(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一方向ａに移動する第一テーブル１と、第一方向ａと直交する第二方向ｂに移動する第二テーブルとを積層して成り、不動部と該不動部に対して直動する直動部とから成り第一テーブルを移動させる為の第一アクチュエーターと、この第一アクチュエーターと略同一平面状にして該第一アクチュエーターの直動部の直動方向に対して所定の角度θ1となるように配され、且つ、不動部と該不動部に対して直動する直動部とから成り第二テーブルを移動させる為の第二アクチュエーターと、この第二アクチュエーターの直動部に設けられる第一摺動手段と、第二テーブルに第一アクチュエーターの直動部の直動方向に平行する状態で設けられ前記第一摺動手段と組み合わせられて摺動を実現する第二摺動手段と、第二テーブルを第一テーブルに対して第二方向ｂに摺動させる第三摺動手段とで構成されることを特徴とするテーブル装置。
【請求項２】
請求項１記載のテーブル装置において、前記所定の角度θ1を９０°未満に設定したことを特徴とするテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、簡易構造にして秀れた効果を発揮するテーブル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、図１に図示したように、第一方向ａに移動する第一テーブル31と、第一方向ａと直交する第二方向ｂに移動する第二テーブル32とを積層したテーブル装置（以下、従来例という。）が提案されている（尚、第二テーブル32の上には移動させたい部材を載置する。）。
【０００３】
この従来例は、第一テーブル31に該第一テーブル31を移動させ第一ボールネジ35が、第二テーブル32に該第二テーブル32を移動させる第二ボールネジ38が夫々設けられており、この第一ボールネジ35及び第二ボールネジ38は、夫々モーター33ａ，36ａにより回動する螺杆33ｂ，36ｂに図示省略のナット部材を螺着したもので、該ナット部材に第一テーブル31及び第二テーブル32夫々を連設し、第一ボールネジ35及び第二ボールネジ38を夫々回動させることにより、当該両テーブル31，32が第一方向ａ，第二方向ｂへ移動するものである。
【０００４】
尚、符号34，37はガイドレール、39，40はガイド体である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来例は第一テーブル31の上に第二テーブル32及び第二ボールネジ38等を設置した積層構造の為に、装置自体の背が高くなってしまい、しかも、第一テーブル31上の重量が重くなる為、第一テーブル31及び第一ボールネジ35にかかる負荷が大きくなり高速駆動性，高応答性に問題が生じ、更に、第二テーブル32を移動させた際、第二ボールネジ38及びセンサー等のコード38ａも共に移動することになる為に、コード38ａの破損や他部品との干渉が無いように留意しなければならない（実際、テーブル装置に接続されるコード等の配線は数ｍにも及び、この配線は長ければ長いほど上記欠点は顕著となる。）。
【０００６】
従って、従来例は上記構造故に種々の問題点を抱えている。
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決するテーブル装置を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００９】
第一方向ａに移動する第一テーブル１と、第一方向ａと直交する第二方向ｂに移動する第二テーブル２とを積層して成り、不動部３と該不動部３に対して直動する直動部４とから成り第一テーブル１を移動させる為の第一アクチュエーター５と、この第一アクチュエーター５と略同一平面状にして該第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に対して所定の角度θ1となるように配され、且つ、不動部６と該不動部６に対して直動する直動部７とから成り第二テーブル２を移動させる為の第二アクチュエーター８と、この第二アクチュエーター８の直動部７に設けられる第一摺動手段９と、第二テーブル２に第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に平行する状態で設けられ前記第一摺動手段９と組み合わせられて摺動を実現する第二摺動手段10と、第二テーブル２を第一テーブル１に対して第二方向ｂに摺動させる第三摺動手段11とで構成されることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１０】
また、請求項１記載のテーブル装置において、前記所定の角度θ1を９０°未満に設定したことを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００１１】
【発明の作用並びに効果】
第一アクチュエーター５及び第二アクチュエーター８を適宜作動させ、第一アクチュエーター５，第二アクチュエーター８，第一摺動手段９，第二摺動手段10，第三摺動手段11により、第一テーブル１を第一方向ａに、第二テーブル２を第二方向ｂに移動させる。
