(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の表面に配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させながら、その配向膜形成材料層の表面をラビングローラに近接して設置された除塵器でそのラビングローラの表面を除塵しながら、回転下にある該ラビングローラと接触させて擦ることにより、配向膜を形成する配向膜付長尺可撓性シートの製造方法において、該除塵をラビングローラの表面に沿って、その幅方向に除塵器を５ｍｍ以上、かつ除塵器の幅に対して１０％以下の幅にて往復移動させながら行うことを特徴とする配向膜付長尺可撓性シートの製造方法。
【請求項２】
該往復移動が、あらかじめ決められた周期で行われることを特徴とする請求項１に記載の配向膜付長尺可撓性シートの製造方法。
【請求項３】
一方の表面に配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させる少なくとも二個の搬送ローラ、該搬送ローラ間に備えられたラビングローラと該ラビングローラに近接して設置された除塵器とからなるラビング装置において、該除塵器が該ラビングローラの表面に沿って、その幅方向に５ｍｍ以上、かつ除塵器の幅に対して１０％以下の幅にて往復移動できるようにされていることを特徴とするラビング装置。
【請求項４】
該ラビングローラが軸方向に延びた溝を有する円筒軸と、その溝に両端を差し込んだ状態で固定されているラビングシートからなることを特徴とする請求項３に記載のラビング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル及び光学補償シートなどの製造に有利に利用できる配向膜を備えた長尺可撓性シートの製造法、特に配向形成材料層を備えた長尺可撓性シートの配向膜形成材料層をラビング処理により配向膜とする際のラビング処理に用いるラビング装置及びラビング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ブラウン管型画像表示装置であるＣＲＴに対して、薄型、軽量、低消費電力という大きな利点をもつ液晶表示装置は、特に、携帯用のワードプロセッサやパーソナルコンピュータの表示装置として一般的に使用されている。現在普及している液晶表示素子（以下ＬＣＤと称す）の多くは、ねじれネマチック液晶を用いている。このような液晶表示素子は、一般に、液晶セルとその両側に設けられた偏光板からなり、液晶セルは液晶パネルと液晶パネルに電圧を印加するための電極部からなる。さらに、この液晶パネルは透明な配向膜と液晶層からなり、液晶層は配向膜に挟まれた構成とされる。このような液晶を用いた表示方式は、複屈折モードと旋光モードとの二つの方式に大別できる。
【０００３】
複屈折モードを利用する超ねじれ（スーパーツィスティッド）ネマチック液晶表示装置（以下ＳＴＮ−ＬＣＤと称す）は、９０度を超えるねじれ角及び急峻な電気光学特性を有するスーパーツィスティッドネマチック液晶を用いている。このため、このようなＳＴＮ−ＬＣＤは、時分割駆動による大容量の表示が可能である。しかしながら、ＳＴＮ−ＬＣＤで実用的なコントラストが得られるのは、イエローモード（黄緑／濃紺）及びブルーモード（青／淡黄）であり、白黒モードを得るには位相差板（一軸延伸ポリマーフィルムや補償用液晶セル）を設ける必要があった。
【０００４】
ＴＮ−ＬＣＤの表示モードである旋光モードでは、高速応答性（数十ミリ秒）及び高いコントラストが得られる。従って、旋光モードは、複屈折モードや他のモードに比べて多くの点で有利である。しかしながら、ＴＮ−ＬＣＤは、ＳＴＮ−ＬＣＤのように位相差板を備えていないので、表示色や表示コントラストが液晶表示装置を見る時の角度によって変化し易い（視野角特性）との問題がある。
【０００５】
上記ＴＮ−ＬＣＤにおける視野角特性を改善するため（即ち、視野角の拡大のため）、一対の偏光板と液晶セルとの間に位相差板（光学補償シートともいう）を設けることが知られている。この位相差板は、液晶セルに対して垂直方向の位相差はほぼ０であるため真正面からは何ら光学的作用を与えないが、傾けた時に位相差が発現し、この作用によって液晶セルで発生する位相差を補償するものである。
