(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円板状に形成され、かつパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、
前記保持治具に保持されたパッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、
前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに一定角度ずつ断続的に回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記塗布手段に近づけて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記接着剤を塗布させる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、
前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記塗布手段に近づいた際の各保持治具と前記塗布手段との第１の位置ずれを予め記憶しておき、この第１の位置ずれに基いて前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに接着剤を塗布させることを特徴とする水晶振動子組立装置。
【請求項２】
前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段を備え、
前記制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第１の位置ずれと、に基いて、前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に接着剤を塗布させることを特徴とする請求項１記載の水晶振動子組立装置。
【請求項３】
円板状に形成され、かつ接着剤が塗布されたパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、
水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、
前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに断続的に一定角度回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記載置手段に近づけて、前記載置手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記水晶片を重ねさせる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、
前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記載置手段に近づいた際の各保持治具と前記載置手段との第２の位置ずれを予め記憶しておき、この第２の位置ずれに基いて前記載置手段に各保持治具に載置されたパッケージに前記水晶片を重ねさせることを特徴とする水晶振動子組立装置。
【請求項４】
前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段を備え、
前記制御手段は、前記第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、
前記第２の位置ずれと、に基いて、前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせることを特徴とする請求項３記載の水晶振動子組立装置。
【請求項５】
円板状に形成され、かつパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、
前記保持治具に保持されたパッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、
水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、
前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに一定角度ずつ断続的に回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記塗布手段に近づけて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記接着剤を塗布させるとともに、接着剤が塗布されたパッケージを順次前記載置手段に近づけて、前記載置手段に接着剤が塗布された各パッケージに順次前記水晶片を重ねさせる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、
前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記塗布手段に近づいた際の各保持治具と前記塗布手段との第１の位置ずれと、各保持治具が前記載置手段に近づいた際の各保持治具と前記載置手段との第２の位置ずれと、を予め記憶しておき、これら第１の位置ずれと第２の位置ずれとに基いて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージの適切な位置に接着剤を塗布させ、前記載置手段に前記接着剤が塗布されたパッケージの適切な位置に水晶片を重ねさせることを特徴とする水晶振動子組立装置。
【請求項６】
前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段と、
前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段と、を備え、
前記制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第１の位置ずれと、に基いて、前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に接着剤を塗布させ、かつ、
前記第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第２の位置ずれと、に基いて、前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせることを特徴とする請求項５記載の水晶振動子組立装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動素子としての水晶片をパッケージに取り付けて、電子機器としての携帯電話などに用いられる水晶振動子を組み立てる水晶振動子組立装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器としての携帯電話には、圧電振動素子としての水晶片を、パッケージ内に収容して構成される水晶振動子（水晶発振器ともいう）が用いられている。前記パッケージは、絶縁性を有する基板と、この基板上に実装される回路素子などを備えている。前述したパッケージに、前記水晶片を取り付ける装置として従来から種々の組立装置が用いられてきた。
【０００３】
前述した従来の組立装置は、前記パッケージの電極に導電性を有する接着剤を塗布し、この接着剤が硬化する前に前記水晶片を前記パッケージに重ねる。塗布した接着剤が硬化すると、前記水晶片は前記パッケージに固定される。このように、従来の組立装置は、前記パッケージに水晶片を取り付けてきた。
【０００４】
そこで、本発明の出願人は、前記パッケージを載置する保持治具を複数備えた回転テーブルと、前記保持治具に前記パッケージを搬入する搬入手段と、前記保持治具に載置されたパッケージに接着剤を塗布する塗布手段と、前記パッケージに水晶片を重ねる載置手段と、前記保持治具からパッケージを搬出する搬出手段と、を備え、前記回転テーブルが回転することにより、前記搬入手段と前記塗布手段と前記載置手段と前記搬出手段とに亘って、順に保持治具に載置したパッケージを搬送する組立装置を提案している。
【０００５】
前述した組立装置の回転テーブルは、円板状に形成されたテーブル本体と、前述した複数の保持治具と、を備えている。保持治具は、テーブル本体の外縁部に周方向に沿って等間隔に設けられている。
【０００６】
このため、回転テーブルは、前記保持治具に載置したパッケージを、前記搬入手段と前記塗布手段と前記載置手段と前記搬出手段とに亘って、順に搬送する際に、一定角度ずつ断続的に回転する。このように回転テーブルを回転させる駆動源として、周知のサーボモータが用いられる。この種のサーボモータは、磁石とコイルとのうち一方からなるロータと、他方からなるステータと、を備えている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したサーボモータは、一定角度ずつ前記回転テーブルを回転させようとしても、前述したロータ及びステータの取り付け精度などによって、前記一定角度から微小に角度がずれてしまう。すなわち、微小な角度ずれをしてしまう。このため、前述した組立装置は、回転テーブルが前記一定角度ずつ断続的に回転させると、保持治具が微小に角度がずれてしまう。すなわち、微小な角度ずれをしてしまう。
【０００８】
このため、前記組立装置は、各保持治具と前記塗布手段との間、及び各保持治具と前記載置手段との間に位置ずれが生じる。すると、前記塗布手段がパッケージの適切な位置に接着剤を塗布できなくなるとともに、前記載置手段が前記パッケージの適切な位置に水晶片を重ねられなくなる。このように、前述した組立装置では、水晶片のパッケージに対する取り付け位置がずれるなどして、組み立てた水晶振動子の歩留まりが低下する恐れがあった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、水晶振動子の歩留まりの低下を抑制できる水晶振動子組立装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決し目的を達成するために、請求項１に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、円板状に形成されかつパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、前記保持治具に保持されたパッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに一定角度ずつ断続的に回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記塗布手段に近づけて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記接着剤を塗布させる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記塗布手段に近づいた際の各保持治具と前記塗布手段との第１の位置ずれを予め記憶しておき、この第１の位置ずれに基いて前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに接着剤を塗布させることを特徴としている。
【００１１】
請求項２に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項１記載の水晶振動子組立装置において、前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段を備え、前記制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第１の位置ずれと、に基いて、前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に接着剤を塗布させることを特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、円板状に形成され、かつ接着剤が塗布されたパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに断続的に一定角度回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記載置手段に近づけて、前記載置手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記水晶片を重ねさせる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記載置手段に近づいた際の各保持治具と前記載置手段との第２の位置ずれを予め記憶しておき、この第２の位置ずれに基いて前記載置手段に各保持治具に載置されたパッケージに前記水晶片を重ねさせることを特徴としている。
【００１３】
請求項４に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項３記載の水晶振動子組立装置において、前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段を備え、前記制御手段は、前記第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第２の位置ずれと、に基いて、前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせることを特徴としている。
【００１４】
請求項５に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、円板状に形成されかつパッケージを載置する保持治具を外縁部に周方向に沿って等間隔に複数設けた回転テーブルと、前記保持治具に保持されたパッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、前記回転テーブルをその中心を通る軸線回りに一定角度ずつ断続的に回転させ、各保持治具に載置されたパッケージを順次前記塗布手段に近づけて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージに順次前記接着剤を塗布させるとともに、接着剤が塗布されたパッケージを順次前記載置手段に近づけて、前記載置手段に接着剤が塗布された各パッケージに順次前記水晶片を重ねさせる制御手段と、を備え、前記パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組立装置において、前記制御手段は、前記回転テーブルが断続的に回転して、各保持治具が前記塗布手段に近づいた際の各保持治具と前記塗布手段との第１の位置ずれと、各保持治具が前記載置手段に近づいた際の各保持治具と前記載置手段との第２の位置ずれと、を予め記憶しておき、これら第１の位置ずれと第２の位置ずれとに基いて、前記塗布手段に各保持治具に載置されたパッケージの適切な位置に接着剤を塗布させ、前記載置手段に前記接着剤が塗布されたパッケージの適切な位置に水晶片を重ねさせることを特徴としている。
