(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を備えた前記Ｘ線像保持体と、
該Ｘ線像保持体のＸ線保持面を走査する複数の読取りヘッドと、
該複数の読取りヘッドをＸ線像保持体の主走査及びそれに直交する副走査のために移動させる走査駆動手段と、
前記複数の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、
前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記複数の読取りヘッドを通して受光する受光光学系と、
前記複数の読取りヘッドの２個以上を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第１制御手段と、
前記複数の読取りヘッドのいずれか１個を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第２制御手段と、を有し、
前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御によって前記複数の読取りヘッドの中から選択すると共に、ＯＮ信号により前記輝尽励起光の発光を開始した後、猶予時間の経過後に、Ｘ線像を読取るためのデータのサンプリングを開始する
ことを特徴とするＸ線画像読取り装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記走査駆動手段は、前記複数の読取りヘッドを前記Ｘ線像保持体の前へ交互に移動させて該Ｘ線像保持体を走査することを特徴とするＸ線画像読取り装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記走査駆動手段は、
前記複数の読取りヘッドを回転駆動する回転駆動手段と、
前記複数の読取りヘッドを前記回転駆動手段による前記読取りヘッドの回転面に対して直角方向へ直進駆動する直進駆動手段とを有し、
前記複数の読取りヘッドは、前記回転駆動手段による回転方向に関して異なる角度位置に配置される
ことを特徴とするＸ線画像読取り装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つに記載のＸ線画像読取り装置において、
前記第１制御手段における前記読取りヘッドの主走査のための移動速度と、前記第２制御手段における前記読取りヘッドの主走査のための移動速度は同じである
ことを特徴とするＸ線画像読取り装置。
【請求項５】
蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を備えた前記Ｘ線像保持体と、
１８０°の角度間隔で設けられており、前記Ｘ線像保持体のＸ線保持面を走査する２個の読取りヘッドと、
該２個の読取りヘッドをＸ線像保持体の主走査のために回転駆動する回転駆動手段と、
該２個の読取りヘッドをＸ線像保持体の副走査のために前記回転駆動手段による該読取りヘッドの回転面に対して直角方向へ直進駆動する直進駆動手段と、
前記２個の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、
前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記２個の読取りヘッドを通して受光する受光光学系と、
前記２個の読取りヘッドの両方を使ってＸ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第１制御手段と、
前記２個の読取りヘッドのいずれか１個を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第２制御手段と、を有し、
前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御によって前記２個の読取りヘッドの中から選択すると共に、ＯＮ信号により前記輝尽励起光の発光を開始した後、猶予時間の経過後に、Ｘ線像を読取るためのデータのサンプリングを開始する
ことを特徴とするＸ線画像読取り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線像保持体、例えば蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を有するＸ線像保持体に保持されたＸ線像を読取るためのＸ線画像読取り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蓄積性蛍光体を用いて形成されたＸ線像保持体は、従来から知られている。試料の結晶構造等を知るためにこのＸ線像保持体を用いてＸ線測定を行う場合には、上記試料にＸ線を照射し、このときにその試料から発生するＸ線、例えば回折Ｘ線、散乱Ｘ線等によって上記のＸ線像保持体を露光する。これにより、Ｘ線保持体のＸ線受光面のうち回折Ｘ線等が発生した回折角度に対応するＸ線像保持体の座標位置にエネルギ潜像が形成される。
【０００３】
蓄積性蛍光体は、Ｘ線が当たった所にエネルギ潜像を保持する性質を有すると共に、エネルギ潜像が保持されている所に輝尽励起光、例えばレーザ光を照射すると、そのエネルギ潜像が光に変換されて外部に放出されるという性質を有する。このため、エネルギ潜像を保持する蓄積性蛍光体にレーザ光を照射したときにその蓄積性蛍光体から放出される光を検出すれば、そのエネルギ潜像の形成に寄与したＸ線の強度を知ることができる。また、光を放出した蓄積性蛍光体の座標位置から、エネルギ潜像の形成に寄与したＸ線の回折角度を知ることができる。
【０００４】
この原理を利用したＸ線画像読取り装置として、本出願人は、図１０に示すようなダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置１００を提案した。この従来の装置では、第１読取りヘッド１０１ａと第２読取りヘッド１０１ｂを１８０°の角度間隔で互いに対称な位置に配置し、レーザ光源を内蔵する出射光学系１０２からのレーザ光を分配して第１読取りヘッド１０１ａ及び第２読取りヘッド１０１ｂの両方から外部へ出射する。
【０００５】
また、第１読取りヘッド１０１ａ又は第２読取りヘッド１０１ｂは外部の光を取り込むことができ、取り込まれたその光は光電変換器を内蔵した受光光学系１０３によって受光され、さらに、光電変換器によって電気信号に変換される。
【０００６】
この構成から成るＸ線画像読取り装置１００によってＸ線像保持体１０４に保持されたＸ線潜像を読み取る際には、Ｘ線像保持体１０４を半円筒形状に湾曲させて配置し、第１読取りヘッド１０１ａ及び第２読取りヘッド１０１ｂの回転軸線Ｘ０をＸ線像保持体１０４の円筒形状の略中心位置に配置する。そして、第１読取りヘッド１０１ａ及び第２読取りヘッド１０１ｂを軸線Ｘ０を中心として矢印Ａのように回転させながら、同時に、Ｘ線画像読取り装置１００の全体を矢印Ｂのように軸線Ｘ０と平行に移動させる。
【０００７】
以上のような矢印Ａ方向への回転及び矢印Ｂ方向への直進移動により、第１読取りヘッド１０１ａ及び第２読取りヘッド１０１ｂは、Ｘ線像保持体１０４に対向する領域へ交互に持ち運ばれ、結果的に、Ｘ線像保持体１０４の広い面を走査する。この走査の際、第１読取りヘッド１０１ａ又は第２読取りヘッド１０１ｂから出射したレーザ光がＸ線保持体１０４の表面を走査し、その表面にエネルギ潜像が存在する個所をレーザ光が走査すると、その個所から光が発生する。
【０００８】
