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【手続補正書】
【提出日】平成28年6月16日(2016.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を表示するための装置であって、
電気機械システムディスプレイデバイスのアレイを含むディスプレイアセンブリと、
第１の信号を与えるように構成され、前記ディスプレイアセンブリの平面に対する第１の角度を有するセンサ平面内に配向された、センサと、
プロセッサであって、
前記ディスプレイアセンブリおよび前記センサと通信することと、前記第１の信号を受信することと、
前記第１の信号によって示される前記ディスプレイアセンブリに直交する線に対する照明角を決定することと、
前記決定された照明角に対して前記画像を補償するために画像データを処理することとを行うように構成された、プロセッサと、
を備える、装置。
【請求項２】
前記プロセッサが、前記電気機械システムディスプレイデバイスのうちの第１の１つから反射された光の波長の変化に対して前記画像を補償するために前記画像データを処理するようにさらに構成され、前記波長の変化が前記決定された照明角に起因する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記センサが、
複数のフォトセンサと、
レンズと、を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記複数のフォトセンサがフォトセンサのアレイとして配列され、前記フォトセンサのアレイが、電荷結合デバイスアレイおよび相補型金属酸化膜半導体アレイのうちの少なくとも一方を含む、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記ディスプレイアセンブリを約７０％〜９０％覆うヘイズを作成するように構成された拡散器をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第２の信号を与えるように構成され、前記ディスプレイアセンブリの前記平面に対する第２の角度を有するカメラ平面内に配向された、カメラデバイスをさらに備え、前記プロセッサが、
前記第２の信号を受信することと、
前記第２の信号によって示される前記ディスプレイアセンブリに直交する前記線に対する視認角を決定することと、
前記決定された視認角に対して前記画像を補償するために前記画像データを処理することと、を行うようにさらに構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記プロセッサが、前記電気機械システムディスプレイデバイスのうちの第１の１つから反射された光の波長の変化に対して前記画像を補償するために前記画像データを処理するようにさらに構成され、前記波長の変化が前記決定された視認角に起因する、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記プロセッサと通信するように構成されたメモリデバイスと、
少なくとも１つの第２の信号を前記ディスプレイアセンブリに送信するように構成されたドライバ回路と、
前記画像データの少なくとも一部を前記ドライバ回路に送信するように構成されたコントローラと、をさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記画像データを前記プロセッサに送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記画像ソースモジュールが、受信機と、トランシーバと、送信機とのうちの少なくとも１つを含む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
入力データを受信し、前記入力データを前記プロセッサに伝達するように構成された入力デバイスをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
（ａ）電気機械システムディスプレイデバイスのアレイを含むディスプレイアセンブリに直交する線に対する、照明角または視認角のうちの少なくとも一方を決定するステップと、
（ｂ）前記決定された照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方がゼロでない場合、前記決定された照明角および／または視認角に少なくとも部分的に基づいて、前記ディスプレイアセンブリの前記電気機械システムディスプレイデバイスのうちの少なくとも１つの中に光学ギャップを設定するステップと、を含み、前記光学ギャップが、前記決定された照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方を補償するために設定される、方法。
【請求項１３】
前記設定するプロセスが、前記第１の電気機械システムディスプレイデバイスから反射された光の波長の変化を補償するように前記光学ギャップを設定するステップを伴い、前記変化が前記照明角または前記視認角のうちの少なくとも一方によって引き起こされる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記照明角または視認角における１つまたは複数の高い周波数の変化を除去するために、前記決定された照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方を示す信号をフィルタリングするステップをさらに含み、前記照明角または視認角が前記信号を使用して決定される、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方を示す信号をカメラデバイスおよびセンサのうちの少なくとも一方から受信するステップをさらに含み、前記カメラデバイスおよび前記センサのうちの前記少なくとも一方が、前記ディスプレイアセンブリの平面に対する第２の角度を有する平面内に配向され、前記照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方が前記信号を使用して決定される、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記ディスプレイアセンブリに直交する前記線に対する照明角と視認角の両方を決定するステップをさらに含み、動作（ｂ）が、前記決定された照明角と前記決定された視認角の両方に少なくとも部分的に基づいて、前記第１の電気機械システムディスプレイデバイス内の前記光学ギャップを設定するステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
ディスプレイアセンブリを含む装置を制御するためのプログラム命令を含む非一時的コンピュータ機械可読媒体であって、前記プログラム命令が、
（ａ）電気機械システムディスプレイデバイスのアレイを含むディスプレイアセンブリに直交する線に対する、照明角または視認角のうちの少なくとも一方を決定するステップと、
