(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料のウエハを切断して所定の圧電チップを形成し、この圧電チップに電極を形成して圧電振動片とし、この圧電振動片を所定のパッケージ内に収容する圧電デバイスの製造方法において、
前記圧電振動片の周波数の調整の後で前記圧電振動片を前記パッケージに封止する前に、封止に用いる整列治具に前記圧電振動片を保持し、洗浄液を収容した洗浄槽内に前記整列治具を浸漬して、圧電振動片を洗浄する工程を含む
ことを特徴とする、圧電デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記整列治具は、前記圧電振動片がマウントされたベースを複数個互いに重なり合わないように並べて保持することを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記洗浄工程は、前記圧電振動片に対して濡れ性の高い洗浄液中で行われ、かつ超音波を印加しながら前記封止に用いる治具を揺動させて行われることを特徴とする、請求項１または２に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記洗浄工程は、前記洗浄槽の中で、圧電振動片に対して少なくとも異なる２方向から超音波を印加しながら行われることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項５】
少なくとも異なる２方向から印加される前記超音波は、互いに周波数が異なることを特徴とする、請求項４に記載の圧電デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記洗浄工程の後、圧電振動片に対して、洗浄液もしくは置換液を蒸気化させて当てることにより乾燥させることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載の圧電デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスの製造方法の改良と、このような製造方法の特定の工程に利用される洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１２は、従来の圧電デバイスの製造工程を簡単に示すフローチャートである。
【０００３】
図において、先ず、圧電材料としての例えば人工水晶の結晶から矩形状の水晶ウエハを切り出す（ＳＴ１）。
【０００４】
次に、この水晶ウエハを重ねて接着剤等により固定して積層したウエハを所定の切断線に沿って切断してウエハブロックを作る。このウエハブロックの端面どうしを貼り合わせて全体に平たい形状とした後に、さらに、所定の切断線に沿って再度切断して、水晶チップブロックを形成する。この水晶チップブロックを加工単位として、その角部を研磨する加工を行った後で、上記接着剤を剥離することによって、ブランクと呼ばれる水晶チップを得るようにしている（ＳＴ２）。
【０００５】
次いで、この水晶チップをエッチングして所定の厚みにし（ＳＴ３）、さらに、水晶チップの表面及び裏面に必要な電極を形成するため、例えば蒸着により電極パターンを設けて、所定の駆動電極を備えた水晶振動片を得るようにしている（ＳＴ４）。
【０００６】
この圧電振動片を所定のベースにマウントし（ＳＴ５）、圧電振動片の駆動電極に駆動電圧を印加して、振動周波数をモニタしながら、例えば、その表面にレーザービームや電子ビームを照射したり、プラズマエッチングを行う等して、圧電振動片の質量を減少させて、振動周波数を増加させ、所望の周波数に合わせ込みを行う周波数調整を行う（ＳＴ６）。
【０００７】
最後に、ベースに蓋体等を真空封止して、あるいは窒素ガス等の不活性ガス雰囲気中で封止して、圧電振動子を完成する（ＳＴ７）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような製造方法により形成される圧電振動子においては、完成後に所定の電子機器に組み込まれて、駆動電圧が印加された場合に、その駆動電圧の変動により、特に電圧が著しく低下した際に稀に発振が停止してしまうという不具合がみられた。
