(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置であって、
前記インク溜まりが設けられた板状のベース部材と、
前記インク圧力室を形成する長孔が所定間隔で配列するようにエッチングにより形成され、前記ベース部材に接合された圧力室シートと、
前記圧力室シート上に接合された前記圧電素子と、を備え、
前記圧力室シートの前記長孔は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設けたハーフエッチング部とを備え、前記フルエッチング部が、前記インク溜まりと連通する前記長孔の一端部側エッチング部と、前記ノズルと連通する前記長孔の他端部側エッチング部とを有し、前記ハーフエッチング部が、前記一端部側エッチング部と前記他端部側エッチング部との間に配置されている、
ことを特徴とするインクジェットヘッド装置。
【請求項２】
前記ベース部材は、前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりが形成されると共に、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路が形成されており、前記ノズルが形成されたノズルプレートは、前記インク流路と前記ノズルとを連通させるように前記ベース部材に接合され、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されており、当該連通位置の中間部に前記ハーフエッチング部が形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド装置。
【請求項３】
前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの２０〜５０％に設定されていることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド装置。
【請求項４】
前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さは、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に設定されていることを特徴する請求項１ないし３のいずれか一記載のインクジェットヘッド装置。
【請求項５】
インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置の製造方法であって、
圧力室シートにインク圧力室としての複数の長孔を互いに所定間隔で配置するようにエッチングにて形成する工程と
板状のベース部材にインク溜まりを形成する工程と、
前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合する工程と、
前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する工程と、を備え、
前記長孔を形成する工程は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通し、前記インク溜まりと連通する前記長孔の一端部側エッチング部と、前記ノズルと連通する前記長孔の他端部側エッチング部とを有するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設け、前記一端部側エッチング部と前記他端部側エッチング部との間に配置されている非貫通のハーフエッチング部とを形成するエッチング工程とを含む、
ことを特徴とするインクジェットヘッド装置の製造方法。
【請求項６】
前記ベース部材における前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりと、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路とを形成する工程と、前記ノズルが形成されたノズルプレートを、前記インク流路と前記ノズルとを連通させるように前記ベース部材に接合する工程とを更に備え、前記圧力室シートの前記長孔を形成する工程は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部を形成すると共に、当該連通位置の中間部に前記ハーフエッチング部を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッド装置の製造方法。
【請求項７】
前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記ハーフエッチング部の厚さを、前記圧力室シートの厚さの２０〜５０％に形成することを特徴とする請求項５または６記載のインクジェットヘッド装置の製造方法。
【請求項８】
前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さを、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に形成することを特徴する請求項５ないし７のいずれか一記載のインクジェットヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタ等に用いられるインクジェットヘッド装置及びその製造方法の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドは、複数の仕切桁により仕切られたインク圧力室を備えたセラミック製のキャビティプレートと、該キャビティプレートに接合した圧電素子とにより構成されており、該圧電素子によりインク圧力室内に圧力変動を生じさせ、インク圧力室内のインクをキャビティプレートに形成したノズルから吐出させている。
【０００３】
キャビティプレートを製造するには様々な種類の方法が用いられるが、例えば、セラミックや樹脂の射出成形で圧力室やインク溜りを一体成形する方法、あるいは感光性ガラスにエッチング処理を施すことにより圧力室やインク溜りを成形する方法が挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の成形方法によれば、次のような問題があった。まず、セラミックや樹脂の射出成形を用いる方法では、金型を製造する必要があるが、微小な間隙で配列する圧力室に対応した金型を製造するのは容易ではないため、金型の製造コストが上昇してしまう。また、このような精密な金型を製造するには非常に多くの時間を要するため、キャビティプレートの形状を変更する必要が生じた場合には迅速に対応することが困難になる。更に、射出成形後には焼成処理を施す必要があるが、焼成処理によって材料の収縮を生じ、この収縮の程度の管理が非常に困難であるため、圧力室やインク溜りの寸法精度を上げることができない。
【０００５】
一方、感光性ガラスのエッチング処理により成形する方法においては、エッチング処理における圧力室やインク溜りの深さ方向の管理が困難であり、圧力室やインク溜りを所定の寸法精度で成形することができない。
また、上記圧力室を形成する長孔の幅のピッチが狭くなった場合や、上記長孔の間に形成される桁部の幅が狭くなった場合には、取り扱い時に桁部に変形を生じさせる可能性がある。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、圧力室として形成される長孔の幅及び該長孔の間に形成される桁部の幅が狭い場合でも、取り扱い時に桁部に変形を生じさせることのないようにしたインクジェットヘッド装置及びその製造方法を提供することを課題としている。
【０００７】
【０００８】
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【００２３】
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のインクジェットヘッド装置は、前記課題を解決するために、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置であって、前記インク溜まりが設けられた板状のベース部材と、前記インク圧力室を形成する長孔が所定間隔で配列するようにエッチングにより形成され、前記ベース部材に接合された圧力室シートと、前記圧力室シート上に接合された前記圧電素子と、を備え、前記圧力室シートの前記長孔は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設けた非貫通のハーフエッチング部とを備え、前記フルエッチング部が、前記インク溜まりと連通する前記長孔の一端部側エッチング部と、前記ノズルと連通する前記長孔の他端部側エッチング部とを有し、前記ハーフエッチング部が、前記一端部側エッチング部と前記他端部側エッチング部との間に配置されている、ことを特徴とする。
【００３０】
請求項１記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記圧力室シートの前記長孔は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設けた非貫通のハーフエッチング部とを備えているので、長孔の幅及び長孔の間に形成される桁部の幅が狭い場合でも、当該桁部は前記ハーフエッチング部によって補強される。その結果、前記圧力室シートの取り扱い時に前記桁部に変形を生じさせることがない。更に、前記ハーフエッチング部は前記圧電素子の可動部との非干渉位置に設けられているので、インクの吐出を妨げることがない。
【００３１】
請求項２記載のインクジェットヘッド装置は、前記課題を解決するために、請求項１記載のインクジェットヘッド装置において、前記ベース部材は、前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりが形成されると共に、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路が形成されており、前記ノズルが形成されたノズルプレートは、前記インク流路と前記ノズルとを連通させるように前記ベース部材に接合され、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されており、当該連通位置の中間部に前記ハーフエッチング部が形成されていることを特徴とする。
