(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンエアを供給するクリーンエア供給手段と、
前記クリーンエア供給手段に着脱自在に接続され前記クリーンエアを一方向気流として清浄空間へ供給するサプライチャンバと、を備えるクリーンブースにおいて、
前記サプライチャンバは、前記清浄空間へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出部と、前記クリーンエア供給手段と着脱自在に接続するための接続部とを有するとともに、前記クリーンエアが供給されたときに前記サプライチャンバ内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する通気抵抗である所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成され、前記クリーンエア供給手段からの前記クリーンエアの供給により生じる内圧によって前記クリーンエアを前記清浄空間へ供給する際の姿勢である供給姿勢が形成されることを特徴とするクリーンブース。
【請求項２】
クリーンエアを供給するクリーンエア供給手段と、
前記クリーンエア供給手段に着脱自在に接続されるクリーンエアダクトと、
前記クリーンエアダクトに着脱自在に接続され前記クリーンエアを一方向気流として清浄空間へ供給するサプライチャンバと、を備えるクリーンブースにおいて、
前記クリーンエアダクトは、前記クリーンエアが供給されたときに前記クリーンエアダクト内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する通気抵抗である所定の通気抵抗を有し、前記クリーンエアの供給により生じる内圧によって変形自在な薄膜によって形成され、
前記サプライチャンバは、前記清浄空間へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出部と、前記クリーンエア供給手段又は前記クリーンエアダクトと着脱自在に接続するための接続部とを有するとともに、前記クリーンエアが供給されたときに前記サプライチャンバ内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する通気抵抗である所定の通気抵抗を有し、前記クリーンエアの供給により生じる内圧によって変形自在な薄膜によって形成されることを特徴とするクリーンブース。
【請求項３】
前記クリーンエア吹出部は、通気性を有するとともに均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーンブース。
【請求項４】
所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されるクリーンエアダクトを介して前記サプライチャンバと前記クリーンエア供給手段とが着脱自在に接続され、前記サプライチャンバは前記清浄空間の上方に支持されることを特徴とする請求項１記載のクリーンブース。
【請求項５】
前記クリーンエア供給手段は、送風機と、この送風機から送られる空気中の汚染物質を除去する空気浄化手段とを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のクリーンブース。
【請求項６】
前記サプライチャンバの接続部は、前記クリーンエア供給手段又は前記クリーンエアダクトのいずれにも接続可能である、請求項４に記載のクリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は清浄空間の形成方法及びクリーンブースに関し、特に高清浄度空間を一時的に形成するのに適した清浄空間の形成方法及びクリーンブースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製品等を製造する工業用クリーンルームにおける製造装置内部または製造装置周辺の清浄度は、その製造工程に必要とされる所定の清浄度に設定されている。例えば加工中の半導体製品を出し入れする空間等では０.１μｍ以上の粒子が１立方フィートの空気中に１個以下（以後「クラス１」という）の高清浄度が必要とされるが、それ以外の空間等では製品の清浄面が直接空気に触れるわけではないのでそれほど清浄度を高める必要がなく、０.３μｍ以上の粒子が１立方フィートの空気中に１０００個以下（以後「クラス１０００」という）程度の清浄度とされている。
