(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線（Ｌ）を中心とする回転対称な形状を有するワーク（１７）の複数の先端部（４２ａ）の最大半径を測定するためのワークの寸法測定装置において、
ベース部材（５１）と、
ベース部材（５１）に立設されてワーク（１７）をその軸線（Ｌ）まわりに回転自在に支持するセンターシャフト（５２）と、
ベース部材（５１）に支持されてワーク（１７）の先端部（４２ａ）に所定の隙間（α）を介して対向可能な基準遮蔽体（６３）と、
基準遮蔽体（６３）を挟んでワーク（１７）の接線方向両端に相互に対向するように配置されたレーザー送光部（６７）およびレーザー受光部（６８）と、
ワーク（１７）の回転に伴って何れかの先端部（４２ａ）がレーザー送光部（６７）およびレーザー受光部（６８）間に位置したことを検知する検知手段（７１，７２）と、
検知手段（７１，７２）の検知結果に基づいてレーザー送光部（６７）からのレーザー光の送光を制御するとともに、レーザー受光部（６８）の受光状態に基づいて前記隙間（α）の最小値（αｍｉｎ）を算出し、各々の先端部（４２ａ）の前記隙間（α）の最小値（αｍｉｎ）のうちの最も小さい値からワーク（１７）の最大半径を算出する制御手段（７３）と、
を備えたことを特徴とするワークの寸法測定装置。
【請求項２】
レーザー送光部（６７）およびレーザー受光部（６８）と検知手段（７１，７２）とは、前記軸線（Ｌ）を中心とする異なる角度位置に配置されており、検知手段（７１，７２）が何れかの先端部（４２ａ）を検知したときに、他の何れかの先端部（４２ａ）がレーザー送光部（６７）およびレーザー受光部（６８）間に位置することを特徴とする、請求項１に記載のワークの寸法測定装置。
【請求項３】
レーザー送光部（６７）は、ワーク（１７）の先端部（４２ａ）がレーザー送光部（６７）およびレーザー受光部（６８）間に位置する所定の期間に亘ってレーザー光を送光し、制御手段（７３）は前記期間にレーザー受光部（６８）が受光した最小受光量に基づいて前記隙間（α）の最小値（αｍｉｎ）を算出することを特徴とする、請求項１に記載のワークの寸法測定装置。
【請求項４】
ワーク（１７）の先端部（４２ａ）はタービンホイールのブレード本体部であることを特徴とする、請求項１に記載のワークの寸法測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、軸線を中心とする回転対称な形状を有するワークの複数の先端部の最大半径を測定するためのワークの寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開平１１−１２５５１８号公報には、ガスタービンエンジンの動翼の先端とケーシングの内周面との隙間を測定すべく、ケーシングを貫通する検知ヘッドを動翼の先端に対して接近・離間させ、動翼の回転に伴って検知ヘッドの出力がオン・オフする位置から前記隙間を測定するものが記載されている。
【０００３】
また特開２０００−２２０４０８号公報には、ガスタービンエンジンのセラミックス製の動翼の先端の半径を測定すべく、静電容量型のプローブを動翼の先端に対向するように配置し、動翼の先端とプローブとの距離による静電容量の変化に基づいて前記半径を測定するものが記載されている。
【０００４】
また特開平１１−８３４７０号公報には、蒸気タービンの運転に伴う遠心力で動翼の先端が半径方向に伸びる伸び量を測定すべく、ケーシングに設けた管状のセンサケースからセンサプローブを動翼に向けて前進させ、センサプローブの先端に設けた熱伝対を動翼の先端に接触させて前記伸び量を測定するものが記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで上記特開平１１−１２５５１８号公報および特開平１１−８３４７０号公報に記載されたものは、測定に際して検知ヘッドやセンサプローブを移動させる必要があるため、その操作が面倒で測定に多くの時間を要するという問題があった。
【０００６】
また上記特開２０００−２２０４０８号公報に記載されたものは、静電容量型のプローブを用いているために、セラミックス製の動翼の測定を行う場合には該動翼に金属コーティングを施さなければならず、そのために汎用性に欠ける問題があった。
【０００７】
また特開平１１−８３４７０号公報に記載されたものは、センサプローブの先に設けた熱伝対を動翼の先端に接触させる必要があるため、動翼を傷付ける可能性があった。
