(57)【要約】      （修正有）【課題】熱による膨張と収縮のバランスが取れ、微細部材を微細部分へ面状に圧着することが容易な熱変形部材を提供する。【解決手段】熱収縮性繊維と弾性マトリックス樹脂を含む熱変形部材１，２であって、幅方向断面が矩形を示し、熱収縮性繊維は、断面と同一面積の円において計算される最密充填繊維本数の３０〜９１％の割合で含まれており、タイプＡデュロメータで測定した熱変形後の硬度が６５〜１００である熱変形部材である。【選択図】図１
2013162043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱収縮性繊維と弾性マトリックス樹脂を含む熱変形部材であって、幅方向断面が矩形を示し、熱収縮性繊維は、断面と同一面積の円において計算される最密充填繊維本数の３０〜９１％の割合で含まれており、タイプＡデュロメータで測定した熱変形後の硬度が６５〜１００であることを特徴とする熱変形部材。
【請求項２】
熱収縮性繊維を熱収縮させた後に厚みが６％以上増加する請求項１に記載の熱変形部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱によって厚みが増大する熱変形部材に関するものであり、熱収縮性繊維と弾性マトリックス樹脂とを組み合わせ、繊維の熱収縮とマトリックス樹脂の弾性を利用して、被圧着部材を固定することのできる熱変形部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体やＭＥＭＳ（「Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ；微小電気機械システム」の略称）実装分野では、部品の熱膨張や締結の緩みを調整する機構として弾性ゴムやコイルバネ或は板バネといった部品を用いることが多く、これらを実装する場合、治具で圧縮しながら装着または装填する作業が必要であった。また、特に放熱に対する要求が高く、部品の小型化と共に放熱用構成部材も小型化され、狭い隙間空間での装着または装填は、煩雑かつ困難であった（例えば特許文献１）。しかし、この発明では、冷却ブロック内の伝熱支柱をバネで押さえＩＣパッケージと接圧させることで、放熱性能を得るという点では改良されたものの、組み付け中に伝熱支柱を押さえたバネが外れて紛失したり、最悪の場合、バネが半導体間にまぎれ込み、通電時に短絡（ショート）トラブルを生じ、基板のみならず装置全体の制御機能を失うという点で問題があった。
【０００３】
一方、本願出願人は、熱収縮性繊維を利用した熱収縮性棒状接合材と、これらを複数の被接合部材に設けられた孔に挿入し加熱することで、複数の被接合部材を一体に接合する方法を開示している（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３３８１７３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１８０２６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献２に記載の熱収縮性棒状接合材は、φ１ｍｍ以下のネジが必要な場所でも信頼性の高い接合が可能であり、微細部材を棒状部材で連結することができるが、微細部材を微細部分へ面状に圧着させることはできなかった。
【０００６】
本発明は、従来技術の課題を背景になされたものであり、熱による膨張と収縮のバランスが取れ、微細部材を微細部分へ面状に圧着することが容易な熱変形部材の提供を課題として掲げた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、熱収縮性繊維と弾性マトリックス樹脂を含む熱変形部材であって、幅方向断面が矩形を示し、熱収縮性繊維は、断面と同一面積の円において計算される最密充填繊維本数の３０〜９１％の割合で含まれており、タイプＡデュロメータで測定した熱変形後の硬度が６５〜１００であることを特徴とするものである。
【０００８】
上記熱変形部材において、熱収縮性繊維を熱収縮させた後に厚みが６％以上増加することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の熱変形部材は、半導体やＭＥＭＳ実装作業の際に、圧着させたい二つの部材（例えば半導体素子と基板回路）間の隙間に装填し、加熱するだけで、厚み方向に膨張すると共に、適度な弾力を有するため、半導体素子と基板回路を圧着させることができる。従って、弾性ゴムや金属バネを圧縮しながら装填するための治具や組み付け作業が不要となり、金属バネを用いたときのような短絡トラブルも生じない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】加熱処理前と加熱処理後の本発明の熱変形部材の斜視図である。
【図２】本発明の熱変形部材の断面図の実体顕微鏡写真である。
【図３】本発明の熱変形部材を用いて被圧着体を固着する方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［熱変形部材］
本発明の熱変形部材は、引き揃えられた熱収縮性繊維に、弾性マトリックス樹脂が含浸された構成を有する。熱変形部材に熱が加わると、熱収縮性繊維が収縮すると共に、弾性マトリックス樹脂の厚みが増すため、圧着させたい部材同士を堅固に圧着させることができる。例えば、図１は、加熱処理前と加熱処理後の本発明の熱変形部材の斜視図である。図１の加熱処理前の熱変形部材１においては、熱収縮性繊維は熱変形部材１の長手方向に引き揃えられている。そして、加熱されると熱収縮性繊維が収縮して、変形後の熱変形部材２の長さが短くなると共に、熱変形部材２の厚みが増大する。図１では、熱変形部材２の俯瞰形状は、ほぼ正方形状になっているが、本発明の熱変形部材の形状は、縦横の両断面が矩形であれば、この図１に示す形状には限られない。熱収縮性繊維の引き揃え方向が幅方向であってもよい。熱変形部材の詳細については後述する。
【００１２】
［熱収縮性繊維］
