(57)【要約】【課題】  塗布液による閉図形に対して太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能な塗布方法および塗布装置を提供する。【解決手段】  ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を通常より低い位置に配置した状態で、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤の吐出を開始するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の移動を開始する吐出開始工程と、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤が基板１００の表面に着床した後にダム剤吐出ノズル１４の高さ位置を上昇させる上昇工程と、ダム剤吐出ノズル１４を矩形に対応させて移動させる塗布工程と、ダム剤吐出ノズル１４からのダム剤の吐出を停止するとともに、ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置をさらに上方に上昇させる液切り工程とを備える。【選択図】        図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して塗布液吐出ノズルから塗布液を吐出することにより、基板の表面に塗布液による閉図形を形成する塗布方法において、
前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が、前記塗布液吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの塗布液吐出用の開口部の寸法によって決定される通常塗布距離より小さくなる高さ位置に配置した状態で、前記塗布液吐出ノズルから塗布液の吐出を開始するとともに、前記塗布液吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を開始する吐出開始工程と、
前記塗布液吐出ノズルから吐出された塗布液が前記基板の表面に着床した後に、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置まで上昇させる上昇工程と、
前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置に維持した状態で、前記塗布液吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を継続させる塗布工程と、
前記塗布液吐出ノズルが、当該塗布液吐出ノズルから吐出された塗布液が前記基板の表面に着床した位置付近に到達した後に、前記塗布液吐出ノズルからの塗布液の吐出を停止するとともに、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離である高さ位置から上方に上昇させる液切り工程と、
を備えたことを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布方法において、
前記閉図形は矩形であり、前記吐出開始工程においては、前記矩形の辺領域から前記塗布液吐出ノズルの移動を開始する塗布方法。
【請求項３】
請求項２に記載の塗布方法において、
前記通常塗布距離は、前記塗布液吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの前記塗布液吐出用の開口部の寸法に相当する距離である塗布方法。
【請求項４】
請求項３に記載の塗布方法において、
前記開口部は円形であり、前記通常塗布距離は前記開口部の直径に相当する距離である塗布方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の塗布方法において、
前記吐出開始工程においては、前記塗布工程よりも、前記塗布液吐出ノズルから吐出する塗布液の吐出量を多量にする塗布方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の塗布方法において、
前記塗布液は、ガラス基板の製造時の封止工程において使用されるダム剤である塗布方法。
【請求項７】
基板に対して、封止工程において使用されるダム剤を塗布するための塗布装置であって、
前記基板を載置するステージと、
ダム部を形成するためのダム剤を吐出する吐出口を備えたダム剤吐出ノズルと、
前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージとを、第１の方向と、この第１の方向と直交する第２の方向に相対的に移動させるダム剤吐出ノズル移動機構と、
前記ダム剤吐出ノズルを昇降させるダム剤吐出ノズル昇降機構と、
