(57)【要約】【課題】免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できる免震装置を提供する。【解決手段】免震対象物Ｗが取り付けられる第一架台１０と、第一架台１０を水平方向にスライド可能に支持する第二架台２０と、第一架台１０に取り付けられ第二架台２０と摺接する滑り支持部材３０と、を備えた免震装置１であって、免震対象物Ｗの荷重に抗する方向に付勢力を作用させる付勢手段を備え、付勢手段は、第一架台１０と第二架台２０との間の空間５に密封された空気Ｐ（流体）のダンパ機構と、空気Ｐの気圧を調整するためのエアポンプ４０とを備え、入力される振動エネルギーに対応して空気Ｐの気圧を調整することにより、付勢力を調整する機構を備えたことを特徴としている。【選択図】図３
2013217427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
免震対象物が取り付けられる第一架台と、
前記第一架台に対して重力方向下方に重ねて配置され、前記第一架台を水平方向に沿うようにスライド可能に支持する第二架台と、
前記第一架台および前記第二架台のうち一方の架台に取り付けられ、前記第一架台を介して前記免震対象物を支持するとともに、他方の架台と摺接する滑り支持部材と、
を備えた免震装置であって、
前記第一架台および前記第二架台の間に設けられ、前記免震対象物の荷重に抗する方向に付勢力を作用させるとともに、前記免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、前記付勢力を調整できる付勢手段を備え、
前記付勢手段は、前記第一架台と前記第二架台との間に介在されたシール部材により前記第一架台と前記第二架台との間の空間に密封される流体のダンパ機構と、前記流体を必要な圧力で充填するポンプと、を備え、前記流体の圧力を調整することにより、前記付勢力を調整する機構を備えたことを特徴とする免震装置。
【請求項２】
請求項１に記載の免震装置であって、
前記シール部材は、前記第一架台と前記第二架台との間において、前記第一架台および前記第二架台の周辺部に沿って環状に配置され、
前記シール部材の内側には、複数の前記滑り支持部材が配置されていることを特徴とする免震装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の免震装置であって、
前記滑り支持部材は、四フッ化エチレンを主成分とした材料により形成されていることを特徴とする免震装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の免震装置であって、
前記滑り支持部材と摺接する前記他方の架台には、前記滑り支持部材と摺接する摺接面に、摺接層が設けられていることを特徴とする免震装置。
【請求項５】
請求項４に記載の免震装置であって、
前記摺接層は、ステンレス鋼により形成されていることを特徴とする免震装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、この発明は、免震装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、建物や装置を地震等の振動から保護するための免震装置が種々提案されているが、その一つとして、摩擦型の免震装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の摩擦型の免震装置は、免震対象物に対し、上下方向に順に積層された防振材および滑りパッドと、少なくとも滑りパッドとの間に水平方向の隙間を設けて防振材および滑りパッドを取り囲むように免震対象に取り付けた水平方向過大変位防止部材とを備えている。
この摩擦型の免震装置は、滑りパッドが防振材を介して免震対象の床フレームに取り付けられており、基礎となる土台に固定されている滑り板の上に設置された構造となっている。
【０００４】
特許文献１に記載の構造によれば、比較的大きな加速度の振動に対して、滑りパッドと滑り板の間で滑りを生じ、滑りパッドと滑り板の間の摩擦力により振動が減衰されることで、免震床上での応答加速度はほぼ頭打ちとなって免震効果が得られるとされている。また、防振材を介して、滑りパッドを床フレームに取り付けているので、微小振動に対しても防振効果を発揮することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３２４４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記の摩擦型の免震装置にあっては、以下の問題がある。
免震装置に入力される振動エネルギーは、免震対象物が設置される地域毎の地震特性や大きさ、環境等によって異なった特性を有しているのに対し、従来技術の摩擦型の免震装置は、滑りパッドと滑り板との間の摩擦力が一定に設定されている。
