(57)【要約】【課題】貼り合せる板状部材の大きさや材質にかかわらず精度良く貼り合せることができる貼り合せ装置を提供する。【解決手段】第２板状部材１０２を保持する補助プレート１１０と、補助プレート１１０の第１端部１１０ａの下面を支持することにより第１端部１１０ａの下方向へ移動を規制する第１ピロー４と、補助プレート１１０の第２端部１１０ｂの下面を支持することにより第２端部１１０ｂが下方向へ移動するのを規制する第２ピロー６とを備え、第１ピロー４および第２ピロー６は独立して上下に昇降可能となっており、第２端部１１０ｂを第１端部１１０ａよりも高い位置に維持した状態で、補助プレート１１０を介して押圧手段８により第２板状部材１０２を押圧することにより、第２板状部材１０２の未だ押圧されていない部分と第１板状部材１０１とが接触しないよう構成したことを特徴とする。【選択図】図１
2013080046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼り合せステージ上に載置された第１板状部材と、該第１板状部材よりも上方に位置する第２板状部材との位置合せを行った後に、前記第２板状部材のさらに上方に位置する押圧手段により前記第２板状部材の一端部を前記第１板状部材に押し付けた状態で、前記第１板状部材および前記第２板状部材に対する前記押圧手段の相対位置を貼り合せ方向に変化させることにより、前記第２板状部材を前記第１板状部材に貼り合せる貼り合せ装置であって、
前記第２板状部材よりも前記貼り合せ方向の長さが長く、かつ貼り合せの際に前記第２板状部材と前記押圧手段との間に位置し、前記第２板状部材を保持する補助プレートと、
保持された前記第２板状部材の前記一端部側に位置する前記補助プレートの第１端部の下面を支持することにより、前記貼り合せの際に前記第１端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第１ピローと、
前記第１端部に対向した前記補助プレートの第２端部の下面を支持することにより、前記貼り合せの際に前記第２端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第２ピローと、
を備え、
前記第１ピローおよび前記第２ピローは、独立して上下に昇降可能となっており、
前記第２端部を前記第１端部よりも高い位置に維持した状態で、前記補助プレートを介して前記押圧手段により前記第２板状部材を押圧することにより、前記第２板状部材の未だ押圧されていない部分と前記第１板状部材とが接触しないよう構成したことを特徴とする貼り合せ装置。
【請求項２】
前記補助プレートは、自重により湾曲することなく、かつ前記押圧手段に押圧されることにより前記第２板状部材とともに湾曲する程度の剛性を有していることを特徴とする請求項１に記載の貼り合せ装置。
【請求項３】
前記補助プレートは、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有していることを特徴とする請求項１に記載の貼り合せ装置。
【請求項４】
前記補助プレートは、前記第２板状部材の上面を吸着して保持する第１補助プレートと、該第１補助プレート上に重ねて設けられた第２補助プレートとからなり、
前記第２補助プレートの下面側には、前記貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、前記貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、
前記第１補助プレートには、前記吸着溝と連通した吸着孔が、前記吸着溝に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の貼り合せ装置。
【請求項５】
前記補助プレートは、前記第２板状部材の上面を吸着して保持する第１補助プレートと、該第１補助プレート上に重ねて設けられた第２補助プレートとからなり、
第１補助プレートの上面側には、前記貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、前記貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、
第１補助プレートの下面側には、前記吸着溝と連通した吸着孔が、前記吸着溝に沿って複数設けられており、
前記第２補助プレートは、前記吸着溝を覆っていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の貼り合せ装置。
【請求項６】
複数の前記吸着溝は、前記貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝によって互いに連結されており、