（ｂ）前記決定された照明角または視認角のうちの前記少なくとも一方がゼロでない場合、前記決定された照明角および／または視認角に少なくとも部分的に基づいて、前記ディスプレイアセンブリの前記電気機械システムディスプレイデバイスのうちの少なくとも１つの中に光学ギャップを設定するステップと、を含む動作のためのコードを含み、前記光学ギャップが、前記決定された照明角または視認角のうちの少なくとも一方を補償するように設定される、非一時的コンピュータ機械可読媒体。
【請求項１８】
前記設定するプロセスが、前記第１の電気機械システムディスプレイデバイスから反射された光の波長の変化を補償するように前記光学ギャップを設定するステップを伴い、前記変化が前記照明角または前記視認角のうちの少なくとも一方によって引き起こされる、請求項１７に記載の媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月26日(2016.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルによってサービスされるワイヤレス送信／受信ユニット（ＷＴＲＵ）によって実装される方法であって、前記セルによって送られるエンハンスト物理ブロードキャストチャネル（ｅＰＢＣＨ）は、ＷＴＲＵ制御のための基本情報を含み、前記方法は、
前記ＷＴＲＵによって、前記ｅＰＢＣＨを受信するステップと、
前記ＷＴＲＵによって、復調基準信号（ＤＭＲＳ）に基づいて、前記ｅＰＢＣＨを復調するステップと
を備える、方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月9日(2016.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤレス通信の方法であって、
送信機とのデバイス間(D2D)リンクのためにサービング基地局からリソース割当てを受信するステップと、
前記リソース割当てに基づいて前記送信機からデータパケットを受信することを試行するステップと、
前記データパケットの受信が成功したときに前記サービング基地局だけに肯定応答(ACK)を送信するステップと、
前記データパケットの受信が失敗したときに前記送信機だけに否定応答(NACK)を送信するステップとを含む、方法。
【請求項２】
ワイヤレス通信の方法であって、
受信機とのデバイス間(D2D)リンクのためにサービング基地局からリソース割当てを受信するステップと、
前記リソース割当てに基づいて前記受信機にデータパケットを送信するステップと、
否定応答(NACK)が前記受信機から受信されない場合に、前記データパケットが前記受信機において成功裏に受信されたものと見なすステップとを含み、
前記NACKが、前記受信機における前記データパケットの受信の失敗を示し、
前記データパケットが前記受信機で成功裏に受信されたとき、前記受信機をサービスする基地局のみに肯定応答ACKが前記受信機により送信される、
方法。
【請求項３】
ワイヤレス通信の方法であって、
受信機と送信機との間のデバイス間(D2D)リンクのために前記受信機にリソース割当てを送信するステップと、
肯定応答(ACK)が前記受信機から受信されない場合に、前記受信機のサービング基地局により、前記送信機から送信されたデータパケットが前記受信機において成功裏に受信されなかったものと見なすステップとを含み、
前記ACKが、前記受信機における前記データパケットの成功裏の受信を示す、方法。
【請求項４】
前記受信機から前記ACKを受信するステップと、
前記受信機の前記サービング基地局により、前記ACKが前記受信機から受信されるとX2バックホールを介して前記送信機のサービング基地局に前記ACKを伝達するステップとをさらに含む、請求項3に記載の方法。
【請求項５】
ワイヤレス通信の方法であって、
送信機と受信機との間のデバイス間(D2D)リンクのために前記送信機にリソース割当てを送信するステップと、
肯定応答(ACK)が前記受信機のサービング基地局から受信されない場合に、前記受信機のサービング基地局により、前記送信機から送信されたデータパケットが前記受信機において成功裏に受信されなかったものと見なすステップとを含み、
前記ACKが、前記受信機における前記データパケットの成功裏の受信を示す、方法。
【請求項６】
X2バックホールを介して前記受信機の前記サービング基地局から前記ACKを受信するステップをさらに含む、請求項5に記載の方法。
【請求項７】
ワイヤレス通信のための装置であって、
送信機とのデバイス間(D2D)リンクのためにサービング基地局からリソース割当てを受信するための手段と、
前記リソース割当てに基づいて前記送信機からデータパケットを受信することを試行するための手段と、
前記データパケットの受信が成功したときに前記サービング基地局だけに肯定応答(ACK)を送信するための手段と、
前記データパケットの受信が失敗したときに前記送信機だけに否定応答(NACK)を送信するための手段とを含む、装置。
【請求項８】
前記サービング基地局が、前記送信機をサービスする基地局と異なるか、または、
前記サービング基地局が、前記送信機をサービスする基地局と同じ基地局である、請求項7に記載の装置。
【請求項９】
前記サービング基地局が、前記受信機をサービスする基地局と異なる、請求項2に記載の方法。
【請求項１０】
前記サービング基地局が、前記受信機をサービスする基地局と同じ基地局である、請求項2に記載の方法。
【請求項１１】
ワイヤレス通信のための装置であって、
受信機と送信機との間のデバイス間(D2D)リンクのために、前記受信機にリソース割当てを送信するための手段と、
肯定応答(ACK)が前記受信機から受信されない場合に、前記装置により、前記送信機から送信されたデータパケットが前記受信機において成功裏に受信されなかったものと見なすための手段とを含み、
前記ACKが、前記受信機における前記データパケットの成功裏の受信を示す、装置。
【請求項１２】
前記受信機から前記ACKを受信するための手段と、
前記装置により、前記ACKが前記受信機から受信されるとX2バックホールを介して前記送信機のサービング基地局に前記ACKを伝達するための手段とをさらに含む、請求項11に記載の装置。
【請求項１３】
ワイヤレス通信のための装置であって、
送信機と受信機との間のデバイス間(D2D)リンクのために前記送信機にリソース割当てを送信するための手段と、
肯定応答(ACK)が前記受信機のサービング基地局から受信されない場合に、前記装置により、前記送信機から送信されたデータパケットが前記受信機において成功裏に受信されなかったものと見なすための手段とを含み、
前記ACKが、前記受信機における前記データパケットの成功裏の受信を示す、装置。
【請求項１４】
X2バックホールを介して前記受信機の前記サービング基地局から前記ACKを受信するための手段をさらに含む、請求項13に記載の装置。
【請求項１５】
