(57)【要約】【課題】基板の滑りを抑制することによって基板を安定して搬送できる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板５０を搬送する基板搬送装置１００は、基板５０を上側から保持する上乗せローラ１１と、上乗せローラ１１の回転軸となる上乗せローラ軸１２と、上乗せローラ１１に対して基板５０を挟むように配置された搬送ローラ１７と、搬送ローラ１７の回転軸となる搬送ローラ軸１８と、上乗せローラ１１に基板５０への荷重を付加する荷重付加手段２０とを備えている。【選択図】図１
2013131556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置であって、
基板を上側から保持する上乗せローラと、
前記上乗せローラの回転軸となる上乗せローラ軸と、
前記上乗せローラに対して前記基板を挟むように配置された搬送ローラと、
前記搬送ローラの回転軸となる搬送ローラ軸と、
前記上乗せローラに前記基板への荷重を付加する荷重付加手段と
を備えている、基板搬送装置。
【請求項２】
前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられた荷重部材であり、
前記荷重部材は、前記上乗せローラ軸に接続された荷重伝達部材に連結されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記荷重伝達部材は、前記基板の両側に配置されており、
前記両側のそれぞれの側における前記荷重伝達部材に、前記荷重部材が連結されている、請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられたモータである、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記荷重付加手段は、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方である、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方は、前記基板への荷重を付加する材質、または、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方の内部に当該荷重を付加する材質が配置されている、請求項５に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
さらに、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている、請求項１から６の何れか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記上乗せローラ軸は、当該上乗せローラ軸を軸受けする第１上部ベアリングを介して前記荷重伝達部材に接続されており、
前記荷重伝達部材には、前記搬送ローラ軸を軸受けする第１下部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている、請求項１から７の何れか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項９】
さらに、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第１台部材が設けられており、
前記搬送ローラ軸は、前記搬送ローラ軸を軸受けする第２下部ベアリングを介して前記第１台部材に接続されており、
前記第１台部材には、前記上乗せローラ軸を軸受けする第２上部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている、請求項１から８の何れか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項１０】
前記第１台部材に、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている、請求項９に記載の基板搬送装置。
【請求項１１】
前記第１台部材の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を回転駆動させるギア部が設けられており、
前記ギア部の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第２台部材が設けられている、請求項９または１０に記載の基板搬送装置。
【請求項１２】
さらに、前記上乗せローラ軸と前記搬送ローラ軸との間の距離を計測する手段を備えている、請求項１から１１の何れか１つに記載の基板搬送装置。
【請求項１３】
前記基板は、液晶パネル用のマザーガラスであり、
前記基板の上方には、前記基板に液体を吹き付けるスプレーノズルが配置されている、請求項１から１２の何れか１つに記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送する基板搬送装置に関する。特に、フラットパネルディスプレイ（例えば、液晶パネル）の製造に用いられる基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（ＬＣＤ）の構成部品である液晶パネルは、一対のガラス基板を所定のギャップを確保した状態で対向させた構造を有している。液晶パネルの大型化・量産化に伴って、液晶パネルの製造工程で使用されるガラス基板（マザーガラス）は年々大型化している。液晶パネルの製造ラインでは、そのように大型化したガラス基板（マザーガラス）の状態で、ウエットエッチングなどの基板表面の処理が実行される。
