【手続補正書】
【提出日】平成28年5月6日(2016.5.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大径ウェーハを搬送するための着脱式ウェーハクッションを備えたクッション付きウェーハ容器システムであって、
半導体ウェーハを複数枚収容できるよう構成された前面開口と後壁のあるウェーハ容器収容部があって、この収容部にウェーハの縁を受ける複数の挿入部が形成されたウェーハ支持部材が複数設けられ、各ウェーハの外周に第１、第２、第３、第４の象限を定めたときこのウェーハ支持部材がウェーハの第１象限の外周の第１部分と第４象限の外周の第１部分を支持するようになっており、
ウェーハ収容部の前面開口に取り付けられるよう構成された前側と裏側のある前面ドアがあって、その裏側がウェーハ収容部の内部に面しており、
前面ドアの裏側の中央部に主ウェーハクッションが設けられており、この主ウェーハクッションに複数のウェーハ溝が形成され、この溝でウェーハの第１象限の外周の第２部分と第４象限の外周の第２部分を受け入れて支持できるようになっており、主ウェーハクッションの溝がそれぞれウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並んでおり、
前面ドアの裏側に主ウェーハクッションの第１側面と隣接させて取り付けることのできる第１の着脱式ウェーハクッションがあって、この第１の着脱式ウェーハクッションに主ウェーハクッションの溝およびウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並ぶ複数のウェーハ受け溝が形成されており、この第１の着脱式ウェーハクッションでウェーハの第１象限の外周の第３部分を支持できるように構成されており、
前面ドアの裏側に主ウェーハクッションの第２側面と隣接させて取り付けることのできる第２の着脱式ウェーハクッションがあって、この第２の着脱式ウェーハクッションに主ウェーハクッションの溝およびウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並ぶ複数のウェーハ受け溝が形成されており、この第２の着脱式ウェーハクッションでウェーハの第４象限の外周の第３部分を支持できるように構成されていることを特徴とするウェーハ容器システム。
【請求項２】
請求項１のシステムであって、第１象限の外周に第４の支持されていない部分があり、この第４の支持されていない部分の周長が第１の着脱式ウェーハクッションで支持される第３部分の周長よりも短いことを特徴とするシステム。
【請求項３】
請求項１のシステムであって、第１の着脱式ウェーハクッションの溝の頂点に複数のウェーハ当接部が形成されており、ウェーハ収容部が輸送のため縦向きの姿勢にされたときに複数枚のウェーハの縁をこのウェーハ当接部でそれぞれ受けることができるように構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項４】
請求項１のシステムであって、第１の着脱式ウェーハクッションがドアの裏側に取り付けるための複数の取り付け突出片を備えていることを特徴とするシステム。
【請求項５】
請求項４のシステムであって、複数の取り付け突出片がドアの縦方向の隔壁にある複数の穴に取り付けられることを特徴とするシステム。
【請求項６】
請求項１のシステムであって、第１の着脱式ウェーハクッションの前面が主ウェーハクッションの横の余白部に隣接して平行になることを特徴とするシステム。
【請求項７】
請求項１のシステムであって、ウェーハ収容部の後壁に後側の着脱式ウェーハクッションが取り付けられ、ウェーハの一部を受けて支持できるように構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項８】
請求項１のシステムであって、第１の着脱式ウェーハクッションがドアの裏側に着脱可能に取り付けられていることを特徴とするシステム。
【請求項９】
請求項１のシステムであって、ウェーハの第１象限と第４象限において、ウェーハの外周のうち主クッションやウェーハ支持部材で支持されていない部分の半分以上を第１と第２の着脱式クッションで支持できるように構成されていることを特徴とするシステム。
【請求項１０】
ウェーハクッションキットであって、
半導体ウェーハを複数枚収容できるよう構成された前面開口と後壁のあるウェーハ容器収容部があって、この収容部にウェーハの縁を受ける複数の挿入部が形成されたウェーハ支持部材が複数設けられており、
ウェーハ収容部の前面開口に取り付けられるよう構成された前側と裏側のある前面ドアがあって、その裏側がウェーハ収容部の内部に面しており、
前面ドアの裏側に着脱可能に取り付けることのできる第１のウェーハクッションがあって、この第１のウェーハクッションに複数枚のウェーハの縁を受け入れるための複数のウェーハ溝が形成され、この主ウェーハクッションの溝がそれぞれウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並んでおり、この第１のウェーハクッションで複数枚のウェーハを水平状態で受けて支持できるように構成されており、
前面ドアの裏側に着脱可能に取り付けることのできる第１のウェーハクッションがあって、この第１のウェーハクッションに複数枚のウェーハの縁を受け入れるための複数のウェーハ溝が形成され、この主ウェーハクッションの溝がそれぞれウェーハ支持部材の挿入部と一直線上に並んでおり、この第１のウェーハクッションで複数枚のウェーハを立てた状態で受けて支持できるように構成されており、
前面ドアに第１のウェーハクッションと第２のウェーハクッションのいずれかを取り付けることができるように構成されていることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１１】
