(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられた支持台上に切断される基板を載置する工程と、
該基板の自重により前記弾性部材を押圧し該弾性部材よりしみ出る水分により前記基板の一主面が濡れた状態で該基板を切断する工程とを有することを特徴とする基板の切断方法。
【請求項２】
前記基板の一主面が濡れた状態で、該基板の他方の主面に断面Ｖ溝状のスクライブラインを形成し、該基板を反転させて該基板の一主面の前記スクライブラインの溝に対応する位置に切断用工具の刃先を押し付け、この状態で該工具に振動を与え該基板を切断することを特徴とする請求項１記載の基板の切断方法。
【請求項３】
切断される基板を支持するための支持台であって、
表面に溝が形成され、該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられていることを特徴とする支持台。
【請求項４】
前記弾性部材は、前記溝にその弾性力に抗して押入されていることを特徴とする請求項３記載の支持台。
【請求項５】
前記弾性部材は、多孔性高分子材料からなることを特徴とする請求項３または４記載の支持台。
【請求項６】
前記表面には、前記溝が複数本、所定の間隔をおいて形成され、少なくとも１本または２本以上の前記溝に前記弾性部材が押入されていることを特徴とする請求項３、４または５記載の支持台。
【請求項７】
シール材により接合された一対の基板を有する電気光学装置の製造方法において、
前記一対の基板をシール材を用いて接合し、
この接合状態の基板を、表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられた支持台上に載置し、
この接合状態の基板の自重により前記弾性部材を押圧し、該弾性部材よりしみ出る水分により該接合状態の基板の一方の基板の一主面が濡れた状態で他方の基板を切断することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
前記一対の基板は液晶パネルを構成するものであり、前記電気光学装置は前記液晶パネルを使用した液晶装置であることを特徴とした請求項７記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の切断方法及び支持台、切断装置並びに電気光学装置の製造方法に関し、特に、基板の切断時に静電気の発生を防止し得る技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
代表的な電気光学装置である液晶表示装置は、一対の基板の間に液晶等の電気光学材料を封入することによって形成される液晶表示パネルに、液晶駆動用回路、照明装置、支持体等の付帯要素を組み合わせることにより構成されている。
【０００３】
例えば、電気光学装置の一実施形態である液晶表示装置に使用される液晶パネルは、図１１に符号１１で示したように、一対の基板１ａ、１ｂを互いに対向して貼り合わせ、それら基板１ａ、１ｂの間に形成される微小間隙内に液晶３を封入することによって構成される。
【０００４】
上記のような２枚の基板を対向させて張り合わせた構造の電気光学装置には、液晶装置のほかにエレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ等がある。
【０００５】
ここで、液晶装置を例に挙げてそれに使用する液晶パネルの製造方法を説明する。図１１に示すような液晶パネル１１は、図１２に示すような液晶パネル母材１６から得られる。即ち、一対の基板母材５１ａ、５１ｂの表面の、液晶基板領域４ａ、４ｂにそれぞれの必要な要素を構成した後、それらの基板母材５１ａ、５１ｂを微小間隙をもって互いに貼り合わせて液晶パネル母材１６とし、その後液晶パネル母材１６の各基板母材５１ａ、５１ｂをそれぞれ所定の形状に切断することにより得られる。
【０００６】
ここで、「基板母材」とは液晶パネルを構成するための素材である基板材料を意味する。また、「液晶パネル母材」とは、液晶パネルの構成に必要な各構成要素を搭載した２枚の基板を張り合わせたものを意味する。また、「液晶基板領域」とは、基板上の液晶パネルの構成に必要な各構成要素を搭載すべき領域を指す。
【０００７】
