(57)【要約】【課題】ターゲットの組成とのズレが低減された固体電解質膜及びその製造方法、並びに、そのような固体電解質膜を備える固体電池を提供する。【解決手段】酸素分圧を１０Ｐａ以上に制御したチャンバー内でターゲットにレーザを照射することにより、基材の表面にパルスレーザー蒸着法で固体電解質膜を成膜する固体電解質膜の製造方法とし、酸素分圧が１０Ｐａ以上に制御されたチャンバー内でターゲットにレーザを照射する、パルスレーザー蒸着法で成膜されている固体電解質膜とし、正極層及び負極層と、これらの間に配設された固体電解質層とを有し、該固体電解質層に上記方法で成膜された固体電解質膜が用いられている、固体電池とする。【選択図】図４
2013239297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素分圧を１０Ｐａ以上に制御したチャンバー内でターゲットにレーザを照射することにより、基材の表面にパルスレーザー蒸着法で固体電解質膜を成膜する、固体電解質膜の製造方法。
【請求項２】
前記ターゲットが、一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（０＜ｘ≦０．９）で表され、且つ、６００℃以上の温度に加熱された前記基材上に前記固体電解質膜が成膜される、請求項１に記載の固体電解質膜の製造方法。
【請求項３】
酸素分圧が１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下に制御される、請求項１又は２に記載の固体電解質膜の製造方法。
【請求項４】
酸素分圧が１０Ｐａ以上に制御されたチャンバー内でターゲットにレーザを照射する、パルスレーザー蒸着法で成膜されている、固体電解質膜。
【請求項５】
前記ターゲットが、一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（０＜ｘ≦０．９）で表され、且つ、６００℃以上の温度に加熱された前記基材上に成膜されている、請求項４に記載の固体電解質膜。
【請求項６】
酸素分圧が１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下に制御されている、請求項４又は５に記載の固体電解質膜。
【請求項７】
正極層及び負極層と、これらの間に配設された固体電解質層と、を有し、該固体電解質層に請求項４〜６のいずれか１項に記載の固体電解質膜が用いられている、固体電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解質膜、固体電解質膜の製造方法、及び、固体電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン二次電池は、従来の二次電池よりもエネルギー密度が高く、高電圧で作動させることができる。そのため、小型軽量化を図りやすい二次電池として携帯電話等の情報機器に使用されており、近年、電気自動車用やハイブリッド自動車用としての需要も高まっている。
【０００３】
リチウムイオン二次電池は、正極層及び負極層と、これらの間に配置された電解質層とを有し、電解質層に用いられる電解質としては、例えば非水系の液体状や固体状の物質等が知られている。液体状の電解質（以下において、「電解液」という。）が用いられる場合には、電解液が正極層や負極層の内部へと浸透しやすい。そのため、正極層や負極層に含有されている活物質と電解液との界面が形成されやすく、性能を向上させやすい。ところが、広く用いられている電解液は可燃性であるため、安全性を確保するためのシステムを搭載する必要がある。一方、難燃性である固体状の電解質（以下において、「固体電解質」という。）を用いると、上記システムを簡素化できる。それゆえ、固体電解質を含有する層（以下において、「固体電解質層」という。）が備えられる形態のリチウムイオン二次電池（以下において、「固体電池」又は「全固体電池」といい、積層された正極層、固体電解質層、及び、負極層の３層をまとめて「電極体」ということがある。）の開発が進められている。
【０００４】
