(57)【要約】【課題】積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつシートを１枚ずつ容易に取り出すことが可能なシート取り出し方法およびシート取り出し装置を提供する。【解決手段】シート取り出し方法は、主表面１０ａを有し主表面１０ａの上方から平面的に見て主表面１０ａ同士が重なるように積層された複数のシート１０と、隣り合うシート１０の間のそれぞれにおいて主表面１０ａに接触して配置され、主表面１０ａの上方から平面的に見てシート１０から露出する突出部２０ｂを有するセパレータ２０とを含む積層体３０を準備する工程と、積層体３０からシート１０を１枚ずつ取り出す工程とを備える。シート１０を取り出す工程では、取り出すべき１枚のシート１０の下側において１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の突出部２０ｂを保持してセパレータ２０の移動を規制しつつ１枚のシート１０が取り出される。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主表面を有し、前記主表面の上方から平面的に見て、前記主表面同士が重なるように積層された複数のシートと、隣り合う前記シートの間のそれぞれにおいて前記主表面に接触して配置され、前記主表面の上方から平面的に見て前記シートから露出する突出部を有するセパレータとを含む積層体を準備する工程と、
前記積層体から前記シートを１枚ずつ取り出す工程とを備え、
前記シートを取り出す工程では、取り出すべき１枚の前記シートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータの前記突出部を保持して前記セパレータの移動を規制しつつ前記１枚のシートが取り出される、シート取り出し方法。
【請求項２】
前記シートを取り出す工程では、前記１枚のシートの端部において前記１枚のシートと前記１枚のシートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータとが剥離した後に、前記１枚のシートの前記主表面の全面において前記１枚のシートと前記１枚のシートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータとが剥離することにより前記１枚のシートが取り出される、請求項１に記載のシート取り出し方法。
【請求項３】
前記シートを取り出す工程では、前記１枚のシートの前記主表面の全面が前記１枚のシートを保持する保持部に接触しつつ前記１枚のシートが取り出される、請求項１または２に記載のシート取り出し方法。
【請求項４】
前記シートを取り出す工程では、前記１枚のシートと前記１枚のシートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータとの間に気体を吹き付けつつ前記１枚のシートが取り出される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のシート取り出し方法。
【請求項５】
主表面を有し、前記主表面の上方から平面的に見て、前記主表面同士が重なるように積層された複数のシートを含む積層体から前記シートを１枚ずつ取り出すシート取り出し装置であって、
前記積層体において隣り合う前記シートの間のそれぞれにおいて前記主表面に接触して配置され、前記主表面の上方から平面的に見て前記シートから露出すべき突出部を有するセパレータと、
前記セパレータの前記突出部を保持して前記セパレータの移動を規制する規制部と、
前記積層体に含まれる前記複数のシートのうち１枚を保持することが可能な保持部とを備え、
取り出すべき１枚の前記シートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータの前記突出部を前記規制部が保持して前記セパレータの移動を規制しつつ、前記１枚のシートを前記保持部が保持することにより取り出すことが可能に構成されている、シート取り出し装置。
【請求項６】
前記保持部は、本体部と、前記本体部の端部に接続された可動部とを有し、
前記可動部は、前記シートを取り出す方向において前記本体部に対して相対的に移動可能に構成されている、請求項５に記載のシート取り出し装置。
【請求項７】
前記保持部は、前記シートの前記主表面の全面にわたり接触可能に構成されている、請求項５または６に記載のシート取り出し装置。
【請求項８】
