(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットハンドを用いて、製造装置へのワークの供給、取出しを行なうワークの搬送装置において、
前記ロボットハンドには、中央に配置された第１ヘッド部（２０ｂ）とその両側に前記第１ヘッド部（２０ｂ）と所定の間隔（Ｗ）をもって配置された第２ヘッド部（２０ａ）および第３ヘッド部（２０ｃ）からなる３つの独立可動可能な把持手段を備えるとともに、
前記製造装置のワーク受け治具には、前記製造装置による処理前のワークと、前記製造装置の処理が終わったワークとを独立して保持、解除可能な構成を有しており、
前記３つのヘッド部（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）の各々は、ワークの供給もしくは取り出しのいずれかを行なうものであって、
前記３つのヘッド部のうち、ワークの供給を行なう第１ヘッド部（２０ｂ）の前記把持手段によって前記処理前のワークを把持している待機中において、前記製造装置の処理が終わった際に、前記３つのヘッド部のうちのワークの取り出しを行なう第２ヘッド部（２０ａ）もしくは第３ヘッド部（２０ｃ）の前記把持手段で、前記処理が終わったワークを取出し、かつ同時に前記第１ヘッド部（２０ｂ）の前記把持手段で把持した前記処理前ワークを、前記ワーク受け治具へ供給することを特徴とするワークの搬送装置。
【請求項２】
前記製造装置の処理が終わった際に、前記ワーク受け治具に保持されている前記処理が終わったワークの位置を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された前記処理が終わったワークの位置に応じて、前記第２ヘッド部、第３ヘッド部のいずれの前記把持手段で取出すかを判定する判定手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のワークの搬送装置。
【請求項３】
前記ロボットハンドには、前記第１ヘッド部を挟んで、前記第２ヘッド部および前記第３ヘッド部とが対向して配置されており、
前記第２ヘッド部の前記把持手段の中心と前記第３ヘッド部の前記把持手段の中心とを結ぶ仮想交線に対して、前記第１ヘッド部の前記把持手段の中心がオフセットされて配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワークの搬送装置。
【請求項４】
前記把持手段は、前記ワークの両端を挟み込んで保持するチャックを備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のワークの搬送装置。
【請求項５】
前記ワークを挟み込む前記チャックの先端部の内側には、緩衝材が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のワークの搬送装置。
【請求項６】
前記第１ヘッド部（２０ｂ）は、第１の所定位置（ＳＴ１）にて、処理前のワークを把持し、
加工装置（８）のワーク受け部（８ｂ）に対応する第２の所定位置（ＳＴ２）において、前記第１ヘッド部（２０ｂ）は処理前のワークをワーク受け部（８ｂ）に供給するとともに、前記第２または第３ヘッド部（２０ａ、２０ｃ）は、処理後のワークを把持してワーク受け部（８ｂ）から取出し、
処理後のワークを把持した前記第２または第３ヘッド部（２０ａ、２０ｃ）は、第３の所定位置（ＳＴ３）にて、その把持状態を解除することを特徴とする請求項１に記載のワークの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は被加工物および加工物（以下、ワークと呼ぶ）を製造装置に搬送するワークの搬送装置に関し、特に回路基板を加工装置に搬送する搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ワークの搬送装置としては、加工装置で加工する被加工物および加工物（以下、被加工物および加工物を、ワークと呼ぶ）を搬送するのに、ロボットハンドの往復移動等によって、加工装置へのワークの供給と、加工装置からのワークの取出しとをそれぞれ行なうものが知られている。
【０００３】
