(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小な隙間を介して二枚のシート状物を平行に貼り合わせ、接続端子を設けた接合部と樹脂充填凹部とを端部に形成したフラットパネルディスプレイ用のパネルに、パネルの表示駆動用の回路体を接合するにあたって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマを接合部及び樹脂充填凹部にジェット状に供給することによって接合部及び樹脂充填凹部に親水性の高い分子結合を生成した後、異方導電性フィルムを介してパネルの接合部と上記の回路体とを接着することによって接続端子と回路体とを電気的に接続し、次いで、パネルの接合部と回路体との接着部分にインク状モールド剤を塗布すると共にインク状モールド剤を樹脂充填凹部に充填することを特徴とするフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法。
【請求項２】
シート状物がガラスまたは透明樹脂で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法。
【請求項３】
プラズマを生成するためのガスとして希ガスと酸素の混合ガスを用いることを特徴とする請求項１又は２に記載のフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法。
【請求項４】
スリット状の吹き出し口を有する扁平形状の反応容器の外面に複数のプラズマ生成用電極を設け、反応容器にプラズマを生成するためのガスを導入すると共にプラズマ生成用電極間に電圧を印加することにより大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマを反応容器内に生成し、反応容器内で生成されたプラズマをスリット状の吹き出し口から帯状に吹き出すことによりプラズマをパネルの接合部に供給することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、有機ＥＬディスプレイ、光電表示ディスプレイ（多数個の発光ダイオード等の発光素子を有するディスプレイ）などのフラットパネルディスプレイ用のパネルと、このパネルを表示駆動させるための回路体とを接合する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、フラットパネルディスプレイ用のパネルと、このパネルを表示駆動させるための回路体とを接合するにあたっては、異方導電性フィルム（ＡＣＦ）を介して熱圧着する方法が採用されている。フラットパネルディスプレイ用のパネルには表示駆動用の電気信号を伝送するための回路が形成されている。また、パネルの外面には回路体を接合するための接合部が形成されており、この接合部の表面にはパネルの回路と電気的に接続される接続端子が露出して設けられている。一方、回路体にはパネルの表示駆動用の電気信号を生成するための回路が形成されている。また、回路体にはパネルの接合部と接合するための連結部が形成されており、この連結部の表面には回路体の回路電気的に接続される連結端子が露出して設けられている。異方導電性フィルムは、絶縁性及び接着性に優れるエポキシ樹脂やポリイミドなどのバインダー成分中に、導電性のある金属微粒子（例えば、金、銀、銅、亜鉛、錫、半田、インジウム、パラジウム等）を分散させてフィルム状に形成したものである。
【０００３】
そして、異方導電性フィルムを介在させた状態でパネルの接合部と回路体の連結部とを重ね合わせた後、この重ね合わせた部分を加熱加圧することによって、異方導電性フィルムのバインダー成分が硬化してパネルの接合部と回路体の連結部とが接着されるものであり、また、この熱圧着で異方導電性フィルムの金属粒子がパネルの接続端子と回路体の連結端子との間に挟まれて両端子に接触することになり、これにより、パネルの回路と回路体の回路とが電気的に接続されるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、パネルの接合部は大気中に浮遊する有機物のダストやパネル製造時に使用する有機化合物（油やレジスト等）などが汚染物質として付着していることがあり、この汚染物質によりパネルの接合部と異方導電性フィルムとを十分な強度で接着することができず、パネルと回路体の接合強度が低くなるという問題があった。また、上記の汚染物質によりパネルの接続端子と異方導電性フィルムの金属粒子とが接触しにくくなり、パネルと回路体の電気的な接続不良が生じる恐れがあった。
【０００５】
