(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、仮想的な四角形の少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユニットであって対応する辺に沿って伸びる板状のプローブベース及び該プローブベースに配置された複数のプローブブロックをそれぞれ備えるプローブユニットと、該プローブユニットに個々に対応され、対応するプローブユニットを検査すべき表示用パネルと交差する第１の方向へ移動させる少なくとも２つの移動装置と、前記表示用パネルを受ける検査ステージとを含み、
各移動装置は、対応するプローブユニットを受ける可動テーブルであって前記対応する辺の方向に伸びかつ前記プローブベースが配置された可動テーブルと、該可動テーブルを前記第１の方向へ移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、中空モータであってその回転軸線が前記第１の方向へ伸びるように前記本体に配置された中空モータと、該中空モータの中空部に螺合されたリードスクリューであって前記第１の方向へ伸びるように前記可動テーブルに組み付けられたリードスクリューとを備え、
前記検査ステージは、前記表示用パネルを受けるチャックトップと、該チャックトップが組み付けられたバックライトユニットとを備える、表示用パネルの検査装置。
【請求項２】
各移動装置は、さらに、前記可動テーブルを前記第１の方向に移動可能に前記本体に装着している１以上のリニアガイドを備える、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記リニアガイドは、前記第１の方向へ伸びるガイドレールであって前記本体及び前記可動テーブルのいずれか一方に組み付けられたガイドレールと、該ガイドレールに前記第１の方向へ移動可能に嵌合されたガイドであって前記本体及び前記可動テーブルの他方に組み付けられたガイドとを含む、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査ステージは、さらに、前記チャックトップ及び前記バックライトユニットを前記パネルと平行の面内で二次元的に移動させると共に前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるアライメントステージとを備えるにより前記稼働テーブルに組み付けられている、請求項１，２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記本体は、前記表示用パネルの検査をする検査部と、前記検査ステージに対する前記表示用パネルの受け渡しをするローダ部とを備え、前記検査ステージは前記検査部と前記ローダ部とに移動可能であり、前記プローブユニットは前記検査部に配置されている、請求項３又は４に記載の検査装置。
【請求項６】
少なくとも一方のプローブユニットは、さらに、そのプローブベースを前記本体に対し前記プローブベースをこれの長手方向へ移動させる第２の移動機構を備える、請求項１から５のいずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルの通電試験を行う検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
四角形の隣り合う２つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極を配置した液晶表示パネルのような表示用パネルは、一般に、仕様書通りに製造されたか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、一般に、表示用パネルの電極に押圧される接触子を有する複数のプローブを備えた１以上のプローブユニットと、検査すべき表示用パネルを受ける検査ステージ（測定ステージ）とを本体に配置した検査装置（プローバ）を用いて行われる。
【０００３】
プローブユニットは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプローブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタイプのプローブ（プローブ針）、若しくは、電気絶縁性のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部又はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフィルムタイプのプローブ（プローブ要素）をプローブとして用いている。
【０００４】
本体は、表示用パネルの検査（測定）をする検査部（測定部）と、検査ステージに対する前記表示用パネルの受け渡しをするローダ部とを備える。検査ステージは、検査部とローダ部とに移動可能である。プローブユニットは、検査部に配置されて、複数のねじ部材により本体に移動不能に装着されている。
【０００５】
検査ステージは、受けた表示用パネルをこれと平行の面内で二次元的（Ｘ及びＹ方向）に移動させると共に、表示用パネルと直交する方向（Ｚ方向）へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、表示用パネルは、その電極をプローブの接触部に正しく位置決められる。
