(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数の半導体ウェハを起立状態で並列支持するウェハキャリアが収納される蓋体とボトムケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器にあって、
前記ボトムケース体の開放端部が、その全周にわたり連続して略同一の長さをもって外側に略逆Ｕ字状に屈曲した形態に成形されてなり、その相対する一対の外側壁部分に前記蓋体の対応する係着片と係着する係着部を有し、
前記蓋体の天板部の内面に、前記ウェハキャリアに保持された各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材を嵌着固定する嵌着手段を有してなり、
前記嵌着手段は、蓋体の天板部の内面に形成され、前記ウェハ押圧部材の矩形枠体の長辺を構成する一対の枠材のほぼ全長にわたって平行に突設して各枠材を挟着する都合４組以上の２条の挟着リブを有してなる、
ことを特徴とする半導体ウェハ包装容器。
【請求項２】
前記ボトムケース体の略逆Ｕ字状に形成された前記開放端部の本体部分と外側屈曲部分とが全周にわたり複数の補強リブにて連結されてなる請求項１記載の半導体ウェハ包装容器。
【請求項３】
前記蓋体及びボトムケース体が略矩形状をなしており、係着孔を有する係着片が前記蓋体の少なくとも一組の対向する側壁の開放端中央から略同一平面上を延設され、同係着片に対応する前記ボトムケース体の外側屈曲部分には前記係着片の肉厚に相当する深さの凹み部が形成されるとともに、同凹み部の前記係着孔に対応する部位に前記係着孔に嵌合する嵌合膨出部が形成されてなる請求項１又は２記載の半導体ウェハ包装容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハを破損、汚染することなく保管し、安全に輸送するための蓋体と本体ケースとを備えた半導体ウェハ包装容器に関し、特に前記本体ケースの成形時における変形を防止し且つ強靱性及び耐衝撃性が確保され、同時に前記蓋体との係着を確実にした半導体ウェハの包装容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の半導体ウェハ包装容器は、複数の半導体ウェハを収容するウェハキャリア、ウェハキャリアを収納保持するボトムケース体、蓋体、ウェハ押圧部材等から構成されている。そして、前記ウェハキャリア及びボトムケース体の一般的な材質としては、ポリプロピレンが使われており、蓋体はポリプロピレン又はポリカーボネートから構成されている。また、前記ウェハ押圧部材にはポリプロピレン、ポリエステル、又はポリエチレン等が使われる。
【０００３】
前記半導体ウェハはシリコン等の単結晶を薄くスライスして製造されるものであり、脆性が高い上に汚染による物性への影響が大きいため、包装時はもとより輸送中における破損や汚染を防止するための最大限の努力が払われなければならない。前記半導体ウェハ包装容器は、外部からの衝撃によるウェハの破損を防ぐばかりでなく、容器内におけるウェハ押圧部材との摩擦などで発生するパーティクルによる汚染、或いは容器の内外圧力差や変形による外気の侵入による汚染を避けるため、収容時のウェハ支持の安定性を確保するとともにウェハ押圧部材等との接触摩擦を防ぐことや、ボトムケース体及び蓋体からなる容器本体の強靱性、耐衝撃性及び気密性を確保すること等が厳しく要求される。
【０００４】
容器本体のうち、蓋体は上記特性の他に外部からウェハを透視できるような透明素材であることが必要であるため、高価ではあっても特に耐衝撃性、強靱性及び耐熱性に優れた上述のポリカーボネートが多く使われるが、ボトムケース体は透明である必要がないため、ポリカーボネートと比較して格段に廉価であるポリプロピレンが多用されている。しかして、ポリプロピレンは耐衝撃性、強靱性、耐熱性等でポリカーボネートに劣るため、同一肉厚で成形された蓋体とボトムケース体とでは、その材質の違いが特に耐衝撃性や強靱性においてボトムケース体の方が蓋体よりも劣ることになる。  そこで、従来から、例えば国際公表WO 94/ 25980号公報に開示されているように、ボトムケース体の開放側端縁を外側に略逆Ｕ字状に屈曲した形態に成形するとともに、その外側屈曲部分と本体部分とを複数のリブで連結し、蓋体と同一肉厚でありながら、最も変形と破損のしやすい開放側の端縁部を強化している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかるに、上記国際公表WO 94/ 25980号公報に開示された半導体ウェハ包装容器にあっては、蓋体とボトムケース体との嵌合固定を別体からなるクリップにより容器の４側面においてなされる。そのため、蓋体の開放側端縁に沿って外方に突出するフランジ部の４側面の各中央部に前記クリップの上端係合部と係合する係合凹部が形成される共に、前記ボトムケース体に形成された逆Ｕ字状をなす開放側端縁部から垂直に延在する外側屈曲部分の４側面の中央部に前記クリップの下端係合部と係合する係合凹部が形成されている。