尚、特開平７−２４５１９２号公報には、偏光板を貼り付けた液晶ディスプレイパネルの全面に大気圧プラズマにて処理する方法が開示されている。また、特開平７−９９１８２号公報には、アクティブマトリックスＬＣＤプロセスにおいて大気圧プラズマを用いる方法が開示されている。これらはいずれもガラス基板上にパターニング時に飛散したフラックスやスクライブ残渣などを除去し、偏光板などの貼り合わせを容易にすることやレジストの残留物を除去することが目的であり、従来では、プラズマ処理により、パネルと回路体の接合強度を高くしたりパネルと回路体の電気的な接続不良が生じないようにしたりすることは行われていなかった。
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、パネルと回路体の接合強度を高くすることができると共にパネルと回路体の電気的な接続不良が生じないようにすることができるフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、微小な隙間を介して二枚のシート状物２０、２１を平行に貼り合わせ、接続端子１を設けた接合部２と樹脂充填凹部８とを端部に形成したフラットパネルディスプレイ用のパネル３に、パネル３の表示駆動用の回路体６を接合するにあたって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ４を接合部２及び樹脂充填凹部８にジェット状に供給することによって接合部２及び樹脂充填凹部８に親水性の高い分子結合を生成した後、異方導電性フィルム５を介してパネル３の接合部２と上記の回路体６とを接着することによって接続端子１と回路体６とを電気的に接続し、次いで、パネル３の接合部２と回路体６との接着部分にインク状モールド剤７を塗布すると共にインク状モールド剤７を樹脂充填凹部８に充填することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の請求項２に係るフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１に加えて、シート状物２０、２１がガラスまたは透明樹脂で形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の請求項３に係るフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１又は２に加えて、プラズマ４を生成するためのガスとして希ガスと酸素の混合ガスを用いることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の請求項４に係るフラットパネルディスプレイ用パネルへの回路体の接合方法は、請求項１乃至３のいずれかに加えて、スリット状の吹き出し口１０を有する扁平形状の反応容器１１の外面に複数のプラズマ生成用電極１２、１３を設け、反応容器１１にプラズマ４を生成するためのガスを導入すると共にプラズマ生成用電極１２、１３間に電圧を印加することにより大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマ４を反応容器１１内に生成し、反応容器１１内で生成されたプラズマ４をスリット状の吹き出し口１０から帯状に吹き出すことによりプラズマ４をパネル３の接合部２に供給することを特徴とするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００１５】
図２（ａ）（ｂ）に、フラットパネルディスプレイである液晶ディスプレイ用のパネル３の一例を示す。このパネル３は、微小な隙間を介して二枚のシート状物２０、２１を平行に対向配置し、シート状物２０、２１の間に枠状の封止貼合剤２３を介在させると共に封止貼合剤２３でシート状物２０、２１を接着し、枠状の封止貼合剤２３の内側においてシート状物２０、２１の間の微小な隙間に液晶２４を充填して封止（封入）することにより形成されている。上記のシート状物２０、２１としてはガラスあるいはアクリル樹脂等の透明樹脂などで形成したものを用いることができる。また、二枚のシート状物２０、２１の間の微小な隙間は適宜設定可能であるが、一般的には５〜１０μｍである。さらに、封止貼合剤２３の材料としては、具体的にはエポキシ、シリコーン樹脂、ポリイミドなどを例示することができ、これらの樹脂を例えばメチルエチルケトンなどの溶媒に溶解させて例えばインクジェットプリンタ等で塗布することによって、封止貼合剤２３を形成することができる。尚、上記のパネル３において、シート状物２０、２１の間の微小な隙間に液晶の代わりに有機ＥＬ樹脂を封入すると、有機ＥＬディスプレイ用のパネルを形成することができる。
【００１６】
各シート状物２０、２１の内面（対向する面）には表示駆動用の電気信号等を伝送するための回路４０が形成されている（尚、シート状物２１の回路は図示を省略している）。また、一方のシート状物２０は他方のシート状物２１よりも大きく形成されており、大きい方のシート状物２０の端部は小さい方のシート状物２１の端部よりも外側に突出している。そして、この大きい方のシート状物２０の端部が接合部２として形成されているものであり、この接合部２の表面（シート状物２１側の面）には上記の回路４０と電気的に接続される接続端子１が露出して設けられている。
