(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の電気的特性試験に用いる検査用ヘッドであって、長方形状の開口を中央に有する基板と、前記開口の縁部に沿って伸びる第１の針止め部を有しかつ前記基板に取り付けられた針押えと、前記開口の幅方向へ伸びる第２の針止め部を有する板状の１以上の支持体と、前記第１の針止め部に配置された複数の第１のプローブと、前記第２の針止め部に配置された複数の第２のプローブとを含み、前記支持体は、その厚さ方向を前記開口の長手方向とした状態に前記基板に取り付けられており、
前記第２のプローブは、前記開口の長手方向における針先の位置が異なる複数のプローブ群に分けられており、
前記第２のプローブは、多層に配置されており、また層毎に配線手段に接続されており、各配線手段は、前記第２のプローブのための可撓性を有する帯状の１以上のケーブルと、導電性を有する筒状の複数の接続部材とを備え、各ケーブルは、互いに平行に伸びる複数の第１の導体部と、各第１の導体部の周りを覆う第１の電気絶縁体層と、各第１の電気絶縁体層の周りを覆う第２の導体部と、該第２の導体部を一体的に結合すべく前記第２の導体部を覆う第２の電気絶縁体層とを有し、各接続部材は、その一端部において前記第２のプローブの後端部と嵌合されており、また他端部において前記第１の導体部に嵌合されており、
さらに、前記第２のプローブの隣り合うプローブ群の間に配置された１以上のシート状部材を含み、該シート状部材は、前記第２の導電体に接続された導電体層および該導電体層を両側からサンドイッチ状に挟み込んで積層する一対の電気絶縁層とを有し、また支持体の下端部に対応する部位に前記シート状部材の厚さ方向へ貫通する穴を有し、該穴を貫通する接着剤により多層に配置された前記第２のプローブと共に前記支持体の下端部に接着されている、検査用ヘッド。
【請求項２】
各第２のプローブは、前記第２の針止め部に支持された主体部と、該主体部の先端部において前記主体部に対し前記基板と反対の側へ曲げられた針先部と、前記主体部に対し前記針先部と反対の側に曲げられた後端部とを有する、請求項１に記載の検査用ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の電気的特性試験に用いる検査用ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７および図８に示すように、一般に、半導体ウエーハ１０には、多数の集積回路１２がマトリクス状に形成される。各集積回路は、四角形の形状を有しており、また四角形の各辺に対応する各縁部に複数の電極部すなわち電極パッド１４を有する。マトリクスの各行および各列を形成する集積回路１２は、一列に整列されている。
【０００３】
この種の集積回路は、回路が仕様書通りに動作するか否かの通電試験（電気的特性試験）をされる。この種の試験すなわち検査は、一般に、プローブカード、プローブボート等と称されている試験用ヘッドすなわち検査用ヘッドを用いて行われる。
【０００４】
この種の通電試験において、集積回路を１つずつ検査するのでは、１つのウエーハ上の全ての集積回路の検査に長時間を必要とする。このため、この種の通電試験においては、複数の集積回路を同時に検査することが望まれている。
【０００５】
特開平１−２０１１６６号公報には、マトリクスの行または列の方向に一列に連続する複数の集積回路を同時に検査するための２種類の検査用ヘッドが開示されている。一方のヘッドは、長方形の開口を中央に有する板状部材に複数のプローブを取り付けている。これに対し、他方のヘッドは、長方形の開口を中央に有する２つの板状部材に複数のプローブを取り付け、両板状部材のプローブが交差するように両板状部材を重ねている。
【０００６】
一方のヘッドにおいては、開口の長手方向の縁部に配置されたプローブを検査すべき集積回路の配列方向のパッドに接触させ、開口の幅方向の縁部に配置されたプローブを集積回路の配列方向と直角方向のパッドに接触させる。しかし、このようなヘッドでは、複数の集積回路用の多数のプローブを開口の長手方向の縁部に配置しなければならないから、開口の長手方向の縁部に配置するプローブ数が多くなりすぎ、その結果各プローブを配線部に正しく接続することが難しく、プローブと配線部との接続を間違えることが多い。
