(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルを巻いたボビンと、前記ボビンの中空部に固定された固定鉄心と、前記固定鉄心に吸引される可動鉄心と、前記可動鉄心に固設された弁体と、前記弁体が内在する弁室と、前記弁室に連通する入口流路と流出路と、前記入口流路と前記流出路とが形成されたボディと、前記ボディに形成されるとともに前記弁体が密接・離間する弁座と、前記可動鉄心又は前記弁体と前記ボディとの間で支持されることにより前記弁体を前記弁座に密接させる板ばねと、を有し、前記固定鉄心の吸引力と前記板ばねの復元力とのつり合いにより、前記弁体のストローク制御がなされる電磁比例弁において、
前記ボビンの外周から前記ボディの内部に延出されるとともに前記弁室の側壁を形成するヨーク部材を備え、
前記固定鉄心は、下端部分が前記ボビンの中空部を封止しつつ前記弁室の内部に突設されることにより、前記固定鉄心の下端部分と前記ヨーク部材の延出部分との間で前記弁室の内部に磁気漏洩空間を形成することと、
前記可動鉄心は、前記固定鉄心の下端部分の垂直投影部よりも大きい中空部を持ち前記固定鉄心の下端部分を前記中空部に接触することなく挿入されるリング部と、外周に設けた突縁部とを備え、前記固定鉄心の下端部分の垂直方向に前記中空部が存在するように前記可動鉄心を前記弁室に内在させたことと、
前記ヨーク部材は、前記突縁部と対向して設けられる第１段差面と、前記第１段差面の外側に設けられる第２段差面と、前記ボディとの間で前記板ばねを支持する第３段差面とを備え、前記第１段差面と前記第２段差面と前記第３段差面とを前記ヨーク部材の延出部分に段差状に設けたこと、を特徴とする電磁比例弁。
【請求項２】
請求項１に記載する電磁比例弁であって、
前記板ばねは、
内周固定部と、前記内周固定部を囲む外周固定部と、前記内周固定部と前記外周固定部とをつなぎ合わせた複数枚の梁と、前記梁の一方側の輪郭が前記内周固定部に接する内周側Ｒ部と、前記梁の他方側の輪郭が前記外周固定部に接する外周側Ｒ部とを有し、前記内周固定部又は前記外周固定部が厚み方向に変位するものであって、前記内周側Ｒ部と前記外周側Ｒ部とが全円周の半分より大きい円弧にされるとともに、前記梁が略Ｓ字状に形成されたものであり、
前記内周固定部に前記可動鉄心又は前記弁体が固定されるとともに、前記外周固定部が前記ヨーク部材の延出先端と前記ボディとで挟持されたこと、
を特徴とする電磁比例弁。
【請求項３】
請求項２に記載する電磁比例弁であって、
前記板ばねが対称的であること、を特徴とする電磁比例弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載する電磁比例弁であって、
前記可動鉄心の中空部を掩塞する面板部を前記可動鉄心に設けたこと、を特徴とする電磁比例弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固定鉄心の吸引力と板ばねの復元力とのつり合いにより、弁体のストローク制御がなされる電磁比例弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、固定鉄心の吸引力と板ばねの復元力とのつり合いにより、弁体のストローク制御がなされる電磁比例弁としては、例えば、図１６に示したノルマルクローズタイプの電磁比例弁１００がある。図１６の電磁比例弁１００では、ボディ１０１において、入口流路１０２と流出路１０４とが形成されており、また、入口流路１０２と流出路１０４とを連通させる弁室１０５が形成されている。さらに、弁室１０５において、流出路１０４の端部である箇所に弁座１０３が形成されている。
【０００３】
また、ボディ１０１には、非磁性体で形成された内筒１０７の一端が取り付けられている。さらに、内筒１０７には、可動鉄心１０８がスライド可能に挿入されている。そして、可動鉄心１０８の端面には、弁体１０９が設けられるとともに、板ばね１１０が取り付けられている。この点、板ばね１１０の他端は、ボディ１０１に固着されていることから、板ばね１１０で可動鉄心１０８を支持している。尚、弁体１０９の端面には、弁シート１０６が取り付けられている。
【０００４】
また、内筒１０７には、磁性体で形成された固定鉄心１１１が固着されており、これにより、固定鉄心１１１は可動鉄心１０８に対向するとともに、固定鉄心１１１と可動鉄心１０８との間にスライド間隔１１２が設けられている。そして、内筒１０７の外周には、固定鉄心１１１を励磁するためのコイル１１３が設けられている。
【０００５】
従って、図１６の電磁比例弁１００において、入口流路１０２に制御流体が流入した場合に、制御流体を入口流路１０２から流出路１０４に流出させたいときは、コイル１１３に印加して、固定鉄心１１１を励磁する。すると、励磁された固定鉄心１１１は、板ばね１１０の復元力に抗して、可動鉄心１０８を吸引移動させるので、弁体１０９の弁シート１０６が弁座１０３から分離し、弁座１０３が開くことから、入口流路１０２に流入した流制御体を、弁室１０５を介して、流出路１０４から流出させることができる。
【０００６】
そして、このとき、コイル１１３に印加した電圧を変動させれば、固定鉄心１１１の吸引力が変わって、可動鉄心１０８のスライド量も変化し、弁座１０３と弁シート１０６との間隔を変動させることができるので、流出路１０４から流出させる制御流体の流量を制御することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１６の電磁比例弁１００では、内筒１０７に挿入された可動鉄心１０８の周囲において、スライド間隔１１２などのデッドスペースが存在するので、制御流体の多量の滞留が生じやすい。
そして、図１６の電磁比例弁１００における多量の滞留は、例えば、半導体関係や医療関係などで使用される流体を制御する上での難点となっており、その使用用途が制限されていた。
【０００８】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、固定鉄心の吸引力と板ばねの復元力とのつり合いにより、弁体のストローク制御がなされるものであって、制御流体の滞留を大きく減少させた電磁比例弁を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
（１）この課題を解決するために成された本発明は、コイルを巻いたボビンと、前記ボビンの中空部に固定された固定鉄心と、前記固定鉄心に吸引される可動鉄心と、前記可動鉄心に固設された弁体と、前記弁体が内在する弁室と、前記弁室に連通する入口流路と流出路と、前記入口流路と前記流出路とが形成されたボディと、前記ボディに形成されるとともに前記弁体が密接・離間する弁座と、前記可動鉄心又は前記弁体と前記ボディとの間で支持されることにより前記弁体を前記弁座に密接させる板ばねと、を有し、前記固定鉄心の吸引力と前記板ばねの復元力とのつり合いにより、前記弁体のストローク制御がなされる電磁比例弁において、前記ボビンの外周から前記ボディの内部に延出されるとともに前記弁室の側壁を形成するヨーク部材を備え、前記固定鉄心の下端部分が前記ボビンの中空部を封止しつつ前記弁室の内部に突設されることにより、前記固定鉄心の下端部分と前記ヨーク部材の延出部分との間で前記弁室の内部に磁気漏洩空間を形成する一方、前記可動鉄心の形状を前記固定鉄心の下端部分の垂直投影部よりも大きい中空部を持つ環状に形成するとともに前記可動鉄心を前記弁室に内在させたこと、を特徴としている。
