(57)【要約】【課題】簡易的な構成でありながらテープスケールの蛇行を検出可能とし、テープスケールの蛇行を機械的に調整することなくスケール固有のトラック間誤差を検出可能とする。【解決手段】トラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂが設けられたテープスケール１０２の測定軸Ｘに沿って移動する移動スライダ１０４を備えるトラック間誤差検出装置１００であって、移動スライダ１０４は、測定軸Ｘに直交するＹ方向におけるトラックパターン１０２Ｂのトラックエッジ１２０ＢＡのＹ方向で変動するエッジ位置Ｓを検出するエッジ検出部１０８を備え、測定軸Ｘに沿うエッジ位置Ｓをテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）として演算する蛇行演算部１２４を備える。【選択図】図１
2013217761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックパターンが設けられたテープスケールの測定軸に沿って移動する移動スライダを備えるスケール蛇行検出装置であって、
前記移動スライダは、前記測定軸に直交する方向における前記トラックパターンのトラックエッジの該測定軸に直交する方向で変動するエッジ位置を検出するエッジ検出部を備え、
前記測定軸に沿う該エッジ位置を前記テープスケールの蛇行として演算する蛇行演算部を備えることを特徴とするスケール蛇行検出装置。
【請求項２】
前記エッジ検出部は、光源と、該光源から出射された光により前記トラックエッジが認識可能に配置されるとともに前記測定軸に直交する方向で自身の受光部分が複数に分割されたラインセンサと、を備えることを特徴とする請求項１に記載のスケール蛇行検出装置。
【請求項３】
前記トラックパターンは複数とされ、そのうちの１つの該トラックパターンで前記エッジ位置が検出され、
前記移動スライダは、更に、複数の該トラックパターンの検出を行う位置検出部を備え、
検出された複数の該トラックパターンに基づき該移動スライダの前記テープスケールに対する軸方向位置をそれぞれ演算する位置演算部と、得られた該軸方向位置同士の差分を差分誤差として演算する差分演算部と、前記テープスケールの蛇行の微分値と複数の該トラックパターンの間のトラック間隔とを乗算した値を推定誤差として演算する誤差演算部と、該差分誤差から該推定誤差を減算した値をトラック間誤差として演算するトラック間誤差演算部と、を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のスケール蛇行検出装置を有するトラック間誤差検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スケール蛇行検出装置及びトラック間誤差検出装置に係り、特に、テープスケールの蛇行を求めることが可能なスケール蛇行検出装置及びそのスケール蛇行検出装置を利用したトラック間誤差検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、被測定対象を分解することなく取付け可能とするテープ状の金属性のスケール（テープスケール）が記載されている。このテープスケールは可搬性がよく長尺化（長いもので十数ｍ以上）が容易である。このため、近年、このようなテープスケールは、長い直線的な測定軸を備える大型の機械装置などの被測定対象に取付けられて利用されるようになってきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−８７５８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１で示すようなテープスケールは、ガラススケールとは異なり、テープ状ゆえに被測定対象への取付けや特に製造後の出荷前検査時の仮取付けの際に蛇行しやすい。  
【０００５】
また、スケール上の絶対位置を求めるアブソリュート方式のエンコーダにおいては、複数のトラックパターンから位置を検出し、それらの位置を合成することにより絶対位置を求める形式が多い。その場合には、テープスケール自体が正確に成形され製品としての規格を満足しているかどうかの品質確認をするために、複数のトラックパターンの間に存在するスケール固有のトラック間誤差（単にトラック間誤差とも称する）を出荷前に検査する必要がある。しかしながら、出荷前検査のためにテープスケールを固定しようとするとテープスケールの蛇行が少なからず発生してしまう。このため、検査した結果に「トラック間誤差」と「テープスケールの蛇行によって発生するトラック間誤差」とが混在してしまい、トラック間誤差だけを正しく評価することができないおそれがあった。
【０００６】