この種の搬送装置では、ロボットハンドによるワークの供給のための往復移動時間、およびワークの取出しのための往復移動時間が搬送時間として費やされ、その間、加工装置の加工待ち時間が生じる。このため、上記の運搬時間が、加工物の総加工時間に影響を与える場合がある。
【０００４】
この対策として、ロボットハンドの先端部に設けられたワーク把持装置の両端面にそれぞれ、ワークを供給するための把持手段、ワークを取出すための把持手段が設けられているものがある（特開平７−３１４２７７号公報）。
【０００５】
特開平７−３１４２７７号公報によれば、一方の端面の把持手段によって供給するためのワークを把持しているとき、他方の端面の把持手段にて加工装置で加工されたワークを取出した後に、ワーク把持装置を反転させ、そして、一方の端面の把持手段によって、加工装置へワークが供給される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上述の搬送装置では、供給するワークを把持する把持手段と加工済みのワークを取出す把持手段とを１つのワーク把持装置の両端面に備えることで、ワークの供給と取出しとに要するロボットハンドの総往復移動時間を、並行に行なって半減させることは可能である。しかしながら、ワークの脱着を行なう加工装置側が固定されている場合には、ワーク把持装置の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が必要となる。
【０００７】
この準備時間中は、加工装置の待機時間となるため、加工装置の総加工時間を増加させる問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、ロボットハンドによりワークを搬送する搬送装置において、加工装置へのワークの供給と、加工済みのワークの取出しとが同時に行なえるワークの搬送装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１によると、ロボットハンドを用いて、製造装置へのワークの供給、取出しを行なうワークの搬送装置において、ロボットハンドには、中央に配置された第１ヘッド部（２０ｂ）とその両側に第１ヘッド部（２０ｂ）と所定の間隔（Ｗ）をもって配置された第２ヘッド部（２０ａ）および第３ヘッド部（２０ｃ）からなる３つの独立可動可能な把持手段を備えるとともに、製造装置のワーク受け治具には、製造装置による処理前のワークと、製造装置の処理が終わったワークとを独立して保持、解除可能な構成を有している。３つのヘッド部の各々は、ワークの供給もしくは取り出しを行なうものであり、３つのヘッド部のうち、ワークの供給を行なう第１ヘッド部（２０ｂ）の把持手段によって処理前のワークを把持している待機中において、製造装置の処理が終わった際に、３つのヘッド部のうちのワークの取り出しを行なう第２ヘッド部（２０ａ）もしくは第３ヘッド部（２０ｃ）の把持手段で、処理が終わったワークを取出し、かつ同時に第１ヘッド部（２０ｂ）の把持手段で把持した処理前ワークを、ワーク受け治具へ供給する。
【００１０】
これにより、ワークを把持する把持手段の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が生じることなく、処理が終わったワークの取出しと前記処理前のワークのワーク受け治具へ供給とを同時に行なうことが可能である。
【００１１】
本発明の請求項２によれば、製造装置の処理が終わった際に、ワーク受け治具に保持されている処理が終わったワークの位置を検出する検出手段と、検出手段によって検出された処理が終わったワークの位置に応じて、第２ヘッド部、第３ヘッド部のいずれの把持手段で取出すかを判定する判定手段とを備えている。
【００１２】
これにより、上記の２個のワークを独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具によって、保持されている処理が終わったワークの位置を検出し、かつ第２ヘッド部、第３ヘッド部のいずれの把持手段で取出すかを判定することができるので、ワークの取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【００１３】
