(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台(1A)に設けられたサーボモータ(5)により回転すると共にその上部に被検査体(6)を載置するための回転テーブル(3)と、前記回転テーブル(3)に設けられたコネクタ(7)と、前記回転テーブル(3)を支持するためのガラスエポキシ積層管(2)と、前記ガラスエポキシ積層管(2)の下部に中継板(3A)を介して接続された筒状の回転軸(4)と、前記回転軸(4)を駆動するためのサーボモータ(5)と、前記コネクタ(7)に接続され前記ガラスエポキシ積層管(2)内に形成された案内孔(9)内に案内されると共に前記中継板(3A)の外側を経て前記回転軸(4)内に案内された信号ケーブル(8)と、前記サーボモータ(5)の回転を制御するための制御器(12)と、を用い、
前記回転テーブル(3)と前記中継板(3A)との間の前記ガラスエポキシ積層管(2)が恒温槽底部(21)を貫通して位置することにより、前記回転テーブル(3)が前記恒温槽底部(21)上に位置し、前記制御器(12)にコマンド(20)を送ることにより前記回転テーブル(3)の回転を前記サーボモータ(5)により制御すると共に、前記回転テーブル(3)の１回転内で移動する位置を前記コマンド(20)によって所定の角度毎に設定することを特徴とする回転テーブル駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転テーブル駆動方法に関し、特に、サーボモータの制御器に各種コマンドを入力することにより、１回転内の任意の角度位置で停止自在とし、サーボロックによって恒温槽内の回転テーブルの停止状態を保持すると共に、コマンドによるリモート動作制御を行うための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、用いられていたこの種の回転テーブル駆動方法としては、一般に、機械式の分割機構を用いて割出しを行い、所定の角度位置に割出した後は、機械式のロック機構によって回転テーブルをその停止位置に保持するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の回転テーブル駆動方法は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、回転テーブルの所定角度への割出しを機械的な手段で行っているため、割出し機構が複雑かつ大型となり、２〜３度以下の微小角度の角度位置に停止させる設定は困難であった。
また、所定角度位置へ回転テーブルを位置決めした後は、メカニカルロック機構によってその角度位置を保持しなければならないため、機構が複雑でかつ小型化のニーズに応えることは困難であった。
【０００４】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたもので、特に、サーボモータの制御器に各種コマンドを入力することにより、１回転内の任意の角度位置で停止自在とし、サーボロックによって恒温槽内の回転テーブルの停止状態を保持すると共に、コマンドによるリモート動作制御を行うようにした回転テーブル駆動方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明による回転テーブル駆動方法は、基台に設けられたサーボモータにより回転すると共にその上部に被検査体を載置するための回転テーブルと、前記回転テーブルに設けられたコネクタと、前記回転テーブルを支持するためのガラスエポキシ積層管と、前記ガラスエポキシ積層管の下部に中継板を介して接続された筒状の回転軸と、前記回転軸を駆動するためのサーボモータと、前記コネクタに接続され前記ガラスエポキシ積層管内に形成された案内孔内に案内されると共に前記中継板の外側を経て前記回転軸内に案内された信号ケーブルと、前記サーボモータの回転を制御するための制御器と、を用い、前記回転テーブルと前記中継板との間の前記ガラスエポキシ積層管が恒温槽底部を貫通して位置することにより、前記回転テーブルが前記恒温槽底部上に位置し、前記制御器にコマンドを送ることにより前記回転テーブルの回転を前記サーボモータにより制御すると共に、前記回転テーブルの１回転内で移動する位置を前記コマンドによって所定の角度毎に設定する方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による回転テーブル駆動方法の好適な実施の形態について説明する。
図１から図５において符号１で示されるものは回転テーブル装置であり、この回転テーブル装置１の基台１Ａの上部にはガラスエポキシ積層管２に支持されて回転するように構成された回転テーブル３が配設されている。
【０００７】
前記ガラスエポキシ積層管２には、図４に示されるように、中継板３Ａを介して回転軸４が接続され、この回転軸４は所定の減速比を有する減速ギヤ（図示せず）を介してサーボモータ５に接続されている（尚、減速ギヤを用いることなくステップモータ型のサーボモータによって行う場合もある）。従って、前記サーボモータ５によって前記回転軸４が駆動されるように構成されている。
【０００８】
前記回転テーブル３には、例えば、ジャイロ等の多数の被検査体６が載置されており、この被検査体６に対する電源の供給及び出力信号の取り出しを行うためのコネクタ７が設けられ、各コネクタ７からの信号ケーブル８は前記ガラスエポキシ積層管２に形成された案内孔９内に案内されている。
