【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年8月16日(2016.8.16)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに接続される第１のＳＣＡＲＡアームであって、エンドエフェクタを含み、第１の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成される第１のＳＣＡＲＡアームと、
前記フレームに接続される第２のＳＣＡＲＡアームであって、エンドエフェクタを含み、第２の径方向の軸に沿って延伸および後退するように構成され、前記第１のＳＣＡＲＡアームと共通のショルダ回転軸を有する第２のＳＣＡＲＡアームと、
前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームに結合され、それぞれの径方向の軸に沿って前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのそれぞれを延伸し、前記共通のショルダ回転軸の周りで前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのそれぞれを回転するように構成されており、前記第１の径方向の軸は前記第２の径方向の軸に対して角度をつけられ、それぞれのアームの前記エンドエフェクタはそれぞれの径方向の軸と位置合わせされている駆動セクションと、
前記駆動セクションに接続され、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームを駆動するために、前記駆動セクションを制御し、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームの回転が、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのそれぞれのリンクの間の干渉をもたらす場合を認識するように構成されている制御装置と
を備え、
各エンドエフェクタは少なくとも１つの基板を保持するように構成され、前記エンドエフェクタは共通の移送面上に位置付けられることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記制御装置が、前記少なくとも１つの基板のそれぞれの搬送中に、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのそれぞれのリンクの間の干渉を防ぐために、前記駆動セクションの動作をもたらすように構成される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記駆動セクションが、４自由度の駆動セクションを備えることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記駆動セクションが、同軸駆動シャフトの配置を含むことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記第１のＳＣＡＲＡアームが、前記共通のショルダ軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合され、
前記第２のＳＣＡＲＡアームが、前記共通のショルダ軸で前記駆動セクションに接続される上側アームと、エルボ軸で前記上側アームに接続される前アームとを含み、前記エンドエフェクタはリスト軸で前記前アームに結合される
ことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記第１のＳＣＡＲＡアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの上面に位置付けられ、前記第２のＳＣＡＲＡアームの前記前アームがそれぞれの上側アームの下面に位置付けられるように、前記前アームが互いに対して対向した構成で配置されることを特徴とする請求項５記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記第１のＳＣＡＲＡアームの上側アームと、前記第２のＳＣＡＲＡアームの上側アームとの間の角度が、前記アームが前記共通のショルダ軸の周りで回転するときに実質的に固定されるように、前記駆動セクションが前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームに接続される３自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタ間の角度が、各アームによりアクセス可能な、放射状に隣接する基板保持ステーション間の角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項９】
