(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験前の部品を収納したトレイが載置される第１トレイ載置部と、試験後の部品を複数個収納可能なトレイが載置される第２トレイ載置部とを有し、第１トレイ載置部のトレイから部品を取り出して試験本体装置に供給する一方、試験後の部品を第２トレイ載置部のトレイに収納する部品移動手段と、制御手段とを備えた部品試験装置であって、
部品移動手段は、第１トレイ載置部又は第２トレイ載置部と試験本体装置との間で、部品を着脱自在に保持しつつ移動する保持手段と、この保持手段とともに移動して、トレイに収納された部品を撮像する撮像手段とを備え、
制御手段は、撮像手段により撮像された画像データに基づいてトレイに収納された部品の位置姿勢を認識する認識手段と、第２トレイ載置部のトレイに部品が満載されたか否かを判定するカウント手段とを備え、
前記保持手段により部品を取り出すときに第１トレイ載置部のトレイに収納された部品を前記撮像手段により撮像するとともに当該部品の位置姿勢を前記認識手段により認識する一方、前記カウント手段により第２トレイ載置部のトレイに部品が満載されたと判定された場合にこのトレイに収納された部品を前記撮像手段により撮像するとともに当該部品の位置姿勢を前記認識手段により認識することを特徴とする部品試験装置。
【請求項２】
第１トレイ載置部のトレイに収納された部品についての前記認識結果に基づいて、当該部品をトレイから取り出す際に、保持手段による部品の保持位置及び保持姿勢を所定の位置姿勢となるように補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の部品試験装置。
【請求項３】
撮像手段は、撮像対象となる部品を照明するための光源を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣチップ等の電子部品を試験する部品試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があるが、そのような試験を自動的に行う装置として、特開平１１−３３３７７５号公報に開示されているような装置が知られている。
【０００３】
この装置では、トレイに収納された試験前のＩＣチップを部品吸着用のノズル部材を有する第１搬送装置により吸着して第１バッファ装置に載せ、第１バッファ装置によりテストヘッド近傍まで搬送した後、部品吸着用のノズル部材を有する第２搬送装置により第１バッファ装置上のＩＣチップを吸着してテストヘッドに移載して試験を行う。この際、ＩＣチップの吸着状態がカメラを用いて確認される。そして、ＩＣチップの吸着位置がずれていれば、適当に補正してから試験を行う。試験後は、第２搬送装置によりテストヘッドから第２バッファ装置にＩＣチップを移載してトレイ載置部まで搬送した後、第１搬送装置によって試験結果に応じた所定のトレイ上にＩＣチップを移し替える。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、トレイに収納された試験前のＩＣチップが１８０°回転等していて、その位置姿勢が最初からずれている場合には、ＩＣチップが第１搬送装置と第１バッファ装置とで搬送され、第２搬送装置でテストヘッドに移載されるまでの間に、そのＩＣチップのずれが累積して、補正可能な範囲を越えてしまうことがある。そして、テストヘッドに移載されるＩＣチップの保持位置及び保持姿勢が所定の位置姿勢から大きく外れると、ＩＣチップとソケットとの電気的な接続が不可能となって試験に支障をきたすこととなる。
【０００５】
一方、試験後のＩＣチップがトレイに収納された位置姿勢が最終的にずれている場合には、ずれを確認すること自体ができないことから、そのずれが大きい場合には、保管中やトレイ取出時に部品の破損や脱落を生じたり、後作業への支障をきたしたりすることがある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、試験前の部品の位置ずれを最初に補正して、そのずれが部品の移送中に累積しないようにし、また、試験後の部品の最終的な位置ずれの確認をも行うことのできる部品試験装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、試験前の部品を収納したトレイが載置される第１トレイ載置部と、試験後の部品を複数個収納可能なトレイが載置される第２トレイ載置部とを有し、第１トレイ載置部のトレイから部品を取り出して試験本体装置に供給する一方、試験後の部品を第２トレイ載置部のトレイに収納する部品移動手段と、制御手段とを備えた部品試験装置であって、部品移動手段は、第１トレイ載置部又は第２トレイ載置部と試験本体装置との間で、部品を着脱自在に保持しつつ移動する保持手段と、この保持手段とともに移動して、トレイに収納された部品を撮像する撮像手段とを備え、制御手段は、撮像手段により撮像された画像データに基づいてトレイに収納された部品の位置姿勢を認識する認識手段と、第２トレイ載置部のトレイに部品が満載されたか否かを判定するカウント手段とを備え、前記保持手段により部品を取り出すときに第１トレイ載置部のトレイに収納された部品を前記撮像手段により撮像するとともに当該部品の位置姿勢を前記認識手段により認識する一方、前記カウント手段により第２トレイ載置部のトレイに部品が満載されたと判定された場合にこのトレイに収納された部品を前記撮像手段により撮像するとともに当該部品の位置姿勢を前記認識手段により認識することを特徴とするものである。
【０００８】
この構成によれば、部品移動手段の保持手段により、第１トレイ載置部又は第２トレイ載置部と試験本体装置との間で、部品が着脱自在に保持されつつ移動され、この保持手段とともに移動される撮像手段により、トレイに収納された部品が撮像され、制御手段の認識手段により、前記撮像された画像データに基づいてトレイに収納された部品の位置姿勢が認識されるので、トレイに収納された試験前の部品の位置姿勢が最初からずれている場合であっても、そのずれを確認することが可能となる。したがって、このずれを最初の段階で補正しておけば、部品が部品搬送手段などで搬送され、試験本体装置に移載されるまでの間に、その部品のずれが累積して、補正可能な範囲を越えてしまうことがなくなる。したがって、試験本体装置に移載される部品の保持姿勢が所定の姿勢から大きく外れることがなくなり、部品と試験本体装置との電気的な接続が不可能となって試験に支障をきたすことがなくなる。また、試験後の部品がトレイに収納された位置姿勢が最終的にずれている場合であっても、ずれを確認することが可能となるので、そのずれを補正しておけば、保管中やトレイ取出時に部品の破損や脱落を生じたり、後作業への支障をきたしたりすることもなくなる。
【０００９】