前記ダム剤吐出ノズルと、前記ダム剤吐出ノズル移動機構と、前記ダム剤吐出ノズル昇降機構とを制御することにより、
前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が、前記ダム剤吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの塗布液吐出用の開口部の寸法によって決定される通常塗布距離より小さくなる高さ位置に配置した状態で、前記ダム剤吐出ノズルから塗布液の吐出を開始するとともに、前記ダム剤吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を開始し、
前記ダム剤吐出ノズルから吐出された塗布液が前記ステージに載置された基板の表面に着床した後に、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置まで上昇させ、
前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置に維持した状態で、前記ダム剤吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を継続させ、
前記ダム剤吐出ノズルが、当該ダム剤吐出ノズルから吐出された塗布液が前記ステージに載置された基板の表面に着床した位置付近に到達した後に、前記ダム剤吐出ノズルからの塗布液の吐出を停止するとともに、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離である高さ位置から上方に上昇させる制御部と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板に対して塗布液吐出ノズルから塗布液を吐出することにより、基板の表面に塗布液による閉図形を形成する塗布方法および塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板の製造時には、発光層をフィル剤で封止する封止工程が実行される。この封止工程においては、ダム剤により矩形状のダム部を形成した後、そのダム部の内部にフィル剤を塗布するようにしている。
【０００３】
図１１は、この封止工程を模式的に示す説明図である。なお、図１１においては、ガラス基板１００については、各パーツ部分に対応する領域のみを示している。
【０００４】
封止工程を実行するときには、最初に、図１１（ａ）に示すように、ガラス基板１００に対してダム剤１０１を塗布する。このダム剤１０１は、高い粘性を有する液体であり、硬化することにより接着作用を奏する。このダム剤１０１の塗布は、ガラス基板１００と対向配置されたダム剤吐出ノズルよりガラス基板１００に向けてダム剤１０１を吐出することにより行われる。そして、ガラス基板１００とダム剤吐出ノズルとを相対的に移動させることにより、ダム剤１０１により矩形状のダム部を形成する。
【０００５】
次に、図１１（ｂ）に示すように、矩形状のダム部内にフィル剤１０２を塗布する。このフィル剤１０２は、ダム剤１０１に比べて粘性が低い液体である。このフィル剤１０２の塗布は、ガラス基板１００におけるダム部の中央部と対向配置されたフィル剤吐出ノズルより、ガラス基板１００に向けてフィル剤１０２を吐出することにより行われる。
【０００６】
次に、図１１（ｃ）に示すように、発光層１０４が予め形成された透光性の基板１０３を、フィル剤１０２が塗布されたガラス基板１００と対向配置し、基板１０３の下面とガラス基板１００上にダム剤１０１により形成されたダム部とを当接させる。
【０００７】
しかる後、図１１（ｄ）に示すように、ガラス基板１００および基板１０３を上下反転させるとともに、ダム剤１０１を硬化させてガラス基板１００と基板１０３とを接着する。このダム剤１０１の硬化は、ダム剤１０１が紫外線硬化性材料であるときには、紫外線照射により実行され、ダム剤１０１が熱可塑性材料であるときには、加熱により実行される。
【０００８】
この封止工程におけるダム剤１０１の塗布を行う場合には、例えば、円形の開口部を有するダム剤吐出ノズルからガラス基板１００に対してダム剤１０１を吐出しながら、このダム剤吐出ノズルをダム部を形成するために矩形状に移動させて、ダム剤１０１により閉図形（矩形）を形成するようにしている。
【０００９】
特許文献１には、シリンジに連通する各種のノズルを備えた塗布装置により基板に対して接着剤を塗布する塗布装置が開示されている。
【００１０】
また、特許文献２には、半導体装置に対してダイ・ボンディングを行うときに、描画開始時に塗布線幅が細くなる問題を回避するため、シリンジにかかるエア圧が設定値を超えた時点で、ノズル部からペーストを吐出して描画動作を開始するようにした半導体装置の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特許第３６７６４７３号公報