【００１５】
請求項６に記載の本発明の水晶振動子組立装置は、請求項５記載の水晶振動子組立装置において、前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを撮像可能な第１の撮像手段と、前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段とを備え、前記制御手段は、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第１の位置ずれと、に基いて、前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に接着剤を塗布させ、かつ、前記第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、この相対的な位置と、前記第２の位置ずれと、に基いて、前記載置手段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせることを特徴としている。
【００１６】
請求項１に記載された本発明によれば、制御手段が、各保持治具が塗布手段の近傍に位置した際に、これらの各保持治具と塗布手段との第１の位置ずれを予め記憶している。塗布手段が、各保持治具の第１の位置ずれに基いて、各保持治具に載置されたパッケージに接着剤を塗布する。即ち、塗布手段は、第１の位置ずれを補正して、パッケージに接着剤を塗布する。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できる。
【００１７】
請求項２に記載された本発明によれば、第１の撮像手段が、保持治具とパッケージとを撮像する。制御手段が、保持治具とパッケージとの相対的な位置を求める。塗布手段が、保持治具とパッケージとの相対的な位置と、各保持治具の第１の位置ずれと、に基いて各保持治具に載置されたパッケージに接着剤を塗布する。即ち、塗布手段は、第１の位置ずれを補正することにくわえ、保持治具に対するパッケージの位置を補正して、パッケージに接着剤を塗布する。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を確実に塗布できる。
【００１８】
請求項３に記載された本発明によれば、制御手段が、各保持治具が載置手段の近傍に位置した際に、これらの各保持治具と載置手段との第２の位置ずれを予め記憶している。載置手段が、各保持治具の第２の位置ずれに基いて、各保持治具に載置されたパッケージに水晶片を重ねる。即ち、載置手段は、第２の位置ずれを補正して、パッケージに水晶片を重ねる。したがって、パッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。
【００１９】
請求項４に記載された本発明によれば、第２の撮像手段が、載置手段と水晶片とを撮像する。制御手段が、載置手段と水晶片との相対的な位置を求める。載置手段が、載置手段と水晶片との相対的な位置と、各保持治具の第２の位置ずれと、に基いて各保持治具に載置されたパッケージに水晶片を重ねる。即ち、載置手段は、第２の位置ずれを補正することにくわえ、載置手段に対する水晶片の位置を補正して、パッケージに水晶片を重ねる。したがって、パッケージの適切な位置に水晶片を確実に重ねることができる。
【００２０】
請求項５に記載された本発明によれば、制御手段が、各保持治具と塗布手段との第１の位置ずれと、各保持治具と載置手段との第２の位置ずれと、を予め記憶している。塗布手段が、第１の位置ずれを補正して、パッケージに接着剤を塗布する。載置手段が、第２の位置ずれを補正して、パッケージに水晶片を重ねる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できるとともに、パッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。
【００２１】
請求項６に記載された本発明によれば、第１の撮像手段が、保持治具とパッケージとを撮像して、制御手段が、保持治具とパッケージとの相対的な位置を求める。第２の撮像手段が、載置手段と水晶片とを撮像して、制御手段が、載置手段と水晶片との相対的な位置を求める。
【００２２】
塗布手段が、第１の位置ずれを補正することにくわえ、保持治具に対するパッケージの位置を補正して、パッケージに接着剤を塗布する。載置手段が、第２の位置ずれを補正することにくわえ、載置手段に対する水晶片の位置を補正して、パッケージに水晶片を重ねる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を確実に塗布できるとともに、パッケージの適切な位置に水晶片を確実に重ねることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装置１を、図１ないし図５０を参照して説明する。図１などに示す水晶振動子組立装置１は、図３及び図４などに示すパッケージとしてのセラミックパッケージ２に、圧電振動素子としての水晶片３（図５及び図６に示す）を取り付けて、水晶振動子（水晶発振器）を組み立てる装置である。
【００２４】
セラミックパッケージ２は、平面形状が矩形状に形成されており、セラミックなどからなる周知の絶縁基板と、回路素子などが積層されて構成されている。セラミックパッケージ２は、図３及び図４に示すように、外縁部が、他の部分より厚く形成されており、前記外縁部の内側に前記回路素子などと電気的に接続した電極５を複数設けている。
【００２５】
図５及び図６に示すように、セラミックパッケージ２の電極５に導電性を有する接着剤６が塗布される。該接着剤６によって水晶片３が、電極５と固定される。そして、接着剤６によって、電極５と水晶片３とは、電気的に接続する。
【００２６】
水晶振動子組立装置１は、前記セラミックパッケージ２の電極５に接着剤６を塗布して、水晶片３を電極５に固定する装置である。水晶振動子組立装置１は、図１及び図２に示すように、装置本体としてのフレーム１０と、搬送手段としての回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、計測カメラ１４と、塗布手段としての１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０と、制御手段としての制御装置６０と、を備えている。
【００２７】
フレーム１０は、図１などに示すように、工場などのフロア７上に載置される。フレーム１０は、板状のベース板８ａと、板状の天井板８ｂと、複数の扉９などを備えている。ベース板８ａは、水平方向に沿って略平坦に形成されている。
【００２８】
ベース板８ａ上には、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、計測カメラ１４と、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０と、が設置されている。
【００２９】
なお、ベース板８ａ上には、回転テーブル１１を中心として、時計回りに順に、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３と、後述の第１計測カメラ１４ａと、１次塗布ユニット１５と、後述の第２計測カメラ１４ｂと、水晶搬入ユニット１６及び水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、後述の第３計測カメラ１４ｃと、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０と、が設置されている。
【００３０】
天井板８ｂは、ベース板８ａの上方に間隔を存して設けられている。天井板８ｂは、水平方向に沿って略平坦に形成されている。扉９は、ベース板８ａと天井板８ｂとの間に設けられている。扉９は、ベース板８ａと天井板８ｂとの間の空間を、解放する位置と覆う位置とに亘って、ベース板８ａと天井板８ｂに回転自在に支持されている。即ち、扉９は、フレーム１０内を開閉する。又、フレーム１０は、制御装置６０を取り付けている。
【００３１】
回転テーブル１１は、図２に示すように、ベース板８ａの略中央に設けられている。回転テーブル１１は、図７及び図８に示すように、円板状のテーブル本体２１と、複数の保持治具２２と、駆動モータ２３と、を備えている。テーブル本体２１は、表面が水平方向に沿っている。テーブル本体２１は、その中心を通りかつ鉛直方向に沿う軸線Ｑ回りに回転自在に、ベース板８ａに支持されている。テーブル本体２１は、ベース板８ａに取り付けられた前述した駆動モータ２３によって、前記軸線Ｑ回りに回転される。
【００３２】
保持治具２２は、テーブル本体２１の外縁部に設けられている。保持治具２２は、軸線Ｑを中心とした周方向に沿って並設されている。なお、図示例では、保持治具２２は、前記周方向に沿って等間隔に、８個設けられている。保持治具２２は、図９などに示すように、治具本体２２ａと、円柱部２４と、治具本体２２ａと円柱部２４とを貫通した貫通孔２５（図９ないし図１１に示す）と、を備えている。
【００３３】
治具本体２２ａは、方体状に形成されかつテーブル本体２１の表面に、ボルトなどによって固定される。治具本体２２ａは、テーブル本体２１に固定されると、このテーブル本体２１の表面から上方に突出する。円柱部２４は、円柱状に形成されかつ治具本体２２ａから立設している。円柱部２４の治具本体２２ａから離れた上面２４ａは、平面形状が円形でかつ水平方向に沿って平坦に形成されている。なお、この上面２４ａには、セラミックパッケージ２が載置される。
【００３４】
また、貫通孔２５の一端は、図１０に示すように、テーブル本体２１に固定された治具本体２２ａの上面２４ａに開口している。貫通孔２５の他端側には、吸引手段を構成する吸引配管２６が連結している。吸引配管２６は、各保持治具２２からテーブル本体２１の中心方向に向かって延びている。吸引配管２６は、テーブル本体２１の中央部で、各保持治具２２に連結したもの同士が一体となって、吸引装置２７（図８に示す）に連結している。吸引装置２７として周知の真空ポンプを用いることができる。
【００３５】
吸引装置２７が、吸引配管２６及び貫通孔２５を通して、外気を吸引する。すると、後述するように、セラミックパッケージ２が、治具本体２２ａ即ち保持治具２２の上面２４ａに吸着される。
【００３６】
前述した構成の回転テーブル１１は、駆動モータ２３によって軸線Ｑを中心として、時計回り（図中の矢印Ｒに沿う方向）に回転されることによって、保持治具２２に保持したセラミックパッケージ２を、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３の近傍と、第１計測カメラ１４ａの近傍と、１次塗布ユニット１５の近傍と、第２計測カメラ１４ｂの近傍と、水晶搬入ユニット１６及び水晶載置ユニット１７の近傍と、２次塗布ユニット１８の近傍と、第３計測カメラ１４ｃの近傍と、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０の近傍に、順に搬送する。
【００３７】
即ち、回転テーブル１１は、セラミックパッケージ２を、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１３と、１次塗布ユニット１５と、水晶載置ユニット１７と、搬出ユニット１９及び取り出しユニット２０に、順に搬送する。
【００３８】
回転テーブル１１は、駆動モータ２３の回転駆動力によって、各保持治具２２が、第１計測カメラ１４ａと、１次塗布ユニット１５と、第２計測カメラ１４ｂと、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、第３計測カメラ１４ｃと、取り出しユニット２０の近傍に位置するように、断続的に回転する。回転テーブル１１は、３６０度を、保持治具２２の数で割って得られる一定角度ずつ、回転する。図示例では、回転テーブル１１は、保持治具２２を八つ備えているので、４５度ずつ回転する。
【００３９】
このとき、駆動モータ２３のロータとステータなどの取り付け精度などによって、４５度ずつ回転しようとしても、４５度より若干大きな角度回転したり、若干小さい角度回転したりする。このため、保持治具２２は、図５０中に点線で示す丁度４５度ずつ回転して本来位置すべき位置と、図５０中に実線で示す実際に位置する位置との間に誤差が生じる。この誤差は、回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線に沿う誤差Ｘａ１（Ｘａ２，Ｘａ３，Ｘａ４）と、テーブル本体２１の径方向に沿う誤差Ｙａ１（Ｙａ２，Ｙａ３，Ｙａ４）と、に分解される。
【００４０】
この種の誤差は、図７中に右端に位置する保持治具２２を第１治具２１ａとし、時計回りに順に第２治具２１ｂ、第３治具２１ｃ、第４治具２１ｄ、第５治具２１ｅ、第６治具２１ｆ、第７治具２１ｇ、第８治具２１ｈとすると、これらの各治具２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈが、各ユニット１３，１４ａ，１５，１４ｂ，１７，１８，１４ｃ，２０の近傍に位置した際に異なる。
【００４１】
即ち、一つの第１治具２１ａの場合、パッケージ載置ユニット１３の近傍に位置した際の誤差と、第１計測カメラ１４ａの近傍に位置した際の誤差と、１次塗布ユニット１５の近傍に位置した際の誤差と、第２計測カメラ１４ｂの近傍に位置した際の誤差と、水晶載置ユニット１７の近傍に位置した際の誤差と、２次塗布ユニット１８の近傍に位置した際の誤差と、第３計測カメラ１４ｃの近傍に位置した際の誤差と、取り出しユニット２０の近傍に位置した際の誤差と、が互いに異なる。
【００４２】
また、第１治具２１ａがパッケージ載置ユニット１３の近傍に位置した際の誤差と、第２治具２１ｂがパッケージ載置ユニット１３の近傍に位置した際の誤差とも、互いに異なる。
【００４３】
さらに、一つの第１治具２１ａでは、回転テーブル１１が複数回回転しても、各ユニット１３，１４ａ，１５，１４ｂ，１７，１８，１４ｃ，２０の近傍に位置した際の誤差は、毎回一定となる。
【００４４】
