(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハキャリアが前側を開口した容器本体、及び該容器本体の開口にロック機構を介し着脱されるドアからなり、クリーンルームで前記ロック機構を解除し前記ドアを前記容器本体から分離して洗浄機にそれぞれ保持して液洗処理した後、前記ドアを前記容器本体に前記ロック機構を介し装着して所定箇所へ搬送可能にする洗浄設備において、
前記クリーンルームは、前記ウエハキャリアを回転可能に保持するローダー兼アンローダー部と、前記ローダー兼アンローダー部と対向配置された前記洗浄機と、前記ローダー兼アンローダー部と前記洗浄機との間に設置された４軸以上を持つロボットとを備え、
前記ロボットは、前記容器本体の上面に設けられた把持部を着脱する挟持機構からなる容器本体用第１ハンド部と、前記ドアのロック穴に差し込んで前記ロック機構を解除したりロックするドア開閉機構及び前記ドアを保持する保持機構からなるドア用第２ハンド部とを有し、
前記ローダー兼アンローダー部で前記容器本体に対し前記第２ハンドル部により前記ドアを分離したり装着可能であると共に、前記容器本体及びドアを同時に前記ローダー兼アンローダー部と前記洗浄機との間を移送することを特徴とするウエハキャリア自動洗浄設備。
【請求項２】
前記第２ハンド部が内部空洞の保持板を有し、前記ドア開閉機構が前記保持板内に揺動可能に配置されたピストンと、前記ピストンの伸縮ロッドに一端を枢支し、他端にキー部材を突設したリンクとで構成されて、前記キー部材を保持板の貫通孔から突出し前記伸縮ロッド及び前記リンクを介しロック位置と解除位置とに回動切り換える請求項１に記載のウエハキャリア自動洗浄設備。
【請求項３】
前記洗浄機は２個のウエハキャリアを同時に処理可能であり、前記ローダー兼アンローダー部は少なくとも４個のウエハキャリアを保持可能である請求項１又は２に記載のウエハキャリア自動洗浄設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等（以下、ウエハと総称する）の製造において、多数のウエハを収納して搬送したり保管等するために用いられるウエハキャリアの自動洗浄設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウエハ製造では、対象ウエハがウエハキャリアに収納されて初期工程から順に次工程に搬送されたり必要に応じ保管される。ウエハキャリアは、ウエハの大口径化に伴い大型化され、又、クリーンルームの極小指向によりオープンカセット方式からウエハを外部雰囲気から遮断するフロント・オープニングユニファイドポッド方式に変わりつつある。後者のウエハキャリア１は、ＦＯＵＰと称されており、図７（ｂ）の想像線で示した如く多数のウエハを収納する容器本体２と、容器本体２の前側開口にロック機構を介し着脱されるドア３からなる。容器本体２は上面に設けられた把持部４を有し、ドア３で密封された状態で把持部４等を利用して自動搬送可能になっている。ドア３は、ロック機構を構成しているロック穴５及びロックバー３ａを有し、２箇所のロック穴５に専用キーを差し込んで回動操作されることにより容器本体２にロックバー３を介し着脱される。洗浄機６は、クリーンルームに設置されており、２個のウエハキャリア１を同時に液洗浄・乾燥する構造である。即ち、洗浄作業では、ウエハキャリア１が容器本体２及びドア３に分離された後、洗浄機６の槽内左右に設けられた定位置つまり２箇所の本体保持部８ａ，８ｂとドア保持部９ａ，９ｂとにセットされ、上カバー７を閉じた状態で不図示のノズルから洗浄液を噴射して液洗浄し、又、乾燥処理される。洗浄処理後は、上カバー７を開けて各容器本体２及びドア３を取り出すと共にドア３を容器本体２に装着し、元の密閉されたウエハキャリア１としてクリーンルームから所定工程に搬送される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように、従来構造では、洗浄機６を配置しているクリーンルームにおいて、作業者が対象ウエハキャリア１について容器本体２からドア３を分離したり、洗浄機６に出し入れしたり、再びドア３を容器本体２に装着操作していたため、実際に洗浄している時間に比してハンドリングに要する作業時間が長くなって全体の処理時間を短縮し難く、又、手作業に起因した汚染の虞もあった。