(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、
複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、
前記基板上には、第一の半導体素子と、前記第一の半導体素子より面積の大きい第二の半導体素子が搭載され、
前記第一の半導体素子の基板より前記第二の半導体素子の基板厚さが薄く形成され、
前記第一の半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを非実施とし、
前記第二の半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドが施されることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項２】
請求項１のマルチチップモジュール型半導体装置であって、前記第一のバンプの周囲にアンダーフィルが配置されていることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項３】
請求項１のマルチチップモジュール型半導体装置であって、前記半導体素子は、前記半導体基板に再配線層を介して前記バンプが設置されるウエハプロセスパッケージ型の半導体素子であることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項４】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、
複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、
前記基板上には、半導体素子にバンプ及びバンプの周囲に形成されたアンダーフィルを介して搭載された第一の半導体素子と、半導体素子にバンプを介してアンダーフィルを有さずに搭載された第二の半導体素子と、を備え、
前記第一の半導体素子の厚さは、前記第二の半導体素子の厚さより薄く形成され、
前記第一の半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドが実施され、
前記第二の半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドが非実施であることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項５】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、
複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、
前記基板上には、ベアチップの半導体素子が前記基板にバンプ及びバンプの周囲に形成されたアンダーフィルを介して搭載されたフリップチップ型半導体素子と、ベアチップの半導体素子が封止樹脂またはエラストマを備え、バンプを介してアンダーフィルを有さずに搭載されたチップサイズパッケージ型半導体素子と、を備え、
前記フリップチップ型半導体素子の厚さは、前記チップサイズパッケージ型半導体素子の厚さより薄く形成され、
前記フリップチップ型半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、
前記チップサイズパッケージ型半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項６】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、
複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、
前記基板上には、半導体素子に再配線層を備え、バンプ及びアンダーフィルを介して搭載されたウエハプロセスパッケージ型半導体素子と、半導体素子が封止樹脂またはエラストマを備え、バンプを介してアンダーフィルを有さずに搭載されたチップサイズパッケージ型半導体素子と、を備え、
前記ウエハプロセスパッケージ型半導体素子の厚さは、前記チップサイズパッケージ型半導体素子の厚さより薄く形成され、
前記ウエハプロセスパッケージ型半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、
前記チップサイズパッケージ型半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【請求項７】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、
複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、
前記基板上には、シリコンウエハから形成されるシリコン半導体素子と、ガリウム砒素ウエハから形成されるガリウム砒素半導体素子と、を備え、
前記ガリウム砒素半導体素子の厚さは、前記シリコン半導体素子の厚さより薄く形成され、
前記ガリウム砒素半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、
