(57)【要約】【課題】ＳＭＡアクチュエータを用いた駆動装置において、繰り返し動作によるＳＭＡの金属疲労の進行速度を減速でき、ＳＭＡ性能の劣化を抑制することを可能とする。【解決手段】伸縮により被駆動体を移動させる駆動力を変位入力部に発生する線状のＳＭＡワイヤ３Ｌと、ベース部材から突設され、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一部を第１の方向ＡＲ１に沿って内部にて固定する保持部材３３ａと、ＳＭＡワイヤ３Ｌを伸縮させる駆動手段と、を備える駆動装置１００において、第１の方向ＡＲ１を、該駆動手段によるＳＭＡワイヤ３Ｌの伸縮時において変化する保持部材３３ａから変位入力部に至る駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍのうち、一の方向である第２の方向ＡＲ２に一致させることにより、ＳＭＡ性能の劣化を抑制に寄与する。【選択図】図８
2013114028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の方向に往復移動自在に駆動される被駆動体と、
伸縮により前記被駆動体を移動させる駆動力を所定の力点に発生する線状の形状記憶合金と、
前記形状記憶合金の一部を第１の方向に沿って内部にて固定する保持部材と、
前記形状記憶合金を伸縮させる駆動手段と、
を備える駆動装置において、
前記第１の方向を、前記保持部材から前記所定の力点に至り、前記駆動手段による前記形状記憶合金の伸縮時において変化する駆動時保持部材力点間方向のうち、一の方向である第２の方向に一致させたことを特徴とする、
駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置であって、
前記第２の方向は、
前記駆動手段によって前記駆動時保持部材力点間方向が前記保持部材を中心として変動する範囲の角度を二等分する直線方向を含む、
駆動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の駆動装置であって、
前記保持部材は、前記形状記憶合金を前記第１の方向に沿って内部で挟持するカシメ部を有することを特徴とする、
駆動装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れかに記載の駆動装置であって、
前記被駆動体がレンズユニットであり、
前記被駆動体が駆動される方向が光軸方向であることを特徴とする、
駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状記憶合金アクチュエータを用いた駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カメラ付き携帯電話機等に搭載される撮像素子の画素数が増大する等、高画質化が飛躍的に進んでおり、これに伴い、画像撮影という基本機能に加えて、フォーカス機能やズーム機能等を付加することが求められている。
【０００３】
これらの機能を付加するには、レンズを光軸方向に移動させるレンズ駆動装置が必要であり、最近では、形状記憶合金（Shape Memory Alloy：ＳＭＡと称する）アクチュエータを用いたレンズ駆動装置の適用が種々検討されている。この装置は、ＳＭＡを通電加熱する等して収縮力を発生させ、該収縮力をレンズ駆動力として利用するもので、小型化、軽量化が容易で、また、比較的大きな駆動力を得ることができるという利点がある。
【０００４】
ＳＭＡアクチュエータを適用したレンズ駆動装置としては、例えば、特許文献１が開示する駆動装置の構成では、支点と摺動部材に当接する作用点とを有し、該支点を通過する軸線回りに揺動可能であって、該撮影レンズの光軸方向に見たときに、該軸線から該作用点までの距離が、該軸線から該撮影レンズの縁までの距離よりも大きいレバー部材と、該レバー部材を駆動する形状記憶合金とで構成されている。
【０００５】
また、特許文献２が開示する駆動装置の構成では、レバー部材が、該レバー部と固定部とを一体成形することによって構成されているので、弾性変形によって該固定部に対して該レバー部を変位可能に支持できるため、一般的に嵩張る軸支部を用いることなく、該ワイヤ部材の変形量を拡大したストロークを創り出すことができる構成となっている。
【０００６】
さらに、特許文献３が開示する駆動装置の構成では、ＳＭＡが、被駆動体の移動方向に対して非平行であり、且つ、第１の当接点と支軸の揺動軸線とを含む平面に対して非平行であるように配置されているので、ＳＭＡの変形力を、効率よくレバー部材の回動に変換できる構成となっている。
【０００７】
すなわち、特許文献１〜３のいずれの構成においても、レバー機構によりＳＭＡの動作方向を変更したり、動作量を拡大したりする構成がとられている。
【０００８】
一方、ＳＭＡの保持、固定方法として、例えば、特許文献４が開示する駆動装置の構成では、駆動装置の土台となるベース部材を貫通し、該ベース部材に固定される金属からなる棒状部材を有し、棒状部材の一端側において、該棒状部材がかしめられて、ＳＭＡが挟持され、該棒状部材の他端側には、ＳＭＡに電流を供給する為の通電接続部を備える構成がとられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−５８０７５号公報
【特許文献２】特開２００７−５８０７６号公報
【特許文献３】特開２００７−６０５３０号公報
【特許文献４】特開２００８−２９１８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、カメラ付き携帯電話機等に高性能なフォーカス機能やズーム機能等を付加する場合には、レンズの位置を制御し、所定の位置で停止させる必要がある。当然ながら、携帯電話機等が使用される期間、カメラも機能しなければならないため、機器には繰り返し動作が可能である必要がある。
【００１１】
しかしながら、ＳＭＡは金属材料であるため、繰り返し動作によって金属疲労が生じ、劣化が進む。一般的には、５００ＭＰａ以上の応力を与えたＳＭＡの金属疲労の進行は速く、数千回以内に破断に至る可能性がある。すなわち、カメラ機器として数千回の繰り返し動作で機器が機能しなくなることは致命的な欠陥と言える。
【００１２】