【特許文献２】特開２００９−２６８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
一般的な塗布装置とは異なり、閉図形を形成する塗布装置においては、塗布の開始位置と塗布の終了位置を重畳させる必要がある。ところで、塗布開始時に塗布液の基板の表面への着床タイミングにずれが生じて、書き出し（塗布開始）部分で塗布液の液溜まりが発生したり、書き出し位置が不安定となるという問題が生ずる。また、同様に、塗布終了時の塗布液の液切れの状態によっては、書き終わり（塗布終了）時点で塗布液の液溜まりが発生することがある。このため、閉図形を形成する塗布工程において、書き出しと書き終わりの繋ぎ部分（重畳部分）で塗布液の線幅の局所的な太りや、塗布液の断線等が生ずる場合がある。
【００１３】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、塗布液による閉図形に対して太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能な塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明は、基板に対して塗布液吐出ノズルから塗布液を吐出することにより、基板の表面に塗布液による閉図形を形成する塗布方法において、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が、前記塗布液吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの塗布液吐出用の開口部の寸法によって決定される通常塗布距離より小さくなる高さ位置に配置した状態で、前記塗布液吐出ノズルから塗布液の吐出を開始するとともに、前記塗布液吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を開始する吐出開始工程と、前記塗布液吐出ノズルから吐出された塗布液が前記基板の表面に着床した後に、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置まで上昇させる上昇工程と、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置に維持した状態で、前記塗布液吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を継続させる塗布工程と、前記塗布液吐出ノズルが、当該塗布液吐出ノズルから吐出された塗布液が前記基板の表面に着床した位置付近に到達した後に、前記塗布液吐出ノズルからの塗布液の吐出を停止するとともに、前記塗布液吐出ノズルを、当該塗布液吐出ノズルの下面と前記基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離である高さ位置から上方に上昇させる液切り工程とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記閉図形は矩形であり、前記吐出開始工程においては、前記矩形の辺領域から前記塗布液吐出ノズルの移動を開始する。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記通常塗布距離は、前記塗布液吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの前記塗布液吐出用の開口部の寸法に相当する距離である。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記開口部は円形であり、前記通常塗布距離は前記開口部の直径に相当する距離である。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明において、前記吐出開始工程においては、前記塗布工程よりも、前記塗布液吐出ノズルから吐出する塗布液の吐出量を多量にする。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれかに記載の発明において、前記塗布液は、ガラス基板の製造時の封止工程において使用されるダム剤である。