(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気テープを記録媒体として用いるヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、
上記磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、
上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されていることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
【請求項２】
上記磁気抵抗効果素子は、上記磁気テープに形成される記録トラックのトラックピッチよりも大きく、上記トラックピッチの２倍より小さい長さで形成されていることを特徴と請求項１記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
【請求項３】
磁気テープを記録媒体として用いるヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置において、
略円筒状の回転ドラムと、
上記回転ドラムに搭載され、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されてなる第１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、
上記回転ドラムに搭載され、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されてなる第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドとを備え、
上記磁気テープから情報信号をノントラッキング方式で再生することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項４】
上記第１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと上記第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドとは、上記アジマス角を互いに逆向きとしていることを特徴とする請求項２記載の磁気記録再生装置。
【請求項５】
上記磁気抵抗効果素子は、上記磁気テープに形成される記録トラックのトラックピッチよりも大きく、上記トラックピッチの２倍より小さい長さで形成されていることを特徴と請求項３記載の磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気テープから情報信号を再生する磁気抵抗効果型磁気ヘッド及び磁気記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気テープを記録媒体として用いるビデオテープレコーダ、オーディオテープレコーダ、及びコンピュータ用データストレージシステム等の磁気記録再生装置では、記録密度を上げて大容量化を図るために、ヘリカルスキャン方式が採用されている。
【０００３】
ヘリカルスキャン方式に用いられる磁気テープでは、情報信号が記録される記録トラックが、テープの長手方向に対して所定の角度（アジマス角）を有するように形成されている。
【０００４】
そして、磁気ヘッドは、記録トラック上をトレースすることにより、磁気テープから情報信号を再生する。このとき、磁気ヘッドが磁気テープから情報信号を正確に再生するためには、磁気ヘッドが記録トラックを正確にトレースするようにトラッキング制御を行う必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
トラッキングを正確に行うためには、磁気テープの走行系や回転ドラムの回転位相等を精密に制御しなければならず、装置の構成が複雑になっていた。また、磁気テープにおいても、磁気ヘッドが記録トラックを正確にトレースできるようにするために、記録トラック幅をある程度広くする必要があり、高記録密度化の妨げとなっていた。
【０００６】
これに対し、トラッキング制御を行わなくても磁気テープから情報信号の再生を行うことのできる、いわゆるノントラッキング方式の磁気記録再生装置が提案されている。
【０００７】
ノントラッキング方式の磁気記録再生装置では、１つの記録用磁気ヘッドに対して複数、例えば２つの再生用磁気ヘッドを用いて、記録トラックを倍密度でトレースすることにより記録トラック上の情報信号を検出し、得られた信号を合成処理することにより磁気テープから情報信号が再生される。
【０００８】
このようなノントラッキング方式による磁気記録再生装置では、複数の磁気ヘッドはそれぞれ異なるヘッドベースに装着されて回転ドラムに搭載されるため、複数の磁気ヘッドを回転ドラムに搭載するのがスペース上難しいという問題があった。また、複数の磁気ヘッドを回転ドラムに搭載する際に、磁気ヘッド相互の位置調整が複雑になるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上述したような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、回転ドラムに搭載される磁気ヘッドを省スペース化するとともに複数の磁気ヘッドの相互の位置決定を容易にした磁気抵抗効果型磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、磁気テープを記録媒体として用いるヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置に搭載される磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されていることを特徴とする。
なお、磁気抵抗効果素子は、上記磁気テープに形成される記録トラックのトラックピッチよりも大きく、上記トラックピッチの２倍より小さい長さで形成することが望ましい。
【００１１】