前記シリコン半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とするマルチチップモジュール型半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高信頼のマルチチップモジュール（MCM）型半導体装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体装置が搭載される電子機器の高性能、高機能、小型化は著しく、半導体装置には増々高速化、小型化が求められている。これに対応して、搭載基板上に複数の半導体素子を接続して1個のモジュールとして機能させ、より高密度なシステム実装を実現することにより、システムの高速化、小型化を図った、マルチチップモジュール（MCM）と呼ばれる半導体装置の開発が各社で進められている。
【０００３】
半導体素子自体においては、基板に設置後に、基板との熱膨張差による半導体素子のクラックやはんだの割れ、アンダーフィルを備える場合にはアンダーフィル樹脂のクラック等を防止することが検討されている。特開平１１―２２０７７号公報には、フリップチップ型半導体に関して、半導体素子やアンダーフィルのクラックを抑制する為に、基板の熱膨張係数等の値を制御することが開示されている。また、特開２０００―４０７７５号公報には、半導体素子に生じるクラックを抑制するために、アンダーフィルの斜面形状を工夫することが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、いずれの公知例もフリップチップ半導体単体において応力関係を見ているに過ぎず、ＭＣＭ構造での課題及び対策については言及されていない。
【０００５】
半導体素子を複数備えた基板がマザーボードに配置されるＭＣＭ構造における検討の結果、マザーボードに設置されるはんだ部、特に端部領域に使用時の熱膨張等によりひずみが生じ、ＭＣＭ全体としての健全性を低下させる恐れがある。
【０００６】
そこで、本発明は、運転に際しても熱膨張などに対する健全性低下を抑制した高信頼構造のMCM型半導体装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、例えば、複数のベアチップの半導体素子とその他の複数の電子部品が、バンプにより基板に接続され、前記半導体素子と前記基板との間にアンダーフィルの樹脂が挿入されたマルチチップモジュール（MCM）型半導体装置を構成するとき、前記半導体素子の前記基板と接続された面の裏面における最も長い一辺または最も短い一辺の長さが、半導体素子によって異なり、前記半導体素子の厚さtcが、半導体素子の前記1辺の長さに応じて異なるようにする。これにより、運転に際しても熱膨張などに対する健全性低下を抑制した高信頼構造のMCM型半導体装置を提供することにある。具体的には、これにより、MCMにおいて、複数の半導体素子を搭載する基板とマザーボード間に配置されるバンプへ働く応力分布の不均一を抑制することができ、MCM型の半導体装置の信頼性を向上させることができる。
【０００８】
具体的には、本発明のマルチチップモジュール型半導体装置は、半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、前記基板上には、第一の半導体素子と、前記第一の半導体素子より面積の大きい第二の半導体素子が搭載され、前記第一の半導体素子の基板より前記第二の半導体素子の基板厚さが薄く形成されている、ことを特徴とする。
【０００９】
なお、半導体素子において、強度の弱い面が前記半導体素子の基板と接続される面の裏面にあって、破壊形態として、クラックの起点が前記面上となることが予測されるとき、係る観点からも前記半導体素子の前記基板と接続された面の裏面における最も長い一辺の長さが長い半導体素子ほど、前記半導体素子の厚さtcを薄くすることが考えられる。
また、前記の装置において、前記第一のバンプの周囲にアンダーフィルを配置しても良い。
【００１０】
また、前記半導体素子は、前記半導体基板に再配線層を介して前記バンプが設置されるウエハプロセスパッケージ型の半導体素子であってもよい。
【００１１】
前記ウエハプロセスパッケージ（WPP）型半導体素子は、前記バンプと半導体素子との間に、前記バンプの間隔を広げるために、またな、前記バンプの径を広げるために、再配線層を設けることが好ましい。前記半導体素子と前記基板との間にアンダーフィルの樹脂が挿入されたマルチチップモジュール（MCM）型半導体装置を構成することができる。
【００１２】
また、前記第一の半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを非実施とし、前記第二の半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドが施されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、前記基板上には、半導体素子にバンプ及びバンプの周囲に形成されたアンダーフィルを介して搭載された第一の半導体素子と、半導体素子にバンプを介して搭載された第二の半導体素子と、を備え、前記第一の半導体素子の厚さは、前記第二の半導体素子の厚さより薄く形成されていることを特徴とする。
