(57)【要約】【課題】パージ用の圧縮空気を用い、除湿により除湿開始から加工動作が可能となるまでの待ち時間が短く使い勝手が良いファイバレーザ加工装置を提供する。【解決手段】ファイバレーザ加工装置(51)は、外部から供給されるパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュール(23a)(23b)により低露点のドライエアにする低露点化部(23)を有するエアパージユニットユニット(20)と、レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュール(2)と、各複数のファイバレーザモジュール(2)から出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナ(3)と、低露点のドライエアを複数のファイバレーザモジュール(2)それぞれに分配供給するディストリビュータ(5)と、を有するファイバレーザ発振器(1)と、コンバイナ(3)から送出されたレーザ光によりワーク(W)に対してレーザ加工を施すレーザ加工機(10)と、を備える。【選択図】図１
2013239696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュールと、各前記複数のファイバレーザモジュールから出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナと、を備えたファイバレーザ発振器において、
外部から供給されるパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュールにより低露点のドライエアにする低露点化部と、
前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュールそれぞれに分配供給するディストリビュータと、
を備えたことを特徴とするファイバレーザ発振器。
【請求項２】
前記複数のファイバレーザモジュールを収容する筐体と、
前記筐体の内部の空間を除湿するクーラと、
を備えていることを特徴とする請求項１記載のファイバレーザ発振器。
【請求項３】
前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のファイバレーザ発振器。
【請求項４】
外部から供給されるパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュールにより低露点のドライエアにする低露点化部を有するエアパージユニットと、
レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュールと、各前記複数のファイバレーザモジュールから出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナと、前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュールそれぞれに分配供給するディストリビュータと、を有するファイバレーザ発振器と、
前記コンバイナから送出されたレーザ光によりワークに対してレーザ加工を施すレーザ加工機と、
を備えたファイバレーザ加工装置。
【請求項５】
前記複数のファイバレーザモジュールを収容する筐体と、
前記筐体の内部の空間を除湿するクーラと、
を備えていることを特徴とする請求項４記載のファイバレーザ加工装置。
【請求項６】
前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする請求項４又は請求項５記載のファイバレーザ加工装置。
【請求項７】
レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュールと、各前記複数のファイバレーザモジュールから出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナと、を備えたファイバレーザ発振器の除湿方法であって、
外部から供給されたパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュールにより除湿して低露点のドライエアとするドライエア生成ステップと、
前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュールそれぞれに分配供給するドライエア供給ステップと、
を含むことを特徴とするファイバレーザ発振器の除湿方法。
【請求項８】
前記ファイバレーザ発振器は、前記複数のファイバレーザモジュールを収容する筐体と、前記筐体の内部の空間を除湿するクーラと、を備え、
