(57)【要約】【課題】ローラ搬送においても基板への振動の伝達を防止し、基板の搬送を安定化させることが可能な基板搬送装置を提供すること。【解決手段】複数のフリーローラ１３１を用いることによって搬送対象の基板Ｗを所定の搬送方向Ｄに沿って搬送する搬送ステージ１３を有するＦＰＤ検査装置１であって、フリーローラ１３１に支持されて搬送ステージ１３上を搬送方向Ｄに沿って移動可能であり、基板Ｗに対して面接触して保持する略板状の保持部材２２を備えた。【選択図】図３
2013120907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のローラを用いることによって搬送対象の基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送ステージを有する基板搬送装置であって、
前記複数のローラの一部に支持されて前記搬送ステージ上を前記搬送方向に沿って移動可能であり、前記基板と面接触して前記基板保持する略板状の保持部材を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記保持部材を保持し、前記搬送方向と平行に延びる搬送軸上を往復動可能な搬送部を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記基板の撮像処理を行う撮像部と、
前記撮像部が撮像する撮像領域に照明光を照射する照明部と、
を備え、
前記保持部材は、前記照明部が発する照明光を透過する材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記保持部材は、
板厚方向に貫通し、エアの吸排動作を行うエア供給部と接続した配管内の流路に連通する第１貫通孔を有し、
前記第１貫通孔を介して前記基板を吸引することによって、該基板を保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記配管は、光を透過する材料からなることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記複数のローラの上端を通過する平面と直交する方向に、該平面を通過する範囲で進退可能に設けられ、前記基板を先端でそれぞれ支持する複数のリフトピンを備え、
前記保持部材は、板厚方向に貫通し、前記リフトピンを挿通する第２貫通孔を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板や半導体基板やプリント基板等を搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や半導体やなどの製造において、基材となるガラス基板やウェハ基板（以下、基板という）を搬送しながら、基板上の表面にパターンを形成するための各種処理を行う製造装置や、欠陥の検査処理を行う検査装置、欠陥の修正処理を行う欠陥修正装置など、各種処理装置が用いられている。これらの処理装置には基板を搬送させるために基板搬送装置が一体に設けられている。基板搬送装置は、外部から検査などの処理を行う処理部へ基板を搬入、または処理部から外部へ基板を搬出する搬送部を有する。この基板の搬入と搬出を、基板の搬送と称する。
【０００３】
搬送部は、基板を支持し、搬送方向に沿って複数の回転可能なローラで構成されるステージと、基板を吸着して搬送方向に移動可能な吸着パッドとを備える。搬送部は、ローラに支持された基板を吸着パッドによって吸着保持し、この吸着パッドを移動させることで基板の搬送を行う。また、基板の支持には、ローラを用いたステージに代えて、浮上プレートを用いて基板を浮上させるフローティングステージを用いる場合もある。この浮上プレートは、基板を搬送する搬送面に複数の空気穴を有し、この空気穴から空気を吹き出すことによって基板を浮上させる。浮上プレートは、ローラと比して基板の搬送によって生じる振動や、装置内の空気を浄化するためのＦＦＵ（Ｆａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ  Ｕｎｉｔ）によるダウンフローに起因して発生する振動を抑制することができる。
【０００４】
