(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物と電極とを粉末物質を混入した絶縁性の加工液の中で対向させ、上記被加工物と上記電極との間の放電で上記被加工物の加工を行う放電加工装置において、
上記加工液を満たし上記被加工物を浸漬する加工槽と、
上記加工液槽の深さ方向に伸びる中空の支持軸に設けられ、上記加工槽内で加工液を噴出する二つのノズルと、
上記支持軸の軸線を中心軸として上記支持軸を回転運動させることにより、上記ノズルを水平方向に回転運動させ上記加工液の噴射方向を変化させるノズル移動機構と
を備え、
上記二つのノズルの一方は、上記被加工物と上記電極とにより構成される極間よりも上方に設けられ、
上記二つのノズルの他方は、上記極間よりも下方に設けられ、
上記各ノズルは、上記加工液を噴射する一つの噴射口を有すること
を特徴とする放電加工装置。
【請求項２】
ノズル移動機構は、加工槽の壁面に沿ってノズルを往復直線移動させること
を特徴とする請求項１記載の放電加工装置。
【請求項３】
ノズル移動機構は、加工槽内の被加工物を介して対向する位置にそれぞれ設けたこと
を特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の放電加工装置。
【請求項４】
加工液を貯蔵する加工液タンクを設け、上記加工液タンクと加工槽間で加工液循環系路を介して、上記加工液を循環させるようにしたこと
を特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、粉末物質を混入した加工液を介在させて放電加工を行う放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１４は、例えば、特開平４−３６０７２２号公報に開示された放電加工装置を示す構成図である。図において、１は電極、２は被加工物、３は被加工物２を設置するための定盤で加工槽４内の底部に設置されている。５は加工液タンクで、粉末物質６を混入した加工液７が貯蔵されている。８は加工槽４と加工液タンク５を連結する加工液供給管で、ポンプ９を備えている。１１はドレン用制御弁１２を備えたドレン管で、加工槽４内の加工液７を加工液タンク５に戻すようになっている。加工液供給管８はさらに並列に設けられた２つの加工液供給管８ａ、８ｂに分かれて連結されており、各々の加工液供給管８ａ、８ｂの先端は加工槽４内に対向して設置された加工液噴射装置１３ａ、１３ｂに連結されている。加工液噴射装置１３ａ、１３ｂは両端が閉鎖された円筒管の側周面に小径のノズル孔１４を複数個設けたものであり、ノズル孔１４からの噴射方向は被加工物２に向けられている。好ましくはやや斜め上から定盤３の上面に沿って加工液７を噴射するように向けられる。
【０００３】
１５ａ、１５ｂはそれぞれ加工液供給管８ａ、８ｂに設けた制御弁であり、これらの制御弁１５ａ、１５ｂの開閉は制御装置１６によって制御される。上記の加工液供給管８、８ａ、８ｂ、制御弁１５ａ、１５ｂ、およびドレン管１１、ドレン用制御弁１２によって加工液タンク５と加工槽４との間で粉末物質６を混入した加工液７の循環系が形成されている。
【０００４】
また図１５は、加工噴射装置から噴射された加工液の加工槽内の流れを示す模式図である。図において、２０は加工液の流れ、２１はデッドゾーンである。
【０００５】
次に動作について説明する。加工液タンク５内の粉末物質６を混入した加工液７をポンプ９によって加工液噴射装置１３ａ、１３ｂに送り、加工液噴射装置１３ａ、１３ｂから交互に噴射させる。そして、定盤３上に固定された被加工物２と電極１との間の放電により放電加工が行われるが、このとき加工液７は、放電間隙の電気的絶縁を得るとともに、加工の際に出る加工粉の排出や、加工熱の冷却などの役割を果たしており、安定な放電加工を行うための重要な要素となっている。また、加工液７に混入された粉末物質６は、例えば、金属やシリコンであり、電極１と被加工物２との対向面積が広い場合の鏡面加工を可能にしたり、被加工物２表面の耐食性や耐磨耗性を向上させる役割を果たしている。
【０００６】
今、制御装置１６により、一方の制御弁１５ａを開き、加工液噴射装置１３ａより加工液７を噴射させると、加工槽４内で加工液７の流れが生じ、図１５（ａ）に示すように、定盤３の上面に沿う加工液の流れ２０は、流れ２０ａのように被加工物２に当たってその下部より上方へ向かって流れていくものと、流れ２０ｂのように被加工物２の上面を流れていき、加工槽４の対向する内壁面に当たって上方に流れていくものとがある。
