(57)【要約】【課題】第１載置具から第２載置具へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できるウエハ搬送装置を提供すること【解決手段】  互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置する第１載置具１１１ａと、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向視において、第１載置位置よりも方向Ｘ１側に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する第１移動規制具１１１ｂと、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置する第２載置具１１２ａと、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し方向Ｘ１に向かう力を与える第１液体噴出機構１３１と、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を一括して、第１載置具１１１ａから持ち上げ、第２載置具１１２ａへと移動させる第１ウエハ持ち上げ機構１２１と、を備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する第１載置具と、
前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの積層方向視において、第１載置位置よりも前記積層方向に直交する第１方向側に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する第１移動規制具と、
互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する第２載置具と、
前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第１方向に向かう力を与える第１液体噴出機構と、
前記第１載置具に載置された複数枚のウエハを一括して、前記第１載置具から持ち上げ、前記第２載置具へと移動させる第１ウエハ持ち上げ機構と、を備える、ウエハ搬送装置。
【請求項２】
前記第１ウエハ持ち上げ機構は、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる第１アームを含み、
前記第１アームは、前記第１ウエハ持ち上げ機構が前記第１載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第１方向側もしくは前記第１方向とは反対方向側に位置する部位を有する、請求項１に記載のウエハ搬送装置。
【請求項３】
前記第１ウエハ持ち上げ機構は、ウエハ積み替え作業開始信号が生成されると、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの持ち上げを開始する第１持ち上げ開始位置にまで移動し、
前記第１液体噴出機構は、前記第１ウエハ持ち上げ機構が移動を開始してから前記第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出する、請求項２に記載のウエハ搬送装置。
【請求項４】
前記第１液体噴出機構には、一方向に沿って延びる第１スリットノズルが形成されている、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
【請求項５】
前記積層方向視において、前記第１載置位置よりも、前記積層方向に直交し且つ前記第１方向に交差する第１交差方向側に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する追加の第１移動規制具と、
前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第１交差方向に向かう力を与える追加の第１液体噴出機構と、を更に備える、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
【請求項６】
前記第１ウエハ持ち上げ機構は、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる追加の第１アームを含み、
前記追加の第１アームは、前記第１ウエハ持ち上げ機構が前記第１載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第１交差方向側もしくは前記第１交差方向とは反対方向側に位置する部位を有する、請求項５に記載のウエハ搬送装置。
【請求項７】
前記第１液体噴出機構は、液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの、前記第１方向側の端面を揃える、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インゴットを切断することにより複数枚のウエハを形成している。インゴットを切断することにより形成された複数枚のウエハに付着した切断粉の洗浄等を目的として、これらのウエハは洗浄液に漬けられる。洗浄液によってウエハがウエットの状態になると、ウエハどうしが張り付いてしまう。そのため、互いに張り付いたウエハどうしを分離する作業（枚葉化作業）が必要となる。特許文献１には、枚葉化作業を行うための装置が開示されている。同文献に記載の装置は、支持手段と、ノズルと、送出手段と、カセットと、を備える。支持手段は、液体中にて複数枚のウエハを互いに積層された状態で保持する。ノズルは、支持手段に保持された複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハの端面に向かって、液体を噴出する。これにより、支持手段に保持された複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハが浮上する。送出手段は、浮上したウエハを受け取り、カセットへと送り出す。カセットは、送出手段から送り出されたウエハを、一枚ずつ格納する。以上のように特許文献１に開示の装置によると、互いに張り付いたウエハを枚葉化し、一枚ずつカセットに格納することができる。
【０００３】
一つのインゴットを切断することにより得ることのできるウエハの枚数は、約１２００〜１５００枚である。一つのインゴットを切断することにより得た全てのウエハを、互いに積層された状態で上述の支持手段に載せると、下位のウエハが上位のウエハの重みによって割れるおそれがある。たとえばこのような理由から、上述の枚葉化作業を行う前には、一つのインゴットから得ることのできるウエハを、各々が５０枚〜１０００枚程度（枚数はウエハの厚みに依存する）のウエハよりなる複数枚のウエハ群に分けて、取り扱うことがある。
【０００４】
一つのインゴットから得ることのできるウエハを、３つのウエハ群に分けるときには、たとえば３つの載置具を用いる。これら３つの載置具を、第１載置具、第２載置具、第３載置具とすると、まず、第１載置具に一つのウエハ群を載置する。次に、ウエハ持ち上げ機構によって、第１載置具に載置されたウエハ群を一括して持ち上げ、第２載置具へと移動する。次に、第１載置具に別のウエハ群を載置する。次に、第１載置具および第２載置具に載置されたウエハ群を、第２載置具および第３載置具へとそれぞれ移動する。次に、第１載置具に最後のウエハ群を載置する。このような工程を経て、ある載置具からある載置具へとウエハ群を積み替えることによって、各載置具にウエハ群を載置する。
【０００５】
第１載置具にウエハ群を載置する作業は、人の手によって行われる。第１載置具にウエハ群を載置する人の熟練度によっては、第１載置具に載置する際にウエハ群におけるウエハの端面にずれが生じることがある。第１載置具に載置されるウエハ群におけるウエハの端面にずれが生じると、第２載置具へと移動させる際に、何らかの部品（たとえばウエハ持ち上げ機構）に接触するなどしてウエハが割れてしまう等の不具合が生じるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−１５１１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記した事情のもとで考え出されたものであって、第１載置具から第２載置具へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できるウエハ搬送装置を提供することをその主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の側面によると、互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する第１載置具と、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの積層方向視において、第１載置位置よりも前記積層方向に直交する第１方向側に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する第１移動規制具と、互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する第２載置具と、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第１方向に向かう力を与える第１液体噴出機構と、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハを一括して、前記第１載置具から持ち上げ、前記第２載置具へと移動させる第１ウエハ持ち上げ機構と、を備える、ウエハ搬送装置が提供される。
【０００９】
このような構成によると、第１ウエハ持ち上げ機構が第１載置具に載置された複数枚のウエハを持ち上げる前に、第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し第１方向に向かう力を与えることが可能である。ウエハが第１方向に向かう力を受けることにより第１方向に向かって移動したとしても、第１移動規制具によって、第１載置位置よりも第１方向側へ向かうウエハの移動は規制される。よって、ウエハに第１方向に向かう力を与えることによって、複数枚のウエハの、第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面を揃えることができる。したがって、第１ウエハ持ち上げ機構が第１載置具に載置された複数枚のウエハを持ち上げる前に、第１載置具に載置された複数枚のウエハの、第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面を揃えることができる。これにより第１載置具から第２載置具へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【００１０】
好ましくは、前記第１ウエハ持ち上げ機構は、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる第１アームを含み、前記第１アームは、前記第１ウエハ持ち上げ機構が前記第１載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第１方向側もしくは前記第１方向とは反対方向側に位置する部位を有する。
【００１１】
このような構成において、第１載置具に載置された複数枚のウエハを持ち上げる際に、複数枚のウエハの第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面に第１アームが接近した場合を想定する。この場合であっても、上述のように、複数枚のウエハの、第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面が揃っているから、第１アームがウエハの第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面に接触することを防止できる。第１載置具に載置された複数枚のウエハを第１アームが持ち上げる際に第１アームがウエハに接触することを防止できると、ウエハが割れる不具合を防止できる。
【００１２】
好ましくは、前記第１ウエハ持ち上げ機構は、ウエハ積み替え作業開始信号が生成されると、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの持ち上げを開始する第１持ち上げ開始位置にまで移動し、前記第１液体噴出機構は、前記第１ウエハ持ち上げ機構が移動を開始してから前記第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出する。
【００１３】
このような構成によると、複数枚のウエハの、第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面を揃える工程と、第１ウエハ持ち上げ機構を第１持ち上げ開始位置まで移動させる工程と、を同時に行うことができる。これは、ウエハ積み替え作業の効率化を図るのに適する。
【００１４】
好ましくは、前記第１液体噴出機構には、一方向に沿って延びる第１スリットノズルが形成されている。
