(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理面をもつアルミ系の被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器と、該被処理部材の被処理面に局部的圧縮加工を加える強圧体をもつ局部的圧縮加工手段とを用い、
該被処理部材の被処理面と該アルマイト処理液とを接触させ、且つ、該局部的圧縮加工手段を陰極に設定した状態で、該被処理部材に通電して該被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施し、
該陽極酸化膜の形成中に、該被処理面の陽極酸化膜に該局部的圧縮加工手段の強圧体により局部的圧縮加工を加えることを特徴とするアルマイト処理方法。
【請求項２】
被処理面をもつアルミ系の被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器と、該被処理部材の被処理面に局部的圧縮加工を加える強圧体をもつ局部的圧縮加工手段とを用い、
該被処理部材の被処理面と該アルマイト処理液とを接触させ、且つ、該局部的圧縮加工手段を陰極に設定した状態で、該被処理部材に通電して該被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施し、
該陽極酸化膜の形成中に、該局部的圧縮加工手段の強圧体を回転させつつ、該被処理面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工を加え、該陽極酸化膜のポア層の少なくとも表層部分を曲成することを特徴とするアルマイト処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はアルミ系のの被処理部材に陽極酸化を形成するアルマイト処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
アルマイト処理方法としては、従来より、被処理面をもつアルミ系合金で形成された被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器とを用い、そして被処理部材をアルマイト処理液に浸漬させた状態で、被処理部材を陽極とし、更に陽極に対する陰極を設け、陽極と陰極との間で通電して被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成することにしている。更にこのアルマイト処理方法としては、電流密度を高くして高速処理する高速アルマイト処理が知られている。
【０００３】
この様なアルマイト処理で形成した陽極酸化膜は、硬くて耐摩耗性に優れていることが知られている。このアルマイト処理した陽極酸化膜は、Ａｌ2 Ｏ3 を主要成分とし、多孔質なポア層をもつとされている（改訂４版  金属便覧、社団法人日本金属学会、昭和５７年１２月２０日発行；１３１３頁）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところでアルマイト処理した場合には、特に高速アルマイト処理した場合には、陽極酸化膜の不均一化、面粗度の悪化を招くことがある。殊に被処理部材を構成するアルミ母材にＳｉ粒子が含まれている場合には、陽極酸化膜の不均一化、面粗度の悪化を招き易いと一般的には考えられている。Ｓｉ粒子が電流密度の不均一を誘発するためと推察されている。
【０００５】
陽極酸化膜の表面粗さを小さくするため、近年、本出願人は被処理部材に形成した陽極酸化膜を砥石で研摩して表面粗さを向上させる方法を開発した。この方法によれば、研摩前に比較して陽極酸化膜の表面粗さを小さくできる。
しかしながら充分なる表面粗さの向上を目指すには、仕上研摩をする必要がある。更には、高価な研摩用の砥石を使用するのでコスト高となり易い。また砥石の目詰まりが頻繁に生じるため、砥石を頻繁に交換しなければならない。更に砥石による研摩の場合には、砥石による加工速度の増大に限度があり、加工が低速になりがちである。よって砥石で陽極酸化膜を研摩する方法によれば、価格や生産性は必ずしも充分ではない。
【０００６】