１枚の液晶パネル母材には、ただ１個の液晶基板領域を含む場合と、複数個の液晶基板領域を含む場合がある。
【０００８】
液晶パネル母材の切断方法は、先ず一方の基板母材５１ｂの表面の液晶基板領域４ｂの外周に沿った所定位置にスクライブ溝ＬAを設けた後、このスクライブ溝ＬAを形成した部分を基板母材５１ｂの反対側（すなわち基板母材５１ａ側）から押圧し、これによりスクライブ溝を起点として発生する亀裂を進行させることにより、基板母材５１ｂの切断を行なう。次いで、もう一方の基板母材５１ａの表面の液晶基板領域４ａに沿った所定位置に、上記と同様の方法でスクライブ溝ＬBを設け、スクライブ溝ＬBを設けた部分を基板母材５１ａの反対側（すなわち基板母材５１ｂ側）から押圧し、これによりスクライブ溝ＬBを起点として発生する亀裂を進行させることにより、基板母材５１ａの切断を行なう。
【０００９】
スクライブ溝を形成する場合、図１３（ａ）に示すような線状溝形成装置７を使用する。この線状溝形成装置７は、外周先端が円周方向の全域で尖っている硬質物質からなる円盤状のスクライブ・ローラー９と、スクライブ・ローラー９を図１３（ａ）の矢印方向（Ｂ−Ｂ’）に上下させる昇降装置２１と、スクライブ・ローラー９および昇降装置２１の全体を紙面垂直方向に往復直線移動させるための直線移動装置２２から構成されている。
【００１０】
ここでは、先ず、切断する液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂを上側にして処理ステージ５２上の所定のスクライブ溝ＬAの切断位置に搬送し、ついで昇降駆動装置２１を作動させてスクライブ・ローラー９を基板母材５１ｂの表面に所定圧力で押し付ける。この状態で直線移動装置２２を作動させてスクライブ・ローラー９を紙面垂直方向へ往復運動させる。これによりスクライブ・ローラー９が基板母材５１ｂの表面を転がりながら移動し、その結果基板母材５１ｂ表面の所定の適所に符号ＬAで示す直線状の溝、いわゆるスクライブ溝５４が形成される。
【００１１】
また、スクライブ溝５４を形成した部分を基板の反対側から押圧するには、図１３（ｂ）に示すような押圧装置８を使用する。この押圧装置８は、機枠２３によって支持された昇降駆動装置２４と、先端部が硬質ゴムによって構成された押圧子２６とから構成される。
【００１２】
上記の通りスクライブ溝ＬAが形成された液晶パネル母材１６を反転させ、スクライブ溝ＬAが形成された裏側（基板母材５１ａ側）に押圧装置８の押圧子２６を当て、昇降駆動装置２４を駆動させて、例えば所定の短時間だけ基板母材を叩くように作用させる。これによりスクライブ溝ＬAを起点として亀裂が生じ、基板母材５１ｂが所定のスクライブ溝ＬAに沿って切断される。
【００１３】
上記のような切断工程を各基板母材５１ａ、５１ｂの表示領域４に沿った所定の位置に適用することにより、図１２に示す液晶パネル母材１６から、図１１に示す液晶パネル１１が得られる。
【００１４】
また、液晶パネル１１が小さい場合には、生産効率を上げるため、図１４に示すような大きな液晶パネル母材１６を切断することにより得ている。
【００１５】
即ち、一対の基板母材５１ａ、５１ｂの表面にそれぞれ複数個の液晶基板領域４に必要な要素を構成した後、それらの複数個の液晶基板領域４を重ね合わせて基板母材５１ａ、５１ｂを微小間隙をもって互いに貼り合わせる。その後、個々の液晶基板領域４の外周に沿って基板母材５１ａ、５１ｂを所定の形状に切断する。切断方法は、前述のとおりスクライブ溝を形成した後押圧する方法を採用する。
【００１６】
図１４では１枚の基板母材上に４個の液晶基板領域を配置してある。図１４に示すような大型の液晶パネル母材１６を、先ず図１５に示すように半分に切断して中型の液晶パネル母材１７とし、次いで各液晶パネル母材１７をさらに半分に切断して図１６に示すような４枚の所定の大きさの液晶パネル１１を得る。図１４において、切断線ＬA、ＬBは基板母材５１ｂの切断線、ＬCは基板母材５１ａの切断線である。また、図１５において、切断線ＬDは基板母材５１ｂの切断線、ＬEは基板母材５１ａの切断線である。
【００１７】
この結果、切断線ＬBと切断線ＬCは重なり、２枚とも切断される。切断線ＬAの部分は基板母材５１ｂだけなので端材１８が切り落とされる。
【００１８】
図１５においても、同様にして、各液晶パネル母材１７を半分に切断し、端材１８を切り落として図１６に示す所定の大きさの液晶パネル１１を得る。
