッドのスロートハイトの値の分布が高次の曲線に近似されるような複雑なパターンとなっていても、そのパターンに忠実に対応するように治具を変形させることができ、そのため、被研磨物の歪みや湾曲を非常に精度良く修正することが出来る。
【００１０】
本発明において、荷重付加手段は、治具の少なくとも一つの荷重付加部に垂直方向の荷重を付加する垂直方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、荷重付加手段は、治具の少なくとも一つの荷重付加部に水平方向の荷重を付加する水平方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、荷重付加手段は、治具の少なくとも一つの荷重付加部に回転方向の荷重を付加する回転方向荷重付加手段を有することが好ましい。
本発明において、治具保持手段は、治具をその長手方向のほぼ中央で保持するようにしていることが好ましい。
本発明において、研磨装置本体部は、研磨装置本体部を研磨面に平行な傾動軸を中心として傾動可能に保持する傾動手段を有することが好ましい。
本発明は、更に、研磨装置本体部を揺動可能に保持する揺動手段を有することが好ましい。
【００１１】
また、本発明は、治具により保持され磁気ヘッドが複数配列された被研磨物を研磨する磁気ヘッドの研磨方法において、回転駆動される研磨面を有する回転研磨用テーブルと、この回転研磨用テーブルの研磨面に対して移動可能に配置されると共にその下方側に上記治具を保持する治具保持部を有する研磨装置本体部を準備する工程と、治具保持部にその長手方向に沿って複数の荷重付加部を備えた治具を取り付ける工程と、治具を所定形状に変形させるために荷重付加部の内の少なくとも一つに複数の異なる方向から荷重を付加させながら、被研磨物の複数の磁気ヘッドを研磨する工程と、を有することを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
先ず、図１乃至図８を参照して本発明の第１実施形態を説明する。図１は、本発明の磁気ヘッドの研磨装置の第１実施形態を示す全体斜視図である。研磨装置１は、テーブル１０と、このテーブル１０上に設けられた回転研磨用テーブル１１と、この回転研磨用テーブル１１の側方において、テーブル１０上に設けられた支柱１２と、この支柱１２に対してアーム１３を介して取り付けられた研磨装置本体部２０とを備えている。回転研磨用テーブル１１は、バーに当接する研磨面１１ａを有している。
【００１３】
研磨装置本体部２０は、アーム１３に連結された支持部２７と、この支持部２７の前方に配設されたベース部材２２と、このベース部材２２の前面に配設された治具保持部２３と、この治具保持部２３の前方位置に等間隔に配設された３本の荷重付加棒２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃとを備えている。支持部２７、ベース部材２２および荷重付加棒２５Ａ、２５Ｂ、２５Ｃの上部は、カバー２１によって覆われている。ベース部材２２は、図示しないアームを介して、支持部２７内に設けられたアクチュエータに連結されており、アクチュエータを駆動することにより、上下動可能となっている。横長の治具５０は、治具保持部２３に固定されるようになっている。
【００１４】
図２は図１における治具保持部２３の近傍を示す斜視図、図３は治具保持部２３に治具を固定した状態を示す正面図、図４は図３のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
治具保持部２３は、保持部本体３１と、この保持部本体３１の前面の下端部近傍における左右方向の中央部に、前方に突出するように設けられた治具固定用ピン３２と、保持部本体３１の前面の下端部近傍における左右方向の端部近傍に、前方に突出するように設けられた回転防止用部材としてのガイドピン３３，３３とを有している。ガイドピン３３，３３は、大部分が円柱形状に形成され、先端部分は、先端側ほど径が小さくなるように形成されている。治具固定用ピン３２には、先端側より、雌ねじが形成されている。そして、この治具固定用ピン３２に、固定具としてのボルト４０によって、治具５０が固定されるようになっている。
【００１５】
荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃの下端部には、直方体形状の荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃが固定されている。荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの下端部近傍には、後述する荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃが回転自在に挿通される軸受３７が設けられている。また、荷重付加ブロック３５Ｂには、治具固定用ピン３２に対応する位置に、荷重付加ブロック３５Ｂが上下方向および左右方向に所定の距離だけ移動可能なように治具固定用ピン３２が挿通される孔３８が形成されている。
荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃは、それぞれ、荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの軸受３７を通って、先端側が荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの前端面より突出している。荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃの先端部には、それぞれ、直方体形状の頭部３９Ａ，３９Ｂ，３９Ｃが形成されている。荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃの後端部は、保持部本体３１と荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃとの間に配置されたレバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃの一端部に接合されている。レバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃの他端部は、レバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃを揺動させるためのシャフト４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの下端部に、回動可能に連結されている。
【００１６】
荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの上方の位置には、荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを上下動可能および回転可能に支持する支持部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃが設けられている。これらの支持部材４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃの後端部には、駆動棒４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃの先端部が接合されている。これらの駆動棒４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃは、保持部本体３１に設けられた軸受４５Ａ，４５Ｂ，４５Ｃを通って、後端側がベース部材２２に導かれている。
荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、それそれ、ベース部材２２内に設けられた図示しないアクチュエータによって上下方向に駆動されるようになっている。また、駆動棒４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃは、それぞれ、ベース部材２２内に設けられた図示しない他のアクチュエータによって、回転方向に駆動されるようになっている。また、シャフト４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃは、ベース部材２２内に設けられた図示しない更に他のアクチュエータによって上下方向に駆動されるようになっている。
【００１７】
次に、図５を参照して、本実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に使用される治具５０を説明する。図５は治具５０を示す正面図であり、横長の板状となっている。この治具５０は、図１に示す研磨装置１に固定される本体部５１と、被研磨物としてのバーを保持するための１方向に長い保持部５２と、保持部５２と本体部５１とを連結する４本の連結部５３Ａ〜５３Ｄと、保持部５２に連結され、保持部５２を変形させるための荷重が付加される３つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと、荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと保持部５２とを連結する腕部５５Ａ〜５５Ｃとを備えている。
本体部５１には、長手方向の中央で且つ上下方向の中央よりも上側の位置に、本体部５１を研磨装置１の治具固定用ピン３２に対して固定するためのボルト４０が挿通される固定部としての固定用孔５６が形成されている。また、本体部５１には、ガイドピン３３，３３が係合する係合部５７，５７が形成されている。係合部５７，５７は、研磨装置１の治具固定用ピン３２と治具５０の固定用孔５６との位置を合わせたときにガイドピン３３，３３に対応する位置に形成されている。
保持部５２は、外力が加えられることによってたわむ細長い梁構造になっている。保持部５２の下端部には、バーが固定されるバー固定部５８が設けられている。バー固定部５８には、バーを切断する際に、バー切断用のブレードが入り込む複数の溝が形成されている。
【００１８】
ここで、図５に示したように、治具５０の長手方向（左右方向、水平方向）をＸ方向とし、治具５０の長手方向に直交し、且つ治具５０の前面および背面に平行な方向（上下方向、垂直方向）をＹ方向とする。まだ、Ｘ方向およびＹ方向に直交する軸を中心にして回転する方向をθ方向とする。
両側の２つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｃは、それぞれ、直交するＸ方向およびＹ方向と、θ方向の３方向の自由度を持つ。すなわち、荷重付加部５４Ａ，５４Ｃは、本体部５１を基準にして、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の３方向に移動可能である。中央の荷重付加部５４Ｂは、Ｙ方向のみの１方向の自由度を持つ。すなわち、荷重付加部５４Ｂは、本体部５１を基準にして、Ｙ方向にのみ移動可能である。
３方向の自由度を持つ荷重付加部５４Ａ，５４Ｃは、３方向の荷重を受けることの可能な断面が円形以外の形状をなす孔を有している。また、荷重付加部５４Ｂも、荷重付加部５４Ａ，５４Ｃと同様の形状の孔を有している。
【００１９】
両側の２つの腕部５５Ａ，５５Ｃは、荷重付加部５４Ａ，５４Ｃの中心が、この荷重付加部５４Ａ，５４Ｃの変位によって保持部５２が回転方向に変形されるときの回転の中心５９Ａ，５９Ｂに対して、保持部５２の長手方向の外側にずれた位置に配置されるように、荷重付加部５４Ａ，５４Ｃと保持部５２とを連結している。すなわち、腕部５５Ａ，５５Ｃは、回転の中心５９Ａ，５９Ｂに対して、保持部５２の長手方向の外側にオーバーハングした（張り出した）構造になっている。また、中央の腕部５５Ｂは、他の腕部５５Ａ、５５Ｃに比べて、Ｙ方向の長さが短く、保持部５２の長手方向の中央部と荷重付加部４５Ｂとを、オーバーハングせずに連結している。
【００２０】
また、治具５０において、係合部５７、５７は、本体部５１における端部連結部５３Ａ，５３Ｄの上側の部分を、治具５０の長手方向の内側に向けて開口するように切り欠いて形成されている。この係合部５７，５７は、それぞれ、治具５０の長手方向に平行な２つの面を有している。この２つの面の距離は、ガイドピン３３，３３の直径よりわずかに大きくなっている。係合部５７，５７には、ガイドピン３３，３３が、上下方向に適度のクリアランスを持って挿入されるようになっていて、係合部５７，５７は、前述の平行な２つの面によって、固定用孔５６を中心とする回転方向については、ガイドピン３３，３３に対する本体部５１の位置変動を制限し、固定用孔５６を中心とする回転方向に交差する方向については、ガイドピン３３，３３に対する本体部５１の位置変動を所定量だけ許容するようになっている。
【００２１】
次に、図３および図４を参照して、治具５０の研磨装置１への固定方法を説明する。まず、治具５０のバー固定部５８に対して、バー７０の媒体対向面が表側（下側）となるように、バー７０が接着等により固定される。治具５０は、荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃの前方に配置される。このとき、ガイドピン３３，３３が、治具５０の係合部５７，５７に係合され、荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃの頭部３９Ａ，３９Ｂ，３９Ｃが、それぞれ荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに挿入される。また、治具５０の固定用孔５６と研磨装置１の治具固定用ピン３２との位置が合うように、治具５０の位置が調整される。この状態で、治具５０の前面側より、ワッシャ４９を介して、固定用孔５６内にボルト４０を挿入し、このボルト４０を治具固定用ピン３２の雌ねじに螺合させる。これにより、ワッシャ４９を介して、ボルト４０の座面と治具固定用ピン３２の先端面とによって治具５０が挟持されて、治具５０が治具固定用ピン３２に固定される。
【００２２】
次に、図３及び図４により、治具５０が取り付けられた磁気ヘッドの研磨装置１によるバー７０の研磨方法を説明する。
