(57)【要約】【課題】着脱性やメンテナンス性に優れ、梁型のノズル保持機構が無くても撓まない長尺型の処理液吐出ノズルを提供すること。【解決手段】この処理液吐出ノズル６４に取り付けられるたわみ補正機構７４は、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2で補強面６８ａに突出して設けられる第１および第２の中間ジョイント部７８，８０と、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間ジョイント部７８，８０の間たとえば長手方向の中心点ＰCで補強面６８ａに突出して設けられる中心ジョイント部７６と、中心ジョイント部７４と第１の中間ジョイント部との間に架け渡される第１の連結棒８０と、中心ジョイント部７８と第２の中間ジョイント部８０との間に架け渡される第２の連結棒８４とを有している。【選択図】  図２
2013066829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液供給源に接続されるノズルヘッダ管と、
前記ノズルヘッダ管に長手方向に分布または開口して設けられ、前記処理液供給源より前記ノズルヘッダ管に導入された処理液を噴出する吐出部と、
前記ノズルヘッダ管の長手方向の一端と中心との間の第１の中間点で、前記ノズルヘッダ管の前記吐出部とは反対側の補強面に突出して設けられる第１の中間ジョイント部と、
前記ノズルヘッダ管の長手方向の他端と中心との間の第２の中間点で、前記ノズルヘッダ管の前記補強面に突出して設けられる第２の中間ジョイント部と、
前記ノズルヘッダ管の前記第１の中間点と前記第２の中間点との間で、前記ノズルヘッダ管の前記補強面に突出して設けられる中心ジョイント部と、
前記中心ジョイント部と前記第１の中間ジョイント部との間に架け渡される第１の棒状連結部と、
前記中心ジョイント部と前記第２の中間ジョイント部との間に架け渡される第２の棒状連結部と
を有する処理液吐出ノズル。
【請求項２】
前記中心ジョイント部が、前記ノズルヘッダ管の長手方向の中心付近に設けられる、請求項１に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項３】
前記吐出部が、前記ノズルヘッダ管に長手方向一列または複数列に並んで形成され、前記処理液供給源より前記ノズルヘッダ管に導入された処理液をそれぞれ噴出する多数の離散型吐出口を有する、請求項１または請求項２に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項４】
前記離散型吐出口に、処理液をスプレー状に噴出するノズルチップが取り付けられる、請求項３に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項５】
前記吐出部が、前記ノズルヘッダ管に長手方向に延びて形成され、前記処理液供給源より前記ノズルヘッダ管に導入された処理液を帯状に噴出するスリット状の吐出口を有する、請求項１または請求項２に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項６】
前記第１および第２の棒状連結部の長さが等しい、請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項７】
前記第１および第２の棒状連結部が、前記ノズルヘッダ管と平行である、請求項１〜６のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項８】
前記中心ジョイント部、前記第１および第２の中間ジョイント部ならびに前記第１および第２の棒状連結部が一体成型されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項９】
前記中心ジョイント部が、前記第１および第２の棒状連結部の一方の端部と結合するＴ字継手を有し、
前記第１および第２の中間ジョイント部が、前記第１および第２の棒状連結部の他方の端部と結合する第１および第２のエルボ継手をそれぞれ有する、
請求項１〜７のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１０】
前記中心ジョイント部が、前記Ｔ字継手の縦筒部に嵌合可能で、前記ノズルヘッダ管に固着される中心支持ピンを有し、
