(57)【要約】【課題】スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供すること。【解決手段】被塗布面Ｋａ上に塗工液を塗布するスリットコータ１のスリット部２４を清掃する清掃具７であって、スリット部２４に挿入され、スリット部２４を構成する一対の壁部２４１，２４１に付着した塗工液を清掃する清掃部材７３と、一対の壁部２４１，２４１の少なくとも一方に向けて清掃部材７３を付勢する付勢部７４と、を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布面上に塗工液を塗布するスリットコータのスリット部を清掃する清掃具であって、
前記スリット部に挿入され、前記スリット部を構成する一対の壁部に付着した塗工液を清掃する清掃部材と、
前記一対の壁部の少なくとも一方に向けて前記清掃部材を付勢する付勢部と、
を備える清掃具。
【請求項２】
請求項１に記載の清掃具において、
前記清掃部材は、前記付勢部により前記一対の壁部の少なくとも一方に向けて付勢される少なくとも１つの掻き落とし部材を有する
清掃具。
【請求項３】
請求項２に記載の清掃具において、
前記清掃部材は、前記付勢部により前記一対の壁部それぞれに向けて付勢される２つの掻き落とし部材を有する
清掃具。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の清掃具において、
前記掻き落とし部材は、板状に形成される
清掃具。
【請求項５】
請求項１に記載の清掃具において、
前記清掃部材及び前記付勢部は、無端ベルト状に一体的に形成され、
前記清掃具は、前記スリット部に挿入する前において前記スリット部の幅よりも大きく、前記スリット部に挿入した後において前記一対の壁部に付勢される
清掃具。
【請求項６】
前記請求項１から５のいずれか１項に記載の清掃具と、
前記スリット部が延びる方向であるスリット方向に前記清掃具を移動させる移動部と、を備える清掃装置。
【請求項７】
請求項６に記載の清掃装置において、
前記スリット方向に交差する方向に延びる軸を中心に前記清掃具を回転させる回転部
を備える清掃装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリットコータのスリット部を清掃する清掃具及び清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、スリットコータのスリット部の清掃装置として、１枚のフィルムをスリット部に挿入することにより、スリット部を清掃することができる清掃装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の清掃装置は、スリット部にフィルムを挿入することにより、挿入したフィルムの厚み分の塗工液をスリット部から除去できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２４７７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の清掃装置においては、スリット部へのフィルムの挿入し易さの観点から、フィルムは、スリット部よりも薄く形成されている。そのため、フィルムとスリット部を構成する壁面との間には、隙間が形成される。よって、スリット部にフィルムを挿入してスリット部を清掃すると、スリット部を構成する壁面に付着した塗工液を掻き落とす効果が低いという問題がある。従って、スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃装置が望まれている。
【０００５】
本発明の課題は、スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【０００７】
第１の発明は、被塗布面（Ｋａ）上に塗工液を塗布するスリットコータ（１）のスリット部（２４）を清掃する清掃具（７）であって、前記スリット部（２４）に挿入され、前記スリット部（２４）を構成する一対の壁部（２４１，２４１）に付着した塗工液を清掃する清掃部材（７３）と、前記一対の壁部（２４１，２４１）の少なくとも一方に向けて前記清掃部材（７３）を付勢する付勢部（７４）と、を備える清掃具（７）である。
第２の発明は、第１の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材（７３）は、前記付勢部（７４）により前記一対の壁部（２４１，２４１）の少なくとも一方に向けて付勢される少なくとも１つの掻き落とし部材（７３）を有する清掃具（７）である。
第３の発明は、第２の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材（７３）は、前記付勢部（７４）により前記一対の壁部（２４１，２４１）それぞれに向けて付勢される２つの掻き落とし部材（７３，７３）を有する清掃具（７）である。
