(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材フィルム上に形成されたセラミックのグリーンシートのうち、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離するためのグリーンシートの剥離方法であって、
前記グリーンシートから所定の大きさのグリーンシートを切り分ける工程と、
前記所定の大きさのグリーンシートを吸引保持手段により保持する工程と、
前記吸引保持手段に上下方向の微動を与えることにより、前記吸引保持手段により保持された前記所定の大きさのグリーンシートの端部と前記基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を形成する工程と、
前記剥離のきっかけとなる隙間を広げて、前記所定の大きさのグリーンシートを前記基材フィルムから剥離する工程と
を備えた、グリーンシートの剥離方法。
【請求項２】
前記微動を与える工程では微動は少なくとも３回行われる、請求項１記載のグリーンシートの剥離方法。
【請求項３】
前記所定の大きさのグリーンシートを前記基材フィルムから剥離する工程は、前記基材フィルムを固定した状態で保持された前記所定の大きさのグリーンシートを前記基材フィルムから引き離す工程を含む、請求項１または２に記載のグリーンシートの剥離方法。
【請求項４】
前記所定の大きさのグリーンシートを前記基材フィルムから剥離する工程は、前記所定の大きさのグリーンシートを固定した状態で前記基材フィルムを前記所定の大きさのグリーンシートから引き離す工程を含む、請求項１または２に記載のグリーンシートの剥離方法。
【請求項５】
基材フィルム上に形成されたセラミックのグリーンシートのうち、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離するための剥離装置であって、
基材フィルムの側を保持するステージ部と、
グリーンシートに接触して吸着保持する吸着面部が設けられた吸引板を有するヘッド部と、
前記グリーンシートから前記所定の大きさのグリーンシートを切り分ける刃部と、
前記吸着面部に保持された前記所定の大きさのグリーンシートの端部と前記基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を形成するために、前記吸引板に上下方向の微動を与えるための微動付与部と
を備えた、剥離装置。
【請求項６】
前記吸着面部には複数の吸引穴が形成され、
前記複数の吸引穴のうち、前記吸着面部の外周部に配置され前記刃部の近傍に位置する吸引穴の開口径は、前記吸着面部のより内側に配置される吸引穴の開口径よりも大きい、請求項５記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はグリーンシートの剥離方法およびぞれに用いられる剥離装置に関し、特に、キャリアフィルム上に形成されたセラミックのグリーンシートのうち、所定の大きさのグリーンシートをキャリアフィルムから剥離するためのグリーンシートの剥離方法と、そのような剥離に用いられる剥離装置とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の一形態として、セラミックのシートを複数積層させることにより、たとえばコイルやコンデンサを形成した電子部品がある。このような電子部品は次のように形成される。まず、セラミック材料をポリエステルフィルム等からなるキャリアフィルム上に均一な厚さに塗布して、これを乾燥させることでキャリアフィルム上にいわゆるセラミックのグリーンシートを形成する。
【０００３】
次に、グリーンシートの表面にスクリーン印刷によりたとえば内部電極等を印刷し、これを乾燥炉等に入れて乾燥させる。その後、剥離装置によってグリーンシートをキャリアフィルムから剥離する。剥離したグリーンシートを所定枚数積み重ねて押圧した後に適当な大きさに切断し、これを焼結することによって所望の電子部品を形成する。
【０００４】
このように、セラミックのシートを積層させた電子部品の製造においては、グリーンシートをキャリアフィルムから剥離するために剥離装置が用いられる。そこで、従来の剥離装置の一例として特開昭６３−１０２２１６号公報に記載された剥離装置について説明する。
【０００５】
図１２に示すように、グリーンシート１２１が形成されたキャリアフィルム１２３が剥離装置のステージ１０５の上に搬送される。キャリアフィルム１２３が所定の位置にまで搬送されると、ステージ１０５に設けられた開口部（図示せず）に吸引されてキャリアフィルム１２３が固定される。
【０００６】
そのステージ１０５の上方には、周囲にカット刃１０３を有し、このカット刃１０３によって囲まれた領域にステージ１０５よりも強い吸引力をもって吸引することができる吸引板１０１が設けられている。この吸引板１０１とカット刃１０３はステージ１０５の表面に対して直角方向に往復動可能に設けられている。また、カット刃１０３はグリーンシート１２１を切断する際に、キャリアフィルム１２３を切断することのないように吸引板１０１の先端面から突出している。
