(57)【要約】【課題】荷電粒子線装置の試料移動ステージにおいて、絶縁空間を大きくすることにより生じる問題を解消する。【解決手段】試料をｘ方向に移動するｘテーブルと、ｙ方向に移動するｙテーブル１１１と、ｚ方向に移動するｚテーブルと、前記試料に傾斜を与えるチルトテーブルと、前記試料を搭載し、前記試料をｘｙ平面と平行な面内で回転させる、金属製のローテーションテーブル１００と、前記ローテーションテーブル１００に固定され、その回転を制御する金属製のウォームホィール１０１と、前記ウォームホィール１０１に固定され、その回転軸となる電気的絶縁性材料製のローテーション軸１０３と、前記ウォームホィール１０１と噛み合わされる電気的絶縁性材料製のウォームギヤ１０８と、前記試料および前記ローテーションテーブル１００にリターディング電圧を印加する印加機構と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を荷電粒子線ビームと直角をなすｘ方向に移動するｘテーブルと、
前記試料を前記荷電粒子線ビームと直角であって、前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するｙテーブルと、
前記試料を前記荷電粒子線ビームと同じ方向のｚ方向に移動するｚテーブルと、
前記試料に傾斜を与えるチルトテーブルと、
前記試料を搭載し、前記試料をｘｙ平面と平行な面内で回転させる、金属製のローテーションテーブルと、
前記ローテーションテーブルに固定され、その回転を制御する金属製のウォームホィールと、
前記ウォームホィールに固定され、その回転軸となる電気的絶縁性材料製のローテーション軸と、
前記ウォームホィールと噛み合わされる電気的絶縁性材料製のウォームギヤと、
前記試料および前記ローテーションテーブルにリターディング電圧を印加する印加機構と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記ローテーション軸が、前記ウォームホィールと前記ローテーション軸を支える軸受との間に、電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起を有していることを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記ローテーションテーブルと前記ウォームホィールとが、一体的に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の試料移動ステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
走査型電子顕微鏡（以下、「ＳＥＭ」と記載することがある。）等の荷電粒子線装置は、電子銃で発生した電子ビーム等をコンデンサレンズ、対物レンズを通して試料室内の試料移動ステージの上に取付けられた試料上を走査しながら照射し、試料から出てくる２次電子を２次電子検出器でとらえて画像とし、試料表面の形状を観察する。
【０００３】
走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の試料移動ステージは、通常、ｘ、ｙ、ｚ、チルト（ｔ）、ローテーション（ｒ）の計５軸のテーブルからなる移動機構を有している。試料は、試料ホルダに固定され、試料ホルダは、試料移動ステージに固定されている。試料移動ステージが、上記構成を有することにより、試料は、ｘ、ｙ、ｚ軸方向に移動され、回転され、そして傾斜を与えられることとなる。
【０００４】
走査型電子顕微鏡においては、観察対象である試料に負の電圧を印加して、電子銃で発生する一次電子ビームを試料の直前で減速させることによって、試料に与えるダメージを小さくし、高分解能を得ることができる方法として、リターディング法が知られている（例えば、特許文献１）。例えば、電子銃で発生する一次電子ビームの加速電圧を２ｋＶとし、試料に−１．５ｋＶのリターディング電圧を印加すると、試料に照射される一次電子ビームは５００Ｖに減速される。
【０００５】
この場合、試料を保持するローテーションテーブルは、−１．５ｋＶの電位を持ち、ローテーション軸（以下、「Ｒ軸」と記載することがある。）は接地されているため、ローテーションテーブルとローテーション軸との間で、１．５ｋＶの電位差が存在し、気中放電や沿面放電を起こす恐れがある。そのため、両者間の放電を防ぐために、ローテーションテーブルの下面に絶縁空間を設けた構造とすることが行われてきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−１７０７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
