(57)【要約】【課題】歩留まりが高く高精細化が可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することにある。【解決手段】第１電極１２が形成された第１基板１０と、第１電極１２と対向する第２電極２２が形成された第２基板２０と、第１基板１０側から第２基板２０側に向けて突出し、第１基板１０と第２基板２０とに挟まれた空間を複数の単位空間４０に区画する隔壁３０と、各単位空間４０に封入され、第１電極１２と第２電極２２との間に発生する電界によって第１電極１２と第２電極２２との間を移動する帯電粒子４２を含む表示媒体４１Ａと、を含み、第１基板１０には、第１電極１２を駆動する駆動回路が形成されており、第２基板２０には、表示媒体４１Ａを単位空間４０に充填するための貫通孔５０が形成されており、第１基板１０には、表示媒体４１Ａを単位空間４０に充填するための貫通孔が形成されていない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極が形成された第１基板と、
前記第１電極と対向する第２電極が形成された第２基板と、
前記第１基板側から前記第２基板側に向けて突出し、前記第１基板と前記第２基板とに挟まれた空間を複数の単位空間に区画する隔壁と、
各単位空間に封入され、前記第１電極と前記第２電極との間に発生する電界によって前記第１電極と前記第２電極との間を移動する帯電粒子を含む表示媒体と、を含み、
前記第１基板には、前記第１電極を駆動する駆動回路が形成されており、
前記第２基板には、前記表示媒体を前記単位空間に充填するための貫通孔が形成されており、前記第１基板には、前記表示媒体を前記単位空間に充填するための貫通孔が形成されていない表示装置。
【請求項２】
前記第２基板には、前記第２基板の法線方向から見て、前記隔壁と重なる部分に前記貫通孔が形成されており、
前記第２基板の前記貫通孔が形成された部分と前記隔壁の前記第２基板側の先端部との間には隙間が形成されており、
前記貫通孔及び前記隙間に、前記表示媒体を封止する封止部材が充填されている請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第２基板には、前記第２基板に形成された前記貫通孔を封止するとともに前記第２基板の表面全体を覆う封止部材が形成されている請求項１または２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第２基板には、複数の着色層が配列して形成されたカラーフィルターが設けられており、
前記第２基板には、前記第２基板の法線方向から見て、前記複数の着色層のうち少なくとも一つの着色層と重なる部分に前記貫通孔が形成されており、
前記封止部材のうち前記貫通孔を封止する部分は、前記着色層と同じ色の顔料又は染料を含む請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記封止部材の表面には、反射防止処理、硬質化処理のうち少なくとも一つが施されている請求項３または４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記封止部材のうち前記貫通孔を封止する部分は、導電性を有するとともに前記第２電極と電気的に接続されている請求項３ないし５のいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項７】
駆動回路が形成された第１基板上に複数の単位空間を区画する隔壁を形成し、前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合わせる第１工程と、
前記隔壁によって囲まれた各単位空間内に帯電粒子を含む表示媒体を充填するための貫通孔を前記第２基板に形成する第２工程と、
前記第２基板に形成された前記貫通孔から前記単位空間に前記表示媒体を充填する第３工程と、
を含む表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置及び表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＥＰＤ（Electrophoretic Display）やＱＲＬＰＤ（Quick Response Liquid Powder Display）のような帯電粒子の移動により表示を行う表示装置は、表示期間中の消費電力がゼロに近く、表示の切り換え期間の消費電力も非常に小さくすることができることから、特に電子ペーパーなどの携帯型情報端末の分野で広く利用されるようになってきている。この種の表示装置は、一対の基板間に帯電粒子を封入し、各基板の内面に形成した電極の間に電界を発生させて帯電粒子の移動を制御している。この際、基板面内での帯電粒子の偏りを防ぐために、帯電粒子の封入空間を隔壁で区画し、基板面方向への帯電粒子の移動を規制している（特許文献１を参照）。なお、隔壁で区画された個々の単位空間はセルと呼ばれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１−２４８１８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