その光は、第１読取りヘッド１０１ａ又は第２読取りヘッド１０１ｂを通して受光光学系１０３に取り込まれ、電気信号へ変換され、さらにその電気信号に基づいて光強度が求められる。この光強度は、その発光の基になるエネルギ潜像の形成に寄与したＸ線の強度に対応しており、それ故、発光強度を測定することによりＸ線強度を知ることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成より成る従来のダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置１００によれば、２個の読取りヘッド１０１ａ及び１０１ｂを交互に効率良く用いることにより高速の読取りを行うことができるという効果を得ることができる。しかしながら、その反面、２個の読取りヘッド１０１ａ及び１０１ｂから交互に採取されるデータを同一の基準レベルでつなぎ合わせる処理技術が必要になり、このような処理を行ったとしても完全な処理は不可能であり、それ故、高精度な測定結果を得ることが困難であった。
【００１０】
例えば、２個の読取りヘッド１０１ａ及び１０１ｂの出力に差がある場合にはその差を補償するための補正、すなわち強度の補正が必要である。また、２個の読取りヘッド１０１ａ及び１０１ｂが完全に１８０°の角度で対向して配置されていない場合には、その角度ズレを補償するために補正、すなわち角度ズレの補正を行うことが必要である。
【００１１】
通常、これらの補正は、基準となる１つの読取り対象物を２個の読取りヘッドのそれぞれを用いて読取り、その読取り結果に現れる差又はズレを予備的に検出しておいて、その差又はズレをコンピュータ等といった演算処理手段を用いて電気的に処理している。しかしながら、２個の読取りヘッドからの測定結果を完全に同一の基準レベルに合せることは非常に困難であった。この状況は、２個の読取りヘッドを用いるダブルヘッド方式の場合に限られず、３個以上の読取りヘッドを用いるマルチヘッド方式の場合でも同様である。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、複数、すなわち２個以上の読取りヘッドを用いてＸ線像の読取りを行うＸ線画像読取り装置において、高精度な読取り測定を行うことができるようにすることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明に係るＸ線画像読取り装置は、蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を備えた前記Ｘ線像保持体と、該Ｘ線像保持体のＸ線保持面を走査する複数の読取りヘッドと、該複数の読取りヘッドをＸ線像保持体の主走査及びそれに直交する副走査のために移動させる走査駆動手段と、前記複数の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記複数の読取りヘッドを通して受光する受光光学系と、前記複数の読取りヘッドの２個以上を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第１制御手段と、前記複数の読取りヘッドのいずれか１個を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第２制御手段とを有し、前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御によって前記複数の読取りヘッドの中から選択すると共に、ＯＮ信号により前記輝尽励起光の発光を開始した後、猶予時間の経過後に、Ｘ線像を読取るためのデータのサンプリングを開始することを特徴とする。
【００１４】
このＸ線画像読取り装置によれば、複数の読取りヘッドを用いた測定、すなわちマルチヘッドモードの測定を上記第１制御手段によって行うことができ、またこれに代えて、１個の読取りヘッドを用いた測定、すなわちシングルヘッドモードの測定を上記第２制御手段によって行うことができる。このため、高精度の測定結果よりも測定結果を即座に得たいという場合にはマルチヘッドモードの測定を行い、一方、高精度の測定を得たいという場合にはシングルヘッドモードの測定を行うことが可能となる。
【００１５】
シングルヘッドモードの測定によれば、複数の読取りヘッド間で測定誤差が生じるというような状況が発生しないので、高精度の測定結果を得ることができる。つまり、上記構成のＸ線画像読取り装置によれば、マルチヘッド方式のＸ線画像読取り装置において高精度の読取りを行うことが可能となる。
【００１６】
次に、本発明に係るＸ線画像読取り装置において、前記走査駆動手段は、前記複数の読取りヘッドを前記Ｘ線像保持体の前へ交互に移動させて該Ｘ線像保持体を走査することができる。これにより、高精度の測定結果よりも高速の測定結果を要求する場合のその要求に応えることができる。
【００１７】
次に、本発明に係るＸ線画像読取り装置において、前記走査駆動手段は、前記複数の読取りヘッドを回転駆動する回転駆動手段と、前記複数の読取りヘッドを前記回転駆動手段による前記読取りヘッドの回転面に対して直角方向へ直進駆動する直進駆動手段とを有し、前記複数の読取りヘッドは、前記回転駆動手段による回転方向に関して異なる角度位置に配置されることを特徴とする。
【００１８】
この構成のＸ線画像読取り装置によれば、複数の読取りヘッドを回転させることによりＸ線像保持体を例えば横方向へ走査、すなわち主走査でき、さらに、複数の読取りヘッドを直角方向へ直進移動させることによりＸ線像保持体を例えば縦方向へ走査、すなわち副走査できる。そして、これらの主走査及び副走査により、複数の読取りヘッドを交互に使ってＸ線像保持体の広い面を走査できる。
【００１９】
次に、本発明に係るＸ線画像読取り装置において、前記Ｘ線像保持体は蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を有し、さらに、前記複数の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記複数の読取りヘッドを通して受光する受光光学系とを有し、さらに、前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する読取りヘッドを前記複数の読取りヘッドの中から１個選択し、該１個の読取りヘッドを使って読取り処理を行うことを特徴とする。
【００２０】
この構成のＸ線画像読取り装置によれば、複数の読取りヘッドのどれに輝尽励起光、例えばレーザ光を供給するかによって、使用する読取りヘッドを１個選択する。そして、選択した１個の読取りヘッドを用いて読取り処理を行う。
【００２１】
上記構成において、「蓄積性蛍光体」とは、輝尽性蛍光体とも呼ばれることがあるエネルギ蓄積型の放射線検出器であり、輝尽性蛍光物質、例えばＢａＦＢｒ：Ｅｒ２＋の微結晶を可撓性フィルム、平板状フィルム、その他の部材の表面に塗布等によって成膜したものである。この蓄積性蛍光体は、Ｘ線等をエネルギの形で蓄積することができ、さらにレーザ光等といった輝尽励起光の照射によりそのエネルギを外部に光として放出できる性質を有する物体である。
【００２２】
つまり、蓄積性蛍光体にＸ線等を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍光体の内部にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄積性蛍光体にレーザ光等といった輝尽励起光を照射すると上記潜像エネルギが光となって外部へ放出される。この放出された光を光電管等によって検出することにより、潜像の形成に寄与したＸ線の回折角度及び強度を測定できる。この蓄積性蛍光体は、従来のＸ線フィルムに対して１０〜６０倍程度の感度を有し、さらに、１０６〜１０８に及ぶ広いダイナミックレンジを有する。
