(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定磁石と、該固定磁石の一面と対向する第１の開口部を備え、かつ該固定磁石を内部に保持する固定ケースとを有する固定部と、前記固定磁石の前記一面と対向する面を備えた移動磁石を有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定磁石に対して移動可能な移動部と、前記移動部によって塞がれていない前記第１の開口部を、該移動部の移動に対応して塞ぐ第１の移動カバーとを具備した移動体システムにおいて、
前記第１の移動カバーは、移動部を通る連続したシート部材であって、磁性体で形成されていることにより、前記第１の移動カバーが固定磁石に吸引されて第１の開口部を密閉可能とされ、
前記移動部は、前記移動磁石に接続され前記固定ケースにおける前記第１の開口部の上方側に移動可能に設置された移動部基体と、回転可能な一対のカバー押圧用のローラと、回転可能な一対のカバー持上用のローラとを備え、
前記カバー押圧用のローラは、夫々、前記移動部基体の進行方向の前後に、前記第１の移動カバーを上方から押圧して移動部が移動しても前記第１の移動カバーが常に前記第１の開口部を塞ぐように設置され、
前記カバー持上用のローラは、夫々、前記一対のカバー押圧用のローラの間、且つ、前記移動部基体よりも上方位置に、前記第１の移動カバーを上方に持ち上げ前記第１の移動カバーと前記固定ケースとの間に前記移動部基体が位置する空間を形成するように設置されていることを特徴とする移動体システム。
【請求項２】
固定磁石と、該固定磁石の一面と対向する第１の開口部を備え、かつ該固定磁石を内部に保持する固定ケースとを有する固定部と、前記固定磁石の前記一面と対向する面を備えた移動磁石を有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定磁石に対して移動可能な移動部と、前記移動部によって塞がれていない前記第１の開口部を、該移動部の移動に対応して塞ぐ第１の移動カバーとを具備した移動体システムにおいて、
前記第１の移動カバーは、移動部を通る連続したシート部材であって、磁性体で形成されていることにより、前記第１の移動カバーが固定磁石に吸引されて第１の開口部を密閉可能とされ、
前記移動部は、潤滑用カバーを備え、前記移動部の移動の際にこの潤滑用カバー上を前記第１の移動カバーが滑ることにより、前記移動部の移動の際の抵抗を軽減するようになされたものであることを特徴とする移動体システム。
【請求項３】
前記固定部を覆い、かつ前記第１の開口部と対応する第２の開口部を有する外部カバーと、
前記移動部に接続され、かつ前記第２の開口部の一部を塞ぐ移動部材と、前記移動部によって塞がれていない前記第２の開口部を、該移動部材の移動に対応して塞ぐ第２の移動カバーとをさらに具備することを特徴とする請求項１又は２記載の移動体システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品、機器を搬送する移動体システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体工場などにおいて、固定体に対して移動体が移動することで半導体部品の搬送や作業ロボットの移動等を行う移動体システムが用いられている。移動体システムにはリニアモータ方式やボールスクリュー方式等があるが、静粛性や固定体の同一軌道上に複数の移動体の配置が可能等の理由から、リニアモータ方式を用いる場合が次第に増えている。
リニアモータ方式の移動体システムでは、固定体側、移動体側それぞれに磁石を配置し、これらの磁石の反発力および吸引力を用いて移動体の移動を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