【０００９】
すなわち、従来の比較的大きな駆動電圧により駆動される場合と比較して、最近の圧電デバイスは低電圧で駆動される。このため、非常に稀ではあるが振動が停止するという現象が見られる。
【００１０】
この発明は上述のような課題を解決するためになされたもので、駆動電圧の変動に強く、ドライブレベル特性の向上をはかることができる圧電デバイスの製造方法と、この製造方法に利用される洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の圧電デバイスの製造方法は、圧電材料のウエハを切断して所定の圧電チップを形成し、この圧電チップに電極を形成して圧電振動片とし、この圧電振動片を所定のパッケージ内に収容する圧電デバイスの製造方法において、前記圧電振動片の周波数の調整の後で前記圧電振動片を前記パッケージに封止する前に、封止に用いる整列治具に前記圧電振動片を保持し、洗浄液を収容した洗浄槽内に前記整列治具を浸漬して、圧電振動片を洗浄する工程を含むことを特徴とする。
【００２８】
請求項１の構成によれば、圧電チップに電極を形成した後の圧電振動片に関して、周波数調整した後で、封止用の整列治具を用いて圧電振動片を洗浄するようにしている。これは次のような理由による。
【００２９】
本発明者の研究によれば、従来みられた圧電デバイスによるドライブレベル特性の悪化、特に発振の停止のもうひとつの原因は、周波数調整工程後にあることが判明した。特に、従来は、電極形成後幾つかの工程を経ることにより極めて微細な異物が圧電振動片に付着した状態でパッケージが封止されて完成品となってしまう。これが完成後の圧電振動片のドライブ特性に影響を与えている。そこで、本発明者等は、この封止工程に着目し、これを行う前に、治具に圧電振動片をマウントしたベースを並べた状態において、この治具を利用して洗浄する。これにより圧電振動片についた極めて微細な異物が除去されるので、きれいな状態で封止され、適切に発振動作を行うことができるようにしたものである。
【００３０】
請求項２の発明は、請求項６の構成において、前記整列治具は、前記圧電振動片がマウントされたベースを複数個互いに重なり合わないように並べて保持することを特徴とする。
【００３２】
請求項３の発明は、前記洗浄工程は、前記圧電振動片に対して濡れ性の高い洗浄液中で行われ、かつ超音波を印加しながら前記封止に用いる治具を揺動させて行われることを特徴とする。
【００３３】
請求項４の発明は、前記洗浄工程は、前記洗浄槽の中で、圧電振動片に対して少なくとも異なる２方向から超音波を印加しながら行われることを特徴とする。
【００３４】
請求項５の発明は、請求項１０の構成において、少なくとも異なる２方向から印加される前記超音波は、互いに周波数が異なることを特徴とする。
【００３５】
請求項６の発明は、前記洗浄工程の後、圧電振動片に対して、洗浄液もしくは置換液を蒸気化させて当てることにより乾燥させることを特徴とする。
【００４７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００４８】
この実施形態の圧電デバイスの製造方法では、従来の方法と異なり、所定の洗浄工程を導入した点に特徴がある。この製造工程を説明する前に、理解の便宜のため、図１１を参照して、本実施形態の圧電デバイスの一例である水晶振動子の構成を説明する。
【００４９】
図１１において、水晶振動子１０は、板状の水晶振動片１１を収納する空間部１２ａが形成された箱状のベース１２と、空間部１２ａを密封するようにベース１２に接合された板状の蓋体１３を備えている。水晶振動片１１は、一端部１１ａが空間部１２ａ内に一体に設けた段部に配設されている電極１４上に図示しない接着剤を介して接続固定され、他端部１１ｂが自由端とされている。ベース１２と蓋体１３は、封止材（ロウ材）１５を介して接合されている。
