(57)【要約】【課題】基板の設置面上に異物が存在していた場合に、感度良くその状態を検知することのできる異物検知方法および吸着ステージを提供する。【解決手段】基板を吸着固定する設置部２と、設置部２における基板Ｗの吸着圧を測定する圧力測定手段４と、基板の吸着異常の有無を判定する判定部５と、を備える吸着ステージにおける異物検知方法であって、圧力測定手段４が、設置面１０における基板の吸着圧を測定する測定工程と、判定部５が、測定工程で取得した吸着圧のデータのうち、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータである変動データ２０に対して、あらかじめ判定部５に記憶されている、設置面に異物が無かった場合の変動データ２０である基準変動データ２１との比較評価を行い、設置面における吸着異常の有無を判定することにより、設置面上の異物の有無を判定する判定工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を設置する設置面を有し、基板を吸着固定する設置部と、
前記設置部における基板の吸着圧を測定する圧力測定手段と、
基板の吸着異常の有無を判定する判定部と、
を備える吸着ステージにおける異物検知方法であって、
前記圧力測定手段が、前記設置面における基板の吸着圧を測定する測定工程と、
前記判定部が、前記測定工程で取得した吸着圧のデータのうち、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータである変動データに対して、あらかじめ当該判定部に記憶されている、前記設置面に異物が無かった場合の前記変動データである基準変動データとの比較評価を行い、前記設置面における吸着異常の有無を判定することにより、前記設置面上の異物の有無を判定する判定工程と、
を有することを特徴とする、異物検知方法。
【請求項２】
前記比較評価は、前記基準変動データに所定の帯域を持たせて形成される領域である基準領域に前記の前記変動データが収まっているか否かを評価することにより行われ、前記変動データにおいて前記基準領域に収まらない部分が存在した場合、前記設置面上に異物が存在すると判定することを特徴とする、請求項１に記載の異物検知方法。
【請求項３】
前記変動データは、所定の吸着圧に到達する時刻、もしくは所定の時刻に到達したときの吸着圧値として求められることを特徴とする、請求項１または２に記載の異物検知方法。
【請求項４】
前記圧力測定手段は、前記設置面上の複数箇所における吸着圧の測定を行い、前記判定部は、それぞれの前記圧力測定手段による吸着圧の測定結果についてそれぞれ変動データを取得して前記基準変動データとの比較評価を行い、その結果、異常と評価された前記変動データが１つでも存在した場合、前記設置面上に異物が存在すると判定することを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の異物検知方法。
【請求項５】
基板を設置する設置面を有する設置部と、
前記設置面に設けられた開口であり、基板を吸着固定する吸着口と、
前記吸着口と配管によって接続され、前記吸着口へ吸着圧を供給する吸着圧供給手段と、
前記吸着口における吸着圧を測定する圧力測定手段と、
基板の吸着異常の有無を判定する判定部と、
を備える吸着ステージであって、
前記判定部が、前記圧力測定手段が取得した吸着圧の測定値のデータのうち、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータである変動データについて、あらかじめ当該判定部に記憶された、前記設置面に異物が無かった場合の前記変動データである基準変動データとの比較評価を行い、前記設置面における吸着異常の有無を判定することにより、前記設置面上の異物の有無を判定することを特徴とする、吸着ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置などにより基板へ処理を行う際に基板を吸着固定する吸着ステージにおいて、基板を設置する面に異物が存在していた場合にそれを検知する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板は、基板上にレジスト液や薬液などの塗布液を均一に塗布する塗布装置により形成されている。
【０００３】