【００３２】
請求項２記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記ベース部材は、前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりが形成されると共に、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路が形成されている。従って、インクは、前記インク溜まりから前記長孔の一端から他端に向かって流れる。そして、当該他端において、前記ベース部材を貫通するインク流路を通り、ノズルプレートのノズルから吐出される。この時、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されており、当該連通位置の中間部には前記ハーフエッチング部が形成されているので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部を変形させることがない。
【００３３】
請求項３記載のインクジェットヘッド装置は、前記課題を解決するために、請求項１または２記載のインクジェットヘッド装置において、前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの２０〜５０％に設定されていることを特徴とする。
【００３４】
請求項３記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの２０％以上に設定されているので、十分な剛性を有し、前記桁部を十分に補強する。しかも、前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの５０％以下に設定されているので、前記長孔内におけるインクの流れを妨げることがない。
【００３５】
請求項４記載のインクジェットヘッド装置は、前記課題を解決するために、請求項１ないし３のいずれか一記載のインクジェットヘッド装置において、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さは、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に設定されていることを特徴する。
【００３６】
請求項４記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さは、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に設定されているので、インクの吐出速度を安定吐出速度領域内に保つ。
【００３７】
請求項５記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置の製造方法であって、圧力室シートにインク圧力室としての複数の長孔を互いに所定間隔で配置するようにエッチングにて形成する工程と、板状のベース部材にインク溜まりを形成する工程と、前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合する工程と、前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する工程と、を備え、前記長孔を形成する工程は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通し、前記インク溜まりと連通する前記長孔の一端部側エッチング部と、前記ノズルと連通する前記長孔の他端部側エッチング部とを有するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設け、前記一端部側エッチング部と前記他端部側エッチング部との間に配置されている非貫通のハーフエッチング部とを形成するエッチング工程とを含む、ことを特徴とする。
【００３８】
請求項５記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、まず、圧力室シートを貫通させることにより、インク圧力室用の複数の長孔が互いに所定間隔で配置されるようにフルエッチング部を形成すると共に、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設けた非貫通のハーフエッチング部を形成する。そして、次に、インク溜まりを形成した前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合し、前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する。このような製造工程において、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されているが、当該連通位置の中間部には前記ハーフエッチング部が形成されているので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部を変形させることがない。
【００３９】
請求項６記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、請求項５記載のインクジェットヘッド装置の製造方法において、前記ベース部材における前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりを形成する工程と、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路を形成する工程と、前記ノズルが形成されたノズルプレートを、前記インク流路と前記ノズルとを連通させるように前記ベース部材に接合する工程とを更に備え、前記圧力室シートの前記長孔を形成する工程は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部を形成する工程と、当該連通位置の中間部に前記ハーフエッチング部を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００４０】
請求項６記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、まず、前記ベース部材における前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりを形成する。次に、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路を形成する。そして、このようなベース部材に前記圧力室シートと圧電素子を接合し、更に前記ノズルが形成されたノズルプレートを、前記インク流路と前記ノズルとを連通させるように前記ベース部材に接合する。以上のような工程において、前記圧力室シートの前記長孔を形成する工程は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部を形成する工程を有するが、当該連通位置の中間部には、前記ハーフエッチング部を形成する工程を含むので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部を変形させることがない。
【００４１】
請求項７記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、請求項５または６記載のインクジェットヘッド装置の製造方法において、前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記ハーフエッチング部の厚さを、前記圧力室シートの厚さの２０〜５０％に形成することを特徴とする。
【００４２】
請求項７記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記ハーフエッチング部を、前記圧力室シートの厚さの２０％以上の厚さに形成するので、十分な剛性を有し、前記桁部を十分に補強する。しかも、前記ハーフエッチング部を、前記圧力室シートの厚さの５０％以下の厚さに形成するので、前記長孔内におけるインクの流れを妨げることがない。
【００４３】
請求項８記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、請求項５ないし７のいずれか一記載のインクジェットヘッド装置において、前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さを、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に形成することを特徴する。
【００４４】
請求項８記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さを、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に形成するので、インクの吐出速度を安定吐出速度領域内に保つ。
【００４５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００４６】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態を図１乃至図４に基づいて説明する。なお、本実施形態との比較のため従来例を示した図１３をも参照する。
【００４７】
最初に、本実施形態のインクジェットヘッド装置の概略について図２に基づいて説明する。
【００４８】
図２はライン型インクジェットプリンタ用ヘッドの構成を示す要部斜視図である。図２に示すように、本実施形態のライン型インクジェットプリンタ用ヘッド１は、複数の圧電式インクジェットヘッド２が第１インク流路プレート３の表面に並設されている。
【００４９】
