(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置される載置面を備えたステージと、
上記ステージに載置された基板の表面に対してほぼ垂直に延び、上記基板表面に向かって延出した吐出ノズルを有し、上記吐出ノズルから上記基板表面に塗布剤を供給する供給手段と、
上記ステージに載置された基板表面の凹凸を測定する光測長器と、
上記光測長器の測定結果に応じて、上記吐出ノズルを上記基板表面に垂直な方向に沿って駆動し、上記基板表面と吐出ノズルとの間隔を所定の値に調整するノズル調整手段と、
上記ステージに載置された基板と上記吐出ノズルおよび光測長器とを相対的に移動させる駆動手段と、を備え、
上記光測長器は、上記吐出ノズルの軸と直交する平面に沿って測定光を出射する出射素子と、上記基板表面で反射した測定光を受光する受光素子と、を有する測長部と、
上記測長部と上記基板表面との間で上記測定光の光路上に設けられているとともに、上記測長部と上記基板表面との間の雰囲気の屈折率と異なる屈折率を有した透明誘電体と、
上記出射素子から出射された測定光の光路上で、上記透明導電体と前記基板表面との間に設けられ、上記出射素子から出射された測定光を上記ステージに載置された基板表面と直交する平面内に偏向し上記吐出ノズルの近傍で上記基板表面上に導くとともに、上記基板表面で反射した測定光を上記受光素子に導く反射板と、
上記吐出ノズルの軸と直交する方向に上記測長部、透明誘電体、および反射板を移動させ、上記基板表面に対する前記測定光の入射位置を上記吐出ノズルの近傍に調整する位置調整手段と、
を備えていることを特徴とする表示装置製造に用いる塗布装置。
【請求項２】
上記測長部と上記基板表面との間の雰囲気の屈折率をｎ１、上記透明誘電体に対する上記測定光の入射角および上記受光素子に向かう測定光の上記透明誘電体からの出射角をθ１、上記透明誘電体の厚さをｄ、上記測長部の測長可能距離の増加量をｘとした場合、上記透明導電体の屈折率ｎ２は、
【数１】
0004006099.tif 000004
で表されることを特徴とする請求項１に記載の表示装置製造に用いる塗布装置。
【請求項３】
上記透明誘電体は、上記測長部に対向した第１表面と、上記第１表面に平行に対向した第２表面と、上記第１および第２表面上にそれぞれ形成された反射防止膜と、を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の表示装置製造に用いる塗布装置。
【請求項４】
上記反射板は、上記吐出ノズルと交差して設けられているとともに、上記吐出ノズルが隙間をもって挿通された透孔を備えていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置製造に用いる記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、光を用いた光測長器を備えた塗布装置、例えば、ペースト状の塗布剤を基板上に塗布する塗布装置、に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光測長器として、特にレーザーを用いた光測長器は、非接触で物体表面の凹凸を測定できることから、各種の製造装置で用いられている。通常、光測長器は、レーザー光の出射素子と受光素子とを備え、出射素子から出たレーザー光は、被測定物の表面で反射した後、受光素子に入射する。そして、受光素子上の反射光入射位置に基いて光測長器から被測定物までの距離を測定する。被測定物までの距離が変化すると、受光素子に対する反射光の入射位置も変化し、この位置変化に応じて被測定物までの距離を検出する。
【０００３】
このような光測長器を用いた製造装置の一例として、液晶表示装置の製造に用いられるシール剤塗布装置が知られている。
シール剤塗布装置は、ガラス基板と塗布ノズル先端との距離を一定に保つため、レーザー測長器でガラス表面の凹凸を測定し、測定した凹凸に合わせて塗布ノズルの高さを制御している。その制御精度は２〜３μｍと非常に高精度である。
【０００４】