【００１７】
また、パネル３の端部には樹脂充填凹部８が形成されている。樹脂充填凹部８は枠状の封止貼合剤２３の外側においてシート状物２０、２１で挟まれる空間により形成されるものである。また、樹脂充填凹部８は上記の接合部２と隣接して形成され、且つ接合部２の方に開口する溝状に形成されている。
【００１８】
尚、シート状物２０、２１に形成される回路４０はその表示駆動に必要な電極や半導体素子等を含むものである。また、パネル３の回路４０の電極や接続端子１はインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）等で透明電極として形成することができる。また、図２（ａ）（ｂ）のパネル３では一方のシート状物２０のみに接合部２を形成したが、両方のシート状物２０、２１に接合部２を形成しても良いし、さらに、接合部２は一つのパネル３に複数個設けても良い。また、図１に示すように接合部２の突出寸法Ｐ（小さい方のシート状物２１の端部と大きい方のシート状物２０の端部との間の寸法Ｐ）はパネル３の種類（使用目的）等によって異なるが、一般的には１〜３０ｍｍに形成することができる。また、樹脂充填凹部８の奥行き寸法Ｑ（小さい方のシート状物２１の端部と封止貼合剤２３との間の寸法Ｑ）はパネル３の種類（使用目的）等によって異なるが、一般的には０．１〜１０ｍｍに形成することができる。
【００１９】
回路体６は、パネル３の表示駆動用の電気信号等を生成するための回路を有するものであって、プリント配線板等で形成することができる。また、ポリイミドフィルム等を用いたフレキシブルプリント配線板等で回路体６を形成すると、テープキャリアパッケージ(Tape Carrier Package:TCP)の形態にすることができる。図３に示すように、この回路体６の端部は連結部２５として形成されており、この連結部２５の表面には上記の電気信号等を生成するための回路と電気的に接続される連結端子２６が露出して設けられている。
【００２０】
異方導電性フィルム５は上記と同様に形成されるものであって、絶縁性及び接着性に優れるエポキシ樹脂やポリイミドなどのバインダー成分中に、導電性のある金属の微粒子２９を分散させてフィルム状に形成したものである。
【００２１】
本発明では図４に例示するようなプラズマ処理装置を用いる。このプラズマ処理装置は反応容器１１と電圧印加手段３０と搬送手段３１を備えて形成されている。反応容器１１は真っ直ぐな円筒状で内径を０．１〜１０ｍｍに形成したものである。また、反応容器１１の上面はガス導入口３２として全面に亘って開放されていると共に反応容器１１の下面は吹き出し口１０として全面に亘って開放されている。このような反応容器１１は石英、アルミナ、イットリア部分安定化ジルコニウムなどのガラス質材料やセラミック材料などの絶縁材料で形成することができる。
【００２２】
電圧印加手段３０は一対又は複数の対をなすプラズマ生成用電極１２、１３と電源３３とで構成されている。プラズマ生成用電極１２、１３は円環状（リング状）に形成されており、冷却効率を高くするために熱伝導性の高い金属材料、例えば、銅、アルミニウム、真鍮、耐食性の高いステンレス鋼（ＳＵＳ３０４など）などで形成されている。各プラズマ生成用電極１２、１３はその内周面を反応容器１１の外周面に全周に亘って接触させるようにして反応容器１１の外側に配設されている。また、吹き出し口１０の上方においてプラズマ生成用電極１２、１３は上下に対向させて配置されており、プラズマ生成用電極１２、１３の間に対応する位置において反応容器１１内には放電空間３４が形成されている。電源３３はプラズマ生成用電極１２、１３に電気的に接続されており、パルス状の電圧又は交番する電圧（交流電圧または高周波電圧）を発生するものである。そして、電源３３によりプラズマ生成用電極１２、１３の間にはパルス状の電圧又は交番する電圧が印加されることになるが、この時に放電空間３４に形成される電気力線は反応容器１１の内周面に沿って上下方向（プラズマ生成用電極１２、１３の並ぶ方向）に形成されることになる。尚、プラズマ生成用電極１２、１３の間隔Ｌ（プラズマ生成用電極１２の下端とプラズマ生成用電極１３の上端の間隔Ｌ）は３〜２０ｍｍに設定するのが好ましい。また、プラズマ生成用電極１２、１３は冷媒により冷却されるのが好ましい。
【００２３】
搬送手段３１はパネル３を被処理物として自動的に搬送するものであって、反応容器１１の吹き出し口１０の下側において、モータ等の駆動機（図示省略）によって一定方向に略水平に進行するベルトや搬送台等で形成されている。
【００２４】