前記１枚のシートと前記１枚のシートの下側において前記１枚のシートの前記主表面に接触して配置される前記セパレータとの間に気体を吹き付ける噴出部をさらに備える、請求項５〜７のいずれか１項に記載のシート取り出し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート取り出し方法およびシート取り出し装置に関するものであり、より特定的には、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことが可能なシート取り出し方法およびシート取り出し装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
重ね置きされた複数のシートから最上部にあるシートのみを取り出す場合、最上部のシートと当該シートの直下に位置する他のシートとの間に生じる負圧や静電気力によりこれらが互いに貼り付き、その結果複数のシートが同時に取り出されるという問題がある。また、互いに貼り付いた複数のシートを物理的な力により剥離しようとすると、脆弱なシートにおいては破損が生じるという問題がある。
【０００３】
このような問題に対して、重ね置きされた複数のシートにおいて、シート間に空気を吹き付けて剥離することにより最上部のシートを取り出す方法が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。また、粘着剤や真空吸着により最上部にあるシートを固定して取り出す方法も提案されている（たとえば、特許文献２参照）。また、複数のシートを互いに交互に回転させて重ね置き、最上部のシートの直下に位置するシートの角部を押さえつつ、当該最上部のシートを取り出す方法も提案されている（たとえば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−２３７４７号公報
【特許文献２】特開平６−１１５７３４号公報
【特許文献３】特開２００４−２３５５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１において提案されている方法では、空気の吹き付けのみによってシート同士を剥離することにより、シートに対して局所的に大きな力が加わる。そのため、この方法では、脆弱なシートを取り出す場合にはシートの破損が生じるという問題がある。特許文献２において提案されている方法では、最上部のシートとその直下に位置するシートとを完全に剥離することは困難であり、複数のシートを同時に取り出してしまうという問題がある。特許文献３において提案されている方法では、最上部のシートの真下に位置するシートの角部に集中的に力が加わるため、シートの破損が生じるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことが可能なシート取り出し方法およびシート取り出し装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシート取り出し方法は、主表面を有し、上記主表面の上方から平面的に見て、上記主表面同士が重なるように積層された複数のシートと、隣り合うシートの間のそれぞれにおいて上記主表面に接触して配置され、上記主表面の上方から平面的に見てシートから露出する突出部を有するセパレータとを含む積層体を準備する工程と、積層体からシートを１枚ずつ取り出す工程とを備えている。シートを取り出す工程では、取り出すべき１枚のシートの下側において上記１枚のシートの上記主表面に接触して配置されるセパレータの突出部を保持してセパレータの移動を規制しつつ上記１枚のシートが取り出される。
【０００８】
本発明のシート取り出し方法では、取り出すべき１枚のシートの下側において上記１枚のシートの上記主表面に接触して配置されるセパレータの移動を規制しつつ上記１枚のシートが取り出される。そのため、上記１枚のシートと上記セパレータとを剥離させることにより、積層されたシートから容易に１枚ずつシートを取り出すことができる。また、本発明のシート取り出し方法では、上記セパレータの突出部を保持してセパレータの移動を規制しつつ上記１枚のシートが取り出される。そのため、取り出しの際に上記１枚のシートに加わる力が抑制され、その結果シートの変形や破損を抑制することができる。このように、本発明のシート取り出し方法によれば、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。
【０００９】
本発明のシート取り出し装置は、主表面を有し、上記主表面の上方から平面的に見て、上記主表面同士が重なるように積層された複数のシートを含む積層体からシートを１枚ずつ取り出すシート取り出し装置である。上記シート取り出し装置は、積層体において隣り合うシートの間のそれぞれにおいて上記主表面に接触して配置され、上記主表面の上方から平面的に見てシートから露出すべき突出部を有するセパレータと、セパレータの突出部を保持してセパレータの移動を規制する規制部と、積層体に含まれる複数のシートのうち１枚を保持することが可能な保持部とを備えている。また、上記シート取り出し装置は、取り出すべき１枚のシートの下側において上記１枚のシートの上記主表面に接触して配置されるセパレータの突出部を規制部が保持してセパレータの移動を規制しつつ、上記１枚のシートを保持部が保持することにより取り出すことが可能に構成されている。
