(57)【要約】【課題】ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられるのを抑制し、チップの、シートからの脱落や破損を防止するチップピックアップ装置を得ることである。【解決手段】突上げピンのテーパ部で剥離可能な高さまでチップを突き上げた時の、粘着シート載置面の位置における突上げピンのテーパ部の直径を、チップの各方向の辺の長さと隣接するチップ間の間隙の２倍との和から粘着シートの厚さの２倍を引いた長さより小さくしている。【選択図】図４
2013172042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、上記基台に載置される粘着シートの裏面側から、上記粘着シートに貼着されたチップを突き上げる突上げピンと、突き上げられた上記チップを上記粘着シートから剥離するコレットとを備えており、
上記基台が、上記突上げピンを収納する突上げピン収納部と、上記粘着シートを載置する載置面と、上記載置面に設けられた上記突上げピンが突出する突出孔とを有しており、上記突上げピンが、先端側に向かって細くなるテーパ部を有し、上記テーパ部の先端が大きな曲率の突出曲面であり、
上記粘着シートには、複数の上記チップが、上記粘着シートのＸ方向と、上記Ｘ方向と直交する上記粘着シートのＹ方向とに、マトリックス状に配列して貼着されており、
上記突上げピンのテーパ部により、上記コレットで上記粘着シートから剥離可能な高さまで、上記チップを突き上げた場合の、上記載置面の位置における上記突上げピンのテーパ部の直径Ｄｂが、上記チップの上記粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと上記粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から上記粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つ上記チップの上記粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと上記粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から上記粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造であるチップピックアップ装置。
【請求項２】
基台と、上記基台に載置される粘着シートの裏面側から、上記粘着シートに貼着されたチップを突き上げる突上げピンと、突き上げられた上記チップを上記粘着シートから剥離するコレットとを備えており、
上記基台が、複数の上記突上げピンを収納する突上げピン収納部と、上記粘着シートを載置する載置面と、上記載置面に設けられた上記突上げピンが突出する複数の突出孔とを有しており、
上記突上げピンが、先端側に向かって細くなるテーパ部を有し、上記テーパ部の先端が大きな曲率の突出曲面であり、
上記粘着シートには、複数の上記チップが、上記粘着シートのＸ方向と、上記Ｘ方向と直交する上記粘着シートのＹ方向とに、マトリックス状に配列して貼着されており、
複数の上記突上げピンのテーパ部により、上記コレットで上記粘着シートから剥離可能な高さまで、１個の上記チップを突き上げた場合の、上記粘着シートＸ方向と上記粘着シートＹ方向との、各々の方向に並んだ上記突上げピンの両端に位置する突上げピンの上記載置面の位置におけるテーパ部の直径Ｄｃが、上記チップの上記粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと上記粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から、上記粘着シートＸ方向に並んだ複数の上記突上げピンの上記両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｘと上記粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−Ｋｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つ上記チップの上記粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと上記粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から、上記粘着シートＹ方向に並んだ複数の上記突上げピンの上記両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｙと上記粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−Ｋｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造であるチップピックアップ装置。
【請求項３】
上記突上げピンのテーパ部における、先端と先端側に向かって直径が細くなって行く側面部とが連続して滑らかに接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート表面に貼着して保持されている、半導体チップのようなチップをシート表面から剥離させて取り出すチップピックアップ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、複数のチップが粘着性を有するシートの表面に貼り付けられた状態で供給される。そのため、シートの表面に貼り付けられたチップは、チップピックアップ装置により、シートから剥離して取り出され、次工程に搬送される。