これに対して、上記特許文献１〜４の構成については、ＳＭＡの繰り返し動作による金属疲労、延いては、ＳＭＡ性能の劣化を抑制する構成ついては特に考慮されていない。
【００１３】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ＳＭＡアクチュエータを用いた駆動装置を連続使用した場合において、繰り返し動作によるＳＭＡの金属疲労の進行速度を減速でき、ＳＭＡ性能の劣化を抑制することが可能な駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、所定の方向に往復移動自在に駆動される被駆動体と、伸縮により前記被駆動体を移動させる駆動力を所定の力点に発生する線状の形状記憶合金と、前記形状記憶合金の一部を第１の方向に沿って内部にて固定する保持部材と、前記形状記憶合金を伸縮させる駆動手段と、を備える駆動装置において、前記第１の方向を、前記保持部材から前記所定の力点に至り、前記駆動手段による前記形状記憶合金の伸縮時において変化する駆動時保持部材力点間方向のうち、一の方向である第２の方向に一致させたことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の駆動装置であって、前記第２の方向は、前記駆動手段によって前記駆動時保持部材力点間方向が前記保持部材を中心として変動する範囲の角度を二等分する直線方向を含む。
【００１６】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の駆動装置であって、前記保持部材は、前記形状記憶合金を前記第１の方向に沿って内部で挟持するカシメ部を有することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３の何れかに記載の駆動装置であって、前記被駆動体がレンズユニットであり、前記被駆動体が駆動される方向が光軸方向であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１ないし請求項４の発明によれば、第１の方向を、前記保持部材から前記所定の力点に至り、駆動手段による形状記憶合金の伸縮時において変化する駆動時保持部材力点方向のうち、一の方向である第２の方向に一致させたことを特徴とする駆動装置である。これにより、駆動時に時々刻々変化する駆動時保持部材力点間方向と第１の方向との間に生じる曲げ角度を上記駆動時保持部材力点間方向に第１の方向を一致させない場合に比べ小さくすることができる。このため、上記曲げ角度に正の相関を有する曲げ応力等の該形状記憶合金の内部に発生する最大応力を小さくすることができる。その結果、繰り返し動作による該形状記憶合金内部の金属疲労の進行速度を減速でき、該形状記憶合金の劣化を抑制することが可能となる。
【００１９】
請求項２の発明によれば、第２の方向は、駆動手段によって駆動時保持部材力点間方向が保持部材を中心として変動する範囲の角度を二等分する直線方向を含む。これにより、駆動時に時々刻々変化する駆動時保持部材力点間方向と第１の方向（＝第２の方向）との間に生じる曲げ角度の最大値を最小にすることができる。このため、形状記憶合金の内部に発生する最大応力をさらに小さくすることができ、繰り返し動作による該形状記憶合金内部の金属疲労の進行速度をより減速でき、該形状記憶合金の劣化をさらに抑制することが可能となる。
【００２０】
請求項３の発明によれば、保持部材は、形状記憶合金を挟持するカシメ部を備えることにより、該形状記憶合金を安定して保持することが可能となる。
【００２１】
請求項４の発明によれば、被駆動体がレンズユニットであり、被駆動体が駆動される方向が光軸方向であることにより、請求項１ないし請求項３の発明と同様の効果を奏するレンズ駆動装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る駆動装置の構成例を概略的に示す平面図である。
【図２】図１の駆動装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図３】図１の駆動装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図４】ＳＭＡアクチュエータの製造装置の構成例を概略的に示す平面図である。
【図５】ＳＭＡワイヤの一般的な応力特性について模式的に説明する図である。
【図６】ＳＭＡワイヤの一般的な応力特性について模式的に説明する図である。
【図７】本発明の実施形態に係る駆動装置のＳＭＡワイヤの保持部材の周辺を説明する図である。
【図８】本発明の実施形態に係る駆動装置のＳＭＡワイヤの保持部材の周辺を説明する図である。
【図９】本発明の実施形態に係る駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１３】従来の駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１４】従来の駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１５】従来の駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１６】従来の駆動装置の製造方法における一工程を示す説明図である。
【図１７】従来の駆動装置のＳＭＡワイヤの保持部材の周辺を説明する図である。
【図１８】従来の駆動装置のＳＭＡワイヤの保持部材の周辺を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものであり、各図における各種構造のサイズおよび位置関係等は正確に図示されたものではない。なお、説明の便宜上、図４及び図５には直交するＸＹＺの３軸が付されている。また、図７、図８、図１１、図１４、図１５及び図１７に示された角度については、反時計回りに＋とし、時計回りに−として示す。
【００２４】
＜１．駆動装置および駆動装置の製造方法の概要＞
発明の実施形態の説明に先立って、ＳＭＡを用いたアクチュエータ（ＳＭＡアクチュエータ）の適用例の基本構成について図１〜図３を用いて説明し、ＳＭＡアクチュエータを駆動源とする駆動装置におけるＳＭＡアクチュエータの製造方法について図４を用いて説明する。
【００２５】
＜１−１．駆動装置の全体構成＞
