(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の搬送台車が走行する閉ループ状の搬送軌道に、複数のステーションを配置した搬送システムにおいて、ステーションの位置で連続した搬送命令の累積により空車通過率が低下し、空車通過率が所定の設定値を下回った場合、次に周回してきた空車に対して、当該ステーションの位置での作業を指示せず、強制的に通過させることにより各ステーションでの空車通過率がほぼ均等になるように搬送台車を走行させ、搬送命令の実行待ちの周回空車を前記搬送軌道上にほぼ均等に分散させることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐合流機構を介して接続し、該分岐合流機構に、閉ループ状の搬送軌道を周回する空車台数が均等となるように空車の分岐走行を制御して各搬送軌道のステーションの空車通過率を調整する制御機構を設けたことを特徴とする請求項１記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、搬送システムに関し、特に、半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等で、複数の搬送台車を用いて自動搬送される搬送システムにおいて、各ステーションの空車通過率を均等とすることにより、搬送命令の実行待ちの周回空車を閉ループ搬送軌道上に均等に分散させて、搬送命令の不均等な割付けを解消できるようにした搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等では、部品又は製品などの被搬送物を、予め定めた搬送ルートに沿って自動走行する搬送台車の複数台を用いて搬送元のステーションから搬送先のステーションへ自動搬送するようにしている。
従来の搬送システムの構成を図３に示す。
図３において、被搬送物の積載状態にある搬送台車（以下、本明細書で「実車」という。）は、搬送命令に従い、目的地である搬送先ステーションまで走行する。被搬送物が積載されていない搬送台車（以下、本明細書で「空車」という。）は、実車の走行の妨げにならないように、また、搬送命令のサービスのため、閉ループの搬送軌道上を周回走行するように構成している。
【０００３】
そして、その制御は図４に示すように、被搬送物の搬送命令は、各ステーション別に生成され、搬送命令の実行及びキューイング（ＱＵＥＵＥ：バッファと同様に、これから実行されるべき命令群を、前の命令の処理が終わってプロセッサが次の命令を受ける準備が整うまで一時的に保管しておく待ち行列の搬送台車割付け待ち行列をいう。）も各ステーション毎に行われ、ステーションでの積出し命令は、制御単位内に入ってきた空車に対して積み命令を割付ける。
また、ステーションでの卸し命令は、制御単位内で該当被搬送物を積載している実車に対して卸し命令を割付ける。
いずれの命令を割付けにも搬送台車への命令割付け順は、制御単位内の先頭にある搬送台車からなされるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の搬送システムにおいては、生産変動等により、同一の搬送命令が集中するような割り付けを行う場合が生じることがある。このような搬送条件の基では、
(1) 特定の搬送元あるいは搬送先ステーションにおいて搬送台車が連続して停止し渋滞が発生する。
(2) 特定の搬送命令の経路に位置するステーションヘの空車の配車が減少し、サービス待ち時間が増大する。
(3) 複数の閉ループ形の搬送軌道のレイアウトにおいては、搬送命令の偏在により、特定のループに搬送台車が集中する。
などの問題点があった。
【０００５】
さらに、搬送台車制御単位内に存在する搬送台車に対して、搬送台車の渋滞発生を低減する搬送台車割付制御を実施するためには、搬送台車コントローラに上記ロジックを組込む必要がある。
また、各ステーション間における搬送命令の不均等な割付けを低減するには、搬送台車制御単位の拡張や他の単位との共有等により効率の向上は見込まれるが、対処方法のロジックは煩雑で、現状では具現化することが困難である。
さらに、大規模ラインに対しては搬送台車コントローラの負荷はマトリックス的に増大してしまうという問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の搬送システムの有する問題点を解決し、各ステーションの空車通過率を均等とし、これにより搬送命令の実行待ちである周回空車を閉ループ搬送軌道上に均等に分散させて、搬送命令の不均等な割付けを解消することができる搬送システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の搬送システムは、複数の搬送台車が走行する閉ループ状の搬送軌道に、複数のステーションを配置した搬送システムにおいて、ステーションの位置で連続した搬送命令の累積により空車通過率が低下し、空車通過率が所定の設定値を下回った場合、次に周回してきた空車に対して、当該ステーションの位置での作業を指示せず、強制的に通過させることにより各ステーションでの空車通過率がほぼ均等になるように搬送台車を走行させ、搬送命令の実行待ちの周回空車を前記搬送軌道上にほぼ均等に分散させることを特徴とする。
なお、ここでいう空車通過率とは、ステーションを通過する実車に対する空車の比率をいう。
【０００８】
上記の構成からなる本発明の搬送システムは、各ステーションの空車通過率をほぼ均等とすることで、搬送命令の実行待ちである周回空車を閉ループ状搬送軌道上にほぼ均等に分散させることができ、これにより搬送命令の不均等な割付けを解消することが可能となる。
【０００９】
この場合、複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐合流機構を介して接続した場合は、該分岐合流機構に、閉ループ状の搬送軌道を周回する空車台数が均等となるように空車の分岐走行を制御して各搬送軌道のステーションの空車通過率を調整する制御機構を設けることもできる。
【００１０】
