(57)【要約】【課題】部品実装機の吸着ノズルによる部品吸着成功／失敗を精度良く自動判定できるようにする。【解決手段】部品実装機の装着ヘッドの吸着ノズルが次の部品吸着位置の上方に移動する毎に、部品吸着動作を開始する前にマークカメラ１８で当該部品吸着位置の部品２２を撮像してから、吸着ノズルを下降させて当該部品吸着位置の部品２２を吸着してピックアップした後、再度、マークカメラ１８で当該部品吸着位置を撮像する。その後、部品吸着動作の前後のマークカメラ１８の撮像画像を比較して、部品吸着動作の前後の撮像画像に差があれば、部品吸着成功と判定する。部品吸着動作の前後の撮像画像に差がなければ、部品吸着失敗と判定し、部品吸着動作条件を変更して部品吸着動作を再実行する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給される部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルによる部品吸着位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、
前記吸着ノズルによる部品吸着動作の前後の前記カメラの撮像画像を比較して部品吸着成功／失敗を判定する部品吸着動作監視手段と
を備えていることを特徴とする部品吸着動作監視装置。
【請求項２】
供給される部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルによる部品吸着位置に部品が有る状態と無い状態のいずれの高さも計測できる高さ計測手段と、
前記吸着ノズルによる部品吸着動作の前後の前記高さ計測手段の高さ計測値を比較して部品吸着成功／失敗を判定する部品吸着動作監視手段と
を備えていることを特徴とする部品吸着動作監視装置。
【請求項３】
部品載置位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、
前記部品載置位置に設けられた画像認識可能な識別部と、
前記カメラの撮像画像を処理して前記識別部を認識できないか否かを判定して前記部品載置位置の部品の有無を判定する部品有無判定手段と
を備えていることを特徴とする部品有無検出装置。
【請求項４】
部品載置位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、
前記部品の上面に設けられた画像認識可能な識別部と、
前記カメラの撮像画像を処理して前記識別部を認識できたか否かを判定して前記部品載置位置の部品の有無を判定する部品有無判定手段と
を備えていることを特徴とする部品有無検出装置。
【請求項５】
複数の部品を載置するための複数の部品載置位置が設けられたトレイの各部品載置位置の部品の有無をそれぞれ判定することを特徴とする請求項３又は４に記載の部品有無検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルによる部品吸着成功／失敗又は部品の有無を判定する機能を備えた部品吸着動作監視装置及び部品有無検出装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
部品実装機においては、特許文献１（特開２０００−２５５７７０号公報）に記載されているように、部品吸着位置に部品が存在しているか否かを確認することを目的として、吸着ノズルを保持する装着ヘッドに、部品吸着位置の高さ（部品の有る状態と無い状態の高さ）を計測する高さセンサを取り付け、この高さセンサを部品吸着位置の上方に移動させて高さを計測し、その高さ計測値を予めメモリに記憶された判定値（部品吸着位置の高さデータ）と比較して、高さセンサの高さ計測値が判定値と一致すれば、部品吸着位置に部品が無いと判定し、高さ計測値が判定値より高ければ、部品吸着位置に部品が存在すると判定するようにしたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２５５７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、部品実装機には、様々な種類の部品供給装置をセットできるようになっているため、セットする部品供給装置の種類に応じて部品吸着位置の高さが変化する。このため、部品供給装置の種類毎に判定値（部品吸着位置の高さデータ）を変更する必要があり、面倒である。