コンピュータで実行されたときに請求項1乃至6または8の何れか1項に記載の方法を実施させるための命令を含む、コンピュータ可読記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月21日(2016.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線通信システムのうちの少なくとも１つの専用チャネルを復調することに関する少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループを維持することと、前記チャネルは、ユーザ装置（ＵＥ）専用である、
前記無線通信システムの共有チャネルを復調することに関する少なくとも１つの共有チャネル周波数追跡ループを維持すること、ここで前記少なくとも１つの共有チャネル周波数追跡ループは、前記少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループから分離している、
を具備する周波数オフセットを低減するための無線通信方法。
【請求項２】
信号対雑音比（ＳＮＲ）に依存するループ帯域幅を用いて前記共有チャネル周波数追跡ループ及び／又は前記専用チャネル周波数追跡ループをフィルタすること、を更に具備する請求項１の方法。
【請求項３】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１の方法。
【請求項４】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１の方法。
【請求項５】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、先立ってデータフィールド上のポストイコライゼーション信号を、及び／又は続いてタイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のうちのミッドアンブルフィールドを、使用する、請求項１の方法。
【請求項６】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロット（ＴＳ０）の後に送信されたダウンリンクパイロットタイムスロット（ＤｗＰＴＳ）を使用する、請求項１の方法。
【請求項７】
無線通信システムのうちの少なくとも１つの専用チャネルを復調することに関する、少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループを維持するための手段と、前記チャネルは、ユーザ装置（ＵＥ）に専用である、
前記無線通信システムの共有チャネルを復調することに関する、少なくとも１つの第２の共有チャネル周波数追跡ループを維持するための手段と、ここで前記少なくとも１つの共有チャネル周波数追跡ループは、前記少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループから分離している、
を具備する、周波数オフセットを低減させる無線通信に関する装置。
【請求項８】
信号対雑音比（ＳＮＲ）に依存するループ帯域幅を用いて前記共有チャネル周波数追跡ループ及び／又は前記専用チャネル周波数追跡ループをフィルタする手段、を更に具備する請求項７の装置。
【請求項９】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項７の装置。
【請求項１０】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項７の装置。
【請求項１１】
無線ネットワークにおける無線通信に関するコンピュータプログラム製品あって、
非一時的なプログラムコードをその上に記録した非一時的なコンピュータ読取可能な媒体を備え、前記プログラムコードは、
無線通信システムのうちの少なくとも１つの専用チャネルを復調することに関する少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループを維持するためのプログラムコードと、前記チャネルは、ユーザ装置（ＵＥ）専用である、
前記無線通信システムの共有チャネルを復調することに関する少なくとも１つの第２の共有チャネル周波数追跡ループを維持するためのプログラムコードと、ここで前記少なくとも１つの共有チャネル周波数追跡ループは、前記少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループから分離している、
を具備するコンピュータプログラム製品。
【請求項１２】
前記プログラムコードは、信号対雑音比（ＳＮＲ）に依存するループ帯域幅を用いて前記共有チャネル周波数追跡ループ及び／又は前記専用チャネル周波数追跡ループをフィルタするためのプログラムコードを、を更に具備する請求項１１のコンピュータプログラム製品。
【請求項１３】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１１のコンピュータプログラム製品。
【請求項１４】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１１のコンピュータプログラム製品。
【請求項１５】
メモリと、
前記メモリに結合された少なくとも１つのプロセッサと、を具備し、前記少なくとも１つのプロセッサは、
無線通信システムのうちの少なくとも１つの専用チャネルを復調することに関する少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループを維持し、前記チャネルは、ユーザ装置（ＵＥ）専用である、
前記無線通信システムの共有チャネルを復調することに関する少なくとも１つの第２の共有チャネル周波数追跡ループを維持する、ここで前記少なくとも１つの共有チャネル周波数追跡ループは、前記少なくとも１つの専用チャネル周波数追跡ループから分離している、
ように構成される無線通信に関する装置。
【請求項１６】
前記少なくとも１つのプロセッサは、
信号対雑音比（ＳＮＲ）に依存するループ帯域幅を用いて前記共有チャネル周波数追跡ループ及び／又は前記専用チャネル周波数追跡ループをフィルタするように更に構成される、請求項１５の装置。
【請求項１７】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１５の装置。
【請求項１８】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロットゼロ（ＴＳ０）のミッドアンブルフィールドを使用する、請求項１５の装置。
【請求項１９】
前記専用チャネル周波数追跡ループは、先立ってデータフィールド上のポストイコライゼーション信号を、及び／又は、続いてタイムスロットゼロ（ＴＳ０）以外の少なくとも１つのダウンリンクタイムスロット（ＴＳ）のうちのミッドアンブルフィールドを、使用する請求項１５の装置。
【請求項２０】