本発明ではプラズマ生成用ガスとして希ガスまたは反応性ガスを含んだ希ガスを用いる。パネル３の接合部２に付着した汚染物質が少ない場合は、希ガスのみを用いてプラズマ４を生成させるだけでよいが、パネル３の接合部２に汚染物質が多く付着している場合には、反応性ガスを希ガスと混合して併用するのが好ましい。希ガスとしては、ヘリウム、アルゴン、ネオン、クリプトンなどを単独で用いたりあるいは複数種併用したりすることができるが、放電の安定性や経済性を考慮すると、アルゴンとヘリウムの少なくとも一つを用いるのが好ましい。また、反応性ガスとしては酸素、窒素、空気などが挙げられるが、樹脂成分などの有機化合物である汚染物質を効率的に除去するには酸素を用いることが好ましい。反応性ガス（特に、酸素の場合）は希ガスの全量に対して０．５〜５ｖｏｌ％添加するのが好ましい。反応性ガスの添加量が希ガスの全量に対して０．５ｖｏｌ％未満であれば汚染物質の除去処理の効果が低くなる恐れがあり、反応性ガスの添加量が５ｖｏｌ％を超えると放電が不安定になる恐れがある。
【００２５】
図５（ａ）（ｂ）に本発明で用いる他のプラズマ処理装置を示す。このプラズマ処理装置は図４に示すものと比べて反応容器１１の形状及びプラズマ生成用電極１２、１３の形状が異なるだけであって、その他の構成は上記と同様である。反応容器１１はその厚み方向（厚み方向を矢印Ｂで示す）に並んで対向する一対の側壁５ａと、反応容器１１の幅方向（幅方向を矢印Ａで示す）に並んで対向する一対の側壁５ｂと、反応容器１１の下面を構成する矩形状（底面視で長方形）の底部５ｃとで有底の角形筒状に形成されている。また、反応容器１１の上面はガス導入口３２として略全面に亘って開放されていると共に底部５ｃの外面である反応容器１１の下面はほぼ平坦な面で形成されている。そして、図５（ｂ）に示すように、反応容器１１の下面の厚み方向の略中央部には反応容器１１の長手方向（幅方向）と平行な方向に長くて幅広の吹き出し口１０が形成されている。吹き出し口１０はスリット状であって、反応容器１１の底部５ｃを貫通して反応容器１１内の放電空間３４と連通している。
【００２６】
反応容器１１は厚み寸法よりも幅寸法が非常に大きく形成された扁平形状であって、反応容器１１の厚み方向（幅狭方向）における内寸Ｗ、すなわち、反応容器１１の厚み方向（幅狭方向）に並んで対向する一対の側壁５ａの内面の対向間隔Ｗは、０．１〜５ｍｍに形成するのが好ましい。このように反応容器１１の厚み方向の内寸Ｗを０．１〜５ｍｍにすることによって、放電空間３４の体積が比較的小さくなって、放電空間３４における単位空間あたりの電力を高くすることができ、つまり、放電空間３４における放電空間密度を上げることができ、低電力化及び小ガス流量化を図ることができるものであり、しかも、プラズマの生成効率が高まって、プラズマ処理（汚染物質の除去処理）の能力を向上させることができるものである。
【００２７】
電圧印加手段３０はプラズマ生成用電極１２、１３が角形環状に形成されていること以外は上記の実施の形態と同様に構成されており、また、プラズマ生成用電極１２、１３は上記と同様にして反応容器１１の外側に配設されている。そして、プラズマ生成用電極１２、１３の間に対応する位置において反応容器１１内には放電空間３４が形成されている。
【００２８】
上記のように形成されるプラズマ処理装置では次のようにしてパネル３等の被処理物にプラズマ４を供給することができる。まず、搬送手段３１の上に被処理物を設置する。次に、ガス導入口３２から反応容器１１内にプラズマ生成用ガスを導入すると共に反応容器１１内でプラズマ生成用ガスを上から下に流して放電空間３４に導入し、次に、電源３３によりプラズマ生成用電極１２、１３の間にパルス状の電圧又は交番する電圧を印加し、この電圧の印加により大気圧あるいはその近傍の圧力下（９３．３〜１０６．７ｋＰａ（７００〜８００Ｔｏｒｒ））で放電空間３４にグロー状の放電を発生させると共にグロー状の放電でプラズマ生成用ガスをプラズマ化してプラズマ活性種（イオンやラジカルなど）を含むプラズマ４を生成し、この後、プラズマ４を吹き出し口１０から下方にプラズマジェットとして流出させ、吹き出し口１０の下側に配置された被処理物の表面にプラズマ４を吹き付けることによって、被処理物にプラズマ４を供給することができる。この時、図４に示すプラズマ処理装置ではプラズマ４が被処理物にスポット状に供給されるものであり、狭い面積を局所的にプラズマ処理することができるものである。一方、図５（ａ）（ｂ）に示すプラズマ処理装置ではプラズマ４が被処理物に帯状に供給されるものであり、広い面積を一度にプラズマ処理することができるものである。また、反応容器１１の吹き出し口１０からプラズマ４を吹き出しながら多数個の被処理物を搬送手段３１で連続的に搬送することによって多数個の被処理物に連続的にプラズマ処理（汚染物質の除去や被処理物の表面改質など）を施すことができるものである。
【００２９】
