(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィルターエレメントに仕切られた円筒形の粒状ろ過材層を有するばいじん捕集ホルダーを間欠回転させて、このホルダーの外方向から内方向に含じん排ガスを流過させて集じんし、ばいじん捕集ホルダーの外周部に配置された焼却部シール部材から加熱された焼却用ガスを集じん済みのフィルターエレメントに供給して粒状ろ過材を再生するばいじん除去方法において、
ばいじん捕集ホルダーの回転中のみ焼却部シール部材を移動させ、ばいじん捕集ホルダーと焼却部シール部材との間に隙間を生じさせて、ばいじん捕集ホルダーに接触しないようにすることを特徴とするばいじん除去方法。
【請求項２】
焼却部シール部材を、ばいじん捕集ホルダーの回転と連動させて移動させる請求項１記載のばいじん除去方法。
【請求項３】
焼却部シール部材を、ばいじん捕集ホルダーから離れる時は速く移動させ、ばいじん捕集ホルダーに着座する時は遅く移動させる請求項１又は２記載のばいじん除去方法。
【請求項４】
含じん排ガスが、ディーゼル機関から排出される排気ガスである請求項１、２又は３記載のばいじん除去方法。
【請求項５】
円筒形の排ガス管内に間欠回転可能な円筒形のばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒形の通気性支持板からなる二重筒を有し、該二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には軸方向の複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、焼却用ガス供給管と焼却部シール部材との接続部を二重管とし、これらの管の間、及び排ガス管と焼却部シール部材との間に、焼却部シール部材が摺動できるように隙間を設け、これらの隙間にシール材を配設したことを特徴とするばいじん除去装置。
【請求項６】
円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とをフランジで接続し、ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、排ガス管と前記フランジとの間に、筒状のベローズを設けるとともに、前記フランジの上流側の焼却用ガス供給管の一部をベローズで形成したことを特徴とするばいじん除去装置。
【請求項７】
制御流体により作動する制御弁に、並列に設けられた２個の調速弁を介して流体圧シリンダーを接続し、この流体圧シリンダーと焼却部シール部材のフランジとをリフト部材により連結した請求項６記載のばいじん除去装置。
【請求項８】
焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とを接続するためのフランジの下面に凹部を設け、この凹部に制御空気噴射ノズルを臨ませた請求項６記載のばいじん除去装置。
【請求項９】
円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とをフランジで接続し、ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、前記フランジの下面に接触してカムを配設し、このカムの回転とばいじん捕集ホルダーの回転軸の回転とを連動させたことを特徴とするばいじん除去装置。
【請求項１０】
カムが、焼却部シール部材の上昇時は速く、下降時はゆっくりとなるような形状をしている請求項９記載のばいじん除去装置。
【請求項１１】
円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
複数個の焼却部シール部材をばいじん捕集ホルダーの円周方向に均等に配置したことを特徴とするばいじん除去装置。
【請求項１２】
排ガス管が、ディーゼル機関の排気管である請求項５〜１１のいずれかに記載のばいじん除去装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディーゼル機関等から排出される排ガス中に含まれるばいじんを除去する方法及び装置、詳しくは、粒状ろ過材の充填層でばいじんを捕集しながら粒状ろ過材の再生を、焼付きや異常変形が生じることなく、長期間、安定・継続して行うことができるばいじん除去方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ディーゼル機関、例えば、船舶用ディーゼル機関からの排ガス中に含まれるばいじん（パティキュレート）を除去する際には、排ガスを粒状ろ過材層に通しながらばいじんを捕集し、捕集したばいじんを焼却してろ過材を再生する、いわゆるグラニュラ（ｇｒａｎｕｌａｒ）方式のばいじん除去装置が用いられている。
