(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも回路パターンを形成するための第１バルク銅層、プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するための第２バルク銅層及び第１バルク銅層と第２バルク銅層との間に存在するエッチングバリア層を積層した構造を持つ多層複合材料とサポート板とを用いて多層プリント配線板の構成材料を製造する方法であって、
ワークサイズとした当該多層複合材料の第１バルク銅層の表面に、金属材からなるサポート板を超音波溶接法によって張り合わせ、
当該第２バルク銅層をエッチングしてバンプを形成し、
当該バンプを形成した面に誘電体シートを重ね、誘電体シートの構成樹脂を軟化させプレスすることで、誘電体シートにバンプを貫通させることを特徴とする、第１バルク銅層の片面側に多層プリント配線板の層間導通導体となるバンプを備え、他面側にサポート板を張り合わせた状態の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項２】
多層複合材料は、回路パターンを形成するための第１バルク銅層／エッチングバリア金属層／粗化処理層／両面プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するために用いる第２バルク銅層の積層構造を持つ物である請求項１に記載の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項３】
第１バルク銅層は、公称厚さ１８μｍ未満の銅箔層である請求項１又は請求項２に記載の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項４】
第２バルク銅層は、公称厚さ５０μｍ以上の銅箔層である請求項１〜請求項３のいずれかに記載の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項５】
ワークサイズの当該多層複合材料の第１バルク銅層表面へのサポート板の張り付けは、
当該多層複合材料のワークサイズと略同サイズのサポート板とを重ねて、外周縁端部のみを接着させるものである請求項１〜請求項４のいずれかに記載の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項６】
サポート板は、アルミニウム板である請求項１〜請求項５のいずれかに記載の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。
【請求項７】
両面に回路を備え、当該両面の回路間の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法において、
少なくとも回路パターンを形成するための第１バルク銅層、両面プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するための第２バルク銅層及び第１バルク銅層と第２バルク銅層との間に存在するエッチングバリア層を積層した構造を持つ多層複合材料を用い、
ワークサイズとした当該多層複合材料の第１バルク銅層の表面に、金属材からなるサポート板を超音波溶接法によって張り合わせ、
当該第２バルク銅層をエッチングしてバンプを形成し、
当該バンプを形成した面に誘電体シートを重ね、誘電体シートの構成樹脂を軟化させプレスすることで、誘電体シートの構成樹脂の半硬化状態を維持してバンプを貫通させ、
バンプを貫通させた誘電体シート面に、銅箔の接着面を対向して重ね合わせてプレス加工し銅箔層を形成し、
その後、サポート板を除去し、両面に位置する第１バルク銅層と銅箔層をエッチングして回路を形成して得られることを特徴とする層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【請求項８】
多層複合材料は、回路パターンを形成するための第１バルク銅層／エッチングバリア金属層／粗化処理層／両面プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するために用いる第２バルク銅層の積層構造を持つ多層複合材料である請求項７に記載の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【請求項９】
第１バルク銅層は、公称厚さ１８μｍ未満の銅箔層である請求項７又は請求項８に記載の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【請求項１０】