【００２３】
次に、上記構成のＸ線画像読取り装置において、前記第２制御手段は、前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御により、前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを選択する。この構成によれば、ビームストッパやシャッタ等といった機械的な遮蔽手段を設けることなく読取りヘッドを選択できるので、機械的な構造を複雑にすることが無い。
【００２５】
次に、本発明に係る他のＸ線画像読取り装置は、蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を備えた前記Ｘ線像保持体と、１８０°の角度間隔で設けられており、前記Ｘ線像保持体のＸ線保持面を走査する２個の読取りヘッドと、該２個の読取りヘッドをＸ線像保持体の主走査のために回転駆動する回転駆動手段と、該２個の読取りヘッドをＸ線像保持体の副走査のために前記回転駆動手段による該読取りヘッドの回転面に対して直角方向へ直進駆動する直進駆動手段と、前記２個の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記２個の読取りヘッドを通して受光する受光光学系と、前記２個の読取りヘッドの両方を使ってＸ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第１制御手段と、前記２個の読取りヘッドのいずれか１個を使って前記Ｘ線像保持体を主走査及び副走査して該Ｘ線像保持体に保持されたＸ線像を読取る処理を行う第２制御手段とを有し、前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御によって前記２個の読取りヘッドの中から選択すると共に、ＯＮ信号により前記輝尽励起光の発光を開始した後、猶予時間の経過後に、Ｘ線像を読取るためのデータのサンプリングを開始することを特徴とする。
【００２６】
この構成のＸ線画像読取り装置は、複数の読取りヘッドを用いる構造のＸ線画像読取り装置、すなわちマルチヘッド方式のＸ線画像読取り装置の１種類である、２個の読取りヘッドを用いる構造のＸ線画像読取り装置、いわゆるダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置に関するものである。
【００２７】
このＸ線画像読取り装置によれば、２個の読取りヘッドを用いた測定、すなわちダブルヘッドモードの測定を上記第１制御手段よって行うことができ、またこれに代えて、１個の読取りヘッドを用いた測定、すなわちシングルヘッドモードの測定を上記第２制御手段によって行うことができる。このため、高精度の測定結果よりも測定結果を即座に得たいという場合にはダブルヘッドモードの測定を行い、一方、高精度の測定を得たいという場合にはシングルヘッドモードの測定を行うことが可能となる。
【００２８】
シングルヘッドモードの測定によれば、２個の読取りヘッド間で測定誤差が生じるというような状況が発生しないので、高精度の測定結果を得ることができる。つまり、上記構成のＸ線画像読取り装置によれば、マルチヘッド方式の１種であるダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置において高精度の読取りを行うことが可能となる。
【００２９】
上記ダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置において、前記Ｘ線像保持体は蓄積性蛍光体によって形成されたＸ線保持面を有しており、さらに、前記２個の読取りヘッドへ輝尽励起光を供給する出射光学系と、前記Ｘ線像保持体から放射される光を前記２個の読取りヘッドを通して受光する受光光学系とを有しており、前記第２制御手段は、前記出射光学系によって前記輝尽励起光を供給する読取りヘッドを前記２個の読取りヘッドの中から１個選択し、該１個の読取りヘッドを使って読取り処理を行う。
【００３０】
この構成のＸ線画像読取り装置によれば、複数の読取りヘッドのどれに輝尽励起光、例えばレーザ光を供給するかによって、使用する読取りヘッドを１個選択する。そして、選択した１個の読取りヘッドを用いて読取り処理を行う。
【００３１】
次に、上記ダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置において、前記第２制御手段は、前記輝尽励起光の発光のＯＮ／ＯＦＦ制御により、前記輝尽励起光を供給する１個の読取りヘッドを選択する。この構成によれば、ビームストッパやシャッタ等といった機械的な遮蔽手段を設けることなく読取りヘッドを選択できるので、機械的な構造を複雑にすることが無い。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、マルチヘッド方式のＸ線画像読取り装置の一例であるダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置に本発明を適用した場合を例に挙げて説明する。図１はダブルヘッド方式の本発明に係るＸ線画像読取り装置１の断面構造を示している。
【００３４】
このＸ線画像読取り装置１は、軸受２ａ及び２ｂによって機枠３に回転可能に支持された回転体４を有する。この回転体４は、軸線Ｘ０を中心として回転可能である。読取り対象であるＸ線像保持体１７は、図１のＩＩ−ＩＩ線に従った断面図である図２（ａ）に示すように、軸線Ｘ０を中心とする半円筒形状に湾曲して配置される。なお、Ｘ線像保持体１７は、そのＸ線受光面が蓄積性蛍光体によって形成されている。
【００３５】
図１において、回転体４は、軸受２ｂによって支持される円筒形状のレーザ光導入部６と、そのレーザ光導入部６の上端に設けられたヘッド部７と、そのヘッド部７の上表面に設けられていて軸受２ａによって支持される円筒形状の光導出部８とを有する。ヘッド部７は、図２からも明らかなように、軸線Ｘ０に直交する横方向が長手方向となる角筒形状に形成されている。また、図１において光導出部８の上端８ａは開口となっている。
【００３６】
ヘッド部７の一端には、レンズ２３ａ及びレンズ２４ａを有する第１読取りヘッドＨ１が設けられる。また、ヘッド部７の他端には、レンズ２３ｂ及び２４ｂを有する第２読取りヘッドＨ２が設けられる。これらの読取りヘッドＨ１及びＨ２は、図１及び図２から明らかなように、互いに１８０°の角度間隔で互いに対称な位置に配置されている。この１８０°の角度はできるだけ厳密に設定されることが望ましいが、１８０°からずれる場合には、そのずれ量に対応して測定結果を補正することが望ましい。
【００３７】
図１において、ヘッド部７の内部であって、レーザ光導入部６の上方にはビームスプリッタ１８が配置される。このビームスプリッタ１８はヘッド部７と一体に軸線Ｘ０を中心として回転する。このビームスプリッタ１８は、図３に示すように、断面三角形状のプリズム１９と断面台形状のプリズム２１とを面Ｃで接着し、さらにそれらのプリズムを基台２２に接着その他の手法によって固着することによって形成されている。
【００３８】
