(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために、実際の処理の前に各ロットの処理工程について配置順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
いずれかのロットの処理工程を配置した後、次なるロットの処理工程を配置することにより、先に配置されたロットの処理工程よりも次なるロットの処理工程が前に位置する追い越しが生じ、かつ、前記次なるロットの処理工程についてそれ以降の処理工程が配置不可能となる場合には、
前記次なるロットの各処理工程が配置可能な位置を決定し、その配置位置を確実配置位置とすると、前記確実配置位置における時刻と、現在配置している処理工程についてのスケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻との差をスケジュール時間差として求め、これを予め設定されている５〜２０の範囲の所定値で除算した値をステップ時間として求め、前記スケジュール基準時刻から前記ステップ時間ごとに前記次なるロットの各処理工程について配置を試みることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
先のロットの処理工程については配置位置を固定したままであることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
各ロットの次なる処理工程を配置する際に、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために、実際の処理の前に各ロットの処理工程について配置順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
いずれかのロットの処理工程を配置した後、次なるロットの処理工程を配置することにより、先に配置されたロットの処理工程よりも次なるロットの処理工程が前に位置する追い越しが生じ、かつ、前記次なるロットの処理工程についてそれ以降の処理工程が配置不可能となる場合には、
前記次なるロットの各処理工程が配置可能な位置を決定し、その配置位置を確実配置位置とすると、前記確実配置位置における時刻と、現在配置している処理工程についてのスケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻との差をスケジュール時間差として求め、これを予め設定されている５〜２０の範囲の所定値で除算した値をステップ時間として求め、前記スケジュール基準時刻から前記ステップ時間ごとに前記次なるロットの各処理工程について配置を試みるようにコンピュータを制御することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに係り、特に、実際の処理の前に各ロットの処理工程について配置順序を予め決定する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の基板処理装置のスケジュール作成方法として、処理部を複数個備えた基板処理装置により複数のロットを処理するにあたり、レシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するため、各ロットの処理工程について配置順序を予め決定するものがある。
【０００３】
このようなスケジュール作成方法では、まず、いずれかのロットの処理工程を配置した後、次なるロットの処理工程を配置することにより、先に配置されたロットの処理工程よりも次なるロットの処理工程が前に位置する追い越しが生じ、かつ、前記次なるロットの処理工程についてそれ以降の処理工程が配置不可能となる場合には、次のようにスケジュールを試みる。
【０００４】
つまり、現在配置している処理工程についてのスケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻から、予め設定されている時間間隔で、予め設定されている回数だけ当該ロットの次なる処理工程の配置を試みる。例えば、１分間隔で５回だけ配置を試みるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来のスケジュール方法は、予め設定されている時間間隔で予め設定されている回数だけ試行するので、その回数だけでは、スケジュールが完成しないことが起こりえる。また、回数を大幅に増加させた場合、状況によってはスケジュールが完了するのに長時間を要することがあるという問題がある。
【０００６】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、状況に応じた間隔で配置位置の試行を大まかに行うことにより、状況にかかわらずスケジュールが完了するまでの時間を短くすることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上述したような問題を解決するために鋭意研究した結果、上記の原因を見出した。
すなわち、従来のスケジュール方法は、どのような状況であっても同じ条件で再配置を試みるので、スケジュールが完了するのに長時間を要することがあるのを見出した。このような知見に基づく本発明は、次のように構成されている。
【０００８】
