(57)【要約】【課題】複数のパターンの磁気ディスクのうち、磁気ヘッドに適切な組合せを判別する。【解決手段】ヘッドテスタ１０は、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンが構成されているＢＰＭ型ディスク４０に対し、信号の記録／再生を行う磁気ヘッド６０を評価する。ヘッドテスタ１０は、スピンドル１４と、磁気ヘッド６０を移動可能なアクチュエータ１２，１３と、磁気ヘッド６０の磁気記録特性の評価を行う評価部２５と、磁気ヘッド６０の磁気記録特性を表示する表示部２６と、アクチュエータ１２，１３と評価部２５と表示部２６とを制御する制御部２４とを備えている。ＢＰＭ型ディスク４０をスピンドル１４に装着した際、制御部２４は、磁気ヘッド６０をいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させて磁気ヘッド６０の磁気記録特性の評価を行い、評価結果を表示部２６に表示させ、記憶部３０に記憶させる。【選択図】図１
2013120608.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されている磁気記録媒体に対し、信号の記録または信号の再生を行う磁気ヘッドを評価するヘッドテスタであって、
前記磁気記録媒体を回転させる回転駆動機構と、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の少なくとも半径方向に移動可能なアクチュエータと、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気記録媒体に特定パターンを記録し、当該特定パターンの再生信号から前記磁気ヘッドの磁気記録特性の評価を行う評価部と、
前記磁気ヘッドの磁気記録特性を表示する表示部と、
前記サーボ領域パターン、前記データ領域パターン、磁気記録層のうち少なくとも一つが相互に異なる複数のテストエリアからなるテストゾーンを備えた当該磁気記録媒体を前記回転駆動機構に装着した際、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドをいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させ、前記評価部によって前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を行い、当該磁気ヘッドの磁気記録特性を前記表示部に表示する制御部と、
を有することを特徴とするヘッドテスタ。
【請求項２】
少なくとも、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されている磁気記録媒体に対し、信号の記録または信号の再生を行う磁気ヘッドを評価するヘッドテスタであって、
前記磁気記録媒体を回転させる回転駆動機構と、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の少なくとも半径方向に移動可能なアクチュエータと、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気記録媒体に特定パターンを記録し、当該特定パターンの再生信号から前記磁気ヘッドの磁気記録特性の評価を行う評価部と、
前記磁気ヘッドの磁気記録特性を記憶する記憶部と、
前記サーボ領域パターン、前記データ領域パターン、磁気記録層のうち少なくとも一つが相互に異なる複数のテストエリアからなるテストゾーンを備えた当該磁気記録媒体を前記回転駆動機構に装着した際、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドをいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させ、前記評価部によって前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を行い、前記記憶部に当該磁気ヘッドの磁気記録特性を記憶させる制御部と、
を有することを特徴とするヘッドテスタ。
【請求項３】
前記制御部は、前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を全てのテストゾーンで繰り返し、全てのテストゾーンの評価結果が所定の磁気記録特性であったならば評価を停止し、いずれかのテストゾーンの評価結果が所定の磁気記録特性でなかったならば、当該所定のテストエリアの次のテストエリアの評価を行う、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッドテスタ。
【請求項４】
所定の磁気記録特性とは、データ信号のエラーレート、サーボ信号のリニアリティ、サーボ信号の不感帯、サーボ信号のノイズのいずれかである、
ことを特徴とする請求項３に記載のヘッドテスタ。
【請求項５】
前記磁気記録媒体の前記複数のテストエリアは、トラックピッチ、ビットピッチ、または、面記録密度のうち、いずれかの順に配列されている、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のヘッドテスタ。
【請求項６】
前記制御部は、前記複数のテストエリアのうち最低記録密度のテストエリアに於ける、いずれかのテストゾーンの評価結果が所定の磁気記録特性でなかったならば、評価を終了する、
ことを特徴とする請求項５に記載のヘッドテスタ。
【請求項７】
前記複数のテストエリアは、単一の前記磁気記録媒体上に構成されている、
ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドテスタ。
【請求項８】
前記複数のテストエリアは、複数の前記磁気記録媒体上に分割されて構成されており、
前記制御部は、前記アクチュエータの移動、または、前記磁気記録媒体の交換の後、前記磁気ヘッドを複数の前記磁気記録媒体のうち評価対象のテストエリアを有する磁気記録媒体に位置決めする、
ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドテスタ。
【請求項９】
複数の前記磁気記録媒体は、前記回転駆動機構に積層されて保持されており、
前記アクチュエータは更に、前記磁気ヘッドを複数の前記磁気記録媒体の積層方向に移動可能である、
ことを特徴とする請求項８に記載のヘッドテスタ。
【請求項１０】
前記磁気記録媒体は、磁気記録層の記録密度の順に積層されている、
ことを特徴とする請求項９に記載のヘッドテスタ。
【請求項１１】
前記制御部は、複数の前記磁気記録媒体のうち最低記録密度の磁気記録媒体に於ける、いずれかのテストゾーンの評価結果が、所定の磁気記録特性でなかったならば、評価を終了する、
ことを特徴とする請求項８に記載のヘッドテスタ。
【請求項１２】
少なくとも、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されている磁気記録媒体に対し、信号の記録または信号の再生を行う磁気ヘッドを評価するヘッドテスタのヘッドテスト方法であって、
当該ヘッドテスタは、
前記磁気記録媒体を回転させる回転駆動機構と、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の少なくとも半径方向に移動可能なアクチュエータと、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気記録媒体に特定パターンを記録し、当該特定パターンの再生信号から前記磁気ヘッドの磁気記録特性の評価を行う評価部と、
前記磁気ヘッドの磁気記録特性を表示する表示部と、
少なくとも前記アクチュエータと前記評価部と前記表示部とを制御する制御部と、
を備え、
前記サーボ領域パターン、前記データ領域パターン、磁性体の構造のうち少なくとも一つが相互に異なる複数のテストエリアからなるテストゾーンを備えた当該磁気記録媒体が前記回転駆動機構に装着された際に、
