(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道と、
電子部品を収納する複数の容器を前記軌道に沿って配置する容器配置領域と、前記軌道に近接して配置され、電子部品を検査する検査部を設置する検査板を複数の方向のいずれかに脱着可能に取り付ける検査領域と、
前記軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノズルを装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇降するノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿って移動するノズル移動部とを有し、前記容器配置領域と前記検査領域との間で電子部品を搬送する部品搬送部と、
前記検査領域に対する前記検査板の取り付け方向を教示する取付方向情報を出力する取付方向教示部と、
前記取り付け方向教示部から出力された前記取付方向情報に基づいて前記吸着ノズルを回転するノズル回転部と、
を具備することを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２】
前記取付方向教示部が、前記検査領域に対する前記検査板の取り付け方向を検知する取付方向検知部を有する
ことを特徴とする請求項１記載の電子部品検査装置。
【請求項３】
前記検査領域に対する前記検査板の取り付け方向が２つの方向である
ことを特徴とする請求項１記載の電子部品検査装置。
【請求項４】
前記２つの取り付け方向が互いに略直交する
ことを特徴とする請求項２記載の電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を検査する電子部品検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス等の電子部品を検査する電子部品検査装置が用いられている。例えば、特開平１０−１４８５０７号（先行技術）には、アンローダ部、ローダ部、空トレイ部、加熱部、２つのソート部、ＩＣソケット、デバイス搬送機構等から構成されるテストハンドラが開示されている。第１のソート部、アンローダ部、ローダ部、空トレイ部はＸ方向に並び、これらからＹ方向に離間してＩＣソケットが配置される。また、第２のソート部、および加熱部が第１のソート部等からＹ方向に離間して並んで配置される。
このテストハンドラでは、ローダ上のデバイスをデバイス搬送機構により加熱部に搬送し、さらに加熱されたデバイスをＩＣソケットに搬送して検査を行う。検査が終了したデバイスのうち合格品はアンローダ部に、不合格品は第１または第２のソート部にそれぞれデバイス搬送機構により搬送される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記先行技術では、テストハンドラ上の配置が固定的であり、状況に応じた配置の組み替えが困難のため装置の使いかってが良いとは言い難い。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、検査部の向きの変更が容易な電子部品検査装置を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明に係る電子部品検査装置は、軌道と、電子部品を収納する複数の容器を前記軌道に沿って配置する容器配置領域と、前記軌道に近接して配置され、電子部品を検査する検査部を設置する検査板を複数の方向のいずれかに脱着可能に取り付ける検査領域と、前記軌道上に設置され、かつ電子部品を吸着する吸着ノズルを装着する吸着ヘッドと、該吸着ノズルを上下に昇降するノズル昇降部と、該吸着ノズルを前記軌道に沿って移動するノズル移動部とを有し、前記容器配置領域と前記検査領域との間で電子部品を搬送する部品搬送部と、前記検査領域に対する前記検査板の取り付け方向を教示する取付方向情報を出力する取付方向教示部と、前記取り付け方向教示部から出力された前記取付方向情報に基づいて前記吸着ノズルを回転するノズル回転部と、を具備することを特徴とする。
電子部品検査装置が、電子部品を収納する容器を配置する容器配置領域、検査部を配置する検査領域、電子部品を搬送する部品搬送部と、取付方向教示部と、ノズル回転部を有し、電子部品が容器配置領域と検査領域との間を部品搬送部により搬送されることで電子部品の検査が行われる。
検査部が複数の方向のいずれかに検査領域に対して脱着可能に取り付けられる検査板に設置される。取付方向教示部がこの取り付け方向を教示し、この教示に基づきノズル回転部による吸着ノズルの回転が行われる。このため、検査部の向きの変更が容易に行われる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査装置１０を表す斜視図である。また、図２〜４それぞれは電子部品検査装置１０を図１のＺ、Ｘ、Ｙ軸方向それぞれから見た状態を表す上面図、側面図、および正面図である。
【０００６】
電子部品検査装置１０は、電子部品Ｄの搬送および検査を行う装置であり、図１〜４に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット１００と電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成されている。
ここで、電子部品検査装置１０とは、後述する検査用ソケット１５２a、１５２ｂが設置された検査板１５３が取り付けられる前の状態の、あるいは検査板１５３が取り付けられた状態の主に検査対象部品を搬送する電子部品搬送ユニット１００を言う。あるいはさらに、電子部品搬送ユニット１００に加え、検査用ソケット１５２a、１５２ｂ及び電子部品搬送ユニット１００の制御部１９０とそれぞれ信号線で連結され、電子部品の検査を実行し、検査結果データを制御部１９０やその他に出力し、あるいは記憶し、あるいはさらに表示する電子部品の検査制御に関わる装置である電子部品検査ユニット２００を含む装置を言う。
電子部品Ｄは、ＩＣ等半導体デバイスを含む電子部品一般である。
また、後述するトレイとはそれぞれ本願で言う容器のことを言う。
【０００７】
（電子部品搬送ユニット１００の構成）
電子部品搬送ユニット１００は、主に基台１１０、２本のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域１３０、ストッカー配置領域１４０、検査領域１５０、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ，Ｘ方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０ｂ、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄ、制御部１９０、カバー３００から構成される。
【０００８】
基台１１０は、上面が略矩形状、底面が略Ｌ字型状をなし、検査領域１５０の下方に略直方体状の空間１１１を有する。この空間１１１には、電子部品搬送ユニット１００との接続のため電子部品検査ユニット２００が挿入される。空間１１１がＸ，Ｙ方向双方の側面で開口していることから、電子部品検査ユニット２００の挿入はＸ、Ｙ方向のいずれからでも行える。
【０００９】
Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂは、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄをＸ軸方向に移動させるための軌道として機能するものであり、基台１１０の上面上にＸ方向に沿って互いに略平行に設置されている。このＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂそれぞれ上を部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂおよび部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄが移動し、電子部品Ｄの搬送を行う。後述するように２つのＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂを用いることにより、検査効率の向上が図られる。
Ｘ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂは、移動可能に取り付けられる部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄから見れば、軌道と見なすことができ、一方部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄを軌道上に配置される部品搬送部と見なすことができる。Ｘ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂは、固定磁石で形成されるＸ軸レールと、このＸ軸レールに沿って移動可能とされる移動磁石からなるリニアモータや、サーボモータに連結されるネジ軸と、ネジ軸とＸ軸レールに嵌合し、回り止めされつつＸ軸レールに沿って移動可能とされる移動ナットからなる単軸ロボット等からなる。なお、Ｘ軸レールを本願で言う軌道と見なすこともできる。
【００１０】
（トレイ配置領域１３０の詳細）
トレイ配置領域１３０は、基台１１０上のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ間に設定され、トレイＴ１〜Ｔ４が配置される略矩形状の領域である。トレイ配置領域１３０のＹ方向長さは、トレイＴ１〜Ｔ４のＹ方向の１辺の長さより大きくその２倍より小さい範囲で適宜に設定することができる。
【００１１】
トレイＴ１〜Ｔ４は、電子部品Ｄを収納するための容器であり、その上面に電子部品Ｄそれぞれを区分して載置するための構造（例えば、窪み、突起）が形成されている。ここでは、一例として縦に１０個、横に５個の電子部品Ｄを収納可能なものを示している。
トレイＴ１、Ｔ２は、検査済みの電子部品Ｄを収納する検査済品用トレイ（例えば、トレイＴ１は合格品用、トレイＴ２は不合格品用）、トレイＴ３は電子部品Ｄを収納しない空トレイ、トレイＴ４は検査前の電子部品Ｄを収納する未検査品用トレイである。即ち、ここではトレイ配置領域１３０は、検査済品用トレイ配置領域、検査済品用トレイ配置領域，空トレイ配置領域、未検査品用トレイ配置領域に区分され、トレイＴ１〜Ｔ４はそれぞれこの区分された領域に配置されている。
図５にトレイ配置領域１３０とストッカー配置領域１４０の対応関係を示す。トレイ配置領域１３０を区分したトレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄが後述する検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂも含めて一列に配置されている。また、ストッカー配置領域１４０がトレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄに対応してストッカー配置領域１４０ａ〜１４０ｄに区分されている。
トレイＴ１〜Ｔ４はＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂに沿って一列に配置される。後述する空トレイ用トレイＴ３も含め、トレイＴを一列に並べていることから、Ｙ方向に関するスペースを節約すること（電子部品検査装置１０の小型化）が可能となる。
【００１２】
後述するように、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄによってトレイＴ３から電子部品Ｄが検査領域１５０に搬送され検査が行われる。検査された電子部品Ｄは、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄによってトレイＴ１，Ｔ２に検査の合格、不合格に応じて区分して収納される。なお、トレイＴ４はその上の全ての電子部品Ｄが検査されると空トレイＴとなる。この空トレイＴはＸ方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０ｂのいずれか一方あるいは両方によって、トレイ配置領域１３０ｄからトレイ配置領域１３０ｃに搬送されトレイＴ３となる。
【００１３】
なお、後述するように、Ｘ方向にのみ移動可能な部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄにより電子部品ＤをトレイＴ４から吸着、あるいはトレイＴ１、Ｔ２へ装着する場合には、トレイＴ中のＹ方向所望の位置で吸着、あるいは装着できるよう、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０で各トレイＴ１〜Ｔ２、Ｔ４がＹ方向に移動するようにする。このため、トレイ配置領域１３０は、トレイＴ自体の大きさに限定することなく、例えば、トレイＴのＹ方向の長さの２倍未満とされる。
ここで、トレイ配置領域１３０上において部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄが電子部品Ｄを吸着、離着（＝トレイＴへの装着）する領域を部品吸着離着領域と言うことにすると、Ｘ方向にのみ移動可能な部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄでは、Ｘ方向には全トレイＴに渡るがＹ方向に極めて狭い領域が部品吸着離着領域となる。一方、同様後述するように、Ｘ方向Ｙ方向の両方向に移動可能な部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄにより電子部品Ｄを吸着、離着する場合において、トレイＴをＹ方向に移動しないものにおいては、部品吸着離着領域は、トレイＴのＹ方向の長さとなる。さらに、電子部品Ｄの吸着あるいは離着の際に、トレイＴがＹ方向に移動可能、且つ部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄもＸ方向Ｙ方向の両方向に移動可能とされる場合では、部品吸着離着領域は、Ｙ方向にはトレイＴのＹ方向の長さの２倍未満、最小では極めて幅の狭いものまで可能であり、トレイ配置領域１３０は、トレイＴのＹ方向の長さ以上、２倍未満が可能とされる。
【００１４】
（トレイＴの配置）
以下、トレイＴの配置につき、さらに詳しく述べる。
本実施形態では、検査済み用トレイＴ１，Ｔ２、空トレイＴ３，未検査品用トレイＴ４の順で、トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄにトレイＴを並べているが、この順序は適宜に変更することができる。トレイＴの配置の例として、図６の配置１〜３が考えられる。このうち配置１は本実施形態で既に示した配置である。
【００１５】
図６の配置１〜３では未検査品用トレイＴを２つの検査済品用トレイＴよりも検査領域１５０側に配置している。このように配置することで、未検査の電子部品Ｄの検査済品用トレイＴへの混入防止の確実性が向上する。未検査の電子部品Ｄを検査領域１５０に搬送する際に検査済品用トレイＴ上を通過することがないため、仮に部品搬送機構１６０から未検査の電子部品Ｄが落下しても検査済品用トレイＴに混入することがない。
