(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気泳動粒子を含有する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示装置の製造方法であって、基板に対し、インクジェット方式の充填装置を用いて隔壁材料を液滴吐出し前記隔壁を形成し、前記インクジェット方式の充填装置を用いて前記隔壁の開口部に対して前記分散系を液滴吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２】
電気泳動粒子を含有する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示装置の製造方法であって、前記隔壁が形成された第１基板に対して、インクジェット方式の充填装置を用いて前記隔壁の開口部側から前記分散系を液滴吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填し、前記インクジェット方式の充填装置を用いて前記隔壁の開口部に封止材を液滴吐出して封止し、封止された第１基板と第２基板とを張り合わせることを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項３】
複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とを前記第１基板の一方の面に形成した後、前記一方の面に前記隔壁を形成することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２基板は透明であり、透明な共通電極を前記第２基板に予め形成しておくことを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項５】
複数の行電極と複数の列電極とのうちいずれか一方を前記第１基板の一方の面に形成した後、前記一方の面に前記隔壁を形成し、前記第２基板には複数の行電極と複数の列電極とのうちいずれか他方が予め形成されていることを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記第１基板に対してインクジェット方式の充填装置を用いて隔壁材料を液滴吐出して前記隔壁を形成することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項７】
スタンパによって隔壁材料を押圧して前記隔壁を形成することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記第２基板には、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とが予め形成されており、前記スタンパによって作成された前記隔壁を前記第１基板と張り合わせて前記第１基板に前記隔壁を形成し、前記隔壁の各分割セルに前記分散系を充填して封止した後、当該第１基板と前記第２基板とを張り合わせることを特徴とする請求項７に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１基板は透明であり、前記画素電極と対になる透明な共通電極を前記第１基板に予め形成しておくことを特徴とする請求項８に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記隔壁を画素間の境界の一部または全部に設けることを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記隔壁を黒色の隔壁材料で形成することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記隔壁の一部または全部に導電性を持たせ、導電性を有する部分を前記画素電極と対になる共通電極として用いることを特徴とする請求項３または８に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第２基板には、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とが予め形成されており、前記スタンパによって作成された前記隔壁の一部または全部を導電性部材でコーティングし、コーティングされた隔壁を前記第１基板と張り合わせることによって前記第１基板に前記隔壁を形成し、前記導電性部材を前記画素電極と対になる共通電極として用いることを特徴とする請求項７に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記隔壁材料はシート状の導電性部材が樹脂部材で覆われたものであって、当該隔壁材料をスタンパによって押圧して、前記導電性部材の一方の面に複数の前記分割セルを形成して前記隔壁を製造し、当該隔壁を前記第１基板と張り合わせて前記第１基板に隔壁を形成し、前記導電性部材を前記画素電極と対になる共通電極として用いることを特徴とする請求項８に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記封止材は導電性を有し、前記封止材を前記画素電極と対になる共通電極として用いることを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１６】
非導電性の封止材を用いて前記隔壁の開口部を封止した後、当該封止材に導電性を付与し、封止された第１基板と第２基板とを張り合わせることを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記封止材を加熱により流動化する材料で構成し、前記隔壁の開口部に前記封止材を配置し、配置された封止材を加熱して前記隔壁の開口部を封止することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１８】
前記封止材を前記分散系と混じり合わない材料で構成し、前記分散系が充填された第１基板に前記封止材を塗布または散布し、前記封止材を硬化させて前記隔壁の開口部を封止することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１９】
前記封止材は、前記分散系よりも比重が小さくかつ前記分散系と混ざらないものであり、前記分散系を液滴吐出する際に、前記封止材を添加した前記分散系を前記各分割セルに吐出して前記分散系および前記封止材を充填し、前記各分割セル内で前記分散系と前記封止材とが分離した後、前記封止材を硬化させて前記隔壁の開口部を封止することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２０】
前記隔壁が形成された第１基板に複数の小孔を有する小孔シートを接着し、前記小孔シートを接着された第１基板に対して、前記小孔から前記分散系を液滴吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填し、前記小孔に前記封止材を液滴吐出して封止することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気泳動粒子を含有する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
非発光型の表示デバイスとして、電気泳動現象を利用した電気泳動表示装置が知られている。電気泳動現象は、液体中（分散媒）に微粒子（電気泳動粒子）を分散させた分散系に電界を印加したときに、粒子がクーロン力により泳動する現象である。
【０００３】
電気泳動表示装置の基本的な構造は、一方の電極と他方の電極とを所定の間隔で対向させ、その間に分散系を封入した構成となっている。この両電極間に電位差を与えると、電界の方向によって帯電した電気泳動粒子がどちらか一方の電極に引き付けられることになる。ここで、分散媒を染料で染色するとともに電気泳動粒子を顔料粒子で構成すれば、観測者には、電気泳動粒子の色または染料の色が見えることになる。したがって、電極をパターニングしておいて、それらに印加する電圧を制御することによって、画像を表示することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、分散系は液状の流動体であることから、電極をパターニングしても電気泳動粒子が拡散してしまい解像度が劣化する。このため、分散系を小区画に分割するための隔壁を設け、分割されたセルの内部でのみ電気泳動粒子の移動を許容することにより解像度を高める技術が特公昭４９−３２０３８号公報に開示されている。
【０００５】
しかしながら、分割された個々のセルに分散系をどのようにして充填するかについては上記公報では明らかにされておらず、実際に電気泳動表示装置を製造することができなかった。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、分散系を分割セルに充填する方法を解決した電気泳動表示装置の製造方法を提供すること等にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る電気泳動表示装置の製造方法は、電気泳動粒子を含有する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示装置を製造するために用いられ、前記隔壁の開口部に対して前記分散系を液滴として吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填することを特徴とする。この発明によれば、分散系を液滴として分割セルに吐出するから、分割セルが微小なものであっても、分散系を確実に充填することができる。液滴の吐出装置としては、インクジェット方式の装置を用いることができる。これにより、画素ピッチが極めて短い高精細な電気泳動表示装置を高い信頼性の下に大量に製造することが可能となる。
