(57)【要約】【課題】小型セルの不良率を低減する太陽電池モジュールの製造方法及び太陽電池モジュールを提供することを課題とする。【解決手段】大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールの製造方法であって、大型セル１０に電極を形成する工程において、切断される側の先端部の幅が中央部よりも狭い電極１２，・・・（例えば、六角形状や菱形形状の電極）を小型セル１１，・・・の個数に応じて大型セル１０に配列することを特徴とし、この電極形成工程で電極が形成された大型セル１０を切断して得られた小型セル１１，１１間を配線材で熱接着した場合、熱接着時の温度変化に伴って発生する内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セルの不良率を低減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記大型セルに電極を形成する工程において、切断される側の先端部の幅が中央部よりも狭い電極を、前記小型セルの個数に応じて前記大型セルに配列することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記電極を一定の間隔で配列することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記大型セルに配列されて隣り合う前記電極間に隙間を設けることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記電極を六角形状に形成することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記電極を菱形形状に形成することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項６】
大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールであって、
前記小型セルは、先端部の幅が中央部よりも狭い電極を有することを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項７】
前記電極が六角形状であることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池モジュール。
【請求項８】
前記電極が菱形形状であることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールの製造方法及び太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールの製造方法の一例として、特許文献１に、使用するシリコン単結晶ウェーハのロスを少なくしかつモジュールの充填率を高めた太陽電池モジュールの製造方法が開示されている。この製造方法は、円形状のシリコン単結晶ウェーハに電極を形成した円形状の太陽電池セルを互いに形状の異なる２種以上のセグメントに切断し、同じ形状のセグメント毎に平面的に配列して接続し、太陽電池モジュールとする。太陽電池モジュールには、セル面積を少なくして発電コストの低減を図るＣＧＡ[Concentrator Groove Array]型がある。ＣＧＡ型太陽電池モジュールは、シリコンウェーハから作製された８インチの大型セルを更に切断して得られた小型セルを並べて接続した構造である。このＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造方法は、スクリーン印刷によって大型セルの各面に２本の帯状の電極を形成し、ダイシングブレードによってその電極が形成された大型セルを短冊状の小型セルに切断し、隣り合った小型セル同士の電極を配線材で接続し、太陽電池モジュールとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３４３９９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
隣り合ったセル同士の電極を配線材で接続する場合、電極に配線材を半田付け（熱接着）することによって、電極が剥離（セル割れ）する不具合が発生する場合がある。これは、配線材（Ｃｕ系金属）や電極の金属とシリコンとの線膨張係数の差が大きいため、熱接着時に発生する温度変化に伴って金属部分とシリコン部分との熱収縮差や熱膨張差が大きくなり、シリコンに内部応力が発生し、電極剥離が発生する。特に、ＣＧＡ型太陽電池モジュールの場合、大型セルから小型セルに切断することによって、図６に示すように、小型セル１０１の電極１０２の縦／横比が切断前より大きくなりかつ電極１０２が長方形状であるため、熱接着時の温度変化に伴って発生する内部応力の影響が切断前の大型セルよりも遥かに大きくなり、小型セル１０１から電極１０２が配線材１０３と共に剥離する。電極が剥離したセルは利用できないので、小型セルの不良率が高くなり、コストアップする。
【０００５】
また、大型セルを小型セルに切断する場合、小型セルの断面形状が荒れ（不均一になり）、セルの発電効率が低下する。これは、大型セルの各面に帯状の電極が形成されて凹凸（セル平面に凸部分）が形成されるので、ダイシングブレードが電極に差し掛かった際に凹凸による段差の影響を受け、一定の切断力が切断面に作用せず、切断面が不均一になる。また、電極材の切断片が切断面に混入する場合もある。そのため、漏れ電流の増加などの発電不良を引き起こし、発電効率の低下を招く。
