(57)【要約】【課題】金属製の振動部材と金属製の振動板とを十分な強度で位置精度良く相互に固定することが可能な電気音響変換器を提供する。【解決手段】電気音響変換器１００は、金属性の振動板１４と、振動板１４に固定されている金属性の振動部材１５と、を有している。電気音響変換器１００は、振動板１４に対して面接合されている振動素子（例えば圧電振動子１３）と、振動素子に信号を入力して振動素子を振動させることによって、振動部材１５から音波を発振させる入力部２０と、を有している。振動部材１５は、本体部１５ａと、本体部１５ａより振動板１４側に突出している固定軸１５ｂとを有している。振動板１４には固定孔１４ａが形成されている。振動部材１５は、固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入されることにより、振動板１４に固定されている。【選択図】図１
2013172237.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属性の振動板と、
前記振動板に固定されている金属性の振動部材と、
前記振動板に対して面接合されている振動素子と、
前記振動素子に信号を入力して前記振動素子を振動させることによって、前記振動部材から音波を発振させる入力部と、
を有し、
前記振動部材は、
本体部と、
前記本体部より前記振動板側に突出している固定軸と、
を有し、
前記振動板には固定孔が形成され、
前記振動部材は、前記固定軸が前記固定孔に圧入されることにより、前記振動板に固定されていることを特徴とする電気音響変換器。
【請求項２】
前記固定軸の先端面は、前記振動板における前記振動部材の前記本体部とは反対側の面と面一になっているか、又は、前記振動板における前記振動部材の前記本体部とは反対側の面よりも前記本体部側に位置していることを特徴とする請求項１に記載の電気音響変換器。
【請求項３】
前記固定軸の周面が粗面化されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気音響変換器。
【請求項４】
前記振動素子は圧電振動子であり、
当該電気音響変換器は圧電型電気音響変換器であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項５】
前記振動素子は、
前記振動板における前記振動部材の前記本体部とは反対側の面に対して面接合されている第１電極板と、
前記第１電極板と対向配置されている第２電極板と、
を有するコンデンサであり、
当該電気音響変換器は静電型電気音響変換器であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項６】
前記振動部材を構成する金属材料の密度が、前記振動板を構成する金属材料の密度よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項７】
前記本体部は、前記振動板から遠ざかるにつれて拡径する錐状の形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項８】
前記振動素子の外形形状は円形又は多角形状であり、
前記振動板の外形形状は円形又は多角形状であることを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の電気音響変換器。
【請求項９】
電気音響変換器を有し、
前記電気音響変換器は、
金属性の振動板と、
前記振動板に固定されている金属性の振動部材と、
前記振動板に対して面接合されている振動素子と、
前記振動素子に信号を入力して前記振動素子を振動させることによって、前記振動部材から音波を発振させる入力部と、
を有し、
前記振動部材は、
本体部と、
前記本体部より前記振動板側に突出している固定軸と、
を有し、
前記振動板には固定孔が形成され、
前記振動部材は、前記固定軸が前記固定孔に圧入されることにより、前記振動板に固定されていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気音響変換器及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び２には、圧電振動子と金属製振動板とを貼り合わせて構成されたバイモルフ振動子と、結合軸を介してバイモルフ振動子に固定された金属製振動部材（同文献の円錐状金属製共振子）と、を有する超音波セラミックマイクロホンが記載されている。結合軸は、金属製振動部材とバイモルフ振動子とをバイモルフ振動子の面直方向に貫通しており、バイモルフ振動子に対して接着固定されている。
【０００３】
特許文献３には、圧電振動子と金属製振動板とを貼り合わせて構成されたユニモルフ振動子と、金属製振動部材（同文献の円錐状共振子）と、を有する超音波トランスデューサーが記載されている。金属製振動板の中央部には突き出し穴が形成されており、金属製振動部材は、ネジ又はリベットを介して、突き出し穴に固定されている。リベットを用いる構造では、リベットの両端がかしめられている。