このような塗布装置では、塗布膜の膜厚を均一にするために、塗布液を塗布する塗布ユニットと基板との距離を精密に制御する必要がある。そのためには、塗布ユニットの高さ制御とあわせて、基板をたわみなどなく平坦に固定する必要がある。基板の固定には主に基板を吸着固定する吸着ステージが用いられるが、もし、吸着ステージの表面に異物が存在し、その上に基板が載置されると、吸着固定された基板にたわみが生じ、その結果、その基板に塗布された塗布膜の膜厚は均一にならず、塗布不良となる。このような塗布不良を生じさせないために、塗布液の塗布を実施する前に吸着ステージ上の異物の存在を検知する必要がある。
【０００４】
異物を検知する機構を有する吸着ステージの一例を、図９に示す。この吸着ステージ９０には、吸着口９１とは別個に、ステージ上の異物の検知を行うためのセンサ９２が設けられている。このセンサ９２は、光電センサが用いられることが多い。この吸着ステージ９０において、外部のロボットハンドなどにより基板Ｗを搬出する際、リリースピン９３が上昇し、基板Ｗを持ち上げる。そのとき、基板Ｗの吸引力が残存したり、吸着ステージ９０と基板Ｗとの間に剥離帯電が生じると、基板Ｗが割れるおそれがある。このとき、基板Ｗの四隅近辺で比較的基板Ｗの割れが生じやすいため、そこにセンサ９２が設置されている。ここで、基板Ｗを搬出した後も、基板Ｗは存在するとの反応をセンサ９２が示した場合、吸着ステージ９０上に異物が存在していると検知される。このセンサ９２を用いると、図１０の異物９４のようにセンサ９２の上に基板の破片などの異物が存在する場合はそれを検知できるが、異物９５のように基板が想定外の割れ方をしたり、ロボットハンドなど外部からの付着物の落下などによりセンサ９２の設置範囲以外の箇所に存在した場合はそれを検知することができないという欠点がある。
【０００５】
これに替わって吸着対象の吸着状態を検知する手段として、たとえば、下記特許文献１に示すように、吸着対象を吸着した状態での吸引回路における吸引流量を計測し、最終的に到達する流量によって吸着状態を判定し、吸着異常を検知するものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１３３７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記特許文献１に記載された吸着異常の検知方法では、吸着ステージ上の異物の存在を検知できない場合があるという問題があった。具体的には、吸着ステージの大きさに対して異物が十分小さい場合、吸着ステージと基板との間に異物が存在しても、吸着ステージの吸着口にて最終的に到達する吸引流量は、異物の無い正常なときと同等となることがありえる。その場合、異物の存在は見逃され、そのとき塗布処理された基板は塗布不良となるおそれがあった。
【０００８】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、基板の設置面上に異物が存在していた場合に、感度良く吸着異常を検知し、それにより異物の存在を検知することのできる異物検知方法および吸着ステージを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の異物検知方法は、基板を設置する設置面を有し、基板を吸着固定する設置部と、前記設置部における基板の吸着圧を測定する圧力測定手段と、基板の吸着異常の有無を判定する判定部と、を備える吸着ステージにおける異物検知方法であって、前記圧力測定手段が、前記設置面における基板の吸着圧を測定する測定工程と、前記判定部が、前記測定工程で取得した吸着圧のデータのうち、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータである変動データに対して、あらかじめ当該判定部に記憶されている、前記設置面に異物が無かった場合の前記変動データである基準変動データとの比較評価を行い、前記設置面における吸着異常の有無を判定することにより、前記設置面上の異物の有無を判定する判定工程と、を有することを特徴としている。
【００１０】
上記異物検知方法によれば、判定工程において変動データと基準変動データとの比較評価を行うことにより、吸着圧をもとに異物の有無を判定するため、吸着ステージ上のどの位置に異物が残存していても、漏れなく異物の有無の検知を行うことができる。また、変動データは、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータであるため、異物の大きさが小さく、設置部上に異物があったときと無かったときとで最終的な吸着圧が近似する場合であっても、その最終的な吸着圧に至るまでの吸着圧の変化の仕方の違いをとらえることにより、異物の有無の検知が可能である。
