(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、
前記音叉型の圧電振動片が、
パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に延びる一対の振動腕とを備えており、かつ、前記振動腕の基端部と前記基部との間に切り欠き部を有しており、
前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、曲線状もしくは面取り形状とされ、
前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部との間に適用される導電性接着剤が、前記切り欠き部よりも内側に適用されている
ことを特徴とする、圧電デバイス。
【請求項２】
前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、
前記音叉型の圧電振動片が、
パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に延びる一対の振動腕とを備えており、かつ、前記振動腕の基端部と前記基部との間に切り欠き部を有しており、
前記基部の少なくとも前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、底面に向かって内方に向かう傾斜を有し、
前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部との間に適用される導電性接着剤が、前記切り欠き部よりも内側に適用されている
ことを特徴とする、圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、音叉型の圧電振動片をパッケージに内蔵した圧電デバイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、あるいはページングシステム等の移動体通信機器において装置の小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電デバイスも小型薄型化が要求されている。
また、それとともに、装置の回路基板に両面実装が可能な表面実装タイプの圧電デバイスが求められている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図１４は、このような小型化の要請の下に、試作が検討されている圧電デバイスの構成例を示す概略平面図であり、図１４（ａ）は、小型の圧電デバイスの構成を示す概略断面図、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）の部分Ａを拡大して示す図である。
図１４において、試作が検討されている圧電デバイス１は、パッケージ６の内部に、圧電振動片２を収容している。この圧電振動片２は、例えば水晶基板を利用して形成されている。この圧電振動片２は、パッケージ６の電極部に接合される基部１１と、この基部１１から平行に延びる一対の振動腕４，５を有する音叉型に形成され、その表面に図示しない駆動用の金属電極が形成されている。
【０００４】
パッケージ６は、セラミック製の複数の基板を積層して内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされている。この内部空間Ｓにおいて、パッケージ６の内側の底部には、導電性の接着剤７等を介して、上述した圧電振動片２の基部１１が電極部３，３上に接合固定されており、圧電振動片２の先端部は自由端とされている。
そして、パッケージ６の開放された上端には、低融点ガラス等のロウ材を介して、ガラス等の光を透過する材料，すなわち光透過性の材料で形成された蓋体９が接合されることにより、封止されている。
【０００５】
圧電デバイス１は、以上のように構成されており、外部からの駆動電圧が、電極部３及び導電性接着剤７を介して、圧電振動片２に伝えられると、圧電振動片２の図示しない励振電極からの電圧が圧電材料に伝えられることで、一対の振動腕４，５が屈曲振動を生じ、所定の周波数で振動する。
この所定の周波数を外部に取り出すことによって、所定の周波数の出力を得ることができるようになっている。
【０００６】
ここで、圧電デバイス１は、上述した小型化の要請のために、図示のような音叉型の圧電振動片２を用いて、例えば、図１４（ａ）の各寸法を次のように設定している。
図において、パッケージ６の全長ａは３．２０ｍｍ、パッケージ６の全幅ｂは１．５０ｍｍ、圧電振動片２の全長ｄは２．２０ｍｍ、圧電振動片２の基部１１とパッケージ６内壁との間隔ｃは、０．１ｍｍ、圧電振動片２の振動腕４，５の先端とパッケージ６内壁との間隔ｅは、０．１ｍｍである。
【０００７】
このように、小型化された圧電デバイス１のパッケージ６内に、圧電振動片２を接合する場合には、上述したように、パッケージ６の内側底部に形成された電極部３，３上に、導電性接着剤７，７を適用し、その上に圧電振動片２の基部１１を載せて、上から軽く押さえ、導電性接着剤７，７を基部１１の下で拡げてから、硬化させるようにしている。
【０００８】
しかしながら、このような圧電振動片２の接合固定作業においては、以下のような問題がある。
図１５は、圧電振動片２の固定される領域を示しており、図１４（ａ）における圧電振動片２の基部１１の上部を拡大して示す平面図である。
圧電振動片２をパッケージ６内に収容して、確実に固定しようとする場合には、電極部３上に導電性接着剤７を比較的多量に適用し、その上に基部１１を載せて導電性接着剤７を硬化させる。
