(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
特製の垂直相互接続集成体（ビア・ホール）構造体であって、その構造体は下記のものから成る：
（ｉ）所望の形状とパターンに穿孔されていて垂直相互接続通路を形成した透電材と、
（ii）上記の穿孔透電体中に充填した電導性の過渡的液相焼結（ＴＬＰＳ）組成物で、上記の電導性ＴＬＰＳ組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
バインダーが０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護された架橋剤が２〜６０容量％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記組成物は必ず上記のバインダー及び／又は上記の反応性モノマー又はポリマーを含有するものとする。
【請求項２】
上記穿孔透電体の片面がメタリゼーション処理されている、請求項１に記載の構造体。
【請求項３】
上記の穿孔透電体の両面がメタリゼーション処理されている、請求項１に記載の構造体。
【請求項４】
上記の特製のビア・ホール構造体のいずれかの片面上にラミネートした２枚の２面印刷配線板を更に含むことで１枚の多層回路を形成する、請求項１に記載の構造体。
【請求項５】
上記の特製のビア・ホール構造体のいずれかの片面にラミネートした２枚の多層印刷配線板を更に含むことで１枚の多層印刷配線板を形成する、請求項１に記載の構造体。
【請求項６】
エリア・アレイ素子実装体と印刷配線板基板を更に含み、上記のエリア・アレー素子実装体と上記の印刷配線板基板とを上記の特製のビア・ホール構造体のいずれかの片面上で整合、接続させて、１枚の集成印刷配線板を形成する、請求項１に記載の構造体。
【請求項７】
むき出しのダイと印刷配線板基板を更に含み、上記のダイと上記の印刷配線基板とを上記の特製のビア・ホール構造体のいずれかの片面上で整合、接続して、１枚の集成印刷配線板を形成する、請求項１に記載の構造体。
【請求項８】
むき出しのダイと素子実装体を更に含み、上記のダイと上記の素子実装体を上記の特製のビア・ホール構造体のいずれかの片面上で整合、接続して、１枚の実装素子を形成する、請求項１に記載の構造体。
【請求項９】
下記のものから成る特製のビア・ホール相互接続構造体：
（ｉ）カプセル化したメタリゼーション処理の透電体であって、封止剤は所望のパターンのメタリゼーション処理面から選択的除去されたものであり、
（ii）上記の封止剤内の電導性組成物で形成したビア・ホール柱であり、これにより上記の組成物は上記のメタリゼーション処理面と電気的相互接線し、上記の電導性組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
バインダーが０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護された架橋剤が２〜６０容積％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および
金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記組成物は必ず上記のバインダー及び／又は上記の反応性モノマー又はポリマーを含有するものとする。
【請求項１０】
上記のメタリゼーション処理面は印刷配線板の回路パッドである、請求項９に記載の構造体。
【請求項１１】
上記のメタリゼーション処理面がエリア・アレイ素子実装体上の回路パッドである、請求項９に記載の構造体。
【請求項１２】
上記のメタリゼーション処理面がむき出しダイ上の回路パッドである、請求項９に記載の構造体。
【請求項１３】
印刷配線板を更に含み、上記の印刷配線板は上記のビア・ホール構造体の頂部にラミネートして、上記の印刷配線板上の回路パッドが上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１枚の印刷配線板を形成する、請求項９に記載の構造体。
【請求項１４】
エリア・アレイ素子実装体を更に含み、上記のエリア・アレイ素子実装体を上記の特製のビア・ホール構造体の頂部に付着して上記の実装体上の回路パッドを上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの印刷配線板集成体を形成する、請求項９に記載の構造体。
【請求項１５】
むき出しのダイを更に含み、上記のダイは上記の特製のビア・ホール構造体の頂部に付着させて上記のダイ上の回路パッドを上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの印刷配線板集成体を形成する、請求項９に記載の構造体。
【請求項１６】
むき出しのダイを更に含み、上記のダイは上記の特製のビア・ホール構造体の頂部に付着させて上記のダイ上の回路パッドを上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの集成素子実装体を形成する、請求項９に記載の構造体。
【請求項１７】
下記のものから成る特製のビア・ホール構造体：
（ｉ）メタリゼーション処理透電体、および
（ii）電導性接着組成物で形成した電導性接着剤柱であって、所望のビア・ホール形で上記のメタリゼーション透電体と接触しており、上記の電導性接着組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
樹脂が０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護した架橋剤が２〜６０容積％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および
金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記組成物は必ず上記バインダー及び／又は反応性モノマー又はポリマーを含むものとする。
