(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転盤を有し、この回転盤上部で基板を保持して回転処理を行う基板処理装置において、
上記回転盤に立設され、上端面に開放した第１の挿入孔が軸方向に沿って形成されているとともに、上記第１の挿入孔と交差する第２の挿入孔が上記回転盤の回転中心側から径方向に沿って形成された保持部材と、
上記保持部材の上端面に設けられて上記基板の下面を支持する支持ピンと、
上記第１の挿入孔に着脱自在に挿入されて上記基板の外周を係止する係止ピンと、
上記第２の挿入孔にこの第２の挿入孔の上記回転盤の回転中心側から着脱自在に挿入され、上記係止ピンの側方部と係合してこの係止ピンの抜け出しを防止する固定ピンと、
を具備したことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
上記係止ピンの外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
上記係止ピンには保持部材の上端面に係合する鍔部が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
上記係止ピンおよび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂より形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板を回転処理するスピン処理装置の基板を保持する保持ピンの取り付け構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、半導体製造装置や液晶製造装置においては、基板（半導体ウエハや液晶用ガラス基板等）に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセス等の工程がある。これらのプロセスでは、上記基板を高速回転させて、洗浄、乾燥などの処理を行うスピン処理装置がある。
【０００３】
上記基板にスピン処理を行うためのスピン処理装置は回転体を備えており、この回転体に円柱状の、例えば合成樹脂から形成されている保持部材が立設されている。この保持部材の上端には上記基板の周辺部下面を支持する支持ピンと、上記基板の外周面に係合する係止ピンが設けられている。よって上記基板は下面周辺部を上記支持ピンに支持されて基板の外周面を係止ピンに係合されることにより保持される。
【０００４】
この係止ピンには、上記保持部材と一体的に設けられているものがある。すなわちこの場合、上記係止ピンは上記保持部材の上端に切削加工を行って形成されたものとなっている。
【０００５】
また、上記係止ピンを上記保持部材と別体的に設けた場合には、この保持部材の上端から下方に向かい挿入孔が形成され、この挿入孔に上記係止ピンが挿入される。この場合、上記係止ピンは例えばねじなどによって係止固定されるものとなっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のように基板を繰り返しこの保持部材上に載置させ、そして高速回転で処理を行った場合、この係止ピンが徐々に削られてしまう。これは上記液晶用ガラス基板を上記係止ピン上に載置させたり、この係止ピン上から移送させる場合、この液晶用ガラス基板の外端部によって、例えば合成樹脂より形成されている上記係止ピンが削られてしまい、そのためこの液晶用ガラス基板を保持する場合にがたが生じるなどの不具合が発生する。
【０００７】
そのためこの係止ピンのメンテナンスが必要となるが、上記係止ピンが上記保持部材と一体的に形成されている場合、上記保持部材ごと交換しなければならないため、このメンテナンスにコストが掛かるものとなっており、また上記保持部材ごと交換しなければならないため、この交換作業も手間が掛かるものとなっている。
【０００８】
また、上記係止ピンが上記保持部材と別体的に設けられているタイプの場合、ねじでこの係止ピンと保持部材とを固定することとなるが、上記基板に対して薬液などの処理液を上方から噴出させて処理を行う場合、この固定ピンの固定に金属製のねじを使用すると、このねじが腐食されてしまう。そのため、ねじを保持部材から容易に外すことができなかったり、固定状態が損なわれるなどのことがある。
【０００９】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、
交換などのメンテナンスを容易に行え、かつ薬液などに腐食されない係止ピンを有する基板処理装置を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、回転盤を有し、この回転盤上部で基板を保持して回転処理を行う基板処理装置において、上記回転盤に立設され、上端面に開放した第１の挿入孔が軸方向に沿って形成されているとともに、上記第１の挿入孔と交差する第２の挿入孔が上記回転盤の回転中心側から径方向に沿って形成された保持部材と、上記保持部材の上端部に設けられて上記基板の下面を支持する支持ピンと、上記第１の挿入孔に着脱自在に挿入されて上記基板の外周を係止する係止ピンと、上記第２の挿入孔にこの第２の挿入孔の上記回転盤の回転中心側から着脱自在に挿入され、上記係止ピンの側方部と係合してこの係止ピンの抜け出しを防止する固定ピンとを具備したことを特徴としている。
