(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが超音波振動子によって振動させられ、かつ１列に並べられた複数の振動板を具備しており、この振動板の表面と洗浄物との間に洗浄液を介在させながら上記洗浄物を上記振動板の表面に沿って移動させるようにした、超音波洗浄機であって、
互いに隣り合う上記振動板の超音波振動子どうしは、上記複数の振動板の列方向と直交する方向について互いに異なる位置に取付けられており、
上記洗浄物を保持可能なベルトを上記振動板の表面に沿って移動自在とした搬送装置を具備しており、かつ上記ベルトには、このベルトによって搬送される洗浄物の洗浄対象面を上記振動板に対面させるための開口窓部が設けられていることを特徴とする、超音波洗浄機。
【請求項２】
上記搬送装置は、上記洗浄物を上記開口窓部に収容させて搬送するように構成されている、請求項１に記載の超音波洗浄機。
【請求項３】
上記開口窓部内にその上方から洗浄液を供給可能な洗浄液供給手段を具備している、請求項２に記載の超音波洗浄機。
【請求項４】
上記搬送装置は、上記ベルト上に上記洗浄物を載置させるとともに、上記洗浄物の下方に上記開口窓部が配置されるようにして上記洗浄物を搬送するように構成されている、請求項１に記載の超音波洗浄機。
【請求項５】
上記ベルトには、このベルト上における洗浄物の移動を規制するための少なくとも１以上のストッパが設けられている、請求項４に記載の超音波洗浄機。
【請求項６】
上記開口窓部は、その上方に洗浄物が配置されたときに、平面視においてこの開口窓部の一部分が上記洗浄物からはみ出すように形成されており、かつ上記開口窓部の上記一部分に対してその上方から洗浄液を供給可能な洗浄液供給手段を具備している、請求項４または５に記載の超音波洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本願発明は、精密電子部品、半導体デバイス、シリコンウェハ、ならびにその他の各種の製品類、あるいはそれらの原材料や中間品などの所望の洗浄物を洗浄するのに用いられる超音波洗浄機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の代表的な超音波洗浄機は、図１０に示すように、水などの洗浄液９０が大量に満たされた洗浄槽９１内に、超音波振動子９２を設けた構造を有している。この超音波洗浄機では、洗浄物９３を適当なマガジン９４内に収容するなどして洗浄液９０中に浸漬させてから、その洗浄物９３に超音波振動を作用させることにより、その洗浄を行うことができる。すなわち、洗浄液９０に超音波振動を付与することにより、洗浄液９０にキャビテーション効果による空洞（キャビティ）とその消滅とを繰り返し生じさせて、空洞の消滅時に発生する衝撃波を洗浄物９３の表面に作用させることができる。また、洗浄液９０は微小振動を生じ、分子レベルで加速されて洗浄物９３の表面に衝突するために、これによっても洗浄物９３の表面に付着した汚れを剥離する効果が得られる。ところが、このような構造の超音波洗浄機では、洗浄物９３の洗浄作業がいわゆるバッチ方式でなされるためにその作業性が悪く、また洗浄槽９１のサイズも大きくする必要があるために設備全体がかなり大掛かりになるといった欠点がある。また、洗浄物９３を超音波による洗浄効率が高い位置へ配置することも容易に行うことができないといった欠点もある。
【０００３】
