(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記カムストッパのカム部と係合する係合部が形成されると共に、前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材とを備え、
前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、
前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、
前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第一の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴するウエハボート。
【請求項２】
前記第一の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第一の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、
前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第一の駒部材の係合部に接するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載されたウエハボート。
【請求項３】
前記第一の駒部材の一側面にテーパ面が形成され、前記テーパ面に一の内面が接し、かつこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材を設け、前記第二の駒部材によって、第一の駒部材および支持ロッドを保持することを特徴とする請求項１または請求項２に記載されたウエハボート。
【請求項４】
半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記支持ロッドの下部を保持すると共にその一側面にテーパ面が形成された第一の駒部材と、前記第一の駒部材の前記テーパ面に一の内面が接すると共にこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材とを備え、
前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、
前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、
前記第二の駒部材は、カムストッパのカム部と係合する係合部を有し、
前記第一、第二の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第二の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴するウエハボート。
【請求項５】
前記第二の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第二の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、
前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第二の駒部材の係合部に接するように形成されていることを特徴とする請求項４に記載されたウエハボート。
【請求項６】
前記カムストッパは、少なくとも回動軸とカム本体部とを有し、前記回動軸は一点を中心とした円形形状に形成され、カム本体部の外縁部形状は、前記中心点と異なる点を中心とした円形形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載されたウエハボート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウエハボートに関し、詳しくは半導体ウエハを多段に支持し、熱処理等に用いられるウエハボートに関する。
【０００２】
【従来の技術】
通常、半導体の製造プロセスにおいて、半導体ウエハの熱処理、その他の処理を多数枚一括して行うため、複数の半導体ウエハを整列、支持するウエハボートが使用されている。
このウエハボートには、半導体ウエハを垂直に整列、支持する横型のウエハボートと、半導体ウエハを水平に整列、支持する縦型のウエハボートとがある。これらウエハボートは、互いに離間された一対の端板に複数本の支持ロッドが架け渡され、各支持ロッドの内側面に、ウエハ挿入溝がロッド軸線方向に沿って一定ピッチで配設された構造を有している。
そして、これらウエハボートには、使用後の洗浄および補修等を考慮して、支持ロッドと端板等の部材が着脱可能な組み立て式になっている。
【０００３】
この従来の組み立て式のウエハボートについて、図７乃至図８に基づいて説明する。なお、図７は従来のウエハボートの概略正面図、図８は図７に示したウエハボートの要部拡大断面図であって、支持ロッドの固定手段を示した図である。
図７に示すように、この従来のウエハボート１００は、多数の半導体ウエハを水平に支持する４本の平行な支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４と、各支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の両端が着脱自在に保持される略円形の下端板１０５および上端板１０６とを備えている。
