(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ペレットが整列状態で供給され、その半導体ペレットを順次ピックアップ搬送して所定位置に置くダイボンダにおいて、
前記供給された半導体ペレットが載置されＸＹ方向に移動自在なペレット載置機構と、
水平方向の少なくとも１方向（Ｘ方向と仮称）に往復移動自在なピックアップポジションと、
ＸＹＺ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレット搬送機構とを備え、
前記ペレット載置機構のＸ方向の略中心を座標原点としてピックアップしようとする半導体ペレットの前記ペレット載置機構に対するＸ方向の想定位置座標をｘとし、前記ペレット載置機構のＸ方向動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点としてその半導体ペレットに対するピックアップポジションのＸ方向座標ＰＸが下記（１）式で示される位置となり、ペレット載置機構の中心位置のＸ方向座標ＣＸが略（２）式で示される位置に移動することを特徴とするダイボンダ。
ＰＸ＝ａｘ    ………（１）
ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ  ………（２）
但し、０＜ａ＜１
【請求項２】
半導体ペレットが整列状態で供給され、その半導体ペレットを順次ピックアップ搬送して所定位置に置くダイボンダにおいて、
前記供給された半導体ペレットが載置されＸＹ方向に移動自在なペレット載置機構と、
水平方向ＸＹに移動自在なピックアップポジションと、
ＸＹＺ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレット搬送機構とを備え、前記ペレット載置機構の略中心を座標原点としてピックアップしようとする半導体ペレットの前記ペレット載置機構に対する想定位置座標をｘ，ｙとし、前記ペレット載置機構のＸ方向，Ｙ方向の動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点としてその半導体ペレットに対するピックアップポジションの座標ＰＸ，ＰＹが下記（１），（１’）式で示される位置となり、
ペレット載置機構中心位置の座標ＣＸ，ＣＹが略（２），（２’）式で示される位置に移動することを特徴とするダイボンダ。
ＰＸ＝ａｘ    ………（１）
ＰＹ＝ｂｙ    ………（１’）
ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ  ………（２）
ＣＹ＝−（１−ｂ）ｙ  ………（２’）
但し、０＜ａ＜１，０＜ｂ＜１
【請求項３】
前記移動自在なピックアップポジションには上方に位置確認手段を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のダイボンダ。
【請求項４】
前記移動自在なピックアップポジションには下方に突き上げピンを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のダイボンダ。
【請求項５】
前記ａ及び／又はｂが１／２に設定されていることを特徴とする請求項１又は請求項２
に記載のダイボンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体装置の製造に使用されるダイボンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置はダイボンダによりリードフレームとか、ＢＧＡ用の基板とかの基材のペレット組み付け部（以下ランドと呼ぶ）に順次半導体ペレット（以下ペレットと略す）を組みつけて製造される。
【０００３】
従来多用されているダイボンダの方式を図面を用いて説明する。図５は概念的に示す平面図、図６はその側面図である。リードフレームのような基材（図６参照）はレール２に載せられて図示しない送り機構により間欠的に図５において左から右に向かって（Ｘ方向）に送られ、ペレットが組み付けられるランド（図示せず）は前段階で半田とかＡｇペーストとかの接着剤が載せられて所定のボンディングポジションＢＰに順次停止しする。
【０００４】