【０００３】
近年のマザーガラスは、例えば、１辺が１ｍを越えるようになっている（例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ（第５世代基板）から、２８８０ｍｍ×３１３０ｍｍ（第１０世代基板））。それに伴って、そのような大型化したマザーガラスの基板表面全面を均一にエッチングすることが重要視されている。そして、マザーガラスを搬送する基板搬送装置を用いて、マザーガラスをウエットエッチング処理室に導入し、そして、処理後のマザーガラスを処理室から搬出させることが必要となる。
【０００４】
図１１は、特許文献１に開示されたウエットエッチング装置（エッチング処理装置）１０００の構成を示す図である。図１１に示したウエットエッチング装置１０００は、基板（マザーガラス）１１０２を搬送する搬送手段１１０３と、基板１１０２にエッチング液を吹き付けるスプレーノズル１１０４ａが取付けされたスプレー配管１１０４とを備えている。スプレー配管１１０４は、スプレーノズル１１０４ａにエッチング液を供給する。
【０００５】
図示したエッチング装置１０００には、被エッチング物のエッチング状態を判断するエンドポイントセンサ１１０５が設けられている。エンドポイントセンサ１１０５は、基板１１０２の下方から光を照射する投光器１１０５ｂと、投光器１１０５ｂから出射された光を基板１１０２の上側にて受光する受光器１１０５ａとから構成されている。
【０００６】
また、基板搬送手段１１０３は、基板１１０２を上側から保持する上乗せローラ１１０３ａと、基板１１０２を下側から保持する搬送ローラ１１０３ｂとから構成されている。搬送ローラ１１０３ｂと上乗せローラ１１０３ａに挟まれた基板１１０２は、図中の矢印方向（１５００）に搬送させることができる。例えば、基板搬送手段１１０３によって基板１１０２を所定の位置に移動させた後に停止させて、その位置でエッチング液を吹き付けたり、基板１１０２を移動させながらエッチング液を吹き付けたりすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−１９８６３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、本願発明者の検討によると、図１１に示したウエットエッチング装置１０００では、上乗せローラ１１０３ａと基板１１０２との間、または、搬送ローラ１１０３ｂと基板１１０２との間で滑りが生じて、グリップ力が低下するという問題があることがわかった。
【０００９】
基板搬送手段１１０３は、基板１１０２を搬送可能なように構成されているものの、大型マザーガラスになると基板１１０２自身の質量が大きくなるとともに、その基板１１０２の表面に滞留する液体（例えば、エッチング液、または、洗浄液）の量も膨大となり、当該液体の質量も大きなものとなる。その結果、非常に重たくなった基板１１０２を移動させる場合、または、移動している基板１１０２を停止させる時に、上乗せローラ１１０３ａおよび／または搬送ローラ１１０３ｂのグリップ力では基板１１０２を移動または停止させることができない可能性が生じている。
【００１０】
特に、基板１１０２と上乗せローラ１１０３ａとの間、または、基板１１０２と搬送ローラ１１０３ｂとの間に、粘度の高い薬液（滑りやすいヌルヌルした液体）が挟まると、当該グリップ力が低下して、その結果、基板１１０２の搬送制御が難しくなる。また、基板１１０２の移動から停止させる時には、非常に重たくなった基板１１０２にはより大きな慣性力が働いているため、上乗せローラ１１０３ａと搬送ローラ１１０３ｂとによって基板１１０２を停止させることが難しくなる。
【００１１】
さらに、基板１１０２が大型化すると、基板１１０２に撓みが生じやすくなり、その撓みによって生じた隙間に薬液が入り込みやすくなることが多い。すると、それによってもグリップ力がより低下して、基板１１０２の搬送制御が難しくなる。また、上乗せローラ１１０３ａおよび搬送ローラ１１０３ｂの材質を変更させることによって、グリップ力を向上させることも考えられるが、これらのローラは、薬液に耐える必要があるために、材料変更の選択肢は少なく、それゆえに、材料変更に基づくグリップ力の向上にも限界がある。
【００１２】
エッチング装置１０００内において基板１１０２を停止させる時に、基板１１０２が滑ってしまい、所定の位置から外れた位置で停止したとすると、基板１１０２の全面に均一にエッチング液が吹き付けられなくなることがある。すると、基板１１０２の一部だけエッチングがされたり、または、エッチング装置１０００内に配置されたエアーナイフによる吹き付け跡が基板１１０２に生じたりする可能性がある。
【００１３】
加えて、図１１に示したエッチング装置１０００では、上乗せローラ１１０３ａのシャフトが、基板１１０２の上方に位置しているので、この上乗せローラ１１０３ａのシャフトの影響により、エッチング液の吹き付けが不均一になることがある。そして、それにより、基板１１０２の面内の処理の均一性が損なわれる可能性がある。