上述したような本発明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部が一体に形成されているので、２つの磁気ヘッドを個別に形成する場合に比べて磁気ヘッドが小型化される。
【００１２】
また、本発明は、磁気テープを記録媒体として用いるヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置において、略円筒状の回転ドラムと、上記回転ドラムに搭載され、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されてなる第１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、上記回転ドラムに搭載され、薄膜状の磁気抵抗効果素子が絶縁層を介して一対の軟磁性体に挟持されてなる２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を有し、上記２つの磁気抵抗効果型ヘッド部は、磁気テープの走行方向に対し一定の角度傾斜された同一のアジマス角を有して互いに平行に上記磁気抵抗効果素子の膜厚方向に所定の間隔を隔て一体に形成されてなる第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドとを備え、上記磁気テープから情報信号をノントラッキング方式で再生することを特徴とする。
さらに、上記第１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと上記第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドとが、上記アジマス角を互いに逆向きとされている。
【００１３】
上述したような本発明に係る磁気記録再生装置では、２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部が同一のアジマス角を有するように所定の間隔で並べられて一体に形成されてなる第１の磁気抵抗効果型磁気ヘッドと、第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドとを備えることにより、トラッキング制御を行わずに磁気テープから情報信号の再生が行われる。また、この磁気記録再生装置では、上記第１及び第２の磁気抵抗効果型磁気ヘッドが、２つの磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を一体に形成しているので、磁気ヘッドが小型化されるとともに、磁気ヘッドの相互の位置決定が容易になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
本発明に係る磁気記録再生装置は、磁気テープを記録媒体として用いる磁気記録再生装置であり、例えば、ビデオテープレコーダ、オーディオテープレコーダ又はコンピュータ用データストレージシステムなどとして使用される。そして、本発明に係る磁気記録再生装置は、回転ドラムを用いて記録再生を行うヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置であり、回転ドラムに搭載された再生用磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッドと称する。）を使用する。
【００１８】
本発明を適用した磁気記録再生装置に搭載される回転ドラム装置の一構成例を図１に示す。なお、図１は回転ドラム装置１の概略を示す斜視図である。図１に示すように、回転ドラム装置１は、円筒状の固定ドラム２と、円筒状の回転ドラム３と、回転ドラム３を回転駆動するモータ４と、回転ドラム３に搭載された一対のインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂと、回転ドラム３に搭載された一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂとを備える。
【００１９】
なお、ここでは、固定ドラム２の上に回転ドラム３が配された、いわゆる上ドラム型の回転ドラム装置１を例に挙げるが、本発明はヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置に対して広く適用可能であり、回転ドラム装置１の種類は特に問わない。例えば、一対の固定ドラム２に回転ドラム３が挟持された、いわゆる中ドラム型の回転ドラム装置１等を用いるようにしてよい。
【００２０】
上記回転ドラム装置１において、固定ドラム２は、回転することなく保持されるドラムである。この固定ドラム２の側面には、磁気テープ７の走行方向に沿ってリードガイド部８が形成されている。後述するように、記録再生時に磁気テープ７は、このリードガイド部８に沿って走行する。そして、この固定ドラム２と中心軸が一致するように、回転ドラム３が配されている。
【００２１】
回転ドラム３は、磁気テープ７に対する記録再生時に、モータ４によって所定の回転速度で回転駆動されるドラムである。この回転ドラム３は、固定ドラム２と略同径の円筒状に形成されてなり、固定ドラム２と中心軸が一致するように配されている。そして、この回転ドラム３の固定ドラム２に対向する側には、一対のインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂ及び一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂが搭載されている。
【００２２】
インダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂは、一対の磁気コアが磁気ギャップを介して接合されるとともに、磁気コアにコイルが巻装されてなる記録用磁気ヘッドであり、磁気テープ７にデータを記録する際に使用される。そして、これらのインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂは、それらの磁気ギャップ部分が回転ドラム３の外周から突き出すように、回転ドラム３に搭載されている。なお、これらのインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂは、磁気テープ７に対して所定のアジマス角をもってガードバンドレス記録を行うように、アジマス角が互いに逆となるように設定されている。
