(57)【要約】【課題】光ファイバコネクタの光伝達性能を高める。【解決手段】光ファイバコネクタ３０は、基板１と、基板１の一方の面上に設けられた光路変換部材２０と、光路変換部材２０に並設される光ファイバ挿入溝１２とを備える。光路変換部材２０は、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路上に位置しかつ光路に対して傾斜し、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路を変換させるミラー面２２ｂを有する。ミラー面２２ｂによって変換された光ファイバ光の光路上に位置するように、基板１の他方の面上にレンズ３を設ける。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の一方の面上に設けられた光路変換部材と、前記光路変換部材に並設される光ファイバ挿入部とを備える光ファイバコネクタであって、
前記光路変換部材は、前記光ファイバ挿入部に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路上に位置しかつその光路に対して傾斜し、前記光ファイバ挿入部に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路を変換させるミラー面を有し、
前記ミラー面によって変換された前記光路上に位置するように、前記基板の他方の面上にレンズを設けてなる光ファイバコネクタ。
【請求項２】
前記光路変換部材は、前記ミラー面と、前記光ファイバ挿入部に挿入された光ファイバ端面と接続するための光ファイバ接続用面とを有するミラー部材を備える請求項１に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項３】
前記光路変換部材は、前記ミラー部材がコアとして構成され、コアとクラッドからなる光導波路を有する請求項２に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項４】
前記光路変換部材は、前記ミラー部材の基板側に設けられた基板側クラッド層と、前記基板と反対側に設けられた反基板側クラッド層を備える請求項３に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項５】
前記レンズは、前記ミラー面とともに前記基板を挟み込むように配置される請求項１〜４のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項６】
前記レンズは、前記光ファイバから出射した光を受光素子に受光させるための集光レンズである請求項１〜５のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項７】
前記基板が前記光ファイバから出射する光を透過する透明基板である請求項１〜６のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項８】
前記透明基板がポリイミド基板である請求項７に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項９】
前記レンズ及び前記光ファイバ挿入部が、フォトリソグラフィー加工により形成されてなる請求項１〜８のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項１０】
前記レンズ及び前記光路変換部材が、フォトリソグラフィー加工により形成されてなる請求項１〜９のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項１１】
前記基板が、フォトリソグラフィー加工に使用する活性光線を遮光する基板である請求項９または１０に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項１２】
前記光路変換部材の少なくとも一部と前記光ファイバ挿入部の少なくとも一部が同一材料からなる請求項１〜１１のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項１３】
前記ミラー面は、前記光路変換部材を切削加工してなる請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【請求項１４】
前記基板の他方の面上に、レンズ厚さ以上の厚さを有するレジスト又はダミーレンズを前記レンズと並設させる請求項１〜１３のいずれか１項に記載の光ファイバコネクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバコネクタに関し、特に光の伝達効率を良好にすることが可能なミラー付き光ファイバコネクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に光ケーブル（光ファイバケーブルともいう）は、多量の情報の高速通信が可能であることから、家庭用、産業用の情報通信に広く利用されている。また、例えば自動車には、各種電装品（例えば、カーナビゲーションシステム等）が装備されているが、それら電装品の光通信にも光ケーブルが採用されている。光ケーブルの光ファイバ端末を他の光学部材に光学的に接続するためには、各種の光ファイバコネクタが利用されており、例えば光路の向きを変えることができる光路変換機能を備えたものがある。
【０００３】
光路変換機能を備えた光ファイバコネクタとしては、例えば特許文献１に開示されるように、基板の上面に、光ファイバが挿入固定されるガイド溝と、このガイド溝に連接されたテーパ面と、このテーパ面に設けられ、ミラーを構成する薄膜素子とを備えるものが知られている。この光ファイバコネクタでは、光ファイバ端面から空気中に出射された光が、ミラーで反射されて上向きに光路変換された後、ミラー上方に設置されたフォトダイオードによって受光される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１６７１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１の光ファイバコネクタでは、ミラーはプレス成型により基板に一体化して設けられているため小型化することや、光路変換以外の新たな光学機能を付与することが難しい。さらに、ミラーから隔離された位置にフォトダイオードが配置されるため、ミラーからフォトダイオードに光を入射させる際、光損失が大きくなるという問題もある。
【０００６】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、光路変換機能を備えた光ファイバコネクタにおいて、小型で厚みが小さくても、光伝達効率を良好にすることが可能な光ファイバコネクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、光ファイバコネクタにおいて、光ファイバから出射した光の光路を変換させる光路変換部材を支持するための基板を設けるとともに、その基板の光路変換部材を設けた面とは反対側の面にレンズを設けることにより、光ファイバコネクタを小型で厚みを小さくしつつ、光損失を少なくすることができることを見出し本発明に至った。
すなわち、本発明は、以下の（１）を提供するものである。
（１）基板と、前記基板の一方の面上に設けられた光路変換部材と、前記光路変換部材に並設される光ファイバ挿入部とを備える光ファイバコネクタであって、
前記光路変換部材は、前記光ファイバ挿入部に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路上に位置しかつその光路に対して傾斜し、前記光ファイバ挿入部に挿入された光ファイバの端面から出射する光の光路を変換させるミラー面を有し、
前記ミラー面によって変換された前記光路上に位置するように、前記基板の他方の面上にレンズを設けてなる光ファイバコネクタ。
【発明の効果】
【０００８】
本発明における光ファイバコネクタは、一方の面に光路変換部材を、他方の面にレンズを設けた基板を有することにより、光ファイバコネクタを小型化しつつもその光伝達効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態における光ファイバコネクタの斜視図である。
【図２】第１の実施形態における光ファイバコネクタの上面図である。
【図３】図１、２において、IIIa−IIIa線に沿う矢視断面図（図３（ａ））、IIIb−IIIb線に沿う矢視断面図（図３（ｂ））である。
【図４】第１の実施の形態に係るミラー付き光ファイバコネクタの製造方法を説明する、図１、２のIIIａ−IIIａ線に相当する部分の断面図である。
【図５】第１の実施の形態に係るミラー付き光ファイバコネクタの製造方法を説明する、図１、２のIIIｂ−IIIｂ線に相当する部分の断面図である。
【図６】第２の実施形態における光ファイバコネクタの斜視図である。
【図７】第２の実施形態における光ファイバコネクタの平面図である。
【図８】図６、７において、VIIIa−VIIIa線に沿う矢視断面図（図８（ａ））、VIIIb−VIIIb線に沿う矢視断面図（図８（ｂ））である。
【図９】第２の実施の形態に係るミラー付き光ファイバコネクタの製造方法を説明する、図６、７のVIIIａ−VIIIａ線に相当する部分の断面図である。
【図１０】第１の実施の形態に係るミラー付き光ファイバコネクタの製造方法を説明する、図６，７のVIIIｂ−VIIIｂ線に相当する部分の断面図である。
【図１１】第３の実施形態における光ファイバコネクタの斜視図である。
【図１２】第３の実施形態における光ファイバコネクタの平面図である。
【図１３】図１１、１２において、XIIIa−XIIIa線に沿う矢視断面図（図１３（ａ））、XIIIb−XIIIb線に沿う矢視断面図（図１３（ｂ））である。
【図１４】蓋を有する光ファイバコネクタを示す斜視図である。
【図１５】図１４において、XVa−XVa線に沿う矢視断面図（図１５（ａ））、XVb−XVb線に沿う矢視断面図（図１５（ｂ））である。
【図１６】レジストを有する光ファイバコネクタを示す背面図である。
【図１７】図１６において、XVII−XVII線に沿う矢視断面図である。
【図１８】細長レジストを有する光ファイバコネクタを示す背面図である。
【図１９】ロの字状のレジストを有する光ファイバコネクタを示す背面図である。
【図２０】ダミーレンズを有する光ファイバコネクタを示す背面図である。
【図２１】基板が電気配線であり、かつレジストを有する光ファイバコネクタを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に図面を参照して実施形態に係るミラー付き光ファイバコネクタを詳細に説明する。
［第１の実施形態］
図１〜３は第１の実施形態に係るミラー付き光ファイバコネクタを示す。
第１の実施形態に係るミラー付き光ファイバコネクタ３０は、基板１と、基板１の一方の面（図１、３の上面）上に並設された光ファイバガイド部材１０及び光路変換部材２０と、基板１の他方の面（図１、２の下面）上に形成されたレンズ３とを有する。
詳しくは後述するが、図１〜図３に示すとおり、光ファイバガイド部材１０の光ファイバ挿入溝（光ファイバ挿入部）１２に光ファイバ５０が挿入され、その端面５０ａが光路変換部材２０の垂直面２０ａに接続される。光ファイバ５０の端面５０ａから出射した光信号は、垂直面２０ａを通って光路変換部材２０内に入射され、光路変換部材２０のミラー面２２ｂによって光路を図１の下向きに変換された後、基板１を透過して基板１の他方の面（下面）側に送信される。基板１の他方の面側に送信された光信号は、レンズ３で集光されて受光素子４によって受光される。
