(57)【要約】【課題】  セラミックス成形体の焼成時の収縮度合を所望に制御することのみならず、セラミックス成形体の機械加工性すなわち機械的強度をも所望に制御すること。【解決手段】  本発明のセラミックス成形体の特性制御方法は、少なくともセラミックス原料粉末と有機バインダとを溶媒に添加することで調製されたスラリーを用いて成形されたセラミックス成形体の特性を制御する方法であって、有機バインダ及び溶媒の種類を調整することで、セラミックス成形体の焼成前の機械的強度と焼成時の収縮度合との相関関係を制御することを特徴とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともセラミックス原料粉末と有機バインダとを溶媒に添加することで調製されたスラリーを用いて成形されたセラミックス成形体の特性を制御する方法であって、
前記有機バインダ及び前記溶媒の種類を調整することで、前記セラミックス成形体の焼成前の機械的強度と焼成時の収縮度合との相関関係を制御することを特徴とする、
セラミックス成形体の特性制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックス成形体の特性制御方法、すなわち、少なくともセラミックス原料粉末と有機バインダとを溶媒に添加することで調製されたスラリーを用いて成形された前記セラミックス成形体の特性を制御する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上述のセラミックス成形体は、ＩＣやコンデンサ等の電子部品の製造の他、積層圧電素子やインクジェット記録ヘッド等の各種誘電体デバイスの製造に用いられる。
【０００３】
これらの電子部品や誘電体デバイスの製造の際には、セラミックス成形体の焼成時の収縮度合を制御することが重要である。この点、本出願人は、セラミックス成形体の焼成時の収縮度合を制御する方法について、すでに提案している（特開平９−１１８５６８号公報及び特開２００６−６２９０６号公報参照。）。
【発明の概要】
【０００４】
特に上述のような誘電体デバイスの製造の際に、この種のセラミックス成形体に対して、焼成前に、穿孔等の（微細な）機械加工が施されることがある。この場合、焼成時の収縮度合を所望に制御することのみならず、当該セラミックス成形体の機械加工性すなわち機械的強度をも所望に制御する必要がある。本発明は、かかる課題に対処するためになされたものである。
【０００５】
本発明の特徴は、少なくともセラミックス原料粉末と有機バインダとを溶媒に添加することで調製されたスラリーを用いて成形されたセラミックス成形体の特性を制御する方法であって、前記有機バインダ及び前記溶媒の種類を調整することで、前記セラミックス成形体の焼成前の機械的強度と焼成時の収縮度合との相関関係を制御することにある。
【０００６】
本発明の発明者は、（１）前記セラミックス成形体の焼成前の機械的強度（以下、単に「成形体強度」と称する。）と、焼成時の収縮度合（以下、単に「焼成収縮率」と称する。）と、の間に相関関係があること、及び（２）前記セラミックス原料粉末を構成する粒子表面に対する前記有機バインダの吸着量（以下、これを「有機物吸着量」と称する。）と、成形体強度と、の間に相関関係があること、を見出し、本発明をなすに至った。
【０００７】
すなわち、例えば、或る特定の成形原料（前記セラミックス原料粉末、前記有機バインダ、前記溶媒、等）の組み合わせと、或る特定の製造システム（混合装置、成形装置、焼成装置、等）と、を用いた場合、成形体強度と焼成収縮率との間には所定の相関関係が生じる。すなわち、この場合、前記スラリーの調製条件（配合比や混合条件等）やその他の前記製造システムの運転条件（焼成条件、成形後の乾燥条件、等）を変更すると、成形体強度と焼成収縮率とを座標軸とした二次元座標上におけるプロットは、所定の近似線の上あるいはその近傍となる。
【０００８】
ここで、今回所望の成形体強度及び焼成収縮率の範囲（以下、これを「所望特性領域」と称する。）が、上述の近似線から離隔することがあり得る。このときは、前記調製条件や前記運転条件をどのように変更しても、当該所望の成形体強度と焼成収縮率とが同時に達成されることはない。そこで、このときは、前記有機バインダ及び前記溶媒の種類を調整（変更）することで、前記所望特性領域を通るように上述のプロットをシフトさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の適用対象の一例であるインクジェット記録ヘッドの概略構成を示す外観図（斜視図）である。