【００１４】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、基板の滑りを抑制することによって基板を安定して搬送できる基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る基板搬送装置は、基板を搬送する装置であり、基板を上側から保持する上乗せローラと、前記上乗せローラの回転軸となる上乗せローラ軸と、前記上乗せローラに対して前記基板を挟むように配置された搬送ローラと、前記搬送ローラの回転軸となる搬送ローラ軸と、前記上乗せローラに前記基板への荷重を付加する荷重付加手段とを備えている。
【００１６】
ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられた荷重部材であり、前記荷重部材は、前記上乗せローラ軸に接続された荷重伝達部材に連結されている。
【００１７】
ある好適な実施形態において、前記荷重伝達部材は、前記基板の両側に配置されており、前記両側のそれぞれの側における前記荷重伝達部材に、前記荷重部材が連結されている。
【００１８】
ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記基板の下方に設けられたモータである。
【００１９】
ある好適な実施形態において、前記荷重付加手段は、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方である。
【００２０】
ある好適な実施形態において、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方は、前記基板への荷重を付加する材質、または、前記上乗せローラ軸及び前記上乗せローラのうちの少なくとも一方の内部に当該荷重を付加する材質が配置されている。
【００２１】
ある好適な実施形態では、さらに、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている。
【００２２】
ある好適な実施形態において、前記上乗せローラ軸は、当該上乗せローラ軸を軸受けする第１上部ベアリングを介して前記荷重伝達部材に接続されており、前記荷重伝達部材には、前記搬送ローラ軸を軸受けする第１下部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている。
【００２３】
ある好適な実施形態では、さらに、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第１台部材が設けられており、前記搬送ローラ軸は、前記搬送ローラ軸を軸受けする第２下部ベアリングを介して前記第１台部材に接続されており、前記第１台部材には、前記上乗せローラ軸を軸受けする第２上部ベアリングが上下方向に移動可能な開口部が形成されている。
【００２４】
ある好適な実施形態では、前記第１台部材に、前記基板への荷重を測定するセンサが設けられている。
【００２５】
ある好適な実施形態において、前記第１台部材の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を回転駆動させるギア部が設けられており、前記ギア部の外側には、前記上乗せローラ軸および前記搬送ローラ軸を支持する第２台部材が設けられている。
【００２６】
ある好適な実施形態では、さらに、前記上乗せローラ軸と前記搬送ローラ軸との間の距離を計測する手段を備えている。
【００２７】
ある好適な実施形態において、前記基板は、液晶パネル用のマザーガラスであり、前記基板の上方には、前記基板に液体を吹き付けるスプレーノズルが配置されている。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によると、基板を上側から保持する上乗せローラと、基板を挟むように配置された搬送ローラとを備え、上乗せローラに基板への荷重を付加する荷重付加手段とを備えているので、基板の滑りを抑制することができ、基板を安定して搬送させることができる。その結果、例えばウエットエッチング装置内で基板を停止させる場合において、所定の位置で基板を安定して停止させることができることから、基板の停止の滑りが生じて異なる位置で停止したような場合と比較して、基板の面内処理の均一性を確保することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】（ａ）は、図１におけるIIa-IIa線に沿った断面模式図であり、（ｂ）は、図２（a）におけるIIb-IIb線に沿った断面模式図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】図３におけるIV−IV線に沿った断面模式図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図９】図８におけるIX−IX線に沿った断面模式図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置１００の構成を模式的に示す断面図である。
