(57)【要約】【課題】比較的細径の管内部の検査を行うこと。【解決手段】管の内部に挿入される挿入部１と、挿入部１に設けられており管の内部に配置された状態で管の内面に超音波を送信すると共に反射した超音波を受信する超音波センサ１１１と、超音波センサ１１１を管の径方向に移動可能に支持するセンサ支持部１１２、管に沿って往復作動する駆動源部１２１、および駆動源部１２１の往復作動に伴ってセンサ支持部１１２を管の径方向に移動させる移動部１２２を有するセンサ移動機構１２と、を備える。【選択図】図９
2013057640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管の内部に挿入される挿入部と、
前記挿入部に設けられており前記管の内部に配置された状態で前記管の内面に超音波を送信すると共に反射した超音波を受信する超音波センサと、
前記超音波センサを前記管の径方向に移動可能に支持するセンサ支持部、前記管に沿って往復作動する駆動源部、および前記駆動源部の往復作動に伴って前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させる移動部を有するセンサ移動機構と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記移動部は、前記駆動源部の往復作動に伴って前記管の軸方向に移動しつつ当該軸方向に交差する傾斜によって前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記移動部は、前記駆動源部の往復作動に伴って前記管の軸方向に移動する前記センサ支持部に取り付けられた線状部材と、前記線状部材の方向を前記管の径方向に変える方向変換手段とによって前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
前記駆動源部は、前記管の軸方向に沿って往復作動することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項５】
前記センサ支持部は、前記超音波センサを傾動可能に支持する傾動機構を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項６】
前記超音波センサが複数設けられ、前記挿入部の中心軸の周りに均等に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項７】
前記挿入部の挿入端に、径方向内側に移動した状態の前記超音波センサや前記センサ移動機構よりも外形が大きく、かつ前記管の内部に挿入可能に形成された先端部を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の検査装置。
【請求項８】
前記挿入部を前記管の内部に配置する支持ロッドを備え、当該支持ロッドを前記管の軸廻りに回転移動させる回転移動機構と、前記支持ロッドを前記管の軸方向に沿って移動させる軸方向移動機構とを前記管の外部に配置してなることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、原子力容器に設けられた管の欠陥を検査する検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、特許文献１に記載の原子炉容器の管台作業システムでは、原子炉容器の管台内部の保守作業を行うものである。この保守作業のうち、検査において、例えば溶接部に欠陥があるか否かを検出する。この検査は、欠陥が判明した場合での切削・補修後においても、正常に補修がなされたことを確認するために行われる。そして、この原子炉容器の管台作業システムにおいて、検査装置（ＵＴ検査ユニット）は、管台の内面の溶接部に超音波を発振し、検出することが可能な一対の探触子と、超音波を生成すると共に検出した超音波を解析し欠陥を検出するユニット本体と、一対の探触子を管台の内面に対して進退させて位置調整をする位置調整手段と、管台に対する相対位置を検出する位置センサと、探触子による検査位置を照明する照明手段および撮影する撮影手段と、これらを支持する支持板と、支持板に取り付けられて移動ユニットの接続部に接続される被接続部とを有する（特許文献１：段落００７２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１７６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、例えば、蒸気発生器を２機接続する２ループの原子炉においては、出口管台や入口管台の他に原子炉内に冷却水を注水するための注水配管が接続される注水管台が設けられている。かかる注水管台と注水配管との溶接部においても、保守のために検査を行う。
【０００５】
しかし、上述した特許文献１の検査装置は、内径がほぼ７４０ｍｍの出口管台や入口管台の内部の検査に適用されるもので、内径がほぼ９２ｍｍや８７ｍｍの注水管台に挿入することはできない。したがって、注水管台のような細径の管に挿入し、その内部を検査することのできる検査装置が切望されている。
【０００６】
本発明は上述した課題を解決するものであり、比較的細径の管内部の検査を行うことのできる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、本発明の検査装置は、管の内部に挿入される挿入部と、前記挿入部に設けられており前記管の内部に配置された状態で前記管の内面に超音波を送信すると共に反射した超音波を受信する超音波センサと、前記超音波センサを前記管の径方向に移動可能に支持するセンサ支持部、前記管に沿って往復作動する駆動源部、および前記駆動源部の往復作動に伴って前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させる移動部を有するセンサ移動機構と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この検査装置によれば、駆動源部が管に沿って往復作動することで移動部が管に沿って移動し、これに伴い超音波センサを支持するセンサ支持部が管の径方向に移動する。このため、挿入部を管に挿入するときには、超音波センサを径方向内側に退避させ、検査の際に超音波センサを径方向外側に突出させて管の内面に当接させる。この結果、比較的細径の管内部の検査を行うことが可能になる。特に、この検査装置は、駆動源部が管に沿って往復作動し、これに伴って超音波センサを管の径方向に移動させることから、超音波センサを管の径方向に移動させるセンサ移動機構において、管の径方向への大型化を防ぐことができ、装置の小型化を図ることができる。