上述した基板搬送装置として、搬送部に設けられ、基板を浮上させる複数の基板浮上機構を有し、基板浮上機構が検査処理部において搬送方向に直交する方向に対して互い違いに配置された基板検査装置が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。この基板検査装置では、基板を浮上させることによって搬送を安定化させるとともに、検査時に基板を撮像した際に、基板浮上機構の映り込みを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０３９４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１が開示する基板検査装置は、搬送中に生じる振動の基板への伝達を防止することが可能であるものの、各基板浮上機構の設置には高価格であるうえに組立て精度が求められ、その調整に労力を要する。また、特許文献１では浮上プレートを用いているが、上述したローラを用いて基板を搬送する構成とすると低価格で基板の搬送を実現できるものの、搬送中における振動が浮上搬送より強く生じることととなり、安定した基板の保持という観点においては、浮上搬送と比して劣る。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、ローラ搬送においても基板への振動の伝達を防止し、基板の搬送を安定化させることが可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる基板搬送装置は、複数のローラを用いることによって搬送対象の基板を所定の搬送方向に沿って搬送する搬送ステージを有する基板搬送装置であって、前記複数のローラの一部に支持されて前記搬送ステージ上を前記搬送方向に沿って移動可能であり、前記基板と面接触して前記基板保持する略板状の保持部材を備えたことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記保持部材を保持し、前記搬送方向と平行に延びる搬送軸上を往復動可能な搬送部を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記基板の撮像処理を行う撮像部と、前記撮像部が撮像する撮像領域に照明光を照射する照明部と、を備え、前記保持部材は、前記照明部が発する照明光を透過する材料からなることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記保持部材は、板厚方向に貫通し、エアの吸排動作を行うエア供給部と接続した配管内の流路に連通する第１貫通孔を有し、前記第１貫通孔を介して前記基板を吸引することによって、該基板を保持することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記配管は、光を透過する材料からなることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明にかかる基板搬送装置は、上記の発明において、前記複数のローラの上端を通過する平面と直交する方向に、該平面を通過する範囲で進退可能に設けられ、前記基板を先端でそれぞれ支持する複数のリフトピンを備え、前記保持部材は、板厚方向に貫通し、前記リフトピンを挿通する第２貫通孔を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ローラ上に載置される板状の保持部材によって基板Ｗを保持するようにしたので、ローラ搬送においても基板への振動の伝達を防止し、基板の搬送を安定化させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明の実施の形態にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を示す正面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を模式的に示す上面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を模式的に示す側面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す斜視図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す斜視図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を示す斜視図であって、外部機構から基板を搬入する場合を示す図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の要部の構成を示す斜視図であって、外部機構から基板を搬入する場合を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を図面と共に詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。また、以下の説明において参照する各図は、本発明の内容を理解でき得る程度に形状、大きさ、および位置関係を概略的に示してあるに過ぎない。すなわち、本発明は各図で例示された形状、大きさ、および位置関係のみに限定されるものではない。
