(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の砥石軸ユニットを支持するためのフレームを含む横型両頭平面研削盤であって、
前記フレームは、対向配置される前部と背部、前記前部と前記背部との間において対向配置されかつともに前記前部と前記背部とに連設される一対の第１側部、および前記前部と前記背部と前記一対の第１側部とに連設される底部を含む一体構造で構成され、
前記一対の第１側部間にワークを研削するための研削室が形成され、
前記底部の上面からなる前記研削室の底面は前記前部から前記背部の排水孔まで傾斜するように形成され、
前記フレームの剛性を向上し研削熱による前記フレームの変形を防止するために、前記底面の延びている方向に対して直交する方向における前記底面の断面形状が凹状でありかつ多角形状または曲線状とされる、横型両頭平面研削盤。
【請求項２】
前記前部、前記背部、および前記一対の側部のそれぞれの上端を連結する天井部をさらに備える、請求項１に記載の横型両頭平面研削盤。
【請求項３】
前記前部および前記背部はそれぞれ、その中央部から上下方向両端に向かって肉厚が大きくなるように構成される、請求項１または２に記載の横型両頭平面研削盤。
【請求項４】
前記一対の側部はそれぞれ、その上端近傍の肉厚が大きくなるように構成される、請求項３に記載の横型両頭平面研削盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は両頭平面研削盤に関し、より特定的には、水平方向かつ同軸上に対向配置される一対の回転砥石によってワークの両面を研削する両頭平面研削盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対向配置される一対の回転砥石によってワークの両面を研削する両頭平面研削盤として、一対の回転砥石を水平方向に対向配置する横型両頭平面研削盤が知られている。
横型両頭平面研削盤では、たとえば図１２（ａ）に示す両頭平面研削盤１のように、ベッド２上に一対の砥石軸ユニット３が水平方向の同軸状に配置されてボルト３ａによって固定され、一対の砥石軸ユニット３にそれぞれ回転砥石４が取り付けられる。モータ５を駆動することによって、ベルト６および砥石軸ユニット３を介して回転砥石４が回転する。
【０００３】
一対の回転砥石４の対向する研削面間にワークＷを挿入し一対の回転砥石４を回転させることで、ワークＷの両面が研削される。ワークＷの研削加工中には、一対の回転砥石４およびワークＷに研削液（クーラント）が供給され、供給された研削液は一対の回転砥石４の下方のベッド２上に設けられる排水溝２ａを流れて排出される。
【０００４】
このような両頭平面研削盤１では、研削加工の際に一対の回転砥石４が受ける研削抵抗Ｆ１は両回転砥石４を押し開くように作用して砥石軸ユニット３およびボルト３ａを介してベッド２に伝えられ、ベッド２に曲げモーメントが加わる。すると、その曲げモーメントの影響から、図１２（ｂ）に示すように、ベッド２が変形し、これに伴って一対の回転砥石４の平行度ひいては対向する研削面の間隔が変化し、ワークＷへの加工精度が著しく低下するという問題があった。
【０００５】
この種の問題を解決するための技術が、たとえば特許文献１において開示されている。
特許文献１の両頭平面研削盤では、一対の砥石軸ユニットをそれぞれ収容する一対の収容室と一対の収容室間に設けられ一対の回転砥石が配置される研削室とを板状部材によって一体的に構成したフレームが用いられ、全体を箱型構造とすることによって、剛性を高めて変形を抑制している。
【特許文献１】特開２００３−１９６４８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に開示される技術では、フレームの対向する正面壁と背面壁とにそれぞれ回転可能な自在継手が取り付けられ、当該２本の自在継手が支持枠を介して砥石軸ユニットを支持することによってフレーム内に砥石軸ユニットが吊設される。
