(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を備えたハウジングと、
上記ハウジングに対して上記開口部に沿って移動可能に取り付けられたスライダと、
上記ハウジングの開口部を閉塞すると共に上記スライダの移動を許容するべくスライダを跨ぐように取り付けられたシールプレートと、
を具備し、
上記ハウジングの内部に形成された中空部を吸引又は加圧するアクチュエータにおいて、
上記スライダの移動方向両端部において上記シールプレートをガイドすると共に弾性部材の付勢力を利用して上記シールプレートを上記開口部側に押し付けるガイドローラ機構が設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングは、横断面形状が略Ｕ字状をなすベースと、このベースの上方にそれぞれ取り付けられた一対のサイドカバと、から構成されていて、上記ベース及び上記一対のサイドカバの少なくとも何れか一方に中空部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、
上記シールプレートは上記一対のサイドカバの面と同じ高さ位置になるように取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダの上面側にはスライダーカバが被冠されていて、このスライダーカバはスライダの端部に対して僅かな隙間をもって取り付けられていると共に、シールプレート及びサイドカバの面に対しても僅かな隙間をもって取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えば、サーボモータ、ボールネジ・ボールナット機構、或いはプーリ・ベルト機構等を使用して、スライダを直動させるアクチュエータに係り、特に、スライダの移動に伴う内部空間内の空気の圧縮・膨張を抑制して、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への流入を防止することができるように工夫したものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
アクチュエータは概略次のような構成になっている。まず、横断面形状が略Ｕ字状をなすハウジングがあり、このハウジング内にスライダが移動可能に収容されている。すなわち、ハウジング内の一端側にはサーボモータが内装されていて、このサーボモータの回転軸にはボールネジが連結されている。一方、上記スライダ側にはボールナットが固着されていて、このボールナットが上記ボールネジに螺合している。
【０００３】
又、ハウジング側の内側面には左右にそれぞれ溝が形成されており、同様に、スライダの左右にもそれぞれ溝が形成されている。又、スライダ側には複数個のボールが移動可能に収容されている。そして、上記サーボモータを何れかの方向に回転させることにより、ボールネジを同方向に回転させる。このボールネジの回転によって、回転を規制されているボールナットが軸方向に移動することになり、それによって、ボールナットに固着されているスライダが同方向に移動するものである。
【０００４】
又、いわゆる「クリーンルーム」と称されるものがあり、これは、空気中の細かな塵埃等を嫌う精密部品の製造を行う場合に使用されるものである。一方、既に説明したようなアクチュエータの場合には、ハウジング内にて各種の塵埃（例えば、各摺動部において発生する塵埃やグリース等）が発生し、その発生した塵埃がアクチュエータ内部から外部の室内に流出することになる。したがって、そのままの状態では上記したようなクリーンルーム内で使用することはできない。
【０００５】
そこで、アクチュエータに吸引装置を取り付けて、該吸引装置によってアクチュエータ内部を吸引して負圧状態とし、それによって、アクチュエータ内部にて発生した塵埃の外部への流出を防止するようにしている。
【０００６】
又、逆に、アクチュエータに加圧装置を取り付けて、アクチュエータの内部空間を加圧することにより、内部を正圧に保持することも行われる。これは、アクチュエータが悪い環境下（各種の塵埃が浮遊している環境）で使用される場合であって、外部の塵埃がアクチュエータの内部に侵入することを防止するためである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、既に述べたように、従来のクリーンルーム用のアクチュエータの場合には、吸引装置によってアクチュエータの内部を吸引して負圧とし、アクチュエータの内部にて発生した塵埃の外部への流出を規制するようにしている。ところが、アクチュエータの場合には、前述したように、スライダが軸方向に適宜移動することになり、その際、スライダが移動していく側の内部空間内の空気は圧縮され、逆に、反対側の内部空間内の空気は膨張することになり、いわゆる「ポンピング現象」が発生することになる。このようなポンピング現象が発生した場合には、上記吸引装置による吸引効果が低下してしまい、アクチュエータ内部で発生した塵埃の外部への流出抑制効果が低下してしまうという問題があった。
