(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
置き台に置かれたウェーハ・カセットをその上方に配置された気密性容器に出し入れするウェーハ・カセット収納装置において、
前記ウェーハ・カセット表面に上方へ向けて取り付けられた識別符号表示部と、
前記ウェーハ・カセットを前記出し入れの方向に対して傾斜させる傾斜手段と、
該傾斜手段により傾斜させられたウェーハ・カセットの表面の識別符号表示部へ向けて、かつ、前記気密性容器へ向かうウェーハ・カセットの移動経路から離れた位置に設けられた識別符号認識装置と、
からなることを特徴とするウェーハ・カセット収納装置。
【請求項２】
前記傾斜手段は、ウェーハ・カセットが乗せられた置き台に当接して該置き台を傾斜させることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ・カセット収納装置。
【請求項３】
前記置き台は、一端部近傍の位置で水平軸を中心として回動可能に支持され、
前記傾斜手段は、前記置き台の移動経路内に突出して移動中の前記置き台の前記水平軸から離れた位置に接することにより前記置き台を回動させることを特徴とする請求項２に記載のウェーハ・カセット収納装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数の半導体ウェーハや液晶基板（以下、ウェーハと略称する）が実装されたウェーハ・カセット（以下、カセットと略称する）を気密性容器（以下、ポッドと称する）に出し入れするウェーハ・カセット収納装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハの製造工程では、カセット内に実装された１枚または複数枚のウェーハをパーティクルやガス状物質による汚染から守るために、種々の方法が考案され実用化されている。
特にウェーハの搬送時や保管時にウェーハを汚染から守るために、カセットをポッドに入れて搬送、保管する方法が提案されている。
また、このカセットをポッドに出し入れする際、カセットに貼られたバーコードなどによる識別符号（以下、ＩＤと略称する）を読みとって製造管理を行うのが一般的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述の方法では、カセット上面に貼り付けられたバーコードを読みとるために、カセットをバーコードリーダの下部に置いて読み取るのが通例である。
しかし、従来のウェーハ・カセット収納装置の場合は装置の上部にポッドがあるためにバーコードリーダを読みとり位置に配置できないので、エレベータ機構を持ったカセット置き台にカセットが載置された後に、アームに取り付けられたバーコードリーダをカセット上部に移動させてバーコードを読み取る必要があり、機構が複雑になる傾向がある。
また機構が複雑化するに伴い、パーティクルの発生源となる摺動部や軸受けの点数が増え、ウェーハが汚染しやすくなると言う解決すべき課題がある。
【０００４】
また、カセットがカセット置き台に載置され置き台が上昇してポッドへ収納されるとき、ウェーハがカセットから飛び出しているとウェーハ飛び出し検知センサがこれを検知して、ウェーハ戻し機構を動作させ、ウェーハをカセット内の定位置へ押し込む機構についても、同様に機構が複雑なため、パーティクルの発生源が増えるという問題点もあった。
本発明は、このような背景の下になされたもので、機構を簡略化し、動作時間を短縮することができるウェーハ・カセット収納装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、置き台に置かれたウェーハ・カセットをその上方に配置された気密性容器に出し入れするウェーハ・カセット収納装置において、前記ウェーハ・カセット表面に上方へ向けて取り付けられた識別符号表示部と、前記ウェーハ・カセットを前記出し入れの方向に対して傾斜させる傾斜手段と、該傾斜手段により傾斜させられたウェーハ・カセットの表面の識別符号表示部へ向けて、かつ、前記気密性容器へ向かうウェーハ・カセットの移動経路から離れた位置に設けられた識別符号認識装置と、前記ウェーハ・カセットから飛び出したウェーハを検知するウェーハ飛び出し検知装置とからなることを特徴とするウェーハ・カセット収納装置を提供する。
【０００６】
請求項２に記載の発明は、前記傾斜手段が、ウェーハ・カセットが乗せられた置き台に当接して該置き台を傾斜させることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ・カセット収納装置を提供する。
【０００７】
請求項３に記載の発明は、前記置き台が、一端部近傍の位置で水平軸を中心として回動可能に支持され、前記傾斜手段が、前記置き台の移動経路内に突出して移動中の前記置き台の前記水平軸から離れた位置に接することにより前記置き台を回動させることを特徴とする請求項２に記載のウェーハ・カセット収納装置を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１から図５は本発明の一実施形態によるウェーハ・カセット収納装置の構成と動作を示す断面図である。図１において、符号１は以下に説明する各機構要素が取り付けられた支持部材を兼ねたクリーンルーム領域とストッカー領域との隔壁である。この隔壁１の右側はクリーンルーム領域であり、ウェーハ２を収容したカセット３を裸の状態で取り扱うことができる領域である。またこの隔壁の左側は、ストッカー領域であり、前記カセット３はポッド４に収納し、外気と遮断された状態で搬送または保管しなければならない領域である。