【００１１】
次に、ミラー付き光ファイバコネクタ３０についてさらに詳細に説明する。
＜基板＞
基板１は、光ファイバ５０から出射される光信号波長を透過可能な透明基板であれば特に制限はなく、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム、電気配線が設けられた電気配線板などが挙げられる。また、基板１としては、柔軟性及び強靭性がある点、及び光信号等の長波長側の光を透過する一方、フォトリソグラフィーで使用する活性光線等の短波長側の光を遮光できる点から、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド基板を使用することが好ましく、より好適にはポリイミド基板が好ましい。
【００１２】
＜接着層＞
本実施形態では、基板１の一方の面（上面）上に接着層２が設けられている。この接着層２を用いることにより、基板１と、光ファイバガイド部材１０及び光路変換部材２０とを良好に接着させることができる。接着層２の種類としては、光信号波長に対して光透過性があり、基板１、光ファイバガイド部材１０及び光路変換部材２０に対して接着力のあるものであれば特に限定されないが、透明樹脂フィルム、両面テープ、ＵＶまたは熱硬化性接着剤、プリプレグ、ビルドアップ材、及び電気配線板製造用途に使用される種々の接着剤が好適に使用されるが、透明樹脂フィルムが好ましい。また、接着層２は、後述するミラー部材２２よりも屈折率を低くすると、光の漏れを抑制することができるため更に好ましい。
【００１３】
＜光ファイバガイド部材＞
光ファイバガイド部材１０は、接着層２の上に所定のパターンで配設される複数のガイド本体部１１によって形成される。複数のガイド本体部１１は、間隔をおいて複数並べられて構成され、一対のガイド本体部１１間それぞれに、ｙ方向（基板１の上面と平行方向）に延在する光ファイバ挿入溝（光ファイバ挿入部）１２を形成する。光ファイバ挿入溝１２は、互いにｘ方向（溝の幅方向）に間隔をおいて複数（本実施形態では４つ）配列される。光ファイバ挿入溝１２は、ｙ方向と垂直な断面が長方形であるが、これに限定されるものではなく、光ファイバ５０を支持し得るものであれば、台形等の他の四角形、五角形以上の多角形、Ｖ字形、半円形のような弧状等であってもよい。また、光ファイバ挿入溝１２は単数であってもよい。ガイド本体部１１は、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０が光ファイバ挿入溝１２の幅方向（ｘ方向）に移動しないように両側から支持する。
【００１４】
ガイド本体部１１は、感光性の透明樹脂や熱硬化性の透明樹脂のような樹脂が好適に使用されるが、後述するミラー部材２２と同一の感光性の透明樹脂材料からなる透明樹脂層により形成されることが好ましい。
ガイド本体部１１の厚さは、（光ファイバの直径＋３０μｍ）以下の範囲が好ましく、光ファイバ５０の直径以上であると、後述するように、光ファイバ挿入溝１２上に、蓋６０（図１４、１５参照）を形成した際に容易に光ファイバ５０を挿入することができる。また、図１〜３に示すように、蓋６０を用いない場合には、ガイド本体部１１の厚さを光ファイバ５０の直径以下にすると、光ファイバ挿入溝１２に光ファイバ５０を押し込め易い。
【００１５】
＜光路変換部材＞
光路変換部材２０は、接着層２上に積層された平板状を呈するミラー部材２２より構成される。光路変換部材２０（ミラー部材２２）の光ファイバガイド部材１０側の側面は、基板１やｙ方向に直交する垂直面２０ａであり、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０の端面５０ａと接続する光ファイバ接続用面２２ａとなる。
【００１６】
光路変換部材２０には、基板１の反対側から光路変換面形成用溝２５が刻設されている。光路変換面形成用溝２５は、ｘ方向に延在して光路変換部材２０の両側面にまで達しており、延在方向（ｘ方向）と垂直な断面がＶ字形となっている。光路変換面形成用溝２５は、光路変換部材２０の下面にまで達している。光路変換面形成用溝２５により、光路変換部材２０は、光ファイバガイド部材１０に近い側の前半部と遠い側の後半部とに分割されている。Ｖ字形の光路変換面形成用溝２５の２つの側面のうち、光ファイバガイド部材１０に近い側面が第１傾斜面２０ｂとなり、光ファイバガイド部材１０から遠い側面が第２傾斜面２０ｃとなる。
【００１７】
第１傾斜面２０ｂは、光ファイバ５０から出射した光の光路（ｙ方向）に対して上下方向（ｚ方向）に傾斜する。第１傾斜面２０ｂは、基板１の反対側（図１の上方）を向くように、光路（ｙ方向）に対して４５°傾斜する。第１傾斜面２０ｂは、ミラー部材２２からなり、光ファイバ５０からの光の光路を変換させるミラー面２２ｂとなる。ミラー面２２ｂが、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０の延長線上、すなわち光ファイバ５０から出射した光の光路上に位置し、かつその光路（光ファイバ５０の延長線）に対して４５°傾斜することにより、光ファイバ５０から出射した光の光路は、ミラー面２２ｂによって９０°曲がり、基板１を直交する。
【００１８】
ミラー部材２２の材料としては、使用する光信号の波長を透過する透明材料であれば特に限定されず、光信号の伝達に支障がない程度の透過率であることが好ましく、これにより少ない光損失にて光信号の授受を行うことができる。ミラー部材２２の材料としては、例えば、感光性の透明樹脂や熱硬化性の透明樹脂のような樹脂が好適に使用され、特に、フォトリソグラフィーで形成できるように、感光性樹脂が使用されることが好ましい。
ミラー部材２２の厚さ（ｚ方向の長さ）は、（光ファイバの半径＋光ファイバのコア径／２）以上が好ましく、この範囲であると、光ファイバ５０からミラー部材２２のミラー面２２ｂへ伝達する光信号の光損失が少なくできる。
【００１９】
また、ミラー部材２２とガイド本体部１１は、上記したように同一の透明樹脂層から形成されることが好ましく、この場合、これらミラー部材及び光ファイバガイドの厚さは、（光ファイバの半径＋光ファイバのコア径／２）以上、（光ファイバの直径＋３０μｍ）以下の範囲が好ましい。また、光ファイバの直径が２００μｍ以下であれば、透明樹脂層の膜厚が制御しやすいという観点からより好ましく、１２５マイクロμｍ径や８０μｍ径の光ファイバを用いることが更に好ましい。
【００２０】
ミラー面２２ｂには、光信号を高効率で反射させるために、反射部材を設けてもよい。この反射部材は、例えばＡｕなどの金属を蒸着やメッキなどで被覆することにより形成することができる。
【００２１】
＜レンズ＞
基板１の他方の面上に形成されたレンズ３は、基板１に接する面とは反対側の面が凸面となる凸状レンズであって、光ファイバ５０からの光を受光素子４に受光させるための集光レンズである。レンズ３の直径は、ミラー面２２ｂからの光を効率良く受光するために、ミラー面２２ｂのｙ方向長さや、光ファイバ５０のコア径より長いことが好ましい。レンズ３は、フォトリソグラフィー加工により形成できるように、感光性樹脂組成物により形成されることが好ましく、レンズの透明性が良好になる点からネガ型フォトレジストにより形成されることがより好ましい。
【００２２】
レンズ３は、光ファイバ挿入溝１２と同数個（４個）設けられ、各レンズ３はｘ方向において光ファイバ挿入溝１２と一致する位置に配置される。また、レンズ３は、ミラー面２２ｂとともに基板１を挟み込む位置、すなわち、図２に示すように正面側から見るとミラー面２２ｂと重なる位置に配置され、これにより、レンズ３は、光路変換部材２０で変換される光ファイバ５０からの光の光路上に位置する。レンズ３がミラー面２２ｂと重なる位置に配置されることにより、レンズ３とミラー面２２ｂの間の光路は、最短距離となるため、レンズ３とミラー面２２ｂの間の光路における光損失を小さく抑えることが可能になる。また、本実施形態では、レンズ３は、複数個あり、かつミラー面２２ｂと重なる位置に配置されることにより、ｘ方向に沿って一列に並んでレンズアレイを構成する。ただし、レンズ３は単数であってもよい。
なお、ミラー面２２ｂのｙ方向における中心とレンズ３の中心は正面側から見ると重なる位置に配置されることがより好ましい。また、ミラー面２２ｂの中心からレンズ３までのｚ方向に沿う距離は、光ファイバ５０の半径よりも１０〜５０μｍ程度大きいことが好ましく、これにより、レンズ３とミラー面２２ｂの間の光路における光損失を最小限に抑えることができる。
【００２３】
（レンズ用感光性樹脂組成物）
レンズを形成するための感光性樹脂組成物は、例えば、（ａ）バインダポリマーと、（ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物と、（ｃ）活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤とを含有するものである。かかる感光性樹脂組成物を用いることにより、感光層の解像度及び密着性が向上するとともにレンズの光透過性をより確実に確保することができるので、レンズの光学性能及び生産性をさらに高水準で両立させることができる。
【００２４】
（ａ）バインダポリマーとしては、例えば、ビニル共重合体（ａ１）が挙げられ、具体的には、下記のビニル単量体を重合させて得られたものが挙げられる。例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｉｓｏ−プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｉｓｏ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル、（メタ）アクリル酸ドコシル、（メタ）アクリル酸シクロペンチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘプチル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸メトキシジエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシジプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシトリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸２−クロロエチル、（メタ）アクリル酸２−フルオロエチル、（メタ）アクリル酸２−シアノエチル、スチレン、α−メチルスチレン、シクロヘキシルマレイミド、（メタ）アクリル酸ジシクロペンタニル、ビニルトルエン、塩化ビニル、酢酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、ブタジエン、イソプレン、クロロプレン、（メタ）アクリルアミド、メタクリルアミド、（メタ）アクリロニトリル等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて重合させてもよい。
【００２５】
さらに、本実施形態のレンズ用感光性樹脂組成物においては、（ａ）バインダポリマーとして、例えば、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、イソシアネート基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体に、このビニル共重合体が有する官能基と反応して結合する、オキシラン環、イソシアネート基、水酸基、カルボキシル基等の１個の官能基と、少なくとも１個のエチレン性不飽和基とを有する化合物を付加反応させて得られる側鎖にエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性共重合体（ａ２）等を使用することもできる。