熱収縮性繊維は、加熱により収縮する繊維であり、例えば、結晶性ポリマー、非晶性ポリマーのいずれであってもよいが、収縮率および収縮応力が高く、収縮後のクリープが小さい結晶性ポリマーの繊維であることが好ましい。熱収縮性繊維を構成するポリマーの具体例としては、芳香族ポリエステル、種々のグリコールを用いたポリエステル、芳香族ポリアミド、脂肪族ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニルエーテル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリケトン、ポリエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、これらのポリマーを構成するモノマーを共重合したコポリマーが挙げられる。中でも、特に紡糸延伸工程で高収縮糸が作りやすい観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＴＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）が好ましい。またＰＥＴに共重合成分を加えてガラス転移温度（Ｔｇ）を調整することで、熱収縮性繊維を得るのも好ましい態様である。
【００１３】
熱収縮性繊維は、繊維を構成するポリマーのＴｇ＋５℃の温度で、２０％以上の熱収縮率を有することが好ましい。例えばポリフェニレンサルファイド（以下ＰＰＳと表記）のマルチフィラメント糸は、Ｔｇが９０℃付近であり、９５℃の乾熱処理で収縮率が７０％となるため、本発明における好ましい繊維の一つである。製造段階で、速い紡糸速度と低温での延伸を採用することで、結晶化によって定形化した部分が減少するため、高い熱収縮率を有することができる。このＴｇ＋５℃の温度での熱収縮率は、好ましくは４０％以上であり、さらに好ましくは５０％以上である。
【００１４】
熱変形部材に用いる熱収縮性繊維の熱応力は２．６〜３．５ｍＮ／ｄｔｅｘが好ましい。熱応力が２．６ｍＮ／ｄｔｅｘより小さい熱収縮性繊維を用いると、得られる熱変形部材を加熱処理しても、マトリックス樹脂のゴム弾性の力よりも繊維の収縮力が小さくなって、熱変形し難いおそれがある。このような熱応力が小さい熱収縮性繊維は、延伸処理条件によって繊維の配向不足が起こったり、配向結晶化が進んだりしたためであると考えられる。一方、熱応力が３．５ｍＮ／ｄｔｅｘを超えることは技術的に難しい。
【００１５】
熱変形部材に用いる熱収縮繊維の弾性率（初期引張抵抗力）は３０〜１１０ｃＮ／ｄｔｅｘが好ましく、さらに好ましくは３３〜５７ｃＮ／ｄｔｅｘである。弾性率が３０ｃＮ／ｄｔｅｘより小さいと、マトリックス樹脂のゴム弾性によって、熱収縮時に繊維の収縮力が発現されず、変形できない。一方、弾性率が１１０ｃＮ／ｄｔｅｘを超えると、繊維の配向結晶化が進んでいることを意味し、上記の熱収縮率が２０％以上の熱収縮性繊維を得ることが難しいため好ましくない。
【００１６】
熱収縮性繊維の形態としては、例えば、糸（モノフィラメント糸、マルチフィラメント糸、紡績糸、スリット糸、トウ）、織物（リボン）、紐（組紐、撚紐）、編み地（横編み、縦編み）、熱収縮フィルムテープ等が挙げられるが、繊維を同一方向に引き揃えて収縮方向を一定方向に限定するためには、糸を用いることが好ましい。また、これらの繊維の断面形状は、中実断面、中空断面、丸断面、異型断面のいずれでもよく、例えば断面形状が矩形の板状熱変形部材において、弾性マトリックス樹脂を繊維間に担持しやすい中実断面のマルチフィラメント糸を用いることが好ましい。
【００１７】
熱変形部材に用いる熱収縮性繊維の使用量は、熱変形部材の形状や繊維の太さによって異なるが、熱変形部材の最密充填繊維本数の３０〜９１％とする。この範囲であれば、弾性マトリックス樹脂の弾性と、熱収縮性繊維による収縮力とのバランスが取れ、熱変形部材の変形量が適正な範囲となる。最密充填繊維本数の３０％未満では、加熱処理時に熱収縮性繊維を熱収縮させても、繊維の太さ方向（繊維軸から繊維外表面へ向かう方向）への繊維膨張を弾性マトリックス樹脂が吸収してしまい、熱変形部材の厚みが大きくならず、被圧着部材に対する固定効果が得られない。また、熱収縮性繊維の収縮力が、樹脂のゴム弾性よりも小さすぎて、収縮しないという問題が生じる。逆に、熱収縮性繊維量が最密充填繊維本数の９１％を超えると、熱変形部材を成型する際に、熱収縮性繊維のマトリックス樹脂への均一な含浸が困難となるばかりか、弾性マトリックス樹脂と熱収縮性繊維の接着が弱くなり、加熱処理時に熱変形部材に割れ（収縮割れ）が生じてしまう。より好ましい繊維量の上限は、最密充填繊維本数の９０％であり、さらに好ましくは８５％である。
【００１８】
ここで、最密充填繊維本数とは、本発明の断面矩形状の熱変形部材の断面積と同一の円の面積に充填できる最大の繊維本数を意味し、以下の式で計算される。
【００１９】
単糸径（ｄ）
【００２０】
【数１】
2013162043.tif 000003
【００２１】
熱変形部材の断面積（Ｓ；円相当面積、Ｄ；直径）
【００２２】
【数２】
2013162043.tif 000004
【００２３】
最密充填時に単糸１本が占める断面積（ｓ）
【００２４】
【数３】
2013162043.tif 000005
【００２５】
最密充填本数（本）
【００２６】
【数４】
2013162043.tif 000006
【００２７】
なお、上記式中、ｘは単糸繊度（ヤーンのｄｔｅｘ／フィラメント数：ｄｔｅｘ／ｆ）であり、ρは繊維の比重である。本発明では、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）では１．３４、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）では１．３８を採用した。
【００２８】
［弾性マトリックス樹脂］
熱変形部材に用いられる弾性マトリックス樹脂としては、弾性力を有するゴム類や樹脂系エラストマーが好適である。具体的には、天然ゴム、ニトリルゴム、シリコーンゴム、ＴＥＥ−ＰＲ系ゴム、フッ素ゴム等のゴム類や、軟質塩化ビニル樹脂、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマー、バイトン（デュポンエラストマー株式会社の登録商標）等のフッ素系エラストマー、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、常温硬化型あるいは熱硬化型シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アクリル系のＵＶ硬化型樹脂（特に電気化学工業社製の「ハードロック（登録商標）ＯＰ−５０２０ＰＢ」）等が挙げられる。中でも、柔軟性、電気絶縁性、繊維接着性に優れた上記ＵＶ硬化型樹脂やシリコーンゴムまたはシリコーン樹脂が好適である。シリコーンゴム（樹脂）としてはＲＴＶ（室温硬化型）シリコーンゴム（樹脂）が好ましく、例えば、信越シリコーン社製の「ＫＥ−３４７Ｗ」、「ＫＥ−３４７５Ｗ」、「ＫＥ−３４９５Ｗ」、「ＫＥ−４５Ｓ」、「ＫＥ−１０３１−Ａ／Ｂ」、「ＫＥ−１２０４−Ａ／Ｂ」、「ＫＥ−１２８０−Ａ／Ｂ」等を挙げることができる。