【００５０】
ここで、圧電振動片は本実施形態では、水晶が使用された水晶振動片１１となっているが、これに限らず、例えば、水晶，ＬｉＴａＯ3 ，ＬｉＮｂＯ3 等の圧電材料を使用して圧電振動片を構成してもよい。
【００５１】
ベース１２の材料としては、アルミナ等のセラミックが用いられ、蓋体１３の材料としては、コバール等の金属あるいはアルミナ等のセラミックが用いられる。また、封止材１５の材料としては、低融点ガラスまたは銀ロウや半田等が用いられる。
【００５２】
この水晶振動子１０は、先ず、アルミナ等のセラミック材料により、ベース１２が形成され、水晶振動片１１に対応するように、電極部が例えばメッキ等により形成される。
【００５３】
このベース１２の電極部に、後述するように励振電極や接続電極等の駆動に必要な電極が形成された水晶振動片１１が、導電性接着剤１４ａ，１４ａを介してマウントされる。次に、水晶振動片１１の表面に電子ビームやプラズマを照射して、重さ調整することにより、後述するように周波数調整を行う。
【００５４】
次いで、上記ベース１２上に蓋体１３を載せて、例えば蓋体１３の上方から例えば、電子ビームを照射することにより、封止を行うことで完成する。
【００５５】
図１は、上述の水晶振動子１０の製造工程において、水晶振動片１１を形成する工程を含めた製造工程を簡単に示すフローチャートである。
【００５６】
この製造工程において、ＳＴ１０からＳＴ１２までは、図１２で説明した従来の製造工程と同じであり、先ず、圧電材料としての例えば人工水晶の結晶から矩形状の水晶ウエハを切り出す（ＳＴ１０）。
【００５７】
切り出した水晶ウエハを研磨等により所定厚みまで加工した後、これらの水晶ウエハを重ねて接着剤等により固定して積層したウエハを所定の切断線に沿って切断してウエハブロックを作る。このウエハブロックの端面どうしを貼り合わせて全体に平たい形状とした後に、さらに、所定の切断線に沿って再度切断して、水晶チップブロックを形成する。この水晶チップブロックを加工単位として、その角部を研磨する加工を行った後で、上記接着剤を剥離することによって、ブランクと呼ばれる水晶チップを得るようにしている（ＳＴ１１）。
【００５８】
次いで、この水晶チップをエッチングして所定の厚み（周波数）に整える（ＳＴ１２）。ここで、従来は、この水晶チップの表面及び裏面に電極を形成しているが、本実施形態では、ここで、整列洗浄を行う（ＳＴ１３）。この実施形態では、ＳＴ１３の洗浄は、例えば、図２の洗浄装置を使用して行われるので、その詳しい説明は後述する。
【００５９】
次いで、水晶チップの表面及び裏面に必要な電極を形成するため、蒸着やスパッタリングにより電極パターン設けて、所定の駆動電極を備えた水晶振動片１１を得るようにしている（ＳＴ１４）。すなわち、水晶チップにこの工程で電極を形成したものが、図１１で説明した水晶振動片１１である。
【００６０】
この水晶振動片１１を、上述したように、所定のパッケージであるベース１２にマウントし（ＳＴ１５）、水晶振動片の駆動電極に駆動電圧を印加して、振動周波数をモニタしながら、例えば、その表面にレーザービームや電子ビームを照射したり、プラズマエッチングを行う等して、水晶振動片１１の質量を減少させて、振動周波数を増加させ、所望の周波数に合わせ込みを行う周波数調整を行う（ＳＴ１６）。この周波数調整後に、本実施形態では、整列洗浄を行うようにしており（ＳＴ１７）、この整列洗浄は、例えば図９の洗浄装置を用いて行われるので、詳しい説明は後述する。
【００６１】
最後に、パッケージに蓋体１３を真空封止して、あるいは窒素ガス等の不活性ガス雰囲気中で封止して、水晶振動子１０を完成する（ＳＴ１８）。
【００６２】
図２は、洗浄装置の一例を示し、この場合、図１のＳＴ１３に利用される洗浄装置の概略構成図である。
【００６３】
図において、洗浄装置２０は、水晶チップの洗浄を行う洗浄処理室２１と、この洗浄が終わった水晶チップに電極を形成して水晶振動片１１を形成するためのスパッタ室２２を備えている。洗浄処理室２１と蒸着（スパッタ）室２２とは隔壁によりそれぞれ気密に区画されている。