基台２２に設けた光導入用開口２２ａから光が導入されると、その光の一部は境界面Ｃを透過して３角プリズム１９の側面内側で反射して、基台２２に設けた光導出用開口２２ｂを通して外部へ出射する。この光は、図１において第１読取りヘッドＨ１へ向かう。また、図３において光導入用開口２２ａを通過した光の他の一部は境界面Ｃで反射して台形プリズム２１の内部を伝播した後、３角プリズム１９で反射した上述の出射光の反対側へ出射する。この光は、図１において第２読取りヘッドＨ２へ向かう。
【００３９】
ヘッド部７の内部であって、第１読取りヘッドＨ１とビームスプリッタ１８との間にダイクロイックミラー２６ａが設けられる。また、第２読取りヘッドＨ２とビームスプリッタ１８との間にダイクロイックミラー２６ｂが設けられる。これらのダイクロイックミラー２６ａ及び２６ｂは、ビームスプリッタ１８から読取りヘッド２４ａ又は２４ｂへ向かう光を透過させ、他方、読取りヘッドＨ１及びＨ２から取り込まれてビームスプリッタ１８へ向かう光を反射して光検出装置１１へ向かわせる。
【００４０】
Ｘ線画像読取り装置１は、さらに、ブラケット９によって機枠３に固定状態で支持された光検出装置１１を有する。この光検出装置１１は、その下端部が回転体４の光導出部８の中に挿入されていて機枠３によって支持されるフレーム１２と、そのフレーム１２の内部の下端に設けられた集光レンズ１３と、光の進行方向に関して集光レンズ１３の下流側（図１の場合は、集光レンズ１３の上側）に配置された光フィルタ１４と、光フィルタ１４の光透過側に設けられた第１光電管１６ａと、光フィルタ１４の光反射側に設けられた第２光電管１６ｂとを有する。
【００４１】
光検出装置１１の下端部は回転体４の光導出部８に挿入されているが、両者の間には隙間が形成されており、回転体４が回転するときでも光検出装置１１は静止状態を維持する。光フィルタ１４は、一般的な透明部材、例えばガラス等によって構成でき、機能的には、入射した光のうちの９割程度を透過させて第１光電管１６ａへ導き、入射した光のうちの残りの１割程度を反射して第２光電管１６ｂへ導く。光電管１６ａ及び１６ｂは周知の構造の光電変換要素であり、入射した光の強度に応じた信号を出力端子に出力する。
【００４２】
Ｘ線画像読取り装置１は、さらに、レーザ光源Ｆ０を内蔵したレーザ発生器２７を有する。このレーザ発生器２７は電源の投入（すなわち、ＯＮ）によってレーサ光を発光し、電源の遮断（すなわち、ＯＦＦ）によってレーザ光の発光を停止する。回転体４のレーザ光導入部６の下方位置にはプリズム２８が設けられる。レーザ発生器２７から出射したレーザ光はこのプリズム２８で反射してレーザ光導入部６に取り込まれる。
【００４３】
レーザ光導入部６の外周面の適所にはパルス発生用の回転盤２９が設けられる。この回転盤２９は、図２（ｂ）に示すように、大径部３１ａと小径部３１ｂとを有する概ね円盤形状に形成される。また、大径部３１ａの略中央に第１スリット３２ａが形成され、一方、小径部３１ｂの略中央に第２スリット３２ｂが形成される。図２（ａ）に示すように、第１スリット３２ａは第１読取りヘッドＨ１に対応する位置に設けられ、第２スリット３２ｂは第２読取りヘッドＨ２に対応する位置に設けられる。
【００４４】
また、図１において、回転盤２９の周囲の適所には、発光素子３３及び受光素子３４から成るセンサ３６が設けられる。このセンサ３６は、回転体４が回転するとき、すなわち第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２が回転するとき、回転盤２９の大径部３１ａと小径部３１ｂとの径の違いから第１スリット３２ａと第２スリット３２ｂとの違いを認識し、それぞれに対応した信号を出力する。
【００４５】
具体的には、図５に示すタイミングチャートにおけるインデックス信号及びEVEN信号が生成される。ここで、インデックス信号とは、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の半回転（すなわち、１８０°の回転）ごとに生成されるパルス信号である。また、EVEN信号とは、回転体４の回転を半回転（すなわち、１８０°の回転）ごとに見た場合に、２回目、４回目、６回目、………のような偶数回転目に生成されるパルス信号である。本実施形態では、このEVEN信号は、第１読取りヘッドＨ１がＸ線像保持体１７を走査するときに生成されるパルス信号である。
【００４６】
図１において、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２を含む回転体４には主走査回転駆動装置３７が接続される。この主走査回転駆動装置３７は、読取りヘッドＨ１及びＨ２を軸線Ｘ０を中心として回転させてＸ線像保持体１７を横方向（すなわち、図１の軸線Ｘ０に直交する平面を形成する方向）へ走査、すなわち主走査させるための装置である。この主走査回転駆動装置３７は、任意の構造の駆動系によって構成できるが、例えば、回転速度を制御可能なモータ、例えばパルスモータ、サーボモータ等を駆動源として、その回転出力をベルトやギヤ等といった動力伝達系を介して回転体４へ伝えることにより該回転体４を回転させる構造を採用できる。
【００４７】
また、Ｘ線画像読取り装置１の全体を支持する機枠３には副走査直進駆動装置３８が接続される。この副走査直進駆動装置３８は、読取りヘッドＨ１及びＨ２を軸線Ｘ０と平行の方向へ直進移動させてＸ線像保持体１７を縦方向（すなわち、図１の軸線Ｘ０と平行の方向）へ走査、すなわち副走査させるための装置である。この副走査直進駆動装置３８は、任意の構造の駆動系によって構成できるが、例えば、回転速度を制御可能なモータ、例えばパルスモータ、サーボモータ等を駆動源として、回転動力を直進動力に変換する動力変換手段、例えばネジ軸を用いた送りネジ機構を用いて直進動力を得る構造を採用できる。また、パルス駆動されるリニアモータによって構成することもできる。
【００４８】
本実施形態では、図１において、レーザ発生器２７、プリズム２８、ビームストッパ１８、そして第１読取りヘッドＨ１によって、さらに、レーザ発生器２７、プリズム２８、ビームストッパ１８、そして第２読取りヘッドＨ２によって、それぞれ、出射光学系が構成されている。また、第１読取りヘッドＨ１、ダイクロイックミラー２６ａ、そして光検出装置１１によって、さらに、第２読取りヘッドＨ２、ダイクロイックミラー２６ｂ、そして光検出装置１１によって、それぞれ、受光光学系が構成されている。
【００４９】
図４は、図１のＸ線画像読取り装置１の動きを制御するための制御系の一実施形態を示している。この制御系は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４１、ＲＯＭ（Read Only Memory）４２、ＲＡＭ（Random Access Memory）４３、情報記憶媒体４４及びそれらをつなぐバス４６を有するコンピュータシステムを用いて構成されている。
【００５０】
バス４６には、読取りヘッドの位置を確認するために図１の回転盤２９に付設されたセンサ３６の出力端子が接続され、パルス生成回路４７のＲＥＳＥＴ端子が接続され、強度演算回路４８の出力端子が接続され、図１のレーザ発生器２７のＯＮ／ＯＦＦ信号入力端子が接続され、図１の主走査回転駆動装置３７の制御信号入力端子が接続され、さらに、図１の副走査直進駆動装置３８の制御信号入力端子が接続される。また、バス４６には、プリンタ５３やディスプレイ５４等といった出力装置や、キーボード、マウス型入力器等といった操作入力装置５６が接続される。
【００５１】
