【手続補正書】
【提出日】平成27年12月10日(2015.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析対象を検査または測定するための方法であって、
一つ以上の第一の走査線と、前記一つ以上の第一の走査線の後に走査される次の走査線と一つ以上の第一の走査線と、を含む各走査線から出た出力ビームプロフィルが光電子増倍管（ＰＭＴ）によって連続的に収集されるように、分析対象の複数の連続的な前記走査線にわたって入射ビームを導くこと、
前記入射ビームが前記分析対象の前記一つ以上の第一の走査線に導かれた後または導かれる間に、第一の走査線のそれぞれについて前記ＰＭＴにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、各第一の走査線における出力信号を取得すること、
一つ以上の第一の走査線のそれぞれについて得られた前記出力信号に基づき、前記次の走査線における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記次の走査線の方に導かれたときに、そのような次の走査線におけるゲインの設定により、前記ＰＭＴにおける測定信号が、前記ＰＭＴまたは前記ＰＭＴから出る測定信号を受信する他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように、前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記次の走査線について前記ＰＭＴに入力される前記ゲインを設定すること、を含む、方法。
【請求項２】
一つ以上の第一の走査される線のそれぞれが第一のダイを有し、前記次の走査線が各一つ以上の第一のダイとは異なる第二のダイを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
一つ以上の第一の走査される線のそれぞれが一つ以上の第一の走査線を有し、前記次の走査線が前記一つ以上の第一の走査線に隣接する第二の走査線を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記一つ以上の第一の走査線に関する前記出力信号を解析して、そのような一つ以上の第一の走査線における欠陥を検出することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記入射ビームがその方に導かれる前記走査線が、前記第一の次の走査線に隣接する第二の次の走査線をさらに含み、前記方法が、
前記入射ビームが前記分析対象の前記第一の次の走査線に導かれた後または導かれる間に、そのような第一の次の走査線について前記ＰＭＴにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、前記第一の次の走査線における出力信号を取得すること、
前記第一の次の走査線について得られた前記出力信号に基づき、前記第二の次の走査線における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記第二の次の走査線の方に導かれたときに、そのような第二の次の走査線におけるゲインにより、前記ＰＭＴにおける測定信号が、前記ＰＭＴの既定の仕様に入るように、前記第二の次の走査線における前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記第二の次の走査線について前記ＰＭＴに入力される前記ゲインを設定すること、をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第一および第二の次の走査線について前記ＰＭＴに入力される前記ゲインが、特定の周波数レンジに制限されて設定される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記次の走査線における前記予期される出力ビームプロフィルが、前記第一の走査線のうちの最近走査された線における前記出力ビームプロフィル、または前記一つ以上の第一の走査線における前記出力ビームプロフィルの平均と略等しいと予測される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記一つ以上の第一の走査線が複数の第一の走査線を有し、前記次の走査線における前記予期される出力ビームプロフィルが、第一の走査線全体におけるゲイン増加率または減少率と略等しい、前記第一の走査線のうちの直前に走査された線におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記一つ以上の第一の走査線が複数の第一の走査線を有し、前記予期される出力ビームプロフィルが、前記第一の走査線におけるゲイン増加率または減少率に比例する、前記第一の走査線のうちの直前に走査された線におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ゲインのさらなる設定において、そのようなゲインが前記次の走査線の走査に適合するように調節され、前記次の走査線において前記ＰＭＴにより出力された測定信号から生成された画像におけるアーチファクトを最小限にするような所定の値の範囲内に維持される、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ゲインが、位相が互いに１８０度異なり、大きさが略等しい２つのゲイン信号を前記ＰＭＴに入力することにより、前記次の走査線について前記ＰＭＴに入力され、前記２つのゲイン信号のうちの一方が前記ＰＭＴのダイノードの半分により受信され、前記２つのゲイン信号のうちの他方が前記ＰＭＴのダイノードの残りの半分により受信される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
