(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
設備と、前記設備とオンラインで接続されたホストと、前記ホスト内に設置され、前記設備からの非常状態データを監視する非常状態監視モジュールと、を備えた半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法であって、
ホストと設備との間のオンライン通信が一定時間停止した後、前記オンライン通信が復旧されたかを非常状態監視モジュールにより判断して、前記オンライン通信が復旧された場合、前記設備から非常状態データを前記非常状態監視モジュールにより受信する段階と、
前記非常状態データをサーチして、前記設備が警告状態であるかを前記非常状態監視モジュールにより判断する段階と、
前記設備が警告状態であると、前記警告状態が危険状態であるかを前記非常状態監視モジュールにより判断する段階と、
前記警告状態が危険状態であると、前記設備の変数アイディのキー値を前記ホストにより変更して、前記変数アイディを前記非常状態監視モジュールにより設備制御メッセージに入力した後、前記設備制御メッセージを前記非常状態監視モジュールにより前記設備にダウンロードして前記設備をオフさせる段階と、
前記警告状態が危険状態でないと、所定のロット投入信号が入力されたかを前記非常状態監視モジュールにより判断した後、前記ロット投入信号が入力された場合、警告メッセージを前記非常状態監視モジュールにより作業者インタフェースピーシーにダウンロードする段階と、
を含むことを特徴とする半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法。
【請求項２】
前記設備制御メッセージは、ストリームファンクションメッセージであることを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法。
【請求項３】
前記設備制御メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ２Ｆ２１またはＳ２Ｆ４１であることを特徴とする請求項２記載の半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法。
【請求項４】
前記変数アイディは、設備コンスタントアイディであることを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法に係り、より詳細には、非常状態監視モジュール(Module)を通してオンライン(on line)通信復旧時点以後の設備の非常状態が自動に管理されるようにした半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、半導体素子の製造には高精密性が要求される。これによって、通常の半導体生産ラインでは精密加工が可能な高機能の設備を配置して大部分の半導体素子製造工程を実行し、作業者は各設備の動作状況を半導体製造設備管理システムを通して観察することによりライン作業效率の向上を図っている。
【０００３】
図３は、従来の半導体製造設備管理システムを概略的に示す概念図である。
【０００４】
図３に図示されるように、生産ライン内には工程を実行する設備３が配置されて、その設備３にロット(lot)１０が投入されて該当工程が進行される。この時、作業者は設備３とオンラインで連結された作業者インタフェースピーシー(operater interface personal computer :  以下、“O/I PC”と称する)２を通して設備３の動作状況を観察する。
【０００５】
ここで、設備３は設備サーバー(server : 図示せず)を通してホスト１とオンラインで連結されて、ホスト１はO/I PC２とオンラインで連結される。
【０００６】
一方、作業者がO/I PC２を通してホスト１に生産基礎データ、例えば、対象ロットのアイディ（以下、“ID”と称する)、工程が進行される設備ID等を設定、入力すると、ホスト１は前記入力された生産基礎データに基づいて自分のデータベース(data base)をサーチ(search)して当該ロットで進行される適切な工程条件データを算出する。
【０００７】
以後、作業者はこのような工程条件データを確認した後工程開始(または工程終了)命令を入力して設備３にロット１０を迅速にトラックイン/トラックアウト(Track in/track out)させて該当工程を進行する。この時、設備３は自分の可動状況に故障等の非常状態が発生する場合、これをホスト１に迅速に報告して、ホスト１はその設備３の非常状態をO/I PC２を通して作業者に知らせることにより、設備３の非常状態が迅速に復旧されるようにする。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体製造設備管理システムには次のような問題点があった。
（１）ホストと設備との間のオンライン通信が一定時間切られた後復旧される場合、その間ホストと設備との間のデータ送受信が遮断されるため、ホストはオンライン通信復旧時点以前の設備の非常状態だけを把握でき、オンライン通信復旧時点以後の設備の非常状態は正確に把握できなかった。
【０００９】
（２）オンライン通信復旧時点後、ホストが誤把握した設備非常状態がO/I PCを通して作業者に伝達される場合があった。
（３）オンライン通信復旧時点後作業者が設備の非常状態を正確に把握するためには、設備を一つずつ直接確認しなければならないため、作業者の全体的な業務負担が顕著に増加した。
【００１０】
したがって、本発明は、このような問題点に着眼して案出されたもので、その目的は、オンライン通信復旧時点以後の設備非常状態が実時間で正確に把握できるようにすることにある。
