(57)【要約】【課題】カラーフィルタ製造ラインでカセット交換の際に製造ラインへの基板投入や、製造ラインからの基板回収時に発生する、投入、回収停止が無く、しかも設置場所のスペースを縮小することが出来、更に設備費用の削減を可能とする、ローダとアンローダを提供する。【解決手段】ローダ本体と、その下流に第一のコンベアバッファを備え、ローダ本体はローダ本体上にセットされた第一のカセットからガラス基板を１枚ずつ外部に取り出す機能を有し、第一のコンベアバッファは、第一のコンベアと、第一のバッファで構成され、第一のコンベアは、前記１枚ずつ取り出されたガラス基板を下流に設置された第一の処理装置に直接搬送する機能と、前記第一のバッファに収納する機能と、を有し、更に前記第一のコンベアは、前記第一のカセットの交換時に第一のバッファに収納したガラス基板を前記下流に設置された第一の処理装置に搬送することを特徴とするローダ。【選択図】図７
2013028449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ製造ラインにガラス基板を投入するローダであって、
ローダ本体と、その下流に第一のコンベアバッファを備え、
ローダ本体はローダ本体上にセットされた第一のカセットからガラス基板を１枚ずつ外部に取り出す機能を有し、
第一のコンベアバッファは、第一のコンベアと、第一のバッファで構成され、
第一のコンベアは、前記１枚ずつ取り出されたガラス基板を下流に設置された第一の処理装置に直接搬送する機能と、前記第一のバッファに収納する機能と、を有し、更に
前記第一のコンベアは、前記第一のカセットの交換時に第一のバッファに収納したガラス基板を前記下流に設置された第一の処理装置に搬送することを特徴とするローダ。
【請求項２】
前記ローダ本体と第一のコンベアバッファの処理時間ｔ１は、第一の処理装置の処理時間をｔとした場合、ｔ１≦ｔ／２を満足することを特徴とする請求項１に記載のローダ。
【請求項３】
第一のバッファのガラス基板の収納段数Ｎ１は、前記第一のカセットの交換に要する時間をＴ１、下流の処理装置の処理時間をｔとした場合、Ｔ１／ｔ≦Ｎ１を満足することを特徴とする請求項１または２に記載のローダ。
【請求項４】
ガラス基板を製造ラインから回収するアンローダであって、
第二のコンベアバッファと、その下流にアンローダ本体と、を備え、
第二のコンベアバッファは、第二のコンベアと、第二のバッファで構成され、
第二のコンベアは上流に設置された第二の処理装置から搬送されるガラス基板を、第二のバッファに収納する機能と、下流のアンローダ本体に直接搬送する機能と、を有し、
アンローダ本体はアンローダ本体上にセットされた第二のカセットにガラス基板を１枚ずつ回収する機能を有し、更に
前記第二のコンベアは、前記アンローダ上のカセットの交換時に前記上流に設置された第二の処理装置から搬送されるガラス基板を第二のバッファに収納することを特徴とするアンローダ。
【請求項５】
前記第二のコンベアバッファとアンローダ本体の処理時間ｔ２は上流の処理装置の処理時間ｔに対して、ｔ２≦ｔ／２を満足することを特徴とする請求項４に記載のアンローダ。
【請求項６】
前記第二のバッファの基板の収納段数Ｎ２は、前記第二のカセットの交換に要する時間をＴ２、上流の処理装置の処理時間をｔとした場合、Ｔ２／ｔ≦Ｎ２を満足することを特徴とする請求項４または５に記載のアンローダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板（以下、基板）を製造するカラーフィルタ製造ラインに基板を投入するローダ、及び処理された基板を回収するアンローダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）間ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３は、一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図であって、１色の画素を形成する場合の製造ラインの工程を示すものである。