【０００８】
本発明は前述の事情に鑑みてなされたもので、軸線を中心に回転するワークの先端部の半径を簡単かつ精密に測定できるようにすることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明によれば、軸線を中心とする回転対称な形状を有するワークの複数の先端部の最大半径を測定するためのワークの寸法測定装置において、ベース部材と、ベース部材に立設されてワークをその軸線まわりに回転自在に支持するセンターシャフトと、ベース部材に支持されてワークの先端部に所定の隙間を介して対向可能な基準遮蔽体と、基準遮蔽体を挟んでワークの接線方向両端に相互に対向するように配置されたレーザー送光部およびレーザー受光部と、ワークの回転に伴って何れかの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置したことを検知する検知手段と、検知手段の検知結果に基づいてレーザー送光部からのレーザー光の送光を制御するとともに、レーザー受光部の受光状態に基づいて前記隙間の最小値を算出し、各々の先端部の前記隙間の最小値のうちの最も小さい値からワークの最大半径を算出する制御手段とを備えたことを特徴とするワークの寸法測定装置が提案される。
【００１０】
上記構成によれば、センターシャフトに支持されて軸線まわりに回転するワークの先端部が基準遮蔽体の近傍を通過するときに、レーザー送光部から出たレーザー光が隙間を通過してレーザー受光部に達する受光状態に基づいてワークの先端部と基準遮蔽体との隙間の最小値を算出するので、その隙間の最小値を非接触で算出してワークの損傷を防止することができる。またワークの回転に伴って何れかの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置したことを検知手段が検知する度に、レーザー光の送光を制御するとともに隙間の最小値を算出するので、ワークを回転させるだけで複数の先端部に対応する隙間の最小値を自動的に、かつ漏れなく算出することができる。更に各々の先端部に対応する隙間の最小値のうちの最も小さい値からワークの最大半径を算出するので、ワークの最大半径を確実に算出することができる。しかもレーザー光を用いているのでワークの材質によって測定が妨げられることがなく、汎用性が高められる。
【００１１】
また請求項２に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、レーザー送光部およびレーザー受光部と検知手段とは、前記軸線を中心とする異なる角度位置に配置されており、検知手段が何れかの先端部を検知したときに、他の何れかの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置することを特徴とするワークの寸法測定装置が提案される。
【００１２】
上記構成によれば、検知手段がレーザー送光部およびレーザー受光部と異なる角度位置に配置されているので、検知手段がレーザー送光部およびレーザー受光部と干渉しないようにしてレイアウトの自由度を増加させながら、ワークの複数の先端部が回転対称な位置にあることにより、検知手段が何れかの先端部を検知したときに、他の何れかの先端部をレーザー送光部およびレーザー受光部間に確実に位置させることができる。
【００１３】
また請求項３に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、レーザー送光部は、ワークの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置する所定の期間に亘ってレーザー光を送光し、制御手段は前記期間にレーザー受光部が受光した最小受光量に基づいて前記隙間の最小値を算出することを特徴とするワークの寸法測定装置が提案される。
【００１４】
上記構成によれば、ワークの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置する所定の期間に亘ってレーザー光を送光し、その期間における最小受光量に基づいてワークの先端部と基準遮蔽体との隙間の最小値を算出するので、ワークの回転に伴って隙間の大きさが変動しても、その隙間の最小値を精密に算出することができる。
【００１５】
