(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体と、振動体からなる圧電アクチュエータにおいて、
前記振動体は、少なくとも一端が支持された第一の振動部と、該第一の振動部に一端が支持され他端が自由端とされた第二の振動部とから構成され、
前記第一の振動部は、前記移動体の移動方向に対して鉛直な側面に第一の圧電体を備え、前記移動体の移動方向と平行をなす方向に振動成分を持ち、
前記第二の振動部は、前記移動体の移動方向に対して平行な側面に第二の圧電体を備え、前記移動体の移動方向と鉛直をなす方向に振動成分を持ち、
前記第二の振動部の長手方向が前記移動体の移動方向と同方向となるように配置されて該移動体に接することを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記第一の圧電体及び第二の圧電体は、それぞれ蒸着により形成されているとともに一方向に分極されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記第一の振動部の固有振動数と、前記第二の振動部の固有振動数が等しいことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記移動体と前記振動体に対し、加圧力を供与する加圧材を備えたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記振動体を複数用いたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項３に記載の圧電アクチュエータを駆動する方法であって、
前記第一及び第二の圧電体に前記第一及び第二の振動部が固有振動数で振動するような周波数の駆動信号を入力し、
前記第一の振動部の、前記移動体の移動方向と平行の方向をなす振動成分と、前記第二の振動部の、前記移動体の移動方向と鉛直の方向をなす振動成分とを合成し、
前記振動体に楕円運動を生じさせ、前記移動体を移動させることを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。
【請求項７】
前記移動体と前記振動体に対し、加圧力を供与することを特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
【請求項８】
前記振動体を複数用いることを特徴とする請求項６に記載の圧電アクチュエータの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、時計、カメラ、プリンタ、情報記憶装置などに用いる圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法に係り、特に圧電アクチュエータの安定、高出力、高効率化に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在OA機器、情報処理機器の小型化が進み、これに伴って、駆動・搬送に用いる動力源として圧電アクチュエータが注目されている。従来の圧電アクチュエータの例として、振動片型圧電アクチュエータを図２に示す。
振動片型アクチュエータは、伸縮振動をする圧電体２と、屈曲振動をする振動片１と、圧電体２の伸縮振動を振動片１に伝達するホーン６と、振動片１と接触し、且つ振動片１と相対的に微小な傾きをもつ、移動体８からなる。
【０００３】
圧電体２に伸縮振動を生じさせる周波数で、正弦波等の駆動信号を入力すると、その振動エネルギは、ホーン６を介して、振動片１に伝播する。そして、同周波数により屈曲振動を発生するよう設計された振動片１との、屈曲振動と圧電体２との伸縮振動との合成により、振動片１の先端に、楕円運動を発生させる。それにより、振動片１と移動体８間に摩擦力が働き、移動体８は、駆動力を得て移動する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の振動片型圧電アクチュエータは、圧電体２の伸縮振動と振動片１の屈曲振動の相関が不十分であり、振動片１先端に生じる楕円運動の方向は、一意に制御することができず、所望の運動方向とは、逆の方向に運動してしまう可能性があった。それにより、移動体は、所望の移動方向とは、逆の方向に運動してしまうおそれがあった。
【０００５】
また、振動片１と移動体８とは、振動片１が移動体８を突く構造であるため、適当な傾きが必要であった。それは、製造及び構成を困難とさせていた。また、振動片１の先端部は、衝突の繰り返しであるため、摩耗が生じ、駆動特性が低下するおそれがあった。