本発明は上記した実情に鑑みなされたものであり、請求項１及び２の課題は、高速アルマイト処理する場合であっても、また被処理部材がＳｉを含む場合であっても、勿論、通常のアルマイト処理する場合であっても、また被処理部材がＳｉを含まない場合であっても、陽極酸化膜の均一化、面粗度の均一化に有利なアルマイト処理方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者はアルミ系の被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理について鋭意開発を進め、そして陽極酸化膜を形成後または形成中に、被処理面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工手段の強圧体により局部的圧縮加工を加えれば、陽極酸化膜の均一化、面粗度の均一化を図り得ることを知見し、試験で確認し、本発明方法及び本発明装置を完成したものである。
【０００９】
請求項１のアルマイト処理方法は、
被処理面をもつアルミ系の被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器と、被処理部材の被処理面に局部的圧縮加工を加える強圧体をもつ局部的圧縮加工手段とを用い、
被処理部材の被処理面とアルマイト処理液とを接触させ、且つ、局部的圧縮加工手段を陰極に設定した状態で、被処理部材に通電して被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施し、
陽極酸化膜の形成中に、被処理面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工手段の強圧体により局部的圧縮加工を加えることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項２のアルマイト処理方法は、
被処理面をもつアルミ系の被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器と、被処理部材の被処理面に局部的圧縮加工を加える強圧体をもつ局部的圧縮加工手段とを用い、
被処理部材の被処理面とアルマイト処理液とを接触させ、且つ、局部的圧縮加工手段を陰極に設定した状態で、被処理部材に通電して被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施し、
陽極酸化膜の形成中に、局部的圧縮加工手段の強圧体を回転させつつ、被処理面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工を加え、陽極酸化膜のポア層の少なくとも表層部分を曲成することを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】
請求項１、２の方法によれば、被処理部材に通電して被処理部材の被処理面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施する。陽極酸化膜を形成後または形成中に、局部的圧縮加工手段の強圧体により被処理面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工を加える。
【００１３】
請求項１の方法によれば、局部的圧縮加工の如何によって、陽極酸化膜のポア層の少なくとも表層部分が圧縮加工を受けて曲成される形態、及び、圧縮加工を受けつつもポア層の表層部分が実質的に曲成されない形態が含まれる。
請求項２の方法によれば、局部的圧縮加工手段の強圧体を回転させるので、陽極酸化膜のポア層の少なくとも表層部分を曲成し易い。
【００１４】
本発明によれば、局部的圧縮加工の際に、付勢部材により強圧ローラは基体の周壁に半径方向外方に突出される形態を例示することができる。突出した強圧ローラは、被処理部材の被処理面の陽極酸化膜に強圧される。
【００１５】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。この実施例は、Ｓｉを含む被処理部材を高速アルマイト処理する場合である。
（実施例の構成）
（装置）
まず装置から説明する。図１に示す様にアルマイト処理液１を収容する収容室２０をもつ容器２が設けられている。更にアルマイト処理液１がタンク室３０に貯溜されたタンク３が配置されている。タンク３にはアルマイト処理液１を低温（例えば５℃）に維持するための冷却装置３３が設けられている。
【００１６】
