(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ポート、第２ポート、及び前記第１ポートと前記第２ポートとの間に第３ポートが形成され、前記第１ポートに第１弁座が形成され、前記第２ポートに第２弁座が形成された弁本体と、
弾性平板であって、両端部に第１弁体と第２弁体とを備え、前記第１弁体を前記第１弁座に所定の力で当接させ、また、前記第２弁体を前記第２弁座に所定の力で当接させる弁体弾性平板と、
前記弁体弾性平板の中心部を保持し、揺動運動するための支点を備える揺動磁性片とを有し、
前記揺動磁性片の左端部が第１コアに当接することにより前記第２弁体を前記第２弁座に所定の力で当接させ、前記揺動磁性片の右端部が第２コアに当接することにより、前記第１弁体を前記第１弁座に所定の力で当接させることを特徴とする電磁弁。
【請求項２】
請求項１に記載する電磁弁において、
前記第１ポートと前記第２ポートに対して平行に配置された第１コイル及び第２コイルと、
前記第１コイルと前記第２コイルの間に固設された永久磁石とを有することを特徴とする電磁弁。
【請求項３】
請求項２に記載する電磁弁において、
前記第１コイルと前記第２コイルに第１方向に通電したときに、前記第１コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、前記第２コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、前記第１コイル側に前記揺動磁性片が吸引され、前記第２弁体が前記第２弁座に当接し、
前記第１コイルと前記第２コイルに前記第１方向と逆方向に通電したときに、前記第１コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、前記第２コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、前記第２コイル側に前記揺動磁性片が吸引され、前記第１弁体が前記第１弁座に当接し、
前記第１方向または前記第１方向と逆方向の通電が遮断されたときに、前記永久磁石が発生する磁束により、前記揺動磁性片が吸引され続けることを特徴とする電磁弁。
【請求項４】
請求項３に記載する電磁弁において、
前記揺動磁性片の前記第２コイル側の端部に、残磁キラーを配置し、
前記第１コイル及び第２コイルへ通電された後、通電が遮断されたときに、前記残磁キラーが、前記第２弁体を前記第２弁座に当接された状態から、前記第１弁体を前記第１弁座に当接した状態に自己復帰させることを特徴とする電磁弁。
【請求項５】
請求項４に記載する電磁弁において、
前記第１ポートを入力ポートとし、前記第３ポートを共通ポートとし、前記第２ポートを出力ポートとして、３方弁タイプとしたことを特徴とする電磁弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積可能な薄型形状の電磁弁に関し、さらに詳細には、厚みが５ｍｍ以下の薄型電磁弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程等において、ガス供給のための電磁弁を集積化して、ガス供給ユニット全体をコンパクトにすることが強く求められている。
そのため、スプールタイプの電磁弁をマニホールドに取り付けたユニットが使用されている。スプールタイプの電磁弁は、最も薄型のもので現在１０ｍｍ程度の厚みを有している。
【０００３】
一方、薄型形状の電磁弁に応用可能な技術として、実願昭５８−１４２３３０号のマイクロフィルム（実開昭６０−５１３７６号）に記載されたものが公知である。
図９に示すように、第１ポート１０１に第１弁座１０４が形成され、第２ポート１０３に、第２弁座１０５が形成され、第１ポート１０１と第２ポート１０３の間に第３ポート１０２が形成されている。また、支点１０８を支点として揺動可能に弁部材１０９が保持されており、弁部材１０９の下側には、第１ポート１０１に対応する位置に第１弁体１０６が固着され、第２ポート１０３に対応する位置に第２弁体１０７が固着されている。また、弁部材１０９の上側には、第１弁体１０６に対応して第１永久磁石１１１がＮ極を上向きにして固着され、第２弁体１０７に対応する位置に第２永久磁石１１０がＮ極を上向きにして固着されている。
また、全体を囲んで密閉状態を作り出しているボディ１１５には、電磁石１１２、第１磁気枠１１３、第２磁気枠１１４が固定されている。
