(57)【要約】【課題】ワークとドリルとを相対的に位置決めする際の残留振動を低減し、高精度な加工機を提供する。【解決手段】ベッドを固定する上部プレート３３と床面上に設置する下部プレート３２との間に直動ガイド３５を配置することで、前記ベッドは、テーブルの移動方向（Ｘ軸方向）に移動可能にして、低剛性にて支持する。直動ガイド３５と上部プレート３３との間には、弾性体４１及びダンパ４２が介在し、これらのバネ定数又は減衰力を調整することで、前記ベッドの支持剛性を調節する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面上に設置された複数のレベリングユニット上に支持されたベッドと、該ベッドに第１の方向に移動自在に支持され、ワークを載置し得るテーブルと、前記ベッドに前記第１の方向と直交する第２の方向に移動自在に支持され、前記ワークを加工する加工部を有するスライド板と、を備え、前記テーブル及び前記スライド板を相対的に移動させ、加工位置を位置決めして前記ワークを加工する加工機において、
前記レベリングユニットは、前記床面上に設置された下部プレートと、前記ベッドに固定された上部プレートと、前記下部プレート及び前記上部プレートの間に配置され、前記第１の方向及び前記第２の方向の少なくとも一方の移動方向に移動可能な直動ガイドと、を有し、前記床面に対して前記ベッドを、前記移動方向に移動可能にして低剛性にて支持する、
ことを特徴とする加工機。
【請求項２】
前記下部プレートと前記上部プレートとの間に、前記直動ガイドの移動方向に伸縮する弾性体を介在してなる、
請求項１記載の加工機。
【請求項３】
前記レベリングユニットで支持された前記ベッドの前記直動ガイドの移動方向の固有振動数が、前記床面に剛体で支持したベッドの固有振動数に比して、０．２倍以下になるように前記弾性体の剛性を設定してなる、
請求項２記載の加工機。
【請求項４】
前記下部プレートと前記上部プレートとの間に、前記直動ガイドの移動方向の動きを減衰するダンパを介在してなる、
請求項１ないし３のいずれか記載の加工機。
【請求項５】
前記下部プレートと前記上部プレートとの間に、前記直動ガイドの移動方向の動きを制動するブレーキを介在してなる、
請求項１ないし４のいずれか記載の加工機。
【請求項６】
前記レベリングユニットによる前記ベッドの支持剛性を可変制御し得る制御装置を備え、
前記制御装置は、前記テーブル又は前記スライド板の移動毎に、前記支持剛性を調節してなる、
請求項１ないし５のいずれか記載の加工機。
【請求項７】
前記下部プレートを、床面に対して角度調整可能に設置してなる、
請求項１ないし６のいずれか記載の加工機。
【請求項８】
前記床面上の前記ベッドとは別の場所に、前記加工機を操作する操作部を備えてなる、
請求項１ないし７のいずれか記載の加工機。
【請求項９】
前記直動ガイドは、前記第１の方向に移動可能に配置してなる、
請求項１ないし８のいずれか記載の加工機
【請求項１０】
前記直動ガイドは、前記第２の方向に移動可能に配置してなる、
請求項１ないし８のいずれか記載の加工機。
【請求項１１】
前記直動ガイドは、前記第１の方向に移動可能に配置される第１の直動ガイドと、前記第２の方向に移動可能に配置される第２の直動ガイドと、を有し、
前記第１の直動ガイドと前記第２の直動ガイドとが、前記第１の方向及び前記第２の方向と直交する方向に重ねて配置されてなる、
請求項１ないし８のいずれか記載の加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板等のワークを加工する加工機に関し、詳しくは、該加工機を支持する支持構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ドリルとプリント基板（ワーク）を相対的に位置決めして、ドリルによってプリント基板を加工するプリント基板加工機が知られている。該プリント基板加工機１は、例えば図８に示すように、装置の土台であるベッド２を有し、該ベッド２上に、プリント基板を載置してＸ方向に移動自在のテーブル３と、Ｙ方向に移動自在のスライド板５と、該スライド板５にＺ方向に移動自在に支持されて、下端にドリル６を回転するスピンドル８を有する加工部７と、を有している。上記テーブル３及びスライド板５が、それぞれＸ軸駆動部９及びＹ軸駆動部１０によってＸＹ軸方向に駆動されて、プリント基板に対する上記加工部７が位置決めされた後、上記スピンドル８がＺ軸駆動部１１によってＺ方向に下降して、上記ドリル６によってプリント基板に孔明け加工が行われる。なお、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、図面に示す通りである。