【００１０】
本発明のシート取り出し装置は、上記構成を備えることにより、上記本発明のシート取り出し方法の実施に用いることができる。したがって、本発明のシート取り出し装置によれば、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。
【発明の効果】
【００１１】
以上の説明から明らかなように、本発明のシート取り出し方法およびシート取り出し装置によれば、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】シート取り出し装置の構成を示す概略上面図である。
【図２】シート取り出し装置の構成を示す概略側面図である。
【図３】積層体を示す概略上面図である。
【図４】積層体を示す概略側面図である。
【図５】シートを示す概略上面図である。
【図６】セパレータを示す概略上面図である。
【図７】シート取り出し方法を概略的に示すフローチャートである。
【図８】シート取り出し方法を説明するための概略側面図である。
【図９】噴出孔から空気を吹き付ける態様を示す概略側面図である。
【図１０】実施の形態２のシート取り出し装置の構成を示す概略上面図である。
【図１１】実施の形態２のシート取り出し装置の構成を示す概略側面図である。
【図１２】実施の形態２のシート取り出し装置の構成を示す概略側面図である。
【図１３】実施の形態２のシート取り出し方法を説明するための概略側面図である。
【図１４】実施の形態２のシート取り出し方法を説明するための概略側面図である。
【図１５】実施の形態３のシート取り出し装置の構成を示す概略側面図である。
【図１６】比較例１のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図１７】比較例１のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図１８】比較例１のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図１９】比較例２のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図２０】比較例２のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図２１】比較例３のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【図２２】比較例３のシート取り出し方法を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１４】
はじめに、比較例１〜３のシート取り出し方法を説明する。まず、比較例１のシート取り出し方法について説明する。図１６を参照して、この方法では、まず、重ね置きされた複数のシート１００の一辺を取り出しローラ１４０により、また上記一辺とは反対側の一辺をシート押さえ部材１５０によりそれぞれ押さえる。次に、図１７を参照して、互いに接触するシート１００の間に、押さえられた二辺に対して平行な方向から小型ブロア１６０を用いて空気を吹き付ける。これにより、図１８に示すようにシート１００同士が剥離し、取り出しローラ１４０をシート１００の主表面に対して水平方向に回転させることにより剥離したシート１００を取り出すことができる。
【００１５】
しかし、この方法では、空気の吹き付けのみによってシート１００同士を剥離することにより、シート１００に対して局所的に大きな力が加わる。そのため、この方法では、たとえばセラミックグリーンシートなどの脆弱なシートを取り出す場合にはシートの破損が生じるという問題がある。また、取り出しローラ１４０を回転させることにより、シート１００と取り出しローラ１４０との間、あるいはシート１００同士の間に摩擦が生じ、その結果シート１００の表面に傷や歪みが生じるという問題もある。
【００１６】
次に、比較例２のシート取り出し方法について説明する。この方法では、最上部のシート１００の一部または全面を粘着材や真空吸着により固定して当該シート１００が取り出される。図１９を参照して、この方法では、シート１００を保持する面の全面にわたり吸引孔１８０が形成され、また隅の角部分に凹部１９０が形成されたシート取り出し装置５００が用いられる。そして、積層されたシートのうち最上部のシート１００をたとえば真空吸着により固定しつつ、シート取り出し装置５００を上昇させることにより当該シート１００を取り出すことができる。さらに、図２０に示すように、この方法では凹部１９０に沿ってシート１００を変形させることにより、角部分において最上部のシート１００とその真下に位置するシートとを剥離させることも可能である。しかし、この方法では、角部分においてのみシート１００同士が剥離されるに過ぎず、シートの全面にわたり完全に剥離させることは困難である。そのため、この方法では、複数のシートを同時に取り出してしまうという問題がある。
