(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定ポジションに供給するペレットを、特性区分ごとに用意した複数個のトレーに整列させる分類配列装置において、前記ポジションでペレットをピックアップするＹ方向に搬送自在のピックアップ部と、前記トレーを載置してＸ方向に移動自在で、かつ回転自在にしたステージとを具備し、ペレットのトレー詰めに際し、前記ステージをＸ方向に移動させると共に、トレーの交換に際し、前記ステージを回動させることを特徴とする分類配列装置。
【請求項２】
一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその特性区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、前記トレーを上面に載置し、Ｘ方向に移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在なトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際しＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置。
【請求項３】
一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその特性区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、Ｘ方向に移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在であり、前記軸を通り互いに直交する２本の区画線で４つの象限に区画され、前記トレーを区画線に平行に載置するトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際し回転して前記区画線がＸ方向またはＹ方向に平行で詰められるべきトレーを載置した象限を前記ピックアップポジションに最も近い位置に移動すると共にＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明はペレットをその特性区分毎にトレーを異ならせて矩形状のトレーに整列状に詰める分類配列装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の装置の従来例を図面を用いて説明する。図３はその要部平面図、そのＡ−Ａ線の要部断面図を図４に示す。図４において分類配列装置１はピックアップポジションＰの下方には吸着パイプ２が配置され、その中には突き上げニードル３が上下動自在に設けられ、図外の場所に吸着パイプ２の周囲を取り囲む様に後述するウェーハリング（図示せず）を載置するための略リング形状をしたリングステージ（図示せず）がＸ，Ｙ，θ方向に移動自在に設けられて、その上にはペレット９が間隔を有して整列状に載置されたシート８を固定したウェーハリング（図示せず）が載置される。そしてピックアップポジションＰの上方には画像処理装置（図示せず）のカメラ（図示せず）が配置されていて、これらの部位でペレット９の供給部を構成する。
【０００３】
図４にはピックアップポジションＰの上方にピックアップ部（本体図示せず）の先端であるコレット７の先端部が図示されている。ピックアップ部（図示せず）はコレット７の先端でペレット９を真空吸着して上昇し図３のＡ−Ａ線（Ｙ方向）にその距離自在に搬送しトレー５の凹部６に詰める。
【０００４】
そして、図３に示す様にピックアップポジションＰに近接してその端部を配したトレーステージ４を備えている。トレーステージ４は方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置する。トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ４はトレー５の位置決めの為の凹部１０を上面に備える。そしてトレーステージ４はＸ方向に移動自在である。
【０００５】
図４に示す様にステージ４の下側にシート８（図示していないウエーハリングやリングステージも）の一部がもぐりこむ構成としてピックアップポジションＰとトレーステージ４の端との距離ａを小さくしてコレット７の移動距離を可及的に小さくしている。
【０００６】
次にこの装置による半導体ペレットの分類配列作業に付いて説明する。
ａ）半導体ペレットはウェーハ上に多数整列した状態で完成する。その状態で個々のペレットの特性を測定し特性区分についてのマップをつくる。
ｂ）ウエーハをシート８に貼りつけ個々のペレット９に分割し、シート８を縦横に引き伸ばしペレット９，９間に間隔をもたせてウェーハリング（図示せず）に固定する。そうすればウェーハ時の配列を崩すことなくテープ８上にペレット９が貼りついた状態となる。
ｃ）このようなウェーハリング（図示せず）をリングステージ（図示せず）にセットして以下の様に分類配列動作を行なう。
１）マップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
２）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
