(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状支持体上に多層の塗布層が形成された多層塗布膜を製造する多層塗布膜の製造装置において、
製造室の床面上に配設された前記帯状支持体の送出機と前記帯状支持体の巻取機との間に、
前記帯状支持体の入口と出口を有するケーシング内に、前記帯状支持体を搬送路に沿って搬送するフィードローラ、前記搬送路に設けられて前記帯状支持体に一層の塗布層を形成する塗布機、前記塗布層を乾燥する乾燥機、を少なくとも一体的に組み込んでユニットとして構成した塗布装置を、前記帯状支持体に形成される多層塗布層の層数だけ配設し、
前記ケーシング内には、前記帯状支持体を搬送する多数のパスローラに沿った箱状又は筒状の搬送路ケースを設け、該搬送路ケース内に清浄エアを流すと共に、前記パスローラのローラシェル部のみを搬送路ケースで囲むことを特徴とする多層塗布膜の製造装置。
【請求項２】
前記製造装置は、
前記帯状支持体の入口と出口を有するケーシング内に、前記帯状支持体を搬送路に沿って搬送するフィードローラ、前記搬送路に設けられて前記帯状支持体の塵埃を除塵する除塵機、を少なくとも一体的に組み込んでユニットとして構成した除塵装置と、
前記帯状支持体の入口と出口を有するケーシング内に、前記帯状支持体を搬送路に沿って搬送するフィードローラ、前記搬送路に設けられて前記帯状支持体を熱処理する熱処理機、を少なくとも一体的に組み込んでユニットとして構成した熱処理装置と、
前記帯状支持体の入口と出口を有するケーシング内に、前記帯状支持体を搬送路に沿って搬送するフィードローラ、前記搬送路に設けられて前記帯状支持体の塗布面状を検査する面検査機、を少なくとも一体的に組み込んでユニットとして構成した面検査装置と、を備え、
前記送出機と前記塗布装置との間に前記除塵装置を配置し、前記塗布装置と前記巻取機との間に前記帯状支持体の搬送方向上流側から順に熱処理装置、前記面検査装置を配設したことを特徴とする請求項１に記載の多層塗布膜の製造装置。
【請求項３】
前記各装置のケーシングの天井面に形成したエア吹出口にファンフィルタユニットを設けると共に、前記ケーシングの底面にエア排気口を形成し、前記ファンフィルタユニットから前記ケーシング内に吹き出した清浄エアを前記エア排気口から排気することを特徴とする請求項１又は２に記載の多層塗布膜の製造装置。
【請求項４】
前記塗布装置の乾燥機は、前記帯状支持体の搬送方向に沿って３個以上の乾燥ゾーンに分割されており、各乾燥ゾーンごとに乾燥エアを供給する供給手段と排出手段が設けられていると共に、各乾燥ゾーン間の静圧管理を行うための微圧差計を設けたことを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載の多層塗布膜の製造装置。
【請求項５】
前記塗布機は、ダイレクトグラビアコータ、リバースコータ、キスコータ、マイクログラビアコータ、バーコータ、エクストルージョンコータの何れか１つであり、該塗布機は互いに交換可能に設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１に記載の多層塗布膜の製造装置。
【請求項６】
前記塗布装置内の塗布機の配置が、床面又は床面近傍に位置するように配置されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１に記載の多層塗布膜の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は多層塗布膜の製造装置に係り、特に、液晶ディスプレーに用いられる広視野角フィルム、反射防止フィルム等の機能膜を製造する多層塗布膜の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、広視野角フィルム、反射防止フィルム等の各種の機能膜が液晶ディスプレー用として広く用いられており、この機能膜は膜厚が薄く、且つ膜面のゴミ、段ムラ・スジ等の塗布故障や風ムラ等の乾燥故障がなく、更には塗布厚み分布が３％以内の高品質な塗布面状が要求される。機能膜は多層塗布層で構成され、有機溶剤を溶媒とする塗布液を帯状支持体上に塗布する回数を複数回行うことで多層塗布層化する。