【０００３】
このように工業用クリーンルームにおける清浄度は製造装置や製造工程によって適宜設定されており、高清浄度（例えばクラス１）条件下での反応や加工等の作業を行う製造装置であっても、製造装置周辺環境と製造装置作業空間との気密性が確保されていることから、それほど清浄度が高くない（例えばクラス１０００）環境内に配置されている。このような製造装置としては、各種の膜形成やエッチングのための反応炉等が挙げられる。
【０００４】
しかしながら、前述した環境に配置された前記製造装置では、定期的なメンテナンスを行う際に不都合が生じる。この不都合とは、例えば前記反応炉を例に説明すると、メンテナンスを行うべく反応炉の蓋を開けた時に、クラス１程度の高清浄度を必要とする反応炉内部空間が、それほど清浄度の高くないクラス１０００程度の反応炉周辺雰囲気に曝され、その結果反応炉内部空間が汚染されてしまうことである。
【０００５】
前述したような清浄度の違いに起因する製造装置内部の汚染を防止する手段としては、高清浄度のクリーンエアを供給可能なファンフィルタユニットを前記工業用クリーンルームに予め設置し、前記ファンフィルタユニットの運転によって必要時に高清浄度空間を形成する手段や、工業用クリーンルーム内にクリーンブースを設置して必要時に高清浄度空間を形成する手段が知られている。
【０００６】
ファンフィルタユニットを利用する手段としては、特開平９−２５７２８９号公報に開示されるように、高清浄度空間と、この高清浄度空間に対して相対的に低い清浄度の低清浄度空間と、高清浄度空間よりも清浄度が低く低清浄度空間よりも清浄度の高いバッファ空間とが形成される垂直層流方式のクリーンルーム（以後「手段１」という）や、図７に示されるようにクリーンルームの天井に高清浄度クリーンエアを供給するファンフィルタユニット２３のための移動用レール２７を設け、この移動用レール２７に前記ファンフィルタユニット２３を吊り下げ、ファンフィルタユニット２３を対象となる製造装置２５の直上へ必要時に移動し運転する手段（以後「手段２」という）が知られている。
【０００７】
またクリーンブースの設置による手段としては、特開平６−２２１６３９号公報に開示されているように、空気流発生手段と、空気流中の微粒子を除去するフィルタ手段と、フィルタ手段を通過した空気（クリーンエア）流が清浄空間に層流として送風されるための層流発生手段と、清浄空間の外縁に前記層流よりも速い指向性空気流を発生する空気流案内手段とを備えるクリーンブース（以後「手段３」という）が知られている。
前述したこれらの手段（手段１〜３）は、高清浄度空間を一時的に形成することにより、メンテナンス時などにおける製造装置内部空間の汚染を防止しようとするものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前述した「手段１」〜「手段３」のうち、前記ファンフィルタユニットを利用する「手段１」及び「手段２」は、コスト面等において不都合があり改善の余地が残されている。すなわち、「手段１」では、ファンフィルタユニットによって必要に応じて所定の場所を高清浄度空間とすることができるので、前記工業用クリーンルーム全体を高清浄度空間とする場合に比べてランニングコストを下げることはできるが、前記ファンフィルタユニットを予め所定位置に設置しなくてはならないことからイニシャルコストを下げることができない。
【０００９】
「手段２」では、ファンフィルタユニットの台数を低減できることから、「手段１」に比べてさらにイニシャルコストを下げることができるが、移動用レールとファンフィルタユニットの移動用スペースとを確保する必要がある。前記製造装置の上方の空間には製造装置のユーティリティー用ダクトや配管類が一般に設置されていることから、ファンフィルタユニットの移動用スペースの確保は困難な場合が多い。
【００１０】
「手段３」では、必要に応じてクリーンルーム内にクリーンブースを搬入し高清浄度空間を形成することができ、「手段１」及び「手段２」に比べてイニシャルコストを下げることができる。しかし、「手段３」では清浄空間の外縁を決定する空気流案内手段を備えることから、吹出部を含むクリーンエアの通気路が固定形態となり形状の自由度がない。従って、クリーンエア流は予め固定して設けられた空気流案内手段によりその形状が決まり、前記製造工程の都合により随時清浄空間を形成し撤去するというフレキシビリティに対する要求には対応できない。すなわち、所期の位置、形状、大きさの高清浄度空間を形成できない場合がある。また、固定形状であることは不要時における収納スペースを低減することができない。このように前記クリーンブースには、必要に応じて使用されるクリーンブースとして改善の余地が残されている。