バー７０を保持した治具５０が上述のように研磨装置１に固定されると、バー７０の被研磨面が回転研磨用テーブル１１の研磨面１１ａに当接するように配置される。この状態で、荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを上下方向に駆動すると、荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃが上下方向に移動し、これらの荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃを貫通する荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃが上下方向に移動し、頭部３９Ａ，３９Ｂ，３９Ｃも上下方向に移動する。これにより、治具５０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対して、Ｙ方向の荷重を付加することができる。
【００２３】
また、駆動棒４４Ａ，４４Ｃを回転方向に駆動すると、駆動棒４４Ａ，４４Ｃの軸を中心にして支持部材４３Ａ，４３Ｃが回転され、荷重付加棒２５Ａ，２５Ｃの下端側が、駆動棒４４Ａ，４４Ｃを中心とする回転方向に移動する。すると、荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃが、駆動棒４４Ａ，４４Ｃの軸を中心とする回転方向に移動する。ここで、駆動棒４４Ａ，４４Ｃから荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃまでの距離に比べて、荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃの回転方向の移動距離は極めて小さいので、駆動棒４４Ａ，４４Ｃの駆動に伴う荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃの移動は、略直線的な左右方向の移動となる。荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃが左右方向に移動すると、この荷重付加ブロック３５Ａ，３５Ｃを貫通する荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｃが左右方向に移動し、頭部３９Ａ，３９Ｃも左右方向に移動する。これにより、治具５０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｃに対して、Ｘ方向の荷重を付加することができる。
【００２４】
さらに、シャフト４２Ａ，４２Ｃを上下方向に駆動すると、レバー４１Ａ，４１Ｃが揺動され、このレバー４１Ａ，４１Ｃに連結された荷重付加ピン３６Ａ，３６Ｃが回転する。これにより、治具５０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｃに対して、荷重付加部５４Ａ，５４Ｃの中心を回転中心とするθ方向のモーメント荷重を付加することができる。
【００２５】
このようにして、治具５０の荷重付加部５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃに対して種々の異なる方向の荷重を付加することにより、保持部５２、バー固定部５８およびバー７０が変形される。これにより、バー７０内の磁気ヘッドのスロートハイトの値を目標とする値となるように制御しながら、バー７０の媒体対向面を研磨することが可能となる。
従って、本発明の第１実施形態による磁気ヘッドの研磨装置によれば、研磨前において、バー７０における各磁気ヘッドのスロートハイトの値の分布が、高次の曲線に近似されるような、複雑なパターンとなっていても、そのパターンに忠実に対応するように治具５０の保持部５２を変形させることができるため、バー７０の全長にわたって各磁気ヘッドのスロートハイトを精度よく許容範囲内に入れることが可能となる。
【００２６】
なお、上述した第１実施形態においては、図５に示す治具５０を使用するため、両側の２つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｃは、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の３方向に移動可能であり、中央の荷重付加部５４Ｂは、Ｙ方向にのみ移動可能となっている。この結果、第１実施形態では、図５に示す治具５０を使用する場合には、中央の荷重負荷部５４ＢにＸ方向の移動を与えるための駆動棒４４Ｂ及びθ方向の移動を与えるためのシャフト４２Ｂとレバー４１Ｂを使用しないことになるため、これらの駆動棒４４Ｂ、シャフト４２Ｂ及びレバー４１Ｂを設けないようにしても良い。
【００２７】
次に図６により第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の他の例を説明する。この治具７５は、図５に示す治具５０に比べて、上下方向の長さが長くなっている。また、治具７５では、中央の荷重付加部５４Ｂが、治具５０における荷重付加部５４Ｂの位置より上側に配置され、他の荷重付加部５４Ａ、５４Ｃと同様に本体部５１の上下方向の略中央の位置に配置されている。これに伴い、治具７５の腕部５５Ｂの長さは、治具５０における腕部５５Ｂの長さよりも長くなっている。
この治具７５では、３つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃが、全て、直交するＸ方向およびＹ方向と、θ方向の３方向の自由度を持つ。すなわち、荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃは、本体部５１を基準にして、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の３方向に移動可能である。
【００２８】
この治具７５を図１乃至図４に示す研磨装置１に取り付けた場合、駆動棒４４Ｂを回転方向に駆動すると、駆動棒４４Ｂを中心にして支持部材４３Ｂが回転され、荷重付加棒２５Ｂの下端側が、駆動棒４４Ｂを中心とする回転方向に移動する。すると、荷重付加ブロック３５Ｂが、駆動棒４４Ｂを中心とする回転方向に移動する。これにより、荷重付加ブロック３５Ｂを貫通する荷重付加ピン３６Ｂが左右方向に移動し、頭部３９Ｂも左右方向に移動する。これにより、治具７５の荷重付加部５４Ｂに対して、Ｘ方向の荷重を付加することができる。
また、シャフト４２Ｂを上下方向に駆動すると、レバー４１Ｂが揺動され、このレバー４１Ｂに連結された荷重付加ピン３６Ｂが回転する。これにより、治具１２０の荷重付加部５４Ｂに対して、荷重付加部５４Ｂの中心を回転中心とするθ方向のモーメント荷重を付加することができる。
この治具７５を用いた場合には、第１実施形態の研磨装置１によれば、３つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃに付加される複数の方向の荷重を組み合わせることにより、保持部５２を、図５に示す治具５０に比べてより複雑な形状、具体的には、８次以上の高次の曲線に近似されるような複雑な形状に変形させることができる。
【００２９】