【０００８】
また、本発明に係る電気泳動表示装置の製造方法は、電気泳動粒子を含有する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示装置を製造するために用いられ、前記隔壁が形成された第１基板に対して、前記隔壁の開口部側から前記分散系を液滴として吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填し、前記隔壁の開口部を封止材で封止し、封止された第１基板と第２基板とを張り合わせることを特徴とする。この発明によれば、各分割セルに分散系が充填された後、隔壁の開口部は封止されるので、分散系を分割セルの内部に確実に保持することが可能となる。さらに、封止された後は分散系が分割セルの外に漏れるといったことがなく、くわえて、異物が混入することもないので中間製造物の取り扱いが容易になり、引いては歩留まりを向上させることができる。
【０００９】
ここで、上述した製造方法において、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とを前記第１基板の一方の面に形成した後、前記一方の面に前記隔壁を形成するようにしてもよい。この場合には、例えば、スイッチング素子として薄膜トランジスタを用い、その製造プロセスにおいて、データ線や走査線、あるいはスイッチング素子等を基板上に形成することができる。
【００１０】
また、この製造方法にあっては、前記第２基板は透明であり、透明な共通電極を前記第２基板に予め形成しておくことが好ましい。これによりアクティブマトリックスタイプの電気泳動表示装置を製造することが可能となる。また、共通電極と第２基板を透明にしたので、第２基板の共通電極が形成されない面を表示面とすることができる。
【００１１】
また、上述した製造方法において、複数の行電極と複数の列電極とのうちいずれか一方を前記第１基板の一方の面に形成した後、前記一方の面に前記隔壁を形成し、前記第２基板には複数の行電極と複数の列電極とのうちいずれか他方が予め形成されているものであってもよい。これによりパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示装置を製造することが可能となる。
【００１２】
また、上述した製造方法で隔壁を形成するに際して、前記第１基板に対して隔壁材料を液滴として吐出して前記隔壁を形成するようにしてもよい。この場合、液滴の吐出装置としては、インクジェット方式の装置を用いることができる。これにより、隔壁材料を所望の位置に高い精度で堆積させることができ、微細な隔壁を形成することができる。
【００１３】
また、上述した製造方法で隔壁を形成するに際して、スタンパによって隔壁材料を押圧して前記隔壁を形成することが好ましい。この発明によれば、微細な隔壁を高い生産性の下に製造することが可能となる。
【００１４】
また、上述した製造方法において、前記第２基板には、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とが予め形成されており、前記スタンパによって作成された前記隔壁を前記第１基板と張り合わせて前記第１基板に前記隔壁を形成し、前記隔壁の各分割セルに前記分散系を充填して封止した後、当該第１基板と前記第２基板とを張り合わせるものであってもよい。ここで、前記第１基板は透明であり、前記画素電極と対になる透明な共通電極を前記第１基板に予め形成しておくことが好ましい。これによりアクティブマトリックスタイプの電気泳動表示装置を製造することが可能となる。
【００１５】
また、前記隔壁を画素間の境界の一部または全部に設けることが好ましい。境界の全部に設ければ、画素と分割セルとを１対１に対応させることができる。これにより、高品質の画像を表示する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００１６】
また、前記隔壁を黒色の隔壁材料で形成することが好ましい。カラー表示ではブラックマトリックスが用いられるが、黒色の隔壁材料で隔壁を構成すれば、隔壁とブラックマトリックスを兼用することができる。これによりブラックマトリックスを形成する工程を省略することができる。
【００１７】
また、前記隔壁の一部または全部に導電性を持たせ、導電性を有する部分を前記画素電極と対になる共通電極として用いるようにしてもよい。これにより共通電極を形成する工程を省略することができる。
【００１８】
また、前記第２基板には、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とが予め形成されており、前記スタンパによって作成された前記隔壁の一部または全部を導電性部材でコーティングし、コーティングされた隔壁を前記第１基板と張り合わせることによって前記第１基板に前記隔壁を形成し、前記導電性部材を前記画素電極と対になる共通電極として用いるようにしてもよい。この場合も、共通電極を形成する工程を省略することができる。
【００１９】
さらに、前記隔壁材料はシート状の導電性部材が樹脂部材で覆われたものであって、当該隔壁材料をスタンパによって押圧して、前記導電性部材の一方の面に複数の前記分割セルを形成して前記隔壁を製造し、当該隔壁を前記第１基板と張り合わせて前記第１基板に隔壁を形成し、前記導電性部材を前記画素電極と対になる共通電極として用いてもよい。この場合には、隔壁をスタンパで製造するのと同時に共通電極を製造できるので、製造工程を簡略化することができる。
【００２０】
次に、前記封止材は導電性を有し、前記封止材を前記画素電極と対になる共通電極として用いるものであってもよい。この場合は、共通電極を形成する工程を省略することができる。
【００２１】
また、非導電性の封止材を用いて前記隔壁の開口部を封止した後、当該封止材に導電性を付与し、封止された第１基板と第２基板とを張り合わせるようにしてもよい。この場合にも、共通電極を形成する工程を省略することができる。
【００２２】
また、前記封止材を加熱により流動化する材料で構成し、前記隔壁の開口部に前記封止材を配置し、配置された封止材を加熱して前記隔壁の開口部を封止することが好ましい。この発明によれば、分散系を充填する際に混入した気泡を加熱処理によって外部に追い出すことができるので、分散系の充填率を向上させることができる。この結果、高品質の画像を表示する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００２３】
また、前記封止材を前記分散系と混じり合わない材料で構成し、前記分散系が充填された第１基板に前記封止材を塗布または散布し、前記封止材を硬化させて前記隔壁の開口部を封止するようにしてもよい。この発明によれば、分散系と封止材との間に隙間をなくすことができる。これにより、高品質の画像を表示する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００２４】
また、前記封止材は、前記分散系よりも比重が小さくかつ前記分散系と混ざらないものであり、前記分散系を液滴として吐出する際に、前記封止材を添加した前記分散系を前記各分割セルに吐出して前記分散系および前記封止材を充填し、前記各分割セル内で前記分散系と前記封止材とが分離した後、前記封止材を硬化させて前記隔壁の開口部を封止することが望ましい。この発明によれば、分散系と封止材との間に隙間をなくすことができ、さらに、封止材を塗布・散布する工程を省略することができる。これにより、高品質の画像を表示する電気泳動表示装置を高い生産性の下に製造することができる。
【００２５】
また、前記隔壁が形成された第１基板に複数の小孔を有する小孔シートを接着し、前記小孔シートを接着された第１基板に対して、前記小孔から前記分散系を液滴として吐出することにより前記各分割セルに前記分散系を充填し、前記小孔に前記封止材を液滴として吐出して封止するようにしてもよい。この発明によれば、分散系の厚さは小孔シートによって規定されるので、画面全体に渡ってこれを一様にすることができる。この結果、表示ムラがない高品質の画像を表示する電気泳動表示装置を製造することができる。
【００２６】
次に、本発明に係る電気泳動表示装置は、電気泳動粒子の空間的状態を変化させて各画素毎に所要の表示を行うものであって、複数の分割セルを仕切る隔壁と、前記各分割セルに充填される前記電気泳動粒子を含有する分散系と、前記分散系を挟持する少なくとも一方が透明な電極とを備え、前記隔壁を前記画素間の境界の一部または全部に設けることを特徴とする。この発明によれば、隔壁が画素間の境界に設けられているから、隔壁の厚さによって開口率が低下するのを最小限に押さえることができる。
【００２７】
ここで、色相が異なる複数の色を予め定められた規則に従って各画素に対応付けて表示させるのであれば、前記隔壁を異なる色相を表示する画素間の境界に少なくとも設けることが好ましい。これにより、カラー表示が可能となる。また、隔壁は黒色であることが好ましい。隔壁をブラックマトリックスと兼用できるからである。
【００２８】
また、上述した電気泳動表示装置は、充填された前記分散系を封止する封止材を備えることが好ましい。ここで、前記封止材は導電性を有し、前記一方の電極を当該封止材と兼用することが望ましい。また、前記隔壁の一部または全部は導電性を有し、導電性を有する部分を前記一方の電極と兼用してもよい。