即ち、一つの第１治具２１ａでは、回転テーブル１１が複数回回転しても、パッケージ載置ユニット１３の近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、第１計測カメラ１４ａの近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、１次塗布ユニット１５の近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、第２計測カメラ１４ｂの近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、水晶載置ユニット１７の近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、２次塗布ユニット１８の近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、第３計測カメラ１４ｃの近傍に位置した際の誤差が毎回一定となり、取り出しユニット２０の近傍に位置した際の誤差が毎回一定となる。
【００４５】
以下、図５０に示す各保持治具２２が１次塗布ユニット１５の近傍に位置した際のテーブル本体２１の接線方向に沿った誤差をＸａ１とし、テーブル本体２１の径方向に沿った誤差をＹａ１とする。なお、これらの誤差Ｘａ１，Ｙａ１は本明細書に記した第１の位置ずれに相当する。各保持治具２２が水晶載置ユニット１７の近傍に位置した際のテーブル本体２１の接線方向に沿った誤差をＸａ２とし、テーブル本体２１の径方向に沿った誤差をＹａ２とする。なお、これらの誤差Ｘａ２，Ｙａ２は本明細書に記した第２の位置ずれに相当する。
【００４６】
各保持治具２２が２次塗布ユニット１８の近傍に位置した際のテーブル本体２１の接線方向に沿った誤差をＸａ３とし、テーブル本体２１の径方向に沿った誤差をＹａ３とする。各保持治具２２が取り出しユニット２０の近傍に位置した際のテーブル本体２１の接線方向に沿った誤差をＸａ４とし、テーブル本体２１の径方向に沿った誤差をＹａ４とする。
【００４７】
なお、前記誤差Ｘａ１，Ｘａ２，Ｘａ３，Ｘａ４，Ｙａ１，Ｙａ２，Ｙａ３，Ｙａ４は、図５０中に点線で示す回転テーブル１１が丁度４５度ずつ回転して本来位置すべき保持治具２２の上面２４ａの中心Ｃｂ１と、図５０中に実線で示す実際に位置する保持治具２２の上面２４ａの中心Ｃａ１と、の間隔である。
【００４８】
パッケージ搬入ユニット１２は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側に設けられている。パッケージ搬入ユニット１２には、回転テーブル１１の外周側から、トレー３６が供給される。トレー３６は、矩形状の平板状に形成されている。トレー３６は、表面に、多数のセラミックパッケージ２を、２次元のマトリック状に並べる。
【００４９】
パッケージ搬入ユニット１２は、図１２及び図１３に示すように、スライドシリンダ２８と、一対のガイドレール２９と、シリンダ３０と、一対のチャック３１ａ，３１ｂと、を備えている。スライドシリンダ２８は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った直線状のロッド３２と、ロッド３２に対しスライドするシリンダ本体３３と、を備えている。一対のガイドレール２９は、ロッド３２と平行である。シリンダ３０は、シリンダ本体３３に固定されたシリンダ本体３４と、このシリンダ本体３４から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド３５と、を備えている。一対のチャック３１ａ，３１ｂは、伸縮ロッド３５が伸縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー３６を挟む。
【００５０】
前述した構成のパッケージ搬入ユニット１２は、シリンダ本体３３が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド３５が伸長した後、縮小して、チャック３１ａ，３１ｂ間にトレー３６を挟む。そして、シリンダ本体３３内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体３３が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、パッケージ搬入ユニット１２は、トレー３６即ちセラミックパッケージ２を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。
【００５１】
パッケージ載置ユニット１３は、図２及び図１４などに示すように、パッケージ搬入ユニット１２の近傍に設けられている。パッケージ載置ユニット１３は、図１４及び図１５に示すように、移動部３７と、載置ヘッド部３８と、を備えている。
【００５２】
移動部３７は、図１４及び図１５に示すように、Ｙ軸駆動部３９と、Ｘ軸駆動部４０と、を備えている。Ｙ軸駆動部３９は、駆動モータ４１と、ボールねじ４２などを備えている。駆動モータ４１は、ベース板８ａに固定されている。
【００５３】
ボールねじ４２は、リードスクリュー４３と、ナット４４などを備えている。
リードスクリュー４３は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー４３は、長手方向が、一対のガイドレール２９とロッド３２と平行である。リードスクリュー４３は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー４３には、駆動モータ４１の出力軸が連結している。
【００５４】
ナット４４は、リードスクリュー４３の外周に螺合している。ナット４４は、リードスクリュー４３がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４４は、リードスクリュー４３が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【００５５】
Ｘ軸駆動部４０は、駆動モータ４５と、ボールねじ４６などを備えている。駆動モータ４５は、Ｙ軸駆動部３９のナット４４に固定されている。ボールねじ４６は、リードスクリュー４７と、ナット４８などを備えている。リードスクリュー４７は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー４７は、長手方向が、一対のガイドレール２９とロッド３２に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー４７の長手方向と、一対のガイドレール２９とロッド３２との双方の長手方向は、互いに直交している。
【００５６】
リードスクリュー４７は、周知の転がり軸受などによって、ナット４４に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー４７には、駆動モータ４５の出力軸が連結している。
【００５７】
ナット４８は、リードスクリュー４７の外周に螺合している。ナット４８は、リードスクリュー４７がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４８は、リードスクリュー４７が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接線に沿って、移動する。
【００５８】
載置ヘッド部３８は、図１４及び図１５などに示すように、Ｘ軸駆動部４０のナット４８に固定されている。載置ヘッド部３８は、図１６及び図１７に示すように、ヘッド部本体４９と、リニアガイドシリンダ５０と、吸着部５１と、チャックシリンダ５２と、一対のパッケージチャック５３と、を備えている。
【００５９】
ヘッド部本体４９は、断面Ｔ状の柱状に形成されており、長手方向が鉛直方向に沿っている。ヘッド部本体４９は、ナット４８に固定されており、該ナット４８から立設している。リニアガイドシリンダ５０は、ヘッド部本体４９に固定されたシリンダ本体５４と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体５４に固定されたレール５５と、レール５５に移動自在に支持されたスライダ５６と、を備えている。
【００６０】
リニアガイドシリンダ５０は、シリンダ本体５４内に加圧された気体が供給されると、スライダ５６がレール５５に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ５０は、シリンダ本体５４内に加圧された気体が供給されると、スライダ５６が昇降する。なお、スライダ５６は、図１６及び図１７に示す一対のパッケージチャック５３間に吸着部５１の後述する下端面５１ａが位置する上死点と、図１９及び図２０に示す下端面５１ａが一対のパッケージチャック５３間から下方に向かって突出した下死点と、に亘って、移動する。
【００６１】
吸着部５１は、リニアガイドシリンダ５０のスライダ５６に固定されている。吸着部５１は、リニアガイドシリンダ５０のスライダ５６から下方即ちトレー３６に向かって延在している。吸着部５１のトレー３６寄りの下端部には、貫通孔５７（図１８に示す）が設けられている。
【００６２】
貫通孔５７は、一端が吸着部５１のトレー３６寄りの下端面５１ａに開口しており、他端には配管が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置などと連結している。吸着部５１は、前記真空ポンプが貫通孔５７などを通して外気を吸い込んで、セラミックパッケージ２を前記下端面５１ａに吸着する。
【００６３】
チャックシリンダ５２は、ヘッド部本体４９に固定されている。チャックシリンダ５２は、一対のパッケージチャック５３を接離させる。一対のパッケージチャック５３は、水平方向に沿って並設されている。一対のパッケージチャック５３は、図１８に示すように、互いの間に吸着部５１の下端部を挟む位置に設けられている。一対のパッケージチャック５３は、互いに近づくと、図１８に示すように、吸着部５１に吸着したセラミックパッケージ２を挟む。
【００６４】
前述した構成のパッケージ載置ユニット１３は、Ｙ軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４０の駆動モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５１ａを、トレー３６上の所望のセラミックパッケージ２に相対させる。このとき、スライダ５６は前述した上死点に位置している。
【００６５】
そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動して、スライダ５６を下死点に移動させるとともに、吸引装置を駆動して貫通孔５７を通して外気を吸い込む。すると、下端面５１ａは、図１９及び図２０に示すように、一対のパッケージチャック５３から下方に突出し、該下端面５１ａにセラミックパッケージ２が吸着する。
【００６６】
そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動して、スライダ５６を上死点に移動させるとともに、Ｙ軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４０の駆動モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５１ａ即ちセラミックパッケージ２を、回転テーブル１１の保持治具２２に相対させる。スライダ５６を下死点に移動させるとともに、吸引装置を停止する。下端面５１ａに吸着されていたセラミックパッケージ２が、保持治具２２上に載置される。
【００６７】
このように、パッケージ載置ユニット１３は、パッケージ搬入ユニット１２によって搬入されたセラミックパッケージ２を、トレー３６から保持治具２２即ち回転テーブル１１に移送して、該保持治具２２に載置する。なお、前記パッケージ搬入ユニット１２とパッケージ載置ユニット１３とは、搬入手段を構成している。
【００６８】
計測カメラ１４は、図２及び図２１に示すように、回転テーブル１１の外周側に設けられている。計測カメラ１４は、図示例では、三つ設けられている。一つの計測カメラ１４（以下第１計測カメラ１４ａと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、パッケージ搬入ユニット１２と１次塗布ユニット１５との間に設けられている。
【００６９】
他の一つの計測カメラ１４（以下第２計測カメラ１４ｂと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、１次塗布ユニット１５と水晶搬入ユニット１６との間に設けられている。残りの計測カメラ１４（以下第３計測カメラ１４ｃと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９との間に設けられている。なお、これらの計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、構成及び機能が同一である。
【００７０】
計測カメラ１４（１４ａ，１４ｂ，１４ｃ）は、図２１及び図２２に示すように、ユニット本体６１と、ＣＣＤカメラ６２と、光源ランプ６３と、を備えている。ユニット本体６１は、ベース板８ａに固定されている。ユニット本体６１は、ベース板８ａから立設した柱状に形成されている。ＣＣＤカメラ６２は、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２を撮像可能である。光源ランプ６３は、ハーフミラー６４などを介して、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２に光を当てることが可能である。
【００７１】
第１計測カメラ１４ａは、パッケージ載置ユニット１３によって保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２を撮像して、該保持治具２２上のセラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。第１計測カメラ１４ａは、本明細書の特許請求の範囲などに記載された第１の撮像手段をなしている。
【００７２】
第２計測カメラ１４ｂは、１次塗布ユニット１５によって電極５に接着剤６が塗布されたセラミックパッケージ２を撮像して、該セラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。第３計測カメラ１４ｃは、水晶載置ユニット１７によって水晶片３が重ねられたセラミックパッケージ２を撮像して、該セラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって出力する。
【００７３】
１次塗布ユニット１５は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って第１計測カメラ１４ａの隣りに設けられている。１次塗布ユニット１５は、図２３ないし図２５に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、調整部６７と、を備えている。