図１〜図３は、ＳＭＡを用いたアクチュエータを駆動源とする駆動装置１００の主要構成部分を概略的に示しており、図１は、レンズ側から見た平面図であり、図２および図３は、図１における矢示Ａ１方向から見た側面図を示している。なお、図２は、駆動前の状態を、図３は、駆動後の状態を表している。
【００２６】
この駆動装置１００は、主に、被駆動体１(例えば、撮像レンズを備えるレンズユニット)をその軸線（例えば光軸）ＡＸ方向に移動する駆動装置であって、貫通孔部４ａを有するベース部材４と、貫通孔部４ａの軸線ＡＸに沿う方向に往復移動自在に駆動される被駆動体１と、伸縮により被駆動体１を移動させる駆動力を所定の力点（後述の変位入力部２ａに相当）に発生する線状の形状記憶合金３(ＳＭＡアクチュエータ)３と、該ＳＭＡアクチュエータ３から駆動力を受けて被駆動体１を移動させるレバー部材２と、を備えた構成とされている。また、天板５、平行板バネ６ａ，６ｂおよびバイアスバネ７等を備え、ベース部材４に対して被駆動体１等が組み付けられた構成となっている。天板５および平行板バネ６ａ，６ｂは、便宜上、図１では省略している。なお、駆動装置１００は、バッテリー駆動の携帯機器等に搭載されるものである。
【００２７】
ベース部材４は、駆動装置１００の取り付け対象となる部材（例えば携帯電話機のフレームやマウント基板等）に固定されるものであり、駆動装置１００の底辺を構成する不動の部材である。このベース部材４は、平面視正方形の板状に形成され、全体が樹脂材料等により構成されている。なお、ベース部材４には、撮像センサが取付けられるが、図示は省略している。
【００２８】
被駆動体１は円筒形を有し、撮像レンズ１０と、この撮像レンズ１０を保持するレンズ駆動枠１２と、該レンズ駆動枠１２が収納される鏡筒１４とから構成されている。撮像レンズ１０は、対物レンズ、フォーカスレンズ、ズームレンズ等を有し、図外の撮像素子に対する被写体像の結像光学系を構成している。レンズ駆動枠１２は、所謂玉枠（「キャリア」とも称される）であって、鏡筒１４と共に軸線ＡＸ方向に移動する。レンズ駆動枠１２の対物側先端の外周縁部には、周方向に１８０°の角度差を有して一対の支持部１６が突設されている。
【００２９】
被駆動体１は、天板５に形成される開口部分に挿入された状態でベース部材４上に配置されている。詳しくは、一対の支持部１６がベース部材４の一対の対角の近傍に位置するように配置されている（図１参照）。
【００３０】
ベース部材４および天板５には、それぞれ平行板バネ６ａ，６ｂが固定されており、これら平行板バネ６ａ，６ｂに被駆動体１が固定されている。これによって被駆動体１がベース部材４等に対して変位可能に支持されると共に、その変位自由度が、軸線ＡＸに沿った方向に規制されている。なお、天板５は、ベース部材４に対して図示しない支柱等を介して固定しても良いし、ベース部材４と一体となる構造でも良い。
【００３１】
レバー部材２は、支持部１６を介して被駆動体１に係合することによって被駆動体１に軸線ＡＸ方向の駆動力を付与するものである。
【００３２】
このレバー部材２は、被駆動体１の側方、具体的には、ベース部材４の角部であって被駆動体１の支持部１６が位置する角部以外の一の角部に設置されている。このレバー部材２は、軸線ＡＸと直交し、かつ一対の支持部１６の並び方向（図１では上下方向）に延びる軸線回りに揺動可能に支持されている。
【００３３】
図２に示すように、レバー部材２は、アーム部分２１と、このアーム部分２１の基端部分から軸線ＡＸ方向に延びる延設部分２２とを有した側面視逆Ｌ字型の形状を有しており、アーム部分２１と延設部分２２との境界近傍領域に位置する延設部分２２の屈曲部分が、ベース部材４に立設された支持脚８の先端で支持されることによってベース部材４上に支持されている。
【００３４】
支持脚８の先端（以下、レバー支持部８ａという）の形状は、軸線ＡＸ方向と直交する方向（図２の紙面と直交する方向）に延びる略円柱形状とされている。これにより、レバー部材２が、当該レバー支持部８ａを支点として軸線ＡＸ方向と直交する軸線回りに揺動可能に支持されている。
【００３５】
アーム部分２１は平面視で円弧状に形成されている。詳しくは、図１に示すように、延設部分２２からから被駆動体１の両側に二股に分かれて当該被駆動体１の外周面に近接してそれぞれ均等に延び、全体として被駆動体１の片側半分を包囲するように形成されている。アーム部分２１の先端（両端）は、それぞれ被駆動体１の各支持部１６の位置に達している。そして、延設部分２２にＳＭＡアクチュエータ３が架け渡され、この架け渡し位置（変位入力部２ａという）に軸線ＡＸ方向と直交する方向の移動力Ｆ１（図３参照）が入力されることにより、レバー部材２が揺動する。この揺動に伴いアーム部分２１の先端（変位出力部２ｂという）が軸線ＡＸ方向に変位し、当該変位出力部２ｂが各支持部１６に係合して被駆動体１に軸線ＡＸ方向の駆動力が付与されることとなる。
【００３６】
ＳＭＡアクチュエータ３は、レバー部材２に対して移動力Ｆ１（図３参照）を付与するもので、例えばＮｉ−Ｔｉ合金等のＳＭＡワイヤ３Ｌ（後述する図４参照）で構成される線状のアクチュエータである。このＳＭＡアクチュエータ３は、低温で弾性係数が低い状態（マルテンサイト相）において所定の張力を与えられることで伸長し、この伸長状態において熱が与えられると相変態して弾性係数が高い状態（オーステナイト相：母相）に移行し、伸長状態から元の長さに戻る（形状回復する）という性質を有している。すなわち、ＳＭＡアクチュエータ３は、ＳＭＡワイヤ３Ｌの温度変化による形状復元力を利用して対象物の移動を行うアクチュエータである。
【００３７】
形状記憶合金を伸縮させる駆動手段として本例では、ＳＭＡアクチュエータ３を通電加熱することで、上述の相変態を行わせる構成が採用されている。すなわち、ＳＭＡアクチュエータ３は所定の抵抗値を有する導体であることから、当該ＳＭＡアクチュエータ３自身に通電することでジュール熱を発生させ、該ジュール熱に基づく自己発熱によりマルテンサイト相からオーステナイト相へ変態させる構成とされている。このため、ＳＭＡワイヤ３Ｌの両端には、通電加熱用の第１電極３０ａおよび第２電極３０ｂが固着されている。これら電極３０ａ，３０ｂはベース部材４から突設される所定の保持部材３３ａ，３３ｂにそれぞれ固定されている。この保持部材３３ａ，３３ｂは、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一部を第１の方向ＡＲ１に沿って内部にて固定する（保持部材３３ａの周辺においては、後述する図１７参照）。また、保持部材３３ａ，３３ｂは、ＳＭＡワイヤ３Ｌを第１の方向ＡＲ１に沿って内部で挟持するカシメ部ＳＰを有する（保持部材３３ａの周辺においては、後述する図１８参照）。これにより、ＳＭＡワイヤ３Ｌを安定して保持することが可能となる。
