(57)【要約】【課題】連続駆動による性能低下を生じにくい圧電モーターを提供する。【解決手段】圧電材料を含んで形成されて端面に凸部が設けられた振動体を収容ケース内に収容し、振動体と収容ケースとの間に介在させた保持部によって振動体を保持する。また、凸部を対象物に接触させて、振動体に駆動電圧を印加して伸縮振動および屈曲振動させることによって対象物を駆動する。こうすれば、駆動電圧が印加されて振動体が発熱しても保持部を介して熱が収容ケースに逃げていくので、振動体の昇温が抑制される。このため、長い時間に亘って連続駆動を行っても、振動体の温度上昇によって圧電モーターの性能が低下することを抑制できる。【選択図】図４
2013172629.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える圧電モーター。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電モーターであって、
前記収容ケースおよび前記振動体が前記保持部と接する表面の少なくとも一部は凹凸形状に形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電モーターであって、
前記保持部は、前記振動体が前記屈曲方向に振動する節部と前記収容ケースとの間に介在して、前記振動体を保持する
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記振動体は、前記保持部を介して前記収容ケースから押圧されて保持される
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の圧電モーターであって、
前記保持部は、ヤング率が１ＧＰａ以下で、伝熱性を有する材料で形成されている
ことを特徴とする圧電モーター。
【請求項６】
複数本の指部を用いて対象物を把持するロボットハンドであって、
前記複数本の指部が移動可能に立設された基台と、
前記基台に設けられて前記指部の基端を駆動することによって、前記複数本の指部の間隔を変更する駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を有するロボットハンド。
【請求項７】
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備えるロボット。
【請求項８】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子部品搬送装置。
【請求項９】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子部品検査装置。
【請求項１０】
液体が流れる液体チューブと、
前記液体チューブの一部に側方から当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える送液ポンプ。
【請求項１１】
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える印刷装置。
【請求項１２】
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
前記駆動部に電力を供給する電力供給部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子時計。
【請求項１３】
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える投影装置。
【請求項１４】
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料を含んで形成された部材（振動体）に所定周波数の駆動電圧を印加して振動体を振動させることによって、対象物を駆動する圧電モーターが知られている。この圧電モーターは、電磁力を利用してローターを回転させる方式の電磁モーターに比べて小型でありながら、大きな駆動力を得ることができ、加えて、対象物を高分解能で位置決めすることができるという特徴を有している。このため、たとえばカメラの駆動機構など、種々の装置の駆動部として用いられている（特許文献１など）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１８７７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、圧電モーターは、駆動電圧が印加されることによって振動体が発熱するため、連続駆動を行うと振動体が高温となって、圧電モーターの性能が低下することがあるという問題があった。
【０００５】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、連続駆動を行っても性能低下を起こしにくい圧電モーターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の圧電モーターは次の構成を採用した。すなわち、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備えることを要旨とする。
【０００７】
このような本発明の圧電モーターにおいては、振動体は保持部によって収容ケース内に保持された状態で振動し、このとき凸部を対象物に接触させると、摩擦力によって対象物が駆動される。また、振動体は駆動電圧が印加されることによって振動するので、電流が流れることによって振動体が発熱する。しかし振動体は、保持部を介して収容ケース内に保持されているので、振動体で発生した熱は保持部を介して収容ケースに伝わって、振動体が高温となりにくい。このため、長い時間に亘って連続駆動を行っても、振動体の温度上昇による圧電モーターの性能低下を抑制することが可能となる。
【０００８】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、振動体が屈曲方向に振動する節部（屈曲方向には移動しない、あるいは移動が少ない部分）の位置で、保持部が振動体を保持するようにしてもよい。
【０００９】