次に図７により第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の更なる他の例を説明する。この治具８０は、図５に示す治具５０において、荷重付加部５４Ｂおよび腕部５５Ｂを除き、中間連結部５３Ｂ、５３Ｃを中央寄りの位置に移動させたものである。また、治具８０における保持部５２は、中間連結部５３Ｂ、５３Ｃ間では、中間連結部５３Ｂ、５３Ｃの近傍で最も薄く、中間連結部５３Ｂ、５３Ｃ間の中央に行くほど厚くなって、曲げ剛性が高くなっている。
この治具８０を図１乃至図４に示す研磨装置１に取り付けた場合、２つの荷重付加部５４Ａ、５４Ｃに付加される複数の方向の荷重を組み合わせることにより、保持部５２を、複雑な形状に変形させることができる。
なお、第１実施形態においては、図７に示す治具８０を使用する場合、両側の２つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｃのみが、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の３方向に移動可能となっている。この結果、第１実施形態では、図６に示す治具８０を使用する場合には、中央の荷重負荷部５４ＢにＸ方向の移動を与えるための駆動棒４４Ｂ、Ｙ方向の移動を与えるための荷重負荷棒２５Ｂ及びθ方向の移動を与えるためのシャフト４２Ｂとレバー４１Ｂを使用しないことになるため、これらの駆動棒４４Ｂ、荷重負荷棒２５Ｂ、シャフト４２Ｂ及びレバー４１Ｂを設けないようにしても良い。
【００３０】
次に図８により第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の更なる他の例を説明する。この治具８５は、図６に示す治具７５における断面が矩形の孔を有する荷重付加部５４Ａ、５４Ｂ、５４Ｃの代わりに、Ｘ方向とＹ方向の２方向の荷重を受けることの可能な、断面が円形の孔を有し、Ｘ方向とＹ方向の２方向の自由度を持つ荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，２５４Ｃを設けたものである。
この治具８５を図１乃至図４に示す研磨装置１に取り付けた場合、３つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに付加される複数の方向の荷重を組み合わせることにより、保持部５２を、複雑な形状に変形させることができる。
なお、第１実施形態においては、図８に示す治具８５を使用する場合、３つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃにおいて、Ｘ方向及びＹ方向のみに移動可能となっている。この結果、第１実施形態では、図８に示す治具８５を使用する場合には、３つの荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃθ方向の移動を与えるためのシャフト４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ及びレバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｂを使用しないことになるため、これらのシャフト４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ及びレバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｂを設けないようにしても良い。
【００３１】
次に図９乃至図２７を参照して本発明の第２実施形態を説明する。この実施形態においても、上記の第１実施形態と同様に、３つの荷重付加部が、全て、直交するＸ方向（水平方向）およびＹ方向（垂直方向）と、θ方向（回転方向）の３方向の自由度を持ち、Ｘ方向、Ｙ方向およびθ方向の３方向に移動可能となっている。
図９は本発明の第２実施形態の磁気ヘッドの研磨装置を示す全体正面図であり、図１０は図９の平面図である。これらの図９及び図１０により、第２実施形態に係る磁気ヘッドの研磨装置の全体構成を説明する。磁気ヘッドの研磨装置は、基台１０１を備え、この基台１０１には、回転研磨用テーブル１０２が水平面内で回転可能に支持され、さらに、この回転研磨用テーブル１０２は基台１０１内に設けられた回転駆動源である定盤駆動用モータ１０４でベルト１０６を介して回転駆動される。
【００３２】
また、上下方向に離間した１対のガイドレール１０８が水平方向に延びるように基台１０１の上方で支持され、さらに、１対のガイドレール１０８により水平方向に摺動自在に案内される横移動スライダ１１０が設けられている。この横移動スライダ１１０には研磨ヘッド取付用フレーム１１２が昇降自在に取り付けられている（高さ調整自在に昇降駆動されるようになっている）。横移動スライダ１１０の駆動は、例えばガイドレール１０８に平行なボール螺子軸にスライダ１１０側のボール螺子ナットを螺合し、ボール螺子軸をモータで回転駆動することで実行することができ、さらに、スライダ１１０及び研磨ヘッド取付用フレーム１１２は往復直線運動を行うことができる。
【００３３】
図１１及び図１２に示すように、研磨ヘッド取付用フレーム１１２の内側には円環状軸受１１４を介して回転支持部１１６が回転自在に支持され、この回転支持部１１６には、板ばね、ゴム等の弾性部材１１８を介在させて研磨ヘッド20が取り付けられている。なお、本実施形態においては、弾性部材１１８の代わりに剛体部材を使用してもよい。また、研磨ヘッド１２０は、底板１２２とこの上に平行に立設固定された垂直支持板１２４とを有し、さらに、研磨ヘッド１２０の底板１２２の底面にはアジャストリング１２６が固着されている。アジャストリング１２６は回転研磨用テーブル１０２の上面である研磨面１０２ａに接触するようになっている。
なお、第２実施形態においては、必要に応じて、このアジャストリング１２６を設けないようにしても良い。
【００３４】
図１０及び図１１に示すように、回転支持部１１６にはベルト車（プーリー）１２８が固着され、研磨ヘッド取付用フレーム１１２の外側には、ベルト車（プーリー）１３０を回転駆動する研磨ヘッド揺動用モータ１３２が取り付けられている。ベルト車１２８，１３０間にはベルト１３４が巻掛けられている。モータ１３２、ベルト車１２８，１３０及びベルト１３４は、研磨ヘッド１２０及びアジャストリング１２６に所定角度範囲の往復回転運動（揺動運動）を行わせる揺動手段として機能する。
【００３５】
図１３はアジャストリングの底面図である。図１３に示すように、アジャストリング１２６は、例えばアルミニウム製リング本体１３６に多数の耐磨耗性セラミックの円柱状ダミー１３８を埋設したもので、円柱状ダミー１３８の下端面がリング本体１３６から僅かに突出している。ここで、アジャストリング１２６上に載置される研磨ヘッド１２０の重量バランスに合わせて円柱状ダミー１３８の個数を設定している。図１３に示すアジャストリング１２６の場合、回転研磨用テーブル１０２に対接するアジャストリング１２６の円弧状部分４０，４２のうち、円弧状部分１４０の方が研磨ヘッド１２０の荷重を多く受けるため、円柱状ダミー１３８の個数が多くなっている。
【００３６】
