(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ密閉容器からなる、上槽、被処理物を収容する洗浄容器、及び低位容器から構成され、これらの間の高低差を上記の順位に配置し、
上槽は、洗浄液を貯留し、
洗浄容器は、内部に洗浄剤を蒸発・気化させる熱制御装置を備えた加熱装置を配置すると共に、気体を供給・排気する真空容器を接続し、その上部に大気への開閉、真空容器との開閉及び上槽からの洗浄液の供給を切換え制御する入液装置を、下部には上槽からの洗浄液の供給と低位容器への洗浄液の排出、回収容器への洗浄液の排出を切り替える出液装置を具え、
低位容器は、大気に対して開閉するバルブを具え、
さらに、上槽と洗浄容器上部を上槽導管により、また上槽と洗浄容器下部を排気導管により連結し、洗浄容器と低位容器間をバルブを介して低位容器導管により連結すると共に、低位容器からバルブ及びポンプを介して後置処理槽に配管で連結した構成とし、
上槽の洗浄液を上記上槽導管により洗浄容器に供給して該容器内の被処理物の洗浄処理を行ない、
洗浄処理後、高低差により洗浄液を低位容器に排出して洗浄容器内を減圧・真空とし、又は排気導管により洗浄容器内に洗浄液を供給して内部の空気を排出後洗浄液を低位容器に排出して洗浄容器内を減圧・真空とし、
該低位容器内の洗浄液をポンプにより後置処理槽に排出することを特徴とする、
真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【請求項２】
上記洗浄容器にバルブを介して真空容器及び気体容器を接続し、上記洗浄容器の洗浄液排出による排気、真空化により真空容器を真空とし、真空となった洗浄容器に気体容器から気体を供給してドライ処理を行い、ドライ処理後真空容器のバルブを開けると共に上記排気導管より洗浄液を供給して洗浄容器内の気体を該真空容器に回収することを特徴とする、請求項１記載の真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【請求項３】
上記上槽、洗浄容器及び低位容器からなる構成を一組としてこれらの複数組を並列配置して各洗浄容器間を真空バルブを介して被処理物を移送するコンベアにより接続し、各洗浄容器に順次真空容器及び気体容器をバルブを介して接続し、
各組別に洗浄液及び処理気体を替えて処理することを特徴とする請求項１記載の請求項１記載の真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄、真空乾燥装置。
【請求項４】
洗浄容器を２つ一組として、その間を気化した洗浄液を凝結する放熱器を備えた凝結導管で接続し、
一方の洗浄容器内の廃液を加熱すると共に他方の洗浄容器を低位容器との落差を利用した洗浄液排出により減圧・真空化して廃液からの蒸発気体を導き、該放熱器により凝結させて回収することを特徴とする、請求項１記載の真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【請求項５】
洗浄容器に対して気化した洗浄液を凝結する放熱器を介して凝結導管により真空容器を接続し、
洗浄液を排出した洗浄容器内の被処理物を加熱して、気化した洗浄液を該放熱器により凝結させて真空容器に回収すると共に被処理物を乾燥することを特徴とする、請求項１記載の真空ポンプを必要としない請求項１記載のマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【請求項６】
上槽及び低位容器を洗浄液の種類に応じて２以上とし、これらを洗浄容器に連結してそれぞれの洗浄処理を可能としたことを特徴とする、請求項１記載の真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【請求項７】
洗浄容器を２以上並列し、洗浄処理工程を並列して行なうことを特徴とする、請求項１記載の真空ポンプを必要としないマルチ密閉式洗浄，真空乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はマルチ密閉式洗浄，真空乾燥の方法及びその装置に係り、主に空気を溶存しない洗浄液と液排出真空装置、並びに真空になった真空容器とにより、空気の圧力が製造工程において与える影響を極力下げ、並びに一般に液体の沸点が圧力降下に伴って下がるのと、液体飽和蒸気圧力が温度の下降に伴って下がり圧力差を生む特性、及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することなどを利用し、熱制御及び放熱装置で真空洗浄容器内の温度と蒸気圧力を調節し、同一装置内でウェット式洗浄とドライ式洗浄、並びに真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥が行えるものであり、並びに環境保護や省エネルギーに呼応すべくドライ式洗浄で使用した低圧気体及び洗浄液などの廃溶液が回収され、洗浄液の静止する高度が実際に必要とされる高度に達するまでこの動作を繰り返し行い、次の製造工程に具える機能を具有する装置に関わる。
【０００２】
【従来の技術】
現在利用されている洗浄や乾燥の工程においては、ほとんどが一つ或いは多槽の洗浄作業槽を有し、洗浄処理を完了すると次の加工平台に送られて乾燥処理が行われるが、特に加熱で変質するような加工物工程においては、真空乾燥が必須となっており、製品の移送と大気への露出に際しては、洗浄後の加工物が新たなダストの汚染を受けることとなる。
公知の洗浄工程においては、しばしば化学薬品によって加工物表面の残留物質（例えば微粒子や酸化物や金属不純物、油膜など）を洗浄するが、蒸発によって外に漏れる有害物質が火災や爆発の発生を招き易い。即ち上述のような方法では万一のときに大きな損失が出やすく、作業員の健康にとっても大きな害があるため、密閉式の洗浄システムで化学溶液の容量を減少させ、また純水の量を減らすことで、排出されるガスや廃水等を少なくすることが行われている。
【０００３】
更に公知の密閉式洗浄においては、先ず洗浄液が密閉された洗浄容器中に入れられ、洗浄容器の補助設備で該加工物表面の汚染物を取り除き、洗浄が完了したら洗浄液を容器に排出し、並びに洗浄された加工物を取り出して次の加工台中に送って乾燥処理を行う。
また公知のドライ式洗浄においては、真空システムで容器内の空気を抽出して真空にし、更に気体を加工物に当てて酸化還元の化学作用を起こさせ、気体排出と同時に純水で洗浄し、加工物の表面をクリーンなものにし、ダスト汚染のない自然の酸化層の表面にする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
但し、上述のように真空システムを利用することは非常にコストがかかる。また公知の真空加熱乾燥方法では乾燥される対象内の水分及び揮発性物質を蒸発させて気体としたり、真空ポンプによって抽出することで乾燥させる目的を達成させ、真空システム内の設備が加熱蒸発による加熱や水蒸気を受けることから保護するべく、即ち真空ポンプ前の作業槽上には冷媒圧縮機システムなどの設備が設置されて気体を凝縮させて水蒸気や液体とされなければならず、よって現在の真空加熱乾燥法は、効率のよいものとは言えない。