また、図６の配置１のように空トレイＴを検査済品用トレイＴと未検査品用トレイＴの間に配置することで、空トレイ配置領域から未検査品用トレイ配置領域および検査済品用トレイ配置領域間双方との距離の低減が図られ、空トレイの移動が速やかに行われるようになる。なお、この移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０によって行われる。
もし部品搬送機構１６０からの電子部品Ｄの脱落の問題がなければ、図６に示した配置で未検査品用トレイＴと検査済品用トレイＴの配置を逆にしても差し支えない。そして、このどちらでも電子部品Ｄの搬送距離に変わりはないので、検査速度に相違が出るわけではない。
【００１６】
２つの検査済品用トレイＴの内、合格品用トレイＴ、不合格品用トレイＴをそれぞれどちらにするかは、電子部品Ｄの検査の歩留まりに応じて定めると良い。通例は歩留まりが５０％以上なので、合格品用トレイＴを不合格品用トレイＴより検査領域１５０に近づけた方が検査速度が向上する。
これに対して、歩留まりが５０％より小さければ、不合格品用トレイＴを合格品用トレイＴより検査領域１５０に近づけた方が検査速度が向上する。
このような歩留まりに応じて、合格品用トレイＴと不合格品用トレイＴの必要量が異なる。通例は、歩留まりが５０％以上なので合格品用トレイＴの個数の方が結果的に多くなる。
【００１７】
トレイＴ１〜Ｔ４は、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によって、互いに独立してＹ方向に移動することができる。
このようにトレイＴ１〜Ｔ４をＹ方向に移動することで、部品搬送機構１６０をＹ方向に（ほとんどあるいは全く）動かすことなく、トレイＴ１〜Ｔ４内の所望の場所で電子部品Ｄを着脱することが可能となる。即ち、トレイＴに収納された電子部品Ｄの全ての検査が可能であり、検査済みの電子部品ＤをトレイＴの全ての収納場所に収納できる。
トレイＴ上全体を効率よく利用することで、電子部品Ｄの個数に対して用意するトレイＴの個数を少なくすることができる。
また、部品搬送機構１６０による電子部品Ｄの移動とＹ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴの移動を同時に行うことができる。この結果、検査速度の向上がもたらされる。
【００１８】
トレイＴの移動は、未検査品用トレイ上から電子部品Ｄの全てが搬送されたとき、および検査済品用トレイが検査済みの電子部品Ｄで一杯になったときにも行われる。すなわち、空となった未検査用トレイＴ４がトレイ配置領域１３０上の空トレイＴ３位置へ移動され、電子部品Ｄで一杯とされた検査済品用トレイがＹ方向トレイ搬送機構１８０で後述するストッカー配置領域１４０へ搬出された後、トレイ配置領域１３０上の空トレイＴ３が同領域１３０上の検査済品トレイＴ４位置へ移動される。
この移動はＸ方向トレイ搬送機構１７０によって行われるが、後述する吸着ヘッド１６５を用いて行っても差し支えない。このようにすると、吸着ヘッド１６５が電子部品Ｄの搬送とトレイＴの搬送の双方を行うこととなり、装置の製作コストを低減できる（Ｘ方向トレイ搬送機構１７０を省略が可能）。
【００１９】
（ストッカー配置領域１４０の詳細）
ストッカー配置領域１４０は、基台１１０の上面上においてＸ軸ロボット１２０ｂに沿って設定され、トレイＴを重ねた状態で収納するストッカー１４１ａ〜１４１ｄを配置する略矩形の領域である。具体的には、基台１１０のストッカー配置領域１４０上に形成された開口部それぞれにストッカー１４１ａ〜１４１ｄが着脱自在に設置される。ここで、図７，８は、ストッカー１４１を拡大して表す側面図および正面図である。
ストッカー１４１のうち、ストッカー１４１ａ、１４１ｂはそれぞれトレイＴ１、Ｔ２を収納する検査済品用ストッカー（例えば、それぞれ合格品用、不合格品用）、ストッカー１４１ｃはトレイＴ３を収納する空トレイ収納用ストッカー、ストッカー１４１ｄはストッカーＴ４を収納する未検査品用ストッカーである。
【００２０】
既述のように、ストッカー配置領域１４０は、検査済品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ａ、１４０ｂ、空トレイ用ストッカー配置領域１４０ｃ、未検査品用トレイ用ストッカー配置領域１４０ｄに区分され、ストッカー１４１ａ〜１４１ｄはそれぞれこの区分された領域に配置されている。そして、この区分された領域は、トレイ配置領域１３０ａ〜１３０ｄと対応している。
このようにストッカー１４１それぞれがトレイ配置領域１３０の区分された領域と対応するように所定のトレイＴを収納することで、トレイ配置領域１３０間とのトレイＴの搬送を効率よく行うことができる。
【００２１】
ストッカー１４１ａ〜１４１ｄ（ストッカー１４１）は収納するトレイＴの役割が異なるが、構成は同一である。即ち、ストッカー１４１はいずれも、４つの支柱１４３，底部１４４，４つのトレイ分離フック１４５，トレイ昇降機構１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域１４７が形成されている。このうち、支柱１４３、トレイ分離フック１４５、トレイ搬送機構進入領域１４７は基台１１０の上面より上方に、底部１４４，およびトレイ昇降機構１４６は基台１１０の上面より下方に設置される。
【００２２】
支柱１４３は、基台１１０に接続された部材に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ−Ｙの２軸方向においてトレイＴの移動を防止する。
底部１４４は、支柱１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、この側板を除外し、底部１４４たる底板に支柱１４３が直接接続されても差し支えない。
なお、ストッカー１４１は、前方（図３の右手）壁が開閉可能な扉とされ、ストッカー１４１へのトレイＴの挿入、搬出の作業性の向上が図られている。天井部１４２は、ストッカー１４１の天井として脱着不能とされるが、ストッカー１４１へのトレイＴの挿入、搬出の作業をストッカー１４１の上方から実施する場合には脱着可能とされる。
【００２３】
トレイ分離フック１４５は４つの支柱１４３が接続されている部材に設置され、ストッカー１４１内の最下段のトレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。具体的には、トレイＴの対向する側面に凹部が形成されており、トレイ分離フック１４５がトレイＴの凹部内に挿入されることで、最下段のトレイＴが下方に（Ｚ負方向に）落下することを防止する。トレイ分離フック１４５には図示しない駆動機構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック１４５の挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴのＺ方向の固定およびその解除が行われる。
【００２４】
トレイ昇降機構１４６は、トレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を上下に昇降することで、トレイＴをストッカー１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ昇降機構１４６は、トレイＴが載置されていないＹ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域１４７内に位置する状態で、トレイ載置板の上昇及び下降が可能である。さらに、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０のトレイ側を切欠き、コの字状の形状にすることで、トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇させている状態で、トレイＴが載置されていないＹ方向トレイ搬送機構１８０をトレイ搬送機構進入領域１４７内に移動可能とすることができ、トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板を先行して上昇させることで、ストッカー１４１内からのトレイＴの搬出時間を短くできる。
トレイ搬送機構進入領域１４７は、基台１１０の上面の上、かつトレイ分離フック１４５より下方に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がＹ正方向から出入りする。
【００２５】
ストッカー１４１内からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行われる。ここで、図９はストッカー１４１内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
（１）トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇させ、これをストッカー１４１内の最下段のトレイＴ底面に押しつけた状態でトレイ分離フック１４５を解除する（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内から取り出す）（図９（Ａ）参照）。
（２）トレイ昇降機構１４６を動作させトレイＴをトレイＴ一枚分下降し（トレイ載置板を降下する）、トレイ分離フック１４５に対応するトレイを最下段から２つ目のトレイにする。
（３）トレイ分離フック１４５を動作し、最下段から２つ目のトレイＴを固定する（トレイ分離フック１４５を最下段から２つ目のトレイＴの側面の凹部に挿入する）（図９（Ｂ）参照）。
【００２６】
（４）トレイ昇降機構１４６を動作させ、最下段のトレイＴを降下する。このとき、最下段から２番目のトレイＴはトレイ分離フック１４５によって固定されている。
（５）トレイ昇降機構１４６の動作を継続させ、最下段のトレイＴをトレイ搬入機構進入領域１４７まで降下する。このときまでに、トレイ搬入機構進入領域１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０を進入しているようにする。
この結果、トレイ昇降機構１４６上のトレイＴはトレイ搬入機構進入領域１４７内のＹ方向トレイ搬送機構１８０上に降下、載置される（図９（Ｃ）参照）。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴは、トレイ昇降機構１４６をさらに降下してもそのまま載置した状態を保持する。このようにして、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０に引き渡される。
（６）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴは、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域１４７から退出することで、ストッカー１４１内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配置される。
【００２７】
トレイ配置領域１３０からストッカー１４１へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順によって行われる。
（１）トレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域１４７内に進入することで、ストッカー１４１内にトレイＴが搬入される（図９（Ｃ）参照）。
（２）トレイ昇降機構１４６がトレイ載置板を上昇する。この結果、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴがトレイ昇降機構１４６に引き渡される。
トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板をさらに上昇させ、これに載置されたストッカーＴをストッカー１４１内の最下段のトレイＴ底面に接触させる（図９（Ｂ）参照）。
【００２８】
（３）トレイ昇降機構１４６によってトレイＴを接触させた状態でトレイ分離フック１４５を解除する（トレイ分離フック１４５をトレイＴ側面の凹部内から取り出す）。
（４）トレイ昇降機構１４６を動作させトレイＴをトレイＴ一枚分上昇し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴをトレイ分離フック１４５に対応させる（図９（Ａ）参照）。
（５）トレイ分離フック１４５を動作し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴを固定する。
かくして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１４１内の最下段に収納、固定される。
【００２９】
（６）トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板を降下する。ストッカー１４１の最下段のトレイＴは、トレイ分離フック１４５によって固定されているので、トレイ載置板が降下してもそのまま保持される。トレイ昇降機構１４６のトレイ載置板はトレイ搬入機構進入領域１４７より下方まで降下する。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー１４１内の最下段に収納、固定される。
【００３０】
ストッカー１４１ａ〜１４１ｄは、Ｘ方向に一列に配置され、かつその内部のトレイ搬入機構進入領域１４７の上方にトレイＴを多段に積み重ねて収納している。この結果、トレイＴの交換作業性が良好となっている。
即ち、トレイ搬入機構進入領域１４７の上方にトレイＴを多段に積み重ねていることから、ストッカー１４１の最下段のトレイＴをトレイ搬入機構進入領域１４７へ搬入搬出することが容易に行える。また、トレイ搬入機構進入領域１４７とトレイ配置領域１３０間の距離がいずれのストッカーＴでも同一なので、その間でのトレイＴの搬送時間が揃っており、検査速度の向上に寄与する。
【００３１】
（検査領域１５０の詳細）
検査領域１５０は、基台１１０の上面上Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ間かつトレイ配置領域１３０のＸ方向延長上に設定された略矩形状の領域であり、その下方に電子部品検査ユニット２００が配置される。ここで、図１０、１１はそれぞれ検査領域１５０を拡大して表す上面図、および断面図である。
検査領域１５０には、２つの部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂおよび検査部となる２つの検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂが配置される。部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂは基台１１０上に設置され、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは検査板１５３上に設置され、検査板１５３を介して基台１１０に着脱される。
【００３２】
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは、部品搬送機構１６０で搬送される電子部品Ｄの位置を確認するための撮像カメラであり、ラインセンサ、ＣＣＤカメラ、ビジョンカメラ等から構成される。電子部品Ｄの平面的（場合により一軸方向上の）の画像情報を入手可能であれば特に構成は限定されない。
