【手続補正書】
【提出日】平成28年5月26日(2016.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の荷電粒子小ビーム（７）を使用してターゲット（１３）を露光するための荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム（１）であって、
前記荷電粒子小ビームを発生するための小ビームジェネレータ（２）と、
変調された小ビームを形成するために前記小ビームをパターニングするための小ビームモジュレータ（８）と、
前記変調された小ビームを前記ターゲットの表面上に投影するための小ビームプロジェクタ（１２）とを具備し、
前記小ビームジェネレータと、前記小ビームモジュレータと、前記小ビームプロジェクタとの少なくとも１つは、１以上のプレートを有し、前記プレートには、前記小ビームを前記プレートを通過させるための複数のアパーチャが設けられ、前記アパーチャは、前記小ビームの通過するアパーチャを含まない複数の非ビーム領域（９２）とは異なる別個の複数のビーム領域（９１）を前記１以上のプレートの前記表面に形成するようにグループで配置され、
リソグラフィシステムの前記アパーチャを備えた前記プレートの少なくとも１つには、１以上の非ビーム領域でその表面に配置された冷却装置（９３）が設けられ、前記冷却装置は、冷却液を入れるための入口（３１）と、その中に冷却液の流れを向けるために配置された複数の冷却チャンネル（９４）と、冷却液を取り除くための出口（３５）とが設けられたプレート状部材を有し、前記プレート状部材には、前記冷却チャンネルの間に複数のスロット（３４）が設けられ、前記スロットは、前記アパーチャのプレートの表面の前記ビーム領域と実質的にアライメントされ、
前記入口と前記複数の冷却チャンネルとは、単一の分配チャンネルによって互いに接続され、前記単一の分配チャンネルは、冷却液を拡散するための拡散セクション（４１）と、前記複数の冷却チャンネル（９４）に前記冷却液を分かれさせるための分割セクション（４２）とを有するシステム。
【請求項２】
前記拡散セクションは、前記入口（３１）に面する側の第１の横断面積と、前記複数の冷却チャンネルに面する第２の横断面積とを有し、
前記第１の横断面積と前記第２の横断面積とは、等しく、
前記第１の横断面積の高さは、前記第２の横断面積の高さよりも大きく、これら高さは、冷却チャンネルが通って延びているプレート状部材の平面部分に垂直な方向の高さである請求項１のシステム。
【請求項３】
前記プレート状部材は、前記アパーチャが設けられた前記プレートに接続するための接触面（Ｐ）に広がる平らな表面（３７）を有し、前記冷却チャンネル（９４）は、前記接触面（Ｐ）とほぼ平行なフロー方向（Ｆ）を規定するために互いにほぼ平行に配置されている請求項１又は２のシステム。
【請求項４】
前記冷却装置の前記プレート状部材は、接着層（９７）によって、前記アパーチャが設けられた前記少なくとも１つのプレートに接続されている請求項１ないし３のいずれか１のシステム。
【請求項５】
前記接着層（９７）は、１００ｋＷ／ｍ２・Ｋよりも大きい全体の熱伝導係数を有する請求項４のシステム。
【請求項６】
前記接着層（９７）は、１５０ｋＷ／ｍ２・Ｋよりも大きい全体の熱伝導係数を有する請求項４のシステム。
【請求項７】
前記複数の冷却チャンネルを通る冷却液の乱流を生成するために、十分に高いフロー速度で前記冷却装置の前記入口に冷却液を供給するように配置された冷却液システム（２５）をさらに具備する請求項１ないし６のいずれか１のシステム。
【請求項８】
前記小ビームモジュレータは、小ビームブランカアレイ（９）と小ビーム停止アレイ（１０）とを有し、前記冷却装置の前記プレート状部材は、前記小ビームブランカアレイの表面に配置されている請求項１ないし７のいずれか１のシステム。
【請求項９】
前記複数の冷却チャンネルを通る冷却液の層流を生成するために、十分に低いフロー速度で前記冷却装置の前記入口に冷却液を供給するための冷却液システム（２５）をさらに具備し、前記小ビームモジュレータは、小ビームブランカアレイ（９）と小ビーム停止アレイ（１０）とを有し、前記冷却装置の前記プレート状部材は、前記小ビーム停止アレイの表面に配置されている請求項１ないし６のいずれか１のシステム。
【請求項１０】
前記冷却装置の前記プレート状部材は、前記小ビームプロジェクタのアパーチャのプレートの表面に配置されている請求項９のシステム。
【請求項１１】
前記冷却液は水である請求項１ないし１０のいずれか１のシステム。
【請求項１２】
前記冷却装置の前記プレート状部材は、チタンでできている請求項１ないし１１のいずれか１のシステム。
【請求項１３】
マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィシステムで使用される、複数のアパーチャが設けられたプレートの上面で使用するための冷却部材の製造方法であって、前記アパーチャは、前記プレートの表面に複数のビーム領域（９１）を形成するためにグループで配置され、この方法は、
プレート状部材を設けることを具備し、前記プレート状部材の表面側（３７）には、レイアウトに従って切り欠き容積部が設けられ、
前記プレート状部材に複数のスロット（３４）を設けることを具備し、前記スロットは、前記アパーチャのプレートの表面に前記ビーム領域とアライメントされるように配置され、
前記プレート状部材内に複数の冷却チャンネル（９４）を形成するように前記切り欠き容積部を覆うことを具備し、前記スロット（３４）は、前記冷却チャンネル（９４）間に配置され、前記複数の冷却チャンネルは、前記プレート状部材の一方の側の入口を前記プレート状部材の他方の側の出口に接続している方法。
【請求項１４】
覆うことは、レーザ溶接によって前記プレート状部材に１以上のカバープレートを接続することを含む請求項１３の方法。
【請求項１５】
前記プレート状部材は、チタンでできている請求項１３又は１４の方法。
【請求項１６】
覆うことは、冷却される前記アパーチャのプレートを前記プレート状部材に取り付けることを含む請求項１３の方法。
【請求項１７】
マルチ小ビーム荷電粒子リソグラフィシステムで使用される、複数のアパーチャが設けられたプレートの上面で使用するための冷却部材の製造方法であって、前記アパーチャは、前記プレートの表面に複数のビーム領域（９１）を形成するためにグループで配置され、この方法は、
第１のプレート状部材を設けることを具備し、前記第１のプレート状部材の表面側には、第１のレイアウトに従って第１の切り欠き容積部が設けられ、
第２のプレート状部材を設けることを具備し、前記第２のプレート状部材の表面側には、第２のレイアウトに従って第２の切り欠き容積部が設けられ、
前記第１のプレート状部材及び前記第２のプレート状部材に複数のスロット（３４）を設けることを具備し、前記スロットは、前記アパーチャのプレートの表面の前記ビーム領域とアライメントされるように配置され、
前記第１の切り欠き容積部及び前記第２の切り欠き容積部が組み立てられた部材内に複数の冷却チャンネルを形成するように、前記第１のプレート状部材及び前記第２のプレート状部材の表面を互いに接続することを具備し、前記スロット（３４）は、前記冷却チャンネル（９４）間に配置され、前記複数の冷却チャンネルは、前記組み立てられた部材の一方の側の入口を前記組み立てられた部材の他方の側の出口に接続し、
前記接続することは、前記第１のプレート状部材の表面と前記第２のプレート状部材の表面との間に接着層を設けることによって行われる方法。