また、高さセンサは、部品吸着位置の部品と高さセンサとの間の距離を計測して部品の高さを計測するため、高さセンサを取り付けた装着ヘッドの高さ（高さセンサの高さ）に応じて高さセンサの高さ計測値が変化してしまう。そのため、高さ計測時に装着ヘッドの高さ（高さセンサの高さ）を常に一定高さにする必要があるが、実際には、装着ヘッドの高さの位置決め誤差等によって高さセンサの高さ計測値がばらついてしまい、部品の有無を誤判定する可能性がある。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、吸着ノズルによる部品吸着成功／失敗又は部品の有無を精度良く自動判定できる部品吸着動作監視装置及び部品有無検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、吸着ノズルによる部品吸着位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、前記吸着ノズルによる部品吸着動作の前後の前記カメラの撮像画像を比較して部品吸着成功／失敗を判定する部品吸着動作監視手段とを備えた構成としたものである。この構成によれば、部品吸着動作の前後で、カメラで撮像した部品吸着位置の撮像画像を比較して、部品吸着動作の前後の撮像画像に差があれば、部品吸着成功と判定し、部品吸着動作の前後の撮像画像に差がなければ、部品吸着失敗と判定する。これにより、カメラの高さや部品吸着位置の高さが変化しても、その影響を受けずに、部品吸着成功／失敗を精度良く自動判定できる。また、予め判定値（部品吸着位置の高さデータ）を設定する必要がなく、判定値のミスマッチによる部品吸着成功／失敗の誤判定を防止できる。
【０００７】
また、請求項２のように、吸着ノズルによる部品吸着位置に部品が有る状態と無い状態のいずれの高さも計測できる高さ計測手段と、前記吸着ノズルによる部品吸着動作の前後の前記高さ計測手段の高さ計測値を比較して部品吸着成功／失敗を判定する部品吸着動作監視手段とを備えた構成としても良い。この構成によれば、部品吸着動作の前後で、高さ計測手段で計測した部品吸着位置の高さ計測値を比較して、部品吸着動作の前後の高さ計測値に差があれば、部品吸着成功と判定し、部品吸着動作の前後の高さ計測値に差がなければ、部品吸着失敗と判定する。これにより、前記請求項１に係る発明と同様の効果を得ることができる。
【０００８】
また、請求項３のように、部品載置位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、前記部品載置位置に設けられた画像認識可能な識別部と、前記カメラの撮像画像を処理して前記識別部を認識できないか否かを判定して前記部品載置位置の部品の有無を判定する部品有無判定手段とを備えた構成としても良い。この構成によれば、部品載置位置に画像認識可能な識別部を設けることで、カメラで撮像した部品載置位置の撮像画像から前記識別部を認識できたか否かで、当該部品載置位置に部品が無いか否かを判定できるため、カメラの高さや部品載置位置の高さが変化しても、その影響を受けずに、部品載置位置の部品の有無を精度良く自動判定できる。また、予め判定値（部品載置位置の高さデータ）を設定する必要がなく、判定値のミスマッチによる部品の有無の誤判定を防止できる。
【０００９】
また、請求項４のように、部品載置位置に部品が有る状態と無い状態のいずれも撮像できるカメラと、前記部品の上面に設けられた画像認識可能な識別部と、前記カメラの撮像画像を処理して前記識別部を認識できたか否かを判定して前記部品載置位置の部品の有無を判定する部品有無判定手段とを備えた構成としても良い。この構成によれば、部品の上面に画像認識可能な識別部を設けることで、カメラで撮像した部品載置位置の撮像画像から前記識別部を認識できたか否かで、当該部品載置位置に部品が有るか否かを判定できるため、前記請求項３に係る発明と同様の効果を得ることができる。
【００１０】
また、請求項３又は４に記載の部品有無検出装置を用いて、請求項５のように、複数の部品を載置するための複数の部品載置位置が設けられたトレイの各部品載置位置の部品の有無をそれぞれ判定するようにしても良い。このようにすれば、カメラの高さやトレイの各部品載置位置の高さが変化しても、その影響を受けずに、トレイの各部品載置位置の部品の有無を精度良く自動判定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明の実施例１における部品実装機のシステム構成を示すブロック図である。