【００３８】
ＳＭＡアクチュエータ３は、図１に示すように、レバー部材２の延設部分２２に係合する部分を折り返し地点として、電極３０ａおよび３０ｂの間に架け渡されている。かかる構成により、ＳＭＡアクチュエータ３が電極３０ａ，３０ｂを介して通電加熱され、作動（収縮）すると、レバー部材２に対して移動力Ｆ１（図３参照）が付与され、この移動力Ｆ１によりレバー部材２が揺動することとなる。
【００３９】
なお、電極３０ａ，３０ｂは、ベース部材４のうち被駆動体１の支持部１６の近傍にそれぞれ配置されている。ＳＭＡアクチュエータ３のうち各電極３０ａ，３０ｂから折り返し地点までのそれぞれの長さは等しく設定されており、これによって変位入力部２ａ両側のＳＭＡアクチュエータ３の伸縮量が等しくなってＳＭＡアクチュエータ３作動時のレバー部材２とＳＭＡアクチュエータ３との擦れが防止される。また、延設部分２２にはＶ溝２１ａ（上記変位入力部２ａに相当する）が形成されており、当該Ｖ溝２１ａに嵌り込むようにＳＭＡアクチュエータ３が架け渡されることにより、レバー部材２に対してＳＭＡアクチュエータ３が安定的に懸架されている。
【００４０】
バイアスバネ７は、ＳＭＡアクチュエータ３の作動（収縮）により変位出力部２ｂが移動する向きとは逆向に、被駆動体１を軸線ＡＸ方向に付勢するものである。このバイアスバネ７は、レンズ駆動枠１２の周縁サイズと略合致した径の圧縮コイルバネからなり、レンズ駆動枠１２の頂面に一端側（下端側）が当接している。なお、内壁Ｎは、図示しない枠部材の面のうちベース部材４側の面であり、該枠部材は図示しない支柱等によりベース部材４に対して固定されている。該枠部材には、撮像レンズ１０の径と略合致した径の開口部が設けられており、バイアスバネ７の他端側（上端側）は、内壁Ｎにおける該開口部の周縁部に当接される。
【００４１】
なお、ＳＭＡアクチュエータ３は、作動していない状態では、被駆動体１（支持部１６）およびレバー部材２を介して作用するバイアスバネ７の押圧力を受けて緊張するようにその線長が設定されている。つまり、その作動状態に拘わらず、常にレバー部材２（アーム部分２１）を被駆動体１（支持部１６）に当接（圧接）させるようにその線長が設定されている。この構成により、当実施形態では、支持脚８とレバー部材２とを直接連結することなく支持脚８の先端にレバー部材２を揺動可能に支持しており、また、ＳＭＡアクチュエータ３の作動時には、その変位を速やかに伝えて当該レバー部材２を揺動させる構成となっている。
【００４２】
＜１−２．駆動装置を製造するための製造装置＞
図４は、本実施形態に係る駆動装置１００（図１〜図３）を製造するために用いるＳＭＡアクチュエータ３の製造装置３００の主要構成部分の構成例を概略的に示している。図４は、製造装置３００を撮像レンズ１０の軸線方向から見た平面図である。
【００４３】
製造装置３００は、ポンチ５１ａ、５１ｂ、変位計５２、スライダ５３ａ，５３ｂ、制御部５５を主に備えて構成されている。製造装置３００は、ＳＭＡワイヤ３Ｌが未だ張られていない半完状態の駆動装置１００一式（「ワーク」とも称される）にＳＭＡワイヤ３Ｌを張架することにより、ワークにおけるＳＭＡアクチュエータ３を製造する装置である。なお、製造装置３００によるＳＭＡアクチュエータ３の製造は、ワークが調整台５６に載置された状態で行われる。
【００４４】
＜１−２−１．制御部５５＞
制御部５５は、製造装置３００の各機能要素を統轄制御する制御処理装置である。制御部５５は、例えば、汎用のコンピュータ、または専用のハードウエア回路などによって構成される。制御部５５は、変位計５２が取得するレンズ駆動枠１２の変位を示す信号を処理し、該処理の結果に基づいてポンチ５１ａおよび５１ｂと、スライダ５３ａ，５３ｂとを制御する。
【００４５】
＜１−２−２．スライダ５３ａ，５３ｂ＞
スライダ５３ａ，５３ｂは、保持部材３３ａおよび３３ｂにそれぞれ設けられた電極３０ａおよび３０ｂにＳＭＡワイヤ３Ｌが固定される前に、ＳＭＡワイヤ３Ｌを張架状態に保持する張架部である。スライダ５３ａ，５３ｂは、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一部をそれぞれ保持可能なＳＭＡ線保持部５４ａおよび５４ｂを備えている。ＳＭＡ線保持部５４ａに一部を保持されたＳＭＡワイヤ３Ｌは、電極３０ａ、延設部分２２に設けられたＶ溝２１ａ、および電極３０ｂを順次に経由してＳＭＡ線保持部５４ｂにその一部を保持される。スライダ５３ａ，５３ｂは、その底部に車輪を備えるとともに内部に該車輪の駆動機構を備え、調整台５６上を、矢印Ｙａ，Ｙｂに沿って移動可能である。スライダ５３ａ，５３ｂは、Ｖ溝２１ａなどを経由してＳＭＡ線保持部５４ａおよび５４ｂのそれぞれによってＳＭＡワイヤ３Ｌが張架状態に保持された状態で、矢印Ｙａ，Ｙｂに沿って移動することにより、ＳＭＡワイヤ３Ｌに付与する張力を調整可能である。スライダ５３ａ，５３ｂの動作は、通信回線を介して制御部５５により制御される。
【００４６】
なお、図４では、実線で示されたスライダ５３ａ，５３ｂの位置がＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動前の状態を示し、破線で示されたスライダ５３ａ，５３ｂの位置がＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動中の状態を示している。
【００４７】
＜１−２−３．変位計５２＞
変位計５２は、例えば、レーザ変位計などによって構成され、駆動装置１００のレンズ駆動枠１２上に不図示の支柱等を介して保持されている。変位計５２は、レンズ駆動枠１２と変位計５２との距離、すなわち変位計５２に対するレンズ駆動枠１２の変位を測定し、測定した距離を示す信号を、通信回線を介して制御部５５に供給する。制御部５５は、当該距離と、予め取得されている変位計５２とベース部材４との距離とに基づいて、ベース部材４に対するレンズ駆動枠１２の変位を取得する。
【００４８】