【００２９】
弾性マトリックス樹脂の硬化前の粘度は、１〜５５Ｐａ・ｓ（２５℃での測定値）が好ましく、より好ましくは１〜１０Ｐａ・ｓ、さらに好ましくは１〜５Ｐａ・ｓである。弾性マトリックス樹脂粘度が１Ｐａ・ｓ未満では、熱収縮性繊維束に付与すると、液だれが生じるおそれがある。一方、５５Ｐａ・ｓを超えると、樹脂の粘性が低下するため、熱収縮性繊維同士の間に樹脂が侵入しにくく、均一な含浸状態を確保できないおそれがある。また、後述する型枠を用いて熱変形部材を作製する際に、弾性マトリックス樹脂を付与した後の熱収縮性繊維束を型枠（直方体状の穴）の中に引き込む際に、余剰分の樹脂を取り除くことができなくなって、型枠の中へ引き込むことができなくなるおそれがある。
【００３０】
弾性マトリックス樹脂には、熱変形部材の熱収縮を阻害しない範囲において、顔料、抗菌剤、防かび剤、防虫（防ダニ）剤（忌避剤）、抗アレルゲン剤（アレルギー沈静化剤）、吸放湿剤、吸湿発熱剤、相変換型温度調節剤（ＭＣＰ）、芳香剤、吸水剤、撥水剤、撥水撥油剤、防汚剤、耐光剤、耐候剤、光触媒系加工剤、柔軟剤、硬化剤、架橋剤、ダル剤等を混合してもよい。これらの添加剤を含む場合も、添加剤を含めたもの全体を弾性マトリックス樹脂と定義する。
【００３１】
［熱変形部材］
本発明の熱変形部材は、前記した範囲の量の熱収縮性繊維が弾性マトリックス樹脂に含浸したものである。図２に、実体顕微鏡にて４００倍で撮影した熱変形部材の断面写真を示す。丸い島が熱収縮性繊維で、島を囲む海がマトリックス樹脂である。
【００３２】
本発明の熱変形部材の横断面形状（部材の幅方向に平行な断面）、縦断面形状（部材の長さ方向に平行な断面）は、いずれも矩形とする。すなわち、本発明の熱変形部材は平板状である。微細部材を微細部分に固定するには、平板状であることが有利だからである。また、任意の長さにカットしたり、複数枚を重ねて使用する等、適用範囲が広くなる。熱変形部材の俯瞰形状は正方形でもよいが、通常、長さ方向を有する長方形である。
【００３３】
熱変形部材は、ＵＶ、空気中の湿気、加熱等によって一次硬化させた後（熱収縮前（熱変形前））のタイプＡデュロメータによる硬度（２５℃での測定値）として６５以下が好ましく、６０以下がより好ましく、５５以下がさらに好ましい。硬度が６５を超えると、熱収縮性繊維の熱収縮を阻害してしまうおそれがある。ゴム弾性を保持しながら圧着対象物を固定できる程度であれば、硬度の下限は特に限定されないが、２０程度が好ましく、２５程度がより好ましい。
【００３４】
熱変形部材の厚みは、弾性マトリックス樹脂の硬化システムによって調整することが好ましい。例えば弾性マトリックス樹脂としてＵＶ硬化型樹脂を用いる場合の厚みは、０．１〜３．０ｍｍが好ましく、より好ましくは０．３〜２．５ｍｍであり、０．５〜２．０ｍｍがさらに好ましい。厚みが０．１ｍｍ未満では、熱変形後に、被圧着部材を固定するだけの充分な厚みが得られにくく、圧着固定が不充分となることがある。逆に、厚みが３．０ｍｍを超えると、熱収縮性繊維によってＵＶ光の透過が遮られて、熱変形部材の中心付近まで充分に硬化しないことがあり、この場合は、繊維が熱収縮する時に、マトリックス樹脂の未硬化部分が割れ（収縮割れ）を起こすおそれがあるため好ましくない。
【００３５】
一方、弾性マトリックス樹脂として、熱硬化型シリコーン樹脂や常温硬化型シリコーン樹脂を用いる場合は、厚み方向における硬化状態のバラツキはほとんどないため、４．５ｍｍ程度の厚みの熱変形部材を作製することも可能である。ただし、微細部材を微細部分に圧着固定するという本発明の熱変形部材の特徴からすれば、厚みは固着力が確保できる程度にあればよい。
【００３６】
熱変形部材の熱変形後の厚みは、変形前の厚みの６％以上であることが好ましい。厚み増加率が６％以上であれば、２個の被圧着部材をしっかりと固定することができる。より好ましくは７％以上であり、さらに好ましくは１０％以上である。上限は特に限定されず、被圧着部材の離間間隔や、微細部分の大きさに応じて、適宜変更可能である。厚み増加率は、最密充填繊維本数に対する使用繊維本数の割合や、熱収縮性繊維の熱収縮率および弾性マトリックス樹脂の弾性力によって、変更することができる。
【００３７】
熱変形部材の全長は特に限定されないが、圧着対象の部材（被圧着部材）の全長の０．５〜３倍が好ましく、より好ましくは１〜２倍である。２つの被圧着部材の全長が異なる場合は、短い方を基準とする。熱変形部材の全長が被圧着部材の全長の０．５倍未満では、熱変形後の熱変形部材と被圧着部材との接触面積が小さいため、被圧着部材がずれたり、脱落して、うまく固定できないことがある。熱変形部材の全長が被圧着部材の全長の３倍を超えると、熱変形後の熱変形部材の端部が被圧着部材の片側や両側にはみ出して、このはみ出し部分を切り取る必要性が生じたりするおそれがあるため、好ましくない。
【００３８】
［熱変形部材の製造方法］
熱変形部材は、前記した範囲の本数の熱収縮性繊維を長手方向に引き揃えた熱収縮性繊維束を製造し、弾性マトリックス樹脂をこの熱収縮性繊維束に付与し、硬化させることで製造できる。熱収縮性繊維束は、枷巻き機で必要本数の熱収縮性繊維を巻き取って作製してもよいし、必要長さおよび必要本数の繊維を準備して、同時に引き揃えても構わない。
【００３９】
弾性マトリックス樹脂を付与する際には、熱収縮性繊維束を開繊することが好ましい。一旦、引き揃えた熱収縮性繊維束を開繊することで、弾性マトリックス樹脂を繊維間に充分に付与することができる。開繊は、エアーブロー法、静電気印加法、櫛掛け法の他に、ローラ、平滑な金属棒、ガラス棒、フッ素樹脂製の棒等を当てる等の方法でも行える。
【００４０】
弾性マトリックス樹脂の付与方法は、例えば弾性マトリックス樹脂浴に、熱収縮性繊維束を浸漬する方法や、熱収縮性繊維束に弾性マトリックス樹脂を滴下したり塗布したりする方法がある。弾性マトリックス樹脂を繊維に付与した後は、コータナイフ、スキージ、加圧エア、ゴムローラ、転写ローラ、平滑な金属棒を当てて樹脂表面を均すことによって、余分な弾性マトリックス樹脂を掻き取りながら除去することが好ましい。また、ダイスを通過させてもよい。この余分な弾性マトリックス樹脂の除去工程では、脱泡効果、板状への形状調整効果、繊維と樹脂の接着性向上効果も同時に得られる。
【００４１】
