【手続補正書】
【提出日】平成28年4月4日(2016.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
電子デバイス処理システム１００は、ツインチャンバ組１０６Ａおよび１０６Ｂ、組１０６Ｃおよび１０６Ｄ、ならびに組１０６Ｅおよび１０６Ｆなどのツインプロセスチャンバの１つまたは複数の組を含むことができる。電子デバイス処理システム１００は、移送チャンバ１０２を含むハウジング１０１を含む。移送チャンバ１０２は、上部壁、底部壁、および側壁を含むことができ、実施形態によっては、例えば、真空に維持することができる。多数のアームを有するロボット装置１０４は、移送チャンバ１０２に少なくとも部分的に受け入れられ、基板を移送するために移送チャンバ１０２中で動作可能となるように構成される。ロボット装置１０４は、基板１０５Ａ、１０５Ｂ（時には「ウエハ」または「半導体ウエハ」、または「ガラス基板」）と呼ばれる）を行先場所から取り出し、または行先場所に載置するように構成することができる。しかし、いかなるタイプの基板もロボット装置１０４で搬送し移送することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
行先場所は、移送チャンバ１０２に結合されたツインチャンバのうちのいずれかとすることができる。例えば、行先は、移送チャンバ１０２のまわりに分散配置され、移送チャンバ１０２に結合されうるツインプロセスチャンバ組１０６Ａおよび１０６Ｂ、組１０６Ｃおよび１０６Ｄ、組１０６Ｅおよび１０６Ｆ、ならびに／または１つまたは複数のロードロックチャンバ１０８のうちの１つまたは複数とすることができる。例えば、図示のように、各ツインプロセスチャンバ組１０６Ａおよび１０６Ｂ、組１０６Ｃおよび１０６Ｄ、組１０６Ｅおよび１０６Ｆ、ならびにロードロックチャンバ１０８への／からの移送は、スリットバルブ１０９を通ることができる。スリットバルブ１０９は、従来の構造のものであり、本明細書ではこれ以上説明しない。図１Ｂは、ロボット装置１０４の断面側面図を示す。図１Ｂ図は、ツインチャンバ組（例えば、１０６Ａおよび１０６Ｂ）に基板を挿入する準備ができている折りたたまれた状態で示されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
第１の回転軸１２０から離間した第１の位置で（例えば、第１のブーム１１８の外側寄りの端部で）装着され、回転式に結合されるのは、第１の上アーム１２８である。第１の上アーム１２８は、Ｘ−Ｙ面において、第１の位置に設置された第２の回転軸１３０のまわりを第１のブーム１１８に対して回転するように構成される。第１の上アーム１２８は、Ｘ−Ｙ面において、第１のブーム１１８に対して第１の上アーム駆動アセンブリによって独立して回転可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第２の回転軸１３０から離間した位置で（例えば、第１の上アーム１２８の外側寄りの端部で）装着され、回転式に結合されるのは、第１の前アーム１３２である。第１の前アーム１３２は、Ｘ−Ｙ面において、離間位置に設置された第３の回転軸１３４のまわりを第１の上アーム１２８に対して回転するように構成される。第１の前アーム１３２は、Ｘ−Ｙ面において、第１の上アーム１２８に対して第１の上アーム駆動アセンブリによって回転可能である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
特に、第１の前アーム１３２は、第３の回転軸１３４のまわりを右回りまたは左回り回転方向のいずれかで回転するように構成される。回転は、±約１４０度とすることができる。第３の回転軸１３４のまわりの第１の前アーム１３２の回転は、前アーム駆動アセンブリの動作によって生成することができる。前アーム駆動アセンブリは、第１の前アーム伝達要素１３２Ｔによって接続された第１の前アーム駆動部材１３２Ａと、第１の前アーム被駆動部材１３２Ｂとを含む。第１の前アーム駆動部材１３２Ａはプーリとすることができ、下端部などでシャフトによって第１のブーム１１８に堅く結合される。他のタイプの堅い接続を使用することができる。第１の前アーム被駆動部材１３２Ｂは、第１の前アーム１３２の本体から、その下端部などにおいて、延びるパイロットとすることができる。第１の前アーム伝達要素１３２Ｔは１つまたは複数のベルトとすることができる。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のベルトは、第１の前アーム駆動部材１３２Ａおよび第１の前アーム被駆動部材１３２Ｂのまわりに反対方向に巻き付けられた第１および第２のスチールベルトとすることができ、各ベルトは不連続であり、それぞれの端部で部材１３２Ａ、１３２Ｂの各々にピン留めされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