【００１１】
請求項２記載の発明は、上記係止ピンの外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置である。
【００１２】
請求項３記載の発明は、上記係止ピンには保持部材の上端面に係合する鍔部が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の基板処理装置である。
【００１３】
請求項４記載の発明は、上記係止ピンおよび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂より形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３記載の基板処理装置である。
【００１４】
請求項１の発明によると、上記保持部材には第１の挿入孔が形成され、この第１の挿入孔に上記基板の外周を係止する係止ピンが着脱自在に挿入されるので、上記係止ピンが使用によって消耗して交換する場合に、上記保持部材から上記固定ピンを容易に抜くことができる。そのため係止ピンのメンテナンスが容易に行える。
【００１５】
請求項２の発明によると、上記係止ピンの外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形成されているため、係止ピンの挿入後、上記第２の挿入孔に固定ピンを挿入するだけで、この固定ピンが上記溝状の係止部に係合し、よって簡単に上記係止ピンの抜け出しを防止することが可能となる。
【００１６】
請求項３の発明によると、上記係止ピンには支柱の上端面に係合する鍔部が設けられているため、この係止ピンの挿入および抜出の際にこの係止ピンを工具で容易に把持することが可能となり、よってこの係止ピンの上記第１の挿入孔に挿入される部分に工具の把持によって損傷が生じなく、かつ工具での把持により係止ピンの挿入および抜出が容易となる。
【００１７】
請求項４の発明によると、上記係止ピンおよび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂より形成されているため、薬液を使用する場合でも上記係止ピンの薬液による腐食を防止することが可能となっている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について、図１ないし図３に基づいて説明する。図１に示すこの発明の基板処理装置は本体ベ−ス１を有する。この本体ベ−ス１には円筒状の支持体２が上下方向に貫通して設けられている。この支持体２には同じく円筒状の回転軸３が中途部を軸受４によって回転自在に支持されて設けられている。
【００１９】
上記回転軸３の下端部は上記支持体２から突出し、その下端部には従動プ−リ５が嵌着されている。この従動プ−リ５の近傍にはステップモ−タ６が配設されている。このステップモ−タ６の回転軸６ａには駆動プ−リ７が嵌着され、この駆動プ−リ７と上記従動プ−リ５とにはベルト８が張設されている。したがって、上記ステップモ−タ６が作動すれば、上記回転軸３が回転駆動されるようになっている。
【００２０】
上記本体ベース１の上部側には回転軸３の上部を収容する処理容器９が設けられている。この処理容器９は、上面が開放した有底状の下カップ９ａと、この下カップ９ａに対して周壁が傾斜した筒状の上カップ９ｂとからなっている。この上カップ９ｂは、上下動自在に設けられ、図示しない上下駆動シリンダのロッド１０が連結されている。このシリンダが作動することで上カップ９ｂが上下に駆動される。
【００２１】
上記下カップ９ａの底部には、周辺部に複数の排出管１１の一端部が接続され、中心部には周囲がフランジ１２によって囲まれた挿通孔１３が形成されている。この挿通孔１３には、上記回転軸３の一端部が挿通されている。
【００２２】
上記回転軸３の上端には、上面に合成樹脂等からなるテーブル１４が接合された回転盤１５が一体的に取り付けられている。この回転盤１５の下面側では、上記回転軸３の上部外周面に円筒状のロック筒体１６が回転自在に設けられている。このロック筒体１６の上端には、図１および図２に示すようにフランジ１７が設けられ、このフランジ１７の上面には周方向に９０度間隔で４本の係合ピン１８が突設されている。
【００２３】
上記係合ピン１８はレバー１９の一端に開放して形成された係合溝２０に係合している。このレバー１９の他端には、保持部材２１の支軸２２の上記回転盤１５よりも下面に突出した下端部に連結固定されている。したがって、上記ロック筒体１６を時計方向に回転させ、係合ピン１８によりレバー１９を回動させれば、このレバー１９に連結された上記支軸２２を介して保持部材２１を回動させることができる。
