(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄液の流量を簡易かつ正確に監視することができ、メンテナンスが容易な洗浄装置及び洗浄方法を提供すること。【解決手段】オーバーフロー部１２に設けられたセンサー４１によって液面ＣＳの高さに関する情報を検出するので、洗浄液ＣＡの循環状態を監視することができ、洗浄液ＣＡの循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部１２での液面監視は、洗浄液ＣＡ中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部１２は開放し易く、センサー４１のメンテナンスや交換も容易になる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と、当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、
前記オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、
前記サブタンク内の洗浄液を前記槽本体に還流させる液体循環装置と、
前記オーバーフロー部に設けられて液面の高さに関する情報を検出するセンサーとを備える洗浄装置。
【請求項２】
前記オーバーフロー部は、前記槽本体の周囲に環状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記オーバーフロー部は、一箇所にドレン孔を有し、前記センサーは、前記ドレン孔の周辺領域と、前記ドレン孔から最も離れた反対領域との間に配置されることを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記センサーは、光学式漏液センサー及び静電式液面センサーのいずれかであることを特徴とする請求項１から３までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記センサーによって検出された液面が所定以下である場合、異常を通知するアラームの出力を行う制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１から４までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記液体循環装置は、ポンプ及びフィルターを有し、前記槽本体は、洗浄液に超音波振動を付与する振動装置を有することを特徴とする請求項１から５までのいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項７】
対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部を有する洗浄槽と、前記オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、前記サブタンク内の洗浄液を前記槽本体に還流させる液体循環装置とを備える洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
前記オーバーフロー部に設けられたセンサーによって、液面が所定高さを超えたか否かを検出することで、洗浄液の循環状態を監視することを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液を洗浄槽外に延びる経路で循環させつつ光学素子その他の対象物を洗浄するための洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
洗浄装置として、洗浄槽とサブタンクとをそれぞれ有する４つの洗浄ユニットを備え、サブタンクにオーバーフロー管を設けて洗浄液の液面高さを調節して、洗浄液が被洗浄物の移動方向の下流側から上流側に向かって移送されるものがある（特許文献１参照）。このような、洗浄装置では、被洗浄物の移動先の洗浄ユニットすなわち洗浄の進んだ後段洗浄ユニットが清浄に保たれる。
【０００３】
しかしながら、上記のような洗浄装置において、洗浄槽に還流させる洗浄液を正確に管理できない場合がある。すなわち、洗浄液の流量を監視する方法として、配管に圧力計を接続する方法があるが、洗浄液中の異物や気泡（液中の微小な気体）等によって検出値が変動しやすく、正確な管理に向かない。また、流量を監視する別の方法として、浮子流量計を用いる方法があるが、流量計内に汚れ成分が混入するため汚れが進行すると流量計の使用が不可能になり、或いは洗浄液の液質（強アルカリ性、高温使用等）によって流量計が劣化・破損するので、定期的に交換や分解洗浄が必要になる。流量を監視するさらに別の方法として、超音波流量計を用いる方法があるが、装置が高価なものとなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２１４０２４号公報
