(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
締付部材に継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路に対し前記締付部材の流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、
前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイプと前記締付部材が挟持すること、
前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する表面が凹凸面であることを特徴とする管継手。
【請求項２】
請求項１に記載する管継手において、
前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴とする管継手。
【請求項３】
請求項１に記載する管継手において、
前記凹凸面を突起物で形成したことを特徴とする管継手。
【請求項４】
締付部材と継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、
前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイプ同士が挟持すること、
前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する表面が凹凸面であることを特徴とする管継手。
【請求項５】
請求項４に記載する管継手において、
前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴とする管継手。
【請求項６】
請求項４に記載する管継手において、
前記凹凸面を突起物で形成したことを特徴とする管継手。
【請求項７】
締付部材に継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路に対し前記締付部材の流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、
前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを楔部材によりはめあわせること
によって、前記継手本体の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前記楔部材と前記締付部材によって、前記流路の連結面の前記パイプの挟持する位置より外周側で前記ガスケットを挟持することを特徴とする管継手。
【請求項８】
締付部材と継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、
前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを楔部材によりはめあわせることによって、前記継手本体の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前記楔部材によって、前記流路の連結面の前記パイプの挟持する位置より外周側で前記ガスケットを挟持することを特徴とする管継手。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用ガスの配管ラインに使用される管継手に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置における半導体用ガスの配管ラインでは、例えば、図１０に示すような管継手１００を使用していた。ここでは、図１０の管継手１００について説明する。パイプ１０２には、スラスト軸受であるアウターフェルール１０４が嵌通されている。さらに、パイプ１０２には、楔部材であるインナーフェルール１０３が装着されている。かかるインナーフェルール１０３は、パイプ１０２の外周に形成された溝に係合するとともに、パイプ１０２とアウターフェルール１０４とをはめあわせている。
【０００３】
従って、締付部材１０６に継手本体１０５を螺合させて、継手本体１０５の内側がアウターフェルール１０４を押圧しても、パイプ１０２は継手本体１０５の内部を無転状態で移動することができる。また、このとき、インナーフェルール１０３がくさび形状であることから、パイプ１０２とアウターフェルール１０４とのはめあいを確実にすることができる。
【０００４】
そして、締付部材１０６に対して継手本体１０５が締め付けられると、継手本体１０５の内部を無転状態で移動するパイプ１０２が、ホルダー１０８を介して締付部材１０６に取り付けられたガスケット１０９を、押しつぶした状態にする。
【０００５】
これにより、図１０の管継手１００は、パイプ１０１の流路１０２に対し締付部材１０６の流路１０７を連結させることができる。また、流路１０２、１０７の連結面においては、ガスケット１０９がパイプ１０１と締付部材１０６によって挟持されているので、流路１０２、１０７の連結面からの漏れを防止することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１０の管継手１００においては、パイプ１０１とガスケット１０９の摩擦力のみでパイプ１０１の回転を防止しているので、半導体製造装置のコンパクト化の要請に伴って、管継手１００の小型化やパイプ１０１の小径化がさらに進むようになると（例えば、パイプ１０１の径を、６．３５ｍｍから３．