第２バルク銅層は、公称厚さ５０μｍ以上の銅箔層である請求項７〜請求項９のいずれかに記載の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【請求項１１】
ワークサイズの当該多層複合材料の第１バルク銅層表面へのサポート板の張り付けは、
当該多層複合材料のワークサイズと同様のサイズのサポート板とを重ねて、外周縁端部のみを接着させるものである請求項７〜請求項１０のいずれかに記載の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【請求項１２】
サポート板は、アルミニウム板である請求項７〜請求項１１のいずれかに記載の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント配線板の製造方法及びその製造方法で得られたプリント配線板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プリント配線板製造の国際競争の激化により、製造コストをいかに削減して安価且つ高品質の製品を供給するかが、企業の収益性を高め、事業の存続を図る上で非常に重要となっている。
【０００３】
そこで、製造コストの削減を行うため、両面若しくは３層以上の多層プリント配線板のスルホールの層間導通メッキ工程を省略し、大幅にプリント配線板の生産コストを圧縮化する技術が普及してきた。例えば、代表的な製造方法としては、株式会社東芝が採用するＢ２ｉｔ工法と称するものである。このＢ２ｉｔ工法を、端的に表せば、プリント配線板の製造に用いる銅箔の絶縁樹脂との接着面に、予め銅ペースト、銀ペースト等の金属ペーストを用いて、スルホールと同様に機能する層間導通導体を構成することとなるバンプ形状をスクリーン印刷法で製造して硬化させ、この状態でＦＲ−４基材等の誘電体シートと重ねて加圧積層することで、バンプ形状に硬化した金属ペーストが当該誘電体シートを突き破り、反対面に配置した銅箔面に突き当たり層間での導通経路を形成するのである。
【０００４】
そして、このような製造方法で使用するプリント配線板の導体形成に用いる多層複合材料として、図８に示したように、圧延法により回路パターンを形成するための第１バルク銅層５／粗化処理層３／エッチングバリア金属層４／多層プリント配線板の層間導通を得るためのバンプ形状を形成するために用いる第２バルク銅層２の順に４層構造に積層した材料が提案されてきたが、その製造方法に起因して第１バルク銅層の基材との密着性確保に用いる微細銅粒の扁平化を招くため、プリント配線板を製造するためには再粗化処理する等の製造工程を設ける必要があり、しかも、銅箔層の第１バルク銅層を１８μｍ以下にすることは不可能であったためファインピッチ回路の形成が困難であった。
【０００５】
そこで、本件発明者等は電解法を用いて同様の４層構造の多層複合材料を用いることで、圧延法で得られる当該多層複合材料の欠点を克服できることを提唱してきた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この電気化学的手法を用いて製造された当該多層複合材料は、第１バルク銅層を１８μｍ未満にすることは容易に行えるものの、現実のプリント配線板製造の過程を考えるに、第１バルク銅層を１８μｍ未満、特に９μｍ以下の極薄の銅層にして用いることが困難であった。まして、ＩＣチップの動作回路を形成するために必要と言われている３μｍ程度の厚さとすることは全く不可能であった。
【０００７】
即ち、当該多層複合材料は、以下に述べるような図９〜図１１に模式的に示したように使用されるものである。まず、図９（ａ）に示す多層複合材料１ａは、図９（ｂ）に示したように第２銅層２をバンプ８の形状とするエッチングが行われる。このような多層複合材料１ａを用いれば、図９（ｂ）に示すように、第２銅層２をバンプ８へとエッチング形成すると共にバンプ８を形成しない位置の粗化処理層３の微細銅粒は消失する。ところが、エッチングバリア層４は、粗化処理層３の微細銅粒の持つ凹凸形状を転写した状態になっているため、図１０（ｃ）に示したように誘電体シートＰを積層しても誘電体シートＰと第１バルク銅層５との接着界面におけるアンカー効果を発揮することになり、引き剥がし強度を損なうことが無くなるのである。そして、図１０（ｄ−１）、（ｄ−２）から明らかなように、余分なエッチングバリア層４は、第１バルク銅層５をエッチングして回路１０を形成する際に、銅エッチングと同時に除去することが可能となるのである。