【００２９】
次に、上述した電気泳動表示装置は、複数のデータ線と、複数の走査線と、前記走査線と前記データ線との交差に対応して設ける各スイッチング素子と、前記スイッチング素子に接続される各画素電極とを備える第１基板と、共通電極が形成された第２基板とを備え、前記隔壁は前記第１基板と前記第２基板に挟持されており、前記一方の電極は前記共通電極であり、他方の電極が前記画素電極であることを特徴とする。この発明よれば、開口率が高いアクティブマトリックスタイプの電気泳動表示装置を提供できる。
【００３０】
次に、上述した電気泳動表示装置は、複数の第１電極を有する第１基板と、
複数の第２電極を有する第２基板とを備え、前記隔壁は前記第１基板と前記第２基板に挟持されていることを特徴とする。この発明よれば、開口率が高いパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示装置を提供できる。
【００３１】
さらに、本発明に係る電子機器は上述した電気泳動表示装置を備えるものであり、例えば、電子書籍、パーソナルコンピュータ、携帯電話、電子広告掲示板、電子道路標識等が該当する。
【００３２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３３】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１：電気泳動表示装置の概要＞
本実施形態の電気泳動表示装置は、電気泳動表示パネルと周辺回路とを備えている。まず、電気泳動表示パネルの機械的な構成について説明する。図１は本発明の一実施形態に係る電気泳動表示パネルの機械的な構成を示す分解斜視図であり、図２は、その部分断面図である。
【００３４】
図１および図２に示すように電気泳動表示パネルＡは、画素電極１０４等が形成されたガラスや半導体等の素子基板１００と、共通電極２０１等が形成された対向基板２００とが、一定の高さを持った隔壁１１０によって一定の間隙を保って、互いに電極形成面が対向するように貼り合わせられ、この間隙に分散系１が封入された構造となっている。ここで、対向基板２００、共通電極２０１および封止材２０２は透明である。観測者は、共通電極２０１が形成されていない対向基板２００の面から表示画像を見ることになる。
【００３５】
また、分散系１は、分散媒２に電気泳動粒子３を分散させたものである。分散媒２は、界面活性剤等の添加剤が必要に応じて添加されている。分散系１では、電気泳動粒子３の重力による沈降を避けるため、分散媒２の比重と電気泳動粒子３の比重は略等しくなるように選ばれている。
【００３６】
この例の隔壁１１０は、画像の表示単位である画素を区分けするように設けられている。隔壁１１０によって仕切られた空間は分割セル１１Ｃと呼ばれ、そこには分散系１が充填されている。このように隔壁１１０によって、多数の分割セル１１Ｃを設けたので、電気泳動粒子３が泳動可能な領域が分割セル１１Ｃの内部に制限されることになる。分散系１には、粒子の分散が偏ったり、あるいは、複数の粒子が結合して大きな塊になる凝結が起きることがあるが、上述したように隔壁１１０を用いて複数の分割セル１１Ｃを形成することにより、そのような現象を防ぐことができる。この結果、表示画像の品質を向上させることが可能となる。
【００３７】
さらに、この例の電気泳動表示パネルＡはフルカラー表示が可能であり、各画素は原色（ＲＧＢ）のうち１色を表示できるようになっている。このため、分散系１としては、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色に対応する３種類が用いられる。以下の説明では、各色に対応する分散系１、分散媒２、電気泳動粒子３を区別して説明するときは、「ｒ」「ｇ」「ｂ」の添字を付すことにする。
【００３８】
まず、Ｒ色に対応する分散系１ｒは、電気泳動粒子３ｒとして赤色の粒子を用いるとともに、分散媒２ｒとしてシアン色のものを用いることができる。この電気泳動粒子３ｒとしては、例えば、酸化鉄を用いることができる。次に、Ｇ色に対応する分散系１ｇは、電気泳動粒子３ｇとして緑色の粒子を用いるとともに、分散媒２ｇとしてマゼンダ色のものを用いることができる。この電気泳動粒子３ｇとしては、例えば、コバルトグリーンの顔料粒子を用いることができる。次に、Ｂ色に対応する分散系１ｂは、電気泳動粒子３ｂとして青色の粒子を用いるとともに、分散媒２ｂとしてイエロー色のものを用いることができる。この電気泳動粒子２ｂとしては、例えば、コバルトブルーの顔料粒子を用いることができる。
【００３９】
すなわち、電気泳動粒子３として表示色に対応したものを用いる一方、分散媒２として表示色を吸収する色（上述した例では補色）のものを用いる。これにより、電気泳動粒子３が表示面側の電極に浮上しているのであれば、電気泳動粒子３によって表示色に対応する波長の光が反射され、この反射光によって観測者は色を認識する。一方、電気泳動粒子３が表示面と反対側の電極に沈降しているのであれば、表示色に対応する波長の光は分散媒２によって吸収されるため、その波長の光が観測者に届かないので観測者は色を認識できない。ところで、分散系１に印加する電界強度によって、電気泳動粒子３を分散系１の厚さ方向にどのように分布させるかを制御できる。したがって、電気泳動粒子３とその反射光を吸収する分散媒２と組み合わせて用いるとともに電界強度を制御することによって、電気泳動粒子３によって反射される光の吸収率を調整でき、この結果、観測者に到達する光の強度を変化させることができる。
【００４０】
次に、素子基板１００の対向面であって、隔壁１１０が形成される領域は、表示領域Ａ１であり、そこには、画素電極１０４の他に、後述する走査線、データ線、およびスイチッチング素子として機能する薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor：以下、ＴＦＴと称する）が形成されるようになっている。一方、素子基板１００の対向面であって、表示領域Ａ１の周辺領域Ａ２には、後述する走査線駆動回路、データ線駆動回路、および外部接続電極が形成されるようになっている。
【００４１】
次に、電気泳動表示装置の電気的な構成について、図３を参照しつつ説明する。図３は電気泳動表示装置の電気的な構成を示すブロック図である。この図に示すように電気泳動表示装置は、電気泳動表示パネルＡとその周辺回路である画像処理回路Ｂ１およびタイミングジェネレータＢ２を備えている。
【００４２】
電気泳動表示パネルＡの表示領域Ａ１には、Ｘ方向に沿って平行に複数本の走査線１０１が形成され、また、これと直交するＹ方向に沿って平行に複数本のデータ線１０２が形成されている。そして、これらの走査線１０１とデータ線１０２との各交点においては、ＴＦＴ１０３のゲート電極が走査線１０１に接続される一方、そのソース電極がデータ線１０２に接続され、さらに、そのドレイン電極が画素電極１０４に接続されている。そして、各画素は、画素電極１０４と、対向基板１０２に形成された共通電極２０１と、これら両電極間に挟持された分散系１とによって構成される結果、走査線１０１とデータ線１０２との交差に対応して、マトリクス状に配列することとなる。
【００４３】
次に、走査線駆動回路１３０およびデータ線駆動回路１４０は、ＴＦＴを用いて構成されており、画素のＴＦＴ１０３と共通の製造プロセスで形成されている。これにより、集積化や製造コストの面などにおいて有利となる。
【００４４】
さて、走査線駆動回路１３０は、シフトレジスタを有し、タイミングジェネレータＢ２からのクロック信号YCLKや、その反転クロック信号YCLKinv、転送開始パルスＤＹ等に基づいて、走査線信号Ｙ１、Ｙ２、…、Ｙｍを各走査線１０１に対して順次出力する。一方、データ線駆動回路１４０は、画像信号処理回路Ｂ１から供給された画像データＤを、クロック信号XCLKや、その反転クロック信号XCLKinv、転送開始パルスＤＸ等に基づいて、点順時のデータに変換し、これをＡＤ変換して得たデータ線信号Ｘ１、Ｘ２、…、Ｘｎを各データ線１０２に対して順次出力する。
【００４５】
ある走査線信号がアクティブになると、当該走査線信号が供給される走査線１０１のＴＦＴ１０３がオン状態となり、データ線信号Ｘ１、Ｘ２、…、Ｘｎが画素電極１０４に供給される。これにより、画素電極１０４と対向基板２００の共通電極２０１との間に電界が発生し、分散系１の電気泳動粒子３が泳動して画像データＤに応じた階調の表示が各画素毎に行われることになる。
【００４６】
＜１−２：電気泳動表示パネルの製造方法＞
次に、第１実施形態に係る電気泳動表示パネルの製造方法についてその概要を説明する。図４は、電気泳動表示パネルの製造方法を説明するための説明図である。
【００４７】
まず、同図（Ａ）に示す第１工程では、素子基板１００上にＴＦＴ１０３、画素電極１０４、複数の走査線１０１、および複数のデータ線１０２を形成するとともに、走査線駆動回路１３０およびデータ線駆動回路１４０を同時に形成する。
この第１工程には、液晶表示装置におけるＴＦＴ製造プロセスを用いることができる。
【００４８】
次に、同図（Ｂ）に示す第２工程では、素子基板１００の上に隔壁１１０を形成する。隔壁１１０の形成方法には各種のものがあるが、エッチング等の処理を用いるものとしては、例えば、以下のものがある。まず、第１工程の処理が終了した素子基板１００の対向面に、感光性ポリイミド前駆体を所望の厚さが得られるように塗布し、これを乾燥させる。次に、分割セル１１Ｃに対応した格子上のマスクパターンを重ね、紫外線を照射して露光する。さらに、現像、リンスを行うことによって隔壁１１０を形成することができる。
