(57)【要約】【課題】構成が簡単で、搬送しながらガラス基板の搬送方向の曲がりを修正するガラス基板搬送装置を提供する。【解決手段】コロによってガラス基板を搬送するガラス基板搬送装置であって、載置されたガラス基板を搬送し、基準速度で回転する第一のコロと、第一のコロ対して加減速された速度で回転する第二のコロと、第一のコロ軸と、第二のコロ軸と、第一の駆動用モータと、第二の駆動用モータと、搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーと、ガラス基板の曲がり度合いを検出するガラス基板曲がり検出手段と、第一の駆動用モータの回転速度に対して第二の駆動用モータを加減速した速度で回転させるモータ回転制御手段と、を備え、更に、第二のモータの回転速度と第一のモータの回転速度の比率を監視しながら、第二の駆動用モータの回転速度を補正制御し、ガラス基板の曲がりを搬送中に修正することを特徴とするガラス基板搬送装置。【選択図】図８
2013149903.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コロによってガラス基板を搬送するガラス基板搬送装置であって、
載置されたガラス基板を搬送し、基準速度で回転する第一のコロと、第一のコロに対して加減速された速度で回転する第二のコロと、
前記第一のコロを備えた第一のコロ軸と、
前記第二のコロを備えた第二のコロ軸と、
前記第一のコロ軸を回転駆動させる第一の駆動用モータと、
前記第二のコロ軸を回転駆動させる第二の駆動用モータと、
搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーと、
前記センサーからの出力信号によってガラス基板の曲がり度合いを検出するガラス基板曲がり検出手段と、
前記ガラス基板曲がり検出手段からのガラス基板曲がり検出信号を得て、第一の駆動用モータの回転速度に対して第二の駆動用モータを加減速した速度で回転させるモータ回転制御手段と、を備え、更に、モータ回転制御手段は、
前記第一の駆動用モータの回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出手段と、
前記第二の駆動用モータの回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出手段と、
によって検出された第二のモータの回転速度と第一のモータの回転速度の比率を監視しながら、第二の駆動用モータの回転速度を補正制御し、
ガラス基板の曲がりを搬送中に修正することを特徴とするガラス基板搬送装置。
【請求項２】
前記搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーは、ガラス基板の搬送方向の前後に少なくとも２個設けられ、且つガラス基板の搬送方向に対して直交する幅方向の２つのガラス基板端辺のどちらか一方もしくは両方のガラス基板端辺を検出することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板搬送装置。
【請求項３】
前記搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーは、複数の受光部を有する光センサー、又は撮像カメラであることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板搬送装置。
【請求項４】
前記第一の駆動用モータの回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出手段と、前記第二の駆動用モータの回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出手段は、ロータリーエンコーダであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、ＣＦ（カラーフィルタ）、ＴＰ（タッチパネル）等の製造工程内でガラス基板を搬送する装置に関するもので、更に詳細には、搬送中のガラス基板の曲がりを修正するガラス基板搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、ＣＦ（カラーフィルタ）、ＴＰ（タッチパネル）等の製造工程では基板材料としてガラス基板が用いられている。図１に製造されるガラス基板の一例としてカラー液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタの一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
