(57)【要約】【課題】磁気記録層の結晶性を向上させるために、チャンバ内の不純物ガスを低減、除去し、電磁変換特性に優れた磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】磁気記録層の直下、あるいは直上のいずれかに、活性材層を順次成膜する工程を有し、同一チャンバ、または該磁気記録層のチャンバと活性材層の間のゲートを開いた状態で、該磁気記録層を成膜しながら該活性材層を成膜する工程を有する製造方法であり、当該活性材層はＴｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする材料であることを特徴とする。【選択図】図1
2013149320.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性材層と該活性材層の直上に磁気記録層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、
独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、活性材層チャンバに隣接する磁気記録層チャンバと該活性材層チャンバの間のゲートを開いた状態で、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】
活性材層と該活性材層の直上に磁気記録層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、
同一チャンバ内で、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
磁気記録層と該磁気記録層の直上に活性材層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、
独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、磁気記録層チャンバに隣接する活性材層チャンバと該磁気記録層チャンバの間のゲートを開いた状態で、該磁気記録層を成膜しながら該活性材層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
磁気記録層と前記磁気記録層の直上に活性材層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、
同一チャンバ内で、該磁気記録層を成膜しながら該活性材層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
請求項１または２において、前記磁気記録層が六方最密充填（ｈｃｐ）構造をとるＣｏを含む材料であって、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項６】
請求項１または２において、前記磁気記録層がＬ１0型規則構造をとるＣｏＰｔないしＦｅＰｔを主成分とした材料であり、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項７】
請求項３または４において、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項８】
請求項１または２または５または６において、前記活性材層の膜厚が０．１〜１０ｎｍであることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】
請求項３または４または７において、前記活性材層の膜厚が０．１〜１ｎｍであることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体の高密度化を実現する技術として垂直磁気記録方式が採用されている。この方式で磁気記録される媒体（垂直磁気記録媒体）は、非磁性材料から形成される非磁性基体、下地層、磁気記録層および、磁気記録層の表面を保護する保護層および液体潤滑層を有している。また、軟磁性材料から形成されていて磁気ヘッドが発生する磁束を磁気記録層に集中させる役割を担う軟磁性裏打ち層などをさらに有する場合もある。
【０００３】
垂直磁気記録媒体の磁気記録層として、ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａ等の合金材料にＳｉＯ2、ＴｉＯ2などの非磁性体を添加したグラニュラー構造を有する磁気記録層（グラニュラー磁気記録層）が提案されている（特許文献１）。たとえば、ＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ2グラニュラー磁気記録層では、ＣｏＣｒＰｔの磁性結晶粒の周囲を取り囲むようにＳｉＯ2非磁性体が偏析し、このＳｉＯ2非磁性体によって個々のＣｏＣｒＰｔ磁性結晶粒が磁気的に分離されている。また、この他にも垂直磁気記録媒体には、複数の磁気記録層の積層体として構成されるものや、磁気記録層の層間に交換結合制御層を配したＥＣＣ（Ｅｘｃｈａｎｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ）構造などが用いられる。これらは複数の磁気記録層を積層することで、熱安定性を確保しつつ、磁化スイッチングロスを低減させる効果を持つものである。なお、ここでは磁気記録層は単層を示すものとする。
また、近年、熱安定性の低下を補うために、より高い結晶磁気異方性(Ｋｕ)を有する材料として、ＣｏＰｔ、ＦｅＰｔといったＬ１0型規則合金（Strukturbericht分類）が提案されている（特許文献２）。Ｌ１0型規則合金層を形成する場合、下地層が重要となる。なぜなら、磁性結晶粒に高い結晶磁気異方性を持たせるために、Ｌ１0型規則合金の結晶を（００１）配向にする（結晶の［００１］軸を膜面に対して垂直にする）必要があるためである。そのため、一般に、Ｌ１0型規則合金に対して格子整合性の高いＭｇＯなどが下地層として用いられている。
【０００４】
以上のように、磁気記録媒体の性能を向上させるために、磁気記録層に対しては、グラニュラー構造制御、磁気記録層間の交換結合制御、下地層からの格子整合による結晶配向制御などの高度な制御が行われるようになってきており、磁気記録層の成膜に対してはその品質をより一層向上させることが要求されている。
