【手続補正書】
【提出日】平成28年7月7日(2016.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個以上の加工材を保持するシステムであって、
該システムがキャリアを備え、該キャリアが、
・格子状に並べられた複数の壁であって、それらのうち４個の壁がセルの外周を定め、該セルが加工材を保持するように構成された、該複数の壁と、
・前記外周の第１の側面に沿って設置された１個の位置合わせピンと、
・前記外周において前記第１の側面に隣接しかつ垂直な位置にある第２の側面に沿って設置された１個の位置合わせピンと、
・前記外周において前記第１の側面及び前記第２の側面とそれぞれ対向する第３の側面及び第４の側面に沿って位置付けされた可動突起であって、各々が開口を有する、該可動突起と、
・前記可動突起が自然の状態で前記外周内に付勢されるよう、各々の前記可動突起と連携する付勢部材と、
を備え、
前記システムがアクチュエータをさらに備え、
該アクチュエータが、各々の前記可動突起の前記開口に入り込むよう構成され、かつ、前記可動突起を前記外周から離して保持位置に動かすシステム。
【請求項２】
請求項１のシステムであって、
前記第１の側面及び前記第２の側面に沿って位置付けされた追加の複数の可動突起をさらに備え、前記追加の複数の可動突起が自然の状態で前記外周から離れる方向に付勢されるよう、各々が追加の付勢部材と連携するシステム。
【請求項３】
請求項２のシステムであって、
前記追加の可動突起は各アクチュエータがそれぞれ入り込む開口を有し、該アクチュエータはそれぞれ前記追加の可動突起の一つを前記外周に向かって前記追加の可動突起の保持位置に動かすシステム。
【請求項４】
請求項２のシステムであって、
前記第１の側面に隣接する第２のセルをさらに備え、前記第１の側面に沿った前記追加の可動突起は前記隣接する第２のセルで前記第３の側面に沿った前記可動突起として機能するシステム。
【請求項５】
請求項１のシステムであって、
前記セルの底部に設置されたプラテンをさらに備え、前記プラテンは、前記加工材を前記セルから取外すためリフトピンが伸長される開口を少なくとも１個以上の備えたシステム。
【請求項６】
請求項１のシステムであって、
器具を備え、該器具が、
・前記キャリアが配置される上段プレートと、
・第１のリニアアクチュエータと連携し、その場所から上向きに伸長する前記アクチュエータを備えた可動なアクチュエータプレートと、
・第２のリニアアクチュエータと連携し、前記キャリアから前記加工材を持ち上げるためにその場所から伸長するリフトピンを備えた可動なリフトプレートと、を備えるシステム。
【請求項７】
請求項６のシステムであって、
前記アクチュエータの第１のグループは第１の高さを有し、
前記アクチュエータの第２のグループは前記第１の高さより低い第２の高さであって、
前記アクチュエータの前記第１のグループの一つは前記第４の側面の前記可動突起の前記開口に位置合わせされ、
前記アクチュエータの前記第２のグループの一つは前記第３の側面の前記可動突起の前記開口に位置合わせされ、
前記可動アクチュエータプレートが前記キャリアから離れるとき、前記第４の側面の前記可動突起が前記アクチュエータの前記第１のグループから係脱された状態になる前に、前記第３の側面の前記可動突起が前記アクチュエータの前記第２のグループから係脱された状態になるようにした、システム。
【請求項８】
少なくとも１個以上の加工材を保持するキャリアであって、
格子状に並べられた複数の壁であって、それらのうち４個の壁がセルの外周を定め、該セルが加工材を保持するように構成された、該複数の壁と、
前記外周の第１の側面に沿って設置された１個の位置合わせピンと、
前記外周において前記第１の側面に隣接しかつ垂直な位置にある第２の側面に沿って設置された１個の位置合わせピンと、
前記外周において前記第１の側面及び前記第２の側面とそれぞれ対向する第３の側面及び第４の側面に沿って位置付けされた可動突起であって、保持位置と自然の状態で付勢される位置とを有する、該可動突起と、
前記自然の状態で付勢される位置にあるとき、前記可動突起が自然の状態で前記外周内に付勢されるよう、各々の前記可動突起と連携する付勢部材と、
を備えたキャリア。
【請求項９】
請求項８のキャリアであって、
前記第１の側面及び第２の側面に沿って位置付けされた追加の可動突起をさらに備え、前記追加の可動突起が、前記自然の状態で付勢される位置で、自然の状態で前記外周から離れる方向に付勢されるよう、追加の付勢部材とそれぞれ連携するキャリア。
【請求項１０】
請求項９のキャリアであって、
前記追加の可動突起は各アクチュエータが入り込む開口を有し、該アクチュエータは前記追加の可動突起を前記外周に向かって前記追加の可動突起に対する保持位置に動かすキャリア。
【請求項１１】
請求項９のキャリアであって、
前記第１の側面に隣接する第２のセルをさらに備え、前記第１の側面に沿った前記追加の可動突起は前記隣接する第２のセルで前記第３の側面に沿った前記可動突起として機能するキャリア。
【請求項１２】
キャリア内で加工材の位置合わせをする方法であって、
前記キャリアは、すくなくとも１個のセルを備え、
前記セルは、第１の側面に設置された第１の位置合わせピンと、前記第１の側面に隣接しかつ垂直な位置にある第２の側面に設置された第２の位置合わせピンと、を備え、
前記方法は、
前記第１の側面と対向する第３の側面に設置された第１の可動突起及び前記第２の側面と対向する第４の側面に設置された第２の可動突起について、各々を前記セルの外周の外側の保持位置で保持する工程と、
前記セルに加工材を下降する下降工程と、