本発明の請求項３によれば、ロボットハンドには、第１ヘッド部を挟んで、第２ヘッド部および第３ヘッド部とが対向して配置されており、第２ヘッド部の把持手段の中心と第３ヘッド部の前記把持手段の中心とを結ぶ仮想交線に対して、第１ヘッド部の前記把持手段の中心がオフセットされて配置されている。
【００１４】
これにより、中央に配置された第１ヘッド部は、ワークの供給のみを行なうとともに、２個のワークを独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具に対して、ワークの供給時に、ワーク自身が保持、解除可能な構成部分に干渉しないように、ワークを供給することが可能である。
【００１５】
本発明の請求項４によれば、把持手段は、ワークの両端を挟み込んで保持するチャックを備えているので、ワーク受け治具からの取出しと供給とが容易にできる。
【００１６】
上記チャックを備えた把持手段において、本発明の請求項５に記載のように、ワークを挟み込むチャックの先端部の内側には、緩衝材が設けられている。
【００１７】
これにより、把持動作によるワークの損傷等を防止できる。
【００１８】
本発明の請求項６によれば、第１ヘッド部（２０ｂ）は、第１の所定位置（ＳＴ１）にて、処理前のワークを把持し、加工装置（８）のワーク受け部（８ｂ）に対応する第２の所定位置（ＳＴ２）において、第１ヘッド部（２０ｂ）は処理前のワークをワーク受け部（８ｂ）に供給するとともに、第２または第３ヘッド部（２０ａ、２０ｃ）は、処理後のワークを把持してワーク受け部（８ｂ）から取出し、そして、処理後のワークを把持した第２または第３ヘッド部（２０ａ、２０ｃ）は、第３の所定位置（ＳＴ３）にて、その把持状態を解除する構成となっている。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のワークの搬送装置を、回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムに適用して、具体化した実施形態を図面に従って説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図１は、本発明のワークの搬送装置の実施形態に係わる回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムの概略構成を表わす模式図である。図２は、図１中のロボットの構造を表わすＩＩ方向からみた外観図である。図３は、図２中の本発明の要部であるロボットハンドに設けられた３つのヘッド部を表わす外観図であって、図３（ａ）は、正面図、図３（ｂ）は、下方向からみた平面図である。図４は、図３中のヘッド部の一つをＩＶ方向からみた側面図である。図５は、図１中の製造装置としての回路抵抗調節装置に備えられたワーク受け治具を表わす模式的平面図である。図６は、図１中のワークとしての回路基板の一実施例を示す模式的斜視図である。図７は、３つのヘッド部を備えたロボットハンドとワーク受け治具とのワークの取出しおよび供給をするときの配置関係を表わす模式図である。図８は、図７に示すロボットハンドとワーク受け治具との配置関係において、中央の第１ヘッド部をワーク供給のための専用ヘッドとし、判定手段を用いて選択的に第２ヘッド部、第３ヘッドを使い分けることで、ワークの取出しと供給とを同時並行して行なうことを説明する模式図であって、図８（ａ）は、右側の位置にある治具にワークを供給する場合、図８（ｂ）は、左側の位置にある治具にワークを供給する場合を示す模式図である。
【００２２】
（ワークの搬送装置の概略説明）
図１に示すように、ワークの搬送装置を適用する製造装置としての回路基板の加工システム１は、ワークとしての回路基板９に形成された回路配線９２（図６参照）の回路抵抗が所定値となるように、回路配線９２の除去加工を行なうものであって、回路配線９２の一部をトリミングするレーザトリミング装置８と、このレーザトリミング装置８で処理するワーク９の供給と、処理が終わったワーク９の取出しを行なうロボット２と、ロボット２が動作する所定の位置（以下、第１の所定位置ＳＴ１と呼ぶ）へ処理前のワーク９を逐次準備する前段装置３と、ロボット２が動作する他の所定の位置（以下、第３の所定位置ＳＴ３と呼ぶ）から処理済みのワーク９を次工程等へ搬送等するまで一時保管する次段装置４とを含んで構成されている。