【０００３】
しかし、上記した高品質が要求されるために、一般的な塗布装置では効率的で且つ高品質な塗布面の機能膜を製造できない。例えば、一台の塗布機と乾燥機を備えた構成の塗布装置では、多層塗布のためには、層数と同じ回数だけ帯状支持体を塗布装置に繰り返し通さなくてはならず、品質面でもバラツキが大きく、また生産効率の点でも極端に悪くなるという欠点がある。品質面だけからは、スパッタリング装置により多層塗布することも考えられるが、生産速度が１ｍ／分と極めて遅く、生産コストが高くなりすぎることから採用は難しい。塗布機と乾燥機を備えた複数組の塗布装置を階層式に配置させて、上層階の塗布装置から下層階の塗布装置に帯状支持体を連続搬送させることで多層塗布する多層塗布装置もある。しかし、この多層塗布装置は、帯状支持体の送出機、巻取機が塗布機から遠くなるために作業性の点から最大３層塗布までが限度である。また、塗布装置の掃除や帯状支持体を装置に通す作業等の負担が大きくなり、メンテナンスに関するロス時間がかかりすぎるという欠点がある。
【０００４】
効率的な多層塗布という観点からは、一台の塗布装置に３組〜最大１０組以上の塗布機・乾燥機を有するグラビア印刷装置が最も効率的な装置ではある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、グラビア印刷装置は、多層塗布層の層数に応じた好適且つ柔軟性のある塗布構成を構築することが難しく、また塗布、乾燥、防塵、ハンドリングの点でも上記の高品質が要求される機能膜の多層塗布膜製造装置としては不十分である。従って、多層塗布膜の製造装置、特に、液晶ディスプレーに用いられる広視野角フィルム、反射防止フィルム等の高品質な機能膜を効率的に製造する好適な多層塗布膜の製造装置がないのが実情である。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、多層塗布層の層数に応じた柔軟性のある塗布構成を容易に構築することができ、しかも膜厚が薄く、且つ膜面へのゴミ付き、膜面の風ムラ等の乾燥故障、段ムラ・スジ等の塗布故障がなく、更には塗布厚み分布の小さな高品質な塗布面状の多層塗布膜を製造することができるので、広視野角フィルム、反射防止フィルム等の各種の機能膜を製造するのに好適な多層塗布膜の製造装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、帯状支持体上に多層の塗布層が形成された多層塗布膜を製造する多層塗布膜の製造装置において、製造室の床面上に配設された前記帯状支持体の送出機と前記帯状支持体の巻取機との間に、前記帯状支持体の入口と出口を有するケーシング内に、前記帯状支持体を搬送路に沿って搬送するフィードローラ、前記搬送路に設けられて前記帯状支持体に一層の塗布層を形成する塗布機、前記塗布層を乾燥する乾燥機、を少なくとも一体的に組み込んでユニットとして構成した塗布装置を、前記帯状支持体に形成される多層塗布層の層数だけ配設し、前記ケーシング内には、前記帯状支持体を搬送する多数のパスローラに沿った箱状又は筒状の搬送路ケースを設け、該搬送路ケース内に清浄エアを流すと共に、前記パスローラのローラシェル部のみを搬送路ケースで囲むことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、塗布のための装置を、ケーシング内に、フィードローラ、塗布機、乾燥機を少なくとも一体的に組み込むことにより、同じ装置を複数設けたり、他の装置と組み合わせたりすることが容易なユニットとして構成し、塗布装置を独立した装置としてのユニット機能をもたせることにより、送出機と巻取機との間に、帯状支持体に形成される多層塗布層の層数に応じた数の塗布装置を適宜配置するだけで多層塗布膜の製造装置を構成できるようにした。これにより、帯状支持体の送出から巻取りまでの一回の搬送で、どのような層数の多層塗布膜の製造にも対応する多層塗布膜の製造装置を簡単に構築することが可能である。従って、生産効率を向上でき、製造コストの低減を図ることができる。