【０００７】
キャリアフィルム１２３を吸引固定した状態で、吸引板１０１の先端面がグリーンシート１２１の表面に接するまで吸引板１０１を降下させる。このとき、吸引板１０１の先端面から突出しているカット刃１０３によりグリーンシート１２１が所定の大きさに切断される。
【０００８】
次に、吸引板１０１によってグリーンシート１２１を吸引した状態で吸引板１０１を上昇させる。これにより、切断されたグリーンシート１２１がキャリアフィルム１２３から剥離し、所定の大きさのグリーンシートとして取り出される。従来の剥離装置は上記のように構成され動作する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の剥離装置では次のような問題があった。上述したように、キャリアフィルム１２３上に形成されたグリーンシート１２１は、キャリアフィルム１２３をステージ１０５によって吸引した状態で、グリーンシート１２１を吸引板１０１によって吸引することにより剥離される。
【００１０】
ところが、グリーンシート１２３とキャリアフィルム１２１との密着性の高いものでは、グリーンシート１２３をキャリアフィルム１２１から良好に剥離することができないことがあった。
【００１１】
特に、グリーンシートにはグリーンシートを積層させる際に他のグリーンシートとの密着性を高める必要がある。そのため、グリーンシートとキャリアフィルムとの密着性が高くなって、グリーンシートの剥離が困難になることがあった。
【００１２】
また、電子部品としてたとえば積層コンデンサを作製する場合には、グリーンシートとして比較的薄いグリーンシートが採用される。この場合には、グリーンシートの強度が弱くなって、剥離する際にグリーンシートが破損することがあった。
【００１３】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、１つの目的は、キャリアフィルムから所定の大きさのグリーンシートを破損させることなく確実に剥離することのできるグリーンシートの剥離方法を提供することであり、他の目的は、そのような剥離方法に用いられる剥離装置を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの局面におけるグリーンシートの剥離方法は、基材フィルム上に形成されたセラミックのグリーンシートのうち、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離するためのグリーンシートの剥離方法であって、以下の工程を備えている。グリーンシートから所定の大きさのグリーンシートを切り分ける。その所定の大きさのグリーンシートを吸引保持手段により保持する。その吸引保持手段に上下方向の微動を与えることにより、吸引保持手段により保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を形成する。剥離のきっかけとなる隙間を広げて、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離する。
【００１５】
この方法によれば、まず、吸引保持手段に上下方向の微動を与えることで、吸引保持手段により保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。そして、所定の大きさのグリーンシートの端部から中央に向かって、その隙間を広げることにより、所定の大きさのグリーンシートを破損させることなく基材フィルムから容易に剥離することができる。なお、この場合の微動とは、たとえば所定の大きさのグリーンシートの上下方向の移動距離が約数百μｍ程度、時間が約数十ｍｓ程度のものをいう。
【００１６】
好ましくは、微動を与える工程では微動は少なくとも３回行われる。
これにより、所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が確実に形成される。なお、微動を３回より多く行っても、隙間の形成具合に大きな差は認められなかった。
【００１７】
その隙間を広げるために、具体的に、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離する工程は、基材フィルムを固定した状態で保持された所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから引き離す工程を含むことが好ましい。
【００１８】
また、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離する工程は、所定の大きさのグリーンシートを固定した状態で基材フィルムを所定の大きさのグリーンシートから引き離す工程を含んでいてもよい。
【００１９】
いずれの場合でも、剥離のきっかけとなる隙間を拡大することができて、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから容易に剥離することができる。
【００２０】