【図１１】従来のウエットエッチング装置１０００の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図面を参照しながら、本発明の好適ないくつかの実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。
【００３１】
なお、以下の図面において、同じ作用を奏する部材、部位には同じ符号を付し、重複する説明は省略又は簡略化することがある。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚さ等）は、必ずしも実際の寸法関係を正確に反映するものではない。また、図中のハッチングは、構成要素の把握のし易さを主な目的として付しており、必ずしも材料の要素を表現するものではない。加えて、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００３２】
（実施形態１）
以下、図１および図２を参照しながら、本発明の好ましい一実施形態について説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板搬送装置１００の断面構成を模式的に示している。図２（ａ）は、基板搬送装置１００における荷重伝達部材１３の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図１におけるIIa−IIa線に沿った断面模式図である。図２（ｂ）は、荷重伝達部材１３内に配置された第１下部ベアリング３１の周囲構造を模式的に表しており、具体的には、図２（ａ）におけるIIb−IIb線に沿った断面模式図である。
【００３３】
本実施形態の基板搬送装置１００は、基板５０を搬送する装置であり、基板５０は、例えば、フラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板である。本実施形態の基板５０は、液晶パネル用ガラス基板であり、特に、液晶パネルが多面取りされる液晶パネル用マザーガラスである。具体的には、１辺が１ｍを越えるようなマザーガラス（例えば、１１００ｍｍ×１３００ｍｍ（第５世代基板）から、２８８０ｍｍ×３１３０ｍｍ（第１０世代基板））である。なお、基板５０は、液晶パネル用ガラス基板（アレイ基板、カラーフィルタ用基板）に限定されるものではなく、フォトマスク用基板、有機ＥＬ用基板、プラズマディスプレイ用基板などのものでも構わない。
【００３４】
本実施形態の基板搬送装置１００は、基板５０を上側から保持する上乗せローラ１１と、上乗せローラ１１に対して基板５０を挟むように配置された搬送ローラ１７とを備えている。上乗せローラ１１には、上乗せローラ１１の回転軸となる上乗せローラ軸１２が取り付けられている。また、搬送ローラ１７には、搬送ローラ１７の回転軸となる搬送ローラ軸１８が取り付けられている。搬送ローラ１７は、基板５０を搬送方向（この例では、紙面の前方または後方）に搬送するローラ部材である。搬送ローラ軸１８には、上乗せローラ１１と対向した位置に設けられた搬送ローラ１７とともに、基板５０の中央部を支持する中央搬送ローラ１７ｃも取り付けられている。
【００３５】
上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８は、水平方向（この例では、基板５０の主面と平行な方向）に延びている。上乗せローラ軸１２は、基板５０を基準にして鉛直方向９０の上側に配置され、一方、搬送ローラ軸１８は、基板５０を基準にして鉛直方向９０の下側に配置されている。上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８は、それぞれ、それらを回転駆動させるギア部１５（１５ａ、１５ｂ）に接続されている。
【００３６】
本実施形態の基板搬送装置１００は、上乗せローラ１１に、基板５０への荷重を付加する荷重付加手段２０を備えている。図１に示した例では、荷重付加手段２０は、基板（５０）の下方に設けられた荷重部材２１であり、重力によって下向きに（矢印６０参照）押されて、その力が基板５０に加わることになる。本実施形態の荷重部材２１は、いわゆる重りであり、例えば、重量のある素材から構成された部材（金属棒、セラミック部材など）である。荷重部材２１は、上乗せローラ軸１２に接続された荷重伝達部材１３に連結されている。したがって、上乗せローラ軸１２に接続された上乗せローラ１１は、荷重伝達部材１３に連結された荷重部材２１の質量の力（矢印６０）によって、鉛直方向９０の下向きに荷重が付加される。その結果、上乗せローラ１１と搬送ローラ１７とが基板５０を挟む力（グリップ力）が増加する。
【００３７】
本実施形態の荷重伝達部材１３は、次のように構成することができる。本実施形態の構成では、図２（ａ）に示すように、上乗せローラ軸１２を軸受けする第１上部ベアリング３０が、上乗せローラ軸１２に設けられている。上乗せローラ軸１２は、第１上部ベアリング３０を介して荷重伝達部材１３に接続されている。すなわち、荷重伝達部材１３には、第１上部ベアリング３０が配置されるための貫通孔が形成されている。
【００３８】
