【手続補正書】
【提出日】平成28年5月23日(2016.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料のマンドレル（２０）を設けるステップと、
マスクを前記マンドレル上にカラム（２１）のパターンで付着するステップと、
前記カラム周りの空間を電気めっき（２２）するステップと、
前記マスクを取り外して、前記マスクカラムがあった所にエアロゾル形成開口を有する、電気めっき材料のウェーハを設けるステップと、
前記ウェーハを前記マンドレルから取り外すステップとを含み、
前記マスキングおよびめっきステップに続いて、ウェーハ厚さを増加させるための、マスキング（２５）およびめっき（２６）の少なくとも１つの後続のサイクルが行われ、
前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、前記ウェーハを前記マンドレルから取り外すための基準、および／または開口板の動作の所望の振動数に対する基準、および／またはエアロゾル化駆動装置の物理的制約に対する基準に従って所望されるレベルまで、ウェーハ（３０）厚さ全体を増加させ、
マスク取外し後、前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、少なくともいくつかが複数のエアロゾル形成開口（３３）の上にある空間（３２）と、前記エアロゾル形成開口（３３）のいくつかを塞ぐめっき材料（３１）とを設け、
前記上にある空間（３２）を設けることと前記塞ぐことが、前記開口板を通る所望の流量に従って実行される、エアロゾル形成開口板ウェーハ（３０）を製造する方法。
【請求項２】
前記カラム（２１）が５μｍ〜４０μｍ、好ましくは１５μｍ〜２５μｍの深さを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記カラム（２１）がマンドレルの平面において、１μｍ〜１０μｍ、好ましくは２μｍ〜６μｍの幅寸法を有する、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記めっき材料（２２）と特定のサイクルの前記マスク材料（２１）とが実質的に全く重ならない、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、ウェーハ厚さ全体を４５〜９０μｍ、好ましくは５０μｍ超まで増加させる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記開口板の所望の機械的特性のために後続のサイクルまたは後続の各サイクルにおける閉塞の程度を達成するように、前記マスキングが行われる、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
エアロゾル形成孔（５１）が漏斗状に先細になるように、第１のマスキングおよびめっきが実行される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
上にある空間（５５）が漏斗状に先細になるように、後続のマスキングおよびめっきが実行される、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
めっき金属がＮｉおよび／またはＰｄを含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記Ｎｉおよび／またはＰｄが、耐食性のために選択された濃度で表面に存在する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
Ｐｄの割合が８５％ｗ／ｗ〜９３％ｗ／ｗ、好ましくは約８９％であり、実質的に残部がＮｉである、請求項９または１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記めっき材料が、抗菌性のために選択された濃度でＡｇおよび／またはＣｕを表面に含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記ウェーハをさらに加工して、エアロゾル形成デバイスに嵌め込む準備のできた開口板（４０）を設けるさらなるステップを含む、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記ウェーハが非平面状の開口板（４０）に形成される、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記ウェーハが、所望のエアロゾル化噴射角度に従って選択された構成を有する形状に形成される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記ウェーハが、作動するドーム状部分と、駆動装置に係合するフランジとを有する形状に形成される、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記ウェーハが形成前に焼きなましされる、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