ところが、近年、ガラス基板の厚さは、従来の１．１ｍｍから０．７ｍｍと非常に薄くなり、ガラス基板の裏面からの反射光を測長器で拾い易く、その結果、レーザ測長器の誤動作が生じる場合がある。
【０００５】
また、液晶表示装置は、ガラス基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したアクティブマトリクス駆動型のものが主流になってるとともに、カラー化を図るため、カラーフィルターと組み合わせて用いる場合が多い。しかしながら、このように、ガラス表面にＴＦＴ、カラーフェイルタや金属配線等が設けられている場合、出射素子から出射されたレーザ−光の反射率が低減し、乱反射によって反射光強度が低下する。このため、受光素子で受光する反射光の強度が低下し、レーザー測長器の誤動作や測定不能を生じる恐れが増加する。
【０００６】
このような問題を解決する方法として、以下のような方法が考えられる。
第１の方法として、レーザー光の反射率を上げるために、ガラス基板表面の膜に合わせてレーザー光の波長を調整する。第２の方法として、ガラス基板表面へのレーザー光の入射角度を大きくし、反射光強度を大きくする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した第１の方法の場合、ガラス基板表面に形成された膜等の種類に応じてレーザー光の波長を調整する必要があり、操作が面倒となる。また、レーザー光の波長設定は、レーザー測長器自体の交換が必要な場合が多く、更に、レーザー光の波長の選択幅も少ない。
【０００８】
第２の方法の場合、レーザー光の入射角度を大きく設定すると、測長器と被測定物との距離が接近し、レーザー測長器の測定可能距離（ワークディスタンス）が短くなってしまう。そのため、レーザー測長器を設置する上の制約が大きくなり、所望の測定装置を構成できなくなる場合もある。
【０００９】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、測定光の出射角や入射角、波長を変更することなく、長い測定可能距離を得ることが可能な光測長器を備えた塗布装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る表示装置製造に用いる塗布装置は、基板が載置される載置面を備えたステージと、
上記ステージに載置された基板の表面に対してほぼ垂直に延び、上記基板表面に向かって延出した吐出ノズルを有し、上記吐出ノズルから上記基板表面に塗布剤を供給する供給手段と、
上記ステージに載置された基板表面の凹凸を測定する光測長器と、
上記光測長器の測定結果に応じて、上記吐出ノズルを上記基板表面に垂直な方向に沿って駆動し、上記基板表面と吐出ノズルとの間隔を所定の値に調整するノズル調整手段と、
上記ステージに載置された基板と上記吐出ノズルおよび光測長器とを相対的に移動させる駆動手段と、を備えている。
そして、上記光測長器は、上記吐出ノズルの軸と直交する平面に沿って測定光を出射する出射素子と、上記基板表面で反射した測定光を受光する受光素子と、を有する測長部と、
上記測長部と上記基板表面との間で上記測定光の光路上に設けられているとともに、上記測長部と上記基板表面との間の雰囲気の屈折率と異なる屈折率を有した透明誘電体と、
上記出射素子から出射された測定光の光路上で、上記透明導電体と前記基板表面との間に設けられ、上記出射素子から出射された測定光を上記ステージに載置された基板表面と直交する平面内に偏向し上記吐出ノズルの近傍で上記基板表面上に導くとともに、上記基板表面で反射した測定光を上記受光素子に導く反射板と、
上記吐出ノズルの軸と直交する方向に上記測長部、透明誘電体、および反射板を移動させ、上記基板表面に対する前記測定光の入射位置を上記吐出ノズルの近傍に調整する位置調整手段と、
を備えていることを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態に係る光測長器について詳細に説明する。
