(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示部とイメージセンサとが形成されている第１の絶縁基板と、
前記イメージセンサの上方の第２の絶縁基板に設けられている第１の導電材料と、
前記イメージセンサの下方であって、前記第１の絶縁基板に設けられている第２の導電材料と、を有し、
前記第１の導電材料および前記第２の導電材料は等電位であり、
前記第１の導電材料の電位および前記第２の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
透過型の液晶表示部とイメージセンサとが形成されている第１の絶縁基板と、
前記イメージセンサの上方の第２の絶縁基板に設けられている第１の導電材料と、
前記透過型の液晶表示部の下を除く前記イメージセンサの下方であって、前記第１の絶縁基板に設けられている第２の導電材料と、を有し、
前記第１の導電材料および前記第２の導電材料は等電位であり、
前記第１の導電材料の電位および前記第２の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
反射型の液晶表示部とイメージセンサとが形成されている第１の絶縁基板と、
前記イメージセンサの上方の第２の絶縁基板に設けられている第１の導電材料と、
前記イメージセンサおよび前記反射型の液晶表示部の下方であって、前記第１の絶縁基板に設けられている第２の導電材料と、を有し、
前記第１の導電材料および前記第２の導電材料は等電位であり、
前記第１の導電材料の電位および前記第２の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記液晶表示部は反射型の液晶表示部であって、
前記イメージセンサの下方に設けられている第２の導電材料は、前記反射型の液晶表示部の下を除く領域に設けられていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、
前記イメージセンサの下方かつ前記イメージセンサが形成されている前記第１の絶縁基板の裏に第３の導電材料が設けられており、
前記第１の導電材料、前記第２の導電材料、および前記第３の導電材料は等電位であり、
前記第１の導電材料の電位、前記第２の導電材料の電位、および前記第３の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一において、
前記イメージセンサの下方かつ前記イメージセンサが形成されている前記第１の絶縁基板の端面に第４の導電材料が設けられており、
前記第１の導電材料、前記第２の導電材料、および前記第４の導電材料は等電位であり、
前記第１の導電材料の電位、前記第２の導電材料の電位、および前記第４の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
高周波回路と請求項１乃至６のいずれか一に記載の電気光学装置が組み込まれた装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁基板にイメージセンサと液晶表示部が形成された電気光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
マルチメディア時代の到来に伴い、デジタルスチルカメラやカムコーダ等の、光信号を取込みその信号を映し出す小型のシステムの需要が高まっている。その需要を満たすため、直視型の液晶表示部とＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサを組み入れた装置が開発されている。
【０００３】
上記装置は液晶表示部とイメージセンサを別々に製造し、別々に組み入れているので、製造価格、大きさの点で問題がある。液晶表示部とイメージセンサを一体化し、共通の工程を利用して製造することができれば、それらの問題を解決することができる。
【０００４】
しかし、液晶表示部に用いる基板はガラス基板等の絶縁基板であり、イメージセンサに用いる基板は単結晶シリコン基板である。それぞれ異なる基板を用いているため、液晶表示部とイメージセンサを一体化するには、絶縁基板を用いてイメージセンサを絶縁基板上に形成する、または単結晶シリコン基板を用いて液晶表示部をシリコン基板上に形成する必要がある。
【０００５】
単結晶シリコン基板を用いた場合、高価な基板上に高価な液晶表示部を形成するため製造コストが上がり一体化するメリットがなくなる。さらに透過型の液晶表示部を用いることができない。それに対し、絶縁基板はＣＣＤイメージセンサを用いることができないが、ＭＯＳトランジスタを利用したＭＯＳ形イメージセンサを用いることができる。さらに、基板もそれ程高価ではない。