前記クーラにより前記筐体の内部の空間を除湿する除湿ステップを、前記ドライエア供給ステップと並行して実行することを特徴とする請求項７記載のファイバレーザ発振器の除湿方法。
【請求項９】
前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする請求項７又は請求項８記載のファイバレーザ発振器の除湿方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファイバレーザ発振器，ファイバレーザ加工装置，及びファイバレーザ発振器の除湿方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
ファイバレーザ発振器は、筐体と、その筐体内に概ね密閉状態で収容された光エンジン，発振動作を制御する制御装置，及び冷却装置と、を有して構成されている。
光エンジンは、レーザ光源としての半導体レーザを有する複数のファイバレーザモジュールと、各ファイバレーザモジュールで生成されたレーザ光を結合するコンバイナと、を備えている。コンバイナで結合されたレーザ光は、プロセスファイバを介して外部へ出力される。
一般的に、半導体レーザのレーザ発振効率には温度依存性がある。そのため、レーザ光の発振に伴い発熱する光エンジンの温度を冷却により適温で維持し、常に高い発振効率が得られるようにしておく必要がある。冷却装置はその光エンジンの適温維持のために備えられている。
この冷却は、通常、筐体内に配設された冷却水路（冷却パイプ）内に、例えば２４℃の冷却水を流入循環させることで行う。
【０００３】
ところで、筐体内の空気に含まれる水蒸気の量が、冷却水の温度（例えば２４℃）における飽和水蒸気量を超えていると、冷却パイプの表面に結露が発生し、光エンジン内の電子部品等に不具合が生じる可能性が高くなる。
そのため、冷却水の冷却パイプ内への注入は、筐体内の空気やファイバレーザモジュール内の空気の湿度を、除湿装置により充分に低くしてから行う必要がある。
【０００４】
従来、この除湿装置を筐体内に備えたファイバレーザ発振器が種々提案されており、その一例として、本願の出願人は、筐体内に複数のＬＤモジュールそれぞれに乾燥させた空気（低露点のドライエア）を供給するための除湿装置を備えたファイバレーザ発振器を、特許文献１により提案している。
具体的には、除湿により得られた低露点のドライエアを、小型のポンプで毎分１Ｌ（１ｄｍ３）程度供給する例を提案する（段落番号００３０他）一方、従来からレーザ加工機等に設置されていたパージ用エアを供給する装置を使用する旨記載している（段落番号００２７）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０２４７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１における提案装置において、低露点のドライエアの供給に小型のポンプを用いた場合には毎分１ｄｍ３程度の空気が供給される。
しかしながら、その供給可能な低露点のドライエアの流量にはおのずと限界があり、筐体内の空気の温度及び湿度の関係によっては、例えば、電源投入等により除湿を開始してから除湿が充分になされてファイバレーザの出力が可能になるまで比較的長い時間を要し、使い勝手の改善を期待される場合があった。
一方で、市場からはファイバレーザ加工装置に対して大出力化が要望されていおり、その要望に応えるべく、ファイバレーザ発振器の大出力化が進められている。そして、この大出力化を余力を持って可能にするための冷却システムや除湿システムの高能力化も将来的に予想される。
このような状況において、外部からパージ用エアとして豊富に供給され得る圧縮空気の利用は有効であると考えられるが、その圧縮空気を除湿に利用する場合の具体的な構成等については特許文献１では提案していない。
【０００７】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、パージ用エアを用い、除湿により除湿開始から加工動作が可能となるまでの待ち時間が短く使い勝手が良いファイバレーザ発振器及びファイバレーザ加工装置を提供することにある。
また、除湿により除湿開始から加工動作が可能となるまでの待ち時間が短くなるファイバレーザ発振器の除湿方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は次の構成及び手順を有する。
