(57)【要約】【課題】小型化を図ることができるジャイロセンサーを提供する。【解決手段】ジャイロセンサー１０は、駆動質量部１４と、駆動部７０と、第１検出部３０と第１振動体４０ａとが設けられた第１検出質量部１６ａと、第２検出部３０ｂと第２振動体４０ｂとが設けられた第２検出質量部１６ｂと、を含み、第１振動体４０ａは、第１軸の方向に延出し、第１検出質量部１６ａに一端を接続され、第２振動体４０ｂは、第１振動体４０ａの延出の方向とは反対の方向に延出し、第２検出質量部１６ｂに一端を接続され、振動体４０ａ，４０ｂは、第１軸Ｘの方向の振動に伴い、第３軸Ｚの方向に振動する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動質量部と、
前記駆動質量部を第１軸の方向に駆動させる駆動部と、
第１検出部と第１振動体とが設けられ、前記第１軸に直交する第２軸の方向に変位可能な第１弾性部を介して、前記駆動質量部に接続されている第１検出質量部と、
第２検出部と第２振動体とが設けられ、前記第２軸の方向に変位可能な第２弾性部を介して、前記駆動質量部に接続されている第２検出質量部と、
を含む構造体を備え、
前記第１振動体は、前記第１軸の方向に延出し、前記第１検出質量部に一端を接続され、
前記第２振動体は、前記第１振動体の延出の方向とは反対の方向に延出し、前記第２検出質量部に一端を接続され、
前記第１振動体および前記第２振動体は、前記第１軸の方向の振動に伴い、前記第１軸および前記第２軸に対して垂直な第３軸の方向に振動する、ジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記構造体は、前記第１軸の方向に２つ配置され、
２つの前記構造体は、連結弾性部で互いに接続され、
前記駆動部は、２つの前記構造体の前記駆動質量部を互いに逆位相で振動させる、ジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１検出質量部および前記第２検出質量部は、前記第１軸の軸まわりの角速度によって互いに反対の方向に変位し、前記第２軸の方向の加速度、または前記第３軸の軸まわりの角速度によって同じ方向に変位する、ジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項において、
前記駆動質量部は、基板から所定の距離をもって設けられ、
前記基板に固定されている第１固定電極と、
前記基板に固定されている第２固定電極と、
を有している、ジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記第１検出部の変位に基づいて変動する第１検出信号を出力し、
前記第２検出部の変位に基づいて変動する第２検出信号を出力し、
前記第１検出信号および前記第２検出信号に基づいて、前記第１軸の軸まわりの角速度を検出する、ジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
前記構造体は、前記第２軸の軸まわりの角速度および前記第３軸の軸まわりの角速度の少なくとも一方を検出する第３検出部を有している、ジャイロセンサー。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、
前記第１振動体および前記第２振動体の少なくとも一方には、周波数調整部が設けられている、ジャイロセンサー。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサーおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カーナビゲーションシステムや、ビデオカメラの手ぶれ補正などの姿勢制御に、角速度を検出するジャイロセンサーが多く用いられている。このようなジャイロセンサーには、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸まわりの角速度を検出可能な検出素子を備えたセンサーがある。
【０００３】
特許文献１に開示のジャイロセンサーは、互いに直交する第１ないし第３の検出軸に対する角速度を検出する多軸角速度センサーであって、第１の検出軸に対する角速度を検出する第１の振動型角速度センサー素子と、第２の検出軸に対する角速度を検出する第２の振動型角速度センサー素子と、第３の検出軸に対する角速度を検出する第３の振動型角速度センサー素子と、第１ないし第３の振動型角速度センサー素子を制御するＩＣと、第１ないし第３の振動型角速度センサー素子およびＩＣを収容するパッケージを備え、第１の振動型角速度センサー素子の振動平面と第１の検出軸が平行であり、第２の振動型角速度センサー素子の振動平面と第２の検出軸が平行であり、第３の振動型角速度センサー素子の振動平面と第３の検出軸が直交した多軸角速度センサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２６６３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のジャイロセンサーは、３軸まわりの角速度を検出するために、各軸ごとに独立した素子を配置しているため、実装面積が大きくなってしまい小型化が困難であった。また、素子ごとに駆動振動が独立なため、駆動回路も素子ごとに設けなければならず、実装面積が大きくなり、小型化が困難であった。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、小型化を図ることができるジャイロセンサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記ジャイロセンサーを含む電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
駆動質量部と、
前記駆動質量部を第１軸の方向に駆動させる駆動部と、
第１検出部と第１振動体とが設けられ、前記第１軸に直交する第２軸の方向に変位可能な第１弾性部を介して、前記駆動質量部に接続されている第１検出質量部と、
第２検出部と第２振動体とが設けられ、前記第２軸の方向に変位可能な第２弾性部を介して、前記駆動質量部に接続されている第２検出質量部と、
を含む構造体を備え、
前記第１振動体は、前記第１軸の方向に延出し、前記第１検出質量部に一端を接続され、
前記第２振動体は、前記第１振動体の延出の方向とは反対の方向に延出し、前記第２検出質量部に一端を接続され、
前記第１振動体および前記第２振動体は、前記第１軸の方向の振動に伴い、前記第１軸および前記第２軸に対して垂直な第３軸の方向に振動する。
【０００９】
このようなジャイロセンサーによれば、第１軸の方向の振動に伴って、第３軸の方向に振動する第１振動体および第２振動体を有しているので、第１振動体および第２振動体の第３軸の方向の振動を駆動振動として、第１軸の軸まわりの角速度を検出することができる。したがって、このようなジャイロセンサーを用いることにより、第１軸の軸まわりの角速度の検出、および、第２軸および第３軸の少なくとも一方の軸まわりの角速度の検出を、同じ第１軸の方向の駆動振動により行うことができる。したがって、駆動回路を素子ごとに設ける必要がなく、装置の小型化を図ることができる。また、実装面積を小さくすることができ、装置の小型化を図ることができる。
【００１０】
さらに、このようなジャイロセンサーでは、第１振動体の延出方向と、第２振動体の延出方向とが、反対の方向であるため、第１振動体と第２振動体とは、３軸の方向に互いに逆位相で振動する。これにより、第１検出質量部および第２検出質量部は、第１軸の軸まわりの角速度によって互いに反対の方向に変位し、第３軸の軸まわりの角速度、または第２軸の方向の加速度によって同じ方向に変位する。したがって、第３軸の軸まわりの角速度、または第２軸の方向の加速度によって生じる誤差を、信号処理によりキャンセルすることができ、第１軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００１１】
［適用例２］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記構造体は、前記第１軸の方向に２つ配置され、
２つの前記構造体は、連結弾性部で互いに接続され、
前記駆動部は、２つの前記構造体の前記駆動質量部を互いに逆位相で振動させてもよい。
【００１２】
このようなジャイロセンサーによれば、Ｑ値を高めることができる。
【００１３】
［適用例３］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１検出質量部および前記第２検出質量部は、前記第１軸の軸まわりの角速度によって互いに反対の方向に変位し、前記第２軸の方向の加速度、または前記第３軸の軸まわりの角速度によって同じ方向に変位してもよい。
【００１４】
このようなジャイロセンサーによれば、第３軸の軸まわりの角速度、または第２軸の方向の加速度によって生じる誤差を、信号処理によりキャンセルすることができ、第１軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００１５】
［適用例４］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記駆動質量部は、基板から所定の距離をもって設けられ、
前記基板に固定されている第１固定電極と、
前記基板に固定されている第２固定電極と、
