(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを収納し密閉される可搬式密閉コンテナと、前記可搬式密閉コンテナ内を不活性ガスで置換するガス置換装置と、前記ガス置換装置から排気される前記不活性ガスを含む排気ガスを前記ガス置換装置外に放出するガス排気管とを備えてなる可搬式密閉コンテナのガス給排気システムにおいて、前記ガス排気管には、前記ガス置換装置から排気される前記排気ガスを酸素ガスで混合して、この混合後の混合ガスの濃度を人体に影響のない所定濃度領域としてクリンルーム内に放出するガス排気装置を接続したことを特徴とする可搬式密閉コンテナのガス給排気システム。
【請求項２】
前記ガス排気装置は、前記ガス置換装置から前記ガス排気管を通して排気される前記排気ガスと外部から供給される酸素ガスとを混合させるガス混合室と、前記ガス混合室で混合された混合ガスの不活性ガス、又は酸度ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段と、前記ガス混合室内に供給される前記酸素ガスの流量を変化させる流量制御手段と、前記ガス濃度検出手段からの検出信号に基づいて、前記ガス混合室内で混合された混合ガス中の前記不活性ガス又は酸素ガスの濃度を人体に影響のないガス濃度設定領域内となるように前記流量制御手段を制御する制御装置と、前記混合ガスをフィルターで清浄して放出する清浄室とを、備えてなることを特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナのガス給排気システム。
【請求項３】
前記制御装置には、前記ガス濃度設定領域を変動可能とする濃度設定器が接続されていることを特徴とする請求項１記載の可搬式密閉コンテナのガス給排気システム。
【請求項４】
前記ガス置換装置と前記ガス排気装置とが、一体型して形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の可搬式密閉コンテナのガス給排気システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリンルーム内で半導体ウエハの搬送に用いられる可搬式コンテナに係わり、特に、可搬式コンテナ内を不活性ガスの雰囲気に置換するガス給排気システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造は、内部雰囲気を清浄化したクリンルーム内において行われるが、クリンルーム内での各工程間の搬送においても、半導体処理装置内と同等以上のクリーン環境下とするように、この半導体ウエハを段々に収納したウエハカセットを可搬式密閉コンテナに収納して行うことも試みられ始められた。
更に、半導体の製造は微細加工が極限まで進み、膜厚も薄く導線も極細線になると、半導体ウエハの自然酸化による極薄の酸化膜をも問題視され始め、可搬式密閉コンテナの内部にガス置換装置で不活性ガス（例えば、窒素ガス）を供給して、半導体ウエハの自然酸化膜成長の原因となる酸素を可搬式密閉コンテナ外に放出し、コンテナ内の内部雰囲気を不活性ガスに置換している。
【０００３】
このように、可搬式密閉コンテナの内部雰囲気を不活性ガスに置換するガス給排気システムとしては、本願発明者は、図３に示すものを提案し、以下に説明する。
図３において、可搬式密閉コンテナのガス給排気システムは、クリンルーム１内の配置されたガス置換装置３と、ガス排気管４とから構成され、このガス置換装置３上に不活性ガス（例えば、窒素ガス）で置換される可搬式密閉コンテナ２（以下、単に、密閉コンテナ２という。）が載置される。この密閉コンテナ２は、内部に半導体ウエハＷを収納するウエハカセット７を蓋２Ａ上に載置して気密に収納している。
また、ガス置換装置３は、内部に昇降台５を有する昇降装置６が配置されており、この昇降台５がガス置換装置３の上方開口部３Ａ内に嵌合されてガス置換装置３を気密にしている。また、ガス置換装置３には、図示していない不活性ガス供給装置と上方開口部３Ａとを連通する給気管８と、上記不活性ガス供給装置から供給される不活性ガスを排気する排気管４とがそれぞれ接続されている。このガス排気管４はガス置換装置３内に開口する排気管９と、この排気管９に連続してクリンルーム１の外部まで延びる主排気管４Ａとから構成されている。尚、主排気管４Ａはクリンルーム内１に配置される図示していない半導体製造装置等や搬送装置の作動の障害とならないように、クリンルーム１の穴付き床板１５（グレーチング）の下部に配置されていると共に、ガス置換装置３のみならず上記半導体装置等からの排気ガスも一括して排気できるように接続されている。１０は給気管８中に配置された給気弁、１１は排気管９中に配置された排気弁、１２は主排気管４Ａから各装置の排気ガス等を吸引そてクリンルームの外部に放出する吸引ファン、１３は吸引ファン１２で吸引された排気ガス等に存在する塵や埃を除去するフィルターである。
