(57)【要約】【課題】緩衝材を、圧電振動片の狙った位置に精度よく成膜して、外部から衝撃を受けた場合に、パッケージ内面と接触した時の衝撃を吸収する圧電振動片を提供する。【解決手段】表面に励振電極が形成された振動腕部１０，１１と、振動腕部１０，１１の基端側を固定する基部１２と、を備える圧電振動片４において、振動腕部１０，１１の先端では、少なくとも角部１０ｃ、１１ｃが、フォトレジスト材料からなる緩衝材２２によって覆われている。振動腕部１０，１１の先端において、緩衝材２２によって覆われていない領域に、周波数調整用の重り金属膜（粗調膜２１ａおよび微調膜２１ｂ）が形成されている。【選択図】図８
2013165405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に励振電極が形成された振動腕部と、
前記振動腕部の基端側を固定する基部と、
を備える圧電振動片において、
前記振動腕部の先端では、少なくとも角部が、フォトレジスト材料からなる緩衝材によって覆われていることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記振動腕部の先端において、
前記緩衝材によって覆われていない領域に、周波数調整用の重り金属膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
ベース基板と、
前記ベース基板に対向させた状態で前記ベース基板に接合されるリッド基板と、
前記ベース基板と前記リッド基板との間に形成されたキャビティ内に収納される請求項１又は２に記載の圧電振動片と、
を備えることを特徴とする圧電振動子。
【請求項４】
請求項３に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されている、
ことを特徴とする発振器。
【請求項５】
請求項３に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されている、
ことを特徴とする電子機器。
【請求項６】
請求項３に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されている、
ことを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、互いに接合されたベース基板及びリッド基板からなるパッケージを有し、両基板の間に形成されたキャビティ内に圧電振動片を収納した表面実装型（ＳＭＤ、Surface  Mount  Device）の圧電振動子が知られている。
【０００３】
近年、圧電デバイスの小型化が進み、パッケージ厚みを薄くする場合、圧電振動片とベース基板とのクリアランスが小さくなるために、外部から衝撃を受けた場合に圧電振動片先端がベース基板と衝突し、圧電振動片が破損しやすくなる。そのために、圧電振動片をベース基板より一段高くマウントしたり、ベース基板の圧電振動片先端付近にくぼみを設けることで圧電振動片先端とベース基板のクリアランスを確保し、衝突を防止する手法が知られている。
【０００４】
圧電振動片をベース基板より一段高くマウントした場合は、パッケージ厚みが増大してしまう。又、ベース基板の圧電振動片先端付近にくぼみを設ける場合は、ベース基板の製造工程が複雑になり、製造コストが上昇する一方、基板自体の強度が低下する。又、外部からより強い衝撃を受けた場合は、上記手法を用いても圧電振動片先端とベース基板との衝突を完全には防止できない虞があった。
【０００５】
そこで、パッケージの内面や、圧電振動片の先端部に緩衝材を設けて、外部から衝撃を受けた場合に衝撃を緩和し圧電振動片の破損を防止する手法も提案されている（特許文献１）。
【０００６】
しかるに、係る緩衝材が、パッケージ内面や圧電振動片の先端部の狙った位置に精度よく配置されない場合には、緩衝作用が十分に発揮できない、又、圧電振動片の周波数特性がばらつく虞があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−６０４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前述した事実に鑑みてなされたものであって、緩衝材を、圧電振動片の狙った位置に精度よく成膜して、外部から衝撃を受けた場合に、圧電振動片の先端部が揺動しパッケージ内面と接触した時の衝撃を吸収することができる圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の圧電振動片は、
表面に励振電極が形成された振動腕部と、
前記振動腕部の基端側を固定する基部と、
を備える圧電振動片において、
前記振動腕部の先端では、少なくとも角部が、フォトレジスト材料からなる緩衝材によって覆われていることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、フォトレジスト材料からなる緩衝材を備えているので、フォトリソグラフィー技術を用いて圧電振動片の狙った位置に緩衝材を精度よく成膜することができる。また、振動腕部の先端の角部が緩衝材で覆われているので、外部から衝撃を受けて振動腕部が揺動した場合に、その先端が外部と接触した時の衝撃を吸収することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧電振動片において、
前記振動腕部の先端において、
前記緩衝材によって覆われていない領域に、周波数調整用の重り金属膜が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、周波数調整用の重り金属膜が緩衝材によって覆われることなく露出しているので、圧電振動片の所望の周波数調整を容易に実施することができる。
【００１３】
前記課題を解決するために、請求項３に記載の圧電振動子は、
ベース基板と、
前記ベース基板に対向させた状態で前記ベース基板に接合されるリッド基板と、
前記ベース基板と前記リッド基板との間に形成されたキャビティ内に収納される上記本発明の圧電振動片と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、上述した圧電振動片を備えているので、小型化を図るとともに、圧電振動子が外部から衝撃を受けた場合に、圧電振動片の振動腕部が揺動しパッケージ壁面と衝突する時の、あるいは振動腕部の側面同士が衝突する時の衝撃を緩和し、圧電振動片の破損を防止することができる。その結果、信頼性に優れた圧電振動子を提供することができる。