【００１４】
または、加えて、前記第一の半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドが非実施され、前記第二の半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドが非実施であることを特徴とする。
【００１５】
バンプとアンダーフィルを用いて基板に搭載する半導体素子と、バンプを用いアンダーフィルを不実施にして基板に搭載する半導体素子とが、一基板上に混在する場合にはアンダーフィルを備えた半導体素子の厚さをアンダーフィルを備えない半導体素子の厚さより薄くする。そして、前記基板とマザーボード間に配置するバンプの応力分布の不均一を緩和してMCM全体そしての信頼性を向上させることができる。  具体的には、ベアチップの半導体素子がバンプによりアンダーフィルの樹脂を伴って基板に接続されたフリップチップの半導体素子と、バンプにより基板に接続された、ベアチップの半導体素子がテープ基板上に封止樹脂またはエラストマを伴って接続されたチップサイズパッケージ（テープ型CSP）で、前記フリップチップの半導体素子の厚さと前記テープ型CSPの半導体素子の厚さを異ならせるものである。
【００１６】
まは、本発明は、半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、前記基板上には、ベアチップの半導体素子が前記基板にバンプ及びバンプの周囲に形成されたアンダーフィルを介して搭載されたフリップチップ型半導体素子と、ベアチップの半導体素子が封止樹脂またはエラストマを備え、バンプを介して搭載されたチップサイズパッケージ型半導体素子と、を備え、前記フリップチップ型半導体素子の厚さは、前記チップサイズパッケーッジ型半導体素子の厚さより薄く形成されていることを特徴とする。
【００１７】
また、前記第フリップチップ型半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、前記チップサイズパッケージ型半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とする。
【００１８】
または、例えば、バンプによりアンダーフィルの樹脂を伴って基板に接続され、前記バンプと半導体素子との間に、再配線層が設けられたウエハプロセスパッケージ（WPP）の半導体素子と、バンプにより基板に接続され、ベアチップの半導体素子がテープ基板上に封止樹脂またはエラストマを伴って接続されたチップサイズパッケージ（テープ型CSP）とを基板上に備える場合、前記WPPの半導体素子の厚さと前記テープ型CSPの半導体素子の厚さを異ならせるものである。
【００１９】
半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、前記基板上には、半導体素子に再配線層備え、バンプ及びアンダーフィルを介して搭載されたウエハプロセスパッケージ型半導体素子と、半導体素子が封止樹脂またはエラストマを備え、バンプを介して搭載されたチップサイズパッケージ型半導体素子と、を備え、前記ウエハプロセスパッケージ型半導体素子の厚さは、前記チップサイズパッケーッジ型半導体素子の厚さより薄く形成されていることを特徴とする。
【００２０】
また、前記ウエハプロセス型半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、前記チップサイズパッケージ型半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、半導体基板の一主面に回路が形成された半導体素子と、複数の前記半導体素子が第一のバンプを介して搭載され、マザーボードに第二のバンプを介して配置される基板と、を備え、前記基板上には、シリコンウエハから形成されるシリコン半導体素子と、ガリウム砒素ウエハから形成されるガリウム砒素半導体素子と、を備え、前記ガリウム砒素半導体素子の厚さは、前記シリコン半導体素子の厚さより薄く形成されていることを特徴とする。
【００２２】
また、前記ガリウム砒素半導体素子の前記回路形成面の裏面に、バックグラインドを実施し、前記シリコン半導体素子の前記回路形成面の裏面にバックグラインドを非実施とされることを特徴とする。
【００２５】
なお、前記のマルチチップモジュール型半導体装置については、半導体素子の基板と接続された面の裏面上に、接着剤を介して、放熱のための熱拡散板または遮光のための遮光板が取り付けるようにすることができる。
【００２６】
素子に与える応力などを低下させるためにすべての搭載された半導体素子を薄くするのでは容易ではなく、コストも高くなってしまう。
【００２７】
しかし、本発明のようにモジュール全体として捉えて、マルチチップモジュール型半導体装置を構成することにより、厚さを薄くする半導体素子の数を減らして、マルチチップモジュール型半導体装置の健全性の低下を抑制することができるので、コストパフォーマンスの高い製品を提供することができる。
【００２８】