セル内に帯電粒子を封入する方法としては、例えば、特許文献１に記載の方法が知られている。特許文献１では、画素電極や薄膜トランジスタなどが形成された素子基板に複数の貫通孔を形成し、一の貫通孔から帯電粒子を含む表示媒体（例えば、帯電粒子を溶媒に分散させた分散液）を封入し、他の一の貫通孔から排気を行ってセル内に前記表示媒体を充填する。しかし、この方法では、１セルあたり複数の貫通孔を素子基板に形成するため、薄膜トランジスタや各種配線を素子基板に配置する領域が狭くなってしまい、高精細化が困難になるという課題がある。また、素子基板上にはこのような微細な回路が形成されているため、貫通孔を開ける工程が加わることにより、歩留まりの低下やコストの増大に繋がるといった課題も生じる。
【０００５】
本発明の目的は、歩留まりが高く高精細化が可能な表示装置及び表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の表示装置は、第１電極が形成された第１基板と、前記第１電極と対向する第２電極が形成された第２基板と、前記第１基板側から前記第２基板側に向けて突出し、前記第１基板と前記第２基板とに挟まれた空間を複数の単位空間に区画する隔壁と、各単位空間に封入され、前記第１電極と前記第２電極との間に発生する電界によって前記第１電極と前記第２電極との間を移動する帯電粒子を含む表示媒体と、を含み、前記第１基板には、前記第１電極を駆動する駆動回路が形成されており、前記第２基板には、前記表示媒体を前記単位空間に充填するための貫通孔が形成されており、前記第１基板には、前記表示媒体を前記単位空間に充填するための貫通孔が形成されていないことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、駆動回路が形成された第１基板に貫通孔が形成されていないため、薄膜トランジスタや各種配線を第１基板に配置する領域を広く確保することができる。よって、歩留まりが高く高精細化が可能な表示装置が提供できる。
【０００８】
前記第２基板には、前記第２基板の法線方向から見て、前記隔壁と重なる部分に前記貫通孔が形成されており、前記第２基板の前記貫通孔が形成された部分と前記隔壁の前記第２基板側の先端部との間には隙間が形成されており、前記貫通孔及び前記隙間に前記表示媒体を封止する封止部材が充填されていてもよい。
【０００９】
この構成によれば、貫通孔が直接表示に寄与しない部分に形成されるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００１０】
前記第２基板には、前記第２基板に形成された前記貫通孔を封止するとともに前記第２基板の表面全体を覆う封止部材が形成されていてもよい。
【００１１】
この構成によれば、封止部材のうち貫通孔を封止する部分が目立たなくなるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００１２】
前記第２基板には、複数の着色層が配列して形成されたカラーフィルターが設けられており、前記第２基板には、前記第２基板の法線方向から見て、前記複数の着色層のうち少なくとも一つの着色層と重なる部分に前記貫通孔が形成されており、前記封止部材のうち前記貫通孔を封止する部分は、前記着色層と同じ色の顔料又は染料を含んでいてもよい。
【００１３】
この構成によれば、封止部材による画質の低下を抑制できる。
【００１４】
前記封止部材の表面には、反射防止処理、硬質化処理のうち少なくとも一つが施されていてもよい。
【００１５】
この構成によれば、反射防止処理により、表示面での光反射を抑制でき、表示品位の低下を抑制できる。また、硬質化処理により、表示面に傷が付くことを抑制できる。
【００１６】
前記封止部材のうち前記貫通孔を封止する部分は、導電性を有するとともに前記第２電極と電気的に接続されていてもよい。
【００１７】
この構成によれば、封止部材のうち貫通孔を封止する部分と第２電極とが同電位となるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００１８】
本発明の表示装置の製造方法は、駆動回路が形成された第１基板上に複数の単位空間を区画する隔壁を形成し、前記第１基板上に前記隔壁を介して第２基板を貼り合わせる第１工程と、前記隔壁によって囲まれた各単位空間内に帯電粒子を含む表示媒体を充填するための貫通孔を前記第２基板に形成する第２工程と、前記第２基板に形成された前記貫通孔から前記単位空間に前記表示媒体を充填する第３工程と、を含むことを特徴とする。
