(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）酸化物基準の重量％表示でＰｂＯ  ５５〜７８％、Ｂ2 Ｏ3   ０．５〜７％、ＳｉＯ2   １９〜３２％、Ａｌ2 Ｏ3   ０．５〜３．５％、ＢａＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＴｉＯ2   ０〜２．５％の組成比を有し、軟化点が４６０〜５９０℃である非結晶性フリット、（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上の水酸基を有する水酸基含有ポリマー、（Ｃ）無機フィラー、（Ｄ）希釈剤、及び（Ｅ）一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有する有機ケイ素化合物を含有することを特徴とするガラスペースト組成物。
【請求項２】
前記非結晶性フリット（Ａ）が、酸化物基準の重量％表示でＰｂＯ  ６０〜７５％、Ｂ2 Ｏ3   １〜６％、ＳｉＯ2   ２０〜２７％、Ａｌ2 Ｏ3   ０．５〜２．５％、ＢａＯ  ０〜７％、ＺｎＯ  ０〜７％、ＴｉＯ2   ０〜２．３％の組成比を有し、軟化点が４６０〜５９０℃の非結晶性フリットであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記非結晶性フリット（Ａ）が、酸化物基準の重量％表示でＰｂＯ  ６０〜７５％、Ｂ2 Ｏ3   １〜６％、ＳｉＯ2   ２０〜２７％、Ａｌ2 Ｏ3   ０．５〜２．５％、ＢａＯ  ０．１〜７％、ＺｎＯ  ０〜７％、ＴｉＯ2 ０〜２．３％の組成比を有し、軟化点が４６０〜５９０℃の非結晶性フリットであることを特徴とする請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
さらに（Ｆ）イソシアネート基をアミンでブロックしたブロックイソシアネート化合物及び／又は（Ｇ）１分子中に少なくとも４個以上のアルコキシシラン基又はシラノール基を有する変成シリコーンオイルを含有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項５】
前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）が、オレフィン系水酸基含有ポリマー、アクリル系ポリオール、ゴム系ポリオール、ポリビニルアセタール、スチレンアリルアルコール樹脂及びフェノール樹脂からなる群より選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項６】
前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）が、下記一般式（１）で示される側鎖を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の組成物。
【化１】
0003971489.tif 000008
【請求項７】
前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）が、オレフィン系水酸基含有ポリマー、アクリル系ポリオール、ゴム系ポリオール、ポリビニルアセタール、スチレンアリルアルコール樹脂、フェノール樹脂及びアミノ樹脂からなる群より選ばれた少なくとも１種のポリマーの水酸基又はアミノ基に、下記一般式（２）で示されるラクトンを付加したラクトン変成ポリマーであることを特徴とする請求項６に記載の組成物。
【化２】
0003971489.tif 000009
【請求項８】
前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）が、１分子中に水酸基又はアミノ基と不飽和基を併せ持つモノマーの水酸基又はアミノ基に下記一般式（２）で示されるラクトンを付加したラクトン変成モノマーの単独重合体、又は該ラクトン変成モノマーと他の不飽和基を有するモノマーとの共重合体であることを特徴とする請求項６に記載の組成物。
【化３】
0003971489.tif 000010
【請求項９】
前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）の水酸基価が１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１０】
前記無機フィラー（Ｃ）がアルミナ、シリカ、ジルコン、黒色顔料及び酸化チタンのうちの１種又は２種以上であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１１】
前記希釈剤（Ｄ）が沸点１５０℃以上の高沸点石油系溶剤であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１２】
前記非結晶性フリット（Ａ）１００重量部に対し、前記無機フィラー（Ｃ）を５〜３００重量部、前記希釈剤（Ｄ）を２０〜５０重量部、及び前記有機ケイ素化合物（Ｅ）を０．５〜５重量部含有し、また前記（Ａ）成分及び（Ｃ）成分の合計量１００重量部に対し前記水酸基含有ポリマー（Ｂ）を２〜３０重量部含有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１３】
前記非結晶性フリット（Ａ）１００重量部に対し、前記ブロックイソシアネート化合物（Ｆ）を０．１〜２０重量部及び／又は前記変成シリコーンオイル（Ｇ）を０．１〜４重量部含有することを特徴とする請求項４乃至１２のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１４】
プラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法において、ドライフィルム埋め込み法により隔壁を形成するに際して、背面板となる透明基板の表面を感光性フィルムにより被覆した後、写真法により上記感光性フィルムに所定のパターンの溝部を形成し、前記請求項１乃至１３のいずれか一項に記載のガラスペースト組成物を上記溝部に埋め込むように塗布、乾燥した後、加熱硬化し、次いで上記感光性フィルムを剥離剤により剥離した後、上記硬化したガラスペースト組成物を焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法。
【請求項１５】