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは検査領域１５０上にＹ方向に沿って、かつＹ方向中心に対称に並んで配置され、それぞれその上方を通過する電子部品Ｄの画像を撮影する。撮影された画像を画像処理することで、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が検出される。この結果、部品搬送機構１６０で電子部品Ｄを吸着したときの電子部品Ｄの位置ズレ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向）を検知し、検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの接続の際に電子部品Ｄの位置を補正して接続の確実性を向上できる。即ち、電子部品Ｄの電極と検査用ソケット１５２の電極とをより確実に接触、連結することが可能となる。
【００３３】
部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂは、電子部品Ｄの外観の検査に用いることも可能である。この検査は、電子部品Ｄの位置の確認と同様、部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ上を電子部品Ｄを吸着した部品搬送機構１６０が通過する際に行える。このようにして、電子部品検査装置１０は電子部品Ｄの電気的検査に加えて、容易に外観検査を行える。さらには、電子部品Ｄが表面にコードを表示するものにおいては、コードを部品位置確認カメラ１５１ａ、１５１ｂで読み取ることで電子部品Ｄそのものから種別を判断することもできる（多機能検査）。
【００３４】
検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは電子部品Ｄおよび電子部品検査ユニット２００双方との電気的な接続により、電子部品検査ユニット２００による電子部品Ｄの電気的な検査を可能とする電気的な接続部材である。
検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂは、検査領域１５０上のＹ方向中心にＸ方向に並んで設置されている。検査板１５３は検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂが接続された略平板であり、基台１１０に対して脱着可能とされる。
【００３５】
ここで、検査領域１５０における部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２との配置の詳細について説明する。
本実施形態では部品位置確認カメラ１５１および検査用ソケット１５２はいずれも２つであり、検査用ソケット１５２がＸ方向に並んでいるが、これらの個数、配置を変えることも可能である。
図１２，１３は部品位置確認カメラ１５１と検査用ソケット１５２の配置例を模式的に表す上面図である。図１２は部品位置確認カメラ１５１が２つ、図１３は部品位置確認カメラ１５１が１つの場合を表す。
図１２，１３の（Ａ）〜（Ｃ）に表すように部品位置確認カメラ１５１が１つまたは２つ、検査用ソケット１５２が２つまたは４つの組み合わせがあり得る。この内、図１２（Ａ）が図１０で示した本実施形態における配置に対応する。
検査用ソケット１５２の個数が多いと多くの電子部品Ｄの同時並行的な検査が行いやすくなる。また、部品位置確認カメラ１５１を複数備えると、複数の電子部品Ｄの位置を同時に確認することが可能となる。
これらの個数および配置は部品搬送機構１６０の個数や配置等に応じて適宜に選択することが好ましい。本実施形態では、検査用ソケット１５２をトレイＴの略中央をＸ方向に延長した方向に配置することで、部品搬送機構１６０のＹ方向の移動量の低減を可能としている。
【００３６】
基台１１０に対する検査板１５３の取り付け方向は一定としたまま、図１２、１３の（Ａ）、（Ｂ）の２種の検査板１５３の取り付け種別を、後述する検査位置確認カメラ１５４で認識するか、不図示の入力装置で制御装置１９０に入力するようにする。
なお、図１２、１３の（Ａ）、（Ｂ）に示すように、検査板１５３の取り付ける方向を変えることで、検査用ソケット１５２の列の並ぶ方向がＸ方向からＹ方向へと変化することができる。
検査板１５３の取付方向は、検査位置確認カメラ１５４または後述する開口検知部１５６によって検知するか、データ入力する。即ち、検査位置確認カメラ１５４または開口検知部１５６は本願における取付方向検知部を構成しうる。取付方向検知部はこれらのいずれか一方、または他の手段を用いて構成することが可能であり、何らかの手段によって検査板１５３の向きを検知できれば足りる。後述するように、取付方向検知部は取付方向を教示する取付方向教示部に包含される。また、取付方向が不図示の入力装置でデータ入力されて後述するＲＡＭ１９３に取り込まれる場合には、入力装置とＲＡＭ１９３で取付方向教示部を構成するといえる。
【００３７】
図１０，１１に示すように、検査板１５３に開口部１５５が形成され、基台１１０にこの開口部１５５と対応する開口検知部１５６が設けられている。この開口検知部１５６は例えば光センサ、リミットスイッチから構成され、開口部１５５が対応する位置に配置されているか否かを検知する。
既に述べたように、検査板１５３は、その開口部１５５が開口検知部１５６上に配置される方向と、その開口部１５５が開口検知部１５６上に配置されない方向の２方向に接続できる。
開口検知部１５６を光センサで構成し開口検知部１５６に対応した発光部１５７を用いることで検査板１５３と基台１１０の対応関係を検知できる。即ち、発光部１５７から開口検知部１５６に向かう光が検査板１５３によって遮られるか否かで、開口部１５５と開口検知部１５６との対応関係を検知できる。なお、この発光部１５７は開口検知部１５６の上方に適宜設置することができる。また、検査板１５３の上面の開口部１５５に設置することも可能である。
【００３８】
また、開口検知部１５６をリミットスイッチで構成し、このリミットスイッチのオン、オフにより開口部１５５を検知することもできる。リミットスイッチ上に開口部１５５が位置すればリミットスイッチがオフ状態となり、リミットスイッチ上に開口部１５５がなけば検査板１５３によってリミットスイッチが押されてオン状態となる。なお、このときには開口部１５５は検査板１５３を貫通した孔で構成する必要はなく、リミットスイッチの先端が挿入できる凹部とすれば足りる。
【００３９】
（部品搬送機構１６０の詳細）
部品搬送機構（搬送アーム）１６０ａ〜１６０ｄは、電子部品Ｄを吸着、搬送する。ここで、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂはＸ軸ロボット１２０ａに、部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄはＸ軸ロボット１２０ｂ上に設置されている。部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄとが、異なるＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂ上に設置されていることから、Ｘ方向に互いに独立して電子部品Ｄを搬送することができる。この結果、電子部品Ｄの検査効率が向上する。
【００４０】
図１４，１５はそれぞれ部品搬送機構１６０を拡大して表した上面図および側面図である。
図１４，１５に示すように部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄはそれぞれ、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４、吸着ヘッド１６５、吸着ノズル１６６から構成される。部品搬送機構１６０ａ、１６０ｃには、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０が、部品搬送機構１６０ｂの吸着ヘッド１６５ｂには検査位置確認カメラ１５４が接続されている。
【００４１】
Ｘ方向駆動部１６１は、Ｘ軸ロボット１２０上をＸ方向に移動することで、吸着ヘッド１６５のＸ方向の移動を可能とする。
Ｙ方向駆動部１６２は、Ｘ方向駆動部１６１に接続され、Ｙ方向駆動基体１６２１、Ｙ方向駆動体１６２２から構成される。
Ｙ方向駆動基体１６２１に対してＹ方向駆動体１６２２をＹ方向に伸縮することで、吸着ヘッド１６５のＹ方向の移動を可能とする。また、部品搬送機構１６０ａ、１６０ｂと部品搬送機構１６０ｃ、１６０ｄがＸ方向において近接する場合に、Ｙ方向駆動部１６２により吸着ヘッド１６５をＹ方向に移動し、互いの干渉（接触）を防止できる。
Ｚ方向駆動部１６３は、Ｙ方向駆動体１６２２の端部に接続され、Ｚ方向駆動基体１６３１、Ｚ方向駆動体１６３２から構成される。Ｚ方向駆動基体１６３１に対してＺ方向駆動体１６３２をＺ方向に上下動することで、吸着ヘッド１６５のＺ方向の移動を可能とする。
なお、Ｚ方向への上下動はＹ方向駆動部１６２のようにボールネジ、ボールナット機構、あるいは油圧シリンダ機構、リニアモータ機構等の駆動体によっても行える。この逆にＹ方向駆動部１６２において、Ｚ方向駆動部１６３のように、部材同士のズレ運動に基づいて吸着ヘッド１６５をＹ方向に移動させることも可能である。
【００４２】
Ｒ方向駆動部１６４は、Ｚ方向駆動体１６３２の上端に接続され、Ｚ軸を回転軸とする吸着ヘッド１６５の回転（Ｒ方向回転：Ｘ−Ｙ平面内での左右回転）を行うものであり、本願におけるノズル回転部を構成する。
吸着ヘッド１６５は、ヘッド本体１６５１、吸着ノズル支持部材１６５２から構成される。ヘッド本体１６５１は、Ｚ方向駆動体１６３２の下端に接続され、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３によって、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ方向への移動のそれぞれを独立に行うことができる。
吸着ノズル支持部材１６５２は、ヘッド本体１６５１の下端に接続され、吸着ノズル１６６を支持する。吸着ノズル支持部材１６５２は、Ｒ方向駆動部１６４によってヘッド本体１６５１に対して回転する。
なお、これらの移動に際してはＸ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４の移動量をエンコーダ等で検知し、制御部１９０にフィードバックすることで、より適切な制御が可能になる。
【００４３】
吸着ノズル１６６は、吸着ヘッド１６５に着脱自在に接続され、図示しない吸引機構により先端に負圧あるいは正圧の空気圧を作用させ、電子部品Ｄの吸着、離着（装着）、あるいは装着保持を行う。吸着ヘッド１６５は電子部品Ｄの形状に応じて、交換して使用することもできる。
吸着ノズル１６６は、Ｒ方向駆動部１６４によりＲ方向に回転される。また吸着ノズル１６６は、吸着ヘッド１６５に接続されていることから、Ｘ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３によりＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動される。なお、以下において、表現の都合上、これらの移動、回転を吸着ヘッド１６５の移動と称する場合がある（ヘッド本体１６５１はＲ方向駆動部１６４による回転運動を行うわけではないが）。
Ｚ方向駆動部１６３が吸着ノズル１６６を上下に昇降させるノズル昇降部となり、Ｘ方向駆動部１６１が吸着ノズル１６６をＸ軸ロボット１２０の不図示のＸ軸レール即ち軌道に沿って移動させるノズル移動部となり、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄが部品搬送部となる。
【００４４】
検査位置確認カメラ１５４は、吸着ヘッド１６５ｂの側面に設置され、検査用ソケット１５２、トレイＴ、および検査板１５３上に識別用コードがある場合にはこの識別用コードの画像を上方から撮影できる。検査位置確認カメラ１５４は、ラインセンサ、ＣＣＤカメラ、ビジョンカメラ等から構成され、電子部品Ｄの平面的（場合により一軸方向）の画像情報を入手可能であれば特に構成は限定されない。撮影された画像を画像処理することで、検査用ソケット１５２やトレイＴの位置、および識別用コードが検出される。
なお、検査位置確認カメラ１５４を部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄのそれぞれに配置する場合には、検査位置確認カメラ１５４でトレイＴ上の未検査の電子部品Ｄの位置を確認し、確認された位置に対応して吸着ノズル１６６の位置を補正できる。即ち、電子部品Ｄを吸着したときの吸着ノズル１６６に対する電子部品Ｄの位置ズレ（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向）を低減できる。この結果、吸着ノズル１６６への電子部品Ｄの吸着不良を防止し、検査効率の向上を図れる。また、検査用ソケット１５２の位置を確認し、電子部品Ｄを検査用ソケット１５２に接続（装着）する際に電子部品Ｄの位置を補正できる。この結果、検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの装着不良を防止して、検査の確実性を向上することができる。
【００４５】
（Ｘ方向トレイ搬送機構１７０の詳細）
図１４、１５に示されるように、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０（１７０ａ，１７０ｂ）は、Ｚ方向トレイ駆動部１７１、トレイ吸着部１７２から構成される。Ｚ方向トレイ駆動部１７１は、Ｙ方向駆動基体１６２１に接続されＸ方向駆動部１６１によりＸ方向に移動可能であると共に、トレイ吸着部１７２を上下に昇降する。
トレイ吸着部１７２は、Ｘ方向駆動部１６１およびＺ方向トレイ駆動部１７１により、ＸおよびＺ方向に移動可能な平板形状であり、その下面に図示しない吸着孔が１個あるいは複数形成されている。トレイ吸着部１７２には図示しない吸着機構に接続され、吸着孔からのエアの吸引および吸引の停止を行うことで、トレイＴの吸着、離着を行うことができる。なお、トレイ吸着部１７２によるトレイＴの吸着、離着は吸着ノズル１６６による電子部品Ｄの吸着、離着と互いに独立して行うことができる。
【００４６】
Ｘ方向トレイ搬送機構１７０により、トレイ配置領域１３０上のトレイＴを搬送することができる。この搬送は以下のように行われる。
（１）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレイ吸着部１７２をＸ方向に移動し、搬送したいトレイＴの上方に搬送する。
（２）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部１７２を降下させ、その下面を搬送したいトレイＴの上面に接触または近接させる。
（３）トレイ吸着部１７２を動作させ、トレイ吸着部１７２にトレイＴを吸着する。
（４）Ｚ方向トレイ駆動部１７１により、トレイ吸着部１７２を上昇する。トレイ吸着部１７２に吸着したトレイＴは、トレイ吸着部１７２と共に上昇する。
【００４７】
（５）Ｘ方向駆動部１６１によって、トレイＴを吸着したトレイ吸着部１７２をＸ方向の搬送目標位置上に移動する。
（６）Ｚ方向トレイ駆動部１７１によって、トレイＴを吸着したトレイ吸着部１７２を降下し、トレイＴの下面をトレイ配置領域１３０に接触または近接させる。