【００１５】
このような構成によると、第１スリットノズルからの噴流を、第１載置具に載置された複数枚のウエハにまんべんなく向かわせることができる。これにより、複数枚のウエハの第１方向側および第１方向とは反対方向側の端面を揃える工程を、効率的に行うことができる。
【００１６】
好ましくは、前記積層方向視において、前記第１載置位置よりも、前記積層方向に直交し且つ前記第１方向に交差する第１交差方向側に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する追加の第１移動規制具と、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第１交差方向に向かう力を与える追加の第１液体噴出機構と、を更に備える。
【００１７】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第１ウエハ持ち上げ機構が第１載置具に載置された複数枚のウエハを持ち上げる前に、第１載置具に載置された複数枚のウエハの、第１交差方向側および第１交差方向とは反対方向側の端面を揃えることができる。これにより第１載置具から第２載置具へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【００１８】
好ましくは、前記第１ウエハ持ち上げ機構は、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる追加の第１アームを含み、前記追加の第１アームは、前記第１ウエハ持ち上げ機構が前記第１載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第１交差方向側もしくは前記第１交差方向とは反対方向側に位置する部位を有する。
【００１９】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第１載置具に載置された複数枚のウエハを追加の第１アームが持ち上げる際に、追加の第１アームがウエハに接触することを、防止できる。追加の第１アームがウエハに接触することを防止できると、ウエハが割れる不具合を防止できる。
【００２０】
好ましくは、前記第１液体噴出機構は、液体を噴出することにより、前記第１載置具に載置された複数枚のウエハの、前記第１方向側の端面を揃える。
【００２１】
好ましくは、前記積層方向視において、第２載置位置よりも前記積層方向に直交する第２方向側に、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する第２移動規制具と、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第２方向に向かう力を与える第２液体噴出機構と、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハを一括して、前記第２載置具から持ち上げる第２ウエハ持ち上げ機構と、を更に備える。
【００２２】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具から他の位置へ複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【００２３】
第１ウエハ持ち上げ機構が第２載置具に複数枚のウエハを載置する際に、ウエハに割れが生じる可能性がある。ウエハ搬送装置が第２液体噴出機構を備える構成によると、このように割れたウエハの破片を噴流によって吹き飛ばすことができ、第２載置具に載置されたウエハの間から割れたウエハの破片を除去することができる。
【００２４】
好ましくは、前記第２ウエハ持ち上げ機構は、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる第２アームを含み、前記第２アームは、前記第２ウエハ持ち上げ機構が前記第２載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第２方向側もしくは前記第２方向とは反対方向側に位置する部位を有する。
【００２５】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具に載置された複数枚のウエハを第２アームが持ち上げる際に、第２アームがウエハに接触することを、防止できる。第２アームがウエハに接触することを防止できると、ウエハが割れる不具合を防止できる。
【００２６】
好ましくは、前記第２ウエハ持ち上げ機構は、ウエハ積み替え作業開始信号が生成されると、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハの持ち上げを開始する第２持ち上げ開始位置にまで移動し、前記第２液体噴出機構は、前記第２ウエハ持ち上げ機構が移動を開始してから前記第２持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出する。
【００２７】
このような構成のウエハ搬送装置は、上述したのと同様の理由により、ウエハ積み替え作業の効率化を図るのに適する。
【００２８】
好ましくは、前記第２液体噴出機構には、一方向に沿って延びる第２スリットノズルが形成されている。
【００２９】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具に載置された複数枚のウエハの第２方向側および第２方向とは反対方向側の端面を揃える工程を、効率的に行うことができる。
【００３０】
好ましくは、前記積層方向視において、前記第２載置位置よりも、前記積層方向に直交し且つ前記第２方向に交差する第２交差方向側に、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する追加の第２移動規制具と、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに向かって液体を噴出することにより、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに対し前記第２交差方向に向かう力を与える追加の第２液体噴出機構と、を更に備える。
【００３１】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に生じうる不具合を抑制できる。
【００３２】
好ましくは、前記第２ウエハ持ち上げ機構は、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハのうち最下位のウエハを持ち上げる追加の第２アームを含み、前記追加の第２アームは、前記第２ウエハ持ち上げ機構が前記第２載置具から複数枚のウエハを持ち上げる際に、前記第２載置具に載置された複数枚のウエハに対し、前記第２交差方向側もしくは前記第２交差方向とは反対方向側に位置する部位を有する。
【００３３】
このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具に載置された複数枚のウエハを追加の第２アームが持ち上げる際に、追加の第２アームがウエハに接触することを、防止できる。追加の第２アームがウエハに接触することを防止できると、ウエハが割れる不具合を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置を示す正面図（一部模式化）である。
【図２】本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置におけるウエハ積み替えユニットを示す断面図（一部模式化）である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３に示した構成のうち、積み替え用水槽、第１保持機構、第２保持機構、および第３保持機構のみを示す平面図である。
【図５】（ａ）は第１液体噴出機構を示す斜視図であり、（ｂ）は追加の第１液体噴出機構を示す斜視図である。
【図６】（ａ）は第２液体噴出機構を示す斜視図であり、（ｂ）は追加の第２液体噴出機構を示す斜視図である。
【図７】（ａ）は第３液体噴出機構を示す斜視図であり、（ｂ）は追加の第３液体噴出機構を示す斜視図である。
【図８】各液体噴出機構からの液体の噴出量等を示すタイミングチャートである。
【図９】本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置を用いたウエハ積み替え工程の一工程を示す断面図である。
【図１０】図９に続く一工程を示す断面図である。
【図１１】図１０に続く一工程を示す断面図である。
【図１２】第１アームが複数枚のウエハを持ち上げる直前の様子を示す拡大断面図である。
【図１３】図１１に続く一工程を示す断面図である。
【図１４】図１３に続く一工程を示す断面図である。
【図１５】図１４に続く一工程を示す断面図である。
【図１６】図１５に続く一工程を示す断面図である。
【図１７】図１６に続く一工程を示す断面図である。
【図１８】図１７に続く一工程を示す断面図である。
【図１９】図１８に続く一工程を示す断面図である。
【図２０】図１９に続く一工程を示す断面図である。
【図２１】本発明の他の実施形態にかかるウエハ搬送装置におけるウエハ積み替えユニットを示す断面図（一部模式化）である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１は、本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置を示す正面図（一部模式化）である。
【００３６】
同図に示すウエハ搬送装置Ａ１は、インゴットを切断することにより得られる複数枚のウエハを一枚ずつ分離する作業（枚葉化作業）を行うためのものである。なお、本実施形態におけるウエハは矩形状である。ウエハ搬送装置Ａ１は、ウエハ積み替えユニットＢ１と、ウエハ枚葉化ユニットＢ２と、ウエハ格納ユニットＢ３と、を備える。
【００３７】
ウエハ積み替えユニットＢ１は、積み替え用水槽１００と、第１保持機構１１１と、第２保持機構１１２と、第３保持機構１１３と、第１ウエハ持ち上げ機構１２１と、第２ウエハ持ち上げ機構１２２と、第３ウエハ持ち上げ機構１２３と、第１液体噴出機構１３１と、第２液体噴出機構１３２と、第３液体噴出機構１３３と、追加の第１液体噴出機構１４１と、追加の第２液体噴出機構１４２と、追加の第３液体噴出機構１４３と、積み替え作業制御器１５０（図２参照、図２以外では図示略）と、を備える。
【００３８】
積み替え用水槽１００は液体Ｌｑ１を蓄えるためのものである。液体Ｌｑ１に複数枚のウエハ８８１が浸された状態で、複数枚のウエハ８８１の積み替え作業（後述）が行われる。
【００３９】
図２は、ウエハ積み替えユニットＢ１を示す断面図（一部模式化）である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。図４は、図３に示した構成のうち、積み替え用水槽１００、第１保持機構１１１、第２保持機構１１２、および第３保持機構１１３のみを示す平面図である。
【００４０】
第１保持機構１１１、第２保持機構１１２、および第３保持機構１１３は、たとえば、樹脂ないし金属よりなる。
【００４１】
第１保持機構１１１は、第１載置具１１１ａと、第１移動規制具１１１ｂと、２つの追加の第１移動規制具１１１ｃと、２つの第１ウエハガイド１１１ｄと、第１脱落防止具１１１ｅと、を含む。第１保持機構１１１は複数枚のウエハ８８１を互いに積層された状態で保持するためのものである。第１保持機構１１１は積み替え用水槽１００の底面に固定されている。
【００４２】
第１載置具１１１ａは、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態においては、第１載置具１１１ａは、脚部を介して積み替え用水槽１００の底面に固定されている。第１載置具１１１ａは、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置するためのものである。本実施形態において第１載置具１１１ａは板状である。図３に示しているように、本実施形態では、第１載置具１１１ａの広がる平面をＸＹ平面としている。第１載置具１１１ａの具体的形状は、複数枚のウエハ８８１を載置できれば本実施形態にて示したものには特に限定されない。たとえば、第１載置具１１１ａは、複数の棒状の部材がＸＹ平面に沿って配列されたものであってもよいし、メッシュ状の部材であってもよい。第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１は、第１載置具１１１ａに対向しない第１部位８８１ａを有する。図３では、理解の便宜上、当該第１部位８８１ａを、ハッチングを付すことにより示している。複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第１載置具１１１ａに対向しない当該第１部位８８１ａは、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が複数枚のウエハ８８１を持ち上げるための持ち上げ面として機能する。図２に示すように、本実施形態では、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向を、積層方向Ｚとしている。