カラーフィルタが製造される場合には先ず、基板が収納されているカセットが、ストッカー装置１０からストッカー装置内の搬送路を介してローダ１１に搬送される。次に基板がローダ１１によって製造ラインに投入される。その後コンベア１２、１６、１８、２２や、ロボット１３、２０によって、プロセス処理装置１５、１７、２１、その他の図示しないプロセス処理装置や、検査装置１４、１９に搬送され、プロセス処理や検査が行われる。その後、アンローダ２３によってカセットに回収される。カセットに回収された基板はストッカー内の搬送路を介して再びストッカー１０に搬送され保管されるか、又は次の色の画素を形成するラインに直接搬送される。基板がラインに直接搬送される場合には、上記のようにカセットに回収されてラインに直接搬送されても良く、またカセットに回収されずに１枚毎ラインに直接搬送されても良い。ここで言うプロセス処理１５、１７、２１は、例えば塗布装置やオーブンや露光装置や現像装置といった装置であって、検査装置１４、１９は外観検査装置や異物検査装置といった検査装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−２８２１００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４は一般的に使用されているワイヤーカセットタイプのカセットの一例を示す図である。図４（ａ）は、上面から見た図であって、側面フレーム３１と側面フレーム３２間にワイヤー３３がワイヤー留め具３４によって張架されたワイヤーカセット３０を示している。図４（ｂ）は正面から見た図であって、ワイヤーカセット３０のワイヤー３３上にガラス基板２００が載置された状態を示している。
【０００８】
上記ワイヤーカセットタイプのカセットは、大型ガラス基板に対応でき、収納効率が良く、コストの観点から優れたものである。
【０００９】
上記ローダ１１及びアンローダ２３は、製造ラインに各々２個以上設置される場合が一般的である。これは製造ラインの処理時間（ここでいう製造ラインの処理時間とはコンベア１２によって下流の処理装置へ基板１枚を払い出す処理時間及び上流の処理装置よりコンベア２２が１枚基板を受け取る時間を指す）は、ローダ、アンローダのカセット交換に要する時間よりも早いために、ローダ、アンローダを２個以上設置してカセット交換の際に発生するラインへの基板投入または基板回収の停止ロスを避けている。
【００１０】
図５はローダ、アンローダを各々並列に２個設置し、カセット交換の際に発生するラインへの基板投入または基板回収の停止ロスを避ける場合の一例を示す図である。図５を用いてラインへの基板投入、ラインからの基板回収の方法を説明する。先ず、図５（ａ）ではストッカー装置（ＳＴＫ）４０の搬送コンベア４０ａによって第一のローダ（ＬＤ−１）４１ａに搬送され、図示しない例えばフォークによってカセットがローダ４１ａに移載されセットされる（この場合、第二のローダ（ＬＤ−２）４１ｂにはカセットがセットされていない）。第一のローダ４１ａにセットされたカセットから図示しない基板が横行コンベア設備（クロスコンベアと呼ばれる）、またはトラバーサ設備（走行コンベアと呼ばれる）によるコンベア４３によって製造ラインの最上流装置４５に投入される。一方、製造ラインを経て図示しない処理された基板は、製造ラインの最下流装置４６からトラバーサ設備または横行コンベア設備によるコンベア４４によって第一のアンローダ（ＵＬＤ）４２ａに回収される。
【００１１】
次に、図５（ｂ）では、第一のローダ４１ａにセットされているカセットに収納されていた基板の全てが製造ラインに投入完了されるまでに、第二のローダ４１ｂに基板が収納されているカセットがセットされる。一方、製造ラインの最下流装置４６からコンベア４４によって、第一のアンローダ４２ａの全ての収納段に基板が回収完了されるまでに、第二のアンローダ４２ｂに空のカセットがセットされる。
【００１２】
