(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部において距離Ｑの間隔で直線状に並べられた４つの部品供給位置のうちの複数の上記部品供給位置にて供給される複数の部品を、その直径が距離Ｑである円周上に６個の部品保持部材を均等な間隔でそれぞれ配置した第１サブヘッドと第２サブヘッドとを、互いの上記円周の中心間の距離が距離Ｑの２倍となるように配置したヘッド部における上記第１サブヘッドの上記部品保持部材と上記第２サブヘッドの上記部品保持部材で保持し、
その後、それぞれの配置間隔を距離Ｑとして直線状に配置された４個の撮像素子のうちの複数の上記撮像素子を用いて、上記第１サブヘットにより保持された上記部品と上記第２サブヘッドにより保持された上記部品の画像を同時に撮像して、上記それぞれの部品保持部材による上記それぞれの部品の保持姿勢を認識し、
上記保持姿勢の認識結果に基づいて、上記それぞれの部品を回路形成体に装着する部品装着方法であって、
上記部品保持部材による上記部品の保持において、
上記部品のサイズが第１の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における６個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第１の値以上かつ上記第１の値より大きな第２の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における上記円周の中心に対して点対称な３個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第２の値以上かつ上記第２の値より大きな第３の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における上記円周の中心に対して点対称な２個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第３の値以上かつ上記第３の値より大きな第４の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における１個の上記部品保持部材に上記部品を保持させることを特徴とする部品装着方法。
【請求項２】
上記部品のサイズが上記第２の値以上かつ上記第４の値未満の場合は、
上記部品の保持において、上記第１及び第２サブヘッドの上記それぞれの円周の中心を結ぶ直線上に配置された複数の上記部品保持部材により、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に保持し、
上記部品の保持姿勢の認識において、上記第１及び第２サブヘッドにおいて、上記部品が保持された全ての上記部品保持部材を上記円周の中心を結ぶ直線上に配置させて、複数の上記撮像素子により同時に上記それぞれの部品の画像を撮像する、請求項１に記載の部品装着方法。
【請求項３】
上記部品のサイズが上記第２の値未満の場合は、
上記部品の保持において、
上記第１及び第２サブヘッドの上記それぞれの円周の中心を結ぶ直線上に配置された複数の上記部品保持部材により、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に保持し、
その後、上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心周りに上記それぞれの部品保持部材を回転移動させて、複数の他の上記部品保持部材を上記直線上に順次配置させて、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に、順次保持し、
上記部品の保持姿勢の認識において、
上記第１及び第２サブヘッドにおいて、上記部品が保持された上記それぞれの部品保持部材のうちの複数の上記部品保持部材を上記円周の中心を結ぶ直線上に配置させて、上記直線上に配置された複数の上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を複数の上記撮像素子により同時に撮像し、
その後、上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心周りに上記それぞれの部品保持部材を回転移動させて、上記部品が保持された上記それぞれの部品保持部材のうちの複数の他の上記部品保持部材を上記直線上に順次配置させて、複数の上記撮像素子により上記部品の画像を同時に、順次撮像する、請求項１に記載の部品装着方法。
【請求項４】
上記部品の保持姿勢の認識において、撮像される上記部品が、上記撮像素子の視野より大きなサイズを有する場合には、上記部品の一部を１個の上記撮像素子の視野内に配置させるとともに、上記部品の他の一部を隣接する別の１個の撮像素子の視野内に配置させて、上記それぞれの撮像素子により上記部品の保持姿勢の画像を分割して撮像する、請求項１から３のいずれか１つに記載の部品装着方法。
【請求項５】
部品供給部における複数の部品供給位置にて供給される複数の部品を回路形成体に装着する部品装着装置において、
その直径が距離Ｑである円周上に６個の部品保持部材を上記円周の中心周りに回転移動可能に均等な間隔でそれぞれ配置した第１サブヘッドと第２サブヘッドとを、互いの上記円周の中心間の距離が距離Ｑの２倍となるように配置したヘッド部と、
上記第１及び第２サブヘッドの上記円周の中心を結ぶ直線に対して平行な直線上に、それぞれの配置間隔を距離Ｑとして４つの部品供給位置を配置した部品供給部と、
上記円周の中心を結ぶ直線に対して平行な直線上に、上記部品保持部材により保持された上記部品の保持姿勢の画像を撮像する４個の撮像素子をそれぞれの配置間隔を距離Ｑとして配置する撮像装置と、
上記ヘッド部を移動させる移動装置とを備えることを特徴とする部品装着装置。
【請求項６】
上記移動装置は、上記回路形成体の装着表面に平行に配置され、かつ互いに直交して配置された２つの軸に沿って上記ヘッド部を移動させる、請求項５に記載の部品装着装置。
【請求項７】
上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心に対して点対称の配置関係にある上記それぞれの部品保持部材が、同じ形状の上記部品保持部材である、請求項５又は６に記載の部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品を回路形成体に装着する部品装着装置及び部品装着方法に関するものであり、特に複数の部品を回路形成体へ装着する際の装着に要する時間を短縮化させる部品装着装置及び部品装着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品の実装工程は、生産性向上の為に作業工程の信頼性向上と作業タクトの短縮が大きく要求されている。
【０００３】
従来、回路形成体の一例である回路基板ヘ、部品の一例であるチップ部品やＩＣチップ等の電子部品を装着する電子部品装着装置では、ヘッド部における吸着ノズルにより吸着保持された電子部品の吸着保持状態を、ＣＣＤカメラ等の撮像装置を用いて撮像された画像により認識し、予め設定された吸着保持状態と照合することにより、回路基板上の予め設定された装着位置に電子部品を装着できるようにヘッド部及び吸着ノズルの動作制御を行い、回路基板への電子部品の装着を行っている。
【０００４】
このような電子部品装着装置における回路基板への電子部品の装着方法を、図７に基づいて説明する。
【０００５】
図７は、従来における電子部品装着装置の模式的な斜視図であり、図７において、２０２はチップ部品やＩＣチップ等の電子部品、２０１は電子部品２０２の吸着保持を行う吸着ノズルであり、この吸着ノズル２０１は上下方向に移動可能となっている。さらに、この吸着ノズル２０１はヘッド部２０８に取り付けられており、ＸＹテーブル２０５により図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向にヘッド部２０８が移動可能となっている。
【０００６】
複数の電子部品２０２が電子部品供給部２０３に収納されて供給されており、吸着ノズル２０１で電子部品２０２を吸着保持することにより電子部品２０２を電子部品供給部２０３より取り出す。その後、ＸＹテーブル２０５によりヘッド部２０８を移動させることにより、所定位置にある撮像装置２０４の上方に吸着ノズル２０１を電子部品２０２が吸着保持された状態で移動させ、電子部品２０２が撮像部２０４の上方に位置したときに、ＸＹテーブル２０５は停止される。
【０００７】
その後、電子部品２０２の吸着ノズル２０１による吸着保持状態を撮像装置２０４により撮像し、上記撮像された画像が制御部２０６に出力され、制御部２０６において上記画像をもとに、電子部品２０２の吸着ノズル２０１に対する相対位置認識が行われる。それとともに、上記撮像装置２０４による撮像後、ＸＹテーブル２０５によりヘッド部２０８を移動させることにより、吸着ノズル２０１を電子部品２０２が吸着保持された状態で、電子部品装着部２０９に固定されている回路基板２０７上に移動させる。その後、制御部２０４における電子部品２０２の吸着ノズル２０１に対する相対位置認識結果に基づく相対位置補正を加えて、回路基板２０７に電子部品２０２が装着されることとなる。
【０００８】