【図２】図２はトレイ上の部品の配列を示す平面図である。
【図３】図３（ａ）は実施例１の部品吸着動作前のカメラの撮像画像を示す図、図３（ｂ）は正常な部品吸着動作後のカメラの撮像画像を示す図である。
【図４】図４は実施例１の部品吸着動作制御プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】図５は実施例２の部品吸着動作制御プログラムの処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】図６（ａ）は実施例３の部品吸着動作前のカメラの撮像画像を示す図、図６（ｂ）は部品吸着成功後のカメラの撮像画像を示す図である。
【図７】図７（ａ）は実施例４の部品吸着動作前のカメラの撮像画像を示す図、図７（ｂ）は部品吸着成功後のカメラの撮像画像を示す図である。
【図８】図８は実施例５のトレイに残った部品の一例を示す平面図である。
【図９】図９は実施例６のトレイに残った部品の配置例（その１）を示す平面図である。
【図１０】図１０は実施例６のトレイに残った部品の配置例（その２）を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した幾つかの実施例を説明する。
【実施例１】
【００１３】
本発明の実施例１を図１乃至図４に基づいて説明する。
まず、図１に基づいて部品実装機のシステム構成を説明する。
部品実装機は、コンピュータにより構成された制御装置１１と、キーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置１２と、液晶ディスプレイ、ＣＲＴ等の表示装置１３と、部品実装機制御プログラムや後述する図４の部品吸着動作制御プログラム等を記憶した記憶装置１４と、吸着ノズルを保持する装着ヘッドをＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる装着ヘッド移動装置１５と、部品を実装する回路基板を搬送する基板搬送装置１６と、吸着ノズルに吸着した部品を下方から撮像するパーツカメラ１７と、回路基板の基準位置マーク等を上方から撮像するマークカメラ１８等を備え、マークカメラ１８を装着ヘッドに取り付けることで、マークカメラ１８を装着ヘッドと一体的にＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる構成となっている。本実施例１では、マークカメラ１８を後述する部品吸着成功／失敗判定用のカメラとして使用する。
【００１４】
この部品実装機には、トレイフィーダ１９、テープフィーダ、バルクフィーダ等のフィーダがセットされ、該フィーダから部品が供給される。図２に示すように、トレイフィーダ１９にセットされるトレイ２０には、複数のキャビティ２１（部品載置位置）が碁盤目状に形成され、各キャビティ２１内にそれぞれ部品２２が載置されている。
【００１５】
制御装置１１は、図４の部品吸着動作制御プログラムを実行することで、部品吸着動作毎に部品吸着成功／失敗を次のようにして判定する。装着ヘッドの吸着ノズルが次の部品吸着位置の上方に移動する毎に、部品吸着動作を開始する前にマークカメラ１８で当該部品吸着位置の部品２２を撮像してから、吸着ノズルを下降させて当該部品吸着位置の部品２２を吸着してピックアップした後、再度、マークカメラ１８で当該部品吸着位置を撮像する。
【００１６】
図３（ａ）に示すように、部品吸着動作前の撮像画像には、部品２２の有る部品吸着位置が写るが、部品吸着に成功すれば、図３（ｂ）に示すように、部品吸着動作後の撮像画像には、部品２２の無い部品吸着位置（キャビティ２１）が写る。この関係から、本実施例１では、部品吸着動作の前後のマークカメラ１８の撮像画像を比較して、部品吸着動作の前後の撮像画像に差があれば、部品吸着成功と判定し、部品吸着動作の前後の撮像画像に差がなければ、部品吸着失敗と判定する。
【００１７】
以上説明した本実施例１の部品吸着成功／失敗の判定は、制御装置１１によって図４の部品吸着動作制御プログラムに従って実行される。図４の部品吸着動作制御プログラムは生産開始時に起動され、特許請求の範囲でいう部品吸着動作監視手段として機能する。本プログラムが起動されると、まず、ステップ１０１で、装着ヘッド移動装置１５によって装着ヘッド（マークカメラ１８と吸着ノズル）を次の部品吸着位置の上方に移動させる。この後、ステップ１０２に進み、部品吸着動作前の部品吸着位置の部品２２をマークカメラ１８で撮像した後、ステップ１０３に進み、吸着ノズルを下降させて当該部品吸着位置の部品２２を吸着してピックアップする。