また、搬送ローラ軸１８を軸受けする第１下部ベアリング３１が、搬送ローラ軸１８に設けられている。荷重伝達部材１３には、第１下部ベアリング３１が上下方向に移動可能な開口部３２が形成されている。荷重伝達部材１３のうちの開口部３２が位置する部分には、図２（ｂ）に示すように、上下方向に移動可能な第１下部ベアリング３１を支持できるように凹部３３が形成されている。したがって、荷重伝達部材１３の凹部３３によって第１下部ベアリング３１は嵌合されているので、第１下部ベアリング３１は上下に移動しても荷重伝達部材１３から外れないようにされている。
【００３９】
本実施形態の基板搬送装置１００は、基板５０の上方から液体を噴霧する基板処理装置（例えば、ウエットエッチング装置、基板洗浄装置など）において使用することができる。具体的には、スプレーノズルを備えたような基板処理装置（例えば、図１１に示したような装置を参照）に用いることができる。その場合、基板５０を搬送する搬送ローラ１７および上乗せローラ１１は、使用する液体（薬液）に対して耐えることができる材質であることが好ましい。使用する液体（薬液）が強い材料侵食性を有している場合、搬送ローラ１７および上乗せローラ１１は、例えば、ポリフッ素化樹脂などから構築することができる。上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８などの部材は、例えば、ステンレスなどから構築することができる。
【００４０】
本実施形態の基板搬送装置１００では、基板５０を上側から保持する上乗せローラ１１と、基板５０を挟むように配置された搬送ローラ１７とを備えている。そして、上乗せローラ１１には、基板５０への荷重を付加する荷重付加手段２０（荷重部材２１）が設けられている。したがって、上乗せローラ１１が基板５０に加える荷重を増加させることができるので、上乗せローラ１１と搬送ローラ１７とが基板５０を挟むグリップ力を向上させることができる。それゆえに、搬送時における基板５０の滑りを抑制することができ、その結果、基板５０を安定して搬送させることができる。
【００４１】
具体的には、基板搬送装置１００が例えばウエットエッチング装置内で使用される場合には、基板搬送装置１００が基板５０を停止させる場合において、所定の位置で基板５０を安定して停止させることができることから、基板５０の停止時に滑りが生じて異なる位置で停止したような場合と比較して、基板５０の面内処理の均一性を確保することが容易となる。したがって、基板処理装置内に配置されたエアーナイフによる基板５０への吹き付け跡が、異なった位置で基板５０が停止した時において生じ得る可能性があるが、本実施形態の構成ではそのようなことを防止することができる。また、基板５０の搬送滑りによって、接液時間が延びることに起因する不良、または、シャワー跡が残ることを抑制することができる。さらに、基板５０の搬送の始動時において搬送ローラ１７の滑りが生じて、基板５０の安定した搬送に時間が生じてスループットの低下がもたらされる場合もあるが、本実施形態の構成ではグリップ力が向上しているのでそのような問題も緩和することができる。
【００４２】
さらには、基板５０への荷重を付加する荷重部材２１は、基板５０の下方に配置されているので、荷重部材２１が、基板５０の上方から噴霧される液体（薬液）を妨げることがない。したがって、本実施形態の基板搬送装置１００では、均一な薬液の噴霧、または、基板５０の面内処理の均一性を確保することが容易となる。また、本実施形態の構成では、荷重伝達部材１３を介して上乗せローラ軸１２に荷重部材２１が連結された構成によって、基板５０への荷重を大きくする機能を上乗せローラ１１に付け加えることができる。すなわち、重りとなる荷重部材２１を追加することによって、上乗せローラ１１に対して、基板５０への荷重を大きくする機能を追加することができるので、当該機能の追加による装置コストの上昇を抑制することができる。
【００４３】
また、本実施形態の構成では、上乗せローラ軸１２は、第１上部ベアリング３０を介して荷重伝達部材１３に接続されている。したがって、荷重部材２１が連結された荷重伝達部材１３によって上乗せローラ軸１２が下方に（鉛直方向９０の下向き）引っ張られていても、上乗せローラ軸１２は、第１上部ベアリング３０を介在させていることによって円滑に回転させることができる。それゆえに、荷重伝達部材１３が存在していても、ギア部１５ａの回転は、上乗せローラ軸１２を通じて、円滑に上乗せローラ１１に伝えることができる。
【００４４】
さらに、搬送ローラ軸１８は、第１下部ベアリング３１を介して荷重伝達部材１３に接続されている。したがって、荷重伝達部材１３が存在していても、ギア部１５ｂの回転は、搬送ローラ軸１８を通じて、円滑に搬送ローラ１７（１７ｃ）に伝えることができる。加えて、この例では、荷重伝達部材１３には、第１下部ベアリング３１が上下方向に移動可能な開口部３２が形成されている。したがって、荷重部材２１が連結された荷重伝達部材１３が上乗せローラ軸１２を下向きに押した時に、すなわち、荷重伝達部材１３が下向きに引っ張られた時に、搬送ローラ軸１８もあわせて下向きに移動してしまうことを防止することができる。さらに説明すると、荷重伝達部材１３が下向きに引っ張られても、搬送ローラ軸１８を、開口部３２の存在によって定位置に留めることができ、相対的にみると、上乗せローラ軸１２と搬送ローラ軸１８との間の距離を縮めることができ、その結果、上乗せローラ１１と搬送ローラ１７とが挟むグリップ力を向上させることができる。