したがって、例えば、中規模地震（気象庁震度階級の震度４〜５弱程度）の免震を目的として免震装置の摩擦力を設定した場合、大規模地震（気象庁震度階級の震度５強〜７程度）の振動が入力されると、滑りパッドと滑り板との間の摩擦力が不足する。このため、入力された振動エネルギーを十分に減衰できず、振動振幅を十分に抑制できないため、良好に免震できない。
すなわち、従来技術の摩擦型の免震装置は、設計段階で設定した振動エネルギーとは異なる、地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーの入力に対応して適切に摩擦力を設定できないため、良好な免震効果が得られないおそれがある。
【０００７】
そこで本発明は、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できる免震装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の免震装置は、免震対象物が取り付けられる第一架台と、前記第一架台に対して重力方向下方に重ねて配置され、前記第一架台を水平方向に沿うようにスライド可能に支持する第二架台と、前記第一架台および前記第二架台のうち一方の架台に取り付けられ、前記第一架台を介して前記免震対象物を支持するとともに、他方の架台と摺接する滑り支持部材と、を備えた免震装置であって、前記第一架台および前記第二架台の間に設けられ、前記免震対象物の荷重に抗する方向に付勢力を作用させるとともに、前記免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、前記付勢力を調整できる付勢手段を備え、前記付勢手段は、前記第一架台と前記第二架台との間に介在されたシール部材により前記第一架台と前記第二架台との間の空間に密封される流体のダンパ機構と、前記流体を必要な圧力で充填するポンプと、を備え、前記流体の圧力を調整することにより、前記付勢力を調整する機構を備えたことを特徴としている。
【０００９】
本発明によれば、第一架台と第二架台との間に設けられた空間に密封される流体のダンパ機構と、流体を必要な圧力で充填するポンプとにより、免震対象物の荷重に抗する方向に付勢力を作用させる付勢手段を備えているので、滑り支持部材と付勢手段とにより免震対象物の荷重を分担しつつ免震対象物を支持できる。また、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、流体の圧力を調整することにより付勢手段の付勢力を調整できるので、滑り支持部材と付勢手段とによる免震対象物の荷重の負担割合を調整できる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、滑り支持部材と、この滑り支持部材と摺接する架台との間の摩擦力の大きさを調整できる。これにより、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、摩擦力を適切に調整できるので、異なる振動エネルギーの入力に対応して良好に免震できる。
また、付勢手段の付勢力を調整する機構は、流体とこの流体を必要な圧力で充填するポンプとにより構成されているので、例えば市販のポンプ等を用いて、圧力の調整のみで簡単に精度よく付勢力を調整できる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できる免震装置を低コストに形成できる。
【００１０】
また、前記シール部材は、前記第一架台と前記第二架台との間において、前記第一架台および前記第二架台の周辺部に沿って環状に配置され、前記シール部材の内側には、複数の前記滑り支持部材が配置されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明によれば、シール部材の内側に滑り支持部材を配置することにより、シール部材の外側に滑り支持部材する場合よりも外形の小さな免震装置を形成できる。また、複数の滑り支持部材を備えているので、免震対象物を安定して支持できる。
【００１２】
また、前記滑り支持部材は、四フッ化エチレンを主成分とした材料により形成できる。
本発明によれば、安定した摩擦係数を有する強固な滑り支持部材を得ることができる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、さらに良好に免震できる。
【００１３】
また、前記滑り支持部材と摺接する前記他方の架台には、前記滑り支持部材と摺接する摺接面に、摺接層が設けられていることを特徴としている。
本発明によれば、滑り支持部材と摺接する架台の摺接面に摺接層を設けることにより、滑り支持部材と架台との間でさらに安定した摩擦係数を得ることができる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、精度よく良好に免震できる。
【００１４】
また、前記摺接層は、ステンレス鋼により形成することができる。