【０００５】
磁気記録層は、一般にスパッタリング・蒸着・ＣＶＤ装置等の真空成膜装置を用いて成膜される。成膜された磁気記録層の品質をより一層向上させるためには、真空中に残るＨ2Ｏ、Ｏ2、Ｈ2、ＣＯ、ＣＯ2等の不純物ガスを極限まで除去することが有効である。従来から半導体などでは成膜する膜の品質を向上させるため、Ｔｉなどの活性材を用いて真空成膜装置の真空チャンバ内の不純物ガスを吸着するゲッターポンプ装置が提供されてきた。ゲッターポンプ装置は、活性材製のフィラメントを加熱蒸発させ、チャンバ内壁に清浄な活性材膜を生成し、真空中に残るＨ2Ｏ、Ｏ2、Ｈ2、ＣＯ、ＣＯ2等の不純物ガスをこの活性材膜で吸着、除去するというものである。また、ゲッターポンプ装置による真空チャンバ内のスペース的な制約を受けることなく活性材を用いた不純物ガスの吸着、除去を行うことができる真空加工装置として、シールド板を有し、前記シールド板の加工処理部と反対側の面に、活性材よりなる不純物ガスの吸着膜を設けたものが提案されている（特許文献３）。また、ターゲットが成膜材料領域と、成膜材料領域を取り囲む円環状の活性材からなり、シールドで活性材領域から発生したスパッタ粒子を遮るものも提案されている（特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９１２３０号公報
【特許文献２】特許第３３１８２０４号
【特許文献３】特開２００１−２３４３２６号公報
【特許文献４】特開２０１０‐１０６２９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のゲッターポンプ装置を用いたものでは、真空チャンバ内のスペース的な制約が大きな課題であった。さらに、加熱蒸発した活性材が媒体基板上に堆積することによる磁気記録媒体の磁気特性の悪化も課題となっていた。
また、シールドで活性材を遮り活性材が基板上に堆積することを防ぐ方法では、シールドへの活性材の堆積によるパーティクル発生のために、こまめにシールドを交換する必要があり、メンテナンス性や生産性が悪かった。
さらに、特許文献４のように、ターゲットが成膜材料領域とそれを取り囲む活性材からなり、シールドで活性材領域から発生したスパッタ粒子を遮るものは、メンテナンス性が悪いだけでなく、ターゲットの作製も困難であった。
【０００８】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、安価に、磁気記録媒体としての特性を損なうことなく、真空チャンバ内の雰囲気に存在する不純物ガスを効果的に除去し、高品質な磁気記録層を形成できる磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の目的は、以下の方法によって達成される。
活性材層と前記活性材層の直上に磁気記録層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、活性材層チャンバに隣接する磁気記録層チャンバと該活性材層チャンバの間のゲートを開いた状態で、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。また、同一チャンバ内で、活性材層を成膜しながら磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっても達成される。
これらの場合、前記磁気記録層が六方最密充填（ｈｃｐ）構造をとるＣｏを含む材料であって、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、または、少なくともこれらの一種類を主成分とする化合物とすることができる。
また、前記磁気記録層がＬ１0型規則構造をとるＣｏＰｔないしＦｅＰｔを主成分とした材料であり、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物とすることもできる。また、前記活性材層の膜厚が０．１〜１０ｎｍとすることができる。
【００１０】
他の形態においては、磁気記録層と前記磁気記録層の直上に活性材層を順次成膜する工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、磁気記録層チャンバに隣接する活性材層チャンバと該磁気記録層チャンバの間のゲートを開いた状態で、該磁気記録層を成膜しながら該活性材層を成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。また、同一チャンバ内で、磁気記録層を成膜しながら活性材層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっても達成される。
これらの場合、前記活性材層がＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物とすることができる。また、前記活性材層の膜厚が０．１〜１ｎｍとすることができる。
【００１１】
また他の形態において、活性材層と該活性材層の直上に磁気記録層を順次成膜し、さらに磁気記録層の直上に活性材層を順次成膜する磁気記録媒体の製造方法において、独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、磁気記録層チャンバに隣接する活性材層チャンバと該磁気記録層チャンバの間のゲートを開いた状態で、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達成できる。また、同一チャンバ内で、活性材層を成膜しながら磁気記録層を成膜する工程を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっても達成される。