【０００４】
そして、密閉コンテナ２内を不活性ガスで置換するために、密閉コンテナ２をガス置換装置３の開口部３Ａを覆う状態でガス置換装置３と、昇降装置６の昇降台５上に亘って気密に載置した後、この昇降台５との結合により密閉コンテナ２の蓋２Ａを開状態にする。そして、昇降台５を蓋２Ａ、ウエハカセット７とともに下降させて密閉コンテナ２内とガス置換装置３とを連通状態にした後、給気弁１０及び排気弁１１を開弁すると共に、吸引ファン１２を作動させる。
これにより、上記不活性ガス供給装置から不活性ガスがガス置換装置３、密閉コンテナ２内に供給され、半導体ウエハＷの自然酸化膜成長の原因となる酸素ガス等が不活性ガスとともに排気ガスとして吸引ファン１２で吸引され排気管６、主排気管４Ａを通った後、フィルター１３を通過する際に穴付き床板１５からクリンルーム１内の空気も吸引してクリンルーム１の外部に放出される。
その後、所定時間が経過してガス置換装置３と密閉コンテナ２内の不活性ガスの純度が上がって置換されると、給気弁１０及び排気弁１１を閉弁して、ガス置換装置３への不活性ガスの供給と、ガス置換装置３からの排気ガスの排気を停止した後、昇降装置６の昇降台５を蓋２Ａ、ウエハカセット７と共に上昇して、密閉コンテナ２内に気密にウエハカセット７を収納する。
【０００５】
ところで、本願発明者が図３で提案した可搬式密閉コンテナのガス給排気システムでは、クリンルーム内に配置される半導体製造装置や、クリンルーム内を走行する搬送装置の走行経路の確保等の関係から、ガス置換装置をガス排気管の主排気管の近傍に設置されるという保証はなく、この主排気管から離れた場所に配置されると排気管が長くなってしまい、長くなった排気管を通る排気ガスの排気抵抗が増加して良好に排気できなくなることが想定される。この結果、密閉コンテナの内部雰囲気を不活性ガスで置換するガス置換装置の置換性能が低下するという問題が浮上する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
この問題を解決するためには、ガス置換装置から排気される排気ガスを主排気管を通すことなく、直接、クリンルーム内に放出することで、排気管の長さが短縮でき、排気管の排気抵抗の増加によるガス置換装置の置換性能の低下は解消される。また、主排気管の設置位置に気づかうことなく、ガス置換装置をクリンルーム内で自由に配置することができる。
【０００７】
しかしながら、ガス置換装置からの排気ガスをクリンルーム内に放出すると、クリンルーム内の排気ガスに対する濃度が上昇し、酸素不足の状態に陥ることになる。この結果、クリンルーム内での作業者が酸欠症状を起こす可能性が高く、また、直ちに、酸欠症状を起こさなくても、いつ何時、酸欠症状に陥るかもしれないという不安状態で作業を行うことになる。また、ガス置換装置からの排気ガスをクリンルーム内に放出することで衛生上、好ましくないという問題が発生する。
【０００８】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、ガス置換装置から排気される不活性ガスを作業者に影響のない混合ガスに変化させて、クリンルーム内に放出することにより、クリンルーム内の配置の自由度と、クリンルーム内で作業する作業者の安全衛生を図ることのできる可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを提供する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の可搬式密閉コンテナのガス給排気システムでは、請求項１においては、半導体ウエハを収納し密閉される可搬式密閉コンテナと、前記可搬式密閉コンテナ内を不活性ガスで置換するガス置換装置と、前記ガス置換装置から排気される前記不活性ガスを含む排気ガスを前記ガス置換装置外に放出するガス排気管とを備えてなる可搬式密閉コンテナのガス給排気システムにおいて、前記ガス排気管には、前記ガス置換装置から排気される前記排気ガスを酸素ガスで混合して、この混合後の混合ガスの濃度を人体に影響のない所定濃度領域としてクリンルーム内に放出するガス排気装置を接続したことを特徴とするものである。これにより、ガス置換装置の排気ガスに酸素ガスを混合して、混合後の混合ガスの濃度をクリンルーム内で作業する作業者に影響を与えない所定濃度にして、クリンルーム内に放出することができる。