このような問題に対しては、例えば、吸引装置による吸引効果を高めることが考えられるが、それでは、吸引装置が大型化してしまって、アクチュエータそのものの大型化、構成の複雑化を誘発してしまうことになる。特に、従来のアクチュエータの場合には、スライダが移動する開口部が大きく確保されていて、隙間が大きいために、元々大きな吸引力を必要としており、それに上記点が重なって吸引装置が益々大型化してしまうことになる。
又、このような問題は、吸引装置によってアクチュエータ内部を吸引する場合だけではなく、逆に、加圧装置によって加圧する場合にもいえる。すなわち、スライダの移動によって上記したようなポンピング現象が発生した場合には、加圧装置による加圧状態が損なわれ、外部の塵埃の内部への侵入防止効果が低下してしまうことになる。
【０００８】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、内部にて発生した塵埃の外部への流出、外部の塵埃の内部への侵入を確実に防止することが可能なアクチュエータを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、開口部を備えたハウジングと、上記ハウジングに対して上記開口部に沿って移動可能に取り付けられたスライダと、上記ハウジングの開口部を閉塞すると共に上記スライダの移動を許容するべくスライダを跨ぐように取り付けられたシールプレートと、を具備し、上記ハウジングの内部に形成された中空部を吸引又は加圧するアクチュエータにおいて、上記スライダの移動方向両端部において上記シールプレートをガイドすると共に弾性部材の付勢力を利用して上記シールプレートを上記開口部側に押し付けるガイドローラ機構が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングは、横断面形状が略Ｕ字状をなすベースと、このベースの上方にそれぞれ取り付けられた一対のサイドカバと、から構成されていて、上記ベース及び上記一対のサイドカバの少なくとも何れか一方に中空部が形成されていることを特徴とするものである。
又、請求項３によるアクチュエータは、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記シールプレートは上記一対のサイドカバの面と同じ高さ位置になるように取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項４によるアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダの上面側にはスライダーカバが被冠されていて、このスライダーカバはスライダの端部に対して僅かな隙間をもって取り付けられていると共に、シールプレート及びサイドカバの面に対しても僅かな隙間をもって取り付けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
すなわち、本願発明によるアクチュエータの場合には、ハウジングに中空部を構成し、この中空部を介して、スライダを挟んだ軸方向両側の内部空間を連通するようにしたものである。それによって、スライダが一方に移動する場合には、その一方側の内部空間内の空気が連通孔及び中空部を介して他方の内部空間内に流入し、逆に、スライダが他方に移動した場合には、その他方の内部空間内の空気が連通孔及び中空部を介して一方側の内部空間内に流入することになる。このような空気の流通を許容することにより、スライダが移動した側における内部空間の空気が圧縮され、逆に、反対側の内部空間の空気が膨張するといった現象（ポンピング現象）を緩和し、それによって、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への流入を防止することができる。
又、適用するアクチュエータとしては、吸引装置或いは加圧装置を備えたものであっても備えていないものであってもよく、特に、吸引装置或いは加圧装置を備えたものに適用した場合には、内部の塵埃の外部への流出防止、外部の塵埃の内部への侵入防止機能を確実に維持することができる。
又、ハウジングとしては、単一部材で構成する場合或いはベースと一対のサイドカバによって構成する場合等、様々な場合が考えられる。ベースと一対のサイドカバによって構成した場合には、少なくとも、何れか一方に中空部を形成すればよいが、その両方に形成して内部空気の流通を許容することにより、より高い効果を期待できる。
又、シールプレートがスライダを跨ぐ部分にガイドローラ機構を設けることが考えられ、その場合には、その部分における摺動抵抗を低減させて塵埃の発生を抑制する効果がある。