【０００６】
そこで、本発明は、小型セルの不良率を低減する太陽電池モジュールの製造方法及び太陽電池モジュールを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールの製造方法であって、大型セルに電極を形成する工程において、切断される側の先端部の幅が中央部よりも狭い電極を、小型セルの個数に応じて大型セルに配列することを特徴とする。
【０００８】
この太陽電池モジュールの製造方法は、大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールを製造する方法であり、特に、切断前の大型セルに小型セルの電極を形成する工程に特徴がある。この電極形成工程では、大型セルにおいて切断する側の先端部の幅が中央部よりも狭い電極を、小型セルの個数に応じて大型セル上に配列して形成する。この電極形成工程後の大型セルを小型セルに切断した場合、その切断後の各小型セルの電極は両先端部の幅が中央部よりも狭くなっており、その電極の両先端部はシリコンと接触する面積が中央部よりも小さくなっている。そのため、太陽電池モジュールで隣り合う小型セル間を接続するために隣り合う小型セル間の電極を配線材で熱接着した場合、配線材や電極の金属と小型セルのシリコンとの大きな線膨張係数差に応じて熱接着時の温度変化に伴って内部応力が発生するが、その内部応力の影響を配線材の端部（電極の先端部）に向かうに従って小さくすることができる。これは、配線材の端部（電極の先端部）においては電極とシリコンとの接触面積が小さくなっているので、シリコンでは内部応力が電極の先端部方向に向けて逃げ、内部応力の影響を受け難くなるからである。その結果、電極を配線材で熱接着しても、電極剥離し難くなる。このように、太陽電池モジュールの製造方法では、切断前の大型セルに小型セルの電極として先端部の幅が中央部よりも狭い形状の電極を形成することにより、この電極形成後の大型セルから切断して得られた小型セルにおいて配線材の熱接着による内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セルの不良率を低減できる。
【０００９】
本発明の上記太陽電池モジュールの製造方法では、電極を一定の間隔で配列する。このように、太陽電池モジュールの製造方法は、大型セルに一定の間隔で電極を配列することにより、大型セルから切断される一定の幅の各小型セルの同じ位置に先端部が中央部よりも狭い電極を配置できる。
【００１０】
本発明の上記太陽電池モジュールの製造方法では、大型セルに配列されて隣り合う電極間に隙間を設けると好適である。大型セルに配列される電極間に隙間があると、電極形成工程後の大型セルを切断する場合、その隙間内で切断することによって切断線上には電極による凹凸が存在しない。そのため、切断時に凹凸による段差の影響を受けないので、切断面が荒れない（不均一にならない）。このように、太陽電池モジュールの製造方法では、切断前の大型セルにおいて隣り合う電極間に隙間を設けることにより、切断による小型セルの断面荒れを防止でき、発電効率の低下を防止できる。
【００１１】
本発明の上記太陽電池モジュールの製造方法では、電極を六角形状に形成する。また、本発明の上記太陽電池モジュールの製造方法では、電極を菱形形状に形成する。このように、太陽電池モジュールの製造方法は、六角形状や菱形形状の電極を形成することにより、先端部の幅が中央部よりも狭い電極となり、特に、六角形状や菱形形状の場合には先端部が尖って狭くなるので、内部応力の影響の抑制効果が高い。
【００１２】
本発明に係る太陽電池モジュールは、大型セルを切断して得られた小型セルを並べて接続した太陽電池モジュールであって、小型セルは、先端部の幅が中央部よりも狭い電極を有することを特徴とする。このように、太陽電池モジュールは、先端部の幅が中央部よりも狭い電極を有する小型セルとすることにより、隣り合う小型セル間の電極を配線材で熱接着した場合でも上記したように内部応力の影響を受け難く、電極剥離を抑制でき、小型セルの不良率を低減できる。
【００１３】
本発明の上記太陽電池モジュールでは、電極が六角形状である。また、本発明の上記太陽電池モジュールでは、電極が菱形形状である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法によれば、切断前の大型セルに小型セルの電極として先端部の幅が中央部よりも狭い形状の電極を形成することにより、この電極形成後の大型セルから切断して得られた小型セルにおいて配線材の熱接着による内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セルの不良率を低減できる。また、本発明に係る太陽電池モジュールによれば、先端部の幅が中央部よりも狭い電極を有する小型セルとすることにより、配線材の熱接着による内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セルの不良率を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程における電極形成工程とダイシング工程を示す平面図である。