請求項２記載の発明のように、第１トレイ載置部のトレイに収納された部品についての前記認識結果に基づいて、当該部品をトレイから取り出す際に、保持手段による部品の保持位置及び保持姿勢を所定の位置姿勢となるように補正する補正手段を備えたこととすれば、ずれを自動的に補正することが可能となるので、そのための人手がかかることがなくなり、作業効率の向上が図られる。
【００１０】
請求項３記載の発明のように、撮像手段は、撮像対象となる部品を照明するための光源を備えていることとすれば、明るい撮像画像が得られ、画像認識が容易になるとともに、その認識精度の向上が図られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにＸ軸、Ｙ軸を示している。
【００１２】
図１及び図２は、本発明に係る部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装置本体３とから構成されている。
【００１３】
試験装置本体３は、上面にテストヘッド４を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判定するように構成されている。
【００１４】
試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テスト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハンドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテストヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。
【００１５】
ハンドラ２は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００１６】
ハンドラ２は、大きく分けて、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領域に分けられている。
【００１７】
トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図２の左側から順に第１〜第３の３つのトレイ収納部１２〜１４が並設されている。１１，１５は空トレイの仮置きスペース等である。そして、第１トレイ収納部１２に試験前（未検査）の部品を載せたトレイＴｒが、第２トレイ収納部１３に試験後の部品のうち不合格品（Fail）を載せたトレイＴｒが、第３トレイ収納部１４に試験後の部品のうち合格品（Pass）を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。ここでは、第１トレイ収納部１２が第１トレイ載置部に相当し、第２トレイ収納部１３及び第３トレイ収納部１４が第２トレイ載置部に相当する。
【００１８】
なお、各トレイＴｒは何れも共通の構造を有しており、図示を省略するが、例えばその表面には複数の部品収納凹部（収納スペース）が区画形成されており、ＩＣチップ等の部品が各部品収納凹部内に収納されるように構成されている。
【００１９】
各トレイ収納部１２〜１４は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で収納するように構成されており、最上位のトレイＴｒのみを基台２ａ上に臨ませた状態で配置し、それ以外のトレイＴｒを基台下のスペースに収納するように構成されている。なお、ハンドラ２の側壁には、各スペースに収納されたトレイＴｒを出し入れできるように扉１２ｂ〜１４ｂが設けられている。
【００２０】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに部品移動手段としてのＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robot）２０が設けられている。図３は、このＰ＆Ｐロボットまわりの具体的な構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【００２１】
Ｐ＆Ｐロボット２０は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、移動可能なヘッド２３（搬送用ヘッド）を有しており、このヘッド２３によって第１トレイ収納部１２のトレイＴｒから部品を取出して後述するシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第２トレイ収納部１３又は第３トレイ収納部１４のトレイＴｒに移載するもので、さらに各トレイ収納部１２等間や、それらと空トレイの仮置きスペース等１１，１５との間でトレイＴｒを搬送するトレイ搬送機能も有している。
【００２２】
このＰ＆Ｐロボット２０について、さらに詳しく説明すると、上記基台２ａ上にはＹ軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装着されている。また、固定レール２１の近傍に設けられたサーボモータ２２ａにより回転駆動されて前記固定レール２１と平行に延びるボールねじ軸２２ｂが基台２ａ上に設けられ、このボールねじ軸２２ｂが前記支持部材２２に設けられたナット部材２２ｃに螺合装着されている。さらに、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる上下一対の固定レール２２ｄが設けられこの固定レール２２ｄにヘッド２３が移動可能に装着されるとともに、サーボモータ２２ｅにより回転駆動されて前記固定レール２２ｄと平行に延びるボールねじ軸２２ｆが設けられ、このボールねじ軸２２ｆがヘッド２３に設けられたナット部分２２ｇに螺合装着されている。そして、上記各サーボモータ２２ａ，２２ｅによるボールねじ軸２２ｂ，２２ｆの回転駆動に応じて支持部材２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動することにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１２〜１４、空トレイの仮置きスペース等１１，１５及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を移動）し得るように構成されている。
【００２３】
ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施形態では部品用の一対のノズル部材２４ａ，２４ｂ（第１ノズル２４ａ，第２ノズル２４ｂ：保持手段）と、トレイ用のノズル部材２５（トレイ用ノズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されている。各ノズル部材２４ａ，２４ｂ及び２５は、図外の電磁バルブ等を介して負圧発生源に接続されており、後述する部品搬送時にはノズル部材２４ａ，２４ｂの先端に部品吸着用の負圧が供給され、該負圧の作用により部品を吸着するように構成されている。同様に、空トレイＴｒの搬送時はノズル部材２５の先端にトレイ吸着用の負圧が供給され、該負圧の作用によりトレイＴｒを吸着するように構成されている。