【０００４】
次に、上記電磁弁の作用を説明する。電磁石への通電方向を変えることにより、第１磁気枠と第２磁気枠とで発生する磁束の極性を変化させている。第１永久磁石１１１と第２永久磁石１１０の両方共、電磁石に対向する面がＮ極であるため、電磁石への通電方向を変えることにより、第１永久磁石１１１または第２永久磁石１１０のいずれか一方を電磁石に吸引することができる。
これにより、第３ポート１０２を入力ポートとして使用することにより、この弁を三方弁として使用することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、実願昭５８−１４２３３０号に開示されているている電磁弁には、次のような問題点があった。
すなわち、弁部材１０９は明らかに剛性を有する部材である。もし、弁部材１０９が弾性体だと仮定すると、永久磁石が磁気枠に吸引されたときに、他端の弁体を弁座に押圧する力を伝達できないからである。
一方、永久磁石と磁気枠とを当接させることはできない。永久磁石を磁気枠に当接・衝突させると、永久磁石は脆い性質を持つので、破損する恐れが強いからである。そのため、図９に示すように、永久磁石と磁気枠との間に一定の隙間を形成している。
【０００６】
永久磁石と磁気枠との隙間が変化すると、吸引力は２乗で変化するため、わずかな隙間の変化が大きな吸引力の変化となってしまう。しかし、永久磁石側が可動部であるため、永久磁石と磁気枠との隙間を全ての製品で一定の公差内で製造することは困難であり、コストアップの原因となる問題があった。
そして、弁体が弁座に当接する押圧力が弱すぎると流体が漏れる恐れがあり、また、押圧力が強すぎると、繰り返し使用によりゴム製の弁体にへたりが発生し、やはり流体が漏れる問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、５ｍｍ程度の薄型電磁弁であって、繰り返し使用しても漏れの発生する恐れのない電磁弁を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の電磁弁は、耐久性、信頼性の高い薄型電磁弁を実現するために、次のような構成を有している。
（１）（ａ）第１ポート、第２ポート、及び第１ポートと第２ポートとの間に第３ポートが形成され、第１ポートに第１弁座が形成され、第２ポートに第２弁座が形成された弁本体と、（ｂ）弾性平板であって、両端部に第１弁体と第２弁体とを備え、第１弁体を第１弁座に所定の力で当接させ、また、第２弁体を第２弁座に所定の力で当接させる弁体弾性平板と、（ｃ）弁体弾性平板の中心部を保持し、揺動運動するための支点を備える揺動磁性片とを有する。
ここで、弁体弾性平板は、一枚の連続した平板でなくて、剛体の両側に一対の弾性平板の端部を取り付けたものであっても良い。
【０００９】
（２）（１）に記載する電磁弁において、前記第１ポートと前記第２ポートに対して平行に配置された第１コイル及び第２コイルと、前記第１コイルと前記第２コイルの間に固設された永久磁石とを有することを特徴とする電磁弁。
ここで、第１コイルと第２コイルとは、直列的に接続できるので、外観上単一のコイルとして、単一コイルの中間位置に永久磁石を配置しても良い。
また、第１コイルと第２コイルとに対する配線を別系統として、第１コイルと第２コイルとを別々に通電して揺動磁性片を駆動しても良い。この場合には、永久磁石は必ずしも必要としない。
ただし、請求項２のように、第１コイルと第２コイルとを直列に接続し、中間位置に永久磁石を配置すれば、消費電力を少なくする利点がある。
【００１０】
（３）（２）に記載する電磁弁において、（ａ）前記第１コイルと前記第２コイルに順方向に通電したときに、前記第１コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、前記第２コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、前記第１コイル側に前記揺動磁性片が吸引され、前記第２弁体が前記第２弁座に当接し、（ｂ）前記第１コイルと前記第２コイルに逆方向に通電したときに、前記第１コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、前記第２コイルで発生する磁束と、前記永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、前記第２コイル側に前記揺動磁性片が吸引され、前記第１弁体が前記第１弁座に当接し、（ｃ）前記順方向または逆方向の通電が遮断されたときに、前記永久磁石が発生する磁束により、前記揺動磁性片が吸引され続けることを特徴とする。