また請求項４に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、ワークの先端部はタービンホイールのブレード本体部であることを特徴とするワークの寸法測定装置が提案される。
【００１６】
上記構成によれば、タービンホイールのブレード本体部の最大半径を算出することができるので、ブレード本体部とシュラウドとの間のクリアランスの大きさを確実に把握することができる。
【００１７】
尚、実施例の高圧タービンホイール１７は本発明のタービンホイールあるいはワークに対応し、実施例のブレード本体部４２ａは本発明の先端部に対応し、実施例の第１、第２第１リミットスイッチ７１，７２は本発明の検知手段に対応し、実施例のデータ処理機７３は本発明の制御手段に対応する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面に示した本発明の実施例に基づいて説明する。  図１〜図６は本発明の一実施例を示すもので、図１はターボファンエンジンの全体構造を説明する図、図２は測定装置の全体側面図、図３は図２の３−３線断面図、図４は図３の要部拡大図、図５は隙間測定の作用説明図、図６は測定装置の制御系のブロック図である。
【００１９】
先ず、図１に基づいてターボファンエンジンの全体構造を説明する。ターボファンエンジンはインナーシャフト１１と、インナーシャフト１１の外周に相対回転自在に嵌合するアウターシャフト１２とを備える。インナーシャフト１１の前端には軸流式のファン１３が設けられ、後端には軸流式の第１段低圧タービンホイール１４および第２段低圧タービンホイール１５が設けられる。またインナーシャフト１１よりも短いアウターシャフト１２の前端には遠心式のコンプレッサホイール１６が設けられ、後端には軸流式の高圧タービンホイール１７が設けられる。
【００２０】
エンジンの前部から吸入されてファン１３で圧縮された空気の一部は、エンジンの外周に沿って配置されたバイパス通路１８を通ってエンジンの後部から排出され、また前記空気の残部はバイパス通路１８の半径方向内側に配置された圧縮空気通路１９を経てコンプレッサホイール１６に導かれる。コンプレッサホイール１６で更に圧縮された空気はアニュラ型の燃焼機２０に供給され、そこで燃料噴射ノズル２１から噴射された燃料と混合して燃焼する。燃焼機２０において発生した燃料ガスは、燃焼ガス通路２２の上流端に設けた高圧タービンホイール１７と、燃焼ガス通路２２の中間部に設けた第１段、第２段低圧タービンホイール１４，１５とを経てエンジンの後部から排出される。
【００２１】
次に、高圧タービンホイール１７の最大半径を測定する測定装置の構造を、図２〜図６を参照して説明する。
【００２２】
高圧タービンホイール１７は中心に円形の開口４１ａを有するタービンディスク４１と、タービンディスク４１の外周部に放射状に配置された複数枚（実施例では１８枚）のタービンブレード４２…とを備える。各々のタービンブレード４２は半径方向外側に位置するブレード本体部４２ａと、半径方向内側に位置するツリー部４２ｂとを備えており、ツリー部４２ｂがタービンディスク４１の外周部に凹凸係合することで、大きな遠心力に耐えるように強固に固定される。タービンディスク４１の軸方向両端部には、軸方向に分割されたアウターシャフト１２の中間部に結合するためのカービックカップリング（登録商標）４１ｂ，４１ｃが形成される。
【００２３】
測定装置は平板状のベース部材５１と、ベース部材５１の中心に垂直に立設したセンターシャフト５２とを備える。センターシャフト５２の下端はベース部材５１の支持孔５１ａに嵌合し、かつセンターシャフト５２の下部に設けたフランジ５２ａをボルト５３…でベース部材５１の上面に締結することで、センターシャフト５２はベース部材５１に強固に固定される。センターシャフト５２は、フランジ５２ａの上部に上向きにテーパーしたテーパー面５２ｂを備えるとともに上端部に雄ねじ部５２ｃを備える。
【００２４】
センターシャフト５２の外周に中空のファンクションシャフト５４が僅かな隙間を存して嵌合し、ファンクションシャフト５４の下端に形成したテーパー面５４ａがセンターシャフト５２のテーパー面５２ｂに隙間無く係合する。センターシャフト５２の上部に中空のテーパーシャフト５５が摺動自在に嵌合しており、その下部に下向きに形成したテーパーしたテーパー面５５ａが、ファンクションシャフト５４の上端に形成したテーパー面５４ｂに隙間無く係合可能である。センターシャフト５２のテーパー面５２ｂとファンクションシャフト５４のテーパー面５４ａとを適切な面圧で当接させ、ファンクションシャフト５４のテーパー面５４ｂとテーパーシャフト５５のテーパー面５５ａとを適切な面圧で当接させるべく、センターシャフト５２の上端に雄ねじ部５２ｃにナット５６が螺合する。