そして、本発明においてパネル３に回路体６を接合するにあたっては、次にようにして行う。まず、パネル３を被処理物として上記のプラズマ処理装置に供し、図１に示すように、反応容器１１から吹き出されるプラズマ４をパネル３の接合部２に上側からジェット状に吹き付けて供給する。このようにパネル３の接合部２にプラズマ（プラズマジェット）４を供給することによって、接合部２の表面及び接続端子１の表面に付着した有機化合物の汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活性種で二酸化炭素等に分解（灰化）されて吹き飛ばされて除去されることになり、これにより、接合部２の表面及び接続端子１の表面をクリーニングすることができる。また、パネル３の接合部２に供給されたプラズマ４は接合部２の表面や隙間（樹脂充填凹部８）を拡散及び流動して樹脂充填凹部８に導入されるものであり、これにより、樹脂充填凹部８にプラズマ４を供給することができる。このようにパネル３の樹脂充填凹部８にプラズマ４を供給することによって、樹脂充填凹部８の内面に付着する有機化合物の汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活性種で二酸化炭素等に分解（灰化）されて吹き飛ばされて除去されることになり、これにより、樹脂充填凹部８の内面をクリーニングすることができる。さらに、パネル３のシート状物２０、２１が樹脂で形成されている場合、プラズマ４が供給された接合部２の表面及び樹脂充填凹部８の内面では分子結合が変化し、親水性の高い分子結合、例えば、カルボキシル基などが形成されて改質が行われるものであり、これにより、接合部２の表面及び樹脂充填凹部８の内面に対する樹脂やインクの濡れ性を向上させることができる。
【００３０】
上記のようにしてパネル３の接合部２及び樹脂充填凹部８にプラスマ４を供給してクリーニング及び表面改質を行った後、異方導電性フィルム５を介在させた状態でパネル３の接合部２と回路体６の連結部２５とを重ね合わせ、この重ね合わせた部分を加熱加圧することによって、図６に示すように、異方導電性フィルム５のバインダー成分を硬化させてパネル３の接合部２と回路体６の連結部２５及び接続端子１と回路体６とを熱圧着する。また、図７に示すように、この熱圧着で異方導電性フィルム５の金属微粒子２９がパネル３の接続端子１と回路体６の連結端子２６との間に挟まれて両端子１、２６に接触することになり、これにより、パネル３の回路と回路体６の回路とが電気的に接続されるものである。尚、異方導電性フィルムの圧着条件は通常、６０〜８０℃、１〜２秒、０．２〜０．５ＭＰａで仮圧着した後、１６０〜１９０℃、５〜２０秒、２〜５ＭＰａで本圧着するものである。
【００３１】
そして、本発明では上記のようにプラズマ４の供給により接合部２の表面のクリーニング及び表面改質を行っているので、接合部２と異方導電性フィルム５の接着性（界面密着性）を高くすることができ、接合部２と異方導電性フィルム５の接着強度が大きくなってパネル３と回路体６の接合強度（接着強度）を高くすることができるものである。また、本発明ではプラズマ４の供給により接続端子１の表面のクリーニングを行っているので、接続端子１の表面と金属微粒子２９の間に汚染物質が介在しないようにすることができ、接続端子１と金属微粒子２９の接触性を向上させてパネル３と回路体６の電気的な接続不良が生じないようにすることができるものである。
【００３２】
上記のようにしてパネル３と回路体６とを接着した後、図８に示すように、パネル３と回路体６の接着部分、すなわちパネル３の接合部２と回路体６の連結部２５とを覆うようにインク状モールド剤７でモールド（封止）成形することによって、本発明のフラットパネルディスプレイを形成することができる。インク状モールド剤７としてはエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができる。また、このインク状モールド剤７はパネル３の小さい方のシート状物２１の端部と回路体６の端部の間から樹脂充填凹部８内に流入して充填されることになる。このようにしてフラットパネルディスプレイ用のパネル３に回路体６を接合することができる。
【００３３】
そして、このようにパネル３と回路体６の接合部分をインク状モールド剤７で封止することによって、パネル３と回路体６をインク状モールド剤７の硬化物で接着することができ、封止しない場合に比べて、パネル３と回路体６の接合強度を高くすることができるものである。また、インク状モールド剤７をパネル３に設けた樹脂充填凹部８に充填することによって、インク状モールド剤７とパネル３の接着面積を大きくすることができ、樹脂充填凹部８が無い場合に比べて、パネル３と回路体６の接合強度を高くすることができるものである。さらに、本発明ではプラズマ４の供給により樹脂充填凹部８の内面のクリーニング及び表面改質を行っているので、樹脂充填凹部８の内面とインク状モールド剤７の接着性（界面密着性）を高くすることができ、樹脂充填凹部８の内面とインク状モールド剤７の接着強度が大きくなってパネル３と回路体６の接合強度をさらに高くすることができるものである。