請求項１０のウェーハクッションキットであって、第１ウェーハクッションが加工工程の間にドアに取り付けられる主ウェーハクッションであることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１２】
請求項１０のウェーハクッションキットであって、第２ウェーハクッションが輸送時にドアに取り付けられることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１３】
請求項１０のウェーハクッションキットであって、第１ウェーハクッションが複数枚のウェーハの縁を受けるための複数の第１当接部を備え、第２のウェーハクッションが複数枚のウェーハの縁を受けるための複数の第２当接部を備えていることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１４】
請求項１３のウェーハクッションキットであって、各ウェーハの外周のうち、第１ウェーハクッションの第１当接部が受ける部分よりも、第２のウェーハクッションの第２当接部が受ける部分のほうが長いことを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１５】
請求項１０のウェーハクッションキットであって、第２ウェーハクッションがドアの中央から横方向に、第１ウェーハクッションが横に張り出す距離よりも長く張り出していることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１６】
請求項１０のウェーハクッションキットであって、ウェーハ収容部の後壁に取り付けられるように構成された後側ウェーハクッションをさらに備えていることを特徴とするウェーハクッションキット。
【請求項１７】
大径で水平型ウェーハ容器をウェーハ輸送容器に転換する方法であって、加工プロセス中にウェーハを支持できるように構成された主ウェーハクッションがウェーハ容器のドアの中央に取り付けられており、
ウェーハ容器の収容部からウェーハ容器のドアを取り外す過程と、
ドアの第１部分に第１の着脱式ウェーハクッションを主ウェーハクッションの第１側面と隣接させて取り付ける過程と、
ドアの第２部分に第２の着脱式ウェーハクッションを主ウェーハクッションの第２側面と隣接させて取り付ける過程とを含むことを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１７の方法であって、収容部の後壁に第１の着脱式後側ウェーハクッションを取り付ける過程をさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１８の方法であって、収容部の後壁に第２の着脱式後側ウェーハクッションを取り付ける過程をさらに含み、第１の着脱式後側ウェーハクッションが後壁の左後部に、第２の着脱式後側ウェーハクッションが後壁の右後部に来ることを特徴とする方法。
【請求項２０】
ウェーハ容器内のウェーハの左前側と右前側の縁に支えを設ける方法であって、ウェーハ容器が対向するウェーハ支持部材を含む収容部と中央にウェーハクッションのあるドアとを備えており、各ウェーハ支持部材が一列のウェーハ棚を備えており、ウェーハの左前側と右前側の縁がウェーハ収容部の左右にあるウェーハ支持棚の最前部よりも前方にあり、
ドアの内側面に底面が三角形状の着脱式左側ウェーハ支持部材を中央のウェーハクッションから横方向外方に差し込む過程と、ドアの内側面に底面が三角形状の着脱式右側ウェーハ支持部材を中央のウェーハクッションから横方向外方に差し込む過程とを含むことを特徴とする方法。
【請求項２１】
中央にウェーハクッションが取り付けられたドアを備える４５０多用途容器で４５０ｍｍウェーハを輸送する方法であって、ドアの内側前面に一対の補助ウェーハクッションを中央のクッションの左右各側に組み付け、この２つの補助クッションと中央のウェーハクッションによって容器内のウェーハを縁の部分でウェーハ支持棚の中間に支持できるようにすることを特徴とする方法。
【請求項２２】
請求項２１の方法であって、組み付ける際に補助ウェーハクッションの突出片をドアの挿入部に差し込むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
請求項２１と請求項２２のいずれかの方法であって、４５０ｍｍウェーハを輸送し終えた後、中央ウェーハクッションはそのままにして補助クッションを取り外すことを特徴とする方法。
【請求項２４】
中央ウェーハクッションが取り付けられたドアを備える４５０容器で４５０ｍｍウェーハを輸送する方法であって、ドアの内側前面に一対の補助ウェーハクッションを中央のクッションの左右各側に組み付け、この２つの補助クッションによってドアに垂直な中心線から角度的に３０度から４５度離れた領域で容器内のウェーハの縁を支持できるようにすることを特徴とする方法。
【請求項２５】
ドアの内側面の既存のクッションの隣に設置するためのウェーハクッションであって、ウェーハを受けるための複数の溝のある弧状部とこの弧状部から突き出たばね部とを備えており、ばね部の反対側にドアの挿入部に結合させるため複数の突出片があって、この突出片を用いて弧状部とばね部に圧縮力を加えて所定の位置にばねを固定することを特徴とするウェーハクッション。
【請求項２６】
ウェーハ容器内のウェーハの左前側と右前側の縁に支えを設ける方法であって、ウェーハ容器が対向するウェーハ支持部材を含む収容部と中央にウェーハクッションのあるドアとを備えており、各ウェーハ支持部材が一列のウェーハ棚を備えており、ウェーハの左前側と右前側の縁がウェーハ収容部の左右にあるウェーハ支持棚の最前部よりも前方にあり、
ドアの内側面に底面がＶ字状の着脱式左側ウェーハ支持部材を中央のウェーハクッションから横方向外方に差し込む過程と、ドアの内側面に底面がＶ字状の着脱式右側ウェーハ支持部材を中央のウェーハクッションから横方向外方に差し込む過程とを含むことを特徴とする方法。
【請求項２７】
請求項２６の方法であって、ドアに取り付ける際にウェーハクッションがばねの付勢力によってドアに保持されることを特徴とする方法。