【００２３】
レーザトリミング装置８は、レーザトリミング本体装置８ａと、この本体装置で加工処理を行なうワークの入れ替えを行なうワーク受け部８ｂとから構成されている。なお、レーザトリミング本体装置８ａは、金属材料で形成される回路配線９２を、高密度なエネルギーを放射して回路配線の一部だけを除去できるものであればよく、周知のレーザ加工装置であるので、詳細説明は省略する。
【００２４】
ワーク受け部８ｂには、ワーク受け治具としての加工テーブル５が備えれれており、加工処理前のワーク９と、レーザトリミング本体装置８ａによるレーザ加工によって加工処理が終わったワーク９とを独立して保持、解除が可能に構成されている（図５参照）。
【００２５】
なお、このワーク受け治具５については、後述する。
【００２６】
ロボット２は、図１に示すように、支柱２ａと、ロボットハンドとしてのアーム部２ｂと、アーム部２ｂの先端部２ｃに設けれれた把持手段２１，２２，２３によってワーク９が把持可能であるとともに、ワーク９を所定位置へ搬送するようアーム部２ｂを制御する制御部２ｓとを備えている。
【００２７】
アーム部２ｂは、図２に示すように、第１アーム部２ｂ１と、第２アーム部２ｂ２とから構成されており、それぞれ支柱２ａ、第１アーム部２ｂ１の連結部２ｂ１ｊに回転自在に連結されている。
【００２８】
第２アーム部２ｂ２には、図２中の上下方向に前後移動が可能な先端部２ｃが設けられ、先端部２ｃが回転可能である。
【００２９】
なお、回転自在な第１アーム部２ｂ１、第２アーム部２ｂ２、先端部２ｃは、それぞれロボット２に内蔵される駆動モータ（図示せず）によって図２中の矢印のように回転自在に駆動される。また、同様に駆動モータによって先端部２ｃの上下移動が可能である。
【００３０】
先端部２ｃには、ワークを把持する把持手段２１、２２，２３が３つのヘッド部２０にそれぞれ設けれれており、それぞれの把持手段２１、２２，２３が独立可動してワーク９を把持することができる。
【００３１】
なお、この３つの独立可動可能な把持手段２１，２２，２３を有するヘッド部２０の詳細については、後述する。
【００３２】
前段装置３および次段装置４は、レーザトリミング本体装置８ａへ処理前のワーク９の供給およびレーザトリミング本体装置８ａからの処理済みのワーク９の取出す工程が、順送りで行なえるようにするものである。詳しくは、前段装置３は、ロボット２の先端部２ｃが、制御部２ｓによって、図１に示すように、第１の所定位置ＳＴ１に動作されたとき、次に投入する処理前のワーク９が予め配置されるように、補給部３ａから、等ピッチ移送等によってワーク９を順送りする装置である。また、次段装置４は、ロボット２の先端部２ｃが、制御部２ｓによって、図１に示すように、第３の所定位置ＳＴ３に動作されたとき、後述する第２ヘッド２０ａ把持手段２１のもしくは第３ヘッド２０ｃ把持手段２３に把持された処理済みのワーク９を、順送りして、保管部４ａにて所定数量になるまで処理済のワークを保管する。
【００３３】
これにより、ロボット２の先端部２ｃに設けられた把持手段２１，２２，２３によって把持する処理前のワーク９および処理後のワーク９の加工装置８への搬入、送出の効率化が図れる。
【００３４】
上述の構成を有する加工装置の動作、特にロボット２の動作を以下説明する。
【００３５】
被加工物である回路配線９２の抵抗値が未調整の回路基板９をワークとして、前段装置３の補給部３ａに投入すると、ワーク９が等ピッチ順送りされて１個ずつ第１所定位置ＳＴ１へ送られる。ロボット２は、制御部２ｓによって、アーム部２ｂ（詳しくは、一点鎖線で示す第２アーム部２ｂ２）を第１所定位置ＳＴ１へ動作され、第１所定位置ＳＴ１に予め配置されている処理前のワークを、先端部２ｃの把持手段２２で把持する。次に、アーム部２ｂ（詳しくは、二点鎖線で示す第２アーム部２ｂ２）を加工装置８の前で、つまり加工装置８のワーク受け部８ｂ上の第２所定位置ＳＴ２へ動作させ、待機状態とする。そして、加工装置８による前回のワーク９の処理が終わったとき、先端部２ｃの把持手段２２で把持している処理前のワーク９をワーク受け部８ｂのワーク受け治具５へ供給するとともに、同時並行して、ワーク受け治具５に保持されている処理後のワーク９を、先端部２ｃに設けられた他の把持手段（２１もしくは２３）を用いて取出す。
