(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク貯蔵容器とインクラインが挿入されたインクチューブとを有するインカーと、該インクラインをインカーソレノイドの作動によって短距離間、上げ／下げ移動させるためのインカーソレノイドとを含むウェハープローブステイションのインカーを検査する装置において、
プローブステイションのフレームを形成するベースと、
前記ベースの上部表面に対して水平方向に前記インカーを指定された距離だけ移動させるため前記ベースに設けられた第１移動部と、
前記べースに対して、インカーを垂直方向に指定された距離だけ移動させるためインカー装着腕に結合された１端を有する、前記第１移動部に装着された第２移動部と、
インカーソレノイドの動作を検出し、前記ベースに対して垂直方向に指定された距離だけ移動させるため、１端に第１センサーを有し、第１移動部に装着された第３移動部と、
前記ベースに設けられ、インクラインの移動を検出する第２センサーを配置するため、指定された距離だけ前記ベースの上部表面に対して水平方向に移動させる第４移動部と、
その上にウェハーを装着するため、前記第１移動部と前記第４移動部との間に配置され、前記インカーの前記インクラインの隣にウェハーを移動させるウェハーロディング部と、
インカーソレノイド動作数と時間のパラメターを選択するためのキーを有し、検査結果を表示する制御パネルと、
対応するインカーソレノイド駆動信号を発生するための入力パラメターに応じて前記第１センサーと前記第２センサーとからの出力に基づいて前記インカーソレノイドとインクラインの誤動作を検出するコントロラーと、
前記インカーソレノイドの適当な動作電圧を発生させ、それを前記インカーソレノイドに供給するための電源供給器とを含むことを特徴とするインカーを検査する装置。
【請求項２】
前記第１移動部が前記ベースに結合され、予め定まれた高さを有する取り付け具と、該取り付け具の１側に装着されたマイクロメターと、前記取り付け具を通じてマイクロメターの軸に結合された第１ガイダーと、前記第１ガイダーに装着され、上向に延長されるとともに、前記第１ガイダー上で曲がられた第２ガイダーとを含むことを特徴とする請求項１に記載インカーを検査する装置。
【請求項３】
前記第２移動部が、両端が前記第１ガイダーと前記第２ガイダーとに結合され、前記第１ガイダーと前記第２ガイダーとの間に設けられた少なくとも１つのガイディング棒と、前記ガイディング棒を滑るように装着し、前記第１ガイダーと前記第２ガイダーとの間に配置された支持部材と、指定された距離で前記支持部材を移動させるため、前記第２ガイダーを通じて該第２ガイダーと前記支持部材に装着されたマイクロメターとを含むことを特徴とする請求項２に記載のインカーを検査する装置。
【請求項４】
前記第２移動部が前記ガイディング棒の周りに巻かれたコイルスプリングを含み、このコイルスプリングを、前記第１ガイダーと前記支持部材との間、又は、前記第２ガイダーと前記支持部材との間に設けたことを特徴とする請求項３に記載のインカーを検査する装置。
【請求項５】
前記第３移動部は、前記支持部材に対して高さを調整する高さ調整部と、インカーソレノイドセンサーを装着する、インカー上に水平方向に高さ調整部から延長された延長棒とを含み、 前記高さ調整部は、該高さ調整部に形成された平角スロットを通じて第２ガイダーに固定された少なくとも１つのネジを有することを特徴とする請求項３に記載のインカーを検査する装置。
【請求項６】
前記第４移動部は、前記ベースに結合され、予め定まれた高さを有する取り付け具と、該取り付け具の一端に装着され、該取り付け具内に延長された軸を有するマイクロメターと、 端部にインクラインセンサーを装着するため前記取り付け具を通じてマイクロメターの軸に結合された延長棒とを含むことを特徴とする請求項１に記載のインカーを検査する装置。
【請求項７】
前記電源供給器が前記インカーソレノイドの動作電圧を選択するための制御パネルを含むことを特徴とする請求項１に記載のインカーを検査する装置。
【請求項８】
制御パネルからの入力値に応じてインカーの検査動作を制御するためマイクロプログラムを貯蔵するためのメモリと、前記インカーソレノイドセンサーとインカーセンサーの出力に接続されるための入力端子と、制御パネルの表示装置に接続される接続端子と、
前記マイクロコントロラーから供給された制御信号に応じて前記インカーソレノイドに供給された駆動パルスを発生するためのインカー駆動回路と、
