(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出手段により対象物の表面に対して液状材料の液滴を吐出して成膜する成膜方法であって、
前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記表面に沿った第１方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出する第１走査段階と、前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記第１方向と交差する前記表面に沿った第２の方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出する第２走査段階とを有し、前記第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする成膜方法。
【請求項２】
前記第１走査段階と前記第２走査段階とにおいて前記対象物を回転させて相互に異なる姿勢とすることによって、前記第１方向と前記第２方向とを相互に交差する方向に設定することを特徴とする請求項１に記載の成膜方法。
【請求項３】
対象物の表面に対して液状材料の液滴を吐出する液滴吐出手段と、前記対象物と前記液滴吐出手段とを前記表面に沿って相対的に移動させる移動手段とを有する成膜装置であって、
前記対象物に対して前記表面に沿った相互に異なる少なくとも２つの方向に前記液滴吐出手段を相対的に移動させることができ、かつ、前記２つの方向のいずれの移動中においても複数の前記液滴を順次吐出可能に構成されてなり、第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第１方向と交差する第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
前記対象物を回転させることによって前記対象物を少なくとも２つの姿勢に設定することの可能な姿勢位置決め手段を有することを特徴とする請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
被吐出物に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置であって、
前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段とを有し、
前記姿勢位置決め手段は、ピンに前記被吐出物を当接させることによって、前記被吐出物を前記液滴吐出ヘッドとの相対的な移動方向に関して互いに交差する関係にある第１姿勢と第２姿勢とで位置決め可能に構成されてなり、
前記第１姿勢の前記被吐出物に対して前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させつつ第１の材料を吐出し、前記第２姿勢の前記被吐出物に対して前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させつつ前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記第１姿勢および前記第２姿勢において相互に異なる前記観測手段を用いるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜するための液滴吐出装置であって、
前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段とを有し、
前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物に対して前記液状材料の液滴を吐出しながら移動する走査方向を、処理途中において前記姿勢位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物に対して異なる方向に変更可能に構成されてなり、前記第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第１方向と交差する前記第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記走査方向の変更の前後において相互に異なる前記観測手段を用いるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記観測手段は、前記被吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
被吐出物に対して液状材料を吐出してフィルタエレメントを成膜する吐出成膜工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、
第１の走査方向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第１吐出段階と、
前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第２吐出段階とを有し、前記第１の走査方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２の走査方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記第１吐出段階では、前記被吐出物の第１領域に対して第１の色相を呈する第１の前記フィルタエレメントが形成され、
前記第２吐出段階では、前記被吐出物の前記第１領域とは異なる第２領域に対して前記第１の色相とは異なる第２の色相を呈する第２の前記フィルタエレメントが形成されることを特徴とする請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
基材に対して液状材料を吐出して成膜する吐出成膜工程を有する表示装置の製造方法であって、
第１の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第１吐出段階と、
前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第２吐出段階と、を有し、前記第１の走査方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２の走査方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記液状材料の液滴によって表示ドットが形成されることを特徴とする請求項１９に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記表示ドットが複数の液滴によって形成され、前記第１吐出段階では前記複数の液滴のうちの一部が吐出され、前記第２吐出段階では前記複数の液滴のうちの残部が吐出されることを特徴とする請求項２０に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器に係り、特に、液状材料を吐出させて成膜する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス装置（以下、単にＥＬ装置という。）などといった電気光学装置を表示手段として用いた各種の表示装置、或いは、これらの表示装置を備えた携帯電話機や携帯型情報端末等の電子機器が知られている。このような表示装置においては、近年、カラー表示が一般的になりつつあるため、ガラスやプラスチックなどによって構成された基板の表面に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のドット状のフィルタエレメントをストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンにて配列させてなるカラーフィルタを用いる場合がある。
【０００３】
また、カラー表示可能に構成されたＥＬ装置においては、ガラスやプラスチック等で構成された基板の表面に、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のドット状のＥＬ発光層をストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンにて配列させ、これらのＥＬ発光層を一対の電極で挟持した表示ドットを形成する。そして、これらの電極に印加する電圧を表示ドット毎に制御することにより、各表示ドットを所定の色及び階調で発光させる。
【０００４】
上記のような各種の表示装置を製造する場合には、上記カラーフィルタの各色のフィルタエレメントやＥＬ装置の各色の発光層を、フォトリソグラフィ法を用いることによってパターニングする方法が一般的である。しかしながら、このフォトリソグラフィ法を用いるパターニング工程は、材料の塗布・露光・現像などといった複雑で時間のかかる処理が必要になるとともに、各色材料やレジスト等を多量に消費するので、コストが高くなるなどといった問題がある。
【０００５】
この問題を解決するために、インクジェット法によってフィルタエレメント材料やＥＬ発光材料を溶媒等を加えた液状材料の液滴として吐出し、基板表面に着弾させることによって、ドット状に配列されたフィルタエレメントや発光層を配列形成する方法が提案されている。ここで、このインクジェット法によって、図６１（ａ）に示すように、ガラスやプラスチックなどによって構成された大面積の基板、いわゆるマザーボード３０１の表面に設定される複数の単位領域３０２の内部に、図６１（ｂ）に示すようなドット状に配列されたフィルタエレメント３０３を形成する場合について説明する。
【０００６】
この場合には、例えば、図６１（ｃ）に示すように、複数のノズル３０４を配列してなるノズル列３０５を有する液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド３０６を、図６１（ｂ）の矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示すように、１個の単位領域３０２に関して複数回（図６１では２回）直線状に走査させながら、各走査期間において複数のノズル３０４から選択的にインクすなわちフィルタ材料を吐出することによって希望位置にフィルタエレメント３０３を形成する。
【０００７】
このフィルタエレメント３０３は、上述したように、Ｒ・Ｇ・Ｂなどの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった適宜の配列パターンで配列させることによって形成される。このため、通常、Ｒ・Ｇ・Ｂの各色のインクジェットヘッド３０６を色毎に用意し、各色のインクジェットヘッド３０６を順次用いることにより、一つのマザーボード３０１上に所定の色配列のカラーフィルタを形成するようにしている。
【０００８】
ところで、インクジェットヘッド３０６については、一般に、ノズル列３０５を構成する複数のノズル３０４のインク吐出量にばらつきがある。例えば、図６２（ａ）に示すように、ノズル列３０５の両端部に対応する位置にあるノズル３０４の吐出量は多く、中央位置にあるノズル３０４の吐出量がその次に多く、これらの中間位置にあるノズルの吐出量が最も少ないというようなインク吐出特性Ｑを有する。
【０００９】
したがって、図６１（ｂ）に示すようにして、インクジェットヘッド３０６によりフィルタエレメント３０３を形成したとき、図６２（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３０６の端部に対応する位置Ｐ１又は中央位置Ｐ２、或いは、Ｐ１及びＰ２の両方に濃度の濃いスジ、すなわち縞状の色ムラ、が形成されてしまう。このため、カラーフィルタの平面的な光透過特性が不均一になるという問題点がある。
【００１０】
このため、各フィルタエレメント３０３を複数の液滴の吐出によって形成するようにし、上記液滴供給ヘッド３０６の位置を送り方向（図６１（ｂ）の左右方向）に少しずつずらしながら順次に走査を行うようにして、液適の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを低減する方法（以下、単に「誤差分散法」という。）が知られている（たとえば、以下の特許文献１を参照）。
【００１１】
しかしながら、上記のように誤差分散法を用いる場合には、同じ製造対象であっても従来よりも走査回数が飛躍的に増加して製造時間が増大し、生産効率が低下するという問題点がある。そこで、この問題点を解消するために、姿勢を調整可能に構成した複数のヘッドを共通のキャリッジに搭載し、一回の走査で処理を行う範囲を広げることによって効率的に製造を行うことの可能な装置が提案されている（たとえば、以下の特許文献２を参照。）
【００１２】
【特許文献１】
特開２００２−２２１６１６号公報
【特許文献２】
特開２００２−２７３８６８号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように種々の方法によって成膜ムラを低減したり製造効率の低下を抑制したりする試みが提案されているが、実際には、液滴吐出ヘッドの走査方向に伸びる縞状の成膜ムラを十分に低減することは困難であり、特に、走査速度を高速にして生産性を向上させようとすればするほど、上記公報に記載された方法を採用しても縞状のムラを低減することが難しくなるという問題点がある。
【００１４】
一方、マザーボード３０１に複数の単位領域３０２を形成する場合、表示装置の画面サイズ若しくは画面形状に対応させるため、単位領域３０２に異なる色配列パターン（ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列など）が設定される場合があるため、又は、マザーボード３０１内において単位領域３０２の取り数を増加させるために、マザーボード３０１における或る方向に沿った同一色の表示ドットの配列数や配列間隔は、機種毎に異なる。したがって、このように様々なマザーボード３０１に対して一律にインクジェットヘッドを走査させていくと、処理効率が悪くなるという問題点がある。この場合、機種毎に異なる構造のインクジェットヘッドを用意することによって処理効率を高める方法も考えられるが、多数のインクジェットヘッドを用意することにより、コストが増大してしまう。
【００１５】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、液滴吐出手段による液滴の吐出によって行う成膜方法や成膜装置において、成膜ムラを従来よりも低減できる技術を提供することにある。また、インクジェットヘッドのような液滴吐出ヘッド等を用いて液状材料を吐出させて成膜する場合に、液状材料の吐出量のばらつきによるムラを低減することのできる装置及び方法を提供することにある。さらに、液状材料の吐出による成膜技術において、様々な被吐出物に対してもコストの増大を抑制しながら処理効率を高めることのできる装置及び方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の成膜方法は、液滴吐出手段により対象物の表面に対して液状材料の液滴を吐出して成膜する成膜方法であって、前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記表面に沿った第１方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出する第１走査段階と、前記液滴吐出手段を前記対象物に対して前記第１方向と交差する前記表面に沿った第２の方向に走査させながら複数の前記液滴を順次吐出する第２走査段階とを有し、前記第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、第１走査段階と第２走査段階とで液滴吐出手段による対象物に対する走査方向を相互に異なる第１方向及び第２方向としたことにより、異なる２方向に走査しながら複数の液滴を順次吐出させて成膜するため、走査方向に起因する成膜ムラを低減することができる。特に、個々の走査によって走査方向に伸びる縞状の成膜ムラが発生しても、異なる方向に伸びる縞状の成膜ムラによって成膜ムラが目立ちにくくなり相互に打ち消し合いが生ずることによって全体としてより均一性の高い成膜状態を得ることができる。
【００１８】
本発明において、前記第１走査段階と前記第２走査段階とにおいて前記対象物を回転させて相互に異なる姿勢とすることによって、前記第１方向と前記第２方向とを相互に交差する方向に設定することが好ましい。対象物を回転させてその姿勢を変えることにより、液滴吐出手段の走査方向を変える必要がなくなるので、大型の機構を用いることなく、簡易な構成で成膜を行うことができる。
【００１９】
次に、本発明の成膜装置は、対象物の表面に対して液状材料の液滴を吐出する液滴吐出手段と、前記対象物と前記液滴吐出手段とを前記表面に沿って相対的に移動させる移動手段とを有する成膜装置であって、前記対象物に対して前記表面に沿った相互に異なる少なくとも２つの方向に前記液滴吐出手段を相対的に移動させることができ、かつ、前記２つの方向のいずれの移動中においても複数の前記液滴を順次吐出可能に構成されてなり、第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第１方向と交差する第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、対象物に形成すべき成膜パターンなどに応じて少なくとも２つの方向のいずれの方向に走査させながら液滴を吐出させるかを選択することができる。また、対象物に対して少なくとも２つの方向に走査させながら液滴を順次吐出させていくことによって走査方向に起因する成膜ムラも低減できる。
【００２１】
本発明において、前記対象物を回転させることによって前記対象物を少なくとも２つの姿勢に設定することの可能な姿勢位置決め手段を有することが好ましい。これによれば、姿勢位置決め手段により対象物を回転させて姿勢を設定することによって、装置を大型化せず、しかも、移動手段を一方向にのみ走査可能な簡易な構造とすることができるため、全体として装置の小型化や低コスト化を図ることができる。
【００２２】
次に、本発明の液滴吐出装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置であって、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段とを有し、前記姿勢位置決め手段は、ピンに前記被吐出物を当接させることによって、前記被吐出物を前記液滴吐出ヘッドとの相対的な移動方向に関して互いに交差する関係にある第１姿勢と第２姿勢とで位置決め可能に構成されてなり、前記第１姿勢の前記被吐出物に対して前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させつつ第１の材料を吐出し、前記第２姿勢の前記被吐出物に対して前記液滴吐出ヘッドを相対的に移動させつつ前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段が、被吐出物を異なる２以上の平面姿勢に位置決め可能に構成されていることにより、被吐出物における液滴を着弾させるべき領域の配列態様に応じて、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの相対的な走査方向を２以上の方向の中から選択することが可能になるので、処理効率を高めることができる。また、被吐出物の平面姿勢を変えることによって、移動手段による液滴吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対する異なる２以上の方向に変更することが可能になるので、一つの被吐出物に対して異なる２方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。
【００２４】
本発明において、前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記第１姿勢および前記第２姿勢において相互に異なる前記観測手段を用いるように構成されていることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、被吐出物が異なる平面姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になるため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高めることができる。
【００２６】
本発明において、前記観測手段は、前記被吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが好ましい。
【００２７】
この発明によれば、複数の観測手段のそれぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能になる。このように複数の部位を観測可能な観測手段としては、例えば、２つの撮像装置によって構成されたものを用いることができる。
【００２８】
本発明において、前記観測手段の観測位置は装置において固定されていることが好ましい。
【００２９】
この発明によれば、観測手段による観測位置が装置において固定されていることにより、観測手段を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度を高めることができる。
【００３０】
本発明において、前記異なる２以上の平面姿勢は、前記被吐出物の表面の法線周りに約９０度回転させた２つの平面姿勢であることが好ましい。
【００３１】
この発明によれば、被吐出物に対して相互に直交する２方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００３２】
次に、本発明の別の液滴吐出装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出するための液滴吐出装置であって、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物に対して前記液状材料の液滴を吐出しながら移動する走査方向と、前記姿勢位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物の平面姿勢とを、異なる２以上の位置関係に設定可能に構成されてなり、第１の位置関係では第１の材料を吐出し、第２の位置関係では前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００３３】
この発明によれば、液滴吐出ヘッドが被吐出物に対して液状材料の液滴を吐出しながら移動する走査方向と、姿勢位置決め手段により位置決めされる被吐出物の平面姿勢とを、異なる２以上の位置関係に設定可能に構成されていることにより、被吐出物における液滴を着弾させるべき領域の配列態様に応じて、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの相対的な走査方向を２以上の方向の中から選択することが可能になるので、処理効率を高めることができる。また、液滴吐出ヘッドの走査方向を、被吐出物に対する異なる２以上の方向に変更することが可能になるので、一つの被吐出物に対して異なる２方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。
【００３４】
本発明において、前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記異なる２以上の位置関係において相互に異なる前記観測手段を用いるように構成されていることが好ましい。
【００３５】
この発明によれば、被吐出物が異なる平面姿勢にあるときに相互に異なる観測手段を用いるように構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になるため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高めることができる。
【００３６】
本発明において、前記観測手段は、前記被吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが好ましい。
【００３７】
この発明によれば、複数の観測手段のそれぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能になる。このように複数の部位を観測可能な観測手段としては、例えば、２つの撮像装置によって構成されたものを用いることができる。
【００３８】
本発明において、前記観測手段による観測位置は装置において固定されていることが好ましい。
【００３９】
この発明によれば、観測手段による観測位置が装置において固定されていることにより、観測手段を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度を高めることができる。
【００４０】
本発明において、前記異なる２以上の位置関係は、前記走査方向に対して前記平面姿勢を前記被吐出物の表面の法線周りに約９０度回転させた２つの位置関係であることが好ましい。
【００４１】
この発明によれば、被吐出物に対して相互に直交する２方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００４２】
次に、本発明のさらに別の液滴吐出装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜するための液滴吐出装置であって、前記液状材料を吐出する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドと被吐出物とを対向させた状態で前記被吐出物の表面に沿った方向に相対的に移動させる移動手段と、前記被吐出物の平面姿勢を位置決めする姿勢位置決め手段とを有し、前記液滴吐出ヘッドが前記被吐出物に対して前記液状材料の液滴を吐出しながら移動する走査方向を、処理途中において前記姿勢位置決め手段により位置決めされる前記被吐出物に対して異なる方向に変更可能に構成されてなり、前記第１方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第１方向と交差する前記第２方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００４３】
この発明によれば、処理途中において液滴吐出ヘッドの走査方向を被吐出物に対して異なる方向に変更可能に構成されていることにより、一つの被吐出物に対して異なる２方向に液滴吐出ヘッドを走査させて液滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。
【００４４】
本発明において、前記姿勢位置決め手段は、前記被吐出物の異なる部位を観測する複数の観測手段を有し、前記走査方向の変更の前後において相互に異なる前記観測手段を用いるように構成されていることが好ましい。
【００４５】
この発明によれば、被吐出物に対する走査方向が変更される前後において相互に異なる観測手段を用いるように構成されていることにより、観測範囲を広げなくても、或いは、観測手段を移動させなくても観測が可能になるため、装置を安価に構成できるとともに観測精度を高めることができる。
【００４６】
本発明において、前記観測手段は、前記被吐出物の複数の部位を観測可能に構成されていることが好ましい。
【００４７】
この発明によれば、複数の観測手段のそれぞれが被吐出物の複数の部位を観測することによって、被吐出物の平面姿勢を高精度に検出することが可能になる。このように複数の部位を観測可能な観測手段としては、例えば、２つの撮像装置によって構成されたものを用いることができる。
【００４８】
本発明において、前記観測手段による観測位置は装置において固定されていることが好ましい。
【００４９】
この発明によれば、観測手段による観測位置が装置において固定されていることにより、観測手段を移動させる移動機構などが不要になるので、観測精度を高めることができる。
【００５０】
本発明において、前記走査方向の変更角度は、前記被吐出物の表面の法線周りに約９０度の角度であることが好ましい。