【図２】図１に示されているインクジェット記録ヘッドの側断面図である。
【図３】図１に示されているインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】従来の製造方法によって作製されたグリーンシートの焼成収縮率と成形体強度とを測定した結果を示すグラフである。
【図５】有機物吸着量と成形体強度との関係について示すグラフである。
【図６】本発明が適用された製造方法によって作製されたグリーンシートの焼成収縮率と成形体強度とを測定した結果を、従来の製造方法によって作製されたグリーンシートのものと対比しつつ示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、以下の実施形態に関する記載は、法令で要求されている明細書の記載要件（記述要件・実施可能要件）を満たすために、本発明の具体化の単なる一例を、可能な範囲で具体的に記述しているものにすぎない。
【００１１】
よって、後述するように、本発明が、以下に説明する実施形態や実施例の具体的構成に何ら限定されるものではないことは、全く当然である。本実施形態や実施例に対して施され得る各種の変更の例示（変形例：modification）は、当該実施形態の説明中に挿入されると、一貫した実施形態の説明の理解が妨げられるので、主として末尾にまとめて記載されている。
【００１２】
＜インクジェット記録ヘッドの構成＞
図１は、本発明の適用対象の一例であるインクジェット記録ヘッド１の概略構成を示す外観図（斜視図）である。図２は、図１に示されているインクジェット記録ヘッド１の側断面図である。図３は、図１に示されているインクジェット記録ヘッド１の分解斜視図である。以下、図１〜図３を参照しつつ、インクジェット記録ヘッド１の概略構成について説明する。
【００１３】
インクジェット記録ヘッド１は、アクチュエータユニット２と、流路ユニット３と、を備えている。
【００１４】
アクチュエータユニット２は、セラミックス基体２１と、圧電／電歪アクチュエータ２２（以下、単に「アクチュエータ２２」と略称する。）と、キャビティプレート２３と、接続プレート２４と、を備えている。
【００１５】
振動板として機能するセラミックス基体２１は、セラミックス製の薄板から構成されている。セラミックス基体２１を構成する材料としては、例えば、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、窒化アルミニウム、窒化珪素が、好適に用いられ得る。また、酸化ジルコニウムの中でも、完全安定化酸化ジルコニウムを主成分とする材料と部分安定化酸化ジルコニウムを主成分とする材料は、薄肉としても機械的強度が大きいこと、靭性が高いこと、圧電／電歪膜や電極膜の材料との反応性が小さいことから、最も好適に用いられ得る。
【００１６】
セラミックス基体２１の外側表面２１ａ上には、複数のアクチュエータ２２が、所定方向に配列した状態で設けられている。図２に示されているように、アクチュエータ２２は、複数層の圧電／電歪膜２２ａと、複数の第１電極２２ｂと、複数の第２電極２２ｃと、を備えていて、圧電／電歪膜２２ａの各層が第１電極２２ｂと第２電極２２ｃとによって挟まれるように構成されている。
【００１７】
圧電／電歪膜２２ａは、いわゆる圧電セラミックス材料から構成されている。この圧電／電歪膜２２ａを構成する圧電セラミックス材料としては、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ系）を主成分とする材料、マグネシウムニオブ酸鉛（ＰＭＮ系）を主成分とする材料、ニッケルニオブ酸鉛（ＰＮＮ系）を主成分とする材料、マンガンニオブ酸鉛を主成分とする材料、アンチモンスズ酸鉛を主成分とする材料、亜鉛ニオブ酸鉛を主成分とする材料、チタン酸鉛を主成分とする材料、更にはこれらの複合材料（混合物又は固溶体）等が用いられ得る。
【００１８】
なお、これらの圧電セラミックス材料には、ランタン、バリウム、ニオブ、亜鉛、セリウム、カドミウム、クロム、コバルト、ストロンチウム、アンチモン、鉄、イットリウム、タンタル、タングステン、ニッケル、マンガン等の酸化物やそれらの他の化合物が添加されていても、何等差し支えない。
【００１９】
１つのアクチュエータ２２に含まれていて互いに上下に積層されている複数の第１電極２２ｂは、その一端部にて互いに接続されるとともに、当該一端部にて第１端子２２ｄと接続されている。すなわち、複数の第１電極２２ｂ及び第１端子２２ｄは、一体に形成されている。第１端子２２ｄは、セラミックス基体２１の外側表面２１ａ上に固着するように形成されている。また、最下層の第１電極２２ｂは、セラミックス基体２１の外側表面２１ａに固着するように形成されている。第２電極２２ｃ及び第２端子２２ｅも、第１電極２２ｂ及び第１端子２２ｄと同様に形成されている。