より確実に脱泡を行うため、熱収縮性繊維束に弾性マトリックス樹脂を付与した後に、例えば、−０．１ＭＰａ程度まで真空引き可能な容器内で脱泡処理を行い、弾性マトリックス樹脂中や繊維間に含まれている空気を除去することが好ましい。脱泡が不充分だと、熱変形部材を加熱して熱収縮性繊維を熱収縮させたときに、収縮割れが起こることがある。
【００４２】
続いて、弾性マトリックス樹脂を付与した熱収縮性繊維束を型枠へ引き込み、ＵＶ硬化、常温硬化または熱硬化させる。型枠は、熱変形部材形状の空間が形成されたものであり、硬化システムに応じて素材を選択する必要がある。
【００４３】
例えば、弾性マトリックス樹脂としてＵＶ硬化型樹脂を用いる場合には、ＵＶ照射側は透明にする必要があるので、型枠として、例えば、信越シリコーン社製のＫＥ−１６０６やＫＥＲ−２５００−Ａ／Ｂ等の透明タイプのＲＴＶシリコーンゴムを用いるとよい。また、プレス用板材とスペーサー材とからなる組合せ型枠を用いることもできる。例えば、透明又は半透明のシリコーン樹脂板、ポリエチレン板、ポリスチレン板、石英ガラス板、ソーダガラス板等をプレス用板材として用い、ポリエチレン製シートやポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製シートをスペーサー材として用いることができる。これらのスペーサー材は、弾性マトリックス樹脂との接着作用がほとんどなく、熱変形部材を型枠から容易に剥離できるが、石英ガラス板、ソーダガラス板、ポリスチレン板といったプレス用板材では、ＵＶ硬化型樹脂と接着作用があるため、予め、ポリエチレン製フィルムやシリコーン樹脂製シートを、ＵＶ硬化型樹脂表面とプレス用板材との間に挟んでおくことが好ましい。シートの厚みはＵＶ透過率の低下に支障のない範囲であればよく、例えば、安価で入手が容易な０．０６〜０．２５ｍｍ程度のポリエチレンフィルムが好ましいものとして挙げられる。なお、スペーサー材の高さ（幅）は、作ろうとする熱変形部材の厚みと略同一とする。
【００４４】
弾性マトリックス樹脂にＵＶ硬化型樹脂を用いた場合、型取り用シリコーン樹脂製型枠や組合せ型枠にＵＶ光を透過させて樹脂硬化させるため、これらの型枠のＵＶ照射側には一定以上のＵＶ透過率が必要となる。ＵＶ硬化型樹脂の硬化に必要な中心ＵＶ波長を３６５ｎｍとした場合、ＵＶ透過率は１５％以上が好ましく、より好ましくは３５％以上である。ＵＶ光透過率が１５％未満では熱変形部材が充分に硬化しないか、硬化に時間がかかり、好ましくない。なお、特殊なアクリル板を除いて、一般に流通している厚み３ｍｍの透明アクリル板のＵＶ透過率は１５％未満であるため、ＵＶ硬化型樹脂の型枠としては不適である。
【００４５】
常温硬化型シリコーン樹脂を弾性マトリックス樹脂として用いる場合、硬化には空気中の湿気が必要となるので、組合せ型枠のプレス用板材として、空気中の湿気を通すことができるシリコーン系ワックスを表面に塗付した厚紙や、セロファン等の透湿性フィルムをＳＵＳ製パンチングメタルに張ったプレス用板材を用いるとよい。一方、型取り用シリコーン樹脂製型枠や、金属板、プラスチック板、ゴム板、シリコーン樹脂板、ＰＴＦＥ板といった空気中の湿気を通すことが困難な素材をプレス用板材に使用すると、常温硬化シリコーン樹脂の硬化を妨げるため好ましくない。
【００４６】
熱硬化型シリコーン樹脂に対応可能な型枠は、型取り用シリコーン樹脂製型枠や組合せ型枠のいずれでもよいが、組合せ型枠のプレス用板材には、石英ガラス板、ソーダガラス板、ＳＵＳ製金属板、ポリエチレン製プラスチック板、ＰＴＦＥ板、シリコーン樹脂板が好ましく、熱変形部材を熱硬化させた後に型枠からの離型性が良好なＰＴＦＥ板か、フッ素樹脂をコートした金属板が特に好ましい。熱硬化型シリコーン樹脂の硬化温度は、熱収縮性繊維の収縮開始温度以下であることが好ましく、例えば熱収縮性ＰＥＴ糸を用いる場合は熱硬化型シリコーン樹脂の硬化温度を５０℃未満とし、熱収縮性ＰＰＳ糸を用いる場合は８５℃未満とする。また、熱硬化型シリコーン樹脂の中には、硫黄、リン、窒素化合物、水、有機金属塩等に接すると、硬化障害が生じる製品もあるため、熱収縮性繊維にＰＰＳを用いる場合は、熱硬化型シリコーン樹脂の選択が重要視される。硬化障害の回避手段として熱収縮性ＰＥＴ糸を用いても構わない。
【００４７】
型取り用シリコーン樹脂製型枠や組合わせ型枠を用いて所定の厚みと幅の熱変形部材を得るには、型取り用シリコーン樹脂製型枠自体の締め付け力をシリコーン樹脂のゴム弾性で調整することが好ましく、組合せ型枠の場合は、上下のプレス用板材を締め付けた状態で弾性マトリックス樹脂を硬化させることが好ましい。締め付けた状態で硬化させることにより、熱収縮性繊維の単糸と弾性マトリックス樹脂との接着性の向上、ボイド発生の回避、成型寸法安定性の向上、熱処理時に収縮割れが生じない、等の効果が得られる。
【００４８】
締め付け方法としては、硬化システムがＵＶ硬化の場合、ＵＶ照射を遮らないように締め付けられれば特に限定されない。例えば、プレス機を使う方法の他、ボルト留め、バネ留め、ゴムバンド留め、ピンチ留め、重しを使う方法等がある。
【００４９】
硬化した熱変形部材を型枠から回収するには、型取り用シリコーン樹脂製型枠の端から熱変形部材を引き抜く、組合せ型枠の締め付けを緩めて熱変形部材を引き抜く、あるいは組合せ型枠を分解する方法がいずれも採用できる。組合せ型枠から回収した熱変形部材にバリ（熱収縮性繊維束へ付与したマトリックス樹脂がプレス用板材とスペーサ材間へ入り込み硬化したもの）が生じた場合は、バリを削り取ればよい。
【００５０】
［熱変形部材を用いた固定方法］
本発明の熱変形部材は、加熱により熱収縮性繊維が長さ方向に収縮すると共に、厚み方向に膨張する。熱変形部材中のマトリックス樹脂は弾性を有しており、弾性樹脂の厚みが増大することで、被圧着部材同士を固定することができる。すなわち、被圧着部材同士の離間間隔がＸであり、熱変形部材の変形後の厚みがＹのとき、Ｘ＜Ｙであれば、被圧着部材は変形後の熱変形部材によって固定される。具体的な熱変形部材の熱変形による厚みの増加率は、６％以上が好ましく、７％以上がより好ましく、１０％以上がさらに好ましい。厚みの増加率が所望の値になるように、弾性マトリックス樹脂に対する熱収縮性繊維の本数を、前記した最密充填本数の３０〜９１％にするとよい。
【００５１】
半導体やＭＥＭＳ実装分野において、微細部材を微細部分に固定したい場合は、両者の離間間隔Ｘよりも厚みの薄い熱変形部材を両者の間に置き、加熱することで、両者をしっかり固定することができる。本発明の熱変形部材のマトリックス樹脂は弾性を有しているので、確実に固定できる。なお、熱変形部材の変形前の厚みがＹ’のとき、Ｘ／Ｙ’は１．１〜１．５が好ましい。１．１未満では作業性に劣り、１．５を超えると熱変形部材を変形させても、固定ができないことがある。