上記カラーフィルタの製造工程では、製造工程内の各処理装置内や処理装置間で搬送装置が用いられている。搬送装置によるガラス基板の搬送方法としては図３（ａ）に示されるコロ１１上にガラス基板１０を載置し、コロ１１を回転させることにより矢印１２の方向に搬送するコロ方式や、図３（ｂ）に示されるエアー浮上台１４から吹き出しエアー１３ａを吹き出してガラス基板１０を浮かせ、同時に吸い込みエアー１３ｂによってガラス基板１０を吸い込み、更に図示しないガイド等でガラス基板を支持しながら矢印１２の方向に搬送するエアー浮上方式が多く用いられている。特に、処理装置間で用いる搬送方法としては、安価で制御しやすいことから図３（ａ）に示されるコロ方式が多く採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−６３１４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４に示すように上記コロ方式の搬送装置に使用されるコロ１７は、ガラス基板１０の走行方向１６に対して直交する方向に設けられた全てのコロ軸１５の同じ位置に配列されている場合（図４（ａ））や、ガラス基板１０の走行方向に対して直交する方向に設けられ、コロ軸１５の１列おきに交互同じ位置に配列されている場合（図４（ｂ））が一般的に用いられている。
【０００８】
多数のコロでガラス基板を支持し搬送する場合には、コロとの接触により搬送させているためガラス基板が撓み、搬送方向からずれて曲がり（搬送方向と並行ではなくなり）、図５に模式的に示すように点線で示す正規の位置のガラス基板２０に対して、実線で示すガラス基板２１のように曲がりが発生して搬送が不安定になり、その結果ガラス基板が破損するといった問題が発生しやすい。
【０００９】
また、上記コロ方式で下流装置にガラス基板を渡したり上流から受け取ったりする際には、ガラス基板の曲がりを直す必要があり、図６に示すようにガラス基板の曲がりの修正には、例えばガラス基板２１の四隅をエアシリンダ等を使用して矢印２２−１、２２−２、２２−３、２２−４で示す方向に押し込んで行われる。
【００１０】
しかしながら、上記ガラス基板曲がり修正機構によって矢印２２−１〜２２−４で示される方向にガラス基板２１を押し込んで曲がりを修正する場合には、ガラス基板はコロとの摩擦によって傷や汚れが発生するといった問題が発生し、また曲がり修正を行うため工程の処理時間そのものを長くしてしまうといった問題がある。
【００１１】
この問題を解決するために特願２０１０−２３６２８８では図７に示すようなガラス基板搬送装置が提案されている。図７に示すガラス基板搬送装置では、ガラス基板の搬送方向３９に対して直交するガラス基板の幅方向の中央部に設けられた基準速度で回転する搬送コロ５０が駆動用モータ３３で駆動され、ガラス基板は搬送される。符号５１及び５２は搬送コロ５０の搬送方向に直交する方向の左右に設けられた搬送コロで、搬送コロ５０の基準速度に対して加速または減速された速度で回転するコロである。ガラス基板の端辺を検出するセンサー３４−１、３４−２からの出力信号を得て、ガラス基板の搬送方向に対する曲がりをガラス基板曲がり検出装置３５で検出し、更に制御装置３６によって制御される調整用モータ３７−１の回転と差動装置３８−１によって搬送コロ５１は、コロの回転速度が加減速される。
【００１２】
同様に、搬送コロ５２は、センサー３４−１、３４−２からの出力信号を得て、ガラス基板の搬送方向に対する曲がりをガラス基板曲がり検出装置３５で検出し、更に制御装置３６によって制御される調整用モータ３７−２の回転と差動装置３８−２によって搬送コロ５１の回転速度が加減速される。
【００１３】
このように、図７に示されるガラス基板搬送装置はガラス基板の蛇行に応じてコロ５１とコロ５２の回転速度を調整してガラス基板３０の曲がりを修正するものである。しかしながら図７で示されるガラス基板搬送装置では、調整用モータ３７−１、３７−２や差動機構３８−１、３８−２やそれに関連する部品数が多くなるといった問題がある。
【００１４】
以上の問題点に鑑みて本発明は、構成が簡単で、搬送しながらガラス基板の搬送方向の曲がりを修正するガラス基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の請求項１に係る発明は、  コロによってガラス基板を搬送するガラス基板搬送装置であって、
載置されたガラス基板を搬送し、基準速度で回転する第一のコロと、第一のコロに対して
加減速された速度で回転する第二のコロと、
前記第一のコロを備えた第一のコロ軸と、
前記第二のコロを備えた第二のコロ軸と、
前記第一のコロ軸を回転駆動させる第一の駆動用モータと、
前記第二のコロ軸を回転駆動させる第二の駆動用モータと、
搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーと、
