(57)【要約】【課題】流路部材が大型化し、コストが高くなる。【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル１１が形成されたノズル板２と、ノズル板２の周縁部に接合された枠部材３と、複数のノズル１１が連通する複数の個別液室１２が形成され、枠部材３の内側でノズル板２に接合された流路部材６と、ノズル板２と反対側で枠部材３と流路部材６とに跨って接合されたフレーム部材７とを備え、枠部材３の内周面と流路部材６の外周面との間に複数の個別液室１２に通じる液溜り１６が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズル板の周縁部に接合された枠部材と、
前記複数のノズルが連通する複数の液室が形成され、前記枠部材の内側で前記ノズル板に接合された流路部材と、
前記ノズル板と反対側で前記枠部材と前記流路部材とに跨って接合された壁面部材と、を備え、
前記枠部材の内周面と前記流路部材の外周面との間に前記複数の液室に通じる液溜りが形成されている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数のノズルが配列された複数のノズル列を有し、
前記液溜りは前記複数のノズル列のすべてのノズル列の前記液室に通じている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数のノズルが配列された複数のノズル列を有し、
前記液溜りは前記複数のノズル列の各ノズル列毎又は２以上のノズル列毎に区画されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液溜りは、前記流路部材のノズル配列方向の端面と前記枠部材との間に充填されたシール材で区画されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記枠部材及び前記流路部材のそれぞれの前記壁面部材との各接合面は滴吐出方向を高さ方向とするとき、同じ高さであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路部材には前記液室と前記液溜りを連通する液連通路が設けられ、
前記液連通路は前記流路部材のノズル配列方向と直交する方向の端部で前記液溜りに通じている
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記枠部材の内側には、複数の流路部材が配置されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出する複数のノズルが連通する複数の個別液室と、複数の個別液室に液体を供給する共通液室とを形成した流路部材を有し、個別液室と共通液室をノズル配列方向に並べて配置したもの（特許文献１）、複数のノズルを形成したノズル板と、複数の個別液室を形成する流路部材と、共通液室を形成した共通液室部材とを積層接合し、共通液室部材は流路部材及びノズル板の周縁部に接合されているもの（特許文献２）などが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９０２９５号公報
【特許文献２】特許第４５２７４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示の構成にあっては、複数の個別液室と共通液室とを流路部材に形成しているため、流路部材としてシリコン基板を使用した場合に、コストが高くなるという課題がある。
【０００６】
また、特許文献２に開示の構成にあっては、共通液室部材の共通液室から個別液室にいたる流路が直角に曲がった流路となり、加工が難しくなり、特に、複数のノズル列を有する多列型ヘッドを構成する場合に、流路部材が大型化するという課題がある。
【０００７】
本願発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、流路部材の小型を図ることでコストの増加を抑えつつ、多列型ヘッドを得られるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズル板の周縁部に接合された枠部材と、
前記複数のノズルが連通する複数の液室が形成され、前記枠部材の内側で前記ノズル板に接合された流路部材と、
前記ノズル板と反対側で前記枠部材と前記流路部材とに跨って接合された壁面部材と、を備え、
前記枠部材の内周面と前記流路部材の外周面との間に前記複数の液室に通じる液溜りが形成されている
構成とした。
【０００９】
ここで、前記複数のノズルが配列された複数のノズル列を有し、
前記液溜りは前記複数のノズル列のすべてのノズル列の前記液室に通じている
構成とした。
【００１０】
また、前記複数のノズルが配列された複数のノズル列を有し、
前記液溜りは前記複数のノズル列の各ノズル列毎又は２以上のノズル列毎に区画されている
構成とできる。
【００１１】
また、前記液溜りは、前記流路部材のノズル配列方向の端面と前記枠部材との間に充填されたシール材で区画されている構成とできる。
【００１２】
また、前記枠部材と前記流路部材及び壁面部材の各接合面は滴吐出方向を高さ方向とするとき、同じ高さである構成とできる。
【００１３】
また、前記流路部材には前記液室と前記液溜りを連通する液連通路が設けられ、
前記液連通路は前記流路部材のノズル配列方向端部で前記液溜りに通じている
構成とした。
【００１４】
また、前記枠部材の内側には、複数の流路部材が配置されている構成とできる。
【００１５】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、前記ノズル板の周縁部に接合された枠部材と、前記複数のノズルが連通する複数の液室が形成され、前記枠部材の内側で前記ノズル板に接合された流路部材と、前記ノズル板と反対側で前記枠部材と前記流路部材とに跨って接合された壁面部材と、を備え、前記枠部材の内周面と前記流路部材の外周面との間に前記複数の液室に通じる液溜りが形成されている構成としたので、流路部材の小型化を図れ、コストの増加を抑えつつ多列型ヘッドを得ることができる。
【００１７】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えるので、高画質画像を形成できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。
【図３】同ヘッドの要部分解拡大斜視説明図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図５】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図７】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。