【０００９】
また、本発明の検査装置では、前記移動部は、前記駆動源部の往復作動に伴って前記管の軸方向に移動しつつ当該軸方向に交差する傾斜によって前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させることを特徴とする。
【００１０】
この検査装置によれば、駆動源部が管に沿って往復作動し、移動部の傾斜によって超音波センサを管の径方向に移動させることから、超音波センサを管の径方向に移動させるセンサ移動機構において、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することができる。
【００１１】
また、本発明の検査装置では、前記移動部は、前記駆動源部の往復作動に伴って前記管の軸方向に移動する前記センサ支持部に取り付けられた線状部材と、前記線状部材の方向を前記管の径方向に変える方向変換手段とによって前記センサ支持部を前記管の径方向に移動させることを特徴とする。
【００１２】
この検査装置によれば、駆動源部が管に沿って往復作動し、移動部の線状部材および方向変換手段によって超音波センサを管の径方向に移動させることから、超音波センサを管の径方向に移動させるセンサ移動機構において、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することができる。
【００１３】
また、本発明の検査装置では、前記駆動源部は、前記管の軸方向に沿って往復作動することを特徴とする。
【００１４】
この検査装置によれば、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することができる。
【００１５】
また、本発明の検査装置では、前記センサ支持部は、前記超音波センサを傾動可能に支持する傾動機構を有することを特徴とする。
【００１６】
この検査装置によれば、傾動機構によって超音波センサを傾動することで、超音波センサを管の内面に沿わせて配置することが可能であり、より精度良く配管の検査を行うことができる。
【００１７】
また、本発明の検査装置は、前記超音波センサが複数設けられ、前記挿入部の中心軸の周りに均等に配置されていることを特徴とする。
【００１８】
この検査装置によれば、超音波センサが複数設けられ、挿入部の中心軸の周りに均等に配置されていることで、径方向外側に移動された各超音波センサが管の内面に当接した場合に、相互の超音波センサで管の内面に押し付け合うこととなる。このため、超音波センサを管の内面に沿わせて配置することが可能であり、より精度良く配管の検査を行うことができる。
【００１９】
また、本発明の検査装置は、前記挿入部の挿入端に、径方向内側に移動した状態の前記超音波センサや前記センサ移動機構よりも外形が大きく、かつ前記管の内部に挿入可能に形成された先端部を備えることを特徴とする。
【００２０】
検査装置を管に設置する際、挿入部を管に挿入することになるが、この検査装置によれば、挿入部の挿入端に先端部を備えることで、当該先端部によって超音波センサやセンサ移動機構などが管の内面に衝突する事態を防ぐことができる。
【００２１】
また、本発明の検査装置は、前記挿入部を前記管の内部に配置する支持ロッドを備え、当該支持ロッドを前記管の軸廻りに回転移動させる回転移動機構と、前記支持ロッドを前記管の軸方向に沿って移動させる軸方向移動機構とを前記管の外部に配置してなることを特徴とする。
【００２２】
この検査装置によれば、回転移動機構によって支持ロッドを管の軸廻りに回転移動させることで挿入部に配置した超音波センサが管の軸廻りに回転移動するので、管の周方向での検査結果が得られる。また、軸方向移動機構によって支持ロッドを管の軸方向に沿って移動させることで挿入部に配置した超音波センサが管の軸方向に沿って移動するので、管の軸方向での検査結果が得られる。そして、これら回転移動機構および軸方向移動機構を管の外部に配置することで、当該機構を管の内部に配置することなく比較的細径の管内部の検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、比較的細径の管内部の検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、原子力設備の一例を示す概略図である。
【図２】図２は、原子炉容器の横断面図である。
【図３】図３は、注水管台の断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態に係る検査装置の一部裁断した側面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る検査装置の全体斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係る検査装置の一部の斜視図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態に係る検査装置の一部の側面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態に係る検査装置の一部の平面図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態に係る検査装置の側断面図である。
【図１０】図１０は、図７におけるＡ−Ａ拡大断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施の形態に係る検査装置の動作を示す側断面図である。
【図１２】図１２は、図１１におけるＢ−Ｂ拡大断面図である。
【図１３】図１３は、他の実施の形態の検査装置を示す側断面図である。
【図１４】図１４は、他の実施の形態の検査装置の動作を示す側断面図である。