前記制御部、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドをいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させる第１のステップと、
前記評価部によって前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を行う第２のステップと、
当該磁気ヘッドの磁気記録特性を前記表示部に表示する第３のステップと、
を実行することを特徴とするヘッドテスト方法。
【請求項１３】
少なくとも、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されている磁気記録媒体に対し、信号の記録または信号の再生を行う磁気ヘッドを評価するヘッドテスタのヘッドテスト方法であって、
当該ヘッドテスタは、
前記磁気記録媒体を回転させる回転駆動機構と、
前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の少なくとも半径方向に移動可能なアクチュエータと、
前記磁気ヘッドを用いて前記磁気記録媒体に特定パターンを記録し、当該特定パターンの再生信号から前記磁気ヘッドの磁気記録特性の評価を行う評価部と、
前記磁気ヘッドの磁気記録特性を記憶する記憶部と、
少なくとも前記アクチュエータと前記評価部と前記記憶部とを制御する制御部と、
を備え、
前記サーボ領域パターン、前記データ領域パターン、磁性体の構造のうち少なくとも一つが相互に異なる複数のテストエリアからなるテストゾーンを備えた当該磁気記録媒体が前記回転駆動機構に装着された際に、
前記制御部は、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドをいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させる第１のステップと、
前記評価部によって前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を行う第２のステップと、
前記記憶部に当該磁気ヘッドの磁気記録特性を記憶させる第３のステップと、
を実行することを特徴とするヘッドテスト方法。
【請求項１４】
前記制御部は、前記第２のステップに於ける前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を全てのテストゾーンで繰り返し、全てのテストゾーンの評価結果が所定の磁気記録特性であったならば評価を停止して前記第３のステップを実行し、いずれかのテストゾーンの評価結果が所定の磁気記録特性でなかったならば、当該所定のテストエリアの次のテストエリアを新たな評価対象として前記第２のステップを繰り返す、
ことを特徴とする請求項１３に記載のヘッドテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクと磁気ヘッドとの組合せをテストするヘッドテスタおよびヘッドテスト方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクの高記録密度化技術として、ナノプリントなどの微細加工またはスタンパ技術により、磁気ディスク面に予めサーボ領域やデータ領域のパターンが構成されたディスクリートトラック型の磁気ディスク（以下、ＤＴＭ型ディスク）またはビットパターンド型の磁気ディスク（以下、ＢＰＭ型ディスク）、磁気転写型の磁気ディスク（以下、転写型ディスク）などの開発や製品適用が進められている。
【０００３】
これらＤＴＭ型ディスク、ＢＰＭ型ディスク、転写型ディスクに於いて、サーボ領域のパターンは、転写またはパターンニングによって構成されている。そのため、これらのディスクは、磁気ヘッドのコア幅、リードライト特性などに関わらず、半径方向のサーボパターンピッチとサーボ信号周波数とが固定となる。
【０００４】
ＤＴＭ型ディスクでは、同心円状に形成される複数のトラックの間に溝などを形成し、各トラック間を磁気的に分離することによって磁気記録特性の向上を図っている。そのため、ＤＴＭ型ディスクでは、サーボ領域のパターンに加えデータ領域のトラックピッチおよびトラック幅が固定となる。
【０００５】
さらに、ＢＰＭ型ディスクでは、トラック間に加えて円周方向にも磁気的に分離し、ビットごとに磁気的に孤立したセルを構成するようにして磁気記録の安定性を図っている。そのため、ＢＰＭ型ディスクでは、サーボ領域のパターンやテータ領域のトラックピッチ、トラック幅に加えて、ビットピッチおよびビット幅が固定となる。
【０００６】
磁気ディスク装置の高記録密度化に伴って磁気ヘッドのコア幅は大幅に低減し、磁気ヘッド製造の際に発生するコア幅やリードライト特性のばらつきの影響が増大し、固定のトラックピッチまたは固定のビットピッチでは、エラーレートなどに於いて、磁気ディスク装置としての十分な性能が得られない状況が発生している。
従来の連続記録面タイプの磁気ディスクでは、トラックピッチまたはビットピッチを可変できるため、磁気ディスク装置に組込んだ後に、これらの値を調整してエラーレートなどの性能を確保することができる。
【０００７】
しかし、ＤＴＭ型ディスク、ＢＰＭ型ディスク、転写型ディスクに於いて、トラックピッチとビットピッチとは固定である。そこで、トラックピッチやビットピッチなどの異なる複数のパターンの磁気ディスクを用意し、磁気ヘッドの特性に応じて組合せて使用することが必要である。磁気ヘッドまたは磁気ディスクを、いったん磁気ディスク装置に組込んでしまうと、これらの交換は困難である。そのため、あらかじめ磁気ヘッドごとに適切な磁気ディスクの組み合わせを選択し、この磁気ヘッドと磁気ディスクとの組合せを磁気ディスク装置に組込まなければならない。
【０００８】
特許文献１には、第１のトラックピッチＴＰ１を有する第１の磁気記録媒体に対しては、コア幅が第１の値ＣＷ１以上で第２の値ＣＷ２未満（ただし、ＣＷ１＜ＣＷ２）の範囲内である記録ヘッドを用いて記録を行い、第２のトラックピッチＴＰ２（ＴＰ１＜ＴＰ２）を有する第２の磁気記録媒体に対しては、コア幅が該第２の値ＣＷ２以上で第３の値ＣＷ３未満（ただし、ＣＷ２＜ＣＷ３）の範囲内である記録ヘッドを用いて記録を行うディスクリートトラック記録方法の発明が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−２３４０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
エラーレートに代表される磁気ディスク装置の性能は、磁気ヘッドのコア幅および磁気ヘッドのリードライト特性に関わっている。磁気ヘッドのコア幅および磁気ヘッドのリードライト特性は、個々の磁気ヘッドによって大きくばらつく。磁気ヘッドのコア幅に基いて、この磁気ヘッドで読み書きする磁気ディスクを選択し、磁気ディスク装置に組込んだ場合には、性能を十分に確保できるか否かは不確定であり、磁気ディスク装置の歩留まりが低下する虞があった。そのため、磁気ヘッドと、当該磁気ヘッドで読み書きする磁気ディスクをテスト（評価）することにより、磁気ディスク装置に組込んだ場合に於けるエラーレートなどの性能を予測することと、当該磁気ヘッドに適切な磁気ディスクの組合せを判別することとが望まれている。
そこで、本発明は、複数パターンの磁気ディスクのうち、磁気ヘッドに適切な組合せを判別することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決し、本発明の目的を達成するために、以下のように構成した。
【００１２】