【００１２】
本発明は上述のように第一アクチュエーター５及び該第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に対して角度θ1で配される第二アクチュエーター８を略同一平面状に配するとともに、第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に平行する状態で設けられたガイドレール10及び該ガイドレール10と組み合わせられて摺動を実現し直動部７に設けられたガイド体９及び第三摺動手段11を具備しているから、従来例と同様に第一テーブル１，第二テーブル２は第一方向ａ，第二方向ｂに移動することは勿論、従来例のように、装置自体の背が高くなってしまうことがなく、しかも、第一テーブル１上の重量が軽量となる為、第一テーブル１及び第一アクチュエーター５にかかる負荷が軽減され高速駆動性及び高応答性に秀れ、更に、第二テーブルを移動させた際に生じるコードの破損や他部品との干渉が可及的に防止され、その上、簡易構造にしてコスト安となる従来にない画期的なテーブル装置となる。
【００１３】
【発明の実施の態様】
第一テーブル１は、図２，３，４に図示したように適宜な鋼製部材を平面視方形状に形成された板状体であり、この第一テーブル１の上面にして長さ方向両端部には後述する第二テーブル２のガイド体11ｂと嵌合するガイドレール11ａ（このガイド体11ｂとガイドレール11ａが第三摺動手段11）が設けられ、更に、裏面にして長さ方向両端部の適所には設置台12の両端に設けられたガイドレール14に嵌合するガイド体13が設けられている。
【００１４】
第一アクチュエーター５は、図２，３，４に図示したように、設置台12の一端側に配設された正逆回転自在（図２中Ａ）のモーター３ａにより回動する不動部３としての螺杆３ｂと、この螺杆３ｂに螺合して該螺杆３ｂの回動により該螺杆３ｂの軸方向へ移動する直動部４としてのナット部材とから成り、この直動部４は前記第一テーブル１に連結されている。
【００１５】
第二テーブル２は、図２，３，４に図示したように適宜な鋼製部材を平面視方形状に形成された板状体であり、この第二テーブル２の裏面には前記第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に平行する状態に設定された第二摺動手段10としてのガイドレール10が設けられており、更に、裏面適所には当該第一テーブル１の上面に設けたガイドレール11ａに嵌合するガイド体11ｂが設けられている。
【００１６】
第二アクチュエーター８は、図２，３，４に図示したように、前記設置台12の一端側に配設された第一アクチュエーター５に同一平面状にして該第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に対する角度が２０°に設定された状態で配設されており、正逆回転自在（図２中Ｂ）のモーター６ａにより回動する不動部６としての螺杆６ｂと、この螺杆６ｂに嵌合して該螺杆６ｂの回動により該螺杆６ｂの直動方向へ移動する直動部７としてのナット部材とから成り、更に、この直動部７の上面には該直動部７の直動方向に対して２０°の角度θ1を有する状態で第一摺動手段９としてのガイド体９が固着され、このガイド体９と前記第二テーブル２の裏面に設けたガイドレール10とを嵌合させている。
【００１７】
従って、螺杆３ｂを回動させると第一テーブル１は第一方向ａ（図２中左右方向）へ移動する。この際、第二テーブル２に固着されたガイドレール10は直動部７に固着されたガイド体９に対して摺動する。また、右螺杆６ｂを回動させると第二テーブル２は第二方向ｂ（図２中上下方向）へ移動する。即ち、第二アクチュエーター８に係る直動部７を図２中左斜め下方向へ移動させた場合、ガイドレール11ａで誘導され図２中下側方向へ移動し、これとは反対に、直動部７を図２中右斜め上方向へ移動させた場合には、ガイドレール11ａで誘導され図２中上側方向へ移動することになる。
【００１８】
尚、本実施例は、第二アクチュエーター８に係る直動部７の直動方向を第一アクチュエーター５に係る直動部４の直動方向に対して２０°の角度θ1を有する状態に設定しているが、この角度θ1を大きくすればする程（９０°に近づく程）第二テーブル２の第二方向ｂへの移動量を多くすることができ、小さくすればする程（０°に近づく程）第一テーブル２の第二方向ｂへの移動量は少なくなるが、その分だけ移動力が大きくなる。
【００１９】
符号１ａは第一テーブル１に穿設され、直動体７の移動を可能にする間隙部，３ａ’，６ａ’はモーター３ａ，６ａ夫々に連設されるコードである。
【００２０】
次に、第一アクチュエーター５及び第二アクチュエーター８夫々を表１（基本操作パターン）に従い操作すると、第一テーブル１及び第二テーブル２は図５に図示したように移動する。
【００２１】