【００６４】
洗浄処理室２１には、複数の洗浄槽２３，２４，２５が配置されており、各洗浄槽は、後述するように洗浄液が収容される複数の洗浄槽として使用してもよいし、その一部を洗浄槽と乾燥用の置換剤の収容槽というように使い分けてもよい。複数の洗浄槽２３，２４，２５の上方には、工程順に沿って延びるガイド手段２６ａが設けられており、このガイド手段２６ａには、揺動アーム２６ｂが設けられている。この揺動アーム２６ｂは、先端に治具保持アーム２６が装着されており、治具保持アーム２６には、水晶チップあるいは水晶振動片を整列して保持するための、後述する整列治具（以下「専用治具」という。）３０が着脱されるようになっていて、この専用治具３０には、後述するように水晶チップがセットされている。揺動アーム２６ｂは、この状態で、専用治具３０を図において上下方向に揺動させたり、上下方向を通る中心軸の周囲に回転もしくは回動させたりすることができるようになっており、ガイド手段２６ａの動きと合わせて、任意の揺動を行うことなうことができるようになっている。
【００６５】
ガイド手段２６ａは、揺動アーム２６ｂを介して、治具保持アーム２６に保持された専用治具３０を、複数の洗浄槽２３，２４，２５による洗浄処理を行いながら、矢印Ａの方向に移動させて、搬送コンベア２７に送るようになっている。搬送コンベア２７は、専用治具３０を矢印Ｄの方向に搬送し、真空予備室２９の扉２９ａから真空予備室２９内に搬入するようになっている。真空予備室２９は、エアロックとして作用し、扉２９ａを閉めることにより、洗浄処理室２１とは気密的に遮断されるようになっている。真空予備室２９内は図示しない真空ポンプ等の真空引き手段が設けられており、専用治具３０が搬入されて扉２９ａが閉められた状態で真空引きされるようになっている。真空予備室２９の奥側には、蒸着（スパッタ）室２２と連絡する扉２２ａが設けられており、真空予備室２９内が真空状態の時に、扉２２ａが開かれて、専用治具３０は、真空予備室２９内の搬送コンベア２８により、スパッタ室２２に搬入され、そのまま真空蒸着による電極形成工程（図１のＳＴ１４）に移行するようになっている。
【００６６】
図３は、専用治具３０の構成を簡単に示す分解斜視図である。
【００６７】
図において、専用治具３０は、図１のＳＴ１３の洗浄とＳＴ１４の電極形成に共通して用いられる治具である。
【００６８】
専用治具３０は、上板３１と下板３４との間に、外形板３３により位置決めされた多数の水晶チップ１６を挟み込むようになっている。
【００６９】
図５は、専用治具３０に水晶チップ１６を挟んで保持した状態を示している。図３の外形板３３は、縦横に水晶チップ１６の外形よりも僅かに大きな内径の同形の孔３３ａを有していて、この孔３３ａ内に水晶チップ１６がひとつずつ水平に、互いに重ならないように、図３の状態に並んで位置決めされるようになっている。
【００７０】
また、上板３１及び下板３４は、電極形成時のマスクであり、図４に示すように、例えば上板３１には、水晶チップ１６の表面に形成すべき電極１１ｃの形状に対応した貫通孔（斜線部を除く部分）３１ａ（図５参照）が形成されている。同様にして、下板３４も電極形成時のマスクであり、水晶チップ１６の裏面に、図４と同様の電極を形成するための貫通孔３４ａ（図５参照）を有している。
【００７１】
そして、図５に表れているカバープレート３６と図３のベースプレート３５とは、貫通孔３１ａや貫通孔３４ａよりも大きめの孔をもつ部材であり、上板３１と下板３４の両外側から、これらを抑える機能を有している。
【００７２】
これにより、複数もしくは多数の水晶チップ１６が図３のように並んで、個々の水晶チップ１６の電極が形成されるべき面が外部に露出した状態で、専用治具３０に保持されるようになっている。
【００７３】
図６は、上記したように多数の水晶チップ１６を保持した専用治具３０を治具保持アーム２６にセットする様子を示している。
【００７４】