振動体が屈曲方向に振動する節部では、他の箇所に比べて振動体の発熱量が大きいので、振動体の節部を保持部で保持すれば、振動体で発生した熱を効率よく放熱することが可能となる。
【００１０】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、振動体が、保持部を介して収容ケースから押圧されるようにしてもよい。
【００１１】
こうすれば、保持部が振動体に密着するので、振動体で発生した熱を効率よく放熱することが可能となる。
【００１２】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、ヤング率が１ＧＰａ以下で、且つ、伝熱性を有する材料によって、保持部を形成してもよい。
【００１３】
こうすれば、収納ケースと振動体との間に介在して振動体を保持する機能と、振動体で発生した熱を収容ケースに伝えて放熱する機能とを満足させることができる。尚、このような材料としては、ニトリルゴム、ウレタンゴム、シリコンゴムなどのゴム類や、プラスチックス、エラストマーなどが挙げられる。
【００１４】
また、上述した本発明の圧電モーターにおいては、収容ケースおよび振動体が保持部と接する表面の少なくとも一部を凹凸形状に形成してもよい。尚、凹凸形状は、矩形の断面形状に限らず、三角形状や、正弦波形状、波形状などの断面形状も含まれる。
【００１５】
こうすれば、凹凸形状の部分では振動体と保持部、あるいは保持部と収容ケースとの接触面積が増加するので、振動体で発生した熱を効率よく収容ケースに伝えることができ、振動体の昇温を抑制することができる。
【００１６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数本の指部を用いて対象物を把持するロボットハンドであって、
前記複数本の指部が移動可能に立設された基台と、
前記基台に設けられて前記指部の基端を駆動することによって、前記複数本の指部の間隔を変更する駆動部と、
を備え、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を有するロボットハンドとして把握することもできる。
【００１７】
このような本発明のロボットハンドでは、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００１８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
を備えたロボットであって、
前記関節部に設けられて前記関節部を屈曲あるいは回転駆動させる駆動部を有しており、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備えるロボットとして把握することもできる。
【００１９】
このような本発明のロボットでは、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。
【００２０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
を備える電子部品搬送装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２１】
このような本発明の電子部品搬送装置では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００２２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を駆動する圧電モーターと、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備える電子部品検査装置であって、
前記圧電モーターは、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子部品検査装置として把握することもできる。
【００２３】
このような本発明の電子部品検査装置では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流れる液体チューブと、
前記液体チューブの一部に側方から当接して前記液体チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を保持した状態で移動することによって、前記液体チューブの閉塞位置を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動する駆動部と、
を備える送液ポンプであって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える送液ポンプとして把握することもできる。
【００２５】
このような本発明の送液ポンプでは、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００２６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体上に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる駆動部と、
を備える印刷装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える印刷装置として把握することもできる。
【００２７】
このような本発明の印刷装置では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００２８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸状に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を駆動する駆動部と、
前記駆動部に電力を供給する電力供給部と、
を備える電子時計であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える電子時計として把握することもできる。
【００２９】