前記ガラスペースト組成物を前記感光性フィルムの溝部に埋め込むように塗布、乾燥する工程を複数回繰り返し、最後の工程で感光性フィルム全面を覆うように塗布、乾燥した後、加熱硬化し、次いで硬化したガラスペースト組成物の表面を上記感光性フィルムが露出するまで研磨し、剥離剤により上記感光性フィルムを剥離した後、上記硬化したガラスペースト組成物を焼成することを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラスペースト組成物、特に壁掛けテレビ等の映像表示用ディスプレイやコンピュータ端末機、券売機、車両、ホテル、銀行等における情報表示用ディスプレイに用いられるプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略称する）の背面板に形成する隔壁（バリヤーリブ）をドライフィルム埋め込み法（リフトオフ法ともいう）により形成する際に用いられるガラスペースト組成物及びそれを用いたＰＤＰ背面板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＤＰはガス放電による発光を利用して映像や情報の表示を行う平面ディスプレイであり、パネル構造、駆動方法によってＤＣ型とＡＣ型に分類される。一例としてＤＣ型カラーＰＤＰの原理を図３を参照して簡単に説明すると、ＤＣ型カラーＰＤＰにおいては、２枚の透明基板１ａ，１ｂ（一般にガラス板）の間の空間が透明基板間に介在された格子状の隔壁２によって区画されておびただしい数の微小のセル空間が形成されており、各セル空間内にＨｅ，Ｘｅ等の放電ガスが封入されている。符号３ａ〜３ｃは、放電ガスの放電により発生する紫外光により励起され、３原色の可視光を発光する蛍光体膜である。２枚の基板内面にはそれぞれ各セルに対応して電極４ａ，４ｂが設けられており、一般にカソード４ａはネサガラス等の透明導電材料膜あるいはアルミニウム等から形成されている。これらの電極４ａ，４ｂ間に高電圧を印加すると、各セル空間内に封入されている放電ガスがプラズマ放電Ｐを起こし、放射される紫外線で赤（３ａ）、青（３ｂ）、緑（３ｃ）各色の蛍光体を発光させ、画像を表示させる。フルカラー表示においては、上記のように赤、青、緑の３原色の蛍光体で１つの画素が構成される。
【０００３】
ＤＣ型ＰＤＰにおいては、前記したように各セル空間は格子状の隔壁により区画され、一方、ＡＣ型ＰＤＰにおいては基板面に平行に列設された隔壁により区画されるが、いずれにおいてもセル空間の区画は、隔壁によりなされている。この隔壁は、放電セル間の誤放電やクロストークがなく、良好な表示が行われるように発光放電を一定の領域内に制限するためのものであり、その高さ、幅、パターンギャップによって均一な放電空間を保持すると共に、パネル全体の機械的強度を高める機能を有している。そのため、ＰＤＰにおいて高い発光輝度を得るためには、放電ガス空間はできるだけ広く取り、隔壁はできるだけ薄くする必要がある。すなわち、縦横比（アスペクト比）の大きな、幅が狭く背の高い充分な強度を有する隔壁を形成する必要がある。
【０００４】
従来のＰＤＰ隔壁の形成方法としては、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、ドライフィルム埋め込み法等種々の方法が知られている。しかしながら、スクリーン印刷法の場合は、予め背面板上に印刷されている電極等の下部の部材に対して正確な位置合わせが必要になるが、印刷スクリーンの伸び等によりパネル全面での位置合わせが難しく、しかも、一回の印刷で得られる膜厚に限度があるため、高アスペクト比の隔壁を形成するためには多数回の重ね合わせ印刷が必要になる。そのため、画面が大型になるに従い、どうしても隔壁の裾の乱れや高さの精度が得られず、表示セルの形状が隔壁のニジミに大きく左右され、パネル化した際の表示品位が悪くなるという問題のほか、作業性が悪いという問題がある。一方、サンドブラスト法では、ガラスペーストを基板全面に所定厚みに塗布した後、その上に耐ブラスト性を有する感光性ドライフィルムを重ね合わせ、次いで隔壁形状にパターニングした後、研磨粉を噴きつけてフィルムのない部分を削り取る方法である。この方法では高精細な隔壁を形成することが可能であるが、大量の廃棄粉が出るために作業環境が悪化すると共に歩留りが低下する問題に加えて、大画面にスケールアップすると、全面均一に同一寸法の隔壁を得ることが難しくなり、パネル化した際の画質低下や駆動マージンを得難くなるなどの問題が生じてくる。
【０００５】
ドライフィルム埋め込み法では、用いる感光性ドライフィルムが２００μｍ程度の厚膜でも対角４０インチクラスの大画面で均一な寸法でパターニングすることが容易であり、この特色をパネル製造に役立てることができる。
ドライフィルム埋め込み法による隔壁形成においては、まず、電極などの下部部材を形成した透明ガラス基板上に所定厚みの感光性ドライフィルムをラミネートした後、所定の隔壁形状パターンを有するフォトマスクを重ね合わせ、しかる後、露光、現像を行い、フォトマスクを通して露光されなかった感光性フィルムの部分を除去する。次いで、上記の露光、現像によって形成された感光性フィルムの溝部にガラスペーストを埋め込むように塗布し、これを乾燥して硬化させた後に感光性フィルムの除去とガラスペーストの焼成を行い、隔壁を形成するものである。
この方法で形成した隔壁は、前述したスクリーン印刷法やサンドブラスト法と比較して、寸法安定性に優れ、高精細なＰＤＰ用の隔壁を高い歩留りで製造できる方法として注目されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ドライフィルム埋め込み法において、前記した感光性フィルムの除去方法としては、薬剤（剥離剤）により剥離させる方法（特開平８−１７１８６３号）と、ガラスペーストの焼成と同時にフィルムを焼失させる方法とがある（特開平４−１０９５３６号）。しかしながら、ガラスペーストの焼成の際に同時に感光性フィルムも焼いて除去する方法の場合、隔壁間に感光性フィルムの焼失残渣（粕）が残存して画像に黒い汚点を生ずるという問題があり、これがＰＤＰの品質を大きく低下させる要因となっていた。
このような問題から、最近では感光性フィルムの除去方法として剥離剤を用いる方法が開発されている。
【０００７】
剥離剤による感光性フィルムの除去方法としては、通常、４０℃・５％前後の苛性ソーダ水溶液に１０数分浸した後に４０℃前後の水浴に移し、感光性フィルムを膨潤させて隔壁上方に膨出させる方法が採用される。その際、隔壁表面は強アルカリ水溶液に曝されるため、スクリーン印刷法やサンドブラスト法のペーストに用いられてきた低融点フリットでガラスペーストを調製した場合、この強アルカリ水溶液による感光性フィルム剥離工程によって、隔壁表面（頂部）からフリット成分の一部が溶け出してしまい、溶け出した部分だけ軟化点が上昇し、所定の温度で焼成しても、フリット粉が充分に融着せず、粉をふいたような状態、所謂、チョーキングと呼ばれる現像が生じてしまい、指でさわると表面部が粉末状に崩れてしまう。そのため、高精細で寸法安定性の良い隔壁を形成し難くなる。
【０００８】
従って、本発明の目的は、耐アルカリ性に優れたガラスペースト組成物、特に強アルカリ水溶液による感光性フィルム剥離工程において、低融点フリットのリーチング（一部成分が溶け出して表層部分の物性が変化するような現象）及びそれに伴うチョーキング現象の問題がなく、ドライフィルム埋め込み法によりＰＤＰの隔壁を形成できるガラスペースト組成物及びそれを用いたＰＤＰ背面板の製造方法を提供することにある。