この技術では、ワーク研削時には回転砥石から砥石軸ユニットに伝えられる研削抵抗を２本の自在継手が受けることになるが、２本の自在継手は砥石軸ユニットを当該ユニットの軸方向に直交する方向から支持するので当該研削抵抗に十分に抗しきれないおそれがある。この場合、ワーク研削時に安定して一対の砥石軸ユニットを保持できず、一対の回転砥石の平行度ひいては対向する研削面の間隔が変化し、ワークの加工精度が低下するおそれがある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、一対の回転砥石の平行度の変化を抑制しワークを高精度に研削できる両頭平面研削盤を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、請求項１に記載の横型両頭平面研削盤は、一対の砥石軸ユニットを支持するためのフレームを含む横型両頭平面研削盤であって、フレームは、対向配置される前部と背部、前部と背部との間において対向配置されかつともに前部と背部とに連設される一対の第１側部、および前部と背部と一対の第１側部とに連設される底部を含む一体構造で構成され、一対の第１側部間にワークを研削するための研削室が形成され、底部の上面からなる研削室の底面は前部から背部の排水孔まで傾斜するように形成され、フレームの剛性を向上し研削熱によるフレームの変形を防止するために、底面の延びている方向に対して直交する方向における底面の断面形状が凹状でありかつ多角形状または曲線状とされることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の横型両頭平面研削盤は、請求項１に記載の横型両頭平面研削盤において、前部、背部、および一対の側部のそれぞれの上端を連結する天井部をさらに備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の横型両頭平面研削盤は、請求項１または２に記載の横型両頭平面研削盤において、前部および背部はそれぞれ、その中央部から上下方向両端に向かって肉厚が大きくなるように構成されることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の横型両頭平面研削盤は、請求項３に記載の横型両頭平面研削盤において、一対の側部はそれぞれ、その上端近傍の肉厚が大きくなるように構成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
この発明によれば、一対の回転砥石の平行度の変化を抑制でき、ワークの研削加工を高精度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態について説明する。
図１〜図４を参照して、この発明の一実施形態の横型両頭平面研削盤（以下、単に両頭平面研削盤という）１０は、フレーム１２と一対の回転砥石１４と一対の回転砥石１４が取り付けられる一対の砥石軸ユニット１６とを含む。
フレーム１２は、たとえばミーハナイト鋳鉄もしくはネズミ鋳鉄を用いて製造された一体構造の鋳物であり、内部に複数の空間が区画形成される。
【００２１】
図５〜図８を参照して、フレーム１２は板状のベース１８を含み、ベース１８上の前後には相互に平行に対向配置される板状の前部２０と背部２２とが立設される。フレーム１２内を上下に仕切るための仕切部２４が横方向に設けられかつ前部２０と背部２２とに連結される。前部２０，背部２２，ベース１８および仕切部２４によって形成される空間は複数（ここでは、前側に４つ、後側に４つの計８つ）の部屋２６に区画され、仕切部２４から下の部分が実質的にベッド２８として機能する。すなわち、フレーム１２の下部にはベッド２８が一体形成されている。
【００２２】
前部２０と背部２２との間でありかつ仕切部２４の上側には一対の板状の側部３０が形成される。一対の側部３０は、相互に平行に対向配置されかつ前部２０と直交する方向に設けられ、ともに前部２０と背部２２とに連設される。また、前部２０と背部２２との間でありかつ仕切部２４の上側には一対の側部３０を挟むように一対の側部３２が形成される。一対の側部３２は、前部２０と直交するように設けられ、ともに前部２０と背部２２とに連設される。さらに、一対の砥石軸ユニット１６を挿通できるように、一対の側部３０にそれぞれ断面円形の貫通孔３４が設けられ、かつ一対の側部３２にそれぞれ環状段部３６を有する断面円形の貫通孔３７が設けられる。２つの貫通孔３４および２つの貫通孔３７は、矢印Ａ方向かつ同軸上に形成される。
【００２３】
仕切部２４の上側において、一対の側部３０間に一対の回転砥石１４が配置される研削室３８が形成され、一対の側部３０の外側に砥石軸ユニット１６をそれぞれ収容する２つの収容室４０が形成される。