【０００９】
また、多層塗布層のうちでも特に機能膜の製造の構成として、塗布装置と同様に独立した装置としてのユニット機能をもたせた除塵装置と、熱処理装置と、面検査装置と、を備え、送出機と塗布装置との間に除塵装置を配置し、塗布装置と巻取機との間に帯状支持体の搬送方向上流側から順に熱処理装置と面検査装置とを配置するようにした。これにより、帯状支持体の送出から巻取りの一連の機能膜製造ルートが形成される。従って、液晶ディスプレーに用いられる広視野角フィルム、反射防止フィルム等の機能膜を製造する多層塗布膜の製造装置を簡単に構築することができる。尚、塗布装置の乾燥機の後段位置に乾燥後の塗布層をＵＶ処理するＵＶ処理機を設けておけば、塗布液に含まれる硬化樹脂がＵＶ硬化樹脂の場合でも熱硬化樹脂の場合でも適宜対応することができる。
【００１０】
また、段ムラ・スジ等の塗布故障を防止するのに重要な帯状支持体のハンドリングに関しては、各装置ごとにフィードローラを設け、各装置ごとに帯状支持体のテンションカットを行うことができるようにした。これにより、１つの装置にテンション変動が生じても、その前後の装置にはテンション変動の悪影響が及ぶことはない。
【００１１】
また、膜面へのゴミ付きを防止するのに重要な防塵に関しては、各装置のケーシングの天井面に形成したエア吹出口にファンフィルタユニットを設けると共に、ケーシングの底面にエア排気口を形成し、ファンフィルタユニットからケーシング内に吹き出した清浄エアをエア排気口から排気するようにした。これにより、各装置のケーシング内に清浄エアのダウンフローを形成することができるので、ケーシング内の清浄度を向上させることができる。しかも、各ケーシングごとにファンフィルタユニットを設けたので、除塵、塗布、面検査等の各装置の処理に応じた清浄度をケーシング内に形成することができる。
【００１２】
更に、各装置の搬送路は、該搬送路に沿って帯状支持体の入口と出口を有すると共にエア導入口とエア排出口を有する搬送路ケースで囲われ、エア導入口に清浄エアが供給されるようにした。これにより、帯状支持体が塵埃に最も晒され易い搬送路を小容積で且つ搬送路に対応した細長い搬送路ケースとすることができるので、搬送路ケース内に供給された清浄エアの風速を落とさずに且つ清浄エアの流れないデッドゾーンを発生させないようにできる。これにより、少ない清浄エアで帯状支持体の防塵を行うことができ、ケーシング内に供給するエア量を削減できるので、トータル的なエア量を少なくできる。
【００１３】
また、膜面の風ムラ等の乾燥故障を防止するのに重要な乾燥機に関して、乾燥機は、帯状支持体の搬送方向に沿って３個以上の乾燥ゾーンに分割されており、各乾燥ゾーンごとに乾燥エアを供給する供給手段と排出手段が設けられると共に、各乾燥ゾーン間の静圧管理を行うための微圧差計を設けた。これにより、乾燥ゾーンごとに乾燥風量や温湿度の単独設定が可能であり、塗布層の膜面強度に合わせた乾燥条件を選択できるので、風ムラを防止することができる。また、各乾燥ゾーン間の静圧管理を行うことにより、各ゾーン間での乾燥風の往来を極力なくすことができるので、各ゾーンでの設定条件の精度を向上させることができる。
【００１４】
また、多層塗布層における各層ごとに適切な層を形成するのに重要な塗布機は、ダイレクトグラビアコータ、リバースコータ、キスコータ、マイクログラビアコータ、バーコータ、エクストルージョンコータの何れか１つであり、該塗布機は交換可能に設けられている。これにより、多層を構成する各層の塗布条件、例えば液種、塗布量、塗布方式（塗布機の種類）が異なる場合でも容易に対応することができる。
【００１５】
更に、塗布装置内の各種機器のうちの塗布機の配置が、床面又は床面近傍に位置するように配置されるようにした。これにより、送出機、塗布機、巻取機の全てを同一のフロアーに配列させることができるので、製造する多層塗布膜の品種ごとに、必要な帯状支持体の原反の送出機への装着、製造された製品である多層塗布膜の巻取機への巻取りハンドリング、塗布機の交換作業や塗布液の運搬等の作業性を抜群に向上できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る多層塗布膜の製造装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１７】