容器２の保持部２１には、アルミ系合金のダイカスト材からなる被処理部材４が保持されている。本実施例では被処理部材４は、油圧部品であるブレーキマスターシリンダとして使用される。被処理部材４は、周壁４２に適数個の孔４３をもつ円筒体４５と、円筒体４５の下端開口を閉じる底壁４６と、円筒体４５から一体的に半径方向外方に延設された鍔部４７とをもつ。円筒体４５は中空室４１を区画している。孔４３は、被処理部材４の使用の際に油路として機能する。被処理部材４を形成するアルミ系合金には、例えば、重量％でＳｉが５．０〜１５．０％、Ｍｇが０．２５〜０．６％、Ｃｕが０．２％以下が含まれている。なおアルミ系合金には、硬質粒子として機能して耐摩耗性を確保する等のために初晶Ｓｉ粒子が含まれている形態でも、初晶Ｓｉ粒子が含まれていない形態でも良い。初晶Ｓｉ粒子はＳｉ含有量に基づき晶出するからである。
【００１７】
被処理部材４の中空室４１には、バニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０がリング状の隙間４９を存して略同軸的に挿入されている。
更にタンク３とバニッシュ加工装置５とをつなぐ供給路３７が設けられ、供給路３７にはポンプ３８が配置されている。タンク３と容器２の排出口２ｉとをつなぐ排出路３９が設けられている。ここでポンプ３８が作動すると、タンク３のアルマイト処理液１は供給通路３７を通り、供給通路３７のノズル３７ｈからバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０の内部に供給され、バニッシュ筒体５０の孔５０ｄから隙間４９に供給され、更に被処理部材４の孔４３を通って容器２の収容室２０に至り、更に排出路３９を経てタンク３に戻る。この様にしてアルマイト処理液１は循環する。
【００１８】
図２及び図３に示す様にバニッシュ加工装置５は、局部的圧縮加工の一つであるバニッシュ加工を行う装置である。このバニッシュ加工装置５は、アルマイト処理液に対する耐食性及び導電性を備えた金属（例えばステンレス鋼）で形成された基体として機能するバニッシュ筒体５０と、バニッシュ筒体５０に回転可能に保持され硬質材料（例えばＪＩＳ  ＳＫ材やＳＫＤ材、セラミックス材など）で形成された強圧体としての強圧ローラ５２と、強圧ローラ５２をバニッシュ筒体５０の周壁の開口５１から半径方向外方つまりＸ１方向に突出させる付勢部材５３とを備えている。バニッシュ筒体５０は、図略の駆動源によりその軸芯回りに回転可能及び上下方向に移動可能とされている。
【００１９】
強圧ローラ５２の一部は、バニッシュ筒体５０の開口５１から突出している。強圧ローラ５２は円錐面状をなすテーパ面５２ｃをもち、付勢部材５３はテーパ面５２ｃに相応するテーパ角を備えた円錐面状のテーパ面５３ｃをもつ。付勢部材５３が軸長方向つまり矢印Ｙ１方向に移動すると、付勢部材５３のテーパ面５３ｃが強圧ローラ５２のテーパ面５２ｃを押圧し、これにより強圧ローラ５２は半径方向外方つまり矢印Ｘ１方向に所定量突出する。
【００２０】
図１に示す様に、給電装置として機能する整流器６が設けられている。整流器６の陽極端子６０には給電線６１を介して被処理部材４が電気的に接続されている。従ってアルマイト処理の際に被処理部材４が陽極として機能する。整流器６の陰極端子６４には給電線６５を介してバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０が電気的に接続されている。従ってアルマイト処理の際にバニッシュ筒体５０は陰極として機能する。
【００２１】
（方法）
次に本実施例に係る方法を説明する。図１に示す様に被処理部材４を容器２の保持部２１に保持して被処理部材４を容器２内のアルマイト処理液１に浸漬させる。これにより被処理部材４の円筒体４５とアルマイト処理液１とを接触させる。この状態ではバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０と被処理部材４の円筒体４５の内周面とはアルマイト処理液を存して対面している。
【００２２】
またこの状態では、強圧ローラ５２は退避して強圧ローラ５２の突出量は抑えられており、強圧ローラ５２と被処理部材４の円筒体４５とは非接触状態に維持されている。
その状態で、陰極と陽極との間に通電して所定時間アルマイト処理を行う。これにより被処理部材４の円筒体４５のうち被処理面である内周面に陽極酸化膜を形成する。この場合には、陰極として機能するバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０を適宜矢印Ｙ１、Ｙ２方向に移動させる。
【００２３】