【０００３】
上記ベッド２は、図９に示すように、床面に載置されたレベリングプレート１２にその先端が当接するように、レベリングボルト１３が螺合され、上記ベッド２の上面が水平となるように調節された後、上記レベリングボルト１３をナット１５によって固定して、床面に設置される。このように、高い剛性でもってプリント基板加工機１を支持することで、上記テーブル３又はスライド板５の駆動時に発生する機台振動を担持している。
【０００４】
また、従来、レベリングボルト（調整ボルト）をナットで固定せず、ベッドに貫通して設けた複数の締結ボルトをレベリングプレートに螺合して、ベッドを高い剛性で支持する工作機械の支持装置が案出されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２２８０５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のようなプリント基板加工機１及び特許文献１記載の工作機械の支持装置は、高い支持剛性を備えるが、ベッド２上のテーブル３及びスライド板５の駆動反力によって発生する機台振動は完全に抑えることはできず、該機台振動がワークと加工部の位置決め動作における残留振動となって、機械の加工精度を低下させる虞がある。
【０００７】
また、床剛性の低い環境では、支持装置の剛性よりも床剛性の低さが支配的となり、機台振動及び残留振動が発生してしまう。
【０００８】
そこで、本発明は、テーブル又はスライド板の移動方向に対してベッドを床面に低剛性で支持し、位置決め動作への機台振動の影響を低減させて、もって上述した課題を解決した加工機を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、床面上に設置された複数のレベリングユニット（２２）上に支持されたベッド（２）と、該ベッド（２）に第１の方向に移動自在に支持され、ワークを載置し得るテーブル（３）と、前記ベッド（２）に前記第１の方向と直交する第２の方向に移動自在に支持され、前記ワークを加工する加工部（７）を有するスライド板（５）と、を備え、前記テーブル（３）及び前記スライド板（５）を相対的に移動させ、加工位置を位置決めして前記ワークを加工する加工機（２１１，２１２）において、
例えば図２及び図３を参照して、前記レベリングユニット（２２）は、前記床面上に設置された下部プレート（３２）と、前記ベッド（２）に固定された上部プレート（３３）と、前記下部プレート（３２）及び前記上部プレート（３３）の間に配置され、前記第１の方向及び前記第２の方向の少なくとも一方の移動方向に移動可能な直動ガイド（３５）と、を有し、前記床面に対して前記ベッド（２）を、前記移動方向に移動可能にして低剛性にて支持することを特徴とする。
【００１０】
例えば図２，図３を参照して、前記下部プレート（３２）と前記上部プレート（３３）との間に、前記直動ガイド（３５）の移動方向に伸縮する弾性体（４１）を介在してなる。
【００１１】
例えば図５を参照して、前記レベリングユニット（２２）で支持された前記ベッド（２）の前記直動ガイド（３５）の移動方向の固有振動数が、前記床面に剛体で支持したベッドの固有振動数に比して、０．２倍以下になるように前記弾性体（４１）の剛性を設定してなる。
【００１２】
例えば図２，図３を参照して、前記下部プレート（３２）と前記上部プレート（３３）との間に、前記直動ガイド（３５）の移動方向の動きを減衰するダンパ（４２）を介在してなる。
【００１３】
前記下部プレート（３２）と前記上部プレート（３３）との間に、前記直動ガイド（３５）の移動方向の動きを制動するブレーキを介在してなるように構成してもよい。
【００１４】
例えば図６を参照して、前記レベリングユニット（２２）による前記ベッド（２）の支持剛性を可変制御し得る制御装置（４５）を備え、
前記制御装置（４５）は、前記テーブル（３）又は前記スライド板（５）の移動毎に、前記支持剛性を調節してなる。
【００１５】
例えば図２，図３を参照して、前記下部プレート（３２）を、床面に対して角度調整可能に設置してなる。
【００１６】
例えば図６を参照して、前記床面上の前記ベッド（２）とは別の場所に、前記加工機（２１２）を操作する操作部（４９）を備えてなる。
【００１７】
例えば図２，図３を参照して、前記直動ガイド（３５）は、前記第１の方向に移動可能に配置してなる。
【００１８】
前記直動ガイド（３５）は、前記第２の方向に移動可能に配置されるように構成してもよい。
【００１９】
また、前記直動ガイドは（３５）、前記第１の方向に移動可能に配置される第１の直動ガイドと、前記第２の方向に移動可能に配置される第２の直動ガイドと、を有し、
