【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年4月25日(2016.4.25)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交換可能なオブジェクトを操作するためのシステムであって、
可動構造と、
前記可動構造に対して移動可能であるとともに前記交換可能なオブジェクトを保持するオブジェクトホルダと、
前記オブジェクトホルダに力を印加して前記交換可能なオブジェクトを概ね平面に沿って平行移動させる第１のアクチュエータアセンブリと、
前記交換可能なオブジェクトに第１の曲げモーメントを印加して前記交換可能なオブジェクトの曲率を操作する第２のアクチュエータアセンブリと、
を備え、
前記第１のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造に結合されたアクチュエータと、
前記アクチュエータを前記オブジェクトホルダに結合する接続構造とを含む、システム。
【請求項２】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、前記第１の曲げモーメントとは反対側の前記交換可能なオブジェクトの一方の側に第２の曲げモーメントを印加し、前記第２の曲げモーメントが、前記第１の曲げモーメントの方向とは反対の方向にある、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記接続構造は、
前記平面内で概ね剛性であるとともに前記平面に対して概ね垂直な軸に概ね沿い、前記アクチュエータ及び前記オブジェクトホルダに結合される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記アクチュエータが、せん断圧電アクチュエータである、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記接続構造が、板ばねである、請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
中間構造と、
前記平面内で概ね剛性であるとともに前記平面に対して垂直な軸に概ね沿い、前記可動構造及び前記中間構造に結合された接続構造と、
前記可動構造及び前記中間構造に結合され、第２の力を前記中間構造に印加して前記第１の曲げモーメントを生成するアクチュエータと、を備え、
前記第１の曲げモーメントが前記中間構造から前記交換可能なオブジェクトへ伝達されるように、前記中間構造が前記オブジェクトホルダ及び前記交換可能なオブジェクトに結合された、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、前記中間構造に結合され、前記交換可能なオブジェクトに接触するとともに前記平面内に概ね沿い、また、前記第１の曲げモーメントが前記中間構造から前記交換可能なオブジェクトへ伝達されるように前記平面に対して概ね垂直な前記軸に沿って概ね剛性である複数のピンをさらに備える、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記中間構造及び前記オブジェクトホルダに結合され、前記複数のピンに対して前記交換可能なオブジェクトを予圧する弾性部材をさらに備える、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記アクチュエータが、前記平面に概ね平行な方向に前記力を印加するスタック圧電アクチュエータである、請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、前記アクチュエータと前記可動構造との間に配置された直列のばねをさらに備える、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、前記平面内で概ね剛性であるとともに前記平面に対して概ね垂直な前記軸に概ね沿い、前記アクチュエータ及び前記中間構造に結合された第２の接続構造をさらに備え、
前記アクチュエータが、前記可動構造に結合された、請求項６に記載のシステム。
【請求項１２】
前記アクチュエータが、せん断圧電アクチュエータである、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第２の接続構造が、板ばねである、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
中間構造と、
前記可動構造及び前記中間構造に結合された第１及び第２のアクチュエータであって、前記第１のアクチュエータが前記平面に対して概ね垂直な方向に前記中間構造に第２の力を印加し、前記第２のアクチュエータが前記平面に対して概ね垂直な前記方向に前記中間構造に第３の力を印加する、第１及び第２のアクチュエータと、を備え、
前記第２の力と前記第３の力との間の変動が、前記第１の曲げモーメントを生成し、