更に、真空冷凍乾燥中においては、乾燥される対象物に対して先ず冷凍処理する際、乾燥を待つ対象物内の水分が凍結されて固体となり、更に真空にされるが、真空乾燥槽内の圧力を低めて、乾燥される対象物内の固体となった水が昇華して真空システムに抽出されるようになっているが、冷媒圧縮機が乾燥される対象である物に冷凍処理を施す際、同時に真空ポンプで真空乾燥槽を真空にし、このとき乾燥される物内の液体はまだ冷凍して固体化しておらず、真空システム中の気体は水が蒸発した飽和水蒸気を含み、真空システム中で凝結して水滴になりやすく、即ち真空システム内の部品が破損し易い。公知の技術では真空ポンプの前に冷凍システムを設置し、真空乾燥槽時に空気に含まれる水蒸気を凍結させるが、この方法によるとコストが更に上がり、よってこのような公知の真空冷凍乾燥法は効率の良いものとは言えない。
よって、製品に対する洗浄と真空乾燥処理は、洗浄処理作業と真空乾燥処理作業が別々に異なる作業環境の下で行われていることより、公知の方法では同一の洗浄容器内で作業を完了させることができず、処理作業のコストが大幅に増加されている。
そこで上述の各欠点に鑑み、高価な真空システムを使用せずとも同一洗浄容器内で洗浄と真空乾燥の工程を完了させ、製造コストの大幅ダウンと環境保護や省エネルギーの目的を達成するべく、本発明のマルチ密閉式洗浄，真空乾燥の方法及びその装置を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
ウェット式、ドライ式両方の洗浄と、真空加熱乾燥、並びに真空冷凍乾燥の機能を一同にまとめることで、真空システムを使用せず、並びにドライ式洗浄で使用した低圧気体と洗浄液等の廃溶液を回収することで、環境保護と省エネの目的を達成するべく、洗浄と真空乾燥の装置において、該装置は液排出真空装置が連結されており、液排出真空の装置による真空の容器と、洗浄液を蒸発或いは昇華させる熱制御装置、蒸気を凝結させる放熱装置（コンデンサー）、連結導管等の補助装置より構成され、放熱装置は真空洗浄容器内の気体洗浄容器を液体或いは固体の洗浄液に凝結させる。液排出真空装置により、空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法により、洗浄容器を真空にした後、空気圧力と該洗浄液の蒸気圧力の含有量を非常に少なくし、空気圧力が製造法に及ぼす影響を極力抑え、並びに一般に液体の圧力が下降すると沸点が下がる特性と、液体飽和蒸気圧力が温度の低下に伴って下降し圧力差を生むこと等の特性、及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することを利用し、更に熱制御装置と放熱装置によって真空洗浄容器内の温度と蒸気圧力を調節することで、低温で気化させるに十分な熱エネルギーを導入し又は余熱により、加工物表面の残留した洗浄液が蒸発熱を吸収し、蒸発して気体となり、同一洗浄容器中でドライとウェット式両方の洗浄と、真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥を完了し、並びにドライ式洗浄で使用した低圧気体及び洗浄液等の廃溶液などを回収する目的を達成させる。
また、一般には液抽出ポンプで密閉した低位容器内の圧力を下げて洗浄容器内の真空度を上げるが、真空システムを使用しないことにより、洗浄容器が真空になった後、非常に少量の空気圧力と該洗浄液の蒸気圧力を含有する真空洗浄容器となり、同時に該空気圧力が真空加熱及び真空冷凍乾燥などの方法に与える影響が最低限にまで極力抑えられ、同時に製造のコストも大幅に下げられるようにする。
【０００６】
【発明実施の形態】
本発明では洗浄，真空乾燥の装置、及び空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法により、先ずウェット式洗浄と真空加熱乾燥、ウェット式洗浄と真空冷凍乾燥、ウェット式洗浄とドライ式洗浄の工程を同一装置として連結させ、更に熱制御装置及び放熱装置を利用して真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥、洗浄液及び廃溶液の回収を行い、中度の真空状態を発生させ、ドライ式洗浄に使用する低圧気体を回収する。
【０００７】
上述の洗浄，真空乾燥の装置においては、該液排出真空によって真空となる容器、洗浄液を蒸発或いは昇華させる熱制御装置、蒸気を凝縮させる放熱装置、及び連結導管等の補助装置などが連結されて構成されている。
該装置内の洗浄容器は液排出真空装置と離れて独立した真空容器としてもよく、ドライ／ウェット洗浄、真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥、洗浄液及び溶液回収用等の容器の役割を担う。また該洗浄容器は必要に応じて適当な位置に熱制御装置及び放熱装置等の補助設備を加えてもよく、更に真空容器と導管で相互に連結されている、或いは通常の圧力の回収容器と相互に連結されている、または液排出された真空となった洗浄容器と相互に連結されている。真空洗浄容器と真空容器の温度差で蒸気が飽和することによる圧力差の方法を用いて、真空洗浄容器内の液体が蒸発熱を吸収した後、発生した蒸気が真空容器に向かって流動し、且つ洗浄容器と真空容器の連結導管の適当な個所の放熱装置上にて、気体となった洗浄液を凝結させて液体の洗浄液とし、更に真空容器内に回収する。また真空容器はドライ式洗浄で使用した低圧気体を回収するのにも使用される。真空加熱乾燥、洗浄液や廃溶液、空気を溶存しない洗浄液、及び中度真空状態の容器の実施方法中、熱制御装置の提供する温度範囲は洗浄液の気化線上であり、真空冷凍乾燥の実施方法中では熱制御装置及び放熱装置の提供する温度範囲は洗浄液の昇華線上にある。
また洗浄、真空乾燥の装置が複数の洗浄容器を具有するときは、洗浄容器は真空バルブと相互に連結されており、またコンベア装置で加工物が運ばれ、直列する多槽での洗浄、真空乾燥が行われる装置が構成されている。
【０００８】
液排出を行って真空にする装置においては、バルブ制御機能を具有する連結管を提供しており、該連結管は高度差のある洗浄容器と低位容器とを相互に連結し、洗浄容器と低位容器は皆密閉式の容器であり、低位容器は体積及び液面断面積が比較的大きな密閉容器であり、内部は上部空間を有するものとし、且つ内部の圧力は洗浄容器と低位容器の高度差、使用する洗浄液の比重、洗浄容器の容積、低位容器の容積の要素等によって設定される。使用する洗浄液の比重が低く、洗浄液と低位容器の高度差が小さいほど、洗浄容器内の洗浄液は完全に低位容器内に排出され、低位容器内の圧力は通常の圧力よりも遥かに低くなる。低位容器には液抽出ポンプが設置され、低位容器内の洗浄液を通常の圧力の回収容器或いはその他の後置処理槽に抽出されるようにしている。低位容器密閉状態とした際、液抽出ポンプが起動すると低位容器内の圧力は液面の下降に伴って下がる。
【０００９】
液排出減圧法とは、圧力が液体高度を支えるトリチェリー真空の原理により、低位容器内の圧力は洗浄容器と低位容器の高度差、洗浄液の比重、洗浄容器の容積、及び低位容器の容積によって決定され、液抽出ポンプで調整を施し、洗浄液が洗浄容器内に満たされて密閉された後、連結管上のバルブを開け、洗浄容器の洗浄液が連結管を通って密閉された低位容器内に流入し、密閉された低位容器内の圧力が洗浄液の増加と共に増し、洗浄液が流動を停止した静止高度は、密閉低位容器内の最後の液面圧力に支えられる洗浄液の高度であり、更に連結管上のバルブを閉め、低位容器の液抽出ポンプが起動すると、密閉低位容器内の洗浄液が通常の圧力の回収容器或いはその他の後置処理槽に抽出されて、密閉低位容器内の圧力を調整することで、次の工程にスムーズに移行するようにする。