このような本発明の電子時計では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００３０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光学レンズを含み、光源からの光を投影する投影部と、
前記光学レンズによる前記光の投影状態を調整する調整部と、
前記調整部を駆動する駆動部と
を備える投影装置であって、
前記駆動部は、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える投影装置として把握することもできる。
【００３１】
このような本発明の投影装置では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【００３２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
対象物を搬送する搬送装置であって、
圧電材料を含み、駆動電圧が印加されることによって伸縮方向および屈曲方向に振動する振動体と、
前記振動体の前記伸縮方向の端面に設けられた凸部と、
前記凸部が突出した状態で前記振動体を収容する収容ケースと、
前記収容ケースと前記振動体との間に介在して前記振動体を保持し、且つ、前記振動体の熱を前記収容ケースに伝える保持部と、
を備える搬送装置として把握することもできる。
【００３３】
このような本発明の搬送装置では、振動体が振動した時に生じた熱を、保持部を介して収容ケースに逃がすことができる。このため振動体の昇温が抑制されるので、長時間に亘って連続駆動した場合の性能低下を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施例の圧電モーターの大まかな構成を示した説明図である。
【図２】本実施例の振動体を示す説明図である。
【図３】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図４】本実施例の圧電モーターが連続駆動によっても性能低下が生じにくい理由を示した説明図である。
【図５】本実施例の圧電モーターで得られる他の利点を示した説明図である。
【図６】保持部と、振動体または収容ケースとの接触面の形状を示した説明図である。
【図７】本実施例の圧電モーターを組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。
【図８】ロボットハンドを備えた単腕のロボットを例示した説明図である。
【図９】ロボットハンドを備えた複腕のロボットを例示した説明図である。
【図１０】本実施例の圧電モーターを組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図１１】把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。
【図１２】本実施例の圧電モーターを組み込んだ送液ポンプを例示した説明図である。
【図１３】本実施例の圧電モーターを組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。
【図１４】本実施例の圧電モーターを組み込んだ電子時計を例示した説明図である。
【図１５】本実施例の圧電モーターを組み込んだ投影装置を例示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
図１は、本実施例の圧電モーター１００の大まかな構成を示した説明図である。図１（ａ）に示されるように本実施例の圧電モーター１００は、圧電材料を含んで形成された振動体１２０と、振動体１２０を収容した収容ケース１０２と、収容ケース１０２を内部に保持する本体ケース１０４などを備えている。詳細には後述するが、振動体１２０は直方体形状に形成されており、長手方向の端面にはセラミックス製で円柱形状に形成された凸部１２２が設けられている。振動体１２０を収容する収容ケース１０２は、剛性が高く且つ伝熱性に富んだ材料（金属など）によって形成されており、本体ケース１０４との間に設けられたコイルバネ１０６によって、側面側から付勢されている。そして、コイルバネ１０６に対して反対側の収容ケース１０２の側面は、本体ケース１０４に軸支された回転部材（以下では「コロ１１０」と呼ぶ）に２箇所で押し付けられている。また、コロ１１０に接する側の収容ケース１０２の側面からは、バネ受け部１０２ｓが突設されており、バネ受け部１０２ｓは、本体ケース１０４との間に設けられたコイルバネ１０８によって、凸部１２２が設けられた方向に付勢されている。
【００３６】
図１（ｂ）には、収容ケース１０２内に振動体１２０が収容されている様子が示されている。収容ケース１０２内には直方体形状の収納室１０２ｃが形成されており、収納室１０２ｃは収容ケース１０２の上面に開口している。振動体１２０は、収納室１０２ｃの開口部分から挿入される。収納室１０２ｃの内側の寸法は、振動体１２０の外形寸法よりも大きくなっており、収納室１０２ｃの内壁面と振動体１２０の外表面との間の隙間には、保持部１１２が充填されている。保持部１１２は、収納室１０２ｃと振動体１２０との間の隙間で硬化し、硬化した後は、適度な弾性（ヤング率で１ＧＰａ以下、好ましくは０．１ＭＰａ程度）と、耐クリープ性と、伝熱性とを呈する材料（例えば、ニトリルゴム、ウレタンゴム、シリコンゴムなどのゴム類や、プラスチックス、エラストマーなど）が用いられる。そして、図１（ｂ）に示されるように振動体１２０は、凸部１２２が設けられた端面を除いて、全体が保持部１１２によって保持された状態で、収納室１０２ｃ内に収容されている。
【００３７】
図２は、振動体１２０の詳細な形状を示した説明図である。図２（ａ）には表側から見た斜視図が示されており、図２（ｂ）には裏側から見た斜視図が示されている。図示されるように振動体１２０は、矩形断面の直方体形状をしており、長手方向の端面には凸部１２２が設けられている。また、図２（ａ）に示した表側の側面には、その側面を縦横に２分割（合計で４分割）するように、４つの矩形形状の表電極１２４ａ〜ｄが形成されている。尚、４つの表電極１２４ａ〜ｄを区別する必要がない場合には、これらを単に表電極１２４と称することがある。更に、図２（ｂ）に示した裏側の側面には、その側面のほぼ全面に亘って裏電極１２６が形成されている。更に、裏電極１２６には、３箇所に複数個ずつ（図示した例では３つずつ）の凹部１２６ｈが形成されている。