【００１１】
（４）（２）に記載する電磁弁において、前記揺動磁性片が、前記支点を中心に左右で均等でなく、前記第１コイル及び前記第２コイルに共に通電していないときに、前記揺動磁性片が第２コイル側に吸引されていることを特徴とする。
（５）（４）に記載する電磁弁において、前記揺動磁性片の前記第２コイル側の端部に、残磁キラーを配置し、前記第１コイル及び第２コイルへ通電された後、通電が遮断されたときに、前記残磁キラーが、前記第２弁体を前記第２弁座に当接された状態から、前記第１弁体を前記第１弁座に当接した状態に自己復帰させることを特徴とする。ここで、残磁キラーとは、非磁性体を材料として製作され、残留磁束を低減するためのものをいう。
【００１２】
（６）（４）または（５）に記載する電磁弁において、前記第２ポートを閉止状態としておき、前記第３ポートを入力ポートとし、前記第１ポートを出力ポートとして、ノーマルクローズタイプとしたことを特徴とする。
（７）（４）または（５）に記載する電磁弁において、前記第１ポートを閉止状態としておき、前記第３ポートを入力ポートとし、前記第２ポートを出力ポートとして、ノーマルオープンタイプとしたことを特徴とする。
（８）（４）または（５）に記載する電磁弁において、前記第１ポートを入力ポートとし、前記第３ポートを共通ポートとし、前記第２ポートを出力ポートとして、３方弁タイプとしたことを特徴とする。
【００１３】
上記構成を有する電磁弁は、次のように作用する。
第３ポートを入力ポートとし、第２ポート及び第１ポートを出力ポートとした場合、第１コイルと第２コイルの順方向に通電したときに、第１コイルで発生する磁束と、永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、第２コイルで発生する磁束と、永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、第１コイル側に揺動磁性片が吸引され、第２弁体が前記第２弁座に弁体弾性平板の変形量による所定の弾性力で押圧・当接し、第１ポートと第３ポートが連通して、第３ポートから入力された流体は第１ポートから出力される。
【００１４】
また、第１コイルと第２コイルに逆方向に通電したときに、第１コイルで発生する磁束と、永久磁石で発生する磁束とが反対方向で弱め合い、第２コイルで発生する磁束と、永久磁石で発生する磁束とが同方向で強め合い、第２コイル側に揺動磁性片が吸引され、第１弁体が第１弁座に弁体弾性平板の変形量による所定の弾性力で押圧・当接し、第２ポートと第３ポートが連通して、第３ポートから入力された流体は第２ポートから出力される。
さらに、順方向または逆方向の通電が遮断されたときに、永久磁石が発生する磁束により、揺動磁性片が吸引され続けるので、第１ポートまたは第２ポートからの流体の出力状態が自己保持される。
【００１５】
ここで、各弁体が弁座と当接するときの押圧力は弁体弾性平板の弾性力で決まっているため、各弁体は、常に所定の力で押圧するため、弁体が受ける繰り返し荷重により弁体が損傷する恐れが低減できる。また、揺動磁性片が磁気枠に当接して停止し、弁体の押圧力は弁体弾性平板の変形による弾性力で決まっているため、押圧力をほぼ同一範囲に設定することができ、流体の漏れや弁体のへたりの問題が解決できる。
【００１６】
また、例えば、揺動磁性片の磁気枠に当接する部分の第１コイル側に、残磁キラーを取り付けることにより、磁気回路に非磁性部分が形成されため、永久磁石により発生する磁束が、不均衡となり、コイルへの通電を遮断したときに、揺動磁性片を第２コイル側に吸引する磁束が、揺動磁性片を第１コイル側に吸引する磁束より大きくなるため、揺動磁性片は常に、第２コイル側に吸引された状態となる。すなわち、第２弁体が第２弁座に当接された状態で、通電が遮断されたときに、第１弁体が第１弁座に当接された状態に自己復帰される。
【００１７】
これにより、例えば、第２ポートを閉止状態にしておき、第３ポートを入力ポートとし、第１ポートを出力ポートとすることにより、ノーマルクローズタイプの電磁弁となる。
また、第１ポートに止め栓をして閉じて、第３ポートを入力ポートとし、第２ポートを出力ポートとすることにより、ノーマルオープンタイプの電磁弁となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る電磁弁９について、図面に基づいて詳細に説明する。