【００１７】
まず、本発明の実施の形態にかかる基板搬送装置について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、基板搬送装置として、被検査対象である基板の検査を行うフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置を例に挙げて説明する。ＦＰＤ検査装置は、露光装置やコーター／ディベロッパー、エッチング装置などの製造装置等に直結して被検査対象となる基板の全数検査を行うようなインライン型であってもよいし、カセット等の基板ストッカーから直接搬入出して一部の基板のみを抜き取り検査するオフライン型（スタンドアローン型）であってもよい。
【００１８】
図１は、本実施の形態にかかるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）検査装置の構成を示す斜視図である。図２は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を示す正面図である。図３は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を模式的に示す上面図である。図４は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置の構成を模式的に示す側面図である。
【００１９】
図１に示すように、ＦＰＤ検査装置１は、搬送された矩形をなす基板Ｗの欠陥を検出する基板処理部２と、基板処理部２全体の制御を行う制御機構３と、を備える。また、基板処理部２は、移動する基板Ｗの欠陥を検出する光学ユニット１００を保持するガントリー（Gantry）１０と、基板Ｗを搬送する搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ〜１３Ｄ）と、基板Ｗの搬送方向に略直交して延び、基板Ｗに対して照明光を照射する照明部１４とを備える。なお、ガントリー１０は、門型のフレーム構造で、搬送ステージ１３上に跨ぐように設けられる。
【００２０】
ガントリー１０および搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ〜１３Ｄ）は、例えば図２に示すような架台１１，１２に固定される。架台１１，１２は、搬送ステージ１３の搬送方向Ｄに平行な端部側にそれぞれ設けられ、搬送方向Ｄに沿って延びている。架台１１，１２は、例えばブロック状の大理石やスチール材を組み合わせた鋼管フレームなど、耐震性の高い部材によって構成されることが望ましい。加えて、架台１１，１２と設置面（例えば床）との間には、例えばスプリングや空気圧ダンパー、油圧ダンパーなどで構成された振動吸収機構１１０が設けられる。これにより、ガントリー１０および搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ〜１３Ｄ）の振動がさらに防止される。また、架台１２の上面には、搬送方向Ｄに駆動し、基板Ｗを吸着保持して搬送する基板搬送機構２０が設けられる。なお、架台１１、１２の構成は、本実施の形態で開示する構成に限らず、ガントリー１０を支持する、基板を支持する、基板を搬送するという機能を有したステージの構成であれば如何なる形状を採用しても構わない。
【００２１】
光学ユニット１００は、搬送ステージ１２が形成する搬送経路上に設定された、搬送ステージ１３の幅方向に平行な検査ラインＬ１を通過する基板Ｗを、顕微鏡１０１を介して撮像する撮像部を有する。この光学ユニット１００によって取得された画像（高倍率画像）を解析することで、基板Ｗに欠陥が存在するか否かを検出することができる。光学ユニット１００は、検査ラインＬ１に沿って移動することが可能である。また、照明部１４が基板Ｗに対して光を基板Ｗに照射して、顕微鏡１０１がこの反射光を取得し、取得した反射光から得られる画像データをもとに、検査部３３が基板Ｗ上に形成された膜の膜厚測定を行う。
【００２２】
なお、上述した構成は、光学ユニット１００と基板Ｗとを相対的に移動させる構成であれば他の構成であってもよい。例えば、基板Ｗを搬送ステージ１２の上に固定し、光学ユニット１００を基板Ｗの平面上を走査するように構成してもよい。また、光学ユニット１００を移動させる構成に代えて、ガントリー１０に光学ユニット１００を複数並設する構成としてもよい。この場合、移動する基板の一部或いは全体を複数の光学ユニット１００によって走査することによって画像を取得することができる。本説明では、光学ユニット１００（ガントリー１０）が設けられる領域を検査空間ＰＲ１という。また、検査空間ＰＲ１以外の領域を搬送空間ＴＲ１，ＴＲ２という。