すなわち、請求項１に記載の発明では、少なくとも、サーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されている磁気記録媒体に対し、信号の記録または信号の再生を行う磁気ヘッドを評価するヘッドテスタであって、前記磁気記録媒体を回転させる回転駆動機構と、前記磁気ヘッドを前記磁気記録媒体上の少なくとも半径方向に移動可能なアクチュエータと、前記磁気ヘッドを用いて前記磁気記録媒体に特定パターンを記録し、当該特定パターンの再生信号から前記磁気ヘッドの磁気記録特性の評価を行う評価部と、前記磁気ヘッドの磁気記録特性を表示する表示部と、前記サーボ領域パターン、前記データ領域パターン、磁気記録層のうち少なくとも一つが相互に異なる複数のテストエリアからなるテストゾーンを備えた当該磁気記録媒体を前記回転駆動機構に装着した際、前記アクチュエータによって前記磁気ヘッドをいずれかのテストゾーンに含まれる所定のテストエリアに移動させ、前記評価部によって前記所定のテストエリアに於ける前記磁気ヘッドの磁気記録特性評価を行い、当該磁気ヘッドの磁気記録特性を前記表示部に表示する制御部と、を有することを特徴とするヘッドテスタとした。
その他の手段については、発明を実施するための形態のなかで説明する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数のパターンの磁気ディスクのうち、磁気ヘッドに適切な組合せを判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態に於けるヘッドテスタを示す概略の構成図である。
【図２】ＢＰＭ型ディスクに於けるサーボ領域とデータ領域を示す図である。
【図３】ＢＰＭ型ディスクに於けるサーボ領域とデータ領域のパターンの例を示す図である。
【図４】第１の実施形態に於けるテストゾーンとテストディスクの例を示す図である。
【図５】第１の実施形態に於ける各テーブルの例を示す図である。
【図６】第１の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。
【図７】第１の実施形態に於ける次のテストエリア決定処理を示すフローチャートである。
【図８】第１の実施形態に於けるテスト結果表示の例を示す図である。
【図９】第２の実施形態に於けるヘッドテスタを示す概略の構成図である。
【図１０】第２の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。
【図１１】第２の実施形態に於ける次のテストディスクとテストエリア決定処理を示すフローチャートである。
【図１２】第３の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。
【図１３】第３の実施形態に於ける次のテストディスク決定処理を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以降、本発明を実施するための形態を、図を参照して詳細に説明する。
【００１６】
（第１の実施形態の構成）
図１は、第１の実施形態に於けるヘッドテスタを示す概略の構成図である。
ヘッドテスタ１０は、機構系と回路系とを備えている。
【００１７】
（ヘッドテスタ１０の機構系）
ヘッドテスタ１０の機構系は、スピンドル１４と、微動アクチュエータ１２と、Ｘ軸ステージ１３と、定盤１１とを備えている。スピンドル１４と、Ｘ軸ステージ１３とは、定盤１１に固定されている。微動アクチュエータ１２は、Ｘ軸ステージ１３上に固定されている。
定盤１１は、ヘッドテスタ１０の機構系の要素、例えば、スピンドル１４と、Ｘ軸ステージ１３とを固定し、これらに外部からの振動の影響を受けにくいようにするものである。
【００１８】
スピンドル１４（回転駆動機構）は、上部にＢＰＭ型ディスク４０が装着可能なように構成されている。スピンドル１４は更に、装着したＢＰＭ型ディスク４０を所定の回転速度で回転するように構成されている。
【００１９】
Ｘ軸ステージ１３（アクチュエータ）は、磁気ヘッド６０をＢＰＭ型ディスク４０上の任意の半径上に移動させるため、または、ＢＰＭ型ディスク４０上から退避させるために、微動アクチュエータ１２を大きく移動させ、磁気ヘッド６０の大まかな位置決めを行うものである。
微動アクチュエータ１２（アクチュエータ）は、磁気ヘッド６０をＢＰＭ型ディスク４０上のテストエリア５０の任意のトラック上に位置決めする。
Ｘ軸ステージ１３と微動アクチュエータ１２とは、磁気ヘッド６０をＢＰＭ型ディスク４０上の半径方向に移動可能なアクチュエータである。
【００２０】
微動アクチュエータ１２は、サスペンション６１を介して磁気ヘッド６０を保持している。微動アクチュエータ１２は、磁気ヘッド６０が接続されたサスペンション６１を取り外し、別の磁気ヘッド６０が接続されたサスペンション６１に取り換えることが可能なように構成されている。
【００２１】
（ヘッドテスタ１０の回路系）
ヘッドテスタ１０の回路系は、サーボ復調部２１と、減算器２２と、サーボ駆動部２３と、制御部２４と、評価部２５と、表示部２６と、記憶部３０とを備えている。
【００２２】
サーボ復調部２１は、磁気ヘッド６０で再生したサーボ領域４３（図２）に記録されたサーボ情報を復調し、ＢＰＭ型ディスク４０に対する磁気ヘッド６０の位置を表すＰＯＳ（POSition）信号に変換するものである。
減算器２２は、目標位置信号からＰＯＳ信号を減算して、ＰＥＳ（Position Error Signal）信号を出力するものである。
【００２３】
サーボ駆動部２３は、制御部２４から出力される目標位置信号からサーボ復調部２１で復調されたＰＯＳ信号を減算器２２で減算したＰＥＳ信号を低減させ、磁気ヘッド６０をテストエリア５０の目標トラック上に位置決めさせるように微動アクチュエータ１２を駆動するためのサーボ信号を算出して出力するものである。
【００２４】
制御部２４は、当該ヘッドテスタ１０全体の動作を制御するものであり、例えば、スピンドル１４と、微動アクチュエータ１２と、Ｘ軸ステージ１３と、サーボ駆動部２３とを制御する。
【００２５】
評価部２５は、磁気ヘッド６０を用いてＢＰＭ型ディスク４０に評価用パターン（特定パターン）を記録し、当該評価用パターンの再生信号から磁気ヘッド６０の磁気記録特性の評価を実施するものである。
表示部２６は、例えば、液晶ディスプレイなどであり、ＢＰＭ型ディスク４０に係るテスト結果３５（磁気記録特性）などを表示するものである。
【００２６】
記憶部３０は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）またはフラッシュメモリであり、ＢＰＭ型ディスク４０に係るテストディスク属性３４と、テスト結果３５とを記憶するものである。このテストディスク属性３４は、テストエリア属性３１と、テストゾーン属性３２と、ディスク属性３３とを有している。テストエリア属性３１と、テストゾーン属性３２とディスク属性３３とは、後記する図５に於いて詳細に説明する。
【００２７】
磁気ヘッド６０は、ＢＰＭ型ディスク４０に対し、信号の記録または信号の再生を行うものである。
サスペンション６１は、微動アクチュエータ１２に装着されて、磁気ヘッド６０を保持するものである。
【００２８】
図２は、ＢＰＭ型ディスクに於けるサーボ領域とデータ領域を示す図である。
ＢＰＭ型ディスク４０には、同心円状に複数のトラックが形成されている。ＢＰＭ型ディスク４０には、ＢＰＭ型ディスク４０上の位置を検出するための情報が記録されたサーボ領域４３と、データの記録再生を行うデータ領域４１とが、トラック上に交互に等ピッチに構成されている。
ヘッドテスタ１０は、サーボ領域４３に記録されたサーボ情報を磁気ヘッド６０で読み出し、サーボ復調部２１で復調してＰＯＳ信号に変換し、ＢＰＭ型ディスク４０に対する磁気ヘッド６０の位置を検出するように構成されている。ハードディスク装置は、ヘッドテスタ１０と同様に、ＢＰＭ型ディスク４０に対する磁気ヘッド６０の位置を検出する。
【００２９】
図３は、ＢＰＭ型ディスクに於けるサーボ領域とデータ領域のパターンの例を示す図である。