【００１１】
このとき、前記比較評価は、前記基準変動データに所定の帯域を持たせて形成される領域である基準領域に前記の前記変動データが収まっているか否かを評価することにより行われ、前記変動データにおいて前記基準領域に収まらない部分が存在した場合、前記設置面上に異物が存在すると判定すると良い。
【００１２】
また、前記変動データは、所定の吸着圧に到達する時刻、もしくは所定の時刻に到達したときの吸着圧値として求められるようにしても良い。
【００１３】
また、前記圧力測定手段は、前記設置面上の複数箇所における吸着圧の測定を行い、前記判定部は、それぞれの前記圧力測定手段による吸着圧の測定結果についてそれぞれ変動データを取得して前記基準変動データとの比較評価を行い、その結果、異常と評価された前記変動データが１つでも存在した場合、前記設置面上に異物が存在すると判定することもできる。
【００１４】
このように、圧力測定手段は、設置面上の複数箇所における吸着圧の測定を行い、判定部は、それぞれの圧力測定手段による吸着圧の測定結果についてそれぞれ変動データを取得して前記基準変動データとの比較評価を行うことにより、異物が残存している箇所により近い圧力測定手段で変動データを取得することができるため、より感度良く異物を検知することができる。
【００１５】
また、上記課題を解決するために本発明の吸着ステージは、基板を設置する設置面を有する設置部と、前記設置面に設けられた開口であり、基板を吸着固定する吸着口と、前記吸着口と配管によって接続され、前記吸着口へ吸着圧を供給する吸着圧供給手段と、前記吸着口における吸着圧を測定する圧力測定手段と、基板の吸着異常の有無を判定する判定部と、を備える吸着ステージであって、前記判定部が、前記圧力測定手段が取得した吸着圧の測定値のデータのうち、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータである変動データについて、あらかじめ当該判定部に記憶された、前記設置面に異物が無かった場合の前記変動データである基準変動データとの比較評価を行い、前記設置面における吸着異常の有無を判定することにより、前記設置面上の異物の有無を判定することを特徴としている。
【００１６】
このように、変動データと基準変動データとの比較評価を行うことにより、上記の通り、吸着圧をもとに異物の有無を判定するため、吸着ステージ上のどの位置に異物が残存していても、漏れなく異物の有無の検知を行うことができる。また、変動データは、基板の吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間のデータであるため、異物の大きさが小さく、設置部上に異物があったときと無かったときとで最終的な吸着圧が近似するような場合であっても、その最終的な吸着圧に至るまでの吸着圧の変化の仕方の違いをとらえることにより、異物の有無の検知が可能である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の異物検知方法および吸着ステージによれば、基板の設置面上に異物が存在していた場合に、感度良くその状態を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態における吸着ステージの概略図である。
【図２】本実施形態における吸着ステージの概略図である。
【図３】吸着ステージ上に異物が発生する過程の一つを示す概略図である。
【図４】本実施形態における変動データおよび基準変動データを表す概略図である。
【図５】本実施形態における異物検知方法を示す概略図である。
【図６】本実施形態における異物検知方法を示す概略図である。
【図７】本実施形態における異物検知方法の動作フローである。
【図８】他の実施形態における異物検知方法を示す概略図である。
【図９】従来の吸着ステージの概略図である。
【図１０】従来の吸着ステージの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。
【００２０】
本発明の一実施形態における吸着ステージを図１に示す。図１の上図は、吸着ステージの上面図であり、図１の下図は、上図におけるＡ−Ａ断面図である。
【００２１】
吸着ステージ１は、設置部２、吸着圧供給手段３、圧力測定手段４、および判定部５を有しており、設置部２の基板設置面に対して吸着圧供給手段３から吸着力を供給し、設置部２に設置された基板Ｗを吸着固定する。また、基板Ｗを吸着固定している際の吸着圧を圧力測定手段４によって測定し、この測定で得られたデータを判定部５が評価し、設置部２に異物が無いかどうかの判定を行う。