【００５１】
この発明によれば、被吐出物に対して相互に直交する２方向に液滴吐出ヘッドを走査することが可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００５２】
本発明において、前記液状材料としては、前記被吐出物上にフィルタエレメントを成膜し得る液状フィルタ材料である場合、前記被吐出物上にＥＬ発光層を成膜し得る液状発光材料である場合などが挙げられる。これによって、表示装置を構成するカラーフィルタやＥＬ素子などにおいて、それらのカラー表示の態様を高品位化することができる。
【００５３】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、被吐出物に対して液状材料を吐出してフィルタエレメントを成膜する吐出成膜工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、第１の走査方向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第１吐出段階と、前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って前記被吐出物上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第２吐出段階とを有し、前記第１の走査方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２の走査方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００５４】
この発明によれば、カラーフィルタのフィルタエレメントを液状材料の液滴の吐出によって形成する場合に、異なる第１走査方向と第２走査方向の２つの走査方向に走査することによって、走査方向に起因して生ずる縞状の色ムラを低減することができる。
【００５５】
本発明において、前記第１吐出段階では、前記被吐出物の第１領域に対して第１の色相を呈する第１の前記フィルタエレメントが形成され、前記第２吐出段階では、前記被吐出物の前記第１領域とは異なる第２領域に対して前記第１の色相とは異なる第２の色相を呈する第２の前記フィルタエレメントが形成されることが好ましい。
【００５６】
この発明によれば、異なる色相のフィルタエレメントを異なる走査方向で形成することによって、色相間の色ムラの発生態様を相互に変えることができるので、全体としての色ムラを低減できる。
【００５７】
本発明において、３色の色相を呈する前記フィルタエレメントを形成し、前記液状材料の液滴の走査方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する前記フィルタエレメントと、他の２色の色相を呈する前記フィルタエレメントとを異なる吐出段階にて形成することが好ましい。
【００５８】
この発明によれば、最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する前記フィルタエレメントと、他の２色の色相を呈する前記フィルタエレメントとが相互に異なる走査方向で形成されることとなるので、走査方向の相違による色ムラの相違が相互に打ち消され易くなり、全体としての色ムラをさらに低減できる。
【００５９】
本発明において、前記フィルタエレメントは、前記第１吐出段階で吐出される液滴と、前記第２吐出段階で吐出される液滴とによって形成されることが好ましい。
【００６０】
この発明によれば、フィルタエレメントが異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成されるので、走査方向に起因するフィルタエレメント材料の量のばらつきを低減することができるため、走査方向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することができる。
【００６１】
本発明において、前記第１の走査方向と前記第２の走査方向とは、前記被吐出物の表面の法線周りに約９０度の角度を有する２つの方向であることが好ましい。
【００６２】
この発明によれば、被吐出物に対して相互に直交する２方向に走査しながら液滴を吐出させることが可能になるので、被吐出物に対する液滴吐出ヘッドの走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００６３】
次に、本発明のカラーフィルタを備えた表示装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜されてなるフィルタエレメントを有するカラーフィルタを備えた表示装置であって、前記カラーフィルタは、第１の走査方向に沿って連続して吐出された第１の材料の液滴と、前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って連続吐出された前記第１の材料とは異なる第２の材料の液滴と、によって構成されたものであることを特徴とする。
【００６４】
本発明によれば、異なる複数の走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴、すなわち、或る走査方向に沿って連続して吐出された液滴と、別の走査方向に沿って連続して吐出された液滴との混合によって形成されたカラーフィルタを備えているので、液滴の吐出時の走査方向によって生ずる縞状の色ムラを低減することができ、より高品位の像を表示することが可能になる。
【００６５】
本発明によれば、前記カラーフィルタは、相互に異なる走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴によって構成された、異なる色相を呈する複数種類のフィルタエレメントを有することが好ましい。
【００６６】
この発明によれば、異なる色相を呈する複数種類のフィルタエレメントが相互に異なる走査方向に沿って連続して吐出された液状材料の液滴によって構成されたものであるため、連続吐出される液滴の走査方向に起因して生ずる縞状の色ムラを低減することができる。
【００６７】
本発明において、３色の色相を呈する前記フィルタエレメントを有し、前記液状材料の液滴の走査方向に起因して最も大きな色ムラを生ずる色相を呈する前記フィルタエレメントと、他の２色の色相を呈する前記フィルタエレメントとが異なる走査方向に沿って連続形成されたものであることが好ましい。
【００６８】
この発明によれば、或る色相の最も大きな色ムラが他の２つの色相の色ムラと混合されることによって、全体として色ムラをさらに低減することが可能になる。
【００６９】
本発明において、異なる前記走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合により形成された前記フィルタエレメントを有することが好ましい。
【００７０】
この発明によれば、フィルタエレメントが異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成されているので、走査方向に起因するフィルタエレメント材料の量のばらつきを低減することができるため、走査方向に起因する縞状の色ムラをさらに低減することができる。
【００７１】
本発明において、異なる前記走査方向は、前記カラーフィルタの表面の法線周りに約９０度の角度を有する２つの方向であることが好ましい。
【００７２】
この発明によれば、相互に直交する２方向に走査しながら液滴を吐出させてカラーフィルタが形成されているので、液滴の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００７３】
本発明の表示装置としては、電気光学物質によって表示を可能にした電気光学装置が挙げられる。この電気光学装置としては、例えば、前記カラーフィルタと平面的に重なる液晶パネルを有する場合があり、また、前記カラーフィルタと平面的に重なるＥＬ発光層を有する場合もある。
【００７４】
次に、本発明の電子機器は、上記いずれかに記載のカラーフィルタを備えた表示装置を有するものである。本発明の電子機器としては、特に限定されるものではないが、例えば、携帯電話機などの携帯型情報端末、携帯型コンピュータ、電子腕時計などの携帯型電子機器であることが好ましい。
【００７５】
次に、本発明の表示装置の製造方法は、基材に対して液状材料を吐出して成膜する吐出成膜工程を有する表示装置の製造方法であって、第１の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第１吐出段階と、前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って前記基材上に前記液状材料の液滴を連続して吐出する第２吐出段階と、を有し、前記第１の走査方向に走査する際には第１の材料を吐出し、前記第２の走査方向に走査する際には前記第１の材料とは異なる第２の材料を吐出することを特徴とする。
【００７６】
この発明によれば、基材に対して異なる２つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行うことによって、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になる。特に、電気光学装置の製造方法として効果的である。
【００７７】
本発明において、前記液状材料の液滴によって表示ドットが形成されることが好ましい。
【００７８】
この発明によれば、走査方向に起因する表示ドットの材料ムラを低減することができるので、表示ムラを低減し、高品位の表示を行うことが可能になる。
【００７９】
本発明において、前記表示ドットが複数の液滴によって形成され、前記第１吐出段階では前記複数の液滴のうちの一部が吐出され、前記第２吐出段階では前記複数の液滴のうちの残部が吐出されることが好ましい。
【００８０】
この発明によれば、表示ドットが異なる走査方向で吐出された複数の液滴によって形成されるので、材料ムラをさらに低減することができるため、表示品位を更に高めることが可能になる。
【００８１】
本発明において、前記表示ドットは、ＥＬ発光層を有する場合がある。この場合、ＥＬ発光層を上記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ドットは、ＥＬ発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持する一対の電極とによって構成される場合がある。この場合には、ＥＬ発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうちのいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成される場合も含まれる。
【００８２】
本発明において、前記第１の走査方向と前記第２の走査方向とは、前記基材の表面の法線周りに約９０度の角度を有する２つの方向であることが好ましい。
【００８３】
この発明によれば、相互に直交する２つの走査方向に沿って走査しながら液滴を吐出することによって、全体の材料ムラを効果的に低減できる。
【００８４】
次に、本発明の表示装置は、被吐出物に対して液状材料を吐出して成膜されてなる表示ドットを備えた表示装置であって、前記表示ドットは、第１の走査方向に沿って連続して吐出された第１の材料の液滴と、前記第１の走査方向と交差する第２の走査方向に沿って連続吐出された前記第１の材料とは異なる第２の材料の液滴と、によって構成されたものであることを特徴とする。
【００８５】
この発明によれば、基材に対して異なる２つの走査方向に走査しながら液滴を吐出して成膜を行うことによって表示ドットが形成されるので、液滴吐出時の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを低減することが可能になり、表示品位を高めることが可能になる。特に、液晶装置やＥＬ装置などの電気光学装置である場合に効果的である。
【００８６】
本発明において、異なる前記走査方向に沿って連続して吐出された前記液状材料の液滴の混合により形成された前記表示ドットを有することが好ましい。
【００８７】
この発明によれば、表示ドットが異なる走査方向にて吐出された複数の液滴によって形成されているので、走査方向に起因する材料の量のばらつきを低減することができるため、走査方向に起因する縞状の表示ムラをさらに低減することができる。
【００８８】
本発明において、前記表示ドットは、ＥＬ発光層を有する場合がある。この場合、ＥＬ発光層を上記液滴によって形成することが好ましい。また、表示ドットは、ＥＬ発光層、正孔輸送層、及びこれらを挟持する一対の電極とによって構成される場合がある。この場合には、ＥＬ発光層、正孔輸送層及び一対の電極のうちのいずれか少なくとも一つが上記液滴によって形成される場合も含まれる。
【００８９】
本発明において、異なる前記走査方向は、前記カラーフィルタの表面の法線周りに約９０度の角度を有する２つの方向であることが好ましい。
【００９０】
この発明によれば、相互に直交する２方向に走査しながら液滴を吐出させることにより表示ドットが形成されているので、液滴の走査方向に起因して生ずる縞状の材料ムラを最も効果的に低減できる。
【００９１】
次に、本発明の電子機器は、上記のいずれかに記載の表示装置を有するものである。本発明の電子機器としては、特に限定されるものではないが、例えば、携帯電話機などの携帯型情報端末、携帯型コンピュータ、電子腕時計などの携帯型電子機器であることが好ましい。
【００９２】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを備えた表示装置、表示装置の製造方法、表示装置、及び、電子機器の実施形態について詳細に説明する。
【００９３】
［液滴吐出装置］
まず、本発明に係る成膜装置及び液滴吐出装置の実施形態について説明する。この実施形態の液滴吐出装置１６は、図８に示すように、液滴吐出ヘッドの一例としてプリンタなどで用いられるインクジェットヘッドなどで構成される液滴吐出手段である液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、マザー基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２をマザー基板１２に対して走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２をマザー基板１２に対して走査方向と交差（直交）する送り方向Ｙに送る送り駆動装置２１と、マザー基板１２を液滴吐出装置１６内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、この液滴吐出装置１６の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有する。
【００９４】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１４によって覆われる。ここで、ヘッド位置制御装置１７、走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１は移動手段を構成する。
【００９５】
液滴吐出ヘッド２２は、例えば、図１０に示すように、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する。ノズル２７の数は例えば１８０であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッチｔは例えば１４１μｍである。図１０に示す短辺方向Ｍは液滴吐出ヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。
【００９６】
液滴吐出ヘッド２２は、例えば、図１２（ａ）及び（ｂ）に示すように、ステンレス等で構成されるノズルプレート２９と、これに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材２３とを有する。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材３２によって複数のインク室３３と液溜り３４とが形成される。これらのインク室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００９７】
振動板３１の適所にはインク供給孔３６が形成されている。このインク供給孔３６にはインク供給装置３７が接続される。インク供給装置３７は、Ｒ，Ｇ，Ｂのうちの一色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料Ｍをインク供給孔３６へ供給する。このように供給されたフィルタエレメント材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通ってインク室３３に充満する。
【００９８】
ノズルプレート２９には、インク室３３からフィルタエレメント材料Ｍをジェット状に噴出するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１のインク室３３に臨む面の裏面には、このインク室３３に対応させてインク加圧体３９が取り付けられている。このインク加圧体３９は、図１２（ｂ）に示すように、圧電素子４１並びにこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これによりインク室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当するフィルタエレメント材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通ってインク室３３へ流入する。
【００９９】
その後、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に戻り、これにより、インク室３３も元の容積に戻るため、インク室３３の内部にあるフィルタエレメント材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７からフィルタエレメント材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥インク層４３が設けられる。
【０１００】
次に、図９を参照して、上記の液滴吐出ヘッド２２の周囲に配置された、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、その他の手段について説明する。ヘッド位置制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられた液滴吐出ヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘと平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
【０１０１】
また、基板位置制御装置１８は、マザー基板１２を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイドレール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。
【０１０２】
さらに、送り駆動装置１９は、送り方向Ｙへ伸びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【０１０３】
Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法によって実現することができる。
【０１０４】
上記テーブル４９には、マザー基板１２の平面位置を規制する位置決めピン５０ａ，５０ｂが設けられている。マザー基板１２は、後述する基板供給装置２３によって位置決めピン５０ａ，５０ｂに走査方向Ｘ側及び送り方向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持される。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持されたマザー基板１２を固定するための、例えば空気吸引（真空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望ましい。
【０１０５】
本実施形態の液滴吐出装置１６においては、図９に示すように、テーブル４９の上方に複数組（図示例では２組）の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌが配置されている。ここで、撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌは、図９において鏡筒のみを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。これらの観察手段である撮像装置としては、ＣＣＤカメラ等を用いることができる。なお、図８には、これらの撮像装置について図示を省略してある。
【０１０６】
ここで、本実施形態における上記撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌの構成についてより詳細に説明する。図２２（ａ）及び（ｂ）は、テーブル４９上にマザー基板１２を位置決め保持した状態を示す平面図である。テーブル４９上には、図２２（ａ）に示すようにマザー基板１２をその長手方向Ｌが装置の走査方向Ｘに合致する平面姿勢で保持することもでき、また、図２２（ｂ）に示すようにマザー基板１２をその長手方向Ｌが送り方向Ｙに合致する平面姿勢で保持することもできるように構成されている。ここで、図示例では、位置決めピン５０ａがマザー基板１２の平面姿勢に応じて図示左右に移動するように構成され、位置決めピン５０ｂはテーブル４９に対して固定されている。ただし、位置決めピン５０ａ，５０ｂはいずれも、５０ｂのようにテーブル４９に対して固定されたものであっても、５０ａのように移動可能に構成されたものであっても構わない。
【０１０７】
マザー基板１２には、その周縁部に２組合計４つのアライメントマーク１２ａｒ，１２ａｌ及び１２ｂｒ，１２ｂｌが予め形成されている。ここで、アライメントマーク１２ａｒ，１２ａｌは、マザー基板１２の長手方向Ｌの両端にそれぞれ形成されている。また、アライメントマーク１２ｂｒ，１２ｂｌは、マザー基板１２の短辺の伸びる方向、すなわち短辺方向Ｍの両端にそれぞれ形成されている。図２２（ａ）に示すように、マザー基板１２がその長手方向Ｌを走査方向Ｘに合わせた状態でテーブル４９上に保持されている状態では、上記撮像装置９１Ｒ，９１Ｌはアライメントマーク１２ａｒ，１２ａｌをそれぞれ撮影できるようになっている。また、図２２（ｂ）に示すように、マザー基板１２がその長手方向Ｌを送り方向Ｙに合わせた状態でテーブル４９上に保持されている状態では、上記撮像装置９２Ｒ，９２Ｌは、アライメントマーク１２ｂｒ，１２ｂｌをそれぞれ撮影することができるようになっている。
【０１０８】
上記の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ及び９２Ｒ，９２Ｌはいずれも液滴吐出装置１６の固定部分（例えばベース９）に対して直接若しくは間接的に固定されている。そして、これらの固定された撮像装置を用いてマザー基板１２を観察することによって、テーブル４９上のマザー基板１２の位置を正確に検出することができるように構成されている。
【０１０９】
再び図８に戻って説明を続ける。図８に示す基板供給装置２３は、マザー基板１２を収容する基板収容部５７と、マザー基板１２を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによってマザー基板１２を吸着保持することができるように構成されている。
【０１１０】
また、図８に示すように、上記液滴吐出ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６は液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図１０参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７から吐出されるインクの液滴８の重量をノズル毎に測定する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
【０１１１】
図８に示すコントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有する。コンピュータ本体部６６には、図１４に示すＣＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶するメモリである情報記録媒体７１とを備えている。
【０１１２】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１（図１２（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、図１４に示すように、入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピング装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【０１１３】
情報記録媒体７１としてのメモリは、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読み取り装置、ディスク型記録媒体などといった外部記憶装置などを含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置１６の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、液滴吐出ヘッド２２によるインクのマザー基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図９における送り方向Ｙへのマザー基板１２の送り移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
【０１１４】
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体７１であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板１２の表面の所定位置に、インクを吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部としては、図１４に示すように、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部、電子天秤７８を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部、及び、液滴吐出によってインクをマザー基板１２の表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための描画演算部を有する。
【０１１５】
上記描画演算部には、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部、マザー基板１２を送り方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部、液滴吐出ヘッド２２内の複数のノズル２７のうちのいずれを作動させてインクを吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部などといった各種の機能演算部を有する。
【０１１６】
なお、上記実施形態では、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現しているが、上述の各機能を、ＣＰＵを用いない電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いても構わない。
【０１１７】