複数の前記吸着溝および前記連結溝のうち一の溝が、外部の真空源に接続されていることを特徴とする請求項４または５に記載の貼り合せ装置。
【請求項７】
前記第２ピローの前記支持部は、前記第２板状部材と前記第１板状部材との貼り合せ角度に応じて傾動自在となっていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の貼り合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローラー等の押圧手段を用いて板状部材を別の板状部材に押し付けることにより、２つの板状部材を貼り合せる貼り合せ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶パネルやタッチパネルのような第１板状部材と、その表面を保護するためのカバーガラスのような第２板状部材との貼り合せにおいては、各部材の間に気泡が混入しないことが極めて重要である。気泡の混入は、表示品質の低下を招くとともに、剥がれの原因となる。
【０００３】
気泡の混入を防ぐための従来の貼り合せ装置としては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。図８に示すように、この貼り合せ装置１１では、第１板状部材２０１に相当する液晶表示素子が貼り合せステージ１３上に固定されており、第１板状部材２０１の上面には粘着シート２０３が設けられている。
また、第１板状部材２０１に貼り合される第２板状部材２０２に相当する液晶表示素子は、コイルばね２１０によりテンションが付与されており、湾曲した状態になっている。
【０００４】
この貼り合せ装置１１では、第２板状部材２０２と第１板状部材２０１との一端部同士を重ねた状態で、ローラー１８により第２板状部材２０２を第１板状部材２０１に押し付けながら、ローラー１８を図中の矢印方向（貼り合せ方向）に移動させることにより貼り合せが行われる。これにより、第２板状部材２０２は、所定の貼り合せ角度θが維持されながら貼り合される。
【０００５】
この貼り合せ装置１１によれば、貼り合せ方向に移動するローラー１８により気泡を押し出しながら貼り合せを行うことができるので、第１板状部材２０１と第２板状部材２０２との間に気泡が混入するのを防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２０７４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の貼り合せ装置１１では、第２板状部材２０２の大きさや材質が変わる度に、コイルばね２１０を交換したり、コイルばね２１０のテンションを調整したりする必要があるので非常に手間がかかる。
さらに、従来の貼り合せ装置１１では、コイルばね２１０を使用しているので、第２板状部材２０２が第１板状部材２０１よりも小さいと、コイルばね２１０によりテンションを付与することが困難になり、第２板状部材２０２と第１板状部材２０１との貼り合せを精度良く行うことができない場合がある。
したがって、従来の貼り合せ装置１１では、第２板状部材２０２の大きさや材質がある程度制限されていた。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題とするところは、貼り合せる板状部材の大きさや材質にかかわらず精度良く貼り合せることができる貼り合せ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る貼り合せ装置は、貼り合せステージ上に載置された第１板状部材と、該第１板状部材よりも上方に位置する第２板状部材との位置合せを行った後に、第２板状部材のさらに上方に位置する押圧手段により第２板状部材の一端部を第１板状部材に押し付けた状態で、第１板状部材および第２板状部材に対する押圧手段の相対位置を貼り合せ方向に変化させることにより、第２板状部材を第１板状部材に貼り合せる貼り合せ装置であって、
第２板状部材よりも貼り合せ方向の長さが長く、かつ貼り合せの際に第２板状部材と押圧手段との間に位置し、第２板状部材を保持する補助プレートと、
保持された第２板状部材の一端部側に位置する補助プレートの第１端部の下面を支持することにより、貼り合せの際に第１端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第１ピローと、
第１端部に対向した補助プレートの第２端部の下面を支持することにより、貼り合せの際に第２端部が下方向へ移動するのを規制する支持部を有する第２ピローと、
を備え、
