(57)【要約】【課題】複数のウェーハを同時に移動させることができる移動機構を備えた新規なウェーハ処置装置を提供する。【解決手段】ウェーハ処置装置１は、昇降可能かつ中心軸Ｃ１を中心として回転可能な台座部１５と、第１のハンド部１６ａと第１のアーム部１６ｂとを有する第１の操作部１６と、第２のハンド部１７ａと第２のアーム部１７ｂとを有する第２の操作部１７と処置室１１とを備える。第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａは、それぞれ中心軸Ｃ１側から半径方向に沿って延びる。第１及び第２のアーム部１６ｂ、１７ｂは、それぞれ、第１または第２のハンド部１６ａ、１７ａを半径方向に進退させる。第２のハンド部１７ａは、第１のハンド部１６ａから距離Ｌだけ上方に位置する。第２の設置部２２のウェーハの設置面は、第１の設置部２１のウェーハの設置面よりも距離Ｌだけ高い位置に設けられている。【選択図】図２
2013149840.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
昇降可能かつ中心軸を中心として回転可能に設けられた台座部と、
前記中心軸側から半径方向に沿って延びる第１のハンド部と、前記台座部の上に設けられており、前記第１のハンド部を前記半径方向に進退させる第１のアーム部とを有する第１の操作部と、
前記中心軸側から半径方向に沿って延びており、前記第１のハンド部から距離Ｌだけ上方に位置する第２のハンド部と、前記台座部の上に設けられており、前記第２のハンド部を前記半径方向に進退させる第２のアーム部とを有する第２の操作部と、
複数のウェーハが前記中心軸の延びる方向に沿って相互に間隔をおいて設置される容器と、
前記ウェーハを処置する処置室と、
を備え、
前記処置室は、
第１の設置部と、
前記第１の設置部に対して、前記中心軸を中心とした半径方向の外側に配された第２の設置部と、
を有し、
前記第２の設置部の前記ウェーハの設置面は、前記第１の設置部の前記ウェーハの設置面よりも前記距離Ｌだけ高い位置に設けられている、ウェーハ処置装置。
【請求項２】
前記容器において、前記中心軸の延びる方向に隣接したウェーハ間の距離が前記距離Ｌと等しい、請求項１に記載のウェーハ処置装置。
【請求項３】
前記中心軸を中心とした周方向において、前記容器と前記処置室との間に配されており、前記第１のハンド部により支持されたウェーハと前記第２のハンド部により支持されたウェーハとが載置される載置台と、
前記載置台に載置されたウェーハの位置を調整する位置調整機構と、
をさらに備える、請求項１または２に記載のウェーハ処置装置。
【請求項４】
前記第１及び第２のアーム部を駆動させて前記第１及び第２のハンド部を前記半径方向に進退させることにより、前記第１のハンド部と前記第２のハンド部とのそれぞれに、前記容器に設置されていたウェーハを取得させる工程と、
前記台座部を回転させた後に前記前記第１及び第２のアーム部を駆動させて前記第１及び第２のハンド部を前記半径方向に進退させることにより、前記第１のハンド部により取得されていたウェーハを前記第１の設置部に設置させると共に、前記第２のハンド部により取得されていたウェーハを前記第２の設置部に設置させる設置工程と、
を行う制御部をさらに備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載のウェーハ処置装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記設置工程において、前記第１のハンド部の進退と、前記第２のハンド部との進退とを並行して行う、請求項１〜４のいずれか一項に記載のウェーハ処置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハ処置装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウェーハを備える半導体デバイスの製造に際しては、成膜、エッチング、洗浄等の複数の処置を行う必要がある。このため、半導体デバイスの製造に際しては、各処置を行う処置室への半導体ウェーハの出し入れが必要となる。このため、従来、例えば特許文献１などにおいて、種々のウェーハの搬送機構を備えたウェーハ処置装置が提案されている。
【０００３】
特許文献１に記載のウェーハ処置装置では、ウェーハが載置されるトレイがくし歯状に設けられている。トレイの上には、くし歯の延びる方向に沿って複数のウェーハが載置される。そして、トレイに間挿し合う形状のくし歯状のハンド部を用いて、くし歯の延びる方向に沿って載置された複数のウェーハが同時に取得される。従って、特許文献１に記載のウェーハ処置装置によれば、トレイ上に載置された複数のウェーハを同時に処置室に搬送することができる。従って、ウェーハの処置を高効率に行っていくことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６-２９４７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のウェーハ処置装置では、トレイ上に載置されたウェーハをハンドで取得するためには、ハンドとトレイとが互いに間挿し合う位置にハンドをトレイに対して正確に移動させる必要がある。