【発明の概要】
【０００５】
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、洗浄液の流量を簡易かつ正確に監視することができ、メンテナンスが容易な洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る洗浄装置は、対象物（具体的にはレンズ）を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、サブタンク内の洗浄液を槽本体に還流させる液体循環装置と、オーバーフロー部に設けられて液面の高さに関する情報（例えば液面が所定高さを超えたか否か）を検出するセンサーとを備える。
【０００７】
上記洗浄装置では、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって液面の高さに関する情報を検出するので、洗浄液の循環状態を監視することができ、洗浄液の循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部での液面監視は、検出を阻害する要因となりやすい洗浄液中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部は開放し易く、センサーのメンテナンスや交換も容易になる。
【０００８】
本発明の具体的な側面によれば、上記洗浄装置において、オーバーフロー部が槽本体の周囲に環状に配置されている。槽本体内の洗浄液に偏らない流れを形成することができる。これにより、異物等の排出が容易になる。
【０００９】
本発明の別の側面によれば、オーバーフロー部が一箇所にドレン孔を有し、センサーがドレン孔の周辺領域とドレン孔から最も離れた反対領域との間に配置される。ドレン孔から最も離れた反対領域では、洗浄液の流れが少なくなって泡（洗剤等に起因して液面に浮かぶもの）の影響が大きくなるため、洗浄液の流量の判断がしにくく、ドレン孔の周辺領域では、洗浄液の流れが集中して検出が不安定になり易い。
【００１０】
本発明のさらに別の側面によれば、センサーが光学式漏液センサー及び静電式液面センサーのいずれかである。これにより、簡易かつ高精度で洗浄液の液面を検出することができる。
【００１１】
本発明のさらに別の側面によれば、センサーによって検出された液面が所定以下である場合、異常を通知するアラームの出力を行う制御部をさらに備える。この場合、洗浄液の循環状態の異常を迅速かつ正確に通報することができる。
【００１２】
本発明のさらに別の側面によれば、液体循環装置がポンプ及びフィルターを有し、槽本体が洗浄液に超音波振動を付与する振動装置を有する。
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明に係る洗浄方法は、対象物を洗浄液に浸漬させて洗浄を行うための槽本体と当該槽本体から溢れた洗浄液を受けるオーバーフロー部とを有する洗浄槽と、オーバーフロー部で受けた洗浄液を回収するサブタンクと、サブタンク内の洗浄液を槽本体に還流させる液体循環装置とを備える洗浄装置を用いた洗浄方法であって、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって、液面の高さに関する情報を検出することで、洗浄液の循環状態を監視する。
【００１４】
上記洗浄方法では、オーバーフロー部に設けられたセンサーによって液面の高さに関する情報を検出することで洗浄液の循環状態を監視するので、洗浄液の循環状態を比較的正確にチェックすることができる。また、オーバーフロー部での液面監視は、洗浄液中の異物や気泡等によって影響受けにくい。さらに、オーバーフロー部は開放し易く、センサーのメンテナンスや交換も容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態の洗浄装置の要部（洗浄ユニット）を概念的に説明する図である。
【図２】（Ａ）は、洗浄装置のうち洗浄槽の平面図であり、（Ｂ）は、オーバーフロー部における液面の検出を説明する図である。
【図３】図１の洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置の概念図である。
【図４】図１の洗浄ユニットの動作の概要を説明するフローチャートである。
【図５】図３の洗浄装置の動作の概要を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る洗浄装置及び洗浄方法の実施形態について説明する。
【００１７】
図１等に示すように、洗浄装置を構成する洗浄ユニット１００は、対象物を洗浄液ＣＡ中に浸漬させて洗浄を行うための洗浄槽１０と、洗浄槽１０からオーバーフローした洗浄液ＣＡを貯留するサブタンク２０と、サブタンク２０内の洗浄液ＣＡを洗浄槽１０に還流させる液体循環装置３０と、液体循環装置３０による洗浄液ＣＡの循環状態を監視する流量監視装置４０と、洗浄ユニット１００の動作を制御する洗浄制御部５０とを備える。
