(57)【要約】【課題】生産する基板の大きさや種類の差異、行うべき作業内容の差異などに依存する多様な生産ニーズに適合したフレキシブルな対応を可能とし、段取り替え時間を大幅に削減し、設備経費を削減する基板用作業装置を提供する。【解決手段】基台２上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品（印刷検査カメラ）５５をそれぞれ有する複数の作業ユニット（印刷検査ユニット）５１と、複数の作業ユニット５１の一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッド（印刷検査ヘッド）４と、基板に平行する上方の水平面内で作業ヘッド４を駆動するヘッド駆動機構３と、作業ヘッド４に保持された作業ユニット５１に対して、作業ヘッド４から非接触方式で給電する非接触給電機構６とを備えた。【選択図】図２
2013239503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品をそれぞれ有する複数の作業ユニットと、
前記複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッドと、
前記基板に平行する上方の水平面内で前記作業ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、
前記作業ヘッドに保持された作業ユニットに対して、前記作業ヘッドから非接触方式で給電する非接触給電機構とを備えた基板用作業装置。
【請求項２】
請求項１において、前記作業ヘッドは、前記複数の作業ユニットの一つを負圧により吸着保持する基板用作業装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記基板のはんだ印刷パターンを撮像する印刷検査カメラを前記電装品として有する印刷検査ユニット、あるいは、前記基板の部品装着状態を撮像する外観検査カメラを前記電装品として有する外観検査ユニットを前記複数の作業ユニットに含む基板用作業装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、供給された部品を吸着して前記基板に装着する装着ノズル、ならびに、前記装着ノズルの状況、前記部品の吸着状況、および前記装着ノズルと前記基板との離隔状況の少なくとも一つを撮像するノズルカメラまたは前記少なくとも一つを確認するノズルセンサを前記電装品として有する部品装着ユニットを前記複数の作業ユニットに含む基板用作業装置。
【請求項５】
請求項３において、前記印刷検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の印刷検査カメラを有し、あるいは、前記外観検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の外観検査カメラを有する基板用作業装置。
【請求項６】
請求項５において、前記複数種類の印刷検査カメラまたは外観検査カメラの撮像性能の差異は、撮像範囲の差異および分解能の差異の少なくとも一方を含む基板用作業装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において、前記電装品は、前記基台に設けられた制御部との間で、前記所定作業を行うために必要な情報を非接触で伝送する非接触伝送部を有する基板用作業装置。
【請求項８】
請求項３〜７のいずれか一項において、
前記印刷検査ユニットまたは前記外観検査ユニットを前記複数の作業ユニットに含み、
前記印刷検査ユニットまたは前記外観検査ユニットが前記作業ヘッドに保持された直後に、前記ヘッド駆動機構により前記印刷検査カメラまたは前記外観検査カメラを前記基台上の所定位置に設けられた基準マーカの上方に移動し、前記印刷検査カメラまたは前記外観検査カメラで前記基準マーカを撮像して位置較正を行う位置較正手段をさらに備えた基板用作業装置。
【請求項９】
基台上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品をそれぞれ有する複数の作業ユニットと、
前記複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッドと、
前記基板に平行する上方の水平面内で前記作業ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、
前記作業ヘッドに吸着保持された作業ユニットに対して、前記作業ヘッドから接触方式で給電する接触給電機構とを備えた基板用作業装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数の部品が実装された基板を生産するために所定作業を行う部品装着装置や基板検査装置などの基板用作業装置に関し、より詳細には、所定作業を行う作業ユニットを交換できる基板用作業装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多数の部品が実装された基板を生産する基板用作業装置として、はんだ印刷装置、部品装着装置、リフロー装置、基板検査装置などがあり、これらを基板搬送装置で連結して基板生産ラインを構築する場合が多い。このうち基板検査装置には、基板のはんだ印刷パターンを検査するはんだ印刷検査装置や、基板の部品実装状態を検査する基板外観検査装置などが有る。これらの基板検査装置は、作業ユニットとして検査カメラを備え、検査対象基板を撮像して画像処理を行い良否判定するのが一般的である。検査対象基板の大きさや判定基準の管理精度などに依存して必要とされる撮像範囲や分解能などが異なるので、基板検査装置は専用機とされ、必要に応じ入れ替えて使用されることがある。
【０００３】
また、部品装着装置は、基板を搬入出する基板搬送装置と、部品を供給する部品供給装置と、部品を装着する装着ヘッドおよびヘッド駆動機構を有する部品移載装置とを備えるのが一般的である。装着ヘッドは、負圧を利用して部品を吸着採取および装着する吸着ノズルを有したノズルホルダを備えている。吸着ノズルは、対象となる部品の大きさや形状に応じて複数の種類が有り、ノズルホルダも複数準備され、各ノズルホルダが有する吸着ノズルの種類や数量も一定ではない。ノズルホルダの取り換えは、人手で行われる場合もあれば、負圧を利用して自動で行われる場合もある。
