(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘導加熱コイル及び被処理物を液体中に配置して、この液体中で前記誘導加熱コイルによって前記被処理物を誘導加熱して熱処理するに先立ってこの被処理物に液体を噴射して、この被処理物に付着している空気を除去することを特徴とする熱処理方法。
【請求項２】
前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去することを特徴とする請求項１に記載の熱処理方法。
【請求項３】
前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去することを特徴とする請求項１又は２に記載の熱処理方法。
【請求項４】
前記被処理物を加熱する誘導加熱コイルに液体を噴射して、この誘導加熱コイルに付着している空気を除去することを特徴とする請求項１，２，又は３に記載の熱処理方法。
【請求項５】
前記誘導加熱コイルは、前記被処理物に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、
該凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去することを特徴とする請求項４に記載の熱処理方法。
【請求項６】
前記液体を噴射して空気を除去する工程は、
１つの被処理物を熱処理するごとに行われるものであることを特徴とする請求項１から５までのうちのいずれか一項に記載の熱処理方法。
【請求項７】
前記被処理物は、板状のものであり、
該板状の下面の周縁部に治具を接触させておき、
該板状の下方の１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内の距離だけ離れた位置から前記板状の下面に液体を噴射して、前記板状の下面に付着している空気を除去することを特徴とする請求項1から６までのうちのいずれか一項に記載の熱処理方法。
【請求項８】
誘導加熱コイル及び被処理物を液体中に配置して、この液体中で前記誘導加熱コイルによって前記被処理物を誘導加熱して熱処理する熱処理装置において、
前記被処理物に前記液体を噴射して、該被処理物に付着している空気を除去するジャケットを備え、
該ジャケットは、
前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去する、前記誘導加熱コイルと一体の上部ジャケットを有するものであることを特徴とする熱処理装置。
【請求項９】
前記ジャケットは、
前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去する下部ジャケットを有するものであることを特徴とする請求項８に記載の熱処理装置。
【請求項１０】
前記誘導加熱コイルは、前記被処理物の上面に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、
前記上部ジャケットは、
前記凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去するものであることを特徴とする請求項９に記載の熱処理装置。
【請求項１１】
前記被処理物は、板状のものであり、
前記下部ジャケットは、
前記板状の下方の１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内の距離から前記板状の下面に液体を噴射するものであり、且つ、
前記板状の下面の周縁部に接触する接触部が形成されたものであることを特徴とする請求項８から１０までのうちのいずれか一項に記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体中に配置された被処理物を熱処理する熱処理方法及び熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、誘導加熱を利用して金属製の被処理物（ワーク）を熱処理する熱処理方法が広く用いられている。この熱処理方法のなかには、ワークや誘導加熱コイルを液体中に配置しておき、液体中でワークを熱処理する方法がある。このような熱処理は液中熱処理と呼ばれており、ワークの変形が少ない点やワークを冷却する時間を短縮できる点に特徴がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、液中熱処理を用いてワークを焼入れした場合、ワークの一部が溶解したり予定した焼入領域よりも実際の焼入領域の方が広くなったりすることがある。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑み、液中でワークを熱処理しても熱処理不良が発生しない熱処理方法及び熱処理装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記した熱処理不良の原因は、ワークに付着している空気であることを突き止めた。
