(57)【要約】【課題】接着剤の付着の影響をほとんど受けず、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置を提供する。【解決手段】第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、前記第２基板に接触する接触面を含む膨張性シートと、該膨張性シートを膨張させ、前記第２基板を前記第１基板に押しつける加圧機構と、前記接触面を前記第２基板に対して変位させ、前記第２基板に対する前記膨張性シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。【選択図】図１
2013114185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、
前記第２基板に接触する接触面を含む膨張性シートと、
該膨張性シートを膨張させ、前記第２基板を前記第１基板に押しつける加圧機構と、
前記接触面を前記第２基板に対して変位させ、前記第２基板に対する前記膨張性シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。
【請求項２】
前記位置変更部は、前記接触面を循環移動させることを特徴とする請求項１に記載の貼合装置。
【請求項３】
前記膨張性シートは、無端環状に形成されることを特徴とする請求項２に記載の貼合装置。
【請求項４】
前記接触面を洗浄する洗浄部を更に備えることを特徴とする請求項３に記載の貼合装置。
【請求項５】
前記洗浄部は、洗浄テープを含むことを特徴とする請求項４に記載の貼合装置。
【請求項６】
前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の貼合装置。
【請求項７】
前記第１基板を支持する支持部を更に備え、
前記第１基板は、前記第２基板より広いことを特徴とする請求項６に記載の貼合装置。
【請求項８】
前記加圧機構は、前記膨張性シートと協働して前記第１基板及び前記第２基板が収容される収容空間を規定する第１チャンバと、
前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、
前記膨張性シートは、前記収容空間内の圧力低下に応じて膨張することを特徴とする請求項３に記載の貼合装置。
【請求項９】
前記加圧機構は、前記膨張性シートによって前記収容空間から区画される調整空間を規定する第２チャンバを含み、
前記減圧部は、前記調整空間の内圧を調整することを特徴とする請求項８に記載の貼合装置。
【請求項１０】
前記第２チャンバを取り囲むように配設された前記膨張性シートは、前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間を通過することを特徴とする請求項９に記載の貼合装置。
【請求項１１】
前記接触面として用いられる第１領域及び第２領域を洗浄する洗浄部を更に備え、
前記第１領域及び前記第２領域のうち一方の領域が前記収容空間と前記調整空間との間に存する間、他方の領域は、前記収容空間と前記調整空間との境界の外に存し、
前記洗浄部は、前記他方の領域から前記接着剤を除去することを特徴とする請求項１０に記載の貼合装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の貼合装置を含むディスプレイパネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの基板を貼り合わせるための貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶や有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を用いたディスプレイパネルは、典型的には、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える。基板間の接着剤は、基板同士を接着させるだけでなく、基板上に形成された光電デバイスを封止する役割を担う。
【０００３】
特許文献１は、ディスプレイパネルの製造方法を開示する。特許文献１の技術によれば、一対の基板と、基板間に配設された接着剤と、を備える積層体が用意される。積層体は、加圧装置を用いて、加圧され、一対の基板は、接着剤によって接着される。
【０００４】
加圧装置は、積層体が配設されるチャンバと、チャンバ内の積層体に向けて膨張するエアバッグと、を備える。エアバッグの膨張によって、一対の基板が圧縮並びに接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５５５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一対の基板同士の圧着の結果、基板間に配設された接着剤は、面内方向に流動する。最終的に、接着剤は、基板の縁部からはみ出すので、エアバッグは、接着剤によって汚染されることもある。
【０００７】
新たにディスプレイパネルを製造するために、エアバッグに付着した接着剤は除去される必要がある。エアバッグの清掃作業は、ディスプレイパネルの生産効率を悪化させる。
【０００８】
エアバッグに対して、接着剤の剥離を促すための表面処理が施与されることもある。しかしながら、エアバッグの表面は、接着剤に直接的に接触するので、表面処理に拘わらず、接着剤がエアバッグに付着することがある。
【０００９】
本発明は、接着剤の付着の影響をほとんど受けず、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第２基板に接触する接触面を含む膨張性シートと、該膨張性シートを膨張させ、前記第２基板を前記第１基板に押しつける加圧機構と、前記接触面を前記第２基板に対して変位させ、前記第２基板に対する前記膨張性シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の他の局面に係るディスプレイパネルを製造するための製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置は、接着剤から加圧機構を保護する保護シートが変位されるので、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することに貢献する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置の概略的な断面図である。
【図２】図１に示される貼合装置の概略的な平面図である。
【図３】図３に示されるディスプレイパネルをＮ個製造するための製造方法の概略的なフローチャートである。
【図４】図３に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される支持基板と接着剤層との積層体の概略的な断面図である。
【図５】図１に示されるディスプレイパネルの接着剤層の形成に用いられる接着剤シートの概略的な斜視図である。
【図６】図３に示される製造方法のステップＳ１３０において用意される接着剤層と保護基板との積層体の概略的な断面図である。