【０００７】
この結果、加工液７中に混入された粉末物質６の大部分は２つの加工液の流れ２０ａ、２０ｂと共に流れるため、定盤３上に沈殿せず、粉末物質６が加工液７中に均質に分布する。しかし、被加工物２の裏側にデッドゾーン２１ができるため、この部分で加工液７の濁流２０ｃが生じ、加工液７がよどむことになる。従って、このまま加工液噴射装置１３ａから加工液を噴射し続けると、デッドゾーン２１で粉末物質６が沈殿し始め、放電状態に影響を与えるほど沈殿してしまう。
【０００８】
そこで、このような状態になる以前に制御装置１６により制御弁１５ａを閉じ、加工液噴射装置１３ａからの噴射を中止し、他方の制御弁１５ｂを開いて、加工液噴射装置１３ｂから今までと逆方向へ噴射する。この噴射による加工液の流れは、図１５（ｂ）に示すようになり、これは明らかに、図１５（ａ）の加工液の流れと逆になることから、デッドゾーン２１でのよどみ２０ｃが解消されることになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように従来の放電加工装置では、多数のノズル孔１４を設けた加工液噴射装置１３によって加工槽４底面全域に加工液噴流を当てようとするため、定盤３の外側や加工槽４の隅などに粉末物質６が取り残され、粉末濃度が低下し、また、大型の加工槽に対してはポンプ容量を大きくしなければならないという問題点があった。
【００１０】
この発明は上記のような問題点を解決するためになされたもので、加工槽の広い範囲に加工液噴流を供給し、粉末物質の沈殿を取り除いて粉末濃度の低下を防ぎ、大型の加工槽に対してもポンプ容量を大きくせずに粉末物質を攪拌できる放電加工装置を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る放電加工装置は、
被加工物と電極とを粉末物質を混入した絶縁性の加工液の中で対向させ、上記被加工物と上記電極との間の放電で上記被加工物の加工を行う放電加工装置において、
上記加工液を満たし上記被加工物を浸漬する加工槽と、
上記加工液槽の深さ方向に伸びる中空の支持軸に設けられ、上記加工槽内で加工液を噴出する二つのノズルと、
上記支持軸の軸線を中心軸として上記支持軸を回転運動させることにより、上記ノズルを水平方向に回転運動させ上記加工液の噴射方向を変化させるノズル移動機構と
を備え、
上記二つのノズルの一方は、上記被加工物と上記電極とにより構成される極間よりも上方に設けられ、
上記二つのノズルの他方は、上記極間よりも下方に設けられ、
上記各ノズルは、上記加工液を噴射する一つの噴射口を有すること
としたものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１における放電加工装置を示す斜視図である。図において、２は被加工物、４は加工槽、７は加工槽４内に充満され粉末物質が混入された加工液、３０はこの加工槽４を支持するベッド、３１はベッド３０で支持されるコラム、３２はコラム３１で支持されるヘッドである。ベッド３０には図示していないが電極が取り付けられ、加工槽４内の被加工物２と電極の放電により加工する。３３はノズル支持軸３４をある特定の角度範囲を往復回転運動させるノズル移動機構としての駆動ユニット、１３ａ、１３ｂはノズル支持軸３４に取り付けられたノズル、３５はノズル支持軸３４を支持する支持板、３６ａ、３６ｂはノズル１３ａ、１３ｂに加工液７を供給するフレキシブルチューブである。
【００２０】
また図２は、上記図１のＡ−Ａ面での断面図である。図において、１は電極、３は被加工物を設置するための定盤である。また図３は、この発明の実施の形態１における放電加工装置のノズルから噴射された加工液の加工槽内の流れを示す模式図である。
【００２１】
また図４は、この発明の実施の形態１における放電加工装置の駆動ユニット内部を示す構造図である。図において、４０はノズル支持軸３４を回転自由に保持する軸受、４１はノズル支持軸３４の上端に取り付けられたかさ歯車、４２はかさ歯車を駆動する油圧揺動モータ、４３はこの油圧揺動モータ４２に油を供給する油圧チューブである。
【００２２】