【００２４】
なお、側部３２には、外側端面から矢印Ａ方向に延びるボルト孔４２と外周面から貫通孔３７へと貫通するボルト孔４４とが形成される。ボルト孔４２と４４とはそれぞれ等角度間隔で４つずつ形成される（図４参照）。
【００２５】
また、前部２０において研削室３８に対応する部分には開口部４６が形成される。背部２２において研削室３８に対応する部分には開口部４８が、収容室４０に対応する部分には貫通孔５０がそれぞれ形成される。
【００２６】
さらに、研削室３８の天井には開口部５２が形成され、研削室３８の底面５４（仕切部２４の中央部上面）は、凹状かつ多角面状に形成される。また、底面５４は側面視（図８参照）で前部２０から背部２２にかけて傾斜するように形成され、背部２２を貫通する排水孔５６から排水される。収容部４０の上部は開放されている。
【００２７】
このように、フレーム１２を板状の部材によって箱型に一体形成し、研削液が流れ最も研削熱の影響を受ける研削室３８の底面５４を単にフラットではなく多角面状とし、ベッド２８内に複数の部屋２６を設けることによって、圧縮、引っ張りの曲げ応力に対してフレーム１２の剛性が大幅に増す。さらに、フレーム１２に断面円形の貫通孔３４および３７を形成し、フレーム１２を箱形形状と円形貫通孔との組み合わせ構造とすることによって、曲げ剛性をも大きくできる。なお、ベッド２８内に区画形成される複数の部屋２６の数および形状は限定されず、部屋数を増やすことによってベッド２８ひいてはフレーム１２の剛性をさらに高めることができる。
【００２８】
ついで、砥石軸ユニット１６について説明する。
図９を参照して、砥石軸ユニット１６は、略円筒形状の砥石軸ケース５８と、砥石軸ケース５８に挿入される略円筒形状のクイルスリーブ６０と、クイルスリーブ６０を挿通する砥石軸６２とを含む。
【００２９】
砥石軸ケース５８の一方端部の外周面には位置Ｏを球の中心とする球面状の環状球面部６４が設けられる。ここで、位置Ｏは、砥石軸ケース５８の軸線と、環状球面部６４の稜線を通る平面との交点である。砥石軸ケース５８の他方端部にはキャップ６６が固着される。
キャップ６６には、軸受６８および７０を介してスプラインスリーブ７２が回転可能に挿入され、スプラインスリーブ７２の端部にはプーリ７４が固着される。
【００３０】
砥石軸ケース５８の外周面には、環状鍔部７６と、砥石軸ケース５８の内部に達する開口部７８とが設けられる。環状鍔部７６には、位置Ｏを球の中心とする球面状の環状滑り面８０と環状段部８２とが形成される。開口部７８内には、外周面にギヤ８４が形成されるウォームシャフト８６が軸方向と直交する方向に配置され、砥石軸ケース５８の外面には開口部７８を覆うようにカバー８８が取り付けられる。
【００３１】
砥石軸ケース５８の内部には、開口部７８に対応する位置に軸受９０および９２が取り付けられる。軸受９０および９２間には、ウォームホイル９４が回転可能に配置される。
ウォームホイル９４の外周面には、開口部７８内に配置されるウォームシャフト８６のギヤ８４と噛合するギヤ９６が形成される。また、ウォームホイル９４の内周面には図示しない螺子山が形成される。ウォームホイル９４は、軸受９０および９２に矢印Ａ方向の動きを規制されつつウォームシャフト８６の回転に伴って回転する。
【００３２】
砥石軸ケース５８の内部には、メタルスリーブ９８および１００を介してクイルスリーブ６０がＡ方向に移動可能に挿入される。クイルスリーブ６０の外周面には螺子部１０２が設けられ、砥石軸ケース５８内においてウォームホイル９４の内周面の螺子山とクイルスリーブ６０の螺子部１０２とが螺合する。
【００３３】
クイルスリーブ６０のうち砥石軸ケース５８内に位置する端部にはリング状のピストン１０４が取り付けられる。当該ピストン１０４によって、砥石軸ケース５８の内部には円筒状のシリンダ室１０６が形成される。また、砥石軸ケース５８には外周面からシリンダ室１０６へと通じる空気孔１０８が設けられる。
【００３４】
クイルスリーブ６０には、軸受１１０，１１２および１１４を介して砥石軸６２が挿通される。砥石軸６２の一方端部には回転砥石１４を取り付けるための取付部１１６が設けられ、他方端部にはスプラインスリーブ７２の内周面と噛合するスプライン溝１１８が形成される。また、砥石軸６２には、研削液を流通させるために軸心を貫通する通路１２０が形成される。図示しない研削液供給装置から供給される研削液は、砥石軸６２の端部に取り付けられるユニバーサルジョイント１２２を経由して通路１２０に流入する。通路１２０に流入した研削液は、取付部１１６側の端部から流出し、回転砥石１４に供給される。