＜１−２−４．ポンチ５１ａおよび５１ｂ＞
ポンチ５１ａおよび５１ｂは、スライダ５３ａ，５３ｂによりＳＭＡワイヤ３Ｌが張架された状態において、形状記憶合金ワイヤを加熱する加熱部として機能するとともに、ＳＭＡワイヤ３Ｌを、保持部材３３ａおよび３３ｂにそれぞれ設けられた電極３０ａおよび３０ｂにそれぞれ固定する固定部としても機能する。
【００４９】
ポンチ５１ａおよび５１ｂの動作は、不図示の駆動装置を介して制御部５５により制御される。ポンチ５１ａおよびポンチ５１ｂの位置は、該駆動装置によってＺ軸方向に沿って移動され得るとともに、その、移動力が該駆動装置により変更され得る。なお、駆動装置１００の内壁（図２参照）に係る枠部材と、天板５（図２参照）とには、ポンチ５１ａおよび５１ｂのそれぞれのＺ軸方向に沿った各動線との交差部分にポンチ５１ａおよび５１ｂがそれぞれ通過可能な貫通孔がそれぞれ設けられている。
【００５０】
ポンチ５１ａおよび５１ｂは、それぞれの先端部（不図示）が、電極３０ａおよび３０ｂに接触した状態で、電極３０ａおよび３０ｂに接触したＳＭＡワイヤ３Ｌに対して通電を行うことにより、ＳＭＡワイヤ３Ｌを加熱可能に構成されている。また、該通電に係る電流は変更可能に構成されている。
【００５１】
ポンチ５１ａおよび５１ｂによるＳＭＡワイヤ３Ｌの電極３０ａおよび３０ｂへの固定処理においては、先ず、制御部５５は、ポンチ５１ａおよび５１ｂによるＳＭＡワイヤ３Ｌの加熱状態が、予め設定された加熱状態となるようにポンチ５１ａおよび５１ｂによるＳＭＡワイヤ３Ｌへの通電電流を予め設定された値に制御する。さらに、制御部５５は、該加熱状態のＳＭＡワイヤ３Ｌによってレンズ駆動枠１２が予め設定された位置に保持されるように、変位計５２の出力信号に基づいてスライダ５３ａ，５３ｂがＳＭＡワイヤ３Ｌに付与する張力を調整する。張力についての該調整が行われている状態で、ポンチ５１ａおよび５１ｂは、制御部５５の制御によって移動力を増加させて先端部にそれぞれ接触した保持部材３３ａおよび３３ｂを、かしめることにより、ＳＭＡワイヤ３Ｌを、カシメ部ＳＰにそれぞれ固定する。
【００５２】
ＳＭＡワイヤ３Ｌがカシメ部ＳＰに固定された状態で、制御部５５が、不図示の切断部を制御して、ＳＭＡワイヤ３Ｌのうち電極３０ａおよび３０ｂからそれぞれＳＭＡ線保持部５４ａおよび５４ｂ側へとはみ出ている各部を切断することにより駆動装置１００におけるＳＭＡアクチュエータ３が製造される。
【００５３】
＜１−３．ＳＭＡワイヤの一般的な応力特性と駆動装置への適用上における事情＞
ここで、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一般的な応力特性について図５及び図６を参照して説明する。図５はＳＭＡワイヤ３Ｌの一部を曲げた際、ＳＭＡワイヤ３Ｌ自身に発生する応力状態の数値計算結果を模式的に説明する図であり、このうち、図５（ａ）はＹＺ平面の＋Ｘ軸側のＳＭＡワイヤ３Ｌの側面の応力状態を＋Ｘ軸側に垂直投影した図であり、図５（ｂ）はＸＹ平面の＋Ｚ軸側（または−Ｚ軸側）のＳＭＡワイヤ３Ｌの側面の応力状態を＋Ｚ軸側（または−Ｚ軸側）に垂直投影した図であり、図５（ｃ）はＹＺ平面の−Ｘ軸側のＳＭＡワイヤ３Ｌの側面の応力状態を−Ｘ軸側に垂直投影した図である。
【００５４】
図５（ａ）及び図５（ｂ）で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌが曲げられた箇所の内側のエリアＲｃでは圧縮応力が最大（引っ張り応力が最小）となり、逆に、図５（ｂ）及び図５（ｃ）で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌが曲げられた箇所の外側のエリアＲｔでは圧縮応力が最小（引っ張り応力が最大）となることがわかる。このように、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一般的な応力特性として、ＳＭＡワイヤ３Ｌの曲げられた内側領域（図５のエリアＲｃ）では圧縮応力が卓越し、逆にＳＭＡワイヤ３Ｌの曲げられた外側領域（図５のエリアＲｔ）では引っ張り応力が卓越することになる。
【００５５】
以下、ＳＭＡワイヤ３Ｌの圧縮応力と引っ張り応力とを合わせたものが曲げ応力であり、圧縮応力の絶対値と引っ張り応力の絶対値との総和が相対的に最も大きくなる部分の応力を最大応力と定義すると、ＳＭＡワイヤ３Ｌ内部で働く曲げ応力は曲げ角度に正の相関を有し、曲げられた領域（図５のエリアＲｃ，Ｒｔ周辺）の応力が最大応力となる。
【００５６】
また、図６は、ＳＭＡワイヤ３Ｌを駆動装置に組み込んだ際にＳＭＡワイヤ３Ｌへの負荷荷重に対する強度を概略的に説明するグラフであり、縦軸はＳＭＡワイヤ３Ｌに与える負荷荷重であり、横軸はＳＭＡワイヤ３Ｌが破断に至るまでの繰り返し動作回数を示している。
【００５７】
図６のグラフで示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌに負荷荷重を与えてゆくと、ＳＭＡワイヤ３Ｌが破断に至るまでの繰り返し動作回数が、減少してゆく傾向にあり、５００ＭＰａ程度の負荷荷重が与えられると数千回程度の繰り返し動作回数で破断に至ることがわかる。これは、負荷荷重の増加に伴ってＳＭＡワイヤ３Ｌ内部に発生する応力が増加してゆき、ＳＭＡワイヤ３Ｌの金属疲労の進行が促進されるためである。このように、ＳＭＡワイヤ３Ｌの一般的な応力特性として、５００ＭＰａ以上の負荷荷重がＳＭＡワイヤ３Ｌに与えられた場合、ＳＭＡワイヤ３Ｌの金属疲労の進行は速く、数千回以内の繰り返し動作回数で破断に至る可能性がある。
【００５８】
続いて、ＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動装置への適用上における事情を以下説明する。
【００５９】
図１３〜図１６は、駆動装置におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの従来の機器組込方法を模式的に説明する図である。図１３〜図１６で示されるように、駆動装置において、ＳＭＡワイヤ３Ｌの従来の機器組込方法には、大別すると下記（i）〜（iv）の４つの工程に分けられる。
【００６０】
（i）まず、図１３で示されるように、片方の電極３０ａにＳＭＡワイヤ３Ｌを通した状態で、この電極３０ａをカシメてＳＭＡワイヤ３Ｌの片側を固定する（図１４参照）。