さらに本発明の目的は、寸法安定性に優れると共に、充分な縦横比（アスペクト比）を有する高精度、高強度の隔壁を歩留り良く形成できるＰＤＰの隔壁形成用ガラスペースト組成物及びＰＤＰ背面板の製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明によれば、（Ａ）酸化物基準の重量％表示でＰｂＯ  ５５〜７８％、Ｂ2 Ｏ3   ０．５〜７％、ＳｉＯ2   １９〜３２％、Ａｌ2 Ｏ3   ０．５〜３．５％、ＢａＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＴｉＯ2   ０〜２．５％の組成比を有し、軟化点（Ｓｐ：ガラスの粘度が１０7.6 ポイズになる温度）が４６０〜５９０℃である非結晶性フリット、（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上の水酸基を有する水酸基含有ポリマー、（Ｃ）無機フィラー、（Ｄ）希釈剤、及び（Ｅ）一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有する有機ケイ素化合物を含有することを特徴とするガラスペースト組成物が提供される。
好適な態様においては、上記組成物はさらに（Ｆ）イソシアネート基をアミンでブロックしたブロックイソシアネート化合物及び／又は（Ｇ）１分子中に少なくとも４個以上のアルコキシシラン基又はシラノール基を有する変成シリコーンオイルを含有する。
【００１０】
さらに本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法において、ドライフィルム埋め込み法により隔壁を形成するに際して、背面板となる透明基板の表面を感光性フィルムにより被覆した後、写真法により上記感光性フィルムに所定のパターンの溝部を形成し、前記ガラスペースト組成物を上記溝部に埋め込むように塗布、乾燥した後、加熱硬化し、次いで上記感光性フィルムを剥離剤により剥離した後、上記硬化したガラスペースト組成物を焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの背面板の製造方法が提供される。
別の態様においては、前記ガラスペースト組成物を上記感光性フィルムの溝部に埋め込むように塗布、乾燥する工程を複数回繰り返し、最後の工程で感光性フィルム全面を覆うように塗布、乾燥した後、加熱硬化し、次いで硬化したガラスペースト組成物の表面を上記感光性フィルムが露出するまで研磨し、剥離剤により上記感光性フィルムを剥離した後、上記硬化したガラスペースト組成物を焼成する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、ドライフィルム埋め込み法によるＰＤＰ背面板の隔壁形成において、ガラスペースト焼成後の隔壁表面に粉がふくチョーキング現象について鋭意研究の結果、この現象は、アルカリ水溶液による感光性フィルム剥離工程で、ガラス成分の一部、特に軟化点を下げる成分（主にＰｂＯ，Ｂ2 Ｏ3 ）が溶け出し、それによって隔壁表層部の軟化点（Ｓｐ）が上昇するリーチング現象に起因するものであることを見い出した。一方、ガラスペーストを約５００℃内外の所定温度で焼成するためには、ガラス成分の軟化点を下げるように調整することが必須となる。本発明者らは、このような相反する要求を満たすべく鋭意研究の結果、アルカリ水溶液に対して溶解性があり、かつ軟化点を下げる作用を有するＰｂＯ、Ｂ2 Ｏ3 と、アルカリ水溶液に対して不溶性のＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の組成比をうまくバランスさせたＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 −ＳｉＯ2 −Ａｌ2 Ｏ3 系低融点フリットをドライフィルム埋め込み法による隔壁形成用ガラスペースト組成物のガラス成分として用いることにより、焼成温度に適合した軟化点を有すると共に、耐アルカリ性に優れ、上記のような剥離工程でのリーチング現象及びそれに伴う焼成後の隔壁表面のチョーキング現象が発生せず、高精細で寸法安定性に優れる隔壁を形成できることを見い出した。
【００１２】
例えば、ＰｂＯ  ６０重量％、Ｂ2 Ｏ3   ２０重量％、ＳｉＯ2   １５重量％、Ａｌ2 Ｏ3   ５重量％の組成を有するフリット（Ｓｐ  ５２５℃）を用いてガラスペーストを調製し、ドライフィルム埋め込み法で隔壁を形成した後、５５０℃で焼成すると、隔壁表面（頂部）はフリット粉が充分に融着せず、指でこすると粉が付着し、チョーキング現象が生じた。これに対し、ＰｂＯ  ７４重量％、Ｂ2 Ｏ3   １．５重量％、ＳｉＯ2   ２３重量％、Ａｌ2 Ｏ3   １．５重量％の組成を有するフリット（Ｓｐ  ５２５℃）を用いてガラスペーストを調製し、隔壁を形成、焼成したところ、チョーキング現象は全く生じなかった。さらに、種々の組成のフリットで検討を行ったところ、前記した組成範囲の非結晶性フリットを用いることにより、アルカリ水溶液による感光性フィルム剥離工程でリーチングを起こさず、充分な耐アルカリ性を発現することを見い出した。
【００１３】
すなわち、本発明のドライフィルム埋め込み法による隔壁形成に用いるガラスペースト組成物は、前記（Ｂ）〜（Ｅ）成分、さらにまた（Ｆ）成分、あるいはさらに（Ｇ）成分と組み合わせて用いるガラス成分として、酸化物基準の重量％表示でＰｂＯ  ５５〜７８％、Ｂ2 Ｏ3   ０．５〜７％、ＳｉＯ2   １９〜３２％、Ａｌ2 Ｏ3   ０．５〜３．５％、ＢａＯ  ０〜１０％、ＺｎＯ  ０〜１０％、ＴｉＯ2   ０〜２．５％の組成比を有し、軟化点が４６０〜５９０℃の非結晶性フリットを用いることを基本的な特徴としている。
ＰｂＯは低融点フリットの基本的な成分であり、その含有量は５５〜７８％（以下、％とは特に断りのない限り重量％を意味する）、好ましくは６０〜７５％である。ＰｂＯ含有量が７８％を超えるとフリットの軟化点が低くなりすぎ、逆に５５％未満では軟化点が高くなりすぎ、いずれの場合も所定温度での良好な焼成が困難となる。
Ｂ2 Ｏ3 はフリットの軟化点を下げるために必須の成分であり、その含有量は０．５〜７％、好ましくは１．０〜６％である。Ｂ2 Ｏ3 含有量が７％を超えるとフリットの耐アルカリ性が失われ、リーチング現象が生じてくる。逆に０．５％未満ではフリットの軟化点が高くなりすぎる。
【００１４】
ＳｉＯ2 はフリットの耐アルカリ性を向上させる成分であり、その含有量は１９〜３２％、好ましくは２０〜２７％である。ＳｉＯ2 含有量が３２％を超えるとフリットの軟化点が高くなりすぎ、逆に１９％未満では耐アルカリ性が失われ、リーチング現象が生じてくる。
Ａｌ2 Ｏ3 はフリットの耐アルカリ性向上及び軟化点調整のための成分であり、その含有量は０．５〜３．５％、好ましくは０．５〜２．５％である。Ａｌ2 Ｏ3 含有量が３．５％を超えるとフリットの軟化点が高くなり、逆に０．５％未満では耐アルカリ性が損なわれる。
