(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器内の基板の有無を、当該基板を挟んで対峙する位置に受信器と送信器を配置することにより検出する基板検出装置において、
前記受信器または送信器のいずれかをそれぞれ備える一対のアームと、
前記一対のアームを互いに連動させる連動手段と、
当該連動手段を駆動する駆動手段と、
前記送信器と受信器が前記一対のアームの連動により基板を検出する位置に配置されたとき、前記一対のアームの連動を停止させる停止手段とを備え、
前記一対のアームの連動が停止した後も、前記一対のアームが前記停止手段に対して押し付けられるように前記駆動手段を駆動しつづけることを特徴とする基板検出装置。
【請求項２】
基板収納容器内の基板の有無を、当該基板を挟んで対峙する位置に受信器と送信器を配置することにより検出する基板検出装置において、
前記送信器または受信器の一方を、その一端近傍に配置する駆動側アームと、
当該駆動側アームの他端近傍に配置された駆動側ギヤと、
前記送信器または受信器の他方を、その一端近傍に配置する従動側アームと、
当該従動側アームの他端近傍に配置された従動側ギヤと、
前記駆動側アームを回動する駆動手段とを備え、
前記駆動側ギヤと前記従動側ギヤは相互に噛み合わされる位置に配置されるとともに、前記駆動側アームと前記従動側アームの間に、前記送信器と受信器が前記基板を挟んで対峙する位置で、前記従動側アームを当接させて回動を停止させるための停止手段を設け、
前記駆動側アームを当該停止手段方向に回動させて、前記従動側アームが前記停止手段により停止させられた後も、前記駆動手段を駆動しつづけることにより前記駆動側アームを前記停止手段方向に回動させる力が働くように上記駆動側ギヤと従動側ギヤを噛み合わせたことを特徴とする基板検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板収納容器に収納された基板の状態を検出する基板検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製品の製造工程等にて半導体ウェハーなどの基板を搬送する際、通常、複数の基板が、基板収納容器に収納されて各工程間を搬送され、基板処理装置において基板収納容器単位に所要の処理が施されていく。この場合、基板処理装置で処理する前に、基板収納容器ごとに基板の収納状態をまず把握する必要がある。そのため、基板収納容器に収納された基板を処理する基板処理装置においては、基板の有無を検出する基板検出装置が設けられている。この基板検出装置としては、例えば、特開平３−２９７１５６号公報に開示されたもの等がある。
【０００３】
上記公報に記載の基板処理装置では、複数枚の基板を収納するための基板収納容器として、オープンカセットと呼ばれるものが使用されている。このオープンカセット（以下、単に「カセット」という）の前側には、基板を挿入及び取り出しを行うための開口が設けられ、更に、カセットの奥側には、前記開口よりも小さな開口が設けられている。また、カセット内には、基板をほぼ水平に保持するための複数段の溝が形成されている。かかるカセット内の基板収納状態を基板処理前に予め把握するため、カセット載置部に基板検出装置が設けられている。この基板検出装置は、カセットを前後から挟むように対向配置された投光素子と受光素子とで構成された透過型センサであり、この透過型センサをカセット内の最上段の溝から最下段の溝まで上下方向に移動させることで、カセット内の各溝内に収納された基板の有無を検知するものである。
【０００４】
ところが、近年の基板の大型化に伴って、この基板を収納するカセットについて新たな規格が取り決められている。この規格に準じたカセットは、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）カセットと呼ばれている。このＦＯＵＰカセットには、基板を挿入及び取り出するための開口が一つだけ設けられており、この開口に着脱可能な蓋が取り付けられている。
【０００５】