【０００６】
検査ステージは、また、受けた表示用パネルをこれと直交する方向へ移動させる。これにより、表示用パネルは、その電極をプローブの接触子に押圧されることにより、プローブにオーバードライブを作用させ、その状態で通電試験をされ、その後電極をプローブから離される。
【０００７】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の検査装置では、表示用パネルとプローブユニットとを表示用パネルと直交する方向へ相対的に移動させる機構を検査ステージに設けているから、表示用パネルと直交する方向における検査ステージの高さ寸法が大きく、その結果プローブユニットに対する表示用パネルの位置が不安定である。
【０００８】
それゆえに、表示用パネルの検査装置においては、表示用パネルと直交する方向における検査ステージの高さ寸法を可能な限り小さくすることが望ましい。
【０００９】
【解決手段、作用及び効果】
本発明に係る検査装置は、本体と、仮想的な四角形の少なくとも２つの辺に個々に対応された少なくとも２つのプローブユニットであって対応する辺に沿って伸びる板状のプローブベース及び該プローブベースに配置された複数のプローブブロックをそれぞれ備えるプローブユニットと、該プローブユニットに個々に対応され、対応するプローブユニットを検査すべき表示用パネルと交差する第１の方向へ移動させる少なくとも２つの移動装置と、前記表示用パネルを受ける検査ステージとを含む。各移動装置は、対応するプローブユニットを受ける可動テーブルであって前記対応する辺の方向に伸びかつ前記プローブベースが配置された可動テーブルと、該可動テーブルを前記第１の方向へ移動させる移動機構とを備える。  前記移動機構は、中空モータであってその回転軸線が前記第１の方向へ伸びるように前記本体に配置された中空モータと、該中空モータの中空部に螺合されたリードスクリューであって前記第１の方向へ伸びるように前記可動テーブルに組み付けられたリードスクリューとを備える。前記検査ステージは、前記表示用パネルを受けるチャックトップと、該チャックトップが組み付けられたバックライトユニットとを備える。
【００１０】
通電試験時、表示用パネルの電極がプローブユニットに設けられたプローブの接触子に対し所定の状態に位置決められた状態において、各プローブユニットが第１の方向に移動されて、表示用パネルの電極とプローブの接触子とが相互に押圧される。この状態で検査が行われる。検査が終了すると、各プローブユニットが前記と逆の方向に個々に移動されて、表示用パネルの電極とプローブの接触子とが相互に離される。
【００１１】
プローブユニットを表示用パネルに対し第１の方向に個々に移動させる検査装置は、表示用パネルとプローブユニットとを第１の方向へ相対的に移動させる移動機構を検査ステージに設ける必要がない。これにより、第１の方向における検査ステージの高さ寸法が小さくなり、プローブユニットに対する表示用パネルの位置が安定する。
【００１２】
また、各プローブユニットが対応する移動装置により表示用パネルに対し第１の方向に移動される検査装置は、移動装置による第１の方向へのプローブユニットの移動量をプローブユニット毎に設定することができる。これにより、全てのプローブを共通のプローブベースに配置した場合に比べ、プローブ相互間のオーバードライブ量及び針圧の差を小さくすることができる。
【００１３】
さらに、各プローブユニットが複数のプローブブロックをプローブベースに配置していると、オーバードライブ及び針圧をプローブブロック毎に設定する場合に比べ、オーバードライブ及び針圧の設定作業が容易になる。
【００１４】
各移動装置は、さらに、前記可動テーブルを前記第１の方向に移動可能に前記本体に装着している１以上のリニアガイドを備えることができる。
【００１５】
前記リニアガイドは、前記第１の方向へ伸びるガイドレールであって前記本体及び前記可動テーブルのいずれか一方に組み付けられたガイドレールと、該ガイドレールに前記第１の方向へ移動可能に嵌合されたガイドであって前記本体及び前記可動テーブルの他方に組み付けられたガイドとを含むことができる。
【００１６】
検査ステージは、さらに、前記チャックトップ及び前記バックライトユニットを前記パネルと平行の面内で二次元的に移動させると共に前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させるアライメントステージとを備えることができる。そのようにすれば、バックライトユニットを備えた点灯検査装置として用いることができるにも関わらず、第１の方向における検査ステージの高さ寸法をより小さくすることができる。
【００１７】
前記本体は、前記表示用パネルの検査をする検査部と、前記検査ステージに対する前記表示用パネルの受け渡しをするローダ部とを備え、前記検査ステージは前記検査部と前記ローダ部とに移動可能であり、前記プローブユニットは前記検査部に配置されていてもよい。
【００１８】