次に、図１４乃至図２７により第２実施形態の研磨装置本体の細部を説明する。図１４は本発明の第２実施形態の研磨装置本体部を示す正面図、図１５は図１４の側面部分断面図、図１６は図１４の平面図、図１７は傾動機構のみを取出して示す側面図、図１８はバランス荷重駆動機構のみを取出して示す側面図、図１９はＸ方向駆動機構のみを取出して示す正面図、図２０は図１９の部分側面図、図２１は図１９のＢ−Ｂ線に沿って見た側面断面図、図２２はＹ方向駆動機構のみを取出して示す正面図、図２３は図２２のＣ−Ｃ線に沿って見た側面断面図、図２４はθ方向駆動機構のみを取出して示す正面図、図２５は図２４の側面部分断面図、図２６は図２５のＤ−Ｄ線に沿って見た平面断面図、図２７は第２実施形態における被研磨物のテーパ加工を説明するための被研磨物の側面断面図である。
第２実施形態の研磨装置の研磨装置本体部３００は、傾動機構３０２、バランス荷重駆動機構３０４、Ｘ方向駆動機構３０６、Ｙ方向駆動機構３０８及びθ方向駆動機構３１０を含むように構成されている。
【００３７】
まず、図１５及び図１７を主に参照して、傾動機構３０２を説明する。研磨ヘッド１２０の垂直支持板１２４の間には、アジャストリング１２６の下面（つまり回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａ）に平行な傾動軸１４４が設けられており、この傾動軸１４４にこの傾動軸１４４を中心として研磨ヘッド１２０に対して傾動可能に傾動部１４６が枢着されている。研磨ヘッド１２０の垂直支持板１２４には、モータ取付用台座部１４８の下部が支点軸１５０で回転自在に取り付けられており、さらに、モータ取付台座部１４８の上部に傾動用モータ１５２が固定されている。モータ１５２の回転駆動軸にはボール螺子軸１５４が連結され、このボール螺子軸１５４にボール螺子ナット１５６が螺合している。ボール螺子ナット１５６には、支点軸１６０で、傾動部１４６にその一端が固定されたのアーム１５８の他端が連結されている。これらの支点軸１５０乃至支点軸１６０までの機構は、傾動部１４６をそれが回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに対し垂直面となった状態から所定角度だけ傾斜させる傾動手段を構成している。
【００３８】
傾動部１４６には、直線ガイド１６２を介してスライダ１６４が傾動部１４６に対して昇降可能に取り付けられている。ここで、スライダ１６４の傾斜方向の動きは傾動部１４６と一体的に行われるため、傾動部１４６とスライダ１６４とは常に平行状態が保たれている。このスライダ１６４の下端部には、回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに平行で傾動軸１４４に直交する支点軸１６６でバックプレート１６８が枢着されている。
【００３９】
次に、図１４乃至図１６及び図１８を参照して、バランス荷重駆動機構３０４を説明する。傾動部１４６の上部には、バランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂが、ブラケット１７２を介して取り付けられている。これらのバランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂは、バックプレート１６８の支点軸１６６の左側及び右側をそれぞれ下方に押圧（加圧）すると共にバックプレート１６８に作用する荷重を制御するためのものである。バランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂは、フレーム１７４と、このフレーム１７４の内側に取り付けられ固定部を形成するコイル１７６と、中心部分に設けられ可動部を形成する磁石１７８と、この磁石１７８の中心に一体的に取り付けられたロッド１８０と構成されている。
【００４０】
バランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂのロッド80の下端には、断面Ｌ字形のスライダ１８２が、アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂのフレーム１７４に取り付けられた直線ガイド１８４に沿って昇降可能に設けられている。ここで、フレーム１７４の上部側と断面Ｌ字形のスライダ１８２とは、バネ部材１８６により接続され、このバネ部材１８６の付勢力により、可動部である磁石１７８の自重分をキャンセルするようになっている。これらのＬ字形のスライダ１８２の下端側と、バックプレート１６８の左側及び右側との間は、それぞれスペーサ１８７，１８９を介して連結用リンク１８８によりそれぞれ連結されている。左、右の連結用リンク１８８のバックプレート１６８への枢着点はＬ，Ｒである。このように、バランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂの可動部である磁石１７８の移動方向とバックプレート１６８に作用する押圧力の作用方向は、互いに平行な方向となっている。なお、スライダ１６４やバックプレート１６８等からなる昇降可能な部分の自重が十分大きい場合には、バランス用アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂによる押圧力をマイナス（引き上げ方向の力）とすることもある。
【００４１】
次に、図１４及び図１５により、治具の取付け構造を説明する。第２実施形態においても、第１実施形態で使用した治具５０（図５参照）、治具７５（図６参照）、治具８０（図７参照）、治具８５（図８参照）の何れもが適用可能である。ここでは、治具５０（図５参照）を適用した場合を説明する。バックプレート１６８の下部には一体的に長方形板状部１９０が形成されている。被研磨物であるバー７０をその底面に貼り付けた長方形板状の治具５０を取り付けるために、この長方形板状部１９０の前面の中央部には治具固定用ピン１９６（図１７参照）が、前面の左右端部の上方にはストッパーピン１９７Ａ，１９７Ｂ（図１４参照）が、前面の両端部には、ガイドピン１９８Ａ，１９８Ｂ（図１４参照）がそれぞれ長方形板状部１９０に一体的に設けられている。中央部の治具固定用ピン１９６の先端面には取付用ボルト２０２が螺着され、治具５０が脱落しないようにその１点でバックプレート１６８に保持されている。
【００４２】
左右端部のストッパーピン１９７Ａ，１９７Ｂ及び治具固定用ピン１９６は、後述する修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃを取り付ける際に取付け位置の基準となる。さらに、これらのストッパーピン１９７Ａ，１９７Ｂ及び治具固定用ピン１９６の径は、修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃに設けられた透孔２００Ａ，２００Ｂ，２００Ｃよりそれぞれ所定の長さだけ小さくなっている。このため、ストッパーピン１９７Ａ，１９７Ｂ及び治具固定用ピン１９６は、必要以上に修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃが昇降移動した場合にその動きを規制する機能も有する。さらに、ガイドピン１９８Ａ，１９８Ｂは、図１４に示すように、治具５０の曲げ修正に影響を与えないような長方形板状部１９０の両端部に設けられており、治具５０をＸＹ方向駆動用スライダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃを介して長方形板状部１９０に取り付ける際の位置決めを行なうためのものである。