上述したＦＯＵＰカセットにおいては、開口が一つのみであるため、特開平３−２９７１５６号公報に開示されたようにカセットを前後から挟む透過型センサによって、カセットの各溝に収納された基板の有無を検出することができない。このため、基板の検出を行うには、一旦、開口に取り付けられた蓋を開けるという動作が必要となるなどの種々の制約を受け、基板検出のための動作が複雑となり、正確に基板を検出することが難しい。
【０００６】
このような制約を緩和すべく、例えば、米国特許第６、１８８、３２３号には、ＦＯＵＰカセットの蓋を開けた後、一対の発光器と受光器とからなるセンサを下降させながら、カセットの上から順に基板の有無を遮光されることにより検出していく装置が開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
米国特許第６、１８８、３２３号に記載された装置は、発光器および受光器が取り付けられた一対のフィンガが、ギヤ機構、または、ベルトとローラ、あるいは、ラックとピニオンで連動して駆動されるものである。
【０００８】
しかしながら、ギヤ機構の場合、発光側と受光側とにそれぞれ取り付けられるギヤにはバックラッシュが存在するため、両センサの位置にガタが生じる。また、ベルトとローラの場合も、ベルトの伸縮や、ベルトとローラとの間での滑りが生じる可能性があり、ギヤ機構の場合と同様に、両センサの正確な位置決めが難しい。さらに、ラックとピニオンの場合も、ギヤ機構の場合と同様、バックラッシュの存在により、両センサの位置にガタが生じる。よって、いずれの場合も、発光器および受光器の正確な位置決めが難しく、発光器側から発せられた線光を受光側で確実に受け取れない場合が生じることになる。
【０００９】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、基板収納容器内に収納された基板の状態を正確に検出することができる基板検出装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る基板検出装置は、基板収納容器内の基板の有無を、当該基板を挟んで対峙する位置に受信器と送信器を配置することにより検出する基板検出装置において、前記受信器または送信器のいずれかをそれぞれ備える一対のアームと、前記一対のアームを互いに連動させる連動手段と、当該連動手段を駆動する駆動手段と、前記送信器と受信器が前記一対のアームの連動により基板を検出する位置に配置されたとき、前記一対のアームの連動を停止させる停止手段とを備え、前記一対のアームの連動が停止した後も、前記駆動手段を駆動しつづけることを第１の特徴とする。
【００１１】
この構成によると、一対のアームは、連動手段を介して駆動され、この両アームの連動が停止手段により停止させられることで、両アームとも停止することになる。そして、両アームの連動が停止した後も、駆動手段を駆動しつづけることで、両アームが揺動しないような力が与えられることになる。すなわち、停止手段により停止させられた後も、駆動手段により揺動しないように付勢されているため、両アームはともに位置決めされることになる。このため、構成要素間に存在する隙間などにより、両アームの位置決めがずれることがなく、送信器および受信器を正確に位置決めすることができる。したがって、基板収納容器内に収納された基板の状態を正確に検出することができる検出装置を提供することができる。
【００１２】
また、本発明に係る基板検出装置は、基板収納容器内の基板の有無を、当該基板を挟んで対峙する位置に受信器と送信器を配置することにより検出する基板検出装置において、前記送信器または受信器の一方を、その一端近傍に配置する駆動側アームと、当該駆動側アームの他端近傍に配置された駆動側ギヤと、前記送信器または受信器の他方を、その一端近傍に配置する従動側アームと、当該従動側アームの他端近傍に配置された従動側ギヤと、前記駆動側アームを回動する駆動手段とを備え、前記駆動側ギヤと前記従動側ギヤは相互に噛み合わされる位置に配置されるとともに、前記駆動側アームと前記従動側アームの間に、前記送信器と受信器が前記基板を挟んで対峙する位置で、前記従動側アームを当接させて回動を停止させるための停止手段を設け、前記駆動側アームを当該停止手段方向に回動させて、前記従動側アームが前記停止手段により停止させられた後も、前記駆動側アームを前記停止手段方向に回動させる力が働くように上記駆動側ギヤと従動側ギヤを噛み合わせたことを第２の特徴とする。