【００１１】
本発明は前記事項に鑑みなされたもので、イニシャルコストをより下げることが可能であるとともに、必要に応じて形成されるのにより好適な清浄空間の形成を課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は清浄空間の形成方法及びクリーンブースであり、前記課題を解決するための手段として以下に示す構成とされている。
すなわち本発明における清浄空間の形成方法は、クリーンエアの通気路から吹き出されるクリーンエアによって一方向気流の清浄空間を形成するにあたり、
所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によってクリーンエアの通気路を構成し、この通気路にクリーンエアの供給源を接続してクリーンエアを供給し、クリーンエアの供給により生じる内圧によって前記通気路を所定の形状に形成し、このクリーンエアの通気路の一面に設けた複数の細孔からクリーンエアを吹き出すことを特徴とする。
【００１３】
前記清浄空間の形成方法によれば、クリーンエアが供給された通気路は、変形可能な壁面により仕切られることから、清浄空間周辺に配管等の障害物が配設されていてもそれらを避ける形状になる。従って前記清浄空間の形成方法は、局所または狭所等、清浄空間を形成するのが困難な場合においても容易に清浄空間を形成する。前記通気路は、クリーンエア供給後に所望の位置に配置しても良く、またクリーンエア供給前に所望の位置に配置しても良い。
【００１４】
また本発明におけるクリーンブースは、クリーンエアを一方向気流として清浄空間へ供給するサプライチャンバと、前記サプライチャンバに接続されクリーンエアを供給するクリーンエア供給手段とを備えるクリーンブースにおいて、
前記サプライチャンバは、前記清浄空間へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出部を有するとともに、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されることを特徴とする。
【００１５】
前記クリーンブースによれば清浄空間を形成するにあたり、折り畳まれた前記サプライチャンバを所望の位置まで運び、前記クリーンエア供給手段と接続し、クリーンエアの供給を開始することによって一方向クリーンエア流の清浄空間が形成される。従ってダクトや配管等が予め配設されている場所においても清浄空間が容易に形成されるとともに、清浄空間の形成にあたって清浄空間周辺の機器類を破損することがない。また不要時においてサプライチャンバは折り畳んで保管されるので、不要時における前記クリーンブースの収納スペースが小さくなる。
【００１６】
また本発明におけるクリーンブースにおいて、前記クリーンエア吹出部は通気性を有するとともに均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されることを特徴とする。このクリーンエア吹出部によれば、クリーンエアが清浄空間へ均質に供給されることから層流式の清浄空間を形成するのに好ましい。
【００１７】
また本発明におけるクリーンブースは、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されるクリーンエアダクトで前記サプライチャンバと前記クリーンエア供給手段とが接続され、前記サプライチャンバは前記清浄空間の上方に支持されることを特徴とする。この構成によれば垂直層流式の清浄空間が形成されることから、より清浄度の高い清浄空間を形成するのに好ましい。
【００１８】
また本発明におけるクリーンブースにおいて、前記クリーンエア供給手段は、送風機と、前記送風機から送られる空気中の汚染物質を除去する空気浄化手段とを備えるクリーンエア供給ユニットであることを特徴とする。この構成によればクリーンエアの供給源がよりコンパクトに構成され、所望の位置に清浄空間を形成するのに好ましい。
以下、本発明におけるクリーンブースの各構成について詳しく説明する。
【００１９】
