(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体の動的変化をレーザーの共振器ミラーに伝幡させて該ミラーに動的摂動を生じさせることにより、周波数変調を起こさせながら、レーザー光を射出し、
該レーザー光を分割し、
分割された光（分割光）の各々を互いに光路長の異なる光路を通過させるとともに、前記分割光間に周波数シフトを生じさせ、
その後に各分割光を合波して干渉させ、
干渉光を検出して強度信号を得、
該強度信号を復調させて前記レーザー光の周波数変調信号を検出し、
該周波数変調信号から、前記レーザー共振器に伝搬する前記動的変化を検出することを特徴とする動的変化検出方法。
【請求項２】
前記レーザー共振器を複数個、列状あるいは行列状にアレー化配置して被検体の動的変化を検出することを特徴とする請求項１記載の動的変化検出方法。
【請求項３】
前記レーザーが外部共振器型であることを特徴とする請求項１又は２記載の動的変化検出方法。
【請求項４】
前記レーザーが垂直型共振器ＬＤ（面発光レーザー）であることを特徴とする請求項１又は２記載の動的変化検出方法。
【請求項５】
前記動的変化が前記被検体中を伝搬する音波であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の動的変化検出方法。
【請求項６】
被検体からの動的変化が伝搬されるレーザー共振器を有し、その動的摂動により該レーザーの発する光に周波数変調を起こすレーザーと、
該レーザーの射出したレーザー光を分割する手段と、
分割された各分割光の通過する互いに光路長の異なる二つの光路と、
両光路中で前記分割光間に周波数シフトを生じさせる手段と、
その後に各分割光を合波して干渉させる手段と、
干渉光を検出して強度信号を得る光検出器と、
該強度信号を復調させて前記レーザー光の周波数変調信号を検出する手段と、
を備え、
該周波数変調信号から前記動的変化を検出することを特徴とする動的変化検出装置。
【請求項７】
前記レーザー共振器を複数個、列状あるいは行列状にアレー化配置して被検体の動的変化を検出することを特徴とする請求項１記載の動的変化検出装置。
【請求項８】
前記レーザーが外部共振器型であることを特徴とする請求項６又は７記載の動的変化検出装置。
【請求項９】
前記レーザーが垂直型共振器ＬＤ（面発光レーザー）であることを特徴とする請求項６又は７記載の動的変化検出装置。
【請求項１０】
前記動的変化が前記被検体中を伝搬する音波であることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項記載の動的変化検出装置。
【請求項１１】
被検体に超音波を送信する送信部と、
該被検体からの超音波反射エコーを受信し電気信号に変換する受信部と、
該受信部の信号を受け画像化処理して表示する画像処理表示部と、
を備える超音波診断装置であって；
上記受信部中に、請求項６〜１０いずれか１項記載の動的変化検出装置を具備することを特徴とする超音波診断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検体中を伝搬する超音波等の動的変化を検出する方法及び装置に関する。また、そのような動的変化検出装置を備える超音波診断装置に関する。なお、本明細書でいう動的変化には、音波、加速度、歪、温度、変位等を含む。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
いわゆる超音波エコー観察等を行う超音波診断装置は、超音波センサー部（探触子）に、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）に代表される圧電材料を用いるのが一般的である。
図１２は、現在用いられている一般的な探触子の構造を模式的に示す図である。（Ａ）は全体の斜視図、（Ｂ）は配列振動子を拡大して示す斜視図である。
この図の探触子３０１は、全体として薄い箱型をしており、細長い長方形状の探触面３０２を有する。この探触面３０２を人体に当てて超音波を放射し人体の奥部から返ってくる超音波エコーを受信する。探触子３０１の図の上側には、超音波送受信信号を伝えるケーブル３０７が接続されている。
【０００３】
探触面３０２内には、超音波の発振子と受振子を兼ねる、櫛状の配列振動子３０３が収められている。配列振動子３０３は、薄い（例えば厚さ０．２〜０．３mm）ＰＺＴの帯状板に、多数のスリット３０６（例えば幅０．１mm）を入れて櫛の歯状の個別振動子３０５（例えば幅０．２mm、長さ２０mm）を多数（例えば２５６個）配列したものである。