【００１９】
この製造方法によれば、駆動回路が形成された第１基板に貫通孔が形成されないため、薄膜トランジスタや各種配線を第１基板に配置する領域を広く確保することができる。よって、歩留まりが高く高精細化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】電気泳動表示装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図３】電気泳動表示装置の製造工程を示す断面工程図である。
【図４】図３に続く、断面工程図である。
【図５】電気泳動表示装置の製造工程の第１変形例を示す断面工程図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図７】隔壁の平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る電気泳動表示装置の概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００２２】
以下の実施の形態においては、本発明の表示装置の一例として電気泳動表示装置を挙げて説明する。
【００２３】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る電気泳動表示装置１の概略構成を示す断面図である。
図１に示すように、電気泳動表示装置（表示装置）１は、素子基板（第１基板）１０と、対向基板（第２基板）２０と、隔壁３０と、電気泳動層４１と、封止部材５１と、を備えている。
【００２４】
素子基板１０は、素子基板本体１１上に画素電極１２及び絶縁層１３が形成された基板である。
素子基板本体１１は、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの絶縁性の樹脂材料からなる樹脂基板、又は、ガラス基板を用いる。素子基板本体１１の厚みは、例えば、１００μｍ〜５００μｍの範囲の厚みである。
【００２５】
素子基板１０には、画素電極１２を駆動する、例えばソース線、ゲート線等の各種配線の駆動回路が形成されている。画素電極１２は、配線を介して薄膜トランジスタに接続されており、当該薄膜トランジスタをオン、オフすることにより、画素電極１２に選択的に電圧を印加できるようになっている。絶縁層１３は、素子基板本体１１上の薄膜トランジスタを覆って形成されている。
【００２６】
画素電極１２は、素子基板本体１１の電気泳動層４１と対向する側の面に形成されている。画素電極１２は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）やインジウム錫酸化物（Indium Tin Oxide, 以下、ＩＴＯと略記する）等の導電膜で構成されている。画素電極１２の厚みは、例えば、５０ｎｍ程度である。
【００２７】
対向基板２０は、対向基板本体２１上に対向電極２２が形成された基板である。
対向基板本体２１は、ガラス基板等の透明基板を用いる。対向電極２２は、対向基板本体２１の電気泳動層４１と対向する側の面に形成されている。対向電極２２は、例えば、ＩＴＯ等の透明導電膜で構成されている。本実施形態においては、対向基板２０の表面が電気泳動表示装置１の表示面２１ａを構成しており、電気泳動表示装置１の表示画面に表示される文字、画像等を対向基板２０側から視認できるようになっている。
【００２８】
隔壁３０は、素子基板１０側から対向基板２０側に向けて突出し、素子基板１０と対向基板２０とに挟まれた空間を複数の単位空間４０に区画する。以下、当該単位空間をセルと称する。
【００２９】
本実施形態では、一つのセル４０に対応して一つの画素電極１２が形成されているが、これに限らず、一つのセル４０に対応して複数の画素電極１２が形成されていてもよい。
【００３０】
隔壁３０の形成材料としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂等の各種樹脂材料や、シリカ、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス材料を用いることができる。
【００３１】
電気泳動層４１は、隔壁３０の各セル４０内に、複数の電気泳動粒子４２とこれら電気泳動粒子４２（帯電粒子）を分散させた分散媒４３とを有する電気泳動材料４１Ａ（表示媒体）が封入されてなる層である。電気泳動粒子４２は、画素電極１２と対向電極２２との間に発生する電界によって画素電極１２と対向電極２２との間を移動する。
【００３２】