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、基板に対して、封止工程において使用されるダム剤を塗布するための塗布装置であって、前記基板を載置するステージと、ダム部を形成するためのダム剤を吐出する吐出口を備えたダム剤吐出ノズルと、前記ダム剤吐出ノズルと前記ステージとを、第１の方向と、この第１の方向と直交する第２の方向に相対的に移動させるダム剤吐出ノズル移動機構と、前記ダム剤吐出ノズルを昇降させるダム剤吐出ノズル昇降機構と、前記ダム剤吐出ノズルと、前記ダム剤吐出ノズル移動機構と、前記ダム剤吐出ノズル昇降機構とを制御することにより、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が、前記ダム剤吐出ノズルの移動方向における当該ノズルの塗布液吐出用の開口部の寸法によって決定される通常塗布距離より小さくなる高さ位置に配置した状態で、前記ダム剤吐出ノズルから塗布液の吐出を開始するとともに、前記ダム剤吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を開始し、前記ダム剤吐出ノズルから吐出された塗布液が前記ステージに載置された基板の表面に着床した後に、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置まで上昇させ、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離となる高さ位置に維持した状態で、前記ダム剤吐出ノズルの前記閉図形に沿った移動を継続させ、前記ダム剤吐出ノズルが、当該ダム剤吐出ノズルから吐出された塗布液が前記ステージに載置された基板の表面に着床した位置付近に到達した後に、前記ダム剤吐出ノズルからの塗布液の吐出を停止するとともに、前記ダム剤吐出ノズルを、当該ダム剤吐出ノズルの下面と前記ステージに載置された基板の表面との離間距離が前記通常塗布距離である高さ位置から上方に上昇させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１および請求項７に記載の発明によれば、基板の表面に塗布液による閉図形を形成する場合において、閉図形に対して塗布液の太りや断線を生ずることなく、閉図形を正確に形成することが可能となる。
【００２２】
請求項２に記載の発明によれば、矩形状の辺領域において塗布液を重畳することにより、塗布液の太りや断線を生ずることなく、塗布液による矩形を形成することが可能となる。
【００２３】
請求項３および請求項４に記載の発明によれば、矩形の各辺の塗布幅を一定に維持した状態で、塗布液による矩形を形成することが可能となる。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、塗布液の吐出開始時における基板に対する塗布液の着床タイミングを容易に制御することができ、塗布開始時における塗布状態を一定に維持することが可能となる。
【００２５】
請求項６に記載の発明によれば、ガラス基板の製造時の封止工程において使用されるダム剤を正確に塗布することにより、ガラス基板を適正に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明に係る塗布装置の斜視図である。
【図２】ダム剤吐出ノズル１４によるダム剤１０１の塗布状態と、フィル剤吐出ノズル２４によるフィル剤１０２の塗布状態を模式的に示す説明図である。
【図３】この発明に係る塗布装置の制御系を示すブロック図である。
【図４】ガラス基板１００の表面におけるダム剤１０１とフィル剤１０２の吐出状態を示す説明図である。
【図５】ダム剤吐出ノズル１４の概要図である。
【図６】ダム剤吐出ノズル昇降機構を第１支持部材１３およびダム剤吐出ノズル１４とともに示す斜視図である。
【図７】ダム剤吐出ノズル１４によるダム剤１０１の吐出動作を模式的に示す説明図である。
【図８】ダム剤吐出ノズル１４からガラス基板１００の表面にダム剤１０１が吐出される様子を模式的に示す説明図である。
【図９】ダム剤１０１が矩形状に塗布される様子を模式的に示す説明図である。
【図１０】繋ぎ部分におけるダム剤１０１の断面を示す説明図である。
【図１１】封止工程を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る塗布装置の斜視図である。
【００２８】
この塗布装置は、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板や液晶表示装置用ガラス基板等のガラス基板１００に対して、ダム剤１０１とフィル剤１０２とを塗布するためのものであり、ガラス基板１００を載置するための、基台３１上に固定されたステージ３２と、ダム部を形成するためのダム剤１０１を吐出する吐出口を備えた複数のダム剤吐出ノズル１４と、フィル部を形成するためのフィル剤１０２を吐出するスリットを備えたフィル剤吐出ノズル２４とを備える。
【００２９】
また、この塗布装置は、基台３１上に配設された一対のガイドレール３３に沿って第１の方向に往復移動可能な第１ガントリー１１および第２ガントリー２１を備える。第１ガントリー１１には、第１の方向と直交する第２の方向に向けて一対のガイドレール１２が配設されている。そして、ダム剤吐出ノズル１４を支持する第１支持部材１３が、これらのガイドレール１２に沿って、第２の方向に往復移動可能となっている。ここで、ダム剤吐出ノズル１４は、後述するダム剤吐出ノズル昇降機構により、第１支持部材１３に対して昇降可能に支持されている。このため、ダム剤吐出ノズル１４の下面とステージ３２に載置されたガラス基板１００の表面との離間距離は、変更可能となっている。