（７）トレイ吸着部１７２によるトレイＴの吸着を解除（離着）し、Ｚ方向トレイ駆動部１７１によってトレイ吸着部１７２を上昇する。この結果、トレイ吸着部１７２から離着したトレイＴは搬送された場所にそのまま配置された状態となる。
【００４８】
以上のトレイＴのＸ方向搬送は、例えば未検査品用トレイＴ４から電子部品Ｄが搬出され空トレイＴとなったときにこの空トレイＴをトレイＴ３の位置（トレイ配置領域１３０ｃ）に搬送する場合に用いられる。
また検査済品用トレイＴ１，Ｔ２上が検査済みの電子部品Ｄで一杯になったときに、このトレイＴ１，Ｔ２に代えて、空トレイを新たな検査済品用トレイとしてトレイＴ１，Ｔ２の位置（トレイ配置領域１３０ａ，１３０ｂ）に搬送するために用いられる。なお、検査済みの電子部品Ｄで一杯になった検査済品用トレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０によってストッカー１４１内に搬送される。
【００４９】
（Ｙ方向トレイ搬送機構１８０の詳細）
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄはそれぞれ、トレイＴ１〜Ｔ４とストッカー１４１ａ〜１４１ｄ間でトレイＴをＹ方向に搬送するための機構であり、図７，８に示すようにシャフト１８１，移動部１８２，トレイ載置部１８３，一対のトレイ固定部１８４から構成される。
【００５０】
シャフト１８１は、略円柱状の棒にネジ溝が形成されたボールネジであり、トレイ配置領域１３０からストッカー配置領域１４０（具体的には、ストッカー１４１内のトレイ搬送機構進入領域１４７）を結ぶ方向に沿って配置されている。シャフト１８１は図示しないサーボモータからなる回転機構に接続され、この回転機構を作動することでシャフト１８１がその軸を中心として回転する。なお、この回転に際しては回転機構の動作量をエンコーダ等で検知し、制御部１９０にフィードバックすることで、的確な制御が容易に行える。
移動部１８２は略平板状であり、ボールナット部を有する。このボールナット部はシャフト１８１によって貫通されている。シャフト１８１が回転することで、シャフト１８１と移動部１８２とのボールネジとボールナットの噛み合わせにより、シャフト１８１の軸に沿って移動部１８２が前後に移動する。
【００５１】
トレイ載置部１８３は、略矩形状の平板からなりトレイＴを載置する。トレイ載置部１８３は、その一端近傍の下面において移動部１８２の一辺と接続され、移動部１８２と共にシャフト１８１の軸に沿って移動する。
トレイ載置部１８３の上面側の４辺にそれぞれ配置される、略矩形断面形状の棒状部材からなる。４辺のトレイ固定部１８４の内、Ｘ方向の２辺の内少なくとも一方が図示しない移動装置によりＸ方向に移動可能とされる。その結果、トレイ固定部１８４のＸ方向の間隔を適宜に制御することができ、トレイ載置部１８３上のトレイＴをその両側面で押圧、固定することができる。
なおさらに、４辺のトレイ固定部１８４の内、Ｙ方向の２辺の内少なくとも一方が図示しない移動装置によりＹ方向に移動可能とし、Ｙ方向の大きさの異なるトレイＴを搬送可能としても良い。
【００５２】
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイＴをストッカー１４１からトレイ配置領域１３０あるいはその逆に移動する場合に用いることができる。
これに加えて、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０は、トレイ配置領域１３０内でトレイＴを移動することで、吸着ヘッド１６５のＹ方向の移動量を低減することができる。このときの移動は、それぞれのトレイＴを独立に、あるいは一体として行うことができる。
【００５３】
（制御部の詳細）
制御部１９０は、基台１１０内に設けられ、ＣＰＵ１８１，ＲＯＭ１８２，ＲＡＭ１８３，通信コントローラ１９４，Ｉ／Ｏコントローラ１９５，モーションコントローラ１９６，画像コントローラ１９７から構成され、電子部品搬送ユニット１００の駆動を制御すると共に、電子部品検査ユニット２００の不図示の制御部との通信を行う。
【００５４】
ＣＰＵ１９１は、ＲＯＭ１９２，ＲＡＭ１９３に記憶されたソフトウェアに基づき、通信コントローラ１９４，Ｉ／Ｏコントローラ１９５，モーションコントローラ１９６，画像コントローラ１９７を通じて電子部品搬送ユニット１００の駆動制御、電子部品検査ユニット２００との通信を行う。このソフトウェアは、検査の対象となる電子部品Ｄと検査用ソケット１５２の組み合わせおよび電子部品検査ユニット２００からの信号に応じて、電子部品ＤおよびトレイＴの搬送を実施し、電子部品検査ユニット２００は、電子部品Ｄに対応する検査内容のソフトウェアに基づき検査を実施する。
【００５５】
ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３はそれぞれ、固定的、一時的な情報の記憶を行う記憶手段であり、例えば電子部品搬送ユニット１００の動作手順、内容を表すソフトウェア、電子部品搬送ユニット１００の状況を表す情報等が記憶される。  この情報には、吸着ヘッド１６５がトレイＴ上の電子部品Ｄを吸着した際の部品吸着情報、検査用ソケット１５２に電子部品Ｄを装着した際の部品装着情報等が含められる。吸着ヘッド１６５による電子部品Ｄの吸着、離着に際してこれらの情報を参照することで、より確実な誤動作の排除が可能となる。
【００５６】
記憶手段（ＲＯＭ１９２、ＲＡＭ１９３）は、Ｉ／Ｏコントローラ１９５が開口検知部１５６から受け取った検査用ソケット１５２の取付方向の情報、およびこの取付方向に対応して吸着ヘッド１６５を回転または移動するためのソフトウェアを記憶する。即ち、検査用ソケット１５２に対応するように吸着ヘッド１６５を回転または移動し、検査用ソケット１５２に対する電子部品Ｄの装着を確実に行う。
具体的には、このソフトウェアには、検査板１５３の取付方向に対応して吸着ヘッド１６５の位置（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向の位置）を調節するための情報を記憶する取付方向テーブル（図示せず）が含まれる。この取付方向テーブルには検査板１５３の取付方向と検査用ソケット１５２の配置、方向の対応関係が表されている。検出された検査板１５３の取付方向に基づきこの取付方向テーブルを参照することで、検査用ソケット１５２の配置、向きを知ることができる。この情報に基づき吸着ヘッド１６５を駆動することで、検査板１５３の取付方向を変えても検査用ソケット１５２への電子部品Ｄの接続を確実に行うことができる。
なお、吸着ヘッド１６５の回転は吸着ヘッド１６５の移動中に行うのが検査の効率上好ましい（検査速度の低下防止）。
【００５７】
通信コントローラ１９４は、電子部品検査ユニット２００との間で、例えば検査用ソケット１５２に電子部品Ｄが正しく載置されているか否かの情報、あるいはさらに電子部品Ｄの種別情報を電子部品検査ユニット２００へ出力し、電子部品検査ユニット２００による電子部品Ｄの検査結果を表す検査結果情報を電子部品検査ユニット２００から入力し、また電子部品搬送ユニット１００の状態を表す装置状態情報等の入出力を行う。このようにして、電子部品Ｄの搬送、検査に際して電子部品搬送ユニット１００と電子部品検査ユニット２００間での情報のやり取りが行われる。
通信コントローラ１９４（電子部品搬送ユニット１００）と電子部品検査ユニット２００間での通信は有線、無線等種々の方法で行うことができる。例えば作業者が信号カプラーを接続することで、電子部品搬送ユニット１００と電子部品検査ユニット２００との通信が可能となる。また、電子部品検査ユニット２００を電子部品搬送ユニット１００下部の空間１１１に挿入するときに、電子部品検査ユニット２００と電子部品搬送ユニット１００双方の信号カプラーが自動的に接続されるようにしても差し支えない。
【００５８】
Ｉ／Ｏコントローラ１９５とモーションコントローラ１９６はそれぞれ、部品搬送機構１６０、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０、ストッカー１４１の駆動を行う図示しない駆動ユニットに接続される。なお、この駆動ユニットはＸ方向駆動部１６１、Ｙ方向駆動部１６２、Ｚ方向駆動部１６３、Ｒ方向駆動部１６４等に接続される。
【００５９】
Ｉ／Ｏコントローラ１９５は、部品搬送機構１６０等からその状態を表す状態情報を入力し、モーションコントローラ１９６は部品搬送機構１６０等に動作内容を指示する動作指令を出力する。
この結果、部品搬送機構１６０による電子部品Ｄの吸着、離着、搬送、Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によるトレイＴの吸着、離着、搬送、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴの固定、固定解除、搬送、ストッカー１４１からのトレイＴの搬入、搬出の制御等が行われる。
また、Ｉ／Ｏコントローラ１９５は、検査用ソケット１５２の取付方向の情報を開口検知部１５６から受け取る。この情報は吸着ヘッド１６５を検査用ソケット１５２に対応するように回転または移動し、検査用ソケット１５２に対する電子部品Ｄの装着を確実に行うために用いられる。
【００６０】
画像コントローラ１９７は、部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂ、検査位置確認カメラ１５４に接続され、これらへの撮像を指示する撮像指令の出力、これらからの撮像結果（画像情報）の入力等を行う。撮像された画像情報は、ＣＰＵ１９１によって画像処理が行われ、吸着ヘッド１６５の位置、吸着ヘッド１６５に対する電子部品Ｄの位置、検査用ソケット１５２やトレイＴの位置、および検査用ソケット１５２やトレイＴに対する電子部品Ｄの位置等が検出される。
なお、電子回路検査用の信号の入出力を制御する電子部品検査ユニット２００側の不図示の制御部と、主に電子部品搬送ユニット１００側を制御する制御部１９０を一体化し、電子部品検査ユニット２００側に配置しても良い。あるいは電子部品搬送ユニット１００側に配置しても良い。
【００６１】
（電子部品検査ユニット２００の詳細）
電子部品検査ユニット２００は検査用ソケット１５２に電気的に接続され、電子部品Ｄの電気的な検査を行う。
電子部品検査ユニット２００内には、電子部品Ｄを検査するための測定器等が設置され、これらの測定器は検査用ソケット１５２に電気的に接続されている。この結果、電子部品検査ユニット２００は、検査用ソケット１５２を介して電子部品Ｄの検査を行うことができる。
電子部品検査ユニット２００は、基台１１０の空間１１１にＸ，Ｙの２方向いずれからでも挿入できる。空間１１１が電子部品搬送ユニット１００の側面の２方向で開口しているためである。この結果、電子部品搬送ユニット１００と電子部品検査ユニット２００の接続が容易になっている。
【００６２】
（電子部品検査装置１０の動作）
次に電子部品検査装置１０の全体的な動作につき説明する。
図１６は電子部品検査装置１０の動作手順を表すタイミングチャートであり、図１７〜２４は図１６に示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置１０の状態を表す上面図であり、図１０が検査領域１５０を示す。
ここで、図１６の横軸は時間であり、縦軸はＸ、Ｙ、Ｚ、Ｒ方向それぞれについての駆動命令の出力状態を表す。ここに示されたＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒの添え字ａ，ｂ，ｃ，ｄはそれぞれ、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄに対応する。なお、図１６に示された時間範囲内では吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄがＸ、Ｒ方向への移動を行わないことから、図１６ではＸｃ、Ｘｄ、Ｒｃ、Ｒｄについての記載を省略している。
【００６３】
検査の開始に先立って、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査用ソケット１５２の取付方向の検知または作業者による入力が行われる。この検知または入力は検査用ソケット１５２の取付方向に対応して電子部品Ｄを確実に接続するために行われるものである。さらに前述の取付方向テーブルを参照することで、検査用ソケット１５２の配置、向きの情報を得る。後述するように、この情報に基づき、吸着ヘッド１６５の位置（Ｘ，ＹおよびＲ方向の位置）が調節される。
この検知、入力の後に次のように電子部品Ｄの検査が行われる。なお、検査用ソケット１５２の取付方向の検知または入力は、電子部品検査装置１０の動作開始時に１回のみ行えば足りる。
（１）時刻ｔ０（図１７参照）
時刻ｔ０においては電子部品Ｄ１，Ｄ２が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続され、検査が行われている。
ここで、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂはそれぞれ、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続された電子部品Ｄ１，Ｄ２を検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへそれぞれ押圧した状態となっている。
一方、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄはそれぞれ、未検査品である電子部品Ｄ３，Ｄ４を吸着した状態でそれぞれ、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂのＹ負方向に位置する。
（２）時刻ｔ１〜ｔ２
時刻ｔ１において、電子部品Ｄ１，Ｄ２の検査が終了する。
吸着ノズル１６６ａ，１６６ｂの吸着孔のエア圧が正圧から負圧に変化されるとともに、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂそれぞれがＺ正方向に上昇する。この結果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに吸着された電子部品Ｄ１，Ｄ２それぞれが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂから離間する。
【００６４】
（３）時刻ｔ２〜ｔ３（図１８参照）
吸着ヘッド１６５ａ〜１６５ｄが揃ってＹ軸正方向に移動する。この結果、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂに代わって吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置することになる。
時刻ｔ３におけるこの位置（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向の位置）は前述の取付方向テーブルからの検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの配置、方向に対応している。即ち、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの配置に対応して吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄのＸ，Ｙ方向の位置が調節され、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの向きに対応して吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄのＲ方向の位置を調節（Ｒ方向回転）した状態となる。これらの位置の調節は、時刻ｔ３以前において適宜に行われる。