前記第１および第２の中間ジョイント部が、前記第１および第２のエルボ継手の縦筒部とそれぞれ嵌合可能で、前記ノズルヘッダ管に固着される第１および第２の中間支持ピンを有する、
請求項９に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１１】
前記中心支持ピンと嵌合する前の前記Ｔ字継手と前記第１の棒状連結部と前記第１のエルボ継手とが一体化された第１の補強組立体の有効長が、前記第１の中間ジョイント部と前記中心ジョイント部との間の距離よりも長く、
前記中心支持ピンと嵌合する前の前記Ｔ字継手と前記第２の棒状連結部と前記第２のエルボ継手とが一体化された第２の補強組立体の有効長が、前記第２の中間ジョイント部と前記中心ジョイント部との間の距離よりも長い、
請求項１０に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１２】
前記第１の補強組立体または前記第２の補強組立体より前記ノズルヘッダ管に与えられる長手方向の応力を調整するためのねじ機構を有する、請求項１１に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１３】
前記ねじ機構が、前記第１のエルボ継手または前記第２のエルボ継手に前記第１の棒状連結部または前記第２の棒状連結部を螺合させている、請求項１２に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１４】
前記ねじ機構が、前記第１の棒状連結部または前記第２の棒状連結部を棒状の中間連結部を挟んで第１および第２の片側連結部に２分割し、前記中間連結部に対して前記第１および第２の片側連結部を逆向きで螺合させている、請求項１２記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１５】
前記第１および第２の棒状連結部が、前記中心ジョイント部ならびに前記第１および第２の中間ジョイント部に接着剤で接合される、請求項８〜１４のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１６】
前記中心ジョイント部が、前記第１および第２の中間ジョイント部よりも短い、請求項１〜６のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１７】
前記中心ジョイント部、前記第１および第２の中間ジョイント部ならびに前記第１および第２の棒状連結部が一体成型されている、請求項１６に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１８】
前記中心ジョイント部ならびに前記第１および第２の中間ジョイント部が前記ノズルヘッダ管に溶接で結合される、請求項１６または請求項１７に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項１９】
前記第１の棒状連結部が、前記第１の中間ジョイント部と前記中心ジョイント部との間の距離よりも短く、
前記第２の棒状連結部が、前記第２の中間ジョイント部と前記中心ジョイント部との間の距離よりも短い、
請求項１〜８，１６〜１８のいずれかき一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項２０】
前記処理液供給源からの処理液が前記中心ジョイント部ならびに前記第１および第２の中間ジョイント部を介して前記ノズルヘッダ管に導入される、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項２１】
前記ノズルヘッダ管がポリ塩化ビニルからなる、請求項１〜２０のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項２２】
前記中心ジョイント部、前記第１および第２の中間ジョイント部ならびに前記第１および第２の棒状連結部がいずれもポリ塩化ビニルからなる、請求項２１に記載の処理液吐出ノズル。
【請求項２３】
被処理基板を水平な方向に平流しで搬送するための平流し搬送路を有する搬送部と、
前記平流し搬送路上の前記基板に前記処理液を噴き掛けるために、前記平流し搬送路の上方または下方で搬送方向と交差する方向に架け渡される、請求項１〜２２のいずれか一項に記載の処理液吐出ノズルと、
前記処理液吐出ノズルに前記処理液を供給する処理液供給源と、