【００１８】
洗浄槽１０は、洗浄液ＣＡを収容する槽本体１１と、槽本体１１の上部から溢れた洗浄液ＣＡを受けるオーバーフロー部１２と、槽本体１１の底部に設けられ槽本体１１中の洗浄液ＣＡに振動を与える振動付与装置１３とを有する。
【００１９】
槽本体１１は、四角柱状の容器であり、上部開口１１ａは、水平面に沿って延びる矩形の縁部１１ｂを有する。これにより、槽本体１１から溢れた洗浄液ＣＡは、縁部１１ｂに沿った全周から略一様に溢れ出してオーバーフロー部１２に流れ込む。オーバーフロー部１２は、槽本体１１の上部開口１１ａを囲むように矩形の縁部１１ｂに沿って環状に設けられている。オーバーフロー部１２は、図２（Ａ）にも示すように、４辺の流路部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄに分けることができるが、そのうち１辺の流路部分１２ａの中央にドレン孔１２ｆを有する。このドレン孔１２ｆには、最も遠い流路部分（反対領域）１２ｄで溢れ出した洗浄液ＣＡが中間の流路部分１２ｂ，１２ｃを経て流れ込み、中間の流路部分１２ｂ，１２ｃに溢れ出した洗浄液ＣＡがより近い流路部分１２ａを経て流れ込み、最も近い流路部分（周辺領域）１２ａに溢れ出した洗浄液ＣＡが中央に向かって流れ込む。通常の動作時は、槽本体１１に洗浄液ＣＡが常時追加供給されるので、オーバーフロー部１２には、洗浄液ＣＡが定常的に流れ込んでおり、ドレン孔１２ｆに向かう洗浄液ＣＡの定常的な流れが形成される。つまり、オーバーフロー部１２における洗浄液ＣＡの液面は、一定レベル以上に保たれる。振動付与装置１３は、槽本体１１の底面に設けた振動板１３ａを介して洗浄液ＣＡに超音波振動を付与する。
【００２０】
サブタンク２０は、配管６１を介してドレン孔１２ｆに連通している。サブタンク２０は、オーバーフロー部１２で受けた洗浄液ＣＡを貯留するとともに洗浄液ＣＡを槽本体１１に供給するための部分である。サブタンク２０には、必要ならばオーバーフロー管等を設けて過剰な洗浄液ＣＡを排出させることもできる。なお、洗浄液ＣＡは、水、洗剤を添加した水又は有機溶媒等であり、アルカリ性や酸性を有するものである場合もある。また、洗浄液ＣＡが室温以上で使用される場合もあり、この場合、サブタンク２０には、洗浄液ＣＡの温度を調整する温度調節装置２５と、槽本体１１内の洗浄液ＣＡの温度を検出する温度センサー２６とが設けられる。温度調節装置２５と温度センサー２６とにより、洗浄液ＣＡの温度を検出することができ、洗浄液ＣＡの温度を洗浄に適するものとできる。結果的に、槽本体１１に供給する洗浄液ＣＡの温度を適切な状態に設定し維持することができる。
【００２１】
液体循環装置３０は、ポンプ３１とフィルター３２と配管３４とを有する。ポンプ３１は、配管３４を介してサブタンク２０中の洗浄液ＣＡを洗浄槽１０の槽本体１１に所望の流量で還流させる。フィルター３２は、配管３４の経路上に設けられており、異物粒子や汚れ成分が槽本体１１に戻されることを防止している。
【００２２】
流量監視装置４０は、液面を検出する複数のセンサー４１と、センサー４１を駆動して異常を検出する駆動回路４２とを有する。センサー４１は、図２（Ａ）に示すように、オーバーフロー部１２のうち中間の流路部分１２ｂに略均等な間隔で配置されている。センサー４１は、例えば光学式漏液センサーとすることができる。光学式漏液センサーは、図２（Ｂ）に示すように、支持体４４等を利用してオーバーフロー部１２の適当な高さ位置にセットされており、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが所定の基準値以下になったことを検出する。センサー４１は、静電式液面センサーとすることもできる。静電式液面センサーによっても、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが所定の基準値以下になったことを検出できる。なお、オーバーフロー部１２の流路部分１２ｂを流れる洗浄液ＣＡの液面ＣＳの基準値は、洗浄液ＣＡの流量が通常以下に減少した場合を想定しており、例えば試運転等によって経験的に定める。
【００２３】
洗浄制御部（制御部）５０は、洗浄槽１０の振動付与装置１３やサブタンク２０の温度調節装置２５の動作状態を制御している。洗浄制御部５０は、液体循環装置３０のポンプ３１の動作状態を制御して洗浄液ＣＡを所期の流量で循環させる。洗浄制御部５０は、流量監視装置４０を介してオーバーフロー部１２における洗浄液ＣＡの液面ＣＳを監視しており、オーバーフロー部１２における液面ＣＳの異常な低下、すなわち洗浄液ＣＡの異常な流量減少を検出している。なお、洗浄液ＣＡの流量が減少又は停止すると、洗浄液ＣＡの循環も減少又は停止するため、槽本体１１内に洗浄液ＣＡが汚れとともに滞留し、洗浄液ＣＡの劣化が急速に進行し易く、対象物に対する洗浄効率が下がってしまいやすい。よって、洗浄液ＣＡの異常な流量減少を監視して早い段階で対処することが極めて重要になる。
