【手続補正書】
【提出日】平成28年6月15日(2016.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コヒーレント光源と、
集合瞳内の光分布の複数の実現をもたらすために、テストパターンを、前記光源からのコヒーレント光のスポットを使用して走査するように配置された光学系であって、前記スポットが前記テストパターンの一部を覆い、前記走査が走査パターンに従って行われる、光学系と、
集合瞳分布の合成画像を、前記集合瞳内の前記光分布の前記複数の実現を結合することによって発生させるように配置された処理ユニットと、を備える、角度分解反射率計。
【請求項２】
前記走査が、前記光学系の対物レンズおよび前記テストパターンを、相対的に移動させることによって機械的に行われる、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項３】
前記走査が、前記光学系の対物レンズを前記テストパターンに対して移動させることによって行われる、請求項２に記載の角度分解反射率計。
【請求項４】
前記走査が、前記テストパターンを前記光学系の対物レンズに対して移動させることによって行われる、請求項２に記載の角度分解反射率計。
【請求項５】
前記走査が、光学的に行われる、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項６】
前記光走査が、前記光学系内の可倒式ミラーによって行われる、請求項５に記載の角度分解反射率計。
【請求項７】
前記走査が、テストパターン上の静止スポット位置からの前記集合瞳内の前記光分布の前記複数の実現をもたらすために、同期式機械および光走査によって行われ、
前記処理ユニットが、前記画像内のスペックルを、前記静止スポット位置からの前記集合瞳内の前記光分布の前記実現を使用して低減するようにさらに配置される、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項８】
前記走査が、制御可能に非同期式の機械および光走査によって行われ、前記処理ユニットが、前記画像内のスペックルを、前記光走査を使用して低減し、テストパターンの欠陥によって導出される誤差を、前記機械走査を使用して低減するようにさらに配置される、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項９】
前記走査を制御するように配置された制御ユニットをさらに備える、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項１０】
前記テストパターンの機械および光走査を調整するように配置された制御ユニットをさらに備える、請求項９に記載の角度分解反射率計。
【請求項１１】
前記制御ユニットが、前記走査パターンを、前記光走査によって達成されるスペックル低減のレベルと前記機械走査によって消費される時間との均衡をとることによって決定するようにさらに配置される、請求項１０に記載の角度分解反射率計。
【請求項１２】
前記機械走査および前記光走査が、前記制御ユニットによって制御される、それぞれの動的にプログラムされた走査成分によって行われる、請求項１０に記載の角度分解反射率計。
【請求項１３】
前記処理ユニットが、テストパターンの高ノイズ領域を特定するようにさらに配置される、請求項１０に記載の角度分解反射率計。
【請求項１４】
前記制御ユニットが、前記特定された高ノイズ領域を前記走査パターンから除去するように配置される、請求項１３に記載の角度分解反射率計。
【請求項１５】
前記処理ユニットが、前記光走査内の高ノイズ領域を特定するようにさらに配置される、請求項１０に記載の角度分解反射率計。
【請求項１６】
前記制御ユニットが、前記特定された高ノイズ領域を前記光走査中に回避するように配置される、請求項１５に記載の角度分解反射率計。
【請求項１７】
前記走査パターンが、対称および不均一である指定の強度分布を含む、請求項１に記載の角度分解反射率計。
【請求項１８】
前記処理ユニットが、前記合成画像の前記発生を、加重平均を前記集合瞳内の前記光分布の前記実現に適用することによって行うようにさらに配置され、前記加重が、前記走査パターンの前記指定の強度分布に従って決定される、請求項１７に記載の角度分解反射率計。
【請求項１９】
前記処理ユニットが、前記加重を、少なくとも１つの計測基準に従って適合させるようにさらに配置される、請求項１８に記載の角度分解反射率計。
【請求項２０】
前記制御ユニットが、特定のテストパターンまたは計測構成に対して、前記指定の強度分布を修正し、最適強度分布を特定するようにさらに配置される、請求項１７に記載の角度分解反射率計。
【請求項２１】
集合瞳内の光分布の複数の実現をもたらすために、テストパターンを、コヒーレント光のスポットを使用して走査することであって、前記スポットが前記テストパターンの一部を覆い、前記走査が走査パターンに従って行われる、走査することと、
集合瞳分布の合成画像を、前記集合瞳内の前記光分布の前記複数の実現を結合することによって発生させることと、を含む、角度分解反射率測定方法。
【請求項２２】
前記走査が、対物レンズおよび前記テストパターンを相対的に移動させることによって機械的に行われる、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２３】
前記走査が、ウエハーを前記テストパターンと共に移動させることによって行われる、請求項２２に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２４】