【０００６】
また、負の複屈折を有し、かつ光軸が傾いている光学補償シートも知られている。このシートは、ポリカーボネートやポリエステル等のポリマーを延伸することにより製造され、そしてシートの法線から傾いた主屈折率の方向を持つ。しかし延伸処理によりこのようなシートを製造するには、極めて複雑な延伸処理が必要とされるため、一般に知られている方法で大面積の光学補償シートを製造することは極めて困難である。
【０００７】
一方、液晶性ポリマーを用いた光学補償シートも知られている。例えば、液晶性を有するポリマーを支持フィルム上の配向膜表面に塗布することにより得られる光学補償シートや支持体と液晶性及び正の複屈折を有する重合性棒状化合物からなる光学補償シート（複屈折板）が知られている。さらには、簡単な製法により全方向視野角が拡大した光学補償シートとして、透明フィルム上に配向膜を形成し、配向膜上に液晶性ディスコティック化合物の層が形成された光学補償シートも知られている。
【０００８】
上述したような液晶パネル及び光学補償シートにおいて、配向膜は液晶層中の液晶分子を液晶の動作モードに適した配列や傾きに制御する役割をもつ。この配向膜を作成する方法として、酸化珪素（ＳｉＯ）や有機物など蒸着する方法、ＬＢ膜を生成する方法、ポリイミドやポリビニルアルコール、有機シランなど（以下、配向膜形成材料という）の薄膜をラビング処理する方法などがあるが、生産性やコスト性などからラビング処理による方法が一般に行われている。ラビング処理は、ラビングシート（ラビング布）をラビングローラ円筒軸に貼り合わせたラビングローラを配向膜形成材料の搬送方向に対して逆方向に回転させ、ラビングシートと配向膜形成材料を物理的に擦ることにより行われる。
【０００９】
さらに、最近では薄型、軽量、低消費電力という大きな利点を有する液晶表示装置は大型ＣＲＴの代替品として大型化が望まれており、液晶パネル及び光学補償シートの大面積化が図られている。大面積の液晶パネルや光学補償シートを作成するためには、大面積の配向膜をほとんど欠陥のない状態で形成する必要がある。しかしながら、上記のラビング法では、配向膜の配向性はラビング処理の色々な条件に左右されるため、その工程はノウハウに依存するところが多く、連続工程で配向欠陥のない大面積の配向膜を形成するのは難しかった。
【００１０】
一方ではこのような問題に対して、種々の改善がなされ、その結果が開示されつつある。例えば、光学補償シートにおいて、ラビング時に発生する配向膜形成材料の樹脂微粉やラビングシートから発生する塵埃を、配向膜に付着しにくくするために、ラビングローラ表面のラビングシートを除塵しながらラビング処理を行う方法が提案されている（特開平９−１６６７８４号公報）。この方法によれば、ラビング時に発生する塵埃などによる配向欠陥のない配向膜、液晶層を、連続工程で形成することができ大面積の光学補償シートを比較的容易に得ることができるので、一部工業的にも利用されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
上述のラビングシートに付着した樹脂微粉や塵埃（以下、樹脂微粉等という）の除塵には、圧縮空気（例えば、超音波振動させた圧縮空気）をシートの表面に吹き付けて、吹き飛ばされた樹脂微粉等を真空吸引する除塵器が一般に用いられている。しかしながら、このような除塵器を用いてラビングシートを除塵した場合、部分的に除塵されない除塵むらが発生したり、ラビングシートが部分的に破損してしまうという問題があった。
【００１２】
除塵むらのあるラビングシートでラビング処理すると、樹脂微粉等が配向膜に移動することがある。そして、樹脂微粉等が付着した状態で配向膜に液晶層を形成した場合には液晶層で配向欠陥が発生する。また、破損したラビングシートで配向膜形成材料層をラビング処理した場合には配向膜で配向欠陥が発生する。よって、ラビングシートに除塵むらや破損が発生した場合には、ラビングシートを交換しなければならない。しかし、配向欠陥等が発生してからラビングシートを交換していたのでは、欠陥部分が多く生産されてしまう。そこで、ラビングシートを定期的に交換する方法も考えられるが、その作業効率等から連続工程で配向膜を生産するには適当ではない。