本発明の他の目的は、作業者が確認しなくてもオンライン通信復旧時点以後の設備非常状態が自動に管理されるようにすることにより、作業者の業務負担を顕著に低減することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するための本発明の特徴によると、設備と、前記設備とオンラインで接続されたホストと、前記ホスト内に設置され、前記設備からの非常状態データを監視する非常状態監視モジュールと、を備えた半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法であって、ホストと設備との間のオンライン通信が一定時間停止した後、前記オンライン通信が復旧されたかを非常状態監視モジュールにより判断して、前記オンライン通信が復旧された場合、前記設備から非常状態データを前記非常状態監視モジュールにより受信する段階と、前記非常状態データをサーチして、前記設備が警告状態であるかを前記非常状態監視モジュールにより判断する段階と、前記設備が警告状態であると、前記警告状態が危険状態であるかを前記非常状態監視モジュールにより判断する段階と、前記警告状態が危険状態であると、前記設備の変数IDのキー値を前記ホストにより変更して、前記IDを前記非常状態監視モジュールにより設備制御メッセージに入力した後、前記設備制御メッセージを前記非常状態監視モジュールにより前記設備にダウンロード(download)して前記設備をオフ(off)させる段階と、前記警告状態が危険状態でないと、所定のロット投入信号が入力されたかを前記非常状態監視モジュールにより判断した後、前記ロット投入信号が入力された場合、警告メッセージを前記非常状態監視モジュールによりO/I PCにダウンロードする段階とで行われる。
尚、ここで、「前記設備の変数IDのキー値を前記ホストにより変更して、前記IDを前記非常状態監視モジュールにより設備制御メッセージに入力した」とは、前記設備の変数IDのキー値をホストにより変更し、そのキー値を変更した変数IDを非常状態監視モジュールにより設備制御メッセージに書き込んだことを意味するものである。
【００１２】
好ましくは、前記設備制御メッセージはストリームファンクションメッセージ(stream function message)であり、その設備制御メッセージのストリームファンクション形態はＳ２Ｆ２１またはＳ２Ｆ４１である。また、前記変数IDは、設備コンスタントアイディ(equipment constant ID :  以下、“ECID”と称する)である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添附図面を参照して本発明による半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法について詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明を倶現するための半導体製造設備管理システムを概略的に示す概念図である。
【００１５】
図１に図示されるように、ホスト１にはオンライン通信復旧時点以後、設備３からアップロ-ド(upload)される非常状態データを監視する非常状態監視モジュール２０が具備されることによって、オンライン通信復旧時点以後、設備３の非常状態は非常状態監視モジュール２０により実時間で把握される。
ここで、作業者は非常状態監視モジュール２０を設置する時、それに対応する設備３にも報告機能を附加することにより、設備３の非常状態が非常状態監視モジュール２０に実時間で報告されるようにする。
その非常状態を把握した後、非常状態監視モジュール２０は設備３の非常状態を作業者に迅速に伝達するか、または、設備３全体をオフさせて非常状態の設備３にロット１０が投入されないようにする。
【００１６】
図２は本発明による半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法を順次的に示す順序図である。
図２を参照して具体的に説明すると次のようである。
まず、Ｓ１１段階で非常状態監視モジュール２０は、ホスト１と設備３との間にオンライン通信が復旧されたかを判断する。
この時、ホスト１と設備３との間のオンライン通信が復旧されなかった場合には、常状態監視モジュール２０はフロー(flow)を終了して、ホスト１と設備３との間のオンライン通信が復旧された場合には、Ｓ１２段階で非常状態監視モジュール２０は、設備サーバーを通して設備３からアップロ-ドされる非常状態データを実時間で受信することによって、オンライン通信復旧時点以後の設備３の非常状態を迅速に把握する。
【００１７】
次に、Ｓ２０段階で非常状態監視モジュール２０は、非常状態データをサーチして設備３の状態が警告状態であるかを判断する。
その判断結果、設備３の状態が警告状態ではないと、非常状態監視モジュール２０はフローを上述したＳ１２段階に進行して非常状態データ受信を持続的に実行して、設備３の状態が警告状態であると、Ｓ３０段階では、非常状態監視モジュール２０はこのような警告状態が危険状態であるかをさらに判断して設備３の不安定程度を把握する。
【００１８】
この時、設備３の警告状態が危険状態で設備３が不安定であると判定されると、Ｓ４１段階で非常状態監視モジュール２０は、その結果をホスト１に伝達してホスト１はすぐそれに該当する設備３の変数IDのキー値をオフ状態に変更することにより設備３による工程進行を完全に遮断する。
好ましくは、ホスト１が変更する変数IDは設備３の状態を一括的に変更させることができるECIDである。
【００１９】