特開平４−３４７３１４号公報には、ディーゼル機関の排気導管と過給機との間の排気集合管内に設けられた、２枚の多孔支持体を対設して回転可能に形成された円盤状体と、この円盤状態内に粒子を充填して形成された粒子充填層と、この粒子充填層に近接して設けられた再生用ガス導管とからなるグラニュラ方式の排ガス浄化装置で、ばいじん（ダスト）の捕集と、捕集されたばいじんの焼却とを１つの粒子充填層で行うようにした技術が開示されている。
【０００３】
また、特開平６−３１７１３８号公報には、複数のフィルターエレメントに仕切られた円筒形の粒状ろ過材層を有するばいじん捕集ホルダーを間欠回転させて、このホルダーの外方向から内方向に含じん排ガスを流過させて集じんし、ばいじん捕集ホルダーの外周部に配置された焼却部シール部材から加熱された焼却用ガスを集じん済みのフィルターエレメントに供給して粒状ろ過材を再生するようにしたグラニュラ方式のばいじん除去装置が開示されている。
【０００４】
これらの公報記載の技術を含めた従来技術を図１０及び図１１に基いて説明する。図１０はグラニュラ式のばいじん除去装置の立断面の概略を示し、図１１は同装置のＡ−Ａ線断面の概略を示している。１０は円筒形の排ガス管で、この排ガス管１０内にこの排ガス管と同軸に間欠回転可能な円筒形のばいじん捕集ホルダー１２が配設されている。このばいじん捕集ホルダー１２は円筒形の通気性支持板１４、１６からなる二重筒を有し、この二重筒の間に粒状ろ過材（グラニュラ）１８が充填されてフィルター（ろ過材層）２０が形成されている。
このフィルター２０内には軸方向の複数の仕切板２２が放射状に設けられて、複数のフィルターエレメントが形成されている。また、ばいじん捕集ホルダー１２の外周部には、加熱された空気等の焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却部シール部材２４が設けられている。この焼却部シール部材２４には焼却用ガス供給管２６が連結されている。２８はヒーター、３０は遮蔽端板、３２は回転軸、３４はモーターである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来のばいじん除去装置では、焼却部シール部材がばいじん捕集ホルダーの外周又は側面を摺動するように設けられており、高温の焼却用空気にさらされながら摺動するため、接触面の焼付きが生じやすくなる。また、ばいじん捕集ホルダーの熱変形による回転不良が生じやすくなる。
ばいじん捕集ホルダーと焼却部シール部材との接触面圧が高く、しかも、６００〜７００℃と高温の空気を供給するため、摺動面に拡散接合現象による焼付きが生じ、回転トルクが異常に大きくなる現象が生じた。
また、焼却ガス供給部が一箇所であるので、図９に示すように、ばいじん捕集ホルダー１２が熱膨張により変形し、軸受３６が片当りして回転しなくなるという問題が生じた。
このように、摺動方式の場合は、摺動条件がきわめて過酷で摺動性が悪く、接触面に耐熱性及び耐摩耗性の高い高級材料を使用する必要があり、装置製作費が高価になる。また、軸受の隙間を大きくすると、ガス洩れが生じやすくなるという問題があるので、軸受隙間を大きくすることは好ましくない。
【０００６】
本発明は上記の諸点に鑑みなされたもので、その目的は、ばいじん捕集ホルダーの外周部に配設された焼却部シール部材を、ホルダー回転中のみ持ち揚げるようにして両者が接触しないようにすることにより、焼付きを防止することができるばいじん除去方法及び装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、ばいじん捕集ホルダーの外周部に配設される焼却部シール部材を、均等に複数個配置することによって、高温の燃焼用ガスによるばいじん捕集ホルダーの熱膨張に基因する異常変形を防止するようにしたばいじん除去方法及び装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のばいじん除去方法は、複数のフィルターエレメントに仕切られた円筒形の粒状ろ過材層を有するばいじん捕集ホルダーを間欠回転させて、このホルダーの外方向から内方向に含じん排ガスを流過させて集じんし、ばいじん捕集ホルダーの外周部に配置された焼却部シール部材から加熱された焼却用ガスを集じん済みのフィルターエレメントに供給して粒状ろ過材を再生するばいじん除去方法において、
ばいじん捕集ホルダーの回転中のみ焼却部シール部材を移動させ、ばいじん捕集ホルダーと焼却部シール部材との間に隙間を生じさせて、ばいじん捕集ホルダーに接触しないようにするように構成されている（図１〜図５参照）。