少なくとも前記駆動セクションに接続される制御装置と、前記制御装置に接続される少なくとも１つのセンサとをさらに含み、前記制御装置は、前記少なくとも１つのセンサから基板検知信号を得て、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームの１つのエンドエフェクタの位置にオフセットを適用するように構成されており、該オフセットは、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのうちの少なくとも１つの熱膨張に応じて計算されることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記第１のＳＣＡＲＡアームは、上側アームに回転可能に結合される前アームを含み、前記エンドエフェクタは前記前アームに結合され、前記第１のＳＣＡＲＡアームは、前記第１のＳＣＡＲＡアームの前記上側アームと前記前アームとの間を前記第２のＳＣＡＲＡアームが通ることができるように構成されることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記第１のＳＣＡＲＡアームが、上側アームと、前記上側アームに回転可能に結合される前アームとを含み、前記エンドエフェクタは、前記前アームに回転可能に結合され、前記上側アームおよび前アームの長さは異なっており、
前記第２のＳＣＡＲＡアームが、上側アームと、前記上側アームに回転可能に結合される前アームと、前記前アームに回転可能に結合される前記エンドエフェクタとを含み、前記上側アームおよび前アームの長さは異なっていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記駆動セクションが、前記第１のＳＣＡＲＡアームの上側アームと、前記第２のＳＣＡＲＡアームの上側アームとの間の角度が、前記アームが前記共通のショルダ軸の周りで回転するときに実質的に固定されるように、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームに接続される３自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項１１記載の基板処理装置。
【請求項１３】
前記エンドエフェクタのそれぞれは、前記エンドエフェクタ間の角度が、各アームによりアクセス可能な放射状に隣接する基板保持ステーション間の角度と実質的に一致するように、それぞれのアームに取り付けられることを特徴とする請求項１１記載の基板処理装置。
【請求項１４】
前記駆動セクションに接続され、それぞれの少なくとも１つの基板を搬送中の、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームのそれぞれのリンクの間の干渉を防ぐために、前記駆動セクションの動作をもたらすように構成される制御装置をさらに含む請求項１１記載の基板処理装置。
【請求項１５】
前記駆動セクションが、４自由度の駆動システムを備えることを特徴とする請求項１１記載の基板処理装置。
【請求項１６】
前記駆動セクションは、３６０度を超える回転を通して、前記共通のショルダ回転軸の周りで前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームを駆動することができ、
前記制御装置は、３６０度を超える回転を通して、前記共通のショルダ回転軸の周りで前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームを駆動し、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームを延伸および後退させるために、前記駆動セクションを制御するように構成され、
前記制御装置はさらに、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つの延伸および後退の軸が、実質的に別の第１および第２のＳＣＡＲＡアームとの干渉のない領域内にあるように、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームの少なくとも１つを配置し、前記第１および第２のＳＣＡＲＡアームを用いた、ほぼ同時の基板の取り出しおよび配置をもたらすように構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１７】