【図７】図３に示される製造方法のステップＳ１４０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図８】図３に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図９】図３に示される製造方法のステップＳ１５０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１０】図３に示される製造方法のステップＳ１６０における貼合装置の概略的な断面図である。
【図１１】図１に示される貼合装置から取り出されたディスプレイパネルの概略的な断面図である。
【図１２】図１１に示されるディスプレイパネルの概略的な平面図である。
【図１３】第２実施形態に係る貼合装置の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、ディスプレイパネルを製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置が添付の図面を参照して説明される。尚、以下に説明される実施形態において、同様の構成要素に対して同様の符号が付されている。また、説明の明瞭化のため、必要に応じて、重複する説明は省略される。図面に示される構成、配置或いは形状並びに図面に関連する記載は、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理を容易に理解させることを目的とするものであり、貼合装置及びディスプレイパネルの製造装置の原理はこれらに何ら限定されるものではない。
【００１５】
＜第１実施形態＞
（貼合装置）
図１は、ディスプレイパネル５００を製造するために一対の基板を貼り合わせる貼合装置１００の概略的な断面図である。図１を用いて、貼合装置１００が説明される。尚、以下の説明において用いられる「上」や「下」といった方向を表す用語は、本実施形態の原理を明瞭化させるためのものであり、本実施形態の原理を何ら限定するものではない。
【００１６】
貼合装置１００は、映像を表示するための光電デバイスが配設された光電デバイス層５１０を支持する支持基板５２０と、光電デバイス層５１０を被覆並びに保護する保護基板５３０とを、接着剤層５４０を介して貼り合わせ、ディスプレイパネル５００を製造する。
【００１７】
貼合装置１００は、無端環状に形成された膨張性シート４４０を備える。膨張性シート４４０は、多数の貫通穴４４１が集中的に形成された２つの領域を含む。以下の説明において、貫通穴４４１が形成された領域のうち一方は、「第１吸着領域４４２」と称される。他方の領域は、「第２吸着領域４４３」と称される。図１において、第１吸着領域４４２は、第２吸着領域４４３の下方に位置している。本実施形態において、第１吸着領域４４２は、第１領域として例示される。第２吸着領域４４３は、第２領域として例示される。
【００１８】
保護基板５３０は、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に吸着される。したがって、第１吸着領域４４２及び第２吸着領域４４３は、保護基板５３０に接触する接触面として用いられる。本実施形態において、保護基板５３０は、第２基板として例示される。第１吸着領域４４２及び第２吸着領域４４３への保護基板５３０の吸着原理は、後述される。
【００１９】
貼合装置１００は、膨張性シート４４０を膨張させ、保護基板５３０を支持基板５２０に押しつける加圧機構４００を更に備える。本実施形態において、支持基板５２０は、第１基板として例示される。
【００２０】
加圧機構４００は、支持基板５２０及び保護基板５３０が収容される収容空間２１０を規定する下側チャンバ２００と、下側チャンバ２００の上方に配設される上側チャンバ３００と、を備える。膨張性シート４４０は、上側チャンバ３００を取り囲む。膨張性シート４４０の下側部分は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との境界に位置する。本実施形態において、下側チャンバ２００は、第１チャンバとして例示される。
【００２１】
上側チャンバ３００は、膨張性シート４４０の膨張を制御するための内圧調整に用いられる調整空間３２０を規定する。上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との間を通過する膨張性シート４４０は、調整空間３２０と収容空間２１０とを区画する。即ち、膨張性シート４４０は、下側チャンバ２００と協働して、収容空間２１０を規定する。また、膨張性シート４４０は、上側チャンバ３００と協働して、調整空間３２０を規定する。本実施形態において、上側チャンバ３００は、第２チャンバとして例示される。
【００２２】
加圧機構４００は、収容空間２１０から空気を吸引し、収容空間２１０を減圧する第１真空装置４１０を更に備える。支持基板５２０と保護基板５３０との接着の間、収容空間２１０は、第１真空装置４１０を用いて減圧される。膨張性シート４４０は、収容空間２１０内の圧力低下に応じて、支持基板５２０に向けて膨張する。本実施形態において、第１真空装置４１０は、減圧部として例示される。
【００２３】
加圧機構４００は、調整空間３２０から空気を吸引し、調整空間３２０を減圧する第２真空装置４２０と、調整空間３２０内に空気を送り込む送気装置４３０と、を更に備える。第２真空装置４２０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は低減する。送気装置４３０が作動するならば、減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差は増大する。したがって、第２真空装置４２０及び送気装置４３０は、調整空間３２０内の内圧並びに減圧された収容空間２１０と調整空間３２０との間の内圧差を適切に調整することができる。本実施形態において、第１真空装置４１０に加えて、第２真空装置４２０及び送気装置４３０も、減圧部として例示される。尚、送気装置４３０は、省略されてもよい。例えば、調整空間３２０内に適時に空気を流入させることができる弁体が送気装置４３０の代わりに用いられてもよい。
【００２４】
第１吸着領域４４２が収容空間２１０と調整空間３２０との間に存するならば、第２吸着領域４４３は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界の外に位置する。第２吸着領域４４３が収容空間２１０と調整空間３２０との間に存するならば、第１吸着領域４４２は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界の外に位置する。
【００２５】