【００２５】
ナット５６の下面とテーパーシャフト５５の上面との間にはスラストベアリング５７が配置されており、ナット５６を締め付ける際のトルクが摩擦力を介してテーパーシャフト５５に伝達されるのを防止し、テーパーシャフト５５に下向きの荷重だけをで伝達するようになっている。このようにして、センターシャフト５２の軸線Ｌに対して、ファンクションシャフト５４の軸線を精密に一致させることができる。
【００２６】
ファンクションシャフト５４の下端に円形のフランジ５４ｃが一体に形成されており、ファンクションシャフト５４に開口４１ａを嵌合させたタービンディスク４１の一方のカービックカップリング４１ｂが、フランジ５４ｃの上面に形成したカービックカップリング５４ｄに係合する。カービックカップリング４１ｂ，５４ｄは自己調芯機能を有しているため、ファンクションシャフト５４の軸線に対して（つまりセンターシャフト５２の軸線Ｌに対して）、高圧タービンホイール１７の軸線は精密に一致する。
【００２７】
ファンクションシャフト５４の外周に円形の位置決めブロック５８が摺動自在に嵌合し、その下面に形成したカービックカップリング５８ａがタービンディスク４１の他方のカービックカップリング４１ｃに係合する。ファンクションシャフト５４の外周に形成した雄ねじ部５４ｅにナット５９が螺合し、ナット５９の下面と位置決めブロック５８の上面との間にスラストベアリング６０が配置される。スラストベアリング６０は、ナット５９を締め付ける際のトルクが摩擦力を介して位置決めブロック５８に伝達されるのを防止し、位置決めブロック５８に下向きの荷重だけを伝達するようになっている。このようにして、センターシャフト５２の軸線Ｌに対して、高圧タービンホイール１７の軸線を一層精密に一致させることができる。
【００２８】
しかして、ファンクションシャフト５４および位置決めブロック５８によって支持された高圧タービンホイール１７は、それらと共にセンターシャフト５２の軸線Ｌまわりに自由に回転することができる。このとき、センターシャフト５２のテーパー面５２ｂとファンクションシャフト５４のテーパー面５４ａとが相互に摺動し、ファンクションシャフト５４のテーパー面５４ｂとテーパーシャフト５５のテーパー面５５ａとが相互に摺動する。
【００２９】
ベース部材５１に形成した支持孔５１ｂに支柱６１の下端が嵌合し、支柱６１の下部に設けたフランジ６１ａが複数本のボルト６２…でベース部材５１に固定される。支柱６１の上端に円板状の基準遮蔽体６３が一体に設けられており、その基準遮蔽体６３の外周面は各々のタービンブレード４２のブレード本体部４２ａの先端に僅かな隙間αを介して対向する。隙間αは１８枚のブレード本体部４２ａ…について均一ではなく、軸線Ｌを中心とするブレード本体部４２ａの半径が大きいときに隙間αは小さくなり、ブレード本体部４２ａの半径が小さいときに隙間αは大きくなる。
【００３０】
ベース部材５１の上面に一対の支柱６４，６５が共通のボルト６６，６６で固定されており、一方の支柱６４の上端にレーザー送光部６７が設けられ、他方の支柱６５の上端にレーザー受光部６８が設けられる。レーザー送光部６７およびレーザー受光部６８は、基準遮蔽体６３およびブレード本体部４２ａ間の隙間αを挟んで、高圧タービンホイール１７の接線方向の両側に相互に対向するように配置される。
【００３１】
センターシャフト５２を挟んで基準遮蔽体６３と反対側の位置において、ベース部材５１の上面にボルト６９，６９を介して支柱７０が立設されており、その支柱の上端に光電スイッチよりなる第１リミットスイッチ７１および第２リミットスイッチ７２が設けられる。図４に示すように、第１リミットスイッチ７１および第２リミットスイッチ７２は高圧タービンホイール１７のブレード本体部４２ａの先端に対向する位置に配置されており、高圧タービンホイール１７が図３および図４の矢印Ａ方向に回転するとき、第１リミットスイッチ７１は各々のブレード本体部４２ａの回転方向前端を検知し、第２リミットスイッチ７２は各々のブレード本体部４２ａの回転方向後端を検知する。
【００３２】
図６に示すように、第１リミットスイッチ７１および第２リミットスイッチ７２はレーザー送光部６７に接続されており、レーザー受光部６８および第２リミットスイッチ７２はパソコン等のデータ処理機７３に接続される。