第４の発明は、第２の発明又は第３の発明の清掃具（７）において、前記掻き落とし部材（７３）は、板状に形成される清掃具（７）である。
第５の発明は、第１の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材及び前記付勢部は、無端ベルト状に一体的に形成され、前記清掃具（７Ａ）は、前記スリット部（２４）に挿入する前において前記スリット部（２４）の幅よりも大きく、前記スリット部（２４）に挿入した後において前記一対の壁部（２４１，２４１）に付勢される清掃具（７Ａ）である。
第６の発明は、第１の発明から第５の発明のいずれかの清掃具（７）と、前記スリット部（２４）が延びる方向であるスリット方向（Ｓ）に前記清掃具（７）を移動させる移動部（８３）と、を備える清掃装置（６）である。
第７の発明は、第６の発明の清掃装置（６）において、前記スリット方向（Ｓ）に交差する方向に延びる軸（Ｊ）を中心に前記清掃具（７）を回転させる回転部（８２）を備える清掃装置（６）である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
第１の発明によれば、スリット部に挿入され、スリット部を構成する一対の壁部に付着した塗工液を清掃する清掃部材と、一対の壁部の少なくとも一方に向けて清掃部材を付勢する付勢部と、を備えるので、清掃部材は、付勢部材によりスリット部を構成する一対の壁部の少なくとも一方に向けて付勢される。そのため、清掃具は、スリット部の壁部に付着した塗工液を清掃する能力を一層向上することができる。
第２の発明によれば、清掃部材が少なくとも１つの掻き落とし部材を有するため、簡易な構成により、スリット部の壁部に付着した塗工液を、効果的に掻き落とすことができる。
第３の発明によれば、清掃部材が２つの掻き落とし部材を有するため、簡易な構成により、スリット部を構成する一対の壁部それぞれに付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。
第４の発明によれば、掻き落とし部材が板状に形成されるため、壁部に付着した塗工液と壁部との間に入り込んで、壁部に付着した塗工液を、すくうようにして掻き落とすことができる。これにより、壁部に付着した塗工液を一層効果的に掻き落とすことができる。
第５の発明によれば、清掃部材及び付勢部が無端ベルト状に一体的に形成されるため、簡易な構成で、壁部に付着した塗工液を、効果的に掻き落とすことができる。
第６の発明によれば、移動部により清掃具をスリット方向に移動させることができるため、スリット部をスリット方向に沿って清掃することができる。これにより、スリット部をスリット方向の全域にわたって清掃することができる。従って、スリット部の清掃後において、スリットコータにより塗工液を被塗布面上に塗布する際のスリット方向における塗工液の塗布のムラを低減することができる。
第７の発明によれば、回転部により清掃具をスリット方向に交差する方向に延びる軸を中心に回転することができるため、清掃具を、回転させながら、スリット方向に移動させることができる。これにより、壁部に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の清掃装置６をスリット方向Ｓに見た場合を示す断面図である。
【図２】第１実施形態の清掃装置６を塗工方向Ｔ１に見た場合を示す断面図である。
【図３】第１実施形態の清掃装置６をスリットコータ１に装着する前の構成を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７を第２方向Ｄ２に見た図であり、（ｂ）は清掃部本体７を第１方向Ｄ１に見た図である。
【図４】第１実施形態の清掃部本体７をスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７をスリット部２４に挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７を回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。
【図５】第２実施形態の清掃部本体７Ａを示す斜視図である。
【図６】第２実施形態の清掃部本体７Ａをスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７Ａを挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７Ａを回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の清掃装置６をスリット方向Ｓに見た場合を示す断面図である。図２は、第１実施形態の清掃装置６を塗工方向Ｔ１に見た場合を示す断面図である。図３は、第１実施形態の清掃装置６をスリットコータ１に装着する前の構成を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７を第２方向Ｄ２に見た図であり、（ｂ）は清掃部本体７を第１方向Ｄ１に見た図である。図４は、第１実施形態の清掃部本体７をスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７をスリット部２４に挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７を回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。