保護基板５３０は、支持基板５２０に対向する接着面５３１と、接着面５３１とは反対側の吸着面５３２と、接着面５３１と吸着面５３２とを取り囲む側面５３３と、を含む。第２真空装置４２０が、調整空間３２０を減圧した後において、吸着面５３２が第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３の貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０は、収容空間２１０内に配設される。したがって、調整空間３２０の減圧下において、保護基板５３０は、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に吸着される。
【００２６】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００内に配設された支持台１３０と、支持台１３０を上下動させるシリンダ装置１４０と、を備える。支持台１３０は、支持基板５２０が載置される支持部１３１と、支持部１３１を支持するシャフト１３２と、を備える。シャフト１３２は、ベローズ１３３を含む。シリンダ装置１４０が支持部１３１を上下動させると、ベローズ１３３は伸縮する。
【００２７】
支持基板５２０は、光電デバイス層５１０を支持する支持面５２１を含む。支持面５２１は、保護基板５３０の接着面５３１よりも広く形成される。支持面５２１上に形成された光電デバイス層５１０が、接着面５３１に接着された接着剤層５４０に正対するように、支持基板５２０は、支持部１３１上に載置される。尚、接着面５３１に接着された接着剤層５４０は、支持面５２１上の光電デバイス層５１０よりも広く形成される。したがって、支持基板５２０と保護基板５３０との圧着工程を経て、光電デバイス層５１０は、接着剤層５４０に適切に覆われることとなる。
【００２８】
収容空間２１０の内圧が、調整空間３２０の内圧を下回ると、膨張性シート４４０は、支持基板５２０に向けて膨張する。この結果、保護基板５３０は、支持基板５２０に押しつけられる。この間、支持基板５２０と保護基板５３０との間の接着剤層５４０は、加圧されるので、保護基板５３０の接着面５３１を覆うように拡がる。加圧機構４００は、接着剤層５４０の接着剤が接着面５３１の縁部からはみ出すまで、膨張性シート４４０を膨張させ続ける。この結果、保護基板５３０と支持基板５２０との境界は、接着剤層５４０によって十分に満たされることとなる。したがって、保護基板５３０と支持基板５２０との間の剥離が生じにくくなる。
【００２９】
貼合装置１００は、下側チャンバ２００の収容空間２１０を加熱する加熱装置１９０を更に備える。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。保護基板５３０が支持基板５２０に押しつけられている間、加熱装置１９０は収容空間２１０を加熱し、接着剤層５４０を硬化する。
【００３０】
接触面及び／又は第１領域として例示される第１吸着領域４４２並びに接触面及び／又は第２領域として例示される第２吸着領域４４３は、保護基板５３０の吸着面５３２が実際に接触する接触領域だけでなく、接触領域の周辺の領域（即ち、接着面５３１からはみ出した接着剤が潜在的に付着する領域）をも意味する。支持基板５２０と保護基板５３０との圧着工程によって、支持基板５２０と保護基板５３０との境界からはみ出した接着剤は、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に付着する。
【００３１】
貼合装置１００は、膨張性シート４４０を周回させる周回機構１５０を更に備える。周回機構１５０は、膨張性シート４４０を駆動する駆動ローラ１５１と、膨張性シート４４０の走行経路を規定する従動ローラ１５２と、を含む。
【００３２】
第１吸着領域４４２が保護基板５３０を支持基板５２０に向けて押圧した後、周回機構１５０が膨張性シート４４０を駆動すると、第１吸着領域４４２は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界から送り出される。その一方で、第２吸着領域４４３が収容空間２１０と調整空間３２０との境界に配置される。第１吸着領域４４２は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界の外に送り出されるので、第１吸着領域４４２に付着した接着剤層５４０の接着剤は、第２吸着領域４４３を利用した支持基板５２０と保護基板５３０との圧着工程にほとんど影響しない。したがって、周回機構１５０が第１吸着領域４４２を保護基板５３０に対して変位させ、保護基板５３０に対する膨張性シート４４０の接触位置を第２吸着領域４４３に変更することによって、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率で製造されることとなる。本実施形態において、周回機構１５０は、位置変更部として例示される。
【００３３】
支持基板５２０と保護基板５３０とが第２吸着領域４４３を利用して圧着されている間、収容空間２１０と調整空間３２０との境界の外に送り出された第１吸着領域４４２は、好ましくは、清浄される。清浄化のための好適な手法は、後述の第２実施形態に関連して説明される。
【００３４】
第２吸着領域４４３が保護基板５３０を支持基板５２０に向けて押圧した後、周回機構１５０が膨張性シート４４０を更に駆動すると、第２吸着領域４４３は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界から送り出される。その一方で、清浄化された第１吸着領域４４２が収容空間２１０と調整空間３２０との境界に配置される。第２吸着領域４４３は、収容空間２１０と調整空間３２０との境界の外に送り出されるので、第２吸着領域４４３に付着した接着剤層５４０の接着剤は、第１吸着領域４４２を利用した支持基板５２０と保護基板５３０との圧着工程にほとんど影響しない。したがって、周回機構１５０が第２吸着領域４４３を保護基板５３０に対して変位させ、保護基板５３０に対する膨張性シート４４０の接触位置を第１吸着領域４４２に変更することによって、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率で製造されることとなる。
【００３５】
上述の如く、無端環状の膨張性シート４４０の第１吸着領域４４２及び第２吸着領域４４３が循環移動されるならば、ディスプレイパネル５００の支持基板５２０及び保護基板５３０の貼合工程は連続的に実行される。したがって、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率の製造されることとなる。
【００３６】
図２は、貼合装置１００の概略的な平面図である。図１及び図２を用いて、貼合装置１００が更に説明される。
【００３７】
下側チャンバ２００及び上側チャンバ３００はともに、矩形箱状に形成される。上側チャンバ３００は、下側チャンバ２００に重ね合わせられる。膨張性シート４４０の下側部分は、下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との間に介在する。
【００３８】