【００２３】
これらのインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂには、従来のヘリカルスキャン方式の磁気記録再生装置で採用されていた公知の記録用磁気ヘッドがいずれも使用可能である。具体的には、磁気コアが、フェライト等のような軟磁性材と、当該軟磁性材上に形成された金属磁性膜とからなり、一対の磁気コアが、磁気ギャップを挟んで金属磁性膜が対向するように接合されてなる、いわゆるＭＩＧ（Metal In Gap）型の磁気ヘッドが特に好適である。
【００２４】
ＭＲヘッド６ａ，６ｂは、磁気テープ７からの情報信号を磁気抵抗効果を利用して検出する磁気ヘッドであり、再生用磁気ヘッドである。一般に、ＭＲヘッドは、電磁誘導を利用して記録再生を行うインダクティブ型磁気ヘッドよりも感度が高く再生出力が大きいので、高密度記録に適している。従って、再生用磁気ヘッドとしてＭＲヘッド６ａ，６ｂを用いることで、より高密度記録化を図ることができる。
【００２５】
なお、これらのＭＲヘッド６ａ，６ｂは、磁気テープ７に対して所定のアジマス角をもってガードバンドレス記録された磁気信号を検出できるように、インダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂと同様に、アジマス角が互いに逆となるように設定されている。
【００２６】
そして、これらのＭＲヘッド６ａ，６ｂは、回転ドラム３の中心に対して互いに成す角度が１８０°となり、ＭＲ素子部分が回転ドラム３の外周から突き出すように、回転ドラム３に搭載されている。
【００２７】
以下、ＭＲヘッド６ａ，６ｂについて説明する。なお、ＭＲヘッド６ａとＭＲヘッド６ｂとはほぼ同一の構成を有している。そこで、以下の説明では、これらのＭＲヘッド６ａ，６ｂをまとめてＭＲヘッド６と称する。
【００２８】
このＭＲヘッド６は、図２及び図３に示すように、第１のＭＲヘッド部１０と、第２のＭＲヘッド部１１とが並べられて一体に形成されている。なお、図２は、ＭＲヘッド６の一構成例を示す斜視図であり、図３では、第１及び第２のＭＲヘッド部１０，１１及びその近傍を拡大して示している。
【００２９】
第１のＭＲヘッド部１０は、軟磁性材料からなる一対の磁気シールド１２，１３と、絶縁膜１４を介して一対の磁気シールド１２，１３によって挟持された薄膜状のＭＲ素子部１５と、ＭＲ素子部１５の両脇にそれぞれ配された永久磁石膜１６ａ，１６ｂと、永久磁石膜１６ａ，１６ｂにそれぞれ接続された導体部１７ａ，１７ｂとを備える。
【００３０】
第２のＭＲヘッド部１１は、軟磁性材料からなる一対の磁気シールド１２、１８と、絶縁膜１９を介して一対の磁気シールド１２，１８によって挟持されたＭＲ素子部２０と、ＭＲ素子部２０の両脇にそれぞれ配された永久磁石膜２１ａ，２１ｂと、永久磁石膜２１ａ，２１ｂにそれぞれ接続された図示しない導体部とを備える。
【００３１】
なお、このＭＲヘッド６では、磁気シールド１２は、第１のＭＲヘッド部１０と、第２のＭＲヘッド部１１との共有の磁気シールドとされている。また、このＭＲヘッド６では、第１のＭＲヘッド部１０と第２のＭＲヘッド部１１とは、ＭＲ素子部の膜厚方向に所定間隔ｋをもって並べられている。また、第１のＭＲヘッド部１０及び第２のＭＲヘッド部１１は、図２及び図３に示すように、矢印Ｄで示される磁気テープ７に対するＭＲヘッド６の摺動方向に対して所定のアジマス角θが設定されている。また、ＭＲヘッド６の摺動方向前端側及び摺動方向後端側とは、一対のガード材２２ａ，２２ｂによってガードされている。これらのガード材２２ａ，２２ｂには、耐摩耗性に優れた非磁性材料が用いられる。
【００３２】
第１のＭＲヘッド部１０において、ＭＲ素子部１５は、磁気抵抗効果を有するＭＲ素子と、ＳＡＬ（Soft Adjacent Layer）膜と、ＭＲ素子とＳＡＬ膜の間に配された絶縁体膜とが積層されてなる。ＭＲ素子は、異方性磁気抵抗効果（ＡＭＲ）により、外部磁界の大きさによって抵抗値が変化するＮｉ−Ｆｅ等のような軟磁性材料からなる。また、ＳＡＬ膜は、いわゆるＳＡＬバイアス方式により、ＭＲ素子に垂直バイアス磁界を印加するためのものであり、パーマロイ等のように低保磁力で高透磁率の磁性材料からなる。また、絶縁体膜は、ＭＲ素子とＳＡＬ膜との間を絶縁し、電気的な分流損を防ぐためのものであり、Ｔａ等のような絶縁材料からなる。
【００３３】
このＭＲ素子部１５の両脇に配された永久磁石膜１６ａ，１６ｂは、ＭＲ素子に水平バイアス磁界を印加するためのものであり、ＭＲ素子の両脇にそれぞれ接するように配され、いわゆるアバット構造とされている。これらの永久磁石膜１６ａ，１６ｂは、Ｃｏ−Ｎｉ−ＰｔやＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等のように保磁力が大きく且つ導電性を有する磁性材料からなる。
【００３４】
これらの永久磁石膜１６ａ，１６ｂにそれぞれ接続された導体部１７ａ，１７ｂは、それらの端部が外部に露呈するように、一方の磁気シールド１３の側面に形成されており、これらの導体部１７ａ，１７ｂの端部がそれぞれ、外部からＭＲ素子にセンス電流を供給するための外部端子２３ａ，２３ｂとなっている。すなわち、ＭＲ素子部１５に形成されたＭＲ素子には、これらの外部端子２３ａ，２３ｂから導体部１７ａ，１７ｂ及び永久磁石膜１６ａ，１６ｂを介してセンス電流が供給される。
【００３５】
この第１のＭＲヘッド部１０において、ＭＲ素子部１５は、図４に示すように、平面形状が略矩形状となるように形成されており、その短軸方向が摺動面２４に対して略垂直となり、且つ、その一側面が摺動面２４に露呈するように、一対の磁気シールド１２，１３によって絶縁体１４を介して挟持されている。そして、このＭＲヘッド６において、ＭＲ素子部１５は、磁気テープ７からの磁界を検出する感磁部となり、この感磁部の長さｔは、記録トラックのトラックピッチＴｐよりも大きく、トラックピッチＴｐの２倍よりも小さくなされている。
【００３６】