【００１９】
ここで端材１８を切り落とした部分は端子部分１５となる。
【００２０】
上述した液晶パネル母材１６の切断方法においては、切断時に液晶パネル母材１６に静電気が発生するために、切断により得られた液晶パネル１１も静電気が帯電したものとなる。この液晶パネル１１が帯電した状態で次工程に運ばれた場合、静電気に起因する種々の不良が発生する虞がある。そこで、イオナイザー等のイオン発生手段によりイオン化した空気を液晶パネル母材１６に吹き付けつつ切断することにより、この液晶パネル母材１６に発生する静電気を中和する方法が採られている。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の液晶パネル母材１６の切断方法においては、イオン化した空気を液晶パネル母材１６に吹き付けつつ切断することにより、この液晶パネル母材１６に発生する静電気を中和しているが、この方法では、静電気を完全に中和するまでには、一定の時間の経過が必要とされるために、切断後直ちに次工程を実施することはできない。
【００２２】
特に、切断工程がインライン装置に組み込まれている様な場合、液晶パネル母材１６の静電気が完全に中和されず、得られた液晶パネル１１も静電気が帯電している状態で次の工程に移るために、液晶パネル１１から静電気を完全に除去することは非常に難しく、静電気に起因する種々の不良の発生を完全に防止することは困難である。
【００２３】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであって、基板の静電気の発生を防止し、基板及びそれを用いた電気光学装置の静電気に起因する種々の不良の発生を防止し、製造工程に係る時間を短縮し、製造コストの低減を図ることを目的とする。
【００２４】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板の切断方法は、表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられた支持台上に切断される基板を載置する工程と、該基板の自重により前記弾性部材を押圧し該弾性部材よりしみ出る水分により前記基板の一主面が濡れた状態で該基板を切断する工程とを有することを特徴とする。
【００２５】
本発明の基板の切断方法によれば、支持台の溝に設けられた水分を含む弾性部材により前記基板の一主面が濡れた状態で該基板を切断するので、切断時に前記基板に静電気が帯電する虞が無くなり、前記基板における静電気の発生を防止することができる。したがって、静電気が帯電することの無い所定形状の基板を得ることができる。
【００２６】
また、基板に静電気が帯電していないので、切断後直ちに次工程を実施することが可能になり、製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００２７】
特に、基板の切断工程がインラインに組み込まれている様な場合においても、静電気の帯電の無い基板を速やかに次工程に送ることができるので、静電気に起因する種々の不良の発生を防止することができる。
【００２８】
本発明の基板の切断方法は、前記基板の一主面が濡れた状態で、該基板の他方の主面に断面Ｖ溝状のスクライブラインを形成し、該基板を反転させて該基板の一主面の前記スクライブラインの溝に対応する位置に切断用工具の刃先を押し付け、この状態で該工具に振動を与え該基板を切断することが好ましい。
【００２９】
この方法によれば、最も静電気が発生し易い部分である基板上のスクライブラインに対応する位置が常に濡れた状態となるので、切断時における静電気の発生が効率良く抑制される。したがって、基板切断時における静電気の発生を効率的に防止することができる。
【００３０】
本発明の支持台は、切断される基板を支持するための支持台であって、表面に溝が形成され、該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられていることを特徴とする。
【００３１】
本発明の支持台によれば、表面の溝に、水分を含む弾性部材を該表面から突出するように設けたので、切断される基板を支持台上に載置した際に、基板の自重により前記弾性部材が押圧されて該弾性部材より水分がしみ出し基板の一主面が濡れた状態となり、切断時における静電気の発生を防止する。