【００３５】
このような砥石軸ユニット１６では、プーリ７４の回転に伴ってスプラインスリーブ７２および砥石軸６２が回転し、これによって回転砥石１４が回転する。
また、砥石軸ユニット１６では、ウォームシャフト８６の回転に伴ってギヤ８４と９６との噛合を介してウォームホイル９４が回転し、さらにウォームホイル９４の内周面に形成される螺子山と螺子部１０２との螺合を介してクイルスリーブ６０が移動する。これによって、クイルスリーブ６０および砥石軸６２が矢印Ａ方向に移動し、ひいては取付部１１６に取り付けられる回転砥石１４が矢印Ａ方向に移動する。
【００３６】
このように、いわゆるクイル方式で回転砥石１４を矢印Ａ方向に移動させるためには、ウォームシャフト８６のギヤ８４とウォームホイル９４のギヤ９６とがバックラッシュ（遊び）をもって噛合するように形成される。ウォームホイル９４の内周面に形成される螺子山とクイルスリーブ６０の螺子部１０２とについても同様である。しかし、バックラッシュを持つことで、回転砥石１４の移動距離の精度が低下してしまう。上述のように構成される砥石軸ユニット１６では、図示しないエアポンプによって空気孔１０８から一定圧力で圧縮空気をシリンダ室１０６に供給し、クイルスリーブ６０および砥石軸６２をプーリ７４側に押すことで、クイルスリーブ６０と螺子部１０２のバックラッシュの影響によって回転砥石１４の移動距離の精度が低下することを防止している。
【００３７】
図１に戻って、フレーム１２内において、研削室３８内に回転砥石１４が臨むように砥石軸ユニット１６が貫通孔３４および３７に挿通されて砥石軸ユニット１６が収容室４０に収容される。
側部３０の内側（研削室３８側の端面）にはリング状部材１２４が取り付けられ、リング状部材１２４によって砥石軸ユニット１６の環状球面部６４が同心状に支持される。
【００３８】
また、側部３２の外側端面にはリング状部材１２６が取り付けられる。リング状部材１２６には、砥石軸ユニット１６の環状滑り面８０と面接触するように、環状滑り面８０と同一曲率の球面状の環状滑り面１２８が形成される。リング状部材１２６に複数のボルト１３０を挿通し、各ボルト１３０をそれぞれボルト孔４２に螺入することで、環状滑り面８０と環状滑り面１２８とが接触しつつ、リング状部材１２６が側部３２に固定される。
【００３９】
また、砥石軸ユニット１６の環状段部８２と側部３２の環状段部３６との間には複数のバネ１３２が配置される。砥石軸ユニット１６はバネ１３２によって矢印Ａ方向にリング状部材１２６に向けて弾発される。
【００４０】
側部３２の各ボルト孔４４には、砥石軸ユニット１６の傾動を調整するための調整ボルト１３４が螺挿され、貫通孔３７内に位置する環状鍔部７６を押圧することによって砥石軸ユニット１６の傾動が調整される。
【００４１】
すなわち、各調整ボルト１３４の貫通孔３７内での突出長を変更することで、砥石軸ユニット１６は環状球面部６４とリング状部材１２４との接触部を支点とし、環状滑り面８０がリング状部材１２６の環状滑り面１２８を滑りつつ砥石軸ユニット１６が傾動する。この操作によって、砥石軸ユニット１６の配置状態を調整し、一対の回転砥石１４の平行度ひいては一対の研削面１４ａの間隔を調整できる。調整ボルト１３４が緩められていても、砥石軸ユニット１６はバネ１３２によって矢印Ａ方向に弾発されているので、自重で滑ることなく砥石軸ユニット１６ひいては回転砥石１４の傾きを容易に調整できる。
【００４２】
上述のように、略円筒形をした砥石軸ユニット１６を箱型構造のフレーム１２の中心に配置し、側部３０，３２およびング状部材１２４，１２６によって全体的に砥石軸ユニット１６を包むように保持することによって、安定性および剛性の高い砥石軸ユニット１６の支持構造が得られる。
【００４３】
図２および図４に戻って、フレーム１２の前部２０の前面にはテーブル１３６が取り付けられる。
テーブル１３６上にはキャリア駆動ユニット１３８が配置される。キャリア駆動ユニット１３８には、開口部４６から研削室３８内に突入するようにロータリーキャリア１４０が取り付けられる。
【００４４】