治具保持アーム２６の先端（図２においては下端）には、保持手段４１が形成されている。保持手段４１には、断面がコ字状となった溝４２が開口部を対向させて一対形成されている。
【００７５】
これにより、図６の矢印に示すように、専用治具３０を一対の溝４２に挿入することで、治具保持アーム２６の保持手段４１に収容保持されるようになっている。かくして、治具保持アーム２６は、複数もしくは多数の水晶チップ１６が互いに重ならないように、並列に並んで、しかも並ぶ方向を縦方向に揃えて保持されるようになっており、各水晶チップ１６は、その電極が形成されるべき面（図４の電極１１ｃの形状に対応）が外部に露出された状態で保持されることになる。
【００７６】
次に、図７は、洗浄槽２３の構成を概略的に示す斜視図である。洗浄槽２３の内部には、後述する洗浄液等が収容されて、その中に専用治具３０に収容された水晶チップ１６が浸漬される。
【００７７】
洗浄槽２３が例えば直方体状に形成されている場合には、少なくとも、その第１の側壁２３ａと第２の側壁２３ｂとに、ホーン等を内蔵した超音波発生手段３７と３８とがそれぞれ設けられている。そして、好ましくは、超音波発生手段３７と３８が発生する超音波は、その周波数が可変できるようにされており、これにより、超音波発生手段３７と３８とはそれぞれ異なる周波数の超音波を発生することができるようになっている。
【００７８】
また、洗浄槽２３の外壁に接して、これを取り巻くように、冷却水を循環させるための冷却パイプ４５が配置されている。そして、これらの設備は、洗浄槽２４，２５にも設けてもよい。
【００７９】
これにより、図８の平面図（上から見た図）に示されているように、洗浄槽２３内に浸漬された専用治具３０に対しては、異なる２方向から各超音波発生手段３７と３８による超音波Ｓ１，Ｓ２が印加されるようになっている。この場合、各超音波発生手段３７と３８の機能を調整して、同一の周波数で同一のパワーによる超音波を印加するだけでなく、異なる２方向から、異なる周波数の超音波Ｓ１，Ｓ２を専用治具３０に印加しながら洗浄することができるようになっている。そして、超音波の印加により洗浄液が必要以上に昇温しないように、冷却パイプ４５の機能により洗浄液の温度調整が行われるようになっている。
【００８０】
図２の洗浄装置２０は以上のように構成されており、次に洗浄方法の一例を説明する。
【００８１】
図２において、少なくとも、第１の洗浄槽２３には、洗浄液として、水晶チップ１６に対して濡れ性のよい液体として、例えば有機溶剤，例えば、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が収容され、摂氏２０度以上に保たれている。
【００８２】
揺動アーム２６ｂの先端には、図示するように治具保持アーム２６が装着されており、その先端には、上述したように専用治具３０が保持されている。ガイド手段２６ａの機能により、揺動アーム２６ｂ及び治具保持アーム２６を介して、専用治具３０が水晶チップを収容した状態で洗浄槽２３内に浸漬される。
【００８３】
この状態で揺動アーム２６ｂが専用治具３０を液内で揺動させる。この揺動は、上述したように、上下の昇降や回転もくは回動を適宜組み合わせて行う。さらに、これと同時に、超音波発生手段３７と３８から、専用治具３０に対して、異なる２方向から、例えば異なる周波数による超音波が、出力約１００Ｗ以上で印加される。この間の時間は約１０秒である。
【００８４】
これにより洗浄を終了し、揺動アーム２６ｂを上昇させて、洗浄液の直ぐ上で停止させ、洗浄液による蒸気に晒して乾燥を行う。この乾燥時間は、約１０秒である。
【００８５】
これにより、洗浄が済んだ水晶チップ１６は、ガイド手段２６ａにより、矢印Ａの方向に移動され、搬送コンベア２７に送られる。搬送コンベア２７は、専用治具３０を矢印Ｄの方向に搬送し、真空予備室２９の扉２９ａから真空予備室２９内に搬入する。真空予備室２９内へ専用治具３０が搬入されると、扉２９ａが閉められた状態で真空引きされた後、蒸着（スパッタ）室２２と連絡する扉２２が開かれて、専用治具３０は、真空予備室２９内の搬送コンベア２８により、蒸着（スパッタ）室２２に搬入され、そのまま真空蒸着による電極形成工程（図１のＳＴ１４）に移行する。