半導体デバイスは微細化が進んでいるため、半導体デバイスを観察対象として、走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線装置による観察を行う際に、半導体デバイスが、電子ビーム等によるダメージをより受けやすくなっている。一方、分解能のさらなる向上の要請から、リターディング電圧をより大きくすることが求められており、それに伴い絶縁空間をより大きくせざるを得なくなってきた。
【０００８】
本発明は、このような状況に鑑みなされたものであり、試料移動ステージにおいて、絶縁空間により生ずる問題を低減し、優れた性能を有した荷電粒子線装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、荷電粒子線装置の試料移動ステージの構成を見直し、構造や材質について、あらためて検討を加えた。その結果、従来、前提としてきた各構成部品の材質とその相互の関係および構成部品の形状を見直すことにより、上記課題を解決し、多くの副次的な効果を生み出すことを見出し、本発明に到達したものである。
【００１０】
即ち、本発明の荷電粒子線装置は、試料を荷電粒子線ビームと直角をなすｘ方向に移動するｘテーブルと、前記試料を前記荷電粒子線ビームと直角であって、前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するｙテーブルと、前記試料を前記荷電粒子線ビームと同じ方向のｚ方向に移動するｚテーブルと、前記試料に傾斜を与えるチルトテーブルと、前記試料を搭載し、前記試料をｘｙ平面と平行な面内で回転させる、金属製のローテーションテーブルと、前記ローテーションテーブルに固定され、その回転を制御する金属製のウォームホィールと、前記ウォームホィールに固定され、その回転軸となる電気的絶縁性材料製のローテーション軸と、前記ウォームホィールと噛み合わされる電気的絶縁性材料製のウォームギヤと、前記試料および前記ローテーションテーブルにリターディング電圧を印加する印加機構と、を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、試料移動ステージにおいて、絶縁空間により生ずる問題を低減し、優れた性能を有した荷電粒子線装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】走査型電子顕微鏡の一実施例の縦断面側面図である。
【図２】試料移動ステージの一実施例を示す図である。
【図３】図２のｙテーブルの外観模式図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線矢視図である。
【図５】試料と試料移動ステージの絶縁方法を示す詳細図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿う横断図である。
【図７】図４のＣ−Ｃ矢視図である。
【図８】第一の実施例を示す図である。
【図９】図８のＤ−Ｄ線に沿う横断図である。
【図１０】第一の実施例の変形例を示す図である。
【図１１】第二の実施例を示す図である。
【図１２】第二の実施例の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明における荷電粒子線装置としては、走査型電子顕微鏡、走査型イオンビーム顕微鏡、走査型電子顕微鏡を用いた測長装置、電子線露光装置、半導体試験装置、等がある。
本発明に係る荷電粒子線装置の代表的な装置である走査型電子顕微鏡を例に挙げて、その構成及び動作について、図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
図１に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の縦断面側面図を、図２に、試料移動ステージの詳細を示す図を、図３に、図２のｙテーブルの外観模式図を、図４に、図２のＡ−Ａ線矢視図を示した。
【００１４】
ここで、図１〜図４は、本発明の走査型電子顕微鏡および比較例の走査型電子顕微鏡を問わず、走査型電子顕微鏡の一般的な構造を説明するためのものである。