このようなリチウムイオン二次電池に関する技術として、例えば特許文献１には、Ｌｉ、Ｂ、Ｏを含むターゲットを提供し、該ターゲットを、窒素を含む雰囲気でパルスレーザー蒸着法（以下において、「ＰＬＤ法」ということがある。）を用いて基板に蒸着させることにより、固体電解質を形成する、固体電解質の製造方法が開示されている。また、特許文献２には、Ｌｉ：Ａｌ：Ｇｅ：Ｐ：Ｓｉのモル比が１＋ｙ：ｙ：２−ｙ：３：ｚ（ｙ＝０〜０．９、ｚ＝０．１〜０．６）のモル比になるよう原料を調整し、溶融法によりガラス化させた後、アニール処理により一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（ｘ：０〜０．９）で表されるリン酸塩を結晶化させる固体電解質の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２０１１−５２１４２１号公報
【特許文献２】特開平１１−３１４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＰＬＤ法で固体電解質膜を作製すると、作製される固体電解質膜とターゲットとの組成がずれやすい。そのため、特許文献１に開示されている技術、及び、特許文献２に開示されている技術を単に組み合わせても、ターゲットの組成とのズレを低減した固体電解質膜を得ることは困難であった。
【０００７】
そこで本発明は、ターゲットの組成とのズレが低減された固体電解質膜及びその製造方法、並びに、そのような固体電解質膜を備える固体電池を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、鋭意検討の結果、ＰＬＤ法で固体電解質膜を作製する際に、酸素分圧が１０Ｐａ以上である雰囲気下で作製することにより、ターゲットとの組成ズレが低減された固体電解質膜を作製することが可能になることを知見した。本発明は、当該知見に基づいて完成させた。
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段をとる。すなわち、
本発明の第１の態様は、酸素分圧を１０Ｐａ以上に制御したチャンバー内でターゲットにレーザを照射することにより、基材の表面にパルスレーザー蒸着法で固体電解質膜を成膜する、固体電解質膜の製造方法である。
【００１０】
ここに、本発明の第１の態様及び以下に示す本発明の他の態様（以下において、これらをまとめて単に「本発明」ということがある。）において、「ターゲット」は、成膜する固体電解質膜の原料になる物質であって、成膜する固体電解質膜の目標組成の物質を言う。また、本発明において、「基材」は固体電解質膜が成膜される物質を言い、Ｓｉ等の基板そのものであっても良く、表面に電池の電極層（正極層や負極層）が形成されている基板であっても良い。
【００１１】
また、上記本発明の第１の態様において、上記ターゲットが、一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（０＜ｘ≦０．９）で表され、且つ、６００℃以上の温度に加熱された基材上に固体電解質膜が成膜されることが好ましい。
【００１２】
また、上記本発明の第１の態様において、酸素分圧が１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下に制御されることが好ましい。
【００１３】
本発明の第２の態様は、酸素分圧が１０Ｐａ以上に制御されたチャンバー内でターゲットにレーザを照射する、パルスレーザー蒸着法で成膜されている、固体電解質膜である。
【００１４】
また、上記本発明の第２の態様において、上記ターゲットが、一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（０＜ｘ≦０．９）で表され、且つ、６００℃以上の温度に加熱された基材上に成膜された固体電解質膜であることが好ましい。
【００１５】
また、上記本発明の第２の態様において、酸素分圧が１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下に制御されていることが好ましい。
【００１６】