図５（ｃ）では、第一のローダ４１ａにセットされているカセットに収納されている基板が全て投入された後、第二のローダ４１ｂにセットされたカセットに収納されている基板の投入が始まる。第一のローダ４１ａにセットされていた空になったカセットは例えばフォークによって搬送コンベア４０ａに移載された後ストッカー装置４０へ搬送される。一方、第一のアンローダ４２ａにセットされているカセットの全ての収納段に基板が回収された後には、第二のアンローダ４２ｂにセットされている空カセットへの基板の回収が始まる。このようにして、ローダからの基板の投入、アンローダへの基板回収が停止することなく行うことが出来る。
【００１３】
上記のようにローダ、アンローダを各々並列に２個（ローダ４１ａ、４１ｂとアンローダ４２ａ、４２ｂ）設置し、更にローダの下流にクロスコンベアまたは走行コンベア４３を設置し、またアンローダの上流に走行コンベアまたはクロスコンベア４４を設けることによって、カセット交換の際に発生するラインへの基板投入時、ラインからの基板回収時のローダ、アンローダの停止ロスを避けることが出来る。
【００１４】
しかしながら、ローダ４１ａ、ローダ４１ｂ及びアンローダ４２ａ、アンローダ４２ｂを各々並列に設置する為、設置場所の幅方向のスペースを広く取らなければならない。また、クロスコンベアまたは走行コンベア４３及び走行コンベアまたはクロスコンベア４４の製造ラインとの接続用のための設置スペースと、設備費用が必要となる。
【００１５】
そこで本発明はカラーフィルタ製造ラインでのカセット交換の際に発生する製造ラインへの基板投入や、製造ラインからの基板回収時に発生する、投入、回収停止が無く、しかも設置場所のスペースを縮小することが出来、更に設備費用の削減を可能とする、ローダとアンローダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタ製造ラインにガラス基板を投入するローダであって、
ローダ本体と、その下流に第一のコンベアバッファを備え、
ローダ本体はローダ本体上にセットされた第一のカセットからガラス基板を１枚ずつ外部に取り出す機能を有し、
第一のコンベアバッファは、第一のコンベアと、第一のバッファで構成され、
第一のコンベアは、前記１枚ずつ取り出されたガラス基板を下流に設置された第一の処理装置に直接搬送する機能と、前記第一のバッファに収納する機能と、を有し、更に
前記第一のコンベアは、前記第一のカセットの交換時に第一のバッファに収納したガラス基板を前記下流に設置された第一の処理装置に搬送することを特徴とするローダである。
【００１７】
本発明の請求項２に係る発明は、前記ローダ本体と第一のコンベアバッファの処理時間ｔ１は、第一の処理装置の処理時間をｔとした場合、ｔ１≦ｔ／２を満足することを特徴とする請求項１に記載のローダである。
【００１８】
本発明の請求項３に係る発明は、第一のバッファのガラス基板の収納段数Ｎ１は、前記第一のカセットの交換に要する時間をＴ１、下流の処理装置の処理時間をｔとした場合、Ｔ１／ｔ≦Ｎ１を満足することを特徴とする請求項１または２に記載のローダである。
【００１９】
本発明の請求項４に係る発明は、ガラス基板を製造ラインから回収するアンローダであって、
第二のコンベアバッファと、その下流にアンローダ本体と、を備え、
第二のコンベアバッファは、第二のコンベアと、第二のバッファで構成され、
第二のコンベアは上流に設置された第二の処理装置から搬送されるガラス基板を、第二のバッファに収納する機能と、下流のアンローダ本体に直接搬送する機能と、を有し、
アンローダ本体はアンローダ本体上にセットされた第二のカセットにガラス基板を１枚ずつ回収する機能を有し、更に
前記第二のコンベアは、前記アンローダ上のカセットの交換時に前記上流に設置された第二の処理装置から搬送されるガラス基板を第二のバッファに収納することを特徴とするアンローダである。
【００２０】
本発明の請求項５に係る発明は、前記第二のコンベアバッファとアンローダ本体の処理時間ｔ２は上流の処理装置の処理時間ｔに対して、ｔ２≦ｔ／２を満足することを特徴とする請求項４に記載のアンローダである。
【００２１】