【００１７】
次に、比較例３のシート取り出し方法について説明する。図２１および図２２を参照して、この方法では、複数のシート１００が４５°ずつ回転しつつ交互に重ね置きされた状態からシート１００が１枚ずつ取り出される。この場合、最上部のシート１００の真下に位置するシート１００の角部１００ａが最上部のシート１００の外周部から突出した状態となる。そして、角部１００ａを規制部４００により押さえつつ最上部のシート１００を真空吸着により固定して取り出す。これにより、最上部のシート１００の真下に位置するシート１００の上下方向への移動が抑制され、最上部のシート１００のみを確実に取り出すことができる。しかし、この方法では、シート１００同士の剥離の際に最上部のシート１００の真下に位置するシート１００の角部１００ａに集中的に力が加わるため、脆弱なシート１００においては破損が生じるという問題がある。
【００１８】
このような比較例１〜３のシート取り出し方法に対して、本発明の実施の形態のシート取り出し装置およびシート取り出し方法によれば、以下に説明するように積層された複数のシートからシートの破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。
【００１９】
（実施の形態１）
はじめに、本発明の一実施の形態である実施の形態１について説明する。まず、本実施の形態のシート取り出し装置１の構成について説明する。図１〜図４を参照して、本実施の形態のシート取り出し装置１は、主表面１０ａを有し、主表面１０ａの上方から平面的に見て主表面１０ａ同士が重なるように積層された複数のシート１０を含む積層体３０から、シート１０を１枚ずつ取り出すシート取り出し装置１である。シート取り出し装置１は、セパレータ２０と、規制部４０と、保持部５０と、移動機構（図示しない）とを主に備えている。
【００２０】
セパレータ２０は、たとえばポリスチレンシートなどであって、積層体３０の隣り合うシート１０の間のそれぞれにおいて、シート１０の主表面１０ａに接触して配置されている。より具体的には、図２および図４を参照して、セパレータ２０は、シート１０と交互に積層されるように配置されている。また、図１および図３を参照して、セパレータ２０は、シート１０の主表面１０ａの上方から平面的に見てシート１０から露出すべき突出部２０ｂを有している。より具体的には、たとえばシート１０が一辺長２００ｍｍの正方形状を有する場合（図５参照）、セパレータ２０は、当該シート１０と同様に一辺長（Ｌ）が２００ｍｍの正方形状からなる接触部２０ａと、当該接触部２０ａから外側に突出する突出部２０ｂとを有する（図６参照）。そのため、シート１０とセパレータ２０と積層した場合、シート１０の主表面１０ａの上方から平面的に見ると、セパレータ２０の突出部２０ｂがシート１０の外周部から突出した状態になる。また、セパレータ２０の厚みはシート１０の厚みよりも大きく、たとえばシート１０の厚みが０．１ｍｍの場合においてセパレータ２０の厚みは０．４ｍｍとなっている。
【００２１】
図１および図２を参照して、保持部５０は、本体部５１と、複数の吸着パッド５２とを主に有している。複数の吸着パッド５２は、本体部５１から突出するように配置された脚部５８の先端部において同一平面内に配置されている。保持部５０は、複数の吸着パッド５２のそれぞれにおいて、積層体３０に含まれる複数のシート１０のうち最上部にある１枚のシート１０を真空吸着により保持する。また、保持部５０は、移動機構（図示しない）を動作させることにより、１枚のシート１０を保持しつつ上下方向（図２中矢印に示す方向）において移動可能に構成されている。
【００２２】
規制部４０は、セパレータ２０の突出部２０ｂを保持してセパレータ２０の上下方向における移動を規制する。規制部４０は、突出部２０ｂを押さえることによりセパレータ２０の移動を規制可能となっていてもよいが、これに限られるものではない。たとえば、規制部４０は、吸着孔や真空吸着パッド（図示しない）などを有し、セパレータ２０を吸着保持して固定することによりその移動を規制可能となっていてもよい。また、規制部４０は、移動機構（図示しない）により、上下方向において保持部５０に対して相対的に移動可能に構成されている。このように、シート取出し装置１は、取り出すべき１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の突出部２０ｂを規制部４０が保持してセパレータ２０の移動を規制しつつ、当該１枚のシート１０を保持部５０が保持することにより取り出すことが可能に構成されている。
