(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタよりなるケースに収納する構造において、
前記トレイとフタとの間にフタの内面より水平方向に突出させた板バネ状の押圧体を介在させ、かつ、該押圧体で前記ペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収納構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収納構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体回路パターン等の製造に於いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００４】
従来、前述の構造を有するペリクルのケースの収納は、図４乃至図６に示すように行われていた。即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張った）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリクルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に保護フィルム５４が接するように置かれる。
【０００５】
トレイ５５の設置面５５ａ上に載置されたペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とトレイ５５との４隅を固定することによってケースに収納されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて拘束され、ケースに収納された状態となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、前述のようにペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送されるが、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避けることが出来なかった。従来のペリクルのケース内での拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、この部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあった。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる問題があった。
【０００７】
一方で、ペリクルとケースとの間の隙間をなくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触している場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を発生することが経験上知られている。
【０００８】
そこで、かかるペリクルの収納構造に於いて最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクルをトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ程度の隙間を設ける構造である。
【０００９】
発明者の実験によって、このような隙間の確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめられている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するなど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ましくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて難しいという問題があった。
【００１０】
本発明者は前述の従来の問題点を根本的に改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着力或いは磁石の吸着力で直接前記トレイに仮着させ、これによってケース内に収納されたペリクルをケース内に拘束させて、輸送時の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く新しい技術を既に開発し、特許出願をしている。（特願平９ー１８２４５９号、特願平９ー１９５５３４号）。
【００１１】
前述のペリクルをトレイに所定の接着力で直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用することによって、ペリクルをトレイに拘束する構成である。また、ペリクルをトレイに所定の吸着力で仮着する技術は、トレイとペリクルとに磁石或いは強磁性体を設置することによって磁石による吸着力を作用させてペリクルをトレイに拘束する構成である。本発明はこれ等の接着力或いは吸着力を用いることなく、ペリクルをトレイとフタとで拘束するようにした全く新しいペリクルの収納構造の技術を提供するものである。
【００１２】
特に、本発明は前記ペリクルを収納することが出来るケースのトレイとフタとの間に押圧体を介在せしめ、該押圧体でペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルをケースに固定するようにしたペリクルの収納構造に関するものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るペリクルの収納構造は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発された技術であって、その発明の要旨は、枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタよりなるケースに収納する構造において、前記トレイとフタとの間にフタの内面より水平方向に突出させた板バネ状の押圧体を介在させ、かつ、該押圧体で前記ペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収納構造である。
