(57)【要約】【課題】走査電子顕微鏡にて凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】走査電子顕微鏡は、観察倍率以下の倍率で焦点合わせを行い、視野範囲の中で部分的に焦点の合う焦点距離を求め、その前後の焦点距離における像を記憶する。これをとり得る全ての焦点距離に対して行った後で、記憶した画像をもとに、観察範囲の中で焦点距離ごとに焦点の合う領域を求める。この後、焦点の合う位置が複数存在することを表示装置上に観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示させることで示す。使用者が該枠や印を選択するようにすることで、その部位における焦点の合う焦点距離を中心にして再度、焦点合わせを行い、最適な焦点距離を与えるレンズの励磁条件を求め、設定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上で電子ビームを走査する走査手段と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段と、該検出した検出信号に基づいて前記試料の像を生成する生成手段と、前記生成した画像を記憶する記憶手段と、前記電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段と、前記画像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法であって、
前記制御手段は、
前記電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に前記検出信号から電子ビームの収束状態を求める第１のステップと、
前記焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を前記記憶手段に記憶する第２のステップと、
前記焦点の合う焦点距離において、前記画像に基づいて焦点の合う領域を特定する第３のステップと、
前記焦点の合う領域を示す図形を前記表示手段に表示する指令をする第４のステップとを含んで実行する
ことを特徴とする走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項２】
前記第３のステップにおいて、前記画像内の単位領域毎の濃淡値とその分布を算出し、前記濃淡値が所定の閾値以上であれば、前記焦点の合う領域とする
ことを特徴とする請求項１に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項３】
前記図形が選択された場合、前記選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める第５のステップを実行する
ことを特徴とする請求項１に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項４】
前記第５のステップにおいて、該図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める際に、前記第２のステップで得られた焦点の合う焦点距離を中心に探索する
ことを特徴とする請求項３に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項５】
前記第２のステップと、前記第３のステップとを並列処理する
ことを特徴とする請求項２に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項６】
前記第１のステップにおいて、前記検出信号から電子ビームの収束状態を表す指標として、走査時に得られる信号とその直前の信号との差分である微分値を求め、所定の走査を終えるまで微分値を順次積算した総和である微分積算値を求め、該微分積算値を評価値として、焦点距離を変えながら取得した該評価値のうち、極大値となる焦点距離を求める
ことを特徴とする請求項１に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項７】
前記焦点距離毎の前記評価値をもとに、前記焦点の合う焦点距離である位置が存在する数の特定をする際に、前記評価値の微分を行った第２の評価値を求め、該第２の評価値が零となる数を求めることで、前記焦点の合う焦点距離である位置の数を特定する
ことを特徴とする請求項６に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項８】