【００６１】
（ii）次に、図１４で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌを、電極３３ａを中心として回転させながら、もう片一方の電極３０ｂへと導き、この電極３０ｂにＳＭＡワイヤ３Ｌを通す。
【００６２】
（iii）さらに、図１５で示されるように、図１４で示される状態でもう片一方の電極３０ｂにカシメてＳＭＡワイヤ３Ｌを固定する。
【００６３】
（iv）最後に、図１６で示されるように、固定されたＳＭＡワイヤ３Ｌの両側の不要部分をカット除去してＳＭＡワイヤ３Ｌの架設が完了する。
【００６４】
図１７はこのように架設されたＳＭＡワイヤ３Ｌの電極３０ａ及び保持部材３３ａの周辺を拡大して示した図であり、図１８は図１７の領域Ｒ１をさらに拡大して示した図である。以下、便宜上、ＳＭＡワイヤ３Ｌがカシメて固定された後は、保持部材３３ａ（保持部材３３ｂ）内部を含み保持部材３３ａ（保持部材３３ｂ）からベース部材４の外部にある製造装置３００に伸びるＳＭＡワイヤ３ＬをＳＭＡワイヤ３Ｌ１と称し、保持部材３３ａ（保持部材３３ｂ）から変位入力部２ｂに至るまでのＳＭＡワイヤ３ＬをＳＭＡワイヤ３Ｌ２と称するが、一般的にＳＭＡワイヤを表現するときは、ＳＭＡワイヤ３Ｌと称する。
【００６５】
図１７及び図１８で示されるように、駆動される前の初期状態（非駆動状態）における従来の駆動装置では、ＳＭＡワイヤ３Ｌ２の方向は、保持部材３３ａの内外の境界に位置する境界点ＢＰを中心としてＳＭＡワイヤ３Ｌ１の形成方向（第１の方向ＡＲ１）に対して角度＋α１回転した方向に架設されている（図１７参照）。これは、上記の工程（i）及び（iii）においてＳＭＡワイヤ３Ｌが電極３０ａ,３０ｂにカシメられた状態に対応している。そして、駆動時におけるＳＭＡワイヤ３Ｌ２は収縮することにより、境界点ＢＰを中心として、非駆動状態よりさらに角度＋α２分回転した方向にまで最大曲げられる。結果として、図１８で示されるように、駆動時におけるＳＭＡワイヤ３Ｌ２は、図５と同様に、曲げられた領域の境界点ＢＰ及びその近傍に対して、ＳＭＡワイヤ３Ｌの張力Ｆｔにより曲げの外側エリアＲｔでは引っ張り応力が発生する一方、曲げの内側エリアＲｃでは圧縮応力が卓越することになる。すなわち、曲げ応力の最大応力が境界点ＢＰ及びその近傍において存在することになる。
【００６６】
このように、従来の機器組込方法による駆動装置では、上記の工程（i）の状態（図１３参照）から工程（ii）（図１４参照）または上記の工程（ii）の状態（図１４参照）から工程（iii）（図１５参照）の状態に推移する際にＳＭＡワイヤ３Ｌ２が角度＋α１（保持部材３３ａ側）または角度−α（保持部材３３ｂ側）だけ回転したことにより発生する曲げ応力が発生する。
【００６７】
そして、非駆動状態から駆動状態に推移する際、ＳＭＡワイヤ３Ｌ２が可動する範囲としてさらに角度＋α２まで最大曲げられるため、駆動時には、合計として角度＋（α１＋α２）または角度−（α１＋α２）まで最大曲げられることになる。すなわち、ＳＭＡワイヤ３Ｌは駆動時にＳＭＡワイヤ３Ｌ１とＳＭＡワイヤ３Ｌ２との間に生じる角度が、角度＋α２または角度−α２の範囲で変動する動作が行われるため、曲げ応力がさらに増加する結果となる。
【００６８】
したがって、ＳＭＡワイヤ３Ｌへの張力とＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動により発生する張力とが、図６で示した負荷荷重により発生する応力に対応することになるため、駆動時における繰り返し動作においてＳＭＡワイヤ３Ｌ内部の境界点ＢＰ及びその近傍で金属疲労が進行することになる。このため、上述したように、ある応力以上では数千回以内の繰り返し動作で破断に至り、カメラ機器としては致命的となる。
【００６９】
このような背景の下、本発明では、曲げ応力のＳＭＡワイヤ３Ｌの内部に発生する最大応力を小さくすることにより、繰り返し動作による該ＳＭＡワイヤ３Ｌ内部の金属疲労の進行速度を減速でき、該ＳＭＡワイヤ３Ｌの劣化を抑制する駆動装置を実現する。
【００７０】
以下、実施形態の特徴部となる具体的構成を説明する。
【００７１】
＜２．実施形態の具体的構成＞
そこで、本発明の実施形態に係る駆動装置１００では、第１の方向ＡＲ１を、前述した駆動手段によるＳＭＡワイヤ３Ｌの伸縮時において変化する保持部材３３ａ（または保持部材３３ｂ）から変位入力部２ｂ（所定の力点）に至る駆動時保持部材力点間方向のうち、一の方向である第２の方向に一致させる構成を採用することで、上述の課題を解消する。
【００７２】
図７および図８は、本発明の実施形態に係る駆動装置１００のＳＭＡワイヤ３Ｌの電極３０ａ及び保持部材３３ａの周辺を拡大して示した図である。このうち、図７は、駆動される前の初期状態（非駆動状態）におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの状態を示し、図８は、駆動装置１００の駆動状態におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの状態を示す。
【００７３】
図７で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１方向ＡＲ１を駆動時におけるＳＭＡワイヤ３Ｌ２の駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが境界点ＢＰを中心として変動する範囲の角度を二等分する中心線方向、すなわち、ＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動時における変動範囲の中心位置に合致する中心線方向ＡＲ２ｃに設定する。一方、非駆動状態においてＳＭＡワイヤ３Ｌ２は最伸状態となるため、ＳＭＡワイヤ３Ｌ２の方向ＡＲ２０は、保持部材３３ａ内部で固定されているＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１とは一致せず、境界点ＢＰを中心としてＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１（＝中心線方向ＡＲ２ｃ）に対して角度−θ１回転した方向に架設されている。
【００７４】