１７５ｍｍに小径化する要請がある）、比較的低い回転トルクがパイプ１０１に作用するだけで、パイプ１０１が回転するおそれがあり、そのため、パイプ１０１がガスケット１０９に対し摺動し、流路１０２、１０７の連結面から漏れが発生するおそれがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、比較的低い回転トルクが作用しても、小径化されたパイプがガスケットに対し摺動することがない管継手を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために成された請求項１に係る管継手は、締付部材に継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路に対し前記締付部材の流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手であって、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイプと前記締付部材が挟持すること、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する表面が凹凸面であることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に係る管継手は、請求項１に記載する管継手であって、前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴とする。
また、請求項３に係る管継手は、請求項１に記載する管継手であって、前記凹凸面を突起物で形成したことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に係る管継手は、締付部材と継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを前記パイプ同士が挟持すること、前記流路の連結面の外周側で前記ガスケットを挟持する表面が凹凸面であることを特徴とする。
また、請求項５に係る管継手は、請求項４に記載する管継手であって、前記凹凸面をスリットで形成したことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に係る管継手は、請求項４に記載する管継手であって、前記凹凸面を突起物で形成したことを特徴とする。
また、請求項７に係る管継手は、締付部材に継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路に対し前記締付部材の流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを楔部材によりはめあわせることによって、前記継手本体の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前記楔部材と前記締付部材によって、前記流路の連結面の前記パイプの挟持する位置より外周側で前記ガスケットを挟持することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項８に係る管継手は、締付部材と継手本体を螺合させることによって、前記継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結させるとともに、前記流路の連結面でガスケットを挟持することによって、前記流路の連結面からの漏れを防止する管継手において、前記継手本体に内在するスラスト軸受と前記パイプとを楔部材によりはめあわせることによって、前記継手本体の内部を前記パイプが無転状態で移動するとともに、前記楔部材によって、前記流路の連結面の前記パイプの挟持する位置より外周側で前記ガスケットを挟持することを特徴とする。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【００２０】
このような特定事項を有する本発明の管継手では、締付部材に継手本体を螺合させることによって、継手本体の内部を無転状態で移動するパイプの流路に対し締付部材の流路を連結させるものである。あるいは、締付部材と継手本体を螺合させることによって、継手本体の内部を無転状態で移動する２本のパイプの流路を連結させるものである。これらにおいては、流路の連結面からの漏れを防止するために、流路の連結面において、ガスケットを挟持している。
【００２１】
このとき、流路の連結面の外周側においても、パイプと締付部材で、あるいは、２本のパイプ同士で、ガスケットを挟持している。従って、パイプに回転トルクが作用した場合には、流路の連結面において、さらに、流路の連結面の外周側において、パイプとガスケットの間に生じる摩擦力で、パイプの回転を防止することとなる。
【００２２】
一方、従来技術のものにおいては、流路の連結面において、パイプとガスケットの間に生じる摩擦力のみで、パイプの回転を防止している。よって、本発明の管継手においては、従来技術のものと比べて、パイプの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作用させることができる回転トルクの最大値）を、流路の連結面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じる摩擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、増加させることができる。
【００２３】
従って、パイプの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分は、流路の連結面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じる摩擦力の大きさにも依存することになるので、流路の連結面の外周側でガスケットを挟持する表面を、平面にして接触面積を増加させたり、凹凸面にしてガスケットに対し係り合いを生じさせたりすることによって、パイプの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分を大きくさせることができる。
【００２４】
すなわち、本発明の管継手では、流路の連結面において、さらに、流路の連結面の外周側において、パイプとガスケットの間に生じる摩擦力で、パイプの回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路の連結面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じる摩擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプが回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプがガスケットに対し摺動することはない。
