【手続補正書】
【提出日】平成28年3月14日(2016.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス中のシロキサンレベルを減少させる方法であって、
ろ材中に酸で洗浄された第１の吸着剤材料の第１層を提供する工程と、
前記ろ材中に第２の吸着剤材料の第２層を提供する工程と、
少なくとも前記ガス中のシロキサンレベルを減少させるように、ガスを前記第１の吸着剤材料および前記第２の吸着剤材料に連続的に通す工程と
を含む方法。
【請求項２】
ガス中のシロキサンレベルを減少させるためのろ材であって、
酸で洗浄された吸着剤を含む第１の吸着剤材料の第１層と、
第２の吸着剤材料の第２層と
を含むろ材であって、前記第１の吸収剤材料および前記第２の吸収剤材料は、連続流路を規定するように配置される、ろ材。
【請求項３】
前記酸が強酸を含む、請求項２に記載のろ材。
【請求項４】
前記第２の吸着剤材料が酸が含浸された吸着剤を含む、請求項２に記載のろ材。
【請求項５】
前記第２の吸着剤材料が酸性ガス除去剤を含む、請求項２に記載のろ材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、以下の図面とともにより完全に理解され得る。
本発明は、例えば、以下を提供する。
（項目１）
ガス中のシロキサンレベルを減少させる方法であって、
酸で洗浄された第１の吸着剤材料を提供する工程と、
前記ガス中のシロキサンレベルを減少させるように、ガスを前記吸着剤材料に通す工程と
を含む方法。
（項目２）
前記第１の吸着剤材料が活性炭を含む、項目１および３〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目３）
前記第１の吸着剤材料が、シリカゲル、活性アルミナ、ゼオライト、ナノ多孔性担体、およびそれらの組合せの群から選択される、項目１〜２および４〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目４）
前記酸が強酸を含む、項目１〜３および５〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目５）
前記酸が硝酸を含む、項目１〜４および６〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目６）
前記吸着剤が、少なくとも５パーセントの硝酸の水溶液で洗浄される、項目１〜５および７〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目７）
前記吸着剤が、少なくとも１０パーセントの硝酸の水溶液で洗浄される、項目１〜６および８〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目８）
前記吸着剤材料に通された前記ガスが、周囲空気を含む、項目１〜７および９〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目９）
前記吸着剤材料に通された前記ガスが、その後、半導体製造に使用される、項目１〜８および１０〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１０）
第２の吸着剤材料を提供する工程と、
前記ガスを前記第２の吸着剤材料に通す工程と
をさらに含む、項目１〜９および１１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１１）
前記第２の吸着剤材料が活性炭を含む、項目１〜１０および１２〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１２）
前記第２の吸着剤材料吸着剤材料が、シリカゲル、活性アルミナ、ゼオライト、ナノ多孔性担体、およびそれらの組合せの群から選択される、項目１〜１１および１３〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１３）
前記第２の吸着剤材料が、酸が含浸された吸着剤を含む、項目１〜１２および１４〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１４）
前記酸が強酸を含む、項目１〜１３および１５〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１５）
前記酸がリン酸を含む、項目１〜１４および１６〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１６）
前記酸がクエン酸を含む、項目１〜１５および１７〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１７）
前記ガスが、前記第１の吸着剤材料に通され、続いて、前記第２の吸着剤材料に通される、項目１〜１６および１８〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１８）
前記ガスが、前記第２の吸着剤材料に通され、続いて、前記第１の吸着剤材料に通される、項目１〜１７および１９〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目１９）
酸性ガス除去剤をさらに含む、項目１〜１８および２０〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目２０）
前記酸性ガス除去剤が、ヨウ化カリウム、炭酸カリウムまたは水酸化ナトリウム、およびそれらの組合せの群から選択される含浸剤が含浸された吸着剤を含む、項目１〜１９および２１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目２１）
前記酸性ガス除去剤が、ヨウ化カリウム、炭酸カリウム、または水酸化ナトリウムおよびそれらの組合せが含浸された吸着剤を含む、項目１〜２０および２２〜２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目２２）