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために、実際の処理の前に各ロットの処理工程について配置順序を予め決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、いずれかのロットの処理工程を配置した後、次なるロットの処理工程を配置することにより、先に配置されたロットの処理工程よりも次なるロットの処理工程が前に位置する追い越しが生じ、かつ、前記次なるロットの処理工程についてそれ以降の処理工程が配置不可能となる場合には、前記次なるロットの各処理工程が配置可能な位置を決定し、その配置位置を確実配置位置とすると、前記確実配置位置における時刻と、現在配置している処理工程についてのスケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻との差をスケジュール時間差として求め、これを予め設定されている５〜２０の範囲の所定値で除算した値をステップ時間として求め、前記スケジュール基準時刻から前記ステップ時間ごとに前記次なるロットの各処理工程について配置を試みることを特徴とするものである。
【０００９】
（作用・効果）先に配置されたロットの処理工程よりも次なるロットの処理工程が前に位置する「追い越し」が生じるとともに、それに続く処理工程が配置不可能である場合には、まず、次なるロットの各処理工程が配置可能な位置を探す。この確実配置位置における時刻と、スケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻（現在時刻よりも未来にあたり、現在スケジュールしているものが実行され始める予定の時刻）との差をスケジュール時間差として求める。このスケジュール時間差は、そのときのスケジュールの状況が反映されたものとなっている。そして、スケジュール時間差を所定値で除算したステップ時間を求める。このようにしてスケジュールの状況が反映されたステップ時間ごとに、スケジュール基準時刻から次なるロットの処理工程について配置を試みる。したがって、状況に応じて変わるステップ時間ごとに大まかに配置の試行が行われるので、状況にかかわらずスケジュールに要する時間を短縮化することができる。
【００１０】
（削除）
【００１１】
なお、上記所定値を小さくするとステップ時間が大きくなるので、スケジュール完了までを短くすることができる。その一方、所定値を大きくするとステップ時間が小さくなるので、スケジュールの精度を高くすることができる。
【００１２】
また、ロットの処理工程の配置では、他のスケジュールを安定させるために、先のロットの処理工程については配置位置を固定したままとしたり（請求項２）、短時間で処理を完了させるため、各ロットの次なる処理工程を配置する際に、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置（請求項３）したりすることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
図１及び図２はこの発明の一実施例に係り、図１は実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２はそのブロック図である。
【００１４】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して積層して収納されている。未処理の基板Ｗを積層して収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納してカセット１ごと払い出す。払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００１５】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配置されている。この第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００１６】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に搬送する。
【００１７】
この第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に移動可能に構成されている。その移動方向の最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部１７が配備されている。
【００１８】
第３搬送機構１５の移動方向であって上記の乾燥処理部１７に手前側で隣接する位置には、第１処理部１９が配備され、これに隣接して第２処理部２１が配備されている。
【００１９】
第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部１９ａを備えるとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を施すための薬液処理部１９ｂを備えている。また、これらの間でのみ複数枚の基板Ｗを受け渡すための副搬送機構１９ｃを備えている。
【００２０】
第２処理部２１は、上記の第１処理部１９と同じ構成を採用している。つまり、純水洗浄処理部２１ａと、薬液処理部２１ｂと、副搬送機構２１ｃとを備えている。
【００２１】
上記の第２搬送機構１３に付設されているカセット洗浄部２３は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になったカセット１を洗浄する機能を有する。
【００２２】
なお、上述した第１搬送機構１１と、第２搬送機構１３と、第３搬送機構１５と、第１処理部１９と、第２処理部２１とが本発明における処理部に相当する。