【００２６】
上記カルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル共重合体の製造に用いられるビニル単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、ケイ皮酸、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリルアミド、イソシアン酸エチルメタクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、無水マレイン酸等が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて重合させてもよい。また、必要に応じて、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、オキシラン環、酸無水物等の官能基を有するビニル単量体以外の上記ビニル単量体を共重合させることができる。
【００２７】
さらに、（ａ）バインダポリマーとしては、例えば下記一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物と、不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物とを共重合することで得ることができる硫黄含有共重合体（ａ３）を使用してもよい。
【００２８】
【化１】
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【００２９】
式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアラルキル基又は置換基を有していてもよいアリール基を示し、Ｒ2は水素原子又はメチル基を示し、Ａは２価の有機基を示し、Ｘ1及びＸ2はそれぞれ独立に硫黄原子又は酸素原子を示し、Ｘ1及びＸ2のうち少なくとも一方は硫黄原子である。
一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物は、（メタ）アクリル酸エステル化合物であり、硫黄原子を含有することを特徴としている。
【００３０】
Ｒ1が置換基を有していてもよいアルキル基である場合、置換基としては、例えば、アルキル基に有していてもよい置換基が、アルコキシ基、アラルキルオキシ基、アリールオキシ基、アリールオキシアルキルオキシ基、アルキルチオ基、アラルキルチオ基、アリールチオ基及びアリールチオアルキルチオ基が挙げられる。また、Ｒ1が置換基を有していてもよいアラルキル基又は置換基を有していてもよい芳香族残基である場合、置換基としては、例えば、アラルキル基又は芳香族残基に有していてもよい置換基が、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アラルキルオキシ基、アリールオキシ基、アリールオキシアルキルオキシ基、アルキルチオ基、アラルキルチオ基、アリールチオ基及びアリールチオアルキルチオ基及びハロゲン原子が挙げられる。
【００３１】
Ｒ1としては、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基等の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、ベンジル基、４−メチルベンジル基、４−クロロベンジル基、４−ブロモベンジル基、β−フェニルエチル基等の置換又は未置換のアラルキル基、フェニル基、４−メチルフェニル基、３−メチルフェニル基、２−メチルフェニル基、４−メトキシフェニル基、３−メトキシフェニル基、２−メトキシフェニル基、４−フェニルフェニル基、４−フェノキシフェニル基、３−フェノキシフェニル基、２−フェノキシフェニル基、４−メチルチオフェニル基、３−メチルチオフェニル基、２−メチルチオフェニル基、４−クロロフェニル基、３−クロロフェニル基、２−クロロフェニル基、４−ブロモフェニル基、３−ブロモフェニル基、２−ブロモフェニル基、α−ナフチル基、β−ナフチル基等の置換又は未置換のアリール基が挙げられる。透明性及び屈折率をより高くする観点から、Ｒ1は置換又は未置換のアラルキル基、又は置換又は未置換のアリール基であることが好ましい。
Ａは、具体的には、酸素原子又は硫黄原子を含有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数２〜５のアルキレン基であることがより好ましい。また、屈折率をより高くする観点から、Ｘ1及びＸ2が硫黄原子であることが好ましい。
【００３２】
上記一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物として、例えば、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイ��チオメタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−（２'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（３'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−���４'−クロロベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−ブロモベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−フェニルエチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−（２'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（３'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−（２'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（３'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、
１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオメタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−プロパン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソプロパン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ブタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソブタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ペンタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオイソペンタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘキサン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−ヘプタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオ−ｎ−オクタン、１−チオ−（４'−フェニルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−フェニルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−クロロフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（４'−ブロモフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオナフチル−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオメチル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオエチル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−ｎ−プロピル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−ｎ−ブチル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオベンジル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（２'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（３'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルチオベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルオキシベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−クロロベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−ブロモベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−フェニルエチルベンジル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオフェニル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（２'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（３'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルチオエタン、１−チオ−（２'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（３'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルチオフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−メチルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−フェニルフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−フェニルオキシフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−クロロフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオ−（４'−ブロモフェニル）−２−（メタ）アクリロイルオキシエタン、１−チオナフチル−２−（メタ）アクリロイルオキシエタンが挙げられる。これらは、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００３３】