そこで、近年では、洗浄槽を用いない超音波洗浄方法として、図１１に示すような洗浄方法が新たに提案されている。この洗浄方法は、超音波振動子９５に振動板９６を接合させた構造の超音波洗浄機を用いる方法であって、振動板９６の表面と洗浄物９７との間に洗浄液９８を介在させるようにして振動板９６上に洗浄物９７を載せてから、洗浄物９７の下面に向けて超音波振動を作用させる方法である。この方法によれば、先に述べた超音波洗浄の原理によって、洗浄物９７の下面９７ａを洗浄することができる。加えて、洗浄槽を用いないために洗浄機全体を小型化にでき、さらには洗浄物９７の個数が多い場合であっても、それらの洗浄物９７を振動板９６上に次々と供給させて搬送させるようにすれば、効率の良い超音波洗浄を連続して行うことができ、その作業能率を高めることも可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来では、振動板９６の表面に沿って多数の洗浄物９７を１つずつ適切に搬送させるための装置として、その製作コストや動作の確実性などの種々の面において満足ができる実用に適した装置が未だ開発されていないのが実情であった。とくに、上述した超音波洗浄方法では、振動板９６上において洗浄物９７を搬送させるときには、洗浄物９７の洗浄対象面を振動板９６に対面させながら、それらの間には適量の洗浄液９８を常時介在させておく必要があるために、このような条件を満たすように洗浄物９７を適切に搬送することが一層難しいものとなっていたのである。
【０００５】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、超音波洗浄機の大型化や構造の複雑化を極力招かないようにし、しかも洗浄物と振動板との間への洗浄液の供給が困難になるといった不具合も生じさせることなく、洗浄物を振動板の表面に沿って適切に移動できるようにして、能率の良い超音波洗浄が行えるようにすることをその課題としている。
【０００６】
【発明の開示】
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的手段を講じている。
【０００７】
本願発明によれば、超音波洗浄機が提供される。この超音波洗浄機は、それぞれが超音波振動子によって振動させられ、かつ１列に並べられた複数の振動板を具備しており、この振動板の表面と洗浄物との間に洗浄液を介在させながら上記洗浄物を上記振動板の表面に沿って移動させるようにした、超音波洗浄機であって、互いに隣り合う上記振動板の超音波振動子どうしは、上記複数の振動板の列方向と直交する方向について互いに異なる位置に取付けられており、上記洗浄物を保持可能なベルトを上記振動板の表面に沿って移動自在とした搬送装置を具備しており、かつ上記ベルトには、このベルトによって搬送される洗浄物の洗浄対象面を上記振動板に対面させるための開口窓部が設けられていることに特徴づけられる。
【０００８】
本願発明においては、振動板の表面に沿って移動自在な搬送装置のベルトに洗浄物を保持させることによって、その洗浄物を振動板の表面に沿って搬送させることができ、またその搬送時には上記ベルトに設けられている開口窓部を介して洗浄物の洗浄対象面を振動板に対して適切に対面させることができる。また、上記ベルトの開口窓部には、洗浄液を溜めることができるために、上記開口窓部を介して互いに対面する洗浄物の洗浄対象面と振動板の表面との間に、適量の洗浄液を介在させることも容易となる。さらに、洗浄液の供給は、たとえば開口窓部に対してその上方から洗浄液を滴下させるなどして行うことが可能となり、その作業も非常に容易に行えることとなる。
【０００９】
このように、本願発明においては、振動板の表面と洗浄物との間に洗浄液を介在させながら洗浄物を搬送する作業を容易かつ的確に行うことができるために、洗浄槽を用いない方式の洗浄作業能率の高い超音波洗浄作業を適切に行うことができる。また、洗浄物を搬送するための搬送装置としては、その全体の基本的な構成をたとえば一般のベルトコンベアと同様な構成にすればよいために、搬送装置を大きく嵩張らないものにでき、超音波洗浄機全体の大型化や構造の複雑化を極力抑制することもできる。さらには、超音波洗浄機の製作コストの低減化も図ることができる。
【００１０】