これらの場合、前記磁気記録層が六方最密充填（ｈｃｐ）構造をとるＣｏを主体とした材料、またはＬ１０型規則構造をとるＣｏＰｔないしＦｅＰｔを主成分とする材料であって、前記磁気記録層の直下の活性材層はＴｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物とすることができ、前記活性材層の厚さは０．１〜１０ｎｍがとすることができる。また、前記磁気記録層の直上の活性材層は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物とすることができ、前記活性材層の厚さは０．１〜１ｎｍとすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、安価に、高品質な磁気記録層を形成するができ、電磁変換特性に優れた磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明による垂直磁気記録媒体の一例の断面模式図
【図２】本発明による垂直磁気記録媒体の、図１とは別の一例の断面模式図
【図３】本発明に用いる成膜装置の一部のチャンバ構成の一例の側面模式図
【図４】図３のチャンバの縦断面模式図
【図５】本発明で用いるチャンバ構成の側面模式図
【図６】本発明で用いるチャンバ構成の、図５とは別の一例の側面模式図
【図７】本発明で用いるチャンバ構成の、図５，６とは別の一例の側面模式図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を、図面を参照して具体的に説明する。
図１、２は、本発明の製造方法によって製造される磁気記録媒体の一実施形態の断面模式図である。これは非磁性基体１と、非磁性基体１の上に順次設けられる軟磁性裏打ち層２、下地層３、活性材層４Ａないし４Ｂ、磁気記録層５、保護層６および液体潤滑層７とを有するものである。
非磁性基体１としては、表面が平滑である様々な基体を用いることができ、例えば、磁気記録媒体に用いられる、ＮｉＰメッキを施したＡｌ合金、強化ガラス、結晶化ガラス等を用いることができる。
【００１５】
次に、軟磁性裏打ち層２、下地層３、活性材層４Ａないし４Ｂ、磁気記録層５、保護層６などを成膜する成膜装置の概略について説明する。ここではスパッタリング法による成膜装置について述べるがこれに限定されるわけではない。
図３は本発明に用いる成膜装置であるスパッタリング装置のチャンバ構成の一部の一例を示す側面模式図であり、図４は図３の縦断面模式図である。なお、各チャンバは独立して処理することができ、すなわち磁気記録媒体に必要な成膜及び加熱や冷却といった処理の機能を備えていればこれに限定されるものではなく、位置関係や向きなどもこれに限定されるものではない。
【００１６】
図３では、成膜チャンバ１２が４つ並んだ部分を示したが、本発明に用いる成膜装置全体においては、ワークの出し入れができるローダチャンバ、アンローダチャンバや、必要に応じて基板加熱を行う加熱チャンバ、また、積層される成膜層の数に応じた成膜チャンバなどを連ねている。
各チャンバでは、図４に示されるように、対向する位置にターゲット１０が配置され、上流のチャンバから下流のチャンバにかけて、被成膜基板を各チャンバで成膜及び処理して、次のチャンバに送ることで、下層から順次成膜及び処理される。図４のように、成膜を行う成膜チャンバ１２は、円形状の外形を有するカソード１３の電極面側にターゲット１０がそれぞれ、縦置きで互いに対向配置されている。
被成膜基板８は、基板キャリア９に支持されている。ターゲット１０の中心と被成膜基板８とが同軸位置関係で構成される。被成膜基板８は、縦置きで互いに対向配置された２枚のターゲット１０間の空間に基板キャリア９に支持されて搬送される。基板キャリア９は、図３の紙面の左右方向に搬送される。各チャンバ間はゲート１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃで接続され、ゲートが開いた状態で、被成膜基板８が支持された基板キャリア９をチャンバ間で移動させることができる。
図示していないが、それぞれの成膜チャンバには、ガス供給手段と、排気手段とを備えている。ガス供給手段は、成膜チャンバ内にスパッタガスを供給するものである。排気手段は、真空ポンプであり、該真空ポンプのバルブの開口度と真空ポンプの動作により、チャンバ内を減圧状態にしたり、反応性スパッタリングによって成膜を行う際の真空度を保つことに用いたりする。図３に示すように各チャンバの間にはゲートがあり、通常は基板を搬送する時にのみ開き、チャンバ間のゲート１１Ａ，１１Ｂ、１１Ｃを閉じた状態では、それぞれのチャンバは密閉状態となり、チャンバ毎にガス種や真空度を変えることができる。接続される真空ポンプは、クライオポンプやターボ分子ポンプが清浄度は高く、また、高い真空度が得られるため好ましい。なお、ここでは活性材層を成膜するチャンバを活性材層チャンバ、磁気記録層を成膜するチャンバを磁気記録層チャンバなどとする。
図３では、１つのチャンバに被成膜基板１枚とカソード１セット（両面）で成膜する場合のチャンバ構成を示した。それに対して、１つのチャンバで、複数の被成膜基板を処理することが可能な構成であってもかまわない。
【００１７】
また、同一のチャンバで異なった複数の層を成膜するように構成されたチャンバ（複層チャンバ）をもつ成膜装置であってもかまわない。この場合の複層チャンバの一例を図７の１９Ｂに示す。これは一つのチャンバ１９Ｂ内に、所定の層の成膜位置２０Ａ，２０Ｂに、所定の層に対応した複数のターゲットなどが配置されたチャンバであり、好ましくは各ターゲット間には、隣接するターゲットのスパッタリング粒子が隣接する媒体基板に成膜されないようなシールド２１が取り付けられたものである。成膜位置２０Ａにおいてある層を成膜しながら隣の成膜位置２０Ｂでも成膜することができるので、スループットなどの生産性の低下は生じない。また、図７に示すように、前記の図３、４に示されるような独立して処理するチャンバが連結されたスパッタリング装置の一部のチャンバに、複層チャンバを用いてもかまわない。
【００１８】
次に前記基板を洗浄・乾燥後、前記成膜装置を用いて軟磁性裏打ち層２、下地層３、活性材層４Ａないし４Ｂ、磁気記録層５、保護層６などを成膜する。
