(57)【要約】【課題】装置の大型化を抑制できるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１は、ウェハＷＦを支持する支持手段２と、支持手段２で支持されたウェハＷＦに対して接着シートＡＳを押圧して貼付する貼付手段５とを備え、支持手段２は、当該支持手段２から離間した位置に配置されたウェハＷＦを支持して搬送可能に設けられ、この搬送途中のウェハＷＦに貼付手段５で接着シートＡＳを貼付可能に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材を支持する支持手段と、
前記支持手段で支持された前記板状部材に対して接着シートを押圧して貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記支持手段は、当該支持手段から離間した位置に配置された板状部材を支持して搬送可能に設けられ、この搬送途中の板状部材に前記貼付手段で接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記支持手段で支持された前記板状部材の位置を検出する検出手段と、
前記検出手段での検出結果に基づいて、前記板状部材を所定の位置に位置決めする位置決め手段とを備えることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記支持手段は、前記板状部材を保持する板状部材保持手段を備え、
前記位置決め手段は、前記板状部材保持手段と一体的に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記支持手段で搬送中の前記板状部材を囲む位置に、前記接着シートを介して前記板状部材を支持するフレームを配置可能なフレーム支持手段を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
支持手段から離間した位置に配置された板状部材を当該支持手段で支持して搬送し、
前記支持手段で搬送中の前記板状部材を他の部材に受け渡すことなく当該板状部材に接着シートを押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）に接着シートを貼付する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１の構成では、ウェハを支持するチャックテーブルと、このチャックテーブルで支持されたウェハに対して粘着シートを押圧して貼付する貼付けユニットとを備えた粘着シート貼付け装置において、チャックテーブルから離間した位置に配置されたウェハ、つまり、カセットまたはアライメントステージに配置されたウェハを一旦ウェハ搬送機構で支持搬送させ、当該ウェハをチャックテーブルに受け渡してから当該ウェハに粘着シートを貼付している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２４３８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら特許文献１のような構成では、ウェハを支持するためのチャックテーブルに加え、当該チャックテーブルから離間した位置に配置されたウェハをチャックテーブルに受け渡すウェハ搬送機構が必要となり、装置が大型化してしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置の大型化を抑制できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、板状部材を支持する支持手段と、前記支持手段で支持された前記板状部材に対して接着シートを押圧して貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、前記支持手段は、当該支持手段から離間した位置に配置された板状部材を支持して搬送可能に設けられ、この搬送途中の板状部材に前記貼付手段で接着シートを貼付可能に設けられている、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記支持手段で支持された前記板状部材の位置を検出する検出手段と、前記検出手段での検出結果に基づいて、前記板状部材を所定の位置に位置決めする位置決め手段とを備える、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記支持手段は、前記板状部材を保持する板状部材保持手段を備え、前記位置決め手段は、前記板状部材保持手段と一体的に設けられている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記支持手段で搬送中の前記板状部材を囲む位置に、前記接着シートを介して前記板状部材を支持するフレームを配置可能なフレーム支持手段を備える、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、支持手段から離間した位置に配置された板状部材を当該支持手段で支持して搬送し、前記支持手段で搬送中の前記板状部材を他の部材に受け渡すことなく当該板状部材に接着シートを押圧して貼付する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、支持手段が当該支持手段から離間した位置に配置された板状部材を支持して搬送し、この搬送途中の当該板状部材に貼付手段で接着シートを貼付するので、従来のように支持手段とは別体のウェハ搬送機構を設ける必要がなくなり、装置の大型化を抑制できる。
【００１０】
この際、支持手段で支持された板状部材の位置を検出して、この検出結果に基づいて、板状部材を所定の位置に位置決めすれば、接着シートの貼付位置や貼付の向き、さらには、接着シートを介して板状部材を支持するフレームに対する板状部材の位置や方位を適宜変更することができる。
また、位置決め手段を支持手段の板状部材保持手段と一体的に設ければ、装置の大型化をさらに抑制できる。