好ましくは、上記搬送装置は、上記洗浄物を上記開口窓部に収容させて搬送するように構成されている。
【００１１】
このような構成によれば、洗浄物の洗浄対象面を振動板の表面に対面させる役割を果たすベルトの開口窓部を利用して洗浄物をベルトに保持させるようにしているために、ベルトの構造が合理的なものとなって、その構造を簡易にでき、搬送装置の製作コスト、ひいては超音波洗浄機全体の製作コストの一層の低減化を図ることができる。また、ベルトの開口窓部に洗浄物を収容すれば、開口窓部内に洗浄液を溜めた場合に、洗浄物の洗浄対象面をその洗浄液に対して確実に接触させることも可能となる。
【００１２】
好ましくは、上記開口窓部内にその上方から洗浄液を供給可能な洗浄液供給手段を具備している。
【００１３】
このような構成によれば、ベルトの開口窓部内に洗浄液を供給することにより、その洗浄液を洗浄物の洗浄対象面と振動板の表面との間に流入させることができ、洗浄液の供給作業が容易かつ適切に行える。
【００１４】
好ましくは、上記搬送装置は、上記ベルト上に上記洗浄物を載置させるとともに、上記洗浄物の下方に上記開口窓部が配置されるようにして上記洗浄物を搬送するように構成されている。
【００１５】
このような構成によれば、搬送装置のベルト上に洗浄物を載置するために、たとえばベルトの開口窓部内に洗浄物を収容させている場合とは異なり、洗浄物の搬送時において洗浄物がベルトの下方に潜り込んでしまうといった虞れがないようにできる。また、洗浄物の洗浄対象面と振動板の表面との間の距離は、ベルトの厚みによって規定することができるために、上記距離を高い洗浄効率が得られる所定の値に設定することも簡易に行える。さらに、洗浄対象面と振動板との間の距離を一定に維持することも簡単となるために、に、洗浄対象面に洗浄むらが生じないようにすることもできる。
【００１６】
好ましくは、上記ベルトには、このベルト上における洗浄物の移動を規制するための少なくとも１以上のストッパが設けられている。
【００１７】
このような構成によれば、振動板の振動およびその他の事由に起因してベルトが振動しても、このベルト上に載置されている洗浄物が安易に位置ずれしたり、あるいはベルト上から脱落するようなことを防止することができ、洗浄物の搬送をより適切に行うことができる。
【００１８】
好ましくは、上記開口窓部は、その上方に洗浄物が配置されたときに、平面視においてこの開口窓部の一部分が上記洗浄物からはみ出すように形成されており、かつ上記開口窓部の上記一部分に対してその上方から洗浄液を供給可能な洗浄液供給手段を具備している。
【００１９】
このような構成によれば、ベルトの開口窓部内への洗浄液の供給をその上方から容易かつ適切に行うことができる。
【００２０】
本願発明のその他の特徴および利点については、次の発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２２】
図１は、本願発明に係る超音波洗浄機の一例を示す概略斜視図である。図２は、図１の要部概略斜視図である。図３は、図１のIII −III 断面図である。
【００２３】
図１において、本実施形態の超音波洗浄機Ａは、超音波振動子１を有する複数の振動板２、これら複数の振動板２の表面に沿って洗浄物３を搬送するためのベルト４０を備えた搬送装置４、および複数の洗浄液供給ノズル５を具備して構成されている。本実施形態では、洗浄物３として、たとえば平面視矩形状のプレート状の部材が適用されている。
【００２４】
図２によく表れているように、複数の振動板２は、それらの表面（上面）の高さが略一定に揃えられて水平方向に１列に並べられており、それらの表面上に洗浄物３を滑らかに搬送できるように設けられている。互いに隣り合う振動板２どうしの間隔Ｌは、洗浄物３の長さよりも短い寸法である。各振動板２は、たとえば厚みが数ｍｍ程度の鋼板製であり、平面視において縦横の各寸法が数十ｍｍ〜数百ｍｍ程度の矩形状に形成されている。図３によく表れているように、各振動板２の下面の四隅部分には、防振ゴム２０を介して支柱２１が連結されており、この支柱２１の下部が図示されていない固定部材に固定されていることによって各振動板２の支持が図られている。