本発明の他の局面における剥離装置は、基材フィルム上に形成されたセラミックのグリーンシートのうち、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離するための剥離装置であって、ステージ部とヘッド部と刃部と微動付与部とを備えている。ステージ部は、基材フィルムの側を保持する。ヘッド部は、グリーンシートに接触して吸着保持する吸着面部が設けられた吸引板を有する。刃部は、グリーンシートから所定の大きさのグリーンシートを切り分ける。微動付与部は、吸着面部に保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を形成するために、吸引板に上下方向の微動を与える。
【００２１】
この構成によれば、まず、吸引板に上下方向の微動を与えることで、吸着面部に吸着保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。そして、所定の大きさのグリーンシートの端部から中央に向かってその隙間を広げることで、所定の大きさのグリーンシートを破損させることなく基材フィルムから容易に剥離することができる。
【００２２】
好ましくは、吸着面部には複数の吸引穴が形成され、その複数の吸引穴のうち、吸着面部の外周部に配置され刃部の近傍に位置する吸引穴の開口径は、吸着面部のより内側に配置される吸引穴の開口径よりも大きい。
【００２３】
これにより、外周部に位置する吸引穴による吸引力がより強くなり、その吸引穴の直下に位置する所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を容易に形成することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に係るグリーンシートの剥離装置と、それを用いた剥離方法について説明する。
【００２７】
図１に示すように、剥離装置においては、グリーンシート２１が形成されたキャリアフィルム２３が搬送されて所定の位置でキャリアフィルム２３を吸引固定するステージ５が設けられている。そのステージ５の上方には、キャリアフィルム２３上に形成されたグリーンシート２１を吸引するための吸引板１が設けられている。
【００２８】
その吸引板１をグリーンシート２１に接触させたりグリーンシート２１をキャリアフィルム２３から剥離するために、吸引板１を上下方向へ移動させるための上下用ポスト１３が設けられている。
【００２９】
また、剥離した矩形グリーンシート２１ａを順次積層させるために、積み重ねステージ（図示せず）が吸引板１の近傍に設けられている。この積み重ねステージに向かって、吸引板１をグリーンシート２１の搬送方向と略直交する方向に略水平に移動するためのリニアガイド１４が設けられている。
【００３０】
吸引板１の上方には、グリーンシート２１を剥離する際に吸引板１に上下方向の微動を与えるためのサーボモータ１１が設けられている。サーボモータ１１の下方にはサーボモータ１１の回転運動を上下方向の動きに変えるためのボールねじ１２と上下ポスト１３が設けられている。
【００３１】
次に、吸引板１付近の構造について詳しく説明する。図２に示すように、吸引板１には、グリーンシート２１と接触する吸着面１ａが設けられ、その吸着面１ａにはグリーンシート２１を吸引するための吸引穴２が設けられている。吸引板１の周囲には、グリーンシート２１を切断するためのカット刃３が設けられている。カット刃３は、グリーンシート２１を切断する際には、キャリアフィルム２３を完全には切断しない程度に吸引板１の先端面よりも下降する。
【００３２】
一方、ステージ５にも図示されない吸引穴が設けられて、矢印５２に示すようにキャリアフィルム２３を所定の位置において吸引固定する。キャリアフィルム２３を吸引固定した状態で、グリーンシート２１が吸引板１により吸引固定される。そして、カット刃３によりグリーンシート２１が所定の大きさの矩形グリーンシート２１ａに切断される。
【００３３】
その後、サーボモータ１１の駆動により吸引板１を上下方向に微動させる。このとき、たとえば上下方向の移動距離１００〜５００μｍ、時間１０〜１００ｍｓの微動を３サイクル行う。吸引板１が微動することによって、切断された矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３との間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。この状態で吸引板１を上方に移動させことで、隙間から剥離が進行して切断された矩形グリーンシート２１ａがキャリアフィルム２３から剥離されることになる。微動は１回でも複数回でもよいが、剥離のきっかけとなる隙間を確実に形成するためには、少なくとも３回行うのがよい。なお、微動を３回を超えて行っても隙間の形成のされ方に大きな違いはなかった。
【００３４】
このように、本剥離装置では、矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３との間に剥離のきっかけとなる隙間を形成するために、吸引板１を上下方向に微動させるための微動付与部としてサーボモータ１１等が設けられている。