本出願人らは、このような背景からウエハキャリア（ＦＯＵＰ）の洗浄について無人化を図る上で、より迅速なハンドリングを可能にすべく検討を重ねてきた結果、本発明を完成するに至った。即ち、本発明の目的は、ウエハキャリア（ＦＯＵＰ）の洗浄を自動化する場合、特にクリーンルームの一層の極小化を達成しながら最良なハンドリング性を実現して、洗浄作業効率を向上し経費節減を図ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のウエハキャリア自動洗浄設備は、図面に例示される如く、ウエハキャリア１が前側を開口した容器本体２、及び該容器本体２の開口にロック機構（ドア側のロックバー３ａ）を介し着脱されるドア３からなり、クリーンルームＣ・Ｒで前記ロック機構を解除し前記ドア３を前記容器本体２から分離して洗浄機６にそれぞれ保持して液洗処理した後、前記ドア３を前記容器本体２に前記ロック機構を介し装着して所定箇所へ搬送可能にする洗浄設備において、前記クリーンルームＣ・Ｒは、前記ウエハキャリア１を回転可能に保持するローダー兼アンローダー部１０と、前記ローダー兼アンローダー部１０と対向配置された前記洗浄機６と、前記ローダー兼アンローダー部１０と前記洗浄機６との間に設置された４軸以上（駆動軸が４軸以上のこと）を持つロボット２０とを備え、前記ロボット２０は、前記容器本体２の上面に設けられた把持部４を着脱する挟持機構からなる容器本体用第１ハンド部２３と、前記ドア３のロック穴５に差し込んで前記ロック機構を解除したりロックするドア開閉機構及び前記ドア３を保持する保持機構からなるドア用第２ハンド部３０とを有し、前記ローダー兼アンローダー部１０で前記容器本体２に対し前記ドア３を分離したり装着可能であると共に、前記容器本体２及びドア３（つまり分離された容器本体とドア）を同時に前記ローダー兼アンローダー部１０と前記洗浄機６との間を移送することを特徴としている。
【０００５】
以上の自動洗浄設備において、洗浄するウエハキャリア１は、容器本体２にドア３を装着した状態でローダー兼アンローダー部１０（保持テーブル１１Ａ〜１１Ｄのうち、２箇所）に対し回転可能に保持される。ロボット２０は、ローダー兼アンローダー部１０上に保持されているウエハキャリア１について、形態例の如く、第２ハンド部３０によりドア３のロック機構を解除して容器本体２からドアを分離して保持した後、第１ハンド部２３により容器本体２を保持して、ドア及び容器本体を同時に洗浄機６の槽内定位置（図７の本体保持部８ａ，８ｂとドア保持部９ａ，９ｂ）まで移送し、容器本体３を本体保持部にセットしドア３を保持部にセットする。そして、洗浄機６は従来と同様に自動的に洗浄処理を行う。洗浄後は、ロボット２０が洗浄機６の槽内から第２ハンド部３０でドア３を保持し第１ハンド部２３で容器本体２を保持した後、ドア及び容器本体を同時にローダー兼アンローダー部１０に移送し、容器本体をローダー兼アンローダー部の所定位置（保持テーブル１１Ａ〜１１Ｄのうち、空いている箇所）に回転可能に保持した後、ドア３を容器本体２にロック機構を介し装着する。従って、本発明では、洗浄工程で行われるハンドリングに要する時間を大幅に短縮できる。これは、ロボット２０の第１，第２ハンド部２３，３０により、ドア３を容器本体２から分離すること、ドア及び容器本体を同時に洗浄機まで移送しセットすること、洗浄後にドア及び容器本体を同時にローダー兼アンローダー部に移送し容器本体を保持したりドアを装着するようにしたためである。
【０００６】
また、以上の本発明は、第１ハンド部２３は前記容器本体２の上面に設けられた把持部４を着脱可能な挟持機構（２４，２６）からなり、第２ハンド部３０はドア３のロック穴５に差し込んで前記ロック機構を解除したりロックするドア開閉機構（３５，３６，４０）及びドア３を保持する保持機構（３３等）からなり、特に、第２ハンド部３０がドア開閉機構を有して、ドア３のロック機構（ロック機構を構成しているドア側のロックバー３ａ）を解除したりロック可能になっていることから、ドアのロック解除及びロックを含めて自動化でき、又、洗浄機６のドア保持部９ａ，９ｂとしてドア３と容器本体２との間のロック機構と同じ構成を採用するだけでドアを洗浄機側へ保持（ロック機構で保持）し簡易化できる利点がある。また、上記本発明は請求項２と３の如く具体化することが好ましい。