【００１１】
なお、以下の説明及び図面において、図１に示すように、塗工ステージ５に基体Ｋを載置した状態において、基体Ｋの法線が上側を向くように配置した状態での鉛直方向を鉛直方向Ｚとし、また、ダイヘッド２が塗工時に移動する方向を塗工方向Ｔ１とし、塗工方向Ｔ１及び鉛直方向Ｚに直交する方向を基体幅方向Ｔ２とする。また、基体幅方向Ｔ２と一致する方向であって、ダイヘッド２のスリット部２４が延びる方向を「スリット方向Ｓ」という。
【００１２】
清掃装置６は、スリットコータ１のスリット部２４を清掃するための装置である。
まず、スリットコータ１について説明する。
スリットコータ１は、塗工ステージ５上に載置される平板状の基体Ｋの表面（被塗布面）Ｋａ上に、非接触で塗工液を塗布する装置である。スリットコータ１は、ダイヘッド２のリップ部２６の先端からスリット部２４を介して塗工液をカーテン状に吐出する。これにより、例えば、スリットコータ１は、基体Ｋとしての液晶表示装置用のガラス基板の表面Ｋａに、反射防止膜を形成する。スリットコータ１は、ダイコータ、カーテンコータ等と呼ばれる場合もある。また、ダイヘッド２は、ダイ、Ｔダイ、スリットダイ等と呼ばれる場合もある。
【００１３】
スリットコータ１は、ダイヘッド２と、塗工液供給部３とを備える。
ダイヘッド２は、塗工液を塗工ステージ５上に載置される基体Ｋの表面Ｋａに向けて吐出する。ダイヘッド２は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、基体幅方向Ｔ２に長く形成される。
【００１４】
ダイヘッド２は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、塗工液が供給される側に形成される供給側部２５と、塗工液が吐出される側に形成されるリップ部２６と、ダイヘッド２を鉛直方向Ｚに貫通する貫通部２１とを有する。
【００１５】
供給側部２５は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、略方形状に形成される。リップ部２６は、供給側部２５の鉛直方向Ｚの下方側に連続して形成され、塗工液を吐出する側に向かうにしたがって塗工方向Ｔ１の長さが短くなるように形成される。リップ部２６の先端は、基体Ｋの表面Ｋａに対して平行な面状に形成される。
【００１６】
貫通部２１は、ダイヘッド２に供給された塗工液をリップ部２６側へ導く。貫通部２１は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２における塗工方向Ｔ１の略中央部において、鉛直方向Ｚに延びるように、ダイヘッド２を貫通している。貫通部２１は、導入部２２と、マニホールド部２３と、スリット部２４とを有する。導入部２２、マニホールド部２３及びスリット部２４は、塗工液が供給される供給側部２５側から塗工液が吐出されるリップ部２６側に向けて、導入部２２、マニホールド部２３、スリット部２４の順に形成され、互いに接続される。
【００１７】
導入部２２は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２の鉛直方向Ｚの上端に形成される。導入部２２は、鉛直方向Ｚに延びる円柱状の空間により形成されている。導入部２２は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、ダイヘッド２の基体幅方向Ｔ２の略中央部に配置される。
【００１８】
マニホールド部２３は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２の鉛直方向Ｚの中央部よりもダイヘッド２の供給側部２５側に形成される。マニホールド部２３は、塗工液タンク４ａから供給された塗工液を一時的に溜める液溜まり部として機能する。
【００１９】
マニホールド部２３は、基体幅方向Ｔ２に延びる略円柱状の空間により形成されている。マニホールド部２３は、塗工方向Ｔ１に見た場合に、略円形状に形成される。マニホールド部２３は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、基体幅方向Ｔ２の全域にわたって延びている。マニホールド部２３は、基体幅方向Ｔ２の中央部において、導入部２２が接続される。マニホールド部２３は、導入部２２により導入された塗工液を一時的に溜めることにより、塗工液を基体幅方向Ｔ２の全域に行きわたらせる。