【００２０】
セラミックス基体２１の裏面２１ｂには、板状部材からなるキャビティプレート２３が接合されている。図２及び図３に示されているように、このキャビティプレート２３における、各アクチュエータ２２に対応する位置（すなわちアクチュエータ２２の直下）には、それぞれ開口部が形成されていて、この開口部によって圧力室２３ａが構成されている。
【００２１】
キャビティプレート２３の下面には、板状部材からなる接続プレート２４が接合されている。この接続プレート２４には、圧力室入口２４ａが設けられている。この圧力室入口２４ａは、流路ユニット３を介して供給されてきたインクが圧力室２３ａに流入するための開口部である。また、接続プレート２４には、圧力室２３ａから後述するノズル３３ａに至るインク流路を形成するための圧力室出口２４ｂが設けられている。
【００２２】
流路ユニット３は、アクチュエータユニット２の下方に設けられていて、流路ユニット３と液密的に接合されている。この流路ユニット３は、板状部材からなるマニホールドプレート３１と、そのマニホールドプレート３１の上側に接合された板状部材であるオリフィスプレート３２と、マニホールドプレート３１の下側に接合された薄板状部材であるノズルプレート３３と、から構成されている。
【００２３】
図３に示されているように、マニホールドプレート３１には、複数の圧力室２３ａに接続される共通インク室３１ａが形成されている。また、オリフィスプレート３２には、共通インク室３１ａにインクを供給するためのインク供給口３２ａと、共通インク室３１ａと圧力室入口２４ａとを連通させるためのオリフィス３２ｂと、が形成されている。すなわち、共通インク室３１ａと複数の圧力室２３ａとが、オリフィス３２ｂ及び圧力室入口２４ａを介して接続されている。
【００２４】
ノズルプレート３３には、複数のインク噴出用のノズル３３ａが形成されている。また、マニホールドプレート３１における各ノズル３３ａに対応する位置には、当該ノズル３３ａと連通するノズル連通孔３１ｂが形成されている。このノズル連通孔３１ｂは、オリフィスプレート３２に形成されたノズル連通孔３２ｃを介して圧力室出口２４ｂと連通するように設けられている。
【００２５】
本実施形態においては、キャビティプレート２３及び接続プレート２４は、セラミックス製の薄板材から構成されている。一方、マニホールドプレート３１、オリフィスプレート３２、及びノズルプレート３３は、ステンレス製の薄板材から構成されている。また、セラミックス基体２１、キャビティプレート２３、接続プレート２４、オリフィスプレート３２、マニホールドプレート３１、及びノズルプレート３３は、接着等により液密的に接合されている。そして、図示しないインクタンクから、インク供給口３２ａ、共通インク室３１ａ、オリフィス３２ｂ、圧力室入口２４ａ、圧力室２３ａ、圧力室出口２４ｂ、ノズル連通孔３２ｃ、及びノズル連通孔３１ｂを介してノズル３３ａに達するインク流路が形成されている。
【００２６】
上述のように構成されたインクジェット記録ヘッド１は、図示しないインクタンクからインク供給口３２ａを介して共通インク室３１ａにインクが供給され、この共通インク室３１ａからオリフィス３２ｂ及び圧力室入口２４ａを介して圧力室２３ａにインクが供給されるように構成されている。そして、アクチュエータ２２が駆動されることでセラミックス基体２１に撓み変形が生じて、このセラミックス基体２１の撓み変形によって圧力室２３ａ内のインクが加圧された場合に、ノズル３３ａから所定量のインクが噴出されるように、インクジェット記録ヘッド１が構成されている。
【００２７】
＜インクジェット記録ヘッドの製造方法の概要＞
続いて、上述のような構成のインクジェット記録ヘッド１の製造方法について説明する。最初に、アクチュエータユニット２の製造方法について説明する。
【００２８】
まず、セラミックス原料粉末、有機バインダ、溶媒（溶剤）、分散剤、及び可塑剤を含有するスラリーを調製する。そして、このスラリーに対して脱泡処理を行った後、ドクターブレード法等により当該スラリーを所定の厚さにシート成形（膜形成）する。このシート成形したスラリーを乾燥することにより、所定の厚さを有するグリーンシートを得る。
【００２９】