電気泳動粒子４２は、例えば、顔料粒子、樹脂粒子又はこれらの複合粒子である。顔料粒子を組成する顔料としては、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料、酸化チタン、酸化アンチモンなどの白色顔料などがある。また、樹脂粒子を組成する樹脂材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、尿素樹脂、エポキシ系樹脂、ポリスチレン、ポリエステルなどがある。複合粒子としては、例えば、顔料粒子の表面を樹脂材料や他の顔料で被覆したもの、樹脂粒子の表面を顔料で被覆したもの、顔料と樹脂粒子とを適当な組成比で混合した混合物で構成される粒子などがある。これらの各種材料からなる電気泳動粒子４２は、例えば正又は負に帯電した状態で分散媒中に分散されている。
【００３３】
分散媒４３は、例えば、親油性の炭化水素系の溶媒であり、例えば、アイソパー（登録商標）を含む。すなわち、分散媒４３は、例えば、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ、アイソパーＭのうちのいずれか１種類を含む液体、もしくはこれらのうちの２種類以上を混合した液体、あるいは、これらのうちのいずれか１種類以上と他の種類の炭化水素系の溶媒とを混合した液体である。
【００３４】
あるいは、分散媒４３は、例えば、ペンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンのような長鎖アルキル基を有するベンゼン類（アルキルベンゼン誘導体）等の芳香族炭化水素類、ピリジン、ピラジン、フラン、ピロール、チオフェン、メチルピロリドン等の芳香族複素環類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ギ酸エチル等ノエステル類、アセトン、メチルエチルケトン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ルチルイソプロピルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、アセトニトリル、プロピオニトリル、アクリロニトリル等のニトリル類、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド類、カルボン酸塩又はその他の各種油類等でも良く、これらを単独又は混合物として用いることができる。
【００３５】
対向基板２０には、電気泳動材料４１Ａをセル４０に充填するための貫通孔５０が形成されている。貫通孔５０の大きさ（直径）は数１０μｍ程度である。一方、素子基板１０には、電気泳動材料４１Ａをセル４０に充填するための貫通孔が形成されていない。
【００３６】
本実施形態において、対向基板２０には、各セル４０に対応して２つの貫通孔５０が形成されている。各貫通孔５０は、各セル４０において隔壁３０寄りに配置されている。尚、貫通孔５０の配置数、配置位置は適宜変更可能である。
【００３７】
本実施形態の場合、対向基板２０には貫通孔５０が形成されているので、対向電極２２にも部分的に開口部が形成されているが、このような開口部は面積が小さければ表示に与える影響は軽微であることが本発明者の検討により明らかになっている。
【００３８】
すなわち、画素電極１２と対向電極２２との間に電圧を印加すると、対向電極２２の開口部には電圧が印加されず、電気泳動粒子４２も堆積しないと考えられるが、実際には、電気泳動粒子４２は、必ずしも電場ベクトルに倣って移動するわけではなく、ある程度拡散しながら移動することが分かった。そのため、対向電極２２が無い部分であっても、貫通孔５０の大きさが小さければ、表示に寄与し得る。また、電気泳動表示装置１の表示品位は、電気泳動粒子４２の各セル４０内における分布状態が大きく寄与し、対向基板２０の界面状態は前記表示品位にほとんど影響しないことが本発明者の検討により明らかになっており、対向基板２０に貫通孔５０を設けても表示品位を維持できることが分かった。
【００３９】
本実施形態では、このような知見から、対向基板２０側に貫通孔５０を形成しており、これにより、素子基板１０側の設計の自由度を損なうことなく、表示品質の高い電気泳動表示装置を提供するものとしている。
【００４０】
対向基板２０には、貫通孔５０を封止する封止部材５１が形成されている。封止部材５１の形成材料としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等の各種樹脂材料を用いることができる。尚、封止部材５１の形成材料としては、電気泳動材料４１Ａと反応しない材料を用いる。
【００４１】
また、封止部材５１の形成材料としては透明なものが好ましい。電気泳動粒子４２が電界によって画素電極１２と対向電極２２との間を上方に移動したときに、貫通孔５０の形成領域も表示画像に寄与させるためである。
【００４２】
また、対向基板２０の屈折率と封止部材５１の屈折率とは概ね等しいことが好ましい。対向基板２０の屈折率と封止部材５１の屈折率との差が大きいと、対向基板２０と封止部材５１との間の界面で光が反射する惧れがあるからである。当該光反射を抑制するためには、対向基板２０の屈折率をｎ１とし、封止部材５１の屈折率をｎ２としたときに、対向基板２０の屈折率ｎ１と封止部材５１の屈折率ｎ２との差｜ｎ１−ｎ２｜が３以下であることが好ましい。