第１ピローおよび第２ピローは、独立して上下に昇降可能となっており、
第２端部を第１端部よりも高い位置に維持した状態で、補助プレートを介して押圧手段により第２板状部材を押圧することにより、第２板状部材の未だ押圧されていない部分と第１板状部材とが接触しないよう構成したことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、第２板状部材よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレートにより第２板状部材を保持し、補助プレートを介して押圧手段により第２板状部材を押圧することができるので、補助プレートで保持可能な第２板状部材であれば、大きさや材質にかかわらず精度良く第１板状部材に貼り合せることができる。
【００１１】
本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、自重により湾曲することなく、かつ押圧手段に押圧されることにより第２板状部材とともに湾曲する程度の剛性を有していることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、自重により補助プレートの中央部分が沈み込むことにより第２板状部材の中央部分が撓み、押圧手段で押圧する前に第２板状部材が第１板状部材に貼り付いてしまうのを防ぐことができる。
したがって、この構成によれば、第１板状部材と第２板状部材との間に気泡が混入してしまうのを確実に防ぐことができる。
ここで、補助プレートにおける「自重」とは、補助プレートの重さだけでなく、保持した第２板状部材の重さも含むものとする。
【００１３】
なお、貼り合せの状態によっては、上記補助プレートは、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有していてもよい。
【００１４】
本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、第２板状部材の上面を吸着して保持する第１補助プレートと、該第１補助プレート上に重ねて設けられた第２補助プレートとからなり、第２補助プレートの下面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、第１補助プレートには、吸着溝と連通した吸着孔が、吸着溝に沿って複数設けられていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、第２板状部材の上面を吸着保持することにより第２板状部材を補助プレートに沿って湾曲させることができるので、第２板状部材の中央部分が第２板状部材自身の自重により湾曲してしまうのを防ぐことができる。
したがって、この構成によれば、自重による湾曲がない分だけ第２板状部材の貼り合せ角度を小さくすることができるので、第２板状部材にかかる負荷を減らすことができ、第２板状部材の変形や損傷を抑えることができる。
【００１６】
さらに、この構成によれば、吸着溝が貼り合せ方向に対して平行に複数設けられているので、貼り合せ方向における補助プレートの厚みを均一にすることができ、押圧箇所に応じて補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。
したがって、この構成によれば、押圧手段で押圧した際に補助プレートが必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第２板状部材に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。
【００１７】
また、本発明に係る貼り合せ装置は、上記補助プレートが、第２板状部材の上面を吸着して保持する第１補助プレートと、該第１補助プレート上に重ねて設けられた第２補助プレートとからなり、第１補助プレートの上面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝が、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられており、第１補助プレートの下面側には、吸着溝と連通した吸着孔が、吸着溝に沿って複数設けられており、第２補助プレートが、吸着溝を覆っていてもよい。
【００１８】
さらに、本発明に係る貼り合せ装置は、複数の吸着溝が、貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝によって互いに連結されており、複数の吸着溝および連結溝のうち一の溝が外部の真空源に接続されていてもよい。
【００１９】