よって、本発明は、所望の駆動方向が得られ、且つ移動体の移動方向と鉛直をなす方向の振動成分のみならず、移動体の移動方向と平行をなす方向の振動成分を増大させることにより、移動体に対し、大きな駆動力を発生させることのできる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかわる圧電アクチュエータは、移動体と、振動体からなる圧電アクチュエータにおいて、前記振動体は、少なくとも一つの第一の圧電体を備え、且つ前記移動体の移動方向と平行をなす方向に、大きな振動成分を持つ少なくとも一つの第一の振動部と、少なくとも一つの第二の圧電体を備え、且つ前記移動体の移動方向と鉛直をなす方向に、大きな振動成分を持つ少なくとも一つの第二の振動部から構成され、且つ前記振動体は、少なくとも一つの固定端及び少なくとも一つの自由端を有することを特徴としている。
【０００７】
これによれば、移動体の移動方向と平行をなす方向に大きな振動成分を持つ、第一の振動部と、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に、大きな振動成分を持つ、第二の振動部により、振動体を構成することにより、移動体の移動方向と鉛直をなす方向のみならず、移動体の移動方向と同一の方向に対しても、大きな出力を発生させることが可能となる。
【０００８】
また、少なくとも一つの第一の圧電体と、少なくとも一つの第二の圧電体を用いることにより、第一の振動部と第二の振動部の振動方向の制御が可能となる。また、第一の振動部、及び第二の振動部形状を変えることにより、速度、駆動力に柔軟に対応したアクチュエータを作製することが可能である。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータは、移動体と、振動体からなる圧電アクチュエータにおいて、前記振動体は、少なくとも一つの第一の圧電体を備え、且つ前記移動体の移動方向と鉛直をなす方向に、大きな振動成分を持つ少なくとも一つの第一の振動部と、少なくとも一つの第二の圧電体を備え、且つ前記移動体の移動方向と平行をなす方向に、大きな振動成分を持つ少なくとも一つの第二の振動部から構成され、且つ前記振動体は、少なくとも一つの固定端及び少なくとも一つの自由端を有することを特徴としている。
【０００９】
これによれば、上記の圧電アクチュエータと同様な効果が得られる。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータは、上記２つの圧電アクチュエータにおいて、前記振動体の有する前記第一の振動部は、両端支持弾性体からなり、
前記第二の振動部は、前記第一の振動部に支持部を設けた一端支持他端自由弾性体からなる振動体であることを特徴としている。
【００１０】
これによれば、上記２つの圧電アクチュエータと同様の効果に加え、両端支持した第一の振動部と、一端支持他端自由の第二の振動部により、振動体を構成することにより、振動体を単純化し、小型化が可能となるため、圧電アクチュエータを小型化することが可能となる。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータは、上記３つの圧電アクチュエータにおいて、前記第一の振動部の固有振動数と、前記第二の振動部の固有振動数が等しいことを特徴としている。
【００１１】
これによれば、上記３つの圧電アクチュエータにおいて、第一の振動部の固有振動数と、第二の振動部の固有振動数を合わせることにより、振動体全体の振動を一定にし、駆動安定化することが可能となる。また、固有振動数を用いることにより、振動体は共振し、高出力、高効率化が可能となる。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータの駆動方法は、上記の圧電アクチュエータにおいて、前記第一及び第二の圧電体に前記第一及び第二の振動部が固有振動数で振動するような周波数の駆動信号を入力し、前記第一の振動部の、前記移動体の移動方向と平行の方向をなす振動成分と、前記第二の振動部の、前記移動体の移動方向と鉛直の方向をなす振動成分とを合成し、前記振動体に楕円運動を生じ、前記移動体を移動させることを特徴としている。
【００１２】