【００１３】
この構成によると、駆動側ギヤと従動側ギヤとの噛み合いにより一対のアームが連動して回動されるため、高い同期性が得られる。そして、従動側アームが停止手段と当接することで、駆動側アームもともに回動を停止し、さらに、従動側アームが停止手段により停止させられた後も、駆動側アームを停止手段方向に回動させる力が働くようにすることで、両アームはともに位置決めされる。これにより、歯車の噛み合い部分に存在するバックラッシュの影響を受けて両アームの位置決めがずれてしまうことがなく、送信器および受信器を正確に位置決めすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図１は、本実施形態例に係る基板検出装置１が、基板処理装置５０内に設置された昇降装置５１に対して取り付けられている様子を示したものであり、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は正面図である。図２は、基板検出装置１が用いられる基板検出装置５０の概略構成を説明する図である。
【００１５】
まず、図２において、基板検出装置１が用いられる基板処理装置５０の概略について説明する。図２では、基板処理装置５０は、一部断面を含む側面図として図示されている。なお、この基板処理装置５０は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）カセットと呼ばれ、基板の挿入及び取り出しを行うための開口に蓋が取り付けられている基板収納容器に対応した基板処理装置である。
【００１６】
基板処理装置５０は、基板ＷをＦＯＵＰカセット５２（以下、「カセット５２」という）から取り出して、この基板Ｗに所定の処理を行う処理部５３（詳細図示せず）と、カセット５２を載置する載置部５４とが隔壁５５で隔てられて構成されている。載置部５４には、カセット５２を載置する複数個のカセットステージ５６が設けられている（図１では、一つのみを図示）。隔壁５５のこれらの各カセットステージ５６に対応する位置には、通過口５５ａが設けられ、通過口５５ａに向かって進退することで開閉するシャッター５７ａを有したシャッター駆動装置５７と、本実施形態例に係る基板処理装置１が設置される昇降装置５１とが、隔壁５５と処理部５３との間に設けられている。
【００１７】
ここで、カセット５２を図５に例示するが、基板Ｗを収納するための容器５２ａと、この容器５２ａに備える開口５２ｃに着脱可能に嵌め込まれる蓋５２ｂとで構成されている。容器５２ａの内壁には、多段の溝５２ｄが対向して設けられ、各溝５２ｄには、基板Ｗがほぼ水平に保持された状態で収納されている。蓋５２ｂには、これを容器５２ａに固定する固定機構５２ｅが埋設され、この固定機構５２ｅは、ラックが刻切された２本のロック部材５２ｆと、ラックに噛合う回転自在なピニオン５２ｇとで構成される。ピニオン５２ｇの回転により、ロック部材５２ｆが蓋５２ｂから突出し、容器５２ａと蓋５２ｂとが固定される。
【００１８】
再び、図２において、カセットステージ５６は、その下方に設けられたカセット駆動機構５８によって、隔壁５５方向（Ｙ方向）に進退移動可能に構成されている。そして、カセット駆動機構５８は、カセットステージ５６の下面に設けられた凸部５６ａに螺合する螺軸５８ｂを電動機５８ａで駆動するよう構成されている。カセットステージ５６にカセット５２が載置されると、電動機５８ａが螺軸５８ｂを正回転させてカセットステージ５６を隔壁５５に向かって前進させる。なお、カセット５２の全ての基板Ｗの処理が終了すると、電動機５８ａは、螺軸５８ｂを逆回転しカセットステージ５６を後退させる。
【００１９】