これにより、分岐合流機構で空車の分岐走行を制御するだけで、周回空車を複数の搬送軌道上にそれぞれ均等に分散させることができ、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送命令の均等割付けが可能となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送システムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１は、本発明の搬送システムの概略を示す平面図である。
図において１は閉ループ状に形成した搬送路の全体を構成する搬送軌道であり、この搬送軌道１は、２つの閉ループ搬送軌道１１，１２を分岐合流機構４ａ，４ｂを介して接続したものからなる。
分岐合流機構４ａ，４ｂは、搬送軌道１１，１２を走行する搬送台車３Ａ，３Ｂの分岐と合流を行うものであり、この分岐合流機構４ａ，４ｂによって、搬送台車３Ａ，３Ｂは搬送軌道１１または１２に相互に乗り入れが可能となっている。
また、これらの搬送軌道１１，１２には、軌道に沿って任意の位置、或いは予め定めた位置に複数のステーション２がそれぞれ配設されている。
なお、図示の搬送軌道１は一例であり、例えば閉ループ状の搬送軌道が１つで分岐合流機構がない場合もある。また、搬送軌道１の形態は、工場等の形状、搬送順路等により変更され、分岐合流機構４ａ，４ｂを３以上配置することもある。
【００１３】
上記搬送軌道１１，１２には、同方向（この例では時計回りの方向）に走行する自走式の搬送台車３Ａ，３Ｂが複数台配車されており、各搬送台車３Ａ，３Ｂはそれぞれ搬送指令に基づいて独自で搬送する。
これらの搬送台車は、被搬送物の積載状態にある搬送台車を実車３Ａとし、また被搬送物が積載されていない搬送台車を空車３Ｂとする。
【００１４】
ところで、図１に示すレイアウトにおいて、走行している搬送台車に対し、連続した搬送命令、例えばステーションａ位置にて被搬送物を積み込んでステーションｂ位置まで搬送するという搬送命令が連続して発生したとする。
この場合、搬送命令が発生したステーションａ位置から時計回りでステーションｂ位置までの搬送軌道１を系１とし、また同様に時計回りでステーションｂ位置からステーションａ位置までまでの搬送軌道１を系２として区画するとすれば、搬送軌道１を周回走行する搬送台車の中で系１の最も近くを走行する空車３Ｂに対して、ステーションａ位置にて被搬送物を積み込むように搬送命令が順次割付けられる。
搬送命令が割り付けられた空車３Ｂは、ステーションａ位置にて被搬送物を積み込んだ後、順次実車３Ａとなって系１を走行するようになるので、搬送軌道の系１においては空車が減少することになる。
また、上記のような搬送命令が連続した場合は、通常、空車３Ｂは分岐合流機構４ａにて搬送軌道１をショートカットするように分岐し、搬送軌道１１に集中して、もう一方の搬送軌道１２を走行する空車が減少するという状況になる。
【００１５】
一方、各ステーションでの空車通過率を定義する。例えば、ステーションａ位置で被搬送物を積み込む作業をした搬送台車（実車と見なす）の数と、このステーションａでの実車通過数の和に対してのステーションａ位置での空車通過数の比率として算出する。なお、この場合、ステーションａで卸し作業をした搬送台車は空車と見なす。
前記したようにステーションａで搬送命令が連続して発生した場合、このステーションａ位置の空車通過率は極端に低い状況にある。この様な状況に対して、本発明では、個々のステーション２に対して空車通過率を均等にするようにする。
【００１６】
この空車通過率の均等化は、各ステーション２に設けた制御機構（図示省略）が、図２に示す制御フローチャートに基づいて行う。
具体的には、ステーションａ位置では、連続した搬送命令の累積により空車通過率が低下していく。そしてある設定値を下回った場合、次の周回する空車３Ｂに対してはステーションａ位置での作業を指示せず、強制的に通過させる。これにより系１を周回する空車３Ｂが増やされることになる。
【００１７】
同様に、閉ループ搬送軌道１１、閉ループ搬送軌道１２においても、閉ループ搬送軌道１１と閉ループ搬送軌道１２を周回する空車台数が均等となるように、分岐合流機構４ａ，４ｂに設けた制御機構（図示省略）が、空車３Ｂの分岐走行を制御して各搬送軌道１１，１２のステーション２の空車通過率を調整することにより、搬送軌道１のレイアウト内のサービスを均等とすることができる。
【００１８】
【発明の効果】
本発明の搬送システムによれば、各ステーションの空車通過率を均等化することで、搬送命令の実行待ちである周回空車を閉ループ状搬送軌道上にほぼ均等に分散させることができ、これにより搬送命令の不均等な割付けを解消することが可能である。
【００１９】
また、複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐合流機構を介して接続した場合は、分岐合流機構に、閉ループ状の搬送軌道を周回する空車台数が均等となるように空車の分岐走行を制御して各搬送軌道のステーションの空車通過率を調整する制御機構を設けることも可能であり、これにより、分岐合流機構で空車の分岐走行を制御するだけで、周回空車を複数の搬送軌道上にそれぞれ均等に分散させることができ、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送命令の均等割付けを行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の搬送システムの一実施例を示す説明図である。
【図２】  本発明の搬送システムの制御フローチャートである。
【図３】  従来の搬送システムを示す説明図である。
【図４】  従来の搬送システムの制御構成図である。
【符号の説明】
１    搬送軌道
２    ステーション
３Ａ  実車
３Ｂ  空車
４ａ，４ｂ  分岐合流機構
１１  搬送軌道
１２  搬送軌道
ａ  積み込み指令を受けたステーション
ｂ  卸し指令を受けたステーション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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