【手続補正書】
【提出日】平成28年10月21日(2016.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プロセスを用いて製造されたフィルタであって、
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される複数のキャパシタであって、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つの幅が１０マイクロメートル未満であり、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つの厚さが１マイクロメートル未満であり、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つの幅及び厚さが、印刷プロセスを用いて製造されたキャパシタの幅及び厚さ未満である、複数のキャパシタと、
インダクタの間隔が１０マイクロメートルの間隔の印刷解像度未満である、前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記複数の基板貫通ビアに結合された、前記ガラス基板の第１の表面上の第１の複数のトレース、および
前記第１の表面と反対側の、前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された第２の複数のトレースを備える少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビアおよびトレースが前記ガラス基板の固体ガラスコアを取り囲み、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つが前記少なくとも１つの３Ｄインダクタのトレースに結合された、フィルタ。
【請求項２】
前記フィルタが、ローパスフィルタを備える、請求項１に記載のフィルタ。
【請求項３】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される複数のキャパシタであって、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、複数のキャパシタと、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記複数の基板貫通ビアに結合された、前記ガラス基板の第１の表面上の第１の複数のトレース、および
前記第１の表面と反対側の、前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された第２の複数のトレースを備える少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビアおよびトレースが前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記複数のキャパシタのうちの第１のキャパシタに直列に結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第１のインダクタと、
前記フィルタ入力とフィルタ出力との間に結合され、前記複数のキャパシタの第２のキャパシタに並列に結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第２のインダクタと、
前記フィルタ出力、および前記接地端子に結合された前記複数のキャパシタのうちの第３のキャパシタに結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第３のインダクタとを備える、ローパスフィルタ。
【請求項４】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される複数のキャパシタであって、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、複数のキャパシタと、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記複数の基板貫通ビアに結合された、前記ガラス基板の第１の表面上の第１の複数のトレース、および
前記第１の表面と反対側の、前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された第２の複数のトレースを備える少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビアおよびトレースが前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記３Ｄインダクタのうちの第１のインダクタに直列に結合された、前記複数のキャパシタのうちの第１のキャパシタと、
前記フィルタ入力とフィルタ出力との間に結合され、前記３Ｄインダクタのうちの第２のインダクタに並列に結合された、前記複数のキャパシタのうちの第２のキャパシタと、
前記フィルタ出力、および前記接地端子に結合された前記３Ｄインダクタのうちの第３のインダクタに結合された、前記複数のキャパシタのうちの第３のキャパシタとを備える、ローパスフィルタ。
【請求項５】
前記フィルタが、ハイパスフィルタを備える、請求項１に記載のフィルタ。
【請求項６】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される複数のキャパシタであって、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、複数のキャパシタと、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記複数の基板貫通ビアに結合された、前記ガラス基板の第１の表面上の第１の複数のトレース、および
前記第１の表面と反対側の、前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された第２の複数のトレースを備える少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビアおよびトレースが前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記複数のキャパシタのうちの第３のキャパシタと直列に結合された、前記複数のキャパシタのうちの第１のキャパシタと、
前記複数のキャパシタのうちの前記第１のキャパシタおよび前記複数のキャパシタのうちの前記第３のキャパシタと前記接地端子との間に、前記複数のキャパシタのうちの第２のキャパシタと直列に結合された、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備える、ハイパスフィルタ。
【請求項７】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される複数のキャパシタであって、前記複数のキャパシタのうちの少なくとも１つが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、複数のキャパシタと、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記複数の基板貫通ビアに結合された、前記ガラス基板の第１の表面上の第１の複数のトレース、および
前記第１の表面と反対側の、前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された第２の複数のトレースを備える少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビアおよびトレースが前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記複数のキャパシタのうちの第２のキャパシタと直列に結合された、前記複数のキャパシタのうちの第１のキャパシタと、
前記複数のキャパシタのうちの前記第１のキャパシタおよび前記複数のキャパシタのうちの前記第２のキャパシタと前記接地端子との間に結合された、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備える、ハイパスフィルタ。
【請求項８】
前記ガラス基板が、ガラス、空気、水晶、サファイア、または高抵抗シリコンを備える、請求項１に記載のフィルタ。
【請求項９】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定位置データユニットの中に統合される、請求項１に記載のフィルタ。
【請求項１０】
フィルタを作製する方法であって、
ガラス基板内に複数の基板貫通ビアを形成するステップと、
前記ガラス基板の第１の表面上に第１の複数のトレースを堆積するステップと、
前記ガラス基板の第２の表面上に第２の複数のトレースを堆積するステップであって、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、堆積するステップと、
