(57)【要約】【課題】面内の発光の均一性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。【解決手段】基板１の表面に、第１電極２、有機層３及び第２電極４をこの順で有する有機エレクトロルミネッセンス素子である。第２電極４を貫通して有機層３の内部に達する複数の通気部５が設けられている。好ましい形態では、複数の通気部５は、並列した溝状に、又は、配列した点状に設けられている。通気部５はパターンマスク２０を用いて形成できる。あるいは、通気部５は、掘り込み加工を行うことにより形成できる。通気部５により吸着水分Ｗが放出されて面内の発光が均一に近づく。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に、第１電極、有機層及び第２電極をこの順で有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記第２電極を貫通して前記有機層の内部に達する複数の通気部が設けられていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項２】
前記複数の通気部は、並列した溝状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項３】
前記複数の通気部は、配列した点状に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項４】
前記有機層は、複数の機能層が積層されて構成されたものであり、前記複数の通気部のうち少なくとも一部は、前記第１電極に隣接する前記機能層の表面まで達していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項５】
前記複数の通気部のうち少なくとも一部は、前記有機層を貫通していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、前記第１電極が形成された前記基板の表面に、パターンマスクを用いて前記有機層及び前記第２電極を積層することにより、前記複数の通気部を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、前記基板の表面に、前記第１電極、前記有機層及び前記第２電極を積層した後、前記第２電極の表面から掘り込み加工を行うことにより、前記複数の通気部を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下「有機ＥＬ素子」ともいう）を照明パネルなどの面状発光体として用いることが知られている。面状の有機ＥＬ素子では、面内の発光輝度の均一性が重要な性能の一つとなっている。面内の発光が均一でなくなるほど、照明体としての性能が低下してしまうことになる。そのため、発光が面内で均一な有機ＥＬ素子を得るための試みがなされている。例えば、特許文献１では、ダークスポットを利用して面内の均一な発光を得ようとしている。
【０００３】
図１０は、有機ＥＬ素子の一例である。この有機ＥＬ素子は、基板１の表面に、第１電極２、有機層３及び第２電極４がこの順で積層され、封止樹脂７で接着される封止基材６により封止された構成を有している。封止樹脂７は平面視において有機層３の外周を取り囲むように配設されている。封止基材６の内面には乾燥剤８が設けられており、封止空間９中の水分を吸収するようになっている。有機層３は、塗布によって形成される第１有機層３１と、蒸着によって形成される第２有機層３２とが積層されて構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２５３３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１０に示すように、有機ＥＬ素子にあっては、層界面に微量の水分が吸着し、この水分が層の劣化を招いて発光輝度を低下させることがある。水分の吸着は、層界面において発生しやすく、特に、第１電極２と有機層３との界面、第１有機層３１と第２有機層３２との界面、及び、第２有機層３２と第２電極４との界面において、積層工程上、発生しやすい。この吸着水分Ｗによる発光輝度の低下は、異物が混入していわゆるダークスポット（ＤＳ）が形成されることによって低減されることが知られている。すなわち、吸着水分Ｗが異物の外縁を通じて有機ＥＬ素子の表面から封止空間９に放出され、放出された水分は乾燥剤８に吸収される。このような水分の移動は、通電して高温になるときに進行することが多い。そして、図１０（ａ）に示すように、初期状態では、吸着水分Ｗは層界面に存在するが、図１０（ｂ）に示すように、高温通電時には異物（ＤＳ）の外縁を通じて吸着水分Ｗが第２電極４の表面へと移動して封止空間９に放出される。
【０００６】