【００２４】
図３は、図１に示す洗浄ユニット１００を複数組み込んだ洗浄装置の構造を説明する図である。
【００２５】
図示の洗浄装置２００は、複数の洗浄ユニット１００と、仕上げ用の乾燥槽３００と、搬送装置８０と、制御装置９０とを備える。複数の洗浄ユニット１００は、洗浄液ＣＡのタイプや清浄度が互いに異なっており、選択又は設定された洗浄プロセスによって、使用される洗浄ユニット１００や順序が変更される。搬送装置８０は、レンズ等である洗浄の対象物ＷＯを保持するホルダー８５を把持して昇降可能なチャック装置８１を有しており、複数の洗浄ユニット１００のうち任意の洗浄ユニット１００から別の洗浄ユニット１００や乾燥槽３００にホルダー８５を移し替えることができる。制御装置９０は、搬送装置８０の動作を制御するとともに、各洗浄ユニット１００と乾燥槽３００との状態を監視している。
【００２６】
以下、図４を参照して、各洗浄ユニット１００の動作の一例について説明する。まず、電源スイッチのオン後にメニューから洗浄モードを起動することで、予め設定された洗浄条件に応じた洗浄環境とする動作を開始する（ステップＳ１１）。洗浄条件には、ホルダー８５の浸漬時間、浸漬期間中の超音波の付与タイミング、ポンプ３１による洗浄液ＣＡの流量等が含まれる。その後、例えば液体循環装置３０のポンプ３１の動作を継続することで洗浄液ＣＡを洗浄槽１０の槽本体１１に供給し、サブタンク２０の温度調節装置２５の動作を継続することで槽本体１１内の洗浄液ＣＡの温度を目標値にまで上昇等させる（ステップＳ１２）。次に、洗浄制御部５０は、洗浄液ＣＡの温度チェック等を行って、洗浄液ＣＡによる処理の準備が完了したか否かを判断する（ステップＳ１３）。洗浄液ＣＡによる処理の準備が完了したと判断された場合、洗浄制御部５０は、流量監視装置４０によるオーバーフロー部１２における流量チェックを開始する（ステップＳ１４）。具体的には、オーバーフロー部１２の流路部分１２ｂを流れる洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値よりも低下したか否かが判断される（ステップＳ１５）。流量監視装置４０による検出結果、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値以上であると判断された場合、オーバーフロー部１２における洗浄液ＣＡの流量が正常であると考えられるので、洗浄制御部５０は、ステップＳ１４に戻って流量監視装置４０による流量チェックを継続する。一方、流量監視装置４０による検出結果、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値よりも低いと判断された場合、オーバーフロー部１２における洗浄液ＣＡの流量が異常であると考えられるので、洗浄制御部５０は、例えば不図示の供給源からサブタンク２０又は液体循環装置３０に対して洗浄液ＣＡを追加供給する（ステップＳ０６）。洗浄液ＣＡの追加供給量は、オーバーフロー部１２に洗浄液ＣＡが適度に満たされるような量とする。
【００２７】
次に、洗浄制御部５０は、一定時間の待機後、流量監視装置４０による流量チェックを再度行う（ステップＳ０７）。流量監視装置４０による検出結果、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値以上に回復したと判断された場合（ステップＳ０８のＮ）、オーバーフロー部１２における洗浄液ＣＡの循環が正常に回復したと考えられるので、洗浄制御部５０は、ステップＳ１４に戻って流量監視装置４０によるオーバーフロー部１２における流量チェックを継続する。
【００２８】
一方、ステップＳ０７の流量チェックで、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値以上に回復していないと判断された場合（ステップＳ０８のＹ）、洗浄制御部５０は、ステップＳ１６に進んでアラーム出力を行う。具体的には、モニター画面にアラーム表示を行ったり、不図示の警報ランプを点滅させたり、不図示のブザーに警告音を出力させたりすることができる。
【００２９】
ステップＳ１６でアラーム出力が行われた場合、オペレータは、異常の原因を特定することになる。具体的には、フィルター３２の目詰まり、洗浄液ＣＡの減少又は劣化、ポンプ３１の異常、配管３４の詰まり、追加洗浄液用の供給バルブの状態等がチェックされる。例えばフィルター３２が目詰まり等によって劣化している場合、フィルター３２が交換され、洗浄液ＣＡの異常の場合、洗浄液ＣＡの交換や補充が行われる。フィルター３２の交換の際には、併せて洗浄液ＣＡの交換を行うこともできる。
【００３０】