また、前記支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４は断面円形の支柱で形成され、支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の内側面には、一定ピッチのウエハ挿入溝１０１ａ、１０２ａ、１０３ａ、１０４ａが、ロッド軸線方向へ多数形成されている。
【０００４】
次に、図８に基づいて支持ロッド１０１、１０２、１０３、１０４の端板１０５、１０６への固定について説明する。なお、各支持ロッドの固定手段は同一の構成であるため、支持ロッド１０１を下端板１０５に固定する固定手段について説明する。
この固定手段には、図８に示すように、支持ロッド１０１を下端板１０５に固定するために、カムストッパ１０７が用いられる。
このカムストッパ１０７は、カムストッパ１０７ａ本体と、本体１０７ａの外周部に形成されたカム部１０７ｂと、本体１０７ａの下面に形成され、下端板１０５の貫通穴１０５ａを挿通する回転軸１０７ｃと、前記回転軸１０７ｃの端部に形成された、前記貫通穴１０５ａからカムストッパ１０７の脱落を防止する係止部１０７ｄとを備えている。
【０００５】
また、支持ロッド１０１の端部には、縦断面がＬ字状の切欠き部１０１ｂが形成されると共に、その切欠き部１０１ｂの反対側の上方に、縦断面がコ字状の切欠き部１０１ｃが形成されている。
この支持ロッド１０１の端部は、下端板１０５の貫通穴１０５ｂに挿通される。そして、前記切欠き部１０１ｂの水平端面１０１ｄは下端板１０５の上面に接し、垂直端面１０１ｅは前記貫通穴１０５の側壁に接するように構成されている。
また、前記コ字状の切欠き部１０１ｃは、カムストッパ１０７ａのカム部１０７ｂが摺動できるように構成されている。
【０００６】
次に、この従来のウエハボート１００の下端板１０５における支持ロッド１０１の固定方法について説明する。
下端板１０５の貫通穴１０５ｂに、支持ロッド１０１のＬ条切欠き部１０１ｂを外側に、コ字条切欠部１０１ｃをカムストッパ１０７側（内側）に向けて挿入し、Ｌ条切欠き部１０１ｂの水平端面１０１ｄを下端板１０５の上面に当接させる。
その後、カムストッパ１０７を回転させ、支持ロッド１０１を端板１０５の外方へ平行に移動させ、支持ロッド１０５の垂直端面１０１ｅを貫通穴１０５ｂの側壁に当接させ、固定する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の組み立て式のウエハボートにあっては、前記したようにカムストッパ１０７の押しつけ力により、支持ロッド１０１の軸線に直交する方向への支持ロッドのがたつき、およびこのロッド軸線方向に対してのがたつきを防止している。
しかしながら、端板１０５の貫通穴１０５ｂと支持ロッド１０１端部との間に隙間Ｓがあると、カムストッパ１０７を支持ロッド１０１に押し付ける際、図８の仮想線で示すように支持ロッド１０１が傾く虞がある。
このように、支持ロッド１０１が傾くと、コ字条切欠部１０１ｃ、カムストッパ１０７に無理な力が作用し、コ字条切欠部１０１ｃ、カムストッパ１０７が破損することがあった。また、同様に、水平端面１０１ｄに無理な力が作用し、水平端面１０１ｄが破損することがあった。
【０００８】
この問題を解決する方法として、貫通穴の寸法形状を支持ロッド端部の寸法形状と一致させ、支持ロッドをがたつくことなく貫通穴に保持させることが考えられる。
しかし、支持ロッドを貫通穴に挿通するためには、ある程度の隙間を必要とする。またウエハボートは繰り返し使用され、洗浄がなされる。そのため、貫通穴の寸法形状は大きく、また一方、支持ロッド端部の寸法形状は小さくなり、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生ずる。更には、ウエハボートの組み立て、分解を繰り返すと磨耗によって、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生ずる。
このように、貫通穴の寸法形状を支持ロッド端部の寸法形状と一致させたとしても、使用しているうちに、支持ロッドと貫通穴との間に隙間が生じ、前記した問題を招来する。
【０００９】
また、この問題を解決する別の方法として、支持ロッドの水平端面の面積を大きくすることが考えられる。このように、支持ロッドの水平端面の面積を大きくすれば、端板の上面との接触面積が大きくなり、支持ロッドの傾きを防止することができる。
しかしながら、支持ロッドの水平端面の面積を大きくするには、支持ロッドの寸法形状（直径）を大きくする必要がある。
その結果、ウエハボートは重いものとなり、ハンドリング性が悪いという新たな技術的課題が生じる。また、支持ロッドの重量が増大するため、支持ロッドが一度傾くと、コ字条切欠部、カムストッパに多大な力が作用し、従来の場合に増して、支持ロッドのコ字条切欠部あるいはカムストッパが容易に破損してしまうという技術的課題があった。