この構成によれば、連結溝が貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びているので、
連結溝を設けたことによる貼り合せ方向における補助プレートの厚みの差を低減することができ、押圧箇所に応じて補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。
したがって、この構成によれば、押圧手段で押圧した際に補助プレートが必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第２板状部材に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。
【００２０】
また、本発明に係る貼り合せ装置は、第２ピローの支持部が第２板状部材と第１板状部材との貼り合せ角度に応じて傾動自在となっていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、貼り合せ角度にかかわらず、補助プレートの下面を確実に支持することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、貼り合せる板状部材の大きさや材質にかかわらず精度良く貼り合せることができる貼り合せ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る貼り合せ装置の側面模式図である。
【図２】本発明における第１ピローと補助プレートとの関係を示す側面図である。
【図３】本発明における第２ピローと補助プレートとの関係を示す図であって、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図４】本発明におけるローラーと補助プレートとの関係を示す底面図である。
【図５】本発明における補助プレートであって、（ａ）は底面側から見た部分斜視図、（ｂ）は底面側から見た部分分解斜視図である。
【図６】（ａ）→（ｂ）→（ｃ）の順に行われる、本発明に係る貼り合せ装置の貼り合せ動作を示す図である。
【図７】本発明における補助プレートの変形例であって、（ａ）は底面側から見た部分斜視図、（ｂ）は底面側から見た部分分解斜視図である。
【図８】従来の貼り合せ装置の側面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る貼り合せ装置の好ましい実施形態について説明する。
【００２５】
［貼り合せ装置の構成］
図１に、本発明の一実施形態に係る貼り合せ装置１を示す。同図に示すように、本実施形態に係る貼り合せ装置１は、大気中で第１板状部材１０１と第２板状部材１０２とを貼り合せるためのものである。本実施形態では、第１板状部材１０１は６０〜７０インチのＴＶ用の液晶パネル、第２板状部材１０２は厚さ０．７［ｍｍ］程度のカバーガラスである。また、本実施形態では、第２板状部材１０２は第１板状部材１０１よりも貼り合せ方向の長さが短くなっている。
【００２６】
第１板状部材１０１は、貼り合せ面の一部に透明の液体接着剤からなる接着層１０３が形成されており、接着層１０３を介して第２板状部材１０２と貼り合される。
【００２７】
第２板状部材１０２は、該第２板状部材１０２よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレート１１０によって吸着保持されており、補助プレート１１０を介して本発明の押圧手段に相当するローラー８により押圧される。
【００２８】
補助プレート１１０は、自重により湾曲することなく、かつローラー８に押圧されることで第２板状部材１０２とともに湾曲する程度の剛性を有している。このため、自重により補助プレート１１０の中央部分が沈み込むことにより第２板状部材１０２の中央部分が撓み、ローラー８で押圧される前に第２板状部材１０２が第１板状部材１０１（接着層１０３）に貼り付いてしまうことはない。
【００２９】
また、本実施形態に係る貼り合せ装置１は、水平移動するステージ移動手段２を備えている。ステージ移動手段２上には、第１板状部材１０１が載置される貼り合せステージ３と、第１ピロー４と、第１ピロー４を上下に昇降させる第１ピロー駆動手段５と、第２ピロー６と、第２ピロー６を上下に昇降させる第２ピロー駆動手段７とが設けられている。
第１ピロー４および第１ピロー駆動手段５と、第２ピロー６および第２ピロー駆動手段７とは、貼り合せステージ３を挟んで対向配置されている。
貼り合せステージ３の上方には、ローラー８と、ローラー８を上下に昇降させるローラー駆動手段９とが設けられている。
【００３０】