前記第１の直動ガイドと前記第２の直動ガイドとが、前記第１の方向及び前記第２の方向と直交する方向に重ねて配置されるように構成してもよい。
【００２０】
なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲の記載に何等影響を及ぼすものではない。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１に係る本発明によると、加工機のベッドは、テーブル又はスライド板の移動方向に移動可能にして低剛性にて支持されるので、ベッドの該移動方向における固有振動数が低くなる。これにより、ベッドとテーブル又はスライド板がほぼ一体となって振動して、テーブル又はスライド板の位置決め動作時の残留振動を低減し、高精度で加工を行うことができる。また、床剛性が低い場合でも、ベッドとテーブル又はスライド板がほぼ一体となって振動するので、位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【００２２】
請求項２に係る本発明によると、下部プレートと上部プレートの間に、直動ガイドの移動方向に伸縮する弾性体を介在したので、ベッドを所定の低剛性にて支持しつつ、弾性体の付勢力によってベッドを基準位置に配置することができる。
【００２３】
請求項３に係る本発明によると、ベッドの固有振動数を、床面に剛体で支持したベッドの固有振動数に比して０．２倍以下になるように上記弾性体の剛性を設定したので、ベッドのテーブル又はスライド板の移動方向における固有振動数が低くなって、ベッドとテーブルがほぼ一体となって振動し、効果的に位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【００２４】
請求項４に係る本発明によると、ダンパを配置したので、直動ガイドの移動方向の動きを減衰させて、位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【００２５】
請求項５に係る本発明によると、ブレーキを配置したので、簡単な構成でもって直動ガイドの移動方向の動きの減衰させることができる。
【００２６】
請求項６に係る本発明によると、加工に応じてベッドの支持剛性を調整できるので、高い精度の加工を必要とする場合、ベッドの支持剛性が低くなるように調整して高い精度で加工し、精度を必要としない場合、ベッドの支持剛性が高くなるように調整してベッドの振動を低減することができる。
【００２７】
請求項７に係る本発明によると、下部プレートを床面に対して角度調整することで、直動ガイドを水平となるように調整することができる。
【００２８】
請求項８に係る本発明によると、床面上のベッドとは別の場所に操作部を設置したので、該操作部がベッドと共に振動することを防止して、加工機の操作性を維持することができる。
【００２９】
請求項９に係る本発明によると、テーブルの移動方向である第１の方向に直動ガイドを移動可能に配置したので、テーブルの位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【００３０】
請求項１０に係る本発明によると、スライド板の移動方向である第２の方向に直動ガイドを移動可能に配置したので、スライド板の位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【００３１】
請求項１１に係る本発明によると、テーブル及びスライド板の両位置決め動作時の残留振動を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るプリント基板加工機の全体構成を示す斜視図。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るレベリングユニットを示す斜視図。
【図３】その断面図。
【図４】プリント基板加工機のテーブルの位置決め動作における残留振動の大きさを示す図であって、（ａ）は位置指令と位置応答の差を示す図、（ｂ）及び（ｃ）はその一部拡大図であって、（ｂ）は従来のプリント基板加工機、（ｃ）は本発明の第１の実施の形態に係るプリント基板加工機を示す。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係るプリント基板加工機の（ベッドの）機台振動の位置決め動作時における固有振動数と残留振動の大きさの関係を示す図。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るプリント基板加工機の全体構成を示す斜視図。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るプリント基板加工機の動作を示すフローチャート。