又、シールプレートと一対のサイドカバの上面を揃え、且つ、スライダカバを僅かな隙間を存して配置した場合には、内部の塵埃の外部への流出防止、外部の塵埃の内部への侵入防止機能をより高めることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図６を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１及び図２は、本実施の形態によるアクチュエータの外観を示す図で、まず、ベース１があり、このベース１の上方であって左右には、一対のサイドカバ３、５がそれぞれ取り付けられている。これらベース１及び一対のサイドカバ３、５によってハウジングを構成している。上記ベース１は、例えば、アルミニウムの押出成形、樹脂の押出成形、鋼の引抜により製造されていて、中空状をなしている。同様に、上記一対のサイドカバ３、５も、例えば、アルミニウムの押出成形や樹脂の押出成形により製造されていて、中空状をなしている。又、ベース１及び一対のサイドカバ３、５の両端には、フロントカバ７とリアカバ９がそれぞれ取り付けられている。又、上記リアカバ９側には、モーターカバ１１が取り付けられている。
【００１２】
又、上記ベース１及び一対のサイドカバ３、５によって囲まれた空間内には、スライダ１３が移動可能に配置されている。このスライダ１３の上にはスライダーカバ１５が被冠されている。又、上記一対のサイドカバ３、５の間は、ステンレス製のシールプレート１７によって閉塞されている。又、サイドカバ５側には、図示しない吸引装置が接続される吸引継手１９が取り付けられていると共に、上記リアカバー９側には、ケーブル２１が挿通されるケーブル挿通部材２３が取り付けられている。
尚、図中符号２５はシールプレート止め部材である。
又、上記一対のサイドカバ３、５の上面側の適所には、それぞれ磁石２０、２２が取り付けられていて、上記シールプレート１７は、これら磁石２０、２２によって吸着されるようになっている。
【００１３】
次に、図３乃至図６を参照して本実施の形態によるアクチュエータの内部の構成を説明する。まず、ベース１及び一対のサイドカバ３、５によって囲まれた空間内であって、上記モーターカバ１１側には、サーボモータ３１が内装されている。このサーボモータ３１は、ステータ３３と、このステータ３３の内周側に配置されたロータ３５とから構成されていて、上記ロータ３５はシャフト３７の外周に固着されている。
【００１４】
上記シャフト３７は、ボールネジ一体型のものであって、図３及び図４中左方向に延長された部分はボールネジ３９となっている。一方、図４及び図５に示すように、既に述べたスライダ１５には、ボールナット４１が固着されていて、このボールナット４１が上記ボールネジ３９に螺合する関係にある。したがって、上記サーボモータ３１が何れかの方向に回転することにより、シャフト３７、すなわち、ボールネジ３９が同方向に回転し、それによって、その回転を規制されているボールナット４１が軸方向に移動する。
【００１５】
上記ボールナット４１の軸方向への移動によって、スライダ４１が同方向に移動する構成になっている。そして、このスライダ４１上に図示しない各種の機器、例えば、ロボット等が搭載されることになる。
尚、上記シャフト３７は、軸受部材４３、４５、４７、４９等によって回転可能に支持されている。又、図３及び図４に示すように、サーボモータ３１の図中右側には、位置検出器５０が設置されている。この位置検出器５０は、光学式センサと複数個のスリットを備えた円板等から構成されている。
【００１６】
又、上記ベース１の左右の内側面には、溝１ｃ、１ｄが形成されていて、それら溝１ｃ、１ｂには鋼製のレール４ａ、４ｂが取り付けられている。又、スライダ１３側にも左右に図示しない溝が形成されていて、そこには図示しない鋼製のレールが取り付けられている。又、スライダ１３側においては、その両端にリターン路が形成されていると共に、内部に循環路が形成されている。ベース１側のレール４ａ、４ｂとスライダ１３側のレール間には複数個のボール６が介在している。スライダ１３が移動するときには、これら複数個のボールが転がりながら循環することになり、それによって、スライダ１３の移動を円滑なものとしている。
【００１７】
次に、既に説明したシールプレート９とスライダ１３との関係について説明する。図３に示すように、シールプレート９は、スライダ１３を跨ぐように配置されていて、そのシールプレート９が跨いだ部分をスライダーカバ１５によって覆うように構成している。
又、シールプレート９が跨ぐ部分の上下位置であって適所には、ガイドローラ機構５１、５３が配置されていると共に、ガイドローラ５５、５７、５９、６１が設置されている。
【００１８】