【００４５】
なお、本実施形態の搬送ローラ軸１８は、図１１に示した構成と同様に基板の搬送方向（１５００）に沿って並列に複数本配置することができる。すなわち、基板の搬送方向（１５００）に対して垂直になるように、複数の搬送ローラ軸１８が互いに平行になるように配置することができる。また、上乗せローラ軸１２（または、上乗せローラ１１）は、基板の搬送方向（１５００）における入口と出口との２箇所だけ配置することしてもよいが、２箇所以上配置することも可能である。
【００４６】
また、本実施形態の基板搬送装置１００は、次のように改変することが可能である。図３および図４は、本実施形態の基板搬送装置１００の改変例を示している。図３は、本改変例の基板搬送装置１００の断面構成を模式的に示している。図４は、基板搬送装置１００における台部材１４の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図３におけるIV−IV線に沿った断面模式図である。
【００４７】
本改変例の基板搬送装置１００では、上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８を支持する第１台部材１４が設けられている。上乗せローラ軸１２は、上乗せローラ軸１２を軸受けする第２上部ベアリング３５を介して、第１台部材１４に接続されている。また、搬送ローラ軸１８は、搬送ローラ軸１８を軸受けする第２下部ベアリング３６を介して、第１台部材１４に接続されている。すなわち、第１台部材１４には、第２下部ベアリング３６が配置されるための貫通孔が形成されている。
【００４８】
加えて、第１台部材１４には、第２上部ベアリング３５が上下方向に移動可能な開口部３４が形成されている。なお、第１台部材１４のうち開口部３４が位置する部分には、上述した図２（ｂ）に示した構造と同様に、上下方向に移動可能な第２上部ベアリング３５を支持できるような凹部（不図示）を形成することができる。すなわち、第２上部ベアリング３５は上下に移動しても第１台部材１４から外れないようにすることができる。
【００４９】
本改変例の構成では、搬送ローラ軸１８は、第２下部ベアリング３６を介して第１台部材１４に接続されている。したがって、まず、荷重伝達部材１３が下向きに引っ張られた時において、図２（ａ）に示したように荷重伝達部材１３では開口部３２によって搬送ローラ軸１８の上下移動は、荷重伝達部材１３を下向き移動と切り離すことができる。それとともに、搬送ローラ軸１８の固定位置は、第１台部材１４によって保持することができる。それゆえに、搬送ローラ軸１８の位置を第１台部材１４によって安定して保持することが容易となる。さらには、搬送ローラ軸１８は、第２下部ベアリング３６を介して第１台部材１４に接続されている。したがって、第１台部材１４が存在していても、ギア部１５ｂの回転は、搬送ローラ軸１８を通じて、円滑に搬送ローラ１７（１７ｃ）に伝えることができる。
【００５０】
さらに、第１台部材１４には、第２上部ベアリング３５が上下方向に移動可能な開口部３４が形成されている。したがって、荷重部材２１が連結された荷重伝達部材１３が上乗せローラ軸１２を下向きに引っ張られた時に、この開口部３４の存在によって、上乗せローラ軸１２を下向きに引っ張ることができる。したがって、荷重伝達部材１３が下向きに引っ張られた時に、第１台部材１４によって、搬送ローラ軸１８の位置を固定しつつ、上乗せローラ軸１２を下向き移動させることができる。すなわち、第１台部材１４を設けることによって、上乗せローラ軸１２と搬送ローラ軸１８との間の距離を縮めることをより安定的に実行することができる。
【００５１】
なお、上記説明と同様に、上乗せローラ軸１２は、第２上部ベアリング３５を介して第１台部材１４に接続されているので、第１台部材１４が存在していても、ギア部１５ａの回転は、上乗せローラ軸１２を通じて、円滑に上乗せローラ１１に伝えることができる
【００５２】
また、図３に示した例では、第１台部材１４の外側にギア部１５（１５ａ、１５ｂ）が設けられており、さらにその外側に、第２台部材１６が設けられている。第２台部材１６は、ギア部１５（１５ａ、１５ｂ）から外側に延びた上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８を支持しており、それによって、上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８ならびにギア部１５（１５ａ、１５ｂ）を固定している。第２台部材１６は、ギア部１５の外側に位置する上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８を支持するものであるので、
図４に示したような開口部３４を設けなくてもよいが、第２台部材１６にも、第１台部材１４と同様に開口部３４を設けてもよい。
【００５３】
また、本実施形態の基板搬送装置１００は、次のように改変することが可能である。図５は、本実施形態の基板搬送装置１００の改変例を示している。図１および図３に示した例では、荷重付加手段２０としての荷重部材２１は、基板５０の左右側に配置された一対の荷重伝達部材１３を連結するように一つの荷重部材２１を設けた。しかしながら、本実施形態の基板搬送装置１００は、それに限らず、図５に示すように、複数の荷重部材２２を設けることも可能である。