【０００４】
なお、特許文献４には、圧電素子を含んで構成された振動体に対して、支持軸を圧入することによって、振動体を支持台上に支持した構造の圧電アクチュエータが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０４−２１７２００号公報
【特許文献２】実開昭５９−００９６９５号公報
【特許文献３】実開平０８−０００４４２号公報
【特許文献４】特開平１１−３４１８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２の技術では、金属製振動部材が結合軸を介してバイモルフ振動子に対して接着材により固定されている。このため、接着材の厚みのバラツキによりバイモルフ振動子に対する金属製振動部材の固定位置精度が低下し、電気音響変換器（超音波セラミックマイクロホン）の１次共振周波数及び２次共振周波数のバラツキが大きくなる可能性がある。
【０００７】
特許文献３の技術において、リベットを用いる構造では、リベットの外径が突き出し穴の内径よりも小さいと、リベットの軸方向に対する交差方向において、ユニモルフ振動子に対する金属製振動部材の固定位置のバラツキが生じる可能性がある。その結果、超音波トランスデューサーの１次共振周波数及び２次共振周波数にバラツキが生じる可能性がある。また、特許文献３の技術において、ネジを用いる構造では、振動によりネジが緩んでしまう可能性がある。
【０００８】
本発明の目的は、金属製振動部材と金属製振動板とを十分な強度で位置精度良く相互に固定することが可能な電気音響変換器及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、金属性の振動板と、
前記振動板に固定されている金属性の振動部材と、
前記振動板に対して面接合されている振動素子と、
前記振動素子に信号を入力して前記振動素子を振動させることによって、前記振動部材から音波を発振させる入力部と、
を有し、
前記振動部材は、
本体部と、
前記本体部より前記振動板側に突出している固定軸と、
を有し、
前記振動板には固定孔が形成され、
前記振動部材は、前記固定軸が前記固定孔に圧入されることにより、前記振動板に固定されていることを特徴とする電気音響変換器を提供する。
【００１０】
また、本発明は、電気音響変換器を有し、
前記電気音響変換器は、
金属性の振動板と、
前記振動板に固定されている金属性の振動部材と、
前記振動板に対して面接合されている振動素子と、
前記振動素子に信号を入力して前記振動素子を振動させることによって、前記振動部材から音波を発振させる入力部と、
を有し、
前記振動部材は、
本体部と、
前記本体部より前記振動板側に突出している固定軸と、
を有し、
前記振動板には固定孔が形成され、
前記振動部材は、前記固定軸が前記固定孔に圧入されることにより、前記振動板に固定されていることを特徴とする電子機器を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、金属製の振動部材と金属製の振動板とを十分な強度で位置精度良く相互に固定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１の実施形態に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る電気音響変換器のより具体的な構成の一例を示す模式的な断面図である。
【図３】図２の分解図である。
【図４】第１の実施形態に係る電気音響変換器の模式的な平面図である。
【図５】第１の実施形態に係る電気音響変換器を複数の超音波振動子のアレイとして構成した場合の模式的な平面図である。
【図６】第１の実施形態に係る電子機器の模式図である。
【図７】第１の実施形態の変形例１に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図８】第１の実施形態の変形例２に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図９】第１の実施形態の変形例３に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図１０】第１の実施形態の変形例４に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【図１１】第２の実施形態に係る電気音響変換器の模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１４】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。
【００１５】