ステップＳ１６でアラーム出力が行われた場合、その後に一定期間が経過するまでにアラーム状態が解除されたか否かが判断される（ステップＳ１７）。アラーム状態の解除は、オペレータが洗浄制御部５０の入力装置を操作して行うことができる。ステップＳ１７でアラーム状態が解除されない場合、洗浄制御部５０は、洗浄ユニット１００を待機状態とする（ステップＳ１８）。待機状態では、例えば液体循環装置３０のポンプ３１の動作を停止させたり、振動付与装置１３及び温度調節装置２５の動作を停止させたりする。
【００３１】
ステップＳ１８で待機状態とされた場合、洗浄制御部５０は、その待機状態が解除されたか否かを判断する（ステップＳ１９）。待機状態の解除は、オペレータが洗浄制御部５０の入力装置を操作して行うことができる。
【００３２】
ステップＳ１７でアラーム状態が解除され、或いはステップＳ１９で待機状態が解除された場合、洗浄制御部５０は、ステップＳ１４に戻って流量監視装置４０によるオーバーフロー部１２における流量チェックを再開する。
【００３３】
以下、図５を参照して、図３に示す洗浄装置２００の動作の概要について説明する。まず、制御装置９０は、洗浄プログラムの指定を受け付ける（ステップＳ２１）。オペレータは、モニター画面や入力装置を利用して、洗浄プログラムを指定する。洗浄プログラムは、複数の洗浄ユニット１００をどの順番で使用するか、各洗浄ユニット１００における洗浄液ＣＡの温度、各洗浄ユニット１００において対象物ＷＯを洗浄液ＣＡに浸漬する時間等の情報を含む。
【００３４】
次に、制御装置９０は、洗浄ユニット１００の準備が完了しているか否かを確認する（ステップＳ２２）。具体的には、図４の処理のステップＳ１４で洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値以上であると判断されている状態が継続している場合、洗浄ユニット１００の準備が完了していることになる。なお、洗浄ユニット１００は、複数あり、洗浄プログラムで指定された全ての洗浄ユニット１００について状態がチェックされる。
【００３５】
ステップＳ２２で洗浄ユニット１００の準備が完了していると判断された場合、制御装置９０は、洗浄プログラム中の複数工程のうち残っている最初の工程を開始させる（ステップＳ２３）。例えば洗浄プログラムの開始直後であれば、制御装置９０は、第１洗浄工程に相当する洗浄ユニット１００による処理を開始させる。この場合、制御装置９０は、搬送装置８０にホルダー８５を搬送させて、このホルダー８５を第１洗浄工程に相当する洗浄ユニット１００の洗浄槽１０に浸漬させる。
【００３６】
次に、制御装置９０は、洗浄ユニット１００の洗浄槽１０に異常が発生したか否かを判断する（ステップＳ２４）。洗浄槽１０の異常は、図４の処理のステップＳ１６でアラーム出力が行われている場合、或いはステップＳ１８で洗浄ユニット１００が待機状態に設定された場合に対応する。制御装置９０は、ステップＳ２４で洗浄槽１０に異常がないと判断した場合、ステップＳ２３で開始した工程が終了したか否かを判断する（ステップＳ２５）。具体的には、例えば所定の浸漬時間が経過していれば工程が終了したと判断し、所定の浸漬洗浄時間が経過していなければ工程が終了していないと判断する。工程が終了していない場合、ステップＳ２４に戻って洗浄槽１０に異常が発生したか否かを再度判断し、開始した特定段階の洗浄工程が終了するまでステップＳ２４の異常発生の検出を繰り返す。
【００３７】
ステップＳ２５で工程が終了したと判断した場合、この終了した工程が最後の乾燥槽３００における乾燥処理であるか否かを判断する（ステップＳ２６）。乾燥処理が完了していない場合、ステップＳ２３に戻って洗浄プログラム中の工程のうち残りの最初の工程を開始させる。具体的には、第１洗浄工程が終了した直後であれば、制御装置９０は、第２洗浄工程を開始させ、搬送装置８０によって第１洗浄工程に対応する洗浄ユニット１００から第２洗浄工程に対応する洗浄ユニット１００にホルダー８５を移し替える。
【００３８】
一方、最終の乾燥槽３００における乾燥処理が終了した場合（ステップＳ２６のＹ）。制御装置９０は、最終の乾燥槽３００からホルダー８５を取り出す。ホルダー８５に保持された対象物ＷＯは、洗浄処理済みの製品となっている。
【００３９】
上記ステップＳ２４において、処理の実行中に洗浄槽１０に異常が生じていると判断した場合、制御装置９０は、ステップＳ３１に進んでアラーム出力を行う。具体的には、モニター画面にアラーム表示を行ったり、不図示の警報ランプを点滅させたりする。なお、洗浄装置２００側で警報が行われている場合、制御装置９０側からのアラーム出力は不要である。
【００４０】