これによれば、上記の圧電アクチュエータにおいて、振動体を構成する第一の振動体と第二の振動体の振動成分を合成し、振動体に楕円運動を生じさせ、移動体に対し、駆動力を与えることが可能となることを示している。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法は、上記５つの圧電アクチュエータにおいて、前記移動体と前記振動体に対し、加圧力を供与する加圧材を備えたことを特徴としている。
【００１３】
これによれば、加圧材を設けることにより、振動体と移動体との間に、適切な摩擦力が生じさせることが可能となるため、移動体の重力に加え、加圧材から、垂直力を得ることが可能となり、移動体の駆動の高出力、安定化が可能となる。
また、本発明にかかわる圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法は、上記６つの圧電アクチュエータにおいて、前記振動体を複数用いたことを特徴としている。
【００１４】
それにより、上記初めの２つの圧電アクチュエータの効果に加えて、例えば、複数振動体を同一方向に配置することにより、移動体の駆動力を増加させることが可能であり、また、複数振動体方向をマトリックス状に配置することにより、リニア型や２次元駆動アクチュエータを構成することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
《実施の形態１》
以下、図１を参照して本発明を適用した実施の形態１を詳細に説明する。
図１は、実施の形態１に係る圧電アクチュエータを示す図である。
この圧電アクチュエータは、第一の振動部１４と、第二の振動部１５、第一の圧電体１６、第二の圧電体１７、固定端１８からなる振動体４と、振動体４と接触することにより駆動する移動体８からなる。
【００１６】
第一の圧電体１６に駆動信号を入力することにより、第一の圧電体１６に歪みが生じ、第一の振動部１４には、移動体８の移動方向と平行をなす方向に振動を生じる。また、第二の圧電体１７に駆動信号を入力することにより、第二の振動部１５には、移動体８の移動方向と鉛直をなす方向に振動を生じる。それにより、移動体８と接触する振動体４の先端部は、楕円運動をし、移動体８に対して、摩擦力を与え、移動体８を移動させる。
【００１７】
第一の圧電体１６及び第二の圧電体１７としては、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム等を用いる。
また、第一の圧電体１６及び第二の圧電体１７は、第一の振動部１４及び第二の振動部１５に対して、接着剤を用いて取り付けられるか、もしくは、蒸着等により直接、圧電体２を第一の振動部１４及び第二の振動部１５に対して形成する。
《実施の形態２》
以下、圧電アクチュエータと圧電アクチュエータの駆動方法について、実施の形態２において、詳細に説明する。
【００１８】
図３は、実施の形態２に係る圧電アクチュエータを示す図である。
圧電アクチュエータは、振動体４と回転移動体５と加圧材３からなる。
振動体４は、固定端１８において、両端支持された第一の振動部１４と第一の振動部１４の中央付近に支持部を有す、一端支持他端自由の第二の振動部１５、及び第一の振動部１４に取り付けられた第一の圧電体１６と第二の振動部１５に取り付けられ、第一の圧電体１６と同極性に分極された第二の圧電体１７からなる。
【００１９】
ここで、第一の圧電体１６の分極方向は、第一の振動部１４に対し、第一の圧電体１６が貼り付けられている逆面から正電圧を加えた場合、伸び歪みを生じる向きで、その方向を＋とする。同様に、第二の圧電体１７の分極方向は、第二の振動部１５に対し、第二の圧電体１７が貼り付けられている逆面から正電圧を加えた場合、伸び歪みを生じる向きで、その方向を＋とする。
【００２０】
また、第一の圧電体１６は、第一の入力電圧１２により、駆動信号を入力され、第二の圧電体１７は、第二の入力電圧１３により、駆動信号を入力される。
また、第一の振動部１４と第二の振動部１５の屈曲１次固有振動数が等しくなるよう設計されている。
第一の振動部１４と第二の振動部１５は、支持部９によって、つながっている。
【００２１】
回転移動体５は、振動体４からの駆動力を得て移動する。
加圧材３は、振動体４と回転移動体５に対し、適切な圧力を与えることにより、振動体４と回転移動体５とに生ずる摩擦力を調節する。加圧材３としては、錘の他に、ばね等の弾性体等を用いても良い。
図４は、実施の形態２に係る圧電アクチュエータの駆動方法を示す図である。そのうち、圧電アクチュエータの振動体４の運動を、屈曲１次固有振動と合わせた駆動信号を一周期加えた過程について、詳細に述べる。振動体４は、図３に示す圧電アクチュエータに示す振動体４と同じ構成である。
【００２２】