次に、上記構成からなる液滴吐出装置１６の動作を、図１５に示すフローチャートに基づいて説明する。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置１６が作動すると、最初にステップＳ１において初期設定が実現される。具体的には、ヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決められた初期状態にセットされる。
【０１１８】
次に、重量測定タイミングが到来（ステップＳ２）すると、図９に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によって図８に示す電子天秤７８の所まで移動させる（ステップＳ３）。そして、ノズル２７から吐出されるインクの量を、電子天秤７８を用いて測定する（ステップＳ４）。さらに、このように測定されたノズル２７のインク吐出特性に合わせて、各ノズル２７の圧電素子４１に印加する電圧を調節する（ステップＳ５）。
【０１１９】
この後、クリーニングタイミングが到来（ステップＳ６）すれば、ヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動させ（ステップＳ７）、そのクリーニング装置７７によって液滴吐出ヘッド２２をクリーニングする（ステップＳ８）。
【０１２０】
重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニングが終了した場合には、ステップ９において図８に示す基板供給装置２３を作動させてマザー基板１２をテーブル４９へ供給する。具体的には、基板収容部５７内のマザー基板１２を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させてマザー基板１２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決めピン５０ａ，５０ｂ（図９参照）に押し付ける。なお、テーブル４９上におけるマザー基板１２の位置ずれを防止するため、空気吸引（真空吸着）などの手段によってマザー基板１２をテーブル４９に固定することが望ましい。
【０１２１】
次に、図９に示す撮像装置９１Ｒ，９１Ｌによってマザー基板１２を観察しながら、θモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル４９を平面（水平面）内にて回転させ、マザー基板１２を位置決めする（ステップＳ１０）。より具体的には、マザー基板１２の左右両端にそれぞれ形成されたアライメントマーク１２ａｒ，１２ａｌ，１２ｂｒ，１２ｂｌを、図９に示す上記一対の撮像装置９１Ｒ，９１Ｌ又は９２Ｒ，９２Ｌによってそれぞれ撮影し、これらのアライメントマークの撮像位置によってマザー基板１２の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテーブル４９を回転させて角度θを調整する。
【０１２２】
この後、図８に示すヘッド用カメラ８１によってマザー基板１２を観察しながら、液滴吐出ヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定する（ステップＳ１１）。そして、走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１を適宜に作動させて、液滴吐出ヘッド２２を描画開始位置へ移動させる（ステップＳ１２）。
【０１２３】
このとき、液滴吐出ヘッド２２は、図１０に示す基準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにしてもよく、或いは、基準方向Ｓが図１及び図２に示すように走査方向に対して角度φ１，φ２で傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この角度φ１，φ２は、ノズル２７のピッチと、マザー基板１２の表面上においてインクを着弾させるべき位置のピッチとが異なる場合が多く、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるときに、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り方向Ｙの寸法成分がマザー基板１２の送り方向Ｙの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【０１２４】
図１５に示すステップＳ１２で液滴吐出ヘッド２２が描画開始位置に置かれると、ステップＳ１３において液滴吐出ヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７からインクの液滴がマザー基板１２の表面上へ連続的に吐出される。
【０１２５】
なお、このときのインクの液滴の吐出量は、一度の走査によって液滴吐出ヘッド２２がカバーすることのできる吐出範囲において全量が吐出されるように設定されていてもよいが、例えば、図３及び図４を参照して後述するように、一度の走査によって本来吐出されるべき量の数分の一（例えば４分の一）のインクを吐出するように構成し、液滴吐出ヘッド２２を複数回走査する場合に、その走査範囲が送り方向Ｙに相互に部分的に重なるように設定し、全ての領域において数回（例えば４回）インクの吐出が行われるように構成してもよい。
【０１２６】
液滴吐出ヘッド２２は、マザー基板１２に対する１ライン分の走査が終了（ステップＳ１４）すると、反転移動して初期位置へと復帰し（ステップＳ１５）、送り方向Ｙに所定量（設定された送り移動量だけ）移動する（ステップＳ１６）。その度、ステップＳ１３で再び走査され、インクが吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、図２を参照して後述するように、１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに所定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというように、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよい。
【０１２７】
ここで、後述するように、マザー基板１２内に複数のカラーフィルタが形成される場合について説明すると、マザー基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について全てインクの吐出が完了する（ステップＳ１７）と、液滴吐出ヘッド２２は所定量送り方向Ｙに移動し、再び上記と同様にステップＳ１３乃至Ｓ１６の動作を繰り返す。そして、最終的にマザー基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対してインクの吐出が終了する（ステップＳ１８）と、ステップＳ２０において基板供給装置２３又は別の搬出機構によって、処理後のマザー基板１２が外部へ排出される。その後、オペレータから作業終了の指示がない限り、上記のようにマザー基板１２の供給と、インク吐出作業を繰り返し行う。
【０１２８】
オペレータから作業終了の指示がある（ステップＳ２１）と、ＣＰＵ６９は図８において液滴吐出ヘッド２２をキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャッピング装置７６によって液滴吐出ヘッド２２に対してキャッピング処理を施す（ステップＳ２２）。
【０１２９】
以上のように構成された液滴吐出装置１６においては、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘに走査しながらインクの液滴を連続して吐出させ、この走査を送り方向Ｙへの移動を介して繰り返し行うことにより、マザー基板１２の全表面上にインクを着弾させることができるようになっている。本実施形態では、図２２（ａ）に示すようにマザー基板１２をテーブル４９上に配置して、撮像装置９１Ｒ，９１Ｌによるアライメントマーク１２ａｒ，１２ａｌの撮影によってマザー基板１２の位置決めを行うことができるとともに、図２２（ｂ）に示すようにマザー基板１２を異なる平面姿勢（基板表面の法線周りに９０度回転させた姿勢）でテーブル４９上に配置して、撮像装置９２Ｒ，９２Ｌによるアライメントマーク１２ｂｒ，１２ｂｌの撮影によってマザー基板１２の位置決めを行うこともできるので、マザー基板１２に対する走査方向Ｘを異なる２方向（相互に直交する２方向）に設定して処理を行うことが可能になっている。
【０１３０】
一般に、インクを着弾すべき位置の配列態様が異なるマザー基板１２が液滴吐出装置１６に供給されることが想定される。例えば、図２２に示すように、マザー基板１２に複数の単位領域１１が配列される場合、製品の機種毎に単位領域１１の大きさやドット配列のパターンの相違が存在し、また、単位領域１１の取り数をなるべく多くして生産性を高めるために、単位領域１１の配列態様もまた異なる場合がある。したがって、図２２のように単位領域１１が配列されたマザー基板１２の場合には、図２２（ａ）に示すようにマザー基板１２の長手方向Ｌを液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘと一致させることが効率的に処理を行うために都合がよいとしても、図２３に示すように、別の単位領域１１'が配列されているマザー基板１２'の場合、或いは、マザー基板において単位領域１１が図２２とは異なる姿勢で配列されている場合などにおいては、図２３（ａ）に示すように、マザー基板１２の長手方向Ｌを送り方向Ｙに一致させることが効率的に処理を行うために都合が良いこともある。
【０１３１】
したがって、本実施形態の液滴吐出装置１６によれば、図２２及び図２３に示すようにマザー基板１２を異なる２方向（図示例では直交する２方向）のいずれの平面姿勢でも処理を行うことができるように構成されているので、インクの着弾させるべき位置の配列態様に適合した平面姿勢でマザー基板１２をテーブル４９上に設置することができ、その結果、被吐出物であるマザー基板１２の態様に応じて、効率的に処理を行うことが可能になる。
【０１３２】
なお、上記実施形態では、テーブル４９上にマザー基板１２を配置するために基板供給装置２３を用いているので、テーブル４９上のマザー基板１２の平面姿勢を図２２及び図２３に示すように異なる２方向のいずれかに設定するためには、基板供給装置２３による供給姿勢を変えて対応することができる。ただし、テーブル４９の回転機構を用いてテーブル４９を例えば９０度回転させることができるように構成し、テーブル４９上にマザー基板１２が供給された後に、テーブル４９を回転させてマザー基板１２の平面姿勢を変更するか否かを選択するようにしても構わない。
【０１３３】
ところで、液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８を形成する複数のノズル２７のインク吐出量の分布が不均一になること、例えば、ノズル列２８の両端部に存在する数個（例えば１０個ずつ）のノズル２７が特にインク吐出量が多くなることは、図５６に関連して説明した通りである。このように、インク吐出量が他のノズル２７に較べて多いノズル２７を使用することは、インク吐出によって形成される膜厚を均一にするために好ましくない。したがって、例えば、図１３に示すように、ノズル列２８を形成する複数のノズル２７のうち、ノズル列２８の両端部Ｅに存在する数個、例えば１０個程度、は予めインクを吐出しないものと設定しておき、残りの部分Ｆに存在するノズル２７を用いることが望ましい。
【０１３４】
また、液滴吐出ヘッド２２の吐出する液滴の一滴で所定領域に成膜を行うのではなく、複数の液滴によって成膜を行うようにすることによって、形成された膜の厚さのばらつきを低減できる。すなわち、複数の領域毎に成膜を行う場合、個々の液滴の量に或る程度のばらつきが存在しても、複数の液滴によって一つの領域の成膜を行うことによって、各領域に形成される膜の厚さのばらつきが低減される。
【０１３５】
液滴吐出ヘッド２２の構造としては、上記のものに限らず、種々の構造のものを用いることができる。例えば、図１１に示す液滴吐出ヘッド２２Ａは、基準方向Ｓに配置された２列のノズル列２８，２８を備えている。これらのいずれのノズル列２８にも、上記と同様に複数のノズル２７が含まれる。また、図１６に示す液滴吐出ヘッド２２Ｂは、基準方向Ｓに配列された３列のノズル列２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂを備えている。これらのいずれの液滴吐出ヘッド２２Ａ，２２Ｂでも、各ノズル列２８のノズル２７から吐出される液滴の材料を同じものとすることもでき、相互に異なるものとすることもできる。例えば、図１１に示す液滴吐出ヘッド２２Ａは２つのノズル列２８のいずれの列のノズル２７からも同じインクが吐出されるように構成されており、図１６に示す液滴吐出ヘッド２２Ｂでは、各ノズル列２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂのノズル２７から吐出されるインクが相互に異なるものであり、例えば、後述するフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂとなるように用いられる。
【０１３６】
［カラーフィルタ及びその製造方法］
次に、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の実施形態について説明する。この実施形態では、カラーフィルタを上記液滴吐出装置１６を用いて行う例について説明するが、本発明のカラーフィルタの製造方法は、用いる装置構造によって限定されるものではない。
【０１３７】
図５（ａ）はカラーフィルタの１つの実施形態の平面構造を模式的に示すものである。また、図６（ｄ）は、図５（ａ）のVI−VI線に沿った断面構造を示すものである。
【０１３８】
本実施形態のカラーフィルタ１は、ガラスやプラスチックなどによって形成された方形状の基板（基材）２の表面に、複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、図示例ではドットマトリクス状に形成している。さらに、カラーフィルタ１は、図６（ｄ）に示すように、フィルタエレメント３の上に保護膜４が積層されている。なお、図５（ａ）は、保護膜４を取り除いた状態のカラーフィルタ１を平面的に示している。
【０１３９】
基板２の表面上に、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁６が形成され、この隔壁６により区画された方形状の領域を色材で埋めることによってフィルタエレメント３が形成される。また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色の色材によって形成され、それらの各色のフィルタエレメント３が所定の配列に並べられている。この配列としては、例えば、図７（ａ）に示すストライプ配列（マトリクスの縦列が全て同色になる配列）、図７（ｂ）に示すモザイク配列（縦横の直線状に並んだ任意の３つのフィルタエレメントがＲ，Ｇ，Ｂの３色となる配列）、図７（ｃ）に示すデルタ配列（フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３がＲ，Ｇ，Ｂとなる配列）などが挙げられる。なお、本発明における「隔壁」は、「バンク」の意味をも含む言葉として使われ、基板からほぼ垂直な角度の側面に限らず、或る程度の傾斜角を持った側面を有するものを含み、基板から見て凸になる部分を指す。
【０１４０】
なお、カラーフィルタ１の大きさは、例えば、約４．５７ｃｍ（１．８インチ）である。また、１個のフィルタエレメント３の大きさは、例えば、３０μｍ×１００μｍである。そして、隣接するフィルタエレメント３の間隔、すなわちエレメント間ピッチは、例えば、７５μｍである。
【０１４１】
本実施形態のカラーフィルタ１をカラー表示（フルカラー表示）のための光学要素として用いる場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂ３個のフィルタエレメント３を１つのユニットとして画素が構成され、１画素内のＲ，Ｇ，Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に透過させることにより、カラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁６はブラックマスクとして作用するように構成できる。
【０１４２】
上記のカラーフィルタ１は、例えば、図５（ｂ）に示すような基板である大面積のマザー基板１２から切り出される。具体的には、まず、マザー基板１２内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域（単位領域）１１のそれぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成する。そして、それらのカラーフィルタ形成領域１１の周りに分断用の溝を形成し、これらの溝に沿って応力を加えるなどの方法でマザー基板１２を分断（破断）させることにより、図５（ａ）に示す個々のカラーフィルタ１が形成される。
【０１４３】
次に、上述のカラーフィルタ１の製造方法について具体的に説明する。図６には、カラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式的に示してある。まず、マザー基板１２の表面に透光性のない樹脂材料によって隔壁６を矢印Ｂ方向から見て格子状のパターンに形成する。格子状パターンの格子穴の部分７は、フィルタエレメント３が形成される領域、すなわちフィルタエレメント形成領域である。この隔壁６によって画成される個々のフィルタエレメント形成領域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば３０μｍ×１００μｍ程度に形成される。
【０１４４】
隔壁６は、フィルタエレメント形成領域７に供給される液状体としてのフィルタエレメント材料１３の流動を阻止する機能及びブラックマスクの機能を併せて有する。また、隔壁６は任意のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィ法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。
【０１４５】
隔壁６の形成後、図６（ｂ）に示すように、フィルタエレメント材料１３の液滴８を各フィルタエレメント形成領域７に供給することにより、各フィルタエレメント形成領域７をフィルタエレメント材料１３で埋める。これは、例えば、上述の液滴吐出装置１６の液滴吐出ヘッド２２からインク（フィルタエレメント材料１３）の液滴８を吐出させ、フィルタエレメント形成領域７内に着弾させることによって行われる。図６（ｂ）において、符号１３ＲはＲ（赤）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、そして符号１３ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示し、符号１３ＢはＢ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料を示している。
【０１４６】
各フィルタエレメント形成領域７に所定量のフィルタエレメント材料１３が充填されると、ヒータによってマザー基板１２を例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料１３の溶媒を蒸発させる。この蒸発により、図６（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料１３の体積が減少し、平坦化する。体積の減少が著しい場合には、カラーフィルタ１として充分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料１３の液滴８の供給とその液滴８の加熱とを繰り返し実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料１３の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色のフィルタエレメント３が形成される。
【０１４７】
上記のようにフィルタエレメント３が形成された後に、各フィルタエレメント３を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート法、ディピング法、又は、インクジェット法などといった適宜の手法を用いて保護膜４を形成する。この保護膜４は、フィルタエレメント３などの保護及びカラーフィルタ１の表面の平坦化のために形成されるものである。なお、本実施形態では、隔壁６の樹脂を非透光性のものとしていて、遮光機能を有するもの（ブラックマトリクス）として構成しているが、隔壁６の樹脂に透光性のものを用いる代りに、当該樹脂の下層に当該樹脂よりも一回り広いサイズのＣｒなどの金属などからなる遮光層を形成してもよい。
【０１４８】
本実施形態においては、図６（ｂ）に示すようにフィルタエレメント材料１３をインクとして、上記液滴吐出装置１６によって各フィルタエレメント形成領域７にそのインクの液滴８を着弾させることにより、フィルタエレメント３を形成するようにしている。この場合、３色のフィルタエレメント３を形成するための３種のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを、全てマザー基板１２に対する同じ走査方向Ｘに液滴吐出ヘッド２２を走査させながら吐出していくと、上述のように液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７間における吐出量のばらつき、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７のインク吐出量の経時変化などによって、走査方向Ｘに縞状に色ムラが生ずる場合がある。
【０１４９】
そこで、本実施形態では、上記３色のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのうちのいずれか１色の材料を、他の色の材料とは異なる走査方向で液滴吐出ヘッド２２を走査させながら吐出させるようにしている。例えば、図２２（ａ）に示すように、上記３色の材料のうちの２色の材料（例えば１３Ｒ及び１３Ｇ）を、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘがマザー基板１２の長手方向Ｌと一致した状態で吐出させていき、図２２（ｂ）に示すように、残りの１色の材料（例えば１３Ｂ）を、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘがマザー基板１２の長手方向Ｌと直交する状態（すなわち送り方向Ｙがマザー基板１２の長手方向Ｌと一致する状態）で吐出させていく。また、逆に、図２３（ａ）に示すように、上記３色の材料のうちの２色の材料（例えば１３Ｒ及び１３Ｇ）を、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘがマザー基板１２の長手方向Ｌと直交する状態（すなわち送り方向Ｙがマザー基板１２の長手方向Ｌと一致する状態）で吐出させていき、図２３（ｂ）に示すように、残りの１色の材料（例えば１３Ｂ）を、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘがマザー基板１２の長手方向Ｌと一致した状態で吐出させていくようにしてもよい。
【０１５０】
上記のようにすると、３色のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのうちのいずれか一つの材料の吐出時の走査方向と、残りの材料の吐出時の走査方向とがマザー基板１２に対して相互に異なる（直交する）こととなるので、一つの材料による縞状の色ムラと、残りの材料による縞状の色ムラとが異なる方向に生ずるようになるため、カラーフィルタ１全体の色ムラを目立ち難くすることができ、実質的にムラを低減できる。
【０１５１】
図１乃至図４は、上記のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂを液滴吐出ヘッド２２のノズル２７からマザー基板１２に対して吐出していく場合の手順を示す説明図である。また、図２４は、上記手順にて処理を行う場合の製造装置の装置構成を模式的に示す概略構成図である。
【０１５２】
(処理態様１）
図２４に示すように、カラーフィルタを形成するための製造装置には、上述のものとそれぞれほぼ同様の液滴吐出装置１６で構成される第１段部１６Ｒ、第２段部１６Ｇ及び第３段部１６Ｂを有する。ただし、第１段部１６Ｒにのみ基板収容部５７が配置され、第２段部１６Ｇ及び第３段部には配置されていない。また、第１段部１６Ｒと第２段部１６Ｇとの間、第２段部１６Ｇと第３段部１６Ｂとの間、及び、第３段部１６Ｂの後段には、それぞれ基各段の液滴吐出装置においてマザー基板１２上に吐出され付着されたインク（フィルタエレメント材料）を仮乾燥させるためのホットプレートを有する仮乾燥装置９６が配置されている。また、各段部へマザー基板１２を供給するための基板移載機構５８と、前段の液滴吐出装置からマザー基板１２を取り出してその直後の仮乾燥装置９６へ移載する基板移載機構９５とが各段に対応してそれぞれ設けられている。さらに、第３段部１６Ｂの後段に配備された仮乾燥装置９６からマザー基板を取り出して基板収容部９８へと移載する基板排出機構９７も設けられている。
【０１５３】
この製造装置においては、第１段部１６ＲにおいてＲ（赤）のフィルタエレメント材料１３Ｒがマザー基板１２上に吐出されてから、仮乾燥装置９６にてフィルタエレメント材料１３Ｒが仮乾燥される。その後、第２段部１６ＧにおいてＧ（緑）のフィルタエレメント材料１３Ｇがマザー基板１２上に吐出され、やはり仮乾燥装置９６にて仮乾燥される。さらに、第３段部１６ＢにおいてＢ（青）のフィルタエレメント材料１３Ｂがマザー基板１２上に吐出され、仮乾燥装置９６にて仮乾燥される。そして、最終的にＲ，Ｇ，Ｂの全ての色についてフィルタエレメント３Ｒ，３Ｇ，３Ｂが形成された後に、基板収容部９８へ格納される。
【０１５４】
(処理態様１の詳細）
図１には、上記製造装置によってマザー基板１２に対して施される各段部１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂにおける処理態様の具体例を示す。なお、図１においては、図示の都合上、送り方向に移動していくときの液滴吐出ヘッド２２の位置を走査方向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査における走査開始位置が異なることを意味しない。
【０１５５】
マザー基板１２の各カラーフィルタ形成領域（単位領域）１１には、ドットマトリクス状にフィルタエレメント形成領域７が配列されている。マザー基板１２の長手方向Ｌと、短辺方向Ｍは図示のように設定されている。そして、上記フィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのうちの１色又は２色（例えば１３Ｒ、又は、１３Ｒ及び１３Ｇ）については、マザー基板１２の一端（図示左端）の外側位置（初期位置）から長手方向Ｌに沿って液滴吐出ヘッド２２を走査しながら連続して材料をインクとして吐出させ、その液滴を長手方向Ｌに沿って配列されたフィルタエレメント形成領域７に着弾させていく。そして、マザー基板１２の図示しない他端（図示右端側）まで液滴吐出ヘッド２２が到達すると、マザー基板１２の短辺方向Ｍに所定の送り移動量だけ移動し、再びマザー基板１２の一端の外側位置に移動する。そして、再び液滴吐出ヘッド２２は長手方向Ｌに沿って走査され、液滴を吐出していく。
【０１５６】