【００３２】
前記弾性部材は、前記溝にその弾性力に抗して押入されている構成としてもよい。
【００３３】
また、前記弾性部材は、多孔性高分子材料により構成してもよい。
【００３４】
また、前記表面には、前記溝が複数本、所定の間隔をおいて形成され、少なくとも１本または２本以上の前記溝に前記弾性部材が押入されている構成としてもよい。
【００３５】
本発明の基板の切断装置は、請求項３、４、５または６記載の支持台と、該支持台に支持される基板を切断するための切断用工具と、該切断用工具に振動を与える振動体と、前記切断用工具を駆動させる駆動手段と、前記振動体を振動させる発振手段とを備えたことを特徴とする。
【００３６】
本発明の基板の切断装置によれば、切断する基板を前記支持台に載置し、その基板の一主面が濡れた状態で前記切断用工具を用いて切断するので、切断時において前記基板に発生する静電気を除去することが可能になる。したがって、切断時における基板の静電気の発生を防止することができる。
【００３７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、シール材により接合された一対の基板を有する電気光学装置の製造方法において、前記一対の基板をシール材を用いて接合し、この接合状態の基板を、表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられた支持台上に載置し、この接合状態の基板の自重により前記弾性部材を押圧し、該弾性部材よりしみ出る水分により該接合状態の基板の一方の基板の一主面が濡れた状態で他方の基板を切断することを特徴とする。
【００３８】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、切断時に前記基板に静電気が帯電する虞が無くなり、切断時に前記基板における静電気の発生を防止することができる。これにより、切断後直ちに次工程を実施することができ、電気光学装置の製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００３９】
特に、基板の切断工程が電気光学装置のインラインに組み込まれている様な場合においても、静電気の帯電の無い基板を速やかに次工程に送ることができるので、静電気に起因する種々の不良の発生を防止した電気光学装置を作製することができる。
【００４０】
本発明の電気光学装置の製造方法により製造される電気光学装置は、前記一対の基板は液晶パネルを構成するものであり、前記電気光学装置は前記液晶パネルを使用した液晶装置であってもよい。
本発明の電気光学装置の製造方法は、前記電気光学材料を液晶とし、前記電気光学パネルを液晶パネルとした構成としてもよい。
【００４１】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態について図面に基づき説明する。
【００４２】
まず、電気光学装置の一つである液晶装置に使用される液晶パネルの場合を例に挙げて説明する。
【００４３】
この液晶パネルはＴＦＤ構造のもので、この液晶パネルに液晶駆動用回路、照明装置、支持体等の付帯要素を装着することにより液晶装置が得られ、さらに付帯する必要な部品を実装することにより最終製品である電子機器となる。
【００４４】
まず、この液晶パネルの製造方法について説明する。
【００４５】
ここでは、図１に示す大型の液晶パネル母材１６から、図７に示す液晶パネル１１を４枚作る場合を例に挙げて説明する。
【００４６】
この液晶パネル１１は、シール材２によって互いに対向するように貼り付けられた一対の透光性の基板１ａ、１ｂを有する。１ａはＴＦＤ素子を搭載するための素子基板、１ｂはその素子基板１ａに対向する対向基板である。素子基板１ａと対向基板１ｂとの間に電気光学物質である液晶３が封入されている。
【００４７】
上述した液晶パネル母材１６としては、先ず面積の大きな一対の透光性を有する素子基板母材５１ａ及びこれに対向する対向基板母材５１ｂを準備する。これらの透光性を有する基板母材５１ａ、５１ｂには、例えば、厚さ０．４ｍｍの透光性ガラス基板を使用する。この素子基板母材５１ａは液晶パネル１１の素子基板１ａを形成するための基板母材であって、その母材中には複数個（本実施形態では４個）の液晶基板領域４ａが含まれている。また、対向基板母材５１ｂは液晶パネル１１の対向基板１ｂを形成するための基板母材であって、その母材中にも複数個の液晶基板領域４ｂが含まれている。