次いで、得られたグリーンシートに対して、金型による打抜加工等の機械加工を行うことにより、焼成後にセラミックス基体２１となるグリーンシートＡ（図３参照）と、圧力室２３ａを構成する長方形状の開口部が形成され焼成後にキャビティプレート２３となるグリーンシートＢ（図３参照）と、圧力室入口２４ａ及び圧力室出口２４ｂを構成する円形の開口部が形成され焼成後に接続プレート２４となるグリーンシートＣ（図３参照）とを得る（なお、グリーンシートＢは、予め必要な厚さに厚く形成された１枚のグリーンシートから構成される場合と、複数枚のグリーンシートを積層したものから構成される場合と、があり得る。）。
【００３０】
次いで、グリーンシートＡとグリーンシートＣとの間にグリーンシートＢを挟むように、グリーンシートＡ、Ｂ、及びＣをこの順に上から積層して、グリーンシート積層体を作製する。そして、得られたグリーンシート積層体を所定温度で焼成することで、セラミックス積層体を得る。続いて、得られたセラミックス積層体の表面上（セラミックス基体２１の外側表面２１ａ上）に、圧電／電歪型のアクチュエータ２２を設けることで、アクチュエータユニット２が得られる。
【００３１】
アクチュエータ２２の形成は、例えば、以下のようにして行われる。
【００３２】
まず、スクリーン印刷法により上述のセラミックス積層体の表面の所定位置に、最下層の第１電極２２ｂを形成するための金属ペーストを塗布した後にこの塗布膜を乾燥する。次に、この乾燥後の金属ペースト塗布膜の上に、最下層の圧電／電歪膜２２ａを形成するためのセラミックスグリーンシートを載置する。続いて、このセラミックスグリーンシートの上から、最下層の第２電極２２ｃを形成するための金属ペーストを塗布した後にこの塗布膜を乾燥する。
【００３３】
以上のようにして、必要な数だけ第１電極２２ｂ、圧電／電歪膜２２ａ、及び第２電極２２ｃを形成した後、第１端子２２ｄ及び第２端子２２ｅを形成するための金属ペーストを塗布した後にこの塗布膜を乾燥する。このようにして、上述のセラミックス積層体の表面上に形成された、金属ペースト塗布膜とセラミックスグリーンシートとの積層体を焼成することで、アクチュエータ２２が形成される。
【００３４】
また、流路ユニット３は、以下のようにして形成される。まず、ステンレス製の薄板に対して、共通インク室３１ａやノズル連通孔３１ｂ等に対応する開口部を型抜き等により形成することで、マニホールドプレート３１及びオリフィスプレート３２が得られる。また、ステンレス製の薄板にパンチやレーザー加工を施すことにより、多数のノズル３３ａが形成されたノズルプレート３３が得られる。そして、得られたオリフィスプレート３２、マニホールドプレート３１、及びノズルプレート３３を、この順で重ねて接着剤を用いて液密的に接合する。
【００３５】
上述のようにして得られたアクチュエータユニット２と流路ユニット３とを接着剤により液密的に接合することにより、インクジェット記録ヘッド１が形成される。
【００３６】
＜グリーンシートの製造方法の詳細＞
次に、上述のグリーンシートＡ〜Ｃを製造するための一般的な（従来の）方法について、以下に説明する。
【００３７】
（１）乾式調合工程
まず、入手したセラミックス原料粉末を、乾式アトライタ（アトライタは登録商標）等を用いて乾式粉砕する。かかる乾式粉砕を経たセラミックス原料粉末を、所定温度にて仮焼することで、所望の粒度分布になるよう調整する。
【００３８】
（２）湿式調合工程
乾式調合工程を経たセラミックス原料粉末と、有機バインダと、溶媒（溶剤）と、分散剤と、可塑剤と、を、ボールミルやビーズミル等の湿式混合機を用いて混合する。得られた混合物を分散機によって処理して、セラミックス原料粉末を溶媒中に良好に分散させることで、スラリーを調製する。調製したスラリーは、脱泡処理と粘度調整処理がなされた後、成形に供される。
【００３９】
ここで、本出願人の先願に係る特開２００６−６２９０６号公報に開示されているように、上記の乾式調合工程においては、処理ロットの違いにより、焼成収縮率に大きなバラツキが生じる。このため、本発明の発明者は、上記の乾式調合工程を省略することで、焼成収縮率を安定化させるとともに、製造工程の工数を削減することができるのではないかと考えた。
【００４０】
しかしながら、上記の乾式調合工程を省略した場合、焼成収縮率を安定化させることができる一方で、どのように製造条件（スラリーの調製条件、焼成条件、成形後の乾燥条件、等）を最適化しようとしても、上述の打抜加工等の機械加工のために必要な成形体強度（グリーンシートの機械的強度）が実現されないこととなった。
【００４１】