【００３８】
図２（ｃ）には、図２（ｂ）中のＡ−Ａ断面で取った断面図が示されている。図示されるように本実施例の振動体１２０は、図２（ｃ）中での下側（図２（ａ）に示した側）の側面には表電極１２４ａ〜ｄが設けられており、これら表電極１２４ａ〜ｄの間は凹形状となっている。また、図２（ｃ）中での上側（図２（ｂ）に示した側）の側面には、凹部１２６ｈが設けられている。このため、これらの凹形状および凹部１２６ｈに保持部１１２が入り込み、振動体１２０をしっかりと保持することができる。
【００３９】
図３は、圧電モーター１００の動作原理を示す説明図である。圧電モーター１００は、振動部の表電極１２４に一定周期で電圧を印加したときに、振動体１２０の凸部１２２が楕円運動することによって動作する。振動部の凸部１２２が楕円運動するのは次の理由による。
【００４０】
先ず、振動体１２０は主に圧電材料によって形成されており、そして、周知のように圧電材料は正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１２４ａ〜ｄの全てに正電圧を印加した後、印加した電圧を解除することを繰り返すと、振動体は長手方向に伸縮する動作を繰り返す。このように、振動体が長手方向に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。以下では、振動体１２０が伸縮する方向（図中の±Ｘ方向）を「伸縮方向」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体の物性と、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００４１】
また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１２４を組（表電極１２４ａおよび表電極１２４ｄの組、あるいは表電極１２４ｂおよび表電極１２４ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると振動体は、長手方向の端面（凸部１２２が取り付けられた部分）が、図面上で右方向あるいは左方向に首を振るような動作を繰り返す。たとえば図３（ｂ）に示したように、表電極１２４ａおよび表電極１２４ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体は、先端部を図面上で右方向に振るような動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１２４ｂおよび表電極１２４ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、先端部を図面上で左方向に振るような動作を繰り返す。このような振動体の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体１２０が屈曲振動する方向（図中の±Ｙ方向）を「屈曲方向」と呼ぶ。このような屈曲振動についても、振動体の物性と、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１２４に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体は屈曲方向に大きく首を振って振動する。
【００４２】
ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体の物性や、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１２０の端面（凸部１２２が取り付けられた部分）が、図面上で時計回りに楕円運動を開始する。また、図３（ｃ）に示す態様で電圧を印加した場合には、振動体１２０の端面が図面上で反時計回りに楕円運動を開始する。尚、以上の説明では振動体１２０に正電圧を印加するものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっても変形する。従って、振動体１２０に負電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良い。また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。
【００４３】
圧電モーター１００は、このような楕円運動を利用して対象物を駆動する。すなわち、振動体１２０の凸部１２２を対象物に押しつけた状態で楕円運動を発生させると、振動体１２０が伸張する際には凸部１２２が対象物に押しつけられた状態で左から右に向かって（あるいは右から左に向かって）移動する。そして、振動体１２０が収縮する際には、凸部１２２が対象物から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、対象物は、凸部１２２から受ける摩擦力によって一方向に駆動される。また、対象物が受ける駆動力は凸部１２２との間で生じる摩擦力に等しいから、大きな駆動力を得るためには凸部１２２を対象物に押しつけておく必要がある。そこで本実施例の圧電モーター１００では、振動体１２０を収容した収容ケース１０２を、本体ケース１０４との間に設けたコイルバネ１０８によって対象物に付勢している（図１参照）。
【００４４】
ここで、図３に示した振動体１２０の振動は、電圧が印加されたことによって圧電材料が伸張し、印加された電圧が除かれることによって収縮することによって生じているから、振動体１２０は振動と同じ周期で充電と放電とを繰り返している。このため、内部抵抗によるジュール熱で振動体１２０が発熱し、長時間に亘って連続駆動を行うと、振動体１２０が昇温して圧電モーター１００の性能が低下する虞が生じる。この点で、本実施例の圧電モーター１００は、図１（ｂ）に示すように、振動体１２０と収容ケース１０２との間の隙間に保持部１１２を充填して硬化させることによって、振動体１２０を保持しているので、振動体１２０の昇温を抑制することができる。