【０００６】
しかして、前記蓋体及びボトムケース体の各係合凹部の部位では、蓋体の本体側壁とボトムケース体の本体側壁の肉厚が残るだけとなり、前記係合凹部と本体とをリブで連結はしているものの、強度的に他の部分より弱いものとなっている。また、前述のように蓋体とボトムケース体との嵌合固定に別体のクリップをしようすることから、蓋体及びボトムケース体のクリップ係合部における構造が複雑化するばかりでなく、両者の嵌合固定作業が煩雑化されている。更には、前記係合凹部の存在により、特に上記素材から成形されるボトムケース体にあっては、その成形時に前記係合凹部の部分で波打ち状態に変形しやすく、蓋体とボトムケース体との嵌合固定にあたって密封性に難があり、外気が侵入する恐れがある。
【０００７】
本発明はこれらの課題を一挙に解決すべくなされたものであり、具体的には構造が簡略され、しかも蓋体との嵌合固定作業が容易で、且つ密封性に優れ、更には強度的にも何ら低下することのないボトムケース体を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本発明の主要な構成である内部に複数の半導体ウェハを起立状態で並列支持するウェハキャリアが収納される蓋体とボトムケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器にあって、前記ボトムケース体の開放端部が、その全周にわたり連続して略同一の長さをもって外側に略逆Ｕ字状に屈曲した形態に成形されてなり、その相対する一対の外側壁部分に前記蓋体の対応する係着片と係着する係着部を有し、前記蓋体の天板部の内面に、前記ウェハキャリアに保持された各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材を嵌着固定する嵌着手段を有してなり、前記嵌着手段は、蓋体の天板部の内面に形成され、前記ウェハ押圧部材の矩形枠体の長辺を構成する一対の枠材のほぼ全長にわたって平行に突設して各枠材を挟着する都合４組以上の２条の挟着リブを有してなることを特徴とする半導体ウェハ包装容器により達成される。
【０００９】
そして、更に前記ボトムケース体の略逆Ｕ字状に形成された前記開放端部の強度を確保するため、同開放端部の本体部分と外側屈曲部分とが全周にわたり複数の補強リブにて連結されていることが望ましい。
【００１０】
かかる構成から、本発明にあっては前記蓋体及びボトムケース体が略矩形状をなしており、係着孔を有する係着片が前記蓋体の少なくとも一組の対向する側壁の開放端縁中央から同一平面上を延設され、同係着片に対応する前記ボトムケース体の外側屈曲部分には前記係着片の肉厚に相当する深さの凹みが形成されるとともに、同凹みの前記係着孔に対応する部位に前記係着孔に嵌合する係着部としての嵌合膨出部を形成することを可能にする。この場合、前記凹みと嵌合膨出部はボトムケース体の外側屈曲部分の一部から構成されており、従って、前記外側屈曲部分が途中で欠落して開放端縁部がボトムケース体の本体部分のみとなることがなく、その部分での強度の低下を生じさせることもない。更に、蓋体の天板部の内面に、前記ウェハ押圧部材の矩形枠体の長辺を構成する一対の枠材のほぼ全長にわたって平行に突設して各枠材を挟着する都合４組以上の２条の挟着リブを形成しているため、同一構造の蓋体をもってウェハの種類により異なる寸法をもつウェハ押圧部材の交換固定を可能にする。
【００１１】
