(57)【要約】【課題】透明導電膜の電気特性向上のために行われる高温処理を行っても、透明電極層に割れ、シワ、ムラ、ハガレなどの不具合が発生しない液晶表示装置用カラーフィルタを提供すること。【解決手段】ガラス基板上に遮光層、着色画素層、オーバーコート層、透明電極層が形成された液晶表示装置用カラーフィルタであって、前記、着色画素層と透明電極層の間に形成されているオーバーコート層の表面の、水との接触角が、３０°以下であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に遮光層、着色画素層、オーバーコート層、透明電極層が形成された液晶表示装置用カラーフィルタであって、
前記、着色画素層と透明電極層の間に形成され、透明電極層と接するオーバーコート層の表面の、水との接触角が、３０°以下であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
前記オーバーコート層に用いられる感光性樹脂組成物が、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）界面活性剤を含有し、
前記感光性樹脂組成物の固形分中の、前記（ｄ)界面活性剤の重量比が、０．０１〜０.０５の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項３】
前記オーバーコート層の厚さが０．５から５．０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶表示装置用カラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶表示装置に用いられる液晶表示装置用カラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータの発達、特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にあり、現在まで、様々なカラーフィルタが考案されている。一般的に、液晶表示素子用のカラーフィルタは、ブラックマトリクスを設けたガラス透明基板上にＲＧＢ３原色がパタニングされた着色画素層を形成した後、オーバーコート層などを形成し、さらにその上に液晶表示素子の電極となる透明導電膜を積層して提供される。透明電極は、酸化インジウム、酸化錫、酸化亜鉛、酸化アンチモン、酸化ガリウム、酸化マグネシウムなど金属酸化物から複数種を組合せて、３０ｎｍから５００ｎｍ程度の範囲でオーバーコート層上に成膜されることが一般的である。透明電極には、酸化インジウムに５〜１５重量％の酸化錫を添加したＩＴＯと呼ばれる透明導電膜が最も多く用いられている。
【０００３】
また、オーバーコート層は一般に、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂など熱硬化性や光硬化性の樹脂組成物を用いて形成されている。このオーバーコート層には、平滑で強靭であること、透明性を有すること、耐熱性及び耐光性が高く長期間にわたって黄変、白化等の変質を起こさないこと、耐水性、耐溶剤性、耐酸性及び耐アルカリ性に優れていることが求められる。
【０００４】
しかしながら、従来のカラーフィルタは、その製造過程にて、オーバーコート層上にスパッタリングによりＩＴＯなどから成る透明電極層を形成する際には、オーバーコート層は２００〜２４０℃の高温に曝される。そのため、膨張・収縮による寸法変動を完全に抑制することは困難であり、当該オーバーコート層に接している透明電極層に割れ、はがれ、シワ、ムラなどの不具合が生じやすくなるという問題を有していた。特に透明基板ガラスのコーナー部において、透明電極層の不具合が発生しやすかった。これら透明電極層の不具合は、その膜質変化や透過率変化を伴うことが多く、局部的な抵抗値変化も伴って、液晶表示装置の表示ムラにつながる問題があった。
【０００５】
特許文献１には、耐熱性の十分でない有機のカラーフィルタ上へ、導電性や透明性ならびに微細パタニング性が良好な透明電極層を形成する方法が開示されている。ここでは、スパッタリング工程における基板温度を１５０℃以下で、ターゲット基材として酸化錫を６〜９重量％含有するＩＴＯ基材を用い、透明電極層を製膜後１６０〜２５０℃の温度範囲で熱処理する製造方法で、比抵抗が２×１０−４Ω・ｃｍ前後の良好な電気特性をもつ透明電極層が示されている。
【０００６】
また、特許文献２には、透明電極層の表面抵抗が小さくカラーフィルタ基板の画素膜やオーバーコート膜にクラックや細かいしわが発生することを防止するカラーフィルタ基板が開示されている。ここでは、ＩＴＯ膜を４０〜１２０℃の基板温度で、アルゴンなどの不活性ガスと酸素の分圧を適当な値に制御してスパッタリングにより形成し、その後２２０〜３３０℃の温度範囲でアニール処理をすることで、室温で比抵抗が３×１０−４Ω・ｃｍ以下で、３０〜３００ＭＰａの引っ張り応力が存在するＩＴＯ膜とする。このＩＴＯ膜はその後高温下に置かれても、残留する圧縮応力を小さいレベルに抑制するとしている。なお、これは前記した特許文献１に示されているとおり、共にカラーフィルタにおけるＩＴＯの公知となっている製膜方法のひとつであり、これだけでは、近年の大型液晶テレビ等液晶表示装置の大型化に伴うカラーフィルタ基板の大型化によって、基板中央部とコーナー部での多面付けした各パネル同士の均質性の維持や、特に基板コーナー部での透明電極層のクラック防止や膜質変化防止の効果は不十分であった。
【０００７】
また、特許文献３には、透明電極層の引っ張り応力と厚みの積の範囲を３５〜６０Ｎ／ｍに制御することで、オーバーコート層の面方向に働く力すなわちオーバーコート層の引っ張り応力と厚みの積より大きくすることで透明電極層におけるムラやクラックの発生を抑制している。
【０００８】
しかしながら、いずれの方法においても透明電極層の成膜条件の制御が課題であり、基板のサイズが１ｍを超えるガラス基板を用いて作製する、大型カラーフィルタ基板への実現には困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平０１‐２５９３２０号公報
【特許文献２】特許第３９６５７１６号公報
【特許文献３】特開２００９‐１９２５７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、透明導電膜の電気特性向上のために行われる高温処理を行っても、透明電極層に割れ、シワ、ムラ、ハガレなどの不具合が発生しない液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、ガラス基板上に遮光層、着色画素層、オーバーコート層、透明電極層が形成された液晶表示装置用カラーフィルタであって、
前記、着色画素層と透明電極層の間に形成され、透明電極層と接するオーバーコート層の表面の、水との接触角が、３０°以下であることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、前記オーバーコート層に用いられる感光性樹脂組成物が、（ａ）バインダーポリマー、（ｂ）光重合性化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ）界面活性剤を含有し、
前記感光性樹脂組成物の固形分中の、前記（ｄ)界面活性剤の重量比が、０．０１〜０.０５の範囲であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明は、前記オーバーコート層の厚さが０．５から５．０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液晶表示装置用カラーフィルタである。
【発明の効果】
【００１４】
透明電極層と着色画素層との間にオーバーコート層が設けられたカラーフィルタにおいて、従来の透明電極層のしわやはがれ等の不具合の発生はオーバーコート層と透明電極層の密着性が要因となっている。本発明によれば、オーバーコート層の表面のぬれ性、すなわち水との接触角を１０°から３０°の範囲に制御することで、オーバーコート層と透明電極層との密着性を良化し、透明電極層におけるムラやはがれの発生を抑制できる。ムラやはがれがない透明電極層を用いたカラーフィルタを用いることで高画質性能を備えた液