第１のリスト部材１３６、したがって、第１のエンドエフェクタ１３８の回転は、第１のリスト部材駆動アセンブリによって与えられる。第１のリスト部材１３６は、第１の前アーム１３２に対して右回りまたは左回り回転方向のいずれかに第４の回転軸１４０のまわりを第１のリスト部材駆動アセンブリによって回転するように構成される。回転は、±約１４０度とすることができる。特に、第１の前アーム１３２と第１のリスト部材１３６との間の相対的な回転により、図１Ｃに示すように、第１のリスト部材１３６、結合された第１のエンドエフェクタ１３８、および支持された基板１０５Ｂは、Ｙ方向に並進移動されてプロセスチャンバ１０６Ｂに入る。他の方向の並進移動は、第１のブーム１１８の回転と、第１の上アーム駆動アセンブリの起動とによって可能である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
再度図１Ａおよび１Ｂを参照すると、第１の回転軸１２０から離間した第１の位置で（例えば、第２のブーム１１９の外側寄りの端部で）装着され、回転式に結合されるのは、第２の上アーム１２８である。第２の上アーム１４２は、第１の上アーム１２８と同じ中心間寸法を有することができる。第２の上アーム１４２は、Ｘ−Ｙ面において、第１の位置に設置された第５の回転軸１４４のまわりを第２のブーム１１９に対して回転するように構成される。第２の上アーム１４２は、Ｘ−Ｙ面において、第２のブーム１１９に対して第２の上アーム駆動アセンブリによって独立して回転可能である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
特に、第２の前アーム１４８は、第５の回転軸１４４のまわりを右回りまたは左回り回転方向のいずれかで回転するように構成される。回転は、±約１４０度とすることができる。第６の回転軸１５０のまわりの第２の前アーム１４８の回転は、第２の前アーム駆動アセンブリの動作によって生成することができる。第２の前アーム駆動アセンブリは、第２の前アーム伝達要素１４８Ｔによって接続された第２の前アーム駆動部材１４８Ａと、第２の前アーム被駆動部材１４８Ｂとを含む。第２の前アーム駆動部材１４８Ａはプーリとすることができ、下端部などでシャフトによって第２のブーム１１９に堅く結合される。他のタイプの堅い接続を使用することができる。第２の前アーム被駆動部材１４８Ｂは、第２の前アーム１４８の本体から、その下端部などにおいて、延びるパイロットとすることができる。第２の前アーム伝達要素１４８Ｔは１つまたは複数のベルトとすることができる。いくつかの実施形態では、１つまたは複数のベルトは、第２の前アーム駆動部材１４８Ａおよび第２の前アーム被駆動部材１４８Ｂのまわりに反対方向に巻き付けられた第１および第２のスチールベルトとすることができ、各ベルトは不連続であり、それぞれの端部において部材１４８Ａ、１４８Ｂの各々にピン留めされる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
動作時に、基板１０５Ａを取り出すために第２のエンドエフェクタ１５４を所望の行先に移動させるのに、第２の上アーム１４２および第２の前アーム１４８が十分な量を作動され、それによって、第２のリスト部材１５２を並進移動させて、プロセスチャンバ１０６Ａから基板１０５Ａを取り出すか、またはプロセスチャンバ１０６Ａに基板１０５Ａを載置することができる。同時に、第１のリスト部材１３６はプロセスチャンバ１０６Ｂ中に並進移動される。第１および第２のリスト部材１３６、１５２がプロセスチャンバ１０６Ａ、１０６Ｂに同時に差し込まれて、所望の行先場所で基板１０５Ａ、１０５Ｂが載置されるとき、可動リフトピンまたは可動ペデスタルが、基板１０５Ａ、１０５Ｂに接触するように上昇し、エンドエフェクタ１３８、１５４から基板を持ち上げて離し、その結果、エンドエフェクタ１３８、１５４は引っ込むことができる。次に、例えば、ロボット装置１０４の第１および第２のブーム１１８、１１９をプロセスチャンバの別の組（例えば、プロセスチャンバ１０６Ｅ、１０６Ｆ）の場所に回転させて（例えば、一致して）、基板（例えば、その上でプロセスが完了している）を取り上げ、その基板をロードロックチャンバ１０８に移送することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
図１Ｅは、ＸおよびＹ方向の両方の位置合わせ不良（ｄｘ）および（ｄｙ）がロボット装置１０４によって修正されたことを示す。特に、（ｄｘ）および（ｄｙ）の量が分った後、第１のブーム１１８は、（ｄｘ）を修正するために第１のブーム駆動モータ１１８Ｍを使用して１５８の角度だけ回転することができる。位置合わせ不良（ｄｙ）は、上アーム駆動モータ１２８Ｍを使用して第１の上アーム１２８を回転させ、それにより第１のエンドエフェクタ１３８を並進移動させることによって修正することができる。位置合わせ不良（ｄｘ）および（ｄｙ）は任意の順序でまたは同時にチャンバ１０６Ｂ内で修正することができる。チャンバ１０６Ｂ内での適切な位置合わせが達成された後、リフトピン（図示せず）または他の好適な持ち上げ装置は、エンドエフェクタ１３８から基板１０５Ｂを持ち上げることができる。同様に、チャンバ１０６Ａ内で基板１０５Ａが受けるいかなる位置合わせ不良（ｄｘ）および（ｄｙ）も第２のブーム１１９および／または第２の上アーム１４２の適切な回転によって修正することができる。チャンバ１０６Ａ、１０６Ｂ内で基板１０５Ａ、１０５Ｂが受けるいかなる位置合わせ不良（ｄｘ）および（ｄｙ）も同時に修正することができる。位置合わせ不良が修正され、基板が持ち上げられた後、エンドエフェクタ１３８、１５４はチャンバ１０６Ａ、１０６Ｂから引っ込ませることができる。次に、ブーム１１８、１１９はチャンバ１０２内で別の位置に回転することができる。ブーム１１８、１１９は一致して移動することができる。