【０００４】
この種の基板用作業装置の技術例が特許文献１〜４に開示されている。特許文献１のはんだ印刷システムは、はんだを印刷する印刷ユニットと、はんだを吐出して塗布する複数のディスペンサユニットとを備え、はんだを吸引除去する吸引機構を少なくとも一つのディスペンサユニットに設けている。さらに、請求項３では、印刷ユニットと複数のディスペンサユニットとの間に検査ユニット（はんだ印刷検査装置）を配置している。これにより、複数種類のはんだを塗布する基板に柔軟に対応でき、印刷歩留りを向上できるとされており、各ユニットの種々の組合せが可能になっている。
【０００５】
特許文献２の部品実装関連作業機は、基台と、移動ステージと、移動ステージに着脱自在に交換取り付けされる作業ヘッドと、ステージ動作制御手段と、基台に着脱自在に取り付けられる作業設備とを備えている。さらに、作業ヘッドの種類および作業設備の種類を記憶した手段と、作業ヘッドの種類を検出する手段と、作業設備の種類を検出する手段と、記憶した種類と検出した種類との合致を判断する手段と、非合致時に移動ステージの移動動作を規制する手段とを備えている。これにより、作業ヘッドと作業設備の組み合わせのミスに起因する動作不良やエラー停止を防止できる、と記載されている。
【０００６】
また、本願出願人が出願した特許文献３の対基板作業システムは、基板搬送方向に並んで配置された複数の対基板作業機のそれぞれに、作業ヘッドとして塗布ヘッド、実装ヘッド、および検査ヘッドのうち一つを交換可能に装着できるようになっている。これにより、作業の種類が互いに異なる作業ヘッドを交換できて、作業に多様性を持たせることが可能となり、汎用性が向上する。
【０００７】
さらに、本願出願人が出願した特許文献４の電子部品保持装置は、複数の吸着ノズルを保持する複ノズルヘッド（作業ユニット）と、複ノズルヘッドを択一的に保持するヘッド保持部材(作業ヘッド)とを含み、両者の間にヘッド吸着用負圧室を形成することを特徴としている。これにより、部品装着装置において、複ノズルヘッドが負圧によりヘッド保持部材に吸着保持されるので、複ノズルヘッドの取り付けおよび取り外しを自動で行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１０８２００号公報
【特許文献２】特開２０１０−１６０２８号公報
【特許文献３】特開２０１０−４０５９号公報
【特許文献４】特開２００６−２６１３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１のはんだ印刷システムにおいて、生産する基板の種類が切り替わり、検査ユニットで必要とされる撮像範囲や分解能などが変更になる場合には、それぞれの検査ニーズに対応する検査ユニット（はんだ印刷検査装置）が必要になって設備経費がかさんでいた。さらに、多品種生産の基板生産ラインでは、検査ユニットの入れ替えが頻繁に起こりがちであり、入れ替え作業に多大な費用と工数（段取り替え時間）が発生する。なお、はんだ印刷パターンを検査する検査ユニットは、部品装着状態を検査する用途に用いることはできず、それぞれの用途で別の検査ユニットが必要とされていた。
【００１０】
また、特許文献２や特許文献３の装置では、複数の作業ヘッドのうち一つを交換可能に装着できるようになっており、汎用性が向上している。近年では、特許文献３の塗布ヘッド、装着ヘッド、および検査ヘッドに例示されるように、作業ニーズの異なる作業ヘッドを交換可能とした複合作業型の基板用作業装置も実用化されている。しかしながら、作業ヘッドの交換は人手に頼るため、多くの段取り替え時間が発生していた。
【００１１】
この点に関して、特許文献４の装置によれば、複ノズルヘッド(作業ユニット)が負圧によりヘッド保持部材(作業ヘッド)に吸着保持されるので、複ノズルヘッドの取り付けおよび取り外しを自動で行うことができ、人手による交換の手間が不要になる。反面、吸着保持による取り付けでは電源線や信号線の接続が難しく、従来、複ノズルヘッド（作業ユニット）にセンサやカメラなどの電装品を設けることができなかった。具体例として、部品装着ヘッドに交換可能に保持される部品装着ユニットでは、ノズルカメラやノズルセンサは設けられていなかった。そのことにより、装着ノズルの先端部の状況や部品の吸着状況、基板との離隔状況などをリアルタイムで監視することができなかった。
【００１２】
本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたもので、生産する基板の大きさや種類の差異、行うべき作業内容の差異などに依存する多様な生産ニーズに適合したフレキシブルな対応を可能とし、段取り替え時間を大幅に削減し、設備経費を削減する基板用作業装置を提供することを解決すべき課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決する請求項１に係る基板用作業装置の発明は、基台上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品をそれぞれ有する複数の作業ユニットと、前記複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッドと、前記基板に平行する上方の水平面内で前記作業ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、前記作業ヘッドに保持された作業ユニットに対して、前記作業ヘッドから非接触方式で給電する非接触給電機構とを備えた。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記作業ヘッドは、前記複数の作業ユニットの一つを負圧により吸着保持する。
【００１５】
請求項３に係る発明は、請求項１または２において、前記基板のはんだ印刷パターンを撮像する印刷検査カメラを前記電装品として有する印刷検査ユニット、あるいは、前記基板の部品装着状態を撮像する外観検査カメラを前記電装品として有する外観検査ユニットを前記複数の作業ユニットに含む。