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、支持ロッドの寸法形状を増大させることなく、支持ロッドが傾くことなく、端板に確実に固定することのできるウエハボートを提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するためになされたものであり、本発明にかかるウエハボートは、半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記カムストッパのカム部と係合する係合部が形成されると共に、前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材とを備え、前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、前記支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第一の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴としている。
【００１２】
このように、支持ロッドの下部を保持する第一の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動させ、支持ロッドの垂直端面を貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定している。
したがって、支持ロッドの重量を増大させることなく、端板と接触している面積を増大させることができる。言い換えれば、ウエハボードの重量の増加を抑制しつつ、支持ロッドの水平端面の面積を実質的に大きくすることができる。
その結果、支持ロッドの傾きを防止し、支持ロッドを端板に強固に固定することができる。
【００１３】
特に、前記第一の駒部材に、カムストッパのカム部と係合する係合部が形成されているため、支持ロッドからの第一の駒部材の脱落を防止することができる。
また、支持ロッドにカム部と係合する係合部を形成する必要がないため、支持ロッドの機械的強度が増加する。そのため、同一の機械的強度であれば、支持ロッドの断面形状を小さくすることができる。
【００１４】
ここで、前記第一の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第一の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第一の駒部材の係合部に接するように形成されていることことが望ましい。
このように、いわゆるフ字状のカム部がいわゆるフ字状溝の係合部を押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材は端板に押え付けられる。その結果、支持ロッドの傾きを抑制することができる。
【００１５】
更に、前記第一の駒部材の一側面にテーパ面が形成され、前記テーパ面に一の内面が接し、かつこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材を設け、前記第二の駒部材によって、第一の駒部材および支持ロッドを保持することが望ましい。
このようにテーパ面によって、第二の駒部材は支持ロッド及び第一の駒部材をより強固に保持し、第一の駒部材が支持ロッドを強固に保持する。その結果、支持ロッド、第一の駒部材、第二の駒部材は一体化する。
【００１６】
本発明は上記目的を達成するためになされたものであり、本発明にかかるウエハボートは、半導体ウエハを水平に支持する複数の支持ロッドと、支持ロッドの両端部を着脱自在に保持する一対の端板と、前記支持ロッドを端板に固定するために端板に回動可能に設けられたカムストッパと、前記支持ロッドの下部を保持すると共にその一側面にテーパ面が形成された第一の駒部材と、前記第一の駒部材の前記テーパ面に一の内面が接すると共にこれに対向する他の内面が支持ロッドの一面と接する第二の駒部材とを備え、前記一の端板は、支持ロッドの一端部が挿入される貫通穴と、前記カムストッパが取り付けられる貫通穴とを有し、前記支持ロッドの少なくとも一端部は、一の端板の一面と接する水平端面、および支持ロッドが挿入される前記貫通穴の側壁と接する垂直端面とを有し、前記第二の駒部材は、カムストッパのカム部と係合する係合部を有し、前記第一、第二の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動し、前記カムストッパのカム部を第二の駒部材の係合部に係合させ、支持ロッドの垂直端面を、前記支持ロッドが挿入された貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定することを特徴としている。
【００１７】
このように、第一、第二の駒部材の底面が端板の一面と接した状態で、前記カムストッパを回動させ、支持ロッドの垂直端面を貫通穴の側壁に押し付けることによって、支持ロッドを前記一の端板に固定している。
したがって、支持ロッドの重量を増大させることなく、端板と接触している面積を増大させることができる。言い換えれば、ウエハボードの重量の増加を抑制しつつ、支持ロッドの水平端面の面積を実質的に大きくすることができる。その結果、支持ロッドの傾きを防止し、支持ロッドを端板に強固に固定することができる。
【００１８】
ここで、前記第二の駒部材の側面に形成された係合部は、水平壁面及び前記傾斜壁面を備えた溝であって、前記溝の傾斜壁面は水平面壁面の奥側からに第二の駒部材の側面に向かって下方に傾斜する面であり、前記カムストッパのカム部は、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有し、前記第二の駒部材の係合部に接するように形成されていることことが望ましい。
