(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性有機物を含有し、脱気処理を施された水が混合された被処理水に対し、蒸発法により、気相と液相を隔てる膜で、気液平衡を越えて前記有機物を気相側に濃縮して除去することを特徴とする水処理システム。
【請求項２】
前記蒸発法による前記有機物の気化除去と、活性炭処理、イオン交換処理、逆浸透膜処理、電気脱塩処理および紫外線酸化処理の少なくとも一つの処理を組み合わせたことを特徴とする、請求項１の水処理システム。
【請求項３】
前記蒸発法による前記有機物の気化除去と、少なくとも逆浸透膜処理および紫外線酸化処理を組み合わせたことを特徴とする、請求項２の水処理システム。
【請求項４】
前記蒸発法において気相側に分離された前記有機物を、冷却液化、吸着剤吸着の単独あるいは組み合わせにて処理することを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の水処理システム。
【請求項５】
前記蒸発法における液相側が、運転時の圧力において除去すべき有機物の沸点を考慮した最適温度範囲内の液温で運転されることを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の水処理システム。
【請求項６】
前記蒸発法における気相側が、運転時の温度において除去すべき有機物の蒸気圧を考慮した最適圧力で運転されることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれかに記載の水処理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、少量の揮発性有機物を含有した水から有機物を効率よく除去して処理水を安価に再利用できるようにした水処理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
水資源の枯渇や経済的合理性から、各種産業の生産工程、洗浄工程で利用された水を再利用することの重要性が増加している。すなわち、使用後の水に何らかの処理をして再利用することが期待されている。特に電子産業、半導体産業、液晶パネル製造業のように、使用水の有機物濃度が低い場合、含有有機物が簡便に除去できれば効果的に処理水を再利用できると考えられる。
【０００３】
従来より、有機物除去には大別して２種類の方法が単独であるいは組み合わされて利用されてきた。その第一の方法は分離である。給水中の有機物の膜濾過による濃縮水と透過水への分離、活性炭や合成吸着剤による吸着分離、有機酸のようなイオン性の有機物の場合はイオン交換反応による分離等が、この範疇に入るものとして挙げられる。第二の方法は分解である。オゾンや過酸化水素による酸化分解、高温高圧下での熱化学反応による分解、紫外線照射による酸化分解、光酸化分解に触媒を利用した処理、生物処理による分解等がこの範疇に入るものとして挙げられる。
【０００４】
たとえば電子産業で利用される超純水の製造および使用後の回収水からの超純水製造では、主に活性炭による吸着、逆浸透膜による分離、紫外線酸化による分解、イオン交換による分離が利用されてきた。工業用水や市水等から有機物を除去する際には、自然界に存在する多種多様の有機物の除去を行うことになるが、有機物の種類に関しては大きな変動は少ないと考えられきた。しかしながら、工場用水や市水そのものが、人為的な汚染を受け、予想外の有機物が混入する場合が散見されている。一方、半導体産業や電子産業で使用後の回収水では、生産・洗浄工程にて利用され混入した有機物の除去が要求される。この場合、人為的に有機物が混入するので、有機物の種類はある程度限定される。しかし、将来的には、生産工程の変更等で性質が大幅に異なる有機物の混入や混入濃度の変化が起こる可能性がある。
【０００５】