１）  レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュール(2)と、各前記複数のファイバレーザモジュール(2)から出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナ(3)と、を備えたファイバレーザ発振器において、
外部から供給されるパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュール(23a)(23b)により低露点のドライエアにする低露点化部(23)と、
前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュール(2)それぞれに分配供給するディストリビュータ(5)と、
を備えたことを特徴とするファイバレーザ発振器(1)である。
２）  前記複数のファイバレーザモジュール(2)を収容する筐体(KT)と、
前記筐体(KT)の内部の空間を除湿するクーラ(C)と、
を備えていることを特徴とする１）に記載のファイバレーザ発振器(1)である。
３）  前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする１）又は２）に記載のファイバレーザ発振器(1)である。
４）  外部から供給されるパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュール(23a) (23b)により低露点のドライエアにする低露点化部(23)を有するエアパージユニット(20)と、
レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュール(2)と、各前記複数のファイバレーザモジュール(2)から出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナ(3)と、前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュール(2)それぞれに分配供給するディストリビュータ(5)と、を有するファイバレーザ発振器(1)と、
前記コンバイナ(3)から送出されたレーザ光によりワーク(W)に対してレーザ加工を施すレーザ加工機(10)と、
を備えたファイバレーザ加工装置(51)である。
５）  前記複数のファイバレーザモジュール(2)を収容する筐体(KT)と、
前記筐体の内部の空間を除湿するクーラと、
を備えていることを特徴とする４）に記載のファイバレーザ加工装置(51)である。
６）  前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする４）又は５）に記載のファイバレーザ加工装置(51)である。
７）  レーザ光を出力する複数のファイバレーザモジュール(2)と、各前記複数のファイバレーザモジュール(2)から出力されたレーザ光をコンバインして外部に送出するコンバイナ(3)と、を備えたファイバレーザ発振器の除湿方法であって、
外部から供給されたパージ用の圧縮空気を気体分離膜モジュール(23a)(23b)により除湿して低露点のドライエアとするドライエア生成ステップと、
前記ドライエアを前記複数のファイバレーザモジュール(2)それぞれに分配供給するドライエア供給ステップと、
を含むことを特徴とするファイバレーザ発振器(1)の除湿方法である。
８）  前記ファイバレーザ発振器(1)は、前記複数のファイバレーザモジュール(2)を収容する筐体(KT)と、前記筐体(KT)の内部の空間を除湿するクーラ(C)と、を備え、
前記クーラ(C)により前記筐体(KT)の内部の空間を除湿する除湿ステップを、前記ドライエア供給ステップと並行して実行することを特徴とする７）に記載のファイバレーザ発振器(1)の除湿方法である。
９）  前記ドライエアは、大気圧露点が−４０℃以下であることを特徴とする７）又は８）に記載のファイバレーザ発振器(1)の除湿方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、除湿により除湿開始から加工動作が可能となるまでの待ち時間が短く使い勝手が良い、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態におけるファイバレーザ加工装置を説明するための全体図である。
【図２】本発明の実施形態におけるファイバレーザ発振器を説明するための図である。
【図３】本発明の実施形態におけるファイバレーザ加工装置のエアパージユニットを説明するための図である。
【図４】本発明の実施形態におけるファイバレーザ発振器の除湿による露点推移を説明するためのグラフである。