【図１５】図１５は、本実施の形態に係る検査装置の制御系のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に、本発明に係る実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【００２６】
図１は、原子力設備の一例を示す概略図であり、図２は、原子炉容器の横断面図である。図１に示すように、原子力設備１００は、例えば、加圧水型原子炉（ＰＷＲ：Pressurized  Water  Reactor）がある。この原子力設備１００は、原子炉容器１０１、加圧器１０２、蒸気発生器１０３およびポンプ１０４が、一次冷却水管１０５により順次連結されて、一次冷却水の循環経路が構成されている。また、蒸気発生器１０３とタービン（図示省略）との間には、二次冷却水の循環経路が構成されている。
【００２７】
この原子力設備１００では、一次冷却水が原子炉容器１０１にて加熱されて高温・高圧となり、加圧器１０２にて加圧されて圧力を一定に維持されつつ、一次冷却水管１０５を介して蒸気発生器１０３に供給される。蒸気発生器１０３では、一次冷却水と二次冷却水との熱交換が行われることにより、二次冷却水が蒸発して蒸気となる。熱交換により蒸気となった二次冷却水は、タービンに供給される。タービンは、二次冷却水の蒸気により駆動される。そして、タービンの動力が発電機（図示省略）に伝達されて発電される。タービンの駆動に供された蒸気は、凝縮して水となり蒸気発生器１０３に供給される。一方、熱交換後の一次冷却水は、一次冷却水管１０５を介してポンプ１０４側に回収される。
【００２８】
蒸気発生器１０３は、図１に示すように、半球形状に形成された下部において、入口側水室１０３ａと出口側水室１０３ｂとが仕切板１０３ｃによって区画されて設けられている。入口側水室１０３ａおよび出口側水室１０３ｂは、その天井部に設けられた管板１０３ｄによって蒸気発生器１０３の上部側と区画されている。蒸気発生器１０３の上部側には、逆Ｕ字形状の伝熱管１０３ｅが設けられている。この伝熱管１０３ｅは、入口側水室１０３ａと出口側水室１０３ｂとを繋ぐように端部が管板１０３ｄに支持されている。また、入口側水室１０３ａは、配管ノズルとしての入口管台１０３ｆが設けられ、この入口管台１０３ｆに入口側の一次冷却水管１０５が接続されている。一方、出口側水室１０３ｂは、配管ノズルとしての出口管台１０３ｇが設けられ、この出口管台１０３ｇに出口側の一次冷却水管１０５が接続されている。
【００２９】
原子炉容器１０１は、図１に示すように、燃料集合体（図示省略）が挿抜できるように、容器本体１０１ａとその上部に装着される容器蓋１０１ｂとにより構成されている。容器蓋１０１ｂは、容器本体１０１ａに対して開閉可能に設けられている。容器本体１０１ａは、上方が開口し、下方が半球形状とされて閉塞された円筒形状をなし、上部に一次冷却水としての軽水を給排する入口管台１０１ｃおよび出口管台１０１ｄが設けられている。出口管台１０１ｄは、蒸気発生器１０３の入口管台１０３ｆに連通するように一次冷却水管１０５が接続されている。また、入口管台１０１ｃは、蒸気発生器１０３の出口管台１０３ｇに連通するように一次冷却水管１０５が接続されている。また、原子炉容器１０１は、図２に示すように、容器本体１０１ａにおいて入口管台１０１ｃおよび出口管台１０１ｄと同等高さの位置に、注水用の管である注水管台１０１ｅが設けられている。注水管台１０１ｅは、管である注水配管１０１ｆが溶接によって接続されている。
【００３０】
図３は、注水管台の断面図である。注水管台１０１ｅは、上述した原子力設備１００の安全性や信頼性を確保するため、定期的に検査が行われる。この検査の結果、図３に示す、注水管台１０１ｅと注水配管１０１ｆとの接続部分である溶接部１０１ｇに、経年変化によるクラックなどの表面欠陥が発生するおそれのある場合や、経年変化による表面欠陥が判明した場合、当該溶接部１０１ｇを切削・補修する。また、補修後においても、正常に補修がなされたことを確認するために検査が行われる。
【００３１】
上記の検査において、本実施の形態に係る検査装置が適用される。図４は、本実施の形態に係る検査装置の一部裁断した側面図であり、図５は、本実施の形態に係る検査装置の全体斜視図であり、図６は、本実施の形態に係る検査装置の一部の斜視図であり、図７は、本実施の形態に係る検査装置の一部の側面図であり、図８は、本発明の実施の形態に係る検査装置の一部の平面図であり、図９は、本実施の形態に係る検査装置の側断面図であり、図１０は、図７におけるＡ−Ａ拡大断面図であり、図１１は、本実施の形態に係る検査装置の動作を示す側断面図であり、図１２は、図１１におけるＢ−Ｂ拡大断面図である。
【００３２】
検査装置は、上述した原子炉容器１０１の内側であって注水管台１０１ｅから注水配管１０１ｆに至る管の内部に挿入されるもので、図４および図５に示すように、管の内部に挿入される前側に設けられた挿入部１と、当該挿入部１を管の内部に配置するように後側に設けられた筒状の支持ロッド２とを有している。
【００３３】
挿入部１は、図４に示すように、管の内部に挿入されるように、当該管の内径よりも細径に形成され、管の延在方向（軸方向）に沿うように中心軸Ｓ１上で前後に延びる棒状体をなしている。挿入部１は、図４〜図１２に示すように、センサ部１１と、センサ移動機構１２と、撮像部１３とを有している。
【００３４】
センサ部１１は、図４〜図９に示すように、中心軸Ｓ１に沿って複数の超音波センサ１１１が設けられている。超音波センサ１１１は、本実施の形態では、中心軸Ｓ１に沿って前後に２つ設けられている。超音波センサ１１１は、図３に示す注水管台１０１ｅの内面から注水管台１０１ｅおよび溶接部１０１ｇに超音波を送受信するものである。そして、欠陥部に当たって反射した超音波によって欠陥の大きさや位置などを測定する（超音波探傷検査）。個々の超音波センサ１１１は、挿入部１が管の内部に挿入された場合、中心軸Ｓ１と交差する方向であって、管の軸方向に直交する方向（径方向）に対して異なる角度で超音波を送受信する。これは、単一の角度で超音波を送受信すると、当該角度と同じ方向で欠陥があった場合に受信感度が低下してしまい、当該欠陥を検出することができないおそれがあるためである。すなわち、異なる角度で複数の超音波を送受信することで検出精度が向上する。
【００３５】