晶表示装置を得られる。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に実施形態を掲げ、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００１６】
本発明のカラーフィルタを構成する透明膜形成用感光性樹脂組成物は（ａ）バインダーポリマー、（ｂ)光重合化合物、（ｃ）光重合開始剤、（ｄ)界面活性剤、及び（ｅ）溶剤を有する化合物を含有する。
【００１７】
＜（ａ）バインダーポリマー＞
本発明において用いられる（ａ）バインダーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含有モノマー及びこれと共重合可能な他のモノマーとの共重合体などが挙げられる。
【００１８】
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α‐クロルアクリル酸、ケイ皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２‐メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、例えば、コハク酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）、コハク酸モノ（２‐メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２‐メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、例えば、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００１９】
前記カルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α‐メチルスチレン、ｏ‐ビニルトルエン、ｍ‐ビニルトルエン、ｐ‐ビニルトルエン、ｐ‐クロルスチレン、ｏ‐メトキシスチレン、ｍ‐メトキシスチレン、ｐ‐メトキシスチレン、ｏ‐ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ‐ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ‐ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ‐ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ‐ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ‐ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ‐プロピルアクリレート、ｎ‐プロピルメタクリレート、ｉ‐プロピルアクリレート、ｉ‐プロピルメタクリレート、ｎ‐ブチルアクリレート、ｎ‐ブチルメタクリレート、ｉ‐ブチルアクリレート、ｉ‐ブチルメタクリレート、ｓｅｃ‐ブチルアクリレート、ｓｅｃ‐ブチルメタクリレート、ｔ‐ブチルアクリレート、ｔ‐ブチルメタクリレート、２‐ヒドロキシエチルアクリレート、２‐ヒドロキシエチルメタクリレート、２‐ヒドロキシプロピルアクリレート、２‐ヒドロキシプロピルメタクリレート、３‐ヒドロキシプロピルアクリレート、３‐ヒドロキシプロピルメタクリレート、２‐ヒドロキシブチルアクリレート、２‐ヒドロキシブチルメタクリレート、３‐ヒドロキシブチルアクリレート、３‐ヒドロキシブチルメタクリレート、４‐ヒドロキシブチルアクリレート、４‐ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２‐メトキシエチルアクリレート、２‐メトキシエチルメタクリレート、２‐フェノキシエチルアクリレート、２‐フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２‐ヒドロキシ‐３‐フェノキシプロピルアクリレート、２‐ヒドロキシ‐３‐フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、２‐アミノエチルアクリレート、２‐アミノエチルメタクリレート、２‐ジメチルアミノエチルアクリレート、２‐ジメチルアミノエチルメタクリレート、２‐アミノプロピルアクリレート、２‐アミノプロピルメタクリレート、２‐ジメチルアミノプロピルアクリレート、２‐ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３‐アミノプロピルアクリレート、３‐アミノプロピルメタクリレート、３‐ジメチルアミノプロピルアクリレート、���‐ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α‐クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタクリルアミド、α‐クロロアクリルアミド、Ｎ‐２‐ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ‐２‐ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類、マレイミド、Ｎ‐フェニルマレイミド、Ｎ‐シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、１，３‐ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ‐ｎ‐ブチルアクリレート、ポリ‐ｎ‐ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独で又は２種以上を混合して使用することができる。
【００２０】
前記共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０質量％、好ましくは１５〜４０質量％、とりわけ好ましくは２５〜４０質量％である。前記した、カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が、１０〜５０質量％であると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があり、好ましい。前記アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２‐ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２‐ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２‐ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ‐フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ‐フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／コハク酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ‐フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ‐フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレート又はメタクリレートであることを示す。
【００２１】
中でも（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体などが好ましい。
【００２２】
前記アクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が通常３，０００〜４００，０００であり、好ましくは５，０００〜１００，０００、とりわけ好ましくは２０，０００〜４０，０００である。
【００２３】