前記第４のステップにおいて、前記表示手段に表示する図形は、多角形または閉じた曲線とする
ことを特徴とする請求項１に記載の走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ方法。
【請求項９】
試料上で電子ビームを走査する走査手段と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段と、該検出した検出信号に基づいて前記試料の像を生成する生成手段と、前記生成した画像を記憶する記憶手段と、前記電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段と、前記画像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡であって、
前記制御手段は、
前記電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に前記検出信号から電子ビームの収束状態を求め、
前記焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を前記記憶手段に記憶し、
前記焦点の合う焦点距離において、前記画像に基づいて焦点の合う領域を特定し、
前記焦点の合う領域を示す図形を前記表示手段に表示する指令をし、
前記図形が選択された場合、前記選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める
ことを特徴とする走査電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査電子顕微鏡およびその自動焦点合わせ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査電子顕微鏡における試料の観察には、まず低い倍率で広い視野を観察し、目的の部位を探し、目的部位が視野の中央にくるよう試料を移動させ、倍率を上げて焦点を合わせるという一連の操作を行っている。ここで、焦点合わせとは電子ビームが試料面上でもっとも細くなるようにする操作であり、この操作を自動で行うための様々な種類の自動焦点合わせ手段（以下、オートフォーカスという）が開発されている。
【０００３】
オートフォーカスにおける代表的な方法としては、電子ビームの焦点距離をステップ状に変化させて（図４（ａ）参照）、そのときに得られる像から収束状態を表す評価値を算出して、得られた評価値の比較を行い、評価値が最大となるとき、焦点が合ったものであるとして、その評価値となった焦点距離に再度設定して、焦点の合った像を求める方法がある。つまり、図４（ｂ）に示すピークに相当する焦点距離のときの対物レンズ励磁電流に設定して焦点を合わせる。
【０００４】
このうち、焦点距離の変更量は、フォーカスのズレが認識できない距離の幅に基づいて決められる。このフォーカスのズレが認識できない距離の幅とは、一般には焦点深度と呼ばれ、倍率や焦点距離によって決まる。これについて図３を用いて説明する。横軸を観察倍率、縦軸を焦点深度とすると、観察倍率が高くなるにつれて焦点深度は浅くなり、反対に観察倍率が低いほど焦点深度は深くなる。この関係は焦点距離によっても変化し、焦点距離が短いほど焦点深度は浅くなる。
【０００５】
ところで、試料形状が電子ビームの焦点深度を超えるような凹凸を多く含む場合では焦点の合う位置が複数存在することになる。例えば、試料台には、図５（ｂ）に示すような段差を含んだ形状のものがあるとする。この様なときに、前述の従来のオートフォーカスでは焦点調整範囲の全範囲を探索すると図４（ｃ）に示すようにピークが複数存在する。
【０００６】
特許文献１では観察面内において一箇所以上で焦点合わせを行い、オートフォーカスの安定性を向上させる方法について記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−８５６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記の従来技術では該評価値の１つの条件にあわせる手段のため、オートフォーカスにより得られた焦点距離が、観察したい部位の最適な焦点距離と異なる場合は手動で焦点の補正をしたり、もしくは観察視野に、焦点深度を越えるような凹凸を含む部位が入らないように観察範囲や試料台の移動をさせたり、倍率を上げて観察範囲を狭めたりする必要が生じていた。
【０００９】