【００１０】
このような特徴を有する本発明の電磁比例弁において、弁室の内部には、ボビンの中空部から突設した固定鉄心の下端部分と、固定鉄心の下端部分との間に磁気漏洩空間を形成するヨーク部材の延出部分と、板ばねに支持された環状の可動鉄心とが存在している。この点、ヨーク部材の延出部分は弁室の側壁を形成しているので、磁気漏洩空間は、固定鉄心の下端部分の左右に形成される。また、環状の可動鉄心の中空部は、固定鉄心の下端部分の垂直下方向に存在するとともに、固定鉄心の下端部分の周囲よりも大きい。そして、可動鉄心に固設された弁体は、板ばねで弁座に密接されている。
【００１１】
従って、ホビンのコイルに対する通電を開始すると、固定鉄心が励磁されるとともにヨーク部材も励磁され、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に磁気が発生するので、可動鉄心に作用する磁気の垂直成分（固定鉄心の吸引力）により、板ばねの復元力に抗して、可動鉄心が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間に進入しようとし、可動鉄心に固設された弁体は、弁座から離間することになる。
【００１２】
尚、このとき、可動鉄心の中空部は固定鉄心の下端部分の周囲よりも大きいので、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生した磁気の強さによっては、可動鉄心が磁気漏洩空間に進入することができる。また、弁体のストローク量は、板ばねの復元力とのつり合いにより決定される。
【００１３】
一方、ホビンのコイルに対する通電を中止すると、固定鉄心が消磁されるとともにヨーク部材も消磁されて、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生した磁気が消えるので、板ばねの復元力により、可動鉄心が磁気漏洩空間から後退し、可動鉄心に固設された弁体は、弁座に密接することになる。
【００１４】
従って、ホビンのコイルに対する通電により、入口流路から流入した制御流体を、弁室の内部を介して、流出路から外部に流出させることができる。この点、弁室の内部においては、固定鉄心の下端部分がボビンの中空部を封止しているので、ボビンの中空部に制御流体が浸入することがなく、入口流路から弁室の内部に流入した制御流体は、弁室の内部のみを流動する。
【００１５】
すなわち、本発明の電磁比例弁は、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生して可動鉄心に作用する磁気の垂直成分（固定鉄心の吸引力）と板ばねの復元力とのつり合いにより、弁体のストローク制御がなされるものであって、弁室の内部において、固定鉄心の下端部分がボビンの中空部を封止しており、ボビンの中空部に制御流体が浸入することがなく、入口流路から弁室の内部に流入した制御流体が弁室の内部のみを流動して流出路から流出するので、制御流体の滞留を大きく減少させることができる。
【００１６】
また、本発明の電磁比例弁では、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、固定鉄心の下端部分及びヨーク部材の延出部分に対して可動鉄心が対向関係なく、ホビンのコイルに対する通電量が一定であれば、固定鉄心の吸引力（固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生して可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）の大きさが、固定鉄心と可動鉄心の距離に影響されることなく、ほぼ一定となるので、比例制御可能な弁体のストローク範囲を大きく確保することができるとともに、組付精度を緩和させることができる。
【００１７】
（２）また、本発明は、（１）に記載する電磁比例弁であって、前記板ばねは、内周固定部と、前記内周固定部を囲む外周固定部と、前記内周固定部と前記外周固定部とをつなぎ合わせた複数枚の梁と、前記梁の一方側の輪郭が前記内周固定部に接する内周側Ｒ部と、前記梁の他方側の輪郭が前記外周固定部に接する外周側Ｒ部とを有し、前記内周固定部又は前記外周固定部が厚み方向に変位するものであって、前記内周側Ｒ部と前記外周側Ｒ部とが全円周の半分より大きい円弧にされるとともに、前記梁が略Ｓ字状に形成されたものであり、前記内周固定部に前記可動鉄心又は前記弁体が固定されるとともに、前記外周固定部が前記ヨーク部材の延出先端と前記ボディとで挟持されたこと、を特徴としている。
【００１８】
また、本発明の電磁比例弁では、可動鉄心の中空部は固定鉄心の下端部分の周囲よりも大きく、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生した磁気が強くても、可動鉄心が磁気漏洩空間に進入するので、固定鉄心と可動鉄心とが接触することがなく、さらに、板ばねの内周固定部に可動鉄心又は弁体が固定されるとともに、板ばねの外周固定部がヨーク部材の延出先端とボディとで挟持されており、この点、内周固定部と外周固定部とをつなぎ合わせる各梁が略Ｓ字状に形成され、板ばねの内周固定部の水平方向の剛性が大きいことから、可動鉄心が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間に進入しようとする際に、可動鉄心に磁気の水平成分が作用しても、可動鉄心が水平方向に移動しにくく、固定鉄心の下端部分又はヨーク部材の延出部分に吸着されることを防ぐので、パーティクルが発生することがない。
【００１９】
（３）また、本発明は、（２）に記載する電磁比例弁であって、前記板ばねが対称的であること、を特徴としている。
【００２０】
また、本発明の電磁比例弁において、板ばねが対称的であれば、可動鉄心が垂直方向（内周固定部の厚み方向）に移動する際に、一対の梁毎に、曲げと引張りとねじれが組み合わされた複合的な荷重による弾性変形が反対方向に起きるので、可動鉄心又は弁体が固定された内周固定部が回転することを、防止することができる。
【００２１】
（４）また、本発明は、（１）乃至（３）のいずれか一つに記載する電磁比例弁であって、前記可動鉄心の中空部を掩塞する面板部を前記可動鉄心に設けたこと、を特徴としている。
【００２２】
すなわち、本発明の電磁比例弁において、可動鉄心の中空部を掩塞する面板部を可動鉄心に設けると、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、固定鉄心の下端部分に対して可動鉄心の面板部が対向関係となり、固定鉄心の吸引力（固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生するとともに可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁体を弁座に密接させる際の板ばねの復元力を大きくしても、弁体が固設された可動鉄心を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００２３】