図１は本発明に係る多層塗布膜の製造装置の全体構成図であり、広視野角フィルム、反射防止フィルム等の機能膜を製造する製造装置の一例である。また、図１は５層の多層塗布膜を製造するように構成されたものである。
【００１８】
図１に示すように、製造装置１０全体は製造室１２内に収納され、製造室１２内には図示しない空調装置からエア配管１３により清浄な空調エアが供給される。製造室１２の床面１４は、グレーチング床で形成され、床面１４下に床下空間１６が形成される。これにより、製造室１２に供給された空調エアは製造室１２内をダウンフローして床面１４から床下空間１６に流れ、排気ダクト１８を通って排気される。
【００１９】
製造室１２内には、図１の左端側から右端側にかけて、ロール状に巻回された帯状支持体２０を送り出す送出機２２、帯状支持体２０の塵埃を除去すると共にユニットとして構成された除塵装置２４、帯状支持体２０に塗布層を順次形成すると共にユニットとして構成された５台の塗布装置２６、帯状支持体２０に塗布形成された塗布層を熱処理すると共にユニットとして構成された熱処理装置２８、塗布層の表面に、段ムラ、スジ、風ムラ等の塗布故障や乾燥故障がないかを検査すると共にユニットとして構成された面検査装置３０、及び製造された多層塗布膜の製品を巻き取る巻取機３２が横一列に配設される。これにより、帯状支持体２０の送出→最初の装置内へのインフィード→（除塵）→（第１塗布→乾燥→ＵＶ処理）→装置同士間の中間フィード→（第２塗布→乾燥→ＵＶ処理）→装置同士間の中間フィード→……（第５塗布→乾燥→ＵＶ処理）→熱処理→面検査→装置外へのアウトフィード→巻取りの一連の機能膜製造のルートが構築される。尚、図１では塗布装置２６を５台で示したが、形成される多層塗布層の層数だけ配設する。
【００２０】
除塵装置２４は、帯状支持体２０の入口と出口を有するケーシング３４内に、帯状支持体２０を搬送路に沿って搬送するフィードローラ３６と、搬送路に設けられた除塵機３８と、を少なくとも一体的に組み込むことにより構成される。除塵機３８としては、帯状支持体２０から塵埃を効果的に除去できるものであれば特に限定されないが、エア除塵方式や超音波クリーナを好適に使用することができる。また、フィードローラ３６としては、帯状支持体２０を２つのローラで挟持搬送するニップ式、或いは帯状支持体２０をローラに吸引搬送するサクション式を好適に使用することができる。除塵装置２４は、最初の塗布が行われる直前で帯状支持体２０の一括除塵を行うもので、除塵装置２４以降の防塵については、静電気除去装置（図示せず）を随時配置して帯状支持体２０への塵埃の付着を防止したり、製造室１２内に吹き出す清浄エアや後記する搬送路を覆う搬送路ケース９８（図７、図８参照）により行う。
【００２１】
塗布装置２６は、図１及び図２に示すように、帯状支持体２０の入口３４ａと出口３４ｂを有するケーシング３４内に、帯状支持体２０搬送路に沿って搬送するフィードローラ３６、搬送路に設けられて帯状支持体２０のテンション変動を吸収するダンサーローラ３７、帯状支持体２０に一層の塗布層を形成する塗布機４０、塗布層を乾燥する乾燥機４２を少なくとも一体的に組み込むことにより構成される。この場合、乾燥後の塗布層をＵＶ（紫外線）処理するＵＶ処理機４３を設けておけば、塗布液に含まれる硬化樹脂がＵＶ硬化樹脂の場合でも熱硬化樹脂の場合でも適宜対応することができる。
【００２２】