本実施形態に係る電気音響変換器１００は、金属性の振動板１４と、振動板１４に固定されている金属性の振動部材１５と、振動素子（例えば圧電振動子１３）と、入力部２０と、を有している。振動素子は、振動板１４に対して面接合されている。すなわち振動素子は振動板１４の一方の面に対して接合されている。入力部２０は、振動素子に信号を入力して振動素子を振動させることによって、振動部材１５から音波を発振させる。振動部材１５は、本体部１５ａと、本体部１５ａより振動板１４側に突出している固定軸１５ｂと、を有している。振動板１４には固定孔１４ａが形成されている。振動部材１５は、固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入されることにより、振動板１４に固定されている。
【００１６】
この電気音響変換器１００によれば、固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入されることにより、振動部材１５が振動板１４に固定されている。すなわち、振動部材１５が振動板１４に圧入固定されている。このため、振動部材１５が振動板１４に対して十分な強度で固定された構造を容易に実現することができる。
つまり、接着材を用いなくても、振動部材１５を振動板１４に対して十分な強度で固定することができる。接着材を用いずに振動部材１５を振動板１４に固定する場合、製造工程の簡略化とコスト低減が可能である。
また、振動部材１５の固定軸１５ｂと振動板１４の固定孔１４ａの周壁とが互いに密着するため、振動板１４に対する振動部材１５の固定位置精度が向上する。その結果、電気音響変換器１００の基本共振周波数（１次共振周波数及び２次共振周波数）のバラツキを低減することができる。よって、電気音響変換器１００を歩留まり良く製造することが可能となる。
要するに、金属製の振動部材１５と金属製の振動板１４とを十分な強度で位置精度良く相互に固定することができる。
【００１７】
以下、より詳細に説明する。
【００１８】
図２は第１の実施形態に係る電気音響変換器１００のより具体的な構成の一例を示す模式図である。図３は図２の分解図である。図４は第１の実施形態に係る電気音響変換器１００の模式的な平面図である。
【００１９】
本実施形態の場合、振動素子は圧電振動子１３である。つまり、本実施形態に係る電気音響変換器１００は圧電型電気音響変換器である。圧電振動子１３は、圧電素子ともいわれる。
【００２０】
圧電振動子１３は板状に形成されている。圧電振動子１３は、振動板１４において、振動部材１５の本体部１５ａ側とは反対側の面に対して、接合（例えば接着）されることにより、振動板１４に固定されている。圧電振動子１３は、振動板１４に対して隙間無く面接合されている。
【００２１】
入力部２０は、圧電振動子１３に変調信号を入力して圧電振動子１３を振動させる。これにより、圧電振動子１３の振動が振動板１４及び振動部材１５に伝達し、振動板１４及び振動部材１５から超音波が発振される（放射される）。
【００２２】
より具体的には、例えば、入力部２０は、圧電振動子１３に対して、パラメトリックスピーカ用の変調信号を入力する。すなわち、電気音響変換器１００は、例えば、パラメトリックスピーカである。
【００２３】
振動部材１５の本体部１５ａは、例えば、振動板１４から離間している。本体部１５ａは、例えば、振動板１４から遠ざかるにつれて拡径する錐状（錐台状）の形状に形成されている。より具体的には、例えば、本体部１５ａは、円錐状（円錐台状）に形成されている。従って、本体部１５ａの外形形状は、例えば円形である（図４参照）。
なお、本体部１５ａの外形形状は、多角形状であっても良い。
【００２４】
本体部１５ａにおいて、振動板１４とは反対側の面には、錐状の凹部１５ｃが形成されている。その結果、本体部１５ａは、錐状の薄板形状に形成されている。つまり、本体部１５ａは、例えば、中空の錐状に形成されている。
【００２５】
振動部材１５の固定軸１５ｂは、本体部１５ａの中央部より、振動板１４側に突出している。振動部材１５の固定軸１５ｂは、例えば、円柱形状であることが挙げられるが、角柱形状であっても良いし、筒状（円筒状又は角筒状）であっても良い。
【００２６】
振動部材１５は、その全体が一体形成されている。すなわち本体部１５ａと固定軸１５ｂとは一体形成されている。
【００２７】
振動板１４は、例えば、リン青銅や４２アロイなどの金属により、平板状に形成されている。
【００２８】
振動部材１５を構成する金属材料の密度は、振動板１４を構成する金属材料の密度よりも小さいことが好ましい。このようにすることによって、振動部材１５をなるべく軽くすることができる。よって、振動板１４と振動部材１５との圧入固定箇所における応力負荷及び重量負荷を低減することができる。その結果、電気音響変換器１００の共振周波数の過度な低下を抑制することができる。
【００２９】
振動板１４の中央部には、振動部材１５を圧入固定するための固定孔１４ａが形成されている。振動部材１５は、その固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入されることによって、振動板１４に固定されている。
【００３０】
固定孔１４ａは、例えば、振動板１４の表裏を貫通している。例えば、固定軸１５ｂの先端面１５ｅは、振動板１４における本体部１５ａとは反対側の面１４ｂと面一となっている。先端面１５ｅは、例えば、圧電振動子１３における振動板１４側の面に突き当たって接触している。