【００１５】
前記課題を解決するために、請求項４に記載の発信器は、
上記本発明の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されている、
ことを特徴とする。
【００１６】
前記課題を解決するために、請求項５に記載の電子機器は、
上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されている、
ことを特徴とする。
【００１７】
前記課題を解決するために、請求項６に記載の電波時計は、
上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されている、
ことを特徴とする。
【００１８】
この発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、上述した圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた発振器、電子機器及び電波時計を提供することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る圧電振動片によれば、フォトレジスト材料からなる緩衝材を備えているので、フォトリソグラフィー技術を用いて圧電振動片の狙った位置に緩衝材を精度よく成膜することができる。また、振動腕部の先端の角部が緩衝材で覆われているので、外部から衝撃を受けて振動腕部が揺動した場合に、その先端が外部と接触した時の衝撃を吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る圧電振動子の外観斜視図である。
【図２】図１に示す圧電振動子の内部構成図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った圧電振動子の断面図である。
【図４】図１に示す圧電振動子の分解斜視図である。
【図５】図１に示す圧電振動子を構成する圧電振動片の平面図である。
【図６】図５に示す圧電振動片の底面図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図８】（ａ）は実施形態に係る圧電振動片の平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図９】図１に示す圧電振動子の製造方法のフローチャートである。
【図１０】圧電振動片をキャビティ内に収容した状態でベース基板用ウェハとリッド基板用ウェハとが陽極接合されたウェハ体の分解斜視図である。
【図１１】（ａ）は実施形態の第１変形例に係る圧電振動片の平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図１２】（ａ）は実施形態の第２変形例に係る圧電振動片の平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【図１３】発振器の概略構成図である。
【図１４】電子機器のブロック図である。
【図１５】電波時計のブロック図である。
【図１６】比較例の圧電振動子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に図面を参照しながら、以下に実施形態及び実施例を挙げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態及び実施例に限定されるものではない。
また、以下の図面を使用した説明において、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきであり、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。
【００２２】
（１）圧電振動子
以下、本発明に係る一実施形態を、図面を参照しながら説明する。尚、本実施形態では、圧電振動子１として、表面実装型の圧電振動子を例に挙げて説明する。
【００２３】
（１・１）圧電振動子の概略構成
本実施形態の圧電振動子１は、図１ないし図４に示すように、ベース基板２及びリッド基板３が接合膜３５を介して陽極接合されたパッケージ９と、パッケージ９のキャビティＣに収納された圧電振動片４と、を備えている。
尚、図３および図４においては、図面を見易くするために、圧電振動片４の励振電極１５、引き出し電極１９，２０、マウント電極１６，１７及び重り金属膜２１の図示を省略している。同様に、図１ないし図７においては、図面を見易くするために、緩衝材２２の図示を省略している。
【００２４】
（１・２）圧電振動片の構成
又、本実施形態では、図５ないし図８に示すように、圧電振動片４は、水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成され、所定の電圧が印加されたときに振動する音叉型の振動片を例に挙げて説明する。
【００２５】
圧電振動片４は、平行に配置された一対の振動腕部１０、１１と、該一対の振動腕部１０、１１の基端側を一体的に固定する基部１２と、を備えた圧電板を有している。また、一対の振動腕部１０、１１の外表面上に形成されて一対の振動腕部１０、１１を振動させる第１の励振電極１３及び第２の励振電極１４とからなる励振電極１５と、第１の励振電極１３及び第２の励振電極１４に電気的に接続されたマウント電極１６，１７とを有している。尚、基部１２の表面におけるマウント電極１６，１７の形成部分がマウント部である。
又、圧電振動片４は、一対の振動腕部１０、１１の両主面上に、該振動腕部１０、１１の長手方向に沿ってそれぞれ形成された溝部１８を備えている。この溝部１８は、振動腕部１０、１１の基端側から略中間付近まで形成されている。
【００２６】
