【手続補正書】
【提出日】平成28年5月9日(2016.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械的流動化反応器であって、
チャンバが設けられたハウジングを有し、
前記ハウジングの前記チャンバ内に該チャンバ内で運動可能に受け入れられたパンを有し、前記パンは、下面、上面、周囲及び前記パンの前記周囲の周りの少なくとも部分的に前記上面に対して上方に延びる周壁を有し、
前記パンの前記上面によって支持された粒子状物質床を機械的に流動化するために前記パンを振動させるよう結合された少なくとも１つの振動伝達部材を含む伝達装置を有し、  前記少なくとも１つの伝達部材を挿通させる通路を備えた少なくとも１つのブッシュを有し、前記通路は、前記少なくとも１つの伝達部材を単一の軸線に沿う振動軸線方向運動に拘束し、
熱エネルギーを前記粒子状物質床に熱伝導により伝達するために熱を前記パンの前記上面に提供するよう熱伝導可能に結合された加熱器を有し、
前記チャンバを前記パンの前記上面を露出させる上側部分と前記パンの前記下面を露出させる下側部分に分割する可撓性メンブレンと、
前記チャンバの前記下側部分内に不活性ガスを入れるよう前記チャンバの前記下側部分に流体結合された不活性ガス入口と、
粒子状物質を受け入れて或る深さの該粒子状物質を前記パンの前記内面上に堆積させて前記内面上に前記粒子状物質床を形成するよう前記チャンバの前記上側部分に流体結合された粒子状物質入口と、
少なくとも第１の化学種を含むガスを前記チャンバの前記上側部分内に入れるよう前記チャンバの前記上側部分に流体結合されたガス入口とを更に有する、機械的流動化反応器。
【請求項２】
前記パンは、合金鋼、ステンレス鋼合金、ニッケル合金及び黒鉛合金のうちの少なくとも１つと、
前記パンの前記上面によって支持された前記粒子状物質床から前記パンの金属部分を分離する前記パンの上面の少なくとも一部分上の層と、を有する、請求項１記載の機械的流動化反応器
【請求項３】
前記層は、石英、シリサイド及びシリコンカーバイドのうちの少なくとも１つを含む、請求項２記載の機械的流動化反応器。
【請求項４】
前記可撓性メンブレンは、金属ベローを含む、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項５】
前記チャンバの前記上側部分内に受け入れられた供給ガスの入口温度は、反応種の分解温度よりも低い、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項６】
前記チャンバの前記上側部分内に受け入れられた供給ガスの入口温度は、６００℃よりも低い、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項７】
前記チャンバの前記上側部分に流体結合された少なくとも１つの分析器を更に有し、
前記少なくとも１つの分析器は、前記チャンバの前記上側部分内の前記第１の化学種の濃度、前記チャンバの前記上側部分内の前記第２の化学種の濃度、前記チャンバの前記上側部分内の希釈剤の濃度、のうちの少なくとも１つを表す少なくとも１つの出力を提供する、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項８】
前記加熱器は、前記機械的流動化粒子状物質床の温度を少なくとも４００℃まで上昇させる、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項９】
前記第１の化学種を含む前記ガスは、前記チャンバの前記上側部分に半回分式に添加され、そして前記機械的流動化粒子状物質床に接触し、
前記第１の化学種の少なくとも一部分は、熱分解してポリシリコン層を前記機械的流動化床粒子状物質床中の前記粒子の少なくとも一部分に被着させ、
前記ポリシリコン層を有する前記機械的流動化粒子状物質床中の前記粒子の前記部分は、前記パンから半連続的に又は連続的に取り出される、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１０】
前記パンを通って前記パン内に収容された前記機械的流動化粒子状物質床中に垂直方向に突き出た中空部材を更に有し、
前記機械的流動化粒子状物質床の前記深さは、少なくとも部分的に、前記機械的流動化粒子状物質床中への前記中空物質の垂直方向突き出し長さに基づいている、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１１】