下側チャンバ２００は、上向きに開口した開口部を取り巻く上縁上に配設されたシール部材１８１と、シール部材１８１上に設置された下側矩形枠１８２と、を備える。上側チャンバ３００は、下向きに開口した開口部を取り巻く下縁に配設されたシール部材１８３と、シール部材１８３に隣接する上側矩形枠１８４と、を備える。図２において、シール部材１８１，１８３は、二点鎖線で示されている。また、下側矩形枠１８２及び上側矩形枠１８４の内縁は、点線で示されている。
【００３９】
図１に示される如く、下側矩形枠１８２には、矩形輪郭を描く溝部１８５が形成される。上側矩形枠１８４には、溝部１８５に対応するリブ１８６が形成される。溝部１８５とリブ１８６とが噛み合う場所には、膨張性シート４４０に穴加工が施され、溝部１８５とリブ１８６との噛み合い構造によって膨張性シート４４０の位置が固定される。
【００４０】
貼合装置１００は、上側チャンバ３００と膨張性シート４４０の上側部分との間に配設されたマウント板４９０と、マウント板４９０と上側チャンバ３００とに接続されたシリンダ装置４９５と、を更に備える。シリンダ装置４９５は、上側チャンバ３００を上下動させる。シリンダ装置４９５が上側チャンバ３００を上方へ変位させると、上側矩形枠１８４と下側矩形枠１８２との噛み合いは解除される。その後、周回機構１５０は、膨張性シート４４０を駆動することができる。
【００４１】
マウント板４９０には、第２真空装置４２０及び送気装置４３０が取り付けられてもよい。第２真空装置４２０は、可撓性のチューブ４２１を用いて、調整空間３２０内の空気を吸引する。送気装置４３０は、可撓性のチューブ４３１を用いて、調整空間３２０内へ空気を送り込む。
【００４２】
（ディスプレイパネルの製造方法）
図３は、「Ｎ個」のディスプレイパネル５００を製造するための例示的な製造方法の概略的なフローチャートである。図１及び図３を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が説明される。
【００４３】
（ステップＳ１１０）
ディスプレイパネル５００の製造方法において、ステップＳ１１０が最初に実行される。ステップＳ１１０において、シリンダ装置４９５は、上側チャンバ３００を上昇させる。その後、周回機構１５０は、膨張性シート４４０を周回させ、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置する。
【００４４】
ステップＳ１１０に示される変数「ｎ」は、ディスプレイパネル５００の製造数量を表す。ステップＳ１１０において、変数「ｎ」のデフォルト値として、「０」の値が設定される。その後、ステップＳ１２０が実行される。
【００４５】
（ステップＳ１２０）
ステップＳ１２０において、変数「ｎ」に「１」の値が加算される。その後、ステップＳ１３０が実行される。
【００４６】
（ステップＳ１３０）
ステップＳ１３０において、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持台１３０の支持部１３１上に設置される。このとき、光電デバイス層５１０が、上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置された第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に正対するように、支持基板５２０は支持部１３１に対して位置決めされる。
【００４７】
ステップＳ１３０において、第２真空装置４２０が作動される。この結果、調整空間３２０は減圧される。このとき、保護基板５３０の吸着面５３２が上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置された第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に形成された貫通穴４４１を閉塞するように、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に取り付けられる。調整空間３２０内に作り出された減圧環境によって、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体は、膨張性シート４４０に適切に吸着される。尚、ステップＳ１３０において、好ましくは、第１真空装置４１０も作動される。第１真空装置４１０によって収容空間２１０も減圧されるので、貼り合せ時の気泡が入りにくくなる。
【００４８】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体が支持部１３１上に設置され、且つ、保護基板５３０及び接着剤層５４０との積層体が膨張性シート４４０に吸着されると、ステップＳ１４０が実行される。
【００４９】
（ステップＳ１４０）
ステップＳ１４０において、シリンダ装置１４０が作動される。シリンダ装置１４０は、支持部１３１を膨張性シート４４０に向けて変位させる。この結果、支持基板５２０の支持面５２１上に形成された光電デバイス層５１０は、保護基板５３０に取り付けられた接着剤層５４０に接触する。支持基板５２０と保護基板５３０との積層の後、ステップＳ１５０が実行される。
【００５０】
（ステップＳ１５０）
ステップＳ１５０において、第２真空装置４２０が停止される一方で、送気装置４３０が作動される。この結果、調整空間３２０の内圧は、収容空間２１０の内圧よりも大きくなる。したがって、膨張性シート４４０は、収容空間２１０に向けて膨張する。接着剤層５４０が保護基板５３０と支持基板５２０との間の境界からはみ出すまで、膨張性シート４４０は、保護基板５３０並びに接着剤層５４０を支持基板５２０に押しつける。この結果、保護基板５３０及び接着剤層５４０は、支持基板５２０に圧着される。
【００５１】
支持基板５２０と保護基板５３０との圧着の間、加熱装置１９０が作動される。この結果、収容空間２１０は加熱される。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。したがって、収容空間２１０の温度上昇に伴って、接着剤層５４０は硬化する。接着剤層５４０の硬化の後、ステップＳ１６０が実行される。
【００５２】
（ステップＳ１６０）
ステップＳ１６０において、第１真空装置４１０は停止される。その後、シリンダ装置４９５は、上側チャンバ３００を上昇させる。この結果、収容空間２１０に空気が供給される。第１真空装置４１０によって収容空間２１０に作り出された減圧環境は解消されるので、膨張性シート４４０は収縮する。
【００５３】
周回機構１５０は、膨張性シート４４０を周回させる。ステップＳ１５０において、第１吸着領域４４２が支持基板５２０と保護基板５３０との圧着に用いられるならば、周回機構１５０は、第１吸着領域４４２を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界から送り出し、第２吸着領域４４３を、上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置する。ステップＳ１５０において、第２吸着領域４４３が支持基板５２０と保護基板５３０との圧着に用いられるならば、周回機構１５０は、第２吸着領域４４３を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界から送り出し、第１吸着領域４４２を、上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置する。ディスプレイパネル５００が収容空間２１０から取り出された後、ステップＳ１７０が実行される。
