(57)【要約】【課題】条件だし用に使用した未露光の感光性レジスト膜が形成されているガラス基板を剥離処理することが可能な１チャンバーの剥離装置を提供すること。【解決手段】コンベアとスプレーノズルとエアナイフと剥離液用回収用タンクと洗浄液用回収用タンクと、が１つのチャンバー内に備えられており、隣接して設置された前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクの上を移動し、それらの回収タンクを合せた寸法より大きく、且つ上に凸の形状の蓋を備えていることを特徴とする１チャンバーの剥離装置。【選択図】図３
2013131522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの製造工程で使用される剥離装置であって、少なくとも、
被処理物である基板を搬送するためのコンベアと、
剥離液および洗浄液を噴出するためのスプレーノズルと、
前記基板に付着した液体を吹き飛ばすためのエアナイフと、
剥離処理に使用する剥離液と洗浄処理に使用する洗浄液を分別回収するための回収タンクと、を備えており、
前記コンベアは、前記スプレーノズルから噴出する剥離液および洗浄液などの液体が前記基板上をスムーズに流れるように、前記基板の流れ方向と垂直な方向に傾斜しており、且つ前記基板を搬送可能とする方向は正逆両方向であり、
前記スプレーノズルは、前記基板の流れ方向に概ね直交する方向に複数個、前記基板の表面と個々の前記スプレーノズルの先端部との距離が均等になるように配置され、
前記エアナイフは、前記剥離装置の出口に最も近い部位において、前記基板の表面側と裏面側に配置され、
前記回収タンクは、少なくとも、剥離液を回収するための剥離液用回収タンクと洗浄液を回収するための洗浄液用回収タンクから構成されており、前記剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、前記洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に前記洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には前記剥離液用回収タンクに洗浄液が入らない機構を備えており、
前記剥離液用回収タンクには、回収した剥離液を貯蔵する剥離液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、剥離液を回収する時には、前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、
前記洗浄液用回収タンクには、回収した洗浄液を貯蔵する洗浄液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、洗浄液を回収する時には、前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、
少なくとも、前記コンベアと前記スプレーノズルと前記エアナイフと前記剥離液回収用タンクと前記洗浄液回収用タンクと、が１つのチャンバー内に備えられていることを特徴とする１チャンバーの剥離装置。
【請求項２】
剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には剥離液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、
前記機構が隣接して設置された前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクの上を移動する蓋であり、且つ前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクを合せた寸法より大きく且つ上に凸の形状の蓋であることを特徴とする請求項１に記載の１チャンバーの剥離装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の剥離装置の制御方法であって、
剥離液をスプレーノズルから基板に噴出させながら、前記剥離液を剥離液用回収タンクに回収し、一定時間経過後に、剥離液の噴出を停止させ、且つ剥離液用回収タンクへの回収を停止させる剥離処理制御方法と、
前記スプレーノズルから前記基板に噴出させる液体を剥離液から洗浄液に切換えてから、予め設定した一定時間の間、洗浄液用回収タンクには回収せずに廃液処理施設に送りながら洗浄を行い、前記一定時間経過後に、廃液処理施設に送るのをやめ、洗浄液用回収タンクへの回収を行いながら洗浄を行う洗浄処理制御方法と、
前記剥離装置の搬出口に最も近い部位に設けられたエアナイフを稼動させながら前記基板を搬出し、搬出が完了するとエアナイフを停止するエアナイフ制御方法と、をこの順に実施することを特徴とする剥離装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタの製造装置に関し、特に感光性レジストを用いたフォトリソグラフィー方式の製造装置の中で、基板再生のため、未露光の感光性レジスト膜を剥離する剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用カラーフィルタの製造工程は、主にガラス基板表面に感光性レジスト膜を形成する塗布装置、感光性レジスト膜に形成しようとするパターンを焼き付ける露光装置、そしてガラス基板上の露光済の感光性レジスト膜を現像する現像装置から構成されている。洗浄装置や乾燥装置が、必要に応じてそれらの製造工程の前後に付加され、製造工程が組み立てられている。
【０００３】
このうち、現像装置は、現像ユニットと洗浄ユニットと乾燥ユニットの３つのユニットから構成されているのが一般的である。