第１に、前記第２ハンド部３０が内部空洞の保持板３１を有し、前記ドア開閉機構が前記保持板内に揺動可能に配置されたピストン３６と、前記ピストンの伸縮ロッド３８に一端を枢支し、他端にキー部材３５を突設したリンク４０とで構成されて、前記キー部材５を保持板３１の貫通孔から突出し、前記伸縮ロッド３８及び前記リンク４０を介しロック位置と解除位置とに回動切り換える構成である。これは、ドアと容器本体との間のロック機構がキー部材を回動するタイプにおいて、ドア開閉機構としてピストン３６及びリング４０を利用することにより、第２ハンド部を小型化し易い点に着目し工夫されたものである。
第２に、前記洗浄機６は２個のウエハキャリア１を同時に処理可能であり、前記ローダー兼アンローダー部１０は少なくとも４個のウエハキャリアを保持可能である構成である。これは、本発明の自動洗浄設備をユニット化の観点から、前記ローダー兼アンローダー部１０が洗浄機６の処理能力に合わせて設計される点を確認的に特定したことに意義がある。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明を図面を参照して更に説明する。図１は本発明を適用した自動洗浄設備の全体構成を模式的に示し、同（ａ）は上から見た模式図、同（ｂ）は側面から見た模式図である。図２はロボットのハンドを模式的に示し、同（ａ）は側面図、同（ｂ）は（ａ）を上から見た図、同（ｃ）は（ａ）を下から見た図である。図３はロボットのハンドにドア及び容器本体を保持した状態を模式的に示し、同（ａ）は側面図、同（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿って示す第１ハンド部の作動図である。図４は第２ハンド部を示し、同（ａ）は保持板の一部を破断した構成図、同（ｂ）は要部を示す拡大断面図、同（ｃ）と（ｄ）はドア開閉機構の作動を示す図である。図５と図６は洗浄工程で行われるハンドリング例を上から見た状態で模式的に示している。なお、形態例において、洗浄機及びウエハキャリアは図７と同じタイプのものを想定している。以下の説明では、本発明の自動洗浄設備を基本作動と共に説明した後、洗浄工程で行われるハンドリングの細部に言及する。
【０００８】
（洗浄設備）形態例の自動洗浄設備は、図１に示される如くクリーンルームＣ・Ｒ内にあって、ローダー兼アンローダー部１０と洗浄機６とが対向した状態に設置され、又、ローダー兼アンローダー部１０と洗浄機６との間にロボット２０が設置されている。ローダー兼アンローダー部１０は、下側に設けられた３個の保持テーブル１１Ａ〜１１Ｃと、上側に設けられた１個の保持テーブル１１Ｄとを備え、ウエハキャリア１が自動搬送機により不図示のロード・ポートを通じて送られてきたときに適位置の保持テーブル上に位置決め保持したり、洗浄後のウエハキャリア１（容器本体２にドア３を装着したもの）を保持してロードポートを通じてクリーンルーム１０外へ搬送する箇所である。保持テーブル１１Ａ〜１１Ｄ（１１）は、容器本体２を位置決めして保持可能であり、又、回転機構により任意の角度に回動される。なお、この形態では、クリーンルームＣ・Ｒが（縦）２０００ｍｍ×（横）３０００ｍｍ×（高さ）２８００ｍｍ程度に極小化されている関係で、保持テーブル１１Ｄが保持テーブル１１Ａ〜１１Ｃより一段高い箇所に配設されている。符号１３は、クリーンルームＣ・Ｒの天井１４に設置された空調設備である。
【０００９】
洗浄機６は、２個のウエハキャリア１（つまり分離された２個の容器本体２と２個のドア３と）を同時に洗浄処理できるタイプであり、槽内が左右の洗浄部６ａ，６ｂに区画されている。各洗浄部６ａ，６ｂには、容器本体２を位置決め保持可能な本体保持部８ａ，８ｂと、ドア１を位置決め保持可能なドア保持部９ａ，９ｂとが設けられ、本体保持部８ａ，８ｂやドア保持部９ａ，９ｂに対応して不図示の複数の液噴射ノズルや乾燥用の熱風噴射手段等が付設されている。また、ドア保持部９ａ，９ｂは、ドア３を容器本体２にロック機構を介し装着すると同様なロック機構でドア３を着脱する構造となっている。なお、この洗浄機６としては、２個のウエハキャリア１を自動的に処理可能であればよく、洗浄処理機構自体は特開２００１−９２９号等のものであっても差し支えない。ウエハキャリア１は、例えば、ウエハが直径３００ｍｍで、２５枚収納するタイプである。