前記共有チャネル周波数追跡ループは、タイムスロット（ＴＳ０）の後に送信されたダウンリンクパイロットタイムスロット（ＤｗＰＴＳ）を使用する、請求項１５の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月10日(2016.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リング本体と、
前記リング本体の表面から半径方向内部に延びるエッジリップと、
前記エッジリップの周縁のまわりにほぼ均等に隔置された３つ以上の基板支持体であり、Ｕ形状クリップである、３つ以上の基板支持体と
を含む基板支持リング。
【請求項２】
前記Ｕ形状クリップが、前記エッジリップのエッジ部分に固定できる、請求項１に記載の支持リング。
【請求項３】
前記Ｕ形状クリップが約０．０５ｍｍから約０．３ｍｍの厚さを有する、請求項２に記載の支持リング。
【請求項４】
内側リングと、
平坦部分を通して前記内側リングの外側周囲につながる外側リングであり、前記平坦部分が前記外側リングの内側周囲から前記内側リングの外側周囲まで半径方向に延びる、外側リングと、
支持棚を形成するために前記内側リングの内側周囲から半径方向に延びるエッジリップと、
前記エッジリップの周縁のまわりにほぼ均等に隔置された３つ以上の基板支持体であり、前記基板支持体が、前記エッジリップの長手軸に対して上方にかつ垂直に前記エッジリップの上面から延びる３つ以上の突起を含む、３つ以上の基板支持体と
を含む基板支持リング。
【請求項５】
前記３つ以上の突起が約５０ミクロンから約３００ミクロンの高さを有する、請求項４に記載の支持リング。
【請求項６】
前記基板支持体が、前記エッジリップのエッジ部分に固定できる３つ以上のＵ形状クリップを含む、請求項４に記載の支持リング。
【請求項７】
前記Ｕ形状クリップが約０．０５ｍｍから約０．１５ｍｍの厚さを有する、請求項６に記載の支持リング。
【請求項８】
熱処理チャンバ内で基板を処理する方法であって、
リング本体と、前記リング本体の表面から半径方向に延びるエッジリップとを有する基板支持リングを用意することと、
前記エッジリップの周縁のまわりにほぼ均等に隔置された３つ以上の基板支持体によって前記基板の周辺エッジの近くで前記基板の裏面を支持することであり、前記３つ以上の基板支持体が、前記エッジリップの長手軸に対して上方にかつ垂直に前記エッジリップの上面から延びる突起であり、前記基板支持体が、前記基板の前記裏面と約５μｍから約２００μｍの間の線接触をすることによって前記基板を支持する、支持することと、
放射エネルギーを前記基板の方に導くことによって前記基板を加熱することであり、前記放射エネルギーは、前記３つ以上の基板支持体が前記処理の間に前記基板の前記裏面との前記線接触が点接触に変わるように少なくとも前記エッジリップを上方に曲げるのに十分である、加熱することと
を含む、方法。
【請求項９】
前記エッジリップが、前記基板の前記裏面の下で前記リング本体の前記表面から測って約０．５ｍｍから約５．０ｍｍの距離を延びる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記突起が、正方形形状または半球形状の突起である、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記３つ以上の基板支持体が、前記エッジリップのエッジ部分に固定できるＵ形状クリップである、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記基板支持体の高さは、前記基板の前記裏面と前記エッジリップの上面との間の間隙が、前記エッジリップを前記基板から熱的に切り離すのに十分な大きさであるが、際立った光通路を防止するのに十分な小ささとなるように構成される、請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記放射エネルギーが、前記基板の上部表面の上に配設された放射熱源から導かれる、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
前記放射エネルギーが、前記基板の裏面の下に配設された放射熱源から導かれる、請求項８に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【図１】基板支持リングを有する例示的な急速熱処理チャンバを概略的に示す図である。
【図２Ａ】本発明の１つの実施形態による、図１の基板支持リングの代わりに使用することができる支持リングの概略的な断面側面図である。
【図２Ｂ】支持リングのエッジリップの長手方向曲げ歪みにより基板と離散的な点接触を行うようにわずかに上方に曲がっている図２Ａの支持リングの概略的な断面側面図である。
【図２Ｃ】本発明の１つの実施形態による半球形状バンプを使用する基板支持体の概略的な断面側面図である。
【図２Ｄ】本発明の１つの実施形態によるピンを使用する基板支持体の概略的な断面側面図である。
【図２Ｅ】本発明の１つの実施形態による３つのバンプまたは突起をもつエッジリップの概略的な上面部分図である。
【図３Ａ】本発明の別の実施形態による、図１の支持リングの代わりに使用することができる支持リングの概略的な断面側面図である。
【図３Ｂ】支持リングのエッジリップの長手方向曲げ歪みにより基板と離散的な点接触を行うようにわずかに上方に曲がっている図３Ａの基板支持体の概略的な断面側面図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
基板支持体２１０と同様に、平坦部分３０６および／またはエッジリップ３０８は、支持リング３００の急速加熱の際にわずかに上方に曲がる。エッジリップ３０８の長手方向曲げ歪みのために、Ｕ形状クリップは、図３Ｂに示すように、基板支持体３１０と基板３１２との間の面接触であったものから基板３１２の裏面３１２ｂとの実質的な線接触またはさらに点接触に変わる。言い換えれば、基板支持体３１０は、基板３１２をエッジリップ３０８から熱的に切り離し、それによって、エッジリップ３０８による熱損失を減少させながら、最小化接触区域で基板３１２の裏面３１２ｂを支持することによって、図２Ａの基板支持体２１０の役割と同様の役割を果たす。Ｕ形状クリップは、横方向張力でエッジリップ３０８のエッジ部分３２０にクリップ留めすることができる。支持リングを回転してもＵ形状クリップはエッジリップ３０８上に保持されることになる。任意の好適な接着剤（図示せず）またはボルトなどの予知できる取付け機構をエッジリップ３０８に付加して、潜在的な粒子生成問題を防止すること、またはプロセス中にＵ形状クリップが抜け落ちるのを防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月28日(2016.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