【００２５】
超音波振動子１は、たとえばセラミックスなどからなる円板状の圧電素子１０を有しており、この圧電素子１０の両端に２つの金属ブロック１１ａ，１１ｂを裏打ちして全体の概略形状が略円柱状とされたものである。圧電素子１０と２つの金属ブロック１１ａ，１１ｂとは、ボルト・ナット１２，１２ａによって連結されており、圧電素子１０に対して図示しない超音波発振器から交流電流が加えられることによって、たとえば４０ｋＨｚ程度の超音波振動が発生されるようになっている。金属ブロック１１ａの片側端面が上記超音波振動の伝播面１３となっている。超音波振動子１は、伝播面１３が振動板２の裏面に対向接触するようにして各振動板２の裏面に宙吊り状態で取付けられており、この超音波振動子１で発生された超音波振動が各振動板２に対して垂直方向に進行するようになっている。
【００２６】
ただし、本実施形態では、図２によく表れているように、複数の振動板２に対する複数の超音波振動子１の取付け位置は各所同一ではなく、複数の振動板２の列方向（矢印Ｎ１に示す洗浄物３の搬送方向）に対して直交する方向に互いに位置ずれした構造となっている。つまり、超音波振動子１としては、振動板２の裏面の中心部付近に取付けられているものもあれば、振動板２の裏面の幅方向一側縁部近傍に取付けられているものもある。このようにすれば、複数の振動板２上に洗浄物３を搬送させるときに、各振動板２ごとに強い超音波振動を生じる箇所が相違することとなって、洗浄むらを生じ難くすることができる。
【００２７】
複数の振動板２の列の前後には、それら複数の振動板２の表面の高さと略同等高さのガイド板６ａ，６ｂが固定して設けられている。ガイド板６ａは、洗浄物３を第１番目の振動板２上に受け渡す動作を補助するためのものであり、ガイド板６ｂは、最終の振動板２から洗浄物３を受け取る動作を補助するためのものである。
【００２８】
図１において、搬送装置４は、無端状のベルト４０を複数のローラ４１によってガイドさせることにより一定の経路で循環駆動自在としたベルトコンベア装置として構成されており、ベルト４０をガイド板６ａ、複数の振動板２、およびガイド板６ｂのそれぞれの表面に沿わせて上記矢印Ｎ１方向に移動自在としている。ベルト４０は、たとえば防錆性に優れたステンレス製の可撓性を有する薄肉帯状部材を無端状に繋いで形成されたものであり、その幅方向両側縁には、複数のローラ４１のそれぞれの外周に設けられているピンを噛み合わせるための複数の送り穴４２が一定ピッチで設けられている。ベルト４０の長手方向には、複数の開口窓部４３も一定ピッチで設けられている。これら複数の開口窓部４３は、たとえば平面視矩形状であり、そのサイズは洗浄物３を収容可能なサイズとされている。
【００２９】
複数の洗浄液供給ノズル５は、ベルト４０の複数の開口窓部４３内に洗浄液を滴下して供給するためのものであり、洗浄物３の搬送経路の上方に設けられている。図１では、洗浄物３の搬送経路の上流部分にのみ複数の洗浄液供給ノズル５が設けられているが、本願発明はこれに限定されず、洗浄物３の搬送経路の略全域において開口窓部４３内への洗浄液の滴下が行えるように上記搬送経路の略全域の上方に洗浄液供給ノズル５が設けられていてもかまわない。洗浄液としては、たとえば水が用いられる。各洗浄液供給ノズル５は、その下方に開口窓部４３が移動してきたときにのみ洗浄液を滴下するように構成されていてもよいが、本願発明はこれに限定されず、この超音波洗浄機Ａの稼働時においては洗浄液が洗浄物３の搬送経路上に常時滴下されるように構成されていてもかまわない。また、各洗浄液供給ノズル５から滴下された洗浄液は、洗浄物３の上面に一旦落ちてから開口窓部４３内に流れ落ちるようにされていてもかまわない。