塗布機４０は、多層塗布層の各層の塗布方式や塗布条件、例えば塗布液種類、塗布量、帯状支持体２０の張力、乾燥温度や風量等に応じて塗布機４０の種類を可変できるように、ダイレクトグラビアコータ、リバースコータ、キスコータ、マイクログラビアコータ、バーコータ、エクストルージョンコータの何れか１つに切り換え可能に構成される。このうち、ダイレクトグラビアコータ、リバースコータ、キスコータの３方式のコータについては、図３（ａ）に示すように、コータの上流側と下流側に配置されるパスローラ４４を揺動装置４６を中心にＡ−Ｂ方向に揺動可能にし、正逆回転可能な版胴ローラ４８と圧胴ローラ５０とが接近したり離間したりできるように移動装置５２で圧胴ローラ５０をＣ−Ｄ方向に移動可能に構成する。そして、揺動装置４６と移動装置５２を操作盤５４で操作できるようにする。これにより、（ａ）のダイレクトグラビアコータ、（ｂ）のキスコータ、（ｃ）のリバースコータの切り換えを操作盤５４でのワンタッチ操作で行うことが好ましい。また、マイクログラビアコータ、バーコータ、エクストルージョンコータの３方式のコータについては、コータ装置一式をユニット化しておき、装置ごとケーシング３４に着脱できるようにすることが好ましい。
【００２３】
広視野角フィルム、反射防止フィルム等の機能膜の製造においては、塗布厚み分布が３％以下、段ムラやスジ等の塗布故障のない高品質な塗布が要求されることから、塗布装置２６を次のように構成することが好ましい。
【００２４】
版胴ローラ４８と圧胴ローラ５０とを使用する塗布機４０の場合には、版胴ローラ４８及び圧胴ローラ５０の回転速度変動を０．２％以下にする。このためには、駆動系にＡＣベクトルインバータモータ、遊星ローラ減速機、フォームフレックス継ぎ手、高精度ベアリングを使用することが好ましい。フィードローラ３６としては、除塵装置２４と同様にニップ式やサクション式を好適に使用することができる。
【００２５】
また、何れの種類の塗布機４０の場合でも、搬送される帯状支持体２０の搬送速度変動率を０．５％以下にすることが好ましい。このためには、セクショナブルドライブ方式を採用することが好適であり、塗布装置２６ごとに帯状支持体２０の搬送路下流端にフィードローラ３６を設けるとよい。これにより、フィードローラ３６を個別に駆動して塗布装置２６ごとに帯状支持体２０を搬送することができると共に、塗布装置２６ごとに帯状支持体２０の搬送方向テンションをカットできるので、１つの塗布装置２６で生じたテンション変動が他の塗布装置２６に連鎖的に伝搬するのを防止できる。フィードローラ３６の駆動系としては、ＡＣベクトルインバータモータ、遊星ローラ減速機、フォームフレックス継ぎ手、高精度ベアリングを使用することが好ましい。
【００２６】
更には、塗布機４０の上流側にダンサーローラ３７を配置するとよい。これにより、各塗布装置２６内での帯状支持体２０の搬送速度変動やテンション変動を吸収できるだけでなく、上流側の塗布装置２６での帯状支持体２０の搬送速度変動やテンション変動が下流側の塗布装置２６に影響しないようにできる。ダンサーローラ３７としては、図４に示した構成のものを好適に使用することができる。ダンサーローラ３７は、複数の固定配置されたパスローラ５６の下方に、軸５８を中心にＥ−Ｆ方向に揺動する揺動板６０が配置され、この揺動板６０の長手方向に複数の移動ローラ６２が回転自在に支持される。そして、帯状支持体２０がパスローラ５６と移動ローラ６２とに交互に懸け渡される。これにより、帯状支持体２０に搬送速度変動やテンション変動があると、揺動板６０がＥ−Ｆ方向に揺動することで、変動を吸収する。
【００２７】
また、複数の塗布装置２６同士間における帯状支持体２０の搬送速度やテンションの調和は、フィードローラ３６とダンサーローラ３７を次のように制御するとよい。即ち、送出機２２と巻取機３２との間に配設された複数の塗布装置２６のうち、最上流位置の塗布装置２６のフィードローラ３６を帯状支持体２０の搬送速度を制御する基準ローラとし、２番目の塗布装置２６以降のフィードローラ３６は基準ローラからの速度信号を基準として制御する。また、複数の塗布装置２６のうち、最上流位置の塗布装置２６のダンサーローラ３７を基準ダンサーローラとし、２番目の塗布装置２６以降のダンサーローラ３７は基準ダンサーローラからの揺動量を示す位置信号を基準として制御するとよい。この場合、ダンサーローラ３７としては、大容量型のダンサーローラ３７が好ましい。これは、テンション変動の短周期変動はある程度無視しても塗布故障に影響の大きな長周期変動の制御を行うようにするためである。