【００４３】
第１移動規制具１１１ｂと、追加の第１移動規制具１１１ｃと、第１ウエハガイド１１１ｄと、第１脱落防止具１１１ｅとはいずれも、第１載置具１１１ａに立設されている。
【００４４】
第１移動規制具１１１ｂは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。第１移動規制具１１１ｂは、積層方向Ｚ視において、第１載置位置Ｓ１（図４参照）よりも積層方向Ｚに直交する第１方向（本実施形態では方向Ｘ１に一致する）側に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、第１移動規制具１１１ｂは、第１移動規制具１１１ｂに当接する位置よりも図３における右側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｘ１側の端面を揃えることができる。第１移動規制具１１１ｂの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。第１移動規制具１１１ｂの個数は１つではなく、２つ以上であってもよい。第１移動規制具１１１ｂの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。
【００４５】
追加の第１移動規制具１１１ｃはいずれも、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。追加の第１移動規制具１１１ｃは、積層方向Ｚ視において、第１載置位置Ｓ１よりも、積層方向Ｚに直交し且つ前記第１方向に交差する第１交差方向（本実施形態では方向Ｙ１に一致する）側に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、追加の第１移動規制具１１１ｃは、追加の第１移動規制具１１１ｃに当接する位置よりも図３における下側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｙ１側の端面を揃えることができる。図３にて、ウエハ８８１における右側の端面が第１移動規制具１１１ｂに当接し、且つ、ウエハ８８１における下側の端面が追加の第１移動規制具１１１ｃに当接している場合、当該ウエハ８８１は第１載置位置Ｓ１に位置していることとする。よって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第１載置位置Ｓ１に位置している場合、各ウエハ８８１の右側の端面が第１移動規制具１１１ｂに当接し、且つ、各ウエハ８８１の下側の端面が追加の第１移動規制具１１１ｃに当接している。したがって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第１載置位置Ｓ１に位置している場合には、各ウエハ８８１が整列しているといえる。
【００４６】
追加の第１移動規制具１１１ｃの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。追加の第１移動規制具１１１ｃの個数は２つではなく、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。追加の第１移動規制具１１１ｃの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。追加の第１移動規制具１１１ｃは第１移動規制具１１１ｂにつながっていてもよい。
【００４７】
第１ウエハガイド１１１ｄはいずれも、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。第１ウエハガイド１１１ｄは、追加の第１移動規制具１１１ｃに対し、方向Ｙ１とは反対方向（方向Ｙ２）側に配置されている。第１ウエハガイド１１１ｄは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第１載置具１１１ａから脱落することを防止するためのものである。
【００４８】
第１脱落防止具１１１ｅは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。第１脱落防止具１１１ｅは、第１移動規制具１１１ｂに対し、方向Ｘ１とは反対方向（方向Ｘ２）側に配置されている。第１脱落防止具１１１ｅは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第１載置具１１１ａから脱落することを防止するためのものである。
【００４９】
本実施形態とは異なり、第１保持機構１１１が第１ウエハガイド１１１ｄや第１脱落防止具１１１ｅを含んでいなくてもよい。また、本実施形態では、第１移動規制具１１１ｂと、追加の第１移動規制具１１１ｃと、第１ウエハガイド１１１ｄと、第１脱落防止具１１１ｅとのいずれもが第１載置具１１１ａから立設している例を示したが、第１移動規制具１１１ｂと、追加の第１移動規制具１１１ｃと、第１ウエハガイド１１１ｄと、第１脱落防止具１１１ｅとのいずれもが第１載置具１１１ａから立設している必要もない。たとえば、第１移動規制具１１１ｂと、追加の第１移動規制具１１１ｃと、第１ウエハガイド１１１ｄと、第１脱落防止具１１１ｅとの少なくともいずれかが、積み替え用水槽１００の底面に直接固定されていてもよい。
【００５０】
第２保持機構１１２は、第２載置具１１２ａと、２つの第２移動規制具１１２ｂと、追加の第２移動規制具１１２ｃと、第２ウエハガイド１１２ｄと、２つの第２脱落防止具１１２ｅと、を含む。第２保持機構１１２は複数枚のウエハ８８１を互いに積層された状態で保持するためのものである。第２保持機構１１２は積み替え用水槽１００の底面に固定されている。
【００５１】
第２載置具１１２ａは、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態においては、第２載置具１１２ａは、脚部を介して積み替え用水槽１００の底面に固定されている。第２載置具１１２ａは、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置するためのものである。本実施形態において第２載置具１１２ａは、ＸＹ平面に沿う板状である。第２載置具１１２ａの具体的形状は、複数枚のウエハ８８１を載置できれば本実施形態にて示したものには特に限定されない。たとえば、第２載置具１１２ａは、複数の棒状の部材がＸＹ平面に沿って配列されたものであってもよいし、メッシュ状の部材であってもよい。第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１は、第２載置具１１２ａに対向しない第２部位８８１ｂを有する。図３では、理解の便宜上、当該第２部位８８１ｂを、ハッチングを付すことにより示している。複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第２載置具１１２ａに対向しない当該第２部位８８１ｂは、第２ウエハ持ち上げ機構１２２が複数枚のウエハ８８１を持ち上げるための持ち上げ面として機能する。第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向Ｚに一致する。
【００５２】
２つの第２移動規制具１１２ｂと、追加の第２移動規制具１１２ｃと、第２ウエハガイド１１２ｄと、２つの第２脱落防止具１１２ｅとはいずれも、第２載置具１１２ａに立設されている。
【００５３】
２つの第２移動規制具１１２ｂはいずれも、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。２つの第２移動規制具１１２ｂは互いに方向Ｙ１−Ｙ２に離間している。各第２移動規制具１１２ｂは、積層方向Ｚ視において、第２載置位置Ｓ２（図４参照）よりも積層方向Ｚに直交する第２方向（本実施形態では方向Ｘ１に一致する）側に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、第２移動規制具１１２ｂは、第２移動規制具１１２ｂに当接する位置よりも図３における右側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｘ１側の端面を揃えることができる。第２移動規制具１１２ｂの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。第２移動規制具１１２ｂの個数は２つではなく、たとえば、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。第２移動規制具１１２ｂの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。
【００５４】
追加の第２移動規制具１１２ｃは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。本実施形態では追加の第２移動規制具１１２ｃは、２つの第２移動規制具１１２ｂのうちの図４にて下側に示した第２移動規制具１１２ｂにつながっている。追加の第２移動規制具１１２ｃは、積層方向Ｚ視において、第２載置位置Ｓ２よりも、積層方向Ｚに直交し且つ前記第２方向に交差する第２交差方向（本実施形態では方向Ｙ１に一致する）側に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、追加の第２移動規制具１１２ｃは、追加の第２移動規制具１１２ｃに当接する位置よりも図３における下側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｙ１側の端面を揃えることができる。図３にて、ウエハ８８１における右側の端面が第２移動規制具１１２ｂに当接し、且つ、ウエハ８８１における下側の端面が追加の第２移動規制具１１２ｃに当接している場合、当該ウエハ８８１は第２載置位置Ｓ２に位置していることとする。よって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第２載置位置Ｓ２に位置している場合、各ウエハ８８１の右側の端面が第２移動規制具１１２ｂに当接し、且つ、各ウエハ８８１の下側の端面が追加の第２移動規制具１１２ｃに当接している。したがって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第２載置位置Ｓ２に位置している場合には、各ウエハ８８１が整列しているといえる。
【００５５】
追加の第２移動規制具１１２ｃの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。追加の第２移動規制具１１２ｃの個数は１つではなく、２つ以上であってもよい。追加の第２移動規制具１１２ｃの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。追加の第２移動規制具１１２ｃは第２移動規制具１１２ｂにつながっている必要もなく、第２移動規制具１１２ｂから離間していてもよい。
【００５６】
第２ウエハガイド１１２ｄは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。本実施形態では第２ウエハガイド１１２ｄは、２つの第２移動規制具１１２ｂのうちの図４にて上側に示した第２移動規制具１１２ｂにつながっている。第２ウエハガイド１１２ｄは、追加の第２移動規制具１１２ｃに対し、方向Ｙ１とは反対方向（方向Ｙ２）側に配置されている。第２ウエハガイド１１２ｄは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第２載置具１１２ａから脱落することを防止するためのものである。
【００５７】
２つの第２脱落防止具１１２ｅは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。各第２脱落防止具１１２ｅは、第２移動規制具１１２ｂに対し、方向Ｘ１とは反対方向（方向Ｘ２）側に配置されている。各第２脱落防止具１１２ｅは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第２載置具１１２ａから脱落することを防止するためのものである。
【００５８】
本実施形態とは異なり、第２保持機構１１２が第２ウエハガイド１１２ｄや第２脱落防止具１１２ｅを含んでいなくてもよい。また、本実施形態では、第２移動規制具１１２ｂと、追加の第２移動規制具１１２ｃと、第２ウエハガイド１１２ｄと、２つの第２脱落防止具１１２ｅとのいずれもが第２載置具１１２ａから立設している例を示したが、第２移動規制具１１２ｂと、追加の第２移動規制具１１２ｃと、第２ウエハガイド１１２ｄと、２つの第２脱落防止具１１２ｅとのいずれもが第２載置具１１２ａから立設している必要もない。たとえば、第２移動規制具１１２ｂと、追加の第２移動規制具１１２ｃと、第２ウエハガイド１１２ｄと、２つの第２脱落防止具１１２ｅとの少なくともいずれかが、積み替え用水槽１００の底面に直接固定されていてもよい。
【００５９】