【図５】本発明の実施形態におけるファイバレーザ発振器の除湿動作による露点推移を説明するための別のグラフである。
【図６】本発明の実施形態の変形例１におけるファイバレーザ発振器の除湿動作による露点推移を説明するためのグラフである。
【図７】本発明の実施形態の変形例２におけるファイバレーザ発振器の除湿動作による露点推移を説明するためのグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施形態であるファイバレーザ発振器１及びファイバレーザ加工装置５１を図１〜図６を用いて説明する。
まず、ファイバレーザ加工装置５１について図１を参照して説明する。
図１に示されるように、ファイバレーザ加工装置５１は、ワークＷに対してレーザ加工を行うファイバレーザ加工機１０と、ファイバレーザ加工機１０に対しレーザ光をプロセスファイバＦＢ１を介して供給するファイバレーザ発振器１と、低露点のドライエアを、エア供給路ＡＲ１を介してファイバレーザ発振器１に供給すると共にエア供給路ＡＲ２を介してファイバレーザ加工機１０に供給するエアパージユニット２０と、を備えて構成されている。
【００１２】
ファイバレーザ加工機１０は、プロセスファイバＦＢ１の出口端面から拡がって出射したレーザ光Ｌを、コリメータレンズ１２で平行光にするコリメータユニット１３と、コリメータレンズ１２により平行光にされたレーザ光を反射するベンドミラー１４と、ベンドミラー１４で反射したレーザ光を集光レンズ１５で高エネルギー密度のレーザ光に集光するレーザヘッド１６と、集光したレーザ光により加工を施すワークＷが設置される加工テーブル１８とを備えている。
また、レーザヘッド１６は、エア供給路ＡＲ２から供給された低露点のドライエアを内部に導入可能として光学系への塵埃の付着を防止するようになっている。
【００１３】
次に、ファイバレーザ発振器１について図２を主に参照して説明する。
図２において、ファイバレーザ発振器１は、筐体ＫＴと、筐体ＫＴの内部に概ね密閉状態で収容された光エンジンＥＧと、このファイバレーザ発振器１の動作を制御する制御部ＳＧと、電源部ＰＷと、冷却部ＲＦと、を有している。制御部ＳＧ及び電源部ＰＷについても、それぞれ筐体ＳＧ１及び筐体ＰＷ１を有し、その内部は概ね密閉状態とされている。
【００１４】
光エンジンＥＧは、複数（この例では四つ）のファイバレーザモジュール２と、各ファイバレーザモジュール２で生成されたレーザ光をそれぞれ伝送する複数のユニットファイバＦＢ２と、複数のユニットファイバＦＢ２を１つに融接して纏めるコンバイナ３と、を有している。
コンバイナ３とプロセスファイバＦＢ１との間には、フィードファイバＦＢ３及びビームスイッチ４とが直列的に接続されて設けられており、コンバイナ３から一つに纏められて出力されたレーザ光は、フィードファイバＦＢ３及びビームスイッチ４を経てプロセスファイバＦＢ１内へ出力されるようになっている。
【００１５】
冷却部ＲＦは、冷却水供給部ＲＦ１と、その冷却水供給部ＲＦ１から各ファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷの内部を巡るようにそれぞれに配管された水路系ＲＦ２と、を有する。
冷却水供給部ＲＦ１は、水路系ＲＦ２内に冷却水を流して各ファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷの冷却を行う。また、冷却水供給部ＲＦ１は、冷却水を例えば２４℃で維持管理する。
【００１６】
さらに、筐体ＫＴ内には、エアパージユニット２０からエア供給路ＡＲ１を介して供給された低露点のドライエアを所定の機器や部位へ分配するディストリビュータ５が設けられている。
具体的には、ディストリビュータ５へ供給された低露点のドライエアは、複数のファイバレーザモジュール２それぞれに対し、エア供給路ＡＲ１から分岐させた複数のエア支路ＡＲ１ａを介して供給される。
【００１７】
ファイバレーザモジュール２は、半導体レーザによる励起光源，駆動回路，ヒートシンク，及び共振器等（いずれも図示せず）を有して筐体ＫＴ内に収容されている。
一つのファイバレーザモジュール２の出力は約数百Ｗ（例えば３５０Ｗ）である。従って、図２に示された例では四つのファイバレーザモジュール２を備えているので、各ファイバレーザモジュール２の出力が３５０Ｗの場合、それらから出力されたレーザ光は、コンバイナ３で纏められた後、プロセスファイバＦＢ１から１．４ｋＷの出力で出射される。
【００１８】
次に、エアパージユニット２０について図３を主に参照して説明する。
エアパージユニット２０は、活性炭槽２１とオイルミストフィルタ２２と低露点化部２３と分岐部２４とを有している。