上記の方法において、焼却部シール部材を、ばいじん捕集ホルダーの回転と連動させて移動させることが好ましい。また、焼却部シール部材を、ばいじん捕集ホルダーから離れる時は速く移動させ、ばいじん捕集ホルダーに着座する時は遅く移動させることが好ましい。このように構成することにより、接触面の焼付きをより確実に防止することができる。
含じん排ガスとして、例えば、ディーゼル機関から排出される排気が適用される。
【０００８】
本発明のばいじん除去装置は、円筒形の排ガス管内に間欠回転可能な円筒形のばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒形の通気性支持板からなる二重筒を有し、該二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には軸方向の複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、焼却用ガス供給管と焼却部シール部材との接続部を二重管とし、これらの管の間、及び排ガス管と焼却部シール部材との間に、焼却部シール部材が摺動できるように隙間を設け、これらの隙間にシール材を配設したことを特徴としている（図１参照）。
なお、排ガス管の長手方向の中心軸と、間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーの中心軸とは一致する場合もあり、偏心する場合もある。
【０００９】
また、本発明のばいじん除去装置は、円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とをフランジで接続し、ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、排ガス管と前記フランジとの間に、筒状のベローズを設けるとともに、前記フランジの上流側の燃焼用ガス供給管の一部をベローズで形成したことを特徴としている（図２参照）。
【００１０】
上記のばいじん除去装置（図２）において、制御流体により作動する制御弁に、並列に設けられた２個の調速弁を介して流体圧シリンダーを接続し、この流体圧シリンダーと焼却部シール部材のフランジとをリフト部材により連結するように構成したり（図３参照）、焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とを接続するためのフランジの下面に凹部を設け、この凹部に制御空気噴射ノズルを臨ませるように構成したりすることが好ましい（図４参照）。
【００１１】
また、本発明のばいじん除去装置は、円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
焼却用ガス供給管と焼却部シール部材とをフランジで接続し、ばいじん捕集ホルダーの回転時のみに焼却部シール部材を移動・離間できるように、前記フランジの下面に接触してカムを配設し、このカムの回転とばいじん捕集ホルダーの回転軸の回転とを連動させたことを特徴としている（図５参照）。このカムは、焼却部シール部材の上昇時は速く、下降時はゆっくりとなるような形状とすることが好ましい。
本発明によれば、接触面の焼付きをより確実に防止することができる。
【００１２】
さらに、本発明のばいじん除去装置は、円筒状の排ガス管内に間欠回転可能なばいじん捕集ホルダーが配設され、
このばいじん捕集ホルダーは円筒状の通気性支持板からなる二重筒の間に粒状ろ過材が充填されてフィルターが形成されており、
このフィルター内には複数の仕切板が放射状に設けられて複数のフィルターエレメントが形成されており、
ばいじん捕集ホルダーの外周部に、加熱された焼却用ガスを導入してフィルターエレメントのばいじんを焼却してろ過材を再生するための焼却用ガス供給管に接続された焼却部シール部材が設けられたばいじん除去装置において、
複数個の焼却部シール部材をばいじん捕集ホルダーの円周方向に均等に配置したことを特徴としている（図６及び図７参照）。
本発明に従えば、高温の焼却用ガスと接触しても、ばいじん捕集ホルダー全体が軸方向に伸びるので、ホルダーが異常変形することが防止され、回転も円滑に行われる。
【００１３】