キーパットからキー入力に基づいて電源供給器の出力のＤＣ出力からインカーソレノイドに供給された動作電圧を発生させるための電圧発生器とを含むことを特徴とする請求項１に記載インカーを検査する装置。
【請求項９】
前記マイクロコントロラーから出力された前記制御信号がインカーソレノイドの作動数を定めるインカー駆動回路に発生された駆動パルスの数と、インカーソレノイド作動の持続時間を定むための前記制御信号とによって決定された駆動パルスの幅を決定することを特徴とする請求項８に記載のインカーを検査する装置。
【請求項１０】
前記インカー検査装置の前記制御パネルが上げ／下げキーと、入力セッティングキーと、メニューエンターキと、開始／停止キーと、制御メニューと、動作パラメター入力値とインカー検査結果とを表示する表示装置とを含むことを特徴とする請求項１に記載のインカーを検査する装置。
【請求項１１】
前記電源供給器の制御パネルが、電源オン／オフキーとインカーの適切な動作電圧を入力するテンキーとを含むキーパットを有することを特徴とする請求項７に記載インカーを検査する装置。
【請求項１２】
インク貯蔵容器とインクラインが挿入されたインクチューブとを有するインカーと、該インクラインをインカーソレノイドの作動によって短距離間に上げ／下げに移動するインカーソレノイドとを含むウェハープローブステイションに使用されたインカー検査する方法において、
前記インクチューブが前記インカーに中央に置かれるようにインカー装着腕を装着するステップと、
インカーソレノイドセンサーがインカーソレノイドプランジャーの動きを感知し、インクラインセンサーがインカーのインクラインの動きを感知するようにインカーソレノイドセンサーとインクラインセンサーを配置するステップと、
インカー動作パラメータを制御パネルを通じて入力するステップと、
インカーソレノイドの動作電圧を電源供給器の制御パネルを通じてセットするステップと、
前記制御パネルのインカー検査開始釦が、要求された駆動パルス数とパルス持続時間を有するインカー駆動パルスを発生するために押さえられる時に入力された動作パラメータに基づいて制御信号を発生するステップと、
インカーソレノイドセンサー出力信号が前記駆動パルスに同期して入力されたか否かを決定するステップと、
前記インカーソレノイドの非正常動作が検出される際に、インカーソレノイドエラーをカウントするステップと、
検査停止キーが押さえられると、前記制御パネルに表示装置に前記インカーソレノイドエラーカウントとインクラインエラーカウントの数を表示するステップとを含むことを特徴とするインカーを検査する方法。
【請求項１３】
前記インカー動作パラメータが、インカー作動数と、インカー作動時間と、インカー非作動時間と含むことを特徴とする請求項１２に記載のインカーを検査する方法。
【請求項１４】
前記駆動パルス数が操作者によって、セットされたインカー作動数に対応し、前記駆動パルスの高レベルパルス持続時間がインカーの作動時間に対応し、前記駆動パルスの低レベルパルス持続時間がインカーの非作動時間に対応することを特徴とする請求項１２に記載のインカーを検査する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子製造装置に関するものであり、より詳しくは半導体ウェハープローブステイション（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｐｒｏｂｅ  ｓｔａｔｉｏｎ）に使用されたインカー（ｉｎｋｅｒ）を検査する装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の最終製造工程においては、常に各々のチップ内の電気的な特性の検査を通じて良好或いは不良のウェハーを分類するための一連のウェハー検査工程を行っている。このようなウェハー検査工程はＤＲＡＭ製造領域の電気的なダイ分類（ＥＤＳ：Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  Ｄｉｅ  Ｓｏｒｔｉｎｇ）と言われている。ダイ検査の完了のとき、不良のチップには後続のアセンブリ工程において、一目で不良と識別するためにインクで表示がなされる。このインク表示工程はウェハープローブステイションでインカーによって行われる。
【０００３】
