(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転円盤の周縁部に環状フレームを配置し、回転円盤に供給した塗布液を遠心力により薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除去する装置において、前記環状フレームの内側に、前記環状フレームに非接触、かつ前記液溜りに全周縁部が接触するようにリング状の案内盤を配置すると共に、前記リング状の案内盤のリング内部を通過する液供給管によって塗布液を回転円盤に供給し、この案内盤の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の取り出しを行なうことを特徴とする連続脱気脱泡装置。
【請求項２】
液溜りに対する案内盤の先端部の侵入深度が３０ｍｍ以下となるよう設定されていることを特徴とする請求項１に記載の連続脱気脱泡装置。
【請求項３】
案内盤の下面が、下方に位置する回転円盤の上面から１０ｍｍ以上離れていることを特徴とする請求項１又は２に記載の連続脱気脱泡装置。
【請求項４】
塗布液が感光液であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の連続脱気脱泡装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、塗布装置に塗布液を供給する前処理として、塗布液に含まれている気体成分を除去するのに利用される連続脱気脱泡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
支持体上にミクロン単位の膜厚で塗布液の塗布を行なうには、塗布液中に気体成分（大きいものは気泡と呼ばれる）が混入していると、塗布故障が発生することから、塗布液を塗布装置に供給する前処理として、塗布液中に含まれている気体成分を除去する必要がある。特に、塗布液が感光液である場合、塗布故障に対する許容が厳しく、より重要である。
【０００３】
上記前処理に利用される装置として、従来、貯槽に溜められている塗布液に対して超音波を照射して振動により脱気脱泡を行なう装置が知られている。
【０００４】
特開平５−２５３４１２号公報には、減圧ハウジング内で円盤を水平方向に回転させ、この円盤の中央部上方から塗布液を少量づつ供給して、遠心力により塗布液を薄膜状に引き伸ばしながら円盤周縁部の液溜りに送り込み、液溜りの中に一カ所用意されている固定式の液取り出し口から処理済みの塗布液を取り出す装置が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
超音波を利用した脱気脱泡装置では、塗布液が高粘度である場合や大容量である場合に十分な脱気脱泡を行なうことが困難となっている。
【０００６】
上記した特開平５−２５３４１２号公報に開示されている装置では、液溜り中に一カ所用意されている固定式の液取り出し口を細長い断面形状（スリット状）としているが、円盤と共に回転している液溜り中の塗布液が液取り出し口に衝突して塗布液をかき乱し、新たに発泡を生じさせたり、遠心分離された気泡を再び塗布液中に巻き込んでしまう現象が発生している。
【０００７】
特に発泡し易く、発生した気泡が安定している塗布液を処理しようとすると、回転円盤の上面で薄膜状に形成した部分だけでは、十分な脱泡が困難であり、液溜り部分に持ち込まれる気泡が多いことから、液取り出し口への塗布液の衝突の問題は重要である。
本発明は、上記した問題を解決することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る連続脱気脱泡装置は、（１）回転円盤の周縁部に環状フレームを配置し、回転円盤に供給した塗布液を遠心力により薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除去する装置において、前記環状フレームの内側に、前記環状フレームに非接触、かつ前記液溜りに全周縁部が接触するようにリング状の案内盤を配置すると共に、前記リング状の案内盤のリング内部を通過する液供給管によって塗布液を回転円盤に供給し、この案内盤の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の取り出しを行なうこと、（２）液溜りに対する案内盤の先端部の侵入深度が３０ｍｍ以下となるよう設定されていること、（３）案内盤の下面が、下方に位置する回転円盤の上面から１０ｍｍ以上離れていること、（４）塗布液が感光液であること、をそれぞれ特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１に従って本発明に係る装置を説明する。ハウジング１０は、内部を気密状態に保ってあり、真空ポンプ１１による吸気により減圧されている。円盤２０は水平に支持されており、モータ２１により回転される。円盤２０の周縁部には、塗布液に液溜り３０を形成させるための環状フレーム２２が配置されている。
