(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置に接続された操作手段を用いて装置構成機器の動作をマニュアルで操作することができる基板処理装置であって、
前記装置の複数箇所に設けられ、前記操作手段と接続するための接続口と、
前記接続口に接続された操作手段からの操作指示により、指示された装置構成機器を指示された操作内容で動作させる制御部と、
を備え、
前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器は複数存在し、
前記制御部は、各接続口に、マニュアル操作が許容される装置構成機器が関連付けられた対応データを記憶する記憶部を備え、各操作手段によるマニュアル操作は、接続されている接続口に関連付けられた装置構成機器の操作だけが行えるように、前記対応データを参照して制御するとともに、
前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合、各操作手段による前記可動機器のマニュアル操作は、接続されている接続口に応じて分割された移動範囲内の操作だけが行えるように制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記記憶部は、各接続口に、マニュアル操作が許容される可動機器の分割された移動範囲を関連付けたデータを記憶し、
前記制御部はこのデータを参照して可動機器を動作させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、
各接続口ごとに、その接続口に接続された操作手段によるマニュアル操作が許容される装置構成機器を表示するとともに、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合は可動機器の分割された移動範囲を表示する表示手段を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置は、
基板を処理する装置本体と、
この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、
を備え、
前記接続口はキャリアストッカの正面に設けられ、
前記対応データは、前記キャリアストッカ内に設けられ、キャリアを搬送するキャリア搬送ロボットが、前記接続口に関連付けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置は、
基板を処理する装置本体と、
この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、
を備え、
前記装置本体内には、前記一側面と隣り合う側面に沿うように並ぶ複数の処理部と、
前記処理部の上方空間を水平移動し、各処理部に基板を順次搬送する基板搬送ロボットとが配置され、
前記接続口はキャリアストッカの側面外側であって前記基板搬送ロボットの配設側に設けられ、
前記対応データは、前記接続口に前記処理部と前記基板搬送ロボットが関連付けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置は、
基板を処理する装置本体と、
この装置本体の第１側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、
を備え、
前記装置本体内には、前記第１側面と隣り合う第２側面に沿うように並んで設けられる複数の処理部と、前記処理部の上方空間を水平移動し、各処理部に基板を順次搬送する基板搬送ロボットとが配置され、
前記接続口は、前記第２側面外側であって前記第１側面からより遠くにある処理部の配設側に設けられ、
前記対応データは、前記接続口に前記処理部と前記基板搬送ロボットが関連付けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記装置は、
基板を処理する装置本体と、
この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、
を備え、
前記装置本体内であって前記一側面の一端側には、前記キャリアストッカに載置されるキャリアに対して基板の取り出しと収容を行う基板移載ロボットと、前記基板移載ロボットに対して着脱自在に構成される移載ハンドをストックする移載ハンド交換部が配置されており、
前記接続口はキャリアストッカの側面外側であって移載ハンド交換部の配設側に設けられ、
前記対応データは、前記接続口に基板移載ロボットと移載ハンド交換部が関連付けられていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
装置に接続された操作手段を用いて装置構成機器の動作をマニュアルで操作することができる基板処理装置であって、
前記装置の複数箇所に据え付けられる操作手段と、
前記操作手段からの操作指示により、指示された装置構成機器を指示された操作内容で動作させる制御部と、
を備え、
前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器は複数存在し、
前記制御部は、各操作手段に、マニュアル操作が許容される装置構成機器が関連付けられた対応データを記憶する記憶部を備え、各操作手段によるマニュアル操作は、それぞれに関連付けられた装置構成機器の操作だけが行えるように、前記対応データを参照して制御するとともに、
前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合、前記操作手段による前記可動機器のマニュアル操作は、接続されている接続口に応じて分割された移動範囲の操作だけが行えるように制御することを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板などの基板を処理する基板処理装置に係り、特には、メンテナンス作業や、トラブル発生時の緊急処置、停電などで装置が異常停止した後の復旧作業などの際に、基板の搬送や移載、受渡しなどを行う各種のロボットや処理部の構成機器などの装置を構成する装置構成機器の動作を、装置に接続された操作手段を用いて作業者がマニュアルで操作することができる基板処理装置の改良技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の基板処理装置は、通常運転時は、制御部が各装置構成機器を制御して、各処理部への基板の搬送や、各処理部での基板の処理などが自動的に行われる一方で、メンテナンス作業や、トラブル発生時の緊急処置、停電などで装置が異常停止した後の復旧作業などの際に、各種のロボットや処理部の構成機器などの装置を構成する装置構成機器の動作を、装置に接続された操作手段を用いて作業者がマニュアルで操作することができるようにも構成されている。
【０００３】
このような機能を有する従来の装置は、１つの操作手段から装置内の全ての装置構成機器をマニュアル操作できるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、メンテナンス作業や緊急処置、復旧作業などは、複数の作業者が分担して行うことがある。一方で、操作手段で操作する作業者から死角になる場所で動作する装置構成機器も存在する。そのため、従来装置のように１つの操作手段から装置内の全ての装置構成機器をマニュアル操作できるように構成されていると、操作手段で操作する作業者から死角になる場所で作業している作業者に気付かずに、操作手段で操作する作業者から死角になる場所で動作する装置構成機器を動作させることも起こり得、このとき、例えば、ロボットに作業者が挟まれたり、有害な薬液などを作業者に浴びせたりするなどの不測の事故を招くという問題がある。