油圧チューブ４３は油圧ユニット（図示せず）に接続されており、油圧揺動モータ４２が油圧により一定角度を往復回転し、油圧揺動モータ４２の軸の回転はかさ歯車４３で減速され、回転軸を９０度変えて、ノズル支持軸３４に伝達される。ノズル支持軸３４は軸受４０と、上記図１の支持板３５に設けた軸受とにより回転自由に保持されており、油圧揺動モータ４２の駆動トルクによって、ある特定の角度範囲で往復回転運動（首振り運動）する。
【００２３】
また図５は、この発明の実施の形態１における放電加工装置のノズルの詳細構造を示す図であり、上記図１における矢印の方向から見たものである。図５（ａ）が側面図、図５（ｂ）が正面図である。ノズル１３ａはノズル支持軸３４にボルトで締結され、ノズル１３ａにはフレキシブルチューブ３６ａが接続され、その延長上の縦穴５０が機械穴開け加工で設けられている。ノズル１３ａの右側面からこの縦穴５０に貫通するように噴射口５１が機械穴開け加工されて設けられている。このようにノズル１３ａにおいては、噴流を出す主要機能部分である噴射口５１を簡便な機械穴開け加工により安価に製造することができる。なお、ノズル１３ｂも同様の構造であることは言うまでもない。
【００２４】
また図６は、この発明の実施の形態１における放電加工装置のノズル噴流を説明するための図である。図において、５１はノズルの噴射口、６０はポテンシャルコア、６１は噴流軸、６２は噴流境界、U0は噴射口での流速、ｄは噴射口の直径、ｕは噴射口からx離れた噴流軸の流速である。
【００２５】
次に、図１ないし図３を用いて動作について説明する。加工槽４に満たされた加工液７に浸された被加工物２を電極１で放電加工する。このとき、粉末物質を混入した加工液７をフレキシブルチューブ３６ａ、３６ｂによってノズル１３ａ、１３ｂに供給し、ノズル１３ａ、１３ｂから加工槽４内に噴流として送り込む。駆動ユニット３３によりノズル支持軸３４を特定の角度範囲で首振り駆動し、ノズル支持軸３４に取り付けたノズル１３ａ、１３ｂの角度を変化させて加工槽４の広い範囲に噴流を送り込む。
【００２６】
このときの動作状況を図３を用いて説明する。図３（ａ）は、図１からノズル１３ａ、１３ｂをわずかに回転させた状態である。矢印の長さは加工液７の流速の大きさ、矢印の向きは加工液７の流速の向きを表し、矢印が流速ベクトルを表している。噴流は勢いよく加工槽４の紙面下側の壁面に当たり、はね返って被加工物２の前面に到達する。図３（ｂ）は、図１からノズル１３ａ、１３ｂが６０度程度回転した状態である。ノズル１３ａ、１３ｂを出た噴流は被加工物２の紙面右奥の角で二つの流れに分かれ、被加工物２の右側面と奥の面に沿って流れる。図３（ｃ）は、図１からノズル１３ａ、１３ｂが９０度程度回転した状態である。加工槽４の紙面上側の面に沿って勢いよく流れ、加工槽４の左側の壁で向きを変えて被加工物２の左の側面に到達する。従って、ノズル１３ａ、１３ｂの角度を、図３（ａ）、図３（ｂ）、図３（ｃ）、図３（ｂ）、図３（ａ）の順に変化させ、首振りさせることにより、加工槽４の広い範囲に噴流を送り込み、粉末物質６の沈殿を除去し、粉末濃度の低下を防止できる。
【００２７】
なお、本実施の形態１では、上記図１及び図２に示したように加工槽の異なる深さに二つのノズル１３ａ、１３ｂを設けている。上記図２の矢印は、粉末物質の速度ベクトルを表しており、粉末物質の密度は加工液７より大きいため、重力による下方向の速度ベクトルを持つので、ノズル１３ｂで、極間（電極１と被加工物２の加工面との間）より少し上方に噴流を送ることで、極間に粉末物質を効率良く供給することができる。加工槽４内の粉末物質６はノズル１３ａにより底部の沈殿は除去できるものの、重力の影響で加工槽の上側の濃度は低くなりがちである。しかし、ノズル１３ｂで、粉末濃度の高い加工液７を極間に供給することにより極間の粉末濃度を高く保つことができる。従って、ノズルが単数の場合よりも極間粉末濃度を高く保つことができる。もちろん、ノズルが単数でも良いことは言うまでもない。
【００２８】
ここで、ノズル１３ａ、１３ｂから出る加工液の噴流について、図６を用いて説明する。噴射口５１を出た噴流は、噴射口５１から遠ざかるにつれて広がり、流速ｕが小さくなることが知られている。ポテンシャルコア６０が流体の粘性により周りの流体を巻き込んでゆき、噴流が広がることによって流体の連続性により流速ｕが下がっていく（流量は一定）。
【００２９】
そして、次の実験式が成り立つ。
ｕ／Ｕ0＝６．３ｄ／ｘ                                      （１）