ステージ移動手段２は、所定のガイドに沿って貼り合せ方向およびその逆方向に移動可能となっている。ステージ移動手段２が貼り合せ方向と逆の方向に移動すると、貼り合せステージ３、第１ピロー４、第１ピロー駆動手段５、第２ピロー６および第２ピロー駆動手段７も貼り合せ方向と逆の方向に移動し、これらとローラー８との相対位置が変化する。すなわち、ステージ移動手段２に対して、ローラー８が貼り合せ方向に相対移動する。
【００３１】
貼り合せステージ３は、前工程の装置から搬送されてきた第１板状部材１０１を載置するための水平な載置面と、該載置面に設けられた複数の吸着ノズル３ａとを有している。各吸着ノズル３ａは不図示の真空ポンプに接続されており、真空ポンプが作動すると、載置面上の第１板状部材１０１が吸着保持される。
また、貼り合せステージ３は単独でも水平移動することができる。これにより、貼り合せステージ３上で吸着保持された第１板状部材１０１と、補助プレート１１０に吸着保持された第２板状部材１０２との相対位置を微調整することができる。
【００３２】
第１ピロー４は、図２に示すように、第１ピロー駆動手段５に固定された軸部４ａと、本体部４ｂと、本体部４ｂの貼り合せステージ３側下部に設けられた平板状の支持部４ｃと、支持部４ｃの上面に設けられた緩衝材４ｄとを有している。
【００３３】
本体部４ｂは、軸部４ａを中心として、支持部４ｃが水平位置から下向きに所定の角度範囲で傾動可能となるように構成されている。
支持部４ｃは、吸着保持された第２板状部材１０２の一端部側に位置する補助プレート１１０の第１端部１１０ａの下面を支持するとともに、貼り合せの際に第１端部１１０ａが下方向へ移動するのを規制する。
また、緩衝材４ｄは、第１端部１１０ａが本体部４ｂの貼り合せステージ３側の面に接触した際に生じる衝撃を和らげるためのものであり、樹脂等の比較的軟らかい材料で形成されている。
【００３４】
第１ピロー４では、上記のように本体部４ｂが水平位置から下向きに傾動可能に構成されているものの、傾動部分（本体部４ｂ）の重心を通る垂線Ｌ１が、軸部４ａの軸心を通る垂線Ｌ２よりも外側（貼り合せステージ３反対側）に位置するため、本体部４ｂは貼り合せの際にも傾動することなく、支持部４ｃは水平位置を保っている（図６参照）。
なお、傾動部分の重心を求める場合、支持部４ｃ、緩衝材４ｄおよび補助プレート１１０の重さも考慮する必要があるが、これらの重さは本体部４ｂの重さに比べてかなり小さいため、ここでは無視している。
また、本実施形態では、第１ピロー４が貼り始め側に位置し、第２ピロー６が貼り終わり側に位置するため、第１ピロー４は傾動しない。
【００３５】
第２ピロー６は、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、第２ピロー駆動手段７に固定された軸部６ａ、本体部６ｂ、本体部６ｂの貼り合せステージ３側下部に設けられた平板状の支持部６ｃ、および支持部６ｃの上面に設けられた緩衝材６ｄに加えて、本体部６ｂの貼り合せステージ３とは反対側の面に設けられ、かつ該面の下端および両側端から突出した平板状の連結部６ｅと、連結部６ｅの両側端下部に設けられた一対の重り部６ｆとをさらに有している。
【００３６】
本体部６ｂは、軸部６ａを中心として支持部６ｃが水平位置から下向きに所定の角度範囲で傾動可能となるように構成されている。
支持部６ｃは、第１端部１１０ａに対向した補助プレート１１０の第２端部１１０ｂの下面を支持するとともに、貼り合せの際に第２端部１１０ｂが下方向へ移動するのを規制する。
緩衝材６ｄは、第２端部１１０ｂが本体部６ｂの貼り合せステージ３側の面に接触した際に生じる衝撃を和らげるためのものであり、緩衝材４ｄと同様、樹脂等の比較的軟らかい材料で形成されている。また、緩衝材６ｄは、緩衝材４ｄとともに補助プレート１１０を挟み込むことで、貼り合せ時に補助プレート１１０が位置ずれを起こさないように補助プレート１１０を固定する役割も兼ねている。
【００３７】
連結部６ｅは、本体部６ｂに重り部６ｆを取り付けるためのものである。
重り部６ｆは、本体部６ｂおよび連結部６ｅからなる傾動部分の重心位置を軸部４ａの軸心に近づけて、僅かな力で支持部６ｃを水平位置から下向きに傾動させるためのものである。
重り部６ｆには、支持部６ｃを傾動させるために、軸部４ａの軸心よりも内側（貼り合せステージ３側）に位置する部分に矩形状の重りＷが設けられている。
【００３８】
重り部６ｆの重りＷは、貼り合せが開始される前の初期状態（図６（ａ）参照）において支持部６ｃが水平位置を保ち、かつ、貼り合せ時（図６（ｂ）参照）において支持部６ｃが第２板状部材１０２の貼り合せ角度に応じて傾動するように、形状や大きさが調整されている。