【０００４】
一般に、製造工程で生産を開始する際には、予め条件だしを行い、製造条件を設定する。この条件だしに使用するガラス基板のうち、感光性レジスト膜を塗布したものは、再利用するため、条件だしに使用した後、未露光のものは現像装置に投入して剥離処理を行っている。
【０００５】
この剥離処理を現像装置で行う場合、現像装置が２つある場合は、随時、剥離処理が実施可能であるが、現像装置が１つの場合は、現像装置の生産が終了後に実施するか、生産を止めて現像装置を使用するしかなかった。
【０００６】
特許文献１には、それぞれ、現像ムラを無くすため２つのスプレーノズルからの現像液の流れを交差させる技術および特許文献２には、現像装置の設置床面積を低減するため現像処理と洗浄処理を同じスプレーノズルを使って実施する技術が開示されているが、未露光の感光性レジスト膜がついたガラス基板の剥離処理を、現像処理で使用中に実施できないという点では、従来の現像装置が持つ上記の問題点を解決することはできない。
【０００７】
そのため、剥離処理を随時実施でき、且つ設置床面積を最小限にするため、１チャンバー（１つの処理室）の剥離装置を実現することが望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−３１１１２号公報
【特許文献２】特開平１０−３１２０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、条件だし用に使用した未露光の感光性レジスト膜が形成されているガラス基板を剥離処理することが可能な１チャンバーの剥離装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、カラーフィルタの製造工程で使用される剥離装置であって、少なくとも、
被処理物である基板を搬送するためのコンベアと、
剥離液および洗浄液を噴出するためのスプレーノズルと、
前記基板に付着した液体を吹き飛ばすためのエアナイフと、
剥離処理に使用する剥離液と洗浄処理に使用する洗浄液を分別回収するための回収タンクと、を備えており、
前記コンベアは、前記スプレーノズルから噴出する剥離液および洗浄液などの液体が前記基板上をスムーズに流れるように、前記基板の流れ方向と垂直な方向に傾斜しており、且つ前記基板を搬送可能とする方向は正逆両方向であり、
前記スプレーノズルは、前記基板の流れ方向に概ね直交する方向に複数個、前記基板の表面と個々の前記スプレーノズルの先端部との距離が均等になるように配置され、
前記エアナイフは、前記剥離装置の出口に最も近い部位において、前記基板の表面側と裏面側に配置され、
前記回収タンクは、少なくとも、剥離液を回収するための剥離液用回収タンクと洗浄液を回収するための洗浄液用回収タンクから構成されており、前記剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、前記洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に前記洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には前記剥離液用回収タンクに洗浄液が入らない機構を備えており、
前記剥離液用回収タンクには、回収した剥離液を貯蔵する剥離液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、剥離液を回収する時には、前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記剥離液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、
前記洗浄液用回収タンクには、回収した洗浄液を貯蔵する洗浄液用貯蔵タンクと廃液処理施設に繋がる配管が接続されており、洗浄液を回収する時には、前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを開き、且つ前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを閉鎖し、前記廃液処理施設に送る時には、前記廃液処理施設に繋がる配管のバルブを開き、且つ前記洗浄液用貯蔵タンクに繋がる配管のバルブを閉鎖する、ように制御されるバルブが備えられており、
少なくとも、前記コンベアと前記スプレーノズルと前記エアナイフと前記剥離液回収用タンクと前記洗浄液回収用タンクと、が１つのチャンバー内に備えられていることを特徴とする１チャンバーの剥離装置である。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、剥離液用回収タンクが剥離液を回収中には、洗浄液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、逆に洗浄液用回収タンクが洗浄液を回収中には剥離液用回収タンクに剥離液が入らない機構を備えており、
前記機構が隣接して設置された前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクの上を移動する蓋であり、且つ前記剥離液用回収タンクと前記洗浄液用回収タンクを合せた寸法より大きく且つ上に凸の形状の蓋であることを特徴とする請求項１に記載の１チャンバーの剥離装置である。
【００１２】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の剥離装置の制御方法であって、
剥離液をスプレーノズルから基板に噴出させながら、前記剥離液を剥離液用回収タンクに回収し、一定時間経過後に、剥離液の噴出を停止させ、且つ剥離液用回収タンクへの回収を停止させる剥離処理制御方法と、