パターンの黒い部分は、磁性膜が表面に設けられた磁性領域である。パターンの白地の部分は、磁性膜の存在しない非磁性領域である。サーボ領域４３の磁性領域は、初期化の際に一方向に磁化され、常に固定パターンの再生信号を出力するようになっている。サーボ領域４３は、プリアンブル部４３ａと、サーボマーク部４３ｂと、トラックコードセクタ部４３ｃと、バースト信号部４３ｄとを有している。
【００３０】
プリアンブル部４３ａは、サーボクロック信号の同期と、信号レベルのゲイン調整とを行うためのものである。サーボマーク部４３ｂは、サーボ領域４３の位置を確定するためものであり、データ領域４１では発生しない特別なパターンが構成されている。トラックコードセクタ部４３ｃは、データ領域４１のアドレス情報（セクタ情報またはシリンダ情報）を２値化したパターンである。バースト信号部４３ｄは、ヘッドの位置誤差を検出するものである。
【００３１】
データ領域４１は、個々の磁性領域である複数のセルで構成されたデータパターン部４１ａを有している。個々のセルの磁性領域は、周囲が非磁性領域に囲まれて孤立している。１個のセルは、１ビットの情報を保持する。データパターン部４１ａに於いて、各ビットのセルは、半径方向に等間隔に構成されたトラックに沿って、等ピッチで整列している。
【００３２】
ビットのセルの半径方向の間隔は、トラックピッチである。ビットのセルの半径方向のサイズは、トラック幅である。ビットのセルのトラック方向の間隔は、ビットピッチである。ビットのセルのトラック方向のサイズは、ビットサイズである。
【００３３】
第１の実施形態に於いて、ＢＰＭ型ディスク４０はテスト専用である。ＢＰＭ型ディスク４０は、一部の領域にテストエリア５０が複数設けられている。個々のテストエリア５０は、同一形状の連続した複数のトラックから構成され、テストに必要な範囲よりも広い幅を有している。
【００３４】
図４（ａ），（ｂ）は、第１の実施形態に於けるテストゾーンとテストディスクの例を示す図である。
図４（ａ）に、複数テストエリア５０が配置されたテストゾーン５２の一例を示す。
テストゾーン５２には、ｎ個のテストエリア５０−１〜５０−ｎが配置されている。テストエリア５０−１〜５０−ｎの個々のサーボ領域４３およびデータ領域４１のパターンは、テストする磁気ヘッド６０と組合せ可能なｎ種類の製品用のＢＰＭ型ディスク４０と同一のパターンである。
【００３５】
したがって、テストエリア５０−１〜５０−ｎはそれぞれ、サーボ領域４３のパターンのサイズとピッチ、および、データ領域４１のパターンのサイズとピッチがそれぞれ異なっている。テストゾーン５２には、テストエリア５０が記録密度順に配列されている。テストエリア５０−１は、最も記録密度が高いパターンである。テストエリア５０−ｎは、記録密度が最も低いパターンである。
テストエリア５０−ｓは標準仕様パターンであり、標準的な形状および性能の磁気ヘッド６０と組合せて使用すると所定の性能が得られるように設計されている。
【００３６】
第１の実施形態に於いて、磁気ヘッド６０と組合せ可能なｎ種類の製品用のＢＰＭ型ディスク４０と同一仕様パターンのｎ種類のテストエリア５０−１〜５０−ｎは、全て１枚のテスト用のＢＰＭ型ディスク４０上に構成されている。したがって、１枚のテスト用のＢＰＭ型ディスク４０へのアクセスで、磁気ヘッド６０と組合せ可能なｎ種類の製品用のＢＰＭ型ディスク４０と同一仕様パターンのテストを完了させることができる。
【００３７】
以上のような構成のもとに、テストエリア５０を順次変更して磁気ヘッド６０の評価を実施し、複数のテストエリア５０−１〜５０−ｎの中から所定の評価結果が得られるテストエリア５０を検出している。これにより、ヘッドテスタ１０は、磁気ヘッド６０と組合せ可能なｎ種類の製品用のＢＰＭディスクの中から適切な組合せを判別することが可能になる。
【００３８】
なお、判断の基準になる評価結果としては、エラーレートが特に重要である。エラーレートは、サーボ信号の精度やリードライト特性などを含む総合的な性能を示している。エラーレートが所定値以下にならないと、磁気ディスク装置の記録再生情報にエラーが発生する確率が高くなり、エラーリカバリに時間を要し、最悪の場合には元のデータを再現できなくなる虞がある。第１の実施形態に於いて、エラーレートが所定値以下であることを所定の評価結果として、以下説明を行う。
【００３９】
図４（ｂ）に、テスト用のＢＰＭ型ディスク４０上に配置された複数のテストゾーン５２の一例を示す。
磁気ディスク装置では、所定の回転速度で磁気ディスクを回転させるので、半径位置によって線速度が異なり、ビットピッチが同じであれば、半径の大きな外周ほど記録再生信号の周波数が高くなる。記録再生信号周波数の変動幅が大きくなるのは望ましくないため、半径方向にゾーンを分け、ゾーンごとにビットピッチを変えるゾーンビットレコーディング方式が一般的に採用されている。ゾーンビットレコーディングが採用されているＢＰＭ型ディスク４０は、個々のゾーンで磁気記録再生特性が異なり、評価結果に差が出る虞がある。
【００４０】
テスト用のＢＰＭ型ディスク４０は、複数のテストゾーン５２を、ゾーンビットレコーディングのゾーンごとに、その中でリードライト条件の厳しくなる場所に設けている。しかし、これに限られず、それらゾーンのうちの代表的な場所に絞ってテストゾーン５２を設けてもよい。これにより、テスト時間を短縮することができる。
【００４１】
第１の実施形態のテスト用のＢＰＭ型ディスク４０は、外周、中周、内周のそれぞれにテストゾーン５２−１〜５２−３の３個のテストゾーン５２を配置している。
【００４２】
第１の実施形態の各テストゾーン５２−１〜５２−３に於いて、複数のテストエリア５０−１〜５０−ｎの番号１〜ｎは、ｎ種類の製品用のＢＰＭ型ディスク４０の番号と一致している。同一番号のテストエリア５０は、同一番号の製品用のＢＰＭ型ディスク４０の各ゾーンのパターンと一致している。第１の実施形態の各テストゾーン５２−１〜５２−３の全てに於いて、同一番号のテストエリア５０でエラーレートが所定値以下になることが、テスト合格の条件となる。
【００４３】
図５（ａ）〜（ｃ）は、第１の実施形態に於ける各テーブルの例を示す図である。
図５（ａ）は、テストエリア属性３１を示す図である。
テストエリア属性３１は、当該ＢＰＭ型ディスク４０に係る各テストエリア５０の属性が格納されているものである。テストエリア属性３１は、テストエリア番号欄３１ａと、トラックピッチ欄３１ｂと、トラック幅欄３１ｃと、ビットピッチ欄３１ｄと、ビット幅欄３１ｅとを備えている。
テストエリア番号欄３１ａは、当該エントリに係るテストエリア５０の番号を格納するものである。
トラックピッチ欄３１ｂは、当該テストエリア５０に係るトラックピッチの情報を格納するものである。
トラック幅欄３１ｃは、当該テストエリア５０に係るトラック幅の情報を格納するものである。
ビットピッチ欄３１ｄは、当該テストエリア５０に係るビットピッチの情報を格納するものである。
ビット幅欄３１ｅは、当該テストエリア５０に係るビット幅の情報を格納するものである。
【００４４】
図５（ｂ）は、テストゾーン属性３２を示す図である。
テストゾーン属性３２は、当該ＢＰＭ型ディスク４０に係る各テストゾーン５２の属性が格納されているものである。テストゾーン属性３２は、テストゾーン番号欄３２ａと、記録密度欄３２ｂを備えている。
テストゾーン番号欄３２ａは、当該エントリに係るテストゾーン５２の番号を格納するものである。
【００４５】
記録密度欄３２ｂは、当該テストゾーン５２に係る記録密度を格納するものである。ここではテストゾーン５２ごとの相対的な記録密度が「低」「中」「高」として格納されている。
【００４６】
図５（ｃ）は、ディスク属性３３を示す図である。
ディスク属性３３は、当該ＢＰＭ型ディスク４０に係るディスクの属性が格納されているものである。ディスク属性３３は、磁性体の種類、ディスク径、ディスク厚などから構成されている。
【００４７】
（第１の実施形態の動作）
図１を基に、ヘッドテスタ１０の動作を説明する。