従来のインカー素子（ｄｅｖｉｃｅ）が図１に示されている。インカー１０はインク貯蔵容器（ｒｅｓｅｒｖｏｉｒ）１４及びインクラインが挿入されたインクチューブ１５を有する。インクラインの上端はソレノイド（ｓｏｌｅｎｏｉｄ）１２のプランジャー（ｐｌｕｎｇｅｒ）に順序的に結合されたシャフト１３に結合された。インク貯蔵容器１４及びソレノイド１２は腕（ａｒｍ）２２に装着され、インクライン１８及びシャフト１３はソレノイドプランジャーと整列され、ソレノイド１２の作動によって短距離内で上下に移動する。インカー装着腕２２は延長バー（ｅｘｔｅｎｓｉｏｎ  ｂａｒ）を通じて支持部材（ｓｕｐｐｏｒｔｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）８６まで延長され、ヒンジピン（ｈｉｎｇｅ  ｐｉｎ）２５によって結合される。延長バーの上部にはＸＹプレロード調整（ｐｒｅｌｏａｄ  ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ）用サムネジ（ｔｈｕｍｂ  ｓｃｒｅｗ）２４と，配置レバー２６と，Ｚー調整サムネジ２７と、ヒンジされたインカー装着腕上の重量をプレロードするナイロンボール２８が提供されている。又は、参照番号１６はインクライン微細調整ノブを保持するネジを示している。ウェハー４２は真空チャック（ｖａｃｃｕｍ  ｃｈｕｃｋ）４０に装着され、隣のインカー１０に配置される。
【０００４】
インカー容器１４とインクライン１８が図２に詳しく示され、そのインクライン１８がインクチューブ１５の外部に延長され、インカー１０が、ウェハー４２の上、ウェハー表面から約２ミリ離れて、延長されたインクライン１８’を配置されるために調整される。容器１４内に含まれたインク１６はインクチューブ１５とインクライン１８との間のギャップ（ｇａｐ）を通じてインクライン１８’の先端に移動する。インクライン１８’がウェハー表面４２と接触していなくても、インクの移動は「表面張力」によって行われる。
【０００５】
又、インクライン１８はソレノイド１２のプランジャーに結合されたシャフトの移動によってレトラクション（ｒｅｔｒａｃｔｉｏｎ）と突出部（ｐｒｏｔｒｕｃｔｉｏｎ  ｐｏｒｔｉｏｎ）との間に移動する。Ｄ１で示されたインクラインレトラクションの距離は約３０ｍｉｌｓである。また、Ｄ２で示されたインクライン突出部の距離は約３０ｍｉｌｓである。  インクライン走行距離Ｄｔは約６０ｍｉｌｓである。  参照番号Ｄｗはインクラインが延長されたとき、ウェハー表面までのインクラインの距離を示している。
【０００６】
インクライン１８が所望の突出部に移動し、かつ、そのインクラインの突出距離がインキング工程中、維持されるということが本質的に必要である。従って、インクライン１８とソレノイド１２がそのインキング工程前に正常的に動作しているのか否か認識するためにインカー素子を検査するのが必ず必要である。プローブステイションに提供されたインカー検査釦インカーソレノイドに供給される検査信号を発生させるために押され、ソレノイド移動が使用者によって観測されるようにインカー検査が行う。第２に、インクキング検査はウェハー上にインク表示を観測してからインクラインの動作を識別するためウェハーの側端で行われる。
【０００７】
しかしながら、従来のインカー検査方法は各々の検査段階が動作者によって手動で行われたため、時間が掛かるし、誤操作による様々な故障があった。加えて、インカー検査動作の数と検査速度が操作者によって異なる場合があるため、検査ごとにエラーが発生し、検査動作に信頼性を失われる。  又、観測が目視で行われるから、インカーの誤動作の発見には限界があった。このような公知のプローブステイションにおける問題点は、要するにインカーの種類によるインカー検査動作数と動作時間を設定するのが困難であるということである。その結果、すべてのインカー種類を正確に検査するのが困難であり、インカー検査の質が低下される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した問題点を解決しようとするものであり、そのため、本発明の目的はインカーの検査条件を設定するのができ、インカーの手動で検査しなくて、インカーの誤動作を自動的に検出するインカー検査装置及び方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の一例の実施の形態によると、ウェハープローブステイションに使用されたインカー検査する装置は、ベースと；指定された距離でベースの上部表面を従いインカーを水平的に移動させるためベースに提供された第１移動部と；指定された距離でべースに関連してインカーを垂直的に移動させるためインカー装着腕のに結合された１端を有する第１移動部に装着された第２移動部と；インカーソレノイドの動作を検出し、指定された距離でベースに関連して垂直的に移動させるため１端に第１センサーを有する第１移動部に装着された第３移