前記制御装置が、前記共通のショルダ回転軸の周りにユニットとして前記アームを回転するように構成されている請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項１８】
前記駆動セクションが、４つの同心駆動シャフトを有する４自由度の駆動部であることを特徴とする請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項１９】
前記４つの同心駆動シャフトは、入れ子状の軸受配置によって径方向および軸方向に支持され、１つの軸受の少なくとも一部は、別の軸受の一部に取り付けられていることを特徴とする請求項１８記載の基板処理装置。
【請求項２０】
各ＳＣＡＲＡアームが、上側アームリンクおよび前アームリンクを含み、前記上側アームリンクの長さは、前記前アームリンクの長さとは異なることを特徴とする請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項２１】
前記第１のＳＣＡＲＡアームは、上側アームに回転可能に結合される前アームを含み、前記エンドエフェクタは前記前アームに結合され、前記第１のＳＣＡＲＡアームは、前記第１のＳＣＡＲＡアームの前記上側アームと前記前アームとの間を前記第２のＳＣＡＲＡアームが通ることができるように構成されることを特徴とする請求項１６記載の基板処理装置。
【請求項２２】
各アームが、上側アームリンクおよび前アームリンクを含み、前記上側アームリンクの長さは、前記前アームリンクの長さとは異なることを特徴とする請求項１７記載の基板処理装置。
【請求項２３】
各アームが、少なくとも１つの基板を支持するように構成されるエンドエフェクタを含むことを特徴とする請求項１７記載の基板処理装置。
【請求項２４】
前記第１のＳＣＡＲＡアームは、上側アームに回転可能に結合される前アームを含み、前記エンドエフェクタは前記前アームに結合され、前記第１のＳＣＡＲＡアームは、前記第１のＳＣＡＲＡアームの前記上側アームと前記前アームとの間を前記第２のＳＣＡＲＡアームが通ることができるように構成されることを特徴とする請求項１７記載の基板処理装置。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
また図２を参照すると、開示される実施形態の一態様において、移送ロボット１３０（大気中のロボット１２０と実質的に同様のものであってもよい）は、駆動セクション１５０および１つまたは２つ以上のアーム１５５Ａ、１５５Ｂを含み得る。このアーム１５５Ａ、１５５Ｂは、例えば、以下に記載されるような３軸駆動または４軸駆動のシステムを有する、駆動セクション１５０に取り付けられ得る。例えば、図中、３リンクＳＣＡＲＡアームとして示されているアーム１５５Ａ、１５５Ｂは、駆動セクション１５０に同軸に結合されてもよいし、独立したシータ運動（例えば、４軸駆動を用いる）、または実質的に延伸または後退を伴わない、ロボットアームのショルダ軸ＳＸの周りでのユニットとしての回転である、結合したシータ運動（例えば、３軸駆動を用いる）を可能にするために、互いに対して上下に垂直に積み重ねられてもよい。各アームは、一組のモータによって駆動され、任意の適切な駆動プーリの配置を有し得る。一態様において、各アームのショルダプーリ、エルボプーリおよびリストプーリの直径の比率は、非限定的な例示を目的とすると、１：１：２の比率または２：１：２の比率であってもよい。例えば、１：１：２の比率を用いて各アームを延伸するためには、一組のモータの各モータが、反対方向に実質的に同等に回転する。例えば、２：１：２の比率を用いて各アームを延伸するためには、ショルダプーリが実質的に固定されて保持され（例えば、実質的に回転しない）、上側アームに結合されるモータが、アームを回転するために回転する。シータ運動は、モータを、実質的に同一速度で同一方向に回転することによって制御される。エンドエフェクタが同一面にある場合には、本明細書に記載されるように、互いに対する各アームのシータ運動は制限されるが、アームが一緒に動かされる場合、アームがシータにおいて無限に動くことができる。理解されるように、エンドエフェクタが同一平面上にない場合には、以下に記載されるように、各アームは、４軸駆動を用いるときなど、各アームが別のアームから独立して駆動されるときにシータにおいて無限に動くことができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