【００２２】
設置部２は、ガラス板などの基板Ｗを設置するためのテーブルであり、設置面１０、吸着口１１、リリースピン１２を有している。
【００２３】
設置面１０は、その上方に基板Ｗを設置する平坦な面であり、基板Ｗよりも大きな面積を有する。
【００２４】
吸着口１１は、設置面１０の基板Ｗを設置する領域内に開口を有する複数の貫通穴である。各吸着口１１は設置面１０側の開口とは反対側の端部において、枝配管１４が接続され、吸着圧供給手段３に通じている。この状態で吸着圧供給手段３を動作させることにより、枝配管１４および吸着口１１を通じて、設置面１０の複数箇所において吸着力が発生し、設置面１０に設置された基板Ｗを吸着固定することが可能である。
【００２５】
リリースピン１２は、本実施形態では先端の尖った円柱状の形状を有し、設置面１０に垂直に設けられた貫通穴である孔１３の内部を通る。このリフトピン１２が図示しない昇降機構により昇降制御することにより、リフトピン１２が上昇端にある時はリフトピン１２の先端は設置面１０より高い位置となり、逆にリフトピン１２が下降端にある時はリフトピン１２の先端は設置面１０より低い位置となる。これにより、ロボットハンドなどによって基板Ｗが吸着ステージ１に搬入もしくは搬出される際は、リフトピン１２が上昇端へ移動し、リフトピン１２が基板Ｗを支持する状態となる。また、吸着ステージ１が基板Ｗを吸着固定する際にはリフトピン１２が下降端に移動し、下降の途中で基板Ｗを設置面１０に受け渡すことで、基板Ｗが設置面１０に設置される。
【００２６】
吸着圧供給手段３は、真空ポンプ、ブロワーといった排気装置であり、一定の出力で排気を実施する。そして、上述の通り、この吸着圧供給手段３が動作することにより、吸着口１１を通じて設置面１０に吸着力を与えている。また、吸着圧供給手段３は主配管１５と接続され、主配管１５から枝配管１４に枝分かれし、各吸着口１１と接続される。また、主配管にはバルブ１６が設けられており、設置面１０において基板Ｗを吸着する場合はバルブ１６は開状態であり、これが閉状態となると、全ての枝配管１４への吸着力の供給が絶たれる。
【００２７】
圧力測定手段４は、測定結果をデータとして外部に出力することが可能な圧力計である。この圧力測定手段４は、吸着口１１と吸着圧供給手段３との間の枝配管１４の途中に設けられており、この枝配管１４の内部の圧力を吸着口１１の吸着圧とみなして圧力測定手段４が測定し、測定で得られたデータを、配線１７を通して判定部５へ転送する。
【００２８】
ここで、圧力測定手段４は、枝配管１４のより設置面１０に近い部位に設けられることが望ましい。これにより、設置面１０から圧力測定手段４までの枝配管１４による圧力損失を小さくすることができ、設置面１０における吸着力により近い値を圧力測定手段４が測定することができる。
【００２９】
また、枝配管１４は複数の吸着口１１に対して１本ずつ設けられているため、吸着口１１と同数だけ存在するが、圧力測定手段４は、これら枝配管１４の全てに設けられていても良く、また、図１に示すように一部の枝配管１４に設けられても良く、また、１本の枝配管１４にのみ設けられても良い。ただし、より多くの本数の枝配管１４に圧力測定手段４を設けることが望ましい。より多くの本数の枝配管１４に圧力測定手段４を設けることにより、設置面１０に異物が存在していた場合に、より異物に近い吸着口１１の測定データを得る可能性が高くなり、感度の良い異物の検知を行うことが可能となるためである。
【００３０】
判定部５は、ＣＰＵおよびＲＡＭやＲＯＭを有するコンピュータであり、圧力測定手段４から配線１７を通して転送された測定データをもとに設置面１０における吸着異常の有無を判定し、それににより設置面１０上の異物の有無を判定する。判定部５には、転送された測定データをもとに後述の変動データ２０を抽出したり、抽出した変動データをもとに設置面１０における基板Ｗの吸着異常の有無を判定するなど、各機能を実行するためのプログラムが記憶されている。また、判定部５は、ハードディスクや、ＲＡＭまたはＲＯＭなどのメモリからなる、各種情報を記憶する記憶装置を有しており、転送された測定データ、後述の基準変動データ２１などがこの記憶装置に記憶される。
【００３１】
次に、設置面１０に異物が生じる主な事例について、図２および図３を用いて説明する。なお、図２、図３ともに、図１に示したＡ−Ａ断面図と同様の断面図である。
【００３２】