エアロゾル形成開口（３３）を有するめっき金属の下部層（３１）と、空間（３２）を有するめっき金属（３１）の少なくとも１つの上部層とを備え、前記空間が複数のエアロゾル形成開口（３３）の上にあり、前記上部層が前記下部層の前記開口（３３）のいくつかを塞ぐ、開口板ウェーハ（３０）。
【請求項１９】
すべての層の金属が同一である、請求項１８に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２０】
前記めっき金属がＮｉおよび／またはＰｄを含む、請求項１８または１９に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２１】
前記Ｎｉおよび／またはＰｄが、耐食性のために選択された濃度で表面に存在する、請求項２０に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２２】
Ｐｄの割合が８５％ｗ／ｗ〜９３％ｗ／ｗ、好ましくは約８９％であり、実質的に残部がＮｉである、請求項２１に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２３】
前記めっき金属が、抗菌性のために選択された濃度でＡｇおよび／またはＣｕを表面に含む、請求項１８〜２２のいずれか一項に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２４】
前記開口が、１μｍ〜１０μｍ、好ましくは２μｍ〜６μｍの幅寸法を有する、請求項１８〜２３のいずれか一項に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２５】
前記ウェーハの厚さが、４５μｍ〜９０μｍである、請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の開口板ウェーハ。
【請求項２６】
請求項１８〜２５のいずれか一項に記載のウェーハを備えた開口板。
【請求項２７】
請求項２６に記載の開口板と、前記板に係合して、エアロゾルを形成するための所望の振動数で前記板を振動させる駆動装置とを備えた、エアロゾル形成デバイス。
【請求項２８】
請求項２６に記載の開口板と、受動開口板の使用のための開口板の支持部と、前記開口板を通る液体の波動を生じさせるように構成されたホーンとを備えた、エアロゾル形成デバイス。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
本発明は、説明した実施形態に限定されるものではなく、構成および詳細を変更することができる。例えば、ウェーハをマンドレルから取り外すことができる場合に、第１の段階で達成される必要なウェーハ深さのため、または使用可能な改良されたウェーハ取外し技術のため、マスキングおよびめっきの第２のサイクルが必要でなくてもよいことが想定される。加えて、第３の層を付着して、開口板にさらなる機械的剛性を与えてもよい。また、前記実施形態においては、層が同一の金属からなる。しかしながら、層が異なっていてもよく、実際には、それぞれの孔形成層内の金属が、異なる金属のサブ層を含んでいてもよいことが想定される。例えば、より高い耐食性および／またはある親水性もしくは疎水性のために、一方または両方の表面の組成が異なっていてもよい。また、上部の１〜５μｍまたは１〜３μｍの表面層について、さらなるめっきステップがあってもよい。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
［形態１］
導電性材料のマンドレル（２０）を設けるステップと、
マスクを前記マンドレル上にカラム（２１）のパターンで付着するステップと、
前記カラム周りの空間を電気めっき（２２）するステップと、
前記マスクを取り外して、前記マスクカラムがあった所にエアロゾル形成孔を有する、電気めっき材料のウェーハを設けるステップとを含み、
前記マスキングおよびめっきステップに続いて、ウェーハ厚さを増加させるための、マスキング（２５）およびめっき（２６）の少なくとも１つの後続のサイクルが行われ、
前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、前記ウェーハを前記マンドレルから取り外すための基準、および／または開口板の動作の所望の振動数に対する基準、および／またはエアロゾル化駆動装置の物理的制約に対する基準に従って所望されるレベルまで、ウェーハ（３０）厚さ全体を増加させ、
マスク取外し後、前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、少なくともいくつかが複数のエアロゾル形成開口（３）の上にある空間（３２）と、前記エアロゾル形成開口（３３）のいくつかを塞ぐめっき材料（３１）とを設け、
前記少なくとも１つの後続のサイクルが、前記開口板を通る所望の流量に従って実行される、エアロゾル形成開口板ウェーハ（３０）を製造する方法。