上記ガイドローラ機構５３は、図６に示すような構成になっている。まず、図６に示すように、スライダーカバ１５の内周面にコイルスプリング６３を介して支持部材６５が取り付けられている。そして、その支持部材６５にガイドローラ６７が回転可能に取り付けられている。よって、ガイドローラ６７は、コイルスプリング６３によって、シールプレート９に上方から押圧された状態で回転可能に接触している。
又、ガイドローラ機構５１もガイドローラ機構５３と同様の構成になっている。
【００１９】
又、ガイドローラ機構５１、５３以外のその他のガイドローラ５５、５７、５９、６１については、図６にも示すように、単にスライダ１３に対して回転可能に取り付けられているものであって、シールプレート１７に対して下方から接触している。そして、これらガイドローラ機構５１、５３及びガイドローラ５５、５７、５９、６１を設けることにより、シールプレート１７との間の摺動時における摩擦を軽減させて、摺動時における塵埃の発生を抑制するものである。
又、上記スライダーカバ１５は、スライダ１３に対して横方向に僅かな隙間を存した状態で取り付けられているとともに、一対のサイドプレート３、５及びシールプレート１７の上面に対しても僅かな隙間を存した状態で取り付けられている。
【００２０】
次に、前述したベース１と一対のサイドカバ３、５の構成をさらに詳細に説明する。まず、ベース１は、図５に示すように、横断面形状が略Ｕ字状をなしていて、且つ、中空部１ａを備えた構成になっている。又、中空部１ａは軸方向に連続して形成されていて、そこに、前述した吸引継手１９が取り付けられている。その吸引継手１９には、前述したように、図示しない吸引装置が接続されることになり、この吸引装置によって中空部１ａ内が吸引されることになる。又、上記ベース１の内底面には複数個の円形の連通孔１ｂが形成されていて、これら複数個の連通孔１ｂを介して、上記中空部１ａとアクチュエータの内部空間（ベース１、一対のサイドカバ３、５によって囲まれた空間）とを連通するようにしている。
【００２１】
又、一対のサイドカバ３、５をみてみると、サイドカバ３は中空状に形成されていて、中空部３ａを備えた形状になっている。この中空部３ａも長手方向に延長された状態で形成されている。又、サイドカバ３の内側面には円形の連通孔３ｂが複数個形成されている。同様に、サイドカバ５も中空状に形成されていて、長手方向に延長された中空部５ｂを備えた構成になっている。又、サイドカバ５の内側面にも、円形の連通孔５ｂが複数個形成されている。
よって、サイドカバ３、５の中空部３ａ、５ａについても、それぞれの連通孔３ｂ、５ｂを介して、アクチュエータの内部空間（ベース１、一対のサイドカバ３、５によって囲まれた空間）とを連通するようになっている。したがって、ベース１の中空部１ａと一対のサイドカバ３、５の中空部３ａ、５ａについても相互に連通する関係にある。
【００２２】
以上の構成を基にその作用を説明する。
サーボモータ３１が適宜の方向に回転することにより、スライダ１３が軸方向の何れかの方向に移動することについては既に説明した通りであり、ここでは、スライダ１３の移動時に、ベース１、サイドカバ３、５、シールプレート１７によって囲まれた内部空間の空気がどのように流通するかについて説明する。
【００２３】
まず、上記内部空間は図示しない吸引装置によって常時吸引されている。すなわち、吸引継手１９には図示しない吸引装置が接続されており、又、ベース１の中空部１ａ及び連通孔１ｂを介して上記内部空間は吸引装置に接続されている。よって、吸引装置によって吸引することにより、内部空間内が吸引されることになり、それによって、内部空間内は負圧に保持され、内部で発生した塵埃の外部への流出が防止されるようになっている。
【００２４】
そのような状態において、例えば、スライダ１３が図３及び図４中左方向に移動すると仮定する。この場合、スライダ１３の図３及び図４中左側の内部空間内の空気は、ベース１の連通孔１ｂを介して中空部１ａ内に流入すると共に、サイドカバ３、５の連通孔３ｂ、５ｂを介して、中空部３ａ、５ａ内に流入する。ベース１の中空部１ａ内及びサイドカバ３、５の中空部３ａ、５ａ内に流入した空気は、反対側、すなわち、スライダ１３の図３及び図４中右側の内部空間内に位置する連通孔１ｂ、３ｂ、５ｂを介して、該内部空間内に流出する。したがって、スライダ１３の図３及び図４中左側の内部空間内の空気が圧縮されることはなく、同時に、スライダ１３の図３及び図４中右側の内部空間内の空気が膨張することもなく、ポンピング現象の発生を抑制することができる。よって、吸引装置による吸引効果が低下してしまうことはなく、内部空間内で発生した塵埃の外部への流出防止機能は維持されることになる。
【００２５】