を有していてもよい。
【００１６】
このようなジャイロセンサーによれば、第１軸の軸まわりの角速度を感度よく検出することができる。
【００１７】
［適用例５］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１検出部の変位に基づいて変動する第１検出信号を出力し、
前記第２検出部の変位に基づいて変動する第２検出信号を出力し、
前記第１検出信号および前記第２検出信号に基づいて、前記第１軸の軸まわりの角速度を検出してもよい。
【００１８】
このようなジャイロセンサーによれば、第３軸の軸まわりの角速度、または第２軸の方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルすることができ、第１軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００１９】
［適用例６］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記構造体は、前記第２軸の軸まわりの角速度および前記第３軸の軸まわりの角速度の少なくとも一方を検出する第３検出部を有していてもよい。
【００２０】
このようなジャイロセンサーによれば、第１軸の軸まわりの角速度の検出、および第２軸および第３軸の少なくとも一方の軸まわりの角速度の検出を、同じ第１軸の方向の駆動振動により行うことができるため、小型化を図りつつ、第１軸の軸まわりの角速度に加えて、他の軸（第２軸、第３軸）の角速度の検出を行うことができる。
【００２１】
［適用例７］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１振動体および前記第２振動体の少なくとも一方には、周波数調整部が設けられていてもよい。
【００２２】
このようなジャイロセンサーによれば、第１振動体および第２振動体の少なくとも一方の共振周波数を調整することができる。
【００２３】
［適用例８］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００２４】
このような電子機器によれば、本適用例に係るジャイロセンサーを含むため、小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施形態に係るジャイロセンサーの構成の概略を示す図。
【図２】本実施形態に係るジャイロセンサーのセンサー素子の構成の概略を示す図。
【図３】本実施形態に係るジャイロセンサーのセンサー素子を模式的に示す図。
【図４】本実施形態に係るジャイロセンサーのセンサー素子を模式的に示す図。
【図５】本実施形態に係るジャイロセンサーのセンサー素子を模式的に示す図。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの集積回路を説明するための図。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの信号処理方法について説明するための図。
【図８】本実施形態に係るジャイロセンサーの振動体の変形例１〜４を模式的に示す図。
【図９】本実施形態の第１変形例に係るジャイロセンサーの信号処理方法について説明するための図。
【図１０】本実施形態の第２変形例に係るジャイロセンサーの信号処理方法について説明するための図。
【図１１】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図１２】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【図１３】本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２７】
１．  ジャイロセンサーの構成
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーの構成について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１０の構成の概略を示す図である。なお、図１および以下に示す各図では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、本実施形態では、Ｘ軸（第１軸）に平行な方向をＸ軸方向、Ｙ軸（第２軸）に平行な方向をＹ軸方向、Ｚ軸（第３軸）に平行な方向をＺ軸方向という。
【００２８】
ジャイロセンサー１０は、図１に示すように、Ｘ軸まわりの角速度を検出可能なセンサー素子１００、Ｙ軸まわりの角速度を検出可能なセンサー素子２００、Ｚ軸まわりの角速度を検出可能なセンサー素子３００を備えている。なお、ジャイロセンサー１０は、少なくともセンサー素子１００を備えていればよい。例えば、ジャイロセンサー１０は、センサー素子１００と、センサー素子２００，３００のいずれか一方と、を備えていてもよい。
【００２９】
図２は、センサー素子１００の構成の概略を示す図である。センサー素子１００は、図２に示すように、駆動質量部１４と、検出質量部１６ａ，１６ｂと、弾性部２０ａ，２０ｂと、検出部３０ａ、３０ｂと、振動体４０ａ，４０ｂと、駆動弾性部６０と、駆動部７０と、を含んで構成されている構造体１２を備えている。
【００３０】
構造体１２は、シリコンを主材料として構成され、シリコン基板（シリコン製の基板）を薄膜形成技術（例えばエピタキシャル成長技術、化学気相成長技術等の体積技術）や各種加工技術（例えばドライエッチング、ウェットエッチング等のエッチング技術）を用いて所望の外形形状に加工することにより、上述した各部１４，１６ａ，１６ｂ，２０ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂ，４０ａ，４０ｂ，６０，７０が一体に形成されている。あるいは、シリコン基板とガラス基板（基板１）を貼り合わせた後に、シリコン基板のみを所望の外形形状に加工することで、上述した各部１４，１６ａ，１６ｂ，２０ａ，２０ｂ，３０ａ，３０ｂ，４０ａ，４０ｂ，６０，７０を形成することができる。構造体１２の主材料をシリコンとすることにより、優れた振動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、シリコン半導体デバイス作製に用いられる微細な加工技術の適用が可能となり、ジャイロセンサー１０の小型化を図ることができる。
【００３１】
駆動質量部１４は、駆動部７０によって、Ｘ軸方向（Ｘ軸に沿って）に振動する。駆動質量部１４は、基板１に所定の距離をもって設けられている。駆動質量部１４は、間隙を介して基板１の上方に設けられている。駆動質量部１４は、第１空洞部１５を有している。駆動質量部１４は、例えば、平面視において（Ｚ軸方向からみて）、矩形の枠体である。なお、図示の例では、駆動質量部１４は、枠状だが、枠状以外の形状も適用可能である。駆動質量部１４のＸ軸方向の側面（Ｘ軸に平行な垂線を持つ側面）は、駆動弾性部６０に接続されている。
【００３２】
駆動弾性部６０は、駆動質量部１４と、基板１に固定されている固定部５０（５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ）とを連結している。駆動弾性部６０は、例えば、２組のバネ対６２，６４を有している。２組のバネ対６２，６４のうちの一方のバネ対６２は、バネ６２ａ，６２ｂを有している。バネ６２ａは、固定部５０ｃから駆動質量部１４までＹ軸方向に往復しながら−Ｘ軸方向に延在している。また、バネ６２ｂは、固定部５０ａから駆動質量部１４までＹ軸方向に往復しながら＋Ｘ軸方向に延在している。バネ６２ａとバネ６２ｂとは、平面視において、駆動質量部１４の中心Ｏを通り、Ｙ軸に平行な軸αに対して対称に設けられている。そのため、バネ対６２は、Ｙ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、駆動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３３】
また、２組のバネ対のうちの他方のバネ対６４は、バネ６４ａ，６４ｂを有している。バネ６４ａは、固定部５０ｄから駆動質量部１４までＹ軸方向に往復しながら−Ｘ軸方向に延在している。また、バネ６４ｂは、固定部５０ｂから駆動質量部１４までＹ軸方向に往復しながら＋Ｘ軸方向に延在している。バネ６４ａとバネ６４ｂとは、平面視において、駆動質量部１４の中心Ｏを通り、Ｙ軸に平行な軸αに対して対称に設けられている。また、２組のバネ対６２，６４は、駆動質量部１４の中心Ｏを通り、Ｘ軸に平行な軸βに対して対称に設けられている。これにより、駆動弾性部６０は、Ｙ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、駆動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３４】
第１検出質量部１６ａは、第１弾性部２０ａを介して、駆動質量部１４に接続されている。第２検出質量部１６ｂは、第２弾性部２０ｂを介して、駆動質量部１４に接続されている。第１検出質量部１６ａおよび第２検出質量部１６ｂは、駆動質量部１４の第１空洞部１５内に設けられている。図示の例では、駆動質量部１４の第１空洞部１５は、平面視において、駆動質量部１４（第１空洞部１５）の中心Ｏを通りＹ軸に平行な軸αによって、２つの領域に区画される。第１検出質量部１６ａは、軸αによって区画された２つの領域のうち、＋Ｘ軸方向側の領域に設けられ、第２検出質量部１６ｂは、−Ｘ軸方向側の領域に設けられている。検出質量部１６ａ，１６ｂは、例えば、平面視において、矩形の枠体である。なお、検出質量部１６ａ，１６ｂは、枠状以外の形状も適用可能である。第１検出質量部１６ａと第２検出質量部１６ｂとは、平面視において、軸αに対して対称に設けられている。