前記搬送路の両側で前記処理液吐出ノズルの両端を支持するノズル支持部と
を有する基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板に処理液を噴き掛けるための長尺型の処理液吐出ノズルおよびこれを用いる平流し方式の基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造におけるレジスト塗布現像処理システムでは、被処理基板（たとえばガラス基板）の大型化に有利に対応できる洗浄処理方法あるいは現像処理方法として、搬送ローラ（コロ）や搬送ベルトを水平方向に敷設してなる搬送路上で基板を搬送しながら洗浄処理あるいは現像処理を行うようにした、いわゆる平流し方式が多用ないし常用されている。このような平流し方式は、基板を回転運動させるスピンナ方式と較べて、基板の取扱いや搬送系および駆動系の構成が簡単である等の利点がある。
【０００３】
このような平流し方式を採る洗浄処理装置は、平流し搬送路上で移動する基板に洗浄液やリンス液を噴き掛けるために、長尺型の処理液吐出ノズルを多く用いている。また、平流し方式の現像処理装置も、平流し搬送路上で移動する基板に現像液を噴き掛けるか、または液盛りするために、長尺型の処理液吐出ノズルを用いている。
【０００４】
従来のこの種の基板処理装置は、図１０および図１１に示すように、長尺型の処理液吐出ノズルたとえばスプレーノズル２００を平流し搬送路２０２の上に搬送方向と交差（通常は直交）する方向に水平に架け渡して保持するためのノズル保持機構２０６を備えている。このノズル保持機構２０６は、平流し搬送路２０２の両側に立設された一対の支柱２０８，２１０の間に水平に架け渡される梁２１２に一定間隔で多数（たとえば４個）のブラケット２１４を取り付け、これら多数のブラケット２１４の上に１本または複数本（図示の例の場合は２本）のスプレーノズル２００を留め具２１５で固定する。
【０００５】
スプレーノズル２００は、たとえばポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）等の可撓性の樹脂からなり、平流し搬送路２０２上を移動する基板Ｇの横幅サイズよりも長いノズルヘッダ管２１６に多数のノズルチップ２１８を長手方向一列に並べて取り付けており、全長が数ｍを越えるものもめずらしくない。このため、平流し搬送路２０２の両側でスプレーノズル２００の両端のみを支持しただけではスプレーノズル２００が自重によってその中心部が沈むように撓んでしまう。スプレーノズル２００が撓むと、スプレーノズル２００の長手方向において各ノズルチップ２１８と平流し搬送路２０２上の基板Ｇとの距離間隔が変動して、基板Ｇ上の液処理にばらつきが生じる。しかし、上記のようなノズル保持機構２０６を備えることで、スプレーノズル２００を水平に保持し、その長手方向において各ノズルチップ２１８と基板Ｇとの距離間隔を均一に保ち、基板Ｇ上の各部に均一な液処理を施すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３００１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のような平流し方式の基板処理装置においては、平流し搬送路２０４に沿って設けられるスプレーノズル２００およびその他のツールの修理・部品交換はもちろん、平流し搬送路２０４を構成するコロ２２０の修理・部品交換も随時または定期的に行われる。
【０００８】
ところが、上記のようなノズル保持機構２０６を設置すると、このノズル保持機構２０６でのスプレーノズル２００の取り外しや再装着が非常に面倒で、スプレーノズル２００のメンテナンス性が悪くなるという問題があった。また、作業員がノズル保持機構２０６の真下に位置する平流し搬送路のコロ２２０の点検・修理を行う際に、ノズル保持機構２０６の梁２１２やブラケット２１４等が邪魔になって、コロ２２０へのアクセスが難しいという不便もあった。