本発明の請求項６に係る発明は、前記第二のバッファの基板の収納段数Ｎ２は、前記第二のカセットの交換に要する時間をＴ２、上流の処理装置の処理時間をｔとした場合、Ｔ２／ｔ≦Ｎ２  を満足することを特徴とする請求項４または５に記載のアンローダである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るローダ及びアンローダによれば、従来の複数のローダ及び複数のアンローダと、接続コンベアを組み合わせた装置構成に対し、１台のローダおよび１台のアンローダと、それぞれにコンベアバッファを組み合わせる装置構成により、設置スペースを縮小することが出来、ローダ及びアンローダと上下流ライン間を接続する設備費用の削減が可能となり、カセット交換の際に発生するラインへ投入または回収の停止ロスが無く、製造効率の良いラインとすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】カラーフィルタ基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ層の製造工程を示すフロー図。
【図３】一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図。
【図４】一般的に使用されているワイヤーカセットタイプのカセットの一例を示す図。
【図５】ローダ、アンローダを各々並列に２個設置した一例を示す図である。
【図６】本発明に係るローダ及びアンローダを適用したカラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図７】（ａ）は本発明のローダの構成を示す図。（ｂ）は第一のカセットの基板第一のコンベアバッファに搬送する場合を示す図。
【図８】（ａ）は本発明のアンローダの構成を示す図。（ｂ）は第二のコンベアバッファの動作を説明するための図。
【図９】本発明に係るローダの動作を説明するための図。
【図１０】本発明に係るローダの図９の続きの動作を説明するための図。
【図１１】本発明に係るローダの動作フローを示す図。
【図１２】本発明に係るアンローダの動作を説明するための図。
【図１３】本発明に係るアンローダの図１２の続きの動作を説明するための図。
【図１４】本発明に係るアンローダの動作フローを示す図。
【図１５】従来のローダ（ａ）と本発明に係るローダ（ｂ）との設置スペースを比較した図。
【図１６】従来のアンローダ（ａ）と本発明に係るアンローダ（ｂ）との設置スペースを比較した図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明のローダ及びアンローダを実施するための形態を説明する。
【００２５】
図６は本発明に係るローダ及びアンローダを適用したカラーフィルタ製造ラインの一例を示す図である。図６に示されるカラーフィルタ製造ライン５１は、ある特定の１色（例えばＲ画素）の着色パターンを形成するためのもので、ラインに基板を投入するローダ５３と、ラインから基板を回収するアンローダ５９と、ストッカー装置５２と、搬送装置（１）６１から搬送装置（７）６７と、洗浄装置５４と、塗布装置５５と、露光装置５６と、現像装置５７と、ベーク装置５８と、を備えている。また、塗布装置５５の下流には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置７０が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１）６１から搬送装置（７）６７によって接続されている。また、抜取検査装置７１、７２が適宜設けられる。搬送装置（７）６７の下流にはアンローダ５９があって、基板はアンローダ５９にセットされた空のカセットに回収される。
【００２６】
上記カラーフィルタ製造ラインは、ある特定の１色の着色パターンを形成する製造ラインを例示したが、これに限定されず、製造ラインの最上流の１つのローダと最下流の１つのアンローダを備えた多色着色パターンを形成する製造ラインであっても良い。
【００２７】
以下に、本発明に係るローダとアンローダについて説明する。
【００２８】
図７は本発明に係るローダの構成を示す図である。図７（ａ）は本発明のローダ８０の構成を示す図で、図７（ｂ）はローダ本体８１にセットされた第一のカセット１５０ａに収納された基板１００ａをローダ本体８１から第一のコンベアバッファ８２に搬送する場合を示す図である。
【００２９】