本発明の第３の態様は、正極層及び負極層と、これらの間に配設された固体電解質層と、を有し、該固体電解質層に上記本発明の第２の態様にかかる固体電解質膜が用いられている、固体電池である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ターゲットとの組成のズレが低減された固体電解質膜及びその製造方法、並びに、そのような固体電解質を用いた固体電池を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】レーザアブレーション装置１０を説明する図である。
【図２】固体電池１を説明する図である。
【図３】ターゲット（ＬＡＧＰ焼結体）及び酸素分圧２０Ｐａで成膜したＬＡＧＰ薄膜のＸＲＤ測定結果を示す図である。
【図４】成膜時の酸素分圧とＡｌを基準にして調べた元素毎の組成ズレとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
電池では、正極層と負極層との間に配置されるセパレータ層を薄膜化して出力を向上させることが求められており、固体電池においては、固体電解質層を緻密な薄膜でピンホールなく成膜することが求められている。ＰＬＤ法は、緻密な薄膜を形成可能な方法であるため、固体電池に用いられる固体電解質膜を成膜する方法として適している。ＰＬＤ法によって薄膜を作製する場合、真空チャンバー内でレーザをターゲット上に照射し、ターゲットをプラズマ化させて、対向する基材上に薄膜を作製する。この際、基材上に到達する割合が成分毎に異なるため、基材上に形成した薄膜の組成が、ターゲットの組成からずれるという問題が生じる。
【００２０】
一般式：Ｌｉ１＋ｘＡｌｘＧｅ２−ｘ（ＰＯ４）３（０＜ｘ≦０．９）で表される酸化物固体電解質（以下において、「ＬＡＧＰ」という。）は、焼結体のリチウムイオン伝導度が１×１０−４Ｓ／ｃｍ程度あるため、固体電池の出力向上に適した材料である。固体電池の出力を向上させるためには、固体電解質膜の組成を目標の組成に制御することが必要であるため、ＰＬＤ法でＬＡＧＰ薄膜を成膜する際の組成ズレを低減することが求められている。
【００２１】
本発明者は、鋭意検討の結果、ＰＬＤ法でＬＡＧＰ薄膜を形成する際の条件を、例えば以下に示す条件にすることにより、ターゲットとＬＡＧＰ薄膜との組成ズレを１２％以下に低減できることを確認した。
・レーザ波長：１９３ｎｍ（Ｃｏｈｅｒｅｎｔ社製、ＣＯＭＰｅｘＰｒｏ２０１Ｆ）
・周波数：１０Ｈｚ
・フルエンス：３．２Ｊ／ｃｍ２
・ターゲット：ＬＡＧＰ焼結体（株式会社高純度化学研究所製のＬＡＧＰガラスを６５０℃の大気中で２時間に亘って熱処理したもの）
・基板温度：７００℃
・基板：シリコン
・雰囲気ガス：酸素
・分圧：１０Ｐａ以上
【００２２】
酸素分圧を１０Ｐａ以上に制御することにより、組成ズレを低減することが可能であるが、酸素分圧が３０Ｐａを超えると、ターゲットがプラズマ化し難くなり、成膜速度が遅くなって生産性が低下する虞がある。そこで、生産性を向上させることが可能な形態にする等の観点から、本発明では、酸素分圧を１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下に制御することが好ましい。
【００２３】
図１は、固体電解質膜の成膜時に使用するレーザアブレーション装置１０を説明する図である。図１では、レーザアブレーション装置１０を簡略化して示している。図１に示したレーザアブレーション装置１０は、真空チャンバー１１内にターゲット１２及び基板１３が配置されており、基板１３は基板加熱機構１４によって加熱可能なように構成されている。真空チャンバー１１には、レンズ１５を通ってターゲット１２へ向けて照射されるレーザ光１６を真空チャンバー１１内へと導く入射窓１７が備えられている。真空チャンバー１１には、真空チャンバー１１内へと供給される雰囲気ガスの供給手段１８が接続されており、成膜前に、不図示のロータリーポンプやターボ分子ポンプを用いて、真空チャンバー１１に設けられた排気口１９から真空排気が行われる。
【００２４】
