(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に形成された導電体層および誘電体層の少なくとも１層を、複数の領域に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う他の分割領域の境界線と噛み合わせることにより、所定配列の画素を形成する液晶表示装置の製造方法において、
上記分割領域を水平方向に分割する水平境界線と垂直方向に分割する垂直境界線とが交差する交差部において、対角方向に隣接する２つの分割領域のジグザグの境界線は、それぞれ一方の分割領域から他方の分割領域内まで延出し相互に噛み合ったパターンを有していることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
上記水平境界線と垂直境界線とが直交するように分割露光して各分割領域毎にパターニングし、その際、水平境界線と垂直境界線とが直交する十字状の交差部において、隣合う４つの分割領域の内、少なくとも１つの分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方向に隣接する他の分割領域内まで延出したパターンを有していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
上記水平境界線と垂直境界線とがＴ字状に交わるように分割露光して各分割領域毎にパターニングし、その際、水平境界線と垂直境界線とのＴ字状の交差部において、隣合う３つの分割領域の内、少なくとも１つの分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方向に隣接する他の分割領域内まで延出したパターンを有していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
上記水平境界線と垂直境界線とがＬ字状に交わるように分割露光して各分割領域毎にパターニングし、その際、水平境界線と垂直境界線とのＬ字状の交差部において、隣合う２つの分割領域の内、少なくとも一方の分割領域の境界線は、上記交差部を挟んで対角方向に他方の分割領域内まで延出したパターンを有していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は薄型、軽量であり、消費電力が少ないなどの特徴から、ノート型パソコンやワーブロ、小型ＴＶなどの表示装置として広く使用されている。その中でもアクティブマ卜リクス型の液晶表示装置は高速応答、高コントラスト、多階調表示も可能であることから、大型のＴＶ等としても期待されている。
【０００３】
液晶表示装置は信号線、走査線などの電極や薄膜トランジスタなどの素子によって構成されており、製造は薄膜の成膜工程、フォトレジストマスクを形成するＰＥＰ工程、薄膜の不要部分を除去するエッチングエ程をなどを繰り返すことにより行われる。
【０００４】
近年、大画面化にともない製造装置にも大画面に対応するものが要求されている。しかしながら、フォトレジストの露光については、画面を複数の領域に分けて露光する分割露光を行うことにより、従来の小型の露光装置を用いて大画面に対応することができる。
【０００５】
一般に、分割露光する場合、分割ラインに露光時のずれが視認されるときがあり、この対策として分割ラインを折り返しや島状にした領域で形成し、境界の特性の変化勾配を緩衝化して継ぎ目を目立たせないようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
水平垂直分割ラインの交差部や交わる部分は直線部分で形成するのが一般的であるが、境界部を目立たせないように水平垂直分割ラインの領域を大きくとると、直線部分も大きくなり、この直線部分でずれが視認されてしまう問題がある。すなわち、隣合う領域同志が噛み合う部分の幅を大きく取ったほうが継ぎ目は目立たないが、島状分割を行わない直線部分が認識されるようになってしまう。
【０００７】
この発明は以上の点に鑑みんされたもので、その目的は、継ぎ目が目立つこなく良好な表示品位を有する大面積の液晶表示装置を製造可能な液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、この発明に係る製造方法は、絶縁基板上に形成された導電体層および誘電体層の少なくとも１層を、複数の領域に分割して露光し各分割領域毎にパターニングする際、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、隣合う他の分割領域の境界線と噛み合わせることにより、所定配列の画素を形成する液晶表示装置の製造方法において、
上記分割領域を水平方向に分割する水平境界線と垂直方向に分割する垂直境界線とが交差する交差部において、対角方向に隣接する２つの分割領域のジグザグの境界線は、それぞれ一方の分割領域から他方の分割領域内まで延出し相互に噛み合ったパターンを有していることを特徴としている。
【０００９】
上記構成によれば、分割露光する際、水平に分割する境界線と垂直に分割する境界線が交差あるいは交わる部分についても、この境界領域の光学的な特性変化の勾配を緩衝化することができる。これにより、分割領域間の継ぎ目が目立たず、良好な表示品位を有する液晶表示装置を製造することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態に係るアクティブマトリクス型液晶表示装置の製造方法について詳細に説明する。まず、アクティブマトリックス型液晶表示装置の一例について説明する。