図７（ａ）に示されるローダ８０は、基板１００ａを収納している第一のカセット１５０ａをセットするローダ本体８１と、その下流に、第一のコンベア８２ａと第一のバッファ８２ｂとからなる第一のコンベアバッファ８２と、で構成される。第一のコンベアバッファ８２は、ローダ本体８１にセットされたカセット１５０ａに収納されている基板１００ａを受け取り、直接、下流の処理装置（この場合は、図６に示される搬送装置（１）６１を指す）へ払い出すか、または搬送装置６１へ払い出さずに第一のバッファ８２ｂに搬送し、一時収納する。一時収納された基板は、カセット１５０ａが図示しないカセットに交換される最中に、第一のコンベア８２ａによって搬送装置６１に払い出される。
【００３０】
図７（ｂ）に示される第一のカセット１５０ａに収納された基板１００ａは第一のコンベア８２ａに搬送される。第一のコンベア８２ａに搬送された基板１００ａは、第一のコンベアバッファ８２の下流の搬送装置６１へ直接払い出されるか、または搬送装置６１へ払い出されずに第一のバッファ８２ｂに一時収納される。この場合、ローダ本体８１にセットされた第一のカセット１５０ａに収納された基板１００ａは、収納段の最下段から１枚づつ第一のコンベアバッファ８２に払い出される（図７（ｂ−１））。
【００３１】
このようにして、ローダ本体８１にセットされた第一のカセット１５０ａに収納された基板１００ａは、最終的には全て払い出される（（図７（ｂ−２））。空になった第一のカセット１５０ａは、ストッカー装置５２（図６に示されるストッカー装置５２を指す）に搬送される。空になったカセット１５０ａに代わって、基板を収納した図示しない新たなカセットが、ローダ本体８１上にセットされる。カセットが交換される最中に、第一のバッファ８２ｂに一時収納されている基板１００ｂが下流の搬送装置６１へ払い出される。
【００３２】
ローダ本体８１と第一のコンベアバッファ８２の処理時間ｔ１は（この場合の処理時間とは、１枚の基板をカセット１５０ａから下流の処理装置へ直接送るか、第一のバッファへ一時収納する場合の時間を指す）、下流の処理装置の処理時間ｔ（この場合の処理時間とは、搬送装置６１の下流の処理装置（図６の洗浄装置５４）の基板１枚の処理時間を指す）よりも短く、更に詳しく言えば例えばｔ１≦ｔ／２であれば、少なくとも、基板１００ａを第一のコンベアバッファ８２の下流の搬送装置６１へ直接払い出すことと、搬送装置６１へ払い出さずに第一のバッファ８２ｂへ一時収納することを交互に行うことが出来る。
【００３３】
更に、第一のバッファ８２ｂの必要な収納段をＮ１とした時、第一のバッファ８２ｂに収納されている全ての基板の払い出しが終了するまでに、カセットを図示しない新たなカセットに交換すれば良い。即ち、第一のバッファ８２ｂは、カセットの交換に要する時間をＴ１とすれば、Ｔ１≦Ｎ１ｔを満足する収納段数Ｎ１（言い換えれば、Ｔ１／ｔ≦Ｎ１）を有するバッファであれば良い。
【００３４】
図８は本発明に係るアンローダを示す図である。図８（ａ）は本発明のアンローダ９０の構成を示す図で、図８（ｂ）は第二のコンベアバッファ９２の動作を説明するための図である。
【００３５】
図８（ａ）に示すアンローダ９０は第二のカセット１６０ａがセットされるアンローダ本体９１と、その上流に設けられた第二のコンベア９２ａと第二のバッファ９２ｂとからなる第二のコンベアバッファ９２と、で構成される。
【００３６】
図８（ｂ）に示す第二のコンベアバッファ９２は、搬送装置６７（図６に示される搬送装置（７）６７を指す）によって搬送された基板１１０ａを、直接、アンローダ本体９１にセットされた第二のカセット１６０ａに搬送するか、または第二のコンベアバッファ９２に備えられた第二のバッファ９２ｂに一時収納する（図８（ｂ−１））。更に、アンローダ本体９１にセットされた第二のカセット１６０ａの全ての収納段に基板が収納された場合には、第二のコンベアバッファ９２は搬送装置（７）６７から搬送される基板の全てを第二のバッファ９２ｂに収納する（図８（ｂ−２））。
【００３７】