動部と；ベースに提供され、インクラインの移動を検出する第２センサーを配置するため指定された距離でベースの上部表面を従い水平的に移動させる第４移動部と；そのうえにウェハーを装着されるため第１と第４移動部との間に配置され、インカーのインクラインにの隣にウェハーを移動させるウェハーロディング部と；ソレノイド動作数と時間のパラメターを選択するためのキーを有し、検査結果を表示する制御パネルと；対応するソレノイド駆動信号を発生するための入力パラメターに応じて前記第１と第２センサーからの出力に基づいて前記ソレノイドとインクラインの誤動作を検出するマイクロコントロラーと；ソレノイドの適当な動作電圧を発生させ、それをインカーソレノイドに供給するための電源供給器とを含む。
【００１０】
本発明の他の実施の形態によると、ウェハープローブステイションに使用されたインカー検査する方法は、インカーチューブが前記インカーアレーに中央に置かれるようにインカー装着腕を装着するステップと；ソレノイドセンサーがソレノイドプランジャーの動きを感知し、インクラインセンサーがインカーのインクラインの動きを感知するようにソレノイドセンサーとインクラインセンサーを配置するステップと；インカー動作パラメタ−を制御パネルを通じて入力するステップと；インカーソレノイドの動作電圧を電源供給器の制御パネルを通じてセットするステップと；制御パネルのインカー検査開始釦が要求された駆動パルス数とパルス持続時間を有するインカー駆動パルスを発生するため押さえられる時入力された動作パラメータに基づいて制御信号を発生するステップと；ソレノイドセンサー出力信号が駆動パルスに同期して入力されたか否かを決定するステップと；ソレノイドの非正常動作が検出されると、ソレノイドエラーをカウントするステップと；検査停止キーが押さえられると、制御パネルに表示装置にソレノイドエラーカウントとインクラインエラーカウントの数を表示するステップとを含む。
【００１１】
望ましいことは、駆動パルス数が操作者によって、セットされたインカー作動数に対応し、駆動パルスの高レベルパルス持続時間がインカーの作動時間に対応し、駆動パルスの低レベルパルス持続時間がインカーの非作動時間に対応する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、参照図面を参考しながら本発明の動作について詳細に説明する。
【００１３】
図３には、本発明によるウェハープローブステイション（ｗａｆｅｒ  ｐｒｏｂｅ  ｓｔａｔｉｏｎ）に採用されたインカー検査装置が示されている。一般的にウェハープローブステイションはそのフレムを構成するベース５２を有する。又、インカー１０と真空チャック４０は移動可能にベース５２に装着される。インカー１０と真空チャック４０は図１と図２に示したものと殆ど同一なもである。インカー１０を配置するため指定された距離でベース５２の上部表面に沿って、水平方向に移動する第１移動部６０と、第１移動部６０に接し、インカー１０のインクラインの突出部／レトラクションを検出するセンサー１２２を配置するため、指定された距離でベース５２の上部表面を沿って、水平方向に移動する第４移動部６０がベース５２上に設けられている。
【００１４】
第１移動部６０は、その一端が指定された距離でベース５２に比例して垂直的にインカー１０を移動させるためのインカー装着腕２２に結合された第２移動部８０と、一端にインカーソレノイド１２の動作を検出するためセンサー１０２を備えている第３移動部１００とを備えている。
【００１５】
より詳しくは、第１移動部６０はベース５２に結合され、予め定まれた高さを有する取り付け具（ｆｉｘｔｕｒｅ）６４と、その取り付け具６４の１側に装着され、取り付け具内に延長された軸を有するマイクロメター６２と、取り付け具６４を通じてマイクロメーター６２の軸に結合された第１ガイダー（ｇｕｉｄｅｒ）６６と、第１ガイダー６６に装着され第１ガイダー６６を従い上向に曲がられ、延長され、曲がった第２ガイダー６８を備える。
【００１６】
又は、第２移動部８０は第１ガイダー６６と第２ガイダー６８との間に配置され、両端が第１と第２ガイダー６６，６８に結合された少なくとも１つのガイディング棒（ｇｕｉｄｉｎｇ ｒｏｄ）８４、ガイディング棒８４に滑られるように装着され、第１ガイダー６６と第２ガイダー６８との間に配置された支持部材８６と、第２ガイダー６８と指定された距離で支持部材８６を動くため第２ガイダー６８を通じて支持部材８６に装着されたマイクロメター８２を含む。コイルばね（ｃｏｉｌ ｓｐｒｉｎｇ）９０はガイディング棒８４の周りを巻き、第１ガイダー６６と支持部材８６との間だけでなく、第２ガイダー６８と支持部材８６との間に配置される。