【００１１】
図１に示すように、アクティブマトリクス型液晶表示装置１０は、光透過型の液晶表示装置として構成され、例えば、対角１２．１インチの表示領域３０を備えている。
【００１２】
この液晶表示装置１０は、液晶表示パネル１２、液晶表示パネルを駆動するための信号線駆動回路基板１４、走査線駆動回路基板１６、各駆動回路基板と液晶表示パネルとを電気的に接続した複数のテープキャリアパッケージ（ＴＣＰと称する）１８を備えている。
【００１３】
図１ないし図３に示すように、液晶表示パネル１２はアレイ基板２０および対向基板２２を備え、これら基板は、周縁部を図示しないシール剤によって貼り合わせることにより、所定のギャップをおいて対向配置されている。そして、アレイ基板２０と対向基板２２との間には、それぞれ配向膜２３、２４を介して、光変調層としての液晶組成物２６が封入されている。アレイ基板２０および対向基板２２の外表面には、それぞれ偏光板２８、３０が、その偏光軸が直交するように配置されている。
【００１４】
アレイ基板２０は絶縁基板としてのガラス基板３１を有し、このガラス基板上には、配線として多数の信号線３２と多数の走査線３４とがほぼ直交するようにマトリクス状に設けられている。信号線３２と走査線３４とで囲まれる領域には、それぞれＩＴＯからなる画素電極３６が設けられ、各画素電極は、スイッチング素子としての薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと称する）３８を介して、信号線３２と走査線３４との交差部に接続されている。
【００１５】
各画素電極３６はほぼ矩形状に形成され、１画素を構成している。１画素の寸法は、８０μｍ×２４０μｍである。信号線３２はアレイ基板２０の長辺側に引き出され、ＴＣＰ１８を介して信号線駆動回路基板１４に接続されている。また、走査線３４はアレイ基板２０の短辺側に引き出され、ＴＣＰ１８を介して走査線駆動回路１６に接続されている。
【００１６】
図２および図３に示すように、各ＴＦＴ３８は、走査線３４自体をゲート電極４０とし、ゲート電極上に酸化シリコン、窒化シリコン等の誘電体層からなるゲート絶縁膜４２が配置され、更に、ゲート絶縁膜４２上にはａ−Ｓｉ膜からなる半導体膜４３が形成されている。また、半導体膜４３上には、走査線３４に自己整合されて成るチャネル保護膜４４として窒化シリコン膜が配置されている。
【００１７】
そして、半導体膜４３は、低抵抗半導体膜４６として配置されたｎ＋型ａ−Ｓｉ膜およびソース電極４８を介して画素電極３６に電気的に接続されている。また、半導体膜４３は、低抵抗半導体膜４６として配置されるｎ＋型ａ−Ｓｉ膜および信号線３２から延出したドレイン電極５０を介して信号線３２に電気的に接続されている。
【００１８】
一方、対向基板２２は透明なガラス基板６０を備え、このガラス基板上には、クロム（Ｃｒ）の酸化膜からなる第１遮光層６２、および第１遮光層上に積層されたクロム（Ｃｒ）から成る第２遮光層６３が形成されている。これら第１および第２遮光層６２、６３は、アレイ基板２０上のＴＦＴ３８、信号線３２と画素電極３６との間隙、および走査線３４と画素電極３６との間隙をそれぞれを遮光するように、マトリクス状に形成されている。また、ガラス基板６０上において、アレイ基板２０側の画素電極３６と対向する位置には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ層６４が形成されている。
【００１９】
上記構成の液晶表示パネル１２において、アレイ基板２０を製造する場合には、ガラス基板３１上に複数の導電体層、誘電体層を形成し、各層を所定パターンにフォトエッチングすることにより、上述した信号線、走査線、画素電極、ゲート絶縁膜、ＴＦＴ等を形成している。
【００２０】
例えば、画素電極を形成する場合には、ガラス基板３１全面にＩＴＯ層を形成し、その上にレジスト層を形成した後、このレジスト層を所定パターンに露光し、更に、エッチングすることにより形成する。
【００２１】
本実施の形態によれば、レジスト層を露光する際、ガラス基板３１を複数の領域、例えば、図４に示すように、６つの領域Ａ〜Ｆに分割して露光を行う。各領域はほぼ矩形状をなし、隣合う分割領域間の境界領域７０の中心線は、水平に延びる水平境界線ａおよびこれと直交する２本の垂直境界線ｂとで構成されている。
【００２２】
図５に示すように、各分割領域の水平および垂直方向の境界線は、ほぼパルス波形状にジグザグに形成され、隣合う分割領域の境界線と噛み合って境界領域７０を構成している。このように各分割領域の境界線をジグザグに形成し、境界領域７０内で勾配を持たせることにより、境界領域７０の光学的な特性変化の勾配を緩衝化し、水平および垂直方向の境界線はほとんど視認できず目立たなくすることができる。
【００２３】
また、図６に示すように、水平境界線ａと垂直境界線ｂとが直交する十字部分において、隣合う４つの分割領域Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ（あるいはＢ、Ｃ、Ｅ、Ｆ）の内、少なくとも１つの分割領域の境界線は、交点に対して対角方向に隣接する他の分割領域内まで延出したパターンを持って形成されている。