しかしながら、このような電子部品の装着方法では、ＸＹテーブル２０５により吸着ノズル２０１は、１つの電子部品２０２の回路基板２０７への装着動作毎に、撮像装置２０４において電子部品２０２の画像の撮像を行う必要があり、また、各装着動作毎に撮像装置２０４の上方を経由しながら電子部品供給部２０３と電子部品装着部２０９との間の往復移動を繰り返し行う必要があり、多数の電子部品２０２を回路基板２０７へ装着するような場合にあっては、このような往復移動に要する時間が、実際に電子部品の装着動作に直接的に関係する動作に要する時間に比べて長くなり、電子部品の装着時間の短縮化に対応できないという問題点がある。
【０００９】
このような問題点を解決するため、ヘッド部２０８に備える吸着ノズル２０１の本数を増加させ、例えば、１０本の吸着ノズル２０１をヘッド部２０８に一列に備えさせ、吸着ノズル２０１に吸着保持された夫々の電子部品２０２が撮像装置２０４の上方を順次通過するように、ＸＹテーブル２０５によるヘッド部２０８の移動を行い、夫々の電子部品２０２の上記通過の際に、撮像装置２０４により電子部品２０２の画像を１個ずつ順次撮像する電子部品の装着方法が考えられた。
【００１０】
このような電子部品の装着方法であれば、電子部品供給部２０３と電子部品装着部２０９との間でのヘッド部２０８の往復移動回数を削減することができ、また、ヘッド部２０８の１回の往復移動の間に撮像装置２０４において複数の電子部品２０２の画像の撮像を１個ずつ順次に行うことができるため、電子部品装着装置における電子部品の装着時間の短縮化に対応することができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような電子部品の装着方法においては、各吸着ノズル２０１を備えるヘッド部２０８が大型化して、ヘッド部２０８の移動範囲を確保するために電子部品装着装置が大型化するといった吸着ノズル２０１の装備本数の増加による弊害の影響が大きくなり、電子部品装着装置における電子部品の装着効率の向上化へと結びつけることができないという問題点がある。
【００１２】
従って、本発明の目的は上記問題を解決することにあって、部品を保持して回路形成体上に装着する部品装着装置において、単位面積当りの部品保持部材の装備数を増加させて、部品装着ヘッドが装備する部品保持部材数の増加を図るとともに、部品保持部材により保持された部品の画像の撮像に要する時間の短縮化を図り、部品の装着に要する時間を効率的に短縮化させ、生産性を向上させることができる部品装着装置及び部品装着方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１４】
本発明の第１態様によれば、部品供給部において距離Ｑの間隔で直線状に並べられた４つの部品供給位置のうちの複数の上記部品供給位置にて供給される複数の部品を、その直径が距離Ｑである円周上に６個の部品保持部材を均等な間隔でそれぞれ配置した第１サブヘッドと第２サブヘッドとを、互いの上記円周の中心間の距離が距離Ｑの２倍となるように配置したヘッド部における上記第１サブヘッドの上記部品保持部材と上記第２サブヘッドの上記部品保持部材で保持し、
その後、それぞれの配置間隔を距離Ｑとして直線状に配置された４個の撮像素子のうちの複数の上記撮像素子を用いて、上記第１サブヘットにより保持された上記部品と上記第２サブヘッドにより保持された上記部品の画像を同時に撮像して、上記それぞれの部品保持部材による上記それぞれの部品の保持姿勢を認識し、
上記保持姿勢の認識結果に基づいて、上記それぞれの部品を回路形成体に装着する部品装着方法であって、
上記部品保持部材による上記部品の保持において、
上記部品のサイズが第１の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における６個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第１の値以上かつ上記第１の値より大きな第２の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における上記円周の中心に対して点対称な３個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第２の値以上かつ上記第２の値より大きな第３の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における上記円周の中心に対して点対称な２個の上記部品保持部材に上記部品を保持させ、
上記部品のサイズが上記第３の値以上かつ上記第３の値より大きな第４の値未満の場合は、上記第１及び第２サブヘッドの各々における１個の上記部品保持部材に上記部品を保持させることを特徴とする部品装着方法を提供する。
【００１５】
本発明の第２態様によれば、上記部品のサイズが上記第２の値以上かつ上記第４の値未満の場合は、
上記部品の保持において、上記第１及び第２サブヘッドの上記それぞれの円周の中心を結ぶ直線上に配置された複数の上記部品保持部材により、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に保持し、
上記部品の保持姿勢の認識において、上記第１及び第２サブヘッドにおいて、上記部品が保持された全ての上記部品保持部材を上記円周の中心を結ぶ直線上に配置させて、複数の上記撮像素子により同時に上記それぞれの部品の画像を撮像する、第１態様に記載の部品装着方法を提供する。
【００１６】
本発明の第３態様によれば、上記部品のサイズが上記第２の値未満の場合は、
上記部品の保持において、
上記第１及び第２サブヘッドの上記それぞれの円周の中心を結ぶ直線上に配置された複数の上記部品保持部材により、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に保持し、
その後、上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心周りに上記それぞれの部品保持部材を回転移動させて、複数の他の上記部品保持部材を上記直線上に順次配置させて、複数の上記部品供給位置から供給される上記部品を同時に、順次保持し、
上記部品の保持姿勢の認識において、
上記第１及び第２サブヘッドにおいて、上記部品が保持された上記それぞれの部品保持部材のうちの複数の上記部品保持部材を上記円周の中心を結ぶ直線上に配置させて、上記直線上に配置された複数の上記部品保持部材により保持された上記部品の画像を複数の上記撮像素子により同時に撮像し、
その後、上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心周りに上記それぞれの部品保持部材を回転移動させて、上記部品が保持された上記それぞれの部品保持部材のうちの複数の他の上記部品保持部材を上記直線上に順次配置させて、複数の上記撮像素子により上記部品の画像を同時に、順次撮像する、第１態様に記載の部品装着方法を提供する。
【００１７】
本発明の第４態様によれば、上記部品の保持姿勢の認識において、撮像される上記部品が、上記撮像素子の視野より大きなサイズを有する場合には、上記部品の一部を１個の上記撮像素子の視野内に配置させるとともに、上記部品の他の一部を隣接する別の１個の撮像素子の視野内に配置させて、上記それぞれの撮像素子により上記部品の保持姿勢の画像を分割して撮像する、第１から第３態様のいずれか１つに記載の部品装着方法を提供する。
【００１８】
本発明の第５態様によれば、部品供給部における複数の部品供給位置にて供給される複数の部品を回路形成体に装着する部品装着装置において、
その直径が距離Ｑである円周上に６個の部品保持部材を上記円周の中心周りに回転移動可能に均等な間隔でそれぞれ配置した第１サブヘッドと第２サブヘッドとを、互いの上記円周の中心間の距離が距離Ｑの２倍となるように配置したヘッド部と、
上記第１及び第２サブヘッドの上記円周の中心を結ぶ直線に対して平行な直線上に、それぞれの配置間隔を距離Ｑとして４つの部品供給位置を配置した部品供給部と、
上記円周の中心を結ぶ直線に対して平行な直線上に、上記部品保持部材により保持された上記部品の保持姿勢の画像を撮像する４個の撮像素子をそれぞれの配置間隔を距離Ｑとして配置する撮像装置と、
上記ヘッド部を移動させる移動装置とを備えることを特徴とする部品装着装置を提供する。
【００１９】
本発明の第６態様によれば、上記移動装置は、上記回路形成体の装着表面に平行に配置され、かつ互いに直交して配置された２つの軸に沿って上記ヘッド部を移動させる、第５態様に記載の部品装着装置を提供する。
【００２０】
本発明の第７態様によれば、上記第１及び第２サブヘッドの各々において、上記円周の中心に対して点対称の配置関係にある上記それぞれの部品保持部材が、同じ形状の上記部品保持部材である、第５態様又は第６態様に記載の部品装着装置を提供する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２６】