【００７４】
移動部６５は、図２３ないし図２５に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備えている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボールねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース板８ａに固定されている。
【００７５】
ボールねじ７１は、リードスクリュー７２と、ナット７３などを備えている。
リードスクリュー７２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。
【００７６】
ナット７３は、リードスクリュー７２の外周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７２の長手方向に沿って移動する。
【００７７】
Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールねじ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿っている。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互いに直交している。
【００７８】
リードスクリュー７６は、周知の転がり軸受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モータ７４の出力軸が連結している。
【００７９】
ナット７７は、リードスクリュー７６の外周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【００８０】
塗布ヘッド部６６は、図２３ないし図２５に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成されている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設している。
【００８１】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えている。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定されている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在している。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されている。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移動自在に、該レール８２に支持されている。
【００８２】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３が昇降する。
【００８３】
なお、スライダ８３は、上死点と下死点とに亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点では、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づいて前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。
【００８４】
塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７とを備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡大させる。
【００８５】
注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えており、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供給源と連結した配管９０が連結している。
【００８６】
調整部６７は、図２３に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられている。調整部６７は、図２６及び図２７に示すように、ベース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロメータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４と、を備えている。
【００８７】
第１マイクロメータヘッド９３は、筒状のケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に取り付けられている。
【００８８】
つまみ１０１は、ケース１００の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されている。
【００８９】
スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転するのに連動して、ケース１００から外方向に突出したり、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されている。
【００９０】
第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａは、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置する。
【００９１】
第２マイクロメータヘッド９４は、筒状のケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り付けられている。
【００９２】
つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されている。
【００９３】
スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出したり、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通孔９８ｂ内に挿入されている。
【００９４】
第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容して、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピンドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８ａと同一平面上に位置する。
【００９５】
前述した構成の１次塗布ユニット１５は、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の電極５に導電性を有する接着剤６を塗布する前に、前記スライダ８３の下死点での針先８９ａの高さを調整する。このとき、注射筒支持部８５に支持された注射筒８４は、針先８９ａが、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５の先端面１０５ａに相対している。さらに、前記スライダ８３は下死点に位置している。
【００９６】
まず、第１マイクロメータヘッド９３のスピンドル１０２と、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５と、を下死点まで下げる。すると、調整台９２の上面９８ａと保持治具２２の上面２４ａとが同一平面上に位置し、スピンドル１０５の先端面１０５ａと調整台９２の上面９８ａとが同一平面上に位置する。
【００９７】
セラミックパッケージ２の底面から電極５までの高さ分、第１マイクロメータヘッド９３のスピンドル１０２を上昇させる。すると、前記電極５と、調整台９２の上面９８ａと、が同一平面上に位置する。さらに、接着剤６を塗布する際の適切な針先８９ａと電極５との間隔分、第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５を上昇させる。
【００９８】
その後、ボルト８７をゆるめて、針先８９ａを第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５の先端面１０５ａに当接させる。この状態で、再度ボルト８７を閉めて、注射筒８４をスライダ８３に固定する。このように、針先８９ａと電極５との間隔を、塗布する接着剤６に応じて定められる適切な間隔とする。
【００９９】
そして、１次塗布ユニット１５は、セラミックパッケージ２の電極５に接着剤６を塗布する際には、まず、リニアガイドシリンダ７９を駆動してスライダ８３を上死点まで上昇させる。その後、Ｘ軸駆動部６８の駆動モータ７０と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７４を駆動して、針先８９ａを保持治具２２上のセラミックパッケージ２の電極５に相対させる。
【０１００】
そして、リニアガイドシリンダ７９を駆動してスライダ８３を下死点まで下降させるとともに、加圧気体供給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給する。なお、この加圧気体の供給量は、電極５に塗布される接着剤６の量に応じて定められる。すると、スライダ８３の下死点での、針先８９ａと電極５との間隔が適切な間隔となっているので、適切な量の接着剤６が電極５の適切な位置に塗布される。
【０１０１】
さらに、Ｘ軸駆動部６８の駆動モータ７０と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７４を駆動するなどして、セラミックパッケージ２の他の電極５に、先ほどと同様に接着剤６を塗布する。
【０１０２】
水晶搬入ユニット１６は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って前記第２計測カメラ１４ｂの隣りに設けられている。水晶搬入ユニット１６には、回転テーブル１１の外周側からトレー１０６が供給される。トレー１０６は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１０６は、表面に、多数の水晶片３を、２次元のマトリック状に並べる。
【０１０３】
水晶搬入ユニット１６は、図２８及び図２９に示すように、スライドシリンダ１１０と、一対のガイドレール１１１と、シリンダ１１２と、一対のチャック１１３ａ，１１３ｂと、を備えている。スライドシリンダ１１０は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った直線状のロッド１１４と、ロッド１１４に対しスライドするシリンダ本体１１５と、を備えている。一対のガイドレール１１１は、ロッド１１４と平行である。シリンダ１１２は、シリンダ本体１１５に固定されたシリンダ本体１１６と、このシリンダ本体１１６から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド１１７と、を備えている。一対のチャック１１３ａ，１１３ｂは、伸縮ロッド１１７が伸縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー１０６を挟む。
【０１０４】
前述した構成の水晶搬入ユニット１６は、シリンダ本体１１５が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１１７が伸長した後縮小して、チャック１１３ａ，１１３ｂ間にトレー１０６を挟む。そして、シリンダ本体１１５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１１５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、水晶搬入ユニット１６は、トレー１０６即ち水晶片３を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。なお、トレー１０６は、一対のガイドレール１１１上を搬送される。
【０１０５】
水晶載置ユニット１７は、図２及び図３０などに示すように、水晶搬入ユニット１６の近傍に設けられている。水晶載置ユニット１７は、図３０及び図３１に示すように、移動部１２７と、載置ヘッド部１２８と、水晶計測カメラ１２６（図３２に示す）とを備えている。
【０１０６】
移動部１２７は、図３０及び図３１に示すように、Ｙ軸駆動部１２９と、Ｘ軸駆動部１３０と、を備えている。Ｙ軸駆動部１２９は、駆動モータ１３１と、ボールねじ１３２などを備えている。駆動モータ１３１は、ベース板８ａに固定されている。
【０１０７】
ボールねじ１３２は、リードスクリュー１３３と、ナット１３４などを備えている。リードスクリュー１３３は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１３３は、長手方向が、一対のガイドレール１１１とロッド１１４と平行である。リードスクリュー１３３は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１３３には、駆動モータ１３１の出力軸が連結している。
【０１０８】
ナット１３４は、リードスクリュー１３３の外周に螺合している。ナット１３４は、リードスクリュー１３３がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１３３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１３４は、リードスクリュー１３３が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【０１０９】
Ｘ軸駆動部１３０は、駆動モータ１３５と、ボールねじ１３６などを備えている。駆動モータ１３５は、Ｙ軸駆動部１２９のナット１３４に固定されている。ボールねじ１３６は、リードスクリュー１３７と、ナット１３８などを備えている。リードスクリュー１３７は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１３７は、長手方向が、一対のガイドレール１１１とロッド１１４に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー１３７の長手方向と、一対のガイドレール１１１とロッド１１４との双方の長手方向は、互いに直交している。
【０１１０】