【００４３】
（電気泳動表示装置の製造方法）
図２は、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造工程を示すフローチャートである。
図３及び図４は、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造工程を示す断面工程図である。尚、図３（ｃ）、図４（ａ）、図４（ｂ）、及び図４（ｃ）においては、便宜上、電気泳動材料４１Ａを構成する電気泳動粒子４２及び分散媒４３の図示を省略する。
【００４４】
本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法は、駆動回路が形成された素子基板１０上に複数のセル４０を区画する隔壁３０を形成し、素子基板１０上に隔壁３０を介して対向基板２０を貼り合わせる第１工程と、隔壁３０によって囲まれた各セル４０内に電気泳動材料４１Ａを充填するための貫通孔５０を対向基板２０に形成する第２工程と、対向基板２０に形成された貫通孔５０からセル４０に電気泳動材料４１Ａを充填する第３工程と、
を有する。
【００４５】
具体的には、図２に示すように、素子基板１０上に隔壁３０を介して対向基板２０を貼り合わせる「基板貼り合わせ工程Ｓ１（第１工程）」と、対向基板２０に貫通孔５０を形成する「貫通孔形成工程Ｓ２（第２工程）」と、隔壁３０によって囲まれた各セル４０内に電気泳動材料４１Ａを充填する「電気泳動材料充填工程Ｓ３（第３工程）」と、貫通孔５０を封止する「貫通孔封止工程Ｓ４」と、を有する。
【００４６】
先ず、基板貼り合わせ工程Ｓ１では、図３（ａ）に示すように、素子基板１０上に隔壁３０を介して対向基板２０を貼り合わせて第１中間パネル１Ａを作製する。尚、第１中間パネル１Ａの作製方法は、従来公知の方法で作製するため、その詳細な説明は省略する。
【００４７】
次に、貫通孔形成工程Ｓ２では、図３（ｂ）に示すように、対向基板２０に貫通孔５０を形成して第２中間パネル１Ａ’を作製する。貫通孔５０は、各セル４０ごとに２つ形成し、それぞれ各セル４０において隔壁３０寄りに形成する。
【００４８】
尚、貫通孔５０は、第１中間パネル１Ａの作製後に対向基板２０に形成することに限らず、第１中間パネル１Ａの作製前、すなわち対向基板２０の作製時に予め対向基板２０に形成しておいてもよい。
【００４９】
次に、電気泳動材料充填工程Ｓ３では、隔壁３０の各セル４０内に電気泳動材料４１Ａを充填する。電気泳動材料４１Ａの充填方法としては、例えば、真空注入法を用いる。
【００５０】
具体的には、図３（ｃ）に示すように、第２中間パネル１Ａ’を、上下反転させて貫通孔５０が形成された側を下に向けて、チャンバー６０の内部に導入し、電気泳動材料４１Ａを収容する容器６１の上方に配置する。この状態でチャンバー６０の内部の気体を排気し、チャンバー６０の内部を真空にする。
【００５１】
次に、図４（ａ）に示すように、チャンバー６０の内部を真空にした状態で、第２中間パネル１Ａ’を容器６１に収容された電気泳動材料４１Ａに浸漬させる。すると、第２中間パネル１Ａ’の各セル４０も真空になっているため、各セル４０には、容器６１に収容された電気泳動材料４１Ａが毛細管現象によって侵入する。
【００５２】
次に、図４（ｂ）に示すように、第２中間パネル１Ａ’を容器６１に収容された電気泳動材料４１Ａに浸漬させた状態で、チャンバー６０の内部に大気を注入する。すると、大気圧により、容器６１に収容された電気泳動材料４１Ａの液面が押されるため、第２中間パネル１Ａ’の各セル４０には隙間なく電気泳動材料４１Ａが充填される。次に、各セル４０に電気泳動材料４１Ａが充填された第２中間パネル１Ａ’をチャンバー６０から取り出す。
【００５３】
次に、貫通孔封止工程Ｓ４では、図４（ｃ）に示すように、封止部材５１で貫通孔５０を封止する。例えば、封止部材５１の形成材料の液状体を貫通孔５０に毛細管現象を利用して注入し、封止部材５１の形成材料の液状体を固化させることにより、貫通孔５０を封止させる。
以上の工程を経ることにより、本実施形態の電気泳動表示装置１が得られる。
【００５４】
本実施形態の電気泳動表示装置１によれば、駆動回路が形成された素子基板１０に貫通孔が形成されていないため、薄膜トランジスタや各種配線を素子基板１０に配置する領域を広く確保することができる。よって、歩留まりが高く高精細化が可能な電気泳動表示装置１が提供できる。
【００５５】
（第１変形例）
図５は、電気泳動表示装置の製造工程の第１変形例を示す断面工程図である。
図５に示すように、本変形例の電気泳動表示装置の製造工程は、電気泳動材料充填工程Ｓ３及び貫通孔封止工程Ｓ４が上記実施形態と異なるのみである。その他の工程（基板貼り合わせ工程Ｓ１及び貫通孔形成工程Ｓ２）は上述の工程と同様であるので、詳細な説明は省略する。尚、図５においては、便宜上、電気泳動材料４１Ａを構成する電気泳動粒子４２及び分散媒４３の図示を省略する。