第１の励振電極１３と第２の励振電極１４とからなる励振電極１５は、一対の振動腕部１０、１１を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、一対の振動腕部１０、１１の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされている。具体的には、第１の励振電極１３が、一方の振動腕部１０の溝部１８上と他方の振動腕部１１の両側面上とに主に形成され、第２の励振電極１４が、一方の振動腕部１０の両側面上と他方の振動腕部１１の溝部１８上とに主に形成されている。
【００２７】
又、第１の励振電極１３及び第２の励振電極１４は、基部１２の両主面上において、それぞれ引き出し電極１９，２０を介してマウント電極１６，１７に電気的に接続されている。そして圧電振動片４は、このマウント電極１６，１７を介して電圧が印加されるようになっている。なお、上述した励振電極１５、マウント電極１６，１７及び引き出し電極１９，２０は、例えば、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）やチタン（Ｔｉ）等の導電性膜の被膜により形成されたものである。
【００２８】
又、一対の振動腕部１０、１１の先端部には、一対の振動腕部１０、１１が所定の周波数の範囲内で振動するように質量調整（周波数調整）を行うための重り金属膜２１が被膜されている。
尚、この重り金属膜２１は、周波数を粗く調整する際に使用される粗調膜２１ａと、微小に調整する際に使用される微調膜２１ｂとに分かれている。これら粗調膜２１ａ及び微調膜２１ｂを利用して周波数調整を行うことで、一対の振動腕部１０、１１の周波数をデバイスの公称（目標）周波数の範囲内に収めることができる。
【００２９】
（１．３）緩衝材
更に、一対の振動腕部１０、１１の先端部には、重り金属膜２１を覆うように、緩衝材２２が成膜されている。以下、係る緩衝材２２について、図面を参照しながら具体的に説明する。
図８（ａ）は振動腕部１０、１１の平面図、図８（ｂ）は振動腕部１０、１１の側面図、図８（ｃ）は振動腕部１０、１１の端部正面図（図８（ａ）、（ｂ）のＰ矢視図）である。
尚、図８では、振動腕部１０、１１の長手方向をＸ方向、一対の振動腕部１０、１１の並び方向をＹ方向、圧電振動片の厚さ方向をＺ方向と定義している。
【００３０】
図８の一点鎖線で囲んだ領域には、緩衝材２２が成膜されている。特に、振動腕部１０，１１の先端面の四隅の角部１０ｃ（１１ｃ）（図８参照）は、緩衝材２２によって覆われているので、振動腕部１０、１１が外部からの衝撃により揺動した場合に、緩衝材２２によって保護される。以下、具体的に説明する。
【００３１】
図８に示すように、緩衝材２２は、振動腕部１０、１１の先端面の全体及び先端部の両側面全体に形成されている。これにより、振動腕部１０、１１の先端面と側面との間の稜線が、緩衝材２２によって覆われている。尚、振動腕部１０、１１の基端側における緩衝材２２の端辺は、励振電極（不図示）の先端側の端辺より、さらに先端側に配置されている。
また緩衝材２２は、振動腕部１０、１１の両主面にも形成され、両主面上の緩衝材２２には開口部２２ａが形成されている。開口部２２ａの幅は振動腕部１０、１１の幅より小さく形成され、開口部２２ａの幅方向の中心は振動腕部１０、１１の幅方向の中心と一致している。これにより、振動腕部１０、１１の主面と側面との間の稜線が、緩衝材２２によって覆われている。
一方、振動腕部１０、１１の先端側における開口部２２ａの端辺は、振動腕部１０、１１の主面と先端面との間の稜線より、振動腕部１０、１１の基端側に配置されている。これにより、振動腕部１０、１１の先端面と主面との間の稜線が、緩衝材２２によって覆われている。
【００３２】
以上のように、本実施形態では、振動腕部１０、１１の先端面と側面との間の稜線、先端面と主面との間の稜線、及び主面と側面との間の稜線が、それぞれ緩衝材２２によって覆われている。これにより、振動腕部１０、１１の先端面における四隅の角部１０ｃ（１１ｃ）が、緩衝材２２によって覆われている。
振動腕部１０、１１の先端面と主面との間の稜線（特に、その稜線の両端の角部）が緩衝材２２によって覆われているので、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＺ方向に揺動した場合でも、パッケージ壁面との衝突による衝撃を緩和することができる。又、振動腕部１０、１１の先端面と側面との間の稜線（特に、その稜線の両端の角部）が緩衝材２２によって覆われているので、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＹ方向に揺動した場合でも、振動腕部同士の衝突による衝撃を緩和することができる。
【００３３】
また、振動腕部１０、１１の基端側における開口部２２ａの端辺は、振動腕部１０、１１の基端側における微調膜２１ｂの端辺より、さらに基端側に配置されている。これにより、振動腕部１０、１１の主面に形成された重り金属膜（粗調膜２１ａおよび微調膜２１ｂ）の少なくとも一部が、開口部２２ａから外部に露出している。
これにより、図８（ａ）に示す開口部２２ａは、質量調整（周波数調整）を行うための領域となる。すなわち、開口部２２ａを利用して、重り金属膜２１の粗調膜２１ａにレーザ照射して一部を蒸発させ、共振周波数を粗く調整する粗調工程、及び微調膜２１ｂにレーザ照射して共振周波数をより高精度に調整する微調工程（以下、レーザトリミングと記すことがある）を行うことができる。
【００３４】
緩衝材２２は、感光性を有するネガレジストを用いて、フォトリソグラフィー技術（以下フォトリソ技術と記す）により、振動腕部１０、１１先端の任意の位置に成膜することができる。尚、ネガレジストとしては、環化ゴム（例えば、環化イソプレン）を主体にしたゴム系ネガレジストを好適に用いることができる。ゴム系ネガレジストは、環化ゴムを有機溶剤に溶解し、さらにビスアジド感光剤を加えて、ろ過し、不純物を除去することで精製されたものである。ゴム系ネガレジストは、プリベークし、フォトマスクを用いて緩衝材のパターンを露光した後においても、弾性を保持しているために、緩衝材として好適である。
【００３５】
このように構成された圧電振動片４は、図３、図４に示すように、金等のバンプＢを利用して、ベース基板２の上面側にバンプ接合されている。より具体的には、ベース基板２の上面にパターニングされた後述する引き回し電極３６，３７上に形成された２つのバンプＢ上に、一対のマウント電極１６，１７がそれぞれ接触した状態でバンプ接合されている。これにより、圧電振動片４は、ベース基板２の上面から浮いた状態で支持されると共に、マウント電極１６，１７と引き回し電極３６，３７とがそれぞれ電気的に接続された状態となっている。