【００２３】
また、光学ユニット１００は、たとえば基板Ｗの欠陥部分に対してレーザ照射や塗布修正等の欠陥修正を行う欠陥修正ユニット、顕微鏡１０１に代えて観察・画像保存する高解像カメラからなる撮像ユニット、配線等の寸法測定、膜厚測定、色測定などを行う測定ユニットなどの処理を所定の位置で施す他の処理ユニットに適宜置き替えることができる。さらに、これらの処理ユニットを一台の検査装置に複数搭載する構成としてもよい。すなわち、処理ユニットには、光学ユニット、欠陥修正ユニット、撮像ユニット、測定ユニット等が少なくとも一つ含まれる。また、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置１は、基板Ｗを載置するステージ上で、上述した処理ユニットが基板Ｗに対して各処理を行う構成も含んでもよい。
【００２４】
搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ〜１３Ｄ）は、例えば複数の板状部材が基板Ｗの搬送方向Ｄと垂直な方向に並設された、すのこ状に組み合わされた構造を有する。搬送ステージ１３は、すのこ状に組み合わされた構造を有するステージ１３Ａ〜１３Ｄを搬送方向Ｄに沿って並べることで、基板Ｗの搬送経路を形成する。各ステージ１３Ａ〜１３Ｄの板状部材には、上面で保持部材２２を保持し、搬送方向Ｄに直交する軸を中心軸として自転可能なフリーローラ１３１がそれぞれ設けられる。なお、フリーローラ１３１は、ラグランジュ点のように載置する部材の撓み振動が発生しにくい間隔で配置されることが好ましい。また、フリーローラはＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）材やフッ素系の樹脂等、耐摩擦性に優れるエンジニアリングプラスティックを採用することが好ましい。また、複数のフリーローラの配置は、等間隔でも不等間隔でも構わない。
【００２５】
なお、本実施の形態の搬送ステージ１３では、複数の板状部材がすのこ状に並設され、この板状部材にフリーローラが複数設けられる構成としているが、この構成に代えて、例えば、基板の搬送方向に直交する方向に延出するシャフトを基板の搬送方向へ間隔を置いて複数設け、このシャフトにフリーローラを複数設けるような構成に置き換えてもよい。すなわち、搬送ステージ１３は、回転可能な複数のローラ部材によって保持部材２２を支持するとともに移動させる構成であり、その形態は如何なる構成を採用しても構わない。
【００２６】
ここで、搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ）に搬送された基板Ｗは、所定の位置に載置されるように位置決めされる。基板Ｗの位置決め方法としては、搬送ステージ１３上に搬入された基板Ｗを支持して搬送ステージ１３に載置する複数のリフトピン１３３（図８，９参照）、および搬送ステージ１３に載置された基板Ｗを整列させる整列機構１３２等を用いる方法が挙げられる。リフトピン１３３は、ステージ１３Ａに設けられ、ステージ１３Ａの各フリーローラ１３１の上端を通過する平面（保持部材２２の上面）と直交する方向に、この平面を通過する範囲で進退可能に設けられる。なお、リフトピン１３３の先端は、ＰＥＥＫ材等のエンジニアリングプラスティックを用いて形成されることが好ましい。
【００２７】
図５は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置１の照明部１４近傍の構成を示す斜視図である。照明部１４は、基板Ｗの光学ユニット１００側と反対方向の面に向けて照明光を照射する透過照明光を照射する。照明部１４は、搬送ステージ１３が延びる方向に直交する方向に延び、例えば、ステージ１３Ｂ，１３Ｃ間であって、検査ラインＬ１に沿って照明光を照射可能な位置に設けられる。この照明部１４は、検査ラインＬ１と平行に延びる照明部材１４ａによって構成されるものであってもよいし、光学ユニット１００の移動に伴って光源を移動させるものであってもよい。また、照明部材１４ａは、例えばハロゲンランプとロッドレンズの組合せなどによって線状光源とする構成であってもよいし、点光源として複数のＬＥＤ光源を有するものであってもよい。なお、光学ユニット１００内に、基板Ｗに向けて照明光を照明する落射照明光を照射する照明ユニットを内設し、基板Ｗから反射される光を光学ユニット１００によって受光するものであってもよい。
【００２８】