【００４９】
次に、同図（Ｃ）に示す第３行程では、インクジェット方式の分散系充填装置を用いて隔壁１１０によって区分けされた各分割セル１１Ｃに分散系１を充填する。分散系１を充填するのにインクジェット方式を用いたのは、微小量の分散系１を正確かつ高速に充填することが可能だからである。例えば、１個の分割セル１１Ｃが、縦２４０μｍ、横８０μｍ、高さ５０μｍであるとすれば、その容積は９６０ピコリットルである。一方、インクジェット方式では、６ピコリットルを下回る吐出量を制御することができるので、各分割セル１１Ｃに分散系１を容易に充填することが可能である。
【００５０】
次に、同図（Ｄ）に示す第４行程では、隔壁１１０の上部を封止する。この例では、封止材２０２として加熱時に流動化する透明な材料を用い、封止材２０２を隔壁１１０に張り合わせた後に、加熱して封止を行う。加熱時には、封止する際に紛れ込んだ気泡が、封止材２０２に吸収あるいは通過する。気泡が分散系１に混入していると、電気泳動粒子２が気泡に囚われて自由に移動することができなくなる。このため、分割セル１１Ｃ内の気泡は極力なくすことが好ましい。この例によれば、第３工程で分散系１を充填する際に気泡が混入しても分割セル１１Ｃから気泡を追い出すことができるので、電気泳動粒子２を理想的に泳動させることができ、表示画像の品質を向上させることが可能となる。
【００５１】
次に、同図（Ｅ）に示す第５行程では、共通電極２０１が形成された対向基板２００を共通電極２０１と画素電極１０４が向かい合うようにして張り合わせる。
【００５２】
以上の工程によって電気泳動表示パネルＡを製造することができる。
【００５３】
＜１−２−１：第１工程＞
次に、第１工程について詳細に説明する。図５は、第１工程を詳細なプロセスを説明するための説明図である。なお、この例では、表示領域Ａ１にＮチャンネル型のＴＦＴ１０３を用いるものとし、ＴＦＴ１０３の製造プロセスについて説明する。
【００５４】
まず、図２（Ａ）に示すように、素子基板１００の上に絶縁層１１１を形成し、その上にアモルファスのシリコン層を堆層する。その後、シリコン層に対して例えばレーザアニール処理等の加熱処理を施すことにより、アモルファスのシリコン層を再結晶させ、結晶性のポリシリコン層１１２（例えば、厚さ５００オングストローム）を形成する。
【００５５】
次に、同図（Ｂ）に示すように、ポリシリコン層１１２を半導体層を形成するようにパターニングし、その上にゲート絶縁層１１３（例えば、厚さ１００〜１５０ｎｍ）を積層する。
【００５６】
次に、同図（Ｃ）に示すようにＴＦＴ１０３のゲート電極１１４および走査線１０１（ゲート線）を形成する。このゲート電極等の形成は、例えば、レジスト上にゲート電極等のパターンを形成した後、タンタル等の金属をスパッタまたは真空蒸着し、当該レジストを剥離することにより行う。そして、ＰＨ3／Ｈ2イオンをドーピングする。これにより、ＴＦＴ１０３のソース領域１１５、チャネル領域１１６、ドレイン領域１１７が形成される。
【００５７】
次に、同図（Ｄ）に示すように、第１層間絶縁膜１１９を積層する。さらに、コンタクトホールＣ２、Ｃ３を開口させ、各電極のパターンをレジストでパターニングし、アルミニウム等の金属を蒸着してデータ線１０２およびアルミ電極１２０を形成する。
【００５８】
次に、同図（Ｅ）に示すように、第２層間絶縁層１２１を積層した後、コンタクトホールＣ１を開口させる。そして、画素電極１０４のパターンをレジストでパターニングし、アルミニウム等の金属を蒸着して画素電極１０４を形成する。
【００５９】
このようにして、素子基板１００の表示領域Ａ１にＮチャンネルのＴＦＴ１０３が形成されることになる。なお、素子基板１００の周辺領域Ａ２には、走査線駆動回路１３０やデータ線駆動回路１４０が形成されるが、上述した製造プロセスにおいて、それらを構成するＮチャンネルのＴＦＴも同時に形成される。また、これらの駆動回路にはＰチャンネルのＴＦＴを用いるため、実際の製造プロセスでは、同図（Ｃ）に示す工程と同図（Ｄ）に示す工程の間にＰチャンネルのＴＦＴを形成する工程を設ける。この工程では、ＰチャンネルＴＦＴのソース領域とドレイン領域を形成するために、アクセプタとしてのＢ2Ｈ6／Ｈ2イオンをドーピングしている。
【００６０】
このようにしてＴＦＴ１０３が形成された素子基板１００は、第２工程によってその画素電極１０４側に隔壁１１０が形成され、第３工程へ運ばれる。
【００６１】
＜１−２−２：第３工程＞
図６は、第３工程に使用する分散系充填装置の概観を示す斜視図である。同図に示すように、分散系充填装置１０は装置本体２０とその各部を制御するコントローラ３０とを備えている。コントローラ３０は、コンピュータ３１、操作者の指示を入力するキーボード３２、および作業の進捗状態等を表示するモニタ３３を備えている。
【００６２】
一方、装置本体２０は、ベース２１、第１移動手段２２、第２移動手段２３、インクジェットユニット７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂ、キャッピングユニット２４、およびクリーニングユニット２５等を有している。各インクジェットユニット７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂは、ＲＧＢ各色に対応する分散系１を分割セル１１Ｃに吐出するためのユニットである。分散系充填装置１０は、各ユニット７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂを順番に用いて各色毎に分散系１を所定の分割セル１１Ｃに充填するようになっている。
【００６３】
ベース２２の上側には、分散系１の充填を行う各構成部分を収容する安全カバー２６が設けられて、作業者はこの安全カバー２６の扉を開くことができるようになっている。 一方、ベース２２の内側にはコントローラ３０との間で制御信号の授受を行う制御盤８０が設けられている。
【００６４】
第１移動手段２２はベース１２上に設けられており、Ｙ軸方向に沿って位置決めされている。一方、第２移動手段２３は、支柱２３Ａ、２３Ａを用いて、ベース２２に対して垂直に取り付けられている。第２移動手段２３のＸ軸はベース２２の左右方向に沿った軸であり、第１移動手段２２のＹ軸と直交する。
【００６５】
次に、第１移動手段２２と第２移動手段２３について、図７を参照して説明する。なお、図７では、インクジェットユニット７０Ｒのみを記載し、インクジェットユニット７０Ｇ，７０Ｂについては記載を省略してある。同図に示すように、第１移動手段２３は、スライダ４２、ガイドレール４０およびテーブル４６を備えている。スライダ４２は、リニアモータを内蔵しておりガイドレール４０に沿って、Ｙ軸方向に移動できるようになっている。また、スライダ４２は、θ軸用のモータ４４を備えている。このモータ４４は、例えばダイジェクトドライブモータであり、そのロータはテーブル４６に固定されている。これにより、モータ４４に通電することでロータとテーブル４６は、θ方向に沿って回転してテーブル４６をインデックス（回転割り出し）することができる。
【００６６】
さらに、テーブル４６は、吸着保持手段（図示略）を有しており、これが作動することにより、テーブル４６の穴４６Ａを通して、素子基板１００をテーブル４６の上に吸着して保持することができる。また素子基板１００は、テーブル４６の位置決めピン４６Ｂにより、テーブル４６の上に正確に位置決めすることができる。
【００６７】
くわえて、テーブル４６は、インクジェットヘッドユニット７０Ｒが、インクを捨打ちあるいは試し打ちするための捨打ちエリア５２を有している。この捨打ちエリア５２は、Ｘ軸方向に並行でテーブル４６の後端部側に設けられている。
【００６８】
次に、第２移動手段１６は、支柱２３Ａ，２３Ａに固定されたコラム２３Ｂと、スライダ６０と、ガイドレール６２を備えている。スライダ６０は、リニアモータを内蔵しており、ガイドレール６２に沿ってＸ軸方向に移動して位置決め可能である。そして、スライダ６０には、インクジェットユニット２０Ｒが取りつけられている。
【００６９】
インクジェットユニット７０Ｒは、インクジェットヘッド７１と、揺動位置決め手段としてのモータ６２，６４，６６，６８とを有している。インクジェットヘッド７１は、モータ６２によってＺ軸に沿って上下動して位置決め可能である。このＺ軸はＸ軸とＹ軸に対して各々直交する方向（上下方向）である。また、各モータ６４、６６、６８は、インクジェットヘッド２１をβ、γ、α方向に沿って各々揺動させ位置決めする。
【００７０】
このように、インクジェットヘッド７１は、スライダ６０において、Ｚ軸方向に直線移動して位置決め可能で、α、β、γに沿って揺動して位置決め可能でああるから、インクジェットヘッド７１のインク吐出面は、テーブル４６側の素子基板１００に対して正確に位置あるいは姿勢がコントロールされる。なお、インクジェットユニット２０Ｇ、２０Ｂもインクジェットユニット２０Ｒと同様に構成されている。
【００７１】
つぎに、インクジェットヘッド７１の構造例について、図８を参照して説明する。インクジェットヘッド７１は、たとえば、ピエゾ素子（圧電素子）を用いたヘッドであり、図８（Ａ）に示すようにインク吐出面７１Ｐには、複数のノズル７２が形成されている。これらのノズル７２に対してそれぞれピエゾ素子７３が設けられている。