【００２５】
また、流路の連結面でガスケットを挟持した後に、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを挟持するようにすれば、締付部材と継手本体を締め付けた際において、締付トルクの増加によって、流路の連結面でガスケットを挟持した時点、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを挟持した時点を判断することができるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図３は、第１の実施の形態の管継手１０の分解組立図である。第１の実施の形態の管継手１０は、パイプ１１の流路１２（図１、図２参照）と締付部材１６の流路１７（図１、図２参照）を連結するものであって、楔部材であるインナーフェルール１３、スラスト軸受であるアウターフェルール１４、継手本体１５、締付部材１６、ホルダー１８、金属製のガスケット１９などからなる。
【００２７】
また、図２は、第１の実施の形態の管継手１０の断面図である。第１の実施の形態の管継手１０では、パイプ１１に対し、アウターフェルール１４が嵌通されている。さらに、パイプ１１には、インナーフェルール１３が装着されている。かかるインナーフェルール１３は、パイプ１１の外周に形成された溝に係合するとともに、パイプ１１とアウターフェルール１４とをはめあわせている。
【００２８】
従って、締付部材１６に継手本体１５を螺合させて、継手本体１５の内側がアウターフェルール１４を押圧しても、パイプ１１は継手本体１５の内部を無転状態で移動することができる。また、このとき、インナーフェルール１３がくさび形状であることから、パイプ１１とアウターフェルール１４とのはめあいを確実にすることができる。
【００２９】
そして、締付部材１６に継手本体１５を螺合させ続けると、図２に示すように、継手本体１５の内部をパイプ１１が無転状態で移動し、ホルダー１８を介してパイプ１１に取り付けられたガスケット１９が、締付部材１６と当接する。尚、図３においては、ガスケット１９は、ホルダー１８を介して、締付部材１６に取り付けられるが、どちらに取り付けてもかまわない。
【００３０】
さらに、締付部材１６に継手本体１５を螺合させ続けると、図１に示すように、パイプ１１と締付部材１６で、ガスケット１９を押しつぶした状態にすることができるので（図１参照）、パイプ１１の流路１２に対し締付部材１６の流路１７を連結させることができる。このとき、流路１２、１７の連結面においては、ガスケット１９がパイプ１１と締付部材１６によって挟持されているので、流路１２、１７の連結面からの漏れを防止することができる。また、さらに、締付部材１６に継手本体１５を螺合させ続けると、流路１２、１７の連結面の外周側で、ガスケット１９をインナーフェルール１３と締付部材１６によって挟持する。
【００３１】
インナーフェルール１３は、上述したように、パイプ１１とアウターフェルール１４とのはめあいを確実にするものであり、締付部材１６に継手本体１５を締め付けた際には、パイプ１１を握りしめるように支持することから、パイプ１１に固定化された状態にある。従って、パイプ１１に大きな回転トルクが作用しても、インナーフェルール１３は、パイプ１１に対して摺動することはない。
【００３２】
また、インナーフェルール１３の断面図である図４や、インナーフェルール１３の正面図（図３の矢視Ｐから見たもの）である図５が示すように、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を締付部材１６とともに挟持するインナーフェルール１３の表面は、スリット２１によって、凹凸面２２になっている。
【００３３】
以上詳細に説明したように、第１実施の形態の管継手１０では、締付部材１６に継手本体１５を螺合させることによって、継手本体１５の内部を無転状態で移動するパイプ１１の流路１２に対し締付部材１６の流路１７を連結させるものである。そして、流路１２、１７の連結面からの漏れを防止するために、流路１２、１７の連結面において、ガスケット１９を挟持している。
【００３４】
このとき、流路１２、１７の連結面の外周側においても、パイプ１１に握着されたインナーフェルール１３と締付部材１７で、ガスケット１９を挟持している。従って、パイプ１１に回転トルクが作用した場合には、流路１２、１７の連結面において、パイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力で、さらに、流路１２、１７の連結面の外周側において、インナーフェルール１３を介してパイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力で、パイプ１１の回転を防止することとなる。
【００３５】
一方、従来技術の管継手１００（図１０参照）においては、流路１０２、１０７の連結面において、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よって、第１実施の形態の管継手１０においては、従来技術の管継手１００と比べて、パイプ１１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ１１に作用させることができる回転トルクの最大値）を、流路１２、１７の連結面の外周側においてインナーフェルール１３を介してパイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力に、パイプ１１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、増加させることができる。
【００３６】