【００１８】
この後、ステップ１０４に進み、再度、マークカメラ１８で部品吸着動作後の部品吸着位置を撮像する。この際、部品吸着動作の前後でマークカメラ１８の位置（装着ヘッドの位置）に変化はなく、部品吸着動作前と同じ位置から部品吸着動作後の部品吸着位置を撮像する。この後、ステップ１０５に進み、部品吸着動作前後のマークカメラ１８の撮像画像を比較して、部品吸着動作前後の撮像画像に差があるか否かを判定する（ステップ１０６）。その結果、部品吸着動作前後の撮像画像に差があると判定されれば、ステップ１０７に進み、部品吸着成功と判定し、前記ステップ１０１に戻り、上述した処理を繰り返す。
【００１９】
これに対し、上記ステップ１０６で、部品吸着動作前後の撮像画像に差がないと判定されば、ステップ１０８に進み、部品吸着失敗と判定し、次のステップ１０９で、表示装置１３の画面に「吸着失敗」と表示して作業者に警告する。この際、警報音や音声で吸着失敗を作業者に報知するようにしても良い。
【００２０】
この後、ステップ１１０に進み、部品吸着動作のリトライ回数（同じ部品吸着位置での部品吸着動作の繰り返し回数）がすでに所定回数を越えているか否かを判定し、まだ部品吸着動作のリトライ回数が所定回数を越えていないと判定されれば、ステップ１１１に進み、部品吸着動作条件（例えば吸着ノズルの下降量、吸引力、吸着ノズルの下降位置での停止時間等）を手動又は自動で変更して、上記ステップ１０３に戻り、部品吸着動作を再実行（リトライ）して、部品吸着動作後の部品吸着位置をマークカメラ１８で撮像し（ステップ１０４）、再度、部品吸着動作の前後のマークカメラ１８の撮像画像を比較して、部品吸着動作前後の撮像画像に差があるか否かで、部品吸着成功／失敗を判定する。
【００２１】
尚、ステップ１１０で、部品吸着動作のリトライ回数が所定回数を越えていると判定されれば、何らかの異常が発生していると判断して、ステップ１１２に進み、エラー停止して、次のステップ１１３で、表示装置１３の画面にエラー表示して作業者に警告したり、警報音や音声でエラー停止を作業者に報知して、本プログラムを終了する。
【００２２】
以上説明した本実施例１によれば、部品吸着動作の前後で、マークカメラ１８で撮像した部品吸着位置の撮像画像を比較して、部品吸着動作の前後の撮像画像に差があれば、部品吸着成功と判定し、部品吸着動作の前後の撮像画像に差がなければ、部品吸着失敗と判定するようにしたので、マークカメラ１８の高さやトレイ２０の部品吸着位置（キャビティ２１）の高さが変化しても、その影響を受けずに、部品吸着成功／失敗を精度良く自動判定できる。また、予め判定値（部品吸着位置の高さデータ）を設定する必要がなく、判定値のミスマッチによる部品吸着成功／失敗の誤判定を防止することができる。
【実施例２】
【００２３】
上記実施例１では、部品吸着動作の前後で、マークカメラ１８で撮像した部品吸着位置の撮像画像を比較して部品吸着成功／失敗を判定するようにしたが、本発明の実施例２では、吸着ノズルによる部品吸着位置に部品が有る状態と無い状態のいずれの高さも計測できる高さ計測手段を備え、部品吸着動作の前後の高さ計測手段の高さ計測値を比較して部品吸着成功／失敗を判定するようにしている。ここで、高さ計測手段は、例えば、レーザセンサ、超音波センサ等の非接触式の高さ計測センサを用いても良いし、３Ｄ計測装置を用いても良い。高さ計測手段は、装着ヘッドに取り付ければ良い。部品２２を実装する回路基板の高さを計測するレーザセンサを装着ヘッドに取り付けた部品実装機の場合は、基板高さ計測用のレーザセンサを部品吸着成功／失敗判定用の高さ計測手段として用いると良い。
【００２４】
本実施例２の部品吸着成功／失敗の判定は、制御装置１１によって図５の部品吸着動作制御プログラムに従って実行される。図５の部品吸着動作制御プログラムは生産開始時に起動され、特許請求の範囲でいう部品吸着動作監視手段として機能する。本プログラムが起動されると、まず、ステップ２０１で、装着ヘッド移動装置１５によって装着ヘッド（高さ計測手段と吸着ノズル）を次の部品吸着位置の上方に移動させる。この後、ステップ２０２に進み、部品吸着動作前の部品吸着位置の部品２２の高さを高さ計測手段で計測した後、ステップ２０３に進み、吸着ノズルを下降させて当該部品吸着位置の部品２２を吸着してピックアップする。
【００２５】