【請求項１８】
上記のメタリゼーション処理透電体がＰＷＢ回路パッドである、請求項１７に記載の構造体。
【請求項１９】
上記のメタリゼーション処理透電体がエリア・アレイ素子実装体上の回路パッドである、請求項１７に記載の構造体。
【請求項２０】
上記のメタリゼーション処理透電体がむき出しのダイ上の回路パッドである、請求項１７に記載の構造体。
【請求項２１】
更に下記のものを含む、請求項１７に記載の構造体。
（ｉ）上記のビア・ホール柱が貫通している透電性接着剤、および
（ii）印刷配線板、上記の接着剤と上記の印刷配線板は上記の特製のビア・ホール構造体頂部にラミネートされていて上記の印刷配線板上の回路パッドが上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの多層回路を形成する。
【請求項２２】
更に下記のものを含む、請求項１７に記載の構造体。
（ｉ）上記のビア・ホール柱が貫通した透電性接着剤、および
（ii）エリア・アレイ素子実装体、上記の接着剤と上記のエリア・アレイ素子実装体は上記の特製の特製のビア・ホール構造体の頂部に付着していて上記の回路パッドが上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの印刷配線板集成体を形成する。
【請求項２３】
更に下記のものを含む、請求項１７に記載の構造体：
（ｉ）上記のビア・ホール柱が貫通した透電性接着剤、および
（ii）むき出しのダイ、上記の接着剤と上記のダイは上記の特製のビア・ホール構造体頂部に付着していて、上記のダイ上の回路パッドが上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの印刷配線板集成体を形成する。
【請求項２４】
更に下記のものを含む、請求項１７に記載の構造体：
（ｉ）上記のビア・ホール柱が貫通した透電性接着剤、および
（ii）むき出しのダイ、上記の接着剤と上記のダイは上記の特製のビア・ホール構造体頂部に付着していて、上記のダイ上の回路パッドが上記のビア・ホール構造体中のビア・ホールと接続して１つの実装素子を形成する。
【請求項２５】
特製の垂直相互接続集成体（ビア・ホール）構造体であって、その構造体は下記のものから成る：
（ｉ）所望の形状とパターンに穿孔されていて垂直相互接続通路を形成した透電材と、
（ii）上記の穿孔透電体中に充填した電導性の過渡的液相焼結（ＴＬＰＳ）組成物で、上記の電導性ＴＬＰＳ組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
バインダーが０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護された架橋剤が２〜６０容量％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記のバインダー及び／又は上記の反応性モノマー又はポリマーは上記の潜在的又は化学的に保護された架橋剤と組合せて上記組成物の単一成分とすることができるものとする。
【請求項２６】
下記のものから成る特製のビア・ホール相互接続構造体：
（ｉ）カプセル化したメタリゼーション処理の透電体であって、封止剤は所望のパターンのメタリゼーション処理面から選択的除去されたものであり、
（ii）上記の封止剤内の電導性組成物で形成したビア・ホール柱であり、これにより上記の組成物は上記のメタリゼーション処理面と電気的相互接続し、上記の電導性組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
バインダーが０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護された架橋剤が２〜６０容積％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および
金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記のバインダー及び／又は上記の反応性モノマー又はポリマーは上記の潜在的又は化学的に保護された架橋剤と組合せて上記組成物の単一成分とすることができるものとする。
【請求項２７】
下記のものから成る特製のビア・ホール構造体：
（ｉ）メタリゼーション処理透電体、および
（ii）電導性接着組成物で形成した電導性接着剤柱であって、所望のビア・ホール形で上記のメタリゼーション透電体と接触しており、上記の電導性接着組成物は下記のものから成る：
高融点金属が５〜６５容積％、
低融点金属又は金属合金が５〜６０容積％、
樹脂が０〜３５容積％、
潜在的又は化学的に保護された架橋剤が２〜６０容積％、
反応性モノマー又はポリマーが０〜３５容積％、および
金属添加物が０〜１０容積％、
但し、上記のバインダー及び／又は上記の反応性モノマー又はポリマーは上記の潜在的又は化学的に保護された架橋剤と組合せて上記組成分の単一成分とすることができるものとする。
【発明の詳細な説明】
発明の分野
本発明は電子実装に有用な垂直相互接続電子集成体（即ち、ビア・ホール）に関する。更に詳細には、本発明は過渡的液相の焼結電導性接着組成物を用いて製造した構造体に関する。これらの組成物を用いて製造した構造体は多層印刷回路板及びパターン形成垂直電気的相互接続が必要なその他の多層構造体（例えば、コネクター、半導体チップ、エリア・アレイ実装体、等）の製造に用いられる。
発明の背景
多層印刷配線板（ＰＷＢ）は一般に知られている。例えば、米国特許第４，９２１，７７７号、同第４，８９７，３３８号、同第４，６４２，１６４号、同第４，６４５，７３３号、同第３，７９１，８５８号参照のこと。多層ＰＷＢの先行技術製造法は幾つかの点で不充分である。特に、高回路密度を必要とする多層印刷回路に関しては、先行技術の方法は幾つかの点で、特に垂直電気的相互接続の達成方法として不充分である。