この場合、フィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの３色のうちの２色又は１色（例えば１３Ｇ及び１３Ｂ、又は、１３Ｂ）の材料については、上記とは逆に、液滴吐出ヘッド２２の初期位置をマザー基板１２の短辺方向Ｍの一端の外側位置とし、当該位置から液滴吐出ヘッド２２を短辺方向Ｍに走査しながら上記材料の液滴をマザー基板１２上に吐出していく。この場合、液滴吐出ヘッド２２の走査が終了した後には、液滴吐出ヘッド２２を長手方向Ｌに所定の送り移動量だけ移動させた後、短辺方向Ｍに沿って走査時とは逆方向に移動させて、再びマザー基板１２の短辺方向Ｍの一端の外側位置に復帰させる、という動作を繰り返す。これによって、３色のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのうちの少なくとも１色が他の色の材料と異なる（直交する）ヘッド走査方向で吐出されたものとなる。
【０１５７】
（処理態様１の詳細の変形例）
図２には、上記とは異なる態様の各段部１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂにおける処理態様１の他の例を示すものである。この場合においても、上記と同様に、フィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの３色のうちの一色又は２色の材料については、液滴吐出ヘッド２２の走査方向が上記長手方向Ｌと一致する態様で処理が行われ、残りの色の材料については、液滴吐出ヘッド２２の走査方向が上記短辺方向Ｍと一致する態様で処理が行われる。
【０１５８】
この場合に図１に示す方法と異なるのは、マザー基板１２の一端の外側位置から他端に向かう液滴吐出ヘッド２２の長手方向Ｌ又は短辺方向Ｍに沿った走査が終了し、マザー基板１２の他端の外側位置にて送り動作が行われた後、そのまま、マザー基板１２の他端の外側位置から走査方向（長手方向Ｌ又は短辺方向Ｍ）を前回とは逆向きにして液滴吐出ヘッド２２が走査され、液滴が吐出されるようになっていることである。このような動作を繰り返すことによって、液滴吐出ヘッド２２は、マザー基板１２上を交互に反対向きに走査していくので、液滴吐出ヘッド２２の復帰動作が不要となり、より効率的に処理を行っていくことができる。
【０１５９】
上述の図１及び図２に示す処理態様の詳細において、マザー基板１２におけるフィルタエレメント形成領域（単位領域）１１の形成ピッチが長手方向Ｌと短辺方向Ｍとで異なるということが一般的に起こり得る。このような場合には、同じ液滴吐出ヘッド２２を用いて長手方向Ｌへの走査を行う場合と、短辺方向Ｍへの走査を行う場合とでは、図１及び図２に示すように、液滴吐出ヘッド２２の基準方向Ｓと、走査方向Ｘ（図示例では長手方向Ｌ又は短辺方向Ｍと一致する。）との間の角度φ１，φ２を相互に変更すればよい。
【０１６０】
（処理態様１の詳細の別の変形例）
図３は、上記とは異なる液滴吐出ヘッド２２の走査態様を示す説明図である。なお、図３においては、図示の都合上、送り方向に移動していくときの液滴吐出ヘッド２２の位置を走査方向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査における走査開始位置が異なることを意味しない。この例においては、一つのフィルタエレメント形成領域７に対して液滴吐出ヘッド２２から吐出されるインク（フィルタエレメント材料）の液滴８をＮ滴（図示例では４滴）着弾させることによってフィルタエレメント３を形成することができるように、液滴吐出ヘッド２２から吐出される液滴８の量と、フィルタエレメント３の体積とが予め設定されている。
【０１６１】
この場合には、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘが短辺方向Ｍであるとき、液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８の幅Ｗｌに対して、各走査の間に行われる送り動作の送り移動量ΔＳｌ＝Ｗｌ／Ｎ（図示例ではＷｌ／４）とする。また、液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘが長辺方向Ｌであるとき、液滴吐出ヘッド２２のノズル列２８の幅Ｗｍに対して、各走査の間に行われる送り動作の送り移動量ΔＳｍ＝Ｗｍ／Ｎ（図示例ではＷｍ／４）とする。これによって、各走査によってフィルタエレメント形成領域７内に吐出されるフィルタエレメント材料の量は全量の１／Ｎ（図示例では１／４）であるが、各フィルタエレメント形成領域７についてＮ回（図示例では４回）ずつ液滴８が吐出されることになるので、各フィルタエレメント形成領域７において全量のフィルタエレメント材料が充填されることになる。
【０１６２】
なお、この例において、図２に示す例と同様に、液滴吐出ヘッド２２をマザー基板１２に対して往復走査させ、相互に逆向きに走査している際にも液滴８が吐出されるようにしてもよい。
【０１６３】
(処理態様２）
上記の処理態様１では、図２４に示すように、複数種類のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのそれぞれに対応する液滴吐出装置１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂを複数段設置し、例えばマザー基板１２の供給姿勢を変えることによって、少なくとも一段の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２２の走査方向が他の段のそれと異なるようにしている。しかし、本発明はこのような方法に限らず、例えば、一つの液滴吐出装置において、複数種類のフィルタエレメント材料を順次吐出させていくようにしてもよい。すなわち、同じ液滴吐出装置において、途中でマザー基板１２と液滴吐出ヘッドの走査方向との間の相対的な方向関係を変更するのである。この場合、途中で液滴吐出ヘッドの走査方向を変更することによって相対的な方向関係を変更する方法がある。この場合には、例えば、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）２２を図９に示す走査方向Ｘだけでなく、送り方向Ｙにも走査できるように構成すればよい。一方、途中でマザー基板１２の平面姿勢を変更することによって相対的な方向関係を変更する方法もある。本発明においては、いずれの方法を用いても構わないが、後者の方法については、図２５を参照して以下により具体的に説明する。
【０１６４】
図２５は、図８及び図９に示す液滴吐出装置１６におけるテーブル４９上にマザー基板１２が載置されている状態を示すものである。この実施形態の場合には、マザー基板１２の長手方向Ｌを走査方向Ｘに一致させた状態（図２５（ａ）及び（ｂ）に示す状態）と、マザー基板１２の短辺方向Ｍを走査方向Ｘに一致させた状態（図２５（ｃ）に示す状態）とを、テーブル４９を回転させることによって切り換えることができるようにしている。これによって、マザー基板１２に対して液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘを相対的に９０度回転させることが可能になる。
【０１６５】
例えば、まず、図８に示す基板供給装置２３によってマザー基板１２をテーブル４９上に供給する。このとき、図２５（ａ）に示すように、テーブル４９上に保持されたマザー基板１２の長手方向Ｌが液滴吐出装置１６の液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘに一致するようにマザー基板１２が供給される。そして、そのまま、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘに走査させながら、ノズル２７からフィルタエレメント材料１３Ｒの液滴を吐出させていく。そして、上記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すことにより、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領域７に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレメント３Ｒが形成される。
【０１６６】
次に、上記と同様の方法で、図２５（ｂ）に示すように、同じ状態において液滴吐出ヘッド２２からフィルタエレメント材料１３Ｇが吐出される。このとき、上記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すことにより、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領域７に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレメント３Ｇが形成される。
【０１６７】
その後、図２５（ｃ）に示すように、テーブル４９は９０度回転される。これによって、テーブル４９上のマザー基板１２は、その短辺方向Ｍが液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘに一致する平面姿勢で保持される。そして、この状態で、上記と同様にフィルタエレメント材料１３Ｂが液滴吐出ヘッド２２から吐出され、上記と同様に走査動作と送り動作とを繰り返すことにより、必要とされる全てのフィルタエレメント形成領域７に対して材料が充填され、それぞれにフィルタエレメント３Ｂが形成される。
【０１６８】
このとき、上記の液滴吐出ヘッド２２のように単一のフィルタエレメント材料を吐出することのできる液滴吐出ヘッドを用いる場合には、上記３種のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂをそれぞれ吐出可能な３つのインクジェットヘッドを用意し、それらを順次用いて上記２５（ａ）〜（ｃ）の３段階の処理を行うことができる。また、図１６に示す液滴吐出ヘッド２２Ｂでは、３つのインク供給装置３７Ｒ，３７Ｇ，３７Ｂからフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂが供給されるように構成され、これらの３種の材料が３列のノズル列２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂに属するノズル２７から吐出されるように構成されている。したがって、この液滴吐出ヘッド２２Ｂの場合には、一つでも上記の３段階の処理を実施することが可能になる。
【０１６９】
なお、この処理態様２に関する詳細については、上記処理態様１において図１乃至図３を参照して説明した各方法を同様に適用することができる。
【０１７０】
（処理態様３）
上記の図３を参照して説明した方法では、一つのフィルタエレメント形成領域７内に複数の液滴を吐出する方法について説明したが、この場合、上記のフィルタエレメント材料１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂの少なくともいずれか一つを吐出するときに、一つのフィルタエレメント形成領域７に吐出される複数の液滴のうち、一部の液滴を吐出する際のマザー基板１２に対する走査方向と、残りの液滴を吐出する際のマザー基板１２に対する走査方向とを変えることも可能である。このようにすると、一つのフィルタエレメント形成領域７内に複数の液滴を充填することによるインク量のばらつきの低減効果に加えて、走査方向に起因して生ずる色ムラの低減を図ることが可能になる。
【０１７１】
図２６は、上記のように一つのフィルタエレメント形成領域７内に複数の同一の材料で構成される液滴を吐出する場合の工程例を示すものである。例えば、図２６（ａ）に示すように、フィルタエレメント形成領域７に吐出されるＮ個（図示例では４個）の液滴８のうちの一部（図示例では２個）の液滴については、マザー基板１２の長手方向Ｌが走査方向Ｘに一致するようにマザー基板１２の平面姿勢を保持した状態で、インクジェットヘッドを走査しながら吐出される。一方、図２６（ｂ）に示すように、残り（図示例では２個）の液滴８については、マザー基板１２の短辺方向Ｍが走査方向Ｘに一致するようにマザー基板１２の平面姿勢を保持した状態で、インクジェットヘッドを走査しながら吐出される。
【０１７２】
このようにすると、各フィルタエレメント形成領域７において収容される液滴８の一部は残りに対して異なる走査方向でヘッド走査が行われながら吐出されたものであるので、走査方向に起因する材料のばらつきはさらに低減され、そこに形成されるフィルタエレメント３の縞状の色ムラも低減される。
【０１７３】
（処理態様３の詳細）
上記処理態様３より具体的な方法の詳細について、図４を参照して説明する。なお、図４においては、図示の都合上、送り方向に移動していくときの液滴吐出ヘッド２２の位置を走査方向にずらして示してあり、これらは、必ずしも各走査における走査開始位置が異なることを意味しない。この例では、図２６（ａ）に示す処理段階においては、液滴吐出ヘッド２２における短辺方向Ｍの幅成分Ｗｍに対して、送り移動量ΔＳｍ＝Ｗｍ／Ｉ（図示例ではＷｍ／２）とし、上記と同様の走査方向Ｘ（＝長手方向Ｌ）への走査動作と、送り方向Ｙ（＝短辺方向Ｍ）への送り動作とを繰り返して液滴８を吐出していく。また、図２６（ｂ）に示す処理段階においては、液滴吐出ヘッド２２における長手方向Ｌの幅成分Ｗｌに対して、送り移動量ΔＳｌ＝Ｗｌ／Ｋ（図示例ではＷｌ／２）とし、上記と同様の走査方向Ｘ（＝短辺方向Ｍ）への走査動作と、送り方向Ｙ（＝長手方向Ｌ）への送り動作とを繰り返して液滴８を吐出していく。ここで、一つのフィルタエレメント形成領域７に吐出すべき液滴８の数はＮ（図示例では４）であり、Ｎ＝Ｉ＋Ｋである。
【０１７４】
以上説明したカラーフィルタの製造方法においては、カラーフィルタを構成する複数の色相のうち、走査方向に起因して生ずる縞状の色ムラが最も目立ち易い色相だけを他の色相と異なる方向に走査しながら形成することが好ましい。これによって、他の色相の色ムラとの混合によって全体として認められる縞状の色ムラを低減することができる。例えば、上記Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の場合には、Ｂ（青）のフィルタエレメント３Ｂにおいて走査方向に起因する縞状の色ムラが最も強く表れるので、Ｂのフィルタエレメント３Ｂの形成時の液滴吐出ヘッドの走査方向を、他のＲ（赤）及びＧ（緑）のフィルタエレメント３Ｒ，３Ｇの形成時の液滴吐出ヘッドの走査方向と異なる方向（直交する方向）に設定することが望ましい。
【０１７５】
なお、上記の各処理態様は、カラーフィルタの製造に限定されることなく、後述するＥＬ装置の製造にも用いることができ、さらに、後述する種々の成膜方法及び成膜装置の構成としても採用することができる。また、上記の各処理態様においては、液滴吐出ヘッド２２をその吐出幅分だけ送りながら繰り返し走査していくものであるが、液滴吐出ヘッド２２に設けられた複数のノズル間の吐出量のばらつきに起因する成膜ムラを低減するために、液滴吐出ヘッド２２を上記吐出幅よりも小さい間隔で送りながら繰り返し走査を行う誤差分散方式を採用してもよい。この場合には、成膜ムラをさらに低減できる。
【０１７６】
［カラーフィルタを備えた表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
図１７は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）の製造方法の一例としての、液晶装置の製造方法の実施形態を示している。また、図１８は、当該製造方法によって製造される表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置の実施形態を示している。さらに、図１９は、図１８のIX−IX線に沿った液晶装置の断面構造を示している。最初に、液晶装置の一例の構造について図１８及び図１９を参照して説明する。なお、この液晶装置の一例は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置である。
【０１７７】
図１８に示すように、液晶装置１０１は、液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものである。液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６をバックライトとして設けることによって構成されている。
【０１７８】
液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わせることによって形成される。シール材１０８は、例えば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状（周回状）に付着することによって形成される。また、シール材１０８の内部には図１９に示すように導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が分散状態で含まれる。
【０１７９】
図１９に示すように、第１基板１０７ａは透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内側表面（図１９の上側表面）には反射膜１１２が形成されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図１８参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａの外側表面（図１９の下側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着される。
【０１８０】
図１８においては、第１電極１１４ａの配列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１上に形成されている。
【０１８１】
図１９に示すように、第２基板１０７ｂは透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内側表面（図１９の下側表面）にはカラーフィルタ１１８が形成され、その上に第２電極１１４が上記第１電極１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状（図１８参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの外側表面（図１９の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などによって装着されている。
【０１８２】
図１８においては、第２電極１１４ｂの配列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１上に形成されている。
【０１８３】
図１９に示すように、第１基板１０７ａ、第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶Ｌ、例えばＳＴＮ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されている。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これらのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することにより、そのセルギャップが均一に維持されるようになっている。
【０１８４】
第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは互いに直交する方向に伸びるように配設されている。それらが平面的に交差する部分は、図１９の矢印Ｄ方向から見てドットマトリクス状に配列されている。そして、そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドットを構成する。カラーフィルタ１１８は、Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の各色要素（フィルタエレメント）を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配列させることによって構成されている。上記の一つの表示ドットはＲ，Ｇ，Ｂのそれぞれ一つずつに対応している。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の表示ドットにより一つの画素（ピクセル）が構成されるようになっている。
【０１８５】
マトリクス状に配列される表示ドットを選択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効表示領域であり、図１８及び図１９において矢印Ｖによって示される。
【０１８６】
図１９に示すように、反射膜１１２はＡＰＣ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によって形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドットに対応する位置に開口１２１が形成されている。したがって、開口１２１は図１９の矢印Ｄから見て表示ドットと同様にマトリクス状に配列されている。
【０１８７】
第１電極１１４ａおよび第２電極１１４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ，１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜１１６ａ，１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。
【０１８８】
図１８に示すように、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材１０９（図１９参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用ＩＣ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成されている。
【０１８９】
このとき、第１電極１１４ａから伸びる引出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴＯによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ，１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例えば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ％の組成を有する合金である。
【０１９０】
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂは、ＡＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４ｅ，１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ，１１４ｄとが導電接続される。
【０１９１】
図１８において、ＦＰＣ１０４は、可撓性の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有する。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付けその他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ，Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０７ａのうち金属配線１１４ｅ，１１４ｆが形成された部分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属配線１１４ｅ，１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２７とが導通する。
【０１９２】
ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々に制御される。
【０１９３】
図１８に示す照明装置１０６は、図１９に示すように、アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有する。
【０１９４】
ＬＥＤ１３６はＬＥＤ基板１３７に支持され、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するための緩衝部材を示している。
【０１９５】
ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート１３３を通して外部へ平面光として出射される。
【０１９６】
以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図１９において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これを挟持する電極１１４ａ，１１４ｂによってＲ，Ｇ，Ｂの表示ドット毎に配向制御される。したがって、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調され、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行われる。
【０１９７】
他方、外部光の光量が充分に得られない場合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表示が行われる。
【０１９８】
上記構成の液晶装置１０１は、例えば、図１７に示す製造方法によって製造される。この製造方法においては、工程Ｐ１〜Ｐ６の一連の工程が第１基板１０７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４の一連の工程が第２基板１０７ｂを形成する工程である。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、それぞれが独自に行われる。
【０１９９】
まず、第１基板形成工程では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基板の表面に液晶パネル１０２の複数個分の反射膜１１２をフォトリソグラフィ法などを用いて形成する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を用いて成形する（工程Ｐ１）。次に、フォトリソグラフィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４ｃ，１１４ｄおよび金属配線１１４ｅ，１１４ｆを形成する（工程Ｐ２）。
【０２００】
この後、第１電極１１４ａの上に塗布、印刷などによって配向膜１１６ａを形成し（工程Ｐ３）、さらにその配向膜１１６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次に、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のスペーサ１１９を分散する（工程Ｐ６）以上により、液晶パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
【０２０１】
以上の第１基板形成工程とは別に、第２基板形成工程（図１７の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１１８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタ１１８の形成工程は図６に示した製造方法を用いて行われ、その製造方法中のＲ、Ｇ、Ｂの各色フィルタエレメントの形成は図８の液滴吐出装置１６を用いて図１乃至図４などに示した液滴吐出ヘッド２２の制御方法に従って実行される。これらカラーフィルタの製造方法および液滴吐出ヘッド２２の制御方法は既に説明した内容と同じであるので、それらの説明は省略する。
【０２０２】
