【手続補正書】
【提出日】平成28年2月4日(2016.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１端部および第２端部、ならびに前記端部間に延びる２つの側面を有する移送チャンバ内で基板を搬送する移送装置であって、前記側面のそれぞれが少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記端部のそれぞれが少なくとも１つの基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、
駆動セクション、および少なくとも１つのベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも１つのアームリンクと、ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも１つの移送アームとを含み、前記少なくとも１つの移送アームが２つのエンドエフェクタを有し、
前記駆動セクションが、３自由度を定める３つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの１自由度は、前記少なくとも１つの移送アームを前記移送チャンバ内で搬送するために、前記少なくとも１つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの２自由度は、前記少なくとも１つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも１つの移送アームを後退させ、前記２つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも１つの移送アームを駆動する移送装置。
【請求項２】
前記移送装置が、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーションの間、および、前記移送チャンバの第１および第２端部のそれぞれの、前記少なくとも１つの基板保持ステーションへ、基板を移送するように構成される請求項１記載の移送装置。
【請求項３】
前記移送チャンバの第１および第２端部の１つまたは２つ以上の間に位置付けられる、前記少なくとも１つの基板保持ステーションが、列をなす３つのロードロックまたは列をなす４つのロードロックを含む請求項２記載の移送装置。
【請求項４】
前記移送装置が、直径４５０ｍｍのウェハを操作するように構成される請求項１記載の移送装置。
【請求項５】
前記移送装置が、直径２００ｍｍのウェハ、直径３００ｍｍのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項１記載の移送装置。
【請求項６】
前記駆動セクションが、同軸駆動シャフト機構を含む請求項１記載の移送装置。
【請求項７】
前記駆動セクションが、前記少なくとも１つの移送アームの延伸および後退軸に略垂直な方向に、前記少なくとも１つの移送アームを線形移動させるように構成されるＺ軸駆動部を含む請求項１記載の移送装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つのベースアームが、一端において駆動軸で前記駆動セクションに回転可能に取り付けられる少なくとも１つのアームリンクを含み、前記少なくとも１つの移送アームが、ショルダ軸で前記少なくとも１つのアームリンクの反対側の第２の端部に回転可能に取り付けられる請求項１記載の移送装置。
【請求項９】
前記駆動セクションが、前記駆動軸に配置される１自由度の駆動部と、ショルダ軸に配置される２自由度の駆動部とを含む請求項１記載の移送装置。
【請求項１０】
前記１自由度の駆動部が、ハーモニックドライブ（登録商標）を備える請求項９記載の移送装置。
【請求項１１】
前記２自由度の駆動部が、内側および外側の駆動シャフトを有する同軸駆動部を備え、前記外側の駆動シャフトは、前記内側の駆動シャフトから独立して回転可能であって、前記内側の駆動シャフトの支持軸受によって支持されている請求項９記載の移送装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つのベースアームが、第１および第２端部を有するアッパーアームリンクと、第１および第２端部を有するフォアアームリンクとを含み、前記アッパーアームリンクは、第１端部で前記駆動セクションに、駆動軸周りに回転可能に取り付けられ、前記フォアアームリンクは、第１端部で、前記アッパーアームリンクの第２端部に回転可能に取り付けられている請求項１記載の移送装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの移送アームが、前記フォアアームリンクの前記第２端部に、ショルダ回転軸で回転可能に取り付けられる請求項１２記載の移送装置。
【請求項１４】
前記フォアアームリンクが前記駆動セクションに従動し、前記ショルダ回転軸は、略線形の経路を追従するように実質的に規制される請求項１３記載の移送装置。
【請求項１５】
第１端部および第２端部、ならびに前記端部間に延びる２つの側面を有する移送チャンバ内で基板を搬送する移送装置であって、前記側面のそれぞれが少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、
駆動セクション、および少なくとも１つのベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも１つのアームリンクと、前記ベースアームに回転可能に連結される少なくとも１つの移送アームとを含み、前記少なくとも１つの移送アームが２つのエンドエフェクタを有し、
前記駆動セクションが、３自由度を定める３つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの１自由度は、前記移送アームを前記移送チャンバ内で搬送するために、前記少なくとも１つのベースアームを水平方向に移動させ、前記駆動セクションの２自由度は、前記少なくとも１つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも１つの移送アームを後退させ、前記２つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも１つの移送アームを駆動する移送装置。
【請求項１６】
前記移送装置が、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーション間で、基板を移送するように構成される請求項１５記載の移送装置。
【請求項１７】
前記移送チャンバが、前記移送チャンバの第１および第２端部の１つまたは２つ以上に位置付けられる、列をなす３つのロードロックまたは列をなす４つのロードロックを含み、前記移送装置は、前記列をなす３つのロードロックまたは列をなす４つのロードロックへ、および前記列をなす３つのロードロックまたは列をなす４つのロードロックから、基板を移送するように構成される請求項１６記載の移送装置。