第３保持機構１１３の構成は、第２保持機構１１２と同様の構成である。第３保持機構１１３は、第３載置具１１３ａと、２つの第３移動規制具１１３ｂと、追加の第３移動規制具１１３ｃと、第３ウエハガイド１１３ｄと、２つの第３脱落防止具１１３ｅと、を含む。第３保持機構１１３は複数枚のウエハ８８１を互いに積層された状態で保持するためのものである。第３保持機構１１３は積み替え用水槽１００の底面に固定されている。
【００６０】
第３載置具１１３ａは、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態においては、第３載置具１１３ａは、脚部を介して積み替え用水槽１００の底面に固定されている。第３載置具１１３ａは、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置するためのものである。本実施形態において第３載置具１１３ａは、ＸＹ平面に沿う板状である。第３載置具１１３ａの具体的形状は、複数枚のウエハ８８１を載置できれば本実施形態にて示したものには特に限定されない。たとえば、第３載置具１１３ａは、複数の棒状の部材がＸＹ平面に沿って配列されたものであってもよいし、メッシュ状の部材であってもよい。第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１は、第３載置具１１３ａに対向しない第３部位８８１ｃを有する。図３では、理解の便宜上、当該第３部位８８１ｃを、ハッチングを付すことにより示している。複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第３載置具１１３ａに対向しない当該第３部位８８１ｃは、第３ウエハ持ち上げ機構１２３が複数枚のウエハ８８１を持ち上げるための持ち上げ面として機能する。第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向Ｚに一致する。
【００６１】
２つの第３移動規制具１１３ｂと、追加の第３移動規制具１１３ｃと、第３ウエハガイド１１３ｄと、２つの第３脱落防止具１１３ｅとはいずれも、第３載置具１１３ａに立設されている。
【００６２】
２つの第３移動規制具１１３ｂはいずれも、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。２つの第３移動規制具１１３ｂは互いに方向Ｙ１−Ｙ２に離間している。各第３移動規制具１１３ｂは、積層方向Ｚ視において、第３載置位置Ｓ３よりも積層方向Ｚに直交する第３方向（本実施形態では方向Ｘ１に一致する）側に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、第３移動規制具１１３ｂは、第３移動規制具１１３ｂに当接する位置よりも図３における右側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｘ１側の端面を揃えることができる。第３移動規制具１１３ｂの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。第３移動規制具１１３ｂの個数は２つではなく、たとえば、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。第３移動規制具１１３ｂの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。
【００６３】
追加の第３移動規制具１１３ｃは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。本実施形態では追加の第３移動規制具１１３ｃは、２つの第３移動規制具１１３ｂのうちの図４にて下側に示した第３移動規制具１１３ｂにつながっている。追加の第３移動規制具１１３ｃは、積層方向Ｚ視において、第３載置位置Ｓ３よりも、積層方向Ｚに直交し且つ前記第３方向に交差する第３交差方向（本実施形態では方向Ｙ１に一致する）側に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。すなわち、追加の第３移動規制具１１３ｃは、追加の第３移動規制具１１３ｃに当接する位置よりも図３における下側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。これにより、各ウエハ８８１の方向Ｙ１側の端面を揃えることができる。図３にて、ウエハ８８１における右側の端面が第３移動規制具１１３ｂに当接し、且つ、ウエハ８８１における下側の端面が追加の第３移動規制具１１３ｃに当接している場合、当該ウエハ８８１は第３載置位置Ｓ３に位置していることとする。よって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第３載置位置Ｓ３に位置している場合、各ウエハ８８１の右側の端面が第３移動規制具１１３ｂに当接し、且つ、各ウエハ８８１の下側の端面が追加の第３移動規制具１１３ｃに当接している。したがって、複数枚のウエハ８８１のいずれもが第３載置位置Ｓ３に位置している場合には、各ウエハ８８１が整列しているといえる。
【００６４】
追加の第３移動規制具１１３ｃの個数や具体的形状は、本実施形態に示すものに限定されない。追加の第３移動規制具１１３ｃの個数は１つではなく、２つ以上であってもよい。追加の第３移動規制具１１３ｃの形状は細板状である必要は必ずしもなく、たとえば、積層方向Ｚに沿う棒状であってもよい。追加の第３移動規制具１１３ｃは第３移動規制具１１３ｂにつながっている必要もなく、第３移動規制具１１３ｂから離間していてもよい。
【００６５】
第３ウエハガイド１１３ｄは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。本実施形態では第３ウエハガイド１１３ｄは、２つの第３移動規制具１１３ｂのうちの図４にて上側に示した第３移動規制具１１３ｂにつながっている。第３ウエハガイド１１３ｄは、追加の第３移動規制具１１３ｃに対し、方向Ｙ１とは反対方向（方向Ｙ２）側に配置されている。第３ウエハガイド１１３ｄは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第３載置具１１３ａから脱落することを防止するためのものである。
【００６６】
２つの第３脱落防止具１１３ｅは、積層方向Ｚに沿って延びる細板状である。各第３脱落防止具１１３ｅは、第３移動規制具１１３ｂに対し、方向Ｘ１とは反対方向（方向Ｘ２）側に配置されている。各第３脱落防止具１１３ｅは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第３載置具１１３ａから脱落することを防止するためのものである。
【００６７】
本実施形態とは異なり、第３保持機構１１３が第３ウエハガイド１１３ｄや第３脱落防止具１１３ｅを含んでいなくてもよい。また、本実施形態では、第３移動規制具１１３ｂと、追加の第３移動規制具１１３ｃと、第３ウエハガイド１１３ｄと、２つの第３脱落防止具１１３ｅとのいずれもが第３載置具１１３ａから立設している例を示したが、第３移動規制具１１３ｂと、追加の第３移動規制具１１３ｃと、第３ウエハガイド１１３ｄと、２つの第３脱落防止具１１３ｅとのいずれもが第３載置具１１３ａから立設している必要もない。たとえば、第３移動規制具１１３ｂと、追加の第３移動規制具１１３ｃと、第３ウエハガイド１１３ｄと、２つの第３脱落防止具１１３ｅとの少なくともいずれかが、積み替え用水槽１００の底面に直接固定されていてもよい。
【００６８】
本実施形態では、第１保持機構１１１、第２保持機構１１２、および第３保持機構１１３は、方向Ｘ１に沿って配列されている。なお、本実施形態では、第１方向と第２方向と第３方向とがいずれも方向Ｘ１に一致する例を示したが、これに限られず、第１方向と第２方向と第３方向とが、互いに異なっていてもよい。同様に、本実施形態では、第１交差方向と第２交差方向と第３交差方向とがいずれも方向Ｙ１に一致する例を示したが、これに限られず、第１交差方向と第２交差方向と第３交差方向とが互いに異なっていてもよい。
【００６９】
図２、図３等に示す第１ウエハ持ち上げ機構１２１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を一括して持ち上げ、第２載置具１１２ａへと移動させるものである。第１ウエハ持ち上げ機構１２１は、第１駆動部１２１ａ（図２にてブロックで示し、その他の図では省略）と、４つの第１アーム１２１ｂと、２つの追加の第１アーム１２１ｃと、を含む。
【００７０】
第１駆動部１２１ａは、４つの第１アーム１２１ｂおよび２つの追加の第１アーム１２１ｃを動作させる。第１駆動部１２１ａは、たとえば、サーボモータによって回転させられるスクリューシャフトを有する。
【００７１】
第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃはいずれも、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、一括して持ち上げる。より具体的には、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１を持ち上げる。このとき、図３に示した、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第１載置具１１１ａに対向しない第１部位８８１ａに、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃの先端に形成された爪を引っ掛けることにより、複数枚のウエハ８８１は持ち上げられる。本実施形態では、第１保持機構１１１の上方から第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃが積層方向Ｚに沿って昇降可能である。第１アーム１２１ｂはいずれも、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第１方向（本実施形態では方向Ｘ１）側、もしくは、第１方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。すなわち、第１アーム１２１ｂは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における右側もしくは左側から回りこんで、持ち上げる。同様に、追加の第１アーム１２１ｃはいずれも、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第１交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側、もしくは、第１交差方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｙ２）側に位置する部位を有する。すなわち、追加の第１アーム１２１ｃは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における上側もしくは下側から回りこんで、持ち上げる。第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃは、持ち上げた複数枚のウエハ８８１を、第２載置具１１２ａへと移動させる。
【００７２】
第２ウエハ持ち上げ機構１２２は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を一括して持ち上げ、第３載置具１１３ａへと移動させるものである。第２ウエハ持ち上げ機構１２２は、第２駆動部１２２ａ（図２にてブロックで示し、その他の図では省略）と、２つの第２アーム１２２ｂと、２つの追加の第２アーム１２２ｃと、を含む。
【００７３】
第２駆動部１２２ａは、第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃを動作させる。第２駆動部１２２ａは、たとえば、サーボモータによって回転させられるスクリューシャフトを有する。
【００７４】
第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃはいずれも、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、一括して持ち上げる。より具体的には、第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１を持ち上げる。このとき、図３に示した、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第２載置具１１２ａに対向しない第２部位８８１ｂに、第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃの先端に形成された爪を引っ掛けることにより、複数枚のウエハ８８１は持ち上げられる。本実施形態では、第２保持機構１１２の上方から第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃが積層方向Ｚに沿って昇降可能である。第２アーム１２２ｂはいずれも、第２ウエハ持ち上げ機構１２２が第２載置具１１２ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第２方向（本実施形態では方向Ｘ１）側、もしくは、第２方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。すなわち、第２アーム１２２ｂは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における右側もしくは左側から回りこんで、持ち上げる。同様に、追加の第２アーム１２２ｃはいずれも、第２ウエハ持ち上げ機構１２２が第２載置具１１２ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第２交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側、もしくは、第２交差方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｙ２）側に位置する部位を有する。すなわち、追加の第２アーム１２２ｃは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における上側もしくは下側から回りこんで、持ち上げる。第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃは、持ち上げた複数枚のウエハ８８１を、第３載置具１１３ａへと移動させる。