一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物と共重合される不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物としては、特に制限はなく、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のモノカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸、無水マレイン酸、無水フマル酸、無水シトラコン酸、無水メサコン酸、無水イタコン酸等のジカルボン酸無水物が挙げられる。これらは、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００３４】
上記硫黄含有共重合体は、一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物、及び、不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物に加えて、他の不飽和化合物をモノマー単位として含んでいてもよい。
【００３５】
硫黄含有共重合体（ａ３）にモノマー単位として含まれても良い他の不飽和化合物としては、一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物、及び、不飽和カルボン酸及び／又は不飽和カルボン酸無水物と共重合可能な不飽和化合物であれば特に制限はない。具体的には、上記したビニル共重合体（ａ１）を得るためのビニル単量体として列挙した各種不飽和化合物や、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシ−３−クロロプロピル、ｏ−フェニルフェノールグリシジルエーテル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル、（メタ）アクリル酸−２−［（１，１'−ビフェニル）オキシ］エトキシ、（メタ）アクリル酸−２−（２−メトキシエトキシ）エチル、オキシエチレン基の数が２〜２３である（メタ）アクリル酸メトキシポリオキシエチレン、（メタ）アクリル酸−２−フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸−２−（２−フェノキシエチル−オキシ）エチル等が挙げられる。屈折率をより向上する観点から、他の不飽和化合物成分として、（メタ）アクリル酸−２−［（１，１'−ビフェニル）オキシ］エトキシを共重合することが好ましい。これらは、１種を単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００３６】
（ａ）バインダポリマーの重量平均分子量（ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで測定し、標準ポリスチレン換算した値）は、耐熱性、加熱溶融性、塗布性、後述するマイクロレンズアレイ用感光性エレメントとした場合のフィルム性（フィルム状の形態を保持する特性）、溶媒への溶解性、及び、現像工程における現像液への溶解性等の観点から、１０００〜３０００００とすることが好ましく、５０００〜１５００００とすることがより好ましい。
【００３７】
さらに、（ａ）バインダポリマーは、現像工程において、公知の各種現像液により現像可能となるように酸価を規定することが好ましい。例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミン等のアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価を５０〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましい。この酸価が、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることで、現像が行いやすくなる傾向にあり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下となることで、耐現像液性（現像により除去されずにパターンとなる部分が、現像液によって侵されない性質）が良好になる傾向にある。また、水又はアルカリ水溶液と１種以上の界面活性剤とからなるアルカリ水溶液を用いて現像する場合には、酸価を、１６〜２６０ｍｇＫＯＨ／ｇとすることが好ましい。酸価が、１６ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることにより、現像しやすい傾向にあり、２６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることにより、耐現像液性が良好になる傾向にある。
【００３８】
（ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物
エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物としては、例えば、多価アルコールとα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、グリシジル基含有化合物とα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物、ウレタンモノマー、ノニルフェニルジオキシレン（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。
【００３９】
上記多価アルコールとα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート（ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート）、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４０】
上記２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）等が挙げられる。
【００４１】
上記グリシジル基含有化合物とα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が挙げられる。
【００４２】
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーと、イソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、エチレンオキシド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド，プロピレンオキシド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００４３】
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００４４】
上記の光重合性不飽和化合物は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４５】
また、（ａ）バインダポリマーとして硫黄含有共重合体（ａ３）が使用される場合には、（ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物は、（Ｂ１）エチレン性不飽和基を１つ有する光重合性化合物及び（Ｂ２）エチレン性不飽和基を少なくとも２つ有する光重合性化合物を含むことが好ましい。
【００４６】
（Ｂ１）エチレン性不飽和基を１つ有する光重合性不飽和化合物として、例えば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β'−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシ−３−クロロプロピル、ｏ−フェニルフェノールグリシジルエーテル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸−２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル、（メタ）アクリル酸−２−［（１，１'−ビフェニル）オキシ］エトキシ、（メタ）アクリル酸−２−（２−メトキシエトキシ）エチル、オキシエチレン基の数が２〜２３である（メタ）アクリル酸メトキシポリオキシエチレン、（メタ）アクリル酸−２−フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸−２−（２−フェノキシエチル−オキシ）エチル、オキシエチレン基の数が２〜２３である（メタ）アクリル酸フェノキシポリオキシエチレンが挙げられる。中でも、（Ｂ１）成分としては、屈折率をより向上する観点から、（メタ）アクリル酸−２−［（１，１'−ビフェニル）オキシ］エトキシ又はオキシエチレン基の数が２〜５である（メタ）アクリル酸フェノキシポリオキシエチレンが好ましい。また、上記一般式（Ｉ）で表される硫黄含有化合物を、（Ｂ１）成分として使用することができる。さらに、上述の他の不飽和化合物を、（Ｂ１）成分として使用することもできる。これらの化合物は、１種を単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００４７】
（Ｂ２）エチレン性不飽和基を少なくとも２つ有する光重合性不飽和化合物としては、例えば、上記した、多価アルコールとα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物とα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物，ウレタンモノマーや、ビス（４−メタクリロイルチオフェニル）スルフィド、ビス［（２−メタクリロイルチオ）エチル］スルフィド等の多価チオールとα，β−不飽和カルボン酸とを反応させて得られる化合物等が好適に使用される。
これらの（Ｂ２）成分として例示した化合物は、１種を単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。
【００４８】
（ｃ）光重合開始剤
活性光線により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ'−テトラメチル−４，４'−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ'−テトラエチル−４，４'−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４'−ジメチルアミノベンゾフェノン、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］（「イルガキュア−ＯＸＥ０１」、チバスペシャリティーケミカルズ（株）商品名）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（イルガキュア−ＯＸＥ０２、チバスペシャリティーケミカルズ（株）商品名）、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン（「イルガキュア−３６９」、チバスペシャリティーケミカルズ（株）商品名）、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパン−１−オン（「イルガキュア−９０７」、チバスペシャリティーケミカルズ（株）商品名）等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９'−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。