従って、パイプ１１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ１１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分は、流路１２、１７の連結面の外周側においてインナーフェルール１３を介してパイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力の大きさにも依存することになるので、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を挟持するインナーフェルール１３の表面を、凹凸面２２にしてガスケット１９に対し係り合いを生じさせることによって、パイプ１１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ１１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分を大きくさせている。
【００３７】
すなわち、第１実施の形態の管継手１０では、流路１２、１７の連結面において、さらに、流路１２、１７の連結面の外周側において、パイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力で、パイプ１１の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路１２、１７の連結面の外周側においてパイプ１１とガスケット１９の間に生じる摩擦力に、パイプ１１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプ１１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ１１に作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプ１１がガスケット１９に対し摺動することはない。
【００３８】
また、流路１２、１７の連結面でガスケット１９を挟持した後に、さらに、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を挟持するようにしているので、締付部材１６と継手本体１５を締め付けた際において、締付トルクの増加によって、流路１２、１７の連結面でガスケット１９を挟持した時点、さらに、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を挟持した時点を判断することができるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることができる。
【００３９】
次に、第２の実施の形態の管継手について説明する。図６は、第２の実施の形態の管継手３０の断面図である。第２の実施の形態の管継手３０は、パイプ３１の流路３２とパイプ３６の流路３７を連結するものであって、楔部材であるインナーフェルール３３、３９、スラスト軸受であるアウターフェルール３４、３８、継手本体３５、締付部材４２、ホルダー４０、金属製のガスケット４１などからなる。
【００４０】
また、第２の実施の形態の管継手３０では、パイプ３１に対し、アウターフェルール３４が嵌通されている。さらに、パイプ３１には、インナーフェルール３３が装着されている。かかるインナーフェルール３３は、パイプ３１の外周に形成された溝に係合するとともに、パイプ３１とアウターフェルール３４とをはめあわせている。
【００４１】
従って、締付部材４２と継手本体３５を螺合させて、継手本体３５の内側がアウターフェルール３４を押圧しても、パイプ３１は継手本体３５の内部を無転状態で移動することができる。また、このとき、インナーフェルール３３がくさび形状であることから、パイプ３１とアウターフェルール３４とのはめあいを確実にすることができる。
【００４２】
また、同様にして、パイプ３６に対し、アウターフェルール３８が嵌通されている。さらに、パイプ３６には、インナーフェルール３９が装着されている。かかるインナーフェルール３９は、パイプ３６の外周に形成された溝に係合するとともに、パイプ３６とアウターフェルール３８とをはめあわせている。
【００４３】
従って、締付部材４２と継手本体３５を螺合させて、締付部材４２の内側がアウターフェルール３８を押圧しても、パイプ３６は継手本体３５の内部を無転状態で移動することができる。また、このとき、インナーフェルール３８がくさび形状であることから、パイプ３６とアウターフェルール３８とのはめあいを確実にすることができる。
【００４４】
そして、第２の実施の形態の管継手３０では、締付部材４２と継手本体３５を螺合させ続けると、図６に示すように、継手本体３５の内部をパイプ３１、３６が無転状態で移動し、ホルダー１８を介してパイプ３１に取り付けられたガスケット４１が、パイプ３６と当接する。
【００４５】
さらに、締付部材４２と継手本体３５を螺合させ続けると、図示はしないが、２本のパイプ３１、３６で、ガスケット４１を押しつぶした状態にすることができるので、パイプ３１の流路３２に対しパイプ３６の流路３７を連結させることができる。このとき、流路３２、３７の連結面においては、ガスケット４１が２本のパイプ３１、３６によって挟持されているので、流路３２、３７の連結面からの漏れを防止することができる。また、さらに、締付部材４２と継手本体３５を螺合させ続けると、流路３２、３７の連結面の外周側で、ガスケット４１を２つのインナーフェルール３３、３９によって挟持する。
【００４６】
インナーフェルール３３は、上述したように、パイプ３１とアウターフェルール３４とのはめあいを確実にするものであり、締付部材４２に継手本体３５を締め付けた際には、パイプ３１を握りしめるように支持することから、パイプ３１に固定化された状態にある。従って、パイプ３１に大きな回転トルクが作用しても、インナーフェルール３３は、パイプ３１に対して摺動することはない。
【００４７】
同様にして、インナーフェルール３９は、上述したように、パイプ３６とアウターフェルール３８とのはめあいを確実にするものであり、締付部材４２に継手本体３５を締め付けた際には、パイプ３６を握りしめるように支持することから、パイプ３６に固定化された状態にある。従って、パイプ３６に大きな回転トルクが作用しても、インナーフェルール３９は、パイプ３６に対して摺動することはない。