【００７５】
第３ウエハ持ち上げ機構１２３の構成は、第２ウエハ持ち上げ機構１２２と同様の構成である。第３ウエハ持ち上げ機構１２３は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を一括して持ち上げ、ウエハ枚葉化ユニットＢ２へと移動させるものである。第３ウエハ持ち上げ機構１２３は、第３駆動部１２３ａ（図２にてブロックで示し、その他の図では省略）と、２つの第３アーム１２３ｂと、２つの追加の第３アーム１２３ｃと、を含む。
【００７６】
第３駆動部１２３ａは、第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃを動作させる。第３駆動部１２３ａは、たとえば、サーボモータによって回転させられるスクリューシャフトを有する。
【００７７】
第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃはいずれも、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、一括して持ち上げる。より具体的には、第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１を持ち上げる。このとき、図３に示した、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位に位置するウエハ８８１における、第３載置具１１３ａに対向しない第３部位８８１ｃに、第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃの先端に形成された爪を引っ掛けることにより、複数枚のウエハ８８１は持ち上げられる。本実施形態では、第３保持機構１１３の上方から第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃが積層方向Ｚに沿って昇降可能である。第３アーム１２３ｂはいずれも、第３ウエハ持ち上げ機構１２３が第３載置具１１３ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第３方向（本実施形態では方向Ｘ１）側、もしくは、第３方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。すなわち、第３アーム１２３ｂは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における右側もしくは左側から回りこんで、持ち上げる。同様に、追加の第３アーム１２３ｃはいずれも、第３ウエハ持ち上げ機構１２３が第３載置具１１３ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第３交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側、もしくは、第３交差方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｙ２）側に位置する部位を有する。すなわち、追加の第３アーム１２３ｃは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、図３における上側もしくは下側から回りこんで、持ち上げる。第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃは、持ち上げた複数枚のウエハ８８１を、ウエハ枚葉化ユニットＢ２へと移動させる。
【００７８】
図２、図３等に示す第１液体噴出機構１３１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第１方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、第１液体噴出機構１３１は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、第１液体噴出機構１３１が第１載置具１１１ａに固定されていてもよい。
【００７９】
図５（ａ）に示すように、第１液体噴出機構１３１には第１スリットノズル１３１ａが形成されている。第１スリットノズル１３１ａからは液体が噴出される。第１スリットノズル１３１ａから噴出された液体は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。第１スリットノズル１３１ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、第１スリットノズル１３１ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、第１スリットノズル１３１ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、第１スリットノズル１３１ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように形成されていてもよい。
【００８０】
更に、本実施形態とは異なり、第１液体噴出機構１３１に一方向に沿って延びる第１スリットノズル１３１ａが形成されていなくてもよい。たとえば、第１液体噴出機構１３１に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００８１】
追加の第１液体噴出機構１４１の構成は、第１液体噴出機構１３１と同様の構成である。追加の第１液体噴出機構１４１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第１交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、追加の第１液体噴出機構１４１は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、追加の第１液体噴出機構１４１が第１載置具１１１ａに固定されていてもよい。
【００８２】
図５（ｂ）に示すように、追加の第１液体噴出機構１４１には追加の第１スリットノズル１４１ａが形成されている。追加の第１スリットノズル１４１ａからは液体が噴出される。追加の第１スリットノズル１４１ａから噴出された液体は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。追加の第１スリットノズル１４１ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、追加の第１スリットノズル１４１ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、追加の第１スリットノズル１４１ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、追加の第１スリットノズル１４１ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように、追加の第１液体噴出機構１４１が形成されていてもよい。
【００８３】
更に、本実施形態とは異なり、追加の第１液体噴出機構１４１に一方向に沿って延びる追加の第１スリットノズル１４１ａが形成されていなくてもよい。たとえば、追加の第１液体噴出機構１４１に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００８４】
本実施形態とは異なり、図２１に示すように、ウエハ搬送装置Ａ１が第１ウエハ整列促進機構１９１を備えていてもよい。第１ウエハ整列促進機構１９１は、第１液体噴出機構１３１が複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する時に、第１載置具１１１ａに載置されたウエハ８８１を移動させやすくすることによりウエハ８８１の整列を促進する。第１ウエハ整列促進機構１９１としては、たとえば、マイクロバブル発生手段や、超音波発生手段などが挙げられる。なお、マイクロバブル発生手段は、第１載置具１１１ａに載置されたウエハ８８１どうしの隙間にバブルを侵入させることにより、ウエハ８８１を移動させやすくする。
【００８５】
第２液体噴出機構１３２の構成は、第１液体噴出機構１３１と同様の構成である。第２液体噴出機構１３２は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第２方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、第２液体噴出機構１３２は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、第２液体噴出機構１３２が第２載置具１１２ａに固定されていてもよい。
【００８６】
図６（ａ）に示すように、第２液体噴出機構１３２には第２スリットノズル１３２ａが形成されている。第２スリットノズル１３２ａからは液体が噴出される。第２スリットノズル１３２ａから噴出された液体は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。第２スリットノズル１３２ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、第２スリットノズル１３２ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、第２スリットノズル１３２ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、第２スリットノズル１３２ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように形成されていてもよい。
【００８７】
更に、本実施形態とは異なり、第２液体噴出機構１３２に一方向に沿って延びる第２スリットノズル１３２ａが形成されていなくてもよい。たとえば、第２液体噴出機構１３２に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００８８】
追加の第２液体噴出機構１４２の構成は、第２液体噴出機構１３２と同様の構成である。追加の第２液体噴出機構１４２は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第２交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、追加の第２液体噴出機構１４２は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、追加の第２液体噴出機構１４２が第２載置具１１２ａに固定されていてもよい。
【００８９】
図６（ｂ）に示すように、追加の第２液体噴出機構１４２には追加の第２スリットノズル１４２ａが形成されている。追加の第２スリットノズル１４２ａからは液体が噴出される。追加の第２スリットノズル１４２ａから噴出された液体は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。追加の第２スリットノズル１４２ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、追加の第２スリットノズル１４２ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、追加の第２スリットノズル１４２ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、追加の第２スリットノズル１４２ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように、追加の第２液体噴出機構１４２が形成されていてもよい。
【００９０】