【００１７】
第３移動部１００は支持部材８６に対して高さを調整する高さ調整部１０４と、インカーソレノイドセンサー１０２を装着するインカー１０上に水平方向に高さ調整部１０４から延長された延長棒１０６を含む。高さ調整部１０４は高さ調整部１０４に形成された平角スロット（ｒｅｃｔａｎｇｌｅ  ｓｌｏｔ）１０８を通じて第２ガイダー６８に固定された少なくとも１つのネジ１１０を有する。
【００１８】
又、第４移動部１２０はベース５２に結合され、予め定まれた高さを有する取り付け具１２６と、取り付け具１２６の一端に装着され、取り付け具内に延長された軸を有するマイクロメーター１２４と、端部にインクラインセンサー１２２を装着するため取り付け具１２６を通じてマイクロメーター１２４の軸に結合された延長棒１２８とを含む。
【００１９】
真空チャック４０は第１移動部と第４移動部との間に配置され、ウェハー４２は真空吸入力によってここに装着される。真空チャック４０はインキング工程が行われる所でインカー１０の隣の適当な位置にウェハー４２を挙げられる。又、電源供給１６０はソレノイド１２の適当な動作電圧を発生させるためにプローブステイションに提供され、インカーソレノイド１２にそれを供給する。
【００２０】
図４は本発明によるインカー検査装置の外観を示す。インカー検査装置はベース５２の前面側に提供された制御パネル１７０を有する。カバー５４はベース５２の上部に提供される。又、電源供給器１６０は制御パネル１６２を有する。インカー検査装置の制御パネル１７０は上げ／下げキー１７４・１７６と、入力設定キー１７８と，メニューエンターキー１７２と，検査開始／停止キー１７１とを有する。制御パネル１７０は、制御メニューと、動作パラメター入力値と、インカー検査結果とを表示するための表示装置（ｄｉｓｐｌａｙ）１８０を含む。
【００２１】
図５には、本発明によるインカー検査装置の電気的構成を示す。インカー検査装置は制御パネル１７０からの入力値に応じてインカーの検査動作を制御するためのマイクロープログラムを内装するマイクロコントロラー１３０を含む。マイクロコントロラー１３０の入力端子と、センサー１０２の出力端子と、インクライン１２２は互いに接続される。ソレノイドセンサー１０２は光センサー（ｐｈｏｔｏ  ｓｅｎｓｏｒ）で構成されているため、インカーソレノイド１２の動きを感知する。又、インクラインセンサー１２２は光センサーでなしているため、インクラインの退避（レトラクション）／突出の動作を感知する。
【００２２】
マイクロコントローラ１３０の出力端子と、制御パネル１７０の表示装置１８０、望ましくはＬＣＤパネルが接続される。インカー駆動回路１３２はマイクロコントロラー１３０の出力端子に接続される。インカー駆動回路１３２の出力はソレノイド１２に接続される。インカー駆動回路１３２はマイクロコントロラー１３０から供給された制御信号に応じてソレノイド１２に供給される駆動パルスを発生する。制御信号はインカー駆動回路１３２で発生され駆動パルスの数を決定し、この数はソレノイドの作動の数を決定する。又、駆動パルスはソレノイド作動の持続期間を限定するため制御信号によって決定される。
又、動作電圧供給ラインはインカー駆動回路１３２の入力に接続される。動作電圧Ｖｃは電圧発生器１３４によって、発生される。電圧発生器１３４は電源供給器１６０からのＤＣ出力を受信して、キーパット１６２からのキー入力によってソレノイド１２に必要な動作電圧Ｖｃを発生する。
【００２３】
図６は本発明によるインカー検査装置で行われたインカー検査動作を示す。まず、ステップ６００で、インカー１０は、インクチューブがインカー１０の中心に置かれるようにインカー装着腕２２に実装される。
その後、チャック４０は、インカー１０の上まで上げられ、インカー１０が第１移動部６０と第２移動部８０との位置を調整してウェハー４２に関連して位置に配置される。
次に、インクラインが延長されインカー１０が、延長されたインクラインがウェハー表面から約２ｍｉｌ離れるまで垂直に調整される。
【００２４】
次に、ステップ６１０で、センサー１０２が第３移動部１００の位置を調整することによってソレノイドプランジャーの動きを感知し、センサー１２２が第４移動部１２０の位置を調整するによってインカー１０のインクラインの動きを感知するように、ソレノイドセンサー１０２とインクラインセンサー１２２は配置される。
【００２５】