【００３５】
次に、上述した剥離装置によるグリーンシートの剥離方法について詳しく説明する。まず、図３に示すように、所定の位置に搬送されたキャリアフィルム２３がステージ５によって矢印５２に示すように吸引固定される。次に、図４に示すように、吸引板１が下降してグリーンシート２１が吸引固定される。
【００３６】
次に、図５に示すように、カット刃３が下降してグリーンシート２１が所定の大きさのグリーンシートに切断される。このとき、所定の大きさとして、たとえば１辺Ｓの矩形状に切断される。（図３中Ｓを参照）
その後、吸引板１を上下方向に微動させることにより、切断された矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３との間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。
【００３７】
この工程についてさらに詳しく説明する。図６に示すように、矩形グリーンシート２１ａが切断された段階では、矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３とはまだ密着した状態にある。なお、吸引板１の吸着面１ａに形成された吸引穴２のうち、吸引板１の最外周に位置する吸引穴２ａにおいては、矩形グリーンシート２１ａと接触する部分の開口径Ｄ１が、より内側に位置する吸引穴２ｂに対する開口径Ｄ２よりも大きく設定されている。たとえば、この場合、開口径Ｄ１は、開口径Ｄ２の約２〜５倍に設定されていることが好ましい。
【００３８】
次に、図７に示す工程において、吸引板１が上下方向に微動する。この微動の際に、吸引板１の最外周に位置する吸引穴２ａの開口径Ｄ１がより内側に位置する吸引穴２ｂの開口径Ｄ２よりも大きいことで吸引穴２ａによる吸引力がより強くなり、吸引穴２ａの直下に位置する矩形グリーンシート２１ａの端部がキャリアフィルム２３から剥離しやすくなる。
【００３９】
これにより、矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３との間に剥離のきっかけとなる隙間Ａが形成される。この隙間Ａとしては、たとえば切断されたグリーンシート２１の端部から長さ数ｍｍ（Ｌ）程度内側にまで入り込み、そして、その高さＨが約５０〜３００μｍ程度であることが剥離のきっかけを作る隙間として好ましい。
【００４０】
このようにして、剥離のきっかけとなる隙間Ａが形成された後、図８に示すように、吸引板１が上方に移動する。このとき、吸引板１による吸引力が打抜き板５の吸引力よりも強いため、吸引板１の下に位置するキャリアフィルム２３と打抜き板５との間に隙間が形成されるとともに、剥離のきっかけとなった隙間が矩形グリーンシート２１ａの端部から中央に向かって拡大し、矩形グリーンシート２１ａの端部から内側に向かって矩形グリーンシート２１ａが徐々に剥離することになる。
【００４１】
このようにして、図９に示すように、矩形グリーンシート２１ａがキャリアフィルム２３から剥離されることになる。この後、剥離された矩形グリーンシート２１ａは、所定の位置にて順次積層されることになる。
【００４２】
上述したグリーンシートの剥離方法では、矩形グリーンシート２１ａを吸引する吸引板１を微動させることで、矩形グリーンシート２１ａの端部とキャリアフィルム２３との間に剥離のきっかけとなる隙間Ａが形成される。その後、その隙間を矩形グリーンシート２１ａの中央に向かって徐々に広げることで、矩形グリーシート２１ａをキャリアフィルム２３から破損させることなく容易にかつ確実に剥離することができる。
【００４３】
なお、上述したグリーンシートの剥離装置では、剥離のきっかけとなる隙間を矩形グリーンシート２１ａの中央に向かって徐々に広げるのに、吸引板１を上昇させることにより行う場合について説明した。
【００４４】
剥離のきっかけとなる隙間を徐々に広げる手段としては、たとえば図１０に示すように、矢印５４に示す方向に移動可能なステージ５ａとローラ１５とを備えて、剥離のきっかけとなる隙間を形成した後に、ステージ５ａおよびローラ１５を矢印５４に示す方向に移動させることで矩形グリーンシート２１ａをキャリアフィルム２３から剥離させるようにしてもよい。
【００４５】
また、たとえば図１１に示すように、キャリアフィルム２３の端部を掴むチャック６を備えて、キャリアフィルム２３の端部をこのチャック６により保持した状態で、これを矢印５５に示す方向に移動させることで矩形グリーンシート２１ａをキャリアフィルム２３から剥離させてもよい。
【００４６】
上述した手段を用いた剥離方法においても、あらかじめ剥離のきっかけとなる隙間が形成されることで、矩形グリーンシート２１ａをキャリアフィルム２３から容易にかつ確実に剥離することができる。
【００４７】
なお、上記実施の形態では、吸引板１によってグリーンシート２１を吸引固定した後にカット刃３によってグリーンシート２１が矩形グリーンシート２１ａに切断される場合について説明したが、カット刃３によるグリーンシート２１の切断と、吸引板１によるグリーンシート２１の吸引の順序はこれに限定されるものではない。