【００２３】
次に、本実施の形態のシート取出し方法について説明する。本実施の形態のシート取出し方法は、上記本実施の形態のシート取出し装置１を用いて実施される。図７を参照して、まず、工程（Ｓ１０）として、積層体準備工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では図３および図４を参照して、主表面１０ａを有する複数のシート１０と、隣り合うシート１０の間のそれぞれにおいて主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０とを含む積層体３０が準備される。積層体３０において、複数のシート１０は、主表面１０ａの上方から平面的に見て主表面１０ａ同士が重なるように積層されている。また、セパレータ２０は、主表面１０ａの上方から平面的に見てシート１０から露出する突出部２０ｂを有している。シート１０は、たとえば厚さが０．１ｍｍ、一辺長が２００ｍｍの正方形状を有し、セラミックグリーンシートなどである。セラミックグリーンシートは、たとえばガラスやアルミナ粉末、溶媒、および結合材としての有機物質から構成される。
【００２４】
次に、工程（Ｓ２０）として、シート取り出し工程が実施される。この工程（Ｓ２０）では、以下に手順により積層体３０から１枚ずつシート１０が取り出される。まず、シート取出し装置１の保持部５０および規制部４０を積層体３０の上方に移動させる。次に、図１および図２を参照して、移動機構（図示しない）を動作させることにより、保持部５０および規制部４０を積層体３０側に接近させる。そして、保持部５０の吸着パッド５２を積層体３０の最上部にある取り出すべき１枚のシート１０に接触させるとともに、規制部４０を当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の突出部２０ｂに接触させる。これにより、当該１枚のシート１０が吸着パッド５２において保持部５０に保持される。次に、図８を参照して、規制部４０が突出部２０ｂに接触し、セパレータ２０の上下方向への移動が規制された状態を維持しつつ、保持部５０を上昇させる。これにより、当該１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０とが剥離し、当該１枚のシート１０が取り出される。このように、工程（Ｓ２０）では、積層体３０の最上部にある取り出すべき１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の突出部２０ｂを保持してセパレータ２０の移動を規制しつつ、当該１枚の当該シート１０が取り出される。また、図６を参照して、規制部４０がセパレータ２０の突出部２０ｂと接触する位置については、セパレータ２０の角部から規制部４０との接触部までの距離をｐ、セパレータ２０の一辺長をＬとして、ｐ／Ｌ＜０．２５を満たすことが好ましい。これにより、シート１０とセパレータ２０との剥離がより容易になる。
【００２５】
次に、工程（Ｓ３０）として、セパレータ取り出し工程が実施される。この工程（Ｓ３０）では、上記工程（Ｓ２０)後に積層体３０の最上部に位置するセパレータ２０が取り出される。セパレータ２０は、取り出しの主対象であるシート１０とは異なり、その材質や形状をある程度自由に変更することが可能であり、またその変形を考慮する必要がない。そのため、セパレータ２０を取り出す方法は、シート１０に変形や破損を生じさせない方法であればよく、たとえば以下に説明する方法を採用することができる。一の方法では、シート取り出し装置として、下方側に向いた気体の噴出口（図示しない）をさらに備え、セパレータの構成材料として通気性の高い材料や複数の孔部を有する材料を採用したものを用いる。そして、保持部５０によりセパレータ２０を保持しつつ、当該噴出口からセパレータ２０を通して当該セパレータ２０の下側に接触して配置されたシート１０に気体を噴き付ける。これにより、セパレータ２０とシート１０とを剥離させ、セパレータ２０を取り出すことができる。また、他の方法では、まず、保持部５０によりセパレータ２０の接触部２０ａを保持すると同時に、規制部４０をセパレータ２０の突出部２０ｂに接触させる。そして、規制部４０により突出部２０ｂの上下方向への移動が規制された状態を維持しつつ保持部５０を上昇させる。これにより、セパレータ２０が変形し、セパレータ２０の接触部２０ａと突出部２０ｂとの間に高低差が生じる。このように、セパレータ２０を変形させてセパレータ２０とシート１０との間に剥離の起点となる空間を形成することにより、セパレータ２０を取り出すことができる。また、さらに他の方法では、規制部４０に真空吸着パッド（図示しない）などを配置し、当該真空吸着パッドによりセパレータ２０の突出部２０ｂを吸着固定しつつ、保持部５０の吸着パッド５２により接触部２０ａを固定する。そして、保持部５０により接触部２０ａの上下方向への移動が規制された状態を維持しつつ規制部４０を上昇させる。これにより、上述の方法と同様に、セパレータ２０が変形し、セパレータ２０とシート１０との間に剥離の起点となる空間が形成され、セパレータ２０を取り出すことができる。上記工程（Ｓ２０）および（Ｓ３０）を繰り返すことにより、積層体３０から所望の数のシート１０を１枚ずつ順次取り出され、本実施の形態のシート取り出し方法が完了する。