軟磁性裏打ち層２は、磁気ヘッドからの磁束を制御して記録・再生特性を向上するために形成することが好ましい層である。この層は省略することも可能である。軟磁性裏打ち層２としては、例えば、結晶質のＮｉＦｅ合金、センダスト（ＦｅＳｉＡｌ）合金、ＣｏＦｅ合金等、微結晶質のＦｅＴａＣ、ＣｏＦｅＮｉ、ＣｏＮｉＰ等を用いることができる。なお、軟磁性裏打ち層２の厚さの最適値は、磁気記録に用いる磁気ヘッドの構造および特性によって変化するが、軟磁性裏打ち層２を他の層と連続的に形成する場合などは、生産性との兼ね合いから１０ｎｍ以上５００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１９】
下地層３は、磁気記録層５の表面粗さを低減し、磁気記録層５の密着性を確保し、磁気記録層５の結晶粒子径および結晶配向を制御することを目的として用いられる層である。従って、下地層３の結晶構造は、上層の磁気記録層材料に合わせて適宜選択することが必要であるが、非晶質材料を下地層３の層中に用いたものも可能である。例えば、下地層３の直上の磁気記録層５に、六方最密充填（ｈｃｐ）構造を取るＣｏを主体とした材料を用いる場合は、下地層３にも同じｈｃｐ構造もしくは面心立方（ｆｃｃ）構造をとる材料を用いるのが好ましい。具体的には、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｉｒ、Ｎｉ、Ｃｏあるいはこれらを含む材料を下地層３に用いるのが好ましいが、これに限定されるものではない。磁気記録層５にＬ１0型規則構造をとるＣｏＰｔ、ＦｅＰｔを主成分とした材料を用いる場合は、下地層３としてＭｇ、Ｔａ、Ｃｒを含む材料を用いることができ、ＭｇＯが好適である。さらに、下地層３は、前記下地層を複数層積層したものを用いることができる。下地層３の厚さは、磁気記録層５の結晶性向上、耐久性、記録信号の電磁変換特性、および生産性との兼ね合いから選択され、５〜１００ｎｍが好ましい。また、下地層成膜後に、加熱チャンバを設け、被成膜基板の加熱処理などをおこなってもよい。
【００２０】
次いで、活性材層、磁気記録層を成膜する。われわれは、磁気記録層の直下、あるいは直上の少なくともいずれかに、活性材層を成膜する場合において、独立して処理をするチャンバが複数連結してなる成膜装置を用いて、磁気記録層成膜チャンバに隣接する活性材層成膜チャンバと該磁気記録層成膜チャンバの間のゲートを開いた状態で、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有する製造方法、及び、同一チャンバ（前記複層チャンバ）内で、活性材層を成膜しながら磁気記録層を成膜する工程を有する製造方法によって、磁気記録層の磁性材の結晶配向分散(△θ５０)が小さくなり、電磁変換特性が向上することを見出した。なお、前記の、該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程とは、磁気記録層を成膜している最中に、一時的にでも活性材層が成膜されている状態を含んでいればよく、両者の成膜が同時でもよく、磁気記録層の成膜時間が活性材層の成膜時間より長くても、短くてもよい。また、成膜の開始は磁気記録層が活性材層より先でも後でもよく、成膜の終了も磁気記録層が活性材層より先でも後でもかまわない。結晶配向分散は、磁気記録層の結晶配向性を計る特性であり、通常はＸ線回折によって求められ、小さいほうが結晶配向性はよい。磁気記録層の直上または直下に該活性材層を有する場合の両方において磁気記録層の結晶配向性が向上していることから、これは、磁気記録層成膜時の不純物ガス濃度が下がった効果によるものと考えられる。磁気記録層の直下、つまり下地層と磁気記録層の間に活性材層を用いても、該活性材層の材料と膜厚を制御することで、下地層の機能を低下させることなく、総合的に結晶性のよい磁気記録層の形成が可能である。また、磁気記録層の直上に該活性層材料を設ける場合も、該活性材層の材料と膜厚を制御することで、磁気記録層の結晶性の向上の効果により、磁気記録層とヘッド間距離の増加にともなう信号強度の低下を補い、優れた電磁変換特性を実現することができる。
【００２１】
実施形態１として、図５に示す成膜装置を用いて、図１に示す垂直磁気記録媒体の活性材層４Ａ、磁気記録層５を順次形成する方法を説明する。
チャンバ１５Ａには互いに対向配置されたカソードのそれぞれに、下地層を形成するためにターゲットが配置され、チャンバ１５Ｂには、活性材層４Ａを形成するためのターゲットが配置される。隣接する次のチャンバ１５Ｃには、磁気記録層５を形成するためのターゲットが配置される。チャンバ１５Ｄは、保護層成膜ユニットまたは、保護層成膜の前処理として加熱ユニットなどが設けられる。なお、図５は一旦成膜処理が終わり、次の成膜がおこなわれる前の状態とする。
図５の状態からゲート1４Ａ、1４Ｃを開けて、下地層まで形成されたチャンバ１５Ａの被成膜基板は、基板キャリアに装着された状態で活性材層のためのターゲットが配置されたチャンバ１５Ｂに送り込まれ、チャンバ１５Ｂにある活性材層まで形成された被成膜基板はチャンバ１５Ｃに順次送られる。次に、下地層チャンバ１５Ａと活性材層のチャンバ１５Ｂの間のゲート１４Ａを閉じる。活性材層のチャンバ１５Ｂと磁気記録層のチャンバ１５Ｃとの間のゲート１４Ｂは開いたままのこの状態で、ゲート１４Ｃなどは閉じた状態で、ガス供給手段によりチャンバ内にスパッタガスを導入させる。続いて、各カソードにそれぞれ電力を供給し放電させる。これにより、ターゲットからスパッタ粒子が弾き出され、被成膜基板上に、成膜される。そして、所定の膜厚となったところで成膜を終了する。
【００２２】
また、実施形態２として、図６に示す成膜装置を用いて、図２に示す磁気記録層５および活性材層４Ｂを順次形成する方法を説明する。
チャンバ１７Ａには互いに対向配置されたカソードのそれぞれに下地層を形成するためにターゲットが配置され、チャンバ１７Ｂには、磁気記録層５を形成するためのターゲット、隣接する次のチャンバ１７Ｃには活性材層４Ｂを形成するためのターゲットが配置される。チャンバ１７Ｄには、保護層成膜ユニットまたは保護層の成膜前処理として加熱ユニットなどが設けられる。なお、図６は一旦成膜処理が終わり、次の成膜がおこなわれる前の状態とする。
