(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドライレジスト技術および粒子ビーム誘導蒸着を使用して、集積光学部品に使用するための三次元構造重合体層を製造する方法において、
露光により重合可能なドライレジストを基板に付与し、
該ドライレジストを、画像処理の方法を使用してサブミクロンの精度で予め計算されそして所望の光学構造の形状を示す構造領域における空間と時間の関数として予め定められた照射線量割合で露光し、そして
露光により重合された構造領域を乾式工程によって未露光ドライレジストから作り出し、
フォトンまたは粒子ビームによって重合可能なオクタビニルシルセスキオキサンが、ドライレジストとして使用される方法。
【請求項２】
露光により重合された構造領域が物理的現像である高真空下における加熱によって該ドライレジストから作り出される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
露光により重合された構造領域が空気による加熱の物理的現像によって該ドライレジストから作り出される請求項１に記載の方法。
【請求項４】
露光により重合された構造領域がガス放電中での処理の乾式化学現像によって該ドライレジストから作り出される請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
本発明は、三次元構造に形成された重合体層、特に光学レンズの製造方法に関する。本発明の方法は、特に、光学ファイバーまたは光学レーザーの出射特性または受光特性が光線の丸い通路に合わされるような用途に使用することができる。
レンズは、特に、光学レーザーに光学ファイバーを連結するために、集積光学部品に使用される。
リソグラフィ工程（プロセス）を使用してレーザーとファイバーを連結する１つの公知方法は、リン化インジウム母材にレーザーを組み込む時にレーザーと一緒にテーパーカップラーを設けるものである。下記文献参照：
0004002606.tif 000002
レーザーに直接連続しておりそして円筒状レンズのごとく１つの断面に集光作用を有する湾曲界面は、例えば、粒子ビーム（corpuscular beam）リソグラフィを使用するナノリソグラフィにより画定され、そして追加の工程において反応性乾式エッチングによってドライエッチングされる。下記文献参照：
2.）Unger, V. Boegli, P.Buchmann, R. Germann,“High Resolution Electron Beam Lithography for Fabricating Visible Semiconductor Lasers with Curved Mirrors and Integrated Holograms”, Microelectronic Eng. 23,（1994）461。
ガラス球がミクロ機械加工により調整されそしてフラシュ−エッチングされたガラスファイバーに接合される。このガラス球は、その光学作用において、回転対称的に双方向においてある特定の態様で該ガラスファイバーの出射輪郭形状に適合する。下記文献参照：
3.）R. H. Bellmann,  N. F. Borelli, J. Dafin, L.G. Mann, B. H. Raeder,“Precision Glass Nicrolens Array by Photo-Thermal Technique”, SPIE O-E Lasc 88, January 14（1988）.
熱工程でファイバーを溶融しそして丸みをつけることによって、あるいは、レーザーアブレーションまたは機械研磨によって、ファイバーの端面に丸い端面輪郭形状をつくることができる。
端部に適当な曲面を有する別々の構造部品として製造された複数のガラス部材が光学伝送路内に挿入レンズとして挿入され、これによって所望の結合目的が達成される。しかしながら、サブミクロンの精度に対応する調整の実施には問題がある。下記参照：
4.）SMILE lenses produced by CORNINNG,  France.
5.）GRIN lenses produced by NIPPON SHEET GLASS, Japan, NSG-Selfog Product Guide, NSG America Inc., Somerset, N.J. 08873.
従来公知の方法で、集積光学部品に屈折レンズとして三次元パターン形成重合体層を使用することは開示したものはない。下記文献参照：
0004002606.tif 000003
7.）A.Stemmer, H. Zarschizky, F. Mayerhofer, G.Lefranc, H.W. Schneider, P. Galloway, SPIE, vol. 1732 Holographics International 92, 77;
8.）A.Stemmer, H. Zarschizky, E. Knapek, G. Lefranc, H. Scherer-Winner,“Design and Fabrication of Multilevel Diffractive Optical Elements（DOEs）and Holographic Optical Elements（HOEs）”, Microelectronic Engineering,  Vol. 21, no.  1-4,（1993）471-474;
9.）C.Dix, P.F. Mckee, A.R. Thurlow, J.R.Towers, D.C. Wood, N.J.Dawes, J.T. Whitney,“Electron-Beam Fabrication and Focused Ion-Beam Inspectionof Submicron Structured Diffractive Optical Elements”, J. Vac. Sci.  Technol. B 12（6）,（1994）3708-37011;
0004002606.tif 000004
さらに、その有用な用途はまだわかっていないが、ガス放電工程で電子感応性重合体を製造する試みもなされている。下記文献参照：
11.）O.Joubert, T. Weidmann, A. Joshi, R. Cirelli, S. Stein, J.T.C.Lee, S. Vaidya,“Plasma polymerized All-Dry Resist Process for 0.25μm Photolithography”, J. Vac. Technol. B 12（6）（1994）, 3909.
モスクワのテクノセンターにおいて、粒子ビームと光学的リソグラフィのためのドライレジストとして１つの物質が合成された。この物質は公知の電子レジストＰＭＭＡ（ポリメタクリレート）の感度と同様な感度で働く。このレジストはリソグラフィのために適切な分解能を有しており、真空下で蒸着されそして同じく真空下で乾式現像される。したがって、もはや湿式工程が必要ではなくなる。このレジストは、それ故、環境問題の点で非常にクリーンである。
12.）S.V. Babin. A.J.Holopkin, M.N. Lyakhov, K.A. Valiev, L.V. Velikov, E.N. Zhikharev, Microcircuit Engineering 23（1994）303.
