(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受圧面を有する振動板の反射部と対向する位置に発光素子と受光素子とを配置し、前記振動板に前記発光素子から光を放射し、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光して前記振動板の位置を検出する音を光を介して電気信号に変換する光音響変換装置における振動板にレーザ光照射によりスリット加工を施してなることを特徴とした光音響変換装置の振動板構造。
【請求項２】
前記スリットがカンチレバー状サスペンションの周辺および振動板の略最大外側部を構成してなることを特徴とした請求項１の振動板構造。
【請求項３】
前記スリットの巾が０．３ｍｍ以下好ましくは０．１ｍｍ以下である請求項１または２の振動板の構造。
【請求項４】
レーザー光により前記スリットを加工を施してなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項５】
前記カンチレバー状サスペンションの幅が前記振動板の中心からの距離に応じて変化することを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項６】
カンチレバー状サスペンションの周辺を構成する前記スリットが所定の曲線、または直線、または直線および曲線の組み合わせからなることを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項７】
前記カンチレバー状サスペンションの所定の箇所に切り欠き部あるいは穴を設けた請求項２から６のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項８】
前記カンチレバー状サスペンションの所定の箇所にコルゲーション等三次元成型を施してなることを請求項２から７のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項９】
前記受圧面が三次元成型されてなることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項１０】
前記反射部、受圧面およびカンチレバー状サスペンションおよび立ち上がり部、貼り代部等からなる装着部が一体成型してなることを特徴とした請求項１から９のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項１１】
前記振動板のカンチレバー状サスペンションの外周部に立ち上がり部が一体成形されている請求項２から８のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項１２】
前記振動板の反射部の外周部に立ち上がり部が一体成形されている請求項２から８のいずれかに記載した振動板の構造。
【請求項１３】
前記受圧面の所望の位置にリブがー体成型されてなることを特徴とした請求項１から１２のいずれかに記載した振動板の構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は音響変換装置に係り、特に発光素子として発光レーザー素子を用いた音響電気変換装置の振動板の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光を用いた音響電気変換装置（以下、光音響変換装置と称する）を図５〜図１１により説明する。従来例の図５に示す音響電気変換装置に用いる振動板７は、例えば厚さ２μｍ程度のアルミニウム箔等を用いて成型加工等を施すことなく平面の膜状で使用している。
【０００３】
従って、発光素子３より発光された光が平面状の振動板７の表面を介して反射され、この反射光を受光素子４により受光する構造となっている。また、反射光が乱れるのを防ぐ目的において、極めて薄い膜状の物質からなる振動板７の平面度を保つには、皺、あるいは弛み等を防がねばならず、そのために、所定の張力を振動板１に加え、皺、及び弛みの発生を防ぎつつ、平面幕状の振動板７を作製しなければならない。
【０００４】
そのために、振動板となる薄膜を張った状態に保ち、この振動板の外周部にリング２を接着等の手段により装着している。すなわち、振動板を構成する薄膜は所定の張力により平面状を保ち、尚且つ振動板の外周部はリング２に固定されている状態となる。そして、リング２が発光素子３および受光素子４を支持するフレーム９に固定される。発光素子３から発射され振動板７で反射されたレーザ光は受光素子４で受光され受光素子４の出力により振動板７の位置が検出される。