【００２０】
スリット部２４は、基体Ｋ側に向けて塗工液を吐出する。スリット部２４は、リップ部２６の内部において、マニホールド部２３の下方側に接続される。スリット部２４は、ダイヘッド２が延びる基体幅方向Ｔ２に延びている。ここで、本実施形態においては、基体幅方向Ｔ２とスリット部２４が延びる方向であるスリット方向Ｓとは、一致する。
【００２１】
スリット部２４は、一対の対向する壁面（壁部）２４１，２４１により構成される。一対の対向する壁面２４１，２４１は、平面状に形成され、鉛直方向Ｚに所定長さで、かつ、スリット方向Ｓ（基体幅方向Ｔ２）に延びている。一対の対向する壁面２４１，２４１は、互いに平行に形成される。スリット部２４における対向する一対の壁面２４１，２４１の間の塗工方向Ｔ１の距離をスリット幅ともいう。本実施形態においては、例えば、スリット部２４のスリット幅は、４０μｍから５０μｍ程度に設定されている。
【００２２】
また、スリットコータ１は、ダイヘッド２を塗工方向Ｔ１に移動させる不図示のダイヘッド移動部を有する。ダイヘッド２は、ダイヘッド移動部（不図示）により塗工方向Ｔ１に移動される。
【００２３】
塗工液供給部３は、図１に示すように、ダイヘッド２の導入部２２に接続される接続パイプＬａと、塗工液を貯留する塗工液タンク３１と、塗工液タンク３１と接続パイプＬａとを接続する第１流路Ｌ１と、塗工液をダイヘッド２へ供給する塗工液ポンプ３２とを備える。
第１流路Ｌ１の一端部は、塗工液タンク３１の内部に配置される。第１流路Ｌ１の他端部は、接続パイプＬａに接続される。塗工液ポンプ３２は、第１流路Ｌ１の分岐部Ｐよりも塗工液タンク３１側に設けられる。第１流路Ｌ１及び後述する第２流路Ｌ２は、接続パイプＬａから分岐部Ｐまでの流路において共通する。
【００２４】
このようにスリットコータ１が構成されることにより、ダイヘッド２のスリット部２４から塗工液を吐出させながら、スリット方向Ｓ（基体幅方向Ｔ２）の全域にわたって形成されるスリット部２４の長さで、ダイヘッド２を塗工方向Ｔ１に移動させるとことにより、基体Ｋの表面Ｋａ上には、塗工液が塗布される。ここで、スリット部２４の壁面２４１には、塗工液が付着して残存し、時間経過した後に固着することがある。
【００２５】
次に、清掃装置６について説明する。
なお、以下の清掃装置６の清掃部本体（清掃具）７の説明において、図３に示すように、掻き落とし部材７３が延びる上下方向を鉛直方向Ｚとし、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する方向を第１方向Ｄ１とし、鉛直方向Ｚ及び第１方向Ｄ１に直交する方向を第２方向Ｄ２とする。
【００２６】
清掃装置６は、図１に示すように、清掃部本体（清掃具）７と、洗浄液供給部４と、駆動機構部８とを備える。
清掃部本体７は、図３に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３と、軸部材７１と、一対の支持棒７２１、７２２と、複数のバネ部材７４とを備える。
【００２７】
一対の掻き落とし部材７３，７３は、図３（ａ）に示すように、第１方向Ｄ１に離間して配置される。一対の掻き落とし部材７３，７３は、平面形状で板状に形成される。詳細には、掻き落とし部材７３は、第２方向Ｄ２に見た場合（図３（ａ）参照）の第１方向Ｄ１の長さが、第１方向Ｄ１に見た場合（図３（ｂ）参照）の第２方向Ｄ２の長さよりも小さく形成される。つまり、掻き落とし部材７３は、第１方向Ｄ１に所定の厚さを有し、かつ、第２方向Ｄ２に所定の長さを有する薄板状に形成される。
【００２８】
一対の掻き落とし部材７３，７３は、互いに対向しており、平行に配置される。掻き落とし部材７３は、鉛直方向Ｚに延びている。掻き落とし部材７３の鉛直方向Ｚの長さは、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、スリット部２４の鉛直方向Ｚの長さよりも長く形成される。
【００２９】
掻き落とし部材７３は、図４（ａ）に示すように、第１方向Ｄ１に見た場合の幅が、スリット部２４のスリット幅よりも小さく形成される。
【００３０】
一対の掻き落とし部材７３，７３は、図３（ａ）に示すように、第２方向Ｄ２に見た場合に、清掃部本体７の外側に向く押圧面７３１，７３１を有する。押圧面７３１，７３１は、一対の掻き落とし部材７３，７３における一対の掻き落とし部材７３，７３同士が対向する面と反対側の面である。一対の掻き落とし部材７３，７３は、一方の掻き落とし部材７３の押圧面７３１から他方の掻き落とし部材７３の押圧面７３１までの第１方向Ｄ１の距離が、一対の掻き落とし部材７３，７３がスリット部２４に挿入される前において、スリット部２４のスリット幅よりも長くなるように配置される。押圧面７３１，７３１は、図４（ｂ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１が塗工方向Ｔ１に沿った状態でスリット部２４に装着された場合に、後述するバネ部材７４に付勢されて、少なくとも一部がスリット部２４の壁面２４１に押圧される。