【００３１】
圧電振動子１３は、例えば、圧電セラミック（図示略）と、圧電セラミックの一方の面（図２の下面）に形成された電極膜（図示略）と、からなる。なお、振動板１４は、圧電振動子１３の他方の面（図２の上面）の電極としての機能を兼ねる。
【００３２】
圧電振動子１３の外形形状は、例えば、円形又は多角形状となっている。更に、振動板１４の外形形状は、例えば、円形又は多角形状となっている。具体的には、例えば、圧電振動子１３及び振動板１４の外形形状は、互いに同一形状且つ同一寸法となっている。圧電振動子１３及び振動板１４の外形形状を円形又は多角形状とすることにより、電気音響変換器１００の振動モードを縮退させ、意図しない不要な共振の発生を抑制することができる。具体的には、例えば、図４に示すように、振動板１４及び圧電振動子１３（図４では不図示）の外形形状は、多角形状（例えば八角形など）とすることができる。
なお、圧電振動子１３及び振動板１４の外形形状は、これらの形状に限定されない。
【００３３】
圧電振動子１３は、低弾性の支柱１２を介して、底板１１上に設けられている。圧電振動子１３は、例えば複数の支柱１２により支持されている。支柱１２は、例えば、低弾性の樹脂材料により構成されている。底板１１は、例えば樹脂により構成されている。
【００３４】
図５は第１の実施形態に係る電気音響変換器１００を複数の超音波振動子１０のアレイとして構成した場合の模式的な平面図である。
【００３５】
図５において、超音波振動子１０の各々は、振動部材１５、振動板１４、圧電振動子１３、支柱１２を有している。
【００３６】
複数の超音波振動子１０は、例えば、共通の支持部１０１により支持されている。底板１１は、例えば、支持部１０１上に固定されている。なお、底板１１は、支持部１０１の一部分により構成されていても良い。
【００３７】
図５では、複数の超音波振動子１０が平面視においてマトリクス状に配置されている例を示している。ただし、複数の超音波振動子１０の配置は、この例に限らない。例えば、複数の超音波振動子１０を一列に配置することも可能である。
【００３８】
ここで、入力部２０から圧電振動子１３に入力される変調信号の輸送波は、例えば、周波数が２０ｋＨｚ以上の超音波であり、具体的には、例えば１００ｋＨｚの超音波である。入力部２０は、所定の発振出力となるように圧電振動子１３を制御する。
【００３９】
振動板１４及び振動部材１５は、圧電振動子１３から発生した振動によって振動する。この振動により、振動部材１５は、例えば周波数が２０ｋＨｚ以上の音波を発振する。なお、振動部材１５は、振動板１４及び圧電振動子１３の変位が最大となる中央部に対して固定されている。
【００４０】
パラメトリックスピーカは、複数の発振源それぞれからＡＭ変調やＤＳＢ変調、ＳＳＢ変調、ＦＭ変調をかけた超音波（輸送波）を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音を出現させるものである。ここでの非線形とは、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移することを示す。音波は流体内で微少にじょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。特に超音波周波数帯では音波の非線形性が容易に観察できる。そして超音波を空気中に放射した場合、音波の非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。また音波は、空気中において分子密度に濃淡が生じる疎密状態である。そして空気分子が圧縮よりも復元するのに時間が生じた場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じる。この衝撃波により可聴音が発生する。
【００４１】
図６は第１の実施形態に係る電子機器の一例としての携帯端末装置１５０の模式図である。
【００４２】
図５に示すように、携帯端末装置１５０は、筐体１５１と、筐体１５１内に設けられた電気音響変換器１００と、を有している。電気音響変換器１００の構成は、上述したとおりである。
【００４３】
筐体１５１には、電気音響変換器１００から出力される音波を放音する放音孔（図示略）が形成されている。支持部１０１は、例えば、携帯端末装置１５０の回路基板（図示略）又は筐体１５１に固定されている。なお、支持部１０１は筐体１５１の一部分であっても良い。
【００４４】
携帯端末装置１５０は、例えば、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、小型ゲーム機器、ラップトップ型パーソナルコンピュータなどである。
【００４５】
以上のような第１の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
【００４６】