チップピックアップ装置は、チップを吸着保持するコレットと、シートの裏面側からチップを突き上げ、チップのシートからの剥離を容易にする突上げピンとを備えている。
【０００３】
従来のチップピックアップ装置として、例えば、突上げピンに、根元側から先端側に向かって細くなり、且つ先端が尖ったニードルを用いたものがある。
このチップピックアップ装置は、突上げピンである先端が尖ったニードルがシートをその裏面側から突き破り、シートから露出したニードルがチップをシートから剥離し、コレットがシートから剥離したチップを吸着保持して搬送する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
従来の別のチップピックアップ装置として、根元側から先端側に向かって細くなっているテーパ状であり、且つ先端に丸みが付けられた形状の突上げピンを用いたものがある。
このチップピックアップ装置は、突上げピンに、先端側は細くなったテーパ形状であるが、先端に丸みが設けられたものを用いているので、シートの裏面側からチップを突き上げても、シートを突き破ることなしに、シートを上方に変形させ、チップとシートとの接触面積を低減し、コレットによるシートからのチップの剥離を容易にする（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３４４６５７号公報（第２−３頁、第３図）
【特許文献２】特開平０２−０７１５４５号公報（第２頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載のチップピックアップ装置は、シートを突き破ったニードルの先端がチップに当たるので、チップを傷つけたり破損するとの問題があった。
また、特許文献２のチップピックアップ装置は、テーパ状の突上げピンが用いられ、シートの裏面側からチップを突き上げ、チップが貼り付けられている部分のシートを上方に変形させている。
このチップピックアップ装置は、突上げピンがテーパ形状であり先端側から根元側に向かって太くなっているので、突上げピンの突き上げ高さが高くなるに従い、変形されるシートの領域が大きくなり、ピックアップするチップの周囲のチップまでが持ち上げられ、シートからチップが脱落したり、周囲のチップどうしが接触し破損するとの問題があった。
【０００７】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、突上げピンがシートを突き破ってチップを破損するのを防止できるとともに、突上げピンの突き上げ時のシートの変形領域を小さくして、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられるのを抑制し、チップがシートから脱落したり、周囲のチップどうしが接触し破損するのを防止できるチップピックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る第１のチップピックアップ装置は、基台と、基台に載置される粘着シートの裏面側から、粘着シートに貼着されたチップを突き上げる突上げピンと、突き上げられたチップを粘着シートから剥離するコレットとを備えており、基台が、突上げピンを収納する突上げピン収納部と、粘着シートを載置する載置面と、載置面に設けられた突上げピンが突出する突出孔とを有しており、突上げピンが、先端側に向かって細くなるテーパ部を有し、テーパ部の先端が大きな曲率の突出曲面であり、粘着シートには、複数のチップが、粘着シートのＸ方向と、Ｘ方向と直交する粘着シートのＹ方向とに、マトリックス状に配列して貼着されており、突上げピンのテーパ部により、コレットで粘着シートから剥離可能な高さまで、チップを突き上げた場合の、載置面の位置における突上げピンのテーパ部の直径Ｄｂが、チップの粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップの粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造のものである。
【０００９】
本発明に係わる第２のチップピックアップ装置は、基台と、基台に載置される粘着シートの裏面側から、粘着シートに貼着されたチップを突き上げる突上げピンと、突き上げられたチップを粘着シートから剥離するコレットとを備えており、基台が、複数の突上げピンを収納する突上げピン収納部と、粘着シートを載置する載置面と、載置面に設けられた突上げピンが突出する複数の突出孔とを有しており、突上げピンが、先端側に向かって細くなるテーパ部を有し、テーパ部の先端が大きな曲率の突出曲面であり、粘着シートには、複数のチップが、粘着シートのＸ方向と、Ｘ方向と直交する粘着シートのＹ方向とに、マトリックス状に配列して貼着されており、複数の突上げピンのテーパ部により、コレットで粘着シートから剥離可能な高さまで、１個のチップを突き上げた場合の、粘着シートＸ方向と粘着シートＹ方向との、各々の方向に並んだ突上げピンの両端に位置する突上げピンの載置面の位置におけるテーパ部の直径Ｄｃが、チップの粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