【００５２】
また、型枠を用いて固定させてもよい。図３には、型枠を用いた固定方法の説明図を示した。圧着対象物６の上に載置された加熱処理前の熱変形部材１と型枠７との間には隙間があるが、加熱処理を行うことで、熱変形部材２は厚みが膨張して型枠７に接触すると同時に、圧着対象物６側に押しつけられるので、熱変形部材２と圧着対象物６とが強固に固着することとなる。
【００５３】
加熱処理は、繊維のＴｇ−１０℃以上の温度で行う。熱源としては、熱風、沸騰水、６５℃〜１６０℃の水蒸気、熱媒、マイクロウエーブ等が挙げられる。処理が簡単で、取扱いやすいことから、熱風、沸騰水、加熱されたコテ等による接触加熱が好ましい。具体的な加熱温度は、例えば熱収縮性繊維がＰＰＳマルチフィラメント糸なら８０℃〜１６０℃、ＰＥＴマルチフィラメント糸なら６５℃〜１７０℃が好ましい。より好ましくは繊維のＴｇ−５℃〜１６０℃である。加熱温度がＴｇ−１０℃未満では熱収縮性繊維が収縮しにくいため、熱変形部材の十分な熱変形が得られないことがあり、逆に温度が高すぎると熱収縮性繊維の緩和が生じるため、やはり熱変形部材としての所定の収縮力が得られないことがあるため、好ましくない。
【００５４】
熱変形部材の加熱時間は部材の大きさや加熱温度に依存するが、１秒〜３０分が好ましく、より好ましくは５秒〜１５分、さらに好ましくは１０秒〜５分である。加熱時間が１秒未満であると熱変形部材の収縮ムラが生じるため十分な熱変形が得られず、逆に３０分を超えると、バッチ処理サイクル数の低下といった問題や熱変形部材に含まれる熱収縮性繊維の緩和が進行するため好ましくない。
【００５５】
熱変形部材を加熱処理によって熱変形させた後は、変形後の熱変形部材によって固定された被圧着部材の使用温度範囲は、Ｔｇ−２０℃以下が好ましく、より好ましくはＴｇ−３０℃以下である。使用温度を超える温度で長期間使用すると、一旦収縮した繊維のクリープ緩和が進み、熱変形した熱変形部材の形状が元の形状に近いところまで戻ってしまうため好ましくない。使用温度の下限は特に限定されないが、通常、環境温度（−１０℃）以上であれば問題はない。
【００５６】
熱変形部材が変形した後の硬度は、タイプＡデュロメータで２５℃で測定した値として６５〜１００である。硬度が６５未満では、熱変形部材が熱変形時に、力の逃げやすい方向へ変形してしまう。例えば、前記した図３のように、熱変形部材を型枠と圧着対象物との間に挿入して熱変形させると、硬度不足の場合は圧着対象物を押さえきれずに、熱変形部材が厚み方向よりも優先的に幅方向に変形してしまう。一方、硬度が１００を超えると、熱変形時の熱の伝わり方によっては、熱変形部材がその表面から硬くなり、熱変形部材の深部に近い部分の熱収縮性繊維の熱収縮を阻害して、充分な熱変形が得られなかったり、弾性マトリックス樹脂の弾性に基づくクッション機能を阻害してしまう。例えば、前記した図３のように、熱変形部材を型枠と圧着対象物との間に挿入して熱変形させて圧着対象物を押さえつけたとしても、使用中の振動等で緩み、固定位置がずれたり、最悪の場合では圧着対象物が脱落してしまう。なお、熱変形部材が熱変形後に硬くなるのは、熱変形部材中の熱収縮性繊維が熱収縮に伴い胴太り（繊維径が大きくなる）して繊維同士が密着するためであると考えられる。
【００５７】
熱変形後の硬度が上記の範囲であれば、熱変形時に厚み方向以外に適度に幅方向にも広がるので、微細な部材（被圧着部材）を微細部分（被圧着部材）に面状で固定する作用に優れている。
【実施例】
【００５８】
以下実施例によって本発明をさらに詳述するが、下記実施例は本発明を制限するものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施することは全て本発明に包含される。まず、各特性の測定方法を説明する。
【００５９】
１．熱収縮性繊維として用いた糸（熱収縮性糸）の強度、伸度、弾性率
本発明における熱収縮性糸の強度、伸度、弾性率は、オリエンテック社製「テンシロン（登録商標）」を用い、試料長２００ｍｍ（チャック間長さ）、伸長速度１００％／分の条件で歪−応力曲線を測定して、求めた。測定環境は、雰囲気温度２０℃、相対湿度６５％とした。最大応力をヤーンのデシテックスで割り返した値を強度（ｃＮ／ｄｔｅｘ）とし、そのときの伸び率を伸度（％）とした。また、弾性率（初期引張抵抗力；ｃＮ／ｄｔｅｘ）は、歪−応力曲線の初期の接線の傾きから求めた。なお、各値は５回の測定の平均値を使用した。
【００６０】
２．熱収縮性糸の熱水収縮率
ＪＩＳ  Ｌ  １０１３  ８．１８．１  熱水収縮率（Ｂ法）に準じ、試料に初荷重をかけ、正しく５００ｍｍを測って２点を打った。試料を、熱水中に３０分浸漬した後、取り出して吸取紙または綿布で水を拭き取り、水平状態で風乾させた。なお、熱水温度は、５０℃、６０℃、７０℃、８０℃、９０℃、１００℃の６種類とした。風乾後に再度、初荷重をかけて２点間の長さＬ１（ｍｍ）を測定した。熱水収縮率（ＳＨＷ）（％）は次式により求めた。
熱水収縮率（ＳＨＷ）＝［（５００−Ｌ１）／５００］×１００（％）
【００６１】
３．熱収縮性糸の乾熱収縮率
ＪＩＳ  Ｌ  １０１３  ８．１８．２  乾熱収縮率（Ｂ法）に準じ、試料に初荷重をかけ、正しく５００ｍｍを測って２点を打った。試料を、乾燥機中につり下げ、３０分放置後、取り出して室温まで冷却した。なお、乾燥機温度は、ＰＰＳの場合は、５０℃、６０℃、７０℃、８０℃、９０℃、９５℃、１００℃、１１０℃、１３０℃、１５０℃の１０種類とし、ＰＥＴの場合は、５０℃、６０℃、７０℃、８０℃、９０℃、９５℃、１００℃、１２０℃、１４０℃、１６０℃の１０種類とした。冷却後、再度初荷重を掛け、２点間の長さＬ２（ｍｍ）を測定した。乾熱収縮率（ＳＨＤ）（％）は次式により求めた。
乾熱収縮率（ＳＨＤ）＝［（５００−Ｌ２）／５００］×１００（％）
【００６２】
４．熱収縮性糸のＤＳＣ測定法によるＴｇ測定
ＴＡインスツルメント・ジャパン社製のＤＳＣとその解析ソフトを用いてＴｇを求めた。
冶具          ：アルミニウム製パン
測定温度領域  ：３０℃〜１３０℃
昇温速度      ：１０℃／ｍｉｎ
雰囲気        ：窒素
サンプルをアルミニウム製パンに２．０ｍｇ秤量して、測定を行った。ＴｇはＤＳＣチャートにおいて、ＪＩＳ  Ｋ７１２１−１９８７で定義される温度を採用した。
【００６３】
５．熱収縮性糸の熱応力
セイコー電子工業社製のＴＭＡ−ＳＳ１００を用い、長さ１０ｍｍの熱収縮性糸をサンプルとして、繊度に対し０．０４５倍の初荷重をかけ、３０℃から１８０℃まで２０℃／分で昇温して応力を測定し、最大となるピーク温度と最大値から熱応力（ｍＮ／ｄｔｅｘ）を求めた。