ここで、「貼り合せ角度」とは、第１板状部材１０１の貼り合せ面（接着面）と第２板状部材１０２の湾曲した貼り合せ面とのなす角度である。貼り合せ角度は、図６（ｂ）中に符号θで示されている。
【００３９】
再び図１を参照して、ローラー駆動手段９は、不図示の装置天井部とローラー８との間に配置されている。ローラー駆動手段９は主にシリンダーから構成され、ローラー駆動手段９が伸縮すると、それにともなってローラー８が昇降する。
これにより、ローラー８は、補助プレート１１０を介して第２板状部材１０２を第１板状部材１０１（接着層１０３）に押し付け、接着層１０３が所定の厚さになるように下降した押付位置と、それよりも上方にある退避位置とをとる。
【００４０】
ローラー８の長さは、補助プレート１１０の幅方向（貼り合せ方向に対して直交する方向）の長さとほぼ等しくなっている（図４参照）。
【００４１】
補助プレート１１０は、図４に示すように、貼り合せ方向に沿って延びた複数の吸着溝１１４ａと、貼り合せ方向に対して直交しないように該プレート１１０の対角線上に延びた連結溝１１４ｂと、吸着溝１１４ａに沿って設けられた吸着孔１１３と、外部の真空源に接続するための接続孔１１５とを有している。
【００４２】
より具体的には、補助プレート１１０は、図５（ａ）および（ｂ）に示すように、第２板状部材１０２の上面を吸着して保持する厚さ５．０［ｍｍ］程度の第１補助プレート１１１と、該第１補助プレート１１１上に重ねて設けられた厚さ５．０［ｍｍ］程度の第２補助プレート１１２とから構成されている。
第１補助プレート１１１には、厚さ方向に貫通した複数の吸着孔１１３が設けられており、第２補助プレート１１２には、複数の吸着溝１１４ａと、吸着溝１１４ａ同士を連結した連結溝１１４ｂと、連結溝１１４ｂと連通した接続孔１１５とが設けられている。
第１補助プレート１１１と第２補助プレート１１２とはボルト等の接合手段１１６により分離可能に接合されており、第１補助プレート１１１と第２補助プレート１１２との間には、吸着溝１１４ａや連結溝１１４ｂを囲むようにパッキン等のシール手段１１７が設けられている（図４参照）。
【００４３】
吸着溝１１４ａおよび連結溝１１４ｂは、上記のように貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びているので、貼り合せ時において、これらの溝１１４ａ、１１４ｂとローラー８とが平行になることはない。
すなわち、本実施形態に係る貼り合せ装置１では、貼り合せ方向における補助プレート１１０の厚みがほぼ一定になるので、ローラー８の押圧箇所により補助プレートの強度が異なるのを防ぐことができる。
したがって、本実施形態に係る貼り合せ装置１では、ローラー８で押圧した際に補助プレート１１０が必要以上に湾曲してしまうのを防ぐことができ、第２板状部材１０２に局所的なストレスがかかるのを防ぐことができる。
【００４４】
なお、補助プレート１１０に接続された真空源、貼り合せステージ３に接続された真空ポンプ、ステージ移動手段２、第１ピロー駆動手段５、第２ピロー駆動手段７およびローラー駆動手段９は、不図示の制御部の制御下でそれぞれ独立に駆動する。
【００４５】
結局、本実施形態に係る貼り合せ装置１によれば、第２板状部材１０２よりも貼り合せ方向の長さが長い補助プレート１１０を用いているので、第２板状部材１０２の大きさにかかわらず精度よく貼り合せを行うことができる。
また、本実施形態に係る貼り合せ装置１によれば、自重により湾曲しない補助プレート１１０を用いて第２板状部材１０２の上面を吸着保持しているので、第２板状部材１０２の材質にかかわらず貼り合せを行うこともできる。
なお、補助プレート１１０がない場合は、第２板状部材１０２の大きさや材質に応じて第２ピロー駆動手段７の高さ調整を行う必要がある。
【００４６】
［貼り合せ装置の貼り合せ動作］
続いて、本実施例に係る貼り合せ装置１の貼り合せ動作について、図６（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
【００４７】
図６（ａ）は、貼り合せが開始される前の初期状態を示す。貼り合せステージ３の載置面上には、液体接着剤からなる接着層１０３が形成された第１板状部材１０１が吸着保持されている。
第１ピロー４の支持部４ｃおよび第２ピロー６の支持部６ｃ上には、補助プレート１１０が載置されている。補助プレート１１０（第１補助プレート１１１）の下面には第２板状部材１０２が貼り合せ面を下向けにして吸着保持されている。
【００４８】
初期状態では、第１ピロー４の支持部４ｃおよび第２ピロー６の支持部６ｃは、傾動することなく水平位置に保たれており、かつ高さが揃っている。このため、初期状態では、補助プレート１１０と、補助プレート１１０に吸着保持された第２板状部材１０２と、貼り合せステージ３上に吸着保持された第１板状部材１０１とが、ほぼ平行になっている。