【図８】従来のプリント基板加工機の全体構成を示す斜視図。
【図９】その床面への支持部分の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、図面に沿って、本発明の第１の実施の形態について説明するが、図８及び図９と同一部分のものについては、同一符号を付して説明する。プリント基板加工機２１１（加工機）は、床面上に設置された後述する複数のレベリングユニット２２に支持されるベッド２を有しており、該ベッド２上に設けられたＸ軸案内レール２３に案内されて、Ｘ軸方向（第１の方向）に移動自在にテーブル３が支持されている。該テーブル３は、Ｘ軸送りネジ２５を介して、Ｘ軸駆動部９によって駆動されると共に、上記ベッド２上に配置されるリニアスケール２６によってＸ軸方向の位置が測定される。上記テーブル３には、不図示のプリント基板（ワーク）が載置される。
【００３４】
上記ベッド２には、上記テーブル３を囲うようにして門形のコラム２７が固定されており、該コラム２７の一側には、Ｙ軸案内レール２９が固定されている。該Ｙ軸案内レール２９には、Ｙ軸方向（第２の方向）に移動自在にスライド板５が案内支持されており、該スライド板５は、Ｙ軸送りネジ３０を介して、Ｙ軸駆動部１０によって駆動され、不図示のリニアスケールによってＹ軸方向の位置が測定される。上記スライド板５には、Ｚ軸駆動部１１によってＺ軸方向に移動可能に加工部７が６個配置されている。上記加工部７は、電動モータによって回転するスピンドル８を有し、該スピンドル８の下端にドリル６を装着して、加工位置に位置決めされた上記テーブル３上のプリント基板を加工できるようになっている。図１において、ＸＹＺ軸はそれぞれ互いに直交しており、Ｚ軸方向（上下方向とする）は、ＸＹ軸がなす平面に垂直な方向である。
【００３５】
上記レベリングユニット２２は、図２及び図３に示すように、床面上に設置された下部プレート３２と、前記ベッド２に固定される上部プレート３３と、上記下部プレート３２及び上記上部プレート３３の間に配置される直動ガイド３５と、を有している。
【００３６】
上記ベッド２は、その側面に複数の凹部２ａが形成されており、該凹部２ａから下方に螺合するレベリングボルト１３の先端が、上記上部プレート３３の上面に形成される円錐形の受け部３３ａと当接して、該ベッド２が上記上部プレート３３に支持されている。上記レベリングボルト１３を進退させることで上記ベッド２の上面が水平となるように調節された後、上記レベリングボルト１３はナット１５によってロックし得るようになっている。
【００３７】
上記下部プレート３２は、床面に載置される床面側プレート３６と、該床面側プレート３６上に載置される支持プレート３７と、からなる。上記床面側プレート３６は、薄板状からなり、その上面に円筒形状の凹面３６ａと、その両端部近傍に雌ネジ３６ｂと、が形成されている。上記支持プレート３７は、下面に上記床面側プレート３６の円筒形状の凹面３６ａと係合する凸面３７ｃと、上記雌ネジ３６ｂの上方に位置するように貫通孔３７ｄと、が形成されている。また、該支持プレート３７の上面には、上方に突出して縁部３７ａが形成され、該縁部３７ａにより、略矩形状の収納部３７ｂが形成されている。上記収納部３７ｂの上面には、上記テーブル３の移動方向と同じ方向であるＸ軸方向に案内レール３９が固定され、上記上部プレート３３には、上記案内レール３９に嵌合する案内スライダ４０が固定されている。上記案内レール３９に上記案内スライダ４０が嵌合して、上記上部プレート３３に固定されるベッド２をＸ軸方向（第１の方向）に移動自在に案内する上記直動ガイド３５を構成している。
【００３８】
上記床面側プレート３６と上記支持プレート３７とは、上記凹面３６ａ及び凸面３７ｃを係合させて、上記直動ガイド３５の案内レール３９が水平となるように上記支持プレート３７の角度調整をした状態で、上記貫通孔３７ｄを貫通する固定ボルト４３が上記雌ネジ３６ｂに螺合されて固定される。
【００３９】
上記上部プレート３３と上記支持プレート３７の間には、上記直動ガイド３５の移動方向（Ｘ軸方向）に伸縮するバネ４１（弾性体）と、上記直動ガイド３５の移動方向（Ｘ軸方向）の動きを減衰するダンパ４２と、が介在している。上記バネ４１のバネ定数を調整することで、上記ベッド２のテーブル３の移動方向であるＸ軸方向における支持剛性を調整することができる。
【００４０】
なお、上記バネ４１及びダンパ４２は、モデルとして模式的に描いたものであり、バネ４１は、圧縮金属スプリング，引張り金属スプリング，ゴム，合成樹脂，それらの複合物でもよく、要は弾性力を有する弾性体であればよい。また、ダンパ４２は、油圧ダンパ，ブレーキ等の摺動ダンパ等の上記弾性力を減衰する作用（又は上記直動ガイド３５の移動方向の動きを制動する作用）を有するものであればよく、弾性体の変形によるヒステリシスで該弾性力を減衰する等の弾性体とダンパ機能とを備えた単一の部材でもよい。