【０００８】
以上に述べてきた多層複合材料１ａは、図１０（ｄ−１）のように回路エッチングが施され、ビルトアップ用のプリント配線板となる。一方、図１０（ｄ−２−▲１▼）のように、銅箔９が張り合わされた後に、図１０（ｄ−２−▲２▼）のように内層回路エッチングが行われ、多層プリント配線板の内層材となる。更に、これらを用いて図１１に示したように積層し、プレス加工すれば、所謂４層基板が得られるのである。
【０００９】
当該多層複合材料は、上述したような製造方法で使用されるため、第１バルク銅層が薄くなると、図９（ｂ）に示したように第２銅層２をバンプ形状とするエッチングが行われた時点の製品にコシが無くなり、均一な平面を保つことが出来ずハンドリング性を著しく損ないシワ不良を発生したり、図１０（ｃ）に示したように誘電体シートを積層してもバンプの位置精度に欠けるものとなるのである。
【００１０】
以上のようなことを背景に、第１バルク銅層が１８μｍ未満、特に９μｍ以下の厚さとなっても、良好なプリント配線板製造の可能な、当該多層複合材料を用いた製造方法が望まれてきたのである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、以下のような当該多層複合材料を用いたプリント配線板の製造方法に想到したのである。以下、本件発明について説明する。
【００１２】
まず、「少なくとも回路パターンを形成するための第１バルク銅層、プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するための第２バルク銅層及び第１バルク銅層と第２バルク銅層との間に存在するエッチングバリア層を積層した構造を持つ多層複合材料とサポート板とを用いて多層プリント配線板の構成材料を製造する方法であって、ワークサイズとした当該多層複合材料の第１バルク銅層の表面にサポート板を張り合わせ、当該第２バルク銅層をエッチングしてバンプを形成し、当該バンプを形成した面に誘電体シートを重ね、誘電体シートの構成樹脂を軟化させプレスすることで、誘電体シートにバンプを貫通させることを特徴とする、第１バルク銅層の片面側に多層プリント配線板の層間導通導体となるバンプを備え、他面側にサポート板を張り合わせた状態の多層プリント配線板の構成材料の製造方法。」である。
【００１３】
ここで、「少なくとも回路パターンを形成するための第１バルク銅層、プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するための第２バルク銅層及び第１バルク銅層と第２バルク銅層との間に存在するエッチングバリア層を積層した構造を持つ多層複合材料」とは、図１に模式断面図として示したように、第１バルク銅層５と第２バルク銅層２との間にエッチングバリア層４が存在する状態を基準として（図１に符号１として示した状態）、種々のバリエーションを考えることが出来る。例えば、図１にバリエーション例１及びバリエーション例２として示したように、第１バルク銅層５とエッチングバリア層４との間に微細銅粒を設けるか、第２バルク銅層２とエッチングバリア層４との間に微細銅粒を設けるかして、プリント配線板の絶縁樹脂との接合強度を確保するためのアンカー効果を得るために用いてもよい。また、必要に応じて、任意の面に防錆処理等の表面処理層を設けても構わないのである。従って、「少なくとも・・・」という表現を用いたのである。これは、その他の請求項に記載した場合にも、同様の意味合いとして用いている。以下本件発明に関して説明するが、説明をより分かりやすくするために、最も好ましいと考えられる多層複合材料１ａを用いた場合を想定し、以下説明することにする。
【００１４】
ここで用いる多層複合材料には、回路パターンを形成するための第１バルク銅層（以下、単に「第１バルク銅層」と称する。）／エッチングバリア金属層／粗化処理層／多層プリント配線板の層間導通を得るためのバンプ形状を形成するために用いる第２バルク銅層（以下、単に「第２バルク銅層」と称する。）の４層構造のものを用いることが好ましい。特に、前記第１バルク銅層又は前記第２バルク銅層を基準層として、そこに電気化学的手法を用いてその他の層を形成したものであることがより望ましいものである。この多層複合材料１ａの模式断面図を図１のバリエーション例１から見て取ることができる。この多層複合材料１ａは、第１バルク銅層５／エッチングバリア金属層４／粗化処理層３／第２バルク銅層２の層構造を持っているのである。