【００５６】
本変形例に係る電気泳動材料充填工程Ｓ３では、図５に示すように、対向基板２０には、各セル４０に対応して２つの貫通孔５０が形成されている。２つの貫通孔５０のうち一方の貫通孔５０は、電気泳動材料４１Ａをセル４０に注入するための注入孔として機能する。他方の貫通孔５０は、セル４０の内部の気体を排気するための排気孔として機能する。
【００５７】
本変形例では、電気泳動材料４１Ａをセル４０に注入する注入ノズル７０と、セル４０の内部の気体を排気する排気ノズル７１と、セル４０から漏れ出て対向基板２０の表面に付着した電気泳動材料４１Ａを拭き取るクリーナー７２と、対向基板２０に形成された貫通孔５０を封止するとともに対向基板２０の表面全体を覆う封止部材の形成材料５１Ａを供給するコーター７３と、を用いる。注入ノズル７０と排気ノズル７１の配置間隔は、２つの貫通孔５０の配置間隔（ピッチ）と概ね一致している。
【００５８】
本変形例では、第２中間パネル１Ａ’は、注入ノズル７０、排気ノズル７１、クリーナー７２、及びコーター７３に対して相対移動可能になっている。具体的には、第２中間パネル１Ａ’が貫通孔５０が形成された側を上に向けた状態で、搬送コンベアに配置されている。第２中間パネル１Ａ’は、搬送コンベアにより、図５の右側（矢印方向）に搬送される。
【００５９】
尚、相対移動の構成はこれに限らず、第２中間パネル１Ａ’を定位置に配置し、注入ノズル７０、排気ノズル７１、クリーナー７２、及びコーター７３を移動させてもよいし、第２中間パネル１Ａ’と、注入ノズル７０、排気ノズル７１、クリーナー７２、及びコーター７３とを移動させてもよい。
【００６０】
先ず、第２中間パネル１Ａ’を矢印の方向に所定量だけ移動させて、一方の貫通孔５０の直上に注入ノズル７０を配置させる。このとき、他方の貫通孔５０の直上に排気ノズル７１を配置させる。
【００６１】
次に、注入ノズル７０により電気泳動材料４１Ａをセル４０に注入するとともに、排気ノズル７１によりセル４０の内部の気体を排気する。これにより、セル４０の内部に気泡等が残存することを回避しつつセル４０の内部に電気泳動材料４１Ａを充填することができる。尚、セル４０の内部に気泡等が残存しない場合には、排気ノズル７１を他方の貫通孔５０の直上に配置せずに、自然排気とさせる。
【００６２】
注入ノズル７０により電気泳動材料４１Ａをセル４０に注入する際にセル４０から電気泳動材料４１Ａが漏れ出て対向基板２０の表面に付着した場合には、クリーナー７２により電気泳動材料４１Ａを拭き取る。尚、対向基板２０の表面に電気泳動材料４１Ａが付着しない場合には、この工程は不要である。
【００６３】
また、第２中間パネル１Ａ’を矢印の方向に所定量だけ移動させることにより、電気泳動材料４１Ａが充填したセル４０に対応した貫通孔５０の直上にコーター７３を配置させる。そして、コーター７３により、封止部材の形成材料５１Ａの液状体を貫通孔５０及び対向基板２０の表面全体に塗布する。その後、封止部材の形成材料５１Ａの液状体を固化させることにより、貫通孔５０を封止させる。
【００６４】
本変形例によれば、注入ノズル７０により電気泳動材料４１Ａをセル４０に注入するとともに、排気ノズル７１によりセル４０の内部の気体を排気することにより、セル４０の内部に気泡等が残存することを回避しつつセル４０の内部に電気泳動材料４１Ａを充填できる。例えば、電気泳動材料４１Ａの揮発性が高い等の理由で真空注入法を用いることができない場合に有効である。
また、第２中間パネル１Ａ’が、注入ノズル７０、排気ノズル７１、クリーナー７２、及びコーター７３に対して相対移動可能であるため、電気泳動材料充填工程Ｓ３及び貫通孔封止工程Ｓ４を流れ作業で一括して行うことができる。よって、製造効率の向上を図ることができる。
【００６５】
（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態に係る電気泳動表示装置２の概略構成を示す図である。図６（ａ）は、図１に対応した、電気泳動表示装置２の概略構成を示す断面図である。図６（ｂ）は、隔壁の要部を示す図であり、図６（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００６６】
図６（ａ）に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置２は、対向基板２０の法線方向から見て、隔壁１３０と重なる部分に貫通孔１５０が形成されている点、対向基板２０の貫通孔１５０が形成された部分と隔壁１３０の対向基板２０側の先端部との間には隙間１５２が形成されている点、が上記第１実施形態と異なっている。その他の構成は上記第１実施形態の電気泳動表示装置１と同様であるので、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。尚、図６（ａ）においては、便宜上、電気泳動材料４１Ａを構成する電気泳動粒子４２及び分散媒４３の図示を省略する。