また、センサ部１１は、図６〜図９に示すように、複数（本実施の形態では２つ）の超音波センサ１１１を支持するセンサ支持部１１２を有している。センサ支持部１１２は、図８〜図１０に示すように、本実施の形態において２つの超音波センサ１１１を間に置くように基部１１２ａが設けられている。基部１１２ａは、前後方向にそれぞれ延在する腕部１１２ｂが取り付けられている。また、腕部１１２ｂは、枠部１１２ｃが取り付けられている。各超音波センサ１１１は、この枠部１１２ｃに囲まれるように取り付けられることでセンサ支持部１１２に対して支持される。
【００３６】
センサ支持部１１２は、図８および図９に示すように、基部１１２ａに対して腕部１１２ｂが支軸１１２ｄを介して取り付けられている。このため、２つの超音波センサ１１１は、腕部１１２ｂが支軸１１２ｄの廻りにシーソのように傾動する。この結果、超音波センサ１１１は、管の内部に挿入された場合において、中心軸Ｓ１に直交する径方向に移動する。この構成を、径方向傾動機構部とする。また、センサ支持部１１２は、図８〜図１０に示すように、腕部１１２ｂに対して枠部１１２ｃが支軸１１２ｄと平行な支軸１１２ｅを介して取り付けられている。このため、超音波センサ１１１は、枠部１１２ｃが支軸１１２ｅの廻りに傾動することで、前後方向に傾動する。この構成を、前後方向傾動機構部とする。また、センサ支持部１１２は、図１０に示すように、枠部１１２ｃに対して超音波センサ１１１が支軸１１２ｄと直交し、かつ中心軸Ｓ１と平行な支軸１１２ｆを介して取り付けられている。このため、超音波センサ１１１は、支軸１１２ｆの廻りに傾動する。この結果、超音波センサ１１１は、管の内部に挿入された場合において、管の内面に沿う周方向に傾動する。この構成を、周方向傾動機構部とする。このように、センサ支持部１１２は、支軸１１２ｄを中心とする径方向傾動機構部と、支軸１１２ｅを中心とする前後方向傾動機構部と、支軸１１２ｆを中心とする周方向傾動機構部とからなる３方向への傾動機構を有し、超音波センサ１１１を３方向に傾動可能に支持している。
【００３７】
また、センサ支持部１１２は、管の内部に挿入された場合において、基部１１２ａが挿入部１に対して径方向にスライド移動可能に設けられている。すなわち、超音波センサ１１１は、図９および図１１、図１０および図１２に示すように、径方向にスライド移動可能に設けられている。このように、センサ支持部１１２は、超音波センサ１１１を管の径方向にスライド移動可能に支持している。
【００３８】
センサ移動機構１２は、センサ部１１を管の径方向（中心軸Ｓ１に直交する方向）に移動させるためのものである。センサ移動機構１２は、センサ支持部１１２と、駆動源部１２１と、移動部１２２とを有している。
【００３９】
センサ支持部１１２は、上述したように、超音波センサ１１１を管の径方向にスライド移動可能に支持している。
【００４０】
駆動源部１２１は、アクチュエータであって、本実施の形態ではエアシリンダが適用されている。この駆動源部１２１は、図８および図９に示すように、管の軸方向（中心軸Ｓ１）に沿って作動子１２１ａが往復作動するように挿入部１に設けられている。
【００４１】
移動部１２２は、図９〜図１２に示すように、軸方向移動部１２２Ａおよび径方向移動部１２２Ｂを有している。軸方向移動部１２２Ａは、軸方向レール１２２Ａａおよび軸方向スライダ１２２Ａｂによって構成されている。軸方向レール１２２Ａａは、中心軸Ｓ１に沿って長手状に延在するものである。この軸方向レール１２２Ａａは、挿入部１に対して中心軸Ｓ１上に配置された棒状の芯部材１２２Ｃに固定されている。軸方向スライダ１２２Ａｂは、軸方向レール１２２Ａａに沿って中心軸Ｓ１方向に移動可能に設けられている。径方向移動部１２２Ｂは、径方向レール１２２Ｂａおよび径方向スライダ１２２Ｂｂによって構成されている。径方向レール１２２Ｂａは、上記軸方向スライダ１２２Ａｂに固定されている。軸方向スライダ１２２Ａｂは、前方が前側に向かって傾斜する傾斜面を有している。径方向レール１２２Ｂａは、この軸方向スライダ１２２Ａｂの傾斜面に沿って長手状に延在するものである。すなわち、径方向レール１２２Ｂａは、軸方向（中心軸Ｓ１）に対して交差するように軸方向スライダ１２２Ａｂに対して固定されている。径方向スライダ１２２Ｂｂは、径方向レール１２２Ｂａに沿って径方向成分を有する傾斜方向に移動可能に設けられている。そして、この径方向スライダ１２２Ｂｂは、センサ部１１のセンサ支持部１１２（基部１１２ａ）が取り付けられている。
【００４２】
このようなセンサ移動機構１２は、図９に示すように、駆動源部１２１の作動子１２１ａが中心軸Ｓ１に沿う後側に作動すると、軸方向スライダ１２２Ａｂが中心軸Ｓ１に沿って後側に移動する。この軸方向スライダ１２２Ａｂの移動と共に径方向レール１２２Ｂａが中心軸Ｓ１に沿って後側に移動する。そして、径方向スライダ１２２Ｂｂは、径方向にスライド移動可能に設けられたセンサ支持部１１２の基部１１２ａが取り付けられているため、中心軸Ｓ１に沿う方向への移動が規制され、径方向レール１２２Ｂａの傾斜に沿って径方向内側に移動する。このため、センサ支持部１１２の基部１１２ａは、径方向スライダ１２２Ｂｂと共に径方向レール１２２Ｂａの傾斜に従って径方向内側にスライド移動することになる。この結果、図１０に示すように、センサ支持部１１２に支持されているセンサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向内側にスライド移動する。
【００４３】
一方、センサ移動機構１２は、図１１に示すように、駆動源部１２１の作動子１２１ａが中心軸Ｓ１に沿う前側に作動すると、軸方向スライダ１２２Ａｂが中心軸Ｓ１に沿って前側に移動する。この軸方向スライダ１２２Ａｂの移動と共に径方向レール１２２Ｂａが中心軸Ｓ１に沿って前側に移動する。そして、径方向スライダ１２２Ｂｂは、径方向にスライド移動可能に設けられたセンサ支持部１１２の基部１１２ａが取り付けられているため、中心軸Ｓ１に沿う方向への移動が規制され、径方向レール１２２Ｂａの傾斜に沿って径方向外側に移動する。このため、センサ支持部１１２の基部１１２ａは、径方向スライダ１２２Ｂｂと共に径方向レール１２２Ｂａの傾斜に従って径方向外側にスライド移動することになる。この結果、図１２に示すように、センサ支持部１１２に支持されているセンサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向外側にスライド移動する。なお、センサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向外側にスライド移動する位置は、挿入される管の内面に対し、超音波センサ１１１の表面（超音波送受信面）が当接し得る位置、すなわち管の内径よりも大きい径となる位置とする。