【００１５】
従来の圧延法を用いて製造した多層複合材料との決定的違いは、電気化学的手法を用いて全ての層構成を製造するため、粗化処理層３を構成する微細銅粒や適度な凹凸の形状が押しつぶされて扁平化することなく、電解析出して付着形成した当初の微細銅粒の形状を、ずっと維持できる点にある。そして、この本件発明に係る多層複合材料１ａのエッチングバリア金属層４は、粗化処理層３の微細銅粒の作り出す表面凹凸が転写した形状を備えたものとすることができるのである。従って、図３（ｂ）に示したように第２バルク銅層２をバンプ形状へとするエッチングを行った後に、エッチングバリア金属層４を除去して、再粗化処理する必要性を無くすることができるのである。
【００１６】
本件発明における粗化処理層３は、図面中に表したように微細銅粒を付着形成するか、第２バルク銅層を形成することとなる銅箔の表面を化学的にエッチングする等して直接粗化する等により形成されるものである。念のために、ここで明記して置くが、図面中の粗化処理層３の記載は、微細銅粒を付着形成したものを、説明をより明確に把握できるように、極めて模式的に且つ大きなものとして記載しており、その他の層の厚さ等の寸法も、現実の製品と対応するものではなく、あくまでも模式的に表現したものである。
【００１７】
そして、多層複合材料のエッチングバリア金属層４は、ニッケル、ニッケル合金、スズ、スズ合金を用いて構成したものである事が望ましい。アルカリ系銅エッチング液を用いることで、銅成分のみを溶解させ、容易に残留させることが可能となるからである。
【００１８】
次に、第２バルク銅層２は、５０〜１５０μｍの厚さを持つ銅層として構成することが望ましい。第２バルク銅層２はバンプの形状を形成するために用いるものであるから、第２バルク銅層２の厚さは、そのままバンプ８の高さになる。従って、絶縁層を形成するために用いる誘電体シートＰの厚さに応じて、第２バルク銅層２の厚さを任意に選択使用すればよいと考えられるが、バンプ８の高さが低すぎると加圧してプレス成形しても、バンプ８が誘電体シートＰを突き破ることが出来ず、層間導体の形成が出来ないのである。そこで、用いる誘電体シートＰがＦＲ−４基材であって、その厚さが２５〜１００μｍである事と成形性とを考慮したときに、例えば、公称厚さが１００μｍの誘電体シートＰを用いる場合には、１００〜１５０μｍのバンプ８の高さとすることが最も良好な製品加工が可能となると判断できるのである。１５０μｍという上限値は、バンプ８が公称厚さ１００μｍの誘電体シートＰを突き破った時の、バンプ８の頭頂部の誘電体シートＰからの突出距離を考慮して定めたものである。そして、５０μｍという下限値は、市場を流通しているＦＲ−４基材の最小厚さである公称厚さ２５μｍを誘電体シートＰとして用いる場合を考慮して定めたものである。
【００１９】
なお、本件明細書において、誘電体シートとは、プリント配線板の層間絶縁層を構成することのできる樹脂材のみで構成されたもの、樹脂材とそこに必要とするガラスクロス、アラミド不織布等の骨格材を含むもの、キャパシター層を構成するための誘電フィラー等を含むもの等のプリント配線板用途で使用可能なものの全てを含む概念として記載している。
【００２０】
第１バルク銅層５は、プリント配線板の信号伝達回路、電源回路等の製造に用いるものであるから、その製造する回路の配線密度を考慮して、その厚さを任意に定めれば良いものである。従って、第１バルク銅層５の厚さには特段の限定を行うことは要さない。しかしながら、ここで用いる多層複合材料の場合には、１８μｍ未満の厚さを持つ第１バルク銅層５として用いることが容易となるのである。
【００２１】
以上に述べてきた多層複合材料１ａとサポート板６とを、図２（ａ）に模式的に示したように重ね合わせ、図２（ｂ）のように張り合わせるのである。この張り合わせにあたっては、多層複合材料１ａとサポート板６とをインサート材として半田等の金属材若しくは接着剤を用いて全面接着することも可能である。しかしながら、このような方法で全面接着すると、後のサポート板６の取り外し作業で、サポート板にインサート材が同伴して同時除去されない限り、インサート材の除去作業を必要とすることになり、工程が煩雑化することになる欠点がある。そこで、サポート板６として金属材を用いる場合には、多層複合材料１ａとサポート板６とを重ね合わせ、超音波溶接法を用いて、外周縁端部７のみを接合させる方法を用いることが好ましい。超音波溶接法は、ワークサイズの多層複合材料１ａの外周縁端部７のみを、連続シーム溶接に用いると同様の回転する円盤状の溶接チップＣとローラアンビルＡとで加圧して挟み込み、超音波振動を印加して行う。同時に、回転する円盤状の溶接チップＣとローラアンビルＡとを、ワークサイズの外周縁端部７に沿って移動させつつ、図２（ｂ）に示すように外周縁端部７のみ接合することでサポート板６の除去作業を容易にするのである。しかも、超音波溶接法は、接合強度のコントロールを容易に行うことが可能で、溶液の浸透を起こさない程度の精度での溶接が可能との利点を有している。また、外周縁端部７のみを接着剤を用いて接合するという方法も、非常に実用的である。