図２は、基板Ｗが吸着ステージ１から搬出される際に基板Ｗが持ち上げられる様子を表す図である。
【００３３】
設置面１０に設置された基板Ｗへの塗布液の塗布が完了すると、先述の通り、リリースピン１２が上昇することによって基板Ｗが設置面１０から持ち上げられ、その後ロボットハンド１８が基板Ｗをすくい上げ、搬出する。ただし、塗布完了直後の基板Ｗは設置面１０に吸着されている状態であるので、その吸着が破壊されたあと、基板Ｗが持ち上げられる。
【００３４】
具体的には、塗布完了後、バルブ１６が閉状態になって、設置面１０への吸着力の供給が絶たれ、また、必要に応じて、バルブ１６が閉状態になった後に図示しない気体供給経路から枝配管１４にエアなどが送り込まれて、設置面１０における基板Ｗの吸着が破壊される。そして、設置面１０における吸着力が無くなった状態でリリースピン１２が上昇し、基板Ｗを持ち上げる。
【００３５】
このとき、設置面１０における吸着力が無くなりきらない状態でリリースピン１２が基板Ｗを持ち上げようとした場合、もしくは、基板Ｗを持ち上げたときに設置面１０と基板Ｗとの間に予期せぬ剥離帯電が生じ、基板Ｗが設置面１０から離れにくくなった場合、基板Ｗにはリリースピン１２により上向きの力が与えられると同時に、これらによる下向きの力が働く。これにより、基板Ｗが割れるおそれがある。
【００３６】
図３（ａ）に基板Ｗ１が割れた様子を示している。リリースピン１２が上昇する際に上記のような下向きの力が働いたため、基板Ｗ１は割れ、設置面１０に破片Ｗ１’を残した状態となっている。
【００３７】
この状態のまま図３（ｂ）に示すように基板Ｗ１がロボットハンド１８によって搬出され、新たな基板Ｗ２がリリースピン１２に設置されると、破片Ｗ１’という異物を設置面１０に残したままリリースピン１２は下降し、最終的に図３（ｃ）に示す通り、基板Ｗ２は設置面１０に対して一部が浮いた状態となる。
【００３８】
図３（ｃ）のように異物が設置面１０と基板Ｗ２との間に存在した場合、基板Ｗ２への塗布動作が開始するまでに異物の存在が検知できなければ、基板Ｗ２がたわんだまま塗布液の塗布が行われることとなり、塗布不良が発生したり、基板Ｗ２と塗布ユニットとが衝突して基板Ｗ２の破損、塗布ユニットの破損といった事態が発生したりするおそれが生じる。
【００３９】
次に、本実施形態における異物検知の方法について、図４および図５を用いて説明する。
【００４０】
まず、図４（ａ）のように設置面１０に異物の無い状態で基板Ｗを吸着固定させた際に、圧力測定手段４で吸着圧を測定し続けると、図４（ｂ）のグラフに示すような吸着圧の時間変動を得ることができる。この時間変動は、吸着を開始した直後に大きく吸着圧が変動し、最終的には吸着圧はある数値で安定する特徴を示す。
【００４１】
圧力測定手段４は、所定の時間分測定し続けた吸着圧値のデータを判定部５へ転送し、判定部５は、このデータのうち、図４（ｂ）の時刻ｔ１から時刻ｔ２の間のように、設置面１０に異物の無い状態で基板Ｗの吸着を行った場合に、吸着を始めてから吸着圧の数値が安定する手前までの間の時間帯におけるデータを抽出し、異物検知の判定材料とする。この時刻ｔ１から時刻ｔ２の間のデータの集合を、本実施形態では変動データ２０と呼ぶ。なお、圧力測定手段４は、時刻ｔ１から時刻ｔ２の間のデータのみ判定部５へ転送し、判定部５は、そのデータをそのまま変動データ２０としても良い。
【００４２】
ここで、判定部５は評価の基準として図４（ｂ）のように異物が無い状態で得られた変動データ２０を基準変動データ２１としてあらかじめ取得し、判定部５が自身の記憶装置に記憶している。この基準変動データ２１を用いて、判定部５は、塗布などの処理をするときに基板Ｗの吸着を行う都度算出する変動データ２０との比較を行い、この差異を評価して吸着異常の検知、すなわち、設置面１０上の異物の検知を行う。
【００４３】
一方、設置面１０に異物が無い状態での吸着であっても、吸着させる基板Ｗの個体差などが原因で、都度変動データ２０を測定するとバラツキが生じる可能性がある。このバラツキを許容しないまま異物の検知を行うと、過検知となる。したがって、本実施形態では、このバラツキを包含するように、図４（ｃ）に示すように基準変動データ２１に所定の帯域を持たせて形成される領域である基準領域２２を求め、これを異物検知の基準としている。そして、変動データ２０がこの基準領域２２に収まれば、その吸着は正常としている。なお、この基準領域２２の形成の方法に関しては、１回の基準変動データ２１の測定結果に対して所定の誤差範囲を加味して形成する方法、複数回の基準変動データ２１の測定を行い、これらのデータを重ね合わせてできる領域を基準領域２２とする方法などがある。