本発明によれば、耐腐食性および強度に優れた摺接層を得ることができるので、耐久性に優れた免震装置を形成できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、第一架台と第二架台との間に設けられた空間に密封される流体のダンパ機構と、流体を必要な圧力で充填するポンプとにより、免震対象物の荷重に抗する方向に付勢力を作用させる付勢手段を備えているので、滑り支持部材と付勢手段とにより免震対象物の荷重を分担しつつ免震対象物を支持できる。また、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、流体の圧力を調整することにより付勢手段の付勢力を調整できるので、滑り支持部材と付勢手段とによる免震対象物の荷重の負担割合を調整できる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、滑り支持部材と、この滑り支持部材と摺接する架台との間の摩擦力の大きさを調整できる。これにより、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、摩擦力を適切に調整できるので、異なる振動エネルギーの入力に対応して良好に免震できる。
また、付勢手段の付勢力を調整する機構は、流体とこの流体を必要な圧力で充填するポンプとにより構成されているので、例えば市販のポンプ等を用いて、圧力の調整のみで簡単に精度よく付勢力を調整できる。したがって、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できる免震装置を低コストに形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】免震装置の斜視図である。
【図２】免震装置の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】実施形態の変形例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、図面に基づいて実施形態の免震装置について説明する。
図１は、免震装置１の斜視図であり、図２は、免震装置１の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
なお、各図では、分かり易くするために、免震装置１の上に設置される略直方体状の構造物として、免震対象物Ｗを二点鎖線で図示している。また、以下の説明では、重力方向の上方を単に上方と表現し、重力方向の下方を単に下方と表現している。また、図３では、第一架台１０と第二架台２０との間の隙間を誇張して図示している。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態の免震装置１は、所定の厚さを有する略板状に形成された装置であり、免震対象物Ｗを設置面Ｇに設置する際に、免震対象物Ｗと設置面Ｇとの間に配置される、いわゆる低床免震デバイスである。
免震装置１は、免震対象物Ｗが設置される第一架台１０と、第一架台１０の下方に重ねて配置されて設置面Ｇに載置される第二架台２０と、を備えている。なお、本実施形態の免震対象物Ｗは、例えば、半導体製造装置である。
図２に示すように、第一架台１０は、平面視で略正方形状に形成された、所定の厚さを有する略板状の部材であり、例えば金属等により形成されている。第一架台１０の外形は、平面視で上面１１に載置される免震対象物Ｗよりも大きくなるように形成されている。第一架台１０の上面１１は、平坦に形成されており、免震対象物Ｗが載置されている。
【００１９】
第一架台１０の下面１２には、平面視で第一架台１０の中心Ｏと同心の略円形状に延在された溝部１３が形成されている。溝部１３は、第一架台１０の周辺部に沿うように、四辺よりも内側に形成されている。図３に示すように、溝部１３の底部は、横断面略円弧形状に形成されている。
第一架台１０の下面１２の溝部１３の部分には、例えばゴム等の弾性部材からなる略リング形状をしたシール部材３５が配置されている。シール部材３５は、溝部１３に対応して、平面視で第一架台１０の中心Ｏおよび溝部１３の中心と同心に形成されており、第一架台１０の周辺部に沿うように、第一架台１０の四辺よりも内側に配置されている。シール部材３５は、横断面略円形状に形成されている。
【００２０】
シール部材３５の横断面上端部の曲率半径は、溝部１３の底部の曲率半径と略同一に形成されている。これにより、シール部材３５の横断面上端部と溝部１３の底部とが密着した状態で、シール部材３５がその横断面下端部を溝部１３の下方にはみ出させて、溝部１３に配置されている。シール部材３５は、例えば接着剤等により、第一架台１０の溝部１３に固定されている。
シール部材３５の下端部は、シール部材３５の周方向の全域にわたって、後述する第二架台２０の上面２１と当接している。