以上の説明では、第１のＭＲヘッド部１０について説明したが、第２のＭＲヘッド部１１についても第１のＭＲヘッド部１０と同様の構成とされるので、第２のＭＲヘッド部１１についての説明は省略する。
【００３７】
また、このＭＲヘッド６は、図２及び図３に示すように、第１のＭＲヘッド部１０と第２のＭＲヘッド部１１とが、ＭＲ素子の膜厚方向に並べられているので、第１のＭＲヘッド部１０及び第２のＭＲヘッド部１１の外部端子と外部電極との電気的接続を容易に行うことができる。
【００３８】
このようなＭＲヘッド６は、少なくとも一部が上記回転ドラム３の外周部から突き出すように、回転ドラム３に搭載されている。さらに、ＭＲヘッド６は、摺動面２４が、図２及び図３中、矢印Ｄで示される、磁気テープ７に対するＭＲヘッド６の摺動方向に沿って円筒研削されているとともに、当該摺動方向に対して直交する方向に沿って円筒研削されている。
【００３９】
そして、磁気記録再生装置は、図５に示すように、このような回転ドラム装置１に磁気テープ７を摺動させて、磁気テープ７へのデータの記録や、磁気テープ７からのデータの再生を行う。ここで、図５は、回転ドラム装置１を含む磁気テープ送り機構３０の概略を示す平面図である。具体的には、記録再生時に磁気テープ７は、図５に示すように、供給リール３１からガイドローラ３２，３３を経て、回転ドラム装置１に巻き付くように送られ、この回転ドラム装置１で記録再生がなされる。
【００４０】
ここで、磁気テープ７にデータを記録する際は、一対のインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂと磁気テープ７とを摺動させ、これらのインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂによりガードバンドレス記録を行う。
【００４１】
また、磁気テープ７からデータを再生する際は、一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂと磁気テープ７とを摺動させ、一対のインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂにより記録されたデータを、これらのＭＲヘッド６ａ，６ｂにより再生する。
【００４２】
この回転ドラム装置１では、ＭＲヘッド６ａ，６ｂが複数のＭＲヘッド部を備えるとともに、アジマス角の異なる一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂを搭載しているので、磁気テープ７からの情報信号の再生時に、トラッキング制御を行わなくても磁気テープ７から情報信号を再生することが可能である。
【００４３】
例えば、図６に示すように、磁気テープ７に、データが記録された記録トラックＴＡ１，ＴＢ１，ＴＡ２，ＴＢ２・・・が形成されている。ここで、トラックＴＡ１，ＴＡ２，ＴＡ３・・・は、ＭＲヘッド６ａで再生できるアジマス角であり、また、トラックＴＢ１，ＴＢ２，ＴＢ３   は、ＭＲヘッド６ｂで再生できるアジマス角である。
【００４４】
ここで、ＭＲヘッド６ａで再生できる記録アジマス角のトラックＴＡ２を例に挙げて説明する。ＭＲヘッド６ａは２つのＭＲヘッド部を有しており、一方のＭＲヘッド部が、まず最初に磁気テープ７上を軌跡▲１▼で走査し、続いて回転ドラムの１回転後に磁気テープ７上を軌跡▲２▼で走査したとする。以下、１回転ずつ後に、一方のＭＲヘッド部が磁気テープ７上を軌跡▲３▼、軌跡▲４▼   と走査する。このとき、各軌跡▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼は、例えば１トラックピッチＴｐだけずれている。
【００４５】
このような走査が行われることで、各軌跡▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼の走査で、ＭＲヘッド６ａの一方のＭＲヘッド部からは、図７（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）に示すような再生出力が得られる。ここで、図７（ａ）は、軌跡▲１▼の走査における再生出力である。図７（ｂ）は、軌跡▲２▼の走査における再生出力である。図７（ｃ）は、軌跡▲３▼の走査における再生出力である。また、図７（ｄ）は、軌跡▲４▼の走査における再生出力である。
【００４６】
すなわち、軌跡▲１▼の走査では、図７（ａ）に示すように、最初にトラックＴＡ２の信号が少しだけ再生され、残りの部分でトラックＴＡ１の信号が再生される。また、軌跡▲２▼の走査では、図７（ｂ）に示すように、最初にトラックＴＡ２の信号が再生され、後半に少しだけトラックＴＡ１の信号が再生される。また、軌跡▲３▼の走査では、図７（ｃ）に示すように、最初にトラックＴＡ３の信号が少しだけ再生され、残りの部分でトラックＴＡ２の信号が再生される。また、軌跡▲４▼の走査では、図７（ｄ）に示すように、最初にトラックＴＡ３の信号が再生され、後半に少しだけトラックＴＡ２の信号が再生される。
【００４７】
トラックＴＡ２に記録されている信号は、上述のように、いくつかに分割されて再生される。そして、分割されて再生された信号に対して所定の信号処理を行うことにより、トラックＴＡ２に記録されている信号を再生することができる。
【００４８】
また、ＭＲヘッド６ａの他方のＭＲヘッド部も同様に磁気テープ７上を走査する。このとき、ＭＲヘッド６ａにおいて、２つのＭＲヘッド部の間隔をｋとし、ＭＲヘッド６ａのアジマス角をθとしたときに、（ｋ×ｓｉｎθ）が、トラックピッチＴｐの整数倍ｎ×Ｔｐに等しくなるように、２つのＭＲヘッド部の間隔ｋが決定されることが好ましい。例えば、（ｋ×ｓｉｎθ）＝Ｔｐとされている場合、ＭＲヘッド６ａの一方のＭＲヘッド部と他方のＭＲヘッド部とは、約１トラックピッチ離れた場所をそれぞれ走査することになる。すなわち、一方のＭＲヘッド部が軌跡▲２▼で走査しているときに、他方のＭＲヘッド部は、軌跡▲１▼とほぼ同一の軌跡IIで走査する。また、一方のＭＲヘッド部が軌跡▲３▼で走査しているときに、他方のＭＲヘッド部は、軌跡▲２▼とほぼ同一の軌跡IIIで走査する。
【００４９】