【００４４】
次に、設置面１０に異物が存在していた場合の検知までの流れについて、図５に示す。
【００４５】
図５（ａ）に示すように、基板の破片Ｗ１’が設置面１０に残った状態で基板Ｗ２が設置されたとする。この場合、破片Ｗ１’によって基板Ｗ２と設置面１０との間にはすき間が生じるため、設置面１０に基板Ｗ２を吸着させる際にリークが発生する。そのため、吸着圧が変動するタイミングは、異物が無い場合と比較して遅くなる。
【００４６】
たとえば、図５（ａ）において破片Ｗ１’に近い吸着口１１の配管経路に設けられた圧力測定手段４ａから得られる変動データ２３は、この影響を大きく受け、図５（ｂ）のグラフに示すように、基準領域２２から大きく外れる。この変動データ２３のように、時刻ｔ１から時刻ｔ２までのデータが基準領域２２に収まらない場合は、判定部５は吸着異常が発生したと判定し、設置面１０に異物が存在すると判定する。
【００４７】
このような変動データ２０と基準領域２２との差異は、圧力測定手段４が異物の近くにあるほど、より顕著にあらわれる。図５を例にとると、破片Ｗ１’に近い圧力測定手段４ａによる測定では、図５（ｂ）に示すように変動データ２３は基準領域２２から大きく外れる。これに対し、破片Ｗ１’から遠い圧力測定手段４ｂによる測定では、図５（ｃ）に示すように変動データ２４は変動データ２３と比較して基準領域２２に近くなる。したがって、先述の通り、より多くの圧力測定手段４を設けることにより、設置面１０に異物が存在していた場合に、より異物に近い位置での変動データ２０を得る可能性が高くなり、感度の良い異物の検知を行うことが可能となる。
【００４８】
また、複数の圧力測定手段４を設けて異物検知を行う場合、基準領域２２に収まらない変動データ２０が１つでも確認されれば、設置面１０に異物が存在すると判定すると良い。
【００４９】
また、それぞれの圧力測定手段４は、その設置位置の違いなどから、それぞれから得られる基準変動データ２１に差異がある可能性がある。この場合、それぞれの圧力測定手段４における基準領域２２を判定部５は準備しても良い。
【００５０】
このように、変動データ２０を用いて異物の検知を行うことにより、感度の良い検知を行うことが可能である。たとえば、設置面１０の大きさに対して異物が十分小さい場合、このときの数値が安定した状態における吸着圧は、異物の無い正常なときのものと近似することがありうる。この場合、安定した状態における吸着圧をもって異物の有無の検知を行うことは困難である。一方、このような場合であっても、変動データ２０をとることにより正常なときとの差異を確認することができる。
【００５１】
また、上記の異物検知を繰り返し続けていると、図６の変動データ２５のように、基準領域２２よりも早いタイミングで吸着圧の変動が生じる場合がありうる。ここで、設置面１０に異物が存在して基板を吸着させる際にリークが発生する場合は、吸着圧の変動のタイミングは基本的に遅れるものと考えられる。そこで、変動データ２５のようなデータを得た場合は、異物の無い正常な吸着が行われたとみなしても良く、必要に応じて、基準領域２２の作成に反映させ、以降の判定に利用しても良い。
【００５２】
次に、この異物検知方法を有する吸着ステージの動作フローについて、図７に示す。
【００５３】
まず、異物検知を行う基板Ｗ２の前の基板にあたる基板Ｗ１への塗布などの処理が完了すると（ステップＳ１）、吸着圧供給手段３は基板Ｗ１への吸着を絶つ（ステップＳ２）。
【００５４】
基板Ｗ１への吸着が無くなったら、リリースピン１２が上昇し、基板Ｗ１を持ち上げる（ステップＳ３）。基板Ｗ１が持ち上がったら、ロボットハンド１８が基板Ｗ１を搬出し、また、ロボットハンド１８が基板Ｗ２をリリースピン１２に設置することで、リリースピン１２上での基板の交換を行う（ステップＳ４）。
【００５５】
基板の交換が完了したら、リリースピン１２が下降し、基板Ｗ２を設置面１０に設置する（ステップＳ５）。
【００５６】
設置面１０に基板Ｗ２が設置されると、吸着圧供給手段３は基板Ｗ２の吸着を開始する（ステップＳ６）。
【００５７】
圧力測定手段４は吸着の開始からの基板Ｗ２への吸着圧を測定し（ステップＳ７）、その結果を判定部５へ転送する。判定部５は、この測定結果より、各圧力測定手段４における変動データ２０を取得する（ステップＳ８）。
【００５８】