また、特許文献１では半導体の設計情報を用いてオートフォーカスを行う場所を指定するものであり、設計情報を持たず、焦点深度を超える凹凸を含む試料における場合についての記載が無い。
【００１０】
本発明は、前記の課題を解決するための発明であって、凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる走査電子顕微鏡およびその自動焦点合わせ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、本発明の走査電子顕微鏡は、焦点の合う位置が複数存在することを示す機能を具備する。例えば、複数の焦点の合う箇所が存在する場合、観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示する。使用者が該枠や印を選択するとその部位について、焦点が合うようにオートフォーカスを行う。
【００１２】
このために、焦点合わせの際に取りうる焦点距離の範囲内で焦点の合う可能性のある評価値のピークが複数存在する場合は、該焦点距離と像を記憶しておく。指標の算出が所定の焦点合わせの範囲について一通り終了した段階でピークとなる焦点距離での像において焦点が合っている箇所を求める。ここでは焦点の合っている箇所ではコントラストが大きく、そうでない箇所は小さいことを利用して、像に対して部分毎のコントラストを数値化してその分布を求める。この後、求めたコントラストの分布と記憶していた像から焦点の合う箇所を特定し、特定した箇所を明示する。これにより使用者は明示された箇所を選択することで選択範囲に対応した、焦点距離の範囲で再度焦点合わせを行うことで、最適な焦点距離に設定することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、凹凸を多く含む試料の観察において所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る制御装置の処理を示すフロー図である。
【図２】本発明に係る走査電子顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
【図３】観察倍率と焦点深度の関係を示す図である。
【図４】対物レンズ励磁を変化させながら最適な焦点距離を求めるための焦点調整方法の一例を示す図である。
【図５】本発明が有効な試料台と試料の一例を示す図である。
【図６】実施形態に係る焦点距離毎の画像を示す図である。
【図７】実施形態に係る画像処理の一例を示す図である。
【図８】実施形態に係る画像の境界を求める画像処理の一例を示す図である。
【図９】実施形態に係る表示画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図２は、本発明に係る走査電子顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。同図に示す、電子銃１から放出された電子ビーム２はコンデンサレンズ３により収束され、対物レンズ５により試料６に焦点を結ぶ。試料６は試料台７により電子ビーム２の方向（上下方向）及びそれに対して直角な方向（水平方向）に移動され得る。制御装置１１（制御手段）よりレンズ駆動回路８を介して偏向コイル４（走査手段）に走査信号が与えられ、これによって試料６は電子ビーム２で二次元走査される。これによって試料６から二次電子が放出され、二次電子検出器９（検出手段）により検出される。試料６を特徴づける検出された情報信号である二次電子信号は、アナログ／ディジタル変換器を含む信号処理回路１０によりディジタル信号に変換され、該ディジタル信号は信号処理回路１０に接続された制御装置１１に入力される。
【００１６】
コンピュータ１２（生成手段）は検出した信号から像を表示する場合や使用者が任意の制御を行うために制御装置１１に接続される。画像メモリ１２ｍ（記憶手段）を有するコンピュータ１２には、表示装置１３（表示手段）が接続され、観察画像や制御内容の表示を行う。画像メモリ１２ｍでは、試料画像を保存し、保存された画像は、画像演算や画像表示に利用される。
【００１７】
図１は、本発明に係る制御装置の処理を示すフロー図である。図２に示す構成における制御装置１１によるオートフォーカス動作を図１に基づいて説明する。まず、制御装置１１は、観察倍率以下の倍率に設定する（ステップＳ１）。このときの倍率は観察試料６が観察視野内で十分に認識できる倍率にする。
【００１８】
次に、制御装置１１は、焦点探索１として焦点深度と同程度の焦点距離に対応した変更量に相当する分だけレンズ駆動回路８から対物レンズ５に対物レンズ励磁電流を流し、これをステップ状に変化させる。その都度、試料６上に照射して得られる２次電子信号の検出と焦点距離の関係の評価を行うための信号処理を行う（ステップＳ２）。
