(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出するノズルを有する金属材料で形成したノズル形成部材と、このノズル形成部材にインク液室を介して対向する導電性の振動板と、この振動板に接合した積層型圧電素子とを備え、前記積層型圧電素子の圧電体上に前記振動板が接合されたインクジェットヘッドにおいて、
前記積層型圧電素子の周囲を囲むフレーム部材を備え、このフレーム部材に設けられた導電性部材を介して前記振動板が接地されることにより、前記積層型圧電素子を駆動したときに前記振動板に誘起される誘起電圧がアースに流れることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記フレーム部材が樹脂で形成され、このフレーム部材に導電性部材が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記フレーム部材を貫通する導電性部材を介して前記振動板が接地されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
電気機械変換素子による変位で振動板を介してインク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、前記インクジェットヘッドが請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェットヘッドであることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はインクジェット記録装置及びインクジェットヘッドに関し、特に振動板を用いるインクジェットヘッド及びこのヘッドを備えたインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等に用いられるインクジェット記録装置の記録ヘッドを構成するインクジェットヘッドとして、インク滴を吐出する複数のノズル孔と、各ノズル孔に対応するインク液室（「加圧液室」ともいう。）と、このインク液室内のインクを加圧する圧電素子等の電気機械変換素子やヒータ等の電気熱変換素子などのエネルギー発生手段を備え、エネルギー発生手段を記録信号に応じて駆動することで所要のインク液室内のインクを加圧してノズル孔からインク滴を噴射させるものである。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドとして、従来、例えば特開平９−７６５３４号公報に記載されているように、絶縁性基板上に積層型圧電素子を配列し、この圧電素子上にダイアフラム部を有する振動板を積層し、この振動板上に圧電素子でダイアフラム部を介して加圧されるインク液室及びこのインク液室にインクを供給するインク供給路等を形成する液室隔壁部材を積層し、更にこの液室隔壁部材上にノズルを形成したノズル形成部材を積層したものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、積層型圧電素子は圧電体の積層界面に電極層として銀−パラジウム等の合金を介して積層され、且つこれらの金属が層間の圧電体を接合する役割を持っている。このような構成は金属板からなる振動板を接合した積層型圧電素子の最上層でも同様なことが言え、振動板は１つの電極層となって容量結合により電気的なイオンが蓄積される。
【０００５】
この場合、振動板がインクを介して電気的な低い電位差のあるところと接合されていると電流が流れることになる。具体的には、振動板とノズル形成部材とが絶縁状態であって、且つノズル形成部材がノズルカバーなどを通じて接地されている（アースに落とされている）状態である。このとき、容量結合によって振動板に誘起された電圧で、振動板からインクを介してノズル板を経てノズルカバーを介してアースに電流が流れる。これによって、振動板の金属イオン、例えば振動板をニッケルで形成している場合にはＮiイオンが流れ出すことになる。
【０００６】
ところが、振動板には効率的に圧電素子の変位をインク液室に伝達するため、数μｍ程度の薄層のダイアフラム部を形成しているので、イオン流出が起こるとダイアフラム部には簡単に穴が明くことになる。このように振動板に穴が明くと、インク液室内のインクが圧電素子の周囲に浸入して圧電機能を減殺し、その結果吐出不良が発生する。