第一の入力電圧１２と第二の入力電圧１３の位相は、π/2radずらす。
また、図８に示すように電源を単一にして、第一の圧電体１６と第二の圧電体１７に対し、異なる位相を入力しても同等の効果が得られることは言うまでもない。
また、回転移動体５の代わりとして、スライダ等を用いてリニア型圧電アクチュエータとして用いることも可能である。
【００２３】
まず、図４Ａは、駆動信号が０radの場合を示す。
第一の入力電圧１２は、正方向に最大となり、第一の圧電体１６は、伸び歪みが最大となり、第一の振動部１４は、移動体の移動方向と平行をなす方向に大きく屈曲する。
第二の入力電圧１３は、０となるので、第二の振動部１５は、第一の振動部１６とともに、移動体の移動方向と平行をなす方向に移動する。
【００２４】
そして、図４Ｂは、駆動信号がπ/2radの場合を示す。
第二の入力電圧１３は、負方向に最大となり、第二の圧電体１７は、縮み歪みが最大となり、第二の振動部１５は、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に大きく屈曲する。
第一の入力電圧１２は、０となり、第一の振動部１４は、初期状態に戻る。
【００２５】
そして、図４Ｃは、駆動信号がπradの場合を示す。
第一の入力電圧１２は、負方向に最大となり、第一の圧電体１６は、縮み歪みが最大となり、第一の振動部１４は、移動体の移動方向と平行をなす方向に大きく屈曲する。
第二の入力電圧１３は、０となり、第二の振動部１５は、初期状態に戻る。
【００２６】
そして、図４Ｄは、駆動信号が3π/2radの場合を示す。
第二の入力電圧１３は、正方向に最大となり、第二の圧電体１７は、伸び歪みが最大となり、第二の振動部１５は、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に大きく屈曲する。
第一の入力電圧１２は、０となり、第一の振動部１４は、初期状態に戻る。
【００２７】
以上により、屈曲１次固有振動数と合致した周波数の駆動信号を第一の圧電体１６と第二の圧電体１７に対して入力し、位相をずらすことにより、移動体（図示略す）の移動方向と平行をなす方向と移動体（図示略す）の移動方向と鉛直をなす方向の振動成分を合成し、楕円運動を描かせ、振動体４と移動体（図示略す）との摩擦により、移動体（図示略す）を一方向に移動させることが可能である。
【００２８】
また、第一の圧電体１６の分極方向を変えたり、第一の圧電体１６への駆動信号の位相を変えること等により、移動体（図示略す）の移動方向を変えることが可能である。
また、第一の振動部１４の屈曲１次固有振動数と第二の振動部１５の屈曲２次固有振動数になるよう設計し、同一周波数を入力する等をして、移動体を駆動させることも可能である。
【００２９】
図５は、実施の形態２に係る圧電アクチュエータを示す図である。
圧電アクチュエータは、振動体４と移動体８とローラー７からなる。
振動体４は、固定端１８において、両端支持された第一の振動部１４の央付近に支持部を有す、一端支持他端自由の第二の振動部１５に取り付けられた第二の圧電体１７と第一の振動部１４に取り付けられた第一の圧電体１６からなる。
【００３０】
第二の圧電体１７は、複数用い、第二の振動部１５をバイモルフ形状とすることで、駆動力を増大させることが可能である。第一の振動部１４と第二の振動部１５は、支持部９によって、つながっている。
ここで、第一の圧電体１６の分極方向は、第一の振動部１４に対し、第一の圧電体１６が貼り付けられている逆面から正電圧を加えた場合、縮み歪みを生じる向きで、その方向を−とする。同様に、第二の圧電体１７のうち、一つは、分極方向として、第二の振動部１５に対し、第二の圧電体１７が貼り付けられている逆面から正電圧を加えた場合、伸び歪みを生じる向きで、その方向を＋とする。
【００３１】
また、もう一つの第二の圧電体１７は、分極方向として、第二の振動部１５に対し、第二の圧電体１７が貼り付けられている逆面から正電圧を加えた場合、縮み歪みを生じる向きで、その方向を−とする。
また、第一の圧電体１６は、第一の入力電圧１２により、駆動信号を入力され、第二の圧電体１７は、第二の入力電圧１３により、駆動信号を入力される。
【００３２】
また、第一の振動部１４と第二の振動部１５の屈曲１次固有振動数が等しくなるよう設計されている。第一の入力電圧１２と第二の入力電圧１３の位相はπ/2radずらす。
移動体８は、振動体４からの駆動力を得て、リニアに移動する。
ローラー７は、移動体４が円滑に移動させるためのものである。
【００３３】