テープスケールの蛇行に対する解決策の１つとして、その蛇行を機械的になくし、できるだけ真っ直ぐに仮取付けすることが考えられる。しかし、被測定対象の計測に必要とされる測定精度との兼ね合いとなるが、その測定精度を保つためにテープスケールが蛇行しないように取付けることは極めて困難である。しかも、テープスケールの尺が長いと、できるだけ真っ直ぐに取付けるために多くの手間と時間を費やす必要があるが、そうまでしてもその成果が充分とはならない可能性がある。このため、テープスケールに蛇行が生じてしまうことを前提として、テープスケールによる測定精度を補償できるようにその蛇行を求めることが必要となるが、従来そのような手法は提案されてこなかった。
【０００７】
本発明は、前記の問題点を解決するべくなされたもので、簡易的な構成でありながらテープスケールの蛇行が検出可能なスケール蛇行検出装置を提供することを第１の課題とし、テープスケールが複数のトラックパターンを備える場合には、テープスケールの蛇行を機械的に調整することなくスケール固有のトラック間誤差を検出可能なトラック間誤差検出装置を提供することを第２の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の請求項１に係る発明は、トラックパターンが設けられたテープスケールの測定軸に沿って移動する移動スライダを備えるスケール蛇行検出装置であって、前記移動スライダが、前記測定軸に直交する方向における前記トラックパターンのトラックエッジの該測定軸に直交する方向で変動するエッジ位置を検出するエッジ検出部を備え、前記測定軸に沿う該エッジ位置を前記テープスケールの蛇行として演算する蛇行演算部を備えたことにより、前記第１の課題を解決したものである。
【０００９】
本願の請求項２に係る発明は、前記エッジ検出部が、光源と、該光源から出射された光により前記トラックエッジが認識可能に配置されるとともに前記測定軸に直交する方向で自身の受光部分が複数に分割されたラインセンサと、を備えるようにしたものである。
【００１０】
本願の請求項３に係る発明は、前記トラックパターンを複数とし、そのうちの１つの該トラックパターンで前記エッジ位置を検出し、前記移動スライダが、更に、複数の該トラックパターンの検出を行う位置検出部を備え、検出された複数の該トラックパターンに基づき該移動スライダの前記テープスケールに対する軸方向位置をそれぞれ演算する位置演算部と、得られた該軸方向位置同士の差分を差分誤差として演算する差分演算部と、前記テープスケールの蛇行の微分値と複数の該トラックパターンの間のトラック間隔とを乗算した値を推定誤差として演算する誤差演算部と、該差分誤差から該推定誤差を減算した値をトラック間誤差として演算するトラック間誤差演算部と、を備えたことにより、前記第２の課題を解決したものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡易的な構成でありながらテープスケールの蛇行が検出可能となる。そして、テープスケールが複数のトラックパターンを備える場合には、テープスケールの蛇行を機械的に調整することなくスケール固有のトラック間誤差が検出可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るトラック間誤差検出装置の概略斜視図
【図２】同じくトラック間誤差検出装置の全体ブロック図を示す模式図
【図３】同じくトラック間誤差検出装置のラインセンサとテープスケールとの位置関係を示す模式図
【図４】同じくトラック間誤差検出装置のエッジ抽出部の機能を説明する模式図
【図５】同じくテープスケールの蛇行によって発生するトラック間誤差を説明する模式図
【図６】同じくトラック間誤差検出装置におけるトラック間誤差の演算の手順の一例を説明するためのフローチャートを示す模式図
【図７】同じくトラック間誤差検出装置におけるトラック間誤差の演算の手順に沿う演算結果を示すグラフ（（Ａ）テープスケールの蛇行Ｓ（Ｘi）、（Ｂ）テープスケールの蛇行Ｓ（Ｘi）によって発生するトラック間誤差（推定誤差と称する）Ｒ（Ｘi）、（Ｃ）２つのトラックパターンに基づき求められる軸方向位置同士の差分（差分誤差と称する）Ｄx（Ｘi）、（Ｄ）スケール固有のトラック間誤差（単にトラック間誤差と称する）Ｄt（Ｘi））
【図８】本発明の第２実施形態に係るスケール蛇行検出装置の全体ブロック図を示す模式図
【図９】ラインセンサとテープスケールとの種々の位置関係を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１４】
本発明に係る第１実施形態について、図１から図７を用いて説明する。
【００１５】
最初に、本実施形態の構成を、主に図１〜図４を用いて説明する。
【００１６】
トラック間誤差検出装置１００は、図１、図２に示す如く、移動スライダ１０４と処理部１１０とを備え、テープスケール１０２の出荷前にトラック間誤差Ｄt（Ｘi）（Ｘi；測定軸Ｘの方向における測定ｉ（ｉ；１以上の整数）番目の位置）の検査のために用いられる。
【００１７】