【０００６】
上記目的を達成するための本発明の第１の熱処理方法は、
（１）液体中に配置された被処理物を熱処理するに先立ってこの被処理物に液体を噴射して、この被処理物に付着している空気を除去することを特徴とするものである。
【０００７】
ここで、
（２）前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去してもよい。
【０００８】
さらに、
（３）前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去してもよい。
【０００９】
さらにまた、
（４）前記被処理物を加熱する誘導加熱コイルに液体を噴射して、この誘導加熱コイルに付着している空気を除去してもよい。
【００１０】
さらにまた、
（５）前記誘導加熱コイルは、前記被処理物に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、
（６）該凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去してもよい。
【００１１】
さらにまた、
（７）前記液体を噴射して空気を除去する工程は、１つの被処理物を熱処理するごとに行われるものであってもよい。
【００１２】
また、上記目的を達成するための本発明の第２の熱処理方法は、
（８）所定厚さ以下の板状部が形成された被処理物を液体中に配置して前記板状部を熱処理する際に、この熱処理に先立って、前記板状部の下方の１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内の距離だけ離れた位置から前記板状部に液体を噴射して、前記板状部の下面に付着している空気を除去すると共に、前記板状部の下面に隣接する部分に治具を接触させておくことを特徴とするものである。
【００１３】
また、上記目的を達成するための本発明の第１の熱処理装置は、液体中に配置された被処理物を熱処理する熱処理装置において、
（９）前記被処理物に前記液体を噴射して、該被処理物に付着している空気を除去するジャケットを備えたことを特徴とするものである。
【００１４】
ここで、前記ジャケットは、
（１０）前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去する上部ジャケットを有するものであってもよい。
【００１５】
さらに、前記ジャケットは、
（１１）前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去する下部ジャケットを有するものであってもよい。
【００１６】
さらにまた、
（１２）前記被処理物を誘導加熱する誘導加熱コイルを備え、
（１３）前記ジャケットは、該誘導加熱コイルに液体を噴射して、この誘導加熱コイルに付着している空気を除去するものであってもよい。
【００１７】
さらにまた、
（１４）前記誘導加熱コイルは、前記被処理物に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、
（１５）前記ジャケットは、前記凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去するものであってもよい。
【００１８】
さらにまた、
（１６）所定厚さ以下の板状部が形成された被処理物の前記板状部の下方の１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内の距離から前記板状部に液体を噴射する液体噴射部と、
（１７）前記板状部の下面に隣接する部分に接触する接触部とを備えてもよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００２０】
図１から図３までを参照して本発明の実施形態を説明する。
【００２１】
図１は、本発明の熱処理装置の一実施形態を示す模式図である。
【００２２】
熱処理装置２０は、液体１２（ここでは、水）の中に配置された被処理物１４を熱処理するためのものである。液体１２は容器１０に貯められており、この液体１２の中には、熱処理装置２０の一部も配置されている。なお、ここでは、板状の被処理物１４を例に挙げて説明するが、被処理物１４は板状のものには限定されず、どのような形状のものであってもよい。