【００２６】
以上のように、本実施の形態のシート取り出し方法では、取り出すべき１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の移動を規制部４０により規制しつつ、当該１枚のシート１０が取り出される。そのため、当該１枚のシート１０とセパレータ２０とを剥離させることにより、積層されたシート１０から容易に１枚ずつシート１０を取り出すことができる。すなわち、シート１０とセパレータ２０とが真空吸着や静電気力などにより貼り付いた場合でも、規制部４０にてセパレータ２０の上下方向への移動を規制することにより、当該１枚のシート１０のみを容易に取り出すことができる。また、本実施の形態のシート取り出し方法では、セパレータ２０の突出部２０ｂを保持してセパレータ２０の移動を規制しつつ当該１枚のシート１０が取り出される。そのため、取り出しの際にシート１０とセパレータ２０との剥離により生じる力が突出部２０ｂに集中し、当該１枚のシートに加わる力が抑制される。その結果、シートの変形や破損を抑制することができる。したがって、本実施の形態のシート取り出し方法によれば、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。また、上述のように、本実施の形態のシート取り出し装置１は、上記本実施の形態のシート取り出し方法の実施に用いることができる。したがって、本実施の形態のシート取り出し装置１によれば、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことができる。
【００２７】
また、本実施の形態のシート取り出し装置１は、取り出すべき１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシートの主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０との間に空気などの気体を吹き付ける噴出部をさらに備えていてもよい。より具体的には、図９を参照して、シート取り出し装置１の規制部４０に当該噴出部としての噴出孔４０ａが形成されていてもよい。噴出孔４０ａは、空気などの気体が通過する気体流路４０ｂと、当該気体が外部に放出される部分である開口部４０ｃとを有している。また、図９に示すように、噴出孔４０ａは、開口部４０ｃがシート１０の主表面１０ａに対して水平方向より下方側を向くように形成されている。
【００２８】
また、本実施の形態のシート取り出し方法の工程（Ｓ２０）では、規制部４０が突出部２０ｂに接触した状態を維持しつつ保持部５０を上昇させる際、図９に示すように最上部にある１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０との間に空気を吹き付けつつ、当該１枚のシート１０が取り出されてもよい。これにより、当該１枚のシート１０とセパレータ２０との間の真空吸着状態がより容易に破壊され、より速やかに剥離させることができる。その結果、シートの取り出しがより容易になる。このとき、噴出孔４０ａの開口部４０ｃをシート１０の主表面１０ａに対して水平方向より下方側に向け、セパレータ２０に向けて空気を吹き付けることがより好ましい。これにより、図９中矢印に示すように、吹き付けられた空気がセパレータ２０の表面に沿って流れ、シート１０とセパレータ２０との間により効率的に空気を送り込むことができる。また、噴出孔４０ａより吹き付ける空気は、通常の空気であってもよいが、イオナイザを通した空気であってもよい。これにより、シート１０とセパレータ２０との間に生じた静電気を除電することが可能となり、シート１０とセパレータ２０とを一層速やかに剥離することができる。
【００２９】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態２のシート取り出し装置およびシート取り出し方法について説明する。まず、本実施の形態のシート取り出し装置について説明する。本実施の形態のシート取り出し装置２は、基本的には実施の形態１のシート取り出し装置１と同様の構成を有し、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態のシート取り出し装置２は、保持部５０の構成において実施の形態１のシート取り出し装置１とは異なっている。