【００１４】
前述の発明に於いては、前記トレイとフタとの間に押圧体を介在し、かつ該押圧体で前記ペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定させるように構成したので、押圧体の押圧力でペリクルをケースに安定した状態で確実に固定させることが出来る。また、前記押圧体はトレイとフタとの間に介在されるので、クリップ等を介してフタとトレイに固定する際に、保護フィルムに当接される押圧体に押圧力を自動的に付与することが出来る。
【００１５】
本発明の実施に当たっては、前記押圧体を枠型形状に形成し、かつこの押圧体を粘着材或いは接着材を介してフタの内面に固定して構成することも可能である。
【００１６】
前述の場合には、前記押圧体が枠形状に形成されているので、押圧体を単品で構成することが出来、かつ前記ケースのフタに巾広く当接されると共に、前記ペリクルの保護フィルムの外周部を全面的に押圧することが出来る。また押圧体を粘着材或いは接着材を用いてフタの内面に固定した場合には、前記ケースのフタを開ける際に、フタと共に押圧体を一緒に取り外すことが出来る。
【００１７】
本発明の他の実施に当たっては、前記押圧体が柔軟性のある素材、弾力性のある素材、すべりにくい素材、或いは擦れても発塵しにくい素材等で構成することも可能である。
【００１８】
前述のように、前記押圧体が柔軟性のある素材、弾力性のある素材、すべりにくい素材或いは擦れても発塵しにくい素材等で構成されている場合には、押圧体が過度の圧力でペリクルの保護シートを押圧したり、トレイ及びフタの成形時の寸法のバラツキによって、前記押圧体と保護シートとの間に過度の隙間が形成されることを防止出来る。
【００１９】
また、振動等によってフタとトレイとの横方向の相対位置がずれても、押圧体を追従させることによって、押圧体と保護フィルムとの間に擦れを生じにくくしたり、或いは押圧体と保護フィルムとの間に擦れが生じた場合にも、この擦れによる発塵が生ずることを防止することが出来る。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクルの収納構造の一実施例を具体的に説明すると、図１は第１実施例のペリクルの収納構造を示す縦断面説明図、図２は第２実施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面説明図、図３は第３実施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面説明図である。
【００２１】
図１により本発明に係るペリクルの収納構造の第１実施例を説明すると次の通りである。即ち、ペリクルＡは既に詳述したように、枠体１と該枠体１の上縁面に接着されたペリクル膜２と該枠体１の下縁面に塗着された粘着材３と、該粘着材３を保護するために粘着材３に粘着された保護フィルム４から構成されている。前記実施例に於いては、枠体１の下縁面に粘着材３を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着材３を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に積層して貼着するのみで良い（しかし、本明細書に於いては、このような場合も含めて単に「塗着する」と総称する）。
【００２２】
次に、前述のように構成されたペリクルＡは、トレイ５とフタ６とよりなるケースＢに収納されている。また、トレイ５とフタ６とのコーナー部にはクリップ７が取付けられており、これ等のクリップ７によってトレイ５からフタ６が外れないように固定されている。８はトレイ５の上表面に起立突設された８個のポストであって、トレイ５上に載置されたペリクルＡの外周近傍に配置されている。
【００２３】
９はフタ６の内下面に一体的に垂下された押圧体であって、全体の形状は前記ペリクルＡの保護フィルム４に対応した枠型形状を有している。この押圧体９はゴム等の弾力性のある素材より形成されており、従って縦方向及び横方向に対して柔軟性を有すると共に、保護フィルム４に当接した際にすべりにくい性質を有している。
【００２４】
前記押圧体９は所定の高さを有しており、ペリクルＡをトレイ５に収納した後で、該トレイ５にフタ６を被蓋した際に、該押圧体９がペリクルＡを囲み、かつこの押圧体９が保護フィルム４の外周部に当接されるように構成されている。従って、保護フィルム４は該押圧体９とトレイ５の基台部５ａとによって挟持されており、これによってペリクルＡがトレイ５に安定した状態で固定されている。特に前記トレイ５とフタ６とをクリップ７で固定した際には、押圧体９で保護フィルム４を所定の押圧力で押圧し得るように構成されている。
【００２５】
前記実施例に於いては、枠型形状を有する押圧体９をフタ６に一体的に取付けて構成したが、複数個所に夫々柱形状の押圧体９をフタ６に取付けて構成し、これ等の押圧体９によってペリクルＡの保護フィルム４の数個所を押圧するように構成することも可能である。
【００２６】
図１に示す第１実施例のように押圧体９を予めフタ６に一体的に取付けずに、図２に示す第２実施例の如く、押圧体９はフタ６と別々に作成し、この独立した押圧体９を接着材１０或いは粘着材１０（以下単に接着材という）を介してフタ６の内下面に固着することも可能である。この場合には、例えば押圧体９の上面或いはフタ６の押圧体９に対応する内下面に接着材１０を塗布しておき、ペリクルＡをトレイ５に載置した後、枠型形状の押圧体９をペリクルＡを囲むようにセットし、フタ６をトレイ５に被蓋してフタ６とトレイ５とをクリップで固定することによって、前記押圧体９をフタ６に自動的に固着することが出来る。
【００２７】
前記実施例に於いては、垂直方向にフタ６より垂下された押圧体９の下面で保護フィルム４を押圧するように構成したが、図３に示す如く、板バネ状押圧体９ａをフタ６の内面より水平方向に突出せしめ、この板バネ状押圧体９ａによって保護フィルム４を押圧して固定するように構成することも可能である。この板バネ状押圧体９ａは接着材１０によってフタ６に取付けることが出来る。
【００２８】