本発明の一実施形態にかかる部品装着装置の一例である電子部品装着装置１０１の模式的な平面図を図１に示す。図１に示すように、電子部品装着装置１０１は、部品の一例として電子部品２を吸着保持可能な部品保持部材の一例である吸着ノズル１を複数備えた部品装着ヘッド１０を備えている。また、電子部品装着装置１０１は、ヘッド部１０を電子部品装着装置１０１の機台上面に沿った方向である図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させるＸＹロボット１３と、電子部品装着装置１０１における機台上の図示Ｙ軸方向下側における端部に設けられ、複数の電子部品２を供給可能に収納している部品供給部の一例である複数のパーツカセット８と、電子部品装着装置１０１の機台上の中央付近に、電子部品２が装着される回路形成体の一例である回路基板４を解除可能に固定するステージ１２とを備えている。ここで、回路形成体とは、樹脂基板、紙−フェノール基板、セラミック基板、ガラス・エポキシ（ガラエポ）基板、フィルム基板などの回路基板、単層基板若しくは多層基板などの回路基板、部品、筐体、又は、フレームなど、回路が形成されている対象物を意味する。なお、図１において、図示Ｘ軸方向とＹ軸方向とは、互いに直交している。
【００２７】
ＸＹロボット１３は、電子部品装着装置１０１における図示Ｘ軸方向における機台上の両端部夫々に、角柱状の剛体で門型に形成されたＹ軸ロボット１３ａ、及び各Ｙ軸ロボット１３ａに梁状の両端を支持されて、各Ｙ軸ロボット１３ａにより図示Ｙ軸方向に進退移動可能なＸ軸ロボット１３ｂを備えており、ヘッド部１０は、Ｘ軸ロボット１３ｂ上を図示Ｘ軸方向に進退移動可能にＸ軸ロボット１３ｂに取り付けられている。
【００２８】
また、各パーツカセット８は、第１部品供給位置及び第２部品供給位置の一例である部品供給位置８ａにおいて電子部品２を供給可能となっており、部品供給位置８ａが一定の間隔である配列間隔Ｐでもって、図示Ｘ軸方向と平行に一列に配列されるように各パーツカセット８が上記機台上の上記端部に設置されている。
【００２９】
また、電子部品装着装置１０１は、吸着ノズル１により吸着保持された電子部品２の画像を撮像可能な撮像装置１１を備えている。撮像装置１１は、その撮像面を上向きとして、各パーツカセット８とステージ１２との間における上記機台上に設置されており、ＸＹロボット１３によるヘッド部１０の移動により、吸着ノズル１により吸着保持された電子部品２が、撮像装置１１の上方に位置された際に、撮像装置１１により電子部品２の画像が撮像される。その後、撮像された画像が撮像装置１１より出力されて、電子部品装着装置１０１が備える制御部６に転送される。制御部６において、撮像された画像により電子部品２の吸着ノズル１に対する相対位置認識が行われる。その後、吸着ノズル１による回路基板４への電子部品２の装着の際に、制御部６により、上記相対位置認識結果に基づく相対位置補正が加えられて、吸着ノズル１により電子部品２が回路基板４へ装着される。
【００３０】
なお、電子部品装着装置１０１が備える制御部６は、ヘッド部１０、ＸＹロボット１３、撮像装置１１、及び各パーツカセット８における夫々の動作を制御可能となっている。
【００３１】
次に、このような構成の電子部品装着装置１０１が備えるヘッド部１０及び撮像装置１１の構造を示す模式的な斜視図を図２に示す。
【００３２】
図２に示すように、ヘッド部１０は、６本の吸着ノズル１が備えられた第１サブヘッド及び第２サブヘッドの一例であるサブヘッド３を３個備えている。また、各サブヘッド３において備えられている各吸着ノズル１は、夫々のサブヘッド３の回転中心であるサブヘッド回転中心Ｒ回りの１つの円周上に配置されている。なお、この吸着ノズル１の配置についての詳細な説明は後述するが、各サブヘッド３における上記円周上において、各吸着ノズル１はサブヘッド回転中心Ｒ回りに正逆方向に回転移動可能となっている。さらに、各サブヘッド３は、各吸着ノズル１を上記サブヘッド回転中心Ｒ回りに正逆方向に回転移動させる回転機構の一例であるノズル回転機構５を備えており、また、各サブヘッド３はヘッド部１０に支持されている。
【００３３】
また、撮像装置１１は、ヘッド部１０の各サブヘッド３における吸着ノズル１に吸着保持された電子部品２の画像を撮像する撮像素子（第１撮像素子及び第２撮像素子）の一例である６個のＣＣＤ９と、各ＣＣＤ９と一対一に対応しかつ電子部品２の画像を対応するＣＣＤ９に結像するレンズ７とを備えている。また、互いに対応するレンズ７とＣＣＤ９の夫々の中心を結ぶように光軸Ｓが配置されており、レンズ７は光軸Ｓ上の図示上側に、ＣＣＤ９は光軸Ｓ上の図示下側に配置されている。撮像装置１１において、レンズ７の図示上側における光軸Ｓ上に電子部品２が位置されることにより、電子部品２の画像の撮像が可能となっている。
【００３４】
なお、各サブヘッド３におけるサブヘッド回転中心Ｒの軸、及び撮像装置１１における各光軸Ｓは、ステージ１２に固定された回路基板４における電子部品２の装着表面と略直交するように配置されている。
【００３５】
次に、このような構成の電子部品装着装置１０１が備えるヘッド部１０における吸着ノズル１の平面的な配置、及び撮像装置１１におけるレンズ７及びＣＣＤ９の平面的な配置について説明する。
【００３６】
図３（Ａ）は、ヘッド部１０における吸着ノズル１の平面的な配置を示す模式配置図であり、図３（Ｂ）は、撮像装置１１におけるＣＣＤ９及びレンズ７の平面的な配置を示す模式配置図である。図３（Ａ）に示すように、ヘッド部１０は３個のサブヘッド３を夫々のサブヘッド回転中心Ｒが図示Ｘ軸方向沿いに一列となるように備えており、各サブヘッド３は６本の吸着ノズル１を備えている。各サブヘッド３において、吸着ノズル１は、サブヘッド回転中心Ｒ回りのその円周上に均等な間隔でもって配列、つまり、上記サブヘッド回転中心Ｒに対して平面的に点対称に６本の吸着ノズル１が配置されている。また、吸着ノズル１が配置されている上記円周の直径寸法Ｑは、パーツカセット８における部品供給位置８ａの配列間隔Ｐの整数倍の間隔寸法の一例として、配列間隔Ｐと同じ寸法となっている。また、各サブヘッド３は、夫々の上記サブヘッド回転中心Ｒの軸の配列間隔を上記円周の直径Ｑの２倍の間隔でもって一列に、かつパーツカセット８の配列方向と略平行に、すなわち、図示Ｘ軸方向と略平行に配列されている。
【００３７】
また、図３（Ｂ）に示すように、撮像装置１１において、ＣＣＤ９は、夫々のその光軸Ｓが吸着ノズル１が配置されている上記円周の直径Ｑを一定の配列間隔として一列に、かつパーツカセット８の配列方向と略平行に、すなわち、図示Ｘ軸方向と略平行に配列されている。また、レンズ７は、夫々のＣＣＤ９と一対一に個別に対応されて、ＣＣＤ９の配列と同様に配列されている。
【００３８】
これにより、図３（Ａ）に示すように、サブヘッド３における夫々のサブヘッド回転中心Ｒを結ぶ線Ｌ上においては、サブヘッド３毎に２本ずつの吸着ノズル１、つまり、ヘッド部１０における合計６本の吸着ノズル１を同時に配置することが可能となっており、これら６本の吸着ノズル１の夫々の配列間隔は、配列間隔Ｐ（上記円周の直径Ｑ）とすることができる。
【００３９】
次に、このような構成の電子部品装着装置１０１において、パーツカセット８からの電子部品２の吸着取出、吸着取出しされた電子部品２の吸着状態の画像の撮像方法について説明する。
【００４０】
ヘッド部１０における各サブヘッド３は、図３（Ａ）に示すような配列にて吸着ノズル１を備えている。また、図４（Ａ）は、このようなヘッド部１０における吸着ノズル１の配列と電子部品装着装置１０１が備える複数のパーツカセット８の平面的な配置関係を模式的に示した模式説明図である。図４（Ａ）において、ヘッド部１０が備えるサブヘッド３を、図示左側より順に第１サブヘッド３−Ａ、第２サブヘッド３−Ｂ、及び第３サブヘッド３−Ｃとする。また、第１サブヘッド３−Ａが備える６本の吸着ノズル１を図示左端に位置する吸着ノズル１より時計回りに順に、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ２、・・・、１−Ａ６とし、また、第２サブヘッド３−Ｂについても同様に、吸着ノズル１−Ｂ１、１−Ｂ２、・・・、１−Ｂ６とし、さらに、第３サブヘッド３−Ｃについても同様に、吸着ノズル１−Ｃ１、１−Ｃ２、・・・、１−Ｃ６とする。また、図４（Ａ）に示すように、パーツカセット８の配列を図示左側より順に、パーツカセット８−１、８−２、・・・、８−６とし、パーツカセット８−１は部品供給位置８ａ−１を、パーツカセット８−２は部品供給位置８ａ―２を、・・・、パーツカセット８−６は部品供給位置８ａ−６を備えている。なお、図４（Ａ）においては、各パーツカセット８のうち、吸着ノズル１により電子部品２が吸着取出されるパーツカセット８についてのみ表示している。
【００４１】
なお、電子部品装着装置１０１の構成部が複数の部材により構成されている部材の説明においては、上記複数の部材のうちの個々の部材を特定する場合には、上記部材の符号を例えば、部材Ｘ−１、Ｘ−２、Ｘ−Ａ１、Ｘ−Ｃ６というように用い、上記複数の部材のうちの個々の部材を特定しない場合には部材Ｘというように用いている。ここでＸは、部材の符号として用いられる数字である。
【００４２】
まず、図４（Ａ）は、ヘッド部１０が備える各吸着ノズル１のうちの６本の吸着ノズル１により同時的に電子部品２の吸着取出しを行う場合である。図４（Ａ）に示すように、パーツカセット８−１の部品供給位置８ａ−１の上方に吸着ノズル１−Ａ１を、パーツカセット８−３の部品供給位置８ａ−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ１を、パーツカセット８−５の部品供給位置８ａ−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ１を位置させると、パーツカセット８−２の部品供給位置８ａ−２の上方に吸着ノズル１−Ａ４、パーツカセット８−４の部品供給位置８ａ−４の上方に吸着ノズル１−Ｂ４、パーツカセット８−６の部品供給位置８ａ−６の上方に吸着ノズル１−Ｃ４も位置されることとなる。その後、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ４、１−Ｂ１、１−Ｂ４、１−Ｃ１、及び１−Ｃ４の６本の吸着ノズル１により同時的な電子部品２の吸着取出が行われる。