【００４９】
また、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体において、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールに置換した置換基は同一でも相違していてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。
【００５０】
なお、フォトリソグラフィー工程における密着性及び感度の観点から、（ｃ）成分としては、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体が好ましく、マイクロレンズとした場合の可視光線透過率の観点から１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］がより好ましい。
上記の光重合開始剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５１】
レンズ用感光性樹脂組成物における、（ａ）バインダポリマーの配合割合は、（ａ）及び（ｂ）成分の総量１００質量部に対して、２０〜９０質量部とすることが好ましく、３０〜８５質量部とすることがより好ましく、３５〜８０質量部とすることが特に好ましく、４０〜７５質量部とすることが極めて好ましい。この配合割合が２０質量部以上とすることで、塗布性、加熱溶融性、或いは後述するレンズ用感光性エレメントとした場合のフィルム性が良好になる傾向にあり、９０質量部以下とすることで、光硬化性あるいは耐熱性が良好になる傾向にある。
【００５２】
また、レンズ用感光性樹脂組成物における、（ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性不飽和化合物の配合割合は、（ａ）及び（ｂ）成分の総量１００質量部に対して、１０〜８０質量部とすることが好ましく、１５〜７０質量部とすることがより好ましく、２０〜６５質量部とすることが特に好ましく、２５〜６０質量部とすることが極めて好ましい。この配合割合が１０質量部以上では、光硬化性あるいは耐熱性が良好になる傾向にあり、８０質量部以下とすることで、塗布性、加熱溶融性、或いはレンズ用感光性エレメントとした場合のフィルム性が良好になる傾向にある。
【００５３】
また、本実施形態のマイクロレンズアレイ用感光性樹脂組成物における、（ｃ）光重合開始剤の配合割合は、（ａ）及び（ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．０５〜２０質量部とすることが好ましく、０．１〜１５質量部とすることがより好ましく、０．１５〜１０質量部とすることが特に好ましい。この配合割合を０．０５質量部以上とすることで、光硬化が良好になる傾向にあり、２０質量部以下とすることで、硬化工程において、感光層の活性光線照射表面での活性光線の吸収が増大することを防止し、内部の光硬化が不十分となることが防止される。
【００５４】
本実施形態のマイクロレンズアレイ用感光性樹脂組成物には、必要に応じて、シランカップリング剤などの密着性付与剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤等を含有させることができる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらの配合割合は、（ａ）及び（ｂ）成分の総量１００質量部に対して、それぞれ０．０１〜２０質量部とすることができる。
【００５５】
＜受光素子＞
受光素子４は、光信号を電気信号に変換する光電素子であって、例えばフォトダイオードが使用される。受光素子４は、レンズ３から離間して対向する位置にあり、正面側から見るとレンズ３と重なる位置に配置され、レンズ３で集光された光ファイバ５０からの光を受光する。受光素子４は、例えば不図示の支持部材を介して基板１上に実装されるが、その構成に限定されるわけではない。
【００５６】
＜光ファイバの光ファイバコネクタへの接続方法＞
光ファイバ５０をミラー付き光ファイバコネクタ３０に接続する方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスブロックで光ファイバ５０を抑えて光ファイバ挿入溝１２に押し込み、光路変換部材２０の垂直面２０ａに光ファイバ５０の端面５０ａを突き当てる。この状態で、光ファイバ挿入溝１２内に接着剤を充填する等して、光ファイバ５０を光ファイバ挿入溝１２内に固定する。
【００５７】
＜光ファイバコネクタの機能＞
光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０からの光信号は、光ファイバ５０の端面５０ａからミラー部材２２の光ファイバ接続用面２２ａを透過し、光ファイバ５０の延長線（ｙ方向）に沿ってミラー部材２２内を移動し、ミラー面２２ｂで反射される。ミラー面２２ｂで反射された光は、基板１を透過し、レンズ３で集光されて受光素子４に受光される。この受光された光信号は、受光素子によって電気信号に変換され、不図示の制御回路等に送信される。
【００５８】
光ファイバコネクタ３０においては、基板１の他方の面にレンズ３が設けられたことにより、受光素子４とコネクタ３０との距離が長かったり、受光素子４が高速応答フォトダイオード等の小型素子であったりしても、光ファイバコネクタ３０から受光素子４に光信号を送信する際の光損失が少なくなり、光伝達効率を高めることができる。
【００５９】
また、光路変換部材２０及びレンズ３それぞれを１つの基板１の一方の面と他方の面それぞれに形成することにより、光ファイバコネクタ３０の厚みを抑えて小型化することが可能になるとともに、ミラー面２２ｂとレンズ３の間の距離を短くして、それらの間における光の広がりを抑え、光伝達効率を高めることができる。
特に、本実施形態では、光ファイバガイド部材１０、光路変換部材２０、及びレンズ３が、後述するようにフォトリソグラフィーにより成形されると、例えば射出成形により成形される場合に比べて、より小型で薄厚の光ファイバコネクタ３０を形成できる。そして、上記したようにレンズ３とミラー面２２ｂとの距離も小さくすることができ、光損失を効果的に低減させることが可能になる。
さらに、光ファイバ５０の端面５０ａが光路変換部材２０の垂直面２０ａに突き当てられるため、光ファイバ５０の端面５０ａと光路変換部材２０との間に空気が介在することが防止され、光ファイバ５０と光路変換部材２０の間における光損失を抑えることができる。
【００６０】
［光ファイバコネクタの製造方法］
次に、上記のミラー付き光ファイバコネクタ３０の製造方法の一例を図４，５を用いて説明する。
＜接着層の形成工程＞
本実施形態では、まず、図４（ａ）、図５（ａ）に示すように、基板１の一方の面上に接着層２を形成する。接着層２の形成方法は特に限定されず、例えば、接着層形成用樹脂の塗布又は接着層形成用樹脂フィルムのラミネートにより形成すればよい。塗布による場合には、その方法は限定されず、接着層形成用樹脂組成物を常法により塗布すればよい。また、ラミネートに用いる接着層形成用樹脂フィルムは、例えば、接着層形成用樹脂組成物を溶媒に溶解して、キャリアフィルムに塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造することができる。
【００６１】
＜光ファイバガイド部材とミラー部材の形成＞
次いで、ガイド本体部１１とミラー部材２２を形成するために、図４（ｂ）、図５（ｂ）に示すように、接着層２の上に透明樹脂フィルム２２’を積層する。次いで、この透明樹脂フィルム２２’の光ファイバ挿入溝１２の形成予定部位を除去して光ファイバ挿入溝１２を形成することにより、図４（ｃ）、図５（ｃ）に示すように、ガイド本体部１１とミラー部材２２とを一括形成する。
【００６２】
透明樹脂フィルム２２’を積層する方法は特に限定されず、例えば、樹脂組成物の塗布又は樹脂フィルムのラミネートにより形成すればよい。塗布による場合には、その方法は限定されず、樹脂組成物を常法により塗布すればよい。また、ラミネートに用いる樹脂フィルムは、例えば、樹脂組成物を溶媒に溶解して、キャリアフィルムに塗布し、溶媒を除去することにより容易に製造することができる。
【００６３】
光ファイバ挿入溝１２の形成予定部位を除去する方法としては特に限定はなく、ウェットエッチング、ドライエッチング等のエッチング等が挙げられる。特に、本実施形態では、基板１上に感光性樹脂のフィルムを塗布又はラミネートによって形成した後、フォトマスク４１を介してパターン露光し、次いで現像液を用いて非露光部又は露光部をエッチング除去するフォトリソグラフィーが好適に用いられる。
【００６４】
＜レンズの形成＞
レンズは、上記したようにフォトリソグラフィーによって形成することが好ましい。以下、レンズ形成方法の一例として、レンズをネガ型フォトレジストにより形成する場合の例を説明するが、レンズはポジ型フォトレジストで形成しても良い。
【００６５】
まず、図４（ｂ），図５（ｂ）に示すように、基板１の他方の面上に、ネガ型フォトレジストである感光性樹脂組成物からなるレンズ形成用感光層３’を設ける。レンズ形成用感光層３’は、例えば感光性樹脂組成物の各成分を溶剤に均一に溶解または分解して得た塗布液を、基板１の他方の面に塗布して塗膜を形成し、その後、塗膜から溶剤を乾燥除去することにより形成する。
ただし、支持体フィルムに感光性樹脂組成物からなる感光層を積層して構成されるレンズ用感光性エレメントを、基板１に貼付することによりレンズ形成用感光層３’を設けてもよい。
【００６６】
次いで、図４（ｂ），図５（ｂ）に示すように、所定パターンを有するレンズ用フォトマスク４２を他方の面側に被せ、そのレンズ用フォトマスク４２を介して特定の活性光線をレンズ形成用感光層３’に照射して、レンズ形成予定箇所を硬化させる。
【００６７】
その後、所定の現像液を用いた現像によりレンズ形成予定箇所以外の未硬化部分を除去して、基板１の他方の面上に複数のレンズ３を形成する（図４（ｃ）、図５（ｃ）参照）。現像後、基板１の他方の面上に形成されたレンズ３は、さらに加熱して溶融することが好ましく、この溶融により、レンズ３の基板１に接する面とは反対側の面を、所望の曲率を有する凸面としやすくなる。
【００６８】
本実施形態においてレンズ３は、ガイド本体部１１とミラー部材２２を一括形成するのと同時に形成することが好ましい。すなわち、図４（ｂ），図５（ｂ）に示すように、基板１の両面にフォトマスク４１、４２を被せ、これらフォトマスク４１、４２を介して、基板１の両面側から同時に特定の活性光線を、透明樹脂フィルム２２’とレンズ形成用感光層３’に照射して、これらを露光させることが好ましい。 ここで、特定の活性光線としては、透明樹脂フィルム２２’、レンズ形成用感光層３’を硬化可能なものであって、紫外線を通常使用するが、基板１としてポリイミド基板を使用すると、活性光線（紫外線）は基板１を透過しなくなる。そのため、基板の各面に照射された活性光線は、基板を透過して反対側の面に照射されることはないので、適切なフォトリソグラフィー加工を行うことができる。また、同一の現像液を用いて、レンズ形成用感光層３’のレンズ形成予定箇所以外の未硬化部分と、透明樹脂フィルム２２’の硬化部分又は未硬化部分とを同時に除去することが好ましく、これにより、光ファイバコネクタの製造工程をより簡略化することができる。
【００６９】