MCMにおいて、半導体素子は、はんだやAuのバンプにより基板に接続され、半導体素子と基板との間に、バンプの接続信頼性を向上させるため、アンダーフィルと呼ばれる有機系樹脂などを充填する、従来の搭載基板上に1個の半導体素子を接続した半導体装置でも用いられた方式で実装される。基板材料としては、MCMをマザーボードに接続した場合の接続信頼性を考慮し、マザーボードと同程度の線膨張係数（10〜20x10-6K-1）の材料が使用される。しかし、半導体素子（Siなどの半導体材料）の線膨張係数（2〜3x10-6K-1）に対して、基板の線膨張係数が相対的に高くなるので、環境温度の変化により線膨張係数差に起因した熱応力がパッケージ内部に生じやすいという欠点がある。このため、温度サイクル（例えば、-55〜125℃）等の信頼性試験において、熱応力起因で半導体素子にクラックが生じ、信頼性基準を達成することができない場合がある。従来の、搭載基板上に1個の半導体素子を接続した半導体装置では、例えば特開2000-40775のように、アンダーフィルの斜面形状を工夫することにより、半導体素子に生じるクラックを防止していた。
【００２９】
MCMでは、基板に接続される半導体素子の数が複数個となるため、アンダーフィルの形状を制御することが難しくなる。アンダーフィルは、例えば特開平11-220077で説明されているように、ディスペンスノズルを用いて半導体素子と基板の間に注入して形成される。特開2000-40775で開示されているようにアンダーフィルの斜面形状を均一に制御するためには、１ヶ所のみからの注入ではなく、半導体素子の周囲から、ノズルを移動させるなどして注入する必要がある。しかし、半導体素子が近接して配置されている箇所などでは、ノズルを挿入してアンダーフィルを注入することが難しくなり、また、仮に可能であったとしても、そのような方法では手間がかかりすぎてしまい、コスト的にも上昇する。アンダーフィルの形成は、上述のような方法の他に、テープ状の樹脂（異方性電導樹脂（ACF）も含む）を半導体素子と基板の間に挟み込み、リフローや熱圧着により接続する方法もあるが、この場合はさらに形状制御は困難である。
【００３０】
しかしながら、本発明のように異なる半導体素子が搭載された場合に、他の半導体素子との関係で半導体素子の厚さに着目してマルチチップモジュールを構築するので、アンダーフィルの形状の制御と異なる観点から、マルチチップモジュールの健全性を維持することができる。
【００３１】
また、半導体素子自体に加わるの応力について以下の解析を行った。
【００３２】
信頼性試験中に半導体素子に生じる熱応力は、有限要素法の2次元弾性解析で、-55〜125℃の-205℃の温度差を与えて計算した。図２に、解析モデルの模式図を示す。特に高い応力が発生し、クラックが生じやすい、半導体素子表面の中央部の点（図２のA部。以下、半導体素子中央部とする。）と、半導体素子とアンダーフィル斜面が交わる線上の点（図２のB部。以下、アンダーフィル斜面端部とする。）の主応力値で評価した。なお、アンダーフィル斜面端部は応力集中部で特異性を示すが、要素サイズを常に同程度（0.1mmx0.05mm）として、相対評価を行った。
【００３３】
最初に、1個の基板上に複数の半導体素子が接続された場合に、半導体素子と半導体素子が搭載されている基板との間において、1個のみ接続された場合と比較して、半導体素子に生じる熱応力に差異が生じるかどうかを検討した。図３に結果を示す。半導体素子が1個の場合と、3個の場合では、ほとんど主応力値に差が無く、また、半導体素子数3個で素子同士の間隔を変えて配置を変えても、主応力値は変化していない。半導体素子に生じる熱応力は、素子数、素子配置に依らない傾向を示した。
【００３４】
次に、、半導体素子と半導体素子が搭載されている基板との間において、基板の平面方向の寸法が応力に及ぼす影響を調べた。図４に結果を示す。基板寸法が4倍近い差となっても、主応力の変化は5%程度である。半導体素子に生じる熱応力の、基板寸法による影響は小さい。
【００３５】
次に、半導体素子と半導体素子が搭載されている基板との間において、アンダーフィル斜面の形状が応力に及ぼす影響を調べた。図５に示した、hとlの寸法を変えた時の主応力の変化を調べた。図６に結果を示す。アンダーフィル斜面端部の主応力は、アンダーフィル斜面端部が半導体素子の下面（基板側面）位置となり、斜面角度が45°になるとき（h=l=d）に最大となっている。半導体素子中央部の主応力は、アンダーフィル斜面形状が変わっても変化していない。アンダーフィル斜面形状が不均一になった場合の影響についても調べた。図７に結果を示す。半導体素子中央部の主応力に関しては、アンダーフィル斜面形状が不均一の場合と均一の場合とで差異は認められない。アンダーフィル斜面端部の主応力に関しても、応力値は評価位置におけるアンダーフィル形状によって決まり、均一であるか否かには依存しない。また、隣同士のアンダーフィルがつながった場合の影響も検討した。図８にその結果を示す。半導体素子中央部の応力、アンダーフィル斜面端部の応力ともに、アンダーフィルがつながったことの影響は少ない。
【００３６】
次に、半導体素子の平面方向の寸法が応力に及ぼす影響を調べた。図９に結果を示す。素子寸法が約7mmから15mmの範囲では、半導体素子寸法による主応力の変化の程度は小さい。素子寸法が、約7mmよりも小さくなると、変化の程度が大きくなる。半導体素子中央部の主応力は減少傾向にあるが、アンダーフィル斜面端部の主応力は増加傾向にある。