前記したように、いわゆるフ字状のカム部がいわゆるフ字状溝の係合部を押圧するため、その分力が下方向に働き、第二の駒部材は端板に押え付けられる。その結果、支持ロッドの傾きを抑制することができる。
【００１９】
また、前記カムストッパは、少なくとも回動軸とカム本体部とを有し、前記回動軸は一点を中心とした円形形状に形成され、カム本体部の外縁部形状は、前記中心点と異なる点を中心とした円形形状に形成されていることが望ましい。
このように、カム本体部の外縁部形状を、回動軸の中心点と異なる点を中心とした円形形状に形成したため、カム本体部を複雑なカム輪郭曲線で形成するまでもなく、容易にカム部を形成することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施形態を図１または図２に基づいて説明する。ここでは縦型のウエハボートを例にとって説明する。図１は、支持ロッドの側面図、図２は、支持ロッドが端板に固定されている状態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【００２１】
このウエハボートは、図８において示した従来のウエハボートと同様に、多数の半導体ウエハ（図示せず）を水平に支持する４本の平行な支持ロッドと、各支持ロッドの両端が着脱自在に保持される略円形の下側端板および上側端板と、前記支持ロッドを下側端板に固定するカムストッパと、前記支持ロッドを上側端板に固定するカムストッパとを備えている。
ここでは、本発明にかかるウエハボートの特徴が、支持ロッドと上側端板とを固定する、また支持ロッドと下側端板とを固定する固定手段にある。そのため、かかる固定手段について、図１、図２に基づいて詳述し、従来と同じ構成は、その詳細な説明は省略する。なお、下側端板、上側端板における固定手段は同じ構成であるため、以下の説明にあっては、下側端板（以下、端板という）を例にとって説明する。
【００２２】
このウエハボートに用いられる支持ロッド１は、断面矩形の支柱で形成され、支持ロッド１の内側面には、一定ピッチのウエハ挿入溝１ａが、支持ロッド１の軸線方向へ多数形成されている。
また、図１に示すように、支持ロッド１の端部には、縦断面がＬ字状の切欠き部１ｂが形成されている。この切欠き部１ｂの水平端面１ｃは端板２の上面２ａに接し、垂直端面１ｄは端板２に形成された貫通穴２ｂの側壁に接するように構成されている。
なお、この支持ロッド１は、従来の場合と異なり、切欠き部１ｂの反対側の上方に、縦断面がコ字状の切欠き部は形成されていない。
【００２３】
また、図２の符号４は、第一の駒部材であって、この駒部材４は断面コ字状に形成され、その内面４ａ、４ｂ、４ｃが支持ロッド１下部の三つの側面を覆い、支持ロッド１の下部を保持するように構成されている。なお、第一の駒部材４の内面４ａ、４ｃは保持する支持ロッド１の側面より短く形成されている。そのため、前記第一の駒部材１の側面から支持ロッド１の一部（側面１ｅ）が突出している。
【００２４】
また、コ字状に形成された第一の駒部材４の開放側面に対向した側面の上部にはテーパ面４ｄが形成されている。このテーパ面４ｄは、第一の駒部材４の上面から下面方向に徐々に拡がる傾斜面に形成されている。
更に、このテーパ面４ｄの下方には、カムストッパ３と係合するフ字状溝の係合部４ｅが形成されている。
なお、このいわゆるフ字状溝を構成する傾斜壁面の水平壁面となす角（開角度）θは、４０〜５０度であることが好ましく、これによって分力をより適切に下方向に働かせることができ、第一の駒部材がより強固に端板に押え付けられる。
この第一の駒部材４は、端板２の上面に載置される。すなわち、第一の駒部材４の底面は端板２の上面２ａと接し、実質的に支持ロッド１の水平端面１ｃの面積を増加させる作用をする。
【００２５】
また、図２の符号５は、第二の駒部材であって、この駒部材５は断面コ字状に形成され、その内面５ａが第一の駒部材４のテーパ面４ｄと接し、内面５ｂが第一の駒部材４の側面４ｆと接し、内面５ｃが支持ロッド１の側面１ｅと接し、支持ロッド１及び第一の駒部材４を保持している。
なお、第二の駒部材５が、第一の駒部材４の上方から下方にテーパ面４ｄ上を移動することにより、第二の駒部材５は支持ロッド１及び第一の駒部材４をより強固に保持し、第一の駒部材４が支持ロッド１を強固に保持する。その結果、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材５は一体化する。
【００２６】
また、前記第二の駒部材５の内面５ｂに接する第一の駒部材４の側面４ｆの両側には面取り部４ｇ，４ｈが形成されている。一方、前記面取り部４ｇ，４ｈに対向する前記内面５ｂの両角はアール部５ｄ，５ｅが形成されている。
このように、内側に位置する第一駒部材４の側面４ｆの両角に面取り部４ｇ，４ｈを形成し、外側に位置する第二の駒部材４の内面両角をアール部５ｄ，５ｅとしたため、角部が干渉することなく、両者をしっかりと嵌合させることができる。
【００２７】
また、端板２には、支持ロッド１の下側端部が挿通する貫通穴２ｂが形成される共に、前記貫通穴２ｂに隣接して、端板２の内側には、貫通穴２ｃが形成され、該貫通穴２ｃにカムストッパ３の回動軸３ａが収容されている。
