【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年8月9日(2016.8.9)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
断熱材料から成り、加熱要素を周囲空気から断熱するように構成される断熱層と、
前記断熱層内に設けられ、該断熱層の長さに沿って貫通している１つ以上のチャネルと、
前記１つ以上のチャネルに結合され、入口を備えるプレナムと、
前記１つ以上のチャネルに結合され、該１つ以上のチャネルの流動コンダクタンスを調節可能に変化させるように構成されるプレートまたはリングと、
を備える断熱部。
【請求項２】
前記１つ以上のチャネルは、前記断熱層の長さに沿って直線状であるかまたは湾曲している、請求項１に記載の断熱部。
【請求項３】
前記プレートまたはリングに結合され、該プレートまたはリングを前記断熱層に固定結合するように構成される固定アセンブリをさらに備える、請求項１または２に記載の断熱部。
【請求項４】
前記プレートまたはリングに結合され、前記１つ以上のチャネルの流動コンダクタンスを自動的に調節するように構成される制御装置アセンブリをさらに備える、請求項１から３までのいずれか１項に記載の断熱部。
【請求項５】
前記プレナムの入口に結合された送風機アセンブリをさらに備える、請求項１から４までのいずれか１項に記載の断熱部。
【請求項６】
前記１つ以上のチャネルは、前記断熱層内に挿入されたチューブによって形成される、請求項１から５までのいずれか１項に記載の断熱部。
【請求項７】
ヒータと、
断熱材料から成り、前記ヒータを周囲空気から断熱するように構成される断熱層と、
前記断熱層内に配置され、該断熱層の長さに沿って貫通している１つ以上のチャネルと、
前記１つ以上のチャネルに結合され、入口を備えるプレナムと、
前記１つ以上のチャネルに結合され、該１つ以上のチャネルの流動コンダクタンスを調節可能に変化させるように構成されるプレートまたはリングと、
を備えるシステム。
【請求項８】
石英管であって、前記ヒータが前記石英管の外側に配置される石英管をさらに備える、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記プレートまたはリングに結合され、該プレートまたはリングを前記断熱層に固定結合するように構成される固定アセンブリをさらに備える、請求項７または８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記プレートまたはリングに結合され、前記１つ以上のチャネルの前記流動コンダクタンスを自動的に調節するように構成される制御装置アセンブリをさらに備える、請求項７から９までのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１１】
前記プレナムの前記入口に結合された送風機アセンブリをさらに備える、請求項７から１０までのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１２】
チャンバを制御可能に加熱する方法であって、
前記チャンバを加熱するためにヒータを作動させ、
少なくとも、前記ヒータが作動される時間の一部の間、断熱層内の１つ以上のチャネルを介して流体を流すことを含み、
前記断熱層は、前記チャンバ内の熱が逃げるのを防ぐために前記ヒータを覆っており、
前記流体フローは、前記１つ以上のチャネルの出口開口部を変化させることによって調節される、チャンバを制御可能に加熱する方法。
【請求項１３】
前記流体は、ガスまたは液体を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記流体フローは手動で調節される、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記流体フローは、制御装置によって自動的に調節される、請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記流体フローが前記１つ以上のチャネルに入る前、または前記１つ以上のチャネルから出た後に、熱交換器を介して前記流体を流すことをさらに含む、請求項１２から１５までのいずれか１項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００３】
発明の概要
いくつかの実施形態において、本発明は、ヒータアセンブリと、冷却能力を高めることができる、該ヒータアセンブリを用いた炉とを開示している。該冷却能力を高めるという特徴は、該炉内の均一な温度プロファイルへの影響を伴わずにおよび最小限にして、該ヒータアセンブリの冷却速度の改善を可能にすることができる。該冷却能力を高めるという特徴は、該ヒータアセンブリの断熱層内に埋め込まれた、または、該断熱層の外面と、該ヒータアセンブリの保護シェルとの間に、１つ以上のチャネルを含むことができる。該冷却能力の向上は、ガスフローまたは液体フロー等の流体フローを含むことができる。例えば、該チャネルの入口または出口開口部を変化させる、流動コンダクタンスの調節機能を加えることができる。該チャネルを通る流量を制御するために、ポンプ、ブロワーまたはファンを含めることができる。また、該流体フローを自動的に調節するために、制御装置も含めることができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