他の例では、本発明は、ハードウェアコンポーネントとソフトウェアコンポーネントとを混ぜ合わせたものを用いて実装され、専用ハードウェアコンポーネントが、代替的にはソフトウェアにて実行される機能を提供する。特定の一実施形態によれば、本発明は、例えば、専用コンポーネントとして（例えば、ＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）、ＦＰＧＡ（フィールドプログラマブルゲートアレイ）、又はＶＬＳＩ（超大規模集積回路）として）、若しくは装置内に統合される別個の電子部品として、完全にハードウェアにて実装され、あるいは、ハードウェアとソフトウェアとの混ぜ合わせの形態にて実装される。
（付記１）  装置であって、
当該装置の機能の動作状態をユーザに指し示すという第１の機能を提供するために電磁放射線を放射することが可能なインジケータ素子と、
リモートコントロールコマンドの受信という第２の機能を提供するためにリモートコントロール装置からの非可視の電磁放射線を受信することが可能なレシーバ素子と、
を有し、
当該装置は更に、
前記インジケータ素子と前記レシーバ素子とを組み合わせて、当該装置の機能のローカル操作用のタッチセンサという第３の機能を提供する手段
を有し、
前記インジケータ素子は、第１の期間中、物体による反射を介して前記レシーバ素子によって前記第１の期間中に受信されるときに当該装置の操作機能の状態変化を引き起こす或るパターンの電磁放射線を放射し、前記インジケータ素子は、続く第２の期間中、前記第１の機能を提供し、前記レシーバ素子は、前記第２の期間中に、前記第２の機能を提供し、前記第１及び前記第２の期間が繰り返し交互に行われる、
ことを特徴とする装置。
（付記２）  前記インジケータ素子は、可視の赤色光スペクトルにてインジケーションを提供する、付記１に記載の装置。
（付記３）  前記インジケータ素子は、可視の緑色光スペクトルにてインジケーションを提供する、付記１に記載の装置。
（付記４）  前記非可視の電磁放射線は赤外光である、付記１乃至３の何れかに記載の装置。
（付記５）  前記第１の期間は、前記第１及び前記第２の期間が繰り返し交互に行われるときに人間の視覚の持続性により前記動作状態のインジケーションが前記ユーザにとって連続的であるように、２０ミリ秒より短い、付記１乃至４の何れかに記載の装置。
（付記６）  前記インジケータ素子は、前記第２の期間中、当該装置の機能の動作状態を前記ユーザに指し示すために電磁放射線を放射する、付記１乃至５の何れかに記載の装置。
（付記７）  前記インジケータ素子は、前記第２の期間中、当該装置の機能の動作状態を前記ユーザに指し示すために電磁放射線を放射しない、付記１乃至５の何れかに記載の装置。
（付記８）  前記パターンは、前記リモートコントロールによって使用される周波数で変調される、付記１乃至７の何れかに記載の装置。
（付記９）  前記パターンは複数のパルスで構成され、前記パルスの各々は、持続時間で１ミリ秒を超えないパルス幅を有する、付記１乃至８の何れかに記載の装置。
（付記１０）  装置の機能の操作のためにタッチセンサ機能を提供する方法であって、
前記装置は、前記装置の機能の動作状態のユーザへのインジケーションという第１の機能のために電磁放射線を放射することが可能なインジケータ素子と、リモートコントロールコマンドの受信という第２の機能のためにリモートコントロールからの非可視の電磁放射線を受信することが可能なレシーバ素子とを有し、
当該方法は、
前記インジケータ素子及び前記レシーバ素子が、第１の期間中、前記第１及び前記第２の機能を提供するステップと、
前記インジケータ素子及び前記レシーバ素子が、続く第２の期間中、前記タッチセンサ機能を提供するステップと、
前記第１及び第２の期間が繰り返し交互に行われ、前記インジケータ素子が、前記第１の期間中、物体による反射を介して前記レシーバ素子によって前記第１の期間中に受信されるときに前記装置の操作機能の状態変化を引き起こす或るパターンの電磁放射線を放射するステップと
を有する、ことを特徴とする方法。
（付記１１）  前記第１の期間は、前記第１及び前記第２の期間が繰り返し交互に行われるときに人間の視覚の持続性により前記動作状態の前記インジケーションが前記ユーザにとって連続的であるように、２０ミリ秒より短い、付記１０に記載の方法。
（付記１２）  前記インジケータ素子は、前記第２の期間中、前記装置の機能の動作状態を前記ユーザに指し示すために電磁放射線を放射する、付記１０又は１１に記載の方法。
（付記１３）  前記インジケータ素子は、前記第２の期間中、前記装置の機能の動作状態を前記ユーザに指し示すために電磁放射線を放射しない、付記１０又は１１に記載の方法。
（付記１４）  前記パターンは、前記リモートコントロールによって使用される周波数で変調される、付記１０乃至１３の何れかに記載の方法。
（付記１５）  前記パターンは複数のパルスで構成され、前記パルスの各々は、持続時間で１ミリ秒を超えないパルス幅を有する、付記１０乃至１４の何れかに記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月8日(2016.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明、シェード及びサーモスタットを制御するための方法であって、
ＨＶＡＣセンサ、占有センサ、照明及び遮光フォトセンサのうちの少なくとも１つからの知覚情報、及び監視信号に基づいて、ユーザの好み又は快適さ、及びエネルギ消費量の相対的な重要度を決定するステップと、
決定された相対的な重要度に基づいて、照明、シェード及びサーモスタットを制御するためのコントローラの快適レギュレータからの少なくとも１つのルールを設定するステップと、
ドライバコネクタにより、前記知覚情報及び前記少なくとも１つのルールに関連して、前記照明、シェード及びサーモスタットを制御するために制御信号を生成するステップとを有する方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つのルールが、熱的な快適さのためのルール及び視覚的な快適さのためのルールのいずれか１つであり、前記熱的な快適さのためのルールが、あり得る温度セットポイントの範囲を含み、視覚的な快適さのためのルールが、適切な総光量を決定する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記セットポイントの範囲の算出が、前記熱的な快適さの重要度の決定に関連して実施される請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記適切な総光量が、更に、前記視覚的な快適さの重要度に基づいて決定される請求項３に記載の方法。
【請求項５】
コンピュータ読み取り可能な媒体であって、１つ以上のコントローラに請求項１に記載の方法を実行させるための命令を前記コンピュータ読み取り可能な媒体上に記憶しているコンピュータ読み取り可能な媒体。
【請求項６】
照明、シェード及びサーモスタットを制御するためのコントローラであって、
ユーザの好み又は快適さ、及びエネルギ消費量の相対的な重要度を決定し、決定された相対的な重要度に基づいて、照明、シェード及びサーモスタットを制御するための少なくとも１つのルールを設定するための少なくとも１つの快適レギュレータと、
