(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向した上定盤および下定盤により挟まれた被加工物の両方の接触面を研磨する傾斜形平面研磨装置において、
回動力を伝える駆動装置と、
軸受により回動自在に軸支されるロータと、
被加工物を保持する穴を設けたケージを太鼓状に張り上げたケージリングと、
を備え、
少なくとも上定盤、下定盤、ロータおよびケージリングを傾斜して配置するとともに、上定盤および下定盤の外周部はケージリング内周部に接触し、また、ケージリングの外周部はロータの内周部にそれぞれ接触し、
回動するロータとの接触摩擦によりロータから駆動力が伝導されて上定盤および下定盤が被加工物の両面を転がり運動をしながら研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項２】
請求項１に記載の傾斜形平面研磨装置において、
上定盤の外周部、下定盤の外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部またはロータの内周部のいずれかの接触部に摩擦材料が設けられ、
回動するロータとの接触摩擦によりケージリングはロータに従動し、また、ケージリングとの接触摩擦により上定盤および下定盤はケージリングに従動し、重力により傾斜面を滑りながらロータと同方向に回動することで、上定盤および下定盤が被加工物の両面を研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項３】
請求項１に記載の傾斜形平面研磨装置において、
上定盤の外周部、下定盤の外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部およびロータの内周部に歯車が形成され、
回動するロータとの噛み合いによりケージリングはロータに従動して回動し、また、ケージリングとの噛み合いにより上定盤および下定盤はケージリングに従動して回動することで、上定盤および下定盤が被加工物の両面を研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
前記の傾斜した下定盤は、下定盤静圧軸受により回動自在に支持されることを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
少なくとも上定盤、下定盤、ロータおよびケージリングを含む機構全体の傾斜角度を調節するための角度調整機構を備え、
傾斜角度を変えて上定盤が被加工物に与える加圧力を変更自在とすることを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の回転中心部分に突出部がないことを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項７】
下定盤に接する被加工物の片方の接触面を研磨する傾斜形平面研磨装置において、
回動力を伝える駆動装置と、
軸受により回動自在に軸支されるロータと、
被加工物が固着されるケージを太鼓状に張り上げたケージリングと、
ケージの上側に配置され、被加工物を加圧するウェイトと、
ウェイトとケージとの間にエアを介在させるウェイト静圧軸受と、
を備え、
少なくともウェイト、下定盤、ロータおよびケージリングを傾斜して配置するとともに、下定盤とウェイトの外周部はケージリング内周部に接触し、また、ケージリングの外周部はロータの内周部にそれぞれ接触し、
回動するロータとの接触摩擦によりロータから駆動力が伝導されて下定盤が被加工物の片面を転がり運動をしながら研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項８】
請求項７に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の外周部、ウェイトの外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部またはロータの内周部のいずれかの接触部に摩擦材料が設けられ、
回動するロータとの接触摩擦によりケージリングとウェイトはロータに従動し、また、ケージリングとの接触摩擦により下定盤はケージリングに従動し、重力により傾斜面を滑りながらロータと同方向に回動することで、下定盤が被加工物の片面を研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項９】
請求項７に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の外周部、ウェイトの外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部およびロータの内周部に歯車が形成され、