また、前述の係着片と凹み及び嵌合膨出部とは単純な構造からなり、成形時に同時に形成できるため、従来と比較するとクリップなどが不要となり、しかも蓋体とボトムケース体とを嵌合固定する操作も簡単であって、蓋体をボトムケース体に被せて、蓋体を上方から押圧するだけで、前記係着片が弾性変形しながら前記嵌合膨出部に乗り上がりながら、同膨出部が前記係着片に形成された係着孔に嵌合する。ここで、係着片は弾性的に原形に戻り、前記膨出部が前記係着孔に嵌着係合する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図示実施例により具体的に説明する。図１は本発明の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包装容器の組付け前の分解斜視図である。本発明のウェハ包装容器１０はウェハキャリアに整然と収容支持される多数の半導体ウェハを保管、移動、輸送させる際に使用される。図１において、符号１２はボトムケース体、１３はウェハキャリア、１４は蓋体、１５はウェハ押圧部材、１６はガスケットである。
【００１３】
前記ウェハ包装容器１０は、蓋体１４とボトムケース体１２とからなり、ボトムケース体１２は内部にウェハキャリア１３を遊嵌状態で収納できるような内面形状を有している。前記蓋体１４は前記ボトムケース体１２に外側から嵌合させるとともに、係着手段によって係着固定する。
【００１４】
図示例にあって、前記ボトムケース体１２、蓋体１４及びウェハキャリア１３は、一部を除いて上記国際公表公報に開示された構造と実質的に異なるところがないため、以下の説明では実質的に一致する構成部分に関してはその概略を簡単に説明するに止め、本発明の特徴部分に関して詳細に説明する。
【００１５】
先ず、上記ウェハキャリア１３は従来の構成と実質的に同じであり、その構造について図１を参照しながら簡単に説明すると、左右側板３１，３２、背板３３及び前記左右の側板３１，３２の前端の略中央部を連結する連結バー３４からなる、上下及び前方が開放したケース体からなり、前記左右側板３１，３２は前記連結バー３４から上方が鉛直面部３１ａ、３２ａを構成し、前記連結バー３４の下方は下端に向けて左右側板３１，３２が漸次接近するように下方に湾曲した円弧面部３１ｂ、３２ｂを構成している。
【００１６】
そして、前記左右側板３１，３２の対向面に沿って下方に垂直に延びる多数のウェハ支持溝３１ｂ′，３２ｂ′が多数並列して形成されており、各ウェハ支持溝３１ｂ′，３２ｂ′に半導体ウェハが挿入されて、互いに接触することなく起立状に保持される。また、前記キャリア形態だけでは多数の半導体ウェハを保持して単独に載置する場合に不安定であるため、前記左右側板３１，３２の下端部から同側板３１，３２に直交させてリブ３１ｃ，３２ｃを外方に突設させている。
【００１７】
かかる要部形態を有するウェハキャリア１３は、上述のようにボトムケース体１２にガタツキがないように収容される。そのため、ボトムケース体１２の内面形状は前記ウェハキャリア１３の外形に適合させて形成されている。経済性を考慮しなければ、ボトムケース体１２の内面形状だけをウェハケース体１３の外形に合わせるだけで、外形を矩形のケース体として成形すれば足りるが、従来から材料費等が考慮されてボトムケース体１２の外形も可能な限り前記ウェハキャリア１３の外形に沿わせるような形状としている。すなわち、ボトムケース体１２の主要部の形態は、図１〜図４に示すようにウェハキャリア１３の上記左右側板３１，３２の形態に対応する対向する左右側壁部２１，２２の中央を前記左右側板３１，３２と同様に、上半部中央が鉛直面部２１ａ，２２ａとされ、下半部中央が内側に湾曲する湾曲面部２１ｂ，２２ｂとされている。
【００１８】
また、前壁部２３の中央を上端部を残して下端まで連続する凹み部２３ａが形成されており、他の壁部は前記鉛直面部２１ａ，２２ａを含めて、全てが鉛直壁部とされて、外形全体としては略矩形の箱体形態をなしており、上部が開放されている。ボトムケース体１２の底部２５は、前記前壁部２３と後壁部２４の各下端中央部を結ぶ帯状部分２５ａが段部を介して上方に凹んだ状態で成形されており、従って前記底部２５の左右側端部は、外側に開いたコ字型の基部２５ｂ，２５ｂを構成する。本実施例においては、更に前記帯状部分２５ａの中央部２５ａ′は下方に突出する円筒体の一部をなしている。一方、前壁部２３における前記凹み部２３ａの上端位置は、上記ウェハキャリア１３をボトムケース体１２に収容したとき、上記連結バー３４の下面が前記凹み部２３ａの上端に当接する位置である。
【００１９】