図６Ｃにおいて、円柱形状ヒータアセンブリ６１５は、ねじれたチャネル６４５が、ヒータアセンブリ６３５の該断熱層内に延びている状態の水平構造として配置することができる。いくつかの実施形態において、該チャネルは、垂直方向を含むことができ、例えば、該チャネルの水平方向部分を最小限にして、該チャネル内での流体フローの起り得る自然対流フローを支援している。図６Ｄにおいては、該チャネルの別の構造が図示されており、この場合、チャネル６４７および６４８は、入ってきて出て行く流体のための開口部を両端部に備えた状態で、該断熱層に沿って垂直方向に延在することが可能である。チャネル６４７および６４８を接続する構造、１つの入口を底部に備え、および１つの出口を上部に備えた円形チャネルを形成している構造等のその他の構造も用いることができる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
チャネル制限器を、該チャネルの伝導性を制御するのに用いることができる。例えば、該ヒータを通るエアフローの量を制御するために、上部リングを含めることができる。該リングは、手動で、または、システム制御装置によって制御されるアクチュエータの作動により空気圧で調節することができる。該チャネルが完全に遮断されると、空気は停滞し、断熱部として作用し、該ヒータがエネルギを節約することを可能にする。例えば、温度上昇中、または、プロセスステップ中、例えば、温度を一定に保つ間は、エアフローのない状態を利用することができ、例えば、該チャネル制限器が遮断され、または、該強制フローが停止される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
図１１Ａ〜図１１Ｂは、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリの斜視図および断面図を示す。ヒータアセンブリ１１００は、保護カバーとして機能する外側シェル１１５５を含むことができる。ヒータアセンブリ１１００は、多数のチャネル１１４０に配分されるように、プレナム入口接続部１１５２を含むことができ、流体フロー、例えば、エアフローをプレナム１１５０に供給することができる。ヒータアセンブリ１１００は、加熱要素１１９０に電力を供給できる電気接点リード１１７０を含むことができる。チャネル１１４０は、断熱層１１３０の強化冷却に用いることができる。上部リング１１６０は、該チャネルの開口部１１６５を制御して、該断熱層を通過するフローを有効に調節するのに用いることができる。該上部リングの動きを固定して、該開口部のサイズを一定にするために、固定機構１１６３を用いることができる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
図１２Ｂは、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリの底部の断面図である。該ヒータアセンブリは、断熱層１２３０によって断熱されている加熱要素１２９０を含むことができる。該ヒータアセンブリは、多数のチャネル１２４０に配分されるように、プレナム入口接続部１２５２を含むことができ、流体フロー、例えば、エアフローをプレナム１２５０に供給することができる。チャネル１２４０は、断熱層１２３０の冷却能力の向上のために用いることができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
図１３Ａ、図１３Ｂは、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリのチャネルにエアフローを誘導するためのプレナムを示す。図１３Ａは、ヒータ断熱層１３３０に組み込まれたチャネルにエアフローを誘導するための、該ヒータアセンブリの底部にあるプレナム１３５０を示すヒータアセンブリの切欠き斜視図を示す。図１３Ｂは、プレナム１３５０の斜視図を示し、該プレナムは、流体フローを断熱層を貫通してまたは該断熱層の全域にわたって誘導するための１つのプレナム入口１３５２および多数の出口１３５７を含むことができる。いくつかの実施形態において、出口１３５７は、該プレナムの長さに沿って、例えば、該プレナムが円形状を有する場合はその周囲に沿って一様に分布させることができる。いくつかの実施形態において、出口１３５７は、均一なフローを該チャネルに供給するように構成することができる。例えば、出口１３５７の直径は、プレナム１３５０に沿って徐々に大きくすることができ、例えば、該出口がプレナム入口１３５２から離れるにつれて、出口１３５７の直径は大きくなる。該出口のサイズは、該出口を通るフローに基づいて決めることができる。その他の構造も用いることができ、例えば、アウトレット１３５７の直径は、プレナム１３５０に沿って同じかまたは同様にすることができ、または、出口１３５７間の距離は、プレナム入口１３５２に近づくにつれてより長くすることができる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４８】