【００１９】
ここでは、収束状態を表す指標として検出信号の微分積算値（以下、微分積算値を評価値と呼ぶ。）を求める場合を想定する。とり得る焦点距離の範囲内における相対的な評価値の大きさが焦点の合い具合を示し、大きいほど電子ビーム２の焦点距離と試料面との距離が小さい（ズレが小さい）ことになる。
【００２０】
なお、微分積算値とは、電子ビームの１ラインスキャン走査時に得られる画像信号のうち、あるタイミングにおける信号とその直前の信号との差分（微分値）を信号処理回路１０にて求め、１ラインスキャンを終えるまで微分値を順次積算した総和を意味する。スキャンを線や点と見なす場合は、前述の１ラインスキャン終了時の微分積算値が当てはまり、面としてとらえる場合には、１ラインスキャン走査毎に積算値を求めておき、求める領域内の複数のラインスキャンから得られた積算値の総和をいう。
【００２１】
図４は、対物レンズ励磁を変化させながら最適な焦点距離を求めるための焦点調整方法の一例を示す図である。図４を参照して焦点距離と評価値の関係を説明する。はじめに図４（ａ）に焦点距離を変化させるために必要な対物レンズの励磁電流の制御波形を示した。これは先に述べたようにステップ状に変化させる。図４（ｂ），（ｃ）が励磁電流（すなわち焦点距離）と評価値の関係である。図４（ｂ）は試料面の凹凸が焦点深度内に収まる場合であり、このときピークは一つしか現れない。図４（ｃ）は焦点深度を超える凹凸がある場合を示し、それぞれのピーク位置に相当する焦点距離にそれぞれの試料面が存在することを意味する。図４（ｃ）となる場合の具体的事例を図５に示す。
【００２２】
図５は、本発明が有効な試料台と試料の一例を示す図である。図５（ｂ）には、段差形状を有する試料台７を示す。図５（ｂ）の例では試料に１つの段差面があることがわかる。他に、複数の焦点距離で焦点が合う部位を有する試料台や試料の場合は、ピークの数は増加する。本実施形態では、試料台７が段差形状であるとした場合を説明するが、試料の形状が焦点の合う範囲を超える凹凸を有している場合に置き換えても同じである。なお、段差形状を有する試料台７は、試料台７を可動する手段を持たない場合で、複数の高さにおける試料の観察時に、段差の高さ毎に試料を設置して観察するときに使われる。図５（ａ）については、後述する。
【００２３】
図１の説明に戻る。制御装置１１は、焦点距離を変えながら取得した評価値のうち、ピークとなる焦点距離を求める（ステップＳ３）。ここでのピーク検出は、図４（ｂ），（ｃ）の結果に対して微分（２階微分）を行った結果を用いる方法が挙げられる。これはピークとなる位置では２階微分後の評価値が零を横切る位置に対応することを利用する。次に、制御装置１１は、ピークの検出数を求め、ピークが複数存在するか否かを判定する（ステップＳ４）。ここで、ピークが１つの場合（ステップＳ４，Ｎｏ）、該ピークに相当する焦点距離として、ピーク位置に相当する励磁条件に設定し（ステップＳ４０）、処理を終える。
【００２４】
複数のピークがある場合（ステップＳ４，Ｙｅｓ）、焦点が合ったと見なせる焦点距離が複数存在することを示すので、各ピークを得た焦点距離とその時の像を記憶する（ステップＳ５）。具体例を、図６を参照して説明する。
【００２５】
図６は、実施形態に係る焦点距離毎の画像を示す図である。図６（ａ）は、図５（ａ）における試料７の段差の下側の焦点距離Ｘ１（６ａ）に対応する像であり、図６（ｂ）は、図５（ａ）における試料７の段差の上側の焦点距離Ｘ２（６ｂ）の像である。
【００２６】
ここで、図１に戻り、ステップＳ５が終了した段階で像を表示装置１３（図２参照）上に表示させておく。このときの電子ビーム２の焦点距離は任意であるが、先にステップＳ５で求めたピーク位置のいずれかの条件が望ましい。
【００２７】
ステップＳ５で得られた複数の像は、それぞれ電子ビーム２の焦点距離の異なる像であるから、各々の焦点が合っている箇所は異なる。そこで各像における焦点の合う箇所を特定するために、制御装置１１は、各像内における単位領域毎の濃淡値を算出し分布を求める（ステップＳ６）。ここで、ＳＥＭ（Scanning Electron Microscope）像では焦点の合っている焦点距離ではコントラスト(濃淡値)が大きく、焦点の合う距離から焦点深度を越えるような範囲ではコントラストは小さいことを利用する。
【００２８】