これに対して、駆動状態におけるＳＭＡワイヤ３Ｌ２の駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍは、図８で示されるように、方向ＡＲ２０に対して＋（２×θ１）回転した方向ＡＲ２２に至る可動範囲内で変動する。すなわち、中心線方向ＡＲ２ｃを中心としてＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１に対して角度±θ１回転する方向となる。このように駆動時におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの伸縮によって、ＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが方向ＡＲ２０〜ＡＲ２２間を変動する。駆動装置１００において、本実施の形態は、第１の方向ＡＲ１を、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍのうち、一の方向である第２の方向ＡＲ２に一致させる構成を採用する。
【００７５】
この際、図７及び図８で示されるように、第２の方向ＡＲ２は、駆動手段によって駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが境界点ＢＰを中心として変動する範囲の角度（±θ１）を二等分する直線方向（中心線方向ＡＲ２ｃ）に設定することが望ましい。
【００７６】
なお、本発明の実施形態に係る駆動装置１００のＳＭＡワイヤ３Ｌの電極３０ｂ及び保持部材３３ｂの周辺においても図７及び図８と同様であるが、この場合は、後述する図１１で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１（＝中心線方向ＡＲ２ｃ）に対して角度＋θ１だけ回転した方向に架設されている。
【００７７】
このように、本実施形態に係る駆動装置１００では、第１の方向ＡＲ１を、駆動手段によるＳＭＡワイヤ３Ｌの伸縮時において変化する保持部材３３ａ（または保持部材３３ｂ）から変位入力部２ｂに至る駆動時保持部材力点方向ＡＲｍのうち、一の方向である第２の方向ＡＲ２に一致させたことを特徴とする。これにより、駆動時に時々刻々変化するＳＭＡワイヤ３Ｌ２の駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍと第１の方向ＡＲ１との間に生じる曲げ角度を上記駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍの何れとも第１の方向ＡＲ１を一致させない従来構成（図１７参照）に比べ小さくすることができる。このため、上記曲げ角度に正の相関を有する曲げ応力のＳＭＡワイヤ３Ｌの内部に発生する最大応力を小さくすることができる。その結果、繰り返し動作による該ＳＭＡワイヤ３Ｌ内部の金属疲労の進行速度を減速でき、該ＳＭＡワイヤ３Ｌの劣化を抑制することが可能となる。
【００７８】
また、第２の方向ＡＲ２として、駆動手段によって駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが境界点ＢＰを中心として変動する範囲の角度を二等分する中心線の直線方向（図８の中心線方向ＡＲ２ｃ）に設定することにより、駆動時に時々刻々変化する駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍと第１の方向ＡＲ１（＝中心線方向ＡＲ２ｃ）との間に生じる曲げ角度の最大値（可動角度の１／２、図７及び図８の例では｜θ１｜）を最小にすることができる。このため、ＳＭＡワイヤ３Ｌの内部に発生する最大応力をさらに小さくすることができ、繰り返し動作による該ＳＭＡワイヤ３Ｌ内部の金属疲労の進行速度をより減速でき、該ＳＭＡワイヤ３Ｌの劣化をさらに抑制することが可能となる。
【００７９】
以上のような本実施形態に係る駆動装置１００に対して、被駆動体１をレンズユニットとし、軸線ＡＸ方向を光軸方向とすると、上述した効果と同様の効果を奏するレンズ駆動装置を得ることができる。これにより、繰り返し動作回数で破断に至るまでの回数が、１０万回を超えるレンズ駆動装置を実現することが可能となる。
【００８０】
＜３．駆動装置１００の製造方法＞
続いて、本実施形態に係る駆動装置１００におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの機器組込方法について以下説明する。
【００８１】
図９〜図１２は、本実施形態に係る駆動装置１００におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの機器組込方法を模式的に説明する図である。図９〜図１２で示されるように、本実施形態に係る駆動装置１００におけるＳＭＡワイヤ３Ｌの機器組込方法には、大別すると下記（I）〜（V）の５つの工程に分けられる。
【００８２】
（I）まず、図９で示されるように、片方の電極３０ａにＳＭＡワイヤ３Ｌを通す。このとき、この状態では電極３０ａをまだカシメない。
【００８３】
（II）次に、図１０で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌを、電極３０ａを中心として回転させながら、もう片一方の電極３０ｂへと導き、この電極３０ｂにＳＭＡワイヤ３Ｌを通す。
【００８４】
（III）図１０で示される状態でＳＭＡワイヤ３Ｌに通電を行い駆動状態とする。
【００８５】
（IV）そして、図１１で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌを駆動しながら、駆動時に変動するＳＭＡワイヤ３Ｌの駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍのうち、一方の方向にＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１が一致するように電極３０ａ，３０ｂの２箇所をカシメてＳＭＡワイヤ３Ｌを固定する。
【００８６】
（V）最後に、図１２で示されるように、固定されたＳＭＡワイヤ３Ｌの両側の不要部分をカット除去してＳＭＡワイヤ３Ｌの架設が完了する。
【００８７】