リニアモータ方式の移動体システムでは、磁石の磁力に引かれて鉄粉等の磁性材料の異物が移動体システム内に侵入し、固定体と移動体の間に挟まり、リニアモータを破壊する可能性がある。本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、内部への異物の侵入を防止できる移動体システムを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の請求項１に係る移動体システムは、固定磁石と、該固定磁石の一面と対向する第１の開口部を備え、かつ該固定磁石を内部に保持する固定ケースとを有する固定部と、前記固定磁石の前記一面と対向する面を備えた移動磁石を有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定磁石に対して移動可能な移動部と、前記移動部によって塞がれていない前記第１の開口部を、該移動部の移動に対応して塞ぐ第１の移動カバーとを具備した移動体システムにおいて、前記第１の移動カバーは、移動部を通る連続したシート部材であって、磁性体で形成されていることにより、前記第１の移動カバーが固定磁石に吸引されて第１の開口部を密閉可能とされ、前記移動部は、前記移動磁石に接続され前記固定ケースにおける前記第１の開口部の上方側に移動可能に設置された移動部基体と、回転可能な一対のカバー押圧用のローラと、回転可能な一対のカバー持上用のローラとを備え、前記カバー押圧用のローラは、夫々、前記移動部基体の進行方向の前後に、前記第１の移動カバーを上方から押圧して移動部が移動しても前記第１の移動カバーが常に前記第１の開口部を塞ぐように設置され、前記カバー持上用のローラは、夫々、前記一対のカバー押圧用のローラの間、且つ、前記移動部基体よりも上方位置に、前記第１の移動カバーを上方に持ち上げ前記第１の移動カバーと前記固定ケースとの間に前記移動部基体が位置する空間を形成するように設置されていることを特徴とする。
【０００５】
本発明の請求項２に係る移動体システムは、固定磁石と、該固定磁石の一面と対向する第１の開口部を備え、かつ該固定磁石を内部に保持する固定ケースとを有する固定部と、前記固定磁石の前記一面と対向する面を備えた移動磁石を有し、該第１の開口部の一部を塞ぐと共に、前記固定磁石に対して移動可能な移動部と、前記移動部によって塞がれていない前記第１の開口部を、該移動部の移動に対応して塞ぐ第１の移動カバーとを具備した移動体システムにおいて、前記第１の移動カバーは、移動部を通る連続したシート部材であって、磁性体で形成されていることにより、前記第１の移動カバーが固定磁石に吸引されて第１の開口部を密閉可能とされ、前記移動部は、潤滑用カバーを備え、前記移動部の移動の際にこの潤滑用カバー上を前記第１の移動カバーが滑ることにより、前記移動部の移動の際の抵抗を軽減するようになされたものであることを特徴とする。
【０００６】
本発明の請求項３に係る移動体システムが、前記固定部を覆い、かつ前記第１の開口部と対応する第２の開口部を有する外部カバーと、前記移動部に接続され、かつ前記第２の開口部の一部を塞ぐ移動部材と、前記移動部によって塞がれていない前記第２の開口部を、該移動部材の移動に対応して塞ぐ第２の移動カバーとをさらに具備してもよい。外部カバーの開口部を移動部材の移動に対応して塞ぐ第２の移動カバーを有することで、固定部内部への異物の侵入をより確実に防止できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る移動体システム１０を表す斜視図である。また、図２は移動体システム１０を上方（図１のＺ軸方向）から見た状態を表す上面図であり、図３，４はそれぞれ移動体システム１０を図１のＸ軸方向、Ｙ軸方向から見た状態を表す一部断面図である。
図１〜４に示すように、移動体システム１０は固定部（固定体）２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）３０，固定部２０と移動部３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッター）４０から構成される。後述するように移動部３０の移動はリニアモータ本体５０によって行われる。
【０００８】
固定部２０は、固定ケース２１、および固定ケース２１内に設置された固定磁石２３（第１の固定磁石２３ａおよび一対の第２の固定磁石２３ｂ）から構成される。固定ケース２１は、固定ケース底板２１ａ、固定ケース側板２１ｂ，固定ケース端板２１ｃ、および固定ケース上板２１ｄからなり、固定ケース上板２１ｄに開口部２５を有している。第１の固定磁石２３ａは、その一面が固定ケース上板２１ｄの開口部２５と対向するように固定ケース底板２１ａ上に設置されている。一方、一対の第２の固定磁石２３ｂは、両者間の間隙が開口部２５と対応するように固定ケース側板２１ｂと固定ケース上板２１ｄとの角部に対向して設置されている。固定磁石２３ａは、一体１つの、あるいは複数の固定磁石要素をＸ軸方向に配列して構成されている。一方、固定磁石２３ｂは、互いに異なる磁気特性を有する２つの固定磁石要素を交互に配列して構成されている。固定磁石要素は、固定磁石２３ａと固定磁石２３ｂそれぞれにおいて互いに対応するように配列され、移動部３０を移動させるリニアモータ本体５０の一部を構成する。