そして、このボンディングポジションＢＰになるべく近い位置（ボンディングポジションＢＰのＹ方向で近い位置）にピックアップポジションＰＰが設けられ、その点にペレットが次々に配置され、先端の真空吸着ノズル４がＹ方向、Ｚ（上下）方向に移動自在なペレット搬送機構がコの字動作によってそのペレットをボンディングポジションＢＰに運んでボンディングする。
【０００５】
ペレット３はウェーハ上に完成しその後個々のペレットに分割されるがウェーハ時の配列をシート（図示せず）に貼り付けられて維持した状態で、そのシートがウェーハリング５上に固定されて供給される。ウェーハリング５はリング形状のリングホルダ６の中側に嵌まり込むように保持され、リングホルダ６は図示しない支持機構に支持されて、ＸＹθ方向に移動自在であって、載置されたペレットを順次ピックアップポジションＰＰに移送して位置合わせを行なう。
【０００６】
ピックアップポジションＰＰの上方にはカメラ７が配置され、図示しない処理装置によりピックアップポジションＰＰに配置されたペレット３を撮影した信号を画像処理してバッドマークの有無、割れ欠け等外観的な異常の有無を確認し、位置の確認をする。そして不良であればリングホルダ６を駆動してステップ送りさせ次のペレットをピックアップポジションＰＰに位置させる。良品であれば位置確認の結果によりリングホルダ６を微動させ正確な位置合わせを行なう。
【０００７】
上述のように構成された従来のダイボンダはボンディングポジションＢＰとピックアップポジションＰＰとの間をなるべく近くしてペレット３の搬送時間を短くしているので高速なボンディング動作が行なえると言う有利な特徴を有する反面リングホルダ６の動く範囲が適用するウェーハの径の２倍の径の範囲となるので装置が大型になると言う不利な特徴も有する。近年のようにウェーハが８インチさらに１２インチ径と大きくなるとこの欠点が目立ち始めている。
【０００８】
そこで、特開平１−１５２６３４号公報にはリングホルダをその中心で直交する２直線で４分割した１部分のペレットを固定されたピックアップポジションに位置させるとこが出来る程度にリングホルダのＸＹの可動範囲を制限し、第１部分のペレットのピックアップが終わったらリングホルダを９０度回転させ第２部分のピックアップを行ない、同様に第３、第４部分のピックアップを行なうようにしたダイボンダが提案されている。この装置によれば、リングホルダの動く範囲の径は適用されるウェーハの径の１．５倍程度となってかなり小さくなり、ボンディング動作もリングホルダを回転する時間が無駄な時間となるがその他の動作は高速に動作する。しかしながら、ペレットの向きが変わるので対称形に作られた特殊な品種でなければ搬送中に向きを補正しなければならない。そこでペレット搬送機構の真空吸着ノズルを回転自在に構成して搬送中に補正したり、搬送機構が直接基材のランドに搬送するのでなく回転自在な中継ステージ上に搬送し、中継ステージが回転して方向を補正してそれを改めてランド上に別の真空吸着ノズルが搬送するようにしたりする必要がある。
【０００９】
また、特開平４−１１１３３０号公報には固定されたピックアップポジションは設けない方式のダイボンダの記載がある。即ちリングホルダはその中心を軸に回転(θ方向)は可能であるが中心は固定されている。そして、回転動作はペレットの配列の向きを合わせるためで個々のペレットのピックアップに際しては動かさない。カメラはＸＹ方向に移動自在でペレットの良否や位置の確認を順次行なう。ペレット搬送機構の真空吸着ノズルはＸＹＺ方向に移動自在であり、カメラの確認した位置に移動してペレットをピックアップしてＸＹに移動して一定の場所にリプレイスする。突き上げピンに関する記載はないが設けるとすればカメラに追随してＸＹに移動する必要がある。この装置によれば、リングホルダは固定していてペレット搬送機構の吸着ノズルの移動範囲はペレットの配置の範囲程度であるから装置は小さくなる。しかしながら、この装置はペレット搬送装置は遠くまでペレットを拾いに行かねばならないのでボンディング動作が遅くなる。そこで、この装置はインライン構成された製造ラインに用いられて前後の工程に時間を要して高速にボンディング動作を行なっても意味の無いような場合にのみ用いられると推測できる。たとえは銀ペーストの硬化に時間を要するので高速に送ると炉が長くなりすぎるとか、多ピンのためにワイヤボンディングに時間を要してダイボンダもそのスピードで処理できれば良い等の理由による。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