少なくとも一方のプローブユニットは、さらに、そのプローブベースを前記本体に対し前記プローブベースの長手方向へ移動させる第２の移動機構を備えることができる。そのようにすれば、第２の移動機構を備えるプローブベースの長手方向における他方のプローブユニットの接触子に対する一方のプローブユニットの接触子の位置を調整することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１から図７を参照するに、検査装置１０は、液晶を封入した液晶表示パネルを検査すべき表示用パネル１２とする目視点灯検査装置として用いられる。表示用パネル１２は、長方形の平面形状を有しており、また図示してはいないが長方形の対向する２つの長辺（Ｘ辺）とそれら両辺の間の１つの短辺（Ｙ辺）とにそれぞれ複数の電極を有する。しかし、表示用パネルの電極が形成される辺は、表示用パネルの種類により異なる。
【００２０】
検査装置１０は、長尺の複数のチャンネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレームに取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより、筐体の形に形成された本体１４を含む。本体１２の前面上部は、斜め上向きの傾斜面部１６とされている。
【００２１】
図１に示すように、本体１４は、表示用パネル１２の検査部（すなわち、測定部）２０とされた左側領域と、表示用パネル１２の受け渡しのためのローダ部２２とされた右側領域とに分けられている。本体１４は、表示用パネル１２の形状に類似した長方形の開口２４及び２６を傾斜面部１６にあって検査部２０及びローダ部２２にそれぞれ有し、また後に詳細に説明する遮光板２８をローダ部２２に有する。
【００２２】
図３から図８に示すように、本体１２内には、検査ステージ（測定ステージ）３０が配置されている。検査ステージ３０は、表示用パネル１２を本体１４の傾斜面部１６とほぼ平行の斜め上向きの状態に受けた状態で、搬送ステージ３２により検査部２０とローダ部２２とに選択的に移動される。表示用パネル１２は、その長手方向を左右方向とした状態に、検査ステージ３０に受けられる。検査ステージ３０への表示用パネル１２の受け渡しは、作業者によりローダ部２２において行われる。
【００２３】
以下、説明を簡略にし、かつ、容易に理解し得るようにするために、検査ステージ３０に受けられた表示用パネル１２と平行の面内における左右方向及び斜め上下の方向（斜め前後方向）をそれぞれＸ方向及びＹ方向といい、その表示用パネル１２に垂直の方向をＺ方向という。また、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向へ伸びる軸線を、それぞれ、Ｘ軸線、Ｙ軸線及びＺ軸線という。
【００２４】
検査ステージ３０は、表示用パネル１２を受けるチャックトップ３４と、チャックトップ３４が組み付けられたバックライトユニット３６と、チャックトップ３４及びバックライトユニット３６を表示用パネル１２と平行の面内で二次元的に移動させると共にＺ軸線の周りに角度的に回転させるアライメントステージ３８とを備える。検査ステージ３０及び搬送ステージ３２については、後に詳細に説明する。
【００２５】
図１から図４に示すように、検査部２０には、複数の検査（測定）用プローブユニット４０と、各プローブユニット４０に個々に対応されて対応するプローブユニット４０をＺ方向に移動させるＺ移動装置４２とが傾斜面部１６の開口２４に配置されている。プローブユニット４０は、表示用パネル１２の辺のうち、電極が設けられた辺に対応する箇所のそれぞれに配置されている。
【００２６】
図示の例では、プローブユニット４０及びＺ移動装置４２は、長方形の対向する２つの長辺（Ｘ辺）及び１つの短辺（Ｙ辺）に配置されている。また、他の短辺（Ｙ辺）にもＺ移動装置４２が配置されている。しかし、プローブユニット４０及びＺ移動装置４２は、検査すべき表示用パネル１２の電極の配置位置及び検査の種類に応じて、１つの辺、隣り合う２つの辺又は３つの辺に配置される。
【００２７】
各プローブユニット４０は、複数のプローブブロック４４を矩形の板状プローブベース４６に取り付け、プローブベース４６を移動装置４２に備えられた板状の可動テーブル（ベースプレート）４８の上に配置している。可動テーブル４８については、移動装置４２と共に、後に詳細に説明する。
【００２８】
各プローブブロック４４は、その下側に並列的に組み付けられた複数のプローブを有する。各プローブは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプローブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタイプのプローブ（プローブ針）、若しくは、電気絶縁性のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部又はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフィルム状プローブ（プローブ要素）である。そのような各プローブブロックの１つとして、特開平１０−１３２８５３号公報に記載されている公知のものを用いることができる。
【００２９】