【００２４】
部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂは、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータ２４ｃ（昇降用２４ｃ１，回転用２４ｃ２），２４ｄ（昇降用２４ｄ１，回転用２４ｄ２）を駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第１トレイ収納部１２等のトレイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いトレイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して予め定められた方向で部品を収納し得るように構成されている。
【００２５】
トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータ２５ａを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイＴｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第１トレイ収納部１２から空トレイの仮置きスペース１１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１トレイ収納部１２に収納されている空のトレイＴｒを吸着して第２又は第３のトレイ収納部１３，１４に移送するように構成されている。
【００２６】
ヘッド２３の部品吸着用のノズル部材２４ａと図３（ａ），（ｂ）中で隣合う位置に、ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ（撮像手段）２６と、このカメラ２６の光軸を取り巻くように環状に形成された照明（光源）２７とが同軸に配設されている。
【００２７】
このカメラ２６は、トレイＴｒ内での部品の収納状態（所定の位置姿勢からのずれ（誤差））を画像の認識に基づいて調べるべくＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３側から下向きに部品を撮像するもので、試験前の部品の収納状態を撮像し、また、試験終了後の部品をトレイＴｒへ収納した後にも撮像するように構成されている。また、照明２７は、カメラ２６の撮像対象となる部品を照明するためものもので、その照明能力を考慮してカメラ２６よりも若干低く設定されている。なお、該照明２７は、トレイＴｒ内に収納される２つの部品を同時に照明し、カメラ２６はこの照明された２つの部品を同時に撮像し得るように構成されている。
【００２８】
このカメラ２６によって、トレイＴｒに収納されている部品に接近した状態でそれを撮像することにより、画像認識に適した良好な画像データが得られるとともに、照明２７によって、さらに明るい撮像画像が得られるようになるので、後述する画像認識が容易となり、認識精度の向上が図られる。
【００２９】
一方、テスト領域Ｔａには、図１に示すように、前記テストヘッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。
【００３０】
テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面には、部品をセットするための複数のソケット（図示省略）が配設されており、当試験装置１においては２つのソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。
【００３１】
各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチップ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【００３２】
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレイ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送しつつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。
【００３３】
そして、第１トレイ収納部１２の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し位置Ｐ１と、テストヘッド４側方に設定されたテストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２との間で前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動させながら該テーブル３２により部品を搬送するように構成されている。
【００３４】
テーブル３２には、試験前の部品を載置するためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが予め定められており、当実施形態では、図４に示すようにテーブル３２のうちトレイ収納領域Ｓａ側（同図では下側）が試験後の部品を載置する第１エリアａ１とされ、その反対側が試験前の部品を載置する第２エリアａ２と定められている。各エリアａ１，ａ２には、夫々一対の吸着パッド３３がＸ軸方向に所定間隔で、具体的にはＰ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３のノズル部材２４ａ，２４ｂに対応する間隔で設けられおり、部品搬送時には、これらパッド３３上に部品が載置され吸着された状態で搬送されるように構成されている。
【００３５】
なお、各シャトルロボット３０Ａ，３０ＢとＰ＆Ｐロボット２０及びテストロボット４０との部品の受渡しは、例えば、以下のようにして行われる。
【００３６】
まず、Ｐ＆Ｐロボット２０から各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに試験前の部品を移載する際には、図５（ａ）に示すように部品受渡し位置Ｐ１の所定の位置にＰ＆Ｐロボット２０のノズル部材２４ａ，２４ｂ（ヘッド２３）が位置決めされ、ノズル部材２４ａ，２４ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第２ポジションという）、この状態でノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴いテーブル３２上に部品が移載される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品を移載する際には、図５（ｂ）に示すようにノズル部材２４ａ，２４ｂに第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（この位置を第１ポジションという）、この状態でテーブル３２上の部品がノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降に伴い吸着される。