第一架台１０には、平面視で円形の溝部１３よりも径方向内側であって、載置される免震対象物Ｗよりも外側に、第一架台１０を厚さ方向に貫通する気体導入孔１４が形成されている。気体導入孔１４には、後述するエアポンプ４０から延出された気体導入管４２の先端部が挿通されている。
【００２１】
第一架台１０の下面１２には、複数の凹部１５が形成されている。本実施形態の凹部１５は、平面視で溝部１３よりも径方向内側であって、免震対象物Ｗの角部に対応した位置に四個形成されている。凹部１５は、第一架台１０の厚さ方向に所定の深さを有しており、平面視で略円形状に形成されている。
【００２２】
図３に示すように、凹部１５には、凹部１５から一部が突出するように滑り支持部材３０が配置されている。
滑り支持部材３０は、所定の高さを有する略円柱形状をした部材であり、例えば、四フッ化エチレンを主成分とした樹脂材料により形成されている。四フッ化エチレンは、高い強度を有しているため、滑り支持部材３０を形成する材料として好適である。
滑り支持部材３０の直径は、凹部１５の直径と略同一か若干小さく形成されている。滑り支持部材３０の上端面３１は、凹部１５内に挿入されて凹部１５の底部と当接した状態で配置されている。滑り支持部材３０は、例えば接着剤等により、あるいは、凹部１５内に雌ネジ部を形成するとともに滑り支持部材３０の外周に雄ネジ部を形成して、滑り支持部材３０を凹部１５に螺合することにより、第一架台１０に固定されている。
【００２３】
滑り支持部材３０の下端面３２は、平坦に形成されており、後述する第二架台２０の上面２１上の摺接層２３と当接している。
滑り支持部材３０は、滑り支持部材３０の下端面３２と第一架台１０の下面１２との離間距離が、シール部材３５の下端部と第一架台１０の下面１２との離間距離よりも若干小さくなるように形成されている。これにより、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３に滑り支持部材３０の下端面３２を当接させて第一架台１０を第二架台２０に載置したとき、シール部材３５が若干潰れる。したがって、シール部材３５の下端部は、周方向の全域にわたって、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３に隙間なく当接できる。
滑り支持部材３０は、滑り支持部材３０の下端面３２と第一架台１０の下面１２との離間距離が、例えば１０ｍｍ程度になるように形成されている。これにより、第一架台１０の下面１２と第二架台２０の上面２１上の摺接層２３との間には、シール部材３５よりも径方向内側に、厚さ１０ｍｍの空間５が形成される。なお、本実施形態における滑り支持部材３０の下端面３２と第一架台１０の下面１２との離間距離は一例であり、１０ｍｍに限定されることはない。
【００２４】
滑り支持部材３０の下端面３２は、免震装置１に地震動等の振動エネルギーが入力されて第一架台１０が水平方向にスライド移動したとき、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３と摺接する。このとき、滑り支持部材３０の下端面３２と、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３との間には、所定の摩擦力が発生する。免震装置１は、主に、滑り支持部材３０の下端面３２と、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３との間の摩擦力により、入力された振動エネルギーを吸収して減衰させるとともに振動振幅を抑制している。
【００２５】
第一架台１０の下方には、滑り支持部材３０およびシール部材３５を介して、第一架台１０を支持する第二架台２０が重ねて配置されている。第二架台２０は、平面視で第一架台１０と同様に略正方形状に形成された、所定の厚さを有する略板状の部材であり、例えば金属等により形成されている。第二架台２０の下面２２は、平坦に形成されており、設置面Ｇに載置されている。
第二架台２０は、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３に、滑り支持部材３０の下端面３２を当接させた状態で、第一架台１０を支持している。第二架台２０に支持される第一架台１０は、免震装置１に地震動等の振動エネルギーが入力されたとき、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３に対して、滑り支持部材３０の下端面３２を所定の摩擦力で摺接させた状態で、水平方向に沿うようにスライド移動可能となっている。すなわち、第二架台２０は、第一架台１０を水平方向に沿うようにスライド可能に支持している。前述のとおり、滑り支持部材３０は、四フッ化エチレンを主成分とした樹脂材料により形成されている。したがって、第二架台２０の上面２１上の摺接層２３と、滑り支持部材３０の下端面３２との間では、安定した摩擦係数が得られる。
【００２６】