レンズを現像する方法としては、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像を行い、未露光部を除去する方法が挙げられ、中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いることが好ましいものとして挙げられる。
【００７０】
アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等）、アルカリ金属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等）、水酸化テトラメチルアンモニウム、モノエタノールアミン、トリエタノールアミンが挙げられる。
【００７１】
レンズ３を形成するタイミングは、ガイド本体部１１及びミラー部材２２と同時でなくてもよいが、レンズ３は、後述する光路変換面形成用溝２５を形成する前に、基板１の他方の面上に形成したほうが良い。光路変換面形成用溝２５を形成した後にレンズ３をフォトリソグラフィーで形成すると、光路変換部材２０にひずみが生じる等の不具合が生じやくなる。
【００７２】
＜ミラー面の形成＞
光ファイバガイド部材１０及びミラー部材２２、好ましくはさらにレンズ３を形成した後、図４（ｄ）、図５（ｄ）に示すように、光路変換面形成用溝２５を形成し、ミラー部材２２にミラー面２２ｂを形成する。本実施形態では、光路変換面形成用溝２５の形成方法としては、特に限定されず、ダイシングソーによる切削加工、ドライ系のエッチング、及びウェット系のエッチングのいずれかの手法を用いて形成してもよく、それらを組み合わせて形成してもよいが、ダイシングソーによって光路変換面形成用溝２５を形成するほうが、容易にミラー面２２ｂを形成できる。
【００７３】
＜スリット溝の形成＞
ミラー面２２ｂの形成前又は形成後、光ファイバ接続用面２２ａ（光路変換部材２０の垂直面２０ａ）を平坦化すると共に、図４（ｄ）、図５（ｄ）に示すように、光ファイバガイド部材１０と前記光路変換部材２０との間に前記基板１にまで達するスリット溝６を形成する。光ファイバ接続用面２２ａの平坦化及びスリット溝６の形成は、好ましくはダイシングソーによって行うことができる。これにより、光ファイバ接続用面２２ａを光ファイバ端面５０ａに良好に接続させることができる。
【００７４】
［第２の実施形態］
図６〜８は、第２の実施形態に係るミラー付き光ファイバコネクタ３０を示す斜視図である。以下、第２の実施形態について第１の実施形態との相違点を中心に説明する。ここで、説明を省略した部分の構成は第１の実施形態と同様である。なお、以下の説明においては、第１の実施形態に対応する部材ついては同一の符号を付して説明する。
【００７５】
第１の実施形態において、光路変換部材はミラー部材のみから成るが、本実施形態では、光路変換部材２０は、ミラー部材２２と、ミラー部材２２の基板１側に設けられた基板側クラッド層（下部クラッド層）２１と、基板１とは反対側に設けられた反基板側クラッド層（上部クラッド層）２３とを備える。本実施形態における光路変換部材２０は、ミラー部材２２を光伝達用コアとして、そのコアを上下からクラッド層２１、２３で挟み込んで光導波路を形成する。
【００７６】
そのため、本実施形態では、垂直面２０ａと、第１傾斜面２０ｂそれぞれにおいて、基板側クラッド層２１及び反基板側クラッド層２３と、これらに挟み込まれたミラー部材２２の３層が露出している。垂直面２０ａにおいて露出したミラー部材２２は、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０の端面５０ａと接続するための光ファイバ接続用面２２ａを形成する。また、第１傾斜面２０ｂにおいてミラー部材２２は、光ファイバ５０からの光の光路を変換させるためのミラー面２２ｂを構成する。
なお、第２の実施形態の光路変換部材２０では、ミラー部材２２は、光ファイバガイド部材１０と反対側の側面（ｙ方向の後端面）まで延在しておらず、反基板側クラッド層２３がミラー部材２２の後端面に回り込んだ形状となっている。これにより、ミラー部材２２の後端面の損傷が防止される。
【００７７】
基板側クラッド層２１、ミラー部材２２及び反基板側クラッド層２３の高さ位置は、光ファイバ５０を光ファイバ挿入溝１２内に挿入配置したときに、垂直面２０ａにおいて、ミラー部材２２の光ファイバ接続用面２２ａが光ファイバ端面５０ａのコア層と接続し、基板側クラッド層２１及び反基板側クラッド層２３が光ファイバ端面５０ａのクラッド層と接続する位置となっている。これにより、光ファイバ５０のコア層とミラー部材２２との間で、光信号の授受を効率的に行うことができる。
【００７８】
また、本実施形態におけるガイド本体部１１は、接着層２に接着されたガイド用コア１３と、ガイド用コア１３上に積層された反基板側クラッド層１４とを備え、２層構造を有する。ただし、ガイド本体部１１は、２層構造に限定されず、ガイド用コア１３のみからなる１層構造であってもよいし、例えばガイド用コア１３の下側に基板側クラッド層がある３層以上の積層構造であってもよい。
【００７９】
反基板側クラッド層１４、基板側クラッド層２１及び反基板側クラッド層２３の形成用樹脂としては、使用する光信号の波長を透過する材料であり、ミラー部材２２よりも低屈折率であれば特に限定はなく、光又は熱により硬化する熱硬化性樹脂組成物や感光性樹脂組成物等の樹脂組成物が好ましく、さらにはフォトリソグラフィー加工で形成できるように感光性樹脂がより好ましい。反基板側クラッド層１４、基板側クラッド層２１及び反基板側クラッド層２３は、材料が互いに同一であっても異なっていてもよく、屈折率が同一であっても異なっていてもよい。
【００８０】
本実施形態でも、基板１の他方の面上に複数のレンズ３が設けられる。各レンズ３は、ｘ方向において光ファイバ挿入溝１２と一致する位置に配置され、かつ、図７に示すように、正面側から見るとミラー面２２ｂと重なる。したがって、ミラー面２２ｂで反射した各光ファイバ５０からの光は、基板１を透過し、レンズ３で集光されて受光素子４に効率的に受光されることなる。
【００８１】
以上のように、本実施形態でも、基板１の両面それぞれに、レンズ３と光路変換部材２０を設けたことにより、光ファイバコネクタ３０を小型化しつつも光伝達効率を高めることができる。
また、ミラー部材２２の上下にクラッド層２１、２３を設けたため、光信号が上下方向に広がることを防止され、光伝達効率はさらに高めることができる。さらに、ガイド用コア１３の下側にはクラッド層がない一方、ミラー部材（光伝達用コア）２２の下側に基板側クラッド層２１が存在するため、この基板側クラッド層２１の厚さを調節することにより、ミラー部材２２の光ファイバ接続用面２２ａを光ファイバ端面５０ａのコア層と良好に接続させることができる。
【００８２】
なお、本実施形態においては、反基板側クラッド層２３を省略してもよい。これにより、ミラー付き光ファイバコネクタ３０をより容易に製造することができる。ただし、光信号が広がることを防止するためには、反基板側クラッド層２３を設けることが好ましい。
【００８３】
［光ファイバコネクタの製造方法］
本実施形態では、まず、第１の実施形態と同様に、接着層２を形成する（図９（ａ）、１０（ａ）参照）。次いで、接着層２の上に、図９（ｂ）、図１０（ｂ）に示すように、基板側クラッド層形成用フィルム２１’を積層する。次いで、この基板側クラッド層形成用フィルム２１’のうち光ファイバガイド部材１０の形成予定部位を除去することにより、基板側クラッド層２１を形成する（図９（ｃ）、図１０（ｃ）参照）。なお、本実施形態では、基板側クラッド層形成用フィルム２１’のうち、光ファイバガイド部材１０の形成予定部分全体を除去しているが、光ファイバガイド部材１０においては、光ファイバ挿入溝１２の形成予定部位のみを除去しても良い。このような構成により、ガイド本体部１１を３層構造とすることができる。
【００８４】
その後、基板側クラッド層２１の上に、第１の実施形態と同様に透明樹脂フィルム（図９、１０では不図示）を積層し、図９（ｄ）、図１０（ｄ）に示すように、光ファイバガイド部材１０のガイド用コア１３とミラー部材２２とを一括形成する。
【００８５】
基板１上に形成された光ファイバガイド部材１０のガイド用コア１３及びミラー部材２２の上に、反基板側クラッド層形成用フィルムを積層した後、この反基板側クラッド層形成用フィルムのうち光ファイバ挿入溝形成予定部位を除去することにより、図９（ｅ）、図１０（ｅ）に示すように、ガイド用コア１３上に反基板側クラッド層１４を形成すると共に、ミラー部材２２上に反基板側クラッド層２３を形成する。これら反基板側クラッド層１４，２３の形成方法には特に限定は無いが、基板側クラッド層２１と同様の方法が用いられたほうがよく、好ましくはフォトリソグラフィーが使用される。
そして、反基板側クラッド層１４、２３を形成した後、光路変換面形成用溝２５及びスリット溝６を、第１の実施形態と同様に形成する（図９（ｆ）、図１０（ｆ）参照）。
【００８６】
レンズは、第１の実施形態と同様の方法で形成するが、本実施形態では、基板側クラッド層２１と同時に形成することが好ましい。すなわち、図９（ｂ），図１０（ｂ）に示すように、基板１の両面にフォトマスク６１、４２を被せ、これらフォトマスク６１、４２を介して、基板１の両面側から同時に特定の活性光線を、基板側クラッド層形成用フィルム２１’とレンズ形成用感光層３’に照射して、これらを露光させることが好ましい。また、同一の現像液を用いて、レンズ形成用感光層３’のレンズ形成予定箇所以外の未硬化部分と、基板側クラッド層形成用フィルム２１’の硬化部分又は未硬化部分とを同時に除去することが好ましく、これにより、光ファイバコネクタの製造工程をより簡略化することができる。
【００８７】
なお、本実施形態において、レンズ３は、基板側クラッド層２１と同時に形成する代わりに、第１の実施形態と同様にガイド用コア１３及びミラー部材２２と同時に、あるいは反基板側クラッド層１４、２３と同時に形成してもよい。レンズ３を、ガイド用コア１３及びミラー部材２２、基板側クラッド層２１、または反基板側クラッド層１４、２３のいずれかと同時に形成することにより、光ファイバコネクタの製造工程を簡略化することができる。もちろん、本実施形態でも、レンズ３を形成するタイミングは、これらに限定されるわけではないが、光路変換面形成用溝２５を形成する前であったほうがよい。
【００８８】
［第３の実施形態］
図１１〜１３は、第３の実施形態に係るミラー付き光ファイバコネクタ３０を示す図である。第２の実施形態のミラー部材（光伝達用コア）は、平板状の部材であったが、第３の実施形態において、ミラー部材（光伝達用コア）は、細長に形成される。以下、第３の実施形態について第２の実施形態との相違点を中心に説明する。なお、説明を省略した部分の構成は第２の実施形態と同様である。
【００８９】
本実施形態における光ファイバコネクタ３０は、基板１の上に、基板側クラッド層２１が直接積層される。そして、その基板側クラッド層２１の上には、光ファイバガイド部材１０を構成するためのガイド用コア１３と、光路変換部材２０を構成するためのミラー部材（光伝達用コア）２２とが並設される。複数のガイド用コア１３、及び複数の光伝達用コア２２は、所定のパターン形状に配設され、それぞれガイド用コアパターン、光伝達用コアパターンを形成する。
【００９０】