図１に示すように、光測長器１０は、測長部５０、および測長部と被測定物Ｍとの間に配置された透明誘電体８０を備えている。測長部５０は、被測定物Ｍに向けて測定光としてのレーザー光を出射する出射素子５０ａと、被測定物Ｍからの反射光を受光する受光素子５０ｂと、を備え、これら出射素子および受光素子は、支持体８２によって支持されている。
【００１８】
透明導電体８０は、例えば、ガラスから直方体形状に形成され、測長部５０に対向した第１表面８０ａと、この第１表面に平行に対向した第２表面８０ｂと、を備えている。そして、透明導電体８０は、第１および第２表面８０ａ、８０ｂが被測定物Ｍの表面とほぼ平行に位置した状態で配置されている。
【００１９】
出射素子５０ａは、レーザー光が透明誘電体８０の第１表面８０ａに対して、入射角θ１で入射するように、所定角度傾斜して設けられている。同様に、受光素子５０ｂは、第１表面８０ａから角度θ１で出射したレーザー光がほぼ垂直に入射するように、所定角度傾斜して設けられている。
【００２０】
上記構成の光測定器１０において、出射素子５０ａから出射されたレーザー光８４は、透明誘電体８０の第１表面８０ａに入射角θ１で入射し、スネルの法則に従って屈折した後、透明誘電体内を第１表面に対して角度θ２の方向に伝播する。透明誘電体８０を透過したレーザー光８４は、第２表面８０ｂで再び屈折した後、被測定物Ｍの表面に入射角θ１で入射し反射される。
【００２１】
被測定物Ｍの表面で反射したレーザー光８５は、第２表面８０ｂから入射角θ１で透明誘電体８０内に入射し、角度θ２の方向に伝播する。透明誘電体８０を透過したレーザー光８５は、第１表面８０ａで再び屈折した後、第１表面に対して角度θ１の方向に伝播し、測長部５０の受光素子５０ｂに垂直に入射する。
そして、測長部５０は、受光素子５０ｂによって受光したレーザー光に基いて、被測定物Ｍ表面までの距離を測定する。
【００２２】
このような光測長器１０において、透明誘電体８０が設けられていない場合、出射素子５０ａから出射されたレーザー光は、図１に破線８６で示すように、屈折することなく真直ぐに伝播し、被測定物の測定可能距離（ワークディスタンス）は、Ｄで示すように比較的短くなる。
【００２３】
これに対して、本実施の形態に係る光測長器１０によれば、測長部５０と被測定物Ｍとの間に透明誘電体８０を配置することにより、以下に示す式で表される距離ｘ分だけ、測定可能距離を延長することができる。
【００２４】
【数４】
0004006099.tif 000002
【００２５】
上記式において、ｎ１は測長部５０と被測定物Ｍとの間の雰囲気の誘電率、ｎ２は透明誘電体８０の誘電率、ｄは透明誘電体の厚さ、つまり、第１および第２表面８０ａ、８０ｂ間の距離をそれぞれ示している。
【００２６】
更に、上記式を変形することで、光測長器１０の測長可能距離Ｄをｘだけ延ばすために必要な透明誘電体８０の誘電率ｎ２および厚さｄを次式のように求めることができる。
【００２７】
【数５】
0004006099.tif 000003
【００２８】
上記のように構成された光測長器１０によれば、測長部５０と被測定物Ｍとの間に屈折率の異なる透明誘電体８０を設け測定光の光路を曲げることにより、レーザー光の入射角や波長を変更することなく、測長部の測長可能距離を長くすることができる。そのため、光測長器１０は設置上の制約が低減し、所望の測定装置を構成することができ、その結果、利用範囲の拡大を図ることができる。更に、既存の光測長器を大幅に変更することなく使用できるため、安価で高性能な測長装置を構成することが可能となる。
【００２９】
図２は、この発明の他の実施の形態に係る光測長器１０を示すもので、 この実施の形態によれば、測長部５０と被測定物Ｍとの間に設けられた透明誘電体８０の第１および第２表面８０ａ、８０ｂ上には、例えば、ＭｇＦ2 あるいは氷晶石（Ｎａ3 ＡｌＦ6 ）からなる反射防止膜９０ａ、９０ｂがそれぞれ形成されている。この場合、これら反射防止膜９０ａ、９０ｂによって、第１および第２表面８０ａ、８０ｂでのレーザー光の反射を防止し、余分なレーザー光が受光素５０ｂに入射することを防止できる。これにより、受光素子５０ｂに十分な強度の光を導き、誤測定および測定不能を防止することができる。