前記したポリスチレン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００であると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。また、酸価は通常３０〜２５０であり、より好ましくは６０〜１８０、とりわけ好ましくは９０〜１６０である。前記した酸価が、３０〜２５０であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで酸価はアクリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。前記バインダーポリマーは、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。前記したバインダーポリマーの含有量が、５質量％以上９０質量％以下であると、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、また解像度及び残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【００２４】
＜（ｂ）光重合性化合物＞
本発明において用いられる（ｂ）光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素‐炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２５】
前記光重合性化合物は、３官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記光重合性化合物は、それぞれ単独で又は２種以上を組み合わせて用いられ、その含有量は感光性樹脂組成物の質量分率で通常５質量％以上９０質量％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、とりわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲で用いられる。前記した、光重合性化合物の含有量が、５質量％以上９０質量％以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００２６】
本発明において用いられる（ｃ）光重合開始剤は、アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２‐メチル‐２‐モルホリノ‐１‐（４‐メチルチオフェニル）プロパン‐１‐オン、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐フェニルプロパン‐１‐オン、ベンジルジメチルケタール、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐〔４‐（２
‐ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン‐１‐オン、１‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐〔４‐（１‐メチルビニル）フェニル〕プロパン‐１‐オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２‐メチル‐２‐モルホリノ‐１‐（４‐メチルチオフェニル）プロパン‐１‐オンなどが挙げられる。また、複数のアセトフェノン系及びその他の光重合開始剤を組み合わせて使用してもよい。アセトフェノン系以外の光重合開始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
【００２７】
ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００２８】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｏ‐ベンゾイル安息香酸メチル、４‐フェニルベンゾフェノン、４‐ベンゾイル‐４’‐メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’‐テトラ（ｔ‐ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６‐トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００２９】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２‐イソプロピルチオキサントン、４‐イソプロピルチオキサントン、２，４‐ジエチルチオキサントン、２，４‐ジクロロチオキサントン、１‐クロロ‐４‐プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３０】
トリアジン系化合物としては、例えば、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐（４‐メトキシフェニル）‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐（４‐メトキシナフチル）‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐（４‐メトキシスチリル）‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐〔２‐（５‐メチルフラン‐２‐イル）エテニル〕‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐〔２‐（フラン‐２‐イル）エテニル〕‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐〔２‐（４‐ジエチルアミノ‐２‐メチルフェニル）エテニル〕‐１，３，５‐トリアジン、２，４‐ビス（トリクロロメチル）‐６‐〔２‐（３，４‐ジメトキシフェニル）エテニル〕‐１，３，５‐トリアジンなどが挙げられる。
【００３１】
活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６‐トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’‐ビス（ｏ‐クロロフェニル）‐４，４’，５，５’‐テトラフェニル‐１，２’‐ビイミダゾール、１０‐ブチル‐２‐クロロアクリドン、２‐エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０‐フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３２】
酸発生剤としては、例えば、４‐ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ‐トルエンスルホナート、４‐ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４‐アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ‐トルエンスルホナート、４‐アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ‐トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ‐トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００３３】
また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を
発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００３４】
＜（ｃ）光重合開始剤＞
（ｃ）光重合開始剤の含有量は、（ａ）バインダーポリマー及び光重合性化合物の合計量１００質量部に対して通常０．１質量部以上２０質量部以下、好ましくは１質量部以上１５質量部以下である。光重合開始剤の含有量が０．１質量部以上２０質量部以下であると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方高感度過ぎて解像度が不良にならない傾向があり、好ましい。