隔壁５５には、先述した通過口５５ａが、カセット５２に対向する位置に、カセット５２とほぼ同じ大きさとなるように形成されている。この通過口５５ａは、カセット５２から基板Ｗの取り出しおよび収納を行うためのものであり、カセット５２が載置されていない場合には、処理部５３と載置部５６との雰囲気を遮断するためにシャッター５７ａによって閉じられている。
【００２０】
シャッター駆動装置５７のシャッター５７ａは、支持部材５７ｂによって昇降機構５７ｃに取り付けられている。支持部材５７ｂは、下方に延びたＬ字型のアーム状に形成されており、この支持部材５７ｂの基端部が取り付けられる昇降機構５７ｃによってＺ方向に昇降駆動され、昇降機構５７ｃをさらに支持する進退機構５７ｄによってＹ方向に進退駆動される。
【００２１】
昇降機構５７ｃは、支持部材５７ｂの基端部に螺合する螺軸を電動機によって駆動する、いわゆる螺子送り機構によって構成されている。進退機構５７ｄも、昇降機構５７ｃをＹ方向に進退させる螺子送り機構で構成され、進退機構５７ｄおよび昇降機構５７ｃによって、シャッター５７ａは、進退および昇降が可能となる。図２においては、カセット５２の蓋５２ｂを取り外した後における昇降前後のシャッター５７ａの様子が図示されている。
【００２２】
シャッター駆動装置５７と隔壁５５との間には、昇降装置５１が設けられている。昇降装置５１は、基部５１ａと昇降部５１ｂとを備えており、基部５１ａに対して昇降部５１ｂが、図示しない螺子送り機構等によって昇降駆動される。この昇降部５１ｂには、後述する基板検出装置１が設置されている。
【００２３】
なお、処理部５３は、基板検出装置１によってカセット５２内における基板Ｗの収納状態が検出された後に、カセット５２から基板Ｗを取り出すとともに、処理後に再びカセット５２内に収納する基板搬送装置（図示せず）を備えている。
【００２４】
以上が、本実施形態例に係る基板検出装置１が用いられる基板処理装置５０について説明であり、基板検出装置１によってカセット５２内における基板Ｗの収納状態を検出し、この基板検出情報に基づいて、カセット５２単位に基板Ｗの処理を行うものである。
【００２５】
以下、基板検出装置１について説明する。図１において、基板検出装置１は、信号であるビーム（線光）を発する送信器２（発光センサ）と、送信器２から発せられた信号を受信する受信器３（受光センサ）とを備えている。そして、図１に示すように、送信器２および受信器３は、一対のアーム（４、５）の一端側（４ａ、５ａ）にそれぞれ取り付けられている。そして、この一対のアーム（４、５）は、昇降装置５１の昇降部５１ａの上部に他端側（４ｂ、５ｂ）でそれぞれ回動可能に取り付けられている。また、一対のアーム（４、５）の回動動作は、駆動手段６により、連動手段１０および揺動軸（７、８）を介して行われ、停止手段９によって停止される。基板検出装置１は、これらの構成要素、即ち、送信器２、受信器３、一対のアーム（４、５）、駆動手段６、揺動軸（７、８）、連動手段１０、停止手段９を備えている。以下、これらの構造について詳しく説明する。
【００２６】
まず、図１において、発光センサからなる送信器２は、図示しない発光源と例えば光ファイバで接続されており、さらに、一方のアーム４の一端側４ａ（一端近傍）に取り付けられている。そして、この送信器２は、後述するようにアーム４が回動駆動されることで、カセット５２の開口５２ｃに対して突出し、カセット５２の各溝５２ｄに収納された基板Ｗに向かって信号を発する。
【００２７】
また、受光素子等からなる受信器３も、送信器２と同様に、他方のアーム５の一端側５ａ（一端近傍）に取り付けられている。そして、アーム５が回動駆動されることで、カセット５２の各溝５２ｄに収納された基板Ｗを挟んで送信器２と対峙するように突出する。これにより、送信器２から発せられた信号を受信可能な位置関係となる。なお、図１（ａ）には、両アーム（４、５）が回動される前（送信器２及び受信器３が開口５２ｃに対して突出する前）の状態を実線で示し、回動後の状態（送信器２及び受信器３が開口５２ｃに対して突出した状態）を２点鎖線で示している。
【００２８】