図５、図６に示す従来の高速ダイボンダの上記の欠点を緩和する特開平１−１５２６３４号公報に記載の装置ではピックアップ時点のペレットの向きが異なるので搬送中に向きを調整しなければならず動作が場合により異なり制御するソフトが複雑化する。そして、特開平４−１１１３３０号公報に記載の装置によれば図５、図６に示す高速ダイボンダの上記欠点は解消するもののボンディング速度が大幅に低下して一般向きでない。そこで、この発明はリングホルダの移動範囲をある程度少なくして装置を小型化して、しかもペレットをピックアップする向きは一定であり従って同じ動作の繰り返しでありソフトが簡単なダイボンダを提供する。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためにこの発明はペレットが整列状態で供給され、そのペレットを順次ピックアップ搬送してリードフレームのような基材のランドが待機しているボンディングポジションとか正確な位置出しのための中継点のような所定位置に置くダイボンダにおいて、供給されたペレットが載置されＸＹ方向に移動自在なペレット載置機構と、水平方向の少なくとも１方向（Ｘ方向と仮称）に往復移動自在なピックアップポジションと、ＸＹＺ方向に移動自在な真空吸着ノズルを有するペレット搬送機構とを備え、ペレット載置機構のＸ方向の略中心
位置を座標原点としてピックアップしようとするペレットのペレット載置機構に対するＸ方向の想定位置座標をｘとし、ペレット載置機構のＸ方向動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点としてそのペレットに対するピックアップポジションのＸ方向座標ＰＸが下記（１）式で示される位置となり、ペレット載置機構中心位置のＸ方向座標ＣＸが略（２）式で示される位置に移動することを特徴とするダイボンダを提供する。
ＰＸ＝ａｘ    ………（１）
ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ  ………（２）
但し、０＜ａ＜１
この装置によれば「ａ」を大きく設定すればペレット載置機構の動く範囲を小さく出来るがピックアップポジションの動く範囲は大きくなり従ってペレット搬送機構がペレットを搬送する距離の長い部分が多くなりボンディング動作のスピードが低下する。そこで、両者のバランスで「ａ」を選定すれば良い。
同様にＸＹ方向に適用して、ピックアップポジションを水平方向ＸＹに移動自在とし、ペレット載置機構の略中心に設定されるペレット載置機構中心位置を座標原点としてピックアップしようとするペレットのペレット載置機構に対する想定位置座標をｘ，ｙとし、ペレット載置機構のＸ方向，Ｙ方向の動作範囲の略中心に設定される基準位置を座標原点としてピックアップポジションの座標ＰＸ，ＰＹが下記（１），（１’）式で示される位置となり、ペレット載置機構中心位置の座標ＣＸ，ＣＹが略（２），（２’）式で示される位置に移動する様に出来る。
ＰＸ＝ａｘ    ………（１）
ＰＹ＝ｂｙ    ………（１’）
ＣＸ＝−（１−ａ）ｘ  ………（２）
ＣＹ＝−（１−ｂ）ｙ  ………（２’）
但し、０＜ａ＜１，０＜ｂ＜１
この装置によればＸＹ双方にペレット載置機構の動作範囲を小さく出来る。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明はペレットが整列状態で供給され、そのペレットを順次ピックアップ搬送するタイプのダイボンダに関する。そして搬送する先はリードフレームのような基材のランドが待機しているボンディングポジションに直接搬送してボンディングするものであって良く、正確な位置出しのための中継点に一旦置くタイプでも良い。ペレットの供給はチップトレーに良品ペレットのみ詰めて整列状態として供給するものでも良いが、多くの場合ペレットがウェーハ上に整列状態で完成し、それが個々のペレットに分割され、元の配列を略保ってシートに保持されて供給される。その場合は非正形なものやバッドマークの付された特性不良ペレットを含んでいる。
【００１３】
この装置は供給されたペレットが載置され、ＸＹ方向に自在に移動して順次ペレットを後述するピックアップポジションに位置合わせするペレット載置機構を備える。ペレット載置機構はペレットがチップトレーに詰められて供給される場合はテーブル状のもので良い。ペレットがシートに保持され、そのシートがウェーハリング上に固定されて供給される場合はそのれを内側に受けるようにリング形状をしたリングホルダが用いられる。これらペレット載置機構はペレットの配列の方向を合わせるのに便利なように中心を軸に（θ方向）に回転自在に構成するのが望ましい。