検査対象となるテープスケール１０２には、図１、図３に示す如く、アブソリュート用のトラックパターン（ＡＢＳパターン）１０２Ａとインクリメンタル用のトラックパターン（ＩＮＣパターン）１０２Ｂの２つが測定軸Ｘに沿って設けられている。トラックパターン１０２Ａは１次元バーコード状の（反射光の強度を変化させる）反射型光学格子とされ、トラックパターン１０２Ｂはトラックパターン１０２Ａよりも細かい一定周期のピッチＰ２の反射型光学格子とされている。トラックパターン１０２Ａとトラックパターン１０２Ｂとの間のトラック間隔は、測定軸Ｘと直交するＹ方向で距離Ｔとされている。これらのトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂとそれらの位置は正確に設けられており、測定軸Ｘに直交するＹ方向におけるトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂの端部であるトラックエッジ１０２ＡＡ、１０２ＡＢ、１０２ＢＡ、１０２ＢＢも正確に形成されている。なお、テープスケール１０２は主に厚みが数百μｍ以下の金属性であるが、広く蛇行が生じうるスケールをテープスケール１０２と総称する。また、テープスケール１０２が検査される際には、図示しないスケール台（測定軸Ｘの方向では数ｍ以上）にテープスケール１０２が仮取付けされる。
【００１８】
前記移動スライダ１０４は、図１、図２に示す如く、位置検出部１０６とエッジ検出部１０８とを備え、測定軸Ｘに沿って移動可能とされている。
【００１９】
位置検出部１０６は、図１、図２に示す如く、従来の反射型の光電型エンコーダで用いられる位置検出部と同様の構成であり、例えばトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂそれぞれに対して光源とインデックスパターンとラインセンサとを備える（いずれも図示せず）公知の構成とされている。即ち、位置検出部１０６は、従来の反射型の光電型エンコーダと同様にトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂの検出を行うようにされている。
【００２０】
エッジ検出部１０８は、図１〜図３に示す如く、光源１１２と拡大光学系１１４とラインセンサ１１６とを備え、トラックエッジ１０２ＡＡ、１０２ＡＢ、１０２ＢＡ、１０２ＢＢのうちのトラックエッジ１０２ＢＡのＹ方向で変動するエッジ位置Ｓを検出するようにされている。光源１１２は、テープスケール１０２に照射する光を出射するようにされている。拡大光学系１１４は、レンズを備え、光源１１２から出射された光を少なくともテープスケール１０２のトラックパターン１０２Ｂとトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂ間の無地領域１０２Ｃとに照射し、且つその反射光がラインセンサ１１６上で拡大結像するように配置されている。勿論、拡大光学系１１４がない構成であってもよい。
【００２１】
ラインセンサ１１６は、図３に示す如く、Ｚ方向から見てトラックパターン１０２Ｂと無地領域１０２Ｃとの境目にかかるように配置される。そして、ラインセンサ１１６は、Ｙ方向に一定間隔Ｐ１で並ぶ複数の受光素子１１６Ａから構成されている。即ち、ラインセンサ１１６は、光源１１２から出射された光によりトラックエッジ１０２ＢＡが認識可能に配置されるとともに、Ｙ方向で自身の受光部分が一定間隔Ｐ１で複数に分割されている。ここで、トラックパターン１０２Ｂと無地領域１０２Ｃとでは互いに反射率が異なることから、図４（Ａ）に示すように、エッジ位置Ｓがラインセンサ１１６で出力される信号強度Ｉの違いによりトラックパターン１０２Ｂと無地領域１０２Ｃとの境目として検出される。よって、テープスケール１０２が蛇行していると、移動スライダ１０４の移動によりラインセンサ１１６で検出されるエッジ位置Ｓが測定軸Ｘに沿って変動することとなる。
【００２２】
なお、ラインセンサ１１６の測定軸Ｘの方向の幅ＬはピッチＰ２に比べて大きい（例えば、幅Ｌが１ｍｍ程度とするとき、ピッチＰ２は数十μｍ以下）。このため、テープスケール１０２に蛇行が無い状態においてはラインセンサ１１６とトラックパターン１０２Ｂとの位置関係に関わらず、ラインセンサ１１６は安定した光量を受光することができる。
【００２３】
前記処理部１１０は、図２に示す如く、位置演算部１１８と差分演算部１２０とエッジ抽出部１２２と蛇行演算部１２４と誤差演算部１２６とトラック間誤差演算部１２８とを備える。
【００２４】
位置演算部１１８は、図２に示す如く、位置検出部１０６に接続され、位置検出部１０６の出力に基づいて軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）を演算する。通常は検出されたトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂに基づき、出力された互いの信号を合成することによって位置が特定される。しかし、本実施形態の位置演算部１１８は、検出されたトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂに基づき移動スライダ１０４のテープスケール１０２に対する軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）をそれぞれ演算する。なお、本実施形態では、トラックパターン１０２Ａによる軸方向位置Ｘabs（Ｘi）を測定軸Ｘにおける基準となる位置Ｘiとする。即ち、本実施形態では、式（１）を満たすようにされている。