【００３４】
尚、パネル３の搬送速度は、パネル３の種類やプラズマの生成条件等によって異なるが、０．１ｍｍ／秒〜２００ｍｍ／秒に設定するのが好ましい。また、パネル３の接合部２と吹き出し口１０の間隔Ｈは、パネル３の種類やプラズマの生成条件等によって異なるが、１〜２０ｍｍに設定するのが好ましい。また、プラズマ生成用電極１２、１３間に印加される電圧が交番する電圧（交流電圧）の場合、その周波数は１ｋＨｚ〜２００ＭＨｚに設定するのが好ましい。さらに、放電空間３４に印加される印加電力の密度は２０〜３５００Ｗ／ｃｍ3に設定するのが好ましい。印加電力の密度（Ｗ／ｃｍ3）は（放電空間３４に印加される印加電力／放電空間３４の体積）で定義される。また、反応容器１１の吹き出し口１０でのガス流速（プラズマ４の吹き出し速度）は２ｍ／秒以上にすることが好ましく、これにより、汚染物質の除去処理を効率良く行うことができる。このガス流速は、例えば、反応容器１１へのプラズマ生成用ガスの導入する際の流量（０．１〜１０Ｌ／分）を変えたり吹き出し口１０の開口面積を変えたりしてすることにより、所定の速度に調整することができるものである。また、ガス流速は大きいほどクリーニング性能が向上して好ましいので、上限は特に設定されない。また、搬送手段３１の流路６１に水等の冷媒を流通させることによって、パネル３を冷却することができ、プラズマ４によるパネル３の熱的損傷を少なくすることができる。
【００３５】
また、本発明ではプラズマ４をプラズマジェットとしてパネル３に吹き付けるので、真空中でのプラズマ処理に比べて、パネル３に高い圧力（流速）でプラズマ４を供給することができ、奥行き寸法Ｑの大きい樹脂充填凹部８であってもその奥深くまでプラズマ４が導入されやすくなって樹脂充填凹部８の開口よりも遠い部分にも確実にプラスマ４を到達させることができ、樹脂充填凹部８内の汚染物質のクリーニング性能を高くすることができるものである。しかも、大気圧近傍の圧力下でプラズマ処理を行うので、真空容器や真空容器内を真空にするための真空ポンプなどの手段が必要でなく、プラズマ処理装置が大掛かりにならないようにすることができるものであり、また、パネル３を一つずつ真空容器内に入れて処理する必要が無く、搬送手段３１により多数個のパネル３を連続的に搬送しながら汚染物質の除去を行うことができ、パネル３のクリーニングを効率よく行うことができるものである。
【００３６】
また、この実施の形態では反応容器１１の内面に沿った電気力線が形成されるように、反応容器１１を挟んで対向しないようにプラズマ生成用電極１２、１３を配置するので、反応容器１１の内面に対して垂直方向に電気力線が生じにくくなって電気力線による反応容器１１の劣化を少なくすることができ、反応容器１１の内面からその構成物質が飛び出しにくくなってパネル３が不純物により汚染されるのを少なくすることができるものである。すなわち、反応容器１１を挟んで対向するようにプラズマ生成用電極１２、１３を対向させて配置すると、反応容器１１の内面に対して直交方向に電気力線が形成されることになって、電気力線による反応容器１１の劣化が大きくなるが、本発明では反応容器１１の内面に沿った電気力線が形成されるように、プラズマ生成用電極１２、１３を互いに上下に対向するように配置するので、放電空間３４内においてプラズマ生成用電極１２、１３の間に反応容器１１の内面に沿った上下方向の電気力線が形成されることになって、電気力線による反応容器１１の劣化を少なくすることができるものである。
【００３７】
上記の実施の形態ではフラットパネルディスプレイ用のパネルとして液晶ディスプレイ用のパネル３を用いた場合を説明したが、これに限定されず、ＰＤＰ用のパネル、ＦＥＤ用のパネル、有機ＥＬディスプレイのパネル、光電表示ディスプレイ用のパネル等にも本発明を適用することができる。すなわち、本発明は回路体６と接合される接合部２を有するパネル３であれば何でも適用することができる。また、上記の実施の形態では回路体６としてプリント配線板等の回路板を用いた場合を説明したが、これに限定されず、例えば、図９に示すように、回路体６がＩＣチップ等の半導体チップ（半導体装置）であっても良い。
【００３８】
また、上記の実施の形態において、回路体６の連結部２５や連結端子２６にもプラズマ６を供給してクリーニングすることができる。この場合、上記のプラズマ処理装置を用いたパネル３のプラズマ処理において、パネル３の代わりに回路体６をプラズマ処理に供すればよい。そして、回路体６の連結部２５や連結端子２６にプラズマ６を供給してクリーニングすることによって、連結部２５の表面及び連結端子２６の表面に付着した汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活性種で分解（灰化）して吹き飛ばされて除去されることになり、これにより、連結部２５と異方導電性フィルム５の接着性（界面密着性）を高くすることができ、連結部２５と異方導電性フィルム５の接着強度が大きくなってパネル３と回路体６の接合強度をさらに高くすることができるものであり、また、連結端子２６の表面と異方導電性フィルム５中の金属微粒子２９との間に汚染物質が介在しないようにすることができ、連結端子２６と金属微粒子２９の接触性を向上させてパネル３と回路体６の電気的な接続不良が生じないようにすることができるものである。