【００１４】
この装置のピックアップポジションは水平方向の少なくとも１方向（例えばＸ方向）に往復移動自在とする。勿論ＸＹ双方に移動自在に構成できる。ピックアップポジションはそこに停止したペレットがピックアップされる位置であって、例えばペレットがチップトレーで供給され、従って配列の位置精度がある程度確保されており、しかもピックアップされたペレットは位置出しのための中間場所に運ばれるタイプのようにペレットの良否判定やペレットの位置確認の必要が無い場合は特になにも備える必要はない。しかしながら、ペレットを正確にピックアップポジションに位置合わせする必要がある場合には位置確認の手段が必要であり、不良ペレットも混在して供給され不良ペレットは残しながらピックアップする場合は良否判別手段が必要である。そのために画像処理のためのカメラを上方に配置する。また、シートからペレットを剥がしてピックアップする際にそれを助ける突き上げピンを下方に備えることが出来る。これらカメラや突き上げピンは移動できなければならない。
【００１５】
そしてピックアップポジションはペレットの配列ピッチｌＸに対してａｌＸをピッチとして順次移動して行くようにする。それと連動してペレット載置機構の方を−（１−ａ）ｌＸのピッチで動かしてピックアップポジションに対応するペレットを持ってくるようにする。ここで、ａは１より小さい正の数で設定する。そうすればペレット載置機構の動作範囲は（１−ａ）倍に小さくなるものである。勿論Ｙ方向も同様に構成することが出来る。
【００１６】
【実施例】
この実施例はピックアップポジションＰＸが基材の搬送方向（Ｘ方向）に移動自在としてペレット載置機構であるリングホルダのＸ方向の動作範囲を小さくして装置を小型かしたものである。図１は概念的に示す平面図、図２はその側面図である。リードフレームのような基材１（図２参照）はレール２に載せられて図示しない送り機構により間欠的に図１において左から右に向かって（Ｘ方向）に送られ、ペレットが組み付けられるランド（図示せず）は前段階で半田とかＡｇペーストとかの接着剤が載せられて所定のボンディングポジションＢＰに順次停止しする点とペレット３はウェーハ上に完成しその後個々のペレットに分割されるがウェーハ時の配列をシート（図示せず）に貼り付けられて維持した状態で、そのシートがウェーハリング５上に固定されて供給され、ウェーハリング５はリング形状のリングホルダ１６の中側に嵌まり込むように保持され、図示しない支持機構に支持されて、ＸＹθ方向に移動自在であるる点は図５、図６に示す従来装置に類似する。
【００１７】
しかしながら、この装置のリングホルダ１６のＸ方向の移動範囲は従来の装置に比較して小さくなっている。その中心ＣはボンディングポジションＢＰを通るＹ軸線を基準線Ｓとしてその両側に同程度の移動範囲を有する。
【００１８】
そして、ボンディングポジションＢＰになるべく近い位置（ピックアップするペレットのサイズや搬送中にペレットが吸着されていることを確認するセンサの配置スペース等を考慮して最低限の間隔は必要）にピックアップポジションＰＸの移動ラインＬが設定される。ピックアップポジションＰＸの上方にはカメラ１７が配置され、図示しない処理装置によりピックアップポジションＰＸに配置されたペレット３を撮影した信号を画像処理してバッドマークの有無、割れ欠け等外観的な異常の有無を確認し、位置の確認をする。そして下方には突き上げピン１８が配置されペレットのピックアップに際して上昇してピックアップポジションＰＸに位置合わせされたペレット３を突き上げてシート（図示せず）から剥がす。これらカメラ１７、突き上げピン１８はＸ方向に移動自在であって、後述する設定ルールにより設定したピックアップポジションＰＸを順次移動する。
【００１９】
この装置のペレット搬送機構は先端の真空吸着ノズル１４がＸＹＺ方向に移動自在で次々に移動するピックアップポジションＰＸでペレット３をピックアップしてボンディングポジションＢＰに運んでボンディングする。
【００２０】
次に動作の説明を伴って細かい構成やピックアップポジションＰＸの設定法について説明する。説明の都合上必ずしも設定動作の順番に説明していない。
（１）ウェーハリング５上にペレットが配列されてリングホルダ１６にセットされるとリングホルダ１６を回転させてペレット３の配列をなるべくＸ，Ｙ軸に平行に合わせる。（ピックアップポジションＰＸは平行に配置されていると仮定して決定する。）