更に、本実施形態とは異なり、追加の第２液体噴出機構１４２に一方向に沿って延びる追加の第２スリットノズル１４２ａが形成されていなくてもよい。たとえば、追加の第２液体噴出機構１４２に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００９１】
本実施形態とは異なり、図２１に示すように、ウエハ搬送装置Ａ１が第２ウエハ整列促進機構１９２を備えていてもよい。第２ウエハ整列促進機構１９２は、第２液体噴出機構１３２が複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する時に、第２載置具１１２ａに載置されたウエハ８８１を移動させやすくすることによりウエハ８８１の整列を促進する。第２ウエハ整列促進機構１９２としては、たとえば、マイクロバブル発生手段や、超音波発生手段などが挙げられる。
【００９２】
第３液体噴出機構１３３の構成は、第２液体噴出機構１３２の構成と同様の構成である。第３液体噴出機構１３３は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第３方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、第３液体噴出機構１３３は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、第３液体噴出機構１３３が第３載置具１１３ａに固定されていてもよい。
【００９３】
図７（ａ）に示すように、第３液体噴出機構１３３には第３スリットノズル１３３ａが形成されている。第３スリットノズル１３３ａからは液体が噴出される。第３スリットノズル１３３ａから噴出された液体は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。第３スリットノズル１３３ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、第３スリットノズル１３３ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、第３スリットノズル１３３ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、第３スリットノズル１３３ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように形成されていてもよい。
【００９４】
更に、本実施形態とは異なり、第３液体噴出機構１３３に一方向に沿って延びる第３スリットノズル１３３ａが形成されていなくてもよい。たとえば、第３液体噴出機構１３３に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００９５】
追加の第３液体噴出機構１４３の構成は、第３液体噴出機構１３３と同様の構成である。追加の第３液体噴出機構１４３は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第３交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）に向かう力を与える。図２に示すように、本実施形態においては、追加の第３液体噴出機構１４３は、積み替え用水槽１００の底面に固定されている。本実施形態とは異なり、追加の第３液体噴出機構１４３が第３載置具１１３ａに固定されていてもよい。
【００９６】
図７（ｂ）に示すように、追加の第３液体噴出機構１４３には追加の第３スリットノズル１４３ａが形成されている。追加の第３スリットノズル１４３ａからは液体が噴出される。追加の第３スリットノズル１４３ａから噴出された液体は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かう。追加の第３スリットノズル１４３ａは一方向に沿って延びる形状である。本実施形態では、同図に示すように、追加の第３スリットノズル１４３ａは、積層方向Ｚに沿って長手状に延びている。そのため、追加の第３スリットノズル１４３ａからの噴流の断面形状は、積層方向Ｚに沿って長手状に延びる形状である。本実施形態とは異なり、追加の第３スリットノズル１４３ａが積層方向Ｚからわずかに傾く方向に沿って延びるように、追加の第３液体噴出機構１４３が形成されていてもよい。
【００９７】
更に、本実施形態とは異なり、追加の第３液体噴出機構１４３に一方向に沿って延びる追加の第３スリットノズル１４３ａが形成されていなくてもよい。たとえば、追加の第３液体噴出機構１４３に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。そして、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のいずれにも噴流が向かうように、当該１または複数の円形のノズルを移動させてもよい。
【００９８】
本実施形態とは異なり、図２１に示すように、ウエハ搬送装置Ａ１が第３ウエハ整列促進機構１９３を備えていてもよい。第３ウエハ整列促進機構１９３は、第３液体噴出機構１３３が複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する時に、第３載置具１１３ａに載置されたウエハ８８１を移動させやすくすることによりウエハ８８１の整列を促進する。第３ウエハ整列促進機構１９３としては、たとえば、マイクロバブル発生手段や、超音波発生手段などが挙げられる。
【００９９】
図２に示す積み替え作業制御器１５０は、ウエハ搬送装置Ａ１のユーザからのウエハ積み替え作業開始指示Ｓｓ１を受けると、ウエハ積み替え作業を開始すべきと判断し、ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２（図８参照）を生成する。ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２を生成されると、ウエハ８８１の積み替え作業が開始される。なお、ウエハ搬送装置Ａ１のユーザからのウエハ積み替え作業開始指示Ｓｓ１とは、当該ユーザがウエハ搬送装置Ａ１のスタートスイッチを押す操作のことを意味する。積み替え作業制御器１５０は、第１ウエハ持ち上げ機構１２１、第２ウエハ持ち上げ機構１２２、および第３ウエハ持ち上げ機構１２３の動作を制御する。また、積み替え作業制御器１５０は、第１液体噴出機構１３１、第２液体噴出機構１３２、第３液体噴出機構１３３、追加の第１液体噴出機構１４１、追加の第２液体噴出機構１４２、および追加の第３液体噴出機構１４３のそれぞれからの液体の噴出量を制御する。
【０１００】
図１に示すウエハ枚葉化ユニットＢ２は、枚葉化水槽２０と、支持機構２２と、ウエハ浮上用液体噴出機構２６と、ウエハ受け取り機構２８と、を含む。
【０１０１】
枚葉化水槽２０は、液体Ｌｑ２を蓄えるためのものである。液体Ｌｑ２に複数枚のウエハ８８１が浸された状態で、複数枚のウエハ８８１の枚葉化作業（後述）が行われる。液体Ｌｑ２は、水に界面活性剤が混入されたものである。なお、枚葉化作業が行われる際における液体Ｌｑ２の温度は、常温よりも高温であることが好ましい。
【０１０２】
支持機構２２は、複数枚のウエハ８８１を支持する。支持機構２２は、水平方向と、水平方向に交差する方向と、に沿って移動可能である。支持機構２２には、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１が、第３ウエハ持ち上げ機構１２３によって運搬されてくる。
【０１０３】
ウエハ浮上用液体噴出機構２６は、支持機構２２に支持された複数枚のウエハ８８１のうちの最上位のウエハ８８１の端面に向かって、液体を噴出する。ウエハ浮上用液体噴出機構２６からの噴流を受けることにより、支持機構２２に支持された複数枚のウエハ８８１のうち上位に位置する数枚程度のウエハ８８１を浮上させることができる。
【０１０４】
ウエハ受け取り機構２８は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６からの噴流を受けることにより浮上したウエハ８８１を、受け取る。ウエハ受け取り機構２８がウエハ８８１を受け取るためには、ウエハ受け取り機構２８が、たとえば、バキューム手段を有していればよい。ウエハ受け取り機構２８は受け取ったウエハ８８１をウエハ格納ユニットＢ３に向けて送る。ウエハ受け取り機構２８がウエハ８８１を送るには、ウエハ受け取り機構２８がたとえば、ウエハ８８１を吸着した状態でスライドさせる吸着コンベアを有しているとよい。
【０１０５】
ウエハ格納ユニットＢ３は、複数枚のウエハ８８１を一枚ずつ格納するためのものである。ウエハ格納ユニットＢ３は、中継コンベア３１と、装填コンベア３２と、カセット３６と、を含む。
【０１０６】
中継コンベア３１は、ウエハ受け取り機構２８からウエハ８８１を受け渡される。装填コンベア３２は、中継コンベア３１からウエハ８８１を受け渡される。装填コンベア３２は、受け取ったウエハ８８１を、カセット３６へと装填する。カセット３６は、複数枚のウエハ８８１を一枚ずつ格納するためのものである。カセット３６は、たとえば鉛直方向に互いに平行に配列された複数のポケットを有する。装填コンベア３２からウエハ８８１が送られてくると、ウエハ８８１があるポケットに装填される。すると、カセット３６は、上昇され、次のウエハ８８１を装填可能な状態となる。
【０１０７】
次に、図８〜図２０を用いて、複数枚のウエハ８８１の積み替え作業の一例について説明する。
【０１０８】
図８は、各液体噴出機構からの液体の噴出量等を示すタイミングチャートである。具体的には、同図（ａ）はウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２を示し、同図（ｂ）は第１液体噴出機構１３１からの液体の噴出量を示し、同図（ｃ）は追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出量を示し、同図（ｄ）は第２液体噴出機構１３２からの液体の噴出量を示し、同図（ｅ）は追加の第２液体噴出機構１４２からの液体の噴出量を示し、同図（ｆ）は第３液体噴出機構１３３からの液体の噴出量を示し、同図（ｇ）は追加の第３液体噴出機構１４３からの液体の噴出量を示す。
【０１０９】
まず、インゴットを切断することにより複数枚のウエハを形成しておく。インゴットを切断することにより形成された複数枚のウエハに付着した切断粉の洗浄等を目的として、これらのウエハは洗浄液に漬けられる。洗浄液によってウエハがウエットの状態になり、ウエハどうしは張り付いている。次に、互いに張り付いた複数枚のウエハ８８１のうちの３分の１程度を、互いに張り付いた状態のまま手で掴み、図９に示すように、第１載置具１１１ａに載置する。複数枚のウエハ８８１を第１載置具１１１ａに載置する前もしくは後に、積み替え用水槽１００に、液体Ｌｑ１として常温の水を蓄える。
【０１１０】
一つのインゴットから得ることのできるウエハ８８１の枚数は、たとえば、１２００枚〜１５００枚程度である。また、ウエハ８８１の厚みは、たとえば、０．１４ｍｍ〜０．１８ｍｍである。また、ウエハ８８１は矩形であり、縦および横の寸法は、たとえば１５６ｍｍである。本実施形態とは異なり、ウエハ８８１は矩形ではなく、円形状であってもよい。この場合、ウエハ８８１の厚みは、たとえば、１ｍｍであり、ウエハ８８１の直径は、たとえば、４５０ｍｍである。
【０１１１】
次に、図８の時刻ｔ１１において、積み替え作業制御器１５０は、ウエハ搬送装置Ａ１のユーザからのウエハ積み替え作業開始指示Ｓｓ１を受ける。すると、図８（ａ）に示すように、積み替え作業制御器１５０は、ウエハ積み替え作業を開始すべきと判断し、ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２を生成する。これにより、ウエハ８８１の積み替え作業が開始される。
【０１１２】
時刻ｔ１１以降、図９、図１０に示すように、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃを、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の上方から、積層方向Ｚに沿って降下させる。本実施形態では、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃをそれぞれ、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の端面に沿うように、降下させる。
【０１１３】
次に、図１１、図１２に示すように、各第１アーム１２１ｂおよび各追加の第１アーム１２１ｃを複数枚のウエハ８８１に接近させる。これにより、各第１アーム１２１ｂおよび各追加の第１アーム１２１ｃの先端に位置する爪部が、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうちの最下位に位置するウエハ８８１の下に到達する。このように、第１ウエハ持ち上げ機構１２１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の持ち上げを開始する第１持ち上げ開始位置に到達する。図１２に示す第１ウエハ持ち上げ機構１２１の位置を第１持ち上げ開始位置とし、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１持ち上げ開始位置に到達する時刻を、図８に示す時刻ｔ１２とする。