【００３３】
次に、上記構成を備えた本発明の実施例の作用について説明する。
【００３４】
図２および図３に示すように高圧タービンホイール１７を測定装置にセットした状態で、手動あるいは適宜のアクチュエータで高圧タービンホイール１７を図３および図４の矢印Ａ方向に回転させる。所定のブレード本体部４２ａの回転方向前端が第１リミットスイッチ７１により検知されると、送光開始信号によりレーザー送光部６７はレーザー受光部６８に向けてレーザー光の送光を開始し、前記ブレード本体部４２ａの回転方向後端が第２リミットスイッチ７２により検知されると、送光終了信号によりレーザー送光部６７はレーザー受光部６８へのレーザー光の送光を停止する。レーザー光が送光されている期間に、他の所定のブレード本体部４２ａは基準遮蔽体６３の近傍を通過するようにレーザー送光部６７およびレーザー受光部６８の間を回転する。
【００３５】
図５から明らかなように、レーザー送光部６７から送光されるレーザー光の幅は所定幅（例えば、５．０ｍｍ）であり、その一部は基準遮蔽体６３によって遮られ、他の一部はブレード本体部４２ａによって遮られる。レーザー送光部６７と基準遮蔽体６３との位置関係は一定であるため、基準遮蔽体６３によって遮られる光量は一定であるが、回転するブレード本体部４２ａによって遮られる光量は変化する。従って、レーザー受光部６８によって受光される受光量は、ブレード本体部４２ａの半径方向先端が基準遮蔽体６３の外周面に最も接近して隙間αが最小値αｍｉｎになったときに最小になる。
【００３６】
レーザー送光部６７からレーザー光が送光されている期間、レーザー受光部６８で受光された受光量のデータはデータ処理機７３に入力され、第２リミットスイッチ７２からの送光終了信号でレーザー送光部６７がレーザー光の送光を停止したとき、第２リミットスイッチ７２からのトリガ了信号で前記期間における最小受光量のデータがデータ処理機７３に記憶される。このようにして、高圧タービンホイール１７が１回転して１８枚全てのブレード本体部４２ａ…に対応した最小受光量のデータが記憶されると、その１８個の最小受光量のデータのうちの最小のデータが得られたブレード本体部４２ａが、１８枚のブレード本体部４２ａのうちで最大の半径を有することになる。センターシャフト５２の軸線Ｌから基準遮蔽体６３の表面までの所定距離Ｒ（図５参照）は既知であるから、前記最小のデータに対応する隙間αの最小値αｍｉｎを前記所定距離Ｒから減算した値（Ｒ−αｍｉｎ）が高圧タービンホイール１７の最大半径となる。
【００３７】
以上のように、高圧タービンホイール１７をセンターシャフト５２まわりに１回転させるだけで、高圧タービンホイール１７の各々のブレード本体部４２ａがレーザー送光部６７およびレーザー受光部６８の間に存在する期間だけレーザー光が送光され、その期間の最小受光量に基づいて隙間αの最小値αｍｉｎが自動的に算出されるので、各々のブレード本体部４２ａの半径を簡単かつ精密に測定することができる。そして各々のブレード本体部４２ａの半径を記憶しておき、そのうちから最大のものを選択することで高圧タービンホイール１７の最大半径を算出することができる。
【００３８】
しかも高圧タービンホイール１７のブレード本体部４２ａ…が基準遮蔽体６３の近傍を通過する所定期間におけるレーザー光の最小受光量に基づいて隙間αの最小値αｍｉｎを算出するので、レーザー光の送光タイミングによって前記最小値αｍｉｎに誤差が発生することがなく、極めて精密な測定が可能になる。またレーザー光を用いて非接触で測定を行うので、高圧タービンホイール１７の損傷を防止できるだけでなく、高圧タービンホイール１７の材質によって測定が妨げられることがないので汎用性が高められる。
【００３９】
更に、第１、第２リミットスイッチ７１，７２がレーザー送光部６７およびレーザー受光部６８と異なる角度位置に配置されているので、第１、第２リミットスイッチ７１，７２がレーザー送光部６７およびレーザー受光部６８と干渉することがなく、レイアウトの自由度が増加する。また高圧タービンホイール１７の複数のブレード本体部４２ａ…が回転対称な位置にあるため、第１、第２リミットスイッチ７１，７２が何れかのブレード本体部４２ａを検知したときに、他の何れかのブレード本体部４２ａをレーザー送光部６７およびレーザー受光部６８間に確実に位置させることができる。
【００４０】