【００１３】
従って、本発明の目的は、連続工程で配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートの配向膜形成材料層を、ラビング処理により配向膜とする際に樹脂微粉等の付着、あるいはラビングシートの破損による配向欠陥の少ない配向膜を容易に形成できる配向膜付長尺可撓性シートの製造方法及びラビング装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、除塵器から吹き付けられる圧縮空気の風速に着目して検討したところ、ラビングシートに吹き付けられる圧縮空気の風速は幅方向で完全に一定ではなく、局部的に強く吹き付けられる部分と弱く吹き付けられる部分とがあることを見出した。また一方、ラビングシートを表面が平坦なラビングローラ円筒軸に貼り合わせた場合には、ラビング処理している間にラビングシートの端部から剥がれたり、弛んだりして、これによっても除塵むらやラビングシートの破損が発生することも見出した。すなわち、本発明者は除塵器から吹き付けられる圧縮空気の風速を幅方向に一定にし、またラビングローラ円筒軸に貼り合わせたラビングシートが剥がれたり、弛んだりしないようにすることで、除塵むらやラビングシートの破損を少なくでき、連続工程で欠陥の少ない配向膜を容易に形成できること見出し本発明を完成するに至ったのである。
【００１５】
従って本発明は、一方の表面に配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させながら、その配向膜形成材料層の表面をラビングローラに近接して設置された除塵器でそのラビングローラの表面を除塵しながら、回転下にある該ラビングローラと接触させて擦ることにより、配向膜を形成する配向膜付長尺可撓性シートの製造方法において、該除塵をラビングローラの表面に沿って、その幅方向に除塵器を５ｍｍ以上、かつ除塵器の幅に対して１０％以下の幅にて往復移動させながら行うことを特徴とする配向膜付長尺可撓性シートの製造方法にある。
この発明の好ましい態様は、除塵器の往復移動があらかじめ決められた周期で行われることである。
【００１６】
また本発明は、一方の表面に配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シートをその長さ方向に移動させる少なくとも二個の搬送ローラ、該搬送ローラ間に備えられたラビングローラと該ラビングローラに近接して設置された除塵器とからなるラビング装置において、該除塵器が該ラビングローラの表面に沿って、その幅方向に５ｍｍ以上、かつ除塵器の幅に対して１０％以下の幅にて往復移動できるようにされていることを特徴とするラビング装置にもある。
さらに、この発明の好ましい態様は、ラビングローラが軸方向に延びた溝を有する円筒軸と、その溝に両端を差し込んだ状態で固定されているラビングシートからなることである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の配向膜付長尺可撓性シートの製造方法及びラビング装置について、ラビング装置の平面図（図１）、ラビング装置の平面図（図２）及びラビングローラの拡大図（図３）を参照しながら以下に説明する。
配向膜形成材料層を備えた長尺可撓性シート１は、搬送ローラ２ａ、２ｂにより上部から押えられながら、矢印の方向に搬送され、下側より押圧されたラビングローラ円筒軸（例えば、外径３００ｍｍのもの）３が、上記搬送方向と反対向きに回転することにより長尺可撓性シートの配向膜形成材料層表面がラビングされる。ラビングローラはラビングローラ円筒軸３に外周表面にはベルベット等のラビングシート３ａが貼り合わせてあり、このラビングシートに配向膜形成層は擦られて配向膜になる。