から、粘着シートＸ方向に並んだ複数の突上げピンの両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｘと粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−Ｋｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップの粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から、粘着シートＹ方向に並んだ複数の突上げピンの両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｙと粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−Ｋｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造のものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る第１のチップピックアップ装置は、突上げピンのテーパ部先端が大きな曲率の突出曲面であるとともに、突上げピンのテーパ部により、コレットで粘着シートから剥離可能な高さまで、チップを突き上げた場合の、載置面の位置における突上げピンのテーパ部の直径Ｄｂが、チップの粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップの粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から粘着シートの厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造のものであるので、突き上げ時に、突上げピンで粘着シートを破ることがないとともに、ピックアップするチップの周囲にあるチップが貼着された粘着シートの部分の持ち上がりがなく、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられて、チップが、シートから脱落したり、周囲のチップどうしが接触して破損したりするのが防止できる。
【００１１】
本発明に係る第２のチップピックアップ装置は、突上げピンのテーパ部先端が大きな曲率の突出曲面であるとともに、複数の突上げピンのテーパ部により、コレットで粘着シートから剥離可能な高さまで、１個のチップを突き上げた場合の、粘着シートＸ方向と粘着シートＹ方向との、各々の方向に並んだ突上げピンの両端に位置する突上げピンの載置面の位置におけるテーパ部の直径Ｄｃが、チップの粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から、粘着シートＸ方向に並んだ複数の突上げピンの両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｘと粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−Ｋｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップの粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から、粘着シートＹ方向に並んだ複数の突上げピンの両端に位置する突上げピンの軸間距離Ｋｙと粘着シートの厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−Ｋｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている構造のものであるので、突き上げ時に、突上げピンで粘着シートを破ることがないとともに、ピックアップするチップの周囲にあるチップが貼着された粘着シートの部分の持ち上がりがなく、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられて、チップが、シートから脱落したり、周囲のチップどうしが接触して破損したりするのが防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置の主要部の側面断面模式図（ａ）と基台の載置面の上面模式図（ｂ）である。
【図２】チップピックアップ装置にセットする複数のチップが貼着された粘着シートを示す斜視模式図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置に用いられる突上げピンの主要部（ａ）と拡大したテーパ部の先端側（ｂ）とを示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置において、突上げピンでチップを突き上げた状態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係わるチップピックアップ装置の主要部における、セットされる、チップを貼着した粘着シートのＸ方向と平行な側面断面模式図（ａ）とセットされる、チップを貼着した粘着シートのＹ方向と平行な側面断面模式図（ｂ）とである。