【００３５】
（本発明において用いられる（ｃ）光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、少なくとも１種のアミン系を含む。アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４‐ジメチルアミノ安息香酸メチル、４‐ジメチルアミノ安息香酸エチル、４‐ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２‐ジメチルアミノエチル、４‐ジメチルアミノ安息香酸２‐エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ‐ジメチルパラトルイジン、４，４’‐ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’‐ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００３６】
アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０‐ジメトキシアントラセン、２‐エチル‐９，１０‐ジメトキシアントラセン、９，１０‐ジエトキシアントラセン、２‐エチル‐９，１０‐ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００３７】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２‐イソプロピルチオキサントン、４‐イソプロピルチオキサントン、２，４‐ジエチルチオキサントン、２，４‐ジクロロチオキサントン、１‐クロロ‐４‐プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３８】
光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば、商品名「ＥＡＢ‐Ｆ」（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００３９】
これらの光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００４０】
本発明の感光性樹脂組成物における光重合開始剤及び光重合開始助剤の組合せとしては、ジエトキシアセトフェノン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２‐メチル‐２‐モルホリノ‐１‐（４‐メチルチオフェニル）プロパン‐１‐オン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐フェニルプロパン‐１‐オン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐〔４‐（２‐ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン‐１‐オン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１‐ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２‐ヒドロキシ‐２‐メチル‐１‐〔４‐（１‐メチルビニル）フェニル〕プロパン‐１‐オンのオリゴマー／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２‐ベンジル‐２‐ジメチルアミノ‐１‐（４‐モルホリノフェニル）ブタン‐１‐オン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノンの組合せなどが挙げられ、好ましくは２‐メチル‐２‐モルホリノ‐１‐（４‐メチルチオフェニル）プロパン‐１‐オン／４，４’‐ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンの組合せが挙げられる。
【００４１】
＜（ｄ）界面活性剤＞
本発明で用いられる（ｄ）界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン‐アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン‐アクリル酸共重合体のモノエタノールアミンなどのアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤；アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００４２】
前記界面活性剤は単独又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００４３】
前記界面活性剤量は、感光性樹脂組成物の固形分中の重量（ｗｔ％）が０．０１〜５．００であると、基板に均一に塗布でき、透明膜表面の凹凸を均一に保つことができる。さらに、界面活性剤量が、感光性樹脂組成物の固形分中の重量（ｗｔ％）が０．０１〜０.０５であると、透明膜表面の接触角を１０°から３０°に制御できる。
【００４４】
＜（ｅ）溶剤＞
本発明で用いられる（ｅ）溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【００４５】
エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４‐ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。ケトン類としては、例えば、アセトン、２‐ブタノン、２‐ヘプタノン、３‐ヘプタノン、４‐ヘプタノン、４‐メチル‐２‐ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸‐ｎ‐ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３‐オキシプロピオン酸メチル、３‐オキシプロピオン酸エチル、３‐メトキシプロピオン酸メチル、３‐メトキシプロピオン酸エチル、３‐エトキシプロピオン酸メチル、３‐エトキシプロピオン酸エチル、２‐オキシプロピオン酸メチル、２‐オキシプロピオン酸エチル、２‐オキシプロピオン酸プロピル、２‐メトキシプロピオン酸メチル、２‐メトキシプロピオン酸エチル、２‐メトキシプロピオン酸プロピル、２‐エトキシプロピオン酸メチル、２‐エトキシプロピオン酸エチル、２‐オキシ‐２‐メチルプロピオン酸メチル、２‐オキシ‐２‐メチルプロピオン酸エチル、２‐メトキシ‐２‐メチルプロピオン酸メチル、２‐エトキシ‐２‐メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２‐オキソブタン酸メチル、２‐オキソブタン酸エチル、３‐メトキシブチルアセテート、３‐メチル‐３‐メトキシブチルアセテート、γ‐ブチロラクトンなどが挙げられる。アミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ‐ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ‐ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。その他の溶剤としては、例え���、Ｎ‐メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
【００４６】
上記した溶剤の中でも、３‐メトキシプロピオン酸メチル、３‐エトキシプロピオン酸メチル、３‐エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、２‐ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
【００４７】
前記溶剤は、それぞれ単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができ、感光性樹脂組成物中の前記溶剤の含有量は、質量分率で、通常５０質量％以上９０質量％以下、好ましくは６０質量％以上８５質量％以下である。溶剤の含有量が５０質量％以上９０質量％以下であると、平坦性が良好で、カラーフィルタとしたきに十分な色濃度が得られ、好ましい。
