【手続補正書】
【提出日】平成28年2月5日(2016.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不溶性ポリマーフォーム母材と、
複数のコーティングされた粒子とを含み、前記複数のコーティングされた粒子がそれぞれ、水溶性成分でコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を含む、研磨パッド。
【請求項２】
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、５から１０００ミクロンの間の直径を有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、前記不溶性ポリマーフォーム母材と前記不溶性ポリマーフォーム粒子との間に有効な結合を提供するために、前記不溶性ポリマーフォーム粒子の表面積の５％から９０％を覆うようにコーティングされる、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記コーティングされた粒子が、前記研磨パッドの１０体積％から９０体積％を構成する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項５】
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、界面活性剤、エッチング剤、ｐＨ緩衝剤、酸、および塩基の少なくとも１種を含む、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項６】
前記研磨パッドが、開放セルを含み、前記不溶性ポリマーフォーム粒子の開放セル含量が、５％から７５％である、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項７】
前記粒子のコーティングの水溶性成分が、５０％から１００％の間で可溶であってもよい、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項８】
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３のかさ密度を有する、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項９】
前記不溶性ポリマーフォーム母材が、０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３のかさ密度を有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項１０】
複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を形成するステップと、
プレポリマー溶液を調製するステップと、
前記プレポリマー溶液をオープンエアーミックスに混合するステップであって、気泡および発泡剤の少なくとも１種が前記オープンエアーミックスに添加されるステップと、
前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を前記オープンエアーミックスに添加するステップであって、前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が、水溶性成分でコーティングされた複数の不溶性ポリマーフォーム粒子を含むステップと、
重合剤を前記オープンエアーミックスに添加するステップと、
この混合物をフォーム形成させるステップと、
前記混合物を開放金型に注ぐステップと、
前記混合物を硬化してフォームバンを形成するステップであって、前記フォームバンが、０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３の凝集かさ密度を有するステップと、
前記フォームバンから個々のパッドをスライスすることによって、前記フォームバンから、フォーム形成された研磨パッドを形成するステップと
を含む、セルフコンディショニング研磨パッドを生成する方法。
【請求項１１】
前記フォームバンが、プレポリマーと、硬化剤と、界面活性剤と、フォーム形成剤または研削充填材の少なくとも１種とを混合した生成物である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子が、その表面積の５％から９０％を覆うようにコーティングされている、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子の直径が５から１０００ミクロンの間である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子が、粒子が形成されるようにより大きい不溶性ポリマーフォーム物体を低温粉砕することによって形成される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が、スプレーコーティングによってコーティングされる、請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が乾燥され浄化される、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
機械的デバイスで前記研磨パッドに溝を生成するステップを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１８】
複数の小さい細孔を前記フォーム内に形成させる化学フォーム形成剤と、複数の小さいセルを前記フォーム内に形成させるセル開放剤との少なくとも１種を、前記プレポリマー溶液に添加するステップと、
少なくとも１種の研削粒子を前記プレポリマー溶液に添加するステップと
を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１９】
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、プレポリマーと、硬化剤と、界面活性剤と、フォーム形成剤または研削充填材の少なくとも１種とを混合した生成物である、請求項１０に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の主題は、本明細書の結論部分において特に指摘されかつ明確に主張される。しかし本発明のより完全な理解は、同様の符号が同様の要素を示している描画図と併せて考慮したときに詳細な説明および特許請求の範囲を参照することによって得ることができる。
本発明は、例えば、以下を提供する。
（項目１）
不溶性ポリマーフォーム母材と、
複数のコーティングされた粒子とを含み、前記複数のコーティングされた粒子がそれぞれ、水溶性成分でコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を含む、研磨パッド。
（項目２）
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、約５から１０００ミクロンの間の直径を有する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目３）
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、前記研磨パッド母材と前記不溶性フォーム粒子との間に有効な結合を提供するために、前記不溶性ポリマーフォーム粒子の表面積の約５％から９０％を覆うようにコーティングされる、項目１に記載の研磨パッド。
（項目４）
前記コーティングされた粒子が、前記研磨パッドの約１０体積％から９０体積％を構成する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目５）
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、界面活性剤、エッチング剤、ｐＨ緩衝剤、酸、および塩基の少なくとも１種を含む、項目１に記載の研磨パッド。
（項目６）
前記パッドが、開放セルを含み、前記不溶性ポリマーフォーム粒子の開放セル含量が、約５％から約７５％である、項目１に記載の研磨パッド。
（項目７）
前記粒子のコーティングの前記可溶性成分が、５０％から１００％の間で可溶であってもよい、項目１に記載の研磨パッド。
（項目８）
前記不溶性ポリマーフォーム粒子が、約０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３のかさ密度を有する、項目７に記載の研磨パッド。
（項目９）
前記不溶性ポリマーフォーム母材が、０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３のかさ密度を有する、項目１に記載の研磨パッド。
（項目１０）
複数の、コーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子を形成するステップと、
プレポリマー溶液を調製するステップと、
前記プレポリマー溶液をオープンエアーミックスに混合するステップであって、気泡および発泡剤の少なくとも１種が前記オープンエアーミックスに添加されるステップと、
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子を前記ミックスに添加するステップであって、前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が、水溶性成分でコーティングされた複数の不溶性ポリマーフォーム粒子を含むステップと、
重合剤を前記ミックスに添加するステップと、
この混合物をフォーム形成させるステップと、
前記混合物を開放金型に注ぐステップと、
前記混合物を硬化してフォームバンを形成するステップであって、前記フォームバンが、０．２から０．８５ｇ／ｃｍ３の凝集かさ密度を有するステップと、
前記フォームバンから個々のパッドをスライスすることによって、前記フォームバンから、フォーム形成された研磨パッドを形成するステップと
を含む、セルフコンディショニング研磨パッドを生成する方法。
（項目１１）
前記不溶性フォーム母材が、プレポリマーと、硬化剤と、界面活性剤と、フォーム形成剤または研削充填材の少なくとも１種とを混合した生成物である、項目１０に記載の方法。
（項目１２）
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子が、その表面積の５％から９０％を覆うようにコーティングされている、項目１０に記載の方法。
（項目１３）
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子の直径が５から１０００ミクロンの間である、項目１０に記載の方法。
（項目１４）
前記複数の不溶性ポリマーフォーム粒子が、粒子が形成されるようにより大きい不溶性ポリマーフォーム物体を低温粉砕することによって形成される、項目１０に記載の方法。
（項目１５）
前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が、スプレーコーティングによってコーティングされる、項目１０に記載の方法。
（項目１６）
前記複数のコーティングされた不溶性ポリマーフォーム粒子が乾燥され浄化される、項目１５に記載の方法。
（項目１７）
機械的デバイスで前記パッドに溝を生成するステップを含む、項目１０に記載の方法。
（項目１８）
複数の小さい細孔を前記フォーム内に形成させる化学フォーム形成剤と、複数の小さいセルを前記フォーム内に形成させるセル開放剤との少なくとも１種を、前記プレポリマー溶液に添加するステップと、
少なくとも１種の研削粒子を前記プレポリマー溶液に添加するステップと
を含む、項目１０に記載の方法。
（項目１９）
前記不溶性フォーム粒子が、プレポリマーと、硬化剤と、界面活性剤と、フォーム形成剤または研削充填材の少なくとも１種とを混合した生成物である、項目１０に記載の方法。