【００６７】
図６（ｂ）に示すように、対向基板２０の貫通孔１５０が形成された部分に対向する隔壁１３０の先端部には、凹状の切り欠き１３１が形成されている。当該切り欠き１３１により、対向基板２０の貫通孔１５０が形成された部分と隔壁１３０の先端部との間には、貫通孔１５０と連通する隙間１５２が形成されている。貫通孔１５０と隙間１５２には、電気泳動材料４１Ａを封止する封止部材１５１が充填されている。本実施形態においては、電気泳動材料４１Ａが貫通孔１５０及び隙間１５２を介してセル４０に充填されるように構成されている。
【００６８】
尚、隔壁１３０の先端部に凹状の切り欠き１３１が形成されていなくてもよい。この場合には、隔壁１３０の先端部の幅よりも大きい貫通孔を対向基板２０に形成することにより、対向基板２０の貫通孔が形成された部分と隔壁１３０の先端部との間に隙間を形成することができる。
【００６９】
図７は、隔壁１３０の平面図である。図７において、符号１３０ａはセル４０を囲んで格子状に形成された隔壁１３０の交差部であり、符号１３０ｂは隔壁１３０の側壁部である。
【００７０】
対向基板２０の法線方向から見て、隔壁１３０と重なる部分に貫通孔１５０を形成するに際しては、図７に示すように、隔壁１３０の交差部１３０ａに貫通孔１５０を形成してもよいし、隔壁１３０の側壁部１３０ｂに貫通孔１５０を形成してもよい。
【００７１】
隔壁１３０の交差部１３０ａに貫通孔１５０を形成する場合には、４つのセル４０の一部に跨る大きさの貫通孔１５０を１つだけ形成すれば良いため、貫通孔１５０の配置数を削減することができる。一方、隔壁１３０の側壁部１３０ｂに貫通孔１５０を形成する場合には、封止部材１５１で貫通孔１５０を封止することで、隔壁１３０の側壁部１３０ｂを補強することができる。
【００７２】
本実施形態の電気泳動表示装置２によれば、貫通孔１５０が直接表示に寄与しない部分に形成されるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００７３】
尚、本実施形態においては、隔壁１３０が平面視格子状に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、隔壁が平面視ハニカム形状等の他の形状に形成されている場合においても本発明を適用可能である。
【００７４】
（第３実施形態）
図８は、図１に対応した、本発明の第３実施形態に係る電気泳動表示装置３の概略構成を示す断面図である。
【００７５】
図８に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置３は、対向基板２０に形成された貫通孔５０を封止するとともに対向基板２０の表面全体を覆う封止部材２５１が形成されている点が上記第１実施形態と異なっている。その他の構成は上記第１実施形態の電気泳動表示装置１と同様であるので、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。尚、図８においては、便宜上、電気泳動材料４１Ａを構成する電気泳動粒子４２及び分散媒４３の図示を省略する。
【００７６】
図８に示すように、封止部材２５１は、対向基板２０に形成された貫通孔５０を封止する第１封止部２５２と、対向基板２０の表面全体を覆う第２封止部２５３と、を有している。
【００７７】
例えば、封止部材２５１は、先ず、第１封止部２５２の形成材料を貫通孔５０に注入し固化した後、対向基板２０の表面全体に透明なフィルム材に糊等を塗布したものを第２封止部２５３として貼り付けることによって形成することができる。
【００７８】
封止部材２５１の表面には、反射防止処理が施されている。本実施形態では、第２封止部２５３の表面に、アンチグレア処理による凹凸部を形成している。
【００７９】
封止部材２５１のうち第１封止部２５２は、導電性を有するとともに対向電極２２と電気的に接続されている。第１封止部２５２の形成材料は、例えば、樹脂材料に銀等の金属粒子やカーボン粒子などの導電粒子を分散させてなる導電樹脂を用いる。
【００８０】
本実施形態の電気泳動表示装置２によれば、封止部材２５１のうち貫通孔５０を封止する部分（第１封止部２５２）が目立たなくなるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００８１】
また、この構成によれば、反射防止処理により、表示面２５３ａでの光反射を抑制でき、表示品位の低下を抑制できる。
【００８２】
また、この構成によれば、封止部材２５１のうち貫通孔５０を封止する部分（第１封止部２５２）と対向電極２２とが同電位となるため、表示品位の低下を抑制できる。
【００８３】