【００３０】
同様に、第２ガントリー２１には、第１の方向と直交する第２の方向に向けて一対のガイドレール２２が配設されている。そして、フィル剤吐出ノズル２４を支持する第２支持部材２３が、これらのガイドレール２２に沿って、第２の方向に往復移動可能となっている。ここで、フィル剤吐出ノズル２４は、第２支持部材２３に対して昇降可能に支持されている。このため、フィル剤吐出ノズル２４の下面とステージ３２に載置されたガラス基板１００の表面との離間距離も、変更可能となっている。
【００３１】
この塗布装置においては、第１、第２ガントリー１１、２１を、各々、第１の方向に移動させるとともに、第１、第２支持部材１３、２３を、各々、第２の方向に移動させることにより、ダム剤吐出ノズル１４とフィル剤吐出ノズル２３とを、互いに直交する第１の方向および第２の方向に往復移動させる構成となっている。
【００３２】
なお、このときの第１ガントリー１１の第１の方向への移動速度と第１支持部材１３の第２の方向への移動速度、すなわち、ダム剤吐出ノズル１４の互いに直交する方向への移動速度は、いずれも、毎秒１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下となっている。この速度は、高速である方が塗布の効率を向上させることができるが、これを過度に高速とすると、ダム剤１０１を連続して塗布することが困難となる。ダム剤吐出ノズル１４の互いに直交する方向への移動速度を、毎秒１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下とすることにより、ダム剤１０１をとぎれさせることなく、良好な形状のダム部を形成することが可能となる。
【００３３】
また、このときの第２ガントリー２１の第１の方向への移動速度と第２支持部材２３の第２の方向への移動速度、すなわち、フィル剤吐出ノズル２４の互いに直交する方向への移動速度は、いずれも、毎秒１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下となっている。この速度は、高速である方が塗布の効率を向上させることができるが、これを過度に高速とすると、フィル剤１０２の膜厚を所定値に維持することが困難となる。フィル剤吐出ノズル２４の互いに直交する方向への移動速度を、毎秒１０ｍｍ以上２００ｍｍ以下とすることにより、フィル剤１０２をその膜厚を管理しながら塗布することが可能となる。
【００３４】
なお、上述した実施形態においては、説明の便宜上、ダム剤吐出ノズル１４およびフィル剤吐出ノズル２４を、各々、２個のみ図示しているが、これらのダム剤吐出ノズル１４およびフィル剤吐出ノズル２４は、塗布の効率を向上させるため、さらに多数個配設される。
【００３５】
図２は、ダム剤吐出ノズル１４によるダム剤１０１の塗布状態と、フィル剤吐出ノズル２４によるフィル剤１０２の塗布状態を模式的に示す説明図である。
【００３６】
ダム剤吐出ノズル１４は、後述するように、ダム部を形成するためのダム剤１０１を吐出する円形の吐出口１５を備える。一方、フィル剤吐出ノズル２４は、フィル部を形成するためのフィル剤１０２を吐出するスリット２５を備える。このスリット２５は、第２支持部材２３の往復移動方向である第２の方向（図２における紙面に垂直な方向）を長手方向とする形状を有する。
【００３７】
ダム剤吐出ノズル１４とステージ３２に載置されたガラス基板１００の表面との離間距離Ｄ１は、後述するように、ダム剤吐出ノズル１４の円形の吐出口１５の直径Ａに相当する距離、すなわち、吐出口１５の直径Ａと略同一となる距離となるように設定される。一方、フィル剤吐出ノズル２４とステージ３２に載置されたガラス基板１００の表面との離間距離Ｄ２は、スリット２５による塗布に適切な値に設定される。
【００３８】
図３は、この発明に係る塗布装置の制御系を示すブロック図である。
【００３９】
この発明に係る塗布装置は、装置の制御に必要な動作プログラムが格納されたＲＯＭ４１と、制御時にデータ等が一時的にストアされるＲＡＭ４２と、論理演算を実行するＣＰＵ４３とからなる制御部４０を備える。この制御部４０は、ダム剤吐出ノズル１４の吐出動作を制御するダム剤吐出ノズル駆動部５１と、フィル剤吐出ノズル２４の吐出動作を制御するフィル剤吐出ノズル駆動部５２とに接続されている。また、この制御部４０は、第１ガントリー１１を第１の方向に往復移動させるための第１ガントリー用モータ５３と、第２ガントリー２１を第１の方向に往復移動させる第２ガントリー用モータ５４と、第１支持部材１３を第２の方向に往復移動させる複数の第１支持部材用モータ５５と、第２支持部材２３を第２の方向に往復移動させる複数の第２支持部材用モータ５６と、ダム剤吐出ノズル１４を昇降させるダム剤吐出ノズル昇降モータ５７と、フィル剤吐出ノズル２４を昇降させるフィル剤吐出ノズル昇降モータ５８と接続されている。