【００５４】
図５に示した基板搬送装置１００では、基板５０の左右側に配置された一対の荷重伝達部材１３のそれぞれに、図１に示した荷重部材２１よりも大きさの小さい荷重部材２２を設けている。荷重付加手段２０として小さい荷重部材２２を用いる場合には、基板搬送装置１００の下方におけるレイアウトの自由度を向上させることができる。小さい荷重部材２２を用いて、下方への力（重力）６２を大きくしたい場合には、より比重の重い材料（例えば、鉛など）を用いるようにすればよい。
【００５５】
（実施形態２）
次に、図６を参照しながら、本発明の実施形態２の基板搬送装置１００について説明する。図６は、本実施形態の基板搬送装置１００の断面構成を模式的に示している。なお、図６に示した基板搬送装置１００において、図１または上述した実施形態１と共通の部分については説明を省略する。
【００５６】
上述した実施形態１の基板搬送装置１００では、荷重付加手段２０として荷重部材２１（または、荷重部材２２）を使用したが、本発明の実施形態における基板搬送装置１００はそれに限定されない。すなわち、本実施形態における荷重付加手段２０は、図６に示すように、モータ２４から構築されている。このモータ２４は、荷重伝達部材１３を下向きの力（矢印６６参照）によって引っ張ることができる。したがって、荷重伝達部材１３に接続された上乗せローラ軸１２を介して、上乗せローラ１１によって、基板５０に荷重を加えることができる。その結果、上乗せローラ１１と搬送ローラ１７とが基板５０を挟むグリップ力を向上させることができる。
【００５７】
本実施形態の構成では、荷重付加手段２０がモータ（電動モータ）２４から構築されているので、実施形態１における荷重部材２１と比較して、基板５０への荷重を可変することを容易に実行することができる。すなわち、このモータ２４が下向きに引っ張る力（矢印６６参照）を電気的に制御することができるので、電気的な制御によって、あるプロセスにおいて処理される基板５０に対して加える好適な荷重を簡便に加えることができる。具体的には、基板５０に吹き付ける液体（薬液）の量または粘度、基板５０の大きさまたは厚さによって、基板５０に加える荷重を適宜好適なものに変化させたい場合がある。上述の実施形態１の構成では、荷重部材２１を取り替えて、適切な重さの荷重部材２２に変更することが必要であるが、本実施形態の構成では、モータ２４の出力を変更することでその好適な荷重を実現することができる。
【００５８】
また、必要以上の荷重が基板５０に加わると、基板５０の割れが生じたり、搬送負荷がかかったりする可能性があるとともに、ギアの摩耗などが発生する可能性がある。本実施形態の構成では、モータ２４によって荷重を適切なものに調整することができるので、そのような問題を回避することができる。また、モータ２４によって下向きの力を加えることを前提として、モータ２４の力が加わっていない時に、上向きの力が発生するように付勢手段（バネなど）を用いた機構にして、モータ２４による力の調整をより容易にした構造にすることも可能である。
【００５９】
また、図６に示した基板搬送装置１００では、基板５０への荷重を測定するセンサ２５が設けられている。このセンサ２５で計測した荷重を、モータ２４にフィードバックして制御することができる。この例では、センサ２５は、搬送ローラ軸１８に加わる応力（下向きの応力）を測定することによって、基板５０への荷重を算出している。ただし、基板５０への荷重を測定できるセンサであれば、この構成に限定されず他の構成例のものを採用しても構わない。
【００６０】
また、本実施形態の基板搬送装置１００は、次のように改変することが可能である。図６は、本実施形態の基板搬送装置１００の改変例を示している。図６に示した基板搬送装置１００は、図３に示した構成における荷重部材２１を、モータ２４に変更したものである。図６に示した構成では、第１台部材１４（および第２台部材１６）によって、上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８が支持されているので、モータ２４によって下向きの力（矢印６６参照）を加える時において、安定して基板５０への荷重を加えることが容易となる。
【００６１】
図８および図９は、本実施形態の基板搬送装置１００の改変例を示している。図８は、本改変例の基板搬送装置１００の断面構成を模式的に示している。図９は、基板搬送装置１００における台部材１４の断面構成を模式的に示しており、具体的には、図８におけるIX−IX線に沿った断面模式図である。
【００６２】
図８および図９に示した基板搬送装置１００では、第１台部材１４に、基板５０への荷重を測定するセンサ２８を設けた構成を示している。この例のように、第１台部材１４に加わる力（応力）をセンサ２８で測定することによって、基板５０への荷重を算出することが可能である。そして、このセンサ２８で計測した荷重を、モータ２４にフィードバックして制御することができる。
【００６３】