第二架台２０の外形は、平面視で第一架台１０よりも大きくなるように形成されている。
具体的には、第二架台２０の一側面は、対応する第一架台１０の一側面との水平方向における離間距離が、第一架台１０の水平方向におけるスライド移動量よりも十分大きくなるように、第一架台１０の一側面よりも外側に形成されている。これにより、振動エネルギーが入力されて第一架台１０が水平方向にスライド移動した場合であっても、シール部材３５が第二架台２０の四辺よりも外側に飛び出すのを防止できる。なお、各図では図示を省略しているが、第二架台２０の周縁部にストッパを設け、第一架台１０が第二架台２０の上面２１から外側に飛び出さない構成としておくのが好ましい。
【００２７】
第二架台２０の上面２１には、所定の厚さを有する摺接層２３が設けられている。摺接層２３は、例えばステンレス鋼からなる表面が平坦な薄板部材であり、第二架台２０の上面２１の全面を覆うように、例えば接着材により第二架台２０の上面２１に固定されている。摺接層２３は、平坦に形成されており、滑り支持部材３０の下端面３２およびシール部材３５の下端部が当接している。摺接層２３は、免震装置１に地震動等の振動エネルギーが入力されて、第一架台１０が水平方向にスライド移動したとき、滑り支持部材３０の下端面３２と摺接する摺接面となっている。
摺接層２３をステンレス鋼により形成することで、耐腐食性および強度に優れた摺接層２３を得ることができる。また、滑り支持部材３０は、四フッ化エチレンによって形成されており、滑り支持部材３０の下端面３２が滑らかに形成されている。したがって、ステンレス鋼からなる摺接層２３と滑り支持部材３０との間で、安定した摩擦係数（すなわち摩擦力）を得ることができる。
【００２８】
（付勢手段）
第一架台１０と第二架台２０との間には、免震対象物Ｗの荷重に抗するように、上方に第一架台１０および免震対象物Ｗを付勢する付勢手段が設けられている。本実施形態の付勢手段は、シール部材３５の径方向内側において、第一架台１０と第二架台２０との間に設けられた空間５に密封された空気Ｐ（請求項の「流体」に相当。）のダンパ機構と、空気Ｐを必要な圧力で充填するためのエアポンプ４０（請求項の「ポンプ」に相当。）と、により構成されている。
【００２９】
空間５の内外を連通する気体導入孔１４には、エアポンプ４０から延出された気体（流体）導入管４２の先端部が挿通されている。エアポンプ４０は、例えば常時稼動しており、エアポンプ４０からの送気量を調整することで、空間５内の空気圧が所定の圧力になるように調整されている。これにより、第一架台１０は、空間５内の空気圧によって、所定の付勢力で上方に付勢される。すなわち、空間５に密封された所定の気圧の空気Ｐは、第一架台１０のダンパ機構を構成している。したがって、免震対象物Ｗの荷重Ｆは、滑り支持部材３０によって所定の負担割合αによって支持されるとともに、付勢手段である空気Ｐによって所定の負担割合βで支持されている。
滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合α、および空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βは、エアポンプ４０により空気Ｐの空気圧を調整することで変更が可能である。このように、空間５内に充填される空気Ｐとエアポンプ４０とにより、付勢力を調整する機構を構成し、滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合α、および空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βを変更している。
【００３０】
ところで、免震対象物Ｗの荷重Ｆ、滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合α、および空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βは、
Ｆ＝α・Ｆ＋β・Ｆ・・・（１）
の関係を満足している。
また、免震装置１に地震動等の振動エネルギーが入力され、第一架台１０が水平方向にスライド移動するときの水平力をＦｓとし、第二架台２０の摺接層２３と滑り支持部材３０の下端面３２との間の摩擦係数をμ１とし、空気Ｐと第一架台１０の下面１２との間の摩擦係数をμ２としたとき、第一架台１０の水平力Ｆｓ、第二架台２０の摺接層２３と滑り支持部材３０の下端面３２との間の摩擦係数μ１、および空気Ｐと第一架台１０の下面１２との間の摩擦係数μ２は、
Ｆｓ＝μ１・α・Ｆ＋μ２・β・Ｆ＝μ３・Ｆ・・・（２）
の関係を満足している。なお、空気Ｐと第一架台１０の下面１２との間の摩擦係数μ２は、非常に小さな値であり、限りなくゼロに近い値となっている。また、摩擦係数μ３は、第一架台１０の水平力Ｆｓを決定する摩擦係数（以下、単に「第一架台１０の摩擦係数μ３」という。）に相当する。
【００３１】
ここで、第一架台１０の摩擦係数μ３は、