【００３０】
次に、上記構成の光測長器１０を備えた接着剤塗布装置の実施の形態について説明する。
図３に示すように、接着剤塗布装置は基台８を備え、この基台８上には門型の支持フレーム１１および駆動手段として機能するＸ−Ｙステージ１２が設けられている。
【００３１】
Ｘ−Ｙステージ１２は、平板状のＹステージ１４およびＸステージ１６を有している。基台８の上面には、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール１８が固定され、Ｙステージ１４はこれらのガイドレール１８に沿って移動自在に基台８上に支持されている。そして、Ｙステージ１４は、基台８上に設けられたステップモータ２０およびリードスクリュ２１を有するＹ軸駆動機構２２により、Ｙ軸方向に往復駆動される。
【００３２】
また、Ｙステージ１４上にはＸ軸方向に延びる一対のガイドレール２４が固定され、Ｘステージ１６はこれらのガイドレール２４に沿って移動自在にＹステージ１４上に支持されている。そして、Ｘステージ１６は、Ｙステージ１４上に設けられたステップモータ２６およびリードスクリュ２７を有するＸ軸駆動機構２８により、Ｘ軸方向に往復駆動される。
【００３３】
Ｘステージ１６の上面は水平に延びており、液晶表示パネルの製造に使用されるガラス基板Ｐを載置するための載置面１６ａを構成している。また、Ｘステージ１６には多数の吸引孔３０が形成され、Ｘステージ１６の載置面１６ａに開口している。これらの吸引孔３０は真空ライン３２を介して後述する真空ポンプ３３に連通している。従って、Ｘステージ１６上にガラス基板Ｐを載置した状態で真空ポンプ３３を作動させることにより、ガラス基板ＰをＸステージ１６の載置面１６ａ上に吸着固定することができる。そして、Ｘ−Ｙステージ１２を駆動するよことにより、後述する吐出ノズルに対してガラス基板Ｐを相対移動させることができる。
【００３４】
支持フレーム１１の中央部には支持ブロック３１が固定され、この支持ブロックには、互いに平行に配置された第１および第２のＺ方向駆動機構３４、３６が支持され、Ｘ−Ｙステージ１２の上方に位置している。
【００３５】
第１のＺ方向駆動機構３４は、第１のガイドレール３４ａと、この第１のガイドレール３４ａに沿ってＺ方向、つまり、Ｘステージ１６の載置面１６ａと直交する方向、にスライド自在に設けられた第１のスライダ３４ｂとを有している。第１のスライダ３４ｂにはＺ方向に延びるボールねじ３５が回転自在に噛合している。
【００３６】
ボールねじ３５は、第１のＺ方向駆動機構３４の上端部に取り付けられた第１のパルスモータ３７によって回転駆動されるようになっている。ボールねじ３５のピッチは２ｍｍであり、第１のパルスモータ３７はボールねじ３５の１ピッチを４０００パルスに分割して駆動する。
【００３７】
そして、図３ないし図６に示すように、第１のスライダ３４ｂには塗布剤としての接着剤が充填されたシリンジ３８が取り付けられ、シリンジの下端部には吐出ノズル４０が設けられている。また、シリンジ３８の上端には、給気パイプ４２を介して吐出ポンプ４３が接続されている。吐出ノズル４０は細長い円筒形状に形成され、Ｘステージ１６の載置面１６ａ上に載置されたガラス基板Ｐの表面に対して垂直に延びている。
【００３８】
そして、吐出ポンプ４３によってシリンジ３８に空気あるいは窒素等の圧縮気体を供給することにより、シリンジ内の接着剤が吐出ノズル４０の先端から吐出され、ガラス基板Ｐ上に塗布される。これらシリンジ３８、吐出ノズル４０、吐出ポンプ４３は、この発明における供給手段として機能する。
【００３９】
また、第１のＺ方向駆動機構３４を駆動してシリンジ３８および吐出ノズル４０を昇降させることにより、吐出ノズル４０先端とガラス基板Ｐ表面との隙間を調整することができるもので、第１のＺ方向駆動機構３４はこの発明における調整手段として機能する。
【００４０】
なお、シリンジ１５内に充填された接着剤としては、エポキシ樹脂系熱硬化性接着剤、例えば、ストラクトボンド（商品名）（三井東圧社製）を主体としたものが用いられている。
