(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片と、前記圧電振動片の基端部と一体に接続され、前記圧電振動片の周囲を囲む枠とからなる圧電振動板を有する圧電振動子の製造方法において、
前記枠または前記基端部にコンタクトホールを設ける工程と、
前記圧電振動片の上面及び下面並びに側面に励振電極と、前記枠の上面及び下面並びに前記コンタクトホールの内壁に前記励振電極と同一材料で接合膜と、を設ける工程と、
前記接合膜を介して、前記枠の上下面にベース及びリッドを陽極接合する工程と、
ベースに形成されたスルーホールの内壁に引き出し電極を形成する工程と、
前記スルーホールを境として前記圧電振動板及びリッドを切断する行程と、
を有する圧電振動子の製造方法。
【請求項２】
前記接合膜を前記コンタクトホールの内壁全面に渡って形成する請求項１に記載の圧電振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、携帯電話および携帯情報端末に用いられる圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の圧電振動子は、たとえば図1に示すように圧電振動片１０と枠２０とが一体的に形成された圧電振動板３０と、圧電振動板３０の上部に圧電振動片１０の振動を妨げない空間の凹部３５を有するリッド４０と、圧電振動板３０の下部に同じく圧電振動片１０の振動を妨げない空間の凹部を有するベース５０を配置した構造が知られている。
【０００３】
ここで、圧電振動片１０の上面には、圧電振動片１０を振動させるための励振電極６０、６１が形成され、同様に圧電振動片１０の下面には、励振電極６２、６３が形成されている。さらに、枠２０は、上面にリッド４０を接合するための接合膜７０と下面にベース５０を接合するための接合膜７１を有する。
【０００４】
そして、圧電振動片１０とリッド４０とベースとを接合した後、圧電振動片１０の側面の下方からベース５０の側面と下面に渡って引出電極８０と８１を形成する。最後に線Ａと線Ｂで切断し、圧電振動子５を形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、圧電振動板３０とリッド４０とベース５０を陽極接合する際に、引出電極８０が形成されていない状態で、圧電振動板３０の左端にある接合膜７０と７１の角部がベース５０の端部より突出しているので、接合膜７０と７１の間で放電を起こすという課題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明の圧電振動子は、圧電振動板の内部で導通をおこなうためのコンタクトホールを設けた。そして、圧電振動板側面の電極を除去したことにより、角部の露出をなくし、接合時の放電の発生を防止することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
この発明では、圧電振動片を有する圧電振動板の、上面の外周に第１の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面の、前記圧電振動片の基部側端部に、第２の接合膜を有し、前記圧電振動板の下面に、前記第２の接合膜に離間し前記圧電振動片の外側に形成された第３の接合膜を有し、前記第２の接合膜と、前記第２の接合膜に向かい合う前記第１の接合膜を電気的に接続するコンタクトホールを有する圧電振動板を設けた。
【０００８】
さらに、枠と一体に形成された圧電振動片からなる圧電振動板と、前記圧電振動板の上面と下面に配置されたリッドとベースからなる圧電振動子において、前記圧電振動板の外周の内側に前記圧電振動片の上面の励振電極に導通し、前記圧電振動板の下面に導通するコンタクトホールを有する圧電振動子を形成した。
【０００９】
また、圧電振動片と前記圧電振動片の基端部に一体的に接続され前記圧電振動片の周囲を囲む枠からなる圧電振動板と、前記枠の上面の外周の第１の接合膜と、前記枠の下面の前記圧電振動片の基部側端部に配置された第２の接合膜と、前記枠の下面に前記第２の接合膜に離間し前記圧電振動片の外側に配置された第３の接合膜と、前記第２の接合膜と、前記第２の接合膜に向かい合う前記第１の接合膜を電気的に接続するコンタクトホールを有し、前記圧電振動板の上に前記第１の接合膜を介して配置されたリッドと、前記圧電振動板の下に前記第２の接合膜と前記第３の接合膜を介して配置されたベースと、前記ベースの一端に形成され前記第２の接合膜と接続された第１の引出電極と、前記ベースの他端に形成され前記第３の接合膜と接続された第２の引出電極とを有する圧電振動子を形成した。
【００１０】
また、圧電振動片の基部にコンタクトホールを形成し、前記圧電振動片の表面に一対の励振電極を形成し、前記圧電振動片の外周の枠の一方の面に第１の接合膜を形成し、前記一方の面に対向する他方の面に前記励振電極の一方と接続された第２の接合膜と、前記第２の接合膜に離間し前記スルーホールを介して他方の励振電極に接続された第３の接合膜を形成し、前記第１の接合膜の表面にリッド、前記第２、第３の接合膜の表面にコンタクトホールを有するベースを陽極接合し、前記コンタクトホールの内面に前記第２の接合膜と第３の接合膜に接続された引出し電極を形成し、前記引出し電極の軸方向から前記リッドを切断することにより圧電振動子を製造した。