現在、改良垂直相互接続材料と方法の開発の技術的推進要因が幾つかある。ＰＷＢ工業では素子はスルー・ホールから表面取付けに移行する傾向にあるので、ビア・ホールは垂直相互接続の一手段にすぎなくなっている。更に、携帯型エレクトロニックス工業の急速な成長と、この工業はハイテック小型要素素子とモジュールとを大量に必要とするため、新規な高密度垂直相互接続技術が要求されている。これまでは、このようなハイテック・レベルの製品の市場は比較的小さく、セラミック技術と蒸着薄膜技術で充分であった。しかし、これらの技術は、ＰＷＢ工業と同程度に効果的に消費者市場に対処できる社会的生産基盤（インフラストラクチャー）、経済性、低価格材料との相容性がない。逆に云えば、従来のＰＷＢ技術は、プリント−エッチング技術の位置決めと解像性に限界があり、直径６ミル未満のドリル・ビットの寿命が短かいため、高密度要求には経済的に又は高収率で対処できていない。
ＰＷＢのビア・ホールは多くの場合機械的に孔明けしてメッキする。従来のＰＷＢ設計では、ビア・ホールはスルー・ホール素子の取付けと相互接続箇所を提供し、両面回路の前面と背面を電気的に相互接続し、多層回路板の内部層からの接続をルーティングするために用いられてきた。取り込む形状、樹脂の不均一表面、補強材の露出により、これらのスルー・ホール孔は表面回路線群に比べてメタリゼーション処理を行うことは困難であった。積層多層ＰＷＢを貫通するビア・ホールの孔明けは、経済的に孔明けできるビア・ホールの大きさ、高収率上必要な捕捉（キャプチャー）パッドが大きいこと、全部の孔明け点での相互接続が必要でない層上のスペースが失われるため高価なスペースが無駄となる。このため、隣接層間基準での垂直相互接続が多層ＰＷＢ製造では普及する傾向にある。事実、微細なミイクロ・ビア・ホールは現在レーザー・フォトリトグラフィ、プラズマ・エッチングのような技術を用いて形成している。これらのマイクロ・ビア・ホールを確実に従来の回路層を相互接続できる電導体で充填できる材料と技術が技術的に要望されている。
隣接層間の垂直電気的相互接続を実施するために現在用いられている方法には、電導性ポリマー厚膜インク、ろう材充填、異方性接着剤、無電解メッキ、炭素、パラジウム、プラズマ蒸着種子層を用いる幾つかの直接メタリゼーション処理技術を用いる各種の方法がある。これらの全部の方法の中で、最初の３つの方法だけがビヤ・ホールの直接孔埋めするのに用いられる。残りはすべて目的のバレル厚さを達成させるか、孔埋めを行うには電解メッキ工程が必要となる。
ポリマー厚膜インキ（ＰＴＦ）は多くの場合セラミック基板工業で用いられている技術と構想を用いてビア・ホール中にスクリーン印刷又はステンシル印刷する。これらの材料は充填と硬化と云う簡単な２工程プロセスをとる。ＰＴＦはプロセスの簡単さ、高密度、低コスト、低プロセス温度の点で満足するが、米国特許第５，３７６，４０３号（その全部はこれを言及することで本明細書に組込まれるものとする）で詳述されているように信頼性に劣り、性能が不充分である。
ろう材噴射とろう材ペーストのステンシル処理は現在特定用途用のビア・ホール充填に用いられている。ろう材噴射で必要とするビア・ホール中に一つ一つボールを積み重えることは明らかに時間のかかるプロセスであり、部品当りのビア・ホール数が限られている極めて高級な用途だけに適用される。ろう材ペースト・ステンシル処理は極めて経済的な別法であるが、ろう材ペースト・ステンシル処理に用いる溶剤とフラックスは、かなりのボイドと腐蝕問題を起す可能性がある。両方法とも引続く集成処理でのろう材の再熔融の可能性があるため信頼性の点で充分でない。
異方性電導膜接着剤は、浸出閾値未満のレベルで電導性粒子を含有した熱可塑性ポリマー膜である。集成作業中に、この膜はむき出しのメタリゼーション・パッド間に配置し、加圧して電導性粒子を対向ボンド・ペッド間内に捕捉する。この技術は簡単で魅力的であるが、超薄形ボンド・ライン（＜１ミル）からの漏話、信号速度と搬送容量が低いこと、接点の脆弱さ、熱伝導率が低いこと、誤配置した充填材粒子による開路と短絡の可能性、熱可塑性樹脂の耐薬品性が低いことを含む無数の問題の可能性がある。
無電解銅メッキは、引続く電気メッキ用にビア・ホールの壁面に種子層を形成する方法ではもっとも一般的な方法であるが、８工程プロセスであり、各工程間には２〜３回の洗滌が必要である。基板は多くの場合過マンガン酸塩でマイクロ・エッチング処理し、酸洗、調整の上マイクロ・エッチング処理し外表面から調整剤を除去し、更に洗滌して触媒処理し（多くの場合コロイド状Ｐｄ−Ｓｎを用いる）、塩酸で促進させ（Ｐｄを露出させる）、最後にメッキする。メッキ液は還元剤（フォルムアルデヒドか次亜リン酸塩）、銅塩、銅塩を溶解させておくためのキレート剤（例えば、ＥＤＴＡ、カルカノール・アミン、グリコール酸、酒石酸塩）を含有するものである。化学プロセスはすべて極めて厳密な制御が必要であり、低レベルの汚染物でも悪影響する。無電解銅メッキを実施するための前記のプロセス・フローに基づくと、この技術を用いてビア・ホールをメタリゼーション処理することは標準的ＰＷＢ製造では最低収率のプロセスであることが容易に判る。事実、無電解銅メッキはプロセスの複雑さと危険な薬品の使用と云う両方の点では抜きに出ている。電気メッキを容易にするためのビア・ホール壁面の種子被覆する別法は一般的には環境的にあまり有害ではないが、プロセスの複雑さでは同等か、それ以上である。
垂直相互接続用電導体を設けるのに現在用いているもう一つの別法は、回路層上の接点パッドを除いてすべてをマスクし、目的のピン高さまで電気メッキすることである。このプロセスは極めて高価であることが欠点である。更に、このようにして形成したピンは素直でなく、積層処理中に上部回路層の変形と突き抜けが生ずる。