【０００７】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、金属製の振動板の溶解を防止して長期的に安定した印写を行えるインクジェット記録装置及びインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１のインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルを有する金属材料で形成したノズル形成部材と、このノズル形成部材にインク液室を介して対向する導電性の振動板と、この振動板に接合した積層型圧電素子とを備え、積層型圧電素子の圧電体上に振動板が接合されたインクジェットヘッドにおいて、積層型圧電素子の周囲を囲むフレーム部材を備え、このフレーム部材に設けられた導電性部材を介して前記振動板が接地されることにより、積層型圧電素子を駆動したときに振動板に誘起される誘起電圧がアースに流れる構成とした。
【０００９】
請求項２のインクジェットヘッドは、請求項１のインクジェットヘッドにおいて、フレーム部材が樹脂で形成され、このフレーム部材に導電性部材が形成されている構成とした。
【００１０】
請求項３のインクジェットヘッドは、請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、フレーム部材を貫通する導電性部材を介して振動板が接地されている構成とした。
【００１１】
請求項４のインクジェット記録装置は、電気機械変換素子による変位で振動板を介してインク液室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置において、インクジェットヘッドが請求項１ないし３のいずれかのインクジェットヘッドである構成とした。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。図１は本発明を適用するインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図、図２は同ヘッドのチャンネル方向（ノズル配列方向）と直交する方向の要部拡大断面図、図３は同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図である。
【００１６】
このインクジェットヘッドは、駆動ユニット１と、液室ユニット２と、ヘッドカバー３とを備えている。
駆動ユニット１は、セラミックス基板、例えばチタン酸バリウム、アルミナ、フォルステライトなどの絶縁性の基板１１上に、エネルギー発生手段である複数の積層型圧電素子１２を列状に２列配置して接合し、これら２列の各圧電素子１２の周囲を取り囲む樹脂、セラミック等からなるフレーム部材１３を接着剤１４によって接合している。
【００１７】
複数の圧電素子１２は、インクを液滴化して飛翔させるための駆動パルスが与えられる圧電素子（これを「駆動部」という。）１７，１７…と、駆動部１７，１７間に位置し、駆動パルスが与えられずに単に液室ユニット２を基板１１に固定する液室支柱部材となる圧電素子（これを「非駆動部」という。）１８，１８…とを交互に構成している。
【００１８】
ここで、圧電素子１２としては１０層以上の積層型圧電素子を用いている。この積層型圧電素子は、例えば図２に示すように、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）２０と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極２１とを交互に積層したものであるが、圧電素子として用いる材料は上記に限られるものでなく、その他の電気機械変換素子を用いることもできる。
【００１９】
各圧電素子１２の内部電極２１は１層おきにＡgＰdからなる左右の端面電極２２，２３（２つの圧電素子列の対向する面側を端面電極２２とし、対向しない面側を端面電極２３とする。）に接続している。一方、基板１１上には、図１に示すようにＮi・Ａu蒸着、Ａuメッキ、ＡgＰtペースト印刷、ＡgＰdペースト印刷等によって共通電極２４及び個別電極２５の各パターンを設けている。
【００２０】
そして、各列の各圧電素子１２の対向する端面電極２２を導電性接着剤２６を介して共通電極２４に接続し、他方、各列の各圧電素子１２の対向しない端面電極２３を同じく導電性接着剤２６を介してそれぞれ個別電極２５に接続している。これにより、駆動部１７に駆動電圧を与えることによって、積層方向に電界が発生して、駆動部１７には積層方向の伸びの変位（ｄ３３方向の変位）が生起される。なお、共通電極２４は、図２にも示すように、フレーム部材１３に設けた穴１３ａ内に導電性接着剤２６を充填することで各圧電素子に接続されたパターンの導通を取っている。
【００２１】