【００３５】
第１検出質量部１６ａは、第２空洞部１７ａを有している。第１検出質量部１６ａの第２空洞部１７ａ内には、第１振動体４０ａおよび第１検出部３０ａが設けられている。第２検出質量部１６ｂは、第３空洞部１７ｂを有している。第２検出質量部１６ｂの第３空洞部１７ｂ内には、第２振動体４０ｂおよび第２検出部３０ｂが設けられている。
【００３６】
第１弾性部２０ａは、駆動質量部１４と第１検出質量部１６ａとを接続し、駆動方向（Ｘ軸方向）に直交するＹ軸方向に変位可能である。第１弾性部２０ａは、例えば、２組のバネ対２２，２４を有している。２組のバネ対のうちの一方のバネ対２２は、バネ２２ａ，２２ｂを有している。バネ２２ａは、駆動質量部１４から第１検出質量部１６ａまで、Ｘ軸方向に往復しながら−Ｙ軸方向に延在している。バネ２２ｂは、駆動質量部１４から第１検出質量部１６ａまで、Ｘ軸方向に往復しながら＋Ｙ軸方向に延在している。バネ２２ａとバネ２２ｂとは、平面視において、第１検出質量部１６ａの中心を通り、Ｘ軸に平行な軸βに対して対称に設けられている。そのため、バネ対２２は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、Ｙ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３７】
また、２組のバネ対のうちの他方のバネ対２４は、バネ２４ａ，２４ｂを有している。バネ２４ａ、駆動質量部１４から第１検出質量部１６ａまで、Ｘ軸方向に往復しながら−Ｙ軸方向に延在している。バネ２４ｂ、駆動質量部１４から第１検出質量部１６ａまで、Ｘ軸方向に往復しながら＋Ｙ軸方向に延在している。バネ対２４は、平面視において、第１検出質量部１６ａの中心を通り、Ｘ軸に平行な軸βに対して対称に設けられている。また、２組のバネ対２２，２４は、第１検出質量部１６ａの中心を通り、Ｙ軸に平行な軸α１に対して対称に設けられている。これにより、第１弾性部２０ａは、Ｘ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、Ｙ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３８】
第２弾性部２０ｂは、駆動質量部１４と第２検出質量部１６ｂとを接続し、Ｙ軸方向に変位可能である。第２弾性部２０ｂは、例えば２組のバネ対２６，２８を有している。２組のバネ対のうちの一方のバネ対２６は、バネ２６ａ，２６ｂを有している。また、２組のバネ対のうちの他方のバネ対２８は、バネ２８ａ，２８ｂを有している。第２弾性部２０ｂの２組のバネ対２６，２８は、第１弾性部２０ａのバネ対２２，２４と同様に構成されている。そのため、第２弾性部２０ｂは、Ｘ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、Ｙ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３９】
駆動部７０は、駆動質量部１４をＸ軸方向（Ｘ軸に沿って）に所定の周波数で振動させる機能を備えている。駆動部７０は、駆動質量部１４を、検出質量部１６ａ，１６ｂと一体にＸ軸方向に振動させる。駆動部７０は、例えば、駆動質量部１４のＹ軸方向の側面（Ｙ軸に平行な垂線を持つ側面）に設けられている。駆動部７０は、例えば、図示しない駆動電極および固定電極を含んで構成されており、駆動電極と固定電極との間の静電力により駆動する。固定電極は、例えば駆動電極を介してＸ軸方向に対向配置された櫛歯状の一対の電極片を有している。駆動部７０は、図示しない電源によって電極片に電圧を印加させることにより、駆動電極と各電極片との間に静電力を発生させ、駆動弾性部６０を伸縮させつつ、駆動質量部１４を所定の周波数でＸ軸方向に振動させる。なお、駆動部７０は、上述した静電駆動方式に限定されず、例えば、圧電駆動方式、磁場のローレンツ力を利用した電磁駆動方式等を適用することができる。
【００４０】
第１検出部３０ａは、第１検出質量部１６ａに設けられている。図示の例では、第１検出部３０ａは、第１検出質量部１６ａの第２空洞部１７ａ内に設けられている。第１検出部３０ａは、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。第１検出部３０ａは、可動電極３２ａを有している。可動電極３２ａは、第１検出質量部１６ａに設けられている。図示の例では、可動電極３２ａは、Ｘ軸に沿って延在し、両端が第１検出質量部１６ａに接続されている。可動電極３２ａは、第１検出質量部１６ａの変位に伴って変位する。可動電極３２ａは、第１検出質量部１６ａ内に複数設けられており、隣り合う可動電極３２ａが所定の間隔を空けて設けられている。
【００４１】
固定電極３４ａは、第２空洞部１７ａ内に複数設けられている。固定電極３４ａは、隣り合う可動電極３２ａ間の間隙に設けられている。固定電極３４ａは、Ｘ軸に沿って延在している。固定電極３４ａは、基板１のアンカーに固定されている。固定電極３４ａは、図示の例では、１つの可動電極３２ａに対して２つ設けられている。２つの固定電極３４ａのうちの一方は、可動電極３２ａの＋Ｙ軸方向側の側面に対向し、２つの固定電極３４ａのうちの他方は、可動電極３２ａの−Ｙ軸方向側の側面に対向している。第１検出質量部１６ａがＹ軸方向に変位すると、可動電極３２ａが固定電極３４ａに接近または離間することにより静電容量が変化する。この静電容量の変化から、第１検出質量部１６ａのＹ軸方向の変位量を求めることができる。
【００４２】
第２検出部３０ｂは、第２検出質量部１６ｂに設けられている。図示の例では、第２検出部３０ｂは、第２検出質量部１６ｂの第３空洞部１７ｂ内に設けられている。第２検出部３０ｂは、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。第２検出部３０ｂは、可動電極３２ｂを有している。可動電極３２ｂは、第２検出質量部１６ｂに設けられている。図示の例では、可動電極３２ｂは、Ｘ軸に沿って延在し、両端が第２検出質量部１６ｂに接続されている。可動電極３２ｂは、第２検出質量部１６ｂの変位に伴って移動する。可動電極３２ａは、第２検出質量部１６ｂ内に複数設けられており、隣り合う可動電極３２ｂが所定の間隔を空けて設けられている。
【００４３】
固定電極３４ｂは、第３空洞部１７ｂ内に複数設けられている。固定電極３４ｂは、隣り合う可動電極３２ｂ間の間隙に設けられている。固定電極３４ｂは、Ｘ軸に沿って延在している。固定電極３４ｂは、基板１のアンカーに固定されている。固定電極３４ｂは、図示の例では、１つの可動電極３２ｂに対して２つ設けられている。２つの固定電極３４ｂのうちの一方は、可動電極３２ｂの＋Ｙ軸方向側の側面に対向し、２つの固定電極３４ｂのうちの他方は、可動電極３２ｂの−Ｙ軸方向側の側面に対向している。第２検出質量部１６ｂがＹ軸方向に変位すると、可動電極３２ｂが固定電極３４ｂに接近または離間することにより静電容量が変化する。この静電容量の変化から、第２検出質量部１６ｂのＹ軸方向の変位量を求めることができる。
【００４４】
第１振動体４０ａは、第１検出質量部１６ａに設けられている。図示の例では、第１振動体４０ａは、第１検出質量部１６ａの第２空洞部１７ａ内に設けられている。第１振動体４０ａは、−Ｘ軸方向に延出し、第１検出質量部１６ａに一端を接続されている。第１振動体４０ａは、一端（＋Ｘ軸方向側の端部）を第１検出質量部１６ａに接続させて固定端とし、−Ｘ軸方向に延出させて、他端（−Ｘ軸方向側の端部）を自由端とした片持ち支持構造（カンチレバー構造）である。第１振動体４０ａは、第１検出質量部１６ａのＸ軸方向の振動に伴い、Ｙ軸方向に振動する。図示の例では、第１振動体４０ａの自由端は、駆動方向であるＸ軸方向に延出しているため、Ｘ軸方向に振動すると、自由端がＺ軸方向に振動する。第１振動体４０ａは、平面視において、軸β上に設けられている。
【００４５】
第２振動体４０ｂは、第２検出質量部１６ｂに設けられている。図示の例では、第２振動体４０ｂは、第２検出質量部１６ｂの第３空洞部１７ｂ内に設けられている。第２振動体４０ｂは、＋Ｘ軸方向に延出し、第２検出質量部１６ｂに一端を接続されている。第２振動体４０ｂは、一端（−Ｘ軸方向側の端部）を第２検出質量部１６ｂに接続させて固定端とし、＋Ｘ軸方向に延出させて、他端（＋Ｘ軸方向側の端部）を自由端とした片持ち支持構造（カンチレバー構造）である。すなわち、第１振動体４０ａの延出方向と第２振動体４０ｂの延出方向とは、互いに反対の方向である。第２振動体４０ｂは、第２検出質量部１６ｂのＸ軸方向の振動に伴い、Ｘ軸方向に振動する。第２振動体４０ｂは、Ｘ軸方向の振動によって、Ｚ軸方向に振動することができる。具体的には、第２振動体４０ｂの自由端は、駆動方向であるＸ軸方向に延出しているため、Ｘ軸方向に振動すると、自由端がＺ軸方向に振動する。第２振動体４０ｂは、平面視において、軸β上に設けられている。
【００４６】