【００３７】
また、テストロボット４０からシャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）に試験後の部品を移載する際には、図５（ｃ）に示すように部品受渡し位置Ｐ２の所定の位置にテストロボット４０の後記ノズル部材６０ａ，６０ｂ（ヘッド本体４３ａ，４３ｂ）が位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂに第１エリアａ１が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第１ポジション）、この状態でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴ってテーブル３２上に部品が載置される。一方、シャトルロボット３０Ａ（３０Ｂ）からテストロボット４０に試験前の部品を移載する際には、図５（ｄ）に示すようにノズル部材６０ａ，６０ｂに第２エリアａ２が対応するようにテーブル３２が位置決めされ（第２ポジション）、この状態でノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上から部品が吸着されるようになっている。
【００３８】
テストロボット４０は、上述のように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対して部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡す（排出する）装置である。
【００３９】
このテストロボット４０は、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられた高架２ｂに沿って移動する部品移動手段としての一対の搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂ（第１の部品移動手段としての第１ヘッド本体４３ａ，第２の部品移動手段としての第２ヘッド本体４３ｂ）によりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。以下、図１，図２及び図６〜図９を参照しつつ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの構成について具体的に説明する。
【００４０】
各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂは、夫々、前記高架２ｂ上に配設されたＸ軸方向の固定レール４５に沿って移動可能な一対の可動フレーム４６ａ，４６ｂ（第１可動フレーム４６ａ，第２可動フレーム４６ｂ）を有している。これらの可動フレーム４６ａ，４６ｂのうち第１可動フレーム４６ａにはサーボモータ４７が固定されており、このサーボモータ４７の出力軸にＸ軸方向に延びるボールねじ軸４８が一体的に連結されるとともに、このボールねじ軸４８が第２可動フレーム４６ｂに設けられたナット部分４９に螺合装着されている。また、サーボモータ５０により夫々回転駆動される前記固定レール４５と平行な一対のボールねじ軸５１が基台２ａに設けられ、これらボールねじ軸５１が搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂの各第１可動フレーム４６ａに設けられたナット部分５２に螺合装着されている。すなわち、サーボモータ５０によるボールねじ軸５１の回転駆動に伴い各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂが固定レール４５に沿って夫々Ｘ軸方向に移動するとともに、前記サーボモータ４７によるボールねじ軸４８の回転駆動に伴い、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにおいて、図７の二点鎖線に示すように第２可動フレーム４６ｂが第１可動フレーム４６ａに対して相対的にＸ軸方向に移動し得るように構成されている。
【００４１】
各可動フレーム４６ａ，４６ｂ上には、図７及び図８に示すようにＹ軸方向に延びる固定レール５４が夫々配設されている。各レール５４には、ヘッド支持部材５５が夫々移動可能に支持されており、これらヘッド支持部材５５の先端部（図７では右側端部）に前記ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々組付けられている。そして、各可動フレーム４６ａ，４６ｂに、サーボモータ５７により駆動される前記固定レール５４と平行なボールねじ軸５８が夫々固定台５６を介して支持され、これらボールねじ軸５８がヘッド支持部材５５に設けられたナット部分５９に夫々螺合装着されている。これにより各サーボモータ５７によるボールねじ軸５８の回転駆動に伴い各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが可動フレーム４６ａ，４６ｂに対して夫々Ｙ軸方向に移動するように構成されている。
【００４２】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、吸着ノズルとしてのノズル部材６０ａ，６０ｂ（第１ノズル部材６０ａ，第２ノズル部材６０ｂ）が夫々設けられている。各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、図外の電磁バルブ等を介して負圧発生源に接続されており、テストヘッド４への部品搬送時等にはノズル部材６０ａ，６０ｂの先端に部品吸着用の負圧が供給され、該負圧の作用により部品を吸着するように構成されている。
【００４３】
各ノズル部材６０ａ，６０ｂは、ヘッド本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【００４４】
また、図７中のヘッド本体４３ｂの右側には、テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなるソケット認識カメラ６２が搭載されている。
【００４５】
テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間であって、テストヘッド４の近傍に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが配設されている。これらのカメラ６４Ａ，６４Ｂは、画像の認識に基づいて部品の吸着状態（吸着誤差（ずれ））を調べるとともに、テストロボット４０の移動誤差を調べるべく、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂにより吸着されている２つの部品を下側から同時に撮像し得るように構成されており、図９に示すように、ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより各シャトルロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）から部品が取り上げられた後、該ヘッド本体４３ａ，４３ｂの移動に伴い部品認識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に部品が配置されることにより部品を撮像するようになっている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２〜テストヘッド４に亘って最短距離で移動させながらその途中で試験前の部品を撮像し得るように構成されている。
【００４６】
なお、ハンドラ２の上部には、図１に示すように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間がこのカバー２ｃによって覆われている。
【００４７】
図１０は、試験装置１の制御系をブロック図で示している。この図に示すように、試験装置１は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ７０ａと、そのＣＰＵ７０ａを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭ７０ｂと、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ７０ｃとを備えた制御部７０（制御手段）を備え、さらに、本発明の特徴となるＰ＆Ｐロボット２０によるトレイＴｒからの部品の取り出し動作と、トレイＴｒへの部品の収納動作を制御するために、認識手段としての画像認識手段７０ｄ及び演算手段７０ｅと、補正手段としての判定手段７０ｆ、ずれ補正手段７０ｇ及びカウント手段７０ｈとを備えてなっている。
【００４８】
画像認識手段７０ｄは、部品認識カメラ２６により撮像された画像データに基づいてトレイＴｒに収納された部品の位置姿勢を認識するものであって、このために周知の画像認識技術が用いられる。例えば画像データについて正規化、二値化等の前処理を施した上で、特徴点の座標を読み取る。演算手段７０ｅは、その特徴点の座標の予定位置からのずれ量を最小自乗法等の適当なアルゴリズムを用いて演算するものである。
【００４９】
判定手段７０ｆは、前記演算されたずれ量が許容値を超えているか否かを判定するものである。このために、所定の許容値が前記ＲＯＭ７０ｂに予め記憶されている。
【００５０】
ずれ補正手段７０ｇは、ノズル部材２４ａ，２４ｂによる部品の保持位置及び保持姿勢を所定の位置姿勢となるように補正するものであって、このためにヘッド２３のＸ−Ｙ座標上での動作と、ノズル部材２４ａ，２４ｂの回転動作との組み合わせにより、前記演算されたずれ量を補正するようになっている。
【００５１】
カウント手段７０は、トレイＴｒごとに収納された部品数をカウントし、このカウント数が所定値に達したか否かを判定するものである。
【００５２】
この制御部７０には、Ｉ／Ｏ部（図示せず）を介して試験装置本体３、部品認識カメラ２６，６４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２が電気的に接続されるとともに、前記Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの各コントローラ７１，７２，７３Ａ，７３Ｂが電気的に接続されている。また、各種情報を制御部７０に入出力するための操作部７５及び試験状況等の各種情報を報知するためのＣＲＴ７６等がこの制御部７０に電気的に接続されている。
【００５３】
そして、前記ＲＯＭ７０ｂに記憶されたプログラムに従ってハンドラ２の各ロボット等の動作が制御部７０により制御されるようになっている。
【００５４】
以下、この制御部７０の制御に基づく試験装置１の動作について、図１１のタイミングチャートと、図１２及び図１３のフローチャートとに基づいて説明することにする。
【００５５】
なお、図１１のタイミングチャートは、試験動作中の特定の時点（ｔ０時点）からの動作を示しており、該ｔ０時点における各ロボット２０,３０Ａ，３０Ｂ，４０（搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ）の状態は以下の通りである。
・Ｐ＆Ｐロボット  ；試験後の部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３が移動中の状態にある。
・第１シャトルロボット３０Ａ  ；次回第１搬送用ヘッド４２Ａに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
・第１搬送用ヘッド４２Ａ  ；次に試験を行う部品を各ヘッド本体４３ａ，４３ｂにより吸着し、かつ各部品を部品認識カメラ６４Ａ上方に配置（待機）した状態にある。
・第２シャトルロボット３０Ｂ  ；次に第２搬送用ヘッド４２Ｂに供給する部品をテーブル３２上に保持した状態で部品受渡し位置Ｐ１に待機した状態にある。
・第２搬送用ヘッド４２Ｂ  ；テストヘッド４において試験終了直後の状態にある。
【００５６】
以上のような状態下において、まず、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動するとともに（ｔ１時点）、試験後の部品を受け渡すべく第２搬送用ヘッド４２Ｂが第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２に移動する（ｔ３時点）。
【００５７】
部品受渡し位置Ｐ２に第２搬送用ヘッド４２Ｂが到達すると（ｔ７時点）、まず第２搬送用ヘッド４２Ｂから第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２上に試験後の部品が移載され、次いで、該テーブル３２に予め載置されている次の部品（試験前の部品）が第２ロボット本体４２Ｂに受け渡される。詳しくは、第２シャトルロボット３０Ｂのテーブル３２がまず部品受渡し位置Ｐ２において第１ポジション（図５（ｃ）参照）に位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴いテーブル３２上の第１エリアａ１に部品が移載される（ｔ９時点）。その後、テーブル３２が第２ポジション（図５（ｄ）参照）に位置決めされ、テーブル上の第２エリアａ２に保持されている部品が各ノズル部材６０ａ，６０ｂの昇降に伴い吸着される（ｔ１２時点）。