【００３１】
掻き落とし部材７３は、可撓性を有する材料により形成される。掻き落とし部材７３の材質としては、スリット部２４の壁面２４１に傷をつけることを防止するため、スリット部２４の壁面２４１よりも硬度の低いものが好ましい。掻き落とし部材７３は、例えば、可撓性を有する金属材料、樹脂材料等により形成される。
【００３２】
軸部材７１は、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３の間に配置される。軸部材７１は、スリット部２４のスリット幅よりも小さい径の円柱状に形成される。軸部材７１は、鉛直方向Ｚに直線状に延びている。軸部材７１は、回転軸Ｊを中心に、回転可能に構成される。回転軸Ｊは、鉛直方向Ｚに延びる軸であり、スリット方向Ｓに交差する方向に延びる軸でもある。
【００３３】
一対の支持棒７２１、７２２は、軸部材７１の鉛直方向Ｚの上端部側及び下方側に、離間して配置される。一対の支持棒７２１，７２２は、互いに平行に第１方向Ｄ１に延びている。一対の支持棒７２１、７２２は、第１方向Ｄ１の略中央部において、軸部材の上端部及び下方側に取り付けられる。支持棒７２は、スリット部２４のスリット幅よりも小さい径の円柱状に形成される。
【００３４】
バネ部材７４は、掻き落とし部材７３と、支持棒７２１，７２２とを接続する。バネ部材７４は、上方側バネ７４ａと、下方側バネ７４ｂとから構成される。
上方側バネ７４ａは、掻き落とし部材７３の上端と、上方側の支持棒７２１の端部７２１ａとを連結する。下方側バネ７４ｂは、掻き落とし部材７３の下端と、下方側の支持棒７２２の端部７２２ａとを連結する。
このように構成されることで、バネ部材７４は、掻き落とし部材７３が軸部材７１側に押圧された場合に、掻き落とし部材７３を軸部材７１から離れる側に向けて付勢する。
【００３５】
洗浄液供給部４は、図１に示すように、ダイヘッド２の導入部２２に接続される接続パイプＬａと、洗浄液を貯留する洗浄液タンク４１と、洗浄液タンク４１と接続パイプＬａとを接続する第２流路Ｌ２と、洗浄液をダイヘッド２へ移動させる洗浄液ポンプ４２とを備える。
第２流路Ｌ２は、接続パイプＬａから分岐部Ｐまでの流路において、スリットコータ１の第１流路Ｌ１と共用される。第２流路Ｌ２の一端部は、洗浄液タンク４１の内部に配置される。第２流路Ｌ２の他端部は、接続パイプＬａに接続される。洗浄液ポンプ４２は、第２流路Ｌ２の分岐部Ｐよりも洗浄液タンク４１側に設けられる。
【００３６】
以上のように構成される清掃部本体７は、図４（ａ）に示すように、掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７の下方側から、スリット部２４に挿入される。そして、清掃部本体７が回転軸Ｊを中心に９０度回転されることで、図４（ｂ）に示すように、掻き落とし部材７３，７３は、掻き落とし部材７３の押圧面７３１がバネ部材７４に付勢されて、スリット部２４の壁面２４１に向けて付勢される。
【００３７】
掻き落とし部材７３は、スリット部２４の壁面２４１に沿って撓んだ状態で、スリット部２４の壁面２４１に付勢されている。そのため、一対の掻き落とし部材７３，７３は、スリット部２４を構成する一対の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす（清掃する）ことができる。これにより、清掃部本体７は、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす（清掃する）能力を一層向上することができる。
また、清掃部本体７は、２つの掻き落とし部材７３，７３を有する。そのため、簡易な構成により、スリット部２４を構成する壁面２４１に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。
【００３８】
駆動機構部８は、図２に示すように、昇降機構部８１と、回転機構部（回転部）８２と、スライド機構部（移動部）８３と、を有する。
【００３９】
スライド機構部８３は、底板８３３と、底板８３３の両端部に設けられる一対の側板８３４，８３４と、側板８３４，８３４に支持されるスリット方向Ｓに延びるレール８３２と、清掃部本体７を支持すると共にスリット方向Ｓに移動可能にレール８３２に取り付けられる支持部８３１と、支持部８３１に連結されるスライド用モータ８３５と、を備える。スライド用モータ８３５が駆動することにより、支持部８３１は、レール８３２に沿って移動する。これにより、スライド機構部８３は、支持部８３１に支持された清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させる。
【００４０】