【００１１】
【実施例】
図２から図４は、この発明の圧電振動子板３０を示す図である。
【００１２】
図２はこの発明の圧電振動板３０を形成するための、水晶ウエハー上の電極パターン配置を示す上面図である。圧電振動片１０の外側の枠上にＡｌからなる接合膜７０を形成し、接合膜７０の右端近傍にそれぞれ圧電振動片の下面と導通をとるためのコンタクトホール１００、１０１を形成する。
【００１３】
図３は同じく、水晶ウエハーの下面図であり、右端に接合膜７０Ｃと、接合膜７０と導通をとるためにコンタクとホール１０１、１００を形成する。そして、接合膜７０Ｃの左に接合膜を有しない部分９０を介して、接合膜７１を形成する。
【００１４】
図４は、図３のＣ−Ｄ断面を示す図であり、圧電振動板３０の上面の左右に、接合膜７０があり、下面に接合膜７１と７０Ｃがある、そして、接合膜７０Ｃの中央から上部に向かってコンタクトホール１００を有し、上面の接合膜７０と接続されている。
【００１５】
図５は、この発明の圧電振動子の実施例を示す断面図である。この発明の圧電振動子は、たとえば水晶、ＳｉＯ２からなる音叉型の圧電振動子片１０を有する水晶振動子であり、圧電振動子片１０を有する圧電振動板３０と、圧電振動板３０の両面に接合されて圧電振動片１０を振動可能な状態で気密封止する一対の蓋体であるリッド４０とベース５０とを具備する。この発明の圧電振動子５は、図５に示すように音叉型の圧電振動片１０と、その基端部と一体に接続された圧電振動片１０の周囲を囲む枠２０とを有する。
【００１６】
一体の蓋体であるリッド４０とベース５０は、ソーダライムガラスで形成され、それぞれ圧電振動片１０に対応する領域に、圧電振動片１０の振動を妨げない程度の空間を有する凹部３５からなるキャビティーを有する。
【００１７】
また、このようなリッド４０とベース５０が接合される圧電振動板３０には、表裏両面および側面に圧電振動片１０を振動させるための励振電極６０、６１、６２、６３が形成されると共に、枠２０の表面に励振電極と同一材料からなり、リッド４０およびベース３０との接合部となる接合膜７０、７１が設けられている。ここで励振電極や接合膜を形成する金属膜としてＡｌを使用した。そして、接合膜７０、７１によりリッド４０とベース５０とが陽極接合により圧電振動板３０の上下面に接合される。
【００１８】
圧電振動板３０の圧電振動片１０の表裏面には各励振電極６０、６１、６２、６３が形成され、励振電極６０、６２は接合膜７０に、励振電極６１、６３は接合膜７１に延設され電気的に接続されている。さらに、接合膜７１はコンタクトホール１００を介して圧電振動板３０の反対側の表面に延設されている。
【００１９】
すなわちこの実施例では、励振電極６０、６２は、圧電振動板の上面すなわち、圧電振動片１０の端部まで延設され、同じく上面の接合膜７０と接続され、さらに端部の側面上の連結部を介して反対側の同位電極の接合膜７０まで連続して設けられている。
【００２０】
一方、他方の極となる励振電極６１、６３は圧電振動片１０の基端部側に位置する枠２０の端部まで延設され、接合膜７１と接続され、さらにコンタクトホール１０１を介して反対面の同位電極となる接合膜７１に接続される。
【００２１】
このような構造により、スルーホール１２０、１２１内に電極の角が露出しないため、陽極接合時に放電が生じない。さらに、接合膜７０に接触し、引出電極８０と、接合膜７１に接触して引出電極８１をスルーホール１２０と１２１上に形成する。引出電極はウエハー上に形成された圧電振動子５をスルーホール１２０、１２１を境として分割することにより、引出電極８０、８１として分割して使用することができる。
【００２２】
【発明の効果】
本願発明では、圧電振動子の外周に形成した引き出し電極より内側にコンタクトホールを設け、一方の励振電極と引き出し電極の接続を行ったため、圧電振動子の製造時の放電による不良の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の圧電振動子を示す断面図である。
【図２】本発明の圧電振動板を示す上面図である。
【図３】本発明の圧電振動板を示す下面図である。
【図４】本発明の圧電振動板を示す断面図である。
【図５】本発明の圧電振動子を示す断面図である。
【符号の説明】
５  圧電振動子
１０  圧電振動片
２０  枠
３０  圧電振動板
３５  凹部
４０  リッド
５０  ベース
６０、６１、６２、６３  励振電極
７０、７１  接合膜
８０、８１  引出電極
１００、１０１  コンタクトホール
１２０、１２１  スルーホール
【図１】
0004005302.tif 000002
【図２】
0004005302.tif 000003
【図３】
0004005302.tif 000004
【図４】
0004005302.tif 000005
【図５】
0004005302.tif 000006