インカー動作パラメターは制御パネル１７０のキー１７１−１７８の利用によってステップ６２０で入力される。例えば、エンターキー１７２は制御パネルの表示装置１８０に主メニューを表示するようにする。その次に、上げ／下げキー１７４，１７６はパラメターを選択されるようにする。パラメターはインカー作動（ａｃｔｕａｔｉｏｎ）の数と、インカー作動時間と、インカー非動作時間とを含む。インカー動作条件をセットした後、インカーソレノイド１２に必要な動作電圧は電源供給器１６０の制御パネルのテンキー（ｔｅｎ−ｋｅｙ）１６４の使用によってステップ６３０で決定される。
【００２６】
制御パネル１７０のインカー検査開始釦１７１がステップ６４０で押さえられると、マイクロコントロラー１３０はステップ６２０で入力されたインカー動作パラメターに応答して制御信号を発生する。制御信号は電圧発生器１３４によってプリセットされた電圧レベルを有するインカーパルスを発生するようにインカー駆動回路１３２に供給される。駆動パルスの数は使用者によってセットされたインカー作動の数に対応する。又、駆動パルスの高レベルパルス持続時間はインカー作動時間と、インカー非動作時間に対する低レベルパルス持続時間とに対応する。
【００２７】
インカー駆動パルスがインカー駆動回路１３２から印加されるとき、インカーソレノイド１２が作動される。ソレノイドプランジャーが移動するため、光センサー１２０はソレノイドの動きを認識し、出力パルス信号を発生する。駆動信号パルスの発生と同期して、マイクロコントロラー１３０はソレノイドセンサー出力信号がステップ６６０で、入力されたのか否かを決定する。ソレノイドの非正常動作が検出されたとき、ステップ６７０でマイクロコントロラー１３０によって、カウントされる。ソレノイドの正常動作が検出されたとき、インカーのインカーのインクラインが正常的に動作されているのか否かを決定するためステップ６８０に進行する。インクライン１８’の動き（図２）がインクライン１８’の突出部に移動するときはいつもインクラインセンサー１２２によって感知される。インクラインが突出部に移動する時、インクライン光センサー１２２はその動きを認識して対応する出力パルス信号を発生する。インカー駆動パルスの発生と同期してマイクロコントロラー１３０はインクラインセンサー出力信号が入力されたのか否かを決定する。インクライン１８の非正常な動作が検出されると、インクラインエラーがステップ６９０でカウントされる。
【００２８】
正常インクライン動作がステップ６８０で検出されると、停止キー１７１が入力されたのか否かを決定するため、ステップ７００に進行する。検査停止キーが押さえられると、ソレノイドエラーカウントの数及びインクラインエラーカウントがＬＣＤ表示装置１８０に表示される。これと関連して、ソレノイドの非正常動作の数だけでなくインクラインが表示装置（ディスプレー）１８０を通じて自動的に検出されられる。
【００２９】
【発明の効果】
結果的に、良好と不良のソレノイド及びインカーのインクラインは容易に方法で判定でき、インカーの修理或いは代替えが一回に可能になる。加えて、インカー検査時間が非常に短縮され、不良チップの後続のインキング工程は信頼性があることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ウェハープローブステイションに使用された従来の断面である。
【図２】  図１に示されたインカー容器とインクラインの部分断面である。
【図３】  本発明によるウェハープローブステイションに使用されたインカー検査装置の断面図である。
【図４】  インカー検査装置の制御装置及び電源供給器を示す図３のインカー検査装置を示す外観図である。
【図５】  インカー検査装置の電気的な構成を示す図３のインカー検査装置のブロック図である。
【図６】  本発明によるインカー検査装置出行われたインカー検査動作を図示する流れ図である。
【符号の説明】
１２：ソレノイド
１４：インク貯蔵容器
１８：インクライン
２２：インカー装着腕
３０：マイクロコントローラー
６０：第１移動部
８０：第２移動部
１００：第３移動部
１０２：インカーソレノイドセンサー
１２０：第４移動部
１２２：インクラインセンサー
１６０：電源供給器
１７０：制御パネル
１８０：表示装置
【図１】
0003971031.tif 000002
【図２】
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【図３】
0003971031.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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