第１インク流路プレート３は、アルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、表面にはステンレス鋼のパターンをポリイミドフィルムに挟持したヒータ４が取り付けられ、裏面には図示しないインクタンクから供給されるインクの往路５が形成されている。また、第１インク流路プレート３には、表面から裏面までを貫き前記往路５と連通した貫通孔６が形成されており、前記往路５に供給されたインクは該貫通孔６により表面側に供給される。更に、第１インク流路プレート３は、第２インク流路プレート７と貼り合わされる。
【００５０】
第２インク流路プレート７は、前記第１インク流路プレート３と同様にアルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、裏面には前記インクタンクに対してインクを排出する復路８が形成されている。
【００５１】
一方、圧電式インクジェットヘッド２は、ベース部材としてのベースプレート１０、圧力室シート１２、ノズルプレート１６、及び圧電素子１７から構成される。
【００５２】
ベースプレート１０は、アルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、該ベースプレート１０にはインク溜まり１１が形成され、該インク溜まり１１は、前記第１インク流路プレート３に形成された貫通孔６と連通している。該ベースプレート１０は裏面が接着剤により第１インク流路プレート３に接着され、表面には圧力室シート１２が同じく接着剤により接着される。
【００５３】
圧力室シート１２は、ステンレス鋼またはニッケルにより形成されたシート状の部材であり、上面が開放された複数個のインク圧力室１３と、各インク圧力室１３を区画する区画壁１４と、各インク圧力室１３と連通すると共に前記ベースプレート１０のインク溜まり１１と連通するインク溜まり用連通孔１５が形成されている。
【００５４】
ノズルプレート１６は、ポリイミドで形成されたシート状部材であり、表面から裏面までを貫くノズル１６ａが複数個形成されている。前記インク圧力室１３の前記インク溜まり用連通孔１５側とは反対の先端側は、徐々に幅が狭くなり、先端面には開口が形成されている。前記ノズルプレート１６は、この先端面において、前記開口と前記ノズル１６ａの位置を一致させるように接着剤により接着されている。
【００５５】
圧電素子１７は、各インク圧力室１３の上面（開放面）が閉塞するように取り付けられる積層型の圧電素子であり、圧電・電歪効果を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック材料からなる複数の圧電セラミック層を積層すると共に、各圧電セラミック層間にはスクリーン印刷により銀パラジウム等の陽電極及び陰電極のパターン１８が形成されている。
【００５６】
前記電極パターン１８は、図示しない電源供給端部と接続されており、該電源供給端部は、フレキシブルプリント基板２０を介してドライブＩＣ２１と接続されている。更に、該ドライブＩＣ２１はフレキシブルプリント基板２０を介して図示しないＣＰＵ等が備えられたメイン基板と接続されている。従って、メイン基板から出力される駆動信号に応じてドライブＩＣ２１が駆動され、更にドライブＩＣ２１から駆動電圧が電極パターン１８に供給されることにより、前記圧電セラミック層が変位し、前記圧力室シート１２とベースプレート１０により形成されるキャビティプレートのインク圧力室１３内の圧力を変動させ、ノズルプレート１６に形成されたノズル１６ａからインクを吐出させる。
【００５７】
このインク吐出動作は、それぞれの圧電式インクジェットヘッド２によって同時に行われ、かつ、以上のように構成されるライン型インクジェットプリンタ用ヘッドの全体は、図示しない揺動機構によって矢印Ａ方向に揺動するので、記録紙Ｐ上にはライン単位で高速な印字が行われる。
【００５８】
次に、以上のような本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２の製造方法及び構成を図１及び図３並びに図４を用いて更に詳しく説明する。
【００５９】
図１は本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２の構成を示す分解斜視図、図３は図１の圧電式インクジェットヘッド２の構成を示す断面図、図４は図１の圧電式インクジェットヘッド２における圧力室シート１２の前縁部周辺を示す一部破断平面図である。
【００６０】
ベースプレート１０は、アルミニウムまたはマグネシウムで形成された厚さ２ｍｍ程度の板状部材であり、まず、このベースプレート１０に切削加工によりインク溜まり１１を形成する。このインク溜まり１１は、図１に示すように、全てのインク圧力室１３と連通するように長手方向に延びた形状に形成し、その長手方向の両端部には、第１インク流路プレート３の貫通孔６と連通する連通孔１１ａを形成する。
【００６１】
次に、厚さ１００μｍのステンレス鋼またはニッケルから成る圧力室シート１２を、５０枚から１００枚重ね、まとめてワイヤ放電加工を施すことにより、インク圧力室１３を形成するための長孔を圧力室シート１２の長手方向に対して所定の間隙を有するように貫通させると共に、インク溜まり用連通孔１５を貫通させる。インク圧力室１３を形成するための前記長孔は、図４に示すように、先端部側に行く程幅が狭くなる形状に形成する。
【００６２】
そして、図１に示すように圧力室シート１２の基準線Ｌを、ベースプレート１０の前端面１０ａの位置に一致させるように、ガラス転移点が１３０℃〜１５０℃の樹脂系接着剤を用いて接着する。
【００６３】
この時、圧力室シート１２の幅Ｗ１を有する前縁部１２ａはベースプレート１０からはみ出すように接着される。そこで、接着後にこの前縁部１２ａを切削加工により切断する。これにより、インク圧力室１３を形成する長孔の先端部には、図４に示すように幅Ｗ２の連通開口部１３ａが形成される。
【００６４】
次に、ポリイミドから成るノズルシート１６に、ワイヤ放電加工により、ノズル１６ａを形成する。このノズル１６ａは、図３に示すように、ベースプレート１０との接着面側の直径が前記長孔の連通開口部１３ａの幅Ｗ２と等しいかあるいは若干小さく形成されており、前面側に行く程徐々に小径となるように形成される。
【００６５】
次に、以上のように形成したノズルシート１６を、前記ノズル１６ａと長孔の連通開口部１３ａとを一致させるように、ベースプレート１０及び圧力室シート１２に前記と同様の樹脂系接着剤を用いて接着する。
そして、最後に、圧電素子１７を前記と同様の樹脂系接着剤を用いて圧力室シート１２に接着することにより、圧電式インクジェットヘッド２が完成する。
完成した状態においては、前記長孔が、図３に示すようにベースプレート１０と圧電素子１７とに囲まれる。従って、ベースプレート１０の表面を底面とし、圧電素子１７を上面とし、更に長孔を区画する区画壁１４を側壁としてインク圧力室１３が形成されることになる。前記長孔は、上述したようにワイヤ放電加工により圧力室シート１２を貫通させて形成したものであるから、当該長孔によって形成されるインク圧力室１３の深さ方向の寸法精度は、圧力室シート１２の厚さの寸法精度のみによって決定される。従って、極めて高い寸法精度にてインク圧力室１３を形成することができる。また、インク圧力室１３及び区画壁１４の幅方向の寸法精度についても、ワイヤ放電加工により極めて高い精度に保つことができる。その結果、各インク圧力室１３の容積はばらつきの無い均一なものとなる。更に、インク圧力室１３とノズル１６ａとを連通する連通開口部１３ａについても、上述したように圧力室シート１２をベースプレート１０に接着した後にワイヤ放電加工により形成するので、圧力室シート１２とベースプレート１０との接着の際に長孔の先端部がばらけてしまうことがなく、高い寸法精度で形成することができる。その結果、ノズル１６ａとインク圧力室１３とを高い精度で位置合わせすることができる。以上のように、インク圧力室１３が高い寸法精度で均一に形成され、インク圧力室１３とノズル１６ａとが高い精度で位置合わせされるので、各ノズル１６ａからは均一な液滴量及び速度でインクの吐出が行われることになる。
【００６６】
また、本実施形態においては、圧力室シート１２とベースプレート１０を熱膨張率が略等しい部材で形成したため、ホットメルトインクを使用した場合でも、圧力室シート１２が反ってしまうことがなく、接着強度を低下させない。その結果、インク圧力室１３から隣接するインク圧力室１３に圧力が漏れることがなく、良好なインク吐出が行われる。
【００６７】
更に、本実施形態においては、ベースプレート１０を、圧力室シート１２に対して十分に厚く形成しているので、図３に示すようにインク圧力室１３の容積に対してインク溜まり１１の容積を十分に大きくすることができ、インク溜まり１１方向に発生する圧力をこのインク溜まり１１により確実に吸収して、他のインク圧力室１３へのインクの流入を確実に防ぐことができる。また、ベースプレート１０が圧力室シート１２に対して十分に厚いため、その剛性も十分に高くなり、圧電素子１７によって発生される圧力変動を、効率良くインク吐出のために作用させることができる。
【００６８】
以上のように圧力室シート１２とベースプレート１０により形成される本実施形態のキャビティプレートによる優れた効果は、従来のインクジェットヘッドにおけるキャビティプレートと比較することにより、より一層明らかになる。図１３は、従来のキャビティプレート１００を示す斜視図である。
【００６９】
従来のキャビティプレート１００は、セラミックの粉体を樹脂またはバインダと混合して射出成形し、その後焼成処理を施して形成するものである。従って、図１３に示すように、凹形状に形成されるインク圧力室１０１及びインク溜まり１０３、並びに凸形状に形成さる区画壁１０２を形成するためには、それぞれの凹凸形状に対応した金型を製造する必要がある。しかしながら、このように非常に小さな間隙の凹凸部を形成するための金型を製造するには、非常に多くの費用と時間を要していた。また、インク圧力室１０１の形状を変更するには、金型を再度作り直さなければならず、費用が嵩むと共に迅速な対応ができない。更に、従来のキャビティプレート１００は焼成処理を施す必要があるので、セラミック材が焼成過程において収縮し、インク圧力室１０１の寸法精度の管理が非常に困難である。また、従来は、感光性ガラスにエッチング処理を施してインク圧力室を形成する方法もあるが、この方法によっても、インク圧力室の深さ方向の制御が困難であり、寸法精度を上げることは極めて困難である。