【００２８】
乾燥機４２は、図５に示すように、装置ケーシング６４がアーチ状に形成されると共に、帯状支持体２０の通過口６６を有する仕切板６９により３つの乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃに分割され、各乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃごとに乾燥エアを供給する給気ファン６８と排気する排気ファン７０が設けられる。給気ファン６８と排気ファン７０が設けられる給気配管７２と排気配管７４には、それぞれダンパー装置７６が設けられ、ダンパー開度を制御することにより、各乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃの給排気量に個別に制御する。これにより、乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃごとに独立した乾燥温湿度、乾燥風量の制御が可能となり、帯状支持体２０に形成された塗布層の膜面強度に合わせた乾燥条件を設定することができる。従って、乾燥時における塗布層面の風ムラ等の乾燥故障を防止することができる。
【００２９】
装置ケーシング６４内には、帯状支持体２０の搬送路に沿って多数のバックアップローラ７８がアーチ状に配置されると共に、帯状支持体２０を挟んだバックアップローラ７８の反対側にアーチ状のノズル板８０が配設される。このノズル板８０と装置ケーシング６４とで囲まれた空間にエア供給室８２が形成され、エア供給室８２内にノズル板８０と平行なアーチ状の供給側整流板８４が配設される。更に、バックアップローラ７８を挟んだエア供給室８２の反対側には、アーチ状の吸引板８７と装置ケーシング６４とで囲まれた空間にエア吸引室８８が形成され、エア吸引室８８内にアーチ状の吸引側整流板９０が配設される。これらの、吸引板８７や整流板８４、９０はパンチングメタル状に多数の孔が形成されており、給気ファン６８により装置ケーシング６４内に供給された乾燥エアは、供給側と吸引側の整流板８４、９０の作用によりエア供給室８２からエア吸引室８８に至る層流の流れが形成される。これにより、塗布層面での乾燥エアの乱れを防止できるので、風ムラ等の乾燥故障を一層抑制することができる。
【００３０】
また、ノズル板８０は、図６に示すように、バックアップローラ７８に平行（図６の表裏方向）な長尺状の凸部８０Ａと凹部８０Ｂとを交互に有する波板形状に形成され、凸部８０Ａにノズル孔８０Ｃが穿設される。また、図６から分かるように、バックアップローラ７８と凸部８０Ａとは互いに対向配置され、ノズル孔８０Ｃから吹き出された乾燥エアはバックアップローラ７８に当たるように構成される。これにより、バックアップローラ７８上を搬送される帯状支持体２０は、バックアップローラ７８に押し付けられて確実にグリップされるので、帯状支持体２０のばたつきやスリップによる擦り傷の発生を防止することができる。
【００３１】
更に、図５に示すように、各乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ同士の間には、互いの静圧差を管理する微差圧計８６が設けられ、この微差圧計８６の測定値に基づいて各乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ間の静圧が同じになるように、給排気量を管理する。これにより、仕切板６９に形成された帯状支持体２０の通過口６６を介して隣同士の乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃのエアが行き交うことがないので、乾燥ゾーン４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃごとの乾燥条件を精度良く設定することができる。
【００３２】