ここで、異物の混入が密になった領域と異物の混入が疎になった領域とが混在して形成されると、面内において水分の放出性が異なることになる。図１０（ｂ）では、異物が密になって存在する領域Ｓ１では、吸着水分Ｗがより多く封止空間９に放出されているが、異物が疎になって存在する領域Ｓ２では、吸着水分Ｗを封止空間９にまで移動させる通路がなく、吸着水分Ｗが層界面に残存している。そして、異物が密になった領域Ｓ１では吸着水分Ｗが減少するので層の劣化が低減されるが、異物が疎になった領域Ｓ２では吸着水分Ｗが多く残存するので、この吸着水分Ｗが層をより劣化させることになる。すると、領域Ｓ２では領域Ｓ１よりも発光輝度が低下し、発光輝度が高いところと低いところとが面内において偏ってできることとなり、面全体においては不均一な発光となってしまう。
【０００７】
このような問題にあたり、均一な発光を得るために異物（ＤＳ）を面内に均一に分散させることも考えられる。しかし、異物は、通常、ダークスポット（ＤＳ）を形成するような発光に好ましくない物質であって、積層の際に微量の量で混入されるものであり、異物を均一に分散させることは難しい。また、面内に均一な発光を得ようとする目的で異物を積極的に混入させて面全体に均一に分散しようとすると、かえって面全体の発光輝度を低下させてしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、面内の発光の均一性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子は、基板の表面に、第１電極、有機層及び第２電極をこの順で有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記第２電極を貫通して前記有機層の内部に達する複数の通気部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
前記複数の通気部は、並列した溝状に設けられていることが、好ましい形態の一つである。
【００１１】
前記複数の通気部は、配列した点状に設けられていることが、好ましい形態の一つである。
【００１２】
前記有機層は、複数の機能層が積層されて構成されたものであり、前記複数の通気部のうち少なくとも一部は、前記第１電極に隣接する前記機能層の表面まで達していることが、好ましい形態の一つである。
【００１３】
前記複数の通気部のうち少なくとも一部は、前記有機層を貫通していることが、好ましい形態の一つである。
【００１４】
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、前記第１電極が形成された前記基板の表面に、パターンマスクを用いて前記有機層及び前記第２電極を積層することにより、前記複数の通気部を形成することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、上記の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、前記基板の表面に、前記第１電極、前記有機層及び前記第２電極を積層した後、前記第２電極の表面から掘り込み加工を行うことにより、前記複数の通気部を形成することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれは、面内の発光の均一性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】有機ＥＬ素子の実施の形態の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２】有機ＥＬ素子を製造する方法の一例を示し、（ａ）〜（ｃ）は断面図である。
【図３】（ａ）は有機ＥＬ素子の製造に用いるパターンマスクの一例を示す平面図であり、（ｂ）はパターンマスクにより積層された層の一例を示す平面図であり、（ｃ）は有機ＥＬ素子の製造の途中状態の一例を示す平面図である。
【図４】（ａ）は有機ＥＬ素子の製造に用いるパターンマスクの一例を示す平面図であり、（ｂ）はパターンマスクにより積層された層の一例を示す平面図である。
【図５】有機ＥＬ素子の実施の形態の一例を示し、（ａ）は第２電極引き出し部近傍の断面図、（ｂ）は第２電極引き出し部近傍の拡大平面図、（ｃ）は第１電極引き出し部近傍の断面図、（ｄ）は第１電極引き出し部近傍の拡大平面図である。
【図６】有機ＥＬ素子を説明する断面図である。
【図７】有機ＥＬ素子の実施の形態の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図８】有機ＥＬ素子を製造する方法の一例を示し、（ａ）〜（ｄ）は断面図である。
【図９】有機ＥＬ素子の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、（ｃ）は層構成の説明図である。
【図１０】従来の有機ＥＬ素子の一例を示し、（ａ）及び（ｂ）は断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）の一例である。この有機ＥＬ素子は、概略、図９に示す構造を有する。
【００１９】
