(57)【要約】【課題】被加工基板を支持基板に貼り付けるための接着剤による被加工基板表面の汚染等を防止することができる基板加工方法、及び基板加工装置を提供する。【解決手段】実施形態の基板加工方法は、被加工基板１０を支持基板１４上に接着剤１２を介して貼着する工程と、被加工基板１０の周縁部をその周縁部に付着する接着剤１２とともに除去する工程と、周縁部を除去した被加工基板１０の支持基板１４と反対側の面を研削する工程とを具備する。実施形態の基板加工装置は、支持基板上に接着剤を介して貼着した被加工基板の周縁部を、その周縁部に付着する接着剤とともに一括して除去する除去手段と、周縁部を除去した被加工基板の支持基板と反対側の面を研削する研削手段とを具備する。【選択図】図１
2013008915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工基板を支持基板上に接着剤を介して貼着する工程と、
前記被加工基板の周縁部をその周縁部に付着する前記接着剤とともに除去する工程と、
前記周縁部を除去した被加工基板の前記支持基板と反対側の面を研削する工程と
を具備したことを特徴とする基板加工方法。
【請求項２】
支持基板上に接着剤を介して貼着した被加工基板の周縁部を、その周縁部に付着する接着剤とともに一括して除去する除去手段と、
前記周縁部を除去した被加工基板の前記支持基板と反対側の面を研削する研削手段と
を具備することを特徴とする基板加工装置。
【請求項３】
被加工基板を支持基板上に接着剤を介して貼着するにあたり、前記被加工基板の接着面全面に接着剤を塗布し、この接着剤の外周部を除去した後、前記被加工基板を前記支持基板上へ貼着する工程と、
前記支持基板上に貼着された被加工基板の前記支持基板と反対側の面を研削する工程と
を具備することを特徴とする基板加工方法。
【請求項４】
被加工基板の一方の主面に接着剤を塗布する手段と、
前記被加工基板の周縁部上の接着剤を選択的に除去する手段と
前記被加工基板の接着剤塗布側の面に支持基板を貼着する手段と、
と、
前記被加工基板の前記支持基板と反対側の面を研削する研削手段と
を具備することを特徴とする基板加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、基板加工方法及び基板加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（被加工基板）を薄化（加工）する方法として、半導体ウエハを厚い支持基板に接着剤で貼り合わせて研削する方法が知られている。厚い支持基板に貼り合わせることで研削時の半導体ウエハの平坦度を良好に保とうとするもので、半導体ウエハを１００μｍ以下の厚みにまで十分に均一に薄化することができる。
【０００３】
しかしながら、この方法では、半導体ウエハを支持基板に貼り合わせた際に、接着剤が半導体ウエハの周囲にはみ出し、これが薄化後に半導体ウエハの周囲にそのまま残留して、微小パーティクルや揮発成分によるウエハ表面の汚染の問題を誘発するおそれがあった。また、研削時においても、接着剤が研削ホイールにダメージを与え、その寿命特性を低下させるおそれがあった。さらに、研削後、半導体ウエハにダイシングテープを貼り付けて支持基板を剥離することがあるが、半導体ウエハの周囲に残存している接着剤がダイシングテープに密着して、支持基板が剥離しにくくなるおそれもあった。
【０００４】
なお、半導体ウエハを支持基板に貼り合わせて研削する方法では、半導体ウエハの厚みを例えば１００μｍ以下のように薄くしようとすると、縁部にナイフエッジが発生してウエハ割れを生じるおそれがあるため、通常、支持基板と貼り合わせる前に、半導体ウエハの周縁部をエッジトリミングすることが行われている。上述した接着剤のはみ出しは、このようなエッジトリミングした半導体ウエハで特に生じやすかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１８９２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、半導体ウエハ等の被加工基板を支持基板に貼り付けるための接着剤による被加工基板表面の汚染や研削装置のダメージ等の問題の発生を防止することができ、ひいては加工基板を用いた製品デバイスの品質及び歩留まりの向上を図ることができる基板加工方法、及び基板加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態の基板加工方法は、被加工基板を支持基板上に接着剤を介して貼着する工程と、前記被加工基板の周縁部をその周縁部に付着する前記接着剤とともに除去する工程と、前記周縁部を除去した被加工基板の支持基板と反対側の面を研削する工程とを具備する。
【０００８】