また、図８に示すように電源を単一にして、第一の圧電体１６と第二の圧電体１７に対し、異なる位相を入力しても同等の効果が得られることは言うまでもない。
また、移動体８の代わりに回転移動体等を用いて回転型アクチュエータとして用いることも可能である。
【００３４】
図６は、実施の形態２に係る圧電アクチュエータの駆動方法を示す図である。そのうち、圧電アクチュエータの振動体４の運動を、屈曲１次固有振動と合わせた駆動信号を一周期加えた過程について、詳細に述べる。振動体４は、図５に示す圧電アクチュエータに示す振動体４と同じ構成である。
まず、図６Ａは、駆動信号が０radの場合を示す。
【００３５】
第一の入力電圧１２は、負方向に最大となり、第一の圧電体１６は、伸び歪みが最大となり、第一の振動部１４は、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に大きく屈曲する。
第二の入力電圧１３は、０となるので、第二の振動部１５は、第一の振動部１４とともに、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に移動する。
【００３６】
そして、図６Ｂは、駆動信号がπ/2radの場合を示す。
第二の入力電圧１３は、負方向に最大となり、第二の圧電体１７のうち、＋方向に分極された方は、縮み歪みを生じ、且つ第二の圧電体１７のうち−方向に分極された方は、伸び歪みを生じるため、第二の振動部１５は、移動体の移動方向と平行をなす方向に大きく屈曲する。
【００３７】
第一の入力電圧１２は、０となるので、第一の振動部１４は、初期状態に戻る。
そして、図６Ｃは、駆動信号がπradの場合を示す。
第一の入力電圧１２は、正方向に最大となり、第一の圧電体１６は、縮み歪みが最大となり、第一の振動部１４は、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に大きく屈曲する。
【００３８】
第二の入力電圧１３は、０となるので、第二の振動部１５は、初期状態に戻る。
そして、図６Ｄは、駆動信号が3π/2radの場合を示す。
第二の入力電圧１３は、正方向に最大となり、第二の圧電体１７のうち、＋方向に分極された方は、伸び歪みを生じ、且つ第二の圧電体１７のうち−方向に分極された方は、縮み歪みを生じるため、第二の振動部１５は、移動体の移動方向と平行をなす方向に大きく屈曲する。
【００３９】
第一の入力電圧１２は、０となるので、第一の振動部１４は、初期状態に戻る。
以上により、屈曲１次固有振動数と合致した周波数の駆動信号を第一の圧電体１６と第二の圧電体１７に対して入力することにより、移動体の移動方向と平行をなす方向と移動体の移動方向と鉛直をなす方向の振動成分を合成し、楕円運動を描かせ、振動体４と移動体８との摩擦により、移動体８を一方向に移動させることが可能である。
【００４０】
また、第一の圧電体１６の分極方向を変えたり、第一の圧電体１６への駆動信号の位相を変えること等により、移動体８の移動方向を変えることが可能である。
また、第一の振動部１４の屈曲１次固有振動数と第二の振動部１５の屈曲２次固有振動数になるよう設計し、同一周波数を入力する等をして、移動体を駆動させることも可能である。
《実施の形態３》
図７は、実施の形態３に係る圧電アクチュエータを示す図である。
【００４１】
圧電アクチュエータは、固定端１８に両端支持された第一の振動部１４と第二の振動部１５、及び第一の振動部１４に取り付けられた第一の圧電体１６と第二の振動部１５に取り付けられた第二の圧電体１７からなる振動体４と、振動体４に接触し、駆動する回転移動体５と、振動体４と回転移動体５に対し、適当な圧力を供与する加圧材３からなる。振動体４は、複数いずれも、時計回りに円周同一方向に合わせ、同一平面上に配置する。
【００４２】
それにより、回転移動体５を一方向に回転させ、その上、振動体４を複数用いているため、単数に比べて、回転移動体５への駆動力を増大させることが可能となる。
また、一つの振動体４の第一の圧電体１６の分極方向を変えたり、入力位相を変える等により、回転移動体５の正逆転が可能である。
【００４３】
同様に、振動体４の配置を、時計回りと反時計回りの組み合わせ、つまり、円周正逆方向になるよう、同一平面上に配置することにより、回転移動体５を正逆転することが可能である。
同様に、振動体４をマトリックス状に配置することにより、リニア型アクチュエータや、二次元駆動アクチュエータを構成することが可能である。
【００４４】
【発明の効果】