μ３＝μ１・α＋μ２・β・・・（３）
の関係を満足している。
すなわち、第一架台１０の摩擦係数μ３は、滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合α、および空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βにより決定される。したがって、第一架台１０の摩擦係数μ３は、エアポンプ４０により空気Ｐの空気圧を調整し、滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合α、および空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βを調整することで変更が可能となっている。
【００３２】
（免震装置の付勢力の調整）
続いて、免震装置１の付勢力の調整と免震効果について、具体例を挙げて説明する。
免震対象物Ｗが設置される地域の地震動の特性が、例えば、規則的な正弦波振動から不規則に変化する等、比較的大きな加速度を発生する場合には、振動エネルギーを素早く減衰させるために、第一架台１０の摩擦係数μ３を大きくするのが望ましい。
この場合には、エアポンプ４０により空気Ｐの空気圧を低めに調整して滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合αを大きくするとともに、空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βを小さくする。
ここで、前述のとおり、空気Ｐと第一架台１０との間の摩擦係数μ２は、非常に小さな値である。したがって、（３）式により、滑り支持部材３０による負担割合αを大きくするとともに、空気Ｐによる負担割合βを小さくすることで、第一架台１０の摩擦係数μ３を大きくできる。したがって、免震装置１は、空気Ｐの空気圧を低めに調整して付勢力を小さくすることにより、比較的大きな加速度を有する振動エネルギーの入力に対応して、摩擦力で振動エネルギーを減衰して良好に免震できる。
【００３３】
これに対して、免震対象物Ｗが設置される地域の地震動の特性が、例えば、規則的な正弦波振動等、比較的小さな加速度を発生する場合には、主に振動振幅を抑制するために、第一架台１０の摩擦係数μ３を小さくするのが望ましい。
この場合には、エアポンプ４０により空気Ｐの空気圧を高めに調整して、滑り支持部材３０による免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合αを小さくするとともに、空気Ｐによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合βを大きくする。
ここで、前述のとおり、空気Ｐと第一架台１０との間の摩擦係数をμ２は、非常に小さな値である。したがって、（３）式により、滑り支持部材３０による負担割合αを小さくするとともに、空気Ｐによる負担割合βを大きくすることで、摩擦係数μ３を大幅に小さくできる。したがって、免震装置１は、比較的小さな加速度を有する振動エネルギーの入力に対応して、振動振幅を抑制して良好に免震できる。
【００３４】
（効果）
本発明によれば、第一架台１０と第二架台２０との間に設けられた空間５に密封される空気Ｐのダンパ機構と、空気Ｐを必要な圧力で充填するエアポンプ４０とにより、免震対象物Ｗの荷重に抗する方向に付勢力を作用させる付勢手段を備えているので、滑り支持部材３０と空気Ｐとにより免震対象物Ｗの荷重Ｆを分担しつつ、免震対象物Ｗを支持できる。また、免震対象物Ｗに入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、空気Ｐの圧力を調整することにより付勢手段の付勢力を調整できるので、滑り支持部材３０と空気Ｐとによる免震対象物Ｗの荷重Ｆの負担割合を調整できる。したがって、免震対象物Ｗに入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた振動エネルギーに対応して、滑り支持部材３０と、この滑り支持部材３０と摺接する第二架台２０との間の摩擦力の大きさを調整できる。これにより、免震対象物Ｗに入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、摩擦力を適切に調整できるので、異なる振動エネルギーの入力に対応して良好に免震できる。
また、付勢手段の付勢力を調整する機構は、流体である空気Ｐとこの空気Ｐを必要な圧力で充填するエアポンプ４０とにより構成されているので、例えば市販のポンプ等を用いて、空気Ｐの気圧の調整のみで簡単に精度よく付勢力を調整できる。したがって、免震対象物Ｗに入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できる免震装置１を低コストに形成できる。
【００３５】
（実施形態の変形例）
図４は、実施形態の変形例の説明図である。
