(57)【要約】【課題】複数個のワークの温度特性の校正を行うにあたり、高い精度での校正を実現させる。【解決手段】固有の温度特性を有する複数個のワーク（ＷＧ１〜ＷＧｎ）を同一の恒温槽Ｈ内に収容し、温度調整手段Ａによって各ワークの温度を所定温度に安定させた状態で、順次各ワークの温度特性の校正を行う温度特性校正システムであって、予め校正作業の順番が定められたワークの中で直近の校正作業の対象となるワークが他のワークに比して温度調整手段Ａに最も近付くように各ワークと温度調整手段Ａとの位置関係を変更する位置変更手段（制御手段Ｃｏｎｔ等）を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固有の温度特性を有する複数個のワークを同一の恒温槽内に収容し、温度調整手段によって各ワークの温度を所定温度に安定させた状態で、順次各ワークの温度特性の校正を行う温度特性校正システムであって、
予め校正作業の順番が定められた前記ワークの中で直近の校正作業の対象となるワークが他のワークに比して前記温度調整手段に最も近付くように前記各ワークと前記温度調整手段との位置関係を変更する位置変更手段を備える、
温度特性校正システム。
【請求項２】
前記位置変更手段は、前記恒温槽内における前記各ワークの位置を変更するものである、
請求項１に記載の温度特性校正システム。
【請求項３】
前記位置変更手段は、前記恒温槽内における前記温度調整手段の位置を変更するものである、
請求項１に記載の温度特性校正システム。
【請求項４】
固有の温度特性を有する複数個のワークを同一の恒温槽内に収容し、温度調整手段によって各ワークの温度を所定温度に安定させた状態で、順次各ワークの温度特性の校正を行う温度特性校正方法であって、
予め校正作業の順番が定められた前記ワークの中で直近の校正作業の対象となるワークが他のワークに比して前記温度調整手段に最も近付くように前記各ワークと前記温度調整手段との位置関係を変更する位置変更工程を含む、
温度特性校正方法。
【請求項５】
前記位置変更工程では、前記恒温槽内における前記各ワークの位置を変更する、
請求項４に記載の温度特性校正方法。
【請求項６】
前記位置変更工程では、前記恒温槽内における前記温度調整手段の位置を変更する、
請求項４に記載の温度特性校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度特性校正システム及び温度特性校正方法に関する。特に、所定の検査温度に設定される恒温槽内に収容され、この検査温度下における複数個のワーク（例えば圧力センサ）の出力に関わる温度特性を校正する温度特性校正システム及び温度特性校正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧力に応じた電気信号を出力するための圧力センサが種々提案されている。例えば、半導体基板を加工して形成されるダイアフラムにピエゾ抵抗を拡散形成し、印加される圧力によるダイアフラムの歪みをピエゾ抵抗の抵抗値の変化として検出する所謂ピエゾ抵抗拡散式の圧力センサ（半導体圧力センサ）がよく知られている。
【０００３】
このような圧力センサは、同じ圧力下にあっても温度によって出力が変化する温度特性を有し、製品出荷前に個々の圧力センサの温度特性を校正する必要がある。圧力センサの温度特性の校正は、供試品の圧力センサを所定の検査温度に設定される周知の恒温槽（あるいは恒温恒湿槽）内に入れ、校正のために決められた複数の所定温度下において、所定の圧力を印加したときの出力を測定することで行われている。
【０００４】
従来においては、効率良く温度校正を行うために複数個（例えば１００個）の圧力センサを同一の恒温槽に入れ、恒温槽に付属する加熱器・冷却器を用いて、恒温槽内の全ての圧力センサの温度を所定温度（温度校正を行うために定められた温度）に安定させた時点で、１個ずつ順番に校正作業を行うようにしていた。現在においては、このような校正作業を行う際に使用される温度特性検査装置が提案されている（特許文献１参照）。また、近年においては、恒温槽の送風装置の回転速度を可変制御する技術も提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０―２８２５号公報