【００３６】
これにより、ワーク９を把持する把持手段の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が生じることなく、処理が終わったワーク９の取出しと処理前のワークのワーク受け治具へ供給とを同時に行なうことができる。
【００３７】
なお、ロボット２の先端部２ｃに設けられた把持手段２１，２２，２３の動作の詳細については、後述する。
【００３８】
さらにまた、処理後のワーク９を、先端部２ｃに設けられた他の把持手段（２１もしくは２３）によって処理後のワーク９を取出し後に、アーム部２ｂ（詳しくは、点線で示す第２アーム部２ｂ２）を第３所定位置ＳＴ３へ動作させる。そして、先端部２ｃの他の把持手段（２１もしくは２３）で把持している処理後のワーク９を把持している先端部２ｃの他の把持手段（２１もしくは２３）の把持状態を解除させ、次段装置４へ送出する。なお、この次段装置４では、保管部４ａにて所定数量になるまで処理済のワークが保管される。
【００３９】
なお、ワーク９の供給、取出しが行なわれる加工装置としては、、レーザトリミング装置８で説明したが、加工装置８のワーク受け部８ａに、加工処理前のワーク９と、処理が終わったワーク９とを独立して保持、解除が可能に構成されるワーク受け治具５が設けられているものであればよい。また、加工装置に限らず、検査装置であってよい。検査装置であても、検査前のワーク９と検査後のワーク９とで、ロボット２による検査装置への供給、取出しが行なえる。
【００４０】
（ワークの搬送装置の発明の要部の詳細説明）
まず、ロボット２のロボットハンドとしてのアーム部２ｂ、特に先端部２ｃに備えられ、３つの独立可動可能な把持手段２１，２２，２３を有するヘッド部２０について、以下図３および図４に従って説明する。
【００４１】
図３に示すように、先端部２ｃは、３つのヘッド部２０を有しており、それぞれのヘッド部２０ａ、２０ｂ、２０ｃには、スライド部２５（図４参照）を介して、それぞれ把持手段としてのワークチャック部２１、２２、２３が備えられている。
【００４２】
このワークチャック部２１、２２、２３は、ワーク９の両端を挟み込んで保持するチャック２６を有している。これにより、ワーク９の両端を保持することで、ワーク受け治具５からのワーク９の取出しとワーク受け治具５へのワーク９の供給とが容易にできる。
【００４３】
なお、ワーク９を挟み込むチャック２６の先端部の内側には、ゴム材等で形成された緩衝材２７が設けられていることが望ましい。これにより、チャック２６による把持開始動作によるワークへの衝撃力を緩衝材２７が吸収することで、緩和させることができる。したがって、把持動作によるワーク９の損傷等の防止ができる。
【００４４】
スライド部２５は、図４に示すように、ヘッド部２０ａ、２０ｂ、２０ｃごとに、それぞれのワークチャック部２１、２２、２３を、図４中の上下方向に移動自在に連結している。これにより、把持手段としてのワークチャック部２１、２２、２３はそれぞれ独立して可動ができ、従って、各ヘッド部２０ａ、２０ｂ、２０ｃが独立してワーク９の供給、取出しが可能である。
【００４５】
ここで、３つのヘッド部２０ａ、２０ｂ、２０ｃのうち、中央のヘッド部２０ｂは、図３に示すように、他のヘッド部２０ａ、２０ｃに対してオフセットして配置されている。
【００４６】
詳しくは、ヘッド部２０ａ、ヘッド部２０ｂ、ヘッド部２０ｃをそれぞれ第２ヘッド部、第１ヘッド部、第３ヘッド部とすると、図３（ｂ）に示すように、第２ヘッド部２０ａのワークチャック部２１の中心２１ｊと第３ヘッド部２０ｃのワークチャック部２３の中心２３ｊとを結ぶ仮想交線Ｌ１３に対して、第１ヘッド部２０ｂのワークチャック部２２の中心２２ｊ（詳しくは、仮想交線Ｌ１３に並行で、中心２２ｊ上の交線Ｌ２）が所定間隔ΔＣｖだけオフセットして配置されている。同様に、中心２１ｊ、２３ｊの中心間距離Ｗに対して、中心２２ｊが、所定間隔ΔＣｈだけオフセットして配置されている。
【００４７】