式（１）から、距離xでの流速を増やすには、噴射口５１の口径ｄを増せばよいことがわかる。ただし、口径ｄを増やせば流量が増え、ポンプの圧力が低下し、流速Ｕ0が下がることになる。ポンプのＰＱ特性を考慮の上、噴射口５１の口径ｄを選ぶ必要がある。
【００３０】
また、本実施の形態のように、二つだけの噴射口５１を使うことにより、従来例のように一つのポンプから供給される加工液を分岐して多数の噴射口から噴射させる場合に比べて、噴射口面積が両者同一の場合、噴流の到達距離を大きくすることができる。
【００３１】
あるポンプのＰＱ特性のもと、噴射口５１が一つの場合に噴射口流速Ｕ0が最大となる口径をＤとする。このときの噴射口５１の面積は、
π・Ｄ・（Ｄ／４）                                        （２）
となる。
【００３２】
また、従来例のように噴射口５１を複数個用いた場合、噴射口５１の個数をｎとし、各々の口径をｄ1とすれば、噴射口５１の面積の和は、
ｎ・π・ｄ1・（ｄ1／４）                                  （３）
となる。この面積が口径Ｄの面積と等しくするためには、式（２）＝式（３）より、
ｄ1＝Ｄ／（√ｎ）                                        （４）
としなければならないことが分かる。
【００３３】
例えば、ｕ＝０．０１・Ｕ0となる噴流到達距離をｘrとすれば、式（１）より、噴射口５１が一つの場合は、
ｘr＝６３０Ｄ                                            （５）
噴射口５１がｎ個の場合は、
ｘr＝６３０ｄ1＝６３０Ｄ／（√ｎ）                      （６）
となる。従って、噴射口面積が同じ場合、噴射口５１の個数が少ないほど、噴流到達距離ｘrを長くできることが分かる。
【００３４】
以上のように、この実施の形態１によれば、加工槽の底面全域に噴流を送り込み、粉末物質の沈殿を除去して粉末濃度を高め、所望の放電加工状態を得ることができる効果がある。また、加工液噴射手段を、加工槽内の異なる深さに複数設ければ、粉末濃度の高い加工液を極間に供給でき、所望の放電加工状態を得ることができる効果がある。また、従来例よりノズル孔を減らしたので、噴流到達距離を伸ばすことができ、小さいポンプ容量でも大きな加工槽に対応できる。
【００３５】
実施の形態２．
図７は、この発明の実施の形態２における放電加工装置の駆動ユニットを示す断面図である。図において、７０は加工液をノズルに送る配管、７１は配管７０と摺動するシール、７２はシール７１と摺動する延長パイプ、７３はノズル支持軸３４に取り付けられたノズルリングである。
【００３６】
本実施の形態では、ノズル支持軸３４を一定方向に回転させるため、上記実施の形態1で用いたフレキシブルチューブ３６ａ、３６ｂは用いずに、ノズル支持軸３４の延長パイプ７２にシール７１を介して配管７０を接続する。静止している配管７０と回転する延長パイプ７２の継ぎ目にはシール７１を配置して加工液７の漏れを防ぐ。ノズル支持軸３４を中空パイプ状として、ノズル支持軸３４の内側に加工液７を供給する。ノズル支持軸３４にノズルリング７３を取り付け、噴射口５１を設けることにより、上記実施の形態1と同様に水平面内に噴流を出すことができる。
【００３７】
図８は、この発明の実施の形態２における放電加工装置の加工槽４内の加工液７の流れを説明するための図である。ノズル１３ａ、１３ｂを回転駆動するとき、図に示すようにノズル１３ａ、１３ｂの方向は被加工物２の反対方向になるときがある。しかし、案内板７４を設けることにより、ノズルの噴流は案内板７４に沿って流れの向きを変えられ、加工槽壁面に沿って加工液７を流すことができる。
【００３８】
本実施の形態では、ノズル支持軸３４は一定速度で回転すればよいので、駆動方式を簡略化でき、例えば商用電源を直接入力するコンデンサモータなどを用いて、上記実施の形態１よりも安価に装置を構成できる。
【００３９】