【特許文献２】特開平１１―２３１９４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、恒温槽内といっても、全ての圧力センサの温度を所定の同一温度にすることはきわめて困難である。多くの圧力センサを同時に収容するためには恒温槽内の容積を大きくする必要があるが、恒温槽に付属する加熱器や冷却器は通常各１基であることから、恒温槽の容積が大きくなると恒温槽内では２〜３℃程度の温度差が生じてしまうからである。このような恒温槽内の温度差は時間の経過に伴って小さくなるが、温度差を所定範囲内（例えば０．１〜０．２℃）に収めようとすると、校正作業に要する時間がきわめて長くなってしまうという問題がある。
【０００７】
一方、前記した特許文献２に記載されているように恒温槽の送風装置の回転速度を可変制御して恒温槽内の温度差を縮小することも考えられる。しかし、仮にこのような技術を採用しても、恒温槽内に同時に多数の圧力センサを収容する場合には、加熱器や冷却器によって効率良く温度調整される圧力センサと、他の圧力センサの存在の影響を受けて温度調整が効率良く行われず設定温度に到達しない圧力センサと、が混在することとなる。設定温度に到達しない圧力センサを設定温度に到達したものとして校正作業を行っても、高い精度での校正を実現させることはできない。
【０００８】
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、複数個のワークの温度特性の校正を行うにあたり、高い精度での校正を実現させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るシステムは、固有の温度特性を有する複数個のワークを同一の恒温槽内に収容し、温度調整手段によって各ワークの温度を所定温度に安定させた状態で、順次各ワークの温度特性の校正を行う温度特性校正システムであって、予め校正作業の順番が定められたワークの中で直近の校正作業の対象となるワークが他のワークに比して温度調整手段に最も近付くように各ワークと温度調整手段との位置関係を変更する位置変更手段を備えるものである。
【００１０】
また、本発明に係る方法は、固有の温度特性を有する複数個のワークを同一の恒温槽内に収容し、温度調整手段によって各ワークの温度を所定温度に安定させた状態で、順次各ワークの温度特性の校正を行う温度特性校正方法であって、予め校正作業の順番が定められたワークの中で直近の校正作業の対象となるワークが他のワークに比して温度調整手段に最も近付くように各ワークと温度調整手段との位置関係を変更する位置変更工程を含むものである。
【００１１】
かかる構成及び方法を採用すると、予め各ワークの校正作業の順番を定め、直近の校正作業の対象となるワークが温度調整手段に最も近付くように各ワークと温度調整手段との位置関係を変更することにより、直近の校正作業の対象となるワークの温度を優先的に所定温度に安定させることができる。従って、全てのワークの温度を、校正作業を行う際に所定温度に安定させることができるので、所定温度に安定していない状態でワークの校正作業が行われることを防ぐことができる。この結果、高い精度での校正を実現させることができる。また、恒温槽の容積を大きくしたり、恒温槽内に同時に収容するワークの数を過度に制限したりする必要がなくなる。
【００１２】
本発明に係る温度特性校正システム（温度特性校正方法）において、恒温槽内における各ワークの位置を変更する位置変更手段（位置変更工程）を採用することができる。
【００１３】
かかる構成（方法）を採用すると、温度調整手段（加熱器、冷却器、送風機等）を恒温槽に固定することができ、複数のワークを載置するコンベアやターンテーブル等で容易に位置変更手段を構成することができる。
【００１４】
また、本発明に係る温度特性校正システム（温度特性校正方法）において、恒温槽内における温度調整手段の位置を変更する位置変更手段（位置変更工程）を採用してもよい。
【００１５】