【０００５】
特に、近年の基板の大型化や処理内容の多様化などに応じて、装置が大型化したり構造が複雑化したりしつつあり、操作手段で操作する作業者から死角になる場所で他の作業者が作業する場合が多くなるとともに、操作手段で操作する作業者から死角になる場所で動作する装置構成機器も多くなり、上述したような不測の事故がより強く懸念される。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、操作手段を用いて装置構成機器をマニュアル操作して行う作業を安全に行うことができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、装置に接続された操作手段を用いて装置構成機器の動作をマニュアルで操作することができる基板処理装置であって、前記装置の複数箇所に設けられ、前記操作手段と接続するための接続口と、前記接続口に接続された操作手段からの操作指示により、指示された装置構成機器を指示された操作内容で動作させる制御部と、を備え、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器は複数存在し、前記制御部は、各接続口に、マニュアル操作が許容される装置構成機器が関連付けられた対応データを記憶する記憶部を備え、各操作手段によるマニュアル操作は、接続されている接続口に関連付けられた装置構成機器の操作だけが行えるように、前記対応データを参照して制御するとともに、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合、各操作手段による前記可動機器のマニュアル操作は、接続されている接続口に応じて分割された移動範囲内の操作だけが行えるように制御することを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載の基板処理装置において、前記記憶部は、各接続口に、マニュアル操作が許容される可動機器の分割された移動範囲を関連付けたデータを記憶し、前記制御部はこのデータを参照して可動機器を動作させることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置において、各接続口ごとに、その接続口に接続された操作手段によるマニュアル操作が許容される装置構成機器を表示するとともに、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合は可動機器の分割された移動範囲を表示する表示手段を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記装置は、基板を処理する装置本体と、この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、を備え、前記接続口はキャリアストッカの正面に設けられ、前記対応データは、前記キャリアストッカ内に設けられ、キャリアを搬送するキャリア搬送ロボットが、前記接続口に関連付けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記装置は、基板を処理する装置本体と、この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、を備え、前記装置本体内には、前記一側面と隣り合う側面に沿うように並ぶ複数の処理部と、前記処理部の上方空間を水平移動し、各処理部に基板を順次搬送する基板搬送ロボットとが配置され、前記接続口はキャリアストッカの側面外側であって前記基板搬送ロボットの配設側に設けられ、前記対応データは、前記接続口に前記処理部と前記基板搬送ロボットが関連付けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記装置は、基板を処理する装置本体と、この装置本体の第１側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、を備え、前記装置本体内には、前記第１側面と隣り合う第２側面に沿うように並んで設けられる複数の処理部と、前記処理部の上方空間を水平移動し、各処理部に基板を順次搬送する基板搬送ロボットとが配置され、前記接続口は、前記第２側面外側であって前記第１側面からより遠くにある処理部の配設側に設けられ、前記対応データは、前記接続口に前記処理部と前記基板搬送ロボットが関連付けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板処理装置において、前記装置は、基板を処理する装置本体と、この装置本体の一側面側に設けられ、複数枚の基板を収容するキャリアの搬送および一時保管をするためのキャリアストッカと、を備え、前記装置本体内であって前記一側面の一端側には、前記キャリアストッカに載置されるキャリアに対して基板の取り出しと収容を行う基板移載ロボットと、前記基板移載ロボットに対して着脱自在に構成される移載ハンドをストックする移載ハンド交換部が配置されており、前記接続口はキャリアストッカの側面外側であって移載ハンド交換部の配設側に設けられ、前記対応データは、前記接続口に基板移載ロボットと移載ハンド交換部が関連付けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、装置に接続された操作手段を用いて装置構成機器の動作をマニュアルで操作することができる基板処理装置であって、前記装置の複数箇所に据え付けられる操作手段と、前記操作手段からの操作指示により、指示された装置構成機器を指示された操作内容で動作させる制御部と、を備え、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器は複数存在し、前記制御部は、各操作手段に、マニュアル操作が許容される装置構成機器が関連付けられた対応データを記憶する記憶部を備え、各操作手段によるマニュアル操作は、それぞれに関連付けられた装置構成機器の操作だけが行えるように、前記対応データを参照して制御するとともに、前記操作手段によるマニュアル操作が行える前記装置構成機器に可動機器が含まれる場合、前記操作手段による前記可動機器のマニュアル操作は、接続されている接続口に応じて分割された移動範囲の操作だけが行えるように制御することを特徴とするものである。
【００１５】
【作用】
請求項１および請求項８に記載の発明の作用は次のとおりである。
複数の操作位置で操作手段によるマニュアル操作が行えるように構成する。
【００１６】
請求項１では、操作手段は、装置に対して着脱自在に接続するものであり、請求項８では、装置に固定された（据え付けられた）ものである。
【００１７】
装置に対して着脱自在に接続する操作手段の場合は、装置側に設けられる操作手段との接続口が装置の複数箇所に設けられ、装置に据え付けられる操作手段の場合は、装置の複数箇所に操作手段が据え付けられて、複数の操作位置で操作手段によるマニュアル操作が行えるように構成する。
【００１８】
そして、各操作位置ごとに操作手段によるマニュアル操作が許容される操作許容範囲を決めて、各操作位置からの操作手段によるマニュアル操作は、それぞれの操作許容範囲内の操作だけが行えるように構成し、各操作位置からそれぞれの操作許容範囲外の操作を禁止する。
【００１９】
この操作許容範囲は、操作位置から作業者が操作する際に死角になったり、または完全に死角にならないまでも例えば一部物影に隠れるなどして見え難いような場所で動作する装置構成機器に対する操作を禁止し、操作位置から作業者が操作する際に視認し得る範囲の装置構成機器だけの操作を許可するように決める。
