【手続補正書】
【提出日】平成28年2月23日(2016.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ形状物品を処理するための装置であって、
所定の直径のウエハ形状物品を保持すると共に、回転軸を中心に前記ウエハ形状物品を回転させるよう適合されている回転チャックと、
液体供給ノズルアレイを備えている液体供給装置と、
を備え、
前記液体供給装置の処理位置にある前記ノズルは、前記回転チャック上に載置されているウエハ形状物品の主要面に隣接して開口し、
前記ノズルアレイは、前記回転軸に最も近く配置されている最内ノズルから、前記回転チャック上に載置されているウエハ形状物品の周縁に最も近く配置されている最外ノズルまで、半径方向に配列され、
前記液体供給装置は、さらに、導管アレイを備え、
前記導管の各々は、前記ノズルアレイの内の対応するノズルと連通し、
前記ノズルの各々を通る液体の流量を前記ノズルの内の任意の他のノズルを通る液体の流量と独立して制御できるように、前記導管の各々に、コンピュータ制御バルブがそれぞれ備えられ、
前記ノズルアレイは、前記ノズルが前記処理位置にある時に前記回転軸に垂直な方向に互いに対して移動できないように、取り付けられる、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記液体供給ノズルアレイは、少なくとも３個の液体供給ノズル、好ましくは３〜７個の液体供給ノズル、より好ましくは４〜６個の液体供給ノズル、最も好ましくは５個の液体供給ノズルを備える、装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、
前記液体供給装置は、複数の前記液体供給ノズルアレイを備え、
各液体供給ノズルアレイは、前記回転軸に最も近く配置されている最内ノズルから、前記回転チャック上に載置されているウエハ形状物品の周縁に最も近く配置されている最外ノズルまで、半径方向に配列されている、装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置であって、前記液体供給装置は、２から４個の液体供給ノズルアレイ、好ましくは３個の液体供給ノズルアレイを備える、装置。
【請求項５】
請求項３に記載の装置であって、前記液体供給ノズルアレイの各々は、それぞれ別の液体供給部と連通する、装置。
【請求項６】
請求項３に記載の装置であって、前記液体供給ノズルアレイの内の少なくとも１つのアレイの前記最内ノズルは、前記回転チャック上に載置されているウエハ形状物品の中央に液体を供給するために、前記回転軸上に開口している、装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置であって、さらに、前記回転チャックを収容する処理チャンバを備え、
前記処理チャンバは、カバーを備え、
前記液体供給装置は、前記液体供給ノズルが前記回転軸に平行な方向に前記カバーから前記チャンバ内に伸びるように、少なくとも部分的に前記カバー内に取り付けられている、装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、さらに、前記液体供給装置とは別に中央液体供給ノズルを備え、
前記中央液体供給ノズルは、前記回転チャック上に載置されているウエハ形状物品の中央に液体を供給するために、前記回転軸上に開口している、装置。
【請求項９】
請求項１に記載の装置であって、前記コンピュータ制御バルブの各々は、それぞれの液体供給ノズルの開口部の上流５ｍｍ〜１５ｍｍの距離にそれぞれの導管に沿って配置されている、装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の装置であって、前記液体供給ノズルの少なくとも１つは、前記液体供給ノズルの少なくとも他の１つの供給開口部と異なる直径を有する供給開口部を備える、装置。
【請求項１１】
ウエハ形状物品を処理するための方法であって、
ウエハ形状物品を回転チャック上に載置し、
回転軸を中心に前記ウエハ形状物品を回転させ、
液体供給ノズルアレイを通して第１の液体を前記ウエハ形状物品の表面に供給すること、
を備え、
前記ノズルアレイは、前記回転軸に最も近く配置されている最内ノズルから、前記ウエハ形状物品の周縁に最も近く配置されている最外ノズルまで、半径方向に配列され、
前記供給中に、前記ノズルアレイの各ノズルは、前記供給中に前記ノズルの各々を通る液体の流量が前記ノズルの内の任意の他のノズルを通る液体の流量と独立して制御されるように、それぞれのコンピュータ制御バルブによって個別に制御され、