前記第１の曲げモーメントが前記中間構造から前記オブジェクトホルダ及び前記交換可能なオブジェクトへ伝達されるように前記中間構造が前記オブジェクトホルダ及び前記交換可能なオブジェクトに結合された、請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記第１及び第２のアクチュエータが、スタック圧電アクチュエータである、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、前記中間構造に結合され、前記交換可能なオブジェクトに接触するとともに前記平面内に概ね沿い、また、前記第１の曲げモーメントが前記中間構造から前記交換可能なオブジェクトへ伝達されるように前記平面に対して概ね垂直な前記軸に沿って概ね剛性である複数のピンをさらに備える、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１７】
前記中間構造及び前記オブジェクトホルダに結合され、前記複数のピンに対して前記交換可能なオブジェクトを予圧する弾性部材をさらに備える、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記第１のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造に結合された第１のせん断圧電アクチュエータであって、前記オブジェクトホルダに印加される前記力の第１の力の成分を前記平面に概ね平行な前記方向に生成する第１のせん断圧電アクチュエータと、
前記第１のせん断圧電アクチュエータに結合された第２のせん断圧電アクチュエータであって、前記オブジェクトホルダに印加される前記力の第２の力の成分を前記平面に概ね平行な方向に生成する第２のせん断圧電アクチュエータと、を備え、
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
前記オブジェクトホルダ及び前記第２のせん断圧電アクチュエータに結合された第１及び第２のスタック圧電アクチュエータを備え、
前記第１のスタック圧電アクチュエータが、前記平面に対して概ね垂直な方向に前記オブジェクトホルダに第３の力を印加し、
前記第２のスタック圧電アクチュエータが、第１の軸及び第２の軸によって画定される前記平面に対して概ね垂直な前記方向にオブジェクトホルダに第４の力を印加し、
前記第３の力と前記第４の力との間の変動が、前記第１の曲げモーメントを生成する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第２の力の成分の前記方向が、前記第１の力の成分の前記方向に対して概ね垂直である、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造に結合された第３のせん断圧電アクチュエータであって、前記オブジェクトホルダに印加される前記力の、前記第１の力の成分に概ね平行な第３の力の成分を前記平面に概ね平行な前記方向に生成する第３のせん断圧電アクチュエータと、
前記可動構造に結合された第４のせん断圧電アクチュエータであって、前記オブジェクトホルダに印加される前記力の、前記第２の力の成分に概ね平行な第４の力の成分を前記平面に概ね平行な前記方向に生成する第４のせん断圧電アクチュエータと、
をさらに備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２１】
第１、第２、第３及び第４のせん断圧電アクチュエータを制御して前記第１の曲げモーメントによって引き起こされる前記交換可能なオブジェクトと前記オブジェクトホルダとの間の滑り又は前記交換可能なオブジェクト内の応力を補償するコントローラをさらに備える、請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
前記第１及び第２のせん断圧電アクチュエータと前記第１及び第２のスタック圧電アクチュエータとを制御して前記オブジェクトホルダ及び前記交換可能なオブジェクトに１つ以上の力と１つ以上の曲げモーメントを印加して前記交換可能なオブジェクトの形状を弾性的に変形させるコントローラをさらに備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２３】
前記第１のアクチュエータアセンブリを制御して前記第１の曲げモーメントによって引き起こされる前記交換可能なオブジェクトと前記オブジェクトホルダとの間の滑り又は前記第１の曲げモーメントによって引き起こされる前記交換可能なオブジェクト内の応力を補償するコントローラをさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記第１のアクチュエータアセンブリを制御して前記交換可能なオブジェクトを動的に位置決めして基準位置に一致させるコントローラをさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項２５】
前記第２のアクチュエータアセンブリを制御して交換可能なオブジェクトを動的に屈曲させて基準曲率に一致させるコントローラをさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項２６】
前記可動構造が、リソグラフィ装置の位置決めシステムのショートストロークコンポーネントであり、前記交換可能なオブジェクトが、前記リソグラフィ装置で使用されるパターニングデバイスである、請求項１に記載のシステム。