前記機械的流動化粒子状物質床の近くに位置した状態で前記チャンバの前記上側部分内に設けられた熱反射性部材を更に有し、前記熱反射性部材は、前記機械的流動化粒子状物質床により放射された熱エネルギーの少なくとも一部分を前記機械的流動化粒子状物質床に戻す、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１２】
前記チャンバの前記上側部分内に受け入れられた前記第１の化学種を含む前記ガスの少なくとも一部分は、前記熱反射性部材の少なくとも一部分上でこれに沿って流れて前記熱反射性部材を４００℃未満の温度に維持する、請求項１１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１３】
前記チャンバの前記下側部分は、前記チャンバの前記上側部分内に維持されている圧力よりも高い圧力に維持される、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１４】
前記チャンバの前記上側部分によって受け入れられた前記第１の化学種は、シラン、ジクロロシラン、トリクロロシラン又はテトラクロロシランのうちの少なくとも１つを含む、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１５】
前記パンの前記振動運動を制御する少なくとも１つの制御器を更に有し、前記制御器は、第１の期間にわたって前記粒子状物質床を機械的に流動化するようアクチュエータの作動を連続的に生じさせ、第２の期間にわたって前記粒子状物質床を鎮めるようアクチュエータの作動を中止し、前記第１の期間と前記第２の期間の比は、約１：１以上である、請求項１記載の機械的流動化反応器。
【請求項１６】
であって、
底面、上面、周囲及び前記周囲の周りに少なくとも部分的に前記上面に対して上方に延びる周壁を有するパンを前記パンに作動可能に結合された少なくとも１つの伝達部材を含む伝達装置によって物理的に変位させるステップを含み、アクチュエータが頂部開口パンを前記パンの前記上面の少なくとも一部分に直角な単一の軸線に沿う双方向運動によって定められた振動運動経路に沿って物理的に変位させ、
粒子を前記パンに加えて前記パンの前記上面と接触状態にある複数個の粒子を含む機械的流動化粒子状物質床を提供するステップを含み、
前記機械的流動化粒子状物質床を４００℃を超える温度まで加熱するステップを含み、  可撓性メンブレンによって前記パンの前記上面を露出させる上側部分と前記パンの前記下面を露出させる下側部分に分割されたチャンバの前記上側部分内に第１の化学種を含むガスを受け入れるステップを含み、前記チャンバの前記上側部分内に受け入れられた前記ガスは、約約６００℃以下の温度で前記チャンバの前記上側部分内に導入され、
少なくとも１つのガス循環装置を用いて前記ガスを前記チャンバの前記上側部分内で且つ前記機械的流動化粒子状物質床の少なくとも一部分を通って循環させるステップを含み、
前記第１の化学種の少なくとも一部分を熱分解して前記加熱状態の機械的流動化粒子状物質床内に第２の化学種を生じさせるステップを含み、
前記第２の化学種を前記機械的流動化粒子状物質床を形成する前記粒子の少なくとも一部分の外面上に堆積させるステップを含み、前記第２の化学種の前記堆積は、前記機械的流動化粒子状物質床を形成する前記粒子のそれぞれの部分の直径を増大させる、機械的流動化反応器を作動させる方法。
【請求項１７】
前記チャンバの前記上側部分内に受け入れられたガスは、前記第１の反応種の分解温度よりも低い温度で前記チャンバの前記上側部分内に導入される、請求項１６記載の機械的流動化反応器を作動させる方法。
【請求項１８】
不活性ガスを前記チャンバの前記下側部分内に入れるステップを更に含み、
前記チャンバの前記下側部分内の前記不活性ガスに及ぼされる圧力は、前記チャンバの前記上側部分内の前記ガスにより及ぼされる圧力よりも高い、請求項１６記載の機械的流動化反応器を作動させる方法。
【請求項１９】
前記粒子状物質床を第１の期間にわたって機械的に流動化するステップと、
前記粒子状物質床の前記機械的流動化を第２の期間にわたって停止させるステップと、を更に含む、請求項１６記載の機械的流動化反応器を作動させる方法。