熱処理装置２８は、図１のように、帯状支持体２０の入口と出口を有するケーシング３４内に、塗布層を熱処理する熱処理機５１を少なくとも一体的に組み込むことにより構成される。熱処理機５１は、例えば、図１のように、ケーシング３４内に熱風を供給して、搬送される帯状支持体２０を加熱する方式のものを好適に使用することができるが、これに限定されるものではない。図１では、熱処理装置２８にフィードローラ３６を設けなかったが、設けるようにしてもよい。
【００３３】
面検査装置３０は、図１のように、帯状支持体の入口と出口を有するケーシング３４内に、帯状支持体２０を搬送路に沿って搬送するフィードローラ３６、搬送路に設けられて塗布層の塗布面状を検査する面検査機５５、を少なくとも一体的に組み込むことにより構成される。面検査装置３０は、独立した機能を有する装置として構成されているので、製造装置１０の任意の位置に任意の台数を配置することができるが、図１のように巻取機３２の前に配置して次の使用方法を行うことにより、１台の面検査装置３０で多層塗布層の各層の面検査を行うことができる。即ち、製造装置１０の運転開始時、或いは最終製品に塗布等の故障が見つかった場合には、上流側の塗布機４０から１層ずつ塗布及び面検査を行い、合格であれば次の塗布機４０について塗布及び面検査を行い、順次最後の塗布及び面検査を行う。これにより、どの層に塗布故障があるかを抽出することができる。また、定常運転時は、面検査装置３０を最終製品の面検査として使用する。
【００３４】
次に、上記した各装置２４〜３０の搬送路における防塵対策を、図２の塗布装置２６の例で説明する。
【００３５】
図２に示すように、ケーシング３４の天井面には、エア吹出口９２が形成され、エア吹出口９２に対応するケーシング３４の天井裏空間９４（図１参照）に複数のファンフィルタユニット９６が設けられる。そして、天井裏空間９４に図示しない空調装置からの空調エアが供給される。ファンフィルタユニット９６は、ファン９６ＡとＨＥＰＡフィルタ９６Ｂを一体的に組み込んだユニットで、ユニットの種類に応じて要求される清浄度に応じて増設或いは削減を容易に行うことができる。一方、ケーシング３４の底面にはエア排気口９７が形成され、ケーシング３４をグレーチング床で形成された床面１４に置くことにより、ケーシング３４内が床下空間１６に連通される（図１参照）。これにより、天井裏空間９４に供給された空調エアは、ＨＥＰＡフィルタ９６Ｂで更に浄化されてからケーシング３４内に吹き出され、ケーシング３４内をダウンフローして床面１４から床下空間１６に流れ、排気ダクト１８を通って排気される。
【００３６】
また、ケーシング３４の入口３４ａから出口３４ｂまでの搬送路は、搬送路に沿った箱状又は筒状の搬送路ケース９８で囲われる。搬送路ケース９８にはエア導入口１００とエア排出口１０２が形成され、エア導入口１００がファンフィルタユニット９６の１台に接続される。搬送路ケース９８によって囲われる部分は、ダンサーローラ３７周囲、塗布機４０周囲、ＵＶ処理機４３周囲、ＵＶ処理機４３から出口３４ｂまでの通路１０４周囲である。
【００３７】
図７及び図８は、ＵＶ処理機４３から出口３４ｂまでの通路１０４部分の詳細を示したもので、帯状支持体２０を搬送する多数のパスローラ１０６が縦方向に配列され、この通路１０４に沿って筒状の搬送路ケース９８が設けられる。これにより、通路１０４は、図８から分かるように、ケーシング３４と搬送路ケース９８との二重構造に形成される。また、図８に示すように、ケーシング３４及び搬送路ケース９８とパスローラ１０６との関係は、ケーシング３４の内壁面に固定された軸受１０８に支持されるローラジャーナル部１１０は、搬送路ケース９８の外側になるようにして、パスローラ１０６のローラシェル部１１２と帯状支持体２０のみを搬送路ケース９８で囲むように構成される。このように、パスローラ１０６のうちの帯状支持体２０が接触するローラシェル部１１２のみを搬送路ケース９８内で囲むことにより、搬送路ケース９８を通路１０４に対応させて細長く且つ小容積にすることができるので、搬送路ケース９８内に供給された清浄エアの風速を落とさずに、且つ清浄エアが流れないデッドゾーンを発生させないようにできる。