【図２】図１の電極形成工程で形成される隣り合う電極の拡大図である。
【図３】図１のダイシング工程後の小型セルに対するストリングス工程で接続された小型セル間の斜視図である。
【図４】第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程における電極形成工程とダイシング工程を示す平面図である。
【図５】図４の電極形成工程で形成される隣り合う電極の拡大図である。
【図６】従来のＣＧＡ型太陽電池モジュールで隣り合う小型セル間のストリングス工程で接続された小型セル間の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法及び太陽電池モジュールの実施の形態を説明する。なお、各図において同一又は相当する要素については同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１７】
本実施の形態では、本発明を、ＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程に適用する。本実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールは、従来型モジュールで用いられる８インチの大型セルから切断された短冊状の小型セルを並べて接続した構造のモジュールであり、セル面積を従来型モジュールよりも低減できる。本実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程は、シリコンウェーハから大型セルを作製する大型セル作製工程、大型セルに電極を形成する電極形成工程、大型セルを切断するダイシング工程、小型セル間を接続するストリングス工程がある。本実施の形態では、大型セル作製工程、ダイシング工程、ストリングス工程については従来と同様なので簡単に説明し、電極形成工程について詳細に説明する。本実施の形態には、２つの形態があり、第１の実施の形態が電極形成工程で六角形状の電極を形成する形態であり、第２の実施の形態が電極形成工程で菱形形状の電極を形成する形態である。なお、本実施の形態では、大型セルから１０個の小型セルに得る例で説明する。この小型セルの個数は、任意であり、１０個以外の個数でもよい。
【００１８】
図１〜図３を参照して、第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程を説明する。図１は、第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程における電極形成工程とダイシング工程を示す平面図である。図２は、図１の電極形成工程で形成される隣り合う電極の拡大図である。図３は、図１のダイシング工程後の小型セルに対するストリングス工程で接続された小型セル間の斜視図である。
【００１９】
第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程における電極形成工程では、ストリングス工程で配線材１４の熱接着時に発生する内部応力の影響を低減するために大型セル１０に小型セル１１の電極１２として六角形状（切断される側の先端部が中央部より狭い形状）の電極を形成するとともに、ダイシング工程で断面荒れを防止するために大型セル１０において隣接する六角形状の電極１２，１２間に隙間を設ける。
【００２０】
電極形成前の大型セル１０は、各辺が８インチの略正方形であり、従来型の太陽電池モジュールに用いられる電極形成前の８インチの単結晶シリコンセルである。したがって、この大型セル１０を円形状のシリコンウェーハから作製する大型セル作製工程は、従来と同様の作製工程である。
【００２１】
電極形成工程では、大型セル１０の両面に、図１に示すように、六角形状の電極１２を小型セル１１の個数に応じて２列配列するとともにその各列において隣接する電極１２，１２間に隙間を設けた構造の電極を形成する。電極１２は、列毎に、切断される小型セル１１，・・・の個数（１０個）と同じ１０個必要であり、１０個が一定の間隔で配置される。電極１２の形状は、図２に示すように、六角形状であり、ダンシング工程で切断される側が頂点となる先端部１２ａが中央部１２ｂよりも幅が狭くなっている。先端部１２ａの頂点から中央部１２ｂと先端部１２ａとの境界の頂点までの長さをＬ１とし、両先端部１２ａ，１２ａの頂点間の長さをＬ２とすると、Ｌ１／Ｌ２が１／５から１／２までの範囲になるような六角形状とし、Ｌ２は小型セル１１の短辺の長さよりも若干短い（あるいは、同じ）長さとする。また、中央部１２ｂの幅は、配線材１４の太さよりも広い幅とする。また、先端部１２ａ，１２ａの各頂点が対向して隣り合う電極１２，１２間の隙間Ｏ１は、ダイシング工程で用いられるダイシングブレードの幅よりも広い隙間とする。
【００２２】
また、電極形成工程では、大型セル１０の両面に、図１に示すように、配列された２列の小型セル１１，・・・に直交する細い電極１３，・・・を各小型セル１１に対して複数本ずつ配列した構造の電極を形成する。各小型セル１１に対して電極１３を何本設けるかは任意であり、図１の例では４本ずつ（但し、両端の小型セル１１に対しては３本ずつ）設けている。電極１３の長さは、切断後の小型セル１１の長辺の長さよりも若干短い長さである。
【００２３】