【００７０】
これに対し、本実施形態のキャビティプレートは、上述したように圧力室シート１２とベースプレート１０とを接着することにより構成されており、金型を用いることなく製造可能であるため、製造コストを著しく低減することができる。特に、圧力室シート１２は、上述したように一度に５０枚〜１００枚もの多数のシートを形成することができるので、製造効率を著しく向上させて、１枚当たりの製造コストを著しく低減することができる。
【００７１】
また、上述したように焼成工程を経ることなく製造可能なので、高い寸法精度で形成することができる。特に、インク圧力室１３を形成するための長孔は、圧力室シート１２に貫通させて形成するので、深さ方向の管理が不要であり、圧力室シート１２の厚さの寸法精度のみによってインク圧力室１３の寸法精度を決定することができる。
【００７２】
また、長孔を形成はワイヤ放電加工により行われるため、非常に高い精度で加工を行うことができると共に、インク圧力室１３の形状変更が必要な場合でも迅速に対応することが可能である。
【００７３】
このように、本実施形態のキャビティプレートは、特に製造コストの低減と寸法精度の高さの点で従来に比べて極めて優れた効果を発揮することができる。
【００７４】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を添付図面の図５及び図６に基づいて説明する。なお、第１の実施形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略する。
【００７５】
図５は本実施形態の圧電式インクジェットヘッドの構成を示す分解斜視図、図６は図５において丸印Ｂで示される圧力室シート１２の前縁部１２ａの拡大図である。
【００７６】
本実施形態のキャビティプレートも、圧力室シート１２とベースプレート１０により構成されるが、本実施形態における圧力室シート１２の前縁部１２ａには、図６に示すように直接ノズル１６ａがワイヤ放電加工により形成されている。ノズル１６ａとインク圧力室１３の間には圧力室シート１２の内部を貫通する図示しない連通孔が形成されており、ノズル１６ａとインク圧力室１３の連通が図られている。
【００７７】
そして、このようにノズル１６ａが形成された圧力室シート１２の基準線Ｌをベースプレート１０の前端面１０ａの位置に一致させるように圧力室シート１２とベースプレート１０を接着し、圧電素子１７と圧力室シート１２を接着することにより本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２が完成する。なお、インク圧力室１３を形成するための長孔及び区画壁１４並びにインク溜まり用連通孔１５の形成方法、及びベースプレート１０におけるインク溜まり１１の形成方法は第１の実施形態と同様である。また、各部材の接着方法についても第１の実施形態と同様である。
【００７８】
このように、本実施形態によれば、圧力室シート１２に直接ノズル１６ａを形成したので、第１の実施形態と同様に低コストで且つ高い寸法精度でキャビティプレートを製造できるだけでなく、インク圧力室１３とノズル１６ａとの位置合わせ精度をより一層向上させることができ、より一層良好なインク吐出を行うことができる。また、ノズルプレートを接着剤を用いて接着する必要がないので、接着剤による目詰まり等の不具合を起こすことがない。
【００７９】
なお、上述したそれぞれの実施形態においては、ワイヤ放電加工を用いて加工を行う場合について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、他にもプレス加工やエッチング加工を用いても良い。これらの加工を行う場合でも、インク圧力室１３を形成するための長孔は圧力室シート１２を貫通させて形成するので、加工精度に依らずにインク圧力室１３の寸法精度を向上させることができる。
【００８０】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態を添付図面の図７ないし図９に基づいて説明する。なお、第１の実施形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略する。
【００８１】
図７（Ａ）は本実施形態のインクジェットヘッド装置としての圧電式インクジェットヘッド２を各構成要素に分解して示す斜視図である。図７（Ａ）に示すように、本実施形態においては、圧力室シート１２の表裏面を貫通させて形成しているのは、圧力室シート１２のインク圧力室１３用の長孔のみであり、当該長孔とノズルシート１６のノズル１６ａとを連通させる連通開口部１２ｃは、圧力室シート１２の表裏面を貫通させることなく形成している。
【００８２】
つまり、図７（Ａ）に示す丸印部Ｃの拡大図である図７（Ｂ）に示すように、前記連通開口部１２ｃの上部には、圧力室シート１２の圧電素子１７との接着面側には、長さＬ２、厚さＷ４の大きさの上壁部１２ｂが形成されている。
【００８３】
ここで、このような連通開口部１２ｃを有する本実施形態の圧力室シート１２の形成方法を図８（Ａ）〜（Ｅ）に基づいて説明する。なお、本実施形態においては、ワイヤ放電加工及びワイヤ加工を用いずに、エッチングにより圧力室シート１２の長孔及び連通開口部１２ｃを形成した。
【００８４】
まず、図８（Ａ）に示すように、圧力室シート１２の大きさに合わせてステンレス鋼またはニッケルにより形成されたシート状部材３０を用意し、このシート状部材３０の表裏面にフォトレジスト３１を一様に塗布する。
【００８５】
次に、図８（Ｂ）に示すように、フォトレジスト３１を塗布したシート状部材３０の表側及び裏側に、マスク３２をセットし、ライト３３によりシート状部材３０の表側及び裏側からライト３３を用いて光を照射する。ここで使用するマスク３２は、図８（Ｂ）に示すように、非透過部３２ａと、透過部３２ｂから構成されており、図７に示す長孔に相当する位置には長孔に相当する形状の非透過部３２ａが形成され、それらの周囲に透過部３２ｂが形成される。表側のマスク３２は、ノズルプレート１６の接着側である前端側と、その反対側の後端側の双方に透過部３２ｂが設けられている。一方、裏側のマスク３２は、後端側にのみ透過部３２ｂが設けられている。
【００８６】
次に、以上のような照射工程を経たシート状部材３０を、現像液に浸すと、図８（Ｃ）に示すように、露光されていない部分のフォトレジスト３１が除去される。つまり、表側においては、前端部と後端部の両端部にフォトレジスト３１が残るが、裏側においては後端部のみにフォトレジスト３１が残る。
【００８７】
次に、以上のような現像工程を経たシート状部材３０に対し、図８（Ｄ）に示すようにスプレー３４のノズル３５からエッチング液を全体に吹き付ける。エッチング液の吹き付けを行うと、フォトレジスト３１がない部分の金属は腐食される。つまり、図８（Ｄ）に示すように長孔部分はフルエッチングされてシート状部材３０が貫通される。一方、連通開口部１２ｃが形成される部分は、表側にフォトレジスト３１が残っているため、表側からはエッチング液が吹き付けられず、裏側のみからエッチング液が吹き付けられる。従って、この部分はハーフエッチングとなり、図８（Ｅ）に示すように、上壁部１２ｂが形成されることになる。
【００８８】
次に、以上のようにして形成される圧力室シート１２を用いた本実施形態における圧電式インクジェットヘッド２の製造方法について説明する。
【００８９】
まず、ベースプレート１０上に、以上のようにして形成した圧力室シート１２を接着する。この接着工程においては、通常図９（Ａ）に示すようにベースプレート１０の端面に対して間隔Ｗ６程度の接着ずれが生じる。
【００９０】
次に、前記圧力室シート１２上に、圧電素子１７を接着する。この接着工程においては、図９（Ａ）に示すように意図的に間隔Ｗ５を設けて接着する。本実施形態においては、圧力室シート１２の前端部に上述した上壁部１２ｂが形成されているため、この上壁部１２ｂ上に圧電素子１７の接着面を形成することができ、このような間隔Ｗ５を設けた接着が可能である。
【００９１】
次に、前記接着ずれによるノズルプレート１６の接着面の段差を無くすために、ベースプレート１０の端面と圧力室シート１２の端面を研磨する。この研磨工程においては、これらの二つの部材の端面を研磨することになるが、これらのベースプレート１０及び圧力室シート１２は同一の金属材料で形成されているため、均一な研磨が可能であり、図９（Ｂ）に示すように、段差の無い接着面Ｈが得られる。特に、本実施形態においては、圧力室シート１２の前端部に上述した上壁部１２ｂが形成されているため、当該上壁部１２ｂ上に圧電素子１７を接着することができ、当該上壁部１２ｂの端面に対して間隔Ｗ５を設けることができる。その結果、前記研磨工程において、ベースプレート１０及び圧力室シート１２とは異なる材料で形成された圧電素子１７をベースプレート１０及び圧力室シート１２と共に研磨する必要が無くなるので、以上のような均一な研磨が可能である。
【００９２】
次に、以上のような研磨工程の後、段差の無い前記接着面Ｈに図９（Ｃ）に示すようにノズルプレート１６を接着し、圧電式インクジェットヘッド２が完成する。
【００９３】
以上説明したように、本実施形態によれば、連通開口部１２ｃをハーフエッチング部として形成し、圧力室シート１２の圧電素子１７との接着面側に上壁部１２ｂを残したので、当該上壁部１２ｂに圧電素子１７を接着して圧電素子１７を圧力室シート１２とベースプレート１０のノズルプレート１６との接着端面から離すことができる。その結果、通常の接着作業工程において圧力室シート１２とベースプレート１０との接着ずれが生じたとしても、同一の金属材料で形成された圧力室シート１２とベースプレート１０の端面のみを研磨すれば良いので、ノズルプレート１６の端面を均一に研磨することができる。
【００９４】
また、前記上壁部１２ｂの存在により、圧力室シート１２の長孔の周囲の桁部分を補強することになり、桁の幅あるいは長孔の幅のピッチが狭くなった場合でも、前記研磨工程において桁部の変形を生じさせることがない。
【００９５】
従って、前記研磨工程は良好に行われ、良好に研磨された端面にノズルプレート１６を隙間無く接着することができるので、インクのリークを確実に防止することができる。