図９（ｂ）に示すように、有機ＥＬ素子は、基板１の表面に、第１電極２、有機層３及び第２電極４をこの順で有するものである。第１電極２、有機層３及び第２電極４が積層された領域（発光領域）は、封止基材６により封止されている。この有機ＥＬ素子では、第１電極２が陽極を構成し、第２電極４が陰極を構成しているが、その逆であってもよい。封止基材６は、防湿性を有する封止樹脂７により基板１に接着されている。封止樹脂７は平面視において有機層３の外周を取り囲むように配設されている。封止基材６の内面（内部側表面）には乾燥剤８が設けられており、封止空間９中の水分を吸収するようになっている。有機層３は、塗布によって形成される第１有機層３１と、蒸着によって形成される第２有機層３２とが積層されて構成されている。なお、図１（ａ）及び図９（ａ）では、乾燥剤８及び封止基材６の記載を省略している。
【００２０】
第１電極２は、基材１の表面全体に形成された導電層の中央部分により形成されている。そして、図９（ａ）に示すように、有機ＥＬ素子の外周部分には、第１電極２を形成するための導電層がパターン状に成形されて、第１電極２と導通する第１電極引き出し部１１と、第２電極４と導通する第２電極引き出し部１２とが設けられている（図５（ａ）（ｃ）も参照）。第１電極引き出し部１１と第２電極引き出し部１２とは導通しておらず絶縁しており、それにより通電時にショートしないようになっている。また、第１電極２よりも外側の領域における導電層の表面には、導電層の通電を補助する通電補助部１０が設けられている。通電補助部１０は、封止された領域の導電層表面に形成された第１電極通電補助部１０ｃと、封止された領域よりも外部領域の導電層表面に形成された第１電極端子部１０ａ及び第２電極端子部１０ｂとにより構成されている。第１電極端子部１０ａは、第１電極引き出し部１１表面に設けられ、この第１電極引き出し部１１の通電を補助するとともに、第１電極２の電極端子として機能する。第２電極端子部１０ｂは、第２電極引き出し部１２表面に設けられ、この第２電極引き出し部１２の通電を補助するとともに、第２電極４の電極端子として機能する。通電補助部１０は、ＭＡＭ（モリブデン／アルミ／モリブデン積層体）などによって形成することができる。
【００２１】
図９（ｃ）に示すように、有機層３は、複数の機能層３０によって構成されるものである。機能層３０は、正孔注入層３０ａ、正孔輸送層３０ｂ、発光材料層３０ｃ、電子輸送層３０ｄ、電子注入層３０ｅなどを含むものであり、これらの層が積層されて構成されている。なお、図９（ｃ）の形態では、発光材料層３０ｃと電子輸送層３０ｄとが兼用されて一つの層として形成されている。なお、機能層３０は、中間層など他の層を含んでもよい。また、複数の発光材料層３０ｃが積層されたものであってもよい。複数の発光材料層３０ｃを有する場合、白色発光の面状発光体を得ることが可能になる。発光材料層３０ｃ（単層）の発光色は、青、緑、黄、赤など適宜の色にすることができる。ここで、有機層３は、塗布によって形成される第１有機層３１と、蒸着によって形成される第２有機層３２に区分することができる。本形態では、第１電極２に隣接する機能層３０である正孔注入層３０ａが第１有機層３１として形成され、その上に積層された正孔輸送層３０ｂから電子注入層３０ｅまでの層が第２有機層３２として形成されている。
【００２２】
第１電極２の材料としては、透明性と導電性を兼ね備えた材料を用いることができ、例えば、透明金属酸化物を用いることができる。具体的には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＡＺＯ、ＺｎＯなどの層が例示される。また、第２電極４の材料としては、光反射性と導電性を兼ね備えた材料を用いることができ、例えば金属層を用いることができる。例えば、Ａｌ、Ａｇなどの層が例示される。
【００２３】
基板１は、この基板１側から光を取り出す場合、透明基板であることが好ましく、例えば、ガラス基板や透明樹脂基板を用いることができる。封止基材６は、封止できる材料でればよく、透明であってもなくてもよいが、例えば、ガラスキャップなどを用いることができる。
【００２４】
そして、本発明による有機ＥＬ素子は、図１に示すように、第２電極４を貫通して有機層３の内部に達する複数の通気部５が設けられている。図１の形態では、複数の通気部５は、平面視（基板１表面に垂直な方向から見た場合）において、並列した溝状に設けられている。このように並列した溝状で通気部５が設けられることにより、面全体を通気部５によって通気させることができ、均一な発光を得ることがより可能になる。本形態では、所定のピッチで設けられた直線状の溝が等間隔で並んで通気部５が構成されている。溝状の通気部５は、基板１の両端部（図１（ａ）では上下両端部）に設けられた電極端子の一方から他方に向かう方向（図１（ａ）では縦方向）の溝であることが好ましい。それにより、第２電極４が電極端子の間において分断されることがなくなり、第２電極４の通電性が高まる。
【００２５】