【０００７】
これに対し、他方のヘッドにおいては、一方の板状部材にその開口の長手方向の縁部に配置されたプローブを検査すべき集積回路の配列方向のパッドに接触させ、他方の板状部材にその開口の長手方向の縁部に配置されたプローブを集積回路の配列方向と直角方向のパッドに接触させる。しかし、このようなプローブでは、両板状部材のプローブが交差するから、両板状部材のプローブが接触しないように、プローブを板状部材に配置すること、および、両板状部材を組み合わせることが難しい。
【０００８】
【解決しようとする課題】
本発明の目的は、プローブが互いに接触することを防止するとともに、配線部へのプローブの接続作業およびヘッドの製作を容易にすることにある。
【０００９】
【解決手段、作用、効果】
本発明の検査用ヘッドは、長方形状の開口を中央に有する基板と、前記開口の縁部に沿って伸びる第１の針止め部を有しかつ前記基板に取り付けられた針押えと、前記開口の幅方向へ伸びる第２の針止め部を有する板状の１以上の支持体と、前記第１の針止め部に配置された複数の第１のプローブと、前記第２の針止め部に配置された複数の第２のプローブとを含む。前記支持体は、その厚さ方向を前記開口の長手方向とした状態に前記基板に取り付けられている。
【００１０】
一回で検査すべき集積回路の数に比例した数の支持体が設けられる。このため、複数の支持体を設ける場合、支持体は開口の長手方向に間隔をおいて基板に取り付けられる。第１のプローブは、基板の開口を形成する縁部に対応する部位に配置されたパッドに接触される。これに対し、第２のプローブは、一回で検査すべき複数の集積回路の境界部にあって集積回路の隣り合う辺に対応する部位に配置されたパッドに接触される。
【００１１】
検査用ヘッドは、針押えへの第１のプローブの装着と、支持体への第２のプローブの装着とを別々に行った後、支持体を基板に組み付けることにより、製作することができる。したがって、ヘッドの製作が容易になる。第１のプローブは、一回で検査すべき集積回路が基板の開口の長手方向に順次存在するから、共通の配線手段に接続してもよいし、開口の長手方向の複数の群に分けて群毎に同じ配線手段に接続してもよい。第２のプローブは、それらが一層に配置されているときは同じ配線手段に、また多層に配置されているときは層毎に同じ配線手段に接続することができる。したがって、配線作業が容易になり、配線誤りを生じるおそれがない。
【００１２】
本発明によれば、複数のプローブが配置された支持体をその厚さ方向が開口の長手方向となるように基板に設けて、第２のプローブを一回で検査すべき複数の集積回路の境界部にあって集積回路の隣り合う辺に対応する部位に配置されたパッドに接触させるようにしたから、プローブを交差させる必要がないし、プローブが互いに接触するおそれがなく、しかも、配線部へのプローブの接続作業およびヘッドの製作を容易になる。
【００１３】
さらに、本発明では、前記第２のプローブが、前記開口の長手方向における針先の位置が異なる複数のプローブ群に分けられる。このようにすれば、配線手段をプローブ群毎に設けることができる。
【００１４】
前記第２のプローブは、多層に配置され、また層毎に配線手段に接続される。各配線手段は、前記第２のプローブのための可撓性を有する帯状の１以上のケーブルと、導電性を有する筒状の複数の接続部材とを備え、各ケーブルは、互いに平行に伸びる複数の第１の導体部と、各第１の導体部の周りを覆う第１の電気絶縁体層と、各第１の電気絶縁体層の周りを覆う第２の導体部と、該第２の導体部を一体的に結合すべく前記第２の導体部を覆う第２の電気絶縁体層とを有する。また各接続部材は、その一端部において前記第２のプローブの後端部と嵌合し、他端部において前記第１の導体部に嵌合する。
【００１５】
さらに、本発明は、前記第２のプローブの隣り合うプローブ群の間に配置された１以上のシート状部材を含み、該シート状部材は、前記第２の導電体に接続された導電体層と、該導電体層の両側に形成された一対の電気絶縁体層とを有し、また支持体の下端部に対応する部位に前記シート状部材の厚さ方向へ貫通する穴を有し、該穴を貫通する接着剤により多層に配置された前記第２のプローブと共に前記支持体の下端部に接着されている。
【００１６】