【００５４】
（ステップＳ１７０）
ステップＳ１７０において、ディスプレイパネル５００の生産目標数「Ｎ」と、実際の生産数「ｎ」と、が比較される。実際の生産数「ｎ」が、生産目標数「Ｎ」に到達していないならば、ステップＳ１２０が実行される。他の場合には、ディスプレイパネル５００の生産は終了する。
【００５５】
図４は、ステップＳ１３０において用意される支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体の概略的な断面図である。図１、図３及び図４を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００５６】
ステップＳ１３０の実行の為に、支持基板５２０の支持面５２１に、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて、光電デバイス層５１０が形成される。光電デバイス層５１０の形成手法は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルの光電デバイスの形成と同様の手法に従ってもよい。
【００５７】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体は、支持部１３１に設置される。
【００５８】
図５は、接着剤層５４０の形成に用いられる接着剤シートＡＳの概略的な斜視図である。図６は、ステップＳ１３０において用意される接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体の概略的な断面図である。図３、図５及び図６を用いて、ディスプレイパネル５００の製造方法が更に説明される。
【００５９】
ステップＳ１３０の実行の為に、熱硬化性樹脂を用いて形成された接着剤シートＡＳが用意される。接着剤シートＡＳは、保護基板５３０の接着面５３１よりも狭いシート片ＡＳＰに切り取られる。シート片ＡＳＰは、保護基板５３０の接着面５３１に接着され、接着剤層５４０として用いられる。
【００６０】
接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、予め複数（Ｎ個）用意される。ステップＳ１３０の実行の度に、接着剤層５４０と保護基板５３０との積層体は、膨張性シート４４０に取り付けられる。
【００６１】
図７は、ステップＳ１４０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図３及び図７を用いて、ステップＳ１４０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６２】
支持基板５２０と光電デバイス層５１０との積層体並びに保護基板５３０と接着剤層５４０との積層体が下側チャンバ２００内に適切に設置されると、シリンダ装置１４０が作動される。この結果、支持台１３０の支持部１３１は、上方に変位し、光電デバイス層５１０と接着剤層５４０とが軽く接触する。
【００６３】
図８及び図９は、ステップＳ１５０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図３、図８及び図９を用いて、ステップＳ１５０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００６４】
上述の如く、ステップＳ１５０が開始されると、第２真空装置４２０が停止される。その一方で、送気装置４３０が作動される。尚、ステップＳ１５０の間、第１真空装置４１０によって作り出された下側チャンバ２００の減圧環境は維持される。したがって、上側チャンバ３００の内圧は、下側チャンバ２００の内圧よりも大きくなり、膨張性シート４４０は、支持基板５２０に向けて膨張する。膨張性シート４４０の下方への膨張の結果、支持基板５２０と保護基板５３０との間の接着剤層５４０は加圧される。
【００６５】
図８は、ステップＳ１５０の開始直後の貼合装置１００の概略的な断面図である。図８に示される如く、膨張性シート４４０は、保護基板５３０の外側において、下方に膨張し、支持基板５２０の支持面５２１に圧着される。この結果、膨張性シート４４０は、支持基板５２０の支持面５２１との間で接着剤層５４０の接着剤の流動を許容する流動空間５９０を形成する。
【００６６】
膨張性シート４４０の下方への膨張によって、接着剤層５４０は支持基板５２０と保護基板５３０の境界において面内方向に押し広げられる。この結果、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３からはみ出し、流動空間５９０を満たす。かくして、保護基板５３０の接着面５３１より広い接着剤層５４０が形成される（図９参照）。
【００６７】
下側チャンバ２００と上側チャンバ３００との圧力差は、膨張性シート４４０が保護基板５３０の吸着面５３２に密着又は側面５３３の一部を被覆するように設定される。この結果、膨張性シート４４０は、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入を防ぐ障壁として機能する。膨張性シート４４０によって、保護基板５３０の吸着面５３２への接着剤の流入が防止されるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる他の部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００６８】
ステップＳ１５０において、加熱装置１９０が作動される。この結果、流動空間５９０を満たすように拡張された接着剤層５４０は硬化する。本実施形態において、接着剤層５４０は、熱硬化性樹脂を用いて形成される。代替的に、接着剤層は、所望のタイミングで硬化させることができる他の材料を用いて形成されてもよい。例えば、接着剤層は、紫外線硬化樹脂を用いて形成されてもよい。紫外線硬化樹脂が用いられるならば、加熱装置１９０に代えて、接着剤層に紫外線を照射する照射装置が用いられてもよい。
【００６９】
図１０は、ステップＳ１６０における貼合装置１００の概略的な断面図である。図３、図９及び図１０を用いて、ステップＳ１６０における貼合装置１００の動作が説明される。
【００７０】
接着剤層５４０の硬化の後、シリンダ装置４９５は、上側チャンバ３００を上昇させ、下側チャンバ２００内に空気を導入する。したがって、第１真空装置４１０によって作り出された減圧環境は解消される。上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との間の内圧差も解消されるので、膨張性シート４４０は収縮する。
【００７１】