【０００６】
また、ＭＯＳ形イメージセンサは、ＣＣＤイメージセンサに比べて、駆動方式が単純であり複数の電源電圧を要せず消費電力が小さい等の利点がある。さらにＭＯＳトランジスタを利用しているので、液晶表示部と同様の作製工程で信号処理回路を集積することができる。
【０００７】
ところで、液晶表示部はともかく、イメージセンサは微弱信号を外部に取り出すため、周辺の電磁波や、周辺電位の変動が信号に影響を及ぼし、ノイズの発生、感度の低下を引き起こす。
【０００８】
イメージセンサ自身が発生するノイズ（内部ノイズ）を低減するために、増幅型画素構造と固定パターン雑音を除去する回路構成が提案されている。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
絶縁基板を用いて液晶表示部とイメージセンサを一体化する場合、内部ノイズ以外にイメージセンサの周辺から発生されている外部ノイズも無視できない。それは、イメージセンサ周辺の電位変動がイメージセンサの微弱信号に影響を及ぼすからである。イメージセンサ周辺すなわちイメージセンサの上方および下方に設けられている絶縁基板の電位変動は、外部からの電磁波等の電気的影響によって絶縁基板が帯電するために生じる。つまり、絶縁基板に生じた静電気によって外部ノイズは発生する。
【００１０】
実際にイメージセンサの外部には、装置内だけでも画像信号線、高周波クロック線、信号処理回路、バックライト等が配置されており、それらから発生される電磁波の影響により、外部ノイズが発生する。さらに、生活空間にはＴＶ、エアコン等の他の電気製品から発生される電磁波や、携帯電話からのマイクロ波等が存在しており、それら生活空間（装置外）からの電磁波の影響によっても外部ノイズが発生する。
【００１１】
図２には、液晶表示部２０１とイメージセンサ２０２とを絶縁基板２０３上に一体化させた電気光学装置において、イメージセンサ２０２が外部からの高周波２０４や、マイクロ波２０５、液晶表示装置のバックライト２０６からの電磁波２０７の影響を受けることを模式的に表している。それら、電磁波（２０４、２０５、２０７）からの影響で、上下の絶縁基板（２０３、２０８）に電位変動２２０が生じ、その影響でイメージセンサ２０２に外部ノイズが発生する。
【００１２】
イメージセンサと液晶表示部を同一基板に形成した電気光学装置自体が従来にない構成なので、当然この電気光学装置における外部ノイズ対策は今までなされていない。
【００１３】
よって本発明は、イメージセンサと液晶表示部を同一基板に形成した電気光学装置のイメージセンサに影響する外部ノイズを低減し、イメージセンサの感度を向上させることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
一般に、絶縁領域中に置かれた導電体は、絶縁領域で発生した電荷を逃すアンテナ効果を有する。本発明はこのアンテナ効果を利用したものである。
ガラス基板等の絶縁基板に導電材料を設け、電磁波等の影響で絶縁基板上に発生した静電気を導電材料に逃し、絶縁基板の電位が変動しないようにして、外部ノイズの発生を防止しようとするものである。
【００１５】
本発明は、液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成される電気光学装置において、イメージセンサに影響する上方および下方の電位変動を防止することを特徴とする。
【００１６】
本発明の第１の構成は、液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成されている電気光学装置において、イメージセンサの上方には第１の導電材料が設けられ、イメージセンサの下方には第２の導電材料が設けられている。第１の導電材料および第２の導電材料は等電位であり、第１の導電材料の電位および第２の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置である。
【００１７】
図１（ａ）に液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成された電気光学装置を示す。
液晶表示部１０１とイメージセンサ１０２とが同一の絶縁基板１０３に形成された電気光学装置において、イメージセンサ１０２の上方には第１の導電材料１１１が設けられ、イメージセンサの下方には第２の導電材料１１２が設けられている。