実施形態の基板加工装置は、支持基板上に接着剤を介して貼着した被加工基板の周縁部を、その周縁部に付着する接着剤とともに一括して除去する除去手段と、前記周縁部を除去した被加工基板の前記支持基板と反対側の面を研削する研削手段とを具備する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態による基板加工方法を示す概略断面図である。
【図２】第２の実施形態による基板加工方法を示す概略断面図である。
【図３】第２の実施形態により加工される過程にある被加工基板を示す上面図である。
【図４】第２の実施形態による基板加工方法の変形例を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、実施形態を説明する。なお、以下の図面の記載において、同一要素または同一機能を有する要素には同一符号を付しており、重複する説明を省略する。また、以下に説明する実施形態では、いずれも被加工基板が半導体ウエハである場合を例に説明しているが、接着剤で支持基板に貼着して研削加工を行うものであれば、半導体ウエハに限らず種々の基板に広く適用できることはいうまでもない。
【００１１】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の基板加工方法の工程を順に示す概略断面図である。
【００１２】
本実施形態においては、まず、シリコン等からなる半導体ウエハ１０を用意し、その一方の主面（表面）全面に接着剤を塗布して接着剤層１２を形成した後、ガラス、シリコン等からなる支持基板１４に貼り付け、貼り合わせ基板１６とする（図１（ａ））。半導体ウエハ１０は、特に限定されるものではなく、オリエンテーションフラットを有するものであってもノッチを有するものであってもよい。また、周縁部の形状も特に限定されるものではなく、平面、曲面、またはこれらの組み合わせのいずれで形成されていてもよい（図１は、周縁部が曲面で形成されている例を示している）。接着剤の塗布は、例えば、半導体ウエハ１０を回転させながら接着剤を塗布するスピンコータ等の塗布装置を用いて行うことができる。これにより、例えば、２０〜５０μｍ程度の厚さの均一な接着剤層１２を半導体ウエハ１０の一方の主面全面に形成される。このように接着剤層１２が形成された半導体ウエハ１０をその接着剤層１２側を支持基板１４に向けて重ね合わせる。これにより、半導体ウエハ１０の周縁部に接着剤のフィレット１２ａが形成された状態で、半導体ウエハ１０は支持基板１４上に一体に貼り付けられる。
【００１３】
次に、上記貼り合わせ基板１６を回転させながら、研削ブレード２０を用いて、半導体ウエハ１０の周縁部とこの周縁部に付着している接着剤とを研削除去する（図１（ｂ））。除去幅は、半導体ウエハ１０の形状やその直径、半導体ウエハ１０の周縁部に形成されている接着剤フィレット１２ａの大きさ（接着剤の半導体ウエハ１０からはみ出している部分の幅）等にもよるが、通常、５０〜１０００μｍ程度、好ましくは、２００〜６００μｍ程度である。具体的には、例えば、３００ｍｍ径の半導体ウエハ１０に対し、接着剤フィレット１２ａ端から約６００μｍの幅で研削除去する。このような幅で半導体ウエハ１０の周縁部とこの周縁部に付着している接着剤とを研削除去することにより、接着剤に起因する種々の問題、例えば、微小パーティクルや揮発成分による半導体ウエハ表面の汚染、薄化に用いる研削ホイール等の研削装置のダメージ、研削後のダイシングテープとの密着等の問題を解消することができるとともに、半導体ウエハ周縁部のナイフエッジの発生にともなうウエハ割れの問題も解消することができる。
【００１４】
この後、周縁部を研削除去した半導体ウエハ１０の支持基板１４と反対側の主面（裏面）を研削ホイール等の研削装置を用いて研削し、さらに、必要に応じて、ＣＭＰ(化学機械研磨)等の研磨処理を行い、目的とする厚さまで薄化する（図１（ｃ））。上記工程で半導体ウエハ１０の周縁部に付着している接着剤が完全に除去されず、その一部が残っている場合には、ＣＭＰの過程で除去される。なお、半導体ウエハ１０の周縁部に接着剤１２が一部残っている場合、半導体ウエハ１０の裏面の研削に先立って、有機溶剤による除去処理を行うようにしてもよい。この除去処理は、研削中または研削後に行うことも可能である。有機溶剤としては、例えば、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）、メチシレン等を使用することができる。
【００１５】