一方、液室ユニット２は、金属材料からなる振動板３１と、ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）からなる感光性樹脂層で形成した２層構造の液室隔壁部材３２と、金属材料からなるノズルプレート３３とを順次を積層し、熱融着して形成している。これらの各部材によって、１つの圧電素子１２（駆動部１７）と、この１つの圧電素子１２に対応するダイアフラム部３４と、各ダイアフラム部３４を介して加圧される加圧液室３５と、この加圧液室３５の両側に位置して加圧液室３５に供給するインクを導入する共通液室３６，３６と、加圧液室３５と共通液室３６，３６とを連通するインク供給路３７，３７と、加圧液室３５に連通するノズル３８とによって１つのチャンネルを形成し、このチャンネルを複数個２列設けている。
【００２２】
振動板３１は、金属材料、例えば電鋳工法によるＮiメッキ膜等で形成したもので、駆動部１７に対応する前記ダイアフラム部３４と、非駆動部１８に接合する梁４１及びフレーム部材１３に接合するベース４２とを形成している。ダイアフラム部３４は、駆動部１７に接合する島状凸部４３と、この凸部４３の周囲に形成した厚み３〜１０μｍ程度の最薄膜部分（ダイアフラム領域）４４とからなる。
【００２３】
液室隔壁部材３２は、振動板３１側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第１感光性樹脂層４５と、ノズルプレート３３側に予めドライフィルムレジストをラミネートして所要のマスクを用いて露光し、現像して所定の液室パターンを形成した第２感光性樹脂層４６とを熱圧着で接合してなる。
【００２４】
ノズルプレート３３は金属材料、例えば電鋳工法によるＮiメッキ膜等で形成したもので、インク滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル３８を多数を形成している。このノズル３８の内部形状（内側形状）は、ホーン形状（略円柱形状又は略円錘台形状でもよい。）に形成している。また、このノズル３８の径はインク滴出口側の直径で約２５〜３５μｍである。
【００２５】
このノズルプレート３３のインク吐出面（ノズル表面側）は、図１に示すように撥水性の表面処理を施した撥水処理面４７としている。例えば、ＰＴＦＥ−Ｎi共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂（例えばフッ化ピッチなど）を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂・フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、インク物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、インクの滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。なお、ノズルプレート３３の周縁部は撥水処理膜を形成しない非撥水処理面４８としている。
【００２６】
なお、駆動ユニット１の基板１１と圧電素子１２及びフレーム部材１３とは接着剤４９で接合して組付け、また、液室ユニット２も駆動ユニット１とは別個に加工、組立を行なった後、液室ユニット２の振動板３１と駆動ユニット１の圧電素子１２及びフレーム部材１３とを接着剤５０で接合してインクジェットヘッドとしている。
【００２７】
そして、基板１１をヘッド支持部材であるスペーサ部材（ヘッドホルダ）５１上に支持して保持し、このスペーサ部材５１内に配設したヘッド駆動用ＩＣ等を有するＰＣＢ５２と駆動ユニット１の各圧電素子１２（駆動部１７）に接続した各電極２４，２５とをＦＰＣケーブル５３，５３を介して接続している。
【００２８】
また、ノズルカバー（ヘッドカバー）３は、ノズルプレート３３の周縁部及びヘッド側面を覆う箱状に形成した金属材料からなり、ノズルプレート３３の撥水処理面４７に対応して開口部を形成し、ノズルプレート３３の周縁部に残した非撥水処理面４８に接着剤にて接着接合している。さらに、このインクジェットヘッドには、図示しないインクカートリッジからのインクを液室に供給するため、スペーサ部材５１、基板１１、フレーム部材１３及び振動板３１にそれぞれインク供給穴５４〜５７を設けている。
【００２９】