（４）時刻ｔ３〜ｔ４
時刻ｔ３において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがＸ軸負方向に移動を開始する。
また、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが揃って降下する。吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄが降下し、吸着ノズル１６６ｃ、１６６ｄの先端へ不図示の吸着孔のエア圧が負圧から正圧に変化されることで、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄに吸着された電子部品Ｄ３，Ｄ４は、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続保持され、時刻ｔ４において電子部品Ｄ３，Ｄ４の検査が開始される。
【００６５】
（５）時刻ｔ５〜ｔ６（図１９参照）
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは、Ｘ方向に移動した結果、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとＸ方向にずれた状態になる。このとき吸着ヘッド１６５ｂが吸着ヘッド１６５ｃのＸ方向位置を通過した後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂをＹ軸負方向に戻すよう移動する。
ここで、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂをＹ軸負方向に最大限位置させ、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄをＹ軸正方向に最大限位置させた状態で、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂと、吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄとを相対的にＸ軸方向反対方向に移動させる時、ヘッドの干渉が生じる。
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの組または吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄの組の一方がＹ方向で検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの位置上にあるときに、他方の吸着ヘッド１６５（１６５ｃ，１６５ｄまたは１６５ａ，１６５ｂ）をＸ方向に移動すると干渉（接触）が生じる領域をヘッド干渉エリアといい、図１７〜２４においてＡｉとして図示している。
即ち、時刻ｔ５〜ｔ６における吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＹ軸負方向への移動はヘッド干渉エリアＡｉ外において行われる。このようにして吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ、１６５ｄの干渉（接触）が回避される。
【００６６】
（６）時刻ｔ７〜ｔ８（図２０参照）
時刻ｔ７において、検査済品用トレイＴの内、Ｔ１を合格品用トレイ、Ｔ２を合格品用トレイとする場合で、吸着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄが合格品で、吸着ヘッド１６５bの電子部品Ｄが不合格品となるとき、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂがそれぞれ検査済みトレイＴ１，Ｔ２上への移動を完了しＸ方向への移動を停止する。さらに、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが降下する。
その後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは上昇する。なお、この上昇に先立って、電子部品Ｄ１、Ｄ２を離着することでこれらを検査済品用トレイＴ１，Ｔ２内に収納する。
なお、吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂの電子部品Ｄが両方とも合格品の時は、一方のヘッドをＸ方向に移動しトレイＴ１上に位置させ、Ｚ軸方向に下降、電子部品Ｄ離着、その後上昇を行い、その後他方のヘッドをＸ方向に移動しトレイＴ１上に位置させ、Ｚ軸方向に下降、電子部品Ｄ離着、その後上昇を行う。この他方のヘッドのＸ方向移動と同時に、一方のヘッドをトレイＴ１上から退避させて、他方のヘッドとの干渉を避けるようにする。
また、吸着ヘッド１６５ａの電子部品Ｄが不合格品で、吸着ヘッド１６５bの電子部品Ｄが合格品となる時、トレイＴ２上への移動、装着を吸着ヘッド１６５ａについて実施した後、トレイＴ１上への移動、装着を吸着ヘッド１６５ｂについて実施する。吸着ヘッド１６５ｂのトレイＴ１上へのＸ方向移動に際し、吸着ヘッド１６５ａも干渉回避のためＸ軸負方向に移動する。
【００６７】
（７）時刻ｔ８〜ｔ１０
時刻ｔ８において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが未検査品用トレイＴ４に向かってＸ軸正方向への移動を開始する。
Ｘ軸正方向への移動中の時刻ｔ９〜ｔ１０において、吸着ヘッド１６５ｂは、Ｙ方向、およびＲ方向の基準位置に移動する。同時にＹ方向トレイ搬送機構１８０が作動しトレイＴ４をＹ方向に移動する。なおＹ方向の基準位置Ｙ０は部品位置確認カメラ１５１ａ，１５１ｂの中間点で、図１７〜２４においてＹ０として表されている。
（８）時刻ｔ１０〜ｔ１２（図２１参照）
時刻ｔ１０において、吸着ヘッド１６５ｂが、トレイＴ３の上方に到達する。その後、吸着ヘッド１６５ｂが、トレイＴ３に向かってＺ３まで降下する。この結果、吸着ノズル１６６ｂがトレイＴ３に収納された電子部品Ｄ６の上面に接触または近接する。
さらに、吸着ヘッド１６５ｂが上昇する。この上昇に先立ち、吸着ヘッド１６５ｂは吸着ノズル１６６ｂによって電子部品Ｄ６を吸着しておく。この結果、吸着ヘッド１６５ｂは電子部品Ｄ６を保持したまま上昇する。
時刻ｔ１０ｂから吸着ヘッド１６５ａ、１６５ｂがＸ方向に移動して、時刻ｔ１１に吸着ヘッド１６５ａがトレイＴ３上方に到達する。時刻ｔ１１からｔ１２の間において吸着ノズル１６６ｂの場合と同様に、吸着ノズル１６６ａによって電子部品Ｄが吸着される。
時刻ｔ１２において、吸着ヘッド１６５ａが、検査用ソケット１５２ａに向かってＸ軸正方向への移動を開始する。
【００６８】
（９）時刻ｔ１３〜ｔ１５（図２２参照）
Ｘ方向への移動中の時刻ｔ１３〜ｔ１４において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂは、Ｙ軸正方向に移動する。このＹ方向移動は、ヘッド干渉エリアＡｉ内での吸着ヘッド１６５間の干渉を防止するためのものであり、ヘッド干渉エリアＡｉに入る前に行われる。
その後、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが、Ｘ方向への移動中に、部品位置確認カメラ１５１ａの上方を通過する。具体的には吸着ヘッド１６５ｂ，１６５ａの順で部品位置確認カメラ１５１ａ上を通過し、この通過の際に部品位置確認カメラ１５１ａによる撮像が行われ、撮像された画像情報に基づき電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置（吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂに対する）が確認される。
【００６９】
（１０）時刻ｔ１５〜ｔ１６
確認された電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置に基づき、Ｘ方向への移動中の時刻ｔ１５〜ｔ１６において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＹ方向、Ｒ方向の位置を修正する。これは電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの接続を確実に行うためである。電子部品Ｄ５，Ｄ６がトレイＴ３に収納されていたときの載置位置のズレにより、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが電子部品Ｄ５，Ｄ６を吸着したときに吸着位置に誤差が生じることがあり、この誤差を解消する。
この位置の修正の際に、前述の取付方向テーブルからの検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの配置、方向の情報に対応する吸着ヘッド１６５の位置の調節を含めて行うことができる。吸着ヘッド１６５の位置の修正または調節をできるだけ纏めて行い、検査速度の向上を図ることができる。但し、この両者を同時に行わねばならないという訳ではなく。別個に行っても差し支えない。
いずれにしろ、後の時刻ｔ１９における電子部品Ｄ５，Ｄ６の位置（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向の位置）が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの配置、向きに対応するように吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの位置が調節される（検査板１５３の取付方向への対応）。この位置の調節は、時刻ｔ１０〜ｔ１２における電子部品Ｄ５，Ｄ６の吸着の後から時刻ｔ１９までに行えばよい。
【００７０】
（１１）時刻ｔ１７〜ｔ１８（図２３参照）
時刻ｔ１７において、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂのＸ方向の移動が完了する。また、電子部品Ｄ３，Ｄ４の検査が終了する。
時刻ｔ１７〜ｔ１８において、吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄが電子部品Ｄ３，Ｄ４を吸着して上昇する。
（１２）時刻ｔ１８〜ｔ１９（図２４参照）
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ、吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄが一斉にＹ軸負方向に移動する。この結果、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置するようになる。時刻ｔ１５〜ｔ１６において吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂ位置が補正されているので、電子部品Ｄ５，Ｄ６が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂとの接続に対応した位置（上方）になる。既述のように、時刻ｔ１９における吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの位置（Ｘ，Ｙ，Ｒ方向の位置）は取付方向テーブルからの情報に基づき、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの配置、方向に対応している。
【００７１】
（１３）時刻ｔ１９〜ｔ２０
吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂが降下して電子部品Ｄ５，Ｄ６が検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂに接続される。時刻ｔ１９において検査板１５３の取付方向に対応して吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂの位置が調節された状態となっていることから、検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂへの電子部品Ｄ５，Ｄ６の接続が確実に行われる。その後、時刻ｔ２０において電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査が開始される。
ここでの動作は、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄの役割が交換したことを除き、基本的に時刻ｔ３〜ｔ４のときと同様である。
（１４）時刻ｔ２０以降
その後は、電子部品Ｄ５，Ｄ６の検査が継続する。そして、吸着ヘッド１６５ａ，１６５ｂと吸着ヘッド１６５ｃ，１６５ｄの役割が交換したことを除き、時刻ｔ４以降と対応する動作が繰り返し継続される。
【００７２】
以上の電子部品検査装置１０では、２本のＸ軸ロボット１２０ａ，１２０ｂそれぞれに部品搬送機構１６０が設置されている。このため、検査用ソケット１５２による電子部品Ｄの検査をほぼ連続して行える。具体的には、時刻ｔ１〜ｔ４および時刻ｔ１７〜ｔ２０における電子部品Ｄの入れ替え時間を除き、電子部品Ｄが検査用ソケット１５２に接続され、検査が行われている。
【００７３】
（第２実施形態）
図２５は本発明の第２の実施形態に係る電子部品検査装置２０００を表す上面図である。
電子部品検査装置２０は、図２５に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット２１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２２００とを組み合わせて構成される。
電子部品搬送ユニット２１００は、基台２１１０、部品搬送装置１６０ａ及び１６０ｂ、部品搬送装置１６０ｃ及び１６０ｄが、それぞれ沿って移動可能とされる軌道をそれぞれ内蔵する２本のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂ、ストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂ、検査領域１５０、部品搬送機構１６０ａ〜１６０ｄ，Ｘ方向トレイ搬送機構１７０ａ，１７０ｂ、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄ、制御部から構成され、カバーで覆われている。
【００７４】
本実施形態では、基台２１１０の底部は略コの字型の形状をしており、電子部品検査ユニット２２００は、通常Ｙ方向から基台２１１０の空間２１１１内に挿入されることになる。
基台２１１０の底部が略コの字型の形状をしており、基台２１１０の４隅で重量を支えることが可能となっているため、機械的な力（例えば地震）が加えられた場合でも転倒しにくく安定性が向上する。
【００７５】