【００４３】
なお、この場合、パーツカセット８−１及び８−２に収納されている電子部品２は夫々略同じ部品厚さを有する電子部品２であり、パーツカセット８−３及び８−４に収納されている電子部品２も夫々略同じ部品厚さを有する電子部品２であり、パーツカセット８−５及びパーツカセット８−６に収納されている電子部品２も夫々略同じ部品厚さを有する電子部品２である場合にあっては、各サブヘッド３毎に同時的に下降される夫々の吸着ノズル１の先端高さ位置を略同じ高さ位置とさせる。また、サブヘッド３毎に同時的に下降させる吸着ノズル１を夫々の先端の高さ位置を個別に制御しながら下降させることができる機構が備えられており、上記パーツカセット８毎に収納されている電子部品２が夫々異なる部品厚さを有する電子部品２であり、サブヘッド３毎において同時的に下降される夫々の吸着ノズル１の先端高さ位置を、上記機構により、吸着取出しが行われる夫々の電子部品２の部品厚さに応じて制御されるような場合であってもよい。
【００４４】
また、上記６本の吸着ノズル１による同時的な電子部品２の吸着取出が行われた後、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１が６０度反時計回りに回転移動されて、吸着ノズル１−Ａ２、１−Ａ５、１−Ｂ２、１−Ｂ５、１−Ｃ２、及び１−Ｃ５が部品供給位置８ａ−１から８ａ−６の上方に夫々位置されることとなり、これら６本の吸着ノズル１により同時的な電子部品２の吸着取出が行われる。
【００４５】
その後、さらに、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１が６０度反時計回りに回転移動されて、同様に、吸着ノズル１−Ａ３、１−Ａ６、１−Ｂ３、１−Ｂ６、１−Ｃ３、及び１−Ｃ６が部品供給位置８ａ−１から８ａ−６の上方に夫々位置されることとなり、これら６本の吸着ノズル１により同時的な電子部品２の吸着取出が行われる。
【００４６】
このような電子部品２の吸着取出方法においては、各サブヘッド３における吸着ノズル１の配置の特徴を利用した効率的な吸着取出を行うことが可能となる。
【００４７】
なお、上記においては、ヘッド部１０が備える各吸着ノズル１のうちの６本の吸着ノズル１により同時的に電子部品２の吸着取出しを行う場合について説明したが、このような場合に代えて、上記６本の吸着ノズル１のうちの複数の任意の吸着ノズル１により同時的に電子部品２の吸着取出しを行う場合であってもよいし、また、上記６本の吸着ノズル１のうちの任意の吸着ノズル１により順次電子部品２の吸着取出しを行う場合であってもよい。
【００４８】
また、ヘッド部１０においては、全ての吸着ノズル１が同じ種類の吸着ノズル１であってもよいし、又は、サブヘッド３毎に異なる種類の吸着ノズル１が備えられている場合であってもよい。また、各サブヘッド３において、上記サブヘッド回転中心Ｒに対して点対称に配置された吸着ノズル１が、夫々同じ種類の吸着ノズル１である場合であってもよい。
【００４９】
例えば、ヘッド部１０において、全ての吸着ノズル１が同じ種類の吸着ノズル１である場合にあっては、上記全ての吸着ノズル１により、同様な種類の電子部品２の吸着取出しを行う場合に、ヘッド部１０において、６本一列に配置することができる任意の吸着ノズル１の先端高さ位置を同じ高さ位置とすることができるため、上記図４（Ａ）において説明した吸着取出し方法を容易に行うことが可能となる。
【００５０】
また、例えば、サブヘッド３毎に異なる種類の吸着ノズル１が備えられているような場合、つまりサブヘッド３毎に同じ種類の吸着ノズル１が備えられているような場合にあっては、サブヘッド３毎に互いに点対称の配置にある任意の組の吸着ノズル１の先端高さ位置を同じ高さ位置とすることができるため、サブヘッド３毎に上記任意の組の吸着ノズル１による同時的な同様な種類の電子部品２の吸着取出しを容易に行うことができる。
【００５１】
また、例えば、サブヘッド３毎に上記点対称の配置にある組の吸着ノズル１が同じ種類の吸着ノズル１であるような場合にあっては、サブヘッド３毎に上記組毎の夫々の吸着ノズル１の先端高さ位置を同じ高さ位置とすることができるため、サブヘッド３毎において上記の組毎の夫々の吸着ノズル１による同時的な同様な種類の電子部品２の吸着取出しを容易に行うことができ、さらに、夫々のノズル回転機構５により各吸着ノズル１を回転移動させて、他の組の夫々の吸着ノズル１による同時的な電子部品２の吸着取出しを容易に行うことができる。
【００５２】
また、ノズル回転機構５による各吸着ノズル１の回転移動は、上記説明のように限定されるものではなく、サブヘッド回転中心Ｒ回りに正逆方向にかつ任意の移動角度にての回転移動を行うことができる。また、ノズル回転機構５は、サブヘッド３毎に１個ずつ備えられているため、サブヘッド３毎に各吸着ノズル１の上記回転移動を個別に行うことができる。
【００５３】
次に、図４（Ｂ）は、ヘッド部１０における吸着ノズル１の配列と撮像装置１１が備えるＣＣＤ９の平面的な配置関係を模式的に示した模式説明図である。また、ヘッド部１０における各サブヘッド３は、図３（Ａ）に示すような配列にて各吸着ノズル１を備えており、撮像装置１１は、図３（Ｂ）に示すような配列にて各ＣＣＤ９を備えている。図４（Ｂ）において、ヘッド部１０が備える夫々のサブヘッド３、及び夫々の吸着ノズル１を特定する場合には、図４（Ａ）における符号と同じ符号を用いる。また、図４（Ｂ）に示すように、撮像装置１１におけるＣＣＤ９の配列を図示左側より順に、ＣＣＤ９−１、ＣＣＤ９−２、・・・、ＣＣＤ９−６とする。なお、撮像装置１１においては、夫々のＣＣＤ９と一対一に対応するようにレンズ７が配置されているが、ＣＣＤ９とレンズ７の平面的な配置は同じであるため、以下においては、ＣＣＤ９とレンズ７の平面的な配置関係の説明をＣＣＤ９の配置関係の説明でもって代えるものとする。
【００５４】
図４（Ｂ）においては、ヘッド部１０が備える各吸着ノズル１のうちの６本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２の画像を、撮像装置１１により同時的に行うような電子部品の撮像方法を示している。各吸着ノズル１は、例えば、上記図４（Ａ）に示すような電子部品の吸着取出し方法によって、パーツカセット８からの電子部品２の吸着取出しを行うことにより、各吸着ノズル１は電子部品２が吸着保持された状態となっている。
【００５５】
図４（Ｂ）に示すように、ＣＣＤ９−１の上方に吸着ノズル１−Ａ１を、ＣＣＤ９−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ１を、ＣＣＤ９−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ１を位置させると、ＣＣＤ９−２の上方に吸着ノズル１−Ａ４を、ＣＣＤ９−４の上方に吸着ノズル１−Ｂ４を、ＣＣＤ９−６の上方に吸着ノズル１−Ｃ４も位置されることとなる。その後、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ４、１−Ｂ１、１−Ｂ４、１−Ｃ１、及び１−Ｃ４の６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像が行われる。なお、この電子部品２の画像の撮像の際においいては、各吸着ノズル１、又は各サブヘッド３、又はヘッド部１０の昇降動作が行われることにより、各電子部品２の撮像面である下面が撮像装置１１における撮像可能な高さ位置である撮像高さ位置に位置され、その後、夫々のＣＣＤ９の対応するレンズ７により、夫々の電子部品２の画像がＣＣＤ９に結像されることにより、電子部品２の画像の撮像が同時的に行われる。
【００５６】
上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の同時的な撮像が行われた後、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１が６０度反時計回りに回転移動されて、吸着ノズル１−Ａ２、１−Ａ５，１−Ｂ２、１−Ｂ５、１−Ｃ２、及び１−Ｃ５が、ＣＣＤ９−１から９−６の上方に夫々位置されて、これら６本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像が同時的に行われる。
【００５７】
その後、さらに、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１が６０度反時計回りに回転移動されて、同様に、吸着ノズル１−Ａ３、１−Ａ６、１−Ｂ３、１−Ｂ６、１−Ｃ３、及び１−Ｃ６が、ＣＣＤ９−１から９−６の上方に夫々位置されて、これら６本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像が同時的に行われる。
【００５８】
