【手続補正書】
【提出日】平成27年11月10日(2015.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図３Ａを参照すると、基板研磨システム３００Ａの、第３の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により下部プラテン１０４の上に支持される。上部プラテン１０２は、また、下部プラテン１０４に結合されて図３Ａの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働くトルクセンサ２０６に、結合部２０４を介して結合される。いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図３Ｂを参照すると、基板研磨システム３００Ｂの、第４の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により、下部プラテン１０４の上に支持され、結合される。しかし、トルクセンサ２０６の代わりに、支持体（例えば屈曲部３０２）に結合されたひずみゲージ３０４が、図３Ｂの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働く。いくつかの実施形態で使用することができる、市販されているひずみゲージ３０４の例は、コネチカット州、ＳｔａｍｆｏｒｄのＯｍｅｇａにより製造されるＫＦＧシリーズひずみゲージである。他の実際的なひずみゲージを使用することができる。図３Ａの実施形態のように、いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図３Ｃを参照すると、基板研磨システム３００Ｃの、第５の代替実施形態のプラテン回転部の断面図が図示される。上部プラテン１０２は、支持体（例えば屈曲部３０２）により、下部プラテン１０４の上に支持され、結合される。しかし、ひずみゲージ３０４の代わりに、プラテン１０２、１０４に結合されたロードセル２１２が、図３Ｃの実施形態でトルク／ひずみ測定器具として働く。上記のように、いくつかの実施形態で使用することが可能な市販されているロードセル２１２の例は、オハイオ州ＣｏｌｕｍｂｕｓのＨｏｎｅｙｗｅｌｌ  Ｉｎｃ．によって製造されるＩｎ−Ｌｉｎｅ  Ｌｏａｄ  Ｃｅｌｌである。いくつかの実施形態では、ロードセルアレイを使用することができる。他の実際的なロードセルを使用することができる。図３Ａの実施形態のように、いくつかの実施形態では、支持体は、例えば屈曲部３０２でできたピボットとして実装することができる。本発明の実施形態にしたがう屈曲部３０２は、図４および図５に関して下で詳細に記載される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
いくつかの実施形態では、屈曲部３０２は、ステンレス鋼、または変形することなく撓曲することができる任意の実際的な材料から作ることができる。好適な屈曲部３０２の例示的な寸法は、高さ（Ｚ次元）で約０．２ｃｍから約１０ｃｍ、長さ（Ｙ次元）で約１ｃｍから約３０ｃｍ、ならびに中央の細い領域では幅（Ｘ次元）で約０．１ｃｍから約２ｃｍ、および頂部および底部の広い領域では幅（Ｘ次元）で約０．１ｃｍから約５ｃｍであってよい。いくつかの実施形態では、屈曲部３０２は、図５に示されるように、屈曲部の広い寸法と狭い寸法との間に、丸みをつけられたまたは丸くされた継手３０５を含むことができる。これらの丸みをつけられた継手３０５は、屈曲部３０２が、継手３０５において疲労から故障することを回避することができる。いくつかの実施形態では、継手３０５の半径は、約０．１ｃｍから約２ｃｍであってよい。他の屈曲材料および／または寸法を使用することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図３Ａ〜図３Ｃに戻って参照すると、動作では、屈曲部３０２を支持体として使用して、屈曲部３０２が、上部プラテン１０２を駆動するために下部プラテン１０４を回転することにより生み出される推力荷重、径方向荷重、およびモーメント荷重を担持し、しかも、上部プラテン１０２が下部プラテン１０４に対して動くただ１つの自由度（例えば、回転）を可能にするように適合される。上で説明したように、１つの自由度は、屈曲部３０２により制限できることに留意されたい。アクチュエータ１１６（図１）の駆動トルクは、トルク／ひずみ測定器具（図３Ａではトルクセンサ２０６、図３Ｂではひずみゲージ３０４、図３Ｃではロードセル２１２）を介して上部プラテン１０２に渡される。研磨ヘッドの荷重が上部プラテン１０２上の研磨パッドに印加されるとき、トルク／ひずみ測定器具（図３Ａではトルクセンサ２０６、図３Ｂではひずみゲージ３０４、図３Ｃではロードセル２１２）は、研磨ヘッド荷重を克服するのに必要な追加トルクを測定し、上部プラテン１０２の回転を維持するように適合される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
いくつかの実施形態では、支持体８０８は、屈曲部３０２（図５）または様々なタイプのベアリング（例えば、転動体ベアリングなどの線形ベアリング、流体ベアリング、磁気ベアリングなど）を使用して実装することができる。第１のキャリッジ８０４および第２のキャリッジ８０６は、横力測定器具８１０、例えばロードセルまたはフィードバック回路を備えたアクチュエータとも一緒に結合することができる。いくつかの実施形態では、変位測定器具（図１２）を、横力測定器具８１０の代わりに（または横力測定器具８１０に加えて）使用することができる。変位測定器具としては、容量性距離センサ、誘導性距離センサ、渦電流距離センサ、レーザ距離センサ、線形差動変圧器（ＬＶＤＴ）、ポテンショメータ、ホール効果センサなど、任意のタイプの距離センサが挙げられる。したがって、第１のキャリッジ８０４および第２のキャリッジ８０６は、フレキシブルに結合されて、１つの方向（例えば、１つの自由度）で互いに対し相対的に動くことを可能にする。例えば、支持体８０８は、基板１２２が研磨パッド１０１に対して押し下げられると、図８Ｂ内の横力８１４の向きにわずかに動くことが可能となるように配置することができる。したがって、基板１２２が研磨パッド１０１に対して押されるときに研磨パッド１０１の回転８１２によって研磨ヘッド１２０内に保持される基板１２２に印加される力は、横力測定器具８１０によって測定すること（または、変位測定器具を使用して決定すること）ができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
図１２を参照すると、基板の化学機械平坦化のための、別の実施形態のシステム１２００が示される。システム１２００は、基板１２２を保持するように適合された研磨ヘッドアセンブリ１２０を含む。研磨ヘッドアセンブリ１２０は、第１の（例えば、上部）キャリッジ１２０４、および第１のキャリッジ１２０４にフレキシブルに結合された第２の（例えば、下部）キャリッジ１２０６を含む。フレキシブルな結合は、第１のキャリッジ１２０４と第２のキャリッジ１２０６との間を結合する（例えば、図５の屈曲部３０２のような）屈曲部１２０２により達成することができる。第１のキャリッジ１２０４と第２のキャリッジ１２０６との間の相対的な横変位を計測するように適合された横変位測定器具１２１０をもうけることができる。横変位測定器具１２１０は、上記の任意のタイプの距離センサであってよい。図示された実施形態では、研磨ヘッド１２０は、第１のキャリッジ１２０４に結合され、基板１２２を保持するように適合される。この実施形態では、例えば、研磨ヘッド１２０に結合され、研磨ヘッド１２０を支持するスピンドル１２１２が、第２のキャリッジ１２０６内の通路（点線で示す）を通る。研磨ヘッド１２０内に保持される基板１２２に対して研磨パッド１０１を保持し、回転させるようにプラテン１０２が提供される。