【００２３】
上記のように構成された基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部２５によって統括的に制御される。
【００２４】
制御部２５は、ＣＰＵ等から構成されており、以下に説明するルールを含んだスケジュール作成プログラムによりスケジュールを予め作成した後、このスケジュールに沿って複数のロットごとに処理を施すように各部を制御しつつ、予め決められたレシピに応じた処理を施すように各部を制御する。スケジュールとは、ロットごとの処理工程を時系列的に配置したものであり、実際に基板Ｗに対して処理を施す前に予め作成される。
【００２５】
記憶部２７には、本基板処理装置のユーザによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラム等が予め格納されている。また、作成されたスケジュールも記憶される。さらに、後述するように「追い越し」が発生した場合のスケジュールで用いられる、ユーザなどによって予め設定された所定値を記憶している。所定値は、例えば、５〜２０の整数の範囲で適宜に設定しておく。
【００２６】
「基本ルール」
複数のロットのうち、いずれか一つのロットについて最初の処理工程を配置した後に、各ロットの次なる処理工程のうち、それぞれの前の処理工程における「終了予定時刻」を求め、これらのうちで最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するというものである。
【００２７】
上記の「基本ルール」の他に、以下に例示するようないくつかのルールをも考慮することが好ましい。
【００２８】
「ルールＡ」
・払出予定時刻の処理工程の後ろに配置するのを回避する。
処理を終えてロットの搬出を行なう予定の時刻を「払出予定時刻」と称することにすると、この払出予定時刻が未定となっている処理工程の後ろには、「終了予定時刻」が最も早いロットであってもその処理工程を配置しないようにするというルールである。
【００２９】
「ルールＢ」
・許容時間内に次の処理工程を配置する。
処理部における処理は、予め処理時間が決められてはいるものの、処理を終えた後に、次の処理工程までにある程度の待機時間をおいても問題ない場合がある。例えば、搬送処理では基板Ｗをカセット１から取り出した状態で待機させておいたとしてもよく、純水洗浄処理では基板Ｗを純水中に待機させておいたとしてもよく、乾燥処理では基板Ｗを乾燥させた後に待機しておいても問題はない。しかしながら、どんなに長時間待機させてもよいものではなく、やはりあまりに長時間の待機となると基板Ｗに対して悪影響が生じる可能性がある。そこで、その上限の時間を「許容時間」とし、これを設定しておいて次の処理工程を「許容時間」内に配置するというルールである。
【００３０】
「ルールＣ」
・追い越しロットの優先
先に配置されたロットの処理工程よりも、後で配置されたロットの処理工程が時間的に前に配置されることを「追い越し」と本明細書では定義する。このような「追い越し」が生じた場合には、追い越したかたちとなったロットの処理工程を優先して配置するというルールである。
【００３１】
以下に、二つのロットを同じレシピで順次に処理する場合を例に採って説明する。
【００３２】
なお、上述した基板処理装置で処理する場合を例に採って以下に説明するが、説明の理解を容易にするため、表１に示すようにレシピを実際のものよりも簡略化してある。すなわち、上述した基板処理装置には、第１処理部１９と第２処理部２１とを含むが、これらのうち第２処理部２１については使用しないレシピで処理を施す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
レシピは、ａ処理工程からｅ処理工程までであって、一部を複数回行なう７つの処理工程から構成されているが、上述した許容時間を有する処理工程で区切るようにしてＡ〜Ｃの三つのブロックに分けている。
【００３５】
『Ａブロック』は、第１搬送機構１１が投入部３側からカセット１を取り出し、第２搬送機構１３がそのカセット１からロット（複数枚の基板Ｗ）を取り出し、第１処理部１９の薬液処理部１９ｂがそのロットを薬液処理してから純水洗浄処理部１９ａに至るまでの処理である。なお、その間に実行されるカセット洗浄部２３による空のカセット１の洗浄処理については省略してある。
【００３６】
詳細には、第１搬送機構１１が投入部３のカセット１を取り込んで第２搬送機構１３に渡し、第２搬送機構１３がカセット１からロットを構成する複数枚の基板Ｗを取り出すまでがａ処理工程であり、ロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでがｂ処理工程であり、第３搬送機構１５からロットを受け取り、このロットを純水洗浄処理部１９ａで純水洗浄し、副搬送機構１９ｃによりロットを薬液処理部１９ｂに搬送して薬液処理し、その後、再び副搬送機構１９ｃを経て純水洗浄処理部１９ａに搬送して純水洗浄処理を終えるまでがｃ処理工程である。なお、表中の数字は前作業、本作業、後作業に要する時間（分）の一例を示している。
【００３７】
『Ｂブロック』は、第３搬送機構１５が純水洗浄処理部１９ａから処理済みのロットを取り出し、乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでの処理である。
【００３８】
詳細には、純水洗浄処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでがｂ処理工程であり、ロットを乾燥処理部１７に搬送して乾燥処理を終えるまでがｄ処理工程である。