図示はされていないが、各個別振動子３０５には電極が形成されており、信号線が接続されている。また、同様に図示はされていないが、配列振動子３０３の表面（図の下面）側には、樹脂系材料（ゴム含む）からなる音響レンズ層や整合層が貼られており、裏面側にはバッキング材が貼られている。音響レンズ層は発信する超音波の集束性を良くする。整合層は超音波の発信効率を高める。バッキング材は、振動子を保持する機能を有するとともに、振動子の振動を早く終了させる。
なお、このような超音波探触子及び超音波診断装置については、東洋出版「超音波観察法・診断法」や、医歯薬出版「基礎超音波医学」に詳しく説明されている。
【０００４】
ところで、超音波診断分野では、より詳細な被検者の体内情報を取得するために、３次元データの収集が望まれている。それを実現するために、超音波検出部（センサー）を２次元アレー化することが求められている。しかし、上述のＰＺＴにおいては、現状以上の微細化と素子集積は、次のような理由により困難である。すなわち、ＰＺＴ材料（セラミックス）の加工技術が限界に近くなっており、これ以上の微細化は加工歩留まりの極端な低下につながる。また、配線数が増大し、配線の電気的インピーダンスが増大する。さらに、各素子（個別振動子）間のクロストークが増大する。そのため、ＰＺＴを用いた２次元アレー探触子の実現は、現状では困難と考えられている。
【０００５】
特表平１０−５０１８９３には、電気的に励起（ポンピング）された垂直空洞表面放出レーザー（ＶＣＳＥＬ）のアレーを含む超音波検出装置が開示されている。各レーザーのキャビティ長は、被検体から伝搬する音響場によって変調される。その結果、得られるレーザー出力は、音響場によって周波数変調される。この変調は、検出器ヘッドで振幅変調に変換され、その後、ＣＣＤアレーで検出されて情報が電気的に信号処理アセンブリーに伝えられ処理される。この超音波検出装置によって、高度の周波数帯域幅検出、高空間分解能、及び電気配線の簡略化を達成できるとされている。
【０００６】
IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS, FERROELECTRICS, AND FREQUENCY CONTROL, VOL.45, NO.3, MAY 1998 には、James D. Hamilton らによる、「High Frequency Ultrasound Imaging Using an Active Optical Detector」と題する文が掲載されている。この文中には、ネオジウム・ドープ・ガラスからなる導波路を有するレーザー及び光変調器を備える超音波検出器が開示されている。
【０００７】
つまり、上記両文献には超音波によりレーザー発振周波数を変調させ、その光をファブリーペロー干渉計により光強度変調として超音波を検出する方法が開示されている。また、そのような検出原理のセンサーをアレー化することが開示されている。しかしながら、超音波によるレーザー共振器長の変位を利用する方法は、もともと変位に対する感度が高いため、温度変動など環境変化に対する補償ができないと実用化できない。またアレー化にする場合には、各レーザー素子の発振周波数にバラツキが生じるのは避けがたく、各レーザー素子の発振周波数にバラツキがあっても影響を受けない計測法でなければ、アレーとしての実用化は困難である。
【０００８】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、環境変化や各レーザー素子間の固体差による影響をキャンセルでき、安定した検出を行うことのできる動的変化検出方法及び動的変化検出装置を提供することを目的とする。また、そのような動的変化検出装置を備え、３次元データの収集にも適した超音波診断装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決する手段及び発明の実施の形態】
本発明の動的変化検出方法は、  被検体の動的変化をレーザーの共振器ミラーに伝幡させて該ミラーに動的摂動を生じさせることにより、周波数変調を起こさせながら、レーザー光を射出し、  該レーザー光を分割し、  分割された光（分割光）の各々を互いに光路長の異なる光路を通過させるとともに、前記分割光間に周波数シフトを生じさせ、  その後に各分割光を合波して干渉させ、  干渉光を検出して強度信号を得、  該強度信号を復調させて前記レーザー光の周波数変調信号を検出し、  該周波数変調信号から、前記レーザー共振器に伝搬する前記動的変化を検出することを特徴とする。