実施の形態３．図９は、この発明の実施の形態３による放電加工装置の全体系を示す構成図である。図において、１は電極、２は被加工物、３は被加工物２を設置するための定盤で加工槽４内の底部に設置されている。５は加工液タンクで、粉末物質６を混入した加工液７が貯蔵されている。８は加工槽４と加工液タンク５を連結する加工液供給管で、ポンプ９を備えている。１１はポンプ９０を備えたドレン管で、加工液タンク５にノズル１３ａ、１３ｂを介して加工液７を帰還している。加工液供給管８はさらに並列に設けられた２つの加工液供給管８ａ、８ｂに分かれて連結されており、各々の加工液供給管８ａ、８ｂの先端は加工槽４内に対向して設置されたノズル１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに連結されている。
【００４０】
基本的な動作は、上記従来例と同様である。加工液タンク５内においても粉末物質６が沈殿すると加工液７の粉末濃度が低下し、粉末濃度が低下した加工液７を加工槽４に供給することで加工性能が劣化する。このため、加工液タンク５に、ポンプ８４及びノズル１３ａ、１３ｂを介して加工液７を送出し、加工液タンク５内のノズル１３ｅ、１３ｆを上記実施の形態１と同様にしてノズルを首振り運動させることによって、加工液タンク５内における粉末物質６の沈殿を除去し、粉末濃度の低下を軽減できる。
【００４１】
また、本実施の形態では、加工槽４内にノズル１３ｄ、１３ｃを、ノズル１３ａ、１３ｂの対向する位置に設け、これらのノズル１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを以下のように首振り運動させる。
【００４２】
図１０は、この発明の実施の形態３による放電加工装置の加工液を攪拌する状況を示す説明図である。紙面右上のノズル１３ａ、１３ｂと左下のノズル１３ｃ、１３ｄが加工槽４の上面の中央に関して点対称になるように配置され駆動している。図１０（ａ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流は加工槽４の紙面手前の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達し、ノズル１３ｃ、１３ｄの噴流は、加工槽４の紙面奥の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達する。図１０（ｂ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流とノズル１３ｃ、１３ｄの噴流とで被加工物２の右周りに大きな循環流が生成され、効率よく攪拌する。図１０１０（ｃ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流は、被加工物２の紙面右奥の角で二つの流れに分かれ、ノズル１３ｃ、１３ｄの噴流は、被加工物２の紙面左手前の角で二つの流れに分かれる。図１０（ｄ）の状態では、被加工物２の左周りに大きな循環流が生成され、効率よく攪拌する。
【００４３】
なお、図１０（ｂ）及び図１０（ｄ）のハッチングの部分は、流速が小さく粉末物質の沈殿を生じやすい領域であるが、図１０（ｂ）と図１０（ｄ）で循環流の向きが逆であるため、ハッチングの部分が移動しており、図１０（ｂ）の状態で沈殿が生じても、図１０（ｄ）の状態のとき沈殿が除去できる。同様に図１０（ｄ）の状態で沈殿が生じても、図１０（ｂ）の状態の時に沈殿を除去できる。従って、上記実施の形態１よりもさらに粉末物質の沈殿を低減し、粉末濃度の低下をより一層防ぐことができる。
【００４４】
実施の形態４．
図１１は、この発明の実施の形態４による放電加工装置を示す斜視図である。図において、８０は走査系支持板、８１はガイドレール、８２はラック、８３は直動ガイドブロックである。
【００４５】
加工槽４に取り付けた走査系支持板８０の上に、ガイドレール８１とラック８２を設置する。直動ガイドブロック８３はガイドレール８１に沿って直進運動し、直動ガイドブロック８３を介して支持された駆動ユニット３３は、直動ガイドブロック８３とともに直進運動する。駆動ユニット３３内にピニオンギア（図示せず）と電動モータ（図示せず）からなる走査駆動系を設け、ラック８２とピニオンギアにより電動モータのトルクを推力に変換し、ガイドレール８１で直動案内して走査駆動する。駆動ユニット３３には支持軸３４を介してノズル１３ａ、１３ｂが取り付けられており、ノズル１３ａ、１３ｂが走査駆動される。
【００４６】