別の態様において、図１２を参照すると、各リスト軸ＷＸＡ、ＷＸＢの周りでのエンドエフェクタの回転は、リンク１５５ＬＦＡ、１５５ＬＵＡ、１５５ＬＦＢ、１５５ＬＵＢなどを通して、任意の適切な方法で、延伸および後退中の各上側アームおよび前アームの１つまたは２つ以上に従動し得る（例えば、独立して駆動されていない）。例えば、アーム１５５Ａを参照すると、エンドエフェクタ１５５ＥＡ、前アーム１５５ＦＡおよび上側アーム１５５ＵＡのそれぞれは、延伸部または結合部ＥＥＸＴ、ＦＥＸＴ、ＵＥＸＴをそれぞれ有する。延伸部ＥＥＸＴ、ＦＥＸＴ、ＵＥＸＴは、リンク１５５ＬＦＡ、１５５ＬＵＡ、１５５ＬＦＢ、１５５ＬＵＢのそれぞれを、エンドエフェクタ１５５ＥＡ、前アーム１５５ＦＡおよび上側アーム１５５ＵＡのそれぞれに結合するように構成されている。この態様において、リンク１５５ＬＵＡの第１の端部は上側アーム１５５ＵＡの延伸部ＵＥＸＴに結合され、リンク１５５ＬＵＡの第２の端部は前アーム１５５ＦＡの延伸部ＦＥＸＴに結合されるので、リンクＬＵＡは、アーム１５５Ａの延伸および後退中は上側アーム１５５ＵＡと略平行である。また、リンク１５５ＬＦＡの第１の端部は前アーム１５５ＦＡの延伸部ＦＥＸＴに結合され、リンク１５５ＬＦＡの第２の端部はエンドエフェクタ１５５ＥＡの延伸部ＥＥＸＴに結合されるので、リンク１５５ＬＦＡは、アーム１５５Ａの延伸および後退中は前アーム１５５ＦＡと略平行である。理解されるように、上側アーム１５５ＵＡおよび前アーム１５５ＦＡが延伸および後退のために回転すると、リンク１５５ＬＵＡ、１５５ＬＦＡは、エンドエフェクタを所定の向きに（この態様においては、ライン１２００に沿って）維持する。アーム１５５Ｂ’は、エンドエフェクタ１５５ＥＢが延伸および後退の間、ライン１２０１に沿って維持されるように、アーム１５５Ａ’のための延伸部およびリンクと同様の、延伸部または結合部ＥＥＸＴ、ＦＥＸＴ、ＵＥＸＴおよびリンク１５５ＬＦＢ、１５５ＬＵＢを含むことに留意する。さらに、リンク１５５ＬＦＡ、１５５ＬＵＡ、１５５ＬＦＢ、１５５ＬＵＢは、開示される実施形態の態様にしたがって本明細書に記載されるどのロボットアーム構成にも適用され得ることにも留意する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５９】
開示される実施形態の別の態様において、図１３〜１４Ａに関して上述したベース部材２０５０と実質的に同様の、ベース部材２０５０’は、調節可能であってもよいので、エンドエフェクタ２０５５ＥＡ、２０５５ＥＢおよびそれぞれのアーム２０５５Ａ、２０５５Ｂは、エンドエフェクタ２０５５ＥＡ、２０５５ＥＢを基板把持位置（例えば、処理モジュール２０２５およびロードロック２０３５、２０４０）の角度θと位置合わせするために、駆動軸ＴＸに対して調節可能に回転可能である。例えば、図１６Ａを参照すると、ベース部材２０５０’は、アーム２０５５Ａ、２０５５Ｂのそれぞれを支持するように構成される２つの、一般に対向するベースセクション１６７２、１６７８を有する。セクション１６７２、１６７８は、この実施形態においては、ベース部材２０５０’の駆動軸接続部１６３５で互いに対して接続される。セクション１６７２、１６７８は互いに対してロックされることが可能であって、これによりベース部材２０５０’は、ユニットとして駆動軸ＴＸの周りで回転可能である。一方で、一般に対向しているベースセクション１６７２、１６７８は、ベースセクション１６７２、１６７８の間の角度αを調整するために、一般に対向するベースセクション１６７２、１６７８を互いに対して再配置する目的で、ロックを解除されてもよい。各アームの延伸および後退の角度を、隣接する処理モジュール内への搬送経路と位置合わせするために、角度αの調整は、アーム間の延伸／後退の角度を調整してもよい。別の態様において各アームは、それぞれのショルダ軸の周りを個別に回転可能であってもよく、その場合角度αの変化は、アーム間の距離を大きくする。開示される実施形態のさらに別の態様において、ベース部材２０５０’は所望の数のセクションを備えていてもよいし、セクションの異なる部品を互いに対して調節可能に配置できるように、ロック可能な可撓性の接続部と一体となっていてもよい。ベースセクション１６７２、１６７８は、実質的に剛性のリンクを形成するために、駆動軸ＴＸで互いに対して解放可能に結合されてもよく、ここで第１および第２のアームセクションは、基板の搬送中は互いに対して動くことができないということに留意する。ベース部材セクション１６７２は、一般に、アーム２０５５Ａを駆動セクションの対応する駆動シャフトに接続する任意の適切な伝送部を収容することができる、中空フレームまたはケーシングを有する（例えば、上述の図１４および図１４Ａを参照）。別の態様においてベース部材セクション１６７２は、アーム２０５５Ａを駆動するモータを収容するように構成されてもよい。ベース部材セクション１６７８も、一般に、アーム２０５５Ｂを駆動セクションの対応する駆動シャフトに接続する任意の適切な伝送部を収容することができる、中空フレームまたはケーシングを有する（例えば、上述の図１４および図１４Ａを参照）。別の態様においてベース部材セクション１６７８は、アーム２０５５Ｂを駆動するモータを収容するように構成されてもよい。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６４】