【００４１】
次に、本実施の形態のプリント基板加工機２１１の動作について、図４に沿って説明する。上記テーブル３をＸ軸方向に移動させて位置決めする時には、図４（ａ）に示すように、位置指令に対して位置応答が遅れて目標位置に到達する。従来のプリント基板加工機の場合、テーブル３は、ベッド２上に設けられるＸ軸案内レール２３によって移動自在に支持されて、Ｘ軸送りネジ２５によって目標位置に固定されるが、Ｘ軸送りネジ２５のＸ軸方向の剛性が、テーブル３とベッド２とを完全に拘束するほどには大きくないため、テーブル３の位置決め動作の際の駆動反力によってベッド２において機台振動が発生すると、上記テーブル３とベッド２との間にも振動が発生し、結果として図４（ｂ）に示すような残留振動が現れる。
【００４２】
ここで、ベッド２における機台振動の固有振動数とテーブル３の位置決め動作時の残留振動の大きさの関係について説明する。図５は、プリント基板加工機のベッドのＸ軸方向における支持剛性（固有振動数）を変化させた場合に、テーブル３の位置決め動作時の残留振動をシミュレーションした結果をまとめた図であり、横軸にベッド２における機台振動の固有振動数を、縦軸に残留振動の大きさを示している。また、縦軸、横軸共に、従来のプリント基板加工機のように床面に剛体でベッドに支持した場合のシミュレーション結果を１として規格化してある。
【００４３】
図５に示すように、ベッド２の支持剛性を向上させて機台振動の固有振動数を向上させていくと（横軸右方向）、残留振動が低減していく。これは支持剛性の向上により、ベッド２の機台振動が低減されるため、テーブル３の位置決め動作への影響も小さくなるためである。また、従来のプリント基板加工機の場合から、支持剛性を低下させて機台振動の固有振動数を低下させていくと（横軸左方向）、残留振動が大きくなっていく。これは支持剛性の低下によりベッド２の機台振動が大きくなり、テーブル３の位置決め動作への影響も大きくなるためである。しかし、機台振動の固有振動数が従来のプリント基板加工機と比べて約０．５倍以下に低下すると、残留振動が小さくなり始める。これは、ベッド２の機台振動自体は大きくなっていくが、ベッド２とテーブル３のＸ軸方向における支持剛性（固有振動数）の差が大きくなり、機台振動におけるベッド２とテーブル３の相対的な変位差が小さくなっていくためである。すなわち、ベッド２とテーブル３は、機台振動が発生してもほぼ一体となって振動するため、該機台振動のテーブル３の位置決め動作への影響を低減することができる。
【００４４】
ベッド２の機台振動の固有振動数が従来のプリント基板加工機と比べて約０．２倍以下に低下させると、従来のプリント基板加工機よりも残留振動が小さくなる。従って、上記バネ４１のバネ定数は、ベッド２の機台振動の固有振動数が、床面に剛体で支持した従来のプリント基板加工機のベッドの固有振動数に比して、０．２倍以下になるようなバネ定数を有するのが好ましい。更に、機台振動の固有振動数が従来のプリント基板加工機の０．１倍以下になるようなバネ定数が好ましい。このようにバネ定数を設定して、ベッド２をテーブル３の移動方向（第１の方向）であるＸ軸方向に低剛性にて支持することで、図４（ｂ）に比して、図４（ｃ）に示すように、位置応答の残留振動が低減されて、高精度でのプリント基板の加工が可能となる。
【００４５】
次いで、図６，図７に沿って、第２の実施の形態について説明するが、上述の第１の実施の形態と重複する部分については、図に同一符号を付して説明を省略する。
【００４６】
本実施の形態を適用し得るプリント基板加工機２１２（加工機）は、図６に示すように、ダンパ４２が減衰力可変であり、該ダンパ４２の減衰力を制御装置４５によって制御することで、ベッド２の支持剛性（固有振動数）を可変し得る。また、Ｘ軸駆動部９，Ｙ軸駆動部１０，Ｚ軸駆動部１１も上記制御装置４５によって駆動制御される。なお、ダンパ４２の減衰力を調整する代わりに、バネ４１の剛性を可変として、制御装置４５によってバネ４１の剛性を制御してもよい。
【００４７】
床面上のベッド２とは別の場所には、スピンドル８を冷却する冷却装置４６と、土台４７が設置され、該土台４７上には、上記プリント基板加工機２１２を操作する操作部４９が載置されている。なお、上記制御装置４５は上記土台４７上や上記ベッド２上など、どこに設置されてもよい。
【００４８】
次に、本実施の形態におけるプリント基板加工機２１２のテーブル３の位置決め動作時における制御装置４５による制御を、図７のフローチャートに基づいて説明する。
【００４９】