ＢＰＭ型ディスク４０は、スピンドル１４に保持されており、スピンドル１４は、データの記録再生の際に所定の回転速度で回転する。ＢＰＭ型ディスク４０に対してデータの記録再生を行う磁気ヘッド６０は、サスペンション６１を介して微動アクチュエータ１２に保持されている。
【００４８】
Ｘ軸ステージ１３は、磁気ヘッド６０をＢＰＭ型ディスク４０上の任意の半径へ移動させ、あるいはＢＰＭ型ディスク４０上から退避させるために、微動アクチュエータ１２を移動させて磁気ヘッド６０の大まかな位置決めを行う。微動アクチュエータ１２は、サーボ駆動部２３から出力されるサーボ信号によって駆動され、磁気ヘッド６０をＢＰＭ型ディスク４０上のテストエリア５０の任意のトラック上に位置決めする。
【００４９】
サーボ復調部２１は、磁気ヘッド６０で再生したサーボ領域４３に記録されたサーボ情報を復調して、ＢＰＭ型ディスク４０に対する磁気ヘッド６０の位置を表すＰＯＳ信号に変換する。減算器２２は、制御部２４から出力される目標位置信号から、サーボ復調部２１で復調されたＰＯＳ信号を減算してＰＥＳ（Position Error Signal：位置誤差）信号を生成し、サーボ駆動部２３に出力する。サーボ駆動部２３は、当該ＰＥＳ信号を低減させ、磁気ヘッド６０をテストエリア５０の目標トラック上に位置決めさせるよう、サーボ信号を算出して出力し、微動アクチュエータ１２を駆動する。
【００５０】
制御部２４は、スピンドル１４、微動アクチュエータ１２、Ｘ軸ステージ１３、サーボ駆動部２３の動作を制御する。評価部２５は、ＰＥＳ信号によって磁気ヘッド６０の位置制御が行われている状態であることを制御部２４からの信号で確認した後、磁気ヘッド６０によって評価用パターン（特定パターン）をＢＰＭ型ディスク４０に記録し、その再生信号から磁気記録特性の評価を実施し、評価結果を記憶部３０のテスト結果３５に保存し、かつ表示部２６に表示する。
【００５１】
図６は、第１の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。
処理を開始すると、ステップＳ１０に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、最初に評価を実行するテストエリア５０のテスト順番を決定する。
ステップＳ１１に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、評価部２５によって磁気ヘッド６０のコア幅を測定する。
ステップＳ１２に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、磁気ヘッド６０を最も記録密度の低いテストゾーン５２に移動する。
ステップＳ１３に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、テスト対象である当該トラックピッチが、磁気ヘッド６０のコア幅よりも小さいか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ１４の処理を行い、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ１６の処理を行う。
ステップＳ１４に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、磁気ヘッド６０をテストゾーン５２の中の該当テストエリア５０に移動する。
【００５２】
ステップＳ１５に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、評価部２５によって磁気ヘッド６０の評価を実行して、ステップＳ１７の処理を行う。
ステップＳ１６に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該評価をスキップして、評価結果としてＳＫＩＰを設定する。
【００５３】
ステップＳ１７に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、ステップＳ１５に於ける評価結果がＯＫであったか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ１８の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ２３の処理を行う。
【００５４】
ステップＳ１８に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全てのテストゾーン５２を評価したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ１９の処理を行い、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２０の処理を行う。
【００５５】
ステップＳ１９に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、磁気ヘッド６０を、次に記録密度が低いテストゾーン５２に移動し、ステップＳ１３の処理に戻る。
ステップＳ２０に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、テストの結果としてＯＫを設定する。
ステップＳ２１に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、各テストエリア５０の評価結果に基き、磁気ヘッド６０のランクを決定する。
【００５６】
ステップＳ２２に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、評価部２５によってテストの結果を記憶部３０のテスト結果３５に保存して、表示部２６に表示し、図６の処理を終了する。
【００５７】
ステップＳ２３に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、最低記録密度のテストエリア５０であるか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２４の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ２５の処理を行う。
ステップＳ２４に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、テストの結果としてＮＧを設定し、ステップＳ２２の処理を行う。
ステップＳ２５に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、次のテストエリア決定処理を行う。ステップＳ２５の処理は、後述する図７で詳細に説明する。
【００５８】
ステップＳ２６に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全てのテストエリアを評価したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ１２の処理に戻り、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２４の処理を行う。
【００５９】
磁気ヘッド６０と記録密度の高いＢＰＭ型ディスク４０との組合せが望まれる場合、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該磁気ヘッド６０の評価に於いて、最高記録密度のテストエリア５０−１からテストを開始し、評価結果に応じて記録密度の低いテストエリア５０に順次移行するように、ステップＳ１０でテストエリア順番を決定する。
【００６０】
磁気ヘッド６０と標準的な記録密度のＢＰＭ型ディスク４０との組合せでよい場合、標準仕様パターンのテストエリア５０−ｓからテストを開始して、記録密度の低いテストエリア５０に順次移行するよう、ステップＳ１０でテストエリア順番を決定する。これにより、テスト時間の短縮が可能になる。
【００６１】