【００４８】
尚、２つのインナーフェルール３３、３９は、第１実施の形態のインナーフェルール１３と同様なものである。
【００４９】
以上詳細に説明したように、第２実施の形態の管継手３０では、締付部材４２と継手本体３５を螺合させることによって、継手本体３５の内部を無転状態で移動する２本のパイプ３１、３６の流路３２、３７を連結させるものである。そして、流路３２、３７の連結面からの漏れを防止するために、流路３２、３７の連結面において、ガスケット４１を挟持している。
【００５０】
このとき、流路３２、３７の連結面の外周側においても、パイプ３１に握着されたインナーフェルール３３とパイプ３６に握着されたインナーフェルール３９で、ガスケット４１を挟持している。従って、パイプ３１に回転トルクが作用した場合には、流路３２、３７の連結面において、パイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力で、さらに、流路３２、３７の連結面の外周側において、インナーフェルール３３を介してパイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ３１の回転を防止することとなる。
【００５１】
一方、従来技術の管継手１００（図１０参照）においては、流路１０２、１０７の連結面において、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よって、第２実施の形態の管継手３０においては、従来技術の管継手１００と比べて、パイプ３１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３１に作用させることができる回転トルクの最大値）を、流路３２、３７の連結面の外周側においてインナーフェルール３３を介してパイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力に、パイプ３１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、増加させることができる。
【００５２】
従って、パイプ３１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分は、流路３２、３７の連結面の外周側においてインナーフェルール３３を介してパイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力の大きさにも依存することになるので、流路３２、３７の連結面の外周側でガスケット４１を挟持するインナーフェルール３３の表面を、凹凸面にしてガスケット４１に対し係り合いを生じさせることによって、パイプ３１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分を大きくさせている。
【００５３】
尚、パイプ３６に回転トルクが作用した場合においても、同様なことが言える。
【００５４】
すなわち、第２実施の形態の管継手３０では、流路３２、３７の連結面において、さらに、流路３２、３７の連結面の外周側において、パイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ３１の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路３２、３７の連結面の外周側においてパイプ３１とガスケット４１の間に生じる摩擦力に、パイプ３１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプ３１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３１に作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプ３１がガスケット４１に対し摺動することはない。
【００５５】
同様にして、第２実施の形態の管継手３０では、流路３２、３７の連結面において、さらに、流路３２、３７の連結面の外周側において、パイプ３６とガスケット４１の間に生じる摩擦力で、パイプ３６の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路３２、３７の連結面の外周側においてパイプ３６とガスケット４１の間に生じる摩擦力に、パイプ３６の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプ３６の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ３６に作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプ３６がガスケット４１に対し摺動することはない。
【００５６】
また、流路３２、３７の連結面でガスケット４１を挟持した後に、さらに、流路３２、３７の連結面の外周側でガスケット４１を挟持するようにしているので、締付部材４２と継手本体３５を締め付けた際において、締付トルクの増加によって、流路３２、３７の連結面でガスケット４１を挟持した時点、さらに、流路３２、３７の連結面の外周側でガスケット４１を挟持した時点を判断することができるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることができる。
【００５７】
次に、第３の実施の形態の管継手について説明する。図７は、第３の実施の形態の管継手５０の断面図である。第３の実施の形態の管継手５０は、パイプ５１の流路５２とパイプ５６の流路５７を連結するものであって、パイプ５１、５６と一体にある挟持部材５３、５９、スラスト軸受であるアウターフェルール５４、継手本体５５、締付部材６１、ホルダー５９、金属製のガスケット６０などからなる。
【００５８】
また、第３の実施の形態の管継手５０は、パイプ５１の流路５２とパイプ５６の流路５７が、他のパイプ６２、６３の流路６４、６５と溶接によって連結されるものである。
【００５９】
