(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を加熱するための加熱ホルダを円筒状のスキャナに装着するようにした走査形プローブ顕微鏡において、
円筒軸が前記スキャナの円筒軸とほぼ一致するように、前記スキャナの端部に取り付けられた円筒状の熱絶縁部材を備え、
前記加熱ホルダを前記熱絶縁部材を介して前記スキャナに装着し、
前記熱絶縁部材に穴が開けられていることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記穴は熱絶縁部材に複数開けられており、穴と穴の間に形成された円筒軸方向の熱伝導経路を曲げるように穴が開けられていることを特徴とする請求項１記載の走査形プローブ顕微鏡。
【請求項３】
前記熱絶縁部材は、低熱伝導性セラミックスまたはステンレスまたはガラスで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の走査形プローブ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、原子間力顕微鏡や走査形トンネル顕微鏡などの走査形プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
走査形プローブ顕微鏡においては、試料はｘｙｚ方向に変位するスキャナ（圧電体）上に取り付けられ、試料はｘｙ方向に走査されて試料表面の形状観察が行われる。そして、このような走査形プローブ顕微鏡において、真空中で試料を加熱することによって、加熱による試料の形態変化を観察できたり、試料表面の清浄化を行うことができる。
【０００３】
さて、図１は、試料を加熱するための加熱ホルダを円筒状のスキャナに装着するようにした、従来の走査形プローブ顕微鏡を示したものである。
【０００４】
この走査形プローブ顕微鏡において、圧電体素子で形成された円筒状のスキャナ（チューブスキャナ）１の一端は、スキャナ取付台２に固定されており、このスキャナ１は、ｘ,ｙおよびｚ方向に変位するように構成されている。
【０００５】
一方、スキャナ１の他端には、加熱ホルダ３を装着するためのホルダ取付部４が接着されている。このホルダ取付部４は電気絶縁部材で形成されており、加熱ホルダ３とスキャナ１は、ホルダ取付部４によって電気的に絶縁されている。
【０００６】
また、図１に示すように、上述した加熱ホルダ３は、ビス５により前記ホルダ取付部４に固定されている。この加熱ホルダ３にはヒータ６が組み込まれており、ヒータ６は、図示していない加熱電源に電気的に接続されていて、通電加熱により高温に加熱されるように構成されている。
【０００７】
そして、試料７がヒータ６上にセットされており、試料７は、ヒータ６の加熱によって高温に加熱される。このため、図１の走査形プローブ顕微鏡においては、加熱による試料の形態変化を観察できたり、試料表面の清浄化を行うことができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
さて、上述したようにヒータ６を加熱すると、熱伝導により、ヒータ６の熱がホルダ取付部４を介してスキャナ１に伝わって、スキャナ１まで加熱されてしまう。この場合、ヒータ６を加熱する温度や加熱時間にもよるが、円筒状スキャナ１のヒータ６に近い側は、１００℃程度までの温度上昇がみられる。
【０００９】
一方、スキャナ１は圧電体素子で作られていて、分極処理が施されている。この分極処理においては、圧電体素子は、約１５０℃程度まで加熱された状態で適当な電圧が印加されて分極が行われる。
【００１０】
しかし、このように分極処理が施された圧電体素子を、上述したようにヒータ６の加熱によって、分極処理時の加熱温度の約半分程度以上（約８０℃以上）に加熱してしまうと、徐々に分極が壊れていってしまい、最後にはスキャナとして機能しなくなってしまう。
【００１１】
本発明は以上の点に鑑みて成されたもので、その目的は、加熱ホルダの加熱によるスキャナの温度上昇を抑えることができる走査形プローブ顕微鏡を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成する本発明の走査形プローブ顕微鏡は、試料を加熱するための加熱ホルダを円筒状のスキャナに装着するようにした走査形プローブ顕微鏡において、円筒軸が前記スキャナの円筒軸とほぼ一致するように、前記スキャナの端部に取り付けられた円筒状の熱絶縁部材を備え、前記加熱ホルダを前記熱絶縁部材を介して前記スキャナに装着し、前記熱絶縁部材に穴が開けられていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