電極の形成には、スクリーン印刷を用いる。スクリーン印刷は、形成する電極の構造に応じて予め設計した型を用いて印刷を行う。したがって、スクリーン印刷の場合、上記のような１０個の六角形状の電極１２を等間隔に並べて２列配置した複雑な構造を形成する場合でも、従来のように２本の帯状の電極を配置した単純な構造を形成する場合でも、印刷工程数は同じであり、コストは増加しない。
【００２４】
ダイシング工程では、図１に示すように、電極形成工程で電極が形成された大型セル１０をダイシングブレードによって等間隔で１０個の小型セル１１，・・・に切断する。この際、大型セル１０に配列されて隣り合って電極１２，１２間の隙間の中心位置を切断線が通るように切断する。このように切断することによって、大型セル１０において電極１２による凹凸がない部分を切断できる。その結果、一定の切断力が切断面に作用し、切断による小型セル１１の断面荒れ（不均一）を防止できる。これによって、従来のＣＧＡ型太陽電池モジュールのように発電効率が低下しない。
【００２５】
ダイシング工程後の小型セル１１は、長辺が大型セル１０の一辺と同じ長さであり、短辺が大型セル１０の一辺を十等分した長さ（切削箇所があるので十等分より若干短い長さ）を有する短冊状（長方形状）である。小型セル１１は、各面に、集合電極である２個の六角形状の電極１２，１２を有するとともに、電極１２に直交する４本又は３本の細い電極１３，・・・を有している。
【００２６】
ストリングス工程では、図３に示すように、ＣＧＡ型太陽電池モジュールにおいて隣り合う小型セル１１，１１同士を２本の配線材１４，１４で接続する。この際、一方の小型セル１１の一面（表面）の各電極１２，１２の中心位置に各配線材１４，１４を半田付けでそれぞれ熱接着するとともに、他方の小型セル１１の他面（裏面）の各電極１２，１２に各配線材１４，１４を半田付けでそれぞれ熱接着する。
【００２７】
配線材１４（Ｃｕ系金属）や電極１２の金属と小型セル１１のシリコンとの線膨張係数は大きく異なるので、その差に応じて熱接着時に発生する温度変化に伴って金属部分とシリコン部分との熱収縮差や熱膨張差が大きくなり、シリコンに内部応力が発生する。特に、その内部応力は配線材１４の配列方向の端部（電極１２の六角形状の先端部１２ａの頂点）に向かうほど大きくなり、小型セル１１では配線材１４の配列方向の端部との接点において内部応力の影響を最も大きく受ける。しかし、配線材１４は電極１２の六角形状の両先端部１２ａ，１２ａの頂点間を結ぶ線上に配置されて半田付けされるので、配線材１４の端部（電極１２の六角形状の先端部１２ａの頂点）に向かうに従って電極１２と小型セル１１のシリコンとの接触面積が小さくなっている。そのため、シリコン内で発生している内部応力が電極１２の六角形状の先端部１２ａの頂点方向に向けて逃げ、内部応力の影響を受け難い。その結果、内部応力の影響が低減され（特に、電極１２の六角形状の先端部１２ａの頂点側の影響が低減）、小型セル１１から電極１２が剥離（セル割れ）するのを抑制できる。これによって、従来のＣＧＡ型太陽電池モジュールにおいて隣り合う小型セル間の長方形状の電極に配線材を熱接着する場合に比べて、電極剥離率（不良率）を大幅に低減できる。
【００２８】
この第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程（ひいては、製造されたＣＧＡ型太陽電池モジュール）によれば、切断前の大型セル１０に小型セル１１の電極１２として六角形状（先端部１２ａの幅が中央部１２ｂよりも狭い形状）の電極を形成することにより、この電極形成後の大型セル１０から切断して得られた小型セル１１において配線材１４の熱接着による内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セル１１の不良率を低減できる。特に、電極１２を先が尖った六角形状としているので、内部応力の影響の低減効果が高い。また、第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造方法では、切断前の大型セル１０において隣り合う電極１２，１２間に隙間を設けることにより、切断による小型セル１１の断面荒れを防止でき、発電効率の低下を防止できる。これらの作用効果によって、ＣＧＡ型太陽電池モジュールの生産性を著しく向上できる。
【００２９】
図４、図５を参照して、第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程を説明する。図４は、第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程における電極形成工程とダイシング工程を示す平面図である。図５は、図４の電極形成工程で形成される隣り合う電極の拡大図である。
【００３０】
第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程は、第１の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程と比較すると、電極形成工程のみ異なるので、その異なる点について詳細に説明する。第２の実施の形態に係る電極形成工程では、ストリングス工程で配線材の熱接着時に発生する内部応力の影響を低減するために大型セル２０に小型セル２１の電極２２として菱形形状（切断される側の先端部が中央部より狭い形状）の電極を形成するとともに、ダイシング工程で断面荒れを防止するために大型セル２０において隣接する菱形形状の電極２２，２２間に隙間を設ける。なお、電極形成前の大型セル２０は、第１の実施の形態に係る電極形成前の大型セル１０と同様のセルであり、同様の大型セル作製工程で作製される。