同様に、集積回路（ＩＣ）実装体の大きさはむき出しのダイパッド上の入力／出力（Ｉ／Ｏ）パッドを直接又は介在物を介して格子パターン上にろう材柱又はボールがある回路板に接続するエリア・アレイ技術を用いることでかなり小形化してきた。高密度多層ＰＷＢと同様に、そのむき出しのダイ又はその実装体を再分配回路配線に接続する上で一番有効な方法は直接的垂直相互接続である、多くの場合、これらの型式の相互接続はジョイント・バイ・ジョイント基準でろう材、ワイヤ・ボンディグ、ＰＴＦ接着剤、等を用いて行われる。これらのジョイントは次いでカプセル化し、ジョイント間のスペースを充填して充分な信頼性を得ることが必要である。ろう材を用いるときは、これらの２プロセス間での洗滌工程も必要となる。これらのプロセス工程は両方とも時間がかかり、必らずしも有利ではない。従って、これらのエリヤ・アレイ型素子集成体用にはプロセス的にあまり徹底すぎず、信頼性のある垂直相互接続法技術が要望されてきている。
発明の目的
本発明の一つの目的は、２層のＰＷＢ、多層ＰＷＢ集成体、エリア・アレイ電子素子集成体、等の製造に使用する特製のビア・ホール構造体を提供することにある。
本発明の別の目的は、相互接続密度が極めて高い多層印刷回路と集成体を提供することにある。
本発明のもう一つの目的は、前記の特製のビア・ホール構造体製造の先行技術の欠点を克服した電導性接着性組成物を用いることにある。
本発明の更にもう一つの目的は、従来のＰＷＢ及びセラミック・メタリゼーション処理技術を用いて垂直電気相互接続体製造に関連したプロセスの複雑さ、コスト及び／又はプロセス温度をかなり減少させることにある。
発明の簡単な説明
本発明の一つの観点は、その構造体が下記の複数の層（ａ）〜（ｃ）から成る多層印刷配線板を対象としたものである：
（ａ）底部回路層、
（ｂ）ビア・ホール相互接続層及び
（ｃ）頂部回路層。
本発明で使用する頂部、底部回路層は、撓み性又は堅いポリマー又は複合体又は金属の基板に標準的な減法回路板製造技術及び同様に新規な加法回路板製造技術で作ることができる。
本発明が提供するビア・ホール相互接続層は、電導性接着組物物が適切な透電性材料中にパターン化されているものであり、この適切な透電性材料が底部回路層と頂部回路層間の接着を行い、一方、この導電性接着組成物が底部回路層と頂部回路層の接続パッド間の電気的相互接続を果す。
本発明の別の観点は、付着素子又はダイを有する多層印刷配線板を対象とするもので、その構造は下記のものから成る：
（ａ）単一又は多層印刷配線板用基板、
（ｂ）導電性接着組成物が適切な透電性材料中にパターン化されたビア・ホール相互接続層（但し、この適切な透電性材料が底部回路層と頂部回路層間の接着を行い、一方、この導電性接着組成物が底部回路層と頂部回路層の接続パッド間の電気的相互接続を行う）、
（ｃ）上記の適切なパターン化した透電性材料を用いて、印刷配線板層に付着したエリア・アレイ素子実装体又はむき出しのダイ。
本発明の構造体中の垂直電気的相互接続は米国特許第５，３７６，４０３号（この全内容はこれを言及したことで本明細書に組み込まれたものとする）に記載のような電導性接着組成物を用いることで達成される。本発明で用いる電導性接着組成物は、ろう材粉末、フラックス性がある潜在的又は化学的に保護された架橋材、反応性モノマー又はポリマーから成る。目的の最終用途如何では、本発明で用いる組成物は下記のもの３種又はそれ以上から成る。
比較的高融点の金属粉末（以下、金属粉末と云う）、
低融点金属粉末（以下、ろう材料末と云う）、
フラックス剤としても用いられる架橋剤、
バインダー、
反応性モノマー又はポリマー。
このような組成物は従来の印刷配線板の仕上げ剤と冶金学的に相容性があるので、多層の従来の印刷配線板を多層構造体中に電気的に相互接続し又は素子、等を付着させる特製のビア・ホール構造体で既存の印刷配線板上に追加層の形成に用いられる。このようにして製造した多層構造体は、相互接続密度が高いこと、電導率が良好なこと、回路層間の冶金学接続が強固なこと、多層の層間断面が薄いこと、等で、しかもすべてがコスト的に比較的安いことを含む幾つかの点で長所がある。
【図面の簡単な説明】
図１は、底部回路層（４５）、過渡的液相の焼結電導性接着剤（３５）を用いたビア・ホール相互接続層を含む透電体（２５）、頂部回路層（１５）の３層回路の概念図である。
図２は、過渡的液相の焼結電導性接着剤を用いて製造したビア・ホール相互接続層（６０）を用いて多層回路に付着させた素子（例えば、むき出しのダイ１０）の概念図である。
図３は、穿孔透電体中のビア・ホール内での未硬化状態の本発明電導性接着剤の概念図である。図中、５５は透電体を表わし、７０は金属粒子、８０は合金用金属粒子、８５は未硬化電導性接着剤の有機成分を表わす。
図４は、穿孔透電体中のビア・ホール内での硬化状態の本発明の電導性接着剤の概念図である。図中、５５は透電体を表わし、６５は合金化金属網、７５は電導性接着剤の有機成分の架橋で生じたポリマー網を表わす。
発明の詳細な説明
本発明は、特製の垂直相互接続集成体（ビア・ホール）構造体を提供するものであり、その構造体は下記のものより成る：
（ｉ）所望の形状とパターンで穿孔されて垂直相互接続通路を形成した透電性材料と、
（ii）上記穿孔透電体中の孔中に充填した所定の電導性過渡的液相の焼結（ＴＬＰＳ）組成物。
本発明の別の態様は、下記のものから成る特製のビア・ホール相互接続構造体を提供するものである：
（ｉ）カプセル化したメタリゼーション処理透電体であって、封止剤は所望のパターンのメタリゼーション処理面から選択的に除去されており、
（ii）上記封止剤中の所定の電導性ＴＬＰＳ組成物を用いて形成したビア・ホール柱であって、上記組成物は上記のメタリゼーション処理面に電気的に相互接続されている。
本発明のもう一の態様は、下記のものから成る特製のビア・ホール構造体を提供するものである：
（ｉ）メタリゼーション処理透電体、
（ii）所定の電導性接着ＴＬＰＳ組成を用いて形成した電導性接着剤柱であり、所望のビア・ホール形の上記のメタリゼーション処理透電体と接触している。
本発明を実施するのに用いる電導性接着組成物は、下記の２種の主成分から成る：
低融点金属（又は金属合金粉末）、
主フラックス剤ともなる潜在的又は保護化硬化剤から成る架橋剤。
目的の最終用途如何では、本発明の好ましい組成物は下記のものを３種又はそれ以上含む。