【００４４】
このように、センサ移動機構１２は、駆動源部１２１の作動子１２１ａと、センサ支持部１１２との間に介在された移動部１２２が、駆動源部１２１の軸方向の往復作動に伴って管の軸方向（中心軸Ｓ１）に沿って移動しつつ、中心軸Ｓ１に交差する傾斜によってセンサ支持部１１２（超音波センサ１１１）を管の径方向に移動させる。
【００４５】
ところで、図１３は、他の実施の形態の検査装置を示す側断面図であり、図１４は、他の実施の形態の検査装置の動作を示す側断面図である。
【００４６】
図１３および図１４に示す検査装置は、センサ移動機構１２’が上述の構成と異なる。センサ移動機構１２’は、センサ部１１を管の径方向（中心軸Ｓ１に直交する方向）に移動させるためのものである。センサ移動機構１２’は、センサ支持部１１２と、駆動源部１２１’と、移動部１２２’とを有している。
【００４７】
センサ支持部１１２は、上述したように、超音波センサ１１１を管の径方向にスライド移動可能に支持している。
【００４８】
駆動源部１２１’は、アクチュエータであって、本実施の形態ではエアシリンダが適用されている。この駆動源部１２１’は、管の軸方向（中心軸Ｓ１）に沿って作動子が往復作動するように挿入部１に設けられている。
【００４９】
移動部１２２’は、軸方向移動部１２２Ａ’および径方向移動部１２２Ｂ’を有している。軸方向移動部１２２Ａ’は、線状部材として構成され、具体的にはワイヤである。線状部材であるワイヤ１２２Ａ’は、中心軸Ｓ１に沿って長手状に延在して設けられている。ワイヤ１２２Ａ’は、一方の端が駆動源部１２１’の作動子に取り付けられ、他方の端がセンサ支持部１１２の基部１１２ａに取り付けられている。このワイヤ１２２Ａ’は、中心軸Ｓ１方向に移動可能に設けられている。
【００５０】
径方向移動部１２２Ｂ’は、方向変換手段１２２Ｂａ’と、径方向レール１２２Ｂｂ’と、径方向スライダ１２２Ｂｃ’と、弾性部材１２２Ｂｄ’によって構成されている。方向変換手段１２２Ｂａ’滑車やピンなどで構成されており、中心軸Ｓ１に沿って延在するワイヤ１２２Ａ’の他方の端側を、管の径方向である中心軸Ｓ１に交差する方向に変換する。管の径方向に方向を変えられたワイヤ１２２Ａ’の他方の端側は、管の径方向に移動する。径方向レール１２２Ｂｂ’は、芯部材１２２Ｃに固定されており、径方向スライダ１２２Ｂｃ’を管の径方向である中心軸Ｓ１に交差する方向に移動可能に支持する。径方向スライダ１２２Ｂｃ’は、管の径方向である中心軸Ｓ１に交差する方向に延在する棒状部材として構成され、センサ支持部１１２の基部１１２ａに一端が固定されている。径方向スライダ１２２Ｂｃ’は、上述したように径方向レール１２２Ｂｂ’によって管の径方向である中心軸Ｓ１に交差する方向に移動するため、当該径方向スライダ１２２Ｂｃ’の移動に伴ってセンサ支持部１１２も移動する。弾性部材１２２Ｂｄ’は、センサ支持部１１２の基部１１２ａと芯部材１２２Ｃとの間に設けられ、センサ支持部１１２が芯部材１２２Ｃから離隔する方向に弾性力を付与するものであって、例えば、圧縮バネからなる。
【００５１】
このようなセンサ移動機構１２’は、図１３に示すように、駆動源部１２１’の作動子が中心軸Ｓ１に沿う後側に作動すると、ワイヤ１２２Ａ’が中心軸Ｓ１に沿って後側に移動する。このワイヤ１２２Ａ’の他方の端側は、方向変換手段１２２Ｂａ’によって管の径方向に方向を変えられているため、管の径方向であって中心軸Ｓに近づく方向に移動する。これにより、センサ支持部１１２の基部１１２ａは、弾性部材１２２Ｂｄ’の弾性力に抗して中心軸Ｓ側に引き寄せられるように径方向内側にスライド移動することになる。この結果、図１３に示すように、センサ支持部１１２に支持されているセンサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向内側にスライド移動する。
【００５２】
一方、センサ移動機構１２’は、図１４に示すように、駆動源部１２１’の作動子が中心軸Ｓ１に沿う前側に作動すると、ワイヤ１２２Ａ’が中心軸Ｓ１に沿って前側に移動する。このワイヤ１２２Ａ’の他方の端側は、方向変換手段１２２Ｂａ’によって管の径方向に方向を変えられているため、管の径方向であって中心軸Ｓから遠ざかる方向に移動する。これにより、センサ支持部１１２の基部１１２ａは、弾性部材１２２Ｂｄ’の弾性力によって中心軸Ｓから遠ざかるように径方向外側にスライド移動することになる。この結果、図１４に示すように、センサ支持部１１２に支持されているセンサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向外側にスライド移動する。なお、センサ部１１（超音波センサ１１１）が径方向外側にスライド移動する位置は、挿入される管の内面に対し、超音波センサ１１１の表面（超音波送受信面）が当接し得る位置、すなわち管の内径よりも大きい径となる位置とする。
【００５３】
なお、弾性部材１２２Ｂｄ’は、必須の構成でなくてもよく、ワイヤ１２２Ａ’と方向変換手段１２２Ｂａ’とによって、ワイヤ１２２Ａ’の中心軸Ｓ１に沿う移動を方向変換手段１２２Ｂａ’が管の径方向に変えることで、センサ支持部１１２の基部１１２ａを押し引きすれば、センサ部１１（超音波センサ１１１）を径方向にスライド移動させることが可能である。また、センサ支持部１１が超音波センサ１１１を管の径方向に移動可能に支持しているから、径方向レール１２２Ｂｂ’および径方向スライダ１２２Ｂｃ’も必須の構成でなくてもよく、センサ支持部１１による超音波センサ１１１の移動を円滑にする構成、または、超音波センサ１１１を管の径方向に移動可能に支持するセンサ支持部１１の構成そのものとして存在する。
【００５４】