【００３９】
『Ｃブロック』は、第３搬送機構１５が乾燥処理されたロットを取り出し、第２搬送機構１３がカセット１にロットを収納した後、カセット１ごと第１搬送機構１１が払出部７に搬送するまでの処理である。
【００４０】
詳細には、乾燥処理されたロットを第３搬送機構１５が受け取って所定位置で待機するまでがｂ処理工程であり、第２搬送機構１３がロットを受け取り、複数枚の基板Ｗをカセット１に収納するとともにカセット１ごと第１搬送機構１１に渡して払出部７に払い出しするまでがｅ処理工程である。
【００４１】
なお、上述したブロックＡ，Ｂにおける最後の処理工程、つまりｃ処理工程とｄ処理工程とが、速やかに次の処理を施すことなく次の処理まである程度の時間を空けてもよい許容時間を有する処理工程である。
【００４２】
次に、図３ないし図８を参照しながら、二つのロットを同じレシピで順次に処理する場合を例に採って説明する。
【００４３】
これらのうち図３はスケジュールの組み合わせ例を示した図であり、図４ないし図８はスケジュール作成の過程を示す図である。また、図４ないし図８では、処理工程を「ロット−ブロック」の符号で示している。つまり、図３中の「１−Ａ」は第１のロットのブロックＡの処理工程を表している。
【００４４】
まず、制御部２７は、最初に二つのロットのうち、いずれかを先にスケジュールするかを決定する。
【００４５】
簡単には、第１のロットの方を先にスケジュールするようにする。この場合、スケジュールのタイムチャートは図４に示すように、第１のロットのブロックＡが基準時刻（後述する「スケジュール基準時刻」と同じである）から配置される。このように予めスケジュールを作成するようにしたので、先の処理工程の本作業が終わった時点で次なる処理工程の本作業が開始されるように処理工程を配置することができる。すなわち、終了信号ｅが出力される時点でロットの払い出し（符号ｍ）が行なわれるのである。以下、本作業が終わる時点を払出予定時刻と称する。
【００４６】
上記のように二つのロットのうち第１のロットのブロックＡ（符号１−Ａ）を配置したので、図３の組み合わせから明らかなように、次に選択可能なのは「第１のロットのブロックＢ」か「第２のロットのブロックＡ」である。
【００４７】
制御部２５は、まずこれらのブロックＡ，Ｂをタイムチャート上に配置してみる。
【００４８】
つまり、この例では、図４に示すように、第１のロットのブロックＢを第１のロットＡの払出予定時刻に合わせて配置するとともに、第２のロットのブロックＡを、そのｃ処理工程が第１のロットのｃ処理工程に隣接するように配置する。そして、それらの前の処理工程における終了予定時刻、すなわち第１のロットのブロックＡにおける終了予定時刻Ｅ１と、第２のロットのブロックＡの前の処理工程の終了予定時刻Ｅ２とを比較する。ここでは、第２のロットのブロックＡには前の処理工程が存在しないので、仮にブロックＡの開始予定時刻を終了予定時刻として扱っている。その結果、第２のロットの終了予定時刻Ｅ２の方が早いので、第２のロットのブロックＡを配置する。
【００４９】
しかし、第２のロットの前の処理工程における終了予定時刻Ｅ２が早くても、上述したルールＡの適用により、第２のロットのブロックＡに代えて第１のロットのブロックＢが配置されることになる。
【００５０】
つまり、第１のロットのブロックＡはｃ処理工程が許容時間を有する工程であるので、このｃ処理工程は図４中に点線で示すように後ろに延びる可能性があり、このｃ処理工程におけるロットの正確な払出予定時刻が未定となっている。したがって、このｃ処理工程で使用している第１処理部１９が使用可能となる時刻が未定であるので、第１のロットのブロックＡの後に、第１処理部１９を使用するｃ処理工程を含む第２のロットのブロックＡを配置することは好ましくないのである。そこでルールＡによってこのような配置を回避する。
【００５１】
第１のロットのブロックＢ（符号１−Ｂ）を配置したので、図３の組み合わせから次に配置可能な処理工程は、「第１のロットのブロックＣ」か「第２のロットのブロックＡ」のいずれかである。
【００５２】
そこで上述したように、それらをタイムチャート上に配置してみる（図５参照）。
【００５３】
そして、それぞれの前の処理工程である第１のロットのブロックＢにおける終了予定時刻Ｅ１と、第２のロットに関するブロックＡの前の処理工程における終了予定時刻Ｅ２（上述した理由から開始予定時刻）とを比較する。その結果、第２のロットの方が早いので、第２のロットのブロックＡを、そのｂ処理工程が第１のロットのｂ処理工程に隣接するように配置する。
【００５４】
なお、ここでｄ処理工程における許容時間ＴＬを第１のロットについてだけ図示しておく。
【００５５】
次に、図３の組み合わせから、「第１のロットのブロックＣ」と「第２のロットのブロックＢ」とを配置してみる（図６参照）。それぞれの前の処理工程（１−Ｂ，２−Ａ）における終了予定時刻Ｅ１，Ｅ２の比較結果から、第１のロットのブロックＣを配置することになる。
【００５６】
なお、ここで仮に第２のロットの終了予定時刻Ｅ２の方が早かった場合について説明する。
【００５７】
この場合には、第２のロットのブロックＢを配置することになるが、このようにすると第１のロットのブロックＣの配置が第１のロットのｄ処理工程に設定されている許容時間ＴＬを越えることになる。すると第１のロットに悪影響が生じる恐れがあるが、上述したルールＢを適用することでそれを回避することができる。つまり、第１のロットのｃ処理工程に設定されている許容時間ＴＬを越えないように、次のｂ処理工程を配置することになるので、第１のロットのブロックＣを優先して配置する。