図６は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置１の基板搬送機構２０の構成を示す斜視図である。基板搬送機構２０は、架台１２の上面側に設けられ、搬送方向Ｄに平行に延びる搬送軸１２ａ上を移動する搬送部２１と、搬送部２１およびフリーローラ１３１に支持され、基板Ｗを保持する平板状をなす保持部材２２と、制御部３０の制御のもと、エアの吸排動作を行うエア供給部２３と、を有する。搬送部２１は、搬送軸１２ａ上に載置され、搬送方向Ｄに沿って移動する板状の移動体２１ａと、移動体２１ａの板面から鉛直方向に延びる２つの支柱２１ｂと、支柱２１ｂの移動体２１ａと連結する側と異なる側の端部に設けられ、保持部材２２を保持する保持板２１ｃと、を有する。保持板２１ｃと保持部材２２とは、ネジ２１ｄによって固定されている。
【００２９】
保持部材２２は、照明部１４からの照明光を透過することができる透明部材を用いて形成された略板状をなす。透明部材は、例えばガラス、あるいは光透過性の樹脂からなり、一枚の板状部材、あるいは複数の板状部材を複数接合したものなど平板状のものであれば如何なる構成でも構わない。保持部材２２は、板厚方向に貫通する複数の貫通孔２２ａ（第１貫通孔）と、板厚方向に貫通し、貫通孔２２ａより大きい径の内部空間を形成し、リフトピン１３３を挿通可能な複数の貫通孔２２ｂ（第２貫通孔）と、一端で貫通孔２２ａに連通し、搬送方向Ｄに沿って延び、他端でエア供給部２３と接続する配管２２ｃ（図７参照）と、を有する。また、保持部材２２上に載置された基板Ｗは、エア供給部２３の図示しないポンプの駆動による吸気動作によって、貫通孔２２ａおよび配管２２ｃを介して、少なくとも一部が面接触して保持部材２２に吸着保持される。基板搬送機構２０は、例えば、搬送軸１２ａとしてリニアモータガイドを用いるとともに、移動体２１ａとしてリニアモータを用いることによって実現される。なお、基板搬送機構２０は、リニアモータおよびリニアモータガイドのほか、ボールねじを用いた構成によっても実現可能である。
【００３０】
ここで、保持部材２２の板厚は、基板Ｗの板厚より厚いことが好ましい。保持部材２２は、フローローラ１３１から伝達される振動を防止するほか、光学ユニット１００による撮像を行う際の基板の撓み等を防止することが好ましい。保持部材２２の板厚が厚ければ厚いほど、フリーローラ１３１からの振動の伝達を防止することができるとともに、載置する基板Ｗの撓みを防止することが可能となる。なお、保持部材２２の板厚は、基板Ｗの大きさ、すなわち検査対象の基板Ｗのサイズや、保持部材２２に使用する素材などを勘案して適宜設定される。基板Ｗの撮像においては、図２に示すように、搬送方向Ｄに直交する方向の撓みを防止することが好ましく、保持部材２２の剛性によって、実現することが可能である。
【００３１】
配管２２ｃは、貫通孔２２ａに連通する側と異なる側の端部は、支柱２１ｂ等を介して、架台１２の内部まで延びている。なお、基板搬送機構２０による基板Ｗの支持高さは、支柱２１ｂを調整することによって調節可能である。また、配管２２ｃは、少なくとも保持部材２２側に位置する部分が、照明部１４からの照明光を透過する透明部材、例えばガラス、あるいは光透過性の樹脂からなることが好ましく、架台１２側に位置する部分が屈曲性のある樹脂からなることが好ましい。
【００３２】
整列機構１３２は、搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ）の外周側にそれぞれ設けられ、制御部３０の制御のもと、基板Ｗに当接する当接部材が、基板Ｗの端面に対して少なくとも遠近方向に移動可能である。整列機構１３２は、基板Ｗの各辺に対応して１〜２個設けられ、各整列機構１３２の当接部材がそれぞれ基板Ｗの対応する端面に当接して、挟み込むことにより基板Ｗの位置決めを行なう。例えば、基板Ｗにおけるある一辺に２つの整列機構１３２が配設されている場合、対抗する辺側には１つの整列機構１３２が配置される。また、このとき、各整列機構１３２を結んで形成される図形が、三角形（正三角形または二等辺三角形）となることが好ましい。
【００３３】
なお、整列機構１３２は、ＦＰＤ検査装置に基板Ｗが搬入される際、例えば搬入ロボットアームによって高精度に位置決めされるなど、所定の精度で位置決めがなされている状態で基板Ｗが保持部材２２に載置されるのであれば必ずしも必要な構成ではない。
【００３４】
また、ＦＰＤ検査装置１が、少なくとも基板処理部２を囲み、光学ユニット１００の上方に設けられるクリーンな空気（以下、クリーンエアという）を送り込むＦＦＵを有する外装を備えていれば、クリーンルームを形成することができるので好ましい。このクリーンルームは、基板の搬入口および搬出口ならびに下部のダクト以外、密閉された内部空間である。