図６（ｄ）に示すようにマザー基板１２すなわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ１すなわちカラーフィルタ１１８が形成されると、次に、フォトリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂが形成される（工程Ｐ１２）。さらに、塗布、印刷などによって配向膜１１６ｂが形成される（工程Ｐ１３）。次に、その配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
【０２０３】
以上により、大面積のマザー第１基板およびマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせした上で互いに貼り合わせる（工程Ｐ２１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。
【０２０４】
次に、完成した空のパネル構造体の所定の位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板をブレイク（破断）させることによって分断する（工程Ｐ２２）。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１０（図１８参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。
【０２０５】
その後、露出した液晶注入用開口１１０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入することによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口を通してパネルの内部へ導入される。その後、液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理を受ける。
【０２０６】
その後、液晶注入および洗浄が終わった後の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶パネル１０２が個々に切り出される（工程Ｐ２５）。こうして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図１８に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ，１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標とする液晶装置１０１が完成する（工程Ｐ２６）。
【０２０７】
以上に説明した液晶装置及びその製造方法は、特にカラーフィルタを製造する段階において、上述のカラーフィルタ及びその製造方法に記述された複数の方法のいずれかによって実施される。したがって、図５（ａ）に示すカラーフィルタ１と同様に、図１９に示すカラーフィルタ１１８を製造する場合には、フィルタエレメント材料の液滴の走査方向が相互に異なる複数（実施例では２つ）の方向で処理が行われ、その結果、個々のフィルタエレメントが形成される。したがって、上記と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラが低減されるため、液晶装置の表示品位が向上する。
【０２０８】
また、上記の図３及び図４に示す方法でカラーフィルタを製造する場合には、個々のフィルタエレメント３は、液滴吐出ヘッド２２の１回の走査によって形成されるのではなくて、複数回の走査によってＮ回（例えば４回）、重ねてインク吐出を受けることにより所定の膜厚に形成される。このため、仮に複数のノズル２７間においてインク吐出量にバラツキが存在する場合でも、複数のフィルタエレメント３間で膜厚にバラツキが生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラもさらに低減され、それ故、カラーフィルタの光透過特性を平面的に均一にすることができる。
【０２０９】
また、本実施形態の液晶装置及びその製造方法では、図８に示す液滴吐出装置１６を用いることにより液滴吐出ヘッド２２を用いたインク吐出によってフィルタエレメント３を形成するようにしているので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要がなく、また材料を浪費することもない。
【０２１０】
なお、上記実施形態では、表示装置として液晶パネルを備えた液晶装置について説明したが、上記と同様のカラーフィルタを備えた表示装置として、液晶装置以外の他の電気光学装置、例えば、ＥＬ素子、プラズマディスプレイパネルなどにカラーフィルタを設けたものに適用することも可能である。すなわち、例えばＥＬ素子の場合、ＥＬ発光機能を有する複数の表示ドットに対応するフィルタエレメントを備えたカラーフィルタを平面的に重ねることによって、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０２１１】
［ＥＬ素子を用いた表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
図２０は、本発明に係る表示装置（電気光学装置）及びその製造方法の一例としてのＥＬ装置及びその製造方法の実施形態を示している。また、図２１はその製造方法の主要工程および最終的に得られるＥＬ装置の主要断面構造を示している。図２１（ｄ）に示すように、ＥＬ装置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成し、各画素電極２０２間にバンク２０５を矢印Ｇ方向から見て格子状に形成する。それらの格子状凹部の中に、正孔注入層２２０を形成し、矢印Ｇ方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３ＧおよびＢ色発光層２０３Ｂを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極２１３を形成することによってＥＬ装置２０１が形成される。
【０２１２】
上記画素電極２０２をＴＦＤ（薄膜ダイオード）素子などといった２端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極２０２をＴＦＴ（薄膜トランジスタ）などといった３端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は単一な面電極として形成される。
【０２１３】
各画素電極２０２と各対向電極２１３とによって挟まれる領域が１つの表示ドットとなり、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の表示ドットが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。各表示ドットを流れる電流を制御することにより、複数の表示ドットのうちの希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に希望するフルカラー像を表示することができる。
【０２１４】
上記ＥＬ装置２０１は、例えば、図２０に示す製造方法によって製造される。すなわち、工程Ｐ５１および図２１（ａ）のように、透明基板２０４の表面にＴＦＤ素子やＴＦＴ素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、例えばフォトリソグラフィ法、真空状着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素電極２０２の材料としてはＩＴＯ、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
【０２１５】
次に、工程Ｐ５２および図２１（ａ）に示すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターンニング手法、例えばフォトリソグラフィ法を用いて形成し、このバンク２０５によって各透明な画素電極２０２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。バンク２０５の材料としては、ＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できるものであること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。
【０２１６】
次に、機能性液状体としての正孔注入層用インクを塗布する直前に、透明基板２０４に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う（工程Ｐ５３）。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
【０２１７】
次に、工程Ｐ５４および図２１（ａ）に示すように、正孔注入層用インクを図８の液滴吐出装置１６の液滴吐出ヘッド２２から吐出し、各画素電極２０２の上にパターニング塗布を行う。具体的な液滴吐出ヘッド２２の制御方法は、図１、図２、図３および図４に示した方法のいずれかの方法が用いられる。その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５５）。この後、大気中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用インクと相溶しない正孔注入層２２０を形成する（工程Ｐ５６）。上記条件では、膜厚は４０ｎｍであった。
【０２１８】
次に、工程Ｐ５７および図２１（ｂ）に示すように、各フィルタエレメント形成領域７内の正孔注入層２２０の上に液滴吐出手法を用いて機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用インクおよび機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＧ発光層用インクを塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図８の液滴吐出装置１６の液滴吐出ヘッド２２から吐出させる。液滴吐出ヘッド２２の制御方法は、図１乃至図４に示した方法のいずれかにおいて、上記カラーフィルタの各色相の代りにＥＬ発光材料の発光色を適用させた方法が用いられる。インクジェット方式によれば、微細なパターニングを簡便にかつ短時間に行うことができる。また、インク組成物の固形分濃度および吐出量を変えることにより膜厚を変えることが可能である。
【０２１９】
発光層用インクの塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去する（工程Ｐ５８）。続けて、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇを形成する（工程Ｐ５９）。上記条件による形成で膜厚は５０ｎｍとなった。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。
【０２２０】
なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機ＥＬ装置を提供できる。
【０２２１】
次に、工程Ｐ６０および図２１（ｃ）に示すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを各表示ドット内のＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇおよび正孔注入層２２０の上に重ねて形成した。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。
【０２２２】
以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様のインクジェット法を採用することもできる。
【０２２３】
その後、工程Ｐ６１および図２１（ｄ）に示すように、対向電極２１３を形成することにより、目標とするＥＬ装置２０１が製造される。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィ法などといったパターニング手法を用いて形成できる。
【０２２４】
以上説明したＥＬ装置２０１及びその製造方法によれば、インクジェットヘッドの制御方法として図１乃至図４に示したいずれかの制御方法を採用するので、上述と同様に走査方向に起因する縞状の色ムラを低減できる。また、図２１における各表示ドット内の正孔注入層２２０およびＲ、Ｇ、Ｂ各色発光層２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂは、１個の表示ドット内の正孔注入層および／または各色発光層は、インクジェットヘッド（図１参照）の１回の走査によって形成されるのではなく、複数の走査によってＮ回（例えば４回）のインク吐出を受けることにより所定の膜厚に形成される。このため、仮に複数のノズル２７間においてインク吐出量にバラツキが存在する場合でも、複数の表示ドット間で膜厚にバラツキが生じることを防止でき、上記の縞状の色ムラも低減できるから、ＥＬ装置２０１の発光面の発光分布特性を平面的に均一にすることができる。
【０２２５】
また、本実施形態のＥＬ装置及びその製造方法では、図８に示す液滴吐出装置１６を用いることにより、液滴吐出ヘッド２２を用いたインク吐出によってＲ、Ｇ、Ｂの各表示ドットを形成するので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要もなく、また材料を浪費することもない。
【０２２６】
［カラーフィルタの製造方法及び製造装置］
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法及び製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。まず、このカラーフィルタの製造装置の説明に先立って、製造されるカラーフィルタについて説明する。図３８はカラーフィルタを示す部分拡大図で、図３８（Ａ）は平面図であり、図３８（Ｂ）は図３８（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。なお、この図３８に示すカラーフィルタにおいて、図５に示す実施形態のカラーフィルタ１と同一の構成については、同一の符号を付して説明する。
【０２２７】
（カラーフィルタの構成）
図３８（Ａ）において、カラーフィルタ１は、マトリックス状に並んだ複数のフィルタエレメント３を備えている。これらフィルタエレメント３の境目は、隔壁６によって区切られている。フィルタエレメント３の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのインクである液状体としてのカラーフィルタ材料すなわちフィルタエレメント材料１３が導入されている。この図３８に示すカラーフィルタは、赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列として説明したが、上述したように、ストライプ配列やデルタ配列など、いずれの配置でも適用できる。
【０２２８】
カラーフィルタ１は、図３８（Ｂ）に示すように、透光性の基板２と、透光性の隔壁６とを備えている。この隔壁６が形成されていない、すなわち除去された部分は、上記フィルタエレメント３が配置されたフィルタエレメント形成領域７を構成する。隔壁６およびフィルタエレメント３の上面には、保護層である保護膜４および電極層５が形成されている。
【０２２９】
（カラーフィルタの製造装置の構成）
次に、上記カラーフィルタを製造する製造装置の構成について図面を参照して説明する。図２７は、本発明に係るカラーフィルタの製造装置を構成する液滴吐出装置を示す一部を切り欠いた斜視図である。カラーフィルタ製造装置は、電気光学装置としてのカラー液晶パネルを構成するカラーフィルタ１を製造する。このカラーフィルタ製造装置は、基本的に上記の液滴吐出装置１６と同様の基本機能を備えた液滴吐出装置を備えている。
【０２３０】
（液滴吐出装置の構成）
この製造装置は、図２７に示すような３台の液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂを有している。これら液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂは、液状体としてのインクすなわちカラーフィルタ材料である例えばＲ、Ｇ、Ｂのフィルタエレメント材料１３をマザー基板１２にそれぞれ吐出するＲ、Ｇ、Ｂの３色に対応している。なお、これら液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂは、略直列状に配置されて製造装置を構成する。また、各液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂには、各構成部材の動作を制御する図示しない制御装置が一体的に設けられている。
【０２３１】
なお、各液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂには、これら液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂにマザー基板１２を一枚ずつ搬入および搬出する図示しない搬送ロボットがそれぞれ接続される。また、各液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂには、マザー基板１２が例えば６枚収容可能で、マザー基板１２を熱処理、例えば１２０℃、５分間加熱して吐出されたフィルタエレメント材料１３を乾燥させる図示しない多段ベーク炉が接続されている。
【０２３２】
そして、各液滴吐出装置４０５Ｒ，４０５Ｇ，４０５Ｂは、図２７に示すように、中空箱状の本体ケースであるサーマルクリーンチャンバ４２２を有している。このサーマルクリーンチャンバ４２２内は、インクジェット方式による安定した良好な描画が得られるように、内部が例えば２０℃プラスマイナス０．５℃に調整されて外部から塵埃が侵入不可能に形成されている。このサーマルクリーンチャンバ４２２内には、液滴吐出処理本体４２３が配設されている。
【０２３３】
液滴吐出処理本体４２３は、図２７に示すように、Ｘ軸エアースライドテーブル４２４を有している。このＸ軸エアースライドテーブル４２４上には、図示しないリニアモータが配設された走査駆動装置４２５が配設されている。この走査駆動装置４２５は、マザー基板１２を例えば吸引により取付固定する図示しない台座部を有し、この台座部をマザー基板１２に対して走査方向Ｘに移動させる。
【０２３４】
液滴吐出処理本体４２３には、図２７に示すように、Ｘ軸エアースライドテーブル４２４の上方に位置して、Ｙ軸テーブルとしての送り駆動装置４２７が配設されている。この送り駆動装置４２７は、フィルタエレメント材料１３を例えば上下方向に沿って吐出させるヘッドユニット４２０をＹ軸方向であるマザー基板１２に対して送り方向に移動させる。なお、図２７において、ヘッドユニット４２０は、位置関係を明確化するために、空中に浮いた状態で実線により表示している。
【０２３５】
また、液滴吐出処理本体４２３には、インクジェットヘッド４２１の位置やマザー基板１２の位置を制御するために位置を認識する観察手段である図示しない各種カメラなどの撮像装置が配設されている。なお、ヘッドユニット４２０や台座部の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御の他、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現できる。上記撮像装置を含む種々の構成は、上記図８及び図９に示す液滴吐出装置と基本的に同様に構成されている。
【０２３６】
また、液滴吐出処理本体４２３には、図２７に示すように、ヘッドユニット４２０におけるフィルタエレメント材料１３を吐出する面を拭き取るワイピングユニット４８１が設けられている。このワイピングユニット４８１は、例えば布部材およびゴムシートが一体的に積層された図示しないワイピング部材の一端側を適宜巻き取り、順次新しい面でフィルタエレメント材料１３を吐出する面をワイピングする構成となっている。これにより、吐出面に付着したフィルタエレメント材料１３を除去し、後述するノズル４６６の目詰まりが起こらないようにしている。
【０２３７】
さらに、液滴吐出処理本体４２３には、図２７に示すように、インクシステム４８２が設けられている。このインクシステム４８２は、フィルタエレメント材料１３を貯留するインクタンク４８３、フィルタエレメント材料１３が流通可能な供給管４７８、および、インクタンク４８３から供給管４７８を介してフィルタエレメント材料１３をヘッドユニット４２０へ供給する図示しないポンプを有している。なお、図２７において、供給管４７８の配管は、模式的に示したもので、インクタンク４８３からヘッドユニット４２０の移動に影響しないように送り駆動装置４２７に配線され、ヘッドユニット４２０を走査する送り駆動装置４２７の上方からヘッドユニット４２０にフィルタエレメント材料１３を供給するようになっている。
【０２３８】
また、液滴吐出処理本体４２３には、ヘッドユニット４２０から吐出されるフィルタエレメント材料１３の吐出量を検出する重量測定ユニット４８５が設けられている。
【０２３９】
さらに、液滴吐出処理本体４２３には、例えば図示しない光センサを有しヘッドユニット４２０からのフィルタエレメント材料１３の吐出状態を検出するドット抜け検出ユニット４８７が一対の配設されている。このドット抜け検出ユニット４８７は、ヘッドユニット４２０から液滴が吐出される方向に対して交差する方向、例えばＸ軸方向、に沿って図示しない光センサの光源および受光部がヘッドユニット４２０から吐出された液滴８が通過する空間を挟んで対向するように配設されている。また、このドット抜け検出ユニット４８７は、ヘッドユニット４２０の搬送方向であるＹ軸方向側に配置され、フィルタエレメント材料１３を吐出するためにヘッドユニット４２０を送り移動させる毎に吐出状態を検出してドット抜けを検出するように構成されている。
【０２４０】
なお、詳しくは後述するが、ヘッドユニット４２０には、フィルタエレメント材料１３を吐出するヘッド装置４３３を２列に配置している。このため、ドット抜け検出ユニット４８７は、各ヘッド装置の各列毎に吐出状態を検出するために、一対設けられている。
【０２４１】
（ヘッドユニットの構成）
次に、ヘッドユニット４２０の構成について説明する。図２８は、液滴吐出装置に設けられたヘッドユニットを示す平面図である。図２９は、ヘッドユニットを示す側面図である。図３０は、ヘッドユニットを示す正面図である。図３１は、ヘッドユニットを示す断面図である。
【０２４２】
ヘッドユニット４２０は、図２８ないし図３１に示すように、ヘッド本体部４３０と、インク供給部４３１とを有している。また、ヘッド本体部４３０は、平板状のキャリッジ４２６と、このキャリッジ４２６に複数取り付けられた実質的に略同一形状のヘッド装置４３３とを有している。
【０２４３】
図３２はヘッドユニットに配設されたヘッド装置を示す分解斜視図である。ヘッド装置４３３は、図３２に示すように、短冊状のプリント基板４３５を有している。このプリント基板４３５には、各種電気部品４３６が実装され電気配線が設けられている。また、プリント基板４３５には、長手方向の一端側（図３２中右側）に位置して窓部４３７が貫通形成されている。さらに、プリント基板４３５には、インクであるフィルタエレメント材料１３が流通可能な流通路４３８が窓部４３７の両側に位置して設けられている。
【０２４４】
そして、このプリント基板４３５の一面側（図３２中下面側）には、長手方向の略一端側（図３２中右側）に位置してインクジェットヘッド４２１が取付部材４４０により一体的に取り付けられている。このインクジェットヘッド４２１は、長手矩形状に形成され、長手方向がプリント基板４３５の長手方向に沿う状態で取り付けられる。なお、各ヘッド装置４３３における各インクジェットヘッドは、実質的に略同一形状、すなわち例えば所定の規格の製品であって、所定の品質に選別されたものなどであればよい。具体的には、これらインクジェットヘッド４２１が同一個数のノズルを有し、ノズルの形成位置が互いに同一であることが、キャリッジに対してインクジェットヘッドを組み立てる際に効率的となり、また組立精度も高まる点で好ましい。さらに、同一の製造・組立工程を経て作られた製品を用いれば、特別な製品を作る必要が無くなり、低コストとすることができる。
【０２４５】
また、プリント基板４３５の他面側（図３２中上面側）には、長手方向の略他端側（図３２中左側）に位置してインクジェットヘッド４２１に電気配線にて電気的に接続されるコネクタ４４１が一体的に取り付けられている。これらコネクタ４４１には、図２７に模式的に示すように、ヘッドユニット４２０の移動に影響しないように送り駆動装置４２７に配線された電気配線（電源配線、信号配線を含む）４４２が接続される。この電気配線４４２は図示しない制御装置とヘッドユニット４２０を接続するものとなる。すなわち、これら電気配線４４２は、図２８および図３１に二点鎖線の矢印で模式的に示すように、送り駆動装置４２７からヘッドユニット４２０の２列のヘッド装置４３３の配列方向の両側であるヘッドユニット４２０の外周側に配線されてコネクタ４４１に接続され、電気ノイズが生じないようになっている。
【０２４６】
さらに、プリント基板４３５の他面側（図３２中上面側）には、長手方向の略一端側（図３２中右側）でインクジェットヘッド４２１に対応してインク導入部４４３が取り付けられている。このインク導入部４４３は、取付部材４４０に設けられプリント基板４３５を貫通する位置決めピン部４４４を嵌合する略円筒状の位置決め筒部４４５と、プリント基板４３５に係止する係止爪部４４６とを有している。
【０２４７】
また、インク導入部４４３には、先端先細り形状の略円筒状の連結部４４８が一対突設されている。これら連結部４４８は、プリント基板４３５側となる基端部にプリント基板４３５の流通路４３８に略液密に連通する図示しない開口を有し、先端部にフィルタエレメント材料１３が流通可能な図示しない孔を有している。
【０２４８】
さらに、これら連結部４４８には、図２９乃至図３１に示すように、先端側に位置してシール連結部４５０がそれぞれ取り付けられている。これらシール連結部４５０は、内周側に連結部４４８を略液密に嵌着する略円筒状に形成され、先端部にシール部材４４９が設けられている。
【０２４９】
図３３は、インクジェットヘッドを示す分解斜視図である。図３４はインクジェットヘッドのフィルタエレメント材料を吐出する動作をインクジェットヘッドの断面に対応して説明する模式図で、図３４（Ａ）はフィルタエレメント材料を吐出する前の状態、図３４（Ｂ）は圧電振動子を収縮させてフィルタエレメント材料を吐出している状態、図３４（Ｃ）はフィルタエレメント材料を吐出した直後の状態である。図３５は、インクジェットヘッドにおけるフィルタエレメント材料の吐出量を説明する説明図である。図３６は、インクジェットヘッドの配置状態を説明する概略的な模式図である。図３７は、図３６における部分拡大図である。
【０２５０】
インクジェットヘッド４２１は、図３３に示すように、略矩形状のホルダ４５１を有している。このホルダ４５１には、長手方向に沿って例えば１８０個のピエゾ素子などの圧電振動子４５２が２列設けられている。また、ホルダ４５１には、プリント基板４３５の流通路４３８に連通し長手方向の両側略中央にインクであるフィルタエレメント材料１３が流通する貫通孔４５３がそれぞれ設けられている。
【０２５１】
また、ホルダ４５１の圧電振動子４５２が位置する一面である上面には、図３３に示すように、合成樹脂にてシート状に形成された弾性板４５５が一体的に設けられている。この弾性板４５５には、貫通孔４５３に連続する連通孔４５６がそれぞれ設けられている。そして、弾性板４５５には、ホルダ４５１の上面略四隅に突設された位置決め爪部４５７に係合する係合孔４５８が設けられ、ホルダ４５１の上面に位置決めされて一体的に取り付けられている。
【０２５２】