この後、ステップ２０４に進み、再度、高さ計測手段で部品吸着位置の高さを計測する。この際、部品吸着動作の前後で高さ計測手段の位置（装着ヘッドの位置）に変化はなく、部品吸着動作前と同じ位置から部品吸着位置の高さを計測する。この後、ステップ２０５に進み、部品吸着動作前後の高さ計測手段の高さ計測値を比較して、部品吸着動作前後の高さ計測値に差があるか否かを判定する（ステップ２０６）。その結果、部品吸着動作前後の高さ測定値に差があると判定されれば、ステップ２０７に進み、部品吸着成功と判定し、前記ステップ２０１に戻り、上述した処理を繰り返す。
【００２６】
これに対し、上記ステップ２０６で、部品吸着動作前後の高さ測定値に差がないと判定されば、ステップ２０８に進み、部品吸着失敗と判定し、ステップ２０９以降の処理に進み、前記実施例１で説明した図４のステップ１０９以降の同様の処理を実行し、表示装置１３の画面に「吸着失敗」を表示して、部品吸着に成功するまで、部品吸着動作条件を変更して部品吸着動作のリトライを繰り返し、その後、部品吸着動作のリトライ回数が所定回数を越えても部品吸着に成功しない場合は、エラー停止して、表示装置１３の画面にエラー表示する。
【００２７】
以上説明した本実施例２によれば、部品吸着動作の前後で、高さ計測手段で計測した部品吸着位置の高さ計測値を比較して、部品吸着動作の前後の高さ計測値に差があれば、部品吸着成功と判定し、部品吸着動作前後の高さ計測値に差がなければ、部品吸着失敗と判定するようにしたので、前記実施例１と同様の効果を得ることができる。
【実施例３】
【００２８】
図６に示す本発明の実施例３では、トレイ２０の各キャビティ２１（部品載置位置）にそれぞれマークカメラ１８で画像認識可能な識別部２５を設け、マークカメラ１８で各部品載置位置を撮像して、その撮像画像を処理して当該部品載置位置の識別部２５を認識できたか否かを判定し、当該部品載置位置の識別部２５が認識されれば、当該部品載置位置に部品２２が無いと判定し、当該部品載置位置の識別部２５が認識されなければ、当該部品載置位置に部品２２が有ると判定するようにしている。この場合、トレイ２０の各キャビティ２１に設ける識別部２５は、マークカメラ１８で画像認識可能であれば、文字、記号、図柄、マーク、標識等のいずれであっても良い。
【００２９】
本実施例３では、制御装置１１（部品有無判定手段）は、部品吸着動作前に、マークカメラ１８で部品吸着位置（部品載置位置）を撮像して、その撮像画像を処理して識別部２５を認識できたか否かで、当該部品吸着位置の部品２２の有無を判定し、当該部品吸着位置に部品２２が有ることを確認してから部品吸着動作を行う。そして、部品吸着動作後に、再度、マークカメラ１８で当該部品吸着位置を撮像して、その撮像画像を処理して識別部２５を認識できたか否かで、当該部品吸着位置の部品２２の有無を判定する。その結果、当該部品吸着位置の識別部２５を認識できなかった場合は、当該部品吸着位置に部品２２が残っていると判断して、部品吸着失敗と判定し、部品吸着に成功するまで、部品吸着動作条件を変更して部品吸着動作のリトライを繰り返し、その後、部品吸着動作のリトライ回数が所定回数を越えても部品吸着に成功しない場合は、エラー停止する。
【００３０】
以上説明した本実施例３では、トレイ２０の各キャビティ２１にそれぞれマークカメラ１８で画像認識可能な識別部２５を設けることで、マークカメラ１８で撮像した部品吸着位置の撮像画像から識別部２５を認識できたか否かで当該部品吸着位置に部品２２が無いか否かを判定できるため、マークカメラ１８の高さや部品吸着位置の高さが変化しても、その影響を受けずに、部品吸着位置の部品２２の有無を精度良く自動判定できる。また、予め判定値（部品載置位置の高さデータ）を設定する必要がなく、判定値のミスマッチによる部品２２の有無の誤判定を防止できる。その他、前記実施例１と同様の効果も得ることができる。
【００３１】
尚、上記実施例１〜３では、トレイフィーダ１９で供給されるトレイ２０の各キャビティ２１に載置した部品２２の有無を判定するようにしたが、テープフィーダ、バルクフィーダ等の様々なフィーダで部品吸着位置に供給される部品の有無を判定するようにしても良い。
【実施例４】
【００３２】
