【手続補正書】
【提出日】平成28年8月5日(2016.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
−  Ｘ線ソースと、
Ｘ線検出器と、
ソース格子、位相格子、及び解析格子を有する格子アレンジメントとを備え、前記ソース格子は、前記Ｘ線ソースと前記位相格子との間に配置され、前記解析格子は、前記位相格子と前記Ｘ線検出器との間に配置される微分位相コントラストセットアップ部と、
−  処理ユニットと、
−  少なくとも１つの前記格子のミスアライメントを決定するための測定システムとを有し、
前記Ｘ線ソース及び前記ソース格子は、固定のＸ線ソースユニットとして提供され、前記位相格子、前記解析格子、及び前記Ｘ線検出器は、固定のＸ線検出ユニットとして提供され、
前記測定システムは、前記Ｘ線ソースユニットと前記Ｘ線検出ユニットとの間の前記微分位相コントラストセットアップ部のミスアライメントを決定する光学測定システムであり、
前記処理ユニットは、決定されたミスアライメントに基づいて補正信号を提供し、
前記測定システムは、前記Ｘ線検出ユニットの異なる複数の隅に少なくとも３つのセンサを有し、
前記少なくとも３つのセンサは、少なくとも３つの４象限フォトダイオードとして提供され、
光源装置は、前記４象限フォトダイオードのそれぞれへの光ビームを生成するように、前記Ｘ線ソースユニットに固定的に取り付けられ、
前記４象限フォトダイオードは、前記検出器の平面における動き及び前記光ビームに対する角度傾斜を測定する、
微分位相コントラストイメージングのためのＸ線イメージングシステム。
【請求項２】
前記少なくとも３つのセンサは、前記干渉計のそれぞれへの光ビームを生成するように、前記Ｘ線ソースユニットに固定的に取り付けられた光源装置の前記位相測定のための干渉計として提供される、
請求項１に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項３】
前記光源は、変調信号の形態の光信号を提供し、
前記干渉計は、光学位相シフトを検出し、
位相解析のために、
ｉ）全ての干渉計からの信号を相関させる相関ユニット、
ｉｉ）光を前記隅で光ファイバにカップリングし、干渉計セットアップ部及び／若しくはタイミング解析ユニットによって位相シフトを測定する結合ユニット、並びに／又は、
ｉｉｉ）前記４象限フォトダイオードの強度シフトを測定し、全ての４象限フォトダイオードからの信号を相関させる測定ユニット
が提供される、請求項２に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項４】
前記光源装置は、単一ビームを生成する単一光源として提供され、
分割手段が、単一ビームを少なくとも３本のサブビームに分割するために提供される、
請求項２又は３に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項５】
アクチュエータが、前記Ｘ線ソースユニットの少なくとも１つの格子、及び／又は前記Ｘ線検出ユニットの少なくとも１つの格子を動かし、調整するために提供され、
前記処理ユニットは、前記補正信号に基づいて前記アクチュエータに対する駆動信号を計算し、前記アクチュエータに前記駆動信号を送信する、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項６】
前記アクチュエータは、
ｉ）ピエゾアクチュエータ、及び／又は、
ｉｉ）モータ駆動マイクロメータスクリューとして提供され、
共に、約１マイクロメートルから約１０ミリメートルまでの範囲の移動を提供する、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項７】
補正ユニットが、更なる計算ステップのために前記検出器によって提供された前記データを補正するために提供され、
前記処理ユニットは、前記補正信号に基づいて補正係数を計算し、最終結果をもたらす評価及び計算のために前記補正係数を前記補正ユニットに送信する、
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項８】
検査される対象物と少なくとも１つの前記格子との間の相対的な動きのための可動アレンジメントが提供され、
ｉ）前記可動アレンジメントは、各格子面における前記干渉計ユニットの少なくとも１つの前記格子のステッピングのためのステッピングアレンジメントとして提供され、
ｉｉ）対象物支持体が提供され、前記対象物支持体と前記微分位相コントラストセットアップ部との間の相対的な動きが提供され、前記格子は、少なくとも１つの画像取得のためのスキャンの間、互いに対して一定のアライメントで提供され、
ｉｉ１）前記対象物支持体が固定されて提供され、前記微分位相コントラストセットアップ部は、Ｘ線方向を横断する方向に動かされ、
ｉｉ２）前記微分位相コントラストセットアップ部が固定されて提供され、前記対象物支持体がＸ線方向を横断する方向に動かされる、
請求項１乃至７のいずれか一項に記載のＸ線イメージングシステム。
【請求項９】
微分位相コントラストイメージングのためのＸ線イメージングシステムにおけるミスアライメントに対処する方法であって、
ａ）Ｘ線ソース、Ｘ線検出器、処理ユニット、並びに、ソース格子、位相格子、及び解析格子を有する格子アレンジメントを備える微分位相コントラストセットアップ部を提供するステップであって、前記ソース格子は、前記Ｘ線ソースと前記位相格子との間に配置され、前記解析格子は、前記位相格子と前記Ｘ線検出器との間に配置され、前記Ｘ線ソース及び前記ソース格子は、固定のＸ線ソースユニットとして提供され、前記位相格子、前記解析格子、及び前記Ｘ線検出器は、固定のＸ線検出ユニットとして提供される当該ステップと、
ｂ）光学測定システムで少なくとも１つの前記格子のミスアライメント少なくとも１つの前記格子のミスアライメントを決定するステップであって、前記光学測定システムは、前記Ｘ線検出ユニットの異なる複数の隅に少なくとも３つのセンサを有し、前記少なくとも３つのセンサは、少なくとも３つの４象限フォトダイオードとして提供され、光源装置が、前記４象限フォトダイオードのそれぞれへの光ビームを生成するように、前記Ｘ線ソースユニットに固定的に取り付けられ、前記４象限フォトダイオードは、前記検出器の平面における動き及び前記光ビームに対する角度傾斜を測定する、前記ミスアライメントを決定するステップと、
ｃ）決定されたミスアライメントに基づいて補正信号を計算するステップと
を有する、方法。
【請求項１０】
ｄ１）アクチュエータに対する駆動信号を前記補正信号に基づいて計算するステップと、
ｄ２）前記Ｘ線ソースユニット及び／又は前記Ｘ線検出ユニットを動かし、調整するために、前記駆動信号をアクチュエータに送信するステップと、
ｄ３）前記Ｘ線ソースユニット及び／又は前記Ｘ線検出ユニットを動かし、調整するステップと
が提供される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
ｅ１）補正係数を前記補正信号に基づいて計算するステップと、
ｅ２）更なる計算ステップのために前記Ｘ線検出器によって提供されたデータを補正するために、前記補正係数を補正ユニットに送信するステップと、
ｅ３）前記補正係数を検討して最終結果をもたらすために、前記Ｘ線検出器によって提供された前記データを評価し計算するステップと
が提供される、請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
処理ユニットによって実行された場合に、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の方法を実行するように適合された、請求項１乃至８のいずれか一項に記載のＸ線イメージングシステムを制御するためのコンピュータプログラム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のコンピュータプログラムプログラムを記憶するコンピュータ可読媒体。