【００１８】
第１の導電材料１１１と第２の導電材料１１２は電気光学装置の内部で第５の導電材料１１５により電気的に接続されており、よって第１の導電材料１１１と第２の導電材料１１２は等電位となっている。
【００１９】
さらに、固定電位に保たれた端子１０４が、等電位に保たれた前記第１の導電材料１１１、前記第２の導電材料１１２、または前記第５の導電材料１１５の一部と接続されている。
【００２０】
第１の導電材料１１１は少なくともイメージセンサ１０２の変換された信号を増幅する迄の領域の上方に設ける。かつ第２の導電材料１１２は少なくともイメージセンサ１０２の変換された信号を増幅する迄の領域の下方に設ける。しかし、できるだけ広い領域に静電気を逃がす導電材料を設けた方がよい。ゆえに、好ましくは電気光学装置の動作に支障の無い領域の上方および下方の全ての領域に第１および第２の導電材料を設ける。
【００２１】
本構成では、絶縁基板１０３のイメージセンサ１０２が設けられている側（表側）に第２の導電材料１１２が設けられている。イメージセンサ１０２に近い表側に第２の導電材料１１２が設けられていると、イメージセンサ１０２と第２の導電材料１１２の間に、イメージセンサの機能を保つために設けられている絶縁膜１２１が帯電することにより発生する外部ノイズをほとんど無くすことができる。
【００２２】
図１（ａ）の丸で囲んだ部分は第１の導電材料１１１と第２の導電材料１１２を電気的に接続する第５の導電材料１１５周辺を簡略化した図であり、その詳細な拡大図を図１（ｂ）または図１（ｃ）に示す。
【００２３】
センサが形成されている絶縁基板１０３と対向の絶縁基板１０５はギャップスペーサ１０６によってシールされ、一定間隔に保たれている。図１（ｂ）に示すように第５の導電材料１１５をギャップスペーサ１０６の外に設けて、シールの外で電気的接続をとることも、図１（ｃ）に示すように第５の導電材料１１５をギャップスペーサ１０６の内に設けて、シールの内で電気的接続をとることも可能である。また、シールをせずに第５の導電材料だけを設けることも可能である。
【００２４】
第５の導電材料１１５は、第１の導電材料１１１と第２の導電材料１１２を電気的に接続するだけならば、一部に設けるだけで充分だが、イメージセンサをシールするように第５の導電材料１１５で囲むと絶縁基板１０３と対向の絶縁基板１０５の間から入り込むわずかな外部ノイズも防ぐことができる。
【００２５】
第１の導電材料１１１はイメージセンサに取り込む光信号がその材料中を通過するので、できるだけその光信号の内容を変化させないために、透明で、かつ膜厚が薄いことが望まれる。また、導電材料として数十Ω／□以下のシート抵抗を必要とする。よって、第１の導電材料の膜厚は数百Å〜数千Åとする。さらに好ましくは、第１の導電材料の膜厚は５００Å〜３０００Åとする。
【００２６】
第２の導電材料１１２は、その後のトランジスタ作製工程の温度を考慮して選択する必要がある。ＭＯＳトランジスタの半導体層を結晶化させる場合、結晶化温度が高いのでアルミニウム等の融点の低い金属を選択することができない。よって、融点の高く、高温でも安定なモリブデン、チタン、タンタル、クロム等の金属または、ボトムゲート型トランジスタのゲート電極によく用いられる、不純物を含有したｎ型半導体やｐ型半導体を選択する。更に好ましくは、ｎ型半導体やｐ型半導体を用いる。
【００２７】
第２の導電材料１１２は、その上にトランジスタを形成するため平坦性、均一性を要する。ゆえに薄膜であることが好ましい。また、導電材料として、第１の導電材料と同様、数十Ω／□以下のシート抵抗を必要とする。よって、第２の導電材料の膜厚は数百Å〜数千Åとする。さらに好ましくは、第２の導電材料の膜厚は５００Å〜３０００Åとする。
【００２８】
第５の導電材料１１５は、導電性スペーサや、導電性樹脂、銀ペースト等を用いる。
【００２９】
また、図１において、液晶表示部１０１とイメージセンサ１０２は対向の絶縁基板１０５に同一の基板を用いたが、別々の基板を用いることもできる。
【００３０】
本構成を用いると、図１（ａ）に示すように、外部からの高周波１０７や、マイクロ波１０８、液晶表示装置のバックライト１０９からの電磁波１１０等の影響による対向の絶縁基板１０５、絶縁基板１０３の帯電と、それによって生じる電位変動１２０のイメージセンサ１０２への影響を、第１の導電材料１１１および第２の導電材料１１２でほとんど防ぐことができる。また、微小ではあるが第５の導電材料１１５でも電位変動を防ぐことができる。
【００３１】