このような場合を考慮すると、水処理システムとしては有機物の種類に依存しないことが望ましいと考えられる。このような観点から、従来より、分離可能な有機物の種類の範囲が広い逆浸透膜処理と、ほとんどすべての有機物が分解できる紫外線酸化処理が組み合わされて利用されてきた。逆浸透膜運転に必要な電力量は、回収水中のＴＯＣ（全有機体炭素）レベルの濃度ではほとんど変化しないが、紫外線酸化では有機物濃度が高いと必要な電力量は大きくなる。したがって、被処理水をまず逆浸透膜を透過させることによりＴＯＣ濃度を低下させ、次いで紫外線酸化により残存するＴＯＣを炭酸へ完全に分解、あるいは有機酸や炭酸に分解してイオン交換樹脂によりイオン交換除去する方法が採用されてきた。
【０００６】
ところが、回収水等の被処理水に混入している有機物の種類によっては、上記組み合わせが必ずしも効率的ではないことが明らかになった。そのような有機物種の例としては、アセトンやメタノール、エタノール等の低分子量有機物が挙げられる。これらの有機物は他の有機物と比較して逆浸透膜での阻止率が低いので、逆浸透膜処理の透過水においても有機物成分がかなりの濃度で残存する結果となる。このような透過水は紫外線酸化により有機酸や炭酸に分解後イオン交換処理で除去されるが、透過水中の有機物濃度が上昇するに従い、紫外線照射量を増加しないと十分にＴＯＣ濃度が低下しない。すなわち、分離対象とする有機物の逆浸透膜での分離性能が低いので、紫外線酸化装置の電力費が増大し、また発生した有機酸、炭酸の除去でイオン交換樹脂が消耗することになり、イオン交換樹脂の化学再生や交換頻度の増加を招いてしまう。また、有機物濃度の上昇等により紫外線酸化装置において十分な酸化分解が行われない場合には、分解生成物としてアセトン等が発生し、アセトンに有効な除去装置が回収システム系内に無い結果、有機物濃度を十分に低減できない、あるいはシステム内に蓄積してしまう等の問題が発生していた。
【０００７】
また、被処理水に混入する有機物の種類が変化しなくても、その濃度が上昇することによって逆浸透膜透過水の有機物濃度が上昇することは明らかである。そのような有機物として、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）等が代表例として挙げられる。この場合においても、透過水中の有機物濃度が上昇するに従い、紫外線照射量を増加しないと十分にＴＯＣ濃度が低下しない。
【０００８】
このように、有機物に対する逆浸透膜の分離性能が完全ではないために、有機物の種類変更や濃度の増大により、紫外線酸化装置の電力費が増大し、発生した有機酸、炭酸の除去でイオン交換樹脂が消耗することになるとなり、化学再生や交換頻度の増加を招いてしまう。したがって、逆浸透膜の分離性能の限界を補うことのできる、新たな有機物除去方法を備えた水処理システムの出現が要望されていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明の課題は、上記のような従来技術における問題点に着目し、とくに各種産業分野における排水や回収水である、少量の揮発性有機物を含有した被処理水から、効率よくかつ安価に含有有機物を除去可能な水処理システムを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る水処理システムは、揮発性有機物を含有し、脱気処理を施された水が混合された被処理水に対し、蒸発法により、気相と液相を隔てる膜で、気液平衡を越えて前記有機物を気相側に濃縮して除去することを特徴とするものからなる。すなわち、従来一般の蒸発法は、通常、除去対象物質を液相側に残存させて濃縮し、それを除去処理対象としていたが、本発明においては、気相側に濃縮して除去するのである。とくに本発明で対象とする各種産業分野における使用済の排水や回収水を被処理水とする場合、つまり、被処理水中に微量の除去対象揮発性有機物が含有されている場合に、このシステムは特に有効である。
【００１１】
上記水処理システムにおいては、上記蒸発法において気相と液相を隔てる膜で、気液平衡を越えて上記揮発性有機物を気相側に濃縮する。これによって除去効率の向上が可能となる。また、本発明に係る水処理システムにおいては、後述の試験結果に示すように、被処理水が脱気処理を施された水が混合されていると、蒸発法による気相への分離、濃縮性能が向上するので、被処理水の全量あるいは一部にこのような脱気水を混合することとしている。