このときの動作状況を図１２に示す。図１２（ａ）は、上記図１１の状態での加工液７の流れの様子を示している。矢印の長さは加工液７の流速の大きさ、矢印の向きは加工液７の流速の向きを表し、矢印が流速ベクトルを表している。噴流は勢いよく加工槽４の紙面手前の壁面に当たり、はね返って被加工物２の前面に到達する。図１２（ｂ）は、ノズル１３ａ、１３ｂが上記図１１の位置から加工槽４の幅の１／４移動した状態を示す。ノズル１３ａ、１３ｂを出た噴流は被加工物２の右側面に沿って流れる。図１２（ｃ）は、ノズル１３ａ、１３ｂが上記図１１の位置から加工槽幅の１／２移動して、加工槽４の中央に来たときの流れの状態を示す。噴流は被加工物２の紙面上側の面にあたり、その面に沿って流れる。図１２（ｄ）は、ノズル１３ａ、１３ｂが上記図１１の位置から加工槽４の幅の３／４移動した状態を示す。ノズル１３ａ、１３ｂを出た噴流は、被加工物２の左側面に沿って流れる。図１２（ｅ）は、ノズル１３ａ、１３ｂが上記図１１の位置から加工槽４の幅だけ移動して左端に来たときの流れの状態を示す。噴流は勢いよく加工槽４の紙面下側の壁面に当たり、はね返って被加工物２の前面に到達する。
【００４７】
従って、ノズル１３ａの位置を、図１２（ａ）、図１２（ｂ）、図１２（ｃ）、図１２（ｄ）、図１２（ｅ）の順に右から左へ走査させ、次に、図１２（ｅ）、図１２（ｄ）、図１２（ｃ）、図１２（ｂ）、図１２（ａ）の順に左から右へ走査するような往復水平運動をさせると、加工槽４の広い範囲に噴流を送り込み、粉末物質の沈殿を除去し、粉末濃度の低下を防止できる。
【００４８】
なお、本実施の形態４では、ノズルは回転せずに直進走査だけする例を示したが、直進走査と同時に上記実施の形態１のように回転運動をさせてより細かに噴流を制御して、加工槽４の底部の沈殿を除去しても良い。
【００４９】
実施の形態５．
本実施の形態では、上記実施の形態５の図１１に示したようなノズル移動機構としての直線走査機構を加工槽４の対向する面にもう一つ設け、これらのノズル１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを以下のように走査駆動する。
【００５０】
図１３は、この発明の実施の形態５による放電加工装置の加工液７を攪拌する状況を示す説明図である。ノズル１３ａ、１３ｂとノズル１３ｃ、１３ｄが加工槽４の上面から見て、加工槽４中央に関して点対称になるように配置され駆動している。なお、ノズル１３ｃと１３ｄは、ノズル１３ａ、１３ｂと同様に、加工槽４の異なる深さに配置されているものとする。
【００５１】
図１３（ａ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流は加工槽４の紙面手前の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達する。また、ノズル１３ｃ、１３ｄの噴流は、加工槽４の紙面奥の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達する。図１３（ｂ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流とノズル１３ｃ、１３ｄの噴流とで被加工物２の右周りに大きな循環流が生成され、効率よく攪拌する。図１３（ｃ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流、ノズル１３ｃ、１３ｄの噴流ともに、被加工物２の側面に当たり、二つの流れに分かれる。図１３（ｄ）の状態では、被加工物２の左周りに大きな循環流が生成され、効率よく攪拌する。図１３（ｅ）の状態では、ノズル１３ａ、１３ｂの噴流は加工槽４の紙面手前の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達する。また、ノズル１３ｃ、１３ｄの噴流は、加工槽４の紙面奥の壁面に当たり、はね返って被加工物２の側面に到達する。
【００５２】
なお、図１３（ｂ）及び図１３（ｄ）のハッチングの部分は流速が小さく、粉末物質６の沈殿が生じやすい領域であるが、図１３（ｂ）と図１３（ｄ）で循環流の向きが逆であるため、ハッチングの部分が移動しており、図１３（ｂ）の状態で沈殿が生じても、図１３（ｄ）の状態のとき沈殿が除去できる。同様に図１３（ｄ）の状態で沈殿が生じても、図１３（ｂ）の状態の時に沈殿を除去できる。従って、上記実施の形態１よりもさらに粉末物質６の沈殿を低減し、粉末濃度の低下をより一層防ぐことができる。