また、上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像が行われる毎に、夫々の画像が撮像装置１１より出力されて制御部６に転送され、制御部６において各画像の認識処理が施され、各電子部品２の吸着ノズル１に対する相対位置が認識される。なお、上記画像の出力は、上記場合に代えて、吸着保持された全ての電子部品２の画像の撮像後に、撮像装置１１より制御部６に出力される場合であってもよいし、又は、回路基板４に装着される電子部品２の装着順に出力されるような場合であってもよい。また、上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像を同時的に行う場合に代えて、上記６本の吸着ノズル１のうちの任意の複数の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像を同時的に行う場合であってもよいし、又は、上記６本の吸着ノズル１のうちの任意の吸着ノズル１により吸着保持された電子部品２に対して、順次電子部品２の画像の撮像を行う場合であってもよい。
【００５９】
電子部品装着装置１０１においては、様々な種類の電子部品２が取り扱われるため、取り扱われる電子部品２の大きさも様々なものがある。従って、このように電子部品２の大きさが異なるような場合であっても、このような電子部品２の画像の撮像を行える必要があり、このような場合における電子部品２の画像の撮像方法を以下に実施例として説明する。
【００６０】
図５及び図６は、吸着ノズル１、電子部品２及びＣＣＤ９の平面的な配置関係により夫々の実施例における電子部品の画像の撮像方法を示す模式説明図である。
【００６１】
図５（Ａ）及び（Ｂ）、及び図６（Ａ）及び（Ｂ）において、各吸着ノズル１及び各ＣＣＤ９は図３に示す配置と同様な配置となっている。ヘッド部１０の各サブヘッド３におけるサブヘッド回転中心回りの円周、つまり、各吸着ノズル１が配置されている円周の直径Ｑは２１．５ｍｍとなっており、サブヘッド回転中心Ｒの配列間隔は、４３ｍｍ（２１．５ｍｍ×２）となっている。また、撮像装置１１において、ＣＣＤ９の配列間隔の同様に、２１．５ｍｍとなっている。
【００６２】
各ＣＣＤ９は、画素仕様が１０２４×１２８０ピクセル、画像転送レートが１０ｆｒａｍｅ／ｓ、分解能が光学的に１６μｍ、撮像視野が１６ｍｍ×２０．５ｍｍのものが用いられている。また、各ＣＣＤ９はＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサを使用しており、このＣＭＯＳイメージセンサは素子の構造上、画像の切り出しが可能であり、画像切出し可能範囲として、５１２×５１２ピクセル（視野サイズ８ｍｍ×８ｍｍ）の画像切出し処理が可能となっており、この画像切出し処理を行うことにより、画像転送レートを３０ｆｒａｍｅ／ｓと高速化することが可能となる。
【００６３】
ここで、ＣＭＯＳイメージセンサについて説明すると、ＣＭＯＳイメージセンサは、１画素に１つずつ増幅器を備えており、この増幅器で電荷を電圧に変換し、１画素ごとに電圧を出力可能となっている。つまり、原理的にはメモリと同じように、任意の画素にアクセス可能となっており、ＣＭＯＳイメージセンサそのものに画像切出し機能が備わっている。
【００６４】
また、具体的な画像切出し処理の手順について説明すると、ＣＭＯＳイメージセンサにおいて、まず、画像切出し範囲となるウィンドウの原点を設定し、次にウィンドウの大きさを設定する。例えば、ウィンドウを長方形の枠とすると、ウィンドウの原点は、上記長方形の４つの頂点のうちの１つの頂点となる。ＣＭＯＳイメージセンサ内部においては、複数の画素夫々に個別にアドレスが備えられており、ウィンドウの原点となる画素のアドレスから、ウィンドウの横方向の終点アドレスを算出し、上記原点アドレスから上記終点アドレスまで、横方向に順番に画素を転送する。上記終点アドレスまでの画素の転送が終了したら、縦方向のアドレスに１つ変更をかけ、変更された縦方向のアドレスにおいて、上記横方向の画素転送を同様に行う。ウィンドウの原点となる画素のアドレスから、ウィンドウの縦方向の終点アドレスを算出し、上記縦方向の終点アドレスまで、これらの画素転送の動作を繰り返して行い、ウィンドウの大きさにおける画像切出し処理が終了する。
【００６５】
また、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５による各吸着ノズル１を静止状態から正逆いずれかの方向に６０度回転移動を行い再び各吸着ノズル１を静止状態とさせるまでに要する時間である６０度回転時間は５０ｍｓである。
【００６６】
なお、以下の説明においては、ヘッド部１０が備える夫々のサブヘッド３及び夫々の吸着ノズル１を、撮像装置１１が備える夫々のＣＣＤ９を特定する場合には、図４（Ａ）及び（Ｂ）における符号と同じ符号を用いる。
【００６７】
このような仕様のヘッド部１０及び撮像装置１１において、実施例１は、図５（Ａ）に示すように、吸着保持される電子部品２の平面的な大きさが６ｍｍ×６ｍｍまでの電子部品２を、ヘッド部１０が備える各吸着ノズル１夫々が吸着保持している場合である。
【００６８】
図５（Ａ）に示すように、ＣＣＤ９−１の上方に吸着ノズル１−Ａ１を、ＣＣＤ９−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ１を、ＣＣＤ９−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ１を位置させて、ＣＣＤ９−２の上方に吸着ノズル１−Ａ４を、ＣＣＤ９−４の上方に吸着ノズル１−Ｂ４を、ＣＣＤ９−６の上方に吸着ノズル１−Ｃ４も位置させる。その後、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ４、１−Ｂ１、１−Ｂ４、１−Ｃ１、及び１−Ｃ４の６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００６９】
その後、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１を６０度反時計回りに回転移動させて、吸着ノズル１−Ａ２、１−Ａ５，１−Ｂ２、１−Ｂ５、１−Ｃ２、及び１−Ｃ５が、ＣＣＤ９−１から９−６の上方に夫々位置させて、これら６本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００７０】
その後、さらに、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１が６０度反時計回りに回転移動させて、同様に、吸着ノズル１−Ａ３、１−Ａ６、１−Ｂ３、１−Ｂ６、１−Ｃ３、及び１−Ｃ６が、ＣＣＤ９−１から９−６の上方に夫々位置させて、これら６本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００７１】
上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像が行われる毎に、撮像装置１１から制御部６へ撮像された電子部品２の画像が転送されることになるが、この画像転送時間の短縮を図るために各ＣＣＤ９において撮像された画像の画像切出し処理を行っている。すなわち、各ＣＣＤ９において、画素仕様１０２４×１２８０ピクセルにて撮像された画像を、６ｍｍ×６ｍｍの大きさの電子部品２が撮像された部分を含めながら、５１２×５１２ピクセルの大きさの画像に切出しを行う。その後、画像切出し処理が施された電子部品２の画像が撮像装置１１より制御部６に転送される。なお、この画像切出し処理は、撮像される電子部品２の平面的な大きさが、上記画像切出し可能範囲内にある場合に行われ、撮像される電子部品２が上記画像切出し可能範囲内にあるかどうかの判断は制御部６により行われる。
【００７２】
このような撮像方法におけるヘッド部１０において吸着保持された電子部品２の画像の撮像に要する時間は、画像転送に要する時間（３０ｍｓ×３回）と、各吸着ノズル１の回転移動時間（５０ｍｓ×２回）との合計であり、１９０ｍｓとなる。
【００７３】
次に、実施例２は、図５（Ｂ）に示すように、吸着保持される電子部品２の平面的な大きさが１２ｍｍ×１２ｍｍまでの電子部品２を、ヘッド部１０が備える吸着ノズル１が吸着保持している場合である。このような大きさの電子部品２を吸着保持するような場合においては、図５（Ｂ）に示すように、各サブヘッド３においては、電子部品２の大きさにより、全ての吸着ノズル１により電子部品２を吸着することができないため、６本の吸着ノズル１のうちの互いに隣接しない３本の吸着ノズル１により電子部品２の吸着保持を行わせている。具体的には、図５（Ｂ）において、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ３、１−Ａ５、１−Ｂ１、１−Ｂ３、１−Ｂ５、１−Ｃ１、１−Ｃ３、及び１−Ｃ５の夫々に電子部品２が吸着保持されている。
【００７４】
まず、図５（Ｂ）に示すように、ＣＣＤ９−１の上方に吸着ノズル１−Ａ１を、ＣＣＤ９−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ１を、ＣＣＤ９−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ１を位置させる。その後、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ｂ１、及び１−Ｃ１の３本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００７５】