【００４９】
なお、初期状態においては、すでに、補助プレート１１０と第２板状部材１０２との位置合せ、および補助プレート１１０と第１板状部材１０１との位置合せが完了している。
具体的には、所定位置において第２板状部材１０２を吸着保持した補助プレート１１０が第１ピロー４の支持部４ｃおよび第２ピロー６の支持部６ｃ上に移動させられ、所定位置において第１板状部材１０１を吸着保持した貼り合せステージ３が移動させられることで、補助プレート１１０と第１板状部材１０１との位置合せが完了している。
すなわち、本実施形態に係る貼り合せ装置１では、第２板状部材１０２を吸着保持した補助プレート１１０と第１板状部材１０１との位置合せを行うことで、間接的に第２板状部材１０２と第１板状部材１０１との位置合せを行っている。
【００５０】
図６（ｂ）は、ローラー駆動手段９を伸ばしてローラー８を押付位置まで下降させた状態を示す。ローラー８が下降すると、補助プレート１１０の第１端部１１０ａは鉛直方向に押し下げられ、第２板状部材１０２が第１板状部材１０１に貼り合される。補助プレート１１０の第１端部１１０ａが押し下げられると、それにともなって第１ピロー４も所定位置まで下降する。第１ピロー４は、所定位置まで下降すると、それ以後は下降しなくなる。
【００５１】
一方、第２ピロー６は接着層１０３よりも上方の位置に維持されているので、補助プレート１１０および第２板状部材１０２には同図に示すような湾曲が生じる。
このとき、第２ピロー６の支持部６ｃは、第２板状部材１０２の貼り合せ角度θに応じて傾動し、補助プレート１１０の第２端部１１０ｂの下面を支持することで、第２端部１１０ｂが下方向へ移動するのを規制している。また、補助プレート１１０の第２端部１１０ｂの下面を支持部６ｃの上面で支持することにより、補助プレート１１０が支持部６ｃのエッジにより傷ついてしまうのを防ぐことができる。
【００５２】
図６（ｃ）は、貼り合せが終了した状態を示す。貼り合せは、図６（ｂ）に示す状態から、ステージ移動手段２を貼り合せ方向と逆の方向に移動させて、補助プレート１１０、第２板状部材１０２および第１板状部材１０１に対するローラー８の相対位置を貼り合せ方向に相対変化させることにより行われる。
押圧したままローラー８の相対位置を貼り合せ方向に変化させていくことで、第１板状部材１０１と第２板状部材１０２とが補助プレート１１０の第１端部１１０ａ側から第２端部１１０ｂ側に向かって貼り合されていく。
【００５３】
貼り合せ時には、第２ピロー駆動手段７は所定の貼り合せ角度θを確保できるように、第２ピロー６の高さを変化させる。貼り合せ角度θは、第２板状部材１０２の未だ押圧されていない部分と第１板状部材１０１（接着層１０３）とが接触しなければ、湾曲による負荷を減らす観点から、できるだけ小さい方が好ましい。
本実施形態に係る貼り合せ装置１では、自重により湾曲しない程度の剛性を有する補助プレート１１０を用いて第２板状部材１０２の上面を吸着保持しているため、第２板状部材１０２が第２板状部材１０２自身の自重により湾曲してしまうくらい剛性が低くても、第２板状部材１０２が第２板状部材自身１０２の自重により湾曲することはない。
したがって、本実施形態に係る貼り合せ装置１では、自重による湾曲がない分だけ第２板状部材１０２の貼り合せ角度θを小さくすることができるので、第２板状部材１０２にかかる負荷をより一層減らすことができる。
【００５４】
以上、本発明に係る貼り合せ装置の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限定されるものではない。
【００５５】
例えば、上記補助プレート１１０に替えて、図７（ａ）および（ｂ）に示す補助プレート１１０’を用いてもよい。同図に示すように、補助プレート１１０’は、第２板状部材１０２の上面を吸着して保持する第１補助プレート１１１’と、該第１補助プレート１１１’上に重ねて設けられた第２補助プレート１１２’とからなる。
第１補助プレート１１１’の上面側には、貼り合せ方向に沿って延びた吸着溝１１４ａが、貼り合せ方向に対して平行に複数設けられている。吸着溝１１４ａ同士は、貼り合せ方向に対して直交しない方向に延びた連結溝１１４ｂによって連結されており、連結溝１１４ｂには、外部の真空源に接続するための接続孔１１５が設けられている。一方、第１補助プレート１１１’の下面側には、吸着溝１１４ａと連通した吸着孔１１３が、吸着溝１１４ａに沿って複数設けられている。
第２補助プレート１１２’は、吸着溝１１４ａおよび連結溝１１４ｂを覆っている。