パルス生成回路４７は、安定したパルス信号を発生することができる発振器４９と、該発振器４９の出力パルスを例えば１／１６に分周する分周回路５１と、その分周回路５１の出力パルスから本実施形態に係る制御系に適したパルス信号を生成するロジック回路５２とを有する。上記の発振器４９は、図１に示す回転体４に市販のエンコーダを取り付けてその回転体４の回転に応じてそのエンコーダからパルス信号を出力する場合の出力パルス信号に比べて著しく安定したパルス信号を発生することができる発振器であって、例えばクリスタル発振器、ＣＲ発振器等を用いて構成できる。
【００５２】
発振器４９は、例えば５ＭＨｚのパルス信号を出力し、分周回路５１はその５ＭＨｚのパルス信号を分周して、例えば３１２．５ＫＨｚのパルス信号を生成する。なお、分周回路５１は、そのRESET端子にRESET信号が入ったときを基準としてパルス信号を出力する。ロジック回路５２は、分周回路５１の出力パルスに基づいて図５に示すENC（エンコード）-Z相及びENC-A相の各パルス信号を生成して、それらを強度演算回路４８へ出力する。
【００５３】
ENC-Z相パルスは、分周回路５１のRESET端子にリセット信号が入力されたとき、その後に分周回路５１から出力される３１２．５ＫＨｚのパルス信号を所定数、例えば１２２パルスだけカウントしたときに生成されるパルスである。本実施形態では、図５において、ENC-Z相パルスの発生時間ｔｚとしてｔｚ＝１２２パルス分＝４００μＳに設定する。この４００μＳは、後述するシングルヘッドモードにおいてレーザ発生器２７が間欠的にＯＮ／ＯＦＦを繰り返されるとき、ＯＮ信号に従って立ち上がってからレーザ出力が安定化するのに十分な時間として設定されている。
【００５４】
また、ENC-A相パルスは、ENC-Z相パルスが出力されてから分周回路５１にRESET信号が入力されるまでの間に分周回路５１の３１２．５ＫＨｚと同じ周波数で出力されるパルスである。本実施形態では、角度センサ３６から出力されるインデックス信号又はEVEN信号が出たときに分周回路５１にRESET信号が送られるようになっており、そのインデックス信号又はEVEN信号に対するENC-A相パルス及びENC-Z相パルスの出力状態は図６に示す通りである。本実施形態では、ENC-A相パルスとして３１２．５ＫＨｚの３０００パルスが出力されるように設定されている。この３０００パルスは第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２による主走査の１ライン分の走査領域に相当する。
【００５５】
図４において、強度演算回路４８は、図１に示した第１光電管１６ａ又は第２光電管１６ｂからの出力パルスを計数することにより、図１のＸ線像保持体１７から放射された光の強度、従ってＸ線像保持体１７に形成されたエネルギ潜像のエネルギ強度、従ってそのエネルギ潜像の形成に寄与したＸ線の強度を演算によって求める。
【００５６】
なお、本実施形態では、図１において、光フィルタ１４に到達した光の９割が第１光電管１６ａに取り込まれ、残りの１割の光が第２光電管１６ｂに取り込まれる。各光電管１６ａ及び１６ｂに取り込まれる光の光量が過剰でない場合には、その光の９割が取り込まれる第１光電管１６ａによって光電変換された信号に基づいて処理が行われる。
【００５７】
一方、各光電管１６ａ及び１６ｂに取り込まれる光の光量が過剰である場合には、その光の１割が取り込まれる第２光電管１６ｂによって光電変換された信号に基づいて処理が行われる。これは、光量が過剰である場合には、第１光電管１６ａの出力が大きくなり過ぎて、その第１光電管１６ａに付随する回路が正常に動作しなくなるおそれがあるからである。
【００５８】
図４において、強度演算回路４８は、ロジック回路５２から送られる３０００パルスのうちの１パルスごとに光電管１６ａ又は１６ｂの出力信号をサンプリングする。すなわち、１パルス期間中の光電管１６ａ又は１６ｂの出力を読み取って出力する。これが１ピクセルの読取り値になる。この１ピクセルの読取り値は図４のＲＡＭ４３内の所定の記憶場所に記憶される。
【００５９】
なお、強度演算回路４８の内部にＡＤ変換回路を設け、光電管１６ａ又は１６ｂの出力を１パルス期間内で複数回、例えば８回、採取してそれぞれＡＤ変換し、さらに積分演算して、その演算結果を１ピクセルの読取り値として決めることができる。
【００６０】
図４において、情報記憶媒体４４は、コンピュータによって使用可能な記憶媒体であって、プログラムやデータ等といった情報を格納するための要素であり、その機能は、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Video Disc）等といった光ディスクや、ＭＯ（Magnet Optical）等といった光磁気ディスクや、磁気ディスクや、ハードディスクや、磁気テープや、ＲＯＭ等といった半導体メモリ等によって実現できる。なお、通常の場合、情報記憶媒体４４に格納された情報の一部又は全部は、システムへの電源投入時にＲＡＭ４３へ転送される。
【００６１】
ＲＯＭ４２には、例えばシステムプログラム（すなわち、システム本体の初期化情報等）が記憶される。また、ＲＡＭ４３は、ＣＰＵ４１の作業領域等として用いられたり、情報記憶媒体４４やＲＯＭ４２の内容やＣＰＵ４１の演算結果や強度演算回路４８等といった入出力機器からの情報等を一時的に格納したりする。
【００６２】
ＣＰＵ４１は、情報記憶媒体４４に記憶されたプログラムや、操作入力装置５６から入力される情報に従って、バス４６に接続された各種の入出力機器の動作を制御したり、強度演算回路４８の出力信号に対して補正を加えるための演算を行ったり、その他各種のデータ処理を行う。なお、図４のシステムをネットワークを構成する１つのユーザとして用いる場合には、ネットワークドライバや通信部がバス４６に接続され、そのネットワークドライバ等を介してホストや他のネットワークユーザに接続される。
【００６３】
なお、本実施形態で用いられるプログラムは、ＣＰＵ４１によってダブルヘッドモードを実行させるためのルーチンと、ＣＰＵ４１によってシングルヘッドモードを実行させるためのルーチンとを有している。ダブルヘッドモードとは、図１の第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の両方を使って処理を行うモードであり、シングルヘッドモードとは、第１読取りヘッドＨ１又は第２読取りヘッドＨ２のいずれか１つを使って処理を行うモードである。以下、各モードを個別に説明する。
【００６４】
なお、本発明に係る読取り処理を行う場合には、その読取り処理に先立って図１及び図２のＸ線像保持体１７にエネルギ潜像を保持させるための処理、例えばＸ線露光処理が行われる。このような露光処理は種々考えられるが、その一例を挙げれば、図１１に示すようなＸ線測定系が考えられる。
【００６５】
このＸ線測定系では、内部の結晶構造等を測定しようとする試料Ｓをゴニオヘッド６１によって支持し、Ｘ線源Ｆ１から発散するＸ線をピンホールコリメータ６２によって試料Ｓへ向かわせる。こうして試料ＳにＸ線が照射されると、試料Ｓの結晶構造に対応してその試料Ｓから回折Ｘ線や散乱Ｘ線等が発生する。これらのＸ線は、発散規制スリット６３で規制されながらＸ線像保持体１７の蓄積性蛍光体面、すなわちＸ線受光面に到達してこの面を露光する。
【００６６】
このＸ線露光により、Ｘ線像保持体１７の受光面、すなわち蓄積性蛍光体面には、回折Ｘ線の回折角度に応じた座標位置、換言すれば試料Ｓの内部結晶構造等に対応した座標位置にエネルギ潜像が形成される。例えば、試料Ｓが粉末試料であれば、デバイリング６４がエネルギ潜像の形で蓄積される。こうしてエネルギ潜像を保持するに至ったＸ線像保持体１７に関して、図１に示すＸ線画像読取り装置１によってダブルヘッドモード下又はシングルヘッドモード下において潜像の読取り処理を行う。