【００３６】
（１．４）圧電振動子の構成
図１ないし図４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、ベース基板２とリッド基板３とが２層に積層されてなるパッケージ９を備えている。
ベース基板２は、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる透明な絶縁基板であり、板状に形成されている。
【００３７】
図２及び図３に示すように、このベース基板２には、該ベース基板２を貫通する一対のスルーホール（貫通孔）３０，３１が形成されている。一対のスルーホール３０，３１は、キャビティＣの対角線の両端部に形成されている。そして、これら一対のスルーホール３０，３１を埋めるように、一対の貫通電極３２，３３が形成されている。これら貫通電極３２，３３は、Ａｇペースト等の導電材料によって構成されている。ベース基板２の下面には、一対の貫通電極３２，３３に対してそれぞれ電気的に接続される一対の外部電極３８，３９が形成されている。
【００３８】
図２ないし図４に示すように、ベース基板２の上面側（リッド基板３が接合される接合面側）には、導電性材料（例えば、アルミニウム）により一対の引き回し電極３６，３７がパターニングされている。一対の引き回し電極３６，３７は、一対の貫通電極３２，３３のうち、一方の貫通電極３２と圧電振動片４の一方のマウント電極１６とを電気的に接続すると共に、他方の貫通電極３３と圧電振動片４の他方のマウント電極１７とを電気的に接続するようにパターニングされている。
【００３９】
図１、図３及び図４に示すように、リッド基板３は、ベース基板２と同様にガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる透明の絶縁基板であり、図１ないし図４に示すように、ベース基板２に対して重ね合わせ可能な大きさで板状に形成されている。そして、ベース基板２が接合される接合面側には、圧電振動片４が収まる矩形状の凹部３ａが形成されている。この凹部３ａは、両基板２、３が重ね合わされたときに、圧電振動片４を収容するキャビティＣとなるキャビティ用の凹部である。なお、リッド基板３における凹部３ａの底面は非研磨面（擦りガラス状）となっている。
そして、リッド基板３は、この凹部３ａをベース基板２側に対向させた状態でベース基板２に対して陽極接合されている。
【００４０】
又、図１ないし図４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、リッド基板３においてベース基板２側を向く面に全面にわたって形成され、ベース基板２と接する部分で両基板２，３を接合する接合膜３５を備えている。図２および図３に示すように、本実施形態の接合膜３５は、凹部３ａを画成する面と、リッド基板３の接合面において凹部３ａの外周縁に全周にわたって連なる周縁部と、の各全域にわたって形成されている。これらのうちの接合面の周縁部に形成された接合膜３５が、ベース基板２に接合されている。
接合膜３５は、両基板２，３を陽極接合可能な材料で形成されている。このような接合膜３５の材料としては、例えばアルミニウムなどを採用することができる。
【００４１】
このように構成された圧電振動子１を作動させるには、ベース基板２に形成された外部電極３８，３９に対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片４の第１の励振電極１３及び第２の励振電極１４からなる励振電極１５に電圧を印加することができ、一対の振動腕部１０、１１を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部１０、１１の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。
【００４２】
（２）圧電振動子の製造方法
次に、上述した圧電振動子１の製造方法を、フローチャートを参照しながら説明する。
図９は本実施形態の圧電振動子１の製造方法のフローチャートである。
図１０は、ウェハ体の分解斜視図である。なお、図１０に示す点線は、後に行う切断工程で切断する切断線Ｍを図示している。
本実施形態に係る圧電振動子１の製造方法は、主に、圧電振動片作製工程（Ｓ１０）と、リッド基板用ウェハ作製工程（Ｓ２０）と、ベース基板用ウェハ作製工程（Ｓ３０）と、組立工程（Ｓ４０以降）を有している。そのうち、圧電振動片作製工程（Ｓ１０）、リッド基板用ウェハ作製工程（Ｓ２０）及びベース基板用ウェハ作製工程（Ｓ３０）は、並行して実施することが可能である。
【００４３】
（２・１）圧電振動片作成工程
圧電振動片作製工程Ｓ１０では、図５から図７に示す圧電振動片４を作製する。具体的には、まず水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウェハとする。続いて、このウェハをラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、その後ポリッシュなどの鏡面研磨加工を行って、所定の厚みのウェハとする。続いて、ウェハに洗浄などの適切な処理を施した後、該ウェハをフォトリソ技術によって圧電振動片４の外形形状にパターニングする。続いて、金属膜の成膜およびパターニングを行って、励振電極１５、引き出し電極１９，２０、マウント電極１６，１７および重り金属膜２１を形成する。
【００４４】
次に、励振電極１５、引き出し電極１９，２０、マウント電極１６，１７および重り金属膜２１が形成されたウェハの両主面の全面にゴム系ネガレジスト材料を塗布してフォトレジスト膜を形成する。尚、ウェハには既に圧電振動片の外形形状が形成されているため、ゴム系ネガレジスト材料の塗布は、スプレーコートやディップコートを用いることが好適である。
【００４５】