ステップＳ６では、はじめに該評価値のピークを得た焦点距離における像をある一定の数の画素単位に分割して、分割された単位毎での画像のコントラスト値(濃淡値)を算出し、ステップＳ５で記憶したピークを得る焦点距離における像毎にコントラスト値の分布を求める。図６の像に対してステップＳ６を行った結果の一例を図７に示す。
【００２９】
図７は、実施形態に係る画像処理の一例を示す図である。図７では像を一定の格子状に分割して単位毎に値を求めた結果を示している。像内における各枠内に含まれている数字は単位領域毎のコントラストを数値化したものであり、各像内で最も数値が高い箇所で焦点が合っていると見なせる。図７（ａ）は、図６（ａ）の像に対して処理を行った結果を示し、像の左側でコントラスト値の大きい領域を持つ分布が得られる。同様に、図７（ｂ）は、図６（ｂ）の像に対して処理を行い、像の右側でコントラスト値の大きい領域を持つ分布が得られていることが分かる。
【００３０】
ステップＳ６で、各像内のコントラスト値の分布を求めたものは一定の数の画素単位に分割した結果であり、試料６の形状によっては適切な分割単位にならない場合がある。例えば、図６（ｂ）の丸い試料に対して格子状に分割した単位毎にコントラスト値を求めると、丸い試料の範囲内に十分に含まれている単位領域でのみ適切なコントラスト値を算出することになり、境界部分では適切なコントラスト値の算出ができず、図７（ｂ）の例では長方形として認識されてしまう。そのため、制御装置１１は、次に焦点の合う領域の特定と図示を行う（ステップＳ７）。
【００３１】
ステップＳ７では、はじめにステップＳ５で記憶したピークを得る焦点距離における像に対してエッジ強調処理を行う。処理方法としては像に対してソーベルフィルタや微分フィルタを適用した後、像の画素に対して２値化や一定の閾値に振り分けることで境界を抽出する。次に、先に求めたコントラスト値の分布結果から、それぞれの境界内に含まれるコントラスト値の合計値が像の中で最大となる領域が焦点の合っている領域と見なすことができ、これにより焦点の合う領域と合わない領域の境界が求まる。図６（ｂ）及び図７（ｂ）の結果からステップＳ７を行った結果の例を図８に示す。
【００３２】
図８は、実施形態に係る画像の境界を求める画像処理の一例を示す図である。制御装置１１は、焦点の合う領域の特定後、コンピュータ１２を介して表示装置１３で表示している像の上に重なる形で焦点の合う領域を示す表示を行い、焦点の合う位置が複数存在することを示す。これにはステップＳ６で求めた境界上に破線や鎖線で囲み、四角形等のｎ角形を描写する（ｎは自然数）。他に領域の広さに応じて境界内部の領域にハッチングを施すといったことで、表示領域が明確になるように表示する。
【００３３】
次に走査電子顕微鏡の操作者が、表示装置１３に表示された像と、ステップＳ７により表示された境界や領域を見て、焦点合わせを行う箇所を指定する（ステップＳ８）。
【００３４】
一方、制御装置１１は、指定位置を含む領域に対応する焦点距離が判明した場合はその焦点距離を中心として焦点探索２を行う（ステップＳ９）。このときの焦点探索範囲は、ステップＳ２で求めた焦点の合う焦点距離を中心に、焦点距離範囲を限定して、ステップＳ２と同様の焦点探索を行う。
【００３５】
このときに、複数の該ピークが存在する場合は、ステップＳ２で求めた焦点の合う焦点距離に、最も近い焦点距離に相当する該ピークをとる対物レンズ励磁電流とする。
【００３６】
その後、制御装置１１は、焦点探索２の結果を元に最適な対物レンズ励磁電流に設定することで、所望の箇所で精度よく焦点合わせを行うことができる（ステップＳ１０）。
【００３７】
ステップＳ８〜Ｓ１０の処理における操作上の具体例を図９に示して説明する。
図９は、実施形態に係る表示画面を示す図である。図９（ａ）は、表示装置１３上に表示されたＳＥＭ像観察画面１４を示し、この中にある内枠が観察視野１６を示す。走査電子顕微鏡の操作者は、カーソル１５を移動させて画面上の一部位を選択することができる。図９では観察対象として図５（ｂ）に示すような試料台７に異なる形状の試料６ａ及び６ｂが固定された状態で上側面に対して電子ビーム２を照射した場合を想定する。
【００３８】
図９（ａ）は、図１におけるステップＳ７の動作が終了した段階を示しており、観察視野１６に観察対象は表示されているが焦点の合っていない状態を細線で示している。このとき、ステップＳ７により求めた焦点の合う領域を囲むような線をＳＥＭ像の上に重なる形で表示する。ここでは太破線及び、太２点鎖線が該当する。
【００３９】