【０１１４】
一方、図８（ｂ）、図１０に示すように、時刻ｔ１１においてウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２が生成されると、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出を開始する。第１液体噴出機構１３１からの液体の噴出量、および、追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出量はそれぞれ、たとえば、１．０〜２０．０リットル／分である。そして、時刻ｔ１２において、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出を停止する。このように、第１ウエハ持ち上げ機構１２１の移動が開始してから上述の第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間（時刻ｔ１１〜時刻ｔ１２）の少なくともいずれかの時点において、第１液体噴出機構１３１は第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。更に、第１ウエハ持ち上げ機構１２１の移動が開始してから上述の第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間（時刻ｔ１１〜時刻ｔ１２）の少なくともいずれかの時点において、追加の第１液体噴出機構１４１は第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。本実施形態とは異なり、第１ウエハ持ち上げ機構１２１の移動が開始してから上述の第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間（時刻ｔ１１〜時刻ｔ１２）のうちの半分程度の期間の間のみ、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１から液体の噴出をさせてもよい。
【０１１５】
なお、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出させる期間は同一である必要はない。たとえば、第１液体噴出機構１３１のみからの液体の噴出を行った後に、追加の第１液体噴出機構１４１のみからの液体の噴出を行なってもよい。もちろん、これの逆でもよい。第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出を時刻ｔ１２にて停止させる必要は必ずしもなく、時刻ｔ１２以降においても、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１からの液体の噴出を、継続してもよい。
【０１１６】
次に、図１３に示すように、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃを上昇させ始め、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる。次に、図１４に示すように、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃは、持ち上げた複数枚のウエハ８８１を第２載置具１１２ａに移動させ、第２載置具１１２ａに載置する。
【０１１７】
第１ウエハ持ち上げ機構１２１が移動を開始し、複数枚のウエハ８８１を第１載置具１１１ａから第２載置具１１２ａへと移動させる間、第２載置具１１２ａに複数枚のウエハ８８１は載置されていないが、図９〜図１１、図１３、図１４に示すように、第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃについてはそれぞれ、第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃと同様の動作をさせる。また、図８（ｄ）、図８（ｅ）に示すように、第２液体噴出機構１３２および追加の第２液体噴出機構１４２からもそれぞれ、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１と同様の態様で、液体を噴出させる。
【０１１８】
第１ウエハ持ち上げ機構１２１が移動を開始し、複数枚のウエハ８８１を第１載置具１１１ａから第２載置具１１２ａへと移動させる間、第３載置具１１３ａに複数枚のウエハ８８１は載置されていないが、図９〜図１１、図１３、図１４に示すように、２つの第３アーム１２３ｂおよび２つの追加の第３アーム１２３ｃについてはそれぞれ、２つの第１アーム１２１ｂおよび２つの追加の第１アーム１２１ｃと同様の動作をさせる。また、図８（ｆ）、図８（ｇ）に示すように、第３液体噴出機構１３３および追加の第３液体噴出機構１４３からもそれぞれ、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１と同様の態様で、液体を噴出させる。
【０１１９】
次に、図１５に示すように、一つのインゴットから得られた複数枚のウエハ８８１のうちの３分の１程度を、第１載置具１１１ａに載置する。このあとは、図１６〜図１８に示すように、図１１、図１３、図１４を参照して説明したのと同様の工程を行う。具体的には、２つの第１アーム１２１ｂおよび２つの追加の第１アーム１２１ｃで、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げ、第２載置具１１２ａに移動させる。２つの第１アーム１２１ｂおよび２つの追加の第１アーム１２１ｃで、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前には、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１から液体を噴出させる。
【０１２０】
同様に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を第２載置具１１２ａに移動するのと同時に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃで持ち上げ、第３載置具１１３ａへと移動させる。２つの第２アーム１２２ｂおよび２つの追加の第２アーム１２２ｃで、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前には、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、第２液体噴出機構１３２および追加の第２液体噴出機構１４２から液体を噴出させる。
【０１２１】
次に、図１９に示すように、一つのインゴットから得られた複数枚のウエハ８８１のうちの残りの３分の１程度を、第１載置具１１１ａに載置する。このあとは、図２０に示すように、図１１、図１３、図１４を参照して説明したのと同様の工程を行う。すなわち、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を第２載置具１１２ａへと移動し、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を第３載置具１１３ａへと移動する。第１アーム１２１ｂおよび追加の第１アーム１２１ｃで、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前には、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、第１液体噴出機構１３１および追加の第１液体噴出機構１４１から液体を噴出させる。第２アーム１２２ｂおよび追加の第２アーム１２２ｃで、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前には、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、第２液体噴出機構１３２および追加の第２液体噴出機構１４２から液体を噴出させる。
【０１２２】
第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１は、第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃによって持ち上げられ、ウエハ枚葉化ユニットＢ２における支持機構２２へと移動されられる。第３アーム１２３ｂおよび追加の第３アーム１２３ｃで、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前には、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、第３液体噴出機構１３３および追加の第３液体噴出機構１４３から液体を噴出させる。
【０１２３】
支持機構２２へと移動させられた複数枚のウエハ８８１のうち最上位のウエハ８８１は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６からの噴流を受け、浮上させられる。そして、上述したように、ウエハ受け取り機構２８がウエハ８８１を一枚ずつ受け取り、中継コンベア３１および装填コンベア３２を経由して、ウエハ８８１がカセット３６にて一枚ずつ格納される。このように、ウエハ８８１の枚葉化工程を行う。
【０１２４】
支持機構２２に支持された複数枚のウエハ８８１をカセット３６に一枚ずつ格納し終えると、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１を第３載置具１１３ａへと移動させる。これと同時に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を、ウエハ枚葉化ユニットＢ２における支持機構２２へと移動させ、上述の枚葉化工程を再び行う。当該枚葉化工程を終えると、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１を支持機構２２へと移動させ、上述の枚葉化工程を再び行う。以上の工程により、一つのインゴットから形成された複数枚のウエハ８８１を枚葉化し、一枚ずつカセット３６に格納することができる。
【０１２５】
次に、本実施形態の作用効果について説明する。
【０１２６】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は第１液体噴出機構１３１を備える。第１液体噴出機構１３１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第１方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。このような構成によると、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第１方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与えることが可能である。ウエハ８８１が方向Ｘ１に向かう力を受けることにより方向Ｘ１に向かって移動したとしても、第１移動規制具１１１ｂによって、第１載置位置Ｓ１よりも方向Ｘ１側へ向かうウエハ８８１の移動は規制される。よって、ウエハ８８１に方向Ｘ１に向かう力を与えることによって、複数枚のウエハ８８１の、方向Ｘ１側および方向Ｘ１とは反対方向である方向Ｘ２側の端面を揃えることができる。したがって、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の、方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面を揃えることができる。これにより第１載置具１１１ａから第２載置具１１２ａへと複数枚のウエハ８８１を移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１２７】
本実施形態においては、第１ウエハ持ち上げ機構１２１は、第１アーム１２１ｂを含む。第１アーム１２１ｂは、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位のウエハを持ち上げる。また、第１アーム１２１ｂは、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第１方向（本実施形態では方向Ｘ１）側もしくは第１方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。このような構成において、図１２に示したように、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、複数枚のウエハ８８１の方向Ｘ１側および方向Ｘ１とは反対の方向Ｘ２側の端面に第１アーム１２１ｂが接近した場合を想定する。この場合であっても、上述のように複数枚のウエハ８８１の、方向Ｘ１側および方向Ｘ１とは反対の方向Ｘ２側の端面が揃っているから、第１アーム１２１ｂがウエハ８８１の方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面に接触することを防止できる。第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を第１アーム１２１ｂが持ち上げる際に、第１アーム１２１ｂがウエハ８８１に接触することを防止できると、ウエハ８８１が割れる不具合を防止できる。
