【手続補正書】
【提出日】平成28年2月18日(2016.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオントラップにおいて特定ガス種を検出する方法であって、前記特定ガス種は、最初、ある容量のガス中で第一低濃度の微量成分であり、
ｉ）前記特定ガス種を含む前記ガスをイオン化し、それによって特定イオン種を生成すること、
ｉｉ）前記特定イオン種が前記イオントラップに閉じ込められて、第一および第二の対向するミラー電極とそれらの間の中央レンズ電極とを含む電極構造において、固有周波数で軌道に収まる静電ポテンシャルを生成すること、
ｉｉｉ）閉じ込められた前記特定イオン種を、励起周波数を有するＡＣ励起源で励起すること、
ｉｖ）前記ＡＣ励起源の前記励起周波数をスキャンして、前記特定イオン種を前記イオントラップから放出すること、および
ｖ）放出された前記特定イオン種を検出すること
を備え、
前記励起周波数をスキャンして前記特定ガス種のイオンを放出するのに先立って、前記イオントラップ内の前記特定イオン種の濃度を前記第一低濃度に対して高めることをさらに備える方法。
【請求項２】
ａ）非蒸発性ゲッターでの前記特定ガス種以外のガス種の選択的収着による前記特定ガス種以外の前記ガス種の選択的除去、または、
ｂ）非蒸発性ゲッターでの前記特定ガス種の選択的収着とそれに続く前記非蒸発性ゲッターからの前記特定ガス種の脱着、によって前記特定ガス種の濃度を高めることをさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記特定ガス種が水素であり、前記非蒸発性ゲッターが水素の選択的収着とそれに続く水素の脱着によって水素の濃度を高める請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記特定ガス種のイオン化が、前記特定イオン種の濃度を高めるための前記特定ガス種の選択的光電離を含む請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記特定ガス種の電荷を時間の関数として積分することによるデータ処理をさらに含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記光電離が、約８ｅＶから約１２ｅＶまでの範囲内のエネルギーでの真空紫外光子によるものである請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記特定イオン種を放出するための前記励起周波数の前記スキャンに先立って、前記特定イオン種をあらかじめ捕捉し、あらかじめ放出することによって前記特定イオン種を濃縮することをさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項８】
あらかじめ放出された前記特定イオン種を第二電極構造に閉じ込め、それによって前記特定イオン種を前記第二電極構造に優先的に蓄積することをさらに含み、前記特定イオン種を放出する前記スキャンが、あらかじめ放出された前記特定イオン種をさらに放出する請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記イオントラップを所定量のガスで充満することをさらに含む請求項１から８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
イオントラップにおいて特定ガス種を検出する装置であって、前記特定ガス種は、最初、ある容量のガス中で第一低濃度の微量成分であり、
ｉ）前記特定ガス種を含む前記ガスをイオン化し、それによって特定イオン種を生成する電離器、
ｉｉ）前記特定イオン種が前記イオントラップに閉じ込められて固有周波数で軌道に収まる静電ポテンシャルを生成する電極構造であって、第一および第二の対向するミラー電極とそれらの間にある中央レンズ電極とを含む電極構造、
ｉｉｉ）閉じ込められた前記特定イオン種をＡＣ励起周波数で励起するＡＣ励起源、
ｉｖ）前記ＡＣ励起源の前記励起周波数をスキャンして、前記特定イオン種を前記イオントラップから放出するスキャン制御器、および
ｖ）放出された前記特定イオン種を検出する検出器
を備え、
前記スキャン制御器が前記励起周波数をスキャンして前記特定ガス種のイオンを放出するのに先立って、前記イオントラップ内の前記特定イオン種の濃度を前記第一低濃度に対して高める装置。
【請求項１１】
ａ）前記特定ガス種以外のガス種の選択的収着によって、前記特定ガス種以外の前記ガス種を除去する、または、
ｂ）前記特定ガス種の選択的収着とそれに続く前記特定ガス種の脱着によって前記特定ガス種の濃度を高める、非蒸発性ゲッターをさらに備える請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記特定ガス種が水素であり、前記非蒸発性ゲッターが水素の選択的収着とそれに続く水素の脱着によって水素の濃度を高める請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記スキャン制御器が、前記特定イオン種を放出する前記スキャンに先立って、前記特定ガス種以外のガス種を捕捉して放出する請求項１０から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
前記電離器が、前記特定イオン種の濃度を高める選択的光電離源を含む請求項１０から１３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１５】