【００２４】
上記回転盤１５の外周部には、周方向に９０度間隔で４本の上記保持部材２１がブッシュ２３を介して回転自在に立設されている。上記保持部材２１は図２に示すように、上端が閉塞されて下端が開口した円筒部２４を有している。この円筒部２４からは支軸２２が下端部をこの円筒部２４より突出させて垂設され、この支軸２２が上記ブッシュ２３を介して回転盤１５に支持されている。
【００２５】
上記円筒部２４の上面には断面が、例えば流線形状に形成された支持部２５が一体的に設けられている。この支持部２５は、合成樹脂などによって形成されており、また上記支軸２２と軸中心をほぼ一致させて設けられている。
【００２６】
上記支持部２５には、図３（ａ），（ｂ）に示すように、上端面に開放した第１の挿入孔２６が軸方向に沿って所定の深さで形成されている。また、上記支持部２５の上記回転盤１５の回転中心側の側面２５ａから径方向に沿って、第２の挿入孔２７が外方側に向かい貫通して形成されている。
【００２７】
この第２の挿入孔２７には、上記回転盤１５の回転中心側から所定位置まで大径部２７ａを有して形成されており、また上記第２の挿入孔２７に対してこの第１の挿入孔２６の一部分が交差するように形成されている。
【００２８】
上記第１の挿入孔２６には基板２８の外周を係止する係止ピン２９が着脱自在に挿入され、上記第２の挿入孔２７に固定ピン３０が着脱自在に挿入される。
上記係止ピン２９は、例えば三フッ化塩化エチレン樹脂のような合成樹脂を材質として形成されており、この高さは後述する支持ピン３３よりも高く形成されている。また上方側には環状に形成された鍔部３１がこの係止ピン２９の外径よりも大径に形成されている。この鍔部３１が上記支持部２５の上端面に係止して、上記第１の挿入孔２６への上記係止ピン２９の挿入深さを規制している。
【００２９】
このように上記係止ピン２９を上記第１の挿入孔２６への挿入が規制される深さまで挿入した場合、上記係止ピン２９には溝状の係止部３２が上記第１の挿入孔２６と第２の挿入孔２７の交差する部分に周方向に沿って環状に形成されている。そのためこの状態で上記固定ピン３０を上記第２の挿入孔２７に挿入すれば、この係止部３２にこの固定ピン３０が係止して、上記係止ピン２９の上下方向への摺動が規制され、上記第１の挿入孔２６から上記係止ピン２９が抜け出さないようになっている。
【００３０】
また上記固定ピン３０は、材質を例えばピーク材や三フッ化エチレン樹脂のような合成樹脂としており、この端部に径大な頭部３０ａが形成されている。そのため、上記固定ピン３０は、この頭部３０ａで上記大径部２７ａに係止され、上記第２の挿入孔２７から挿入方向へ抜出するのが規制されるようになっている。
【００３１】
上記支持部２５の上端面の上記回転盤１５の回転中心側には、上記第１の挿入孔２６に挿入される係止ピン２９に近接するように、合成樹脂を材質とする支持ピン３３が、一体成形またはねじなどにより取り付けられている。この支持ピン３３は、上面に上記基板２８を載置し、上記係止ピン２９とで基板２８を保持するようになっている。
【００３２】
上記回転盤１５とテーブル１４との中心部分には図１に示すように通孔３４が形成されている。この通孔３４にはノズル体３５が非接触状態で嵌挿されている。このノズル体３５は円錐形状をなしていて、その上面にはノズル孔３６が一端を開放して形成されている。このノズル体３５の下端面には支持軸３７の上端が連結されている。この支持軸３７の上部は上記回転軸３内に軸受３８によって回転自在に支持されたブラケット３９に保持されている。
【００３３】
また、回転軸３の内部の上記ブラケット３９の下方には、上記軸受３８と他の軸受４０とによって上下端部が回転自在に支持されたハウジング４１が設けられている。このハウジング４１には上記支持軸３７が挿通される第１の貫通孔４２と、上記ノズル孔３６に一端を接続した供給チュ−ブ４３が挿通された第２の貫通孔４４とが穿設されている。上記供給チュ−ブ４３の他端は図示しない洗浄液の供給部に連通している。
【００３４】
したがって、ノズル孔３６からは、上記供給チューブ４３からの洗浄液を保持部材２１に保持された基板２８の下面中心部に向けて噴射することができるようになっている。
【００３５】
また、上記係止ピン２９および上記支持ピン３３に基板２８が保持された場合に、この基板２８に対して上方から洗浄液を吐出する、図示しないノズルなどが設けられている。
【００３６】
また上記本体ベース１には、上記係止ピン２９による基板２８の係止および係止の解除を行う解除機構４５が設けられている。