尚、本発明の電磁比例弁は、オン・オフ弁としての使用も含まれる。
【００２４】
（５）また、本発明は、（１）乃至（４）のいずれか一つに記載する電磁比例弁であって、前記可動鉄心の外周に設けた突縁部を備え、前記ヨーク部材の内壁のうち前記可動鉄心の突縁部と対向する部分を段差状に設けたこと、を特徴としている。
【００２５】
すなわち、本発明の電磁比例弁において、可動鉄心の外周に設けた突縁部を備え、ヨーク部材の内壁のうち可動鉄心の突縁部と対向する部分を段差状に設けると、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、ヨーク部材の段差状の内壁の多くの部分が可動鉄心の突縁部と対向関係になり、ヨーク部材の吸引力（可動鉄心の突縁部とヨーク部材の段差状の内壁との間に発生するとともに可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁体を弁座に密接させる際の板ばねの復元力を大きくしても、弁体が固設された可動鉄心を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００２６】
さらに、制御流体が、可動鉄心の突縁部とヨーク部材の段差状の内壁との間を介して、ヨーク部材の延出部分と固定鉄心の下端部分との間に形成された磁気漏洩空間に流入しやすくなるので、磁気漏洩空間における制御流体の滞留を大きく減少させることができる。
【００２７】
尚、ヨーク部材は、ボビンの外周からボディの内部に延出されるものであるが、この点、ヨーク部材の延出部分は、ホビンのコイルに対する通電により励磁がなされるのであれば、ヨーク部材と連設されたものであってもよい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。先ず、第１実施の形態の電磁比例弁について説明する。図２は、第１実施の形態の電磁比例弁の断面図である。図２に示すように、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、ボディ２３において、入口流路２４、出口流路２５、弁座２６が形成されている。そして、ボディ２３に対して、第３コア１６（「ヨーク部材の延出部分」に相当するもの）を嵌め込んで、締付ネジ１９をねじ込むことにより、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）で、板ばね１Ａを挟持している。この点、板ばね１Ａには、その中心部に形成された孔３７（図７参照）に対し、ゴム、ポリテトラフルオロエチレンなどの弾性体からなる弁シート２２（「弁体」に相当するもの）が、弁シート押え板２１を介して、溶接接合で固着されており、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重をもって、弁シート２２を弁座２６に押しつけている。
【００２９】
板ばね１Ａは、図７の正面図で示すように、円板状の形状を備えている。また、その厚さ方向に対する弾性変形をスムーズにするため、孔３７の周囲部において、内周固定部２と外周固定部３とが同心円状に形成されるとともに、内周固定部２と外周固定部３との間において、４枚の梁４の各々が略Ｓ字状に形成されている。このとき、４枚の梁４の各々は、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせているので、内周固定部２と外周固定部３との間において、４つの長孔７が形成されている。さらに、各梁４の一方側の輪郭は、内周固定部２に接して内周側Ｒ部６を形成するが、この内周側Ｒ部６は、全円周の半分の長さより大きい円弧となっている。同様にして、各梁４の他方側の輪郭は、外周固定部３に接して外周側Ｒ部５を形成するが、この外周側Ｒ部５も、全円周の半分より大きい円弧となっている。
【００３０】
そして、板ばね１Ａの内周固定部２には、図２に示すように、ホルダー３１が固着されるとともに、ホルダー３１の外周において、リング状のプランジャ３０（「可動鉄心」に相当するもの）が溶接接合で固着されている。従って、プランジャ３０は、板ばね１Ａにより支持される。
【００３１】
また、図２に示すように、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、第３コア１６において、シールリング１７を弾装することにより、第１コア１２（「固定鉄心」に相当するもの）を保持している。そして、コイル１５が巻かれたホビン１４を、第１コア１２に対して挿入するとともに、第２コア１３を取り付けることにより、第１コア１２を固定している。
【００３２】
この点、第１コア１２の下端部分は、シールリング１７から突出しており、弁室２７の内部に存在している。また、第３コア１６は、ボディ２３に嵌め込まれた延出部分が、弁室２７の側壁を形成している。さらに、第１コア１２の下端部分とリング状のプランジャ３０の中空部の位置関係は、プランジャ３０が垂直上方向に移動すると、図１に示すように、第１コア１２の下端部分がプランジャ３０の中空部に接触することなく挿入される関係にある。
【００３３】
このような構成を有する第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、ボディ２３の入口流路２４に対して制御流体が供給されるが、上述したように、常時は、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重で弁シート２２を弁座２６に押しつけて、弁座２６を閉じている。ここで、コイル１５に電圧を印加して第１コア１２や第３コア１６などを磁化すると、図１に示すように、板ばね１Ａの復元力に抗して、プランジャ３０が第１コア１２や第３コア１６の磁力に吸引されて、第１コア１２と第３コア１６の間にある磁気漏洩空間２８を埋めるように、プランジャ３０が垂直上方向に移動するので、弁シート２２が弁座２６から分離し、弁座２６を開くことができる。弁座２６が開かれると、入口流路２４に供給された制御流体は、入口流路２４から弁座２６を通過し、その後は、出口流路２５から流出する。
【００３４】
尚、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、第１コア１２、シールリング１７、第３コア１６、ボディ２３のそれぞれの間を溶接接合シールすることにより、制御流体の漏れを防止している。
【００３５】
次に、第２実施の形態の電磁比例弁について説明する。図４は、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂの断面図である。図４に示すように、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、ボディ２３において、入口流路２４、出口流路２５、弁座２６が形成されている。そして、ボディ２３に対して、第３コア１６を嵌め込んで、締付ネジ１９をねじ込むことにより、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）で、板ばね１Ａを挟持している。この点、板ばね１Ａには、その中心部に形成された孔３７（図７参照）に対し、弁シート２２が、弁シート押え板２１を介して、溶接接合で固着されており、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重をもって、弁シート２２を弁座２６に押しつけている。