【図８】同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う断面説明図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
【図１０】本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載する画像形成装置の一例の説明に供する機構部の側面説明図である。
【図１１】同じく機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図３は同ヘッドの要部分解拡大斜視説明図である。
る。
【００２０】
この液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル１１を形成したノズル板２と、ノズル板２の周縁部に接合された枠部材（第１保持部材）３と、ノズル１１が連通する個別液室（圧力発生室）１２、個別液室１２に通じる液連通路を兼ねる流体抵抗部１３を形成した流路板４及び流路板４に接合され個別液室１２及び流体抵抗部１３の壁面を形成する振動板部材５で構成される流路部材６とを備えている。
【００２１】
ここでは、ノズル板２には、４つのノズル列１１Ａ〜１１Ｄを形成している。そして、１枚のノズル２に対して１つの枠部材３を接合し、この枠部材２の内側に２つの流路部材６、６をノズル板２に接合して配置している。つまり、２つの流路部材６、６の外周側を囲んで枠部材３が設けられている。
【００２２】
このとき、枠部材３の内周面と流路部材６の外周面とを離間して配置することで、枠部材３の内周面と流路部材６の外周面との間には複数の個別液室１２の通じる共通の液溜り１６（共通液室）が形成される。そして、これらの枠部材３と流路部材６とに跨って液溜り１６の壁面を形成する壁面部材を兼ねるフレーム部材（第２保持部材）７を接合している。これにより、個別液室１２及び共通の液溜り１６は同じ平面内に並んで配置される。
【００２３】
この場合、個別液室１２は、流路部材６のノズル配列方向と直交する方向の端面で液溜り１６に臨む液連通路（流体抵抗部）１３を介して液溜り１６に通じる。
【００２４】
フレーム部材７には液溜り１６に外部から液体を供給する液体供給口部４１が形成されている。液体供給口部４１は流路部材６のノズル配列方向両端部側にそれぞれ各ノズル列４Ａ〜４Ｄに対応して互い違いの位置に配置されている。これにより、供給された液体は液溜まり１６から流体抵抗部１３へと流れ、同時に気泡がノズル１１から排出されやすくなる。
【００２５】
なお、枠部材３及び流路部材６のそれぞれと壁面部材であるフレーム部材７との各接合面は滴吐出方向を高さ方向とするとき同じ高さとしている。これにより、接合面の平坦精度を確保して各部材を接合し易くなり、接合精度、接合信頼性を確保することができる。
【００２６】
一方、流路部材６を構成する振動板部材５の個別液室１２に対応する部分は可撓性領域１７であり、この可撓性領域１７の中央の個別液室１２と反対側の面には凸部１８が設けられている。そして、振動板部材５の凸部１８には、可撓性領域１８を変位させて個別液室１２内の液体を加圧する圧力を発生する圧力発生手段としての柱状の積層型圧電部材２１が接合されている。
【００２７】
圧電部材２１はベース部材２２に接合固定され、圧電部材２１に駆動波形を伝送するフレキシブル基板２３が接続され、これらによって圧電型アクチュエータ２０を構成している。この圧電型アクチュエータ２０はフレーム部材７内に配置されている。
【００２８】
ここで、ノズル板２は、例えば、薄板のステンレス材、薄板のポリイミド材等の樹脂材をプレス加工やレーザー加工で開口して形成することができる。あるいは、ニッケル電鋳で形成することができる。
【００２９】
枠部材３は、機械加工、プレス加工、エッチング加工などによって薄板のステンレス材を積層して形成し、あるいは、耐液性の高い樹脂によるモールドにて成形することができる。
【００３０】
流路板４は、シリコン基板をウエットエッチング或いはドライエッチングして形成している。振動板５は、ニッケル電鋳で形成し、あるいは、薄い樹脂膜に薄板のステンレス板を貼り付けて２層構造の薄板を用い形成している。
【００３１】
このように、流路部材６の外周側に流路部材６とは別の枠部材３を配置して個別液室１２と並んで共通の液溜り１６を形成したので、流路部材６を小型化することができ、流路部材６としてシリコン基板を使用してもコストの増加を抑えることができ、低コストで複数のノズル列を有する多列型ヘッドを得ることができる。また、個別液室１２と液溜り１６が並んで配置されていることで、フレーム部材に複雑な流路を形成する必要がなくなり、加工も容易である。
【００３２】
また、ノズル板２に枠部材３が接合されていることで、次工程となる圧力アクチュエータ２０と流路部材６との接合時にノズル板２が補強され、また、持ち運びの時のノズル板２の周縁部の保護手段ともなる。
【００３３】
さらに、枠部材３及び流路部材６とフレーム部材７との接合面を平面とすることで、接合精度が高くなる。また、ノズル板２と枠部材３との接合面を平面とすることで、同様に接合精度が高くなる。さらに、ノズル板２、枠部材３、流路部材６及びフレーム部材７をそれぞれ同一方向で接合することができ、組み立てが容易になる。
【００３４】
なお、本実施形態では、流路板４に設けられた個別液室１２は、例えば１列１５０ｄｐｉで千鳥状に２列配置され、３００ｄｐｉピッチで形成されている。また、ノズル板２に形成されたノズル列１１Ａ〜１１Ｄは、１列のノズルピッチを１５０ｄｐｉとし、各列が６００ｄｐｉをシフトさせるように配置されている。
【００３５】
したがって、各ノズル列１１Ａ〜１１Ｄのノズル１１が通じる個別液室１２に連通する液溜り１６には同じ色の液体が供給され、１パスで６００ｄｐｉ相当の解像度で画像を形成することができる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドをライン状に配置することで、高密度の画像を高速で形成することができる。
【００３６】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図４及び図５を参照して説明する。なお、図４は同ヘッドの分解斜視説明図、図５は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。
【００３７】
本実施形態では、枠部材３には２つの流路部材６、６の間に架橋部３１が設けられることで、流路部材６、６のそれぞれを囲む穴部３２、３２が形成されている。