【０００９】
移動部３０は、所定の作業を実行するための機器等を適宜に保持する機器保持部として機能する。例えば、半導体部品実装作業を実行する場合には、半導体部品実装ヘッドや半導体部品搬送用ロボットなどが搭載され、単に半導体部品を搬送する作業を実行する場合には、半導体部品等を収容するラックなどが搭載される。なお、移動部３０が搭載する作業用機器としては、半導体製造に関わるものに限定されるものではなく、他の用途に用いられるロボット等であってもよい。
【００１０】
移動部３０は、移動部基体３１，移動磁石３２，移動ケース３３、およびローラ３４ａ〜３４ｄから構成される。
移動部基体３１は略平板状であり固定ケース上板２１ｄの上面上方に設置され固定部２０上をＸ軸方向に移動する。
移動磁石３２は、略直方体状であり、一端が移動部基体３１に接続され、他端が開口部２５を通して固定部２０の内部に挿入されている。
移動磁石３２は、その一面が第１の固定磁石２３ａと対向し、かつ一対の第２の固定磁石２３ｂ間に挟まれた状態となっており、固定磁石２３（第１の固定磁石２３ａおよび第２の固定磁石２３ｂ）と組み合わされてリニアモータ本体５０を構成する。
【００１１】
リニアモータ本体５０は、固定磁石２３（第１の固定磁石２３ａおよび第２の固定磁石２３ｂ）と移動磁石３２によって発生される磁界の反発力および吸引力によって動作し、固定部２０に対して移動部３０を移動できる。
この移動は、固定磁石２３（第１の固定磁石２３ａおよび第２の固定磁石２３ｂ）または移動磁石３２のいずれかの磁界の方向（Ｎ／Ｓ）を変化することで行われる。このため、固定磁石２３と移動磁石３２のいずれかが電磁石から構成される。即ち、固定磁石２３と移動磁石３２は、▲１▼固定磁石２３が電磁石で移動磁石３２が永久磁石、▲２▼固定磁石２３が永久磁石で移動磁石３２が電磁石、▲３▼固定磁石２３、移動磁石３２いずれも電磁石の３通りの組み合わせがあり得る。
【００１２】
固定磁石２３ａと移動磁石３２に対して、Ｎ，Ｓの磁極の内同じ磁極が互いに対向するようにされ、反発する磁力により、固定磁石２３ａは移動部２０を浮上させるように作用する。
即ち、移動磁石３２が一体の永久磁石あるいは電磁石とされる場合には、固定磁石２３ａも一体の永久磁石あるいは電磁石とされ、移動磁石３２が複数の極性が交互に異なる電磁石あるいは永久磁石から構成され、且つ反発力が移動中常に作用するよう、移動磁石３２と固定磁石３２ａの内少なくとも一方は電磁石とされる。
【００１３】
移動ケース３３は、移動ケース上板３３ａ，移動ケース側板３３ｂ，移動ケース端板３３ｃからなり、移動部基体３１を覆うと共に、移動部基体３１の側面と移動ケース側板３３ｂにおいて接続されている。
【００１４】
ローラ３４ａ〜３４ｄはそれぞれ、移動ケース３３内にあって、シャフトによって移動ケース側板３３ｂに回転可能に固定されている。この内、一対のカバー押圧用のローラ３４ａ，３４ｄは、移動部３０の下方（Ｚ軸負方向）、前後の進行方向（Ｘ軸正負方向）にそれぞれ設置されている。即ち、移動部３０は、カバー押圧用のローラ３４ａ，３４ｄが回転することで、固定部２０上を円滑に移動することができる。さらに、カバー押圧用のローラ３４ａ，３４ｄは、移動カバー４０を上方から押圧して、移動部３０が移動しても移動カバー４０が常に開口部２５を塞ぐようにしている。一対のカバー持上用のローラ３４ｂ，３４ｃは、固定部２０のやや中央上方寄りに設置されている。カバー持上用のローラ３４ｂ，３４ｃは、移動カバー４０を上方に持ち上げ、移動ケース３３内に移動部基体３１を設置する空間を確保している。
【００１５】