次に、操作者は、焦点を合わせたい領域をステップＳ７の動作により表示された枠や印、または枠の内側に含まれる領域をカーソル１５で選択する。図９（ｂ）は、図９（ａ）において太破線で示された領域を選択され、観察対象のうち試料６ａが固定されている部位に焦点が合うように調整された結果を、図９（ｃ）は、太２点鎖線で示された領域が選択され焦点の調整が行われた結果を示す。
【００４０】
以上まとめると、本実施形態の走査電子顕微鏡は、試料上で電子ビームを走査する走査手段（例えば、偏向コイル４）と、該走査によって発生する信号を検出する検出手段（例えば、２次電子検出器９）と、該検出した検出信号に基づいて試料の像を生成する生成手段（例えば、コンピュータ１２）と、生成した画像を記憶する記憶手段（例えば、画像メモリ１２ｍ）と、電子ビームの走査と焦点距離を制御する制御手段（例えば、制御装置１１）と、画像を表示する表示手段（例えば、表示装置１３）とを備えている。
【００４１】
制御手段は、電子ビームの焦点距離が異なる条件毎に検出信号から電子ビームの収束状態を求める第１のステップ（例えば、図１のステップＳ１，Ｓ２）と、焦点距離毎の該収束状態をもとに焦点の合う焦点距離と該焦点の合う焦点距離である位置が存在する数を特定し、該特定された焦点の合う焦点距離における画像を記憶手段に記憶する第２のステップ（例えば、図１のステップＳ３〜Ｓ５）と、焦点の合う焦点距離において、画像に基づいて焦点の合う領域を特定する第３のステップ（例えば、ステップＳ６，Ｓ７）と、焦点の合う領域を示す図形を表示手段に表示する指令をする第４のステップ（例えば、ステップＳ７における図示）とを含んで実行する。
【００４２】
制御手段は、図形が選択された場合、選択された図形の領域における焦点の合う焦点距離を求める第５のステップ（例えば、ステップＳ８，Ｓ９）)を実行する。
【００４３】
本実施形態は、焦点を合わせる場所を抽出し表示する手段を具備していることに特徴がある。ディジタル・カメラの顔認識などのように、特徴の有無に関係なく、観察視野内で焦点の合う場所が複数存在することを示すことにより、使用者が観察したい部位を選択するだけで選択した箇所での焦点合わせを行うことができるため、走査電子顕微鏡の操作性が向上することができる。
【００４４】
また、一度低倍率で取得した画像を見ながら、再度焦点を合わせる箇所を指定することもできるため、従来の試料位置の移動、倍率の変更、焦点合わせの一連の動作を自動化でき、試料への不必要な電子ビームの照射を抑えることができる。
【００４５】
本実施形態の走査電子顕微鏡は、観察倍率以下の倍率で焦点合わせを行い、視野範囲の中で部分的に焦点の合う焦点距離を求め、その前後の焦点距離における像を記憶する。これをとり得る全ての焦点距離に対して行った後で、記憶した画像をもとに、観察範囲の中で焦点距離ごとに焦点の合う領域を求める。この後、焦点の合う位置が複数存在することを表示装置上に観察視野内に焦点の合う候補を囲むような枠や、印を表示させることで示す。使用者が該枠や印を選択するようにすることで、その部位における焦点の合う焦点距離を中心にして再度、焦点合わせを行い、最適な焦点距離を与えるレンズの励磁条件を求め、設定することができる。
【００４６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、前上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図１に示した動作のうち、ステップＳ６，Ｓ７の動作については全てのピークに対して動作を終えてから次ステップに移る必要は必ずしもないため、該ピークが検出される毎にステップＳ６，Ｓ７の動作を行うように動作の並列化を図ることができ、処理に要する時間を短縮することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１    電子銃
２    電子ビーム
３    コンデンサレンズ
４    偏向コイル（走査手段）
５    対物レンズ
６    試料
７    試料台
８    レンズ駆動回路
９    ２次電子検出器（検出手段）
１０    信号処理回路
１１    制御装置（制御手段）
１２    コンピュータ（生成手段）
１２ｍ    画像メモリ（記憶手段）
１３    表示装置（表示手段）
１４    ＳＥＭ像観察画面
１５    カーソル
１６    観察視野
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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