図６の状態からゲート16Ａ、16Ｃを開けて、下地層まで形成されたチャンバ１７Ａの被成膜基板は、基板キャリアに装着された状態で、磁気記録層のためのターゲットが配置されたチャンバ１７Ｂに送り込まれ、チャンバ１７Ｂにある磁気記録層まで形成された被成膜基板はチャンバ１７Ｃに順次送られる。次に、下地層チャンバ１７Ａと磁気記録層のチャンバ１７Ｂの間のゲート１６Ａを閉じる。磁気記録層のチャンバ１７Ｂと活性材層のチャンバ１７Ｃとの間のゲート１６Ｂは開いたままの状態で、隣接するゲート１６Ｃなどは閉じた状態で、ガス供給手段によりチャンバ内にスパッタガスを導入させる。続いて、各カソードにそれぞれ電力を供給し放電させる。これにより、ターゲットからスパッタ粒子が弾き出され、被成膜基板上に、成膜される。そして、所定の膜厚となったところで成膜を終了する。
【００２３】
また、磁気記録層の直下、あるいは直上の少なくともいずれかに、活性材層を成膜する場合、図７に示すように、同一チャンバ（１９Ｂ）内で該活性材層を成膜しながら該磁気記録層を成膜する工程を有する製造方法によってもよい。
【００２４】
本発明では、活性材層の成膜を、磁気記録層チャンバに隣接するチャンバ（活性材層チャンバ）で、その間のゲートを開いた状態で行うものであり、活性材のスパッタリングにより、チャンバ内の雰囲気に存在する不純物ガスと活性材が結合することによって、活性材層チャンバ内の不純物ガスが効果的に除去される。活性材層チャンバに隣接する磁気記録層のチャンバにおいても、チャンバ間のゲートを通して、不純物ガスの低減が進む。このため、高品質な磁気記録槽を形成できる。しかも、活性材層からなる薄膜の材料と厚さを選択することで、より効果的に、磁気記録の信号品質を向上させることができる。
【００２５】
次に磁気記録層及び活性材層について説明する。
図１では、磁気記録層５の直下に活性材層４Ａを構成した例である。図１のように、磁気記録層５の直下に活性材層４Ａを構成する場合、活性材層には、不純物ガス濃度を下げる、いわゆるゲッター効果を有するとともに、磁気記録層５の結晶粒子径および結晶配向を制御すること、または下地層の結晶粒子径制御および結晶配向制御機能を妨げないことも必要となる。また、磁気記録媒体として信頼性を満足するために、磁気記録層との密着性、及び耐食性に優れ、成膜後の表面粗さの小さな材料であることも求められる。これらの要件を鋭意検討した結果、磁気記録層５の下に形成できる活性材層４Ａとしては、磁気記録層５に六方最密充填（ｈｃｐ）構造を取るＣｏを含む材料を用いる場合には、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物が好ましい。化合物の場合は、主成分とする元素が、２０原子組成百分率（at%）以上であれば、成膜チャンバ中の不純物ガス濃度を下げるゲッター効果を有する。Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｓｉおよびその化合物は、イオン化エネルギーが小さく化学的に活性であるため、水素、酸素、窒素、一酸化炭素あるいはその他の活性ガスなどからなる不純物ガスを吸着するのに有効である。特に好ましくは、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ金属である。
【００２６】
また、磁気記録層５にＬ１0型規則構造をとるＣｏＰｔないしＦｅＰｔを主成分とした材料を用いる場合には、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする材料が好ましい。またより好ましくは、ＴｉＮ、ＳｒＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３などの材料である。化合物の場合は、主成分とする元素が、２０原子組成百分率（at%）以上であれば、成膜チャンバ中の不純物ガス濃度を下げるゲッター効果を有する。Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｓｉおよびその化合物は、イオン化エネルギーが小さく化学的に活性であるため、水素、酸素、窒素、一酸化炭素あるいはその他の活性ガスなどからなる不純物ガスを吸着するのに有効である。特にＴｉＮ、ＳｒＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３は、体心立法（ｂｃｃ）構造であり、上に積まれるＬ１０型規則構造との相性が良いため、Ｌ１０型規則構造の結晶性向上にとっても有効である。
【００２７】
活性材層４Ａの厚さは、磁気記録層５の結晶性向上、耐久性、記録信号の電磁変換特性、および生産性との兼ね合いから選択される。薄いほど書込み容易性は向上するが、不純物ガス低減による記録層の結晶配向性の効果は少なく、適切な範囲があり、０．１〜１０ｎｍが好ましい。さらに好ましくは、０．１〜１ｎｍの範囲である。 
【００２８】
図２では、磁気記録層５の直上に活性材層４Ｂを構成した例である。その上にあたる保護層にＣ（カーボン）層を形成する場合には、活性材４Ｂとしては、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｎ，Ｓｉのいずれか、あるいはこれらのうち少なくとも一種類を主成分とする化合物が好ましい。特に好ましくは、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ金属である。化合物の場合は、主成分とする元素が、２０原子組成百分率（at%）以上であれば、成膜チャンバ中の不純物ガス濃度を下げるゲッター効果を有する。Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｓｉおよびその化合物は、イオン化エネルギーが小さく化学的に活性であるため、水素、酸素、窒素、一酸化炭素あるいはその他の活性ガスなどからなる不純物ガスを吸着するのに有効である。また、これらは磁気記録媒体として信頼性の観点から保護層との密着性、及び耐食性等に優れ、成膜後の表面粗さの小さな材料であることを鑑み、鋭意検討の結果適用されたものである。
【００２９】