分析対象の方に導かれた入射ビームに反応してそのような分析対象から出た光を検出するための光電子増倍管（ＰＭＴ）と、
一つ以上の第一の走査線と、前記一つ以上の第一の走査線の後に走査される次の走査線とを含む各走査線から出た出力ビームプロフィルが前記ＰＭＴによって連続的に収集されるように、前記分析対象の複数の連続的な走査線にわたって前記入射ビームを導くためのビーム発生器と、
前記入射ビームが走査線全体を走査したときにそのような各走査線における応答信号を生成する前記ＰＭＴおよび一つ以上の検出部品を含む検出モジュールと、
各走査線における前記応答信号を前記検出モジュールから受信し、そのような応答信号に基づき前記ＰＭＴのゲインを設定するゲイン予測モジュールであって、前記分析対象の各走査線の前記ゲインの設定が、前記入射ビームにより最近走査された前記分析対象の一つ以上の以前の走査線から生成された前記応答信号に基づいてそのような走査線から出ると予期される前記光の予測に基づき行われる、ゲイン予測モジュールと、を備える、分析対象を検査または測定するためのシステム。
【請求項１３】
各走査線に入力される前記ゲインが、前記ＰＭＴにおける測定信号が、前記ＰＭＴまたは前記ＰＭＴから出る測定信号を受信する前記検出モジュールまたはゲイン予測モジュールの他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように設定される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
各走査線における前記応答信号を解析してそのような走査線における欠陥を検出するためのプロセッサをさらに備える、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
特定の周波数レンジに制限するように、各走査線に関して前記ＰＭＴに入力する前記ゲインを設定する、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１６】
各走査線から出る前記光が、そのような一つ以上の以前の走査線からの前記応答信号に基づき決定された、前記一つ以上の以前の走査線から出た前記光と略等しいと予測される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１７】
前記一つ以上の以前の走査線が複数の以前の走査線を有し、各走査線から出る前記光が、前記以前の走査線におけるゲイン増加率または減少率と略等しい、前記以前の走査線のうちの直前に走査された線におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１８】
前記一つ以上の以前の走査線が複数の以前の走査線を有し、各走査線から出る前記光が、前記以前の走査線におけるゲイン増加率または減少率に比例する、前記以前の走査線のうちの直前に走査された線におけるゲイン増加率または減少率を有すると予測される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１９】
各走査線に入力される前記ゲインのさらなる設定において、ゲイン入力が走査線の走査に適合するように調節され、走査線において前記ＰＭＴにより出力された測定信号から生成された画像におけるアーチファクトを最小限にするような所定の値の範囲内に維持される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項２０】
各走査線に関して前記ＰＭＴに入力される前記ゲインが、位相が互いに１８０度異なり、大きさが略等しい２つのゲイン信号を前記ＰＭＴに入力することにより達成され、前記２つのゲイン信号のうちの一方が前記ＰＭＴのダイノードの半分により受信され、前記２つのゲイン信号のうちの他方が前記ＰＭＴのダイノードの残りの半分により受信される、請求項１２に記載のシステム。
【請求項２１】
検査または計測ツールに以下の工程を実行させるように設計された、コンピュータプログラム命令をその内部に保存する少なくとも一つのコンピュータ可読記憶媒体であって、前記工程が、
一つ以上の第一の走査線と、前記一つ以上の第一の走査線の後に走査される次の走査線とを含む各走査線から出た出力ビームプロフィルが光電子増倍管（ＰＭＴ）によって連続的に収集されるように、分析対象の複数の連続的な走査線にわたって入射ビームを導くこと、
前記入射ビームが前記分析対象の前記一つ以上の第一の走査線に導かれた後または導かれる間に、第一の走査線のそれぞれについて前記ＰＭＴにより収集された前記出力ビームプロフィルに基づき、各第一の走査線における出力信号を取得すること、
一つ以上の第一の走査線のそれぞれについて得られた前記出力信号に基づき、前記次の走査線における予期される出力ビームプロフィルを決定すること、
前記入射ビームが前記次の走査線の方に導かれたときに、そのような次の走査線におけるゲインの設定により、前記ＰＭＴにおける測定信号が、前記ＰＭＴまたは前記ＰＭＴから出る測定信号を受信する他のハードウェア部品の既定の仕様に入るように、前記予期された出力ビームプロフィルに基づき、前記次の走査線について前記ＰＭＴに入力される前記ゲインを設定すること、を含む、コンピュータ可読記憶媒体。
【請求項２２】
各走査線に関して前記ＰＭＴに入力される前記ゲインが、位相が互いに１８０度異なり、大きさが略等しい２つのゲイン信号を前記ＰＭＴに入力することにより達成され、前記２つのゲイン信号のうちの一方が前記ＰＭＴのダイノードの半分により受信され、前記２つのゲイン信号のうちの他方が前記ＰＭＴのダイノードの残りの半分により受信される、請求項２１に記載の少なくとも一つのコンピュータ可読記憶媒体。