【００２３】
熱処理装置２０は、被処理物１４の上方に配置された上部ジャケット３０と、被処理物１４の下方に配置された下部ジャケット５０とを備えている。上部ジャケット３０は、誘導加熱コイル３２を兼ねたものであり、所謂、コイルと冷却ジャケットが一体型のものである。誘導加熱コイル３２は、外部の高周波電源６０に接続されている。
【００２４】
誘導加熱コイル３２には、被処理物１４の上面１４ａに向き合う加熱部３４が形成されている。この加熱部３４は厚みのある板状のものであり、被処理物１４のうち硬化層を形成したい部分の広さ（面積）に相当する広さ（面積）をもつ。また、誘導加熱コイル３２には、加熱部３４とその周囲の壁とで囲まれた凹部３５が形成されている。
【００２５】
加熱部３４の上方には空間３６が形成されている。空間３６は、誘導加熱コイル３２と絶縁体の蓋３８で囲まれている。加熱部３４には複数の孔３４ａが形成されている。これらの孔３４ａは、被処理物１４の上面１４ａにほぼ垂直に延びており、孔３４ａの出口は被処理物１４の上面１４ａに向き合っている。また、孔３４ａは空間３６と液体１２とをつなげている。
【００２６】
誘導加熱コイル３２のうち空間３６の側壁に相当する部分には、孔４０が形成されている。この孔４０には、液体１２の中に配置された水中ポンプ４２が接続されている。水中ポンプ４２は、その周囲の液体１２を吸い込んで、吸い込んだ液体１２を、配管４４や孔４０を通して空間３６に供給する。空間３６に供給された液体１２は、複数の孔３４ａから被処理物１４の上面１４ａに噴射される。
【００２７】
下部ジャケット５０には、被処理物１４が載置される載置台５２（本発明にいう接触部の一例である）が形成されている。下部ジャケット５０のうち載置台５２に囲まれた部分には、液体１２が噴射される液体噴射部５４が形成されている。液体噴射部５４は板状のものであり、この液体噴射部５４と被処理物１４の下面１４ｂとの距離ｔは、１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内である。液体噴射部５４には、複数の孔５４ａが形成されている。これらの孔５４ａは、被処理物１４の下面１４ｂにほぼ垂直に延びており、孔５４ａの出口は被処理物１４の下面１４ｂに向き合っている。また、下部ジャケット５０のうち噴射部５４の下方部分には、空間５６が形成されている。複数の孔５４ａは空間５６と液体１２とをつなげている。
【００２８】
下部ジャケット５０のうち空間５６の底壁に相当する部分には、孔５８が形成されている。この孔５８には、上記した水中ポンプ４２が接続されている。水中ポンプ４２は、その周囲の液体１２を吸い込んで、吸い込んだ液体１２を、配管５９や孔５８を通して空間５６に供給する。空間５６に供給された液体１２は、複数の孔５４ａから被処理物１４の下面１４ｂに噴射される。
【００２９】
ここでは、１台の水中ポンプ４２で２つの空間３６，５６に液体１２を供給する構成にしたが、２台の水中ポンプを配置して、２つの空間３６，５６に別々に液体１２を供給する構成にしてもよい。また、１台の水中ポンプ４２だけを使用する場合は、配管５９を開閉する開閉弁（図示せず）を配管５９に設けておき、熱処理装置２０の使用条件によっては、空間５６には液体１２を供給せずに空間３６だけに液体１２を供給できる構成にしてもよい。
【００３０】
上述した熱処理装置２０を使用して被処理物１４を熱処理する熱処理方法について説明する。
【００３１】
熱処理には、焼入れや焼鈍等様々な種類があるが、ここでは、５ｍｍ以上の厚さをもつ被処理物１４の上面１４ａの一部分を焼入れする場合を例に挙げて説明する。
【００３２】
被処理物１４の一部分を焼入れするに先立って、水中ポンプ４２を稼動して空間３６に液体１２を供給し、孔３４ａから被処理物１４の上面１４ａに液体１２を噴射する。この場合、上面１４ａに衝突する液体１２の圧力が、例えば０．３Ｍｐａ／ｃｍ２になるように、水中ポンプ４２から空間３６に液体１２を供給する。この噴射によって、被処理物１４の上面１４ａに付着している空気は気泡となって液面に上昇して除去される。また、誘導加熱コイル３２の凹部３５には、被処理物１４とは反対側から液体１２が噴射されることとなり、この結果、凹部３５に溜まっている空気も除去される。なお、下面１４ｂには硬化層を形成せずに上面１４ａだけに硬化層を形成するので、孔５４ａから被処理物１４の下面１４ｂに液体１２を噴射する必要は無い。また、孔３４ａから液体１２が噴射された結果、容器１０内の液体１２が撹拌されることとなり、容器１０内の液体１２の温度を均一化できる。
【００３３】