一対のアーム（４、５）が回動駆動されて、送信器２及び受信器３とが、カセット５２の開口５２ｃ内に突出した後、送信器２から対峙する受信器３に向かって信号が発せられる。このとき、送信器２から受信器３へと至る信号経路Ｓの途中に基板Ｗが存在していると、この基板Ｗによって信号経路Ｓが遮られる（図１（ａ）参照）。これにより、基板検出装置１によって、基板Ｗの有無や状態を検出することができるようになる。
【００２９】
また、送信器２および受信器３は、一対のアーム（４、５）を介して昇降装置５１に取り付けられているものであるため、カセット５２に収納された複数の基板Ｗの収納方向（上下方向）に沿って移動可能に設置されることになる。すなわち、送信器２および受信器３が、カセット５２の開口５２ｃ内に突出して基板Ｗを検出可能な状態のまま、昇降装置５１の昇降部５１ｂとともに下降することで、カセット５２の最上段の溝から最下段の溝まで、基板Ｗの収納状態を順次効率よく検出していくことができる（図１および図２参照）。
【００３０】
なお、基板検出装置１によって検出される基板Ｗのそれぞれの位置は、昇降装置５１に備えられて昇降部５１ｂのＺ軸方向（図２参照）位置を検出する図示しない位置検出手段によって把握される。したがって、送信器２および受信器３が、昇降部５１ｂとともに下降することで、カセット５２の各溝５２ｄにおける基板Ｗの収納の有無を検出することができる。また、図示しない信号処理部で、信号経路が遮られている区間の長さや位置の情報をもとに、各溝５２ｄに複数枚の基板Ｗが収納された複数枚重ね状態や、異なる溝５２ｄに跨るように基板Ｗが収納された斜め差し状態といった異常な収納状態をも検出することができる。
【００３１】
つぎに、送信器２および受信器３が取り付けられている一対のアーム（４、５）を回動駆動する構造について説明する。図１に示すように、回動中心となるアーム（４、５）の他端側（４ａ、５ａ）は、回転自在に支持される揺動軸（７、８）にそれぞれ取り付けられている。揺動軸７および８は、昇降部５１ｂに対して取り付けられた取付部材１１によって、複数の軸受１２を介して回転自在に支持されている。
【００３２】
この揺動軸８は、軸受１２で支持されて、その上端側で他方のアーム５を他端側５ｂ（他端近傍）にて回動可能に支持している。そして、揺動軸７は、同じく軸受１２で支持されて、その上端側で一方のアーム４を他端側４ｂ（他端近傍）にて回動可能に支持し、さらに、その下端側で駆動手段６と連結されている。
【００３３】
駆動手段６は、エアーシリンダ６ａ、ロッド６ｂ、リンク部材６ｃ及び６ｄ、を備えており、エアーシリンダ６ａに対してロッド６ｂが前後動することで、リンク部材６ｄに連結された揺動軸７を回動させるものである。すなわち、揺動軸７の下端側は、リンク部材６ｄと固着されており、このリンク部材６ｄの他端側は、リンク部材６ｃに揺動自在に取り付けられている。そして、そのリンク部材６ｃの他端側は、エアーシリンダ６ａに設けられるロッド６ｂの先端部分に揺動自在に取り付けられている。これらの構成によって、エアーシリンダ６ａへ供給する圧縮空気を切り替えてロッド６ｂを前後動させることにより（図中矢印α）、リンク部材６ｃおよび６ｄを介して揺動軸７が回動駆動される。さらに、この揺動軸７の回動に伴い、アーム４も回動することになる。すなわち、ロッド６ｂがエアーシリンダ６ａから突出することで、アーム４の回動とともに、送信器２は、開口５２ｃを通じてカセット５２内に突出することになる。なお、図１（ａ）においては、エアーシリンダ６ａに対して前後動するロッド６ｂの状態を前進限と後退限の２つの位置について図示している。
【００３４】
上述したように、駆動手段６によって一方のアーム４（以下、「駆動側アーム４」ともいう）が回動駆動され、送信器２は、カセット５２内に突出する。これに対して、他方のアーム５（以下、「従動側アーム５」ともいう）は、以下に述べる連動手段１０を介して回動駆動され、受信器３が、カセット５２内に突出されることになる。
【００３５】