各第２のプローブは、前記第２の針止め部に支持された主体部と、該主体部の先端部において前記主体部に対し前記基板と反対の側へ曲げられた針先部と、前記主体部に対し前記針先部と反対の側に曲げられた後端部とを有することができる。このようにすれば、配線手段を基板と垂直に配置することができるから、配線手段がパッドと針先との位置関係の確認の妨げにならない。
【００１７】
好ましい実施例では、さらに、前記第２のプローブのための可撓性を有する帯状の１以上のケーブルと、導電性を有する筒状の複数の接続部材とを備える配線手段を含み、前記ケーブルは、互いに平行に伸びる複数の第１の導体部と、各第１の導体部の周りを覆う第１の電気絶縁体層と、各第１の電気絶縁体層の周りを覆う第２の導体部と、該第２の導体部を一体的に結合すべく前記第２の導体部を覆う第２の電気絶縁体層とを有し、各接続部材は、その一端部において前記第２のプローブの後端部と嵌合されており、また他端部において前記第１の導体部に嵌合されている。このようにすれば、通常のフラットケーブルを用いる場合に比べ、プローブと第１の導体部とを容易にかつ確実に接続することができるのみならず、第１の導体部への雑音の混入を第２の導体部により防止することができる。
【００１８】
前記プローブは、接着剤により対応する針止め部に取り付けることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１〜図５を参照するに、検査用ヘッド２０は、プローブカード、プローブボート等と称されている検査用ヘッドであり、図７および図８に示すようにウエーハ１０に形成された矩形の集積回路１２のうち、一列に連続する複数（図示の例では、４つ）の集積回路の電気的特性試験に用いられる。各集積回路１２は、四角形の形状を有しており、また四角形の各辺に対応する各縁部に複数の電極すなわちパッド１４を有する。マトリクスの各行および各列を形成する集積回路１２は、一列に整列されている。
【００２０】
検査用ヘッド２０は、円板状の基板２２と、基板２２に組み付けられた針押え２４と、基板２２に間隔をおいて互いに平行に配置された平板状の複数（図示の例では、３つ）の支持体２６と、針押え２４に片持ち梁状に支持された複数の第１のプローブ２８と、支持板２６に片持ち梁状に支持された複数の第２のプローブ３０と、可撓性を有する複数のケーブル３２とを含む。
【００２１】
基板２２は、セラミック、合成樹脂のような電気的絶縁材料を用いて製作することができる。基板２２は、被検査体を目視可能の開口３４を中心部に有するとともに、針押え２４を受け入れる下向きの段部すなわち切欠部３６を開口３４の周りに有する。
【００２２】
開口３４および切欠部３６は、一回で検査すべき複数の集積回路の配置状態の平面形状に類似した長方形の形状を有する。開口３４は、基板２２を厚さ方向に貫通する貫通穴である。切欠部３６は、基板２２の下面と開口３４を形成する内側面とに形成されており、また針押え２４とほぼ同じ大きさを有する。
【００２３】
基板２２は、周方向に間隔をおいて切欠部３６の周りを半径方向へ伸びる複数の配線（図示せず）を上下の両面に有する配線基板である。各配線は、印刷配線技術により基板２２に形成された配線パターンの一部である。しかし、配線パターンを形成したフィルム状の部材を基板の上下の両面に接着等により配置することにより、複数の配線を基板２２に形成してもよい。上下面の配線は、互いに電気的に接続されている。
【００２４】
基板２２は、通電用および信号処理用の電気回路に接続される複数の端子部すなわちランド３８を上面の周縁部に有するとともに、ケーブル３２を接続する複数のコネクタ４０とを上面の中間部に有する。各ランド３８は、基板２２の配線に接続されている。各コネクタ４０は、複数の端子部から形成されており、各端子部は基板２２の配線によりランド３８に接続されている。
【００２５】
基板２２は、電気絶縁性のフィルム状板材に印刷配線技術により形成された１または２以上の配線パターンを厚さ方向の中間部に有する多層構造のものであってもよい。各ランド３８は、図示の例では、一重に形成されているが、プローブ２８，３０の数および配線数に応じて多重に形成してもよい。
【００２６】