前記センサーからの出力信号によってガラス基板の曲がり度合いを検出するガラス基板曲がり検出手段と、
前記ガラス基板曲がり検出手段からのガラス基板曲がり検出信号を得て、第一の駆動用モータの回転速度に対して第二の駆動用モータを加減速した速度で回転させるモータ回転制御手段と、を備え、更に、モータ回転制御手段は、
前記第一の駆動用モータの回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出手段と、
前記第二の駆動用モータの回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出手段と、
によって検出された第二のモータの回転速度と第一のモータの回転速度の比率を監視しながら、第二の駆動用モータの回転速度を補正制御し、
ガラス基板の曲がりを搬送中に修正することを特徴とするガラス基板搬送装置である。
【００１６】
本発明の請求項２に係る発明は、前記搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーは、ガラス基板の搬送方向の前後に２個以上設けられ、且つガラス基板の搬送方向に対して直交する幅方向の２つのガラス基板端辺のどちらか一方もしくは両方のガラス基板端辺を検出することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板搬送装置である。
【００１７】
本発明の請求項３に係る発明は、前記搬送中のガラス基板の端辺を検出するセンサーは、複数の受光部を有する光センサー、又は撮像カメラであることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板搬送装置である。
【００１８】
本発明の請求項４に係る発明は、前記第一の駆動用モータの回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出手段と、前記第二の駆動用モータの回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出手段は、ロータリーエンコーダであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板搬送装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のガラス基板搬送装置によれば、簡単な装置構成でしかもガラス基板を搬送しながらガラス基板の搬送方向の曲がりを補正することが出来るため、搬送中のガラス基板を安定して搬送することが出来、ガラス基板の破損を防ぎ、また、下流装置にガラス基板を渡したり、上流から受け取った際にガラス基板の位置決めを行う必要がなく、その結果、位置決めの際に発生していたガラス基板の傷つきや汚れを抑制することが出来、またガラス基板位置決めの為に要していた時間を省くことが出来るため、工程の処理時間を短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】カラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】従来の搬送装置でのガラス基板の搬送方法を示す図。（ａ）はコロ方式を示す図。（ｂ）はエアー浮上方式を示す図。
【図４】コロ方式の搬送装置に使用されるコロの配列を示す図。（ａ）はガラス基板の走行方向に対して直交する方向に設けられた全てのコロ軸の同じ位置に配列されている場合を示す図。（ｂ）はガラス基板の走行方向に対して直交する方向に設けられたコロ軸の１列おきに交互同じ位置に配列されている場合を示す図。
【図５】正規の位置のガラス基板に対して曲がりが発生したガラス基板を模式的に示す図
【図６】ガラス基板の四隅を押し込んでガラス基板の位置決めを行う場合を示す図。
【図７】ガラス基板の曲がりを修正する搬送装置の一例を示す図。
【図８】本発明に係るガラス基板搬送装置の概略構成例を示す図。
【図９】本発明に係るガラス基板搬送装置に備えられたセンサーが両方のガラス基板端辺を検出するように設けられた場合を示す図。
【図１０】本発明に係るガラス基板搬送装置に設けられた８個の受光部を有する光センサーの場合を示す図。
【図１１】本発明に係るガラス基板搬送装置に設けられた図１０とは別のセンサーとして撮像カメラを用いた場合を示す図。
【図１２】本発明に係るガラス基板搬送装置に設けられた撮像カメラによってガラス基板端辺を検出する場合を説明するための図。（ａ）は照明光源と撮像カメラと画像処理装置によってガラス基板端辺の位置を求める場合を示す図。（ｂ）は撮像されたガラス基板端辺の画像信号（輝度を示す信号）を示す図。（ｃ）はガラス基板端辺の画像信号から得られた二値化信号を示す図。