次のテストエリア決定処理に於いて、ステップＳ１０で決定したテストエリア順番に沿って選択することが考えられる。しかし、該当テストエリア５０のエラーレートの値と所定値との差が大きな場合、または、該当テストエリア５０に於ける評価結果ＯＫの統計確率が低い場合などには、ステップＳ１１で測定した磁気ヘッド６０のコア幅などの基本特性値に基き、評価結果がＯＫでない蓋然性の高いテストエリア５０をスキップすることによって、テストの効率化を図ることができる。磁気ヘッド６０のコア幅などの基本特性値に基く場合には、記録密度だけではなく、コア幅の場合にはトラックピッチやトラック幅、リードライト特性の場合にはビットピッチやビット幅などの値に注目して、評価結果がＯＫでない蓋然性の高いテストエリア５０をスキップすることが可能である。
【００６２】
磁気ヘッド６０のコア幅などの基本特性値については、ステップＳ１１に於いて測定される。しかし、これに限られず、各テストゾーン５２の最初のテストエリア５０での評価の際に併せて測定してもよく、図６のテストシーケンスを開始する前に、予めヘッドテスタ１０に入力するようにしてもよい。
【００６３】
第１の実施形態では、各磁気ヘッド６０の最終的なテストの結果に加えて、テスト途中のテストエリア５０とエラーレートの値の関係やコア幅などの基本特性値をテスト結果３５に保存し、これらの保存結果をデータベースとして次のテストエリア５０を選択するようにしている。これにより、更に短時間で適切な磁気ヘッド６０とＢＰＭ型ディスク４０の組み合わせの選択が可能になる。
【００６４】
なお、テストゾーン５２の評価順序に関しては、リードライト条件が厳しくエラーレートの値が大きくなると予測されるテストゾーン５２から順番に評価すると、該当テストエリア５０での評価がＮＧである場合に、早い段階でチェックできる可能性が高く、テスト時間の短縮を図ることができる。
【００６５】
図７は、第１の実施形態に於ける次のテストエリア決定処理を示すフローチャートである。図７の処理は、ステップＳ２５の処理によって呼び出される。
処理を開始すると、ステップＳ３０に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、ステップＳ１０（図６）で決定したテストエリア５０の順番に基き、次のテストエリア５０を選択する。
ステップＳ３１に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該磁気ヘッド６０のコア幅に係るテスト結果３５を集計する。
ステップＳ３２に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、集計したテスト結果３５を、当該テストディスクの磁性体に係るものに絞込む。
ステップＳ３３に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、集計したテスト結果３５を更に、選択したテストパターンに係るものに絞込む。
【００６６】
ステップＳ３４に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、集計したテスト結果３５は、統計上有意な件数であるか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、図７の処理を終了し、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ３５の処理を行う。
ステップＳ３５に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、エラーレート（エラー率）が所定値以上であるか否かを判断する。
【００６７】
ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、図７の処理を終了し、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ３６の処理を行う。
【００６８】
ステップＳ３６に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全テストエリア５０を評価したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ３０の処理を行い、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、図７の処理を終了する。
【００６９】
図８は、第１の実施形態に於けるテスト結果表示の例を示す図である。
表示部２６の画面には、磁気ヘッド６０の固有番号「００１２３」と、テストの結果として「ＯＫ」が表示されている。テストの結果がＯＫの場合なので、更に磁気ヘッド６０のランクが「３」として表示されている。第１の実施形態では、各テストゾーン５２−１〜５２−３のテストエリア５０−１〜５０−ｎの中で、実際にテストを行った部分の評価結果が表示されるようになっている。
オペレータは、例えばテスト結果３５に於ける磁気ヘッド６０のランクに基き、磁気ヘッド６０を、ランクごとに設けられた個々のトレイに振り分けることができる。テスト終了の際には、磁気ヘッド６０を一旦元のトレイに戻しておき、記憶部３０に記録されたテスト結果３５を参照して、テスト済みの磁気ヘッド６０をランクごとに別のトレイに振り分け、磁気ディスク装置組立ての際に、所定ランクの磁気ヘッド６０のみを使用してもよい。
【００７０】
（第１の実施形態の効果）
以上説明した第１の実施形態では、次の（Ａ）〜（Ｅ）のような効果がある。
【００７１】
（Ａ）  第１の実施形態では、一枚のＢＰＭ型ディスク４０に複数のテストエリア５０を設けている。これにより、複数のＢＰＭ型ディスク４０を切り替えることなく、１枚のＢＰＭ型ディスク４０により、磁気ヘッド６０と複数のテストエリア５０との組合せ評価を行うことができる。
【００７２】
（Ｂ）  第１の実施形態のＢＰＭ型ディスク４０は、複数のテストゾーン５２に、複数のテストエリア５０を設けている。これにより、ゾーンビットレコーディングが採用されているＢＰＭ型ディスク４０であっても、個々のゾーンでの磁気記録再生特性の評価を行うことができる。
【００７３】
（Ｃ）  ヘッドテスタ１０は、最も記録密度の低いテストゾーン５２からテストを開始している。これにより、当該テストエリア５０に於いてエラーが発生し始める記録密度のテストゾーン５２に関する情報を蓄積し、次のテストエリア決定処理で、もっとも適切な次のテストエリア５０を選択する情報源とすることができる。
【００７４】
（Ｄ）  ヘッドテスタ１０は、テストエリア５０のトラックピッチがコア幅よりも狭いとき、当該評価をスキップしている。これにより、明らかに評価不要なテストシーケンスを省き、テスト時間を短縮することができる。
【００７５】
（Ｅ）  ヘッドテスタ１０は、次のテストエリア５０を選択したとき、選択したテストエリア５０のテスト結果３５を集計してエラーレートが所定値以上であったならば、更に次のテストエリア５０を選択している。これにより、統計上、明らかにエラーレートが高いテストエリア５０の評価を省き、テスト時間を短縮することができる。
【００７６】
（第２の実施形態の構成）
図９は、第２の実施形態に於けるヘッドテスタを示す概略の構成図である。
第２の実施形態のヘッドテスタ１０Ａは、第１の実施形態のヘッドテスタ１０（図１）に加えてＺ軸ステージ１５を備え、スピンドル１４に複数のＢＰＭ型ディスク４０が積層されて取付けられ、記憶部３０に複数のテストディスク属性３４−１〜３４−４が記憶されている他は、第１の実施形態のヘッドテスタ１０（図１）と同様に構成されている。Ｚ軸ステージ１５は、Ｘ軸ステージ１３上に配置され、微動アクチュエータ１２を支持している。
Ｚ軸ステージ１５は、支持している微動アクチュエータ１２を上下方向（Ｚ軸方向）に駆動可能なアクチュエータである。Ｚ軸ステージ１５は、Ｘ軸ステージ１３によって、ＢＰＭ型ディスク４０の半径方向（Ｘ軸方向）に駆動される。
【００７７】