回動するロータとの噛み合いによりケージリングはロータに従動して回動し、また、ケージリングとの噛み合いにより下定盤とウェイトはケージリングに従動して回動することで、下定盤が被加工物の片面を研磨することを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項１０】
請求項７〜請求項９の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
前記の傾斜した下定盤は、下定盤静圧軸受により回動自在に支持されることを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項１１】
請求項７〜請求項１０の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
少なくともウェイト、下定盤、ロータおよびケージリングを含む機構全体の傾斜角度を調節するための角度調整機構を備え、
傾斜角度を変えてウェイトが被加工物に与える加圧力を変更自在とすることを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【請求項１２】
請求項７〜請求項１１の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の回転中心部分に突出部がないことを特徴とする傾斜形平面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属のほか、水晶、ガラス、セラミックまたは半導体集積回路用基板などの表面の両面または片面の研磨加工を行う傾斜形平面研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術の遊星歯車方式平面研磨装置の構造およびウェーハ両面のラッピング・ポリシング等の研磨工程について簡単に説明する。図５は従来技術の遊星歯車方式平面研磨装置の構造図である。
遊星歯車方式平面研磨装置は、図５で示すように、研磨工具である上定盤（図示せず）と下定盤２とを有し、これら上定盤（図示せず）と下定盤２は互いに反対方向に回転するようになされている。これら上定盤（図示せず）と下定盤２との間には、単数または複数個の被加工物２４を被加工物保持穴１９内に保持するキャリア２８が配置されている。キャリア２８は、外周部が歯車状に形成され、たとえば、図５で示すように、５個というように複数個配置されるのが一般的である。
【０００３】
これらキャリア２８はインターナルギア２７と噛み合い、さらに太陽ギア２９とも噛み合っている。これらインターナルギア２７および太陽ギア２９は、それぞれの駆動源により回転駆動されるようになされており、インターナルギア２７および太陽ギア２９が回転駆動されるとき、キャリア２８は、自転しつつ公転する。
【０００４】
したがって、上定盤（図示せず）および下定盤２に両面が接触する被加工物２４は、上定盤（図示せず）および下定盤２の反対方向の回転とキャリア２８の自転・公転とにより、一方向に偏らずに多方向に移動する。この状態で研磨液が供給されて被加工物２４の上下両面を同時に研磨加工し、被加工物２４を平行平面とする。遊星歯車方式平面研磨装置による研磨はこのようになる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
被加工物の厚みが薄くなるとキャリアも薄くする必要が生じる。このため、歯車であるキャリア歯面の材料強度も低下し、歯車の側面に集中した負荷によって歯の摩耗が起こりやすく、負荷に耐え切れない歯先は、曲がったり欠けたりすることがしばしばあった。
【０００６】
また、被加工物の加工数量は、遊星運動をする歯車状のキャリアの数とキャリア内の被加工物保持穴の穴径によって決まり、更に隣接するキャリア間の空間は機構上なくすことができない。したがって、被加工物の数を増やすにはより大きなキャリアが必要だった。
しかし、材料強度の関係から限界があり、大きなキャリアには実用性がなかった。
【０００７】
そこで、本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、被加工物の数を増やし、かつ歯車状のキャリアを用いないようにした、新しい方案による傾斜形平面研磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するため、請求項１に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
対向した上定盤および下定盤により挟まれた被加工物の両方の接触面を研磨する傾斜形平面研磨装置において、
回動力を伝える駆動装置と、