従って、制御が困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明は、複数のウェーハを同時に移動させることができる移動機構を備えた新規なウェーハ処置装置を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るウェーハ処置装置は、台座部と、第１の操作部と、第２の操作部と、容器と、ウェーハを処置する処置室とを備える。台座部は、昇降可能かつ中心軸を中心として回転可能に設けられている。第１の操作部は、第１のハンド部と、第１のアーム部とを有する。第１のハンド部は、中心軸側から半径方向に沿って延びる。第１のアーム部は、台座部の上に設けられている。第１のアーム部は、第１のハンド部を半径方向に進退させる。第２の操作部は、第２のハンド部と、第２のアーム部とを有する。第２のハンド部は、中心軸側から半径方向に沿って延びる。第２のハンド部は、第１のハンド部から距離Ｌだけ上方に位置する。第２のアーム部は、台座部の上に設けられている。第２のアーム部は、第２のハンド部を半径方向に進退させる。容器には、複数のウェーハが中心軸の延びる方向に沿って相互に間隔をおいて設置される。処置室は、第１の設置部と、第２の設置部とを有する。第２の設置部は、第１の設置部に対して、中心軸を中心とした半径方向の外側に配されている。第２の設置部のウェーハの設置面は、第１の設置部のウェーハの設置面よりも距離Ｌだけ高い位置に設けられている。
【０００８】
本発明に係るウェーハ処置装置のある特定の局面では、容器において、中心軸の延びる方向に隣接したウェーハ間の距離が距離Ｌと等しい。
【０００９】
本発明に係るウェーハ処置装置の別の特定の局面では、ウェーハ処置装置は、載置台と、位置調整機構とをさらに備える。載置台は、中心軸を中心とした周方向において、容器と処置室との間に配されている。載置台には、第１のハンド部により支持されたウェーハと第２のハンド部により支持されたウェーハとが載置される。位置調整機構は、載置台に載置されたウェーハの位置を調整する。
【００１０】
本発明に係るウェーハ処置装置の他の特定の局面では、ウェーハ処置装置は、制御部をさらに備える。制御部は、第１及び第２のアーム部を駆動させて第１及び第２のハンド部を半径方向に進退させることにより、第１のハンド部と第２のハンド部とのそれぞれに、容器に設置されていたウェーハを取得させる。制御部は、台座部を回転させた後に第１及び第２のアーム部を駆動させて第１及び第２のハンド部を半径方向に進退させることにより、第１のハンド部により取得されていたウェーハを第１の設置部に設置させると共に、第２のハンド部により取得されていたウェーハを第２の設置部に設置させる設置工程を行う。
【００１１】
本発明に係るウェーハ処置装置のさらに他の特定の局面では、制御部は、設置工程において、第１のハンド部の進退と、第２のハンド部との進退とを並行して行う。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数のウェーハを同時に移動させることができる移動機構を備えた新規なウェーハ処置装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るウェーハ処置装置の模式的平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るウェーハ処置装置の模式的側面図である。
【図３】本発明の一実施形態における、取得工程実施時の操作装置の模式的斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態における、設置工程実施時の操作装置の模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１５】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１６】
（ウェーハ処置装置１の構成）
図１は、本実施形態に係るウェーハ処置装置１の模式的平面図である。図２は、本実施形態に係るウェーハ処置装置の模式的側面図である。図３は、本実施形態における、取得工程実施時の操作装置１３の模式的斜視図である。図４は、本実施形態における、設置工程実施時の操作装置１３の模式的斜視図である。
【００１７】
図１及び図２に示すウェーハ処置装置１は、例えば、ウェーハに処置を施すための装置である。ウェーハに施す処置の種類は、特に限定されない。ウェーハ処置装置１は、例えば、成膜、エッチング、パターニング、洗浄等をウェーハに対して行う装置であってもよい。
【００１８】
ウェーハ処置装置１は、設置室１０と、処置室１１とを有する。設置室１０と処置室１１とは隣接して設けられている。処置室１１が設置室１０に対して減圧雰囲気であるような場合や、処置室１１と設置室１０とで雰囲気ガスが異なるような場合には、処置室１１と設置室１０との間に開閉可能な扉が設けられていてもよい。
【００１９】