【００４３】
図１４、図１５、図２５及び図２６に示すように、修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃの下端部近傍には、荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｂ，２２４Ｃが回転自在に挿通される軸受２２６が設けられている。荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｂ，２２４Ｃは、それぞれ、修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃの軸受２２６に回転可能の取り付けられ、修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃの先端側には、それぞれ、直方体形状の頭部２２８Ａ，２２８Ｂ，２２８Ｃが形成され、これらの頭部２２８Ａ，２２８Ｂ，２２８Ｃが、治具５０の荷重負付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃを構成する孔内に嵌合されている。
一方、荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｂ，２２４Ｃの後端部は、レバー２３０Ａ，２３０Ｂ，２３０Ｃの一端部に接合されている。レバー２３０Ａ，２３０Ｂ，２３０Ｃの他端部は、レバー２３０Ａ，２３０Ｂ，２３０Ｃを揺動させるためのθ方向用ホルダ２３２Ａ，２３２Ｂ，２３２Ｃの下端部に、ピン２３４を介して揺動可能に連結されている。
【００４４】
次に、図１９乃至図２１を参照して、Ｘ方向駆動機構３０６の具体的な構造を説明する。図１９乃至図２１は、荷重付加ピン２２４ＢにＸ方向に荷重を付加するための機構を代表的に示している。バックプレート１６８（図１５参照）の上側には、主ホルダ２３６が固定され、この主ホルダ２３６の上端部には、上部ホルダ２３８が固定されている。この上部ホルダ２３８には、上述の荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｂ，２２４ＣのそれぞれにＸ方向に荷重を付加するためのＸ方向駆動用アクチュエータ２４０Ａ，２４０Ｂ，２４０Ｃが取り付けられている。Ｘ方向駆動用アクチュエータ２４０Ｂの下端部には、ロッド２４２の上端部が連結され、このロッド２４２の下端部には、軸２４４を介して上下動可能に回転プレート２４６が接続されている。この回転プレート２４６は、主ホルダ２３６に軸受２４８を介して設けられた軸２５０を中心として回転可能となっている。この回転プレート２４６の正面側（図２１において左側）には、直線ガイド２５２が固定して設けられ、この直線ガイド２５２には、上述の修正用ホルダ２２２Ｂが上下方向にスライド可能に取り付けられている。この修正用ホルダ２２２Ｂの下端部近傍には、上述したように荷重付加ピン２２４Ｂが軸受２２６を介して回転自在に取り付けられている。
【００４５】
このＸ方向駆動機構３０６において、Ｘ方向駆動用アクチュエータ２４０Ｂが駆動し、ロッド２４２が下降（又は上昇）したとき、軸２４４が下降（又は上昇）し、それにより、回転プレート２２６は、図１９に示すように、軸２５０を中心にして、時計回り（又は反時計回り）に回動し、同時に修正用ホルダ２２２Ｂも回動し、その結果、荷重付加ピン２２４Ｂは、所定の距離だけ左方向（又は右方向）に移動する。
【００４６】
次に、図２２及び図２３を参照して、Ｙ方向駆動機構３０８の具体的な構造を説明する。これらの図２２及び図２３は、荷重付加ピン２２４ＢにＹ方向に荷重を付加するための機構を代表的に示している。上述の回転プレート２４６の上端部には、ブラケット２５６を介して荷重付加ピン２２４Ｂ（２２４Ａ，２２４Ｃ）にＹ方向に荷重を付加するためのＹ方向駆動用アクチュエータ２５８Ｂ（２５８Ａ，２５８Ｃ）が取り付けられている。このＹ方向駆動用アクチュエータ２５８Ｂの下端部には、ロッド２６０の上端部が連結され、このロッド２６０の下端部には、軸２６２を介して上述の修正用ホルダ２２２Ｂが回転可能に接続されている。この修正用ホルダ２２２Ｂは、上述したように、Ｘ方向駆動用アクチュエータ２４０Ｂにより軸２５０（図１９及び図２１参照）を中心に回転可能であると共にＹ方向駆動用アクチュエータ２５８ＣによりＹ方向（上下方向）にも移動可能となっている。その結果、荷重付加ピン２２４Ｂは、修正用ホルダ２２２Ｂにより、Ｘ方向及びＹ方向の両方向に荷重が付加されるようになっている。
【００４７】
次に、図２４乃至図２６を参照して、θ方向駆動機構３１０の具体的な構造を説明する。これらの図２４及び図２６は、荷重付加ピン２２４Ｂにθ方向に荷重を付加するための機構を代表的に示している。上述の修正用ホルダ２２２Ｂの上部の正面側（図２５において左側）には、ブラケット２６４を介して荷重付加ピン２２４Ｂ（２２４Ａ，２２４Ｃ）にθ方向に荷重を付加するためのθ方向駆動用アクチュエータ２６６Ｂ（２６６Ａ，２６６Ｃ）が取り付けられている。
θ方向駆動用アクチュエータ２６６Ｂの下端部には、ロッド２６８の上端部が連結され、このロッド２６８の下端部には、軸２７０を介して回転可能に上述のθ方向用ホルダ２３２Ｂが接続されている。一方、上述の修正用ホルダ２２２Ｂの正面側にはプレート２７２を介して直線ガイド２７４が固定されている。この直線ガイド２７４にはθ方向用スライダ２７６が上下方向にスライド可能に設けられている。このθ方向用スライダ２７６の下端部は、上述のθ方向用ホルダ２３２Ｂが一体的に固定されている。さらに、θ方向用ホルダ２３２Ｂの下端部は横方向突出部２７８が一体的に形成されており、この横方向突出部２７８には、上述のレバー２３０Ｂがピン２３４を介して揺動可能に連結されている。このレバー２３０Ｂの他端側には、上述したように、荷重付加ピン２２４Ｂの後端部が接合されている。
【００４８】
このθ方向駆動機構３１０において、θ方向駆動用アクチュエータ２６６Ｂが駆動し、ロッド２６８が下降（又は上昇）したとき、軸２７０が下降（又は上昇）し、直線ガイド２７４にガイドされてθ方向用スライダ２７６が下降（又は上昇）し、θ方向用ホルダ２３２Ｂが下降（又は上昇）し、それにより、ピン２３４が下降（又は上昇）し、レバー２３０Ｂが荷重付加ピン２２４Ｂを中心として時計回りに回転する。この結果、荷重付加ピン２２４Ｂには、θ方向の荷重が作用することになる。
【００４９】
続けて、第２実施形態の他の構成を説明する。被研磨物であるバー７０の一方の長手方向側面７０a に配列された磁性薄膜からなる磁気ヘッドの各変換部のスロートハイトをそれぞれ適正値に設定するために、例えばバー７０の左右端部に位置する変換部及び中央部に位置する変換部のスロートハイトに対応した電気抵抗値を所定周期で測定しながら研磨加工を実行する。このために、治具５０のバックプレート側の長方形板状部１９０への対向面に変換部に電気接続された電極が形成してあり、この電極が長方形板状部１９０に植設された測定用ピン２８０（図１４参照）に接続するようになっている。測定用ピン２８０は図示しない電気抵抗測定手段に接続されている。