本発明の、ターゲットからの組成ズレが低減された固体電解質膜は、例えば固体電池に好適に用いることができる。図２に、固体電池１の構成を簡略化して示す。図２に示した固体電池１は、正極集電体１ａと、該正極集電体１ａに接続された正極層１ｂと、負極集電体１ｅと、該負極集電体１ｅに接続された負極層１ｄと、正極層１ｂ及び負極層１ｄの間に配設された本発明の固体電解質膜からなる固体電解質層１ｃと、を有している。本発明の固体電解質膜はＰＬＤ法で形成されているので、固体電解質層１ｃは、ピンホールが低減された緻密な薄膜である。また、本発明の固体電解質膜（固体電解質層１ｃ）はターゲットとの組成ズレが低減されているので、固体電池１は狙った出力が得られやすい。そのため、本発明の固体電解質膜（固体電解質層１ｃ）を備えた固体電池１によれば、出力を向上させることが可能になる。
【００２５】
本発明において、正極層１ｂに含有させる正極活物質としては、固体電池で使用可能な正極活物質を適宜用いることができる。そのような正極活物質としては、コバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ２）やニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ２）等の層状活物質のほか、オリビン型リン酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ４）等のオリビン型活物質や、スピネル型マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ２Ｏ４）等のスピネル型活物質等を例示することができる。正極活物質の形状は、例えば粒子状や薄膜状等にすることができる。正極活物質の平均粒径（Ｄ５０）は、例えば１ｎｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以上３０μｍ以下であることがより好ましい。また、正極層１ｂにおける正極活物質の含有量は、特に限定されないが、質量％で、例えば４０％以上１００％以下とすることが好ましい。
【００２６】
また、本発明では、固体電解質層１ｃのみならず、正極層１ｂや負極層１ｄにも、必要に応じて、固体電池に使用可能な公知の固体電解質を含有させることができる。そのような固体電解質としては、ＬＡＧＰ、Ｌｉ２Ｏ−Ｂ２Ｏ３−Ｐ２Ｏ５、Ｌｉ２Ｏ−ＳｉＯ２、Ｌｉ２Ｓ−Ｐ２Ｓ５、Ｌｉ３ＰＳ４、ＬｉＩ、Ｌｉ３Ｎ、Ｌｉ５Ｌａ３Ｔａ２Ｏ１２、Ｌｉ７Ｌａ３Ｚｒ２Ｏ１２、Ｌｉ６ＢａＬａ２Ｔａ２Ｏ１２、Ｌｉ３ＰＯ（４−３／２ｗ）Ｎｗ（ｗはｗ＜１）、Ｌｉ３．６Ｓｉ０．６Ｐ０．４Ｏ４等を例示することができる。
【００２７】
また、正極層１ｂは、リチウムイオン二次電池の正極層に含有させることが可能な公知のバインダーを用いて作製することができる。そのようなバインダーとしては、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等を例示することができる。
【００２８】
さらに、正極層１ｂには、導電性を向上させる導電材が含有されていてもよい。正極層１ｂに含有させることが可能な導電材としては、気相成長炭素繊維、アセチレンブラック（ＡＢ）、ケッチェンブラック（ＫＢ）、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）、カーボンナノファイバー（ＣＮＦ）等の炭素材料のほか、固体電池の使用時の環境に耐えることが可能な金属材料を例示することができる。正極層１ｂは、例えば、上記正極活物質、固体電解質、及び、バインダー等を液体に分散して調整したスラリー状の正極組成物を用いて作製することができる。また、正極層１ｂの厚さは、例えば０．１μｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、１μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。また、固体電池の性能を高めやすくするために、正極層１ｂはプレスする過程を経て作製されることが好ましい。本発明において、正極層１ｂをプレスする際の圧力は１００ＭＰａ程度とすることができる。
【００２９】