また、エアパージユニット２０は入力側として供給ポートＰ１を、また、出力側として二つの送出ポートＰ２ａ，Ｐ２ｂを有している。
【００１９】
供給ポートＰ１には、圧縮空気Ａが供給される。供給された圧縮空気Ａは、活性炭槽２１及びオイルミストフィルタ２２を通過して、油分，粉塵，オイルミスト等が除去され、その後、低露点化部２３を通過する。
低露点化部２３は、気体分離膜モジュールである窒素分離膜モジュール２３ａを有している。窒素分離膜モジュール２３ａは、窒素（Ｎ２）やアルゴン（Ａｒ）を、中空糸膜を透過する速度差を利用して他のガス成分から分離する機能を有する。形状としては、中空糸膜を束ねた筒状とされており、筒状の一端側が空気の入口とされ、他端側が中空糸膜の性質を利用して処理された空気の出口とされている。
窒素分離膜モジュール２３ａの一端側から内部に、オイルミストフィルタ２２を通過した圧縮空気Ａ１を供給すると、窒素（Ｎ２）やアルゴン（Ａｒ）よりも中空糸膜を通過し易い酸素（０２），水蒸気（Ｈ２Ｏ），及び二酸化炭素（Ｃ０２）などが筒状壁から外部へ抜け出し（矢印Ａａ参照）、酸素及び水蒸気濃度が低下した窒素リッチかつ低露点のドライエアＡ２となって他端側から排出される。
低露点化部２３から排出された窒素リッチかつ低露点のドライエアＡ２は、分岐部２４により２系統に分岐され、それぞれ送出ポートＰ２ａ，Ｐ２ｂに送出される。
送出ポートＰ２ａに供給されたドライエアは、エア供給路ＡＲ２を介してファイバレーザ加工機１０に向け送出される。
送出ポートＰ２ｂに供給されたドライエアは、エア供給路ＡＲ１を介してファイバレーザ発振器１のディストリビュータ５に向け送出される。
【００２０】
エアパージユニット２０の供給ポートＰ１に供給される圧縮空気Ａは、エア供給源Ｐ側のコンプレッサで圧縮されて生成され、エアパージユニット２０に供給される前にプレフィルタ３０を通過するようになっている。
プレフィルタ３０では、圧縮空気に混合した比較的大きな、油分，異物，オイルミスト，及び水滴などの異物が除去される。
【００２１】
低露点化部２３として、窒素分離膜モジュール２３ａを用いた市販の膜分離型窒素ガス発生装置を用いることができる。窒素分離膜モジュール２３ａには、例えばポリイミド系の中空糸膜が用いられる。
一般的に、膜分離型窒素ガス発生装置は、例えば温度４０℃、湿度８０％ＲＴの空気から大気圧露点で−４０℃以下（下限は例えば−６０℃）の低露点のドライエアを生成することができる。
【００２２】
発明者は、上述のような膜分離型窒素ガス発生装置を用いた低露点化部２３で生成された低露点のドライエアを、図２に示されるディストリビュータ５を介してファイバレーザモジュール２の内部に供給する除湿作業を行い、ファイバレーザモジュール２内の空気について、露点温度の時間推移を測定した。
ここで、ファイバレーザモジュール２の内部の空間容積は、約２５ｄｍ３であり、ファイバレーザモジュール２の周囲環境は、除湿作業前において気温４０℃、湿度８０％ＲＨであった。また、冷却部ＲＦが供給する冷却水の温度は２４℃±１℃であった。
また、低露点化部２３としては、気温４０℃、湿度８０％ＲＨの空気から大気圧露点でー４０℃の低露点のドライエアを生成する能力のものを用いた。
これらの条件の下、この測定では、低露点のドライエアの供給量を、従来の１ｄｍ３／ｍｉｎから、エアパージユニット２０で充分供給可能な１０ｄｍ３／ｍｉｎまで、５段階で測定した。その結果を図４のグラフに示す。
【００２３】
図４において、露点温度が冷却水の下限温度である２３℃未満となれば、ファイバレーザモジュール２内の空気中の水蒸気量が飽和水蒸気量を上回ることはなく、結露が生じない。
そこで、圧縮空気Ａ１から生成された低露点のドライエアの供給開始から露点温度が２３℃未満となるまでの時間ｔ（以下、除湿時間ｔとも称する）を、低露点のドライエアの毎分当たりの供給量が異なる推移Ｋ１〜Ｋ５それぞれについて評価した。
その結果、各推移における除湿時間ｔとして、
推移Ｋ１（１ｄｍ３／ｍｉｎ）：５７分３０秒（３４５０秒）
推移Ｋ２（２ｄｍ３／ｍｉｎ）：１７分４０秒（１０６０秒）
推移Ｋ３（３ｄｍ３／ｍｉｎ）：１２分４６秒（７６６秒）
推移Ｋ４（５ｄｍ３／ｍｉｎ）：６分０５秒（３６５秒）
推移Ｋ５（１０ｄｍ３／ｍｉｎ）：２分３５秒（１５５秒）
が得られた。この結果は図５のグラフにおいて黒丸のプロットで示されている。
【００２４】
推移Ｋ１における供給量は、パージ用の圧縮空気を利用していない小型ポンプを用いた従来のレベルである。この推移Ｋ１とパージ用のエアとして供給された圧縮空気を利用した推移Ｋ５の場合と比較すると、その圧縮空気を利用した場合、ファイバレーザ発振器１における除湿時間ｔは、３４５０秒から１５５秒に短縮、すなわち約４．５％（約１／２２）に短縮している。