【００２４】
図６に示す実施の形態によれば、分割領域Ａの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｂ、垂直方向に隣接する分割領域Ｄ、および対角方向に隣接する分割領域Ｅにも延出したパターンを有している。分割領域Ｄの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｅ、垂直方向に隣接する分割領域Ａ、および対角方向に隣接する分割領域Ｂにも延出している。更に、分割領域Ｅの境界線は、水平方向に隣接する分割領域Ｄ、垂直方向に隣接する分割領域Ｂ、および対角方向に隣接する分割領域Ａにも延出したパターンを有している。
【００２５】
分割領域の境界線を上記のように形成することにより、水平境界線ａと垂直境界線ｂとが直交する十字部分においても、分割領域間の継ぎ目を目立たせなくすることができる。
【００２６】
これまでの実験結果から、従来、分割領域間の透過率の差が０．５％以上あれば継ぎ目が認識されたが、本実施の形態に係る液晶表示パネルでは、隣合う分割領域間に１％の透過率の差があった場合でも、全く継ぎ目が認識されることはなかった。
【００２７】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法によれば、アレイ基板２０の導電体層および誘電体層をそれぞれパターニングする際、複数の領域に分割して露光するとともに、各分割領域の境界線をジグザグに形成し、かつ、水平および垂直境界線が十字状に直交する部分において、少なくとも１つの分割領域の境界線を対角方向に隣接した他の分割領域内まで延出させる構成としたことから、分割領域の継ぎ目を目立たなくし、良好な表示品位を有する液晶表示装置を製造することができる。
【００２８】
なお、この発明は上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、上記実施の形態においては、ガラス基板を６つの領域に分割して露光する構成としたが、分割数は必要に応じて増減可能である。
【００２９】
また、分割領域は、互いに同一の形状および寸法を有している場合に限らず、異なる寸法の分割領域としてもよい。例えば、図７（ａ）に示すように、水平分割線ａと垂直分割線ｂとがＴ字状に交わるように、ガラス基板を５つに分割露光し、あるいは、図７（ｂ）に示すように、水平分割線ａと垂直分割線ｂとがＬ字状に交わるように、ガラス基板を２つに分割露光してもよい。
【００３０】
図７（ａ）に示す分割露光の場合、各分割領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領域内で噛み合わせるとともに、Ｔ字状の交差部においては、図８（ａ）に示すように、水平方向に隣合う少なくとも１つの分割領域の境界線は、交差部に対して対角方向にも延出したパターンを有して形成されている。
【００３１】
図７（ｂ）に示す分割露光の場合、各分割領域の水平および垂直境界線をジグザグに形成し境界領域内で噛み合わせるとともに、Ｌ字状の交差部において、図８（ｂ）に示すように、少なくとも一方の分割領域の境界線は、交差部に対して対角方向にも延出したパターンを有して形成されている。
【００３２】
上記図７（ａ）、７（ｂ）、８（ａ）、８（ｂ）に示す場合においも、前述した実施の形態と同様に、分割領域間の継ぎ目を目立たなくし、良好な表示品位を有する液晶表示装置を製造することが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、分割露光を行なう際、境界中心線が交差する十字部分、Ｔ字部分、Ｌ字部分においても分割領域間の継ぎ目を目立たせなくすることができ、表示品位の優れた大面積の液晶表示装置を製造可能な製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る製造方法によって製造されるアクティブマトリクス型液晶表示装置の一例を示す斜視図。
【図２】上記アクティブマトリクス型液晶表示装置のアレイ基板を概略的に示す平面図。
【図３】図２の線Ａ−Ａに沿った断面図。
【図４】上記アレイ基板を、この発明の実施の形態に係る製造方法によって分割露光する際の分割領域を示す平面図。
【図５】図４における垂直境界領域の一部Ｇを拡大して示す平面図。
【図６】図４における十字状交差部Ｈを拡大して模式的に示す平面図。
【図７】この発明の変形例に係る製造方法の分割露光領域をそれぞれ示す平面図。
【図８】Ｔ字状交差部およびＬ字状交差部をそれぞれ拡大して模式的に示す平面図。
【符号の説明】
１４…液晶表示パネル
２０…アレイ基板
２２…対向基板
２６…液晶組成物
３１…ガラス基板
３２…信号線
３４…走査線
３６…画素電極
３８…ＴＦＴ
７０…境界領域
ａ…水平境界線
ｂ…垂直境界線
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ…分割領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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