【００２０】
各操作位置（接続口の配置場所や操作手段の据え付け場所）は、少なくとも、各操作位置の上述したような各操作許容範囲によって、操作手段によるマニュアル操作が行える全ての装置構成機器が網羅されるように決められる。さらに、作業性なども加味して、異なる２ヵ所以上の操作位置の各操作許容範囲を、全く同じ、または、一部が重複するように各操作位置ごとの操作許容範囲を決めてもよい。
【００２１】
また、操作手段によるマニュアル操作が行える装置構成機器が複数存在する場合に、各操作位置ごとの操作許容範囲を、複数の装置構成機器を分割するように決める。すなわち、操作位置から作業者が操作する際に死角になるなどの場所で動作する装置構成機器を除外し、その操作位置から作業者が操作する際に視認し得る範囲の装置構成機器だけをその操作位置に割り当てるようにして、複数の装置構成機器を分割して、各操作位置の操作許容範囲に含める装置構成機器を決める。
【００２２】
また、操作手段によるマニュアル操作が行える装置構成機器に、例えば、移動範囲が比較的広範囲であって、１つの操作位置から作業者が操作する際にその移動範囲に死角ができるような可動機器が含まれる場合の各操作位置ごとの操作許容範囲の決め方に関するもので、各操作位置と可動機器の移動範囲との位置関係などに基づき、可動機器の移動範囲を分割するようにして２つ以上の操作位置の操作許容範囲に割り当て、可動機器の移動において、操作手段で操作する作業者の死角になるなどの移動範囲での可動機器の移動操作を禁止する。
【００２３】
請求項３記載の発明によれば、各操作位置に備えた表示手段にはそれぞれ、操作位置に決められた操作許容範囲が表示され、操作位置で操作できる範囲を作業者に提示する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の一実施例に係る基板処理装置の全体的な構成を示す平面図である。
【００２５】
この実施例装置は、複数枚の基板Ｗ（基板群ＷＧ）を一括して処理することができるバッチ式の処理装置であり、キャリアストッカ１や、基板移載ロボット２、移載ハンド交換部３、姿勢転換ロボット４、基板受渡しロボット５、基板搬送ロボット６、基板搬送ロボット６の挟持機構６ａを洗浄する挟持機構洗浄部７、処理部８Ａ〜８Ｃ、シャッター機構９、操作手段に相当する操作器１０（１０Ａ〜１０Ｄ）、操作器１０を装置に接続するための接続口１１（１１Ａ〜１１Ｄ）、操作器１０による操作のＯＮ／ＯＦＦを切り換える操作切換えスイッチ１２（１２Ａ〜１２Ｄ）、制御部１３などを備えている。
【００２６】
キャリアストッカ１は、複数枚の基板Ｗを収容するキャリアＣを搬送したり、一時保管したりするためのもので、キャリアＣを一時的に保管するキャリア保管部（図示せず）や、キャリアＣを搬送するキャリア搬送ロボット２０などを備えている。キャリア搬送ロボット２０は、キャリア保管部と、キャリアＣを搬入／搬出する搬入搬出位置Ｐ１と、基板移載ロボット２がキャリアＣに対する各基板Ｗの取り出し／収容を行う移載位置Ｐ２との間でキャリアＣを搬送する。
【００２７】
また、キャリアストッカ１には、それ以外にも、搬入搬出位置Ｐ１で、キャリアストッカ１に対するキャリアＣの搬入／搬出を行うキャリア搬入搬出ロボットや、キャリア搬送ロボット２０と、移載位置Ｐ２に設けられた図示しないキャリア載置台との間でキャリアを受け渡すキャリア受渡しロボットなどが備えられることもある。
【００２８】
なお、このキャリアストッカ１内では、各基板Ｗが水平姿勢で収納された状態でキャリアＣを扱う。
【００２９】
基板移載ロボット２は、装着されている移載ハンド２１を用いて、移載位置Ｐ２（のキャリア載置台）に置かれたキャリアＣから、未処理の基板Ｗを取り出して姿勢転換ロボット４に引き渡したり、姿勢転換ロボット４から処理済の基板Ｗを受け取って移載位置Ｐ２のキャリアＣに収納したりする複数枚の基板Ｗの移載動作を行う。この基板移載ロボット２による基板Ｗの移載動作も、基板Ｗを水平姿勢にして行われる。
【００３０】
なお、キャリアストッカ１と装置本体側とは、仕切り壁２２で仕切られ、移載位置Ｐ２の部分だけに移載ハンド２１や基板Ｗの出し入れが許容される開口２３が形成されている。また、オペレーションエリアＯＡと、本装置とは仕切り壁２４によって仕切られている。すなわち、仕切り壁２２及び２４によって、オペレーションエリアＯＡやキャリアストッカ１内に居る作業者からは装置本体側が死角になり、一方、装置本体側に居る作業者からはオペレーションエリアＯＡやキャリアストッカ１内は死角になっている。
【００３１】
移載ハンド２１は、基板移載ロボット２に対して着脱自在に構成され、交換用の予備の移載ハンド２１は移載ハンド交換部３にストックされている。移載ハンド２１には、例えば、１つのキャリアＣに収納される全ての基板Ｗを一括して移載するための移載ハンドと、基板Ｗを１枚ずつ移載するための移載ハンドなどが用意され、状況に応じて移載ハンド２１を交換して基板Ｗの移載動作が行われる。なお、基板移載ロボット２に対する移載ハンド２１の交換動作は、自動的に行えるように構成されている。
【００３２】
姿勢転換ロボット４は、複数枚の基板Ｗを平行に並べて保持した状態で水平軸周りで回動させて、各基板Ｗが水平姿勢で垂直方向に並べられた状態と、垂直姿勢で水平方向に並べられた状態との間で姿勢転換する。
【００３３】
基板受渡しロボット５は、垂直姿勢で水平方向に並べられた基板群ＷＧを、姿勢転換ロボット４と基板搬送ロボット６（の挟持機構６ａ）との間で受け渡す。なお、この基板受渡しロボット５による基板Ｗの受渡しや、後述する基板搬送ロボット６による基板Ｗの搬送、各処理部８Ａ〜８Ｃでの処理は、基板Ｗを垂直姿勢にして行われる。
【００３４】
基板搬送ロボット６は、一対の挟持機構６ａや、挟持機構６ａを各処理部８Ａ〜８Ｃの並び方向に水平移動させたり昇降させたりする図示しない移動機構部を備え、垂直姿勢で水平方向に並べられた基板群ＷＧを挟持機構６ａで一括挟持して各処理部８Ａ〜８Ｃの上方空間を水平移動し、各基板Ｗを各処理部８Ａ〜８Ｃに順次搬送し、各処理部８Ａ〜８Ｃに対する基板群ＷＧの受渡しを行う。
【００３５】
挟持機構洗浄部７には、洗浄液を貯留し、その洗浄液内に挟持機構６ａを浸漬させて洗浄する洗浄槽７ａ、７ｂを備えている。また、図示を省略しているが、この挟持機構洗浄部７には、各洗浄槽７ａ、７ｂへ洗浄液を供給する液供給系や、各洗浄槽７ａ、７ｂから洗浄液を排出する排液系、上面に設けられた開閉可能なカバーなども備えられている。
【００３６】
処理部８Ａには、薬液を貯留し、その薬液内に基板群ＷＧを浸漬させて複数枚の基板Ｗを一括して薬液洗浄する処理槽３０Ａと、純水を貯留し、その純水内に基板群ＷＧを浸漬させて複数枚の基板Ｗを一括して純水でリンス洗浄する処理槽３１Ａとが備えられ、処理部８Ｂにも同様に薬液洗浄用の処理槽３０Ｂとリンス洗浄用の処理槽３１Ｂとが備えられている。
【００３７】
また、各処理部８Ａ、８Ｂには、基板群ＷＧを保持し、一括して昇降させるともに水平移動も可能なリフタ３２Ａ、３２Ｂも備えられている。各リフタ３２Ａ（３２Ｂ）は、基板搬送ロボット６の挟持機構６ａから基板群ＷＧを受け取って処理槽３０Ａ（３０Ｂ）と３１Ａ（３１Ｂ）に順次浸漬させ、処理済の基板群ＷＧを処理槽３１Ａ（３１Ｂ）から引き上げて基板搬送ロボット６の挟持機構６ａに引き渡す。
【００３８】
さらに、各処理部８Ａ、８Ｂには、図示を省略しているが、各処理槽３０Ａ、３１Ａ、３０Ｂ、３１Ｂへ薬液や純水を供給する液供給系や、各処理槽３０Ａ、３１Ａ、３０Ｂ、３１Ｂから薬液や純水を排出する排液系、上面に設けられた開閉可能なカバーなども備えられている。