【００１０】
ウェット洗浄と真空加熱乾燥が一体となった装置においては、ウェット式洗浄の工程を設置した後、実際の必要に応じて空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法で洗浄容器を真空状態にし、更に真空加熱乾燥を施し、洗浄容器内に残留する水分子或いは有機溶剤を蒸発させ、且つ真空容器内に回収し、加工物に水の痕跡やダスト汚染が残留しないようにする。
ウェット洗浄と真空冷凍乾燥が一体となった装置においては、空気を溶存しない洗浄液と液排出により真空となった洗浄容器とで真空冷凍乾燥を行い、ウェット式洗浄、真空冷凍乾燥を同一工程中で完了させ、真空システムを使用しないものである。
またウェット洗浄とドライ洗浄が一体となった装置においては、洗浄容器は液排出減圧法で洗浄容器を真空にした後、真空洗浄容器に連結されているドライ洗浄の気体容器のバルブを開け、洗浄気体を導管を通して真空洗浄容器内に流入させ、並びに適時にバルブを閉めることで、真空洗浄容器が低い気圧となるようにする。ドライ洗浄が完了した後、洗浄容器に連結されている真空容器のバルブを開け、洗浄容器内に下から洗浄液を注入した後、洗浄容器内の液面が向上するのに伴い、洗浄用の低圧気体も徐々に真空容器に回収されて行き、洗浄容器に洗浄液が満たされたら真空容器に連結されているバルブを閉め、ドライ洗浄で使用した低気圧気体を回収する。
【００１１】
空気を溶存しない洗浄液については、洗浄、真空乾燥を提供する装置で、液排出減圧法で洗浄容器の空間部分に真空状態を発生させ、同時に液排出により低下した洗浄液の静止液面高度は洗浄液容器内にて熱制御装置（ヒーター）を覆う状態であって、その熱エネルギーの流入と共に洗浄液の液面は沸騰状態となり、洗浄液に溶解した空気が洗浄容器の真空空間内に排出され、洗浄容器が通常の圧力に回復後、通常の圧力の回収容器で洗浄容器内に空気が既に排出された洗浄液を回収する。
熱制御装置の温度範囲は洗浄液の気化線上にあり、洗浄液の沸点は圧力加工に伴って降下し、よって低温で気化するに十分な余剰熱エネルギーが得られる。洗浄容器は大きな揮発面積を提供するため、液面断面積が比較的大きいものとする。
【００１２】
洗浄及び真空加熱乾燥においては、液排出減圧法で洗浄容器が非常に少量の空気圧力及び該洗浄液の蒸気圧力を含有した真空洗浄容器となり、温度差で飽和蒸気圧力差を作り、真空容器を洗浄容器に連結するが、該連結導管の適当な位置に放熱装置を設けることで、真空容器に向かって流動する気化した洗浄液を液体に凝結させて真空容器内に回収する。
洗浄容器の熱制御装置では蒸発熱を提供し、加工物表面に残留した洗浄液を蒸発させ、熱制御装置の温度が変わらないとき、洗浄容器は圧力が変わらないため、即ち洗浄容器内の温度と圧力は該洗浄液の気化線上に位置し、またもし洗浄容器内の圧力が該温度の飽和蒸気圧力に達さない場合は、乾燥を待つ加工物は熱制御装置に蒸発熱を吸収され、よって加工物表面に残留する洗浄液が蒸発する。この圧力差の方法で蒸気を真空容器に連結した放熱装置に向かって流動させ、気体となった洗浄液を凝結させて液体にし、真空容器内に回収し、洗浄容器内の圧力が蒸発温度の飽和蒸気圧力より低く保持される。一般の液体の圧力の下降と共に沸点も下降するため、該熱制御装置は低温で気化するに十分な余剰熱エネルギーを供給する。
空気を溶存しない洗浄液を液排出減圧法による洗浄液とした場合、即ち真空加熱乾燥の過程において空気圧力の影響を受けず、真空容器と真空洗浄容器に安定した圧力差が提供されて比較的低温の熱エネルギーが使用される。
【００１３】
真空冷凍乾燥においては、洗浄、真空乾燥の装置で空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法で真空容器を真空にし、非常に少量の空気圧力及び該洗浄液の蒸気圧力を含んだ真空洗浄容器にし、洗浄容器の熱制御装置及び放熱装置に提供する温度範囲は洗浄液の昇華線上に位置し、熱制御装置が乾燥を待つ加工物の温度を制御し、即ち乾燥を待つ加工物の温度が一定の温度にまで下降すると、昇華熱が加工物内の固体洗浄液を昇華させる。また放熱装置では真空洗浄容器内の圧力を制御し、即ち昇華した洗浄液を凝結させて固体の洗浄液とし、昇華熱で真空洗浄容器内に残留した固体洗浄液を昇華させる。
乾燥を待つ加工物が洗浄容器内で真空冷凍乾燥の工程を受ける際、洗浄容器内の熱制御装置の温度が変わらず、また昇華の速度と凝結の速度が等しいとき、洗浄容器はその圧力が変わらず、即ち洗浄容器内の温度と圧力は該洗浄液の昇華線上に位置する。熱制御装置はその設定どおりの温度下、洗浄容器内の圧力が該温度の飽和蒸気圧力に達さないとき、乾燥を待つ加工物は熱制御装置で昇華熱を吸収し、加工物上の固体の洗浄液が昇華して気体の洗浄液となり、耐えず昇華する目的を達成するため、洗浄容器内には非常に少量の空気圧力のみを含み、よって放熱装置は昇華した洗浄液を再び凝結させて固体化し、洗浄容器内の圧力は昇華温度の飽和蒸気圧力より低く保たれている。
熱制御装置は乾燥を待つ加工物を冷凍させてその成分物質の最低共通融点にまで温度を至らしめ、熱制御装置が乾燥を待つ加工物を冷凍させるとき、洗浄液内の圧力を温度下降と圧力下降の下、乾燥を待つ加工物の冷凍が不完全にならないようにするため、放熱装置は必ず洗浄容器内に残留した洗浄液を蒸発或いは昇華させて蒸気とし、洗浄液内の蒸気圧力が熱制御装置の設定する温度の飽和蒸気圧力より大きくなるようにし、乾燥を待つ加工物が冷やされて最低共通融点以下の温度になるようにする。
乾燥を待つ加工物の冷凍が完了したら、加工物内の液体の結晶粒子が比較的大きくなって肉眼で見えるほどの粗い結晶にし、また粗い結晶が昇華した後の残す比較的大きな隙間に、加工物裏側の結晶粒子を続けて昇華させて乾燥効率を高める。こうして乾燥を待つ加工物が通常の圧力の下で冷凍され、低温、空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法で洗浄容器を真空状態にして冷凍乾燥を行う。
空気を溶存しない洗浄液は液排出減圧法により、真空洗浄容器内には該洗浄液の蒸気圧力のみが含まれ、よって真空冷凍乾燥の過程においては空気の圧力の影響を受けず、乾燥を待つ加工物内の洗浄液の昇華及び凝結が皆温度によって制御される。放熱装置が気体洗浄液流動を加速させる装置を具有する場合、気体が凝結して液体洗浄液となる速度が加速されて固体の洗浄液となり、真空冷凍乾燥の速度が更に向上する。
【００１４】
一貫した多槽真空冷凍乾燥においては、一番目の洗浄容器の熱制御装置で乾燥を待つ加工物を洗浄した後の通常の圧力の下で予冷し、二番目の洗浄用器のスタート状態では空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で洗浄容器を真空状態にし、真空冷凍乾燥法を実施する洗浄容器とし、三番目の洗浄容器を乾燥が完了した加工物を送り出す個所とし、三番目の洗浄容器が通常の圧力を回復し、既に乾燥した加工物を送り出した後、空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法によって再び真空容器とする。乾燥を待つ加工物の温度が提げられて冷凍した後、加工物内の液体の結晶粒子が比較的大きく肉眼で結晶が見られるようにし、粗い結晶が昇華した後の残した比較的大きな隙間に、加工物裏側の結晶粒子が引き続き昇華できるようにして乾燥の効率を高める。