また、活性材層４Ｂの厚さは、磁気記録層５の結晶性向上、耐久性、記録信号の電磁変換特性、および生産性との兼ね合いから選択される。薄いほど磁気ヘッドから磁気記録層までの距離が近づき、信号強度は向上するが、薄すぎると磁気記録層の結晶性の向上は見られず０．１〜１ｎｍが好ましい。なおこの場合の磁気記録層５は六方最密充填（ｈｃｐ）構造を取るＣｏを主体とした材料または、Ｌ１0型規則構造をとるＣｏＰｔないしＦｅＰｔを主成分とした材料などとすることができる。
【００３０】
また、磁気記録層の直下に活性材層を構成し、該磁気記録層の直上にも活性材層を構成してもかまわない。その場合の該磁気記録層と該活性材層は、磁気記録層の直下に活性材層が構成される場合、及び磁気記録層の直上に活性材層を構成した場合と同様に、磁気記録層に対応して活性材層（材料、膜厚）を選択することができる。
【００３１】
なお、前記磁気記録層５は、強磁性材料からなり、いわゆるグラニュラー構造を有する層から構成されてもよい。グラニュラー構造は、磁性元素を主体とした磁性粒子であり柱状構造を有する磁性部５Ａが、基板面内方向には互いに非磁性部５Ｂで隔てられ、取り囲まれた構造をとる。記録密度の増加に対応するため、各磁性部５Ａ間のピッチは短い方が好ましく、また、熱揺らぎの問題および信号の読み取りの点を考慮すると、磁性部５Ａの粒径自体は大きい方が好ましい。そのため、非磁性部５Ｂの幅は、各磁性部５Ａ間の磁気的結合を小さくする範囲でなるべく狭いことが望ましい。磁性部５Ａの粒子の直径は、３〜１０ｎｍ程度が好ましく、非磁性部５Ｂの幅は、０．１〜４ｎｍ程度が、高記録密度で良好な信号特性の磁気記録媒体が得られる点から好ましい。
【００３２】
磁気記録層の磁性部５Ａとしては、ＣｏＰｔ合金に、Ｃｒ、Ｂ、Ｔａ、Ｗなどの金属を添加した磁性粒子が好ましく用いられる。磁気記録層５は、磁性部５Ａを構成する材料と非磁性部５Ｂを構成する材料との混合物からなるターゲットを用いるスパッタリング法（ＤＣマグネトロンスパッタリング法）などによって形成することができる。また、磁性部５Ａとして、結晶磁気異方性（Ｋｕ）の高い磁性材料であるＬ１0型規則構造をとるＣｏＰｔ、ＦｅＰｔ、またはこれらにＮｉまたはＣｕなどを添加した合金を用いることができる。非磁性部５Ｂの幅は、各磁性部５Ａ間の磁気的結合を小さくする範囲でなるべく狭いことが望ましい。また、非磁性部５Ｂとしては、磁性部５Ａを磁気的に分離して磁性部５Ａ中への固溶が少ない材料が好適である。非磁性部５Ｂとして、例えば酸化物、炭素系材料、または酸化物および炭素系材料の混合体を使用することができる。酸化物は、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＭｇＯ等とすることができ、炭素系材料は、カーボン（Ｃ）、Ｂ４Ｃ、ＢＣ、ＳｉＣ等の各種炭化物とすることができる。
【００３３】
磁気記録層は複数積層され、積層体として構成されてもよい。この場合、磁気記録層の層間に交換結合制御層を配して、ＥＣＣ構造を有してもよい。例えば順に、磁気記録層Ａ、交換結合制御層、磁気記録層Ｂと形成される場合は、該磁気記録層Ａの磁性部の直上に交換結合制御層を介して、該磁気記録層Ｂの磁性部が位置する。非磁性部は磁性部の周囲に位置にするため、下側の磁性部から上側の磁性部までの部分は、該磁気記録層Ａから交換結合制御層を貫いて該磁気記録層Ｂまで柱状に成長した構造となる。このような構造とすると、下側の磁性部から上側の磁性部までの部分が磁性的に各々結合し、その周囲が非磁性部で隔てられることで独立した磁化反転単位となり、好ましい信号特性が得られる。磁気記録層の記録信号の書込みおよび読み取り特性から、前記積層体の厚さは、おおむね５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であることが望ましい。
【００３４】
次に保護層を成膜する。保護層６は、従来使用されている硬質保護層とすることができ、例えば、カーボンを主体とする硬質保護層とすることができる。保護層６は、単層あるいは、異なる性質のカーボンの積層体、金属層およびカーボン層の積層体、または酸化物層およびカーボンの積層体とすることもできる。また、図２に示すように磁気記録層の直上に活性材層４Ｂが構成される場合であっても、その上部に形成される保護層６は従来使用されている硬質保護層とすることができる。成膜は、スパッタリングや化学気相成長法（ＣＶＤ）や蒸着などを用いることができ、またこれらを組み合わせてもかまわない。また、磁気記録層を成膜後に、保護層成膜の前処理として被成膜基板の冷却や加熱などをおこなってもよい。
【００３５】
次に前記成膜装置から取り出し、保護層６上に液体潤滑層７を形成する。液体潤滑層７としては例えばパーフルオロポリエーテル系の潤滑剤を用いることができる。その他、磁気記録媒体の液体潤滑層材料として一般的に用いられる様々な潤滑材料を用いて形成することもできる。形成方法としては、ディップ法やスピンコート法などを用いることができる。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明の実施例について、詳細に説明する。本発明はその趣旨を超えない限り、以下に説明する記載に限定されるものではない。
【実施例１】
【００３７】
本実施例は、非磁性基体と、その上に順次設けられるＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層、Ｔａ下地層、Ｃｒ下地層、活性材層（ＴｉＮ）、磁気記録層（ＦｅＰｔ‐Ｃグラニュラー）、カーボン保護層、液体潤滑層とを有する垂直磁気記録媒体の製造方法に関する。
【００３８】
ＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層からカーボン保護層の成膜は、インライン式スパッタリング装置であるIntevac社製200Leanを用いて行った。各々の成膜を行うチャンバはゲートを介して連結している。チャンバは、被成膜基板への成膜を行う成膜チャンバ、ワークの出し入れを行うローダチャンバ、アンローダチャンバ、ヒータ装置を組み込み基板の加熱を行う加熱チャンバや、基板を冷却する冷却チャンバなどがある。１つの成膜チャンバには、対向した１セットのカソードとターゲットがある。本実施例は、ローダチャンバ、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層チャンバ、Ｔａ下地層チャンバ、Ｃｒ下地層チャンバ、加熱チャンバ(図５の１５Ａに対応)、活性材層（ＴｉＮ）チャンバ（図５の１５Ｂに対応）、磁気記録層（ＦｅＰｔ‐Ｃグラニュラー）チャンバ（図５の１５Ｃに対応）、冷却チャンバ（図５の１５Ｄに対応）、カーボン保護層チャンバ、アンロードチャンバをこの順に含む構成である。
【００３９】
非磁性基体として外径４８ｍｍ、内径１２ｍｍ、板厚０．６４ｍｍで、表面が平滑なＨＯＹＡ社製Ｎ−１０ガラス基体を用い、これを洗浄・乾燥後、成膜装置内に導入した。ローダチャンバから成膜装置内に導入した被成膜基板は、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層チャンバにおいて、隣接するゲートを閉じてチャンバを密閉し、減圧下でＡｒガスを導入した状態で、ＣｏＺｒＮｂターゲットを用いて、ＣｏＺｒＮｂ非晶質軟磁性裏打ち層を５０ｎｍ成膜した。
次に、順次隣接するチャンバに移動させ、ゲートを閉じチャンバを密閉し、減圧下でＡｒガスを導入した状態で、Ｔａターゲットを用いてＴａ膜を２ｎｍ成膜し、次のチャンバでＣｒターゲットを用いてＣｒ膜を１０ｎｍ成膜した。
次の加熱チャンバにおいて、ヒータによって被成膜基板を４００℃に加熱した。
次の活性材層チャンバにおいて、活性材層を成膜した。活性材層は、ＴｉＮターゲットを用い、減圧下でＡｒガスを導入した状態で成膜した。該活性材層膜厚は０．１ｎｍ、１ｎｍ、５ｎｍ，１０ｎｍ，１５ｎｍの５種類を作製した。なお、加熱チャンバと該活性材層チャンバの間のゲート(図５の１４Ａに対応)は閉じ、該活性材層チャンバと磁気記録層チャンバの間のゲート（図５の１４Ｂに対応）を開き、さらに該磁気記録層チャンバと冷却チャンバの間のゲート(図５の１４Ｃに対応)を閉じ、該活性材層チャンバと該磁気記録層チャンバを他のチャンバから密閉した状態とした。なお、活性材層の成膜が行われながら、隣の磁気記録層チャンバでは、活性材層が既に成膜された基板に磁気記録層が成膜される。
次の磁気記録層チャンバにおいて、磁気記録層（ＦｅＰｔ‐Ｃグラニュラー）の成膜として、７５ｖｏｌ％（Ｆｅ５０Ｐｔ５０）−２５ｖｏｌ％Ｃターゲットを用いて、減圧下でＡｒガスを導入した状態で磁気記録層（Ｆｅ５０Ｐｔ５０−Ｃ）を１０ｎｍ成膜した。
次の冷却チャンバにおいて、冷却体を近接させることで被成膜基板を１５０℃まで冷却した。
最後に、カーボン保護層チャンバにおいて、カーボンターゲットを用いてカーボンからなる保護層３ｎｍを成膜し、アンローダチャンバから取り出した。
その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑層２ｎｍをディップ法により形成し、垂直磁気記録媒体とした。
【００４０】
（比較例１）
実施例１において、活性材層の膜厚を０ｎｍ（成膜なし）としたこと以外は、同じ方法で垂直磁気記録媒体を作製した。
【００４１】
（比較例２）
実施例１において、活性材層チャンバと磁気記録層チャンバの間のゲートを閉じて、各々密閉した状態で成膜した。また、活性材層の膜厚を３ｎｍで成膜した。それ以外は、実施例１と同じ方法で垂直磁気記録媒体を作製した。
【実施例２】
【００４２】
本実施例は、非磁性基体と、その上に順次設けられるＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層、ＮｉＣｒＭｏ下地層、Ｒｕ下地層、磁気記録層（ＣｏＣｒＰｔ‐ＴＳｉＯ２グラニュラー）、活性材層（Ｔｉ）、カーボン保護層、液体潤滑層とを有する垂直磁気記録媒体の製造方法に関する。
【００４３】
実施例１と同様の装置で、チャンバ交換やターゲットの交換などを行った。
本実施例は、ローダチャンバ、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層チャンバ、ＮｉＣｒＭｏ下地層チャンバ、Ｒｕ下地層チャンバ、第一加熱チャンバ(図６の１７Ａに対応)、磁気記録層（ＣｏＺｒＰｔ−ＴｉＯ２グラニュラー）チャンバ（図６の１７Ｂに対応）、活性材層（Ｔｉ）チャンバ（図６の１７Ｃに対応）、第二加熱チャンバ（図６の１７Ｄに対応）、カーボン保護層チャンバ、アンロードチャンバをこの順に含む構成である。
【００４４】
まず、非磁性基体として表面が平滑なＨＯＹＡ社製Ｎ−１０ガラス基体を用い、これを洗浄・乾燥後、成膜装置内に導入した。ローダチャンバから成膜装置内に導入した被成膜基板は、ＣｏＺｒＮｂ軟磁性裏打ち層チャンバにおいて、隣接するゲートを閉じてチャンバを密閉し、減圧下でＡｒガスを導入した状態で、ＣｏＺｒＮｂターゲットを用いて、ＣｏＺｒＮｂ非晶質軟磁性裏打ち層を５０ｎｍ成膜した。
次に、順次隣接したチャンバに移動させ、ゲートによりチャンバを密閉し、減圧下でＡｒガスを導入した状態で、ＮｉＣｒＭｏターゲットを用いてＮｉＣｒＭｏ膜を５ｎｍ成膜し、次のチャンバでＲｕターゲットを用いてＲｕ膜を２０ｎｍ成膜した。
次の第一加熱チャンバにおいて、ヒータによって被成膜基板を２００℃に加熱した。
次の磁気記録層チャンバにおいて、９０ｖｏｌ％（Ｃｏ７０Ｃｒ１０Ｐｔ２０）−１０ｖｏｌ％（ＴｉＯ２）ターゲットを用いて、磁気記録層（ＣｏＣｒＰｔ−ＴｉＯ２）を１０ｎｍ成膜した。なお、該第一加熱チャンバと磁気記録層チャンバの間のゲート（図６の１６Ａに対応）、及び、活性材層チャンバと第二加熱チャンバ（図６の１７Ｄに対応）の間とはゲート（図６の１６Ｃに対応）を閉じ、該磁気記録層チャンバと該活性材層チャンバの間のゲート（図６の１６Ｂに対応）を開いたことで、該磁気記録層チャンバと該活性材層チャンバを他のチャンバから密閉した状態とした。なお、該磁気記録層の成膜が行われながら、隣の活性材層チャンバでは、磁気記録層が既に成膜された基板に活性材層が成膜されている。
次の活性材層チャンバにおいて、活性材層を成膜した。活性材層は、Ｔｉターゲットを用い、減圧下でＡｒガスを導入した状態で成膜した。該活性材層膜厚は０．１ｎｍ，０．５ｎｍ，１ｎｍ，２ｎｍ，５ｎｍの５種類を作製した。