さらに、弾性板４５５の上面には、平板状の流路形成板４６０が設けられている。この流路形成板４６０には、ホルダ４５１の幅方向に長手状で圧電振動子４５２に対応してホルダ４５１の長手方向に１８０個の直列状に２列設けられたノズル溝４６１と、ノズル溝４６１の一側にホルダの長手方向に長手状に設けられた開口部４６２と、弾性板４５５の連通孔４５６に連続する流通孔４６３とが設けられている。そして、弾性板４５５には、ホルダ４５１の上面略四隅に突設された位置決め爪部４５７に係合する係合孔４５８が設けられ、ホルダ４５１の上面に弾性板４５５とともに位置決めされて一体的に取り付けられている。
【０２５３】
また、流路形成板４６０の上面には、略平板状のノズルプレート４６５が設けられている。このノズルプレート４６５には、流路形成板４６０のノズル溝４６１に対応して略円形のノズル４６６がホルダ４５１の長手方向に１８０個で２５．４ｍｍ（１ｉｎｃｈ）の長さ範囲に直列状で２列設けられている。また、ノズルプレート４６５には、ホルダ４５１の上面略四隅に突設された位置決め爪部４５７に係合する係合孔４５８が設けられ、ホルダ４５１の上面に弾性板４５５および流路形成板４６０とともに位置決めされて一体的に取り付けられている。
【０２５４】
そして、積層する弾性板４５５、流路形成板４６０およびノズルプレート４６５により、図３４に模式的に示すように、流路形成板４６０の開口部４６２にて液リザーバ４６７が区画形成されるとともに、この液リザーバ４６７は各ノズル溝４６１に液供給路４６８を介して連続する。このことにより、インクジェットヘッド４２１は、圧電振動子４５２の動作により、ノズル溝４６１内の圧力が増大しノズルからフィルタエレメント材料１３を２〜１３ｐｌ例えば約１０ｐｌの液滴量で７ｍ／ｓプラスマイナス２ｍ／ｓで吐出する。すなわち、図３４に示すように、圧電振動子４５２に対して所定の印加電圧Ｖｈをパルス状に印加することで、図３４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に順次示すようにして、圧電振動子４５２を矢印Ｑ方向に適宜伸縮させることで、インクであるフィルタエレメント材料１３を加圧して所定量の液滴８でノズル４６６から吐出させる。
【０２５５】
また、このインクジェットヘッド４２１は、上記実施の形態でも説明したように、図３５に示す様な配列方向の両端部側の吐出量が多くなる吐出量のバラツキがある。このことから、例えば吐出量バラツキが５％以内となる範囲のノズル４６６すなわち両端部の１０個ずつのノズル４６６からはフィルタエレメント材料１３を吐出しないように制御される。
【０２５６】
そして、ヘッドユニット４２０を構成するヘッド本体部４３０は、図２７ないし図３１に示すように、インクジェットヘッド４２１を有したヘッド装置４３３が複数互いに並んで配置されて構成されている。このヘッド装置４３３のキャリッジ４２６における配置は、図３６に模式的に示すように、送り方向であるＹ軸方向よりもＹ軸方向と直交する走査方向であるＸ軸方向側に傾斜した方向にオフセットしながら配列される状態である。すなわち、送り方向であるＹ軸方向より若干傾斜した方向に例えば６個並べて配置され、この列が複数列例えば２列で配置されている。これは、インクジェットヘッド４２１よりもヘッド装置４３３の短辺方向の幅が広く、互いに隣接するインクジェットヘッド４２１同士の配置間隔を狭めることができない一方で、ノズル４６６の列がＹ軸方向に連続して配列されているようにしなければならない状況から考えられた配置の仕方である。
【０２５７】
さらに、ヘッド本体部４３０は、ヘッド装置４３３が、インクジェットヘッド４２１の長手方向がＸ軸方向に対して交差する方向に傾斜する状態で、かつコネクタ４４１が相対向方向と反対側に位置する状態で略点対称に配設されている。このヘッド装置４３３の傾斜する配置状態は、例えばインクジェットヘッド４２１の長手方向であるノズル４６６の配設方向がＸ軸方向に対して５７．１度傾斜する。
【０２５８】
また、ヘッド装置４３３は、略千鳥状すなわち配列方向に対して並列状態に位置しないように配置されている。すなわち、図２８ないし図３１および図３６に示すように、１２個のインクジェットヘッド４２１のノズル４６６がＹ軸方向に連続して配列されるように、インクジェットヘッド４２１は２列に配列され、かつそのＹ軸方向への配列順序が互い違いの交互に配置される。
【０２５９】
具体的には、図３６および図３７に基づいて、より詳細に説明する。ここで、インクジェットヘッド４２１は、長手方向であるノズル４６６の配列方向がＸ軸方向に対して傾斜する。このため、インクジェットヘッド４２１に設けられた２列のノズル４６６の一列目において、フィルタエレメント材料１３を吐出する１１個目のノズル４６６が位置するＸ軸方向の直線上で、２列目のノズル４６６の他方は吐出しない１０個以内の位置となる領域Ａがある（図３７中のＡ）。すなわち、１つのインクジェットヘッド４２１では、Ｘ軸方向での直線上に２個のノズル４６６が存在しない領域Ａが生じる。
【０２６０】
したがって、図３６および図３７に示すように、１つのインクジェットヘッド４２１でＸ軸方向の直線上に２個のノズル４６６が位置する領域Ｂ（図３７中のＢ）では、列をなすヘッド装置４３３はＸ軸方向で並列状態に位置させない。さらに、一方の列をなすヘッド装置４３３のＸ軸方向での直線上に１個しか位置しない領域Ａと、他方の列をなすヘッド装置４３３のＸ軸方向での直線上に１個しか位置しない領域Ａとは、Ｘ軸方向で互いに並列状態に位置させ、一方の列のインクジェットヘッド４２１と他方の列のインクジェットヘッド４２１とにてＸ軸方向の直線上に合計で２個のノズル４６６が位置する状態とする。すなわち、インクジェットヘッド４２１が配設されている領域においては、どの位置でもＸ軸方向の直線上に必ず合計２個のノズル４６６が位置するように千鳥状に配設する。なお、フィルタエレメント材料１３を吐出しないノズル４６６の領域Ｘは、このＸ軸方向の直線上における２個のノズル４６６の数として数えない。このように、走査されるＸ軸方向に対してインクを吐出するノズル４６６は２個が直線上に位置し、後述するように、この２個のノズル４６６から１つの箇所にインクが吐出されることになる。１つのノズル４６６からの吐出だけで１つのエレメントを構成すると、ノズル４６６間の吐出量のバラツキがエレメントの特性バラツキや歩留まり劣化に繋がるので、このように別々のノズル４６６からの吐出により１つのエレメントを形成すれば、ノズル４６６間の吐出のバラツキを分散し、エレメント間での特性の均一化および歩留まり向上を図ることができる。
【０２６１】
インク供給部４３１は、図２８ないし図３１に示すように、ヘッド本体部４３０の２列に対応してそれぞれ設けられた一対の平板状の取付板４７１と、これら取付板４７１に複数取り付けられた供給本体部４７２とを有している。そして、供給本体部４７２は、略細長円筒状の進退部４７４を有している。この進退部４７４は、取付治具４７３にて取付板４７１を貫通する状態で軸方向に沿って移動可能に取り付けられる。また、供給本体部４７２の進退部４７４は、例えばコイルスプリング４７５などにより取付板４７１からヘッド装置４３３に向けて進出する方向に付勢されて取り付けられる。なお、図２８において、説明の都合上、インク供給部４３１は、２列のヘッド装置４３３のうちの一方の列に対してのみ図示し、他はそれを省略して図示している。
【０２６２】
この進退部４７４のヘッド装置４３３に対向する側の端部には、フランジ部４７６が設けられている。このフランジ部４７６は、進退部４７４の外周縁に鍔状に突出し、端面がヘッド装置４３３のインク導入部４４３のシール部材４４９に、コイルスプリング４７５の付勢に抗して略液密に当接する。また、進退部４７４のフランジ部４７６が設けられた側と反対側の端部には、ジョイント部４７７が設けられている。このジョイント部４７７は、図２７に模式的に示すように、フィルタエレメント材料１３が流通する供給管４７８の一端が接続される。
【０２６３】
この供給管４７８は、上述したように、図２７に模式的に示すように、ヘッドユニット４２０の移動に影響しないように送り駆動装置４２７に配線され、図２８および図３０に一点鎖線の矢印で模式的に示すように、送り駆動装置４２７からヘッドユニット４２０上方より２列で配列されたインク供給部４３１の間の略中央に配管され、さらに放射状に配管されて先端がインク供給部４３１のジョイント部４７７に接続されて配管される。
【０２６４】
そして、インク供給部４３１は、供給管を介して流通するフィルタエレメント材料１３をヘッド装置４３３のインク導入部４４３に供給する。また、インク導入部４４３に供給されたフィルタエレメント材料１３はインクジェットヘッド４２１に供給され、電気制御されたインクジェットヘッド４２１の各ノズル４６６から適宜液滴８状に吐出される。
【０２６５】
（カラーフィルタ製造時の動作）
次に、上記実施の形態のカラーフィルタ製造装置を用いてカラーフィルタ１を形成する際の装置動作を図面を参照して説明する。図３９は上記カラーフィルタの製造装置を用いてカラーフィルタ１を製造する手順を説明する製造工程断面図である。
【０２６６】
まず、例えば膜厚寸法が０．７ｍｍ、縦寸法が３８ｃｍ、横寸法が３０ｃｍの無アルカリガラスの透明基板であるマザー基板１２の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１質量％添加した洗浄液で洗浄する。この洗浄後、純水でリンスして空気乾燥し、清浄表面を得る。このマザー基板１２の表面に、例えばスパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層６ａを得る（図３９中手順Ｓ１）。
【０２６７】
このマザー基板１２をホットプレート上で、８０℃で５分間乾燥させた後、金属層６ａの表面に、例えばスピンコートにより図示しないフォトレジスト層を形成する。このマザー基板１２の表面に、例えば所要のマトリックスパターン形状を描画した図示しないマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光する。次に、この露光したマザー基板１２を、例えば水酸化カリウムを８質量％の割合で含有するアルカリ現像液に浸漬し、未露光部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層６ａを、例えば塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして、所定のマトリックスパターンを有するブラックマトリックスである遮光層６ｂが得られる（図３９中手順Ｓ２）。なお、遮光層６ｂの膜厚はおおよそ０．２μｍで、遮光層６ｂの幅寸法はおおよそ２２μｍである。
【０２６８】
この遮光層６ｂが設けられたマザー基板１２上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物６ｃを例えばスピンコート法で塗布形成する（図３９中手順Ｓ３）。この感光性樹脂組成物６ｃを設けたマザー基板１２を１００℃で２０分間プレベークした後、所定のマトリックスパターン形状を描画した図示しないマスクフィルムを用いて紫外線露光する。そして、未露光部分の樹脂を、例えば上述したようなアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後にスピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを例えば２００℃で３０分間実施し、樹脂部分を十分に硬化させ、バンク層６ｄを形成する。このバンク層６ｄの膜厚は平均で約２．７μｍ、幅寸法は約１４μｍである。このバンク層６ｄと遮光層６ｂとにて隔壁６が形成される（図３９中手順Ｓ４）。
【０２６９】
上記得られた遮光層６ｂおよびバンク層６ｄで区画された着色層形成領域であるフィルタエレメント形成領域７（特にマザー基板１２の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプラズマ処理をする。具体的には、例えばヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ処理でエッチングスポットに形成し、マザー基板１２を形成したエッチングスポット下を通過させてエッチングし、マザー基板１２の前処理工程を実施する。
【０２７０】
次に、上述の前処理が実施されたマザー基板１２の隔壁６で区切られて形成されたフィルタエレメント形成領域７内に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各フィルタエレメント材料をインクジェット方式により導入、すなわち吐出する（図３９中手順Ｓ５）。
【０２７１】
このインクジェット方式によるフィルタエレメント材料の吐出に際しては、あらかじめヘッドユニット４２０を組立形成しておく。そして、液滴吐出装置の各液滴吐出装置４０５Ｒ、４０５Ｇ、４０５Ｂにおいて、各インクジェットヘッド４２１の１つのノズル４６６から吐出されるフィルタエレメント材料１３の吐出量が所定量、例えば１０ｐｌ程度となるように調整しておく。一方、マザー基板１２の一面に、あらかじめ隔壁６を格子状パターンに形成しておく。
【０２７２】
そして、上述したように前処理したマザー基板１２を、図示しない搬送ロボットにより、まずＲ色用の液滴吐出装置４０５Ｒ内に搬入し、液滴吐出装置４０５Ｒ内の台座部上に載置する。この台座部上に載置されたマザー基板１２は、例えば吸引により位置決め固定される。そして、マザー基板１２を保持した台座部は、各種カメラなどの撮像装置にてマザー基板１２の位置が確認され、適宜所定の位置となるように走査駆動装置４２５を制御して移動する。また、送り駆動装置４２７にてヘッドユニット４２０を適宜移動させ、その位置を認識する。この後、ヘッドユニット４２０を送り方向に移動させドット抜け検出ユニット４８７にて、ノズル４６６からの吐出状態を検出し、吐出不良を生じていないことを認識して初期位置に移動させる。
【０２７３】
この後、走査駆動装置４２５により可動される台座部に保持されたマザー基板１２をＸ方向に走査して、マザー基板１２に対して相対的にヘッドユニット４２０を移動させつつ、適宜インクジェットヘッド４２１の所定のノズル４６６から適宜フィルタエレメント材料１３を吐出させ、マザー基板１２の隔壁６にて区画された凹部内に充填する。このノズル４６６からの吐出は、図示しない制御装置により、図３７に示すノズル４６６の配設方向の両端部に位置する所定領域Ｘ、例えば両端１０個ずつのノズル４６６からはフィルタエレメント材料１３は吐出させない制御をし、中間部分に位置する比較的に吐出量が一様な１６０個から吐出させる。
【０２７４】
また、ノズル４６６からの吐出は、走査方向の直線上、すなわち走査ライン上に２つのノズル４６６が位置するので、移動中に１つの凹部に１ノズル４６６から２ドット、より詳しくは１ノズル４６６から１ドットとして２液滴８分を吐出させるので、計８液滴８分が吐出される。この１走査移動毎にドット抜け検出ユニット４８７より吐出状態を検出してドット抜けが生じていないか確認する。
【０２７５】
ドット抜けを認識しない場合、ヘッドユニット４２０を送り方向に所定量移動させ、再びマザー基板１２を保持する台座部を走査方向に移動させつつフィルタエレメント材料１３を吐出させる動作を繰り返し、所定のカラーフィルタ形成領域１１の所定のフィルタエレメント形成領域７にフィルタエレメント３を形成する。
【０２７６】
そして、Ｒ色のフィルタエレメント材料１３が吐出されたマザー基板１２は、図示しない搬送ロボットにより液滴吐出装置４０５Ｒから採り出され、図示しない多段ベーク炉にて、フィルタエレメント材料１３を例えば１２０℃で５分間乾燥させる。この乾燥後、搬送ロボットにより多段ベーク炉からマザー基板１２を採り出し、冷却しつつ搬送する。この後、液滴吐出装置４０５Ｒから順次Ｇ色用の液滴吐出装置４０５ＧおよびＢ色用の液滴吐出装置４０５Ｂに搬送し、Ｒ色の形成の場合と同様に、所定のフィルタエレメント形成領域７にＧ色およびＢ色のフィルタエレメント材料１３を順次吐出する。なお、この場合、上記と同様に、例えばマザー基板１２の供給姿勢を変えるなどの方法で、３色のフィルタエレメント材料のうち一色の材料が他の２色の材料とは異なる走査方向で走査される際に吐出されるようにする。そして、各３色のフィルタエレメント材料１３が吐出されて乾燥されたマザー基板１２を回収し、熱処理、すなわちフィルタエレメント材料１３を加熱により固化定着させる（図３９中手順Ｓ６）。
【０２７７】
この後、フィルタエレメント３が形成されたマザー基板１２の略全面に保護膜４を形成する。さらに、この保護膜４の上面にＩＴＯにて電極層５を所要パターンで形成する。この後、別途カラーフィルタ形成領域１１毎に切断して複数のカラーフィルタ１を切り出し形成する（図３９中手順Ｓ７）。このカラーフィルタ１が形成された基板１２は、先に実施形態において説明したように、図１８に示すような液晶装置における一対の基板の一方として用いられる。
【０２７８】
（カラーフィルタの製造装置の効果）
この図２７ないし図３９に示す実施形態によれば、先に説明した各実施の形態の作用効果に加え、以下に示す作用効果を奏する。
【０２７９】
すなわち、流動性を有した液状体としての例えばインクであるフィルタエレメント材料１３を液滴８として吐出するノズル４６６が一面に複数設けられ互いに並べて配置された複数のインクジェットヘッド４２１を、これらインクジェットヘッド４２１のノズル４６６が設けられた一面が被吐出物であるマザー基板１２の表面に所定の間隙を介して対向する状態で、マザー基板１２の表面に沿って相対的に移動させ、複数のインクジェットヘッド４２１の各ノズル４６６からマザー基板１２の表面上に同一のフィルタエレメント材料１３を吐出させる。このため、例えば実質的に同一の規格品のインクジェットヘッド４２１を用いて、マザー基板１２の広い範囲にフィルタエレメント材料１３を吐出させることが可能となり、長手（長尺）の特別なインクジェットヘッドを用いることなく従来の規格品を複数用いることで代用でき、コストを低減できる。寸法の長いインクジェットヘッドは、製造歩留まりが極めて落ちるので、高価な部品になってしまうが、それに比べて短寸法のインクジェットヘッド４２１は製造歩留まりが良いので、本発明ではこれを複数使って実質的な長手のインクジェットヘッドとなるように配置するだけであるため、コストを大幅に低減することができる。
【０２８０】
さらに、例えばインクジェットヘッド４２１を並べて配列する配置方向や数、吐出するために使用するノズル４６６の数や間隔（ノズル４６６を１個または数個おきに使用して画素のピッチに調節することもできる）を適宜設定することにより、サイズや画素のピッチや配列の異なったカラーフィルタ１に対してもフィルタエレメント材料１３を吐出する領域に対応させることが可能となり、汎用性を向上できる。
【０２８１】
そして、複数のインクジェットヘッド４２１として実質的に同一形状のものを用いることにより、１種類のインクジェットヘッド４２１でも、適宜配列させることで液状体を吐出する領域に対応させることが可能となり、構成が簡略化し、製造性を向上でき、コストも低減できる。
【０２８２】
また、ノズル４６６が略等間隔で直線上に配設したインクジェットヘッド４２１を用いることにより、例えばストライプ型やモザイク型、デルタ型など、所定の規則性を有した構成を描画することが容易にできる。
【０２８３】
そして、マザー基板１２の表面に沿って相対的に移動される走査方向に対してノズル４６６の略直線上の配設方向が交差する傾斜した状態の方向に沿うように、複数のインクジェットヘッド４２１をマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動させるので、複数のインクジェットヘッド４２１のノズル４６６の配列方向がマザー基板１２の表面に沿って移動される方向である走査方向に対して傾斜する状態となる。このため、フィルタエレメント材料１３の吐出される間隔であるピッチがノズル間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメント材料１３が吐出されたマザー基板１２を液晶パネルなどの電気光学装置である表示装置などに利用した場合、より詳細な表示形態が得られ、良好な表示装置を得ることができる。さらに、隣り合うインクジェットヘッド４２１の干渉を防止することが可能となり、容易に小型化を図ることができる。そして、この傾斜角を適宜設定することにより、描画のドットピッチが適宜設定され、汎用性を向上できる。
【０２８４】
さらに、ノズル４６６が略等間隔で直線上に配設されたインクジェットヘッド４２１の構成において、長手矩形状のインクジェットヘッド４２１に長手方向に沿ってノズル４６６を略等間隔で直線上に設けたので、インクジェットヘッド４２１が小型化し、例えば隣接するインクジェットヘッド４２１同士や他の部位との干渉を防止でき、容易に小型化できる。
【０２８５】
また、ノズル４６６の配設方向がそれぞれ略平行となる状態で複数のインクジェットヘッド４２１をキャリッジ４２６に配設してヘッドユニット４２０を構成したので、長手の特別なインクジェットヘッドを用いることなく容易に１つの領域に同一の液状体の複数の吐出領域を形成できる。さらに、１つの箇所に異なるインクジェットヘッド４２１からフィルタエレメント材料１３を重ねて吐出させることが可能となり、吐出領域での吐出量を容易に平均化でき、安定した良好な描画を得ることができる。
【０２８６】
そして、複数のインクジェットヘッド４２１をそれぞれ走査方向Ｘに対して交差する方向に傾斜させ、かつ全てのノズル４６６の配置方向が互いに平行になるようにインクジェットヘッド４２１の長手方向とは異なる方向に並べて配置したため、長尺な寸法を有する特別なインクジェットヘッドを製造することなく容易に吐出領域を拡大できる。さらに、ノズル４６６の配列方向が走査方向に対して交差する方向に傾斜する状態とすることにより、上述したように、隣り合うインクジェットヘッド４２１が干渉することなく、フィルタエレメント材料１３の吐出される間隔であるピッチがノズル４６６間のピッチより狭くなり、例えばフィルタエレメント材料１３が吐出されたマザー基板１２を表示装置などに利用した場合、より詳細な表示形態が得られる。そして、この傾斜角を適宜設定することにより、描画のドットピッチが適宜設定され、汎用性を向上できる。
【０２８７】
また、複数のインクジェットヘッド４２１を複数列例えば２列で略千鳥状に配設したため、長手の特別なインクジェットヘッド４２１を用いることなく、既製品のインクジェットヘッド４２１を用いても、隣り合うインクジェットヘッド４２１が干渉せずにインクジェットヘッド４２１間でフィルタエレメント材料１３が吐出されない領域を生じることがなく、連続的なフィルタエレメント材料１３の良好な吐出、すなわち連続した描画ができる。
【０２８８】
そして、流動性を有した液状体である例えばインクであるフィルタエレメント材料１３を吐出するノズル４６６が一面に複数設けられたインクジェットヘッド４２１を、インクジェットヘッド４２１のノズル４６６が設けられた一面が被吐出物としてのマザー基板１２の表面に所定の間隙を介して対向する状態でマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動させ、この相対的な移動方向に沿った直線上に位置する複数、例えば２つのノズル４６６からフィルタエレメント材料１３を吐出させる。このため、異なる２つのノズル４６６から重ねてフィルタエレメント材料１３を吐出する構成が得られ、仮に複数のノズル４６６間において吐出量にバラツキが存在する場合でも、吐出されたフィルタエレメント材料１３の吐出量が平均化されてバラツキを防止でき、平面的に均一な吐出が得られ、平面的に品質の均一な良好な特性の電気光学装置を得ることができる。
【０２８９】
また、フィルタエレメント材料１３を吐出するノズル４６６が一面に複数略直線上に設けられたインクジェットヘッド４２１を、これらインクジェットヘッド４２１のノズル４６６が設けられた一面が被吐出物としてのマザー基板１２の表面に所定の間隙を介して対向する状態でマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動させ、インクジェットヘッド４２１の各ノズル４６６のうちこれらノズル４６６の配設方向の両端部の所定領域Ｘに位置する例えば両側１０個のノズル４６６からは吐出させることなく所定領域Ｘ以外の中間部分に位置するノズル４６６からマザー基板１２の表面にフィルタエレメント材料１３を吐出する。この構成により、吐出量が特に多くなるノズル４６６の配設方向の両端部に位置する所定領域である両端１０個ずつのノズル４６６からは吐出させず、吐出量が比較的一様な中間部分のノズル４６６を用いてフィルタエレメント材料１３を吐出させるので、マザー基板１２の表面に平面的に均一に吐出でき、平面的に品質が均一なカラーフィルタ１が得られ、このカラーフィルタ１を用いた電気光学装置である表示装置にて良好な表示が得られる。
【０２９０】
そして、フィルタエレメント材料１３の吐出量の平均値より１割以上多い吐出量となるノズル４６６からは吐出させないので、特にカラーフィルタ１のフィルタエレメント材料１３やＥＬ発光材料、荷電粒子を含有した電気泳動装置用などの機能性液状体を液状体として用いる場合でも、特性にバラツキが生じず、液晶装置やＥＬ装置などの電気光学装置として良好な特性を確実に得ることができる。
【０２９１】
また、各ノズル４６６から吐出量の平均値に対してプラスマイナス１割以内でフィルタエレメント材料１３が吐出されるので、吐出量が比較的一様となり、マザー基板１２の表面に平面的に均一に吐出され、良好な特性の電気光学装置が得られる。
【０２９２】
さらに、ドット抜け検出ユニット４８７を設け、ノズル４６６からのフィルタエレメント材料１３の吐出を検出するため、フィルタエレメント材料１３の吐出むらを防止でき、確実で良好な液状体の吐出である描画を得ることができる。
【０２９３】
そして、ドット抜け検出ユニット４８７に光センサを設け、この光センサにてフィルタエレメント材料１３の吐出方向に対して交差する方向でフィルタエレメント材料１３の通過を検出するので、フィルタエレメント材料１３を吐出する工程中でも、簡単な構成で確実なフィルタエレメント材料１３の吐出状態を認識でき、フィルタエレメント材料１３の吐出むらを防止でき、確実で良好なフィルタエレメント材料１３の吐出である描画を得ることができる。
【０２９４】
さらに、ノズル４６６からマザー基板１２にフィルタエレメント材料１３を吐出する工程の前後で、ドット抜け検出ユニット４８７によりフィルタエレメント材料１３の吐出の吐出を検出するため、フィルタエレメント材料１３の吐出の吐出直前および直後の吐出状態を検出でき、フィルタエレメント材料１３の吐出の吐出状態を確実に認識でき、ドット抜けを確実に防止して良好な描画を得ることができる。なお、吐出する構成の前あるいは後のいずれか一方の時点で行うのみでもよい。
【０２９５】
また、ヘッドユニット４２０の走査方向側にドット抜け検出ユニット４８７を配設するため、フィルタエレメント材料１３の吐出の吐出状態の検出のためにヘッドユニット４２０を移動させる距離が短く、かつ吐出のための走査方向への移動をそのまま継続させる簡単な構成ででき、ドット抜けの検出を効率よく簡単な構成でできる。
【０２９６】
そして、インクジェットヘッド４２１を２列に点対称で配設したため、フィルタエレメント材料１３の吐出を供給する供給管４７８をヘッドユニット４２０の近傍までまとめることができ、装置の組立や保守管理などが容易にできる。さらに、インクジェットヘッド４２１を制御するための電気配線４４２の配線がヘッドユニット４２０の両側からとなり、配線による電気ノイズの影響を防止でき、良好で安定した描画を得ることができる。
【０２９７】
さらに、複数のインクジェットヘッド４２１を短冊状のプリント基板４３５の一端側に配設し、他端側にコネクタ４４１を設けたため、複数直線上に配設してもコネクタ４４１が干渉することなく配設でき、小型化ができるとともに、走査方向でのノズル４６６が存在しない位置が形成されることがなく、連続したノズル４６６の配列を得ることができ、長い寸法の特別なインクジェットヘッドを用いる必要がない。
【０２９８】
そして、コネクタ４４１が反対側に位置するように点対称で配設したため、コネクタ４４１部分での電気ノイズの影響を防止でき、良好で安定した描画を得ることができる。
【０２９９】
なお、これらの実施形態における作用効果は、上記各実施形態で同様の構成を有していれば、対応する同様の作用効果を奏する。