図１５の場合には、圧電振動片２が多量の導電性接着剤７によって、電極部３上にしっかりと固定され、圧電デバイス１に外部から衝撃が加えられた場合にも、破壊されにくいという利点がある。
【０００９】
ところが、導電性接着剤７を多量に適用すると、図１５に示すように、横へ拡がり、基部１１全体だけでなく、この基部１１と、振動腕４の基端付近の拡幅部１２との間に存在する切り欠き部１３まで導電性接着剤７が回り込んでしまう場合がある。
ここで、切り欠き部１３は、振動腕４からの振動が基部１１に漏れ込みにくいように設けられるものであり、図示のように、導電性接着剤７が、切り欠き部１３に回り込み、振動腕４に近い部分まで導電性接着剤７で固定するようになると、固定後に切り欠き部１３の本来の機能を阻害して、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値の上昇を招く場合がある。
【００１０】
このような事態を回避するために、導電性接着剤７の量を制限し、例えば、図１５に平行斜線で示すように、基部１１の中央付近に相当する範囲となるように、少量の導電性接着剤７を電極部３上に適用し、上から基部１１を載置して、軽く押圧した場合には、図１６に示すような状態となる場合がある。
【００１１】
すなわち、図１６は、圧電振動片２の基部１１の底面１１ｂと導電性接着剤７との関係を示しており、少量の導電性接着剤７は、基部１１により上から押圧されても、量が不足することから、基部１１の底面１１ｂ全体に回り込まない場合がある。
特に、図１４（ｂ）及び図１５に示されているように、基部１１の端部１１ｃ側の両角部は、直角に形成されているので、この角隅部には、導電性接着剤７が回り込まないで、隙間ないしノッチ１４が形成されてしまう。
この隙間１４の箇所は、導電性接着剤７により固定されないことから、圧電デバイス１に外部から衝撃が加えられた場合に、応力が集中し、破壊されるおそれがある。
【００１２】
本発明の目的は、上述の問題を解決するためになされたものであり、小型に構成しても、圧電振動片が強固に固定されることで、優れた耐衝撃性を備える圧電デバイスと、このデバイスを利用した携帯電話装置及び電子機器を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、請求項１の発明によれば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、前記音叉型の圧電振動片が、パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に延びる一対の振動腕とを備えており、かつ、前記振動腕の基端部と前記基部との間に切り欠き部を有しており、前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、曲線状もしくは面取り形状とされ、前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部との間に適用される導電性接着剤が、前記切り欠き部よりも内側に適用されている、圧電デバイスにより、達成される。
請求項１の構成によれば、圧電振動片の前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が曲線状もしくは面取り形状とされているから、この基部の底面の当該領域に角隅部が存在しない。このため、比較的少ない量の導電性接着剤を使用した場合にも、この接着剤は基部の底面の全面に付着する。
このため、導電性接着剤が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片は強固に固定される。
そして、比較的少量の導電性接着剤で、圧電振動片を強固に固定できるので、多量の導電性接着剤を使用することがなく、導電性接着剤が前記切り欠き部に達することがないので、この切り欠き部の機能を阻害することなく、ＣＩ値の上昇を有効に防止できる。
ここで、圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等のパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電素子を広く含むものである。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１の構成において、前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されていることを特徴とする。
請求項２の構成によれば、圧電振動片の基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されていることから、請求項１の場合と同様に、この箇所に角隅部がなく、導電性接着剤が付着しない隙間を生じることがない。
【００１７】
また、上述の目的は、請求項３の発明によれば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、前記音叉型の圧電振動片が、パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に延びる一対の振動腕を備えており、前記基部の少なくとも前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、底面に向かって内方に向かう傾斜を有し、かつ、前記振動腕の基端部と前記基部との間に切り欠き部を有しており、前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部との間に適用される導電性接着剤が、この切り欠き部よりも内側に適用されていることを特徴とする圧電デバイスにより、達成される。