【００２５】
Ｘi＝Ｘabs（Ｘi）                                              （１）
【００２６】
差分演算部１２０は、図２に示す如く、位置演算部１１８に接続され、式（２）に示す如く、位置演算部１１８で得られた軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）同士の差分を差分誤差Ｄｘ（Ｘi）として演算する。
【００２７】
Ｄx（Ｘi）＝Ｘabs（Ｘi）−Ｘinc（Ｘi）                        （２）
【００２８】
エッジ抽出部１２２は、図２に示す如く、エッジ検出部１０８に接続されエッジ検出部１０８からの出力に基づきトラックエッジ１０２ＢＡの変動するエッジ位置Ｓを特定する処理を行う。具体的には、図４（Ａ）に示すエッジ検出部１０８から出力された信号強度Ｉを微分して、その微分強度ＤＩが図４（Ｂ）に示す最大となる位置をエッジ位置Ｓと特定する。このため、仮にラインセンサ１１６の幅Ｌが狭く、トラックパターン１０２Ｂとラインセンサ１１６との位置の関係でトラックパターン１０２Ｂからの反射光が変動しても、安定してエッジ位置Ｓを特定することができる。
【００２９】
蛇行演算部１２４は、図２に示す如く、エッジ抽出部１２２と位置演算部１１８とに接続されている。そして、蛇行演算部１２４は、位置演算部１１８から出力される位置Ｘiに基づいて、測定軸Ｘに沿って変動するエッジ位置Ｓをテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）として演算する。
【００３０】
誤差演算部１２６は、図２に示す如く、蛇行演算部１２４に接続されている。誤差演算部１２６は、内部に記憶部を備え、そこに測定ｉ−１番目の位置Ｘi-1におけるテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi-1）と位置Ｘi-1とを格納する。そして、誤差演算部１２６は、テープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi-1）と位置Ｘi-1とを適宜読み出し、式（３）に示すようにテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）の位置Ｘiに対する微分値ＤＳとトラックパターン１０２Ａ、１２０Ｂの間のトラック間隔Ｔとを乗算した値を推定誤差Ｒ（Ｘi）として演算する。
【００３１】
Ｒ（Ｘi）＝ＤＳ・Ｔ
Ｒ（Ｘi）＝（Ｓ（Ｘi）−Ｓ（Ｘi-1））／（Ｘi−Ｘi-1）・Ｔ     （３）
【００３２】
トラック間誤差演算部１２８は、図２に示す如く、差分演算部１２０と誤差演算部１２６とに接続されている。そして、トラック間誤差演算部１２８は、差分演算部１２０、誤差演算部１２６の出力に基づいて、式（４）で示すように差分誤差Ｄx（Ｘi）から推定誤差Ｒ（Ｘi）を減算した値をトラック間誤差Ｄt（Ｘi）として演算する。
【００３３】
Ｄt（Ｘi）＝Ｄx（Ｘi）−Ｒ（Ｘi）
＝Ｘabs（Ｘi）−Ｘinc（Ｘi）
−（Ｓ（Ｘi）−Ｓ（Ｘi-1））／（Ｘi−Ｘi-1）・Ｔ       （４）
【００３４】
ここで、このトラック間誤差Ｄt（Ｘi）について、図５を用いて説明する。
【００３５】
本来、式（５）、（６）に示すように、トラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂから求められる軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）はそれぞれ、測定軸Ｘの方向におけるトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂの形状等によって生じるトラックパターン誤差Ｅabs（Ｘi）、Ｅinc（Ｘi）を有する。
【００３６】
Ｘabs（Ｘi）＝Ｘi＋Ｅabs（Ｘi）                                （５）
Ｘinc（Ｘi）＝Ｘi＋Ｅinc（Ｘi）                                （６）
【００３７】
ここで、図５に示すようにテープスケール１０２が蛇行しているときに、測定軸Ｘの位置Ｘi-1、Ｘiではテープスケール１０２の蛇行がＳ（Ｘi-1）、Ｓ（Ｘi）で表される。即ち、位置Ｘi-1に対する位置Ｘiにおけるテープスケール１０２の蛇行の差分ΔＳiは、式（７）の如く示される。
【００３８】
ΔＳi＝Ｓ（Ｘi）−Ｓ（Ｘi-1）                                 （７）
【００３９】