（２）ペレット配列のＸ方向、Ｙ方向のピッチｌＸ、ｌＹを与える。
（３）次にどこかのペレット例えば最初にピックアップするペレットをカメラ１７の視野内の基準位置に合わせるべくリングホルダ１６をＸ，Ｙ方向に移動させる。この際リングホルダ１６のＹ方向の移動に対してはカメラ１７は動かないが、Ｘ方向の動きに対してはカメラ１７が−Ｘ方向に動いて位置合わせしたいペレットに近づいて行く。カメラの位置座標ＰＸとリングホルダ１６の中心Ｃの位置座標ＣＸとの関係は
ＰＸ＝−ａＣＸ／（１−ａ）………(３)  の関係で動く
ここでＰＸ，ＣＸは基準線Ｓを原点とした座標であり、ａは装置により設定した１未満の正の値であり説明を簡単にするためにこの実施例はａ＝１／２とすると
ＰＸ＝−ＣＸ………(４)  の関係で動くこととなる。なお、カメラ１７の動きに追随して突き上げピン１８も同じ位置に移動するものである。
このようにして最初のペレットを正確に位置合わせするとリングホルダ１６とカメラ１７の動きからそのペレット３のリングホルダ１６に対する位置がわかる。ピッチｌＸ，ｌＹよりペレットの行列の配置が想定できる。
（４）図３に示すようなペレットの配列において、説明を簡単にするためにたまたまペレットの配列の中心のペレットの中心がリングホルダ１６の中心Ｃに一致し、最初にピックアップされるペレットａは中心列のものであり、その中心はリングホルダ１６の中心Ｃを通るＹ軸上にあるとすれば、ペレットａがカメラ１７の視野内の基準点に位置合わせされているとき、ペレットａはピックアップラインＬ上にありＸ座標は０（基準線Ｓ上）にあり、この点が最初のピックアップポジションとなる。この状態で装置に自動動作のスタートをかければ画像処理の結果ペレットａが良品であれば真空吸着ノズル１４がＸＹＺに動いてペレットａをピックアップしてボンディングポジションＢＰに搬送して待機している基材（図示せず）にボンディングする。ペレットａのピックアップに際しては突き上げピン１８が下から突き上げてペレットａのシート（図示せず）からの剥離を助ける。
（５）ペレットａがピックアップされるとピックアップポジション（カメラ１７と突き上げピン１８の位置）ＰＸはｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１６が−ｌＸ／２移動する。そうすると図３におけるペレットｂがカメラ１７の視野内に配置される。ところがペレットｂは非正形であるのでピックアップすること無く残してピックアップポジションＰＸはさらにｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１６が−ｌＸ／２移動する。ところがそこのペレットも非正形であるのでピックアップすること無く残して同様にピックアップポジションＰＸが移動する。
（６）所定数非正形なペレットやペレット無しが連続すると行替えが行われる。即ちピックアップポジションＰＸはそのままでリングホルダ１６がｌＹ移動する。そしてピックアップポジションＰＸにペレットがなければピックアップポジションＰＸは−ｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動する。そこが非正形であればピックアップすること無く残してピックアップポジションＰＸはさらに−ｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動してペレットｃがカメラ１７の視野内に位置する。
（７）そこで画像処理によりペレットｃの良否と位置確認を行ない、良品であればピックアップポジションＰＸは動かすことなく位置確認データに基づきリングホルダ１６のみＸＹθ方向に微動させペレットｃを位置合わせし、再度位置確認を行ない（要すれば再度の微動と確認を繰り返して）正確に位置合わせが出来ていれば真空吸着ノズル１４がピックアップする。
（８）ペレットａがピックアップされるとピックアップポジションＰＸは−ｌＸ／２移動し、それに連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動する。
（９）以下同様に良否判定、位置確認、位置合わせ、等を行ないながらｌＸ／２のピッチで往復移動するピックアップポジションＰＸに順次ペレットを位置合わせしつつ、不良のペレットは残し、良品ペレットをピックアップして一定のボンディングポジションＢＰに待機する基材上にボンディングする。