【００１６】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか一項において、供給された部品を吸着して前記基板に装着する装着ノズル、ならびに、前記装着ノズルの状況、前記部品の吸着状況、および前記装着ノズルと前記基板との離隔状況の少なくとも一つを撮像するノズルカメラまたは前記少なくとも一つを確認するノズルセンサを前記電装品として有する部品装着ユニットを前記複数の作業ユニットに含む。
【００１７】
請求項５に係る発明は、請求項３において、前記印刷検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の印刷検査カメラを有し、あるいは、前記外観検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の外観検査カメラを有する。
【００１８】
請求項６に係る発明は、請求項５において、前記複数種類の印刷検査カメラまたは外観検査カメラの撮像性能の差異は、撮像範囲の差異および分解能の差異の少なくとも一方を含む。
【００１９】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６のいずれか一項において、前記電装品は、前記基台に設けられた制御部との間で、前記所定作業を行うために必要な情報を非接触で伝送する非接触伝送部を有する。
【００２０】
請求項８に係る発明は、請求項３〜７のいずれか一項において、前記印刷検査ユニットまたは前記外観検査ユニットを前記複数の作業ユニットに含み、前記印刷検査ユニットまたは前記外観検査ユニットが前記作業ヘッドに保持された直後に、前記ヘッド駆動機構により前記印刷検査カメラまたは前記外観検査カメラを前記基台上の所定位置に設けられた基準マーカの上方に移動し、前記印刷検査カメラまたは前記外観検査カメラで前記基準マーカを撮像して位置較正を行う位置較正手段をさらに備えた。
【００２１】
請求項９に係る基板用作業装置の発明は、基台上に位置決めされた基板に対向して所定作業を行うための電装品をそれぞれ有する複数の作業ユニットと、前記複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する作業ヘッドと、前記基板に平行する上方の水平面内で前記作業ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、前記作業ヘッドに吸着保持された作業ユニットに対して、前記作業ヘッドから接触方式で給電する接触給電機構とを備えた。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に係る基板用作業装置の発明では、作業ヘッドは複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持するとともに、作業ヘッドから作業ユニットに対して、例えば電磁誘導による非接触方式で給電できる。したがって、生産する基板の大きさや種類の差異、行うべき作業内容の差異などに依存する多様な生産ニーズに適合したフレキシブルな対応が可能になる。また、作業ユニットの交換を自動で行うので、人手による段取り替え時間を大幅に削減できる。さらに、多様な生産ニーズに対して作業ユニットのみを複数個準備すればよいので、専用の基板用作業装置を多数保有する必要が無くなり、設備経費を削減できる。
【００２３】
請求項２に係る発明では、作業ヘッドは複数の作業ユニットの一つを負圧により吸着保持するので、簡易な構成で作業ユニットの確実な自動交換を実現できる。特に、部品装着装置では、部品を吸着採取するために従来から設けられている負圧発生機構を兼用できるので、簡易な構成の効果が顕著になる。
【００２４】
請求項３に係る発明では、はんだ印刷検査装置および基板外観検査装置において、検査対象となる基板の大きさや種類、行うべき検査内容に合わせてはんだ印刷検査ユニットまたは基板外観検査ユニットを自動交換できるとともに、印刷検査カメラまたは外観検査カメラに非接触方式で給電できる。したがって、検査ユニットの交換に要する段取り替え時間を大幅に削減でき、また、専用の基板検査装置を複数台保有する必要が無くなり、設備経費を削減できる。
【００２５】
請求項４に係る発明では、装着ノズルと、ノズルカメラまたはノズルセンサとを有する部品装着ユニットを複数の作業ユニットに含んでいる。つまり、部品装着装置において、装着する部品の大きさや種類、個数に合わせて部品装着ユニットを自動交換できるとともに、ノズルカメラまたはノズルセンサに非接触方式で給電できる。これにより、装着ノズルの先端部の状況や部品の吸着状況、基板との離隔状況などをリアルタイムで監視できる。リアルタイムの監視は自動交換される部品装着ユニットでは従来困難とされており、本発明により作業の信頼性が向上する。また、部品装着ユニットの交換に要する段取り替え時間を大幅に削減できるとともに、専用の部品装着装置を複数台保有する必要が無くなって設備経費を削減できる。さらには、部品装着ユニットとはんだ印刷検査ユニットとの自動交換や、部品装着ユニットと基板外観検査ユニットとの自動交換も可能になり、複合作業型の基板用作業装置でも顕著な効果が生じる。
【００２６】
請求項５に係る発明では、印刷検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の印刷検査カメラを有し、あるいは、外観検査ユニットは撮像性能が異なる複数種類の外観検査カメラを有している。そして、請求項６に係る発明では、複数種類の印刷検査カメラまたは外観検査カメラの撮像性能の差異は、撮像範囲の差異および分解能の差異の少なくとも一方を含んでいる。つまり、一つの検査ユニットが少なくとも撮像範囲または分解能の異なる複数の検査カメラを有している。したがって、検査ユニットを交換することなくいずれかの検査カメラを選択使用することで、検査対象となる基板の大きさや種類、行うべき検査内容などが異なる多様な検査ニーズに適合できる。さらに、検査カメラの選択使用と検査ユニットの自動交換とを併用することで、一層フレキシブルな対応が可能になる。
【００２７】
請求項７に係る発明では、電装品は、制御部との間で所定作業を行うために必要な情報を非接触で伝送する非接触伝送部を有する。したがって、電源供給だけでなく情報伝送も非接触化でき、簡易な構成で作業ユニットの確実な自動交換を実現できる。