【００３０】
次に、上記超音波洗浄機Ａを用いて洗浄物３の超音波洗浄を行う場合の作用について説明する。
【００３１】
まず、図１において、搬送装置４のベルト４０を循環駆動させている状態において、ガイド板６ａ上に移動してきた開口窓部４３（４３ａ）内にその上方から洗浄物３を投入する。この投入作業は、洗浄物３の洗浄対象面が下向きとなるようにして行う。洗浄物３が開口窓部４３内に投入されると、この洗浄物３は、その後端が開口窓部４３の後部壁面によって押されるために、ベルト４０に保持されたかたちで矢印Ｎ１方向に移動することとなり、ガイド板６ａから複数の振動板２上に順次受け渡されるようにして搬送される。
【００３２】
洗浄物３は開口窓部４３に収容されているために、その搬送時には、図３に示すように、洗浄物３の下面３ａが振動板２の表面に対面する。また、洗浄液供給ノズル５からは開口窓部４３内に洗浄液７が滴下されるために、開口窓部４３内には洗浄液７が溜まる。洗浄液７は、毛細管現象によって、洗浄物３の下面３ａ（洗浄対象面）と振動板２の表面との間、および振動板２の表面とベルト４０の下面との間の微小な隙間にも進入する。洗浄液７の一部は、振動板２の側方から流れ落ちるものの、洗浄液供給ノズル５からはそれを補う洗浄液供給がなされており、上記した各部には洗浄液７を存在させたままにすることができる。とくに、開口窓部４３には多くの洗浄液７を溜めることができ、また洗浄液７はその表面張力によって開口窓部４３内に留まろうとする作用をも発揮するために、洗浄物３の下面３ａと振動板２の表面との間には、適量の洗浄液７を確実に介在させておくことができる。
【００３３】
したがって、洗浄物３が振動板２上を移動するときには、超音波振動子１によって発生された超音波振動を洗浄液７を介して洗浄物３の下面３ａに効率良く作用させることができ、洗浄液７のキャビテーション効果による空洞破壊時の衝撃波および超音波振動によって加速された洗浄液７の分子レベルの衝突効果などによって、洗浄物３の下面３ａに付着している汚れを効率良く除去することができる。このような超音波洗浄は、洗浄物３が各振動板２上に搬送される都度繰り返してなされ、最終的にその下面３ａの洗浄が終了すると、その洗浄物３はガイド板６ｂ上に搬送されてから、次の工程に送られることとなる。搬送装置４は、洗浄物３の搬送を順次連続して行うことが可能であるために、洗浄物３が大量である場合であっても、これら大量の洗浄物３を複数の振動板２上に一定間隔で順次連続して供給していくことができ、それらの超音波洗浄作業を能率良く行うことができる。上記超音波洗浄では、洗浄液の消費量を少なくすることができ、洗浄液の節約も図れる。また、搬送装置４をさほど大きく製作する必要もなく、超音波洗浄機Ａの全体を小型にすることもできる。
【００３４】
図４は、本願発明に係る超音波洗浄機の他の例を示す概略斜視図である。図５は、図４のＶ−Ｖ断面図である。図６は、図５の要部平面図である。図７は、図４に示す超音波洗浄機の搬送装置に用いられているベルトを示す要部斜視図である。図８は、図７に示すベルトを作製するためのベルト中間品を示す要部斜視図である。なお、図４以降の図においては、先の実施形態と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略する。
【００３５】
図４において、この実施形態の超音波洗浄機Ａａは、超音波振動子１を有する複数の振動板２やガイド板６ａ，６ｂを有している点で、先の実施形態の超音波洗浄機Ａとその基本的な構成が一致している。ただし、この超音波洗浄機Ａａに具備されている搬送装置４Ａの構成は、次に述べるように、先の搬送装置４とは相違したものとなっている。
【００３６】