【００２１】
上述のように構成されたダイボンダはボンディングポジションＢＰとピックアップラインＬとの間をなるべく近くしてペレット３のＹ方向搬送時間を短くしているが、Ｘ方向にはペレットの配置の径（ウェーハの径）の１／４程度を最大とする搬送距離が生じて図５、図６に示す従来装置に比較してボンディング動作が若干低下する。しかしながら、リングホルダ１６の動く範囲はＹ方向に付いては図５、図６に示す従来装置と同様に適用するウェーハの径の２倍の径の範囲となるが、Ｘ方向に付いてはウェーハ径の１．５倍程度に収まり装置がその分小さくなる。
【００２２】
【実施例２】
この実施例はピックアップポジションＰＸＹをＸＹ方向に移動させてリングホルダ２６の動く範囲をＸ方向のみならず、Ｙ方向も小さくしたものである。図４は概念的に示す平面図である。この装置のリングホルダ２６の中心ＣはボンディングポジションＢＰを通るＹ軸線を基準線Ｓとしてその両側に同程度の移動範囲を有する点は図１に示す第１の実施例ににている。しかしながら、この装置はＸ方向に伸びる基準線Ｒの両側に同程度の移動範囲を有する。基準線Ｒは基準線Ｓとの交点にリングホルダ２６の中心を置いた時、その上に載置されたペレットの配列（ウェーハ）の１／２半径位置が基準線Ｓ上のボンディングポジションＢＰになるべく近い位置でピックアップポジションとなりうる点ＰＹＭより若干だけ基準線Ｒ，Ｓの交点側になるように設定される。
【００２３】
このピックアップポジションＰＸＹはＸＹ方向に移動自在である。即ちカメラ（図示せず）や突き上げピン（図示せず）はＸＹ方向に移動自在であって、後述する設定ルールにより設定したピックアップポジションＰＸＹを順次移動する。
【００２４】
この装置のペレット搬送機構は先端の真空吸着ノズル１４がＸＹＺ方向に移動自在で次々に移動するなピックアップポジションＰＸＹでペレットをピックアップしてボンディングポジションＢＰに運んでボンディングする。
【００２５】
次に動作の説明を伴って細かい構成やピックアップポジションＰＸＹの設定法について説明する。説明の都合上必ずしも設定動作の順番に説明していない。
（１）ウェーハリング５上にペレットが配列されてリングホルダ２６にセットされるとリングホルダ２６を回転させてペレットの配列をなるべくＸ，Ｙ軸に平行に合わせる。そしてペレット配列のＸ方向、Ｙ方向のピッチｌＸ、ｌＹを与える。そして例えば最初にピックアップするペレットをカメラ（図示せず）の視野内の基準位置に合わせるべくマニュアル動作でリングホルダ２６をＸ，Ｙ方向に移動させる点は第１の実施例と似ている。
（２）この装置の場合その際リングホルダ２６のＸ，Ｙ方向の移動に対してはカメラ(図示せず)が−Ｘ，−Ｙ方向に動いて位置合わせしたいペレットに近づいて行く。カメラの位置ＰＸＹとリングホルダ２６の中心Ｃの位置ＣＸＹとの関係は
ＰＸ＝−ａＣＸ／（１−ａ）………(３)
ＰＹ＝−ｂＣＹ／（１−ｂ）………(３’)  の関係で動く
ここでＰＸ，ＰＹは基準線Ｒと基準線Ｓとの交点を原点としたカメラの位置座標であり、ＣＸ，ＣＹはリングホルダ２６の中心の位置ＣＸＹの位置座標である。また、ａ，ｂはそれぞれ装置により設定した１未満の正の値であり説明を簡単にするためにこの実施例はａ＝ｂ＝１／２とすると
ＰＸ＝−ＣＸ………(４)，ＰＹ＝−ＣＹ………(４’)  の関係で動くこととなる。なお、カメラの動きに追随して突き上げピン（図示せず）も同じ位置に移動するものである。
このようにして最初のペレットを正確に位置合わせするとリングホルダ２６とカメラの動きからそのペレットのリングホルダ２６に対する位置がわかる。そしてピッチｌＸ，ｌＹよりペレットの行列の配置が想定できる。
（３）図３に示すようなペレットの配列において、説明を簡単にするためにたまたまペレットの配列の中心のペレットの中心がリングホルダ２６の中心Ｃに一致し、最初にピックアップされるペレットａは中心列のものであり、その中心はリングホルダ２６の中心Ｃを通るＹ軸上にあるとすれば、ペレットａがカメラ（図示せず）の視野内の基準点に位置合わせされているとき、ペレットａは基準線Ｓ上にあり、この点が最初のピックアップポジションとなる。この状態で装置に自動動作のスタートをかければ画像処理の結果ペレットａが良品であれば真空吸着ノズル(図示せず)がＸＹＺに動いてペレットａをピックアップしてボンディングポジションＢＰに搬送して待機している基材（図示せず）にボンディングする。ペレットａのピックアップに際しては突き上げピン（図示せず）が下から突き上げてペレットａのシート（図示せず）からの剥離を助ける。