昇降機構部８１は、スライド機構部８３を昇降させることで、清掃部本体７を昇降させる。昇降機構部８１は、スライド機構部８３の底板８３３の下方に配置された２つの偏心カム８１１と、偏心カム８１１に連結される昇降用モータ８１３とを備える。偏心カム８１１の偏心周面は、スライド機構部８３の底板８３３に下方側から当接する。
【００４１】
各偏心カム８１１は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に延びる軸部８１２を備えると共に、回転軸が偏在するカムで構成される。偏心カム８１１は、昇降用モータ８１３が駆動することにより、軸部８１２を中心に回転される。偏心カム８１１が回転することにより、清掃部本体７は、鉛直方向Ｚに昇降される。これにより、清掃部本体７は、下方側から上昇されることで、スリット部２４の内部に挿入される。
【００４２】
回転機構部（回転部）８２は、清掃部本体７を、回転軸Ｊを中心に回転させる。回転機構部８２は、清掃部本体７の軸部材７１に連結される回転用モータ８２１を備える。軸部材７１を９０度回転することにより、清掃部本体７は、回転軸Ｊを中心に９０度回転する。
【００４３】
これにより、掻き落とし部材７３がスリット部２４の壁面２４１を付勢しない状態で、清掃部本体７をスリット部２４に挿入した後に、清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に回転させることで、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢させることができる。従って、簡易な構成で、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に向けて付勢させることができる。
また、回転機構部８２により清掃部本体７を回転させることにより、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢する状態と、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢しない状態とに変化させながら、清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させることもできる。
【００４４】
次に、第１実施形態の清掃装置６の清掃動作について説明する。
清掃装置６は、スリットコータ１により基体Ｋに塗工液が塗布された後において、所定のタイミングにおいて、スリット部２４の清掃動作を行う。スリットコータ１による基体Ｋへの塗工液の塗布の後においては、スリット部２４の壁面２４１に塗工液が付着し、又は、計時変化によりスリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液が固まる可能性があるためである。
【００４５】
まず、図４（ａ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７を、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入する。
具体的には、ダイヘッド２を、基体Ｋへの塗工動作が終了した位置から、更に塗工方向Ｔ１に移動させた清掃位置（図１参照）において、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、昇降機構部８１の昇降用モータ８１３を駆動させて、清掃部本体７を上昇させる。これにより、図４（ａ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７は、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入される。
【００４６】
次に、清掃部本体７をスリット部２４に挿入した後に、回転機構部８２により清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に９０度回転させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、掻き落とし部材７３は、バネ部材７４によりスリット部２４の壁面２４１に付勢される。そして、掻き落とし部材７３の押圧面７３１は、掻き落とし部材７３がスリット部２４の壁面２４１に沿って変形した状態で、スリット部２４の壁面２４１に押し付けられる。
【００４７】
次に、掻き落とし部材７３をスリット方向Ｓに移動させる。これにより、掻き落とし部材７３は、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす。本実施形態においては、掻き落とし部材７３は、スリット方向Ｓに幅を有する板状に形成される。そのため、掻き落とし部材７３は、掻き落とし部材７３の幅の分だけスリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液と壁面２４１との間に入り込んで、壁面２４１に付着した塗工液をスリット方向Ｓに連続的にすくうようにして掻き落とすことができる。これにより、壁面２４１に付着した塗工液を一層効果的に掻き落とすことができる。