【００３０】
図１０〜図１２を参照して、シート取り出し装置２において、保持部５０は、本体部５１および複数の吸着パッド５２に加え、可動部５３と、連結部５９と、エアシリンダ５４と、シャフト５５とをさらに有している。連結部５９は、ヒンジ５６を介して本体部５１の端部に接続されている。連結部５９の本体部５１に接続される側とは反対側には、可動部５３が配置されている。複数の吸着パッド５２は、本体部５１および可動部５３のそれぞれにおいて脚部５８の先端部に配置されている。また、連結部５９の中央部には、上下方向（図１２中矢印に示す方向）において、たとえば５ｍｍのストロークで動作するエアシリンダ５４のシャフト５５がヒンジ５６を介して配置されている。そのため、可動部５３は、シャフト５５の動作に連動して、シートを取り出す方向（上下方向）において本体部５１に対して相対的に移動可能となっている。このように、シート取り出し装置２の保持部５０は、上記構成を有することにより、可動部５３に配置された吸着パッド５２が本体部５１に配置された吸着パッド５２に対して上下方向において相対的に移動可能に構成されている。
【００３１】
次に、本実施の形態のシート取り出し方法について説明する。本実施の形態のシート取り出し方法は、基本的には実施の形態１のシート取り出し方法と同様の工程により実施され、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態のシート取り出し方法は、シート取り出し工程（Ｓ２０）において実施の形態１のシート取り出し方法とは異なっている。また、本実施の形態のシート取り出し方法は、上記本実施の形態のシート取り出し装置２を用いて実施される。
【００３２】
まず、工程（Ｓ１０）として、積層体準備工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、実施の形態１と同様に、複数のシート１０と、隣り合うシート１０の間のそれぞれに配置されるセパレータ２０とを含む積層体３０が準備される（図１および図２参照）。
【００３３】
次に、工程（Ｓ２０）として、シート取り出し工程が実施される。この工程（Ｓ２０)では、まず、実施の形態１と同様に、シート取り出し装置２の保持部５０および規制部４０を積層体３０の上方に移動させる。次に、実施の形態１と同様に、保持部５０の吸着パッド５２と規制部４０とを、積層体３０の最上部にある１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０の突出部２０ｂとにそれぞれ接触させる。次に、図１３を参照して、規制部４０が突出部２０ｂに接触しセパレータ２０の上下方向への移動が規制された状態を維持しつつ、エアシリンダ５４を動作させることにより、可動部５３に配置された吸着パッド５２のみを、たとえば５ｍｍ上昇させる。これにより、当該１枚のシート１０の端部において、当該１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０とが剥離する。次に、図１４を参照して、規制部４０の位置を維持しつつ、移動機構（図示しない）を動作させることにより、保持部５０全体を上昇させる。これにより、当該１枚のシート１０の主表面１０ａの全面において、当該１枚のシート１０と当該１枚のシート１０の下側において当該１枚のシート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０とが剥離し、当該１枚のシート１０が取り出される。このようにして上記工程（Ｓ１０）および（Ｓ２０）が実施されることにより、本実施の形態のシート取り出し方法が完了する。
【００３４】
以上のように、本実施の形態のシート取り出し方法では、予め、取り出すべき１枚のシート１０の端部において、当該１枚のシート１０とセパレータ２０とを剥離することにより、当該１枚のシート１０において上記剥離により加わる力の範囲を狭小化し、その大きさを低減することができる。したがって、本実施の形態のシート取り出し方法では、剥離により加わる力を抑制することにより、シートの変形や破損をより効果的に抑制することができる。
【００３５】
（実施の形態３）
次に、本発明のさらに他の実施の形態である実施の形態３のシート取り出し装置およびシート取り出し方法について説明する。まず、本実施の形態のシート取り出し装置の構成について説明する。本実施の形態のシート取り出し装置３は、基本的には実施の形態１のシート取り出し装置１と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態のシート取り出し装置３は、保持部５０の構成において、実施の形態１のシート取り出し装置１とは異なっている。
【００３６】