【００２８】
請求項８に係る発明では、はんだ印刷検査ユニットまたは基板外観検査ユニットが交換されて作業ヘッドに保持された直後に位置較正を行うことができる。したがって、はんだ印刷検査ユニットまたは基板外観検査ユニットの交換時に仮に取り付け誤差が発生していても、ヘッド駆動機構は取り付け誤差をキャンセルして位置制御性能を高く維持できる。
【００２９】
請求項９に係る基板用作業装置の発明では、作業ヘッドは複数の作業ユニットの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持するとともに、作業ヘッドから作業ユニットに対して、例えば導体相互間の圧接などによる接触方式で給電できる。したがって、生産する基板の大きさや種類の差異、行うべき作業内容の差異などに依存する多様な生産ニーズに適合したフレキシブルな対応が可能になる。また、作業ユニットの交換を自動で行うので、人手による段取り替え時間を大幅に削減できる。さらに、多様な生産ニーズに対して作業ユニットのみを複数個準備すればよいので、専用の基板用作業装置を多数保有する必要が無くなり、設備経費を削減できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態のはんだ印刷検査装置を模式的に説明する図である。
【図２】第１実施形態において、印刷検査ヘッドが第１の印刷検査ユニットを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。
【図３】第２実施形態の部品装着装置を模式的に説明する図である。
【図４】第２実施形態において、部品装着ヘッドが第１の部品装着ユニットを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。
【図５】第３実施形態において、印刷検査ヘッドが印刷検査ユニットを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。
【図６】第４実施形態において、部品装着ヘッドが部品装着ユニットを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。
【図７】第５実施形態のはんだ印刷検査装置を模式的に説明する図である。
【図８】第５実施形態において、印刷検査ヘッドが第２の印刷検査ユニットを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。
【図９】応用形態のはんだ印刷検査装置において、印刷検査ヘッドが二種類の印刷検査カメラを有した状態を模式的に示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明の第１実施形態の基板用作業装置であるはんだ印刷検査装置１について、図１および図２を参考にして説明する。図１は、第１実施形態のはんだ印刷検査装置１を模式的に説明する図である。はんだ印刷検査装置１は、基板Ｋ上のペースト状はんだの印刷パターンを検査する装置である。はんだ印刷検査装置１は、基台２、ヘッド駆動機構３、印刷検査ヘッド４、４個の印刷検査ユニット５１〜５４、および非接触給電機構６などで構成されている。
【００３２】
基台２は、各部を配設するための筐体であり、堅牢に形成されている。基台２上の所定位置には、位置較正を行うときに基準となる基準マーカＭが設けられている。基台２には印刷検査ユニット５１〜５４を保管するための保管位置が４箇所設けられ、そのうちの３箇所に印刷検査ユニット５２〜５４が載置されている。基台２の上面には、基板搬送装置２１が配設されている。基板搬送装置２１は、基板Ｋを基台２の一側方から搬入し、所定の印刷検査位置に位置決めし、検査終了後には他側方に搬出する。基板搬送装置２１には、例えば、本願出願人が特許文献３に記載したコンベヤ装置や、特許文献４に記載した基板搬送装置を応用でき、これら以外の公知の装置とすることもできるので、詳細な説明は省略する。
【００３３】
ヘッド駆動機構３は、基台２の上面に立設され、基板搬送装置２１の上方に延在している。ヘッド駆動機構３は、基板Ｋに平行する上方の水平面内で印刷検査ヘッド４を駆動し、さらに印刷検査ヘッド４を上下方向にも駆動するようになっている。ヘッド駆動機構３には、例えば、特許文献３に記載したヘッド移動装置や、特許文献４に記載した電子部品保持装置移動装置を応用でき、これら以外の公知の装置とすることもできるので、詳細な説明は省略する。
【００３４】
また、基台２には制御部２２が配設されている（図２参照）。制御部２２は、制御演算用のマイコンおよび入出力用のインターフェースを備え、ソフトウェアで動作する電子制御装置である。制御部２２は、検査対象となる基板Ｋの種類や大きさ、基板Ｋ上のはんだ印刷パターンの配置や検査手順に関する情報、合否判定の方法および判定基準、基準マーカＭの座標値など、検査に必要な情報を予め保持している。制御部２２は、基板搬送装置２１やヘッド駆動機構３の動作、後述する印刷検査ユニット５１〜５４の自動交換およびその直後の位置較正の動作、印刷検査カメラ５５の撮像動作などを制御する。さらに、制御部２２は、印刷検査カメラ５５から受け取った撮像データを画像処理して判定基準と比較照合し、基板Ｋのはんだ印刷パターンの合否を判定する。
【００３５】
印刷検査ヘッド４は、４個の印刷検査ユニット５１〜５４のうちの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する。図２は、第１実施形態において、印刷検査ヘッド４が第１の印刷検査ユニット５１を保持した状態を模式的に示す部分断面図である。図示されるように、印刷検査ヘッド４は、印刷検査ユニットの一つ（５１〜５４のいずれか）を負圧により吸着保持するために、負圧室４１、負圧発生部４２、連通路４３、および図略の正圧発生部を有している。
【００３６】