また、本実施形態では、基台２１１０の中央近傍に検査領域１５０が配置され、トレイ配置領域２１３０，ストッカー配置領域２１４０は検査領域１５０を挟んでトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂ、およびストッカー配置領域２１４０ａ、２１４０ｂと区分して配置されている。
この結果、Ｘ軸ロボット１２０ａの部品搬送機構１６０ａ，１６０ｂ，Ｘ軸ロボット１２０ｂの部品搬送機構１６０ｃ，１６０ｄをそれぞれ効率よく動作することが可能となり、検査効率が向上する。
【００７６】
本実施形態では、トレイＴ１〜Ｔ４をトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂに区分して配置している。ここで、未検査品用トレイＴ１，Ｔ２と検査済品用トレイＴ４を異なる領域に配置することで、未検査の電子部品Ｄと検査済みの電子部品Ｄとの混入の防止を確実に行うことができる。
一方、仮想線で示したように、トレイＴ１〜Ｔ４をそれぞれトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂの双方に配置することも可能である。４つの吸着ヘッド１６５を有効に活用して、検査速度の向上を図ることができる。このとき、トレイ配置領域２１３０から検査領域１５０への電子部品Ｄの搬送および検査をトレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂで交互に行うことで、トレイ配置領域２１３０ａ、２１３０ｂによる検査領域１５０の共用化を図りつつ、かつ効率の良い検査を行うことができる。この共用化は装置の製造コスト、設置面積の低減に寄与する。この場合、部品位置確認カメラ１５１は、トレイ配置領域２１３０ａとトレイ配置領域２１３０ｂにそれぞれ２つづつ配置する。
【００７７】
ストッカー１４１はストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂの双方で同一の構成としなくても良い。例えば、ストッカー１４１の平面的な配置、ストッカー１４１を基台１１０の上下どちらに配置するか（トレイＴの積層方向）をストッカー配置領域２１４０ａ，２１４０ｂで異ならせてもよい。なお、ストッカー１４１を基台１１０の下方に配置する構成の詳細は後の実施形態で述べる。
【００７８】
なお、本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査板１５３の取付方向の検知が行われ、検知された検査板１５３の取付方向に対応して吸着ヘッド１６５の位置が調節される。この結果、吸着ヘッド１６５に吸着された電子部品Ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置し、かつ正しく接続される方向にすることを容易に行える。
本実施形態では、Ｘ軸ロボット１２０を２本用いているが、Ｘ軸ロボット１２０を１本のみ用いても差し支えない。Ｘ軸ロボット１２０上の２つの部品搬送機構１６０を効率よく用いることで、効率よい検査が行える。
例えば、Ｘ軸ロボット１２０ａに２つの部品搬送装置１６０ａ及び１６０ｂを移動可能に搭載するか、４つの部品搬送装置１６０ａ〜１６０ｄを移動可能に搭載し、部品搬送装置１６０ａ、１６０ｂにトレイ配置領域２１３０ａと検査領域１５０の間の移動をさせ、部品搬送装置１６０ｃ、１６０ｄにトレイ配置領域２１３０ｂと検査領域１５０の間の移動をさせる。この場合、部品位置確認カメラ１５１は、トレイ配置領域２１３０ａとトレイ配置領域２１３０ｂにそれぞれ１つづつ配置する。
【００７９】
（第３実施形態）
図２６は本発明の第３の実施形態に係る電子部品検査装置３０００を上面から見た状態を表す上面図である。
電子部品検査装置３０００は、図２６に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット３１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成され、図示しないカバーで覆われている。
電子部品搬送ユニット３１００は、基台１１０、２本のＸ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂ、トレイ配置領域１３０、ストッカー配置領域１４０、検査領域１５０、部品搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂ，Ｘ方向トレイ搬送機構３１７０、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０ａ〜１８０ｄ、制御部から構成されている。なお、Ｘ軸ロボット１２０ａ、１２０ｂは単なる軌道からなるＸ軸レールとしてもよい。
【００８０】
図２７，２８は、部品搬送機構３１６０を拡大して表した上面部および側面図である。
図２７，２８に示すように、本実施形態では、部品搬送機構３１６０ａ、３１６０ｂが２本のＸ軸ロボット１２０ａ、Ｘ軸ロボット１２０ｂの間それぞれ上に対応して設置される一対のＸ方向駆動部３１６１を結ぶＹ軸ロボット３１６２を基礎として構成される。即ち、部品搬送機構３１６０は、一対のＸ方向駆動部３１６１、不図示の軌道とＹ方向駆動装置を有し、アーム部材に一体化されたＹ軸ロボット３１６２、Ｚ方向駆動部３１６３、Ｒ方向駆動部３１６５、吸着ヘッド本体３１６６、吸着ノズル支持部材３１６７，吸着ノズル３１６８から構成される。
【００８１】
部品搬送機構３１６０ａには、Ｘ方向トレイ搬送機構３１７０が、部品搬送機構３１６０ｂの吸着ヘッド本体３１６６には、検査位置確認カメラ１５４が接続されている。
Ｚ方向駆動部３１６３、吸着ヘッド本体３１６６等からなる吸着ヘッドはＹ軸ロボット３１６２上を不図示の軌道に沿って移動する。
この結果、吸着ノズル３１６８（吸着ヘッド）は、Ｘ方向駆動部３１６１、Ｙ方向駆動部、Ｚ方向駆動部３１６３、Ｒ方向駆動部３１６５によりＸ，Ｙ，Ｚ、Ｒ方向の移動（回転）を行うことができる。
以上のようにＸ軸ロボット３１２０，Ｙ軸ロボット３１６２の組み合わせを用いて部品搬送機構３１６０を構成することも可能である。
なお、本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査板１５３の取付方向の検知が行われ、検知された検査板１５３の取付方向の取付方向に対応して吸着ヘッド本体３１６６の位置が調節される。この結果、吸着ヘッド本体３１６６に吸着された電子部品Ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置し、かつ正しく接続される方向にすることを容易に行える。
【００８２】
（第４実施形態）
図２９は本発明の第４の実施形態に係る電子部品検査装置４０００を表す斜視図である。また、図３０，３１それぞれは電子部品検査装置４０００を図２９のＸ、Ｙ方向から見た状態を表す側面図、および正面図である。
電子部品検査装置４０００は、図２９〜３１に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット４１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成される。
本実施形態ではストッカー５１４１が基台１１０の下方に設置されている。電子部品検査装置４０００の高さを低くすることが可能となる。
【００８３】
図３２、３３はそれぞれ、ストッカー４１４１を拡大した状態を表す側面図および正面図である。
ストッカー４１４１は、蓋部４１４２，４つの支柱４１４３，底部４１４４，４つのトレイ分離フック４１４５，トレイ昇降機構４１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域４１４７が形成されている。このうち、蓋部４１４２と，支柱４１４３の上部、トレイ分離フック４１４５、およびトレイ搬送機構進入領域４１４７は基台１１０上面より上方に，支柱４１４３の下部、底部４１４４，およびトレイ昇降機構４１４６は基台１１０上面より下方に設置される。
【００８４】
蓋部４１４２は、外形が略直方体状であり、その下方が開口している。また、内部にトレイ搬送機構進入領域４１４７を有し、トレイ配置領域１３０側の側面にトレイ搬送機構進入領域４１４７に通じる開口を有する。さらに、２対のトレイ分離フック４１４５が接続されている。
支柱４１４３は、蓋部４１４２の４隅に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイＴを保持する。底部４１４４は、支柱４１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、この側板を除外し、底部４１４４たる底板に支柱４１４３が直接接続されても差し支えない。
【００８５】
トレイ分離フック４１４５は蓋部４１４２に設置され、トレイ搬送機構進入領域４１４７内にトレイＴを支持するように、トレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。トレイ分離フック４１４５がトレイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが固定される。トレイ分離フック４１４５には図示しない駆動機構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック４１４５の挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴの固定およびその解除が行われる。
【００８６】
トレイ昇降機構４１４６は、積層したトレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー４１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ搬送機構進入領域４１４７は、蓋部４１４２内に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０が蓋部４１４２側面の開口部を通じてＹ正方向から出入りする。
【００８７】
ストッカー４１４１内からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行われる。ここで、図３４はストッカー４１４１内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
（１）トレイ昇降機構４１４６がトレイ載置板を上昇させ、トレイ搬送機構進入領域４１４７内で最上層のトレイＴの側面がトレイ分離フック４１４５に対向した状態にする（図３４（Ａ）参照）。
なお、トレイ搬入機構進入領域４１４７内にはＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入していないものとする。
（２）トレイ分離フック４１４５を動作させ、最上層のトレイＴをトレイ搬送機構進入領域４１４７内で固定する。
【００８８】
（３）トレイ昇降機構４１４６がそのトレイ載置板を降下させる。この結果、積層されたトレイが降下し、トレイ分離フック４１４５に固定されたトレイＴはトレイ搬送機構進入領域４１４７内に保持される。（図３４（Ｂ）参照）。
（４）トレイ搬入機構進入領域４１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０を進入させ、トレイ分離フック４１４５を解除して、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上にトレイＴを載置する（図３４（Ｃ）参照）。
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されたトレイＴはトレイ載置部１８３に固定され、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７から退出することで、ストッカー４１４１内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配置される。
【００８９】
トレイ配置領域１３０からストッカー４１４１内へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順によって行われる。
（１）トレイＴはＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域４１４７内に進入することで、ストッカー４１４１内にトレイＴが搬入される（図３４（Ｃ）参照）。
（２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０のトレイ固定部１８４によるトレイＴの固定を解除すると共に、トレイ分離フック４１４５を動作させてトレイＴを固定する。その後、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７内から退出する（図３４（Ｂ）参照）。
（３）トレイ昇降機構４１４６がトレイ載置板を上昇し、これに載置された積層されたトレイＴをトレイ分離フック４１４５で固定されたトレイＴ底面に接触させる。さらに、トレイ分離フック４１４５を解除し、ストッカー４１４１内のトレイの全てがトレイ昇降機構４１４６のトレイ載置板上に載置された状態にする。（図３４（Ａ）参照）。
【００９０】
（４）トレイ昇降機構４１４６がそのトレイ載置板を降下して、積層されたトレイＴをストッカー４１４１内下方に移動する。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー４１４１内の最上段に載置される。
なお、本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査板１５３の取付方向の検知が行われ、検知された検査板１５３の取付方向の取付方向に対応して吸着ヘッド本体３１６６の位置が調節される。この結果、吸着ヘッド本体３１６６に吸着された電子部品Ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置し、かつ正しく接続される方向にすることを容易に行える。
【００９１】
（第５実施形態）
図３５は本発明の第５の実施形態に係る電子部品検査装置５０００を表す側面図である。ここで、蓋部５１４２は一部を切り欠いた状態を表している。
電子部品検査装置５０００は、図３５に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット５１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成される。
本実施形態ではストッカー５１４１が基台１１０のトレイ配置領域１３０に設置されている。即ち、トレイ配置領域１３０とストッカー配置領域１４０が共通化され、装置の小型化が図られている。
【００９２】
ストッカー５１４１は、蓋部５１４２，４つの支柱５１４３，底部５１４４，４つのトレイ分離フック５１４５，トレイ昇降機構５１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域５１４７が形成されている。このうち、蓋部５１４２と，支柱５１４３の上部、トレイ分離フック５１４５、およびトレイ搬送機構進入領域５１４７は基台１１０上面より上方に，支柱５１４３の下部、底部５１４４，およびトレイ昇降機構５１４６は基台１１０上面より下方に設置される。