【００６７】
（ダブルヘッドモード）
例えば図１１に示す測定系を用いた測定によって、試料Ｓの結晶構造に応じた回折角度位置すなわち座標位置にエネルギ潜像を保持するに至ったＸ線像保持体１７に関して、測定精度は高くなくても構わないが迅速に測定結果を得たいという場合には、オペレータは図１のＸ線画像読取り装置１によってダブルヘッドモードの測定を行うことを選択する。
【００６８】
具体的には、オペレータは、図４において操作入力装置５６を通してＣＰＵ４１にダブルヘッドモードの測定を指示する。このダブルヘッドモードが選択されると共に、図５のタイミングチャートのタイミングＴ１においてオペレータによって読取り開始の指示が行われると、ＣＰＵ４１はコンピュータの動作モードをＭｄのようにダブルヘッドモードに設定する。
【００６９】
そして、ＣＰＵ４１は、タイミングＴ１の読取りスタートに応じて図１の主走査回転駆動装置３７を作動して回転体４の回転を開始して、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２を軸線Ｘ０を中心として回転させる。このときの回転速度は、予め所定速度に決められていて、ＣＰＵ４１はその回転速度が一定速度を維持するように主走査回転駆動装置３７の動作を制御する。
【００７０】
このように第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２が回転すると、図１に示したセンサ３６から図５に示すようなインデックス信号及びEVEN信号が出力される。インデックス信号は、図２において第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の矢印Ｆ方向への半回転ごと、すなわち１８０°の回転角度ごとに出力される信号である。また、EVEN信号は、第１読取りヘッドＨ１の矢印Ｆ方向への１回転ごと、すなわち３６０°の回転角度ごとに出力される信号である。
【００７１】
その後、図５において、タイミングＴ２が到来すると、図１のレーザ発生器２７へ発光指令が送られてレーザの発光が開始され、さらに、Ｚ軸モータ駆動パルスの出力が開始されて図１の副走査直進駆動装置３８が作動を開始して、Ｘ線画像読取り装置１の全体が、従って第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の両方が、矢印Ｇのように軸線Ｘ０と平行の方向へ直進移動を開始する。このときの第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の直進移動速度は、Ｚ軸モータ駆動パルスのパルス幅によって決められる一定速度Ｖに制御される。
【００７２】
以上のようにして第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２が図１において矢印Ｆで示すように主走査回転を行い、同時に矢印Ｇで示すように副走査直進移動を行うと、図７に示すように、Ｘ線像保持体１７は、当該Ｘ線像保持体１７に交互に繰り返して到来する第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２によって、符号Ｐで示すように螺旋状に走査される。
【００７３】
このときの走査回数、すなわち走査ライン数は例えば３０００ラインとなるように設定されている。今考えているダブルヘッドモードの場合には、図１の回転体４の１回転によって第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２のそれぞれによって１本づつ、合計で２本の走査ラインが形成されるので、３０００ラインの走査ラインを形成するためには回転体４を１５００回転させれば良い。
【００７４】
第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２が以上のようにＸ線像保持体１７を走査する間、図１においてレーザ発生器２７から出射したレーザ光は、プリズム２８で反射して回転体４のレーザ光導入部６に取り込まれ、さらにビームスプリッタ１８によって第１読取りヘッドＨ１と第２読取りヘッドＨ２へと分配される。
【００７５】
第１読取りヘッドＨ１又は第２読取りヘッドＨ２のいずれかがＸ線像保持体１７の表面を走査するとき、当該読取りヘッドへ供給されたレーザ光は当該読取りヘッドを通過して、図７の走査ラインＰに沿ってＸ線像保持体１７を露光する。こうしてレーザ光によって露光されるＸ線像保持体１７の露光部分にエネルギ潜像が保持されていると、そのエネルギはレーザ光によって励起されて外部へ光として出射し、その出射光はレーザ光を出射した第１読取りヘッドＨ１又は第２読取りヘッドＨ２によって受光される。
【００７６】
受光された光は回転体４のヘッド部７内でダイクロイックミラー２６ａ又は２６ｂで反射して光検出装置１１へ送られて、第１光電管１６ａ及び第２光電管１６ｂによって受け取られ、それらの光電管の出力端子に光に対応した信号が出力される。
【００７７】
以上のようにＸ線像保持体１７に対してレーザ光が照射されている間、図５において、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の半回転ごとに出力されるインデックス信号に対応して図４においてパルス生成回路４７の分周回路５１のRESET端子にRESET信号が伝送され、これにより、ロジック回路５２の出力端子に、図５に示すような、単発のENC-Z相パルス及び連続するENC-A相パルスが出力される。
【００７８】
ENC-Z相パルスはインデックス信号から時間ｔｚ後に発生するパルス信号である。また、ENC-A相パルスは、ENC-Z相パルスの発生後から次のインデックス信号の発生まで、換言すれば、第１読取りヘッドＨ１又は第２読取りヘッドＨ２が半回転（すなわち、１８０°回転）する間に継続して発生するパルス信号である。このENC-A相パルスは、図４に示す分周回路５１の出力パルスに従って、図６に示すように３１２．５ＫＨｚの周波数を有するパルス信号であり、読取りヘッドの半回転、すなわち１本の走査ライン内に３０００パルスが発生するようになっている。
【００７９】
図４の強度演算回路４８は、ロジック回路５２から出力されるENC-A相パルスの１パルスごとに光電管１６ａ又は１６ｂの出力を読取り、その読取り値はＲＡＭ４３の所定領域に記憶される。こうして、ENC-A相パルスの１パルスに相当する１ピクセル分のデータがサンプリングされる。なお、本実施形態では図７に示すように１ピクセルの幅は０．１ｍｍに相当する。ここで、ENC-A相パルスは１走査ラインについて３０００パルス出力されるので、強度演算回路４８は１走査ラインを３０００個に分割して得られる３０００ピクセル分のデータをサンプリングする。
【００８０】
以上により、１走査ラインに関する３０００ピクセル分のデータがサンプリングされた後、次の読取りヘッドＨ１又はＨ２がＸ線像保持体１７に対向する位置に到来すると、その読取りヘッドＨ１又はＨ２によって副走査方向に関する次の走査ラインに関する３０００ピクセルのデータがサンプリングされる。そして、それ以降、第１読取りヘッドＨ１と第２読取りヘッドＨ２とによって交互に１走査ラインごとのデータサンプリングが繰り返して行われ、結果的に、副走査方向に関して３０００ライン分のデータがサンプリングされる。
【００８１】