逆に、スライダ１３が図３及び図４中右方向に移動すると仮定する。この場合、スライダ１３の図３及び図４中右側の内部空間内の空気は、ベース１の連通孔１ｂを介して中空部１ａ内に流入すると共に、サイドカバ３、５の連通孔３ｂ、５ｂを介して、中空部３ａ、５ａ内に流入する。ベース１の中空部１ａ内及びサイドカバー３、５の中空部３ａ、５ａ内に流入した空気は、反対側、すなわち、スライダ１３の図３及び図４中左側の内部空間内に位置する連通孔１ｂ、３ｂ、５ｂを介して、該内部空間内に流出する。したがって、スライダ１３の図３及び図４中右側の内部空間内の空気が圧縮されることはなく、同時に、スライダ１３の図３及び図４中左側の内部空間内の空気が膨張されることはなく、ポンピング現象の発生は抑制される。よって、吸引装置による吸引効果が低下してしまうことはなく、内部空間内で発生した塵埃の外部への流出防止機能は確実に維持される。
【００２６】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、スライダ１３の移動時において、スライダ１３が移動する側の内部空間内の空気が圧縮され、同時に、反対側の内部空間の空気が膨張するいわゆるポンピング現象の発生を抑制することができる。これは、ベース１、サイドカバ３、５を中空状に形成して中空部１ａ、３ａ、５ａを形成し、且つ、複数個の連通孔１ｂ、３ｂ、５ｂを形成して、スライダ１３が移動する側の内部空間内の空気を反対側の内部空間内に移動させるように構成したからである。よって、内部空間内の空気の圧縮・膨張による吸引効果の低下を防止することができ、それによって、内部空間内にて発生する塵埃の外部への流出防止機能を確実なものとすることができる。
特に、本実施の形態の場合には、ベース１の中空部１ａと一対のサイドカバ３、５の中空部３ａ、５ａの両方を使用して空気を移動させるようにしたので、その効果も極めて高いものである。
又、本実施の形態の場合には、シールプレート１７がスライダ１３を跨ぐ部分にガイドローラ機構５１、５３を設けると共に、ガイドローラ５５、５７、５９、６１を設けたので、シールプレート１７とスライダ１３との摺動抵抗が軽減され、その部分における塵埃発生を抑制することがでる。
又、仮に塵埃が発生しても、それは、スライダーカバ１５内であって、吸引効果が及ぶ領域内であるので、外部に流出することは確実に防止されることになる。
又、シールプレート１７の上面のレベルと一対のサイドカバ３、５の上面のレベルは一致していて、且つ、スライダーカバ１５の下端はそのレベルに対して僅かな隙間をおいて被冠されていると共に、スライダ１３の端面に対しても僅かな隙間を存した状態で取り付けられているので、その部分（スライダーカバ１５とスライダ１３との間の隙間の部分）における吸引効果は極めて高くなっており、よって、塵埃の外部への流出は確実に防止されるものである。
【００２７】
次に、図７を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。前記第１の実施の形態の場合には、吸引継手１９がベース１側に取り付けられていたが、この第２の実施の形態の場合には、サイドカバ５に取り付けられているものである。
その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、この第２の実施の形態の場合にも同様の効果を奏することができる。
【００２８】
次に、図８を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この第３の実施の形態の場合には、前記第２の実施の形態の場合において、一対のサイドカバ３、５のみに中空部３ａ、５ａを形成し、ベース１については中実状に形成したものである。このような構成であっても略同等の効果を奏することができる。
尚、ベース１のみに中空部を形成して、一対のサイドカバ３、５については中実状に形成するような構成も考えられ、それでも略同等の効果を奏することができる。
【００２９】
次に、図９を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。前記各実施の形態においては、シールプレート１７がスライダ１３を跨ぐ箇所にガイドローラ機構やガイドローラを配置したが、この実施の形態の場合には、単に樹脂製の押圧部材７１、７３を配置したものである。このようなタイプのアクチュエータであっても同様に適用可能である。
【００３０】
尚、本発明は前記第１〜第４の実施の形態に限定されるものではない。
まず、前記各実施の形態の場合には、ボールネジ・ボールナット機構によってスライダ１３を移動させるものを例に挙げて説明したが、プーリ・ベルト機構によってスライダ１３を移動せさるようなものであっても同様に適用可能である。
又、ベース１と一対のサイドカバ３、５の少なくとも何れか一方に中空部及び連通孔を形成して、空気の流通を許容するようよに構成すればよく、必ずしも両方に中空部と連通孔を形成する必要はない。