また、図８（Ｂ）に示すようにピエゾ素子７３は、ノズル７１とインク室７４とに対応して配置されている。インク室７４には分散系１がインクとして供給されるようになっている。そしてこのピエゾ素子７３に対して図８（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈを印加することで、図８（Ｄ），（Ｅ）および（Ｆ）に示すよう、ピエゾ素子７３を矢印Ｑ方向に伸縮させる。これにより、分散系１を加圧して所定量のインク滴７５（液滴）をノズル７２から吐出させるようになっている。
【００７２】
次に、図６に示すキャッピングユニット２４は、インクジェットヘッド７１のインク吐出面７１Ｐが乾燥しないようにするために、待機時にこのインク吐出面７１Ｐにキャップをかぶせるものである。クリーニングユニット２５は、インクジェットヘッド７１のノズル７２等のクリーニングを分散系充填中や待機時に定期的にあるいは随時に行うことができる。また、アライメント用カメラ２７は、素子基板１００にあらかじめ形成されているアライメントマークを検出して、基板１００の位置を検知するものである。
【００７３】
次に、図９に分散系充填装置１０の電気的な構成を示す。なお、同図にあってはインクジェットユニット７０Ｒに係る構成を示し、インクジェットユニット７０Ｇ、７０Ｂについては省略してある。
【００７４】
コンピュータ３１は、装置全体を制御するものであり、具体的には、制御盤８０を介して第１移動手段２２（リニアモータ）とθ軸用のモータ４４に制御信号を供給し、これにより素子基板１００のＹ軸方向とθ軸方向の位置決めを行うとともに、制御盤８０を介して第２移動手段２３（リニアモータ）とインクジェットユニット７０Ｒのモータ６２、６４、６６、６８に制御信号を供給し、インクジェットヘッド７１の位置決めを行う。
【００７５】
また、インクジェットヘッド７１に分散系１を供給する分散系供給部８１には温度計８２と粘度計８３が接続されており、それらによって検出された温度や粘度がフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２として、分散系管理コントローラ８４に供給されるようになっている。
【００７６】
分散系管理コントローラ８４は、フィードバック信号Ｓ１，Ｓ２に基づいて、コンピュータ３１に対して分散系１の温度や粘度の状態を制御用の情報として与える。コンピュータ３１は、制御盤８０を通して、ピエゾ素子駆動回路８５に対してピエゾ素子駆動信号Ｓ３を送る。ピエゾ素子駆動回路８５は、このピエゾ素子駆動信号Ｓ３に基づいて、ピエゾ素子７３に対してその時のインクの温度や粘度に応じた印加電圧Ｖｈを供給する。これにより、分散系１の温度や粘度に応じて所定量のインク滴７５を吐出すことができる。
【００７７】
次に、図１０を参照して、分散系充填装置の動作例について説明する。まず、コンピュータ３１が基板供給指令を基板給排出手段に対して送信すると、素子基板１００が第１移動手段２２のテーブル４６の上に給材される（ステップＳＴ１）。この素子基板１００は、図７の位置決めピン４６Ｂに対して突き当てられることで、テーブル４６に対して位置決めされる（ステップＳＴ２）。次に、モータ４４が作動して、素子基板１００の端面がＹ軸方向に並行になるように設定され、これにより基板アライメントが完了する（ステップＳＴ３）。
【００７８】
この後、コンピュータ３１は、アライメント用カメラ２７からの情報と観察カメラ２８からの等の情報に基づいて、分散系１を吐出する作業の開始位置を算出する（ステップＳＴ４）。そして、コンピュータ３１は制御盤８０を介して第１移動手段２２と第２移動手段２３に制御信号を供給して、インクジェットヘッド７１を描画開始位置に移動させる（ステップＳＴ５）。
【００７９】
次に、ステップＳＴ６において、コンピュータ３１は、分散系１の状態のフィードバック信号Ｓ１，Ｓ２の信号に基づいて得られる分散系管理コントローラ８４からの信号により、分散系１の状態を判断し、その判断結果に基づいてピエゾ素子駆動信号Ｓ３を生成する。ピエゾ素子駆動信号Ｓ３はピエゾ素子駆動回路８５によって増幅され、ピエゾ素子７３に供給される。これにより、分散系１の吐出量が制御されることになる。具体的には、印加電圧の電圧を変化させることにより、ピエゾ素子の歪み量を制御して吐出量を調整したり、あるいは印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子の歪み速度を制御して、分散系の粘度による負荷力とバランスをとっている。
【００８０】
また、コンピュータ３１は、図１１に示すように、まず、Ｒ色に対応するインクジェットユニット７０Ｒを用いて、図中実線で示す経路に従って、分散系１の充填を行う。具体的には、まず、第１移動手段２２を動作させて第１列の分割セル１１Ｃに充填を行い、次に、第２移動手段２３を動作させて第４列の分割セル１１Ｃに充填を行う。以後、横に３列移動しては充填を行う動作を繰り返すことによって、Ｒ色に対応する総ての分割セル１１Ｃに分散系１を充填する。この後、インクジェットユニット７０Ｇ、７０Ｂを用いてＧ色、Ｂ色に対応する分割セル１１Ｃに充填を行う。
【００８１】
この後、コンピュータ３１は、予め与えられた制御プログラムに従って、総ての分割セル１１Ｃに分散系１の充填を行ったかを判断し（ステップＳＴ７）、充填作業が終了していない場合には、ステップＳＴ５に戻り位置決めと分散系の吐出を繰り返す。すなわち、分散系の吐出と基板の移動（列間の移動）とを交互に繰り返して各分割セル１１Ｃに分散系１を順次充填していく。そして、分散系１の充填が終了すると、ステップＳＴ８に進み、素子基板１００の排出を行う。
【００８２】
このように第３工程では、インクジェット方式の分散系充填装置１０を用いたので、正確かつ高速に分散系１を分割セル１１Ｃに充填することができる。なお、この例では、ピエゾ素子７３を用いたインクジェットヘッド７１を一例として説明したが、インクジェットの方式は任意であり、例えば、加熱により分散系１を飛ばすバブルジェット方式やあるいはクーロン力を用いる静電方式であってもよいことは勿論である。
【００８３】
また、この例では、分散系１として加色混合のＲＧＢを採用したが、減色混合のＣＭＹを用いてもよいことは勿論である。さらに、色の配置としてストライプ型を一例として説明したが、モザイク型等を採用してもよいことは勿論である。くわえて、電気泳動粒子３として白色の顔料粒子（例えば酸化チタン）を用い、分散媒２として黒色で着色されたものを用いることによって白黒表示にしてもよいことは勿論である。
【００８４】
＜１−３：第１実施形態の変形例＞
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
【００８５】
＜１−３−１：第２工程の変形例（その１）＞
上述した第１実施形態において、隔壁１１０をエッチング等の処理を用いて
形成したが、分散系１の充填に用いた分散系充填装置１０と同様のインクジェット装置を用いて隔壁１１０を形成するようにしてもよい。例えば、図６に示す分散系充填装置１０に隔壁材料４を吐出するインクジェットユニット１１０Ｊを追加し、これを他のインクジェットユニット７０Ｒ、７０Ｇ、７０Ｂと同様に制御すればよい。図１２は、インクジェットユニット１１０Ｊを用いて隔壁１１０を形成する工程を示す説明図である。インクジェットユニット１１０Ｊは、同図に示すように隔壁材料４を吐出して素子基板１００の上に隔壁材料４を徐々に堆積させ、その後、隔壁材料４を硬化させることによって、隔壁１１０を形成する。
【００８６】
この場合、隔壁材料４としてはＵＶ硬化、加熱硬化、縮合硬化、あるいは付加重合硬化等する材料を用いればよい。また、堆積の途中で硬化させ、さらに隔壁材料１１０を堆積させ、再び硬化させるといったように硬化と堆積とを繰り返して隔壁１１０を形成するようにしてもよい。
【００８７】
＜１−３−３：第２工程の変形例（その２）＞
上述した第１実施形態にあっては対向基板２００に共通電極２０１を設けたが、共通電極２０１の機能を隔壁１１０に持たせてもよい。例えば、隔壁１１０の材料に導電性を有する素材（カーボンや金属繊維）を練り込んだ樹脂を使用することによって、隔壁１１０全体に導電性を持たせ、隔壁１１０自体を共通電極２０１として用いることが可能となる。
【００８８】
また、絶縁材料で隔壁１１０を形成し、その後、金属材料を蒸着したり、ＣＶＤ法（気相成長法）等で絶縁材料に導電性を持たせるようにしてもよい。この場合には、隔壁１１０の全体に導電性を持たせるのではなく、対向基板２００側の一部に導電性を持たせることが可能である。例えば、図１３（Ａ）に示すように隔壁１１０に対してイオンの打ち込みを行うと、そのドーピング量に応じて図１３（Ｂ）に示すように隔壁１１０の上部１１０ａ（ハッチング部分）に導電性をを持たせることができる。
【００８９】
図１４は、そのようにして製造された電気泳動表示パネルＡの断面図である。この図に示すように対向基板２００の下側には共通電極２０１が設けられいないが、隔壁１１０の上部１１０ａに導電性を持たせてあるので、この部分を共通電極２０１として使用することができる。この結果、共通電極２０１の厚さだけ電気泳動表示パネルＡを薄くすることができるとともに、軽量化することができる。さらに、電極間の距離が近くなるため、低い駆動電圧でも高い電界を発生させることができるといった利点がある。
【００９０】
＜１−３−３：第２工程の変形例（その３）＞
上述した隔壁１１０の材料として、黒色顔料、クロム、あるいはカーボン等を混入したものを用いて、隔壁１１０にブラックマトリックスの機能を持たせるようにしてもよい。
【００９１】
