【手続補正書】
【提出日】平成28年10月27日(2016.10.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワーク上で動作するように構成されたドッキングステーションにおいて、ツールのプロセス特性を調べる方法であって、
（ａ）ツールのプロセス特性を調べるミッションに由来する１つまたは複数のデータセットが内部のメモリに格納されているセンサウェーハを、ドッキングステーションにてロボット式ウェーハ運搬システムから受け取ること、
（ｂ）前記ドッキングステーションと前記センサウェーハとの間のデータ接続を確立すること、
（ｃ）前記センサウェーハ内の前記メモリから、前記１つまたは複数のデータセットをダウンロードすること、及び
（ｄ）前記ネットワークを介してサーバに前記ダウンロードしたデータを受け渡すこと、を含む方法。
【請求項２】
前記ドッキングステーションがツール内に配置されている、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ロボット式ウェーハ運搬システムが、自動材料搬送システム（ＡＭＨＳ）及びウェーハ搬送ロボットから構成されている、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ドッキングステーションが軌道外の保管場所に配置されている、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記ロボット式ウェーハ運搬システムがＡＭＨＳから構成されている、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記センサウェーハが前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）の内部に収納されており、前記ＦＯＵＰは、データ端子を介して、前記センサウェーハ内の前記メモリにデータを転送し、かつ／または前記センサウェーハ内の前記メモリからデータを転送することが可能である、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記ドッキングステーションと前記センサウェーハとの間の前記データ接続が前記ＦＯＵＰを介して確立される、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ＦＯＵＰ内のバッテリを充電することをさらに含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
ドッキングステーションを用いてデータ用導路を提供せずとも、前記ＦＯＵＰが、前記サーバにまたは前記サーバからデータを無線で転送するように構成されている、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
前記ドッキングステーションと前記センサウェーハとの間の電気的接続を確立することをさらに含み、前記電気的接続は、前記センサウェーハ内のバッテリに電荷を供給するように構成されている、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記電気的接続及び前記データ接続が同一接続である、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記電気的接続及び前記データ接続が単一のＵＳＢ接続でなされる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記ネットワークを介して工場自動化サーバからミッションを受け取ること、及び前記ミッションを前記センサウェーハに受け渡すことをさらに含み、前記ミッションは、ツールのプロセス特性を調べる動作中に１つまたは複数のデータセットを収集するように前記センサウェーハに指示する、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記ロボット式ウェーハ運搬システムに前記センサウェーハを受け渡すことをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記サーバがセンサウェーハサーバである、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記サーバが工場自動化サーバである、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
ツールのプロセス特性を調べるためのプログラム命令を含む非一過性のコンピュータ読み取り可能な媒体であって、コンピュータシステムの１つまたは複数のプロセッサによる前記プログラム命令の実行により、前記１つまたは複数のプロセッサに、
（ａ）ツールのプロセス特性を調べるミッションに由来する１つまたは複数のデータセットが内部のメモリに格納されているセンサウェーハを、ドッキングステーションにてロボット式ウェーハ運搬システムから受け取る工程、
（ｂ）前記ドッキングステーションと前記センサウェーハとの間のデータ接続を確立する工程、
（ｃ）前記センサウェーハ内の前記メモリから、前記１つまたは複数のデータセットをダウンロードする工程、及び
（ｄ）前記ネットワークを介してサーバに前記ダウンロードしたデータを受け渡す工程、