これらのばいじん除去装置において、排ガス管として、例えば、ディーゼル機関の排気管が適用される。この場合、ディーゼル機関と過給機との間の排気管とすることが好ましいが、過給機の下流の排気管とすることも可能である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施の第１形態によるばいじん除去装置の概略構成を示す。本実施形態はシールリング方式で焼却部シール部材２４を、ばいじん捕集ホルダー１２から離間する方向に移動できるようにしたものである。複数仕切板２２で放射状に仕切られた個々のフィルターエレメントの外面の長さと、焼却部シール部材２４の内面の長さとが等しく、ばいじん捕集ホルダー１２はフィルターエレメント１個分づつ間欠的に回転して焼却・再生処理が行われる。すなわち、ホルダー１２の回転時にのみ、焼却部シール部材２４とホルダー１２との間に隙間が生じるようにする。この場合、シール部材２４の移動をホルダー１２の回転と連動させることが好ましい。１０は排ガス管、１４、１６は円筒形の通気性支持板、１８は粒状ろ過材（グラニュラ）、２０は粒状ろ過材が充填されたフィルター、２６は焼却用ガス供給管、２８はヒーターである。
焼却用ガス供給管２６は焼却部シール部材２４のガス導入管４０に挿入されて、両管の接続部が二重管となっており、これらの管２６、４０の間にシール材４２が設けられている。また、ガス導入管４０と排ガス管１０の開口４４との間にもシール材４６が設けられている。このように構成することにより、焼却部シール部材２４を上下方向に移動させることができる。なお、焼却部シール部材２４のガス導入管４０を焼却用ガス供給管２６内に挿入することも可能である。
【００１５】
焼却用ガスとしては、一般的には空気が用いられるが、酸素濃度が高い（例えば約１２％以上）排ガス等を用いることもできる。また、空気や排ガスに酸素を混合させたガスを用いることもできる。
焼却用ガスはヒーター２８で６００〜７００℃に加熱されて焼却部シール部材２４に導入され、既にばいじんを捕集したフィルターエレメントに捕捉されているばいじんを燃焼・焼却して、ろ過材を再生する。ろ過材としては、例えば、直径約１mmのシリカ−アルミナ系のムライトボール等が用いられる。ホルダー１２は、前述のように一定時間間隔をおいて角変位し、ばいじんを捕集したろ過材１８を焼却部シール部材２４の下側の焼却部で順次再生する。
なお、ホルダー１２と焼却部シール部材２４との間に、常時、隙間を設けた場合は、焼却用ガスの洩れが多く、焼却に必要なフィルターエレメントの温度５５０〜６５０℃を保持することができない。本発明では、ホルダー１２の回転時のみ隙間が生じ、それ以外はホルダー１２と焼却部シール部材とが密着しているので、焼却部のフィルターエレメントの温度を５５０〜６５０℃に保持することができる。
【００１６】
図２は、本発明の実施の第２形態を示す。本実施形態は、可動部にベローズを使用してガスシールをした例である。すなわち、燃焼用ガス供給管２６と焼却部シール部材２４のガス導入管４０とをフランジ５０を介して接続し、ばいじん捕集ホルダー１２の回転時のみに焼却部シール部材２４を移動・離間できるように、排ガス管１０とフランジ５０との間に筒状のベローズ５２を設けるとともに、このフランジ５０の上流側の焼却用ガス供給管２６の一部をベローズ５４からなる管で形成したものである。５６はベローズ５４からなる管を取り付けるためのフランジである。他の構成及び作用は、図１に示す実施の第１形態の場合と同様である。
【００１７】
図３は、本発明の実施の第３形態を示す。本実施形態は、空気シリンダー、油圧シリンダー等の流体圧シリンダー６０を用いて焼却部シール部材を上下させるようにしたものである。すなわち、図２に示す構成に加えて、制御空気、制御油等の制御流体により作動する電磁弁等の制御弁６２に、第１調速弁６４及び第２調速弁６６を並列に接続し、これらの調速弁６４、６６に流体圧シリンダー６０を接続し、この流体圧シリンダー６０のピストン６８とガス導入管４０のフランジ５０とをリフト部材７０により連結している。第１調速弁６４は焼却部シール部材を上昇させるための弁で、上昇時は流体圧シリンダー６０内に設けられたスプリング７２の引張力により速く移動させる。第２調速弁６６は焼却部シール部材を下降させるための弁で、下降（着座）時はスプリング７２の力に抗してゆっくり移動させるように構成されている。電磁弁等の制御弁６２の制御は、ばいじん捕集ホルダーの回転と連動させる。例えば、センサにより回転信号を検知して、この信号を制御弁６２に入力するように構成する。他の構成及び作用は、図２に示す実施の第２形態の場合と同様である。
【００１８】
図４は、本発明の実施の第４形態を示す。本実施形態は、焼却用ガス供給管２６と焼却部シール部材のガス導入管４０とを接続するフランジ５０の下面に複数の凹部（キャビティ）７４を設け、これらの凹部７４内に制御空気噴射ノズル７６を位置させ、フランジ５０の下面の凹部７４に２〜１０kg／cm2 （ゲージ圧）の制御空気を直接噴射して、焼却部シール部材を持ち上げるようにしたものである。フランジ５０の下面に制御空気を直接噴射することも可能であるが、効率をよくするために凹部７４を設けている。７８は制御空気噴射ノズルを固定するための固定部材である。他の構成及び作用は、図２に示す実施の第２形態の場合と同様である。