前述の押圧体９，９ａは、ゴム、板バネ等の柔軟性或いは弾力性を有する素材が好ましい。即ち、縦方向の柔軟性により過度の押圧力になることを避けたり、成形時の寸法のバラツキによって、押圧体９，９ａと保護フィルム４との間に過度の隙間が形成されることを避けるとが出来る。
【００２９】
また、横方向の柔軟性により、ペリクルＡを輸送する際の振動等によってフタ６とトレイ５との横方向の相対位置にズレが生じた場合にも、このズレに押圧体９，９ａが追従できるため、押圧体９，９ａと保護フィルム４との間の擦れを生じにくくすることが出来、これによって発塵が発生することを押さえることが出来る。
【００３０】
更に、押圧体９，９ａと保護フィルム４とが擦れるのを避けるために、押圧体９，９ａを例えばゴム等のすべりにくい素材で形成することも有効である。或いは押圧体９，９ａと保護フィルム４とに擦れが生じても、発塵しにくい素材として、例えば超高分子量ポリエチレン樹脂等で構成することも可能である。
【００３１】
前述のように、押圧体９，９ａは適度の押圧力（例えば約１５０ｇ）で保護フィルム４を押さえるのが基本であるが、押圧体９，９ａと保護フィルム４との間にわずかなクリアランスがあるような状態でも本発明の効果を得ることが出来る。即ち、押圧体９，９ａと保護フィルム４との間にわずかなクリアランスがあるような状態でも、押圧体９，９ａで保護フィルム４が持ち上がって大きく移動することを防止出来るので、これによってペリクルＡを規制することが出来る効果がある。
【００３２】
前述のように、押圧体９，９ａをフタ６に一体的に取付けるか、或いは接着材１０を介してフタ６に接着固定した場合には、ペリクルＡをケースＢから取り出す際に、フタ６を開けると同時に押圧体９，９ａを取り外すことが出来、これによってペリクルＡの拘束力を自動的に解除することが出来る。従ってトレイ５からペリクルＡを弱い力で容易に取り出すことが出来る。
【００３３】
【発明の効果】
本発明に係るペリクルの収納構造は前述の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を有している。
【００３４】
本発明では、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納するに当たって、ペリクルを押圧体の押圧力を利用して該トレイに固定して構成したので、ペリクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリクルが移動してケースに強く接触することを防止することが出来る。
【００３５】
従って、ペリクルがケースに強くぶつかって擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いはペリクルとの強い擦れによる小さな塵が発生し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来る。
【００３６】
本発明に於いては、前記押圧体をトレイとフタとの間に介在させたので、クリップ等を介してフタをトレイに固定する際に、両者間に介在された押圧体でペリクルの保護フィルムを所定の圧力で押圧してトレイに拘束することが出来る。
【００３７】
前記押圧体をフタに一体的に取付けるか、或いは接着材を介してフタに固定した場合には、ペリクルを取り出す為にフタを開けた時に、押圧体をフタと共に取り出すことが出来、これによって押圧体によるペリクルの拘束を自動的に解除することが出来る。
【００３８】
前記押圧体をペリクルの保護シートに対応した枠型形状とした場合には、保護シートの全周を押圧体で押圧して、ペリクルの固定をより安定させて確実にすることが出来る。また、押圧体を枠型形状にした場合には、押圧体を単数で形成出来、かつフタへの接着固定を容易にすることが出来る。更に、保護フィルムの全周を押圧体で押圧することが出来る。
【００３９】
前記押圧体を柔軟性のある素材、弾力性のある素材、すべりにくい素材、或いは擦れても発塵しにくい素材等で構成した場合には、適当の押圧力で保護シートを押圧することが出来、かつ大きな振動等が生じた場合にも保護シートを安定した状態で押圧固定することが出来、しかも押圧体と保護シートとの間に塵が発生することを防止出来る等の効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例のペリクルの収納構造を示す縦断面説明図である。
【図２】第２実施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面説明図である。
【図３】第３実施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面説明図である。
【図４】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図である。
【図５】図４の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図である。
【図６】図４のペリクルの収納状態を示す要部の平面説明図である。
【符号の説明】
Ａ        ペリクル                  Ｂ      ケース
１        枠体                      ２      ペリクル膜
３        粘着材                    ４      保護フィルム
５        トレイ                    5a      基台部
６        フタ                      ７      クリップ
８        ポスト                    ９,9a   押圧体
10        接着材
51        枠体                      52      ペリクル膜
53        粘着材                    54      保護フィルム
55        トレイ                    56      フタ
57        クリップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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