【００３９】
なお、挟持機構洗浄部７や各処理部８Ａ、８Ｂの液供給系や排液系はそれぞれ弁類やポンプなどが備えられ、弁類の開閉やポンプの駆動などにより液の供給や排液などが行われる。
【００４０】
処理部８Ｃは、基板群ＷＧを保持して回転させて乾燥させる処理を行う。この処理部８Ｃには、図示を省略しているが、基板群ＷＧを保持して回転させるローターや、上面に設けられた開閉可能なカバー、基板搬送ロボット６の挟持機構６ａとローターとの間の基板群ＷＧの受渡しを行う基板受渡し機構なども備えられている。
【００４１】
なお、挟持機構洗浄部７や各処理部８Ａ〜８Ｃのカバーは、図示しない開閉機構によって開閉される。
【００４２】
各処理部８Ａ〜８Ｃの上方空間（基板群ＷＧの搬送空間）とメンテナンスエリア４０との間とは仕切り４１が設けられている。この仕切り４１などによって、装置本体側において、基板搬送ロボット６や挟持機構洗浄部７、各処理部８Ａ〜８Ｃなどの側に居る作業者からは、基板移載ロボット２やハンド交換部３、姿勢転換ロボット４、基板受渡しロボット５、メンテナンスエリア４０などの側は死角になり、基板移載ロボット２やハンド交換部３、姿勢転換ロボット４、基板受渡しロボット５、メンテナンスエリア４０などの側に居る作業者からは、基板搬送ロボット６や挟持機構洗浄部７、各処理部８Ａ〜８Ｃなどの側が死角になっている。
【００４３】
シャッター機構９は、処理槽３０Ａの上方空間と処理槽３１Ａの上方空間との間と、処理槽３１Ａの上方空間と処理槽３０Ｂの上方空間との間と、処理槽３０Ｂの上方空間と処理槽３１Ｂの上方空間との間とにそれぞれ、図示しないシャッターを出退させて、基板群ＷＧの搬送時以外は、それぞれの処理槽３０Ａと３１Ａ、３１Ａと３０Ｂ、３０Ｂと３１Ｂの各上方空間で雰囲気が流通するのを遮断する。
【００４４】
以上に説明したように、この実施例装置には、概略、各種のロボット２０、２、４、５、６、３２Ａ、３２Ｂなどや、移載ハンド交換部３、挟持機構洗浄部７や処理部８Ａ〜８Ｃのカバー（の開閉機構）、挟持機構洗浄部７や処理部８Ａ、８Ｂの液供給系、排液系、処理部８Ｃのローター、基板受渡し機構、シャッター機構９などの複数の装置構成機器が備えられている。
【００４５】
本実施例では、４箇所に接続口１１（１１Ａ〜１１Ｄ）を設けている。接続口１１Ａはキャリアストッカ１の正面（オペレーションエリアＯＡ側）に、接続口１１Ｂはキャリアストッカ１の側面外側であって基板搬送ロボット６の配設側に、接続口１１Ｃは装置本体の側面外側であって処理部８Ａの配設側に、接続口１１Ｄはキャリアストッカ１の側面外側であって移載ハンド交換部３の配設側にそれぞれ設けられている。
【００４６】
各操作切換えスイッチ１２（１２Ａ〜１２Ｄ）は、各接続口１１Ａ〜１１Ｄの近傍に設けられている。また、各接続口１１Ａ〜１１Ｄの周辺が操作位置ＳＰ（ＳＰＡ〜ＳＰＤ）になっている。
【００４７】
本実施例では、操作器１０として、装置に備えられた全ての装置構成機器に対する操作指示が行える従来用いられている汎用の操作器１０を用いる場合を例に採り説明する。
【００４８】
この操作器１０は、図２、図３に示すように、操作本体部５０と操作本体部５０から導出された接続コード５１を備えている。接続コード５１の先端側の接続部５２を装置側の所望の接続口１１（１１Ａ〜１１Ｄ）に接続し、その接続口１１近傍の操作切換えスイッチ１２を操作ＯＮに切り換えることで、操作器１０からの指示を後述する制御部１３に与えて、各操作位置でのマニュアル操作が行えるように構成されている。
【００４９】
また、操作本体部５０には、液晶表示器で構成された表示手段に相当する表示部５３や、表示部５３に表示する画面を切り換える表示制御部５４、表示部５３の表示面に装着されたタッチパネルセンサ５５、タッチパネルセンサ５５の押された位置と現在の表示画面とに基づき、押された位置の指示内容を判別して制御部１３に伝える指示内容判別部５６などを備えている。
【００５０】
表示制御部５４は、制御部１３からの指令によって後述する操作位置ごとの操作許容範囲の表示画面を表示部５３に表示するとともに、作業者からの指示（例えば、タッチパネルセンサ５５からの押圧指示）により、上記操作許容範囲の表示画面や各装置構成機器を操作するための各操作画面などの画面の切換えを制御する。
【００５１】
作業者は、マニュアル操作したい装置構成機器を操作するための操作画面を表示部５３に表示させ、指示内容の箇所を押さえることで、選択指示内容を制御部１３に伝えることができる。
【００５２】
さて、本実施例では、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに操作器１０によるマニュアル操作が許容される操作許容範囲を以下のように決めている。
【００５３】
操作位置ＳＰＡの操作許容範囲ＲＡは、図４（ａ）に斜線で示す範囲（キャリアストッカ１）内の装置構成機器（キャリア搬送ロボット２０や、キャリア搬入搬出ロボット、キャリア受渡しロボットなど）からなる範囲とする。すなわち、操作位置ＳＰＡからは、キャリア搬送ロボット２０や、キャリア搬入搬出ロボット、キャリア受渡しロボットなどのキャリアストッカ１内の各ロボット（装置構成機器）の動作をマニュアル操作できるように構成している。
【００５４】
操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢＣは、図４（ｂ）に斜線で示す範囲内の装置構成機器（基板搬送ロボット６、挟持機構洗浄部７の構成機器、各処理部８Ａ〜８Ｃの構成機器、各シャッター機構９）からなる範囲とする。また、本実施例では、操作位置ＳＰＣの操作許容範囲は、上述した操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢＣと全く同じ範囲にしている。すなわち、操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣからは、基板搬送ロボット６の動作や、挟持機構洗浄部７及び各処理部８Ａ〜８Ｃのカバーの開閉、各処理部８Ａ、８Ｂ内のリフタ３２Ａ、３２Ｂの動作、各洗浄槽７ａ、７ｂ、各処理槽３０Ａ、３１Ａ、３０Ｂ、３１Ｂに対する液の供給や排出、処理部８Ｃ内のローターや基板受渡し機構の動作、シャッターの出退などをマニュアル操作できるように構成している。
【００５５】
操作位置ＳＰＤの操作許容範囲ＲＤは、図４（ｃ）に斜線で示す範囲内の装置構成機器（基板移載ロボット２、移載ハンド交換部３、姿勢転換ロボット４、基板受渡しロボット５）からなる範囲とする。すなわち、操作位置ＳＰＤからは、基板移載ロボット２、移載ハンド交換部３、姿勢転換ロボット４、基板受渡しロボット５の動作をマニュアル操作できるように構成している。
【００５６】
図５は、本実施例の制御系の構成を示すブロック図である。
コンピューターなどで構成される制御部１３は、通常運転時、各装置構成機器を制御して、予め決められた手順で各装置構成機器を動作させ、本装置による処理動作を自動的に行う。また、制御部１３は、接続口１１Ａ〜１１Ｄに接続された操作器１０からの操作指示により指示された装置構成機器を指示された操作内容で動作させるように構成され、メンテナンス作業や、トラブル発生時の緊急処置、停電などで装置が異常停止した後の復旧作業などの際に、各装置構成機器の動作を、装置に接続された操作器１０を用いて作業者がマニュアルで操作することができるようにも構成されている。
【００５７】