移動カバー４０は、シート状であり、その両端が固定部２０（固定ケース端板２１ｃ）に固定されている。移動カバー４０は、開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性体）の侵入を防止している。ここで、移動カバー４０を磁性体（例えば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹脂シート）から構成することで、開口部２５から固定部２０内部への異物の侵入をより強力に防止できる。磁性体が固定ケース上板２１ｄを通して第２の固定磁石２３ｂに吸引されることで、移動カバー４０を固定ケース上板２１ｄに密着する。このためには、固定ケース上板２１ｄの板厚を薄くしたり（例えば、０．２ｍｍ以下程度）、固定ケース上板２１ｄを磁性体から構成したりして、第２の固定磁石２３ｂに起因する磁界が固定ケース上板２１ｄの上面上で大きくなるようにするのが好ましい。なお、第１の固定磁石２３ａも第２の固定磁石２３ｂと同様に、磁性体から構成された移動カバー４０を吸引し得る。移動カバー４０は、移動ケース３３の内部において、カバー押圧用のローラ３４ａ，３４ｄと固定ケース上板２１ｄの上面との間に挟まれ、さらにカバー持上用のローラ３４ｂ、３４ｃによって上方に持ち上げられている。
【００１６】
次に移動体システム１０の動作について説明する。既に述べたように、リニアモータ本体５０が動作することで、移動部３０が固定部２０上をＸ軸に沿って移動する。移動カバー４０は、移動部３０が移動する際にもカバー押圧用のローラ３４ａ、３４ｄによって固定ケース上板２１ｄの上面上に押圧され、開口部２５を覆うことで固定部２０内部への異物の侵入を防止する。移動部３０においても、移動部基体３１が、さらには持ち上げられる移動カバー４０と両側の移動ケース側板３３ｂとが、固定部２０の上側の開口すなわち対向配置される固定磁石２３の間の間隙の上端を覆い、間隙への異物の侵入を防止する。このため、移動カバー４０と両側の移動ケース側板３３ｂとの隙間、移動ケース側板３３ｂの下端と固定部２０の上面との隙間は小さくされる。
【００１７】
移動部３０が移動すると、移動カバー４０が持ち上げられた箇所（ローラ３４ａ〜３４ｄで形成された空間）も移動する。この結果、移動部３０が移動しても移動部基体３１が設置される空間が常に確保される。さらに、ローラ３４ａ〜３４ｄが回転することで、大きな抵抗を受けることなく、移動部３０を移動することができる。
【００１８】
以上のように、移動カバー４０によって開口部２５を密閉することで、固定部２０内部への異物の侵入が防止される。移動カバー４０を磁性体で形成すると、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０内部への異物の侵入をより確実に防止できる。
【００１９】
また、ローラ３４ａ〜３４ｄは、移動部３０の移動の際の抵抗の軽減に寄与する。ここで、カバー押圧用のローラ３４ａ，３４ｄの前に移動カバー４０の表面に付着する異物を除去するための異物除去部材（例えば、ブラシ）を配置することができる。移動ケース３３内における固定部２０内部への異物の侵入をより確実に防止できる。
【００２０】
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２の実施形態に係る移動体システム１１０を表す斜視図である。また、図６は移動体システム１１０を図５のＹ軸方向から見た状態を表す一部断面図である。
図５，６に示すように、移動体システム１１０は固定部２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）１３０，固定部（固定体）２０と移動部１３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッター）１４０から構成される。
【００２１】
移動部１３０は、移動部基体３１，移動磁石３２、および潤滑用カバー３５から構成される。
【００２２】
潤滑用カバー３５は、移動部基体３１を覆い移動部１３０の移動の際における移動カバー１４０の抵抗を軽減する。潤滑用カバー３５上を移動カバー１４０が滑ることから、摩耗が少なくかつ滑りやすい材料、例えば樹脂材料から構成される。
移動カバー１４０は、シート状であり、その両端が固定部２０に固定されている。移動カバー１４０は、開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性体）の侵入を防止している。ここで、移動カバー１４０を磁性体（例えば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹脂シート）から構成することで、移動カバー１４０を固定カバー上板２１ｄに密着させ、固定部２０内部への異物の侵入をより強力に防止できる。移動カバー１４０は、移動部基体３１上において、潤滑用カバー３５と接触する。