リードスクリュー１３７は、周知の転がり軸受などによって、ナット１３４に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１３７には、駆動モータ１３５の出力軸が連結している。
【０１１１】
ナット１３８は、リードスクリュー１３７の外周に螺合している。ナット１３８は、リードスクリュー１３７がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１３７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１３８は、リードスクリュー１３７が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接線に沿って、移動する。
【０１１２】
載置ヘッド部１２８は、図３０に示すように、Ｘ軸駆動部１３０のナット１３８に固定されている。載置ヘッド部１２８は、図３３及び図３４に示すように、ヘッド部本体１３９と、昇降モータ１４０と、吸着部１４１とを備えている。
【０１１３】
ヘッド部本体１３９は、ナット１３８に固定されている。ヘッド部本体１３９は、平板状に形成されており、ナット１３８から立設している。昇降モータ１４０は、ヘッド部本体１３９に固定されており、その出力軸１４０ａにピニオン１４２が取付られている。
【０１１４】
吸着部１４１は、平板状の吸着部本体１４３と、ラック１４４と、回転モータ１２５と、吸着ノズル１４５と、を備えている。吸着部本体１４３は、リニアガイド１４６を介して、ヘッド部本体１３９に取り付けられている。
【０１１５】
リニアガイド１４６は、レール１４７と、スライダ１４８とを備えている。レール１４７は、長手方向が鉛直方向に沿っている。レール１４７は、ヘッド部本体１３９に取り付けられている。スライダ１４８は、レール１４７の長手方向に沿って移動自在に、レール１４７に支持されている。スライダ１４８は、吸着部本体１４３に固定されている。
【０１１６】
ラック１４４は、長手方向が鉛直方向に沿っている。ラック１４４は、吸着部本体１４３に固定されている。ラック１４４は、ピニオン１４２と噛み合っている。このような構成によって、吸着部本体１４３は、昇降モータ１４０の回転駆動力によって、昇降する。即ち、吸着部１４１は、トレー１０６及び保持治具２２に接離自在となっている。なお、吸着部１４１は、図３４に示す上死点と図３５に示す下死点とに亘って移動する。
【０１１７】
回転モータ１２５は、出力軸１２５ａが鉛直方向に沿った状態で、吸着部本体１４３に固定されている。吸着ノズル１４５は、図３４及び図３５に示すように、ノズル本体２１１と、ノズル部２１２と、を備えている。ノズル本体２１１は、方体状に形成されかつ出力軸１２５ａに連結しているとともに、吸着部本体１４３に前記出力軸１２５ａ回りに回転自在に支持されている。ノズル本体２１１は、出力軸１２５ａから下方に向かって延在している。
【０１１８】
ノズル部２１２は、ノズル本体２１１の出力軸１２５ａから離れた端部に取り付けられている。ノズル部２１２は、図３４、図３５及び図４５に示すように、前記出力軸１２５ａから離れるのにしたがって、即ち保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２に向かうにしたがって徐々に細くなる載置手段としての先細部２１３を備えている。
【０１１９】
先細部２１３の先端面２１３ａは、水平方向に沿って平坦に形成されている。先端面２１３ａは、図４６及び図４７などに示すように、小判状に形成されている。また、先細部２１３は、図４６に示すように、平面形状が小判状に形成されている。
【０１２０】
また、先細部２１３は、図４６及び図４７に示すように、複数の第２の貫通孔１４９と、複数の凹溝２１５と、を備えている。第２の貫通孔１４９は、先端面２１３ａの長手方向に沿って並設されている。第２の貫通孔１４９は、小判状の先端面２１３ａの幅方向の中央に設けられている。なお、図示例では、第２の貫通孔１４９は、二つ設けられている。
【０１２１】
第２の貫通孔１４９は、それぞれ、一端が先細部２１３の先端面２１３ａに開口している。第２の貫通孔１４９は、前記先細部２１３内で互いに一対となって、他端に図示しない配管が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置などと連結している。
【０１２２】
凹溝２１５は、先端面２１３ａから凹に形成されている。凹溝２１５は、図４７などに示すように、一端が第２の貫通孔１４９に開口している。凹溝２１５は、一つの第２の貫通孔１４９に対し二つ設けられている。一つの第２の貫通孔１４９に設けられた凹溝２１５は、該第２の貫通孔１４９から先端面２１３ａの幅方向に沿って間隔を存する外縁２１３ｂに亘って形成されている。凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａの外縁２１３ｂに開口している。即ち、一つの第２の貫通孔１４９に設けられた凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａの互いに逆側に位置する外縁２１３ｂに開口している。
【０１２３】
水晶載置ユニット１７は、前記真空ポンプなどの吸引装置が第２の貫通孔１４９などを通して外気を吸い込んで、水晶片３を前記先端面２１３ａに吸着する。このとき、凹溝２１５は、吸着ノズル１４５のノズル部２１２の外側と、前記第２の貫通孔１４９内と、を互いに連通する。即ち、凹溝２１５は、第２の貫通孔１４９内と、外気とを連通している。さらに、前記先端面２１３ａに水晶片３を吸着している間には、前記真空ポンプなどの吸引装置は、前記第２の貫通孔１４９及び凹溝２１５を通して、外気を吸引している。
【０１２４】
また、水晶載置ユニット１７は、前記先端面２１３ａに吸着した水晶片３を、セラミックパッケージ２に重ねる場合には、前記真空ポンプなどの吸引装置が吸引を停止するとともに第２の貫通孔１４９などを通して気体を排出する。このように、先細部２１３は、先端面２１３ａに水晶片３を吸着して水晶片３を保持する。また、先細部２１３は、先端面２１３ａに吸着した水晶片３を先端面２１３ａから離してセラミックパッケージ２に重ねる。
【０１２５】
水晶計測カメラ１２６は、回転テーブル１１と水晶搬入ユニット１６との双方の近傍に設けられている。水晶計測カメラ１２６は、図３２に示すように、ＣＣＤカメラ１５２と、光源ランプ１５３と、を備えている。
【０１２６】
ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに固定されている。ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに対し立設している。ＣＣＤカメラ１５２は、レンズの対物側が上方に相対している。ＣＣＤカメラ１５２は、上方に吸着ノズル１４５が位置すると、前記先端面２１３ａに吸着された水晶片３を撮像可能である。
【０１２７】
光源ランプ１５３は、水晶計測カメラ１２６の上端部に取り付けられている。光源ランプ１５３は、ハーフミラー１５４などを介して、上方に向かって光りを照射する。光源ランプ１５３は、上方に吸着ノズル１４５が位置すると、前記先端面２１３ａに吸着された水晶片３に光をあてることが可能である。
【０１２８】
なお、前述した構成の水晶計測カメラ１２６は、本明細書の特許請求の範囲に記載された第２の撮像手段をなしている。
【０１２９】
前述した構成の水晶載置ユニット１７は、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５を駆動して、吸着部１４１の先端面２１３ａを、トレー１０６上の所望の水晶片３に相対させる。なお、このとき、スライダ１４８即ち吸着部１４１は前述した上死点に位置している。
【０１３０】
そして、昇降モータ１４０を駆動して、スライダ１４８即ち吸着部１４１を下死点に移動させるとともに、吸引装置を駆動して第２の貫通孔１４９を通して外気を吸い込む。すると、図３５に示すように、吸着部１４１が下降するとともに、先端面２１３ａに水晶片３が吸着する。
【０１３１】
そして、昇降モータ１４０を駆動して、スライダ１４８即ち吸着部１４１を上死点に移動させるとともに、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５とを駆動して、先端面２１３ａを水晶計測カメラ１２６の上方に位置させる。水晶計測カメラ１２６が撮像した映像に基いて、前記先端面２１３ａと水晶片３との相対的な位置関係を求める。
【０１３２】
その後、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５と回転モータ１２５を駆動して、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の所望の位置に、吸着した水晶片３を相対させる。スライダ１４８を下死点に移動させるとともに、吸引装置を停止する。
【０１３３】
先端面２１３ａに吸着されていた水晶片３が、セラミックパッケージ２上に重ねられる。第１計測カメラ１４ａの映像から得た保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置と、前記水晶計測カメラ１２６の映像から得た先端面２１３ａと水晶片３との相対的な位置と、に基いて、セラミックパッケージ２に水晶片３を位置決めする。
【０１３４】
このように、水晶載置ユニット１７は、水晶搬入ユニット１６によって搬入された水晶片３を、トレー１０６から取り出して、接着剤６が塗布されたセラミックパッケージ２に重ねる。
【０１３５】
２次塗布ユニット１８は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１の周方向に沿って水晶搬入ユニット１６の隣りに設けられている。２次塗布ユニット１８は、図３６ないし図３８に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、調整部６７と、を備えている。なお、移動部６５と塗布ヘッド部６６と調整部６７とは、前述した１次塗布ユニット１５と構成がほぼ同一であるので、同一箇所には同一符号を付して説明する。
【０１３６】
移動部６５は、図３６ないし図３８に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備えている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボールねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース板８ａに固定されている。
【０１３７】
ボールねじ７１は、リードスクリュー７２と、ナット７３などを備えている。
リードスクリュー７２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。
【０１３８】
ナット７３は、リードスクリュー７２の外周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７２の長手方向に沿って移動する。
【０１３９】
Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールねじ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿っている。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互いに直交している。
【０１４０】
リードスクリュー７６は、周知の転がり軸受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モータ７４の出力軸が連結している。
【０１４１】
ナット７７は、リードスクリュー７６の外周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【０１４２】
塗布ヘッド部６６は、図３６ないし図３８に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成されている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設している。
【０１４３】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えている。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定されている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在している。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されている。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移動自在に、該レール８２に支持されている。
【０１４４】
リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８３が昇降する。
【０１４５】
なお、スライダ８３は、上死点と下死点とに亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置されたセラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点では、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づいて前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。
【０１４６】
塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７とを備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡大させる。
【０１４７】
注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えており、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供給源と連結した配管９０が連結している。
【０１４８】
調整部６７は、図３６に示すように、Ｘ軸駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられている。調整部６７は、図３７及び図３８に示すように、ベース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロメータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４と、を備えている。