従って、位置Ｘiにおけるテープスケール１０２の蛇行によって発生するトラック間誤差Ｒsは式（８）の如く表すことができる（式（３）で示す推定誤差Ｒ（Ｘi）はこの式（８）と等しくされている）。
【００４０】
Ｒs（Ｘi）＝ΔＳi／ΔＸi・Ｔ
＝（Ｓ（Ｘi）−Ｓ（Ｘi-1））／（Ｘi−Ｘi-1）・Ｔ         （８）
【００４１】
即ち、テープスケール１０２の蛇行が生じている際には、図５に示す如く、トラックパターン１０２Ｂを基準とすると、式（５）で示した軸方向位置Ｘabs（Ｘi）は式（９）となる。
【００４２】
Ｘabs（Ｘi）＝Ｘi＋Ｅabs（Ｘi）＋
（Ｓ（Ｘi）−Ｓ（Ｘi-1））／（Ｘi−Ｘi-1）・Ｔ      （９）
【００４３】
従って、式（４）に式（６）、（９）を代入すると、式（１０）で示す如く、トラックパターン誤差Ｅabs（Ｘi）、Ｅinc（Ｘi）の差分のみが残る。即ち、式（４）による演算を行うことで、式（１０）で示す如く、テープスケール１０２の蛇行に依存しないテープスケール１０２固有のトラック間誤差Ｄt（Ｘi）を求めることができる。
【００４４】
Ｄt（Ｘi）＝Ｅabs（Ｘi）−Ｅinc（Ｘi）                 （１０）
【００４５】
次に、主に図６、図７を用いてトラック間誤差検出装置１００におけるトラック間誤差Ｄt（Ｘi）の演算の手順の一例を説明する。ここでは、測定軸Ｘの方向における測定ｉ番目の位置Ｘiに移動スライダ１０２を移動させた際の演算手順を説明する。なお、図７は、トラック間隔Ｔが１ｍｍ、移動スライダ１０４が移動して測定した範囲が５ディビジョン（１ディビジョン＝５００ｍｍ）である場合の実測例である。
【００４６】
まず、位置検出部１０６、エッジ検出部１０８にて、トラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂの位置検出とトラックエッジ１０２ＢＡの検出を行う（ステップＳ２）。
【００４７】
次に、位置演算部１１８にて、位置検出部１０６で検出されたトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂに基づき、軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）の演算を行う（ステップＳ４）。
【００４８】
次に、エッジ抽出部１２２にて、エッジ検出部１０８で検出されたトラックエッジ１０２ＢＡの抽出を行う（ステップＳ６）。つまり、トラックエッジ１０２ＢＡの変動するエッジ位置Ｓを特定する。
【００４９】
次に、蛇行演算部１２４にて、位置演算部１１８から出力された位置Ｘi（＝Ｘabs（Ｘi））と、エッジ抽出部１２２で特定されたエッジ位置Ｓとに基づき、テープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）を演算する（ステップＳ８）。このときの結果を図７（Ａ）に示す。
【００５０】
次に、誤差演算部１２６にて、蛇行演算部１２４で求められたテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）と誤差演算部１２６の記憶部に記憶されている位置Ｘi-1のときのテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi-1）とを用いて、式（３）より、推定誤差Ｒ（Ｘi）の演算を行う（ステップＳ１０）。このときの結果を図７（Ｂ）に示す。
【００５１】
次に、差分演算部１２０にて、位置演算部１１８から出力されたトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂによる軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）を用いて、式（２）により、トラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂ間の差分誤差Ｄx（Ｘi）の演算を行う（ステップＳ１２）。このときの結果を図７（Ｃ）に示す。なお、この工程は、トラックエッジ１０２ＢＡの抽出前に行なってもよい。
【００５２】
次に、トラック間誤差演算部１２８にて、差分演算部１２０で求められた差分誤差Ｄx（Ｘi）と誤差演算部１２６で求められた推定誤差Ｒ（Ｘi）とを用いて、式（４）によりトラック間誤差Ｄt（Ｘi）の演算を行う（ステップＳ１４）。このときの結果を図７（Ｄ）に示す。この演算が終了し、トラック間誤差Ｄt（Ｘi）をトラック間誤差演算部１２８から出力した段階で、移動スライダ１０４を次の位置Ｘi+1に移動させる。
【００５３】