かかる構成を採用すると、ワークを恒温槽に固定することができるので、温度調整中にワークを恒温槽内で移動させることが好ましくない場合に好都合である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、複数個のワークの温度特性の校正を行うにあたり、高い精度での校正を実現させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（Ａ）は本発明の各実施形態に係る温度特性校正システムによって温度特性が校正される圧力センサ（ワーク）の外観図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す圧力センサの出力の温度特性を表すグラフである。
【図２】本発明の第一実施形態に係る温度特性校正システムを構成するワーク設置台と、このワーク設置台に設置された複数個の圧力センサと、を示す構成図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係る温度特性校正システムを構成する恒温槽の内部構成を説明するための説明図である。
【図４】本発明の第一実施形態に係る温度特性校正システムを採用した場合における圧力センサの温度変化の時間履歴を示すグラフである。
【図５】本発明の第二実施形態に係る温度特性校正システムを構成する恒温槽の内部構成を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の各実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
最初に、図１を用いて、本発明の各実施形態において温度特性が校正されるワークについて説明する。以下の各実施形態においては、図１（Ａ）に示すような圧力センサＷをワークとして採用することとする。圧力センサＷは、所謂ピエゾ抵抗拡散式の圧力センサ（半導体圧力センサ）であり、圧力（差圧）の出力信号を補正するための温度検出素子を内部に搭載している。
【００２０】
圧力センサＷは、同じ圧力下にあっても温度によって出力が変化する固有の温度特性を有している。具体的には、図１（Ｂ）に示すように、圧力センサＷの温度が常温（例えば２５℃程度）の場合には、実際の圧力と出力との関係は曲線ＣA（破線）のようになる。これに対し、圧力センサＷの温度が高温（例えば６５℃程度）の場合には、実際の圧力と出力との関係は曲線ＣH（一点鎖線）のようになり、低温（例えば−１５℃程度）の場合には曲線ＣL（二点鎖線）のようになる。このため、圧力センサＷの出力を温度に応じて補正する必要がある。そして、かかる補正を行うためには、圧力センサＷの出力の温度特性（図１（Ｂ）に示す曲線形状）を知るための校正作業が必要となる。本発明の各実施形態に係る温度特性校正システム（温度特性校正方法）は、複数個の圧力センサＷの温度特性の校正を行うにあたり、高い精度での校正を実現させるものである。
【００２１】
＜第一実施形態＞
次に、図２〜図４を用いて、本発明の第一実施形態に係る温度特性校正システム及び温度特性校正方法について説明する。
【００２２】
本実施形態に係る温度特性校正システムは、複数個の圧力センサＷを図２に示すようなワーク設置台Ｓに設置した状態で、図３に示すような単一の恒温槽Ｈの内部に収容し、温度調整手段Ａによって圧力センサＷの温度を所定温度に安定させた状態で温度特性の校正を行うものである。
【００２３】
ワーク設置台Ｓには、図２に示すように、水平方向にｍ個の圧力センサＷを水平方向に１列に並べて設置することを可能とするワーク設置棚が、鉛直方向に沿ってｎ段設けられている。このような構成を有するワーク設置台Ｓには、計ｍ×ｎ個の圧力センサＷが設置されることとなる。以下、説明の便宜上、ワーク設置台Ｓの最上部のワーク設置棚に設置されたｍ個の圧力センサＷを「第１ワーク群ＷＧ1」、上から２番目のワーク設置棚に設置されたｍ個の圧力センサＷを「第２ワーク群ＷＧ2」、……、最下部のワーク設置棚に設置されたｍ個の圧力センサＷを「第ｎワーク群ＷＧn」と呼ぶこととする。
【００２４】
恒温槽Ｈの内部には、図３に示すように、温度調整手段Ａを構成する加熱器Ａ1、冷却器Ａ2及び送風機Ａ3が設けられており、加熱器Ａ1から発生する高温の空気や冷却器Ａ2から発生する低温の空気は、送風機Ａ3によって水平方向に送られる（流れＦ）。温度調整手段Ａには図示されていない可動機構が取り付けられており、図３に示すように、恒温槽Ｈ内の上部から下部へと（又は下部から上部へと）直線的に移動することができるように構成されている。
【００２５】