【０１４９】
第１マイクロメータヘッド９３は、筒状のケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に取り付けられている。
【０１５０】
つまみ１０１は、ケース１００の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されている。
【０１５１】
スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転するのに連動して、ケース１００から外方向に突出したり、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されている。
【０１５２】
第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａは、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置する。
【０１５３】
第２マイクロメータヘッド９４は、筒状のケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り付けられている。
【０１５４】
つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されている。
【０１５５】
スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出したり、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンドル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通孔９８ｂ内に挿入されている。
【０１５６】
第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容して、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピンドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８ａと同一平面上に位置する。
【０１５７】
前述した構成の２次塗布ユニット１８は、前記セラミックパッケージ２に接着固定された水晶片３に、さらに導電性の接着剤６を塗布するユニットである。なお、２次塗布ユニット１８が接着剤６を塗布する位置は、前記電極５の上方に位置する水晶片３の表面である。
【０１５８】
また、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布は、セラミックパッケージ２に対する水晶片３の接着強度を向上させるためなどに行われる。このため、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布は、組み立てる水晶振動子の品番に応じて行われる。したがって、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布が行われる水晶振動子もあり、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布が必要ない水晶振動子もある。
【０１５９】
２次塗布ユニット１８においても、前述した１次塗布ユニット１５と同様に、セラミックパッケージ２の底面からの電極５の高さに応じて、前記調整部６７を用いて、注射筒８４の位置が調整される。そして、２次塗布ユニット１８は、１次塗布ユニット１５と同様に、必要に応じてＹ軸駆動部６９の駆動モータ７４とＸ軸駆動部６８の駆動モータ７０とを駆動し、加圧気体供給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給して、所望箇所に、接着剤６を塗布する。
【０１６０】
搬出ユニット１９は、図２に示すように、回転テーブル１１の外周側でかつ、この回転テーブル１１の周方向に沿って第３計測カメラ１４ｃと、パッケージ搬入ユニット１２と、の間に設けられている。
【０１６１】
搬出ユニット１９は、回転テーブル１１の外周側からトレー１６９が供給される。トレー１６９は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１６９は、表面に、取り出しユニット２０によって保持治具２２から取り外された水晶片３付きのセラミックパッケージ２が、２次元のマトリック状に並べられる。
【０１６２】
搬出ユニット１９は、図３９及び図４０に示すように、スライドシリンダ１７０と、一対のガイドレール１７１と、シリンダ１７２と、一対のチャック１７３ａ，１７３ｂと、を備えている。スライドシリンダ１７０は、長手方向が回転テーブル１１から離れる方向に沿った直線状のロッド１７４と、ロッド１７４に対しスライドするシリンダ本体１７５と、を備えている。一対のガイドレール１７１は、ロッド１７４と平行である。シリンダ１７２は、シリンダ本体１７５に固定されたシリンダ本体１７６と、このシリンダ本体１７６から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド１７７と、を備えている。一対のチャック１７３ａ，１７３ｂは、伸縮ロッド１７７が伸縮すると、鉛直方向に沿って互いに接離して、互いの間にトレー１６９を挟む。
【０１６３】
前述した構成の搬出ユニット１９は、シリンダ本体１７５が、回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１７７が伸長した後縮小して、チャック１７３ａ，１７３ｂ間にトレー１６９を挟む。そして、シリンダ本体１７５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１７５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動する。こうして、搬出ユニット１９は、トレー１６９を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。
【０１６４】
また、取り出しユニット２０によって、保持治具２２上の水晶片３付きのセラミックパッケージ２が取り外されて、トレー１６９上に載置される。その後、トレー１６９上に水晶片３付きのセラミックパッケージ２が所定数以上載置されると、シリンダ本体１７５内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１７５が回転テーブル１１のテーブル本体２１から離れる。このように、搬出ユニット１９は、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を、水晶振動子組立装置１の外方向に搬送する。その後、水晶片３付きのセラミックパッケージ２は、水晶振動子の組立工程の後工程に向かって搬送される。
【０１６５】
取り出しユニット２０は、図２及び図４１に示すように、搬出ユニット１９の近傍に設けられている。取り出しユニット２０は、図４１及び図４２に示すように、移動部１８０と、取り出しヘッド部１８１と、を備えている。移動部１８０は、図４１及び図４２に示すように、Ｙ軸駆動部１８２と、Ｘ軸駆動部１８３と、を備えている。Ｙ軸駆動部１８２は、駆動モータ１８４と、ボールねじ１８５などを備えている。駆動モータ１８４は、ベース板８ａに固定されている。
【０１６６】
ボールねじ１８５は、リードスクリュー１８６と、ナット１８７などを備えている。リードスクリュー１８６は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１８６は、長手方向が、一対のガイドレール１７１とロッド１７４と平行である。リードスクリュー１８６は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに回転自在に支持されている。リードスクリュー１８６には、駆動モータ１８４の出力軸が連結している。
【０１６７】
ナット１８７は、リードスクリュー１８６の外周に螺合している。ナット１８７は、リードスクリュー１８６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１８６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット１８７は、リードスクリュー１８６が回転すると、回転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。
【０１６８】
Ｘ軸駆動部１８３は、駆動モータ１８８と、ボールねじ１８９などを備えている。駆動モータ１８８は、Ｙ軸駆動部１８２のナット１８７に固定されている。ボールねじ１８９は、リードスクリュー１９０と、ナット１９１などを備えている。リードスクリュー１９０は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー１９０は、長手方向が、一対のガイドレール１７１とロッド１７４に交差している。なお、図示例では、リードスクリュー１９０の長手方向と、一対のガイドレール１７１とロッド１７４との双方の長手方向は、互いに直交している。
【０１６９】
リードスクリュー１９０は、周知の転がり軸受などによって、ナット１８７に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュー１９０には、駆動モータ１８８の出力軸が連結している。ナット１９１は、リードスクリュー１９０の外周に螺合している。ナット１９１は、リードスクリュー１９０がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー１９０の長手方向に沿って移動する。
【０１７０】
取り出しヘッド部１８１は、図４１及び図４２に示すように、Ｘ軸駆動部１８３のナット１９１に固定されている。取り出しヘッド部１８１は、図４３及び図４４に示すように、ヘッド部本体１９２と、リニアガイドシリンダ１９３と、ロータリアクチュエータ１９４と、チャックシリンダ２０１と、一対のチャック１９５と、を備えている。
【０１７１】
ヘッド部本体１９２は、ナット１９１に固定されている。リニアガイドシリンダ１９３は、ヘッド部本体１９２に固定されたシリンダ本体１９６と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体１９６に固定されたレール１９７と、レール１９７に移動自在に支持されたスライダ１９８と、を備えている。
【０１７２】
リニアガイドシリンダ１９３は、シリンダ本体１９６内に加圧された気体が供給されると、スライダ１９８がレール１９７に沿って移動する。即ち、リニアガイドシリンダ１９３は、シリンダ本体１９６内に加圧された気体が供給されると、スライダ１９８が昇降する。
【０１７３】
なお、スライダ１９８は、一対のチャック１９５が保持治具２２及びトレー１６９から十分に離れる上死点と、一対のチャック１９５が保持治具２２に近づいて該保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２を挟むことができる下死点と、に亘って昇降する。
【０１７４】
ロータリアクチュエータ１９４は、アクチュエータ本体１９９と、このアクチュエータ本体１９９に回転自在に支持された出力軸２００とを備えている。アクチュエータ本体１９９は、スライダ１９８に取り付けられている。アクチュエータ本体１９９は、その内側に加圧された気体などが供給されると、出力軸２００を軸芯回りに回転させる。ロータリアクチュエータ１９４は、出力軸２００が鉛直方向に沿っている。出力軸２００には、チャックシリンダ２０１が連結している。
【０１７５】
チャックシリンダ２０１は、一対のチャック１９５を接離させる。一対のチャック１９５は、水平方向に沿って並設されている。一対のチャック１９５は、チャックシリンダ２０１の下方で、かつ保持治具２２及びトレー１６９に相対することが可能な位置に配されている。一対のチャック１９５は、互いに近づくと、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を挟む。
【０１７６】
前述した構成の取り出しユニット２０は、Ｙ軸駆動部１８２の駆動モータ１８４と、Ｘ軸駆動部１８３の駆動モータ１８８とを駆動して、一対のチャック１９５を、保持治具２２に相対させる。このとき、スライダ１９８は、前述した上死点に位置している。
【０１７７】
ロータリアクチュエータ１９４を駆動して、一対のチャック１９５間にセラミックパッケージ２を挟める位置まで、チャックシリンダ２０１を回転する。リニアガイドシリンダ１９３を駆動して、スライダ１９８を前記下死点に向かって移動する。一対のチャック１９５間に、セラミックパッケージ２を位置させる。チャックシリンダ２０１を駆動して、一対のチャック１９５間にセラミックパッケージ２を挟む。
【０１７８】
リニアガイドシリンダ１９３を駆動してスライダ１９８を前記上死点に移動するとともに、駆動モータ１８４，１８８とロータリアクチュエータ１９４を駆動して、一対のチャック１９５をトレー１６９に相対させる。チャックシリンダ２０１などを駆動して、トレー１６９の所定位置に、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を載置する。
【０１７９】
このように、取り出しユニット２０は、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を、吸引装置２７の吸引する力に抗して、保持治具２２から取り外す。その後、取り出しユニット２０は、トレー１６９に水晶片３付きのセラミックパッケージ２を載置する。なお、前記搬出ユニット１９と取り出しユニット２０とは、搬出手段を構成している。
【０１８０】
また、搬出ユニット１９と、回転テーブル１１との間には、図２及び図４１に示すように、ＮＧ品収容部２０３が設けられている。ＮＧ品収容部２０３には、制御装置６０が不良品であると判定したセラミックパッケージ２が、取り出しユニット２０によって搬送されてくる。ＮＧ品収容部２０３は、取り出しユニット２０によって搬送されてきた不良品と判定されたセラミックパッケージ２を収容する。
【０１８１】
制御装置６０は、周知のＲＡＭ、ＲＯＭ及びＣＰＵなどを備えている。制御装置６０は、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０などと接続している。
【０１８２】
制御装置６０は、回転テーブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０を制御して水晶振動子組立装置１全体の制御をつかさどる。
【０１８３】