【００６４】
６．熱変形部材に用いた繊維本数と最密充填本数
前記した方法で、最密充填本数を求め、実際に使用した繊維本数とその割合を表に記載した。
【００６５】
７．熱変形性の評価
熱変形部材を長さ２０ｍｍにカットし、長さ、幅、厚みを計測し、９５℃の熱風循環式乾燥機内へ２０分間放置した後、直ちに取り出し、常温（２５℃）まで自然冷却させ、長さ、幅、厚みを計測して、厚み方向の寸法変化率（厚み増加率）を求めた。
【００６６】
８．熱変形前後の硬度
熱変形部材を長さ２０ｍｍにカットして、硬度を測定した（熱変形前の硬度）。また、熱変形部材を長さ２０ｍｍにカットして、９５℃の熱風循環式乾燥機内へ２０分間放置した後、直ちに取り出し、常温（２５℃）まで自然冷却させ、硬度を測定した。硬度は、タイプＡのデュロメータ（高分子計器社製、低圧荷重器ＣＬ−１５０型）を用いて測定した。硬度が硬すぎて、測定器の上限を超えた場合は、「１００超」と記載した。
【００６７】
製造例Ａ（熱収縮性糸；ＰＰＳマルチフィラメントの製造）
３１０℃でのせん断速度１２００／秒での溶融粘度（Ｐａ・秒）によって表されるＭＶ値が１６０のポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ；クレハ社製；フォートロン（登録商標）ＫＰＳ  Ｗ３１２Ｐ）を紡糸速度４０００ｍ／分で溶融紡糸し、引き取った後、送り速度２０ｍ／分の延伸装置で７５℃に加熱した送りローラと室温の引き取りローラとの間で１．３３倍に延伸した。延伸後の繊維から、繊度４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ（フィラメント）のＰＰＳマルチフィラメント糸を得た。このＰＰＳマルチフィラメント糸の繊維の特性、熱収縮挙動を表１、表２に示した。
【００６８】
【表１】
2013162043.tif 000007
【００６９】
【表２】
2013162043.tif 000008
【００７０】
製造例Ｂ（熱収縮性糸；延伸倍率を変更したＰＰＳマルチフィラメント糸の製造）
実施例Ａと同様にＰＰＳを紡糸して未延伸糸を得た。延伸装置で７５℃に加熱した送りローラと室温の引き取りローラとの間で、延伸倍率が、１．１３倍、１．２１倍、１．２８倍、１．４３倍、１．６５倍になるように延伸し、繊度２８．５ｄｔｅｘ／１２ｆ、２６．７ｄｔｅｘ／１２ｆ、２４．４ｄｔｅｘ／１２ｆ、２３．６ｄｔｅｘ／１２ｆ、２０．１ｄｔｅｘ／１２ｆのＰＰＳマルチフィラメント糸を得た。これらのＰＰＳマルチフィラメント糸の繊維の特性を表３に示す。
【００７１】
【表３】
2013162043.tif 000009
【００７２】
製造例Ｃ（熱収縮性糸；ＰＥＴマルチフィラメント糸の製造）
非晶性ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ；東洋紡績社製；ＲＮ１６３ＣＮ）を紡糸速度３０００ｍ／分で溶融紡糸し、引き取った後、送り速度４００ｍ／分の延伸装置で送りローラと引取りローラとの間で１．５倍に冷延伸した。繊度５６．５ｄｔｅｘ／１２ｆのＰＥＴマルチフィラメント糸を得た。このＰＥＴマルチフィラメント糸の繊維の特性、熱収縮挙動を表４、表５に示した。
【００７３】
【表４】
2013162043.tif 000010
【００７４】
【表５】
2013162043.tif 000011
【００７５】
製造例Ｄ（熱変形部材の製造）
熱収縮性糸を枷巻き機で目標の繊維本数が得られるまで巻き取り、ポリエチレン製シート状に巻き取った熱収縮性繊維束を静置し、繊維方向を手で整えた。次いで弾性マトリックス樹脂を適量滴下し、ＰＴＦＥ製スキージで繊維となじませた。弾性マトリックスを付与した熱収縮性繊維束を真空乾燥機内に静置し、−０．１ＭＰａまで減圧して、５分間脱泡処理を行った。その後、徐々に常圧へと戻し、真空乾燥機内から取り出した。
【００７６】
脱泡処理した弾性マトリックス樹脂を付与した熱収縮性繊維束を、シリコーンゴム製型枠または組合せ型枠へ引き込んだ。
【００７７】
弾性マトリックス樹脂がＵＶ硬化型樹脂の場合は、出力２ｋＷの超高圧水銀ランプを有するＵＶ光照射装置でＵＶ光を所定時間照射して熱変形部材を硬化させた。弾性マトリックス樹脂が常温硬化型シリコーン樹脂の場合は、室温下（例えば２５℃、６５％ＲＨ）で２４時間硬化させた。弾性マトリックス樹脂が熱硬化型シリコーン樹脂の場合は、４５℃で１８時間硬化させた。
【００７８】
実施例Ａ−１
幅方向の断面が幅１０ｍｍ、厚み１ｍｍの熱変形部材を作製する。このときの最密充填本数は３６３２８本となる。
【００７９】
熱収縮性糸として、製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を３０８７９本用いた。これは最密充填本数３６３２８本の８５％に相当する。弾性マトリックス樹脂として、ＵＶ硬化型樹脂（電気化学工業社製；ＯＰ−５０２０ＦＢ；アクリル系ＵＶ硬化型樹脂）を用いた。製造例Ｄに示したとおりにして、熱変形部材を製造した。なお、ＵＶ光の照射時間は、片面ずつ３０分間とした。得られた変形部材を型枠から回収し、バリを除くと、長さ１５０ｍｍ、幅１０．４ｍｍ、厚み１．４５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。スペーサー材の高さが１ｍｍであったのに、得られた熱変形部材の厚みが１．４５ｍｍとなったのは、繊維の充填本数が多いため、スペーサー材とプレス用板材との間に余剰樹脂が入り込んで、２枚のプレス用板材の間隔を広くしたためではないかと考えられる（以下においても、同様の現象は同様な理由によるものとする）。
【００８０】
実施例Ａ−２
熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１０８９８本（最密充填本数３６３２８本の３０％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．２ｍｍ、厚み１．２ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８１】
実施例Ａ−３
熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を２３１４１本（最密充填本数３６３２８本の６３．７％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚み１．４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８２】