また、固体電解質層１ｃは、固体電池に使用可能な公知の固体電解質の薄膜を適宜用いることができる。そのような固体電解質薄膜としては、ＬＡＧＰ薄膜のほか、ＰＬＤ法で形成可能な、固体電池に使用可能な公知の固体電解質薄膜を例示することができる。固体電解質層１ｃの厚さは、電池の構成によって大きく異なるが、厚さの下限値は、０．１μｍ以上が好ましく、１μｍ以上であることがより好ましい。厚さの上限値は、１ｍｍ以下が好ましく、１００μｍ以下であることがより好ましい。
【００３０】
また、負極層１ｄに含有させる負極活物質としては、リチウムイオンを吸蔵放出可能な公知の負極活物質を適宜用いることができる。そのような負極活物質としては、例えば、カーボン活物質、酸化物活物質、及び、金属活物質等を挙げることができる。カーボン活物質は、炭素を含有していれば特に限定されず、例えばメソカーボンマイクロビーズ（ＭＣＭＢ）、高配向性グラファイト（ＨＯＰＧ）、ハードカーボン、ソフトカーボン等を挙げることができる。酸化物活物質としては、例えばＮｂ２Ｏ５、Ｌｉ４Ｔｉ５Ｏ１２、ＳｉＯ等を挙げることができる。金属活物質としては、例えばＩｎ、Ａｌ、Ｓｉ、及び、Ｓｎ等を挙げることができる。また、負極活物質として、リチウム含有金属活物質を用いても良い。リチウム含有金属活物質としては、少なくともＬｉを含有する活物質であれば特に限定されず、Ｌｉ金属であっても良く、Ｌｉ合金であっても良い。Ｌｉ合金としては、例えば、Ｌｉと、Ｉｎ、Ａｌ、Ｓｉ、及び、Ｓｎの少なくとも一種とを含有する合金を挙げることができる。負極活物質の形状は、例えば粒子状、薄膜状等にすることができる。負極活物質の平均粒径（Ｄ５０）は、例えば１ｎｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以上３０μｍ以下であることがより好ましい。また、負極層１ｄにおける負極活物質の含有量は、特に限定されないが、質量％で、例えば４０％以上１００％以下とすることが好ましい。
【００３１】
さらに、負極層１ｄには、バインダーや、導電性を向上させる導電材が含有されていても良い。負極層１ｄに含有させることが可能なバインダーや導電材としては、正極層１ｂに含有させることが可能な上記バインダーや導電材等を例示することができる。また、負極層１ｄは、液体に上記負極活物質等を分散して調整したスラリー状の負極組成物を用いて作製することができる。また、負極層１ｄの厚さは、例えば０．１μｍ以上１ｍｍ以下であることが好ましく、１μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。また、固体電池の性能を高めやすくするために、負極層１ｄはプレスする過程を経て作製されることが好ましい。本発明において、負極層１ｄをプレスする際の圧力は２００ＭＰａ以上とすることが好ましく、４００ＭＰａ程度とすることがより好ましい。
【００３２】
また、正極集電体１ａや負極集電体１ｅは、固体電池の集電体として使用可能な公知の金属を用いることができる。そのような金属としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｖ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ｉｎからなる群から選択される一又は二以上の元素を含む金属材料を例示することができる。
【００３３】
また、正極集電体１ａ、正極層１ｂ、固体電解質層１ｃ、負極層１ｄ、及び、負極集電体１ｅを備える積層体は、不図示の外装体に収容することができる。外装体としては、樹脂製のラミネートフィルムや、樹脂製のラミネートフィルムに金属を蒸着させたフィルム等、固体電池で使用可能な公知のラミネートフィルムを用いることができる。
【００３４】
本発明に関する上記説明では、固体電解質膜がＬＡＧＰ薄膜であり、該固体電解質膜を用いた固体電池がリチウムイオン二次電池である形態を主に例示したが、本発明は当該形態に限定されない。本発明の固体電解質膜は、Ｌｉ７Ｌａ３Ｚｒ２Ｏ１２やＬｉ５Ｌａ３Ｔａ２Ｏ１２等、リチウムイオン伝導性を有する他の薄膜であっても良い。また、本発明の固体電池は、正極層と負極層との間を、リチウムイオン以外のイオンが移動する形態であっても良い。リチウムイオン以外のイオンが移動する形態の固体電池とする場合、正極活物質、固体電解質、及び、負極活物質は、移動するイオンに適した構成にすれば良い。