【００２８】
このカムストッパ３は、回動軸３ａと、前記回動軸３ａの上面形成された中間部３ｂと、前記中間部３ｂの上面に形成された本体部３ｃと、本体部３ｃの外周部に形成されたカム部３ｄとを備えている。
またカム部３ｄは、水平壁面及び傾斜壁面を備えた先端形状を有した、いわゆるフ字状に形成され、第一の駒部材４のフ字状溝の係合部４ｅに接するように構成されている。このフ字状に形成されたカム部３ｄの先端部の端部角度は、前記した第一の駒部材４のフ字状溝（係合部４ｅ）の開角度θの−０．１〜−１度であることが好ましい。なお、前記回動軸３ａ下端部には、端板２の底面に係止され、カムストッパ３の脱落を防止する係止部３ｅが設けられている。
【００２９】
前記回動軸３ａおよび中間部３ｂは中心Ｏ１を中心とした円形形状に形成され、カム部３ｂの外縁部形状（カムの輪郭曲線）は、中心Ｏ２を中心とした円形形状に形成されている。この中心Ｏ２は、中心Ｏ１からずれた位置に設けられている。
【００３０】
その結果、カムストッパ３を矢印方向に回動させると、カム部３ｂのＰ１点においてフ字状溝の係合部４ｅと接触し、第一の駒部材４を介して、支持ロッド１の端部を貫通穴２ｂの側壁に徐々に押し付けるように作用する。このように、カムストッパ３が回動することにより、支持ロッド１の移動量（変位量）を徐々に増加させることができるため、それに伴い押し付け力を徐々に増加させることができる。
【００３１】
しかも、カムストッパ３が回動しても接触点は変化しない。即ち、カムストッパ３と支持ロッド１の接触点の法線上にカムストッパ３の回転中心が位置するため、カムストッパ３にねじれ等の変形が生じない。また、カムストッパ３と支持ロッド１の接触点の法線上にカムストッパ３の回転中心が位置するため、支持ロッド１からの反力を受けてカムストッパ３が不用意に回動することもない。
【００３２】
また、フ字状のカム部３ｄがフ字状溝の係合部４ｅを押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材４は端板２に押え付けながら、支持ロッド１を端板２の外側に（図２に示した左方向）に移動させることができる。したがって、支持ロッド１の移動の際、支持ロッド１の傾きを抑制することができる。
【００３３】
しかも、第一の駒部材１の底面が端板２の上面２ａと接しているため、端板２の上面２ａとの接触面積を実質的に大きくすることができ、言い換えれば第一の駒部材１の水平端面１ｃの面積を実質的に大きくすることができる。その結果、支持ロッド１は、ロッド１の軸線の方向および該軸線と直交する方向にがたつくことはなく、しかも傾くことなく、確実に端板２に固定される。
【００３４】
次に、このウエハボートの組み立て方を説明する。
まず、端板２の貫通穴２ｂに、支持ロッド１のＬ条切欠き部１ｂを外側（カムストッパの配置側と反対側）に向けて挿入し、Ｌ条切欠き部１ｂの水平端面１ｃを端板２の上面２ａに当接させる。
その後、カムストッパ３側から支持ロッド１に向けて、第一の駒部材４を移動させ、第一の駒部材４の内面４ａ、４ｂ、４ｃで支持ロッド１を保持させる。
【００３５】
第一の駒部材４による支持ロッド１の保持の後、第二の駒部材５を第一の駒部材４の上方から下方に移動させる。このとき、第二の駒部材５の内面５ｂを第一の駒部材４の面４ｆに接しながら移動させる。前記したように、外側に位置する第二の駒部材５の内面５ｂ両角にはアール部５ｄ，５ｅが形成されているため、第一、第二の駒部材４，５の角部（面取り部４ｇ、４ｈ）が干渉することない。
また、第二の駒部材５の内面５ａが、第一の駒部材４のテーパ面４ｄと接し、内面５ｂが第一の駒部材４の側面４ｆと接し、前記内面に対向する内面５ｃが支持ロッド１の側面１ｅと接する。
【００３６】
そして、第二の駒部材５を第一の駒部材４のテーパ面４ｄ上を上方から下方に移動させるにつれて、第二の駒部材５は支持ロッド１及び第一の駒部材４をより強固に保持し、第一の駒部材４が支持ロッド１を強固に保持する。その結果、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材５は一体化する。
【００３７】
その後、カムストッパ３を端板２に取り付ける。取り付けは、図２に示した状態から９０度時計回りに回動した位置（カム部３ｄが上方におかれる位置）において、係止部３ｅを貫通穴２ｃに挿通させることにより、取り付ける。
そして、カムストッパ３を矢印方向に回転させると、カム部３ｄのＰ１点においてフ字状溝の係合部４ｅと接触し、第一の駒部材４を介して、支持ロッド１の端部を貫通穴２ｂの側壁に徐々に押し付けるように作用する。
このように、フ字状のカム部３ｄがフ字状溝の係合部４ｃを押圧するため、その分力が下方向に働き、第一の駒部材４の端板２からの浮上りを防止できる。
その結果、支持ロッド１の水平端面１ｃの接触面積を実質的に大きくすることができ、支持ロッド１の傾きを防止しつつ、支持ロッド１を端板２の外側に横移動（図２に示した左方向）させることができる。そして、最終的に支持ロッド１の垂直端面１を貫通穴２ｂの側壁に押し付け、固定することができる。
【００３８】
以上説明したように、支持ロッド１に第一の駒部材４を一体化し、この駒部材４に形成されたフ字状溝の係合部４ｅと、カムストッパ３のカム部３ｄを係合させたため、支持ロッド１の傾きが防止され、支持ロッド１の軸線の方向および軸線と直交する方向にがたつくことなく、支持ロッド１を確実に固定することができる。