従来例における平面状の振動板７には張力が加わったものであるため、振動板７そのもののコンプライアンスが低くなる。つまり、振動板７が通常より硬くなった状態と同様であり、振動板７の振幅巾が通常よりさらに小さくなり、広範囲の周波数を検知するための振幅巾がよりー層少なくなることは明らかである。
【０００５】
前記問題点を解決するため、ウエハー等に金属を所定の厚さ、例えば１μｍ程に真空蒸着により薄膜成形せしめ、このウエハー表面に形成された金属箔の表面にリングを接着した後、この金属箔を接着したリングと共にウエハーより剥離して振動板を得る方法等もあるが、この手法においても、接着面の接着剤、特にリングの内周部に及んだ接着剤が硬化する際に収縮し、振動板に微弱な張力を加えることが判明した。
【０００６】
また、−般的に平面状の振動板を用いた場合、この振動板の有する周波数特性はフラットではなく、その振動板の有する特定周波数により共振しピークを発し、この共振周波数以外の周波数では振動板そのものの振幅巾が狭くなることは周知のところである。従つて、広範囲の周波数を検知するための振幅が得にくいことも明らかであり、この振動板の振動を光により検知してなる光音響変換装置は、再生帯域が狭くなることは当然である。
【０００７】
この欠点を克服する方法として図６に示すように、振動板８の反射部８ａをドーム状に成型し、反射部８ａの外周部にサスペンション部８ｂを形成し、さらにこのサスペンション部８ｂの外側に貼り代部８ｆをー体成型により設け、この貼り代部８ｆをフレーム９に接着する手法を本出願人は既に提案している。図６に示すフレーム９に固定された発光素子３から発射され反射部８ａで反射されたレーザ光はフレーム９に固定された受光素子４で受光され受光素子４の出力により反射部８ａの位置が検出される。
【０００８】
また、さらに大きい振幅巾を得るために本出願は、図７〜図９に示すようななサスペンション部１０ｃを大きく取った振動板１０も作製している。振動板１０の中央にはドーム形状からなる反射部１０ａが設けられている。そして、フレーム９に固定された発光素子３から発射され反射部１０ａで反射されたレーザ光はフレーム９に固定された受光素子４で受光され受光素子４の出力により反射部１０ａの位置が検出される。
【０００９】
このドーム状の反射部１０ａの外周部からさらに４５度の傾斜により斜めの立ち上がり部１０ｂが設けられ、さらにこの立ち上がり部１０ｂの外周から所定の半径で結ばれた合計５箇所のコルゲーションで構成され、同心円状で放射状に広がるサスペンション部１０ｃが設けられている。
【００１０】
さらにこのサスペンション１０ｃの外周部には垂直の立ち上がり部１０ｅが設けられ、さらにこの立ち上がり部１０ｅの外周より外側へ水平に延出した貼り代部１０ｆをー体成形により設けてある。この貼り代部１０ｆがリング２に接着される。なお、図示していないがリング２はフレーム９と一体とされている。
【００１１】
昨今の光音響変換装置は小型化の要求が極めて大きいことは周知のところである。小型化要求に応じると前記ドーム状の反射部およびコルゲーション状のサスペンション等に成形した振動板も直径が小さくならざるを得ない。つまり、必然的に振動板の有するコンプライアンスが低くなる。
【００１２】
同−の音圧を振動板に加えた場合、振動板の面積の二乗に反比例して振幅が小さくなることは本願発明者の実験でも実証されており、当然のことながら前記した振動板の振幅巾が少なくなり、結果として振動板の振動を光により検知してなる光音響変換装置は、この振動板の振幅を検知し難くなることは明らかである。この欠点を克服する方法として、ドーム状に成形した振動板部つまり、反射部１０ａおよびサスペンション部１０ｃ等を一体成型してなる振動板自体の基材を薄くする方法が容易に考えられる。例えば、厚さ４μｍの金属箔、あるいは樹脂フィルム等の厚さを、３μｍあるいは２μｍ等、さらに薄い厚さ金属箔、あるいは樹脂フィルム等に変える手法である。
【００１３】
しかし、この手法はサスペンション部１０ｃの有するコンプライアンスの改善に利点を有する反面、基材が薄くなればなるほど、ドーム状の反射部１０ａが共振を起こしやすい欠点を有している。つまり、板厚が薄いため再生振周波数帯域において分割共振を多発させる性質を有する振動板基材となるものである。従って、この手法は再生帯域での歪みが多くなり、極めて大きな音質劣化をもたらす欠点を有することとなる。
【００１４】