【０００９】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するものであり、着脱性やメンテナンス性に優れ、梁型のノズル保持機構が無くても撓まない長尺型の処理液吐出ノズルおよびこれを用いる平流し方式の基板処理装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の処理液吐出ノズルは、処理液供給源に接続されるノズルヘッダ管と、前記ノズルヘッダ管に長手方向に分布または開口して設けられ、前記処理液供給源より前記ノズルヘッダ管に導入された処理液を噴出する吐出部と、前記ノズルヘッダ管の長手方向の一端と中心との間の第１の中間点で、前記ノズルヘッダ管の前記吐出部とは反対側の補強面に突出して設けられる第１の中間ジョイント部と、前記ノズルヘッダ管の長手方向の他端と中心との間の第２の中間点で、前記ノズルヘッダ管の前記補強面に突出して設けられる第２の中間ジョイント部と、前記ノズルヘッダ管の前記第１の中間点と前記第２の中間点との間で、前記ノズルヘッダ管の前記補強面に突出して設けられる中心ジョイント部と、前記中心ジョイント部と前記第１の中間ジョイント部との間に架け渡される第１の棒状連結部と、前記中心ジョイント部と前記第２の中間ジョイント部との間に架け渡される第２の棒状連結部とを有する。
【００１１】
上記の構成においては、ノズルヘッダ管の中心点（重心）にかかる全体の重力が、中心ジョイント部、第１および第２の棒状連結部ならびに第１および第２の中間ジョイント部を介してノズルヘッダ管の第１および第２の中間点に伝わり、第１および第２の中間点にも下向きの力が作用する。このため、ノズルヘッダ管の中心点が重力（中心重力）によって下に変位しようとしても、第１および第２の中間点が中心点から中心ジョイント部、第１および第２の棒状連結部ならびに第１および第２の中間ジョイント部を介して伝達される重力（中間重力）によって同じく下に変位しようとするので、ノズルヘッダ管全体の湾曲変形つまり撓みが阻止される。これにより、ノズルヘッダ管に取り付けられている多数のノズルチップがたとえば同じ高さ位置で一直線上に並ぶ。したがって、ノズル長手方向で吐出部と平流し搬送路上の基板との距離間隔を均一にすることができる。
【００１２】
本発明の基板処理装置は、被処理基板を水平な方向に平流しで搬送するための平流し搬送路を有する搬送部と、前記平流し搬送路上の前記基板に前記処理液を噴き掛けるために、前記平流し搬送路の上方または下方で搬送方向と交差する方向に架け渡される本発明の処理液吐出ノズルと、前記平流し搬送路の両側で前記処理液吐出ノズルの両端部を保持するノズル保持部と、前記処理液吐出ノズルに前記処理液を供給する処理液供給源と、前記搬送路の両側で前記処理液吐出ノズルの両端を支持するノズル支持部とを有する。
【００１３】
上記の装置構成においては、処理液吐出ノズルのノズルヘッダ管が撓まないので、ノズルヘッダ管の吐出部が平流し搬送路上の基板に対して一直線上の高さ位置から処理液を長手方向で均一に噴き掛けることが可能であり、それによって基板上の各部に均一な液処理を施すことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の処理液吐出ノズルは、上記のような構成および作用により、着脱性やメンテナンス性に優れ、梁型のノズル保持機構が無くても撓まずにノズルヘッダ管の吐出部をその長手方向で一直線上に保つことができる。
【００１５】
本発明の基板処理装置は、上記のような構成および作用により、長尺状の処理液吐出ノズルを使用する平流し方式の液処理の精度および信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の処理液吐出ノズルを適用できる洗浄処理装置の全体構成を示す略断面図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるスプレーノズルおよびノズル支持部の全体構成を示す斜視図である。
【図３】上記スプレーノズルおよび上記ノズル支持部ならびにその周囲の構成を示す一部断面正面図である。
【図４Ａ】上記ノズル支持部に含まれるクランプの構成（保持状態）を示す側面図である。
【図４Ｂ】上記ノズル支持部に含まれるクランプの構成（開放状態）を示す側面図である。
【図５Ａ】たわみ補正機構を取り付ける前の上記スプレーノズルが自重により空中で撓む様子を示す正面図である。
【図５Ｂ】上記スプレーノズルにたわみ補正機構を取り付ける工程の一段階を示す平面図である。
【図５Ｃ】上記スプレーノズルにたわみ補正機構を取り付ける工程の一段階を示す平面図である。
【図５Ｄ】上記スプレーノズルにたわみ補正機構を取り付ける工程の一段階を示す平面図である。