【００４８】
この素子基板母材５１ａの各液晶基板領域４ａの内側表面に、直線状の配線１２を互いに平行に複数個配列し、それら配線１２の間に非線形抵抗素子としてのＴＦＤ素子１３を形成し、この上に個々のＴＦＤ素子１３に対応して、スパッタリングによってインジウム錫酸化物（Indium Tin Oxide、以下、ＩＴＯと略称する）膜を形成し、透光性の画素電極１４とする。
【００４９】
次に、各液晶基板領域４ａ内の全域に配向膜を形成し、さらにそれら液晶基板領域４ａの周辺部分に、スクリーン印刷法によってシール材２を環状に印刷する。この環状のシール材２の一部を開口２ａとし液晶の注入口とする。
【００５０】
一方、対向基板母材５１ｂについては、各液晶基板領域４ｂの内側表面に、周知の成膜手段を用いてカラーフィルター（図示せず）を形成する。次いで、その上にスパッタリングによってＩＴＯ膜を形成し、さらにフォトリソグラフィーによりパターニングを施してストライプ状の透光性電極を形成する。さらにその透光性電極の上に、配向膜を形成する。
【００５１】
このように、各基板母材５１ａ、５１ｂに上記の処理を施した後、いずれか一方の基板母材の電極面上にビーズ状のスペーサを分散させ、両方の基板母材５１ａ、５１ｂの電極面が対向するように両基板母材５１ａ、５１ｂを互いに重ね合わせて貼り合わせる。このようにして、図１に示す大型の液晶パネル母材１６を作製することができる。
【００５２】
その後、このようにして作製された液晶パネル母材１６を、図２及び図３に示す切断処理ステージ（支持台）３１にセットして、液晶パネル母材１６の切断処理を行う。
【００５３】
この切断処理ステージ３１は、矩形状の板体３２の表面３２ａに複数本（図では６本）の溝３３が所定の間隔をおいて互いに平行に形成され、これら溝３３各々には、水分を含んだ弾性部材３４が、その上端部が表面３２ａから突出するように押入されている。
【００５４】
この弾性部材３４は、例えば、スポンジ等のような吸水性の多孔性高分子材料からなるもので、その形状は、例えば、断面が三角形状の長尺の部材とされている。弾性部材３４が吸収・保持する水分の量は、切断される液晶パネル母材１６を該切断処理ステージ上に載置した際に、液晶パネル母材１６の自重により弾性部材３３が押圧されて該弾性部材３３よりしみ出し前記液晶パネル母材１６の表面を濡らす程度の量が少なくとも必要である。この水分の量が少なすぎると、液晶パネル母材１６の表面を十分に濡らすことができず、切断時における静電気の発生を防止することができない。
【００５５】
この弾性部材３４は、その弾性力により溝３３の側面を押圧することで該溝３３内に保持されているので、少なくとも液晶パネル母材１６の切断が完了するまでは、該溝３３内で移動したりあるいは該溝３３から離脱したり等のおそれはない。
【００５６】
この切断処理ステージ３１を備えた切断装置により液晶パネル母材１６の切断を行う。
【００５７】
まず、図４（ａ）に示すように、切断する液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂを上側にして切断処理ステージ３１の表面３２ａの所定のスクライブ溝５４の切断位置に搬送する。弾性部材３４は、液晶パネル母材１６の自重により押圧されて垂直方向に圧縮されるので、該弾性部材３４の保水量を上回る量の水分が該弾性部材３４よりしみ出し、液晶パネル母材１６の表面を濡らすこととなる。
【００５８】
この状態で、昇降駆動装置２１を作動させてスクライブ・ローラー９を基板母材５１ｂの表面に所定圧力で押し付け、この状態で直線移動装置２２を作動させてスクライブ・ローラー９を紙面垂直方向へ往復運動させる。これによりスクライブ・ローラー９が基板母材５１ｂの表面を転がりながら移動し、基板母材５１ｂ表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成する。
【００５９】
このようにして、  図５に示すように、基板母材５１ｂの表面の液晶基板領域４の外周に切断線Ｙ１に沿って直線状のスクライブ溝ＬBが、切断線Ｙ２に沿って直線状のスクライブ溝ＬAがそれぞれ形成される。