シリンダ装置１４０が作動され、支持台１３０の支持部１３１は下方に変位される。この結果、ディスプレイパネル５００は、膨張性シート４４０から離間する。最終的に、ディスプレイパネル５００は、下側チャンバ２００から取り出される。その後、必要に応じて、偏光板やタッチパネルが保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられもよい。上述の如く、接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う範囲に留められているので、これらの追加的な部品と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００７２】
図９に示されるように、ステップＳ１５０の実行の間、第１吸着領域４４２が上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配設されるならば、第１吸着領域４４２は、接着剤層５４０に接触する。したがって、図１０に示される如く、接着剤層５４０の接着剤の一部が第１吸着領域４４２に付着することもある。ステップＳ１５０の実行の間、第２吸着領域４４３が上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配設されるならば、第２吸着領域４４３は、接着剤層５４０に接触する。したがって、接着剤層５４０の接着剤の一部が第２吸着領域４４３に付着することもある。
【００７３】
図１０に示される如く、上側チャンバ３００の上昇の後、周回機構１５０は、膨張性シート４４０を循環移動させる。図９に示されるように、ステップＳ１５０の実行の間、第１吸着領域４４２が上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配設されるならば、周回機構１５０は、第１吸着領域４４２を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界から送り出し、第２吸着領域４４３を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置する。ステップＳ１５０の実行の間、第２吸着領域４４３が上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配設されるならば、周回機構１５０は、第２吸着領域４４３を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界から送り出し、第１吸着領域４４２を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に配置する。したがって、膨張性シート４４０に付着した接着剤は、上側チャンバ３００の外に現れる。使用者は、上側チャンバ３００の外に現れた膨張性シート４４０上の接着剤を容易に除去することができる。
【００７４】
周回機構１５０は、接着剤が付着した膨張性シート４４０の領域（第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３）を上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界から上側チャンバ３００の外に送り出すので、膨張性シート４４０に付着した接着剤は、次のディスプレイパネル５００の製造に対して、ほとんど影響しない。
【００７５】
（ディスプレイパネル）
図１１は、貼合装置１００から取り出されたディスプレイパネル５００の概略的な断面図である。図１２は、ディスプレイパネル５００の概略的な平面図である。図９、図１１及び図１２を用いて、ディスプレイパネル５００が説明される。
【００７６】
ディスプレイパネル５００は、上述の如く、略矩形状の支持基板５２０を備える。支持基板５２０の支持面５２１には、ＥＬ膜やバリア膜といった光電デバイスを用いて形成された光電デバイス層５１０が配設される。ディスプレイパネル５００に入力された映像信号に基づき、光電デバイス層５１０に電流が供給され、光電デバイス層５１０が発光する。この結果、光電デバイス層５１０は、映像信号に応じた映像を表示することとなる。光電デバイス層５１０は、有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）材料を用いた既知のディスプレイパネルに採用される構造であってもよい。
【００７７】
上述の如く、ディスプレイパネル５００は、光電デバイス層５１０を覆うように、接着剤を用いて形成された接着剤層５４０と、接着剤層５４０を介して支持基板５２０に接着される保護基板５３０と、を備える。保護基板５３０は、支持基板５２０に対向する接着面５３１と、接着面５３１とは反対側の吸着面５３２と、接着面５３１及び吸着面５３２を取り囲む側面５３３と、を含む。保護基板５３０の接着面５３１は、接着剤層５４０の接着剤によって、支持基板５２０の支持面５２１に接着される。
【００７８】
接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０を封止する役割を担う。保護基板５３０は、光電デバイス層５１０を保護する役割を担う。以下の説明において、保護基板５３０と支持基板５２０との積層構造は、「積層基板５５０」と称される。必要に応じて、ディスプレイパネル５００は、積層基板５５０に加えて、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられる偏光板（図示せず）やタッチパネル（図示せず）を更に備えてもよい。
【００７９】
本実施形態において、支持基板５２０及び保護基板５３０は、可撓性を有する。したがって、ディスプレイパネル５００は、フレキシブルディスプレイ装置として機能する。代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０のうち一方が可撓性を有してもよい。更に代替的に、支持基板５２０及び保護基板５３０は、比較的高い剛性を有してもよい。
【００８０】
保護基板５３０の接着面５３１は、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く、且つ、光電デバイス層５１０よりも広く形成される。以下の説明において、保護基板５３０の接着面５３１と支持基板５２０の支持面５２１との間の境界は、「境界領域」と称される。
【００８１】
保護基板５３０と支持基板５２０との境界領域に介在する接着剤層５４０は、光電デバイス層５１０並びに保護基板５３０の接着面５３１より広く、且つ、支持基板５２０の支持面５２１よりも狭く形成される。境界領域からはみ出した接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う。接着剤層５４０の接着剤は、保護基板５３０の側面５３３の一部を覆う領域に留められるので、保護基板５３０の吸着面５３２に取り付けられた追加的な部品（例えば、偏光板やタッチパネル）と接着剤層５４０との干渉はほとんど生じない。
【００８２】
＜第２実施形態＞
図１３は、第２実施形態の貼合装置１００Ａの概略的な断面図である。第１実施形態に関連して説明された要素に対して、同一の符号が付されている。同一の符号が付された要素に関する説明は、貼合装置１００Ａに対して援用される。図３、図１１及び図１３を用いて、貼合装置１００Ａが説明される。