第二のカセット１６０ａの収納段の全てに基板が回収された場合には、カセット１６０ａに代わって、図示しない空の第二のカセットがアンローダ本体９１に搬送されセットされる。上記第二のカセット１６０ａに代わって、図示しない空の第二のカセットがアンローダ本体９１に搬送され交換されるまでの間に、上流の搬送装置６７によって搬送された基板１１０ａは、全て第二のコンベア９２ａによって第二のバッファ９２ｂに一時収納される。
【００３８】
図示しない空の第二のカセットが、アンローダ本体９１に搬送されセットされた後には、第二のコンベアバッファ９２は基板１１０ａを、直接、アンローダ本体９１にセットされた第二のカセット１６０ａに搬送するか、次の基板が搬送されてくるまでの間に第二のバッファ９２ｂに一時収納されている基板をアンローダ本体９１にセットされた第二のカセット１６０ａに搬送する。
【００３９】
図９、図１０は本発明に係るローダの動作を説明するための図で、図１１はローダの動作フローを示す図である。図９、図１０、図１１を用いてローダの動作を説明する。
【００４０】
開始後、ローダ本体８１に第一のカセット１５０ａをセットする（Ｓ１）。次にローダ本体８１から第一のカセット１５０ａに収納されている基板１００ａを第一のコンベアバッファ８２へ払い出し（Ｓ２）、該基板１００ａを第一のコンベア８２ａは直接、下流に設けられた搬送コンベア６１（図６）へ払い出す（Ｓ３）。その後、ローダ本体８１は、第一のコンベアバッファ８２ｂが受入可能となった後、第一のカセット１５０ａから基板を第一のコンベアバッファ８２に払い出し（Ｓ４）、該基板を第一のバッファ８２ｂに一時収納する（Ｓ５）。次にローダ本体８１にセットされた第一のカセット１５０ａ内の基板が全て払い出され、カセット内に基板が無い場合（（Ｓ６）のＹＥＳ）には、ローダ本体８１にセットされている第一のカセット１５０ａは空カセットであり、該カセットをスタッカー装置５２（図６）に搬送する。これと平行して、第一のコンベアー８２ａは、第一のバッファー８２ｂ内に一時収納されている基板を製造ラインに払い出す（Ｓ８）。更に上記第一のカセット１５０ａに代えて、基板が収納された新しい第一のカセットをローダ本体８２ａにセットし、ステップ（Ｓ２）に移行し、ステップ（Ｓ２）以降を実行する。ステップ（Ｓ６）で第一のカセット１５０ａ内に基板がまだ存在している場合（（Ｓ６）のＮＯ）には、ステップ（Ｓ２）に移行し、ステップ（Ｓ２）以降を実行する。以上の動作フローが該当品の製造が終了するまで行われる。
【００４１】
図１２、図１３は本発明に係るアンローダの動作を説明するための図で、図１４はアン
ローダの動作フローを示す図である。図１２、図１３、図１４を用いてアンローダの動作を説明する。
【００４２】
開始後、先ずアンローダ本体９１上の第二のカセット１６０ａの全ての収納段に基板１１０ａが収納された場合、第二のカセット１６０ａがストッカー装置５２（図６）に搬出される（Ｕ１）。第二のコンベアバッファ９２は上流の搬送装置６７（図６の搬送装置（７）を指す）から送られてくるすべての基板１１０ａを第二のバッファ９２ｂに収納する（Ｕ２）。一方、アンローダ本体９１へ空の第二のカセット１６０ｂがストッカー装置５２から搬入され、セットされる（Ｕ３）。第二のコンベア９２ａは上流の搬送装置６７から送られてくる基板１００ａを下流のアンローダ本体９１上にセットされた第二のカセット１６０ｂへ直接払い出す（Ｕ４）。第二のコンベア９２ａは上流の搬送装置６７より次基板が来るまでの間に第二のバッファ９２ｂより基板を払い出す（Ｕ５）。アンローダ本体９１上のカセット１６０ｂの全ての収納段に基板が収納された場合には（（Ｕ６）のＹＥＳ）、ステップ（Ｕ１）に移行し、第二カセット１６０ｂはストッカー装置５２に搬出される。一方、アンローダ本体５９ａ上のカセット５９ｄの全ての収納段に基板が収納されていない場合には（（Ｕ６）のＮＯ）、ステップ（Ｕ４）に移行する。以上の動作フローが該当品の製造が終了するまで行われる。
【００４３】