図５は、比較例の走査型電子顕微鏡における、試料と試料移動ステージの絶縁方法を示す詳細図である。但し、試料と試料移動ステージの絶縁方法以外の構造に関しては、本発明の走査型電子顕微鏡の場合も同様である。
以下の説明において、走査型電子顕微鏡の試料移動ステージは、試料を電子ビームと直角をなすｘ方向に移動するｘテーブルと、前記試料を前記電子ビームと直角であって、前記ｘ方向と直角をなすｙ方向に移動するｙテーブルと、前記試料を前記電子ビームと同じ方向のｚ方向に移動するｚテーブルと、前記試料に傾斜を与えるチルトテーブルと、前記試料を搭載し、前記試料をｘｙ平面と平行な面内で回転させるローテーションテーブルとから構成されている。
【００１５】
図１において、走査型電子顕微鏡は、電子銃１で発生した電子ビームをコンデンサレンズ２、対物レンズ３を通して、試料室４内の試料移動ステージ５の上に取付けられた試料６上を走査しながら照射し、試料から出てくる２次電子を２次電子検出器７でとらえて、試料表面の形態を観察する。図１の９〜１３は、試料室４および電子銃室８等を真空に引くための真空ポンプである。試料室４に、ステージケース１４が取付けられ、ｚテーブル１５がガイドを介してステージケース１４に連結されている。
【００１６】
図２において、ｚテーブル１５に取付けられたｚメネジ（不図示）は、ステージケース１４に取付けられたｚオネジ（不図示）に螺合され、ｚオネジは、ｚ軸用モータ１６に連結されている。ｚ軸用モータ１６が回転し、ｚオネジとｚメネジの作用により、ガイドに案内されてｚテーブル１５は、上下し、試料６をｚ方向に移動させることができる。
チルトテーブル１７の一端には、チルト軸１８が取付けられ、チルト軸１８は、軸受２０、２１を介して回転自在にｚテーブル１５に連結されている。
【００１７】
チルト軸１８には、ウォームホィール１９ａが取付けられ、これと組み合わされるウォームギヤ１９ｂは軸受で支持され、軸受ハウジング２０、２１を通じて、ｚテーブル１５に取付けられている。ウォームギヤ１９ｂは、スプライン軸２３を介してチルト軸用モータ２２に連結され、チルト軸用モータ２２が回転すると、ウォームギヤ１９ｂそしてウォームホィール１９ａが回転し、チルト軸１８が回転し、試料６を傾斜させ、試料６は一定の傾斜角で保持される。
【００１８】
図２において、試料６をｘ方向に移動させるｘテーブル２４は、ガイド２５を介してチルトテーブル１７に取付けられている。ｘテーブル２４は、ｘ送りネジ２６とｘ送りネジナット２７の送り作用で駆動される。ｘ送りネジナット２７は、ｘテーブル２４に固定されている。ｘ送りネジ２６は、両端を軸受で支持され、軸受ハウジング２８、２９でチルトテーブル１７に取付けられている。
ｘ送りネジ２６は、ｘステージジョイント３１を介して、ｘ軸用モータ３０に連結されている。ｘテーブル２４は、ｘ軸用モータ３０を駆動して、ｘ送りネジ２６を回転させて、ｘ送りネジナット２７を移動させることにより、ｘ方向に移動され、試料をｘ方向に移動させる。
【００１９】
図２、図４において、ｙテーブル３２は、ガイド３３ａ、３３ｂを介して、ｘテーブル２４に取付けられている。ｙテーブル３２は、ｙ送りネジ３４とｙ送りネジナット３５の送り作用で駆動される。ｙ送りネジナット３５は、ｙテーブル３２に固定されている。
ｙ送りネジ３４は、両端を軸受で支持され、軸受ハウジング３６、３７で、ｘテーブル２４に取付けられている。ｙ送りネジ３４の一端には、傘歯車３８ａが取付けられ、これと噛み合う傘歯車３８ｂは、軸受で支持され、軸受ハウジング３９で、ｘテーブル２４に固定されている。
【００２０】
傘歯車３８ｂは、ｙステージジョイント４１を介して、ｙ軸用モータ４０に連結されている。ｙテーブル３２は、ｙ軸用モータ４０を駆動して、傘歯車３８ａ、３８ｂおよびｙ送りネジ３４を回転させ、ｙ送りネジナット３５を移動させることにより、ｙ方向に移動され、試料６をｙ方向に移動させる。
【００２１】
図２〜図４において、ローテーションテーブル４２は、ウォームホィール４４ａに取付けられている。ウォームホィール４４ａは、Ｒ軸４５に取付けられている。
図５において、Ｒ軸４５は、軸受４６、４７によって、ｙテーブル３２に、回転自在に結合されている。図３、図４において、ウォームギヤ４４ｂは、両端を軸受で支持され、軸受ハウジング４８、４９で、ｙテーブル３２に取付けられている。ウォームギヤ４４ｂは、モータ５０によって回転させられる。
【００２２】