図１にて、連動手段１０は、一対の歯車１０を用いて構成されている。一対の歯車１０は、駆動側ギヤ１０ａと従動側ギヤ１０ｂとからなり、駆動側ギヤ１０ａは、揺動軸７の上端側に取り付けられており、一方、従動側ギヤ１０ｂは、揺動軸８の上端側に取り付けられている。これら一対の歯車１０（１０ａ、１０ｂ）は、互いに噛合する位置関係となるように配設される。これにより、揺動軸７が回動駆動されると、揺動軸７とともに駆動側ギヤ１０ａが回転し、これと噛合する従動側ギヤ１０ｂも回転される。そして、従動側ギヤ１０ｂとともに、揺動軸８が回転され、結果として、従動側アーム５が、駆動側アーム４に従動して回動されることになる。このように、連動手段として一対の歯車１０を用いることにより、歯車の噛み合いで一対のアーム（４、５）が連動して回動されるため、高い同期性が得られる。
【００３６】
つぎに、上述したアーム（４、５）の連動して回動する動作を停止させて、送信器２および受信器３の正確な位置決めを行う停止手段９について説明する。停止手段９は、図１（ａ）に示すように、昇降部５１ｂの上部に取り付けられ、両アーム（４、５）が回動したときに（図中２点鎖線位置）、両アーム（４、５）間に挟まれるような位置に配設される。そして、停止手段９は、従動側アーム５の側部５ｃと当接可能な斜面９ａを備え、従動側アーム５を当接して停止させ得る厚みを備えた平板状に形成されている。
【００３７】
上記のように停止手段９を設けることによって、従動側アーム５は、駆動側アーム４と連動して連動手段１０を介して回動されるが、停止手段９の斜面９ａと当接する位置で停止されることになる。そして、従動側アーム５が停止手段９と当接して停止することで、連動手段である歯車１０ａ、１０ｂ間の噛み合いを介して駆動側アーム４も、ともに回動を停止することになる。このとき、駆動側アーム４に対して駆動手段６からの回動させる方向の力が作用したままの状態で、両アーム（４、５）が、停止手段９に対して押し付けられるようにして停止されることになる。すなわち、両アーム（４、５）の連動が停止手段９により停止され、両アーム（４、５）が、ともに停止することになる。そして、両アーム（４、５）の連動が停止した後も、駆動手段６を駆動しつづけることで、両アーム（４、５）が揺動しないよう付勢したまま位置決めすることができる。
【００３８】
図３に駆動側ギヤ１０ａと従動側ギヤ１０ｂとの噛み合いの様子を模式的に示すが、歯車には、当たり面（図中では、ＡとＢ）が滑らかに当接して回転が伝達されるようにバックラッシュ（当たり面間に形成される隙間）が設けられている。しかし、上記したように、両アーム（４、５）が、駆動手段６から加えられる力で停止手段９に対して押し付けられるようにして停止されるため、バックラッシュの影響を受けることなく、両アーム（４、５）ともに所定角度回動後、正確に停止されることになる。したがって、送信器２および受信器３ともに、正確に位置決めされることになり、カセット５２内に収納された基板Ｗの状態を正確に検出することができる。
【００３９】
なお、図１に示す停止手段９は、駆動側アーム４と対向する側にも斜面を備えているが、両アーム（４、５）が上述したように停止した際、この斜面と駆動側アーム４の側部との間には若干の隙間が生じるようになっている。
【００４０】
以上が、本実施形態例に係る基板検出装置１の構造についての説明である。以下、既述した部分については適宜割愛しながら、基板検出装置１の動作について、本装置１が用いられる基板処理装置５０の動作とともに説明する。
【００４１】
まず、図２において、図示しない搬送設備等によって搬送されてきたカセット５２が、載置部５４のカセットステージ５６の上に載置される。載置された後、カセット５２は、カセット駆動機構５８によって前進駆動される。このとき、シャッター５７ａは、通過口５５ａを塞いでいる。そして、カセット５２がシャッター５７ａに近接する位置にまで移動してくると、シャッター５７ａに設けられている図示しないロック機構が、カセット５２の蓋５２ｂに設けられた固定機構５２ｅのピニオン５２ｇと連結し、固定機構５２ｅが解除され（図５参照）、容器５２ａから蓋５２ｂを取り外し可能な状態となるとともに、蓋５２ｂがシャッター５７ａに保持される。
【００４２】