【００４０】
以上のような構成を有する塗布装置において、ガラス基板１００に対してダム剤１０１とフィル剤１０２の塗布を実行するときには、ステージ３２上にガラス基板１００を位置決めして載置するとともに、ダム剤吐出ノズル昇降モータ５７およびフィル剤吐出ノズル昇降モータ５８の駆動により、ダム剤吐出ノズル１４とガラス基板１００の表面との離間距離、および、フィル剤吐出ノズル２４とガラス基板１００の表面との離間距離を所定の値に設定する。しかる後、第１ガントリー１１を第１の方向に移動させるとともに、第１支持部材１３を第２の方向に移動させながら、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤１０１を吐出することにより、ガラス基板１００上に矩形状のダム部を形成する。
【００４１】
図４は、ガラス基板１００の表面におけるダム剤１０１とフィル剤１０２の吐出状態を示す説明図である。図４（ａ）に示すガラス基板１００上のダム剤１０１による矩形状の領域は、ダム部を示している。
【００４２】
一列分のダム部が形成されれば、さらに、第１ガントリー１１を第１の方向に移動させるとともに、第１支持部材１３を第２の方向に移動させながら、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤１０１を吐出することにより、ガラス基板１００上に次の列のダム部を形成する。
【００４３】
また、ダム部の形成と並行して、ダム部の内部へのフィル部の塗布を実行する。この場合には、第２支持部材２３を第２の方向に移動させることにより、フィル剤吐出ノズル２４が、先にダム剤１０１により形成された矩形状のダム部の内側と対向する位置に配置される。そして、第２ガントリー２１を第１の方向に移動させながらフィル剤吐出ノズル２４からフィル剤を吐出することにより、ガラス基板１００上のダム剤１０１による矩形状のダム部の領域内にフィル剤の薄膜を形成する。
【００４４】
ここで、フィル剤吐出ノズル２４の第２の方向と平行な方向のサイズが、ガラス基板１００上に形成されたダム部の内部の一辺のサイズと一致している場合には、第２ガントリー２１の移動によりフィル剤吐出ノズル２４を第１の方向に移動させるだけで、フィル剤１０２の塗布作業が完了する。この場合には、図４（ｂ）に示すように、ダム剤１０１によるダム部の内部全域に、フィル剤１０２による薄膜が形成されることになる。この場合においては、第２支持部２３を第２の方向に往復移動させる第２支持部材用モータ５６等のフィル剤吐出ノズル移動機構を省略してもよい。
【００４５】
一方、フィル剤吐出ノズル２４の第２の方向と平行な方向のサイズが、ガラス基板１００上に形成されたダム部の内部の一辺のサイズより小さな場合には、第２支持部材２３を第２の方向に移動させた後に、再度上記の動作を繰り返すことにより、ダム剤１０１によるダム部の内部全域にフィル剤１０２の薄膜を形成する。
【００４６】
以上のように、この実施形態に係る塗布装置によれば、ダム剤１０１とフィル剤１０２とを、並行して効率的に塗布することが可能となる。
【００４７】
ところで、このような塗布装置においては、ダム剤吐出ノズル１４により閉図形である矩形状にダム剤１０１を塗布する塗布工程において、上述したように、書き出しと書き終わりのダム剤１０１が重畳する繋ぎ部分でダム剤１０１の線幅の局所的な太りや、ダム剤１０１の断線等が生ずる場合がある。このため、この発明に係る塗布装置においては、ダム剤吐出ノズル１４の高さ位置等を適切に制御することにより、ダム剤１０１により矩形状のダム部を形成するときに、太りや断線を生ずることなく矩形を正確に形成するようにしている。
【００４８】
以下、この発明に係る塗布方法について説明する。最初に、この塗布方法に使用するダム剤吐出ノズル１４の構成について説明する。図５は、ダム剤吐出ノズル１４の概要図である。
【００４９】
このダム剤吐出ノズル１４は、その内部にダム剤１０１を貯留する貯留部６１と、貯留部６１にダム剤１０１を供給するための供給部６２と、ダム剤１０１を吐出する上述した円形の吐出口１５が形成された吐出部６３とを有する。貯留部６１内には、スクリュー部６５が配設されている。このスクリュー部６５は、モータ６４の駆動により回転する。このモータ６４は、図３に示す制御部４０により、ダム剤吐出ノズル駆動部５１を介して制御され、正逆方向に回転する。そして、このモータ６４の駆動によるスクリュー部６５の回転動作により、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤１０１が吐出される。
【００５０】
次に、ダム剤吐出ノズル１４を昇降する第１支持部材１３に付設されたダム剤吐出ノズル昇降機構の構成について説明する。図６は、ダム剤吐出ノズル昇降機構を第１支持部材１３およびダム剤吐出ノズル１４とともに示す斜視図である。