を実行させる、非一過性のコンピュータ読み取り可能な媒体。
【請求項１８】
ネットワーク上で動作するように構成されたセンサウェーハ用のドッキングステーションが、
プロセッサと、
前記プロセッサに接続されたメモリと、
前記プロセッサから実行するためにメモリに組み込まれた１つまたは複数の命令であって、前記命令がツールのプロセス特性を調べるように構成された１つまたは複数の命令と、を備え、
（ａ）ツールのプロセス特性を調べるミッションに由来する１つまたは複数のデータセットが内部のメモリに格納されているセンサウェーハを、ドッキングステーションにてロボット式ウェーハ運搬システムから受け取ること、
（ｂ）前記ドッキングステーションと前記センサウェーハの間のデータ接続を確立すること、
（ｃ）前記センサウェーハ内の前記メモリから、前記１つまたは複数のデータセットをダウンロードすること、及び
（ｄ）前記ネットワークを介してサーバに前記ダウンロードしたデータを受け渡すこと、を含む方法。
【請求項１９】
ネットワークを介して動作するように構成されたドッキングステーションであって、
センサウェーハを支持するように構成され、さらにロボット式ウェーハ運搬システムから前記センサウェーハを受け取るように構成されている支持構造体と、
前記センサウェーハとのインターフェースとなるように構成されたドッキングインターフェースであって、ツールのプロセス特性を調べるミッションに由来し、前記センサウェーハ内のメモリに格納された１つまたは複数のデータセットを、前記ドッキングステーションにダウンロードするように構成されたデータ接続を含むドッキングインターフェースと、を備え、
前記ドッキングステーションがさらに、前記センサウェーハからダウンロードした前記１つまたは複数のデータセットを、前記ネットワークを介してサーバに受け渡すように構成されている、ドッキングステーション。
【請求項２０】
前記ドッキングステーションが軌道外の保管場所に配置されている、請求項１９に記載のドッキングステーション。
【請求項２１】
前記ドッキングインターフェースがさらに、前記センサウェーハ内のバッテリを充電するように構成された電気的接続を含む、請求項２０に記載のドッキングステーション。
【請求項２２】
前記電気的接続及び前記データ接続が同一接続である、請求項２１に記載のドッキングステーション。
【請求項２３】
前記電気的接続及び前記データ接続が単一のＵＳＢ接続でなされる、請求項２０に記載のドッキングステーション。
【請求項２４】
前記センサウェーハが前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）の内部に収納されており、前記ＦＯＵＰに接続することにより、前記ドッキングインターフェースが前記センサウェーハとのインターフェースとなるように構成されている、請求項２０に記載のドッキングステーション。
【請求項２５】
前記電気的接続がさらに、前記ＦＯＵＰ内のバッテリに電荷を供給するように構成されている、請求項２４に記載のドッキングステーション。
【請求項２６】
前記ロボット式ウェーハ運搬システムが、自動材料搬送システム（ＡＭＨＳ）から構成されている、請求項２４に記載のドッキングステーション。
【請求項２７】
前記ドッキング装置がツール内に配置されている、請求項１９に記載のドッキングステーション。
【請求項２８】
前記ドッキングインターフェースがさらに、前記センサウェーハ内のバッテリを充電するように構成された電気的接続を含む、請求項２７に記載のドッキングステーション。
【請求項２９】
前記電気的接続及び前記データ接続が同一接続である、請求項２８に記載のドッキングステーション。
【請求項３０】
前記電気的接続及び前記データ接続が単一のＵＳＢ接続でなされる、請求項２９に記載のドッキングステーション。
【請求項３１】
前記ロボット式ウェーハ運搬システムが、自動材料搬送システム（ＡＭＨＳ）及びウェーハ搬送ロボットを備える、請求項２７に記載のドッキングステーション。
【請求項３２】
前記サーバがセンサウェーハサーバである、請求項１９に記載のドッキングステーション。
【請求項３３】
前記サーバが工場自動化サーバである、請求項１９に記載のドッキングステーション。
【請求項３４】
前記ドッキングステーションはさらに、前記ネットワークを介して工場自動化サーバからミッションを受け取り、前記ミッションを前記センサウェーハに受け渡すように構成され、前記ミッションは、ツールのプロセス特性を調べる動作中に１つまたは複数のデータセットを収集するように前記センサウェーハに指示する、請求項１９に記載のドッキングステーション。
【請求項３５】
前記支持構造体がさらに、前記センサウェーハを前記ロボット式ウェーハ運搬システムに受け渡すように構成されている、請求項３４に記載のドッキングステーション。
【請求項３６】
可搬式容器である前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ）であって、センサウェーハを受け取ると共に、前記ＦＯＵＰが受け取った前記センサウェーハと遠隔サーバとの間のデータ接続を、ドッキングステーションを介して、またはドッキングステーションに依存せず無線で確立するように構成されたＦＯＵＰを備える、装置。
【請求項３７】