なお、本実施例では、各接続口１１Ａ〜１１Ｄが配置されている操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに設定される操作作業範囲に関する設定データ、つまり、どの接続口１１Ａ〜１１Ｄが、操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤのうちのどれに対応するかを関連付ける接続口１１Ａ〜１１Ｄと操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤとの対応データを記憶する記憶部が制御部１３に備えられており、制御部１３が、どの接続口１１Ａ〜１１Ｄに接続された操作器１０（どの操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤ）からの操作指示であるかに応じて、上述した操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに決められた操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤ内でマニュアル操作を行えるように制御する。
【００５８】
次に、メンテナンス作業や緊急処置、復旧作業などの際の作業者の作業と、それに伴う装置の動作について説明する。
【００５９】
メンテナンス作業や緊急処置、復旧作業などを行う場合、複数の作業者が分担して作業する。このとき、図４（ａ）に斜線で示す範囲（キャリアストッカ１）内の作業を行う作業者は、接続口１１Ａに操作器１０を接続し、操作切換えスイッチ１２Ａを操作ＯＮに切換える。また、図４（ｂ）に斜線で示す範囲内の作業を行う作業者は、接続口１１Ｂまたは１１Ｃに操作器１０を接続し、操作器１０を接続口１１Ｂに接続したときは、操作切換えスイッチ１２Ｂを操作ＯＮに切換え、操作器１０を接続口１１Ｃに接続したときは、操作切換えスイッチ１２Ｃを操作ＯＮに切換える。さらに、図４（ｃ）に斜線で示す範囲内の作業を行う作業者は、接続口１１Ｄに操作器１０を接続し、操作切換えスイッチ１２Ｄを操作ＯＮに切換える。
【００６０】
これにより、制御部１３は、接続口１１Ａに接続された操作器１０（以下、便宜的にこの操作器を１０Ａとして説明する）に対しては、その接続器１０Ａが操作位置ＳＰＡの操作用であることを指令し、同様に、接続口１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄに接続された操作器１０（以下、同様にこれら操作器を１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄとして説明する）に対しては、それぞれその接続器１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄが操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣ、ＳＰＤの操作用であることを指令する。
【００６１】
この指令を受けると、各操作器１０Ａ〜１０Ｄ内の表示制御部５４は、各々の操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤを示す画面を表示部５３に表示する。この表示画面は、例えば、図４に示すような装置の簡単な平面図を表示するとともに、操作器１０Ａでは図４（ａ）に示す斜線部分を、操作器１０Ｂ、１０Ｃでは図４（ｂ）に示す斜線部分を、操作器１０Ｄでは図４（ｃ）に示す斜線部分を反転表示など強調表示した画面などが例示できる。その他、各操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤ内に含まれる装置構成機器の一覧を文字表示してもよい。
【００６２】
各作業位置で作業する作業者は、自己に近い操作器１０Ａ〜１０Ｄから所望の装置構成機器の動作を行わせるように操作指示を与える。
【００６３】
制御部１３は、操作指示が与えられると、まず、その操作指示を有効とするか否かを判定し、有効と判断した操作指示だけに従って装置構成機器を動作させ、無効と判断した操作指示は無視する。
【００６４】
各操作器１０Ａ〜１０Ｄからの操作指示は制御部１３に個別に与えられ、制御部１３では、どの接続口１１Ａ〜１１Ｄに接続された操作器１０Ａ〜１０Ｄから与えられた操作指示であるかを判別することができる。
【００６５】
そして、制御部１３は、各操作器１０Ａ〜１０Ｄからの操作指示がそれぞれ、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに決められた操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤ内の操作であれば、その操作指示に従って装置構成機器を動作させ、操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤ外の操作であれば、その操作指示を無視する。
【００６６】
例えば、操作器１０Ａからキャリア搬送ロボット２０など操作位置ＳＰＡの操作許容範囲ＲＡ内の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示に従って装置構成機器を動作させ、操作器１０Ａから基板移載ロボット２や基板搬送ロボット６などその操作許容範囲ＲＡ外の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示は無視する。同様に、操作器１０Ｂ、１０Ｃから基板搬送ロボット６など操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢＣ内の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示に従って装置構成機器を動作させ、操作器１０Ｂ、１０Ｃから基板移載ロボット２やキャリア搬送ロボット２０などその操作許容範囲ＲＢＣ外の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示は無視し、操作器１０Ｄから基板移載ロボット２など操作位置ＳＰＤの操作許容範囲ＲＤ内の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示に従って装置構成機器を動作させ、操作器１０Ｄから基板搬送ロボット６やキャリア搬送ロボット２０などその操作許容範囲ＲＤ外の装置構成機器に対する操作指示が与えられれば、その操作指示は無視する。
【００６７】
本実施例では、仕切り壁２２、２４や仕切り４１などによって、操作位置ＳＰＡで操作する作業者からは、装置本体側で作業する作業者や、装置本体内で動作する装置構成機器は死角になっており、また、操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣで操作する作業者からは、オペレーションエリアＯＡやキャリアストッカ１内、図４（ｃ）に斜線で示す領域、メンテナンスエリア４０で作業する作業者や、それら領域で動作する装置構成機器は死角になっており、さらに、操作位置ＳＰＤで操作する作業者からは、オペレーションエリアＯＡやキャリアストッカ１内、図４（ｂ）に斜線で示す領域やその外側領域で作業する作業者や、それら領域で動作する装置構成機器は死角になっている。
【００６８】
従って、本実施例のように構成することで、操作器１０を操作する各作業者の死角になる場所で動作する装置構成機器の操作を禁止することができ、操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤで操作器１０を操作する作業者から死角になる場所で作業している作業者が不測の事故に巻き込まれるような不都合を防止することができる。