また、図６および図８に示したセンサ（２５、２８）に限らず、図８に示すように、上乗せローラ軸１２および搬送ローラ軸１８の間の距離を測定する手段（２９ｃ）を用いて、基板５０への荷重を測定することも可能である。ここでは、上乗せローラ軸１２の端部および搬送ローラ軸１８の端部に、軸間の距離を測定する部材２９（２９ａ、２９ｂ）を取り付けて、その部材２９（２９ａ、２９ｂ）の間の距離を測定している。測定用部材２９ａ、２９ｂの間の距離が小さければ、基板５０に大きな荷重が加わっており、測定用部材２９ａ、２９ｂの間の距離が大きければ基板５０に加わっている荷重は小さくなる。
【００６４】
測定用部材２９ａ、２９ｂの間の距離を測定する手段としては、両者の間の距離を測定する光学センサを挙げることができる。また、測定用部材２９ａ、２９ｂの間に弾性部材（例えば、バネ）を配置して、その弾性部材の変位によって両者の間の距離、または、基板５０に加わる荷重を算出してもよい。また、測定用部材２９ａ、２９ｂの間に配置された弾性部材２９ｃは、過剰な荷重が基板５０に加わらないための荷重ストッパ部材として機能するようなものを配置しても構わない。
【００６５】
（実施形態３）
次に、図１０を参照しながら、本発明の実施形態３の基板搬送装置１００について説明する。図１０は、本実施形態の基板搬送装置１００の断面構成を模式的に示している。なお、図１０に示した基板搬送装置１００において、図１または上述した実施形態１（または実施形態２）と共通の部分については説明を省略する。
【００６６】
上述した実施形態１の基板搬送装置１００では、荷重付加手段２０として荷重部材２２（または、荷重部材２１）を使用したが、本実施形態における荷重付加手段２０は、図１０に示すように、上乗せローラ軸１２ａおよび上乗せローラ１１ａのうちの少なくとも一方である。具体的には、上乗せローラ軸１２ａ及び／又は上乗せローラ１１ａは、上述した実施形態１における上乗せローラ軸１２及び／又は上乗せローラ１１よりも質量が大きいものから構成されている。
【００６７】
したがって、本実施形態の上乗せローラ軸１２ａ及び／又は上乗せローラ１１ａは、実施形態１の構成と比較して、下向きへの力（矢印６４）が大きくなる。その結果、上乗せローラ１１によって、基板５０に荷重を加えることができるので、上乗せローラ１１と搬送ローラ１７とが基板５０を挟むグリップ力を向上させることができる。
【００６８】
上乗せローラ軸１２及び／又は上乗せローラ１１の質量を、上述した実施形態１のもの（典型的な形態のもの）よりも大きくするには、それらを構築する材料として、比重が重い材料を使用するか、あるいは、それらの部材の内部に比重が重い材料を配置する構造を挙げることができる。そのような比重が重いものとしては、例えば、金属（ステンレス、鉄など）を耐薬液性の材料（ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、テフロン（登録商標）など）で被覆したものを挙げることができる。
【００６９】
以上、本発明を好適な実施形態により説明してきたが、こうした記述は限定事項ではなく、勿論、種々の改変が可能である。例えば、上述した実施形態では、基板処理装置（ウエットエッチング装置など）における基板搬送装置１００の構成について説明したが、基板処理装置以外の箇所において本実施形態の基板搬送装置１００の構成を採用することも可能である。また、上述したように、液晶パネルの製造工程だけでなく、他の製品の製造工程における基板搬送に、本実施形態の基板搬送装置１００の構成を用いることが可能である。さらに、上述した各実施形態または改変例における各要素を相互に適用することも可能である。具体的には、本発明の実施形態１の構成において、基板５０への荷重を測定するセンサ２５などを搭載することが可能である。また、荷重付加手段２０として、例えば荷重部材２１とモータ２４とを共に使用するような構成を採用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明によれば、基板の滑りを抑制することによって基板を安定して搬送できる基板搬送装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００７１】
１１   上乗せローラ
１２   上乗せローラ軸
１３   荷重伝達部材
１４   台部材（第１台部材）
１５   ギア部
１６   第２台部材
１７   搬送ローラ
１７ｃ 中央搬送ローラ
１８   搬送ローラ軸
２０   荷重付加手段
２１   荷重部材
２２   荷重部材
２４   モータ
２５   センサ
２８   センサ
２９   軸間測定用部材
３０   第１上部ベアリング
３１   第１下部ベアリング
３２   開口部
３３   凹部
３４   開口部
３５   第２上部ベアリング
３６   第２下部ベアリング
５０   基板
６０   矢印
６４   矢印
６６   矢印
９０   鉛直方向
１００ 基板搬送装置
１０００      ウエットエッチング装置
１１０２      基板
１１０３      基板搬送手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2013131556.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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