針押え２４は、セラミックのような電気的絶縁材料で開口３４と相似の長方形の枠の形に製作されており、また複数の第１のプローブ２８を長方形の各辺に対応する部位に支持している。針押え２４の内側の開口は、基板２２の開口３４とほぼ同じ大きさの長方形の形状を有する。針押え２４の下端部（特に、下端面）は、第１のプローブ２８を取り付ける針止め部であり、また開口３４を形成する縁部に沿って伸びるとともに基板２２の下面より下方へ突出している。
【００２７】
針押え２４は、図示の例では、基板２２の切欠部３６に接着剤により取り付けられている。しかし、針押え２４を複数のねじ部材により基板２２に取り外し可能に装着してもよい。また、針押え２４を基板２２に直接的に組み付ける代わりに、針押え２４を基板２２に、補強板、取付板等の適宜な手段を介して、間接的に組み付けてもよい。さらに、基板２２の一部を針押え２４として利用してもよい。
【００２８】
各支持体２６は、セラミックのような電気的な絶縁材料で形成されており、また長方形の主体部と、該主体部の上部両端から互いに反対方向へ突出する取付部とを有する。支持体２６は、開口３４の長手方向に間隔をおいて、基板２２と直角にかつ互いに平行に伸びている。図示の例では、各支持体２６は、厚さ方向が開口３４の長手方向となるように、取付部においてねじ部材４２により基板２２に取り外し可能に取り付けられている。しかし、各支持体２６を基板２２に接着してもよい。
【００２９】
各支持体２６の下端部（特に、下端面）は、第２のプローブ３０を取り付ける細長い針止め部であり、また開口３４内に位置している。図４に示すように、各支持体２６は、アースに接続される導電体層４４を一方の面に有する。
【００３０】
各第１のプローブ２８は、円形断面の導電性金属細線から形成されており、また、同じ直径寸法の針主体部と、この針主体部の先端側に続きかつ針主体部に対し基板２２の側と反対の側（下方）へ曲げた針先部と、針主体部の後端側に続く針後部とを有する。針主体部の先端側の部位から針先までは、先端ほど細いテーパとされている。
【００３１】
第１のプローブ２８は、針押え２４および開口３４により形成される長方形の辺に対応する部位を対応する辺に沿う方向へ間隔をおいて針押え２４の幅方向へ伸びており、また針主体部において電気絶縁性の接着剤のような適宜な装着手段により針押え２４の下側に取り付けられている。長方形の同じ辺に対応する部位に配置された第１のプローブ２８の針先は、共通の仮想線上に位置している。各第１のプローブ２８の後端部は、基板２２に形成された配線に半田のような適宜な手段により接続されている。
【００３２】
図４に示すように、各第２のプローブ３０は、円形断面の導電性金属細線から形成されており、また、同じ直径寸法の針主体部３０ａと、この針主体部３０ａの先端側に続きかつ針主体部３０ａに対し基板２２と反対の側（下方）へ曲げられた針先部３０ｂと、針主体部３０ａの後端側に続きかつ針先部３０ｂの側と反対の側（上方）に曲げられた針後部３０ｃとを有する。針主体部３０ａの先端側の部位から針先までは、先端ほど細いテーパとされている。各第２のプローブ３０の針後部３０ｃの後端は、小径とされている。
【００３３】
第２のプローブ３０は、支持体２６の下端部の長手方向へ間隔をおいた位置を支持体２６の厚さ方向へ伸びており、また針主体部３０ａにおいて電気絶縁性の接着剤のような適宜な装着手段４６により支持体２６の下端部に取り付けられている。第２のプローブ３０は、多層（図示の例では、２層）に配置されている。隣り合う層のプローブ群の、上下方向における主体部３０ａの位置、ならびに、支持体２６の厚さ方向（開口３４の長手方向）における針先部３０ｂおよび後端部３０ｃの位置は、互いに異なる。
【００３４】
各支持体２６は、プローブ群の針先が開口３４の長手方向に間隔をおき、支持体２６の下端部が開口３４の幅方向へ伸びるように、一回で検査すべき集積回路の配列ピッチとほぼ同じピッチで基板２２に装着されている。ケーブル３２は、、第２のプローブ３０のプローブ群毎に設けられている。
【００３５】
図４および図５に示すように、各ケーブル３２は、互いに平行に伸びる複数の第１の導体部５０と、各第１の導体部５０の周りを覆う第１の電気絶縁体層５２と、各第１の電気絶縁体層５２の周りを覆う第２の導体部５４と、第２の導体部５４を一体的に結合すべく第２の導体部５４を覆う第２の電気絶縁体層５６とにより、同軸フラットケーブルに形成されている。