【００２３】
以上のように、移動カバー１４０によって開口部２５が覆われることで、固定部２０内部への異物の侵入が防止される。移動カバー１４０を磁性体で形成すると、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０内部への異物の侵入をより確実に防止できる。また、潤滑用カバー３５は、移動部１３０の移動の際の抵抗の軽減に寄与する。
これ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省略する。
【００２４】
（第３実施形態）
図７は、本発明の第３の実施形態に係る移動体システム２１０を表す斜視図である。また、図８は移動体システム２１０を図７のＹ軸方向から見た状態を表す側面図である。
図７，８に示すように、移動体システム２１０は固定部２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）２３０，固定部（固定体）２０と移動部２３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッター）２４０、およびローラ２５１〜２５４から構成される。
【００２５】
移動部２３０は、移動部基体３１，移動磁石３２から構成される。
移動カバー２４０は、シート状であり、その両端が移動部基体３１の前後端に固定され、ローラ２５１〜２５４によって固定部２０の周囲を一周している。移動カバー２４０は、開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物（特に金属粉等の磁性体）の侵入を防止している。移動カバー２４０は移動部２３０の移動に伴い、固定部２０の周囲を回転する。
【００２６】
ローラ２５１〜２５４は、それぞれシャフトによって家屋等に回転可能に接続される。移動部２３０の移動の際にローラ２５１〜２５４が回転することで、移動カバー２４０が大きな抵抗を受けることなく固定部２０の周囲を回転できる。
【００２７】
ここで、移動カバー２４０を磁性体（例えば、金属シート、磁性体粉末を分散含有させた樹脂シート）から構成することで、移動カバー２４０を固定カバー上板２１ｄに密着させ、固定部２０内部への異物の侵入をより強力に防止できる。
【００２８】
以上のように、移動カバー２４０によって開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物の侵入が防止される。移動カバー２４０を磁性体で形成すると、固定磁石２３に吸引されることで、固定部２０内部への異物の侵入をより確実に防止できる。また、ローラ２５１〜２５４は、移動部２３０の移動の際の抵抗の軽減に寄与する。
これ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省略する。
【００２９】
（第４実施形態）
図９は、本発明の第４の実施形態に係る移動体システム３１０を表す斜視図である。また、図１０，１１はそれぞれ移動体システム３１０を図９のＸ軸方向、Ｙ軸方向から見た状態を表す一部断面図である。
図９〜１１に示すように、移動体システム３１０は固定部２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）３３０，固定部（固定体）２０と移動部３３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッター）３４０から構成される。
【００３０】
移動部３３０は、移動部基体３１，移動磁石３２から構成される。
移動カバー３４０は、シート状の移動カバー要素３４１，３４２から構成される。移動カバー要素３４１，３４２はそれぞれ、樹脂材料等の弾性材料から構成され、両端および側辺の一方が固定部２０の両側辺それぞれに固定され、かつ他の側辺が互いに重なり合っている。
移動カバー３４０は移動部基体３１と共に、開口部２５を覆い、固定部２０内部への異物の侵入を防止している。移動部基体３１が移動するときには、移動カバー３４０がその弾力性により伸縮することと、移動カバー要素３４１，３４２の重なり合う箇所がずれることで、移動部３３０の移動に対応し固定部２０の上面が覆われた状態を保持する。