【００６９】
また、上実施例では、複数の装置構成機器を分割して各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤを決めているので、複数の装置構成機器を備えた基板処理装置でも、操作器１０を操作して行う作業を安全に行うことができる。
【００７０】
さらに、上記実施例では、操作器１０に設けた表示部５３に操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤを表示するように構成したので、作業者は、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤで操作できる範囲を知ることができ、操作性を向上させることができる。
【００７１】
なお、上記実施例では、操作器１０に設けた表示部５３に操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤを表示するように構成したが、各接続口１Ａ〜１１Ｄの近くにおいてそれぞれ表示装置（表示手段）を装置に取り付け、それら各表示装置に操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤを表示するように構成してもよい。
【００７２】
ところで、上記実施例では、操作性などを考慮して図４（ｂ）に斜線で示す範囲に対して複数の操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣからマニュアル操作できるように構成している。そのため、操作位置ＳＢの操作許容範囲と操作位置ＳＣの操作許容範囲とを全く同じ範囲ＲＢＣに決めている。このとき、例えば、ある操作位置からの操作指示に従って動作している装置構成機器に対して別の装置位置から相反する動作を指示する操作指示が与えられることもある。従って、このように同じ操作許容範囲を２つ以上の操作位置に割り当てた場合には、各操作位置からの操作指示に優先順位を付けて制御することが好ましい。
【００７３】
この優先順位の決め方やその優先順位に応じた制御形態としては以下のような方式が採用できる。
【００７４】
まず、第１の方式としては、接続口１１に操作器１０が接続されたことを制御部１３が検知できるように構成し、操作器１０が接続口１１に接続され、操作切換えスイッチ１２が操作ＯＮに切り換えられた順番に従って優先順位を決める。そして、同じ操作許容範囲を割り当てた２つ以上の操作位置のうち、最初に操作器１０が接続口１１に接続され、操作切換えスイッチ１２が操作ＯＮに切り換えられた操作位置を最優先して、その最優先の操作位置からの操作指示だけを有効とし、同じ操作許容範囲を割り当てたそれ以外の操作位置からの操作指示を無視する。このような制御を、現在最優先になっている操作位置で操作器１０が接続口１１から外されるか、操作切換えスイッチ１２が操作ＯＦＦに切り換えられるまで行う。そして、現在最優先になっている操作位置で操作器１０が接続口１１から外されるか、操作切換えスイッチ１２が操作ＯＦＦに切り換えられると、次の優先順位の操作位置を最優先の操作位置として上記制御を行う。
【００７５】
第２の方式としては、上記第１の方式と同様の方式で優先順位を決める。そして、ある操作位置からの操作指示に従って動作している装置構成機器に対して別の装置位置から相反する動作を指示する操作指示が与えられたときだけ、その優先順位に従ってその装置構成機器に対する動作を行い、同じ装置構成機器に対して相反する動作を指示する操作指示でなければ優先順位にかからわず、いずれの操作位置からの操作指示も有効とする。
【００７６】
第３の方式としては、各操作位置からの操作指示の優先順位を予め決めて制御部１３に設定しておき、ある操作位置からの操作指示に従って動作している装置構成機器に対して別の装置位置から相反する動作を指示する操作指示が与えられたときだけ、その優先順位に従ってその装置構成機器に対する動作を行い、同じ装置構成機器に対して相反する動作を指示する操作指示でなければ優先順位にかからわず、いずれの操作位置からの操作指示も有効とする。
【００７７】
また、２つ以上の操作位置の各操作許容範囲の一部を重複するように各操作位置ごとの操作許容範囲を決めてもよい。ただし、この場合も重複する範囲内の装置構成機器に対して相反する動作を指示する操作指示が複数の操作位置から与えられることもあるので、重複する範囲内の装置構成機器に対する操作指示については、上記と同様に各操作位置からの操作指示に優先順位を付けて制御することが好ましい。
【００７８】
また、上記実施例では、図４（ｂ）に斜線で示す範囲内には、基板搬送ロボット６などのいわゆる搬送系の装置構成機器と、挟持機構洗浄部７や処理部８Ａ〜８Ｃの構成機器などのいわゆる処理系の装置構成機器とが混在するので、搬送系の装置構成機器を操作指示する操作器１０と処理系の装置構成機器を操作指示する操作器１０とに分けるように構成することもできる。
【００７９】
この場合、例えば、操作位置ＳＰＢに２つの接続口１１を設け、一方の接続口１１に操作器１０が接続されたときは、その操作器１０を搬送系の装置構成機器を操作指示する操作器１０とし、制御部１３は、その操作器１０からは操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢＣ内の搬送系の装置構成機器に対する操作指示だけを有効とし、その操作器１０からその他の装置構成機器に対する操作指示が与えられても無視するように構成し、他方の接続口１１に操作器１０が接続されたときは、その操作器１０を処理系の装置構成機器を操作指示する操作器１０とし、制御部１３は、その操作器１０からは操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢＣ内の処理系の装置構成機器に対する操作指示だけを有効とし、その操作器１０からその他の装置構成機器に対する操作指示が与えられても無視するように構成すればよい。操作位置ＳＰＣも同様に構成してもよい。
【００８０】
また、各操作位置において、搬送系と処理系という分類に限らず、１つの操作許容範囲内で機能などが相違する装置構成機器ごとに分類して、上記と同様に、分類された各グループごとに操作できる操作器１０を分けるように構成してもよい。
【００８１】
なお、上記実施例では、操作切換えスイッチ１２を備え、操作器１０が接続口１１に接続されるとともに、操作切換えスイッチ１２を操作ＯＮに切り換えることで、その操作器１０によるマニュアル操作が行えるように構成したが、操作器１０が接続口１１に接続されること、または、操作切換えスイッチ１２が操作ＯＮに切り換えられたことにより、その操作器１０によるマニュアル操作が行えるように構成してもよい。また、操作切換えスイッチ１２は必ず設ける必要はなく操作切換えスイッチ１２を省略してもよい。
【００８２】
次に、上記実施例の構成において、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤの操作許容範囲を別の形態で決める実施例を説明する。
【００８３】
例えば、上記実施例において、接続口１１Ｂと接続口１１Ｂとの間の距離が比較的長く、操作位置ＳＰＢに居る作業者から操作位置ＳＰＣ付近で作業する作業者や操作位置ＳＰＣ付近で動作する装置構成機器が死角になり、操作位置ＳＰＣに居る作業者から操作位置ＳＰＢ付近で作業する作業者や操作位置ＳＢ付近で動作する装置構成機器が死角になることもある。
【００８４】
このような場合、例えば、図４（ｂ）に斜線で示す範囲を分割して、それぞれの分割範囲を操作位置ＳＢ、ＳＣの各操作許容範囲に割り当てるように構成してもよい。
【００８５】
