【手続補正書】
【提出日】平成28年11月9日(2016.11.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビーム強度分布を有する照明光ビームを生成することと、
前記照明光ビームの前記ビーム強度分布を再成形して、再成形された照明光ビームを生成することであって、前記再成形された照明光ビームが、前記再成形された照明光ビームの一部によって照射される検査トラックの幅にわたって平均強度値から２５％未満の差を有するビーム強度分布を有する、生成することと、
前記検査トラックの検査領域上で前記再成形された照明光ビームを用いて検体表面を照射することであって、前記検査領域上の前記照明光ビームのビーム幅が、前記検査トラックにわたる位置の一価の関数として前記検査トラックの軌道に平行な方向に変化し、
前記検査領域から集められた光量を受容することと、
前記受容された集められた光量に基づいて出力信号を生成することと、を含む、方法。
【請求項２】
前記照明光ビームの前記ビーム強度分布が、ほぼガウス型である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検体が走査ピッチによって特徴付けられた螺旋運動軌道を追跡するように、前記検体を走査運動で移動させることをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記再成形された照明光の前記ビーム強度分布が、前記再成形された照明光ビームの前記一部によって照射される前記検査トラックの前記幅にわたって前記平均強度値から１０％未満の差を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記検査トラックの軌道に平行な方向の照明スポットのビーム幅が、第１の値から第２の値まで、前記検査トラックにわたって直線的に変化する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記出力信号が閾値を超える期間を決定することと、
前記期間に基づいて前記検査トラック内の前記検査トラックをわたる方向の欠陥の位置を決定することと、をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記再成形が、前記照明光を、回折光学素子、光学ビーム成形器、およびアポダイザのうちのいずれかに通すことを必要とする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも１つの照明スポットから散乱される光量を前記受容することが、単一の検出器を必要とする、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
照明光ビームを生成するように構成された照明源と、
前記照明光ビームを受容し、かつ再成形された照明光ビームの一部によって照射される検査トラックの幅にわたって平均強度値から２５％未満の差を有するビーム強度分布を有する前記再成形された照明光ビームを生成するビーム成形素子と、
前記検査トラックの第１の検査領域に前記再成形された照明光ビームの第１の部分を集束する対物レンズであって、前記再成形された照明光ビームの第１の部分のビーム幅が、前記検査トラックにわたる位置の一価の関数として前記検査トラックの軌道に平行な方向に変化し、
前記第１の検査領域から集められた第１の光量を受容し、かつ前記受容された集められた光量に基づいて出力信号を生成するように動作可能な第１の検出器と、を備える、検査システム。
【請求項１０】
ウエハ位置決定システムであって、前記第１の検査領域が走査ピッチによって特徴付けられた検査経路に沿ってウエハの前記表面にわたって移動するように、前記ウエハを走査運動で移動させるように動作可能なウエハ位置決定システムをさらに備える、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１１】
前記照明光ビームが、ほぼガウス型であるビーム強度分布を有する、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１２】
前記再成形された照明光の前記ビーム強度分布が、前記再成形された照明光ビームの前記一部によって照射される前記検査トラックの前記幅にわたって前記平均強度値から１０％未満の差を有する、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１３】
前記検査トラックの軌道に平行な方向の前記再成形された照明光ビームのビーム幅が、前記検査トラックにわたって第１の値から第２の値まで直線的に変化する、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１４】
前記出力信号が、ある期間中閾値を超え、前記検査トラック内の前記検査トラックをわたる方向の欠陥の位置が、前記期間に基づく、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１５】
前記ビーム成形素子が、回折光学素子、光学ビーム成形器、およびアポダイザのうちのいずれかである、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１６】
ウエハの前記表面の第２の部分上に入射する前記再成形された照明光ビームの第２の部分によって照射される第２の検査領域から集められた第２の光量を受容するように動作可能な第２の検出器であって、前記第２の検出器が、前記集められた第２の光量に基づいて出力信号を生成し、前記対物レンズが、前記第２の検査領域上に前記再成形された照明光ビームの第２の部分を集束する、第２の検出器をさらに備える、請求項９に記載の検査システム。
【請求項１７】
ピークビーム強度分布を有する照明光ビームを生成するように構成された照明源と、
前記照明光ビームを受容し、かつ平らになったビーム強度分布を有する再成形された照明光ビームを生成するビーム成形素子と、
ウエハ表面上の検査領域に前記再成形された照明光ビームの第１の部分を集束する対物レンズであって、前記再成形された照明光ビームの第１の部分のビーム幅が、前記検査トラックにわたる位置の一価の関数として前記検査トラックの軌道に平行な方向に変化し、
前記検査領域から集められた第１の光量を受容し、かつ前記受容された集められた光量に基づいて出力信号を生成するように動作可能な単一の検出器と、を備える、検査システム。
【請求項１８】
ウエハ位置決定システムであって、前記検査領域が走査ピッチによって特徴付けられた検査経路に沿って前記ウエハの前記表面にわたって移動するように、前記ウエハを走査運動で移動させるように動作可能なウエハ位置決定システムをさらに備える、請求項１７に記載の検査システム。
【請求項１９】
前記照明光ビームの前記ピークビーム強度分布が、ほぼガウス型である、請求項１７に記載の検査システム。
【請求項２０】
前記再成形された照明光の前記ビーム強度分布が、前記再成形された照明光ビームの一部によって照射される検査トラックの幅にわたって平均強度値から１０％未満の差を有する、請求項１７に記載の検査システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
図４で例示されるように、照明スポット１１５上で再成形されたウエハ１２３への入射照明光の接線ビーム幅は、検査トラック１１６にわたって直線的に変化し、多くの他の変化が企図されてもよい。概して、接線ビーム幅は、一価の関数に従って、検査トラックにわたって変化する可能性がある。この様に、検査トラック内の単一の位置は、検出器によって生成される出力信号の分析に基づいて欠陥の位置として明確にされることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図５で例示されるように、一価のある閾値ＶＴが、欠陥が照明スポットによって照射される検査領域内に残る時間枠を予想するために使用されるが、任意の好適な閾値が企図されてもよい。例えば、測定中に現れる騒音レベルに基づいて閾値は変化してもよい。閾値の集合が使用されてもよい。例えば、第１の閾値は、いつ欠陥が照明スポットによって照射される検査領域に入ったのかを明確にするために使用される可能性があり、別の異なる閾値が、いつ欠陥が照明スポットによって照射される検査領域から出たのかを明確にするために使用されてもよい。