本発明において、ラビングローラ円筒軸は図３に示したように幅方向に延びた溝を有し、ラビングシートはその両端を溝に差し込んで貼り合わされる。よって、ラビングシートの端部はラビングローラの表面に露出しないので、その端部が剥がれにくくなり、そして弛みにくくなる。この溝は幅３〜８ｍｍ深さ３〜８ｍｍの範囲であればラビングシートの両端を差し込み固定でき、ラビング処理を行ってもラビングシートは剥がれたり、弛んだりしない。
【００１８】
ラビング処理している間、ラビングローラ円筒軸３に貼り合わされたラビングシート３ａの表面は、ラビングローラ側面に近接して設置された除塵器５により除塵されている。本発明において、除塵器５はラビングローラに沿って、その幅方向に往復移動する。この除塵器の往復移動は例えば図２に示したように、除塵器駆動モーター４と、除塵器５にはめ込まれ中心からずれた位置で軸が固定された軸受け円板７及びスライドレール６によって行われる。除塵器駆動モーター４によって軸が回転すると軸受け円板７が軸を中心にして回転する。そして、この軸受け円板の回転によって、除塵器５はスライドレール６の上を往復移動する。
【００１９】
この除塵器の往復移動する幅は５ｍｍ以上でかつ除塵器の幅に対して１０％以下の長さであり、望ましくは１０〜２０ｍｍである。往復移動する幅が５ｍｍ未満の場合には、除塵むらやラビングシートの破損が発生しやすく、また１０％を超える場合には、ラビングローラ全面を除塵するためには、除塵器はラビングローラより１０％以上幅が大きいことが必要となるからである。また、その移動速度は１〜１０ｍｍ／秒、さらに望ましくは３〜７ｍｍ／秒の範囲である。移動速度は速すぎても遅すぎてもラビングシートの除塵むらや破損が発生しやすくなるからである。
【００２０】
さらに、本発明の配向膜付長尺可撓性シートの製造方法の好ましい態様について説明する。ラビングローラはモーターにより回転し、１０００ｒｐｍ程度まで回転速度を制御することができる。また、配向膜の平面方向のラビング角度を調整することができる。例えば、ラビングローラを可撓性シートの搬送方向に対して、平面方向に傾けることによって、容易にラビング角度を調整することができる。このようにラビング角度を調整した後、可撓性シートを搬送装置によって、一定張力、一定速度（一般に５ｍ／分以上）で搬送しながら、ラビングローラをシートの搬送方向とは反対の方向に一定の回転速度で回転させる。これにより連続的にラビングを行なうことができる。このように連続的にラビングを行なうことにより、シートはエアフォイル効果により浮上して搬送されるので、シートが幅方向に動くことはなく、安定して、連続的にラビングを行なうことができる。
【００２１】
ラビング時のシート搬送速度は、一般に１０〜５０ｍ／分であり、ラビングローラの直径は、一般に１００〜５００ｍｍ（好ましくは１５０〜３００ｍｍ）であり、ラビングローラの回転数は１５０〜３００ｒｐｍが一般的である。ベースラップ角は、４〜２０度が好ましく、シートに対する張力は、１〜３Ｎ／１ｃｍ（シート幅）が好ましい。ラビングローラの回転軸は、一般に０〜４５度の範囲で調整可能である。ラビングローラの着脱は、搬送用ローラ上下装置により接合部で着脱できることが好ましい。
【００２２】
さらに、搬送ローラ、あるいはラビングローラは、その両端に張力測定器が取り付けてあって、可撓性シートの幅方向の張力を調整しながら、搬送あるいはラビング処理を行うことができようにするのが望ましい。そして、その長尺可撓性シートの幅方向の両側の縁部の張力差は、０．１Ｎ／ｃｍ以下とするのが望ましい。この長尺可撓性シートの縁部の張力差が０．１Ｎ／ｃｍより大きいと幅方向で配向性にばらつきが生じやすくなり配向欠陥となりやすくなるからである。
【００２３】
また、ラビング処理を施している間、軟Ｘ線を可撓性シート面側から、ラビングシートと配向膜形成材料層と擦れている面に照射して、配向膜層を除電することが望ましい。このような軟Ｘ線除電器としては、例えば、浜松ホトニクス（株）製フォトイオナイザなどが市販されており、この時の軟Ｘ線は管球にイオン生成管を用い、管電圧＋９．５ｋＶ、電流１５０μＡで使用され、この時発生する軟Ｘ線の波長は０．１〜０．５ｎｍである。