実施例Ａ−４
組合せ型枠のスペーサーの高さが２ｍｍの組合せ型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を６１９７２本（最密充填本数７２９０８本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み２．７５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。  
【００８３】
実施例Ａ−５
断面で幅１０ｍｍ、厚み２ｍｍの引き込み空間を設けたシリコーンゴム製型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を６１９７２本（最密充填本数７２９０８本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．３ｍｍ、厚み２．９ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。厚みが予定よりも０．９ｍｍ増大したのは、繊維本数が多かったため、シリコーンゴム製型枠の引き込み空間を押し広げたものと考えられる（以下においても、同様の現象は同様な理由によるものとする）。
【００８４】
実施例Ａ−６
断面で幅１０ｍｍ、厚み１ｍｍの引き込み空間を設けたシリコーンゴム製型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を３０８７９本（最密充填本数３６３２８本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．９ｍｍ、厚み１．７５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８５】
実施例Ａ−７
断面で幅１０ｍｍ、厚み０．６５ｍｍの引き込み空間を設けたシリコーンゴム製型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を２００３８本（最密充填本数２３５７４本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み１．４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８６】
実施例Ａ−８
断面で幅１０ｍｍ、厚み０．４ｍｍの引き込み空間を設けたシリコーンゴム製型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１２６０４本（最密充填本数１４８２８本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み０．８５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８７】
実施例Ａ−９
厚み４．０ｍｍの厚紙の片面に０．０３ｍｍ厚のセロファンシートを貼り、厚み２ｍｍのスペーサー材を用いて得た組合せ型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を６１９７２本（最密充填本数７２９０８本の８５％）用い、弾性マトリックス樹脂として常温硬化型シリコーン樹脂（信越シリコーン社製）を用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み２．７５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８８】
実施例Ａ−１０
スペーサー材の高さが４ｍｍの組合せ型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１２１４６５本（最密充填本数１４２９００本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−９と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．３ｍｍ、厚み４．４４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００８９】
実施例Ａ−１１
スペーサー材の高さが１ｍｍの組合せ型枠を用い、熱収縮性糸として製造例Ａで製造したＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を３０８７９本（最密充填本数３６３２８本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−９と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．６ｍｍ、厚み１．４８ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９０】
実施例Ｂ−１
熱収縮性糸として製造例Ｂで得た延伸倍率１．１３倍のＰＰＳマルチフィラメント糸（２８．５ｄｔｅｘ／１２ｆ）を４４２７１本（最密充填本数５２０８３本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．２ｍｍ、厚み１．３４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９１】
実施例Ｂ−２
熱収縮性糸として製造例Ｂで得た延伸倍率１．２１倍のＰＰＳマルチフィラメント糸（２６．７ｄｔｅｘ／１２ｆ）を４７２５５本（最密充填本数５５５９４本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み１．２９ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９２】
実施例Ｂ−３
熱収縮性糸として製造例Ｂで得た延伸倍率１．２８倍のＰＰＳマルチフィラメント糸（２４．４ｄｔｅｘ／１２ｆ）を５１７１０本（最密充填本数６０８３５本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．９ｍｍ、厚み１．３ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９３】
実施例Ｂ−４