図１０を参照して、ロータリーキャリア１４０には、主面を貫通する複数（ここでは１２個）のワークポケット１４２が略等角度間隔で環状に設けられ、各ワークポケット１４２にワークＷが配置される。
被加工物であるワークＷとしては、たとえば、セラミックス、高速度工具鋼（ＳＫＨ）、合金工具鋼（ＳＫＳ，ＳＫＤ，ＳＫＴ）、高炭素−高クロム軸受鋼（ＳＵＪ）等が用いられる。
【００４５】
図３に示すように、背部２２には、２つのモータ１４４が取り付けられる。各モータ１４４の回転軸にはプーリ１４６が取り付けられる。
プーリ１４６はベルト１４８によって砥石軸ユニット１６のプーリ７４に連結される。モータ１４４を駆動しプーリ１４６を回転させることで、ベルト１４８を介してプーリ７４が回転する。これによって、砥石軸ユニット１６の砥石軸６２に取り付けられる回転砥石１４が回転する。
【００４６】
また、背部２２には２つのサーボモータ１５０が取り付けられる。各サーボモータ１５０の回転軸は背部２２に設けられる貫通孔５０（図５参照）を挿通し、収容室４０内において図示しないカップリングを介して砥石軸ユニット１６のウォームシャフト８６と接続される。
【００４７】
さらに、背部２２には、開口部４８（図５参照）に嵌合してドレス装置１５２が配置される。ドレス装置１５２は、一対の回転砥石１４の対向する一対の研削面１４ａに平面修正（ツルーイング）および清掃目立て処理（ドレッシング）を施すドレス部１５４とドレス部１５４を移動させるアーム１５６とを含む。
【００４８】
また、フレーム１２の研削室３８の天井には開口部５２を覆うカバー１５８が開閉可能に取り付けられる。回転砥石１４の交換等を研削室３８内で行うメンテナンス作業はカバー１５８を開けて開口部５２から行われる。
【００４９】
このような両頭平面研削盤１０では、各サーボモータ１５０を駆動することによって各ウォームシャフト８６を回転させ、所望の平行度に調整された一対の回転砥石１４をそれぞれ矢印Ａ方向に移動させる。これによって、対向する研削面１４ａの間隔がワークＷの幅寸法に対応するように調整される。
【００５０】
そして、各モータ１４４を駆動して一対の回転砥石１４を回転させつつ、キャリア駆動ユニット１３８によってロータリーキャリア１４０を矢印Ｒ方向（図４参照）に回転させる。これによって、各ワークポケット１４２に配置されるワークＷが研削室３８内の対向する一対の研削面１４ａ間に順次搬入され、ワークＷの両端面に研削加工が施される。研削加工の際には、一対の回転砥石１４およびワークＷに各砥石軸６２の通路１２０を通して研削液が供給される。
【００５１】
ロータリーキャリア１４０の回転に伴って研削室３８から搬出される加工済みワークＷは、図示しない排出装置によってワークポケット１４０から排出される。ワークＷの両端面に研削加工を施して得られる製品は、たとえばベアリングの内輪等に用いられる。
【００５２】
また、ドレス部１５４の幅寸法に合わせて間隔が調整された一対の回転砥石１４をそれぞれ回転させつつ、アーム１５６によってドレス部１５４を一対の研削面１４ａ間に配置することによって、一対の研削面１４ａにツルーイングおよびドレッシングが施される。
【００５３】
このような両頭平面研削盤１０によれば、研削加工の際に各回転砥石１４に加えられ各砥石軸ユニット１６に伝えられる研削抵抗を、砥石軸ユニット１６を同心状に支持するリング状部材１２４および１２６によって受け止め、当該リング状部材１２４および１２６を介して一体構造のフレーム１２に伝える。すなわち、回転砥石１４に加えられた研削抵抗は、砥石軸６２からクイルスリーブ６０、ウォームホイル９４に伝わり、さらに軸受９０，９２を介して砥石軸ケース５８の環状球面部６４および環状滑り面８０に伝わり、リング状部材１２４および１２６で受け止められ、フレーム１２に伝わる。
【００５４】
このように砥石軸６２に伝えられる研削抵抗を、砥石軸６２から同心状に外方へ移行させていきリング状部材１２４および１２６によって砥石軸ユニット１６の複数の箇所で周方向から受け止めることで、砥石軸ユニット１６の位置ずれを抑制しつつ、研削抵抗を一体構造の剛性の高いフレーム１２に伝え分散して吸収する。したがって、研削加工の際に一対の砥石軸ユニット１６を安定して保持でき、一対の回転砥石１４の平行度の変化を抑制でき、ワークＷの研削加工を高精度に行うことができる。また、一体構造のフレーム１２を用いることによって、両頭平面研削盤１０の組み立て工程を削減しひいては組み立てコストを抑えることができる。