また、振動板の基材である金属箔あるいはフィルム等の厚さを減少させる、つまり薄くするほど振動板の振幅巾が増えることは周知のところである。しかし、薄くなる割合に対して、振動板の振幅巾の増加割合が低いことは本願発明者の実験で確認している。さらに、フィルム成型品が薄くなるほど形態を保つに必要な強度が減少することも周知のところで、生産におけるハンドリングに極めて繊細な作業を要求され、生産性を損なう欠点を有することも明らかである。
【００１５】
従って、成形形状が振幅時に共振しない程度の強度を得る基材の厚さで、しかも所定面積の振動板をより−層大きく振動させるには、振動しやすいように、サスペンション部のみのコンプライアンスがより高い方、つまり、このサスペンション部の有するバネ性を柔らかくする方が好ましいことは明らかである。
【００１６】
特に、フィルム成型を前提とした振動板の作製する場合において、サスペンシヨン部のコンプライアンスを改善するには、サスペンション部を構成している面積を小さくして、このサスペンション部の有するバネ性を柔らかくする方法が、従来一般的な手法として、既に存在している。
【００１７】
例えば、サスペンション部をカンチレバー状に細くし、このカンチレバー状サスペンションにより振動板の反射部を支持する方法等である。本願発明者は一例として、図１０および図１１に示すように振動板１１の一部、図で示すところの斜線部を切除し振動板１１上にカンチレバー状のサスペンション部１１ｃを作成した。
【００１８】
斜線部を切除する前の振動板１１の形状を説明すると、ドーム状の反射部１１ａの外周部からさらに４５度の傾斜により斜めの立ち上がり部１１ｂが設けられ、さらにこの立ち上がり部１１ｂの外周から所定の半径で結ばれた合計５箇所のコルゲーションが構成されて同心円状で放射状に広がるサスペンション部１１ｃが設けられている。
【００１９】
さらにこのサスペンション１１ｃ外周部には垂直の立ち上がり部１１ｅが設けられ、さらにこの立ち上がり部１１ｅの外周より外側へ水平に延出した貼り代部１１ｆを一体成形により設けてある。この貼り代部１１ｆがリング２に接着される。このようにしてカンチレバー状のサスペンション部１１ｃを形成したところ図に示すように振動板１１のドーム状の反射部１１ａの周囲の殆どを切除せざるを得なかった。そして、カンチレバー状のサスペンション部１１ｃの巾寸法も広めにならざるを得なかった。
【００２０】
その理由は、生産性を考慮し、プレスによる抜き加工により振動板の一部を切除するため、抜き金型の形状を考慮したためである。つまり、抜き金型における、パンチとダイの強度を得るため、夫々のパンチ、及びダイの最低限の巾寸法が必要となる。従ってこのような形状にならざるを得ず、カンチレバー状サスペンション１１ｃの形状を得るために、現状での最もー般的なプレス抜きの手法により得られる形状に制限がある欠点が判明した。
【００２１】
さらに、このカンチレバー状のサスペンション１１ｃを有した振動板１１および、抜き金型による切除前の振動板の振幅を測定した。測定方法は、振動板の貼り代部を所定のリング形状を有した振動板装着用の冶具によりクランプし、さらにこの振動板を加振するため、前記冶具に装着した振動板をスピーカの前面に設置し、このスピーカにより設置した振動板に周波数１ＫＨｚにより９４ｄｂの音圧を加え、この状態により加振されている前記振動板の振幅巾をレーザードップラーにより測定するものである。
【００２２】
測定の結果、カンチレバー状のサスペンション１１ｃを設けた振動板のほうがカンチレバ一状サスペンションを設けない振動板よりも若干振幅巾は増えた。数値的に示すと、カンチレバー状のサスペンションを設けない振動板が０．０７６μｍ〜０．１μｍの振幅であるのに対して、カンチレバー状のサスペンション１１ｃを設けた振動板では０．０８μｍ〜０．１２μｍであり、差はわずかで、殆ど効果のないことが判明した。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は前記した従来の光音響変換装置の振動板の有する問題点を解決し、本出願人の提案した振動板の構造をさらに改良発展せしめ、さらに高性能かつ、量産性に適した光音響変換装置の振動板を提供することである。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
問題点き解決するにあたり、カンチレバー状サスペンションの形状を得るにおいて、カンチレバー状サスペンションの形状のみならず、振動板の受圧面積に着目した。つまり、空気の振動を効率よく得るためには、当然のことながら、振動板の受圧面積は大きいほうが好ましい。
【００２５】
しかし、前記従来のように、プレス抜きによりカンチレバー状サスペンション１５を振動板上に設ける方法では、反射部１１ａを除き振動板１１のほとんどを切除せざるを得ない。特に振動板１１の径が小さくなればなるほど、切除比率は大きくならざるを得ない状況下にある。