一方、ワーク受け治具５は、図５に示すように、２つのワーク９を独立して保持、解除が可能な構成を備えており、固定されたワーク固定用治具５１と可動可能なワーク固定用治具５２が２対設けられている。
【００４８】
これにより、上記のヘット部群２０ａ〜２０ｃすなわちロボット２の先端部２ｃのワークの把持手段２１、２２、２３は、２対の固定されたワーク固定用治具５１間の離間距離Ｗに対して、供給するワーク９がワーク固定用治具５１に対して、距離ΔＣｖ、ΔＣｈだけオフセットして供給できる（図５参照）。
【００４９】
これにより、中央に配置された第１ヘッド部２０ｂは、ワーク９の供給のみを行なうとともに、２個のワーク９を独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具５に対して、処理前のワーク９の供給する際に、そのワーク９自身が保持、解除可能な構成部分、すなわちワーク固定用治具５１に干渉しないように、ワーク９を供給することができる。
【００５０】
次に、ロボット２の先端部２ｃに設けられた把持手段２１，２２，２３の動作、特に上記ワーク受け治具５に保持される処理が終ったワーク９の位置応じて、第２ヘッド部２０ａの把持手段２１、第３ヘッド部２０ｃの把持手段２３を選択する方法について、以下図１、図７、および図８に従って説明する。
【００５１】
まず、ワークの搬送装置の構成として、ロボット２のロボットハンド（詳しくは、アーム部２ｂ、特に先端部２ｃの把持手段）を制御する制御部２ｓには、判定手段（以下、判定回路と呼ぶ）２ｓｊが内蔵されている。この判定回路２ｓｊは、ワーク受け治具５に保持される処理が終ったワーク９の位置応じて、第２ヘッド部２０ａの把持手段２１、第３ヘッド部２０ｃの把持手段２３のうちいずれのもので、ワーク９を取出すかを判定する。
【００５２】
なお、ワーク受け治具５の２対のワーク固定用治具５１，５２には、それぞれ保持されているワーク９の存在を検出する検出手段Ｓ１、Ｓ２が設けられており、検出手段Ｓ１、Ｓ２の検出信号が、それぞれ制御部２ｓに入力されるように制御部２ｓに送信される構成となっている。
【００５３】
これにより、制御部２ｓでは、上記の２個のワークを独立して保持、解除可能な構成５１，５２を有するワーク受け治具５によって保持されている処理が終わったワーク９の位置を、検出手段Ｓ１、Ｓ２で検出することができる。さらに、第２ヘッド部２０ａ、第３ヘッド部２０ｃのいずれの把持手段２１、２３で取出すかを判定することができるので、ワーク９の取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【００５４】
詳しくは、ワーク受け治具５に保持されている処理が終わったワーク９の位置によって、ロボット２の先端部２ｃを図７中の矢印方向に移動させる必要がある。図７において、便宜的に、先端部２ｃ側を固定し、ワーク受け治具５の相対位置を変えて、先端部２ｃとワーク受け治具５との位置関係を表わすと、ワーク受け治具５の配置状態は、二点鎖線で示す状態と、点線で示す状態との２種類となる。このとき、図７中のＡからみた配置状態にあるワーク受け治具５を、図８（ａ）に示し、図７中のＢからみた配置状態にあるワーク受け治具５を、図８（ｂ）に示す。
【００５５】
ここで、制御部２ｃの判定手段２ｓｊが、図８（ａ）の場合には、第２ヘッド部２１を、もしくは図８（ｂ）の場合には、第３ヘッド部２３を選択するように設定すれば、ワーク受け治具５に保持されている処理が終わったワーク９の位置によって、ワーク９の取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【００５６】
（変形例）
変形例として、第１実施形態で説明した把持手段２１、２２、２３を、ワーク９の両端を挟み込んで保持するチャック２６に代えて、ワーク９を吸着する吸着装置（図示せず）にしてもよい。
【００５７】
ワーク９すなわち回路基板９の形状は、図６に示すように、略平板に形成されている。
【００５８】
回路基板９は、一般に、基板９１と、基板９１の表面に形成される回路配線としての銅合金等からなる回路電極９２と、半導体素子９５と、例えば回路配線９２に流れる電力を検出するセンサ等の素子９６とを含んで構成されている。