本実施例では陰極と陽極とに通電する電流密度を増大させて高速アルマイト処理を行う。そして陽極酸化膜が形成された被処理部材４の円筒体４５の内径が所定寸法になったら、アルマイト処理を停止する。
なお本実施例におけるアルマイト処理の条件は次の様である。即ち、電流密度は５０〜３００Ａ／ｄｍ2 であり、時間は５〜３０秒であり、アルマイト処理液１は硫酸溶液（１０〜３０ｖｏｌ％程度）であり、アルマイト処理液１の処理温度は−１０〜＋２２°Ｃである。
【００２４】
この様にアルマイト処理の結果、被処理部材４の円筒体４５の内周面には陽極酸化膜（膜厚１〜１５μｍ、硬度Ｈｖ３００以下、表面粗さＲｚ３．０μｍ以下）が形成される。
次に、バニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０を矢印Ｃ１方向に一方向回転させつつ、強圧ローラ５２を半径方向外方つまり矢印Ｘ１方向に拡張して、陽極酸化膜を局部的圧縮加工する。局部的圧縮加工は、図２に示す強圧ローラ５２のうち、外径が大きな径大端部５２ｆで達成される。一般的には強圧ローラ５２の拡張量は１０〜５０μｍ、膜圧縮率は５〜１５％である。膜圧縮率は、〔（加工前の厚み−加工後の厚み）／（加工前の厚み）〕×１００％を意味する。
【００２５】
これにより局部的圧縮加工の一例であるバニッシュ加工が被処理部材４の陽極酸化膜に施される。この様なバニッシュ加工の際には、強圧ローラ５２を備えたバニッシュ筒体５０の軸長方向にそってつまり矢印Ｙ１、Ｙ２方向にそって適宜移動させる。これによりバニッシュ筒体５０の軸長方向におけるバニッシュ加工のむらを軽減または回避する。バニッシュ加工は所定時間行う。そして陽極酸化膜をもつ被処理部材４の円筒体４５の内径が所定寸法になったら、バニッシュ加工を停止する。
この様な工程を実施した本実施例によれば、被処理部材４の円筒体４５の内周面の陽極酸化膜が均一化し、表面粗さもＲｚ１．６〜０．５μｍと小さく、面粗度も良好な値となった。更にバニッシュ加工を施した陽極酸化膜の硬度も高くなり、耐摩耗性が向上し、摺動材料として一層適する様になった。
【００２６】
本実施例によれば、転動する強圧ローラ５２により陽極酸化膜のポア層の表層側を押し潰す方式となるため、陽極酸化膜の表面粗さを表面粗さ計で測定したとき、表面粗さを示す粗さ線の山や谷が平坦化し易く、面粗度の向上に貢献できる。
この様に本実施例によればバニッシュ加工により陽極酸化膜の表面粗さを小さくし、面粗度を向上できるため、高速処理が達成し得るものの面粗度が低下しがちであった高速アルマイト処理を実行することができる。
【００２７】
また本実施例によれば、陽極酸化膜を砥石で削って研摩加工する方式に比較して、転動する強圧ローラ５２により押し潰す方式となるため、砥石方式に比較して陽極酸化膜の表面粗さも良好となり、砥石の目詰まり、砥石の摩滅等の砥石に起因する不具合がない。従って砥石を頻繁に交換しなければならないといった砥石研摩方式で生じていた不具合を解消できる。
【００２８】
バニッシュ加工を施した陽極酸化膜を電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、陽極酸化膜のポア層の表層側は曲成されていた。この写真を図４に示す。図４の写真の下部には倍率として５００００倍、１００ｎｍの基準寸法が記されている。この写真によれば、陽極酸化膜のポア層が、ポア層の細孔の孔芯に対して軸直角方向に曲成されていることがわかる。
【００２９】
更にまた本実施例の様に陽極酸化膜の形成に際して高速アルマイト処理した場合には、電流密度が高いためジュール熱に伴い被処理部材４の温度が高温となり易い。この場合『焼け』等の不具合が生じる。この点本実施例では強圧ローラ５２を退避させたバニッシュ加工装置５を用い、バニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０を回転させつつつアルマイト処理を行うため、アルマイト処理液には遠心力も作用し、特に隙間４９のアルマイト処理液に遠心力も作用し、従ってアルマイト処理液はポンプ３８の駆動力の他に遠心力によっても流動することになり、アルマイト処理液の流速の増大に有利である。よってアルマイト処理液の循環性が向上し、被処理部材４の高温化の低減に有利であり、『焼け』の軽減または回避に有利である。
【００３０】
更にアルマイト処理の際に強圧ローラ５２が攪拌羽根として機能することも期待できるので、被処理部材４内に収容されているアルマイト処理液を攪拌でき、アルマイト処理液の局部的溜まりを回避するのに有利であり、この意味においてもアルマイト処理液の循環性が向上し、『焼け』の軽減または回避に有利である。