このように構成したインクジェットヘッドにおいては、記録信号に応じて駆動部１７に駆動波形（１０〜５０Ｖのパルス電圧）を印加することによって、駆動部１７に積層方向の変位が生起し、振動板３１のダイアフラム部３４を介して加圧液室３５が加圧されて圧力が上昇し、ノズル３８からインク滴が吐出される。このとき、加圧液室３５から共通液室３６へ通じるインク供給路３７，３７方向へもインクの流れが発生するが、インク供給路３７，３７の断面積を狭小にすることで流体抵抗部として機能させて共通液室３６，３６側へのインクの流れを低減し、インク吐出効率の低下を防いでいる。
【００３０】
そして、インク滴吐出の終了に伴い、加圧液室３５内のインク圧力が低減し、インクの流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって加圧液室３４内に負圧が発生してインク充填行程へ移行する。このとき、インクタンクから供給されたインクは共通液室３６，３６に流入し、共通液室３６，３６からインク供給路３７，３７を経て加圧液室３５内に充填される。そして、ノズル３８の出口付近のインクメニスカス面の振動が減衰し、表面張力によってノズル３８の出口付近に戻されて（リフィル）安定状態に至れば、次のインク滴吐出動作に移行する。
【００３１】
次に、このインクジェットヘッドに本発明を適用した第１実施例について図４及び図５を参照して説明する。
この第１実施例では、図４に示すようにインクジェットヘッドの振動板４２の端部にノズルカバー３を装着したときにその内面に弾性によって圧接される突出部４２ａを一体形成している。そして、このノズルカバー３はインクジェット記録装置本体（以下「プリンタ本体」という。）のアース（以下「ＧＮＤ」ともいう。）に電気的に接続している。
【００３２】
即ち、図５に示すように、複数の色、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂｋ）等の各ヘッドＨ…を各色毎にノズル位置が合わされるヘッド取付け台６１に取付け、各ヘッドＨ…のノズルカバー３をヘッド取付け台６１上に設けたＧＮＤライン６２に接続端子６３で接続することで、各ヘッドＨのノズルカバー３を一括してプリンタ本体のＧＮＤに接続する。
【００３３】
このように構成したので、振動板４２は突出部４２ａを介してノズルカバー３に電気的に接続され、更にこのノズルカバー３を介してプリンタ本体のＧＮＤに電気的に接続されて接地される。
【００３４】
この実施例の作用について図６をも参照して説明すると、上述したように圧電素子１２に対して同図に示すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだらかな波形をなす駆動波形（駆動電圧）を印加した場合、圧電素子１２の最上層に接合した振動板４２を金属材料で形成しているので、この振動板４２は一種の電極材となって圧電素子１２との容量結合によって電圧が誘起される。この振動板４２に誘起される誘起電圧も同図に示すように立ち上がりが急峻で、立下がりがなだらかな波形をなる。ただし、波高値は、駆動電圧が２５Ｖ程度のとき誘起電圧は１５Ｖ程度であって約６０％となる。
【００３５】
ここで、振動板４２が上述のように電気的に接地されていない場合でも、振動板４２が電気的に浮いていれば電荷は流れないが、振動板４２に対向して設けた金属材料からなるノズルプレート３３があるために導電性のインクを通じて振動板４２中の金属イオンが溶出し、これによって振動板４２の最も薄いダイアフラム部４４に穴が明いてインクが圧電素子１２側に流出することがある。
【００３６】
これに対して、この実施例のように振動板４２に突出部４２ａを設けて、この突出部４２ａを電気的に接地されたノズルカバー３に圧接させて、ノズルカバー３を介して電気的に接地することで、振動板４２の誘起電圧はアースに流れることになるので、誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出することが防止され、振動板４２が溶解して穴が明くことが防止される。
【００３７】
このように振動板を電気的に接地することによって誘起電圧による振動板の溶解が防止されるので、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定したインク滴吐出を行うことができて印写品質を確保することができる。そして、この場合、この実施例のように振動板をノズルカバーを介して接地することによって、カラーインクジェット記録装置のように複数のヘッドを備えたときに、複数のヘッドの振動板をまとめて同電位に落とすことができ、生産性が向上する。
【００３８】
次に、本発明の第２実施例について図７を参照して説明する。