以上説明したように、本実施形態では、半導体ウエハを支持基板に貼り付けた後、半導体ウエハの周縁部とこの周縁部に付着している接着剤とを研削除去するので、従来のように半導体ウエハの周囲にはみ出した接着剤による、半導体ウエハ１０表面の汚染や研削に用いる研削ホイール等のダメージ、研削後のダイシングテープとの密着等の問題を解消することができる。また、半導体ウエハの周縁部の研削除去は、従来の半導体ウエハに対するエッジトリミングと同様の効果を有するため、半導体ウエハの厚みを薄くする場合であっても、半導体ウエハに予めエッジトリミングを施さなくとも、ウエハ割れの発生を防止することができ、研削加工における歩留まりを向上させることができる。
【００１６】
（第２の実施形態）
図２は、第２の実施形態の基板加工方法の工程を順に示す概略断面図である。
【００１７】
本実施形態においては、まず、シリコン等からなる半導体ウエハ１０を用意し、その一方の主面（表面）全面に接着剤を塗布し接着剤層１２を形成する（図２（ａ））。用いる半導体ウエハ１０や接着剤の塗布方法については、第１の実施形態と同様である。
【００１８】
次に、接着剤層１２を形成した半導体ウエハ１０を回転させながら、接着剤層１２の外周部に研削ブレード２０を押し当て、接着剤層１２を研削除去する（図２（ｂ））。接着剤層１２外周部の除去幅は、半導体ウエハ１０の大きさ等にもよるが、通常、５０〜１０００μｍ程度、好ましくは、２００〜６００μｍ程度であり、具体的には、例えば、３００ｍｍ径の半導体ウエハ１０に対し、端部から約６００μｍの幅で除去する。図３は、接着剤層１２外周部を除去した後の半導体ウエハ１０を接着剤層１２側から視た上面図である。図３において、１８は、半導体ウエハ１０に設けられたノッチを示している。
【００１９】
なお、本実施形態では、接着剤層１２外周部の除去を研削ブレード２０により行っているが、有機溶剤を滴下または塗布し、この滴下または塗布した有機溶剤に接着剤層を溶解させて化学的に除去するようにしてもよい。また、このような化学的方法と研削ブレードによる物理的方法を組み合わせて行うようにしてもよい。有機溶剤としては、例えば、ＮＭＰ、メチシレン等を使用することができる。
【００２０】
また、本実施形態では、接着剤層１２のみを研削除去しているが、図４に示すように、半導体ウエハ１０部分まで研削するようにしてもよい。このように半導体ウエハ１０部分まで研削することにより、後述する支持基板１４を物理的に破壊することなくウエハエッジにはみ出した接着剤を除去することができる。これは、特に、ガラス等の洗浄により繰り返し使用する基板材料の場合に有効である。
【００２１】
次に、上記半導体ウエハ１０をその接着剤層１２側を支持基板１４に向けて重ね合わせ、ガラス、シリコン等からなる支持基板１４に貼り付け、貼り合わせ基板１６とする（図２（ｃ））。
【００２２】
この後、半導体ウエハ１０の支持基板１４と反対側の主面（裏面）を研削ホイール等の研削装置を用いて研削し、さらに、必要に応じて、ＣＭＰ(化学機械研磨)等の研磨処理を行い、目的とする厚さまで薄化する（図２（ｄ））。
【００２３】
本実施形態では、半導体ウエハ１０を支持基板１４に貼り付ける前に、半導体ウエハ１０の表面全面に形成した接着剤層１２の外周部を研削除去するので、従来のような半導体ウエハ１０の周囲にはみ出した接着剤による、半導体ウエハ１０表面の汚染や研削に用いる研削ホイール等のダメージ、研削後のダイシングテープとの密着等の問題を解消することができる。
【００２４】
なお、この実施形態では、半導体ウエハ１０の厚みを薄く、例えば１００μｍ以下にする場合、半導体ウエハ１０の端部にナイフエッジが形成され、ウエハ割れを生じるおそれがある。したがって、このような場合には、半導体ウエハ１０として、予めエッジトリミングした半導体ウエハを用いることが好ましい。
【００２５】
以上説明した少なくとも一つの実施形態によれば、接着剤で支持基板に貼り付けた半導体ウエハを研削する際、接着剤が半導体ウエハの周囲にはみ出していないため、研削ホイール等の研削装置が接着剤を研削することはなく、研削装置の接着剤によるダメージ、それに伴う寿命特性の低下を防止することができる。また、研削後の半導体ウエハの周囲に接着剤が残存しないため、微小パーティクルや揮発成分によるウエハ表面の汚染の問題が生ずることもない。さらに、研削後、半導体ウエハにダイシングテープを貼り付けて支持基板から剥離する際も、半導体ウエハの周囲に接着剤が存在しないため、ダイシングテープが接着剤に接着して支持基板が剥離しにくくなることもない。
【００２６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２７】
１０…半導体ウエハ、１２…接着剤層、１２ａ…接着剤フィレット、１４…支持基板、１６…貼り合わせ基板、１８…ノッチ、２０…研削ブレード。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2013008915.tif 000006