【図１３】本発明に係るガラス基板搬送装置の動作フローを示す図。
【図１４】本発明に係るガラス基板搬送装置に設けられた図１０、図１１とはセンサーの個数が異なる場合を示す図。（ａ）は３個の場合を示す。（ｂ）は４個の場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明に係るガラス基板搬送装置を実施するための形態を説明する。
【００２２】
図８に本発明によるガラス基板搬送装置の概略構成例を示す。ガラス基板搬送装置は載置されたガラス基板６０を矢印７０で示す方向に搬送するために基準速度で回転する第一のコロ６１−１と、第一のコロ６１−１に対して加減速された速度で回転する第二のコロ６１−２と、第一のコロ６１−１を備えた第一のコロ軸６２−１と、第二のコロ６１−２を備えた第二のコロ軸６２−２と、第一のコロ軸６２−１を回転駆動させる第一の駆動用モータ６３と、第二のコロ軸６２−２を回転駆動させる第二の駆動用モータ６４と、搬送中のガラス基板の曲がりを検出するセンサー６５と、センサー６５からの出力信号によってガラス基板の曲がり度合いを検出するガラス基板曲がり検出手段であるガラス基板曲がり検出装置６６と、ガラス基板曲がり検出装置６６からの出力信号を得て、第一の駆動用モータ６３の回転速度に対して第二の駆動用モータ６４を加減速された速度で回転させ、更に第一の駆動用モータ６３の回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出手段である第一のモータ回転速度検出装置６８で検出された第一のモータの回転速度と、第二の駆動用モータ６４の回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出手段である第二のモータ回転速度検出装置６９で検出された第二のモータの回転速度の比率を監視しながら、第二の駆動用モータ６４の上記加減速された回転速度を補正制御するモータ制御手段であるモータ回転制御装置６７と、を備えている。
【００２３】
図８における符号７１は第一の駆動用モータ６３の回転方向を９０度変換する回転軸変換装置であって、符号７２は回転軸７３の回転方向を９０度変換して第一のコロ軸６２−１を回転する回転軸変換装置である。同様に符号７４は第二の駆動用モータ６４の回転方向を９０度変換する回転軸変換装置で、符号７５は回転軸７６の回転方向を９０度変換して第二のコロ軸６２−２を回転する回転軸変換装置である。
【００２４】
搬送中のガラス基板の曲がりを検出するセンサー６５は、ガラス基板の搬送方向７０の前後に２個以上設けられ（図８では６５−１と６５−２の２個）、且つガラス基板の搬送方向に対して直交する幅方向の２つのガラス基板端辺のどちらか一方もしくは両方のガラス基板端辺を検出するように設けられている（図８ではガラス基板端辺の一方の端を検出するように設けられている）。
【００２５】
上記図８ではセンサー６５がガラス基板端辺の一方の端を検出するように設けられているが、図９に示すように両方のガラス基板端辺を検出するように設けられても良い。
【００２６】
用いられるセンサー６５の例を図１０、図１１に示す。図１０に示されるセンサー６５ａ−１、６５ａ−２は、例えばＣＣＤラインセンサーのような複数の受光部を有するセンサーが望ましく、複数の受光部によってガラス基板６０の曲がり度合いを正確に検出することが出来る。図１０は８個の受光部を有する光センサーの場合を示している。ガラス基板６０の曲がりは、２つのセンサー６５ａ−１、６５ａ−２の受光状態によって検出される。
【００２７】
即ち、図１０の場合は、ガラス基板の搬送方向７０の前側のセンサー６５ａー１は受光部Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４でガラス基板を検出し、Ｎｏ．５〜Ｎｏ．８はガラス基板以外の部分を検出しているため、ガラス基板６０のガラス基板端辺はＮｏ．４によって検出される。一方、ガラス基板の搬送方向の後側のセンサー６５ａ−２は受光部Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２でガラス基板を検出し、Ｎｏ．３〜Ｎｏ．８はガラス基板以外の部分を検出しているため、ガラス基板６０のガラス基板端辺はＮｏ．２によって検出される。この場合は、ガラス基板の搬送方向６０に対してガラス基板は時計の回転方向とは逆の方向に曲がっているため、図８の基板搬送装置では搬送コロ６１−２を、基準速度で回転している搬送コロ６１−１よりも加速させることによって、搬送コロ６１−２の円周速度は搬送コロ６１−１よりも速くなり、その結果、ガラス基板６０を時計の回転方向に修正し、曲がりを補正することが出来る。
【００２８】