負圧室４１は、印刷検査ヘッド４の底面に、下向きに開口するように形成されている。図２には負圧室４１が２室例示されており、その室数は限定されず、環状の１室や、３室以上であってもよい。負圧発生部４２および正圧発生部は、例えば、図略の電動エアポンプを用いて構成されている。つまり、電動エアポンプの吸込側および吐出側にそれぞれ閉鎖室を設けてエアを圧送し、吸込側の閉鎖室を負圧発生部４１とし、吐出側の閉鎖室を正圧発生部とすることができる。つくられた負圧および正圧は、図略の開閉弁により選択され、連通路４３を経由して負圧室４１に供給されるようになっている。
【００３７】
４個の印刷検査ユニット５１〜５４の上面は平らな被吸着面５７とされており、印刷検査ヘッド４の負圧室４１が接近して負圧になると、自動的に吸着保持されるようになっている。印刷検査ユニット５１〜５４はそれぞれ、底面に下向きに配置された印刷検査カメラ５５を電装品として有している。印刷検査カメラ５５は、基板Ｋのはんだ印刷パターンの全体または検査対象領域を１回で撮像し、あるいは、検査対象領域を分割し複数回に分けて撮像する。
【００３８】
印刷検査カメラ５５は、非接触伝送部としての無線通信部５６を有している。一方、基台２に配設されている制御部２２は、図略の無線通信部を有している。これにより、制御部２２と印刷検査カメラ５５との間で、双方向の無線通信による非接触伝送が行われる。具体的に、制御部２２から印刷検査カメラ５５へと、各種の撮像条件や撮像タイミングなどの指令情報が非接触伝送される。逆に、印刷検査カメラ５５から制御部２２へと、撮像データや撮像の進行状況を示す各種フラグ情報などが非接触伝送される。
【００３９】
非接触給電機構６は、印刷検査ヘッド４に吸着保持された印刷検査ユニット５１に対して、印刷検査ヘッド４から電磁誘導による非接触方式で給電するものである。非接触給電機構６は、印刷検査ヘッド４に設けられた非接触給電用素子６１、基台２に設けられた高周波電源回路６２、各印刷検査ユニット５１〜５４に設けられた非接触受電用素子６５および受電回路６６などで構成されている。
【００４０】
非接触給電用素子６１は、導体が巻回されて形成されたコイルであり、印刷検査ヘッド４の中央の下方寄りに配設されている。高周波電源回路６２は、基台２に配設されており、非接触給電用素子６１に高周波電圧を出力する。高周波電源回路６２の出力周波数は１００ｋＨｚ〜ＭＨｚ帯を例示でき、出力電圧波形として正弦波や矩形波などを例示できる。基台２に対して印刷検査ヘッド４が移動しても支障が生じないように、高周波電源回路６２と非接触給電用素子６１との間は可撓性を有して変形可能な給電線６３により電気接続されている。
【００４１】
非接触受電用素子６５は、導体が巻回されて形成されたコイルであり、印刷検査ユニット５１の中央の上方寄りに配設されている。図２に示されるように、印刷検査ユニット５１が印刷検査ヘッド４に吸着保持された状態で、非接触給電用素子６１と非接触受電用素子６５とは、わずかな離隔距離を有して対向配置される。これにより、両者６１、６５の間は、大きな相互誘導係数で電磁的に結合される。
【００４２】
受電回路６６は、印刷検査ユニット５１の内部に配設され、受電線６７で非接触受電用素子６５に電気接続されている。受電回路６６は、非接触受電用素子６５から入力された高周波電力を変成する。受電回路６６には、例えばインバータを用いることができ、入力された高周波電力を、印刷検査カメラ５５に必要とされる電源電圧、例えば直流電圧または商用周波交流電圧に変換して出力する。受電回路６６の出力は、出力線６８により印刷検査カメラ５５に給電される。
【００４３】
４個の印刷検査ユニット５１〜５４で、被吸着面５７、非接触受電用素子６５、および受電回路６６には共通の構造が採用されている。一方、印刷検査カメラ５５の撮像範囲や分解能はユニット５１〜５４相互間で異なっているため、検査対象となる基板Ｋの大きさや判定基準の管理精度などに依存して、印刷検査ユニット５１〜５４は適宜交換して用いられる。なお、印刷検査カメラ５５の違いは、白黒撮影とカラー撮影との違いや、撮像速度の違いなどであってもよい。
【００４４】
上述した非接触給電機構６によれば、高周波電源回路６２が高周波電圧を出力すると、非接触給電用素子６１に高周波電流が流れて高周波磁界が形成される。高周波磁界は非接触受電用素子６５に鎖交して高周波電圧を誘起し、非接触受電用素子６５から受電回路６６に高周波電力が入力される。これにより、受電回路６６は、直流電圧または商用周波交流電圧を出力して、印刷検査カメラ５５を駆動できる。
【００４５】
また、印刷検査ユニット５１〜５４が交換された直後には、位置較正手段によって位置較正が行われる。第１実施形態において、位置較正手段は、制御部２２のソフトウェアにより実現されている。印刷検査ユニット５１〜５４が作業ヘッド４に保持された直後に、制御部２２は、ヘッド駆動機構３に指令を発して、印刷検査カメラ５５を基準マーカＭの座標値まで移動させる。印刷検査カメラ５５が基準マーカＭの真上に移動すると、制御部２２は、印刷検査カメラ５５に指令を発し、基準マーカＭを撮像して撮像データを転送させる。制御部２２は、撮像データから読み取った基準マーカＭの位置が本来の座標値から偏移していれば、その偏移量を取り付け誤差として保持し、以降のヘッド駆動機構３の位置制御に反映する。
【００４６】
上述のように構成された第１実施形態のはんだ印刷検査装置１によれば、検査対象となる基板Ｋの大きさや種類、行うべき検査内容に合わせてはんだ印刷検査ユニット５１〜５４を自動交換できるとともに、印刷検査カメラ５５に電磁誘導を用いた非接触方式で給電できる。したがって、多様な検査ニーズにフレキシブルに対応できるとともに、はんだ印刷検査ユニット５１〜５４の交換に要する段取り替え時間を大幅に削減できる。また、専用のはんだ印刷検査装置を複数台保有する必要が無くなり、設備経費を削減できる。
【００４７】
また、印刷検査ヘッド５は複数の印刷検査ユニット５１〜５４の一つを負圧により吸着保持するので、簡易な構成で印刷検査ユニッ５１〜５４の確実な自動交換を実現できる。さらに、印刷検査ユニット５１〜５４の印刷検査カメラ５５は、制御部２２との間で所定の検査を行うために必要な情報を非接触で伝送する無線通信部５６を有する。したがって、電源供給だけでなく情報伝送も非接触化でき、簡易な構成で印刷検査ユニッ５１〜５４の確実な自動交換を実現できる。また、印刷検査ユニット５１〜５４が作業ヘッド４に保持された直後に位置較正を行うので、仮に取り付け誤差が発生していても、ヘッド駆動機構３は取り付け誤差をキャンセルして位置制御性能を高く維持できる。