【００３７】
以下のMCM高信頼構造の検討では、１個の素子について、基板の平面方向の寸法は約25mmに固定したモデルを使用して解析を行うこととした。アンダーフィル斜面形状は、半導体装置製造工程で制御することは難しく、実際の製品では種々の形状が混在することになる。それら全ての形状について信頼性を保証する必要があるため、評価モデルの形状は、応力が最大となる、斜面端部が半導体素子の下面位置で、斜面角度が45°の形状とした。半導体素子の平面方向の寸法は、当面の主流となる、約7mmとした。
【００３８】
高信頼構造検討項目は、半導体素子の厚さ、基板の厚さ、基板の線膨張係数、アンダーフィルのヤング率と線膨張係数とした。半導体素子の材料としては、主にシリコンを使用し、ヤング率、線膨張係数は大きく変動しないため、半導体素子のヤング率は約190GPa、線膨張係数は約3x10-6K-1で固定値とした。基板の線膨張係数が変わったときの半導体素子の影響に対してヤング率の変化に対する影響が少ないので、基板のガラスエポキシなどの樹脂材料も、ヤング率は大きく変動しないので、約20GPaに固定した。
【００３９】
図10に、半導体素子の厚さ、基板の厚さ、基板の線膨張係数を変えた時の、半導体素子中央部およびアンダーフィル斜面端部の主応力を示す。（ａ）は半導体素子中央部、（ｂ）は側面部の状態を示す。縦軸は、チップに生じる主応力を、試作品に対し温度サイクル試験を行った結果得られた、チップにクラックが生じる臨界主応力で除した値とした。すなわち、縦軸が1のとき、チップに生じる主応力が臨界応力に等しい。横軸は、(半導体素子の厚さ)/(基板の厚さ)として整理した。アンダーフィルは、ヤング率=約10GPa、線膨張係数=約35x10-6K-1に固定して解析を行った。半導体素子中央部の主応力は、(半導体素子の厚さ)/(基板の厚さ)が1前後のとき最大となり、特に、(半導体素子の厚さ)/(基板の厚さ)が1より小さくなると、急激に応力が減少する。アンダーフィル斜面端部の主応力は、(半導体素子の厚さ)/(基板の厚さ)が小さくなるほど減少する。基板の線膨張係数は、10〜20x10-6K-1の範囲で変動させたが、樹脂基板であれば、この範囲に含まれる。線膨張係数が小さいほど主応力は減少する。
【００４０】
図11に、半導体素子の厚さ、基板の厚さ、アンダーフィルを変えた時の、半導体素子中央部およびアンダーフィル斜面端部の主応力を示す。縦軸、横軸は、図10と同様である。基板の線膨張係数は、15x10-6K-1に固定した。アンダーフィルの材質は、半導体素子、基板との密着性や、耐熱性、耐湿性なども考慮しなければならないため、使用可能なものは限られる。現状では、ヤング率=約10GPa、線膨張係数=約35x10-6K-1のものと、ヤング率=約6GPa、線膨張係数=約30x10-6K-1の2種類が、代表的なアンダーフィルとして挙げられる。この2種類のアンダーフィルに対して、応力解析を行った。半導体素子中央部の主応力は、アンダーフィル材質が異なってもほとんど変化しない。アンダーフィル斜面端部の主応力は、アンダーフィル材質が低ヤング率、低線膨張係数になるほど減少する。
【００４１】
図10及び図11の結果から、半導体素子の厚さは、少なくとも基板の厚さよりも薄い方が好ましく、半導体素子の厚さが薄い方が応力を低減でき、クラックを防止することができるということがわかる。また、基板の線膨張係数、アンダーフィルのヤング率、線膨張係数は、より小さい方が望ましい。
【００４２】
ところで、図11に示したように、特に、半導体素子の平面方向の寸法が約7mm以下に小さくなると、半導体素子中央部の主応力は減少し、アンダーフィル斜面端部の主応力は増加する。半導体素子搭載面における半導体素子の投影面積が大きい半導体素子の厚さを、前記面積が小さい半導体素子の厚さより薄くすることにより、クラック発生の危険性をおり低減することができる。
【００４３】
同一基板上に接続された複数の半導体素子において、基板、アンダーフィルの物性を素子ごとに変えることは困難だが、半導体素子の厚さは、素子によって異なる厚さとすることができる。なお、強度の弱い面が半導体素子の上面部にあって、破壊形態として、クラックの起点がこちらの面となることが予測される場合には、素子の平面方向の寸法が大きいものほどクラックが発生しやすくなるので、平面方向の寸法の大きい素子の素子厚さを薄くする。
【００４６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を採用したMCM型半導体装置の実施例を詳しく説明する。
【００４７】
図1に、本発明の第１の実施例のMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図を示す。図1(a)は平面概観図を示し、１(b)は前記１(a)の線分A―A'においての断面図を示す。図1(a)の平面概観図のように、基板4上に、複数のベアチップの半導体素子1が接続されている例を示す。なお、基板上には、半導体素子のほかに種々の大きさのコンデンサなどの電子部品5が接続される場合がある。図1(b)に示した図1(a)の線分A-A'における断面図のように、半導体素子の回路形成面の裏面4辺の寸法に関して、同一基板上の半導体素子同士で面積に差異がある場合、半導体素子１の厚さも異なるように配置する。例えば、面積の大きい半導体対素子１の厚さt1は面積に小さい半導体素子１の厚さt2より薄く構成されている。半導体素子の厚さは、残存しているいわゆるウエハ部分の厚さを比較することができる。例えば、ゲート絶縁膜から裏面（酸化膜除）までとしても良い。