図１４は、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリの上方部の断面図を示す。断熱層１４３０は、該加熱要素からの熱損失を防ぐように、加熱要素１４９０を包囲している。チャネル１４４０は、該ヒータアセンブリの冷却速度を向上させるために、例えば、断熱層１４３０内に配置することができる。例えば、該チャネルの流動コンダクタンスを変化させることによって、チャネル１４４０を調節するために、上部プレート１４６０を配置することができる。上部プレート１４６０は、該チャネルの出口開口部１４４５を変化させるために、例えば、スロット１４７２に沿って回転させることができる。ねじ１４７２等のファスナーは、ユーザが、そのホールサイズを制御して、所望のホールサイズを所定位置に固定することを可能にする。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
図１５Ａ、図１５Ｂは、本発明のいくつかの実施形態による、外側チャネルを有するヒータアセンブリを示す。該ヒータアセンブリは、低温度用途、例えば、５００℃未満の作動温度を有する炉に用いることができる。図１５Ａは、斜視図を示し、および図１５Ｂは、ステンレス鋼またはアルミニウムとすることができる外側シェル１５５５を有するヒータアセンブリ１５００の断面図を示す。外側シェル１５５５上の多数の底部開口部１５５７は、例えば、断熱層１５３０を冷却するのを支援するために、自然対流フローをチャネル１５４０に供給することができる。プレナム入口１５５２を有する底部プレナム１５５０は、多数の底部開口部１５５１を介して、強制フローをチャネル１５４０に供給することができる。多数の上部開口部１５４５は、チャネル１５４０からの出口フローを制限または調節するのに用いることができる。例えば、上部プレート１５６０は、中心軸周りに回転して、開口部１５４５を拡大し、または小さくすることができる。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
図１６は、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリの分解立体図である。該ヒータアセンブリの斜視図は、その外側シェルが取り外されて、断熱層１６３０を示す状態で図示されている。プレナム入口１６５２を有する底部プレナム１６５０は、多数の底部開口部１６５１にフローを供給することができる。多数の開口部１６４５は、例えば、該ヒータアセンブリの冷却速度を制御するために、断熱層１６３０に沿って、そのフローを制限するのに用いることができる。多数の開口部１６４４を有する上部リング１６６０は、多数の開口部１６４５からの出口フローを調節するのに用いることができる。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
いくつかの実施形態において、開口部１６４４は、該上部リングが円形状を有する場合、該上部リングの長さ、例えば、周囲に沿って一様に分布させることができる。いくつかの実施形態において、開口部１６４４は、均一なフローを該チャネルに供給するように構成することができる。例えば、開口部１６４４の距離は、上部リング１６６０に沿って徐々に大きくすることができ、例えば、プレナム入口１３５２に最も近い該チャネルから該開口部が遠ざかるにつれて、開口部１６４４の直径は大きくなる。その他の構造も用いることができ、例えば、開口部１６４４の直径は、上部リング１６６０に沿って同じかまたは同様にすることができ、または、開口部１６４４間の距離は、プレナム入口１３５２に最も近い該チャネルに近づくにつれてより長くすることができる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
図１７Ａ、図１７Ｂは、本発明のいくつかの実施形態によるヒータアセンブリの底部断面を示す。該ヒータアセンブリは、低温度用途、例えば、５００℃未満の作動温度を有する炉に用いることができる。図１７Ａは、拡大図を示し、図１７Ｂは、チャネル１７４０を通る自然対流冷却のための流体入口として機能する外側シェル１７５５に切欠き部１７５７を有するヒータアセンブリの底部の断面図を示す。プレナム入口１７５２とプレナム１７５０は、より高いクールダウンレートが所望される場合に、例えば、開口部１７５１を介してエアフローを供給して、強制対流冷却をもたらすことができる。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５７】