続いて、緩衝材２２のパターンが描画されたフォトマスクを用いてフォトレジスト膜を露光し、現像して、振動腕部１０、１１の先端部を覆う緩衝材２２を形成する（Ｓ１１、図８参照）。係る緩衝材２２は、上述したように、振動腕部１０、１１の先端部を覆いつつ開口部２２ａを有するように形成する。これにより、圧電振動子１が外部から衝撃を受けた場合に、振動腕部１０、１１の先端部が上下方向（Ｚ方向）に揺動しパッケージ壁面と衝突したり、水平方向（Ｙ方向）に揺動し振動腕部１０，１１の側面同士が衝突することによる衝撃を緩和し、圧電振動片の破損を防止することができる。
緩衝材２２の成膜厚さは、粗調工程において圧電振動片の周波数を公称周波数の範囲内に調整できる膜厚であって、かつ十分な緩衝効果を発揮することができる膜厚が必要となる。ベース基板２と圧電振動片４とのクリアランスは一般的に２０μｍないし３０μｍ設けられているので、緩衝材２２が２μｍないし３μｍの成膜厚さであれば、圧電振動片の周波数が公称周波数の所定範囲内に収まり、かつ十分な緩衝効果を発揮することができる。
【００４６】
次に、圧電振動片４の共振周波数の粗調を行う（Ｓ１２）。緩衝材２２は、レーザトリミングのための開口部２２ａをパターニングされている。そこで粗調工程は、係る開口部２２ａを利用して、重り金属膜２１の粗調膜２１ａにレーザ光を照射して一部を蒸発させ、振動腕部１０，１１の重量を変化させることで行う。なお、共振周波数をより高精度に調整する微調に関しては、圧電振動片４のマウント後に行う。これについては、後に説明する。
【００４７】
次いで、ウェハと圧電振動片４とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電振動片４をウェハから切り離して小片化する切断工程を行う（Ｓ１３）。これにより、ウェハから、振動腕部１０、１１の先端部に緩衝材２２が成膜され、電極膜（励振電極１５、引き出し電極１９、２０及びマウント電極１６、１７）が形成された圧電振動片４を一度に複数製造することができる。
【００４８】
（２．２）リッド基板用ウェハ作成工程
次に図９に示すように、後にリッド基板となるリッド基板用ウェハ５０を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第１のウェハ作製工程を行う（Ｓ２０）。
この工程では、まず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のリッド基板用ウェハ５０を形成する（Ｓ２１）。次いで、リッド基板用ウェハ５０の接合面に、エッチング等により行列方向にキャビティ用の凹部３ａを複数形成する凹部形成工程を行う（Ｓ２２）。次いで、陽極接合可能な材料（例えばアルミニウム）を、リッド基板用ウェハ５０の接合面側の全域にわたって成膜する接合膜形成工程を行う（Ｓ２３）。この時点で、第１のウェハ作製工程が終了する。
【００４９】
（２．３）ベース基板用ウェハ作成工程
次に、上記工程と同時或いは前後のタイミングで、後にベース基板となるベース基板用ウェハ４０を、陽極接合を行う直前の状態まで作製する第２のウェハ作製工程を行う（Ｓ３０）。
この工程では、まず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のベース基板用ウェハ４０を形成する（Ｓ３１）。次いで、ベース基板用ウェハ４０に一対の貫通電極３２，３３を複数形成する貫通電極形成工程を行う（Ｓ３２）。次いで、ベース基板用ウェハ４０の上面に導電性材料をパターニングして、引き回し電極３６，３７を形成する引き回し電極形成工程（Ｓ３３）を行う。この時点で、第２のウェハ作製工程が終了する。
【００５０】
（２．４）組立工程
次に、作製した複数の圧電振動片４を、それぞれ引き回し電極３６，３７を介してベース基板用ウェハ４０の上面に接合するマウント工程を行う（Ｓ４０）。まず、一対の引き回し電極３６，３７上にそれぞれ金等のバンプＢを形成する。そして、圧電振動片４の基部１２をバンプＢ上に載置した後、バンプＢを所定温度に加熱しながら圧電振動片４をバンプＢに押し付ける。これにより、圧電振動片４がバンプＢに機械的に支持されてベース基板用ウェハ４０の上面から浮いた状態となり、またマウント電極１６，１７と引き回し電極３６，３７とが電気的に接続された状態となる。
【００５１】
圧電振動片４のマウントが終了した後、図１０に示すように、ベース基板用ウェハ４０に対してリッド基板用ウェハ５０を重ね合わせる重ね合わせ工程を行う（Ｓ５０）。具体的には、図示しない基準マーク等を指標としながら、両ウェハ４０、５０を正しい位置にアライメントする。これにより、マウントされた圧電振動片４が、両ウェハ４０、５０の間に形成されるキャビティＣ内に収容された状態となる。
【００５２】
重ね合わせ工程後、重ね合わせた２枚のウェハ４０、５０を図示しない陽極接合装置に入れ、所定の温度雰囲気で所定の電圧を印加して陽極接合する接合工程を行う（Ｓ６０）。具体的には、接合膜３５とベース基板用ウェハ４０との間に所定の電圧を印加する。すると、接合膜３５とリッド基板用ウェハ５０との界面に電気化学的な反応が生じ、両者がそれぞれ強固に密着して陽極接合される。これにより、圧電振動片４をキャビティＣ内に封止することができ、ベース基板用ウェハ４０とリッド基板用ウェハ５０とが接合したウェハ体６０を得ることができる。
【００５３】
そして、上述した陽極接合が終了した後、ベース基板用ウェハ４０の下面に導電性材料をパターニングして、一対の貫通電極３２、３３にそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極３８，３９（図３参照）を複数形成する外部電極形成工程を行う（Ｓ７０）。この工程により、複数の圧電振動子１が互いに連結されてなるウェハ体６０が形成され、外部電極３８，３９から貫通電極３２，３３を介してキャビティＣ内に封止された圧電振動片４を作動させることができるようになる。
【００５４】
次に、ウェハ体６０の状態で、キャビティＣ内に封止された個々の圧電振動子の周波数を微調整して所定の範囲内に収める微調工程Ｓ８０を行う。
具体的には、ベース基板用ウェハ４０の下面に形成された一対の外部電極３８，３９（図４参照）に電圧を印加して圧電振動片４を振動させる。そして、周波数を計測しながらベース基板用ウェハ４０の外部からレーザを照射し、重り金属膜２１の微調膜２１ｂを蒸発させてレーザトリミングする。微調膜２１ｂをトリミングすると、一対の振動腕部１０、１１の先端部の重量が減少するため、圧電振動片４の周波数が増加する。これにより、圧電振動片４の周波数が公称周波数の所定範囲内に収まるように微調整することができる。