【００３９】
また、上記の実施の形態において、図６に示すようにパネル３と回路体６とを異方導電性フィルム５で接着した後で、且つインク状モールド剤７によるモールドを行う前に、パネル３と回路体６の接着部分にプラズマ４を供給してクリーニングすることができる。この場合、上記のプラズマ処理装置を用いたパネル３のプラズマ処理において、パネル３の代わりにパネル３と回路体６の接着したものをプラズマ処理に供すればよい。そして、パネル３と回路体６の接着部分にプラズマ４を供給してクリーニングすることによって、パネル３と回路体６の接着部分の表面に付着した汚染物質がプラズマ４中のプラズマ活性種で分解（灰化）して吹き飛ばされて除去されることになり、パネル３と回路体６の接着部分の表面とインク状モールド剤７との接着性（界面密着性）を高くすることができ、パネル３と回路体６の接着部分の表面とインク状モールド剤７との接着強度が大きくなってパネル３と回路体６の接合強度をさらに高くすることができるものである。
【００４０】
次に、本発明を具体的に説明する。
【００４１】
パネル３としては図２に示すような液晶ディスプレイ用のものを用いた。このパネル３はシート状物２０、２１をガラスで形成し、大きさを３０×２０×２ｍｍ、シート状物２０、２１の間の隙間を５μｍ、接合部２の突出寸法Ｐを３ｍｍ、樹脂充填凹部８の奥行き寸法Ｑを１．５ｍｍに形成し、また、接続端子１として幅寸法が０．２ｍｍのＩＴＯ電極を接合部２の表面に間隔０．１ｍｍで多数個形成した。また、回路体６としてはポリイミドフィルムを用いて形成されるフレキシブルプリント配線板を用いた。また、異方導電性フィルム５としてはバインダー成分としてエポキシ樹脂を用い、金属微粒子としてＮｉ／Ａｕメッキ樹脂粒子を含有したソニーケミカル製の「ＣＰ９６３１ＳＢ」を用いた。インク状モールド剤７としてはエポキシを主成分とするインク状樹脂を用いた。尚、インク状モールド剤７の粘度等はインクジェットプリンタ用インクと同等であり、また、インク状モールド剤７の塗布方法はインクジェットプリンタと同等の方法に依った。
【００４２】
また、プラズマ処理装置としては図４に示すものを用いた。この反応容器１１は石英製で外径が５ｍｍ、内径（吹き出し口１０の開口径）が３ｍｍの円筒管で形成した。また、プラズマ生成用ガスとしてはアルゴンと酸素の混合ガスを用い、アルゴンを１．７５Ｌ／分、酸素を０．０３Ｌ／分の流量で反応容器１１に導入した。
【００４３】
そして、搬送手段３１によりパネル３を搬送しながら反応容器１１の吹き出し口１０から吹き出されるプラズマ４をパネル３の接続部２に供給した。この時、パネルの搬送速度は５０ｍｍ／秒とし、また、プラズマ生成用電極１２、１３の間に周波数１３．５６ＭＨｚの高周波電圧を印加すると共に放電空間３４に印加電力１００Ｗを投入してプラズマ４を生成し、また、吹き出し口１０から吹き出されるプラズマ（酸素プラズマ）４の速度（ピトー管にて計測したガス速度）は１７．４ｍ／ｓｅｃとし、さらに、パネル３の接合部２と吹き出し口１０の間隔Ｈは５ｍｍとした。
【００４４】
この後、パネル３の接合部２と回路体６の連結部２５とを異方導電性フィルム５で熱圧着した。この熱圧着の本圧着の条件は温度１７０℃、圧力３ＭＰａ、時間１５秒とした。この後、パネル３の接合部２と回路体６の連結部２５の接着部分にインクジェットプリンタにてインク状モールド剤７を塗工した後硬化させることによりモールド成形し、インク状モールド剤７の硬化物でパネル３と回路体６とを接着した。
【００４５】
そして、上記のようにして接合されたパネル３と回路体６とを互いに逆方向に引張って剥離強度を測定した結果、１６ＭＰａであった。比較のために、上記工程のうち、プラズマ処理を行わなかったものについて剥離強度を測定した結果、１０ＭＰａであった。