【００１０】
本発明の動的変化検出装置は、  被検体からの動的変化が伝搬されるレーザー共振器を有し、その動的摂動により該レーザーの発する光に周波数変調を起こすレーザーと、  該レーザーの射出したレーザー光を分割する手段と、  分割された各分割光の通過する互いに光路長の異なる二つの光路と、  両光路中で前記分割光間に周波数シフトを生じさせる手段と、  その後に各分割光を合波して干渉させる手段と、  干渉光を検出して強度信号を得る光検出器と、  該強度信号を復調させて前記レーザー光の周波数変調信号を検出する手段と、  を備え、  該周波数変調信号から前記動的変化を検出することを特徴とする。
【００１１】
検出環境の変化、例えば、レーザー共振器の温度変動があった場合にも、分割したレーザー光の各々に互いに光路長の異なる光路を通過させるとともに、周波数シフトを生じさせ、その後に合波して干渉させる（いわゆるヘテロダイン干渉）ので、干渉光の強度は温度変動の影響を受けないので、安定して被検体の動的変化を検出できる。レーザー共振器をアレー化した場合においては、各共振器の発振周波数にバラツキがあっても、同じ理由により、安定して被検体の動的変化を検出できる。
【００１２】
本発明においては、前記レーザー共振器を、複数個、列状あるいは行列状にアレー化配置して被検体の動的変化を検出することができる。この場合、レーザーからの信号は光であるので、信号伝達のインピーダンスは増大しない。
【００１３】
本発明においては、前記レーザーを外部共振器型とすることが好ましい。ここで、外部共振器型レーザーとは、レーザー媒質の外部に光共振器が構成されているものである。このような外部共振器型レーザーが好ましいのは、超音波による摂動が全反射ミラーにのみ生じるからである。
あるいは、垂直型共振器ＬＤ（面発光レーザー）も好ましい。ここでは垂直型共振器ＬＤ（面発光レーザー）とは、レーザー媒質の構成方向と垂直な方向に光が射出するレーザーのことである。このような、垂直型共振器ＬＤ（面発光レーザー）が好ましいのは、レーザー媒質を含む共振器が短く構成できるため、超音波摂動を光共振器全体として受けられるからである。なお、超音波の粗密波の波長λの１／２以下の長さに光共振器が入ってしまえば、光共振器全体として伸び縮みを受けられる。
【００１４】
本発明において検出対象となる動的変化は、代表的には音である。その他に、加速度、歪、温度、変位等を検出できる。
【００１５】
本発明の超音波診断装置は、被検体に超音波を送信する送信部と、該被検体からの超音波反射エコーを受信し電気信号に変換する受信部と、該受信部の信号を受け画像化処理して表示する画像処理表示部と、を備える超音波診断装置であって上記受信器中に、上記の動的変化検出装置を具備することを特徴とする。
この超音波診断装置は三次元データの収集にも適し、環境変化による影響をキャンセルでき、高解像の体内画像の取得を期待できる。
【００１６】
以下、図を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の構成を示す接続図である。
この動的変化検出装置１は、レーザー７を有し、その共振器の全反射ミラー２１において、被検体３中を伝搬する超音波５を受ける。レーザー７から発せられたレーザー光Ｌ１は、ヘテロダイン干渉系９に送られ、ヘテロダイン干渉系９を通った光は光検出器１１で検出される。光検出器１１の電気信号は電気信号処理部１３で各種の処理を受ける。
【００１７】
レーザー７は、図の左から右へ配置されている全反射ミラー２１、レーザー媒質２３、部分通過ミラー２５を有する。このレーザー７は、図示せぬ電気、ランプ、レーザー光等により励起される。
全反射ミラー２１には、図の左方向から被検体３（例えば人体）中を伝搬する超音波５が印加される。なお、全反射ミラー２１の表面には、図示せぬ音響整合層やシール層が設けられている。このレーザー７においては、超音波５の伝搬により全反射ミラー２１の動的摂動が生じ、該動的摂動によって全反射ミラー２１と部分通過ミラー２５により形成される光共振器に摂動が生じ、レーザー７の発するレーザー光Ｌ１は周波数変調される。レーザー７中における、音響−光変調作用の詳細については、図２を参照しつつ後述する。
【００１８】