【図５Ｅ】たわみ補正機構を取り付けた上記スプレーノズルの設置状態とその作用を示す正面図である。
【図６】たわみ補正機構よりノズルヘッダ管に与えるノズル長手方向の応力を調節するためのねじ機構の一構成例を示す部分拡大正面図である。
【図７】上記ねじ機構の別の構成例を示す部分拡大正面図である。
【図８Ａ】たわみ補正機構を処理液供給路の一部に用いる一構成例を示す図である。
【図８Ｂ】たわみ補正機構を処理液供給路の一部に用いる一構成例を示す図である。
【図９Ａ】別の実施形態においてたわみ補正機構を取り付ける前のスプレーノズルが自重により空中で撓む様子を示す正面図である。
【図９Ｂ】上記別の実施形態において上記スプレーノズルにたわみ補正機構を取り付ける工程の一段階を示す正面図である。
【図９Ｃ】上記別の実施形態において上記スプレーノズルにたわみ補正機構を取り付ける工程の一段階を示す正面図である。
【図９Ｄ】図９Ａのたわみ補正機構を取り付けた上記スプレーノズルの設置状態を示す図である。
【図１０】従来の長尺型処理液吐出ノズルおよびこれを保持するノズル保持機構の構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０のノズルおよびノズル保持機構の構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図を参照して本発明の好適な実施の形態を説明する。
［基板処理装置の実施形態］
【００１８】
図１に、本発明の処理液吐出ノズルおよび基板処理装置を適用できる平流し式洗浄処理装置の全体構成を示す。
【００１９】
この洗浄処理装置は、たとえばＦＰＤ用のレジスト塗布現像処理システムに組み込まれ、被処理基板（たとえばガラス基板）にレジストを塗布する前に基板上の不純物やパーティクルを除去するために用いられる。
【００２０】
この洗浄処理装置は、２つのチャンバ１０，１２を並べて配置し、両チャンバ１０，１２の中を縦断するコロ搬送路１４を備えている。上流側の洗浄チャンバ１０は、内部に設けた２つの隔壁１６，１８によって３つの処理室、すなわちブラッシング洗浄室Ｒ1、ブロー洗浄室Ｒ2およびリンス室Ｒ3に分割されている。搬送方向（Ｘ方向）と向き合うチャンバ１０の外壁１０ａ，１０ｂおよび両隔壁１６，１８には、コロ搬送路１４上を移動する基板Ｇが通れるスリット状の開口（基板出入り口）２０，２２，２４，２６がそれぞれ形成されている。ここで、開口２０は、ブラッシング洗浄室Ｒ1の入口である。開口２２は、ブラッシング洗浄室Ｒ1の出口であり、かつブロー洗浄室Ｒ2の入口でもある。開口２４は、ブロー洗浄室Ｒ2の出口であり、かつリンス室Ｒ3の入口でもある。開口２６は、リンス室Ｒ3の出口である。
【００２１】
ブラッシング洗浄室Ｒ1には、コロ搬送路１４に沿ってその上下両側にプリウエットノズル２８Ｕ／２８Ｌ、ロールブラシ３０Ｕ／３０Ｌおよびリンスノズル３２Ｕ／３２Ｌが配置されている。プリウエットノズル２８Ｕ／２８Ｌは、基板Ｇを横幅方向（Ｙ方向）で端から端までカバーする長さを有しており、薬液供給部（図示せず）より送られてくる薬液を噴き出すようになっている。ロールブラシ３０Ｕ，３０Ｌは、基板Ｇを横幅方向で端から端までカバーする長さを有しており、モータ等のブラシ駆動部（図示せず）により回転駆動されるようになっている。リンスノズル３２Ｕ／３２Ｌは、基板Ｇを横幅方向で端から端までカバーする長さを有しており、リンス液供給部（図示せず）より送られてくるリンス液を噴き出すようになっている。ブラッシング洗浄室Ｒ1には、チャンバ背面側の壁１０ｄの上部に１つまたは複数の排気ポート３４が設けられており、底にドレイン口３６が設けられている。
【００２２】
ブロー洗浄室Ｒ2内には、コロ搬送路１４の上下両側に高圧の２流体ノズル３８Ｕ／３８Ｌが配置されている。これらの２流体ノズル３８Ｕ／３８Ｌは、基板Ｇの横幅サイズをカバーする長さを有しており、洗浄液供給部（図示せず）より送られてくる洗浄液と高圧ガス供給部（図示せず）より送られてくる高圧気体とを混合して、粒状の液滴をジェット流で、またはスプレー状に噴射するようになっている。ブロー洗浄室Ｒ2にも、チャンバ背面側の壁１０ｄの上部に１つまたは複数の排気ポート４０が設けられ、底にドレイン口４２が設けられている。
【００２３】