【００３１】
電極形成工程では、大型セル２０の両面に、図４に示すように、菱形形状の電極２２を小型セル２１の個数に応じて２列配列するとともにその各列において隣接する電極２２，２２間に隙間を設けた構造の電極を形成する。電極２２は、列毎に、切断される小型セル２１，・・・の個数（１０個）と同じ１０個必要であり、１０個が一定の間隔で配置される。電極２２の形状は、図５に示すように、菱形形状であり、ダンシング工程で切断される側が頂点となる先端部２２ａが中央部２２ｂよりも幅が狭くなっている。先端部２２ａの頂点から中央部２２ｂの頂点までの長さをＬ３とし、両先端部２２ａ，２２ａの頂点間の長さをＬ４とすると、菱形形状なのでＬ３／Ｌ４が１／２となり、Ｌ４は小型セル２１の短辺の長さよりも若干短い（あるいは、同じ）長さとする。また、中央部２２ｂの幅は、配線材の太さよりも広い幅とする。また、先端部２２ａ，２２ａの各頂点が対向して隣り合う電極２２，２２間の隙間Ｏ２は、ダイシング工程で用いられるダイシングブレードの幅よりも広い隙間とする。また、電極形成工程では、大型セル２０の両面に、図４に示すように、第１の実施の形態で説明した電極１３，・・・と同様の電極２３，・・・を形成する。
【００３２】
ダイシング工程でこの電極形成工程で電極が形成された大型セル２０を切断すると、第１の実施の形態で説明したように、大型セル２０において電極２２による凹凸がない部分（隣接する電極２２，２２間の隙間）を切断でき、切断による小型セル２１の断面荒れを防止でき。ダイシング工程後の小型セル２１は、長辺が大型セル２０の一辺と同じ長さであり、短辺が大型セル２０の一辺を十等分した長さを有する短冊状である。小型セル２１は、各面に、集合電極である２個の菱形形状の電極２２，２２を有するとともに、電極２２に直交する４本又は３本の細い電極２３，・・・を有している。
【００３３】
ストリングス工程でＣＧＡ型太陽電池モジュールにおいて隣り合う小型セル２１，２１同士を２本の配線材で熱接着で接続する場合、第１の実施の形態で説明したように、シリコンに内部応力が発生し、特に、その内部応力は配線材の配列方向の端部に向かうほど大きくなる。しかし、配線材は電極２２の菱形形状の両先端部２２ａ，２２ａの頂点間を結ぶ線上に配置されて半田付けされるので、配線材の端部（電極２２の菱形形状の先端部２２ａの頂点）に向かうに従って電極２２と小型セル２１のシリコンとの接触面積が小さくなっている。そのため、シリコン内で発生している内部応力が電極２２の菱形形状の先端部２２ａの頂点方向に向けて逃げ、内部応力の影響を受け難い。その結果、内部応力の影響が低減され（特に、電極２２の菱形形状の先端部２２ａの頂点側の影響が低減）、小型セル２１から電極２２が剥離するのを抑制できる。
【００３４】
この第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造工程（ひいては、製造されたＣＧＡ型太陽電池モジュール）によれば、切断前の大型セル２０に小型セル２１の電極２２として菱形形状（先端部２２ａの幅が中央部２２ｂよりも狭い形状）の電極を形成することにより、この電極形成後の大型セル２０から切断して得られた小型セル２１において配線材の熱接着による内部応力の影響を低減して電極剥離を抑制でき、小型セル２１の不良率を低減できる。特に、電極２２を先が尖った菱形形状としているので、内部応力の影響の低減効果が高い。また、第２の実施の形態に係るＣＧＡ型太陽電池モジュールの製造方法では、切断前の大型セル２０において隣り合う電極２２，２２間に隙間を設けることにより、切断による小型セル２１の断面荒れを防止でき、発電効率の低下を防止できる。これらの作用効果によって、ＣＧＡ型太陽電池モジュールの生産性を著しく向上できる。
【００３５】
以上、本発明に係る実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく様々な形態で実施される。
【００３６】
例えば、本実施の形態ではＣＧＡ型太陽電池モジュールに適用したが、ＣＧＡ型以外でも、大型セルを切断して得られた小型セルを並べて配線材で接続した太陽電池モジュールであればよく、このような太陽電池モジュールであれば上記したうような作用効果がある。
【００３７】
また、本実施の形態では六角形成、菱形形状の電極としたが、先端部の幅が中央部よりも狭い形状の電極であれば他の形状でもよい。例えば、先端部が台形となる八角形状でもよい（特に、先端の辺の長さが中央部の幅よりも狭いほどよい）。
【００３８】
また、本実施の形態では大型セルに形成される隣り合う電極間に隙間を設ける構成としたが、隙間がない構成でもよい。隙間がなくても、先端部の幅が中央部よりも狭い形状の電極であれば、内部応力の影響を低減できる。
【符号の説明】
【００３９】
１０，２０…大型セル、１１，２１…小型セル、１２，１３，２２，２３…電極、１２ａ，２２ａ…先端部、１２ｂ，２２ｂ…中央部、１４…配線材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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