【００４８】
本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００４９】
硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００５０】
エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂及びその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族又は芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００５１】
オキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００５２】
本発明の感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００５３】
多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４‐ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８‐ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’‐ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４‐ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、ヘキサヒドロフタル酸、３，４‐ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４‐シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４‐シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５‐シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００５４】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’‐ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４‐ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４‐ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４‐シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４‐シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５‐シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００５５】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハードナーＥＨ‐７００」（旭電化工業（株）製）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化（株）製）、商品名「ＭＨ‐７００」（新日本理化（株）製）などが挙げられる。
【００５６】
前記硬化剤は、それぞれ単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
以下に、本発明のカラーフィルタ実施例１〜４及び比較例１及び２を得るための方法を記述する。
【実施例１】
【００５７】
＜樹脂ブラックマトリクス層の形成のために感光性黒色組成物＞
黒色着色組成物は、以下の組成の混合物を混合攪拌して作製した（固形分中の顔料濃度：３０．７％）。
カーボンブラック分散液：御国色素社製（ＴＰＢＫ‐２０１６）      ２８．５０重量部樹脂：Ｖ２５９‐ＭＥ（新日鐵化学社製  固形分５６．１重量％）    １０．３０重量部モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                                ２．５８重量部開始剤：ＯＸＥ‐０２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）      ０．８６重量部溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル‐３‐エトキシプロピオネート                                                      ９２．００重量部レベリング剤                                                      １．３０重量部
＜樹脂ブラックマトリクス層の形成＞
最も大きい面の２辺が１１００ｍｍかつ１３００ｍｍである透明基板上に黒色着色組成物
をスリットコーターを用いて膜厚１．５μｍとなるように塗布した。１００℃で３分乾燥の後、露光機にて格子状のパターン露光を２００ｍＪし、アルカリ現像液にて６０秒間現像、２３０℃で６０分加熱処理をして定着、格子状のブラックマトリクス層を透明基板上に形成した。なお、アルカリ現像液は以下の組成からなる。以下、実施例及び比較例ではこのアルカリ現像液を用いて現像を行う。
炭酸ナトリウム                                                      １．５重量％炭酸水素ナトリウム                                                  ０．５重量％陰イオン系界面活性剤（花王（株）製「ペリレックスＮＢＬ」）          ８．０重量％水                                                                ９０．０重量％
＜着色層の形成＞
（赤色、緑色、青色着色組成物の作製）。
【００５８】
＜赤色着色組成物＞
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４                            １８部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガーフォーレッド  Ｂ‐ＣＦ」）
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ１７７                              ２部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「クロモフタールレッド  Ａ２Ｂ」）
分散剤（味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１」）                  ２部アクリルワニス（固形分２０％）                                            ５０部
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色着色組成物を得た。
上記分散体                                                                ７２部カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                  ８部
（日本化薬（株）製「カヤラッドＤＰＣＡ‐３０」）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート                                  １０部
（日本化薬（株）製「カヤラッドＤＰＨＡ」）