【００５８】
次に、図３の組み合わせに基づき、第２のロットのブロックＢを配置し（図７参照）、最後に第２のロットのブロックＣを配置（図８参照）してスケジュール作成を終える。このようにして作成されたスケジュールは記憶部２７に格納され、実際の処理時に処理プログラムによって参照されることになる。なお、上記の過程を組み合わせ上で示したのが図３中の点線及び実線で示した矢印である。
【００５９】
このようにしてスケジュールを作成するが、非常に待機時間（図中の黒塗り部分）が少なくなっていることがわかる。このように上記のルールに沿って予めスケジュールを作成することにより、前の処理工程の後作業と後の処理工程の前作業とを重複させて配置することができるとともに、配置可能な処理工程のうち、前の処理工程が早く終わるロットの処理工程を次の処理工程として選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができる。したがって、基板処理装置の各処理部を有効利用でき、待機時間を抑制して稼働率を向上できる。
【００６０】
また、「ルールＡ」を考慮することにより、ロットの払出予定時刻が決まっていない処理工程の後ろには処理工程を配置しないので、既に配置したロットのスケジュールに影響を与えることなく各ロットの処理工程を配置することができる。
【００６１】
また、「ルールＢ」を考慮することによって、許容時間を有する処理工程の後ろには許容時間内にその次の処理工程が位置するように配置することにより、レシピにほぼ忠実に処理を施すことができるとともにロットに対する悪影響を抑制できるようになっている。
【００６２】
ここで、図９ないし１３を参照しながら「ルールＣ」を適用する例について説明する。なお、図９ないし１３は、「追い越し」が生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【００６３】
また、これらのタイムチャートにおける原点は現在時刻を示し、符号ｘは現在配置している各処理工程に関するスケジュール基準位置にあたり、スケジュール基準時刻を表している。したがって、以下の追い越しに関するスケジュールは、原点からｘ時刻までに完了しなければ、スケジュールを完了することができないことを意味する。なお、本来スケジュール基準時刻ｘと現在時刻との間隔は時間の経過に応じて狭まってゆくものであるが、図示の関係上、図９ないし図１３では一定に記載してある。
【００６４】
図９に示すように、例えば、第１のロットについて、ｇ処理工程及びｆ処理工程を含むブロックＡが時刻ｔ４からｔ７及び時刻ｔ６からｔ８に配置されていたとする（図中の符号１−Ａ）。次に配置される第２のロットについて、ｆ処理工程を含むブロックＡが、時刻ｔ１からｔ３に配置されたとする（図中の符号２−Ａ）。これにより、第１のロットのブロックＡよりも第２のロットのブロックＡが時間的に先に配置されることになる。つまり、本明細書で定義する「追い越し」が生じることになる。さらに、第２のロットのブロックＡに続くｇ処理工程を含むブロックＢが時刻ｔ２からｔ５に配置されるものとする。このような場合には、第２のロットのブロックＡを優先して配置するのである。このようなルールＣを考慮することによって、基本ルールと同様に基板処理装置の各処理部を最大限に活用できる。
【００６５】
しかしながら、ｇ処理工程において、第１のロットのブロックＡと第２のロットのブロックＢとが競合している。したがって、このままではスケジュールを確定することができない。そこで、この状況を打開するために、次のようにスケジュールを行う。
【００６６】
まず、図１０に示すように、第２のロットのブロックＡと第２のロットのブロックＢとが互いに及びその他のロットと競合することなく、確実に配置できる位置を探す。具体的には、第１のロットのブロックＡにおけるｆ処理工程の直後に配置することが例示される。そして、この位置を「確実配置位置」とすると、その位置を示す第２のロットのブロックＢの配置位置における時刻ｔ８と、スケジュール基準時刻ｘとの差を求める。このようにして求めた差をスケジュール時間差Ｔ１とする。そして、予め設定されて記憶部２７に記憶されている所定値ｎを読み出し、スケジュール時間差Ｔ１を所定値ｎで除算する。なお、説明の理解を容易にするために、ここでは所定値ｎを「３」とする。
【００６７】
スケジュール時間差Ｔ１を所定値ｎ＝３で除算した結果、ステップ時間Ｔｓが求まる。そして、スケジュール基準時刻ｘからステップ時間Ｔｓごとに、第２のロットのブロックＡ及び第２のロットのブロックＢが配置可能であるか否かを試行してゆく。換言すると、所定値ｎだけ試行を繰り返す。なお、その過程においては、第１のロットの各処理工程については配置位置を固定したままとし、そのスケジュールを安定させておくことが好ましい。
【００６８】
図１１は、スケジュール基準時刻ｘに合わせて第２のロットのブロックＡを配置した状態を示す。しかし、この場合には、続いて配置される第２のロットのブロックＢがｆ処理工程において第１のロットと競合していることがわかる。したがって、このような位置には配置できないことになる。
【００６９】
図１２は、スケジュール基準時刻ｘからステップ時間Ｔｓだけ隔てた位置に第２のロットのブロックＡを配置した状態を示している。しかし、この場合においても、続いて配置される第２のロットのブロックＢがｆ処理工程において第１のロットと競合していることがわかる。したがって、このような位置にも配置することができない。