複数のガイド用コア１３は、第１、第２の実施形態と同様に、ｘ方向において等間隔に並べられ、一対のガイド用コア１３間に光ファイバ挿入溝１２を形成し、光ファイバ５０を保持するためのガイド本体部１１を構成する。なお、本実施形態では、図１１〜１３に示すように、ガイド用コア１３の少なくとも一部の上には、反基板側クラッド層１４が積層される。反基板側クラッド層１４は、本実施形態では、ｘ方向における両側に設けられたガイド用コア１３の上の一部に積層されるとともに、一部がガイド用コア１３の外側面を覆うように回り込んだ形状となっている。ただし、反基板側クラッド層１４の構成は、特に限定されず、光ファイバ挿入溝１２の溝内部に入り込んだ形状となり、またはガイド用コア１３の上に積層され、光ファイバ５０を両側から保持するためのガイド本体部を構成してもよい。また、基板側クラッド層もガイド本体部の一部を構成してもよい。
【００９１】
複数の光伝達用コア２２は、光ファイバ挿入溝１２と同数設けられており、それぞれｘ方向において光ファイバ挿入溝１２と一致する位置に配置される。すなわち、光伝達用コア２２は、光ファイバ挿入溝１２に挿入される光ファイバ５０の延長線上に配置される。また、光伝達用コア２２それぞれは、基板１と平行であり、ｙ方向に延在する。複数の光伝達用コア２２が配設された基板側クラッド層２１の上には、基板側クラッド層２１との間に、複数の光伝達用コア２２を埋設するように反基板側クラッド層２３が積層される。これにより光路変換部材２０は、各光伝達用コア２２とその外周を取り囲むクラッド層２１、２３により光導波路を形成する。
【００９２】
光路変換部材２０には、第２の実施形態と同様に、光路変換面形成用溝２５が刻設され、第１及び第２傾斜面２０ｂ、２０ｃが形成される。ただし、光路変換面形成用溝２５は、光伝達用コア２２が設けられる位置のみに形成されてもよい。また、光路変換部材２０の光ファイバガイド部材１０側の側面は、基板１と直交する垂直面２０ａである。
本実施形態では、垂直面２０ａと、第１及び第２傾斜面２０ｂ、２０ｃそれぞれにおいて、図１１、１２から明らかなように、基板側クラッド層２１及び反基板側クラッド層２３と、これらに外周が取り囲まれた光伝達用コア２２が露出する。垂直面２０ａにおいて露出した光伝達用コア２２それぞれは、光ファイバ挿入溝１２に挿入された光ファイバ５０の端面５０ａと接続するための光ファイバ接続用面２２ａとなる。また、第１傾斜面２０ｂにおける光伝達用コア（ミラー部材）２２は、光ファイバ５０からの光の光路を変換させるためのミラー面２２ｂとなる。
【００９３】
各光ファイバ接続用面２２ａは、垂直面２０ａにおいて、光ファイバ挿入溝１２とｘ方向において同一位置に配置される。光ファイバ挿入溝１２に挿入される光ファイバ５０のコア層の端面は、各光ファイバ接続用面２２ａに接続し、これにより、光ファイバ５０のコア層と光伝達用コア２２（ミラー部材）との間で、光信号の授受を行うことができる。
【００９４】
基板１の他方の面（図１１、１３では下面）には、光伝達用コア２２と同数のレンズ３が設けられる。本実施形態でも、レンズ３は、図１２に示すように、各光伝達用コア２２により形成される各ミラー面２２ｂとともに基板１を挟み込む位置に配置され、ミラー面２２ｂで変換される光ファイバ５０からの光の光路上に位置する。したがって、各ミラー面２２ｂで反射した各光ファイバ５０からの光は、基板１を透過し、レンズ３で集光されて受光素子４に受光されることなる。
【００９５】
以上のように、本実施形態でも、基板１に光路変換部材２０とレンズ３が設けられたことにより、光ファイバ５０から出射した光は、高い光伝達効率で受光素子４に受光されるとともに、光ファイバコネクタ３０の小型化を図ることができる。
また、本実施形態では、光ファイバコネクタ３０は、第２の実施形態と同様に製造されるが、ガイド用コアパターン、光伝達用コアパターンが一括形成されると、光伝達用コア２２と、ガイド本体部１１間に挿入される光ファイバ５０の位置合わせが容易になる。
【００９６】
［変形例］
なお、第３の実施形態では、接着層が省略され、基板１の上に基板側クラッド層２１が直接積層されたが、基板１の上に第１の実施形態と同様の接着層が設けられ、その接着層の上に基板側クラッド層２１が積層されてもよい。一方、第１及び第２の実施形態では、接着層を省略してもよい。ただし、第１の実施形態のように、基板側クラッド層が設けられない場合には、基板１にミラー部材を直接接着するとその接着力が低下しやすいので、接着層を設けたほうが良い。
【００９７】
＜蓋＞
上記各実施形態において、ミラー付き光ファイバコネクタ３０は、図１４、１５に示すように蓋６０を備えていてもよい。
蓋６０の材料は特に限定されるものではないが、上記の基板１の材料で列挙したものと同一材料よりなるものであり、蓋６０は、その一方の面に接着層２と同様の材料で構成された接着層６２を備える。蓋６０は、接着層６２により光ファイバガイド部材１０及び光路変換部材２０の上面に接着される。
【００９８】
蓋６０は、光ファイバガイド部材１０において、光ファイバ挿入溝１２を跨ぐようにして設けられている。これにより、光ファイバ５０を光ファイバ挿入溝１２内部に配置したときに、光ファイバ５０が光ファイバ挿入溝１２の上方から抜けてしまうことが防止される。また、蓋６０は、光路変換部材２０の上面も覆っているため、ミラー補強板として機能し、光路変換部材２０を補強する。なお、蓋６０は、光路変換面形成用溝２５を跨ぐようにして設けられているため、基板１がこの光路変換面形成用溝２５の部分で折れることが防止される。
【００９９】
蓋６０が設けられる場合には、例えば、蓋６０によって溝上部が覆われた光ファイバ溝１２に光ファイバを挿入することにより、光ファイバを光ファイバ挿入溝１２内部に配置させる。なお、蓋６０は、光ファイバガイド部材１０のみを覆うように設けてもよく、光路変換部材２０のみを覆うように設けてもよい。
【０１００】
なお、以上の説明では、第１の実施形態において蓋６０が設けられる構成を説明したが、第２及び第３の実施形態でも、光ファイバガイド部材１０及び光路変換部材２０の両方又はいずれか一方を覆う同様の蓋を設けてもよい。
【０１０１】
＜保護材＞
上記各実施形態の光ファイバコネクタ３０においては、図１６、１７に示すように、基板１の他方の面上に、レンズ３と並設してレジスト４５を設けてもよい。レジスト４５はレンズ３を保護し、レンズ３が損傷することを防止する保護材である。レジスト４５は、複数設けられ、図１６、１７に示すように、ｘ方向、ｙ方向それぞれにおいて各レンズ３を一対のレジスト４５、４５で挟み込むように配置される。すなわち、レンズ３とレジスト４５が、ｘ方向に沿って交互に並べられ、そのｘ方向に沿って並べられたレンズ３とレジスト４５の列においては、両側がレジスト４５、４５となる。また、このレンズ３とレジスト４５の列の両側それぞれには、レンズ３と同数（４個）のレジスト４５が、ｘ方向に沿って一列に並べられる。ただし、レジスト４５は、レンズ３を一対のレジスト４５、４５で挟み込むように配置すればよく、複数のレジスト４５のうち一部は省略してもよい。
【０１０２】
各レジスト４５は、レンズ３の厚さ以上の厚さを有しており、好ましくはレンズ３の厚さより厚く、これにより、レンズ３を適切に保護することができるようになる。
レジスト４５は、レンズ３の厚さよりも厚くしやすくするために、レンズ３を形成した後に基板１の他方の面（図１７では下面）上に形成することが好ましい。具体的には、レンズ３が設けられた他方の面上に、レンズ３を覆うように樹脂層を積層し、その後、レジストの形成予定箇所以外の樹脂層を除去することにより各レジスト４５を形成する。そのため、レジスト４５の材料としては、感光性樹脂や熱硬化性樹脂が使用可能であるが、感光性樹脂が使用され、フォトリソグラフィーにより形成されることが好ましい。レンズ３及びレジスト４５がともにフォトリソグラフィーにより形成されることにより、レジスト４５とレンズ３との位置合わせの精度を高めることができる。
【０１０３】
なお、ｘ方向に沿って一列に並べられた複数のレジスト４５は一体的にされて、図１８に示すように、ｘ方向に延在する細長レジスト４６とされてもよい。図１８の例では、細長レジスト４６は２つ設けられ、複数のレンズ３により形成されるレンズアレイは、これら２つの細長レジスト４６、４６によりｙ方向において両側から挟みこまれることになる。
さらには、図１９に示すように、複数のレンズ３のアレイを囲繞するロの字状のレジスト１４６を設けてもよい。もちろん、ロの字のレジストは複数設けられ、各レジストそれぞれが１つのレンズ３を囲繞するものであってもよい。
【０１０４】
また、レンズ３を保護するための保護材としては、レジストの代わりに、図２０に示すようなダミーレンズ４７を使用してもよい。ダミーレンズ４７は、レンズ形成用感光層３’（図４、５参照）から、例えばフォトリソグラフィーによりレンズ３と一括形成されるものである。これにより、保護材を形成するための特別な工程を追加する必要がなくなるとともに、レンズ３とダミーレンズ４７の位置合わせの精度も高めることができる。ダミーレンズ４７の形成位置は、レジスト４５の形成位置と同様であるので、その説明は省略する。
【０１０５】
ダミーレンズ４７の厚さは、レンズ３の厚み以上であればよいが、レンズ３の厚さよりも大きいことが好ましい。ダミーレンズ４７の厚さをレンズ３の厚さより大きくする方法としては、例えば、ダミーレンズ４７の形成予定箇所に対する活性光線の照射量を、レンズ３の形成予定箇所に対する活性光線の照射量より大きくして、ダミーレンズ４７の形成予定箇所の硬化度合いを、レンズ３の形成予定箇所の硬化度合いよりも大きくすること等が挙げられる。なお、ダミーレンズ４７は、レンズ３と同様にレンズ表面が凸状に膨らむものであるが、その構成に限定されるわけではない。
【０１０６】
なお、図２１に示すように、基板１が電気配線４８を有する電気配線板である場合には、レジスト４５は、電気配線４８の少なくとも一部の上に積層され、電気配線４８を保護する保護レジストとして使用されることが好ましい。なお、電気配線４８は、表面の一部に金メッキ等の金属保護膜が被覆されるとともに、その他の表面の上にレジスト４５が積層されるのが好ましい。このような構成により、電気配線４８を保護するためのめっき量を抑えることができる。ダミーレンズ４７、細長レジスト４６も、同様に電気配線４８の上に積層され、電気配線４８を保護するための部材として使用してもよい。
なお、図１６〜図２１では、レジストやダミーレンズが、第１の実施形態の光ファイバコネクタに設けられる構成を示したが、第２及び第３の実施形態の光ファイバコネクタに設けられてもよい。
【実施例】
【０１０７】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されない。
【０１０８】
実施例１
［接着層形成用樹脂フィルムの作製］
＜（Ａ）ベースポリマー；（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）の作製＞
撹拌機、冷却管、ガス導入管、滴下ろうと、及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部及び乳酸メチル２３質量部を秤量し、窒素ガスを導入しながら撹拌を行った。液温を６５℃に上昇させ、メチルメタクリレート４７質量部、ブチルアクリレート３３質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１６質量部、メタクリル酸１４質量部、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４６質量部及び乳酸メチル２３質量部の混合物を３時間かけて滴下後、６５℃で３時間撹拌し、さらに９５℃で１時間撹拌を続けて、（メタ）アクリルポリマー（Ａ−１）の溶液（固形分４５質量％）を得た。
【０１０９】
＜接着層形成用樹脂ワニスの調合＞