すなわち、搬送装置４Ａのベルト４０Ａは、先のベルト４０と同様に、たとえばステンレス製の薄肉帯状部材を無端状に繋げて形成されたものであるが、このベルト４０Ａに設けられている複数の開口窓部４３Ａは、洗浄物３を内部に収容させるためのものではなく、図５に示すように、ベルト４０Ａ上に洗浄物３を載置させたときに、この洗浄物３の洗浄対象面としての下面３ａを振動板２の表面に対面させるためのものであり、洗浄物３の載置箇所の下方に位置するように形成されている。より具体的には、図７において、各開口窓部４３Ａは、その平面視の概略形状は矩形状またはそれに近い形状であるものの、その外周縁の四隅部分４６は平面視矩形状の洗浄物３の四隅部分３０を載置可能な形状に形成されている。ただし、図６に示すように、各開口窓部４３Ａは、その全面が洗浄物３によって覆い隠されない形状に形成されており、たとえば各開口窓部４３Ａの幅方向の両側部分には、平面視において洗浄物３の外方に適当な幅Ｓａだけはみ出し可能な領域４５が設けられている。複数の洗浄液供給ノズル５は、上記領域４５に洗浄液７を滴下可能な位置に設けられている。
【００３７】
ベルト４０Ａの上面の開口窓部４３Ａの周縁部には、複数の突起状のストッパ４４ａ〜４４ｇが設けられている。ストッパ４４ａ，４４ｂは、洗浄物３の後端面に当接可能に設けられており、洗浄物３がベルト４０Ａ上において搬送方向Ｎ１とは反対の後方へ移動するのを規制するためのものである。ストッパ４４ｃ〜４４ｆは、洗浄物３の幅方向側方に位置して洗浄物３の幅方向への移動を規制するものである。ストッパ４４ｇは、洗浄物３の前方に位置して洗浄物３の前方への移動を規制するものである。このようなストッパ４４ａ〜４４ｇは、ベルト４０Ａの製作に際して、たとえば図８に示すように、ベルト４０Ａの材料となるステンレス製の薄肉帯状部材４０Ａ’を打ち抜き加工によって製作するときに、開口窓部４３Ａの周縁に適当な突片部４４a'〜４４g'を形成し、これらの突片部４４a'〜４４g'をその後折り曲げて起立させることによって簡単に設けることが可能である。
【００３８】
次に、上記した超音波洗浄機Ａａの作用について説明する。
【００３９】
まず、図４に示すように、ガイド板６ａの上方位置において搬送装置４Ａのベルト４０Ａ上に洗浄物３を載置する。この載置作業は、洗浄物３が開口窓部４３Ａの上方に配置されるように行う。すると、ベルト４０Ａ上に載置された洗浄物３は、その後このベルト４０Ａの移動に伴ってガイド板６ａから複数の振動板２上に搬送される。既述したとおり、洗浄物３は複数のストッパ４４ａ〜４４ｇによってその前後方向および幅方向への位置ずれが防止された状態にあるために、ベルト４０Ａが多少振動しても、これに起因して洗浄物３を位置ずれさせたり、あるいはベルト４０Ａから脱落させるようことなく、洗浄物３を各振動板２上において適切に搬送することができる。
【００４０】
洗浄物３の搬送時には、洗浄液供給ノズル５から滴下される洗浄液７が、図６に示した開口窓部４３Ａの一定領域４５内に供給される。この一定領域４５内に供給された洗浄液７は、図５に示すように、開口窓部４３Ａ内の全体に満たされる。したがって、開口窓部４３Ａを介して互いに対面する洗浄物３の下面３ａと振動板２の表面との間には洗浄液７を適切に介在させておくことができ、洗浄物３の下面３ａに対しては、超音波振動子１によって発生された振動板２の振動とこの振動を受ける洗浄液とを利用した超音波洗浄を適切に行うことができるのである。洗浄物３はベルト４０Ａ上に載置されているために、洗浄物３が洗浄液７中において不安定に浮遊することはない。このため、ベルト４０Ａを振動板２の表面に沿わせて一定高さで移動させるようにすれは、洗浄物３の下面３ａと振動板２の表面との間の距離Ｌａを洗浄効率が最も良好となる一定の距離に保つことも可能となる。
【００４１】