カラーブラウン管やカラー液晶表示パネルにあっては、解像度や色の鮮明さを向上するために、画素に対応したカラーフィルタとこれを黒色の枠で囲むブラックマトリックスとが一体となって設けられている。これに対して、電気泳動表示装置による表示色は、分散媒２や電気泳動粒子３そのものの色であり、カラーフィルタは不要である。しかしながら、解像度や色の鮮明さを向上するためには、ブラックマトリックスを用いることが好ましい。この場合、ブラックマトリックスを各分割セル（画素）に対応させて対向基板２００に設けることも可能であるが、対向基板２００の製造工程が増えてしまう。そこで、隔壁１１０を黒色とすることで隔壁１１０をブラックマトリックスと兼用することが可能となり、対向基板２００にブラックマトリックスを別途設ける必要がなくなる。これにより、簡易な構成で、表示画像の品質を向上させることが可能となる。
【００９２】
＜１−３−４：第４工程の変形例（その１）＞
上述した実施形態では隔壁１１０を封止材２０２で封止した後に、共通電極２０１が形成された対向基板２００を素子基板１００と張り合わせて電気泳動表示パネルＡを製造したが、封止材２０２と共通電極２０１とを兼用するようにしてもよい。例えば、封止材２０２ａとして導電性を有する素材（カーボンや金属繊維）を練り込んだ樹脂を使用することができる。また、絶縁材料で封止材２０２ａを構成し、封止が終了した後に、イオンを打ち込みを行ったり、あるいは、金属材料を蒸着したり、ＣＶＤ法（気相成長法）等で絶縁材料の上面に導電性を持たせるようにしてもよい。
【００９３】
図１５は、そのようにして製造された電気泳動表示パネルＡの断面図である。この図に示すように対向基板２００の下側には共通電極２０１が設けられいないが、封止材２０２ａに導電性を持たせてあるので、封止材２０２ａそのものを共通電極２０１として使用することができる。この結果、共通電極２０１の厚さだけ電気泳動表示パネルＡを薄くすることができるとともに、軽量化することができる。
【００９４】
＜２.第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る電気泳動表示装置について図面を参照しつつ説明する。
【００９５】
＜２−１：電気泳動表示装置の概要＞
第２実施形態の電気泳動表示装置の電気的な全体構成は、図２に示す第１実施形態と同様であり、電気泳動表示パネルＡの詳細な機械的構成が異なる。図１６は第２実施形態に係る電気泳動表示パネルＢの断面図である。この電気泳動表示パネルＢは、隔壁１１０の替わりに隔壁１１０Ｂが用いられている点、および封止材２０２が、隔壁１１０Ｂの下側に設けられている点を除いて、図２に示す第１実施形態の電気泳動表示パネルＡと同様に構成されている。このような相違点があるのは、第２実施形態と第１実施形態では隔壁の製造方法が異なるからである。
【００９６】
＜２−２：電気泳動表示パネルの製造方法＞
次に、電気泳動表示パネルＢの製造方法について図面を参照しつつ説明する。図１７は、電気泳動表示パネルの製造方法を説明するための説明図である。
【００９７】
まず、図１７（Ａ）に示す第１工程では、隔壁１１０Ｂをスタンパで製造する。図１８は、第１工程の詳細を説明するための図である。同図に示すようにスタンパ３００は、隔壁１１０Ｂの形状に対応する凹型の金型３００Ａと、ベース３００Ｂを備えている。そして、金型３００Ａとベース３００Ｂとの間にシート状の隔壁材料３００Ｃを配置する。なお、隔壁材料３００Ｃとしては透明なものを用いる。金型３００Ａを下方向に移動させて、隔壁材料３００Ｃを押圧することによって、隔壁１１０Ｂを形成する。この隔壁１１０Ｂは、分割セル１１Ｃに対応する部分が升状になっており、当該部分が貫通している第１実施形態の隔壁１１０と相違する。このようにスタンパ３００を用いてシート状の材料に微小な凹凸を形成する技術としては、ＣＤ−ＲＯＭを製造する技術を応用することができる。
【００９８】
次に、図１７（Ｂ）に示す第２工程では、隔壁１１０Ｂと共通電極２０１が形成された対向基板２００とを、隔壁１１０Ｂの底面と対向基板２００の共通電極２０１側の面とが向かい合うようにして張り合わせる。
【００９９】
次に、同図（Ｃ）に示す第３行程では、インクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて隔壁１１０Ｂによって区分けされた各分割セル１１Ｃに分散系１を充填する。この第３工程は、素子基板１００の替わりに対向基板２００を用いる点を除いて、上述した第１実施形態の第３工程と同様である。
【０１００】
次に、同図（Ｄ）に示す第４行程では、隔壁１１０Ｂの上部を封止材２０２を用いて封止する。
【０１０１】
次に、同図（Ｅ）に示す第５行程では、表示領域Ａ１および周辺領域Ａ２にＴＦＴ１０３や駆動回路が形成された素子基板１００と、第４工程で得られた対向基板１００とを張り合わせて電気泳動表示パネルＢを完成させる。なお、素子基板１００は、第１実施形態の第１工程で説明した製造プロセスによって予めＴＦＴ１０３等を形成しておく。
【０１０２】
この製造方法によれば、スタンパ３００を用いるので、高精度かつ大量に隔壁１１０Ｂを製造できる。この結果、電気泳動表示パネルＢの価格を大幅に下げることができる。
【０１０３】
＜２−３：第２実施形態の変形例＞
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
【０１０４】
＜２−３−１：第１工程の変形例（その１）＞
上述した第２実施形態にあっては、対向基板２００に共通電極２０１を予め形成し、これと隔壁１１０Ｂを張り合わせたが、隔壁１１０Ｂの中に共通電極を設けるようにしてもよい。
【０１０５】
図１９は、共通電極を内蔵する隔壁１１０Ｂの製造工程を説明するための図である。この例では、上述したスタンパ３００を用い、隔壁材料３０１Ｃとして、２枚のシート材の間に透明な電極（導電性部材）が介挿されているものを用いる。この透明電極が共通電極２０１Ｂとなる。共通電極２０１Ｂの厚さ方向の位置は、金型３００Ａで隔壁材料３０１Ｃを押圧した際に共通電極２０１Ｂがシート材を破って露出しないように定められている。このため、スタンパ３００によって隔壁材料３０１Ｃに凹凸を形成する際に、共通電極２０１Ｂが金型３００Ａと直接接触して損傷を受けるといったことがない。
【０１０６】
このようにして製造された隔壁１１０Ｂを対向基板２００と張り合わせることで、共通電極２０１を対向基板２００に形成する工程を省略することができ、これにより、電気泳動表示パネルＢの製造コストを削減することができる。
【０１０７】
＜２−３−１：第１工程の変形例（その２）＞
上述した第２実施形態にあっては対向基板２００に共通電極２０１を設けたが、共通電極２０１の機能を隔壁１１０Ｂに持たせてもよい。例えば、隔壁１１０Ｂの材料に導電性を有する素材（カーボンや金属繊維）を練り込んだ樹脂を使用することによって、隔壁１１０Ｂ全体に導電性を持たせ、隔壁１１０Ｂ自体を共通電極２０１Ｂとして用いることが可能となる。
【０１０８】
さらに、導電性を持たない通常の樹脂で隔壁１１０Ｂを形成し、その後、イオンの打ち込みや、ＣＶＤ法（気相成長法）等で樹脂表面に導電性を持たせるようにしてもよい。くわえて、導電性を持たない通常の樹脂で隔壁１１０Ｂを形成し、その後、表面を導電性部材でコーティングして樹脂表面に導電性を持たせるようにしてもよい。
【０１０９】
図２０は、そのようにして製造された電気泳動表示パネルＢの断面図である。この図に示すように対向基板２００の下側には共通電極２０１が設けられいないが、隔壁１１０Ｂの表面１１０ｂに導電性を持たせてあるので、この部分を共通電極２０１として使用することができる。この結果、共通電極２０１の厚さだけ電気泳動表示パネルＡを薄くすることができるとともに、軽量化することができる。さらに、電極間の距離が近くなるため、低い駆動電圧でも高い電界を発生させることができるといった利点がある。
【０１１０】
＜３.応用例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で応用・変形が可能であり、例えば、以下に述べる変形が可能である。
【０１１１】
＜３−１：パッシブマトリックス型の電気泳動表示パネル＞
上述した各実施形態にあっては、ＴＦＴ１０３を用いたアクティブマトリクスタイプの電気泳動表示パネルＡ、Ｂについて説明したが、本発明は限定されるものではなく、行電極と列電極とを用いたパッシブマトリックスのパネルであってもよい。図２１はパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルの分解斜視図である。この図に示すように電気泳動表示パネルＣは、複数の行電極４１０がＸ方向に形成された第１基板４００と、複数の列電極５１０がＹ方向に形成された第２基板５００と、隔壁１１０’とを備えている。隔壁１１０’は複数の分割セル１１Ｃを備えており、各分割セル１１Ｃには分散系１が充填されており、封止材（図示略）によって封止されている。
【０１１２】
第１基板４００と第２基板５００とは、例えば、ガラス基板で構成されており、また、行電極４１０と列電極５１０のうち少なくとも一方は透明電極で形成されている。そして、透明電極が形成された基板側が電気泳動表示パネルＣの表示面となる。ここでは、列電極５１０を透明電極で形成し、第２基板５００の上側の面を表示面にする。
【０１１３】