乾燥を待つ加工物が一番目の洗浄容器内で洗浄された後、通常の圧力の下で熱制御装置を起動させて乾燥を圧加工物に対して予冷し、低温、空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法で一番目の洗浄液容器を真空状態にし、真空バルブを開けて乾燥を待つ加工物を二番目の真空洗浄容器内に送り、真空バルブを閉め、乾燥を待つ加工物の温度が共通融点以下の温度にまで下げ、真空冷凍乾燥方法を完了した後、三番目の洗浄容器が通常の圧力に回復したら、既に乾燥した加工物を送り出す。
【００１５】
洗浄液回収と廃溶液は、一つの洗浄容器は洗浄液或いは廃溶液を蒸発させる蒸発槽とし、もう一つの洗浄容器をクリーンな洗浄液と溶液の回収槽とし、蒸発槽の熱制御装置で蒸発熱を提供して洗浄液や廃溶液を蒸発させる。蒸発槽と回収槽の温度差で飽和蒸気圧力差を生み出し、蒸発槽内の気体の洗浄液が回収槽に連結されている放熱装置に向かって流動し、気体の洗浄液が凝結して液体となり、回収槽に回収されるようにする。
蒸発槽は回収を待つ洗浄液或いは廃溶液を液排出減圧法で真空にし、回収を待つ静止した液面の高度が蒸発槽内にて停止し、並びに熱制御装置を覆うようにする。回収槽はクリーンな洗浄液や溶液を液排出減圧法で真空にする。更に蒸発槽内の洗浄液或いは廃溶液が熱制御装置によって蒸発熱が吸収され、放熱装置で蒸発槽より蒸発した蒸気が凝結してクリーンな洗浄液や溶液になり、回収槽に回収されるのに伴い、蒸発槽は適時洗浄液や廃液を補充し、回収槽は適時回収された洗浄液や溶液を通常の圧力の回収容器に排出し、更に液排出減圧法で回収槽を真空容器にしてクリーンな洗浄液や溶液を回収し続ける。回収を待つ洗浄液或いは廃溶液の沸点は圧力の下降に伴って低まり、熱制御装置が低温エネルギーや余熱を導入し、環境保護と省エネルギーの目的が達成される。
【００１６】
中度の真空容器においては、空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法によって二つの洗浄容器を真空状態にし、一つの真空洗浄容器は液排出真空装置と分かれた真空容器とし、もう一つは凝結液回収用とする。温度差を利用して作られた飽和蒸気圧力差により、真空容器内に残留する液体が蒸発熱を吸収した後、気体の洗浄液が真空洗浄容器に連結されている放熱装置に向かって流動し、気体が凝結されて洗浄液が液体となり、真空洗浄容器に回収される。
一般の液体の沸点は圧力の下降に伴う特性により、熱制御装置は低温の熱エネルギーや余熱を導入し、真空容器内に残留した洗浄液を蒸発させ、真空容器内の温度の上昇と蒸気分子の減少に伴い、最後には真空容器内には非常に少量の蒸気が存在するのみであり、更に真空容器を密閉し、液排出真空装置と遮断し、温度を下げて真空容器が温度の下降と共に中度の真空容器に近づくようにする。
【００１７】
図１に示すように、液排出真空装置及びその操作においては、先ず装置を設置する作業平台を上、中、下の三層に分け、該上槽１０と下槽３０を固定する際高度差を設け、該中層２０は昇降装置２２を具有し、該中層２０を該下層３０の高度に相対して調整する。
上槽１１は該平台上層１０の適当な個所に設置され、クリーンな洗浄液を注入して保存する容器とし、またその下方の適当な個所は上槽導管１２と連結されており、洗浄液が洗浄容器２１内にまで流入するようになっており、実際の必要に応じて更にその下方の適当な個所は排気導管１４を接続してもよく、洗浄液を洗浄容器２１内に流入させ、洗浄容器内の気体を排除する。
上槽導管１２は該上槽１１及び洗浄容器２１の入液装置２３と相互に連結されており、洗浄液が該上槽１１より該洗浄容器２１内に流入するようにしている。
上槽バルブ１３は該上槽１１を洗浄液を上から下へと洗浄容器２１内に流入させるように切り替え制御するものであり、該上槽１１底部の適当な個所或いは上槽導管１２の適当な個所に設置される。
洗浄容器２１は該作業平台中層２０の適当な個所に設置され、密閉して加工物を処理できる容器であり、必要に応じては処理を待つ加工物の出入口装置及び工程上で必要な補助工具や設備を増設してもよく、またその上方の適当な個所には入液装置２３と上槽導管１２とが相互に接続されており、その下方の適当な個所には出液装置２４と低位容器導管３２とが相互に接続されている。
低位容器導管３２は低位容器３１及び洗浄容器２１の出液装置２４と相互に連結されており、洗浄液が洗浄容器２１より低位容器３１に流入するようになっている。
低位容器バルブ３３は該洗浄容器２１の洗浄液が上から下へと該低位容器３１にまで流入するように切り替えより制御し、低位容器液面３４より低い高度に設置された低位容器導管３２の適当な個所或いは該低位容器液面３４の高度より低い低位容器の適当な個所に設置される。
該低位容器３１は該作業平台の下層３０の適当な個所に設置され、体積及び液面断面積が比較的大きな密閉容器であり、その内部は完全に洗浄液が満たされず、必要に応じて補助工具や設備を増設してもよく、底部は適当な個所が低位容器導管３２と相互に連結されており、洗浄液が該洗浄容器２１より内部に流入するようになっており、底部はまた適当な個所がポンプ導管５２と相互に連結されており、上方の洗浄液が充満しない個所の適当な個所には排気バルブ３５が設けられており、内部の圧力を調整し、必要に応じて内部に冷却装置を設けて液面の圧力を安定させてもよい。
該ポンプ導管５２は該低位容器３１と液抽出ポンプ５３が連結されており、該液抽出ポンプ５３で該低位容器３１の洗浄液を通常の圧力の後置処理槽５１に抽出させる、或いは該通常の圧力後置処理槽５１の洗浄液を低位容器３１にまで抽出させ、該低位容器３１の液面高度及び圧力を調節する。
ポンプバルブ５４は、液抽出ポンプ５３が該低位容器３１の洗浄液を通常の圧力の後置処理槽５１にまで抽出する、或いは該後置処理槽５１の洗浄液を該低位容器３１にまで抽出するのを切り替え制御し、該低位容器３１底部の適当な個所或いはポンプ導管５２の適当な個所に設置される。
進液装置２３は該洗浄容器２１上方に設置され、洗浄液或いは気体が該洗浄容器２１を出入するのを制御する装置であり、内側は必要に応じて複数のバルブ式スイッチや類似した部品によって洗浄液或いは気体が該洗浄容器２１を出入するのを制御し、その他、該洗浄容器２１内の補助工具や部品を増設してもよく、内部の制御バルブはその他の装置（例えば真空容器や通常の圧力回収容器等）と相互に連結されており、或いはその属する上槽導管１２と相互に連結され、そのコネクタは固定式のものや着脱式のもの等でもよい。
該出液装置２４は該洗浄容器２１下方に設置され、洗浄液や気体の出入する洗浄容器２１を制御する装置であり、内側は必要に応じて複数のバルブスイッチ或いはそれに類似するもので洗浄液や気体が洗浄容器２１に出入するのを制御してもよく、内部の制御バルブはその他の装置（例えば通常の圧力回収容器等）と連結しており、その属する低位容器導管３２と相互に接続されてもよく、またコネクタは固定式ものや着脱式のもの等としてもよい。
排気導管１４は該上槽１１並びに洗浄容器２１の出液装置２４と相互に連結されており、洗浄液が下から上へ流れて該洗浄容器２１内に流入するようにし、該洗浄容器２１内の気体を排出し、必要に応じて設置されるものである。