第２電極４は、通気部５の溝によって縦方向の中央部分がレーン状に分断されることになるが、一部が分断されずに接続されていることが好ましい。第２電極４が接続されていることにより、第２電極４の通電性が高まる。また、第２電極４が一体化されていると、面内の発光輝度をより均一にすることができる。この接続部分は、電極端子側の端部に形成されることが好ましい。均一発光への寄与が少ない端部において接続部分を設けることで、中央部に接続部分を設ける場合よりも面内の発光の均一性を高めることができる。図１の形態では、第２電極４は、一方の電極端子側端部での接続と、他方の電極端子側端部での接続とが交互に繰り返される蛇行状のパターンとなって形成されている。このように、接続部分が両側の端部に分散されることで、一方の端部のみに接続部分が形成される場合よりも通電の均一性を高めることができる。また、両方の端部に接続部分を設ける場合よりも、均一に通気性を高めることができる。
【００２６】
本形態では、複数の通気部５のうち少なくとも一部は、第１電極２に隣接する機能層３０の表面まで達していることが好ましい。それにより、有機層３内の層界面が通気部５と連通することになり、層界面での吸着水分Ｗを外部に放出させることができる。また、第１電極２に隣接する機能層３０の表面まで通気部５が達していると、通気部５の底部と第１電極２との距離が近づくため、第１電極２とこれに隣接する機能層３０との界面の吸着水分Ｗも外部に放出させることができる。また、第１電極２が機能層３０に覆われていると、第２電極４を積層して形成した際に、第２電極４が第１電極２に接触して形成されることを防止することができ、ショート不良を低減することができる。
【００２７】
図１の形態においては、通気部５は、第２有機層３２を貫通し、第１電極２に隣接する機能層３０である第１有機層３１（正孔注入層３０ａ）の表面まで達している。このとき、複数の通気部５の全部が第１有機層３１の表面まで達しているものであってもよいし、複数の通気部５の一部が第１有機層３１の表面まで達しているものであってもよい。また、本形態では、第２有機層３１及び第２電極４が、第１有機層３１の表面に矩形状の島状に形成されているものであってよい。
【００２８】
ここで、第１有機層３１は塗布によって形成されるものであり、第２有機層３２は蒸着によって形成されるものである。このように積層プロセスが異なると、その層の界面において水分の吸着が発生しやすい。また、第１電極２の表面に第１有機層３１を塗布して形成するにあたっては、第１電極２と第１有機層３１との界面において水分の吸着が発生しやすい。また、第２電極４は蒸着で形成され得るものであるが、通常、蒸着条件が第２有機層３２とは異なるため、第２電極４と第２有機層３２との界面においても、水分の吸着が発生しやすい。このように、有機ＥＬ素子の形成においては、層界面において水分の吸着が発生しやすい。しかしながら、本形態の有機ＥＬ素子では、複数の通気部５が設けられていることにより、図１（ｂ）に示すように、通気部５の近傍に存在する吸着水分Ｗは通気部５を介して層外部である封止空間９に放出されて拡散するものである。そして、封止空間９に放出された水分は乾燥剤８により捕捉される。よって、吸着水分Ｗを減らすことによって素子の劣化を低減できるとともに、吸着水分Ｗの残存する量を面内において均一に近づけることができる。このようにして、通気部５により吸着水分Ｗを放出して面内の水分量を均一に近づけて、面内発光がより均一に近づいた有機ＥＬ素子を得ることができるものである。
【００２９】
ところで、特開２０１０−２３８４７９号公報には、陰極（第２電極４）に孔を形成し、この孔を通じて有機層３の水分を吸湿するような技術が提案されている。しかしながら、この技術では、電極に孔が設けられているだけであるので、有機層３の内部における層界面の水分を放出することは難しい。それに対し、本形態の有機ＥＬ素子においては、通気部５は第２電極４を貫通するとともに有機層３の内部に達して設けられているものである。すなわち、通気部５によって、第２電極４を貫通する孔の領域で有機層３に凹みが設けられており、この凹みの側面に層界面が配置している。それにより、有機層３の内部における層界面の水分を均一に封止空間９に放出することができる。よって、吸湿水分Ｗによる層の劣化を効果的に抑制することができるとともに、面内の発光を均一に近づけた有機ＥＬ素子を得ることができるのである。
【００３０】
本形態では、図１（ｂ）に示すように、通気部５を形成する第２電極４の外縁は、通気部５を形成する第２有機層３２の外縁よりも内側であってもよい。つまり、通気部５側に露出する第２電極４の側面は、通気部５側に露出する第２有機層３２の側面よりも内部側に位置しており、通気部５の側面が階段状に形成された形態である。このとき、第２電極４は第２有機層３２よりもやや小さいパターンで形成されたものとなっている。このように第２電極４を第２有機層３２よりも若干小さく形成すると、第２電極４を積層して形成する際に、第２電極４が溝内に侵入して形成されることを抑制でき、ショートによる発光不良を低減することができる。
【００３１】