その後、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１を６０度時計回りに回転移動させて、ＣＣＤ９−２の上方に吸着ノズル１−Ａ３を、ＣＣＤ９−４の上方に吸着ノズル１−Ｂ３を、ＣＣＤ９−６の上方に吸着ノズル１−Ｃ３を位置させて、これら３本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００７６】
その後、さらに、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１を６０度時計回りに回転移動させて、ＣＣＤ９−１の上方に吸着ノズル１−Ａ５を、ＣＣＤ９−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ５を、ＣＣＤ９−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ５を位置させて、これら３本の吸着ノズル１夫々により吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００７７】
また、上記３本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像が行われる毎に、撮像装置１１から制御部６へ撮像された電子部品２の画像が転送される。
【００７８】
このような撮像方法におけるヘッド部１０において吸着保持された電子部品２の画像の撮像に要する時間は、画像転送に要する時間（１００ｍｓ×３回）と、各吸着ノズル１の回転移動時間（５０ｍｓ×２回）との合計であり、４００ｍｓとなる。
【００７９】
次に、実施例３は、図６（Ａ）に示すように、吸着保持される電子部品２の平面的な大きさが１５ｍｍ×１５ｍｍまでの電子部品２を、ヘッド部１０が備える吸着ノズル１が吸着保持している場合である。このような大きさの電子部品２を吸着保持するような場合においては、図６（Ａ）に示すように、各サブヘッド３においては、電子部品２の大きさにより、全ての吸着ノズル１により電子部品２を吸着することができないため、６本の吸着ノズル１のうちのサブヘッド回転中心Ｒに対して点対称となっている１組の吸着ノズル１により電子部品２の吸着保持を行わせている。具体的には、図６（Ａ）において、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ４、１−Ｂ１、１−Ｂ４、１−Ｃ１、及び１−Ｃ４の夫々に電子部品２が吸着保持されている。
【００８０】
まず、図６（Ａ）に示すように、ＣＣＤ９−１の上方に吸着ノズル１−Ａ１を、ＣＣＤ９−３の上方に吸着ノズル１−Ｂ１を、ＣＣＤ９−５の上方に吸着ノズル１−Ｃ１を位置させて、ＣＣＤ９−２の上方に吸着ノズル１−Ａ４を、ＣＣＤ９−４の上方に吸着ノズル１−Ｂ４を、ＣＣＤ９−６の上方に吸着ノズル１−Ｃ４を位置させる。その後、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ａ４、１−Ｂ１、１−Ｂ４、１−Ｃ１及び１−Ｃ４の６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、撮像装置１１における夫々の吸着ノズル１に対応するＣＣＤ９により画像の撮像を同時的に行う。
【００８１】
その後、上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像が行われる毎に、撮像装置１１から制御部６へ撮像された電子部品２の画像が転送される。
【００８２】
このような撮像方法におけるヘッド部１０において吸着保持された電子部品２の画像の撮像に要する時間は、各吸着ノズル１の回転移動を伴わないため、画像転送に要する時間（１００ｍｓ×１回）のみであり、１００ｍｓとなる。
【００８３】
次に、実施例４は、図６（Ｂ）に示すように、吸着保持される電子部品２の平面的な大きさが２２ｍｍ×２２ｍｍまでの電子部品２を、ヘッド部１０が備える吸着ノズル１が吸着保持している場合である。このような大きさの電子部品２を吸着保持するような場合においては、図６（Ｂ）に示すように、各サブヘッド３においては、電子部品２の大きさにより、全ての吸着ノズル１により電子部品２を吸着することができないため、６本の吸着ノズル１のうちの１本の吸着ノズル１により電子部品２の吸着保持を行わせている。具体的には、図６（Ｂ）において、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ｂ１、及び１−Ｃ１の夫々に電子部品２が吸着保持されている。
【００８４】
このような大きさの電子部品２においては、各ＣＣＤ９における撮像視野（１６ｍｍ×２０．５ｍｍ）に電子部品２が納まりきらないため、１つの電子部品２を複数のＣＣＤ９により分割して撮像を行う。具体的には、２２ｍｍ×２２ｍｍの大きさの電子部品２を１１ｍｍ×１１ｍｍの大きさに４等分して、夫々の部分毎に撮像を行う。
【００８５】
まず、図６（Ｂ）に示すように、吸着ノズル１−Ａ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左上の部分がＣＣＤ９−１の上方に、上記４等分の図示右上の部分がＣＣＤ９−２の上方に、吸着ノズル１−Ｂ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左上の部分がＣＣＤ９−３の上方に、上記４等分の図示右上の部分がＣＣＤ９−４の上方に、吸着ノズル１−Ｃ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左上の部分がＣＣＤ９−５の上方に、上記４等分の図示右上の部分がＣＣＤ９−６の上方に位置させる。
【００８６】
その後、このような状態において、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ｂ１、及び１−Ｃ１の３本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、各ＣＣＤ９により上記夫々のＣＣＤ９の上方に位置された電子部品２の上記部分の画像の撮像を同時的に行う。
【００８７】
その後、ＸＹロボット１３により、ヘッド部１０を図示Ｙ軸方向に移動させて、吸着ノズル１−Ａ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左下の部分がＣＣＤ９−１の上方に、上記４等分の図示右下の部分がＣＣＤ９−２の上方に、吸着ノズル１−Ｂ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左下の部分がＣＣＤ９−３の上方に、上記４等分の図示右下の部分がＣＣＤ９−４の上方に、吸着ノズル１−Ｃ１に吸着保持されている電子部品２の上記４等分の図示左下の部分がＣＣＤ９−５の上方に、上記４等分の図示右下の部分がＣＣＤ９−６の上方に位置させる。
【００８８】
その後、このような状態において、吸着ノズル１−Ａ１、１−Ｂ１、及び１−Ｃ１の３本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２に対して、各ＣＣＤ９により上記夫々のＣＣＤ９の上方に位置された電子部品２の上記部分の画像の撮像を同時的に行う。
【００８９】
また、上記２回の同時的な撮像が行われる毎に、撮像装置１１から制御部６へ撮像された電子部品２の部分的な画像が転送される。その後、電子部品２の上記部分的な画像が、制御部６が備える画像処理装置等により画像補間が行われ、各電子部品２の画像としての認識処理が行われる。
【００９０】
このような撮像方法におけるヘッド部１０において吸着保持された電子部品２の画像の撮像に要する時間は、画像転送に要する時間（１００ｍｓ×２回）と、ヘッド部１０のＹ軸方向の移動に要する時間との合計である。ここで、ヘッド部１０のＹ軸方向の移動に要する時間を、例えば、移動距離２４ｍｍ、移動における加速度２Ｇとすると、約８０ｍｓとなる。従って、上記撮像に要する時間は、２８０ｍｓとなる。
【００９１】
上記各実施例の撮像方法によれば、従来の電子部品の画像の撮像方法と比べて、撮像に要する時間を短縮することができる。例えば、上記各実施例におけるヘッド部１０が装備する吸着ノズル１と同じ本数である１８本の吸着ノズル夫々により吸着保持された電子部品の画像の撮像を従来の電子部品の画像の撮像方法により行うような場合にあっては、夫々の吸着ノズルを撮像装置の上方へと順次位置させて行く移動動作に要する時間を５０ｍｓとすると、撮像に要する時間は、画素仕様５１２×５１２ピクセルである場合には、画像転送に要する時間（３０ｍｓ×１８）と、移動動作に要する時間（５０ｍｓ×１７回）との合計であり、１３９０ｍｓとなり、画素仕様１０２４×１２８０ピクセルである場合にあっては、画像転送に要する時間（１００ｍｓ×１８）と、移動動作に要する時間（５０ｍｓ×１７回）との合計であり、２６５０ｍｓとなるからである。
【００９２】
また、上記実施例１によれば、電子部品２の大きさに対応する画素分だけ、撮像された画像より画像切出し処理を行って、撮像装置１１より制御部６に各画像の転送を行うことにより、画像の転送に要する時間の短縮化を図ることができる。
【００９３】
また、上記実施例４によれば、各ＣＣＤ９の撮像視野よりも大きな電子部品２の画像の撮像を行うような場合にあっては、電子部品２を複数の部分に分割して、複数のＣＣＤ９により撮像させ、撮像された画像に対して補間処理を行うことにより、電子部品２の画像を認識することができる。
【００９４】
上記実施形態によれば、以下のような種々効果を得ることができる。