【００３１】
本実施例によれば、バニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０は強圧ローラ５２を保持するばかりか、アルマイト処理の際の陰極としても機能する。即ち、バニッシュ加工装置５は、アルマイト処理及びバニッシュ加工の双方を達成できる。そのため本実施例によれば、被処理部材４を容器２の保持部２１に一体保持したら、被処理部材４を取り外すことなく、アルマイト処理及びバニッシュ加工の双方を達成でき、作業性も良い。
【００３２】
また本実施例によれば、強圧ローラ５２が被処理部材４の円筒体４５の内周面を圧接しつつ加工するものであり、いわば局部的圧縮の繰り返しで加工する方式である。従って陽極酸化膜の全体を一度に加工する形態に比較して、加工力も小さくて済み、陽極酸化膜の割れの回避に有利である。しかもバニッシュ加工装置５の小型化にも有利である。
【００３３】
更に本実施例によれば、前述の様に陽極酸化膜のポア層の表層側を曲成できるので、面粗度の向上ばかりか、バニッシュ加工をポア層の封孔処理として利用することも期待できる。従って被処理部材４の使用の際に、腐食の要因となり得る侵入物がポア層の細孔に侵入することを軽減または回避でき、陽極酸化膜の耐腐食性の向上に貢献できる。
【００３４】
また本実施例によれば、着色物質等の他の物質をポア層の細孔に付着させた場合には、陽極酸化膜にバニッシュ加工を施すことにより、封孔処理することも期待できる。なおポア層の細孔に着色物質を付着させた場合には、バニッシュ加工に伴う封孔作用により、ポア層の細孔に付着された着色物質の脱離の軽減または回避に有利であり、この意味において陽極酸化膜における退色防止に貢献できる。
【００３５】
加えて本実施例によれば、液体であるアルマイト処理液の内で被処理部材４の陽極酸化膜に対してバニッシュ加工を行うので、バニッシュ加工の際における摩擦熱の低減、潤滑性の確保に有利であり、従ってバニッシュ加工を良好に実施するのに有利である。
上記した実施例によれば、アルマイト処理で被処理部材４に陽極酸化膜を形成し、その後にアルマイト処理を中止してバニッシュ加工を施し、更にその後にバニッシュ加工を中止して再びアルマイト処理で被処理部材４に陽極酸化膜を積層する。あるいは、アルマイト処理で被処理部材４に陽極酸化膜を形成しつつ、その形成中の陽極酸化膜にバニッシュ加工を施すことにしても良い。
【００３６】
上記した例では、アルマイト処理液に浸漬している陽極酸化膜にバニッシュ加工を施しているが、これに限らず、バニッシュ加工の際には容器２から被処理部材４を外気中に取り出し、外気中で陽極酸化膜にバニッシュ加工することにしても良いものである。
上記した実施例によれば、高速アルマイト処理することにしているが、これに限らず通常のアルマイト処理でも良い。更にアルマイト処理液として硫酸溶液を使用しているが、これに限らずシュウ酸溶液でもクロム酸溶液等の公知のアルマイト処理液を採用しても良いものである。
【００３７】
また上記した例では被処理部材４の円筒体４５の内周面に陽極酸化膜を形成しているが、円筒体４５の外周面に陽極酸化膜を形成し、その外周面に形成した陽極酸化膜を強圧ローラ５２で強圧しても良いものである。この場合には被処理部材４の円筒体４５の径よりもバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０を径大とし、被処理部材４の円筒体４５の外周面をバニッシュ加工装置５のバニッシュ筒体５０で包囲する。更に被処理部材４の円筒体４５の内周面及び外周面の双方に陽極酸化膜を形成しても良いものである。
【００３８】
更に強圧体として、テーパをもつ略円筒形状の強圧ローラ５２を使用しているが、これに限定されるものではなく、球体状の強圧体でも良いものである。
図５及び図６はバニッシュ加工装置の変形例を示す。図５に示すバニッシュ加工装置８０は、バニッシュ筒体８１と、バニッシュ筒体８１に保持された強圧ローラ８２と、バニッシュ筒体８１に内設された回転体８３と、回転体８３に保持されたハンマ８４とを備えている。そして回転体８３の回転に伴いハンマ８４が強圧ローラ８２を叩いてバニッシュ筒体８１の半径方向外方に突出させるので、被処理部材４の円筒体４５の内周面の陽極酸化膜は局部的圧縮加工を繰り返して受ける。
【００３９】