レーザー７の発するレーザー光Ｌ１は、ヘテロダイン干渉系９に入射する。ヘテロダイン干渉系９の最もレーザー７寄りには、ビームスプリッター３１が配置されている。レーザー光Ｌ１は、一部反射し、一部はこのビームスプリッター３１を通過する。ビームスプリッター３１の先には部分通過ミラー３３が配置されている。部分通過ミラー３３は、レーザー光Ｌ１の一部Ｌ２を反射する。反射した光Ｌ２の一部はビームスプリッター３１で図の下方に反射される。
【００１９】
部分通過ミラー３３の出側には、音響光学素子（ＡＯＭ）等からなる周波数シフター３５が配置されている。この周波数シフター３５は、入射する光Ｌ１の周波数をわずかにシフトさせる。部分通過ミラー３３を通過したレーザー光Ｌ１は、周波数シフター３５で周波数シフトされ光Ｌ３となる。
周波数シフター３５の出側には反射プリズム３７が配置されている。反射プリズム３７は、周波数シフト光Ｌ３を図の左方向に反射する。この光Ｌ３は、部分通過ミラー３３を一部通過し、ビームスプリッター３１で図の下方に反射される。
【００２０】
ビームスプリッター３１から下方に反射された光Ｌ２と光Ｌ３は、レンズ３９により収束されて、光検出器１１上で合波され干渉する。光検出器１１は干渉光の強度（振幅）変化を電気信号に変換する。ヘテロダイン干渉系９における光の干渉作用の詳細については後述する。
光検出器１１の電気信号は、電気信号処理部１３に送られて処理される。
【００２１】
電気信号処理部１３は、光検出器１１の電気信号を増幅するアンプ４１、増幅された信号を復調する復調手段４３、復調された信号を積分する積分処理手段４５、積分処理された信号を波形として表示する波形表示部４７、波形を記憶する波形記憶部４９を備える。電気信号処理部１３における電気信号処理の詳細についても後述する。
【００２２】
図２は、図１の動的変化検出装置のレーザー（共振器）を拡大した模式的な図である。図には、レーザー７の全反射ミラー２１、レーザー媒質２３、部分通過ミラー２５が示されている。全反射ミラー２１には超音波５が印加されており、全反射ミラー２１は、図の左右方向に振動（変位ｄ（ｔ））する。このため、レーザー媒質２３の共振器長Ｌは変化する。
超音波によりレーザー共振器の反射ミラーがｄ（ｔ）だけ変位すると、レーザーの発振周波数ν（ｔ）も変位し、その大きさは
Δν（ｔ）＝−νC ・ｄ（ｔ）／Ｌ  …  （１）
となる。ここでνC はレーザー光の固有の周波数、Ｌは共振器長である。
【００２３】
図１に示されたヘテロダイン干渉光学系９に入るレーザー光Ｌ１のうち、ビームスプリッター３１を透過し部分通過ミラー３３で反射された光Ｌ２はその後ビームスプリッター３１で反射しレンズ３９を介して光検出器１１に入る。したがって、超音波が照射されている状態（共振器ミラーに動的変動が生じている状態）でのレーザー光Ｌ２は
cos （２πν（ｔ）ｔ＋φ１）  …  （２）
と表される。ここでφ１は、初期位相と、レーザー光Ｌ２がレーザ−７から光検出器１１に達するまでの光路長とを含んだ値である。
【００２４】
一方、部分通過ミラー３３及び周波数シフター３５を通った光Ｌ３は、反射プリズム３７で反射された後、再び部分通過ミラー３３を透過し、ビームスプリッター３１で反射しレンズ３９を介して光検出器１１に入る。両光Ｌ２とＬ３の光路長差Δ１とすると、光検出器１１に入る光Ｌ２と光Ｌ３とにはΔｔ＝Δ１／ｃの時間遅延が生じる。したがって、光Ｌ３は
cos ｛２π（ω0 ／２π＋ν（ｔ−Δｔ））・ｔ＋φ２｝  …  （３）
と表され、
ν（ｔ−Δｔ）＝νC−Δν（ｔ）  …  （４）
と書き換えることができる。
ここでω0 は周波数シフター３５により生じた周波数シフト分であり、φ２は、初期位相と、レーザー光Ｌ１の一部（レーザー光Ｌ３に変換される部分）がレーザー７から周波数シフター３５を通して光検出器１１に達するまでの光路長とを含んだ値である。
【００２５】
光Ｌ２、光Ｌ３が光検出器１１上でレンズ３９により重ね合わされるため、光検出器１１上では光Ｌ２と光Ｌ３の干渉が起こる。この干渉成分は光Ｌ２と光Ｌ３により生じるビート成分であり、
cos ｛２π（ω0 ／２π−Δν（ｔ））ｔ＋φ2−φ1｝  …  （６）
となる。
【００２６】