上記のように液体１２を噴射した結果、誘導加熱コイル３２と被処理物１４の上面１４ａとの間には空気が無くなる。この状態で、水中ポンプ４２を停止し、高周波電源６０から誘導加熱コイル３２に電力を供給して被処理物１４の上面１４ａを焼入温度に加熱する。この供給する電力は、例えば２．５ｋｗ／ｃｍ２とする。ところで、被処理物１４の上面１４ａを空気中で焼入れするときは、供給する電力は１．３ｋｗ／ｃｍ２程度にする。従って、被処理物１４を液体１２の中で焼入れする場合に、誘導加熱コイル３２と被処理物１４の上面１４ａとの間に空気が存在しているときは、誘導加熱コイル３２に供給される電力が大きいので被処理物１４の上面１４ａが焼入温度以上に過熱（オーバーヒート）されるおそれがある。
【００３４】
しかし、ここでは、被処理物１４の上面１４ａを焼入温度に加熱するに先立って、即ち、誘導加熱コイル３４に電力を供給するに先立って、被処理物１４の上面１４ａと誘導加熱コイル３４の凹部３５から空気が除去される。従って、被処理物１４の上面１４ａが焼入温度以上に過熱されることは無い。
【００３５】
上述したように、被処理物１４の上面１４ａと誘導加熱コイル３４の凹部３５とから空気を除去し、その後、上面１４ａを焼入温度に加熱してこの上面１４ａに孔３４ａから液体１２を再び噴射する。この結果、上面１４ａの所望の部分に焼入層が形成される。図２を参照して、このようにして形成された焼入層を、空気を除去せずに焼入れして形成された焼入層と比較して説明する。図２（ａ）は、本発明の熱処理方法を用いた焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、上面から空気を除去しない従来の焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｃ）は、（ａ）のＡ―Ａ断面図であり、（ｄ）は、（ｂ）のＢ―Ｂ断面図である。
【００３６】
図２において、斜線で示す領域Ｈ１，Ｈ２は硬化層領域である。また、（ｂ）と（ｄ）における黒く塗り潰した領域Ｗは溶けた部分である。ここでは、誘導加熱コイル３２に２．５ｋｗ／ｃｍ２の電力を供給した。加熱に先立って上面１４ａ及び凹部３５から空気を除去した場合の硬化層の領域Ｈ１に比べ、空気を除去せずに焼入れした場合の硬化層の領域Ｈ２は広い。しかも、領域Ｈ２の中央部には、被処理物１４が溶けた領域Ｗも存在した。この理由は、空気を除去せずに焼入れした場合は、空気が存在するので、実際よりも大きい電力が供給されたこととなって被処理物１４の上面１４ａの一部（領域Ｗで示される部分）が焼入温度よりも高温に加熱されたからである。
【００３７】
以上説明したように、加熱に先立って上面１４ａと凹部３５から空気を除去することにより、上面１４ａや凹部３５に存在する空気に起因した熱処理不良を防止できる。
【００３８】
次に、２ｍｍ程度の厚さをもつ被処理物１４をズブ焼入れ（上面１４ａから下面１４ｂまでの部分に硬化層を形成するように焼入れ）する場合を例に挙げて説明する。
【００３９】
被処理物１４の一部分を焼入れするに先立って、水中ポンプ４２を稼動して２つの空間３６，５６に液体１２を供給し、孔３４ａから被処理物１４の上面１４ａに液体１２を噴射すると共に孔５４ａから被処理物１４の下面１４ｂに液体１２を噴射する。この噴射によって、被処理物１４の上面１４ａに付着している空気は気泡となって液面に上昇して除去される。また、被処理物１４の下面１４ｂに付着している空気は、孔５４ａから噴射された液体１２によって被処理物１４の下面１４ｂが載置台５２から少しだけ浮いて（離れて）形成された隙間（図示せず）を通って除去される。なお、上面１４ａ及び下面１４ｂに衝突する液体１２の圧力が、例えば０．３Ｍｐａ／ｃｍ２になるように、水中ポンプ４２から空間３６，５６に液体１２を供給する。
【００４０】
上記のように孔３４ａから液体１２を噴射した結果、上面１４ａと凹部３５から空気が除去されて誘導加熱コイル３２と被処理物１４の上面１４ａとの間には空気が無くなる。また、孔５４ａからも液体１２が噴射されるので、被処理物１４の下面１４ｂに付着している空気も除去される。この状態で、水中ポンプ４２を停止し、誘導加熱コイル３２に高周波電源６０から電力を供給して被処理物１４の上面１４ａを焼入温度に加熱する。このときの電力は、例えば２．５ｋｗ／ｃｍ２とする。ところで、被処理物１４の上面１４ａから下面１４ｂまでを空気中で焼入れするときは、電力は１．３ｋｗ／ｃｍ２程度にする。従って、被処理物１４を液体１２の中で焼入れする場合に、誘導加熱コイル３２と被処理物１４との間に空気が存在しているときは、被処理物１４が焼入温度以上に過熱（オーバーヒート）されるおそれがある。
【００４１】