このように、センサ移動機構１２’は、駆動源部１２１’と、センサ支持部１１２との間に介在された移動部１２２’が、駆動源部１２１’の軸方向の往復作動に伴って管の軸方向（中心軸Ｓ１）に沿って移動しつつ、ワイヤ１２２Ａ’と方向変換手段１２２Ｂａ’とによってセンサ支持部１１２（超音波センサ１１１）を管の径方向に移動させる。
【００５５】
また、上述したセンサ部１１およびセンサ移動機構１２（１２’）は、１つのユニットとして構成されている。そして、このセンサ部１１およびセンサ移動機構１２（１２’）からなるユニットは、挿入部１の周方向に複数設けられている。各ユニットは、挿入部１の中心軸Ｓ１周り（周方向）で均等に設けられている。例えば、本実施の形態では、３つのユニットが設けられており、各ユニットは、挿入部１の周方向で１２０度ごとに配置されている。
【００５６】
撮像部１３は、撮像手段１３１である固体撮像素子（ＣＣＤ：Charge  Coupled  Device）と、照明手段１３２である発光ダイオード（ＬＥＤ： Light  Emitting  Diode）とが挿入部１の外側面に配置されたもので、照明手段１３２で照らす範囲を撮像手段１３１で撮像する。また、本実施の形態の撮像部１３は、撮像手段１３１においてミラー１３１ａによって中心軸Ｓ１に交差する方向に撮像手段１３１の撮像方向が変えられている。この撮像部１３は、挿入部１が管の内部に挿入された状態で、センサ部１１（超音波センサ１１１）近傍の管の内面を撮像する。また、撮像部１３は、本実施の形態では、挿入部１に１つ配置されている。
【００５７】
このように、センサ部１１と、センサ移動機構１２（１２’）と、撮像部１３とを有する挿入部１は、管の内部に挿入され得る外形に形成されており、かつ管の内部に挿入され得る範囲内に、径方向内側に移動した状態のセンサ部１１、センサ移動機構１２（１２’）および撮像部１３を配置している。そして、挿入部１は、管への挿入の先端（前端）である挿入端に、先端部１４が設けられている。先端部１４は、例えば、耐磨耗性、耐衝撃性、耐薬品性などに優れた超高分子ポリエチレンによりなり、挿入部１、径方向内側に移動した状態のセンサ部１１、センサ移動機構１２および撮像部１３が管の内部に挿入され得る範囲よりも外形が大きく形成され、かつ管の内部に挿入可能な大きさに形成されている。
【００５８】
また、挿入部１は、挿入端の軸方向の反対側である後端に固定部１５が設けられている。固定部１５は、筒状に形成され、支持ロッド２の先端を挿入しつつ支持ロッド２に対してネジによって固定される。また、センサ部１１のケーブルや、センサ移動機構１２の駆動源部１２１のケーブル（本実施の形態ではエアチューブ）や、撮像部１３のケーブルや、超音波センサ１１１による検出の際に管の内部に水を注入するチューブは、固定部１５の内部に挿通されると共に、筒状の支持ロッド２の内部に挿通される。なお、センサ部１１のケーブルや、センサ移動機構１２（１２’）の駆動源部１２１（１２１’）のケーブル（本実施の形態ではエアチューブ）や、撮像部１３のケーブルや、超音波センサ１１１による検出の際に管の内部に水を注入するチューブは、固定部１５の内部に挿通されるまでは、図１０に示すように挿入部１の外側面に設けられた溝１ａに内装される。
【００５９】
支持ロッド２は、上述した先端に固定された挿入部１を管の内部に配置するものである。この支持ロッド２は、図５に示すように、挿入部１が固定される先端から、軸方向の反対側である後端に至る外周面に、ボールスプライン溝２１とボールネジ溝２２とが長手方向に沿って設けられている。ボールスプライン溝２１は、図５では単一で示しているが複数あってもよい。
【００６０】
支持ロッド２は、図４に示すように、挿入部１を管の内部に配置した状態で、後端側が管の外部（原子炉容器１０１の内側）に突出される。この管の外部に突出された支持ロッド２の後端側には、支持ロッド移動部３が設けられている。支持ロッド移動部３は、回転移動機構３１と軸方向移動機構３２とを含み構成されている。
【００６１】
回転移動機構３１は、支持ロッド２を管の軸廻りに回転移動させるものである。回転移動機構３１は、図４および図５に示すように、円筒状の外筒３１１の内部に、円筒状の内筒３１２が内装されている。内筒３１２は、中心軸Ｓ１の廻りに外筒３１１と相対的に回転可能に設けられている。内筒３１２は、先端側の内部に、支持ロッド２のボールスプライン溝２１と係合するボールスプライン３１３が中心軸Ｓ１を中心として固定されている。支持ロッド２と内筒３１２とは、ボールスプライン溝２１とボールスプライン３１３との係合によって、中心軸Ｓ１の延在方向（軸方向）に相対的に移動可能であるが、中心軸Ｓ１の廻りは回転しない関係とされている。また、内筒３１２は、後端側が外筒３１１の外部に延在しており、当該後端側の外部に中心軸Ｓ１を中心とした従動歯車３１４が固定されている。この従動歯車３１４は、外筒３１１に固定される回転駆動モータ３１５の出力側に設けられたノンバックラッシギアからなる駆動歯車（図示せず）が噛み合っている。
【００６２】
なお、外筒３１１は、その外面に突出するフランジ３１１ａが設けられている。そして、外筒３１１は、図４に示すように、管の外部において、原子炉容器１０１の内側に気中作業環境を構成する有底筒状のプラットフォーム（特開２０１１−１７６７０号公報のプラットフォームに相当）１０６に固定される。具体的に、プラットフォーム１０６は、筒状の側壁に、管に通じる円形の窓穴１０６ａが設けられており、この窓穴１０６ａに取付基部１０７が固定されている。取付基部１０７は、円筒状に形成され、窓穴１０６ａに挿入された状態でプラットフォーム１０６内に配置される端部の外周に突出するフランジ１０７ａが設けられている。この取付基部１０７は、窓穴１０６ａに対し、円筒状の中心を管の軸に合わせて固定される。外筒３１１は、この取付基部１０７に挿通されて取付基部１０７のフランジ１０７ａに対してフランジ３１１ａが固定されることで、支持ロッド２の中心軸Ｓ１を管の軸に合わせて取り付けられることになる。
【００６３】
このように構成される回転移動機構３１は、回転駆動モータ３１５によって従動歯車３１４が回転すると、従動歯車３１４と共に内筒３１２およびボールスプライン３１３が中心軸Ｓ１の廻りに回転する。すると、ボールスプライン３１３に対してボールスプライン溝２１が係合する支持ロッド２が中心軸Ｓ１の廻りに回転することになる。このため、支持ロッド２の先端に固定されている挿入部１が中心軸Ｓ１の廻りに回転する。この結果、挿入部１に設けられたセンサ部１１（超音波センサ１１１）が中心軸Ｓ１の廻りに回転し、管の周方向における欠陥が検査される。