図１６Ｅを参照すると、開示される実施形態の別の態様において、ベース部材セクションは、ベース部材セクションの一方１６７２’が駆動セクションによって直接支持され、ベース部材セクションの他方１６７８”が、ベース部材セクション１６７２’に調節可能に支持され、ベース部材セクション１６７２’から延伸するのに適している、上昇リンク１６１５によって支持されるように構成されてもよい。理解されるように、ベース部材セクション１６７２’は、上昇リンクが通って延伸する開口部１６１５Ａを有していてもよく、この開口部１６１５Ａは、ベース部材リンク１６７２’、１６７８”の互いに対するインデックス付け、およびベース部材リンク１６７８”の独立したＺ動作を可能にするために、適切に成形される。一態様において上昇リンク１６１５は、支持部を提供し、ベース部材リンク１６７８”の動作を案内するように構成され得る。別の態様においては、ベース部材セクション１６７８”の動作を案内し、基板を移送するそれぞれのアームのエンドエフェクタの姿勢を維持するために、任意の適切な案内軸受（後述する）が提供されてもよい。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６５】
次に図１６Ｆを参照して、ベース部材セクション（およびそれぞれのアーム）の１つの独立した垂直動作を可能にする、上昇リンクを説明する。リンクの動作および構成は、図１６Ｄに関して記載されるが、リンクの動作および構成は、図１６Ｅに示される構成と実質的に同じであってもよいことに留意する。一態様において第２のＺ駆動部１６８６は、任意の適切な方法で、駆動セクション１６９９内またはベース部材セクション１６７２内に枢動可能（pivotally）に取り付けられ得る。枢動リンク（pivot link）１６６９は、枢動点１６６９Ｐ１の周りでベース部材部分１６７８Ａ内に枢動可能に取り付けられ得る。枢動リンク１６６９の第１の端部１６６９Ｅ１は、第２のＺ駆動部１６８６が作動すると枢動リンクが点１６６９Ｐ１の周りで枢動するように、例えば接続部材１６８６Ｍなどを通して、任意の適切な方法で第２のＺ駆動部１６８６に接続される。枢動リンク１６６９の第２の端部１６６９Ｅ２は、枢動点１６６９Ｐ１の周りでの第２の端部１６６９Ｅ２の回転運動が、Ｚ軸に沿ったベース部材部分１６７８Ｂの直線運動に変換されるように、任意の適切な方法でベース部材部分１６７８Ｂに動作可能に結合されてもよい。第２のベース部材部分１６７８Ｂは、例えば、第２のベース部材部分１６７８ＢのＺ軸に沿う動作を案内するように構成されるリニア軸受配置ＬＢによって、少なくとも部分的に、第１のベース部材部分１６７８Ａに動作可能に結合され、また第１のベース部材部分１６７８Ａに支持され得る。アーム２０５５Ｂのための回転駆動が駆動部１６９９に位置付けられる場合には、第２のベース部材部分１６７８ＢがＺ軸に沿って動くと、プーリＳＰ２がシャフトＳＤに回転結合された状態でシャフトＳＤに沿って長手方向にスライドできるように、アーム２０５５Ｂを駆動するプーリＳＰ２はアーム駆動シャフトＳＤに動作可能に結合されてもよいことに留意する。アーム２０５５Ｂを駆動するためのプーリ配置は、第２のベース部材部分１６７８ＢのＺ軸に沿う動作を可能にする、任意の適切な構成を有し得ることが理解されるべきである。ベース部材部分１６７８Ａ、１６７８Ｂ間にベローズＢＬが設けられてもよく、これは枢動リンク１６６９およびリニア軸受ＬＢの１つまたは２つ以上を囲うように構成されてもよい。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６８】
図１８を参照すると、図１３〜１７Ｃのベース部材／ロボットアームの構成は、連結アーム１８１０に取り付けられ得る。例えば、図１８に示される処理ツール１８００（上述のツール１００、２０００と実質的に同様のものでもよい）は、大気からシールされたセクション２０１０と、大気中のセクション２００５とを含み得る。大気中セクションは、ロードポート２０１５およびロボット２０２０を含み、ロードロック２０３５、２０４０を通して大気からシールされたセクション２０１０に結合され得る。大気からシールされたセクション２０１０は、中央チャンバ２０７５の周りに配置された処理モジュール２０２５を有するクラスタ型ツールの形状であってもよい。