【００３６】
板ばね１Ａは、図７の正面図で示すように、円板状の形状を備えている。また、その厚さ方向に対する弾性変形をスムーズにするため、孔３７の周囲部において、内周固定部２と外周固定部３とが同心円状に形成されるとともに、内周固定部２と外周固定部３との間において、４枚の梁４の各々が略Ｓ字状に形成されている。このとき、４枚の梁４の各々は、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせているので、内周固定部２と外周固定部３との間において、４つの長孔７が形成されている。さらに、各梁４の一方側の輪郭は、内周固定部２に接して内周側Ｒ部６を形成するが、この内周側Ｒ部６は、全円周の半分の長さより大きい円弧となっている。同様にして、各梁４の他方側の輪郭は、外周固定部３に接して外周側Ｒ部５を形成するが、この外周側Ｒ部５も、全円周の半分より大きい円弧となっている。
【００３７】
そして、板ばね１Ａの内周固定部２には、図４に示すように、リングの中空部に面板部２９を設けたプランジャ２０が、溶接接合で固着されている。従って、プランジャ２０は、板ばね１Ａにより支持される。
【００３８】
また、図４に示すように、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、第３コア１６において、シールリング１７を弾装することにより、第１コア１２を保持している。そして、コイル１５が巻かれたホビン１４を、第１コア１２に対して挿入するとともに、第２コア１３を取り付けることにより、第１コア１２を固定している。
【００３９】
この点、第１コア１２の下端部分は、シールリング１７から突出しており、弁室２７の内部に存在している。また、第３コア１６は、ボディ２３に嵌め込まれた延出部分が、弁室２７の側壁を形成している。さらに、第１コア１２の下端部分とリング状のプランジャ２０の中空部の位置関係は、プランジャ２０が垂直上方向に移動すると、図３に示すように、第１コア１２の下端部分がプランジャ２０の中空部に接触することなく挿入される関係にある。
【００４０】
このような構成を有する第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、ボディ２３の入口流路２４に対して制御流体が供給されるが、上述したように、常時は、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重で弁シート２２を弁座２６に押しつけて、弁座２６を閉じている。ここで、コイル１５に電圧を印加して第１コア１２や第３コア１６などを磁化すると、図３に示すように、板ばね１Ａの復元力に抗して、プランジャ２０が第１コア１２や第３コア１６の磁力に吸引されて、第１コア１２や第３コア１６の間にある空隙を埋めるように、及び、第１コア１２と第３コア１６の間にある磁気漏洩空間２８を埋めるように、プランジャ２０が垂直上方向に移動するので、弁シート２２が弁座２６から分離し、弁座２６を開くことができる。弁座２６が開かれると、入口流路２４に供給された制御流体は、入口流路２４から弁座２６を通過し、その後は、出口流路２５から流出する。
【００４１】
尚、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、第１コア１２、シールリング１７、第３コア１６、ボディ２３のそれぞれの間を溶接接合シールすることにより、制御流体の漏れを防止している。
【００４２】
次に、第３実施の形態の電磁比例弁について説明する。図１３は、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃの断面図である。図１３に示すように、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、ボディ２３において、入口流路２４、出口流路２５、弁座２６が形成されている。
そして、ボディ２３に対して、第３コア４１（「ヨーク部材の延出部分」に相当するもの）を嵌め込んで溶接接合することにより、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）で、板ばね１Ａを挟持している。
この点、板ばね１Ａには、その中心部に形成された孔３７（図７参照）に対し、弁シート２２が、弁シート押え板２１を介して、溶接接合で固着されており、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重をもって、弁シート２２を弁座２６に押しつけている。
【００４３】
板ばね１Ａは、図７の正面図で示すように、円板状の形状を備えている。また、その厚さ方向に対する弾性変形をスムーズにするため、孔３７の周囲部において、内周固定部２と外周固定部３とが同心円状に形成されるとともに、内周固定部２と外周固定部３との間において、４枚の梁４の各々が略Ｓ字状に形成されている。このとき、４枚の梁４の各々は、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせているので、内周固定部２と外周固定部３との間において、４つの長孔７が形成されている。さらに、各梁４の一方側の輪郭は、内周固定部２に接して内周側Ｒ部６を形成するが、この内周側Ｒ部６は、全円周の半分の長さより大きい円弧となっている。同様にして、各梁４の他方側の輪郭は、外周固定部３に接して外周側Ｒ部５を形成するが、この外周側Ｒ部５も、全円周の半分より大きい円弧となっている。
【００４４】
そして、板ばね１Ａの内周固定部２には、図１３に示すように、リング部５２の中空部に面板部５１を設けたプランジャ５０が、溶接接合で固着されている。従って、プランジャ５０は、板ばね１Ａにより支持される。さらに、プランジャ５０の外面には突縁部５３が周設されている。
【００４５】
また、図１３に示すように、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、第３コア４１において、シールリング１７をレーザ溶接することにより、第１コア１２を保持している。そして、コイル１５が巻かれたホビン１４を、第１コア１２に対して挿入するとともに、第１コア１２をネジ４２で第２コア４４（「ヨーク部材」に相当するもの）に取り付けることにより、第１コア１２を固定している。
【００４６】