【００１２】
すなわち、本発明における蒸発法と気液平衡との関係は、たとえば次のように表すことができる。図１に、本発明において対象となる揮発性有機物の例としてエタノールを考えた場合の気液平衡の概念を示した。横軸は液相のエタノールのモル分率（Ｘ〔ｍｏｌ／ｍｏｌ｝）、縦軸は気相のモル分率（Ｙ〔ｍｏｌ／ｍｏｌ｝）である。曲線Ａは単純な気液平衡関係を示し、曲線Ｂはエタノール選択性のパーベーパレーション膜（以下、「ＰＶ膜」と略称することもある。）を用いた場合の見かけの気液平衡関係を示す。ＰＶ膜としては、例えばｐ（パーフルオロアルキルオキシジメチルシリン）スチレンとポリジメチルシロキサンのブレンド膜（前者が１ｗｔ％）等が挙げられる。このようにケイ素を含んだり、フッ素を含んだ膜は、疎水性が高いためか、有機物選択性の膜になりやすいとされている。もし、有機物の液相濃度がＸ１（低い濃度領域におけるＸ１）であったとすると、通常の気液平衡関係では濃度Ｙ１に濃縮された蒸気が発生する。もしＢの性能を示すＰＶ膜を使用するとＹ２に濃縮された蒸気が発生することになる。その結果、液相の有機物濃度を低下させることが可能になる。このように、有機物が気相に濃縮される条件下で、希薄な有機物を液相から除去する場合は、水と有機物の混合蒸気を発生させればよいことがわかる。そのトータルでの蒸気発生量は有機物が気相に濃縮されるほど少なくてよく、したがって気液平衡をより有機物濃縮側に変化させるＰＶ膜を利用する。つまり、気相と液相を隔てる膜で、気液平衡を越えて上記揮発性有機物を気相側に濃縮する。また、有機物濃度が低い領域を使うので、高濃度の有機物に耐性が無くても利用可能である。
【００１３】
このような本発明に係る水処理システムにおいては、前記蒸発法による前記有機物の気化除去と、活性炭処理、イオン交換処理、逆浸透膜処理、電気脱塩処理および紫外線酸化処理の少なくとも一つの処理を組み合わせたシステムとすることができる。とくに、前述したように、従来の逆浸透膜処理および紫外線酸化処理を有するシステムの問題を解消または軽減するために、このシステムに本発明に係る蒸発法による処理を加える、つまり、前記蒸発法による前記有機物の気化除去と、少なくとも逆浸透膜処理および紫外線酸化処理を組み合わせたシステムとすることができる。
【００１４】
また、本発明に係る水処理システムにおいては、蒸発法において気相側に分離された有機物については、たとえば、冷却液化、吸着剤吸着の単独あるいは組み合わせにて処理することができる。これによって、気相に分離された有機物を効率よく取り出すことが可能となる。
【００１６】
さらに、本発明に係る水処理システムにおいては、上記蒸発法による有機物の気相への分離、濃縮処理を施すに際しては、除去対象となる有機物の特性に応じた最適な運転条件の範囲が存在するので、この範囲内で条件を決めることが好ましく、それによって一層除去効率を向上することが可能になる。たとえば、前記蒸発法における液相側が、運転時の圧力において除去すべき有機物の沸点を考慮した最適温度範囲内の液温で運転されることが好ましい。また、前記蒸発法における気相側が、運転時の温度において除去すべき有機物の蒸気圧を考慮した最適圧力（最適真空度）で運転されることが好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明について、その基本概念である蒸発法による有機物の気相側への濃縮、除去と本発明の望ましい実施の形態とともに、詳細に説明する。
【００１８】