本実施形態では、蓋部５１４２は、主として２つの側板から形成され、その上方、下方の双方およびＹ方向の両側面が開口している。また、内部にトレイ搬送機構進入領域５１４７を有する。さらに、２対のトレイ分離フック５１４５が設置されている。
蓋部５１４２の上方が開口しているのは、部品搬送機構１６０が蓋部５１４１内（トレイ搬送機構進入領域５１４７内）のトレイＴに対する電子部品Ｄの吸着、離着を可能とするためである。トレイＴがＹ方向トレイ搬送機構１８０またはトレイ分離フック５１４５のいずれかによって固定された状態で、電子部品Ｄの吸着、離着が行われる。
Ｘ方向トレイ搬送機構１７０によりトレイＴのＸ方向の搬送が可能なことは、第１〜４の実施形態と同様である。
【００９３】
本実施形態では、最上段のトレイＴの上方に吸着ヘッド１６６がアクセス可能な状態なので（蓋部５１４２の上方が開口している）、ストッカー５１４１内に収納、積み重ねられた状態のトレイＴをそのまま用いて電子部品Ｄを検査することも可能である。この場合には、最上段のトレイＴに対して電子部品を吸着、または離着する。
【００９４】
本実施形態では、トレイ配置領域１３０とストッカー配置領域１４０をを区分することなく、トレイ配置領域の下方にストッカー５１４１を配置して、ストッカー５４１４内に収納されたトレイＴをトレイ配置領域１３０に配置している。本実施形態では基台１１０の下方にストッカー５１４１を配置しているが、基台１１０の上方にストッカーを配置してその最下段のトレイＴをトレイ配置領域１３０上に降下させて配置することも可能である。
なお、本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、検査位置確認カメラ１５４，開口検知部１５６等による検査板１５３の取付方向の検知が行われ、検知された検査板１５３の取付方向に対応して吸着ヘッド本体３１６６の位置が調節される。この結果、吸着ヘッド本体３１６６に吸着された電子部品Ｄが検査用ソケット１５２ａ，１５２ｂの上方に位置し、かつ正しく接続される方向にすることを容易に行える。
【００９５】
（第６実施形態）
図３６は本発明の第６の実施形態に係る電子部品検査装置６０００を表す側面図である。
電子部品検査装置５０００は、図３６に示されるように、電子部品Ｄを搬送する電子部品搬送ユニット６１００で、あるいはさらに電子部品Ｄを検査する電子部品検査ユニット２００とを組み合わせて構成される。
本実施形態ではストッカー６１４１の上下それぞれにトレイＴが収納されており、トレイＴの収納効率の向上が図られている。
【００９６】
ストッカー６１４１は、蓋部６１４２，４つの支柱６１４３，底部６１４４，二組のトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂ，トレイ昇降機構６１４６から構成され、その内部にＹ方向トレイ搬送機構１８０が進入するトレイ搬送機構進入領域６１４７が形成されている。このうち、蓋部６１４２と，支柱６１４３の上部、トレイ分離フック６１４５ａ，６１４５ｂ、およびトレイ搬送機構進入領域６１４７は基台１１０上面より上方に，支柱６１４３の下部、底部６１４４，およびトレイ昇降機構６１４６は基台１１０上面より下方に設置される。
トレイＴはストッカー６１４１の上下に収納されている。上方に収納されたトレイはトレイ分離フック６１４５ａに固定され、下方に収納されたトレイはトレイ昇降機構６１４６のトレイ載置板上に載置されている。
【００９７】
蓋部６１４２は、外形が略直方体状であり、その下方が開口している。なお、蓋部６１４２は平板状でも差し支えない。
支柱６１４３は、蓋部６１４２の４隅に接続され、断面が略Ｌ字状の柱であり、トレイＴの４隅に対応してＸ軸−Ｙ軸の２方向においてトレイＴを保持する。底部６１４４は、支柱６１４３に接続され、略矩形の底板および４つの側板より構成される。なお、この側板を除外し、底部６１４４たる底板に支柱６１４３が直接接続されても差し支えない。
【００９８】
２組のトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂは支柱６１４３の上下に設置される。４つの支柱６１４３それぞれにトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂが設置されることから、支柱６１４３には併せて８つのトレイ分離フック６１４５を備えることになる。
トレイ分離フック６１４５ａは、ストッカー６１４１内上方の最下段のトレイＴを固定するために設置されている。また、トレイ分離フック６１４５ｂは、トレイ搬送機構進入領域６１４７内でトレイＴを固定するために設置されている。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂはいずれも、トレイＴの互いに対向する側面に対応して配置される。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂがトレイＴの凹部内に挿入されることで、トレイＴが下方に落下することを防止する。トレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂには図示しない駆動機構が接続され、トレイＴの側面凹部へのトレイ分離フック６１４５ａ、６１４５ｂの挿入、取り出しを行う。この挿入、取り出しによってトレイＴのＺ方向の固定およびその解除が行われる。
【００９９】
トレイ昇降機構６１４６は、積層したトレイＴを載置する平板（トレイ載置板）を有し、これを上下に昇降することで、積層したトレイＴをストッカー６１４１内上下に昇降する機構である。
トレイ搬送機構進入領域６１４７は、上方、下方のトレイＴの間に設定された略直方体状の空間であり、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がＹ正方向から出入りする。
【０１００】
ストッカー６１４１内上方からトレイ配置領域１３０へのトレイＴの移動は、以下の手順によって行われる。
ここで、図３７はストッカー６１４１内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
（１）トレイ昇降機構６１４６がトレイ載置板を上昇させ、トレイ載置板上に積載された最上段のトレイＴをトレイ分離フック６１４５ａに固定されたトレイＴ０（上方の最下段のトレイＴ：対象のトレイＴ０）の底面に接触させた状態とする（図３７（Ａ）参照）。
（２）トレイ分離フック６１４５ａを解除して、トレイ昇降機構６１４６を動作させトレイＴをトレイＴ一枚分下降し（トレイ載置板を降下する）、トレイ分離フック６１４５ａに対応するトレイをトレイＴ０の１つ上のトレイＴとする。
（３）トレイ分離フック６１４５ａを動作し、トレイＴ０の１つ上のトレイＴを固定する（トレイ分離フック６１４５ａをトレイＴ０の１つ上のトレイＴの側面の凹部に挿入する）（図３７（Ｂ）参照）。
【０１０１】
（４）トレイ昇降機構６１４６を動作させ、トレイＴ０を降下する。このとき、トレイＴ０の１つ上のトレイＴはトレイ分離フック６１４５ａによって固定されている。
その後、トレイ昇降機構６１４６によりトレイＴ０をトレイ分離フック６１４５ｂに対応する位置、即ちトレイ搬入機構進入領域６１４７まで降下する。
（５）トレイ分離フック６１４５ｂを動作させ、トレイＴ０を固定する。その後、トレイ昇降機構６１４６のトレイ載置板が降下する。
この結果、トレイＴ０のみがトレイ分離フック６１４５ｂで固定され、他のトレイＴはストッカー６１４１の上下で、それぞれトレイ分離フック６１４５ａおよびトレイ載置板に対応して積層された状態になる（図３７（Ｃ）参照）。
（６）トレイ搬入機構進入領域６１４７内にＹ方向トレイ搬送機構１８０を進入させ、トレイ分離フック６１４５ｂを解除して、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上にトレイＴ０を載置する（図３７（Ｄ）参照）。
Ｙ方向トレイ搬送機構１８０上に載置固定されたトレイＴは、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域６１４７から退出することで、ストッカー６１４１内から搬出され、トレイ配置領域１３０に配置される。
【０１０２】
トレイ配置領域１３０からストッカー６１４１の上方へのトレイＴの移動、載置は、以下の手順によって行われる。
（１）対象とするトレイＴ０はＹ方向トレイ搬送機構１８０上に載置されている。Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ配置領域１３０からトレイ搬送機構進入領域６１４７内に進入することで、ストッカー６１４１内にトレイＴ０が搬入される（図３７（Ｄ）参照）。
（２）Ｙ方向トレイ搬送機構１８０によるトレイＴ０の固定を解除すると共に、トレイ分離フック６１４５ｂを動作させてトレイＴ０を固定する。その後、Ｙ方向トレイ搬送機構１８０がトレイ搬送機構進入領域４１４７内から退出する（図３７（Ｃ）参照）。
【０１０３】
（３）トレイ昇降機構６１４６がトレイ載置板を上昇し、その最上段のトレイＴをトレイＴ０の底面に押し当てた状態にする。さらにトレイ昇降機構６１４６によってトレイＴを支持した状態でトレイ分離フック６１４５ｂを解除する（図３７（Ｂ）参照）。
（４）トレイ昇降機構６１４６を動作させトレイＴをトレイＴ一枚分上昇し、トレイＴ０をトレイ分離フック６１４５ａに対応するようにする。
（５）トレイ分離フック６１４５ａを動作し、トレイ昇降機構１４６上に載置されたトレイＴを固定する（図３７（Ａ）参照）。
かくして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴ０がストッカー６１４１内の上方最下段に収納、固定される。
【０１０４】
（６）トレイ昇降機構６１４６のトレイ載置板を降下する。トレイＴ０は、トレイ分離フック６１４５ａによって固定されているので、トレイ載置板が降下してもそのまま保持される。
以上のようにして、トレイ配置領域１３０上のトレイＴがストッカー６１４１内の上方最下段に収納、固定される。
なお、ストッカー６１４１内下方へのトレイＴの収納、取り出しは第４の実施形態と同様に行える。
本実施形態では、ストッカー６１４１内の上方、下方それぞれにトレイＴを収納しその双方へのトレイＴの収納、取り出しが可能であり、装置の空間利用効率が向上している。
なお、第４〜６実施形態のＹ方向トレイ搬送機構１８０は第１実施形態のものと同様に構成される。
その他の点では、第４の実施形態と大きく異なる訳ではないので、記載を省略する。
【０１０５】
（その他の実施形態）
本発明の実施形態は上記実施形態には限られず拡張、変更できる。拡張、変更された実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、部品位置確認カメラ等でトレイＴ上の電子部品の位置を確認し、吸着ヘッドで吸着したときにおける吸着ヘッドと電子部品Ｄの位置関係の誤差を補正して、電子部品Ｄの検査用ソケット１５２への接続の確実性を向上している。
これに代えて、自動的に電子部品Ｄの位置を修正する部品位置調節機構を設けても差し支えない。
図３８（Ａ）、（Ｂ）は部品位置調節機構４００の一例を拡大して示す上面図および断面図である。なお、部品位置調節機構４００は、電子部品搬送ユニットの基台上いずれに設けても差し支えない。
部品位置調節機構４００を用いると電子部品Ｄの位置が調節されることから、部品位置確認カメラ等の部品位置確認手段を省略することが可能になる。
【０１０６】
図３８に示す部品位置調節機構４００は、位置基準部４０１およびガイド部４０２から構成される。
位置基準部４０１は、電子部品検査装置１０の所定の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して位置決めされ、かつ電子部品Ｄの外形に対応して形成された凹部である。この例での位置基準部４０１は、電子部品Ｄの外形が平板矩形状であるとして、底面が矩形状の略直方体状の凹部から構成されている。
ガイド部４０２は、位置基準部４０１に電子部品Ｄを導くガイドの役割を有し、電子部品Ｄの外形より少し大きく形成された凹部から構成される。この例では、位置基準部４０１の底面の４つの頂点に向かう辺を有する略４角推台状の凹部から構成される。
【０１０７】
図３９に部品位置調節機構４２１０による位置調節のメカニズムを示す。
部品搬送機構１６０の吸着ノズル１６６により電子部品Ｄを吸着し、部品位置調節機構４００上に搬送する（図３９（Ａ）参照）。電子部品ＤがトレイＴ上に配置されていたときの位置の誤差を反映して、電子部品Ｄは部品搬送機構１６０に対して位置の誤差が生じている可能性がある。
その後、吸着ノズル１６６を降下して電子部品Ｄを離着し、部品位置調節機構４００のガイド部４０２内に載置（あるいは落下）する。部品位置調節機構４００上に載置された電子部品Ｄは重力によりガイド部４０２によって位置基準部４０１に導かれ、基準の位置に到達し、位置の調節が行われる（図３９（Ｂ）参照）。
その後に、部品搬送機構１６０が位置の調節が行われた電子部品Ｄを吸着することで、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が補正される（図３９（Ｃ）参照）。このため、その後の電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着等が確実に行われる。
【０１０８】
図４０は、他の例に係る部品位置調節機構４１０を拡大して表す断面図および上面図である。部品位置調節機構４１０は、２つの位置基準壁４１１、４１２から構成される。
位置基準壁４１１、４１２は、電子部品検査装置１０の所定の座標（Ｘ，Ｙ，Ｒ）に対して位置決めされ、かつ電子部品Ｄの外形に対応して形成された壁（凸部）である。この例での位置基準壁４１１、４１２は、電子部品Ｄの外形が平板矩形状であるとして、その２つの側面の形状に対応した基準面を有する。
【０１０９】
図４１に部品位置調節機構４１０による位置調節のメカニズムを示す。
部品搬送機構１６０により電子部品Ｄを移動しし、部品位置調節機構４１０上に搬送する。その後、部品位置調節機構４２１０の位置基準壁４１１、４１２の隅の近傍に電子部品Ｄを載置する（図４１（Ａ）参照）。
部品搬送機構１６０はさらに電子部品Ｄの一側面が位置基準壁４１１の基準面に押し当てられるように、電子部品Ｄの位置を調節する（図４１（Ｂ）参照）。さらに電子部品Ｄの一側面が位置基準壁４１１の基準面に押し当てられた状態を保持しつつ、電子部品Ｄの他の側面が位置基準壁４１２の基準面に押し当てられた状態になるように、電子部品Ｄを移動する。
この結果、電子部品Ｄは位置基準壁４１１、４１２に基づき位置の調節が行われる。
その後に、部品搬送機構１６０が位置の調節が行われた電子部品Ｄを吸着することで、部品搬送機構１６０に対する電子部品Ｄの位置が補正され、その後の電子部品Ｄの検査用ソケットへの装着等が確実に行われる。
【０１１０】
（２）Ｘ軸ロボット即ち構成要素となる軌道が一本のみでも差し支えない。
複数のトレイＴ（未検査品用、検査済品用、空トレイ）、さらには検査用ソケットをＸ軸に沿って一列に配置することで、Ｙ方向についての装置の設置面積および電子部品Ｄの移動量の軽減を図ることができる。
【０１１１】
（３）上記の実施形態では基本的に、一本のＸ軸ロボットの軌道上に部品搬送機構を２つ設置していたが、一本のＸ軸ロボットの軌道上に１つあるいは３つ以上の部品搬送機構を設置しても差し支えない。また、Ｘ軸ロボットの軌道となるＸ軸レール上をどのような手段で構成するかも適宜に設定できる。