【００４８】
また、ステージ５によってキャリアフィルム２３を吸引固定させる場合について説明したが、吸引固定させる代わりに、カット刃３によってキャリアフィルム２３を押さえることでキャリアフィルム２３をステージ５に固定させてもよい。
【００４９】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明は上記の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００５０】
【発明の効果】
本発明の一つの局面におけるグリーンシートの剥離方法によれば、まず、吸引保持手段に上下方向の微動を与えることで、吸引保持手段により保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。そして、所定の大きさのグリーンシートの端部から中央に向かって、その隙間を広げることにより、所定の大きさのグリーンシートを破損させることなく基材フィルムから容易に剥離することができる。
【００５１】
好ましくは、微動を与える工程では微動は少なくとも３回行われることにより、所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が確実に形成される。
【００５２】
その隙間を広げるために、具体的に、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離する工程は、基材フィルムを固定した状態で保持された所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから引き離す工程を含むことが好ましく、また、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから剥離する工程は、所定の大きさのグリーンシートを固定した状態で基材フィルムを所定の大きさのグリーンシートから引き離す工程を含んでいることが好ましく、いずれの場合でも、剥離のきっかけとなる隙間を拡大することができて、所定の大きさのグリーンシートを基材フィルムから容易に剥離することができる。
【００５３】
本発明の他の局面における剥離装置によれば、まず、吸引板に上下方向の微動を与えることで、吸着面部に吸着保持された所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間が形成される。そして、所定の大きさのグリーンシートの端部から中央に向かってその隙間を広げることで、所定の大きさのグリーンシートを破損させることなく基材フィルムから容易に剥離することができる。
【００５４】
また、吸着面部には複数の吸引穴が形成され、その複数の吸引穴のうち、吸着面部の外周部に配置され刃部の近傍に位置する吸引穴の開口径は、吸着面部のより内側に配置される吸引穴の開口径よりも大きいことが好ましく、これにより、外周部に位置する吸引穴による吸引力がより強くなり、その吸引穴の直下に位置する所定の大きさのグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態に係るグリーンシートの剥離装置の一側面図である。
【図２】  同実施の形態において、図１に示す剥離装置の吸引板付近の部分拡大断面図である。
【図３】  同実施の形態において、図１に示す剥離装置を用いたグリーンシートの剥離方法の一工程を示す断面図である。
【図４】  同実施の形態において、図３に示す工程の後に行われる工程を示す断面図である。
【図５】  同実施の形態において、図４に示す工程の後に行われる工程を示す断面図である。
【図６】  同実施の形態において、図５に示す工程における部分拡大断面図である。
【図７】  同実施の形態において、図６に示す工程の後に行われる工程を示す部分拡大断面図である。
【図８】  同実施の形態において、図５または図７に示す工程の後に行われる工程を示す断面図である。
【図９】  同実施の形態において、図８に示す工程の後に行われる工程を示す断面図である。
【図１０】  同実施の形態において、一変形例に係る剥離装置の部分拡大断面図である。
【図１１】  同実施の形態において、他の変形例に係る剥離装置の部分拡大断面図である。
【図１２】  従来のグリーンシートの剥離装置の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１  吸引板、２、２ａ、２ｂ  吸引穴、３  カット刃、５、５ａ  ステージ、６  チャック、１１  サーボモータ、１２  ボールネジ、１３  上下用ポスト、１４  リニアガイド、１５  ローラ、２１  グリーンシート、２１ａ  矩形グリーンシート、２３  キャリアフィルム、５１〜５５  矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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