【００６０】
次いで、図４（ｂ）に示すように、スクライブ溝５４が形成された液晶パネル母材１６を反転させ、スクライブ溝５４が形成された裏側（基板母材５１ａ側）に押圧装置８の押圧子２６を当て、昇降駆動装置２４を駆動させて、例えば所定の短時間だけ基板母材を叩くように作用させる。これにより、スクライブ溝５４を起点として亀裂が生じ、基板母材５１ｂが所定のスクライブ溝ＬB（ＬA）に沿って切断される。この結果、液晶パネル母材１６は、図６に示す２枚の中型の液晶パネル母材１７となる。
【００６１】
この際、切断線Ｙ２は液晶を注入する開口２ａを横切るように形成される。液晶注入用の開口２ａの連なった中型の液晶パネル母材１７の段階で液晶の注入を行うと、作業効率が良く好都合である。なお、図６中符号１８は端材として除去される部分である。
【００６２】
再度、図４（ａ）及び（ｂ）に示す切断方法を用いて中型の液晶パネル母材１７を更に切断する。
【００６３】
すなわち、上記で得られた中型の液晶パネル母材１７の所定位置にスクライブ溝を形成し、この中型の液晶パネル母材１７を反転し、素子基板母材５１ａを上にして切断処理ステージ３１の所定位置にセットし、図６の切断線Ｚ１、Ｚ２に沿って直線状に切断する。その結果、図６に示す２枚の中型の液晶パネル母材１７は、図７に示す２枚の所定の大きさの液晶パネル母材１１となり、結局、図１に示す１枚の大型の液晶パネル母材１６から、図７に示す４枚の所定の大きさの液晶パネル母材１１が得られたことになる。
【００６４】
この切断処理ステージ３１を備えた切断装置の一例として、図８に示すインライン装置について説明する。
【００６５】
このインライン装置は、液晶パネル母材１６の搬送方向（図中左から右へ向かう方向）に沿って、液晶パネル母材１６をカセットより取り出す取り出し用ロボット４１と、切断処理ステージ３１を備えガイドに沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向共に移動可能な第１のスクライバー４２と、スクライブ溝５４が形成された液晶パネル母材１６を反転させる第１の反転ロボット４３と、ガイドに沿ってＹ軸方向にのみ移動可能な第１のブレーカー４４と、切断処理ステージ３１を備えガイドに沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向共に移動可能な第２のスクライバー４５と、搬送されてきた液晶パネル母材１６を反転させる第２の反転ロボット４６と、ガイドに沿ってＹ軸方向にのみ移動可能な第２のブレーカー４７と、この切断工程により得られた液晶パネル母材１１を取り出し次工程に送る送り用ロボット４８とにより概略構成されている。
【００６６】
このインライン装置では、取り出し用ロボット４１により液晶パネル母材１６をカセットより取り出し、この液晶パネル母材１６を搬送方向に送る。
【００６７】
第１のスクライバー４２では、搬送されてきた液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂを上側にして切断処理ステージ３１上の切断位置に載置し、基板母材５１ｂ表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成する。
【００６８】
第１の反転ロボット４３では、スクライブ溝５４が形成された液晶パネル母材１６を基板母材５１ａが上側になるように反転させる。
【００６９】
第１のブレーカー４４では、反転した液晶パネル母材１６を基板母材５１ａ側からスクライブ溝５４に沿って切断し、液晶パネル母材１６を２枚の中型の液晶パネル母材１７とする。
【００７０】
第２のスクライバー４５では、２枚の中型の液晶パネル母材１７を基板母材５１ａを上側にして切断処理ステージ３１上の切断位置に載置し、基板母材５１ａ表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成する。
【００７１】
第２の反転ロボット４６では、スクライブ溝５４が形成された液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂが上側になるように反転させる。
【００７２】
第２のブレーカー４７では、反転した液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂ側からスクライブ溝５４に沿って切断し、液晶パネル母材１６を４枚の液晶パネル母材１１とする。