本発明で用いる低融点フリットは、上記各成分の含有量を厳格に制限する以外は、低融点フリットとして通常用いられる他の成分を添加でき、温度特性、熱膨張係数などは上記制限がない場合と同様に自由に設計することができる。
【００１５】
本発明で用いる低融点フリットに添加できる他の好適な成分としては、ＢａＯが挙げられる。ＢａＯは、焼成後の隔壁の内部緻密性を向上させるために０〜１０％、好ましくは０〜７％添加することができる。但し、１０％を超えると、フリットの熱膨張係数が大きくなりすぎるので好ましくない。特に、ＢａＯを０．１〜７％添加することにより、焼成後、隔壁内部の気泡の発生を抑えることができ、ＡＣ型ＰＤＰに適した内部が緻密で吸蔵気体の少ない隔壁を形成することができる。
ＺｎＯは、必須成分ではないが、フリットの耐アルカリ性を向上させるために０〜１０％、好ましくは０〜７％添加することができる。但し、ＺｎＯ含有量が１０％を超えて多くなると、ガラスが結晶化し易くなり、不安定になる。
ＴｉＯ2 も必須成分ではないが、フリットの耐アルカリ性を向上させるために０〜２．５％、好ましくは０〜２．３％添加することができる。但し、ＴｉＯ2 含有量が２．５％を超えて多くなると、ガラスが結晶化し易くなり、不安定になる。
【００１６】
本発明で用いる非結晶性フリットは、前記した組成範囲内で軟化点（Ｓｐ）が４６０〜５９０℃の範囲内となるように調整されている。
この理由としては、ＰＤＰ隔壁の形成工程において、最後に隔壁を焼成するが、その焼成温度として基板ガラスの軟化変形等を考慮して一般に４５０〜５６０℃が採用されるため、５９０℃より高い軟化点を持つフリットを用いた場合、接着性が悪くなるからである。また、その軟化点が４６０℃より低いフリットを用いることも好ましくない。特に無機フィラーの配合量が低融点フリットに対して２５％以下程度と比較的に少ない場合には、隔壁中のガラス成分が流れ易くなり、結果的に隔壁下部が広がって隔壁間の幅が狭くなり、かつ隔壁の高さも低くなり、高精度で所望の縦横比が得られにくくなるからである。以上の点を考慮すると、低融点フリットの軟化点は４６０〜５９０℃に制限される。
【００１７】
本発明で用いる低融点フリットは、従来の低融点フリットと同様な方法で製造できる。すなわち、前記組成となるような割合で原料を配合し、加熱、溶融した後、金型に流し込みガラスブロックを製造し、ボールミル等によって粉砕し、低融点フリット粉末を製造する。
前記した組成の低融点フリット粉末をガラス成分として含有する本発明のガラスペースト組成物を用い、ドライフィルム埋め込み法によりＰＤＰ背面板に隔壁を形成した場合、低融点フリットが充分な耐アルカリ性を有するため、どのような剥離工程（アルカリ水溶液中への浸漬及び水中への浸漬）を経ても、リーチング現象を生ずることはなく、焼成後に充分な強度、寸法安定性、均一性を有する隔壁を形成することができる。なお、本発明のガラスペースト組成物は、ドライフィルム埋め込み法による隔壁形成用ガラスペースト組成物として最適であるが、それのみに限定されるものではなく、前記のような優れた特性を利用して耐アルカリ性が要求される種々の用途のガラスペースト組成物としても用いることができる。
【００１８】
本発明のガラスペースト組成物は、基本的な態様においては、前記フリット粉末のバインダー及び強化剤として、（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上の水酸基を有する水酸基含有ポリマーと、（Ｅ）一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有する有機ケイ素化合物、所謂シランカップリング剤を含有することを特徴としており、また第二の態様においては、上記特徴に加えて、さらに前記（Ｂ）水酸基含有ポリマーの架橋剤として（Ｆ）イソシアネート基をアミンでブロックしたブロックイソシアネート化合物を含有することを特徴としている。
【００１９】
上記水酸基含有ポリマー（Ｂ）の水酸基とシランカップリング剤（Ｅ）のアルコキシシラン基は、熱硬化の際に脱アルコール反応により縮合して造膜し、またシランカップリング剤（Ｅ）は低融点フリット（Ａ）及び無機フィラー（Ｃ）ともカップリングし、さらにガラス基板の水酸基とも縮合反応を生起するものと考えられる。さらに第二の態様においては、熱硬化の際にブロックイソシアネート化合物（Ｆ）の熱解離によって生成したイソシアネートが水酸基含有ポリマー（Ｂ）の水酸基と反応することにより、水酸基含有ポリマーの架橋が生起する。その結果、バインダー樹脂の親水基である水酸基が殆どつぶされているため、アルカリ水溶液等の剥離剤による感光性フィルムの剥離時に吸水しにくく、また感光性フィルムの剥離に耐え得る充分な硬化強度の隔壁が形成される。この効果は、組成物中に前記成分（Ａ）〜（Ｆ）の他にさらに（Ｇ）１分子中に少なくとも４個以上のアルコキシシラン基又はシラノール基を有する変成シリコーンオイルを含有させることにより増強できる。すなわち、変成シリコーンオイルのアルコキシシラン基又はシラノール基も水酸基含有ポリマー（Ｂ）の水酸基やシリコーンカップリング剤のアルコキシシラン基と熱硬化の際に脱アルコール反応又は脱水反応により縮合して造膜に寄与し、また低融点フリット（Ａ）及び無機フィラー（Ｃ）ともカップリングし、さらにガラス基板の水酸基とも縮合反応を生起するものと考えられる。その結果、ガラスペーストの硬化強度及びガラス基板との密着性を向上でき、硬化した隔壁は感光性フィルムの剥離の際にその膨潤による圧力に対して充分な耐性があり、またその圧力に屈して位置がずれるようなこともない。
【００２０】
また、本発明で用いるシランカップリング剤（Ｅ）は、一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有する。隔壁形成の際に使用する感光性フィルムは、例えば１〜５％Ｎａ2 ＣＯ3 水溶液等のアルカリ水溶液により現像可能とし、また例えば３〜５％ＮａＯＨ等のアルカリ剥離剤により剥離可能にするために、樹脂成分中に多数のカルボキシル基を有している。このため、ガラスペーストとして、例えばエポキシ樹脂をバインダーとして用いて熱硬化系を組成した場合、カルボキシル基とエポキシ基の反応により感光性フィルムとガラスペーストが強固に結合し、感光性フィルムが剥離できなくなってしまうか、無理に剥離しようとすれば硬化させたガラスペーストも一緒に剥れてしまう。また、レゾールやメチロールメラミン系の他の樹脂を用いて縮合硬化させると、ガラスペーストの焼成後にカーボン残渣が残り、ペーストが黒くなってしまう。
これに対して、本発明のガラスペースト組成物においては、耐熱性に優れた水酸基含有ポリマーやシランカップリング剤を用いており、上記のような問題がなく、またシランカップリング剤は他方の端部にアミン系末端基を有するため、このアミン系末端基がガラスペーストと接触する感光性フィルムのカルボキシル基と塩架橋、すなわち緩やかな水素結合を形成することになり、感光性フィルムが剥離し易くなっている。