メチル化メラミン樹脂                                                      １０部
（三和ケミカル（株）製「ＭＷ３０」）
光開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュアー９０７」）    ３部増感剤（保土ヶ谷化学工業（株）製「ＥＡＢ‐Ｆ」）                            １部シクロヘキサノン                                                        ２５３部
＜緑色着色組成物＞
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色顔料の分散体を作製した。
緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ３６                          １６部
（東洋インキ製造（株）製「リオノールグリーン    ６ＹＫ」）
黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０                        ８部
（バイエル社製「ファンチョンファーストイエロー  Ｙ‐５６８８」）
分散剤（ビックケミー社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ‐１６３」）                    ２部アクリルワニス（固形分２０％）                                          １０２部その後、上記分散体を１２８部用い、さらに下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色着色組成物を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート                                    １４部
（新中村化学（株）製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュアー９０７」）    ４部増感剤（保土ヶ谷化学工業（株）製「ＥＡＢ‐Ｆ」）                            ２部シクロヘキサノン                                                        ２５７部
＜青色着色組成物＞
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して青色顔料の分散体を作製した。
青色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５                            ３０部
（東洋インキ製造（株）製「リオノールブルーＥＳ」）
紫色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ２３                          ２部
（ＢＡＳＦ社製「パリオゲンバイオレット    ５８９０」）
分散剤（ゼネカ社製「ソルスバーズ２００００」）                              ６部アクリルワニス（固形分２０％）                                          ２００部
その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して青色着色組成物を得た。
上記分散体                                                              ２３８部トリメチロールプロパントリアクリレート                                    １９部
（新中村化学（株）製「ＮＫエステルＡＴＭＰＴ」）
光開始剤（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「イルガキュアー９０７」）    ４部増感剤（保土ヶ谷化学工業（株）製「ＥＡＢ‐Ｆ」）                            ２部シクロヘキサノン                                                        ２１４部
＜着色層の形成＞
得られた赤色着色組成物、緑色着色組成物、青色着色組成物を用いて下記の要領で画素となる着色層を形成した。前述の樹脂ブラックマトリクス層を形成した透明基板上に、赤色着色組成物を、スリットコーターを用いて膜厚２μｍとなるように塗布した。乾燥の後、露光機にてストライプ状のパターン露光をし、アルカリ現像液にて９０秒間現像、２３０℃で２０分加熱して定着、ストライプ状の赤色着色層を透明基板上に形成した。
【００５９】
次に、緑色着色組成物も同様にスリットコーターにて膜厚が２μｍとなるように塗布。乾燥後、露光機にてストライプ状の着色層を前述の赤色着色層とはずらした場所に露光し現像することで、前述赤色着色層と隣接した緑色着色層を形成した。
【００６０】
さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色着色組成物についても膜厚２μｍで赤色着色層、緑色着色層と隣接した青色着色層を形成した。
【００６１】
＜透明膜層の形成＞（透明膜形成用観光性樹脂組成物の作製）
透明膜層に用いる感光性樹脂組成物（感光性樹脂組成物１）を以下のように作製した。
（Ａ）バインダーポリマー：メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０５、ポリスチレン換算重量平均分子量は３０，０００
（Ｂ）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（Ｃ）光重合開始剤：２‐メチル‐２‐モルホリノ‐１‐（４‐メチルチオフェニル）プロパン‐１‐オン
（Ｄ）界面活性剤：１％ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（商品名：トーレシリコーン（株）製）
（Ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
光重合開始助剤：２，４‐ジエチルチオキサントン
分散剤：ＢＹＫ‐１７０（固型分３０質量％）（ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製）
エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ‐１９５ＸＬ‐８０」（住友化学工業（株）製）
＜感光性樹脂組成物１＞
（Ａ）                                                          ３４．６０質量部（Ｂ）                                                          １３．５０質量部（Ｃ）                                                            １．２０質量部（Ｄ）                                                            ０．５５質量部
（Ｅ）                                                          ４３．０４質量部開始助剤                                                          ０．０１質量部分散剤                                                            ４．５０質量部エポキシ化合物                                                    ２．６０質量部以上を混合して感光性樹脂組成物１を得た。
【００６２】
＜透明膜層の形成＞