尚、表１中の±Ｎ1はモーター３ａ，６ａを正逆回転いずれか一方に回転させた際のある一定量の回転数，±Ｎ1×ＬXは第一テーブル１のモーター３ａの回転数±Ｎ1における移動量，±Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）は第二テーブル２のモーター６ａの回転数±Ｎ1における移動量を示し、図５中の符号＋Ｘ，−Ｘは第一テーブルの移動方向（第一方向ａ）を示す軸，＋Ｙ，−Ｙは第二テーブルの移動方向（第二方向ｂ）を示す軸である。また、この場合、螺杆３ｂ，６ｂは右螺子で且つ同一リードの場合である。
【００２２】
【表１】
0003878252.tif 000002
【００２３】
パターン１は、モーター３ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1，モーター６ａは駆動させず回転数を０に設定した場合であり、第一テーブル１は−Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブル２は移動しない。これは、モーター３ａだけ回転数をＮ1させたとき、第一テーブル１は−Ｘ軸方向に−Ｎ1×ＬXだけ移動することを示し、第二テーブル２は移動しないことを示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｂの状態へ移動）。
【００２４】
パターン２は、モーター３ａを駆動させて回転数を−Ｎ1，モーター６ａは駆動させず回転数を０に設定した場合であり、第一テーブル１は＋Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブル２は移動しない。これは、前記パターン１の逆移動を示し、即ち、モーター３ａだけ回転数を−Ｎ1させたとき、第一テーブル１は＋Ｘ軸方向に＋Ｎ1×ＬXだけ移動することを示し、第二テーブル２は移動しないことを示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｃの状態へ移動）。
パターン３は、モーター３ａは駆動させず回転数を０，モーター６ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブル１は移動せず、第二テーブル２は＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、モーター６ａだけ回転数を＋Ｎ1させたとき、第一テーブル１は移動しないことを示し、第二テーブル２は＋Ｙ軸方向に＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動することを示す（図６中５−Ａの状態から５−Ｄの状態へ移動）。
【００２５】
パターン４は、モーター３ａは駆動させず回転数を０，モーター６ａを駆動させて回転数を−Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブル１は移動せず、第二テーブル２は−Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、前記パターン３の逆移動であり、即ち、モーター６ａだけ回転数を−Ｎ1させたとき、第一テーブル１は移動しないことを示し、第二テーブル２は−Ｙ軸方向に−Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動することを示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｅの状態へ移動）。
【００２６】
パターン５は、モーター３ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1，モーター６ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブル１は−Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブル２は＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、前記パターン１とパターン３との組み合わせから生じた結果を示しており、即ち、第一テーブル１は、パターン１において移動量が−Ｎ1×ＬXでパターン３において移動量が０であった為に、その両パターン１，３で設定されたモーター３ａ，６ａ夫々の条件を組み合わせたパターン５ではそのまま移動量が−Ｎ1×ＬXとなり、よって、第一テーブル１は−Ｘ軸方向に−Ｎ1×ＬXだけ移動することを示し、また、第二テーブル２は、パターン１において移動量が０でパターン３において移動量が＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）であった為に、その両パターン１，３で設定されたモーター３ａ，６ａ夫々の条件を組み合わせたパターン５ではその移動量が＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）となり、よって、第二テーブル２は＋Ｙ軸方向に＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動することを示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｆの状態へ移動）。