【００４８】
バンプ１４に注目した場合に、面積が大きい半導体素子部分でのバンプ１４に加わる応力と、面積が小さい半導体素子部分でのバンプ１４に加わる応力の影響の差を抑制することができる。そして、バンプ１４に加わる応力分布に関して、基板１４全体での不均一を抑制することができる。よって、バンプ１４部の信頼性を向上させることができ、MCM全体そして見ても高信頼性の半導体装置を提供することができる。また、本構造により、低コストで、半導体素子に生じるクラックを防止することができる。
【００４９】
なお、上記厚さ関係に適用する半導体素子は、少なくとも小さい半導体素子が７ｍｍ以下の長さの辺を有するものに適応することが、図９に示した応力変化の観点からも好ましい。
【００５０】
ベアチップの半導体素子は、厚さtw（例えば約0.75mm）の半導体材料のウエハをダイシングして作製する。半導体材料としては通常はシリコンが用いられるが、電気特性がシリコンよりも良いことからガリウムヒ素などの使用も検討されている。最終的な半導体素子の厚さtcを、twよりも薄くする場合は、例えばバックグラインドを施して目的の厚さとする。バックグラインドは、半導体素子を基板に接続する前の、いずれかの工程において行う。ダイシングした半導体素子は、導電性バンプ3が取付けられ、基板4上に接続される。バンプは、現状はPb-Snはんだが主流だが、環境への影響を考慮して近年はPbフリーはんだへと移行しつつある。また、よりバンプ間隔およびバンプ径の微細化が可能なAuを使用してもよい。デバイス配線材にAlからより電気特性の良いCuを使用する場合には、Auよりも接続性の良いCuを使用することができる。基板材料は、マザーボードとの接続信頼性を考慮して、マザーボードと同程度の線膨張係数のガラスエポキシなどの有機系樹脂材料が主流だが、半導体素子の熱応力を低減する観点から、より半導体素子との線膨張係数差が小さいセラミック材料が使用されることができる。基板の厚さtsは、tcよりも厚いことが望ましい。半導体素子と基板の接続は、はんだバンプは、リフロー加熱により溶融させることにより接続される。Auバンプは、超音波による振動などを利用して加熱圧着される。バンプの接続信頼性を向上させるため、半導体素子と基板の間には、アンダーフィルと呼ばれる、エポキシなどの有機系樹脂材料2が充填される。アンダーフィル2は、例えば特開平11-220077号公報で説明されているように、ディスペンスノズルにより注入される。低融点のはんだに対しては、より製造が容易な、テープ状の樹脂を半導体素子と基板の間に挟んでリフローではんだと共に溶融して接続する方法もある。また、Auの場合には、アンダーフィルよりも製造が容易で、バンプ間隔が微細化したときに樹脂が浸透しないなどの問題が生ぜず有利な、テープ上の異方性電導樹脂（ACF）を半導体素子と基板の間に挟んで加熱圧着する方法もある。アンダーフィルの斜面形状は、半導体素子同士が近接して配置される場合もあるため、制御することが難しく、種々の形状になることが考えられる。テープアンダーフィルやACFの場合にはより斜面形状の制御は困難である。しかし、本発明は、アンダーフィルの斜面形状に依らず有効である。半導体素子と基板の間隔は、0.01〜0.1mm程度である。基板上に接続される全ての素子の個数、配置は、種々の形態が有り得る。
【００５１】
なお、厚さの異なる半導体素子を搭載したMCMについて公知例を調査したところ、特開平６−２４４２３８を更に抽出したが、本公知例は、単に、厚みの異なる複数の半導体素子を厚みの薄い半導体素子より順に同一の加圧治具で配線基板に接続することが開示されているに過ぎず、本発明の課題も本発明に関する示唆共に開示されているとはいえないものであった。
【００５３】
図12に、本発明の第２の実施例のMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図を示す。材料構成、製造方法は、第1の実施例と同様にすることができる。ただし、半導体素子の材料は、シリコン、ガリウムヒ素など複数種類となっており、基板４上に異なる材料の基板を有する半導体素子が並存している。この場合、例えば、熱伝導率の低い材料からなる半導体素子を、熱伝導率の高い半導体素子の厚さより薄くする。例えばシリコンで形成された半導体素子の厚さ（t5）をガリウムヒ素で形成された半導体素子の厚さ（t6）より厚くする。（シリコンの熱伝導率はガリウムヒ素より良い）
熱伝導性の悪いガリウムヒ素からなる半導体素子の厚さをシリコンからなる半導体素子の厚さより薄くして、熱をより逃げやすい構成にする。これにより、MCMにおける基板上での部分的な熱の集中を抑制することができる。そして、MCM全体としての機能を確保しつつ、マザーボード15と基板４との間に設置されたはんだ14への影響の均一化を図ることができる。
【００５４】