熱収縮性糸として製造例Ｂで得た延伸倍率１．４３倍のＰＰＳマルチフィラメント糸（２３．６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を５３４６２本（最密充填本数６２８９７本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．３ｍｍ、厚み１．４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９４】
実施例Ｂ−５
熱収縮性糸として製造例Ｂで得た延伸倍率１．６５倍のＰＰＳマルチフィラメント糸（２０．１ｄｔｅｘ／１２ｆ）を６２７７２本（最密充填本数７３８４９本の８５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．８ｍｍ、厚み１．２８ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９５】
実施例Ｃ−１
熱収縮性糸として製造例Ｃで得たＰＥＴマルチフィラメント糸（５６．５ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１４８８１本（最密充填本数２７０５６本の５５％）用い、弾性マトリックス樹脂には、熱硬化型シリコーン樹脂（信越シリコーン社製；ＫＥ−１０３１０Ａ／Ｂ）を用いて４５℃で２０時間加熱硬化させたこと以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．９ｍｍ、厚み１．２９ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９６】
実施例Ｃ−２
熱収縮性糸として製造例Ｃで得たＰＥＴマルチフィラメント糸（５６．５ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１４８８１本（最密充填本数２７０５６本の５５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．１ｍｍ、厚み１．２３ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９７】
比較例１
高さ３ｍｍのスペーサー材を有する組合せ型枠を用い、製造例Ａで得たＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を９１５８８本（最密充填本数１０７７５１本の８５％）を用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．４ｍｍ、厚み３．２５ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。断面を観察すると、芯部の硬化が不充分であった。ＵＶ硬化型樹脂では、熱変形部材の厚みは３ｍｍ以下が好ましいことが分かった。変形性を評価するために、９５℃で２０分間加熱処理を行うと、部材の芯部付近から収縮割れが生じた。
【００９８】
比較例２
弾性マトリックス樹脂として、熱硬化型シリコーン樹脂（信越シリコーン社製；ＫＥ−１２０４−Ａ／Ｂ）を用い、４５℃で２０時間硬化させた以外は、実施例Ａ―１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．９ｍｍ、厚み１．４ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。
【００９９】
比較例３
弾性マトリックス樹脂として、熱硬化型シリコーン樹脂（信越シリコーン社製；ＫＥ−１０３１−Ａ／Ｂ）を用い、４５℃で２０時間加熱した以外は、実施例Ａ―１と同様にして、熱変形部材を製造しようとしたが、熱硬化型シリコーン樹脂が硬化していなかった。ＰＰＳマルチフィラメント糸に含まれている硫黄成分によって、硬化障害が生じたと考えられる。
【０１００】
比較例４
熱収縮性糸として製造例Ａで得たＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を７２６６本（最密充填本数３６３２８本の２０％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅９．８ｍｍ、厚み１．２１ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。表７に示したとおり、熱変形部材の熱変形後の厚み増加率は５％しかなかった。熱収縮性糸の使用本数が少なすぎたためであると考えられる。
【０１０１】
比較例５
熱収縮性糸として製造例Ａで得たＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を３３６０３本（最密充填本数３６３２８本の９２．５％）用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．５ｍｍ、厚み１．４８ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。表７に示したとおり、熱変形部材の熱変形後の厚み増加率は１０９．５％であったが、繊維方向に亀裂が入り、収縮割れが生じていた。熱収縮性糸の使用本数が多すぎたためであると考えられる。
【０１０２】
比較例６
組合せ型枠のプレス用板材として、一般的なアクリル板（厚み３ｍｍ）を用いた以外は、実施例Ａ−１と同様にして熱変形部材を製造しようとしたが、ＵＶ硬化型樹脂が硬化しなかった。アクリル板のＵＶ光の透過率が低いためであると考えられる。
【０１０３】
比較例７
熱収縮性糸として製造例Ａで得たＰＰＳマルチフィラメント糸（４０．８６ｄｔｅｘ／１２ｆ）を１４５８２本（最密充填本数７２９０８本の２０％）用いた以外は、実施例Ａ−９と同様にして、熱変形部材を製造した。長さ１５０ｍｍ、幅１０．２ｍｍ、厚み２．３３ｍｍの平板状の熱変形部材が得られた。表７に示したとおり、熱変形部材の熱変形後の厚み増加率は９．４％であったが、熱変形部材が軟らかく、実用的な硬度は得られなかった。熱収縮性糸の使用本数が少なすぎたためであると考えられる。
【０１０４】
実施例Ａ−１〜Ａ−１１の内容と熱変形後の厚み増加率等を表６に、実施例Ｂ−１〜Ｂ−５、実施例Ｃ−１〜Ｃ−２および比較例１〜７の内容と熱変形後の厚み増加率等を表７にまとめた。
【０１０５】
【表６】
2013162043.tif 000012
【０１０６】
【表７】
2013162043.tif 000013
【産業上の利用可能性】
【０１０７】
半導体やＭＥＭＳ実装分野において、微細部材を微細部分へ圧着する際の固定部材として有用である。
【図１】
2013162043.tif 000014
【図２】
2013162043.tif 000015
【図３】
2013162043.tif 000016