【図６】本発明の実施の形態２に係わるチップピックアップ装置の主要部における、基台の載置面の上面模式図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係わるチップピックアップ装置に用いられる突上げピンにおけるテーパ部の先端部分を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置の主要部の側面断面模式図（ａ）と基台の載置面の上面模式図（ｂ）である。
図２は、チップピックアップ装置にセットする複数のチップが貼着された粘着シートを示す斜視模式図である。
図１に示すように、本実施の形態のチップピックアップ装置１００は、粘着面にチップ１が貼着された粘着シート２を載置する基台５と、基台５に載置された粘着シート２の裏面側からチップ１を突き上げる突上げピン３と、チップ１を吸着して持ち上げて粘着シート２から剥離するコレット４とを備えている。
図１（ａ）は、突上げピン３でチップ１を突き上げる前の状態である。
【００１４】
図２に示すように、チップピックアップ装置１００にセットされる粘着シート２には、粘着シートの一方向（Ｘ方向と記す）と、Ｘ方向と直交する粘着シートの他方向（Ｙ方向と記す）とに、マトリックス状に配列して複数個のチップ１が貼着されている。
そして、粘着シート２に貼着されているチップ１は、Ｘ方向と平行な辺（Ｘ方向の辺と記す）の長さがＬｘでありＹ方向と平行な辺（Ｙ方向の辺と記す）の長さがＬｙであり、Ｘ方向で隣り合うチップとの間隙がＰｘでありＹ方向で隣り合うチップとの間隙がＰｙである。
【００１５】
基台５は、内部に突上げピン３を収納しており、図１（ｂ）に示すように粘着シート２を載置する面（載置面と記す）５ａに突上げピン３が突出する孔（突出孔と記す）５ｂが設けられており、基台５の突上げピン３を収納している部分（突上げピン収納部と記す）５ｃを減圧にして、載置面５ａに載置した粘着シート２を吸着保持することが可能である。
【００１６】
図３は、本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置に用いられる突上げピンの主要部（ａ）と拡大したテーパ部の先端側（ｂ）とを示す模式図である。
図３（ａ）に示すように、本実施の形態の突上げピン３は、駆動部（図示せず）に連結する連結部３ｃと、連結部３ｃと一体であり且つ連結部３ｃ側から先端側に向かって細くなるテーパ部３ｂとを有している。
そして、図３（ｂ）に示すように、テーパ部３ｂの先端３ａは、面積は小さいが、曲率が大きな突出曲面となっている。
【００１７】
次に、本実施の形態のチップピックアップ装置１００の動作について説明する。
本実施の形態のチップピックアップ装置１００では、図１に示すように、複数のチップ１が貼着された粘着シート２が、基台５の載置面５ａに載置される。この時、ピックアップされるチップ１の中心が、突上げピン３の軸の延長線上にくるようにしている。
次に、突上げピン収納部５ｃを減圧にして、基台５に粘着シート２を吸着して固定する。
【００１８】
次に、コレット４をチップ１側に下降させて先端を接触させるとともに、コレット４でチップ１を吸着保持する。
次に、突上げピン３を上昇して、突出孔５ｂからテーパ部３ｂを突出させ、粘着シート２の裏面側から、突上げピン３で粘着シート２とともにチップ１を突き上げる。この時、突上げピン３の上昇とシンクロして、コレット４がチップ１を保持しながら上昇する。
次に、突上げピン３が、所定の高さまでチップ１を突き上げて停止後、チップ１を吸着保持したコレット４が、さらに上昇し、粘着シート２から、チップ１を剥離する。
【００１９】
図４は、本発明の実施の形態１に係わるチップピックアップ装置において、突上げピンでチップを突き上げた状態を示す図である。
図４に示すように、本実施の形態のチップピックアップ装置１００では、突上げピン３で粘着シート２の裏面側からチップ１を突き上げると、テーパ部３ｂが粘着シート２と接して、粘着シート２を上方に突出させて変形させる。
すなわち、粘着シート２を介して突上げピン３で、所定の高さまで突き上げられたチップ１は、粘着シート２が延伸されることにより、粘着シート２との接触面積が小さくなり、チップ１を吸着保持しているコレット４で、チップ１を粘着シートから容易に剥離することができる。
【００２０】
また、本実施の形態のチップピックアップ装置１００は、図４に示すように、突上げピン３のテーパ部３ｂにより、コレット４で粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、チップ１を突き上げた場合において、基台５の載置面５ａの位置におけるテーパ部３ｂの直径Ｄｂと粘着シート２の厚さＳｔの２倍とを足した幅が、Ｘ方向に配列したチップにおけるピックアップされるチップの両側にあるチップ間の距離（Ｌｘ＋２Ｐｘ）より小さくなっており、且つＹ方向に配列したチップにおけるピックアップされるチップの両側にあるチップ間の距離（Ｌｙ＋２Ｐｙ）より小さくなっている。
【００２１】
すなわち、突上げピン３のテーパ部３ｂにより、コレット４で粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、チップ１を突き上げた場合の、突上げピン３の載置面５ａの位置におけるテーパ部３ｂの直径Ｄｂが、チップ１の粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から粘着シート２の厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップ１の粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から粘着シート２の厚さＳｔの２倍を引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている。