図１に３方弁タイプの電磁弁を示す。
図１に基づいて、電磁弁９の構成を説明する。弁本体１０には、第１ポート１１、第２ポート１２、及び第１ポート１１と第２ポート１２の中間位置の第３ポート１３が一直線上に形成されている。第１ポート１１の弁本体１０の内表面には、中央孔が第１ポート１１と連通する凸状の第１弁座１７が形成され、第２ポート１２の弁本体１０の内表面には、中央孔が第２ポート１２と連通する凸状の第２弁座１８が形成されている。
【００１９】
第１ポート１１、第２ポート１２、第３ポート１３に対して平行に第１コイル２２と第２コイル２３とが配置されている。第１コイル２２の左には、磁気回路を構成するための強磁性体からなる第１コア２５が固設されている。また、第２コイル２３の右には、磁気回路を構成するための強磁性体からなる第２コア２６が固設されている。
また、第１コイル２２と第２コイル２３の間の下側には、永久磁石２１が固設されている。また、第１コイル２２及び第２コイル２３には、配線２８が接続されている。
【００２０】
ここで、第１コイル２２と第２コイル２３とは、コイルの巻き方向が同じであり、かつ直列に配線されているので、第１コイル２２と第２コイル２３とに順方向に通電したときに、図１の矢印Ｃで示す方向に磁束が発生する。また、順方向と逆向きに通電したときに、図２の矢印Ｄで示す方向に磁束が発生する。
一方、永久磁石２１により、図１の矢印Ａ及び矢印Ｂに示す２つ磁束が常に形成されている。
永久磁石２１には、揺動中心凸部２７ａが形成されたブラケット２７が固設されている。揺動中心凸部２７ａは、ブラケット２７の中心位置に形成されている。
【００２１】
揺動磁性片２０には、揺動中心凹部２０ａが形成されいる。揺動中心凹部２０ａが、揺動中心凸部２７ａに係合しており、揺動磁性片２０が、揺動中心凹部２０ａを支点にして揺動可能に保持されている。すなわち、揺動磁性片２０は磁性体であり、永久磁石２１に吸引されて揺動可能に保持されている。
ブラケット２７の下面には、リン青銅等の弾性平板である弁体弾性平板１４の中心部が固定部１９により固定されている。弁体弾性平板１４の下面左端部には、ゴム等の弾性部材からなる第１弁体１５が固設されている。また、弁体弾性平板１４の下面右端部には、ゴム等の弾性部材からなる第２弁体１６が固設されている。図１の状態では、第１弁体１５が第１弁座１７に当接されている。
揺動磁性片２０及び弁体弾性平板１４が揺動する空間は、弁本体１０、両側の側面板２４、上板２９、及び図面と平行な板であって全体を覆う一対の図示しないカバー板により密閉されている。
【００２２】
本実施の形態の電磁弁９の外径寸法を図３に示す。縦３６ｍｍ、横２４ｍｍ、厚み５ｍｍである。図４に複数の電磁弁９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄを連結した場合の外観を斜視図で示す。
本実施の形態の電磁弁９によれば、（ａ）第１ポート１１、第２ポート１２、及び第１ポート１１と第２ポート１２との間に第３ポート１３が形成され、第１ポート１１に第１弁座１７が形成され、第２ポート１２に第２弁座１８が形成された弁本体１０と、（ｂ）弾性平板であって、両端部に第１弁体１５と第２弁体１６とを備え、第１弁体１５を第１弁座１７に所定の力で当接させ、また、第２弁体１６を第２弁座１８に所定の力で当接させる弁体弾性平板１４と、（ｃ）弁体弾性平板１４の中心部を保持し、揺動運動するための揺動中心凹部２０ａを備える揺動磁性片２０とを有しているので、５ｍｍの厚みの電磁弁を実現することができる。
【００２３】
次に、上記構成を有する電磁弁の作用を説明する。
第３ポート１３を入力ポートとし、第２ポート１２及び第１ポート１１を出力ポートとした場合、第１コイル２２と第２コイル２３の順方向に通電したときに、第１コイル２２で発生する磁束Ｃと、永久磁石２１で発生する磁束Ａとが同方向で強め合い、第２コイル２３で発生する磁束Ｃと、永久磁石２１で発生する磁束Ｂとが反対方向で弱め合うため、図２に示すように、第１コイル２２側に揺動磁性片２０が吸引され、第２弁体１６が第２弁座１８に弁体弾性平板１４の変形量による所定の弾性力で押圧・当接し、第１ポート１１と第３ポート１３が連通して、第３ポート１３から入力された流体は第１ポート１１から出力される。