（１）低融点金属又は金属合金粉末（ろう材）、
（２）主フラックス剤ともなる潜在的又は保護化硬化剤から成る架橋剤、
（３）必要あれば、高融点金属又は金属合金粉末、
（４）必要あれば、バインダー、
（５）必要あれば、硬化剤で架橋する反応性モノマー又はポリマー（以下モノマーと云う）、
（６）必要あれば、金属添化剤。
本発明の実施に用いる組成物は少くとも一種の溶剤も含有する。本組成物は、例えば接性、粘弾性又はろう付性の或る種の性質を改善するその他の添加剤も含有する。本組成物は成分（４）及び／又は（５）を含有することが必要であり、また（４）及び／又は（５）を（２）と組合せて、保護化単独重合性樹脂の場合と同じように単一種にすることができる。
上記の組成物を調製するに当り、成分（１）〜（６）の割合はかなりの範囲で変えることができ、硬化されても適切な電導性及び熱伝導性材料を生成する。
一般には、硬化後の本組成物はバルク電気抵抗率は１０-3オーム・ｃｍ未満である。この電気抵抗率範囲は下記の範囲内での成分（１）〜（６）の多くの配合でかなえられる。
成分（１）：本組成物の容積の５〜６０％、
成分（２）：本組成物の容積の２〜６０％、
成分（３）：５〜６５容積％、
成分（４）：０〜３５容積％、
成分（５）：０〜３５容積％、
成分（６）：０〜１０容積％、
好ましくは、本組成物はバルク電気抵抗率が５×１０-5オーム・ｃｍ又はそれ以下である。この特性は下記の範囲での成分（１）〜（６）の多くの配合でかなえられる。
成分（１）：本組成物の６〜４０容積％、
成分（２）：本組成物の７〜５０容積％、
成分（３）：８〜６０容積％、
成分（４）：０〜１２容積％、
成分（５）：０〜２８容積％、
成分（６）：０〜５容積％。
本発明で用いる低融点金属又は金属合金粉末（１）はＳｎ，Ｂｉ，Ｐｂ，Ｃｄ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｔｅ，Ｈｇ，Ｔｌ，Ｓｂ，Ｓｅ，Ｐｏ，等であり、同様に（３）の金属粉末よりも融点の低い金属又はその他の金属である。多くの場合、この粉末は平均粒子直径が１〜４０μｍ、好ましくは平均粒子直径が高融点金属粒子の平均直径よりも小さく又は等しく、粒径分布は高融点金属粉末（但し含有する場合）の粒径分布と実質的に同一である。ろう材合金の主な要件は、ろう材合金が組成物中のポリマーのガラス化前に本組成物中を流動させることである。これを起させるには、ろう材合金は高融点金属（３）を容易に濡らすことができることが必要である。このため、錫合金が理想的である。好ましくは、本発明の実施で用いるろう材合金はＳｎとＰｂである。
架橋剤（２）の主な特徴は、未保護状態では酸又は強塩基として作用することである。殆んどの酸と強塩基はフラックス剤としても充分作用する。これは金属から酸化物を除去できるからである。しかし、本組成物中に反応状態でこれらが残留するときは、樹脂の架橋が時期尚早に行われるか、金属粉末との反応に消費されてしまう。本発明での使用に好適な保護化した硬化剤の主な特徴は、金属粉末のフラックス化と、樹脂の架橋化が必要となる時点まで多くが未反応のまま残留していることである。保護化は本架橋剤を化学的又は熱的に誘発される種と化学的に結合させて、ろう材が熔融する時点で又はその近くで反応性にすることで達成される。保護化は機械的、例えば、ろう材粉末の熔融時点又はその近くでのみ硬化剤を放出する非反応性材料の外殻内に硬化剤をカプセル化して達成することもできる。
技術的に公知の架橋剤（２）は無水物類、カルボン酸類、アミド類、イミド類、アミン類、アルコール類／フェノール類、アルデヒド類／ケトン類、ニトロ化合物類、ニトリル類、カーバメート類、イソシアネート類、アミノ酸類／ペプチッド類、チオール類、スルフオンアミド類、セミカルバゾン類、オキシム類、ヒドラゾン類、シアノヒドリン類、尿素類、リン酸エステル類／リン酸類、チオリン酸エステル類／チオリン酸類、ホスホン酸エステル類／ホスホン酸類、亜リン酸塩類、ホスホイミド類又はポリマーを硬化し、酸性又は強塩基性である当該技術での専門家に公知であるその他の架橋剤である。保護化基は一般に用いた硬化剤に特異的であり、一般的にはすべての硬化剤には適用されない。典型的な保護化基はカルボン酸類、アミド類、アルコール類、ハロゲン化アルキル類、ハロゲン化酸類、チオール類、尿素類、アルキルシラン類、ジアゾアルカン類、オレフィン類、アミン類、アミン−オール類、ジアミン・ポリオール類、等である。更に、硬化剤はアゾメタン類、アセタール類、ケタール類、遷移金属錯体又はその他の硬化剤前駆体の形成により保護化される。保護化する硬化剤に特異性のあるこのような保護化基と錯体は多く存在する。
多くの場合、高融点金属又は金属合金粉末（３）を含有させる場合は、銅粉末であるが、その他の金属、例えば銀、アルミニウム、金、白金、パラジウム、ベリリウム、ロジウム、ニッケル、コバルト、鉄、モリブデン及びこれらの金属の高融点合金も用いることができる。好ましくは、銅粉末はガス噴霧化で製造するときは球形又はほぼ球形である。
バインダー（４）は硬化剤、金属解媒又は水酸基担持剤で架橋できる任意の樹脂である。この要件を満たす樹脂は、エポキシ樹脂類、フェノール樹脂類、ノボラック樹脂類（フェノール系及びクレゾール系の両方の樹脂類）、ポリウレタン類、ポリイミド類、ビスマレイミド類、マレイミド類、シアネート・エステル類、ポリビニル・アルコール類、ポリエステル類、ポリ尿素類、等であり、これらに限定されない。その他の樹脂系は硬化剤、金属解媒又は水酸基担持剤で架橋できるように改質することができる。このような樹脂の例は、アクリル樹脂類、ゴム類（ブチル、ニトリル、等）、ポリアミド類、ポリアクリレート類、ポリエーテル類、ポリスルホン類、ポリエチレン類、ポリプロピレン類、ポリシロキサン類、ポリ酢酸ビニル類／ポリビニル・エステル類、ポリオレフィン類、シアノアクリレート類、ポリスチレン類、等である。