第１の吸着剤対酸性ガス除去剤の比率が、２：１〜１：２である、項目１〜２１および２３のいずれか一項に記載の方法。
（項目２３）
第１の吸着剤対酸性ガス除去剤の比率が、１０：１〜１：１０である、項目１〜２２のいずれか一項に記載の方法。
（項目２４）
ガス中のシロキサンレベルを減少させるためのろ材であって、
酸で洗浄された吸着剤を含む第１の吸着剤材料と、
酸が含浸された吸着剤を含む第２の吸着剤材料と
を含むろ材。
（項目２５）
前記第１の吸着剤材料が活性炭を含む、項目２４および２６〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目２６）
前記第１の吸着剤材料がシリカゲルを含む、項目２４〜２５および２７〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目２７）
前記酸が強酸を含む、項目２４〜２６および２８〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目２８）
前記酸が硝酸を含む、項目２４〜２７および２９〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目２９）
前記吸着剤が、少なくとも５パーセントの硝酸の水溶液で洗浄される、項目２４〜２８および３０〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３０）
前記吸着剤が、少なくとも１０パーセントの硝酸の水溶液で洗浄される、項目２４〜２９および３１〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３１）
前記第２の吸着剤材料が活性炭を含む、項目２４〜３０および３２〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３２）
前記第２の吸着剤材料がシリカゲルを含む、項目２４〜３１および３３〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３３）
前記第２の吸着剤材料を含浸する前記酸が強酸を含む、項目２４〜３２および３４〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３４）
前記第２の吸着剤材料を含浸する前記酸がリン酸を含む、項目２４〜３３および３５〜４２のいずれか一項に記載の方法。
（項目３５）
ガスがまず前記第１の吸着剤材料を通過し、続いて、前記第２の吸着剤材料を通過するように構成される、項目２４〜３４および３６〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３６）
ガスがまず前記第２の吸着剤材料を通過し、続いて、前記第１の吸着剤材料を通過するように構成される、項目２４〜３５および３７〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３７）
酸性ガス除去剤をさらに含む、項目２４〜３６および３８〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３８）
前記酸性ガス除去剤が、ヨウ化カリウム、炭酸カリウム、およびそれらの組合せが含浸された吸着剤を含む、項目２４〜３７および３９〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目３９）
第１の吸着剤対酸性ガス除去剤の比率が、２：１〜１：２である、項目２４〜３８および４０〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目４０）
第１の吸着剤対酸性ガス除去剤の比率が、３：１〜１：３である、項目２４〜３９および４１〜４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目４１）
少なくとも前記第１の吸着剤材料が、充填床に提供される、項目２４〜４０および４２のいずれか一項に記載のろ材。
（項目４２）
少なくとも前記第１の吸着剤材料が、ウェブ形態で提供される、項目２４〜４１のいずれか一項に記載のろ材。
（項目４３）
ガス中のシロキサンレベルを減少させる方法であって、
吸着剤材料を硝酸で洗浄する工程と、
前記吸着剤材料に、硝酸以外の強酸を含浸させる工程と、
ガス中のシロキサンレベルを減少させるように、ガスを前記吸着剤材料に通す工程と
を含む方法。
（項目４４）
ガス中のシロキサンレベルを減少させるためのろ過システムであって、
吸着剤材料を含む第１のろ材であって、前記第１の吸着剤材料が、酸で洗浄された吸着剤を含む第１のろ材と、
吸着剤材料を含む第２のろ材であって、前記第２の吸着剤材料が、酸が含浸された吸着剤を含む第２のろ材と
を含み、
前記ガスの大部分が前記第１のろ材および前記第２のろ材を通過するように連続して構成されるろ過システム。
（項目４５）
ガス中のシロキサンレベルを減少させるためのろ過システムであって、
吸着剤材料を含む第１のろ材であって、前記第１の吸着剤材料が、酸が含浸された吸着剤を含む第１のろ材と、
吸着剤材料を含む第２のろ材であって、前記第２の吸着剤材料が、酸で洗浄された吸着剤を含む第２のろ材と
を含み、
前記ガスの大部分が前記第１のろ材および前記第２のろ材を通過するように連続して構成されるろ過システム。
（項目４６）
ガス中のシロキサンレベルを減少させる方法であって、
酸で洗浄された吸着剤材料を提供する工程と、
前記ガス中のシロキサンレベルを減少させるように、ガスを前記吸着剤材料に通す工程と
を含む方法。
（項目４７）
ガス中のシロキサンレベルを減少させる方法であって、
第１の酸で洗浄され、続いて、第２の酸が含浸された吸着剤材料を提供する工程と、
前記ガス中のシロキサンレベルを減少させるように、ガスを前記吸着剤材料に通す工程と
を含む方法。
（項目４８）
前記第１の酸および第２の酸が異なる酸である、項目４７および４９〜５０のいずれか一項に記載の方法。
（項目４９）
前記第１の酸が硝酸を含む、項目４７〜４８および５０のいずれか一項に記載の方法。
（項目５０）
前記第２の酸が、硝酸以外の酸を含む、項目４７〜４９のいずれか一項に記載の方法。