【００２２】
本件発明で用いるサポート板６には、自己形状の保持能力を備えた強度を持つリジッド板であり、後のエッチング工程等での損傷を受ける可能性の少ないもので有れば、金属材であれ有機材であれ使用することが可能である。特に、サポート板には、ステンレス板、アルミニウム板又はアルミニウム合金板を用いることが好ましい。特に、アルミニウム又はアルミニウム合金は、酸性の銅エッチング液で損傷することなく、繰り返し使用が可能であり、しかも軽量であるため取り扱いが容易となる点に大きな利点がある。アルミニウム板とは工業的に用いられる純アルミニウムを用いたものであり、アルミニウム合金とはマンガン、クロム等の合金元素を含有したものを言う概念として用いている。そして、このサポート板６としての厚さは、上述する様にして用いた場合の補強材としての役割を果たすことの出来る最低限の厚さを備えればよく、特に上限は存在しない。しかしながら、作業者の運搬作業等を考慮すれば、より軽量であることが作業性及び生産コストの面から望ましいため不必要に厚い物とする必要はないものと考えられ、０．３ｍｍ〜１ｍｍ程度の厚さがあれば充分使用に耐えるものと考えられるのである。更に、超音波溶接法を用いての良好な溶接が可能な範囲として、金属材の場合のサポート板６の厚さは０．３ｍｍ〜０．６ｍｍの範囲が最も好ましいと考えられる。
【００２３】
以上のようにしてサポート板６を張り付けた状態を側面方向から捉えたのが、図３（ａ）に模式断面図として示したものである。そして、第２バルク銅層２をエッチングして、図３（ｂ）に示すようにバンプ８の形状を作るのである。バンプ８の形成は、エッチング法を用いて行われる。このときサポート板６が存在することで、たとえ第１バルク銅層５が３μｍ厚程度の極薄のものであっても、シワになったり、折れ曲がりを生じることがなくなる。
【００２４】
その結果、図４（ｃ）に示す誘電体シートＰの張り合わせ作業を容易にして、且つ、バンプ８の位置精度を高めることが可能となるのである。この誘電体シートＰの張り合わせは、当該バンプ８を形成した面に誘電体シートＰを重ね、誘電体シートＰの構成樹脂を軟化させプレスすることで、誘電体シートＰにバンプ８を貫通させる操作を行うのである。この段階では、樹脂の硬化温度以下の温度で加熱し、誘電体シートＰの樹脂を加熱軟化させ、バンプ８を貫通させるのみであり、誘電体シートＰの樹脂は硬化させず、半硬化状態のまま維持するのである。このように誘電体シートＰの樹脂を半硬化状態のままにすることで、後述するように多層プリント配線板の構成材料ＯＢとして用いることが可能となるのである。
【００２５】
この段階でサポート板６を取り外すと、コシのない中間材となってしまうため、サポート板６を取り付けた状態のまま、多層プリント配線板の構成材料ＯＢとして用いるのである。これが、本件発明に言う、第１バルク銅層５の片面側に多層プリント配線板の層間導通導体となるバンプ８を備え、他面側にサポート板６を張り合わせた多層プリント配線板の構成材料ＯＢである。
【００２６】
また、請求項には、「両面に回路を備え、当該両面の回路間の層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法において、少なくとも回路パターンを形成するための第１バルク銅層、両面プリント配線板の層間導通を得るためのバンプを形成するための第２バルク銅層及び第１バルク銅層と第２バルク銅層との間に存在するエッチングバリア層を積層した構造を持つ多層複合材料を用い、ワークサイズとした当該多層複合材料の第１バルク銅層の表面にサポート板を張り合わせ、当該第２バルク銅層をエッチングしてバンプを形成し、当該バンプを形成した面に誘電体シートを重ね、誘電体シートの構成樹脂を軟化させプレスすることで、誘電体シートの構成樹脂の半硬化状態を維持してバンプを貫通させ、バンプを貫通させた誘電体シート面に、銅箔の接着面を対向して重ね合わせてプレス加工し銅箔層を形成し、その後、サポート板を除去し、両面に位置する第１バルク銅層と銅箔層をエッチングして回路を形成して得られることを特徴とする層間導通導体であるバンプを備えた両面プリント配線板の製造方法。」と記載している。