【００５６】
なお、補助プレート１１０、１１０’は、連結溝１１４ｂに外部の真空源に接続するための接続孔１１５を設けるかわりに、吸着溝１１４ａおよびの連結溝１１４ｂのうちの１つの溝を、第１補助プレート１１１’の端部まで延ばして外部の真空源に接続してもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では、液体接着剤により接着層１０３を形成しているが、固体接着剤により接着層１０３を形成してもよい。
固体接着剤により接着層１０３を形成した場合、液体接着剤により接着層１０３を形成した場合と比べて、押圧による補助プレート１１０の沈み込み量を減らすことができるので、補助プレート１１０に求められる強度の範囲を広げることができる。
このため、固体接着剤により接着層１０３を形成した場合、例えば、連結溝１１４ｂを貼り合せ方向に対して直交する方向に設けることができる。
【００５８】
さらに、上記実施形態では、第１板状部材１０１に接着層１０３を形成しているが、第２板状部材１０２に接着層１０３を形成してもよい。
【００５９】
また、本発明に係る貼り合せ装置は、補助プレート１１０、１１０’を貼り合せステージ３上に、または貼り合せステージ３上から移動させる移動手段を備えていてもよい。これにより、本発明に係る貼り合せ装置では、第２板状部材１０２を吸着保持した状態の補助プレート１１０、１１０’を任意の作業位置へ移動させることが可能となる。
例えば、接着剤を塗布するために塗布ステージ上に載置された第２板状部材１０２および補助プレート１１０を、移動手段により、貼り合せステージ３上に移動させることができる。
【００６０】
また、上記実施形態では、第２ピロー６にのみ連結部６ｅおよび一対の重り部６ｆを設けたが、第１ピロー４にも設けることができる。なお、重り部６ｆの形状および大きさは任意に変更することができる。
【００６１】
さらに、上記実施形態では、第２ピロー６の支持部６ｃが貼り合せ角度θに応じて傾動自在となるように、連結部６ｅおよび一対の重り部６ｆを設けているが、電気的駆動手段により支持部６ｃを傾動させてもよい。
【００６２】
また、上記実施形態では、ステージ移動手段２を移動させて、貼り合せステージ３、第１ピロー４、第１ピロー駆動手段５、第２ピロー６および第２ピロー駆動手段７と、ローラー８との相対位置を変化させているが、ステージ移動手段２を移動させる替わりにローラー８を移動させてもよい。
【００６３】
さらに、上記実施形態では、平板状の補助プレート１１０を用いたが、はじめから貼り合せ角度θ程度に湾曲しており、かつローラー８等の押圧手段に押圧されることにより平板化する程度の剛性を有する湾曲板状の補助プレートを用いてもよい。
また、貼り合せの状態によっては（例えば、厚み精度の条件が比較的緩い場合）、自重により予め設定された範囲内で湾曲する程度の剛性を有する平板状または湾曲板状の補助プレートを用いてもよい。
なお、補助プレート１１０が自重により湾曲する範囲（補助プレート１１０の撓み量）は、第１補助プレート１１１および第２補助プレート１１２の材質、厚さ、吸着溝１１４ａや連結溝１１４ｂの配置、深さおよび本数等を変更することにより任意に設計する事ができる。
【００６４】
また、上記実施形態では、液晶パネル（第１板状部材１０１）にカバーガラス（第２板状部材１０２）を貼り付けたが、本発明に係るフィルム貼付装置は、任意の第１板状部材１０１に任意の第２板状部材１０２を貼り付けることができ、例えば、ガラス（第１板状部材１０１）に、該ガラスよりも貼り合せ方向の長さが長いガラス（第２板状部材１０２）を貼り付けることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１    貼り合せ装置
２    ステージ移動手段
３    貼り合せステージ
４    第１ピロー
５    第１ピロー駆動手段
６    第２ピロー
７    第２ピロー駆動手段
８    ローラー
９    ローラー駆動手段
１０１    第１板状部材
１０２    第２板状部材
１０３    接着層
１１０、１１０’    補助プレート
１１０ａ    第１端部
１１０ｂ    第２端部
１１１、１１１’    第１補助プレート
１１２、１１２’    第２補助プレート
１１３    吸着孔
１１４ａ    吸着溝
１１４ｂ    連結溝
１１５    接続孔
１１６    接合手段
１１７    シール手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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