【００９５】
まず、ヘッド部１０が備える３個のサブヘッド３が、夫々６本の吸着ノズル１を備え、各サブヘッド３において、吸着ノズル１は、各吸着ノズル１のサブヘッド回転中心Ｒ回りに回転移動可能に配置されていることにより、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５による各吸着ノズル１の上記サブヘッド回転中心Ｒ回りの回転移動によって、吸着ノズル１を夫々の回転移動の円周上における任意の位置に位置させることができ、ヘッド部１０における吸着ノズル１の単位面積当りの装備数の増加を図ることができる。
【００９６】
さらに、各サブヘッド３において、吸着ノズル１は、各吸着ノズル１のサブヘッド回転中心Ｒ回りのその円周上に均等な間隔でもって配列されて、さらに、吸着ノズル１が配置される上記円周の直径Ｑは、撮像装置１１において一列に配列されたレンズ７及びＣＣＤ９の配置間隔と同じ寸法となっており、かつ、各サブヘッド３は、夫々の上記サブヘッド回転中心Ｒの軸の配列間隔を上記直径Ｑの２倍の間隔でもって一列に、かつレンズ７及びＣＣＤ９の配列方向と略平行に配列されていることにより、サブヘッド３における夫々のサブヘッド回転中心Ｒを結ぶ線上においては、サブヘッド３毎に２本ずつの吸着ノズル１、つまり、ヘッド部１０１における合計６本の吸着ノズル１を同時に配置することが可能となり、これら６本の吸着ノズル１の夫々の配列間隔を、レンズ７及びＣＣＤ９の配置間隔と同じ間隔することができる。これにより、サブヘッド３における夫々のサブヘッド回転中心Ｒを結ぶ線上においては、サブヘッド３毎に２本ずつの吸着ノズル１、つまり、ヘッド部１０１における合計６本の吸着ノズル１を、撮像装置１１における６組のレンズ７及びＣＣＤ９の上方に同時に配置することができ、上記各吸着ノズル１に吸着保持された電子部品２の画像の撮像を同時的に行うことができる。
【００９７】
従って、ヘッド部１０における単位面積当りの吸着ノズル１の装備数の増加を図りながら、撮像装置１１による電子部品２の画像の撮像に要する時間を短縮することができ、このようなヘッド部１０を備える電子部品装着装置１０１における電子部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【００９８】
また、ヘッド部１０における各サブヘッド３において、サブヘッド３が備える各吸着ノズル１を、上記サブヘッド回転中心Ｒ回りに正逆回転移動を行うノズル回転機構５が備えられていることにより、撮像装置１１により上記６本の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の同時的な画像の撮像が行われた後、ＸＹロボット１３によるヘッド部１０の移動を行うことなく、ノズル回転機構５により各吸着ノズル１を正逆回転移動させて、上記画像の撮像が行われた吸着ノズル１とは別の吸着ノズル１夫々を各レンズ７及び各ＣＣＤ９の上方へと位置させることができるため、上記別の吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像を同時的に行うことができる。さらに、各サブヘッド３において、ノズル回転機構５の上記回転移動を繰り返し行うことにより、ヘッド部１０における全ての吸着ノズル１夫々に吸着保持された電子部品２の画像の撮像を連続的に行うことができ、撮像装置１１による電子部品２の画像の撮像に要する時間を短縮することができ、このようなヘッド部１０を備える電子部品装着装置１０１における電子部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【００９９】
また、撮像装置１１における各ＣＣＤ９においては、撮像された電子部品２の大きさに対応する画素分だけ、撮像された画像より画像切出し処理を行って、撮像装置１１より制御部６に各画像の転送を行うことにより、画像の転送に要する時間の短縮化を図ることができ、電子部品２の大きさに基づいてこのような画像切出し処理を施すことにより、さらに、撮像装置１１による電子部品２の画像の撮像に要する時間を短縮することができ、このようなヘッド部１０を備える電子部品装着装置１０１における電子部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１００】
また、撮像装置１１における各ＣＣＤ９の撮像視野よりも大きな電子部品２の画像の撮像を行うような場合にあっては、電子部品２を複数の部分に分割して、複数のＣＣＤ９により撮像させ、制御部６において、撮像された画像に対して補間処理を行うことにより、電子部品２の画像を認識することができ、様々な電子部品２の大きさに対応することができる電子部品の画像の撮像方法を提供するこが可能となる。
【０１０１】
また、各サブヘッド３において、吸着ノズル１が配置される上記円周の直径Ｑが、パーツカセット８における配置間隔Ｐと同じ寸法となっており、かつ、夫々の上記サブヘッド回転中心Ｒの軸が、パーツカセット８の配列方向と略平行に配列されていることにより、サブヘッド３における夫々のサブヘッド回転中心Ｒを結ぶ線上においては、サブヘッド３毎に２本ずつの吸着ノズル１、つまり、ヘッド部１０における合計６本の吸着ノズル１を、隣接する６個のパーツカセット８における部品供給位置８ａの上方に同時に配置することができ、上記各部品供給位置８ａからの同時的な電子部品２の吸着取出しを行うことができる。
【０１０２】
従って、ヘッド部１０における単位面積当りの吸着ノズル１の装備数の増加を図りながら、ヘッド部１０による電子部品２の吸着取出しに要する時間を短縮することができ、このようなヘッド部１０を備える電子部品装着装置１０１における電子部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１０３】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【０１０４】
【発明の効果】
本発明の上記第１態様によれば、部品装着ヘッドが備える第１サブヘッド及び第２サブヘッドが、夫々のサブヘッド回転中心回りに回転移動可能に配置した複数の部品保持部材を備えていることにより、上記各サブヘッドにおいて、上記各部品保持部材の上記サブヘッド回転中心回りの回転移動によって、上記部品保持部材を夫々の回転移動の円周上における任意の位置に位置させることができ、上記部品装着ヘッドにおける上記部品保持部材の単位面積当りの装備数の増加を図ることができる。
【０１０５】
さらに、上記第１サブヘッドにおける１つの部品保持部材を第１撮像素子の上方に位置させると、上記第２サブヘッドにおける１つの部品保持部材が第２撮像素子の上方へと位置するように、上記各１つの部品保持部材が配置されていることにより、上記第１撮像素子による上記第１サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材に保持された部品の画像の撮像、及び上記第２撮像素子による上記第２サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材に保持された部品の画像の撮像を同時的に行うことが可能となる。
【０１０６】
従って、上記部品装着ヘッドにおける単位面積当りの上記部品保持部材の装備数の増加を図りながら、撮像装置による部品の画像の撮像に要する時間を短縮することができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１０７】
本発明の上記第２態様によれば、さらに、上記第１サブヘッドにおける１つの部品保持部材と上記第２サブヘッドにおける１つの部品保持部材との間隔が、部品供給位置の配列間隔である一定の間隔の整数倍であり、かつ上記第１サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材を上記第１部品供給位置の上方に位置させると、上記第２サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材が上記第２部品供給位置の上方へと位置するように、上記第１サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材と上記第２サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材とが配置されていることにより、上記第１サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材による上記第１部品供給位置からの上記部品の取出し、及び上記第２サブヘッドにおける上記１つの部品保持部材による上記第２部品供給位置からの上記部品の取出しを同時的に行うことが可能となる。従って、撮像装置による部品の画像の撮像に要する時間を短縮することができるという上記第１態様による効果に付け加えて、部品装着ヘッドによる部品の取出しに要する時間を短縮することができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率を向上させることができる。
【０１０８】
本発明の上記第３態様によれば、上記部品保持部材が上記部品を吸着保持する吸着ノズルである場合であっても上記第１態様又は第２態様による効果と同様の効果を得ることが可能となる。
【０１０９】