【００５１】
このダム剤吐出ノズル昇降機構は、支持部７６に付設された一対のガイド部材７１に沿って昇降可能な昇降板７２を備える。図３に示すダム剤吐出ノズル昇降モータ５７は、支持部７６に固定されている。そして、この昇降板７２には、ダム剤吐出ノズル昇降モータ５７により回転するネジ７４と螺合するナット７５が配設されている。このため、昇降板７２は、ダム剤吐出ノズル昇降モータ５７の駆動により昇降する。そして、ダム剤吐出ノズル１４は、この昇降板７２に固定されている。
【００５２】
次に、このダム剤吐出ノズル１４を使用した塗布動作について説明する。図７は、ダム剤吐出ノズル１４によるダム剤１０１の吐出動作を模式的に示す説明図である。また、図８は、ダム剤吐出ノズル１４からガラス基板１００の表面にダム剤１０１が吐出される様子を模式的に示す説明図である。さらに、図９は、ダム剤１０１が矩形状に塗布される様子を模式的に示す説明図である。なお、図７（ａ）はダム剤吐出ノズル１４によるダム剤１０１の吐出動作を横方向から模式的に示しており、図７（ｂ）は、ガラス基板１００上に塗布されたダム剤１０１を平面視した状態を模式的に示している。
【００５３】
図７乃至図９における符号ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆは、各図に共通の工程を示している。また、図７における符号Ｄ１は、ダム剤１０１の塗布を開始するときと塗布を終了するとき以外の、通常の塗布状態におけるダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離である通常塗布距離を示している。また、図７における符号Ｄ３は、通常塗布距離Ｄ１よりも小さい、塗布開始時のダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離を示している。
【００５４】
ここで、上記通常塗布距離Ｄ１は、ダム剤吐出ノズル１４の移動方向における当該ノズル１４のダム剤１０１の吐出用の円形の吐出口１５（図５参照）の寸法に相当する距離であり、より具体的には、ダム剤吐出ノズル１４の円形の吐出口１５の直径Ａに相当する距離、すなわち、吐出口１５の直径Ａと略同一となる距離である。これにより、矩形の各辺の塗布幅を一定に維持した状態で、塗布液による矩形を形成することが可能となる。なお、説明の便宜上、図７および図８においては、通常塗布距離Ｄ１を、ダム剤吐出ノズル１４の吐出口１５の直径Ａよりも大きく図示している。
【００５５】
ダム剤１０１の塗布を開始するときには、図９に示すように、閉図形である矩形の辺領域の中央部付近から塗布を行う。塗布開始前に、図７および図８に示すように、符号ａで示す高位置に配置されたダム剤吐出ノズル１４を、符号ｂで示すガラス基板１００の表面に近接した位置まで下降させる。これによって、図７に示すように、ダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離は、通常塗布距離Ｄ１より小さい距離Ｄ３となる。この離間距離は、例えば、２００μｍ以下の距離である。そして、この状態においてダム剤吐出ノズル１４からダム剤１０１の吐出を開始する。
【００５６】
吐出開始時には、図５に示すモータ６４の回転を制御することにより、ダム剤１０１の吐出量を、ダム剤１０１の塗布を開始するときと塗布を終了するとき以外の、通常の塗布状態におけるダム剤吐出ノズル１４から吐出されるダム剤１０１の吐出量より多量にする。そして、ダム剤吐出ノズル１４の矩形に沿った移動を開始する。
【００５７】
このときには、ダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離が十分小さい距離Ｄ３となっていることと、ダム剤１０１の吐出量が多量に設定されていることから、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤１０１は、図８において符号ｃで示すように、ガラス基板１００の表面にすぐに着床する。このため、ダム剤１０１のガラス基板１００への着床位置を正確に制御することが可能となる。
【００５８】
ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤１０１がガラス基板１００の表面に着床した後、図５に示すモータ６４の回転を制御することにより、ダム剤１０１の吐出量を減少させ、通常の塗布状態における吐出量とする。また、ダム剤吐出ノズル１４を、ダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離が上述した通常塗布距離Ｄ１となるように上昇させる。このときにも、ダム剤吐出ノズル１４の矩形に沿った移動は継続している。そして、図７および図８において符号ｄで示すように、ダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離を通常塗布距離Ｄ１に維持したままで、ダム剤吐出ノズル１４をガラス基板１００の表面に沿って矩形状に移動させることにより、図９に示すように、ダム剤１０１による矩形を形成する。