前記信号ケーブル８は、前記中継板３Ａの外側から信号中継用コネクタ１０を介して前記回転軸４の軸孔１１内を経て図示しない検出装置に接続されている。従って、スリップリングを用いると回転テーブル３の回転が可となるが、信号ケーブル８のみの場合は、そのねじれの回転範囲のみとなる。
【０００９】
前記サーボモータ５は、このサーボモータ５の回転をサーボ制御するための周知の制御器１２に接続され、この制御器１２は前記回転テーブル装置１内又はその外部に設けられている。
前記制御器１２には、前記サーボモータ５を制御するためのリモートコントローラ１３が、有線又は無線で接続され、このリモートコントローラ１３から制御器１２に送信されるコマンド２０の内容は次の表１の第１表に示される通りであり、そのコマンド２０の項目としては、ＬＭＴα，ＲＡＴβ，ＤＩＲγ，ＭＯＤδ，ＩＮＩ，ＲＳＴ，ＲＭＴε，ＲＵＮ，ＳＴＰ，ＨＯＭ，ＭＯＶζ，ＰＯＳ，ＬＭＴ，ＲＡＴ，ＭＯＤ，ＡＬＭ，ＳＴＳが用いられている。
尚、この制御器１２及びリモートコントローラ１３は回転テーブル装置１と一体の場合もある。
【００１０】
【表１】
0003976537.tif 000002
【表２】
0003976537.tif 000003
【００１１】
前記回転テーブル装置１は、前記回転テーブル３が、図示しない恒温槽内に位置できるように配設され、恒温槽底部２１でガラスエポキシ積層管２に対応することにより回転テーブル３が恒温槽内に位置することができるように構成されている。すなわち、回転テーブル３と中継板３Ａとの間に位置する前記ガラスエポキシ積層管２が恒温槽底部２１を貫通して対応し、恒温槽内で回転テーブル３が回転できるように構成されている。
尚、基台１Ａに設けた防霜ファン４０により被検査体６に付着した水滴を除去する構成である。
【００１２】
次に、前述の構成において実際にサーボモータ５を制御し回転テーブル３を所要の回転及び回転角度に制御する場合について述べる。
まず、回転テーブル３上に被検査体６である多数のジャイロが載置固定された状態で制御器１２にコマンド２０が送信されると、回転テーブル３が所定の速度で回転し、ジャイロの出力信号が図示しない検出装置に送信され、各ジャイロの特性が計測される。
前述の計測が終了すると、回転テーブル６が一定位置で停止し、この停止中にジャイロが図示しない排出ユニットによって後工程へ搬出される。
【００１３】
前述の場合、コマンド２０の中のコマンドＭＯＶζ（１回転内移動位置角度設定コマンド）を制御器１２に送信することにより、回転テーブル３の１回転内で移動する位置を所定の角度毎（ζ：０００．００〜３５９．９９）に制御することができ、ジャイロ搬出時の排出ユニットとの位置決めを微小角度毎に行うことができる。
【００１４】
前記回転テーブル３の移動が完了して停止した後は、その停止角度位置においてコマンド２０の中のコマンドＳＴＳのζ２を制御器１２に送信することによってサーボモータ５をサーボロック状態とし、従来のメカニカルロック機構を用いることなく、前記停止の状態を保持することができる。
【００１５】
また、前記コマンド２０として１回転内で移動する位置を角度設定するための１回転内移動位置角度設定コマンドＭＯＶζが制御器１２に入力されることにより、前記回転テーブル３がｎ回転している場合でも、前記ｎ回転戻ることなく指定された回転角度まで移動することができる。
【００１６】
また、前述の制御において、前記回転テーブル３の回転を直接検出するためのエンコーダ（図示せず）が設けられており、このエンコーダからのエンコーダ信号を用いて回転テーブル３の位置制御を行うこともできる。
尚、前述のコマンド２０の各内容については、第１表に示される通りであり、各コマンド２０の内容を選択して用いることにより、サーボモータ５による回転テーブル３の自在な動作制御を行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】
本発明による回転テーブル駆動方法は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。すなわち、恒温槽内に位置する回転テーブルの回転動作をサーボモータによって駆動しているため、回転テーブルの微小角度位置決めができると共に、１回転内位置移動が自在となり、従来のメカニカルロック機構を用いることなく停止位置での回転テーブルの位置決めをサーボロックで保持することができ、装置自体の寸法を大幅に小型化かつ簡易化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による回転テーブル駆動方法に用いる回転テーブル装置を示す正面構成図である。
【図２】  図１の側面図である。
【図３】  図１の矢視Ａによる平面図である。
【図４】  図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】  図１の回転テーブル装置に制御器及びリモートコントローラを接続した状態を示す構成図である。
【符号の説明】
１    回転テーブル装置
１Ａ    基台
２    ガラスエポキシ積層管
３    回転テーブル
３Ａ    中継板
４    回転軸
５    サーボモータ
６    被検査体
８    信号ケーブル
９    案内孔
１２    制御器
２０    コマンド
２１    恒温槽底部
【図１】
0003976537.tif 000004
【図２】
0003976537.tif 000005
【図３】
0003976537.tif 000006
【図４】
0003976537.tif 000007
【図５】
0003976537.tif 000008