【００４５】
図４は、本実施例の圧電モーター１００が振動体１２０の昇温を抑制可能な理由を示した説明図である。前述したように振動体１２０は、外表面に保持部１１２が密着した状態で収容ケース１０２に収納されており、保持部１１２および収容ケース１０２は伝熱性を有する材料で形成されている。このため振動体１２０が発熱しても、図中に破線の矢印で示すように、その熱は保持部１１２を介して収容ケース１０２に伝わって、振動体１２０よりも広い表面積を有する収容ケース１０２から放熱される。このため、振動体１２０が冷却されるので、長時間に亘って圧電モーター１００を連続駆動しても、振動体１２０が高温になりにくく、圧電モーター１００の性能低下が抑制される。
【００４６】
また、図３に示したように振動体１２０は、中央と先端付近（凸部１２２が設けられた側）と後端付近の３箇所に節のある態様で屈曲振動を行い、節の部分では大きく発熱する。ここで、本実施例の圧電モーター１００のように、振動体１２０と収容ケース１０２との間に充填した保持部１１２を硬化させて振動体１２０を保持する構造では、節の部分では振動体１２０が収容ケース１０２に対する動きが少ないので、振動体１２０と保持部１１２とが離れることがない。このため、発熱の大きな節の部分で振動体１２０と保持部１１２とがしっかりと密着するので、振動体１２０を効率よく冷却することができる。加えて、振動体１２０の節の部分には、図２（ａ）に示すように表側の表面も、あるいは図２（ｂ）に示すように裏側の表面も凹凸形状に形成されている。このため、節の部分での接触面積が大きくなり、更に効率的に振動体１２０を冷却することが可能である。
【００４７】
これに加えて、本実施例の圧電モーター１００のように、振動体１２０と収容ケース１０２との隙間に保持部１１２を充填して硬化させることによって振動体１２０を保持すれば、次のような効果も得ることができる。先ず、硬化する前の保持部１１２は流動性があるので、収容ケース１０２の収納室１０２ｃに挿入された振動体１２０は、周囲にある硬化前の保持部１１２からほぼ均等に圧力を受けている。その状態で保持部１１２を硬化させると、保持部１１２が収縮する結果、振動体１２０は周囲の保持部１１２から表面を引っ張られた状態となる。ここで、保持部１１２の硬化前は、振動体１２０は保持部１１２からほぼ均等に圧力を受けているから、保持部１１２の硬化後の引っ張り力もほぼ均等になる。その結果、振動体１２０は収容ケース１０２内で周囲からほぼ均等な引っ張り力を受けて保持されることになるので、振動体１２０を精度良く位置決めすることが可能となる。図５には、保持部１１２の硬化後に、振動体１２０が周囲からほぼ均等な引っ張り力を受けて収容ケース１０２内に保持されている様子が概念的に示されている。
【００４８】
尚、振動体１２０で発生した熱を、保持部１１２を介して収容ケース１０２に伝える観点からは、振動体１２０と保持部１１２との接触部分の少なくとも一部、あるいは保持部１１２と収容ケース１０２との接触部分の少なくとも一部は、図６に例示するように凹凸形状としておくことが望ましい。図６（ａ）には、振動体１２０と保持部１１２との接触部分に、矩形断面の凹凸形状が形成されている場合が例示されている。また、図６（ｂ）には、振動体１２０と保持部１１２との接触部分に三角断面の凹凸形状が形成されている場合が例示され、図６（ｃ）には、振動体１２０と保持部１１２との接触部分に波形断面の凹凸形状が形成されている場合が例示されている。こうすれば、振動体１２０と保持部１１２との接触面積が増加するので、振動体１２０で発生した熱を保持部１１２に効率よく放熱することができる。もちろん、保持部１１２と振動体１２０との接触部分にも、こうした凹凸形状を形成しても良い。こうすれば、保持部１１２と収容ケース１０２との接触面積が増加するので、振動体１２０で発生した熱を保持部１１２を介して収容ケース１０２に効率よく放熱することができる。
【００４９】
上述した本実施例の圧電モーター１００は、長時間に亘って連続駆動しても振動体１２０が高温になりにくく、圧電モーター１００の性能低下を抑制することができるので、以下のような装置の駆動装置として好適に組み込むことができる。
【００５０】
図７は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだロボットハンド２００を例示した説明図である。図示したロボットハンド２００は、基台２０２から複数本の指部２０３が立設されており、手首２０４を介してアーム２１０に接続されている。ここで、指部２０３の根元の部分は基台２０２内で移動可能となっており、この指部２０３の根元の部分に凸部１２２を押しつけた状態で圧電モーター１００が搭載されている。このため、圧電モーター１００を動作させることで、指部２０３を移動させて対象物を把持することができる。この圧電モーター１００は、複数の指部２０３の間隔を変更する「駆動部」となっている。また、手首２０４の部分にも、手首２０４の端面に凸部１２２を押しつけた状態で圧電モーター１００が搭載されている。このため、圧電モーター１００を動作させることで、基台２０２全体を回転させることが可能である。
【００５１】
図８は、ロボットハンド２００（ハンド部）を備えた単腕のロボット２５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２（リンク部材）と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０（腕部）を有している。また、ロボットハンド２００はアーム２１０の先端に接続されている。そして、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動部として圧電モーター１００が内蔵されている。このため、圧電モーター１００を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００５２】