【００３６】
第１の導体部５０は、銅のような導電性材料からなる円形断面の線材により形成されている。第２の導体部５４は、第１の導体部５０の線材よりさらに細い導電性線材により網状の袋に形成されている。第１および第２の電気絶縁体層５２および５６は、ポリイミドのような電気絶縁性の樹脂により形成されている。
【００３７】
各第１の導体部５０は、その一端部においてコネクタ４０（図１参照）に嵌合されるコネクタ５８（図３参照）の端子部に固定されてその端子部に電気的に接続されており、他端部において接続部材５８に嵌合されている。第２の導体部５４は、支持体２６の導電体層４４に電気的に接続されている。
【００３８】
各接続部材５８は、銅のような導電性材料により筒状のカラーの形に形成されており、また他端部において第２のプローブ３０の小径の後端に嵌合されている。各接続部材５８は、たとえば、一端部を予め第１の導体部５０に嵌合させるとともにかしめ付けておき、第２のプローブ３０を支持体２６に組み付ける前または支持体２６に組み付けた後に他端部を第２のプローブ３０に嵌合させるとともに半田付けすることにより、第１の導体部５０と第２のプローブ３０とに電気的に接続することができる。
【００３９】
検査用ヘッド２０は、針押え２４ひいては基板２２への第１のプローブ２８の装着と、支持体２６への第２のプローブ３０の装着とを別々に行った後、支持体２６を基板２２に組み付けることにより、製作することができる。したがって、ヘッドの製作が容易になる。
【００４０】
検査用ヘッド２０は、第１および第２のプローブ２８および３０の針先が検査すべき集積回路１２の側となりかつ開口３４の長手方向が一回で検査すべき複数の集積回路１２の配列方向となるように、検査装置に組み付けられる。このため、検査用ヘッド２０は、これを組み付ける検査装置の種類により、プローブ２８，３０が、下側、上側、横側、前側および後側のいずれかの側となるとともに、基板２２が、水平、垂直および斜めのいずれかの状態となるように検査装置に組み付けられる。
【００４１】
検査時、プローブ２８，３０の針先は、検査用ヘッド２０とウエーハ１０とが両者を相対的に移動されることにより、わずかに過剰に集積回路１２のパッド１４に押圧される。
【００４２】
これにより、針押え２４により基板に組み付けられた第１のプローブ２８は開口３４を形成する縁部に対応する部位に配置されたパッド１４に接触され、支持持体２６により基板２２に組み付けられた第２のプローブ３０は、図４に示すように、一回で検査すべき複数の集積回路１２の境界部にあって一連の集積回路１２の隣り合う辺に対応する部位に配置されたパッド１４に接触される。
【００４３】
換言すれば、第１のプローブ２８のうち、開口３４の幅方向の縁部に配置されたプローブ２８は開口３４の幅方向の縁部に対応する部位に配置されたパッド１４に接触され、開口３４の長手方向の縁部に配置されたプローブ２８は開口３４の長手方向の縁部に対応する部位に配置されたパッド１４に接触される。これに対し、第２のプローブ３０は、開口３４の長手方向中間部に対応する部位にあって開口３４の幅方向に配置されたパッドに接触される。
【００４４】
プローブ２８，３０は、過剰に押圧されると、オーバードライブ作用により弓状に反る。これにより、プローブ２８，３０の針先と集積回路１２のパッド１４との間に、所定の針圧が作用するとともに、所定量の滑りが生じる。その結果、パッド１４に形成されている酸化膜が削り取られ、プローブ２８，３０の針先と集積回路１２のパッド１４とが電気的に接続される。
【００４５】
第１のプローブ２８は、一回で検査すべき集積回路１２が開口３４の長手方向に順次存在するから、開口３４の長手方向の複数の群に分けて群毎に、基板２２の配線群に接続してもよい。第２のプローブ３０は、それらが多層に配置されているから、層毎に同じケーブル３２の第１の導体部５０に接続することができる。このため検査用ヘッド２０によれば、配線作業が容易になり、配線誤りを生じるおそれがない。
【００４６】
第１のプローブ２８を多層に配置してもよい。また、第２のプローブ３０を単層に配置してもよいし、第２のプローブ３０を、それらの針主体部３０ａおよび針先部３０ｂが単層となり、針後部３０ｃが開口３４の長手方向に複数層となるように、配置してもよい。さらに、針主体部３０ａ、針先部３０ｂおよび針後部３０ｃが異なる層数となるように、第２のプローブ３０を配置してもよい。この場合、針後部３０ｃが針主体部３０ａおよび針先部３０ｂより多層となるように、第２のプローブ３０を配置することが好ましい。