【０３００】
［ＥＬ素子を用いた表示装置（電気光学装置）及びその製造方法］
次に、本発明の表示装置（電気光学装置）及びその製造方法について図面を参照して説明する。なお、本実施形態では、各種の表示装置のうち、電気光学装置として、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置について説明する。なお、この表示装置の製造方法の説明に先立って、製造される表示装置の構成について説明する。
【０３０１】
（表示装置の構成）
図４０は、本発明の電気光学装置の製造装置における有機ＥＬ装置の一部を示す等価回路図である。図４１は、表示装置の表示ドット（画素領域）の平面構造を示す拡大平面図である。この表示装置は、図４０に示すように、ＥＬ装置であるＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置５０１である。この表示装置５０１は、基板である透明の表示基板５０２上に、複数の走査線５０３と、これら走査線５０３に対して交差する方向に延びる複数の信号線５０４と、これら信号線５０４に並列に延びる複数の共通給電線５０５とがそれぞれ配線された構成を有している。そして、走査線５０３と信号線５０４との各交点には、画素領域（表示ドット）５０１Ａが設けられている。
【０３０２】
信号線５０４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを有したデータ側駆動回路５０７が設けられている。また、走査線５０３に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを有した走査側駆動回路５０８が設けられている。そして、画素領域５０１Ａのそれぞれには、走査線５０３を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介して信号線５０４から供給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量ｃａｐと、この蓄積容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、このカレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む画素電極５１１と、この画素電極５１１および反射電極５１２間に挟み込まれる発光素子５１３とが設けられている。
【０３０３】
この構成により、走査線５０３が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ５０９がオンすると、その時の信号線５０４の電位が蓄積容量ｃａｐに保持される。この蓄積容量ｃａｐの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ５１０のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネルを介して、共通給電線５０５から画素電極５１１に電流が流れ、さらに発光素子５１３を通じて反射電極５１２に電流が流れる。このことにより、発光素子５１３は、これを流れる電流量に応じて発光する。
【０３０４】
ここで、画素領域５０１Ａは、反射電極５１２や発光素子５１３を取り除いた状態の拡大平面図である図４１に示すように、平面状態が長方形の画素電極５１１の４辺が、信号線５０４、共通給電線５０５、走査線５０３および図示しない他の画素電極５１１用の走査線５０３によって囲まれた配置となっている。
【０３０５】
次に、上記ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置を製造する製造工程の手順について説明する。図４２乃至図４４は、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図である。
【０３０６】
まず、図４２（Ａ）に示すように、透明の表示基板５０２に対して、必要に応じて、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ法により、厚さ寸法が約２０００〜５０００オングストロームのシリコン酸化膜である図示しない下地保護膜を形成する。次に、表示基板５０２の温度を約３５０℃に設定し、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約３００〜７００オングストロームの非晶質のシリコン膜である半導体膜５２０ａを形成する。この後、半導体膜５２０ａに対して、レーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を実施し、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。ここで、レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が約４００ｎｍのラインビームを用い、出力強度が約２００ｍＪ／ｃｍ２である。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の約９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームが走査される。
【０３０７】
そして、図４２（Ｂ）に示すように、半導体膜５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂを形成する。この半導体膜５２０ｂが設けられた表示基板５０２の表面に、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ法により厚さ寸法が約６００〜１５００オングストロームのシリコン酸化膜あるいは窒化膜であるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域およびソース・ドレイン領域となる図示しない半導体膜も形成されている。すなわち、図４２乃至図４４に示す製造工程では二種類のスイッチング薄膜トランジスタ５０９およびカレント薄膜トランジスタ５１０が同時に形成されるが、同じ手順で形成されるため、以下の説明では、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９については説明を省略する。
【０３０８】
この後、図４２（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜である導電膜をスパッタ法により形成した後にパターニングし、図４１にも示すゲート電極５１０Ａを形成する。この状態で、高温度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂにゲート電極５１０Ａに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ，５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。
【０３０９】
次に、図４２（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３，５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３，５２４内に中継電極５２６，５２７を埋め込み形成する。
【０３１０】
さらに、図４２（Ｅ）に示すように、層間絶縁膜５２２上に、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線５０３（図４２中には図示しない）を形成する。このとき、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線５０３の各配線は、配線として必要な厚さ寸法にとらわれることなく、十分に厚く形成する。具体的には、各配線を例えば１〜２μｍ程度の厚さ寸法に形成するとよい。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜により形成される。
【０３１１】
そして、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成し、中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。このコンタクトホール５３２内を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、このＩＴＯ膜をパターニングして、信号線５０４、共通給電線５０５および走査線５０３に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。
【０３１２】
ここで、図４２（Ｅ）では、信号線５０４および共通給電線５０５に挟まれた部分が、光学材料が選択的に配置される所定位置に相当するものである。そして、その所定位置とその周囲との間には、信号線５０４や共通給電線５０５によって段差５３５が形成される。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く、凹型の段差５３５が形成される。
【０３１３】
次に、上述の前処理が実施された表示基板５０２にインクジェット方式により、機能性液状体であるＥＬ発光材料を吐出する。すなわち、図４３（Ａ）に示すように、前処理が実施された表示基板５０２の上面を上方に向けた状態で、発光素子１４０の下層部分に当たる正孔注入層５１３Ａを形成するための機能性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の前駆体である光学材料５４０Ａを、インクジェット方式すなわち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出し、段差５３５で囲まれた所定位置の領域内に選択的に塗布する。
【０３１４】
この吐出する正孔注入層５１３Ａを形成するための光学材料５４０Ａとしては、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウムなどが用いられる。
【０３１５】
なお、この吐出の際、流動性を有した液状体の光学材料５４０Ａは、上述した各実施の形態の隔壁にフィルタエレメント材料１３を吐出する場合と同様に、流動性が高いので、平面方向に広がろうとするが、塗布された位置を取り囲むように段差５３５が形成されているため、光学材料５４０Ａの１回当たりの吐出量を極端に大量にしなければ、光学材料５４０Ａは段差５３５を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。
【０３１６】
そして、図４３（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射などにより液状の光学材料５４０Ａの溶媒を蒸発させ、画素電極５１１上に固形の薄い正孔注入層５１３Ａを形成する。この図４３（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り返し、図４３（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の正孔注入層５１３Ａを形成する。なお、複数の液滴を吐出させて正孔注入層を形成する場合、吐出時のヘッド走査方向を上記のように２以上の異なる方向（例えば直交する２方向）とすることによって、材料ムラが低減される。
【０３１７】
次に、図４４（Ａ）に示すように、表示基板５０２の上面を上に向けた状態で、発光素子５１３の上層部分に有機半導体膜５１３Ｂを形成するための機能性液状体としての溶媒に溶かされた溶液状の有機蛍光材料である光学材料５４０Ｂを、インクジェット方式すなわち上述した各実施の形態の装置を用いて吐出し、これを段差５３５で囲まれた所定位置である領域内に選択的に塗布する。なお、この光学材料５４０Ｂについても、上述したように、光学材料５４０Ａの吐出と同様に、段差５３５を越えて所定位置の外側に広がることは防止される。
【０３１８】
この吐出する有機半導体膜５１３Ｂを形成するための光学材料５４０Ｂとしては、シアノポリフェニレンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキルフェニレン、２，３，６，７−テトラヒドロ−１１−オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ペンゾビラノ［６，７，８−ｉｊ］−キノリジン−１０−カルボン酸、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、２−１３・４'−ジヒドロキシフェニル）−３，５，７−トリヒドロキシー１―ベンゾピリリウムパークロレート、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム、２，３・６・７−テトラヒドロ−９−メチル−１１−オキソ−１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ベンゾピラノ［６，７，８−ｉｊ］−キノリジン、アロマティックジアミン誘導体（ＴＤＰ）、オキシジアゾールダイマ（ＯＸＤ）、オキシジアゾール誘導体（ＰＢＤ）、ジスチルアリーレン誘導体（ＤＳＡ）、キノリノール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体（Ｂｅｂｑ）、トリフェニルアミン誘導体（ＭＴＤＡＴＡ）、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマ、ルブレン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベンゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウム錯体などが用いられる。
【０３１９】
次に、図４４（Ｂ）に示すように、加熱あるいは光照射などにより、光学材料５４０Ｂの溶媒を蒸発させ、正孔注入層５１３Ａ上に、固形の薄い有機半導体膜５１３Ｂを形成する。この図４４（Ａ），（Ｂ）を必要回数繰り返し、図４４（Ｃ）に示すように、十分な厚さ寸法の有機半導体膜５１３Ｂを形成する。なお、複数の液滴を吐出させて有機半導体膜であるＥＬ発光層を形成する場合、吐出時のヘッド走査方向を上記のように２以上の異なる方向（例えば直交する２方向）とすることによって、材料ムラが低減される。
【０３２０】
上記の正孔注入層５１３Ａおよび有機半導体膜５１３Ｂによって、発光素子５１３が構成される。最後に、図４４（Ｄ）に示すように、表示基板５０２の表面全体、若しくはストライプ状に反射電極５１２を形成し、表示装置５０１を製造する。ここで、正孔注入層と有機半導体膜（ＥＬ発光層）とを相互に異なる走査方向で吐出された液滴で形成することによって、上記と同様に材料ムラに起因する表示ムラを低減できる。
【０３２１】
この図４０ないし図４４に示す実施の形態においても、上述した各実施形態と同様のインクジェット方式を実施することにより、同様の作用効果を享受できる。さらに、機能性液状体を選択的に塗布する際に、それらが周囲に流れ出ることを防止でき、高精度にパターニングできる。
【０３２２】
なお、この図４０乃至図４４の実施の形態において、カラー表示を念頭においたＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置について説明したが、例えば図４５に示すように、図４０乃至図４４に示す構成を単色表示の表示装置にも適用できる。
【０３２３】
すなわち、有機半導体膜５１３Ｂは、表示基板５０２の全面に一様に形成してもよい。ただし、この場合でも、クロストークを防止するために、正孔注入層５１３Ａは各所定位置毎に選択的に配置しなければならないため、段差１１１を利用した塗布が極めて有効である。なお、この図４５において、図４０乃至図４４に示す実施形態と同一の構成については、同一の符号を付す。
【０３２４】
また、ＥＬ表示素子を用いた表示装置としては、アクティブマトリックス型に限らず、例えば図４６に示すようなパッシブマトリックス型の表示装置としてもできる。図４６は本発明の電気光学装置の製造装置におけるＥＬ装置であり、図４６（Ａ）は複数の第１のバス配線５５０と、これに直交する方向に配設された複数の第２のバス配線５６０と、の配置関係を示す平面図で、図４６（Ｂ）は同（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。この図４６において、図４０ないし図４４に示す実施の形態と同様の構成には、同じ符号を付して重複する説明は省略する。また、細かな製造工程なども図４０ないし図４４に示す実施の形態と同様であるため、その図示および説明は省略する。
【０３２５】
この図４６に示す実施の形態の表示装置は、発光素子５１３が配置される所定位置を取り囲むように、例えばＳｉＯ２などの絶縁膜５７０が配設され、これにより、所定位置とその周囲との間に段差５３５を形成したものである。このため、機能性液状体を選択的に塗布する際に、それらが周囲に流れ出ることを防止でき、高精度にパターニングできる。
【０３２６】
さらに、アクティブマトリックス型の表示装置としては、図４０乃至図４４に示す実施形態の構成に限られない。すなわち、例えば図４７に示すような構成、図４８に示すような構成、図４９に示すような構成、図５０に示すような構成、図５１に示すような構成、あるいは図５２に示すような構成など、いずれの構成のものでもできる。
【０３２７】
図４７に示す表示装置は、画素電極５１１を利用して段差５３５を形成することにより、高精度にパターニングできるようにしたものである。図４７は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面図であり、その前後の段階は上記図４０乃至図４４に示す実施形態と略同様であるため、その図示および説明は省略する。
【０３２８】
この図４７に示す表示装置では、画素電極５１１を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲と間に段差５３５を形成している。つまり、この図４７に示す表示装置では、後に光学材料が塗布される画素電極５１１の方がその周囲よりも高くなっている凸型の段差が形成されている。そして、上記図４０乃至図４４に示す実施の形態と同様に、インクジェット方式により、発光素子５１３の下層部分に当たる正孔注入層５１３Ａを形成するための前駆体である光学材料５４０Ａを吐出し、画素電極５１１の上面に塗布する。
【０３２９】
ただし、上記図４０乃至図４４に示す実施の形態の場合とは異なり、表示基板５０２を上下逆にした状態、つまり光学材料５４０Ａが塗布される画素電極５１１の上面を下方に向けた状態で、光学材料５４０Ａを吐出して塗布する。このことにより、光学材料５４０Ａは、重力と表面張力とによって、画素電極５１１の上面（図４７中で下面）に溜り、その周囲には広がらない。よって、加熱や光照射などにより固形化すれば、図４３（Ｂ）と同様の薄い正孔注入層５１３Ａを形成でき、これを繰り返せば正孔注入層５１３Ａが形成される。同様の手法で、有機半導体膜５１３Ｂも形成される。このため、凸型の段差を利用して高精度にパターニングできる。なお、重力と表面張力とに限らず、遠心力などの慣性力を利用して光学材料５４０Ａ，５４０Ｂの量を調整してもよい。
【０３３０】
図４８に示す表示装置も、アクティブマトリックス型の表示装置である。図４８は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面図であり、この前後の段階では、図４０乃至図４４に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０３３１】
この図４８に示す表示装置では、まず、表示基板５０２上に反射電極５１２を形成し、この反射電極５１２上に後に発光素子５１３が配置される所定位置を取り囲むように絶縁膜５７０を形成し、これにより所定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段差５３５を形成する。
【０３３２】
そして、上記図４０乃至図４４に示す実施形態と同様に、段差５３５で囲まれた領域内に、インクジェット方式により機能性液状体である光学材料５４０Ａ，５４０Ｂを選択的に吐出して塗布することにより、発光素子５１３を形成する。
【０３３３】
一方、剥離用基板５８０上に、剥離層５８１を介して、走査線５０３、信号線５０４、画素電極５１１、スイッチング薄膜トランジスタ５０９、カレント薄膜トランジスタ５１０および層間絶縁膜５３０を形成する。最後に、表示基板５０２上に、剥離用基板５８０上の剥離層５８１から剥離された構造を転写するものである。
【０３３４】
この図４８の実施の形態では、走査線５０３、信号線５０４、画素電極５１１、スイッチング薄膜トランジスタ５０９、カレント薄膜トランジスタ５１０および層間絶縁膜５３０への光学材料５４０Ａ，５４０Ｂの塗布形成によるダメージの軽減が図れる。なお、パッシブマトリックス型の表示素子にも適用できる。
【０３３５】
図４９に示す表示装置も、アクティブマトリックス型の表示装置である。図４９は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面図であり、この前後の段階では、図４０乃至図４４に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０３３６】
この図４９に示す表示装置では、層間絶縁膜５３０を利用して凹型の段差５３５を形成するものである。このため、特に新たな工程が増加することなく、層間絶縁膜５３０を利用でき、製造工程の大幅な複雑化などを防止できる。なお、層間絶縁膜５３０をＳｉＯ２で形成するとともに、その表面に紫外線やＯ２、ＣＦ３、Ａｒなどのプラズマなどを照射し、その後に、画素電極５１１の表面を露出させ、そして液状の光学材料５４０Ａ，５４０Ｂを選択的に吐出して塗布してもよい。このことにより、層間絶縁膜５３０の表面に沿って撥液性の強い分布が形成され、光学材料５４０Ａ，５４０Ｂが段差５３５と層間絶縁膜５３０の撥液性との両方の作用によって所定位置に溜り易くなる。
【０３３７】
図５０に示す表示装置は、液状体である光学材料５４０Ａ，５４０Ｂが塗布される所定位置の親水性を、その周囲の親水性よりも相対的に強くすることにより、塗布された光学材料５４０Ａ，５４０Ｂが周囲に広がらないようにしたものである。図５０は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面図であり、この前後の段階では、図４０乃至図４４に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０３３８】
この図５０に示す表示装置では、層間絶縁膜５３０を形成した後に、その上面に非晶質シリコン層５９０を形成する。非晶質シリコン層５９０は、画素電極５１１を形成するＩＴＯよりも相対的に撥水性が強いので、ここに、画素電極５１１の表面の親水性がその周囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水性の分布が形成される。そして、上記図４０乃至図４４に示す実施形態と同様に、画素電極５１１の上面に向けて、インクジェット方式により液状の光学材料５４０Ａ，５４０Ｂを選択的に吐出して塗布することにより、発光素子５１３を形成し、最後に反射電極５１２を形成するものである。
【０３３９】
なお、この図５０に示す実施の形態についても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用できる。さらに、図４８に示す実施の形態のように、剥離用基板５８０上に剥離層５８１を介して形成された構造を、表示基板５０２に転写する工程を含んでいてもよい。
【０３４０】
そして、撥水性・親水性の分布は、金属や、陽極酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコンなどの絶縁膜や、他の材料により形成していてもよい。なお、パッシブマトリックス型の表示素子であれば第１のバス配線５５０、アクティブマトリックス型の表示素子であれば走査線５０３、信号線５０４、画素電極５１１、絶縁膜５３０あるいは遮光層６ｂによって形成してもよい。
【０３４１】
図５１に示す表示装置は、段差５３５や撥液性・親液性の分布などを利用してパターニング精度を向上させるのではなく、電位による引力や斥力などを利用してパターニング精度の向上を図るものである。図５１は、表示装置を製造する製造工程の途中の段階における断面図であり、この前後の段階では、図４０乃至図４４に示す実施形態と同様で、その図示および説明は省略する。
【０３４２】
この図５１に示す表示装置では、信号線５０４や共通給電線５０５を駆動するとともに、図示しないトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素電極５１１がマイナス電位となり、層間絶縁膜５３０がプラス電位となる電位分布を形成する。そして、インクジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料５４０Ａを所定位置に選択的に吐出して塗布形成するものである。このことにより、光学材料５４０Ａを帯電させているので、自発分極だけでなく帯電電荷も利用でき、パターニングの精度をさらに向上できる。
【０３４３】
なお、この図５１に示す実施の形態についても、パッシブマトリックス型の表示素子に適用できる。さらに、図４８に示す実施の形態のように、剥離用基板５８０上に剥離層５８１を介して形成された構造を、表示基板５０２に転写する工程を含んでいてもよい。
【０３４４】
また、画素電極５１１と、その周囲の層間絶縁膜５３０との両方に電位を与えているが、これに限定されるものではなく、例えば図５２に示すように、画素電極５１１には電位を与えず、層間絶縁膜５３０にのみプラス電位を与え、そして、液状の光学材料５４０Ａをプラスに帯電させてから塗布するようにしてもよい。この図５２に示す構成によれば、塗布された後にも、液状の光学材料５４０Ａは確実にプラスに帯電した状態を維持できるから、周囲の層間絶縁膜５３０との間の斥力によって、液状の光学材料５４０Ａが周囲に流れ出ることをより確実に防止できる。
【０３４５】
［液滴吐出手段の構成例］
次に、上記各実施形態にも適用可能な液滴吐出手段の他の構成例について説明する。以下に説明する構成例は、いずれも、複数の液滴吐出ヘッド２２を所定の配列パターンにて配列固定して一体に用いる液滴吐出ユニットを用いるものである。このような液滴吐出ユニットを用いることによって、液滴吐出ヘッド２２の構造を大型化することなく、しかも、複数の異なる構造の液滴吐出ヘッド２２を製造することなく、種々の対象物に対応して効率的な処理を行うことが可能になる。以下、図面を参照して複数の構成例について順次説明する。
【０３４６】
（構成例１）
図５５は、本発明に係る液滴吐出ユニットの構成例１の構造を示す概略平面図である。この構成例１では、上記各実施形態において説明したものと同様の複数の液滴吐出ヘッド２２がノズル列２８（図中において２８Ａ，２８Ｂで示す。）の配列方向に沿って一列に配列されている。複数の液滴吐出ヘッド２２は、サブキャリッジ２５に対してそれぞれ取り付けられている。複数の液滴吐出ヘッド２２は所定の間隔を介してノズル列２８の延長方向に配列されていることにより、各液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔを有するノズル列２８の間には、ノズル２７が存在しない間隔ｓが設けられる。ここで、間隔ｓは、液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔと同一幅となるように構成されていることが好ましい。
【０３４７】
この液滴吐出ユニット２５Ｕは、サブキャリッジ２５に回転中心２５ａが設定され、この回転中心２５ａを中心にサブキャリッジ２５が回転可能に構成されている。たとえば、サブキャリッジ２５は上記実施形態のヘッドユニット２６に取付けられ、モータなどの駆動機構により、その回転中心２５ａを中心として回転可能に構成され、これによって、液滴吐出ユニット全体が走査方向Ｘと直交する方向（送り方向Ｙ）に対して傾斜角度θで傾斜した姿勢で位置決めされるように構成される。上記回転中心２５ａは、図示例のようにサブキャリッジ２５の中心部に設定されていることが好ましい。