【００４８】
なお、第１実施形態を応用して基板外観検査装置を構成することができる。すなわち、第１実施形態の印刷検査ヘッド４に代えて外観検査ヘッドを用い、４個の印刷検査ユニット５１〜５４に代えて複数の外観検査ユニットを用いることで、本発明を実施した基板外観検査装置を構成できる。
【００４９】
次に、第２実施形態の基板用作業装置である部品装着装置７について、図３および図４を参考にして、第１実施形態と異なる点を主に説明する。図３は、第２実施形態の部品装着装置７を模式的に説明する図である。部品装着装置７は、図略の部品供給装置から供給された部品を吸着して基板Ｋに装着する装置である。部品装着装置７は、基台２、ヘッド駆動機構３、部品装着ヘッド８、４個の部品装着ユニット９１〜９４および非接触給電機構６などで構成されている。
【００５０】
基台２は、各部を配設するための筐体であり、堅牢に形成されている。基台２には保管位置が４箇所設けられ、そのうちの３箇所に部品装着ユニット９２〜９４が載置されている。基台２の上面には、基板搬送装置２１が設けられている。ヘッド駆動機構３は、基台２の上面に立設され、基板搬送装置２１の上方に延在している。ヘッド駆動機構３は、基板Ｋに平行する上方の水平面内で部品装着ヘッド８を駆動する。また、基台２には制御部２２が配設されている（図４参照）。制御部２２は、生産する基板Ｋの種類や大きさ、装着する部品の種類、大きさ、形状や基板Ｋ上の装着座標値、装着順序など、部品の装着に必要な情報を予め保持している。制御部２２は、基板搬送装置２１やヘッド駆動機構３の動作、後述する部品装着ユニット９１〜９４の自動交換などを制御し、さらに、後述するノズルセンサ９７から非接触伝送された部品吸着状況を参照しながら部品装着動作を進める。
【００５１】
部品装着ヘッド８は、４個の部品装着ユニット９１〜９４のうちの一つを自動で取り付けおよび取り外し可能に保持する。図４は、第２実施形態において、部品装着ヘッド８が第１の部品装着ユニット９１を保持した状態を模式的に示す部分断面図である。図示されるように、部品装着ヘッド８は、部品を負圧により吸着保持するために負圧発生部８２、ユニット連通路８５、および図略の正圧発生部を有している。さらに、部品装着ヘッド８は、部品装着ユニットの一つ（９１〜９４のいずれか）を負圧により吸着保持するために、負圧室８１および連通路８３を有し、負圧発生部８２および正圧発生部を兼用で用いるようになっている。
【００５２】
負圧室８１は、部品装着ヘッド８の底面に、下向きに開口するように形成されている。負圧発生部８２および正圧発生部は、例えば、図略の電動エアポンプを用いて構成することができる。つくられた負圧および正圧は、図略の開閉弁により選択制御され、ユニット連通路８５を経由して部品装着ユニット９１に供給されるとともに、連通路８３を経由して負圧室８１に供給されるようになっている。
【００５３】
４個の部品装着ユニット９１〜９４はそれぞれ、基板Ｋに部品を装着するための装着ノズル９５を下向きに有している。図４には、第１の部品装着ユニット９１に装着ノズル９５が２個設けられた構成が例示されている。各装着ノズル９５にはノズル連通路９６の一端が連通しており、ノズル連通路９６の他端は、部品装着ユニット９１の上面に開口している。各部品装着ユニット９１〜９４の上面は平らな被吸着面９９とされており、印刷検査ヘッド８の負圧室８１が接近して負圧になると、自動的に吸着保持されるようになっている。このとき、部品装着ユニット９１のノズル連通路９６と部品装着ヘッド８のユニット連通路８５とが連通して、装着ノズル９５に負圧および正圧が供給される。
【００５４】
また、各部品装着ユニット９１〜９４にはそれぞれ、電装品のノズルセンサ９７が設けられている。ノズルセンサ９７は、検査光９７Ｌ（図４に破線で示す）を水平方向に発光する発光部９７Ｓ、および検査光９７Ｌを受光する受光部９７Ｒで構成されている。発光部９７Ｓおよび受光部９７Ｒは、部品装着ユニット９１の下面の外周寄りから下向きに立設された一対の棒状のセンサ座９８の下方寄りに取り付けられ、装着ノズル９５の先端部９５Ｔを挟んで対向配置されている。ノズルセンサ９７は、装着ノズル９５が先端部９５Ｔで部品を吸着採取すると検査光９７Ｌが遮光され、これを受光部９７Ｒで検出するようになっている。
【００５５】
受光部９７Ｒは、非接触伝送部としての無線光ＬＡＮ発信部（図略）を有している。一方、基台２に配設された制御部２２は、無線光ＬＡＮ受信部（図略）を有している。これにより、ノズルセンサ９７の受光部９７Ｒから制御部２２へと光が空中を伝搬して、装着ノズル９５の部品吸着状況が非接触伝送される。制御部２２は、伝送された部品吸着状況を参照しながら部品装着動作を進める。
【００５６】
非接触給電機構６は、部品装着ヘッド８に吸着保持された部品装着ユニット９１に対して、部品装着ヘッド８から電磁誘導による非接触方式で給電するものである。非接触給電機構６を構成する非接触給電用素子６１、高周波電源回路６２、非接触受電用素子６５、および受電回路６６などの構造および作用は第１実施形態と概ね同様であり、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。第２実施形態において、受電回路６６はノズルセンサ９７に必要とされる直流電圧または商用周波交流電圧を出力し、出力線６８を経由してノズルセンサ９７の発光部９７Ｓおよび受光部９７Ｒにそれぞれ給電する。
【００５７】
４個の部品装着ユニット９１〜９４で、被吸着面９９、非接触受電用素子６５、および受電回路６６には共通の構造が採用されている。一方、装着ノズル９５の数量や装着ノズル９５の大きさ、ノズルセンサ９７などはユニット９１〜９４相互間で異なっているため、装着する部品の大きさや種類に応じて、部品装着ユニット９１〜９４は適宜交換して用いられる。
【００５８】
第２実施形態の部品装着装置７によれば、装着する部品の大きさや種類に応じて部品装着ユニット９１〜９４を自動交換できるとともに、ノズルセンサ９７に電磁誘導を用いた非接触方式で給電できる。したがって、多様な装着ニーズにフレキシブルに対応できるとともに、部品装着ユニット９１〜９４の交換に要する段取り替え時間を大幅に削減できる。また、専用の部品装着装置を複数台保有する必要が無くなり、設備経費を削減できる。