前述したように、有機物の種類や濃度が変化してもＴＯＣ濃度を効果的に低減するシステムが必要とされている。多種の有機物に対して逆浸透膜の分離性能が高い点、および、紫外線酸化装置は低濃度まで有機物濃度を低減できる点から、逆浸透膜処理＋紫外線酸化処理の組み合わせを前提構成とし、そのシステムに何らかの処理を加えることが有効であると考えられる。とくに、逆浸透膜処理において、従来濃度の低減が困難であった有機物に対して濃度を低減できれば、その後の紫外線酸化処理にて低電力消費にて、安価に効率よく有機物を分解、除去できることになる。このような観点から、本発明に係るシステムでは、蒸発法による有機物の気相側への濃縮、除去処理が組み込まれている。この蒸発法による処理の効果について、以下のような確認試験を行い、この本発明における基本的な技術思想の効果を確認した。この試験においては、既存技術の候補として、逆浸透膜、活性炭を、本発明に係る蒸発法の例として、疎水性多孔質膜（以下、ＭＤ膜と略称することもある。）を用いた場合、及びＰＶ膜（シロキサン系、無機膜系）を用いた場合について試験を行った。
【００１９】
このような観点で紫外線酸化へ給水する前の水処理システムとして試験した結果を表１に示す。表１は、市水直接、および市水に代表的な有機物を５００μｇＣ／Ｌ（Ｃは炭素を表し、給水した被処理水のＴＯＣ濃度を測定した）混入して、各システムで処理後の有機物濃度を測定した結果を示している。代表的な有機物としては、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）、および従来逆浸透膜処理だけでは高効率での分離が困難であったエタノール、メタノール、アセトンを使用した。逆浸透膜は日東電工（株）製ＥＳ２０−Ｕ８を８ｋｇ／ｃｍ2 で透過水量１．１ｔ／ｈｒ、回収率３０％で運転し、活性炭はオルガノ（株）製ＰＣＦ−２０００を用いた。ＰＶ膜としては、表面での水に対するアルコール選択溶解性が高く、かつ内部では拡散性の差による水選択性が透過全体に影響を与えないような膜材質として、表面の疎水性が高く、かつ内部が粗な構造であるような膜材質、具体的には表面がパーフルオロ化合物で薄く覆われ、膜内部はポリシロキサンよりなる膜を用いた。ＭＤ膜としては疎水性多孔質のＰＰ（ポリプロピレン）中空糸膜を用いた。なお表１において、前記以外の略称として、ＲＯは逆浸透膜処理、ＡＣは活性炭処理、ＢＰは沸点を、それぞれ表している。また、ＶＰは真空度を、ＨＰは透過用加圧力を、それぞれ示している。
【００２０】
【表１】
0003922935.tif 000002
【００２１】
表１より、逆浸透膜の有機物除去能力は、市水中の有機物に対しては優れているが、ＩＰＡに対しては比較的良好とはいえ十分ではなく、エタノール、メタノール、アセトン等に対しては低下することがわかる。したがって、逆浸透膜を複数回利用してもその除去効果は低い。さらに、市水に対しある程度有効な活性炭を加えても、これら逆浸透膜で分離しにくい有機物は除去できないことがわかった。（ただし、活性炭は、酸化剤を除去して逆浸透膜を保護する機能を生かす観点からは有効である。）
【００２２】
一方、疎水性多孔質膜（ＭＤ）やＰＶ膜を用いた蒸発法を組み合わせると、逆浸透膜処理と比較して市水中の有機物除去には効果が比較的低いにもかかわらず、活性炭や逆浸透膜で除去しにくい有機物の除去には極めて有効であることがわかった。したがって、逆浸透膜と組み合わせて利用することで極めて有効な有機物除去システムが構築される。また、疎水性多孔質膜を用いた場合よりもＰＶ膜を用いた方が同一条件でも有機物除去性能が高い。これは、疎水性多孔質膜は単なる気液平衡に基づく混合蒸気が発生するのに対し、有機物選択透過性を有するＰＶ膜を用いると、気液平衡よりも有機物存在比が高く水分が低い混合蒸気（つまり、気液平衡を越えて有機物を気相側に濃縮した混合蒸気）を発生させることができるので、同一の運転条件であっても処理水の有機物濃度を低くできることによると推定される。これらの蒸発法の処理水有機物濃度をさらに低減させるには、後述のより具体的なシステム構築例に示すように、紫外線酸化装置および／またはイオン交換装置、電気再生型脱塩装置を利用することも可能である。
【００２３】
前述したように、被処理水における有機物濃度によっても、その除去性能は左右される。そこで、表２に示すように、有機物濃度に関する試験を行った。
【００２４】
【表２】
0003922935.tif 000003
【００２５】