【００１８】
図１に示すように、液排出真空装置のスタート時の状態における実施方法は、先ず洗浄液の比重、洗浄容器２１の容積、低位容器３１の容積により、作業平台中層２０と該下層３０との高度差を設定し、低位容器液面３４の圧力を計算して出す。
該低位容器３１の洗浄液を用意する過程においては、ポンプバルブ５４をオンにし、排気バルブ３５をオンにし、更に低位容器バルブ３３をオンにし、該液抽出ポンプ５３を通常の圧力の後置処理槽５１の洗浄液を低位容器３１内の適当な高度にまで抽出し、該排気バルブ３５をオフにする。
該上槽１１の洗浄液を準備する過程においては、上槽バルブ１３をオフにし、洗浄液を該上槽１１に注入して満たし、更に液面の高度を保持するべく絶えず洗浄液を注入する。
低位容器液面３４の圧力においては、低位容器バルブ３３をオフにし、液抽出ポンプ５３を起動させて該低位容器３１内の洗浄液を該通常の圧力の後置処理槽５１にまで抽出し、洗浄容器液面３４の圧力が液面の下降に伴って低下し、洗浄容器液面３４の圧力が設定の圧力にまで達したら、該液抽出ポンプ５３をオフにし、並びに該ポンプバルブ５４をオフにする。
該昇降装置２２を起動させ、作業平台中層２０を該下層３０の高度に合わせて調節する。
【００１９】
図１に示すように、液排出真空装置を利用し、該液排出減圧法を実施するのは以下の如く。
先ず該液排出真空装置をスタート状態或いはその他の実施方法の最後の状態とし、洗浄容器２１内に洗浄液を注入して満たす。上槽バルブ１３をオンにし、低位容器バルブ３３をオフにし、入液装置２３内に連結された上槽導管１２のバルブスイッチをオンにし、出液装置２４内に連結された低位容器導管３２のバルブスイッチをオンにし、重力や大気圧、或いは洗浄容器２１が真空であることより、洗浄液は該上槽１１より該洗浄容器２１に注入または吸入されて該上槽導管１２、洗浄容器２１、低位容器導管３２に充満する。
洗浄容器２１にて真空状態を発生させるには、該上槽バルブ１３はオフ、低位容器バルブ３３をオンにし、洗浄容器２１内の洗浄液が該低位容器３１内に流入し、洗浄液が静止した高度は低位容器液面３４の圧力が該比重の洗浄液の高度を受け、即ち洗浄容器２１内の洗浄液が該低位容器３１内の流入し、低位容器液面３４を上昇させることで圧力が上がって洗浄液高度のバランスを支え、状況に応じて更に該入液装置２３内に連結された上槽導管１２のバルブをオフにし、出液装置２４内に連結された低位容器導管３２のバルブをオフにし、こうすることで該洗浄容器を真空にする。
該低位容器３１の余分な洗浄液を排出し、液面の圧力を下げるには、先ず該洗浄容器２１に真空状態を発生させた後、該上槽導管１２、洗浄容器２１、低位容器導管３２の洗浄液の全部或いは部分が該低位容器３１内に流れ込むことで、該低位容器液面３４の高度が増加し、同時に液面の圧力が上がり、該低位容器バルブ３３をオフにし、ポンプバルブ５４をオンにし、液抽出ポンプ５３を低位容器３１内の洗浄液を該通常の圧力の後置処理槽５１にまで抽出し、該低位容器液面３４圧力が設定の圧力になったら、該ポンプバルブをオフにする。
こうして洗浄容器２１が一度の真空法の過程を終了して順調に次の過程を進めることができるようにする。
【００２０】
図１に示すように、洗浄液を通常の圧力回収容器に流入させる方法において、先ず該入液装置２３に設けた通気バルブで大気を該洗浄容器に進入させ、出液装置２４に設けたバルブと通常の圧力回収容器の導管とを相互に連結させる。
更に該入液装置２３の通気バルブをオンにし、該洗浄容器２１内の圧力を通常の圧力にし、該出液装置２４と該通常の圧力回収容器に連結されたバルブをオンにし、該洗浄容器２１内の洗浄液を該通常の圧力回収容器に流入させ、該洗浄容器２１内の洗浄液を完全に排出した後、該入液装置２３の通気バルブをオフにし、出液装置２４と通常の圧力回収容器に連結するバルブをオフにする。
【００２１】
図２に示すように、洗浄、真空乾燥の装置における配置説明図では、液排出真空装置と、該液排出真空装置により真空状態となる真空容器２５、並びに洗浄液を蒸発或いは昇華させる熱制御装置６０、蒸気を凝結させる放熱装置８０、並びに導管等と連結されている補助装置等より構成される。
該液排出真空装置は、該入液装置２３と出液装置２４の着脱式コネクタにより、該洗浄容器とは別の真空容器２５とし、また該洗浄容器２１A，２１Bはウェット式洗浄，ドライ式洗浄、真空熱乾燥、真空冷凍乾燥、クリーンな洗浄液の回収等の多くの用途に利用される。
液排出により真空となった洗浄容器２１Aは、導管で液排出真空により真空となったもう一つの洗浄容器２１Bと相互に連結され、導管の適当な個所には放熱装置８０が設置されており、気体の洗浄液を凝結させて液体の洗浄液にするものである。
液排出により真空装置となった洗浄容器２１A，２１Bは導管で液排出によって真空となった真空容器２５と相互に連結されており、導管の適当な個所には放熱装置８０が設置されており、気体である洗浄液を凝結させて液体の洗浄液とする。
液排出により真空装置となった洗浄容器２１A，２１Bには放熱装置８０が設けられ、洗浄容器内の気体である洗浄液を凝結させて液体或いは固体の洗浄液とする。
液排出により真空装置となった洗浄容器２１A，２１Bには熱制御装置６０が設けられ、洗浄容器内の液体の洗浄液を蒸発、或いは昇華させて固体の洗浄液とする。
空気を溶存しない洗浄液及び液排出により真空となった洗浄容器内には、即ち空気圧力及び洗浄液の蒸気圧力が非常に少量であり、こうすることで空気圧力が工程に与える影響を極力抑え、一般の液体の沸点が圧力に伴って降下する特性を利用し、並びに温度差によって作られる飽和蒸気の圧力差で、真空洗浄容器内の液体が蒸発熱を吸収し、発生した蒸気が真空容器２５に連結された放熱装置８０に向かって流動し、凝結して低温となったクリーンな洗浄液が真空容器２５に回収される。本装置は真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥、洗浄液や廃溶液の回収、中度の真空状態の発生、低空気溶解等の実施法中で利用される。
【００２２】
図２に示すように、洗浄、真空乾燥の部分の装置を利用し、ドライ式洗浄に使用した低圧気体を回収する方法においては、先ず洗浄容器２１Bと真空容器２５を連結させるが、該真空容器２５と入液装置２３のバルブを導管で相互に連結させ、次に洗浄容器２１Bと気体容器２６とを該気体容器２６と入液装置２３のバルブ導管によって相互に連結させる。
液排出により真空となる装置をスタート状態にし、液排出減圧法を実施して該洗浄容器２１Bを真空状態とする、或いはその他の方法の最後の状態で洗浄容器２１Bを真空状態とする。
気体を該洗浄容器２１B内に注入し、該入液装置２３上に連結された該気体容器２６のバルブスイッチをオンにし、気体を該洗浄容器２１Bに適当に注入したら、該バルブをオフにする。該洗浄容器２１Bを該気体が充満した低圧容器とする。
該気体洗浄容器２１B内の低圧気体を排出する方法においては、ドライ式洗浄が完了した後、該入液装置２３上に接続された真空容器２５のバルブをオンにし、該出液装置２４上に連結された排気導管１４のバルブをオンにし、該洗浄液を下から上へと該洗浄溶液２１B内に注入し、該洗浄容器２１Bの液面の上昇に伴い、該真空容器２５は該洗浄容器２１B内の低圧気体が完全に回収されるのを待ち、入液装置２３上に連結された真空容器２５のバルブをオフにし、該洗浄容器２１B内の低圧気体が完全に真空容器２５内に回収されるのを待つ。