図７に示す本発明の実施例４では、トレイ２０の各部品載置位置（キャビティ２１）に載置する部品２２の上面に、マークカメラ１８で画像認識可能な識別部２６を設け、マークカメラ１８で各部品載置位置を撮像して、その撮像画像を処理して識別部２６を認識できたか否かを判定し、識別部２６が認識されれば、当該部品載置位置に部品２２が有ると判定し、識別部２６が認識されなければ、当該部品載置位置に部品２２が無いと判定するようにしている。この場合、部品２２の上面に設ける識別部２６は、マークカメラ１８で画像認識可能であれば、文字、記号、図柄、マーク、標識等のいずれであっても良い。
【００３３】
本実施例３では、制御装置１１（部品有無判定手段）は、部品吸着動作前に、マークカメラ１８で部品吸着位置（部品載置位置）を撮像して、その撮像画像を処理して識別部２６を認識できたか否かで、当該部品吸着位置の部品２２の有無を判定し、当該部品吸着位置に部品２２が有ることを確認してから部品吸着動作を行う。そして、部品吸着動作後に、再度、マークカメラ１８で当該部品吸着位置を撮像して、その撮像画像を処理して識別部２６を認識できたか否かで、当該部品吸着位置の部品２２の有無を判定する。その結果、識別部２６を認識できた場合は、当該部品吸着位置に部品２２が残っていると判断して、部品吸着失敗と判定し、部品吸着に成功するまで、部品吸着動作条件を変更して部品吸着動作のリトライを繰り返し、その後、部品吸着動作のリトライ回数が所定回数を越えても部品吸着に成功しない場合は、エラー停止する。
【００３４】
以上説明した本実施例４では、トレイ２０の各部品載置位置（キャビティ２１）に載置する部品２２の上面にそれぞれマークカメラ１８で画像認識可能な識別部２６を設けることで、マークカメラ１８で撮像した部品載置位置の撮像画像から識別部２６を認識できたか否かで、当該部品載置位置に部品２２が有るか否かを判定できるため、前記実施例３と同様の効果を得ることができる。
【実施例５】
【００３５】
図８に示す本発明の実施例５では、使用済みのトレイ２０を廃棄する前に、トレイ２０の各キャビティ２１に部品２２が残っていないか否かをキャビティ２１毎に部品有無判定手段により判定し、当該トレイ２０の全てのキャビティ２１に部品２２が残っていないことを確認してから当該トレイ２０を廃棄する。
【００３６】
一方、トレイ２０のいずれかのキャビティ２１に部品２２が残っていることが判明した場合は、当該キャビティ２１の部品２２を吸着ノズルで吸着してピックアップした後、再度、当該キャビティ２１の部品２２の有無を判定し、当該キャビティ２１に部品２２が残っていないことを確認してから当該トレイ２０を廃棄する。
【００３７】
この場合、トレイ２０の各キャビティ２１の部品２２の有無の判定方法は、前記実施例３又は４の方法を用いれば良い。
或は、装着ヘッドに３Ｄ計測装置を取り付けて、トレイ２０の各キャビティ２１に部品２２が残っていないか否かをキャビティ２１毎に３Ｄ計測装置の高さ計測値により判定するようにしても良い。
【実施例６】
【００３８】
図９及び図１０に示す本発明の実施例６では、使いかけのトレイ２０を再利用する場合に、トレイ２０の各キャビティ２１に部品２２が残っていないか否かをキャビティ２１毎に部品有無判定手段により判定し、部品２２が残っているキャビティ２１を自動認識して、当該キャビティ２１の部品２２を吸着ノズルで吸着してピックアップした後、再度、当該キャビティ２１の部品２２の有無を判定し、当該キャビティ２１に部品２２が残っていないことを確認してから、次のキャビティ２１に移動して当該キャビティ２１の部品２２の有無を判定する。これにより、部品２２が残っているキャビティ２１についてのみ部品吸着動作を自動的に実行する。このようにすれば、作業者が部品２２が残っているキャビティ２１の位置（部品吸着位置）を目視で確認して指定する作業を行う必要がないため、作業効率を向上できる。
【００３９】
この場合、トレイ２０の各キャビティ２１の部品２２の有無の判定方法は、前記実施例３又は４の方法を用いれば良い。
或は、装着ヘッドに３Ｄ計測装置を取り付けて、トレイ２０の各キャビティ２１に部品２２が残っていないか否かをキャビティ２１毎に３Ｄ計測装置の高さ計測値により判定するようにしても良い。
【符号の説明】
【００４０】
１１…制御装置（部品吸着動作監視手段，部品有無判定手段）、１２…入力装置、１３…表示装置、１４…記憶装置、１５…装着ヘッド移動装置、１７…パーツカメラ、１８…マークカメラ（高さ計測手段）、１９…トレイフィーダ、２０…トレイ、２１…キャビティ、２２…部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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