【００２１】
さらに、本発明で用いるブロックイソシアネート化合物（Ｆ）は、例えばトリレンジイソシアネートを例に挙げて説明すると、下記反応式（１）で示されるようにイソシアネート基がアミンによりブロックされているが、熱硬化の際に約１５０〜１６０℃に加熱されることにより、イソシアネートとアミンガスに解離する。
【化４】
0003971489.tif 000002
熱解離により発生したイソシアネートは、前記したように水酸基含有ポリマー（Ｂ）の水酸基と反応して橋かけを行い、形成される隔壁をより強固なものとする。一方、アミンガスは、形成される隔壁に接する感光性フィルムに侵入し、感光性フィルム中のカルボキシル基と反応してマスクすることにより、隔壁を形成する他の成分との反応を抑制し、感光性フィルムの剥離性を確保する効果がある。
【００２２】
このように、本発明のガラスペースト組成物は、フリット粉末のバインダー及び強化剤として、（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上の水酸基を有する水酸基含有ポリマーと（Ｅ）一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有するシランカップリング剤、あるいはまた（Ｆ）イソシアネート基がアミンでブロックされたブロックイソシアネート化合物、あるいはさらに（Ｇ）１分子中に少なくとも４個以上のアルコキシシラン基又はシラノール基を有する変成シリコーンオイルを含有しているため、熱硬化によって、充分な硬化強度を有し、また、アルカリ水溶液等の剥離剤による感光性フィルムの剥離時に吸水しにくい隔壁が形成される。しかも、本発明で用いるシランカップリング剤は他方の端部にアミン系末端基を有することから、このアミン系末端基がガラスペーストと接触する感光性フィルムのカルボキシル基と塩架橋、すなわち緩やかな水素結合を形成しており、また、この塩架橋を形成していない感光性フィルムのカルボキシル基については、熱硬化の際にブロックイソシアネート化合物の熱解離により発生したアミンガスによりブロックされるため、感光性フィルムが剥離し易くなっている。その結果、感光性フィルムの剥離に際して、硬化された隔壁が剥離することなく、感光性フィルムの剥離のみがスムーズに行え、また、焼成後の隔壁は所望の細線ピッチで形成され、高精度の優れた品質の隔壁が得られる。
さらに、希釈剤として、感光性フィルムを溶解することなく前記水酸基含有ポリマーを溶解する有機溶剤、好ましくは沸点１５０℃以上の高沸点石油系溶剤を用いることにより、感光性フィルムの溝部に上記ガラスペースト組成物を埋め込み塗布する時、感光性フィルムの膨潤、溶解がなく、寸法安定性よく造膜できると共に、安定した作業性が得られる。
【００２３】
前記（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上の水酸基を有する水酸基含有ポリマーとしては、オレフィン系水酸基含有ポリマー、アクリル系ポリオール、ゴム系ポリオール、ポリビニルアセタール、スチレンアリルアルコール樹脂、フェノール樹脂などを用いることができる。
オレフィン系水酸基含有ポリマーとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブタジエン等を主鎖とし、主鎖又は側鎖に２個以上の水酸基が結合した樹脂を用いることができ、また、アリルアルコールとエチレン又はブタジエンの共重合物などを用いることもできるが、特に耐熱性の点からオレフィン系水酸基含有ポリマーが好ましい。
【００２４】
アクリル系ポリオールの具体例としては、三菱レイヨン（株）製のＬＲ２５０７、ＬＲ２５１６、ＬＲ２５７、ＬＲ９８９、ＬＲ２５３６、ＬＲ５３２、ＬＲ５９８、ＬＲ５６６、ＬＲ２８６、ＬＲ５１１、ＬＲ２５２８等が挙げられ、ゴム系ポリオールの具体例としては三井石油化学（株）製のユニストールＰ９０１、クラレ（株）製のクラプレンＬＩＲ５０６、ＴＬ−２０、ＴＨ−１、ＴＨ−２１、ＴＨ−３１、クラポールＰ−５１０、クラポールＰ−１５１０、クラポールＰ−５０１０等が挙げられ、また、スチレンアリルアルコール樹脂の具体例としてはモンサント（株）製のＲＪ１００、ＲＪ１０１、アーコケミカル（株）製のＳＡＡ１００、ＳＡＡ１０１等が挙げられる。
【００２５】
ポリビニルアセタールとしては、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセトアセタール、ポリビニルホルマール等を用いることができる。これらは一般にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）のアセタール化反応により製造されるが、ＰＶＡを完全にアセタール化することはできないため相当の水酸基が残されており、またケン化（ＰＶＡの製造工程）の際にも少量のアセチル基が残っている。具体例としては積水化学工業（株）製のエスレックＢＬＳ、エスレックＢＭＳ、エスレックＢＨＳ、エスレックＢＬＳＨ、エスレックＢＭＳＨ等が挙げられる。
フェノール樹脂としてはノボラック型が好ましく、具体例としては群栄化学（株）製のＰＳ−２６０３等が挙げられる。
【００２６】
使用する水酸基含有ポリマーは、感光性フィルムを溶解しない希釈剤（溶剤）に溶解するものでなければならず、かつ、厚さ１００μｍ以上の感光性フィルムに形成した狭隘な溝部にしっかりと充填するだけの流動性と、架橋剤との反応性を有する官能基（水酸基）を一定割合で保有している必要がある。
上に例示したような水酸基含有ポリマーは、通常の１００μｍ程度の幅の溝部への充填の場合には問題なく使用できるが、さらに細く、例えば５０μｍ程度以下の幅の溝部への充填の場合には対応困難な場合がある。このような場合、下記一般式（１）で示される側鎖を有する水酸基含有ポリマーを用いることが好ましい。
【化５】
0003971489.tif 000003
このような側鎖を導入することにより、ガラス転移点（Ｔｇ）が低下し、流動性が向上した水酸基含有ポリマーとなり、希釈剤（溶剤）に対する溶解性や反応性（一級水酸基）を併せ持ったものとなる。従って、このような水酸基含有ポリマーを含むガラスペースト組成物を用いることにより、基板上に積層された所定のパターンの感光性フィルムの極めて狭隘な溝部にも良好に塗布、充填することができ、壁厚が薄くてアスペクト比の大きな高強度の隔壁を高精度で形成することができる。このような効果を充分に発揮させるためには、上記水酸基含有ポリマーのガラス転移点（Ｔｇ）は３０℃以下であることが好ましい。
【００２７】