又、前記各実施の形態においては、吸引装置を備えたアクチュエータを例に挙げて説明したが、そのようなものを備えていないタイプのアクチュエータに対しても同様に適用可能である。
又、吸引装置ではなく加圧装置を備えているものに対しても適用可能である。この場合には、アクチュエータが塵埃の多い悪環境下で使用される場合に、外部の塵埃が内部に侵入することを防止するものであり、その際、内部空間内の不必要な圧縮・膨張を防止して、外部の塵埃の内部への流入防止機能を高めることができる。
又、前記各実施の形態の場合には、ハウジングをベース１と一対のサイドカバ３、５から構成しているが、これを一体化させて単一のハウジングとして構成してもよく、そのようなものにおいても同様に適用可能である。
因みに、ハウジングをベース１と一対のサイドカバ３、５から構成しているのは製造・組立上の利点があるからである。すなわち、ベース１における溝１ｃ、１ｄの位置としては、高い剛性を確保する意味でできるだけ低い方が好ましい。よって、仮に単一のハウジングとした場合には、比較的深い場所に溝１ｃ、１ｄが位置し、当然のことながら一対のレール４ａ、４ｂも深い場所に位置することになる。一方、上記レール４ａ、４ｂに対しては組立後に、レール４ａ、４ｄの溝成形（研削加工）や研磨が施されることになり、その位置が深い場所にあるとそれらの作業が困難なものとなってしまう。その点、ハウジングをベース１と一対のサイドカバ３、５として構成した場合には、そのようなことはなく、一対のサイドカバ３、５が取り付けられる前に研磨作業を施せば、容易に行うことができるものである。
【００３１】
【発明の効果】
以上本発明によるアクチュエータによると、スライダを挟んだ両側の内部空間相互間において内部空気の流通を許容するように構成したので、いわゆるポンピング現象の発生を抑制することができ、それによって、内部の塵埃の外部への流出、或いは、外部の塵埃の内部への侵入を効果的に防止することができるようになった。
特に、ハウジングをベースと一対のサイドカバから構成し、ベースの中空部と一対のサイドカバの中空部の両方を使用して空気を移動させるようにした場合には、その効果も極めて高いものである。
又、シールプレートがスライダを跨ぐ部分にガイドローラ機構を設けた場合には、シールプレートとスライダとの摺動抵抗が軽減され、その部分における塵埃発生を抑制することができる。
又、仮に塵埃が発生しても、それは、スライダーカバ内であって、吸引或いは加圧効果が及ぶ領域内であるので、外部に流出或いは内部に侵入することは確実に防止されることになる。
又、シールプレートの上面のレベルと一対のサイドカバの上面のレベルを一致させ、且つ、スライダーカバの下端をそのレベルに対して僅かな隙間をおいて被冠した場合には、その部分における吸引或いは加圧効果は極めて高くなっており、よって、塵埃の外部への流出或いは内部への侵入は確実に防止されることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す図で、アクチュエータの平面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの外観を示す図で、アクチュエータの側面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、シールプレートを撤去し、且つ、カバー類を撤去して、アクチュエータの内部構造を示す平面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、シールプレートを撤去し、且つ、カバー類の一部を切欠いて示す側断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータを側面方向からみた側断面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態を示す図で、ガイドローラ機構の構成を示す側断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータの側断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態を示す図で、アクチュエータの側断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
１  ベース
１ａ  中空部
１ｂ  連通孔
３  サイドカバ
３ａ  中空部
３ｂ  連通孔
５  サイドカバ
５ａ  中空部
５ｂ  連通孔
１３  スライダ
１５  スライダーカバ
１７  シールプレート
１９  吸引継手
２０  磁石
２２  磁石
３１  サーボモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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