つぎに、シャッター５７ａは、シャッター進退機構５７ｄにより後退させられる。後退することで、カセット５２の開口５２ｃは、開いた状態となり、蓋５２ｂを保持したシャッター５７ａとの間に空間が生じる。
【００４３】
そして、隔壁５５とシャッター駆動装置５７との間に設置されている昇降装置５１の昇降部５１ｂが、基部５１ａに対して上昇するように駆動される（図２の２点鎖線で示す位置）。昇降部５１ｂが、上昇限に達したときに、昇降部５１ｂの上部に設置された両アーム（４、５）は、カセット５２の開口５２ｃに面し、且つ、最上段に位置する溝５２ｄより若干上に位置するように調整されている。
【００４４】
ここで、図１を参照すると、昇降部５１ｂが上昇限に達し、カセット５２の開口５２ｃに対して突出可能な状態にある両アーム（４、５）の様子が実線で示されている。この状態から、ロッド６ｂがエアーシリンダ６ａに対して突出するように前進動作を行うことで、リンク部材（６ｃ、６ｄ）および揺動軸７を介して、駆動側アーム４が回動し、その一端側４ａに取り付けられた送信器２が、カセット５２内に突出する。
【００４５】
そして、このとき、揺動軸７に取り付けられた駆動側ギヤ１０ａと、揺動軸８に取り付けられた従動側ギア１０ｂとの噛合を介して、従動側アーム５が回動し、その一端側５ａに取り付けられた受信器３が、送信器２と同様カセット５２内に突出する。
【００４６】
駆動側アーム４と従動側アーム５とは、ギヤ１０ａ、１０ｂにより連動して回動するが、停止手段９の斜面９ａと従動側アーム４の側部４ａとが当接することで、両アーム（４、５）とも停止する。このとき、前述したように、駆動手段６によって両アーム（４、５）が停止手段９に対して押し付けられるように停止することで、バックラッシュの影響を受けず、送信器２および受信器３が、正確に位置決めされる。
【００４７】
送信器２と受信器３とが、正確に位置決めされた後は、送信器２から受信器３に向かって信号が発せられる。そして、昇降部５１ｂの下降とともに、送信器２と受信器３との間に形成されている信号経路Ｓが、基板Ｗの存在しているところでは遮られ、基板Ｗの存在していないところでは遮られずに受信器３に達することで、順次、基板Ｗの収納状態が検出されていく。
【００４８】
こうして、カセット５２内の全ての溝５２ｄに関して、基板Ｗの収納状態に関する情報が得られることになる。そして、例えば、基板処理装置５０の処理部５３にて、当該カセット５２の処理が行われる場合に、この基板検出情報に基づいて、カセット５２の特定の溝５２ｄから基板Ｗを取り出すとともに、処理後さらにその基板Ｗを取り出した溝５２ｄへと返却収納するような場合に利用されることになる。
【００４９】
なお、カセット５２内で、基板Ｗの検出のための信号発信が終了すると、ロッド６ｂが、エアーシリンダ６ａに対して縮退するように後退動作を行うことで、リンク部材（６ｃ、６ｄ）、揺動軸（７、８）、連動手段（１０ａ、１０ｂ）を介して、両アーム（４、５）は、通過口５５ａに突出した状態から、再び、図１（ａ）に実線で示す状態へと退避する。
【００５０】
以上が、本実施形態例に係る基板検出装置１についての説明であるが、この基板検出装置１によると、送信器２から発せられた信号を受信器３で確実に受信することができ、カセット５２内に収納された基板Ｗの状態を正確に検出することができる。
【００５１】
また、実施の形態は、上記に限定されるものではなく、例えば、次のように変更して実施してもよい。
（１）本実施形態例においては、送信器が取り付けられたアームを駆動手段によって直接的に駆動し、受信器が取り付けられたアームを連動手段を介して駆動する例を示しているが、逆の関係であっても本発明を適用し得る。すなわち、受信器が取り付けられたアームを駆動手段によって直接的に駆動し、送信器が取り付けられたアームを連動手段を介して駆動するものであってもよい。
【００５２】
（２）本実施形態においては、連動手段は、一対の歯車より構成されているものであるが、必ずしもこの通りでなくてもよい。例えば、ラックとピニオンが組み合わされたものなど種々のものであっても、本発明を適用し得る。
【００５３】