【請求項２７】
放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成するパターニングデバイスを操作するシステムを備え、前記システムが、
可動構造と、
前記可動構造に対して移動可能であるとともに前記パターニングデバイスを保持するパターニングデバイスホルダと、
前記パターニングデバイスホルダに力を印加して概ね平面に沿ってパターニングデバイスを平行移動させる第１のアクチュエータアセンブリと、
前記パターニングデバイスに曲げモーメントを印加する第２のアクチュエータアセンブリと、を備え、
前記第１のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造に結合されたアクチュエータと、
前記アクチュエータを前記パターニングホルダに結合する接続構造とを含む、
リソグラフィ装置。
【請求項２８】
前記可動構造が、前記システムのショートストロークコンポーネントである、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項２９】
前記パターニングデバイス３０２が、レチクルである、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３０】
前記接続構造は、
前記平面内で概ね剛性であるとともに前記平面に対して垂直な軸に概ね沿い、前記アクチュエータ及び前記パターニングデバイスホルダに結合される、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３１】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造及び前記中間構造に結合されたアクチュエータと、
前記中間構造に第２の力を印加して前記曲げモーメントを生成するアクチュエータと、を備え、
前記曲げモーメントが前記中間構造から前記パターニングデバイスへ伝達されるように、前記中間構造が前記パターニングデバイスホルダ及び前記パターニングデバイスに結合された、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３２】
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
中間構造と、
前記可動構造及び前記中間構造に結合された第１及び第２のアクチュエータであって、前記第１のアクチュエータが前記平面に対して概ね垂直な方向に前記中間構造に第２の力を印加し、前記第２のアクチュエータが前記平面に対して概ね垂直な方向に前記中間構造に第３の力を印加する、第１及び第２のアクチュエータと、を備え、
前記第２の力と前記第３の力との間のバリエーションが、前記曲げモーメントを生成し、
前記曲げモーメントが前記中間構造から前記パターニングデバイスホルダ及び前記パターニングデバイスへ伝達されるように前記中間構造が前記パターニングデバイスホルダ及び前記パターニングデバイスに結合された、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３３】
前記第１のアクチュエータアセンブリが、
前記可動構造に結合された第１のせん断圧電アクチュエータであって、前記オブジェクトホルダに印加される前記力の第１の力の成分を前記平面に概ね平行な前記方向に生成する第１のせん断圧電アクチュエータと、
前記第１のせん断圧電アクチュエータに結合された第２のせん断圧電アクチュエータであって、前記パターニングデバイスホルダに印加される前記力の第２の力の成分を前記平面に概ね平行な前記方向に生成する第２のせん断圧電アクチュエータと、を備え、
前記第２のアクチュエータアセンブリが、
前記パターニングデバイスホルダ及び前記第２のせん断圧電アクチュエータに結合された第１及び第２のスタック圧電アクチュエータを備え、
前記第１のスタック圧電アクチュエータが、前記平面に対して概ね垂直な方向に前記パターニングデバイスホルダに第２の力を印加し、
前記第２のスタック圧電アクチュエータが、第１の軸及び第２の軸によって画定される前記平面に対して概ね垂直な前記方向に前記パターニングデバイスホルダに第３の力を印加し、
前記第２の力と前記第３の力との間の変動が、前記曲げモーメントを生成する、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３４】
前記第１のアクチュエータアセンブリを制御して前記曲げモーメントによって引き起こされる前記パターニングデバイスと前記パターニングデバイスホルダとの間の滑りを補償するコントローラをさらに備える、請求項２７に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３５】
リソグラフィ装置のパターニングデバイスを操作する方法であって、
前記パターニングデバイスに力を印加して前記パターニングデバイスの主表面によって画定される平面に概ね平行な方向に前記パターニングデバイスを移動させるステップであって、前記力の印加が、前記パターニングデバイスを支持するパターニングデバイスホルダに結合された可動構造の所望の位置と前記可動構造の測定位置との間の誤差を補償するステップと、