図２は、本発明の走査形プローブ顕微鏡の一例を示したものであり、本発明の要部であるスキャナ部分を示したものである。なお、図２において、図１の構成要素と同じものには図１と同じ番号が付けられており、その説明を省略する。
【００１５】
図２の構成において、図１の構成と異なる点は、円筒状の熱絶縁部材８が前記スキャナ１とホルダ取付部４間に配置されていることであり、それ以外の構成は図１の構成と同じである。
【００１６】
この円筒状の熱絶縁部材８について説明すると、円筒状の熱絶縁部材８は低熱伝導性のセラミックスで作られており、その径ｄ1と厚みｄ2は前記スキャナ１のそれらとほぼ同じである。そして、熱絶縁部材８の一端はスキャナ１の上端部に接着されており、熱絶縁部材８の他端には前記ホルダ取付部４が接着されている。このように、円筒状の熱絶縁部材８は、その円筒軸がスキャナ１の円筒軸ｏとほぼ一致するように、スキャナ１の端部に取り付けられている。
【００１７】
さて、このような円筒状の熱絶縁部材８を備えたスキャナにおいては、前記ヒータ６を高温に加熱しても、ヒータ６からホルダ取付部４に伝わった熱は、熱絶縁部材８で遮られてスキャナ１側にほとんど伝わらない。このため、図２の装置においては、加熱ホルダを高温に加熱してもスキャナの温度上昇が抑えられ、スキャナの破損を防ぐことができる。
【００１８】
また、図２の装置においては、加熱ホルダ側からスキャナ側への熱伝導をより低減させるために、熱絶縁部材８として、円盤状のものではなく円筒状のものが用いられているが、このように円筒状としたことによる効果は他にもある。
【００１９】
その１つは、円筒状のものは円盤状のものに比べて質量が軽いので、スキャナへの荷重をより抑えることができる。このため、スキャナを安定に走査させることができる。
【００２０】
また、熱絶縁部材として円筒状のものを用いれば、加熱電源からヒータへの配線を、スキャナ１の内側および円筒状の熱絶縁部材８の内側を通して、ホルダ取付部４側へ行うことができる。一般に、スキャナ１の内面は接地電位にされてシールドされているので、このように、配線をスキャナの外側に出すのではなくその内側に通せば、スキャナ１への電気的ノイズの混入を抑えることができる。
【００２１】
以上、図２を用いて本発明の一例を説明したが、本発明はこの例に限定されるものではない。
【００２２】
たとえば、図３に示すように、複数の穴が開けられた円筒状の熱絶縁部材９を、前記スキャナ１とホルダ取付部４の間に介在させるようにしてもよい。このように穴を開けることによって、熱絶縁部材９における熱伝導の経路の断面積を小さくすることができ、スキャナへの熱伝導をより抑えることができる。
【００２３】
また、別の変形例として、図４に示すような円筒状の熱絶縁部材１０を、前記スキャナ１とホルダ取付部４の間に介在させるようにしてもよい。この熱絶縁部材１０には、その円筒軸方向に４段の長方形の穴が開けられており、その各段においては、円周方向に複数の長方形の穴が開けられている。そして、この熱絶縁部材１０においては、穴と穴の間に形成された円筒軸方向の熱伝導経路を円周方向に曲げるように、上下の段の穴が円周方向にずらされて互い違いに入れられている。このように穴を開けることによって、熱絶縁部材１０における熱伝導経路の断面積の減少、および熱伝導経路の長さを長くすることができる。このため、スキャナ１の温度上昇をより抑えることができる。
【００２４】
また、上述した円筒状の熱絶縁部材を、ステンレスやガラスで作るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来の走査形プローブ顕微鏡を示したものである。
【図２】  本発明の走査形プローブ顕微鏡の一例を示したものである。
【図３】  本発明の他の例を示したものである。
【図４】  本発明の他の例を示したものである。
【符号の説明】
１…スキャナ、２…スキャナ取付台、３…加熱ホルダ、４…ホルダ取付部、５…ビス、６…ヒータ、７…試料、８、９、１０…円筒状の熱絶縁部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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