（３）本実施形態例においては、停止手段は、他方のアームと当接する斜面を備えるものを例示しているが、必ずしもこの通りでなくても本発明を適用し得る。例えば、他方のアームと当接するピン部材等であってもよい。
【００５４】
（４）また、本実施形態例の基板検出装置１において、停止手段９の代わりに、図４に示すような停止手段９１を設けるものであってもよい。すなわち、停止手段９１のように、少なくとも他方のアーム５の側部５ｃと当接する斜面９１ａを備えるものであれば、本発明の効果を奏し得る。
【００５５】
（５）本実施形態例においては、基板検出装置は、隔壁５５とシャッター駆動装置５７との間に設置される昇降装置５１に対して取り付けられているものであるが、シャッター駆動装置５７のシャッター５７ａに対して取り付けても、本発明と同様の効果を奏し得る。
【００５６】
（６）本実施形態例においては、送信器と受信器との間に形成される信号経路が、基板の存在によって遮られることにより、基板の収納状態を検出していくものであるが、必ずしも、このとおりでなくもよい。例えば、基板の周囲側面に反射した信号を受信器で受信することで、基板の存在を検出するものであってもよい。
【００５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る基板検出装置の第１の特徴によると、一対のアームは、連動手段を介して駆動され、この両アームの連動が停止手段により停止させられることで、両アームとも停止することになる。そして、両アームの連動が停止した後も、駆動手段を駆動しつづけることで、両アームが揺動しないような力が与えられることになる。すなわち、停止手段により停止させられた後も、駆動手段により揺動しないように付勢されているため、両アームはともに位置決めされることになる。このため、構成要素間に存在する隙間などにより、両アームの位置決めがずれることがなく、送信器および受信器を正確に位置決めすることができる。したがって、基板収納容器内に収納された基板の状態を正確に検出することができる検出装置を提供することができる。
【００５８】
また、本発明に係る基板検出装置の第２の特徴によると、駆動側ギヤと従動側ギヤとの噛み合いにより一対のアームが連動して回動されるため、高い同期性が得られる。そして、従動側アームが停止手段と当接することで、駆動側アームもともに回動を停止し、さらに、従動側アームが停止手段により停止させられた後も、駆動側アームを停止手段方向に回動させる力が働くようにすることで、両アームはともに位置決めされる。これにより、歯車の噛み合い部分に存在するバックラッシュの影響を受けて両アームの位置決めがずれてしまうことがなく、送信器および受信器を正確に位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態例に係る基板検出装置が、昇降装置に取り付けられている状態を示す図であり、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は正面図を示す。
【図２】本実施形態例に係る基板検出装置が取り付けられる基板処理装置の概略図である。
【図３】本実施形態例の基板検出装置における一対の歯車の噛み合いを示す図である。
【図４】変形例に係る基板検出装置が、昇降装置に取り付けられている状態を示す図である。
【図５】ＦＯＵＰカセット内に基板が収納されている状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  基板検出装置
２  送信器
３  受信器
４  一方のアーム
４ａ  一端側
４ｂ  他端側
５  他方のアーム
５ａ  一端側
５ｂ  他端側
６  駆動手段
９  停止手段
１０  連動手段
１０ａ  駆動側ギヤ
１０ｂ  従動側ギヤ
５１  昇降装置
５２  カセット
５２ｃ  開口
５２ｄ  溝
Ｓ  信号経路
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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