まず、ステップＳ１では、次の位置決め動作に精度が必要かどうかをその移動毎に判断する。すなわち、次の位置決め動作が孔明け等の加工を伴う場合には、精度の必要な位置決め動作であると判断し、装置起動時の原点復帰や加工するプリント基板やドリル６の交換などの段取りのための位置決め動作などであれば、精度が必要でない位置決め動作であると判断する。また、加工する孔径の大きさや位置決め動作時の移動距離によって精度が必要かどうかを判断してもよいし、加工プログラム中に、精度が必要な位置決め動作か否か記述できるようにしてもよい。
【００５０】
ステップＳ１において精度が必要な位置決め動作であると判断された場合には（ＹＥＳ）、ステップＳ２へ進み、ベッド２をＸ軸方向において低支持剛性にて支持するように、ダンパ４２の減衰力を調整する。すなわち、下部プレート３２と上部プレート３３間を解放し（連結を緩くし）、そしてステップＳ４においてテーブル３の位置決め動作を行う。この時、ベッド２を低剛性にて支持するために、上述の第１の実施の形態と同様にベッド２において機台振動は発生するが、ベッド２とテーブル３がほぼ一体となって振動するため、テーブル３の位置決め動作への影響を低減し、高精度な位置決め動作が実現できる。
【００５１】
ステップＳ１において精度が必要な位置決め動作であると判断されない場合には（ＮＯ）、ステップＳ３へ進み、ベッド２をＸ軸方向において高支持剛性にて支持するように、ダンパ４２の減衰力を調整する。すなわち、下部プレート３２と上部プレート３３間を固定し（連結を固くし）、そしてステップＳ４においてテーブル３の位置決め動作を行う。この時、ベッド２を高剛性にて支持するために、テーブル３の移動に伴う機台振動が低減される。また、プリント基板加工機２１２が動作していない場合も、ステップＳ３と同様に制御することで、静止時に不用意にベッド２が振動してしまうのを防ぐことができる。
【００５２】
なお、直動ガイド３５を、テーブル３の移動方向（Ｘ軸方向）ではなく、スライド板５の移動方向（Ｙ軸方向）に設置して、Ｙ軸方向におけるスライド板５の残留振動の低減を図ってもよい。また、直動ガイド３５を、テーブル３の移動方向（第１の方向）に移動可能に配置される第１の直動ガイドと、スライド板５の移動方向（第２の方向）に移動可能に配置される第２の直動ガイドと、から構成し、第１の直動ガイドと第２の直動ガイドとが、第１の方向及び第２の方向と直交する方向に重ねて配置してもよい。
【００５３】
また、上記床面側プレート３６の凹面３６ａ及び上記支持プレート３７の凸面３７ｃは、円筒形状ではなく、球面形状でもよい。その場合、上記案内レール３９の移動方向以外の傾斜も補正して設置することができる。また、下部プレート３２と上部プレート３３に介在するバネ４１（弾性体）及びダンパ４２は、いずれか一方のみでもよく、更に両方ないものでもよい。この場合、上部プレート３３が直動ガイド３５に案内されて移動した端部で、衝撃吸収ダンパ又はストッパにより該上部プレート３３の移動が規制される。
【００５４】
また、１つの案内レール３９に対して、２つ以上の案内スライダ４０を嵌合してもよい。また、スピンドル８に装着される工具は、ドリルだけでなく、エンドミルや外の工具でもよく、更には、本発明は、スピンドルではなくレーザ発振器を備えた加工機等の他の加工機にも適用可能である。また、孔明け加工や外形加工等の様々な加工方法に適用でき、ワークはプリント基板に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５５】
２    ベッド
３    テーブル
５    スライド板
７    加工部
２１１，２１２    プリント基板加工機（加工機）
２２    レベリングユニット
３２    下部プレート
３３    上部プレート
３５    直動ガイド
４１    バネ（弾性体）
４５    制御装置
４９    操作部
【図１】
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【図２】
2013202708.tif 000004
【図３】
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【図４】
2013202708.tif 000006
【図５】
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【図６】
2013202708.tif 000008
【図７】
2013202708.tif 000009
【図８】
2013202708.tif 000010
【図９】
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