すなわち、本構成を用いると、絶縁基板の電位変動の影響でイメージセンサに発生する外部ノイズをほとんど防ぐことができる。また、イメージセンサの下方に設けられている第２の導電材料に遮光性を持つ材料を用いると、イメージセンサをバックライトから遮光する役目も合わせ持つ。
【００３２】
本発明の第２の構成は、透過型の液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成されている電気光学装置において、イメージセンサ周辺の電位変動を防ぎ固定電位とするために、イメージセンサの上方には第１の導電材料を設け、かつ透過型の液晶表示部の下を除くイメージセンサの下方に第２の導電材料を設け、第１の導電材料の電位および第２の導電材料の電位を固定電位とする。さらに第１の導電材料および第２の導電材料は等電位とすることを特徴とする電気光学装置である。
【００３３】
本構成は、第１の構成の液晶表示部を透過型の液晶表示部に限定したものである。さらに透過型の液晶表示部に限定するのに伴い、第２の導電材料の設置場所も限定したものである。
本構成とすると、液晶表示部に透過型の液晶表示部を用いた場合に、イメージセンサの外部ノイズを低減することができる。
【００３４】
図１（ａ）において、液晶表示部１０１に透過型の液晶表示部を用いた場合、透過型の液晶表示部１０１の下を除くイメージセンサ１０２の下方に第２の導電材料１１２を設ける。
【００３５】
本発明の第３の構成は、反射型の液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成されている電気光学装置において、イメージセンサ周辺の電位変動を防ぎ固定電位とするために、イメージセンサの上方には第１の導電材料を設け、イメージセンサおよび反射型の液晶表示部の下方には第２の導電材料を設け、第１の導電材料の電位および第２の導電材料の電位を固定電位とする。さらに第１の導電材料および第２の導電材料は等電位とすることを特徴とする電気光学装置である。
【００３６】
本構成は、第１の構成の液晶表示部を反射型の液晶表示部に限定したものである。さらに反射型の液晶表示部に限定するのに伴い、第２の導電材料の設置場所も限定したものである。
本構成とすると、反射型の液晶表示部を用いた場合に、第１の構成に比べてイメージセンサの下方からの外部ノイズをさらに低減できる。
【００３７】
図１（ａ）において、液晶表示部１０１に反射型の液晶表示部を用いた場合、第２の導電材料１１２はイメージセンサ１０２の下方に加えて反射型の液晶表示部１０１の下方にも設けられている。
【００３８】
本発明の第４の構成は、本発明の第１の構成において、液晶表示部に反射型の液晶表示部を用いた電気光学装置であって、反射型の液晶表示部の下を除くイメージセンサの下方には第２の導電材料が設けられていることを特徴とする電気光学装置である。
本構成とすると、反射型の液晶表示部を用いた場合に、イメージセンサの外部ノイズを低減できる。
【００３９】
図１（ａ）において、液晶表示部１０１に反射型の液晶表示部を用いた場合、反射型の液晶表示部１０１の下を除くイメージセンサ１０２の下方に第２の導電材料が設けられている。
【００４０】
本発明の第５の構成は、本発明の第１の乃至第４の構成において、イメージセンサの下方、かつ前記イメージセンサが形成されている基板の裏に第３の導電材料が設けられ、第１の導電材料、第２の導電材料、および第３の導電材料は等電位であり、第１の導電材料の電位、第２の導電材料の電位、および第３の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置である。
本構成を用いると、イメージセンサの下方からの外部ノイズをさらに低減することができる。
【００４１】
イメージセンサが形成される基板の裏に設ける導電材料は、平坦性、均一性を必要としない。ゆえに、導電性フィルムや、金属板等の導電板、銀ペースト等を用いることができる。
【００４２】
第１の構成または第２の構成に本構成を用いた場合、液晶表示装置の下方にバックライトが設けられている可能性がある。
外部ノイズの最も重要な要因の１つに、イメージセンサが形成されている絶縁基板の下方に設けられたバックライトからの外部ノイズがある。バックライトは数百ＶのＡＣインバータを用い、数十ｋＨｚの高周波電圧で動作させており、点灯電圧が高いためバックライトからの外部ノイズは非常に大きく問題となる。
【００４３】