【００２６】
つまり、前記従来例では、音圧、つまり空気の疎密波による圧力がほとんど反射部１１ａのみで受けざるを得ない構造で、尚且つこの反射部１１ａの周りは自由空間と言って良い構造と言える。従って、基本的に空気圧を受ける受圧面積が少ないことは否めない。しかも、反射部１１ａを駆動する空気圧と共に、反射部１１ａの周りからも空気が回り込み、この反射部１１ａの振幅を阻害しているものと推察した。
【００２７】
従って、フィルム等、薄膜を成型してなる振動板特に直径の小さな振動板を振幅させる手段として振動板を構成する、ドーム状からなる反射部あるいは振動部および反射部の外周部に設けたサスペンション部および貼り代部等を、まずー体成型して振動板として得、さらに、この振動板に所望の箇所に可能な限り、レーザ光照射により細い（０．３ｍｍ以下好ましくは０．１ｍｍ以下の）スリット加工を施し、しかも、このスリットがカンチレバー状サスペンションおよび振動板の外側部を構成する振動板構造とした。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明における実施の形態を詳細に説明する。図１〜図４は本発明における実施の形態の一例である光音響変換装置の振動板の形状及び構造を示す図である。本実施例の場合、厚さが約９μｍ〜約１６μｍ前後の樹脂フィルムを熱圧成型して振動板を得た。
【００２９】
図１および図２は本発明の第１の実施例を示す。図に実太線で示すスリット１ｓが加工される前の振動板の基本形状は図７〜図９により示した従来例の振動板の抜き金型による切除前の振動板と同様である。以下、説明すると、振動板１の中央には直径１．３ｍｍ、曲率半径１．５ｍｍのドーム形状からなる反射部１ａが設けられている。この反射部１ａの外周部からさらに４５度の傾斜により斜めの立ち上がり部１ｂが設けられ、さらにこの立ち上がり部１ｂの外周から所定の半径で結ばれた合計５箇所のコルゲーションで構成され、かつ同心円状で放射状に広がるサスペンション部（１ｃ、１ｄ）が設けられている。
【００３０】
さらに、このサスペンション部（１ｃ、１ｄ）の外周部には高さ０．６ｍｍの垂直立ち上がり部１ｅが設けられ、この垂直立ち上がり部１ｅの外周より外側へ約０．５ｍｍの水平に延出した貼り代部１ｆを一体成形により設けてある。前記ドーム状の反射部１ａはこのドーム状部の内側がレーザー光の反射面となるため、この反射面側にニッケル、あるいはアルミ等の金属蒸着を施してある。
【００３１】
この振動板は図１の平面図で示すように、実太線に示す様なパターンに沿って、レーザー光を照射し、スリット１ｓを施した。つまりこのパターン通りに振動板１を巾寸法約４５μｍにより切断して、前記パターンが４５μｍの隙間、つまりスリット１ｓを有する振動板１を得た。パターンの説明をすると、反射部１ａの外周に設けられた斜めの立ち上がり部１ｂの最外周部、つまり半径０．９５ｍｍの円外周部から接線方向で外側に向かって半径２．２０４ｍｍの円弧（以下、Ａ円弧と称する）を描き、このＡ円弧は反射部１ａと同心円で半径２．４０８ｍｍの円弧と交差する部分まで延びている。
【００３２】
さらにこのＡ円弧の０．４ｍｍ上方にオフセットした位置から、Ａ円弧と同ように接線方向で外側に向かって半径２．５５ｍｍの円弧（以下、Ｂ円弧と称する）を描き、このＢ円弧も前記Ａ円弧と同様、反射部１ａと同心円で半径２．４０８ｍｍの円弧と交差する部分まで延びている。この、Ａ円弧およびＢ円弧をこの振動板中心より１２０度振り分けた位置に３箇所配置すると、図で示すように３組の円弧が配置されることとなり、さらにこの第１組のＡ円弧の最外端部と隣り合った組の円弧つまり第２組のＢ円弧の最外端部、さらに第２組のＡ円弧の最外端部と第３組のＢ円弧の最外端部、第３組のＡ円弧の最外端部と第１組のＢ円弧の最外端部をこの振動板中心より半径２．４０８ｍｍの円弧により結ぶことによりスリット１ｓのパターンが得られる。
【００３３】
従って、前記、パターンをレーザーにより所定の巾（４５μｍ）で切断すると、内側付け根幅０．４ｍｍ、外側付け根幅約１．０８ｍｍで、かつ反射部１ａから外周方向に向かった円弧状のカンチレバー状サスペンション１ｃがこの振動板上に構成されることとなる。また、本実施例の場合、最外週部半径３ｍｍの円もレーザー加工により切断してトリミング加工としたので、レーザー加工が終了すると、直ちに最終形態の振動板１を得ることとなる。
【００３４】