移動部基体３１の大きさによっては、図９に示したように移動部基体３１上に移動カバー３４０で覆われない箇所が生じることもあるが、固定部２０上の移動部基体３１が存在しない箇所が移動カバー３４０で覆われていれば大きな問題とはならない。
【００３１】
以上のように、移動カバー３４０によって開口部２５を覆うことで、固定部２０内部への異物の侵入が防止される。このとき、移動カバー３４０の弾力性、および移動カバー要素３４１、３４２同士のズレが、固定部２０内部への異物の侵入防止に寄与する。
これ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省略する。
【００３２】
（第５実施形態）
図１２は、本発明の第５の実施形態に係る移動体システム４１０を表す斜視図である。また、図１３は移動体システム４１０を図１２のＹ軸方向から見た状態を表す一部断面図である。
図１２，１３に示すように、移動体システム４１０は固定部２０，固定部２０上をＸ軸方向に移動する移動部（移動体）４３０，固定部（固定体）２０と移動部４３０の間にあって固定部２０内への異物の侵入を防止する移動カバー（シャッター）４４０から構成される。
【００３３】
移動部４３０は、移動部基体３１，移動磁石３２から構成される。
移動カバー４４０は、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の移動カバー要素４４１，４４２から構成される。移動カバー要素４４１，４４２はそれぞれ、両端が固定ケース上板２１ｄの端部および移動部基体３１に固定されている。移動カバー４４０は、開口部２５を覆い、固定部２０内部への異物の侵入を防止している。そして、移動カバー要素４４１，４４２がＸ軸方向に伸縮することで、移動部４３０の移動に対応する
これ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省略する。
【００３４】
（第６実施形態）
図１４は、本発明の第６の実施形態に係る移動体システム５１０を表す一部断面図であり、図３と対応している。図１４に示すように、移動体システム５１０の固定部５２０は第２の固定磁石２３ｂを有せず、磁石としては第１の固定磁石２３ａと対応する固定磁石５２３のみを有している。この結果、リニアモータ本体５５０は移動磁石３２と固定磁石５２３のみから構成される。
【００３５】
固定磁石５２３は電磁石からなる固定磁石要素（図示せず）をＸ軸方向に多数並べて形成される。固定磁石要素は、移動磁石３２と対向する部分において移動磁石３２の磁極と同じ磁極が互いに対向するように励磁されると共に、移動磁石３２と対向する部分から移動先方向に外れる位置においては、移動磁石３２の磁極と異なる磁極となるように励磁される。一方、移動磁石３２と対向する部分から反移動先方向に外れる位置においては、移動磁石３２と対向する部分と同様に固定磁石要素は、移動磁石３２の磁極と同じ磁極となるように励磁される。図１４では、第１の実施形態で示した移動カバー４０を用いて開口部２５を覆い、固定部２０内部への異物の侵入を防止しているが、これは第１〜第５の実施形態のいずれに示した手段を用いても達成することができる。これ以外の点では、第１の実施形態と大きく変わるところがないので、説明を省略する。
【００３６】
（第７実施形態）
図１５は、本発明の第７の実施形態に係る移動体システム６１０を表す一部断面図であり、図３と対応している。図１５に示すように、移動体システム６１０は移動体システム１０をさらに外部ケース６６０で覆い、その開口部６６１から移動体システム１０に接続された保持部６７０を突き出した構成をしている。
【００３７】
外部ケース６６０は、開口部６６１を有する外部ケース上板６６２，外部ケース側板６６３，外部ケース端板（図示せず），外部ケース底板６６５から構成された略直方体の外形をしている。
【００３８】
保持部６７０は保持部上板６７１および保持部底板６７２から構成され、保持部底板６７２が移動体システム１０の移動部３０に接続されている。この結果、リニアモータ本体５０を動作することで、保持部６７０がＸ軸に沿って移動することになる。
【００３９】
移動体システム６１０では、外部から固定部２０内へ侵入する異物は外部ケース６６０の開口部６６１を通過する。従って、開口部６６１に異物の侵入を防止する手段を設置することで固定部２０内部への異物の侵入をより確実に防止できる。この手段として、第１〜第６の実施形態に示した異物侵入防止手段を適用することができる。
【００４０】