溝状の通気部５の溝幅は、例えば、１５〜３０μｍ程度にすることができる。溝幅が大きすぎると、非発光部分が大きくなり、面全体の発光輝度が低下するおそれがある。また、溝幅が小さすぎると、微細なパターンの溝を精度よく形成することが難しくなるおそれがある。特に、マスク蒸着では、１５μmよりも狭い寸法の作成は困難であると推定される。また、溝状の通気部５は、溝が並ぶ方向（図１（ａ）での横方向）における本数が、長さ１ｃｍあたり８〜１２本、好適には１０本、であることが好ましい。溝状の通気部５の個数割合が少なすぎると、通気部５による通気機能が低下するおそれがある。また、溝状の通気部５の個数割合が多すぎると、面全体の発光輝度が低下するおそれがある。なお、溝状の通気部５における並列のピッチ（隣り合う通気部５の中心間距離）は、例えば、１０００〜１２００μｍ程度にすることができるがこれに限定されるものではない。
【００３２】
図２〜６により、図１の形態の有機ＥＬ素子の製造方法の一例を説明する。有機ＥＬ素子は、第１電極２が形成された基板１の表面に、有機層３及び第２電極４を積層することにより形成できる。このとき、有機層３及び第２電極４を、パターンマスク２０を用いて形成すると、複数の通気部５を形成することが可能になる。なお、有機層３の形成にあたっては、有機層３を構成する複数の機能層３０のうちの一部をパターンマスク２０によって形成するものであってよい。
【００３３】
有機ＥＬ素子の製造にあたっては、まず、基板１の表面に導電層を所定形状で形成する。このとき、導電層は、平面視における中央領域が第１電極２となり、端部領域が第１電極引き出し部１１及び第２電極引き出し部１２となる。このとき、通電補助部１０を導電層の表面に所定形状で形成してもよい。
【００３４】
そして、図２（ａ）に示すように、第１電極２の表面に、第１有機層３１を塗布及び焼成により形成する。このとき、第１有機層３１は第１電極２（導電層の中央領域）の全面に塗布するものであってよく、パターンマスク２０を使用しなくてもよい。塗布によりパターン形成すると微細なパターンを作製することが難しくなるが、全面の塗布により第１有機層３１を積層することにより、簡単に第１有機層３１を形成することができる。なお、基板１の外周端部に有機層３を積層せずに電極端子を形成するために、外周部を被覆するパターンマスク２０を使用して塗布を行ってもよい。
【００３５】
次に、図２（ｂ）に示すように、第２有機層３２及び第２電極４を蒸着により積層する。このとき、図３（ａ）に示すような矩形の枠内にストライプ状の複数の溝孔２１ａを設けた柵状のパターンマスク２０（有機層用マスク２１）を用いて第２有機層３２を形成することができる。それにより、図３（ｂ）に示すようなストライプパターンの第２有機層３２を得ることができる。本形態では、第２有機層３２が設けられていない領域が、通気部５のうち有機層３の内部に達する部分である凹み領域５ａを形成することとなる。図３（ｃ）は、第１有機層３１表面に第２有機層３２が形成された素子全体の様子を示している。なお、第２有機層３２は複数の機能層３０によって構成され得るが、同一のパターンマスク２０を用い、連続して各機能層３０を蒸着することによって、第２有機層３２を形成することができる。
【００３６】
また、図４（ａ）に示すような、矩形の枠内に棒状のパターンが両端部から交互に突出することにより蛇行した形状の溝孔２２ａが設けられた櫛状のパターンマスク２０（電極用マスク２２）を用いて第２電極４を形成することができる。それにより、図４（ｂ）に示すような蛇行パターンの第２電極４を得ることができる。本形態では、第２電極４が設けられていない領域が、通気部５のうち有機層３を貫通した部分である貫通領域５ｂとなる。こうして、平面視において、図１（ａ）に示すような蛇行パターンで第２電極４が形成されて、第２有機層３１に設けられた凹み領域５ａと、第２電極４に設けられた貫通領域５ｂとにより通気部５が形成される。なお、図３及び図４は、パターンの概略を示しており、具体的形状は異なるものであってよい。例えば、第２電極４は、図１（ａ）から理解されるように、端部のうち第１電極引き出し部１１が形成される領域が内側に凹んだ（第２電極引き出し部１２が形成される領域が外側に凸出した）パターンであってよい。
【００３７】
そして、図２（ｃ）に示すように、有機層３の外周を囲むように封止樹脂７を基板１の表面に設け、乾燥剤８を取り付けた封止基材６を接着させることにより、有機ＥＬ素子を形成することができる。なお、封止樹脂７は、防湿性の樹脂により構成されるものであればよく、光硬化樹脂、熱硬化樹脂などの適宜の樹脂を用いることができる。また、複数個の有機ＥＬ素子を基板１上に形成し個別化する場合は、封止後に各有機ＥＬ素子を分断して個別化することができる。
【００３８】
ここで、図５に示すように、第２電極４は、第１電極引き出し部１１と導通することがないとともに、第２電極引き出し部１２と導通するように設けられるように形成するようにする。それにより、ショート不良を低減できる。
【００３９】
図５（ａ）、（ｂ）は、第２電極引き出し部１２近傍における第２電極４のパターン例を示している。図５（ｂ）に示すように、第２電極４は、有機層３の外縁をはみ出して第２電極引き出し部１２の上（表面）に形成されている。これにより、第２電極４と第２電極引き出し部１２とが導通し、有機層３への電圧の印加が可能になっている。なお、第２電極引き出し部１２は、第１電極２を形成するための導電層が分断されて形成されたものであり、分断された領域（第２電極引き出し部１２と第１電極２との間）には有機層３が積層されている。