【０１２８】
本実施形態においては、第１ウエハ持ち上げ機構１２１は、ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２が生成されると、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の持ち上げを開始する第１持ち上げ開始位置にまで移動する。第１液体噴出機構１３１は、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が動作を開始してから前記第１持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。このような構成によると、複数枚のウエハ８８１の、方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面を揃える工程と、第１ウエハ持ち上げ機構１２１を第１持ち上げ開始位置まで移動させる工程と、を同時に行うことができる。これは、ウエハ積み替え作業の効率化を図るのに適する。
【０１２９】
本実施形態においては、第１液体噴出機構１３１には、一方向に沿って延びる第１スリットノズル１３１ａが形成されている。このような構成によると、第１スリットノズル１３１ａからの噴流を、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１にまんべんなく向かわせることができる。これにより、複数枚のウエハ８８１の方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面を揃える工程を、効率的に行うことができる。
【０１３０】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は、追加の第１移動規制具１１１ｃと、追加の第１液体噴出機構１４１と、を含む。追加の第１移動規制具１１１ｃは、積層方向Ｚ視において、第１載置位置Ｓ１よりも、第１交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。追加の第１液体噴出機構１４１は、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第１交差方向（本実施形態においては方向Ｙ１）に向かう力を与える。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる前に、第１載置具１１１ａに載置された複数枚のウエハ８８１の、方向Ｙ１側および方向Ｙ１とは反対方向である方向Ｙ２側の端面を揃えることができる。これにより第１載置具１１１ａから第２載置具１１２ａへと複数枚のウエハ８８１を移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１３１】
なお、本実施形態によると、ウエハ搬送装置Ａ１が追加の第１移動規制具１１１ｃと追加の第１液体噴出機構１４１とを備えることによって、上述したのと同様の利点を享受することができる。
【０１３２】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は第２液体噴出機構１３２を備える。第２液体噴出機構１３２は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第２方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具１１２ａから第３載置具１１３ａへと複数枚のウエハ８８１を移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１３３】
第１ウエハ持ち上げ機構１２１が第２載置具１１２ａに複数枚のウエハ８８１を載置する際に、ウエハ８８１に割れが生じる可能性がある。ウエハ搬送装置Ａ１が第２液体噴出機構１３２を備える構成によると、このように割れたウエハの破片を噴流によって吹き飛ばすことができ、第２載置具１１２ａに載置されたウエハ８８１の間から割れたウエハの破片を除去することができる。
【０１３４】
本実施形態においては、第２ウエハ持ち上げ機構１２２は、第２アーム１２２ｂを含む。第２アーム１２２ｂは、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位のウエハを持ち上げる。また、第２アーム１２２ｂは、第２ウエハ持ち上げ機構１２２が第２載置具１１２ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第２方向（本実施形態では方向Ｘ１）側もしくは第２方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、ウエハ８８１が割れる不具合を防止できる。
【０１３５】
本実施形態においては、第２ウエハ持ち上げ機構１２２は、ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２が生成されると、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の持ち上げを開始する第２持ち上げ開始位置にまで移動する。第２液体噴出機構１３２は、第２ウエハ持ち上げ機構１２２が動作を開始してから前記第２持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。このような構成のウエハ搬送装置Ａ１は、上述したのと同様の理由により、ウエハ積み替え作業の効率化を図るのに適する。
【０１３６】
本実施形態においては、第２液体噴出機構１３２には、一方向に沿って延びる第２スリットノズル１３２ａが形成されている。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面を揃える工程を、効率的に行うことができる。
【０１３７】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は、追加の第２移動規制具１１２ｃと、追加の第２液体噴出機構１４２と、を含む。追加の第２移動規制具１１２ｃは、積層方向Ｚ視において、第２載置位置Ｓ２よりも、第２交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側に、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。追加の第２液体噴出機構１４２は、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第２載置具１１２ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第２交差方向（本実施形態においては方向Ｙ１）に向かう力を与える。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第２載置具１１２ａから第３載置具１１３ａへと複数枚のウエハ８８１を移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１３８】
なお、本実施形態によると、ウエハ搬送装置Ａ１が追加の第２移動規制具１１２ｃと追加の第２液体噴出機構１４２とを備えることによって、上述したのと同様の利点を享受することができる。
【０１３９】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は第３液体噴出機構１３３を備える。第３液体噴出機構１３３は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第３方向（本実施形態では方向Ｘ１）に向かう力を与える。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第３載置具１１３ａからウエハ枚葉化ユニットＢ２へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１４０】
第２ウエハ持ち上げ機構１２２が第３載置具１１３ａに複数枚のウエハ８８１を載置する際に、ウエハ８８１に割れが生じる可能性がある。ウエハ搬送装置Ａ１が第３液体噴出機構１３３を備える構成によると、このように割れたウエハの破片を噴流によって吹き飛ばすことができ、第３載置具１１３ａに載置されたウエハ８８１の間から割れたウエハの破片を除去することができる。
【０１４１】
本実施形態においては、第３ウエハ持ち上げ機構１２３は、第３アーム１２３ｂを含む。第３アーム１２３ｂは、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１のうち最下位のウエハを持ち上げる。また、第３アーム１２３ｂは、第３ウエハ持ち上げ機構１２３が第３載置具１１３ａから複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し、第３方向（本実施形態では方向Ｘ１）側もしくは第３方向とは反対方向（本実施形態では方向Ｘ２）側に位置する部位を有する。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、ウエハ８８１が割れる不具合を防止できる。
【０１４２】
本実施形態においては、第３ウエハ持ち上げ機構１２３は、ウエハ積み替え作業開始信号Ｓｓ２が生成されると、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の持ち上げを開始する第３持ち上げ開始位置にまで移動する。第３液体噴出機構１３３は、第３ウエハ持ち上げ機構１２３が動作を開始してから前記第３持ち上げ開始位置に到達するまでの期間の少なくともいずれかの時点において、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。このような構成のウエハ搬送装置Ａ１は、上述したのと同様の理由により、ウエハ積み替え作業の効率化を図るのに適する。
【０１４３】
本実施形態においては、第３液体噴出機構１３３には、一方向に沿って延びる第３スリットノズル１３３ａが形成されている。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の方向Ｘ１側および方向Ｘ２側の端面を揃える工程を、効率的に行うことができる。
【０１４４】
本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は、追加の第３移動規制具１１３ｃと、追加の第３液体噴出機構１４３と、を含む。追加の第３移動規制具１１３ｃは、積層方向Ｚ視において、第３載置位置Ｓ３よりも、第３交差方向（本実施形態では方向Ｙ１）側に、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１の各々が移動することを規制する。追加の第３液体噴出機構１４３は、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出することにより、第３載置具１１３ａに載置された複数枚のウエハ８８１に対し第３交差方向（本実施形態においては方向Ｙ１）に向かう力を与える。このような構成によると、上述したのと同様の理由により、第３載置具１１３ａからウエハ枚葉化ユニットＢ２へと複数枚のウエハを移動させる際に生じうる不具合を抑制できる。
【０１４５】
なお、本実施形態によると、ウエハ搬送装置Ａ１が第３移動規制具１１３ｃと追加の第３液体噴出機構１４３とを備えることによって、上述したのと同様の利点を享受することができる。
【０１４６】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。たとえば、ウエハ搬送装置Ａ１が第３保持機構１１３や第３液体噴出機構１３３を備えていなくてもよい。
【符号の説明】
【０１４７】
Ａ１  ウエハ搬送装置
１１１ａ  第１載置具
１１１ｂ  第１移動規制具
１１１ｃ  追加の第１移動規制具
１１２ａ  第２載置具
１１２ｂ  第２移動規制具
１１２ｃ  追加の第２移動規制具
１２１  第１ウエハ持ち上げ機構
１２１ｂ  第１アーム
１２１ｃ  追加の第１アーム
１２２  第２ウエハ持ち上げ機構
１２２ａ  第２駆動部
１２２ｂ  第２アーム
１３１  第１液体噴出機構
１３１ａ  第１スリットノズル
１３２  第２液体噴出機構
１３２ａ  第２スリットノズル
１４１  追加の第１液体噴出機構
１４１ａ  追加の第１スリットノズル
１４２  追加の第２液体噴出機構
１４２ａ  追加の第２スリットノズル
Ｓｓ２  ウエハ積み替え作業開始信号
８８１  ウエハ
Ｚ  積層方向
Ｓ１  第１載置位置
Ｓ２  第２載置位置
Ｓ３  第３載置位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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