(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキ液中にウエハと陽極電極を対向して配置すると共に、該ウエハと陽極電極の間に誘電体材からなり且つ該ウエハに対向して穴を形成した遮蔽板を該ウエハと平行に配置し、該ウエハと陽極電極の間に所定の電圧を印加し、該ウエハ表面に電解メッキにより導電膜を形成するウエハのメッキ方法であって、
前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を可変とし、
前記電解メッキ中に該電解メッキにより前記ウエハ表面に形成された導電膜の電気抵抗の変化に対応して前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えて前記ウエハ表面の電場を調整し、該ウエハ表面に均一な膜厚の導電膜を形成することを特徴とするウエハのメッキ方法。
【請求項２】
メッキ液槽のメッキ液中にウエハと陽極電極を対向して配置すると共に、該ウエハと陽極電極の間に誘電体材からなり且つ該ウエハに対向して穴を形成した遮蔽板を該ウエハと平行に配置し、該ウエハと陽極電極の間に電源から所定の電圧を印加し、該ウエハ表面に電解メッキにより導電膜を形成するウエハのメッキ装置であって、
前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を可変できるように構成し、
前記電解メッキ中に該電解メッキにより前記ウエハ表面に形成された導電膜の電気抵抗の変化に対応して前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えて前記ウエハ表面の電場を調整する手段を設け、該ウエハ表面に均一な膜厚の導電膜を形成することを特徴とするウエハのメッキ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のウエハのメッキ装置において、
前記遮蔽板は複数枚の誘電体板を重ねることができる構成であり、且つそれぞれの誘電体板に形成された穴の大きさ及び／又は形状が異なり、前記ウエハ表面の電場を調整する手段は前記誘電体板の重ね合わせ枚数を変化させて前記ウエハに対する前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えて前記ウエハ表面の電場を調整することを特徴とするウエハのメッキ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエハに電解メッキを行うウエハのメッキ方法及び装置に関し、特にウエハ表面の電場を調整しながら電解メッキを行うことができるウエハのメッキ方法及び装置に関するものである。
【０００２】
図５は従来のこの種のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。図５において、１はメッキ槽であり、該メッキ槽１の外側には外槽２が配置されている。メッキ槽１には外槽２からのメッキ液３がポンプ４により恒温ユニット５及びフィルタ６を通って供給され、メッキ槽１をオーバーフローしたメッキ液３は外槽２に収容され、循環するようになっている。
【０００３】
メッキ槽１内にはメッキ治具７に装着されたウエハ８が配置されると共に、該ウエハ８に対向し所定の間隔を置いて陽極電極９が配置されている。また、該ウエハ８と陽極電極９の間には誘電体板からなり且つ中央部にウエハ８に対向して穴が形成された遮蔽板１１が配置されている。
【０００４】
上記構成のメッキ装置において、メッキ電源（直流電源）１０から陽極電極９とウエハ８の間に所定の電圧を印加することにより、陽極電極９からウエハ８に電流が流れ、ウエハ８の表面にメッキ膜が形成される。遮蔽板１１に形成された穴の大きさや形状により、ウエハ８の表面の電場を調整し、ウエハ８の表面に均一な膜厚のメッキ膜が形成されるようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように従来のメッキ装置においては、誘電体板からなる遮蔽板１１で、ウエハ８の表面の電場を調整しているが、この方法では遮蔽板１１に形成された穴の大きさや形状を変えることができないので、電場の調整できる範囲が狭く、ウエハ８の表面で自由に電場を調整することができず、均一な膜厚のメッキ膜を得難いという問題があった。
【０００６】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、ウエハ表面での電場の調整が広く自由にでき、ウエハ表面に均一な膜厚のメッキ膜を形成できるウエハのメッキ方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため請求項１に記載の発明は、メッキ液中にウエハと陽極電極を対向して配置すると共に、該ウエハと陽極電極の間に誘電体材からなり且つ該ウエハに対向して穴を形成した遮蔽板を該ウエハと平行に配置し、該ウエハと陽極電極の間に所定の電圧を印加し、該ウエハ表面に電解メッキにより導電膜を形成するウエハのメッキ方法であって、遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を可変とし、電解メッキ中に該電解メッキによりウエハ表面に形成された導電膜の電気抵抗の変化に対応して遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えてウエハ表面の電場を調整し、該ウエハ表面に均一な膜厚の導電膜を形成することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、メッキ液槽のメッキ液中にウエハと陽極電極を対向して配置すると共に、該ウエハと陽極電極の間に誘電体材からなり且つ該ウエハに対向して穴を形成した遮蔽板を該ウエハと平行に配置し、該ウエハと陽極電極の間に電源から所定の電圧を印加し、該ウエハ表面に電解メッキにより導電膜を形成するウエハのメッキ装置であって、遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を可変できるように構成し、電解メッキ中に該電解メッキによりウエハ表面に形成された導電膜の電気抵抗の変化に対応して遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えてウエハ表面の電場を調整する手段を設け、該ウエハ表面に均一な膜厚の導電膜を形成することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のウエハのメッキ装置において、