【００１０】
ロボット２０は、クリーンルームＣ・Ｒの略中央部に設置されており、ロボットハンド２１が第１ハンド部２３及び第２ハンド部３０を有している。ロボット本体自体は、例えば、（株）安川電気製のクリーンロボット（ＹＲ−ＣＲ２０−Ａ００）等が用いられる。主動作は、クリーンルームＣ・Ｒの極小化の観点から、作動軸として５軸以上持つものが好ましい。図１の構造では、垂直多関節形の６軸構成であり、作動範囲として、Ｓ軸が旋回（±１８０°）、Ｌ軸が下腕（＋１２０°、−９０°）、Ｕ軸が上腕（＋９０°、−８０°）、Ｒ軸が手首旋回（±１６５°）、Ｂ軸が手首振り（＋２３０°、−５０°）、Ｔ軸が手首回転（±３６０°）となっている。そして、先端のＴ軸には、ロボットハンド２１として、第１ハンド部２３と第２ハンド部３０とが装着されている。
【００１１】
第１ハンド部２３は、図２と図３に示される如く容器本体２の上面に設けられた把持部４を着脱可能な挟持機構からなる。即ち、この構造では、Ｔ軸に連結されるベース部２２に一対の挟持板２４を揺動可能に連結し、両挟持板２４をピストン２６により離接する構成である。各挟持板２４は、対向側面がコ形溝２４ａに形成されていると共に、基端側がボルトとナット等からなる枢軸２５を介しベース部２２に枢支されている。ピストン２６は、両挟持板２４の基端側に配置された状態で、シリンダー２７が一方の挟持板２４に取付部材２９ａを介し軸支され、伸縮ロッド２８の先端が他方の挟持板２４に取付部材２９ｂを介し軸支されている。従って、以上の第１ハンド部２３は、図２（ａ）の状態で第２ハンド部３０の真下に位置しており、両挟持部２４が図３（ｂ）の実線で示す如くピストン２６を介し間を離間した非平行状態（以下、非保持状態という）で、容器本体２に向かって下降され、容器本体２の上面に突設されている矩形状の把持部４を間に位置した後、ピストン２６を介し想像線で示す如く略平行に動かされることにより、把持部４を両側のコ形溝２４ａ内に嵌合した状態で挟み込む（以下、保持状態という）。第１ハンド部２３に保持された容器本体２は、ピストン２６を制御することにより保持が解放され、又、上記した保持テーブル１１Ａ〜１１Ｄや本体保持部８ａ，８ｂに対し上下動されることにより着脱されるようになっている。但し、このような挟持機構としては、両挟持板２４をユニット化されたピストン機構により平行に離接駆動して、把持部４を着脱することも可能である。
【００１２】
第２ハンド部３０は、図２〜図４に示される如く容器本体２（及びドア保持部９ａ，９ｂ）にドア３をロックしたりロック解除するドア開閉機構及びドア３を保持するドア保持機構が保持板３１に組み付けられていると共に、保持板３１がベース部３２を介しロボット２０のＴ軸に連結されている。ここで、保持板３１はドア３よりも若干小さな内部空洞の平板状をなしている。上面には、４個の吸盤３３と、中間部にあって左右に突出された２個のキー部材３５とが設けられている。このうち、吸盤３３はドア保持機構を構成し、中心部が管形の給排気部３４となっている。給排気部３４は、保持板３１内に突出され、ベース部３２から保持板３１内に導入配置された不図示の気体給排気ホースが接続されている。そして、この構造では、容器本体２から分離されたドア３が次のドア開閉機構と共に対角線上にある２個の吸盤３３により吸引保持される。つまり、ドア３の外面には左右のキー穴５と共に、２個の穴が対角線上に設けられている。各吸盤３３は、そのドア３の穴に対応して設けられ、又、ウエハキャリア１が異なる向きに配置されても常に２個の吸盤３３が前記穴に重なるよう設計されている。
【００１３】