このような電気泳動表示パネルＣにおいて、１画素は、行電極４１０および列電極５１０の交差領域に対応する両電極部分と、それらの間に挟持される分散系１とを有することになる。この例では、各画素と各分割セル１１Ｃとを１対１に対応させてある。そして、行電極４１０を水平走査期間毎に順時選択する一方、１水平期間内に各列電極５１０を順時選択する。すると、選択された行電極４１０と列電極５１０との交差に対応する画素には、正極性の行選択電圧と負極性の列選択電圧とが印加され、電気泳動粒子３がそれらの差分電圧に応じて泳動する。これにより、各画素ごとに、電気泳動粒子３を表示面（列電極５１０）側に浮上させたり、あるいは、電気泳動粒子３を沈降させたりすることができ、所望の画像を表示することが可能となる。
【０１１４】
この場合、電気泳動粒子３としてしきい値を有するものを用いることが望ましい。これは、ある行電極４１０を選択する選択期間にあっては、この行に対応するすべての画素に行選択電圧が印加されるため、そのような電圧が印加されても列選択電圧が印加される画素以外の他の画素では電気泳動粒子３が泳動しないことが望ましいからである。
【０１１５】
次に、電気泳動表示パネルＣは上述した第１実施形態または第２実施形態と同様に製造することができる。例えば、第１実施形態の製造方法を適用して電気泳動表示パネルＣを製造する場合には、図４（Ａ）に示すＴＦＴ１０３が形成された素子基板１００の替わりに行電極４１０が形成された第１基板４００を用いるとともに、対向基板２００の替わりに列電極５１０が形成された第２基板５００を用いればよい。この場合には、同図（Ｂ）に示す第２工程において、第２基板５００上に、第１実施形態で説明したように感光性ポリイミド前駆体にエッチング処理を施して隔壁１１０’を形成し、同図（Ｃ）に示す第３工程においてインクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて分散系１を各分割セル１１Ｃに充填し、さらに、同図（Ｄ）に示す第４工程において、隔壁１１０’を封止した後、同図（Ｅ）に示す第５工程において、第１基板４００と第２基板５００とを、電極面が対向するように張り合わせる。
【０１１６】
一方、第２実施形態の製造方法を適用して電気泳動表示パネルＣを製造する場合には、まず、スタンパ３００を用いて隔壁１１０’を製造し（図１８参照）、これを行電極４１０が形成された第１基板４００または、列電極５１０が形成された第２基板５００のうちいずれか一方に張り合わせる。次に、図１７（Ｃ）に示す第２実施形態の第３工程と同様に、インクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて分散系１を各分割セル１１Ｃに充填し、さらに、同図（Ｄ）に示す第４工程において、隔壁１１０’を封止した後、同図（Ｅ）に示す第５工程において、第１基板４００と第２基板５００とを、電極面が対向するように張り合わせる。
【０１１７】
このようにパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルＣは、アクティブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルＡ、Ｂと同様にインクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて分散系１を分割セル１１Ｃに充填することができるので、電気泳動表示パネルＣを高い生産性の下に製造することができる。
【０１１８】
＜３−２：分割セルと画素の対応関係＞
上述した電気泳動表示パネルＡ、Ｂ、およびＣは、いずれも分割セル１１Ｃと画素が１対１に対応するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、１つの分割セルＣ１１に複数の画素が対応するものであってもよい。
【０１１９】
例えば、電気泳動表示パネルＡ、Ｂは、図２２に示すように、Ｙ方向に縦長の分割セル１１Ｃ１を短冊状に有する隔壁１１０１を用いて構成してもよい。また、電気泳動表示パネルＣは、図２３に示すように、同様の隔壁１１０１を用いて構成してもよい。これらのパネルを製造する場合には、インクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて各分割セル１１Ｃ１に分散系１を吐出することによって分散系１を充填することができる。また、カラー表示させる場合には、各分割セル１１Ｃ１にＲ色→Ｇ色→Ｂ色といった順に分散系１を充填し、ストライプ型の画素構成とすればよい。
【０１２０】
さらに、図２４に示すように、近接する複数の画素（この例では４画素）を１ブロックとし、各ブロックに対応する分割セル１１Ｃ２を設けるようにしてもよい。
【０１２１】
なお、以上の説明では、隔壁１１０、１１０’、１１０１を画素と画素との境界に設けたが、例えば、図２５に示すように画素を横切るように隔壁１１０２を設けてもよい。ただし、画素を横切るように隔壁１１０２を設けると、隔壁１１０２の厚さだけ、開口率が低下することになる。換言すれば、画素間の境界の一部または全部に隔壁を設けることによって開口率を向上させることができる。
【０１２２】
＜３−３：隔壁の封止方法＞
次に、上述した第１および第２実施形態の電気泳動表示パネルＡ、Ｂやパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルＣの製造方法において、隔壁を封止する他の封止方法について説明する。
【０１２３】
第１の封止方法は、分散系１より軽い封止材を用いるものである。図２６は第１の封止方法を説明するための図である。なお、同図においては電極を省略してある。この例では、隔壁１１０、１１０Ｂ、１１０１に分散系１を充填した後、開口部側から、封止材２０２ｃを散布する。封止材２０２ｃとしては、分散系１より比重が小さく、硬化処理により硬化するものを用いる。硬化処理は封止材２０２ｃの種類に応じて決められるが、例えば、ＵＶ硬化、加熱硬化、縮合重合硬化、付加重合硬化等がある。
【０１２４】
このように封止材２０２ｃを散布すると、一旦は封止材２０２ｃが分散系１と混ざるが、封止材２０２ｃの方が分散系１より比重が小さいので、所定時間放置すれば封止材２０２ｃが分散系１と分離して、分散系１の上部に抽出される。こうして封止材２０２ｃが分散系１と分離した後に硬化処理を行うことによって、隔壁１１０、１１０Ｂ、１１０１を封止層２０２Ｃで封止することができる。
【０１２５】
さらに、分散系１に封止材２０２ｃを予め添加しておき、混合材料をインクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて隔壁１１０、１１０Ｂ、１１０１に充填するようにしてもよい。この場合にも、所定時間放置することによって、分散系１と封止材２０２ｃを分離することができる。
【０１２６】
この第１の封止方法によれば、分散系１と封止材２０２ｃとの間に気泡が入る余地がなく、しかも薄膜で封止層２０２Ｃを形成できる。この結果、高品質のパネルを高い信頼性の下に安価に製造することができる。
【０１２７】
次に、第２の封止方法について説明する。第２の封止方法では、まず、隔壁１１０、１１０Ｂの開口部側に図２７に示す小孔シート２０２Ｄを接着する。小孔シート２０２Ｄは、同図に示すように各画素に対応する小孔２０２ｄを有しており、例えば、第１実施形態で説明したエッチング処理等によって作成することができる。
【０１２８】
次に、図２８に示すように、インクジェット方式の分散系充填装置１０を用いて分散系１と封止材２０２ｅとを小孔２０２ｄに向けて吐出する。この工程にあっては、まず、小孔２０２ｄに達するように分散系１を分割セル１１Ｃに充填し、この後、封止材２０２ｅを小孔２０２ｄに吐出してこれを封止する。同図に示す例では、分割セル１１Ｃａは分散系１を充填中であり、分割セル１１Ｃｂは分散系１の充填が終了しており、分割セル１１Ｃｃは封止材２０２ｅによって小孔２０２ｄを封止中であり、さらに、分割セル１１Ｃｄは封止が完了している。
【０１２９】
この封止方法によれば、分散系１は隔壁１１０、１１０Ｂの高さｈまで必ず充填されるので、封止材２０２ｅの厚さとは無関係に、分散系１の厚さを定めることができる。したがって、各画素間で分散系１の厚さがバラツクといったことがなくなるから、一様な濃度で画像を表示することが可能となる。
【０１３０】
＜３−４：分散系の組成＞
上述した実施形態にあっては、分散系１の組成の一例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各種のものを適用してもよいことは勿論である。
【０１３１】
例えば、分散媒２としては、電着塗装あるいは静電映像用液体現像剤に用いられる溶媒は勿論のこと、その他多くの液体を使用できる。例えば、水、エタノール等のアルコール系溶剤、アミルアセテート等のエステル類、ターペンチン等のテルペン類、石油類等の脂肪系炭化水素、トルエン、ベンゼン等の芳香系炭化水素、各種の油を用いることができる。さらに、これらを適宜組み合わせて、着色して用いることができる。
【０１３２】
また、電気泳動粒子３としては以下のものがある。白色粒子としては、アナターゼ型およびルチル型二酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、二酸化ケイ素、チタン酸バリウム、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、タルク等を使用できる。また、黒色粒子としては、カーボンブラック、グラファイト、黒色酸化鉄、アイボリーブラック、二酸化クロム等を使用できる。
【０１３３】