前記ノズルは、前記供給中はずっと互いに対して静止している、方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の方法であって、前記供給は、前記最内ノズルから前記最外ノズルまで順次、前記コンピュータ制御バルブを開閉させつつ、前記ノズルアレイの各ノズルを通して同じ組成を有する第１の液体を供給することを含む、方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載の方法であって、
前記ノズルアレイは、少なくとも３個のノズルを備え、
前記供給は、
最初に、前記最外ノズルが閉じたままの状態で、前記最内ノズルと、それと同時に前記アレイの内の隣接するノズルとを通して、前記第１の液体を供給し、
その後に、前記最内ノズルが閉じたままの状態で、前記最外ノズルと、それと同時に前記アレイの内の隣接するノズルとを通して、前記第１の液体を供給すること、
を含む、方法。
【請求項１４】
請求項１１に記載の方法であって、
前記ノズルアレイは、少なくとも３個のノズルを備え、
前記供給は、常に前記ノズルアレイの内の１ノズルのみを通して、前記第１の液体を供給することを含む、方法。
【請求項１５】
請求項１１に記載の方法であって、さらに、さらなる前記ノズルアレイを通して、第２の液体を供給することを含む、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図２の装置は、さらに、処理チャンバ１に対して移動可能な内部カバー２を備える。内部カバー２は、図２では、第１の位置すなわち開位置に示されており、その位置では、回転チャック３０がチャンバ１の外側円筒壁１０と連通している。この実施形態のカバー２は、略カップ形状であり、直立する円筒壁２１によって囲まれた基部２０を備える。カバー２は、さらに、基部２０を支えると共にチャンバ１の下壁１４を貫通する中空シャフト２２を備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
図２に示した位置は、ウエハＷのロードまたはアンロードに対応する。特に、ウエハＷは、蓋３６を取り除くことによって、あるいは、より好ましくは、チャンバ壁１０のサイドドア３３を通して、回転チャック３０上にロードされうる。ただし、蓋３６が所定位置にある時およびサイドドア３３が閉じられた時、チャンバ１は、気密であり、所定の内部圧力を維持することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図３において、内部カバー２は、その第２の位置すなわち閉位置に移動されており、この位置は、ウエハＷの処理に対応する。すなわち、ウエハＷが回転チャック３０上にロードされた後、カバー２は、中空シャフト２２に作用する適切なモータ（図示せず）により、チャンバ１に対して上方に移動される。内部カバー２の上方移動は、デフレクタ部材２４がチャンバ１の上側部分１５の内面と接触するまで継続する。特に、デフレクタ２４に設けられたガスケット２６は、上側部分１５の下面に向かって密閉し、その一方で、上側部分１５に設けられたガスケット１８は、デフレクタ２４の上面に向かって密閉する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
内部カバー２が図３に示すように第２の位置に達すると、閉じた処理チャンバ１内に第２のチャンバ４８が形成される。内部チャンバ４８は、さらに、チャンバ１の残りの部分から気密的にシールされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図６および図７は、本発明の第３の実施形態を示しており、この実施形態では、中央シャフトへのモータの作用によって回転されるチャックの上面にウエハＷが取り付けられるスピンチャックと共に用いるように、第１の実施形態のチャンバ設計を適合させている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
特に、ウエハＷは、内部カバー２が図６に示すロード／アンロード位置にある時にスピンチャック８０上にロードされ、グリップ部材８２によってチャック８０に対して所定の位置に固定される。チャック８０は、カバー８６を取り除くことによってアクセスされ、カバー８６は、図６の矢印によって示されるように、モータ８８の油圧シャフト８４に関する蓋の平行移動および回転によって垂直および水平に移動可能である。