【００２３】
図３に示すように、各構成物件と洗浄、真空乾燥の装置は相同であり、その特徴とは洗浄、真空乾燥の装置の複数個の洗浄容器が真空バルブで相互に連結されており、コンベア装置によって加工物が運ばれることによる一貫した多槽の洗浄、真空乾燥の装置であることである。引き続き図３に示すように、該洗浄容器８２１Bと８２１Cのスタート時の状態は、空気を溶存しない洗浄液、液排出減圧法により真空となった洗浄容器である。
その方法とは、先ず新しい加工物が通常の圧力の洗浄容器８２１Aに位置させる際、先ず真空バルブAを開け、コンベア装置で該加工物を該洗浄容器８２１Aに送り、真空バルブAを閉じる。
該洗浄容器８２１A内で該加工物に対して工程を完了する際は、先ず該空気を溶存しない洗浄液で液排出減圧法を実施し、該洗浄容器８２１Aを真空状態にし、真空バルブBを開け、コンベア装置で該加工物を真空洗浄容器８２１Bに送り、該真空バルブBを閉じる。
全部の過程が完了した加工物は、洗浄容器８２１Cが通常の圧力であるという条件の下、真空バルブDを開けて該加工物を送り出し、更に空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で洗浄容器８２１Cを真空状態にする。
図４に示すように、真空乾燥の空間部分における空気を溶存しない洗浄液の方法とその配置説明図においては、先ず液排出減圧法で洗浄容器２１内を真空にし、洗浄液の静止液面高度が該洗浄容器２１内にて該放熱装置６０を覆う位置にて止める。
一般に液体は沸点が圧力の低下に伴って降下することより、該熱制御装置６０が導入する熱エネルギーは低温で気化させるに十分な余剰の熱エネルギーとなる。また液面断面積の比較的大きな洗浄容器２１で以って洗浄液の揮発を促し、通常の圧力の回収容器９５と出液装置２４のバルブを導管で相互に連結させる。
その実施方法は、真空乾燥の装置の液排出真空装置をスタート状態に設定、或いはその他の実施法の最後の状態において、該低位容器３１により設定する液面圧力を洗浄液静止の高度が洗浄容器２１内で該熱制御装置６０を覆うようにし、更に液排出減圧法で該洗浄容器２１上部空間を真空にする。
熱制御装置６０で該洗浄容器２１の洗浄液を加熱し、洗浄容器２１内の圧力がもう上がらなくなるまで液面を沸騰状態にする。
入液装置２３上のバルブをオンにし、洗浄容器２１を通常の圧力に回復させ、通常の圧力回収容器９５と該出液装置２４とを相互に連結するバルブをオンにし、空気を溶存しない洗浄液を通常の圧力回収容器９５に排出させ、更に該入液装置２３上のバルブをオフにし、通常の圧力の回収器９５と出液装置２４とを相互に連結するバルブをオフにする。
【００２４】
図５に示すように、本発明において洗浄、真空乾燥の部分の装置で洗浄液及び廃溶液を回収する工程においては、液排出減圧法によって二つの洗浄容器を真空状態にし、並びに一般に液体の沸点が圧力の下降に伴って下がること、更に液体飽和通常の圧力が温度の降下に伴って低まり、圧力差を生むことなどの特性、及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することを利用し、洗浄液及び廃溶液を回収する。
先ず一つの洗浄容器を洗浄液或いは廃溶液を蒸発させる蒸発槽１２１とし、もう一つの洗浄容器をクリーンな洗浄液或いは溶液の回収槽２２１とする。
一般の液体の沸点が圧力の降下に伴って低下することを利用し、該蒸発槽１２１底部の適当な個所の熱制御装置６０が導入する熱エネルギーは低温で気化させるに十分な余剰の熱エネルギーとなる。
該蒸発槽１２１の入液装置１２３と回収槽２２１の入液装置２２３は凝結導管８２で相互に連結され、該凝結導管８２中間の適当な個所には放熱装置（コンデンサー）８０が設けられており、蒸気を凝結させて液体とする。また通常の圧力の回収容器と回収槽２２１の出液装置２２４のバルブが相互に連結される。
該蒸発槽１２１の蒸発の過程においては、その装置の上槽１１１が適時に回収を待つ洗浄液や廃溶液の補充をしており、こうすることで蒸発槽１２１の液面高度を保っている。
該蒸発槽１２１の温度は該回収槽２２１の温度より高く、該熱制御装置６０の温度は洗浄液の気化線上にある。
回収を待つ洗浄液或いは廃溶液には溶解した空気を含み、該蒸発槽１２１と回収槽２２１の圧力差が縮小され、空気を溶存しない洗浄液の方法により回収を待つ洗浄液或いは廃溶液内に溶解している空気が除去される。
その実施法とは、該蒸発槽２２１の液排出真空装置をスタートし、低位容器１３１に向けて排出されることにより設定される洗浄液或いは廃溶液液面の静止の高度が該蒸発槽１２１内にて熱制御装置６０を覆う位置まで低下させて減圧する。
回収槽２２１の液排出真空装置をスタートし、その低位容器２３１により設定される液面圧力を、該回収槽２２１の全部が真空状態となるようにする。
このようにして、該蒸発槽１２１の液排出真空装置は回収を待つ洗浄液或いは廃溶液を使用し、液排出減圧法で該蒸発槽１２１の空間部分を真空状態にする。
また、該回収槽２２１の液排出真空装置は低温でクリーンな洗浄液或いは溶液により、液排出減圧法で回収槽２２１の全部が真空状態となるようにする。
凝結導管８２と連結される蒸発槽１２１の入液装置１２３のバルブ１２３をオンにし、凝結導管８２の連結される回収槽２２１の入液装置２２３のバルブをオンにし、熱制御装置６０で該蒸発槽１２１内の回収を待つ洗浄液或いは廃溶液を加熱し、回収を待つ洗浄液或いは廃溶液に蒸発熱を吸収させて蒸発させ、該回収槽１２１の温度差で飽和蒸気の圧力差を生み、該蒸発槽１２１で蒸発する気体が該凝結導管８２及び放熱装置８０の方向に拡散するようにし、並びに凝結して低温、クリーンな洗浄液あるいは溶液が該回収槽２２１に流入する。
該回収槽２２１内との圧力が平衡状態になったとき、該回収槽２２１の入液装置２２３と凝結導管８２に連結されているバルブをオフにし、該回収槽２２１の入液装置２２３のバルブをオンにし、該回収槽２２１を通常の圧力に回復させ、通常の圧力の回収装置と回収槽２２１の出液装置２２４が相互に連結されているバルブをオンにし、クリーンな洗浄液或いは溶液が該通常の圧力の回収容器に排出されるようにし、該回収槽２２１の入液装置２２３上のバルブをオフにし、再び、液排出減圧法で該回収槽２２１の全部を真空容器にし、該回収槽２２１の入液装置２２３と凝結導管８２とを連結するバルブをオンにし、続けて該洗浄液や溶液を回収するようにする。
【００２５】
図６に示すように、本発明において装置の洗浄、真空乾燥の工程で真空加熱乾燥法を実施する際は、一般に液体の沸点が圧力の下降に伴って下がること、並びに液体の飽和蒸気圧力が温度の下降に伴って圧力差を生むことなどの特性及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することを利用し、加工物を乾燥させる。
上述に倣い、洗浄容器３２１内底部の適当な個所に熱制御装置６０を設けると、導入される熱エネルギーは低温で気化させる熱エネルギーでよく或いは余熱で足りる。
真空容器２５と入液装置３２３のバルブは凝結導管８２によって相互に連結されており、凝結導管８２中の適当な個所には放熱装置８０が設けられ、蒸気を凝結させて液体にする。
熱制御装置６０の温度は洗浄液の気化線上に位置し、また該洗浄容器３２１の温度は該真空容器２５の温度より高いものとする。