【００５９】
また、部品装着ヘッド８は複数の部品装着ユニット９１〜９４の一つを負圧により吸着保持する。このとき、負圧発生機構として、装着ノズル９５が部品を吸着採取するための負圧発生部８２および正圧発生部を兼用するので、簡易な構成で部品装着ユニット９１〜９４の確実な自動交換を実現できる。さらに、部品装着ユニット９１〜９４のノズルセンサ９７の受光部９７Ｒは、制御部２２との間で所定の装着動作を行うために必要な情報を非接触で伝送する無線光ＬＡＮ発信部を有する。したがって、電源供給だけでなく情報伝送も非接触化でき、簡易な構成で部品装着ユニット９１〜９４の確実な自動交換を実現できる。
【００６０】
なお、部品装着ユニット９１〜９４が有する電装品はノズルセンサ９７に限定されず、装着ノズル９５の先端部９５Ｔを側方から撮像するノズルカメラや、装着ノズル９５の先端部９５Ｔと基板Ｋとの離隔状況を確認するタッチダウンセンサなどであってもよい。
【００６１】
また、部品装着ユニット９１〜９４のいずれかに代えて、第１実施形態で説明した印刷検査ユニット５１を用いたり、外観検査ユニットを用いたりすることもできる。このように、部品装着および検査の二つの作業を行える複合作業型の基板用作業装置として本発明を実施しても、顕著な効果が生じる。
【００６２】
次に、第３実施形態の基板用作業装置であるはんだ印刷検査装置１Ａについて、図５を参考にして，第１実施形態と異なる点を主に説明する。図５は、第３実施形態において、印刷検査ヘッド４Ａが印刷検査ユニット５１Ａを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。図示されるように、第３実施形態では、印刷検査ヘッド４Ａが印刷検査ユニット５１Ａを保持する構成が第１実施形態と異なり、その他の部分の構成は第１実施形態と同様である。
【００６３】
第３実施形態において、印刷検査ヘッド４Ａは、複数の保持フィンガ４５を備えている。保持フィンガ４５は略棒状の部材であり、上方の基端は内向きに折り曲げられて枢支部４６が形成されている。枢支部４６は、印刷検査ヘッド４Ａの外周の概ね中間高さに揺動可能に枢支されている。保持フィンガ４５の下方は、印刷検査ヘッド４Ａの底面を越えて下方に延び、その先端には内向きに突出した鋭角断面状の係合爪４７が形成されている。係合爪４７の上側は概ね水平面であり、係合爪４７の下側は丸みを帯びた傾斜底面になっている。
【００６４】
保持フィンガ４５は、図略の付勢部材により印刷検査ヘッド４Ａの外周面に沿うように内向きに常時付勢され、図略の電動開放機構が動作すると枢支部４６を中心にして外向きに揺動し、八の字状に開くようになっている。図５には、保持フィンガ４５の付勢された常態が実線で示され、外向きに揺動した状態が破線で示されている。
【００６５】
一方、印刷検査ユニット５１Ａの外周面の上方寄りには、各保持フィンガ４５の係合爪４７が係入する鋭角断面状の係合孔５９が複数形成されている。係合孔５９の孔形状は、係合爪４７の外形形状に概ね一致している。
【００６６】
印刷検査ヘッド４Ａに印刷検査ユニット５１Ａを取り付けるときには、保管位置で静止している印刷検査ユニット５１Ａに対して真上から印刷検査ヘッド４Ａを下降させる。すると、印刷検査ユニット５１Ａの上側の外周が保持フィンガ４５に当接し、係合爪４７の丸みを帯びた傾斜底面を付勢部材に抗して押し拡げるので、保持フィンガ４５は揺動し始める。印刷検査ヘッド４Ａがさらに下降すると、保持フィンガ４５が八の字状に開き、最終的に係合爪４７と係合孔５９の高さが揃って係合爪４７が係合孔５９に係入し、図５に示される保持状態に到達する。
【００６７】
また、印刷検査ヘッド４Ａが保持している印刷検査ユニット５１Ａを取り外すときには、印刷検査ユニット５１Ａの保管位置に移動して電動開放機構を動作させる。すると、保持フィンガ４５が八の字状に開いて印刷検査ユニット５１Ａが解放されるので、電動開放機構を動作させたままで印刷検査ヘッド４を上昇させ、印刷検査ユニット５１Ａから離脱させる。
【００６８】
第３実施形態において、印刷検査ユニット５１Ａを保持する構成が第１実施形態と異なるが、第１実施形態と同様の作用および効果が生じる。
【００６９】
次に、第４実施形態の基板用作業装置である部品装着装置７Ｂについて、図６を参考にして、第２実施形態と異なる点を主に説明する。図６は、第４実施形態において、部品装着ヘッド８Ｂが部品装着ユニット９１Ｂを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。図示されるように、第４実施形態では、非接触給電機構６に代えて接触給電機構１０が用いられており、その他の部分の構成は第２実施形態と同様である。接触給電機構１０は、基台２に設けられた電源回路１１、部品装着ヘッド８Ｂに設けられた一対の接触給電用端子１３、部品装着ユニット９１Ｂに設けられた一対の接触受電用端子１６などで構成されている。
【００７０】
電源回路１１は、基台２に配設されており、部品装着ユニット９１Ｂのノズルセンサ９７に必要とされる直流電圧または商用周波交流電圧を直接に出力する。一対の接触給電用端子１３は、部品装着ヘッド８Ｂの中央の下方寄りに並んで配設され、給電線１２により電源回路１１に接続されている。また、接触給電用端子１３はそれぞれ、螺旋形状の付勢ばね１４により下方に付勢され、外力が加えられていないときには部品装着ヘッド８Ｂの底面よりも下方に突出している。
【００７１】
一方、部品装着ユニット９１Ｂの中央の上面には、一対の接触受電用端子１６が並んで配設されている。接触受電用端子１６は、受電線１７によりノズルセンサ９７の発光部９７Ｓおよび受光部９７Ｒにそれぞれ接続されている。
【００７２】
図６に示されるように、部品装着ユニット９１Ｂが部品装着ヘッド８Ｂに吸着保持された状態で、接触受電用端子１６は、付勢ばね１４に抗して接触給電用端子１３に圧接される。これにより、接触給電用端子１３と接触受電用端子１６との間が電気的に導通する。上述した接触給電機構１０によれば、電源回路１１からノズルセンサ９７へと直接に給電することができる。なお、付勢ばね１４の付勢力は、負圧室８１による部品装着ユニット９１Ｂの吸着保持を阻害する程には過大でなく、接触給電用端子１３と接触受電用端子１６との間の導通を安定させる程度に大きく設定されている。
