【手続補正書】
【提出日】平成28年10月25日(2016.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の鉱物内容を決定する方法であって、
走査電子顕微鏡内に試料を置くこと、
前記試料のＸ線スペクトルおよび後方散乱電子強度値を得るために、前記試料上の点に電子ビームを導くことであり、前記Ｘ線スペクトルおよび前記後方散乱電子強度値がデータ点に対応し、前記データ点が、関連した鉱物組成を有すること、
規則の第１のセットから、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルに、規則を順番に適用することであって、それぞれの規則は、鉱物組成を同定し、前記規則が同定する前記鉱物組成に対応する１つまたは複数の判定基準を備えており、前記規則を適用することは、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記規則の前記１つまたは複数の判定基準と比較することを含むこと、
前記データ点の前記鉱物組成を、前記１つまたは複数の判定基準が満たされる最初の規則の前記鉱物組成として同定すること、
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルが、前記規則の第１のセットのいずれかの規則の前記１つまたは複数の判定基準を満たさなかった場合に、鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較すること、ならびに
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内のベスト・マッチである前記鉱物のための前記鉱物定義の前記Ｘ線スペクトルとの類似性の判定基準の値が所定のしきい値を満たす場合に、前記データ点の前記鉱物組成を、前記ライブラリ内の定義されたベスト・マッチである前記鉱物に対応する前記鉱物組成として同定すること
を含む方法。
【請求項２】
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内の定義されたベスト・マッチである前記鉱物の前記Ｘ線スペクトルとの類似性の判定基準の値が前記所定のしきい値を満たさない場合に、
規則の第２のセットから前記データ点に、規則を順番に適用することであって、前記規則の第２のセットのそれぞれの規則は鉱物組成を同定し、前記規則が同定する前記鉱物組成に対応する１つまたは複数の判定基準を有しており、前記規則を適用することは前記データ点を前記規則の前記１つまたは複数の判定基準と比較することを含むことと、
前記１つまたは複数の判定基準が満たされる最初の規則の前記鉱物組成として、前記データ点の前記鉱物組成を同定することと、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較することが、前記データ点の前記後方散乱電子強度値を前記ライブラリ内の定義された鉱物に対応する後方散乱電子強度値と比較することをさらに含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
規則の第１のセットから、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルに、規則を順番に適用することが、不良なデータ点を識別し、または詳細な分析を必要としない前記試料の部分を識別する、請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較することが、前記データ点と前記ライブラリ内の鉱物定義のうちのそれぞれの鉱物定義との間の類似距離を計算することを含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
類似距離を計算することが、前記データ点に対して観察される値を前記ライブラリ鉱物が生成する確率を決定することを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
類似距離を計算することが、カイ２乗値を計算することを含む、請求項５または６に記載の方法。
【請求項８】
規則の第１のセットから、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルに、規則を順番に適用することが、前記データ点を、特定のエネルギー範囲におけるＸ線ピークの高さを含むある判定基準と比較することを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項９】
前記判定基準のうちの１つが後方散乱電子強度値である、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
鉱物試料の鉱物内容を決定する走査電子顕微鏡システムであって、
鉱物試料に向かって電子ビームを導く電子ビーム・カラムと、
データ点のＸ線スペクトルを生成するために、前記鉱物試料の表面での前記電子ビーム中の電子の衝突に反応して前記鉱物試料から放出されたＸ線のエネルギーまたは波長を測定する検出器と、
前記鉱物試料中に存在する鉱物を決定するために、コンピュータ命令を実行する処理装置と、を備え、
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、規則の第１のセット内の、それぞれが鉱物組成に対応する判定基準と順番に比較し、前記データ点の前記鉱物組成を、満たされた最初の判定基準に対応する前記鉱物組成として同定するコンピュータ命令、
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルが、前記規則の第１のセット内の前記判定基準のいずれをも満たさなかった場合に、鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを前記鉱物定義ライブラリ内の鉱物定義のＸ線スペクトルと比較するコンピュータ命令、ならびに
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内のベスト・マッチである前記鉱物のための前記鉱物定義の前記Ｘ線スペクトルとの一致の程度が所定のしきい値を満たす場合に、前記データ点の前記鉱物組成を、前記ライブラリ内の定義されたベスト・マッチである前記鉱物に対応する前記鉱物組成として同定するコンピュータ命令
を含むコンピュータ記憶装置と
を備える走査電子顕微鏡システム。