本構造により、コストパフォーマンスの高いMCM半導体装置を構成することができる。図13に、本発明の第３の実施例のMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図を示す。半導体素子に対して、バンプ3と半導体素子1との間に、導電性の配線材料とポリイミドなどの有機系樹脂の絶縁材料からなる再配線層9を設け、ウエハプロセスパッケージ（WPP）としている。WPPとしたのは、例えば、バンプ間隔を広げる目的または、バンプ径を拡大する目的で採用することができる。前記配線材料としては、一般にCuが使用されるが、より電気抵抗の小さいAuが用いられることもできる。図14に示す様に、厚さtw（例えば約0.75ｍｍを使用する）のシリコンなどの半導体材料のウエハ８の一主面に回路を構成する工程（ａ）、バックグラインドを施して厚さをtwより薄いtcにする工程（ｂ）、そして最終的にWPPの半導体素子は、ウエハの状態で再配線層およびバンプを形成した後（ｃ）、ダイシングを行い作製する（ｄ）。半導体素子の厚さtcは、バックグラインドにより薄板化される例を説明したが、バックグラインドは、半導体素子を基板に接続する前の、いずれかの工程（例えば、図15(b)以外でも図15(c)または図15(d)の工程）において行うことができる。ダイシング後の製造方法は、第1の実施例と同様にすることができる。また、再配線層以外の材料構成は第1の実施例と同様にすることができる。再配線層の厚さは、半導体素子の厚さと比較して薄い、例えば0.01mm〜0.05mm程度にすることができる。半導体素子の厚さtcが、第1の実施例または第2の実施例と同様にして設定して、はんだ１４にかかる応力の均一化を図ることができる。または、半導体素子に生じるクラックを防止することができる。
【００５５】
図15、図16に、本発明の第４の実施例のMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図を示す。MCMに搭載される半導体素子がWPPの半導体素子とWPP化しない半導体素子の混載された例を示す。本実施例では、WPP半導体素子とCSP半導体素子とを混載したMCM半導体装置の例を示す。WPP以外に素子のバンプ間隔を広げて接続する手段として、テープ型チップサイズパッケージ（CSP）とすることが考えられ、CSPとの混載となる可能性がある。テープ型CSPとの混載の場合は、例えば図15に示したように、Cuなどの補強板11が取付けられたポリイミドなどのテープ基板12上に、エポキシ系樹脂などの封止樹脂10を伴ってシリコンなどの半導体素子1が接続されたパッケージ（ファンアウトCSPと呼ばれる）がWPP半導体素子と混載されている場合や、図16の様に、テープ基板12上に、シリコン系樹脂などのエラストマと呼ばれる応力緩和層13を伴って半導体素子1が接続されたパッケージ（ファンインCSPと呼ばれる）がWPP半導体素子と混載されている場合が考えられる。ファンアウトCSPは、ピン数が多く半導体素子のサイズ内に収まらない場合にバンプ間隔を広くとることができ有利である。一方、ファンインCSPは、パッケージサイズを小さくすることができるため有利である。テープ型CSPも、既に量産技術が確立されているので、WPPの量産初期においては、WPPよりも安価に製造できる可能性がある。バンプ間隔の拡張なしで実施例1または２の様な半導体素子を接続する場合と、WPPの半導体素子を接続する場合、テープ型CSPを接続する場合の3つの選択肢の内から、コスト面、顧客ニーズの面で、それぞれの半導体素子ごとに、最良の方法が選択され、図15、図16の様に、混載することができる。かかる場合に、WPP半導体素子の厚さをCSP半導体素子の厚さより薄く構成する。例えば、WPP半導体素子の回路形成面と反対側の主面にバックグラインドを施し、CSP半導体素子には非実施とする。このように、半導体素子と基板４との間にアンダーフィルを有する半導体素子（WPP）と、半導体素子と基板との間にアンダーフィルを有しない半導体素子（CSP）を基板４上に混載する場合に、アンダーフィルを有する半導体素子の厚さを薄くして基板４とマザーボード１５に設置されるバンプ１４に加わる応力分布の均一化を図ることができる。これにより、信頼性の高いMCM型半導体装置を構成することができる。テープ型CSPの場合、熱応力はテープ基板や封止樹脂、エラストマによって緩和されるため、半導体素子の厚さを薄くしなくても基板４とマザーボード１５との間に配置されるバンプ１４への応力などの影響が少なく、または、素子のクラック発生の恐れも抑制できる。一方、テープ型CSP以外の半導体素子（例えばアンダーフィルを備える半導体素子（WPP半導体素子））は、バンプ１４への応力などの影響を与える可能性が相対的に高く、また、クラック発生の恐れも相対的に高い。よって、前記構成にすることが好ましい。
【００５６】
例えば、WPPの生産歩留りの低い量産初期や、複数のメーカの半導体素子を混載する場合に、適用することが好ましい。WPPでは、ウエハから取得できる良品数が製造コストを決定する。したがって、生産歩留りの低い量産初期などにおいては、従来の量産技術が確立した製法による半導体素子よりもコスト高となる可能性があり、どちらがより安価となるかは搭載される半導体素子によって異なる。また、顧客のニーズに合せて、複数のメーカの半導体素子を混載する可能性もあり、この場合、WPPの半導体素子であるとは限らない。これら2つの場合においては、MCMに搭載される半導体素子は、WPPと、WPP化されない実施例1または２で示した様な半導体素子との混載にすることができる。