この点、第１コア１２の下端部分は、シールリング１７から突出しており、弁室２７の内部に存在している。また、第３コア４１においては、ボディ２３に嵌め込まれた部分が、弁室２７の側壁（の断面）として段差状に形成されている。さらに、第１コア１２の下端部分とリング状のプランジャ５０の中空部の位置関係は、プランジャ５０が垂直上方向に移動すると、図１２に示すように、第１コア１２の下端部分がプランジャ５０の中空部に接触することなく挿入される関係にある。また、第３コア４１の段差状の部分（弁室２７の側壁）とリング状のプランジャ５０の突縁部５３の位置関係は、プランジャ５０が垂直上方向・垂直下方向のいずれに移動しても、対向する関係にあるが、特に、図１２に示すように、プランジャ５０が垂直上方向に移動しても、プランジャ５０の突縁部５３が第３コア４１の段差状の部分（弁室２７の側壁）に接触することはない。
【００４７】
このような構成を有する第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、ボディ２３の入口流路２４に対して制御流体が供給されるが、上述したように、常時は、板ばね１Ａの復元力により、所定の取付荷重で弁シート２２を弁座２６に押しつけて、弁座２６を閉じている。ここで、コイル１５に電圧を印加して第１コア１２や第３コア４１などを磁化すると、図１２に示すように、板ばね１Ａの復元力に抗して、プランジャ５０が第１コア１２や第３コア４１の磁力に吸引されて、第１コア１２や第３コア４１の間にある空隙を埋めるように、及び、第１コア１２と第３コア４１の間にある磁気漏洩空間２８を埋めるように、プランジャ５０が垂直上方向に移動するので、弁シート２２が弁座２６から分離し、弁座２６を開くことができる。弁座２６が開かれると、入口流路２４に供給された制御流体は、入口流路２４から弁座２６を通過し、その後は、出口流路２５から流出する。
【００４８】
尚、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、第１コア１２、シールリング１７、第３コア４１、ボディ２３のそれぞれの間を溶接接合シールすることにより、制御流体の漏れを防止している。
【００４９】
そして、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａ及び第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂ、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃにおいては、所定のストローク距離をもって、弁シート２２を弁座２６から分離すると、板ばね１Ａは、内周固定部２が厚み方向に変位し、各梁４に対して、曲げと引張りとねじれが組み合わされた複合的な荷重が作用する。
【００５０】
以上詳細に説明したように、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａの電磁比例弁において、弁室２７の内部には、図２に示すように、ボビン１４の中空部から突設した第１コア１２の下端部分と、第１コア１２の下端部分との間に磁気漏洩空間２８を形成する第３コア１６の延出部分と、板ばね１Ａに支持されたリング状のプランジャ３０とが存在している。この点、コア部材１６の延出部分は弁室２７の側壁を形成しているので、磁気漏洩空間２８は、第１コア１２の下端部分の左右に形成される。また、リング状のプランジャ３０の中空部は、第１コア１２の下端部分の垂直下方向に存在するとともに、第１コア１２の下端部分の周囲よりも大きい。そして、プランジャ３０に固着された弁シート２２は、板ばね１Ａで弁座２６に密接されている。
【００５１】
従って、ホビン１４のコイル１５に対する通電を開始すると、第１コア１２が励磁されるとともに第３コア１６も励磁され、第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に磁気が発生するので、プランジャ３０に作用する磁気の垂直成分（第１コア１２の吸引力）により、板ばね１Ａの復元力に抗して、図１に示すように、プランジャ３０が垂直上方向に移動して、磁気漏洩空間２８に進入しようとし、プランジャ３０に固着された弁シート２２は、弁座２６から離間することになる。
【００５２】
尚、このとき、プランジャ３０の中空部は第１コア１２の下端部分の周囲よりも大きいので、第１コア１２の下端部分と第３コアの延出部分との間に発生した磁気の強さによっては、図１に示すように、磁気漏洩空間２８に、プランジャ３０が進入することができる。また、弁シート２２のストローク量は、板ばね１Ａの復元力とのつり合いにより決定される。
【００５３】
一方、ホビン１４のコイル１５に対する通電を中止すると、第１コア１２が消磁されるとともに第３コア１６も消磁されて、第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生した磁気が消えるので、図２に示すように、板ばね１Ａの復元力により、磁気漏洩空間２８から、プランジャ３０が後退し、プランジャ３０に固着された弁シート２２は、弁座２６に密接することになる。
【００５４】
従って、ホビン１４のコイル１５に対する通電により、入口流路２４から流入した制御流体を、弁室２７の内部を介して、出口流路２５から外部に流出させることができる。この点、弁室２７の内部においては、第１コア１２の下端部分が溶接接合シールでボビン１４の中空部を封止しているので、ボビン１４の中空部に制御流体が浸入することがなく、入口流路２４から弁室２７の内部に流入した制御流体は、弁室２７の内部のみを流動する。
【００５５】
すなわち、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａは、第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生してプランジャ３０に作用する磁気の垂直成分（第１コア１２の吸引力）と板ばね１Ａの復元力とのつり合いにより、弁シート２２のストローク制御がなされるものであって、弁室２７の内部において、第１コア１２の下端部分が溶接接合シールでボビン１４の中空部を封止しており、ボビン１４の中空部に制御流体が浸入することがなく、入口流路２４から弁室２７の内部に流入した制御流体が弁室２７の内部のみを流動して出口流路２５から流出するので、制御流体の滞留を防止することができる。
【００５６】
尚、制御流体の滞留を防止する点は、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂや第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでも同様である。
【００５７】
また、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、プランジャ３０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端部分及び第３コア１６の延出部分に対してプランジャ３０が対向関係なく、ホビン１４のコイル１５に対する通電量が一定であれば、図５に示すように、第１コア１２の吸引力（第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生してプランジャ３０に作用する磁気の垂直成分）の大きさが、第１コア１２とプランジャ３０の距離に影響されることなく、ほぼ一定となるので、比例制御可能な弁シート２２のストローク範囲を大きく確保することができるとともに、組付精度を緩和させることができる。