処理系の装置構成機器については、例えば、以下のように分けることができる。
【００８６】
すなわち、挟持機構洗浄部７と処理部８Ｃに関する装置構成機器を操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢに含め、処理部８Ａ、８Ｂに関する装置構成機器を操作位置ＳＰＣの操作許容範囲ＲＣに含めるように分けるなど処理部単位で各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣを決めることができる。
【００８７】
また、例えば、挟持機構洗浄部７と処理部８Ｃ、８Ｂに関する装置構成機器を操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢに含め、処理部８Ａ、８Ｂに関する装置構成機器を操作位置ＳＰＣの操作許容範囲ＲＣに含めるように分けるなど一部の処理部８Ｂを各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣで重複させて決めることができる。
【００８８】
さらに、例えば、挟持機構洗浄部７と処理部８Ｃに関する装置構成機器と、処理部８Ｂの装置構成機器のうちのカバーの開閉機構とリフター３２Ｂと処理槽３１Ｂに関する装置構成機器（処理槽３１Ｂに対する供給系や排液系など）とを操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢに含め、処理部８Ａに関する装置構成機器と、処理部８Ｂの装置構成機器のうちのカバーの開閉機構とリフター３２Ｂと処理槽３０Ｂに関する装置構成機器（処理槽３０Ｂに対する供給系や排液系など）とを操作位置ＳＰＣの操作許容範囲ＲＣに含めるように分けるなど、１つの処理部８Ｂを構成する装置構成機器を細分して各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣを決めることもできる。
【００８９】
また、本発明の可動機器の１つである搬送系の装置構成機器（基板搬送ロボット６）の移動範囲は図４（ｂ）に斜線で示す範囲全体を横断している。そこで、例えば、図６に示すように、基板搬送ロボット６の移動範囲ＭＨのうちの図６（ａ）に斜線で示す範囲を操作位置ＳＰＢの操作許容範囲ＲＢに含め、図６（ｂ）に斜線で示す範囲を操作位置ＳＰＣの操作許容範囲ＲＣに含めるなどして、１つの可動機器（基板搬送ロボット６）の移動範囲ＭＨを分割して各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣを決める。これにより、操作位置ＳＰＢからは、操作許容範囲ＲＢに含まれる移動範囲内だけで可動機器を動作させることができ、操作位置ＳＰＣからは、操作許容範囲ＲＣに含まれる移動範囲内だけで可動機器を動作させることができる。
【００９０】
このとき、操作位置ＳＰＢでマニュアル操作しながら作業する作業者と、操作位置ＳＰＣでマニュアル操作しながら作業する作業者とが連携して作業できるように、基板搬送ロボット６の移動範囲ＭＨの一部を重複させて各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣにそれぞれ含める移動範囲ＭＨの各分割範囲を決めることが好ましい。
【００９１】
本実施例の構成では、各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣで重複させる基板搬送ロボット６の移動範囲ＭＨの一部を、例えば、図６に示すように、純水でリンス洗浄する処理槽３１Ｂの前とする。
【００９２】
操作位置ＳＰＢ側の作業者と、操作位置ＳＰＣ側の作業者とが連携する作業として、例えば、操作位置ＳＰＣ側の作業者がある処理槽に貯留された処理液内に基板Ｗを浸漬させ、操作位置ＳＰＢ側の作業者がその処理槽に貯留された処理液から基板Ｗを取り出す作業を行う場合、その処理槽内の処理液に基板Ｗを浸漬させてから取り出されるまでに時間があいて、処理液内に基板Ｗが長時間浸漬された状態で放置されることが考えられる。この場合、その処理液が薬液であれば、基板Ｗはダメージを受けることになるが、その処理液が純水であれば、基板Ｗはダメージを受ることはない。
【００９３】
ここで、各操作位置ＳＰＢ、ＳＰＣの操作許容範囲ＲＢ、ＲＣで重複させる基板搬送ロボット６の移動範囲ＭＨの一部を、例えば、薬液洗浄する処理槽３０Ｂの前とすると、操作位置ＳＰＣ側の作業者から操作位置ＳＰＢ側の作業者への作業の受渡しに薬液洗浄する処理槽３０Ｂが用いられることになり、基板Ｗにダメージを与えないように注意しながら作業しなければならなくなる。これに対して、図６に示すように構成すると操作位置ＳＰＣ側の作業者から操作位置ＳＰＢ側の作業者への作業の受渡しに純水でリンス洗浄する処理槽３１Ｂが用いられることができ、基板Ｗのダメージを考慮せずに、ゆとりをもって作業することができる。
【００９４】
このように操作器１０によるマニュアル操作が行える装置構成機器に可動機器（基板搬送ロボット６など）が含まれる場合、各操作位置とその可動機器の移動範囲との位置関係などによって、各操作位置ごとの操作許容範囲に、可動機器の移動範囲を分割するように決めたものを含めることで、１つの操作位置から作業者が操作する際に可動機器の移動範囲に死角ができるような場合でも、可動機器の移動において、操作器１０で操作する作業者の死角になる移動範囲での可動機器の移動操作を禁止することができる。
【００９５】
また、この実施例では、１次元方向の移動範囲を分割したが、可動機器の移動範囲が２次元的や３次元的に広がっているような場合でも、移動範囲を分割して各操作位置ごとの操作許容範囲を決めることができる。例えば、図７に示すように、可動機器の移動範囲ＭＨが途中で移動方向を変えるように２次元的に（３次元的でもよい）に広がっているような場合、装置内の構造物Ｂなどによって死角となる位置関係が生じ易くなるので、移動範囲ＭＨを分割して複数の操作位置ＳＰ１、ＳＰ２の操作許容範囲Ｒ１、Ｒ２を決める意義は大きくなる。
【００９６】
なお、上記実施例では、操作器１０は装置に備えられた複数の装置構成機器に対して、制御部１３で制御して各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤの操作だけが行えるように構成するものであるが、操作器１０は、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤのそれぞれに固定設置されたものではなく、前記各装置構成機器の個々に専用のものでもない。つまり、上記実施例では、操作器１０は、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤの各接続口１１Ａ〜１１Ｄの何れとも接続可能で、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤのどこでも使用可能であって、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤに対し汎用性を有するものである。また、上記実施例の操作器１０は、接続口１１Ａ〜１１Ｄ、つまり、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤを替えれば、複数の装置構成機器のどれに対しても指示が行える汎用性を有するものである。
【００９７】
また、上記実施例では、操作器１０は４つ（操作器１０Ａ〜１０Ｄ）備えるが、上述したように、操作器１０は操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤに対して汎用性を有し、装置構成機器に対して汎用性を有するものであるから、少なくとも１つあればよい。ただし、２つ以上備える方が、同時に複数の操作器１０を操作できて、作業効率がよい。