緩衝材２２には、レーザトリミングのための開口部２２ａがパターニングされているために、係る開口部２２ａを利用して、圧電振動片４の共振周波数の微調を行うことができる。
【００５５】
周波数の微調が終了後、接合されたウェハ体６０を図１０に示す切断線Ｍに沿って切断して小片化する切断工程Ｓ９０を行う。具体的には、まずウェハ体６０のベース基板用ウェハ４０の表面にＵＶテープを貼り付ける。次に、リッド基板用ウェハ５０側から切断線Ｍに沿ってレーザを照射する（スクライブ）。次に、ＵＶテープの表面から切断線Ｍに沿って切断刃を押し当て、ウェハ体６０を割断する（ブレーキング）。その後、ＵＶを照射してＵＶテープを剥離する。尚、これ以外のダイシング等の方法によりウェハ体６０を切断してもよい。
これにより、ウェハ体６０を複数の圧電振動子に分離することができる。すなわち、互いに陽極接合されたベース基板２とリッド基板３との間に形成されたキャビティＣ内に圧電振動片４が封止された、図１に示す２層構造式表面実装型の圧電振動子１を一度に複数製造することができる。
【００５６】
尚、切断工程Ｓ９０を行って個々の圧電振動子にした後に、微調工程Ｓ８０を行う工程順序でも構わない。但し、上述したように、微調工程Ｓ８０を先に行うことで、ウェハ体６０の状態で微調を行うことができるため、複数の圧電振動子をより効率良く微調することができる。よって、スループットの向上を図ることができるため好ましい。
【００５７】
その後、圧電振動片４の電気特性検査を行う（Ｓ１００）。即ち、圧電振動片４の共振周波数、共振抵抗値、ドライブレベル特性（共振周波数及び共振抵抗値の励振電力依存性）等を測定してチェックする。また、絶縁抵抗特性等を併せてチェックする。そして、最後に圧電振動子１の外観検査を行って、寸法や品質等を最終的にチェックする。これをもって圧電振動子１の製造が終了する。
【００５８】
（３）作用・効果
次に、本実施形態の圧電振動片の効果について説明するが、その前に特許文献１に記載された比較例の圧電振動片４００の問題点について、図面を用いて説明する。尚、比較例の圧電振動片４００において、本実施形態と共通の構成要素には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００５９】
（３．１）比較例の圧電振動片
【００６０】
図１６に示すように、比較例の圧電振動片４００は、本実施形態に係る圧電振動片４と同様に、ベース基板２及びリッド基板３が接合膜３５を介して陽極接合されたパッケージ９のキャビティＣに収納され、振動片の自由端部４２０の上面及び下面に緩衝部４２１、４２２が設けられている。
【００６１】
緩衝部４２１、４２２は、シリコン系の接着剤を塗布することで形成されている。塗布する場所としては、振動片が揺動したときの振幅が最大となる自由端部４２０の先端部分で、かつ幅方向の略中央部に形成されている。又、緩衝効果のあるシリコン系の接着剤は、例えば、スクリーン印刷によって、一括して塗布形成できることから、塗布量及び塗布位置についても一定の管理が可能である。
【００６２】
しかるに、圧電振動片の圧電振動に影響を及ぼさないように、緩衝部の質量（接着剤の塗布量）を精密に管理する必要がある。特に音叉型の圧電振動片においては、自由端部の先端部分の質量が圧電振動片の圧電振動に大きな影響を及ぼすので、緩衝部の質量の精密な管理が極めて重要である。
又、音叉型の圧電振動片の場合、外部からの衝撃によって揺動する方向としては、振動腕の上下方向（Ｚ方向）のみならず、振動腕同士が近接する水平方向（Ｙ方向）の場合もある。従って、振動腕部の先端部の上下方向（Ｚ方向）及び水平方向（Ｙ方向）に精度よく緩衝部を形成する必要がある。
【００６３】
（３．２）本実施形態の作用・効果
本実施形態に係る圧電振動片４は、基部の反対側の先端面の全体及び先端部の両側面全体を覆うように緩衝材２２が設けられ、緩衝材２２はネガレジストを用いて、フォトリソ技術でパターニングされている。具体的には、励振電極１５、引き出し電極１９，２０、マウント電極１６，１７および重り金属膜２１が形成された圧電振動片４の両主面の全面にゴム系ネガレジスト材料を塗布してフォトレジスト膜を形成する。その後、振動腕部１０、１１の先端部に形成される緩衝材２２のパターンが描画されたフォトマスクを用いて露光し、現像して、振動腕部１０、１１の先端面の角部を覆うレジストパターンが形成されている。
【００６４】
緩衝材２２がフォトレジスト材料で形成されているので、緩衝材２２を所望の膜厚に形成することができる。又、緩衝材２２がフォトリソ技術でパターニングされているので、緩衝材２２を所望の形状に形成することができる。従って、緩衝材２２の質量を精密に管理することが可能であり、緩衝材２２に起因する圧電振動片の周波数特性のばらつきを抑制することができる。特に音叉型の圧電振動片において、振動腕部の先端部に形成される緩衝材の質量を精密に管理することができるので、圧電振動片の周波数特性のばらつきを防止することができる。
【００６５】
又、緩衝材２２の上面及び下面には、レーザトリミング用の開口部２２ａをパターニングすることができるため、開口部２２ａを利用して、圧電振動片４及び圧電振動子１の所望の周波数調整を容易に実施することができる。
又、振動腕部１０、１１の先端面の角部を覆うように緩衝材２２が設けられているので、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＺ方向に揺動した場合でも、パッケージ壁面との衝突による衝撃を緩和することができる。又、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＹ方向に揺動した場合でも、振動腕部同士の衝突による衝撃を緩和することができる。
特に、緩衝材２２が弾性を有するゴム系ネガレジストで形成されているので、高い緩衝効果を発揮することができる。
【００６６】
（４）圧電振動片の変形例
次に、本実施形態に係る圧電振動片４の変形例を、図１１及び図１２を参照しながら説明する。
尚、これらの変形例においては、本実施形態における構成要素と同一の部分については同一の符号を付し、その説明を省略し、異なる点についてのみ説明する。