アンローダ本体９１と第二のコンベアバッファ９２の処理時間ｔ２（この場合の処理時間とは、１枚の基板を第二のコンベアバッファ９２から第二のカセット１５０ａへ直接送るか、第二のバッファへ一時収納する場合の時間を指す）は上流の処理装置の処理時間ｔ（図６のベーク装置５８の基板１枚の処理時間を指す）よりも短く、更に詳しく言えば例えばｔ２≦ｔ／２であれば、少なくとも、基板１１０ａを第二のコンベアバッファ９２の上流の搬送装置６７から搬送されてくる基板１１０ａをアンローダ本体９１に払い出すことと、第二のバッファ９２ｂに一時収納されている基板１１ｂをアンローダ本体９１に払い出すことを交互に行うことが出来る。
【００４４】
更に、上記アンローダの動作フローでは、上流の処理装置の処理時間がｔで、第二のバッファ９２ｂの必要な収納段をＮ２とし、第二のカセット１６０ａを新たなカセット１６０ｂに交換するために要する時間をＴ２とすれば、少なくともＮ２ｔの時間内に次の空カセット（１６０ｂ）がアンローダ本体９１にセットされれば良い。即ち、第二のバッファ９２ｂは、Ｔ２≦Ｎ２ｔ（言い換えれば、Ｔ２／ｔ≦Ｎ２）を満足する収納段Ｎ２を有していれば、製造ラインから基板を回収する場合、回収の停止時間が発生することを防ぐことが出来る。
【００４５】
このようにして、アンローダ本体９０上の第二のカセットを交換する間に、第二のバッファ９２ｂに基板を収納することが出来、アンローダが１台であっても基板の回収停止時間が発生することを防ぐことが出来る。
【００４６】
図１５は、従来のローダ（図１５（ａ））と本発明に係るローダ（図１５（ｂ））との設置スペースを比較した図である。従来のローダ（図１５（ａ））の幅方向寸法ＤＬａに対して本発明に係るローダ（図１５（ｂ））の幅方向寸法ＤＬｂは、ほぼ半分で収まり、また従来のクロスコンベア及び走行コンベアに対して第一のコンベアバッファの幅も縮小されることから、ローダ設置スペース全体が大幅に縮小することが出来る。
【００４７】
同様に、図１６に示される従来のアンローダ（図１６（ａ））と本発明に係るアンローダ（図１６（ｂ））との設置スペースを比較した図においても、本発明に係るアンローダによって大幅にアンローダ設置スペース全体を縮小することが出来る。
【００４８】
以上のように本発明によるローダ、アンローダによれば、ローダ、アンローダの設置ス
ペースを縮小することが出来、その結果、設備費用の削減が出来、カセット交換の際に発生するラインへの基板の投入または回収の停止ロスが無く、製造効率の良い製造ラインとすることが出来る。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１０・・・ストッカー装置
１１・・・ローダ
１２、１６、１８、２２・・・コンベア
１３、２０・・・ロボット
１４、１９・・・検査装置
１５、１７、２１・・・プロセス処理装置
２３・・・アンローダ
３０・・・ワイヤーカセット
３１、３２・・・側面フレーム
３３・・・ワイヤー
３４・・・ワイヤー留め具
４０・・・ストッカー装置（ＳＴＫ）
４０ａ・・・搬送コンベア
４１ａ・・・第一のローダ（ＬＤ−１）
４１ｂ・・・第二のローダ（ＬＤ−２）
４２ａ・・・第一のアンローダ（ＵＬＤ）
４２ｂ・・・第二のアンローダ
４３・・・クロスコンベア又は走行コンベア
４４・・・走行コンベア又はクロスコンベア
４５・・・製造ラインの最上流装置
４６・・・製造ラインの最下流装置
５１・・・カラーフィルタ製造ライン
５２・・・ストッカー装置
５３・・・ローダ
５４・・・洗浄装置
５５・・・塗布装置
５６・・・露光装置
５７・・・現像装置
５８・・・ベーク装置
５９・・・アンローダ
６１〜６７・・・搬送装置（１）〜搬送装置（７）
７０・・・検査装置
７１、７２・・・抜取検査装置
８０・・・本発明のローダ
８１・・・ローダ本体
８２・・・第一のコンベアバッファ
８２ａ・・・第一のコンベア
８２ｂ・・・第一のバッファ
９０・・・本発明のアンローダ
９１・・・アンローダ本体
９２・・・第二のコンベアバッファ
９２ａ・・・第二のコンベア
９２ｂ・・・第二のバッファ
１００ａ、１００ｂ・・・基板
１１０ａ・・・基板
１５０ａ・・・第一のカセット
１６０ａ・・・第二のカセット
２００・・・ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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