【００２２】
つまり、本実施の形態のチップピックアップ装置１００は、上記突上げピン３のテーパ部３ｂの直径Ｄｂが、下記の（１）式と（２）式との関係を満たす構造のものである。
Ｄｂ＋２Ｓｔ＜Ｌｘ＋２Ｐｘ
∴  Ｄｂ＜Ｌｘ＋２Ｐｘ−２Ｓｔ      （１）
Ｄｂ＋２Ｓｔ＜Ｌｙ＋２Ｐｙ
∴  Ｄｂ＜Ｌｙ＋２Ｐｙ−２Ｓｔ      （２）
【００２３】
本実施の形態のチップピックアップ装置１００は、Ｄｂが上記関係を満たす突上げピンが用いられているので、ピックアップするチップ１の周囲にあるチップ１が貼着された粘着シート２の部分の持ち上がりがなく、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられて、チップが、シートから脱落したり、周囲のチップどうしが接触して破損したりするのが防止できる。
また、テーパ部３ｂの先端３ａは、大きな曲率の突出曲面となっているので、突き上げ時に、突上げピン３で粘着シート２を破ることがない。
【００２４】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係わるチップピックアップ装置の主要部における、セットされる、チップを貼着した粘着シートのＸ方向と平行な側面断面模式図（ａ）とセットされる、チップを貼着した粘着シートのＹ方向と平行な側面断面模式図（ｂ）とである。
図６は、本発明の実施の形態２に係わるチップピックアップ装置の主要部における、基台の載置面の上面模式図である。
【００２５】
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、本実施の形態のチップピックアップ装置２００は、基台１５の突上げピン収納部１５ｃに、複数の突上げピン３が収納され、且つ基台１５の載置面１５ａに複数の突出孔１５ｂが設けられ、各突出孔１５ｂから突上げピン３のテーパ部３ｂが突出して、複数の突上げピン３のテーパ部３ｂで、１個のチップ１を、粘着シート２の裏面側から突き上げる構造となっている。
【００２６】
本実施の形態のチップピックアップ装置２００も、チップ１を粘着シート２の裏面側から突き上げる時に、突上げピン収納部１５ｃを減圧にして、粘着シート２を載置面１５ａに保持できるようになっている。
図５（ａ）および図５（ｂ）は、複数の突上げピン３で１個のチップ１を、コレットで粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、突き上げた状態を示す図である。
図５では、コレットは省略している。
【００２７】
本実施の形態のチップピックアップ装置２００にセットされる粘着シート２にも、図２に示したように、粘着シート２の、Ｘ方向とＹ方向とにマトリックス状に配列して複数個のチップ１が貼着されている。
そして、チップ１は、Ｘ方向の辺の長さがＬｘであり、Ｙ方向の辺の長さがＬｙであり、隣り合うチップ１の、Ｘ方向の間隙がＰｘでＹ方向の間隙がＰｙである。
【００２８】
また、図６に示すように、突上げピン収納部１５ｃに収納されている複数の突上げピンが突出する複数の突出孔１５ｂは、基台１５の載置面１５ａの所定の領域に設けられている。
すなわち、複数の突上げピン３は、点線で示された、載置面１５ａのピックアップされるチップ１が粘着シート２を介して置かれる領域（チップ配置領域と記す）Ｔｐ内に、全ての突上げピン３のテーパ部の先端３ａが位置するように、配置されている。
【００２９】
図６では、複数の突上げピン３の配置例として、載置される粘着シート２の、Ｘ方向とＹ方向とに、マトリックス状に複数の突上げピン３を配置したものを示している。
しかし、複数の突上げピン３の配置は、マトリックス状の配置に限定されない。
また、突上げピン３の形状は、図３に示した形状である。
また、少なくとも、Ｘ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３とＹ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３とは、同様な寸法である。
【００３０】
また、本実施の形態のチップピックアップ装置２００は、図５（ａ）に示すように、チップ配置領域Ｔｐにテーパ部３ｂが突出する複数の突上げピン３により、コレットで粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、１個のチップ１を突き上げた場合における、粘着シート２のＸ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３の載置面１５ａの位置におけるテーパ部３ｂの各半径Ｒｃと、粘着シート２のＸ方向の両端に位置する突上げピン３の軸間距離Ｋｘと、粘着シート２の厚さＳｔの２倍とを足した幅（２Ｒｃ＋Ｋｘ＋２Ｓｔ）が、Ｘ方向に配列したチップ１におけるピックアップされるチップの両側にあるチップ間の距離（Ｌｘ＋２Ｐｘ）より小さくなるようになっている。
【００３１】