【００８３】
貼合装置１００Ａは、第１実施形態に関連して説明された貼合装置１００と同様に、下側チャンバ２００、上側チャンバ３００、膨張性シート４４０、周回機構１５０、第１真空装置４１０、第２真空装置４２０、送気装置４３０、支持台１３０、シリンダ装置１４０，４９５、マウント板４９０及び加熱装置１９０を備える。貼合装置１００Ａは、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３に付着した接着剤を除去する洗浄機構６００を更に備える。本実施形態において、洗浄機構６００は、清浄部として例示される。
【００８４】
洗浄機構６００は、膨張性シート４４０の外面に接触し、接着剤を除去する洗浄テープ６１０と、洗浄テープ６１０を膨張性シート４４０に押しつける押圧ローラ６２０と、押圧ローラ６２０とともに洗浄テープ６１０の走行経路を規定する搬送ローラ６３０と、を含む。洗浄テープ６１０は、市販の洗浄テープであってもよい。例えば、スミロン社製のクリーニングテープＥＣ−３１０や３Ｍ社製の表面保護用テープＮｏ．３３１が洗浄テープ６１０として好適に利用可能である。押圧ローラ６２０及び搬送ローラ６３０は、周回機構１５０の動作に連動して、洗浄テープ６１０を搬送する。洗浄テープ６１０の搬送速度が膨張性シート４４０の搬送速度と略一致するように、押圧ローラ６２０及び搬送ローラ６３０が洗浄テープ６１０を搬送することが好ましい。
【００８５】
図１３は、図３を参照して説明されたステップＳ１６０における貼合装置１００Ａの概略的な断面図である。第１吸着領域４４２は、ステップＳ１５０において、支持基板５２０と保護基板５３０との圧着に用いられているので、第１吸着領域４４２には接着剤が付着している。押圧ローラ６２０によって膨張性シート４４０に押しつけられた洗浄テープ６１０は、押圧ローラ６２０と膨張性シート４４０との間を通過する接着剤を適切に除去することができる。その後、押圧ローラ６２０及び搬送ローラ６３０は、洗浄テープ６１０を下流に搬送する。かくして、膨張性シート４４０の周回動作に合わせて、膨張性シート４４０に付着した接着剤は適切に除去される。尚、第１吸着領域４４２からの接着剤の除去の間、第２吸着領域４４３は、支持基板５２０と保護基板５３０との圧着に用いられている。その後、第２吸着領域４４３が収容空間２１０と調整空間３２０との境界から排出されるならば、第１吸着領域４４２が収容空間２１０と調整空間３２０との境界に配設され、且つ、第２吸着領域４４３から接着剤が除去される。
【００８６】
押圧ローラ６２０は、膨張性シート４４０から離接可能に設計されてもよい。例えば、第１吸着領域４４２又は第２吸着領域４４３と押圧ローラ６２０との距離が所定の値以下となるならば、押圧ローラ６２０が洗浄テープ６１０を膨張性シート４４０に押圧してもよい。他の場合には、押圧ローラ６２０は、膨張性シート４４０から離れ、膨張性シート４４０の搬送が停止されてもよい。この結果、洗浄テープ６１０の少ない使用量の下、膨張性シート４４０に付着した接着剤が適切に除去される。尚、膨張性シート４４０に連動した押圧ローラ６２０の離接動作は、例えば、光学センサを用いて、第１吸着領域４４２及び／又は第２吸着領域４４３の位置を検出することにより達成される。
【００８７】
上述の貼合装置１００は、ディスプレイパネル５００を製造するための製造装置に好適に組み込まれる。ディスプレイパネル５００の製造工程中の一対の基板を貼り合わせる貼合工程において、上述の貼合装置１００が用いられるならば、ディスプレイパネル５００は、高い生産効率で製造されることとなる。
【００８８】
上述の実施形態において、膨張性シート４４０は、循環移動される。代替的に、帯状の膨張性シートが上側チャンバ３００と下側チャンバ２００との境界に沿って、順次搬送されてもよい。保護基板５３０に対する膨張性シートの接触位置が、保護基板５３０と支持基板５２０との圧着工程のたびに変更されるならば、膨張性シートの搬送手法や膨張性シートの形状は、特に限定されるものではない。
【００８９】
上述の実施形態において、膨張性シート４４０は、２つの吸着領域（第１吸着領域４４２及び第２吸着領域４４３）を備える。代替的に、膨張性シートは、単数の吸着領域又は３以上の吸着領域を有してもよい。支持基板と保護基板との圧着に利用された吸着領域が、新たなディスプレイパネルの製造時に変位され、他の吸着領域が支持基板と保護基板との圧着に用いられるならば、吸着領域の数は制限されない。好ましくは、支持基板と保護基板との圧着に利用された吸着領域が、洗浄され、再度、利用される。
【００９０】
上述の実施形態において、膨張性シート４４０は、洗浄テープ６１０によって洗浄される。代替的に、膨張性シートは、他の手段を用いて洗浄されてもよい。例えば、スクレイパによって、接着剤が膨張性シート４４０から剥離されてもよい。
【００９１】
上述のディスプレイパネル５００は、有機ＥＬを用いて、映像を表示する。本実施形態の原理は、有機ＥＬを用いるディスプレイパネル５００の製造だけでなく、他の表示方式にしたがって映像を表示するディスプレイパネルの製造にも同様に適用可能である。
【００９２】
上述された実施形態に係る貼合装置は、以下の構成を有する。したがって、貼合装置は、ディスプレイパネルを高い生産効率で製造することができる。
【００９３】
上述された実施形態の一の局面に係る第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置は、前記第２基板に接触する接触面を含む膨張性シートと、該膨張性シートを膨張させ、前記第２基板を前記第１基板に押しつける加圧機構と、前記接触面を前記第２基板に対して変位させ、前記第２基板に対する前記膨張性シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする。
【００９４】
上記構成によれば、貼合装置は、第１基板と第２基板とを、接着剤を用いて、貼り合わせる。膨張性シートの接触面は、第２基板に接触する。加圧機構は、膨張性シートを膨張させ、第２基板を第１基板に押しつけるので、接着剤は、面内方向に流動する。位置変更部は、接触面を第２基板に対して変位させ、第２基板に対する膨張性シートの接触位置を変更するので、膨張性シートに付着した接着剤は、次の貼合工程にほとんど影響を与えない。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００９５】
上記構成において、前記位置変更部は、前記接触面を循環移動させることが好ましい。
【００９６】
上記構成において、位置変更部は、接触面を循環移動させるので、膨張性シートの交換頻度は少なくなる。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００９７】
上記構成において、前記膨張性シートは、無端環状に形成されることが好ましい。
【００９８】