Ｘ辺に配置されたプローブユニット４０の各プローブベース４６は、少なくともプローブブロック４４が可動テーブル４８から本体１４内に突出するように、Ｘ方向へ伸びるリニアガイド５０によりＸ方向へ移動可能に可動テーブル４８に組み付けられていると共に、Ｘ駆動機構５２によりＸ方向における位置を調整される。
【００３０】
各リニアガイド５０は、Ｘ方向へ伸びるガイドレールと、該ガイドレールにこれの長手方向へ移動可能に嵌合されたスライドガイドとを備える市販されている一般的なリニアガイドである。図示の例では、ガイドレールは可動テーブル４８に組み付けられており、スライドガイドはプローブベース４６に組み付けられている。しかし、ガイドレールをプローブベース４６に組み付け、スライドガイドを可動テーブル４８に組み付けてもよい。
【００３１】
Ｙ辺に配置された各プローブユニット４０は、少なくともプローブブロック４４が可動テーブル４８から本体１４内に突出するように、プローブベース４６においてスペーサ４６ａにより可動テーブル４８に組み付けられている。
【００３２】
各Ｘ駆動機構５２は、Ｘ軸モータ５４を可動テーブル４８に組み付け、Ｘ方向へ伸びるリードスクリュー５６をＸ軸モータ５４に結合させ、リードナット５８をプローブベース４６に組み付けると共に、リードスクリュー５６に螺合させている。
【００３３】
各Ｘ駆動機構５２は、リードスクリュー５６をＸ軸モータ５４により回転させて、リードスナット５８をＸ方向へ移動させることにより、プローブベース４６を可動テーブル４８に対してＸ方向へ変位させる。これにより、長方形の短辺に配置されたプローブユニット４０の接触子に対する長辺に配置されたプローブユニット４０の接触子の位置を調整することができる。
【００３４】
Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０は、その長手方向の各端部にテレビカメラ６０を有しており、またＸ辺に配置された各プローブユニット４０は、Ｙ辺に配置されたプローブユニット４０の側と反対の側の端部にテレビカメラ６０を有している。
【００３５】
各テレビカメラ６０は、表示用パネル１２に形成されているアライメントマークを撮影するように、プローブベース４６に配置されている。テレビカメラ６０の出力信号は、表示用パネル１２とプローブユニット４０との相対的な位置決め（アライメント）に用いられる。位置決めは、表示用パネル１２のアライメントマークがテレビカメラ６０の視野内の所定の座標位置になるように、表示用パネル１２を検査ステージ３０のアライメントステージ３８により移動させることにより行われる。
【００３６】
各Ｚ移動装置４２は、前記した可動テーブル４８のほかに、さらに、可動テーブル４８を本体１４に装着している一対のリニアガイド６２と、可動テーブル４８を第１の方向へ移動させるＺ移動機構６４とを備える。
【００３７】
各可動テーブル４８は、長方形の対応する辺の方向に伸びる板状部材から形成されており、またリニアガイド６２及びＺ移動機構６４により本体１４の傾斜面部１６と平行に支持されている。
【００３８】
各リニアガイド６２は、Ｚ方向へ伸びるガイドレール６６と、ガイドレール６６にＺ方向へ移動可能に嵌合されたスライドガイド６８とを含む一般的なリニアガイドである。ガイドレール６６は開口２４を形成する面に組み付けられており、スライドガイド６８は可動テーブル４８に組み付けられている。
【００３９】
各Ｚ移動機構６４は、開口２４を形成する面に配置された中空モータ７０と、中空モータ７０の中空部に螺合されたリードスクリュー７２とにより形成することができる。中空モータ７０はその回転軸線がＺ方向へ伸びるように傾斜面部１６に組み付けられており、リードスクリュー７２はＺ方向へ伸びるように可動テーブル４８に回転可能に組み付けられている。
【００４０】
待機時、検査ステージ３０の移動時及び検査ステージ３０への表示用パネル１２の受け渡し時、Ｚ移動機構６４は、各プローブユニット４０を検査ステージ３０及びそれに受けられた表示用パネル１２から離している。
【００４１】
しかし、検査ステージ３０が表示用パネル１２を受けた状態で、検査部２０に移動され、その状態で表示用パネル１２とプローブユニット４０との位置決めをするとき、Ｚ移動機構６４はプローブユニット４０を１回以上検査ステージ３０に接近させる。
【００４２】
また、上記位置決めが終了すると、Ｚ移動機構６４は、プローブユニット４０を検査ステージ３０に向けて移動させて、プローブの接触子を表示用パネル１２の電極に押圧する。この状態で通電試験が行われる。
【００４３】
通電試験が終了すると、Ｚ移動機構６４は、プローブユニット４０を検査ステージ３０に対してＺ方向へ移動させて、待機位置に待避させる。
【００４４】
図１に示すように、操作盤７４が本体１４の近傍に配置されており、また目視検査の補助装置として用いる光学顕微鏡７６と、自動点灯検査装置の場合にテレビカメラのような撮像装置により撮影した表示用パネル１２の画像を映し出すために用いられるテレビジョン受像機（モニタ）７８とが配置されている。
【００４５】
操作盤７４は、作業者が、プローブのオーバードライブ量、電極と接触子との接触圧等の検査条件の設定、検査ステージ及びプローブユニットの作動開始指令、表示用パネルの電極とプローブの接触子との相対的な位置決め指令等の制御指令の入力をし、それにより検査装置１０を作動させるためのものである。
