【手続補正書】
【提出日】平成28年8月29日(2016.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造設備内の受動構成要素のためのアクセス割当てモジュールであって、
複数の能動構成要素と通信するための複数の能動構成要素通信ポートを含み、前記複数の能動構成要素の各々は、半導体製造設備内の１つ又は２つ以上のコンテナを取扱うように構成され、前記１つ又は２つ以上のコンテナの各々は、少なくとも１つのワークピースを保持するように構成され、
更に、受動構成要素と通信するための受動構成要素通信ポートを含み、前記受動構成要素は、少なくとも１つのコンテナを前記複数の能動構成要素のうちの任意のものから受入れるように構成され、
更に、前記複数の能動構成要素通信ポートの各々と前記受動構成要素通信ポートとの間のアクセス通信プロトコル信号の送信を制御するように構成されたスイッチング回路を含み、
前記スイッチング回路は、前記複数の能動構成要素通信ポートのうちの１つから前記受動構成要素通信ポートへの所定の時刻におけるアクセス通信プロトコル信号の送信を指示し、前記複数の能動構成要素通信ポートのうちの他のものからの前記所定の時刻におけるアクセス通信プロトコル信号の送信を阻止するように構成され、それにより、前記複数の能動構成要素のうちの１つが前記所定の時刻に前記受動構成要素にアクセスすることを可能にする、アクセス割当てモジュール。
【請求項２】
前記複数の能動構成要素は、ツール近くのコンテナバッファシステム及び頭上コンテナ搬送システムを含む、請求項１に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項３】
前記複数の能動構成要素は、自律案内式車両を更に含む、請求項２に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項４】
前記受動構成要素は、半導体加工ツールのためのロードポートである、請求項１に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項５】
前記アクセス通信プロトコル信号は、エンハンストキャリアハンドオフパラレルＩ／ＯインタフェースのためのＳＥＭＩ  Ｅ８４仕様に準拠する、請求項１に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項６】
更に、いくつかの追加受動構成要素とそれぞれ通信するためのいくつかの追加受動構成要素通信ポートを含み、前記追加受動構成要素通信ポートは、前記スイッチング回路が、前記複数の能動構成要素通信ポートの各々と前記受動構成要素通信ポート及び前記いくつかの追加受動構成要素通信ポートとの間のアクセス通信プロトコル信号の送信を制御するように定められる、請求項１に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項７】
前記スイッチング回路は、前記複数の能動構成要素通信ポートの各々と前記受動構成要素通信ポートとに接続され、前記スイッチング回路は、現在前記受動構成要素にアクセスすることが認可された前記複数の能動構成要素のうちの１つに関連付けられた前記能動構成要素通信ポートのうちの１つからのアクセス通信プロトコル信号を通過させるように定められ、前記スイッチング回路は、更に、現在該受動構成要素にアクセスすることが認可されていない前記複数の能動構成要素のうちの他のものに関連付けられた前記能動構成要素通信ポートのうちの他のものからのアクセス通信プロトコル信号を阻止するように定められる、請求項１に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項８】
更に、コンピュータプロセッサを含み、前記コンピュータプロセッサは、前記スイッチング回路が、前記コンピュータプロセッサから送信される信号によって制御されるように接続される、請求項７に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項９】
更に、半導体製造設備内の処理エンティティとの通信のために前記コンピュータプロセッサに接続されたネットワークポートを含む、請求項８に記載のアクセス割当てモジュール。
【請求項１０】
システムであって、
半導体製造ツールのためのロードポートと、
加工物コンテナを前記ロードポートに配送するように定められた第１の能動構成要素と、
加工物コンテナを前記ロードポートに配送するように定められた第２の能動構成要素と、
前記ロードポート、前記第１の能動構成要素、及び前記第２の能動構成要素の各々と通信するように定められたアクセス割当てモジュールと、を含み、
前記アクセス割当てモジュールは、前記第１の能動構成要素及び前記第２の能動構成要素の各々と前記ロードポートとの間のアクセス通信プロトコル信号の送信を制御するように定められ、それにより、前記第１の能動構成要素及び前記第２の能動構成要素のうちの一方が、所定の時刻において前記ロードポートにアクセスすることが許可され、前記第１の能動構成要素及び前記第２の能動構成要素のうちの他方が、前記所定の時刻において前記ロードポートにアクセスすることが阻止される、システム。
【請求項１１】
前記第１の能動構成要素は、頭上コンテナ搬送システムであり、
前記第２の能動構成要素は、ツール近くのコンテナバッファシステムである、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記アクセス割当てモジュールは、前記ツール近くのコンテナバッファシステムに設けられる、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記アクセス通信プロトコル信号は、エンハンストキャリアハンドオフパラレルＩ／ＯインタフェースのためのＳＥＭＩ  Ｅ８４仕様に準拠する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
更に、いくつかの追加ロードポートを含み、前記追加ロードポートは、前記アクセス割当てモジュールは、前記いくつかの追加ロードポートの各々と通信し、かつ前記第１の能動構成要素及び前記第２の能動構成要素の各々と前記いくつかの追加ロードポートの間のアクセス通信プロトコル信号の送信を制御するように定められる、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１５】
半導体製造ツールのロードポートへのアクセスを制御する方法であって、
第１のアクセスプロトコル信号を第１の能動構成要素からロードポートに送信する段階と、
第２のアクセスプロトコル信号を第２の能動構成要素から前記ロードポートに送信する段階と、
前記第１のアクセスプロトコル信号及び前記第２のアクセスプロトコル信号が前記ロードポートに到着する前に、前記第１のアクセスプロトコル信号及び前記第２のアクセスプロトコル信号を傍受するように前記アクセス割当てモジュールを作動させる段階と、
現時点において前記第１の能動構成要素及び前記第２の能動構成要素のうちのどちらに前記ロードポートへのアクセスを許されているのかを決定するように前記アクセス割当てモジュールを作動させる段階と、
前記第１の能動構成要素が前記ロードポートへのアクセスを許されているとき、前記傍受した第１のアクセスプロトコル信号を前記ロードポートまで通過させて送信し、かつ、前記傍受した第２のアクセスプロトコル信号を前記ロードポートに送信することを阻止するように前記アクセス割当てモジュールを作動させる段階と、
前記第２の能動構成要素が前記ロードポートへのアクセスを許されているとき、前記傍受した第２のアクセスプロトコル信号を前記ロードポートまで通過させて送信し、かつ、前記傍受した第１のアクセスプロトコル信号を前記ロードポートに送信することを阻止するように前記アクセス割当てモジュールを作動させる段階と、を含む方法。
【請求項１６】
前記第１のアクセスプロトコル信号及び前記第２のアクセスプロトコル信号は、エンハンストキャリアハンドオフパラレルＩ／ＯインタフェースのためのＳＥＭＩ  Ｅ８４仕様に準拠する、請求項１５に記載の方法。