ローテーションテーブル４２は、モータ５０を回して、ウォームギヤ４４ｂ、ウォームホィール４４ａを回転させることにより回転し、試料６を回転させる。
図３、図５において、試料６は、試料ホルダ５１に固定されている。試料ホルダ５１は、ローテーションテーブル４２の上部に一体に成形されているホルダ台部４２ａに挿入され、板ばね４３ａ、４３ｂによって固定されている。
このようにして試料６は、ｘ、ｙ、ｚ軸方向に移動され、回転され、そして傾斜を与えられる。
【００２３】
走査型電子顕微鏡では、試料に負の電圧をかけることによって、試料に対するダメージを小さくして、高分解能が得られるリターディング法を採用している。
図５に、比較例の走査型電子顕微鏡における、試料と試料移動ステージの絶縁方法の詳細を示した。図６は、図５のＢ−Ｂ線に沿う横断面図である。
試料６に負の電圧をかけるためには、試料６と試料移動ステージ５との間が絶縁されていることが必要であり、比較例の走査型電子顕微鏡では、ウォームホイール４４ａを電気的絶縁性の材料で形成することにより、両者間の電気的絶縁性を付与している。
ローテーションテーブル４２の外周には、金属製の薄い板状の接触子５２が接触しており、試料移動ステージ５の外部から接触子５２を介して、試料６およびローテーションテーブル４２にリターディング電圧を印加することができる印加機構が構成されている。
【００２４】
接触子５２は絶縁台５３を介して、ｙテーブル３２に固定されている。ローテーションテーブル４２は、ネジ５５でウォームホィール４４ａに固定され、ウォームホィール４４ａは、ネジ５６でＲ軸４５に固定されている。
試料ホルダ５１、ローテーションテーブル４２、ネジ５５、ネジ５６、Ｒ軸４５およびウォームギヤ４４ｂは、ステンレス、リン青銅などの金属で形成されている。一方、ウォームホイール４４ａは、プラスチック等の電気的絶縁性材料で形成されている。
【００２５】
ここで、ローテーションテーブル４２は、リターディング電圧として数ｋＶの電位を持ち、Ｒ軸４５は接地されているため、ローテーションテーブル４２とＲ軸４５との間で、より正確には、ローテーションテーブル４２とウォームホイール４４ａをＲ軸４５に固定している金属製のネジ５６との間で、気中放電や沿面放電を起こす恐れがある。そのため、ローテーションテーブル４２の下面の中央部には、両者間の放電を防止するために、絶縁空間５７が設けられている。
【００２６】
図５、図６に示されているように、金属製のネジ５６の頭部が、金属製のローテーションテーブル４２と接触して短絡したり、放電することがないように、金属製のネジ５６の頭部を覆うように、ローテーションテーブル４２の下面中央部をえぐるように、絶縁空間５７が設けられている。
このように、狭い密閉空間において、高圧の電圧が付加されていることから、気中放電や沿面放電を起こす恐れが高いものであり、リターディング電圧を増加させることの制約ともなっていた。
【００２７】
しかし、分解能のさらなる向上の要請から、リターディング電圧は高くすることが必要となり、それに従って絶縁空間５７を大きくせざるを得なくなってきた。その結果、ローテーションテーブル４２とウォームホィール４４ａの接触面積が小さくなり、それに伴い、ローテーションテーブル４２をウォームホィール４４ａに固定するためのネジ５５の締付力による接触面圧が益々高くなることとなった。
【００２８】
ウォームホィール４４ａは、一般に、プラスチック等の電気的絶縁性材料から形成されており、ヤング率が比較的小さい材料であるために、ネジ５５の締付力によって変形して、ウォームギヤ４４ｂとの噛み合わせが悪くなり、ＳＥＭ像観察時における像移動の操作性が悪くなるという問題につながっていた。
また、絶縁空間５７には、細いガス抜き孔５８が設けられているが、絶縁空間５７の容積が大きくなるとともに、試料室４の脱気をするときに多くの時間が費やされることとなり、迅速に観察を行うことの妨げとなっていた。
【００２９】
図７は、図４のＣ−Ｃ線矢視図である。
一般に、ＳＥＭに床振動や音波が作用すると、試料移動ステージ５はその影響を受けて振動し、電子ビームと試料６との間で相対的なずれ、すなわち像ゆれが発生し、分解能を低下させることとなる。床や音波の振動によって、試料移動ステージ５のチルトテーブル１７が、Ｘ軸回りのねじり振動をすると、図７に示すように、試料６は矢印のように振動する。チルトテーブル１７から試料６までの高さが大きいと、試料６の振動振幅は比例して大きくなる。試料６の振動を小さくするためには、この高さをより小さくすることが有効である。