多くの場合、任意の樹脂も改質して少くとも一種の下記の官能基を含有させて本発明で用いる：即ち、無水物類、カルボン酸類、アミド類、イミド類、アミン類、アルコール類／フェノール類、アルデヒド類／ケトン類、ニトロ化合物類、ニトリル類、カルバメート類、イソシアネート類、アミノ酸類／ペプチッド類、チオール類、スルホンアミド類、セミカルバゾン類、オキシム類、ヒドラゾン類、シアノヒドリン類、尿素類、リン酸エステル類／リン酸類、チオリン酸エステル類／チオリン酸類、リン酸エステル類／リン酸類、亜リン酸塩類、ホスホアミド類、スルホン酸エステル類／スルホン酸類又は重合のための反応性の箇所として作用する当該技術の専門家に公知のその他の官能基である。例えば、ポリオレフィンは結合のための反応性の箇所がなく、接着性が劣るため、本発明では不適であるが、カルボン酸化したポリオレフィンは、適切な架橋剤と適合させたときは充分に作用する。これらの樹脂とその他の樹脂（例えば、非架橋性熱可塑性樹）との組合せも成分（４）として用いられる。現在のところ、フェノール系エポキシ樹脂と組合せた多官能性エポキシ樹脂が好ましい。
本発明で用いるモノマー（５）はモノマー系又はポリマー系の任意の種でよく、硬化剤、金属解媒又は水酸基担持剤で架橋される。一般には、これらはバインダーとは分子量が比較的低いことで区別される。好ましい反応性モノマー（５）は少くとも１種の官能基、好ましくは２種又はそれ以上の官能基を架橋剤（２）とバインダー（４）とを結合する反応性の箇所又は複数の箇所として有する。典型的な官能基はエポキシド類、アミド類、アミン類、アルコール類、アリル類、アクリレート類、メタクリレート類、シアネート・エステル類及びアレイミド類であるが、これらに限定されない。好ましい反応性モノマーはビスフェノールＡである。自由選択の金属添加剤（６）は、別々の粒子として、高融点金属（３）又は低融点合金（１）上の被覆として添加でき、または（１）又は（２）と予め合金化する。粒状添加剤の好ましい大きさは０．１〜５０μｍである。この金属添加剤は、ホウ素、アルミニウム、クローム、鉄、ニッケル、亜鉛、ガリウム、銀、パラジウム、白金、金、インジウム、アンチモン、ビスマス、テルル、マンガン、リン、ゴバルト、等から選択した任意の金属である。現在のところ、好ましい金属添加剤は銀、ニッケル、ガリウム、金である。
本発明を実施するに当り使用に適した組成物の性質を向上させて特定の要件を満足させる添加剤も使用できる。接着促進剤、湿潤剤、粘度改良剤は最終材料の電導率をあまり変えずに性質を変えるために低レベルで使用できる添加剤の幾つかの例である。各種の可撓化剤もこれらの配合に添加できる。
本発明の実施で用いる電導性接着性組成物は下記の好ましい性質がある。
（ａ）バルク電導度は固体の銅に近い（先行技術の組成物では決して得られなかった）、
（ｂ）硬化組成物のろう付け性は良好である、
（ｃ）接着強度は銅クラド・エポキシ印刷配線ラミネートに匹敵する、
（ｄ）最終製品の耐蝕性は高く、高温、高相対湿度での耐劣化性がある、
（ｅ）プロセス温度が低く、ポリマー印刷配線板基板との相容性がある、
（ｆ）製造プロセスは従来のＰＷＢ製造法よりもプロセス工程数がかなり少い。
本発明以前では、この性質の組合を単一組成物中で得ることは不可能であった。
本発明の構造体の製造に用いる組成物は多くの望ましい特性がある。本発明の実施に当り使用する組成物の電導度は、一般的に銀又は銅粒子を高レベルで熱硬化性又は熱可塑性樹脂バインダー中に取込み、電流輸送とこれらの粒子の機械的接触に頼っている電導性ポリマー厚膜よりも高い。ＰＴＦ組成物で用いる金属含有量とは対照的に本発明の組成物は、過渡的液相焼結（ＴＬＰＳ）として知られているプロセスで金属粒子間に真の冶金学的ジョイントを形成する高融点金属と比較的低融点合金との組合を用いるものである。
焼結は、セラミック技術で多層基板中に配線を作るのに使用する公知の技術である。この技術では、７００℃よりも高いプロセス温度を用いて有機バインダーを除去し、完全な繊密化のため金属酸化物を減少させる。これとは対照的に幾つかの冶金学的系では３５０℃未満の温度で充分にＴＬＰＳが進行する。ＴＬＰＳは低融点金属又は合金をその熔融温度まで上昇させて、この時点で高融点金属又は合金中に拡散させる。このようにして形成した新合金は生成するにつれて固化し、全く新しい融点を持つことになる。ＴＬＰＳで用いる金属を慎重に選択することで元の低融点合金の融点よりも実質的に高い温度で再熔融する組成物が得られる。この性質は本発明の実施の際に容易に活用でき、本発明の組成物は、組成物中のはじめから形成している金属母材を再熔融させずに層の多層的順次処理及び標準的なろう付け操作に用いることができる。
本発明の実施で用いる組成物の接着性、機械的整合性、耐蝕性は、攻撃的なフラックス化剤を添加する必要がないので、先行技術の組成物よりも遙かにすぐれている。本発明の実施で用いる組成物は完全に架橋されており、その全成分は硬化して化学的に固定化されている。金属のフラックス脱酸化の反応副生物はポリマー母材中に化学的に結合していると考えられる。これらの組成物は電導性垂直相互接続の形成に理想的に適したものである。
上記の電導性接着性ＴＬＰＳ配合にもとづく垂直相互接続を有する多層印刷回路の形成に適した方法の一つは、一連の薄い基板又はボンド−プライ・シートを用い、これを貫通するビア・ホール又は通路を形成することが出発点となる。次いで、本電導性組成物を所望の印刷回路パターンでこれらの基板のそれぞれに塗布する。各層は一般には異なる。次いで、本組成物を硬化又は単に乾燥して、薄い基板と整合させ、共に加圧下ラミネート処理しながら、未硬化のままで残留させる。ラミネート処理圧により電導性層を薄い基板中のビア・ホールと通路を通して相互接続させ、ビア・ホール内の前記の電導性接着組成物がいずれかの片面上の同一の接着組成物の回路パッドと接触する箇所で相互接続を行う。本組成物の硬化は、このラミネート処理プロセスの前又はその期間中又はその後で行うことができる。その結果が多層印刷回路である。このような仕方で多層構造体の製造は、幾つかの点、例えば、相互接続密度が高く、薄い多層断面が比較低コストで得られることが利点である。