ここで、図７及び図８に戻り説明する。図７で示されるように、駆動される前の初期状態（非駆動状態）では、境界点ＢＰを中心としてＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１に対して角度−θ１だけ回転した方向にＳＭＡワイヤ３Ｌ２は架設されているが、これは、上記の工程（III）及び工程（IV）においてＳＭＡワイヤ３Ｌに通電を行い駆動状態にして、ＳＭＡワイヤ３Ｌを電極３０ａ,３０ｂにカシメることにより、達成することができる（図１０及び図１１参照）。このように、工程（III）及び工程（IV）を経由することにより、駆動状態において、図８で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１を、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍのうち、一の方向である第２の方向ＡＲ２に一致させる構成を実現する。
【００８８】
また、前述したように、第２の方向ＡＲ２は、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが図８の中心線方向ＡＲ２ｃを含むことがより好ましい。
【００８９】
＜３−１．製造装置３００を用いた具体的な製造方法＞
以下、製造装置３００を用いた具体的なＳＭＡワイヤの駆動装置１００への機器組込方法について詳述する。
【００９０】
＜３−１−１．工程（I）および工程（II）について＞
まず、ＳＭＡワイヤ３Ｌが張られていない未完成状態の駆動装置１００（「ワーク」とも称される）とスライダ５３ａ，５３ｂとの調整台５６への設置が行われる。そして、ワークおよびスライダ５３ａ，５３ｂの調整台５６への設置が完了すると、ワークとスライダ５３ａ，５３ｂとの間にＳＭＡワイヤ３Ｌを緩く張り架ける張架処理が施される（図１０参照）。そして、スライダ５３ａ，５３ｂがワークに対して相対的に離れる方向に移動されてＳＭＡワイヤ３Ｌには、より強い張力が付与される。
【００９１】
＜３−１−２．工程（III）および工程（IV）について＞
ポンチ５１ａおよびポンチ５１ｂから、ＳＭＡワイヤ３Ｌをオーステナイト相からマルテンサイト相に至る変態過程の途中の状態で安定化させ得る、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１設定用の所定の電流を供給することにより、駆動装置１００を駆動状態にする。
【００９２】
ここで、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１が、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍのうち、一の方向である第２の方向ＡＲ２に一致するように調整する。すなわち、図１１で示されるように、ＳＭＡワイヤ３Ｌが予め設定された加熱状態となるようにＳＭＡワイヤ３Ｌへの通電電流を制御して、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが中心線方向ＡＲ２ｃになる位置でＳＭＡワイヤ３Ｌを安定状態とした後、スライダ５３ａ，５３ｂを移動させる。つまり、図４の実線で示されたスライダ５３ａ，５３ｂの位置が、破線で示されたスライダ５３ａ，５３ｂの位置まで±θ１回転されることになる。このように、保持部材３３ａ（または３３ｂ）内部でのＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１を、中心線方向ＡＲ２ｃと一致するようにして以下で述べるかしめ処理を行い固定する。
【００９３】
かしめ処理は、駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍが安定した状態（駆動時保持部材力点間方向ＡＲｍ＝中心線方向ＡＲ２ｃのとき）で、ポンチ５１ａおよび５１ｂのそれぞれの先端部によってＳＭＡワイヤ３Ｌ１が通された電極３０ａおよび３０ｂの溝部をそれぞれかしめる処理である。このように、かしめ処理を実行することによって、ＳＭＡワイヤ３Ｌ１の第１の方向ＡＲ１を中心線方向ＡＲ２ｃに一致させた状態で、保持部材３３ａおよび３３ｂの電極３０ａおよび３０ｂにカシメ部ＳＰをかしめることによりＳＭＡワイヤ３Ｌ１は固定される（図１１参照）。
【００９４】
＜３−１−３．工程（V）について＞
上述したかしめ処理により、ＳＭＡワイヤ３Ｌが電極固定部３３ａおよび３３ｂのそれぞれに固定されると、制御部５５が、不図示の切断部を制御して、ＳＭＡワイヤ３Ｌのうち電極３０ａおよび３０ｂからそれぞれＳＭＡ線保持部５４ａおよび５４ｂ側へとはみ出ている各部を切断する処理が行われる（図１２参照）。
【符号の説明】
【００９５】
１  被駆動体
２  レバー部材
２ａ  変位入力部
２ｂ  変位出力部
３  形状記憶合金（ＳＭＡ）アクチュエータ
３Ｌ，３Ｌ１，３Ｌ２  ＳＭＡワイヤ
４  ベース部材
６ａ，６ｂ  平行板バネ
８  支持脚
８ａ  レバー支持部
１０  撮像レンズ
３０ａ，３０ｂ  電極
３３ａ，３３ｂ  保持部材
５３ａ，５３ｂ  スライダ
５４ａ，５４ｂ  ＳＭＡ線保持部
５５  制御部
１００  駆動装置
３００  製造装置
ＳＰ  カシメ部
ＡＲ１  第１の方向
ＡＲ２  第２の方向
ＡＲ２ｃ  中心線方向
ＡＲｍ  駆動時保持部材力点間方向
【図１】
2013114028.tif 000003
【図２】
2013114028.tif 000004
【図３】
2013114028.tif 000005
【図４】
2013114028.tif 000006
【図５】
2013114028.tif 000007
【図６】
2013114028.tif 000008
【図７】
2013114028.tif 000009
【図８】
2013114028.tif 000010
【図９】
2013114028.tif 000011
【図１０】
2013114028.tif 000012
【図１１】
2013114028.tif 000013
【図１２】
2013114028.tif 000014
【図１３】
2013114028.tif 000015
【図１４】
2013114028.tif 000016
【図１５】
2013114028.tif 000017
【図１６】
2013114028.tif 000018
【図１７】
2013114028.tif 000019
【図１８】
2013114028.tif 000020