そのため、従来は、電気的絶縁性を付与するための部品を追加することはせずに、試料６にローテーション動作を与えるウォームホィール４４ａをプラスチック等の電気的絶縁性材料とすることで、電気的絶縁性を付与してきた。
【００３０】
以下、図８〜図１２に図示した実施例に基づいて、本発明の実施形態について説明する。
図８に、本発明の第一の実施例として、本発明の走査型電子顕微鏡における試料と試料移動ステージの絶縁方法の詳細を示した。図９は、図８のＤ−Ｄ線に沿う横断面図を示す。
ローテーションテーブル１００は、ウォームホイール１０１に、ネジ１０２で固定され、ウォームホイール１０１は、Ｒ軸１０３にネジ１０４で固定されている。Ｒ軸１０３は、軸受１０５、１０６によって、ｙテーブル１１１に回転自在に結合されている。軸受１０５、１０６は、ナット１０７で軸方向に固定されている。
【００３１】
ウォームギヤ１０８は、軸部１０９と固定され、軸部１０９は、両端を軸受で支持され、軸受ハウジング１１０でｙテーブル１１１に取付けられている。ウォームギヤ１０８は、モータによって回転される。ローテーションテーブル１００は、モータを回して、ウォームギヤ１０８、ウォームホィール１０１を回転させることにより回転し、試料を回転させる。
【００３２】
ローテーションテーブル１００およびウォームホイール１０１は、ステンレス、リン青銅などの金属製であり、Ｒ軸１０３は、プラスチック等の電気的絶縁性材料で形成されることにより、ローテーションテーブル１００およびウォームホイール１０１をｙテーブル１１１から絶縁している。
ウォームギヤ１０８は、プラスチック等の電気的絶縁性材料から形成され、軸部１０９の芯部のみは、金属製とすることにより、ローテーションテーブル１００およびウォームホイール１０１をｙテーブル１１１から絶縁している。
電気的絶縁性材料の具体例としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、セラミックス等の各種材料を用いることができる。熱可塑性樹脂としては、強度、剛性や低汚染性に優れたエンジニアリングプラスチック等が使用できる。
【００３３】
ローテーションテーブル１００の外周には、金属製の薄い板状の接触子１１２が接触しており、試料移動ステージ５の外部から接触子１１２を介して、試料６およびローテーションテーブル１００にリターディング電圧を印加することができる印加機構が構成されている。接触子１１２は絶縁台１１３を介して、ｙテーブル１１１に固定されている。
ウォームホィール１０１を金属製としたことにより、ローテーションテーブル１００をウォームホィール１０１に固定するときのネジ１０２の締付力によるウォームホィール１０１の変形は、小さなものとなった。
【００３４】
また、ウォームホィール１０１とＲ軸１０３とをネジ１０４で締付けるとき、ウォームホィール１０１とＲ軸１０３とは接触面全体で広く接触するため、ウォームホィール１０１自身およびＲ軸１０３の変形は、小さなものとなった。また、Ｒ軸の変形は、金属製の軸受１０５、１０６によって抑えられるので、ウォームホィール１０１の変形に対する影響は小さいものとなった。
従って、ウォームホィール１０１とウォームギヤ１０８との噛み合わせは、正常な噛み合わせ状態が維持され、試料のローテーション動作がスムーズになり、ＳＥＭ像観察時における像移動の操作性が良くなった。
【００３５】
また、ウォームホィール１０１を金属製としたことにより、ウォームホィール１０１の強度が高くなり、ウォームホィール１０１自体を薄くすることができ、チルトテーブル１７から試料６までの高さを低く設定することができるため、耐振性を向上させることができた。
さらに、ローテーションテーブル１００とウォームホィール１０１は共に金属製であり、両者間で放電が生じることはないので、比較例のように、ローテーションテーブル１００に、放電を防止するための絶縁空間を設ける必要がなくなった。そのため、気中放電や沿面放電を引き起こす恐れが低下し、リターディング電圧を高くして分解能を上げることが可能となった。
【００３６】
また、ネジ１０４の頭部に形成される空間が小さくなるため、脱気時間が低減され、真空の立ち上がりを早くすることができるようになった。ネジ１０４の頭部の空間のガス抜きは、ガス抜き溝１１４やガス抜き孔１１５等を通して行われる。
【００３７】
図１０に、本発明の第一の実施例の変形例を示す。