軸受により回動自在に軸支されるロータと、
被加工物を保持する穴を設けたケージを太鼓状に張り上げたケージリングと、
を備え、
少なくとも上定盤、下定盤、ロータおよびケージリングを傾斜して配置するとともに、上定盤および下定盤の外周部はケージリング内周部に接触し、また、ケージリングの外周部はロータの内周部にそれぞれ接触し、
回転するロータとの接触摩擦によりロータから駆動力が伝導されて上定盤および下定盤が被加工物の両面を転がり運動をしながら研磨することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項１に記載の傾斜形平面研磨装置において、
上定盤の外周部、下定盤の外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部またはロータの内周部のいずれかの接触部に摩擦材料が設けられ、
回動するロータとの接触摩擦によりケージリングはロータに従動し、また、ケージリングとの接触摩擦により上定盤および下定盤はケージリングに従動し、重力により傾斜面を滑りながらロータと同方向に回動することで、上定盤および下定盤が被加工物の両面を研磨することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項１に記載の傾斜形平面研磨装置において、
上定盤の外周部、下定盤の外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部およびロータの内周部に歯車が形成され、
回動するロータとの噛み合いによりケージリングはロータに従動して回動し、また、ケージリングとの噛み合いにより上定盤および下定盤はケージリングに従動して回動することで、上定盤および下定盤が被加工物の両面を研磨することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
前記の傾斜した下定盤は、下定盤静圧軸受により回動自在に支持されることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
少なくとも上定盤、下定盤、ロータおよびケージリングを含む機構全体の傾斜角度を調節するための角度調整機構を備え、
傾斜角度を変えて上定盤が被加工物に与える加圧力を変更自在とすることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の回転中心部分に突出部がないことを特徴とする。
【００１４】
請求項１〜請求項６の発明に係る第１の発明は、具体的には傾斜形両面研磨装置に係るものである。従来技術の遊星歯車方式によらない方法として、複数あったキャリアを１枚の円盤状のケージとし、分割したケージリングによって太鼓状に張り上げることでケージの素材を引っ張り方向に変えると共に、ケージリングとの一体化でケージ全体の強度を高めている。
また、ロータとケージリングの摩擦・噛み合いによる駆動形の転がり運動方式に変えることにより、従来のキャリア歯面の強度問題を解消する。
また、一体化したケージ内の被加工物保持穴は同心円状に配置ができるため無駄な空間もなく、被加工物の数を増やすことができる。
【００１５】
また、請求項７に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
下定盤に接する被加工物の片方の接触面を研磨する傾斜形平面研磨装置において、
回動力を伝える駆動装置と、
軸受により回動自在に軸支されるロータと、
被加工物が固着されるケージを太鼓状に張り上げたケージリングと、
ケージの上側に配置され、被加工物を加圧するウェイトと、
ウェイトとケージとの間にエアを介在させるウェイト静圧軸受と、
を備え、
少なくともウェイト、下定盤、ロータおよびケージリングを傾斜して配置するとともに、下定盤とウェイトの外周部はケージリング内周部に接触し、また、ケージリングの外周部はロータの内周部にそれぞれ接触し、
回動するロータとの接触摩擦によりロータから駆動力が伝導されて下定盤が被加工物の片面を転がり運動をしながら研磨することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項８に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項７に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の外周部、ウェイトの外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部またはロータの内周部のいずれかの接触部に摩擦材料が設けられ、