【００８６】
また、洗浄槽２３，２４，２５を異なる機能を与えて使い分ける場合には、洗浄槽２３に上記と同様にＩＰＡ等による洗浄液を収容し、次段の洗浄槽２４に例えばフッ素系の洗浄剤を水切り置換剤として収容する。この水切り置換剤としては、例えば３Ｍ社のハイドロフロオロエーテル（ＨＦＥ）が好適である。そして、このＨＦＥを洗浄槽２４に所定水位まで収容して、その上方の空間をベーパー層として利用できるようにする。
【００８７】
この場合、洗浄槽２３で洗浄が済んだ専用治具３０を、上記したＨＦＥを収容した洗浄槽２４のベーパー層に１０秒程度晒して、その後蒸気にさらさないで１０秒間放置することにより、洗浄液を乾燥させることができる。
【００８８】
以上のように、本実施形態の製造方法では、水晶チップに電極を形成する前に、専用治具３０に水晶チップ１６を並べた状態において、この専用治具３０を利用して洗浄する。これにより水晶チップ１６を専用治具３０に並べたりする上で付着した極めて微細な異物が洗浄されて、水晶チップ１０の電極を形成すべき面がきれいになる。
【００８９】
しかも専用治具３０に水晶チップ１６を互いに重ならないで並べた状態で洗浄するので、例えば、カゴ等に水晶チップ１６をまとめて投入する場合と比べて、ごく薄い水晶チップが重なってしまうことで、その表面がかくれてしまうことがなく、表面がきれいに洗浄される。この状態で電極形成を行うことにより、極めて微細な異物が付着した状態で電極が形成されることを回避し、適切に発振動作を行うことができるようにしたものである。
【００９０】
しかも専用治具３０は、蒸着（スパッタ）室２２に搬入することで、そのまま電極形成が行えるので、電極形成に際して、水晶チップ１６を他の治具に移載する必要がなく、極めて微細な異物が付着するおそれがない。
【００９１】
また、上述した洗浄方法によれば、洗浄液が特に水晶チップに対して濡れ性が高いものが使用されることで、洗浄効果が高められる。また、洗浄液中では、水晶チップは揺動されることと、超音波を印加されることで、付着した極めて微細な異物が効果的に洗浄されることになる。しかも、洗浄槽２３の中で、少なくとも異なる２方向から水晶チップ１６に対して超音波が印加され、また、超音波発生手段３７と３８が発生する超音波は、その周波数が可変できるようにされていることにより、好ましくは異なる複数の周波数による超音波が印加される。このため、水晶チップ１６には異なる周波数による複数の振動が与えられ、より一層効果的に洗浄される。
【００９２】
また、洗浄後の水晶チップ１６に対して、洗浄装置２０内で、洗浄液もしくは置換液を蒸気化させて当てることで乾燥させているので、洗浄後の水晶チップ１６を別の設備等に移して、熱風乾燥させること等と比べると、他設備による汚染の心配がなく、次工程へ直ちに移動させることができることから、放置時間によっての再汚染のおそれもない。
【００９３】
図９は、図１で説明した製造工程におけるＳＴ１７の整列洗浄，すなわち、周波数調整後の整列洗浄に用いる洗浄装置５０の一例を示す概略構成図である。
【００９４】
図９において、図２の洗浄装置２０と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００９５】
この洗浄装置５０も、その内部が二つに区画されている。洗浄装置５０が洗浄処理室２１を備えていることは洗浄装置２０と共通しているが、工程の相違により、隣接する区画は、封止室５２となっている。
【００９６】
この洗浄装置５０には、周波数調整後の圧電振動片である水晶振動片が運ばれて処理対象となる。この洗浄処理室２１内で、洗浄装置２０と異なるのは、専用治具５５の構成と、洗浄治具カバー取り外しユニット５４を備える点である。
【００９７】
洗浄用の専用治具５５を説明するために、図１０を参照する。
【００９８】