恒温槽Ｈの内部には、ワーク設置台Ｓに設置されたｍ×ｎ個の圧力センサＷが収容される。この際、ワーク設置台Ｓを立てて設置することにより、図３に示すように、第１ワーク群ＷＧ1が恒温槽Ｈの最上部に、第ｎワーク群ＷＧnが恒温槽Ｈの最下部に、各々位置することとなる。本実施形態においては、恒温槽Ｈの最上部に位置する第１ワーク群ＷＧ1の校正作業を最初に行い、その後第２ワーク群ＷＧ2、第３ワーク群ＷＧ3……と上から順番に校正作業を行うこととする。
【００２６】
本実施形態においては、制御装置Ｃｏｎｔが可動機構を制御して恒温槽Ｈ内における温度調整手段Ａの位置を変更する（各ワーク群と温度調整手段Ａとの位置関係を変更する）ことにより、予め校正作業の順番が定められたワーク群の中で直近の校正作業の対象となるワーク群が他のワーク群に比して温度調整手段Ａに最も近付くようにする。すなわち、制御装置Ｃｏｎｔ及び可動機構は、本発明における位置変更手段を構成するものである。制御装置Ｃｏｎｔは、各ワーク群の位置情報や温度調整手段Ａの位置情報に基づいて、温度調整手段Ａの位置を制御するための信号を可動機構に送出することにより、温度調整手段Ａを所定の位置に移動させる。
【００２７】
なお、各ワーク群に含まれる圧力センサＷの内部には、前述のように温度検出素子が搭載されている。本実施形態においては、各ワーク群に含まれる何れか一つの圧力センサＷの温度検出素子を用いて、各ワーク群の温度を代表的に検出することとする。
【００２８】
続いて、本実施形態に係る温度特性校正方法について説明する。
【００２９】
まず、作業者は、恒温槽Ｈの内部に設置した温度調整手段Ａを作動させる。本実施形態においては、冷却器Ａ2及び送風機Ａ3を作動させることにより、例えば図４に示すように初期温度ｔ（℃）の各ワーク群を設定温度ｔ−２０（℃）に変更して安定させるものとする。図４に示す複数の曲線Ｃ1〜Ｃ3は、第１ワーク群ＷＧ1〜第３ワーク群ＷＧ3の温度の時間履歴を示すものである（ｎ＝３の場合）。
【００３０】
次いで、制御装置Ｃｏｎｔは、可動機構に制御信号を送出して恒温槽Ｈ内における温度調整手段Ａの位置を変更することにより、最初の校正作業の対象となる第１ワーク群ＷＧ1が温度調整手段Ａに最も近付くようにする（位置変更工程）。そして、制御装置Ｃｏｎｔは、第１ワーク群ＷＧ1に含まれる何れか一つの圧力センサＷに搭載された温度検出素子を介して第１ワーク群ＷＧ1の温度を検出し、検出した温度が設定温度に到達して安定した時点（図４に示す「Ｔ1」）で、第１ワーク群ＷＧ1の温度特性の校正を行う。
【００３１】
次いで、制御装置Ｃｏｎｔは、可動機構に制御信号を送出して恒温槽Ｈ内における温度調整手段Ａの位置を変更することにより、二番目の校正作業の対象となる第２ワーク群ＷＧ2が温度調整手段Ａに最も近付くようにする（位置変更工程）。そして、制御装置Ｃｏｎｔは、第２ワーク群ＷＧ2に含まれる何れか一つの圧力センサＷに搭載された温度検出素子を介して第２ワーク群ＷＧ2の温度を検出し、検出した温度が設定温度に到達して安定した時点（図４に示す「Ｔ2」）で、第２ワーク群ＷＧ2の温度特性の校正を行う。
【００３２】
以下、第３ワーク群ＷＧ3についても同様に位置変更工程を実施し、検出温度が設定温度に安定した時点（図４に示す「Ｔ3」）で、温度特性の校正を行う。以上の工程群を経て、全てのワークの温度特性の校正作業を終了する。
【００３３】
以上説明した実施形態に係る温度特性校正システムにおいては、予め各ワーク群の校正作業の順番を定め、直近の校正作業の対象となるワーク群が温度調整手段Ａに最も近付くように各ワーク群と温度調整手段Ａとの位置関係を変更することにより、直近の校正作業の対象となるワーク群の温度を優先的に所定温度に安定させることができる。従って、全てのワーク群の温度を、校正作業を行う際に所定温度に安定させることができるので、所定温度に安定していない状態でワーク群の校正作業が行われることを防ぐことができる。この結果、高い精度での校正を実現させることができる。また、恒温槽Ｈの容積を大きくしたり、恒温槽Ｈ内に同時に収容するワークの数を過度に制限したりする必要がなくなる。
【００３４】
また、以上説明した実施形態に係る温度特性校正システムにおいては、恒温槽Ｈ内における温度調整手段Ａの位置を変更する位置変更手段（制御装置Ｃｏｎｔ及び可動機構）を採用しているため、ワークとしての圧力センサＷを恒温槽Ｈに固定することができる。従って、温度調整中に圧力センサＷを恒温槽Ｈ内で移動させる必要がないので、校正の精度をより向上させることができる。