中央チャンバ２０７５は、ロードロック２０３５、２０４０と処理モジュール２０２５との間で基板を移送するために、移送装置１８０１を含んでいてもよい。移送装置１８０１は、連結回転軸ＬＸで駆動セクション１８０１Ｄに取り付けられる連結アーム１８１０と、ベース部材の回転軸ＴＸの周りで連結アーム１８１０に取り付けられるベース部材１８５０と、各ショルダ軸ＳＸ１、ＳＸ２の周りでベース部材１８５０に取り付けられるアーム１８６０、１８６１とを含む。ベース部材１８５０は、上述のベース部材２０５０または２０５０’と実質的に同様であってもよいことに留意する。移送装置１８０１は、少なくとも連結アーム１８１０を回転駆動するために連結回転軸ＬＸに配置される、上述のものと実質的に同様の駆動モジュール１８０１Ｄを含み得る。一態様において駆動モジュール１８０１Ｄは、１つのシャフトが連結アーム１８１０の回転を駆動し、１つのシャフトがベース部材１８５０の回転を駆動し、１つまたは２つ以上のシャフトがアーム１８６０、１８６１の上側アームＵＡの回転を駆動する、同軸シャフト配置を含んでいてもよい。同軸シャフト配置内の各駆動シャフトは、任意の適切な方法で、連結アーム１８１０、ベース部材１８５０および上側アームＵＡのいずれかに結合され得る。例えば、連結アーム１８１０は、ベース部材１８５０および上側アームＵＡが、上述のものと実質的に同様の方法で、適切な伝送部を通してそのそれぞれの駆動シャフトに結合されている状態で、そのそれぞれの駆動シャフトによって直接駆動されてもよい。別の態様においては、上述のものと実質的に同様の方法で、移送装置１８０１のそれぞれの部分を回転駆動するために、回転軸ＬＸ、ＴＸ、ＳＸ１、ＳＸ２のそれぞれに、単軸駆動モータが配置されてもよい。ここで連結アーム１８１０の軸ＬＸの周りでの回転により、ベース部材１８５０は、必要に応じて中央チャンバ２０７５のファセット角と位置合わせするように配置され得る。理解されるように、ショルダ軸ＳＸ１、ＳＸ２間の角度αは、上述のように動的に調整可能であるので、アーム１８６０、１８６１のエンドエフェクタは、エンドエフェクタが中に延伸するロードロック２０３５、２０４０の、処理モジュール２０２５と位置合わせされ得る。別の態様において、処理モジュール２０２５およびロードロック２０３５、２０４０にアクセスする目的で、各アームリンクを個別に駆動する（例えば、上側アーム、前アームおよびエンドエフェクタが個別に回転可���である）ための付加的なモータが設けられてもよい。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７０】
図１９Ａに見られるように、アーム１９０１、１９０２の両方が共通軸ＲＸの周りで回転する。アーム１９０１、１９０２は、一方のアーム１９０２が他方のアーム１９０１のアームリンク１９０１ＵＡ、１９０１ＦＡよりも短いアームリンク１９０２ＵＡ、１９０２ＦＡを有するように構成されてもよいので、アーム１９０２は、アーム１９０１のエルボ旋回半径内で回転できる。これによりアーム１９０２は、アーム１９０１の位置に関係なく、後退構成においても、軸ＲＸの周りを無制限に回転できる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７４】
エンドエフェクタ１９０１ＥＥ１、１９０１ＥＥ２、１９０２ＥＥの長さは、両方のアーム１９０１、１９０２が、ロボット１９００が扱う処理モジュール、ロードロックまたは他の基板保持ステーションのそれぞれに到達できるように、任意の適切な長さであってよいことに留意する。例えば、エフェクタ１９０２ＥＥの長さＬ３は、アーム１９０１のエンドエフェクタ１９０１ＥＥ１、１９０１ＥＥ２の長さＬ４より長くてもよく、これは長さの短い上側アーム１９０２ＵＡおよび前アーム１９０２ＦＡを補うためである。別の態様においてエンドエフェクタの長さＬ３、Ｌ４は、実質的に同じであってもよく、その場合、保持ステーションへ／保持ステーションから基板を移送するために長い方のアーム１９０１が部分的にのみ延伸するように、アーム１９０１、１９０２の回転の中心ＲＸが基板保持ステーションに十分に近く位置付けられる。基板保持ステーション内に延伸するとき、例えば、リンクの長さまたはエンドエフェクタの長さの違いにより、アーム１９０１のアームリンク１９０１ＦＡ、１９０１ＵＡ間の角度βが、アーム１９０２のアームリンク１９０２ＦＡ、１９０２ＵＡ間の角度μよりも小さい（図１９Ｂ参照）場合があることに留意する。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９４】