このような構成の基板処理装置によると、上記係止ピン２９は支持部２５に着脱自在に取り付けられ、かつ上記第２の挿入孔２７への固定ピン３０の挿入によってこの係止ピン２９の抜けを規制している。そのため、この係止ピン２９が使用に伴って消耗して交換の必要性が生じた場合、上記固定ピン３０を抜けば係止ピン２９を容易に抜くことができる。よってこの係止ピン２９の交換を容易に行うことが可能となる。そのために係止ピン２９が消耗して交換の必要性が生じても係止ピン２９のみの交換を行えばよく、他の部分を一体的に交換する必要がないから、このメンテナンスにコストが掛からない。
【００３７】
また上記係止ピン２９の外周面には上記固定ピン３０が係合する溝状の係止部３２が形成されているため、係止ピン２９の挿入後、上記第２の挿入孔２７に上記固定ピン３０を挿入するだけで、この固定ピン３０を上記溝状の係止部３２に係合させることができる。よって、上記係止ピン２９の抜け出しを簡単に防止することが可能となる。
【００３８】
さらに上記固定ピン３０には、上記回転盤１５の回転に伴って径方向外方に向かう遠心力が生じるが、上記固定ピン３０に形成された頭部３０ａが上記第２の挿入孔２７の大径部２７ａに係止される。そのため、固定ピン３０が第２の挿入孔２７に着脱自在に挿通されていても、回転処理時に上記固定ピン３０が抜け出すことがない。
【００３９】
また、上記係止ピン２９にメンテナンスなどが必要となって、上記固定ピン３０を抜く場合には、支持部２５の外方側から上記第２の挿入孔２７に挿入されている固定ピン３０を、例えば押出し棒などによって押し出せば、この固定ピン３０を簡単に抜くことが可能となる。それによって、上記係止ピン２９も第１の挿入孔２６から容易に取り外すことができる。
【００４０】
さらに、上記係止ピン２９には支持部２５の上端面に係合する鍔部３１が設けられているため、この係止ピン２９の挿入および取り出しの際にこの係止ピン２９の鍔部３１を工具で把持して容易に抜くことが可能となる。そのため上記係止ピン２９の側面部を工具によって損傷することがない。
【００４１】
また、上記係止ピン２９および上記固定ピン３０は合成樹脂を材質として形成されているため、基板２８を処理する薬液がこれら係止ピン２９および固定ピン３０に付着してもこの薬液による上記係止ピン２９および上記固定ピン３０の腐食を防止することが可能となる。
【００４２】
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下それについて述べる。
上記支持部２５の形状はこれに限られるものではなく、係止ピン２９を挿入可能であり、かつこの挿入された係止ピン２９と係合して規制する固定ピン３０を挿入可能であれば、どのようなものでも構わない。
また上記支持部２５を係止する周囲の構成も本実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能となっている。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によると、上記保持部材には第１の挿入孔が形成され、この第１の挿入孔に上記基板の外周を係止する係止ピンが着脱自在に挿入されるので、上記係止ピンが使用によって消耗して交換する場合に、上記保持部材から上記固定ピンを抜出すれば係止ピンを抜出できる。そのため係止ピンのメンテナンスが容易に行える。
【００４４】
請求項２記載の発明によると、上記係止ピンの外周面には、上記固定ピンが係合する溝状の係止部が形成されているため、係止ピンの挿入後、上記第２の挿入孔に固定ピンを挿入するだけで、この固定ピンが上記溝状の係止部に係合し、よって簡単に上記係止ピンの抜出を防止することができる。
【００４５】
請求項３記載の発明によると、上記係止ピンには支柱の上端面に係合する鍔部が設けられているため、この係止ピンの挿入および抜出の際にこの係止ピンを工具で容易に把持することが可能となり、よってこの係止ピンの上記第１の挿入孔に挿入される部分に工具の把持によって損傷が生じなく、かつ工具での把持により係止ピンの挿入および抜出が容易となる。
【００４６】
請求項４記載の発明によると、上記係止ピンおよび上記固定ピンのうち少なくとも係止ピンは合成樹脂より形成されているため、薬液を使用する場合でも上記係止ピンの薬液による腐食を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係わる基板処理装置に設けられた係止ピンの取付状態を示す一側面図。
【図２】同実施の形態に係わる保持部材周辺の構造を示す斜視図。
【図３】同実施の形態に係わる係止ピンの構成を示す図で、（ａ）は側面断面図、（ｂ）は正面断面図。
【符号の説明】
１…本体ベース
２…支持体
３…回転軸
９…処理容器
１１…排出管
１５…回転盤
２１…保持部材
２５…支持部
２６…第１の挿入孔
２７…第２の挿入孔
２８…基板
２９…係止ピン
３０…固定ピン
３２…係止部
３３…支持ピン
３４…通孔
３５…ノズル体
４１…ハウジング
【図１】
0003925965.tif 000002
【図２】
0003925965.tif 000003
【図３】
0003925965.tif 000004