実施の方法は、先ず洗浄、真空乾燥装置の液排出真空装置をスタート時状態にセットし、液排出減圧法を実施して該洗浄容器３２１を真空にする、或いはその他の実施法の最後の状態によって該洗浄容器３２１を真空状態にする。
該凝結導管８０に連結された洗浄容器３２１の入液装置３２３のバルブをオンにし、熱制御装置６０で洗浄容器３２１内に残留する加工物９０表面の洗浄液を加熱し、該残留する洗浄液が蒸発熱を吸収して蒸発するようにし、洗浄容器３２１と真空容器２５の温度差によって飽和蒸気の圧力差が生まれ、該洗浄容器３２１の蒸発する気体が該凝結導管８２及び放熱装置８０の方向に向かって拡散し、且つ凝結して低温、クリーンとなった洗浄液が該真空容器２５に流入して回収される。
最後に該洗浄容器３２１の圧力がもう上がらないとき、真空加熱乾燥が終了する。
【００２６】
図７に示すように、本発明において装置の洗浄、真空乾燥の工程で真空冷凍乾燥を行う際は、空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法により、洗浄容器に真空状態を発生させ、熱制御装置と放熱装置により温度を制御して加工物を乾燥させる。
先ず該熱制御装置６０は該乾燥を待つ加工物９０の温度をその成分の最低共融点以下の温度にまで下降させ、昇華の過程において該法加熱が該乾燥を待つ加工物９０の昇華用に提供されるようにする。
放熱装置８０で該昇華した蒸気が再び凝結して固体となり、該洗浄容器５２１内の圧力を昇華温度の飽和蒸気圧力より低くする。該熱制御装置６０と放熱装置８０の温度範囲は使用する洗浄液の昇華線上に位置する。
その実施法とは、先ず洗浄、真空乾燥装置の液排出真空装置をスタート時の状態にし、空気を溶存しない洗浄液で液排出減圧法を実施して真空にする、或いはその他の実施法の最後の状態で該洗浄容器５２１を真空状態とする。
熱制御装置６０を起動させ、乾燥を待つ加工物９０がその成分物質の最低共融点以下の温度にまで下がるようにし、放熱装置８０を起動させて蒸発熱を提供し、該洗浄容器５２１内に残留する洗浄液を蒸発させ、該洗浄容器５２１内の蒸気圧力が該熱制御装置６０の設定する温度の飽和蒸気圧力より大きくなるようにする。
乾燥を待つ加工物９０がその成分物質の最低共通融点以下の温度になるとき、該熱制御装置６０が昇華温度を設定し、乾燥を待つ加工物９０内の固体洗浄液を昇華させ、放熱装置８０で該昇華した気体の洗浄液を凝固させて固体の洗浄液とし、該洗浄容器５２１内の圧力を該昇華温度の飽和蒸気圧力より低く保つ。
【００２７】
図８に示すように、本発明における一貫した多槽の洗浄、真空乾燥の装置で真空冷凍乾燥を実施する方法は、先ず空気を溶存しない洗浄液及び液排出減圧法で、各洗浄容器を真空にし、予冷及び昇華凝固の交互の温度制御によって加工物を乾燥させる。
先ず洗浄容器５２１A，５２１B，５２１Cは真空バルブA，B，C，Dで連結され、洗浄容器５２１Aで乾燥を待つ加工物９０を洗浄した後に予冷し、洗浄容器５２１Bでは真空冷凍乾燥法を実施し、洗浄容器５２１Cでは乾燥した加工物９０を送り出す。
具体的な実施法は、先ず乾燥を待つ加工物９０を該洗浄容器５２１A内で洗浄し、更に通常の圧力の下で熱制御装置６０Aを起動させ、乾燥を待つ加工物９０を予冷処理し、更に低温で空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で該洗浄容器５２１Aを真空状態にする。
真空バルブBを開けて乾燥を待つ加工物９０を該真空洗浄容器５２１Bに送り、該真空バルブBを閉めて真空冷凍乾燥法を実施する。
加工物９０の乾燥を完了した後、該真空バルブCを開け、既に乾燥した該加工物９０を該真空洗浄容器５２１Cに入れた後、該真空バルブCを開け、該洗浄容器５２１Cを通常の圧力に回復させ、既に乾燥した加工物９０を送り出し、並びに再度空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で洗浄容器に真空状態を発生させる。
【００２８】
図９に示すように、本発明において洗浄，真空乾燥の部分装置を利用し、容器を中度の真空状態にさせる際、空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で二つの洗浄容器を真空状態にし、更に一般に液体の沸点が圧力の低下に伴って下がる性質と、液体が飽和蒸気圧力の下降に伴って下がり圧力差を生む特性及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することを利用し、中度の真空容器とする。
先ず真空洗浄容器を真空容器２５とし、これに設置された上槽導管１２及び低位容器導管３２とを分け、独立した真空容器２５とする。
該真空容器２５外部の熱制御装置６０は該真空用意２５の真空の度合いの必要に応じて、必要な温度を提供する。
真空容器２５ともう一つの洗浄容器２１は凝結導管８２で連結されており、凝結導管８２中間の適当な個所には放熱装置８０が設けられ、蒸気を凝結させて液体にする。
該熱制御装置６０の温度は該洗浄液の気化線上にあり、また真空容器２５の温度は該洗浄容器２１の温度より高くする。
その実施法とは、先ず真空容器２５と洗浄容器２１の液排出真空装置をスタート時の状態に設定し、空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で真空容器２５と洗浄容器２１を真空にする。
熱制御装置６０では真空容器２５内に残留する洗浄液を蒸発させ、並びに該真空容器２５内の蒸気を加熱して乾燥させて蒸気にし、該真空容器２５と洗浄容器の温度差で圧力差が生まれるため、真空容器２５で蒸発する気体を凝結導管８２及び放熱装置８０の方向に向かって拡散させ、且つ凝結させて低温、クリーンな洗浄液を該洗浄容器２１に流入させて回収する。
該真空容器２５の圧力がもう上がらないとき、該真空容器２５と液排出真空装置及び凝結導管８２を分解し、該真空容器２５を冷却し、該真空容器２５が中度の真空状態に達するようにする。
【００２９】
図１０に示すように、本発明において多種洗浄液及び気体を使用し、ドライ及びウェット洗浄を実施する際、特に洗浄容器の加工物が多種の洗浄液で連続して処理されるとき、その装置においては各種洗浄液は対応した上槽と低位容器が設けられており、該各上槽にはそれぞれ異なる洗浄液を具有し、設定された洗浄工程によって洗浄容器内に注入され、加工物に対して洗浄を行い、液排出減圧法によって該洗浄容器を真空にし、該洗浄液をそれぞれその属する低位容器に流入させる、或いは洗浄液を直接その所属する蒸気圧力の回収容器に排出する。図に示すように、多数の上槽７１１A，７１１B，７１１Cを具有し、それぞれ上槽導管７１２で洗浄容器７２１の入液装置７２３に連結させ、各該洗浄液の低位容器７３１A，７３１B，７３１Cは低位容器導管７３２A，７３２B，７３２Cと洗浄容器７２１の出液装置７２４と連結されており、洗浄容器７２１の入液装置７２３には気体進入バルブが設けられており、該洗浄容器７２１を通常の圧力に回復させ、洗浄容器の出液装置には該常圧の回収容器に連結される数個のバルブが設けられており、洗浄液がその属する通常の圧力の回収容器に流入するようになっている。
スタート時状態の操作手順は、先ず本装置は数個の液体排出装置が一体となったものであり、よってそれぞれ洗浄液の比重と低位容器７３１A，７３１B，７３１Cの容積を計った後、各種洗浄液のスタート時の操作手順は液排出真空装置のスタート時の操作手順と同様になる。