前記走査が、前記対物レンズを移動させることによって行われる、請求項２２に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２５】
前記走査が、光学的に行われる、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２６】
前記走査が、テストパターン上の静止スポット位置からの前記集合瞳内の前記光分布の前記複数の実現をもたらすための、同期式機械および光走査を含み、
前記方法が、前記画像内のスペックルを、前記静止スポット位置からの前記集合瞳内の前記光分布の前記実現を使用して低減することをさらに含む、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２７】
前記走査が、制御可能に非同期式の機械および光走査を含み、前記方法が、前記画像内のスペックルを、前記光走査を使用して低減し、テストパターンの欠陥によって導出される誤差を、前記機械走査を使用して低減すること、をさらに含む、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２８】
前記テストパターンの機械および光走査を調整することをさらに含む、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項２９】
前記走査パターンを、前記光走査によって達成されるスペックル低減のレベルと前記機械走査によって消費される時間との均衡をとることによって決定することをさらに含む、請求項２８に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３０】
前記機械走査および前記光走査を行う、動的にプログラムされた走査成分を制御することをさらに含む、請求項２８に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３１】
テストパターンの高ノイズ領域を特定し、前記特定された高ノイズ領域を前記走査パターンから除去することをさらに含む、請求項２８に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３２】
前記光走査内の高ノイズ領域を特定し、前記特定された高ノイズ領域を前記光走査中に回避することをさらに含む、請求項２８に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３３】
前記走査パターンが、指定の強度分布を含み、前記方法が、前記合成画像の前記発生を、加重平均を前記集合瞳内の前記光分布の前記実現に適用することによって行うことをさらに含み、前記加重が、前記走査パターンの前記指定の強度分布に従って決定される、請求項２１に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３４】
前記加重を、少なくとも１つの計測基準に従って適合させることをさらに含む、請求項３３に記載の角度分解反射率測定方法。
【請求項３５】
少なくとも１つの測定パラメータの、計測システム内の少なくとも１つの開口部のサイズに対する機能的依存性を定量的に推定することと、
前記少なくとも１つの開口部の前記サイズに関連する、前記機能的依存性の少なくとも１つの回折成分を特定することと、
前記少なくとも１つの特定された回折成分から、前記少なくとも１つの測定パラメータのための、計測条件に対する補正項を導出することであって、前記計測条件が、前記少なくとも１つの測定パラメータ内の回折誤差を発生させる、前記少なくとも１つの開口部の指定のサイズを含む、導出することと、
前記回折誤差を、前記導出された補正項を前記少なくとも１つの測定パラメータに適用することによって計算的に相殺することと、を含み、
前記推定することと、前記特定することと、前記導出することと、および前記相殺することと、のうちの少なくとも１つが、少なくとも１つのコンピュータ処理装置によって行われる、方法。
【請求項３６】
前記機能的依存性の前記定量的推定を行うために、複数の開口部サイズを選択することであって、前記開口部サイズが、前記特定および前記導出を可能にするような機能的依存性をもたらすために選択される、選択すること、をさらに含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
計測寸法を、前記導出された補正項に従って較正することをさらに含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記補正項を改良するために、前記較正を繰り返し行うことをさらに含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
二次補正項を、前記推定することおよび前記特定することを、前記相殺することの後に繰り返し行うことによって導出することをさらに含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項４０】
前記機能的依存性を前記推定することが、曲線適合によって行われ、前記特定が、曲線パラメータに対して行われる、請求項３５に記載の方法。
【請求項４１】
前記少なくとも１つの測定パラメータが、少なくとも１つの計測結果を含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項４２】
前記少なくとも１つの計測結果が、重ね合わせ測定、臨界寸法測定、焦点測定、量測定、側−全角算出、および膜厚測定のうちの少なくとも１つを含む、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記補正項を、導出条件と計測条件との間の少なくとも１つの相違点に対して較正することをさらに含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項４４】