【実施例】
【００３５】
以下に実施例を参照しつつ、本発明に関する説明を続ける。
＜実施例＞
１．１．ターゲット準備
株式会社高純度化学研究所製のＬＡＧＰガラスを１５ＭＰａでプレスすることにより、直径１０ｍｍ、厚さ１ｍｍのＬＡＧＰ圧粉体を作製した。作製したＬＡＧＰ圧粉体を２００ＭＰａにて冷間等方圧加圧（ＣＩＰ）した後、大気雰囲気、焼結温度６５０℃、焼結時間２時間の条件で熱処理したもの（ＬＡＧＰ焼結体）を、ターゲットとした。
【００３６】
１．２．ＬＡＧＰ薄膜の作製
真空チャンバーにシリコン基板及びターゲット（ＬＡＧＰ焼結体）をセットした後、真空チャンバー内の最高真空到達度（圧力）が１×１０−４Ｐａになるまで減圧した。次いで、基板加熱機構を用いてシリコン基板を７００℃まで加熱し、引き続き、雰囲気ガスとして酸素を、酸素分圧が１０Ｐａ以上３０Ｐａ以下となるように調整しつつ、真空チャンバー内へと流入させた。酸素を流入させた状態で、波長：１９３ｎｍ、周波数：１０Ｈｚ、及び、フルエンス：３．２Ｊ／ｃｍ２のレーザをターゲットへと照射することにより、ＬＡＧＰ薄膜を成膜した。ＬＡＧＰ薄膜を成膜した後、基板温度が常温になるまで酸素を流入させ、基板温度が常温になり次第、酸素の流入を停止して基板を取り出した。なお、ＬＡＧＰ薄膜の作製には、レーザアブレーション装置（Ｃｏｈｅｒｅｎｔ社製、ＣＯＭＰｅｘＰｒｏ２０１Ｆ）を用いた。
【００３７】
＜比較例＞
２．１．ターゲット準備
実施例の場合と同様にして、ターゲットを形成した。
【００３８】
２．２．ＬＡＧＰ薄膜の作製
酸素分圧が１０Ｐａ未満となるように調整したほかは、実施例の場合と同様にしてＬＡＧＰ薄膜を成膜した。
【００３９】
３．結果
酸素分圧を２０Ｐａに調整した条件で作製したＬＡＧＰ薄膜、及び、ターゲット（ＬＡＧＰ焼結体）のそれぞれについて、ＸＲＤ測定を行った。その結果を図３に示す。図３の縦軸はＩｎｔｅｎｓｉｔｙ［ａ．ｕ．］、横軸は２θ［ｄｅｇ］である。図３において、「○」はＬＡＧＰ由来のピークであることを表し、「□」はシリコン基板由来のピークであることを表している。
また、実施例のＬＡＧＰ薄膜に含まれるＡｌに対するＬｉ、Ｇｅ、及び、Ｐの組成比、及び、比較例のＬＡＧＰ薄膜に含まれるＡｌに対するＬｉ、Ｇｅ、及び、Ｐの組成比と、ターゲットに含まれるＡｌに対するＬｉ、Ｇｅ、及び、Ｐの組成比と、をそれぞれ比較することにより、実施例のＬＡＧＰ薄膜及び比較例のＬＡＧＰ薄膜とターゲットとの組成のズレを調査した。酸素分圧を２５Ｐａ以下に調整した場合の結果（組成ズレと酸素分圧との関係）を、図４にまとめて示す。図４の縦軸は組成ズレ［％］であり、横軸は酸素分圧［Ｐａ］である。
【００４０】
図３に示したように、成膜したＬＡＧＰ薄膜及びターゲット（ＬＡＧＰ焼結体）のピーク位置が一致した。したがって、成膜された薄膜は、ＬＡＧＰ薄膜であった。また、図４に示したように、酸素分圧を１０Ｐａ以上に制御することにより、組成ズレを１２％以下に低減することができた。以上より、本発明によれば、ターゲットの組成とのズレが低減された固体電解質膜が得られることが確認された。なお、上記実施例では、７００℃まで加熱された基板上にＬＡＧＰ薄膜を成膜する形態を例示したが、ＬＡＧＰ自体は６００℃以上で結晶化させることが可能である。したがって、本発明でＬＡＧＰ膜を成膜する場合、６００℃以上の温度に加熱された基材上にＬＡＧＰ膜を成膜することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１…固体電池
１ａ…正極集電体
１ｂ…正極層
１ｃ…固体電解質層
１ｄ…負極層
１ｅ…負極集電体
１０…レーザアブレーション装置
１１…真空チャンバー
１２…ターゲット
１３…基板
１４…基板加熱機構
１５…レンズ
１６…レーザ光
１７…入射窓
１８…雰囲気ガス供給手段
１９…排気口
【図１】
2013239297.tif 000003
【図２】
2013239297.tif 000004
【図３】
2013239297.tif 000005
【図４】
2013239297.tif 000006