【００７３】
このインライン装置により、切断工程の一連の動作を連続して行うことができる。しかも、第１のスクライバー４２及び第２のスクライバー４５においては、切断処理ステージ３１により切断時に液晶パネル母材１６に発生する静電気を効率良く除去し帯電を防ぐ。これにより、液晶パネル母材１６から静電気を除去することができ、得られた液晶パネル母材１１においても静電気を除去することができる。したがって、液晶パネル１１から静電気を完全に除去することができ、該液晶パネル母材１１が静電気が帯電している状態で次の工程に搬送されるおそれも無い。
【００７４】
本実施形態によれば、切断時における液晶パネル母材１６への静電気の発生を防止することができ、切断後直ちに次工程を実施した場合においても静電気の帯電に起因する不良等の発生を防止することができる。したがって、液晶装置の信頼性を向上させることができ、この液晶装置の製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００７５】
本実施形態では、ＴＦＤ構造の液晶パネルを例示したが、液晶表示方式はＴＦＤ構造に限らず、単純マトリックス方式や、アクティブマトリックス方式の液晶表示方式、例えば、ＴＦＴ方式の液晶表示方式にも適用可能である。
【００７６】
さらに、本実施形態では液晶パネルについて説明したが、本発明は液晶パネルに限らず、エレクトロルミネッセンスパネル（ＥＬＰ）、プラズマディスプレイ（ＰＤ）等にも適用可能である。
【００７７】
次に、本発明により得られた液晶パネル母材を用いて作製された液晶パネルを使用した電子機器について説明する。
【００７８】
本発明により得られた液晶パネル母材を用いて作製された液晶パネルを表示装置として使用した電子機器の例を図９に示す。
【００７９】
図９（ａ）は携帯電話の例を示す斜視図である。１０００は携帯電話本体を示し、そのうち１００１は液晶パネルである。
【００８０】
図９（ｂ）は腕時計型電子機器の例を示す斜視図である。１１００は時計本体を示し、１１０１が液晶パネルである。
【００８１】
図９（ｃ）はワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置の例を示す斜視図である。図中１２００は情報処理装置を示し、１２０２はキーボード等の入力部、１２０４は情報処理装置本体、１２０６は液晶パネルである。
【００８２】
本発明により得られた液晶パネルを使用すれば、静電気の帯電に起因する不良等の発生を防止することができ、液晶パネルの信頼性を向上させることができ、この液晶パネルの製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００８３】
他の電子機器の例として、本発明により得られた液晶パネルを光変調装置として使用した、プロジェクタ（投射型表示装置）の例を図１０に示す。
【００８４】
本例のプロジェクタは、システム光軸Ｌに沿って配置した光源部１１０、インテグレータレンズ１２０、変更変換素子１３０から概略構成される偏光照明装置１００、偏光照明装置１００から出射されたＳ偏光光束をＳ偏光光束反射面２０１により反射させる偏光ビームスプリッタ２００、偏光ビームスプリッタ２００のＳ偏光反射面２０１から反射された光のうち青色光（Ｂ）の成分を分離するダイクロイックミラー４１２、分離された青色光（Ｂ）を変調する反射型液晶光変調装置３００Ｂ、青色光が分離された後の光束のうち赤色光（Ｒ）の成分を反射させて分離するダイクロイックミラー４１３、分離された赤色光（Ｒ）を変調する反射型液晶光変調装置３００Ｒ、ダイクロイックミラー４１３を透過した残りの緑色光（Ｇ）を変調する反射型液晶光変調装置３００Ｇ、３つの反射型液晶光変調装置３００Ｂ、３００Ｒ、３００Ｇにて変調された光をダイクロイックミラー４１２、４１３、偏光ビームスプリッタ２００にて合成し、この合成光をスクリーン６００に投射する投射レンズからなる投射光学系５００から構成されている。
【００８５】