従って、例えば一方のＭＲヘッド部が軌跡▲２▼で走査しているときに、信号の検出漏れが生じたとしても、回転ドラムの１回転後に、他方のＭＲヘッド部が軌跡▲２▼とほぼ同一の軌跡IIIで走査するため、一方のＭＲヘッド部で検出されなかった信号を他方のＭＲヘッド部で検出することができる。
【００５０】
このように、ＭＲヘッド６ａの２つのＭＲヘッド部の間隔ｋを上述のように決定することで、ＭＲヘッド６ａを用いて磁気テープ７から信号をノントラッキングで再生する際に、磁気テープ７からの信号を漏れなく再生することができる。具体的には、例えば、Ｔｐが５μｍであり、θが２０゜であるときに、ｋは１４．６μｍと決定される。
【００５１】
ＭＲヘッド６ｂについても、ＭＲヘッド６ａと同様にして磁気テープ７からの信号を再生することができる。従って、この回転ドラム装置１では、トラッキング制御を行わなくても、以上のようにして磁気テープ７から情報信号を再生することができる。
【００５２】
回転ドラム装置１による記録再生について、この回転ドラム装置１並びにその周辺回路についての回路構成の概略を示す図８を参照しながら説明する。
【００５３】
上記回転ドラム装置１を用いて磁気テープ７にデータを記録する際は、先ず、モータ４の駆動用コイルに電流が供給され、これにより、回転ドラム３が回転駆動される。そして、回転ドラム３が回転している状態にて、図８に示すように、外部回路４０からの記録信号が、符号器４１に供給される。
【００５４】
外部回路４０から記録信号が供給された符号器４１は、当該記録信号を符号化して、所定の誤り訂正符号を付加する。すなわち、符号器４１は、外部回路４０からの記録信号を符号化して、磁気テープ７に記録するデータに誤り訂正符号を付加する誤り訂正符号付加手段として機能する。そして、符号器４１によって誤り訂正符号が付加されたデータは、変調回路４２に供給される。
【００５５】
変調回路４２は、符号器４１から送られてきたデータを例えばＤＣフリーの符号列からなるデータに変調する。
【００５６】
そして、変調回路４２から出力されたＤＣフリーの符号列からなるデータは、記録用アンプ４３ａ又は記録用アンプ４３ｂに供給される。ここで、変調回路４２は、回転ドラム３の回転に同期させて、記録用アンプ４３ａ又は記録用アンプ４３ｂにデータを供給する。すなわち、変調回路４２は、一方のインダクティブ型磁気ヘッド５ａによってデータを記録するタイミングの時、当該インダクティブ型磁気ヘッド５ａに対応した記録用アンプ４３ａにデータを供給し、また、他方のインダクティブ型磁気ヘッド５ｂにてデータを記録するタイミングの時、当該インダクティブ型磁気ヘッド５ｂに対応した記録用アンプ４３ｂにデータを供給する。
【００５７】
そして、変調回路４２からＤＣフリーの符号列からなるデータが供給された記録用アンプ４３ａは、当該データに対応した記録信号を所定のレベルに増幅して、信号伝送用リング４４ａに供給する。同様に、変調回路４２からＤＣフリーの符号列からなるデータが供給された記録用アンプ４３ｂは、当該データに対応した記録信号を、所定のレベルに増幅して信号伝送用リング４４ｂに供給する。
【００５８】
そして、一方のインダクティブ型磁気ヘッド５ａに対応した信号伝送用リング４４ａに供給された記録信号は、非接触にて信号伝送用リング４３ａに伝送される。そして、信号伝送用リング４５ａに伝送された記録信号は、インダクティブ型磁気ヘッド５ａに供給され、当該インダクティブ型磁気ヘッド５ａにより、磁気テープ７へのデータの記録がなされる。
【００５９】
同様に、他方のインダクティブ型磁気ヘッド５ｂに対応した信号伝送用リング４４ｂに供給された記録信号は、非接触にて信号伝送用リング４５ｂに伝送される。そして、信号伝送用リング４５ｂに伝送された記録信号は、インダクティブ型磁気ヘッド５ｂに供給され、当該インダクティブ型磁気ヘッド５ｂにより、磁気テープ７へのデータの記録がなされる。
【００６０】
一方、上記回転ドラム装置１を用いて磁気テープ７からデータを再生する際は、データの記録時と同様に、先ず、モータ４の駆動用コイルに電流が供給され、これにより、回転ドラム３が回転駆動される。そして、回転ドラム３が回転している状態にて、図５に示すように、オシレータ４６から高周波の電流がパワードライブ４７に供給される。オシレータ４６からの高周波の電流は、パワードライブ４７によって所定の交流電流に変換された上で、電力伝送用リング４８に供給される。
【００６１】
そして、電力伝送用リング４８に供給された交流電流は、非接触にて電力伝送用リング４９に伝送される。そして、電力伝送用リング４９に伝送された交流電流は、整流器５０により整流されて直流電流とされレギュレータ５１に供給され、当該直流電流はレギュレータ５１により所定の電圧に設定される。
【００６２】
そして、レギュレータ５１によって所定の電圧に設定された電流は、一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂにセンス電流として供給される。
【００６３】
ＭＲヘッド６ａには、ＭＲヘッド６ａからの信号を検出する再生用アンプ５２ａが接続されており、レギュレータ５１からの電流は、この再生用アンプ５２ａにも供給される。また、ＭＲヘッド６ｂには、ＭＲヘッド６ｂからの信号を検出する再生用アンプ５２ｂが接続されており、レギュレータ５１からの電流は、この再生用アンプ５２ｂにも供給される。
【００６４】
ここで、ＭＲヘッド６ａは、２つのＭＲヘッド部１０ａ，１１ａを有し、これらのＭＲヘッド部１０ａ，１１ａは、外部磁界の大きさによって抵抗値が変化するＭＲ素子を備えている。そして、ＭＲヘッド部１０ａ，１１ａは、磁気テープ７からの信号磁界によりＭＲ素子の抵抗値が変化し、これにより、センス電流に電圧変化が現れるようになされている。そして、再生用アンプ５２ａは、この電圧変化を検出し、当該電圧変化に応じた信号を再生信号として出力する。
【００６５】
そして、再生用アンプ５２ａからの再生信号は、信号伝送用リング５３ａに供給され、この再生信号は非接触にて信号伝送用リング５４ａに伝送される。
【００６６】