実施形態では、図１に示すように、一個の免震対象物Ｗに対して、一個の免震装置１が設置されていた。これに対して、実施形態の変形例では、図４に示すように、一個の免震対象物Ｗに対して、複数個の免震装置１が設置されている点で、実施形態とはことなっている。また、実施形態における免震対象物Ｗは、例えば、半導体製造装置等の機器であったが、実施形態の変形例における免震対象物Ｗは、例えば、家屋やビル等の建造物である点で、実施形態とは異なっている。なお、実施形態と同様の構成の部分については、詳細な説明を省略する。
図４に示すように、免震対象物Ｗと設置面Ｇとの間には、四個の免震装置１（図４は側面図のため、二個の免震装置１のみ図示）が配置されている。四個の免震装置１は、略直方体状に形成された家屋やビル等の建物である免震対象物Ｗの角部に対応した位置に設けられている。
本実施形態の変形例のように、免震対象物Ｗが建物である場合等、免震装置１と比較して外形が大きな場合には、一個の免震対象物Ｗに対して複数個の免震装置１を設置してもよい。これにより、免震対象物Ｗが建物等であっても、実施形態と同様の効果、すなわち、免震対象物に入力されると想定される地域毎の地震特性や設置環境に応じた異なる振動エネルギーの入力に対応して、良好に免震できるという効果が得られる。なお、実施形態の変形例においては、免震装置１の個数は、一個の免震対象物Ｗに対して四個に限定されることはなく、三個であっても五個以上であってもよい。
【００３６】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
実施形態の免震装置１は、滑り支持部材３０を四個備えていたが、滑り支持部材３０の個数は、実施形態の個数に限定されない。例えば、滑り支持部材３０を三個備えていてもよいし、滑り支持部材３０を五個以上備えていてもよい
また、滑り支持部材３０およびシール部材３５は、第一架台１０側に取り付けられていたが、例えば、第二架台２０側に取り付けられていてもよい。
【００３７】
実施形態の免震装置１は、主に滑り支持部材３０と第二架台２０との摩擦力により、振動エネルギーを減衰していた。これに対して、例えば第一架台１０と第二架台２０との間に、減衰手段としてオイルダンパー等を設け、滑り支持部材３０と第二架台２０との摩擦力と併用して振動エネルギーを減衰してもよい。
【００３８】
実施形態の免震装置１は、免震対象物Ｗの荷重に抗する方向に付勢力を作用させる付勢手段が、第一架台１０と第二架台２０との間に設けられた空間５に密封された空気Ｐと、空気Ｐの気圧を調整するためのエアポンプ４０と、により構成されていた。これに対して、例えば、付勢手段が、第一架台１０と第二架台２０との間に設けられた空間５に密封されたオイルと、オイルの圧力を調整するためのオイルポンプと、により構成されていてもよい。また、空間５に密封されるのは、空気Ｐ等の気体や、オイル等の液体に限られることはなく、流体であればよい。
【００３９】
実施形態の免震装置１は、空気Ｐの気圧を充填および調整するためのエアポンプ４０を一個備えていたが、エアポンプ４０の個数は一個に限られない。また、例えば、気体導入管４２の途中に逆止弁を設け、エアポンプ４０により空間５内の空気Ｐの気圧を調整後、一定の気圧を保持する構造としてもよい。
【００４０】
実施形態では、滑り支持部材３０は、四フッ化エチレンを主成分とした樹脂材料により形成されていたが、滑り支持部材３０を形成する材料は、四フッ化エチレンを主成分とした樹脂材料に限定されることはない。例えば、鉄等の金属により滑り支持部材３０を形成してもよい。
【００４１】
実施形態では、第二架台２０の摺接面に、ステンレス鋼からなる摺接層２３が形成されていたが、摺接層２３を形成する材料は、ステンレス鋼に限定されることはない。例えば、鉄等の金属や、樹脂材料等により摺接層２３を形成してもよい。ただし、耐腐食性および強度に優れた摺接層２３を得ることができ、耐久性に優れた免震装置１を形成できる点で、本実施形態に優位性がある。
【００４２】
実施形態では、地域の地震動の特性等を考慮して、付勢手段である空気Ｐの空気圧を予め設定する場合について説明をした。しかし、例えば、加速度センサ等を用いて、振動最中における振動の加速度等をフィードバックし、振動最中において空気Ｐの空気圧を適宜制御して振動を免震する免震装置１を構成してもよい。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・免震装置  １０・・・第一架台  ２０・・・第二架台  ２３・・・摺接層  ３０・・・滑り支持部材  ３５・・・シール部材  ４０・・・エアポンプ（ポンプ、付勢手段）  Ｗ・・・免震対象物  Ｐ・・・空気（流体、付勢手段）  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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