【００２７】
これは、誘電体シートの硬化した絶縁樹脂層の両面に形成した回路間を、絶縁層内に位置するバンプを層間導通導体として、両面回路間の導通を確保した所謂両面プリント配線板の製造方法である。従って、この両面プリント配線板は、多層プリント配線板を製造する際のコア材として用いることも、そのまま通常の両面プリント配線板として用いることも可能である。
【００２８】
この両面プリント配線板の製造方法は、先に述べた多層プリント配線板の構成材料の製造方法を基本として、更に製造工程を付加したものである。即ち、当該多層複合材料１ｂを用い、その第１バルク銅層５の表面にサポート板６を張り合わせ、当該第２バルク銅層２をエッチングしてバンプ８を形成し、当該バンプ８を形成した面に誘電体シートＰを重ね、誘電体シートＰの構成樹脂を軟化させバンプ８を貫通させるまでの工程が共通するのである。そして、バンプ８を貫通させた誘電体シートＰの面に、銅箔の接着面を対向して重ね合わせてプレス加工し、図４（ｄ）に模式的に示したように銅箔層９を形成するのである。このプレス加工が終了した段階で、サポート板６を除去し、図４（ｅ）に模式的に示すような状態になるのである。このサポート板６を除去すると、両面に位置する第１バルク銅層５と銅箔層９とに、エッチングレジスト層を形成して、回路形状を露光現像して、エッチングすることで図４（ｆ）に模式的に示すように回路１０を行い、両面プリント配線板ＤＢが完成することとなるのである。
【００２９】
以上のように、本件発明に係る多層プリント配線板の構成材料ＯＢの製造方法と両面プリント配線板ＤＢの製造方法との発明としての主要部は共通しているため、多層プリント配線板の構成材料ＯＢに適用できる概念をそのまま応用することが可能である。従って、上述した多層プリント配線板の構成材料ＯＢの製造方法の説明の中で述べた「多層複合材料として最も優れると考えられるもの」、「第１バルク銅層及び第２バルク銅層の適正な厚さ」、「最も好ましいサポート板の張り合わせ手段」、「サポート板の適正な構成材料」に関する概念をそのまま適用できるのである。
【００３０】
そして、以上に述べてきた製造方法で得られる多層プリント配線板の構成材料ＯＢと両面プリント配線板ＤＢとを用いて、容易に多層プリント配線板を製造することが可能となる。本件明細書で言う多層プリント配線板とは、３層以上の回路層を備えたプリント配線板のことである。当業者であれば、本件発明に係る製造方法で得られた多層プリント配線板の構成材料ＯＢと両面プリント配線板ＤＢとの種々の組み合わせを考え、多様な層数の多層プリント配線板を製造することは可能と考えられる。ここでは、多層プリント配線板の製造方法を分かりやすく捉えられるように所謂４層プリント配線板の製造方法を用いて説明する。
【００３１】
４層プリント配線板を製造するためには、図５に示すように、内層回路を形成した当該両面プリント配線板ＤＢをコア材として用いて、その両面に当該多層プリント配線板の構成材料ＯＢの誘電体シートＰからバンプ８の先端部が突出した面を対向して重ね合わせて、サポート板６が存在する状態で、プレス加工する。その結果、図５（ｇ）として模式的に示した状態となる。プレス加工が終了すると、この段階で両面に位置するサポート板６除去し、図６（ｈ）に模式的に示したように多層プリント配線板の構成材料ＯＢに由来する第１バルク銅層５を両面に露出させるのである。そして、両面に露出した第１バルク銅層５の表面にエッチングレジスト層を形成し、外層回路形状を露光現像し、エッチングすることで、図６（ｉ）に示したような４層プリント配線板ＭＬＢが完成するのである。このとき、バンプ８の配置を予め適正に配置することで、スルーホールやバイアホール等の形成のための後工程を設けることが無くとも、各層間の電気的導通確保が可能となるのである。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態として本件発明に係る製造方法を用いて多層プリント配線板の構成材料を製造する場合（以下、第１実施形態として記載）と、両面プリント配線板を製造する場合（以下、第２実施形態として記載）とを説明し、更に、これらを用いて４層プリント配線板を製造する場合（以下、第３実施形態として記載）に関して説明する。
【００３３】