【００５７】
なお、MCM全体の厚さに制限が与えられる場合、CSPの半導体素子の方が、テープ基板やエラストマの分、CSP以外の半導体素子よりも素子表面（回路形成面）の基板4からの高さが高くなる傾向にある。かかる観点に基づく他の実施形態としては、上記に関わらず、逆に、CSPの素子の厚さの方を、CSP以外の半導体素子の厚さよりも薄くすることも考えられる。図17に、本発明の第５の実施例のMCM型半導体装置の断面模式図を示す。材料構成、製造方法は、第1または第３または第４の実施例と同一である。半導体素子から発生する熱を放熱するため、または半導体素子に対して遮光を施すため、MCM型半導体装置には、図17の様に、接着剤6を介して、SUS等の熱拡散板7または遮光板が取り付けられる場合がある。接着剤は、半導体素子や基板に比べヤング率が小さい（数GPa）ので、熱拡散板または遮光板を取り付けたことによる、半導体素子の応力分布への影響は小さい。また、その影響は、熱拡散板が半導体素子の変形を抑える働きをするため、半導体素子に生じる応力を低減する方向に働く。したがって、熱拡散板が取り付けられた場合でも、本発明は有効で、半導体素子の厚さtc（t14、t15、t16）が、第1または第2または第3または第4の実施例と同様に設定されていれば良い。
【００５８】
【発明の効果】
本発明により、熱膨張などに対する健全性低下を抑制した高信頼性構造のMCM型半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の形態に係るMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図。
【図2】解析に使用したモデルの模式図。
【図3】基板上に接続される半導体素子の個数、配置が、半導体素子に生じる応力に及ぼす影響を検討した結果を示す表。
【図4】半導体素子の平面方向の寸法が半導体素子に生じる応力に及ぼす影響を表す図。
【図5】基板の平面方向の寸法が半導体素子に生じる応力に及ぼす影響を表す図。
【図6】解析したアンダーフィル斜面形状を説明する図。
【図7】アンダーフィル斜面形状と半導体素子に生じる応力の関係を表す表。
【図8】アンダーフィル斜面形状が不均一となった場合の、半導体素子に生じる
応力への影響を検討した結果を示す表。
【図9】隣同士のアンダーフィルがつながった場合の、半導体素子に生じる応力
への影響を検討した結果を示す表。
【図10】半導体素子厚さ、基板厚さ及び基板の線膨張係数が、半導体素子に生じ
る応力に及ぼす影響を表す図。
【図11】半導体素子厚さ、基板厚さ及びアンダーフィルのヤング率、アンダーフ
ィルの線膨張係数が、半導体素子に生じる応力に及ぼす影響を表す図。
【図12】本発明の第２の実施例の1形態に係るMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図。
【図13】本発明の第３の実施例の1形態に係るMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図。
【図14】WPPの半導体素子の製造方法を示す断面模式図。
【図15】本発明の第４の実施例の1形態に係るMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図。
【図16】本発明の第４の実施例の1形態に係るMCM型半導体装置の平面概観模式図および断面模式図。
【図17】本発明の第５の実施例の形態に係るMCM型半導体装置の断面模式図。
【符号の説明】
1…半導体素子、2…アンダーフィル、3…バンプ、4…基板、5…電子部品、6…接着剤、7…熱拡散板、8…半導体材料のウエハ、9…再配線層、10…封止樹脂、11…補強板、12…テープ基板、13…エラストマ、1４…バンプ、１５…マザーボード。
【図１】
0003878430.tif 000002
【図２】
0003878430.tif 000003
【図３】
0003878430.tif 000004
【図４】
0003878430.tif 000005
【図５】
0003878430.tif 000006
【図７】
0003878430.tif 000007
【図８】
0003878430.tif 000008
【図９】
0003878430.tif 000009
【図１０】
0003878430.tif 000010
【図１１】
0003878430.tif 000011
【図１２】
0003878430.tif 000012
【図１３】
0003878430.tif 000013
【図１４】
0003878430.tif 000014
【図１５】
0003878430.tif 000015
【図１６】
0003878430.tif 000016
【図１７】
0003878430.tif 000017
【図６】
0003878430.tif 000018