前記サプライチャンバは、前記クリーンエア吹出部を有するクリーンエアの通気路である。サプライチャンバにおける所定の通気抵抗とは、クリーンエアが供給されたときにサプライチャンバ内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する程度の通気抵抗である。従ってサプライチャンバは前記通気抵抗を有しており、かつ変形自在であれば良いので、気密性が完全でなくても良く、また通気性を有していなくても良い。サプライチャンバを形成する前記薄膜はさらに軽量かつ丈夫であると好ましく、前記薄膜としては例えば合成樹脂シートや布等を例示することができる。
【００２０】
またサプライチャンバは形成しようとする清浄空間に合わせた形状であれば良く、クリーンエアが供給されたときに所定の形状となるよう適切に補強されていると良い。この補強手段としては通気路を細分化する手段等が考えられ、例えば少なくとも一方の端部が閉塞され、接続面が開口された前記薄膜の円筒状ユニットの集合によってサプライチャンバを構成する手段や、開口した接続面を有するボックス状、筒状等に形成されたサプライチャンバの対向面を適所で縫い合わせる手段等を例示することができる。
【００２１】
前記クリーンエア吹出部は、変形自在であり、前記サプライチャンバの内圧を維持しつつクリーンエアを一方向に、そして均質に吹き出すものであれば良く、例えばサプライチャンバに設けられた細孔やパンチング孔、前述したように通気性を有するとともに所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜等を例示することができる。クリーンエア吹出部における所定の通気抵抗とは、クリーンエアが供給されている前記サプライチャンバの形状を保ちつつも、清浄空間へクリーンエアを吹き出す程度の通気抵抗である。クリーンエア吹出部における前記薄膜としては、合成樹脂シートや布等を例示することができる。
【００２２】
前記クリーンエア供給手段は、クリーンエアを前記サプライチャンバまたは前記クリーンエアダクトに供給できる手段であれば良く、クリーンエア供給手段としては、例えば高清浄度のクリーンエアを生成するクリーンルーム用のクリーンエア生成装置（例えばファンフィルタユニットや低露点空気生成装置）や、前述したクリーンエア供給ユニット等を例示することができる。なお本発明におけるクリーンエアとは、粒子状汚染物質である塵埃が除去された空気、無機ガス（酸性ガスやアルカリ性ガス等）や有機ガスなどのガス状汚染物質が除去された空気、あるいは、空気中の水分や水溶性ガスまたは極性の高い有機ガス等が吸着材によって除去された低露点空気、の少なくとも一つを含む概念である。
【００２３】
前記クリーンエア供給ユニットにおける送風機は、送風量を制御するインバータ機能を有するものであると、前記サプライチャンバまたは前記クリーンエアダクトへのクリーンエアの供給量を可変に制御することができるとともに、空気浄化手段の浄化能力の変動に応じてクリーンエアの供給量を制御することができるので好ましい。
【００２４】
前記クリーンエア供給ユニットにおける空気浄化手段は、汚染物質（粒子状汚染物質またはガス状汚染物質）を除去するものであれば良く、酸性ガス等の水溶性ガスについてはエアワッシャ装置等を例示することができるが、前記汚染物質を捕集、あるいは吸着するフィルタであると、クリーンエア供給ユニットをよりコンパクトに構成することができ好ましい。前記フィルタとしては空気中の塵埃を捕集するＨＥＰＡフィルタ（High Effiency Particulate Air-filter）やＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air-filter）、あるいはガス状汚染物質を吸着するケミカルフィルタ等を例示することができる。
【００２５】
前記クリーンエアダクトは、前記サプライチャンバを所定の位置や向きに配置したい場合に、前記クリーンエア供給手段とサプライチャンバとをつなぐクリーンエア通気路を形成する。クリーンエアダクトにおける所定の通気抵抗とは前述したサプライチャンバと同様、クリーンエアが供給されたときにサプライチャンバ及びクリーンエアダクトによるクリーンエアの通気路内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する程度の通気抵抗である。従ってクリーンエアダクトもサプライチャンバ同様、前記通気抵抗を有するとともに変形自在であれば、気密性が完全でなくとも良く、また通気性を有していなくとも良い。クリーンエアダクトにおける薄膜としてもサプライチャンバと同様、前記通気抵抗を有するとともに変形自在で、軽量かつ丈夫な合成樹脂シートや布等を例示することができる。