【００１０】
請求項２においては、請求項１のものに、前記ガス排気装置は、前記ガス置換装置から前記ガス排気管を通して排気される前記排気ガスと外部から供給される酸素ガスとを混合させるガス混合室と、前記ガス混合室で混合された混合ガスの不活性ガス、又は酸度ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段と、前記ガス混合室内に供給される前記酸素ガスの流量を変化させる流量制御手段と、前記ガス濃度検出手段からの検出信号に基づいて、前記ガス混合室内で混合された混合ガス中の前記不活性ガス又は酸素ガスの濃度を人体に影響のないガス濃度設定領域内となるように前記流量制御手段を制御する制御装置と、前記混合ガスをフィルターで清浄して放出する清浄室とを、備えてなることを特徴とするものである。
これにより、ガス濃度検出手段からの検出信号に基づいて、制御装置が流量制御手段を制御して、ガス混合室に供給される酸素ガスの流量をガス置換装置から排気される排気ガスの流量に応じて変化させることで、クリンルーム内で作業する作業者に影響を与えないようにガス混合室内の混合ガスの不活性ガス、又は酸素ガスのガス濃度設定領域内となるように確実にコントロールし、クリンルーム内に放出することができる。
【００１１】
請求項３においては、請求項２のものに、前記制御装置には、前記ガス濃度設定領域を変動可能とする濃度設定器が接続されていることを特徴とするものである。
これにより、ガス混合室の混合ガス中の不活性ガス、又は酸素ガスのガス濃度設定領域を、クリンルーム内の環境に応じて設定できる。
【００１２】
請求項４においては、請求項１又は請求項２のものに、前記ガス置換装置と前記ガス排気装置とが、一体型して形成されていることを特徴とするものである。これにより、ガス給排気システムがコンパクトになり、搬送も容易に行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムについて説明する。図１は本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを示す模式図、図２は本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを構成するガス置換装置とガス排気装置を一体型にした縦断面図である。尚、図１及び図２において、本願発明者が提案したシステムである図３と同一の符号は同一の部材を示すので、その説明を要略する。
【００１４】
図１において、本発明の実施の形態のおける可搬式密閉コンテナのガス給排気システムは、本願発明者が提案したシステムである図３に示したガス置換装置３に、ガス排気装置１６を連結してガス置換装置３から排気される排気ガス〔不活性ガス（例えば、窒素ガス）と、酸素ガス（空気）の混合ガス〕をクリンルーム１内に排気可能としたものである。このガス排気装置１６は、ガス混合室１７と、ガス混合室１７内に供給する酸素ガスの流量を変化させる流量制御手段となる流量制御弁１８と、ガス混合室１７内に供給されるガス置換装置３からの排気ガスと酸素ガスとの混合ガスの濃度を検出するガス濃度検出手段であるガス濃度センサ１９と、ガス濃度センサ１９の出力に基づいて流量制御弁１８の開弁度を制御する制御装置１０と、混合室１７からの混合ガスを清浄してクリーンルーム１内に放出する清浄室２１とを主要部として構成されている。
【００１５】
ガス混合室１７は、絞り管２３を通して清浄室２１に連通している。この清浄室２１は絞り管２３が開口する側壁２１ａに対向する側がクリンルーム１内に開口しており、この開口側からフィルター１３が挿入されて、側壁２１ａとの間に流体放射空間Ａを区画している。また、ガス混合室１７と清浄室２１とを連通する絞り管２３は、各室１７，２３より小径にされている。すなわち、後に説明するが、ガス混合室１７にガス置換装置３から排気される排気ガスと、図示しない酸素ガス貯蔵器から供給される酸素ガスとの混合ガスが、ガス混合室１７から絞られる状態で絞り管２３を通って、清浄室２１内の流体放射空間Ａに放射状に流出するように、絞り管２３の径を各室１７，２１より小さくしたのものである。