【００５９】
そこで、ワーク９を把持する把持手段として、例えば、回路基板９のうち、回路電極９２が配設されていない基板９１の外周部９１ａに当接して吸着する吸着装置を備えている構成とする。これにより、ワーク受け治具５にセットできるまで、吸着装置による吸着によりワーク９の保持ができるので、ワーク受け治具５を簡素にすることが可能である。吸着装置として、基板９１の外周部９１ａの全周にわたって当接可能な吸盤状のもので吸着させるもの、あるいは、回路基板と吸盤状のものとで形成される内部空間を、工場エア等を利用した負圧源によって強制吸着させてもよい。
【００６０】
なお、変形例で説明した回路基板に限らず、ワーク９の形状が略平板状に形成されているものであれば、変形例で説明した効果を同様に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワークの搬送装置の実施形態を適用する回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムの概略構成を表わす模式図である。
【図２】図１中のロボットの構造を表わすＩＩ方向からみた外観図である。
【図３】図２中の本発明の要部であるロボットハンドに設けられた３つのヘッド部を表わす外観図であって、図３（ａ）は、正面図、図３（ｂ）は、下方向からみた平面図である。
【図４】図３中のヘッド部の一つをＩＶ方向からみた側面図である。
【図５】図１中の製造装置としての回路抵抗調節装置に備えられたワーク受け治具を表わす模式的平面図である。
【図６】図１中のワークとしての回路基板の一実施例を示す模式的斜視図である。
【図７】３つのヘッド部を備えたロボットハンドとワーク受け治具とのワークの取出しおよび供給をするときの配置関係を表わす模式図である。
【図８】図７に示すロボットハンドとワーク受け治具との配置関係において、中央の第１ヘッド部をワーク供給のための専用ヘッドとし、判定手段を用いて選択的に第２ヘッド部、第３ヘッドを使い分けることで、ワークの取出しと供給とを同時並行して行なうことを説明する模式図であって、図８（ａ）は、右側の位置にある治具にワークを供給する場合、図８（ｂ）は、左側の位置にある治具にワークを供給する場合を示す模式図である。
【符号の説明】
１    加工システム（製造装置システム）
２    ロボット
２ａ    支柱
２ｂ    アーム部（ロボットハンド）
２ｂ１、２ｂ２    第１アーム部、第２アーム部
２ｃ    先端部
２ｓ    制御部（制御回路）
２ｓｊ    判定手段（判定回路）
２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ）    ヘッド部（第２ヘッド部、第１ヘッド部、第３ヘッド部）
２２、２３    ワークチャック部（把持手段）
２５    スライド部
２６    チャック
２７    緩衝材
３    前段装置
３ａ    補給部
４    次段装置
４ａ    保管部
５    ワーク受け治具
５１、５２    固定されたワーク固定用治具、可動可能なワーク固定用治具
８    レーザトリミング装置（製造装置）
８ｂ    ワーク受け部
９    ワーク（回路基板）
９１ａ    外周部（平板面の一部）
９２    回路配線（回路電極）
Ｓ１、Ｓ２    ワーク受け治具５の検出手段の検出信号（検出手段）
ＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３    第１の所定位置、第２の所定位置、第３の所定位置
２１ｊ、２２ｊ、２３ｊ    把持手段２１の中心、把持手段２２の中心、把持手段２３の中心
Ｌ１３    仮想交線
ΔＣｖ、ΔＣｈ    オフセットする離間距離
【図１】
0003896828.tif 000002
【図２】
0003896828.tif 000003
【図３】
0003896828.tif 000004
【図４】
0003896828.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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