【００４７】
図６に示す検査用ヘッド６０は、さらに、支持体２６に配置された第２のプローブ３０の群のうち、隣り合うプローブ群の間に配置されたシート状部材６２を含む。シート状部材６２は、導電性の金属ホイルのような導電体層６４をポリイミドのような電気絶縁材料からなる２つの電気絶縁体層６６によりサンドウィッチ状に積層しており、また、第２のプローブ３０の針主体部３０ａ間と針後部３０ｃ間とを伸びている。
【００４８】
シート状部材６２は、支持体２６の下端部に対応する部位をシート状部材６２の厚さ方向へ貫通する複数の穴６８を有しており、また接着剤４６により第２のプローブ３０とともに支持体２６の下端に接着されている。接着剤４６は、各穴６８を貫通する。このため、シート状部材６２は、その下側の第２のプローブ３０とともに支持体２６に強硬に接着される。
【００４９】
導電体層６４は、ケーブル２８の第２の導体部５４に電気的に接続されている。このため、導電体層６４がケーブル２８の第２の導体部５４および支持体２６の導電体層４４を介してアースに接続されるから、上下に隣り合う第２のプローブ３０間における信号の漏洩がシート状部材６２により防止される。
【００５０】
図６に示す検査用ヘッド６０の例では、第２のプローブ３０が２層に配置されているから、１つのシート状部材を用いているにすぎないが、第２のプローブ３０が３層以上に配置されている検査用ヘッドの場合、２つのシート状部材が用いられる。
【００５１】
本発明は、上記実施例に限定されない。たとえば、集積回路のパッドの配置パターンに応じた１つの針押えを用いる代わりに、針押えを複数の針押え部材に分割し、それらの針押え部材を共通の取付け枠にねじ部材のような適宜な止め手段により取り付けてもよい。また、プローブの断面形状を、円形以外の他の形状、たとえば四角形にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査用ヘッドの一実施例を示す平面図であってケーブルを取り外した状態で示す平面図である。
【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図である。
【図３】図１の３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】支持体、第２のプローブおよびケーブルの拡大断面図であって、（Ａ）は図３の４−４線に沿って得た拡大断面図、（Ｂ）は図４（Ａ）におけるＢ部分の拡大断面図である。
【図５】第２のプローブとケーブルとの接続状態を説明するための拡大分解斜視図である。
【図６】本発明の検査用ヘッドの他の実施例を示す図４（Ａ）と同様の拡大断面図である。
【図７】検査すべき半導体ウエーハの一実施例を示す図である。
【図８】半導体ウエーハに形成された集積回路チップ部の一実施例を示す図である。
【符号の説明】
１０  半導体ウエーハ
１２  集積回路
１４  電極
２０，６０  検査用ヘッド
２２  基板
２４  針押え
２６  支持体
２８  第１のプローブ
３０  第２のプローブ
３２  ケーブル
３４  基板の開口
３６  基板の切欠部
４４  支持体の導電体層
４６  接着剤
５０  ケーブルの第１の導体部
５２  ケーブルの第１の電気絶縁体層
５４  ケーブルの第２の導体部
５６  ケーブルの第２の電気絶縁体層
５８  接続部材
６２  シート状部材
６４  シート状部材の導電体層
６６  シート状部材の電気絶縁体層
３０ａ  針主体部
３０ｂ  針先部
３０ｃ  針後部
【図１】
0004010588.tif 000002
【図２】
0004010588.tif 000003
【図３】
0004010588.tif 000004
【図４】
0004010588.tif 000005
【図５】
0004010588.tif 000006
【図６】
0004010588.tif 000007
【図７】
0004010588.tif 000008
【図８】
0004010588.tif 000009