【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年9月5日(2016.9.5)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を加工する工程が行われる工程チャンバーと，
前記基板に含まれた汚染物質を除去するパージチャンバーと，
前記工程チャンバー及び前記パージチャンバーが側面に連結され，前記工程チャンバー及び前記パージチャンバーの間で前記工程が完了された前記基板を前記パージチャンバーに移送する基板ハンドラーを具備するトランスファチャンバーと，を含み，
前記パージチャンバーは，
内部空間及び前記内部空間に前記基板が出入する通路を有するチャンバーと，
前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，
前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，
前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，
前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，
前記排気ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，
前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，
前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，
前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記基板ホルダは，
前記基板の形状に対応する開口及び前記開口と連通して前記通路側に位置する開放部，そして前記開口の周縁に沿って形成された装着溝を有し上下に積層される複数のローディングプレートと，
前記ローディングプレートの上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を含み，
前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排出孔が，前記ローディングプレート間又は最上段のローディングプレートと前記ホルダ蓋間にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記基板ホルダは，
前記基板の上部に設置される上部フレームと，
前記基板の下部に設置される下部フレームと，
前記上部フレームと前記下部フレームを連結し，前記基板の縁部分が収容される複数の支持スロットが長さ方向に沿って形成された一つ以上の支持ロッドと，
前記基板の上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を具備し，
前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排出孔が，前記基板間又は最上段の基板とホルダ蓋間にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記ガスは不活性ガスであることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記パージチャンバーは，外部から供給された冷媒が循環する冷媒流路を更に有することを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項６】
内部空間及び前記内部空間に基板が出入する通路を有するチャンバーと，
前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，
前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，
前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，
前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，
前記排気ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，
前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，
前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，
前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少し，
前記基板ホルダは，
前記基板の形状に対応する開口及び前記開口と連通して前記通路側に位置する開放部，そして前記開口の周縁に沿って形成された装着溝を有し上下に積層される複数のローディングプレートと，
前記ローディングプレートの上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を含み，
前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排気孔が，前記ローディングプレート間又は最上段のローディングプレートとホルダ蓋間にそれぞれ配置されていることを特徴とするパージチャンバー。
【請求項７】
内部空間及び前記内部空間に基板が出入する通路を有するチャンバーと，
前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，
前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，
前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，
前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，
前記排気ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，
前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，
前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，
前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少し，
前記基板ホルダは，
前記基板の上部に設置される上部フレームと，
前記基板の下部に設置される下部フレームと，
前記上部フレームと前記下部フレームを連結し，前記基板が縁部分が収容される複数の支持スロットを有する一つ以上の支持ロッドと，
前記基板の上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を具備し，
前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排気孔が，前記基板間又は最上段の基板とホルダ蓋間にそれぞれ配置されていることを特徴とするパージチャンバー。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
本発明の一実施形態によると，基板処理装置は基板を加工する工程が行われる工程チャンバーと，前記基板に含まれた汚染物質を除去するパージチャンバーと，前記工程チャンバー及び前記パージチャンバーが側面に連結され，前記工程チャンバー及び前記パージチャンバーの間で前記工程が完了された前記基板を前記パージチャンバーに移送する基板ハンドラーを具備するトランスファチャンバーと，を含み，前記パージチャンバーは，内部空間及び前記内部空間に前記基板が出入する通路を有するチャンバーと，前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，前記排気ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
前記基板ホルダは，前記基板の形状に対応する開口及び前記開口と連通して前記通路側に位置する開放部，そして前記開口の周縁に沿って形成された装着溝を有し上下に積層される複数のローディングプレートと，前記ローディングプレートの上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を含み，前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排出孔が，前記ローディングプレート間又は最上段のローディングプレートと前記ホルダ蓋間にそれぞれ配置されている。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
前記基板ホルダは，前記基板の上部に設置される上部フレームと，前記基板の下部に設置される下部フレームと，前記上部フレームと前記下部フレームを連結し，前記基板の縁部分が収容される複数の支持スロットが長さ方向に沿って形成された一つ以上の支持ロッドと，前記基板の上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を具備し，前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排出孔が，前記基板間又は最上段の基板とホルダ蓋間にそれぞれ配置されている
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
本発明の一実施形態によると，内部空間及び前記内部空間に基板が出入する通路を有するチャンバーと，前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，前記排気ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少し，前記基板ホルダは，前記基板の形状に対応する開口及び前記開口と連通して前記通路側に位置する開放部，そして前記開口の周縁に沿って形成された装着溝を有し上下に積層される複数のローディングプレートと，前記ローディングプレートの上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を含み，前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排気孔が，前記ローディングプレート間又は最上段のローディングプレートとホルダ蓋間にそれぞれ配置されている。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
本発明の一実施形態によると，内部空間及び前記内部空間に基板が出入する通路を有するチャンバーと，前記チャンバーの内部に設置され，複数の前記基板が水平方向で上下に間隔を開けて置かれる基板ホルダと，前記通路を基準に前記チャンバーの一側面に設置されて前記内部空間に向かってガスを供給するガス供給ポートと，前記ガス供給ポートの反対側の前記チャンバーの側面に設置されて前記内部空間の前記ガスを排出する排気ポートと，前記ガス供給ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるよう設けられたガス供給路上に，前記ガス供給ポートを介して供給されたガスを拡散するために相互に間隔を開けて設置された複数の拡散板と，前記排出ポートと前記基板ホルダ間における前記チャンバーの側壁に前記基板ホルダと同じ高さとなるようガス排出路が設けられ，前記内部空間のガスを排出するための前記ガス排出路上に設置された一つ以上のバッフルを含み，前記拡散板から前記バッフルに向かって前記ガスが水平に流れるように，前記ガスは，前記基板の出入方向と垂直の流動方向を有し，前記拡散板の幅と前記バッフルの幅が前記基板の直径よりも大きく，前記ガス供給路の断面積が前記基板ホルダに向かって減少し，前記基板ホルダは，前記基板の上部に設置される上部フレームと，前記基板の下部に設置される下部フレームと，前記上部フレームと前記下部フレームを連結し，前記基板が縁部分が収容される複数の支持面を有する一つ以上の支持ロッドと，前記基板の上部に離隔設置され，前記内部空間を上下に区画するホルダ蓋と，を具備し，前記拡散板のうち，前記基板ホルダに最も近接配置された一の拡散板と前記バッフルが前記基板ホルダと接触し，前記一の拡散板の複数の拡散孔と複数の前記排気孔が，前記基板間又は最上段の基板とホルダ蓋間にそれぞれ配置されている。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
図６に示すように，パージチャンバー１の内部空間１５にボートタイプの基板ホルダ３０を設置することで，基板Ｗと基板ホルダ３０との間の接触面積を最小化することができる。よって，基板Ｗの大部分の面積にガスを供給することができるため基板Ｗに含まれた腐食性ヒュームを殆ど除去することができる。図示していないが，ボートタイプの基板ホルダ３０に，図３を介して説明したホルダ蓋３８を具備することで，内部空間１５を区画して拡散板６０，６４，６７を介して流入されたガスの最大量を基板Ｗに供給することができる。