また、第３の実施の形態の管継手５０では、パイプ５１に対し、アウターフェルール５４が嵌通されている。従って、締付部材６１と継手本体５５を螺合させて、継手本体５５の内側がアウターフェルール５４を押圧しても、パイプ５１は継手本体５５の内部を無転状態で移動することができる。
【００６０】
そして、第３の実施の形態の管継手５０では、締付部材６１と継手本体５５を螺合させ続けると、図示しないが、継手本体５５の内部をパイプ５１が無転状態で移動し、ホルダー５９を介してパイプ５１に取り付けられたガスケット６０が、パイプ５６と当接する。
【００６１】
さらに、締付部材６１と継手本体５５を螺合させ続けると、図７に示すように、２本のパイプ５１、５６で、ガスケット６０を押しつぶした状態にすることができるので、パイプ５１の流路５２に対しパイプ５６の流路５７を連結させることができる。このとき、流路５２、５７の連結面においては、ガスケット６０が２本のパイプ５１、５６によって挟持されているので、流路５２、５７の連結面からの漏れを防止することができる。また、さらに、締付部材６１と継手本体５５を螺合させ続けると、流路５２、５７の連結面の外周側で、ガスケット６０を２つの挟持部材５３、５８によって挟持する。
【００６２】
挟持部材５３は、上述したように、パイプ５１と一体である。従って、挟持部材５３は、パイプ５１と一体に運動する。同様にして、挟持部材５８は、上述したように、パイプ５６と一体である。従って、挟持部材５３は、パイプ５６と一体に運動する。尚、２つの挟持部材５３は、第１実施の形態のインナーフェルール１３と同様な凹凸面を有し、かかる凹凸面はスリットによって形成されている。
【００６３】
以上詳細に説明したように、第３実施の形態の管継手５０では、締付部材６１と継手本体５５を螺合させることによって、継手本体５５の内部を無転状態で移動する２本のパイプ５１、５６の流路５２、５７を連結させるものである。そして、流路５２、５７の連結面からの漏れを防止するために、流路５２、５７の連結面において、ガスケット６０を挟持している。
【００６４】
このとき、流路５２、５７の連結面の外周側においても、パイプ５１と一体にある挟持部材５３とパイプ５６と一体にある挟持部材５８で、ガスケット６０を挟持している。従って、パイプ５１に回転トルクが作用した場合には、流路５２、５７の連結面において、パイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力で、さらに、流路５２、５７の連結面の外周側において、挟持部材５３を介してパイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力で、パイプ５１の回転を防止することとなる。
【００６５】
一方、従来技術の管継手１００（図１０参照）においては、流路１０２、１０７の連結面において、パイプ１０１とガスケット１０９の間に生じる摩擦力のみで、パイプ１０１の回転を防止している。よって、第３実施の形態の管継手５０においては、従来技術の管継手１００と比べて、パイプ５１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ５１に作用させることができる回転トルクの最大値）を、流路５２、５７の連結面の外周側において挟持部材５３を介してパイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、増加させることができる。
【００６６】
従って、パイプ５１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ５１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分は、流路５２、５７の連結面の外周側において挟持部材５３を介してパイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力の大きさにも依存することになるので、流路５２、５７の連結面の外周側でガスケット６０を挟持する挟持部材５３の表面を、凹凸面にしてガスケット６０に対し係り合いを生じさせることによって、パイプ５１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ５１に作用させることができる回転トルクの最大値）の増加分を大きくさせている。
【００６７】
尚、パイプ５６に回転トルクが作用した場合においても、同様なことが言える。
【００６８】
すなわち、第３実施の形態の管継手５０では、流路５２、５７の連結面において、さらに、流路５２、５７の連結面の外周側において、パイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力で、パイプ５１の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路５２、５７の連結面の外周側においてパイプ５１とガスケット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５１の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプ５１の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ５１に作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプ５１がガスケット６０に対し摺動することはない。
【００６９】
同様にして、第３実施の形態の管継手５０では、流路５２、５７の連結面において、さらに、流路５２、５７の連結面の外周側において、パイプ５６とガスケット６０の間に生じる摩擦力で、パイプ５６の回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路５２、５７の連結面の外周側においてパイプ５６とガスケット６０の間に生じる摩擦力に、パイプ５６の回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプ５６の回転を防止できる限界値（回転させずにパイプ５６に作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプ１０１が回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプ５６がガスケット６０に対し摺動することはない。