【００５８】
尚、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａにおいて、ホビン１４のコイル１５に対して通電がなされていない場合には、プランジャ３０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端面とプランジャ３０の上端面の距離が０．７ｍｍであるので、図５では、０．７ｍｍと弁シート２２の移動距離との差が、第１コア１２の下端面とプランジャ３０の上端面の距離となる。
【００５９】
また、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、図１や図２に示すように、プランジャ３０の中空部は第１コア１２の下端部分の周囲よりも大きく、第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生した磁気が強くても、図１に示すように、プランジャ３０が磁気漏洩空間２８に進入するので、第１コア１２とプランジャ３０とが接触することがない。
【００６０】
さらに、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａでは、図１や図２に示すように、板ばね１Ａの内周固定部２（図７参照）に弁シート２２が固定されるとともに、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）が第３コア１６の延出先端とボディ２３とで挟持されている。この点、図７に示すように、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる各梁４が略Ｓ字状に形成され、板ばね１Ａの内周固定部２の水平方向の剛性が大きいことから、図２から図１に示すようにして、プランジャ３０が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間２８に進入しようとする際に、プランジャ３０に磁気の水平成分が作用しても、プランジャ３０が水平方向に移動しにくく、第１コア１２の下端部分又は第３コア１６の延出部分に吸着されることを防ぐので、パーティクルが発生することがない。
【００６１】
また、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、リング状のプランジャ２０の中空部を掩塞する面板部２９をプランジャ２０の中空部に設けており、プランジャ２０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端部分に対してプランジャ２０の面板部２９が対向関係となり、図６に示すように、第１コア１２の吸引力（第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生しプランジャ２０に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁シート２２を弁座２６に密接させる際の板ばね１Ａの復元力（取付荷重）を大きくしても、弁シート２２が固設されたプランジャ２０を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座２６を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００６２】
尚、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂにおいて、ホビン１４のコイル１５に対して通電がなされていない場合には、プランジャ２０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端面とプランジャ２０の上端面の距離が０．７ｍｍであるので、図６でも、０．７ｍｍと弁シート２２の移動距離との差が、第１コア１２の下端面とプランジャ３０の上端面の距離となる。
【００６３】
また、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂにおいても、図３や図４に示すように、プランジャ２０の中空部は第１コア１２の下端部分の周囲よりも大きく、第１コア１２の下端部分と第３コア１６の延出部分との間に発生した磁気が強くても、図３に示すように、プランジャ２０が磁気漏洩空間２８に進入するので、第１コア１２とプランジャ２０とが接触することがない。
【００６４】
さらに、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでも、図３や図４に示すように、板ばね１Ａの内周固定部２（図７参照）に弁シート２２が固定されるとともに、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）が第３コア１６の延出先端とボディ２３とで挟持されている。この点、図７に示すように、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる各梁４が略Ｓ字状に形成され、板ばね１Ａの内周固定部２の水平方向の剛性が大きいことから、図４から図３に示すようにして、プランジャ２０が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間２８に進入しようとする際に、プランジャ２０に磁気の水平成分が作用しても、プランジャ２０が水平方向に移動しにくく、第１コア１２の下端部分又は第３コア１６の延出部分に吸着されることを防ぐので、パーティクルが発生することがない。
【００６５】
また、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂと同様にして、リング状のプランジャ５０の中空部を掩塞する面板部５１をプランジャ５０の中空部に設けており、プランジャ５０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端部分に対してプランジャ５０の面板部５１が対向関係にある。さらに、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、リング状のプランジャ５０の外周に設けた突縁部５３を備えるとともに、第３コア４１の内壁（弁室２７の側壁）のうちリング状のプランジャ５０の突縁部５３と対向する部分を段差状に設けており、プランジャ５０の移動方向である垂直方向において、第３コア４１の段差状の内壁（弁室２７の側壁）に対してリング状のプランジャ５０の突縁部５３が対向関係にある。
【００６６】
従って、図１４に示すように、第１コア１２の吸引力（第１コア１２の下端部分と第３コア４１との間に発生しプランジャ５０に作用する磁気の垂直成分）や、第３コア４１の吸引力（プランジャ５０の突縁部５３と第３コア４１の段差状の内壁（弁室２７の側壁）との間に発生しプランジャ５０に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁シート２２を弁座２６に密接させる際の板ばね１Ａの復元力（取付荷重）を大きくしても、弁シート２２が固設されたプランジャ５０を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座２６を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００６７】