【請求項１８】
前記移送装置が、直径４５０ｍｍのウェハを操作するように構成される請求項１５記載の移送装置。
【請求項１９】
前記移送装置が、直径２００ｍｍのウェハ、直径３００ｍｍのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項１５記載の移送装置。
【請求項２０】
実質的にシールされた環境を形成する少なくとも１つの移送チャンバと、
少なくとも部分的に、前記少なくとも１つの移送チャンバのそれぞれの内部に配置される少なくとも１つの移送装置と
を備える基板処理装置であって、
前記少なくとも１つの移送装置は、駆動セクション、および、ベースアームを備え、
前記ベースアームは、一端で前記移送チャンバに対して固定され、前記駆動セクションに回転可能に連結される少なくとも１つのアームリンクと、前記ベースアームの共通の端部に回転可能に連結される少なくとも１つの移送アームとを含み、前記少なくとも１つの移送アームが２つのエンドエフェクタを有し、前記駆動セクションは、３自由度を定める３つの独立した回転軸を備えるモータを有し、前記駆動セクションの１自由度は、前記少なくとも１つの移送アームを前記移送チャンバ内で水平方向に搬送するために、前記ベースアームを移動させ、前記駆動セクションの２自由度は、前記少なくとも１つの移送アームを延伸させ、前記少なくとも１つの移送アームを後退させ、前記２つのエンドエフェクタを入れ替えるために、前記少なくとも１つの移送アームを駆動する基板処理装置。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの移送チャンバのそれぞれが、第１端部および第２端部、ならびに前記端部間に延びる２つの側面を有し、前記側面のそれぞれが少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーションを有し、前記端部のそれぞれが少なくとも１つの基板保持ステーションを有し、前記移送装置は、前記移送チャンバの側面それぞれの、前記少なくとも２つの線形に配置された基板保持ステーションの間、および、前記移送チャンバの第１および第２端部のそれぞれに位置付けられる前記少なくとも１つの基板保持ステーションへ、基板を移送するように構成される請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２２】
前記移送チャンバの第１および第２端部の１つまたは２つ以上に位置付けられる、前記少なくとも１つの基板保持ステーションが、列をなす３つのロードロックまたは列をなす４つのロードロックを含む請求項２１記載の基板処理装置。
【請求項２３】
前記基板処理装置が、直径４５０ｍｍのウェハを操作するように構成される請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２４】
前記基板処理装置が、直径２００ｍｍのウェハ、直径３００ｍｍのウェハ、または、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、有機発光ダイオードまたは太陽電池アレイ用のフラットパネルを操作するように構成される請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２５】
前記少なくとも１つの移送チャンバが、クラスタ構成を有する請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２６】
前記クラスタ構成が、デュアルクラスタ移送チャンバ構成またはトリプルクラスタ移送チャンバ構成である請求項２５記載の基板処理装置。
【請求項２７】
前記少なくとも１つの移送チャンバの少なくとも一端が、基板処理装置に基板を挿入するため、または基板処理装置から基板を取り除くために、装置フロントエンドモジュールを含む請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２８】
前記少なくとも１つの移送チャンバが、互いに対して連絡可能に連結されて線形に細長い複合移送チャンバを形成する、少なくとも２つの線形に細長い移送チャンバを含む請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項２９】
前記線形に細長い複合移送チャンバの少なくとも一端が、前記基板処理装置に基板を挿入するため、または前記基板処理装置から基板を取り除くために、装置フロントエンドモジュールを含む請求項２８記載の基板処理装置。
【請求項３０】
前記駆動セクションが同軸駆動シャフト機構を含む請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項３１】
前記ベースアームは、一端において、駆動軸で前記駆動セクションに回転可能に取り付けられる少なくとも１つのアームリンクを含み、前記少なくとも１つの移送アームが、ショルダ軸で前記少なくとも１つのアームリンクの反対側の第２の端部に回転可能に取り付けられる請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項３２】
前記駆動セクションが、前記駆動軸に配置される１自由度の駆動部と、前記ショルダ軸に配置される２自由度の駆動部とを含む請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項３３】
前記１自由度の駆動部が、ハーモニックドライブ（登録商標）を備える請求項３２記載の基板処理装置。
【請求項３４】
前記２自由度の駆動部が、内側および外側の駆動シャフトを有する同軸駆動部を備え、前記外側の駆動シャフトは、前記内側の駆動シャフトから独立して回転可能であって、前記内側の駆動シャフトの支持軸受によって支持されている請求項３２記載の基板処理装置。
【請求項３５】
前記ベースアームが、第１および第２端部を有するアッパーアームリンクと、第１および第２端部を有するフォアアームリンクとを含み、前記アッパーアームリンクは、第１端部で前記駆動セクションに、前記駆動軸周りに回転可能に取り付けられ、前記フォアアームリンクは、第１端部で、前記アッパーアームリンクの第２端部に回転可能に取り付けられている請求項２０記載の基板処理装置。
【請求項３６】
前記少なくとも１つの移送アームが、前記ショルダ回転軸で、前記フォアアームリンクの前記第２端部に回転可能に取り付けられる請求項３５記載の基板処理装置。
【請求項３７】
前記フォアアームリンクが前記駆動セクションに従動し、前記ショルダ回転軸は、前記少なくとも１つの線形に細長い移送チャンバの全長に沿う、略線形の経路を追従するように実質的に規制される請求項３５記載の基板処理装置。