サーモスタット、照明及びシェードのうちの少なくとも１つを制御するための少なくとも１つのコントローラインタフェースと、
ＨＶＡＣセンサ、占有センサ、照明及び遮光フォトセンサのうちの少なくとも１つから知覚情報を受け取るための少なくとも１つのセンサインタフェースとを有し、
前記少なくとも１つの快適レギュレータが、前記知覚情報、及び監視信号に基づいて、前記相対的な重要度を決定し、
前記少なくとも１つのコントローラインタフェースが、前記知覚情報の受け取りに応じて、及び前記少なくとも１つのルールに基づいて、前記サーモスタット、前記照明及び前記シェードを最適な位置に制御するコントローラ。
【請求項７】
前記少なくとも１つの快適レギュレータが、前記占有センサから受け取られる知覚情報を用いて前記少なくとも１つのルールの値を決定し、前記少なくとも１つのルールの前記値が、少なくとも、ユーザの快適さの好みと最小エネルギ消費量との間のバランスをとるよう決定される請求項６に記載のコントローラ。
【請求項８】
少なくとも１つの快適レギュレータに接続される熱的快適モジュールを更に有し、前記熱的な快適さが、熱的な快適さのための少なくとも１つのルールを保持するよう構成される請求項６に記載のコントローラ。
【請求項９】
前記熱的快適モジュールに接続され、前記熱的快適モジュールによって生成されるあり得る温度セットポイントの範囲内で、最小エネルギ消費量をもたらすセットポイントを選択するよう構成されるサーモスタットセットポイントモジュールを更に有する請求項８に記載のコントローラ。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの快適レギュレータに接続され、視覚的な快適さのための少なくとも１つのルールを保持するよう構成される視覚的快適モジュールを更に有する請求項６に記載のコントローラ。
【請求項１１】
前記視覚的快適モジュールが、前記視覚的な快適さのための前記少なくとも１つのルールに基づいて総合照明のための１つ以上のセットポイントの値を設定し、算出する請求項１０に記載のコントローラ。
【請求項１２】
ＨＶＡＣコネクタに接続される照明負荷バランスモジュールを更に有し、前記照明負荷バランスモジュールが、最適な電光量及び最適な外部光量のための少なくとも１つのセットポイントの値を決定するよう構成される請求項１０に記載のコントローラ。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのフォトセンサからフィードバック入力及びリファレンス入力として前記電灯照明及び遮光セットポイントを受け取るよう構成される閉ループコントローラと、
サーモスタットセットポイントモジュール及び前記閉ループコントローラに接続されるドライバコネクタであって、前記制御ゾーン内のサーモスタット、遮光システムドライバ及び照明システムドライバのうちの少なくとも１つに接続されているドライバコネクタとを更に有する請求項１２に記載のコントローラ。
【請求項１４】
照明システムドライバ、遮光システムドライバ及びサーモスタットを制御するためのコントローラであって、
少なくとも、水平照度セットポイント、垂直照度セットポイント及びサーモスタットセットポイントのための設定を決定するためのセットポイント決定エンジンであって、前記決定が、ルールをベースにした設定プロセスに基づいて実施されるセットポイント決定エンジンと、
前記照明及び前記遮光のための設定のセット決定するための照明負荷バランスエンジンであって、前記設定のセットが、少なくとも、受け取られる前記セットポイントを満たし、前記セットポイント決定エンジンが、少なくとも、前記水平照度セットポイント及び前記垂直照度セットポイントを満たし、前記設定のセットが、前記照明システムによる電力消費量及びグレアを最小化するために決定される照明負荷バランスエンジンと、
部分的に、前記サーモスタットセットポイント、及び前記照明負荷バランスエンジンによって決定される前記設定のセットに基づいて、制御ゾーン内の前記サーモスタット、前記照明システムドライバ及び前記遮光システムドライバを制御するためのドライバコネクタとを有するコントローラ。
【請求項１５】
前記照明負荷バランスエンジンが、水平照度センサ及び垂直照度センサから知覚情報を受け取り、前記設定のセットが、受け取られる前記知覚情報に応じて決定される請求項１４に記載のコントローラ。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月7日(2016.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯デバイスにおいてＥＣＧデータを処理するための方法であって、
ＰＱＲＳＴパターンサイクルを含むフィルタリングされたＥＣＧデータサンプルのストリームを前記携帯デバイスによって受け取ることと、
前記フィルタリングされたＥＣＧデータにおけるＰＱＲＳＴパターンのＲ点を求めることと、
前記Ｒ点を囲む前記フィルタリングされたＥＣＧデータからサンプルの一部を選択することと、
前記携帯デバイスによって実行されるアプリケーションプログラムを用いてサンプルの前記選択された一部を処理することによって前記ＰＱＲＳＴパターンのＱＲＳ期間を導出することと、
を含み、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、
基線に対してサンプルの前記一部を正規化することと、
サンプルの前記正規化された部分の１次導関数を取ることによって増加変曲点と減少変曲点とを求めることと、
サンプルの前記正規化された部分の最大のサンプルと前記増加変曲点とから第１の直線関数を生成することと、
サンプルの前記正規化された部分の前記最大のサンプルと前記減少変曲点とから第２の直線関数を生成することと、
前記基線と前記第１の直線関数の交点と、前記基線と前記第２の直線関数の交点との間の時間差から前記ＱＲＳ期間を導出することと、
を含む、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、
サンプルのノイズが低減された部分を形成するために、前記増加変曲点と減少変曲点とを求める前にサンプルの前記正規化された部分に非線形関数を適用することと、
前記第１及び第２の直線関数を生成するために、前記増加変曲点と減少変曲点とを前記サンプルの前記ノイズが低減された部分からサンプルの前記正規化された部分に投影することと、
を更に含む、方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法であって、
前記非線形関数が、サンプルの前記正規化された部分の各サンプルｘに対してｘＮである、方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法あって、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、前記ＱＲＳ期間をスケーリングファクタＺによってスケーリングすることを更に含み、ＺがＮの関数である、方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、サンプルの前記一部を正規化する前にサンプルの前記一部のＭ倍補間を実施することを更に含む、方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、