特に、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃのように、プランジャ５０の移動方向である垂直方向において、第３コア４１の段差状の内壁（弁室２７の側壁）に対してリング状のプランジャ５０の突縁部５３が対向関係にある場合には、プランジャ５０を吸引する力が大きくなる（図１４、図５、図６参照）。
【００６８】
また、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、リング状のプランジャ５０の外周に設けた突縁部５３を備えることで、プランジャ５０が変形しにくくなるので、プランジャ５０の薄肉・軽量化が可能となり、応答性能（高速動作）を向上させることができる。
【００６９】
尚、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃにおいて、ホビン１４のコイル１５に対して通電がなされていない場合には、プランジャ５０の移動方向である垂直方向において、第１コア１２の下端面とプランジャ５０の上端面の距離が０．７ｍｍであるので、図１４でも、０．７ｍｍと弁シート２２の移動距離との差が、第１コア１２の下端面とプランジャ５０の上端面の距離となる。
【００７０】
また、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、図１５に示すように、制御流体が、プランジャ５０の突縁部５３と第３コア４１の段差状の内壁（弁室２７の側壁）とのギャップ４３を介して、第３コア４１と第１コア１２の下端部分との間に形成された磁気漏洩空間２８に流入しやすくなるので、磁気漏洩空間２８における制御流体の滞留を大きく減少させることができる。
【００７１】
また、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃにおいても、図１２や図１３に示すように、プランジャ５０の中空部は第１コア１２の下端部分の周囲よりも大きく、第１コア１２の下端部分と第３コア４１との間に発生した磁気が強くても、図１２に示すように、プランジャ５０のリング部５２が磁気漏洩空間２８に進入するので、第１コア１２とプランジャ５０とが接触することがない。
【００７２】
さらに、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでも、図１２や図１３に示すように、板ばね１Ａの内周固定部２（図７参照）に弁シート２２が固定されるとともに、板ばね１Ａの外周固定部３（図７参照）が第３コア４１とボディ２３とで挟持されている。この点、図７に示すように、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる各梁４が略Ｓ字状に形成され、板ばね１Ａの内周固定部２の水平方向の剛性が大きいことから、図１３から図１２に示すようにして、プランジャ５０のリング部５２が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間２８に進入しようとする際に、プランジャ５０に磁気の水平成分が作用しても、プランジャ５０が水平方向に移動しにくく、第１コア１２の下端部分又は第３コア４１に吸着されることを防ぐので、パーティクルが発生することがない。
【００７３】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、本実施の形態において、板ばね１Ａは、図７に示すように、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる梁４が、４枚であった。この点、板ばね１Ａでは、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる各梁４は、略Ｓ字状に形成されており、各梁４における内周側Ｒ部６と外周側Ｒ部５が近くなるので、内周固定部２と外周固定部３との間で１枚の梁４を形成するのに必要なスペースが小さくなる。従って、板ばね１Ａでは、例えば、図９の正面図で示す板ばね１Ｃのように６枚の梁４を備えることも、図１０の正面図で示す板ばね１Ｄのように８枚の梁４を備えることもでき、梁４の枚数を増やせば、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせる支持点が増えることになり、内周固定部２の水平方向の剛性がより大きくなる。
【００７４】
従って、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａ及び第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂ、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃでは、プランジャ２０、３０を支持する板ばね１Ａに代えて、例えば、板ばね１Ｃ又は１Ｄを使用すれば、内周固定部２の水平方向の剛性をより大きくすることができるので、プランジャ２０、３０の水平方向の移動（「傾き動作」や「横ずれ動作」）がより発生しにくくなる。
【００７５】
よって、プランジャ２０、３０、５０が移動する際に、プランジャ２０、３０、５０が第１コア１２及び第３コア１６、４１に触れることがなく、制御流体に摩耗粉が混入するおそれがないので、半導体産業向けや医療関係で使用される制御流体（ガス、純水、薬液など）の制御にも適している。
【００７６】
また、本実施の形態において、板ばね１Ａは、内周固定部２と外周固定部３とをつなぎ合わせた各梁４において、曲げと引張りとねじれが組み合わされた複合的な荷重による弾性変形が起きるので、プランジャ２０、３０、５０が垂直方向（内周固定部２の厚み方向）に移動する際に、プランジャ２０、３０及び弁シート２２が回転するおそれがある。そこで、図８の正面図で示す板ばね１Ｂや、図１１の正面図で示す板ばね１Ｅのように、板ばね１Ｂ、１Ｅの形状が（例えば、線８をもって）対称的に形成されれば、プランジャ２０、３０、５０が垂直方向（内周固定部２の厚み方向）に移動する際に、一対の梁４毎に、曲げと引張りとねじれが組み合わされた複合的な荷重による弾性変形が反対方向に起きるので、プランジャ２０、３０、５０及び弁シート２２が固着された内周固定部２が回転することを、防止することができる。
【００７７】
また、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａ及び第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂ、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃにおいては、弁室２７の内部に非磁性体製のスペーサを設けることにより、弁シート２２を固着したプランジャ２０、３０、５０がストローク制御不能領域に進入することを阻止して、制御不能を回避させてもよい。
【００７８】