【００１９】
図５は、本発明の実施の第５形態を示す。本実施形態は、カム８０によって焼却部シール部材２４を上下させるようにしたものである。すなわち、焼却用ガス供給管２６と焼却部シール部材２４のガス導入管４０とをフランジ５０を介して接続し、ばいじん捕集ホルダー１２の回転時のみに焼却部シール部材２４を移動・離間できるように、フランジ５０の下面に接触してカム８０を配設し、このカム８０の回転軸８２回転とホルダー１２の回転軸３２の回転とを連動させたものである。カム８０は、焼却部シール部材の上昇時は速く、下降時はゆっくりとなるような形状を有するように構成することが好ましい。５４はベローズ、８４はベルト、チェーン等の動力伝達手段である。他の構成及び作用は、図１に示す実施の第１形態の場合と同様である。
【００２０】
図６及び図７は、本発明の実施の第６形態及び第７形態を示す。本実施形態は、複数個の焼却部シール部材２４を、ばいじん捕集ホルダー１２の円周方向に均等に（等間隔に）配置したものである。図６は、一例として、焼却部シール部材２４を２個等間隔に配設する場合を示し、図７は３個等間隔に配設する場合を示している。
焼却用ガスの供給箇所が、図９に示すように、１箇所又は片寄っている場合には、６００〜７００℃の高温ガスによりばいじん捕集ホルダー１２が異常変形する。その防止策として、本実施形態は図８に示すように、焼却用ガス供給口をばいじん捕集ホルダー１２の外周部上に均等に配置するようにしたものである。
【００２１】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成されているので、つぎのような効果を奏する。
（１）  ばいじん捕集ホルダー上の焼却部シール部材を、ホルダー回転中のみホルダーに接触しないように構成しているので、ホルダーと焼却部シール部材の焼付きが防止でき、ホルダーの回転モーターを小型化することができるとともに、ばいじん除去・再生運転を長期間、安定・継続することができる。
（２）  ばいじん捕集ホルダー上の焼却部シール部材を均等に複数個配置しているので、高温の焼却用ガスによるホルダーの異常変形が防止でき、ホルダーの回転が円滑になるとともに軸受隙間等からのガス洩れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の第１形態によるばいじん除去装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の第２形態の概略構成図である。
【図３】本発明の実施の第３形態の概略構成図である。
【図４】本発明の実施の第４形態の概略構成図である。
【図５】本発明の実施の第５形態の概略構成図である。
【図６】本発明の実施の第６形態の概略構成図である。
【図７】本発明の実施の第７形態の概略構成図である。
【図８】本発明の実施の第６、７形態におけるばいじん捕集ホルダーの形状を示す説明図である。
【図９】焼却用ガスの供給口が１箇所である場合のばいじん捕集ホルダーの変形状態を示す説明図である。
【図１０】従来のグラニュラ式のばいじん除去装置を示す縦断面図である。
【図１１】図１０に示すばいじん除去装置のＡ−Ａ線断面説明図である。
【符号の説明】
１０  排ガス管
１２  ばいじん捕集ホルダー
１４、１６  通気性支持板
１８  粒状ろ過材
２０  フィルター（ろ過材層）
２２  仕切板
２４  焼却部シール部材
２６  焼却用ガス供給管
２８  ヒーター
３０  遮蔽端板
３２  回転軸
３４  モーター
４０  ガス導入管
４２、４６  シール材
４４  開口
５０、５６  フランジ
５２、５４  ベローズ
６０  流体圧シリンダー
６２  制御弁
６４  第１調速弁
６６  第２調速弁
６８  ピストン
７０  リフト部材
７２  スプリング
７４  凹部（キャビティ）
７６  制御空気噴射ノズル
７８  固定部材
８０  カム
８２  回転軸
８４  動力伝達手段
【図１】
0003947246.tif 000002
【図２】
0003947246.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003947246.tif 000008
【図８】
0003947246.tif 000009
【図９】
0003947246.tif 000010
【図１０】
0003947246.tif 000011
【図１１】
0003947246.tif 000012