【手続補正書】
【提出日】平成28年5月6日(2016.5.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
上壁、キネマティックカップリングが設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた収容部があって、ドア枠で前面開口が形成されており、
２つの側面ウェーハ支持部材を備えたウェーハ支持構造があって、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えており、一方の側面ウェーハ支持部材が左壁に、他方が右壁に配置されており、各側面ウェーハ支持部材の後側にバックストップを受け入れるための取り付け構造が設けられており、
一対のウェーハバックストップがあって、この各ウェーハバックストップが各ウェーハ支持構造の後側の取り付け構造へ取り付けるための協働する取り付け構造を備えており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
一対のウェーハバックストップと二つの側面ウェーハ支持部材のうち、一方に横向きの突出片が複数あり、他方にその突出片を受け入れるように構成した横向きの挿入部が複数あることを特徴とする前面開口容器。
【請求項２】
請求項１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、横向きに延びる複数の突出片に、一対のバックストップを二つの側面ウェーハ支持部材に解除可能にロックできる複数のスプリングキャッチが設けられていることを特徴とする前面開口容器。
【請求項３】
大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
上壁、キネマティックカップリングが設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた収容部があって、ドア枠で前面開口が形成されており、
２つの側面ウェーハ支持部材を備えたウェーハ支持構造があって、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えており、一方の側面ウェーハ支持部材が左壁に、他方が右壁に配置されており、各側面ウェーハ支持部材の後側にバックストップを受け入れるための取り付け構造が設けられており、
一対のウェーハバックストップがあって、この各ウェーハバックストップが各ウェーハ支持構造の後側の取り付け構造へ取り付けるための協働する取り付け構造を備えており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
縦に並んだ複数のウェーハ当接面が、収容部に収められたウェーハの軸心から後方にまっすぐ延びる鉛直な平面に対し軸心から見て４０度から５０度の位置にあることを特徴とする前面開口容器。
【請求項４】
大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
上壁、キネマティックカップリングが設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた収容部があって、ドア枠で前面開口が形成されており、
２つの側面ウェーハ支持部材を備えたウェーハ支持構造があって、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えており、一方の側面ウェーハ支持部材が左壁に、他方が右壁に配置されており、各側面ウェーハ支持部材の後側にバックストップを受け入れるための取り付け構造が設けられており、
一対のウェーハバックストップがあって、この各ウェーハバックストップが各ウェーハ支持構造の後側の取り付け構造へ取り付けるための協働する取り付け構造を備えており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
一対のウェーハバックストップにそれぞれ複数の鉛直ウェーハ当接面が設けられ、これらが複数のウェーハ棚の上面と一直線上に並んでいるとともにその上面を横切る向きになっており、複数枚のウェーハをロボットで掴めるようウェーハ棚上で中央に寄せることができる位置に配置されていることを特徴とする前面開口容器。
【請求項５】
請求項４の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、ウェーハ支持部材が鉛直方向に配列された複数のストップ面を備え、ウェーハバックストップの各ウェーハ当接面と実質径方向に一直線上に並んでおり、一対のウェーハバックストップのそれぞれがウェーハ支持部材の複数のストップ面のところで対応するウェーハ支持部材に係合することを特徴とする前面開口容器。
【請求項６】
請求項１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、複数のウェーハ棚に複数枚の４５０ｍｍ径ウェーハを乗せたもの。
【請求項７】
大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
ロボットフランジを受け入れられるようになっている上壁、キネマティックカップリングの設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた開口した内部のある収容部があって、ドア枠が前面開口を形成しており、
収容部の中に２つの側面ウェーハ支持部材が設けられ、その一方が左壁側に、他方が右壁側にあり、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えて大径半導体ウェーハの挿入部が形成されており、各側面ウェーハ支持部材が前部と後部を備えており、
一対のウェーハバックストップが２つの各ウェーハ支持構造の後部の端に着脱可能に取り付けられており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
ラッチ機構を備え前面開口を密閉するように構成されたドアが設けられており、このドアに複数枚の大径ウェーハを受けるためのウェーハクッションが設けられており、
一対のウェーハバックストップと二つの側面ウェーハ支持部材のうち、一方に横向きの突出片が複数あり、他方にその突出片を受け入れるように構成した横向きの挿入部が複数あることを特徴とする前面開口容器。
【請求項８】
請求項７の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、横向きに延びる複数の突出片に、一対のバックストップを二つの側面ウェーハ支持部材に解除可能にロックできる複数のスプリングキャッチが設けられていることを特徴とする前面開口容器。
【請求項９】
請求項７の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップが二つの側面ウェーハ支持部材とは異なる材料で形成されていることを特徴とする前面開口容器。
【請求項１０】
請求項７の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、一対のウェーハバックストップにそれぞれ複数の鉛直ウェーハ当接面が設けられ、これらが複数のウェーハ棚の上面と一直線上に並んでいるとともにその上面を横切る向きになっており、複数枚のウェーハをロボットで掴めるようウェーハ棚上で中央に寄せることができる位置に配置されていることを特徴とする前面開口容器。
【請求項１１】
大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、
ロボットフランジを受け入れられるようになっている上壁、キネマティックカップリングの設けられた底壁、左壁、右壁、後壁、後壁の反対側のドア枠を備えた開口した内部のある収容部があって、ドア枠が前面開口を形成しており、
収容部の中に２つの側面ウェーハ支持部材が設けられ、その一方が左壁側に、他方が右壁側にあり、各側面ウェーハ支持部材が縦に間を空けて並ぶ複数のウェーハ棚を備えて大径半導体ウェーハの挿入部が形成されており、各側面ウェーハ支持部材が前部と後部を備えており、
一対のウェーハバックストップが２つの各ウェーハ支持構造の後部の端に着脱可能に取り付けられており、各ウェーハバックストップが複数のウェーハ棚のそれぞれに対応する縦に並んだ複数のウェーハ当接面を備えており、
ラッチ機構を備え前面開口を密閉するように構成されたドアが設けられており、このドアに複数枚の大径ウェーハを受けるためのウェーハクッションが設けられており、
ウェーハ支持部材が鉛直方向に配列された複数のストップ面を備え、ウェーハバックストップの各ウェーハ当接面と実質径方向に一直線上に並んでおり、一対のウェーハバックストップのそれぞれがウェーハ支持部材の複数のストップ面のところで対応するウェーハ支持部材に係合することを特徴とする前面開口容器。
【請求項１２】
請求項１１の大径半導体ウェーハ用の前面開口容器であって、複数の挿入部に複数枚の４５０ｍｍ径ウェーハが入ったもの。
【請求項１３】
収容部とドアの付いた前面開口とを有する大径ウェーハ容器を、輸送形態から工程の合間に製造施設でウェーハを水平状態で格納する格納形態に転換する方法であって、
ウェーハをウェーハ棚間の中央に寄せるための複数のＶ字溝が配置されたウェーハ当接部材を収容部内から取り外し、
鉛直方向のウェーハ係合当接部を有する後方ウェーハ当接部材を収容部内に取り付け、複数のウェーハ棚に乗ったウェーハをロボットが掴めるように収容部内で中央に寄せることのできるような位置に配置することを特徴とする方法。
【請求項１４】
請求項１３の方法であって、後方ウェーハ当接部材は、複数のウェーハ棚を複数含む側面ウェーハ支持部材に着脱可能なバックストップとして構成されていることを特徴とする方法。