今簡単のため超音波波形を三角波形として、これによりレーザー共振器の反射鏡の変位ｄ（ｔ）を図３で示すと、レーザー発振周波数ν（ｔ）の変位は変位ｄ（ｔ）と逆符号となる図４のようになる。図４のように時間的に発振周波数の変位している光ビームが光路長のある図１に示すような光ヘテロダイン干渉光学系に入ると、図５に示すようなもともとの光ヘテロダイン干渉信号ω0 （発振周波数が一定のときの干渉信号）を中心として、時間遅延分に相当する発振周波数の変化分だけシフトした周波数ω0 ／２π±Δν（ｔ）のビート信号が生じることになる。この周波数変調されたビート信号を復調手段で復調すれば、図６に示す復調信号が得られる。この復調信号はもともと時間遅延分に相当する発振周波数の変化分であるから、復調信号を積分処理することで、図７に示すような、全反射ミラー２１の変位ｄ（ｔ）すなわち超音波波形を再現できることになる。
積分処理して得られた波形を記憶部４９へ格納ないし表示部４７に表示することで、超音波をはじめとして、各種物理エネルギーによって発生する動的変動を検出できることになる。
なお、電気信号処理部１３における一般的信号処理についての事項は、東洋出版「超音波観察法・診断法」や医歯薬出版「基礎超音波医学」を参照されたい。
【００２７】
図８は、本発明の第２の実施の形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の装置構成を示す系統図である。
図の左端部に図１と同様のレーザー７が示されており、同レーザー７の光がレンズ２６を介して入射する光ファイバー５１が図の右へ延びるように示されている。
【００２８】
光ファイバー５１は、光カプラー５３を通って図の右方向に延びている。光ファイバー５１の先には、光ファイバーブラッググレーティング５５が接続されている。このグレーティング５５は、図１の装置における部分通過ミラー３３の役割を果たす。グレーティング５５の先には、周波数シフター５９が接続されている。この周波数シフター５９は圧電素子６０の周りに光ファイバー５７を巻いたものであり、圧電素子径の変化に伴って光ファイバー５７内を通る光の周波数がシフトする。周波数シフター５９の先には全反射ミラー６１が配置されている。
【００２９】
グレーティング５５から反射してくる光Ｌ２と全反射ミラーから反射してくる光Ｌ３とは光カプラー５３で合波され、光ファイバー６３に入射する。合波された光Ｌ２＋Ｌ３は光検出器１１に入射し電気信号に変換され、その後の電気信号処理は図１の装置と同様である。
【００３０】
図９は、本発明の第３の実施の形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の装置構成を示す系統図である。
この動的変化検出装置は、ヘテロダイン干渉系の構成が図８の動的変化検出装置と少し異なっている。すなわち、図８の装置における光ファイバーブラッググレーティング５５の替りに光ファイバー６３の末端に全反射ミラー６４が設けられている。レーザー光Ｌ１の一部Ｌ２は全反射ミラー６４から反射された後、光カプラー５３で、周波数シフター５９からの光Ｌ３と合波される。
【００３１】
図１０は本発明の他の実施形態に係る、面発光レーザーアレーを有する動的変化の全体構成を模式的に示す図である。
この動的変化検出装置は、図３の動的変化検出装置をアレー化したものである。すなわち、この動的変化検出装置は、多数のレーザー反射鏡７１を行列状にアレー化した面発光レーザーアレー７３を有する。各レーザー反射鏡７１には図３の動的変化検出装置同様のヘテロダイン干渉系７０が接続されている。各干渉系７０の干渉光は、それぞれ光ファイバー６３を通って、光検出器アレー７５に送られ個別に検出される。光検出器アレー７５で検出された電気信号は、信号処理アレー７７に送られて処理される。
【００３２】
したがって、このように動的変化検出装置をアレー化することにより、被検体内の超音波スキャンや偏向、集束をダイナミックかつ同時並行的に行うことができ、３次元データの収集も容易となる。なお、この動的変化検出装置においては信号の導出線は細い光ファイバーであるので、光検出器アレーのような高集積アレー化を実現できる。さらに、信号は光であるので、信号伝達のインピーダンスは増大しない。
【００３３】
図１１は、本発明の１つの実施形態に係る超音波診断装置の全体構成を示すブロック図である。
この例の超音波診断装置は、送信部２０１、探触子２０９、受信部２１１、テレビ走査変換部２１３、表示部（テレビモニター）２１５等からなる。