回動するロータとの接触摩擦によりケージリングはロータに従動し、また、ケージリングとの接触摩擦により下定盤とウェイトはケージリングに従動し、重力により傾斜面を滑りながらロータと同方向に回動することで、下定盤が被加工物の片面を研磨することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項９に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項７に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の外周部、ウェイトの外周部、ケージリングの内周部、ケージリングの外周部およびロータの内周部に歯車が形成され、
回動するロータとの噛み合いによりケージリングはロータに従動して回動し、また、ケージリングとの噛み合いにより下定盤とウェイトはケージリングに従動して回動することで、下定盤が被加工物の片面を研磨することを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１０に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項７〜請求項９の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
前記の傾斜した下定盤は、下定盤静圧軸受により回動自在に支持されることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項１１に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項７〜請求項１０の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
少なくともウェイト、下定盤、ロータおよびケージリングを含む機構全体の傾斜角度を調節するための角度調整機構を備え、
傾斜角度を変えてウェイトが被加工物に与える加圧力を変更自在とすることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１２に記載の発明に係る傾斜形平面研磨装置は、
請求項７〜請求項１１の何れか一項に記載の傾斜形平面研磨装置において、
下定盤の回転中心部分に突出部がないことを特徴とする。
【００２１】
請求項７〜請求項１２の発明に係る第２の発明は、具体的には傾斜形片面研磨装置に係るものである。従来技術の遊星歯車方式によらない方法として、複数あったキャリアを１枚の円盤状にしたケージを、分割したケージリングによって太鼓状に張り上げることでケージの素材を引っ張り方向に変えると共に、ケージリングとの一体化でケージ全体の強度を高め、ロータによる摩擦駆動形の転がり運動方式に変えることにより、従来のキャリア歯面の強度問題を解消する。
また、一体化したケージに被加工物を固着して同心円状に配置ができるため無駄な空間もなく、被加工物の数を増やすことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、請求項１〜請求項６に係る発明の実施形態である傾斜形平面研磨装置について図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、詳しくは、傾斜形両面研磨装置である。図１は本実施形態の傾斜形両面研磨装置の断面構成図、図２は本実施形態の傾斜形両面研磨装置のＡ矢視概略平面図である。このうち、図２では上定盤を取外し、被加工物保持穴、被加工物、ケージおよびケージリングが見える状態にある。
【００２３】
まず、このような傾斜形両面研磨装置の各部構成および機能について説明する。傾斜形両面研磨装置は、基体となる本体１５に支点１１が設けられ、この支点１１によって傾斜ベース１４が回動可能に軸支される。角度調整機構１３は、支点１１に対向した側の本体１５内に設置され、その先端が揺動と伸縮とが可能なように構成されている。
【００２４】
この角度調整機構１３は、傾斜ベース１４内に配置されたガイドシャフト２２のジョイント２１と連結され、本体１５の側面にあるガイド穴１２に沿って、傾斜ベース１４上にある装置全体（以下、傾斜ベース１４上の装置を一括して単に研磨装置という）の角度を調整することができる。角度調整機構１３により傾斜角度を大きくすると上定盤・下定盤・ケージが起立して被加工物２４への加圧力が小さくなり、傾斜角度を小さくすると上定盤・下定盤・ケージが倒れて被加工物２４への加圧力が大きくなる。
【００２５】
実際の角度調整は、研磨開始時は傾斜角度を大きくて加圧力を小さくし、研磨開始直後の被加工物２４の粗面を軽い力で研磨する。そして、次第に傾斜角度を小さくして傾斜角度として加圧力を強くし、研磨が進んで滑らかな面をさらに滑らかにするように研磨する。