【００４０】
図５（ｃ）、（ｄ）は、第１電極引き出し部１１近傍における第２電極４のパターン例を示している。図５（ｄ）に示すように、第２電極４は、有機層３の外縁よりも内側において有機層３の上（表面）に形成されている。これにより、第２電極４と第１電極引き出し部１１とが導通せずに、有機層３への電圧の印加が可能になっている。なお、第１電極引き出し部１１は、第１電極２を形成するための導電層が基板１の端部側まで引き出されて形成されたものである。
【００４１】
また、第２電極４を形成するためのパターンマスク２０（電極用マスク２２）に設けられた溝孔２２ａの溝幅は、第２有機層３２を形成するためのパターンマスク２０（有機層用マスク２１）に設けられた溝孔２１ａの溝幅よりもやや小さいことが好ましい。それにより、第２電極４が有機層３をはみ出して形成されるのを低減することができ、ショート不良を抑制することができる。
【００４２】
図６は、第２電極４が有機層３をはみ出して形成された場合の様子を示している。パターンマスク２０が適切なパターンでない場合やマスクにパターンずれがあった場合、第２電極４が第２有機層３２をはみ出して第１有機層３１表面にはみ出し部４ｙが形成される場合がある。この場合、発光材料を含まないで積層されているはみ出し部４ｙの領域ではショート不良が生じやすくなり、発光も不均一になってしまうおそれがある。また、パターンマスク２０が適切なパターンでない場合やマスクにパターンずれがあった場合、第２電極４が有機層３（第１有機層３１及び第２有機層３２）をはみ出して第１電極２表面にはみ出し部４ｘが形成される場合がある。このようなはみ出し部４ｘは第１有機層３１の外縁部で生じやすい。そして、この場合、はみ出し部４ｘは、第１電極２と第２電極４とが接触する部分となり、ショート不良が生じることになり、発光が不均一になったり、発光を得られなくなったりしてしまうおそれがある。そこで、各パターンマスク２０における各溝孔２１ａ、２２ａの大きさ（幅）を調整することにより、第２電極４を第２有機層３２上に載るように形成して、ショート不良を低減することができるものである。こうして形成された通気部５は、図１（ｂ）に示すように、側面が段状になったものとなる。
【００４３】
ところで、図３（ａ）に示すパターンマスク２０で第２有機層３２を形成した後、図４（ａ）に示すパターンマスク２０で第２電極４を形成すると、図５（ｂ）、（ｄ）に示すように、第２有機層３２の分断された領域を跨いで第２電極４が形成されることになる。このとき、第２電極４は、若干第１有機層３１の表面に積層される。しかしながら、第１有機層３１表面に第２電極４が形成される領域は面内における周端部に位置しており、面全体の発光の均一性に及ぼす影響は少ない。また、第１有機層３１が存在するために、第２電極４が第１電極２に直接接触することがなく、ショート不良の問題も少ない。そして、第２電極４は第２有機層３２を架け渡されて分断されずに一体化されて形成されるため、面全体として電荷の均一化を図ることができる。したがって、面内の発光の均一性に優れた有機ＥＬ素子を得ることができるものである。
【００４４】
図７は、有機ＥＬ素子の実施の形態の他の一例である。この有機ＥＬ素子は、図１に示す形態と同様、概略、図９に示す構造を有する。そして、図７の有機ＥＬ素子においても、第２電極４を貫通して有機層３の内部に達する複数の通気部５が設けられている。なお、図７（ａ）では、乾燥剤８及び封止基材６の記載を省略している。
【００４５】
図７の形態では、複数の通気部５は、平面視（基板１表面に垂直な方向から見た場合）において、配列した点状に設けられている。このように配列した点状（ドット状）で通気部５が設けられることにより、面全体を通気部５によって通気させることができ、均一な発光を得ることがより可能になる。本形態では、第２電極４を貫通した穴が縦方向及び横方向に等間隔（等ピッチ）で並んで、通気部５が構成されている。すなわち、仮想縦線及び仮想横線で作図される正方形格子形状の各正方形の頂点に、通気部５が配置されている。このような配置になると、面全体に均一に分散させて通気部５を形成することができる。通気部５の配置は、図７の形態に限られるものではなく、例えば、六方細密型の配置（連続する正六角形の中心と各頂点への配置）であってもよく、他の規則性のある配列であってもよい。また、不規則でランダムな配列となった点状の通気部５が形成されていてもよい。ただし、面全体で均一な発光に近づけるためには規則性のある方が好ましい。
【００４６】
通気部５を構成する穴の平面視における形状は、特に限定されるものではないが、円形であってよいし、正方形状又は矩形状であってもよい。あるいは不定形であってもよい。ただし、より均一な発光のためには、複数の通気部５は同じ形状である方が好ましい。また、穴の全体形状は円筒状であってもよいし、角柱状であってもよい。また、奥になるほど先細りした穴であってもよい。
【００４７】