各キー部材３５は、ドア３の対応するキー穴５に挿入されて回転されることにより容器本体２に対するドア３のロック機構を解除したりロックするドア開閉機構を構成している。この駆動機構は、図４の如くピストン３６及びリンク４０を組としたものである。即ち、各ピストン３６は、保持板３１内にあって左右方向に配置されて、シリンダー３７が後端で取付部材３９を介し揺動可能に軸支されている。伸縮ロッド３８には、先端に治具３８ａが結合され、該治具３８ａにリンク４０の一端が接続ピン４１を介し回動可能に連結されている。リンク４０の他端にはキー部材３５が突設され、該キー部材３５が保持板３１及び補助ベース部３１ａに設けられた貫通孔３１ｂから外へ突出されている。即ち、この構造では、保持板３１に対しシリンダー３７及びキー部材３５の位置が規制されているため、図４（ｃ）の如く伸縮ロッド３８が縮んだ状態から同（ｄ）の如く伸びた状態に切り換えられる過程で、シリンダー３７が揺動しながらリンク４０を動かし、キー部材３５を図４（ｃ）の解除位置から同（ｄ）のロック位置に切り換える。また、シリンダー３７の伸縮ロッド３８が縮むよう作動制御されると、キー部材３５が伸縮ロッド３８及びリンク４０の動きによりロック位置から解除位置に切り換えられる。このようなドア開閉機構は、モータ及びギア等の駆動機構を応用する方法も可能であるが、形態例の方法だと簡易であると共に保持板３１の厚さを抑えることができる点で優れている。
【００１４】
（ハンドリング例）以上述べた本発明の自動洗浄装置の稼動例について説明する。図５，図６はローダー兼アンローダー部１０上のウエハキャリア１を洗浄機６の各洗浄部６ａ，６ｂにセットする例である。ローダー兼アンローダー部１０には、不図示のＡＧＶ（自動搬送機）により２箇所の保持テーブル１１にウエハキャリア１が保持されているとする。図５において、このハンドリングでは、まず、保持テーブル１１が初期の（ａ）から（ｂ）状態に時計回りに９０度回転される。同時に、ロボット２０が駆動されて、ロボットハンド２１の第２ハンド部３０がドア３と対向配置される。ロボットハンド２１がドア３に接近されると、キー部材３５がドア３のキー穴７（図７参照）に挿入される。そして、ドア３は、上記した吸盤３４を介し保持板３１に吸引保持されると共に、上記ピストン３６が作動されてキー部材３５が上記したロック位置から解除位置に切り換えられる。ロボットハンド２１は、ドア３が容器本体２から離れる方向へ動かされた後、ドア３を上にして水平となるよう（ｂ）の矢印方向つまり逆時計回りに９０度だけ旋回される。この旋回により、第１，第２ハンド部２３，３０は水平配置となり、又、保持テーブル１１が（ｂ）の状態から（ｃ）の状態まで１８０度回転される。次に、第１ハンド部２３は下降されて、非保持状態にある両挟持板２４の間に容器本体２の把持部４を位置させた後、保持状態に切り換えられて（ｄ）の如く把持部４を保持する。この状態では、図３（ａ）の如く上側にドア３が第２ハンド部３０で保持され、下側に容器本体２が第１ハンド部２３で保持されている。次に、ロボットハンド２１が（ｄ）の矢印方向つまり時計回りに９０度だけ旋回されて、容器本体２が前側開口を下にし、ドア３が側面を上にした（ｅ）の状態に切り換えられる。その後、ロボットハンド２１は洗浄機６の洗浄部６ａへ旋回移動されて、容器本体２が左側の本体保持部８ａに保持され、又、ドア３がドア保持部９ａに保持される。なお、洗浄機６の本体保持部８ａ，８ｂに対する容器本体２の保持機構、ドア保持部９ａ，９ｂに対するドア３の上記したロックバー３ａによる保持機構自体は従来と同じ。但し、この構造において、容器本体２は、第１ハンド部２３に保持されており本体保持部８ａに対しロボットハンド２１の下方向の動き及び第１ハンド部２３の非保持状態への切り換えにより設置保持される。ドア３は、第２ハンド部３０に保持されておりドア保持部９ａに対しロボットハンド２１の横方向の動きにより位置決めされ、かつ上記したキー部材３５をロック位置に切り換えることによりドア保持部９ａにロックされ、ロック後、ドア保持機構の吸盤３３による保持が解放され、ロボットハンド２１の動きによりキー部材３５がキー穴５から引き抜かれる。
【００１５】