図９は、ロボットハンド２００を備えた複腕のロボット２６０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０を複数本（図示した例では２本）有している。アーム２１０の先端には、ロボットハンド２００や、工具２０１（ハンド部）が接続されている。また、頭部２６２には複数台のカメラ２６３が搭載され、本体部２６４の内部には全体の動作を制御する制御部２６６が搭載されている。更に、本体部２６４の底面に設けられたキャスター２６８によって搬送可能である。このロボット２６０にも、関節部２２０には、関節部２２０を屈曲させるための駆動部として圧電モーター１００が内蔵されている。このため、圧電モーター１００を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲させることが可能である。
【００５３】
図１０は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んで構成された電子部品検査装置３００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置３００は、大まかには基台３１０と、基台３１０の側面に立設された支持台３３０とを備えている。基台３１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ３１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ３１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ３１２ｕと下流側ステージ３１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置３１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台３１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。
【００５４】
また、支持台３３０には、基台３１０の上流側ステージ３１２ｕおよび下流側ステージ３１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ３３２が設けられており、Ｙステージ３３２からは、基台３１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部３３４が延設されている。また、腕部３３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ３３６が設けられている。そして、Ｘステージ３３６には、撮像カメラ３３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置３５０が設けられている。また、把持装置３５０の先端には、電子部品１を把持する把持部３５２が設けられている。更に、基台３１０の前面側には、電子部品検査装置３００の全体の動作を制御する制御装置３１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台３３０に設けられたＹステージ３３２や、腕部３３４や、Ｘステージ３３６や、把持装置３５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
【００５５】
以上のような構成を有する電子部品検査装置３００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ３１２ｕに載せられて、検査台３１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、上流側ステージ３１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置３５０を移動させる。このとき、撮像カメラ３３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置３５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置３５０を降下させて、把持部３５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置３５０を撮像装置３１４の上に移動させて、撮像装置３１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置３５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置３５０を検査台３１６の上まで移動させた後、把持装置３５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台３１６の上にセットする。把持装置３５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台３１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台３１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査台３１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、下流側ステージ３１２ｄの上まで把持装置３５０を移動させ、下流側ステージ３１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ３１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【００５６】
図１１は、把持装置３５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置３５０内には、把持部３５２に接続された回転軸３５４や、回転軸３５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート３５６などが設けられている。また、微調整プレート３５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能である。
【００５７】