前記得られた感光性樹脂組成物１を上述の着色層付きカラーフィルタ上に仕上がり膜厚２μｍになるように塗布し、９０℃で１分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを介して高圧水銀灯の光を１００ｍＪ／ｃｍ２照射した。なお、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。その後、上記した着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層を形成した。
【００６３】
＜透明電極層の形成＞
前記得られた基板に、ＩＴＯスパッタ装置にてＩＴＯ膜を形成した。スパッタリング装置にて、ＩＴＯターゲットを用い室温で、Ａｒ：４００ＳＣＣＭ、Ｏ２：０．２ＳＣＣＭ導入してガス圧を０．６７Ｐａに調圧したのち、３．５Ｗ／ｃｍ２の出力をかけてＩＴＯ膜を形成した。膜厚は１５０ｎｍとした。
その後、２３０℃のオーブンにて熱処理を行った。
【００６４】
＜感光性樹脂組成物２〜５の製造＞
透明膜層に用いる感光性樹脂組成物２〜５を、感光性樹脂組成物１と同様の混合比にて作製し、感光性樹脂組成物１を用いた実施例１と、他は同様にして、感光性樹脂組成物２〜５にて、実施例２、３及び比較例１、２を作成した。
【実施例２】
【００６５】
＜感光性樹脂組成物２＞
（Ａ）                                                          ２５．００質量部（Ｂ）                                                          ３４．００質量部（Ｃ）                                                            ３．２０質量部（Ｄ）                                                            １．２０質量部（Ｅ）                                                          ７２．１０質量部開始助剤                                                          ０．１０質量部分散剤                                                            ７．８０質量部エポキシ化合物                                                    ６．５０質量部
【実施例３】
【００６６】
＜感光性樹脂組成物３＞
（Ａ）                                                          １３．５０質量部（Ｂ）                                                          １１．１０質量部（Ｃ）                                                            ２．９０質量部（Ｄ）                                                            １．０３質量部（Ｅ）                                                          ６１．１０質量部開始助剤                                                          ０．０１質量部分散剤                                                            ６．９０質量部エポキシ化合物                                                    ３．５０質量部
＜比較例１＞
＜感光性樹脂組成物４＞
（Ａ）                                                          ２０．００質量部
（Ｂ）                                                          ２０．００質量部（Ｃ）                                                            ４．５０質量部（Ｄ）                                                            ０．０８質量部（Ｅ）                                                          ３８．１０質量部開始助剤                                                          １．３０質量部分散剤                                                            ５．６０質量部エポキシ化合物                                                  １０．４０質量部
＜比較例２＞
＜感光性樹脂組成物５＞
（Ａ）                                                          ２２．５０質量部（Ｂ）                                                            ６．５０質量部（Ｃ）                                                            ３．５０質量部（Ｄ）                                                            ３．５０質量部（Ｅ）                                                          ５４．８０質量部開始助剤                                                          ０．０１質量部分散剤                                                            ６．８０質量部エポキシ化合物                                                    ２．４０質量部
＜評価項目＞
＜透明樹脂表面の接触角測定＞
上記実施例及び比較例で得られたオーバーコート層用感光性樹脂組成物１〜５をスピンコート法によりガラス基板板上に塗布し、９０℃で５分間乾燥した。高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。その後、上記した着色層の作製と同様の現像液を用いて現像をした。水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層を形成した。形成した透明膜層を接触角計（協和界面科学社製）により、水滴の接触角を測定した。初期液滴サイズ７μＬを６μＬ／秒の速度にて１０秒間静置し、安定した値を水滴の接触角とした。接触角が１０°から３０°の範囲にあるものを○、１０°未満あるいは３０°より大きいものを×とした。
【００６７】
＜透明電極層のシワ、ムラ及び密着性の評価＞
上記実施例及び比較例で得られたカラーフィルタについて透明電極層のシワ、ムラ及び密着性を評価した。シワ、ムラについては、Ｎａランプ下で目視により、シワ及びムラがある場合を×、ない場合を○とした。密着性については、ＪＩＳ‐Ｋ‐５６００‐５‐６に準じて分類０から５に分類した。カラーフィルタ用透明電極層は分類０あるいは１であることが望ましく、さらに望ましくは分類０である。評価結果を表１に示す。
【００６８】
【表１】
2013235140.tif 000002
表１の結果から、以下のことが明らかである。即ち、オーバーコート層表面接触角が３０°以下であると、透明電極層にシワあるいはムラが発生し、かつ、オーバーコート層との密着性が悪いことがわかる。さらに、表１結果から、感光性樹脂組成物に含まれる界面活性剤の量を適正化することで、オーバーコート層の表面接触角を制御できることがわかる。