【００６４】
軸方向移動機構３２は、支持ロッド２を管の軸方向に沿って移動させるものである。軸方向移動機構３２は、図４および図５に示すように、内筒３１２の内部において、支持ロッド２を挿通しつつ、当該支持ロッド２のボールネジ溝２２と係合するボールネジナット３２１が設けられている。ボールネジナット３２１は、その後端に、中心軸Ｓ１を中心とした従動歯車３２２が固定されている。この従動歯車３２２は、内筒３１２に固定される軸方向駆動モータ３２３の出力側に設けられたノンバックラッシギアからなる駆動歯車（図示せず）が噛み合っている。また、軸方向移動機構３２は、回転移動機構３１のボールスプライン３１３をその構成に含んでいる。
【００６５】
このように構成される軸方向移動機構３２は、軸方向駆動モータ３２３によって従動歯車３２２が回転すると、従動歯車３２２と共にボールネジナット３２１が中心軸Ｓ１の廻りに回転する。すると、ボールネジナット３２１に対してボールネジ溝２２が係合し、かつボールスプライン３１３に対してボールスプライン溝２１が係合する支持ロッド２が、ボールスプライン３１３によって中心軸Ｓ１の廻りの回転を規制されつつ、ボールネジナット３２１へのボールネジ溝２２の係合によって軸方向に移動する。この結果、挿入部１に設けられたセンサ部１１が軸方向に移動し、管の軸方向における欠陥が検査される。なお、軸方向移動機構３２は、回転移動機構３１によって内筒３１２の回転に伴って共に回転する。
【００６６】
図１５は、本実施の形態に係る検査装置の制御系のブロック図である。上述した検査装置は、センサ部１１（超音波センサ１１１）、センサ移動機構１２の駆動源部１２１（本実施の形態では駆動源部１２１へのエア供給部）や他のセンサ移動機構１２’の駆動源部１２１’、撮像部１３（撮像手段１３１および照明手段１３２）、回転移動機構３１の回転駆動モータ３１５、および軸方向移動機構３２の軸方向駆動モータ３２３が、制御部４に接続されている。なお、図１５において、センサ部１１および駆動源部１２１（１２１’）は、１つのユニット分を示しており、実際は各ユニット分のセンサ部１１および駆動源部１２１が制御部４に接続されている。
【００６７】
制御部４は、マイコンなどで構成され、記憶部４１および演算部４２が接続されている。記憶部４１は、ＲＡＭやＲＯＭなどから構成され、プログラムやデータが格納されている。記憶部４１に格納されるデータは、回転駆動モータ３１５の駆動に伴う支持ロッド２の回転角度（センサ部１１の周方向位置）のデータや、軸方向駆動モータ３２３の駆動に伴う支持ロッド２の軸方向移動量（センサ部１１の軸方向位置）のデータや、駆動源部１２１の駆動によるセンサ部１１の径方向位置のデータがある。また、演算部４２は、センサ部１１の超音波センサ１１１によって検出した超音波（欠陥部に当たって反射した超音波）によって欠陥の大きさや位置などを演算する。また、制御部４は、超音波センサ１１１による検出の際に管の内部に水を注入するための注水ポンプ５が接続されている。なお、図には明示しないが、制御部４は、表示手段が接続されて、演算部４２による演算結果を表示することが可能である。
【００６８】
具体的に、制御部４による検査装置の動作を説明する。この検査装置の動作は、対象の管（例えば、注水管台１０１ｅおよび注水配管１０１ｆの溶接部１０１ｇ）の検査を行い、当該管に欠陥が発生しているか、さらには欠陥部を切削した後の肉盛溶接が適切に行われているかを検査するためのものである。この場合、図４に示すように、対象の管に検査装置を設置する。この際、センサ部１１が径方向内側に移動した状態にあって、先端部１４は、挿入部１や、センサ部１１や、センサ移動機構１２（１２’）や、撮像部１３などの構成よりも外形が大きく、管への挿入部１の挿入において、先端部１４が管の内面に接触することで前記構成を管の内面に接触させずに管の内部に案内することが可能である。また、図には明示しないが、挿入部１を挿入する位置よりも管の内部の奥側（前側）には、水をせき止める栓が予め取り付けられている。
【００６９】
このような状態において、各ユニットの駆動源部１２１（１２１’）によって各センサ部１１を径方向外側に同時に移動させることで、各超音波センサ１１１を管の内面に共に当接させる。その後、注水ポンプ５によって水を注入し、管内面と超音波センサ１１１との間を水で満たす。そして、回転移動機構３１の回転駆動モータ３１５、および軸方向移動機構３２の軸方向駆動モータ３２３を駆動し、挿入部１と共にセンサ部１１（超音波センサ１１１）を中心軸Ｓ１の廻りに回転移動させると共に、挿入部１と共にセンサ部１１を中心軸Ｓ１に沿う軸方向に移動させて管の欠陥を検査する。また、検査が終了した場合、各ユニットの駆動源部１２１（１２１’）によって各センサ部１１を径方向内側に同時に移動させることで、各超音波センサ１１１を管の内面から共に離隔させ、挿入部１を管から取り出す。
【００７０】
このように、本実施の形態の検査装置は、管の内部に挿入される挿入部１と、挿入部１に設けられており管の内部に配置された状態で管の内面に超音波を送信すると共に反射した超音波を受信する超音波センサ１１１と、超音波センサ１１１を管の径方向に移動可能に支持するセンサ支持部１１２、管に沿って往復作動する駆動源部１２１（１２１’）、および駆動源部１２１（１２１’）の往復作動に伴ってセンサ支持部１１２を管の径方向に移動させる移動部１２２（１２２’）を有するセンサ移動機構１２（１２’）と、を備える。
【００７１】
この検査装置によれば、駆動源部１２１（１２１’）が管に沿って往復作動することで移動部１２２（１２２’）が管に沿って移動し、これに伴い超音波センサ１１１を支持するセンサ支持部１１２が管の径方向に移動する。このため、挿入部１を管に挿入するときには、超音波センサ１１１を径方向内側に退避させ、検査の際に超音波センサ１１１を径方向外側に突出させて管の内面に当接させる。この結果、比較的細径の管内部の検査を行うことが可能になる。特に、この検査装置は、駆動源部１２１（１２１’）が管に沿って往復作動し、これに伴って超音波センサ１１１を管の径方向に移動させることから、超音波センサ１１１を管の径方向に移動させるセンサ移動機構１２（１２’）において、管の径方向への大型化を防ぐことができ、装置の小型化を図ることが可能になる。