以上により、図７において、Ｘ線像保持体１７の測定領域の全面に関する光強度データが読取られて、それらがＸ線像保持体１７の座標値に対応させてＲＡＭ４３の所定領域にデータテーブルとして記憶される。このデータテーブルがとりもなおさず、Ｘ線像保持体１７に蓄積された潜像の読取り結果である。ＣＰＵ４１は、必要に応じてこの結果をディスプレイ５４の画面上に映像として表示したり、プリンタ５３によって紙等といった印材上に印写像として表示したりする。
【００８２】
なお、ダブルヘッドモードの場合には、上記の通り、第１読取りヘッドＨ１と第２読取りヘッドＨ２の２個の読取りヘッドを交互に用いて読取り処理が行われる。この場合、第１読取りヘッドＨ１による読取り特性と第２読取りヘッドＨ２による読取り特性は必ずしも一致していない。
【００８３】
例えば、同じ対象物を第１読取りヘッドＨ１を用いて読取ったときの光電管１６ａ又は１６ｂの出力レベルと、第２読取りヘッドＨ２を用いて読取ったときの光電管１６ａ又は１６ｂの出力レベルは必ずしも一致していない。また、図２において、第１読取りヘッドＨ１と第２読取りヘッドＨ２は本来であれば厳密に１８０°の角度間隔で互いに対称の位置に置かれていなければならないが、実際には加工精度や組み立て精度の誤差に起因して１８０°からずれることが考えられる。
【００８４】
従って、第１読取りヘッドＨ１を用いて得られた読取りデータと、第２読取りヘッドＨ２を用いて得られた読取りデータとの間で何等の補正も行わなければ、精度の高い読取りデータを得ることができない。そこで本実施形態において、図４のＣＰＵ４１は、予め、第１読取りヘッドＨ１と第２読取りヘッドとを用いて同一の対象物に対して読取り処理を実行して両者の間での読取り特性の違いをデータとして採取して、そのデータをＲＡＭ４３へ補正データとして記憶しておく。
【００８５】
そして、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の両方を用いて測定を行って読取りデータを採取した後、その読取りデータを、予め記憶しておいた上記の補正データに基づいてソフト的に補正することにより、第１読取りヘッドＨ１を用いて得た読取りデータと第２読取りヘッドＨ２を用いて得た読取りデータをつなぎ合わせるための処理を行う。これにより、異なる読取りヘッドを用いて得られた読取りデータに関する信頼性を高めることができる。つまり、ＣＰＵ４１は、読取りヘッド間の強度の誤差を補償するためのヘッド間強度補正手段や、読取りヘッド間の角度位置のズレを補償するためのヘッド間位置ズレ補正手段として機能する。
【００８６】
（シングルヘッドモード）
例えば図１１に示す測定系を用いた測定によって、試料Ｓの結晶構造に応じた回折角度位置すなわち座標位置にエネルギ潜像を保持するに至ったＸ線像保持体１７に関して、時間は長くかかっても構わないが高精度の測定結果を得たいという場合には、オペレータは図１のＸ線画像読取り装置１によってシングルヘッドモードの測定を行うことを選択する。
【００８７】
具体的には、オペレータは、図４において操作入力装置５６を通してＣＰＵ４１にシングルヘッドモードの測定を指示する。このシングルヘッドモードが選択されると共に、図５のタイミングチャートのタイミングＴ１においてオペレータによって読取り開始の指示が行われると、ＣＰＵ４１はコンピュータの動作モードをＭｓのようにシングルヘッドモードに設定する。
【００８８】
そして、ＣＰＵ４１は、タイミングＴ１の読取りスタートに応じて図１の主走査回転駆動装置３７を作動して回転体４の回転を開始して、第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２を軸線Ｘ０を中心として回転させる。このときの回転速度は、ダブルヘッドモードの場合と同じである。
【００８９】
このように第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２が回転すると、ダブルヘッドモードの場合と同様にして、図１に示したセンサ３６から図５に示すようなインデックス信号及びEVEN信号が出力される。
【００９０】
その後、図５において、タイミングＴ２が到来すると、図１のレーザ発生器２７へ発光指令が送られてレーザの発光が開始され、さらに、Ｚ軸モータ駆動パルスの出力が開始されて図１の副走査直進駆動装置３８が作動を開始して、Ｘ線画像読取り装置１の全体が、従って第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の両方が、矢印Ｇのように軸線Ｘ０と平行の方向へ直進移動を開始する。このときの第１読取りヘッドＨ１及び第２読取りヘッドＨ２の直進移動速度は、Ｚ軸モータ駆動パルスのパルス幅をダブルヘッドモードのときの１／２にすることによって、ダブルヘッドモードの場合の一定速度Ｖの１／２に制御される。
【００９１】
また、ダブルヘッドモードの際には図５のタイミングチャートに示す通り、レーザ発生器２７への信号をＯＮのままに維持して、読取り処理の間、レーザ光を常時発生させていた。これに対し、シングルヘッドモードの際には図５のタイミングチャートに示す通り、EVEN信号が発生してから次のインデックス信号が発生するまでの間、すなわち第１読取りヘッドＨ１がＸ線像保持体１７を走査する間だけ、レーザ発生器２７へＯＮ信号を送ってレーザ光を発生させている。そして、第２読取りヘッドＨ２がＸ線像保持体１７を走査する間はレーザ光を発生させないようにしている。これにより、図８に示すように、Ｘ線像保持体１７に対してレーザ光が照射されて読取り処理が行われるのは、第１読取りヘッドＨ１がＸ線像保持体１７を走査する間だけであって、第２読取りヘッドＨ２がＸ線像保持体１７を走査する間は読取り処理が行われないようになっている。
【００９２】
なお、シングルヘッドモードにおける副走査方向（すなわち、図１の矢印Ｇ方向）へのＸ線画像読取り装置１の移動速度はダブルヘッドモードにおける移動速度の１／２になっており、それにもかかわらず、主走査方向への回転体４の回転速度はシングルヘッドモードとダブルヘッドモードとの間で同じに設定されているので、シングルヘッドモードにおける１本の走査ラインの傾斜角度はダブルヘッドモードにおける１本の走査ラインの傾斜角度θ（図７参照）の１／２となる。
【００９３】
また、シングルヘッドモードにおける副走査方向への移動速度はダブルヘッドモードにおける副走査移動速度の１／２に設定されるので、同じサイズのＸ線像保持体１７を読取るための読取り時間は、シングルヘッドモードの場合がダブルヘッドモードの場合の２倍かかることになる。
【００９４】
なお、シングルヘッドモードの場合も、必要となる走査回数、すなわち走査ライン数はダブルヘッドモードの場合と同じライン数、例えば３０００ラインに設定される。今考えているシングルヘッドモードの場合には、図１の回転体４の１回転によって第１読取りヘッドＨ１だけによって１本の走査ラインが形成されるので、３０００ラインの走査ラインを形成するためには回転体４を３０００回転、すなわちダブルヘッドモードの場合の２倍だけ回転させる。
【００９５】
第１読取りヘッドＨ１が以上のようにＸ線像保持体１７を走査する間、図１においてレーザ発生器２７から出射したレーザ光が第１読取りヘッドＨ１を通過して、図８の走査ラインＰに沿ってＸ線像保持体１７を露光する。こうしてレーザ光によって露光されるＸ線像保持体１７の露光部分にエネルギ潜像が保持されていると、そのエネルギはレーザ光によって励起されて外部へ光として出射し、その出射光はレーザ光を出射した第１読取りヘッドＨ１によって受光される。
【００９６】
受光された光は回転体４のヘッド部７内でダイクロイックミラー２６ａで反射して光検出装置１１へ送られて、第１光電管１６ａ及び第２光電管１６ｂによって受け取られ、それらの光電管の出力端子に光に対応した信号が出力される。