この実施例では、基板１１上に形成した接地される導通パターンであるＧＮＤライン６５に対応してフレーム部材１３の外側壁に導電性接着剤を塗布するための溝部６６を形成して、この溝部６６内にフレーム部材１３上に接合する振動板４２と基板１１上のＧＮＤライン６５とを電気的に導通させる導電性接着剤６８を塗布している。そして、この基板１１のＧＮＤライン６５はＦＰＣケーブル５３のＧＮＤライン５３ａを通じてＰＣＢ基板５２に接続されて、プリンタ本体のＧＮＤにアースされている。
【００３９】
これによって、振動板４２は導電性接着剤６８を介して基板１１上のＧＮＤライン６５に接続され、更にＧＮＤライン６５からＦＰＣケーブル５３のＧＮＤライン５３ａ、ＰＣＢ基板５２を介してプリンタ本体にアースされるので、上記第１実施例と同様に、振動板４２の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出することが防止される。
【００４０】
このように、基板に形成した接地される導通パターンと振動板とを電気的に接続することによって、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することができるので、カラーインクジェット記録装置のように複数のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置にヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼性を確保することができる。
【００４１】
次に、本発明の第３実施例について図８を参照して説明する。
この実施例でも、基板１１上に形成した導通パターンであるＧＮＤライン６５に対応してフレーム部材１３に導電性接着剤を充填するための貫通穴６７を形成して、この穴部６７内に振動板４２と基板１１上のＧＮＤライン６５とを電気的に導通させる導電性接着剤６８を塗布している。
【００４２】
したがって、上記第２実施例と同様に、振動板４２は導電性接着剤６８を介して基板１１上のＧＮＤライン６５に接続され、更にＧＮＤライン６５からＦＰＣケーブル５３のＧＮＤライン５３ａ、ＰＣＢ基板５２を介してプリンタ本体にアースされるので、振動板４２の誘起電圧をアースに落とすことができ、誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出することが防止される。
【００４３】
このように、基板に形成した接地される導通パターンと振動板とを電気的に接続することによって、ヘッド単体内で振動板を電気的に接地することができるので、カラーインクジェット記録装置のように複数のヘッドを用いるときでも、インクジェット記録装置にヘッドを搭載する前に各ヘッド毎に溶解防止処理の信頼性を確保することができる。そして、この実施例のように導電性接着剤を充填する貫通穴を形成するときには、振動板を接合する前に貫通穴内に導電性接着剤を盛り上がるよう塗布することで、振動板をフレーム部材及び圧電素子とエポキシ接着剤などで接合すると同時に電気的接続も行うことができて工程を短縮化できる。
【００４４】
次に、本発明の第４実施例について図９を参照して説明する。
この実施例では、ノズルプレート３３及び液室隔壁部材３２に貫通穴７１，７２を形成して、これらの貫通穴７１，７２内に導電性接着剤７３を充填し、振動板４２とノズルプレート３３とを電気的に接続している。例えば、ノズルプレート３３にディスペンサのニードルを挿入できる程度の穴（約０．８φ）を形成し、液室隔壁部材３２にも同様の穴を形成する。
【００４５】
したがって、振動板４２とノズルプレート３３との間で電位差を生じないために、ノズルプレート３３と振動板４２との間に電位差が発生したような場合でも振動板４２の金属イオンがインク中に溶出することが防止され、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定したインク滴吐出を行うことができて印写品質を確保することができる。
【００４６】
そして、このように単に振動板４２とノズルプレート３３とを導通状態にして電気的に浮かせた状態にすることで、振動板４２に誘起された電荷は流出しないので、安価に且つ容易に誘起電圧による振動板４２の溶解を防止することができる。なお、振動板４２とノズルプレート３３とを導通状態にして電気的に浮かせた状態にするには、ヘッド取付け台を絶縁材料で形成してノズルカバー３を接地しなければよい。
【００４７】
次に、本発明の第５実施例について図１０を参照して説明する。
この実施例では、上記第４実施例のノズルプレート３３にノズルカバー３を圧接して電気的に接続している。そして、ノズルカバー３は前記第１実施例と同様にして（図５参照）プリンタ本体のＧＮＤに接続している。