そして、信号伝送用リング５４ａに伝送された再生信号は、再生用アンプ５５ａに供給され、当該再生用アンプ５５ａによって増幅された上で、検出回路５６ａに供給される。そして、検出回路５６ａは、再生用アンプ５５ａから供給された再生信号から、符号列からなるデータを検出する。ここで、磁気テープ７に記録されているデータは、ＤＣフリーの符号列に変換されたデータである。従って、検出回路５６ａによって検出されるデータは、ＤＣフリーの符号列からなるデータである。
【００６７】
そして、検出回路によって検出されたデータは、再生データＡとして信号処理回路５７に供給され、誤り訂正処理等の処理が行われる。
【００６８】
また、ＭＲヘッド６ｂについても同様に、２つのＭＲヘッド部１０ｂ，１１ｂを有し、これらのＭＲヘッド部１０ｂ，１１ｂは、外部磁界の大きさによって抵抗値が変化するＭＲ素子を備えている。そして、ＭＲヘッド部１０ｂ，１１ｂは、磁気テープ７からの信号磁界によるＭＲ素子の抵抗値の変化により、センス電流に電圧変化が現れるようになされている。そして、再生用アンプ５２ｂは、この電圧変化を検出し、当該電圧変化に応じた信号を再生信号として出力する。
【００６９】
そして、再生用アンプ５２ｂからの再生信号は、信号伝送用リング５３ｂに供給され、この再生信号は非接触にて信号伝送用リング５４ｂに伝送される。
【００７０】
そして、信号伝送用リング５４ｂに伝送された再生信号は、再生用アンプ５５ｂに供給され、当該再生用アンプ５５ｂによって増幅された上で、検出回路５６ｂに供給される。そして、検出回路５６ｂは、再生用アンプ５５ｂから供給された再生信号から、符号列からなるデータを検出する。
【００７１】
そして、検出回路５６ｂによって検出されたデータは、再生データＢとして信号処理回路５７に供給され、再生データＡとともに誤り訂正処理等の処理が行われる。
【００７２】
このように誤り訂正処理を行うことにより、再生信号に欠落が生じていたとしても、当該再生信号の欠落があまり多すぎなければ、元のデータを再生することが可能となる。
【００７３】
なお、図８に示したような回路構成とした場合、一対のインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂ、一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂ、整流器５０、レギュレータ５１及び再生用アンプ５２ａ，５２ｂは、回転ドラム３に搭載され、回転ドラム３と共に回転する。一方、符号器４１、変調回路４２、記録用アンプ４３ａ，４３ｂ、オシレータ４６、パワードライブ４７、再生用アンプ５５ａ，５５ｂ、検出回路４６ａ，５６ｂ及び信号処理回路５７については、回転ドラム装置１の固定部分に配するか、或いは、回転ドラム装置１とは別に構成された外部回路とする。
【００７４】
そして、回転ドラム装置１で記録再生がなされた磁気テープ７は、図５に示すように、ガイドローラ３４，３５、キャプスタン３６、ガイドローラ３７を経て、巻き取りロール３８へと送られる。すなわち、磁気テープ７は、キャプスタンモータ３９により回転駆動されるキャプスタン３６によって所定の張力及び速度にて送られ、回転駆動される回転ドラム３に搭載されたインダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂ及びＭＲヘッド６ａ，６ｂに所定の接触圧にて接触し摺動した後、巻き取りロール３８に巻き取られる。
【００７５】
このように、この回転ドラム装置１では、キャプスタンモータ３９により回転駆動されるキャプスタン３８が、インダクティブ型磁気ヘッド５ａ，５ｂ及びＭＲヘッド６ａ，６ｂと磁気テープ７との接触圧を制御する接触圧制御手段として機能するようになされている。
【００７６】
また、このように磁気テープ７が送られるとき、回転ドラム３は、図１中の矢印Ａに示すように、モータ４によって回転駆動される。一方、磁気テープ７は、固定ドラム２のリードガイド部８に沿って、固定ドラム２及び回転ドラム３に対して斜めに摺動するように送られる。すなわち、磁気テープ７は、テープ走行方向に沿って、図１中矢印Ｂに示すようにテープ入口側から固定ドラム２及び回転ドラム３に摺接するようにリードガイド部８に沿って送られ、その後、図１中矢印Ｃに示すようにテープ出口側へと送られる。
【００７７】
以上のように、この磁気記録再生装置では、複数のＭＲヘッド部が一体に形成されてなる一対のＭＲヘッド６ａ，６ｂを用いているので、磁気テープ７からの情報信号の再生をノントラッキング方式により行うことができる。
【００７８】
以下、このようなＭＲヘッド６の製造方法について説明する。
【００７９】
まず、円盤状の第１の基板１２を用意する。後述するように、この第１の基板１２上には、その両面に対して多数のＭＲヘッド部が形成されるため、表面粗度を向上させるために、表面に鏡面処理を施しておく。この第１の基板１２はＭＲヘッド部の下層シールドとなるもので、硬質の軟磁性材料が使用される。硬質の軟磁性材料として具体的には、例えばＮｉ−Ｚｎ多結晶フェライト等がある。
【００８０】
次に、図９及び図１０に示すように、表面が鏡面状態とされた上記第１の基板１２上に、下層ギャップとなる絶縁膜１４をスパッタリング等により形成する。この絶縁膜１４の材料としては、絶縁特性や耐摩耗性等を考慮すると、例えばＡｌ2Ｏ3等が好適である。
【００８１】
次に、図１１及び図１２に示すように、上記第１の絶縁膜上に、ＭＲ素子部１５となるＭＲ素子部用薄膜１５ａを形成する。上述したように、ＭＲ素子部１５は、いわゆるＳＡＬバイアス方式によってバイアス磁界をＭＲ素子に印加するために、ＭＲ素子と、ＭＲ素子へバイアス磁界を印加するための軟磁性膜（いわゆるＳＡＬ膜）とが絶縁膜を介して積層されてなる。磁気抵抗効果を持つＭＲ素子の材料としては、例えばＮｉ−Ｆｅ等が挙げられる。また、ＭＲ素子にバイアス磁界を印加する軟磁性膜の材料としては、例えば、ＮｉＦｅＮｂ等が挙げられる。なお、上記ＭＲ素子部１５のバイアス方式、ＭＲ素子部１５を構成する各膜の材料等はこれに限られるものではなく、システム等の要求に応じて任意に変更可能である。
【００８２】
次に、図１３、図１４及び図１５に示すように、ＭＲ素子部１５となる部分の両端側に永久磁石膜１６ａ，１６ｂを形成する。この永久磁石膜１６ａ，１６ｂにより上記ＭＲ素子が磁気的に安定化される。なお、図１４及び図１５、並びに後掲する図１６乃至図２１では、１つのＭＲヘッド部１０に対応する部分、すなわち図１３中の円Ａの部分を拡大して示している。