実施方法は、先ず実際の工程の状況に応じ、液排出真空法で該洗浄容器７２１を真空にし、該各低位容器７３１A，７３１B，７３１Cにはそれぞれ順に、該洗浄容器が真空状態になった後に洗浄液が流入し、液抽出ポンプで余分な洗浄液を、その属する通常の圧力後置処理槽にまで抽出し、その液面圧力を本来設定した圧力に調整する。その他の実施法については、前述による。
【００３０】
図１１に示すように、本発明を上槽及び下槽を共用する数個の作業槽に応用した場合、主に上槽６１１、三つの洗浄容器６２１A，６２１B，６２１C，及び一つの低位容器槽６３１より構成される。各洗浄容器の容積は異なり、上槽６１１及び低位容器６３１と各洗浄容器６２１A，６２１B，６２１Cの連結方法はそれぞれ独立した廃液真空装置となるようにする。
スタート時の状態での操作手順は、先ず洗浄液の比重、各洗浄容器６２１A，６２１B，６２１Cの容積を計り、最大容積の洗浄容器で下層に対する高度差を設定し、更に低位容器６３１の液面圧力を計算し、この低位容器６３１の液面圧力で、更にその他の洗浄容器が下層に相対する高度を計算する。
低位溶液洗浄液を準備する過程においては、ポンプバルブ６５４をオンにし、気体抽出バルブ６３５をオンにし、全ての低位容器バルブ６３３をオンにし、液抽出ポンプ６３５をオフにする。
該上槽の洗浄液においては、全ての上槽バルブ６１３をオフにし、該洗浄液を該上槽６１１に注入して満たし、絶えず洗浄液を注入してその液面高度を保持する。
低位容器液面６３４の圧力を調整する際は、全ての低位容器バルブ６３３をオフにし、液抽出ポンプで低位容器６３１内の洗浄液を通常の圧力の後置処理槽に抽出し、洗浄容器液面６３４の圧力が液面下降に伴って低くなり、低位容器液面６３４の圧力が設定の圧力に達したら、液抽出ポンプ６５３をオフにし、並びにポンプバルブ６５４をオフにする。
昇降装置を起動させ、各洗浄容器６２１A，６２１B，６２１Cを下層との高度差に対応して調整する。
実際の工程においては、液排出減圧法で各洗浄容器６２１A，６２１B，６２１Cで真空状態にし、低位容器６３１で時間を隔ててそれぞれの洗浄容器を順に真空にし、低位容器６３１に流入した洗浄液に対し、抽出ポンプ６５３で余分な洗浄液を通常の圧力の後置処理槽にまで抽出して、該低位容器６３１の液面圧力を元の設定圧力に回復させる。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によると、真空ポンプを使用しないことによりコストが大幅に下げられ、また洗浄や真空乾燥の装置においては、液排出減圧法によってウェット式洗浄と真空加熱装置、ウェット式洗浄装置と真空冷凍乾燥、ウェット式洗浄とドライ式洗浄とが一体となり、更に熱制御装置と放熱装置とで効果的に空気を溶存しない洗浄液、真空加熱乾燥、真空冷凍乾燥、ウェット式洗浄度絵使用した洗浄液等の廃溶液の回収等が実施でき、並びに容器を効果的に中度の真空状態にでき、同時にドライ式洗浄によって使用した低圧気体の回収も行われて環境保護の目的が達成された。
また、液排出減圧法では洗浄容器を真空にした後、一般に液体の沸点が圧力の下降に伴って下がる特性及び二つの作業温度が異なる真空容器の蒸気圧力間に圧力差が発生することを利用し、真空加熱乾燥、洗浄液及び廃溶液の回収、容器を中度の真空状態にする実施法で、低温の熱エネルギーや余熱が導入されるようになり、エネルギーの節約がここでも達成された。
更には液排出減圧法で該洗浄容器は真空状態になった後、非常に少ない空気圧力と洗浄液の蒸気圧力を含む真空洗浄容器となるため、熱制御装置で低温の熱エネルギー源を導入して真空洗浄容器内の洗浄液とその他の液体を蒸発させ、更に放熱装置と圧力差の方法により、蒸発した洗浄液或いはその他の蒸気が凝結して液体となって真空容器内に回収され、真空加熱乾燥、洗浄液および廃溶液を回収し、中度の真空状態の容器にし、効果的にコストを削減する目的が達成された。
並びに空気を溶存しない洗浄液と液排出減圧法で洗浄容器を真空にした後、該洗浄液の蒸気圧力を含む真空洗浄容器となり、熱制御装置で該乾燥を待つ物体の温度を調節し、放熱装置で真空洗浄容器の圧力を制御し、真空冷凍乾燥の方法でここでも効果的に工程で設備におけるコストを下げる目的が達成された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液を排出する真空装置及び液排出真空方実施における配置説明図である。
【図２】本発明の洗浄，真空管層の装置における配置説明図である。
【図３】本発明の一貫した多槽洗浄，真空管槽の装置における配置説明図である。
【図４】本発明の洗浄，真空乾燥部分の装置を利用し、低空気溶解洗浄液による方式を実施する際の配置説明図である。
【図５】本発明の洗浄，真空乾燥部分の装置を利用し、洗浄液及び廃溶液回収を実施する際の配置説明図である。
【図６】本発明の洗浄，真空乾燥部分の装置を利用し、真空加熱乾燥を実施する際の配置説明図である。
【図７】本発明の洗浄，真空乾燥部分の装置を利用し、真空冷凍乾燥を実施する際の配置説明図である。
【図８】本発明の一貫した多槽洗浄，真空乾燥の装置を利用し、真空冷凍乾燥を実施する際の配置説明図である。
【図９】本発明の洗浄，真空乾燥の部分装置を利用し、容器を中度の真空状態にさせる際の配置説明図である。
【図１０】本発明の多種洗浄液及び気体を使用し、ドライ及びウェット洗浄を実施する際の配置説明図である。
【図１１】本発明を上槽及び下槽を共用する数個の作業槽に応用した場合における配置説明図である。
【符号の説明】
１０  上層
１１  上槽
１２  上槽導管
１３  上槽バルブ
１４  気体
２０  中層
２１  洗浄容器
２２  昇降装置
２３  入液装置
２４  出液装置
２５  真空容器
２６  気体容器
３０  下層
３１  低位容器
３２  低位容器導管
３３  低位容器バルブ
３４  低位容器液面
３５  排気バルブ
５１  後置処理槽
５２  ポンプ導管
５３  液抽出ポンプ
５４  ポンプバルブ
６０  制御装置
８０  熱制御装置
８２  凝結導管
９５  回収容器
９０  加工物
２１A，２１B  洗浄容器
１１１  上槽
１２１  蒸発槽
１３１  低位容器
１２３  入液装置
２３１  低位装置
８２１A，８２１B，８２１C  洗浄容器
２２１  回収槽
２２３  入液装置
２２４  出液装置
３２１  洗浄装置
３２３  入液装置
３３１，５３１  低位容器
５２１  洗浄容器
６０A，６０B，６０C  熱制御装置
５２１A，５２１B，５２１C  洗浄容器
７１１A，７１１B，７１１C  上槽
７２１  上槽導管
７２３  入液装置
７２４  出液装置
７３１A，７３１B，７３１C  低位容器
７３２A，７３２B，７３２C  低位容器導管
６１１  上槽
６１２  上槽導管
６１３  上槽バルブ
６２１A，６２１B，６２１C  洗浄容器
６３１  低位容器
６３３  低位容器バルブ
６３４  低位容器液面
６３５  気体抽出バルブ
６５４  ポンプバルブ
６５３  液抽出ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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