(57)【要約】【課題】通常は低い位置に収められているが、浸水の虞がある場合には装置全体を包囲することができる浸水防止方法および浸水防止具を提供する。【解決手段】保護対象である装置を水害から保護するための浸水防止方法であって、底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体を用意し、袋体の底部に装置を載置するとともに、袋体の側部を下部に折り畳んでおき、浸水の虞がある場合に、袋体の側部を引き上げて装置全体を包囲するとともに、開口を閉塞する。【選択図】図２
2013162039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護対象である装置を水害から保護するための浸水防止方法であって、
底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体を用意し、該袋体の底部に装置を載置するとともに、該袋体の側部を下部に折り畳んでおき、
浸水の虞がある場合に、該袋体の側部を引き上げて装置全体を包囲するとともに、開口を閉塞する、
ことを特徴とする浸水防止方法。
【請求項２】
保護対象である装置を水害から保護するための浸水防止具であって、
底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体と、
該袋体の開口部を閉塞する閉塞手段と、を具備している、
ことを特徴とする浸水防止具。
【請求項３】
該底部は装置が載置可能な大きさを有する床板からなり、該床板の周囲には該袋体を構成する側部を折り畳んで収容する収容手段が配設されている、ことを特徴とする浸水防止具。
【請求項４】
該床板の上面には、装置を支持する免震支持手段が配設されている、請求項３記載の浸水防止具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を加工するために切削装置やレーザー加工装置等の加工装置や検査装置等を水害から保護するための浸水防止方法および浸水防止具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の被加工物を加工するために切削装置やレーザー加工装置等の加工装置や検査装置は、洪水等によって装置の全部又は一部が浸水すると、駆動部および制御部が汚染されて腐食し、稼働、修復が不能となり多大な損害を招く。
【０００３】
上述した問題を解決するためには、防水構造からなり所定の高さを有する収容箱に対象となる装置の下部を収容することが考えられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
而して、上述した防水構造からなる収容箱は、水の浸入を防ぐためには高さが高い程よいが、オペレータによる作業性を考えると高さが低い方がよい。従って、収容箱の高さはオペレータによる作業性に支障が生じない範囲に設定される。このため、洪水による水位が収容箱の高さを超えると浸水防止機能が全く失われることになる。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、通常は低い位置に収められているが、浸水の虞がある場合には装置全体を包囲することができる浸水防止方法および浸水防止具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、保護対象である装置を水害から保護するための浸水防止方法であって、
底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体を用意し、該袋体の底部に装置を載置するとともに、該袋体の側部を下部に折り畳んでおき、
浸水の虞がある場合に、該袋体の側部を引き上げて装置全体を包囲するとともに、開口を閉塞する、
ことを特徴とする浸水防止方法が提供される。
【０００７】
また、本発明によれば、保護対象である装置を水害から保護するための浸水防止具であって、
底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体と、
該袋体の開口部を閉塞する閉塞手段と、を具備している、
ことを特徴とする浸水防止具が提供される。
【０００８】
上記底部は装置が載置可能な大きさを有する床板からなり、該床板の周囲には袋体を構成する側部を折り畳んで収容する収容手段が配設されている。
また、上記床板の上面には、装置を支持する免震支持手段が配設されていることが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれれば、底部と側部とからなり少なくとも側部が柔軟な防水素材によって形成され下端部が底部の外周部に接続され上端に保護対象である装置を収容できる開口を備え装置全体を包囲可能な大きさを有している袋体を用意し、該袋体の底部に装置を載置するとともに、袋体の側部を下部に折り畳んでおくので、通常時においては袋体が作業の邪魔になることはなく、浸水の虞がある場合に、袋体の側部を引き上げて装置全体を包囲するとともに、開口を閉塞するので、閉塞部まで水位が上昇しない限り袋体の内部に浸水することはなく、装置を水害から保護することができる。また、袋体は柔軟な防水素材によって形成されているので、水圧によって装置の凹凸に馴染み浮力が抑制されるため、装置の浮遊を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に従って構成された浸水防止具を装備した切削装置の斜視図。
【図２】本発明に従って構成された浸水防止具の斜視図。
【図３】図２に示す浸水防止具により切削装置を包囲した状態を示す斜視図。
【図４】本発明に従って構成された浸水防止具の他の実施形態における要部を開状態にした斜視図。