【００４６】
図１及び図１１に示すように、検査部２０には、また、少なくとも電極と接触子とを再度接触させて再度検査をする再接触指令を発生する複数の再接触指令スイッチ８０，８２，８４，８６が開口２４の近傍に設けられている。
【００４７】
再接触指令スイッチ８０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせた後に、再度接触指令を発生する。スイッチ８０が操作されると、検査装置１０は、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定される可能性が高くなり、良品を不良品と判定される可能性が低くなる。
【００４８】
再接触指令スイッチ８２は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせかつ電極と接触子との相対的な接触圧を増加した後に、電極と再度接触指令を発生する。スイッチ８２が操作されると、検査装置１０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行った後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。
【００４９】
再接触指令スイッチ８４は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせかつ表示用パネル１２をプローブユニット４０に対しＸ方向に変位させた後に、再度接触指令を発生する。スイッチ８４が操作されると、検査装置１０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行い、表示用パネル１２をプローブユニット４０に対しＸ方向に所定量変位させた後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。
【００５０】
再接触指令スイッチ８６は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせかつ表示用パネルをプローブユニットに対しＹ方向に変位させた後に、再度接触指令を発生する。スイッチ８６が操作されると、検査装置１０は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行い、表示用パネル１２をプローブユニット４０に対しＹ方向に所定量変位させた後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。
【００５１】
スイッチ８０，８２，８４，８６の操作は、これらのスイッチが本体の検査部近傍に設けられているから、制御盤７４を操作して上記のような指令を発生する場合に比べ、極めて容易である。したがって、再接触指令を容易に入力可能とすることができる。
【００５２】
再接触指令スイッチによる上記動作を実行するために、検査装置１０は、例えば、プローブユニット４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離された後に、スイッチ８０，８２，８４，８６のいずれが圧下されたを確認し、圧下されたスイッチに応じて上記動作を実行する。
【００５３】
図３から図９に示すように、チャックトップ３４は、表示用パネル１２を解除可能に真空吸着するワークテーブル（すなわち、真空チャック）である。チャックトップ３４は、バックライトユニット３６からの光が表示用パネル１２に達することを許す矩形の開口９０を有すると共に、表示用パネル１２を真空的に吸着する複数の吸着溝９２を開口９０の周りに有する。
【００５４】
開口９０の上端は、ガラス板のような透明板９４により閉塞されている（図９参照）。透明板９４は、チャックトップ３４自体の上端面と共に、表示パネル１２を受けるパネル受け面９６とされている。各吸着溝９２は、パネル受け面９６に開放されている。図示の例では、チャックトップ３４は、仮想的な矩形の隣り合う２つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸びる２つの吸着溝９２を有している。
【００５５】
しかし、仮想的な矩形の、１つ、３つ又は４つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸びる、１つ、３つ又は４つの吸着溝９２を有していてもよい。また、各辺の吸着溝は、その辺の方向に連続していてもよいし、複数に分割されていてもよい。さらに、複数の吸着溝を各辺に複数列に設けていてもよい。
【００５６】
バックライトユニット３６は、チャックトップ３４に受けられた表示用パネル１２をその背後から照明する機能を有しており、したがって箱状のケース内に白色ランプのような１以上の光源を収容している。
【００５７】
図６及び図７に示すように、チャックトップ３４とバックライトユニット３６とは、複数の支柱９８によりＺ方向に隔てられて、両者の間に空間１００を形成している。遮光板２８は、組み付け具１０２（図７参照）により本体１４の内側に片持ち梁状に組み付けられており、またＺ方向における空間１００の位置にあって表示用パネル１２と平行に維持されている。