前記パターニングデバイスに曲げモーメントを印加して前記パターニングデバイスを屈曲させるステップであって、前記曲げモーメントの印加が結像誤差又は合焦誤差を補償するステップと、
を含み、
前記パターニングデバイスを移動させるステップは、
前記可動構造に結合されたアクチュエータと、前記アクチュエータを前記パターニングデバイスホルダに結合する接続構造とを含むアクチュエータアセンブリにより実行される、方法。
【請求項３６】
前記力の印加がまた、前記パターニングデバイスを支持するパターニングデバイスホルダの所望の位置と前記パターニングデバイスホルダの測定位置との間の誤差も補償する、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記結像誤差が、像面湾曲誤差である、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記力の印加が、前記曲げモーメントによって引き起こされる前記パターニングデバイスと前記パターニングデバイスホルダとの間の滑りを補償する、請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】
リソグラフィ装置の可動構造上に交換可能なオブジェクトを搭載するマウントであって、前記マウントが、
前記交換可能なオブジェクトを保持するホルダと、
前記ホルダに結合されたモノリシックアセンブリと、を備え、
前記モノリシックアセンブリが、
前記交換可能なオブジェクトに曲げモーメントを印加して前記交換可能なオブジェクトの曲率を変化させる屈曲装置と、
前記ホルダに力を印加して前記交換可能なオブジェクトを平面内で移動させる移動装置と、を備え、
前記屈曲装置が前記移動装置と一体化して、使用時に、前記ホルダによる前記交換可能なオブジェクトを適応的にクランプすることを可能にするモノリシックアセンブリを形成し、
前記モノシリックアセンブリは、前記可動構造に結合されたアクチュエータと、前記アクチュエータを前記ホルダに結合する接続構造とを含む、マウント。
【請求項４０】
前記ホルダが、クランプを備え、
前記屈曲装置が、前記交換可能なオブジェクトを前記交換可能なオブジェクトの中立軸を実質的に中心として変形させて前記交換可能なオブジェクトの曲率を能動的に変化させ、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトを前記平面内で能動的に移動させる、請求項３９に記載のマウント。
【請求項４１】
前記ホルダが、第１の場所に位置するクランプを備え、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトを位置決めし、
前記移動装置が、前記平面内の前記第１の場所からオフセットされ第１の板ばねで前記クランプに結合された第２の場所に位置するせん断圧電アクチュエータを備え、
前記せん断圧電アクチュエータが、前記交換可能なオブジェクトを移動させ、前記交換可能なオブジェクトの屈曲によって引き起こされる前記交換可能なオブジェクトの変形に追従する、請求項３９に記載のマウント。
【請求項４２】
前記屈曲装置が、前記中間構造及び中間構造に装着された複数の平面内に沿ったピンを備え、
前記屈曲装置が、基板の露光中に前記交換可能なオブジェクトの曲率を動的に修正する、請求項４１に記載のマウント。
【請求項４３】
前記屈曲装置が、中間構造と、前記交換可能なオブジェクトとは反対側の前記せん断圧電アクチュエータの一方の側に位置する直列のばねを有する第２の圧電アクチュエータと、を備え、前記第２の圧電アクチュエータが前記中間構造に結合された、請求項４１に記載のマウント。
【請求項４４】
前記交換可能なオブジェクトが、前記放射ビームの断面にパターンを付与して基板を前記パターンで露光し、前記マウントが、前記リソグラフィ装置内のその動的な搭載のため、前記マウントの上に搭載された前記交換可能なオブジェクトの形状を制御するマウントである、請求項３９に記載のマウント。
【請求項４５】
前記ホルダが、第１の場所に位置するクランプを備え、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトを位置決めし、
前記移動装置が、前記平面内の前記第１の場所からオフセットされ第１の板ばねで前記クランプに結合された第２の場所に位置する第１及び第２のせん断圧電アクチュエータを備え、
前記第１及び第２のせん断圧電アクチュエータが、それぞれ前記平面内の座標系の第１及び第２の軸に沿って前記交換可能なオブジェクトを移動させる、請求項３９に記載のマウント。
【請求項４６】
前記屈曲装置が、
前記平面内の前記第１の場所からオフセットされた第３の場所に位置する第３のせん断圧電アクチュエータと、
第２及び第３の板ばねで前記第３のせん断圧電アクチュエータに結合された中間構造と、
前記中間構造に装着された、前記平面内に沿った複数のピンと、を備え、
前記第３のせん断圧電アクチュエータが、前記第１の軸を中心にして前記交換可能なオブジェクトを屈曲させ、
前記屈曲装置が、基板の露光中に前記交換可能なオブジェクトの形状を動的に修正する、請求項４５に記載のマウント。
【請求項４７】