【００２７】
パターン６はモーター３ａを駆動させて回転数を−Ｎ1，モーター６ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブル１は＋Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブル２は＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、前記パターン２とパターン３との組み合わせから生じた結果を示しており、即ち、第一テーブル１は、パターン２において移動量が＋Ｎ1×ＬXでパターン３において移動量が０であった為に、その両パターン２，３で設定されたモーター３ａ，６ａ夫々の条件を組み合わせたパターン６ではそのまま移動量が＋Ｎ1×ＬXとなり、よって、第一テーブル１は＋Ｘ軸方向に＋Ｎ1×ＬXだけ移動することを示し、また、第二テーブルは、パターン２において移動量が０でパターン３において移動量が＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）であった為に、その両パターン２，３で設定されたモーター３ａ，６ａ夫々の条件を組み合わせたパターン６ではその移動量が＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）となり、よって、第二テーブル２は＋Ｙ軸方向へ＋Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動することを示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｇの状態へ移動）。
【００２８】
パターン７はモーター３ａを駆動させて回転数を＋Ｎ1，モーター６ａを駆動させて回転数を−Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブル１は−Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブル２は−Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、前記パターン５，６で説明したのと同様にパターン１とパターン４とを組み合わせた結果生じた移動量を示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｈの状態へ移動）。
【００２９】
パターン８はモーター３ａを駆動させて回転数を−Ｎ1，モーター６ａを駆動させて回転数を−Ｎ1に設定した場合であり、第一テーブルは＋Ｎ1×ＬXだけ移動し、第二テーブルは−Ｎ1（ＬY×ｓｉｎ２０）だけ移動する。これは、前記パターン５，６，７で説明したのと同様にパターン２とパターン４とを組み合わせた結果生じた移動量を示す（図５中５−Ａの状態から５−Ｉの状態へ移動）。
【００３０】
本実施例は上述のように、第一アクチュエーター５及び該第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に対して２０°の角度θ1で配される第二アクチュエーター８を略同一平面状に配するとともに、第一アクチュエーター５の直動部４の直動方向に平行する状態で設けられたガイドレール10及び該ガイドレール10と組み合わせられて摺動を実現し直動部７に設けられたガイド体９及び第三摺動手段11を具備しているから、従来例と同様に第一テーブル１，第二テーブル２は第一方向ａ，第二方向ｂに移動することは勿論、従来例のように、装置自体の背が高くなってしまうことがなく、しかも、第一テーブル１上の重量が軽量となる為、第一テーブル１及び第一アクチュエーター５にかかる負荷が軽減され高速駆動性及び高応答性に秀れ、更に、第二テーブルを移動させた際に生じるコード３ａ’，６ａ’の破損や他部品との干渉が可及的に防止され、その上、簡易構造にしてコスト安となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例の斜視図である。
【図２】本実施例の平面図である。
【図３】本実施例に係る要部の縦断面図である。
【図４】本実施例に係る要部の側断面図である。
【図５】本実施例に係る第一テーブル及び第二テーブルの移動説明図である。
【符号の説明】
１  第一テーブル
２  第二テーブル
３  不動部
４  直動部
５  第一アクチュエーター
６  不動部
７  直動部
８  第二アクチュエーター
９  第一摺動手段
10  第二摺動手段
11  第三摺動手段
ａ  第一方向
ｂ  第二方向
θ1 角度
【図１】
0003878252.tif 000003
【図２】
0003878252.tif 000004
【図３】
0003878252.tif 000005
【図４】
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【図５】
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