図２０Ａ、図２０Ｂは、本発明のいくつかの実施形態による水平構造におけるヒータアセンブリの斜視図を示す。例えば、立ち上る熱の方向に、または、上昇する熱とは反対方向に流体フローを構成するために、多数のフランジまたはプレナム２０５０および２０５６を含めることができる。第１のフランジまたはプレナム２０５６は、該ヒータアセンブリの一方の側で用いることができ、また、第２のフランジまたはプレナム２０５０は、立ち上る熱の方向２０８０に、例えば、上方でチャネル２０４０内にフローを生成するために、該ヒータアセンブリの別の側で用いることができる。その他の構造、例えば、強制流体フローのための、底部両側の追加的なプレナム入口、チャネル１０４０に沿った追加的なプレナム出口、および断熱層２０３０内に埋め込まれた追加的なチャネルも用いることができる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５８】
いくつかの実施形態において、本発明は、ヒータアセンブリおよびヒータアセンブリを利用する炉を作動させるための方法を開示し、この場合、該ヒータアセンブリは、その加熱および／または冷却速度の制御を改善するための１つ以上のチャネルを含むことができる。例えば、自然対流は、該ヒータアセンブリの断熱層の境界条件を制御することができ、それによって、該ヒータアセンブリおよび該ヒータアセンブリを利用する炉の冷却速度を増加させることができる。いくつかの実施形態において、自然対流フローは、例えば、所望の冷却速度を実現するために、該流体フローの流動コンダクタンスを変化させることによって、制御または調節することができる。また、該流体フローは、該冷却速度を最適化するための該ヒータの温度に、例えば、より低い温度の場合の大流量、およびより高い温度の場合のより少ない流量に依存して制御することができる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５９】
いくつかの実施形態において、強制的な流体フローは、該ヒータアセンブリ（または、該ヒータアセンブリを用いる炉）の冷却速度を増加させるのに用いることができる。該冷却速度は、該流動コンダクタンスを変化させることにより、または、フロー圧力の変化を変えることにより、該流体フローを変化させることによって制御することができる。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、例えば、所望の冷却速度を実現するように、または、該加熱チャンバ内での実質的に均一な温度プロファイルを実現するように制御または調節することができる。例えば、一般的に、高流体フローは、冷却速度を増加させることができ、そのことは、流動コンダクタンスを変化させることによって、流量を変化させることによって、または、該チャネルの入口と出口の間の圧力差を変化させることによって制御または調節することができる。該流体フローは、例えば、該冷却速度を最適化するための、該加熱チャンバ内の温度の関数として制御または調節することができる。例えば、より低いチャンバ温度は、より高いチャンバ温度と比較して、同様の冷却速度を実現するためには、より高流体フローを必要とする可能性がある。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、例えば、該多数のチャネルの流動コンダクタンスを調節することによって、手動で調節することができる。該流動コンダクタンスは、出口のサイズを変えることにより、例えば、該流体フローが該チャネルに入ることができるか、または、該チャネルから出ることができる該入口または出口を変化させるためのリングを回転させることによって調節することができる。該流体フローを調節して、所望の効果、例えば、所望の冷却速度を達成した後、該流体フローは、さらなる変化またはさらなる変動に対して調整することができる。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６６】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、例えば、制御装置を介して自動的に調節することができる。例えば、該冷却速度をモニタすることができ、そして、該流動コンダクタンスを調節、例えば、所望の冷却速度を実現するために、増加または減少させることができる。さらに、他の条件、例えば、流速、または、該チャネルの入口と出口の間の圧力差を調節することもできる。例えば、送風機速度は、該チャネルへのガスフローを変化させるように調節することができる。ポンプ速度は、該チャネルへの液体フローを変化させるように調節することができる。冷却ユニットまたは熱交換器は、該チャネル内の該流体の温度を変えるように調節することができる。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６７】