第１振動体４０ａの延出方向（−Ｘ軸方向）と第２振動体４０ｂの延出方向（＋Ｘ軸方向）とは、互いに反対の方向であるため、第１振動体４０ａと第２振動体４０ｂとは、互いに逆位相で振動する。例えば、第１振動体４０ａの振動と第２振動体４０ｂの振動は、同じ周期（周波数）であり、かつ、第１振動体４０ａの振動の位相と、第２振動体４０ｂの振動の位相とは、１８０°ずれている。振動体４０ａ，４０ｂの構造は、検出質量部１６ａ，１６ｂに片持ち支持された構造であり、駆動部による駆動振動に伴ってＺ軸方向へ振動可能な形状であれば特に限定されない。振動体４０ａ，４０ｂの形状は、図示の例では、平板状である。
【００４７】
本発明のジャイロセンサーは、振動体を振動させる駆動部を一元化させてセンサー全体の小型化を図っている。一定の振動周波数で角速度を検出するためには駆動部による駆動振動の駆動共振周波数と同じ周波数で振動体４０ａ，４０ｂを振動させることが望ましい。振動体４０ａ，４０ｂは、予め駆動共振周波数と同じ周波数で発振するような形状に設計しているが、製造上の誤差等により、同じ周波数に形成することが困難な場合がある。そこで、第１振動体４０ａの上面には、共振周波数を調整可能な第１周波数調整部８０ａが設けられている。また、第２振動体４０ｂの上面には、共振周波数を調整可能な第２周波数調整部８０ｂが設けられている。
【００４８】
周波数調整部８０ａ，８０ｂは、振動体４０ａ，４０ｂの上面に、金、タングステン等の金属膜を塗布することにより形成される。そして、周波数調整部８０ａ，８０ｂにレーザー光を照射して、金属膜の少なくとも一部を剥離させて、振動体４０ａ，４０ｂの共振周波数を調整することができる。周波数調整部８０ａ，８０ｂは、このような金属膜の他にも、振動体４０ａ，４０ｂに、直接、レーザー光を照射して振動体４０ａ，４０ｂの質量を減少させて、共振周波数の調整を行ってもよい。周波数調整部８０ａ，８０ｂによって、振動体４０ａ，４０ｂの共振周波数と、駆動部７０による駆動質量部１４の駆動振動の共振周波数を一致させることができる。
【００４９】
センサー素子２００は、Ｙ軸まわりの角速度を検出可能な素子である。センサー素子２００は、図１に示すように、駆動質量部１４の第１空洞部１５に一対の変位板９０ａ，９０ｂを有している。変位板９０ａ，９０ｂは、回転軸となる梁部９２ａ，９２ｂで駆動質量部１４のＸ軸方向の側面（Ｘ軸に平行な垂線を持つ側面）に連結されている。変位板９０ａ，９０ｂは、Ｙ軸まわりの角速度を検出するための検出部として機能することができる。梁部９２ａ，９２ｂは、各変位板９０ａ，９０ｂの重心からずれた位置に設けられている。梁部９２ａ，９２ｂは、Ｘ軸に沿って設けられている。梁部９２ａ，９２ｂは、ねじり変形することができ、このねじり変形により、変位板９０ａ，９０ｂをＺ軸方向に変位させる。変位板９０ａは、梁部９２ａから−Ｙ軸方向に延出し、変位板９０ｂは、梁部９２ｂから＋Ｙ軸方向に延出している。すなわち、変位板９０ａの延出方向と変位板９０ｂの延出方向とは、互いに反対の方向である。そのため、Ｙ軸まわりの角速度によって、変位板９０ａ，９０ｂは、互いに逆の方向（一方は右まわり、他方は左まわり）に回転して、Ｚ軸方向に変位する。変位板９０ａ，９０ｂと対向する箇所には、間隙を介して、固定電極（図示しない）が設けられている。変位板９０ａ，９０ｂがＺ軸方向に変位すると、変位板９０ａ，９０ｂが固定電極に接近または離間することにより静電容量が変化する。この静電容量の変化を検出して変位板９０ａ，９０ｂのＺ軸方向の変位量を求めることができる。この変位板９０ａ，９０ｂのＺ軸方向の変位量からＹ軸まわりの角速度を検出することができる。
【００５０】
センサー素子３００は、Ｚ軸まわりの角速度を検出可能な素子である。センサー素子３００は、図１に示すように、検出質量部１１６と、弾性部１２０と、検出部１３０と、を有している。
【００５１】
検出質量部１１６は、駆動質量部１４の第１空洞部１５内に設けられている。検出質量部１１６は、図示の例では、駆動質量部１４に囲まれている。検出質量部１１６は、平面視において、矩形の枠体である。検出質量部１１６は、弾性部１２０を介して駆動質量部１４に接続されている。
【００５２】
弾性部１２０は、駆動質量部１４と検出質量部１１６とに接続され、Ｙ軸方向に変位可能である。弾性部１２０は、２組のバネ対１２２，１２４を有している。２組のバネ対のうちの一方のバネ対１２２は、バネ１２２ａ，１２２ｂを有している。バネ１２２ａ，１２２ｂは、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延在している。バネ１２２ａとバネ１２２ｂとは、平面視において、検出質量部１１６の中心Ｏ´を通り、Ｘ軸に平行な軸に対して対称に設けられている。そのため、バネ対１２２は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、Ｙ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００５３】
また、２組のバネ対のうちの他方のバネ対１２４は、バネ１２４ａ，１２４ｂを有している。バネ１２４ａ，１２４ｂは、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延在している。バネ１２４ａとバネ１２４ｂとは、平面視において、検出質量部１１６の中心Ｏ´を通り、Ｘ軸に平行な軸に対して対称に設けられている。また、２組のバネ対１２２，１２４は、検出質量部１１６の中心Ｏ´を通り、Ｙ軸に平行な軸に対して対称に設けられている。これにより、弾性部１２０は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向への変形が抑制され、Ｙ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００５４】
検出部１３０は、可動電極１３２を有している。検出部１３０は、Ｚ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。可動電極１３２は、検出質量部１１６に接続されている。図示の例では、可動電極１３２は、Ｘ軸に沿って延在し、両端が検出質量部１１６に接続されている。可動電極１３２は、複数設けられており、隣り合う可動電極１３２が所定の間隔を空けて設けられている。固定電極１３４は、隣り合う可動電極１３２の間の間隙に設けられている。固定電極１３４は、Ｘ軸に沿って延在している。固定電極１３４は、基板１のアンカーに固定されている。検出質量部１１６がＹ軸方向に変位すると、可動電極１３２が固定電極１３４に接近または離間することにより静電容量が変化する。この静電容量の変化から、検出質量部１１６のＹ軸方向の変位量を求めることができる。この検出質量部１１６のＹ軸方向の変位量からＺ軸まわりの角速度を検出することができる。
【００５５】
ジャイロセンサー１０は、駆動方向（Ｘ軸方向）に沿って配置された２つの構造体（第１構造体１１２および第２構造体２１２）を有している。第１構造体１１２および第２構造体２１２は、それぞれセンサー素子１００，２００，３００を有している。なお、第１構造体１１２および第２構造体２１２は、少なくともセンサー素子１００を有しており、センサー素子２００，３００のいずれか一方をさらに備える構成としてもよい。
【００５６】
第１構造体１１２および第２構造体２１２は、シリコンを主材料として構成されており、シリコン基板を薄膜形成技術や各種加工技術を用いて所望の外形形状に加工することにより、センサー素子１００，２００，３００を構成する各部材が一体に形成されている。
【００５７】
第１構造体１１２および第２構造体２１２は、連結弾性部６６で互いに接続されている。連結弾性部６６は、例えば、バネ６６ａ，６６ｂを有する一組のバネ対を備えている。バネ６６ａは、第１構造体１１２から第２構造体２１２まで、Ｙ軸方向に往復しながら−Ｘ軸方向に延在している。バネ６６ｂは、第１構造体１１２から第２構造体２１２まで、Ｙ軸方向に往復しながら−Ｘ軸方向に延在している。バネ６６ａと６６ｂとは、平面視において、第１構造体１１２および第２構造体２１２の中心ＯＡを通りＸ軸に平行な軸に対して対称に設けられている。これにより、連結弾性部６６は、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の変形が抑制され、駆動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮する。連結された第１構造体１１２および第２構造体２１２の四隅には駆動弾性部６０が設けられている。
【００５８】
ジャイロセンサー１０の駆動部７０は、第１構造体１１２のＹ軸方向の２つの側面にそれぞれ設けられている。また、駆動部７０は、第２構造体２１２のＹ軸方向の２つの側面にそれぞれ設けられている。第１構造体１１２の駆動部７０では、例えば固定電極の一対の電極片に、位相が１８０°ずれた交番電圧が印加される。また、第２構造体２１２の駆動部７０では、例えば固定電極の一対の電極片に、位相が１８０°ずれた交番電圧が印加される。第１構造体１１２の駆動質量部１４と第２構造体２１２の駆動質量部１４とは、互いに逆位相で、かつ同じ周波数でＸ軸方向に駆動（振動）する（音叉振動）。したがって、Ｑ値を高めることができる。なお、駆動部７０は、第１構造体１１２の駆動質量部１４と第２構造体２１２の駆動質量部１４とを互いに逆位相でかつ同じ周波数で駆動させることができれば、その数や構成は特に限定されない。
【００５９】
２．  ジャイロセンサーの動作