前記一般式（１）で示される側鎖を有する水酸基含有ポリマーは、前記したオレフィン系水酸基含有ポリマー、アクリル系ポリオール、ゴム系ポリオール、ポリビニルアセタール、スチレンアリルアルコール樹脂、フェノール樹脂の水酸基やアミノ樹脂のアミノ基に、下記一般式（２）で示されるラクトンを付加したラクトン変成ポリマーであってもよく、また、１分子中に水酸基又はアミノ基と不飽和基を併せ持つモノマーの水酸基又はアミノ基に下記一般式（２）で示されるラクトンを付加したラクトン変成モノマーの単独重合体、又は該ラクトン変成モノマーと他の不飽和基を有するモノマーとの共重合体でもよい。
【化６】
0003971489.tif 000004
【００２８】
上記１分子中に水酸基と不飽和基を併せ持つモノマーとしては、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−アクリロイルオキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタル酸、２−アクリロイルオキシエチル−２−ヒドロキシプロピルフタル酸、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアルコール、グリセリンモノアリルエーテル、エチレングリコールモノアリルエーテル、ジエチレングリコールモノアリルエーテルなどの水酸基含有モノマーが挙げられ、また１分子中にアミノ基と不飽和基を併せ持つモノマーとしては、アミノメチルアクリレート、２−アミノエチルアクリレートなどが挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
上記モノマーの水酸基又はアミノ基に前記一般式（２）で示されるラクトンを付加したラクトン変成モノマーに共重合させるモノマーとしては、上記水酸基含有モノマーをはじめとする各種アクリレート、メタクリレート、及びスチレン、アリル化合物等公知の種々のビニル系化合物を用いることができる。
前記ラクトン変成モノマーの重合体又は他のビニル系モノマーとの共重合体は、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物や有機過酸化物などの開始剤を用いた溶液重合によって容易に得ることができる。
【００２９】
前記ポリマー又はモノマーの変成に用いられるラクトンは、前記一般式（２）においてｎが３〜７、特に４〜６のものが好ましい。ｎが７より大きくなると開環が難しく、ポリマーやモノマーの変成を行うことが困難である。
ラクトン変成ポリマーの場合、ラクトン付加量は、変成前のポリマーの分子量の０．１〜３倍、好ましくは０．５〜１．５倍であることが望ましい。
ポリマーの水酸基又はアミノ基にラクトンを付加する場合、例えば下記反応式（２）で示されるように、生成した末端水酸基にさらに次のラクトンが付加して逐次的に付加反応が生起するため、生成するラクトン変成ポリマーの分子量をかなり増大させることが可能である。
【化７】
0003971489.tif 000005
しかしながら、ラクトン付加量が変成前のポリマーの分子量に対し３倍を超えた場合、このようなラクトン変成ポリマーを含むガラスペースト組成物を用いて形成した隔壁は強度が弱くなり、感光性フィルムをアルカリ溶液で剥離する際に隔壁の破壊（欠損等の発生）を生じ易くなるため好ましくない。
モノマーをラクトン変成する場合も同様であり、最終重合体の分子量の１／１０〜３／４、好ましくは１／３〜１／２が付加したラクトン量となるように変成することが望ましい。
【００３０】
本発明で用いる水酸基含有ポリマー（Ｂ）は、前記一般式（１）で示される側鎖の有無に拘らず、分子量が２，０００〜５０，０００の範囲内にあることが望ましい。分子量が２，０００より小さいと、感光性フィルムを溶解してフィルムが膨潤し易くなり、一方、５０，０００を超えて大きくなると、溶剤への溶解性が悪くなり、また、このような水酸基含有ポリマーを含むガラスペースト組成物を感光性フィルムに形成した極めて狭隘な溝部に充填するだけの流動性が得られ難くなる。また、流動性を得るために多量の溶剤を用いた場合、得られるガラスペースト組成物を感光性フィルムの溝部に充填・乾燥させる際に、気化する組成物中の溶剤の割合が大きい分、乾燥後の組成物の沈み込みも大きくなり、塗布回数の増加につながり作業性が悪くなる。以上の理由から、本発明で用いられる水酸基含有ポリマー（Ｂ）の分子量は上記範囲にあることが好ましい。
但し、通常の１００μｍ程度の幅の溝部に充填する場合には、水酸基含有ポリマーの分子量は必ずしも５０，０００以下に限定されるものではなく、例えば分子量６０，０００程度までの水酸基含有ポリマーも使用可能ではある。しかしながら、前記した理由から、本発明で用いる水酸基含有ポリマーの分子量は２，０００〜５０，０００の範囲内が好ましいことは言うまでもない。
【００３１】
また、本発明で用いる水酸基含有ポリマー（Ｂ）としては、前記作用に関連して説明したシランカップリング剤や変成シリコーンオイルとの縮合反応の点から、そのＯＨ価が約１０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇとなる水酸基含有ポリマーが好ましい。
水酸基含有ポリマーの好適な配合量は、前記低融点フリット（Ａ）及び無機フィラー（Ｃ）の合計量１００重量部に対し２〜３０重量部、より好ましくは１０〜１８重量部である。水酸基含有ポリマーの配合量が２重量部未満の場合、シランカップリング剤とのバインダーとしての働きが低下し、フィルム剥離時の耐性が低下するので好ましくない。一方、３０重量部を超えると、熱硬化時に隔壁に亀裂が発生し易くなるので好ましくない。
【００３２】
前記（Ｃ）無機フィラーとしては、アルミナ、シリカ、ジルコン、酸化チタン等、隔壁内部の緻密性を損わないものは全て用いることができる。また、隔壁に黒色が求められる場合には、Ｃｕ−Ｃｒ−Ｍｎ系酸化物などの黒色顔料を無機フィラーとして使用することができる。この時、必要な黒色度に応じて添加量を調節すればよい。
ガラス成分は焼成時に収縮するが、無機フィラーの配合量によって収縮率と内部緻密性を調整することができる。すなわち、前記低融点フリット（Ａ）１００重量部に対して無機フィラーを５〜２５重量部配合することによって、収縮率は大きくなり易いが焼成後の隔壁内部に気泡の少ない緻密な隔壁を得ることができる。また、無機フィラーを２５〜３００重量部配合することによって、隔壁内部は緻密になり難いが収縮率の小さい隔壁を得ることができる。この際、無機フィラーの配合量が前記低融ガラス１００重量部に対し５重量部未満では焼成時にガラスが流れ出し易くなり、一方、３００重量部を超えて多量に配合すると接着性が劣るようになるので好ましくない。
【００３３】
また、前記（Ｄ）希釈剤に関しては、前記水酸基含有ポリマーを溶解できると共に、光硬化後の感光性フィルムを溶解もしくは膨潤しないことが望ましい。希釈剤としてエーテル系、アルコール系、アセテート系溶剤を用いたガラスペースト組成物を塗布すると、これと接する感光性フィルムが膨潤し、隔壁を圧迫することになる。その結果、高精度のＰＤＰ隔壁を形成し難くなる。さらに、本発明のガラスペースト組成物を用いて隔壁を形成する場合、ガラスペースト組成物は感光性フィルムの溝部に充填した後、後述するように乾燥の際に泡抜きされるが、このとき希釈剤は徐々に蒸発される必要があり、高沸点石油系溶剤（沸点１５０℃以上）であることが望ましい。なお、低沸点の溶剤も用いることはできるが、その場合は乾燥温度を下げる必要がある。