３）上記１）、２）の動作に並行して（場合により後述する４）の動作に並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ４を制御してＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部６を図３のＡ−Ａ線に移動する。
４）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）をペレット９が詰められるべき場所まで搬送させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
５）以上１）〜４）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
６）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ４は例えば図３において左に移動する。その際分類配列の基本動作のための最も左に位置するときのトレーステージ４の左端の位置イを越えてハの位置までトレーステージの左端が移動する。なぜならば、イの位置で停止させた場合右端のトレー（５ａ等）は図示しないピックアップ部が上方に配置されているのでトレーの交換がやりにくいためである。そして作業者はいっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）〜４）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【０００７】
以上説明したようにこの装置のトレーステージ４の動作に要する領域は図３に破線で示す範囲であり、Ｘ方向の移動に要する範囲Ｌ1 は位置ハ〜位置ロの範囲であり、トレーステージ４の幅を２ａとすると
Ｌ1 ＝４ａ＋α  ……（１）
となる。ここでαはトレー交換のために要する追加の移動範囲である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記分類配列装置は分類の区分が多く、従ってトレーの数が多い場合はトレーステージが大きくて、例えば図３に▲印で示す位置からトレーの交換をするとき一番遠い行のトレー（５ａ等）は作業がやりにくい。さらにトレーステージの移動の幅も大きくなって装置が大型となる。そこでこの発明はトレー交換が容易な分類配列装置を提供する。さらに、トレーステージの移動の範囲を小さくし、装置の幅を小さくした分類配列装置を提供する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明は、一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、前記トレーを上面に載置し、Ｘ方向移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在なトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際しＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置である。
上記の装置によれば、トレーの交換に際してはトレーステージを回転してそのトレーが交換容易な位置に移動するのでトレーの交換が容易である。
さらに、一定のピックアップポジションに供給される特性区分様々なペレットをその区分毎に準備した矩形状の複数のトレーに順次その特性区分に対応してしかも整列状態に詰める分類配列装置において、前記ピックアップポジションで前記ペレットをピックアップしてＹ方向にその距離自在に搬送して前記トレーに詰めるピックアップ部と、Ｘ方向に移動自在で、上面の略中心を軸として回転自在であり、前記軸を通り互いに直交する２本の区画線で４つの象限に区画され、前記トレーを区画線に平行に載置するトレーステージとを具備し、前記トレーステージはペレットをトレーに詰めるに際し回転して前記区画線がＸ方向またはＹ方向に平行で詰められるべきトレーを載置した象限を前記ピックアップポジションに最も近い位置に移動すると共にＸ方向に移動してペレットを詰める位置をピックアップ部によるペレットの搬送線に移動させ、トレーの交換に際しては回転してそのトレーが交換容易な位置に移動することを特徴とする分類配列装置である。
この装置によれば、トレーの交換に際してはトレーステージを回転してそのトレーが交換容易な位置に移動するのでトレーの交換が容易であると共にトレーステージはペレットをトレーに詰めるに際し回転して詰められるべきトレーを載置した象限を前記ピックアップポジションに最も近い位置にするのでＸ方向の移動範囲が少なくなり、装置の幅を小さくする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下本発明について、図面を参照して説明する。図１は本発明の一例の分類配列装置２１の要部平面図である。吸着パイプ、突き上げニードル、リングステージ、カメラを含む画像処理装置等で構成されるペレットの供給部とコレットを含むピックアップ部は従来の装置（図３，４参照）と同じでよく、シート８とトレーステージ２４との高さ方向の位置関係は従来の装置（図３，４参照）と同じであるので縦断面図は省略し図４を兼用する。図１にも図示を省略する。