また、赤色粒子としては、レーキレッドＣ、リソールレッド、ブリリアントカルミン６Ｂ、ウオツチングレッド等のアゾレーキ系、パーマネントレッド４Ｒ等の不溶性アゾ系、酸化鉄、硫化アンチモン、セレン化カドミウム、鉛丹等を使用できる。また、緑色粒子としては、フタロシアニングリーン、マラカイトグリーンレーキ、ナフトールグリーン、エメラルドグリーン、ビリデイアン、コバルトグリーン、酸化クロム等を使用できる。また、青色粒子としては、フタロシアニンブルー、スカイブルー、インダスレンブルー、群青、コバルトブルー等を使用することができる。
【０１３４】
＜３−５：電子機器＞
次に、上述した電気泳動表示パネルＡ、Ｂ、Ｃを用いた電子機器について
説明する。
【０１３５】
＜３−５−１：電子書籍＞
電気泳動表示パネルＡ、Ｂ、Ｃを電子書籍に適用した例について説明する。図２９は、この電子書籍を示す斜視図である。図において、電子書籍１０００は、電気泳動表示パネル１００１、電源スイッチ１００２、第１ボタン１００３、第２ボタン１００４、およびＣＤ−ＲＯＭスロット１００５を備えている。
【０１３６】
利用者が電源スイッチ１００２を押して、ＣＤ−ＲＯＭスロット１００５にＣＤ−ＲＯＭを装着すると、ＣＤ−ＲＯＭの内容が読み出され、電気泳動表示パネル１００１にメニューが表示される。利用者が第１ボタン１００３と第２ボタン１００４を操作して、所望の書籍を選択すると電気泳動表示パネル１００１に第１頁が表示される。頁を進める場合には第２ボタン１００４を押し、頁を戻す場合には第１ボタン１００３を押す。
【０１３７】
この電子書籍１０００にあっては、書籍の内容を表示した後は、第１ボタン１００３および第２ボタン１００４を操作したときだけ表示画面を更新する。上述したように電気泳動粒子３は電界が印加されなければ泳動しない。換言すれば、表示画像を維持するためには給電が不要である。このため、表示画面を更新するときだけ、駆動回路に電圧を給電して電気泳動表示パネル１００１を駆動している。この結果、液晶表示装置と比較して消費電力を大幅に削減することができる。
【０１３８】
また、電気泳動表示パネル１００１の表示画像は、顔料粒子である電気泳動粒子３によって表示されるので、表示画面が光ることがない。したがって、電子書籍１０００は印刷物と同様の表示が可能であり、これを長時間読んでも目の疲労が少ないといった利点がある。
【０１３９】
＜３−５−２：パーソナルコンピュータ＞
次に、電気泳動表示パネルＡ、Ｂ、Ｃを、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図３０は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、電気泳動表示パネル１２０６とから構成されている。この電気泳動表示パネル１２０６の表示画像は、顔料粒子である電気泳動粒子３によって表示されるので、透過型・半透過型の液晶表示装置で必要とされるバックライトが不要である。このため、コンピュータ１２００を小型軽量化することができ、しかも、その消費電力を大幅に削減することが可能である。
【０１４０】
＜３−５−３：携帯電話＞
さらに、電気泳動表示パネルＡ、Ｂ、Ｃを、携帯電話に適用した例について説明する。図３１は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２のほか、受話口１３０４、送話口１３０６とともに、電気泳動表示パネル１３０８を備えるものである。
【０１４１】
液晶表示装置にあっては偏光板が必要であり、これにより表示画面が暗くなっていたが、電気泳動表示パネル１３０８は偏光板が不要である。このため、携帯電話１３００は明るくて見やすい画面を表示することができる。
【０１４２】
なお、電子機器としては、図２９〜図３１を参照して説明した他にも、テレビジョンモニタや、屋外の広告板、道路標識、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に対して、各実施形態の電気泳動表示パネル、さらにはこれを備えた電気光学装置が適用可能なのは言うまでもない。
【０１４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明よれば、電気泳動表示パネルを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係る電気泳動表示パネルの機械的な構成を示す分解斜視図である。
【図２】  同パネルの部分断面図である。
【図３】  同パネルを用いた電気泳動表示装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図４】  同パネルの製造方法を説明するための説明図である。
【図５】  同製造方法の第１工程を詳細なプロセスを説明するための説明図である。
【図６】  同製造方法の第３工程に使用する分散系充填装置の概観を示す斜視図である。
【図７】  同分散系充填装置を拡大した斜視図である。
【図８】  同分散系充填装置に用いるインクジェットヘッドの構成例を示す図である。
【図９】  同分散系充填装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図１０】  同分散系充填装置の動作例を示すフローチャートである。
【図１１】  同分散系充填装置を用いた分散系の充填動作を示す説明図である。
【図１２】  インクジェットユニットを用いて隔壁を形成する工程を示す説明図である。
【図１３】  隔壁の一部に導電性を持たせる処理を説明するための説明図である。
【図１４】  隔壁の一部に導電性を持たせた電気泳動表示パネルの断面図である。
【図１５】  封止材に導電性を持たせた電気泳動表示パネルの断面図である。
【図１６】  本発明の第２実施形態に係る電気泳動表示パネルの断面図である。
【図１７】  同パネルの製造方法を説明するための説明図である。
【図１８】  同製造方法の第１工程の詳細を説明するための図である。
【図１９】  共通電極を内蔵する隔壁の製造工程を説明するための図である。
【図２０】  隔壁の表面に導電性を持たせた電気泳動表示パネルの断面図である。
【図２１】  パッシブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルの分解斜視図である。
【図２２】  縦長の分割セルを短冊状に有する隔壁を用いたアクティブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルの分解斜視図である。
【図２３】  縦長の分割セルを短冊状に有する隔壁を用いたパッシブマトリックスタイプの電気泳動表示パネルの分解斜視図である。
【図２４】  隔壁と画素との関係の一例を示す図である。
【図２５】  隔壁と画素との関係の他の例を示す図である。
【図２６】  隔壁の第１封止方法を説明するための図である。
【図２７】  第２封止方法に用いる小孔シートの平面図である。
【図２８】  第２封止方法による封止工程を説明するための説明図である。
【図２９】  電子機器の一例たる電子書籍の概観斜視図である。
【図３０】  電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの概観斜視図である。
【図３１】  電子機器の一例たる携帯電話の概観斜視図である。
【符号の説明】
１……分散系
２……分散媒
３……電気泳動粒子
Ａ、Ｂ、Ｃ……電気泳動表示パネル
１１０、１１０Ｂ、１１０１……隔壁
１１Ｃ、１１Ｃ１……分割セル
２０２、２０２ａ……封止材
１０１……走査線
１０２……データ線
１０３……ＴＦＴ（スイッチング素子）
２０１……共通電極
４１０……行電極
５１０……列電極
７５……インク滴（液滴）
３００……スタンパ
３００Ｃ……隔壁材料
【図１】
0004006925.tif 000002
【図２】
0004006925.tif 000003
【図３】
0004006925.tif 000004
【図４】
0004006925.tif 000005
【図５】
0004006925.tif 000006
【図６】
0004006925.tif 000007
【図７】
0004006925.tif 000008
【図８】
0004006925.tif 000009
【図９】
0004006925.tif 000010
【図１０】
0004006925.tif 000011
【図１１】
0004006925.tif 000012
【図１２】
0004006925.tif 000013
【図１３】
0004006925.tif 000014
【図１４】
0004006925.tif 000015
【図１５】
0004006925.tif 000016
【図１６】
0004006925.tif 000017
【図１７】
0004006925.tif 000018
【図１８】
0004006925.tif 000019
【図１９】
0004006925.tif 000020
【図２０】
0004006925.tif 000021
【図２１】
0004006925.tif 000022
【図２２】
0004006925.tif 000023
【図２３】
0004006925.tif 000024
【図２４】
0004006925.tif 000025
【図２５】
0004006925.tif 000026
【図２６】
0004006925.tif 000027
【図２７】
0004006925.tif 000028
【図２８】
0004006925.tif 000029
【図２９】
0004006925.tif 000030
【図３０】
0004006925.tif 000031
【図３１】
0004006925.tif 000032