【００２６】
続いて研磨装置について説明する。
傾斜ベース１４にはロータシャフト１７が固定されている。このロータシャフト１７の軸受１０を中心にロータ５が回動自在となるように軸支されている。このロータ５にはリングギア８が同心固定されており、このリングギア８に、本発明の駆動装置の一具体例である減速機・モータ９からなる駆動源を持ったピニオンギア７に噛み合い、ロータ５に回転力が伝えられる。
【００２７】
このロータ５には、上定盤１、ケージ４および下定盤２がロータの内部に位置するように配置され、図１でも示すように、側面から見て、上定盤１と下定盤２の間にケージ４が挟まれるように配置されている。
また、図２に示すように、ロータ５の内周部にケージリング３の外周部が線接触するように配置され、また、ケージリング３の内周部に上定盤１と下定盤２の外周部がそれぞれ線接触するように配置される。そして、ケージリング３の外周はロータ５の内周よりも小さく、また、上定盤１と下定盤２との外周はケージリング３の内周よりも小さくなるように設けられている。
【００２８】
ケージ４は、図２で示すように、被加工物２４を保持する被加工物保持穴１９を持ち、分割されたケージリング３によって太鼓状に張り付けられている。
なお、これら上定盤１、下定盤２、ケージリング３、ロータ５の接触部分は、基本的にはそのまま接触する構造であるが、摩擦力を高めるため摩擦部材を設けるようにしてもよい。
摩擦部材を設ける場合、全ての接触部に摩擦部材を設ける必要がなく、例えば、ケージリング３の内周部および外周部にのみ摩擦部材を設け、ロータ５の内周部ならびに上定盤１および下定盤２の外周部には摩擦部材を設けなくとも良い。少なくとも、摩擦部材は接触する相手か、または、自らの一方が持っていればよい。
【００２９】
この下定盤２の下側には、図１で示すように、下定盤静圧軸受６が設けられており、空気供給穴２０から送られた空気の圧力によって、上定盤１、ケージ４、下定盤２による重力に拘わらず、下定盤２が自在に回動するように構成されている。この下定盤２の下側には突出部がなく、下定盤静圧軸受６上を下定盤２が二次元方向に移動できるようになされている。また、この下定盤２の上側には、従来技術の太陽ギアのような突出部がなく、ケージ４の接触面を広く取れるようにしている。
【００３０】
続いて、このように構成される傾斜形両面研磨装置の操作・動作について概略説明する。
下定盤静圧軸受６に空気を供給して下定盤２を回動自在とする。この下定盤２の上に、ケージリング３が張り渡されたケージ４を配置し、図２で示すように被加工物２４を配置し、上定盤１を更に配置する。
【００３１】
あらかじめ角度調整機構１３により傾斜が大きい状態（加圧力が小さい状態）となるように傾斜させておき、減速機・モータ９を回転駆動させて、ロータ５を回転させる。
この場合研磨装置全体が傾斜しているため、ロータ５の内周部とケージリング３の外周部とが線接触となり、また、ケージリング３の内周部と、上定盤１および下定盤２の外周部とがそれぞれ線接触の状態となるため、ロータ５の回動力が各く接触部の摩擦力によって伝達され、ケージリング３、上定盤１、下定盤２はロータ５と同方向に転がり、回動運動を開始する。
そして、ケージリング３は、ロータ５の回転方向と同方向に回転し、また、上定盤１および下定盤２は、ケージリング３の回転方向（つまりロータ５の回転方向）と同方向に回転する。
【００３２】
下定盤２は、上部にある上定盤１・ケージリング３・ケージ４等の部材の重量と摩擦力により、何らか工夫しないと滑ることが難しいが、本実施形態では、摩擦係数の小さい軸受である下定盤静圧軸受６が設けられているため、この空気供給穴２０から送られた空気の圧力によって、下定盤２は、回転と傾斜滑り双方の運動ができるように支持されている。
【００３３】
回転中心を支持されたロータ５とは別に、下定盤２、上定盤１およびケージリング４は、それぞれの摩擦力の差や径の違いによって回転中心の位置が異なる転がり運動を始め、ケージリング４内にある被加工物２４は、前記の各部材が起こす中心位置ずれ現象によって研磨加工が行われる。
このように上定盤１・下定盤２・ケージリング３は傾斜面に沿って滑り、被加工物２４は、上定盤１・下定盤２により両面が平面研磨される。
【００３４】
そして、傾斜角度を小さくしていくにつれて、上定盤１が被加工物２４に与える分力荷重も増大していく。このように本実施形態では、加工中でも荷重のコントロールが可能になり、被加工物２４に対する接近性も向上する。
また、本実施形態では研磨剤の回収も傾斜によりスラリー受け皿１８の下部に集まるので処理がしやすい。
【００３５】
以上本実施形態について図を参照しつつ説明した。