第１実施形態：  この実施形態においては、上述した多層プリント配線板の構成材料ＯＢを製造した。
【００３４】
まず、多層複合材料１ａを、次のようにして製造した。以下の説明においては、図７、図１及び図２を参照しつつ説明する。なお、多層複合材料１ａの外層表面には亜鉛防錆処理を施しているが、図面中には防錆層の記載は省略している。ここで用いた多層複合材料１ａは、第２バルク銅層２に１２０μｍの厚さを持つ両面が平滑な無酸素銅からなる圧延銅箔を出発材料とし、その製造手順は、図７に示したフローに従い製造した。最初に、図７（１）に示す圧延銅箔を酸洗処理した。処理を行う酸洗処理槽の内部には濃度１５０ｇ／ｌ、液温３０℃の希硫酸溶液が満たされており、浸漬時間３０秒として、付着した油脂成分を除去し、余分な表面酸化被膜の除去を行い、水洗した。
【００３５】
第２の工程は、第２バルク銅層２として用いる圧延銅箔の片面に、電解法を用いて微細銅粒を付着形成し、図７（２）に示すように粗化処理層３を形成した。銅電解液を用いて当該溶液中で、対極にＤＳＥ板を用い、これを圧延銅箔の粗化処理層３を形成する面と平行して離間配置し、圧延銅箔自体をカソード分極して行った。このとき用いた電解液及び電解条件は、硫酸銅系溶液として１０ｇ／ｌ銅、１５０ｇ／ｌ硫酸、液温２５℃、電解時間１０秒、電流密度２０Ａ／ｄｍ２の条件とした。
【００３６】
そして、微細銅粒を形成した後に、微細銅粒の脱落防止と微細銅粒の粒径成長を目的として、被せメッキを行った。この被せメッキは、硫酸銅系溶液として、５０ｇ／ｌ銅、１５０ｇ／ｌ硫酸、液温４５℃、電流密度８０Ａ／ｄｍ２、電解時間１５秒の平滑メッキ条件で微細銅粒を被覆するように銅を均一析出させた。以上のようにして粗化処理層３の形成を行い、水洗した。
【００３７】
粗化処理層３の形成が終了すると、第３の工程として、当該粗化処理層３の上に、銅エッチング液で浸食することのないエッチングバリア層４を形成した。本実施形態におけるエッチングバリア層４は、平面換算で８．９ｇ／ｍ２のニッケル層として形成した。ニッケル電解液を用いて当該溶液中で、対極にステンレス板を用い、これを圧延銅箔の粗化処理層３を形成した面と平行して離間配置し、粗化処理層３を形成した圧延銅箔自体をカソード分極して行った。ここで用いたニッケル電解液及び電解条件は、硫酸ニッケルを用いてニッケル濃度を２０ｇ／ｌ、液温３５℃、ｐＨ３、電流密度５Ａ／ｄｍ２の条件とした。以上のようにして、図７（３）に示すようにエッチングバリア層４を形成し、水洗した。
【００３８】
エッチングバリア層４の形成が終了すると、第４の工程として、当該エッチングバリア層４の上に電解法を用いて、３μｍ厚の第１バルク銅層５の形成を行った。第１バルク銅層５の形成には、硫酸銅系溶液を用い、平滑メッキ条件を採用して行った。ここで用いた硫酸銅溶液の組成及び条件は、濃度が８０ｇ／ｌ銅、１５０ｇ／ｌ硫酸、液温５０℃、電流密度５０Ａ／ｄｍ２、電解時間３０秒の条件とした。
【００３９】
以上のようにして、図７（４）に模式的に示した４層構造の積層状態を備えたことを特徴とする多層複合材料１ａを得た。なお、本実施形態では、更に、亜鉛を用いて防錆処理を行った。ここでは、アノード電極として亜鉛板を用いた溶解性アノードを用いて、溶液内の亜鉛の濃度バランスを維持するものとして行った。ここでの電解条件は、硫酸亜鉛浴を用い、７０ｇ／ｌ硫酸、２０ｇ／ｌ亜鉛の濃度とし、液温４０℃、電流密度１５Ａ／ｄｍ２とした。
【００４０】
そして、図２（ｂ）に示したように、５０ｃｍ×５０ｃｍサイズの多層複合材料１ａの第１バルク銅層５の表面に、サポート板６として同一サイズの工業用純アルミ製の１．０ｍｍ厚さのアルミニウム板を超音波溶接法を用いて、３ｍｍ幅の外周縁端部７のみを接合させる方法を採用した。超音波溶接法は、ワークサイズの多層複合材料１ａの外周縁端部７のみを、回転する円盤状の溶接チップＣとローラアンビルＡとで加圧して挟み込み、３０ｋＨｚの超音波振動を印加することにより、回転する円盤状の溶接チップＣとローラアンビルＡとを移動させつつ行った。
【００４１】
サポート板６の張り合わせが終了すると、第２バルク銅層２の表面にエッチングレジストとしてドライフィルムを張り付け、露光、現像し、エッチングすることで、バンプ８を形成した。続いて、バンプ８を形成した面に１００μｍ厚さのプリプレグＰを重ね合わせ、１５０℃のプレス温度で積層し、加圧プレス成形することで多層プリント配線板の構成材料ＯＢを得た。
【００４２】