除湿時間ｔは、例えばユーザが電源を投入してからレーザ光が出力されるまでの時間であるので、ファイバレーザ発振器１は、動作が可能になるまでの待ち時間が大変短く使い勝手が極めて良いものとなっている。
【００２５】
上述した構成によれば、ファイバレーザ発振器１のメンテナンスのために、筐体ＫＴの扉（図示せず）を開けた場合でも、低露点のドライエアはファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷの内部に直接供給されるので、各内部の空気の露点温度が急激に上昇することはない。
【００２６】
ファイバレーザ加工装置５１は、従来、工場内に設備され加工機等に供給されているパージ用の圧縮空気を、フィルタによる異物除去をした後に気体分離膜モジュールとして窒素分離膜モジュールを用いた例えば膜分離型窒素ガス発生装置に通して除湿し、除湿して得られた低露点のドライエアを複数の供給路に分岐し、分岐した内の一供給路を介して低露点のドライエアをファイバレーザ発振器１に供給し、分岐した内の他の供給路を介してファイバレーザ加工機１０に供給し、ファイバレーザ発振器１に供給された低露点のドライエアをディストリビュータ５により複数のファイバレーザモジュールそれぞれに供給することで、ファイバレーザモジュール２内を除湿してその内部の空気の低露点化を行うようになっている。
この除湿方法によれば、ファイバレーザモジュール２の内部に大流量の低露点のドライエアを供給でき、除湿動作開始からレーザ光の出力が可能となるまでの待ち時間が短くファイバレーザ加工装置の使い勝手を極めて良好にすることができる。
【００２７】
上述した除湿動作は制御部ＳＧによって制御される。例えば、低露点のドライエアの供給経路に、単位時間あたりの低露点のドライエアの供給量を、露点温度が上昇して結露を生じない範囲で省電力となるように調節するバルブを設け、そのバルブの開度を制御部ＳＧにより調節するようにしてもよい。また、低露点のドライエアの供給経路にフロースイッチを設けて流量を監視し、流量が所定値を下回ったときにアラーム等で異常を告知するようにしてもよい。
【００２８】
本発明の実施例は、上述した構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００２９】
（変形例１）
除湿動作については、上述したファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷに対する低露点のドライエアの供給による除湿動作と並行して、クーラＣによる筐体ＫＴ内の空気の除湿動作を行ってもよい。この場合、クーラＣは、例えば、図１及び図２に破線で示されるように筐体ＫＴに併設する。これらの除湿動作は制御部ＳＧによって制御される。
図６は、図４で示した低露点のドライエアの供給のみの除湿に加えて、クーラＣによる筐体ＫＴ内空気の除湿を並行して同時に行った場合の、ファイバレーザモジュール２内の空気の露点温度の時間変化を示したグラフである。
【００３０】
この場合の推移ＫＣ１〜５それぞれについての除湿時間ｔは、
推移ＫＣ１（１ｄｍ３／ｍｉｎ）：１５分１０秒（９１０秒）
推移ＫＣ２（２ｄｍ３／ｍｉｎ）：５分５０秒（３５０秒）
推移ＫＣ３（３ｄｍ３／ｍｉｎ）：５分５５秒（３５５秒）
推移ＫＣ４（５ｄｍ３／ｍｉｎ）：２分５秒（１２５秒））
推移ＫＣ５（１０ｄｍ３／ｍｉｎ）：１分４５秒（１０５秒）
となっている。これらの結果は図５のグラフに白ヌキの角プロットで示されている。
さらに、推移ＫＣ３の試験では、筐体ＫＴの内部であってファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷの外側の空気の露点温度の推移を測定しており、図６において推移ＫＣ６として示している。推移ＫＣ６における除湿時間ｔ、すなわち、筐体ＫＴ内の空気の除湿時間ｔは、推移ＫＣ６（筐体内）：６分３秒（１８３秒）である。
【００３１】
図６から明らかなように、ファイバレーザモジュール２及び電源部ＰＷの除湿動作において、並行して筐体ＫＴ内の空気も除湿することは、除湿時間ｔが約半分程度に短縮でき、ファイバレーザ発振器１の動作が可能になるまでの待ち時間が更に短く使い勝手がより良くなるので好ましい。
【００３２】
（変形例２）
ファイバレーザ装置５１におけるエアパージユニット２０の低露点化部２３として、膜分離型窒素ガス発生装置ではなく、膜式エアドライヤを用いてもよい。