【００４１】
一方、図３および図４に示すように、第２のＺ方向駆動機構３６は、第１のＺ方向駆動機構３４と同様に構成され、第２のパルスモータ４４でボールねじ４５を回転させることにより、支持フレーム３１に取り付けられた第２のガイドレール３６ａに沿って第２のスライダ３６ｂをＺ方向へ駆動する。
【００４２】
そして、図３ないし図６に示すように、第２のスライダ３６ｂには、位置調整装置４８を介して光測長器１０が取り付けられている。この光測長器１０として、前述の図１あるいは図２に示した実施の形態と同様の構成を有する光測長器が用いられている。すなわち、光測長器１０はガラス基板Ｐ表面の凹凸を測定するために設けられ、測長部５０と透明誘電体８０とを備えている。そして、前述したように、測長部５０は、測定光としのレーザー光を出射する出射素子５０ａと、ガラス基板表面からの反射光を受光する受光素子５０ｂと、を備えている。
【００４３】
位置調整手段として機能する位置調整装置４８は、Ｘ−Ｙステージ１２とほぼ同一の構成を有している。つまり、位置調整装置４８は、第２のスライダ３６ｂにＹ軸方向に沿って移動自在に支持されたＹテーブル５２と、図示しないボールねじを介してＹテーブル５２をＹ軸方向に往復移動させるパルスモータ５３と、を備えている。また、光測長器１０はＹテーブル５２の下面側にＸ軸方向に沿って移動自在に支持され、ボールねじ５４を介してパルスモータ５６によりＸ軸方向に往復移動される。
【００４４】
そして、測長部５０は、位置調整装置４８によってほぼ水平に、つまり、ガラス基板Ｐ表面と平行に支持され、出射素子５０ａから出射されたレーザー光は、吐出ノズル４０と直交する水平面に沿って出射される。
【００４５】
また、透明誘電体８０は、その第１および第２表面８０ａ、８０ｂがそれぞれガラス基板Ｐ表面に対してほぼ垂直に延びるように配置され、かつ、第１表面８０ａが測長部５０の出射部５０ａおよび受光部５０ｂと対向して位置している。なお、第１および第２表面８０ａ、８０ｂには、前述した反射防止膜が設けられていてもよい。
【００４６】
更に、光測長器１０は、透明誘電体８０の第２表面８０ｂと対向して設けられた矩形板状の反射ミラー６０を備えている。反射板として機能する反射ミラー６０は、透明誘電体８０と共に、一対の支持アーム６２を介して測長部５０に固定され、測長部５０と一体に移動可能となっている。また、反射ミラー６０は、ガラス基板Ｐ表面に対して４５度傾斜した状態で固定されている。従って、反射ミラー６０の反射面６０ａは、４５度傾斜した状態で測長部５０に対して一定の位置に保持されている。
【００４７】
更に、反射ミラー６０のほぼ中央には透孔６４が形成され、この透孔を通って吐出ノズル４０が延びている。吐出ノズル４０に対して反射ミラー６０、透明誘電体８０、および測長部５０を移動できるように、透孔６４は吐出ノズル４０の外径よりも大きな径に形成されている。
【００４８】
測長部５０の出射素子５０ａから出射されたレーザー光は、吐出ノズル４０の軸と直交する水平面に沿って伝搬した後、透明誘電体８０内を通り、更に、反射ミラー６０によりガラス基板Ｐに向かって直角に偏向され、ガラス基板Ｐの表面と垂直な平面内を伝搬する。そして、レーザー光は、吐出ノズル４０の先端に隣接した位置でガラス基板Ｐ表面に入射する。
【００４９】
更に、レーザー光は、ガラス基板Ｐ表面で反射してガラス基板Ｐの表面と垂直な平面内を伝搬し、反射ミラー６０により直角に反射され、透明誘電体８０を通過した後、測長部５０の受光素子５０ｂに受光される。そして、測長部５０は、ガラス基板Ｐ表面からの反射光に基づいてガラス基板Ｐ表面の凹凸を測定する。
【００５０】
図６に示すように、塗布装置の制御系は、装置全体の動作を制御する制御部６６を備えている。そして、制御部６６には、Ｘ−Ｙステージ１２のステップモータ２０、２６を駆動するドライバ６７、第１および第２のＺ方向駆動機構３４、３６のパルスモータ３７、４４を駆動するドライバ６８、位置調整装置４８のパルスモータ５３、５６を駆動するドライバ７０が接続されている。