別の手法は、上記のＴＬＰＳ電導性接着組成物を用いる本発明の特定のビア・ホール構造体に従来のＰＷＢ技術を組合せることである。標準的印刷−エッチング技術で達成可能な線（トレース）密度には制限があるので、多層回路密度の主な決定要因はビア・ホールとこれに関連する捕捉パッドとルーティングの問題である。本発明の組成物と方法を用いることでこの依存性はかなり低減できる。更に密度の向上が米国特許出願第０８／４８３，０７９号（これは言及することでその全部が本明細書に組み込まれるものとする）に記載のような別のＰＷＢ技術と組合せて本明細書に記載のＴＬＰＳ組成物を用いることで達成される。
本発明の構造体はビア・ホール・パターンを形成する穿孔透電体を用いて形成される。透電体は各種の方法で、例えば、レーザー孔明け、機械的孔明け、プラズマ、反応性イオン又は化学的エッチング、フォトリトグラフィ、機械的打ち抜き又は当該技術の専門家に公知のその他の方法で穿孔できる。次いで従来のステンシル印刷技術の変法を用いてＴＬＰＳ電導性接着配合物をビア・ホールに充填する。充填は、加圧又は常圧ステンシル処理、個々の箇所への供給（例えば、インク・ジェット又は注射器）、ドクター・ブレード処理又は同じく当該技術の専門家に公知のその他の方法で達成される。
次いで、電導性組成物は必要あれば所要の程度に硬化する。適切な硬化計画は約８０〜３２０℃の範囲で５秒が最小時間である。印刷解像力は穿孔透電体の解像力だけが限定要因となる。このようにして形成したビア・ホール層は、次いで整合して、２つのＰＷＢ間でラミネート処理して、多層印刷回路を形成する。回路の追加層と充填した穿孔透電体も必要あればラミネート処理して、所望の層数の多層回路を形成する。
本発明の別の観点では、メタリゼーション処理した透電体又は回路パッド上に電導性で接着性のビア・ホール−柱を作ることで垂直電気的相互接続構造体を形成する。透電体上のメタリゼーション処理物はパターン化処理又はパターン化未処理でもよく、回路パッドとは素子実装体のＰＷＢ回路、再分配回路又はむき出しのダイである。電導性接着剤ビア・ホール−柱は当該技術の専門家に公知の多くの方法で作ることができる。その一つの方法は、メタリゼーション処理物又は回路パッドをポリマー透電体でキヤプセル化し、次いでこのポリマー透電体を所定のレーザー孔明け又は機械的孔明け又は反応性イオン又は化学的エッチング又はフォトリトグラフィ処理して、電気的相互接続が望まれている金属パッドを露出させる。次いで、ＴＬＰＳ電導性接着組成物をビア・ホールに充填し、前記の穿孔透電体ビア・ホール層技術で用いた同じ方法で適当な程度に硬化する。
別の方法では、柱を適切な手段〔例えば、ステンシル印刷、仮りのポリマー・ガイド（例えば、引きはがし可能なフォトレジスト）中へのドクター・ブレード処理、インク・ジェット、等〕を用いて直接金属パッド上に形成し、次いで引続き適切な透電材料で囲み又はこれを差し込む。上記の構造体のいずれかの製造用に本発明で用いる透電体は熱硬化性又は熱可塑性樹脂（充填若しくは未充填又は強化若しくは未強化）である。この透電体は片面又は両面をメタリゼーション処理又は処理したもので、各種の２層又は多層ＰＷＢ構造体の製造に適応させる。このいずれかの方法で形成した盲のビア・ホールは寸法が１０〜２５００μｍの範囲である。このようにして形成したビア・ホール−柱担持回路は追加回路及び類似構造体と組合せて所望の層数の多層ＰＷＢを製造する。
高回路密度が必要な多層ＰＷＢでの垂直相互接続以外にも、本発明の構造体は多くの用途で用いられる。本発明の一つの用途は、低密度回路への高密度回路の取り付けである。この構成は、高密度がＰＷＢのあるエリアだけに必要な場合に有用である。必要箇所だけに高密度回路を加えることで、かなりのコストの節減と収率増加が得られる。本発明で用いる電導性接着組成物は多くの回路メタリゼーション処理物と相容性があるので、各層毎の回路メタリゼーション処理物の変化には本発明の垂直相互接続構造体が充分に適応できる。
別の用途としてはむき出しのダイ又はエリア・アレイ素子実装体をＰＷＢに取り付けるのに本発明の構造体を使用することである。また、本発明の構造体を用いてむき出しのダイをその実装体に電気的に相互接続することができる。相互接続は、むき出しのダイ又は実装体をビア・ホール−柱担持回路上に配置するか又は本発明の充填した穿孔透電構造体を被接続ダイ素子実装体又は回路要素間に配置し、適切な装置（例えば、赤外線炉、対流炉、誘導加熱装置、凝縮加熱又は当該技術の専門家に公知のその他の方法）で硬化させて行うことができる。本発明の構造体を用いると、単一のプロセス工程で接続とカプセル化が完結できる。
本発明を更に良く理解するために以下の実施例を参照して説明する。以下の実施例は説明のためのものであって、本明細書に付属する請求項に記載の本発明の範囲を何等限定するものではない。
実施例１
垂直相互接続を銅クラドホリイミドの２層間で行った。両面を１ミルの接着剤（ピラルックス・ボンド−プライ）で被覆した１ミルのポリイミド・シート一枚から成るボンド−プライ材に２ミル、４ミル、６ミルの孔をレーザーを用いて孔明した。このボンド−プライ材は保護化カバー・シートを片面に有する。前記の過渡的液相の焼結電導性接着組成物をこのボンド−プライにドクター・ブレードで塗布し、８５℃で３０分間処理して部分硬化を行った。次いで、このボンド−プライを２枚の銅クラドポリアミド・シート間に配置し、標準的ラミネーション処理条件（３８０°Ｆまで加熱し、この温度で１時間保持）下でラミネーション処理した。
垂直相互接続ジョイントの断面はＴＬＰＳ電導性接着組成物がビア・ホール中に均一充填していることを示している。２ミル、４ミル、６ミルのビア・ホールはＴＬＰＳ電導性接着剤の充填が良好であり、回路層間の接続が良好であることを示している。硬化組成物は完全浸透のポリマー網を有するＴＬＰＳ金属−合金網を示している。ビア・ホール相互接続の断面も頂部回路層と下部回路層への合金化接続を示しており、安定な冶金学的接点となっている。