【００５８】
第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの間での部品の受渡しが完了すると、第２搬送用ヘッド４２Ｂの移動に伴い各部品が部品認識カメラ６４Ｂ上に配置されて（ｔ１８時点）、該部品の撮像に基づき吸着状態を調べて上記部品のずれ補正のための処理が行われ、この処理が完了するとテストヘッド４への搬送待機状態となる。
【００５９】
一方、上記のように第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に移動すると、これと同じタイミングで第１搬送用ヘッド４２Ａが次の部品の試験を行うべくテストヘッド４に移動する（ｔ３時点）。そして、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４に到達すると（ｔ５時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂが下降し、この下降に伴い各ノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品がテストヘッド４の各ソケットに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされ、これにより該部品の試験が開始される（ｔ８時点）。
【００６０】
同タイミングチャートでは詳細に示していないが、ソケットへの部品の位置決め前に、部品認識カメラ６４Ａにより部品が撮像され、この撮像に基づいて第１搬送用ヘッド４２Ａの位置誤差（ずれ）が求められる。そして、この誤差に基づいて部品の補正量が求められ、この補正量に基づいて第１搬送用ヘッド４２Ａが駆動制御されることにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂの吸着部品の位置が補正される。
【００６１】
各部品位置の補正は、まずサーボモータ５０の作動により第１搬送用ヘッド４２Ａ全体がＸ軸方向に移動した後、サーボモータ４７の作動により第２可動フレーム４６ｂのみがＸ軸方向に移動する。これにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂのノズル部材６０ａ，６０ｂに吸着されている部品が夫々Ｘ軸方向に位置補正される。そして、サーボモータ５７の作動により各ヘッド本体４３ａ，４３ｂが夫々Ｙ軸方向に移動することにより各部品がＹ軸方向に夫々位置補正され、さらにヘッド本体４３ａ，４３ｂの各ノズル部材６０ａ，６０ｂがノズル軸回り回転することにより各部品が夫々回転方向に位置補正される。これにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている部品が夫々Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向に位置補正されることとなる。なお、ここでは説明の便宜上、各部品の位置補正をＸ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向に分けて時系列的に説明したが、実際にはこれら各方向の補正が並行して行われることにより各部品の位置補正が速やかに行われる。
【００６２】
しかる後、第１搬送用ヘッド４２Ａがテストヘッド４上の目標位置に配置され、ソケット認識カメラ６２による基準マークの撮像に基づいて第１搬送用ヘッド４２Ａがソケットに対して位置決めされ、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの下降に伴い各部品がソケットにセットされる。
【００６３】
テストヘッド４に位置決めされている部品の試験が終了すると（ｔ２０時点）、各ノズル部材６０ａ，６０ｂの上昇に伴い部品がソケットから取り外され（ｔ２３時点）、さらに第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い該試験後の部品が第１シャトルロボット３０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送される（ｔ２５時点）。そして、上述した第２搬送用ヘッド４２Ｂと第２シャトルロボット３０Ｂとの部品受け渡し動作と同様にして、第１搬送用ヘッド４２Ａと第１シャトルロボット３０Ａとの間で部品の受け渡しが行われる。
【００６４】
また、部品受渡し位置Ｐ２への第１搬送用ヘッド４２Ａの移動と同じタイミングで第２搬送用ヘッド４２Ｂがテストヘッド４に移動し（ｔ２４時点）、第２搬送用ヘッド４２Ｂの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂに吸着されている次の部品がテストヘッド４に押し付けられた状態で位置決めされることとなる（ｔ２６時点）。
【００６５】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０及び各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂについては、テストロボット４０の各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対する部品の受け渡しが連続的に行われ得るように以下のようにその動作が制御される。
【００６６】
まず、第２シャトルロボット３０Ｂについては、第２搬送用ヘッド４２Ｂが部品受渡し位置Ｐ２に到達すると同時（ｔ７時点）に試験後の部品を受け取るべく、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に移動する。そして、上記の通りまずテーブル３２が第１ポジション（図５（ｃ）参照）に配置された状態で第２搬送用ヘッド４２Ｂからテーブル３２へ試験後の部品が受け渡され（ｔ９時点）、さらにテーブル３２が第２ポジション（図５（ｄ）参照）に配置されて（ｔ１０時点）試験前の部品がテーブル３２から第２搬送用ヘッド４２Ｂに受け渡される（ｔ１２時点）。
【００６７】
その後、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１に移動し（ｔ１４時点）、まず第２ポジション（図５（ｂ）参照）にテーブル３２が配置された状態で、Ｐ＆Ｐロボット２０からテーブル３２に次ぎの部品（試験前の部品）が受け渡される（ｔ１６時点）。次いで、テーブル３２が第１ポジション（図５（ａ）参照）に配置され（ｔ１７時点）、この状態でテーブル３２からＰ＆Ｐロボット２０に試験後の部品が受け渡され（ｔ１９時点）、その後、次回の部品受渡しまで部品受渡し位置Ｐ１において待機状態におかれる。なお、これは第２シャトルロボット３０Ｂの動作制御であるが、第１シャトルロボット３０Ａについても第１搬送用ヘッド４２Ａとの関係で同様に動作制御される。
