【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年4月22日(2016.4.22)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の表面積を有する球形部品をコーティングプロセスによってコーティングする方法であって、
移動部材の第１面に設けられた格納バウンダリ内に前記球形部品を位置決めする工程と、
前記移動部材をチャンバ内に位置決めする工程と、
前記チャンバ内の圧力を１気圧未満まで減圧する工程と、
長手方向軸線を中心として前記移動部材を旋回させる工程と、
前記移動部材の第２面または揺動部材に連結されるカムエレメントであって、回転エレメントと接触するカムエレメントを使用して、前記移動部材を前記長手方向軸線の方向に揺動させる工程と、
前記コーティングプロセスを開始する工程と
を備え、
前記揺動および旋回によって、前記球形部品の各々の前記表面積全体が前記コーティングプロセスに曝されるように、前記球形部品が前記格納バウンダリ内で移動される
方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
ｉ）前記格納バウンダリが、周囲長Ｐを形成し、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程が、直径Ｄを有するＮ個の球形部品を、前記格納バウンダリ内に、Ｎ×ＤがＰ以下となるように位置決めする工程を備えることと、
ｉｉ）前記移動部材が所定の表面を形成し、
前記格納バウンダリが、前記表面と直交する高さＨを有する縁部を形成し、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程が、直径Ｄを有するＮ個の球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程を備え、
前記直径Ｄが、４Ｈ以上であることと
のうちの一方を満たす
方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、
ｉ）前記コーティングプロセスが、蒸着プロセスであることと、
ｉｉ）前記コーティングプロセスが、反応性スパッタリングプロセスであることと、
ｉｉｉ）前記コーティングプロセスが、閉磁場アンバランスドマグネトロンスパッタリングプロセスであることと、
ｉｖ）前記コーティングプロセスには、物理蒸着プロセスおよび化学蒸着プロセスが含まれることと
のうちのいずれかを満たす
方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、
前記旋回および揺動中に、前記球形部品は、前記移動部材と電気的に接触した状態に維持される
方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、
前記移動部材は外縁部を備え、
前記球形部品を前記格納バウンダリ内に位置決めする工程は、前記球形部品を、２つ以上の移動部材に設けられた複数の前記格納バウンダリ内に位置決めする工程を備え、
前記長手方向軸線を中心として前記移動部材を旋回させる工程は、前記長手方向軸線を中心として前記２つ以上の移動部材を旋回させる工程を備え、
前記移動部材を前記長手方向軸線の方向に揺動させる工程は、前記移動部材の各々の前記外縁部の半径方向の最も外側の箇所が、前記長手方向軸線に対して同時に長手方向の異なる位置にあるように、前記２つ以上の移動部材を揺動させる工程を備える
方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、
前記移動部材は、連結面を形成し、
ｉ）前記カムエレメントが、前記連結面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面を提供することと、
ｉｉ）前記カムエレメントが、前記連結面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面と、前記連結面と平行な表面を形成する棚部と、を提供することと
のうちの一方を満たす
テーブルアセンブリ。
【請求項７】
球形部品を減圧下でコーティングするのに使用するためのテーブルアセンブリであって、
所定の表面を形成し、長手方向軸線を中心として旋回するように作動できる移動部材であって、前記表面に格納バウンダリを有する移動部材と、
前記移動部材の旋回時に、前記移動部材に揺動運動を加えるように構成された揺動部材と
を備え、
前記表面は、第１面であり、
前記移動部材は、さらに、第２面を形成し、
カムエレメントが、前記第２面および前記揺動部材のうちの一方に連結される
テーブルアセンブリ。
【請求項８】
請求項７に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記長手方向軸線を中心として回転する支持部材を備え、
前記移動部材は、前記支持部材に連結され、
前記移動部材は、前記支持部材に、枢動するようにヒンジ連結される
テーブルアセンブリ。
【請求項９】
請求項８に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記支持部材の一部に近接して配置される駆動部材であって、前記長手方向軸線を中心として旋回するように構成された駆動部材を備え、
前記駆動部材は、前記長手方向軸線を中心として前記支持部材を回転させる
テーブルアセンブリ。
【請求項１０】
請求項７ないし請求項９のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
更に、前記カムエレメントに作動可能に接触する回転エレメントを備え、
前記回転エレメントは、前記第２面および前記揺動部材のうちの他方に連結されて、前記揺動部材の回転時に、前記移動部材に揺動運動を加え、
ｉ）前記カムエレメントが、前記回転エレメントに対して、前記第２面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面を提供することと、
ｉｉ）前記カムエレメントが、前記回転エレメントに対して、前記第２面に対してゼロではない角度で角度付けられたカム面と、前記第２面と平行な表面を形成する棚部と、を提供することと
のうちの一方を満たす
テーブルアセンブリ。
【請求項１１】
請求項７ないし請求項１０のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記格納バウンダリは、前記表面の部分として一体的に形成されており、
前記格納バウンダリは、前記移動部材にポケットを形成する
テーブルアセンブリ。
【請求項１２】
請求項７ないし請求項１１のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
ｉ）前記格納バウンダリが円を形成することと、
ｉｉ）前記格納バウンダリが、実質的に腎曲線形状であることと、
ｉｉｉ）前記格納バウンダリが、前記表面に固定的に取り付けられた表面構成であることと
のうちのいずれかを満たす
テーブルアセンブリ。
【請求項１３】
請求項７ないし請求項１２のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記移動部材は、複数の移動部材を備え、
前記複数の移動部材の各々は、それぞれ、第１面および反対側の第２面を有し、
前記複数の移動部材の各々は、前記第１面に形成された格納バウンダリを有し、
カムエレメントが、前記第２面および前記揺動部材のうちの一方に連結される
テーブルアセンブリ。
【請求項１４】
請求項７ないし請求項１３のいずれか一項に記載のテーブルアセンブリであって、
前記移動部材は、第１移動部材であり、
前記テーブルアセンブリは、更に、前記第１移動部材に連結されるとともに前記長手方向軸線に沿って前記第１移動部材から間隔が隔てられた第２移動部材を備え、
前記第２移動部材は、前記第１移動部材から、約５．０８ｃｍ（２インチ）以上かつ約１５．２４ｃｍ（６インチ）以下だけ離間される
テーブルアセンブリ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
［００３２］図２、図３、図６および図８を参照すると、作動において、各々の直径がＤであり、コーティングが形成されるべき所定の表面積を有するＮ個の球形部品２９６（図８参照）が、１つ以上の移動部材２００に形成された格納バウンダリ２２０，２２２内に配置され、即ち位置決めされる。所与の格納バウンダリ２２０，２２２について、その中の球形部品２９６の直径Ｄは、４Ｈ未満であるべきではない。Ｈは、上文中に言及してある。更に、数Ｎは、好ましくは、Ｎ×ＤがＰ以下であるように決定される。Ｐは、格納バウンダリ２２０，２２２の周囲長である。テーブルアセンブリ１００の各格納バウンダリ２２０，２２２は、必ずしも同じ寸法でなくてもよく、そのため、数Ｎは、移動部材２００に関連する格納バウンダリ２２０，２２２内で、または、２つ以上の移動部材２００内で変わってもよい。更に、上述のガイドラインに従って、第１直径を有する球形部品が格納バウンダリ２２０，２２２の一方に配置され、第２直径を有する球形部品が別の格納バウンダリ２２０，２２２に配置されてもよい。