表２に示すように、従来法ではＩＰＡ濃度が高くなると、それに連れて処理水のＴＯＣ濃度も増加する。本発明に係る蒸発法を併用したシステムでも、処理水濃度は増加するものの、従来法に比べてその割合は大幅に低くなる。これは気相側に濃縮される程度の高い有機物を対象とする場合、蒸発法で気相側に含まれる有機物量は気相側全体量と比較して少ないので、液相側における濃度が変動しても除去性能に与える影響が少ないことによると思われる。表２の１０００００ｐｐｂ程度の濃度領域も本発明を従来法よりも有効に適用できる領域である。
【００２６】
また、給水の半量を脱気した純水を混合し、ＩＰＡ濃度は同一に調整したところ、従来法では除去性能の向上が全く見られないのに対し、本発明に係るシステムでは除去性能の向上が見られた。この現象の原因は定かではないが、脱気された水は大気飽和状態の水と比較して溶存気体が少ないので、蒸発法における液相から気相への有機物移動が効率的に行われるためと考えられる。したがって、一旦脱気した水を工程で利用後有機物を除去して再利用する場合、大気飽和状態と比較して溶存気体が少ない被処理水を処理することになるため、本発明に係るシステムは特に有効と考えられる。
【００２７】
表３、表４に、蒸発法の運転条件に関する試験結果を示す。これらは図２に示した基本システム、つまり、有機物含有被処理水を蒸発処理装置１に給水し、有機物を含む気相にて有機物を除去、減少した処理水をポンプ２で取り出し測定したものである。蒸発法としてはＰＰ製多孔質膜を、気相側は真空ポンプで減圧して試験を行った。その結果、本発明には好適な運転条件の範囲があることが明らかになった。表３に示した、有機物がＩＰＡの例においては、液温が２０℃以上でないと、十分な除去効果が得られない。ＩＰＡの純物質での蒸気圧は１０℃で１７ｍｍＨｇ、２０℃で３２ｍｍＨｇと報告されている。本試験に用いた希薄水溶液においても、液温１５〜２０℃の間でＩＰＡの分圧が３０ｍｍＨｇ以上になり、液相から気相側への移動が急速に増加したと考えられる。すなわち、液相から気相側への移動が急速に増加する温度範囲が存在し、その温度範囲以上の液温で運転することにより、気相側への濃縮除去性能を高めることができる。このように、蒸発法における液相側が、運転時の圧力において除去すべき有機物の沸点を考慮した最適温度範囲内の液温（上記の場合、液相から気相側への移動が急速に増加する温度範囲以上の範囲）で運転されることが好ましい。
【００２８】
また、表４に示したメタノールの事例においては、蒸発法の気相真空度が１００ｍｍＨｇ以下でないと効果的な除去性能が得られないことがわかった。メタノールの純物質での蒸気圧は２１．２℃で１００ｍｍＨｇ、３４．８℃で２００ｍｍＨｇと報告されている。したがって試験に用いた２５℃の希薄水溶液の場合も、１５０〜１００ｍｍＨｇ間で、メタノールの分圧を下回る運転状態となり、液相から気相側への移動が急速に増加したと思われる。このように、除去すべき有機物の液相から気相への移動が多い運転条件が効率的な運転領域となる。したがって、蒸発法における気相側が、運転時の温度において除去すべき有機物の蒸気圧を考慮した最適圧力で運転されることが好ましい。
【００２９】
このように、本発明の実施においては、被処理水は各種物質の混合液になるので、好適な運転範囲は、運転時の圧力において除去すべき有機物の沸点や、運転時の温度における蒸気圧を参考にして試算および実験にて最適な運転条件を決定することができる。
【００３０】
【表３】
0003922935.tif 000004
【００３１】
【表４】
0003922935.tif 000005
【００３２】
本発明で利用する蒸発法とは、給水を加熱して有機物を蒸発させ有機物を減少させた水を得る単純な蒸発装置の他に、減圧装置内に給水を供給することにより有機物を蒸発除去させる方法、ＰＰやＰＥ、ポリメチルペンテン、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ等の疎水性多孔質膜を用いて気液界面を保持し、有機物は気化して多孔質を通過する蒸発装置、ジメチルシロキサン等の有機ＰＶ膜、ゼオライト、シリカライト等の無機ＰＶ膜を用いて通常の気液平衡関係よりも気相側で有機物濃度が高くなるように工夫した蒸発装置等が利用することができる。その場合、適時給水の加温、処理水から給水への熱回収、気相への有機物移動を促進するための減圧、スイープガスの注入等が利用可能である。