ステップＳ３１でアラーム出力が行われた場合、その後に一定期間が経過するまでにアラーム状態が解除されたか否かが判断される（ステップＳ３２）。アラーム状態の解除は、オペレータが制御装置９０の入力装置を操作して行うことができる。オペレータは、アラーム状態を解除する前提として、異常の原因を特定し、原因に対応する処置（フィルター３２の洗浄や交換、洗浄液ＣＡの交換や補充等）を行う。アラーム状態が一定時間以上解除されない場合、制御装置９０は、洗浄装置２００を一時中断状態とする（ステップＳ３３）。ステップＳ３３で一時中断状態とされた場合、制御装置９０は、その一時中断状態が解除されたか否かを判断する（ステップＳ３４）。一時中断状態の解除も、オペレータが制御装置９０の入力装置を操作して行うことができる。
【００４１】
ステップＳ３２でアラーム状態が解除され、或いはステップＳ３４で一時中断状態が解除されていると判断された場合、制御装置９０は、ステップＳ２４に戻って洗浄ユニット１００の洗浄槽１０に異常が発生したか否かの監視を継続する。
【００４２】
以上説明した実施形態の洗浄装置及び方法によれば、オーバーフロー部１２に設けられたセンサー４１によって液面ＣＳの高さに関する情報を検出するので、洗浄液ＣＡの循環状態を監視することができ、洗浄液ＣＡの循環状態を比較的正確にチェックすることができる。オーバーフロー部１２での液面監視は、洗浄液ＣＡ中の異物や気泡等によって影響受けにくいという特徴を有する。さらに、オーバーフロー部１２は開放し易く、センサー４１のメンテナンスや交換も容易になる。つまり、洗浄液ＣＡの循環状態の監視がこれまでに比較して格段に確実で効率的なものとなる。
【００４３】
以上、実施形態に即して本発明を説明したが本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば上記実施形態では、センサー４１は、オーバーフロー部１２のうち中間の流路部分１２ｂに配置する必要はなく、例えば流路部分１２ａ，１２ｄに配置することができる。センサー４１を多数設ける場合、例えば半数以上のセンサー４１が液面ＣＳ低下を示す場合、液面ＣＳの低下が生じていると判断することができる。
【００４４】
また、流量監視装置４０に追加して、液体循環装置３０の配管３４の途中に流量計１３８を設けることもできる（図１参照）。流量計１３８の状態を監視することで、洗浄液ＣＡの流量監視をより正確にすることができる。流量計１３８は、圧力計に置き換えることもできる。流量計１３８や圧力計を用いる場合、流量監視装置４０が流量の異常な減少を検出し、かつ、流量計１３８が極端な流量減少を示したり圧力計が極端な圧力上昇を示したりした場合に、洗浄液ＣＡの追加補充やアラーム出力を行うことができる。
【００４５】
流量監視装置４０は、洗浄液ＣＡの液面ＣＳが基準値よりも下がったか否かを検出しているが、液面ＣＳを複数段階で管理することもできる。この場合、洗浄液ＣＡの流量の減少程度を判断することもでき、洗浄液ＣＡの流量管理がより精密になる。
【００４６】
洗浄装置２００の洗浄ユニット１００は、全てがオーバーフロー部１２やサブタンク２０を備えるものである必要はなく、特に最終段階に近い水洗いの洗浄ユニット１００では、サブタンク２０等を省略した非循環式とすることができる。この場合、流量監視装置４０は不要となる。
【００４７】
振動付与装置１３は、不可欠ではなく、洗浄液ＣＡにバブルを発生させる装置であってもよい。
【００４８】
以上の洗浄ユニット１００では、洗浄槽１０ごとにサブタンク２０を設けているが、複数の洗浄槽１０を一組として１つのサブタンク２０を設けることができる。この場合、上流の洗浄槽１０でオーバーフローした洗浄液ＣＡを下流の洗浄槽１０に移すことができ、下流の洗浄槽１０でオーバーフローした洗浄液ＣＡをサブタンク２０に回収することになる。この場合、全ての洗浄槽１０に流量監視装置４０を設ける必要はなく、最も下流の洗浄槽１０に流量監視装置４０を設ければ足る。
【符号の説明】
【００４９】
１０…洗浄槽、  １１…槽本体、  １２…オーバーフロー部、  １２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ…流路部分、  １２ｆ…ドレン孔、  １３…振動付与装置、  １３ａ…振動板、  ２５…温度調節装置、  ２０…サブタンク、  ３０…液体循環装置、  ３１…ポンプ、  ３２…フィルター、  ４０…流量監視装置、  ４１…センサー、  ５０…洗浄制御部、  ８０…搬送装置、  ８１…チャック装置、  ９０…制御装置、  １００…洗浄ユニット、  ２００…洗浄装置、  ３００…乾燥槽、  ＣＡ…洗浄液、  ＣＳ…液面、  ＷＯ…対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
2013202605.tif 000005
【図４】
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【図５】
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