ここで、図１１に斜線を付して示されるように、回転軸３５４の端面に向けて回転方向用の圧電モーター１００θが搭載されており、圧電モーター１００θの駆動凸部（図示は省略）が回転軸３５４の端面に押しつけられている。このため、圧電モーター１００θを動作させることによって、回転軸３５４（および把持部３５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート３５６に向けてＸ方向用の圧電モーター１００ｘと、Ｙ方向用の圧電モーター１００ｙとが設けられており、それぞれの駆動凸部（図示は省略）が微調整プレート３５６の表面に押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｘを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、圧電モーター１００ｙを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図１０の電子部品検査装置３００は、圧電モーター１００θ、圧電モーター１００ｘ、圧電モーター１００ｙを動作させることにより、把持部３５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。
【００５８】
図１２は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んで構成された送液ポンプ４００を例示した説明図である。図１２（ａ）には送液ポンプ４００を上面視した平面図が示されており、図１２（ｂ）には送液ポンプ４００を側面視した断面図が示されている。図示されるように送液ポンプ４００は、矩形形状のケース４０２内に円板形状のローター４０４（移動部）が回転可能に設けられており、ケース４０２とローター４０４との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ４０６（液体チューブ）が挟持されている。また、チューブ４０６の一部は、ローター４０４に設けられたボール４０８（閉塞部）によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター４０４が回転すると、ボール４０８がチューブ４０６を押しつぶす位置が移動するので、チューブ４０６の液体が送液される。そして、本実施例の圧電モーター１００の凸部１２２をローター４０４の側面に押し付けた状態で設ければ、ローター４０４を駆動する駆動部として用いることができる。こうすれば、極僅かな量を精度良く送液可能で、しかも小型な送液ポンプ４００を実現することができる。
【００５９】
図１３は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ印刷装置５００を例示した斜視図である。図示した印刷装置５００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。印刷装置５００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ５０１や、排出口５０２や、複数の操作ボタン５０５が設けられている。また、背面側には、ロール状に巻いた印刷媒体２（ロール紙５０４）をセットする用紙ホルダー５０３が設けられている。用紙ホルダー５０３にロール紙５０４をセットして操作ボタン５０５を操作すると、用紙ホルダー５０３にセットされたロール紙５０４が吸い込まれて、印刷装置５００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷される。また、ロール紙５０４は、印刷装置５００の内部に搭載された後述の切断機構５３０で切断された後、排出口５０２から排出される。
【００６０】
印刷装置５００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド５２０と、印刷ヘッド５２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール５１０が設けられている。また、図示した印刷ヘッド５２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する印字部５２２や、印刷ヘッド５２０を主走査方向に走査するための走査部５２４などから構成されている。印字部５２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、走査部５２４には、駆動部としての圧電モーター１００ｍ，１０ｓが搭載されている。圧電モーター１００ｍの凸部（図示は省略）はガイドレール５１０に押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｍを動作させることで、印刷ヘッド５２０を主走査方向に移動させることができる。また、圧電モーター１００ｓの凸部１２２は、印字部５２２に対して押しつけられている。このため、圧電モーター１００ｓを動作させることで、印字部５２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷装置５００には、ロール紙５０４を切断するための切断機構５３０も搭載されている。切断機構５３０は、用紙カッター５３６を先端に搭載したカッターホルダー５３４と、カッターホルダー５３４を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸５３２とを備えている。カッターホルダー５３４内には圧電モーター１００ｃが搭載されており、圧電モーター１００ｃの図示しない凸部はガイド軸５３２に押し付けられている。このため、圧電モーター１００ｃを動作させるとカッターホルダー５３４がガイド軸５３２に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター５３６がロール紙５０４を切断する。また、印刷媒体２を紙送りするための駆動部としても、圧電モーター１００を用いることも可能である。
【００６１】