【００３５】
ＦＦＵは、例えば、パーティクルなどのダストが除去されたクリーンエアを送出する。この結果、特に光学ユニット１００の移動領域を、ダストの少ないクリーンな状態とする。また、光学ユニット１００近傍に集中して送出されたクリーンな空気は、クリーンルーム内でダウンフローを形成したのち、排気口から排気される。
【００３６】
制御機構３は、制御部３０、入力部３１、出力部３２、検査部３３および記憶部３４を備える。制御機構３は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、通信機能等を備えたコンピュータで実現される。
【００３７】
制御部３０は、ＦＰＤ検査装置１全体の制御を行う。入力部３１は、キーボード、マウス、タッチパネル、ボタン等を用いて構成され、検体の分析に必要な諸情報や分析動作の指示情報等を外部から入力する。出力部３２は、ディスプレイ等を用いて構成される。
【００３８】
検査部３３は、光学ユニット１００によって取得された画像またはそのスペクトルをもとに基板Ｗの測定および／または検査を行う。
【００３９】
記憶部３４は、情報を磁気的に記憶するハードディスクと、ＦＰＤ検査装置１が処理を実行する際にその処理にかかわる検査プログラムを含む各種プログラムをハードディスクからロードして電気的に記憶するメモリとを用いて構成される。
【００４０】
上述したＦＰＤ検査装置１では、制御部３０の制御のもと、外部から搬送ステージ１３に搬入された基板Ｗに対して、基板搬送機構２０によって吸着保持して搬送方向Ｄに搬送し、光学ユニット１００が基板Ｗの欠陥検査等の検査処理を行う。このとき、基板搬送機構２０は、貫通孔２２ｂを介して基板Ｗの表面を吸引して保持する保持部材２２を、搬送方向Ｄに沿って移動させることによって基板Ｗの搬送を行う。
【００４１】
図８は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置１の構成を示す斜視図であって、外部機構から基板Ｗを搬入する場合を示す図である。図９は、本実施の形態にかかるＦＰＤ検査装置１の要部の構成を示す斜視図であって、外部機構から基板Ｗを搬入する場合を示す図である。外部から基板Ｗを受け入れる際は、図８，９に示すように、搬送ロボット２００が、櫛状をなすアーム２０１に保持された基板Ｗを搬送ステージ１３（ステージ１３Ａ）に搬入する。搬送ロボット２００は、基板Ｗを保持しているアーム２０１がステージ１３Ａ上まで進んだ後、下降する。このとき、ステージ１３Ａにおいてリフトピン１３３が上昇して貫通孔２２ｂから突出した状態となっており、アーム２０１は、このリフトピン１３３間に入り込む。その後アーム２０１が下降することで、基板Ｗがリフトピン１３３に保持される。基板Ｗがリフトピン１３３に支持された後、搬送ロボット２００は、アーム２０１を搬送方向Ｄに沿って搬送ステージ１３（ＦＰＤ検査装置１）から離脱させる。
【００４２】
その後、基板Ｗを支持したリフトピン１３３は、制御部３０の制御のもと、下降してステージ１３Ａ下方に退避する。このとき、エア供給部２３の排気動作によって貫通孔２２ａからエアが吹き出されており、基板Ｗは、リフトピン１３３の退避動作によってエアにより支持されることとなる。基板Ｗが、保持部材２２上で保持されると、上述した整列機構１３２によって位置決めがなされ、エア供給部２３による吸引によって、位置決めされた位置で固定される。
【００４３】
なお、基板Ｗの位置決めについては、検査装置の種類、検査対象の基板Ｗの大きさ、保持部材２２の素材などの各種条件に基づいて、保持部材２２の貫通孔２２ｂおよびリフトピン１３３の構成を省略し、基板Ｗを保持部材２２に直接載置した状態で整列機構１３２により位置決めするようにしてもよい。この場合、装置構成を簡略化することができ、コストを低減させることが可能となる。
【００４４】
上述した実施の形態では、フリーローラ１３１上に載置される板状の保持部材２２によって基板Ｗを保持するようにしたので、ローラ搬送においても基板への振動の伝達を防止し、基板の搬送を安定化させることができる。特に、近年の基板の大型化に伴い、基板上における振動が生じやすくなっているため、フリーローラ１３１等から発生した振動が基板Ｗに伝達することを防止することによって、安定した基板の搬送に有効な効果を奏する。
【００４５】
また、従来のエアによって基板を浮上させて搬送する方法では、搬送中に生じる振動の発生を防止して安定した状態で基板を搬送することが可能であるものの、各基板浮上機構の設置には高価格であるうえに組立て精度が求められ、その調整に労力を要する。また、安定した搬送処理や撮像処理を行うため、基板を浮上させるために供給されるエアの吹き出し量（エア圧）が一定となるよう制御する必要が生じ、構成（制御系の構成）を複雑にするおそれがあった。一方、本実施の形態では、フリーローラを用いたローラ搬送のため、安価かつ簡易に搬送系を構築することができるうえ、保持部材の基板保持のためのエアにおいても、上述したエア圧ほどの精度を要さず、構成を複雑化させることなく構築できる。