【００５０】
更に、図１１に示すように、バックプレート１６８の長方形板状部１９０に取り付けられた治具５０の左右端部の位置を検出するために接触型センサ２８２がバックプレート１６８の左側縁部及び右側縁部に固定されている。ここで、接触型センサ２８２の取付位置は、治具５０の左右端部の位置に実質的に対応している。この接触型センサ２８２の接触子２８４の先端は、研磨ヘッド１２０の垂直支持板１２４に形成された凸部上面に当接している。接触型センサ２８２は接触子２８４の突出量に比例した静電容量変化を生じるものであるが、他の検出原理のセンサも使用可能である。なお、２個の接触型センサ２８２で治具５０の左右端部位置を間接的にそれぞれ検出するようにしたのは、研磨量及び左右のバランスを検出するためである。
【００５１】
以下、以上説明した第２実施形態の磁気ヘッドの装置による研磨方法を説明する。
先ず、研磨ヘッド１２０が回転研磨用テーブル１０２から外れた位置にて、薄膜磁気ヘッドが複数配列されてなる被研磨物を保持した治具５０をバックプレート１６８の長方形板状部１９０に取り付け、研磨ヘッド１２０に対するバックプレート１６８の傾斜角度を当初は零度（アジャストリング１２６の底面に垂直、つまり回転研磨用テーブルの研磨面に垂直な姿勢）に設定する。
このバックプレート１６８の傾斜設定及び治具５０の取付け終了後、研磨ヘッド１２０を取り付けた研磨ヘッド取付用フレーム１１２をガイドレール１０８に沿って直線移動して、回転駆動されている回転研磨用テーブル１０２の上方に位置させ、さらにアジャストリング１２６が回転研磨用テーブル１０２上面の研磨面１０２ａに対接し適切な押圧力で接触するように研磨ヘッド取付用フレーム１１２を下降させる。アジャストリング１２６が回転研磨用テーブル１０２の研磨面に適切な押圧力で対接することで、アジャストリング１２６上の研磨ヘッド１２０の姿勢はその研磨面を基準とした姿勢に制御される。この結果、アジャストリング１２６の底面に垂直に設定された傾動部１４６、バックプレート１６８の長方形板状部１９０、及びこれに取り付けられた治具５０は、研磨面に対して垂直面を形成することになる。
【００５２】
次に、バックプレート側長方形板状部１９０の枢着点となる支点軸１６６の両側に、それぞれバランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂで、これらのアクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂの可動部の移動方向と押圧力の作用方向が平行となるように押圧力を加える。バランス用電磁式アクチュエータ１７０Ａ，１７０Ｂは被研磨物の左右の押圧力を調整して被研磨物の左右の研磨量を均一化するとともに被研磨物を研磨面１０２ａ方向に送り出す働きをする。
【００５３】
この状態で、Ｘ方向駆動機構３０６のＸ方向駆動用アクチュエータ２４０Ａ，２４０Ｃを駆動させて、ロッド２４２及び軸２４４を下降（又は上昇）させ、それにより、回転プレート２２６を、図１９に示すように、軸２５０を中心にして、時計回り（又は反時計回り）に回動させ、同時に修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｃも回動させ、その結果、荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｃを、所定の距離だけ左方向（又は右方向）に移動させる。これにより、治具５０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｃに対して、Ｘ方向（水平方向）の荷重を付加することができる。
【００５４】
さらに、Ｙ方向駆動機構３０８のＹ方向駆動用アクチュエータ２５８Ａ，２５８Ｂ，２５８Ｃを駆動させて、ロッド２６０及び軸２６２を下降（又は上昇）させ、それにより、修正用ホルダ２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２ＣがＹ方向（垂直方向）に移動し、その結果、荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｃを、所定の距離だけ上方向（又は下方向）に移動させる。これにより、治具５０の荷重付加部５４Ａ５４Ｂ，５４Ｃに対して、Ｙ方向（垂直方向）の荷重を付加することができる。
【００５５】
さらに、θ方向駆動機構３１０のθ方向駆動用アクチュエータ２６６Ａ，２６６Ｃを駆動させて、ロッド２６８及び軸２７０を下降（又は上昇）させ、直線ガイド２７４にガイドさせてθ方向用スライダ２７６を下降（又は上昇）させ、θ方向用ホルダ２３２Ａ，２３２Ｃを下降（又は上昇）させ、それにより、ピン２３４を下降（又は上昇）させ、レバー２３０Ａ，２３０Ｃが荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｃを時計回りに回転させる。この結果、荷重付加ピン２２４Ａ，２２４Ｃには、θ方向の荷重を作用させることができる。
【００５６】
このようにして、治具５０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対して種々の異なる方向の荷重を付加することにより、保持部５２、バー固定部５８およびバー７０が変形される。これにより、バー７０内の磁気ヘッドの変換部（バー７０の長手方向面７０ａに形成されている）スロートハイトの値が目標とする値となるように第１研磨工程を実行する。
この第１研磨工程中、アジャストリング１２６の同じ所が回転研磨用テーブル１０２に接触していると偏磨耗を引き起こすため、研磨ヘッド１２０及びアジャストリング１２６が取り付けられた回転支持部１１６を研磨ヘッド揺動用モータ１３２により所定角度範囲で往復回転させるとともに、研磨ヘッド取付用フレーム１１２を所定範囲で往復直線運動させている。従って、第１研磨工程中、研磨ヘッド１２０及びアジャストリング１２６は往復回転運動と往復直線運動が重畳した運動を行うことになる。
【００５７】
また、被研磨物である角棒状バー７０の一方の長手方向側面７０ａに、磁性薄膜からなる磁気ヘッドの各変換部が配列されているが、各変換部のスロートハイトは、各変換部の電気抵抗を測定することで検出することができ、各変換部の電気抵抗を周期的に監視しながら第１研磨工程を実施することで、各々の薄膜磁気ヘッドのスロートハイトを均一化しかつ最適値に設定することができる。
【００５８】
各々の薄膜磁気ヘッドのスロートハイトを均一化しかつ最適値に設定するための第１研磨工程が終了したら、図２７に示すように、被研磨物の角棒状バー７０の底面７０ｂを水平面に対して最大３度程度の傾斜面とするための第２研磨工程（斜線部Ｑを研磨除去するテーパー加工工程）を実行する。すなわち、傾動用モータ１５２を作動させて、傾動部１４６及びバックプレート１６８を回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに対して垂直面を成した状態から最大３度程度の所定角度を成すように傾斜させ、これに伴い、バックプレート１６８の長方形板状部１９０、及びこれに取り付けられた治具５０を研磨面に対する垂直面から所定角度傾斜させ、この状態にて回転している回転研磨用テーブル１０２にてバー７０のスライダとなる底面部分を研磨する。そして、バックプレート１６８の左右縁部の位置検出（治具５０の左右端部の間接的な位置検出）を行っている左右の接触型センサ２８２による研磨量の検出結果がそれぞれ所要値となったときに研磨を終了する。なお、第２研磨工程においても第１研磨工程と同様に研磨ヘッド１２０及びアジャストリング１２６は往復回転運動と往復直線運動が重畳した運動を行うようにすればよい。