また、塵埃が発生し易く、埃溜まりになり易い軸受１０８やローラジャーナル部１１０を搬送路ケース９８の外に位置させることで、搬送路ケース９８内のクリーン度を一層高く維持することができる。このような構成においては、搬送路ケース９８とローラジャーナル部１１０との間に、回転を阻害しないための隙間１１４が形成される。しかし、隙間１１４には、搬送路ケース９８の内から外へのエアの流れが常時発生しているので、軸受１０８やローラジャーナル部１１０で発生した塵埃が搬送路ケース９８内に侵入することはない。更に、図８に示すように、搬送路ケース９８の内と外には、搬送路ケース９８の内と外の圧力差を検出する複数の微差圧計１１６が設けられ、微差圧計１１６の検出結果に基づいて搬送路ケース９８の内側圧力が外側圧力よりも高くなるように維持されるようにすると、ケーシング３４側のエアが搬送路ケース９８内に一層侵入しないようにできる。更に、ケーシング３４の内と外の圧力差を検出する微差圧計１１８を設けて、ケーシング３４の内側圧力が外側圧力よりも高くなるように維持されるようにすると一層良い。
【００３８】
上記した搬送路の防塵対策は、ＵＶ処理機４３から出口３４ｂまでの通路１０４部分の搬送路について説明したものであるが、ダンサーローラ３７、塗布機４０、ＵＶ処理機４３についても、塵埃が発生しやすい駆動部を搬送路ケース９８の外に出すように構成して、微差圧計１１６、１１８で圧力管理するとよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の多層塗布膜の製造装置によれば、多層塗布層の層数に応じた柔軟性のある塗布構成を容易に構築することができ、しかも膜厚が薄く、且つ膜面へのゴミ付き、膜面の風ムラ等の乾燥故障、段ムラ・スジ等の塗布故障がなく、更には塗布厚み分布３％以内の高品質な塗布面状の多層塗布膜を製造することができる。従って、広視野角フィルム、反射防止フィルム等の各種の機能膜を製造するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の多層塗布膜の製造装置の全体構成図
【図２】図２は、ユニットとして構成した塗布装置の構成図
【図３】図３は、塗布機の切り換えを説明する説明図
【図４】図４は、ダンサーローラを説明する説明図
【図５】図５は、乾燥機を説明する側面断面図
【図６】図６は、乾燥機のノズル板とバックアップローラとの関係を説明する説明図
【図７】図７は、搬送路の防塵対策を説明する側面断面図
【図８】図８は、搬送路の防塵対策を説明する正面断面図
【符号の説明】
１０…多層塗布膜の製造装置、１２…製造室、１４…床面、１６…床下空間、１８…排気ダクト、２０…帯状支持体、２２…送出機、２４…除塵装置、２２６…塗布装置、２８…熱処理装置、３０…面検査装置、３２…巻取機、３４…ケーシング、３６…フィードローラ、３７…ダンサーローラ、３８…除塵機、４０…塗布機、４２…乾燥機、４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ…乾燥ゾーン、４３…ＵＶ処理機、４４…パスローラ、４６…揺動装置、４８…版胴ローラ、５０…圧胴ローラ、５１…熱処理機、５２…移動装置、５４…操作盤、５６…パスローラ、５８…軸、６０…揺動板、６２…移動ローラ、６４…装置ケーシング、６６…通過口、６８…給気ファン、７０…排気ファン、７２…給気配管、７４…排気配管、７６…ダンパー装置、７８…バックアップローラ、８０…ノズル板、８０Ａ…凸部、８０Ｂ…凹部、８０Ｃ…ノズル孔、８２…エア供給室、８４…供給側整流板、８７…吸引板、８８…エア吸引室、９０…吸引側整流板、９２…エア吹出口、９４…天井裏空間、９６…ファンフィルタユニット、９７…エア排気口、９８…搬送路ケース、１００…エア導入口、１０２…エア排出口、１０４…通路、１０６…パスローラ、１０８…軸受、１１０…ローラジャーナル部、１１２…ローラシェル部、１１４…隙間、１１６，１１８…微差圧計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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