これとは逆に、ガラス基板の搬送方向６０に対してガラス基板が時計の回転方向に曲がっている場合は、図８の基板搬送装置では搬送コロ６１−２を、基準速度で回転している搬送コロ６１−１よりも減速させることによって、搬送コロ６１−２の円周速度は搬送コロ６１−１よりも遅く、その結果、ガラス基板６０を時計の回転方向とは逆方向に修正し、曲がりを修正することが出来る。
【００２９】
このように上記ガラス基板曲がり検出装置６６からの出力信号を得て、第一の駆動用モータ６３の回転速度Ｒ１（回転／分）に対して第二の駆動用モータ６４の回転速度Ｒ２（回転／分）をモータ回転速度制御装置６７で制御された速度で回転させることによって、ガラス基板６０の曲がりは修正される。この場合の修正度合いは、ガラス基板６０の曲がり度合いに対して第二の駆動用モータ６４の回転速度Ｒ２と第一の駆動用モータ６３の回転速度Ｒ１の比率、即ち、（第二の駆動用モータ６４の回転速度Ｒ２）／（第一の駆動用モータ６３の回転速度Ｒ１）に基づいて行われる。
【００３０】
更に図８に示される第一の駆動用モータ６３の回転速度Ｒ１を検出する第一のモータ回転速度制御装置６７と第一の駆動用モータ６３の回転速度Ｒ１に対して第二の駆動用モータ６４をモータ回転速度制御装置６７で加減速制御した速度で回転させる。この場合、第一の駆動用モータ６３の回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出装置６８と、第二の駆動用モータ６４の回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出装置６９と、で検出された第二のモータの回転速度の比率を監視しながら、モータ回転速度制御装置６７は第二の駆動用モータ６４の回転速度を補正して、補正した回転速度で第二の駆動用モータ６４を回転させる。
【００３１】
このように、第二の駆動用モータ６４の回転速度をモータ回転速度制御装置６７で加減速制御し、更に速度制御された第二の駆動用モータの回転速度Ｒ２の回転速度と第一の駆動用モータの回転速度Ｒ１との比率を監視して、第二の駆動用モータの回転速度Ｒ２を補正することによって、ガラス基板の曲がりを搬送中に精度良く修正することが出来る。
【００３２】
上記第一の駆動用モータ６３の回転速度を検出する第一のモータ回転速度検出装置６８と、第二の駆動用モータ６４の回転速度を検出する第二のモータ回転速度検出装置６９には、回転軸７３、７４に直結したロータリーエンコーダを用いることが出来る。
【００３３】
ロータリーエンコーダを用いることによって第一の駆動用モータ６３と第二の駆動用モータ６４の回転速度を正確に検出でき、その結果モータ回転速度制御装置６７では、第二の駆動用モータの回転速度Ｒ２の回転速度と第一の駆動用モータの回転速度Ｒ１との比率をガラス基板の曲がり度合いに応じて精度良く制御することが出来る。
【００３４】
図１１は図１０に示されるセンサー６５ａ−１、６５ａ−２とは別のセンサーであって、例えば撮像カメラ６５ｂ−１、６５ｂ−２を用いた場合を示している。図１１に示す撮像カメラ６５ｂ−１、６５ｂ−２はガラス基板端辺の一方の端を検出するように設けられているが、両方のガラス基板端辺を検出するように撮像カメラ６５ｂ−１と６５ｂ−２をそれぞれ一方のガラス基板端辺を検出するように設けても良い。
【００３５】
図１２は、上記撮像カメラによってガラス基板端辺を検出する場合を示す図である。図１２（ａ）は照明光源８０によってガラス基板６０のガラス基板端辺周辺を照明し、照明された部分を撮像カメラ８１（上記撮像カメラ６５ｂ−１又は６５ｂ−２）で撮像し、撮像された画像を画像処理装置８２で処理し、ガラス基板端辺の位置を求める場合を示している。
【００３６】
図１２（ｂ）に撮像されたガラス基板端辺の画像信号（輝度を示す信号）８３を示す。Ｘ軸はガラス基板が搬送される方向に直交する方向を示す。ガラス基板の外側のスペース部は照明光が反射されずに黒レベルに近い信号となり、一方ガラス基板の部分ではガラス表面からの反射光を受光するため白レベルに近い信号となっている。この画像信号８３を閾値信号（スレッシュレベルＳＨ）８４で二値化することによって図１２（ｃ）に示される二値化信号８５が得られる。この場合Ｘ軸方向のＸ１の値がガラス基板端辺の位置となる。このようにして２つの撮像カメラから得られたガラス基板端辺の位置を求めることによって上記図１０に示す複数の受光部を有するセンサーの場合と同じようにガラス基板の曲がり度合いを検出することが出来る。この場合の照明光源８０は反射用光源として用いたが、ガラス基板６０に対して撮像カメラ８１の反対側に設けて、透過用光源として用いても良い。
【００３７】