【００４６】
また、従来のフリーローラによって基板を支持して搬送する方法では、低価格で搬送系を構築することができるものの、エアによる搬送に比して生じる振動が大きい。加えて、フリーローラの配設間隔によっては、各フリーローラと基板との支持点と、これら支持点間の中央部とに高低差が生じて基板表面が凹凸形状をなし（撓み）、撮像処理に影響を及ぼすおそれがあった。一方、本実施の形態では、フリーローラ上に載置される板状の保持部材を用いて基板を搬送するため、基板の撓みを防止し、安定した撮像処理を行うことができる。
【００４７】
また、従来のエアまたはフリーローラによって基板を搬送する方法では、透過照明系を用いる場合、検査ラインに応じて、搬送系を変更する必要があった。例えば、フリーローラの映り込みを防止するために、検査ライン上にフリーローラを設けないようにしたり、基板の撓みを防止するために、検査ライン近傍のフリーローラの数を増大させたり、検査領域とそれ以外の搬送領域とのエア圧を変える制御を行うなどしていた。一方、本実施の形態では、透過照明光を透過する保持部材を用いて基板を搬送するため、保持部材によって基板の剛性を高めて基板の撓みを防止して搬送するため、検査ラインにおいてフリーローラを設けない場合であっても基板を撓ませることなく安定した撮像処理を行うことができる。
【００４８】
また、従来のエアまたはフリーローラによって基板を搬送する方法では、搬送部の移動による加減速時に基板が搬送部からのずれ、または離脱することを防止するため、搬送部の搬送軸を搬送ステージの幅方向（搬送方向に直交する方向）の中央に配置していた。しかしながら、上述した構成では、加減速時の基板のずれ、または離脱を防止することができるものの、透過照明光を発する照明部の配置が困難となるという問題があった。一方、本実施の形態では、透過照明光を発する照明部を配置し、搬送部の搬送軸を搬送ステージの幅方向の側部に設けた場合であっても、保持部材によって基板を保持しているため、加減速時の基板のずれ、または離脱を防止するとともに、透過照明光を発する照明部を配置して撮像処理を行うことができる。
【００４９】
また、上述した本実施の形態では、基板以上の板厚の保持部材を用いて基板を搬送することが可能であり、保持部材によって基板の剛性を高めて基板の撓みを防止して搬送するため、搬送系全体としてフリーローラの数を従来のローラ搬送のフリーローラの数と比して削減することができる。
【００５０】
なお、本実施の形態では、オフライン型のＦＰＤ検査装置に適用されるものとして説明したが、インライン型のＦＰＤ検査装置にも適用可能である。また、上述した実施の形態にかかる基板の搬送において、エアによる吸着保持に置き換え、シール材等によって基板を保持して搬送させる構成であってもよいし、基板を挟持して基板を搬送させる構成であっても適用可能である。
【００５１】
なお、本実施の形態では、基板搬送機構２０の搬送部２１が、搬送ステージ１３の一方の側部に設けられて保持部材２２を保持するものとして説明したが、搬送ステージ１３の両方に設けられて保持部材２２を保持するものであっても適用可能である。
【００５２】
以上のように、本発明にかかる基板搬送装置は、ローラ搬送においても基板への振動の伝達を防止し、基板の搬送を安定化させることに有用である。
【符号の説明】
【００５３】
１  ＦＰＤ検査装置
２  基板処理部
３  制御機構
１０  ガントリー
１１，１２  架台
１３  搬送ステージ
１３Ａ〜１３Ｄ  ステージ
１４  照明部
１４ａ  照明部材
２０  基板搬送機構
２１  搬送部
２１ａ  移動体
２１ｂ  支柱
２１ｃ  保持板
２１ｄ  ネジ
２２  保持部材
２２ａ，２２ｂ  貫通孔
２２ｃ  配管
２３  エア供給部
３０  制御部
３１  入力部
３２  出力部
３３  検査部
３４  記憶部
１００  光学ユニット
１０１  顕微鏡
１１０  振動吸収機構
１３１  フリーローラ
１３２  整列機構
１３３  リフトピン
２００  搬送ロボット
２０１  アーム
Ｌ１  検査ライン
ＰＲ１  検査空間
ＴＲ１，ＴＲ２  搬送空間
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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