図示例にあっては、特に前記ボトムケース体１２の前記開放端部が本発明の特徴部をなしており、その全周にわたって略同一の長さをもって略３６０°外側に折り曲げられて、本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとが略逆Ｕ字状の形態となるよう成形される。前記本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間隔は本実施例では約１１ｍｍに設定されており、この場合には、操作の際に前記本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間に指を入れることができ操作性が向上すると共に、同ボトムケース体１２の成形時に同部をヒートパイプなどで冷却することができ成形の仕上がりが良好なものとなる。また、本実施例では前記開放端部の全周にわたり、その本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間を所要の間隔をおいて複数の補強リブ２７，２７，…により連結している。かかる開放端部の形態を採ることにより、同端部の耐衝撃強度が増加するばかりでなく、成形時のひけ等による歪みが発生して同端部が波打ち状に変形することも防止され、蓋体１４を被せたときに、蓋体１４の開放端縁が全周にわたって嵌合し、後述するガスケットと相まって外気の侵入を確実に阻止する。これらの機能は、前記逆Ｕ字状の形態を開放端部の全周にわたって連続して形成する場合には、特に有効である。
【００２０】
かかる観点から、本実施例では、更に蓋体１４及びボトムケース体１２の各開放端が略矩形をなしており、図５及び図６に示すように前記蓋体１４の左右側壁４１ａ，４１ｂの開放端中央からそれぞれ一対の矩形状の係着片４２ａ，４２ｂが、各開放端部と略同一平面上を延設されており、各係着片４２ａ，４２ｂの中央にはそれぞれに矩形状の係着孔４２ａ′，４２ｂ′が形成され、各係着片４２ａ，４２ｂはコ字状をなしている。一方、蓋体１４を嵌合させたときの前記係着片４２ａ，４２ｂに対応する前記ボトムケース体１２の外側屈曲部分２６ｂは、図２に示すように前記係着片４２ａ，４２ｂの肉厚に相当する深さの凹み部２６ｃ，２６ｃを構成するように屈曲して成形されている。
【００２１】
そして、この凹み部２６ｃの前記係着孔４２ａ′，４２ｂ′に対応する部位には、同係着孔４２ａ′，４２ｂ′に嵌合係止するほぼ同一形状を有する嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′を僅かに膨出させている。このようなボトムケース体１２と蓋体１４との嵌合固定構造を採用することにより、ボトムケース体１２の逆Ｕ字状断面からなる開放端部の外側屈曲部分を同開放端部の全周にわたり欠落する部分がなく連続させて成形することが可能である。このように、開放端部の全周にわたり連続的に屈曲部分を成形するときは、局部的に歪みが発生せず、波打ち上の変形をもたらすことがなく、蓋体１４との嵌合にあたっても密着性が確保される。
【００２２】
また、前述のようにボトムケース体１２の開放端部の全周にわたり連続的に外方に屈曲させることにより、蓋体１４よりも衝撃性能に劣る材質を使っても、十分な強度が確保されるとともに、前述のような蓋体１２との係着固定構造を採用することで、蓋体１４を上面からボトムケース体１２にに向けて押し付けるだけの簡単な操作で、係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形して係着孔４２ａ′，４２ｂ′に嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′が嵌着したのち原形に復帰することで、嵌合固定を確実に且つ容易になし得ることになる。また、蓋体１４をボトムケース体１２から外すときも、前記係着片４２ａ，４２ｂを弾性的に外方へ僅かに開きながら上方に引き上げれば容易に外すことができる。
【００２３】
前記蓋体１４は既述したように矩形箱状をなしており、図５〜図８に示すように下方に開放端部を有している。開放端部は段部を介した拡大フランジ部４３から構成され、その左右フランジ部４３ａ，４３ｂからは略同一平面上を上記係着片４２ａ，４２ｂが垂設されている。蓋体１４の天板部４４の上面は平坦ではなく、その上面の複数部位には方形をなすブロック状の突出部４４ａ〜４４ｃが突設され、本発明の包装容器１０を積み重ねる際に、上記ボトムケース体１２の基部２５ｂ，２５ｃなどの間に形成される嵌合凹部に嵌合する。本実施例では、前記突出部４４ａは前記ボトムケース体１２の底部中央の帯状部分２５ａに嵌合するため、同様に帯状をなしており、その表面の更に中央部を帯状に円筒体の一部をなす円弧状の凹み面４４ａ′としている。
【００２４】
また、前記突出部４４ｂ，４４ｃは前記帯状部分２５ａを挟んで左右の端部中央から上方に突設された方形ブロック状をなし、ボトムケース体１２の上記左右の各コ字型基部２５ｂ，２５ｂの間に形成される空間部２５ｂ′，２５ｂ′を本発明の嵌合凹部の一部として利用し、同空間部２５ｂ′，２５ｂ′に遊嵌する。