前記スプレーノズルから前記基板に噴出させる液体を剥離液から洗浄液に切換えてから、予め設定した一定時間の間、洗浄液用回収タンクには回収せずに廃液処理施設に送りながら洗浄を行い、前記一定時間経過後に、廃液処理施設に送るのをやめ、洗浄液用回収タンクへの回収を行いながら洗浄を行う洗浄処理制御方法と、
前記剥離装置の搬出口に最も近い部位に設けられたエアナイフを稼動させながら前記基
板を搬出し、搬出が完了するとエアナイフを停止するエアナイフ制御方法と、をこの順に実施することを特徴とする剥離装置の制御方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明になる１チャンバーの剥離装置により、従来の３チャンバーで構成される現像装置を剥離装置として使用する場合に比べ、１チャンバーとなるため、設備費用の低減だけでなく設備の設置床面積を小さくすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の剥離装置の概略概念図。
【図２】本発明の剥離装置の概略断面図であり、（Ａ）は処理される基板の搬送方向から見た断面図、（Ｂ）は基板搬送方向と垂直な方向から見た断面図。
【図３】図２と同等の概略断面図であり、特に、上に凸の形状の蓋の動きに伴う回収の状況を説明する図であり、（Ａ）は剥離液が回収される状況、（Ｂ）は洗浄液が回収される状況、を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図面を使用して、本発明の剥離装置について詳しく説明する。
図１は、本発明の剥離装置の概略概念図である。本発明の剥離装置においては、１チャンバー内で剥離処理と洗浄処理を実施することが可能である。また、剥離液と洗浄液を、それぞれ別に回収する分別回収が可能である。
【００１６】
剥離液と洗浄液を分別回収するため、剥離液用回収タンク２ｂと洗浄液用回収タンク２ａを備えている。隣接して設置してある剥離液用回収タンク２ｂと洗浄液用回収タンク２ａには、上に凸の形状の蓋３が、両方合せた寸法を十分にカバーすることが可能な大きさである。上に凸の形状の蓋３は、制御信号により移動可能な駆動機構を備えており、剥離液用回収タンク２ｂだけをカバーして基板４から流れてくる液体が入ることがないようにした状態で洗浄液を洗浄液用回収タンク２ａで回収することが可能であり、また逆に、洗浄液用回収タンク２ａだけをカバーして基板４から流れてくる液体が入ることが無いようにした状態で剥離液剥離液用回収タンク２ｂで回収することが可能である。
【００１７】
基板４に剥離液をスプレーノズル１０から噴出して剥離処理を行う時は、まず、基板４を剥離装置１に搬送し搬入が完了した後、図２（Ｂ）に示したように、スプレーノズル１０に剥離液１４を供給するためのバルブを開き、同時に、洗浄液１３を供給するバルブを閉じる。これらのバルブは常にどちらかが開いている時は、もう一方は閉じる、という制御がなされる。図２（Ｂ）には、基板の搬入口と搬出口が同一の場合を示したが、搬入口と搬出口が別であっても良い。
【００１８】
剥離処理の時は、剥離液回収タンク２ｂに剥離液１４が回収できるように、上に凸の形状の蓋３は、洗浄液回収タンク２ａをカバーする位置に移動し、剥離液回収タンク２ｂに剥離液を回収しながら剥離処理を行う。図２（Ａ）には、基板４の流れの方向とは垂直の方向に、コンベア１１が傾いている様子を示している。このコンベア１１によって基板４が搬送され停止することで、基板４が傾いた状態で保持され、剥離処理が行われる。剥離液回収タンク２ｂに回収された剥離液１４は、図３（Ａ）と図３（Ｂ）に示したように、バルブを制御することによって「剥離液回収」と記載した配管を流れて、図示していない剥離液用貯蔵タンクに貯められる。
【００１９】
次に、剥離処理が終了し、基板４に洗浄液をスプレーノズル１０から噴出して洗浄処理を行う時は、スプレーノズル１０に洗浄液１３を供給するためのバルブを開き、同時に、剥離液１４を供給するバルブを閉じる。この洗浄処理の時は、切換えた後の一定時間は、
洗浄液の回収は行わず、廃液処理施設に流すようにバルブを制御する。その理由は、剥離液から洗浄液に切替えた直後は、配管中に剥離液が残留しており、洗浄液が流れるに従って剥離液が希釈され洗浄液に切り替わるのに、一定の時間を要するためである。この間は、剥離液用回収タンク２ｂにも洗浄液用回収タンク２ａにも洗浄液が入らないように、上に凸の形状の蓋３が両方の回収タンクをカバーする位置に移動する。
【００２０】
一定時間が経過した後、洗浄液回収タンク２ａに洗浄液１３が回収できるように、上に凸の形状の蓋３は、剥離液回収タンク２ｂをカバーする位置に移動し、洗浄液回収タンク２ａに洗浄液を回収しながら洗浄処理を行う。洗浄液回収タンク２ａに回収された洗浄液１３は、図３（Ａ）と図３（Ｂ）に示したように、バルブを制御することによって「洗浄液回収」と記載した配管を流れて、図示していない洗浄液用貯蔵タンクに貯められる。
【００２１】
次に、洗浄処理が終了し、基板４を剥離装置から搬出する時、搬出口に最も近い部位に設置されたエアナイフ１２によって、洗浄液を吹き飛ばしながら、基板４を搬出する。基板４の表裏面に付着している洗浄液を吹き飛ばすため、エアナイフ１２は、表面と裏面の両側に設けられている。以上で、１チャンバーの剥離装置による剥離処理が終了する。
【符号の説明】
【００２２】
１・・・剥離装置
２ａ・・・洗浄液回収タンク
２ｂ・・・剥離液回収タンク
３・・・上に凸の形状の蓋
４・・・基板
１０・・・スプレーノズル
１１・・・コンベア
１２・・・エアナイフ
１３・・・洗浄液
１４・・・剥離液
【図１】
2013131522.tif 000003
【図２】
2013131522.tif 000004
【図３】
2013131522.tif 000005