移動体システム６１０においては、この一例として、第４の実施形態に示した移動カバー３４０に対応する移動カバー６４０を用いている。第４の実施形態と同様に移動カバー６４０は移動カバー要素６４１，６４２から構成され、その弾力性等によって保持部６７０の移動に対応して開口部６６１を遮蔽した状態を保持している。
【００４１】
開口部６６１の遮蔽による異物の侵入防止は、第１〜第６の実施形態のいずれに示した手段を用いても達成することができる。また、固定ケース２１側での異物の侵入防止は、図１５に示した第１の実施形態に対応する手段の他、第２〜第６の実施形態で示した手段のいずれを用いることができる。このように、外部ケース６６０側、固定ケース２１側それぞれで適宜に異物侵入防止手段を併用できる。また、異物の侵入防止手段を外部ケース６６０側、固定ケース２１側のいずれか一方のみとすることも可能である。さらに、第７の実施形態においては、両端が外部ケース端板に固定されるリニアガイド３５（図示のように１本、あるいはＺ軸方向に離間して複数本）が移動磁石３２を貫通しＸ軸方向に配設される。リニアガイド３５は、移動部３０および保持部６７０を、Ｚ軸方向およびＹ軸方向の移動を規制する。複数本の場合には、移動磁石３２のＸ軸回りの回転方向にも規制する。第１〜５実施形態において、同様のリニアガイド３５を採用することで、固定磁石２３ａを廃止でき、第６実施形態においても、同様のリニアガイド３５を採用することにより、移動部３０を所定のＹ軸位置、Ｚ軸位置に確実に保持しつつ、Ｘ軸方向に移動可能とする。
【００４２】
さらにまた、第１〜第７の実施形態において、移動部３０（あるいは１３０，２３０，３３０，４３０のそれぞれ）の固定部２０に対する位置を電気的あるいは機械的に検知する位置検出手段を設けることで、検知位置を目標位置に一致させるようフィードバック制御を掛けながら移動部（あるいは１３０，２３０，３３０，４３０のそれぞれ）を移動させることが可能となり、所望の位置に正確に移動させることが可能となる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば内部への異物の侵入を防止できる移動体システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係る移動体システムを表す斜視図である。
【図２】  図１に示した移動体システムを上方から見た状態を表す上面図である。
【図３】  図１に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図４】  図１に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図５】  本発明の第２実施形態に係る移動体システムを表す斜視図である。
【図６】  図５に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図７】  本発明の第３実施形態に係る移動体システムを表す斜視図である。
【図８】  図７に示した移動体システムを側面から見た状態を表す側面図である。
【図９】  本発明の第４実施形態に係る移動体システムを表す斜視図である。
【図１０】  図９に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図１１】  図９に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図１２】  本発明の第５実施形態に係る移動体システムを表す斜視図である。
【図１３】  図１２に示した移動体システムの一部を取り除いた状態を表す一部断面図である。
【図１４】  本発明の第６実施形態に係る移動体システムを表す一部断面図である。
【図１５】  本発明の第７実施形態に係る移動体システムを表す一部断面図である。
【符号の説明】
１０…移動体システム、２０…固定部、２１…固定ケース、２３（２３ａ，２３ｂ）…固定磁石、２５…開口部、３０…移動部、３１…移動部基体、３２…移動磁石、３３…移動ケース、３４（３４ａ〜３４ｄ）…ローラ、３５…潤滑用カバー、４０…移動カバー、５０…リニアモータ本体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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