図示されているように、専用治具５５は、２枚の部材５７，５８を有している。２枚のプレート状の部材５７，５８には、それぞれ貫通孔が形成されており、プレート状の部材５７，５８を重ね合わせた状態で、各貫通孔には、内周側に互いに対向する内向き段部５７ａ，５８ａが形成されている。これにより、形成される凹部５９に図示するように水晶振動片１１がマウントされたベースが収容される。つまり、図１のＳＴ１５において、パッケージであるベース１２にマウントされた圧電振動片１１が、ベース１２ごとプレート状の部材５７，５８の間に挟み込まれるようになっており、上記段部５７ａと５８ａがそれぞれベース１２の上端面と下面に当接するようにして、ベース１２にマウントされた水晶振動片１１を保持するようになっている。この状態で、水晶振動片１１は、貫通孔５６により露出されている。
【００９９】
この装置内の洗浄処理は、図２の装置の場合と同じであるから、重複する説明は省略する。
【０１００】
洗浄が終わった水晶振動片１１は、封止室入口扉５２ａを開いて、封止室５２に搬入され、図１１に示すように、蓋体１３を載せて、封止される（ＳＴ１８）。
【０１０１】
その他、洗浄処理に伴う種々の条件は図２の洗浄装置の場合と同じであるから、上述した図２の場合と共通した作用効果を発揮することができる。
【０１０２】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
【０１０３】
本発明は、圧電振動子に限らず、圧電チップを利用した圧電発振器等種々の圧電デバイスに適用することができる。
【０１０４】
また、例えば、洗浄液や洗浄時間等は種々の条件を適宜採用することができるし、上述の洗浄装置の各構成は適宜変更することが可能である。
【０１０５】
さらにまた、上述の実施形態の各条件や各構成は適宜その一部を省略することが可能である。
【０１０６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、駆動電圧の変動に強く、ドライブレベル特性の向上をはかることができる圧電デバイスの製造方法と、この製造方法に利用される洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電デバイスの製造方法の一例を簡単に示すフローチャート。
【図２】図１のフローチャートによるＳＴ１３の洗浄を行う洗浄装置の一例を示す概略構成図。
【図３】図２の洗浄装置に用いる専用治具を示す分解斜視図。
【図４】図３の専用治具の作用を説明するための説明図。
【図５】図３の専用治具に水晶チップを保持した状態の概略断面図。
【図６】図２の洗浄装置の治具保持アームの構成を示す概略斜視図。
【図７】図２の洗浄装置の洗浄槽の構成を示す概略斜視図。
【図８】図２の洗浄装置の洗浄槽の機能を説明する概略平面図。
【図９】図１のフローチャートによるＳＴ１７の洗浄を行う洗浄装置の一例を示す概略構成図。
【図１０】図９の洗浄装置に用いる専用治具を示す概略部分断面図。
【図１１】本発明の圧電デバイスの一例である水晶振動子を示す一部切断斜視図。
【図１２】従来の圧電デバイスの製造方法の一例を簡単に示すフローチャート。
【符号の説明】
１０      水晶振動子
１１      水晶振動片
１２      ベース
１３      蓋体
２０      洗浄装置
２１      洗浄処理室
２２      スパッタ室
２３      洗浄槽
２４      洗浄槽
２５      洗浄槽
２６ａ    ガイド手段
２６ｂ    揺動アーム
２６      治具保持アーム
３０      専用治具
５０      洗浄装置
５５      専用治具
【図１】
0003873592.tif 000002
【図２】
0003873592.tif 000003
【図３】
0003873592.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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