このように本実施形態においては、図７（Ｄ）から明らかなように、図７（Ｃ）に比べてトラック間誤差Ｄt（Ｘi）は平坦になっており、図７（Ａ）で示されるテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）の影響が除去されていることがわかる。即ち、簡易的な構成でありながらテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）を検出することが可能である。そして、テープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）の機械的な調整をすることなく、スケール固有のトラック間誤差Ｄt（Ｘi）を検査（検出）することが可能となる。このため、テープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）の機械的な調整時間や手間を省くことできる。
【００５４】
なお、本実施形態のトラック間誤差検出装置１００は、出荷時等において検査を行うために用いられるが、テープスケールを被測定物に取付けた際の蛇行検出とそれに伴うトラック間誤差の評価に用いてもよい。或いは常時使用するエンコーダの一機能として、エンコーダに設けて使用するようにしてもよい。
【００５５】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
【００５６】
例えば、第１実施形態においては、トラック間誤差検出装置１００が、記憶部を誤差演算部１２６のみに備え、移動スライダ１０４の移動に合わせてトラック間誤差Ｄt（Ｘi）が逐次出力される形態であったが、本発明はこれに限定されない。例えば移動スライダの移動を一定の領域（若しくは全部）に亘り行い、その際の軸方向位置Ｘabs（Ｘi）、Ｘinc（Ｘi）とテープスケールの蛇行Ｓ（Ｘi）とを記憶し、それからトラック間誤差Ｄt（Ｘi）をまとめて出力するような記憶部を処理部が備えてもよい。
【００５７】
また、第１実施形態においては、基準となる位置Ｘiを検出されたトラックパターン１０２Ａから求めた軸方向位置Ｘabs（Ｘi）としたが、本発明はこれに限定されない。例えば基準となる位置Ｘiを別に設けたレーザ測長器などで得るようにしてもよい。
【００５８】
また、第１実施形態においては、２つのトラックパターン１０２Ａ、１０２Ｂが設けられたテープスケール１０２が検査対象とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、３つ以上のトラックパターンを備えるテープスケールを検査対象としてもよい。或いは、そのパターンもＡＢＳパターンだけやＩＮＣパターンだけで構成されていてもよい。或いは、ＡＢＳパターン或いはＩＮＣパターンとされたトラックパターンが１つとされていてもよい。その場合には、図８に示す第２実施形態で示されるスケール蛇行検出装置の如くであってよい。
【００５９】
第２実施形態では、処理部２１０が位置演算部２１８とエッジ抽出部２２２と蛇行演算部２２４とを備える。即ち、スケール蛇行検出装置２００は、トラック間誤差検出装置１００のような構成ではなく、テープスケール２０２の蛇行Ｓ（Ｘi）だけを演算する構成とされている。逆にいえば、トラック間誤差検出装置１００はスケール蛇行検出装置２００を有する形態とされている。
【００６０】
また、上記実施形態においては、ラインセンサ１１６でトラックエッジ１０２ＢＡのエッジ位置を観察することでテープスケール１０２の蛇行Ｓ（Ｘi）を演算していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、ラインセンサ２１６がトラックエッジ１０２ＢＢのエッジ位置Ｓを観察する、或いはラインセンサ３１６がトラックエッジ１０２ＡＢのエッジ位置Ｓを観察する、或いはラインセンサ４１６がトラックエッジ１０２ＡＡのエッジ位置Ｓを観察するような配置とされていてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態においては、検出対象が反射型テープスケールであったが、本発明はこれに限定されず、透過型テープスケールであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、テープスケールの蛇行を検出することができるので、スケールトラックを１つ以上備えるテープスケールの検査、テープスケール適用時の蛇行や位置の調整、及び適用された機械の位置補正など、テープスケールを用いる分野に幅広く適用することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１００…トラック間誤差検出装置
１０２、２０２…テープスケール
１０４、２０４…移動スライダ
１０６、２０６…位置検出部
１０８、２０８…エッジ検出部
１１０、２１０…処理部  
１１２…光源  
１１４…拡大光学系
１１６、２１６、３１６、４１６…ラインセンサ
１１８、２１８…位置演算部
１２０…差分演算部
１２２、２２２…エッジ抽出部
１２４、２２４…蛇行演算部
１２６…誤差演算部
１２８…トラック間誤差演算部
２００…スケール蛇行検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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