しかし、ここでは、被処理物１４の上面１４ａから下面１４ｂまでを焼入温度に誘導加熱するに先立って、即ち、誘導加熱コイル３４に電力を供給するに先立って、被処理物１４の上面１４ａ、誘導加熱コイル３４の凹部３５，及び被処理物１４の下面１４ｂから空気が除去される。従って、被処理物１４の上面１４ａから下面１４ｂまでが焼入温度以上に過熱（オーバーヒート）されることは無い。
【００４２】
上述したように、被処理物１４の上面１４ａ、誘導加熱コイル３４の凹部３５、及び下面１４ｂから空気を除去し、その後、上面１４ａから下面１４ｂまでを焼入温度に加熱し、その後、上面１４ａに孔３４ａから液体１２を再び噴射すると共に、下面１４ｂにも孔５４ａから液体１２を再び噴射する。この結果、上面１４ａから下面１４ｂまでの部分に所望の焼入層が形成される。
【００４３】
図３を参照して、このようにして形成された焼入層を、空気を除去せずに焼入れして形成された焼入層と比較して説明する。図３（ａ）は、本発明の熱処理方法を用いた焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、上面及び下面から空気を除去しない従来の焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｃ）は、（ａ）のＡ―Ａ断面図であり、（ｄ）は、（ｂ）のＢ―Ｂ断面図である。
【００４４】
図３において、斜線で示す領域Ｈ３，Ｈ４は硬化層領域である。また、（ｂ）と（ｄ）における白色の領域Ｔは、被処理物１４が溶けて空間が形成された部分である。ここでは、誘導加熱コイル３２に２．５ｋｗ／ｃｍ２の電力を供給した。加熱に先立って凹部３５、上面１４ａ、及び下面１４ｂから空気を除去した場合の硬化層の領域Ｈ３に比べ、これらから空気を除去せずに焼入れした場合の硬化層の領域Ｈ４は広い。しかも、領域Ｈ４の中央部には、被処理物１４が溶けて貫通孔Ｔが形成された。この理由は、空気を除去せずに焼入れした場合は、空気が存在するので、実際よりも大きい電力が供給されたこととなって被処理物１４の一部（領域Ｔで示される部分）が焼入温度よりも高温に加熱されたからである。
【００４５】
以上説明したように、加熱に先立って上面１４ａ，凹部３５，及び下面１４ｂから空気を除去することにより、上面１４ａ，凹部３５，及び下面１４ｂに存在する空気に起因した熱処理不良を防止できる。また、被処理物１４に液体１２を噴射して空気を除去する工程は、１つの被処理物１４を熱処理するごとに行われることが好ましい。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の第１の熱処理方法では、被処理物に付着している空気が除去されて、その後に、この被処理物が熱処理される。従って、被処理物に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００４７】
ここで、前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去する場合は、被処理物の上面に付着している空気が取り除かれるので、被処理物の上面を熱処理するときに、この上面に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００４８】
さらに、前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去する場合は、被処理物の下面に付着している空気が取り除かれるので、被処理物の下面を熱処理するときに、この下面に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００４９】
さらにまた、前記被処理物を加熱する誘導加熱コイルに液体を噴射して、この誘導加熱コイルに付着している空気を除去する場合は、誘導加熱コイルによって加熱される被処理物が過熱（オーバーヒート）されることを防止できる。
【００５０】
さらにまた、前記誘導加熱コイルは、前記被処理物に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、該凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去する場合は、誘導加熱コイルの凹部に溜まった空気が除去されるので、被処理物のうちこの凹部に向き合う部分が過熱されることを防止できる。
【００５１】
さらにまた、前記液体を噴射して空気を除去する工程は、１つの被処理物を熱処理するごとに行われるものである場合は、空気中から液体中に被処理物や誘導加熱コイルを入れる際にこれら被処理物や誘導加熱コイルに空気が付着し易いので、これら被処理物や誘導加熱コイルに付着している空気をいっそう確実に除去できる。このため、被処理物や誘導加熱コイルに付着している空気に起因する熱処理不良を熱処理の度にいっそう確実に防止できる。