尚、本実施形態では、封止部材２５１の表面に反射防止処理が施されているが、これに限らない。例えば、封止部材２５１の表面に硬質化処理が施されていてもよい。これにより、表示面２５３ａに傷が付くことを抑制できる。
【００８４】
（第４実施形態）
図９は、図１に対応した、本発明の第４実施形態に係る電気泳動表示装置４の概略構成を示す断面図である。
図９に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置４は、対向基板３２０に複数の着色層３２３Ｒ，３２３Ｇ，３２３Ｂが配列して形成されたカラーフィルター３２３が設けられている点、対向基板３２０の法線方向から見て、複数の着色層３２３Ｒ，３２３Ｇ，３２３Ｂのうち少なくとも一つの着色層と重なる部分に貫通孔３５０が形成されている点、が上記第１実施形態と異なっている。その他の構成は上記第１実施形態の電気泳動表示装置１と同様であるので、同様の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。尚、図９においては、便宜上、電気泳動材料４１Ａを構成する電気泳動粒子４２及び分散媒４３の図示を省略する。
【００８５】
図９に示すように、対向基板３２０は、対向基板本体３２１と、カラーフィルター３２３と、ブラックマトリクス３２４と、対向電極３２２と、を備えている。
【００８６】
対向基板本体３２１は、ガラス基板等の透明基板を用いる。ブラックマトリクス３２４は、例えば、樹脂中にカーボンを分散して構成されている。ブラックマトリクス３２４は、対向基板本体３２１の電気泳動層４１側の面上に設けられている。
【００８７】
カラーフィルター３２３は、対向基板本体３２１の電気泳動層４１側の面上において、ブラックマトリクス３２４によって区画された領域に設けられている。カラーフィルター３２３は、例えば、赤色着色層３２３Ｒ、緑色着色層３２３Ｇ及び青色着色層３２３Ｂを備えている。
【００８８】
対向電極３２２は、カラーフィルター３２３及びブラックマトリクス３２４の電気泳動層４１と対向する側の面に形成されている。対向電極３２２は、例えば、ＩＴＯ等の透明導電膜で構成されている。
【００８９】
本実施形態において、対向基板３２０には、各セル４０に対応して２つの貫通孔３５０が形成されている。各貫通孔３５０は、各セル４０において、対向基板３２０の法線方向から見て、赤色着色層３２３Ｒ及び青色着色層３２３Ｂと重なる部分に配置されている。尚、貫通孔３５０の配置数、配置位置は適宜変更可能である。
【００９０】
対向基板３２０には、貫通孔３５０を封止する封止部材３５１が形成されている。本実施形態において、封止部材３５１の形成材料は、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等の各種樹脂材料に、着色層と同じ色の顔料又は染料を分散させたものを用いる。例えば、赤色着色層３２３Ｒと重なる部分に配置された封止部材３５１には、赤色着色層３２３Ｒと同じ色の顔料又は染料を分散させたものを用いる。一方、青色着色層３２３Ｂと重なる部分に配置された封止部材３５１には、青色着色層３２３Ｂと同じ色の顔料又は染料を分散させたものを用いる。
【００９１】
本実施形態の電気泳動表示装置４によれば、封止部材３５１による画質の低下を抑制できる。
【００９２】
尚、上記実施形態においては、表示装置の一例として、表示媒体として電気泳動材料を用いた電気泳動表示装置を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、エレクトロクロミック材料を表示媒体として用いたエレクトロクロミック表示装置、電子粉流体（登録商標）を表示媒体として用いた電子粉流体ディスプレイ（ＱＲＬＰＤ）など他の表示装置についても本発明を適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１…電気泳動表示装置（表示装置）、１０…素子基板（第１基板）、１２…画素電極（第１電極）、２０…対向基板（第２基板）、２２…対向電極（第２電極）、３０，１３０…隔壁、４０…セル（単位空間）、４１Ａ…電気泳動材料（表示媒体）、４２…電気泳動粒子（帯電粒子）、５０，１５０，３５０…貫通孔、５１，１５１，２５１，３５１…封止部材、１５２…隙間、２５２…第１封止部（封止部材のうち貫通孔を封止する部分）、２５３ａ…封止部材の表面、３２３…カラーフィルター、３２３Ｒ…赤色着色層（着色層）、３２３Ｇ…緑色着色層（着色層）、３２３Ｂ…青色着色層（着色層）、Ｓ１…基板貼り合わせ工程（第１工程）、Ｓ２…貫通孔形成工程（第２工程）、Ｓ３…電気泳動材料充填工程（第３工程）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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