【００９６】
更に、前記上壁部１２ｂの下方には、ハーフエッチング部として形成された連通開口部１２ｃが十分な大きさに確保されているので、フルエッチング部として形成された長孔からノズル１６ａまでの良好なインクの流れを妨げることはない。
【００９７】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態を添付図面の図１０ないし図１２に基づいて説明する。なお、第１の実施形態との共通箇所には同一符号を付して説明を省略する。
【００９８】
本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２は、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ノズルプレート１６をベースプレート１０の底面側に接着する形式を採用したものである。
【００９９】
また、本実施形態においては、圧力室シート１２のインク圧力室１３用の長孔は、圧力室シート１２の表裏面を完全に貫通させて形成しているのではなく、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、長孔内部のほぼ中央部にリブ１２ｄが形成されている。
【０１００】
ここで、このようなリブ１２ｄを有する本実施形態の圧力室シート１２の形成方法を図１１（Ａ）〜（Ｅ）に基づいて説明する。なお、本実施形態においては、ワイヤ放電加工及びワイヤ加工を用いずに、エッチングにより圧力室シート１２の長孔及びリブ１２ｄを形成した。
【０１０１】
まず、図１１（Ａ）に示すように、圧力室シート１２の大きさに合わせてステンレス鋼またはニッケルにより形成されたシート状部材３０を用意し、このシート状部材３０の表裏面にフォトレジスト３１を一様に塗布する。
【０１０２】
次に、図１１（Ｂ）に示すように、フォトレジスト３１を塗布したシート状部材３０の表側及び裏側に、マスク３２をセットし、ライト３３によりシート状部材３０の表側及び裏側からライト３３を用いて露光を行う。ここで使用するマスク３２は、図１１（Ｂ）に示すように、非透過部３２ａと、透過部３２ｂから構成されており、図１０に示す長孔に相当する位置には長孔に相当する形状の非透過部３２ａが形成され、それらの周囲に透過部３２ｂが形成される。表側のマスク３２は、ノズルプレート１６の接着側である前端側と、その反対側の後端側の双方に透過部３２ｂが設けられている。一方、裏側のマスク３２は、前端側及び後端側に加えて、前記リブ１２ｃに相当する位置に、前記リブ１２ｃに相当する大きさの透過部３２ｂが設けられている。
【０１０３】
次に、以上のような露光工程を経たシート状部材３０を、現像液に浸すと、図１１（Ｃ）に示すように、露光されていない部分のフォトレジスト３１が除去される。つまり、表側においては、前端部と後端部の両端部にフォトレジスト３１が残るが、裏側においてはこれらに加えて、前記リブ１２ｄに相当する位置にフォトレジスト３１が残る。
【０１０４】
次に、以上のような現像工程を経たシート状部材３０に対し、図１１（Ｄ）に示すようにスプレー３４のノズル３５からエッチング液を全体に吹き付ける。エッチング液の吹き付けを行うと、フォトレジスト３１がない部分の金属は腐食される。つまり、図１１（Ｄ）に示すように長孔部分はフルエッチングされてシート状部材３０が貫通される。但し、リブ１２ｃが形成される部分は、裏側にフォトレジスト３１が残っているため、この部分には裏側からはエッチング液が吹き付けられず、表側のみからエッチング液が吹き付けられる。従って、この部分はハーフエッチングとなり、図１１（Ｅ）に示すように、リブ１２ｄが形成されることになる。
【０１０５】
次に、以上のようにして形成される圧力室シート１２を用いた本実施形態における圧電式インクジェットヘッド２の製造方法について説明する。
【０１０６】
まず、図１０（Ａ）に示すように、ベースプレート１０上に、以上のようにして形成した圧力室シート１２を接着する。次に、前記圧力室シート１２上に、圧電素子１７を接着する。次に、ベースプレート１０の裏面にノズルプレート１６を接着し、圧電式インクジェットヘッド２が完成する。
【０１０７】
以上のような本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２における圧力室シート１２には、狭い幅の長孔がフルエッチング部として多数形成されており、これらの長孔の間には、長孔よりも狭い幅の桁部が形成されている。従って、圧力室シート１２の接着作業時、あるいは圧力室シート１２の加工作業時において、前記桁部が変形し易い傾向にある。しかしながら、本実施形態においては、上述のように長孔内部にハーフエッチング部としてのリブ１２ｄが形成されており、各桁部が当該リブ１２ｄによって補強されているため、前記作業時においても桁部に変形を生じさせることがない。
【０１０８】
しかも、前記リブ１２ｄは、ハーフエッチング部として形成されているため、その周囲には十分なインク流路が確保されているので、長孔内におけるインクの良好な流れを妨げることがない。
【０１０９】
このリブ１２ｄの高さ及び長さとインクの流れとの関係を調べるために、本発明者等は、図１０（Ａ）に示す長孔の深さＷ７に対するリブ１２ｄの高さＷ８の割合、及び長孔の長さＷ９に対するリブ１２ｄの長さを種々変更し、インク流路の抵抗の大きさを測定する実験を行った。実験の結果を図１２に示す。
【０１１０】
図１２において、縦軸はインクの吐出速度（ｍ／ｓｅｃ）であり、横軸は長孔の深さ、即ち圧力室シート１２の厚さＷ７に対するリブ１２ｄの高さＷ８の割合（％）を示している。また、長孔の長さ、即ち流路長Ｗ９に対するリブ１２ｄの長さＷ１０の割合（％）が５％の場合を黒点で示し、流路長Ｗ９に対するリブ１２ｄの長さＷ１０の割合（％）が１０％の場合を白点で示した。
【０１１１】
図１２から明らかなように、流路長Ｗ９に対するリブ１２ｄの長さＷ１０の割合が１０％の場合には、圧力室シート１２の厚さＷ７に対するリブ１２ｄの高さＷ８の割合が５０％を超えると、吐出速度が安定吐出領域である６〜７．５（ｍ／ｓｅｃ）の範囲を下回り、流路抵抗が大きくなることが判る。
【０１１２】
また、圧力室シート１２の厚さＷ７に対するリブ１２ｄの高さＷ８の割合が２０％を下回ると、流路長Ｗ９に対するリブ１２ｄの長さＷ１０の割合が５％の時も１０％の時も、吐出速度は安定吐出領域内であるが、リブ１２ｄの剛性が低下し、桁部の補強部材としての機能は低下することが判った。
【０１１３】
以上の実験結果から、本実施形態においては、長孔の深さ、即ち圧力室シート１２の厚さＷ７に対するリブ１２ｄの高さＷ８の割合を２０％〜５０％とし、長孔の長さ、即ち流路長Ｗ９に対するリブ１２ｄの長さＷ１０の割合を１０％以下に設定した。
【０１１４】
以上説明したように、本実施形態によれば、長孔内部に所定の長さ及び高さのリブ１２ｄをハーフエッチング部として形成し、圧力室シート１２の桁部の補強を図ったので、圧力室シート１２の接着作業あるいは加工作業時等において、桁部の変形を確実に防止することができる。
【０１１５】
また、上述のように、リブ１２ｄの長さ及び高さは、インクの流れを妨げることのない値に設定されているので、安定したインク吐出を実現することができる。
【０１１６】
なお、本実施形態においては、一例として、ベースプレート１０の底面側にノズルプレート１６を接着する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第３の実施形態のように、ベースプレート１０及び圧力室シート１２の側端面側にノズルプレート１６を設定する形態の圧電式インクジェットヘッドにも適用可能である。この場合には、第３の実施形態で説明した上壁部１２ｂと本実施形態のリブ１２ｄとを双方設けるようにすれば良い。
【０１１７】
以上説明したように、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートは、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置のキャビティプレートであって、前記インク溜まりが設けられた板状のベース部材と、前記インク圧力室を形成する長孔が所定間隔で配列するように貫通形成され、前記ベース部材に接合された圧力室シートとを備えたことを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、圧力室シートがベース部材に接合されているので、当該圧力室シートに所定間隔で配列し、且つ、当該圧力室シートを貫通して形成された長孔は、前記ベース部材の接合表面を底面とし、当該長孔の周囲の圧力室シートを側壁とするインク圧力室を形成する。従って、インク圧力室の深さ方向の寸法精度は、長孔の加工精度に依らずに圧力室シートの厚さの寸法精度のみによって決定されており、極めて高いものとなる。また、このような長孔の形成には、例えば放電加工、エッチング加工、あるいはプレス加工等を用いれば良く、焼成処理を施す必要がないので、インク圧力室の幅方向の寸法精度、及び隣接するインク圧力室間の間隙の寸法精度についても、焼成による収縮が生じる場合に比べて高くなる。従って、所定間隔で配列されたそれぞれのインク圧力室の容積の寸法精度は、従来に比べて極めて高いものとなり、ばらつきの無い均一なインク吐出が行われることになる。しかも、本発明のキャビティプレートを製造するに当たっては、金型を製造する必要がないので、製造コストが大幅に減少するだけでなく、インク圧力室の形状変更に対しても迅速な対応が可能である。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、板状のベース部材にインク溜まりを設け、インク圧力室の形成のための長孔を所定間隔で配列させて圧力室シートに貫通形成し、この圧力室シートをベース部材に接合したので、コストを低減しつつ、インク圧力室の寸法精度の高いキャビティプレートを得ることができ、ばらつきの無い均一なインク吐出を行うことができる。また、金型を製造する必要がないので、製造コストを大幅に減少することができるだけでなく、インク圧力室の形状変更に対しても迅速に対応させることができる。