前記光電離源が、約８ｅＶから約１２ｅＶまでの範囲内のエネルギーで真空紫外光子を放射する請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記検出器が、前記特定ガス種の電荷を時間の関数として積分する請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記スキャン制御器が前記励起周波数をスキャンして前記特定イオン種を放出するのに先立って、あらかじめ放出された前記特定イオン種を閉じ込め、それによってあらかじめ捕捉されかつあらかじめ放出された前記特定イオン種を濃縮する第二の電極構造をさらに備える請求項１０に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
本発明は、その代表的な実施形態を参照して詳しく示され、説明されているが、添付した特許請求の範囲で限定される発明の範囲から逸脱することなく、その形状や詳細に様々な変化を加えることが可能であることが当業者には理解される。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
［態様１］
イオントラップにおいて特定ガス種を検出する方法であって、前記特定ガス種は、最初、ある容量のガス中で第一低濃度の微量成分であり、
ｉ）前記特定ガス種を含む前記ガスをイオン化し、それによって特定イオン種を生成すること、
ｉｉ）前記特定イオン種が前記イオントラップに閉じ込められて、第一および第二の対向するミラー電極とそれらの間の中央レンズ電極とを含む電極構造において、固有周波数で軌道に収まる静電ポテンシャルを生成すること、
ｉｉｉ）閉じ込められた前記特定イオン種を、励起周波数を有するＡＣ励起源で励起すること、
ｉｖ）前記ＡＣ励起源の前記励起周波数をスキャンして、前記特定イオン種を前記イオントラップから放出すること、および
ｖ）放出された前記特定イオン種を検出すること
を備え、
前記励起周波数をスキャンして前記特定ガス種のイオンを放出するのに先立って、前記イオントラップ内の前記特定イオン種の濃度を前記第一低濃度に対して高めることをさらに備える方法。
［態様２］
前記特定ガス種の濃度を高めることが、前記特定ガス種以外のガス種の選択的除去を含む態様１に記載の方法。
［態様３］
前記選択的除去が、前記特定イオン種を放出する前記スキャンに先立って、前記特定ガス種以外の前記ガス種を捕捉して放出することによる態様２に記載の方法。
［態様４］
前記特定ガス種以外の前記ガス種の前記選択的除去が、非蒸発性ゲッターでの前記特定ガス種以外の前記ガス種の選択的収着を含む態様２に記載の方法。
［態様５］
前記特定ガス種の濃度を高めることが、非蒸発性ゲッターでの前記特定ガス種の選択的収着と、それに続く前記非蒸発性ゲッターからの前記特定ガス種の脱着を含む態様１に記載の方法。
［態様６］
前記特定ガス種のイオン化が、前記特定イオン種の濃度を高めるための前記特定ガス種の選択的光電離を含む態様１から５のいずれか一態様に記載の方法。
［態様７］
前記特定ガス種の電荷を時間の関数として積分することによるデータ処理をさらに含む態様６に記載の方法。
［態様８］
前記光電離が、約８ｅＶから約１２ｅＶまでの範囲内のエネルギーでの真空紫外光子によるものである態様６に記載の方法。
［態様９］
前記特定イオン種を放出するための前記励起周波数の前記スキャンに先立って、前記特定イオン種をあらかじめ捕捉し、あらかじめ放出することによって前記特定イオン種を濃縮することをさらに備える態様１に記載の方法。
［態様１０］
あらかじめ放出された前記特定イオン種を第二電極構造に閉じ込め、それによって前記特定イオン種を前記第二電極構造に優先的に蓄積することをさらに含み、前記特定イオン種を放出する前記スキャンが、あらかじめ放出された前記特定イオン種をさらに放出する態様９に記載の方法。
［態様１１］
前記イオントラップを所定量のガスで充満することをさらに含む態様１から１０のいずれか一態様に記載の方法。
［態様１２］
イオントラップにおいて特定ガス種を検出する装置であって、前記特定ガス種は、最初、ある容量のガス中で第一低濃度の微量成分であり、
ｉ）前記特定ガス種を含む前記ガスをイオン化し、それによって特定イオン種を生成する電離器、
ｉｉ）前記特定イオン種が前記イオントラップに閉じ込められて固有周波数で軌道に収まる静電ポテンシャルを生成する電極構造であって、第一および第二の対向するミラー電極とそれらの間にある中央レンズ電極とを含む電極構造、
ｉｉｉ）閉じ込められた前記特定イオン種をＡＣ励起周波数で励起するＡＣ励起源、
ｉｖ）前記ＡＣ励起源の前記励起周波数をスキャンして、前記特定イオン種を前記イオントラップから放出するスキャン制御器、および
ｖ）放出された前記特定イオン種を検出する検出器
を備え、
前記スキャン制御器が前記励起周波数をスキャンして前記特定ガス種のイオンを放出するのに先立って、前記イオントラップ内の前記特定イオン種の濃度を前記第一低濃度に対して高める装置。
［態様１３］
前記特定ガス種以外のガス種の選択的収着によって、前記特定ガス種以外の前記ガス種を除去する非蒸発性ゲッターをさらに含む態様１２に記載の装置。
［態様１４］
前記特定ガス種が水素であり、選択的収着によって水素の濃度を高め、続いて水素を脱着する非蒸発性ゲッターをさらに含む態様１２に記載の装置。
［態様１５］
前記スキャン制御器が、前記特定イオン種を放出する前記スキャンに先立って、前記特定ガス種以外のガス種を捕捉して放出する態様１２から１４のいずれか一態様に記載の装置。
［態様１６］
前記電離器が、前記特定イオン種の濃度を高める選択的光電離源を含む態様１２から１５のいずれか一態様に記載の装置。
［態様１７］
前記光電離源が、約８ｅＶから約１２ｅＶまでの範囲内のエネルギーで真空紫外光子を放射する態様１６に記載の装置。
［態様１８］
前記検出器が、前記特定ガス種の電荷を時間の関数として積分する態様１６に記載の装置。
［態様１９］
前記スキャン制御器が前記励起周波数をスキャンして前記特定イオン種を放出するのに先立って、あらかじめ放出された前記特定イオン種を閉じ込め、それによってあらかじめ捕捉されかつあらかじめ放出された前記特定イオン種を濃縮する第二の電極構造をさらに備える態様１２に記載の装置。