前記保持位置から前記第１の可動突起を開放する第１可動突起解放工程であって、前記第１の可動突起を前記セルの前記外周内の自然の状態で付勢される位置に動かすことができ、それにより前記加工材を前記第１の位置合わせピンに向かって動かすようにした、該第１可動突起解放工程と、
前記保持位置から前記第２の可動突起を開放する第２可動突起解放工程であって、前記第２の可動突起を前記セルの前記外周内の自然の状態で付勢される位置に動かすことができ、それにより前記加工材を前記第２の位置合わせピンに向かって動かすようにした、該第２可動突起解放工程と、
を有する方法。
【請求項１３】
請求項１２の方法であって、
前記第１及び第２の可動突起はそれぞれアクチュエータが入り込む開口を有し、
該アクチュエータは前記第１及び第２の可動突起を前記外周から離れる方向に前記保持位置に動かし、
前記方法は、プレートを動かす工程をさらに有し、
該プレートは、
前記キャリアから離れる方向に伸長する前記複数のアクチュエータを備え、該アクチュエータはそれぞれ前記開口の一つに位置合わせされ、前記アクチュエータの一つが前記開口にある間、前記第１及び第２の可動突起が前記保持位置に保たれ、前記アクチュエータが前記開口から離れたとき、前記第１及び第２の可動突起が前記外周内の自然の状態で付勢される位置に動くようにした方法。
【請求項１４】
請求項１３の方法であって、
前記複数のアクチュエータは第１の高さを有するアクチュエータの第１のグループと、前記第１の高さより小さい第２の高さを有するアクチュエータの第２のグループと、を備え、
前記第１のグループの一つは前記第２の可動突起の前記開口に位置合わせされ、
前記第２のグループの一つは前記第１の可動突起の前記開口に位置合わせされ、
前記プレートが前記キャリアから離れる時、前記第２の可動突起が前記自然の状態で付勢される位置に動く前に、前記第１の可動突起が前記自然の状態で付勢される位置に動くようにした、方法。
【請求項１５】
請求項１２の方法であって、
前記下降工程は、
前記加工材を１個以上のリフトピンに載せる工程と、
前記キャリアから離れる方向にその位置から伸長するリフトピンを有する、前記キャリアの下に配置されたプレートを移動し、前記加工材が前記セル内に下降するようにした、移動工程と、
を有する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】加工材を保持するためのシステムおよびキャリア並びにキャリアを用いて加工材を位置合わせする方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、米国政府の支援により、エネルギー省との契約番号ＤＥ−ＥＥ０００４７３７に基づいてなされたものである。米国政府はこの発明に一定の権利を有している。本発明は、加工材の２次元位置合わせに関し、特に、少なくとも１つの加工材を保持する技術に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
図２は、図１に示すマスク１３０の拡大図である。マスク１３０は、肩部１４０ａ〜ｅを有し、肩部は外壁１２０ｃ及び１２０ｄ並びに内壁１２５の上に静止している（図１参照。）いくつかの実施形態では、マスク１３０は、頑丈な黒鉛の機械加工の構成要素である。肩部１４０ａ、１４０ｄ及び１４０ｅのいくつかに、マスク位置決め手段１４５が設置されている。これらのマスク位置決め手段１４５は炭化ケイ素から構成されてもよく、マスク１３０の肩部１４０ａ、１４０ｄ及び１４０ｅに形成された対応する孔に押し込まれている形態でもよい。熱が上昇する環境であっても、確実に各々のマスク１３０を正確にかつ反復して各々のセルに位置合わせするため、これらのマスク位置決め手段１４５は、マスターモジュールのレイアウトデータに基づいて加工される。

【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
可動突起１９０はピボット軸１９２の周りを旋回できる。突起１９０の他端は、付勢部材１９３に取り付けられる。付勢部材１９３により可動突起１９０がピボット軸１９２の周りを回転する。付勢部材１９３は、不規則な形をした加工材１０をキャリアで使用できるよう、弾性バネ機構であってもよい。また、それにより、加工中の熱成長による膨張ができる。なぜなら、加工材１０に与えられるエネルギー、例えばイオン注入中のようなエネルギー、が著しく、加工材１０の一部を異なる比率で成長させるためである。また、付勢部材１９３は各々の可動突起１９０に独立し、各々を独立して使用することができる。これにより、各々の加工材１０のエッジにかかるヘルツ応力が低減する。アクチュエータ２２１は、押し上げと押し下げを行い、可動突起１９０をピボット軸１９２の周りに旋回させる機械部品である。そして、付勢部材１９３は反作用機構として機能し、アクチュエータ２２１が開口１９４から引っ込められたあと、可動突起１９０が自然の状態で付勢される位置に戻ることができる。付勢部材１９３を抑えるのに役立つバネ停止機構を付勢部材１９３の背面に設置してもよい。いくつかの実施形態では、付勢部材１９３は、可動突起１９０を引く方向に動かす。第１の位置で、可動突起１９０、及び特に車輪１９１は、セル１１０内に伸長する。第２の位置で、車輪１９１はセル１１０から引っ込められる。可動突起１９０に開口１９４が形成されている。この開口１９４は可動突起１９０の下の開口部に位置合わせされており、それを通してアクチュエータが伸長する。アクチュエータが開口１９４に伸長すると、可動突起１９０が動き、自然の状態で付勢される位置と異なる保持位置で保持される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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