【００７２】
また、本実施の形態の検査装置では、移動部１２２は、駆動源部１２１の往復作動に伴って管の軸方向に移動しつつ当該軸方向に交差する傾斜によってセンサ支持部１１２を管の径方向に移動させる。
【００７３】
この検査装置によれば、駆動源部１２１が管に沿って往復作動し、移動部１２２の傾斜によって超音波センサ１１１を管の径方向に移動させることから、超音波センサ１１１を管の径方向に移動させるセンサ移動機構１２において、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することが可能になる。
【００７４】
また本実施の形態の検査装置では、移動部１２２’は、駆動源部１２１’の往復作動に伴って管の軸方向に移動するセンサ支持部１１２に取り付けられた線状部材（軸方向移動部）１２２Ａ’と、線状部材１２２Ａ’の方向を管の径方向に変える方向変換手段１２２Ｂａ’とによってセンサ支持部１１２を管の径方向に移動させる。
【００７５】
この検査装置によれば、駆動源部１２１’が管に沿って往復作動し、移動部１２２’の線状部材１２２Ａ’および方向変換手段１２２Ｂａ’によって超音波センサ１１１を管の径方向に移動させることから、超音波センサ１１１を管の径方向に移動させるセンサ移動機構１２’において、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することが可能になる。
【００７６】
また、本実施の形態の検査装置では、駆動源部１２２（１２２’）は、管の軸方向に沿って往復作動する。
【００７７】
この検査装置によれば、管の径方向への大型化を防ぎ、装置の小型化を実現することが可能になる。
【００７８】
また、本実施の形態の検査装置では、センサ支持部１１２は、超音波センサ１１１を傾動可能に支持する傾動機構を有する。具体的に、傾動機構は、超音波センサ１１１を径方向に移動させる径方向傾動機構部と、超音波センサ１１１を軸方向である前後方向に傾動する前後方向傾動機構部と、超音波センサ１１１を管の周方向に傾動する周方向傾動機構部との１つを少なくとも備える。
【００７９】
この検査装置によれば、傾動機構によって超音波センサ１１１を傾動することで、超音波センサ１１１を管の内面に沿わせて配置することが可能であり、より精度良く配管の検査を行うことが可能になる。
【００８０】
また、本実施の形態の検査装置は、超音波センサ１１１が複数設けられ、挿入部１の中心軸Ｓ１の周りに均等に配置されている。
【００８１】
この検査装置によれば、超音波センサ１１１が複数設けられ、挿入部１の中心軸Ｓ１の周りに均等に配置されていることで、径方向外側に移動された各超音波センサ１１１が管の内面に当接した場合に、相互の超音波センサ１１１で管の内面に押し付け合うこととなる。このため、超音波センサ１１１を管の内面に沿わせて配置することが可能であり、より精度良く配管の検査を行うことが可能になる。
【００８２】
また、本実施の形態の検査装置は、挿入部１の挿入端に、径方向内側に移動した状態の超音波センサ１１１やセンサ移動機構１２よりも外形が大きく、かつ管の内部に挿入可能に形成された先端部１４を備える。
【００８３】
検査装置を管に設置する際、挿入部１を管に挿入することになるが、この検査装置によれば、挿入部１の挿入端に先端部１４を備えることで、当該先端部１４によって超音波センサ１１１やセンサ移動機構１２（１２’）などが管の内面に衝突する事態を防ぐことが可能になる。
【００８４】
また、本実施の形態の検査装置は、挿入部１を管の内部に配置する支持ロッド２を備え、当該支持ロッド２を管の軸廻りに回転移動させる回転移動機構３１と、支持ロッド２を管の軸方向に沿って移動させる軸方向移動機構３２とを管の外部に配置してなる。
【００８５】
この検査装置によれば、回転移動機構３１によって支持ロッド２を管の軸廻りに回転移動させることで挿入部１に配置した超音波センサ１１１が管の軸廻りに回転移動するので、管の周方向での検査結果が得られる。また、軸方向移動機構３２によって支持ロッド２を管の軸方向に沿って移動させることで挿入部１に配置した超音波センサ１１１が管の軸方向に沿って移動するので、管の軸方向での検査結果が得られる。そして、これら回転移動機構３１および軸方向移動機構３２を管の外部に配置することで、当該機構を管の内部に配置することなく比較的細径の管内部の検査を行うことが可能になる。
【符号の説明】
【００８６】
１  挿入部
２  支持ロッド
２１  ボールスプライン溝
２２  ボールネジ溝
３  支持ロッド移動部
１１  センサ部
１１１  超音波センサ
１１２  センサ支持部
１１２ａ  基部
１１２ｂ  腕部
１１２ｃ  枠部
１１２ｄ  支軸
１１２ｅ  支軸
１１２ｆ  支軸
１２  センサ移動機構
１２１  駆動源部
１２１ａ  作動子
１２２  移動部
１２２Ａ  軸方向移動部
１２２Ａａ  軸方向レール
１２２Ａｂ  軸方向スライダ
１２２Ｂ  径方向移動部
１２２Ｂａ  径方向レール
１２２Ｂｂ  径方向スライダ
１２２Ｃ  芯部材
１２’  センサ移動機構
１２１’  駆動源部
１２２’  移動部
１２２Ａ’  軸方向移動部（線状部材）
１２２Ｂ’  径方向移動部
１２２Ｂａ’  方向変換手段
１２２Ｂｂ’  径方向レール
１２２Ｂｃ’  径方向スライダ
１２２Ｂｄ’  弾性部材
１３  撮像部
１４  先端部
１５  固定部
３１  回転移動機構
３１１  外筒
３１１ａ  フランジ
３１２  内筒
３１３  ボールスプライン
３１４  従動歯車
３１５  回転駆動モータ
３２  軸方向移動機構
３２１  ボールネジナット
３２２  従動歯車
３２３  軸方向駆動モータ
Ｓ１  中心軸
【図１】
2013057640.tif 000003
【図２】
2013057640.tif 000004
【図３】
2013057640.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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