図４２は、Ｘ軸レールと部品搬送機構の対応関係の例を表す模式図である。
図４２（Ａ）では、Ｘ軸レール５１１上に２つの部品搬送機構５１２ａ，５１２ｂが設置されてＸ軸ロボットが構成されている。これは、第１の実施形態に対応する構成であり、例えばリニアモータを用いて実現することができる。
図４２（Ｂ）では、Ｘ軸レール５２１ａ，５２１ｂ上それぞれに部品搬送機構５２２ａ、５２２ｂが設置されてＸ軸ロボットが構成され、例えばリニアモータを用いて実現できる。
図４２（Ｃ）では、Ｘ軸レール５３１ａ，５３１ｂ上それぞれに部品搬送機構５３２ａ、５３２ｂが設置されている。ここでは、ボールネジを用いて、Ｘ軸ロボット５３１ａ，５３１ｂを構成している。部品搬送機構５３２ａ、５３２ｂはこのボールネジを回転することで、ボールネジたるＸ軸レール５３１ａ，５３１ｂ上それぞれを移動する。
図４２（Ｄ）では、Ｘ軸レール５４１上に基体５４２が設置され、その基体５４２上に部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂが設置されている。部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂは相対移動手段５４４によって、基体５４２上においてＸ軸方向での互いの相対的な位置を変化することができる。
ここで、Ｘ軸レール５４１および相対移動手段５４４は、例えばボールネジで構成できる。これらのボールネジを回転することで、Ｘ軸レール５４１上の基体５４２の移動および部品搬送機構５４３ａ、５４３ｂの相対的な位置の変化が独立に行える。なお、Ｘ軸レール５４１および相対移動手段５４４をリニアモータにより構成しても差し支えない。
【０１１２】
（４）部品搬送機構をＹ方向に駆動可能なＹ軸ロボットを用いて構成することもできる。Ｙ軸ロボットはそのヘッド部分をＹ方向に駆動することができるものである。
具体的には、Ｙ軸レールとそのレール上にＹ方向に移動可能なヘッドからＹ軸ロボットを構成できる。ヘッドの移動は、サーバモータ、リニアモータ、ボールネジ等適宜の手段を用いることができる。固定部と可動部、可動部可動手段でＹ軸ロボットを構成することも可能である。可動部可動手段により可動部を固定部に対して移動する。
【０１１３】
▲１▼Ｙ軸ロボットをＸ軸レール上に駆動可能に設置することで、そのヘッドをＸ，Ｙ軸双方に移動することが可能となる。
従って、Ｙ軸ロボットのヘッドに吸着ノズルを上下動、および回動可能に支持することで、吸着ノズルのＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ方向全てへの移動が可能となる。
【０１１４】
▲２▼この逆にＹ軸ロボットのヘッド上にＸ軸レールを設置することも可能である。Ｘ軸レール上に吸着ノズルを上下動、および回動可能に支持する吸着ヘッドを設置することで、吸着ノズルのＸ，Ｙ，Ｚ，Ｒ方向全てへの移動が可能となる。この場合、Ｘ軸レールに沿ってトレイ、検査用ソケットを一列に配置することで、Ｙ軸ロボットをＹ方向に短くすることが可能となり、装置のＹ方向の占有面積を低減できる。
【０１１５】
▲３▼Ｙ軸ロボットを用いた場合においてもＸ軸レールは１本、２本のいずれの構成をもとることができる。
Ｘ軸レールが１本の場合には、ストッカーとＸ軸レール間の距離を低減し、トレイの移動量を小さくできる。
Ｘ軸レールが２本の場合には、そのそれぞれ上に設置された吸着ヘッド間の干渉の防止のため、Ｙ軸ロボットにより２つのＸ軸レール間の距離が適宜に調節される。
このとき、Ｘ軸レールの一方のみをＹ軸ロボットで支持してもよい。Ｘ軸レール上の吸着ヘッドの一方のみをＹ軸ロボットでＹ方向に移動しても、吸着ヘッド同士の干渉防止を行える。
【０１１６】
（５）上記実施形態では、トレイ配置領域上に空トレイも含めたトレイを配置しているが、空トレイをこの領域に配置しないことも可能である。
この場合には、空トレイを収納するストッカーとトレイ配置領域（未検査品用トレイ配置領域、検査済品用トレイ配置領域）との間で、必要に応じて空トレイの搬送を行う。この搬送には、吸着ノズルを用いることができる。この場合には、電子部品を吸着、搬送する吸着ノズル以外にトレイを専用に吸着、搬送する吸着ノズルを付加するのが好ましい。
【０１１７】
（６）上記実施形態では、吸着ヘッドに単一の吸着ノズルを配置していたが、２以上の吸着ノズルを配置してもよい。また、検査用ソケットを１つ、または３つ以上としても差し支えない。
（７）Ｘ軸レールが２本の場合に、それぞれのレールに設置された部品搬送機構１６０に対応して、トレイＴ上の領域をＹ方向に２つに区分してもよい。
この区分された領域それぞれにそれぞれのＸ軸レールに設置された部品搬送機構が分担して電子部品の搬送を行う。このようにすると、部品搬送機構１６０のＹ方向の移動量を低減できる。また、電子部品の搬送の際にトレイをＹ方向トレイ搬送機構によってトレイ配置領域内で移動することには、その移動量を低減できる。
いずれにしてもＹ方向における装置のサイズの低減が可能となる。
【０１１８】
（８）上記実施形態では、搬送ユニットと検査ユニットとの間で通信を行っていたが、この通信を不要とすることもできる。
例えば、検査位置確認カメラ１５４によって検査用ソケットを監視し、検査用ソケットへの電子部品の装着が確認されたことをトリガーとして、電子部品検査装置による電子部品の搬送および検査を開始することができる。
また、検査用ソケット上に検査ソケットの種別、検査内容を表すマークを形成しておくと、検査位置確認カメラによりこのマークを読み取り、適切な検査を選択することができる。
この検査内容は、検査対象の電子部品の種別、検査手順等が挙げられる。搬送ユニットにこのマークと検査内容の対応関係を表すテーブルを備えておけば、このテーブルを参照することで、適切な検査内容を選択できる。
【０１１９】
（９）上記実施形態では、２本のＸ軸ロボットそれぞれ上の吸着ヘッド間での干渉（接触）防止のための吸着ヘッドのＹ方向への移動は、検査領域で行われているが、この干渉防止のための移動は装置上のどこでも行うことができる。
２つの吸着ヘッドの干渉は、トレイ配置領域で行うこともできる。
またこの移動は、２つの吸着ヘッドがＸ方向に関して交差する際における干渉防止に用いることもできる。例えば、２つの吸着ヘッドが互いにＸ軸の逆方向に移動するときに、いずれかあるいは双方の吸着ヘッドをＹ方向に移動させ（Ｙ方向に離間させ）、衝突することなくすれ違うことができる。
【０１２０】
（１０）上記実施形態では検査板に形成された孔を検査板の取付方向を検知する取付方向検知部たる基台側のセンサ（例えば、光センサ、リミットスイッチ）で検出し、さらに検出された取付方向情報に基づき取付方向テーブルを参照することで検査用ソケットの位置（配置）、向きの情報を得ている。これに代えて他の手段で検査板（あるいは検査用ソケット、以下「検査板等」という）の取付方向を検知することもできる。
【０１２１】
▲１▼例えば、検査板にマーク（例えば、点状、十字状）を形成しておき、検査位置確認カメラによって検査板上のマークを確認することで、検査板、ひいては検査用ソケットの取付方向、さらには必要に応じて位置（Ｘ，Ｙ方向座標）を検知できる。この場合には、検査板の位置自体を直接的に検知することも可能なので、基台に対する検査板の取付誤差にも対応可能となり、検査用ソケットへの電子部品Ｄの接続をより確実に行える。
【０１２２】
▲２▼検査用ソケットに（例えば、点状、十字状）を形成しておき、検査位置確認カメラによって検査用ソケット上のマークを確認することで検査用ソケットの取付方向を検知することもできる。この場合には、検査用ソケット自体の方向および位置（Ｘ，Ｙ方向座標）を直接的に検知できるので、検査用ソケットへの電子部品Ｄの接続をより確実に行える。
【０１２３】
▲３▼このような、検査板、検査用ソケットに形成するマークは、１つでもよいが、２つ以上とすることもできる。例えば、２つのマークを検査板、検査用ソケットのいずれかに形成し、これを検査位置確認カメラで撮像し、２つのマークの座標に基づき検査用ソケットの位置、方向を検知できる。この場合には、異なる位置に配置されたマークを用いることで、より正確に検査用ソケットの位置、方向を検知できる。
【０１２４】
▲４▼以上のように取付方向検知部は種々の手法で構成することができる。また検査板等の位置、方向は、取付方向検知部を設けることなく、入力手段（入力スイッチ、マウス、キーボード等）を用いて作業者が入力することも可能である。このときの入力手段は制御部１９０に対して検査用板等の取付方向を教示する取付方向教示部として機能する。
この取付方向教示部は何らかの手段で検査板等の取付方向を教示すれば足りることから、検査板等の取付位置を検知する取付位置検知部を包含することになる。
【０１２５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば検査部の向きの変更が容易な電子部品検査装置を提供することが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態に係る電子部品検査装置を表す斜視図である。
【図２】  第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＺ軸方向から見た状態を表す上面図である。
【図３】  第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＸ軸方向から見た状態を表す側面図である。
【図４】  第１の実施形態に係る電子部品検査装置を図１のＹ軸方向から見た状態を表す正面図である。
【図５】  トレイ配置領域とストッカー配置領域の対応関係を表す模式図である。
【図６】  トレイ配置領域におけるトレイＴの配置例を表す表である。
【図７】  ストッカーを拡大して表す側面図である。
【図８】  ストッカーを拡大して表す正面図である。
【図９】  ストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
【図１０】  検査領域を拡大した状態を表す上面図断面図である。
【図１１】  検査領域を拡大した状態を表す断面図である。
【図１２】  部品位置確認カメラと検査用ソケットの配置例を模式的に表す上面図である。
【図１３】  部品位置確認カメラと検査用ソケットの配置例を模式的に表す上面図である。
【図１４】  部品搬送機構を拡大して表した状態を表す上面図である。
【図１５】  部品搬送機構を拡大して表した状態を表す側面図である。
【図１６】  電子部品検査装置の動作手順を表すタイミングチャートである。
【図１７】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図１８】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図１９】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２０】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２１】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２２】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２３】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２４】  図１６のタイミングチャートに示された動作手順に従って動作したときの電子部品検査装置の状態を表す上面図である。
【図２５】  本発明の第２の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
【図２６】  本発明の第３の実施形態に係る電子部品検査装置を上面から見た状態を表す上面図である。
【図２７】  第３の実施形態に係る電子部品検査装置の部品搬送機構を拡大して表した上面部である。
【図２８】  第３の実施形態に係る電子部品検査装置の部品搬送機構を拡大して表した側面図である。
【図２９】  本発明の第４の実施形態に係る電子部品検査装置を表す斜視図である。
【図３０】  第４の実施形態に係る電子部品検査装置を図２９のＸ方向から見た状態を表す側面図である。
【図３１】  第４の実施形態に係る電子部品検査装置を図２９のＹ方向から見た状態を表す正面図である。
【図３２】  第４の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカーを拡大して表す側面図である。
【図３３】  第４の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカーを拡大して表す正面図である。
【図３４】  第４の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
【図３５】  本発明の第５の実施形態に係る電子部品検査装置を表す側面図である。
【図３６】  本発明の第６の実施形態に係る電子部品検査装置を表す側面図である。
【図３７】  第６の実施形態に係る電子部品検査装置のストッカー内におけるトレイＴの移動状態を表す模式図である。
【図３８】  部品位置調節機構の一例を拡大して表す上面図および断面図である。
【図３９】  図３８に示した部品位置調節機構による位置調節のメカニズムを示す模式図である。
【図４０】  部品位置調節機構の他の例を拡大して表す上面図および断面図である。
【図４１】  図４０に示した部品位置調節機構による位置調節のメカニズムを示す模式図である。
【図４２】  Ｘ軸レールと部品搬送機構の対応関係の例を表す模式図である。
【符号の説明】
１０…電子部品検査装置、  １００…電子部品搬送ユニット、  １１０…基台、  １１１…空間、  １５３…検査板、  １２０…Ｘ軸ロボット、  １３０…トレイ配置領域、  １４０…ストッカー配置領域、  １４１…ストッカー、  １４２…蓋部、  １４３…支柱、  １４４…底部、  １４５…トレイ分離フック、  １４６…トレイ昇降機構、  １４７…トレイ搬送機構進入領域、  １５０…検査領域、  １５１…部品位置確認カメラ、  １５２…検査用ソケット、  １５３…検査板、  １５４…検査位置確認カメラ、  １５５…開口部、  １５６…開口検知部、  １６０…部品搬送機構、  １６１…Ｘ方向駆動部、  １６２…Ｙ方向駆動部、  １６２１…Ｙ方向駆動基体、  １６２２…Ｙ方向駆動体、  １６３…Ｚ方向駆動部、  １６３１…Ｚ方向駆動基体、  １６３２…Ｚ方向駆動体、  １６４…Ｒ方向駆動部、  １６５…吸着ヘッド、  １６５１…ヘッド本体、  １６５２…吸着ノズル支持部材、  １６６…吸着ノズル、  １７０…Ｘ方向トレイ搬送機構、  １７１…Ｚ方向トレイ駆動部、  １７２…トレイ吸着部、  １８０…Ｙ方向トレイ搬送機構、  １８１…シャフト、  １８２…移動部、  １８３…トレイ載置部、  １８４…トレイ固定部、  １９０…制御部、  １９１…ＣＰＵ、  １９２…ＲＯＭ、  １９３…ＲＡＭ、  １９４…通信コントローラ、  １９５…Ｉ／Ｏコントローラ、  １９６…モーションコントローラ、  １９７…画像コントローラ、  ２００…電子部品検査ユニット、  ３００…カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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