【手続補正書】
【提出日】平成28年11月11日(2016.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パイプの中で、２つ以上の流れている成分流を１つにして、混合スラリー及び／又は化学ブレンドを形成する混合モジュールを備えた、スラリー及び／又は化学ブレンド供給装置であって、前記混合モジュールは、各成分流用のパイプと、前記成分の流速を制御するために、前記成分パイプのうちの少なくとも２つの各々に少なくとも１つの流量コントローラーとを備え、前記成分パイプは連結され合流し単一パイプとなり、混合スラリー又は混合化学ブレンド流を形成し、前記混合モジュールがさらにポンプを備え、前記２つ以上の成分パイプが、原料スラリー、水、１つ以上の化学成分、１つ以上の水と混合された化学成分、一部混合スラリー、完全混合スラリー、一部混合化学ブレンド、及び完全混合化学ブレンドからなる群から選択される２つ以上の成分流を流動させ、そしてさらに、前記少なくとも２つの成分パイプが前記混合モジュールポンプの上流、且つ２フィート（０．６１メートル）の範囲内で、連結され合流して単一パイプとなる、供給装置。
【請求項２】
前記混合モジュールポンプの上流に、パイプの第１の連結部、及び前記成分パイプの第２の連結部があり、前記第１の連結部は、前記ポンプにさらに近接しており、前記第１の連結部において、１つ以上の化学成分と水とを含む第１の流れが、原料スラリーを含む第２の流れと合流し、前記第１の流れは前記第２の連結部から流動し、前記第２の連結部では、第３の及び第４の流れが合流し、前記第３の流れは水を含み、前記第４の流れは１つ以上の化学成分を含んでおり、これによって前記第１の流れが形成される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記混合モジュールがさらに、前記第１の流れ用のパイプ内にスタティックミキサーを備えた、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
完全混合スラリー、又は完全混合化学ブレンドの少なくとも１つの流れを前記混合モジュールの中に流動させて、前記混合スラリー、又は化学ブレンドの前記成分と合流させ、更なる完全混合スラリー又は更なる完全混合化学ブレンドを形成する少なくとも１つの成分パイプを、前記混合モジュールがさらに備えた、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記混合モジュールと流体連通する分析モジュールをさらに備え、前記混合モジュールポンプの下流での、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分析モジュール内に流動し、これにより分析される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
分配モジュールをさらに備え、前記混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分配モジュールに輸送される、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
流体連通する、分配モジュールと分析モジュールとをさらに備え、前記混合モジュールが、前記分析モジュール及び前記分配モジュールと流体連通し、混合モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも一部分が、前記分析モジュールへ流動し、前記分析モジュールからの流れの少なくとも一部分が、前記分配モジュールに流動する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記分配モジュールからの、混合スラリー又は化学ブレンドの流れの少なくとも１部分が前記混合モジュールへ、前記混合モジュールにおいて混合される更なる成分流として輸送される、請求項６又は７に記載の装置。
【請求項９】
前記分配モジュールが分配タンクを備え、前記分配モジュールからの、前記混合スラリー又は化学ブレンドの流れが、前記分配タンクから前記混合モジュールへ輸送される、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記装置が分配モジュール及び分析モジュールをさらに備え、そして、前記分配モジュールがさらに、１つ以上のサンプルポートと、それぞれがスラリー及び／又は化学ブレンドを分析モジュールに提供する、前記１つ以上のサンプルポートに流体連通する、１つ以上のチューブ又はサンプルループとを備え、そして、前記分析モジュールが、インライン液体粒子計数器、粒度分布分析器、ｐＨセンサー、過酸化水素センサー、密度センサー、及び伝導度センサーからなる群から選択される１つ以上の分析装置を備えた、請求項１〜９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記装置がさらに送出モジュールを備え、前記送出モジュールが、第１のポンプと、原料スラリーを保持する少なくとも１つの送出タンクとを備え、前記第１のポンプが、前記送出タンク中に原料スラリーをスラリー供給容器から輸送し、前記送出モジュールが、少なくとも１つの循環ループと、少なくとも１つの送出タンクに連結された前記少なくとも１つの循環ループ内の第２のポンプとをさらに備え、前記第２のポンプが、前記原料スラリーを前記送出タンクから前記循環ループを通じて前記送出タンクへ圧送して戻し、前記循環ループがさらに、混合モジュールがスラリーを混合している場合に、循環ループからの原料スラリーの一部分のみを前記混合モジュールへ供給するパイプを備え、前記循環ループがさらに、背圧コントローラーと、循環ループ内の圧力を測定する圧力センサーとを備え、循環ループ内の圧力を使用して前記背圧コントローラー内の弁を調整し、前記循環ループ全体通じて連続的に循環する原料スラリーを維持し、そして、所望により、前記送出モジュールがさらに、液体粒子計数器及び／又は粒度分布分析器を備え、そして、所望により、前記装置が、前記スラリーから、大きい又は小さい粒子を除去する、１つ以上のフィルターエレメント、１つ以上のメンブレン、又はその他の処理手段をさらに備えた、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
１つ以上のろ過器コンポーネントをさらに備え、前記ろ過器コンポーネントが、少なくとも１つの流量コントローラー、又は少なくとも１つのポンプの上流に位置する、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１３】
前記装置がさらに、少なくとも１つの送出タンク、又は少なくとも１つの分配タンクを備え、前記タンクが、前記タンクの底に１つ以上のエダクターを備え、前記タンクが、１つ以上の側壁を備え、前記エダクターに連結されたパイプをさらに備え、前記パイプが、前記タンクの底で側壁を貫通している、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
分配モジュールを備えた前記装置が、１つ以上の分配タンクと、１つ以上のポンプと、流体連通している１つ以上の大域ループとを備え、前記１つ以上の大域ループにおける混合スラリー及び／又は化学ブレンドが、連続的に又はほぼ連続的に、前記１つ以上の大域ループの少なくとも１つにおいて循環し、そして所望により、前記１つ以上の大域ループが、前記混合スラリー及び／又は化学ブレンドを、前記大域ループにおいて連続的に又はほぼ連続的にろ過する１つ以上のフィルターエレメントを備え、前記１つ以上のフィルターエレメントが、１つ以上の大域ループと流体連通するツールの上流にある、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
装置がさらに、送出タンクと、ポンプと、流体連通している循環ループとを備えた送出モジュールを備え、前記循環ループにおける原料スラリーが、連続的に又はほぼ連続的に循環している、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
原料スラリーをスラリー供給容器から、スラリー及び／又は化学ブレンドの供給装置の送出モジュールの一部分である送出タンクに圧送する工程を含む、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。
【請求項１７】
原料スラリーを混合モジュールへ提供し、スラリーを混合し、大域ループにスラリーを供給するための、混合スラリーを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供するための、及び／又は、スラリーを分析モジュール及び／又はその他のモジュール／プロセスに提供するための、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。
【請求項１８】
化学ブレンドを混合するための、化学ブレンドを大域ループに提供するための、化学ブレンドを１つ以上のＣＭＰ又はその他のツールに提供するための、及び／又は、化学ブレンドを分析モジュール及び／又はその他のモジュール／プロセスに提供するための、請求項１〜１５のいずれか１項に記載のスラリー及び／又は化学ブレンド供給装置の使用。