【００４６】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項１の発明は、微小な隙間を介して二枚のシート状物を平行に貼り合わせ、接続端子を設けた接合部と樹脂充填凹部とを端部に形成したフラットパネルディスプレイ用のパネルに、パネルの表示駆動用の回路体を接合するにあたって、大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマを接合部及び樹脂充填凹部にジェット状に供給することによって接合部及び樹脂充填凹部に親水性の高い分子結合を生成した後、異方導電性フィルムを介してパネルの接合部と上記の回路体とを接着することによって接続端子と回路体とを電気的に接続し、次いで、パネルの接合部と回路体との接着部分にインク状モールド剤を塗布すると共にインク状モールド剤を樹脂充填凹部に充填するので、接合部にプラズマを供給することによって、接合部の表面に付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除去してクリーニングすることができ、また、プラズマが供給された接合部の表面に親水性の高い分子結合を生成して濡れ性を向上させることができ、接合部の表面の浄化と濡れ性の向上により接合部の表面と異方導電性フィルムとの接着強度を高めることができてパネルと回路体の接合強度を高くすることができるものである。しかも、パネルの接合部と回路体との接着部分をインク状モールド剤でモールドすることによって、インク状モールド剤でパネルの接合部と回路体とを接着することができ、パネルと回路体の接合強度をさらに高くすることができるものである。また、接合部にプラズマを供給することによって、接合部の表面に設けた接続端子の表面に付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除去してクリーニングすることができ、接続端子と異方導電性フィルム中の金属微粒子の接触が汚染物質により損なわれないようにしてパネルと回路体の電気的な接続不良が生じないようにすることができるものである。
また、パネルの接合部と回路体との接着部分をモールドするインク状モールド剤を樹脂充填凹部に充填することによって、パネルとインク状モールド剤との接着面積を大きくすることができ、パネルとインク状モールド剤との接着強度を高くすることができてパネルと回路体の接合強度をさらに高くすることができるものである。また、樹脂充填凹部内にプラズマを供給することによって、樹脂充填凹部の内面に付着した有機化合物の汚染物質をプラズマで除去してクリーニングすることができ、また、プラズマが供給された樹脂充填凹部の内面に親水性の高い分子結合を生成して濡れ性を向上させることができ、樹脂充填凹部の内面の浄化と濡れ性の向上により樹脂充填凹部の内面とインク状モールド剤との接着強度を高めることができてパネルと回路体の接合強度をさらに高くすることができるものである。
【００４８】
本発明の請求項３の発明は、プラズマを生成するためのガスとして希ガスと酸素の混合ガスを用いるので、酸素により活性の高い酸素ラジカルをプラズマ中に生成することができ、酸素を用いない場合に比べて、パネルの接合部のクリーニングを効率よく行うことができるものである。
【００４９】
本発明の請求項４の発明は、スリット状の吹き出し口を有する扁平形状の反応容器の外面に複数のプラズマ生成用電極を設け、反応容器にプラズマを生成するためのガスを導入すると共にプラズマ生成用電極間に電圧を印加することにより大気圧あるいはその近傍の圧力下でプラズマを反応容器内に生成し、反応容器内で生成されたプラズマをスリット状の吹き出し口から帯状に吹き出すことによりプラズマをパネルの接合部に供給するので、反応容器によりプラスマ生成用電極がプラズマと直接接触することがなくなって、プラズマ生成用電極がプラズマでスパッタリング作用を受けないようにすることができ、プラズマ生成用電極からの不純物の発生を防止してパネルが汚染されないようにすることができるものであり、また、プラズマ生成用電極の劣化を防止することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】同上のパネルの一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図３】同上の回路体の一例を示す斜視図である。
【図４】同上のプラズマ処理装置の一例を示す断面図である。
【図５】同上のプラズマ処理装置の他の一例を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は底面図である。
【図６】同上のパネルと回路体を接着した状態を示す斜視図である。
【図７】同上のパネルと回路体を接着した状態を示す一部の断面図である。
【図８】同上のパネルと回路体の接合状態を示す一部の断面図である。
【図９】同上のパネルと回路体を接着した状態の他例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  接続端子
２  接合部
３  パネル
４  プラズマ
５  異方導電性フィルム
６  回路体
７  インク状モールド剤
８  樹脂充填凹部
１０  吹き出し口
１１  反応容器
１２  プラズマ生成用電極
１３  プラズマ生成用電極
２０  シート状物
２１  シート状物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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