このようにして高圧タービンホイール１７のブレード本体部４２ａ…の最大半径を算出することができるので、ブレード本体部４２ａ…とシュラウドとの間のクリアランスの大きさを確実に把握することができる。
【００４１】
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更を行うことが可能である。
【００４２】
例えば、実施例では第１、第２リミットスイッチ７１，７２として非接触型の光電スイッチを採用したが、それに代えて接触型の機械式リミットスイッチを採用することができる。
【００４３】
また実施例では高圧タービンホイール１７のブレード本体部４２ａ…の半径の測定を例示したが、本発明は軸線を中心に回転する任意のワークの先端部の半径の測定に適用することができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上のように請求項１に記載された発明によれば、センターシャフトに支持されて軸線まわりに回転するワークの先端部が基準遮蔽体の近傍を通過するときに、レーザー送光部から出たレーザー光が隙間を通過してレーザー受光部に達する受光状態に基づいてワークの先端部と基準遮蔽体との隙間の最小値を算出するので、その隙間の最小値を非接触で算出してワークの損傷を防止することができる。またワークの回転に伴って何れかの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置したことを検知手段が検知する度に、レーザー光の送光を制御するとともに隙間の最小値を算出するので、ワークを回転させるだけで複数の先端部に対応する隙間の最小値を自動的に、かつ漏れなく算出することができる。更に各々の先端部に対応する隙間の最小値のうちの最も小さい値からワークの最大半径を算出するので、ワークの最大半径を確実に算出することができる。しかもレーザー光を用いているのでワークの材質によって測定が妨げられることがなく、汎用性が高められる。
【００４５】
また請求項２に記載された発明によれば、検知手段がレーザー送光部およびレーザー受光部と異なる角度位置に配置されているので、検知手段がレーザー送光部およびレーザー受光部と干渉しないようにしてレイアウトの自由度を増加させながら、ワークの複数の先端部が回転対称な位置にあることにより、検知手段が何れかの先端部を検知したときに、他の何れかの先端部をレーザー送光部およびレーザー受光部間に確実に位置させることができる。
【００４６】
また請求項３に記載された発明によれば、ワークの先端部がレーザー送光部およびレーザー受光部間に位置する所定の期間に亘ってレーザー光を送光し、その期間における最小受光量に基づいてワークの先端部と基準遮蔽体との隙間の最小値を算出するので、ワークの回転に伴って隙間の大きさが変動しても、その隙間の最小値を精密に算出することができる。
【００４７】
また請求項４に記載された発明によれば、タービンホイールのブレード本体部の最大半径を算出することができるので、ブレード本体部とシュラウドとの間のクリアランスの大きさを確実に把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ターボファンエンジンの全体構造を説明する図
【図２】  測定装置の全体側面図
【図３】  図２の３−３線断面図
【図４】  図３の要部拡大図
【図５】  隙間測定の作用説明図
【図６】  測定装置の制御系のブロック図
【符号の説明】
１７        タービンホイール（高圧タービンホイール、ワーク）
４２ａ      ブレード本体部（先端部）
５１        ベース部材
５２        センターシャフト
６３        基準遮蔽体
６７        レーザー送光部
６８        レーザー受光部
７１        第１リミットスイッチ（検知手段）
７２        第２リミットスイッチ（検知手段）
７３        データ処理機（制御手段）
Ｌ          軸線
Ｒ          所定距離
α          隙間
αｍｉｎ    隙間の最小値
【図１】
0003901569.tif 000002
【図２】
0003901569.tif 000003
【図３】
0003901569.tif 000004
【図４】
0003901569.tif 000005
【図５】
0003901569.tif 000006
【図６】
0003901569.tif 000007