【００４８】
したがって、振動板４２は導電性接着剤７３及びノズルカバー３等を介して接地されて、振動板４２に誘起される電圧はアースに流れることになるので、誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に溶出することが防止され、振動板の信頼性が向上し、長期的に安定したインク滴吐出を行うことができて印写品質を確保することができる。そして、この場合、複数のヘッドのインクに接触する液室構成部品を同電位差にすることができ、電気的に安定した状態となって振動板のみならずノズルプレートからの溶出も防止できて信頼性が向上する。
【００４９】
次に、本発明の第６実施例について図１１を参照して説明する。
この実施例では、フレーム部材１３に前記第３実施例と同様に基板１１上のＧＮＤパターン６５に対応する位置に貫通穴７５を形成し、更に振動板４２及び液室隔壁部材３２にそれぞれ貫通穴７５に対応する位置に貫通穴７６，７７を形成して、これらの貫通穴７５〜７７内に導電性接着剤７８を充填して、ノズルプレート３３及び振動板４２とを導電性接着剤７８を介して基板１１上のＧＮＤパターン６５に接続し、このＧＮＤパターン６５、ＦＰＣケーブル５３、ＰＣＢ基板５２を介してプリンタ本体のＧＮＤに接続している。
【００５０】
これによって振動板４２はノズルプレート３３と導通されると共に導電性接着剤７８、ＧＮＤパターン６５等を介して接地されるので、振動板４２に誘起される電圧はアースに流れ、誘起電圧によって振動板４２の金属イオンがインク中に流出することが防止され、振動板の信頼性が向上し、安定した印写品質を確保することができる。また、ノズルプレート３３も接地されることで、ノズルプレート３３からの金属イオンの溶出も防止される。
【００５１】
このように振動板とノズルプレートとを導通状態にした上、各ヘッド毎にそれ自身のＰＣＢ基板内のＧＮＤに落とすことで、ヘッド単体状態で確実に振動板をアースに落とすことができ、振動板及びノズルプレートの金属イオンの溶出を防止できる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るインクジェットヘッドによれば、積層型圧電素子の周囲を囲むフレーム部材を備え、このフレーム部材に設けられた導電性部材を介して振動板が接地されることにより、前記積層型圧電素子を駆動したときに前記振動板に誘起される誘起電圧がアースに流れる構成としたので、振動板に誘起電圧が生じても振動板中の金属イオンがインク中に流出して穴が明くことが防止され、振動板の信頼性が向上し、画像品質が向上する。
【００５３】
本発明に係るインクジェット記録装置によれば、本発明に係るインクジェットヘッドを備えている構成としたので、振動板に誘起電圧が生じても振動板中の金属イオンがインク中に流出して穴が明くことが防止され、振動板の信頼性が向上し、画像品質が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例を示す分解斜視図
【図２】同ヘッドのチャンネル方向と直交する方向の要部拡大断面図
【図３】同ヘッドのチャンネル方向の要部拡大断面図
【図４】本発明の第１実施例を示す要部断面図
【図５】同実施例の斜視図
【図６】駆動波形と誘起電圧の関係を説明する説明図
【図７】本発明の第２実施例を示す要部斜視図
【図８】本発明の第３実施例を示す要部斜視図
【図９】本発明の第４実施例を示す要部断面
【図１０】本発明の第５実施例を示す要部断面
【図１１】本発明の第６実施例を示す要部断面
【符号の説明】
１…駆動ユニット、２…液室ユニット、３…ノズルカバー、１１…基板、１２…圧電素子、１３…フレーム部材、３２…液室隔壁部材、３３…ノズルプレート、４２…振動板、５３…ＦＰＣケーブル、６５…ＧＮＤパターン、６６部…溝、６７…穴部、６８…導電性接着剤、７１，７２，７５〜７７…貫通穴、７３，７８…導電性接着剤。
【図１】
0003942118.tif 000002
【図２】
0003942118.tif 000003
【図３】
0003942118.tif 000004
【図４】
0003942118.tif 000005
【図５】
0003942118.tif 000006
【図６】
0003942118.tif 000007
【図７】
0003942118.tif 000008
【図８】
0003942118.tif 000009
【図９】
0003942118.tif 000010
【図１０】
0003942118.tif 000011
【図１１】
0003942118.tif 000012