【０００９】
前記ポッド４の底蓋５を乗せたカセット置き台６にはポッドのロック開閉機構７が付属しており、前記置き台６はヒンジ機構８を介して上下方向移動機能を有するアーム９に接続され、前記ヒンジ機構８を支点として前記カセット３を乗せた状態で前記アーム９を下方に移動させることにより、前記隔壁１に固定された置き台傾斜用ピン１０と接触し、前記置き台６を傾けることができるようになっている。
【００１０】
また、前記隔壁１の水平部分には前記ポッド４を乗せることができ、前記底蓋５及び置き台６が通過できる穴が開いており、図示の位置にウェーハ飛び出し検知センサ１１が取り付けられて図２の矢印Ａの方向を監視し、図示の位置にバーコードリーダによるＩＤ認識装置１２が取り付けられて矢印Ｂの方向に位置するバーコード認識票を読むべく待機している。上述のこれら各機構は図示していない制御装置により制御され動作する。
【００１１】
このような構成のウェーハ・カセット収納装置における動作を図１から図５を参照して説明する。
図１は空のポッド４が定位置に置かれ、底蓋５がロックされて待機している状態である。このとき制御装置からカセット入庫の指令が出されると、底蓋５のロックが解除されて前記底蓋５は置き台６と共に上下方向移動機能を持ったアーム９により図２の位置まで下降し、停止する。
【００１２】
図３は底蓋６の上にカセット３を乗せた状態を示す。この状態からアーム９が下降すると、置き台傾斜用ピン１０と置き台６とが接触して置き台６の端部を上方へ押し上げ、アーム９がさらに下降すると置き台６の片側はヒンジ機構８でアームと接続されているので、前記置き台６は図４に示すように傾斜する。このとき、カセット３などの通路を避けて図示の場所に取り付けられたバーコードリーダによるＩＤ認識装置によって矢印Ｂの方向にある前記カセット３の認識番号を読み取られると共に、もし前記カセット３から飛び出したウェーハがあっても重力により定位置に戻される。
【００１３】
次に、前記アーム９が上昇し、図３の位置まで戻ったときに、ウェーハ飛び出し検知センサ１１により図３の矢印Ａの方向を監視し、もしウェーハの飛び出しを検知すれば、前記アーム９を再び下降させ、置き台６を傾けてウェーハを定位置に戻す動作を繰り返す。
もし、ウェーハ飛び出し等の異常がなければ前記アーム９を図５に示す位置まで上昇させ、カセット３をポッド４に収納する。ポッドに収納されたカセットはストッカー領域において、パーティクルやガス状物質による汚染の心配をすることなく取り扱うことができる。
【００１４】
上述のようにＩＤ認識装置をカセットの移動経路外に置き、ＩＤ読みとり時にＩＤ認識装置を移動させることがないので、認識装置の移動によるパーティクルの飛散によるウェーハの汚染を避けることができ、カセット置き台を傾けることにより、ＩＤ読みとりとウェーハ戻しを同時に行えるので、動作時間の短縮をはかることができる。
以上、本発明の一実施形態の動作を図面を参照して詳述してきたが、本発明はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
例えば、カセット置き台を傾ける代わりに、カセット自体を傾ける方法であっても良い。
【００１５】
【発明の効果】
これまでに説明したように、この発明によれば、ＩＤ認識装置をカセットの移動経路外に置き、ＩＤ読みとり時にＩＤ認識装置を移動させることがないので、認識装置の移動によるパーティクルの飛散によるウェーハの汚染を避けることができ、カセット置き台を傾けることにより、ＩＤ読みとりとウェーハ戻しを同時に行えるので、動作時間の短縮をはかることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態によるウェーハ・カセット収納装置の構成を示す断面図である。
【図２】  図１の収納装置の待機状態を示す断面図である。
【図３】  図１の収納装置においてカセット置き台にカセットを載置した状態を示す断面図である。
【図４】  図１の収納装置においてカセットを載置した置き台を傾けた状態を示す断面図である。
【図５】  図１の収納装置においてポッドにカセットが収納された状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１  隔壁
２  ウェーハ
３  カセット
４  ポッド
５  底蓋
６  カセット置き台
７  ロック開閉機構
８  ヒンジ機構
９  アーム
１０  置き台傾斜用ピン
１１  ウェーハ飛び出し検知センサ
１２  ＩＤ認識装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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