【手続補正書】
【提出日】平成28年3月7日(2016.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャック（１３）上のターゲット（２３）を処理するためのターゲット処理システムを
動作させる方法であって、
前記チャック（１３）上に少なくとも第１のチャック位置マーク（２７）と第２のチャ
ック位置マーク（２８）とを与えることと、
それぞれ、前記第１及び第２のチャック位置マーク（２７，２８）を検出するために配
置された少なくとも第１のアライメントセンサ（６１）と第２のアライメントセンサ（６
２）とを有するアライメント感知システム（１７）を与えることと、
前記アライメント感知システム（１７）の少なくとも１回の測定に基づいて前記チャッ
ク（１３）を第１の位置に移動させることと、
前記チャックの前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定することと
を具備し、
少なくとも２つの干渉計（１５）を有するチャック位置測定システムを与えることをさ
らに具備し、前記チャックの前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定
することは、前記干渉計の出力を測定することを含み、
さらに、前記第１の位置に位置された前記チャック（１３）に対して前記少なくとも２つの干渉計（１５）を初期化することをさらに具備する、方法。
【請求項２】
前記第２のチャック位置マーク（２８）に対する前記第１のチャック位置マーク（２７
）の相対位置は、前記第２のアライメントセンサ（６２）に対する前記第１のアライメン
トセンサ（６１）の相対位置とほぼ同じである請求項１の方法。
【請求項３】
前記ターゲット（２３）上にパターニングビーム（１８）を投影するために配置される
最終投影システム（１１）を与えることをさらに具備し、
前記第１のアライメントセンサ（６１）は、第１の方向（ｙ軸）に前記最終投影システ
ム（１１）から間隔を空けて配置され、前記第２のアライメントセンサ（６２）は、第２
の方向（ｘ軸）に前記最終投影システム（１１）から間隔を空けて配置される請求項１又
は２の方法。
【請求項４】
前記ターゲット上にビームグリッド（６０）を形成するために、前記ターゲット上にパ
ターニングビーム（１８）を投影することをさらに具備し、
前記第１のアライメントセンサ（６１）は、第１の方向（ｙ軸）で前記ビームグリッド
（６０）から間隔を空けた位置マークを検出するために配置され、前記第２のアライメン
トセンサ（６２）は、第２の方向（ｘ軸）で前記ビームグリッド（６０）から間隔を空け
た位置マーク（７７）を検出するために配置される請求項１ないし３のいずれか１の方法
。
【請求項５】
前記チャックの前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定することは
、前記第１及び第２のチャック位置マーク（２７，２８）を前記第１及び第２のアライメントセンサ（６１，６２）とアライメントするために前記チャック（１３）を移動させることと、前記チャック（１３）の現在位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定す
ることとを含む請求項１ないし４のいずれか１の方法。
【請求項６】
前記第１及び第２のチャック位置マーク（２７，２８）を前記第１及び第２のアライメ
ントセンサ（６１，６２）とアライメントするために前記チャック（１３）を移動させる
ことは、２つの水平軸（ｘ，ｙ軸）に前記チャックを移動させることと、垂直軸（Ｒｚ方向）のまわりに前記チャックを回転させることとを含む請求項５の方法。
【請求項７】
複数のレベルセンサ（５７，５８，５９）を有するレベル感知システム（１９）を与え
ることと、
前記チャック（１３）上に基準面（２６）を与えて、前記レベルセンサに対して前記基
準面（２６）の向きと関連付けられた少なくとも１つの値を測定することとをさらに具備
する請求項１ないし６のいずれか１の方法。
【請求項８】
前記ビームグリッド（６０）の向きに関連付けて少なくとも１つの値を測定する前に、
又は、前記チャックの第１の位置に関連付けて少なくとも１つの値を測定すること、及び前記少なくとも２つの干渉計（１５）を初期化することの前に、前記レベルセンサ（５７，５８，５９）の前記基準面（２６）をレベルセンサ平面とアライメントするために前記チャック（１３）を移動させることをさらに具備する請求項７の方法。
【請求項９】
前記レベル感知システム（１９）は、少なくとも、第１の方向（ｙ軸）に前記最終投影
システム（１１）から間隔を空けて配置される第１のレベルセンサ（５７）と、第２の方
向（ｘ軸）に前記最終投影システム（１１）から間隔を空けて配置される第２のレベルセ
ンサ（５８）とを有する請求項７又は８の方法。
【請求項１０】
チャック（１３）上のターゲット（２３）を処理するためのターゲット処理システムで
あって、
少なくとも第１のチャック位置マーク（２７）と第２のチャック位置マーク（２８）と
を含む移動可能なチャック（１３）と、
それぞれ、前記第１及び第２のチャック位置マーク（２７，２８）を検出するために配
置された少なくとも第１のアライメントセンサ（６１）と第２のアライメントセンサ（６
２）とを有するアライメント感知システム（１７）と、
前記アライメント感知システム（１７）の少なくとも１回の測定に基づいて前記チャッ
ク（１３）を第１の位置に移動させるために配置されたアクチュエータシステムと、
前記チャック（１３）の前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定す
るために配置された測定システム（１０）とを具備し、
このシステムは、少なくとも２つの干渉計（１５）を有するチャック位置測定システム
をさらに具備し、前記チャックの前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を
測定することは、前記少なくとも２つの干渉計の出力を測定することを含むシステム。
【請求項１１】
前記第２のチャック位置マーク（２８）に対する前記第１のチャック位置マーク（２７
）の相対位置は、前記第２のアライメントセンサ（６２）に対する前記第１のアライメン
トセンサ（６１）の相対位置とほぼ同じである請求項１０のシステム。
【請求項１２】
前記ターゲット（２３）上にパターニングビーム（１８）を投影するために配置された
最終投影システム（１１）をさらに具備し、
前記第１のアライメントセンサ（６１）は、第１の方向（ｙ軸）に前記最終投影システ
ム（１１）から間隔を空けて配置され、前記第２のアライメントセンサ（６２）は、第２
の方向（ｘ軸）に前記最終投影システム（１１）から間隔を空けて配置されている請求項
１０又は１１のシステム。
【請求項１３】
前記チャックの前記第１の位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定するために
、前記アクチュエータシステムは、前記第１及び第２のチャック位置マーク（２７，２８
）を前記第１及び第２のアライメントセンサ（６１，６２）とアライメントするために前
記チャック（１３）を移動させるために配置され、前記測定システム（１０）は、前記チ
ャック（１３）の現在位置と関連付けられた少なくとも１つの値を測定するために配置さ
れている請求項１０ないし１２のいずれか１のシステム。
【請求項１４】
このシステムは、前記チャック(１３)が、チャックの第１の位置に関連付けた前記少なくとも１つの値に基づいて第１の位置に位置されているときに、前記少なくとも２つの干渉計（１５）を初期化するように構成されている請求項１０ないし１３のいずれか１のシステム。
【請求項１５】
前記ターゲット（２３）上にパターニングビーム（１８）を投影するために配置された
最終投影システム（１１）と、
複数のレベルセンサ（５７，５８，５９）を有するレベル感知システム（１９）と、
前記チャック（１３）上の基準面（２６）とをさらに具備し、
前記レベル感知システム（１９）は、少なくとも、第１の方向（ｙ軸）に前記最終投影
システム（１１）から間隔を空けて配置される第１のレベルセンサ（５７）と、第２の方
向（ｘ軸）に前記最終投影システム（１１）から間隔を空けて配置される第２のレベルセ
ンサ（５８）とを有する請求項１０ないし１４のいずれか１のシステム。