イメージセンサが形成されている基板の裏にも導電材料を設けることで、このバックライトからの外部ノイズをさらに低減できる。また、イメージセンサの下方に設けられている第３の導電材料に遮光性を持つ材料を用いると、イメージセンサをバックライトから遮光する役目も合わせ持つ。
【００４４】
本発明の第６の構成は、本発明の第１乃至第５の構成において、イメージセンサの下方、かつイメージセンサが形成されている基板の端面に第４の導電材料が設けられ、第１の導電材料、第２の導電材料、および第４の導電材料は等電位であり、第１の導電材料の電位、第２の導電材料の電位、および第４の導電材料の電位は固定電位であることを特徴とする電気光学装置である。
【００４５】
イメージセンサが形成される基板の端面に設ける導電材料は、平坦性、均一性を必要としない。ゆえに、導電性フィルムや、金属板等の導電板、銀ペースト等を用いることができる。
【００４６】
本構成とすると、電気光学装置の周囲からの外部ノイズをさらに低減できる。また、本発明の第５の構成に本構成を用いた場合、図３（ｂ）に示すようにイメージセンサ１０２が形成されている基板の表と裏に設けられている第２の導電材料１１２と第３の導電材料３１３を本構成の基板端面の第４の導電材料３１４で電気的に接続することができ、第５の構成に比べ容易に第２の導電材料１１２と第３の導電材料３１３を等電位にすることができる。
【００４７】
本発明の第７の構成は、本発明の第１乃至第６の構成において、高周波回路が組み込まれた装置に本発明の電気光学装置を組み入れることを特徴とする電気光学装置のシステムである。
【００４８】
高周波回路が組み込まれた装置に本発明の電気光学装置を組み入れると、本発明のノイズ防止機能を有効に利用することができる。
【００４９】
【発明の実施の形態】
【実施例】
〔実施例１〕
本実施例は、液晶表示部とイメージセンサとが同一の絶縁基板に形成されている電気光学装置において、イメージセンサの上方および下方の電位変動を防止するために、イメージセンサの上方および下方に電位が固定されている導電材料を設けた例である。
【００５０】
図１（ａ）に本実施例の電気光学装置を示す。絶縁基板１０３には、石英基板を用いる。本実施例では石英基板を用いたが、石英基板の他にコーニング１７３７等のホウケイ酸ガラス基板や、他の絶縁基板を用いてもよい。石英基板１０３上に液晶表示部１０１とイメージセンサ１０２が形成されている。
【００５１】
イメージセンサ１０２の上方の絶縁基板１０５には膜厚５００Å〜３０００Å、シート抵抗７０Ω／□以下のＩＴＯ１１１が設けられている。イメージセンサの下方の絶縁基板１０３には膜厚５００Å〜３０００Å、シート抵抗７０Ω／□以下のリンをドーピングしたｎ型シリコン１１２が設けられている。
【００５２】
ｎ型シリコン１１２とイメージセンサ１０２の間には、絶縁膜（本実施例では酸化珪素）１２１が設けられている。本実施例の絶縁膜は酸化珪素の単層膜であるが、窒化珪素の単層膜、または酸化珪素と窒化珪素の積層膜であってもよい。また、絶縁膜１２１の膜厚は、平坦性、抵抗値が考慮されており、イメージセンサの下方の導電材料の膜厚以上、より好ましくはイメージセンサの下方の膜厚の１．５倍以上である。本実施例の酸化珪素の膜厚は、１０００Å以上である。
【００５３】
イメージセンサ１０２の上方のＩＴＯ１１１と下方のｎ型シリコン１１２は、導電性スペーサ１１５で電気的に接続されており、等電位となっている。導電性スペーサは、図１（ｂ）に示すように上下基板の貼りあわせに用いるギャップスペーサ１０６の外に設ける。
【００５４】
さらに、ＩＴＯ１１１およびｎ型シリコン１１２は接地されている端子１０４に接続されている。
【００５５】
本実施例で用いた導電性スペーサ１１５は、図１（ｂ）に示すように上下基板の貼りあわせに用いるギャップスペーサ１０６の外に設けたが、図１（ｃ）に示すように上下基板の貼りあわせに用いるギャップスペーサ１０６の内に設けてもよい。
【００５６】
本実施例の液晶表示部には、透過型の液晶表示部、反射型の液晶表示部のどちらを用いることもできる。透過型の液晶表示部を用いた場合、イメージセンサの下方に設けるｎ型シリコンは液晶表示部の下まで広げて設けることはできない。それに対し、反射型の液晶表示部を用いた場合、イメージセンサの下方に設けるｎ型シリコンを液晶表示部の下まで広げて設けることも、透過型の液晶表示部のように液晶表示部の下方には設けないこともできる。
【００５７】