複数の通気部５のうち少なくとも一部は、第１電極２に隣接する機能層３０の表面まで達していることが好ましい。それにより、有機層３内の層界面が通気部５と連通することになり、層界面での吸着水分Ｗを外部に放出させることができる。また、第１電極２に隣接する機能層３０の表面まで通気部５が達していると、通気部５の底部と第１電極２との距離が近づくため、第１電極２とこれに隣接する機能層３０との界面の吸着水分Ｗも外部に放出させることができる。また、第１電極２が機能層３０に覆われていると、第２電極４が第１電極２とが接触することがなく、ショート不良を低減することができる。
【００４８】
また、複数の通気部５のうち少なくとも一部は、有機層３（第１有機層３１及び第２有機層３２）を貫通していることも好ましい。それにより、第１有機層３１と第１電極２との層界面が通気部５と連通することになり、この層界面での吸着水分Ｗをより高く外部に放出させることができる。
【００４９】
図７（ｂ）に示すように、本形態では、第２有機層３２を貫通し第１電極２に隣接する機能層３０である第１有機層３１（正孔注入層３０ａ）の表面まで達する凹み穴５１と、有機層３の全体を貫通した貫通穴５２とにより、複数の通気部５が構成されている。なお、通気部５の全部が凹み穴５１であってもよいし、あるいは、通気部５の全部が貫通穴５２であってもよい。
【００５０】
ここで、第１有機層３１は塗布によって形成されるものであり、第２有機層３２は蒸着によって形成されるものである。このように積層プロセスが異なると、その層の界面において水分の吸着が発生しやすい。また、第１電極２の表面に第１有機層３１を塗布して形成するにあたっては、第１電極２と第１有機層３１との界面において水分の吸着が発生しやすい。また、第２電極４は蒸着で形成され得るものであるが、通常、蒸着条件が第２有機層３２とは異なるため、第２電極４と第２有機層３２との界面においても、水分の吸着が発生しやすい。このように、有機ＥＬ素子の形成においては、層界面において水分の吸着が発生しやすい。しかしながら、本形態の有機ＥＬ素子では、複数の通気部５が設けられていることにより、図７（ｂ）に示すように、通気部５の近傍に存在する吸着水分Ｗは通気部５を介して層外部である封止空間９に放出されて拡散するものである。そして、封止空間９に放出された水分は乾燥剤８により捕捉される。よって、吸着水分Ｗを減らすことによって素子の劣化を低減できるとともに、吸着水分Ｗの残存する量を面内において均一に近づけることができる。このようにして、通気部５により吸着水分Ｗを放出して面内の水分量を均一に近づけて、面内発光がより均一に近づいた有機ＥＬ素子を得ることができるものである。
【００５１】
本形態では、図７（ｂ）に示すように、通気部５を形成する第２電極４の外縁と、通気部５を形成する有機層３の外縁とが面一であってもよい。つまり、通気部５側に露出する第２電極４の側面と、通気部５側に露出する有機層３（第２有機層３２）の側面とが連続しており、通気部５の側面が段を形成せずに滑らかになって形成されている。このように通気部５を側面が段状にならずに設けることにより、より小さい穴で通気部５を形成することができ、通気部５を数多く面内に均一に分散させることが可能になる。
【００５２】
点状の通気部５の開口径（例えば、円の場合は直径、矩形の場合は長辺の長さ）は、例えば、５〜１０μｍ程度にすることができる。開口径が大きすぎると、非発光部分が大きくなり、面全体の発光輝度が低下するおそれがある。また、開口径が小さすぎると、微細なパターンの穴を精度よく形成することが難しくなるおそれがある。開口径が上記範囲ならば、通常のレーザーリペア装置により作製可能となる。また、点状の通気部５は、単位面積１ｃｍ２（１ｃｍ□）あたり、９０〜１１０個程度、好適には１００個の割合で、配置することが好ましい。例えば、単位面積１ｃｍ２あたりに、格子状に縦１０個、横１０個で並べて、１００個の点状の通気部５を配列させることができる。点状の通気部５の個数割合が少なすぎると、通気部５による通気機能が低下するおそれがある。また、点状の通気部５の個数割合が多すぎると、面全体の発光輝度が低下するおそれがある。なお、点状に配列する通気部５のピッチ（隣り合う通気部５の中心間距離）は、例えば、１０００〜１２００μｍ程度にすることができるがこれに限定されるものではない。
【００５３】
図８により、図７の形態の有機ＥＬ素子の製造方法の一例を説明する。有機ＥＬ素子は、第１電極２が形成された基板１の表面に、有機層３及び第２電極４を積層することにより形成できる。本形態では、基板１の表面に、第１電極２、有機層３及び第２電極４を積層した後、第２電極４の表面から掘り込み加工を行うことにより、複数の通気部５を形成することができる。
【００５４】
有機ＥＬ素子の製造にあたっては、まず、基板１の表面に導電層を所定形状で形成する。このとき、導電層は、平面視における中央領域が第１電極２となり、端部領域が第１電極引き出し部１１及び第２電極引き出し部１２となる。このとき、通電補助部１０を導電層の表面に所定形状で形成してもよい。
【００５５】