図６に例によれば、被処理部材４の円筒体４５の内周面には陽極酸化膜が形成されており、そして、被処理部材４の円筒体４５の内径よりも微小量大きな外径をもつ硬質材料からなる球体８８を用いる。そして球体８８を被処理部材４の円筒体４５の内部に強制的に圧入するので、被処理部材４の円筒体４５の内周面の陽極酸化膜は圧縮加工を受ける。
【００４０】
上記した各例では局部的圧縮加工手段としてバニッシュ加工を行うバニッシュ加工装置を採用しているが、これに限定されるものではなく、場合によっては、強圧体を回転させつつ鍛造する回転鍛造装置、ロータリースエージ加工装置を採用することもできる。
上記した例では被処理部材４の基本的形状は円筒形状であるが、これに限定されるものではなく、平板状、盤状、塊状でも良い。
【００４１】
その他、本発明は上記しかつ図面に示した実施例のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で必要に応じて適宜選択できるものである。
（付記）
上記した実施例から次の技術的思想も把握できる。
○局部的圧縮加工をアルマイト処理液などの液体中で行うことを特徴とする請求項１、２に記載の方法。
○被処理部材は初晶Ｓｉ粒子を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
○局部的圧縮加工手段は、アルマイト処理液に浸漬される導電性材料からなる基体をもち、基体は、被処理部材の被処理面に対面し、アルマイト処理の際の陰極として機能することを特徴とする請求項３に記載の装置。
○陽極酸化膜を備え、陽極酸化膜のポア層がポア層の細孔の孔芯に対して軸直角方向に曲成されているアルミ系合金からなる部材。
○少なくとも表層部が局部的圧縮加工されたポア層をもつ陽極酸化膜を備えたアルミ系合金からなる部材。
○被摺動面をもつアルミ系の被処理部材と、アルマイト処理液を収容する容器と、被処理部材の被摺動面に局部的圧縮加工を加える強圧体をもつ局部的圧縮加工手段とを用い、被処理部材の被摺動面とアルマイト処理液とを接触させた状態で、被処理部材に通電して被処理部材の被摺動面に陽極酸化膜を形成するアルマイト処理工程を実施し、陽極酸化膜を形成後または形成中に、局部的圧縮加工手段の強圧体により被摺動面の陽極酸化膜に局部的圧縮加工を加えることを特徴とする摺動部材の製造方法。
【００４２】
【発明の効果】
請求項１、２の方法によれば、高速アルマイト処理する場合であっても、また被処理部材がＳｉを含む場合であっても、勿論、通常のアルマイト処理する場合であっても、また被処理部材がＳｉを含まない場合であっても、陽極酸化膜が均一化し、陽極酸化膜の表面粗さも小さくなり、面粗度も良好な値となる。
【００４３】
また請求項１、２の方法によれば、強圧ローラ体が被処理部材の被処理面を圧接しつつ加工するものであり、いわば局部的圧縮の繰り返しで加工する方式である。従って陽極酸化膜の全体を一度に加工する形態に比較して、加工力も小さくて済み、陽極酸化膜の割れの回避に有利であり、更に局部的圧縮加工手段の小型化にも有利である。
【００４４】
請求項２の方法によれば、局部的圧縮加工手段の強圧体を回転させつつ局部的圧縮加工を施すので、陽極酸化膜のポア層の表層側を曲成するのに有利であり、封孔処理としての機能も期待できる。従って他の物質をポア層に付着させた場合には、その物質がポア層の細孔から脱落することを軽減または回避するのに有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に使用する装置を模式的に示す構成図である。
【図２】バニッシュ装置の要部の縦断面図である。
【図３】バニッシュ装置の要部の横断面図である。
【図４】陽極酸化膜のポア層における金属組織を示す顕微鏡写真図である。
【図５】他の例に係るバニッシュ装置で被処理部材をバニッシュ加工している状態を模式的に示す横断面図である。
【図６】他の例に係るバニッシュ装置で被処理部材をバニッシュ加工している状態を模式的に示す縦断面図である。
【符号の説明】
図中、１はアルマイト処理液、２は容器、３８はポンプ、４は被処理部材、４５は円筒体、５はバニッシュ加工装置（局部的圧縮加工手段）、５２は強圧ローラ（強圧体）、５３は付勢部材を示す。
【図１】
0003896598.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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