また、第１実施の形態の電磁比例弁１１Ａ及び第２実施の形態の電磁比例弁１１Ｂでは、「ヨーク部材」として第３コア１６を使用しており、「ヨーク部材」と「ヨーク部材の延出部分」とを第３コア１６のみで構成する。この点、第３実施の形態の電磁比例弁１１Ｃのように、第２コア４４及び第３コア４１を連設させれば、第２コア４４及び第３コア４１は、ホビン１４のコイル１５に対する通電により励磁がなされるので、「ヨーク部材」として第２コア４４を使用するとともに、「ヨーク部材の延出部分」として第３コア４１を使用してもよい。
【００７９】
尚、本欄に記載した具体的数字は、すべて例示である。
【００８０】
【発明の効果】
本発明の電磁比例弁は、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生して可動鉄心に作用する磁気の垂直成分（固定鉄心の吸引力）と板ばねの復元力とのつり合いにより、弁体のストローク制御がなされるものであって、弁室の内部において、固定鉄心の下端部分がボビンの中空部を封止しており、ボビンの中空部に制御流体が浸入することがなく、入口流路から弁室の内部に流入した制御流体が弁室の内部のみを流動して出口流路から流出するので、制御流体の滞留を大きく減少させることができる。
【００８１】
また、本発明の電磁比例弁では、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、固定鉄心の下端部分及びヨーク部材の延出部分に対して可動鉄心が対向関係なく、ホビンのコイルに対する通電量が一定であれば、固定鉄心の吸引力（固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生して可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）の大きさが、固定鉄心と可動鉄心の距離に影響されることなく、ほぼ一定となるので、比例制御可能な弁体のストローク範囲を大きく確保することができるとともに、組付精度を緩和させることができる。
【００８２】
また、本発明の電磁比例弁では、可動鉄心の中空部は固定鉄心の下端部分の周囲よりも大きく、固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生した磁気が強くても、可動鉄心が磁気漏洩空間に進入するので、固定鉄心と可動鉄心とが接触することがなく、さらに、板ばねの内周固定部に可動鉄心又は弁体が固定されるとともに、板ばねの外周固定部がヨーク部材の延出先端とボディとで挟持されており、この点、内周固定部と外周固定部とをつなぎ合わせる各梁が略Ｓ字状に形成され、板ばねの内周固定部の水平方向の剛性が大きいことから、可動鉄心が垂直上方向に移動して磁気漏洩空間に進入しようとする際に、可動鉄心に磁気の水平成分が作用しても、可動鉄心が水平方向に移動しにくく、固定鉄心の下端部分又はヨーク部材の延出部分に吸着されることを防ぐので、パーティクルが発生することがない。
【００８３】
また、本発明の電磁比例弁において、板ばねが対称的であれば、可動鉄心が垂直方向（内周固定部の厚み方向）に移動する際に、一対の梁毎に、曲げと引張りとねじれが組み合わされた複合的な荷重による弾性変形が反対方向に起きるので、可動鉄心又は弁体が固定された内周固定部が回転することを、防止することができる。
【００８４】
すなわち、本発明の電磁比例弁において、可動鉄心の中空部を掩塞する面板部を可動鉄心に設けると、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、固定鉄心の下端部分に対して可動鉄心の面板部が対向関係となり、固定鉄心の吸引力（固定鉄心の下端部分とヨーク部材の延出部分との間に発生するとともに可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁体を弁座に密接させる際の板ばねの復元力を大きくしても、弁体が固設された可動鉄心を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００８５】
また、本発明の電磁比例弁において、可動鉄心の外周に設けた突縁部を備え、ヨーク部材の内壁のうち可動鉄心の突縁部と対向する部分を段差状に設けると、可動鉄心の移動方向である垂直方向において、ヨーク部材の段差状の内壁の多くの部分が可動鉄心の突縁部と対向関係となり、ヨーク部材の吸引力（可動鉄心の突縁部とヨーク部材の段差状の内壁との間に発生するとともに可動鉄心に作用する磁気の垂直成分）が大きくなるので、弁体を弁座に密接させる際の板ばねの復元力を大きくしても、弁体が固設された可動鉄心を垂直上方向に移動させるのに支障がなく、より圧力の大きい流体制御を扱うことが可能となるとともに、弁座を大きくすることで、より流量の大きい制御流体を扱うことが可能となる。
【００８６】
さらに、制御流体が、可動鉄心の突縁部とヨーク部材の段差状の内壁との間を介して、ヨーク部材の延出部分と固定鉄心の下端部分との間に形成された磁気漏洩空間に流入しやすくなるので、磁気漏洩空間における制御流体の滞留を大きく減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  第１実施の形態の電磁比例弁の弁開時の断面図である。
【図２】  第１実施の形態の電磁比例弁の弁閉時の断面図である。
【図３】  第２実施の形態の電磁比例弁の弁開時の断面図である。
【図４】  第２実施の形態の電磁比例弁の弁開時の断面図である。
【図５】  第１実施の形態の電磁比例弁の吸引力の特性図である。
【図６】  第２実施の形態の電磁比例弁の吸引力の特性図である。
【図７】  本実施の形態の電磁比例弁に使用される板ばねの一例の正面図である。
【図８】  本実施の形態の電磁比例弁に使用される板ばねのその他の例の正面図である。
【図９】  本実施の形態の電磁比例弁に使用される板ばねのその他の例の正面図である。
【図１０】  本実施の形態の電磁比例弁に使用される板ばねのその他の例の正面図である。
【図１１】  本実施の形態の電磁比例弁に使用される板ばねのその他の例の正面図である。
【図１２】  第３実施の形態の電磁比例弁の弁開時の断面図である。
【図１３】  第３実施の形態の電磁比例弁の弁開時の断面図である。
【図１４】  第３実施の形態の電磁比例弁の作用の説明図である。
【図１５】  第３実施の形態の電磁比例弁の吸引力の特性図である。
【図１６】  従来技術の電磁比例弁の断面図である。
【符号の説明】
１Ａ〜１Ｅ  板ばね
２  内周固定部
３  外周固定部
４  梁
５  外周側Ｒ部
６  内周側Ｒ部
１１Ａ〜１１Ｃ  電磁比例弁
１２  第１コア
１３、４４  第２コア
１４  ホビン
１５  コイル
１６、４１  第３コア
２０、３０、５０  プランジャ
２２  弁シート
２３  ボディ
２６  弁座
２７  弁室
２８  磁気漏洩空間
２９、５１  面板部
４３  プランジャの突縁部と第３コアの段差状の内壁とのギャップ
５３  プランジャの突縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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