（Ａ）ベースポリマーとして、前記Ａ−１の溶液８４質量部（固形分３８質量部）、（Ｂ）光硬化成分として、ポリエステル骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（商品名：Ｕ−２００ＡＸ、新中村化学工業株式会社製）３３質量部及びポリプロピレングリコール骨格を有するウレタン（メタ）アクリレート（商品名：ＵＡ−４２００、新中村化学工業株式会社製）１５質量部、（Ｃ）熱硬化成分として、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型三量体をメチルエチルケトンオキシムで保護した多官能ブロックイソシアネート溶液（固形分７５質量％）（商品名：スミジュールＢＬ３１７５、住化バイエルウレタン株式会社製）２０質量部（固形分１５質量部）、（Ｄ）光重合開始剤として、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名：イルガキュア２９５９、チバ・ジャパン株式会社製）１質量部、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド（商品名：イルガキュア８１９、チバ・ジャパン株式会社製）１質量部及び希釈用有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３質量部を攪拌しながら混合した。孔径２μｍのポリフロンフィルタ（機種名：ＰＦ０２０、アドバンテック東洋株式会社製）を用いて加圧濾過後、減圧脱泡し、接着層形成用樹脂ワニスを得た。
【０１１０】
上記で得られた接着層形成用樹脂ワニスを、支持体フィルムとしてのＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャインＡ４１００、東洋紡績株式会社製、厚み５０μｍ）の非処理面上に、塗工機（機種名：マルチコーターＴＭ−ＭＣ、株式会社ヒラノテクシー製）を用いて塗布し、１００℃で２０分乾燥後、保護フィルムとして表面離型処理ＰＥＴフィルム（商品名：ピューレックスＡ３１、帝人デュポンフィルム株式会社製、厚み２５μｍ）を貼付け、接着層形成用樹脂フィルムを得た。このとき接着層２の厚みは、硬化後の膜厚で１０μｍとなるように調整した。
【０１１１】
＜感光性の透明樹脂フィルムの作製＞
（Ａ）ベースポリマーとして、フェノキシ樹脂（商品名：フェノトートＹＰ−７０、東都化成株式会社製）２６質量部、（Ｂ）光重合性化合物として、９，９−ビス［４−（２−アクリロイルオキシエトキシ）フェニル］フルオレン（商品名：Ａ−ＢＰＥＦ、新中村化学工業株式会社製）３６質量部及びビスフェノールＡ型エポキシアクリレート（商品名：ＥＡ−１０２０、新中村化学工業株式会社製）３６質量部、（Ｃ）光重合開始剤として、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルフォスフィンオキサイド（商品名：イルガキュア８１９、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）１質量部及び１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン（商品名：イルガキュア２９５９、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）１質量部、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４０質量部を用いたこと以外は、上記の接着層形成用樹脂ワニスの製造例と同様の方法及び条件で感光性の透明樹脂ワニスを調合した。その後、上記の接着層形成用樹脂ワニスの製造例と同様の方法及び条件で加圧濾過し、さらに減圧脱泡した。
【０１１２】
上記で得られた感光性の透明樹脂ワニスを、支持体フィルムとしてのＰＥＴフィルム（商品名：コスモシャインＡ１５１７、東洋紡績株式会社製、厚さ：１６μｍ）の非処理面上に、上記製造例と同様な方法で塗布乾燥し、次いで保護フィルムとして離型ＰＥＴフィルム（商品名：ピューレックスＡ３１、帝人デュポンフィルム株式会社、厚さ：２５μｍ）を離型面が樹脂側になるように貼り付け、支持体フィルム、保護フィルム付きの感光性の透明樹脂フィルム（透明樹脂フィルムの厚み１３０μｍ）を作製した。
【０１１３】
＜レンズ用感光性エレメントの作製＞
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１９０質量部を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃に保ちながら、メタクリル酸１０質量部、メタクリル酸ｎ−ブチル１質量部、メタクリル酸ベンジル７４質量部、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル１５質量部、及び２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）２．５質量部を４時間かけて均一に滴下した。滴下終了後、８０℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が約３０，０００のバインダポリマー（ａ）の溶液（固形分３５質量％）を得た。
次に、バインダポリマー（ａ）の溶液（固形分３５質量％）２００質量部（固形分：７０質量部）に、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン８質量部、β−ヒドロキシエチル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート２２質量部、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体２．１質量部、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン０．３３質量部、メルカプトベンゾイミダゾール０．２５質量部、（３‐メタクリロイルプロピル）トリメトキシシラン８質量部、メチルエチルケトン３０質量部を加えて攪拌機を用いて１５分間混合し、レンズ用感光性樹脂組成物溶液を作製した。
【０１１４】
支持体フィルムとして厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、上記で得られたマイクロレンズアレイ用感光性樹脂組成物溶液を支持体フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で３分間乾燥して溶剤を除去し、レンズ形成用感光層３’を形成した。得られたレンズ形成用感光層３’の厚さは３０μｍであった。次いで、得られたレンズ形成用感光層３’の上に、さらに、２５μｍの厚さのポリエチレンテレフタレートフィルムを、カバーフィルムとして貼り合わせて、レンズ用感光性エレメントを作製した。
【０１１５】
（接着層の形成）
接着層形成用樹脂フィルムを大きさ１００×１００ｍｍに裁断し、保護フィルムである離型ＰＥＴフィルム（ピューレックスＡ３１）を剥離し、基板１を構成するポリイミドフィルム（商品名：ユーピレックスＶＴ、宇部日東化成株式会社製、厚み；２５μｍ）の一方の面に、平板型ラミネータとして真空加圧式ラミネータ（株式会社名機製作所製、ＭＶＬＰ−５００）を用い、５００Ｐａ以下に真空引きした後、圧力０．４ＭＰａ、温度１００℃、加圧時間３０秒の条件にて加熱圧着した。次いで、紫外線露光機（機種名：ＥＸＭ−１１７２、株式会社オーク製作所製）にて支持フィルム側から紫外線（波長３６５ｎｍ）を４Ｊ／ｃｍ2照射し、支持フィルムを剥離して、１７０℃で１時間加熱処理することにより、基板１の上に厚さ１０μｍの接着層２を形成した（図４（ａ）、図５（ａ）参照）。
【０１１６】
（ミラー部材、ガイド本体部及びレンズの作製）
次に、上記の接着層２の上にロールラミネータ（機種名：ＨＬＭ−１５００、日立化成テクノプラント株式会社製）を用い圧力０．５ＭＰａ、温度５０℃、ラミネート速度０．２ｍ／ｍｉｎの条件で、保護フィルムを剥離した支持体フィルム付きの感光性の透明樹脂フィルム２２’をラミネートした（図４（ｂ）、図５（ｂ）参照、支持体フィルムは不図示）。
また、基板１の他方の面に、レンズ用感光性エレメントのカバーフィルムを剥がしながら、レンズ形成用感光層３’が接するようにラミネータ（日立化成工業（株）製、商品名「ＨＬＭ−１５００型」）を用いて、ロール温度１２０℃、基板送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０5Ｐａの条件でラミネートして、基板１の他方の面上に、支持体フィルム付きのレンズ形成用感光層３’を積層した（図４（ｂ）、図５（ｂ）参照、支持体フィルムは不図示）。
【０１１７】
次いで、レンズ形成用感光層３’から支持体フィルムをはく離した後、基板１の他方の面側に、開口幅＝１００μｍの開口部を有するレンズ用フォトマスク４２を配置した。また、基板１の一方の面側に、光ファイバガイド用のパターン（溝幅；１３０μｍ、溝ピッチ；２５０μｍ×４本、溝間のファイバガイドコアパターン幅；１２０μｍ）のネガ型フォトマスク４１を配置した。
【０１１８】
その後、紫外線露光機（機種名：ＥＸＭ−１１７２、株式会社オーク製作所製）により紫外線をフォトマスク４１を介して基板１の一方の面に照射するとともに、平行光線露光機（オーク製作所（株）製、ＥＸＭ１２０１）により紫外線をフォトマスク４２を介して基板１の他方の面に照射して、基板１の両面を露光した。その後、透明樹脂フィルム２２’から支持体フィルムを剥離した。次いで、現像液１．０質量％の炭酸カリウム水溶液を用いてエッチングして、基板１の一方の面にガイド本体部１１とミラー部材２２を形成するとともに、基板１の他方の面にレンズ３を形成した。次いで、レンズ３はさらに加熱して溶融して、凸面を有するレンズ３を得た。なお、隣接する２つのガイド本体部１１それぞれの間には、１３０μｍ幅の光ファイバ挿入溝１２が形成されていた（図４（ｃ）、図５（ｃ）参照）。
【０１１９】
（光路変換面形成用溝の形成）
得られたミラー部材２２に対して、ダイシングソー（ＤＡＣ５５２、株式会社ディスコ社製）を用いて、２つの傾斜面２０ｂ、２０ｃが４５°で傾く光路変換面形成用溝２５を形成するとともに、４０μｍ幅のスリット溝６を形成した（図４（ｄ）、図５（ｄ）参照）。その後、接着層６２を有する蓋６０を貼り付け、さらに所定の外形加工をして蓋６０を有する光ファイバコネクタ３０を得た（図１４、１５参照）。
以上のようにして得られた光ファイバコネクタ３０の光ファイバ挿入溝１２に、ミラー部材２２の光ファイバ接続用面２２ａに突き当てるように、１２５μｍピッチ、４チャンネルの光ファイバ５０（コア径；５０μｍ、クラッド径；１２５μｍ）を挿入した。また、各レンズ３に対向するように４つのフォトダイオードを受光素子４として配置した。
各光ファイバ５０から出射したファイバ光は、光路変換部材で変換され、レンズ３で集光されて、フォトダイオードに高効率で入射させることができた。
【符号の説明】
【０１２０】
１  基板
２  接着層
３  レンズ
１０  光ファイバガイド部材
１１  ガイド本体部
１２  光ファイバ挿入溝（光ファイバ挿入部）
１３  ガイド用コア
２０  光路変換部材
２１  基板側クラッド層（下部クラッド層）
２２  ミラー部材（光伝達用コア）
２３  反基板側クラッド層（上部クラッド層）
２２ａ  光ファイバ接続用面
２２ｂ  ミラー面
４５  レジスト
４７  ダミーレンズ
５０  光ファイバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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