【００７３】
第４実施形態において、部品装着ユニット９１Ｂへの給電機構が第２実施形態と異なるが、第２実施形態と同様の作用および効果が生じる。
【００７４】
次に、第５実施形態の基板用作業装置であるはんだ印刷検査装置１Ｃについて、図７および図８を参考にして，第１実施形態と異なる点を主に説明する。図７は、第５実施形態のはんだ印刷検査装置１Ｃを模式的に説明する図である。また、図８は、第５実施形態において、印刷検査ヘッド４が第２の印刷検査ユニット５２Ｃを保持した状態を模式的に示す部分断面図である。第５実施形態において、第２の印刷検査ユニット５２Ｃが第１実施形態と異なり、他の部位は第１実施形態と同一である。
【００７５】
図７および図８に示される第５実施形態において、第２の印刷検査ユニット５２Ｃは、底面に下向きに並んで配置された種類の異なる二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２を電装品として有している。二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２は、互いに撮像性能が異なり、一方の印刷検査カメラ５５Ｃ１は撮像範囲が狭くて分解能が精細であり、他方の印刷検査カメラ５５Ｃ２は撮像範囲が相対的に広くて分解能が相対的に粗い。二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２はそれぞれ、非接触伝送部としての無線通信部５６Ｃ１、５６Ｃ２を有し、受電回路６６から出力線６８Ｃ１、６８Ｃ２を介して給電される。二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２は、検査ニーズに合わせて選択使用される。
【００７６】
第５実施形態のはんだ印刷検査装置１Ｃによれば、検査対象となる基板Ｋの大きさや種類、行うべき検査内容に合わせて、第２のはんだ印刷検査ユニット５２Ｃの二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２を選択使用でき、多様な検査ニーズに適合できる。さらに、検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２の選択使用と、検査ユニット５１、５２Ｃ、５３、５４の自動交換とを併用することで、一層フレキシブルな対応が可能になる。なお、特定の検査ユニットが二つの検査カメラを有する構成は、基板外観検査装置にも応用できる。
【００７７】
また、第５実施形態を応用して、図９に示されるはんだ印刷検査装置１Ｘを構成することもできる。図９は、応用形態のはんだ印刷検査装置１Ｘにおいて、印刷検査ヘッド４Ｘが二種類の印刷検査カメラ５５Ｘ１、５５Ｘ２を有した状態を模式的に示す部分断面図である。応用形態の全体構成は図１に示される第１実施形態に類似しており、印刷検査ヘッド４Ｘに二種類の印刷検査カメラ５５Ｘ１、５５Ｘ２Ｃ２が直接的に設けられ、着脱可能な印刷検査ユニットを備えない点が異なる。二種類の印刷検査カメラ５５Ｘ１、５５Ｘ２Ｃ２は、互いに撮像性能が異なり、一方の印刷検査カメラ５５Ｘ１は撮像範囲が狭くて分解能が精細であり、他方の印刷検査カメラ５５Ｘ２は撮像範囲が相対的に広くて分解能が相対的に粗い。
【００７８】
二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２はそれぞれ、非接触伝送部としての無線通信部５６Ｘ１、５６Ｘ２を有し、基台２に配設されている制御部２２との間で、双方向の無線通信による非接触伝送が行われる。なお、無線通信に限定されず、通信線を用いた接触伝送を行うようにしてもよい。また、二つの印刷検査カメラ５５Ｃ１、５５Ｃ２はそれぞれ、基台２に設けられた直流電源回路６２Ｘから電源線６８Ｘ１、６８Ｘ２を介して給電される。二つの印刷検査カメラ５５Ｘ１、５５Ｘ２は、検査ニーズに合わせて選択使用される。
【００７９】
応用形態のはんだ印刷検査装置１Ｘでは、検査ユニットを交換せずとも複数の検査カメラを選択使用でき、無線または有線による情報伝送と有線による給電とが組み合わせられて装置１Ｘが構成されている。このため、検査対象となる基板Ｋの大きさや種類、行うべき検査内容に合わせて、二つの印刷検査カメラ５５Ｘ１、５５Ｘ２を選択使用でき、多様な検査ニーズに適合できる効果が生じる。
【００８０】
なお、第１〜第３、および第５実施形態において、非接触給電機構６は電磁誘導によるものとしたが、これに限定されず静電結合や磁界共鳴などを用いた非接触給電機構であってもよい。本発明は、その他にも様々な応用や変形が可能である。
【符号の説明】
【００８１】
１、１Ａ、１Ｃ、１Ｘ：はんだ印刷検査装置（基板用作業装置）
２：基台    ２１：基板搬送装置    ２２：制御部
３：ヘッド駆動機構
４、４Ａ、４Ｘ：印刷検査ヘッド    ４１：負圧室    ４２：負圧発生部
４３：連通路    ４５：保持フィンガ    ４６：枢支部    ４７：係合爪
５１〜５４、５１Ａ、５２Ｃ：印刷検査ユニット
５５、５５Ｃ１、５５Ｃ２、５５Ｘ１、５５Ｘ２：印刷検査カメラ
５６、５６Ｃ１、５６Ｃ２、５６Ｘ１、５６Ｘ２：無線通信部（非接触伝送部）
５７：被吸着面    ５９：係合孔
６：非接触給電機構    ６１：非接触給電用素子
６２：高周波電源回路    ６５：非接触受電用素子    ６６：受電回路
７、７Ｂ：部品装着装置（基板用作業装置）
８、８Ｂ：部品装着ヘッド    ８１：負圧室    ８２：負圧発生部
８３：連通路    ８５：ユニット連通路
９１〜９４、９１Ｂ：部品装着ユニット    ９５：装着ノズル  ９６：ノズル連通路
９７：ノズルセンサ    ９７Ｓ：発光部    ９７Ｒ：受光部    ９９：被吸着面
１０：接触給電機構    １１：電源回路
１３：接触給電用端子    １６：接触受電用端子
Ｋ：基板    Ｍ：基準マーカ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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