図１４は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ電子時計６００の内部構造を例示した説明図である。図１４では、電子時計６００の時刻表示側とは反対側（裏蓋側）から見た平面図が示されている。図１４に例示した電子時計６００の内部には、円板形状の回転円板６０２と、回転円板６０２の回転を、時刻を表示する指針（図示省略）に伝達する歯車列６０４と、回転円板６０２を駆動する駆動部としての圧電モーター１００と、電力供給部６０６と、水晶チップ６０８と、ＩＣ６１０とを備えている。また、電力供給部６０６や、水晶チップ６０８、ＩＣ６１０は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列６０４は、複数の歯車や図示しないラチェットを含んで構成されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図１４では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。
【００６２】
回転円板６０２には、同軸に小さな歯車６０２ｇが設けられており、この歯車６０２ｇが歯車列６０４と噛み合わされている。このため回転円板６０２の回転は、所定の比率で減速されながら歯車列６０４を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達されて時刻を表示する。そして、本実施例の圧電モーター１００の凸部１２２を回転円板６０２の側面に押し付けた状態で設ければ、回転円板６０２を回転させる駆動部として用いることができる。
【００６３】
図１５は、本実施例の圧電モーター１００を組み込んだ投影装置７００を例示した説明図である。図示されるように投影装置７００は、光学レンズを含んだ投影部７０２を備えており、内蔵する光源（図示は省略）からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部７０２に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機構７０４（調整部）を、本実施例の圧電モーター１００を駆動部として用いて駆動するようにしても良い。圧電モーター１００は位置決めの分解能が高いので、微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー７０６で投影部７０２の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー７０６を開閉するための避けるために駆動部として、本実施例の圧電モーター１００を用いることもできる。
【００６４】
以上、本発明の圧電モーターや、圧電モーターを搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１…電子部品、            ２…印刷媒体、              １０…圧電駆動装置、
１００…圧電モーター、    １０２…収容ケース、        １０２ｃ…収納室、
１０４…本体ケース、      １０６…コイルバネ、        １０８…コイルバネ、
１１０…コロ、    １１２…保持部、    １２０…振動体、    １２２…凸部、
１２４…表電極、          １２６…裏電極、            １２６ｈ…凹部、
２００…ロボットハンド、  ２０１…工具、              ２０２…基台、
２０３…指部、      ２０４…手首、    ２１０…アーム、    ２１２…リンク部、
２２０…関節部、          ２５０…ロボット、          ２６０…ロボット、
２６３…カメラ、          ２６４…本体部、            ２６６…制御部、
２６８…キャスター、      ３００…電子部品検査装置、  ３１０…基台、
３１２ｄ…下流側ステージ、    ３１２ｕ…上流側ステージ、
３１４…撮像装置、        ３１６…検査台、            ３１８…制御装置、
３３０…支持台、          ３３４…腕部、              ３３８…撮像カメラ、
３５０…把持装置、        ３５２…把持部、            ３５４…回転軸、
３５６…微調整プレート、  ４００…送液ポンプ、        ４０２…ケース、
４０４…ローター、        ４０６…チューブ、          ４０８…ボール、
５００…印刷装置、        ５０１…排紙トレイ、        ５０２…排出口、
５０３…用紙ホルダー、    ５０４…ロール紙、          ５０５…操作ボタン、
５１０…ガイドレール、    ５２０…印刷ヘッド、        ５２２…印字部、
５２４…駆動部、          ５３０…切断機構、          ５３２…ガイド軸、
５３４…カッターホルダー、  ５３６…用紙カッター、    ６００…電子時計、
６０２…回転円板            ６０２ｇ…歯車、          ６０４…歯車列、
６０６…電力供給部、        ６０８…水晶チップ、      ６１０…ＩＣ、
７００…投影装置、          ７０２…投影部、          ７０４…調整部、
７０６…レンズカバー
【図１】
2013172629.tif 000003
【図２】
2013172629.tif 000004
【図３】
2013172629.tif 000005
【図４】
2013172629.tif 000006
【図５】
2013172629.tif 000007
【図６】
2013172629.tif 000008
【図７】
2013172629.tif 000009
【図８】
2013172629.tif 000010
【図９】
2013172629.tif 000011
【図１０】
2013172629.tif 000012
【図１１】
2013172629.tif 000013
【図１２】
2013172629.tif 000014
【図１３】
2013172629.tif 000015
【図１４】
2013172629.tif 000016
【図１５】
2013172629.tif 000017