【００５８】
遮光板２８は、検査ステージ３０がローダ部２２に移動されるときローダ部２２近傍において空間１００に受け入れられ始め、検査ステージ３０がローダ部２２に完全に位置されたとき図６から図８に示すように空間１００に完全に受け入れられる。
【００５９】
また、遮光板２８は、検査ステージ３０がローダ部２２から離され始めるとき空間１００から離され始め、検査ステージ３０がローダ部２２から完全に離されることにより空間１００から完全に離される。
【００６０】
これにより、検査ステージ３０がローダ部２２に移動されていると、バックライトユニット３６からチャックトップ３４に向かう光は遮光板２８により遮断される。これに対し、検査ステージ３０がローダ部２２から完全に離されると、バックライトユニット３６からの光は遮光板２８により遮断されることなく、チャックトップ３４に向かう。このため、チャックトップ３４に対する表示用パネル１２の着脱時に、バックライトユニット３６を消灯させなくても、バックライトユニット３６からの光は本体１４の外に指向されることを防止されて、作業者はバックライトユニット３６からの強い光にさらされることを防止される。
【００６１】
アライメントステージ３８は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３つの軸線のうち、２つの軸線（Ｘ，Ｙ軸線）の方向への平行移動と、残りの１つの軸線（Ｚ軸線）の周りの角度的回転を回転移動テーブルに与える２軸平行・１軸旋回テーブル装置である。そのような装置は、例えば、特開平１１−２４５１２８号公報に記載されている。
【００６２】
２軸平行・１軸旋回テーブル装置をアライメントテーブル３８として検査ステージ３０に用いると、回転移動テーブルをＺ軸線の周りに角度的に回転させるθステージと、回転移動テーブルをＹ軸線の方向へ移動させるＹステージと、回転移動テーブルをＸ軸線の方向へ移動させるＸステージとをアライメントステージとして用いた検査ステージに比べ、Ｚ軸線方向における検査ステージの高さ寸法が著しく小さくなる。
【００６３】
搬送ステージ３２は、本体１４内に斜め上向きに配置された支持板１０４に配置されており、またアライメントステージ３８を支持している。
【００６４】
図５，図８及び図９に示すように、検査ステージ３０は、また、表示用パネル１２をチャックトップ３４に対して位置決める２組のストッパ１０６と、表示用パネル１２をストッパ１０６に押圧する複数の第１のプッシャー機構１０８と、表示用パネル１２の縁部をパネル受け面９６に解除可能に押圧する複数の第２のプッシャー機構１１０とを有する。ストッパ１０６並びに第１及び第２のプッシャー機構１０８及び１１０は、いずれも、チャックトップ３４に配置されている。
【００６５】
一方の組のストッパ１０６は、表示用パネル１２の下端面を受けるようにＹ方向に間隔をおいて、パネル受け面９６にねじ部材により取り付けられている。このため、チャックトップ３４に載置された表示用パネル１２は、パネル受け面９６が傾斜していても、下端面が一方のストッパ１０６に当接し、それによりチャックトップ３４から落下することを防止される。
【００６６】
これに対し、他方の組のストッパ１０６は、表示用パネル１２の左右方向における一方の端面を受けるようにＸ方向に間隔をおいて、パネル受け面９６にねじ部材により取り付けられている。
【００６７】
図示の例では、Ｘ辺及びＹ辺のそれぞれに１つの第１のプッシャー機構１０８が設けられている。Ｘ辺の第１のプッシャー機構１０８は、Ｘ方向において、一方の組のストッパ１０６と反対側（上方側）に配置されている。Ｙ辺の第１のプッシャー機構１０８は、Ｘ方向において、他方の組のストッパ１０６と反対側に配置されている。
【００６８】
図５及び図１０に示すように、各第１のプッシャー機構１０８は、チャックトップ３４に支持された逆転可能の回転機構１１２と、回転機構１１２により表示用パネル１２に垂直の方向（Ｚ方向）へ伸びる軸線の周りに角度的に回転されて表示用パネル１２を押す揺動体１１４とを備える。
【００６９】
各回転機構１１２は、その出力回転軸がＺ方向へ伸びるように、チャックトップ３４に支持されている。各回転機構１１２として、回転式のシリンダ機構、回転式のソレノイド機構、電動機等を用いることができる。
【００７０】
各揺動体１１４は、一端部において回転機構１１２の出力回転軸に取り付けられたアーム１１６と、アーム１１６の他端部にチャックトップ３４のパネル受け面からＺ方向へわずかに突出する状態に取り付けられたピン１１８とで構成することができる。
【００７１】
各第１のプッシャー機構１０８は、回転機構１１２が一方向へ所定の角度回転することにより、揺動体１１４が一方向に所定角度回転されて、表示用パネル１２を対応するストッパ１０６に押す。これにより、表示用パネル１２は、検査ステージ３０に対して位置決められて、その状態に維持される。
【００７２】
回転機構１１２が所定の角度逆転されると、各第１のプッシャー機構１０８は、揺動体１１４が所定角度逆回転されて、対応するストッパ１０６への表示用パネル１２の押圧を解除する。
【００７３】