【００７０】
また、流路５２、５７の連結面でガスケット６０を挟持した後に、さらに、流路５２、５７の連結面の外周側でガスケット６０を挟持するようにしているので、締付部材６１と継手本体５５を締め付けた際において、締付トルクの増加によって、流路５２、５７の連結面でガスケット６０を挟持した時点、さらに、流路５２、５７の連結面の外周側でガスケット６０を挟持した時点を判断することができるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることができる。
【００７１】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、第１実施の形態の溶接継手１０は、いわゆる溶接レス継手であって、パイプ１１の流路１２及び締付部材１６の流路１７が他の流路と他の管継手により接続されるものであったが、いわゆる溶接継手であって、パイプ１１の流路１２及び締付部材１６の流路１７が他の流路と溶接により接続されるものでもよい。そして、第１実施の形態の溶接継手１０が溶接継手であるときは、パイプ１１を握着するインナーフェルール１３にかえて、パイプ１１と一体にある挟持部材を用いてもよい。
【００７２】
また、第１実施の形態の溶接継手１０においては、締付部材１６が接続ジョイントであり、又は、流体機器の接続ポートであってもよい。また、パイプ１１が接続ジョイントのものであり、又は、流体機器の接続ポートのものであってもよい。
【００７３】
また、第２実施の形態の溶接継手３０や第３実施の形態の溶接継手５０においては、パイプ３１、３６、５１、５６が、接続ジョイントのものであり、又は、流体機器の接続ポートのものであってもよい。
【００７４】
また、第１実施の形態の溶接継手１０においては、インナーフェルール１３の表面の凹凸面２２をスリット２１によって形成させているが、突起物によって形成させてもよい。また、インナーフェルール７０の断面図である図８や、インナーフェルール７０の正面図（図８の矢視Ｑから見たもの）である図９が示すように、流路１２、１７の連結面の外周側でガスケット１９を締付部材１６とともに挟持する表面が平面７１であるインナーフェルール７０を使用することにより、ガスケット１９との接触面積を増加させてもよい。これらの点については、第２実施の形態の溶接継手３０のインナーフェルール３３、３９や、第３実施の形態の溶接継手５０の挟持部材５３、５８においても、同様なことが言える。
【００７５】
また、第１実施の形態の溶接継手１０、第２実施の形態の溶接継手３０、第３実施の形態の管継手５０は、半導体製造装置における半導体用ガスの配管ラインで使用できるものであるが、その他の配管ラインにおいても使用できるものである。
【００７６】
【発明の効果】
本発明の管継手では、流路の連結面において、さらに、流路の連結面の外周側において、パイプとガスケットの間に生じる摩擦力で、パイプの回転を防止しており、従来技術のものと比べた場合、流路の連結面の外周側においてパイプとガスケットの間に生じる摩擦力に、パイプの回転中心までの距離を乗じることによって得られる値だけ、パイプの回転を防止できる限界値（回転させずにパイプに作用させることができる回転トルクの最大値）を増加させることができるので、比較的低い回転トルク（従来技術において小型化されたパイプが回転するおそれがある値のもの）が作用しても、小径化されたパイプがガスケットに対し摺動することはない。
【００７７】
また、流路の連結面でガスケットを挟持した後に、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを挟持するようにすれば、締付部材と継手本体を締め付けた際において、締付トルクの増加によって、流路の連結面でガスケットを挟持した時点、さらに、流路の連結面の外周側でガスケットを挟持した時点を判断することができるから、作業者に締め付け過ぎを知らせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施の形態の管継手の断面図である。
【図２】  第１実施の形態の管継手の断面図である。
【図３】  第１実施の形態の管継手の分解組立図である。
【図４】  第１実施の形態の管継手のインナーフェルールの断面図である。
【図５】  第１実施の形態の管継手のインナーフェルールの正面図である。
【図６】  第２実施の形態の管継手の断面図である。
【図７】  第３実施の形態の管継手の断面図である。
【図８】  その他の実施の形態の管継手のインナーフェルールの断面図である。
【図９】  その他の実施の形態の管継手のインナーフェルールの正面図である。
【図１０】  従来技術の管継手の断面図である。
【符号の説明】
１０、３０、５０  管継手
１１、３１、３６、５１、５６  パイプ
１２、３２、３７、５２、５６  パイプの流路
１３、３３、３９、７０  インナーフェルール
１４、３４、３８、５４  アウターフェルール
１５、３５、５５  継手本体
１６、４２、６１  締付部材
１７  締付部材の流路
１９、４１、６０  ガスケット
２１  スリット
２２  凹凸面
６２、６３  他のパイプ
６４、６５  他のパイプの流路
７１  平面
【図１】
0004005235.tif 000002
【図２】
0004005235.tif 000003
【図３】
0004005235.tif 000004
【図４】
0004005235.tif 000005
【図５】
0004005235.tif 000006
【図６】
0004005235.tif 000007
【図７】
0004005235.tif 000008
【図８】
0004005235.tif 000009
【図９】
0004005235.tif 000010
【図１０】
0004005235.tif 000011