次に、ジャイロセンサー１０の動作について説明する。まず、センサー素子１００の動作について説明する。図３（Ａ）は、センサー素子１００を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＢ１−Ｂ１線断面図である。なお、図３では、ジャイロセンサー１０を簡略化して図示している。
【００６０】
検出質量部１６ａ，１６ｂは、駆動部によって駆動方向（Ｘ軸方向）Ａに振動している。この駆動振動によって、振動体４０ａ，４０ｂは、Ｚ軸方向に振動する。第１振動体４０ａと第２振動体４０ｂは、互いに延出方向が反対の方向であるため、互いに逆位相で振動する。具体的には、例えば、まず、第１振動体４０ａが＋Ｚ軸方向に変位し、第２振動体４０ｂが−Ｚ軸方向に変位する。次に、第１振動体４０ａが−Ｚ軸方向に変位し、第２振動体４０ｂが＋Ｚ軸方向に変位する。第１振動体４０ａおよび第２振動体４０ｂは、この動作を繰り返す。このようにして、第１振動体４０ａおよび第２振動体４０ｂは、互いに逆位相で振動する。
【００６１】
振動体４０ａ，４０ｂが振動している状態で、駆動方向Ａと同じＸ軸の軸まわりに角速度Ωｘが入力されると、コリオリの力が作用し、可動電極３２ａおよび可動電極３２ｂは、Ｙ軸に沿って互いに反対方向に変位する。具体的には、例えば、まず、可動電極３２ａが＋Ｙ軸方向に変位し、可動電極３２ｂが−Ｙ軸方向に変位する。次に、可動電極３２ａが−Ｙ軸方向に変位し、可動電極３２ｂが＋Ｙ軸方向に変位する。可動電極３２ａおよび可動電極３２ｂは、コリオリ力を受けている間、この動作を繰り返す。
【００６２】
可動電極３２ａ，３２ｂがＹ軸に沿って変位することにより、可動電極３２ａ，３２ｂと固定電極３４ａ，３４ｂとの間の静電容量が変化する。センサー素子１００では、可動電極３２ａ，３２ｂおよび固定電極３４ａ，３４ｂに電圧を印加することにより、可動電極３２ａ，３２ｂと固定電極３４ａ，３４ｂとの間の静電容量の変化量を検出し、Ｘ軸まわりの角速度Ωｘを検出することができる。
【００６３】
ここで、センサー素子１００において、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出する際に、Ｚ軸の軸まわりの角速度も検出される場合がある。さらに、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出する際に、Ｙ軸方向の加速度も検出される場合がある。ジャイロセンサー１０では、第１振動体４０ａの延出方向（−Ｘ軸方向）と第２振動体４０ｂの延出方向（＋Ｘ軸方向）とが、互いに反対の方向である。そのため、第１検出質量部１６ａおよび第２検出質量部１６ｂは、Ｘ軸の軸まわりの角速度によって、互いに反対の方向に変位する。また、第１検出質量部１６ａおよび第２検出質量部１６ｂは、Ｚ軸の軸まわりの角速度またはＹ軸方向の加速度によって、同じ方向に変位する。これにより、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差を、信号処理によりキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。なお、ジャイロセンサー１０の信号処理方法については後述する。
【００６４】
次に、センサー素子２００の動作について説明する。図４（Ａ）は、センサー素子２００を模式的に示す斜視図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＢ２−Ｂ２線断面図である。なお、図４では、センサー素子２００を簡略化して図示している。
【００６５】
駆動質量部１４は、駆動部によって駆動方向（Ｘ軸方向）Ａに振動している。この駆動振動によって、変位板９０ａ，９０ｂは、Ｘ軸方向に振動する。変位板９０ａ，９０ｂが振動している状態で、Ｙ軸の軸まわりに角速度Ωｙが入力されると、コリオリの力が作用して、変位板９０ａ，９０ｂは、Ｚ軸に沿って変位する。これにより、変位板９０ａ，９０ｂと固定電極（図示せず）との間の静電容量が変化する。センサー素子２００では、この静電容量の変化量を検出し、Ｙ軸まわりの角速度Ωｙを検出することができる。
【００６６】
次に、センサー素子３００の動作について説明する。図５は、センサー素子３００を模式的に示す斜視図である。なお、図５では、センサー素子３００を簡略化して図示している。
【００６７】
検出質量部１１６は、駆動部によって駆動方向（Ｘ軸方向）Ａに駆動（振動）している。検出質量部１１６が振動している状態で、Ｚ軸の軸まわりに角速度Ωｚが入力されると、コリオリの力が作用して、可動電極１３２は、Ｙ軸に沿って変位する。これにより、固定電極１３４との間の静電容量が変化する。センサー素子３００では、この静電容量の変化量を検出し、Ｚ軸まわりの角速度Ωｚを検出することができる。
【００６８】
３．  ジャイロセンサーの集積回路
次に、ジャイロセンサー１０の集積回路について説明する。図６は、ジャイロセンサー１０の集積回路を説明するための図である。ジャイロセンサー１０は、駆動部７０を駆動させるための駆動回路を有する集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）２を有している。集積回路２は、駆動部７０に電気的に接続されている。ジャイロセンサー１０では、センサー素子１００，２００，３００が、同じＸ軸方向の駆動振動を用いるため、センサー素子１００，２００，３００に駆動振動を与えるための駆動部７０を共通化することができる。これにより、１つの駆動回路で駆動部を駆動させることができるため、例えば素子ごとに駆動回路を設ける場合と比べて、実装面積を小さくすることができ、小型化を図ることができる。またセンサー素子１００，２００，３００が１つの振動モードで駆動するため、各センサー素子の振動モードが互いに干渉してしまうという問題が生じない。
【００６９】
集積回路２は、例えば、センサー素子１００，２００，３００の各電極に電気的に接続されており、各センサー素子１００，２００，３００の各電極で検出された検出信号の信号処理を行うための信号処理回路を有している。
【００７０】
４．  ジャイロセンサーの信号処理方法
次に、ジャイロセンサー１０の信号処理方法について説明する。図７は、ジャイロセンサー１０の信号処理方法について説明するための図である。
【００７１】
図７では、第１構造体１１２において、可動電極３２ａの＋Ｙ軸方向側の固定電極３４ａの検出信号をＳ１とし、可動電極３２ａの−Ｙ軸方向側の固定電極３４ａの検出信号をＳ２とする。また、第１構造体１１２において、可動電極３２ｂの−Ｙ軸方向側の固定電極３４ｂの検出信号をＳ３とし、可動電極３２ｂの＋Ｙ軸方向側の固定電極３４ｂの検出信号をＳ４とする。すなわち、検出信号Ｓ１，Ｓ２は、第１構造体１１２の可動電極３２ａの変位に基づいて変動する信号である。また、検出信号Ｓ３，Ｓ４は、第１構造体１１２の可動電極３２ｂの変位に基づいて変動する信号である。
【００７２】
また、第２構造体２１２において、可動電極３２ａの＋Ｙ軸方向側の固定電極３４ａの検出信号をＳ５とし、可動電極３２ａの−Ｙ軸方向側の固定電極３４ａの検出信号をＳ６とする。また、第２構造体２１２において、可動電極３２ｂの−Ｙ軸方向側の固定電極３４ｂの検出信号をＳ７とし、可動電極３２ｂの＋Ｙ軸方向側の固定電極３４ｂの検出信号をＳ８とする。すなわち、検出信号Ｓ５，Ｓ６は、第２構造体２１２の可動電極３２ａの変位に基づいて変動する信号である。また、検出信号Ｓ７，Ｓ８は、第２構造体２１２の可動電極３２ｂの変位に基づいて変動する信号である。
【００７３】
ジャイロセンサー１０では、第１構造体１１２において、第１検出部３０ａの出力信号（可動電極３２ａの変位に基づいて変動する信号）ＳａがＳａ＝Ｓ１−Ｓ２となり、第２検出部３０ｂの出力信号（可動電極３２ｂの変位に基づいて変動する信号）ＳｂがＳｂ＝Ｓ４−Ｓ３となり、センサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓａ−Ｓｂとなるような信号処理を行う。また、第２構造体２１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳｃがＳｃ＝Ｓ５−Ｓ６となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｄがＳｄ＝Ｓ８−Ｓ７となり、センサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃとなるような信号処理を行う。さらに、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢとなるような信号処理を行う。これにより、ジャイロセンサー１０は、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差がキャンセルされた、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出信号を得ることができる。したがって、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。以下、具体的に説明する。
【００７４】
図７に示すように、第１構造体１１２の駆動質量部１４が＋Ｘ軸方向に変位し、第２構造体２１２の駆動質量部１４が−Ｘ軸方向に変位している状態で、Ｘ軸の軸まわりに角速度が入力されると、例えば、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａは、＋Ｙ軸方向に変位し、第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、−Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃは、−Ｙ軸方向に変位し、第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。