いくつかの実施形態において、本発明は、チャンバを急速に冷却する方法を開示し、該方法は、加熱されたチャンバを準備することであって、該加熱チャンバの少なくとも一部が、該チャンバを断熱するための断熱層で覆われていることと、該断熱層内の１つ以上のチャネルを介して流体フローを流すこととを備えている。該方法は、該流体フローを流す前に、ヒータの作動を停止することであって、該ヒータが該加熱チャンバに熱を供給することをさらに備えることができ、および該流体フローが、該複数のチャネルに入る前か、または、該複数のチャネルから出た後に、熱交換器に該流体フローを流すことをさらに備えることができる。いくつかの実施形態において、該流体フローは、ガスフローを含むことができる。該流体フローは、液体フローを含むことができる。該加熱チャンバの温度は、２０００℃未満とすることができ、または、１３００℃未満とすることができる。該流体フローは、該加熱チャンバ内で実質的に均一な温度を実現するように調節することができる。該流体フローは、手動で調節することができる。該流体フローは、制御装置を介して自動的に調節することができる。該流体フローは、該複数のチャネルの出口開口部を変化させることによって調節することができる。該流体フローは、該複数のチャネルにガスフローを供給する送風機を変化させることによって調節することができる。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７１】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、エアフロー等のガスフローを含むことができる。該流体フローは、液体フロー、例えば、重力下で流れる水流とすることができる。その調節は、該流動コンダクタンスの制御、例えば、該チャネルの出口開口部のサイズを変化させることを含むことができる。例えば、該チャネルの出口を調節するのに、リングを用いることができ、この場合、該リングの回転が、多数の出口開口部を同時に拡大または縮小することができる。該フロー調節は、該チャネルの入口開口部のサイズの変更を含むことができる。例えば、該チャネルの基部に、多数の切欠き部を配置して制御することができ、それによって、該チャネルに流入する空気の流量に影響を与えることができる。所望の効果、例えば、所望の冷却速度を実現するように該流体フローを調節した後、該流体フローは、さらなる変化またはさらなる変動に対して調節することができる。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
いくつかの実施形態において、本発明は、チャンバを急速に冷却するための方法を開示し、該方法は、加熱されたチャンバを準備することであって、該加熱チャンバの少なくとも一部が、該チャンバを断熱するための断熱層で覆われていることと、該断熱層内の１つ以上のチャネルを流れる流体フローを調節することとを備えている。該方法は、該流体フローを調節する前に、ヒータの作動を停止することをさらに備え、この場合、該ヒータは、該加熱チャンバに熱を与える。いくつかの実施形態において、該加熱チャンバの温度は、６００℃未満とすることができる。該流体フローは、該加熱チャンバ内で実質的に均一な温度を実現するように調節することができる。該流体フローは、手動で調節することができる。該流体フローは、制御装置によって自動的に調節することができる。該流体フローは、該複数のチャネルの出口開口部を変化させることによって調節することができる。該流体フローは、該複数のチャネルの入口開口部を変化させることによって調節することができる。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８５】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、例えば、該多数のチャネルの流動コンダクタンスを調節することによって、手動で調節することができる。該流動コンダクタンスは、出口のサイズを変えることにより、例えば、該流体フローが該チャネルに入ることができるか、または、該チャネルから出ることができる該入口または出口を変化させるためのリングを回転させることによって調節することができる。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８６】
いくつかの実施形態において、該流体フローは、例えば、制御装置によって自動的に調節することができる。例えば、その温度および冷却速度をモニタすることができ、そして、所望の加熱速度または温度精度を実現するために、該加熱要素および該流動コンダクタンスを調節、例えば、増加または減少させることができる。さらに、他の条件、例えば、流速、または、該チャネルの入口と出口との間の圧力差を調節することができる。例えば、送風機速度を、該チャネルへのガスフローを変化させるために調節することができる。ポンプ速度は、該チャネルへの液体フローを変化させるために調節することができる。冷却ユニットまたは熱交換器は、該チャネル内の流体の温度を変化させるために調節することができる。