【請求項１１】
前記コンピュータ命令が、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内の定義されたベスト・マッチである前記鉱物との一致の程度が前記所定のしきい値を満たさない場合に、前記データ点を、規則の第２のセット内の、それぞれが鉱物組成に対応する判定基準と順番に比較し、前記データ点の前記鉱物組成を、前記規則の第２のセット内の満たされた最初の判定基準に対応する前記鉱物組成として同定する命令をさらに含む、請求項１０に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１２】
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較する前記コンピュータ命令が、前記データ点の後方散乱電子強度値を前記ライブラリ内の定義された鉱物に対応する後方散乱電子強度値と比較するコンピュータ命令をさらに含む、請求項１０または１１に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１３】
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、規則の第１のセット内の判定基準と順番に比較する前記コンピュータ命令が、不良なデータ点を識別するコンピュータ命令、または詳細な分析を必要としない前記鉱物試料の部分を識別するコンピュータ命令を含む、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１４】
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較する前記コンピュータ命令が、前記データ点と前記鉱物定義の前記ライブラリ内の前記鉱物定義のうちのそれぞれの鉱物定義との間の類似距離を計算するコンピュータ命令を含む、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１５】
鉱物試料の鉱物内容を決定する走査電子顕微鏡システムであって、
鉱物試料に向かって電子ビームを導く電子ビーム・カラムと、
データ点のＸ線スペクトルを生成するために、前記鉱物試料への前記電子ビーム中の電子の衝突に反応して前記鉱物試料から放出されたＸ線のエネルギーまたは波長を測定する検出器と、
前記鉱物試料中に存在する前記鉱物を決定するためにコンピュータ命令を実行する処理装置と、を備え、
規則の第１のセットから、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルに、規則を順番に適用するために構成されるコンピュータ命令であって、それぞれの規則は、鉱物組成を同定し、前記規則が同定する前記鉱物組成に対応する１つまたは複数の判定基準を備えており、前記規則を適用することは、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記規則の前記１つまたは複数の判定基準と比較することを含んでいる、コンピュータ命令、
前記データ点の前記鉱物組成を、前記１つまたは複数の判定基準が満たされる最初の規則の前記鉱物組成として同定するために構成されるコンピュータ命令、
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルが、前記規則の第１のセットの前記いずれの規則の前記１つまたは複数の判定基準を満たさなかった場合に限り、鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較するために構成されるコンピュータ命令、ならびに
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内のベスト・マッチである前記鉱物のための前記鉱物定義の前記Ｘ線スペクトルとの類似性の判定基準の値が所定のしきい値を満たす場合に、前記データ点の前記鉱物組成を、前記ライブラリ内の定義されたベストマッチである前記鉱物に対応する前記鉱物組成として同定するために構成されるコンピュータ命令
を含むコンピュータ記憶装置と
を備える走査電子顕微鏡システム。
【請求項１６】
前記コンピュータ命令が、
前記データ点の前記Ｘ線スペクトルと前記ライブラリ内の定義されたベスト・マッチである前記鉱物のＸ線スペクトルとの前記類似性の判定基準の値が前記所定のしきい値を満たさない場合に、規則の第２のセットから前記データ点に、規則を順番に適用するコンピュータ命令であって、前記規則の第２のセットのそれぞれの規則は鉱物組成を同定し、前記規則が同定する前記鉱物組成に対応する１つまたは複数の判定基準を有しており、前記規則を適用することは前記データ点を前記規則の前記１つまたは複数の判定基準と比較することを含んでいる、コンピュータ命令、
前記１つまたは複数の判定基準が満たされる最初の規則の前記鉱物組成として、前記データ点の前記鉱物組成を同定するコンピュータ命令、
をさらに含む、請求項１５に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１７】
前記コンピュータ命令が、
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較するコンピュータ命令が、前記データ点の後方散乱電子強度値を前記ライブラリ内の定義された鉱物に対応する後方散乱電子強度値と比較するコンピュータ命令をさらに含む、請求項１５または１６に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１８】
規則の第１のセットから、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルに、規則を順番に適用するコンピュータ命令が、不良なデータ点を識別し、または詳細な分析を必要としない前記鉱物試料の部分を識別するコンピュータ命令を含む、請求項１５または１６に記載の走査電子顕微鏡システム。
【請求項１９】
鉱物定義ライブラリ内の定義された前記鉱物のうちのどの鉱物が前記データ点に対するベスト・マッチであるかを決定するために、前記データ点の前記Ｘ線スペクトルを、前記鉱物定義ライブラリ内の異なる鉱物定義のＸ線スペクトルと比較するコンピュータ命令が、前記データ点と前記ライブラリ内の前記鉱物定義のうちのそれぞれの鉱物定義との間の類似距離を計算するコンピュータ命令を含む、請求項１５または１６に記載の走査電子顕微鏡システム。