【００８３】
永久磁石膜１６ａ，１６ｂを形成するには、まず、上記ＭＲ素子部用薄膜１５ａ上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術により、永久磁石膜１６ａ，１６ｂとなる部分のみレジストが除去されたレジストパターンを形成する。具体的には、１つのＭＲヘッド部に対して、長手方向に並べられた２つの略長方形状の開口部を有するレジストパターンとする。次に、上記レジストパターンをマスクとしてエッチングを行い、マスクから露出している部分のＭＲ素子部用薄膜１５ａを除去する。
【００８４】
次に、上記レジストパターンを残存させたまま、永久磁石膜１６ａ，１６ｂをスパッタリング等により全面に成膜する。この永久磁石膜１６ａ，１６ｂの材料としては、例えばＣｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等の保磁力が大きく、且つ、導電性のある磁性材料が用いられる。最後に、レジストを当該レジスト上に成膜された永久磁石膜１６ａ，１６ｂとともに除去することにより、所定パターンの永久磁石膜１６ａ，１６ｂがＭＲ素子部用薄膜１５ａ中に埋め込まれた状態となる。
【００８５】
次に、図１６及び図１７に示すように、ＭＲ素子部１５、及びＭＲ素子部１５にセンス電流を供給する導体部１７ａ，１７ｂを形成する。具体的に、導体部１７ａ，１７ｂを形成するには、まず、上記ＭＲ素子部用薄膜１５ａ上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術により、最終的にＭＲ素子部１５となる部分と導体部１７ａ，１７ｂとなる部分、及び永久磁石膜１６ａ，１６ｂが形成された部分のみレジストが残存されたレジストパターンを形成する。導体部１７ａ，１７ｂとなる部分は略長方形状をしており、長手方向の一端部が上記永久磁石膜１６ａ，１６ｂに接続している。また、永久磁石膜１６ａと永久磁石膜１６ｂとの間が、ＭＲ素子部となる部分である。次に、上記レジストパターンをマスクとしてエッチングを行い、マスクから露出しているＭＲ素子部用薄膜１５ａを除去する。
【００８６】
次に、導体部１７ａ，１７ｂとなる部分をより電気抵抗の小さい導電性膜に置き換える。まず、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術により、導体部１７ａ，１７ｂとなる部分のみレジストが除去されたレジストパターンを形成する。次に、このレジストパターンをマスクとしてエッチングを行い、マスクから露出している導体部１７ａ，１７ｂとなる部分のＭＲ素子部用薄膜１５ａを除去する。導体部１７ａ，１７ｂとなる部分のＭＲ素子部用薄膜１５ａを除去した後、上記レジストパターンを残存させたまま導電性膜を成膜する。導電性膜の材料としては、例えばＴｉやＣｕ等が挙げられる。次に、レジストを当該レジスト上に形成された導電性膜とともに除去することにより、導体部１７ａ，１７ｂの部分に導電性膜が形成された状態となる。
【００８７】
次に、図１８及び図１９に示すように、上層ギャップとなる絶縁膜１４をスパッタリング等により形成する。
【００８８】
次に、図２０及び図２１に示すように、導体部１７ａ，１７ｂの端部に、外部との電気的接続をとるための外部端子２３ａ，２３ｂを形成する。具体的に、外部端子２３ａ，２３ｂを形成するには、まず、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ技術により、外部端子２３ａ，２３ｂとなる部分のみレジストが除去されたレジストパターンを形成する。外部端子２３ａ，２３ｂが形成される部分は、上記導体部１７ａ，１７ｂの長手方向で、永久磁石膜１６ａ，１６ｂと接続していないほうの端部である。次に、上記レジストをマスクとして、マスクから露出している第２の絶縁膜１４ｂをエッチングにより除去する。
【００８９】
次に、上記レジストパターンを残存させた状態で、外部端子用導電性膜を成膜する。具体的には、例えばＣｕとＡｕとをこの順にスパッタリング等により成膜して外部端子用導電性膜を形成する。次に、レジストを当該レジスト上に形成された外部端子用導電性膜とともに除去することで、導体部１７ａ，１７ｂの端部に外部端子２３ａ，２３ｂが形成された状態となる。
【００９０】
以上の工程で、図２２に示すように、第１の基板１２の一方の表面に多数のＭＲヘッド部１０が形成された状態となる。
【００９１】
そして、図２３に示すように、第１の基板１２の他方の表面に対しても、ＭＲヘッド部１０を形成する場合と同様にしてＭＲヘッド部１１を形成する。この場合、第１の基板１２の一方の面に形成されるＭＲヘッド部１０の位置と、第１の基板１２の他方の面に形成されるＭＲヘッド１１部の位置とが同じ位置となるように、位置合わせ等を十分に行う必要がある。
【００９２】
以上の工程で、第１の基板１２の両面に対してＭＲヘッド部を形成する薄膜工程が終了する。
【００９３】
次に、基板を横方向にＭＲヘッド部毎に切断し、図２４及び図２５に示すように、基板上に複数のＭＲヘッド部が横一列に並んだ状態とする。以下、このように基板上に複数のＭＲヘッド部が横一列に並んだものをＭＲヘッド部列と称する。
【００９４】
そして、図２６に示すように、ＭＲヘッド部列に切り出された第１の基板１２の一方の面上に第２の基板１３を貼り付け、第１の基板１２の他方の面上に第３の基板１８を貼り付ける。この第２の基板１３及び第３の基板１８には硬質の軟磁性材料が使用される。硬質の軟磁性材料として具体的にはＮｉ−Ｚｎ多結晶フェライト等がある。ここで、第２の基板１３はＭＲヘッド部１０の上層シールドとなり、また、第３の基板１８はＭＲヘッド部１１の上層シールドとなる。第２の基板１３及び第３の基板１８の貼り付けには、例えば樹脂等の接着剤が用いられる。このとき、図２６に示すようにこの第２の基板１３及び第３の基板１８の長さを第１の基板１２の長さよりも短くして、ＭＲヘッド部１０の外部端子２３ａ，２３ｂを露出させて外部端子２３ａ，２３ｂへの接続が行われるようにする。
【００９５】