開示される実施形態の一態様によれば、各アームは、上側アームリンクおよび前アームリンクを含み、上側アームリンクの長さは前アームリンクの長さとは異なっている。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０５】
開示される実施形態の別の態様において、基板処理装置は、駆動セクションと、第１の回転軸の周りで駆動セクションに結合され、駆動セクションにより支持される実質的に剛性なベース部材とを含み、実質的に剛性なベース部材は、第１の回転軸で互いに解放可能に結合され、第１および第２のアームセクションが、基板の搬送中は互いに対して動くことができない、実質的に堅固なリンクを形成する、第１アームセクションおよび第２アームセクションを含んでいる。また基板処理装置は、第１の回転軸とは異なる第２の回転軸の周りで、ベース部材の第１および第２のアームセクションの一方に回転可能に取り付けられ、それにより支持される第１の搬送アームであって、少なくとも１つのエンドエフェクタを含む第１の搬送アームと、第１および第２の回転軸とは異なる第３の回転軸の周りで、ベース部材の第１および第２のアームセクションの他方に回転可能に取り付けられ、それにより支持される第２の搬送アームであって、少なくとも１つのエンドエフェクタを含む第２の搬送アームとを含んでいる。第１アームの少なくとも１つのエンドエフェクタおよび第２アームの少なくとも１つのエンドエフェクタは、共通の基板搬送面を有し、第１の搬送アームと第２の搬送アームとの間の、所定の延伸および後退の角度を変更するために、解放可能な結合部が、共通の回転軸で第１および第２のアームセクションを調節可能に結合している。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１０】
一態様において駆動セクションは、解放可能なリンクを備える、少なくとも第１および第２の駆動軸を含んでおり、この場合、結合されるときには、第１および第２の駆動軸は実質的に同じ速度で同じ方向に駆動され、解放されるときには、第１および第２の駆動軸の少なくとも１つが、第１および第２の駆動軸の他方から独立して駆動される。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１６】
一態様において、第１および第２の搬送アームのそれぞれは、ベース部材に回転可能に取り付けられ、上側アームを回転させるために駆動システムに接続される上側アームリンクと、上側アームリンクに回転可能に取り付けられる前アームリンクとを含み、少なくとも１つのエンドエフェクタが前アームリンクに回転可能に取り付けられ、この少なくとも１つのエンドエフェクタは、伝送システムを介した上側アームリンクの回転に従動し、伝送システムは、第２および第３の軸のそれぞれに配置されるプーリを含み、このプーリはベース部材に固定して結合されている。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１８】
一態様において、実質的に剛性なベース部材は、第１および第２のアームセクションが、基板の搬送中は互いに対して動くことができないような、実質的に堅固なリンクを形成するために、第１の回転軸で互いに解放可能に結合される第１アームセクションおよび第２アームセクションを含んでいる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１９】
一態様において、第１アームの少なくとも１つのエンドエフェクタおよび第２アームの少なくとも１つのエンドエフェクタは、共通の基板搬送面を有し、解放可能なリンクは、第１搬送アームと第２搬送アームとの間の、所定の延伸および後退の角度を変更するために、第１の回転軸で第１および第２のアームセクションを互いに対して結合している。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２１】
開示される実施形態の別の態様において、基板処理装置は、フレームと、フレームに接続され、回転駆動軸を有する駆動セクションと、回転駆動軸の周りでの回転のために駆動セクションに接続される上側アームリンク、エルボ軸の周りで上側アームリンクに回転可能に結合される前アームリンク、およびリスト軸の周りで前アームリンクに回転可能に結合されるエンドエフェクタを含む第１アームと、回転駆動軸の周りでの回転のために駆動セクションに接続される上側アームリンク、エルボ軸の周りで上側アームリンクに回転可能に結合される前アームリンク、およびリスト軸の周りで前アームリンクに回転可能に結合されるエンドエフェクタを含む第２アームとを含み、第１アームは、第１アームの上側アームおよび前アームが後退した構成において、第１アームの位置から独立して、第２アームが回転駆動軸の周りで回転可能であるように構成されている。