（４）ペレットａがピックアップされるとピックアップポジション（カメラと突き上げピンの位置）のＹ座標ＰＹは変わらずＰＸはｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ２６がＣＹは変わらずＣＸが−ｌＸ／２移動する。そうすると図３におけるペレットｂがカメラの視野内に配置される。ところがペレットｂは非正形であるのでピックアップすること無く残してピックアップポジションＰＸＹはさらにｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ１６が−ｌＸ／２移動する。ところがそこのペレットも非正形であるのでピックアップすること無く残して同様にピックアップポジションＰＸＹが移動する。
（５）所定数非正形なペレットやペレット無しが連続すると行替えが行われる。即ちピックアップポジションＰＸＹはＰＸは変わらずＰＹが−ｌＹ／２移動し、それに連動してリングホルダ２６がＣＸは変わらずＣＹがｌＹ／２移動する。そしてピックアップポジションＰＸＹにペレットがなければＰＸは−ｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ２６がｌＸ／２移動する。そこが非正形であればピックアップすること無く残してピックアップポジションＰＸＹはさらに−ｌＸ／２移動する。それに連動してリングホルダ２６がｌＸ／２移動してペレットｃがカメラの視野ないに位置する。
（６）そこで画像処理によりペレットｃの良否と位置確認を行ない、良品であればピックアップポジションＰＸＹは動かすことなく位置確認データに基づきリングホルダ２６のみＸＹθ方向に微動させペレットｃを位置合わせし、再度位置確認を行ない（要すれば再度の微動と確認を繰り返して）正確に位置合わせが出来ていれば真空吸着ノズルがピックアップする。
（７）ペレットｃがピックアップされるとピックアップポジションの座標ＰＸは−ｌＸ／２移動し、それに連動してリングホルダ１６がｌＸ／２移動する。
（８）以下同様に良否判定、位置確認、位置合わせ、等を行ないながらｌＸ／２のピッチで移動して端までくるとｌＹ／２ピッチで行替えするピックアップポジションＰＸＹに順次ペレットを位置合わせしつつ、不良のペレットは残し、良品ペレットをピックアップして一定のボンディングポジションＢＰに待機する基材上にボンディングする。
【００２６】
上述のように構成されたダイボンダはボンディングポジションＢＰとピックアップポジションＰＸＹとの間が長くなるのでペレットの搬送時間がやや長くなるがリングホルダ２６の動く範囲はＸＹ方向に付いてウェーハ径の１．５倍程度に収まり装置が小さくなる。
【００２７】
上記各実施例においてａ＝ｂ＝１／２としたがこれらの値は必要に応じて選定することが出来るものである。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の装置によればペレット載置機構の動く範囲をボンディング動作のスピードとのかねあいであるがなるべく小さくして装置を小型化することが容易であり、しかもその動作は同じ動作の繰り返しなので制御ソフトは簡単である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の一実施例を概念的に示す平面図。
【図２】  その側面図
【図３】  供給されたペレットの配置を示す。
【図４】  この発明の他の実施例を概念的に示す平面図。
【図５】  従来の装置を概念的に示す平面図。
【図６】  その側面図。
【符号の説明】
３  半導体ペレット
１４  真空吸着ノズル
１６，２６  リングホルダ（ペレット載置機構）
１７  カメラ（位置確認手段）
１８  突き上げピン
Ｃ  リングホルダの中心（ペレット載置機構の中心）
Ｌ  ピックアップライン
Ｒ，Ｓ  基準線（基準位置）
【図１】
0003971848.tif 000002
【図２】
0003971848.tif 000003
【図３】
0003971848.tif 000004
【図４】
0003971848.tif 000005
【図５】
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【図６】
0003971848.tif 000007