そこで、製造条件を変更して、グリーンシートの焼成収縮率（焼成前後の寸法差を焼成前の寸法で除した値を百分率で示したもの）と成形体強度（引張強度：単位ｋｇｆ／ｍｍ２）とを測定したところ、両者には所定の相関関係が存在することが判明した（図４における菱形のプロット及び一点鎖線参照）。なお、図４中、横軸の「焼成収縮率」としては、特定の値（例えば２０％）を基準として規格化した値を用いている（後述する図６においても同様である）。また、正方形のプロットは、上述した従来の製造方法によって作製されたグリーンシートのデータを示す。また、菱形のプロットは、かかる従来の製造方法から乾式調合工程を省略した製造方法によって作製されたグリーンシートのデータを示す。さらに、破線で示された領域は、図３に示されているグリーンシートＡ〜Ｃを得るための所望特性領域を示す。
【００４２】
図４における縦軸の「機械的強度」は、グリーンシートから、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５１における「ダンベル状４号形」と同一形状の試験片を作成し、室温にてかかる試験片の引張強度を求めたものである（引張速度１０ｍｍ／ｍｉｎ）。
【００４３】
なお、セラミックス原料粉末として、ジルコニア粉末（東ソー株式会社製  グレード名「ＴＺ−３ＹＳ」あるいは「ＴＺ−３ＹＳ−Ｅ」）を用いた。また、有機バインダとしてポリビニルブチラールを用い、溶媒としてトルエンとイソプロピルアルコールとを重量比１：１で混合したものを用い、分散剤として脂肪酸エステルを用い、可塑剤としてフタル酸系ブチルを用いた。スラリーの配合比は、セラミックス原料粉末：溶媒：有機バインダ：可塑剤＝１００：（５０〜１００）：（５〜１０）：（２〜５）である。
【００４４】
図４に示されているように、従来の製造方法から乾式調合工程を省略することで、同一の焼成収縮率に対応する成形体強度が増大した。このため、図３に示されているグリーンシートＡ〜Ｃを得るための所望特性領域を実現するためには、成形体強度が低下する方向にグリーンシートの焼成収縮率と成形体強度との相関関係をシフトさせる必要がある。
【００４５】
この点、本発明の発明者は、スラリーの配合比や混合条件が同一であっても、セラミックス原料粉末粒子の表面における有機バインダ分子の吸着量（有機物吸着量）を少なくすれば、グリーンシートにおける焼成収縮率を実質的に同一に維持しつつ成形体強度を低下させられるのではないかと考えた。そこで、まず、有機物吸着量と成形体強度との関係について確認したところ、図５に示されているように、両者には線形の相関関係があることが判明した。なお、有機物吸着量は、スラリーを６００００Ｇで遠心分離して得られた沈殿物を乾燥後に熱重量測定することによって得た（単位ｇ／ｍ２）。
【００４６】
かかる結果を受けて、有機バインダをより疎水性側の性質のものに変更するとともに、有機バインダとの相溶性がより高くなるような溶媒を選択したところ、上述した従来の製造方法の場合よりも成形体強度が低下する方向にグリーンシートの焼成収縮率と成形体強度との相関関係をシフトさせることができ、上述の所望特性領域を通るようにかかる相関関係を設定することができた（図６における丸印のプロット参照：なお、１０〜２５０ＭＰａの処理圧力で湿式ジェットミルによる分散処理を行った。）。
【００４７】
＜変形例の例示列挙＞
なお、上述の実施形態や具体例は、上述した通り、出願人が取り敢えず本願の出願時点において最良であると考えた本発明の具現化の一例を単に示したものにすぎないのであって、本発明はもとより上述の実施形態や具体例によって何ら限定されるべきものではない。よって、上述の実施形態や具体例に対して、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、種々の変形が施され得ることは、当然である。
【００４８】
以下、変形例について幾つか例示する。以下の変形例の説明において、上述の実施形態における各構成要素と同様の構成・機能を有する構成要素については、本変形例においても同一の名称及び同一の符号が付されているものとする。そして、当該構成要素の説明については、上述の実施形態における説明が、矛盾しない範囲で適宜援用され得るものとする。
【００４９】
もっとも、変形例とて、下記のものに限定されるものではないことは、いうまでもない。本発明を、上述の実施形態や下記変形例の記載に基づいて限定解釈することは、（特に先願主義の下で出願を急ぐ）出願人の利益を不当に害する反面、模倣者を不当に利するものであって、許されない。
【００５０】
また、上述の実施形態の構成、及び下記の各変形例に記載された構成の全部又は一部が、技術的に矛盾しない範囲において、適宜複合して適用され得ることも、いうまでもない。
【００５１】