金属製の振動部材１５の固定軸１５ｂを金属製の振動板１４の固定孔１４ａに圧入することによって、振動部材１５が振動板１４に固定されている。これにより、振動部材１５と振動板１４との接合部分が金属になる。このため、その接合部分は、振動により発生する応力に好適に耐えることができ、電気音響変換器１００の信頼性及び耐久性が向上する。その結果、圧電振動子１３、振動板１４及び振動部材１５を大きな振幅で長時間駆動させることが可能となる。
【００４７】
振動部材１５が振動板１４に圧入固定されているため、振動部材１５が振動板１４に対して十分な強度で固定された構造を容易に実現することができる。接着材を用いなくても、振動部材１５を振動板１４に対して十分な強度で固定することができる。接着材を用いずに振動部材１５を振動板１４に固定する場合、製造工程の簡略化とコスト低減が可能である。
【００４８】
また、振動板１４の固定孔１４ａに固定軸１５ｂを固定する構造のため、振動部材１５の固定軸１５ｂと振動板１４の固定孔１４ａの周壁とが互いに密着する。よって、振動板１４に対する振動部材１５の固定位置精度が向上する。その結果、電気音響変換器１００の基本共振周波数（１次共振周波数及び２次共振周波数）のバラツキを低減することができる。よって、電気音響変換器１００を歩留まり良く製造することが可能となる。
ここで、振動部材を圧入でなく単に接着材により振動板の固定孔に固定する場合、接着材の厚みのバラツキにより振動板に対する振動部材の固定位置精度が低下し、基本共振周波数のバラツキが大きくなる可能性がある。
また、例えば特許文献３のようにリベットを用いて振動部材を振動板に固定する場合、リベットの軸方向に対する交差方向において、振動板に対する振動部材の固定位置にバラツキが生じる可能性がある。その結果、やはり、基本共振周波数のバラツキが大きくなる可能性がある。
【００４９】
このように、本実施形態によれば、金属製の振動部材１５と金属製の振動板１４とを十分な強度で位置精度良く相互に固定することができる。
【００５０】
また、振動部材１５の固定軸１５ｂと振動板１４の固定孔１４ａの周壁とが互いに密着するため、振動部材１５を構成する金属と振動板１４を構成する金属との一体性が向上する。これにより、振動板１４から振動部材１５へ良好に振動を伝達することができる。
【００５１】
また、固定軸１５ｂの先端面１５ｅは、振動板１４における本体部１５ａとは反対側の面１４ｂと面一になっている。つまり、固定軸１５ｂは、振動板１４の面１４ｂから突出してはいない。このため、圧電振動子１３に孔を形成しなくても、圧電振動子１３と振動板１４とを隙間無く密着させて面接合することができる。よって、圧電振動子１３に孔を形成しなくても、圧電振動子１３と振動板１４とを十分な強度で接合することが可能である。また、振動板１４と固定軸１５ｂとの接触面積を最大限確保することができるので、振動板１４と固定軸１５ｂとの接合強度を最大限高めることができる。
なお、特許文献３において、リベットを用いる構造では、リベットの両端がかしめられており、金属製振動板と圧電振動子との間には、リベットの一端側のかしめ部を収容する隙間が存在している。このため、圧電振動子と金属製振動板との接合強度を十分に確保できない可能性がある。
【００５２】
第１の実施形態に係る電気音響変換器１００は、以下に説明するような変形例とすることができる。各変形例においても、上記と同様の効果が得られる。
【００５３】
＜変形例１＞
図７は第１の実施形態の変形例１に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。このうち図７（ａ）は振動部材１５を振動板１４に固定した状態を示し、図７（ｂ）は振動部材１５を振動板１４に固定する前の状態を示す。
【００５４】
変形例１の場合、固定軸１５ｂの周面が粗面化されている。具体的には、例えば、固定軸１５ｂの周面にはローレット加工が形成されている。固定軸１５ｂの周面において、粗面化されている部分を粗面化部１５ｄと称する。
【００５５】
粗面化部１５ｄは、固定軸１５ｂの全域に形成されていても良いし、図７に示すように、固定軸１５ｂにおいて固定孔１４ａ内に圧入される部分にのみ選択的に形成されていても良い。
【００５６】
固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入されて、粗面化部１５ｄが振動板１４における固定孔１４ａの周壁に密着している。これにより、変形例１では、固定軸１５ｂと振動板１４との高い摩擦抵抗を得ることができる。よって、この変形例１によれば、振動部材１５と振動板１４との高い結合強度を得ることができる。
【００５７】
＜変形例２＞
図８は第１の実施形態の変形例２に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。変形例２の場合、固定軸１５ｂは単に固定孔１４ａに圧入されているだけでなく、接着材又ははんだなどの接合材１６を介して振動板１４における固定孔１４ａの周壁に接合されている。
【００５８】
＜変形例３＞