【００２６】
またクリーンエアダクトは、例えば互いに係合するファスナのような係合部材の一方がダクトの長手方向における端部に周設され、他方がダクトの長手方向における中央部に周設され、これらを係合させることによってクリーンエア供給時におけるクリーンエアダクトの長さを規制可能に構成しても良い。
【００２７】
サプライチャンバまたはクリーンエアダクトと前記クリーンエア供給手段との接続については着脱に便利な接続であることが好ましく、例えばサプライチャンバまたはクリーンエアダクトの上流側開口端と、クリーンエア供給手段の供給口（クリーンエア供給口）とに設けられ互いに接続可能な接続部等を例示することができる。
【００２８】
この接続部は接続箇所における気密性が確保される接続部であることが好ましいが、クリーンエア通気路内が外部に対して正圧となるのであれば、特に接続箇所において気密性が確保されなくとも良い。この接続部としては、互いに当接する一対のフランジとこれらのフランジを挟持するクリップや、はめ込み式またはねじ込み式の一対の管継手、あるいは通気路に周設されるファスナなどの係合部材の係合による接続等を例示することができる。
【００２９】
またクリーンエア供給手段にクリーンエア供給ユニットを使用する場合には、クリーンエア供給ユニットの空気吸込み口にも同様の接続部を設けると、クリーンブースの撤収時にサプライチャンバまたはクリーンエアダクトの接続部とクリーンエア供給ユニット吸込み側の接続部とを接続することができ、サプライチャンバ内に残留するクリーンエアを速やかに抜くことができ好ましい。
【００３０】
サプライチャンバとクリーンエアダクトとの接続については、ファスナ等の軽量な接続部による接続が好ましいが、前述したクリーンエア供給手段の接続部に接続可能な構成とすると、本発明におけるクリーンブースにおいて、クリーンエアの通気路の使用形態が多様化するのでさらに好ましい。
【００３１】
前記サプライチャンバはその内圧によって自立するものであっても良く、あるいは支持部材によって清浄空間の上方に支持されても良い。前記支持部材としては、サプライチャンバを上方から吊るためのフックや、サプライチャンバを下方から支える伸縮自在な支持ポール等を例示することができる。またサプライチャンバと合体するエアマット、あるいはサプライチャンバ内にクリーンエアの供給路とは独立している閉鎖空間、を形成し、前記エアマットや閉鎖空間に圧縮空気等を給気し、前記エアマットや閉鎖空間を支持することによってサプライチャンバの形状を支持する構成とすると、サプライチャンバへクリーンエアを連続供給しなくてもクリーンブースの構造（清浄空間の形状）が保たれる。
【００３２】
本発明のクリーンブースは一方向気流（層流式）の清浄空間を形成することから、清浄空間へのクリーンエアの供給量を適切に制御すれば周辺環境と清浄空間とを特に区切る必要はないが、周辺環境の気流形状等の状況によっては清浄空間を区画するためのカーテン等を前記サプライチャンバの周囲に設けても良い。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の清浄空間の形成方法及びクリーンブースの実施形態について、添付した図面に基づき説明する。まず本発明におけるクリーンブースの構成について、図１及び図２に基づき説明する。
【００３４】
本発明におけるクリーンブースは図１に示されるように、清浄空間１へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出部３を有するとともに清浄空間１の上方に支持されるサプライチャンバ２と、クリーンエアを供給するクリーンエア供給ユニット４と、サプライチャンバ２及びクリーンエア供給ユニット４を接続するクリーンエアダクト５とを備えている。サプライチャンバ２は伸縮自在な支持用ポール６によって補助的に支持されている。
【００３５】
サプライチャンバ２は、合成樹脂シートや布等、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さない程大きな通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって構成されている。サプライチャンバ２は所定の形状、例えば筒状あるいはボックス状等、に形成され、その形状を維持するように適所で縫い合わされ補強されている。またサプライチャンバ２には、支持用ポール６の先端を内嵌する受けカップ２ａが適所に配置されている。