【００２５】
ボトムケース体１２及び蓋体１４に形成される嵌合凹部と突設部は、いずれも容器内部に収納されるウェハの周縁と干渉しない部位であることが肝要である。また、本実施例では前記嵌合凹部の一部としてボトムケース体１２の外形により形成される空間部２５ｂ′，２５ｂ′を利用しているが、これに限るものではなく別途独立させて形成するようにしてもよいことは勿論である。
【００２６】
更に、蓋体１４の上記天板部４４の内面には、ウェハキャリア１３に保持されて容器内部に収納された各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材１５を嵌着固定する嵌着手段を有している。前記ウェハ押圧部材１５は、例えば図１に示すように、矩形枠体１５ａと、同矩形枠体５１の長辺を構成する一対の枠材５２ａ，５２ａのそれぞれに多数の弾性片５３が各枠材５２ａ，５２ａに直交して櫛歯状に延設される基本構造を有している。これらのウェハ押圧部材１５はボトムケース体１２と同様にポリプロピレンから成形されるが、他の素材、例えばポリエステルエラストマー樹脂等も使われる。いずれにしても、ウェハに直接接触するため、摩耗が少なく揮発成分の発生が少ない材質を使用することが好ましい。
【００２７】
図１に示すウェハ押圧部材１５は、従来から一般的に採用されている形態であって、前記弾性片５３，５３は各枠材５２ａ，５２ａに左右対称に配され、それぞれが各枠材５２ａ，５２ａを挟んでほぼ直角をなして左右に延設される第１弾性片５３ａと第２弾性片５３ｂからなる。左右の枠材５２ａ，５２ａに直交して同一直線上に配された左右の第１及び第２弾性片５３ａ，５３ｂの各先端には、ウェハを４点で弾性的に押圧するウェハ押圧部５３ａ′，５３ｂ′が形成されており、前記ウェハ押圧部５３ａ′は図示せぬウェハの円周面に接触し、ウェハ押圧部５３ｂ′はウェハ上端のオリエンテーションフラット部に接触する。
【００２８】
このウェハ押圧部材１５は、ウェハの種類により枠体５１自体の寸法が異なるばかりでなく、その枠材５２ａ，５２ｃ及び弾性片５３ｃ，５３ｃの太さも異なる。すなわち、ウェハの種類によりウェハ押圧部材１５の形態及び機械的性質も変更される。
【００２９】
しかして、従来は包装容器１０の天板部内面に形成されるウェハ押圧部材の固定構造は、例えばウェハ押圧部材の枠体を挟持し或いは係合させるべく、各枠体とほぼ同一形態をもつ複数条のリブやフック片からなり、しかも種類の異なる各ウェハに対応するように成形された異なる形態や物性をもつウェハ押圧部材に適合するウェハ押圧部材固定構造をもつ蓋体を個々に成形している。従って、生産性に乏しく、当然にコストアップにつながっていた。
【００３０】
そこで、本実施例では多様な種類のウェハに同一構造の蓋体で対応できるように、異なる種類のウェハ押圧部材に対する交換固定を可能にしている。
図５〜図８に示した実施例にあっては、上述の２種類のウェハ押圧部材１５を同一の蓋体１４をもって嵌着固定できるように、上記長辺を構成する各一対の枠材５２ａ，５２ａに対応する天板部４４の内面部位に、それぞれ前記枠材５２ａ，５２ａのほぼ全長にわたって挟着する都合４組の２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄを平行に突設している。図示例では、左右側壁部４１ａ，４１ｂに近い各一対の前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄのそれぞれ外側に位置する挟着リブ４４ｄの一部が切り欠かれ、液体流路４４ｄ′を形成している。こうして、液体流路４４ｄ′を形成すると、ウェハを容器ごと洗浄・乾燥するとき、前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に洗浄液が滞留することなく、洗浄液の蒸発を促進させる。また、その液体流路４４ｄ′間に挟まれる部分に相当する位置に起立片４４ｅを突設し、同起立片４４ｅの先端部にウェハ押圧部材１５を固着させたとき、前記枠材５２ａ，５２ａの端縁に係止して押圧するための膨出係止部４４ｅ′を形成している。
【００３１】