【００９８】
なお、上記実施例では、装置に備えられた複数の装置構成機器に対する操作指示が行える汎用の操作器１０を用い、制御部１３で制御して各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤの操作だけが行えるように構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとの操作許容範囲ＲＡ〜ＲＤの操作指示だけが行えるように構成した、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに専用の操作器１０を、対応する接続口１１Ａ〜１１Ｄに接続して各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤでのマニュアル操作が行えるように構成してもよい。なお、この構成の場合、各専用操作器１０を、対応しない接続口１１Ａ〜１１Ｄに間違って接続しないようにするために、各接続口１１Ａ〜１１Ｄごとに形状などを違えるように構成することが好ましい。
【００９９】
ただし、この変形例のような構成の場合、複数種類の操作器１０を用意しなければならないし、各接続口１１Ａ〜１１Ｄごとに形状などを違えるように構成しなければならいなど構成が煩雑になるが、上記実施例の構成では、１種類の操作器１０を用意すればよく、各接続口１１Ａ〜１１Ｄごとに形状などを同じに構成すればよいので構成を簡略化することができる。
【０１００】
また、操作器１０は、装置に対して着脱自在に接続する場合に限らず、各操作位置ＳＰＡ〜ＳＰＤごとに操作パネル（操作手段）などを装置に据え付けて固定するように構成してもよい。
【０１０１】
ところで、操作手段を装置に据え付けて固定した場合と異なり、上記実施例のように操作器１０を装置に対して着脱自在に接続する構成の場合、以下のような不都合が起こることが考えられる。
【０１０２】
すなわち、装置構成機器を動作させる操作指示を与えた後、誤って操作器１０が接続口１１から外れたとき、現在動作中の装置構成機器の動作を即座に停止させることができない。この場合、例えば、基板搬送ロボット６を移動させているときに、誤って操作器１０が接続口１１から外れ、その基板搬送ロボット６が作業者にぶつかりそうになったとき、基板搬送ロボット６の移動を即座に停止させることができずに、不測の事故を招くこともある。
【０１０３】
そこで、操作器１０を装置に対して着脱自在に接続する構成の場合は、ある操作器１０が接続口１１から外れると、その操作器１０の操作許容範囲内において現在動作中の装置構成機器の動作を自動的に停止させるように構成することが好ましい。
【０１０４】
このような構成は、ハードウエアで実現することもできるし、ソフトウエアで実現することもできる。
【０１０５】
まず、ハードウエアで実現する場合の構成例を説明する。
例えば、各ロボットの動作は、通常、サーボモーターなどのモーターを駆動源として行われるように構成している。従って、操作器１０が接続口１１から外れると、ロボットの駆動源となるモーターへ給電する給電ラインを自動的に断線（給電ラインに設けたスイッチをＯＦＦにするなど）して、モーターの駆動を自動停止させるように電気回路を構成すればよい。また、エアシリンダを駆動源とする装置構成機器では、エアシリンダへのエアの給排を電磁弁の開閉で行うように構成し、操作器１０が接続口１１から外れると、その電磁弁を自動的に閉じるように電気回路を構成すればよい。その他の駆動源も同様に駆動源へ駆動エネルギーなどの供給を電気的に停止するように構成することもできる。また、液の供給系に関して、操作器１０が接続口１１から外れると、液の供給を自動停止するように構成する場合は、液の供給／停止を電磁弁の開閉で行うように構成し、操作器１０が接続口１１から外れると、その電磁弁を自動的に閉じるように電気回路を構成すればよい。
【０１０６】
また、ソフトウエアで実現する場合は、接続口１１に対する操作器１０の接続状態を制御部１３で把握できるように構成し、操作器１０が接続口１１から外れたことを制御部１３が検知すると、制御部１３が、現在動作中の装置構成機器の動作を停止するように制御する構成とすればよい。
【０１０７】
なお、上記実施例では、バッチ式の基板処理装置を例に採ったが、本発明はこれに限定されず、例えば、枚葉式の基板処理装置などにも本発明を適用することができる。
【０１０８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１および請求項８に記載の発明によれば、複数の操作位置で操作手段によるマニュアル操作が行えるように構成するとともに、各操作位置ごとに操作手段によるマニュアル操作が許容される操作許容範囲を決めて、各操作位置からの操作手段によるマニュアル操作は、それぞれの操作許容範囲内の操作だけが行えるように構成したので、操作手段を操作する作業者から死角になったり、死角いならないまでも見え難い場所で動作する装置構成機器の操作を禁止することができ、操作手段で操作する作業者から死角ないし見え難いになる場所で作業している作業者が不測の事故に巻き込まれるような不都合を防止することができる。従って、操作手段を操作して行う作業を安全に行うことができる。
【０１０９】
また、操作手段によるマニュアル操作が行える複数の装置構成機器を分割するようにして、各操作位置ごとの操作許容範囲を決めるので、複数の装置構成機器を備えた基板処理装置でも、操作手段を操作して行う作業を安全に行うことができる。
【０１１０】
また、操作手段によるマニュアル操作が行える装置構成機器に可動機器が含まれる場合、各操作位置ごとの操作許容範囲には、可動機器の移動範囲を分割するように決めたものを含めるので、１つの操作位置から作業者が操作する際に可動機器の移動範囲に死角ができるような場合でも、可動機器の移動において、操作手段で操作する作業者の死角になる移動範囲での可動機器の移動操作を禁止することができる。
【０１１１】
請求項３に記載の発明によれば、各操作位置ごとに、それぞれの操作許容範囲を表示する表示手段を備えたので、作業者は、各操作位置で操作できる範囲を知ることができ、操作性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例に係る基板処理装置の全体的な構成を示す平面図である。
【図２】  操作器の構成を示す外観図である。
【図３】  操作器の構成を示すブロック図である。
【図４】  各操作位置ごとの操作許容範囲の一例を示す図である。
【図５】  実施例の制御系の構成を示すブロック図である。
【図６】  各操作位置ごとの操作許容範囲の別の例を示す図である。
【図７】  可動機器の移動範囲のその他の例において操作位置ごとの操作許容範囲を示す図である。
【符号の説明】
２：基板移載ロボット
３：移載ハンド交換部
４：姿勢転換ロボット
５：基板受渡しロボット
６：基板搬送ロボット
９：シャッター機構
１０（１０Ａ〜１０Ｄ）：操作器
１１（１１Ａ〜１１Ｄ）：接続口
１３：制御部
５３：表示部
Ｗ：基板
ＳＰ（ＳＰＡ〜ＳＰＤ）：操作位置
ＲＡ、ＲＢＣ、ＲＢ、ＲＣ、ＲＤ：操作許容範囲
ＭＨ：可動機器の移動範囲
【図１】
0003938259.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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