実施例２
２枚のはさみ込みビア・ホール・パターン化ボンド−プライ・シートをラミネートした３枚の２層の電気回路を用いて６層の回路を作成した。この２枚のボン−プライ・シート（２ミルのポリイミドの両面上に１ミルの接着剤を配置したもの）を引きはがし層で保護し、６ミルのビア・ホールをパターン化した。このビア・ホールに次いでＴＬＰＳ電導性接着剤を充填した。本実施例では、ラミネーション処理の前にＴＬＰＳ電導性接着剤の部分硬化工程は行わなかった。この２層の撓み性の回路には９ミルのパッドがある。この２枚のボンド・プライ・シートを次いで３枚の２層撓み性の回路間で整合させて標準的ラミネーション処理条件（４２０°Ｆに加熱してこの温度で１時間保持）下でラミネーション処理した。
断面は、６ミルの充填ビア・ホールと９ミルのパッド間に整合した垂直相互接続を示している。ビア・ホール相互接続はビア・ホールが均一充填していて、頂部パッドと底部パッドに合金化接続していることを示しており、６層の積層に安定な冶金学的接点となっている。
実施例３
銅クラドポリアミドの２層間の垂直相互接続を行った。この層の一つにカプセル化オーバーコートを付着させ、６ミルの孔をレーザーでこのオーバーコート中に設けた。前記のＴＬＰＳ電導性接着剤を封止剤孔中にステンシル印刷し、対流炉で８５℃３０分間、蒸気相炉で２１５℃で２分間部分硬化させた。次いで、接着剤を封止剤孔中にＴＬＰＳ電導性接着剤を有する銅クラッド・ポリイミドともう１枚の銅クラド・ポリイミド間に配置して標準的ラミネーション処理条件下でラミネーション処理した。
垂直相互接続ジョイントの断面は、電導性接着組成物の充填と回路層間の接続が良好であることを示している。
実施例４
銅クラッド・ポリイミドの２層間を垂直相互接続した。層の一つにフォトレジストを付着させ、５ミルの孔をフォトレジスト中に光造形（フォトイメージ）化した。ＴＬＰＳ電導性接着剤をフォトレジスト中にステンシル印刷し、部分硬化させた。フォトレジストを銅クラド・ポリイミドから引きはがして、ＴＬＰＳの電導性接着剤で形成した柱を残留させた。次いで、穿孔ボンド−プライをＴＬＰＳ電導性接着剤柱がある銅クラド・ポリイミドともう１枚の銅クラド・ポリイミド間に配置し、標準的ラミネーション処理条件でラミネーション処理した。
垂直相互接続ジョイントの断面は、ＴＬＰＳ電導性接着の充填が良好で、２つの回路層間の接続が良好であることを示している。
実施例５
ポリイミド上の１つの単一層の銅回路間を垂直相互接続した。１枚のボンド−プライ・シート（２ミルのポリイミドの両面上に１ミルの接着剤を配置したもの）を引きはがし層で保護し、６ミルのビア・ホールをパターン化した。次いで、このビア・ホールにＴＬＰＳ電導性接着剤を充填した。本実施例ではＴＬＰＳ電導性接着剤の部分硬化工程は行わなかった。この２つの撓み性の片面回路には９ミルのパッドがある。次いで、ボンド−プライ・シートをこの２つの撓み性の回路間に配置し、３層全体を整合させた。標準的なラミネーション処理を実施した（４２０°Ｆに加熱）。
電気抵抗率を個々の垂直接続毎に測定し、抵抗値は１０ｍΩ未満であった。断面は、ビア・ホールの充填と、頂部パッドと底部パッドの合金化接続が均一であることを示しており、安定な冶金学的接点となっている。−５０℃と＋１５０℃間を１００回熱衝撃サイクルさせることから成る環境試験では抵抗値の変化は１０％未満であることを示した。
実施例６
ポリイミド上の２つの単一層銅回路を垂直相互接続する。ＴＬＰＳ電導性接着剤を８ミルの孔があるステンシルを用いて両回路上の９ミルのパッド上にステンシル印刷した。次いで、このＴＬＰＳ電導性接着剤柱を部分硬化した。両面に２ミルの接着剤を被覆した１ミルのポリイミド・シート１枚から成るボンド−プライ材に隙間孔をレーザーで孔明けした。次いで、このボンド−プライ・シートを２枚の銅クラド・ポリイミド・シート間に配置し、３層全体を整合させた。標準的なラミネーション処理を実施した（４２０°に加熱）。
電気抵抗率を個々の垂直接続毎に測定し、抵抗値は多くの場合１００ｍΩ未満であった。
実施例７
１枚の２層高密度撓み性回路と１枚の２層の低密度印刷回路板間を垂直相互接続した。ＴＬＰＳ電導性接着剤を撓み性回路の５０ミル直径のメッキ・パッド上にステンシル印刷した。次いで、このＴＬＰＳ電導性接着剤柱を部分硬化した。隙間孔があるボンド−プラ材を次いで高密度撓み性回路と低密度印刷回路板間に配置し、これら３枚をラミネーション処理した。標準的ラミネーション処理を実施した。
電気接続を試験した。測定抵抗値は０．１Ω未満であった。断面は、ＴＬＰＳ電導性接着剤と銅パッド間に冶金学的接続があることを示している。
実施例８
印刷回路板基板上の銅素子と錫一鉛メッキ銅パッド間を垂直相互接続した。この回路板上の付着パッドと測定パッドの電気接続を測定したところ１５ｍΩであった。引きはなし層がある１枚のボンド−プライ・シート（２ミルのポリイミドの両面に１ミルの接着剤を配置したもの）に６２．５ミルのビア・ホールを孔明けした。ＴＬＰＳ電導性接着剤をこのビア・ホール内に塗布した。次いで、このボンド−プライ・シートを印刷回路板上の素子とパッド間で整合させた。赤外線ランプ台を用いるリフロー・サイクルを用いて集成体を加熱した。全サイクルは２６０℃のピーク温度で２８０秒であった。
印刷配線板上の銅素子と測定パッド間の電気抵抗を測定したところ２０ｍΩであり、ビア・ホール接続抵抗は５ｍΩであることを示した。接着性ボンド−プライ・シートの後硬化を２１０℃で４０分間行った。この後硬化したあとのビア・ホール接続抵抗を測定したところ、これもまた５ｍΩであった。
本発明をその幾つかの好ましい態様について詳述したが、本明細書に記載し、請求項に記載の精神と範囲内で修正と改変を行うことができるものである。
【図１】
0003869859.tif 000002
【図２】
0003869859.tif 000003
【図３】
0003869859.tif 000004
【図４】
0003869859.tif 000005