設置室１０には、容器１４と、操作装置１３とが設けられている。操作装置１３は、台座部１５と、第１の操作部１６と、第２の操作部１７とを有する。台座部１５は、中心軸Ｃ１が鉛直方向を向くように設けられている。台座部１５は、昇降可能である。また、台座部１５は、中心軸Ｃ１を中心として双方向に回転可能である。
【００２０】
第１の操作部１６と第２の操作部１７とは、台座部１５の上に設けられている。第１の操作部１６は、第１のハンド部１６ａと、第１のアーム部１６ｂとを有する。第１のハンド部１６ａは、中心軸Ｃ１側から半径方向に沿って延びている。第１のハンド部１６ａは、板状に設けられている。第１のハンド部１６ａの上には、ウェーハが載置可能となっている。
【００２１】
第１のアーム部１６ｂは、台座部１５の上に設けられている。第１のアーム部１６ｂは、第１のハンド部１６ａを中心軸Ｃ１を中心とした半径方向に進退させる。すなわち、第１のアーム部１６ｂは、第１のハンド部１６ａを、中心軸Ｃ１から離れる方向及び中心軸Ｃ１に近づく方向にそれぞれ移動させる。
【００２２】
第２の操作部１７は、第２のハンド部１７ａと、第２のアーム部１７ｂとを有する。第２のハンド部１７ａは、中心軸Ｃ１から半径方向に沿って延びている。第２のハンド部１７ａは、板状に設けられている。第２のハンド部１７ａの上には、ウェーハが載置可能となっている。
【００２３】
第２のハンド部１７ａと第１のハンド部１６ａとは、鉛直方向（中心軸Ｃ１の延びる方向）から視た際に、重なるように配されている。鉛直方向（中心軸Ｃ１の延びる方向）において、第２のハンド部１７ａは、第１のハンド部１６ａから距離Ｌだけ上方に位置している。なお、距離Ｌは、例えば、ハンド部１６ａ、１７ａの厚み等に応じて適宜設定することができる。距離Ｌは、例えば、０．４７ｍｍ〜０．９４ｍｍ程度であってもよい。
【００２４】
第２のアーム部１７ｂは、台座部１５の上に設けられている。第２のアーム部１７ｂは、第２のハンド部１７ａを中心軸Ｃ１を中心とした半径方向に進退させる。すなわち、第２のアーム部１７ｂは、第２のハンド部１７ａを、中心軸Ｃ１から離れる方向及び中心軸Ｃ１に近づく方向にそれぞれ移動させる。
【００２５】
容器１４は、複数のウェーハが鉛直方向（中心軸Ｃ１の延びる方向）に沿って相互に間隔をおいて設置可能に設けられている。容器１４において、鉛直方向（中心軸Ｃ１の延びる方向）に隣接したウェーハ間の距離は、第１のハンド部１６ａと第２のハンド部１７ａとの間の距離と等しく、Ｌであることが好ましい。
【００２６】
なお、操作装置１３は、制御部４０によって制御される。具体的には、台座部１５の昇降及び回転、第１及び第２のアーム部１６ｂ、１７ｂの操作等は、制御部４０によって行われる。また、後述する位置調整機構３２も、制御部４０によって制御される。
【００２７】
処置室１１は、ウェーハに、成膜等の処置を施す部屋である。処置室１１には、ステージ２０と、それぞれウェーハが設置される第１及び第２の設置部２１，２２とが設けられている。第１の設置部２１と第２の設置部２２とは、中心軸Ｃ１を中心とした半径方向に沿って配列されている。第１の設置部２１に対して第２の設置部２２は、半径方向の外側に配されている。すなわち、第１の設置部２１が中心軸Ｃ１に相対的に近い位置に配されており、第２の設置部２２が中心軸Ｃ１から相対的に遠い位置に配されている。第２の設置部２２のウェーハの設置面は、第１の設置部２１のウェーハの設置面より距離Ｌだけ高い位置に設けられている。
【００２８】
なお、設置部２１，２２の構成は、設置部２１，２２上にウェーハが好適に設置可能である限りにおいて特に限定されない。設置部２１，２２は、例えば、相互に離間して配され、ステージ２０内から出し入れ可能な複数の棒状体により構成することができる。
【００２９】
ウェーハ処置装置１は、載置台３１と、位置調整機構３２とをさらに備えている。
【００３０】
載置台３１は、中心軸Ｃ１を中心とした周方向において、容器１４と処置室１１との間に配されている。載置台３１は、第１のハンド部１６ａにより支持されたウェーハが載置される第１の載置部と、第２のハンド部１７ａにより支持されたウェーハが載置される第２の載置部とを有する。第１の載置部のウェーハの載置面に対して、第２の載置部のウェーハの載置面は、距離Ｌだけ高い位置に設けられている。
【００３１】
位置調整機構３２は、載置台３１に載置された２枚のウェーハの位置を調整する。具体的には、位置調整機構３２は、載置台３１に載置された２枚のウェーハの位置を実質的に一致させる。
【００３２】
（ウェーハ処置装置１の動作）
次に、ウェーハ処置装置１の動作について、図１及び図２に加えて図３〜図４を参照しながら詳細に説明する。
【００３３】
（ウェーハの取得工程）
まず、制御部４０は、台座部１５を回転させ、平面視において、第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａの延長線上に容器１４に設置されたウェーハが位置するように第１及び第２の操作部１６，１７を位置させる。
【００３４】