【００３３】
また、本発明に係る水処理システムにおいて、蒸発法により気相に分離された有機物は、冷却液化、吸着剤吸着の単独あるいは組み合わせにて処理することができ、それによって除去対象有機物を効率よく回収あるいは廃棄処理することができるようになる。
【００３４】
本発明に係る水処理システムにおいては、前述の図２に示した基本構成を備えた蒸発処理装置（ＥＶ）を組み込んだ各種態様のシステムを構築することができる。すなわち、前述の蒸発法による有機物の気化除去と、活性炭処理装置（ＡＣ）、カートリッジポリッシャー（ＣＰ）、逆浸透膜処理装置（ＲＯ）、電気脱塩処理装置（ＥＤＩ）および紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）、さらには限外濾過装置（ＵＦ）の少なくとも一つの処理装置を組み合わせたシステムとして構築することができる。
【００３５】
図３〜図６に、各種システム構築例を示す。図３に示すシステムにおいては、ＲＯの前処理として本発明における蒸発法を実行する蒸発処理装置（ＥＶ）１１が設けられ、真空ポンプ（ＶＰ）１２により気相側に濃縮された有機物が除去された状態の液相が、ポンプ１３を介して逆浸透膜処理装置（ＲＯ）１４に送られる。逆浸透膜処理装置（ＲＯ）１４の透過水が紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）１５で有機物分解処理に供され、電気脱塩処理装置（ＥＤＩ）１６を経た後、処理水として取り出されるようになっている。
【００３６】
図４に示すシステムにおいては、活性炭処理装置（ＡＣ）２１、逆浸透膜処理装置（ＲＯ）２２による処理の後処理として、本発明における蒸発法を実行する蒸発処理装置（ＥＶ）２３、真空ポンプ（ＶＰ）２４が設けられ、その後段の電気脱塩処理装置（ＥＤＩ）２５を経た後、処理水として取り出されるようになっている。
【００３７】
図５に示すシステムにおいては、たとえば工程回収水が加圧ポンプ３１を介して逆浸透膜処理装置（ＲＯ）３２に供給され、その透過水が本発明における蒸発法を実行する蒸発処理装置（ＥＶ）３３に送られる。蒸発法における気相は真空ポンプ（ＶＰ）３４で吸引されるとともに、コンデンサ３５で冷却液化されポンプ３６を介して排水処理され、液化されなかった気相成分に対しては、吸着処理装置（ＡＤ）３７で吸着処理して排気されるようになっている。蒸発法による処理水は、紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）３８による有機物分解処理、カートリッジポリッシャー（ＣＰ）３９による有機物分離処理、限外濾過装置（ＵＦ）４０による有機物濾過処理を経た後、ユースポイント等へ再利用可能な処理水として供給されるようになっている。
【００３８】
図６に示すシステムにおいては、被処理水（本実施態様では、工程回収水）が、工業用水から製造された純水とブレンドされて回収される。純水は、工業用水からカチオン交換樹脂塔（Ｋ）４１、脱炭酸塔（Ｄ）４２、アニオン交換樹脂塔（Ａ）４３、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の混床塔（ＭＢ）４４を備えたイオン交換処理装置４５を用いて製造され、工程回収水とブレンドされて、本発明に係る水処理システムの被処理水とされる。この水処理システムでは、まず逆浸透膜処理装置（ＲＯ）４６で処理され、その透過水が真空脱気装置（ＶＤ）４７で脱気処理される。脱気処理された水は、紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）４８による有機物分解処理、カートリッジポリッシャー（ＣＰ）４９による有機物分離処理を経た後、本発明における蒸発法を実行する蒸発処理装置（ＥＶ）５０に送られる。