【００３６】
サプライチャンバ２の一面（下面）には多数の細孔が設けられてクリーンエア吹出部３が形成されている。なお、クリーンエア吹出部３は、所定かつ均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜、例えばポリプロピレンシート（三菱レイヨン・エンジニアリング株式会社製  エアソック（商標名））によってサプライチャンバ２の一部を形成する構成であっても良い。
【００３７】
クリーンエア供給ユニット４は、ケーシング内に収納されている送風機４ａと、送風機４ａの上流側に形成されている空気吸込み口４ｂと、送風機４ａの下流側に配置され空気中の粒子状汚染物質を捕集する空気浄化手段であるＵＬＰＡフィルタ４ｃと、ＵＬＰＡフィルタ４ｃを通過してなるクリーンエアが通るクリーンエア供給口４ｄと、送風機４ａの運転を制御するインバータ４ｅとを備えている。前記ケーシングにはクリーンエア供給ユニット４の移動を円滑にするキャスタが設けられている。
【００３８】
クリーンエア供給口４ｄには図２に示されるように、クリーンエア供給口４ｄの開口端を一周するパッキン４ｆと、クリーンエア供給口４ｄの開口部外周面に配置され先端で軸支されているコの字型アームがクリーンエア供給方向に沿って進出、退行するバックル４ｇとが設けられている。なお空気吸込み口４ｂとクリーンエア供給口４ｄとは同型に設けられ、空気吸込み口４ｂの開口部外周面にもバックル４ｇが設けられている。
【００３９】
クリーンエアダクト５は、サプライチャンバ２と同様に、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さない程の通気抵抗を有する変形自在な薄膜で構成されている。クリーンエアダクト５はサプライチャンバ２の形状に合わせてサプライチャンバ２にクリーンエアを供給するのに好適な所定の形状、例えばボックス状あるいは筒状等、に形成されている。
【００４０】
クリーンエアダクト５には図２に示されるように、クリーンエア供給ユニット４のクリーンエア供給口４ｄ開口部に当接するフランジ５ａが設けられ、このフランジ５ａの開口部外周面には前記コの字型アームを係止するフック５ｂが設けられている。また本実施形態では、クリーンエアダクト５とサプライチャンバ２は一体的に縫い合わせてあるものとして説明するが、例えばファスナ等の係合部材や前記フランジ５ａ等によって着脱自在に接続されていても良い。
【００４１】
次に本実施形態におけるクリーンブースによる清浄空間の形成方法を、工業用クリーンルーム内における前記クリーンブースの設置手順を例に、添付した図面に基づき説明する。まず前記工業用クリーンルームについて説明する。
【００４２】
工業用クリーンルームは図３に示されるように、天井プレナムチャンバ２０と、作業空間２１と、床下プレナムチャンバ２２と、作業空間２１の天面を形成するファンフィルタユニット２３及び天井パネル２６と、通気孔を有し作業空間２１の床面を形成するグレイチング床２４とから構成され、循環型の乱流式クリーンルームとされている。作業空間２１には半導体製品を製造する製造装置２５が設置されている。なお作業空間２１の清浄度はクラス１０００であり、製造装置２５は前記反応炉のように、内部空間にクラス１の清浄度が必要な製造装置である。この製造装置２５の周囲に清浄空間１を形成する方法について、図３から図５に基づき以下に説明する。
【００４３】
まずクリーンエア供給ユニット４と、サプライチャンバ２及びクリーンエアダクト５とを作業空間２１に搬入する。サプライチャンバ２及びクリーンエアダクト５は変形自在な薄膜で構成されているため、折り畳まれた状態で作業空間２１に搬入される。クリーンエア供給ユニット４を所定の位置に配置したら、バックル４ｇのコの字型アームをフック５ｂに係止し、バックル４ｇをアームとは反対側へ倒すことにより、クリーンエア供給ユニット４とクリーンエアダクト５を接続する（図３）。
【００４４】
クリーンエア供給ユニット４とクリーンエアダクト５とが接続されたらクリーンエアの供給を開始する。送風機４ａの運転によって作業空間２１内の空気が取り入れられ、取り入れられた空気はＵＬＰＡフィルタ４ｃを通過し、クラス１０００の雰囲気では許容範囲内とされている塵埃等が取り除かれ、クラス１の清浄度となったクリーンエアがクリーンエアダクト５へ供給される。クリーンエアダクト５は通気抵抗の大きい薄膜で構成されていることから、クリーンエアの供給により、クリーンエアダクト５の内圧が作業空間２１に対して正圧となる。従ってクリーンエアダクト５は内圧によって所定の形状を形成する（図４）。