送信部２０１は、パルス状の超音波発信信号を、ＰＺＴやＰＶＤＦからなる超音波送信用トランスジューサ２０３に送る。トランスジューサ２０３は送信超音波を発し、被検体２０６内に超音波を入射する。なお、トランスジューサ２０３の下方には超音波用部分通過ミラー２０５（樹脂性の板等）が配置されている。被検体２０６では、超音波エコー２０７が被検体２０６の奥部２１６から図の上方に反射され、該エコー２０７は探触子２０９内の部分通過ミラー２０５で右方に反射され、２次元アレー超音波検出部２０８に入射する。同検出部２０８は、超音波を光に変換して受診部２１１に送る。受信部２１１は、検出部２０８からの光信号を電気信号に変換する。テレビ走査変換部２１３は、受信部２１１からの信号を増幅などしたのちに画像化処理を行う。そして画像化処理された信号は、表示部（テレビモニター）２１５に送られ画像表示される。
【００３４】
以上、図を参照しつつ本発明の具体例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく様々な改変・追加を行うことができる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、環境変化や各レーザー素子間の固体差による影響をキャンセルでき、安定した検出を行うことのできる動的変化検出方法及び動的変化検出装置を提供することができる。また、そのような動的変化検出装置を備え、３次元データの収集にも適した超音波診断装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の構成を示す接続図である。
【図２】図１の動的変化検出装置のレーザー（共振器）を拡大した模式的な図である。
【図３】超音波を印加されて振動しているレーザー共振器の反射鏡の変位ｄ（ｔ）の一例を示すグラフである。
【図４】レーザー共振器の反射鏡が図３に示す変位ｄ（ｔ）で変位する際、レーザー共振器から発振されるレーザーの発振周波数ν（ｔ）を示すグラフである。
【図５】レーザー共振器の反射鏡が図３に示す変位ｄ（ｔ）で変位する際、光検出器における合成光のビート信号の波形を示すグラフである。
【図６】図５に示すビート信号を復調して得られる復調信号を示すグラフである。
【図７】図６に示す復調信号に基づいて再現されたレーザー共振器の反射鏡の変位ｄ（ｔ）を示すグラフである。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の装置構成を示す系統図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係る動的変化検出装置（超音波検出装置）の装置構成を示す系統図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る、面発光レーザーアレーを有する動的変化の全体構成を模式的に示す図である。
【図１１】本発明の１つの実施形態に係る超音波診断装置の全体構成を示すブロック図である。
【図１２】現在用いられている一般的な探触子の構造を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１．  動的変化検出装置            ３．被検体
５．  超音波                      ７．レーザー
９．  ヘテロダイン干渉系          １１．光検出器
１３．電気信号処理部              ２１．全反射ミラー
２３．レーザー媒質                ２５．部分通過ミラー
３１．ビームスプリッター          ３３．部分通過ミラー
３５．周波数シフター              ３７．反射プリズム
３９．レンズ                      ４１．アンプ
４３．復調手段                    ４５．積分処理手段
４７．波形表示部                  ４９．波形記憶部
【図１】
0003903105.tif 000002
【図２】
0003903105.tif 000003
【図３】
0003903105.tif 000004
【図４】
0003903105.tif 000005
【図５】
0003903105.tif 000006
【図６】
0003903105.tif 000007
【図７】
0003903105.tif 000008
【図８】
0003903105.tif 000009
【図９】
0003903105.tif 000010
【図１０】
0003903105.tif 000011
【図１１】
0003903105.tif 000012
【図１２】
0003903105.tif 000013