請求項３の構成によれば、圧電振動片の基部の幅方向の両端部の底面が内方に向かう傾斜を有していることにより、基部を導電性接着剤の上に載置することで、導電性接着剤は、比較的少量用いた場合でも、この傾斜に沿って回り込むので、導電性接着剤が付着しない隙間を生じることがない。このため、導電性接着剤が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片は強固に固定される。
【００１８】
そして、この構成によれば、比較的少量の導電性接着剤で、圧電振動片を強固に固定できるので、多量の導電性接着剤を使用することがなく、導電性接着剤が前記切り欠き部に達することがないので、この切り欠き部の機能を阻害することなく、ＣＩ値の上昇を有効に防止できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の圧電デバイスの第１の実施の形態を示しており、図１（ａ）はその概略平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線概略断面図である。
これらの図において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、セラミックグリーンシートを成形して焼結した酸化アルミニウム質焼結体等を利用した複数の基板を積層して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓを形成するようにされている。
【００２３】
パッケージ３６の内部空間Ｓ内の図において左端部付近において、内部空間Ｓに露出して底部を構成するベースとなる積層基板には、Ａｕ及びＮｉメッキが施された電極部３１，３１が図１（ａ）に示すように所定の間隔を隔てて形成されている。電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布されており、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されることにより接合されている。
【００２４】
本実施形態では、後述するように、この導電性接着剤４３，４３を比較的少量用いても、圧電振動片３２を強固に固定できる構造となっている。
圧電振動片３２の基部５１の導電性接着剤４３，４３と触れる部分には、駆動電圧を伝えるための引出電極（図示せず）が形成されており、これにより、圧電振動片３２は、後述する駆動用電極がパッケージ３６側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３を介して、電気的に接続されている。
【００２５】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、パッケージ３６側と後述するようにして固定される基部５１と、この基部５１の一端部において、好ましくは、部分的に両側から縮幅することで、括れるようにして設けられた切り欠き部５３，５３と、この切り欠き部５３，５３より幅広く形成された領域である拡幅部５２，５２を有している。さらに、圧電振動片３２は、この拡幅部５２，５２を基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
これにより、特にこの実施形態の圧電振動片３２においては、固定側である基部５１に対して、一対の振動腕３４，３５の振動が、できるだけ漏れ込むことがないようにされており、これにより、極力ＣＩ値を低減するように構成されている。
【００２６】
パッケージ３６の開放された上端には、低融点ガラス等のロウ材３３を介して、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。蓋体３９は、後述する周波数調整を行うために、光を透過する材料，例えば、ガラスで形成されている。
【００２７】
また、パッケージ３６の底面のほぼ中央付近には、パッケージ３６を構成する２枚の積層基板（図示せず）に連続する貫通孔３７ａ，３７ｂを形成することにより、開口３７が設けられている。この開口３７を構成する２つの貫通孔のうち、パッケージ内部に開口する第１の孔３７ａに対して、第２の孔である外側の貫通孔３７ｂは、より大きな内径を備えるようにされている。これにより、開口３７は段つき開口とされており、好ましくは、第２の孔である貫通孔３７ｂの段部と、貫通孔３７ａの孔内周面には金属が被覆されている。
開口３７には、金属製封止材３８が充填されることにより、パッケージ３６に蓋体３９を固定した後で、封止することができるようにされている。
開口３７に充填される金属製封止材３８としては、例えば、金（Ａｕ）と錫（Ｓｎ）による合金が用いられ、第２の孔３７ａの段部と、孔内周面の金属被覆部には、ニッケルメッキによる下地層の上に金メッキを被覆した構成が適している。
【００２８】
さらに、この実施形態では、パッケージ３６を構成する積層基板の最下層の基板には、図において右端部付近に孔を形成することにより、この積層基板の厚みに対応した凹部４２が形成されている。この凹部４２は、圧電振動片３２の自由端３２ｂの下方に位置している。これにより、パッケージ３６に外部から衝撃が加わった場合に、圧電振動片３２の自由端３２ｂが矢印方向に振れた場合に、パッケージ３６の内側底面と当接されることを有効に防止している。
【００２９】
次に、本実施形態における圧電振動片３２の基部５１の構成を詳しく説明する。
図２は、図１（ａ）の部分Ｂを拡大して示している。
図において、圧電振動片３２の基部５１の端部５１ａにおいて、その幅方向両端部５７，５７が曲線状とされている。この曲線状とされている箇所は、図１（ａ）において、符号５７，５７で示すように、基部５１の幅方向両端部で、長さ方向の端部に相当する。