【図５】本発明に従って構成された浸水防止具の他の実施形態における要部を閉状態にした斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明による浸水防止方法および浸水防止具の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１には、本発明に従って構成された浸水防止具が装着された加工装置としての切削装置の斜視図が示されている。
図１に示す切削装置１は、略直方体状の装置ハウジング１１と、該装置ハウジング１１内に切削送り方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル１２と、該チャックテーブル１２に保持された被加工物に切削加工を施す切削手段１３と、該切削手段１３によって切削された被加工物を洗浄する洗浄手段１４と、装置ハウジング１１におけるカセット載置領域に被加工物を収容するカセット１５を載置するカセット載置テーブル１６と、該カセット載置テーブル１６に載置されたカセット１５に収容されている被加工物を仮置きテーブル１７に搬出するウエーハ搬出・搬入手段１８と、仮置きテーブル１７に搬出された被加工物を上記チャックテーブル１２上に搬送するウエーハ搬送手段１９等を具備しているとともに、各手段を制御する制御手段(図示せず）を具備している。
【００１３】
上述した切削装置１は、洪水等によって全部又は一部が浸水すると、各手段の駆動部および制御手段が汚染されて腐食し、稼働、修復が不能となり多大な損害を招く。従って、洪水が発生した際にも切削装置１内への水の浸入を防止できることが望ましい。
【００１４】
図２には、切削装置１内への水の浸入を防止するための浸水防止具が示されている。図２に示す浸水防止具２は、柔軟な防水素材によって形成され切削装置１を収容できる開口を有し切削装置１全体を包囲可能な大きさの袋体３を有している。この袋体３は、底部４と側部５とからなっており、該側部５の上部には切削装置１を収容できる開口５１が設けられている。袋体３を構成する底部４は、切削装置１の装置ハウジング１１が載置可能な矩形状に形成されている。側部５は袋状に形成され下端部が底部４の外周部に接続されている。このように形成された袋体３を構成する側部５の上端には、開口５１部を閉塞する閉塞手段６が設けられている。この閉塞手段６は、図示の実施形態においては側部５の上端に沿って装着された複数のリング６１と、該複数のリング６１を挿通して配設された閉塞紐６２とからなっている。このように構成された浸水防止具２は、図２に示すように袋体３を構成する側部５を下部に折り畳んだ状態にしておく。そして、袋体３を構成する底部４上に図１に示すように切削装置１を載置する。このように切削装置１が袋体３を構成する底部４上に載置された浸水防止具２は、袋体３を構成する側部５が下部に折り畳んだ状態であるため、通常時において作業の邪魔になることはない。
【００１５】
次に、浸水の虞がある場合には、図１に示す状態から浸水防止具２の袋体３を構成する側部５を引き上げて切削装置１を包囲するとともに、図３に示すように閉塞紐６２を引っ張って開口を閉塞する。この結果、切削装置１を包囲した浸水防止具２の袋体３を構成する側部５の上端である閉塞部まで水位が上昇しない限り浸水防止具２内に浸水することはなく、切削装置１を水害から保護することができる。また、上記袋体３は柔軟な防水素材によって形成されているので、水圧によって装置の凹凸に馴染み浮力が抑制されるため、装置の浮遊を防ぐことができる。
【００１６】
次に、本発明に従って構成された浸水防止具の他の実施形態について図４および図５を参照して説明する。
図４および図５に示す浸水防止具２０は、袋体３０を構成する床部が床板４０からなっている。なお、図４および図５に示す浸水防止具２０においては、袋体３０を構成する側部５および閉塞手段６は、上記図２および図３に示す浸水防止具２と同一の構成であるため統一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
図４および図５に示す浸水防止具２０における袋体３０を構成する床部の床板４０は、切削装置１が載置可能な大きさの長方形に形成されている。このように形成された床板４０の上面における外周部に袋体３０を構成する側部５の下端部が接着剤によって接合されている。
【００１７】
上記床板４０の上面における外周部には、袋体３０を構成する側部５を折り畳んで収容する収容手段７が配設されている。この収容手段７は、床板４０の周辺に沿って配設された二対のカバー部材７１、７１および７２、７２とからなっている。二対のカバー部材７１、７１および７２、７２は、それぞれ断面がコ字状に形成されており、それぞれ一辺がヒンジ７３によって床板４０の側面に開閉可能に取り付けられている。このように構成された収容手段７は、図４に示すようにカバー部材７１、７１および７２、７２を開状態にして袋体３０を構成する側部５を折り畳んで収容した後に、図５に示すようにカバー部材７１、７１および７２、７２を閉止する。
【００１８】
また、床板４０の上面には、切削装置１を支持する免震支持手段８が配設されている。免震支持手段８は、図示の実施形態においては４個の免震ユニット８１からなっており、この４個の免震ユニット８１上に切削装置１が載置される。このように４個の免震ユニット８１上に載置された切削装置１は、地震が発生した際に破損を防ぐことができる。
【符号の説明】
【００１９】
１：切削装置
２、２０：浸水防止具
３、３０：袋体
４：底部
４０：床板
５：側部
６：閉塞手段
６１：リング
６２：閉塞紐
７：収容手段
７１、７２：カバー部材
８：免震支持手段
８１：免震ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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