図６において、このハンドリングは、図５と基本的に同じであるが、次の点が変更される。ドア３の保持に際しては、保持テーブル１１が初期の（ａ）から前記とは逆方向である（ｂ）状態に９０度回転（逆時計回りに回転）される。同時に、ロボット２０が駆動されて、ロボットハンド２１の第２ハンド部３０がドア３と対向配置される。ロボットハンド２１がドア３に接近されると、キー部材３５がドア３のキー穴５に挿入され、前記と同様にロック位置から解除位置に切り換えられる。第２ハンド部３０は、ドア３が容器本体２から離れる方向へ動かされた後、前記とは逆の（ｂ）の矢印方向（時計回り）へ９０度だけ旋回される。そして、第１ハンド部２３は下降されて、前記と同様に両挟持板２４の間に把持部４を（ｄ）の如く保持する。次に、ロボットハンド２１が前記とは逆である（ｄ）の矢印方向（逆時計回り）へ９０度だけ旋回されて、容器本体２が前側開口を下にし、ドア３が側面を上にした（ｅ）の状態に切り換えられる。ロボットハンド２１は洗浄機６の洗浄部６ｂへ旋回移動されて、前記と同様に容器本体２が本体保持部８ｂに保持され、又、ドア３がドア保持部９ｂに保持される。このように、両洗浄部６ａ，６ｂに容器本体２及びドア３がそれぞれセットされた後は、洗浄機６の上カバー７が閉じられ、ノズルから洗浄液を噴射して付着物を流し落とし、又、熱風が噴射されて乾燥される。この洗浄処理は約１５〜２５分程度である。
【００１６】
洗浄後は、洗浄部６ａ，６ｂの容器本体２及びドア３が前記セット時のハンドリングと逆の順で、第２ハンド部３０によるドア３の保持、第１ハンド部２３により容器本体２の保持が行われ、ドア３と容器本体２がロボットハンド２１の旋回移動により空いている保持テーブル１１まで移送された後、容器本体２が保持テーブル１１上に保持された後、ドア３が上記したドア開閉機構の作動により容器本体２にロックされて密閉されたウエハキャリア１に組み立てられる。このウエハキャリア１は、不図示のＡＧＶ（自動搬送機）によりローダー兼アンローダー部１０から目的の箇所まで搬送されることになる。
【００１７】
なお、本発明は、上記形態例に制約されるものではなく、請求項１で特定される要件を具備している範囲で種々変更可能なものである。一例としては、ロボット２０としては作動軸又は駆動軸が４軸以上であればよい。これは、目的とするハンドリングを最少スペースのクリーンルームＣ・Ｒで達成するためである。また、洗浄機６が３つの洗浄部を有している場合は、ローダー兼アンローダー部１０の保持テーブル１１が少なくとも６個設置されることになる。つまり、保持テーブル１１の数は洗浄機６の洗浄部の２倍以上で構成される。
【００１８】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明に係るウエハキャリアの自動洗浄設備は、洗浄工程で行われるハンドリングを無人化する場合、ロボットの第１，第２ハンド部によりドアを容器本体からロック解除して分離した後、ドア及び容器本体を同時に洗浄機まで移送しセットしたり、洗浄後にドア及び容器本体を同時にローダー兼アンローダー部に移送したり、ドアを容器本体にロックしてウエハキャリアに組立可能なことから、クリーンルームの一層の極小化を達成しながら最良なハンドリング性を実現でき、洗浄作業効率及び洗浄品質（これは無人化による汚染の虞を解消したことに起因する）を向上できると共に、経費節減も容易に可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明形態として示す自動洗浄設備の模式構成図である。
【図２】  図１のロボットハンドを示す構成図である。
【図３】  上記ロボットハンドの第１，第２ハンド部を示す構成図である。
【図４】  上記第２ハンド部の細部を示す構成図である。
【図５】  上記自動洗浄設備でのハンドリング例を示す模式作動図である。
【図６】  図５と同様にハンドリング例を示す模式作動図である。
【図７】  ウエハキャリア及びその洗浄機を示す模式図である。
【符号の説明】
１…ウエハキャリア
２…容器本体（４は把持部）
３…ドア（５はキー穴）
６…洗浄機（７は上カバー、６ａ，６ｂは洗浄部）
８ａ，８ｂ…本体保持部
９ａ，９ｂ…ドア保持部
１０…ローダー兼アンローダー部（１１，１１Ａ〜１１Ｄは保持テーブル）
２０…ロボット（Ｓ，Ｌ，Ｕ，Ｒ，Ｂ，Ｔは駆動する軸）
２１…ロボットハンド
２３…第１ハンド部（２２はベース部、２４は挟持板、２６はピストン）
３０…第２ハンド部（３１は保持板、３２はベース部）
３３…吸盤（ドア保持機構）
３５…キー部材（ドア開閉機構）
３６…ピストン（ドア開閉機構）
４０…リンク（ドア開閉機構）
Ｃ・Ｒ…クリーンルーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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