また、図５（ｂ）に示すように、チップ配置領域Ｔｐにテーパ部３ｂが突出する複数の突上げピン３により、コレットで粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、１個のチップ１を突き上げた場合における、粘着シート２のＹ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３の載置面１５ａの位置におけるテーパ部３ｂの各半径Ｒｃと、粘着シート２のＹ方向の両端に位置する突上げピン３の軸間距離Ｋｙと、粘着シート２の厚さＳｔの２倍とを足した幅（２Ｒｃ＋Ｋｙ＋２Ｓｔ）が、Ｙ方向に配列した複数のチップ１におけるピックアップされるチップの両側にあるチップ間の距離（Ｌｙ＋２Ｐｙ）より小さくなるようになっている。
【００３２】
すなわち、チップ配置領域Ｔｐにテーパ部３ｂを突出する複数の突上げピン３により、コレットで粘着シート２から剥離可能な高さＨまで、１個のチップ１を突き上げた場合の、粘着シートＸ方向と粘着シートＹ方向との、各々の方向に並んだ突上げピン３の両端に位置する突上げピン３の載置面１５ａの位置におけるテーパ部３ｂの半径Ｒｃの２倍である直径Ｄｃが、チップ１の粘着シートＸ方向と平行な辺の長さＬｘと粘着シートＸ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｘの２倍との和から、粘着シートＸ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３の軸間距離Ｋｘと粘着シート２の厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｘ＋２Ｐｘ−Ｋｘ−２Ｓｔ）より小さく、且つチップ１の粘着シートＹ方向と平行な辺の長さＬｙと粘着シートＹ方向で隣り合うチップの間隙Ｐｙの２倍との和から、粘着シートＹ方向に並んだ複数の突上げピン３の両端に位置する突上げピン３の軸間距離Ｋｙと粘着シート２の厚さＳｔの２倍とを引いた長さ（Ｌｙ＋２Ｐｙ−Ｋｙ−２Ｓｔ）より小さくなっている。
【００３３】
つまり、本実施の形態のチップピックアップ装置２００は、上記突上げピン３のテーパ部３ｂの直径Ｄｃが、下記の（３）式と（４）式との関係を満たす構造のものである。
２Ｒｃ＋Ｋｘ＋２Ｓｔ＜Ｌｘ＋２Ｐｘ
Ｄｃ＋Ｋｘ＋２Ｓｔ＜Ｌｘ＋２Ｐｘ
∴  Ｄｃ＜Ｌｘ＋２Ｐｘ−Ｋｘ−２Ｓｔ        （３）
２Ｒｃ＋Ｋｙ＋２Ｓｔ＜Ｌｙ＋２Ｐｙ
Ｄｃ＋Ｋｙ＋２Ｓｔ＜Ｌｙ＋２Ｐｙ
∴  Ｄｃ＜Ｌｙ＋２Ｐｙ−Ｋｙ−２Ｓｔ        （４）
【００３４】
本実施の形態のチップピックアップ装置２００は、Ｄｃが上記関係を満たす突上げピンが用いられ、且つＫｘとＫｙとが上記関係を満たすように複数の突上げピン３が配置された構造になっているので、ピックアップするチップ１の周囲にあるチップ１が載置された粘着シート２の部分の持ち上がりがなく、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられて、チップが、シートから脱落したり、周囲のチップどうしが接触して破損したりするのが防止できる。
【００３５】
また、複数の突上げピン３で、１個のチップ１を突き上げるので、サイズが大きなチップであっても、コレットによる粘着シートからのチップの剥離が容易である。
また、突上げピンのテーパ部の先端が、大きな極率の突出曲面となっているので、突き上げ時に、突上げピンで粘着シートを破ることがない。
【００３６】
実施の形態３．
図７は、本発明の実施の形態３に係わるチップピックアップ装置に用いられる突上げピンにおけるテーパ部の先端部分を示す模式図である。
図７に示すように、本実施の形態のチップピックアップ装置は、テーパ部２３ｂの、先端２３ａと側面部２３ｄとが、連続して滑らかに接続されている以外、実施の形態１のチップピックアップ装置１００に用いられた突上げピンと同様である。
【００３７】
本実施の形態のチップピックアップ装置は、テーパ部２３ｂにおける、先端２３ａと先端側に向かって直径が細くなって行く側面部２３ｄとが連続して滑らかに接続された突上げピンを用いているので、粘着シートの傷つけ防止効果がさらに向上し、例え、誤って突上げピンの突き上げ高さが高くなり過ぎても、粘着シートが破れるのを防止できる。
本実施の形態の突上げピンは、実施の形態２のチップピックアップ装置２００にも適用でき、同様な効果を得る。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明に係わるチップピックアップ装置は、突上げピンがシートを突き破ってチップを破損するのを防止できるとともに、突上げピンの突き上げ時に、ピックアップするチップの周囲にあるチップが持ち上げられるのが抑制され、チップがシートから脱落したり、周囲のチップが接触し破損するのを防止できるので、高信頼性と歩留まり向上が要求される半導体装置の製造に用いられる。
【符号の説明】
【００３９】
１  チップ、２  粘着シート、３  突上げピン、３ａ  先端、３ｂ  テーパ部、
３ｃ  連結部、４  コレット、５  基台、５ａ  載置面、５ｂ  突出孔、
５ｃ  突上げピン収納部、１５  基台、１５ａ  載置面、１５ｂ  突出孔、
１５ｃ  突上げピン収納部、２３ａ  先端、２３ｂ  テーパ部、２３ｄ  側面部、
１００，２００  チップピックアップ装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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