判定部５は、あらかじめ記憶している基準領域２２と、各変動データ２０との比較評価を行い（ステップＳ９）、各変動データ２０のうち、１つでも基準領域２２に収まらないもの、すなわち吸着異常が存在するか否かを判定する（ステップＳ１０）。
【００５９】
このステップＳ１０の工程において、どの変動データ２０にも吸着異常を確認できなかった場合は、判定部５は、設置面１０上に異物は無く、基板Ｗ２の吸着は正常であると判定し、基板Ｗ２への処理を開始する。また、前の基板Ｗ１へも次工程の処理を続行させる（ステップＳ１１）。
【００６０】
これに対し、吸着異常と判定した変動データ２０が１つでも存在した場合、判定部５は、設置面１０上に異物が存在すると判定し、Ｗ２への処理を中止する。また、この異物は前の基板Ｗ１の破片である可能性を考慮し、判定部５は、基板Ｗ１への次工程の処理も中止する（ステップＳ１２）。そして、基板Ｗ１および基板Ｗ２を回収し、異物の除去が完了するまで処理は中断する（ステップＳ１３）。
【００６１】
以上の通り説明した異物検知方法、およびこの検知方法を利用した吸着ステージにより、基板の設置面上に異物が存在していた場合に、感度良くその状態を検知することが可能である。
【００６２】
また、上述の説明では、所定の時間帯（時刻ｔ１から時刻ｔ２）で圧力測定手段４が測定したデータ全てを変動データ２０とし、それに対する基準変動データ２１との差異を判定し、異物の存在の検知を行う例を示したが、他の実施形態として、比較対象を限定し、１個または複数個の所定の吸着圧に到達する時刻を変動データ２０とし、それに対する基準変動データ２１との間で比較することで、異物の存在の検知を行っても良い。この実施形態について、図８を用いて以下に説明する。
【００６３】
まず、設置面１０に異物が無い場合の吸着圧の変動は、図８（ａ）に示す曲線の通りであったとし、その内の数点について、所定の吸着圧に到達する時刻を求める。図８（ａ）の例では、吸着圧がＶ１、Ｖ２、Ｖ３となる時間がそれぞれｔ１、ｔ２、ｔ３であることを判定部５が取得し、この吸着圧と時刻との組み合わせを基準変動データ２１とし、判定部５があらかじめ記憶する。
【００６４】
これに対し、塗布などの処理をするときに基板Ｗの吸着を行うごとに判定部５は吸着圧がＶ１、Ｖ２、およびＶ３となる時刻であるｔ１’、ｔ２’、およびｔ３’を求め、これらを変動データ２０とし、基準変動データ２１と比較評価する。
【００６５】
ここで、先述の通り、吸着させる基板Ｗの個体差などが原因で、異物が無い場合であっても都度変動データ２０を測定するとバラツキが生じる可能性があるため、判定部５は自身に記憶している基準変動データ２１である時刻ｔ１、ｔ２、およびｔ３のそれぞれに帯域を設け、その帯域内に変動データ２０が収まるかどうかの評価を行う。図８（ａ）の例では、ｔ１、ｔ２、およびｔ３のそれぞれを中心に幅Δｔの帯域が設けられ、この帯域内に変動データ２０が収まるかどうかを評価する。
【００６６】
次に、基板Ｗを吸着固定した際に変動データ２０を測定した結果が図８（ｂ）の実線の通りになったとする。このとき、基板Ｗの吸着が正常か否かを評価した場合、吸着圧がＶ１となる時刻ｔ１’はｔ１を中心とする帯域内に収まっているので問題ないが、吸着圧がＶ２、およびＶ３となる時刻ｔ２’、およびｔ３’は、それぞれ帯域に収まっていない。
【００６７】
このように帯域に収まらない変動データ２０が１つでも存在する場合、この吸着は異常であると判定部５は判定し、設置面１０に異物が存在すると判定する。
【００６８】
また、この実施形態と同様に、所定の時刻に到達した時の吸着圧値を変動データ２０および変動データ２１として取得し、それらを比較して評価を行い、異物の検知を行っても良い。
【符号の説明】
【００６９】
１  吸着ステージ
２  設置部
３  吸着圧供給手段
４  圧力測定手段
４ａ  圧力測定手段
４ｂ  圧力測定手段
５  判定部
１０  設置面
１１  吸着口
１２  リリースピン
１３  孔
１４  枝配管
１５  主配管
１６  バルブ
１７  配線
１８  ロボットハンド
２０  変動データ
２１  基準変動データ
２２  基準領域
２３  変動データ
２４  変動データ
２５  変動データ
９０  吸着ステージ
９１  吸着口
９２  センサ
９３  リリースピン
９４  異物
９５  異物
Ｗ  基板
Ｗ１  基板
Ｗ１’  破片
Ｗ２  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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