図５及び図９に示すように、各第２のプッシャー機構１１０は、パネル受け面９６と交差する方向へ伸びる軸線（Ｚ軸線）を有するシリンダ１２６及びこれに受け入れられたピストン１２８を有するシリンダ機構１２０と、シリンダ機構１２０のピストン１２８に先端部に組み付けられた板状アーム１２２と、板状アーム１２２の先端部に配置されたゴム板１２４とを備える。
【００７４】
シリンダ機構１２０は、そのピストン１２８が流体によりシリンダ１２６に対し軸線の周りに角度的に回転しつつその軸線の方向へ移動するスイングシリンダ機構である。図示の例では、Ｘ方向における両端部のそれぞれに２つのシリンダ機構１２０がＹ方向に間隔をおいて配置されている。
【００７５】
板状アーム１２２は、弾性変形可能の板バネから製作されており、また一端においてピストン１２８の上端部に装着されている。ゴム板１２４は、シリコーンゴムのように弾性変形可能の材料から製作されており、また表示パネル１２の縁部に当接可能に板状アーム１２２の他端部下面に装着されている。
【００７６】
図９（Ａ）に示すように、ピストン１２８がシリンダ１２６から突出していると、板状アーム１２２が表示用パネル１２からＸ方向及びＺ方向に離されている。
【００７７】
図９（Ａ）に示す状態において、ピストン１２８がシリンダ１２６内に後退されると、ピストン１２８が下降されつつその軸線の周りに角度的に回転されるから、板状アーム１２２が図９（Ｂ）に示すように回転されつつ下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル１２の縁部の上方に移動される。
【００７８】
ピストン１２８がシリンダ１２６内にさらに後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｃ）に示すようにさらに下降されて、ゴム板１２４が表示用パネル１２の縁部に当接する。
【００７９】
ピストン１２８がシリンダ１２６内にさらに後退されると、板状アーム１２２が図９（Ｄ）に示すようにさらに下降されるから、ゴム板１２４が表示用パネル１２の縁部をパネル受け面９６に押圧する。この状態において、板状アーム１２２は弾性変形によりわずかに撓み、ゴム板１２４は弾性変形する。
【００８０】
上記の結果、表示用パネル１２の縁部がＸ方向一端部に位置する吸着溝９２の開放部に押圧されて密着するから、その吸着溝９２又は全ての吸着溝９２が吸引源に接続されることにより、表示用パネル１２の縁部はその吸着溝９２又は全ての吸着溝９２に吸着され、その状態に安定に維持される。
【００８１】
表示用パネル１２の縁部の押圧を解除するとき、各第２のプッシャー機構１１０は、ピストン１２８がシリンダ１２６から突出されることにより、上記と逆に作動される。
【００８２】
吸着溝９２は、検査ステージ３０が表示用パネルを受けたときから、検査が終了して、検査ステージ３０がローダ部２２に達するまでの間は、吸引源に接続される。しかし、検査ステージ３０に対する表示用パネルの着脱時には、吸着溝９２は、吸引源から切り離される。
【００８３】
第１のプッシャー機構１０８は、表示用パネル１２と検査ステージの相対的な位置決めを行うときだけ、表示用パネル１２をストッパ１０６に押する。また、第２のプッシャー機構１１０は、表示用パネル１２を吸着溝９２に吸着させるときだけ、表示用パネル１２の縁部をパネル受け面９６に押圧する。しかし、第１及び第２のプッシャー機構１０８及び１１０のいずれも、それ以外のときにも表示用パネルを押圧するようにしてもよい。
【００８４】
しかし、検査ステージ３０に対する表示用パネルの着脱時には、全ての吸着溝９２は吸引源から切り離され、全ての第１のプッシャー機構１０８はストッパ１０６への表示用パネル１２の押圧を解除し、全ての各第２のプッシャー機構１１０はパネル受け面９６への表示用パネル１２の押圧を解除する。
【００８５】
検査装置１０において、検査ステージ３０がローダ部２２に位置するとき、検査済みの表示用パネル１２が検査ステージ３０から除去され、未検査の表示用パネル１２が検査ステージ３０に配置される。この受け渡し作業は、人手により行われる。
【００８６】
表示用パネル１２の受け渡し作業が終了すると、検査装置１０は、本体１２の検査部２０に備えられた開始スイッチ（図示せず）が操作されることにより、以下の動作を開始する。
【００８７】
先ず、表示用パネル１２が第１のプッシャー機構１０８によりストッパ９６に押圧されて、検査ステージ３０に対する表示用パネルの位置決めが行われる。
【００８８】
次いで、表示用パネル１２の縁部が第２のプッシャー機構１１０によりパネル受け面９６に押圧されると共に、全ての吸着溝９２が吸引源に接続される。これにより、表示用パネル１２は検査ステージ３０に保持される。
【００８９】
次いで、検査ステージ３０が検査部２０に移動され、検査部２０においてプローブユニット４０に対して位置決められる。このアライメントのとき、表示用パネル１２は、チャックトップ３４及びバックライトユニット３６がアライメントステージ３８により移動されることにより、プローブユニット４０に対して移動される。また、各プローブユニット４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０に対し１回以上移動される。
【００９０】