さらに、支持手段で搬送中の板状部材を囲む位置に、接着シートを介して板状部材を支持するフレームを配置可能なフレーム支持手段を設ければ、装置の大型化を抑制できるとともに、接着シートを介して板状部材をフレームで支持した一体物を容易に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置を示す斜視図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る平面図、（Ｂ）は（Ａ）の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、各実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「手前」がＹ軸の矢印方向で「奥」がその逆方向とする。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１において、シート貼付装置１は、板状部材としてのウェハＷＦを収容する第１収容手段としてのウェハ収容カセットＣＴ１と、ウェハＷＦを支持して搬送可能に設けられた支持手段２と、リングフレームＲＦを支持して搬送するフレーム支持手段３と、支持手段２で支持されたウェハＷＦの位置を検出する検出手段４と、支持手段２で支持されたウェハＷＦおよびフレーム支持手段３で支持されたリングフレームＲＦに対して接着シートＡＳを押圧して貼付する貼付手段５と、接着シートＡＳによってリングフレームＲＦとウェハＷＦとが一体化された一体物Ｗ１を収容する第２収容手段としての一体物収容カセットＣＴ２とを備えている。
【００１４】
ウェハ収容カセットＣＴ１は、支持手段２から離間した位置に配置され、表面（下面）ＷＦ２に図示しない保護シートが貼付され、裏面（上面）ＷＦ１を被着面とされたウェハＷＦを裏面ＷＦ１が上方となるように複数収容可能に設けられている。
【００１５】
支持手段２は、駆動機器としての多関節ロボット２１と、この多関節ロボット２１の先端部に設けられた板状部材保持手段としてのウェハ保持手段２２と、駆動機器であって位置決め手段としてのＸＹテーブル２５とを備え、ウェハ保持手段２２で保持したウェハＷＦを多関節ロボット２１により搬送可能に構成されている。多関節ロボット２１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット２１の作業範囲内においてウェハ保持手段２２を何れの位置、何れの角度にでも変位可能に構成されている。ウェハ保持手段２２は、円盤状の保持フレーム２３とされ、符号ＡＡに示すように、保持フレーム２３に設けられた凹部２４内にＸＹテーブル２５が配置されている。ＸＹテーブル２５は、その出力部２６に保持フレーム２３の上面２３１上を摺動する吸着板２７が取り付けられている。ＸＹテーブル２５は、保持フレーム２３の上面２３１に沿う平面内の直交２軸方向に吸着板２７を移動可能に設けられるとともに、保持フレーム２３の上面２３１に沿う平面内で吸着板２７を回動可能に設けられている。吸着板２７は、ウェハＷＦよりも若干小さい円板状に形成されており、複数の吸着孔２９が設けられた吸着面２８を有し、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続されることでウェハＷＦを吸着保持できるようになっている。
【００１６】
フレーム支持手段３は、Ｘ軸方向に延設された駆動機器としてのリニアモータ３１と、このリニアモータ３１のスライダ３２に設けられた支持アーム３３とを備えている。支持アーム３３は、略半円弧板状に形成され、円弧内部にウェハ保持手段２２が位置可能に構成されている。また、支持アーム３３における円弧の両端部および中央部には、複数の吸着孔３５から構成される吸着部３４が設けられ、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段に接続されることでリングフレームＲＦを吸着保持できるようになっている。
【００１７】
検出手段４は、ＣＣＤカメラ等の撮像手段や光センサ等の光学センサ等によって構成され、図１中二転鎖線で示す待機位置に位置する支持アーム３３の下方に設けられている。
【００１８】
貼付手段５は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ５２と、原反ＲＳを折り返すことで剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５３と、剥離板５３で剥離された接着シートＡＳをウェハＷＦの裏面ＷＦ１に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５４と、図示しない駆動機器としての回動モータによって駆動される駆動ローラ５５と、駆動ローラ５５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５６と、図示しない駆動機器によって駆動されて剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５７とを備え、その全体が図示しないベースフレームに支持されている。
【００１９】
以上のシート貼付装置１において、リングフレームＲＦ内およびウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付して一体物Ｗ１を形成する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図１に示すようにセットする。この後、図示しない搬送装置が貼付手段５の貼付位置を基準とし、待機位置に位置する支持アーム３３上にリングフレームＲＦを載置すると、フレーム支持手段３が図示しない吸引手段を駆動し、支持アーム３３でリングフレームＲＦを吸着保持する。次に、支持手段２が図示しない吸引手段と多関節ロボット２１とを駆動し、ウェハ収容カセットＣＴ１内に配置されたウェハＷＦの表面ＷＦ２側にウェハ保持手段２２の吸着面２８を当接させ吸着保持する。その後、支持手段２が多関節ロボット２１を駆動し、図２中二転鎖線で示すように、待機位置で支持アーム３３に支持されたリングフレームＲＦの開口部内にウェハＷＦを配置させる。このとき、支持手段２が多関節ロボット２１を駆動し、ＣＣＤカメラ等の撮像手段や光センサ等の光学センサ等によって構成された図示しない検出手段の検出結果を基にして、ウェハＷＦの裏面ＷＦ１とリングフレームＲＦの上面とが同一面上に位置するように位置決めを行う。
この後、検出手段４がウェハＷＦの図示しないオリエンテーションフラットやＶノッチ等の方位マークやウェハＷＦの回路パターンやストリート等を検出するとともに、支持手段２がＸＹテーブル２５を駆動し、検出手段４の検出結果を基にして、ウェハＷＦがリングフレームＲＦを基準として所定の位置で所定の方向を向くように位置決めを行う。
【００２０】