【００５２】
また、本発明の第２の熱処理方法では、噴射された液体によって治具と被処理物との間に隙間が形成されるので、板状部の下面に付着している空気はこの隙間を通って除去される。この結果、板状部は所望の温度に加熱されるので、特に板状部が薄いときにこの板状部に適切に熱処理が行われて熱処理不良を防止できる。
【００５３】
また、本発明の第１の熱処理装置によれば、熱処理に先立って、被処理物に付着している空気を被処理物から除去できる。従って、被処理物に付着している空気が除去されて、その後に、この被処理物が熱処理されることとなる。この結果、被処理物に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００５４】
ここで、前記ジャケットが、前記被処理物の上方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の上面に付着している空気を除去する上部ジャケットを有するものである場合は、被処理物の上面に付着している空気が取り除かれるので、被処理物の上面を熱処理するときに、この上面に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００５５】
さらに、前記ジャケットが、前記被処理物の下方から該被処理物に液体を噴射して、該被処理物の下面に付着している空気を除去する下部ジャケットを有するものである場合は、被処理物の下面に付着している空気が取り除かれるので、被処理物の下面を熱処理するときに、この下面に付着している空気に起因する熱処理不良を防止できる。
【００５６】
さらにまた、前記被処理物を誘導加熱する誘導加熱コイルを備え、前記冷却ジャケットは、該誘導加熱コイルに液体を噴射して、この誘導加熱コイルに付着している空気を除去するものである場合は、誘導加熱コイルによって加熱される被処理物が過熱（オーバーヒート）されることを防止できる。
【００５７】
さらにまた、前記誘導加熱コイルは、前記被処理物に向き合う部分に凹部が形成されたものであり、前記冷却ジャケットは、前記凹部を挟んで前記被処理物とは反対側から液体を噴射して、該凹部に溜まった空気を除去するものである場合は、誘導加熱コイルの凹部に溜まった空気が除去されるので、被処理物のうちこの凹部に向き合う部分が過熱されることを防止できる。
【００５８】
さらにまた、所定厚さ以下の板状部が形成された被処理物の前記板状部の下方の１．０ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内の距離から前記板状部に液体を噴射する液体噴射部と、前記板状部の下面に隣接する部分に接触する接触部とを備えた場合は、液体噴射部から噴射された液体によって接触部と被処理物との間に隙間が形成されるので、板状部の下面に付着している空気はこの隙間を通って除去される。この結果、板状部は所望の温度に加熱されるので、特に板状部が薄いときにこの板状部に適切に熱処理が行われて熱処理不良を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の熱処理装置の一実施形態を示す模式図である。
【図２】（ａ）は、本発明の熱処理方法を用いた焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、上面から空気を除去しない従来の焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｃ）は、（ａ）のＡ―Ａ断面図であり、（ｄ）は、（ｂ）のＢ―Ｂ断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の熱処理方法を用いた焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、上面及び下面から空気を除去しない従来の焼入れによって形成された焼入層を模式的に示す平面図であり、（ｃ）は、（ａ）のＡ―Ａ断面図であり、（ｄ）は、（ｂ）のＢ―Ｂ断面図である。
【符号の説明】
１２  液体
１４  被処理物
１４ａ  被処理物の上面
１４ｂ  被処理物の下面
２０  熱処理装置
３０  上部ジャケット
３２  誘導加熱コイル
３５  凹部
５０  下部ジャケット
【図１】
0003976177.tif 000002
【図２】
0003976177.tif 000003
【図３】
0003976177.tif 000004