前記サンプルの一部を選択することが、前記ＰＱＲＳＴパターンサイクルのサイクル時間の半分より短い時間にわたって前記Ｒ点の周りのサンプルのシーケンスを選択することを含む、方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法であって、
前記サンプルの一部を選択することが、前記Ｒ点の周りの３００ミリ秒以下のウィンドウからサンプルのシーケンスを選択することを含む、方法。
【請求項８】
請求項１に記載の方法であって、
所与のＰＱＲＳＴパターンについて前記ＱＲＳ期間を導出することが、そのＰＱＲＳＴパターンについてのサンプルの前記選択された部分のみを処理することによって行われる、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の方法であって、
前記ＱＲＳ期間が閾値を超えるときに前記携帯デバイスのユーザインターフェースを介してアラートを提供することを更に含む、方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法であって、
前記携帯デバイスに結合されるアナログフロントエンドによって、ＰＱＲＳＴパターンサイクルを含むロー（ｒａｗ）ＥＣＧデータサンプルのストリームを受け取ることと、
前記フィルタリングされたＥＣＧデータを形成するために前記ローＥＣＧデータをフィルタリングすることによって基線ばらつきを最小限にすることと、
を更に含む方法。
【請求項１１】
１本又は複数本のリードからＥＣＧデータを収集するように構成され、アナログの前記ＥＣＧデータをデジタルＥＣＧデータに変換するよう動作し得るアナログフロントエンドモジュールと、
前記デジタルＥＣＧデータを受け取るように結合される携帯デバイスと、
を含むシステムであって、
前記アナログフロントエンドが、
ＰＱＲＳＴパターンサイクルを含むローＥＣＧデータサンプルのストリームを受け取り、
基線ばらつきを最小限にするためにフィルタリングされたＥＣＧデータを形成するために前記ローＥＣＧデータをフィルタリングする、
ように動作可能であり、
前記携帯デバイスが、
前記フィルタリングされたＥＣＧデータにおけるＰＱＲＳＴパターンのＲ点を求め、
前記Ｒ点を囲む前記フィルタリングされたＥＣＧデータからサンプルの一部を選択し、
サンプルの前記選択された一部を処理することによって前記ＰＱＲＳＴパターンのＱＲＳ期間を導出する、
ように構成され、
前記携帯デバイスが、或る方法を実施するアプリケーションプログラムを実行することによってＱＲＳ期間を導出するように構成され、
前記方法が、
基線に対してサンプルの前記一部を正規化することと、
サンプルの前記正規化された部分の１次導関数を取ることによって増加変曲点と減少変曲点とを求めることと、
サンプルの前記正規化された部分の最大のサンプルと前記増加変曲点とから第１の直線関数を生成することと、
サンプルの前記正規化された部分の前記最大のサンプルと前記減少変曲点とから第２の直線関数を生成することと、
前記基線と前記第１の直線関数の交点と、前記基線と前記第２の直線関数の交点との間の時間差から前記ＱＲＳ期間を導出することと、
を含む、システム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記方法が、
サンプルのノイズが低減された部分を形成するために、前記増加変曲点と減少変曲点とを求める前にサンプルの前記正規化された部分に非線形関数を適用することと、
前記第１及び第２の直線関数を生成するために、前記増加変曲点と減少変曲点とを前記サンプルの前記ノイズが低減された部分からサンプルの前記正規化された部分に投影することと、
を更に含む、システム。
【請求項１３】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記非線形関数が、サンプルの前記正規化された部分の各サンプルｘに対してｘＮであり、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、前記ＱＲＳ期間をスケーリングファクタＺによってスケーリングすることを更に含み、ＺがＮの関数である、システム。
【請求項１４】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記ＱＲＳ期間を導出することが、サンプルの前記一部を正規化する前にサンプルの前記一部のＭ倍補間を実施することを更に含む、システム。
【請求項１５】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記サンプルの一部を選択することが、前記ＰＱＲＳＴパターンサイクルのサイクル時間の半分より短い時間にわたって前記Ｒ点の周りのサンプルのシーケンスを選択することを含む、システム。
【請求項１６】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記ＱＲＳ期間が閾値を超えるときに前記携帯デバイスのユーザインターフェースを介してアラートを提供することを更に含む、システム。
【請求項１７】
請求項１１に記載のシステムであって、
前記携帯デバイスがスマートフォンである、システム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月4日(2016.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒト多能性幹（ｈＰＳ）細胞由来の胚体内胚葉細胞（ＤＥ細胞）を産生する方法であって、
該方法は、
分化条件下で、ヒト多能性幹細胞を培養し、前記ＤＥ細胞を得ることと、
前記分化期のヒト多能性幹細胞をＤＮＡ脱メチル化剤に曝露することとを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記ヒト多能性幹細胞は、ヒト胚性幹（ｈＥＳ）細胞であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ヒト多能性幹細胞は、ヒト人工多能性幹（ｈｉＰＳ）細胞であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジン（デシタビン）、５−アザシチジン（アザシチジン）、ゼブラリン、プソイドイソシチジン、５−フルオロ−２−デオキシシチジン、５，６−ジヒドロ−５−アザシチジン、２’−デオキシ−５，６−ジヒドロ−５−アザシチジン、６−アザシチジン、２’，２’−ジフルオロ−デオキシシチジン（ゲムシタビン）又はシトシン−ベータ−Ｄ−アラビノフラノシドからなる群から選択されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジン（デシタビン）、５−アザシチジン（アザシチジン）、５−フルオロ−２−デオキシシチジン、５，６−ジヒドロ−５−アザシチジン、２’−デオキシ−５，６−ジヒドロ−５−アザシチジン、６−アザシチジン及び２’，２’−ジフルオロ−デオキシシチジン（ゲムシタビン）からなる群から選択されるシチジン類似体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載