【００７５】
この状態では、第１構造体１１２において、検出信号Ｓ１は、Ｓ１＝Ｃ０＋ΔＣであり、検出信号Ｓ２は、Ｓ２＝Ｃ０−ΔＣである。また、検出信号Ｓ３は、Ｓ３＝Ｃ０＋ΔＣであり、検出信号Ｓ４は、Ｓ４＝Ｃ０−ΔＣである。また、第２構造体２１２において、検出信号Ｓ５は、Ｓ５＝Ｃ０−ΔＣであり、検出信号Ｓ６は、Ｓ６＝Ｃ０＋ΔＣである。また、検出信号Ｓ７は、Ｓ７＝Ｃ０−ΔＣであり、検出信号Ｓ８は、Ｓ８＝Ｃ０＋ΔＣである。なお、容量Ｃ０は、可動電極３２ａと固定電極３４ａ（または可動電極３２ｂと固定電極３４ｂ）との間の初期容量である。ここでは、可動電極３２ａ，３２ｂと固定電極３４ａ，３４ｂとの間の初期容量は、同じであるものとする。また、ΔＣは、可動電極３２ａ，３２ｂが変位したことによる可動電極３２ａ，３２ｂと固定電極３４ａ，３４ｂとの間の容量の容量値の変化分である。
【００７６】
ジャイロセンサー１０では、第１構造体１１２において、第１検出部３０ａの出力信号Ｓａが、Ｓａ＝Ｓ１−Ｓ２となるような信号処理を行う。したがって、第１検出部３０ａの出力信号Ｓａは、Ｓａ＝（Ｃ０＋ΔＣ）−（Ｃ０−ΔＣ）＝２×ΔＣとなる。また、第２検出部３０ｂの出力信号Ｓｂが、Ｓｂ＝Ｓ４−Ｓ３となるような信号処理を行う。したがって、第２検出部３０ｂの出力信号Ｓｂは、Ｓｂ＝（Ｃ０−ΔＣ）−（Ｃ０＋ΔＣ）＝−２×ΔＣとなる。
【００７７】
また、ジャイロセンサー１０では、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓａ−Ｓｂとなるような信号処理を行う。すなわち、第１検出部３０ａの出力信号Ｓａと第２検出部３０ｂの出力信号Ｓｂとの差を示す差動信号を出力する。そのため、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡは、ＳＡ＝（２×ΔＣ）−（−２×ΔＣ）＝４×ΔＣとなる。第１構造体１１２のセンサー素子１００では、この出力信号ＳＡからＸ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。すなわち、第１構造体１１２のセンサー素子１００のみでも、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。
【００７８】
同様に、ジャイロセンサー１０では、第２構造体２１２のセンサー素子１００において、第１検出部３０ａの出力信号Ｓｃが、Ｓｃ＝Ｓ５−Ｓ６となるような信号処理を行う。したがって、第１検出部３０ａの出力信号Ｓｃは、Ｓｃ＝−２×ΔＣとなる。また、第２検出部３０ｂの出力信号Ｓｄが、Ｓｄ＝Ｓ８−Ｓ７となるような信号処理を行う。したがって、第２検出部３０ｂの出力信号Ｓｄは、Ｓｄ＝２×ΔＣとなる。
【００７９】
ジャイロセンサー１０では、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃとなるような信号処理を行う。そのため、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢは、ＳＢ＝（２×ΔＣ）−（−２×ΔＣ）＝４×ΔＣとなる。第２構造体２１２のセンサー素子１００では、この出力信号ＳＢからＸ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。すなわち、第２構造体２１２のセンサー素子１００のみでも、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。
【００８０】
さらに、ジャイロセンサー１０では、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡと第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢの和となるような信号処理を行う。すなわち、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢ＝（Ｓａ−Ｓｂ）＋（Ｓｄ−Ｓｃ）となるような信号処理を行う。そのため、図４に示す状態では、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓは、Ｓ＝８×ΔＣとなる。したがって、２つの構造体１１２，２１２を有するジャイロセンサー１０によれば、Ｘ軸の軸まわりの角速度をより精度よく検出することができる。
【００８１】
なお、例えばＺ軸の軸まわりの角速度が入力された場合、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａは、−Ｙ軸方向に変位し、第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、−Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃは、＋Ｙ軸方向に変位し、第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。この状態では、出力信号Ｓａは、Ｓａ＝Ｓ１−Ｓ２＝（Ｃ０−ΔＣ）−（Ｃ０＋ΔＣ）＝−２ΔＣとなり、出力信号Ｓｂは、Ｓｂ＝Ｓ４−Ｓ３＝（Ｃ０−ΔＣ）−（Ｃ０＋ΔＣ）＝−２ΔＣとなる。したがって、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡは、ＳＡ＝Ｓａ−Ｓｂ＝（−２×ΔＣ）−（−２×ΔＣ）＝０となる。同様に、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢは、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃ＝（２×ΔＣ）−（２×ΔＣ）＝０となる。また、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢ＝０となる。したがって、Ｚ軸の軸まわりに角速度が入力されても、出力信号Ｓ，ＳＡ，ＳＢはいずれも０となり、Ｚ軸の軸まわりの角速度よって生じる誤差をキャンセルできる。
【００８２】
また、Ｙ軸方向の加速度が入力された場合、例えば、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａおよび第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、＋Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃおよび第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。したがって、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓａ−Ｓｂ＝（２×ΔＣ）−（２×ΔＣ）＝０となる。また、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃ＝（２×ΔＣ）−（２×ΔＣ）＝０となる。また、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢ＝０となる。したがって、Ｙ軸方向の角速度が入力されても、出力信号Ｓ，ＳＡ，ＳＢはいずれも０となり、Ｙ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルできる。
【００８３】
このように、ジャイロセンサー１０では、センサー素子１００において、上述の信号処理を行うことにより、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差を、信号処理によりキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００８４】
ジャイロセンサー１０は、例えば、以下の特徴を有する。
【００８５】
ジャイロセンサー１０によれば、センサー素子１００の第１振動体４０ａおよび第２振動体４０ｂは、Ｘ軸方向の駆動振動に伴い、Ｚ軸方向に振動することができる。そのため、振動体４０ａ，４０ｂのＺ軸方向の振動を駆動振動として、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。したがって、センサー素子１００を用いることにより、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出するセンサー素子１００、Ｙ軸の軸まわりの角速度を検出するセンサー素子２００、およびＺ軸の軸まわりの角速度を検出するセンサー素子３００が、同じ駆動振動（Ｘ軸方向の振動）で動作することができる。したがって、例えば、駆動部７０を共通化することができるため、駆動回路を素子ごとに設ける必要がなく、装置の小型化を図ることができる。さらに、実装面積を小さくできるため、装置の小型化を図ることができる。
【００８６】