複数のＢＰＭ型ディスク４０は、トラックピッチやビットピッチなどのパターンの形状に加えて、リードライト特性のばらつきに合わせて磁性体の構造が異なるもので構成されている。これにより、トラックピッチやビットピッチなどのＢＰＭ型ディスク４０のパターンの形状のテストに、磁性体の構造が異なるＢＰＭ型ディスク４０のリードライト特性のテストを組み合わせることが可能となる。
複数のテストディスク属性３４−１〜３４−４は、積層した複数のＢＰＭ型ディスク４０に係る属性を記憶している。
【００７８】
Ｚ軸ステージ１５は、支持している微動アクチュエータ１２を上下方向に駆動することにより、サスペンション６１に支持された磁気ヘッド６０を上下移動させる。Ｚ軸ステージ１５は、Ｘ軸ステージ１３と連動して、複数のＢＰＭ型ディスク４０のうちの任意のＢＰＭ型ディスク４０上に、磁気ヘッド６０を移動させる。
【００７９】
第２の実施形態のヘッドテスタ１０Ａは、複数のＢＰＭ型ディスク４０にアクセスするため、スピンドル１４に複数のＢＰＭ型ディスク４０を積層して取付け、Ｚ軸ステージ１５で磁気ヘッド６０を上下移動させ、任意のＢＰＭ型ディスク４０でテストを行うように構成されている。複数のＢＰＭ型ディスク４０には、それぞれ１個または複数個のテストエリア５０が構成されており、これらを全て組合せることにより、組合せ可能な製品用のＢＰＭ型ディスク４０の全種類のパターンになるように構成されている。
【００８０】
第２の実施形態では、積層した複数のＢＰＭ型ディスク４０は、各テストエリア５０の記録密度が一方向に増加または減少するように配置している。これにより、磁気ヘッド６０の上下移動の時間を減らし、テスト時間を短縮させることができる。
【００８１】
制御部２４は、複数のテストディスク属性３４−１〜３４−４に基き、積層した複数のＢＰＭ型ディスク４０のいずれかに磁気ヘッド６０を移動させ、いずれかのテストエリア５０でテストを行う。
【００８２】
（第２の実施形態の動作）
図１０は、第２の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。第１の実施形態のテストシーケンス（図６）と同一の要素には同一の符号を付与している。
処理を開始すると、ステップＳ１０Ａに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、評価するテストディスク順番とテストエリア順番を決定する。
ステップＳ１１の処理は、第１の実施形態のステップＳ１１（図６）の処理と同様である。
ステップＳ１２Ａに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、Ｚ軸ステージ１５によって、決定したテストディスクに磁気ヘッド６０を移動させる。
ステップＳ１２〜Ｓ２４の処理は、第１の実施形態のステップＳ１２〜Ｓ２４（図６）の処理と同様である。
ステップＳ２３に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ２５Ａの処理を行う。
【００８３】
ステップＳ２５Ａに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、次のテストディスクとテストエリア決定処理を行う。ステップＳ２５Ａの処理は、後記する図１１で詳細に説明する。
【００８４】
ステップＳ２６Ａに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全テストディスクと全テストエリア５０の評価を完了したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２４の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ２７の処理を行う。
【００８５】
ステップＳ２７に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、次のテストディスクが、現在の評価中のディスクと同一であるか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ１２の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ１２Ａの処理を行う。
【００８６】
図１１は、第２の実施形態に於ける次のテストディスクとテストエリア決定処理を示すフローチャートである。第１の実施形態の次のテストエリア決定処理（図７）と同一の要素には同一の符号を付与している。
処理を開始したのち、ステップＳ３０〜Ｓ３６の処理は、第１の実施形態のステップＳ３０〜Ｓ３６の処理（図７）と同様である。
ステップＳ３６に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ３７の処理を行う。
【００８７】
ステップＳ３７に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、ステップＳ１０Ａ（図１０）で決定したテストディスク順番に基き、次のテストディスクを選択する。
【００８８】
ステップＳ３８に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全てのテストディスクを評価したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、図１１の処理を終了し、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ３９の処理を行う。
ステップＳ３９に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、ステップＳ１０Ａ（図１０）で決定したテストエリア５０の順番に基き、最初のテストエリア５０を選択し、ステップＳ３１の処理に戻る。
【００８９】
（第２の実施形態の効果）
以上説明した第２の実施形態では、次の（Ｆ），（Ｇ）のような効果がある。
【００９０】
（Ｆ）  複数のＢＰＭ型ディスク４０を積層すると共に、Ｚ軸ステージ１５によって、これらの複数のＢＰＭ型ディスク４０のうち任意のひとつに、磁気ヘッド６０を移動させてテストを行うことができる。これにより、トラックピッチやビットピッチなどのＢＰＭ型ディスク４０のパターンの形状のテストに、磁性体の構造が異なるＢＰＭ型ディスク４０のリードライト特性のテストを組み合わせることが可能となる。
【００９１】
（Ｇ）  第２の実施形態では、積層した複数のＢＰＭ型ディスク４０は、各テストエリア５０の磁気記録層の記録密度が一方向に増加または減少するように配置している。これにより、複数のＢＰＭ型ディスク４０の磁気記録層の記録密度の順番に評価するテストシーケンスに於いて、磁気ヘッド６０の上下移動の時間を減らし、テスト時間を短縮させることができる。
【００９２】
（第３の実施形態の構成）
第３の実施形態のヘッドテスタ１０Ａは、第２の実施形態のヘッドテスタ１０Ａとは異なり、製品用のＢＰＭ型ディスク４０がスピンドル１４に積層して取付けられている。
【００９３】
複数の異なるパターンのテストエリア５０を備えるテスト用のＢＰＭ型ディスク４０は、製品用のＢＰＭ型ディスク４０に比べて生産数が大幅に少なくなり、製造コストが非常に高くなる虞がある。
【００９４】
組合せ可能な製品用のＢＰＭ型ディスク４０の種類が少ない場合には、製品用のＢＰＭ型ディスク４０をスピンドル１４に積層して取付けて使用することにより、廉価な製品用のＢＰＭ型ディスク４０によって磁気ヘッド６０のテストを行うことができる。
【００９５】
（第３の実施形態の動作）
図１２は、第３の実施形態に於けるテストシーケンスの例を示すフローチャートである。第１の実施形態のテストシーケンス（図６）と同一の要素には同一の符号を付与している。
処理を開始すると、ステップＳ１０Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、評価するテストディスク順番を決定する。