の方法。
【請求項６】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジン（デシタビン）、５−アザシチジン（アザシチジン）、ゼブラリン及びそれらの組み合わせからなる群から選択されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、プロカイン、ＲＧ１０８、Ｓ−５−アデノシル−Ｌ−ホモシステイン、コーヒー酸、クロロゲン酸、没食子酸エピガロカテキン、ヒドララジン塩酸塩、プロカインアミド塩酸塩、プサムマプリンＡ及びそれらの組み合わせからなる群から選択されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザシチジンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記分化期の哺乳類多能性幹細胞を１ｎＭないし１０μＭの範囲の濃度の前記ＤＮＡ脱メチル化剤に曝露することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
ヒト多能性幹細胞からの胚体内胚葉細胞の産生でのＤＮＡ脱メチル化剤の使用。
【請求項１２】
少なくとも１種のＤＮＡ脱メチル化剤及びアクチビンを含むことを特徴とするヒト多能性幹細胞から前記胚体内胚葉細胞を産生するためのキット。
【請求項１３】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジン（デシタビン）であることを特徴とする請求項１２に記載のキット。
【請求項１４】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザシチジン（アザシチジン）であることを特徴とする請求項１２に記載のキット。
【請求項１５】
少なくとも１種のＤＮＡ脱メチル化剤、及びアクチビンを含むことを特徴とするヒト多能性幹細胞から前記胚体内胚葉細胞を産生するための組成物。
【請求項１６】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザ−２−デオキシシチジン（デシタビン）であることを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【請求項１７】
前記ＤＮＡ脱メチル化剤は、５−アザシチジン（アザシチジン）であることを特徴とする請求項１５に記載の組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月1日(2016.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容量性マイクロマシントランスデューサを製造する方法であって、
第１の電極層を堆積するステップと、
前記容量性マイクロマシントランスデューサのキャビティを形成するために除去可能である犠牲層を堆積させるステップと、
第２の電極層を堆積するステップと、
エッチングホールを設け、前記犠牲層をエッチングすることによって、前記犠牲層を除去して、上面、底面及び側面を備える前記キャビティを形成するステップと、
原子層堆積によって、前記キャビティ内で、前記第１の電極層上に第１の誘電体膜を、前記第２の電極層上に第２の誘電体膜を堆積させるステップとを含み、
堆積された前記第１の誘電体膜及び堆積された前記第２の誘電体膜は、前記キャビティの前記上面、前記底面及び前記側面を覆う、方法。
【請求項２】
前記犠牲層を除去するステップの前に、堆積された層の少なくとも１つをパターニングするステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記犠牲層を除去するステップの前に、原子層堆積によって、前記犠牲層上に前記第２の電極層を堆積させるステップと、前記第２の電極層をパターニングするステップとを更に含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記犠牲層を除去するステップの前に、原子層堆積によって、基板上に前記第１の電極層を堆積させるステップと、前記第１の電極層をパターニングするステップとを更に含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
原子層堆積によって、前記犠牲層を堆積させるステップと、前記犠牲層をパターニングするステップとを更に含む、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記犠牲層を除去するステップの前に、原子層堆積によって、前記犠牲層を覆う誘電体層を堆積させるステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
請求項１の方法によって製造される、容量性マイクロマシントランスデューサ。
【請求項８】
基板上の第１の電極層と、
前記第１の電極層上の第１の誘電体膜と、
前記第１の誘電体膜の上方に形成されるキャビティと、
前記キャビティを覆う第２の誘電体膜と、
前記第２の誘電体膜上の第２の電極層と、
を含み、
前記第１の誘電体膜及び前記第２の誘電体膜は、前記キャビティの上面及び底面だけでなく、側面も覆う、容量性マイクロマシントランスデューサ。
【請求項９】
前記堆積された層のうちの少なくとも１つはパターニングされる、請求項８に記載のトランスデューサ。
【請求項１０】
前記第１の電極層及び／又は前記第２の電極層は、非金属伝導材料を含み、前記非金属伝導材料は、ＴｉＮ、ＴａＮ、ＴａＣＮ、ＩｒＯ２、ＩＴＯ、ＬａＮｉＯ３及びＳｒＲｕＯ３を含む群から選択される少なくとも１つの材料である、請求項８に記載のトランスデューサ。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのパターニングされた層及び／又は膜は、前記層及び／又は膜の側部において、突然に又は非連続的に終端する、請求項９に記載のトランスデューサ。
【請求項１２】
前記第１の電極層及び／又は前記第２の電極層から前記層の上面に直交する方向に延在する少なくとも１つの伝導性ビアを更に含む、請求項８に記載のトランスデューサ。
【請求項１３】
前記堆積された層及び膜を覆う誘電体層を更に含み、前記誘電体層は、前記堆積された層及び膜の上面及び側面を、実質的に同じ被覆率で覆う、請求項８に記載のトランスデューサ。
【請求項１４】
前記第１の誘電体膜及び／又は前記第２の誘電体膜は、酸化物を含む第１の層と、高ｋ材料を含む第２の層と、酸化物を含む第３の層とを含む、請求項８に記載のトランスデューサ。