【００６７】
「第１変形例」
図１１（ａ）は第１変形例に係る圧電振動片２００の振動腕部１０、１１の平面図、図１１（ｂ）は側面図、図１１（ｃ）は端部正面図（図１１（ａ）、（ｂ）のＰ矢視図）である。第１変形例では、開口部２２ａの基端側が緩衝材２２の基端側まで伸びている点で、上記実施形態とは異なっている。尚、上記実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
【００６８】
この第１変形例でも、上記実施形態と同様に、振動腕部１０、１１の先端面と側面との間の稜線、先端面と主面との間の稜線、及び主面と側面との間の稜線が、それぞれ緩衝材２２によって覆われている。これにより、振動腕部１０、１１の先端面における四隅の角部が、緩衝材２２によって覆われている。そのため、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＺ方向に揺動した場合でも、パッケージ壁面との衝突による衝撃を緩和することができる。又、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＹ方向に揺動した場合でも、振動腕部同士の衝突による衝撃を緩和することができる。
【００６９】
これに加えて第１変形例では、開口部２２ａの基端側が緩衝材２２の基端側まで伸びている。これにより、微調膜２１ｂの露出量が粗調膜２１ａの露出量より多くなっている。従って、係る開口部２２ａを利用して微調膜２１ｂを広範囲にレーザトリミングすることが可能であり、微調工程をより有効に実施することができる。
【００７０】
「第２変形例」
図１２（ａ）は第２変形例に係る圧電振動片３００の振動腕部１０、１１の平面図、図１２（ｂ）は側面図、図１２（ｃ）は端部正面図（図１２（ａ）、（ｂ）のＰ矢視図）である。第２変形例では、開口部２２ａの先端側が緩衝材２２の先端側まで伸び、なおかつ両主面上の開口部２２ａを連結するように振動腕部１０，１１の先端面にも開口部２２ａが形成されている点で、上記実施形態と異なっている。尚、上記実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
【００７１】
この第２変形例では、振動腕部１０、１１の先端面と側面との間の稜線及び主面と側面との間の稜線がそれぞれ緩衝材２２によって覆われているものの、先端面と主面との間の稜線における中央部は緩衝材２２によって覆われていない。ただし、先端面と主面との間の稜線における両端部は緩衝材２２によって覆われている。これにより、上記実施形態と同様に、振動腕部１０、１１の先端面における四隅の角部が緩衝材２２によって覆われている。そのため、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＺ方向に揺動した場合でも、パッケージ壁面との衝突による衝撃を緩和することができる。又、外部からの衝撃により振動腕部１０、１１がＹ方向に揺動した場合でも、振動腕部同士の衝突による衝撃を緩和することができる。
【００７２】
これに加えて第２変形例では、開口部２２ａの先端側が緩衝材２２の先端側まで伸び、なおかつ振動腕部１０，１１の先端面にも開口部２２ａが形成されている。これにより、粗調膜２１ａの露出量が微調膜２１ｂの露出量より多くなっている。従って、係る開口部２２ａを利用して粗調膜２１ａを広範囲にレーザトリミングすることが可能であり、粗調工程をより有効に実施することができる。
【００７３】
（５）発信器の実施形態
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１３を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図１３に示すように、圧電振動子１を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の上記集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子１が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
【００７４】
このように構成された発振器１００において、圧電振動子１に電圧を印加すると、該圧電振動子１内の圧電振動片４が振動する。この振動は、圧電振動片４が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
【００７５】
上述したように、本実施形態の発振器１００によれば、上記実施形態のように信頼性に優れた圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた発信器を提供することができる。
【００７６】
（６）電子機器の実施形態
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１４を参照して説明する。尚、電子機器として、上述した圧電振動子１を有する携帯情報機器１１０を例にして説明する。    本実施形態の携帯情報機器１１０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
【００７７】
次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図１４に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
【００７８】
制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、該ＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、該ＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。
【００７９】
計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片４が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
【００８０】
通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