【００１６】
また、ガス混合室１７の絞り管２３が開口する側壁に対向する側壁１７ａには、ガス置換装置３に連絡される排気管９が開口しており、この排気管９中にはガス置換装置３から排気される排気ガスを吸引してガス混合室１７内に供給する吸引装置２５（例えば、ポンプ、ファン等）が配置されている。そして、排気管９からガス混合室１７内に供給される排気ガスの流れ方向ａに直交する方向から、図示していない酸素ガス貯蔵装置に貯蔵された酸素ガスをガス混合室１７内に供給する酸素ガス供給管２２が、例えば、ガス混合室１７の上壁１７ｂに開口している。
【００１７】
また、酸素ガス供給管２２には、上記酸素ガス貯蔵装置側からガス混合室１７に向かって、順々に、上記酸素ガス貯蔵装置から酸素ガスを吸引する吸引装置３０（例えば、ポンプ、ファン等）と、流量制御弁１８とが配置されている。この流量制御弁１８は、排気管９及び酸素ガス供給管２２中のそれぞれに配置された吸引装置２５，３０とともに、制御装置２０に接続されており、この制御装置２０の各種指令に基づき作動する。
【００１８】
ガス濃度検出手段１９は、ガス混合室１７と清浄室２１とを連絡する絞り管２３内に配置されて、ガス混合室１７で混合される排気ガスと酸素ガスからなる混合ガスのうち、酸素ガスの含有率（酸素ガス濃度）を検出する酸素ガス濃度検出センサ（以下、酸素ガス濃度検出センサ１９という。）であって、絞り管２３を通過する混合ガスの酸素ガス濃度に応じた酸素ガス濃度検出信号ｂを制御装置２０に送出する。ここで、酸素ガス濃度検出センサ１９は、磁気モーメントを発生する数の少ない常磁性気体として知られる酸素ガスの特性を利用した、例えば、磁気風方式や圧力検出式の磁気式酸素計等が用いられる。
【００１９】
そして、制御装置２０は、酸素ガス濃度検出センサ１９からの酸素ガス濃度検出信号ｂを入力すると、この内部に予め設定され、又は濃度設定器１６で入力設定される人体に影響のない酸素ガス濃度領域データｃ（例えば、酸素濃度領域データの上限値を３０％、下限値を１８％とする領域に設定する。）と、酸素ガス濃度検出信号ｂとを比較して、流量制御弁１８の開弁度を決定する開弁度指令ｄ（電圧）を流量制御弁１８に送出すると共に、各吸引装置２５，３０に対して作動指令ｅを送出する。
【００２０】
本発明の実施の形態におけるガス給排気システムは、以上のように構成されるが、次にガス給排気システムの作動について説明する。尚、説明の便宜上、給気管８中の給気弁１０、流量制御弁１８は閉弁状態あり、また、各吸引装置２５，３０は作動していないものと、更に、昇降台５がガス置換装置３の上方開口部３Ａ内に嵌合されてガス置換装置３内を気密にしているものとする。
【００２１】
先ず、密閉コンテナ２内を不活性ガスで置換するために、密閉コンテナ２をガス置換装置３の開口部３Ａを覆う状態でガス置換装置３、昇降装置６の昇降台５上に亘って気密に載置した後、昇降台５を上昇させて開口部３Ａから密閉コンテナ２の蓋２Ａに結合して開状態にする。そして、昇降台５を蓋２Ａ、ウエハカセット７とともに下降させて可搬式コンテナ２内とガス置換装置３とを連通状態にした後、給気弁１０を開弁して図示しない不活性ガス供給器から不活性ガス（例えば、窒素ガス）をガス置換装置３及び密閉コンテナ２内に供給する。このとき、制御装置２０は、初期条件として排気管９中の吸引装置２５に作動指令ｅを送出して、吸引装置２５を作動させる。これにより、吸引装置２５ガス置換装置３から排気ガスを吸引して、排気管９を通してガス排気装置１６のガス混合室１７内に流出する。
【００２２】
また、不活性ガスをガス置換装置３に供給する作動と同時に、制御装置２０は酸素ガス供給管２２中の吸引装置３０と、流量制御弁１８との各々に作動指令ｅ、開弁指令ｄを送出する。これにより、吸引装置３０が上記酸素ガス貯蔵器から酸素ガスを吸引して、酸素ガス供給管２２、流量制御弁１８を通してガス排気装置１６のガス混合室１７に流出する。
そして、排気管９から排気される排気ガスと、酸素ガス供給管２２から供給される酸素ガスとは、互いにその流れ方向が直交するようにガス混合室１７に流出するので、このガス混合室１７内で十分に混合されることになる。