本発明は、上述の具体的な構成に何ら限定されない。すなわち、上述の具体的な構成に対して、本発明の範囲内において種々の変更が施され得ることは、当然である。例えば、各部材の形状や材質についても、上述の具体例に何ら限定されるものではない。
【００５２】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に限定されない。すなわち、本発明は、積層圧電素子や積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品の製造に用いられるセラミックススラリー組成物及びかかるスラリーからなるグリーンシートの製造方法に広く適用可能である。
【００５３】
本発明がインクジェット記録ヘッドの製造方法に適用される場合、本発明は、上述のような、セラミックス基体２１やキャビティプレート２３や接続プレート２４の製造方法に限定されない。すなわち、例えば、本発明は、アクチュエータ２２の製造方法に対しても好適に適用され得る。
【００５４】
よって、例えば、セラミックス原料粉末としては、ジルコニア、炭化珪素、珪素−炭化珪素系複合材料、窒化珪素、コージェライト（コージェライト化材料）、ムライト、アルミナ、スピネル、炭化珪素−コージェライト系複合材料、リチウムアルミニウムシリケート、チタン酸アルミニウム、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ系金属、ジルコン酸チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、チタン酸ビスマスネオジウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸カリウム等、を用いることが可能である。
【００５５】
特に、本発明は、セラミックス原料粉末が、外力の作用で比較的容易に解砕されて新鮮な表面が露出するようなもの（例えばスプレードライにより造粒されたもの）である場合に、特に有効であると考えられる。この点、本発明は、セラミックス原料粉末がスプレードライ造粒粉である場合に限定されるものではない。
【００５６】
溶媒は、用いるバインダによって適宜選択することができる。具体的には、例えば、溶媒として、トルエン、キシレン、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、等を用いることが可能である。
【００５７】
分散剤としては、例えば、ポリカルボン酸塩、ラウリン酸塩、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤、ステアリン酸、アクリル酸系ポリマー、等を用いることが可能である。
【００５８】
可塑剤としては、例えば、フタル酸エステル等を用いることが可能である。
【００５９】
その他、特段に言及されていない変形例についても、本発明の本質的部分を変更しない範囲内において、本発明の技術的範囲に含まれることは当然である。
【００６０】
また、本発明の課題を解決するための手段を構成する各要素における、作用・機能的に表現されている要素は、上述の実施形態や変形例にて開示されている具体的構造の他、当該作用・機能を実現可能ないかなる構造をも含む。さらに、本明細書にて引用した先行出願や各公報の内容（明細書及び図面を含む）は、本明細書の一部を構成するものとして適宜援用され得る。
【符号の説明】
【００６１】
１…インクジェット記録ヘッド
２…アクチュエータユニット  ２１…セラミックス基体  ２２…電歪アクチュエータ
２２ａ…電歪膜              ２２ｂ…第１電極        ２２ｃ…第２電極
２３…キャビティプレート    ２３ａ…圧力室
２４…接続プレート          ２４ａ…圧力室入口      ２４ｂ…圧力室出口
３…流路ユニット
３１…マニホールドプレート  ３１ａ…共通インク室    ３１ｂ…ノズル連通孔
３２…オリフィスプレート    ３２ａ…インク供給口    ３２ｂ…オリフィス
３２ｃ…ノズル連通孔
３３…ノズルプレート        ３３ａ…ノズル
Ａ…グリーンシート          Ｂ…グリーンシート      Ｃ…グリーンシート
【先行技術文献】
【特許文献】
【００６２】
【特許文献１】特開平９−１１８５６８号公報
【特許文献２】特開２００６−６２９０６号公報
【図１】
2013203552.tif 000002
【図２】
2013203552.tif 000003
【図３】
2013203552.tif 000004
【図４】
2013203552.tif 000005
【図５】
2013203552.tif 000006
【図６】
2013203552.tif 000007