図１５を参照して、シート取り出し装置３の保持部５０は、吸着パッドに代えて、シート１０の主表面１０ａの全面にわたり接触可能な保持面５０ａを有している。また、保持面５０ａを含む領域には多孔質部材５７が配置されている。多孔質部材５７は、その孔内が保持部５０の内部から減圧可能となっており、これにより保持面５０ａにおいてシート１０を吸着保持することができる。また、保持面５０ａを含む領域には、上述のように多孔質部材５７が配置されていてもよいが、多数の微細な吸着孔が形成されていてもよい。
【００３７】
次に、本実施の形態のシート取り出し方法について説明する。本実施の形態のシート取り出し方法は、基本的には実施の形態１および２のシート取り出し方法と同様の工程により実施され、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態のシート取り出し方法は、シート取り出し工程（Ｓ２０）において実施の形態１および２のシート取り出し方法とは異なっている。また、本実施の形態のシート取り出し方法は、上記本実施の形態のシート取り出し装置３を用いて実施される。
【００３８】
まず、工程（Ｓ１０）として、積層体準備工程が実施される。この工程（Ｓ１０）では、実施の形態１および２と同様に、複数のシート１０と、隣り合うシート１０の間のそれぞれに配置されるセパレータ２０とを含む積層体３０が準備される（図１および図２参照）。
【００３９】
次に、工程（Ｓ２０）として、シート取り出し工程が実施される。この工程（Ｓ２０)では、まず、実施の形態１および２と同様に、シート取り出し装置２の保持部５０および規制部４０を積層体３０の上方に移動させる。次に、移動機構（図示しない）を動作させることにより、保持部５０と規制部４０とを積層体３０側に接近させる。これにより、実施の形態１および２と同様に、規制部４０がセパレータ２０の突出部２０ｂに接触するとともに、シート１０の主表面１０ａの全面が保持部５０の保持面５０ａに接触する。そして、保持面５０ａを含む領域に配置された多孔質部材５７の孔内を保持部５０の内部から減圧することにより、シート１０が保持部５０に吸着保持される。次に、規制部４０が突出部２０ｂに接触し、セパレータ２０の上下方向への移動が規制された状態を維持しつつ、保持部５０を上昇させる。これにより、シート１０と当該シート１０の下側において当該シート１０の主表面１０ａに接触して配置されるセパレータ２０とが剥離し、当該シート１０が取り出される。このように、この工程（Ｓ２０）では、取り出すべき１枚のシート１０の主表面１０ａの全面が当該１枚のシート１０を保持する保持部５０に接触しつつ当該１枚のシートが取り出される。
【００４０】
以上のように、本実施の形態のシート取り出し方法では、シート１０の主表面１０ａの全面が保持部５０に接触した状態で当該シート１０が取り出されるため、シート１０とセパレータ２０との剥離の際に生じる力によるシート１０の変形や破損をより効果的に抑制することができる。また、実施の形態１および２のシート取り出し方法のように吸着パッド５２を用いて局所的にシート１０を保持する場合に比べて、シート１０に集中的に力が加わることが抑制され、シート１０の変形や破損をより効果的に抑制することができる。
【００４１】
また、上記本発明の実施の形態１〜３のシート取り出し装置およびシート取り出し方法は、上述のように、セラミックグリーンシートなどの脆弱なシートの取り出しにおいて好適に採用することができるが、これに限られるものではない。たとえば、薄いガラス板、シリコン基板、あるいは脆性的な樹脂からなるシートの取り出しにおいても、上記本発明のシート取り出し装置およびシート取り出し方法を採用することができる。
【００４２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明のシート取り出し方法およびシート取り出し装置は、積層された複数のシートからシートの変形や破損を抑制しつつ、シートを１枚ずつ容易に取り出すことが要求されるシート取り出し方法およびシート取り出し装置において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００４４】
１，２，３  シート取り出し装置、１０  シート、１０ａ  主表面、２０  セパレータ、２０ａ  接触部、２０ｂ  突出部、３０  積層体、４０  規制部、４０ａ  噴出孔、４０ｂ  気体流路、４０ｃ  開口部、５０  保持部、５０ａ  保持面、５１  本体部、５２  吸着パッド、５３  可動部、５４  エアシリンダ、５５  シャフト、５６  ヒンジ、５７  多孔質部材、５８  脚部、５９  連結部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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