前記ＦＯＵＰは、前記センサウェーハと前記サーバとの間のデータ接続を、前記ＦＯＵＰを支持するように構成された支持構造体を備えるドッキングステーションを介して確立するように構成され、前記支持構造体はさらに、ロボット式ウェーハ運搬システムから前記ＦＯＵＰを受け取るように構成され、前記ドッキングステーションは、前記ＦＯＵＰとのインターフェースとなるように構成されたドッキングインターフェースを含み、前記ドッキングインターフェースは、ツールのプロセス特性を調べるミッションに由来し、前記センサウェーハ内のメモリに格納された１つまたは複数のデータセットを、前記ドッキングステーションにダウンロードするように構成されたデータ接続を含み、前記ドッキングステーションはさらに、前記センサウェーハからダウンロードした前記１つまたは複数のデータセットを、前記ネットワークを介してサーバに受け渡すように構成されている、請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記ＦＯＵＰはさらに、前記ドッキングステーションに対応する電気的接続から電力を受け取り、電力を供給して前記センサウェーハ内のバッテリを充電するように構成された電気的接続を含む、請求項３７に記載の装置。
【請求項３９】
前記ＦＯＵＰは、ドッキングステーションに依存せずに前記サーバとのデータ接続を無線で確立するように構成された無線ネットワークインターフェースを含む、請求項３６に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【図１Ａ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムの概略図である。
【図１Ｂ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムの概略図である。
【図２Ａ】本開示の一態様に係る軌道から外れたツール上の保管場所に配置されたスマートドッキングステーションの図である。
【図２Ｂ】本開示の一態様に係るツール内に配置されたスマートドッキングステーションの図である。
【図３Ａ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｂ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｃ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｄ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｅ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｆ】本開示の一態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図３Ｇ】スマートドッキングステーション用命令の一式を示す。
【図４Ａ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図４Ｂ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図４Ｃ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図４Ｄ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図４Ｅ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【図４Ｆ】本開示の別の態様に係る自動化センサウェーハシステムのプロセスフロー図であり、データフロー及びセンサウェーハの物理的移動を示す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
一旦レシピ及びミッションが受け渡されたら、ＦＡサーバ４１０は、図４Ｂの矢印２に示すように、ネットワークを介してＡＭＨＳ４０６に命令を送って、センサウェーハ４０８を回収してＤＵＴ４１８に受け渡すようにＡＭＨＳ４０６に指示してよい。ＡＭＨＳ４０６は、破線矢印３に示すように、任意の場所からツール４０５に移動してよい。ＡＭＨＳ４０６に送られた上記命令はまた、分析の優先順位を含んでもよい。一例として、分析を直ちに行う必要がある場合には、当該タスクに高優先順位を割り当ててよく、あるいは分析が重要ではない場合には、当該タスクに低優先順位を割り当ててよい。次に、図４Ｃでは、ＡＭＨＳ４０６は、本図面の破線矢印４に示すように、センサウェーハ４０８を収納するＦＯＵＰ４０４’を回収してＤＵＴ４１８に受け渡す。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
図４Ｆは、一旦ＦＯＵＰ４０４’がスマートドッキングステーション４０３を収納するツール４０５に受け渡されたときのプロセスを示す。ツール４０５は、ＦＯＵＰ４０４からセンサウェーハ４０８を取り出してよい。一例として、ただしこれに限定するものではないが、ツール４０５は、通常の処理条件でウェーハが処理されるであろう仕方と同様の方法でセンサウェーハ４０８を取り出してよいが、これには、ＳＣＡＲＡなどのウェーハ搬送ロボットを利用することや、手動でＦＯＵＰ４０４’からセンサウェーハを取り出すことなどを挙げることができる。