【００６８】
一方、Ｐ＆Ｐロボット２０は、先に試験が終了した部品をその試験結果に応じたトレイＴｒに収納すべく動作制御される。
【００６９】
具体的には、まず各ノズル部材２４ａ，２４ｂに吸着した部品のうち一方側の部品を収納すべくヘッド２３が第２トレイ収納部１３上又は第３トレイ収納部１４上に配置され（ｔ２時点）、例えば第１ノズル部材２４ａの昇降に伴い部品がトレイＴｒに収納される（時点ｔ４）。次いで、他方側の部品を収納すべくヘッド２３が第２トレイ収納部１３上等又は第３トレイ収納部１４上に配置された後（ｔ６時点）、第２ノズル部材２４ｂの昇降に伴い部品がトレイＴｒに収納される（ｔ８時点）。
【００７０】
試験後の部品のトレイＴｒへの収納が完了すると、ヘッド２３が第１トレイ収納部１２の上方に配置され（ｔ１１時点）、新たな部品がトレイＴｒから取出される（ｔ１３時点）。
【００７１】
そして、ヘッド２３が第２シャトルロボット３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１に配置され、上述したように当該新たな部品が第２シャトルロボット３０Ｂに受け渡されるとともに（ｔ１６時点）、試験後の部品が第２シャトルロボット３０ＢからＰ＆Ｐロボット２０に受け渡される（ｔ１９時点）。
【００７２】
このような第２シャトルロボット３０Ｂに対する部品の受渡しが完了すると、該部品をトレイＴｒに収納すべくヘッド２３等が動作制御されこととなる（ｔ２２時点）。
【００７３】
このようにして以後、図９に示すように、部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間で第１搬送用ヘッド４２Ａ（第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を移動させつつテストヘッド４に２ずつ部品を搬送、位置決めして試験を行う一方で、これと並行して第２搬送用ヘッド４２Ｂ（又は第１搬送用ヘッド４２Ａ）と第２シャトルロボット３０Ｂ（又は第１シャトルロボット３０Ａ）との間で部品の受け渡し（つまり試験後の部品と次回の部品との受け渡し）を行いながら、さらにこのような第１搬送用ヘッド４２Ａ及び第２搬送用ヘッド４２Ｂに対する部品の受け渡し等が連続的に行われるように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及びＰ＆Ｐロボット２０の動作が制御される。
【００７４】
ところで、当実施形態の試験装置１では、上述のＰ＆Ｐロボット２０によるトレイＴｒからの部品の取り出し動作の際、及び、トレイＴｒへの部品の収納動作の際に、カメラ２６による撮像に基づく認識とそれに応じた処理が行われる。
【００７５】
すなわち、新たな部品（試験前の部品）の取り出し動作では、図１２のフローチャートに示すように、サーボモータ２２ａの駆動により、支持部材２２をＹ軸方向に移動し、サーボモータ２２ｅの駆動により支持部材２２上でヘッド２３をＸ軸方向に移動して、部品認識カメラ２６の位置がトレイＴｒに収納された試験前の部品の直上になるようにヘッド２３を停止させる(ステップＳ１)。その位置で照明２７により照明された部品を、カメラ２６によって、撮像する(ステップＳ２)。
【００７６】
ついで、画像認識手段７０ｄは、この撮像された部品の画像データについて、前記画像処理を行い(ステップＳ３)、演算手段７０ｅは、画像認識結果に基づいてヘッド２３の移動量（Ｘ軸方向のずれ量ΔＸと、Ｙ軸方向のずれ量ΔＹ）及びノズル部材２４ａ，２４ｂの回転量（ノズル軸回りの回転角度θのずれ量Δθ）といったずれ量を演算する(ステップＳ４)。そして、サーボモータ２４ｃ，２４ｄを駆動することにより、ノズル部材２４ａ，２４ｂをそれぞれ降下させてトレイＴｒに収納されている部品を吸着し、その吸着状態のままノズル部材２４ａ，２４ｂを上昇させる(ステップＳ５)。
【００７７】
ついで、判定手段７０ｆは、回転補正が必要かを判定する(ステップＳ６)。すなわち、上記ステップＳ４でノズル部材の回転量Δθが演算されていた場合には、このΔθが許容値を超えているか否かが判定される。ここで、Δθが許容値を超えていると判定されたとすると(ステップＳ６でＹＥＳ)、ずれ補正手段７０ｇは、サーボモータ２４ｃ，２４ｄを駆動することによって、ノズル部材２４ａ，２４ｂをノズル軸回りにΔθだけ回転させ(ステップＳ７)、その回転された状態で、さらにサーボモータ２２ａ，２２ｅを駆動して、ヘッド２３が部品受け渡し位置Ｐ１に移動させ、シャトルロボット３０Ａに部品の受け渡しを行う(ステップＳ８)。一方、Δθが許容値を超えていないと判定されたとすると(ステップＳ６でＮＯ)、ステップＳ７をスキップして、直ちにステップＳ８を実行する。
【００７８】
また、試験後の部品のトレイＴｒへの収納動作では、図１３に示すように、サーボモータ２２ａ，２２ｅを駆動することにより、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３が移動して、トレイＴｒの上に停止し、その位置でサーボモータ２４ｃ，２４ｄを駆動してノズル部材２４ａ，２４ｂを降下させることによって、トレイＴｒに部品を収納する(ステップＳ１１)。そして、カウント手段７０ｈは、そのトレイＴｒが部品を満載しているか否かを判定する(ステップＳ１２)。そして、トレイＴｒが満載されていないと判定されると(ステップＳ１２でＮＯ)、ステップＳ１１の手前に戻るが、トレイＴｒが満載されたと判定されると(ステップＳ１２でＹＥＳ)、部品認識カメラ２６の位置がトレイＴｒに収納された試験後の部品の直上になるように停止され(ステップＳ１３)、その位置で照明２７により照明された部品を、カメラ２６によって撮像する(ステップＳ１４)。
【００７９】
ついで、画像認識手段７０ｄは、この撮像された部品の画像データについて、前記画像処理を行い(ステップＳ１５)、演算手段７０ｅは、画像認識結果に基づいてヘッド２３の移動量（Ｘ軸方向のずれ量ΔＸと、Ｙ軸方向のずれ量ΔＹ）及びノズル部材２４ａ，２４ｂの回転量（ノズル軸回りの回転角度θのずれ量Δθ）といったずれ量を演算する(ステップＳ１６)。そして、判定手段７０ｆは、誤収納の有無を判定する(ステップＳ1７)。例えば前記ずれ量が許容値を超えていると判定すると(ステップＳ1７でＮＯ)、前記ＣＲＴ７６に所定のエラー表示がなされる(ステップＳ1８)。一方、前記ずれ量が許容値を超えていないと判定されると(ステップＳ1７でＹＥＳ)、ステップＳ１８をスキップして終了する。
【００８０】