【００３４】
従って、前記希釈剤（Ｄ）としては、光硬化後の感光性フィルムを溶解もしくは膨潤させず、且つバインダー樹脂を溶解する高沸点石油系溶剤が好適に用いられる。このような高沸点石油系溶剤としては、例えばエクソン化学（株）製ソルベッソ＃１００、ソルベッソ＃１５０、ソルベッソ＃２００、エクソンアロマティックナフサＮｏ．２、シェル（株）製ＬＡＷＳ、ＨＡＷＳ、ＶＬＡＷＳ、シェルソルＤ４０、Ｄ６０、Ｄ７０、７１、７０、１００、Ａ、ＡＢ、ＤＯＳＢ、ＤＯＳＢ−８等の芳香族系溶剤、エクソン化学（株）製エクソンナフサＮｏ．５、Ｎｏ．６、Ｎｏ．７、エクソンオーダーレスソルベント、エクソンラバーソルベント等の脂肪族系溶剤などがある。その他、テトラリン、デカリン、ビフェニル、テレビン油、ピネン、パイン油、ショウノウ油なども使用できる。このような希釈剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
このような希釈剤の配合量は、前記低融点フリット１００重量部に対し２０〜５０重量部が好ましい。
また、光硬化後の感光性フィルムを溶解もしくは膨潤させない範囲であれば、低沸点石油系溶剤、アセテート系溶剤、エーテル系溶剤、アルコール系溶剤等が前記希釈剤（Ｄ）の約２０％以内の割合で使用できる。
【００３５】
次に、前記（Ｅ）シランカップリング剤は、前記したようにガラスペースト組成物に含まれる前記水酸基含有ポリマー、無機フィラー及びガラス基板との結合に使用される。特にそれがガラス基板と強く結合することにより、感光性フィルム剥離時に隔壁が位置ずれを起こしたり、一緒に剥離せずに、基板に対する高い密着性を有する。但し、感光性フィルムとは緩やかに結合されることが必要である。そのため、一方の端部に少なくとも２個以上のアルコキシ基が結合したアルコキシシラン基を有し、かつ他方の端部にアミン系末端基を有するシランカップリング剤が用いられる。アルコキシ基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等を用いることができる。プロポキシ基以上では反応が遅くなるため好ましくなく、メトキシ基が最も好ましい。アミン系末端基としてはアミノ基、尿素基が好ましい。このようなシランカップリング剤としては、γ−ウレイドプロピル  トリエトキシシラン、γ−アミノプロピル  トリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピル  トリエトキシシランなどがあり、単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
このようなシランカップリング剤は、前記低融点フリット１００重量部に対し０．５〜５重量部配合することが好ましい。０．５重量部未満では形成される隔壁の強度が低下するので好ましくなく、一方、５重量部を超えると形成される隔壁が柔らかくなるので好ましくない。
【００３６】
前記（Ｆ）ブロックイソシアネート化合物は、熱硬化時に例えば約１５０〜１６０℃に加熱されてイソシアネートとアミンガスに分解されるような、イソシアネート基がアミンでブロックされた化合物であれば使用可能である。これに適応したイソシアネートとしては、１分子中にイソシアネート基を２個以上有するものが使用でき、例えば２，４−トリレンジイソシアネート（略称：２，４−ＴＤＩ、以下同様）、２，６−トリレンジイソシアネート（２，６−ＴＤＩ）、１，５−ナフタレンジイソシアネート（１，５−ＮＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＭＤＩ）、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、トリジンジイソシアネート（ＴＯＤＩ）、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、ｍ−テトラメチルキシレンジイソシアネート（ｍ−ＴＭＸＤＩ）、Ｐ−テトラメチルキシレンジイソシアネート（Ｐ−ＴＭＸＤＩ）、トリフェニルメタントリイソシアネート、リジンジイソシアネート（ＬＤＩ）等が挙げられる。また、イソシアネート基をブロックするアミンとしては、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジ−ｉ−プロピルアミン、ジブチルアミン、ジ−ｔ−ブチルアミン、ジエタノールアミン等が挙げられる。
【００３７】
以上に挙げた各種イソシアネートにアミンを反応させて遊離のイソシアネート基を皆無にしたブロックイソシアネート化合物は、単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。これらのブロックイソシアネート化合物は、前記したように加熱によりアミンとイソシアネートに熱解離し、イソシアネートは水酸基含有ポリマーと反応して架橋させる。
このようなブロックイソシアネート化合物は、前記低融点フリット１００重量部に対し０．１〜２０重量部配合されることが好ましい。０．１重量部未満では熱解離後に発生するイソシアネートの量が前記水酸基含有ポリマーを架橋するのに充分でなく、一方、２０重量部を超えると水酸基含有ポリマーの架橋に寄与しない割合が多くなる。
【００３８】
前記（Ｇ）１分子中に少なくとも４個以上のアルコキシシラン基又はシラノール基を有する変成シリコーンオイルは、両末端又は側鎖がアルコキシシラン基又はシラノール基で変成されたシリコーンオイルであり、例えば日本ユニカー（株）製ＦＺ−３７０１、ＦＺ−３７０４、ＦＺ−３１２２、Ｌ−９０００、Ｙ−９３３８、Ｙ−９６６９、Ｙ−９０３０、ＡＺ−６１６６、Ａ−１８６、Ａ−１１００、Ａ−１１２２、Ａ−１１６０などがある。
このような変成シリコーンオイルの配合量は、前記低融点フリット１００重量部に対し０．１〜４重量部で充分である。但し、５重量部を越えると形成される隔壁が柔らかくなるので好ましくない。
【００３９】
次に、本発明によるＰＤＰ背面板の隔壁形成方法の例を図１を参照して説明する。なお、本発明はＰＤＰ隔壁の形成を対象としており、電極等の形成は従来と同様に行えばよいので、その説明は省略する。また、本発明のＰＤＰ隔壁形成方法がＤＣ型ＰＤＰ及びＡＣ型ＰＤＰのいずれにも適用できることは勿論である。
まず、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、ＰＤＰの背面板となる透明基板１上に感光性フィルム１０を積層し、写真法により所定のパターンの溝部１２を形成する。その方法は従来通りでよく、まず図１（Ａ）に示すように、透明基板１の表面に感光性フィルム１０を貼り付けた後、所定のパターン孔１４を有するフォトマスク１３を重ね合わせ、しかる後、露光、現像を行い、図１（Ｂ）に示すようにフォトマスクを通して露光されなかった感光性フィルムの部分を除去する。なお、基板表面に所定パターンの電極が形成された透明基板を用いる場合、フォトマスクのパターン孔が電極位置と整合するように感光性フィルム上に重ね合わせる。