【００３８】
これにより、流路部材６、６と枠部材３との間に形成される液溜りは、ノズル列１１Ａ、１１Ｂの個別液室１２に液体を供給する液溜り１６Ａと、ノズル列１１Ｃ、１１Ｄの個別液室１２に液体を供給する液溜り１６Ｂの２つに区画される
【００３９】
したがって、本実施形態では２種類の液体を吐出させることができる。
【００４０】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６ないし図８を参照して説明する。なお、図６は同ヘッドの分解斜視説明図、図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図、図８は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う断面説明図である。
【００４１】
本実施形態では、上記第２実施形態において、２つの流路部材６、６のノズル配列方向両端部（図６の斜線領域Ａの部分）と、これに対向する枠部材３の内周面の領域（図６の斜線領域Ｂの部分）との間をシール剤５０にて封止することで、液溜り１６を各ノズル列１１Ａ〜１１Ｄ毎に区画している。シール剤５０は耐液性を有する材料を使用している。
【００４２】
したがって、本実施形態では４種類の液体を吐出させることができる。
【００４３】
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図９を参照して説明する。なお、図９は同ヘッドの分解斜視説明図である。
【００４４】
本実施形態では、前記第１実施形態の２つの流路部材６を各ノズル列１１Ａ〜１１Ｄ毎の流路部材６Ａ〜６Ｄに分割している。なお、ノズル板２及び枠部材３は１枚としている。
【００４５】
これにより、シリコン基板から形成する流路板４の１枚のウエハからの取り数を多くすることができ、コストを更に低減できる。
【００４６】
なお、本実施形態を第２、第３実施形態に適用することで、吐出できる液体の種類を２種類、４種類とすることもできる。また、吐出させる液体の種類は、上記に限られるものではなく、３種類、５種類以上とすることもできる。
【００４７】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載する画像形成装置の一例について図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０は同装置の機構部の側面説明図、図１１は同じく機構部の要部平面説明図である。
【００４８】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００４９】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂ（区別しないときは「記録ヘッド２３４」という。）を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００５０】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としている（第２実施形態にものを使用）が、これに限るものではない。
【００５１】
また、キャリッジ２３３には、記録ヘッド２３４のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク２３５ａ、２３５ｂ（区別しないときは「サブタンク２３５」という。）を搭載している。このサブタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、図示しない供給ユニットによって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００５２】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００５３】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００５４】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００５５】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００５６】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００５７】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００５８】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット（空吐出受け）２８８を配置し、このインク回収ユニット２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００５９】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００６０】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００６１】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００６２】
このように、この画像形成装置では本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を形成できる。
【００６３】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００６４】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【００６５】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。
【００６６】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００６７】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００６８】
２  ノズル板
３  枠部材
４  流路板
５  振動板部材
６  流路部材
７  フレーム部材（保持部材）
１１  ノズル
１２  個別液室
１３  流体抵抗部
１６  液溜り
２０  圧電アクチュエータ
２３４…キャリッジ
２３５…記録ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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