【００３５】
＜第２実施形態＞
続いて、図５を用いて、本発明の第二実施形態に係る温度特性校正システム及び温度特性校正方法について説明する。本実施形態に係る温度特性校正システムは、第一実施形態に係る温度特性校正システムとは異なる位置変更手段を採用したものであり、その他の構成については実質的に第一実施形態と共通である。このため、異なる構成を中心に説明することとし、共通する構成については第一実施形態と同様の符号を付して詳細な説明を省略することとする。
【００３６】
本実施形態に係る温度特性校正システムは、複数個の圧力センサＷをワーク設置台Ｓに設置した状態で、図５に示すような単一の恒温槽Ｈの内部に収容し、温度調整手段Ａによって圧力センサＷの温度を所定温度に安定させた状態で温度特性の校正を行うものである。なお、以下の説明においても、第一実施形態と同様に、ワーク設置台Ｓの最上部に設置された圧力センサＷを「第１ワーク群ＷＧ1」、上から２番目に設置された圧力センサＷを「第２ワーク群ＷＧ2」、……、最下部に設置された圧力センサＷを「第ｎワーク群ＷＧ5」と呼ぶこととする。
【００３７】
恒温槽Ｈの内部には、図５に示すように、温度調整手段Ａを構成する加熱器Ａ1、冷却器Ａ2及び送風機Ａ3が設けられており、加熱器Ａ1から発生する高温の空気や冷却器Ａ2から発生する低温の空気は、送風機Ａ3によって水平方向に送られる（流れＦ）。本実施形態における温度調整手段Ａは、恒温槽Ｈ内に固定されている。
【００３８】
恒温槽Ｈの内部には、ワーク設置台Ｓに設置されたｍ×ｎ個の圧力センサＷが収容される。この際、ワーク設置台Ｓを立てて設置することにより、図５に示すように、第１ワーク群ＷＧ1が恒温槽Ｈの最上部に、第ｎワーク群ＷＧnが恒温槽Ｈの最下部に、各々位置することとなる。本実施形態においては、恒温槽Ｈ内に設置されたワーク設置台Ｓに図示されていない可動機構が取り付けられており、図５に示すように、恒温槽Ｈ内の上部から下部へと（又は下部から上部へと）ワーク設置台Ｓ及びこれに設置された圧力センサＷが直線的に移動することができるように構成されている。なお、本実施形態においても、恒温槽Ｈの最上部に位置する第１ワーク群ＷＧ1の校正作業を最初に行い、その後第２ワーク群ＷＧ2、第３ワーク群ＷＧ3……と上から順番に校正作業を行うこととする。
【００３９】
また、本実施形態においては、制御装置Ｃｏｎｔが可動機構を制御して恒温槽Ｈ内におけるワーク設置台Ｓ及び圧力センサＷの位置を変更する（各ワーク群と温度調整手段Ａとの位置関係を変更する）ことにより、予め校正作業の順番が定められたワーク群の中で直近の校正作業の対象となるワーク群が他のワーク群に比して温度調整手段Ａに最も近付くようにする。すなわち、制御装置Ｃｏｎｔ及び可動機構は、本発明における位置変更手段に相当するものである。制御装置Ｃｏｎｔは、各ワーク群の位置情報や温度調整手段Ａの位置情報に基づいて、温度調整手段Ａの位置を制御するための信号を可動機構に送出することにより、ワーク設置台Ｓを所定の位置に移動させる。
【００４０】
なお、各ワーク群に含まれる圧力センサＷの内部には、前述のように温度検出素子が搭載されている。本実施形態においては、各ワーク群に含まれる何れか一つの圧力センサＷの温度検出素子を用いて、各ワーク群の温度を代表的に検出することとする。
【００４１】
続いて、本実施形態に係る温度特性校正方法について説明する。
【００４２】
まず、作業者は、恒温槽Ｈの内部に設置した温度調整手段Ａを作動させる。この際、例えば加熱器Ａ1及び送風機Ａ3を作動させることにより、初期温度ｔ（℃）の各ワーク群を設定温度ｔ＋２０（℃）に変更して安定させるものとする。
【００４３】
次いで、制御装置Ｃｏｎｔは、可動機構に制御信号を送出して恒温槽Ｈ内におけるワーク設置台Ｓの位置を変更することにより、最初の校正作業の対象となる第１ワーク群ＷＧ1が温度調整手段Ａに最も近付くようにする（位置変更工程）。そして、制御装置Ｃｏｎｔは、第１ワーク群ＷＧ1に含まれる何れか一つの圧力センサＷに搭載された温度検出素子を介して第１ワーク群ＷＧ1の温度を検出し、検出した温度が設定温度に到達して安定した時点で、第１ワーク群ＷＧ1の温度特性の校正を行う。
【００４４】