次に、Ｓ４２段階では非常状態監視モジュール２０は、上述の過程を通してキー値が変更された変数IDをホスト１から受信してこれを設備制御メッセージに入力した後、設備サーバーを通して設備３にダウンロードすることによって設備３はすぐオフされる。この時、本実施例の特徴によると、監視モジュール２０から設備３にダウンロードされる設備制御メッセージは通信伝達が円滑なストリームファンクションメッセージである。
【００２０】
従来の場合、ホストはオンライン通信復旧時点以前の設備非常状態だけが把握でき、オンライン通信復旧時点以後の設備非常状態は正確に把握できないことにより、非常状態の設備に正常的な工程を進行させて工程事故を誘発した。しかし、本実施例の場合、ホスト１は非常状態監視モジュール２０を通してオンライン通信復旧時点以後の設備３の非常状態を正確に把握した後、もし、設備３の状態が警告状態、特に、危険状態である場合設備３をオフさせて設備３による工程進行を完全に遮断させる。
【００２１】
好ましくは、設備制御メッセージのストリームファンクション形態は標準化規格に適切なＳ２Ｆ２１またはＳ２Ｆ４１である。
一例で、非常状態監視モジュール２０が上述した過程を通して設備３の非常状態を把握した後設備３の状態をオフさせようとすると、非常状態監視モジュール２０はホスト１を通してキー値が“オフ”状態に変更されたECIDを受信した後、これをストリームファンクションメッセージＳ２Ｆ２１またはＳ２Ｆ４１に入力して設備３にダウンロ-ドすることによって、設備３の状態を変更されたECIDのキー値に合わせて“オフ”状態に迅速に変更させる。
【００２２】
一方、設備３の警告状態が危険状態ではなく設備３が若干不安定な状態であると判定されると、Ｓ５１段階で非常状態監視モジュール２０はO/I PC２にロット投入信号が入力されたかをさらに判断する。
【００２３】
この時、O/I PC２にロット投入信号が入力されなかった場合には、非常状態監視モジュール２０はまだ作業者による工程が進行されなかったと判定してフローを終了して、O/I PC２にロット投入信号が入力された場合には、Ｓ５２段階で非常状態監視モジュール２０は、作業者により非常状態の設備３にロット１０が投入されたと判定してテキストを入力した警告メッセージをO/I PC２にダウンロードすることにより作業者が設備３の非常状態を視覚的に確認できるようにする。一例で、非常状態監視モジュール２０は設備３の非常状態をテキストデータで処理した後、例えば、“現在設備は警告状態です。トラックイン過程を中止して下さい”等のテキストデータを入力した警告メッセージをO/I PC２にダウンロードすることにより作業者が設備３の非常状態を把握してそれに附合する追後作業を迅速に実行できるようにする。したがって、非常状態の設備３にロット１０がローディングされる問題点が防止される。
【００２４】
従来の場合、オンライン通信復旧時点以後ホストが誤把握した非常状態データがO/I PCを通して作業者に伝達される工程事故が発生した。また、オンライン通信復旧時点以後作業者が設備非常状態を正確に把握するためには設備を一つずつ直接確認しなければならないため作業者の全体的な業務負担が増加した。
【００２５】
しかし、本実施例の場合、ホスト１は非常状態監視モジュール２０を通して設備３の非常状態を正確に把握した後、O/I PC２にロット１０投入信号が入力されると作業者が確認できるように上述した警告メッセージをディスプレイする。また、ホスト1は非常状態監視モジュール２０を通してオンライン通信復旧時点以後の設備非常状態が作業者の確認作業なしに自動に管理されるようにすることにより作業者の業務負担を低減させることができる。このような警告メッセージの形態はO/I PC２の仕様によって多様に選択できる。
以後、非常状態監視モジュール２０は上述した各段階を持続的に反復して設備３の非常状態状況を效率的に管理する。
【００２６】
このように、本発明では非常状態監視モジュールを通してオンライン通信復旧時点以後、設備の非常状態が自動に管理されるようにする。このような本発明は生産ライン内に配置されて一定な管理を必要とする多様な半導体製造設備で全般的に有用な效果を示す。
【００２７】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳細に記述したが、本発明が属する技術分野において通常の知識を持つ者であれば、添附された請求範囲に定義された本発明の精神及び範囲を離脱しなく本発明を多様に変形または変更して実施できる。
【００２８】
【発明の効果】
以上のように、本発明による半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法によると、ホストに非常状態監視モジュールを具備することにより、これを通してオンライン通信復旧時点以後の設備非常状態が実時間で正確に把握でき、非常状態監視モジュールを通してオンライン通信復旧時点以後の設備非常状態が作業者の確認作業なしにも自動に管理されるようにすることにより作業者の業務負担を顕著に低減させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を倶現するための半導体製造設備管理システムを概略的に示す概念図である。
【図２】本発明による半導体製造設備管理システムでの設備の非常状態管理方法を順次的に示す順序図である。
【図３】従来の半導体製造設備管理システムを概略的に示す概念図である。
【符号の説明】
１      ホスト
２      O/I PC
３      設備
１０     ロット
２０     非常状態監視モジュール
【図１】
0003998329.tif 000002
【図２】
0003998329.tif 000003
【図３】
0003998329.tif 000004