膜式エアドライヤは、気体分離膜モジュールとして、透湿性を有する多孔質フッ素系等の中空糸膜を束ねて筒状とした透湿膜モジュール２３ｂ（図３参照）を用い、供給された圧縮空気を透湿膜モジュール２３ｂにより除湿してドライエアを生成するものである。
【００３３】
図３を参照して具体的に説明すると、透湿膜モジュール２３ｂの一端側から内部にオイルミストフィルタ２２を通過した圧縮空気Ａ１を供給すると、膜の内外での水蒸気分圧差によって圧縮空気Ａ１中の水蒸気（Ｈ２Ｏ）が膜に浸透して筒状壁から外部へ抜け出し（矢印Ａｂ参照）、水分のみが取り除かれたドライエアＡ２ｂとなって他端側から排出される。
この排出されたドライエアＡ２ｂは、ファイバレーザ発振器１のディストリビュータ５に向け送出される。
【００３４】
気体分離膜モジュールである透湿膜モジュール２３ｂを備えた膜式エアドライヤを用いて除湿動作を行い、ファイバーレーザモジュール２内の空気の露点温度の時間変化を測定した結果を図７に示す。この露点温度の時間変化は、図７において推移ＫＣ７として示されている。
ここで、ドライエアの供給量５ｄｍ３／ｍｉｎであり、この除湿動作ではクーラＣによる筐体ＫＴ内の除湿を並行して同時に行っている。
従って、除湿動作において、膜式エアドライヤを用いたこと以外の条件は同じであり、推移ＫＣ７は、図６に示された推移ＫＣ４と対比可能な推移データである。そこで、図７では理解容易のために推移ＫＣ４を併記してある。
【００３５】
図７に示されるように、推移ＫＣ６において露点温度が２３℃未満になるまでの除湿時間ｔ７は、１分５３秒（１１３秒）であった。
これは、推移ＫＣ４における２分５秒（１２５秒）とほぼ同等と評価される結果であり、透湿膜モジュール２３ｂを用いた膜式エアドライヤは充分な除湿性能があって、窒素分離膜モジュール２３ａを用いた場合と同様の効果が発揮されることが確認された。
【００３６】
膜式エアドライヤは、小型軽量であり取り付けが容易なので、エアパージユニット２０等の機器への組み込みに好適である。また、電源が不要なので、取り扱いが容易である。
この膜式エアドライヤを用いた除湿動作において、クーラＣによる筐体ＫＴ内の除湿を並行して行わなくてもよいことは言うまでもない。
【００３７】
（他の変形例）
ファイバレーザ加工機１０へは、エアパージユニット２０の上流側で分岐された圧縮空気を供給してもよい。ただ、エアパージユニット２０を経た低露点のドライエアは、オイルミストや比較的粗い粉塵等が除去された清浄なエアであるので、上述したようなエアパージユニット２０の下流側で分岐されたエアを供給することは好ましい。また、エアパージユニット２０の上流側で分岐された圧縮空気を供給する場合であっても、光学部品の光学的機能を損なわないように、供給する圧縮空気からオイルミストや粉塵等は除去しておく必要がある。
レーザ加工機は、ワークＷを切断するもの以外に溶接するもの或いはその他のものでもよく、加工の種類は限定されない。
ファイバレーザ発振器１の内部に、エアパージユニット２０を一体的に収容してもよい。この場合、下流側がファイバレーザ加工機１０に接続されたエア供給路ＡＲ２の上流側は、ファイバレーザ発振器１に接続される。
【符号の説明】
【００３８】
１  ファイバレーザ発振器
２  ファイバレーザモジュール、    ３  コンバイナ、    ４  ビームスイッチ
５  ディストリビュータ
１０  ファイバレーザ加工機
１２  コリメータレンズ、    １３  コリメータユニット
１４  ベンドミラー、    １５  集光レンズ、    １６  レーザヘッド
１８  加工テーブル
２０  エアパージユニット
２１  活性炭槽、    ２２  オイルミストフィルタ
２３  低露点化部
２３ａ  窒素分離膜モジュール、    ２３ｂ  透湿膜モジュール
２４  分岐部
５１  ファイバレーザ加工装置
Ａ，Ａ１  圧縮空気、    Ａ２，Ａ２ｂ  ドライエア
ＡＲ１  エア供給路、    ＡＲ１ａ、ＡＲ１ｂ  エア支路
Ｃ  クーラ
ＥＧ  光エンジン
ＦＢ１  プロセスファイバ
ＦＢ２  ユニットファイバ
ＦＢ３  フィードファイバ
ＫＴ  筐体
Ｌ  レーザ光
Ｐ１  供給ポート、    Ｐ２ａ，Ｐ２ｂ  送出ポート
ＰＷ  電源部、    ＰＷ１  筐体
ＲＦ  冷却部、    ＲＦ１  冷却水供給部、    ＲＦ２  水路系
ＳＧ  制御部、    ＳＧ１  筐体
ｔ  除湿時間
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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