そして、順方向の通電が遮断されたときには、永久磁石２１が発生する磁束Ａにより、揺動磁性片２０が吸引され続けるので、第１ポートからの流体の出力状態が自己保持される。
【００２４】
また、第１コイル２２と第２コイル２３に逆方向に通電したときに、第１コイル２２で発生する磁束Ｄと、永久磁石２１で発生する磁束Ａとが反対方向で弱め合い、第２コイル２３で発生する磁束Ｄと、永久磁石２１で発生する磁束Ｂとが同方向で強め合い、第２コイル２３に揺動磁性片２０が吸引され、図１に示すように、第１弁体１５が第１弁座１７に弁体弾性平板１４の変形量による所定の弾性力で押圧・当接し、第２ポート１２と第３ポート１３が連通して、第３ポート１３から入力された流体は第２ポート１２から出力される。
そして、逆方向の通電が遮断されたときには、永久磁石２１が発生する磁束Ｂにより、揺動磁性片２０が吸引され続けるので、第２ポートからの流体の出力状態が自己保持される。
【００２５】
ここで、第１弁体１５または第２弁体１６が、第１弁座１７または第２弁座１８と当接するときの押圧力は、弁体弾性平板１４の変形によるの弾性力で決まっているので、各弁体は、常に所定の力で弁座に押圧されるため、流体が漏れる恐れがない。また、弁体が受ける繰り返し荷重により弁体が損傷する恐れが低減できる。
また、揺動磁性片２０が第１コア２５または第２コア２６に当接して停止するので、弁体弾性平板１４の変形量は常に一定であり、第１弁体１５または第２弁体１６の押圧力は弁体弾性平板１４の変形による弾性力で決まっているため、押圧力をほぼ同一範囲に設定することができ、流体の漏れや弁体のへたりの問題が解決できる。
【００２６】
以上詳細に説明したように本実施の形態の電磁弁９によれば、（ａ）第１ポート１１、第２ポート１２、及び第１ポート１１と第２ポート１２との間に第３ポート１３が形成され、第１ポート１１に第１弁座１７が形成され、第２ポート１２に第２弁座１８が形成された弁本体１０と、（ｂ）弾性平板であって、両端部に第１弁体１５と第２弁体１６とを備え、第１弁体１５を第１弁座１７に所定の力で当接させ、また、第２弁体１６を第２弁座１８に所定の力で当接させる弁体弾性平板１４と、（ｃ）弁体弾性平板１４の中心部を保持し、揺動運動するための揺動中心凹部２０ａを備える揺動磁性片２０とを有しているので、自己保持タイプの５ｍｍ厚電磁弁を提供でき、弁体が弁座を押圧する力を常に一定とすることができるため、流体の漏れのない、また、耐久性の高い５ｍｍ電磁弁を提供することができる。
【００２７】
次に、本発明の第２の実施の形態の電磁弁９について、図５及び図６に基づいて説明する。第２の実施の形態の電磁弁９の構成は、ほとんど第１の実施の形態と同じなので、同じ部分ついては、同じ符号を付して説明を省略し、異なる点のみ説明する。
第１ポート１１に止め栓３０が取り付けられ、かつ揺動磁性片２０の第２コイル２３側の端部に残磁キラー３２を貼り付けて固定している。残磁キラー３２が貼り付けられていることにより、永久磁石２１により発生する磁束が第１コア２５と第２コア２６とで異なる。
すなわち、第１コイル２２で発生する磁束Ａの方が、第２コイル２３で発生する磁束Ｂより大きくなるため、第１コイル２２及び第２コイル２３に通電していない状態では、図５に示すように、揺動磁性片２０は常に第１コア２５に吸引された状態となる。
【００２８】
そして、第１ポート１１が止め栓３０により閉じられているので、第２ポート１２は非通電状態で閉じた状態であり、第３ポート１３と第２ポート１２とでノーマルクローズタイプの電磁弁となる。
すなわち、第１コイル２２と第２コイル２３に通電した状態では、第１実施の形態と同様に、揺動磁性片２０は、第２コア２６に吸引されている。その状態では、図６に示すように、第３ポート１３から入力した流体が第２ポート１２から出力している。
次に、通電を停止すると、揺動磁性片２０は、図５の状態に自己復帰するため、自己復帰型のノーマルクローズタイプ電磁弁となるのである。
【００２９】
次に、本発明の第３の実施の形態の電磁弁９について、図７及び図８に基づいて説明する。第３の実施の形態の電磁弁９の構成は、ほとんど第１の実施の形態と同じなので、同じ部分ついては、同じ符号を付して説明を省略し、異なる点のみ説明する。
第２ポート１２に止め栓３０が取り付けられ、かつ揺動磁性片２０の第２コイル２３側の端部に残磁キラー３２を貼り付けて固定している。残磁キラー３２が貼り付けられていることにより、永久磁石２１により発生する磁束が第１コア２５と第２コア２６とで異なる。