蒸発処理された水は、限外濾過装置（ＵＦ）５１による有機物濾過処理を経た後、ユースポイント等へ再利用可能な処理水として供給されるようになっている。また、一部未使用の処理水は、たとえば紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）４８の前段に戻され、循環処理される。さらに、限外濾過装置（ＵＦ）５１における濃縮側の水は、たとえば逆浸透膜処理装置（ＲＯ）４６の前段に戻される。各ユースポイントで使用済みの水は、本実施態様では、紫外線酸化処理装置（ＵＶｏｘ）５２、活性炭処理装置（ＡＣ）５３、混床塔（ＭＢ）５４を経た後工程回収水として回収され、上記の如く、工業用水から製造された純水とブレンドされて、本発明に係る蒸発法を用いた水処理システムの被処理水とされる。
【００３９】
この図６に示したような水処理システムにおいては、被処理水として、真空脱気装置（ＶＤ）４７で一旦脱気した水を工業用水から製造された純水とブレンドして回収し再利用するようにしているので、前述したように、蒸発法における有機物除去性能を向上することができる。なお、図６のシステムにおいては、紫外線酸化装置により発生したアセトン等を除去可能とするために、本発明に係る蒸発法は紫外線酸化装置の後段でかつ限外濾過装置の前で行うようにしている。
【００４０】
このように、本発明に係る蒸発法による処理工程を備えた水処理システムとしては、各種の態様を採ることができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る水処理システムによれば、各種産業分野における排水や回収水のようにごく少量の揮発性有機物を含有した被処理水に対して、極めて効率よく含有有機物を除去することができ、低含有率の処理水を再利用することが可能になる。とくに、本発明における蒸発法による処理装置を、逆浸透膜処理装置や紫外線酸化処理装置に対して最適な位置に配置すれば、逆浸透膜処理による多種の有機物分離性能の長所を活かしつつ、紫外線酸化処理における消費電力費を低減することができ、高い有機物除去性能を発揮させつつ、システム全体として安価に運転することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】気液平衡の概念の一例を示す特性図である。
【図２】本発明における蒸発法による処理装置の基本構成を示す機器系統図である。
【図３】本発明に係る水処理システムの一例を示す機器系統図である。
【図４】本発明に係る水処理システムの別の例を示す機器系統図である。
【図５】本発明に係る水処理システムのさらに別の例を示す機器系統図である。
【図６】本発明に係る水処理システムのさらに別の例を示す機器系統図である。
【符号の説明】
１  蒸発処理装置
２  ポンプ
１１、２３、３３、５０  蒸発処理装置
１２、２４、３４  真空ポンプ
１３、３６  ポンプ
１４、２２、３２、４６  逆浸透膜処理装置
１５、３８、４８、５２  紫外線酸化処理装置
１６、２５  電気脱塩処理装置
２１、５３  活性炭処理装置
３１  加圧ポンプ
３５  コンデンサ
３７  吸着処理装置
３９、４９  カートリッジポリッシャー
４０、５１  限外濾過装置
４１  カチオン交換樹脂塔
４２  脱炭酸塔
４３  アニオン交換樹脂塔
４４、５４  混床塔
４５  イオン交換処理装置
４７  真空脱気装置
【図１】
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【図２】
0003922935.tif 000007
【図３】
0003922935.tif 000008
【図４】
0003922935.tif 000009
【図５】
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【図６】
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