本実施例の電気光学装置を用いると、図１（ａ）に示すように、外部からの高周波１０７や、マイクロ波１０８、液晶表示装置のバックライト１０９からの電磁波１１０等の影響で絶縁基板１０３に静電気が生じ、それによって生じる電位変動１２０のイメージセンサ１０２への影響を、第１の導電材料１１１および第２の導電材料１１２で防ぐことができる。すなわち、絶縁基板の電位変動によりイメージセンサに発生する外部ノイズを防ぐことができる。特に、高周波回路が組み込まれた装置に本実施例の電気光学装置を用いると、本発明のノイズ防止機能を有効に利用することができる。
【００５８】
〔実施例２〕
本実施例は、実施例１の電気光学装置のイメージセンサの下方に、第２の導電材料の他に第３の導電材料を設けた例である。
第３の導電材料を設けると、イメージセンサの裏からの外部ノイズをさらに低減することができる。
【００５９】
図３（ａ）に示すように、本実施例の電気光学装置は、実施例１の電気光学装置に、第３の導電材料３１３を設けた電気光学装置である。イメージセンサ１０２の下方かつイメージセンサが形成されている基板の裏にステンレス板３１３が設けられている。このステンレス板３１３は、ＩＴＯ１１１およびｎ型シリコン１１２が接続されている固定電位の端子１０４に接続されている。
【００６０】
本実施例を用いると実施例１にくらべ電気光学装置の裏からのノイズをさらに低減できる。
【００６１】
液晶表示装置にバックライトが必要な透過型の液晶表示部を用いる場合、バックライトからの外部ノイズはかなり大い。本実施例の電気光学装置を用いるとバックライトからの外部ノイズをさらに低減できる。また、イメージセンサの下方に設けられている第３の導電材料３１３に遮光性を持つ材料を用いると、イメージセンサをバックライトから遮光する役目も合わせ持つ。
【００６２】
〔実施例３〕
本実施例は、実施例２の電気光学装置のイメージセンサの下方に、さらに第４の導電材料を設けた例である。
【００６３】
図３（ｂ）に本実施例の電気光学装置を示す。本実施例の電気光学装置は、実施例２の電気光学装置のイメージセンサが形成されている基板の端面に導電性フィルム３１４を接着した電気光学装置である。この導電性フィルム３１４はＩＴＯ１１１およびｎ型シリコン１１２と等電位である。
【００６４】
また、イメージセンサ１０２が形成されている基板１０３の表と裏に設けられているｎ型シリコン１１２とステンレス板３１３を基板端面に設けられている導電性フィルム３１４で電気的に接続することができ、容易にｎ型シリコン１１２とステンレス板１１３を等電位にすることができる。
【００６５】
本実施例の電気光学装置を用いると、電気光学装置の周囲からのノイズをさらに低減できる。
【００６６】
本実施例は、実施例２の電気光学装置を用いたが、実施例１の電気光学装置を用いることもできる。すなわち、電気光学装置のイメージセンサの下方に、第２の導電材料に加えて第４の導電材料を設けた電気光学装置も採用できる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明を用いると、イメージセンサの感度に影響を与える外部ノイズが低減された高感度のイメージセンサを得ることができる。そして、高感度のイメージセンサと液晶表示部とを一体化した電気光学装置を得ることができる。
【００６８】
さらに、低価格で消費電力が小さく高性能なイメージセンサと液晶表示部とを一体化した電気光学装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  電気光学装置の断面模式図
【図２】  電気光学装置の断面模式図
【図３】  電気光学装置の断面模式図
【符号の説明】
１０１      液晶表示部
１０２      イメージセンサ
１０３      絶縁基板
１０４      固定電位に接続している端子
１０５      対向の絶縁基板
１０６      ギャップスペーサ
１０７      高周波
１０８      マイクロ波
１０９      バックライト
１１０      電磁波
１１１      第１の導電材料
１１２      第２の導電材料
１１５      第５の導電材料
１２０      電位変動
１２１      絶縁膜
２０１      液晶表示部
２０２      イメージセンサ
２０３      絶縁基板
２０４      高周波
２０５      マイクロ波
２０６      バックライト
２０７      電磁波
２０８      対向の絶縁基板
２２０      電位変動
３１３      第３の導電材料
３１４      第４の導電材料
【図１】
0003998772.tif 000002
【図２】
0003998772.tif 000003
【図３】
0003998772.tif 000004