前記モノリシックアセンブリが、前記座標系の前記第１の軸及び第２の軸に沿い、前記座標系の第３の軸に沿った方向に予圧力を印加するばねをさらに備え、
前記第１の軸及び前記第２の軸は、前記平面内にあり、前記第３の軸は、前記平面に対して略垂直である、請求項４６に記載のマウント。
【請求項４８】
前記屈曲装置が、前記交換可能なオブジェクトを屈曲させるプッシュプル力を印加する第１のスタック圧電アクチュエータの第１のスタック構成を備え、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトの屈曲によって生成される変形に追従することで座標系の第１及び第２の軸に沿って前記交換可能なオブジェクトを移動させる第１及び第２のせん断圧電アクチュエータの第１のペアを備える、請求項３９に記載のマウント。
【請求項４９】
前記屈曲装置が、前記交換可能なオブジェクトを屈曲させるプッシュプル力を印加する第２のスタック圧電アクチュエータの第２のスタック構成をさらに備え、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトの屈曲によって生成される変形に追従することで前記座標系の前記第１及び第２の軸で前記交換可能なオブジェクトを移動させる第１及び第２のせん断圧電アクチュエータの第２のペアをさらに備える、請求項４８に記載のマウント。
【請求項５０】
前記ホルダが、第１の場所に位置するクランプをさらに備え、
前記移動装置が、前記交換可能なオブジェクトを位置決めし、
前記移動装置が、前記平面内の前記第１の場所からオフセットされ板ばねで前記クランプに結合された第２の場所に位置する第１及び第２のせん断圧電アクチュエータを備え、
前記第１及び第２のせん断圧電アクチュエータが、それぞれ前記平面内の座標系の第１及び第２の軸に沿って前記交換可能なオブジェクトを移動させる、請求項３９に記載のマウント。
【請求項５１】
前記屈曲装置が、
中間構造と、
中間構造に装着された、前記平面内に沿った複数のピンと、
交換可能なオブジェクトとは反対側の中間構造の一方の側に配置されたスタック圧電アクチュエータのペアであって、前記座標系の第３の軸の方向に動作するとともに、前記交換可能なオブジェクトを動的に屈曲させて基板の露光中に前記交換可能なオブジェクトの曲率を修正するスタック圧電アクチュエータのペアと、
を備える、請求項５０に記載のマウント。
【請求項５２】
前記ホルダが、漏洩シールを有する真空カップを有するクランプを備える、請求項３９に記載のマウント。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０１】
[0105]  図５に示すように、第２のアクチュエータアセンブリは、第１のアクチュエータ５２８と、第２のアクチュエータ５３０と、中間構造５１２とを含む。第１及び第２のアクチュエータ５２８及び５３０は、各々、一方の端部で可動構造５０４に結合され、他方の端部で中間構造５１２に結合されている。幾つかの実施形態では、第１及び第２のアクチュエータ５２８及び５３０は、各々、拡張可能なオブジェクト５０２が平行移動する平面（例えば、Ｘ−Ｙ平面）に対して概ね垂直な方向に力を印加するように構成されている。第１及び第２のアクチュエータ５２８及び５３０によって印加される力のバリエーション（variation;変化量又は差異）は、中間構造５１２へ伝達される曲げモーメントを生成することができる。この曲げモーメントによって、中間構造５１２は第１の可動構造５０４に対して回転する。曲げモーメントは、アクチュエータ５２８及び５３０の動作の極性に基づき、正又は負である。幾つかの実施形態では、中間構造５１２は、交換可能なオブジェクト５０２とは反対側のオブジェクトホルダ５０６の一方の側に配置することができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１２７】
[0131]  そのような実施形態では、リソグラフィ装置ＬＡのパターニングデバイスＭＡを操作する方法は、パターニングデバイス３０２、４０２、５０２、又は６０２に力を印加してパターニングデバイスを概ね平面に沿って平行移動させるステップを含んでいてもよい。幾つかの実施形態では、第１の力を印加してパターニングデバイスＭＡを移動させるステップは、パターニングデバイスＭＡを支持するパターニングデバイスホルダに結合されたマスクテーブルＭＴの所望の位置とマスクテーブルＭＴの測定位置との間の誤差を補償することができる。パターニングデバイスＭＡを操作する方法は、曲げモーメントをパターニングデバイスＭＡに印加してパターニングデバイスＭＡを屈曲させるステップをさらに含んでいてもよい。曲げモーメントを印加するステップは、パターニングデバイスＭＡを屈曲させ、それによって、結像誤差が補償できる。幾つかの実施形態では、第１の力を印加するステップはまた、パターニングデバイスＭＡを支持するパターニングデバイスホルダの所望の位置とパターニングデバイスホルダの測定位置との誤差を補償する。幾つかの実施形態では、補償される結像誤差は像面曲率誤差である。幾つかの実施形態では、第１の力を印加するステップはまた、曲げモーメントによって引き起こされるＭＡとパターニングデバイス支持体ＭＴのオブジェクトホルダとの間の滑りを補償する。