制御装置６０は、予め、組み立てる水晶振動子の品番などを記憶している。制御装置６０は、品番に応じて定められる、接着剤６を塗布する電極５の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布の有無などの加工データなどを記録している。
【０１８４】
制御装置６０には、図示しない入力手段が接続しており、この入力手段から入力される水晶振動子の品番と組立個数などに基いて、水晶振動子組立装置１の動作を制御する。
【０１８５】
入力手段としては、周知のキーボード、各種のスイッチや操作ボタン及びＣＤ−ＲＯＭ駆動装置などの各種の記録媒体駆動装置などの、各種の情報入力用の装置などを用いることができる。入力手段は、新たな品番の加工データを制御装置６０に入力するようになっていても良い。
【０１８６】
また、制御装置６０は、第１計測カメラ１４ａが得た画像情報Ｚ１（図４８に示す）から、パッケージ載置ユニット１３によって保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２と、該セラミックパッケージ２を載置した保持治具２２と、の相対的な位置を求める。
【０１８７】
このとき、まず、制御装置６０は、保持治具２２の上面２４ａの幾何学的な中心Ｃ１と、セラミックパッケージ２の重心ＣＧ１と、セラミックパッケージ２の長手方向Ｓ１と、を求める。
【０１８８】
回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向Ｋ１と前記長手方向Ｓ１とのなす角θ１を求める。前記中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１のテーブル本体２１の接線方向に沿った間隔Ｘ１と、前記中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿った間隔Ｙ１と、を求める。これらの間隔Ｘ１，Ｙ１と角θ１を、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置とする。
【０１８９】
制御装置６０は、各保持治具２２（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈ）が、各ユニット１３，１４ａ，１５，１４ｂ，１７，１８，１４ｃ，２０の近傍に位置した際の誤差を、予め記憶している。
【０１９０】
制御装置６０は、回転テーブル１１が丁度一定角度（４５度）ずつ回転して本体位置すべき保持治具２２と１次塗布ユニット１５との相対的な位置に、第１計測カメラ１４ａからの画像情報Ｚ１から求めた保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、保持治具２２が１次塗布ユニット１５の近傍に位置した際の誤差Ｘａ１，Ｙａ１と、を加味して、１次塗布ユニット１５の各駆動モータ７０，７４を制御して、針先８９ａを電極５の適切な位置に相対させる。そして、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５に電極５の適切な位置に、接着剤６を塗布させる。即ち、制御装置６０は、位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と誤差Ｘａ１，Ｙａ１とに基いて、各駆動モータ７０，７４を制御して、適切な位置に接着剤６を塗布する。
【０１９１】
制御装置６０は、第２計測カメラ１４ｂが得た画像情報から、電極５への接着剤６の塗布状況の良否を判定する。制御装置６０は、所定の電極５に接着剤６が塗布されていれば良品と判定し、所定の電極５に接着剤６が塗布されていない場合及び誤った電極５に接着剤６が塗布されている場合には不良品と判定する。また、制御装置６０は、電極５から塗布された接着剤６が許容される範囲を超えて位置ずれしている場合なども、不良品と判定する。
【０１９２】
さらに、制御装置６０は、水晶計測カメラ１２６が得た画像情報Ｚ２（図４９に示す）から、吸着ノズル１４５の先細部２１３と、水晶片３と、の相対的な位置を算出する。
【０１９３】
このとき、まず、制御装置６０は、先細部２１３の幾何学的な中心Ｃ２と、水晶片３の重心ＣＧ２と、水晶片３の長手方向Ｓ２と、先細部２１３の長手方向Ｋ２と、を求める。
【０１９４】
前記長手方向Ｋ２と前記長手方向Ｓ２とのなす角θ２を求める。前記中心Ｃ２と前記重心ＣＧ２との先細部２１３の幅方向に沿った間隔Ｘ２と、前記中心Ｃ２と前記重心ＣＧ２との先細部２１３の長手方向に沿った間隔Ｙ２と、を求める。これらの間隔Ｘ２，Ｙ２と角θ２を、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置とする。
【０１９５】
制御装置６０は、回転テーブル１１が丁度一定角度（４５度）ずつ回転して本体位置すべき保持治具２２と水晶載置ユニット１７との相対的な位置に、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２と、前述した保持治具２２が水晶載置ユニット１７の近傍に位置した際の誤差Ｘａ２，Ｙａ２と、を加味して、水晶載置ユニット１７の各モータ１２５，１３１，１３５を制御して、先細部２１３をセラミックパッケージ２の適切な位置に相対させる。そして、制御装置６０は、先細部２１３即ち水晶載置ユニット１７に、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３を重ねさせる。
【０１９６】
即ち、制御装置６０は、位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と位置Ｘ２，Ｙ２，θ２と誤差Ｘａ２，Ｙａ２とに基いて、各駆動モータ１２５，１３１，１３５を制御して、適切な位置に水晶片３を重ねる。
【０１９７】
制御装置６０は、回転テーブル１１が丁度一定角度（４５度）ずつ回転して本体位置すべき保持治具２２と２次塗布ユニット１８との相対的な位置に、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、前述した保持治具２２が２次塗布ユニット１８の近傍に位置した際の誤差Ｘａ３，Ｙａ３と、を加味して、２次塗布ユニット１８の各駆動モータ７０，７４を制御して、適切な位置に接着剤６を塗布させる。即ち、制御装置６０は、位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と誤差Ｘａ３，Ｙａ３とに基いて、各駆動モータ７０，７４を制御して、適切な位置に接着剤６を塗布する。
【０１９８】
制御装置６０は、回転テーブル１１が丁度一定角度（４５度）ずつ回転して本体位置すべき保持治具２２と取り出しユニット２０との相対的な位置に、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、前述した保持治具２２が取り出しユニット２０の近傍に位置した際の誤差Ｘａ４，Ｙａ４と、を加味して、取り出しユニット２０の各駆動モータ１８４，１８８及びロータリアクチュエータ１９４などを制御して、保持治具２２上の水晶片３付きのセラミックパッケージ２を掴む。即ち、制御装置６０は、位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と誤差Ｘａ４，Ｙａ４とに基いて、各駆動モータ１８４，１８８及びロータリアクチュエータ１９４などを制御して、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を掴む。
【０１９９】
制御装置６０は、第３計測カメラ１４ｃが得た画像情報から、セラミックパッケージ２と、該セラミックパッケージ２に取り付けられた水晶片３と、の相対的な位置を算出する。制御装置６０は、セラミックパッケージ２と水晶片３との位置ずれが所定の範囲内であれば、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を良品であると判定する。制御装置６０は、前記位置ずれが所定の範囲を超えると水晶片３付きのセラミックパッケージ２を不良品であると判定する。
【０２００】
また、制御装置６０は、２次塗布ユニット１８によって接着剤６が塗布されるセラミックパッケージ２においては、この２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況の良否を判定する。このとき、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、同様に良否を判定する。
【０２０１】
制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況と、のうち全てが良好であるセラミックパッケージ２を、取り出しユニット２０が掴んだ後保持治具２２から取り外してトレー１６９に載置する。一方、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布状況と、のうち少なくとも一つが不良であるセラミックパッケージ２を、取り出しユニット２０が掴んだ後保持治具２２から取り外してＮＧ品収容部２０３まで搬送する。
【０２０２】
前述した構成の水晶振動子組立装置１は、まず、作業員などが前記入力手段などを用いて、組み立てる水晶振動子の品番と個数などを制御装置６０に入力する。調整部６７を用いて、１次塗布ユニット１５の注射筒８４の位置を調整するとともに、必要に応じて２次塗布ユニット１８の注射筒８４の位置を調整する。
【０２０３】
その後、入力手段などから制御装置６０に作業開始指令を入力する。すると、パッケージ搬入ユニット１２が回転テーブル１１の近傍にトレー３６を搬入するとともに、水晶搬入ユニット１６が回転テーブル１１の近傍にトレー１０６を搬入する。パッケージ載置ユニット１３が、トレー３６上のセラミックパッケージ２を一つずつ保持治具２２上に載置する。回転テーブル１１が、保持治具２２にセラミックパッケージ２が載置されるのに応じて、矢印Ｒに沿って一定角度としての４５度ずつ断続的に回転する。
【０２０４】
セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第１計測カメラ１４ａの下方を通ると、該第１計測カメラ１４ａが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。そして、１次塗布ユニット１５が、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と制御装置６０が予め記憶した誤差Ｘａ１，Ｙａ１に基いて、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の所定の電極５に接着剤６を塗布する。
【０２０５】
セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第２計測カメラ１４ｂの下方を通ると、該第２計測カメラ１４ｂが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。
【０２０６】
そして、水晶載置ユニット１７が、水晶片３を保持し、水晶計測カメラ１２６の上方を通る。水晶計測カメラ１２６が、先細部２１３と水晶片３とを撮像する。保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２と、制御装置６０が予め記憶した誤差Ｘａ２，Ｙａ２とに基いて、水晶片３をセラミックパッケージ２の適切な位置に重ねる。
【０２０７】
必要に応じて、水晶片３が載置されたセラミックパッケージ２に、２次塗布ユニット１８が保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、制御装置６０が予め記憶した誤差Ｘａ３，Ｙａ３とに基いて接着剤６を塗布する。セラミックパッケージ２が載置された保持治具２２が、第３計測カメラ１４ｃの下方を通ると、該第３計測カメラ１４ｃが保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像する。
【０２０８】
そして、制御装置６０が、第２及び第３計測カメラ１４ｂ，１４ｃからの画像情報に基いて、水晶片３付きのセラミックパッケージ２の良否を判定する。この良否に基いて、取り出しユニット２０が、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、制御装置６０が予め記憶した誤差Ｘａ４，Ｙａ４とに基いて、保持治具２２から水晶片３付きのセラミックパッケージ２を取り外して、トレー１６９またはＮＧ品収容部２０３に搬送する。
【０２０９】
本実施形態の水晶振動子組立装置１によれば、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画像情報Ｚ１から、セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１を求める。
【０２１０】
この求めた相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、セラミックパッケージ２に接着剤６を塗布するため、セラミックパッケージ２を位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置に接着剤６を塗布できる。したがって、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける際に、セラミックパッケージ２を位置決めする必要がない。
【０２１１】
また、水晶計測カメラ１２６が撮像して得た画像情報Ｚ２から先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２を求める。前記セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２と、に基いて、水晶片３をセラミックパッケージ２に重ねる。このため、セラミックパッケージ２と水晶片３を位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３を重ねることができる。
【０２１２】
このため、セラミックパッケージ２及び水晶片３を位置決めするための爪などを用いる必要がなくなり、勿論該爪を交換する必要がない。したがって、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける作業の準備にかかる手間と時間を抑制できる。また、前述した爪などを用いる必要がないので、セラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける作業中に不意にセラミックパッケージ２及び水晶片３などが破損することを防止できる。
【０２１３】