13.）V.P.Karchkov, T.N.Martynova, V.S. Damlovich:  Thin Solid Films 4（1983）3696.
粒子ビーム誘導蒸着を使用すると、気相から吸着されたモノマーを局部的にポリマーに変換することが可能である。この方法は三次元重合体構造物を製造する場合に現像をまったく必要としない。
14.）H.W.P.Koops, R.Weiel, D.P.Kern, T.H.Baum,“High Resolution Electron Beam Induced Deposition”, Proc.31,Int. Symp. on Electron, Ion and Photon Beams,  J. Vac. Technol. B 6（1）（1988）477。
本発明の方法は、重合可能なドライレジストの使用およびドライレジスト領域の選択的露光に基礎を置き、好ましくは上記粒子ビーム誘導蒸着法を含めるものである。
ドライレジストとして使用するために適当な物質は、特に、フォトン（photon）または粒子ビーム（corpuscular beam）によって重合可能なオクタビニルシルセスキオキサンである。
本発明によれば、重合可能なドライレジストが光学構造体の端面に付与されそして所望の光学レンズの形状に対応する１つの領域に照射される。照射されるべき領域は好ましくは画像処理法を使用して画定される。この方法によればレンズのために予め計算された構造領域はサブミクロンの精度で画定される。この領域が制御された照射工程を受ける。照射工程のために必要な照射パラメータすなわち空間と時間の関数として照射線量を割り当てるために必要なパラメータは所望のレンズの形状に基づいて決定される。このあと、照射工程がコンピューター制御方法により自動的に実施される。
照射によって重合されたレンズ形状構造領域はこのあと未露光ドライレジストから作り出される。
この工程を実施するためには多くの可能な方法がある：
１．露光により重合されたレンズ形状構造領域を物理的現像たとえば高真空下での加熱によってドライレジストから作り出す。
２．露光により重合されたレンズ形状構造領域を空気による加熱のごとき物理的現像によってドライレジストから作り出す。
３．露光により重合されたレンズ形状構造領域をガス放電中での処理のごとき乾式化学現像によってドライレジストから作り出す。
４．本発明の方法の好ましい一つの実施態様では、露光に先立って、出発物質として使用される重合可能なドライレジストが光学レンズのために設けられた三次元の光学的作用面に付与される。この方法はその光学的出力面が光線の丸い通路に適合されるべき光学ファイバーまたはレーザー光源を使用して仕事を行う場合に特に有利である。
本発明の方法によれば球面または非球面の小型化された屈折レンズを製造することが可能になる。種々の空間方向で種々の輪郭形状（プロフィール）を選択することによって、ファイバーまたはレーザーの特別なビーム特性を適切に補正することができ、そして出射特性または受光特性を回転対称輪郭形状またはあらかじめ画定された輪郭形状に対して調整することができる。同様な方法で、プリズムやビームスプリッターも直接的に製造することができる。これら部品は乾式化学現像によってレジストから作り出すことができる。
この技術は、また、光学検知器、フラットＴＶカメラまたはダイオードアレイの感度を向上させるために必要に応じて、アレイパターンにおいて複数のピクセルの平行光学集束（フォーカシング）のための表面上にレンズアレイを製造するためにも利用することができる。この方法はさらに複雑な部分曲面を有する非球面の製造のためにも適切である。これに関連して、所望の要素を必要な適用位置にサブミクロンの精度をもって中心合せすることもできる。
最も簡単な技術工程において、ドライレジストの技術は、光学作用を有する三次元構造を形成する材料でフアイバーまたはレーザーの小さい端面をコートするために使用される。これにより、他の方法ではアクセスできない表面を高い精度レベルで予備加工することができ、正確に位置ぎめされた位置に所望の最終製品を製造することが可能となる。リソグラフィ工程のための走査電子顕微鏡を使用すれば、画像処理の方法を適用しファイバーまたはレーザー上にサブミクロンの精度をもってパターンを配置しそしてそれを既存のファイバーまたはレーザーの三次元表面に適合させることができる。ドライレジストは露光のあと熱現像されるから、製造工程で湿式化学溶剤の必要はない。したがって、本発明の製造方法は高精度の乾式方法を実現するものであり、この方法は実質的な出費なしで自動化可能である。
以上のことは、粒子ビーム中で重合する吸着分子および露光中に気相から表面上に付着する吸着分子からレンズを作り出す場合にも同様に適用される。ビーム誘導蒸着の場合には、現像はもはや必要ではなくなり、蒸着工程の後で、製品が得られる。適切なに材料を選択すれば、この技術を使用して、高屈折材料あるいは屈折率が適切な範囲にある材料をレンズとしてあるいは反射防止層シーケンスとして使用することもできる。
材料選択工程は前駆物質分子ビームを変えることによって実施される。
この工程は自動化可能でありそして露光制御工程に組み込むことができる。したがって、他の方法では多くの複雑な工程を必要とするような所望の屈折輪郭形状および構造の作成が可能である。