【０１１８】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートは、前記圧力室シートの前縁部の端面は、前記ノズルが形成されたノズルシートとの接合面として用いられ、前記圧力室シートの前縁部側における前記長孔の先端部には、前記前縁部の端面まで貫通した開口が形成されていることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、圧力室シートの前縁部の端面には、ノズルの形成されたノズルシートが接合され、当該前縁部側の前記長孔の先端部に形成された開口は、当該前縁部の端面まで貫通しているので、前記長孔によって形成されるインク圧力室と前記ノズルとが連通し、インク圧力室内で圧力変動を与えられたインクは前記ノズルから吐出されることになる。このように、ベース部材と圧力室シートからキャビティプレートを構成する場合でも、インク圧力室とノズルの連通が、容易且つ確実に行われる。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、前記圧力室シートの前縁部の端面を前記ノズルが形成されたノズルシートとの接合面として用い、前記圧力室シートの前縁部側における前記長孔の先端部に、前記前縁部の端面まで貫通した開口を形成したので、ベース部材と圧力室シートからキャビティプレートを構成する場合でも、インク圧力室とノズルの連通を、容易且つ確実に行うことができる。
【０１１９】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートは、前記圧力室シートの前縁部の端面には、前記ノズルが形成されており、前記圧力室シートの前縁部には、前記長孔と前記ノズルとを連通させる連通孔が形成されていることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、圧力室シートの前縁部の端面に、当該圧力室シートの厚さよりも小径のノズルが形成されており、当該ノズルと長孔とは、圧力室シートの前縁部の内部を貫通するように形成された連通孔により連通される。従って、インク圧力室内で圧力変動を与えられたインクは前記ノズルから吐出されることになる。このように、ベース部材と圧力室シートからキャビティプレートを構成する場合でも、インク圧力室とノズルの連通が、容易且つ確実に行われる。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、前記圧力室シートの前縁部の端面に、前記ノズルを形成し、前記圧力室シートの前縁部に、前記長孔と前記ノズルとを連通させる連通孔を形成したので、ベース部材と圧力室シートからキャビティプレートを構成する場合でも、インク圧力室とノズルの連通を、容易且つ確実に行うことができる。
【０１２０】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートは、前記圧力室シートと前記ベース部材は熱膨張率が略同程度であることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、圧力室シートとベース部材の熱膨張率が略同程度なので、所定の高温により溶融するホットメルト型のインク接着剤を用いる場合でも、圧力室シートが反ってしまうことがなく、接着強度を低下させない。その結果、インク圧力室から圧力が漏れることがなく、良好なインク吐出が行われる。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、前記圧力室シートと前記ベース部材の熱膨張率を略同程度としたので、所定の高温により溶融するホットメルト型のインク接着剤を用いる場合でも、圧力室シートが反ってしまうことがなく、接着強度を低下を防ぐことができる。その結果、インク圧力室から圧力が漏れることがなく、良好なインク吐出を行うことができる。
【０１２１】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートは、前記ベース部材は、前記圧力室シートに比べて十分に厚く形成されていることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、ベース部材は圧力室シートに比べて十分に厚く形成されているので、インク溜まりの容積をインク圧力室に比べて十分に大きくすることができ、インク圧力室内にてインクに付与された圧力のうち、インク溜まり方向に働く圧力は当該インク溜まりで確実に吸収され、他のインク圧力室に対するクロストークが減少する。また、ベース部材が圧力室シートに比べて十分に厚く形成されていることにより、その剛性も高くなり、インク圧力室内に生じる圧力によって変形することなく、当該圧力をインク吐出のために有効に作用させる。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートによれば、前記ベース部材を、前記圧力室シートに比べて十分に厚く形成したので、インク溜まりの容積をインク圧力室に比べて十分に大きくすることができ、インク溜まり方向に働く圧力を当該インク溜まりで確実に吸収して他のインク圧力室に対するクロストークを減少させることができる。また、ベース部材が圧力室シートに比べて十分に厚く形成されていることにより、その剛性も高くなり、インク圧力室内に生じる圧力によって変形することなく、当該圧力をインク吐出のために有効に作用させることができる。
【０１２２】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法は、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法であって、インク圧力室を形成する複数の長孔を互いに所定間隔を有するように圧力室シートに貫通させる工程と、板状のベース部材にインク溜まりを形成する工程と、前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合する工程と、前記インク圧力室に前記ノズルとの連通孔を形成する工程とを備えたことを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、圧力室シートに対して複数の長孔を互いに所定間隔を有するように貫通させるには、例えば放電加工、エッチング加工、あるいはプレス加工等を用いることができ、金型を必要としないので製造コストを低減させる。また、金型を用いる場合に比べて、インク圧力室の形状変更に対しても迅速な対応が可能である。更に、圧力室シートは、シート状部材であるため、複数枚のシート状部材を重ねて前記のような種々の加工を施すことができ、製造の効率を向上させ、１枚当たりの製造コストを低減させる。また、圧力室シートをベース部材に接合することにより、当該圧力室シートに所定間隔で配列し、且つ、当該圧力室シートを貫通して形成された長孔は、前記ベース部材の接合表面を底面とし、当該長孔の周囲の圧力室シートを側壁とするインク圧力室を形成することになる。従って、インク圧力室の深さ方向の寸法精度は、長孔の加工精度に依らずに圧力室シートの厚さの寸法精度のみによって決定されており、極めて高いものとなる。また、上述のような各種の加工により長孔を形成できるので、焼成処理を施す必要がなく、インク圧力室の幅方向の寸法精度、及び隣接するインク圧力室間の間隙の寸法精度についても、焼成による収縮が生じる場合に比べて高くなる。従って、所定間隔で配列されたそれぞれのインク圧力室の容積の寸法精度は、従来に比べて極めて高いものとなる。更に、前記インク圧力室とノズルとの連通孔が形成されるので、それぞれのノズルからは、ばらつきの無い均一なインク吐出が行われることになる。なお、圧力室シートに対する長孔の形成及び連通孔の形成工程と、圧力室シートとベース部材との接合工程は、何れを先に行ってもよい。例えば、第１の方法としては、圧力室シートに長孔を形成した後に当該圧力室シートをベース部材に接合し、その後に連通孔を形成する。また、第２の方法としては、圧力室シートに長孔と連通孔を形成した後に当該圧力室シートをベース部材に接合する。第３の方法としては、圧力室シートをベース部材に接合した後に、当該圧力室シートに長孔と連通孔を形成する。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、インク圧力室を形成する複数の長孔を互いに所定間隔を有するように圧力室シートに貫通させ、板状のベース部材にインク溜まりを形成し、前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合し、前記インク圧力室に前記ノズルとの連通孔を形成することによりキャビティプレートを製造したので、金型を用いる必要がなく製造コストを低減させることができる。また、金型を用いる場合に比べて、インク圧力室の形状変更に対しても迅速に対応させることができる。更に、圧力室シートは、シート状部材であるため、複数枚のシート状部材を重ねて前記のような種々の加工を施すことができ、製造の効率を向上させ、１枚当たりの製造コストを低減させることができる。また、インク圧力室の深さ方向の寸法精度は、長孔の加工精度に依らずに圧力室シートの厚さの寸法精度のみによって決定されるので、極めて高いものとなり、所定間隔で配列されたそれぞれのインク圧力室の容積の寸法精度を、従来に比べて極めて高くすることができる。その結果、それぞれのノズルから、ばらつきの無い均一なインク吐出を行うことができる。