そして本実施例では、更に前記長辺を構成する各一対の枠材５２ａ，５２ａは同一の長さであることから、上記短辺を構成する各一対の枠材５２ｃ，５２ｃに対応する天板部４４の内面部位には、各枠材５２ｃ，５２ｃの外側面に当接するように短尺のリブ４４ｆと、同短尺リブ４４ｆに隣接させて前記各枠材５２ｃ，５２ｃの上面の一部を押圧係止する係止突起４４ｇとを突設している。この係止突起４４ｆの先端の各枠材５２ｃ，５２ｃの上面を押圧する位置には略裁頭角錐台状をなす膨出係止部４４ｇ′が形成されている。しかし、前記短尺のリブ４４ｆ及び係止突起４４ｇは必ずしも必須ではない。
【００３２】
そして、前記各枠材５２ａ，５２ｃは、その端部に向けて漸次肉薄に形成されるとともに、前記各リブや起立片及び係止突起を先端に向けて肉厚を漸次増加させている。しかも、図示例によれば前記各枠材５２ａ，５２ｃの嵌着端の肉厚を前記リブ等のの基端の肉厚より僅かに厚く設定してある。そのため、種類の異なるウェハ押圧部材１５であっても、容易に嵌着位置が決めやすく、同時に嵌着操作を容易にし、矩形枠体５１の長辺をなす枠材５２ａ，５２ａを対応する部位にある前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に押し込むとともに、短辺をなす各枠材５２ｃ，５２ｃ；５２ｄ，５２ｄを各一対の短尺リブ４４ｆ及び係止突起４４ｇの内面に沿わせて押し込むにつれて、挟着リブ４４ｄ，４４ｄによる挟持力が増加し、また短尺リブ４４ｅによる短辺をなす各枠材５２ｃ，５２ｃに対する外側からの当接力が増加し、同時に前記係止突起４４ｇの膨出頭部４４ｇ′が同枠材５２ｃ，５２ｃに係合し、上記起立片４４ｅの膨出係止部４４ｅ′による押圧係止と相まって枠体５１を蓋体１４の天板部内面に強く押し付けて強力に固定する。
【００３３】
ボトムケース体１２の開放端部及び上記蓋体１４の各開放端部の頂部にはＵ字状のガスケット挿入溝２８, ４５が全周にわたって形成されている。本実施例にあっては、前記ガスケット挿入溝２７, ４５は互いに同一の断面形状に形成されており、前記ボトムケース体１２のガスケット挿入溝２８は前記蓋体１４のガスケット挿入溝４５よりも深く形成されている。
【００３４】
各ガスケット挿入溝２８, ４５に挿入されるガスケット１６は、既述した従来の形態を有するガスケットであってもよいが、その材質は揮発性成分が非常に少ない樹脂であることが好ましく、機械的性質並びに成形性等からポリエステルエラストマー等が採用される。図９に示すガスケット１６は前記ボトムケース体１２及び蓋体１４に形成された前記ガスケット挿入溝２８, ４５の開放端と同一の矩形環状体からなり、その全周にわたって外側面の中央部になだらかな膨出部１６ａを有すると共に、その内側面の中央部には略矩形断面を有する突部１６ｂが同内側面に対して直角に突出している。
【００３５】
更に、前記ガスケット１６は、同図に破線で示すようにガスケット１６の上下端縁部における前記内側面はほぼ平坦面１６ｃを呈しているが、前記外側面は内側面の端縁に向けて傾斜する円弧面１６ｄとされており、各端縁部ともに先細状に形成され、上下対称の断面形状をなしている。前記ガスケット１６の縦方向（上下）の長さは、前記ボトムケース体１２及び蓋体１４に形成された各ガスケット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定されており、同ガスケット１６の中央部における膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚は略同一に設定され、更に同膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚を含む中央部の全肉厚は前記ボトムケース体１２のガスケット挿入溝２８の溝幅よりも僅かに大きく設定されている。
【００３６】
このガスケット１６を前記ボトムケース体１２のガスケット挿入溝２８に、前記突部１６ｂが同溝２７内に完全に嵌着されるまで押し込む。このとき、同ガスケット１６の中央部は前記溝２８の幅よりも僅かに大きな厚みを有しているため多少の弾性抵抗を感じる。そのため、ガスケット１６がボトムケース体１２のガスケット挿入溝２８内に保持され、容易に抜け出すことがない。そして、上述したように前記ガスケット１６は上下対称の形状をなすため上下方向の確認が不要であるばかりでなく、従来のようにボトムケース体と蓋体とのガスケット挿入溝の端面間で挟持される突条がないため、前記ガスケット挿入溝２８の溝端面に係合させる必要もなく、その挿入作業は格段に簡素化される。
【００３７】