【００１０】
処理しようとする塗布液は、リング状の案内盤２３のリング内部を通過する液供給管１２により供給される。
【００１１】
円盤２０の環状フレーム２２の内側には、これと非接触の状態で、かつ液溜り３０に全周縁部が接触するようにリング状の案内盤２３が配置されており、この案内板２３は円盤２０の回転に対して不動である。この案内盤２３の内側には、液取り出し管２４が引き込まれており、周縁部の一カ所に液取り出し口２５が開口されている。
【００１２】
円盤２０がモータ２１の駆動により回転され、処理しようとする塗布液が液供給管１２を通して円盤２０の上面に供給されると、塗布液は遠心力によって外方に移動し薄膜状に引き伸ばされる。この時、塗布液に含まれる気体成分の多くは減圧状態にあるハウジング１０内に飛散し、一部の気泡も除去される。更に外方に移動した塗布液は、環状フレーム２２の内側に至って液溜り３０を形成する。この液溜り３０の部分では、遠心力により塗布液成分と気泡との分離が生じ、重い塗布液成分は環状フレーム２２の深い方に溜り込むことになる。液溜り３０が、液供給管１２を通して供給される塗布液によって一定の量に達すると、この液溜り３０と案内盤２３の周縁部とが接触することになる。円盤２０と共に回転する液溜り３０の中には案内盤２３が静止している。即ち、案内盤２３の外周縁に沿って塗布液が還流することになる。
従って、上記した特開平５−２５３４１２号公報に開示されている装置におけるような塗布液と液取り出し口との衝突は問題は生じない。このことからも、液取り出し口２５は、塗布液の還流方向に向かって傾斜していることが好ましい。
【００１３】
案内盤２３の下面が、下方に位置する回転円盤２０の上面から１０ｍｍ以上離れている構成によって、隙間の液体に溜りが発生して気泡の分離を妨害することを抑制できる。
【００１４】
脱気脱泡された塗布液は、液溜り３０の深部に位置する液取り出し口２５から液取り出し管２４へと取り出される。
【００１５】
液溜り３０に対する案内盤２３の先端部（液取り出し口２５が位置する）の侵入深度が深くなればなる程、抵抗が大きくなり、塗布液の回転が妨げられることになり、脱気・脱泡効果が低下することになる。従って、この深度を３０ｍｍ以下に設定することが好ましく、更に好ましくは５ｍｍ以下とすることである。
【００１６】
【実施例】
〈実施例１〉
図１に示した装置を、下記の設計条件で利用した。
円盤２０の外径：          ３５０ｍｍ
環状フレーム２２の高さ：    ５０ｍｍ
環状フレーム２２の深さ：    ３５ｍｍ
案内盤２３の直径：        ３４０ｍｍ
案内盤２３の高さ：          １５ｍｍ
円盤２０の回転速度：      ３０００ｒｐｍ
ハウジング１０内の減圧：  １５０ｍｍＨｇ
粘度の異なる下記塗布液を用意し、それぞれ５リットル／ｍｉｎの量を供給した。
【００１７】
塗布液Ａ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加）  粘度：１００ｃｐ
塗布液Ｂ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加）  粘度：２００ｃｐ
塗布液Ｃ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加）  粘度：５００ｃｐ
結果を表１に示す。尚、脱気率は、処理前後の溶存酸素濃度を測定する方法で検出し、脱泡効果は、処理後の液をサンプルとして最大気泡直径を測定する方法で検出した。
【００１８】
〈参考例１〉
図１に示した装置から、案内盤２３と液取り出し管２４を取り外し、幅１ｍｍ、長さ１０ｍｍの開口を持つ液取り出し口を厚み１ｍｍの金属板で形成して、液取り出し管に接続し、図１の装置における液取り出し口２５と同様の位置に配置した。
【００１９】
上記の装置を用い、実施例１と同一の条件で実験を行なった。但し、円盤２０の回転速度は、発泡・液の飛び散りにより、環状フレーム２２から塗布液があふれ出ることが許容できる最大回転速度５００ｒｐｍで実験を行なった。結果を表１に示す。
【００２０】
【表１】
0003959882.tif 000002
【００２１】
（注１）＊：処理後の最大残留気泡径を示す。
（注２）＊＊：気泡除去効果が認められない。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、高粘度の塗布液の脱気脱泡を有効に行なうことができ、処理時間も短縮できるので大容量の処理に最適であり、頭記した課題を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る装置の概略断面図
【図２】案内盤の斜視図
【符号の説明】
１０−ハウジング
１１−真空ポンプ
１２−液供給管
２０−円盤
２１−モータ
２２−環状フレーム
２３−案内盤
２４−液取り出し管
２５−液取り出し口
３０−液溜り
【図１】
0003959882.tif 000003
【図２】
0003959882.tif 000004