【０１２３】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法は、前記インク圧力室に前記ノズルとの連通孔を形成する工程は、前記圧力室シートの前記ベース部材に対する接合工程後に、前記インク圧力室の先端部を含む前記圧力室シートの前縁部を切断する工程であることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、圧力室シートに長孔が形成された段階では、前記連通孔は形成されておらず、前記所定の間隔で配列するように複数の長孔を形成しても圧力室シートの前縁部はシート状につながっている。従って、圧力室シートのベース部材への接合が容易に行われることになる。そして、この接合の後にインク圧力室の先端部を含む圧力室シートの前縁部を切断することにより、インク圧力室の位置ずれを生じることなく、インク圧力室とノズルとの連通孔が精度良く形成される。従って、インク圧力室とノズルは、ずれの無い状態で連通し、良好なインク吐出が行われることになる。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、前記圧力室シートを前記ベース部材に対して接合した後に、前記インク圧力室の先端部を含む前記圧力室シートの前縁部を切断して、前記インク圧力室に前記ノズルとの連通孔を形成するので、圧力室シートのベース部材への接合を容易に行うことができると共に、インク圧力室の位置ずれを生じさせることなくインク圧力室とノズルとの連通孔を精度良く形成することができるので、インク圧力室とノズルを、ずれの無い状態で連通させることができ、良好なインク吐出を行うことができる。
【０１２４】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法は、前記インク圧力室に前記ノズルとの連通孔を形成する工程に代えて、前記圧力室シートの前端面から前記インク圧力室に連通する連通孔を設けることにより、前記圧力室シートに直接ノズルを形成する工程を更に備えたことを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、圧力室シートの前端面からインク圧力室に連通する連通孔を設けることにより、圧力室シートに直接ノズルを形成するので、インク圧力室とノズルとの位置合わせ精度がより一層向上する。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートの製造方法によれば、圧力室シートの前端面からインク圧力室に連通する連通孔を設けることにより、圧力室シートに直接ノズルを形成するので、インク圧力室とノズルとの位置合わせ精度をより一層向上させることができる。また、接着剤を用いてノズルプレートとベース部材及び圧力室シートを接着する必要がないので、接着剤のはみ出しによるノズルの目詰まりの発生を確実に防止することができる。
【０１２５】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置は、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置であって、前記インク溜まりが設けられた板状のベース部材と、前記インク圧力室を形成する長孔が所定間隔で配列するようにフルエッチングにより貫通形成され、前記ベース部材に接合された圧力室シートと、前記圧力室シート上に接合された前記圧電素子と、前記ノズルが形成され、前記ベース部材及び圧力室シートの端面に接合されたノズルシートと、を備え、前記ノズルシートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部には、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路が、前記ベース部材側に開口部を有するようにハーフエッチングにより形成されており、前記圧電素子と前記ノズルシートとの間には所定の間隙が設けられている、ことを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置によれば、前記ノズルシートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部には、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路が、前記ベース部材側に開口部を有するようにハーフエッチングにより形成されているので、前記圧電素子との接合側には、前記前縁部に前記圧電素子の接合領域が形成される。そして、この接合領域を用いて、前記圧電素子と前記ノズルシートとの間に所定の間隙を設けるように、前記圧電素子を前記圧力室シートに接合するので、ノズルシートとの接合面として用いられるのは、ベース部材の端面と圧力室シートの端面のみになる。その結果、このノズルシートとの接合面に段差が生じた場合でも、互いに異なる部材で形成される圧電素子と、ベース部材及び圧力室シートとを同時に研磨する必要がなく、均一な研磨が行われることになる。従って、この均一に研磨された接合面に前記ノズルシートが接合されるので、インク漏れが確実に防止される。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置によれば、前記ノズルシートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部には、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路が、前記ベース部材側に開口部を有するようにハーフエッチングにより形成されているので、前記圧電素子との接合側には、前記前縁部に前記圧電素子の接合領域を形成することができる。そして、この接合領域を用いて、前記圧電素子と前記ノズルシートとの間に所定の間隙を設けるように、前記圧電素子を前記圧力室シートに接合するので、ノズルシートとの接合面として用いられるのは、ベース部材の端面と圧力室シートの端面のみとすることができ、このノズルシートとの接合面に段差が生じた場合でも、互いに異なる部材で形成される圧電素子とベース部材及び圧力室シートとを同時に研磨する必要をなくすことができる。その結果、前記接合面を均一に研磨することができ、この均一に研磨された接合面に前記ノズルシートが接合されるので、インク漏れを確実に防止することができる。しかも、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路は、ハーフエッチングにより形成されているため、インクの流れを妨げることなく、良好なインク吐出を実現することができる。
【０１２６】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置は、前記圧力室シートと前記ベース部材は、同一の金属材料で形成されていることを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置によれば、前記圧力室シートと前記ベース部材は、同一の金属材料で形成されているので、ノズルシートとの接合面に段差が生じた場合でも、同一の金属材料で形成されたベース部材と圧力室シートとを研磨すれば良いので、より一層均一な研磨が行われることになる。従って、この均一に研磨された接合面に前記ノズルシートが接合されるので、インク漏れがより一層確実に防止される。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置によれば、前記圧力室シートと前記ベース部材は、同一の金属材料で形成されているので、ノズルシートとの接合面に段差が生じた場合でも、同一の金属材料で形成されたベース部材と圧力室シートとを研磨すれば良いので、より一層均一な研磨を行うことができる。従って、この均一に研磨された接合面に前記ノズルシートが接合されるので、インク漏れがより一層確実に防止することができる。
【０１２７】
前記実施形態のインクジェットヘッド装置の製造方法は、インクを吐出する複数のノズルと、該ノズルと連通するように所定間隔で配列されたインク圧力室と、該インク圧力室のそれぞれと連通しインクを供給するインク溜まりとを備え、圧電素子により前記インク圧力室内のインクに圧力変動を与えて前記ノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置の製造方法であって、インク圧力室として形成される複数の長孔が互いに所定間隔で配置されるように圧力室シートを貫通するフルエッチング部と、前記ノズルが形成されたノズルプレートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部にて前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路を前記ベース部材側に開口させて設けるハーフエッチング部とを形成するエッチング工程と、板状のベース部材にインク溜まりを形成する工程と、前記ベース部材と前記圧力室シートとを接合する工程と、前記圧電素子の端面を前記圧力室シートの前記前縁部の端面よりも前記圧力シート側に後退させて前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する工程と、前記圧力室シートの前記前縁部の端面と前記ベース部材の端面とを揃えるように研磨する工程と、前記べース部材及び圧力室シートの端面に前記ノズルプレートを接合させる工程と、を備えたことを特徴とする。
前記実施形態のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、まず、圧力室シートを貫通させることにより、インク圧力室用の複数の長孔が互いに所定間隔で配置されるようにフルエッチング部を形成すると共に、ノズルが形成されたノズルプレートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部においては、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路が、前記ベース部材側に開口を設けるようにハーフエッチング部を形成する。次に、インク溜まりを形成した板状のベース部材と前記圧力室シートとを接合し、前記圧電素子の端面を前記圧力室シートの前記前縁部の端面よりも前記圧力シート側に後退させて前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する。このような接合が可能なのは、前記ハーフエッチング部が、ベース部材との接合側のみに開口を有しており、圧電素子との接合側には接合面が形成されているためである。次に、前記圧力室シートの前記前縁部の端面と前記ベース部材の端面とを揃えるように研磨する。この時、これらの端面に段差が生じた場合でも、互いに異なる部材で形成される圧電素子とベース部材及び圧力室シートとを同時に研磨する必要がないので、均一な研磨が行われることになる。従って、前記べース部材及び圧力室シートの端面に前記ノズルプレートを接合させる際においては、この接合面が上述のように均一に研磨されているので、接合箇所に隙間が形成されず、インク漏れを確実に防止する。