次に、制御部４０は、第１のアーム部１６ｂを駆動させることにより、第１のハンド部１６ａをウェーハの下方に挿入する。その後、制御部４０は、台座部１５を上昇させることにより、第１のハンド部１６ａにウェーハを取得させる。制御部４０は、第１のアーム部１６ｂを駆動させることによって、第１のハンド部１６ａを容器１４から抜き取る。また、制御部４０は、第２のアーム部１７ｂを駆動させることにより、第２のハンド部１７ａをウェーハの下方に挿入する。その後、制御部４０は、台座部１５を上昇させることにより、第２のハンド部１７ａにウェーハを取得させる。制御部４０は、第２のアーム部１７ｂを駆動させることによって、第２のアーム部１７ｂを容器１４から抜き取る。
【００３５】
なお、第１のハンド部１６ａによるウェーハの取得と、第２のハンド部１７ａによるウェーハの取得が同時に行われてもよい。
【００３６】
（位置調整工程）
次に、制御部４０は、台座部１５を適宜回転及び昇降させると共に第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａを適宜進退させることによって、第１のハンド部１６ａにより取得されていたウェーハを載置台３１の第１の載置部上に載置すると共に、第２のハンド部１７ａにより取得されていたウェーハを載置台３１の第２の載置部上に載置する。次に、位置調整機構３２によって、載置された２枚のウェーハの位置の調整が行われる。その後、制御部４０は、台座部１５並びに第１及び第２のアーム部１６ｂ、１７ｂを適宜駆動させることにより、第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａのそれぞれに再びウェーハを取得させる。
【００３７】
この位置調整工程を行うことにより、後述する設置工程において、２枚のウェーハを、設置部２１，２２に高い位置精度で設置することが可能となる。
【００３８】
（設置工程）
次に、制御部４０は、台座部１５を回転させることにより、第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａの延長線上に第１及び第２の設置部２１，２２が位置する位置まで第１及び第２のハンド部１６ａ、１７ａを移動させる。次に、制御部４０は、第１のアーム部１６ｂを駆動させることにより、第１のハンド部１６ａを進退させ、第１の設置部２１の設置面の上に第１のハンド部１６ａにより取得されていたウェーハを設置する。また、制御部４０は、第２のアーム部１７ｂを駆動させることにより、第２のハンド部１７ａを進退させ、第２の設置部２２の設置面上に第２のハンド部１７ａにより取得されていたウェーハを設置する。
【００３９】
本実施形態では、制御部４０は、この設置工程において、第１のハンド部１６ａの進退と第２のハンド部１７ａの進退とを並行して行うことにより、第１のハンド部１６ａにより取得されていたウェーハの載置と、第２のハンド部１７ａにより取得されていたウェーハの載置とを並行して行う。
【００４０】
（処置工程）
第１及び第２の設置部２１，２２がステージ２０内に収納されることで、ウェーハがステージ２０上に載置される。その後、制御部４０は、処置室１１に設けられた処置機構を駆動し、ステージ２０上に載置された各ウェーハに処置を施す。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態では、第２の設置部２２のウェーハの設置面は、第１の設置部２１のウェーハの設置面より、第１のハンド部１６ａと第２のハンド部１７ａとの間の距離と等しい距離Ｌだけ高い位置に設けられている。このため、第１のハンド部１６ａに取得されていたウェーハを第１の設置部２１に好適に設置できると共に、第２のハンド部１７ａに取得されていたウェーハを、平面視において第１の設置部２１とは異なる位置に配された第２の設置部２２に好適に設置することができる。
【００４２】
また、第１の設置部２１へのウェーハの設置と、第２の設置部２２へのウェーハの設置とを並行して行うこともできる。従って、ウェーハの処置を高効率に行うことができる。
【００４３】
また、本実施形態では、容器１４におけるウェーハ間の距離も距離Ｌと等しくされている。従って、容器１４に収容されたウェーハを、第１のハンド部１６ａと第２のハンド部１７ａとで並行して取得可能である。従って、ウェーハの処置をより高効率に行うことができる。
【００４４】
また、ウェーハ処置装置１では、ウェーハを吸着させることなく、ハンド部１６ａ、１７ａによって取得可能である。従って、設置室１０及び処置室１１を減圧雰囲気とすることも可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１…ウェーハ処置装置
１０…設置室
１１…処置室
１３…操作装置
１４…容器
１５…台座部
１６…第１の操作部
１６ａ…第１のハンド部
１６ｂ…第１のアーム部
１７…第２の操作部
１７ａ…第２のハンド部
１７ｂ…第２のアーム部
２０…ステージ
２１…第１の設置部
２２…第２の設置部
３１…載置台
３２…位置調整機構
４０…制御部
Ｃ１…中心軸
【図１】
2013149840.tif 000003
【図２】
2013149840.tif 000004
【図３】
2013149840.tif 000005
【図４】
2013149840.tif 000006