本発明においては、試料にリターディング電圧を掛けた際に、ウォームホィール１０１とｙテーブル１１１および軸受１０５との間での放電が問題となる。
そこで、ウォームホィール１０１とＲ軸１０３を支える軸受１０５との間に、Ｒ軸１０３と一体であって、電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起１０３ａを設けることによって、沿面距離と空間距離を同時に稼ぐことができ、気中放電と沿面放電を共に防ぐことが可能となった。そのため、リターディング電圧を高くして分解能を上げることが可能となった。
【００３８】
電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起１０３ａの外径は容易に大きくすることができるので、リターディング電圧の増大に応じて、その外径を大きくして、放電の恐れを比較的容易に防ぐことが可能である。
また、電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起１０３ａを設けることによって、Ｒ軸１０３の高さが高くなることもあるが、ウォームホィール１０１は金属製であり、強度が高いので薄くすることができるため、ウォームホィール１０１の高さを低く設定することができ、耐振性が低下することにはならない。
【００３９】
図１１は、本発明の第二の実施例である。
ローテーションテーブル１１６とウォームホィール部１１６ａとは、一体的に形成されている。ローテーションテーブル１１６は、Ｒ軸１１７にネジ１１８で固定されている。Ｒ軸１１７は、軸受１１９、１２０によって、ｙテーブル１２１に、回転自在に結合されている。Ｒ軸１１７は、プラスチック等の電気的絶縁性材料で形成されている。
ウォームホィール部１１６ａの上面には、金属製の薄い板状の接触子１２２が接触しており、試料移動ステージ５の外部から接触子１２２を介して、試料６およびローテーションテーブル１１６にリターディング電圧を印加することができる印加機構が構成されている。接触子１２２は絶縁台１２３を介して、ｙテーブル１２１に固定されている。
【００４０】
本実施例では、ローテーションテーブル１１６とウォームホィール部１１６ａとは一体的に形成されており、ローテーションテーブル１１６に放電を防止するための絶縁空間はなく、両者間にガス抜きを必要とする空間もなくなっている。そのため、リターディング電圧を高くして分解能を上げることが可能となった。
また、脱気時間が低減され、真空の立ち上がりを早くすることができる。チルトテーブル１７から試料６までの高さをさらに低くすることができるため、耐振性をさらに向上させることも可能となった。
【００４１】
図１２に、本発明の第二の実施例の変形例を示す。
ウォームホィール部１１６ａと軸受１１９との間に、Ｒ軸１１７と一体であって、電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起１１７ａを設けることによって、沿面距離と空間距離を同時に稼ぐことができ、ローテーションテーブル１１６と軸受１１９、ｙテーブル１２１の間で起こる気中放電と沿面放電を共に防ぐことが可能となった。
また、電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起１１７ａの外径は容易に大きくすることができるので、放電の恐れを比較的容易に防ぎつつ、高いリターディング電圧が掛けることができるので、分解能をさらに上げることが可能となった。
【符号の説明】
【００４２】
１：電子銃
３：対物レンズ
４：試料室
５：試料移動ステージ
６：試料
１４：ステージケース
１５：ｚテーブル
１７：チルトテーブル
１８：チルト軸
２４：ｘテーブル
３２、１１１、１２１：ｙテーブル
４２、１００、１１６：ローテーションテーブル
４４ａ、１０１、１１６ａ：ウォームホィール
４４ｂ、１０８：ウォームギヤ
４５、１０３、１１７：ローテーション軸（Ｒ軸）
５０：モータ
５１：試料ホルダ
５２、１１２、１２２：接触子
５３：絶縁台
５７：絶縁空間
１０３ａ、１１７ａ：電気的絶縁性材料からなる円盤状の突起
１０５、１０６、１１９、１２０：軸受
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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