よって、前記実施形態のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、圧力室シートを貫通させてインク圧力室用の複数の長孔が互いに所定間隔で配置されたフルエッチング部を形成すると共に、ノズルが形成されたノズルプレートとの接合側における前記圧力室シートの前縁部においては、前記インク圧力室と前記ノズルとを連通せしめるインク流路を、前記ベース部材側に開口させて設けるハーフエッチング部を形成するので、前記圧電素子を前記圧力室シートに接合する際には、前記圧電素子の端面を前記圧力室シートの前記前縁部の端面よりも前記圧力シート側に後退させることができる。従って、前記圧力室シートの前記前縁部の端面と前記ベース部材の端面とを揃えるように研磨する際には、これらの端面に段差が生じた場合でも、互いに異なる部材で形成される圧電素子とベース部材及び圧力室シートとを同時に研磨する必要がないので、均一な研磨を行うことができる。更に、前記べース部材及び圧力室シートの端面に前記ノズルプレートを接合させる際には、この接合面は、上述のように均一に研磨されているので、インク漏れを確実に防止することができる。
【０１２８】
【発明の効果】
請求項１記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記圧力室シートの前記長孔は、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通するフルエッチング部と、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を設けたハーフエッチング部とを備えているので、長孔の幅及び長孔の間に形成される桁部の幅が狭い場合でも、当該桁部を前記ハーフエッチング部によって補強することができる。その結果、前記圧力室シートの取り扱い時における前記桁部の変形を確実に防止することができる。更に、前記ハーフエッチング部は前記圧電素子の可動部との非干渉位置に設けられているので、インクの吐出を妨げず、安定したインク吐出を実現することができる。
【０１２９】
請求項２記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記ベース部材は、前記長孔の一端部側に相当する位置に前記インク溜まりが形成されると共に、前記長孔の他端側に相当する位置に前記ベース部材を貫通するインク流路が形成されている。従って、インクは、前記インク溜まりから前記長孔の一端から他端に向かって流れることになるが、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されており、当該連通位置の中間部には前記ハーフエッチング部が形成されているので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部の変形を確実に防止することができる。
【０１３０】
請求項３記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの２０％以上に設定されているので、十分な剛性を有し、前記桁部を十分に補強することができる。しかも、前記ハーフエッチング部の厚さは、前記圧力室シートの厚さの５０％以下に設定されているので、前記長孔内におけるインクの流れを妨げず、インクの安定した吐出を実現することができる。
【０１３１】
請求項４記載のインクジェットヘッド装置によれば、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さは、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に設定されているので、インクの吐出速度を安定吐出速度領域内に保つことができる。
【０１３２】
請求項５記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、圧力室シートをエッチングにて貫通させることにより、インク圧力室用の複数の長孔を互いに所定間隔で配置されるように形成するが、このとき、前記圧電素子との接合側から前記ベース部材との接合側に貫通するフルエッチング部を形成すると共に、前記圧電素子との接合側のみに前記圧電素子の可動部との非干渉位置まで開口を有する非貫通のハーフエッチング部を形成する。従って、前記圧力室シートの前記長孔は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部が形成されているが、当該連通位置の中間部には前記ハーフエッチング部が形成されているので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部の変形を確実に防止することができる。
【０１３３】
請求項６記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記圧力室シートの前記長孔を形成する工程は、前記ベース部材の前記インク溜まり及び前記インク流路との連通位置に前記フルエッチング部を形成する工程と、当該連通位置の中間部に前記ハーフエッチング部を形成する工程とを含むので、前記圧力室シートの接合工程等における作業時に、長孔の周囲に形成された桁部の変形を確実に防止することができる。
【０１３４】
請求項７記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記非貫通部を形成する工程においては、前記ハーフエッチング部を、前記圧力室シートの厚さの２０％以上の厚さに形成するので、十分な剛性を有し、前記桁部を十分に補強することができる。しかも、前記ハーフエッチング部を、前記圧力室シートの厚さの５０％以下の厚さに形成するので、前記長孔内におけるインクの流れを妨げず、インクの安定した吐出を実現することができる。
【０１３５】
請求項８記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記ハーフエッチング部を形成する工程においては、前記長孔の長手方向における前記ハーフエッチング部の長さを、前記長孔の長手方向長さの１０％以下に形成するので、インクの吐出速度を安定吐出速度領域内に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態におけるインクジェットヘッド装置の構成を示す分解斜視図である。
【図２】  本発明の第１の実施形態におけるライン型インクジェットプリンタ用ヘッドの構成を示す要部斜視図である。
【図３】  図１のインクジェットヘッド装置の断面図である。
【図４】  図１のインクジェットヘッド装置における圧力室シートの前縁部周辺を示す一部破断平面図である。
【図５】  本発明の第２の実施形態におけるインクジェットヘッド装置の構成を示す分解斜視図である。
【図６】  図５のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートに形成されたノズルを示す斜視図である。
【図７】  （Ａ）は本発明の第３の実施形態におけるインクジェットヘッド装置の構成を示す分解斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す丸印部Ｃの拡大図である。
【図８】  図７の圧力室シート１２の製造工程を説明するための図であり、（Ａ）は金属製のシート状部材にフォトレジストを塗布する工程、（Ｂ）はマスク後に露光を行う工程、（Ｃ）は露光後の現像工程、（Ｄ）は現像後のエッチング液の吹き付け工程、及び（Ｅ）は完成状態をそれぞれ示す図である。
【図９】  図７のインクジェットヘッド装置の製造工程を示す図であり、（Ａ）はベースプレートに圧力室シートを接着し、圧力室シートの上に圧電素子を接着する工程、（Ｂ）は接着工程後にベースプレートと圧力室シートの端面を研磨する工程、（Ｃ）は研磨工程後に前記端面にノズルプレートを接着する工程をそれぞれ示す図である。
【図１０】  （Ａ）は本発明の第４の実施形態におけるインクジェットヘッド装置の構成を示す断面図、（Ｂ）は（Ａ）に示すインクジェットヘッド装置の構成を示す分解斜視図である。
【図１１】  図１０の圧力室シート１２の製造工程を説明するための図であり、（Ａ）は金属製のシート状部材にフォトレジストを塗布する工程、（Ｂ）はマスク後に露光を行う工程、（Ｃ）は露光後の現像工程、（Ｄ）は現像後のエッチング液の吹き付け工程、及び（Ｅ）は完成状態をそれぞれ示す図である。
【図１２】  本発明の第４の実施形態において行った、リブの高さ及び長さとインクの流路抵抗並びにリブの剛性についての実験結果を示す図である。
【図１３】  従来のインクジェットヘッド装置のキャビティプレートを示す斜視図である。
【符号の説明】
２…圧電式インクジェットヘッド
１０…ベースプレート
１０ａ…ベースプレートの前端面
１２…圧力室シート
１２ａ…圧力室シートの前縁部
１２ｂ…上壁部
１２ｃ…連通開口部
１２ｄ…リブ
１３…インク圧力室
１４…区画壁
１５…インク溜まり用連通孔
１６…ノズルプレート
１６ａ…ノズル
【図１】
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【図２】
0004010083.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004010083.tif 000005
【図５】
0004010083.tif 000006
【図６】
0004010083.tif 000007
【図７】
0004010083.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0004010083.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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