【００２３】
次いで、ガス混合室１７で混合された排気ガスと酸素ガスとの混合ガスは、ガス混合室１７から絞られる状態で絞り管２３を通った後、この絞り管２３より大きいくなっている清浄室内２１の流体放射空間Ａ内に放射状に流出する。
このように、ガス混合室１７からの混合ガスが絞り管２３を通過する際に、酸素ガス濃度検出センサ１９が絞り管２３を通過する混合ガスの酸素ガス濃度を検出して、混合ガスの酸素ガス濃度の応じた酸素ガス濃度検出信号ｂを制御装置２０に送出する。
そして、酸素ガス濃度検出センサ１９からのガス濃度検出信号ｂを入力した制御装置２０は、予め設定された、又は濃度設定器２６で入力設定された酸素ガス濃度領域データｃと、ガス濃度検出信号ｂとを比較し、例えば、絞り管２３を通過する混合ガスの酸素ガス濃度が人体に影響のない酸素ガス濃度領域データｃの下限値以下であると流量制御弁１８の開弁度を最大とする開弁指令ｄを流量制御弁１８に送出し、酸素ガス濃度が人体に影響のない酸素ガス濃度領域データｃの下限値から上限値に向かう程、流量制御弁１８の開弁度が段々に小さくなるような開弁指令ｄを流量制御弁１８に送出する。これにより、流量制御弁１８が、制御装置１０からの開弁度指令ｄに基づいてその開弁度を変化させて、上記酸素ガス貯蔵器から吸引装置３０で吸引された酸素ガスの通過流量を制御して、ガス混合室１７内に流出される酸素ガスの流量を変化させる。この結果、ガス置換装置３から排気される排気ガス量に応じて、クリンルーム１内に排気される混合ガス中の酸素ガス濃度を酸素ガス濃度領域データｃ内とするように、ガス混合室１７内に上記酸素ガス貯蔵器から、吸引装置３０、流量制御弁１８を通して酸素ガスの流量を変化させて流出させることができる。
【００２４】
そして、ガス混合室１８から絞り管２３を通った混合ガスは、清浄室１６内の流体放射空間Ａに放射状に流出して、清浄室１６内に挿入されているフィルター１３の全面からこの内部に流入して、このフィルター１３を通過する際に混合ガス内に存在する塵や埃が除去された後、清浄室１６の開口からクリンルーム１内に放出されるが、この放出される混合ガスは人体に影響を与えない酸素ガス濃度とされているので、クリンルーム１内で作業する作業者が酸欠症状に陥ることもなく、安全且つ衛生に作業が行える。
【００２５】
その後、所定時間が経過してガス置換装置３と密閉コンテナ２内の不活性ガスの純度が上がって置換されると、給気弁１０、流量制御弁１８を閉弁すると共に、各吸引装置２５，３０を停止して、ガス置換装置３への不活性ガスの供給と、ガス置換装置３からの排気ガスの排気を停止した後、昇降装置６の昇降台５を蓋２Ａ、ウエハカセット７と共に上昇して、密閉コンテナ２内に気密にウエハカセット７を収納して、密閉コンテナ２の不活性ガスでの置換を完了する。
【００２６】
尚、本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテのガス給排気システムにおいては、ガス置換装置３とガス排気装置１６とを別々に設けたものを示したが、これに限定されるものでなく、図２に示すように、ガス置換装置３とガス排気装置１６とを直列的に一体型に形成したものであってもよい。なお、この場合において、図２に示すように、ガス置換装置３の下側に連続してガス混合室１７を一体形成すると共に、ガス混合室１７内に清浄室２１を設けたものである。また、ガス置換装置３とガス混合室１７とを連通する排気管９には、ガス混合室１７からの混合ガスの流れを阻止する逆止弁２７が配置されている。
そして、ガス混合室１７内で、ガス置換装置３から排気される排気ガスと上記酸素ガス貯蔵器から供給される酸素ガスとの混合をうまく行わせるため、酸素ガス供給管２２を、排気管９からガス混合室１７内に供給される排気ガスの流れ方向ａに直交する方向からガス混合室１７内に開口させ、この酸素ガス供給管２２の直下に清浄室２１を設けた。
尚、図２における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムの作動は、上記図１に示したガス給排気システムと同様に行われる。また、図２では直列的に一体としているため不活性ガスの供給流量でもってガス混合室１７内に流されるため吸引装置２５は必要とはしない。
【００２７】