次いで、各プローブユニット４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０に向けて移動されて、プローブの接触子が表示用パネル１２の電極に押圧される。この状態で、表示用パネルに通電されて、作業者による目視点灯検査が行われる。
【００９１】
検査の結果、不良であると、いずれかの再接触指令スイッチが圧下されることにより、少なくともアライメントが再度行われた後、接触子と電極とが再接触されて再検査が行われる。
【００９２】
検査が終了すると、各プローブユニット４０がＺ移動装置４２により検査ステージ３０から離された後、検査ステージ３０がローダ部２２に向けて移動される。
【００９３】
上記工程は、表示用パネル１２毎に繰り返される。
【００９４】
検査装置１０は、プローブユニット４０を表示用パネル１２に対しＺ方向に個々に移動させるから、表示用パネル１２とプローブユニット４０とをＺ方向へ相対的に移動させる移動機構を検査ステージ３０に設ける必要がなく、したがってＺ方向における検査ステージ３０の高さ寸法が小さくなり、プローブユニット３０に対する表示用パネル１２の位置が安定する。
【００９５】
また、各プローブユニット４０が対応する移動装置４２により表示用パネル１２に対しＺ方向に移動されるから、移動装置４２によるＺ方向へのプローブユニット４０の移動量をプローブユニット４０毎に設定することができ、したがって、全てのプローブを共通のプローブベース４６に配置した場合に比べ、プローブ相互間のオーバードライブ量及び針圧の差を小さくすることができる。
【００９６】
さらに、各プローブユニット４０が複数のプローブブロック４０をプローブベース４６に配置して、オーバードライブ及び針圧をプローブプローブベース４６毎に設定すると、オーバードライブ及び針圧をプローブブロック４４毎に設定する場合に比べ、オーバードライブ及び針圧の設定作業が容易になる。
【００９７】
これに対し、表示用パネルの電極を検査ステージによりプローブの接触子に押圧する従来の検査装置では、プローブの接触子の高さ位置が正確に一致していないと、オーバードライブが不足するプローブが存在することになる。その結果、そのプローブの接触子と表示用パネルの電極との接触圧（針圧）が不足し、正確な試験結果を得ることができない。
【００９８】
これを防止すべく全てのプローブが所定の値以上のオーバードライブを受けるようにすると、大きな押圧力が必要になるし、オーバードライブが過剰になるプローブが存在することになる。その結果、プローブが短命になるし、表示用パネルの電極を損傷するおそれがある。
【００９９】
検査装置１０によれば、Ｚ移動装置４２をプローブユニット４０側に配置しているのみならず、プローブユニット４０毎に配置しているから、従来の検査装置による上記の問題が解決される。
【０１００】
本発明は、表示用パネルの受け渡しを人手により行う装置のみならず、搬送ロボットのような自動化装置を用いて行う装置にも適用することができる。また、本発明は、目視検査を人の肉眼により行う目視点灯装置のみならず、撮像装置、画像処理装置等を用いて自動的に行う自動点灯検査装置にも適用することができるし、自動検査及び目視検査の両者を選択的に行うことができる装置にも適用することができる。さらに、本発明は、表示用パネルを斜めにした状態で検査する装置のみならず、表示用パネルをほぼ水平にした状態で検査する装置のような他の形式の装置にも適用することができる。
【０１０１】
本発明は、液晶を封入した液晶表示パネルのみならず、薄膜トランジスタを形成したガラス基板、プラスマ表示パネルのように、液晶表示パネル以外の表示パネル等、他の表示用パネルの検査装置にも適用することができる。
【０１０２】
本発明は、上記実施例に限定されない。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図
【図２】図１に示す検査装置の検査部の詳細を示す図
【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図
【図４】図２における４−４線に沿って得た断面図
【図５】図１に示す検査装置の検査ステージの詳細を示す図
【図６】検査ステージの配置状態を示す概略的な断面図
【図７】図６における７−７線に沿って得た断面図
【図８】図７に示す状態における検査ステージの図
【図９】第２のプッシャー機構の動作を説明するための図
【図１０】第１のプッシャー機構の一実施例を示す図
【図１１】再接触指令スイッチを示す図
【符号の説明】
１０  検査装置
１２  表示用パネル
１４  本体
１６  傾斜面部
２０  検査部
２２  ローダ部
２４，２６  本体の開口
３０  検査ステージ
３２  搬送ステージ
３４  チャックトップ
３６  バックライトユニット
３８  アライメントステージ
４０  プローブユニット
４２  Ｚ移動装置
４４  プローブブロック
４６  プローブベース
４８  可動テーブル
６２  リニアガイド
６４  Ｚ移動機構
７０  中空モータ
７２  リードスクリュー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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