【００４５】
クリーンエアはクリーンエアダクト５からサプライチャンバ２へ供給され、サプライチャンバ２の内圧は作業空間２１に対して正圧となる。するとサプライチャンバ２は所定の形状に形成されるとともに、クリーンエア吹出部３からはクリーンエアが吹き出される。この状態で支持用ポール６によってサプライチャンバ２を適所で支えると、サプライチャンバ２の下方の空間にクリーンエアが一方向気流として供給される。サプライチャンバ２下方の空間が作業空間２１のエアからクリーンエアに十分置換されて清浄空間１となったら、製造装置２５の蓋を開け、内部のメンテナンスを開始する（図５）。
【００４６】
クリーンエアダクト５及びサプライチャンバ２は、軽量かつ丈夫でほとんど通気性を示さない通気抵抗を有する薄膜で構成されていることから、製造装置２５の周囲にユーティリティー用の設備（ダクトや配管等）が設置されていても、その設備を避けつつクリーンエアの通気路を形成する。従ってユーティリティー用ダクトや配管等と干渉して損傷を与えまたは受けることもなく周囲の空間形状に合わせてクリーンエアの通気路が形成される。
【００４７】
またクリーンエア供給ユニット４はインバータ４ｅを備えるが、クリーンエアダクト５へのクリーンエア供給開始にあたっては、送風機４ａに余裕をもって運転してもクリーンエアダクト５及びサプライチャンバ２からなるクリーンエア通気路の形成が確実に行われるような構成とする。ＵＬＰＡフィルタ４ｃが目詰まりを起こした場合には、使用範囲内において送風機４ａの回転数を上げるよう適宜制御することにより、クリーンエアダクト５内及びサプライチャンバ２内は正圧に保たれ、クリーンエアの供給量が一定に保たれる。
【００４８】
またサプライチャンバ２は軽量の薄膜で構成されていることから、支持用ポール６のような簡単な支持手段によって容易に支持される。従って、支持用ポール６によらず、天井等、上方からフック等によって吊すことも可能である。
【００４９】
製造装置２５のメンテナンスが終了したら、クリーンエア供給ユニット４のクリーンエア供給口４ｄとクリーンエアダクト５との接続を解除し、クリーンエア供給ユニット４の空気吸込み口４ｂ側のバックル４ｇによって、空気吸込み口４ｂとクリーンエアダクト５とを接続してクリーンエア供給ユニット４を運転すると、クリーンエアダクト５内に残留するクリーンエアが空気吸込み口４ｂから吸い込まれ、クリーンエアダクト５及びサプライチャンバ２内のクリーンエアが速やかに吸引される。このようにバックル４ｇ及びフック５ｂによってクリーンエアダクト５及びクリーンエア供給ユニット４を接続する構成としたことから、クリーンブースの設置作業及び撤収作業が効率良く行われる。
【００５０】
またサプライチャンバ２やクリーンエアダクト５は薄膜で構成されていることから、塵埃等によって汚染された場合にはサプライチャンバ２及びクリーンエアダクト５をクリーンエア供給ユニット４から取り外して洗浄することができる。また、サプライチャンバ２やクリーンエアダクト５はクリーンエア供給ユニット４に対して着脱自在であり、前述した薄膜で構成されていることから、サプライチャンバ２やクリーンエアダクト５のみの交換が可能であり、また新たな作成も安価でかつ容易である。従って、種々の形状や通気抵抗等の条件に設定されたサプライチャンバ２やクリーンエアダクト５を使用することによって、クリーンブースの様々な設置条件に対して容易に対応することができる。
【００５１】
また本発明におけるクリーンブースは前述した実施形態に限定されるものではなく、例えば図６に示されるように、サプライチャンバ２にフランジ５ａ及びフック５ｂを設けるとともに内圧によって自立する形状に構成すると、水平層流式の清浄空間１が形成される。このように形状等の工夫を適当に行うことで様々な形態が実施される。従って、前記クリーンブースの用途としても、工業用クリーンルーム内での製造装置２５のメンテナンスに限定されず、治療用クリーンブースや、開発、研究等に用いられる試験用クリーンブースとしての応用が可能である。
【００５２】
またサプライチャンバ２やクリーンエアダクト５が薄膜で構成されていることから、容易にかつ安価にクリーンエアの通気路を作成することができるため、従来の局所清浄手段（前述した「手段１」〜「手段３」）に比べてイニシャルコストが低くなる。そして、前記「手段３」に比べて不要時における収納スペースが大幅に低減されることから、仮設用のクリーンブースとしてより好適である。ただし、その使用形態も仮設に限定されるものではなく、恒久的な清浄空間用設備としての使用も可能である。