本実施形態は、回動するロータ５との接触摩擦により、上定盤１、下定盤２およびケージリング３がロータ５に従動して回動し重力により傾斜面を滑りながら、上定盤１および下定盤２が被加工物２４の両面を研磨する重力利用の摩擦転がり回転機構を有する形態であった。
【００３６】
しかしながら、図示しないものの、第１実施形態の上定盤１の外周部、下定盤２の外周部、ケージリング３の内周部、ケージリング３の外周部およびロータ５の内周部に、摩擦部材に代えて歯車が形成され、回動するロータ５との噛み合いにより、上定盤１、下定盤２およびケージリングはロータに従動して回動することで、上定盤１および下定盤２が被加工物の両面を研磨する回転機構を有するようにしてもよい。
この場合も、本発明の効果を奏しうるものである。
【００３７】
続いて、請求項７〜請求項１２の発明に係る第２実施形態の傾斜形平面研磨装置について図を参照しつつ説明する。本実施形態は、詳しくは、傾斜形片面研磨装置である。図３は本実施形態の傾斜形片面研磨装置の断面構成図、図４は本実施形態の傾斜形片面研磨装置のＢ矢視概略平面図である。図４では、ウェイトを取外し片面研磨用ケージとケージリング及び被加工物が見える状態にある。
【００３８】
本実施形態では、第１実施形態の上定盤１に代えてウエイト１６を使用する。まず、図４で示すように、被加工物保持穴１９を持たない片面研磨用ケージ２３の下面に被加工物２４を貼付けるなどの方法によって装着し、被加工物２４と下定盤２が接触する状態で下定盤２の上に配置する。
【００３９】
そして、図３で示すように、空気供給パイプ２６とロータリージョイント２５から送られた空気をウエイト１６の下面に設けたウェイト静圧軸受３０に導き、片面研磨用ケージ２３を回動自在にしつつ、ウェイト１６により加圧する。
このような状態でロータ５を回転させると、静圧状態のまま回転と傾斜滑りをしながらウェイト１６の荷重を被加工物２４に伝え、被加工物２４の片面を研磨する。
【００４０】
以上本実施形態について図を参照しつつ説明した。
しかしながら、図示しないものの、第２実施形態の下定盤２の外周部、ウェイト１６の外周部、ケージリング３の内周部、ケージリング３の外周部ならびにロータ５の内周部に、歯車が形成され、回動するロータ５との噛み合いにより、下定盤２とウェイト１６はケージリング３に従動し、またケージリング３はロータ５に従動して回動するようにして、下定盤２が被加工物の片面を研磨する回転機構を有するようにしてもよい。
この場合も、本発明の効果を奏しうるものである。
【００４１】
【発明の効果】
本発明の研磨装置は、摩擦力と重力と転がり運動を利用した簡単な構造であり、被加工物を保持するケージとケージリングが一体化されているため、従来の遊星運動方式で使用している被加工物を保持する歯車状キャリアの欠点であった歯先の材料強度不足から起こる破損事故などは無くなり、薄い被加工物であっても容易に加工することができる。さらに１枚の円盤から造られているケージには、同心円状に被加工物を保持する穴を設けることができるため無駄な空間がなくなり被加工物装填密度の向上が図れる。
【００４２】
総じて、本発明によれば、被加工物の数を増やし、かつ歯車状のキャリアを用いないようにした、新しい方案による傾斜形平面研磨装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の傾斜形両面研磨装置の断面構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態の傾斜形両面研磨装置のＡ矢視概略平面図である。
【図３】本発明の第２実施形態の傾斜形片面研磨装置の断面構成図である。
【図４】本発明の第２実施形態の傾斜形片面研磨装置のＢ矢視概略平面図である。
【図５】従来技術の遊星歯車方式平面研磨装置の構造図である。
【符号の説明】
１    上定盤
２    下定盤
３    ケージリング
４    ケージ
５    ロータ
６    下定盤静圧軸受
７    ピニオンギア
８    リングギア
９    減速機・モータ
１０  軸受
１１  支点
１２  ガイド穴
１３  角度調整機構
１４  傾斜ベース
１５  本体
１６  ウェイト
１７  ロータシャフト
１８  スラリー受け皿
１９  被加工物保持穴
２０  空気供給穴
２１  ジョイント
２２  ガイドシャフト
２３  片面研磨用ケージ
２４  被加工物
２５  ロータリージョイント
２６  空気供給パイプ
２７  インターナルギア
２８  キャリア
２９  太陽ギア
３０  ウェイト静圧軸受
【図１】
0003942956.tif 000002
【図２】
0003942956.tif 000003
【図３】
0003942956.tif 000004
【図４】
0003942956.tif 000005
【図５】
0003942956.tif 000006