【００５１】
また、制御部６６には、測長部５０が接続されているとともに、真空ポンプ３３、吐出ポンプ４３が接続されている。更に、制御系は、装置全体の制御プログラムが格納されたＲＡＭ７２、オペレータによって制御データを入力するための操作パネル７３を有している。
【００５２】
次に、以上のように構成された接着剤塗布装置を用いて液晶表示パネル用のガラス基板Ｐに接着剤を塗布する動作について説明する。
まず、Ｘステージ１６の載置面１６ａ上の所定位置にガラス基板Ｐが自動搬送された後、真空ポンプ３３を作動させ、ガラス基板Ｐを載置面１６ａ上に吸着固定する。
【００５３】
この状態で、Ｘ−Ｙステージ１２を作動させ、ガラス基板Ｐの任意の塗布開始位置を吐出ノズル４０の先端部と対向させる。続いて、第１のＺ方向駆動機構３４を作動させ吐出ノズル４０を所定の塗布基準位置まで下降させる。それにより、吐出ノズル４０の先端面４０ｂはガラス基板Ｐ表面に対して所定の隙間おいた状態に対向する。
【００５４】
同時に、第２のＺ方向駆動機構３６を作動させて測長部５０を所定の測定基準高さ位置まで下降させる。そして、位置調整装置４８により、吐出ノズル４０に対する測長部５０、透明誘電体８０、および反射ミラー６０の位置を調整し、測長部５０の測定ポイント、つまり、測定光がガラス基板Ｐ表面に入射する位置を、吐出ノズル先端の近傍で、かつ、吐出ノズルの進行方向前方に設定する。
【００５５】
この状態で、測長部５０によりガラス基板Ｐ表面の高さおよび凹凸を測定し、塗布基準位置に待機している吐出ノズル４０先端面４０ｂとガラス基板Ｐ表面との間隔を制御部６６により演算する。そして、その演算結果に応じて、吐出ノズル４０先端面４０ｂがガラス基板表面に対して所定の隙間、例えば、１０μｍの隙間をおいて対向するように、第１のＺ方向駆動機構３４を作動させ、吐出ノズル４０の高さを調整する。
【００５６】
上述した凹凸の測定および高さ調整が終了した後、図７に示すように、吐出ノズル４０がガラス基板Ｐに対して所定の経路Ｒに沿って移動するように、Ｘ−Ｙステージ１２を駆動してガラス基板Ｐを移動させる。これと同時に、吐出ポンプ３０を作動させて所定の流量にて圧縮気体を給気し、給気パイプ４２を通してシリンジ３８に供給する。それにより、シリンジ３８内に充填されている接着剤Ａは、吐出ノズル４０の先端から吐出されガラス基板Ｐ上に塗布される。
【００５７】
Ｘ−Ｙステージ１２の駆動により吐出ノズル４０を経路Ｒに沿って移動する間、測長部５０および反射ミラー６０も同時に移動し、測長部５０はガラス基板Ｐ表面の凹凸を経路Ｒに沿って連続的に測定する。そして、制御部６６は、測定結果に応じて吐出ノズル４０先端面とガラス基板Ｐ表面との間隔を随時演算し、上記間隔が所定値（１０μｍ）を維持するように吐出ノズル４０の高さを随時調節する。
【００５８】
ここで、吐出ノズル４０および測長部５０の測定ポイントが塗布経路Ｒの角部を通過する際、Ｘ−Ｙステージ１２の移動方向はＸ方向からＹ方向へ、あるいは、Ｙ方向からＸ方向へ切換えられる。そして、制御部６６は、移動方向の切換え時、測長部５０の測定ポイントが吐出ノズル４０に対して常に吐出ノズルの進行方向前方に位置するように、位置調整装置４８により吐出ノズル４０に対する測長部５０および反射ミラー６０の位置を切換える。
【００５９】
更に、塗布経路Ｒの角部を通過する際、測長部５０の測定光が、ガラス基板Ｐ表面に既に塗布されている接着剤Ａと交差する場合がある。このような交差領域は、ＲＡＭ７２に予めプログラムされており、制御部６６は、測長部５０の測定光が上記交差領域を通過する間、測長部５０からの測定データを無視し、吐出ノズル４０の高さ調整を行わない。
【００６０】
そして、吐出ノズル４０が塗布経路Ｒに沿ってガラス基板上を１周した時点で、Ｘ−Ｙステージ１２の移動および接着剤の供給を停止するとともに、吐出ノズル４０および測長部５０を所定位置まで上方させガラス基板Ｐから離間させる。これにより、ガラス基板Ｐ表面には、接着剤Ａが塗布経路Ｒに沿って矩形状に塗布される。
【００６１】