【００３０】
したがって、基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部には、鋭角もしくは直角状等に突出した角隅部が存在しない。このため、図３に示すように、比較的少ない量の導電性接着剤４３を、使用した場合にも、導電性接着剤４３は、基部５１の底面５１ｂの全面に付着する。
これにより、導電性接着剤４３が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片３２は強固に固定される。
【００３１】
また、比較的少量の導電性接着剤４３で、圧電振動片３２を強固に固定できるので、多量の導電性接着剤４３を使用することがなく、導電性接着剤４３が圧電振動片３２の切り欠き部５３に達することがないので、この切り欠き部５３の機能を阻害することなく、ＣＩ値の上昇を有効に防止できる。
【００３２】
図４は、本発明の圧電デバイスの第２の実施形態を示す概略平面図である。図において、第１の実施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３３】
第２の実施形態に係る圧電デバイス６０は、圧電振動片３２の基部５１の形状以外は、全て第１の実施形態と同じ構成である。
図５は、図４の部分Ｃを拡大して示した図である。図示されているように、基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部（図５では片方の端部を示しており、他方の端部も構造は同じ）５６が、直線的に、斜めに面取りされている。
【００３４】
したがって、第２の実施形態の場合も基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部には、鋭角もしくは直角状等に突出した角隅部が存在しない。このため、図３で説明した場合と同様に、比較的少ない量の導電性接着剤４３を使用した場合にも、導電性接着剤４３は、基部５１の底面の全面に付着する。
これにより、導電性接着剤４３が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片３２は強固に固定される。
【００３５】
図６は、本発明の圧電デバイスの第３の実施形態を示す概略平面図である。図において、第１の実施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３６】
第３の実施形態に係る圧電デバイス７０では、パッケージ７６の形状が第１の実施形態のパッケージ３６よりもやや長い形状である点と、圧電振動片３２の基部５１の形状以外は、全て第１の実施形態と同じ構成である。
図７は、図６の部分Ｄを拡大して示した図である。図示されているように、基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部（図７では片方の端部を示しており、他方の端部も構造は同じ）を含む両側面７１が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されている。
【００３７】
したがって、第３の実施形態の場合も基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部を含む両側面７１，７１には、鋭角もしくは直角状等に突出した角隅部が存在しない。このため、図３で説明した場合と同様に、比較的少ない量の導電性接着剤４３を使用した場合にも、導電性接着剤４３は、基部５１の底面の全面に付着する。
これにより、導電性接着剤４３が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片３２は強固に固定される。
【００３８】
図８は、本発明の圧電デバイスの第４の実施形態を示す概略平面図である。図において、第１の実施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００３９】
第４の実施形態に係る圧電デバイス８０では、圧電振動片３２の基部５１の形状以外は、全て第１の実施形態と同じ構成である。
図９は、図８の部分Ｅを拡大して示した図である。図示されているように、基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部（図９では片方の端部を示しており、他方の端部も構造は同じ）８１が、図１０に示す形状とされている。
【００４０】
図１０は、基部５１の底面５１ｂを上に向けて、上述した幅方向両端部８１，８１の形状がよく表れるように示した部分拡大斜視図である。
図示されているように、この基部５１の幅方向の両端部８１，８１が底面に向かって内方に向かう傾斜を有する傾斜面８２，８２を備えている。
ここで、図１０の各傾斜面８２，８２は、図示のように、平面的な傾斜面だけでなく、外側に僅かに突出したり、内側の僅かに凹となる曲面で構成してもよい。
【００４１】
本実施形態は以上のように構成されており、図９のａ−ａ線に沿った部分断面図に示されているように、基部５１を導電性接着剤４３の上に載置して、軽く押圧すると、導電性接着剤４３は、比較的少量用いた場合でも、この傾斜面８２，８２に沿って回り込むので、導電性接着剤４３が付着しない隙間を生じることがない。
これにより、導電性接着剤４３が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片３２は強固に固定される。
【００４２】
図１２は、本発明の圧電デバイスの第５の実施の形態の構成を示す概略断面図である。