ところで、前記ガスケット挿入溝２８内に嵌入されたガスケット１６は、上述のようにその上下の高さが前記ボトムケース体１２及び蓋体１４の各ガスケット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定されているため、同ガスケット１６の中央に形成された前記膨出部１６ａ及び突条１６ｂが前記ガスケット挿入溝２８内に完全に挿入されるまで同ガスケット１６を押し込むと、図９に実線で示すように、その下端部１６ｃの円弧面１６ｄがガスケット挿入溝２７の底面に沿って案内され、必然的にボトムケース体１２の内側方向に湾曲する。
【００３８】
上述のようにガスケット１６が装着された前記ボトムケース体１２に半導体ウェハを起立して並列支持されている前記ウェハキャリア１３を収容し、同ケース体１２に蓋体１４を被せると、前記ガスケット１６の上端部１６ｃが蓋体１４のガスケット挿入溝４５に嵌入する。このとき、前記蓋体１４を上面からボトムケース体１２に向けて強く押し付けると、蓋体１４の前後中央部に垂設された係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形しながらボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′に乗り上がり、更に押されると前記係着片４２ａ，４２ｂに形成されている係着孔４２ａ′，４２ｂ′が前記ボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′と嵌着して原形に復帰し、ボトムケース体１２と蓋体１４との嵌合固定を更に強力なものとする。
【００３９】
このとき、前記ガスケット１６の上端部１６ｃは、前述のように前記蓋体１４のガスケット挿入溝４５内に嵌入されるが、前記上端部１６ｃの厚みは前記挿入溝４５の溝幅よりも小さいため、その嵌入に手間取ることもなく確実に嵌入する。前記蓋体１４のガスケット挿入溝４５内に嵌入されたガスケット１６の上端部１６ｃは、同上端部１６ｃの断面形状が下端部のそれと同一であるため、前記ボトムケース体１２のガスケット挿入溝２７内に嵌入された下端部１６ｃと同様に必然的に内側に湾曲した状態となり、同挿入溝４５の底面に密着する。また、本実施例ではガスケット１６の上記膨出部１６ａ及び突条１６ｂの中央に上下端部１６ｃを延設させているため、嵌入時の同ガスケット１６は各ガスケット挿入溝２８，４５の底部中央に嵌入させられ、上下端部１６ｃが必ず容器内方に湾曲すする。
この状態で、ウェハ包装容器１０は、保管中に内外気圧の変化に伴って容器内の気圧が外部に対して異常に上昇することがある。このとき、図９に矢印で示す方向に内圧が作用し、ボトムケース体１２と蓋体１４とが離間する方向に僅かに移動するが、前記湾曲長さを十分に設定しておけば、前記ガスケット１６の上端部１６ｃの湾曲側内面で前記内圧を受けることになり、同上端部１６ｃはより強く前記ガスケット挿入溝４５の底面に押し付けられ、その密閉性を確保する。また、前述のように容器のない外圧の変化に限らず、外部からウェハ包装容器１０に衝撃力が加わって、容器が僅かに変形しても前記ガスケット１６は前記ボトムケース体１２及び蓋体１４のガスケット挿入溝３７, ４５の底部に接近分だけ大きく湾曲し、更に密閉性を高めるため、外気の侵入による容器内の空気汚染の恐れはない。
【００４０】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明に係る半導体ウェハ包装容器におけるボトムケース体の構造によれば、その開放端部が全周にわたり連続して外方に屈曲しているため、成形時の歪み等による変形をもたらすことがなく、しかも所要の強度が確保される。また、本発明は前述のように開放端部の外方への屈曲を連続させることを可能にしているのは、蓋体から垂設される係着片に係着する係着部を前記屈曲部の外側屈曲部分を膨出させるように成形するためであり、この係着構造を採用することにより、構造が簡易化されるとともに、蓋体との嵌合固定にあたっても、蓋体をボトムケース体に外嵌させたのち上方から押し付けると、蓋体から垂設された係着片が弾性変形しながらボトムケース体の前記係着部に乗り上げ、続いて係着したのちに原形に復帰して簡単に嵌着固定される。蓋体を外すときも、前記係着片を弾性変形させながら斜め上方に引き上げれば簡単に外すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包装容器の分解斜視図である。
【図２】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材であるボトムケース体の半部を断面で示す側面図である。