なお、上述した各機構の駆動は、制御部６６の制御の下、ＲＡＭ７２に格納されているプログラムに応じて行われる。
その後、液晶表示パネルを製造する場合には、他方のガラス基板を接着剤Ａの塗布されたガラス基板Ｐに対して位置決めし、互いに貼り合わせる。そして、張り合わされた一対のガラス基板を接合方向に圧力をかけつつ加熱して接着剤を硬化させた後、塗布された接着剤Ａによって囲まれた領域Ｂ（図７）に液晶を封入する。
【００６２】
上記のように構成された接着剤塗布装置によれば、透明誘電体８０を備えた光測長器１０を用いることにより、光測長器の測長可能距離を自由に設定することができ、光測長器１０を所望の位置に配置することができる。同時に、市販のレーザー測長器を用いて、正確な測長が可能な接着剤塗布装置を開発することができる。
【００６３】
また、上記構成の接着剤塗布装置によれば、測長器５０から出射されたレーザー光は、反射ミラーにより吐出ノズル４０の近傍でガラス基板表面上に導かれる。そのため、測長部５０の測定ポイントを吐出ノズル４０の近傍に設定することが可能となり、吐出ノズルに連動して測長器を移動させた場合でも、測定ポイントがガラス基板の外側に位置することがなくなる。従って、吐出ノズル４０による塗布動作と測長部５０による測定動作とを同時に行うことができ、接着剤Ａの塗布作業を短時間で効率よく行うことが可能となる。
【００６４】
なお、この発明は上述した実施例に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変形可能である。
例えば、使用する接着剤は上述したエポキシ樹脂系熱硬化性接着剤に限定されることなく、必要に応じて変更可能である。また、反射ミラーは、ガラス基板表面に対して４５度傾斜して設ける構成としたが、この傾斜角度は、測長器からの測定光の出射方向と併せて、必要に応じて変更可能である。
【００６５】
また、上記実施の形態では、ガラス基板側をＸＹ方向に駆動して塗布する構成としたが、シリンジ、吐出ノズルおよび測長器側をＸＹ方向に駆動する構成としても良い。シリンジと吐出ノズルとは一体的に上下移動するよう設けられているが、シリンジと吐出ノズルとを可撓性チューブで接続し、吐出ノズルのみを上下駆動する構成としても良い。更に、吐出ノズルはステージに載置されたガラス基板の表面に対して垂直に限らず、傾斜して延出していてもよい。
【００６６】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、測長部と被測定物との間に透明誘電体を配置することにより、出射角や入射角、波長を変更することなく、測長可能距離を自由に設定可能な光測長器を提供することができる。また、上記光測長器を用いることにより、光測長器を所望の位置に配置でき、正確な測長が可能な塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態に係る光測長器を示す側面図。
【図２】この発明の他の実施の形態に係る光測長器を示す側面図。
【図３】この発明の実施の形態に係る接着剤塗布装置全体を示す斜視図。
【図４】上記接着剤塗布装置の要部を概略的に示す側面図。
【図５】上記接着剤塗布装置の吐出ノズルおよび光測長器、反射ミラーを示す正面図および平面図。
【図６】上記接着剤塗布装置の制御系の構成を示すブロック図。
【図７】上記接着剤塗布装置による接着剤の塗布経路を示す斜視図。
【符号の説明】
１０…光測長器
１２…Ｘ−Ｙステージ
１６…Ｘステージ
１６ａ…載置面
３４…第１のＺ方向駆動機構
３６…第２のＺ方向駆動機構
３８…シリンジ
４０…吐出ノズル
４３…給気ポンプ
４８…位置調整装置
５０…測長部
５０ａ…出射素子
５０ｂ…受光素子
６０…反射ミラー
６０ａ…反射面
６４…透孔
６６…制御部
８０…透明誘電体
８０ａ…第１表面
８０ｂ…第２表面
９０ａ、９０ｂ…反射防止膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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