【００２４】
本発明で利用することができる配向膜付長尺可撓性シートの製造方法は、上記の方法だけでなく、長尺可撓性シートを連続的にラビングすることができる方法であればどのようなものでも利用することができる。
例えば、搬送される長尺可撓性シートがパスローラ（バックアップローラ）で支持された位置でラビングローラを押しつけるバックアップラビング方式、特開昭６１−１６０７２０号公報に記載されている、搬送される長尺可撓性シートが支持されているパスローラ（バックアップローラ）間で押しつけるラップラビング方式、さらに特開平６−１１００５９号公報に記載されている、バックアップラビング方式でラビングローラの両側でスプロケットにより支持する方法等を利用することができる。
なお上記ラビング処理が中断された際に、クリーニングシートを上記ラビング及び除塵システムの装置内を搬送させて、これらに付着した樹脂微粉等を除去しても良い。そして、配向欠陥が発生した場合には、その後ラビングを行っても配向欠陥は回復しないことから、できるだけ工数を少なくすることが望ましく、このためには一つのラビングローラによりラビング処理を行うことがより望ましい場合もある。
【００２５】
【実施例】
［実施例１］
（配向膜形成材料層を備えた長尺状透明フィルムの作成）
セルローストリアセテート（フジタック、富士写真フィルム（株）製、厚さ：１００μｍ、幅：５００ｍｍ）の長尺状フィルムの一方の側に、長鎖アルキル変性ポリビニルアルコール（ＭＰ−２０３、クラレ（株）製）５重量％水溶液を塗布し、９０℃４分間乾燥させた。こうして、厚さ２．０μｍの配向膜形成材料層を形成した。
【００２６】
（配向膜形成材料層のラビング処理）
配向膜形成材料層を備えた長尺状透明フィルムを図１に記載の装置を用いて配向膜形成材料層表面にラビング処理を施した。
上記配向膜形成材料層を備えた長尺状透明フィルム１は、矢印の方向に連続して２０ｍ／分で搬送した。長尺状透明フィルムは搬送ローラ（ローラ外径：６５ｍｍ、長さ：７００ｍｍ）２ａ、２ｂにより上部から押えながら搬送し、下側より押圧されたラビングローラ（外径：３００ｍｍ）を上記搬送方向と反対向きに３００ｒｐｍで回転させながら、ラビングローラ円筒軸３に貼り合わせたラビングシート（ベルベット）３ａを配向膜形成材料層に接触させることによりラビング処理を施した。また、図３に示したようにラビングローラ円筒軸３はその幅方向に延びた幅５ｍｍ深さ５ｍｍの溝を有しており、ラビングシート３ａはその両端をその溝に差し込んでラビングローラに貼り合わせた。
さらに、ラビングシート（ベルベット）３ａの表面は、ラビングローラ側面に近接して配置されている除塵器５により除塵した。この時、除塵器５は振幅２０ｍｍ、速度５ｍｍ／秒でラビングローラに沿って、その幅方向に往復移動させた。除塵器としては、超音波振動する圧縮空気を吹き付けながら除塵する除塵器（ニューウルトラクリーナ（ＵＶＵ−Ｗタイプ、（株）伸興製）を使用し、ヘッド圧３０００ｍｍＡｑ、除塵器の吹き出し風速２２０ｍ／秒、ローラ表面と除塵器先端との距離は３ｍｍで除塵を行なった。
【００２７】
また、ラビング処理を施している間、ラビングローラに対向して設置された軟Ｘ線除電装置４（フォトイオナイザＬ７１２０、浜松ホトニクス（株）製）により、透明フィルムの配向膜形成材料層が備えられていない面側から配向膜形成材料層とラビングローラの接触面の裏側に該当する面に軟Ｘ線を照射して、帯電した配向膜及び配向膜に付着した樹脂微粉等を除電した。この時の軟Ｘ線発生装置は管球にイオン生成管を用い、管電圧＋９．５ｋＶ、電流１５０μＡで使用され、この時発生する軟Ｘ線の波長は０．１〜０．５ｎｍである。
【００２８】
また、このラビング装置において、搬送ローラ２ａ、２ｂはともに、搬送ローラの両縁部間の張力差が７Ｎ以下になるよう設定した。両縁部間の張力差が７Ｎより大きくなった場合には、ラビングローラ軸受を上下に移動させラビングローラ６の中心線に対して傾けて両縁部間の張力差を調整した。また、上記ラビングにおいて、ベースラップ角は６度であった。
【００２９】