すなわち、第１コイル２２で発生する磁束Ａの方が、第２コイル２３で発生する磁束Ｂより大きくなるため、第１コイル２２及び第２コイル２３に通電していない状態では、図７に示すように、揺動磁性片２０は常に第１コア２５に吸引された状態となる。
【００３０】
そして、第２ポート１２が止め栓３０により閉じられているので、第１ポート１１は非通電状態で開いた状態であり、第３ポート１３と第１ポート１１とでノーマルオープンタイプの電磁弁となる。
すなわち、第１コイル２２と第２コイル２３に通電した状態では、第１実施の形態と同様に、揺動磁性片２０は、第２コア２６に吸引されている。その状態では、図８に示すように、第３ポート１３から入力した流体が第２ポート１２から出力しない。
次に、通電を停止すると、揺動磁性片２０は、図５の状態に自己復帰して、第３ポート１３から入力した流体が第２ポート１２から出力するため、自己復帰型のノーマルオープンタイプ電磁弁となるのである。
【００３１】
ここで、残磁キラー３２を取り付けた状態で、自己復帰型の３方弁として使用できることは当然である。
以上、第１から第３の実施の形態で説明したように、本発明の電磁弁９によれば、第１ポート１１または第２ポート１２を止め栓で塞ぐことにより、容易にノーマルクローズタイプ電磁弁、ノーマルオープンタイプ電磁弁を実現できるため、図４のように、同じ電磁弁を複数連結しておいて、止め栓を付けるだけで、任意の電磁弁９を３方弁、ノーマルクローズタイプ電磁弁、ノーマルオープンタイプ電磁弁として使い分けることができるため、コンパクトな電磁弁システムを構築することができる。
【００３２】
なお、この発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において以下のように実施することもできる。
例えば、本実施の形態では、揺動磁性片２０としてリン青銅平板を使用しているが、ＳＵＳ等の薄い平板を用いても良い。
また、本実施の形態では、揺動磁性片として鉄片を用いているが、電磁ステンレス鋼等を用いても良い。
また、本実施の形態では、永久磁石２１を第１コイル２２と第２コイル２３の間に１つ設けているが、２つにして第１コイル２２と第２コイル２３の外側等に配置しても同様である。
【００３３】
【発明の効果】
本発明の電磁弁によれば、（ａ）第１ポート、第２ポート、及び第１ポートと第２ポートとの間に第３ポートが形成され、第１ポートに第１弁座が形成され、第２ポートに第２弁座が形成された弁本体と、（ｂ）弾性平板であって、両端部に第１弁体と第２弁体とを備え、第１弁体を第１弁座に所定の力で当接させ、また、第２弁体を第２弁座に所定の力で当接させる弁体弾性平板と、（ｃ）弁体弾性平板の中心部を保持し、揺動運動するための支点を備える揺動磁性片とを有しているので、弁体が弁座を押圧する力を常に一定とすることができるため、流体の漏れのない、また、耐久性の高い５ｍｍ電磁弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の電磁弁９の逆方向に通電した状態を示す断面図である。
【図２】電磁弁９の順方向に通電した状態を示す断面図である。
【図３】電磁弁９の外径寸法を示す図である。
【図４】複数の電磁弁９を連結した状態を示す斜視図である。
【図５】第２の実施の形態のノーマルクローズタイプ電磁弁の非通電状態を示す断面図である。
【図６】ノーマルクローズタイプ電磁弁の通電状態を示す断面図である。
【図７】第３の実施の形態のノーマルオープンタイプ電磁弁の非通電状態を示す断面図である。
【図８】ノーマルオープンタイプ電磁弁の通電状態を示す断面図である。
【図９】従来の薄型電磁弁の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  弁本体
１１  第１ポート
１２  第２ポート
１３  第３ポート
１４  弁体弾性平板
１５  第１弁体
１６  第２弁体
１７  第１弁座
１８  第２弁座
２０  揺動磁性片
２１  永久磁石
２２  第１コイル
２３  第２コイル
【図１】
0004005175.tif 000002
【図２】
0004005175.tif 000003
【図３】
0004005175.tif 000004
【図４】
0004005175.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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