さらに、この振動板の最外週部に設けた貼り代部１ｆをリング等に固定すると、当然のことながら、反射部１ａとその周囲のコルゲーションからなるカンチレバー状サスペンション１ｃ以外の部分が受圧面部１ｄとなり、前記、レーザーによるスリット加工により１２０度分割で３箇所に配置されたカンチレバー状サスペンション１ｃの外側に受圧面部１ｄが形成され、かつこの受圧面部１ｄは振動板１の概ね最大外周部分から切断された状態となる。
【００３５】
従って、反射部１ａと切断される以前のサスペンション部は、巾４５μｍのスリット加工によりサスペンション部が新たに受圧面部１ｄになり、この受圧面部１ｄ及び反射部１ａが、このカンチレバー状サスペンション１ｃに支えられた状態となる。本実施例の場合、エキシマレーザー、ヤグレーザー、炭酸ガスレーザー等を用いスリット加工を施してみたが、いずれのレーザーにおいても所期の目的を充分に達することが可能であつた。
【００３６】
図３に示す第２の実施例では振動板５の設計時点で、あらかじめ反射部５ａを支持するカンチレバー状サスペンション５ｃの位置を決めておき、このカンチレバー状サスペンション５ｃを、その周囲とは異なつた高さとして一体成型し、スリット５ｓのパターンを第１の実施例のものから若干変更することで、図３（ｂ）の局部断面図に示すように受圧面部５ｄの外側部全体に立ち上がり部５ｂを設けることが可能となる。
【００３７】
なお、カンチレバー状サスペンション５ｃは第１の実施例と同様に垂直立ち上がり部を介して貼り代部５ｆと連接している。説明図においては、コルゲーションを記すと、図面が煩雑になり理解しにくいので、コルゲーションを省き、簡素化して記載してある。
【００３８】
図４に示す第３の実施例の振動板６では第２の実施例と同様にあらかじめ反射部６ａを支持するカンチレバー状サスペンション６ｃの位置を決めておき、このカンチレバー状サスペンション６ｃを、その周囲とは異なつた高さとして一体成型し、スリット６ｓのパターンを第１の実施例のものから若干変更することで、図４（ｂ）の局部断面図に示すように受圧面部６ｄの外側部全体に立ち上がり部６ｂを設けることが可能となる。
【００３９】
なお、カンチレバー状サスペンション６ｃは第１の実施例と同様に垂直立ち上がり部を介して貼り代部６ｆと連接している。図においてコルゲーションを記すと、図面が煩雑になり理解しにくいので、コルゲーションを省き、簡素化して記載してある。
【００４０】
カンチレバー状サスペンション６ｃを純粋にサスペンション機能のみに限定し、他の部分は全て振動板に適した形状にしたほうが好ましいことは明らかである。従って、この例では図４に示すように受圧面部６ｄの外周部に立ち上がり部６ｂを設け、さらにこの受圧面部６ｄには振幅方向に強いリブ６ｇを−体成形した振動板を得ている。なお、図においては、カンチレバー状サスペンション６ｃにおけるコルゲーション等を記すと、図面が煩雑になり理解しにくいので、それらを省き簡素化して記載してある。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば振動板にスリット加工を施すことにより極めて、細いカンチレバー状サスペンションを得て、このスリットの巾が極めて細いため、振動板の受圧面積の減少は少なく、広い受圧面積を得る構造となる。しかも、このスリットの巾が狭いことは音、つまり空気圧が振動板の裏面に回りこみ振動板の振幅を阻害する要因を排除する効果が有る。つまり、スリットの巾が狭いことにより空気の粘性抵抗が増し、振動板の裏面側に回りこむことが極めて少なくなる効果を有する。
【００４２】
この振動板を従来例と同様、周波数ＩＫＨｚにより９４ｄｂの音圧を加え、この振動板振幅巾を測定してみたところ、１μｍ〜２．２μｍの数値を得ることができた。つまり、従来のスリットの構造を有しない振動板と比較して、約１２．５倍から２７．５倍ほど振幅することが確認された。従って、この振動板すなわち本発明の振動板を用いると、振幅が極めて大きくなるため、振動板の振動を光により検知してなる光音響変換装置として、高性能且つ、量産性に適した光音響変換装置の振動板が得られた。
【００４３】
また、反射部の周囲に立ち上がり部を設けることで、この立ち上がり部がリブ効果を発揮し、振幅時における反射部の微細な形状変形等を防ぎ音質の劣化を防ぐため極めて有効な効果を発揮する。さらに第１および第３の実施例のように、ようにカンチレバー状サスペンション１５部を、サスペンション部と異なった高さによりー体成型し、所望のスリット加工を施すと、図３（ｂ）、図４（ｂ）の局部断面図に示すように振動板の外側部全体に立ち上がり部、若しくは立ち下がり部を設けることが可能となる。この手法を用いると、振動板の外側部に全体にリブ構造を得て、振動板が同じ重量でより強固な構造となり、振動板の振幅時における、ゆがみが減少するため、音質が向上する効果を発揮する。