次いで、支持手段２が多関節ロボット２１を駆動するとともに、フレーム支持手段３がリニアモータ３１を駆動し、リングフレームＲＦとウェハＷＦの位置関係が変わらないように、ウェハ保持手段２２および支持アーム３３を左方向に同じ速度で同じ距離移動させる。そして、リングフレームＲＦおよびウェハＷＦが所定の位置に到達したことが図示しない撮像手段や光学センサ等の検知手段に検知されると、ウェハ保持手段２２および支持アーム３３の移動に同期して貼付手段５が図示しない回動モータを駆動し、駆動ローラ５５を回動させて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板５３で剥離シートＲＬから剥離され、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ５４によってリングフレームＲＦおよびウェハＷＦに押圧されて貼付され、一体物Ｗ１が形成される。
【００２１】
一体物Ｗ１が形成され、ウェハ保持手段２２および支持アーム３３が図２中実線線で示す位置に達すると、支持手段２およびフレーム支持手段３が多関節ロボット２１およびリニアモータ３１の駆動を停止する。その後、フレーム支持手段３が図示しない吸引手段の駆動を停止した後、支持手段２が多関節ロボット２１を駆動し、一体物Ｗ１を上下反転させて一体物収容カセットＣＴ２内に収容し、図示しない吸引手段の駆動を停止する。その後、フレーム支持手段３がリニアモータ３１を駆動し、支持アーム３３を待機位置に復帰させる。その後、上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、支持手段２にウェハ収容カセットＣＴ１内のウェハＷＦを支持して搬送する機能と、接着シートＡＳの貼付時にウェハＷＦを支持する機能とを持たせているため、シート貼付装置１の大型化を抑制できる。
【００２３】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図３に基づいて説明する。
図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、支持手段２Ａは、多関節ロボット２１の先端部に設けられたウェハ保持手段２２Ａを備えている。このウェハ保持手段２２Ａは、幅寸法（図３の状態でのＸ軸方向の寸法）がウェハＷＦの径よりも若干小さく設定された保持フレーム２３Ａを備え、当該保持フレーム２３Ａの面内に形成された凹部２４内に第１実施形態で示したものと同等の位置決め手段が設けられている。また、保持フレーム２３Ａにおける多関節ロボット２１側には、リングフレームＲＦを挟持するフレーム支持手段３Ａが設けられている。このフレーム支持手段３Ａは、図３（Ｂ）における保持フレーム２３Ａの下面に設けられた駆動機器としての一対の直動モータ３１Ａと、保持フレーム２３Ａの上面側において直動モータ３１Ａの出力軸３２Ａを架け渡すように設けられた挟持板３３Ａとを備えている。そして、ウェハ保持手段２２ＡでウェハＷＦを吸着保持し、フレーム支持手段３ＡでリングフレームＲＦを挟持した状態で、支持手段２が多関節ロボット２１を駆動し、第１実施形態と同様にして貼付手段５でリングフレームＲＦおよびウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付し、一体物Ｗ１を形成する。
【００２４】
以上のような本実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる上、フレーム支持手段３Ａを支持手段２Ａのウェハ保持手段２２Ａと一体的に設けたので、フレーム支持手段３Ａとウェハ保持手段２２Ａとを同期して移動させる必要がなくなる。
【００２５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２６】
例えば、フレーム支持手段３，３Ａを設けずに、ウェハＷＦに接着シートＡＳのみを貼付する構成としてもよい。
また、シート貼付装置１にウェハＷＦの位置決めを行う機能を設けなくてもよいし、支持手段２，２Ａに位置決め手段を設けることなく、支持手段２，２Ａとは別体の位置決め手段によってウェハＷＦの位置決めを行った後に、ウェハ保持手段２２，２２ＡでウェハＷＦを保持してもよい。
さらに、シート貼付装置１におけるリニアモータ３１のスライダ３２に支持手段２に設けた位置決め手段と同等のＸＹテーブルを取り付け、このＸＹテーブルの出力部に支持アーム３３を取り付け、支持アーム３３で支持したリングフレームＲＦを検出手段４の検出結果を基に、貼付手段５の貼付位置を基準として位置決めを行うように構成してもよい。
さらに、フレーム支持手段３Ａの代わりに、リングフレームＲＦを吸着保持する構成を保持フレーム２３Ａの上面に設けてもよい。
【００２７】
さらに、押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、剥離手段は、ローラを採用してもよい。
さらに、貼付手段５をＸ軸方向に移動可能とする駆動機器を採用し、支持手段２，２Ａを停止させた状態で貼付手段５を駆動させたり、貼付手段５と支持手段２，２Ａとの両方を駆動したりして接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付してもよい。つまり、板状部材は、停止していても支持手段で搬送中であれば足りる。
【００２８】
さらに、板状部材は、ウェハＷＦ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材などや、板状部材以外のものも対象とすることができる。そして、ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。
【００２９】
また、接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよいし、基材シートＢＳを有さない接着剤層ＡＤ単体のものでもよい。
さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００３０】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３１】
１…シート貼付装置
２，２Ａ…支持手段
３，３Ａ…フレーム支持手段
４…検出手段
５…貼付手段
２２…ウェハ保持手段（板状部材保持手段）
２５…ＸＹテーブル（位置決め手段）
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…リングフレーム（フレーム）
ＷＦ…ウェハ（板状部材）
【図１】
2013235980.tif 000003
【図２】
2013235980.tif 000004
【図３】
2013235980.tif 000005