第２実施形態：  第１実施形態で製造した多層プリント配線板の構成材料ＯＢを、更に以下の手順で加工して、両面プリント配線板ＤＢを製造した。即ち、バンプ８を貫通させたプリプレグＰの面に、公称厚さ１２μｍの電解銅箔の接着面を対向して重ね合わせ、１７０℃×１時間のプレス成形加工を行い、電解銅箔を張り合わせ銅箔層９とした。その結果、図４（ｄ）に模式的に示したようになった。
【００４３】
このプレス加工が終了した後に、サポート板６を除去した。このときのサポート板６の除去は、ワークサイズの接合した外周縁端部７を切り落とすことにより、図４（ｅ）に模式的に示すような状態になった。このサポート板の除去が完了すると、両面に位置する第１バルク銅層５と銅箔層９との表面に、ドライフィルムを用いてエッチングレジスト層を形成した。そして、エッチングレジスト層に回路形状を露光現像して、酸性銅エッチング液を用いてエッチングすることで図４（ｆ）に模式的に示すように回路１０の形成を行い、両面プリント配線板ＤＢを得た。
【００４４】
第３実施形態：  上述した多層プリント配線板の構成材料ＯＢと両面プリント配線板ＤＢとを組みあわせて用いて、４層の多層プリント配線板ＭＬＢを製造した。４層プリント配線板ＭＬＢを製造するために、図４（ｆ）に模式的に示したように、内層回路をエッチング形成した当該両面プリント配線板ＤＢをコア材として用いた。そして、そのコア材の両面のそれぞれに当該多層プリント配線板の構成材料ＯＢのプリプレグＰからバンプ８の先端部が突出した面を対向して重ね合わせて、サポート板６が存在する状態で、１７０℃×６０分のプレス加工を行った。
【００４５】
プレス加工が終了すると、この段階で両面に位置するサポート板６を除去し、図６（ｈ）に模式的に示したように多層プリント配線板の構成材料ＯＢに由来する第１バルク銅層５を両面に露出させた。サポート板６の除去は、積層した状態で外周縁端部７の接続部位を切り落とすことにより行った。
【００４６】
そして、両面に露出した第１バルク銅層５の表面に、ドライフィルムを用いてエッチングレジスト層を形成し、外層回路形状を露光現像し、エッチングすることで、図６（ｉ）に示したような４層プリント配線板ＭＬＢを得た。
【００４７】
【発明の効果】
本発明に係る多層複合材料を用いた製造方法を採用することで、多層複合材料の回路形成用銅箔が従来不可能であった１８μｍ未満の厚さでも多層プリント配線板の構成材料及び両面プリント配線板の製造が可能となり、それぞれにファインピッチ回路の形成歩留まり及びエッチング信頼性を飛躍的に向上させることができるのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】多層複合材料の基本層構成及びそのバリエーション例を表す模式図。
【図２】多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図３】多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図４】多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図５】多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図６】多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図７】多層複合材料の製造過程を表す模式図。
【図８】従来の多層複合材料の製造過程を表す模式図。
【図９】従来の多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図１０】従来の多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【図１１】従来の多層複合材料の多層プリント配線板への加工過程を表す模式図。
【符号の説明】
１，１ａ  多層複合材料
２    第２バルク銅層
３    粗化処理層
４    エッチングバリア層
５    第１バルク銅層
６    サポート板
７    外周縁端部
８    バンプ
９    銅箔層
１０    回路
Ｐ    誘電体シート（プリプレグ）
Ｃ    溶接チップ
Ａ    ローラアンビル
ＯＢ    多層プリント配線板の構成材料
ＭＬＢ  多層プリント配線板（４層プリント配線板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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