【００１１】
本発明の装置のトレーステージ２４もピックアップポジションＰに近接してその端部を配して設けられる。トレーステージ２４も方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置し、トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ２４はトレー５の位置決めの為の凹部（図示せず）を上面に備え、トレーステージ２４はＸ方向に移動自在である等に付いては従来の装置に似ている。特徴的には上面の中心を軸Ｃとして回転自在である。
【００１２】
次にこの装置の理解をしやすくする為に半導体ペレットの分類配列作業の説明を付して動作の説明と構成の説明をする。
半導体ペレットが特性区分についてのマップを有してシート８に貼りつけられ、ウェーハリングに固定されて供給され、それをリングステージ（図示せず）にセットする点は従来の方法と同じであり、その後以下の様に分類配列動作を行なう。
１）装置をスタートさせるとトレーステージ２４がトレー５の向きが所定の方向でＸ方向，Ｙ方向に平行な位置まで回転して固定される。
２）マップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
３）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
４）上記２）、３）の動作に並行して（場合により後述する５）の動作にも並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ２４を制御してＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部を図３のＡ−Ａ線に移動する。
５）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）をペレット９が詰められるべき場所まで搬送させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
６）以上２）〜５）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
７）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ２４は所定のトレー交換位置例えば図１の↑印に示すＸ方向位置に軸Ｃの位置を移動する。この位置はトレーステージ２４を回転しても分類配列の本来動作において最も左に位置する時のトレーステージ２４の左端のＸ方向位置イを越えてトレーステージ２４の角の部分が突出しない位置である。
８）そして作業者の手動により、もしくはコンピュータ（図示せず）の制御により自動にトレーステージ２４を回転し交換するトレー５を交換容易な位置に移動する。
９）いっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）の動作を行い以後２）〜５）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【００１３】
この実施例によれば、交換されるべきトレー５を交換容易な位置に移動できるのでトレーの交換が容易である。
【００１４】
さらに、トレーステージ２４のＸ方向の移動に要する幅はトレー５の交換のためのみに必要な部分を要さないので、装置の幅を小さくできる。すなわち、Ｘ方向の移動に要する範囲Ｌ2 は位置イ〜位置ロの範囲であり、トレーステージ２４の幅を２ａとすると
Ｌ2 ＝４ａ  ……（２）
となる。
【００１５】
上記実施例ではトレーの交換に際しての動作を７）の動作と８）の動作をシリーズに行なうものとしたが、並行して動作するように構成して動作を速めることもできる。但し、その場合トレーステージの移動の幅はその回転時に位置イや位置ロより外に突出する。
【００１６】
次に本発明の他の例を図面を参照して説明する。図２は本発明の他の例の分類配列装置１１の要部平面図である。吸着パイプ、突き上げニードル、リングステージ、カメラを含む画像処理装置等で構成されるペレットの供給部とコレットを含むピックアップ部は従来の装置（図３，４参照）と同じでよく、シート８とトレーステージ１４との高さ方向の位置関係は従来の装置（図３，４参照）と同じであるので縦断面図は省略し図４を兼用する。図１にも図示を省略する。
【００１７】
本発明の装置のトレーステージ１４もピックアップポジションＰに近接してその端部を配して設けられる。トレーステージ１４も方形で上面に矩形（方形も含む）のトレー５を複数載置する。トレー５はＸ，Ｙ方向に平行に位置精度良く載置されねばならず、そのためトレーステージ１４はトレー５の位置決めの為の凹部を上面に備える。そしてトレーステージ２４はＸ方向に移動自在である。等に付いては従来の装置に似ている。特徴的には上面の中心を軸Ｃとして回転自在であって、その軸を通り互いに直交する２本の区画線１２、１３で４つの象限に区画される。トレー５の位置決めの為の凹部はトレー５を区画線に平行に載置し、しかも各象限で１方向の回転方向の区画線１２，１３に対するトレー５の方向を統一して配置するようなものである。