図１３に示す本発明のガラス基板搬送装置の動作フローを用いてガラス基板の曲がりを修正する場合のフローを説明する。ガラス基板をガラス基板搬送装置に投入（Ｓ１）した後、ガラス基板の曲がり度合いを検出し（Ｓ２）、第一の駆動用モータの回転速度に対して第二の駆動用モータの回転速度を制御して回転させ（Ｓ３）、ガラス基板の曲がりを修正終了するまで（Ｓ７）の間に、第一の駆動用モータの回転速度と第二の駆動用モータの回転速度を検出し（Ｓ４）、上記検出された第二のモータの回転速度と第一のモータの回転速度の比率を監視（Ｓ５）しながら、第二の駆動用モータの回転速度を補正制御し（Ｓ６）、ガラス基板の曲がりを搬送中に修正終了（Ｓ７）し、修正後ガラス基板をガラス搬送装置から排出する（Ｓ８）。ここで、ステップ（Ｓ４）〜ステップ（Ｓ６）はステップ（Ｓ３）とステップ（Ｓ７）の間で繰り返し行われる。
【００３８】
上記センサーとして用いられた複数の受光部を有するセンサー及び撮像カメラは、図１０及び図１１に示すように２個設けられた場合を例示したが、これに限定されず図１４に示すようにガラス基板６０の搬送方向７０の前後に２個以上（図１４（ａ）では符号６５ｃ−１〜６５ｃ−３の３個、図１４（ｂ）では６５ｄ−１〜６５ｄ−４の４個）設けられ、ガラス基板６０の搬送方向７０に対して直交する幅方向の２つのガラス基板端辺のどちらか一方もしくは両方のガラス基板端辺を検出するように設けても良い。
【００３９】
上記実施する形態としてカラーフィルタのガラス基板を例示して説明したが、これに限定されず半導体製造工程で用いられるガラス基板の搬送や、ガラス基板を収納したガラス基板トレーの搬送などに広く適用することが出来る。
【００４０】
以上のように本発明のガラス基板搬送装置によれば、ガラス基板の搬送方向の曲がりをガラス基板を搬送しながら補正することが出来るため、ガラス基板を破損することなく搬送中に曲がりを修正することが可能となり、下流装置にガラス基板を渡したり上流から受け取った際にガラス基板の曲がりの修正を行う必要がなく、その結果、曲がり修正の際に発生していたガラス基板の傷つきや汚れを抑制することが出来、更にガラス基板曲がり修正の為に要していた時間を省くことが出来るため、工程の処理時間を短縮することが可能となる。
【００４１】
更に、簡単な構成であるために部品点数が少なくメンテナンス性を向上することが出来る。
【符号の説明】
【００４２】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１０・・・ガラス基板
１１・・・コロ
１２・・・ガラス基板を搬送する方向を示す矢印
１３ａ・・・吹き出しエアー
１３ｂ・・・吸い込みエアー
１５・・・コロ軸
１６・・・ガラス基板の走行方向を示す矢印
１７・・・コロ
２０・・・点線で示す正規の位置のガラス基板
２１・・・実線で示す曲がりが発生したガラス基板
２２−１〜２２−４・・・エアシリンダ等でガラス基板を押し込む方向を示す矢印
３３・・・駆動用モータ
３４−１、３４−２・・・センサー
３５・・・ガラス基板曲がり検出装置
３６・・・制御装置
３７−１、３７−２・・・調整用モータ
３８−１、３８−２・・・差動装置
３９・・・ガラス基板の搬送方向を示す矢印
５０・・・基準速度で回転するコロ
５１、５２・・・搬送コロ５０の搬送方向に直交する左右の方向に設けられた搬送コロ
６０・・・ガラス基板
７０・・・ガラス基板搬送する方向を示す矢印
６１−１・・・第一のコロ
６１−２・・・第二のコロ
６２−１・・・第一のコロ軸
６２−２・・・第二のコロ軸
６３・・・第一の駆動用モータ
６４・・・第二の駆動用モータ
６５・・・センサー
６５−１、６５−２・・・センサー
６５ａ−１、６５ａ−２・・・センサー
６５ａ−１、６５ａ−２・・・８個の受光部を有する光センサー
６５ｂ−１、６５ｂ−２・・・センサーとして用いられた撮像カメラ
６５ｃ−１、６５ｃ−２、６５ｃ−３・・・３個のセンサー
６５ｄ−１、６５ｄ−２、６５ｄ−３、６５ｄ−４・・・４個のセンサー
６６・・・ガラス基板曲がり検出装置
６７・・・モータ回転制御装置
６８・・・第一のモータ回転速度検出装置
６９・・・第二のモータ回転速度検出装置
７１、７２、７４、７５・・・回転軸変換装置
７３、７６・・・回転軸
８０・・・照明光源
８１・・・撮像カメラ
８２・・・画像処理装置
８３・・・ガラス基板端辺の画像信号
８４・・・閾値
８５・・・二値化信号
【図２】
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【図１３】
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【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１４】
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