そして、図８（ａ）に示すように、第１電極２の表面に、第１有機層３１を塗布及び焼成により形成する。このとき、第１有機層３１は第１電極２（導電層の中央領域）の全面に塗布するものであってよい。また、基板１の外周端部に有機層３を積層せずに電極端子を形成するために、外周部を被覆するパターンマスク２０を使用して塗布を行ってもよい。
【００５６】
次に、図８（ｂ）に示すように、第２有機層３２及び第２電極４を蒸着により積層する。このとき、外周部を被覆するパターンマスク２０を使用して蒸着を行うことが好ましい。次に、図８（ｃ）に示すように、有機層３の外周を取り囲むように封止樹脂７を基板１の表面に設け、乾燥剤８を取り付けた封止基材６を接着させる。なお、封止樹脂７は、防湿性の樹脂により構成されるものであればよく、光硬化樹脂、熱硬化樹脂などの適宜の樹脂を用いることができる。また、複数個の有機ＥＬ素子を基板１上に形成し個別化する場合は、封止後又は掘り込み加工後に各有機ＥＬ素子を分断して個別化することができる。
【００５７】
そして、封止基材６側から第２電極４の表面にレーザ光などのエネルギー線Ｌを照射して掘り込み加工を行うことにより、複数の通気部５を形成することができる。このとき、封止基材６を介してエネルギー線Ｌを当てて通気部５を形成することで、異物などが穴に混入することがなく穴状の通気部５を形成することが可能になる。すなわち、第２電極４の形成後、封止基材６で封止する前に、掘り込み加工を行ってもよいのであるが、この場合、第２電極４は外部に露出しているために、掘り込み加工で形成された穴に不純物や異物が混入するおそれがある。しかしながら、封止基材６による封止後に掘り込み加工する場合には、不純物や異物が混入することがないので、異物の混入のない通気部６を簡単に形成することができる。なお、レーザ光によって焼失した有機層３や第２電極４は蒸発して封止空間９に放出されることになるが、その量は微量であるため、有機ＥＬ素子の発光には影響が及ばない。
【００５８】
ここで、エネルギー線Ｌの照射量及び照射時間を調整して、照射するエネルギー量を調節することにより、通気部５の掘り込み深さを調節することができる。すなわち、第２電極４を貫通し、さらに第１有機層３１の表面に達するまで第２有機層３２に掘り込み加工を行うことにより、凹み穴５１となった通気部５を形成することができる。また、第２電極４を貫通し、さらに有機層３の全体を貫通させて第１電極２の表面に達するまで掘り込み加工を行うことにより、貫通穴５２となった通気部５を形成することができる。こうして形成された通気部５は、図７（ｂ）に示すように、側面が面一になったものとなる。
【００５９】
なお、封止後にエネルギー線Ｌを照射する場合、乾燥剤８の直下には、エネルギー線Ｌを照射することができなくなるおそれがある。しかしながら、乾燥剤８は、通常、発光面の角隅部などに配置されるものであり、面内の発光の均一性に及ぼす影響は少ない。
【００６０】
このようにして図７に示すような有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００６１】
以上のように、本発明の有機ＥＬ素子では、複数の通気部５を有するので、この通気部５から有機層３の内部や界面での吸着水分Ｗが、面内において均一性高く封止空間９に放出される。そのため、面内において、吸着水分Ｗが偏って滞留したり消失したりするような領域ができることがなく、水分の吸着状態を均一性高く維持することができる。また、水分を層外に放出するので、素子全体の劣化も抑制することができる。その結果、素子の劣化を抑制するとともに、面内の発光の均一性に優れた有機ＥＬ素子を得ることができるものである。
【００６２】
なお、以上の説明における有機ＥＬ素子の実施形態は本発明の一例を説明したものであり、本発明はこれらの形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、エネルギー線Ｌをストライプパターンで照射することにより、溝状の通気部５を形成してもよい。また、点状の孔が設けられたパターンマスク２０を用いて第２有機層３２及び第２電極４を積層することにより、点状の通気部５を形成してもよい。また、有機層３を全て塗布で形成したり、あるいは、有機層３を全て蒸着で形成したりしてもよい。これらの場合も、複数の通気部５が設けられているので、面内の発光の均一性が高い有機ＥＬ素子を得ることができるものである。
【符号の説明】
【００６３】
１      基板
２      第１電極
３      有機層
４      第２電極
５      通気部
６      封止基材
７      封止樹脂
８      乾燥剤
９      封止空間
１０    通電補助部
１１    第１電極引き出し部
１２    第２電極引き出し部
２０    パターンマスク
３０    機能層
３１    第１有機層
３２    第２有機層
Ｗ      吸着水分
Ｌ      エネルギー線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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