【００５３】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、被加工物と電極とを粉末物質を混入した絶縁性の加工液の中で対向させ、上記被加工物と上記電極との間の放電で上記被加工物の加工を行う放電加工装置において、上記加工液を満たし上記被加工物を浸漬する加工槽と、上記加工液槽の深さ方向に伸びる中空の支持軸に設けられ、上記加工槽内で加工液を噴出する二つのノズルと、上記支持軸の軸線を中心軸として上記支持軸を回転運動させることにより、上記ノズルを水平方向に回転運動させ上記加工液の噴射方向を変化させるノズル移動機構とを備え、上記二つのノズルの一方は、上記被加工物と上記電極とにより構成される極間よりも上方に設けられ、上記二つのノズルの他方は、上記極間よりも下方に設けられ、上記各ノズルは、上記加工液を噴射する一つの噴射口を有することとしたので、加工槽の広い範囲に加工液噴流を送り込み、粉末物質の沈殿を除去して粉末濃度を高め、良好な放電加工状態を得ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１による放電加工装置を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１による放電加工装置を示す断面図である。
【図３】  この発明の実施の形態１による放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【図４】  この発明の実施の形態１による放電加工装置の駆動ユニットを示す断面図である。
【図５】  この発明の実施の形態１による放電加工装置のノズルを示す上面図及び側面図である。
【図６】  この発明の実施の形態１による放電加工装置のノズルの噴流を説明する模式図である。
【図７】  この発明の実施の形態２による放電加工装置の駆動ユニットを示す断面図である。
【図８】  この発明の実施の形態２による放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【図９】  この発明の実施の形態３による放電加工装置の全体系を示す構成図である。
【図１０】  この発明の実施の形態３による放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【図１１】  この発明の実施の形態４による放電加工装置を示す斜視図である。
【図１２】  この発明の実施の形態４による放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【図１３】  この発明の実施の形態５による放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【図１４】  従来の放電加工装置の全体系を示す構成図である。
【図１５】  従来の放電加工装置の加工槽内の流れを示す模式図である。
【符号の説明】
１  電極、２  被加工物、３  定盤、４  加工槽、５  加工液タンク、６  粉末物質、７  加工液、８  加工液供給管、９  ポンプ、１０  制御弁、１１  ドレン管、１３ａ、１３ｂ  ノズル、３０  ベッド、３１  コラム、３２  ヘッド、３３  駆動ユニット、３４  ノズル支持軸、３５  支持板、３６ａ、３６ｂ  フレキシブルチューブ、４０  軸受、４１  かさ歯車、４２  油圧揺動モータ、４３  油圧チューブ、７０  配管、７１  シール、７２  延長パイプ、７３  ノズルリング、８０  走査系支持板、８１  ガイドレール、８２  ラック、８３  直動ガイドブロック
【図１】
0003873475.tif 000002
【図２】
0003873475.tif 000003
【図３】
0003873475.tif 000004
【図４】
0003873475.tif 000005
【図５】
0003873475.tif 000006
【図６】
0003873475.tif 000007
【図７】
0003873475.tif 000008
【図８】
0003873475.tif 000009
【図９】
0003873475.tif 000010
【図１０】
0003873475.tif 000011
【図１１】
0003873475.tif 000012
【図１２】
0003873475.tif 000013
【図１３】
0003873475.tif 000014
【図１４】
0003873475.tif 000015
【図１５】
0003873475.tif 000016