ステップＳ１１〜Ｓ２２の処理は、第１の実施形態のステップＳ１２〜Ｓ２２（図６）の処理と同様である。
【００９６】
ステップＳ２３Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、最低記録密度のテストディスクであるか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２４の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ２５Ｂの処理を行う。
ステップＳ２４の処理は、第１の実施形態のステップＳ２４（図６）の処理と同様である。
【００９７】
ステップＳ２５Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、次のテストディスク決定処理を行う。ステップＳ２５Ｂの処理は、後記する図１３で詳細に説明する。
【００９８】
ステップＳ２６Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全テストディスクの評価を完了したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ２４の処理を行い、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ１２の処理を行う。
【００９９】
図１３は、第３の実施形態に於ける次のテストディスク決定処理を示すフローチャートである。第１の実施形態の次のテストエリア決定処理（図７）と同一の要素には同一の符号を付与している。
処理を開始したのち、ステップＳ３０Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、ステップＳ１０Ｂ（図１２）で決定したテストディスク順番に基き、次のテストディスクを選択する。
【０１００】
ステップＳ３１〜Ｓ３５の処理は、第１の実施形態のステップＳ３１〜Ｓ３５の処理（図７）と同様である。ステップＳ３５に於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、ステップＳ３７Ｂの処理を行う。
ステップＳ３７Ｂに於いて、ヘッドテスタ１０の制御部２４は、全てのテストディスクを評価したか否かを判断する。ヘッドテスタ１０の制御部２４は、当該判断条件が成立したならば（Ｙｅｓ）、図１３の処理を終了し、当該判断条件が成立しなかったならば（Ｎｏ）、ステップＳ３０Ｂの処理を行う。
【０１０１】
（第３の実施形態の効果）
以上説明した第３の実施形態では、次の（Ｈ）のような効果がある。
【０１０２】
（Ｈ）  第３の実施形態のテストシーケンスによれば、複数の製品用のＢＰＭ型ディスク４０によって、磁気ヘッド６０のテストを行うことができる。これにより、生産量が極めて少なくて高価なテスト用のＢＰＭ型ディスク４０ではなく、生産量が多くて廉価な製品用のＢＰＭ型ディスク４０を使って、磁気ヘッド６０のテストを行うことができる。
【０１０３】
（変形例）
本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、変更実施が可能である。この利用形態や変形例としては、例えば、次の（ａ）〜（ｆ）のようなものがある。
【０１０４】
（ａ）  第２および第３の実施形態に於いて、ヘッドテスタ１０Ａは、複数のＢＰＭ型ディスク４０へのアクセス方法として、1台のスピンドル１４に複数のＢＰＭ型ディスク４０を積層させている。しかし、これに限られず、ヘッドテスタは、磁気ヘッド６０の周囲に複数台のスピンドル１４を設けて、その上に取付けられた1枚もしくは複数枚のＢＰＭ型ディスク４０にアクセスするように構成してもよい。また、ヘッドテスタは、ディスクの自動交換機構などによって、スピンドル１４に取付けられたＢＰＭ型ディスク４０を自動で交換するように構成してもよい。
【０１０５】
（ｂ）  第１〜第３の実施形態のヘッドテスタ１０，１０Ａは、ＢＰＭ型ディスク４０と磁気ヘッド６０との組合せのテストを行っている。しかし、これに限られず、ヘッドテスタは、例えば転写型ディスクのようにサーボ領域４３のパターンが固定化されたディスク、例えばＤＴＭ型ディスク、サーボ領域４３に加えてデータ領域４１のトラック形状が固定化されたディスク、データ領域４１のトラック形状が固定化されたディスク、または、少なくともサーボ領域パターンまたはデータ領域パターンのいずれかが同心円状に構成されているディスクに適用してもよい。
【０１０６】
（ｃ）  第１〜第３の実施形態のヘッドテスタ１０，１０Ａは、所定の評価結果として、サーボ情報の精度やリードライト特性などを含んだ総合的な性能を示すエラーレートの値を用いている。しかし、これに限られず、ヘッドテスタは、サーボ領域４３のパターンのみが固定化された転写型ディスクなどに於けるサーボ情報の精度を、当該所定の評価結果に用いてもよい。
【０１０７】
（ｄ）  第１〜第３の実施形態のヘッドテスタ１０，１０Ａは、サーボ領域４３のパターンと磁気ヘッド６０のコア幅やリードライト特性の組合せによって、ＰＯＳ信号のリニアリティ低下、ＰＯＳ信号の不感帯の発生、ＰＯＳ信号へのノイズが発生する。したがって、ヘッドテスタは、これらＰＯＳ信号のリニアリティ低下、ＰＯＳ信号の不感帯の発生、ＰＯＳ信号へのノイズ指標のいずれか、または、これらの組み合わせを、所定の評価結果に用いてもよい。
【０１０８】
（ｅ）  第１の実施形態のヘッドテスタ１０は、テスト結果３５に応じて記録密度の低いテストエリア５０に順次移行している。しかし、これに限られず、これはテスト結果３５に応じて記録密度の高いテストエリア５０に移行するようにしてもよい。例えば、ヘッドテスタは標準仕様パターンのテストエリア５０−ｓからテストを開始し、テスト結果３５のエラーレートの値が所定値より十分に小さな場合には、記録密度の高いテストエリア５０に移行することで、テスト時間を短縮し、かつ、高記録密度なＢＰＭ型ディスク４０との組合せを見つけることが可能となる。
【０１０９】
（ｆ）  第１の実施形態のテスト用のＢＰＭ型ディスク４０は、複数のテストゾーン５２を、ゾーンビットレコーディングのゾーンごとに、その中でリードライト条件の厳しくなる場所に設けている。しかし、これに限られず、ヘッドテスタを、ゾーンビットレコーディング方式を採用していない磁気記録媒体と磁気ヘッドの組み合わせテストに使用してもよい。このとき、テストゾーンは、磁気記録媒体の半径方向に於ける代表的な場所、例えば最外周近傍と最内周近傍などに設けることとなる。
【符号の説明】
【０１１０】
１０  ヘッドテスタ
１１  定盤
１２  微動アクチュエータ（アクチュエータ）
１３  Ｘ軸ステージ（アクチュエータ）
１４  スピンドル（回転駆動機構）
１５  Ｚ軸ステージ（アクチュエータ）
２１  サーボ復調部
２２  減算器
２３  サーボ駆動部
２４  制御部
２５  評価部
２６  表示部
３０  記憶部
３１  テストエリア属性
３５  テスト結果（磁気記録特性）
４０  ＢＰＭ型ディスク（磁気記録媒体）
４１  データ領域
４３  サーボ領域
５０  テストエリア
５２  テストゾーン
６０  磁気ヘッド
６１  サスペンション
【図１】
2013120608.tif 000003
【図２】
2013120608.tif 000004
【図３】
2013120608.tif 000005
【図４】
2013120608.tif 000006
【図５】
2013120608.tif 000007
【図６】
2013120608.tif 000008
【図７】
2013120608.tif 000009
【図８】
2013120608.tif 000010
【図９】
2013120608.tif 000011
【図１０】
2013120608.tif 000012
【図１１】
2013120608.tif 000013
【図１２】
2013120608.tif 000014
【図１３】
2013120608.tif 000015