上記構成によれば、位置変更部は、無端環状に形成された膨張性シートの接触面を循環移動させるので、膨張性シートの交換頻度は少なくなる。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【００９９】
上記構成において、貼合装置は、前記接触面を洗浄する洗浄部を更に備えることが好ましい。
【０１００】
上記構成によれば、貼合装置は、接触面を洗浄する洗浄部を備えるので、膨張性シートの接触面は、繰り返し、第１基板と第２基板との圧着に利用される。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【０１０１】
上記構成において、前記洗浄部は、洗浄テープを含むことが好ましい。
【０１０２】
上記構成において、洗浄部は、洗浄テープを含むので、膨張性シートに付着した接着剤は、適切に除去される。この結果、膨張性シートの接触面は、繰り返し、第１基板と第２基板との圧着に利用されることとなる。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【０１０３】
上記構成において、前記加圧機構は、前記第１基板と前記第２基板との間の接着剤が前記第２基板の縁部からはみ出すように前記第２基板を加圧することが好ましい。
【０１０４】
上記構成によれば、加圧機構は、第１基板と第２基板との間の接着剤が第２基板の縁部からはみ出すように、第２基板を加圧するので、第１基板と第２基板との間の境界は接着剤によって満たされる。したがって、第１基板と第２基板との間の剥離は生じにくくなる。
【０１０５】
上記構成において、貼合装置は、前記第１基板を支持する支持部を更に備え、前記第１基板は、前記第２基板より広いことが好ましい。
【０１０６】
上記構成によれば、第１基板は、第２基板より広いので、接着剤は、第１基板を支持する支持部にほとんど付着しない。
【０１０７】
上記構成において、前記加圧機構は、前記膨張性シートと協働して前記第１基板及び前記第２基板が収容される収容空間を規定する第１チャンバと、前記収容空間を減圧する減圧部と、を含み、前記収容空間内の圧力低下に応じて、前記膨張性シートは膨張することが好ましい。
【０１０８】
上記構成によれば、加圧機構の第１チャンバは、膨張性シートと協働して第１基板及び第２基板が収容される収容空間を規定する。加圧機構の減圧部は、収容空間を減圧する。膨張性シートは、収容空間内の圧力低下に応じて膨張するので、第２基板は第１基板に適切に押しつけられる。かくして、第２基板は、第１基板に適切に接着される。
【０１０９】
上記構成において、前記加圧機構は、前記膨張性シートによって前記収容空間から区画される調整空間を規定する第２チャンバを含み、前記減圧部は、前記調整空間の内圧を調整することが好ましい。
【０１１０】
上記構成によれば、加圧機構の第２チャンバは、膨張性シートによって収容空間から区画される調整空間を規定する。減圧部は、調整空間の内圧を調整するので、膨張性シートの膨張量は適切に制御される。
【０１１１】
上記構成において、前記第２チャンバを取り囲むように配設された前記膨張性シートは、前記第１チャンバと前記第２チャンバとの間を通過することが好ましい。
【０１１２】
上記構成によれば、膨張性シートは、第２チャンバを取り囲むように配設される。膨張性シートは、第１チャンバと第２チャンバとの間を通過するので、膨張性シートは、調整空間と収容空間とを適切に区画しながら、循環移動することができる。
【０１１３】
上記構成において、前記膨張性シートは、貫通穴が形成された第１領域及び第２領域を含み、前記調整空間が減圧されると、前記第２基板は、前記第１領域又は前記第２領域に吸着されることが好ましい。
【０１１４】
上記構成によれば、膨張性シートは、貫通穴が形成された第１領域及び第２領域を含む。調整空間が減圧されると、第２基板は、第１領域又は第２領域に吸着されるので、第２基板は、膨張性シートに適切に保持されることとなる。
【０１１５】
上記構成において、貼合装置は、前記接触面として用いられる前記第１領域及び前記第２領域を洗浄する洗浄部を更に備え、前記第１領域及び前記第２領域のうち一方の領域が前記収容空間と前記調整空間との間に存する間、他方の領域は、前記収容空間と前記調整空間との境界の外に存し、前記洗浄部は、前記他方の領域から前記接着剤を除去することが好ましい。
【０１１６】
上記構成によれば、貼合装置は、接触面として用いられる第１領域及び第２領域を洗浄する洗浄部を更に備える。第１領域及び第２領域のうち一方の領域が収容空間と調整空間との間に存する間、他方の領域は、収容空間と調整空間との境界の外に存する。洗浄部は、他方の領域から接着剤を除去するので、第１領域及び第２領域は、順次、第１基板と第２基板との圧着に利用されることとなる。したがって、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【０１１７】
上述された実施形態の他の局面に係るディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むことを特徴とする。
【０１１８】
上記構成によれば、ディスプレイパネルの製造装置は、上述の貼合装置を含むので、ディスプレイパネルの生産効率は、高い水準で維持される。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
上述の実施形態に係る原理は、映像を表示するためのディスプレイパネルの製造に好適に適用される。
【符号の説明】
【０１２０】
１００，１００Ａ・・・・・貼合装置
１３１・・・・・・・・・・支持部
１５０・・・・・・・・・・周回機構
２００・・・・・・・・・・下側チャンバ
２１０・・・・・・・・・・収容空間
３００・・・・・・・・・・上側チャンバ
３２０・・・・・・・・・・調整空間
４００・・・・・・・・・・加圧機構
４１０・・・・・・・・・・第１真空装置
４２０・・・・・・・・・・第２真空装置
４３０・・・・・・・・・・送気装置
４４０・・・・・・・・・・膨張性シート
４４１・・・・・・・・・・貫通穴
４４２・・・・・・・・・・第１吸着領域
４４３・・・・・・・・・・第２吸着領域
５２０・・・・・・・・・・支持基板
５３０・・・・・・・・・・保護基板
５３３・・・・・・・・・・側面
６００・・・・・・・・・・洗浄機構
６１０・・・・・・・・・・洗浄テープ
【図１】
2013114185.tif 000003
【図２】
2013114185.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013114185.tif 000009
【図８】
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【図９】
2013114185.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2013114185.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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