以上により、本発明の圧電アクチュエータは、移動体の移動方向と平行の方向に大きな振動成分を持つ第一の振動部と、移動体の移動方向と鉛直をなす方向に、大きな振動成分を持つ第二の振動部により、振動体を構成することにより、移動体の移動方向と鉛直をなす方向のみならず、移動体の移動方向と同一の方向に対しても、安定した大きな出力を発生させることが可能となる。
【００４５】
また、第一の振動部、及び第二の振動部形状を変えることにより、速度、駆動力に柔軟に対応したアクチュエータを作製することが可能である。
また、本発明の圧電アクチュエータは、移動体の移動方向との鉛直方向に大きな振動成分を持つ第一の振動部と、移動体の移動方向と平行をなす方向に、大きな振動成分を持つ第二の振動部により、振動体を構成することにより、上記の圧電アクチュエータと同様に、移動体の移動方向と鉛直をなす方向のみならず、移動体の移動方向と同一の方向に対しても、安定した大きな出力を発生させることが可能となる。
【００４６】
また、第一の振動部、及び第二の振動部形状を変えることにより、速度、駆動力に柔軟に対応したアクチュエータを作製することが可能である。
本発明の圧電アクチュエータは、上記２つの圧電アクチュエ−タと同様の効果に加え、両端支持した第一の振動部と、一端支持他端自由の第二の振動部により、振動体を構成することにより、振動体を単純化し、小型化が可能となるため、圧電アクチュエータを小型化することが可能となる。また、設計も簡素化できる。
【００４７】
また、本発明の圧電アクチュエータは、上記３つの圧電アクチュエータにおいて、第一の振動部の固有振動数と、第二の振動部の固有振動数を合わせることにより、振動体全体の振動を一定にし、駆動安定化することが可能となる。また、固有振動を利用することにより、入力に対する出力を増大させることが可能となり、高効率化が可能となる。
【００４８】
また、本発明の圧電アクチュエータの駆動方法は、上記の圧電アクチュエータにおいて、振動体を構成する第一の振動部と第二の振動部の振動成分を合成し、振動体に楕円運動を生じさせ、移動体に対し、駆動力を与え、移動体を移動させることが可能となることを示している。その場合、圧電体への駆動信号は、第一の振動部と第二の振動部で相関がとれているため、所望の楕円運動方向を得ることが可能となる。
【００４９】
また、本発明の圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法は、加圧材を設け、移動体が最大、または、所望の駆動力を得られるために必要な摩擦力を振動体と移動体に生じさせることが可能となる。
本発明の圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの駆動方法は、上記に記載する５つの圧電アクチュエータの効果に加えて、複数振動体を用いることを特徴としている。それにより、移動体の駆動力を増加させることが可能であり、また、マトリックス状に配置し、リニア型圧電アクチュエータや２次元駆動圧電アクチュエータの実現が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１に係る圧電アクチュエータを示す図である。
【図２】振動片型圧電アクチュエータを示す概略図である。
【図３】実施の形態２に係る圧電アクチュエータを示す図である。
【図４】実施の形態２に係る圧電アクチュエータの駆動方法を示す図である。
【図５】実施の形態２に係る圧電アクチュエータを示す図である。
【図６】実施の形態２に係る圧電アクチュエータの駆動方法を示す図である。
【図７】実施の形態３に係る圧電アクチュエータを示す図である。
【図８】本発明に係る圧電アクチュエータの駆動方法を示すブロック図である。
【符号の説明】
１    振動片
２    圧電体
３    加圧材
４    振動体
５    回転移動体
６    ホーン
７    ローラー
８    移動体
９    支持部
１２  第一の入力電圧
１３  第二の入力電圧
１４  第一の振動部
１５  第二の振動部
１６  第一の圧電体
１７  第二の圧電体
１８  固定端
【図１】
0004005267.tif 000002
【図２】
0004005267.tif 000003
【図３】
0004005267.tif 000004
【図４】
0004005267.tif 000005
【図５】
0004005267.tif 000006
【図６】
0004005267.tif 000007
【図７】
0004005267.tif 000008
【図８】
0004005267.tif 000009