【００５３】
【発明の効果】
本発明における清浄空間の形成方法は、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によってクリーンエアの通気路を構成するとともにこの通気路をクリーンエアの供給源に接続し、前記通気路に前記クリーンエアを供給し、クリーンエアの供給により生じる内圧によって前記通気路を所定の形状に形成し、このクリーンエアの通気路の一面に設けた複数の細孔からクリーンエアを吹き出すことから、清浄空間を必要に応じて所望の位置へ容易に形成することができる。
【００５４】
また本発明におけるクリーンブースは、クリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出口を有しクリーンエア供給手段に接続されるサプライチャンバが所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成される構成としたことから、移動及びセッティングが容易であるとともに不要時の収納スペースをコンパクトにすることができる。またサプライチャンバが前記薄膜によって形成されることから、様々な形状のサプライチャンバを容易に、かつ安価に製造することができるので、従来技術に比べてイニシャルコストをより下げることができる。
【００５５】
また本発明におけるクリーンブースは、前記クリーンエア吹出部が通気性を有するとともに均質な通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されると、より均質な層流式の清浄空間を形成することができる。また、所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成されるクリーンエアダクトでサプライチャンバと前記クリーンエア供給手段とが接続され、前記サプライチャンバは前記清浄空間の上方に支持されると垂直層流式の清浄空間が形成される。これらの層流式の清浄空間の形成によって、より清浄度の高い清浄空間を形成することができる。
【００５６】
また本発明におけるクリーンブースは、前記クリーンエア供給手段が、送風機とこの送風機から送られる空気中の汚染物質を除去する空気浄化手段とを備えるクリーンエア供給ユニットであると、コンパクトな構成でクリーンエアを生成、供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明におけるクリーンブースの一実施形態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示したクリーンブースのクリーンエア供給ユニット４及びクリーンエアダクト５の接続部分を拡大して示す要部拡大断面図である。
【図３】図１に示したクリーンブースの設置手順のうち、クリーンエア供給前のセッティング状態を示す正面図である。
【図４】図１に示したクリーンブースの設置手順のうち、クリーンエアの供給開始時を示す正面図である。
【図５】図１に示したクリーンブースの設置手順のうち、清浄空間１が形成された状態を示す正面図である。
【図６】本発明におけるクリーンブースの異なる実施形態の概略構成を示す図である。
【図７】従来技術における局所清浄空間の形成手段の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
１  清浄空間
２  サプライチャンバ
２ａ  受けカップ
３  クリーンエア吹出部
４  クリーンエア供給ユニット
４ａ  送風機
４ｂ  空気吸込み口
４ｃ  ＵＬＰＡフィルタ（空気浄化手段）
４ｄ  クリーンエア供給口
４ｅ  インバータ
４ｆ  パッキン
４ｇ  バックル
５  クリーンエアダクト
５ａ  フランジ
５ｂ  フック
６  支持用ポール
２０  天井プレナムチャンバ
２１  作業空間
２２  床下プレナムチャンバ
２３  ファンフィルタユニット
２４  グレイチング床
２５  製造装置
２６  天井パネル
２７  移動用レール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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