【００１８】
次にこの装置の理解をしやすくする為に半導体ペレットの分類配列作業の説明を付して動作の説明と構成の説明をする。
半導体ペレットが特性区分についてのマップを有してシート８に貼りつけられ、ウェーハリングに固定されて供給され、それをリングステージ（図示せず）にセットする点は従来の方法と同じであり、その後以下の様に分類配列動作を行なう。
１）装置をスタートさせるとマップの情報や画像処理装置（図示せず）の情報に基づきコンピュータ（図示せず）がリングステージ（図示せず）を制御して次にピックアップするペレット９をピックアップポジションＰに位置合わせする。
２）次にコレット７がピックアップポジションＰの上方に待機した状態で吸着パイプ３により真空吸着してシート８を固定して、突き上げニードル３を上方に動かしペレット９を突き上げペレット９がシート８より剥がれやすくすると共にコレット７が降下してペレット９を真空吸着する。
３）上記１）、２）の動作に並行して（場合により後述する４）の動作に並行して）コンピュータ（図示せず）がマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきトレーステージ１４を制御して回転動させ区画線１２，１３がＸ方向またはＹ方向に平行でしかも詰められるべきトレー５を載置した象限がピックアップポジションＰに最も近い位置に移動させると共にＸ方向に移動させそのペレット９が詰められるべきトレー９の詰められるべき凹部（図示せず）を図２のＡ−Ａ線に移動する。
４）コンピュータ（図示せず）はマップの情報やそれ以前にトレー５へペレット９の詰まった状況の情報に基づきピックアップ部（図示せず）を制御して上記２）の様に先端にペレット９を真空吸着保持したコレット７を上昇させると共にＡ−Ａ線上（Ｙ方向）にペレット９が詰められるべき場所まで移動させ、降下させ、真空を切りペレット９をプレイスする。
５）以上１）〜４）を繰り返してペレット９の分類配列動作が行なわれる。
６）特定のトレー５がいっぱいになると動作は一旦中断してトレーステージ１４は所定のトレー交換位置例えば図２の様に分類配列の本来動作において最も左に位置する場所へＸ方向に移動すると共に回転して交換するトレー５が載置された象限を交換容易な位置に移動する。
７）いっぱいになったトレーを取出し空のトレーをセットして再スタートさせると、上記１）〜４）の動作を繰り返し分類配列動作が行なわれる。
【００１９】
この実施例においてはピックアップポジションＰとトレーステージ１４の端との距離ｂは従来の装置における距離ａより大きくなっている。それは、トレーステージ１４の回転によりピックアップポジションＰの上方に配置された画像処理装置のカメラ（図示せず）の視野が塞がれることがないようにするためである。
【００２０】
この実施例によれば、交換されるべきトレー５を交換容易な位置に移動できるのでトレーの交換が容易である。
【００２１】
さらに、トレーステージ１４のＸ方向の移動に要する幅Ｌ3 はトレーステージ１４の幅を２ａとすると
Ｌ3 ＝２＊２1/2 ＊ａ＋ａ＝３．８３ａ  ……（３）
となり従来の装置に比較して小さくなる。
【００２２】
上記実施例ではトレーの交換に際してトレーステージ１４の回転動作とＸ方向動作とを並行して動作するように構成して動作を速めたが、一旦本来の分類配列動作に要する動作範囲の中心位置までＸ方向に移動し、そこで回転すれば（要すればさらにその後に取り替え容易な位置までＸ方向移動すれば）トレーステージの移動の幅は本来動作に必要な幅３ａとなる。
【００２４】
さらにペレット９のＹ方向の搬送距離は従来の半分近くに小さくなるので、搬送位置の精度が高まる。
【００２５】
上記各実施例において、トレーステージは方形としたが載置するトレーの数は少なくなるが角の部分を無くし、円形に近付けて回転時に必要領域を少なくすることもできる。また、ペレットの供給部はシート上に整列配置されたペレットが特性区分に関するマップを有して供給されるものを処理する場合に付いて説明したが、個々のペレットに分割された後個々に特性測定して順次ピックアップポジションＰに供給するものであっても良い。
【００２６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明は、分類配列装置トレーの交換を容易にすると共に特定の態様によれば装置の幅寸法を小型化する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施例の要部平面図である。
【図２】  この発明の他の実施例の要部平面図である。
【図３】  従来の装置の要部平面図である。
【図４】  この発明の装置と従来の装置と共通な縦断面である。
【符号の説明】
Ｃ  軸
Ｐ  ピックアップポジション
５  トレー
７  コレット（ピックアップ部）
９  ペレット
１１，２１  分類配列装置
１４，２４  トレーステージ
１２，１３  区画線
【図１】
0003869889.tif 000002
【図２】
0003869889.tif 000003
【図３】
0003869889.tif 000004
【図４】
0003869889.tif 000005