ジャイロセンサー１０では、第１振動体４０ａが、第１検出質量部１６ａに一端を接続させ、−Ｘ軸方向に延出させて他端を自由端とした片持ち支持構造であり、第２振動体４０ｂは、第２検出質量部１６ｂに一端を接続させ、第１振動体４０ａの延出方向とは反対の方向の＋Ｘ軸方向に延出させて他端を自由端とした片持ち支持構造である。そのため、第１振動体４０ａと第２振動体４０ｂとは、互いに逆位相で振動する。これにより、第１検出質量部１６ａおよび第２検出質量部１６ｂは、Ｘ軸の軸まわりの角速度によって互いに反対の方向に変位し、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって同じ方向に変位する。したがって、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差を、信号処理によりキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００８７】
ジャイロセンサー１０では、駆動部７０は、第１構造体１１２の駆動質量部１４および第２構造体２１２の駆動質量部１４を、互いに逆位相で振動させる。これにより、Ｑ値を高めることができる。
【００８８】
ジャイロセンサー１０によれば、可動電極３２ａ，３２ｂおよび固定電極３４ａ，３４ｂを有しているため、可動電極３２ａ，３２ｂと固定電極３４ａ，３４ｂとの間の静電容量の変化から、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができる。したがって、Ｘ軸の軸まわりの角速度を感度よく検出することができる。
【００８９】
ジャイロセンサー１０では、可動電極３２ａの変位に基づいて変動する第１検出信号Ｓ１，Ｓ２を出力し、可動電極３２ｂの変位に基づいて変動する第２検出信号Ｓ３，Ｓ４を出力し、第１検出信号Ｓ１，Ｓ２および第２検出信号Ｓ３，Ｓ４に基づいて、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出する。これにより、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【００９０】
ジャイロセンサー１０によれば、Ｙ軸の軸まわりの角速度およびＺ軸の軸まわりの角速度の少なくとも一方を検出する検出部を有している。したがって、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出、およびＹ軸およびＺ軸の少なくとも一方の軸まわりの角速度の検出を、同じＸ軸方向の駆動振動により行うことができるため、小型化を図りつつ、Ｘ軸の軸まわりの角速度に加えて、他の軸（Ｙ軸、Ｚ軸）の軸まわりの角速度を検出することができる。
【００９１】
ジャイロセンサー１０によれば、振動体４０ａ，４０ｂには、周波数調整部８０ａ，８０ｂが設けられている。したがって、振動体４０ａ，４０ｂの共振周波数を調整することができる。
【００９２】
５．  変形例
次に、本実施形態の変形例について説明する。なお、上述したジャイロセンサー１０の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
【００９３】
５．１．  振動体の変形例
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーの振動体の変形例について説明する。図８（Ａ）は、第１変形例に係る振動体４０１を模式的に示す平面図である。図８（Ｂ）は、第２変形例に係る振動体４０２を模式的に示す平面図である。
【００９４】
振動体４０１および振動体４０２は、固定端４２と検出質量部１６ａとを支持部４６ａ，４６ｂを介して接続している。支持部４６ａ，４６ｂは、振動体４０１，４０２よりも細く形成されている。また、固定端４２と検出質量部１６ａとの間に開口４７を設けている。これにより、自由端４４を振動しやすくすることができる。
【００９５】
図８（Ｃ）は、第３変形例に係る振動体４０３を模式的に示す断面図である。振動体４０３では、固定端４２側に厚さの小さい薄肉部４８を設けている。これにより、固定端４２側の剛性を小さくして、自由端４４を振動しやすくすることができる。
【００９６】
図８（Ｄ）は、第４変形例に係る振動体４０４を模式的に示す平面図である。振動体４０４では、自由端４４側を固定端４２側よりも幅広にしている。これにより、自由端４４側の質量を固定端４２側の質量よりも大きくできるため、自由端４４を駆動振動に対して振動しやすくすることができる。
【００９７】
５．２．信号処理方法の変形例
５．２．１．  第１変形例
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの信号処理方法の第１変形例について説明する。図９は、第１変形例に係るジャイロセンサー１０ａの信号処理方法について説明するための図である。
【００９８】
上述したジャイロセンサー１０の信号処理方法では、図４に示すように、第１構造体１１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳａがＳａ＝Ｓ１−Ｓ２となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｂがＳｂ＝Ｓ４−Ｓ３となり、センサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓａ−Ｓｂとなるような信号処理を行った。また、第２構造体２１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳｃがＳｃ＝Ｓ５−Ｓ６となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｄがＳｄ＝Ｓ８−Ｓ７となり、センサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃとなるような信号処理を行った。さらに、ジャイロセンサー１０の出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢとなるような信号処理を行った。
【００９９】
これに対して、図９に示す例では、第１構造体１１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳａがＳａ＝Ｓ１−Ｓ２となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｂがＳｂ＝Ｓ４−Ｓ３となり、センサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓｂ−Ｓａとなるような信号処理を行う。また、第２構造体２１２では、図４に示すジャイロセンサー１０と同様の信号処理を行う。さらに、ジャイロセンサー１０ａの出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＢ−ＳＡとなるような信号処理を行う。これにより、図４に示すジャイロセンサー１０と同様に、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。以下、具体的に説明する。
【０１００】
第１構造体１１２の駆動質量部１４が＋Ｘ軸方向に変位し、第２構造体２１２の駆動質量部１４が−Ｘ軸方向に変位している状態で、Ｘ軸の軸まわりに角速度が入力されると、例えば、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａは、＋Ｙ軸方向に変位し、第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、−Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃは、−Ｙ軸方向に変位し、第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。
【０１０１】
この状態では、第１構造体１１２において、検出信号Ｓ１は、Ｓ１＝Ｃ０＋ΔＣであり、検出信号Ｓ２は、Ｓ２＝Ｃ０−ΔＣであり、検出信号Ｓ３は、Ｓ３＝Ｃ０＋ΔＣであり、検出信号Ｓ４は、Ｓ４＝Ｃ０−ΔＣである。また、第２構造体２１２において、検出信号Ｓ５は、Ｓ５＝Ｃ０−ΔＣであり、検出信号Ｓ６は、Ｓ６＝Ｃ０＋ΔＣであり、検出信号Ｓ７は、Ｓ７＝Ｃ０−ΔＣであり、検出信号Ｓ８は、Ｓ８＝Ｃ０＋ΔＣである。
【０１０２】
ジャイロセンサー１０ａでは、第１構造体１１２において、出力信号ＳａがＳａ＝Ｓ１−Ｓ２となり、出力信号ＳｂがＳｂ＝Ｓ４−Ｓ３となり、出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓｂ−Ｓａとなるような信号処理を行う。したがって、出力信号Ｓａは、Ｓａ＝２×ΔＣとなる。また、出力信号Ｓｂは、Ｓｂ＝−２×ΔＣとなる。また、出力信号ＳＡは、ＳＡ＝（−２×ΔＣ）−（２×ΔＣ）＝−４×ΔＣとなる。
【０１０３】
第２構造体２１２における信号処理は、図４に示す例と同様であり、出力信号Ｓｃは、Ｓｃ＝−２×ΔＣとなり、出力信号Ｓｄは、Ｓｄ＝２×ΔＣとなり、出力信号ＳＢは、ＳＢ＝４×ΔＣとなる。
【０１０４】
ジャイロセンサー１０ａでは、ジャイロセンサー１０ａの出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＢ−ＳＡとなるような信号処理を行う。そのため、図９に示す状態では、ジャイロセンサー１０ａの出力信号Ｓは、Ｓ＝ＳＢ−ＳＡ＝（４×ΔＣ）−（−４×ΔＣ）＝８×ΔＣとなる。したがって、２つの構造体１１２，２１２を有するジャイロセンサー１０ａによれば、Ｘ軸の軸まわりの角速度を精度よく検出することができる。
【０１０５】