さらに、この超音波洗浄機Ａａでは、洗浄物３の搬送時にこの洗浄物３がベルト４０Ａの下方に潜り込んでしまうといった虞れもないようにできる。すなわち、先の実施形態の超音波洗浄機Ａでは、開口窓部４３に洗浄物３を収容させていたために、ベルト４０が上下に大きく振動すると、たとえば図９に示すように、洗浄物３がベルト４０の下方へ潜り込んでしまう虞れがある。このような事態が生じたのでは、洗浄物３の搬送が困難となる。これに対し、この超音波洗浄機Ａａでは、洗浄物３をベルト４０Ａ上に載置した構造であるから、そのような事態を生じる虞れがなく、洗浄物３の適切な搬送が行えるのである。
【００４２】
なお、この超音波洗浄機Ａａによる超音波洗浄では、洗浄物３の下面３ａの四隅部分３０については、ベルト４０Ａの上面に接触しているために、適切な超音波洗浄がなされないこととなる。しかし、洗浄物３がたとえば超音波洗浄作業後にその四隅部分３０またはこれらの四隅部分３０を含む周縁耳部を捨て去って用いるものである場合、あるいは洗浄物３の下面３ａのうちの中央部分のみの洗浄が行えれば充分なものであるような場合には、その四隅部分３０が部分的に洗浄されなくてもなんら不具合はなく、このような洗浄物３の洗浄用途にこの超音波洗浄機Ａａは最適となる。たとえば、チップ型抵抗器は、平面視矩形状の基板を多数のチップに分割して作製されるが、その基板からチップ型抵抗器として製品となる部分は基板の外周縁を除く中央部分のみであるから、この基板についてはその外周縁が超音波洗浄されている必要はなく、上述したように洗浄物の四隅部分に超音波洗浄が施されていなくても不具合は生じないのである。
【００４３】
本願発明に係る超音波洗浄機の各部の具体的な構成は、上述した実施形態に限定されず、種々に設計変更自在である。
【００４４】
たとえば、本願発明でいう振動板は、要は超音波振動子によって振動させられるものであればよく、その材質や形状などは問わない。また、振動板の具体的な数も限定されない。洗浄液としては、水以外の液体を用いることが可能であり、またその供給方法としても、たとえば搬送装置のベルトに設けられている開口窓部にその上方から直接供給する手段に代えて、他の位置から洗浄液を供給させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係る超音波洗浄機の一例を示す概略斜視図である。
【図２】図１の要部概略斜視図である。
【図３】図１のIII −III 断面図である。
【図４】本願発明に係る超音波洗浄機の他の例を示す概略斜視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】図５の要部平面図である。
【図７】図４に示す超音波洗浄機の搬送装置に用いられているベルトを示す要部斜視図である。
【図８】図７に示すベルトを作製するためのベルト中間品を示す要部斜視図である。
【図９】洗浄物がベルトの下方へ潜り込んだ状態を示す要部断面図である。
【図１０】従来の超音波洗浄機の一例を示す概略説明図である。
【図１１】超音波洗浄方法の原理の一例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
Ａ，Ａａ  超音波洗浄機
１  超音波振動子
２  振動板
３  洗浄物
３ａ  下面（洗浄対象面）
４，４Ａ  搬送装置
５  洗浄液供給ノズル（洗浄液供給手段）
４０，４０Ａ  ベルト
４３，４３Ａ  開口窓部
４４ａ〜４４ｇ  ストッパ
【図１】
0003869137.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0003869137.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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