【００４０】
次いで、上記の露光、現像によって形成された感光性フィルム１０のパターン間の溝部１２に、図１（Ｃ）に示すように、前記した組成の本発明のガラスペースト１１を埋め込むように塗布し、好ましくは減圧下で脱泡した後、乾燥する。この操作によって泡抜けが生じ、図１（Ｄ）に示すようにガラスペースト部分が沈み込むので、必要により塗布−脱泡−乾燥のサイクルを数回繰り返す。この操作では、ガラスペースト組成物中の溶剤が揮発する際に泡残りが生じないように、ゆっくり乾燥することが望ましい。また、泡抜け性を良くするために、乾燥を例えば約８０℃で３０分間行う。その後、約１５０℃〜１６０℃で３０〜６０分間熱硬化させる。冷却後、感光性フィルム１０が見えるようになるまで硬化したガラスペースト表面を研磨する（図１（Ｅ））。
【００４１】
このようにして得られた基板１を、剥離剤としてアルカリ水溶液、例えば４０℃、３〜５％ＮａＯＨ水溶液や１０ｗｔ％モノエタノールアミン水溶液などを用い、剥離剤溶液に約１５〜２０分浸漬した後、４０℃前後の水に数十秒浸漬することによって、感光性フィルム１０が直ちに膨潤し剥がれる。
図１（Ｆ）に示すように感光性フィルム１０を剥離した基板１は、洗浄し、乾燥した後、約４５０℃〜５６０℃程度の温度で焼成する。
このような工程により、幅３０〜１００μｍ、高さ約１００〜２００μｍの幅の乱れのない均一な高さの高精度のＰＤＰ隔壁２が得られる。
なお、基板上に積層し、所定のパターンの溝部を形成するフィルムの材料としては、感光性フィルム（ドライフィルム）の他、液状の現像型感光性レジストを用いることができる。
上記フィルムの材料としては、隔壁形成用組成物の硬化を経た後であってもアルカリ水溶液で容易に剥離できるものが好適に用いられる。
【００４２】
【実施例】
以下、実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。
【００４３】
実施例１〜７及び比較例１，２
ＰＤＰ隔壁用ガラスペーストの調製：
表１に示す各フリットを用いた下記の成分を配合し、よく攪拌した後、セラミック製３本ロールミルを用いて３回練肉し、ＰＤＰ隔壁用ガラスペーストの主剤を調製した。
0003971489.tif 000006
この主剤１６３．３ｇに硬化剤としてシランカップリング剤（日本ユニカ−（株）製、Ｙ９０３０／Ｙ９６６９＝１／３の比率）を２．８ｇ加え、さらに希釈剤（ソルベッソ＃２００）を加えて粘度を約８０Ｐｓ．とした。
【００４４】
ＰＤＰ隔壁の形成：
試料板として、ガラス基板１上に感光性フィルム（ドライフィルム）１０を貼り付け、図２に示すとおりの寸法関係で画像形成したものを用いた。
この試料板に、前記のようにして調製したガラスペーストをスキージを用いて試料板のドライフィルムの溝に埋め込むように塗布した。さらに、ガラスペーストを塗布した試料板をステンレス製の真空容器に入れ、１０ｍｍＨｇ以下に減圧した後、９０秒間保持し、脱泡した。続いて、ボックス型の熱風乾燥機中で８０℃で４５分間乾燥した。溶剤が揮発した分、溝に埋め込んだガラスペーストは沈み込むので、この操作（印刷−脱泡−乾燥）を２回繰り返し、３回目に全面を覆うようにドライフィルム面より５０〜１００μｍの厚みでガラスペーストを塗布した。
その後、８０℃で４５分間乾燥した後、１６０℃で４５分間かけて熱硬化した。冷却後、ドライフィルムが見えるようになるまで硬化したペースト表面を研磨した。この試料板を４０℃、５％ＮａＯＨ水溶液に１５分間浸した後、引き上げ、次に４０℃の水に浸すと直ちにドライフィルムが剥離した。ドライフィルムを剥離した試料板は軽く水洗いし、乾燥後、電気炉を用い空気中で焼成した。なお、焼成は、室温から４００℃まで３℃／分の昇温速度で昇温し、４００℃で３０分間保持し、その後、５℃／分の昇温速度でフリットの軟化点（Ｓｐ）より２０℃高い温度まで上げ、その温度で３０分間保持して焼成し、その後室温まで放冷する工程で行った。
焼成後、実施例１〜７においては、幅１００μｍ、高さ１２０μｍの幅の乱れがなく、チョーキング現象が全く起きていない高精度のＰＤＰ隔壁が得られた。また、この隔壁は、内部に気泡が見られない緻密なものであった。これに対して、比較例１及び２で形成された隔壁では、その上部は指でさわると粉末状に崩れるチョーキング現象が見られ、ＰＤＰ隔壁として適していなかった。得られた結果及び用いた低融点フリットの組成を下記表１にまとめて示す。
【表１】
0003971489.tif 000007
【００４５】
【発明の効果】
以上のように、本発明に従って、ＰＤＰの隔壁形成用ガラスペースト組成物のガラス成分として、耐アルカリ性を有する低融点フリットを用いることにより、強アルカリ水溶液による剥離工程を有するドライフィルム埋め込み法においても、スクリーン印刷法やサンドブラスト法と同様に、フリットの変質を起こさずに、即ちチョーキング現象を生ずることなく、ドライフィルム埋め込み法独特の高精細で寸法安定性の良い隔壁を形成することができる。
また、前記のように耐アルカリ性に優れ、かつ適度の軟化点を有する低融点フリットをガラス成分として含有する本発明のガラスペースト組成物は、流動性に優れ、所定のパターンに形成された感光性フィルム間の極めて狭隘な溝部に作業性よく充填できると共に、熱硬化性にも優れ、さらに感光性フィルムとの強い結合を生じないため、ＰＤＰの隔壁形成過程において剥離剤により基板から感光性フィルムを剥離する際、固化形成された隔壁が剥離することなく、感光性フィルムの剥離のみがスムーズに行え、また焼成後の隔壁は所望の細線ピッチで形成され、形成される隔壁に亀裂、欠損及び融解によるだれ等が生じることがなく、充分な縦横比（アスペクト比）を有する高精度、高強度の優れた品質の隔壁を歩留り良く形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるＰＤＰ隔壁形成方法を示す工程説明図である。
【図２】実施例１〜７及び比較例１，２において作製した試料板の感光性フィルム形成パターンを示す説明図である。
【図３】従来のＤＣ型カラーＰＤＰの概略構成を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１、１ａ、１ｂ  透明基板
２  隔壁
３ａ、３ｂ、３ｃ  蛍光体膜
４ａ、４ｂ  電極
１０  感光性フィルム
１１  ガラスペースト組成物
１２  溝部
１３  フォトマスク
１４  パターン孔
【図１】
0003971489.tif 000011
【図２】
0003971489.tif 000012
【図３】
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