次に、図２７に示すように、ＭＲヘッド部列を個々に分割するため、ＭＲヘッド部列をＭＲヘッド部毎に切断する。この切断方向を、図２７に示すようにＭＲヘッド部が形成された面に対して垂直ではなく、所定の角度θを付けて切断する。この切断する角度は使用するシステムに応じて変化させればよい。
【００９６】
次に、図２８に示すように、個々に切断されたＭＲヘッド部に一対のガード材２２ａ，２２ｂを貼り付ける。ガード材２２ａは、ＭＲヘッド６の摺動方向前端側に貼り付けられ、また、ガード材２２ｂはＭＲヘッド６の摺動方向後端側に貼り付けられる。これらのガード材２２ａ，２２ｂには、耐摩耗性に優れた非磁性材料が使用される。耐摩耗性に優れた磁性材料として具体的には、アルミナ−チタン−カーバイト等がある。
【００９７】
最後に、摺動面となる面に対して研削加工を施して。円弧状とすることにより、図２及び図３に示されるようなＭＲヘッド６が完成する。このとき、ＭＲ素子部の摺導面側の側面が、摺動面２４に露出するようにする。
【００９８】
【発明の効果】
本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、複数のＭＲヘッド部が一体に形成されているので、磁気ヘッドを小型化することができる。
【００９９】
また、本発明の磁気記録再生装置では、複数のＭＲヘッド部が一体に形成されてなるＭＲヘッドを搭載しているので、装置の省スペース化を図ることができる。さらに、この磁気記録再生装置では、アジマス角の異なる一対のＭＲヘッドを搭載しているので、磁気テープから情報信号をノントラッキングにより再生することができる。また、この磁気記録再生装置では、再生用磁気ヘッドとして、ＭＲヘッドを用いているので、高密度記録化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した磁気記録再生装置に搭載される回転ドラム装置の一構成例について、その概略を示す斜視図である。
【図２】上記回転ドラムに搭載されるＭＲヘッドの一例を示す斜視図である。
【図３】上記ＭＲヘッドを磁気テープ摺動面側から見た平面図である。
【図４】ＭＲヘッドを用いて磁気テープからデータを再生する様子を模式的に示す図である。
【図５】上記回転ドラム装置を含む磁気テープ送り機構の一構成例について、その概略を示す平面図である。
【図６】ノントラッキング再生時の、ＭＲヘッドの走査軌跡を示す図である。
【図７】ノントラッキング再生時の、再生出力を示す図である。
【図８】上記回転ドラム装置並びにその周辺回路について、回路構成の概略を示す図である。
【図９】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、第１の基板上に第１の絶縁膜を形成した状態を示す平面図である。
【図１０】図９中、Ｘ1−Ｘ2線における断面図である。
【図１１】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲ素子部用薄膜を形成した状態を示す平面図である。
【図１２】図１１中、Ｘ3−Ｘ4線における断面図である。
【図１３】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲ素子部用薄膜上にレジストパターンが形成された状態を示す平面図である。
【図１４】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、永久磁石膜が形成された状態を示す平面図である。
【図１５】図１４中、Ｘ5−Ｘ6線における断面図である。
【図１６】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、更にＭＲ素子部及び引き出し導体が形成された状態を示す平面図である。
【図１７】図１６中、Ｘ7−Ｘ8線における断面図である。
【図１８】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲヘッド部上に絶縁膜が形成された状態を示す平面図である。
【図１９】図１８中、Ｘ9−Ｘ10線における断面図である。
【図２０】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、外部端子が形成された状態を示す平面図である。
【図２１】図２０中、Ｘ11−Ｘ12線における断面図である。
【図２２】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、第１の基板の一方の面に多数のＭＲヘッド部が形成された状態を示す平面図である。
【図２３】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、第１の基板の他方の面に多数のＭＲヘッド部が形成された状態を示す平面図である。
【図２４】 ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、第１の基板が切り分けられてＭＲヘッド部列とされた状態を示す平面図である。
【図２５】図２４中、Ｘ13−Ｘ14線における断面図である。
【図２６】 ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲヘッド部列に切り分けられた第１の基板上に第２の基板と第３の基板とを貼り付けた状態を示す斜視図である。
【図２７】ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲヘッド部列をＭＲヘッド部毎に切り分ける際の切断方向を示す平面図である。
【図２８】 ＭＲヘッドの製造方法を説明する図であり、ＭＲヘッド部毎に切り分けられた第１の基板にガード材を貼り付けた状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  回転ドラム装置、  ２  固定ドラム、  ３  回転ドラム、  ４  モータ、５ａ，５ｂ  インダクティブ型磁気ヘッド、  ６ａ，６ｂ  ＭＲヘッド、  ７磁気テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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