【００４８】
また、スリット部２４をスリット方向Ｓの全域にわたって清掃することができる。これにより、スリットコータ１により基体Ｋの表面Ｋａに塗工液を塗布する際に、スリット方向Ｓの塗工液の塗布のムラを低減することができる。
【００４９】
次に、スリット部２４を洗浄液により洗浄する。具体的には、洗浄液ポンプ３ｂを駆動することにより、第２流路Ｌ２を介してダイヘッド２に洗浄液を供給して、スリット部２４を洗浄する。これにより、スリット部２４の壁面２４１から掻き落とされた塗工液を洗い流すことができる。従って、スリット部２４を一層効果的に清掃することができる。
【００５０】
なお、スリット部２４の吐出側に、不図示の廃液ポンプを接続することもできる。これにより、スリット部２４の洗浄と同時に、廃液ポンプ（不図示）を用いてスリット部２４を負圧にして、スリット部２４の壁面２４１から掻き落とされた塗工液を、洗浄液と共にスリット部２４の外部に確実に排出することができる。
【００５１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
図５は、第２実施形態の清掃部本体７Ａを示す斜視図である。図６は、第２実施形態の清掃部本体７Ａをスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７Ａを挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７Ａを回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。
【００５２】
第２実施形態における清掃部本体７Ａは、図５に示すように、掻き落とし環状シート７５と、軸部材７６とを備える。掻き落とし環状シート７５は、清掃部材及び付勢部材が、無端ベルト状に一体的に形成される。掻き落とし環状シート７５は、スリット部２４に挿入する前においてスリット部２４の幅よりも大きく、スリット部２４に挿入した後に、スリット部２４の一対の壁面２４１に付勢される。
【００５３】
具体的には、掻き落とし環状シート７５は、図５に示すように、帯状のフィルムのシートを環状に形成することにより、中空状に形成される。掻き落とし環状シート７５は、スリットコータ１のスリット部２４のスリット幅よりも小さい幅の帯状のフィルムのシートにより、フィルムの外面が外側に配置されるような環状に形成される。掻き落とし環状シート７５は、鉛直方向Ｚに長い環状に形成される。掻き落とし環状シート７５を構成するフィルムのシートは、弾力性を有する材料により形成される。
【００５４】
掻き落とし環状シート７５は、第１方向Ｄ１に離間して対向する一対の平面シート部７５１，７５１と、一対の平面シート部７５１，７５１同士をつなぐ上下に設けられる一対の曲面シート部７５２，７５２と、軸部材７６と、を有する。
【００５５】
一対の平面シート部７５１，７５１は、軸部材７６を挟んで第１方向Ｄ１に離間して、略平行に配置された状態で対向している。一対の平面シート部７５１，７５１は、軸部材７６側に押圧された場合に、掻き落とし環状シート７５が有する弾性力（付勢力）により、軸部材７６から離れる側に向けて付勢される（清掃部本体７Ａにおける第１方向Ｄ１の外側に向けて付勢される）。
【００５６】
一対の平面シート部７５１，７５１は、清掃部本体７Ａの外側に向く押圧面７５１ａ，７５１ａを有する。一方の平面シート部７５１の押圧面７５１ａから他方の平面シート部７５１の押圧面７５１ａまでの第１方向Ｄ１の距離は、掻き落とし環状シート７５がスリット部２４に挿入される前において、スリット部２４のスリット幅よりも長く形成される。
押圧面７５１ａ，７５１ａは、図６（ａ）に示すように、一対の平面シート部７５１，７５１が離間する第１方向Ｄ１が塗工方向Ｔ１に沿った状態でスリット部２４に装着された場合に、掻き落とし環状シート７５が有する付勢力（弾性力）により、少なくとも一部がスリット部２４の壁面２４１に押圧される。
【００５７】
軸部材７６は、一対の平面シート部７５１，７５１の間に配置される。軸部材７６は、鉛直方向Ｚに直線状に延びており、一対の曲面シート部７５２，７５２を鉛直方向Ｚに貫通する。軸部材７６の上方側及び下方側において、一対の曲面シート部７５２，７５２は、軸部材７６に取り付けられる。軸部材７６及び掻き落とし環状シート７５は、鉛直方向Ｚに延びる回転軸Ｊ１を中心に一体的に回転可能に構成される。
【００５８】
次に、第２実施形態の清掃部本体７Ａを用いた清掃動作について簡単に説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、一対の平面シート部７５１，７５１が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７Ａを、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入する。