【図３】同正面図である。
【図４】同ボトムケース体の底面図である。
【図５】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材である蓋体の半部を断面で示す側面図である。
【図６】同正面図である。
【図７】同蓋体の上面図である。
【図８】同底面図である。
【図９】前記ボトムケース体と蓋体との間の密閉シール構造を示す要部の断面図である。
【符号の説明】
１０                        半導体ウェハ包装容器
１２                        ボトムケース体
１３                        ウェハキャリア
１４                        蓋体
１５                        ウェハ押圧部材
１６                        ガスケット
１６ａ                      膨出部
１６ｂ                      突部
１６ｃ                      上下端部
１６ｄ                      円弧面
２１，２２                  左右側壁部
２１ａ，２２ａ              鉛直面部
２１ｂ，２２ｂ              湾曲面部
２３                        前壁部
２３ａ                      凹み部
２４                        後壁部
２５                        底部
２５ａ                      帯状部分
２５ａ′                    中央部
２５ｂ                      基部
２５ｂ′                    空間部
２６ａ                      本体部分
２６ｂ                      外側屈曲部分（外側面部分）
２６ｃ                      凹み部
２６ｃ′                    嵌合膨出部
２７                        補強リブ
２８                        ガスケット挿入溝
３１，３２                  左右側板
３１ａ，３２ａ              鉛直面部
３１ｂ，３２ｂ              円弧面部
３１ｂ′，３２ｂ′          ウェハ支持溝
３１ｃ，３２ｃ              リブ
３３                        背板
３４                        連結バー
４１ａ，４１ｂ              左右側壁
４２ａ，４２ｂ              矩形状係着片
４２ａ′，４２ｂ′          矩形状係着孔
４３ａ，４３ｂ              左右フランジ部
４４                        天板部
４４ａ〜４４ｃ              ブロック状突出部
４４ａ′                    凹み面
４４ｄ                      挟着リブ
４４ｄ′                    液体流路
４４ｅ                      起立片
４４ｅ′                    膨出係止部
４４ｆ                      短尺リブ
４４ｇ                      係止突起
４４ｇ′                    膨出係止部
４５                        ガスケット挿入溝
５１                        矩形枠体
５２ａ，５２ｃ              枠材
５３                        弾性片
５３ａ，５３ｂ              第１及び第２弾性片
５３ａ′，５３ｂ′          ウェハ押圧部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004006041.tif 000007
【図７】
0004006041.tif 000008
【図８】
0004006041.tif 000009
【図９】
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