本発明の上記第４態様によれば、上記第１サブヘッドにおける上記サブヘッド回転中心と上記第２サブヘッドにおける上記サブヘッド回転中心の配列方向が、上記撮像装置における上記第１撮像素子及び上記第２撮像素子の配列方向と略平行であり、かつ上記部品供給位置の配列方向とも略平行であることにより、上記サブヘッド回転中心の上記配列方向と、上記夫々の１つの部品保持部材の配列方向と、上記撮像素子の上記配列方向、及び上記部品供給位置の上記配列方向とが略平行となり、上記撮像装置における上記第１撮像素子及び上記第２撮像素子による上記部品の画像の同時的な撮像を行う場合における上記各サブヘッドの上記１つの部品保持部材と上記第１撮像素子及び上記第２撮像素子との位置合わせ、又は、上記各サブヘッドによる上記第１部品供給位置及び上記第２部品供給位置から上記部品の同時的な取出しを行う場合における上記各サブヘッドの上記１つの部品保持部材と上記第１部品供給位置及び上記第２部品供給位置との位置合わせをより容易に行うことができ、撮像装置による部品の画像の撮像に要する時間を短縮することができるとともに、部品装着ヘッドによる部品の取出しに要する時間を短縮することができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１１０】
それとともに、このような部品装着ヘッドを備える電子部品装着装置にあっては、撮像装置における撮像素子の配列構成、部品供給部における部品供給位置の配列構成、及び部品装着ヘッドの動作範囲をよりコンパクトなものとすることができ、単位面積当りの生産性が向上された部品装着装置を提供することが可能となる。
【０１１１】
本発明の上記第５態様によれば、上記各サブヘッドの上記サブヘッド回転中心の軸が上記回路形成体の装着表面と大略直交していることにより、上記各サブヘッドにおける上記サブヘッド回転中心回りの上記円周は上記装着表面と大略平行となり、上記各部品保持部材の上記回転移動を上記装着表面と大略平行に行うことができる。従って、上記各サブヘッドにおいて、上記各部品保持部材の上記サブヘッド回転中心回りの回転移動によって位置される夫々の回転移動の円周上における任意の位置において、上記部品供給位置からの上記部品の取出し、又は上記撮像装置による保持された部品の画像の撮像を行うことができ、より多様な部品の装着方法を可能とすることができるとともに、上記部品装着ヘッドにおける上記部品保持部材の単位面積当りの装備数の増加を図ることができる。
【０１１２】
本発明の上記第６態様によれば、上記部品装着装置が、上記回路形成体の装着表面沿いの直交する２方向沿いに移動可能であることにより、上記各サブヘッドによる上記第１部品供給位置及び上記第２部品供給位置から上記部品の同時的な取出しを行う場合における上記各サブヘッドの上記１つの部品保持部材と上記第１部品供給位置及び上記第２部品供給位置との位置合わせ、又は、上記撮像装置における上記第１撮像素子及び上記第２撮像素子による上記部品の画像の同時的な撮像を行う場合における上記各サブヘッドの上記１つの部品保持部材と上記第１撮像素子及び上記第２撮像素子との位置合わせを上記部品装着ヘッドの上記２方向沿いの移動動作、つまり、より簡素化された移動動作により行うことができ、部品装着ヘッドによる部品の取出しに要する時間を短縮することができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１１３】
本発明の上記第７態様から第８態様によれば、上記各サブヘッドにおいて上記サブヘッド回転中心に対して点対称の位置にある夫々の上記部品保持部材により保持されている上記部品を上記撮像素子の上方に同時的に位置させることができ、上記同時的な撮像が可能な上記部品を保持した上記部品保持部材の本数を増加させることができる。
【０１１４】
また、上記各サブヘッドにおける上記各部品保持部材の上記サブヘッド回転中心回りの回転移動により、上記直交する２方向沿いの上記部品装着ヘッドの移動を伴わない場合であっても、連続的に上記部品保持部材を上記撮像素子の上方へと位置させることができるというように、上記撮像装置における上記撮像素子による複数の上記部品の同時的な画像の撮像に要する時間をさらに短縮することができる。また、それとともに、上記部品装着ヘッドにおいては、上記部品保持部材をよりコンパクトに配置することができ、上記撮像装置においては、上記撮像素子をよりコンパクトに配置することができる。従って、部品装着ヘッドにおける単位面積当りの部品保持部材の装備数の増加を図りながら、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率をさらに向上させることが可能となる。
【０１１５】
本発明の上記第９態様によれば、まず、上記撮像装置が上記部品装着装置の機台上に取り付けられていることにより、上記部品装着ヘッドを軽量かつコンパクトなものとすることができ、上記部品装着ヘッドの上記部品供給部から上記回路形成体までの移動に要する時間を短縮化を妨げないようにすることができる。
【０１１６】
また、上記部品装着ヘッドの上記部品供給部から上記回路形成体への移動過程において、上記部品供給部と上記回路形成体との間に設置された上記撮像装置により撮像可能な位置を経由するように上記部品装着ヘッドを移動させることにより、上記部品装着ヘッドを最短経路において移動させることができ、上記部品装着ヘッドの移動に要する時間の短縮化を図ることができ、このような部品装着ヘッドを備える部品装着装置における部品の装着効率を向上させることが可能となる。
【０１１７】
本発明の上記台１０態様によれば、上記第１サブヘッドにおける１つの部品保持部材により保持されている上記部品を上記撮像素子の上方へ位置させるとともに、上記第２サブヘッドにおける１つの部品保持部材により保持されている上記部品を別の上記撮像素子の上方へと位置させて、夫々の上記撮像素子により上記部品の画像の撮像を同時的に行った後、上記各サブヘッドにおける夫々の上記各部品保持部材を上記サブヘッド回転中心回りに回転移動させることのみにより、上記第１サブヘッドにおける別の１つの部品保持部材により保持されている上記部品を上記撮像素子の上方へ位置させるとともに、上記第２サブヘッドにおける別の１つの部品保持部材により保持されている上記部品を上記別の撮像素子の上方へと位置させることができる。これにより、夫々の上記撮像素子により、夫々の上記別の１つの部品保持部材により保持されている上記部品の画像の撮像を同時的に行うことができ、上記撮像素子による上記部品の同時的な撮像に要する時間を短縮することができる。従って、このような上記部品の撮像を行うことにより、部品の装着効率を向上させる部品装着方法を提供することが可能となる。
【０１１８】
本発明の上記第１１態様によれば、撮像される上記部品の大きさが上記撮像素子における画像切出し可能範囲内にあるときには、上記撮像素子において、撮像された上記部品の大きさに対応する画素分だけ、撮像された画像より画像切出しを行い、上記画像切出しが行なわれた画像を上記部品の画像とすることにより、上記部品の画像のデータ量を削減することができる。従って、上記撮像素子より制御部に上記画像の転送を行う際に、上記画像の転送に要する時間の短縮化を図ることができ、上記部品の大きさに基づいてこのような上記画像切出しを施すことにより、さらに、部品の画像の撮像に要する時間を短縮することができる。従って、このような上記部品の撮像を行うことにより、部品の装着効率を向上させる部品装着方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態にかかる電子部品装着装置の模式的な平面図である。
【図２】  上記実施形態の電子部品装着装置が備えるヘッド部及び撮像装置の構造を示す模式的な斜視図である。
【図３】  図３（Ａ）は、上記実施形態のヘッド部における吸着ノズルの配置を示す模式平面図であり、図３（Ｂ）は、上記実施形態の撮像装置におけるＣＣＤ及びレンズの配置を示す模式平面図である。
【図４】  図４（Ａ）は、上記実施形態の電子部品装着装置におけるヘッド部の吸着ノズルとパーツカセットの平面的な配置関係を示す模式説明図であり、図４（Ｂ）は、上記実施形態の電子部品装着装置におけるヘッド部の吸着ノズルと撮像装置のＣＣＤの平面的な配置関係を示す模式説明図である。
【図５】  上記実施形態の電子部品装着装置による電子部品の画像の撮像方法を示す模式説明図であり、（Ａ）は６ｍｍ×６ｍｍの大きさの電子部品の画像の撮像方法であり、（Ｂ）は、１２ｍｍ×１２ｍｍの大きさの電子部品の画像の撮像方法である。
【図６】  上記実施形態の電子部品装着装置による電子部品の画像の撮像方法を示す模式説明図であり、（Ａ）は１５ｍｍ×１５ｍｍの大きさの電子部品の画像の撮像方法であり、（Ｂ）は、２２ｍｍ×２２ｍｍの大きさの電子部品の画像の撮像方法である。
【図７】  従来の電子部品装着装置の模式斜視図である。
【符号の説明】
１…吸着ノズル、２…電子部品、３…サブヘッド、４…回路基板、５…ノズル回転機構、６…制御部、７…レンズ、８…パーツカセット、８ａ…部品供給位置、９…ＣＣＤ、１０…ヘッド部、１１…撮像装置、１２…ステージ、１３…ＸＹロボット、１３ａ…Ｙ軸ロボット、１３ｂ…Ｘ軸ロボット、１０１…電子部品装着装置、Ｐ…パーツカセットの配列間隔、Ｑ…円周の直径寸法、Ｒ…サブヘッド回転中心、Ｓ…光軸、Ｌ…各サブヘッド回転中心を結ぶ線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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