次いで、制御装置Ｃｏｎｔは、可動機構に制御信号を送出して恒温槽Ｈ内におけるワーク設置台Ｓの位置を変更することにより、二番目の校正作業の対象となる第２ワーク群ＷＧ2が温度調整手段Ａに最も近付くようにする（位置変更工程）。そして、制御装置Ｃｏｎｔは、第２ワーク群ＷＧ2に含まれる何れか一つの圧力センサＷに搭載された温度検出素子を介して第２ワーク群ＷＧ2の温度を検出し、検出した温度が設定温度に到達して安定した時点で、第２ワーク群ＷＧ2の温度特性の校正を行う。
【００４５】
以下、第３ワーク群ＷＧ3についても同様に位置変更工程を実施し、検出温度が設定温度に安定した時点で、温度特性の校正を行う。以上の工程群を経て、全てのワークの温度特性の校正作業を終了する。
【００４６】
以上説明した実施形態に係る温度特性校正システムにおいても、予め各ワーク群の校正作業の順番を定め、直近の校正作業の対象となるワーク群が温度調整手段Ａに最も近付くように各ワーク群と温度調整手段Ａとの位置関係を変更することにより、直近の校正作業の対象となるワーク群の温度を優先的に所定温度に安定させることができる。従って、全てのワーク群の温度を、校正作業を行う際に所定温度に安定させることができるので、所定温度に安定していない状態でワーク群の校正作業が行われることを防ぐことができる。この結果、高い精度での校正を実現させることができる。また、恒温槽Ｈの容積を大きくしたり、恒温槽Ｈ内に同時に収容するワークの数を過度に制限したりする必要がなくなる。
【００４７】
また、以上説明した実施形態に係る温度特性校正システムにおいては、恒温槽Ｈ内における各ワーク群の位置を変更する位置変更手段（制御装置Ｃｏｎｔ及び可動機構）を採用しているため、温度調整手段Ａ（加熱器Ａ1、冷却器Ａ2、送風機Ａ3）を恒温槽Ｈに固定することができ、複数のワーク（圧力センサＷ）を直線的に移動させるコンベア等で容易に可動機構を構成することができる。
【００４８】
なお、以上の各実施形態においては、温度調整手段Ａや圧力センサＷを「上下方向（垂直方向）」に直線的に移動させる位置変更手段（制御装置Ｃｏｎｔ及び可動機構）を採用した例を示したが、位置変更手段の構成はこれに限られるものではない。すなわち、直近の校正作業の対象となるワークが温度調整手段に最も近付くように各ワークと温度調整手段との位置関係を変更することができるような構成であれば如何なる構成を採用してもよい。
【００４９】
例えば、温度調整手段Ａや圧力センサＷを「水平方向」に直線的に移動させるための可動機構と、この可動機構を制御する制御装置と、によって位置変更手段を構成することもできる。また、温度調整手段Ａ及び圧力センサＷの少なくとも何れか一方を「回転移動」させるための可動機構（例えばターンテーブル等）と、この可動機構を制御する制御装置と、によって位置変更手段を構成してもよい。
【００５０】
また、以上の各実施形態においては、ワークとして、ピエゾ抵抗拡散式の圧力センサを採用した例を示したが、ワークの種類はこれに限られるものではなく、例えば、静電容量式の圧力センサを採用することもできる。また、本発明に係る温度特性校正システム及び温度特性校正方法は、圧力センサの校正のみに適用されるものではなく、固有の温度特性を有する各種センサ（流量計や温度センサ）の校正にも同様に適用することができる。
【００５１】
本発明は、以上の各実施形態に限定されるものではなく、これら実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。すなわち、前記各実施形態が備える各要素（ワーク設置台Ｓ、恒温槽Ｈ、温度調整手段Ａ、制御装置Ｃｏｎｔ等）及びその配置、材料、条件、形状、サイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、前記各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００５２】
Ａ…温度調整手段
Ａ1…加熱器
Ａ2…冷却器
Ａ3…送風機
Ｃｏｎｔ…制御装置（位置変更手段）
Ｈ…恒温槽
Ｓ…ワーク設置台
Ｗ…圧力センサ（ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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