［形態２］
前記カラム（２１）が５μｍ〜４０μｍ、好ましくは１５μｍ〜２５μｍの深さを有する、形態１に記載の方法。
［形態３］
前記カラム（２１）がマンドレルの平面において、１μｍ〜１０μｍ、好ましくは２μｍ〜６μｍの幅寸法を有する、形態１または２に記載の方法。
［形態４］
めっき材料が前記カラム（２１）の上部と実質的に同じ高さになるまで前記電気めっきが継続される、形態１〜３のいずれか一項に記載の方法。
［形態５］
前記めっき材料（２２）と前記マスク材料（２１）とが実質的に全く重ならない、形態１〜４のいずれか一項に記載の方法。
［形態６］
前記少なくとも１つの後続のサイクルにより、ウェーハ厚さ全体を５０μｍ超、好ましくは５８μｍ超まで増加させる、形態１〜５のいずれか一項に記載の方法。
［形態７］
後続のサイクルまたは後続の各サイクルにおける閉塞の程度が、前記開口板の所望の機械的特性のために選択される、形態１〜６のいずれか一項に記載の方法。
［形態８］
エアロゾル形成孔（５１）が漏斗状に先細になるように、第１のマスキングおよびめっきが実行される、形態１〜７のいずれか一項に記載の方法。
［形態９］
上にある空間（５５）が漏斗状に先細になるように、後続のマスキングおよびめっきが実行される、形態１〜８のいずれか一項に記載の方法。
［形態１０］
めっき金属がＮｉおよび／またはＰｄを含む、形態１〜９のいずれか一項に記載の方法。
［形態１１］
前記Ｎｉおよび／またはＰｄが、耐食性のために選択された濃度で表面に存在する、形態１０に記載の方法。
［形態１２］
Ｐｄの割合が８５％ｗ／ｗ〜９３％ｗ／ｗ、好ましくは約８９％であり、実質的に残部がＮｉである、形態１０または１１に記載の方法。
［形態１３］
前記めっき材料が、抗菌性のために選択された濃度でＡｇおよび／またはＣｕを表面に含む、形態１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
［形態１４］
前記ウェーハをさらに加工して、エアロゾル形成デバイスに嵌め込む準備のできた開口板（４０）を設けるさらなるステップを含む、形態１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
［形態１５］
前記ウェーハが非平面状の開口板（４０）に形成される、形態１４に記載の方法。
［形態１６］
前記ウェーハが、所望のエアロゾル化噴射角度に従って選択された構成を有する形状に形成される、形態１５に記載の方法。
［形態１７］
前記ウェーハが、作動するドーム状部分と、駆動装置に係合するフランジとを有する形状に形成される、形態１５または１６に記載の方法。
［形態１８］
前記ウェーハが形成前に焼きなましされる、形態１７に記載の方法。
［形態１９］
形態１〜１８のいずれか一項に記載の方法で形成される、金属の本体を備えた開口板ウェーハ。
［形態２０］
形態１４〜１９のいずれか一項に記載の方法により形成される開口板。
［形態２１］
形態２０に記載の開口板と、前記板に係合して、エアロゾルを形成するための所望の振動数で前記板を振動させる駆動装置とを備えた、エアロゾル形成デバイス。
［形態２２］
形態２０に記載の開口板と、受動板の使用のための前記開口板の支持部と、前記開口板を通る液体の波動を生じさせて液滴を形成するように構成されたホーンとを備えた、エアロゾル形成デバイス。
［形態２３］
エアロゾル形成貫通孔（３３）を有するフォトリソグラフィめっき金属の下部層（３１）と、空間（３２）を有するフォトリソグラフィめっき金属（３１）の少なくとも１つの上部層とを備え、前記空間が複数のエアロゾル形成貫通孔（３３）の上にあり、大孔当たりのエアロゾル形成孔のサイズおよび数が所望のエアロゾル流量に関連する、開口板ウェーハ（３０）。
［形態２４］
前記上部層が前記下部層の前記孔（３３）のいくつかを塞ぐ、形態２３に記載の開口板ウェーハ。
［形態２５］
すべての層の金属が同一である、形態２３または２４に記載の開口板ウェーハ。
［形態２６］
前記めっき金属がＮｉおよび／またはＰｄを含む、形態２３〜２５のいずれか一項に記載の開口板ウェーハ。
［形態２７］
前記Ｎｉおよび／またはＰｄが、耐食性のために選択された濃度で表面に存在する、形態２６に記載の開口板ウェーハ。
［形態２８］
Ｐｄの割合が８５％ｗ／ｗ〜９３％ｗ／ｗ、好ましくは約８９％であり、実質的に残部がＮｉである、形態２７に記載の開口板ウェーハ。
［形態２９］
前記めっき金属が、抗菌性のために選択された濃度でＡｇおよび／またはＣｕを表面に含む、形態２３〜２８のいずれか一項に記載の開口板ウェーハ。
［形態３０］
形態２３〜２９のいずれか一項に記載のウェーハを備えた開口板。
［形態３１］
形態３０に記載の開口板と、前記板に係合して、エアロゾルを形成するための所望の振動数で前記板を振動させる駆動装置とを備えた、エアロゾル形成デバイス。
［形態３２］
形態３０に記載の開口板と、受動開口板の使用のための開口板の支持部と、前記開口板を通る液体の波動を生じさせるように構成されたホーンとを備えた、エアロゾル形成デバイス。