尚、本発明の図１及び図２に示す、可搬式密閉コンテナのガス給排気システムにおいては、ガス濃度検出手段１９として酸素ガス濃度検出センサを用いたものを示したが、これに限定されるものでなく、ガス混合室１７で混合される混合ガスのうち不活性ガスである窒素ガスの濃度を検出する窒素ガス濃度検出センサを用いてもよい。
また、ガス混合室１７内における、ガス置換装置３からの排気ガスと、上記酸素ガス貯蔵器からの酸素ガスとの混合を促進するために、図１に示すように、ガス混合室１７内に攪拌装置２４を設けてもよい。
更に、フィルター１３は、従来から使用されているのもでも構わないが、クリンルーム１内の環境に応じて、微粒子の補集率が高く、フィルター自体による圧力損失が極めて低いという性能をもつ超高性能フィルター（ＨＥＰＡフィルター）、又は超高性能フィルター（ＨＥＰＡフィルター）以上の性能を持つ超々高性能フィルター（ＵＬＰＡフィルター）を用いてもよい。
また、本発明の図１及び図２の可搬式密閉コンテナのガス給排気システムにおては、ガス混合室１７で混合された混合ガスをクリンルーム１内に放出することについて説明したが、クリンルーム１の外部に放出するようにしてもよい。なお、予めガス置換装置３から排気される排気ガスに含まれる不活性ガスが少量であるとわかっている時には、上記の酸素ガス貯蔵器に代え空気貯蔵器を設置し空気を供給しても良い。
更に、半導体の製造が行われているクリーンルーム１内は、通常そのクリーン度を保つために空調が行われている。従って、図１及び図２に示した可搬式密閉コンテナのガス給排気システムにおいて、上記酸素ガス貯蔵器や空気貯蔵器を酸素ガス供給管２２に接続することなく、クリーンルーム１内の空気を直接、酸素ガス供給管２２から吸引装置３０で吸引して、ガス混合室１７内に供給するようにしたものであっても良い。
【００２８】
【発明の効果】
このように本発明の可搬式密閉コンテナのガス給排気システムによれば、
請求項１では、ガス置換装置の不活性ガスに酸素ガスを混合して、混合後の混合ガスの濃度をクリンルーム内で作業する作業者に影響を与えない所定濃度にして、クリンルーム内に放出することができる。この結果、クリンルーム内の作業者が安全、且つ安心して作業できると共に、クリンルーム内での配置の自由度が増加する。
【００２９】
請求項２においては、請求項１の効果に加えて、ガス濃度検出手段からの検出信号に基づいて、制御装置が流量制御手段を制御して、ガス混合室に供給される酸素ガスの流量をガス置換装置から排気される排気ガスの流量に応じて変化させることで、クリンルーム内で作業する作業者に影響を与えないようにガス混合室内の混合ガスの不活性ガス、又は酸素ガスのガス濃度設定領域内となるように確実にコントロールし、クリンルーム内に放出することができる。この結果、クリンルーム内の作業者が安全、且つ安心して作業できると共に、クリンルーム内での配置の自由度が増加する。
【００３０】
請求項３においては、請求項２の効果に加えて、ガス混合室の混合ガス中の不活性ガス、又は酸素ガスのガス濃度設定領域を、クリンルーム内の環境に応じて設定できる。
【００３１】
請求項４においては、請求項１又は請求項２の効果に加えて、ガス給排気システムがコンパクトになり、搬送も容易に行うことができ、クリンルーム内の空間を無駄なく使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを示す模式図である。
【図２】本発明の実施の形態における可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを構成するガスパージステーションとガス排気装置を一体型にした縦断面図である。
【図３】本願発明者が提案した可搬式密閉コンテナのガス給排気システムを示す模式図である。
【符号の説明】
Ｗ  半導体ウエハ
１  クリンルーム
２  可搬式密閉コンテナ
３  ガス置換装置
４  ガス排気管
１３  フィルター
１６  ガス排気装置
１７  ガス混合室
１８  流量制御弁（流量制御手段）
１９  酸素ガス濃度検出センサ（ガス濃度検出手段）
２０  制御装置
２１  清浄室
２６  濃度設定器
ｂ  酸素ガス濃度検出信号
ｃ  酸素ガス濃度領域データ
【図１】
0003893635.tif 000002
【図２】
0003893635.tif 000003
【図３】
0003893635.tif 000004