図において、圧電デバイス９０は、圧電振動片３２を用いて、圧電発振器を形成した例を示しており、第１の実施の形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【００４３】
圧電デバイス９０のパッケージ９１には、中央付近に凹部９２が形成されており、その内側底部には、図示しない電極が設けられている。この電極上には、集積回路９３が実装されており、集積回路９３は、所定の分周回路等を構成していて、圧電振動片３２の駆動電極と電気的に接続され、集積回路９３から出力された駆動電圧が圧電振動片３２に与えられるようになっている。
また、圧電振動片３２の基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部９４，９４には、第１の実施形態ないし第４の実施形態における当該部分と同一の構成が選択的に採用されている。
【００４４】
本実施形態は以上のように構成されており、圧電発振器である圧電デバイス９０においても、第１の実施形態ないし第４の実施形態と同様に、圧電デバイス３２の基部５１の底面において、導電性接着剤４３が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片３２は強固に固定される。
【００４５】
図１３は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるコントローラ３０１を備えている。
コントローラ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ，ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行うようになっている。このため、コントローラ３０１には、圧電デバイス３０が取り付けられて、その出力周波数をコントローラ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このコントローラ３０１に取付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０単体でなくても、圧電デバイス３０と、所定の分周回路等とを組み合わせた発振器である図１２のような圧電デバイス６０であってもよい。
【００４６】
コントローラ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、コントローラ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７及び受信部３０６に与えられるようになっている。
【００４７】
このように、制御部を備えた携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用することにより、この圧電デバイスの圧電振動片が強固に固定されているので、装置全体としても優れた耐衝撃性を備えることができる。
【００４８】
本発明は上述の実施形態に限定されない。圧電振動片３２の基部５１の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部の構成は、導電性接着剤が回り込むことができる形状であれば、上述した形態の他、種々の形態を採用できる。また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、小型に構成しても、圧電振動片が強固に固定されることで、優れた耐衝撃性を備える圧電デバイスと、このデバイスを利用した携帯電話装置及び電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電デバイスの第１の実施形態を示しており、（ａ）はその概略平面図、（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線概略断面図。
【図２】図１（ａ）の部分Ｂの拡大図。
【図３】図１の圧電デバイスの圧電振動片の基部の幅方向両端部の底面付近を示す概略断面図。
【図４】本発明の圧電デバイスの第２の実施形態の概略平面図。
【図５】図４の部分Ｃの拡大図。
【図６】本発明の圧電デバイスの第３の実施形態の概略平面図。
【図７】図６の部分Ｄの拡大図。
【図８】本発明の圧電デバイスの第４の実施形態の概略平面図。
【図９】図８の部分Ｅの拡大図。
【図１０】図８の圧電デバイスの圧電振動片の基部の底面付近の形状を示す部分概略斜視図。
【図１１】図８のａ−ａ線に沿った部分断面図。
【図１２】本発明の圧電デバイスの第５の実施形態の構成を示す概略断面図。
【図１３】本発明の各実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図１４】超小型の圧電デバイスに関する試作例の構成を示しており、（ａ）はその概略平面図、（ｂ）は図１４（ａ）の部分Ａの拡大図。
【図１５】図１４の圧電デバイスの圧電振動片を接着する様子を示す説明図。
【図１６】図１４の圧電デバイスの圧電振動片の基部の底部付近の接着の様子を示す部分断面図。
【符号の説明】
３０，６０，７０，８０，９０    圧電デバイス
３２        圧電振動片
５１        基部
５１ａ      端部
３６，７６        パッケージ
３７        開口
３８        封止材
３９        蓋体
４２        凹部
【図１】
0003894284.tif 000002
【図２】
0003894284.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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