前記少なくとも１つの相違点が、波長、偏光、テストパターンに対するアライメント、および焦点のうちの少なくとも１つに関連する、請求項４３に記載の方法。
【請求項４５】
前記較正することが、前記機能的依存性を前記少なくとも１つの相違点に関連するものとして表すこと、および前記少なくとも１つの相違点の値の範囲にさらに対する前記補正項を導出することによって行われる、請求項４３に記載の方法。
【請求項４６】
前記推定することおよび前記特定することが、計測寸法工程内で統合される、請求項３５に記載の方法。
【請求項４７】
前記推定することおよび前記特定することが、計測寸法工程より前に行われ、前記計測システムを較正するために使用される、請求項３５に記載の方法。
【請求項４８】
計測システム内の少なくとも１つの開口部のサイズに関連する回折誤差を、補正項を少なくとも１つの測定パラメータに適用することによって計算的に相殺するように配置された計測システムであって、前記補正項が、前記少なくとも１つの測定パラメータの、前記少なくとも１つの開口部に対する機能的依存性を定量的に推定し、前記少なくとも１つの開口部の前記サイズに関連する前記機能的依存性の少なくとも１つの回折成分を特定することによって導出される、計測システム。
【請求項４９】
前記機能的依存性の前記推定が、前記特定および前記導出を可能にするような機能的依存性をもたらす、選択された複数の開口部サイズに対して行われる、請求項４８に記載の計測システム。
【請求項５０】
前記推定および前記特定を、オンザフライで行うように配置される制御装置をさらに備える、請求項４８に記載の計測システム。
【請求項５１】
前記制御装置が、前記機能的依存性を、曲線適合によって推定し、前記少なくとも１つの回折成分を曲線パラメータに対して特定するように配置される、請求項５０に記載の計測システム。
【請求項５２】
前記制御装置が、開口部サイズを、開口部サイズ決定装置によって制御するように配置される、請求項５０に記載の計測システム。
【請求項５３】
前記機能的依存性の少なくとも１つの回折成分を前記特定することに従って較正される、請求項４８に記載の計測システム。
【請求項５４】
前記計算的相殺を、二次補正項を導出し、前記少なくとも１つの測定パラメータをそれに従って調節するための、前記機能的依存性を使用することによって改良するようにさらに配置される、請求項４８に記載の計測システム。
【請求項５５】
前記補正項を、導出条件と計測条件との間の少なくとも１つの相違点に対して較正するようにさらに配置され、前記少なくとも１つの相違点が、波長、偏光、テストパターンに対するアライメント、および焦点のうちの少なくとも１つに関連する、請求項４８に記載の計測システム。
【請求項５６】
前記較正することを、前記機能的依存性を前記少なくとも１つの相違点に関連するものとして表すこと、および前記少なくとも１つの相違点の値の範囲にさらに対する前記補正項を導出することによって行うように配置される、請求項５５に記載の計測システム。
【請求項５７】
それと共に実施されるコンピュータ可読プログラムを有するコンピュータ可読記憶媒体を備える、コンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムが、
少なくとも１つの測定パラメータの、計測システム内の少なくとも１つの開口部のサイズに対する機能的依存性を定量的に推定するように構成されたコンピュータ可読プログラムと、
前記少なくとも１つの開口部の前記サイズに関連する、前記機能的依存性の少なくとも１つの回折成分を特定するように構成されたコンピュータ可読プログラムと、
前記少なくとも１つの特定された回折成分から、前記少なくとも１つの測定パラメータのための、計測条件に対する補正項を導出するように構成されたコンピュータ可読プログラムであって、前記計測条件が、前記少なくとも１つの測定パラメータ内の回折誤差を発生させる、前記少なくとも１つの開口部の指定のサイズを含む、コンピュータ可読プログラムと、
前記回折誤差を、前記導出された補正項を前記少なくとも１つの測定パラメータに適用することによって計算的に相殺するように構成されたコンピュータ可読プログラムと、を含む、コンピュータプログラム製品。
【請求項５８】
前記機能的依存性を推定することが、曲線適合によって行われ、前記特定が、曲線パラメータに対して行われる、請求項５７に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項５９】
前記計算的相殺を、二次補正項を導出し、前記少なくとも１つの測定パラメータをそれに従って調節するための、前記機能的依存性を使用することによって改良するように構成されたコンピュータ可読プログラムをさらに含む、請求項５７に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項６０】
前記補正項を、導出条件と計測条件との間の少なくとも１つの相違点に対して較正するように構成されたコンピュータ可読プログラムをさらに含み、前記少なくとも１つの相違点が、波長、偏光、テストパターンに対するアライメント、および焦点のうちの少なくとも１つに関連し、前記コンピュータ可読プログラムが、前記較正することを、前記機能的依存性を前記少なくとも１つの相違点に関連するものとして表すこと、および前記少なくとも１つの相違点の値の範囲にさらに対する前記補正項を導出することによって行うようにさらに構成される、請求項５７に記載のコンピュータプログラム製品。