【００５９】
本発明の第２実施形態によれば、以下の優れた効果を得ることができる。
先ず、第１実施形態と同様に、本発明の第２実施形態による磁気ヘッドの研磨装置によれば、研磨前において、バー７０における各磁気ヘッドのスロートハイトの値の分布が、高次の曲線に近似されるような、複雑なパターンとなっていても、そのパターンに忠実に対応するように治具５０の保持部５２を変形させることができるため、バー７０の全長にわたって各磁気ヘッドのスロートハイトを精度よく許容範囲内に入れることが可能となる。
【００６０】
また、治具５０を研磨ヘッド１２０に取り付け、回転駆動される回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに、研磨ヘッド１２０を動かしながら被研磨物を接触させて研磨する場合、回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに対接するアジャストリング１２６により研磨ヘッド１２０の姿勢を制御している。つまり、常に回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａを基準として研磨ヘッド１２０及びこれに取り付けられた傾動部１４６、バックプレート１６８の姿勢を制御でき、被研磨物に自重以外の押圧力を加えて研磨が可能である。
また、研磨ヘッド１２０は回転研磨用テーブル１０２の研磨面１０２ａに平行な面内において、往復回転運動と往復直線運動とが重畳した運動を行うことができ、この点でも被研磨物の底面の平面度の向上を図ることができる。
【００６１】
また、バックプレート１６８の長方形板状部１９０にバー７０を中央部の１点で取り付けており、バー７０に回転方向の捻れがある場合でも、その捻れを矯正しない状態で保持して研磨加工を実施でき、捻れに起因する不良の発生が無い。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の磁気ヘッドの研磨装置及び研磨方法によれば、被研磨物の歪み及び湾曲を非常に精度良く修正することが出来るできる。また、被研磨物の歪み及び湾曲の分布パターンに応じて精度良く修正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の磁気ヘッドの研磨装置の第１実施形態を示す全体斜視図である。
【図２】  図２は図１における治具保持部の近傍を示す斜視図である。
【図３】  治具保持部に治具を固定した状態を示す正面図である。
【図４】  図３のＡ−Ａ線に沿って見た断面図である。
【図５】  治具を示す正面図である。
【図６】  第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の他の例を示す正面図である。
【図７】  第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の他の例を示す正面図である。
【図８】  第１実施形態の磁気ヘッドの研磨装置に用いられる治具の更なる他の例の正面図である。
【図９】  本発明の第２実施形態の磁気ヘッドの研磨装置を示す全体正面図である。
【図１０】  図９の平面図である。
【図１１】  本発明の第２実施形態の磁気ヘッドの研磨装置を示す要部正面図である。
【図１２】  本発明の第２実施形態を示す要部平面図である。
【図１３】  本発明の第２実施形態に使用されるアジャストリングを示す底面図である。
【図１４】  本発明の第２実施形態の研磨装置本体部を示す正面図である。
【図１５】  図１４の側面部分断面図である。
【図１６】  図１４の平面図である。
【図１７】  傾動機構のみを取出して示す側面図である。
【図１８】  バランス荷重駆動機構のみを取出して示す側面図である。
【図１９】  Ｘ方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
【図２０】  図１９の部分側面図である。
【図２１】  図１９のＢ−Ｂ線に沿って見た側面断面図である。
【図２２】  Ｙ方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
【図２３】  図２２のＣ−Ｃ線に沿って見た側面断面図である。
【図２４】  θ方向駆動機構のみを取出して示す正面図である。
【図２５】  図２４の側面部分断面図である。
【図２６】  図２５のＤ−Ｄ線に沿って見た平面断面図である。
【図２７】  本発明の第２実施形態における被研磨物のテーパ加工を説明するための被研磨物の側面断面図である。
【図２８】  従来の研磨装置を使用してバーの研磨を行ったときの最終的なスロートハイトの分布の一例を表した線図である。
【符号の説明】
１０，１０２  回転研磨用テーブル
２０，３００  研磨装置本体部
２３  治具保持部
２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ  荷重付加棒
３２，１９６  治具固定用ピン
３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ  荷重付加ピン
４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ  レバー
４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ  駆動棒
５０，７５，８０，８５  治具
７０  バー
１２６  アジャストリング
１３２  研磨ヘッド揺動用モータ
１４４  傾動部
１４６  傾動部
１５０  支点軸
１５２  傾動用モータ
１６８  バックプレート
１７０Ａ，１７０Ｂ  バランス用電磁式アクチュエータ
１９０  長方形板状部材
２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃ  修正用ホルダ
２２４Ａ，２２４Ｂ，２２４Ｃ  荷重付加ピン
２３０Ａ，２３０Ｂ，２３０Ｃ  レバー
２３２Ａ，２３２Ｂ，２３２Ｃ  θ方向用ホルダ
２４０Ａ，２４０Ｂ，２４０Ｃ  Ｘ方向駆動用アクチュエータ
２４６  回転プレート
２５８Ａ，２５８Ｂ，２５８Ｃ  Ｙ方向駆動用アクチュエータ
２６６Ａ，２６６Ｂ，２６６Ｃ  θ方向駆動用アクチュエータ
３０２  傾動機構
３０４  バランス荷重駆動機構
３０６  Ｘ方向駆動機構
３０８  Ｙ方向駆動機構
３１０  θ方向駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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