【０３４８】
なお、サブキャリッジ２５に搭載される各液滴吐出ヘッド２２は、サブキャリッジ２５に設けられたアライメント原点２５ｏを基準として、それぞれ精密に位置決めされた状態で固定されている。アライメント原点２５ｏは図示のようにサブキャリッジ２５におけるノズル列２８の延長方向両端部に設けられることが好ましい。アライメント原点２５ｏは、例えば、微細な印刷パターンなどのマークとして構成される。
【０３４９】
図５６は、上記の液滴吐出ユニット２５Ｕを用いて基板１２に対して処理を行う様子を示す。基板（マザー基板）１２には、上記と同様のパターン形成領域（単位領域）１１が縦横に配列されている。液滴吐出ユニット２５Ｕは、上記各実施形態と同様に基板１２に対して走査され、その過程において各液滴吐出ヘッド２２のノズルから液滴が吐出されていく。このとき、一回の走査ステップにおいては、液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔに重なる領域では液滴が吐出されていくが、間隔ｓに重なる領域では液滴が吐出されない。したがって、一回の走査で処理できない領域を別の走査において処理する必要が生ずる。たとえば、図示上部に示した液滴吐出ユニット２５Ｕの位置から走査ステップＳＴ１を行った後に、図示下部に示した液滴吐出ユニット２５Ｕのように送り方向Ｙにδｙだけずらして再び走査ステップＳＴ２を行う。ここで、δｙは、上記吐出幅ｔ或いは間隔ｓであることが好ましい。特に、吐出幅ｔ＝ｓである場合には、δｙ＝ｔ＝ｓとすれば、２回の走査ステップＳＴ１，ＳＴ２によって液滴の吐出されない領域をなくすことができる。この場合、図５７Ａ及び図５７Ｂに示すように、基板１２の短辺方向Ｍと長手方向Ｌのパターン配列周期の差に応じて、基板１２の短辺方向Ｍに走査を行う場合の液滴吐出ユニット２５Ｕの傾斜角度θａと、長手方向Ｌに走査を行う場合の液滴吐出ユニット２５Ｕの傾斜角度θｂとを相互に異なる角度に設定してもよい。
【０３５０】
本実施形態においては、液滴吐出ユニット２５Ｕを用いる場合においても、上記各実施形態と同様に、基板１２の短辺方向Ｍに沿って走査するステップと、この長手方向Ｌに沿って走査するステップとのいずれをも行うことによって成膜ムラを低減することができる。また、基板１２の短辺方向Ｍと長手方向Ｌのいずれに走査を行った方が効率的な処理ができるかに応じて、より好ましいいずれか一方の走査方向を選択して当該方向にのみ走査を行うようにしてもよい。
【０３５１】
なお、この構成例においても、上記実施形態と同様に誤差分散法による走査態様を用いることができる。この場合、上記実施形態のように送り方向Ｙに所定量だけ送りながら繰り返し走査ステップを行っていけばよいが、その態様としては、上記ステップＳＴ１とＳＴ２とを順次行うプロセスを１セットとし、このセットを少しずつ送り方向Ｙにずらしながら行っていく方法と、たとえば走査ステップＳＴ１のみを少しずつ送り方向Ｙにずらしながら行った後に、走査ステップＳＴ２を少しずつ送り方向Ｙにずらしながら行っていく方法とがあり、いずれの方法であってもよい。
【０３５２】
（構成例２）
次に、図５８を参照して、液滴吐出ユニットの構成例２について説明する。この液滴吐出ユニット２５Ｖは、複数の液滴吐出ヘッド２２が所定間隔をもって配列されている点、各液滴吐出ヘッド２２の構造に関する点、及び、サブキャリッジ２５にアライメント原点２５ｏが設けられている点において上記構成例１と同様であるので、同様の部分については説明を省略する。この液滴吐出ユニット２５Ｖが構成例１と異なる点は、各液滴吐出ヘッド２２がそれぞれサブキャリッジ２５に対して回転可能に構成されている点にある。また、複数の液滴吐出ヘッド２２は相互間隔を変更可能に構成されている。
【０３５３】
サブキャリッジ２５には、その長手方向に伸びる案内路２５ｃが設けられ、この案内路２５ｃに沿って取付部材２５ｄが移動可能に構成されている。そして、取付部材２５ｄに対して液滴吐出ヘッド２２が回転中心２２ａを中心として回転可能に構成されている。より具体的には、案内路２５ｃは凹溝や凸条などで構成され、この案内路２５ｃに対して取付部材２５ｄが嵌合し、案内路２５ｃの延長方向にスライド可能に構成されている。取付部材２５ｄは案内路２５ｃの適宜の位置にマイクロメータ等の調整手段により調整した上で固定できるようになっている。液滴吐出ヘッド２２は、取付部材２５ｄに対して回転可能に取り付けられていて、マイクロメータなどの調整手段によって適宜の傾斜角度θに調整した上で固定できるようになっている。
【０３５４】
この構成例２においては、各液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔが間隔ｓを介して配列されている点では構成例１と同様である。しかし、上記構成例１では、各液滴吐出ヘッド２２がサブキャリッジ２５に対して固定されていて、サブキャリッジ２５全体が回転することにより所定の傾斜角度θが設定されるため、傾斜させることによって走査方向の広い範囲に液滴吐出ヘッド２２が分散配置されることとなり、特に、回転中心２５ａから離れた液滴吐出ヘッド２２では、走査ステップの開始後又は終了前に長い空送距離が生ずる。これに対して、構成例２においては、各液滴吐出ヘッド２２が個々にサブキャリッジ２５に対して回転して所定の傾斜角度θが得られるように構成されているため、上記の空送距離をほとんどなくすことができる。したがって、空送距離の低減による動作ストロークの低減を図ることが可能になる。
【０３５５】
この構成例２においては、サブキャリッジ２５に搭載された個々の液滴吐出ヘッド２２が回転して所定の傾斜角度θを設定できるように構成されているので、例えば、液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔと間隔ｓとの比率を一定に保とうとすれば、傾斜角度θの変化に応じて個々の液滴吐出ヘッド２２の間隔を修正する必要がある。例えば、液滴吐出ヘッド２２の実質的な吐出幅と間隔ｓとを同一に設定しようとすれば、傾斜角度θが０の場合にはｔ＝ｓでよいのに対して、傾斜角度θが０でない場合には、間隔ｓを実質的な吐出幅ｔ・ｃｏｓθと一致させなければならない。したがって、形成すべきパターンの構造周期に合わせて傾斜角度θを設定したときには、この傾斜角度θに合わせて、各液滴吐出ヘッド２２を案内路２５ｃに沿って移動させ、相互間隔を上記のようにｓ＝ｔ・ｃｏｓθに修正する。
【０３５６】
（構成例３）
次に、図５９を参照して構成例３である液滴吐出ユニット２５Ｗの構造について説明する。この液滴吐出ユニット２５Ｗは、複数の液滴吐出ヘッド２２が配列されている点では上記構成例１及び構成例２と同様であるが、その配列態様が異なる。この構成例３においても、液滴吐出ヘッド２２はサブキャリッジ２５に取り付けられている。ただし、この構成例３では、ノズル２８（２８Ａ及び２８Ｂ）の配列方向に向けて、この配列方向と直交する方向（すなわち上記基準方向Ｓ）にずれた２列の液滴吐出ヘッド２２を有する。そして、各液滴吐出ヘッド２２が互い違いに配列されていることによって、液滴吐出ユニット２５Ｗ全体としては、連続した一体のノズル列を有するものとなっている。すなわち、一方の列に含まれる液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔと、他方の列に含まれる液滴吐出ヘッド２２の吐出幅ｔとが隣接し連続するように配置されている。
【０３５７】
この構成例３では、液滴吐出ユニット２５Ｗ全体として見た場合、一体の液滴吐出ヘッドに連続した単一のノズル列が構成されている場合と同様に用いることができる。したがって、ノズル数の異なる新たな液滴吐出ヘッドを形成する必要がなくなり、既存の液滴吐出ヘッド２２を複数用いるだけでノズル数を増大させることができる。また、上記構成例１及び２のように間隔ｓが存在することがないため、間隔ｓに対応する未処理領域を処理するための余分な走査ステップを設ける必要もなくなる。
【０３５８】
なお、この構成例３においても、構成例１に示すように、液滴吐出ユニット２５Ｗ全体を所定の回転中心を中心として回転可能に構成し、この回転によって所要の傾斜角度θを設定できるように構成してもよい。また、構成例２に示すように、サブキャリッジ２５に対して液滴吐出ヘッド２２を個々に回転可能かつ並進可能に取り付けることによって、所定の傾斜角度θと、これに対応した液滴吐出ヘッド２２の間隔を設定することができるように構成してもよい。
【０３５９】
［対象物の成膜パターン例］
次に、上記各実施形態や各構成例において対象物となるべきマザー基板１２の成膜パターン例について説明する。図６０は、マザー基板１２の成膜パターンを示す部分拡大平面図である。このマザー基板１２には、上記と同様のパターン形成領域（単位領域）１１が縦横に形成され、このパターン形成領域１１内には複数の領域７が所定の配列パターンにて設けられている。ここで、パターン形成領域１１が分離されることによってカラーフィルタ基板が形成される場合には、上記の領域７はフィルタエレメント領域となり、例えば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）などの適宜のフィルタエレメントがストライプ配列、デルタ配列、斜めモザイク配列などのような適宜の配列パターンにて配列される。また、パターン形成領域１１が分離されることによってＥＬ装置やプラズマディスプレイパネルなどの表示装置が形成される場合には、上記の領域７は表示ドットとなり、発光層や蛍光体が適宜の配列パターンにて配列される。
【０３６０】
上記マザー基板１２においては、パターン形成領域１１間のＸ方向（たとえば上記の短辺方向Ｍ）に見た間隔Ｄｘは、各パターン形成領域１１内の上記領域７のＸ方向に見た配列周期ｄｘの自然数倍となるように構成されている。また、パターン形成領域１１間のＹ方向（たとえば上記の長手方向Ｌ）に見た間隔Ｄｙは、各パターン形成領域１１内の上記領域７のＹ方向に見た配列周期ｄｙの自然数倍となるように構成されている。このように構成することによって、一定間隔で配列されたノズル２７の列によって複数のパターン形成領域１１に亘って一度に液滴を各領域７に吐出させることが可能になるため、より効率的に製造を行うことが可能になる。
【０３６１】
（その他の実施の形態）
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造および形状に設定できる。
【０３６２】
すなわち、例えば、図８および図９に示したカラーフィルタの製造装置（液滴吐出装置）では、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させてマザー基板１２を走査し、マザー基板１２を送り駆動装置２１によって移動させることにより、液滴吐出ヘッド２２のマザー基板１２に対する送り動作を実現しているが、これとは逆に、マザー基板１２の移動によって走査を実行し、液滴吐出ヘッド２２の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、液滴吐出ヘッド２２を移動させずにマザー基板１２を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド２２がマザー基板１２の表面に沿って相対的に移動するのであれば、いずれの構成とすることもできる。
【０３６３】
また、上記実施の形態では、圧電素子の撓み変形を利用してインクを吐出する構造の液滴吐出手段（インクジェットヘッド）４２１を用いたが、他の任意の構造のインクジェットヘッド、例えば加熱により発生するバブルによりインクを吐出する方式のインクジェットヘッドなどを用いることもできる。
【０３６４】
さらに、図２７乃至図３７に示す実施の形態において、インクジェットヘッド４２１として、ノズル４６６を略等間隔で略直線上でかつ２列設けて説明したが、２列に限らず、複数列とすることができる。また、等間隔でなくてもよく、直線上に列をなして配設しなくてもよい。
【０３６５】
そして、液滴吐出装置１６，４０１が製造に使用されるのは、カラーフィルタ１や液晶装置１０１、ＥＬ装置２０１に限定されるものではなく、ＦＥＤ（Field Emission Display:フィールドエミッションディスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel:プラズマディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体であるインクを各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Cathode-Ray Tube:陰極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）に用いることができる。
【０３６６】
本発明の装置や方法は、カラーフィルタや表示装置（電気光学装置）を含む、基板（基材）を有するデバイスであって、その基板（基材）に液滴８を吐出する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程において用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料、金属含有塗料などをインクジェット方式にて吐出して金属配線などをする構成、基材上に形成される微細なマイクロレンズをインクジェット方式による吐出にて光学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布するようにインクジェット方式にて吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどをインクジェット方式にて吐出形成して光散乱板を形成する構成、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ribonucleic acid:リボ核酸）をインクジェット方式にて吐出させて蛍光標識プローブを作製してＤＮＡチップ上でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid:デオキシリボ核酸）などをインクジェット方式にて吐出させてバイオチップを形成する構成などにも利用できる。
【０３６７】
また、液晶装置１０１としても、ＴＦＴなどのトランジスタやＴＦＤのアクティブ素子を画素に備えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を取り囲む隔壁６を形成し、この隔壁６にて形成される凹部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフィルタ１を形成するような構成のもの、画素電極上にインクとして色材および導電材を混合したものをインクジェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラーフィルタ１を導電性カラーフィルタとして形成する構成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒をインクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装置１０１の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用可能である。
【０３６８】
さらに、カラーフィルタ１に限られず、ＥＬ装置２０１など、他のいずれの電気光学装置に適用でき、ＥＬ装置２０１としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応するＥＬが帯状に形成されるストライプ型や、上述したように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成でもできる。
【０３６９】
そして、上記各実施形態の電気光学装置が組み込まれる電子機器としては、例えば図５３に示すようなパーソナルコンピュータ４９０に限らず、図５４に示すような携帯電話４９１やＰＨＳ（Personal Handy phone System）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Point Of Sales）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション（Engineering Work Station:ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
【０３７０】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造や手順などとしてもよい。例えば、図２８、図３６および図３７を用いて説明した実施形態において、インクジェットヘッド４２１は全てが同一方向に向けて傾けて配置されているが、２列のうちの一方は他方の列の傾き角度から９０°回転させた方向に配置し、２列のインクジェットヘッド列が「ハ」の字状に互いに９０°の角度を持って配置されていても構わないし、それぞれのインクジェットヘッド列において互いに隣り合うヘッド同士が互いに９０°の角度を持って「ハ」の字状に配置されていても構わない。このように、本発明の趣旨に反しない限り、様々な変更をしても本発明の範囲に含まれるものである。
【０３７１】
本発明の成膜方法及び成膜装置は、任意の対象物の表面に任意の膜を形成する場合に広く用いることができる。たとえば、対象物の表面に均一に膜を形成する場合には、異なる少なくとも２つの走査方向に沿って複数の液滴を順次吐出させていくことにより、走査方向に起因する成膜ムラを低減できる。このような膜としては、たとえば、感光性レジスト膜や保護コーティング膜などが挙げられる。また、単なる膜ではなく、対象物の表面上に種々の構造を形成する場合にも用いることができる。たとえば、基板の表面上に柱状スペーサを分散形成する場合などである。このような柱状スペーサを備えた基板を用いるものとしては、液晶表示装置、入力パッド装置などが挙げられる。
【０３７２】
本発明によれば、液状材料の液滴を吐出する際の被吐出物に対する相対的な走査方向を異なる２以上の方向に設定可能とすることによって、種々の被吐出物に対して効率的に材料を付着させることが可能になる。また、被吐出物に対する上記走査方向を異なる２以上の方向に設定することによって、走査方向に起因する縞状の材料ムラを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図２】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法の他の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図３】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさらに他の実の形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図４】  本発明に係るカラーフィルタの製造方法のさらに他の実施形態の主要工程を模式的に示す平面図である。
【図５】  本発明に係るカラーフィルタの一実施形態およびその基礎となるマザー基板の実施形態を示す平面図である。
【図６】  図５（ａ）のVI−VI線に従った断面部分を用いてカラーフィルタの製造工程を模式的に示す図である。
【図７】  カラーフィルタにおけるＲ、Ｇ、Ｂ３色の表示ドットの配列例を示す図である。
【図８】  本発明に係る液滴吐出装置、或いは、カラーフィルタの製造装置、本発明に係る液晶装置の製造装置および本発明に係るＥＬ装置の製造装置といった各製造装置の主要部分である液滴吐出装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図９】  図８の装置の主要部を拡大して示す斜視図である。
【図１０】  図９の装置の主要部であるインクジェットヘッドを拡大して示す斜視図である。
【図１１】  インクジェットヘッドの改変例を示す斜視図である。
【図１２】  インクジェットヘッドの内部構造を示す図であって、（ａ）は一部破断斜視図を示し、（ｂ）は（ａ）のＪ−Ｊ線に従った断面構造を示す。
【図１３】  インクジェットヘッドの他の改変例を示す平面図である。
【図１４】  図８のインクジェットヘッド装置に用いられる電気制御系を示すブロック図である。
【図１５】  図１４の制御系によって実行される制御の流れを示すフローチャートである。
【図１６】  インクジェットヘッドのさらに他の改変例を示す斜視図である。
【図１７】  本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
【図１８】  本発明に係る液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の一例を分解状態で示す斜視図である。
【図１９】  図１８におけるIX−IX線に従って液晶装置の断面構造を示す断面図である。
【図２０】  本発明に係るＥＬ装置の製造方法の実施形態を示す工程図である。
【図２１】  図２０に示す工程図に対応するＥＬ装置の断面図である。
【図２２】  本発明に係る実施形態の液滴吐出装置のテーブル上のマザー基板の姿勢を示す平面図（ａ）及び（ｂ）である。
【図２３】  液滴吐出装置のテーブル上の別のマザー基板の姿勢を示す平面図（ａ）及び（ｂ）である。
【図２４】  複数の液滴吐出装置を含む製造装置の構成例を示す概略構成図である。
【図２５】  液滴吐出装置における処理途中でのマザー基板の姿勢変更の方法を示す概略平面図（ａ）〜（ｃ）である。
【図２６】  液滴吐出装置における処理途中でのマザー基板の姿勢変更の別の方法を示す概略平面図（ａ）及び（ｂ）である。
【図２７】  本発明に係るカラーフィルタの製造装置の液滴吐出装置を示す一部を切り欠いた斜視図である。
【図２８】  同上液滴吐出装置のヘッドユニットを示す平面図である。
【図２９】  同上側面図である。
【図３０】  同上正面図である。
【図３１】  同上断面図である。
【図３２】  同上ヘッド装置を示す分解斜視図である。
【図３３】  同上インクジェットヘッドを示す分解斜視図である。
【図３４】  同上インクジェットヘッドのフィルタエレメント材料を吐出する動作を説明する説明図である。
【図３５】  同上インクジェットヘッドのフィルタエレメント材料の吐出量を説明する説明図である。
【図３６】  同上インクジェットヘッドの配置状態を説明する概略図である。
【図３７】  同上インクジェットヘッドの配置状態を説明する部分的に拡大した概略図である。
【図３８】  同上カラーフィルタの製造装置により製造されるカラーフィルタを示す模式図であって、（Ａ）はカラーフィルタの平面図で、（Ｂ）は（Ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３９】  同上カラーフィルタを製造する手順を説明する製造工程断面図である。
【図４０】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置の一部を示す回路図である。
【図４１】  同上表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。
【図４２】  同上表示装置の製造工程の前処理における手順を示す製造工程断面図である。
【図４３】  同上表示装置の製造工程のＥＬ発光材料の吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図４４】  同上表示装置の製造工程のＥＬ発光材料の吐出における手順を示す製造工程断面図である。
【図４５】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大断面図である。
【図４６】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置の画素領域の構造を示す拡大図であり、（Ａ）は平面構造で、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４７】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図４８】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図４９】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図５０】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図５１】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図５２】  本発明の電気光学装置に係るＥＬ表示素子を用いた表示装置を製造する製造工程を示す製造工程断面図である。
【図５３】  同上電気光学装置を備えた電気機器であるパーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図５４】  同上電気光学装置を備えた電気機器である携帯電話を示す斜視図である。
【図５５】  複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐出ユニットの平面図である。
【図５６】  液滴吐出ユニットを用いた処理方法を示す説明図である。
【図５７Ａ】  液滴吐出ユニットの基板１２に対する姿勢を示す説明図である。
【図５７Ｂ】  液滴吐出ユニットの基板１２に対する姿勢を示す説明図である。
【図５８】  複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐出ユニットの平面図である。
【図５９】  複数の液滴吐出ヘッドを配列させた液滴吐出ユニットの平面図である。
【図６０】  マザー基板におけるパターン形成領域の配列態様を示す説明図である。
【図６１】  従来のカラーフィルタの製造方法の一例を示す図である。
【図６２】  従来のカラーフィルタの特性を説明するための図である。
【符号の説明】
１，１１８・・・カラーフィルタ、２，１０７ａ，１０７ｂ    被吐出物である基板、３・・・フィルタエレメント、１２・・・基板であるマザー基板、１３・・・液状材料としてのフィルタエレメント材料、１６・・・液滴吐出装置（カラーフィルタの製造装置）、１９，４２５・・・移動手段（ヘッド走査手段）を構成する走査駆動装置、２１，４２７・・・移動手段（ヘッド送り手段）を構成する送り駆動装置、２５・・・液滴吐出ヘッドの保持手段であるキャリッジ、２７，４６６・・・ノズル、４９・・・被吐出物の保持手段であるテーブル、１０１・・・電気光学装置である液晶装置、１０２・・・電気光学装置である液晶パネル、１１１ａ，１１１ｂ・・・被吐出物である基材、１１４ａ，１１４ｂ・・・電極、２０１・・・電気光学装置であるＥＬ装置、２０２・・・画素電極、２０４・・・基板である透明基板、２１３・・・対向電極、４０５Ｒ（４０５Ｇ，４０５Ｂ）・・・液滴吐出装置としてのカラーフィルタの製造装置、４２１・・・液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド、４２６・・・保持手段としてのキャリッジ、５０１・・・電気光学装置である表示装置、５０２・・・被吐出物としての基板である表示基板、５４０Ａ，５４０Ｂ・・・機能性液状体としての光学材料、Ｌ・・・液晶、Ｍ・・・フィルタエレメント材料、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７Ａ】
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【図５７Ｂ】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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