以上説明したように、この試験装置１では、Ｐ＆Ｐロボット２０のノズル部材２４ａ，２４ｂにより、試験前の部品を収納したトレイＴｒとテストヘッド４との間で、ロボット２０，３０及び４０を用いて、部品が着脱自在に保持されつつ移動され、このうちのＰ＆Ｐロボット２０のヘッド２３のノズル部材２４ａ，２４ｂとともに移動される部品認識カメラ２６により、トレイＴｒに収納された部品が撮像される。そして、制御部７０の画像認識手段７０ｄと演算手段７０ｅとによって、カメラ２６により撮像された画像データに基づいてトレイＴｒに収納された部品の位置姿勢が認識され、判定手段７０ｆと補正手段７０ｇとにより、この認識結果に基づいてノズル部材２４ａ，２４ｂによる部品の保持位置及び保持姿勢が所定の位置姿勢となるように補正されるので、トレイＴｒに収納された試験前の部品の位置姿勢が最初からずれている場合であっても、そのずれが最初の段階で自動的に補正される。よって、部品がシャトルロボット３０Ａとテストロボット４０とで搬送され、テストヘッド４に移載されるまでの間に、その部品のずれが累積して、補正可能な範囲を越えてしまうことがなくなる。その結果、試験位置であるテストヘッド４に移載される部品の位置姿勢が所定の位置姿勢から大きく外れることがなくなり、部品とソケットとの電気的な接続が不可能となって試験に支障をきたすことがなくなる。
【００８１】
一方、試験後には、テストヘッド４とその試験後の部品を収納するトレイＴｒとの間で、ロボット２０，３０及び４０を用いて、部品が着脱自在に保持されつつ移動され、このうちのＰ＆Ｐロボット２０のヘッド２３のノズル部材２４ａ，２４ｂとともに移動される部品認識カメラ２６により、トレイＴｒに収納された部品が撮像される。そして、制御部７０の画像認識手段７０ｄと演算手段７０ｅとによって、カメラ２６により撮像された画像データに基づいてトレイＴｒに収納された部品の位置姿勢が認識され、トレイＴｒに収納された部品の位置姿勢が最終的にずれている場合であっても、ずれを確認することが可能となるので、そのずれを補正しておけば、保管中やトレイ取出時に部品の破損や脱落を生じたり、後作業への支障をきたしたりすることもなくなる。
【００８２】
なお、上記実施形態では、試験後の部品はトレイＴｒに収納された状態を確認するだけとなっているが、この収納状態が許容範囲を超えている場合には、試験前の部品と同様にノズル部材２４ａ，２４ｂで吸着してその状態を補正して、もとの位置に戻すこととしてもよい。そのようにすれば、試験前の部品の場合と同様に、その補正のための人手がまったくかからなくなり、作業効率の向上が図られる。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１記載の発明によれば、トレイに収納された試験前の部品の位置姿勢が最初からずれている場合であっても、そのずれを確認することが可能となる。したがって、このずれを最初の段階で補正しておけば、部品が部品搬送手段などで搬送され、試験本体装置に移載されるまでの間に、その部品のずれが累積して、補正可能な範囲を越えてしまうことがなくなる。したがって、試験本体装置に移載される部品の保持姿勢が所定の姿勢から大きく外れることがなくなり、部品と試験本体装置との電気的な接続が不可能となって試験に支障をきたすことがなくなる。また、試験後の部品がトレイに収納された位置姿勢が最終的にずれている場合であっても、ずれを確認することが可能となるので、そのずれを補正しておけば、保管中やトレイ取出時に部品の破損や脱落を生じたり、後作業への支障をきたしたりすることもなくなる。
【００８４】
請求項２記載の発明によれば、ずれを自動的に補正することが可能となるので、そのための人手がかかることがなくなり、作業効率の向上を図ることができる。
【００８５】
請求項３記載の発明によれば、明るい撮像画像が得られ、画像認識が容易になるとともに、その認識精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図２】部品試験装置を示す平面図である。
【図３】Ｐ＆Ｐロボットまわりの具体的な構成を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図４】シャトルロボットのテーブルの構成を示す平面略図である。
【図５】シャトルロボットの部品受渡し位置におけるテーブルの位置を示す図２のＢ矢視図である（（ａ），（ｃ）はテーブルが第１ポジションに配置された状態、（ｂ），（ｄ）はテーブルが第２ポジションに配置された状態を示す）。
【図６】テストロボットの具体的な構成を示す平面図である。
【図７】テストロボットの具体的な構成を示す図６のＣ−Ｃ断面図である。
【図８】テストロボットの具体的な構成を示す図７のＤ−Ｄ断面図である。
【図９】テスト領域の構成を示す模式図である。
【図１０】部品試験装置の制御系を示すブロック図である。
【図１１】図１０に示す制御系の制御に基づく部品試験装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図１２】試験前にトレイに収納されている部品を取り扱うときのＰ＆Ｐロボットの動作を示すフローチャートである。
【図１３】試験後にトレイに収納された部品を取り扱うときのＰ＆Ｐロボットの動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  部品試験装置
２  ハンドラ
３  試験装置本体
４  テストヘッド
１２  第１トレイ収納部（第１トレイ載置部）
１３  第２トレイ収納部（第２トレイ載置部）
１４  第３トレイ収納部（第２トレイ載置部）
２０  Ｐ＆Ｐロボット（部品移動手段）
２３  ヘッド
２４ａ，２４ｂ  ノズル部材（保持手段）
２６  部品認識カメラ（撮像手段）
２７  照明（光源）
３０Ａ  第１シャトルロボット
３０Ｂ  第２シャトルロボット
４０  テストロボット
７０  制御部
７０ｄ  画像認識手段（認識手段）
７０ｅ  演算手段（認識手段）
７０ｆ  判定手段（補正手段）
７０ｇ  ずれ補正手段（補正手段）
７０ｈ  カウント手段
Ｓａ  トレイ収納領域
Ｔａ  テスト領域
Ｐ１，Ｐ２  部品受渡し位置
Ｔｒ  トレイ
【図１】
0003971216.tif 000002
【図２】
0003971216.tif 000003
【図３】
0003971216.tif 000004
【図４】
0003971216.tif 000005
【図５】
0003971216.tif 000006
【図６】
0003971216.tif 000007
【図７】
0003971216.tif 000008
【図８】
0003971216.tif 000009
【図９】
0003971216.tif 000010
【図１０】
0003971216.tif 000011
【図１１】
0003971216.tif 000012
【図１２】
0003971216.tif 000013
【図１３】
0003971216.tif 000014