【００３９】
次に、第一の実施形態の変形例について、図３乃至図６に基づいて説明する。図３は、第一の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。また、図４は第二の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。更に、図５は第三の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。また図６は第四の変形例を示す側面図である。
【００４０】
図３に示した第一の変形例は、第一の実施形態における、断面コ字状の第二の駒部材５を枠状の駒部材７にしたものである。このように、枠状の第二の駒部材７にすることにより、第二の駒部材７が第一の駒部材４から外れ難くなり、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材７をより強固に一体化することができる。
【００４１】
図４に示した第二の変形例は、第一の駒部材４に形成されたテーパ面４ｄを側面全面に設けると共に、第二の駒部材８にフ字状溝の係合部８ａを形成し、前記係合部８ａにカム部３ｄが係合するように構成されている。
そのため、第二の駒部材８はストッパカム３によって脱落が防止される。また、端板２の上面２ａに第一の駒部材４のみならず第二の駒部材８の底面も接するため、端板２の上面２ａと接する面積を大きくすることができ、支持ロッド１の傾きをより防止することができる。
【００４２】
図５に示した第三の変形例は、図４に示した第二の変形例の第二の駒部材８を枠状の駒部材９にしたものである。このように、枠状の第二の駒部材９にすることにより、第一の変形例と同様に、第二の駒部材９が第一の駒部材４から外れ難くなり、支持ロッド１、第一の駒部材４、第二の駒部材９をより強固に一体化することができる。なお、図中の符号９ａはカム部３ｄが係合するフ字状溝の係合部である。
【００４３】
図６に示した第四の変形例は支持ロッドの変形例であって、この支持ロッド１０の下端部にはコ字状の切欠き部１０ａが形成されている。
この切欠き部１０ａは、端板２の上面と接する水平端面１０ｂと、端板２の貫通穴側壁と接する垂直端面１０ｃと、端板２の下面に接する下側端面１０ｄとを備えている。したがって、水平端面１０ｂと下側端面１０ｄとの間の距離を端板２の厚さに設定すれば、支持ロッド１の傾きをより防止できる。
【００４４】
なお、上記した実施形態においては縦型ウエハボートを例にとって説明したが、本発明は横型ウエハボートにも適用することができる。
また、前記した支持ロッドの固定手段は、上側端面および下側端面との両固定に用いる場合のみならず、上側端板あるいは下側端板のいずれかの固定のみに用いても良い。また、前記した固定手段は、他の固定手段との併用を妨げるものでもない。
【００４５】
【発明の効果】
この発明によれば、支持ロッドの寸法形状を増大させることなく、支持ロッドが傾くことなく、また支持ロッドと端板との接触面積が実質的に大きくなり、端板に確実に固定することのできるウエハボートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の一実施形態にかかるウエハボードに用いられる支持ロッドの側面図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態において、支持ロッドが端板に固定されている状態を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態の第一の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】図４は、第二の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】図５は、第三の変形例を示す図であって、（ａ）は（ｂ）のＩ−Ｉ方向から見た平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】図６は、第四の変形例を示す側面図である。
【図７】図７は従来のウエハボートの概略正面図である。
【図８】図８は図７に示したウエハボートの要部拡大断面図であって、支持ロッドの固定手段を示した図である。
【符号の説明】
１        支持ロッド
１ｂ      切欠き部
１ｃ      水平端面
１ｄ      垂直端面
２        端板（下側端板）
２ａ      上面
２ｂ      貫通穴
２ｃ      貫通穴
３        カムストッパ
３ａ      回動軸
３ｄ      カム部
３ｅ      係止部
４        第一の駒部材
４ｄ      テーパ面
４ｅ      係合部
５        第二の駒部材
６        第二の駒部材
７        第二の駒部材
８        第二の駒部材
９        第二の駒部材
１０      支持ロッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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