【００８１】
又、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
尚、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。又、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
【００８２】
電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
【００８３】
すなわち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。
【００８４】
上述したように、本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、上記実施形態のように信頼性に優れた圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた発信器を提供することができる。
【００８５】
（７）電波時計の実施形態
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１５を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図１５に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。
【００８６】
以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、上記搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部（圧電振動片）１３８、１３９をそれぞれ備えている。
【００８７】
更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８、１３９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
【００８８】
尚、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。
【００８９】
上述したように、本実施形態の電波時計１３０によれば、上記実施形態のように信頼性に優れた圧電振動子を備えているので、信頼性に優れた発信器を提供することができる。
【００９０】
尚、本発明の技術的範囲は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００９１】
例えば、上記実施形態では、圧電振動片４の一例として、平行に配された一対の振動腕部１０、１１を有する音叉型の圧電振動片４を例に挙げて説明したが、圧電材料である水晶から形成されたＡＴカット型の圧電振動片でも構わない。
【００９２】
又、上記実施形態では、ベース基板２およびリッド基板３をガラス材料で形成したが、ガラス材料に限定されるものではなく、セラミックその他の材料で形成してもよい。
【００９３】
又、上記実施形態では、ベース基板２とリッド基板３とを接合膜３５を介して陽極接合したが、陽極接合に限定されるものではない。但し、陽極接合することで、両基板２、３を強固に接合できるため好ましい。
又、上記実施形態では、圧電振動片４をバンプ接合したが、バンプ接合に限定されるものではない。例えば、導電性接着剤により圧電振動片４を接合しても構わない。但し、バンプ接合することで、圧電振動片４をベース基板２の上面から浮かすことができ、振動に必要な最低限の振動ギャップを自然と確保することができる。よって、バンプ接合することが好ましい。
【００９４】
その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、前記実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、又、前記した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００９５】
Ｃ                  キャビティ
１                  圧電振動子
２                  ベース基板
３                  リッド基板
４、２００、３００  圧電振動片
４００              圧電振動片（比較例）
１０ｃ、１１ｃ      角部
２１                重り金属膜
２１ａ              粗調膜
２１ｂ              微調膜
２２                緩衝材
２２ａ              開口部
３５                接合膜
４０                ベース基板用ウェハ（ベース基板）
５０                リッド基板用ウェハ（リッド基板）
１００              発振器
１０１              発振器の集積回路
１１０              携帯情報機器（電子機器）
１１３              電子機器の計時部
１３０              電波時計
１３１              電波時計のフィルタ部
【図１】
2013165405.tif 000003
【図２】
2013165405.tif 000004
【図３】
2013165405.tif 000005
【図４】
2013165405.tif 000006
【図５】
2013165405.tif 000007
【図６】
2013165405.tif 000008
【図７】
2013165405.tif 000009
【図８】
2013165405.tif 000010
【図９】
2013165405.tif 000011
【図１０】
2013165405.tif 000012
【図１１】
2013165405.tif 000013
【図１２】
2013165405.tif 000014
【図１３】
2013165405.tif 000015
【図１４】
2013165405.tif 000016
【図１５】
2013165405.tif 000017
【図１６】
2013165405.tif 000018