【手続補正書】
【提出日】平成28年5月26日(2016.5.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像システムを作動させるための方法において、
前記撮像システム内のデジタルカメラを介して基板の一部分の画像を収集することであって、前記画像は前記カメラ内のセンサー素子の多数の画素行に跨っていることと、
前記カメラが前記基板の前記部分の前記画像を収集している間に、
前記基板の前記部分を横断して光のラインを走査して、前記画像が跨る第２の１つ以上の画素行を暗状態に保ちながら前記画像が跨る第１の１つ以上の画素行を露光することと、
前記基板の前記部分を横断して前記光のラインを走査して前記第２の１つ以上の画素行を露光し続けながら、前記第１の１つ以上の画素行を読み出すことと、
を含むステップを実施することと、
を含む作動方法。
【請求項２】
前記撮像システムの対物レンズ構成要素の下で前記基板を移動させることと、
走査ミラーの角度を変更して、前記基板が移動している間、前記対物レンズ構成要素により獲得された前記基板の前記部分の前記画像が前記カメラとの関係において静止状態に保たれているようにすることと、
をさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記走査ミラーの前記角度を変更することが、前記基板の前記部分を横断して前記光のラインを走査することと協調して実施される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記走査ミラーの前記角度を変更することには、前記基板の前記部分を横断して前記光のラインが走査される第１の時間間隔と前記走査ミラーが初期位置まで戻される第２の時間間隔とが含まれ、
さらに、前記第２の時間間隔中に前記基板の前記部分を横断して前記光のラインを走査するのを停止することを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の時間間隔が前記第２の時間間隔よりも大きい、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の１つ以上の画素行を読み出すことは、前記基板が前記対物レンズ構成要素の光学軸に対し垂直な方向に移動させられている間に実施される、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記基板の前記部分の前記光のラインを走査することが、照明ミラーの角度を変更してライン発生器からの光を前記基板の前記部分の上に反射することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記照明ミラーの前記角度を変更することが、前記照明ミラーを傾動させるように構成されたサーボ機構によって行なわれる、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記撮像システムの対物レンズ構成要素の下で前記基板を移動させることと、
走査ミラーの角度を変更して、前記基板が移動している間、前記対物レンズ構成要素により獲得された前記基板の前記部分の前記画像が前記カメラとの関係において静止状態に保たれているようにすることと、をさらに含み、
前記走査ミラーの前記角度を変更することが、前記照明ミラーの前記角度を変更することと協調して実施される、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１の１つ以上の画素行を露光し前記第１の１つ以上の画素行を読み出す複数の前記ステップの間、前記第１の１つ以上の画素行を暗状態に保つことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記カメラが、少なくとも第１の区分及び第２の区分を有する分割型読み出しセンサーを備え、前記光のラインを走査し読み出しする前記ステップが、前記分割型読み出しセンサーの各区分内で独立して実施される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の区分内で走査し読み出しする前記ステップが、前記第２の区分内で走査し読み出しする前記ステップと並列で実施される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記区分内で走査し読み出しする前記ステップが、前記第２の区分内での走査及び読み出しの前記ステップと逆並列で実施される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記光のラインは、カメラ内の画素が、蛍光発光に対応する波長を有する光によって露光される一方で、光のラインは蛍光励起に適した波長を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記カメラが前記基板の前記部分の前記画像を収集している間に、前記基板を横断して前記光のラインを走査して前記画像により走査された第３の１つ以上の画素行を露光し続けながら前記第２の１つ以上の画素行を読み出すことをさらに含み、前記第３の１つ以上の画素行が前記第２の１つ以上の画素行とは異なる、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記第３の１つ以上の画素行は、前記第１の１つ以上の画素行とは異なる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記カメラが、フルフレームモードで作動する非ＣＭＯＳカメラ及びＣＭＯＳカメラのうちの１つである、請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
対物レンズ構成要素と、
基板の一部分を横断して走査される光のラインを発生させるよう構成されたライン発生器と、
前記対物レンズ構成要素の光学軸に対して実質的に垂直である第１の方向に前記基板を移動させるように構成された位置決めステージと、
前記対物レンズ構成要素を通して前記基板の一部分の画像を収集するように構成されたデジタルカメラと、
前記光のラインが前記基板の一部分を横断して走査され前記基板が前記第１の方向に移動させられている間に、前記位置決めステージと協調して移動するように構成され、前記画像が前記カメラにより収集されている間前記カメラとの関係において前記画像を静止状態に保つ、走査ミラーと、
を備える撮像システム。
【請求項１９】
さらに照明ミラーとコンピュータ論理とを備え、前記画像は、前記カメラ内の多数の画素行に跨っており、前記カメラが前記基板の一部分の画像を収集している間に、
前記照明ミラーは前記基板の一部分を横断して前記光のラインを走査して、前記画像が跨る第２の１つ以上の画素行を暗状態に保ちながら、前記画像が跨る第１の１つ以上の画素行を露光するように構成及び操作され、
前記コンピュータ論理は、前記照明ミラーが前記基板の一部分を横断して前記光のラインを走査して前記第２の１つ以上の画素行を露光し続ける一方で、前記第１の１つ以上の画素行を読み出すように構成及び操作される、請求項１８に記載の撮像システム。
【請求項２０】
前記ライン発生器から前記基板の一部分の上への前記光のラインを走査する照明ミラーを備え、前記走査ミラーは、前記光のラインが前記基板の一部分を横断して走査され前記基板が前記特定の方向に移動させられている間、前記照明ミラーと協調して移動するように構成される、請求項１９に記載の撮像システム。
【請求項２１】
さらに、前記照明ミラーの角度を変更して前記基板の一部分を横断して前記光のラインを走査するように構成された第１のサーボ機構と、
前記照明ミラーの角度に対する変更と協調して前記走査ミラーの角度を変更する第２のサーボ機構と、を備える、請求項２０に記載の撮像システム。
【請求項２２】
前記第２のサーボ機構は、前記基板の一部分を横断して前記光のラインが走査される第１の時間間隔の間、前記走査ミラーの角度を変更するように構成され、
前記第２のサーボ機構は、前記基板の一部分を横断して前記光のラインが走査されていない第２の時間間隔の間、前記走査ミラーを初期位置に戻すように構成され、
前記第２の時間間隔は前記第１の時間間隔より短かい、請求項２１に記載の撮像システム。
【請求項２３】
さらに、少なくとも（ａ）前記光のラインを前記照明ミラーから前記走査ミラーに反射して、前記基板の一部分を照明するため、及び、（ｂ）前記対物レンズ構成要素により獲得され走査ミラーにより反射された光をカメラまで移行させるために作動するダイクロイックミラーを備える、請求項１８に記載の撮像システム。
【請求項２４】
前記カメラが、互いに独立して露光され読み出しされ得る少なくとも２つの区分を有する分割型読み出しセンサーを備える、請求項１８に記載の撮像システム。
【請求項２５】
前記カメラが、フルフレームモードで作動する非ＣＭＯＳカメラ及びＣＭＯＳカメラのうちの１つである、請求項１８に記載の撮像システム。