【００７０】
図１３は、さらにステップ時間Ｔｓだけ隔てた位置に第２のロットのブロックＡを配置した状態を示す。しかしながら、この場合にも上述した理由により、このような位置には配置できない。
【００７１】
したがって、所定値ｎに応じた回数だけ試行を繰り返した結果、いずれにも配置できないので、図１０に示す「確実配置位置」に第２のロットの各処理工程を配置することになる。
【００７２】
このようにしてスケジュールの状況が反映されたステップ時間Ｔｓごとに、スケジュール基準時刻ｘから次なるロットの処理工程について配置を試みる。したがって、状況に応じて変わるステップ時間Ｔｓごとに大まかに配置の試行が行われる。その結果、状況にかかわらずスケジュールに要する時間を短縮化することができる。
【００７３】
因みに、従来例の場合を図示すると、図９のｆ処理工程に点線で示すようになる。つまり、スケジュール基準時刻ｘから短い時間間隔でじわじわと試行を繰り返す。したがって、配置可能な位置が見つかるまでに長時間を要することがある。
【００７４】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、次のように変形実施が可能である。
【００７５】
（１）所定値ｎは、レシピや基板処理装置の特性等を勘案して５〜２０の範囲で設定すればよい。所定値ｎを小さくするとステップ時間が大きくなるので、スケジュール完了までを短くすることができる。また、所定値ｎを大きくするとステップ時間が小さくなるので、スケジュールの精度を高くすることができる。
【００７６】
（２）スケジュールの基本ルールとして、いずれか一つのロットについて最初の処理工程を配置した後に、各ロットの次なる処理工程のうち、それぞれの前の処理工程における終了予定時刻を求め、これらのうちで最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するというものを例示した。しかし、作成されたスケジュールにより処理時間を短縮する目的以外のスケジュール作成方法において上述したように「追い越し」が生じる場合であっても、本発明を適用することによりスケジュール作成時間の短縮化を図ることができる。
【００７７】
（３）実施例では２つのロットを同時に処理してゆく場合を例にとって説明したが、３ロット以上を対象に処理する場合であっても本発明を適用することができる。
【００７８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、「追い越し」が生じ、続く処理工程が配置不可能である場合には、まず、配置可能な位置を探す。次に、この確実配置位置における時刻と、スケジュール基準位置におけるスケジュール基準時刻との差をスケジュール時間差として求め、スケジュール時間差を５〜２０の範囲の所定値で除算したステップ時間を求める。そして、ステップ時間ごとにスケジュール基準時刻から次なるロットの処理工程について配置を試みる。したがって、状況に応じて変わるステップ時間ごとに大まかに配置の試行が行われるので、状況にかかわらずスケジュールに要する時間を短縮化可能である。なお、上記所定値を小さくするとステップ時間が大きくなるので、スケジュール完了までを短くすることができる。その一方、所定値を大きくするとステップ時間が小さくなるので、スケジュールの精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュールの組み合わせ例を示した図である。
【図４】スケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図５】スケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図６】スケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図７】スケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図８】スケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図９】追い越しが生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図１０】追い越しが生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図１１】追い越しが生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図１２】追い越しが生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【図１３】追い越しが生じた場合におけるスケジュール作成の過程を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
３  …  投入部
１９  …  第１処理部
２１  …  第２処理部
２３  …  カセット洗浄部
Ｅ１  …  第１のロットの終了予定時刻
Ｅ２  …  第２のロットの終了予定時刻
ｘ  …  スケジュール基準時刻
Ｔ１  …  スケジュール時間差
Ｔｓ  …  ステップ時間差
ｎ  …  所定値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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