【００４４】
さらに、前記構造を発展させ、カンチレバー状サスペンション部を純粋にサスペンション機能のみに限定し、他の部分は全て振動板部に適した三次元形状により−体成形し、所望のスリット加工を施すと、図４（ｂ）の局部断面図に示すように、受圧面部６ｄの外周部に立ち上がり部６ｂを設け、さらに振動板部は振幅方向に強いリブ６ｇをー体成形した振動板を得ることが可能で、振動板の強度が増すと共にこの振動板の有効受圧面積が増える。即ち、高強度の音圧の受圧面積が増えることになりより高感度で、しかも、高音質で、かつ振幅を大きくし易い構造の振動板を得ることが可能となり、より−層高性能な振動板が得られる。
【００４５】
本発明のようにレーザー光により極めて微細な切断加工を施すことによりスリットの巾寸法が極めて小さい加工が可能となり、かつカンチレバー状サスペンションの巾も、材質強度限界まで細くすることが可能である。従って、従来例のような抜き加工のパンチと、ダイの巾の機械的強度を考慮する必要性が全くなくなる。
【００４６】
つまり、従来例のプレスによる抜き加工のように、振動板のほぼ全面積を切除するような構造的欠点を克服し、振動板面積を殆ど変えることなく、言い換えると、振動板の受圧面積をほとんど変えることなく振動板を支えるための所望のコンプライアンスを有したカンチレバー状サスペンションを有した振動板構造が得られる。
【００４７】
また、上記レーザー光による切断加工はプログラムにより極めて自由な形状を得られることは周知のところである。従って、カンチレバー状サスペンションの形態を自由に得ることができる。例えば、サスペンション部つまりカンチレバー状サスペンションを構成する辺が所定の曲線、または直線、または直線および曲線の組み合わせることにより、サスペンションのバネ特性の選択や、共振点の発生を制御することが可能となる。
また、さらにサスペンション部つまりカンチレバー状サスペンションの所定の箇所に切り欠き部、あるいは穴を設けてなること、あるいは、所定の箇所にコルゲーション等、三次元成型を施すことによりサスペンションのバネ特性の選択や、共振点の発生を制御することが可能で、前記手法と組み合わせることにより受圧面部を支持するサスペンション特性を自由に制御が可能となる利点を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施例である光音響変換装置の振動板を示す平面図である。
【図２】同振動板を示す断面図である。
【図３】図３（ａ）はこの発明の第２の実施例である光音響変換装置の振動板を示す平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図４】図４（ａ）はこの発明の第３の実施例である光音響変換装置の振動板を示す平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】従来の光音響変換装置の例を示す断面図である。
【図６】従来の光音響変換装置の他の例を示す断面図である。
【図７】従来の光音響変換装置のさらに他の例を示す断面図である。
【図８】同光音響変換装置の振動板を示す平面図である。
【図９】同振動板を示す断面図である。
【図１０】従来の光音響変換装置のさらに他の例における振動板を示す平面図である。
【図１１】同振動板を示す断面図である。
【符号の説明】
１  振動板、１ａ  反射部、１ｂ  立ち上がり部、１ｃ  カンチレバー状サスペンション、１ｄ  受圧面部、１ｅ  垂直立ち上がり部、１ｆ  貼り代部、
１ｓ  スリット
２  リング
３  発光素子
４  受光素子
５  振動板、５ａ  反射部、５ｂ  立ち上がり部、５ｃ  カンチレバー状サスペンション、５ｄ  受圧面部、５ｆ  貼り代部、５ｓ  スリット
６  振動板、６ａ  反射部、６ｂ  立ち上がり部、６ｃ  カンチレバー状サスペンション、６ｄ  受圧面部、６ｆ  貼り代部、６ｇ  リブ、６ｓ  スリット
７  振動板
８  振動板、８ａ  反射部、８ｂ  サスペンション部、８ｆ  貼り代部
９  フレーム
１０  振動板、１０ａ  反射部、１０ｂ  立ち上がり部、１０ｃ  サスペンション部、１０ｅ  垂直立ち上がり部、１０ｆ  貼り代部
１１  振動板、１１ａ  反射部、１１ｂ  立ち上がり部、１１ｃ  サスペンション部、１１ｅ  垂直立ち上がり部、１１ｆ  貼り代部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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