上記３つの反射型液晶光変調装置３００Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂには、それぞれ本発明により得られた液晶パネルが使用されている。この液晶パネルを使用することにより、静電気の帯電に起因する不良等の発生を防止することができ、液晶パネルの信頼性を向上させることができ、この液晶パネルの製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００８６】
【発明の効果】
本発明によれば、切断時における基板への静電気の発生を防止することができる。したがって、切断後直ちに次工程を実施することができ、製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。
【００８７】
特に、基板の切断工程が電気光学装置のインラインに組み込まれている様な場合においては、静電気の帯電の無い基板を速やかに次工程に送ることができるので、静電気に起因する種々の不良の発生を防止することができ、信頼性の高い電気光学装置を作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図２】  本発明の一実施形態の切断処理ステージを示す斜視図である。
【図３】  図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】  本発明の一実施形態の切断装置の一例を示す説明図である。
【図５】  本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図６】  本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図７】  本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図８】  本発明の一実施形態の切断装置の一例であるインライン装置を示す平面図である。
【図９】  本発明の製造方法により得られた液晶パネルを備えた電気光学装置を使用した電子機器の例を示す図である。
【図１０】  本発明の製造方法により得られた液晶パネルを備えた電気光学装置を使用した電子機器の他の例を示す図である。
【図１１】  従来の液晶パネルの一例を示す図である。
【図１２】  従来の液晶パネルの製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図１３】  従来の液晶パネルの製造方法の切断装置の一例を示す説明図である。
【図１４】  従来の液晶パネルの他の製造方法の一工程を説明するための斜視図である。
【図１５】  従来の液晶パネルの他の製造方法の他の一工程を説明するための斜視図である。
【図１６】  従来の液晶パネルの他の製造方法のさらに他の一工程を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１ａ・・・素子基板
１ｂ・・・対向基板
２・・・シール材
３・・・液晶
４・・・液晶基板領域
５・・・表示領域
７・・・線形溝形成装置
８・・・押圧装置
９・・・スクライブ・ローラー
１１・・・液晶パネル
１２・・・配線
１３・・・ＴＦＤ素子
１４・・・画素電極
１５・・・端子部分
１６・・・液晶パネル母材（大型）
１７・・・液晶パネル母材（中型）
１８・・・端材
１９・・・液晶パネル母材
２１・・・昇降駆動装置
２２・・・直線移動装置
２３・・・機枠
２４・・・昇降駆動装置
２６・・・押圧子
３１・・・切断処理ステージ
３２・・・板体
３２ａ・・・表面
３３・・・溝
３４・・・弾性部材
４１・・・取り出し用ロボット
４２・・・第１のスクライバー
４３・・・第１の反転ロボット
４４・・・第１のブレーカー
４５・・・第２のスクライバー
４６・・・第２の反転ロボット
４７・・・第２のブレーカー
４８・・・送り用ロボット
５１ａ・・・素子基板母材
５１ｂ・・・対向基板母材
５２・・・処理ステージ
５４・・・線状溝
１０００・・・携帯電話
１１００・・・腕時計
１２００・・・ノートパソコン
１００・・・偏光照明装置
２００・・・偏光ビームスプリッタ
３００・・・液晶光変調装置
４１２・・・ダイクロイックミラー
５００・・・集光レンズ
６００・・・スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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