前記遮蔽板は複数枚の誘電体板を重ねることができる構成であり、且つそれぞれの誘電体板に形成された穴の大きさ及び／又は形状が異なり、前記ウエハ表面の電場を調整する手段は前記誘電体板の重ね合わせ枚数を変化させて前記ウエハに対する前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えて前記ウエハ表面の電場を調整することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１は本発明のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。図１において図５と同一符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。メッキ槽１の外側には外槽２が配置され、外槽２からのメッキ液３がポンプ４により恒温ユニット５及びフィルタ６を通って供給され、メッキ槽１をオーバーフローしたメッキ液３は外槽２に収容され、循環するようになっている点は図５の従来例と同一である。
【００１１】
また、メッキ槽１内にはメッキ治具７に装着されたウエハ８が配置されると共に、該ウエハ８に対向し所定の間隔を置いて陽極電極９が配置されている点も従来例と同じであるが、本メッキ装置では、ウエハ８と陽極電極９の間に配置された誘電体からなる遮蔽板１２の構造が、図５の遮蔽板１１とは異なる。即ち、本メッキ装置の遮蔽板１２はその中央部に設けられた穴１２ａの大きさを変えることができるように構成されている。
【００１２】
図２は遮蔽板１２の平面を示す図である。図示するように、遮蔽板１２は、例えばカメラの絞り機構と同様な構造で、中央部の穴１２ａの大きさを可変できるようになっている。
【００１３】
上記構成のメッキ装置において、メッキ電源（直流電源）１０から陽極電極９とウエハ８の間に所定の電圧を印加することにより、陽極電極９からウエハ８に電流が流れ、ウエハ８の表面にメッキ膜が形成される。ここで、遮蔽板１２の穴１２ａの大きさが可変できるようになっているため、メッキ中にこの穴１２ａの大きさを変えることができ、これによってウエハ８の表面の電場を調整することができるから、メッキされることによりウエハ８の表面の導電膜の電気抵抗が変わっても、それに対応して電場調整を行うことができ、ウエハ８の表面の広い範囲にわたってメッキ膜の調整ができ、均一な膜厚のメッキ膜を形成できる。
【００１４】
図３は本発明のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。図３のメッキ装置が図１のメッキ装置と異なる点は、遮蔽板１３にあり、他は図１のメッキ装置と同一である。遮蔽板１３は図示するように、複数枚（図では４枚）の誘電体板１３−１〜１３−４を重ね合わせることができる構造である。そして誘電体板１３−１〜１３−４のそれぞれには図４に示すように、大きさの異なる穴の１３−１ａ〜１３−４ａが形成されている。即ち、穴１３−１ａの径が一番小さく、穴１３−２ａ、穴１３−３ａ、穴１３−４ａと順次その径が大きくなっている。
【００１５】
上記構成のウエハのメッキ装置でメッキ中に順次誘電体板１３−１〜１３−４を外すことにより、ウエハ８に対向する遮蔽板１３の穴の大きさを変えることができる。これにより、図１に示すメッキ装置の遮蔽板１２と実質的に同一の作用が得られる。即ち、遮蔽板１３の穴の大きさを変えることにより、メッキすることでウエハ８の表面の導電膜の電気抵抗が変わっても、それに対応して電場調整を行うことができ、ウエハ８の表面の広い範囲にわたってメッキ膜の調整ができ、均一な膜厚のメッキ膜を形成できる。
【００１６】
なお、上記実施形態例では、遮蔽板１２及び１３の穴の形状を円形とその大きさ（径）を可変にする例を示したが、穴の大きさに限定されるものではなく、穴の形状を変えることができるようにしても良く、また、穴の形状と大きさを同時に変えることができるようにしても良い。このようにしても、メッキすることでウエハ８の表面の導電膜の電気抵抗が変わっても、それに対応して電場調整を行うことができ、ウエハ８の表面の広い範囲にわたってメッキ膜の調整ができ、均一な膜厚のメッキ膜を形成できる。
【００１７】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１及び２に記載の発明によれば、ウエハと陽極電極の間に配置する遮蔽版の穴の大きさ及び／又は形状を可変としているので、メッキ中にこの穴の大きさ・形状を変え、ウエハ表面の電場を調整してメッキすることにより、ウエハの面の導電膜の電気抵抗が変わっても、それに応じて電場調整を行ってウエハの表面の広い範囲にわたってメッキ膜の調整ができ、均一な膜厚のメッキ膜（導電膜）を形成できるメッキ方法及び装置を提供できる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、ウエハと陽極電極の間に配置する遮蔽板は複数枚の誘電体板を重ねることができる構造であり、且つそれぞれの誘電体板に形成された穴の大きさ及び／又は形状が異なり、ウエハ表面の電場を調整する手段は誘電体板の重ね合わせ枚数を変化させて前記ウエハに対する前記遮蔽板の穴の大きさ及び／又は形状を変えて前記ウエハ表面の電場を調整するので、請求項２に記載の発明と実質的に同一の効果を有すメッキ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。
【図２】遮蔽板の平面構成を示す図である。
【図３】本発明のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。
【図４】遮蔽板を構成する個々の誘電体板の平面構成を示す図である。
【図５】従来のウエハのメッキ装置の概略構成例を示す図である。
【符号の説明】
１            メッキ槽
２            外槽
３            メッキ液
４            ポンプ
５            恒温ユニット
６            フィルタ
７            メッキ治具
８            ウエハ
９            陽極電極
１０          メッキ電源
１１          遮蔽板
１２          遮蔽板
１３          遮蔽板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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