保持治具２２が、貫通孔２５を通して吸引することにより上面２４ａにセラミックパッケージ２を吸着するので、保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２が位置ずれすることを防止できる。このため、作業中に、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画像情報Ｚ１から求めたセラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１から、セラミックパッケージ２が位置ずれすることを防止できる。
【０２１４】
先細部２１３が、第２の貫通孔１４９を通して吸引することにより先端面２１３ａに水晶片３を吸着するので、先細部２１３に保持された水晶片３が位置ずれすることを防止できる。このため、作業中に、水晶計測カメラ１２６が撮像して得た画像情報Ｚ２から求めた先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２から、水晶片３が位置ずれすることを防止できる。
【０２１５】
このため、位置決めすることなく、セラミックパッケージ２の適切な位置により確実に接着剤６を塗布でき、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶片３をより確実に重ねることができる。したがって、セラミックパッケージ２に対する水晶片３の位置が高精度な水晶振動子を組み立てることができる。
【０２１６】
さらに、前記セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に加えて、駆動モータ２３の回転精度によって生じる保持治具２２の位置ずれ（誤差Ｘａ１，Ｙａ１）を加味して、１次塗布ユニット１５を制御する。このため、セラミックパッケージ２の適切な位置により一層確実に接着剤６を塗布できる。したがって、水晶振動子の歩留まりの低下をより確実に防止できる。
【０２１７】
また、前記セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２とに加えて、駆動モータ２３の回転精度によって生じる保持治具２２の位置ずれ（誤差Ｘａ２，Ｙａ２）を加味して、水晶載置ユニット１７を制御する。このため、セラミックパッケージ２の適切な位置により一層確実に水晶片３を重ねることができる。したがって、水晶振動子の歩留まりの低下をより確実に防止できる。
【０２１８】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に記載の本発明は、制御手段が、各保持治具が塗布手段の近傍に位置した際に、これらの各保持治具と塗布手段との第１の位置ずれを予め記憶している。塗布手段が、第１の位置ずれを補正して、パッケージに接着剤を塗布する。このため、パッケージの適切な位置に確実に接着剤を塗布できる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布でき、水晶振動子の歩留まりの低下を抑制できる。
【０２１９】
請求項２に記載の本発明は、塗布手段が、第１の位置ずれを補正することにくわえ、保持治具に対するパッケージの位置を補正して、パッケージに接着剤を塗布する。このため、パッケージの適切な位置により確実に接着剤を塗布できる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を確実に塗布でき、水晶振動子の歩留まりの低下をより抑制できる。
【０２２０】
請求項３に記載の本発明は、制御手段が、各保持治具が載置手段の近傍に位置した際に、これらの各保持治具と載置手段との第２の位置ずれを予め記憶している。載置手段が、第２の位置ずれを補正して、パッケージに水晶片を重ねる。このため、パッケージの適切な位置に確実に水晶片を重ねることができる。したがって、パッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができ、水晶振動子の歩留まりの低下を抑制できる。
【０２２１】
請求項４に記載の本発明は、第２の撮像手段が、載置手段と水晶片とを撮像する。制御手段が、載置手段と水晶片との相対的な位置を求める。載置手段が、第２の位置ずれを補正することにくわえ、載置手段に対する水晶片の位置を補正して、パッケージに水晶片を重ねる。このため、パッケージの適切な位置により確実に水晶片を重ねることができる。したがって、パッケージの適切な位置に水晶片を確実に重ねることができ、水晶振動子の歩留まりの低下をより抑制できる。
【０２２２】
請求項５に記載の本発明は、制御手段が、各保持治具と塗布手段との第１の位置ずれと、各保持治具と載置手段との第２の位置ずれと、を予め記憶している。塗布手段が、第１の位置ずれを補正して、パッケージに接着剤を塗布し、載置手段が、第２の位置ずれを補正して、パッケージに水晶片を重ねる。
【０２２３】
このため、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できるとともに、パッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できかつ水晶片を重ねることができ、水晶振動子の歩留まりの低下を抑制できる。
【０２２４】
請求項６に記載の本発明は、第１の撮像手段が、保持治具とパッケージとを撮像して、制御手段が、保持治具とパッケージとの相対的な位置を求める。第２の撮像手段が、載置手段と水晶片とを撮像して、制御手段が、載置手段と水晶片との相対的な位置を求める。
【０２２５】
塗布手段が、第１の位置ずれを補正することにくわえ、保持治具に対するパッケージの位置を補正して、パッケージに接着剤を塗布する。載置手段が、第２の位置ずれを補正することにくわえ、載置手段に対する水晶片の位置を補正して、パッケージに水晶片を重ねる。
【０２２６】
このため、パッケージの適切な位置に接着剤を確実に塗布できるとともに、パッケージの適切な位置に水晶片を確実に重ねることができる。したがって、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できかつ水晶片を重ねることができ、水晶振動子の歩留まりの低下をより一層抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装置を示す側面図である。
【図２】図１に示された水晶振動子組立装置の要部を示す平面図である。
【図３】図１に示された水晶振動子組立装置によって組み立てられる水晶振動子のセラミックパッケージを示す平面図である。
【図４】図３中のＩＶ―ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１に示された水晶振動子組立装置によって取り付けられた水晶片付きのセラミックパッケージを示す平面図である。
【図６】図５中のＶＩ―ＶＩ線に沿う断面図である。
【図７】図１に示された水晶振動子組立装置の回転テーブルを示す平面図である。
【図８】図７に示された回転テーブルの側面図である。
【図９】図７に示された回転テーブルの保持治具を示す平面図である。
【図１０】図９中のＸ―Ｘ線に沿う断面図である。
【図１１】図９中のＸＩ―ＸＩ線に沿う断面図である。
【図１２】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケージ搬入ユニットを示す平面図である。
【図１３】図１２中の矢印Ａ方向からみた図である。
【図１４】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケージ搬入ユニットとパッケージ載置ユニットを示す平面図である。
【図１５】図１４中の矢印Ｂ方向からみた図である。
【図１６】図１４に示されたパッケージ載置ユニットの載置ヘッド部を示す側面図である。
【図１７】図１６中の矢印Ｃ方向からみた図である。
【図１８】図１７中のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１９】図１６に示された載置ヘッド部の吸着部が下降した状態を示す側面図である。
【図２０】図１９中の矢印Ｃ１方向からみた図である。
【図２１】図１に示された水晶振動子組立装置の計測カメラを示す平面図である。
【図２２】図２１中の矢印Ｅ方向からみた図である。
【図２３】図１に示された水晶振動子組立装置の１次塗布ユニットを示す平面図である。
【図２４】図２３中の矢印Ｆ方向からみた一部を断面で示す図である。
【図２５】図２３中の矢印Ｇ方向からみた図である。
【図２６】図２３に示された１次塗布ユニットの調整部を示す正面図である。
【図２７】図２６中の矢印Ｈ方向からみた図である。
【図２８】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬入ユニットを示す平面図である。
【図２９】図２８中の矢印Ｉ方向からみた図である。
【図３０】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬入ユニットと水晶載置ユニットを示す平面図である。
【図３１】図３０中の矢印Ｊ方向からみた図である。
【図３２】図３０に示された水晶載置ユニットの水晶計測カメラを示す側面図である。
【図３３】図３０に示された水晶載置ユニットの載置ヘッド部を示す平面図である。
【図３４】図３３中の矢印Ｋ方向からみた図である。
【図３５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着部が下降した状態を示す側面図である。
【図３６】図１に示された水晶振動子組立装置の２次塗布ユニットを示す平面図である。
【図３７】図３６中の矢印Ｌ方向からみた一部を断面で示す図である。
【図３８】図３６中の矢印Ｍ方向からみた図である。
【図３９】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユニットを示す平面図である。
【図４０】図３９中の矢印Ｎ方向からみた図である。
【図４１】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユニットと取り出しユニットを示す平面図である。
【図４２】図４１中の矢印Ｏ方向からみた図である。
【図４３】図４１に示された取り出しユニットの取り出しヘッド部を示す正面図である。
【図４４】図４３中の矢印Ｐ方向からみた図である。
【図４５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着ノズルのノズル部を一部断面で示す正面図である。
【図４６】図４５中の矢印Ｓ方向からみた図である。
【図４７】図４５に示されたノズル部の先端面を示す平面図である。
【図４８】第１計測カメラが撮像して得た画像情報の一例を示す説明図である。
【図４９】水晶計測カメラが撮像して得た画像情報の一例を示す説明図である。
【図５０】図１に示された水晶振動子組立装置の保持治具の位置ずれを模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
１  水晶振動子組立装置
２  セラミックパッケージ（パッケージ）
３  水晶片
６  接着剤
１１  回転テーブル
１４ａ  第１計測カメラ（第１の撮像手段）
１５  １次塗布ユニット（塗布手段）
２２  保持治具
６０  制御装置（制御手段）
１２６  水晶計測カメラ（第２の撮像手段）
２１３  先細部（載置手段）
Ｘ１、Ｙ１、θ１  パッケージと保持治具との相対的な位置
Ｘ２、Ｙ２、θ２  水晶片と先細部との相対的な位置
Ｘａ１、Ｙａ１  誤差（第１の位置ずれ）
Ｘａ２、Ｙａ２  誤差（第２の位置ずれ）
【図１】
0003947380.tif 000002
【図２】
0003947380.tif 000003
【図３】
0003947380.tif 000004
【図４】
0003947380.tif 000005
【図５】
0003947380.tif 000006
【図６】
0003947380.tif 000007
【図７】
0003947380.tif 000008
【図８】
0003947380.tif 000009
【図９】
0003947380.tif 000010
【図１０】
0003947380.tif 000011
【図１１】
0003947380.tif 000012
【図１２】
0003947380.tif 000013
【図１３】
0003947380.tif 000014
【図１４】
0003947380.tif 000015
【図１５】
0003947380.tif 000016
【図１６】
0003947380.tif 000017
【図１７】
0003947380.tif 000018
【図１８】
0003947380.tif 000019
【図１９】
0003947380.tif 000020
【図２０】
0003947380.tif 000021
【図２１】
0003947380.tif 000022
【図２２】
0003947380.tif 000023
【図２３】
0003947380.tif 000024
【図２４】
0003947380.tif 000025
【図２５】
0003947380.tif 000026
【図２６】
0003947380.tif 000027
【図２７】
0003947380.tif 000028
【図２８】
0003947380.tif 000029
【図２９】
0003947380.tif 000030
【図３０】
0003947380.tif 000031
【図３１】
0003947380.tif 000032
【図３２】
0003947380.tif 000033
【図３３】
0003947380.tif 000034
【図３４】
0003947380.tif 000035
【図３５】
0003947380.tif 000036
【図３６】
0003947380.tif 000037
【図３７】
0003947380.tif 000038
【図３８】
0003947380.tif 000039
【図３９】
0003947380.tif 000040
【図４０】
0003947380.tif 000041
【図４１】
0003947380.tif 000042
【図４２】
0003947380.tif 000043
【図４３】
0003947380.tif 000044
【図４４】
0003947380.tif 000045
【図４５】
0003947380.tif 000046
【図４６】
0003947380.tif 000047
【図４７】
0003947380.tif 000048
【図４８】
0003947380.tif 000049
【図４９】
0003947380.tif 000050
【図５０】
0003947380.tif 000051