次の第二加熱チャンバにおいて、ヒータにより被成膜基板を１５０℃まで加熱した。
最後に、カーボン保護層チャンバにおいて、カーボンターゲットを用いてカーボンからなる保護層３ｎｍを成膜し、アンローダチャンバから取り出した。
その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑層２ｎｍをディップ法により形成し、垂直磁気記録媒体とした。
（比較例３）
実施例２において、活性材層の厚さを０ｎｍ（成膜なし）としたこと以外は、同じ方法で垂直磁気記録媒体を作製した。
（比較例４）
実施例２において、磁気記録層チャンバと活性材層チャンバの間のゲートを閉じて、各々密閉した状態で成膜した。また、活性材層を０．３ｎｍ成膜した。それ以外は実施例２と同じ方法で垂直磁気記録媒体を作製した。
【００４５】
以下に実施例１、２、比較例１、２の評価結果について説明する。
ＥＳＣＡ（Ｘ線光電子分光分析装置）によって磁気記録媒体の磁気記録層に含まれる酸素原子量を測定した。
【００４６】
実施例１および比較例１、２の評価結果を表１に示す。
【００４７】
【表１】
2013149320.tif 000003
【００４８】
表１に示すように、磁気記録層との間のゲートを開いた状態で活性材層を成膜することにより、磁気記録層中の酸素原子量が非常に少なくなった。実施例1の方が比較例１及び比較例２に比べて極端に磁気記録層中の酸素原子量が非常に少なくなった。これは、本発明の成膜方法を用いることで、成膜チャンバ内の不純物濃度を低減できたためと考えられる。また、活性材層を０．１ｎｍでも成膜することで、その効果が大きく現れる。本発明の成膜方法を用いることで、磁性層に含まれる酸素原子量を低減できることがわかった。
また、Ｘ線回折装置によって製造した磁気記録媒体の磁性層の結晶配向分散（△θ５０）を測定した。
【００４９】
実施例１と比較例１、２の結果を表２に、実施例２と比較例３，４の結果を表３に示す。
【００５０】
【表２】
2013149320.tif 000004
【００５１】
【表３】
2013149320.tif 000005
【００５２】
表２、３に示すように、活性材層を磁気記録層の直下ないし直上に入れて、磁気記録層との間のゲートを開いた状態で活性材層を成膜することにより、磁気記録層の結晶配向分散が小さくなった。また、活性材層を０．１ｎｍでも成膜することで、その効果が大きく現れる。
本発明の成膜方法を用いることで、磁気記録層の結晶配向分散が低減でき、結晶品質に優れた磁気記録層が形成できていることがわかった。これは、本発明の成膜方法を用いることで、磁気記録層に含まれる不純物欠陥を低減できたためと考えられる。
【００５３】
次に、市販のスピンスタンドを用いて電磁変換特性を測定した。磁気記録媒体を５４００rpmで回転させ、基板の中周部分での信号記録を行い、主要な電磁変換特性であるＳｉｇｎａｌ ｎｏｉｓｅ ｒａｔｉｏ（ＳＮＲ）特性を測定した。その際、書込み幅を７８ｎｍとした。  実施例１と比較例１、２の結果を表４に、実施例２と比較例３，４の結果を表５に示す。
【００５４】
【表４】
2013149320.tif 000006
【００５５】
【表５】
2013149320.tif 000007
【００５６】
表４に示すように、実施例１において、活性材層の膜厚が０．１〜１０ｎｍのものにＳＮＲ特性の向上がみられた。また、表５に示すように実施例２においては０．１〜１ｎｍのものにＳＮＲ特性の向上がみられた。また、比較例２，４との比較から、磁気記録層と活性層との成膜チャンバ間のゲートを開けることで、磁気記録層の結晶配向性が向上し、その結果、電磁変換特性も向上することがわかった。実施例１においては、１５ｎｍでは向上はみられなかったが、これは厚くしすぎると磁気記録層の結晶配向性を高める下地層の機能が抑制されためであると考えられる。また、実施例２においては、２ｎｍ、５ｎｍと膜厚が厚くなるとSNR特性の向上はみられなかった。これは磁気記録層とヘッド間距離の増加にともなう信号強度の低下の影響によるものと考えられる。
【００５７】
また、同一チャンバ内で、磁気記録層を成膜しながら活性材層を成膜する工程を有する製造方法によっても実施例と同様の効果が得られることもわかった。
以上のように、本発明によれば、磁性記録層の結晶配向性が良くなり、ひいては電磁変換特性の良い磁気記録媒体が得られる。
【符号の説明】
【００５８】
１  非磁性基体
２  軟磁性裏打ち層
３  下地層
４Ａ、４Ｂ  活性材層
５  磁気記録層
５Ａ  磁性部
５Ｂ  非磁性部
６  保護層
７  液体潤滑層
８  被成膜基板  
９  基板キャリア
１０  ターゲット
１１Ａ  ゲート
１１Ｂ  ゲート
１１Ｃ  ゲート
１２、１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ，１２Ｄ  チャンバ
１３  カソード
１４Ａ、１４Ｂ，１４Ｃ  ゲート
１５Ａ  下地層チャンバ
１５Ｂ  活性材層チャンバ
１５Ｃ  磁気記録層チャンバ
１５Ｄ  保護層チャンバまたは加熱・冷却チャンバ  
１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ  ゲート
１７Ａ  下地層チャンバ
１７Ｂ  磁気記録層チャンバ
１７Ｃ  活性材層チャンバ
１７Ｄ  保護層チャンバまたは加熱・冷却チャンバ
１８Ａ  ゲート
１８Ｂ  ゲート
１９Ａ  下地層チャンバ
１９Ｂ  複層チャンバ
１９Ｃ  保護層チャンバまたは加熱・冷却チャンバ
２０Ａ  活性材層または磁気記録層成膜位置  
２０Ｂ  磁気記録層または活性材層成膜位置
２１  シールド
【図１】
2013149320.tif 000008
【図２】
2013149320.tif 000009
【図３】
2013149320.tif 000010
【図４】
2013149320.tif 000011
【図５】
2013149320.tif 000012
【図６】
2013149320.tif 000013
【図７】
2013149320.tif 000014