【００５５】
特に、砥石軸ユニット１６を傾動させて一対の回転砥石１４の平行度を調整した場合であっても、砥石軸ユニット１６に伝えられる研削抵抗を、砥石軸ユニット１６と面で接するリング状部材１２６によって軸方向（研削抵抗と略同方向）に受け止めるとともに同心状にも受け止めることによって、砥石軸ユニット１６の位置ずれを抑制でき、研削加工の際に一対の砥石軸ユニット１６を安定して保持できる。
【００５６】
また、ベッド２８を含んでフレーム１２を一体形成することによって、フレーム１２の剛性をさらに高めることができ、研削加工の際に一対の砥石軸ユニット１６をより安定して保持できる。また、ベッド２８を含んでフレーム１２を一体形成することによって、両頭平面研削盤１０の組み立て工程をさらに削減しひいては組み立てコストを抑えることができる。
【００５７】
さらに、研削室３８の底面５４が多角面状または曲面状に形成されることによって、フレーム１２の剛性をさらに高めることができ、研削加工の際により安定して一対の砥石軸ユニット１６を保持できる。
【００５８】
また、研削室３８の多角面状または曲面状に形成される底面５４を凹状に形成し当該底面５４を排水溝に兼用することによって、排水溝近傍の構造の剛性を上げることができる。したがって、研削熱による当該構造の変形を防止でき、高い研削精度を確保できる。
【００５９】
さらに、フレーム１２を鋳造によって得ることで、フレーム１２を容易に製造でき、フレーム１２の製造コストひいては両頭平面研削盤１０のコストを抑えることができる。
【００６０】
なお、上述の実施形態では、ロータリーキャリア１４０を回転させて研削室３８にワークＷを搬入する、いわゆるロータリーキャリア研削方式を用いる場合について説明したが、この発明はいずれの研削方式についても適用できる。たとえば、研削方式として直線的にワークＷを研削室３８に搬入するスルーフィード研削方式を採用してもよい。
【００６１】
図１１に示すように、フレーム２００とベッド２０２とを別部材として構成してもよい。
【００６２】
また、底面５４の形状は、底面５４を平面状に形成する場合よりもフレーム１２の剛性を向上できるならば、断面Ｕ字状や断面Ｖ字状等の任意の形状でよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】この発明の一実施形態を示すＤ−Ｄ（図４）断面図である
【図２】この発明の一実施形態を示す正面図である。
【図３】この発明の一実施形態を示す背面図である。
【図４】この発明の一実施形態を示す側面図である。
【図５】フレームを示す断面図である。
【図６】フレームを示す側面図である。
【図７】フレームを示すＢ−Ｂ（図５）断面図である。
【図８】フレームを示すＣ−Ｃ（図５）断面図である。
【図９】砥石軸ユニットを示す断面図である。
【図１０】ロータリーキャリアの一例を示す図解図である。
【図１１】フレームのその他の例を示す断面図である。
【図１２】従来技術を示す図解図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０      両頭平面研削盤
１２，２００      フレーム
１４      回転砥石
１６      砥石軸ユニット
２０      前部
２２      背部
２８，２０２      ベッド
３０，３２      側部
３４，３７，５０      貫通孔
３８      研削室
５４      研削室の底面
６４      環状球面部
８０，１２８      環状滑り面
１２４，１２６      リング状部材
【図１】
0004005588.tif 000002
【図２】
0004005588.tif 000003
【図３】
0004005588.tif 000004
【図４】
0004005588.tif 000005
【図５】
0004005588.tif 000006
【図６】
0004005588.tif 000007
【図７】
0004005588.tif 000008
【図８】
0004005588.tif 000009
【図９】
0004005588.tif 000010
【図１０】
0004005588.tif 000011
【図１１】
0004005588.tif 000012
【図１２】
0004005588.tif 000013