以上のようにラビング処理された配向膜付長尺状透明フィルムは、その配向膜層面及びフィルム面（配向膜のない面）の樹脂微粉等を除塵した。除塵装置としては、除塵器（ニューウルトラクリーナ（ＵＶＵ−Ｗタイプ、（株）伸興製）を使用し、ヘッド圧３０００ｍｍＡｑ、除塵器の吹き出し風速２２０ｍ／秒、ローラ表面との除塵装置先端との距離１ｍｍで除塵を行なった。
【００３０】
（配向膜を用いた光学補償シートの作成）
１）得られた配向膜を有するフィルムを、連続して２０ｍ／分で搬送しながら、配向膜上に、ディスコティック化合物物に、光重合開始剤（イルガキュア９０７、日本チバガイギー（株）製）を上記混合物に対して１重量％添加した混合物の１０重量％メチルエチルケトン溶液（塗布液）を、ワイヤーバー塗布機により、塗布速度２０ｍ／分、塗布量５ｃｃ／ｍ2 で塗布し、次いで乾燥及び加熱ゾーンを通過させた。乾燥ゾーンは常温、加熱ゾーンは１３０℃に調製した。塗布後３秒後に乾燥ゾーンに入り、３秒後加熱ゾーンに入った。加熱ゾーンは約３分で通過した。
【００３１】
２）次いで、この配向膜及び液晶層が塗布されたフィルムを、連続して２０ｍ／分で搬送しながら、液晶層の表面に紫外線ランプにより紫外線を照射した。即ち、上記加熱ゾーンを通過したフィルムは、紫外線照射装置（紫外線ランプ：出力１６０Ｗ／ｃｍ、発光長１．６ｍ）により、照度６００ｍＷの紫外線を４秒間照射し、液晶層を架橋させた。
【００３２】
３）さらに配向膜及び液晶層が形成された透明フィルムは、検査装置により透明フィルム表面の光学特性が測定され、検査を行ない、次いで、液晶層表面に保護フィルムをラミネート機により積層し、巻き取り装置により巻き取って、長尺状光学補償シートを得た。
【００３３】
［比較例１］
ラビングシートの除塵をラビングローラと除塵器先端との距離３ｍｍに固定して行った以外は、実施例と同様にして長尺状光学補償シートを得た。
【００３４】
（光学補償シートの評価）
１）上記のようにして長尺状の光学補償シートを１時間製造した後、得られる光学補償シートを顕微鏡により観察し（検査工程で行なった）、シート１ｍ2 当たりに直径２０μｍ以上の点欠陥があるか否か（またある場合にはその数）を観察した。
２）上記１）の１時間製造後の光学補償シートを、ＴＮ型液晶表示装置に装着し、得られた画像について、表示欠陥の有無及び視認性（表示画像の乱れの有無等）を評価した。
上記結果を表１に示す。
【００３５】
【表１】
表１
0004005215.tif 000002
【００３６】
【発明の効果】
本発明の配向膜付長尺可撓性シートの製造方法およびラビング装置を用いてラビング処理を行うことにより、ラビングシートに付着した樹脂微粉等の除塵むらが少なくなるので、樹脂微粉等が配向膜層に移動しなくなる。また破損したラビングシートで接触させて擦ることによる配向欠陥がなくなる。従って、本発明の配向膜付長尺可撓性シートの製造方法およびラビング装置を用いて製造された配向膜から得られる光学補償シートは、配向むらによる配向欠陥がなく、これを液晶表示装置に装着した場合、ディスコティック層の液晶層に由来する視野角の拡大が得られるだけでなく、画像欠陥もほとんどないものとなる。
また、配向欠陥のない配向膜を、連続工程により効率よく得ることができることから、本発明の製造装置及び方法により光学補償シートや液晶パネルの大量生産を可能にすることができる。さらには、ラビングシートが破損しにくくなることから、作業効率が向上しコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法に従うラビング装置の一例の断面図である。
【図２】本発明の製造方法に従うラビング装置の一例の平面図である。
【図３】図１に示したラビングローラの拡大図である。
【符号の説明】
１  配向膜形成材料層を備えた可撓性シート
２ａ、２ｂ  搬送ローラ
３  ラビングローラ円筒軸
３ａ  ラビングシート
４  除塵器駆動用モーター
５  除塵器
６  スライドレール
７  モーター軸受円盤
【図１】
0004005215.tif 000003
【図２】
0004005215.tif 000004
【図３】
0004005215.tif 000005