【００５９】
次に、清掃部本体７Ａを、回転軸Ｊを中心に９０度回転させる。これにより、掻き落とし環状シート７５の一対の平面シート部７５１，７５１の押圧面７５１ａ，７５１ａは、スリット部２４の一対の壁面２４１，２４１に付勢される。そして、平面シート部７５１の押圧面７５１ａ，７５１ａは、平面シート部７５１がスリット部２４の壁面２４１，２４１に沿って変形した状態で、スリット部２４の壁面２４１，２４１に押し付けられる。
【００６０】
次に、第１実施形態と同様に、スライド機構部８３により、清掃部本体７Ａをスリット方向Ｓに移動させる。これにより、清掃部本体７Ａは、スリット部２４の壁面２４１，２４１に付勢されているため、スリット方向Ｓに移動しながら、スリット部２４の壁面２４１，２４１に付着した塗工液を掻き落とすことができる。
【００６１】
また、掻き落とし環状シート７５がフィルムにより形成されるため、薄いフィルムが壁面２４１と壁面２４１に付着した塗工液との間に入り込んで、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を、すくうようにして掻き落とすことができる。これにより、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を一層掻き落とすことができる。
【００６２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【００６３】
（変形形態）
（１）前述の第１実施形態において、掻き落とし部材７３を薄板状の部材により形成したが、これに制限されない。例えば、掻き落とし部材７３を、糸状の部材により形成してもよいし、断面が正方形の部材や、断面が五角形以上の部材により形成してもよい。
（２）前述の第２実施形態において、清掃部本体７Ａの掻き落とし環状シート７５を無端ベルト状のフィルムにより形成したが、これに制限されない。例えば、清掃部本体７Ａを、スリット部２４に挿入する前においてスリット部２４のスリット幅よりも幅が広く、且つ、スリット部２４への装着時において、弾性力によりスリット部２４の壁面２４１，２４１に付勢されるスポンジ部材により形成してもよい。
【００６４】
（３）前述の第１実施形態において、掻き落とし部材７３を２つにより構成したが、これに制限されない。例えば、掻き落とし部材７３は、１つ、又は３つ以上であってもよい。
【００６５】
（４）前述の第１実施形態において、清掃装置６は、清掃部本体７をスライド機構部８３によりスライド用モータ８３５によりスリット方向Ｓに移動させるように構成しているが、これに制限されない。例えば、人の手により、清掃部本体７をスリット部２４に挿入して、清掃部本体７を９０度回転した上で、清掃部本体７をスリット方向Ｓに動かすことにより、スリット部２４を清掃してもよい。
【００６６】
（５）前述の第１実施形態において、清掃部本体７を回転させずに、スリット方向Ｓに移動させているが、これに制限されない。清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させると同時に、清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に回転させながらスリット方向Ｓに移動させてもよい。この場合には、清掃部本体７を回転することにより、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢する状態と、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢しない状態とに変化させながら、清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させることができる。従って、スリット部２４の壁部２４１に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。
【００６７】
（６）前述の第１実施形態において、清掃装置６をスリットコータ１とは別の装置として構成したが、これに制限されず、清掃装置６とスリットコータ１とを一体的に、例えば塗工装置として構成してもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１  スリットコータ
６  清掃装置
７，７Ａ  清掃部本体（清掃具）
２４  スリット部
２４１  壁面（壁部）
７４  バネ部材（付勢部）
７５  掻き落とし環状シート（清掃部材、付勢部）
７３  掻き落とし部材（清掃部材）
８２  回転機構部（回転部）
８３  スリット機構部（移動部）
Ｋａ  表面（被塗布面）
Ｓ  スリット方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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