図９は第１の実施形態の変形例３に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。変形例３の場合、圧電振動子１３には、圧電振動子１３の表裏を貫通する貫通孔１３ａが、振動板１４の固定孔１４ａと同軸に形成されている。振動部材１５の固定軸１５ｂが固定孔１４ａに圧入固定され、且つ、固定軸１５ｂの先端部が貫通孔１３ａに挿入されている。例えば、固定軸１５ｂの先端部は、貫通孔１３ａに嵌入（隙間無く挿入）されている。圧電振動子１３における振動板１４とは反対側の面１３ｂと、固定軸１５ｂの先端面１５ｅと、が互いに面一となっている。
【００５９】
＜変形例４＞
図１０は第１の実施形態の変形例４に係る電気音響変換器１００の模式的な断面図である。変形例４の場合、固定孔１４ａは、振動板１４を貫通していない。固定孔１４ａは、凹形状となっている。このため、固定軸１５ｂの先端面１５ｅは、振動板１４における振動部材１５の本体部１５ａとは反対側の面１４ｂよりも本体部１５ａ側に位置している。
【００６０】
〔第２の実施形態〕
図１１は第２の実施形態に係る電気音響変換器２００の模式的な断面図である。
【００６１】
第２の実施形態に係る電気音響変換器２００は、以下に説明する点でのみ、上記の第１の実施形態に係る電気音響変換器１００と相違し、その他の点では、電気音響変換器１００と同様に構成されている。
【００６２】
上記の第１の実施形態では、圧電型の電気音響変換器１００について説明したが、第２の実施形態に係る電気音響変換器２００は、以下に説明するように、静電型電気音響変換器である。
【００６３】
本実施形態の場合、振動素子は、コンデンサ１７である。コンデンサ１７は、第１電極板１７ａと、第２電極板１７ｂと、絶縁部材（誘電部材）１７ｃと、を有している。第１電極板１７ａ及び第２電極板１７ｂは、それぞれ平板状の金属板である。
【００６４】
第１電極板１７ａは、振動板１４における振動部材１５の本体部１５ａとは反対側の面１４ｂに対して面接合されている。本実施形態の場合も、例えば、振動板１４における振動部材１５とは反対側の面１４ｂと、固定軸１５ｂの先端面１５ｅと、が互いに面一となっている。そして、第１電極板１７ａは、振動板１４に対して隙間無く密着して面接合されている。先端面１５ｅは、例えば、第１電極板１７ａにおける振動板１４側の面に突き当たって接触している。
【００６５】
第２電極板１７ｂは第１電極板１７ａと対向配置されている。第２電極板１７ｂは、支柱１２を介して、底板１１上に設けられている。
【００６６】
絶縁部材１７ｃは、樹脂などの低弾性の絶縁材料からなる。第１電極板１７ａは、絶縁部材１７ｃを介して、第２電極板１７ｂ上に支持されている。絶縁部材１７ｃは、第１電極板１７ａと第２電極板１７ｂとを相互に絶縁している。コンデンサ１７は、例えば複数の絶縁部材１７ｃを有している。
【００６７】
入力部２０は、コンデンサ１７に信号を入力してコンデンサ１７を振動させる。より具体的には、入力部２０は、コンデンサ１７に変調信号（例えばパラメトリックスピーカ用の変調信号）を入力してコンデンサ１７を振動させる。これにより、コンデンサ１７の振動が振動板１４及び振動部材１５に伝達し、振動板１４及び振動部材１５から音波（例えば超音波）が発振される（放射される）。
【００６８】
また、本実施形態に係る電子機器は、電気音響変換器１００の代わりに電気音響変換器２００を有している点でのみ、上記の第１の実施形態に係る電子機器と相違する。
【００６９】
以上のような第２の実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００７０】
上記の各実施形態では、振動部材１５の本体部１５ａが錐状である例（振動部材１５が金属コーンである例）を説明したが、振動部材１５の形状はこの例に限らない。例えば、振動部材１５は、平板状の平板部（図示略）と、この平板部の中心より垂下する固定軸１５ｂと、を有していても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１０ 超音波振動子
１１ 底板
１２ 支柱
１３ 圧電振動子
１３ａ 貫通孔
１３ｂ 面
１４ 振動板
１４ａ 固定孔
１４ｂ 面
１５ 振動部材
１５ａ 本体部
１５ｂ 固定軸
１５ｃ 凹部
１５ｄ 粗面化部
１５ｅ 先端面
１６ 接合材
１７ コンデンサ
１７ａ 第１電極板
１７ｂ 第２電極板
１７ｃ  絶縁部材
２０ 入力部
１００ 電気音響変換器
１０１ 支持部
１５０ 携帯端末装置
１５１ 筐体
２００ 電気音響変換器
【図１】
2013172237.tif 000003
【図２】
2013172237.tif 000004
【図３】
2013172237.tif 000005
【図４】
2013172237.tif 000006
【図５】
2013172237.tif 000007
【図６】
2013172237.tif 000008
【図７】
2013172237.tif 000009
【図８】
2013172237.tif 000010
【図９】
2013172237.tif 000011
【図１０】
2013172237.tif 000012
【図１１】
2013172237.tif 000013