なお、例えばＺ軸の軸まわりの角速度が入力された場合、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａは、−Ｙ軸方向に変位し、第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、−Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃは、＋Ｙ軸方向に変位し、第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。この状態では、出力信号Ｓａは、Ｓａ＝Ｓ１−Ｓ２＝（Ｃ０−ΔＣ）−（Ｃ０＋ΔＣ）＝−２ΔＣとなり、出力信号Ｓｂは、Ｓｂ＝Ｓ４−Ｓ３＝（Ｃ０−ΔＣ）−（Ｃ０＋ΔＣ）＝−２ΔＣとなる。また、出力信号ＳＡは、ＳＡ＝Ｓｂ−Ｓａ＝（−２×ΔＣ）−（−２×ΔＣ）＝０となる。同様に、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢは、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃ＝（２×ΔＣ）−（２×ΔＣ）＝０となる。また、ジャイロセンサー１０ａの出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢ＝０となる。したがって、Ｚ軸の軸まわりに角速度が入力されても、出力信号Ｓ，ＳＡ，ＳＢはいずれも０となり、Ｚ軸の軸まわりの角速度によって生じる誤差をキャンセルできる。
【０１０６】
また、Ｙ軸方向の加速度が入力された場合、例えば、第１構造体１１２の第１検出質量部１６ａおよび第１構造体１１２の第２検出質量部１６ｂは、＋Ｙ軸方向に変位する。また、第２構造体２１２の第１検出質量部１６ｃおよび第２構造体２１２の第２検出質量部１６ｄは、＋Ｙ軸方向に変位する。したがって、第１構造体１１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓｂ−Ｓａ＝０となる。また、第２構造体２１２のセンサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｄ−Ｓｃ＝０となる。また、ジャイロセンサー１０ａの出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢ＝０となる。したがって、Ｙ軸方向の角速度が入力されても、出力信号Ｓ，ＳＡ，ＳＢはいずれも０となり、Ｙ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルできる。
【０１０７】
このように、ジャイロセンサー１０ａでは、図４に示すジャイロセンサー１０の例と同様に、上述の信号処理を行うことにより、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【０１０８】
５．２．２．  第２変形例
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの信号処理方法の第２変形例について説明する。図１０は、第２変形例に係るジャイロセンサー１０ｂの信号処理方法について説明するための図である。
【０１０９】
ジャイロセンサー１０ｂの信号処理方法では、図１０に示すように、第１構造体１１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳａがＳａ＝Ｓ１−Ｓ２となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｂがＳｂ＝Ｓ３−Ｓ４となり、センサー素子１００の出力信号ＳＡが、ＳＡ＝Ｓａ＋Ｓｂとなるような信号処理を行う。また、第２構造体２１２において、第１検出部３０ａの出力信号ＳｃがＳｃ＝Ｓ６−Ｓ５となり、第２検出部３０ｂの出力信号ＳｄがＳｄ＝Ｓ８−Ｓ７となり、センサー素子１００の出力信号ＳＢが、ＳＢ＝Ｓｃ＋Ｓｄとなるような信号処理を行う。さらに、ジャイロセンサー１０ｂの出力信号Ｓが、Ｓ＝ＳＡ＋ＳＢとなるような信号処理を行う。これにより、ジャイロセンサー１０，１０ａの例と同様に、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルすることができ、Ｘ軸の軸まわりの角速度の検出精度を高めることができる。
【０１１０】
なお、ジャイロセンサーの信号処理方法は、Ｚ軸の軸まわりの角速度、またはＹ軸方向の加速度によって生じる誤差をキャンセルして、Ｘ軸の軸まわりの角速度を検出することができれば、特に限定されない。
【０１１１】
６．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１０を含む電子機器について、説明する。
【０１１２】
図１１は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。
【０１１３】
図１１に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
【０１１４】
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１０が内蔵されている。
【０１１５】
図１２は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。
【０１１６】
図１２に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。
【０１１７】
このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１０が内蔵されている。
【０１１８】
図１３は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１３には、外部機器との接続についても簡易的に示している。
【０１１９】
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１２０】
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１２１】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１２２】
撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１２３】
また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１２４】
このようなデジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサー１０が内蔵されている。
【０１２５】
以上のような電子機器１１００，１２００，１３００は、小型化を図ることが可能なジャイロセンサー１０を含む。そのため、電子機器１１００，１２００，１３００は、小型化を図ることができる。
【０１２６】
なお、上記ジャイロセンサー１０を備えた電子機器は、図１１に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１２に示す携帯電話機、図１３に示すデジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ヘッドマウントディスプレイ、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーターなどに適用することができる。
【０１２７】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１２８】
１…基板、２…集積回路、１０，１０ａ，１０ｂ…ジャイロセンサー、１２…構造体、１４…駆動質量部、１５…第１空洞部、１６ａ…第１検出質量部、１６ｂ…第２検出質量部、１６ｃ…第１検出質量部、１６ｄ…第２検出質量部、１７ａ…第２空洞部、１７ｂ…第３空洞部、２０ａ…第１弾性部、２０ｂ…第２弾性部、２２，２４…バネ対、２２ａ，２２ｂ，２４ａ，２４ｂ…バネ、３０ａ…第１検出電極部、３０ｂ…第２検出電極部、３２ａ，３２ｂ…可動電極、３４ａ，３４ｂ…固定電極、４０ａ…第１振動体、４０ｂ…第２振動体、４２…固定端、４４…自由端、４６ａ…支持部、４７…開口、４８…薄肉部、５０…固定部、６０…駆動弾性部、６２，６４…バネ対、６２ａ，６２ｂ，６４ａ，６４ｂ…バネ、６６…連結弾性部、６６ａ，６６ｂ…バネ、７０…駆動部、８０ａ…第１周波数調整部、８０ｂ…第２周波数調整部、９０ａ，９０ｂ…変位板、９２ａ，９２ｂ…梁部、１００…センサー素子、１１２…第１構造体、２１２…第２構造体、１１６…検出質量部、１２０…弾性部、１２２ａ，１２２ｂ，１２４ａ，１２４ｂ…バネ、１３０…検出部、１３２…可動電極、１３４…固定電極、２００…センサー素子、２１２…第２構造体、３００…センサー素子、４０１，４０２，４０３，４０４…振動体、１１００…電子機器、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１】
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【図２】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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