【００９７】
以上のようにＸ線像保持体１７に対してレーザ光が照射されている間、図５において、第１読取りヘッドＨ１の１回転ごとに出力されるEVEN信号に対応して図４においてパルス生成回路４７の分周回路５１のRESET端子にRESET信号が伝送され、これにより、ロジック回路５２の出力端子に、図５に示すような、単発のENC-Z相パルス及び連続するENC-A相パルスが個々のEVEN信号に対応して出力される。
【００９８】
ENC-Z相パルスはEVEN信号から時間ｔｚ後に発生するパルス信号である。また、ENC-A相パルスは、ENC-Z相パルスの発生後から次のインデックス信号の発生まで、換言すれば、第１読取りヘッドＨ１が半回転（すなわち、１８０°回転）する間に継続して発生するパルス信号である。このENC-A相パルスは、図４に示す分周回路５１の出力パルスに従って、図６に示すように３１２．５ＫＨｚの周波数を有するパルス信号であり、第１読取りヘッドＨ１の半回転、すなわち１本の走査ライン内に３０００パルスが発生するようになっている。
【００９９】
図４の強度演算回路４８は、ダブルヘッドモードの場合と同様にして、ロジック回路５２から出力されるENC-A相パルスの１パルスごとに光電管１６ａ又は１６ｂの出力を読取り、その読取り値はＲＡＭ４３の所定領域に記憶される。こうして、ENC-A相パルスの１パルスに相当する１ピクセル分のデータがサンプリングされる。ここで、ENC-A相パルスは１走査ラインについて３０００パルス出力されるので、強度演算回路４８は１走査ラインを３０００個に分割して得られる３０００ピクセル分のデータをサンプリングする。
【０１００】
以上により、第１読取りヘッドＨ１による１走査ラインに関する３０００ピクセル分のデータがサンプリングされた後、第２読取りヘッドＨ２がＸ線像保持体１７に対向する位置に到来したとき、図５に示すタイミングチャートの通り、ENC-Z相パルス及びENC-A相パルスは出力されない。またこの時には、レーザ信号もＯＦＦとなっていて、第２読取りヘッドＨ２からのレーザ光の照射も行われない。従って、第２読取りヘッドＨ２に関してはデータの採取は行われない。
【０１０１】
その後、第１読取りヘッドＨ１の１回転ごとに１走査ラインにわたる３０００ピクセルのデータがサンプリングが繰り返して行われ、結果的に、副走査方向に関して３０００ライン分のデータがサンプリングされる。以上により、図８において、Ｘ線像保持体１７の測定領域の全面に関する光強度データが読取られて、それらがＸ線像保持体１７の座標値に対応させてＲＡＭ４３の所定領域にデータテーブルとして記憶される。
【０１０２】
以上に説明したシングルヘッドモードの測定によれば、測定を行うのは第１読取りヘッドＨ１だけであって第２読取りヘッドＨ２からはデータの採取が行われない。従って、第１読取りヘッドＨ１を用いたときの読取り特性と、第２読取りヘッドＨ２を用いたときの読取り特性との違いに起因して測定誤差が生じるという状況が生じることが無くなり、それ故、非常に高精度の測定を行うことができる。
【０１０３】
なお、シングルヘッドモードにおいては、図５に示すように、レーザ発生器２７のＯＮ／ＯＦＦがEVEN信号とインデックス信号の発生ごとに繰り返される。このとき、レーザ発生器２７にＯＮ信号が送られてレーザ発生器２７の作動が開始しても定格強度のレーザ光は直ぐには発生せず、レーザ光の出力が定格の大きさに安定するまでには少しの時間の経過が必要である。図５に示すように、EVEN信号が発生したときに即座にENC-A相パルスを出すのではなく、ｔｚの猶予時間、例えば１２２パルス分の４００μＳの時間を設けるのは、立ち上がったレーザ光が定格の大きさに安定するまでの時間を確保するためである。
【０１０４】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【０１０５】
例えば、図１に示した実施形態では、２つの読取りヘッドＨ１及びＨ２のうち第２読取りヘッドＨ２を使用しないことによってシングルヘッドモードを実現することにし、そのために、使用しないこととする第２読取りヘッドＨ２がＸ線像保持体１７を走査するときにはレーザ発生器２７からのレーザ光の発生を中止することにした。
【０１０６】
しかしながら、第２読取りヘッドＨ２を使用しないこととするための方策は、そのようなレーサ光の中断だけに限られるものでなく、例えば、図９に示すように、ビームスプリッタ１８と第２読取りヘッドＨ２との間の光路上にビームストッパ又はシャッタ５９を設け、このビームストッパ又はシャッタ５９によって第２読取りヘッドＨ２へのレーザ光の進行を阻止するという方策によっても実現できる。
【０１０７】
また、上記の実施形態は、読取りヘッドを２個使用する構造のダブルヘッド方式のＸ線画像読取り装置に本発明を適用したものであるが、本発明は、３個以上の読取りヘッドを使用する構造のマルチヘッド方式のＸ線画像読取り装置にも適用できる。
【０１０８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るＸ線画像読取り装置によれば、迅速な測定を行いたい場合にはマルチヘッドモードの測定によってその迅速な測定を実現でき、他方、高精度の測定結果を得たい場合にはシングルヘッドモードの測定によってその高精度の測定結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸ線画像読取り装置の一実施形態を示す側面断面図である。
【図２】（ａ）は図１のＩＩ−ＩＩ線に従った平面断面図であり、（ｂ）は図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に従った平面断面図である。
【図３】図１の装置に用いられるビームスプリッタを示す図である。
【図４】本発明に係るＸ線画像読取り装置で用いられる電気制御系の一実施形態を示すブロック図である。
【図５】図４の電気制御系によって実行される制御のタイミングチャートを示す図である。
【図６】図５の要部を示すタイミングチャートである。
【図７】ダブルヘッドモードにおける読取り走査の状態を模式的に示す図である。
【図８】シングルヘッドモードにおける読取り走査の状態を模式的に示す図である。
【図９】本発明に係るＸ線画像読取り装置の他の実施形態を示す側面断面図である。
【図１０】従来のＸ線画像読取り装置の一例を示す斜視図である。
【図１１】Ｘ線測定装置の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１            Ｘ線画像読取り装置
４            回転体
６            レーザ光導入部
７            ヘッド部
８            光導出部
１１            光検出装置
１４            光フィルタ
１６ａ，１６ｂ  光電管
１７            Ｘ線像保持体
１８            ビームスプリッタ
２６ａ，２６ｂ  ダイクロイックミラー
２７            レーザ発生器
２９            回転盤
３６            角度位置センサ
５９            ビームストッパ又はシャッタ
Ｈ１          第１読取りヘッド
Ｈ２          第２読取りヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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