【００５９】
そして、図９に示すように、ダム剤吐出ノズル１４が矩形に沿って移動し、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤１０１がガラス基板１００の表面に着床した位置まで復帰した後、図５に示すモータ６４の回転を制御することにより、ダム剤１０１の吐出を停止する。このときには、モータ６４をダム剤１０１の吐出時とは逆方向に回転させることにより、ダム剤１０１を一時的に吸引（サックバック）するようにしてもよい。
【００６０】
しかる後、図７および図８において符号ｆで示すように、ダム剤吐出ノズル１４を、ダム剤吐出ノズル１４の下面とガラス基板１００の表面との離間距離が通常塗布距離Ｄ１である高さ位置から、さらに上方に上昇させる。これにより、図８において符号ｅで示すように、ダム剤吐出ノズル１４からの吐出が停止されダム剤吐出ノズル１４とガラス基板１００の表面との間に延伸していたダム剤１０１が、図８において符号ｆで示すように、切断されて液切りされる。
【００６１】
図１０は、書き出しと書き終わりのダム剤１０１が重畳する繋ぎ部分におけるダム剤１０１の断面を示す説明図である。
【００６２】
図７（ｂ）に示すように、ダム剤１０１による矩形状図形の書き出し時に、ダム剤吐出ノズル１４から吐出されたダム剤１０１がガラス基板１００の表面に着床した後、ダム剤吐出ノズル１４を上昇させた場合には、ガラス基板１００の表面に塗布されたダム剤１０１の軌跡は、図７（ｂ）において符号１０１ｃで示すように、着床位置から徐々に太くなる。一方、ダム剤１０１による矩形状図形の書き終わり時に、ダム剤吐出ノズル１４からダム剤１０１の吐出を停止した後、ダム剤吐出ノズル１４を上昇させた場合には、ガラス基板１００の表面に塗布されたダム剤１０１の軌跡は、図７（ｂ）において符号１０１ｅで示すように、着床位置から徐々に細くなる。
【００６３】
このため、図１０に示すように、この書き出し時におけるダム剤の軌跡１０１ｃと書き終わり時におけるダム剤の軌跡１０１ｅとを重畳させることにより、これらのダム剤１０１の軌跡が互いに補完され、重畳部分のダム剤１０１の幅を、通常の塗布幅と近似した幅とすることが可能となる。
【００６４】
なお、上述した実施形態においては、ダム剤１０１を閉図形としての矩形状に塗布している。ここで、この明細書で述べる矩形状とは、その角部の角度が９０度変更されている場合のみならず、その角部がわずかな距離だけアール状となった略矩形形状を含む概念である。但し、この発明の閉図形は、矩形に限定されるものではない。
【００６５】
また、上述した実施形態においては、ダム剤吐出ノズル１４におけるダム剤１０１吐出用の吐出口１５として、その形状が円形のものを使用しているが、吐出口として円形以外の形状を有するものを使用してもよい。
【００６６】
さらに、上述した実施形態においては、基板として有機ＥＬ表示装置用ガラス基板や液晶表示装置用ガラス基板等のガラス基板１００を使用しているが、アクリル基板等のその他の透光性を有する基板や、その他の各種の基板を使用してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１１      第１ガントリー
１２      ガイドレール
１３      第１支持部材
１４      ダム剤吐出ノズル
１５      吐出口
２１      第２ガントリー
２２      ガイドレール
２３      第２支持部材
２４      フィル剤吐出ノズル
２５      スリット
３１      基台
３２      ステージ
３３      ガイドレール
４０      制御部
５１      ダム剤吐出ノズル駆動部
５２      フィル剤吐出ノズル駆動部
５３      第１ガントリー用モータ
５４      第２ガントリー用モータ
５５      第１支持部材用モータ
５６      第２支持部材用モータ
５７      ダム剤吐出ノズル昇降モータ
５８      フィル剤吐出ノズル昇降モータ
６１      貯留部
６２      供給部
６３      吐出部
６４      モータ
６５      スクリュー部
７１      ガイド部材
７２      昇降板
７４      ネジ
７５      ナット
７６      支持部
１００    ガラス基板
１０１    ダム剤
１０２    フィル剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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