前記複数の基板貫通ビアの第１の側に前記第１の複数のトレースを結合するステップと、
前記複数の基板貫通ビアの第２の側に前記第２の複数のトレースを結合するステップであって、少なくとも１つの３Ｄインダクタを形成するために、前記複数の基板貫通ビア及びトレースが前記ガラス基板の固体ガラスコアを取り囲む、結合するステップと、
前記ガラス基板上に少なくとも１つのキャパシタを形成するステップであって、前記少なくとも１つのキャパシタの幅が１０マイクロメートル未満であり、前記少なくとも１つのキャパシタの厚さが１マイクロメートル未満であり、前記少なくとも１つのキャパシタの幅及び厚さが、印刷プロセスを用いて製造されたキャパシタの幅及び厚さ未満であり、前記少なくとも１つのキャパシタが、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタのトレースに結合される、少なくとも１つのキャパシタを形成するステップとを含む、方法。
【請求項１１】
前記フィルタが、ローパスフィルタとして作製される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記フィルタが、ハイパスフィルタとして作製される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記フィルタを、携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定位置データユニットの中に統合するステップをさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される電荷を蓄積するための手段であって、前記電荷蓄積手段の幅が１０マイクロメートル未満であり、前記電荷蓄積手段の厚さが１マイクロメートル未満であり、前記電荷蓄積手段の幅及び厚さが、印刷プロセスを用いて製造されたキャパシタの幅及び厚さ未満である、電荷を蓄積するための手段と、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記ガラス基板の第１の表面上の、前記複数の基板貫通ビアに結合された、結合するための第１の手段、および
前記第１の表面と反対側の前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された、結合するための第２の手段を含む、少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビア、結合するための前記第１の手段、および結合するための前記第２の手段が、前記ガラス基板の固体ガラスコアを取り囲み、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、結合するための前記第１の手段および結合するための前記第２の手段が、前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、前記電荷蓄積手段が、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタの結合するための前記第１の手段に結合された、フィルタ。
【請求項１５】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される電荷を蓄積するための手段であって、前記電荷蓄積手段が、印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、電荷を蓄積するための手段と、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記ガラス基板の第１の表面上の、前記複数の基板貫通ビアに結合された、結合するための第１の手段、および
前記第１の表面と反対側の前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された、結合するための第２の手段を含む、少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビア、結合するための前記第１の手段、および結合するための前記第２の手段が、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、結合するための前記第１の手段および結合するための前記第２の手段が、前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有し、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記電荷蓄積手段のうちの第１の手段に直列に結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第１のインダクタと、
前記フィルタ入力とフィルタ出力との間に結合され、前記電荷蓄積手段の第２の手段に並列に結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第２のインダクタと、
前記フィルタ出力、および前記接地端子に結合された前記電荷蓄積手段のうちの第３の手段に結合された、前記３Ｄインダクタのうちの第３のインダクタとを備えた、ローパスフィルタ。
【請求項１６】
複数の基板貫通ビアを有するガラス基板と、
前記ガラス基板によって支持される電荷を蓄積するための手段であって、前記電荷蓄積手段が、印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、電荷を蓄積するための手段と、
前記ガラス基板内の少なくとも１つの３Ｄインダクタであって、
前記ガラス基板の第１の表面上の、前記複数の基板貫通ビアに結合された、結合するための第１の手段、および
前記第１の表面と反対側の前記ガラス基板の第２の表面上に、前記複数の基板貫通ビアの反対端に結合された、結合するための第２の手段を含む、少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備え、前記複数の基板貫通ビア、結合するための前記第１の手段、および結合するための前記第２の手段が、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとして動作し、結合するための前記第１の手段および結合するための前記第２の手段が、前記印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、少なくとも１つの３Ｄインダクタと、
フィルタ入力と接地端子との間に、前記電荷蓄積手段のうちの第３の手段と直列に結合された、前記電荷蓄積手段のうちの第１の手段と、
前記第１の電荷蓄積手段および前記第３の電荷蓄積手段と前記接地端子との間に、前記電荷蓄積手段のうちの第２の手段と直列に結合された、前記少なくとも１つの３Ｄインダクタとを備えた、ハイパスフィルタ。
【請求項１７】
携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定位置データユニットの中に統合される、請求項１４に記載のフィルタ。
【請求項１８】
フィルタを作製する方法であって、
ガラス基板内に複数の基板貫通ビアを形成するステップと、
前記ガラス基板の第１の表面上に第１の複数のトレースを堆積するステップと、
前記ガラス基板の第２の表面上に第２の複数のトレースを堆積するステップであって、前記第１の複数のトレースおよび前記第２の複数のトレースが印刷解像度未満の幅および／または厚さを有する、堆積するステップと、
前記複数の基板貫通ビアの第１の側に前記第１の複数のトレースを結合するステップと、
少なくとも１つの３Ｄインダクタを形成するために、前記複数の基板貫通ビアの第２の側に前記第２の複数のトレースを結合するステップであって、前記複数の基板貫通ビア及び前記トレースが前記ガラス基板の固体ガラスコアを取り囲む、結合するステップと、
前記ガラス基板上に少なくとも１つのキャパシタを形成するステップであって、前記少なくとも１つのキャパシタの幅が１０マイクロメートル未満であり、前記少なくとも１つのキャパシタの厚さが１マイクロメートル未満であり、前記少なくとも１つのキャパシタの幅及び厚さが、印刷プロセスを用いて製造されたキャパシタの幅及び厚さ未満である、少なくとも１つのキャパシタを形成するステップとを含む、方法。
【請求項１９】
前記フィルタが、ローパスフィルタとして作製される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記フィルタが、ハイパスフィルタとして作製される、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記フィルタを、携帯電話、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、エンターテインメントユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定位置データユニットの中に統合するステップをさらに含む、請求項１８に記載の方法。