リンス室Ｒ3内には、コロ搬送路１４の上下両側に適当な間隔を空けて複数のリンスノズル４２Ｕ／４２Ｌが配置されている。これらのリンスノズル４２Ｕ／４２Ｌは、基板Ｇの横幅サイズをカバーする長さを有しており、リンス液供給部（図示せず）より送られてくるリンス液を噴き出すようになっている。リンス室Ｒ3においても、チャンバ背面側の壁１０ｄの上部に１つ（または複数）の排気ポート４４が設けられており、底にはドレイン口４６が設けられている。
【００２４】
下流側のチャンバ１２は、専用の液切り乾燥室Ｒ4になっている。搬送方向（Ｘ方向）と向き合うチャンバ１２の外壁１２ａ，１２ｂには、コロ搬送路１４上を移動する基板Ｇが通れるスリット状の開口４８，５０がそれぞれ形成されている。ここで、開口４８は入口であり，開口５０は出口である。
【００２５】
液切り乾燥室Ｒ4内には、コロ搬送路１４を挟んで搬送方向（Ｘ方向）に対して斜めに上部および下部エアナイフ５２Ｕ，５２Ｌが配置されている。両エアナイフ５２Ｕ，５２Ｌは、基板Ｇの横幅サイズをカバーする長さを有しており、それぞれの吐出口を液切り乾燥室Ｒ4の入口４８側および正面側の中間の方位に向けて、乾燥ガス供給部（図示せず）より送られてくる液切り乾燥用の高圧の気体（通常はエア、場合によっては窒素ガス）を鋭利なナイフ状の気流で噴射するようになっている。
【００２６】
液切り乾燥室Ｒ4には、チャンバ正面側の壁１０ｃの上部に１つ（または複数）の上部排気ポート５４が設けられるとともに、室内の底部に複数（または１つ）の排気ポート５６が設けられている。また、液切り乾燥室Ｒ4には、両エアナイフ５２Ｕ，５２Ｌの後方または下流側の天井に、ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）５８が設置されている。このＦＦＵ５８は、室外の空気を引き込むファンと、空気中の塵を除去するフィルタとを有し、清浄な空気をダウンフローで室内に供給する。液切り乾燥室Ｒ4の底には、ドレイン口６０が設けられている。
【００２７】
コロ搬送路１４には、基板Ｇの幅サイズをカバーする長さの搬送ローラまたはコロ６２が搬送方向（Ｘ方向）に一定間隔で敷設されている。この実施形態では、コロ６２が、チャンバ１０，１２の中に収容され、チャンバ１０，１２の外に配置されている搬送駆動源により伝動機構を介して回転駆動されるようになっている。
【００２８】
ここで、この洗浄処理装置における全体の動作および作用を説明する。当該レジスト塗布現像処理システムにおいて、カセットステーションよりプロセスラインに投入された基板Ｇは、最初にエキシマＵＶ照射ユニット（図示せず）で紫外線照射処理を受けて基板表面の有機汚染物を除去され、それからコロ搬送路１４上を平流しで移動してこの洗浄処理装置のブラッシング洗浄室Ｒ1に入口２０から搬入される。
【００２９】
ブラッシング洗浄室Ｒ1において、基板Ｇは、最初にプリウエット用の上部および下部プリウエットノズル２８Ｕ，２８Ｌにより基板全体にたとえば酸またはアルカリ系の薬液を噴き掛けられる。次いで、基板Ｇは、上部および下部ロールブラシ３０Ｕ，３０Ｌの下を順次擦りながら通り抜ける。両ロールブラシ３０Ｕ，３０Ｌは、ブラシ駆動部の回転駆動力で搬送方向と対抗する向きに回転し、基板表面の異物（塵埃、破片、汚染物等）を擦り取る。その直後に、リンス用の上部および下部リンスノズル３２Ｕ，３２Ｌが基板Ｇにリンス液たとえば純水を噴き掛け、基板上に浮遊している異物を洗い流す。ブラッシング洗浄室Ｒ1内で基板Ｇから底に落ちた液（薬液、リンス液等）は、ドレイン口３６より排出される。
【００３０】
基板Ｇは、リンスノズル３２Ｕ，３２Ｌを通り抜けた直後に、隔壁１６の基板出入り口２２を通ってブロー洗浄室Ｒ2に入る。ブロー洗浄室Ｒ2では、上部および下部２流体ノズル３８Ｕ，３８Ｌが、ノズル内で洗浄液を高圧の気体（たとえばエア）と混合して粒状の液滴を生成し、生成した液滴を基板Ｇのおもて面（上面）および裏面（下面）に向けて高圧のジェット流で、またはスプレー状に噴き掛ける。こうして、流状の液滴が基板Ｇの表面に衝突することで、基板表面に残存していた異物が十全に除去される。ブロー洗浄室Ｒ2内で基板Ｇから底に落ちた液（洗浄液等）は、ドレイン口４２より排出される。
【００３１】
ブロー洗浄室Ｒ2の次に基板Ｇはリンス室Ｒ3を通過する。リンス室Ｒ3では、上部および下部リンスノズル４２Ｕ，４２Ｌがコロ搬送路１４上の基板Ｇにリンス液たとえば純水を噴き掛ける。これによって、ブロー洗浄室Ｒ2から持ち込まれた基板Ｇ上の液（異物が浮遊している液）がリンス液に置換される。リンス室Ｒ3内で基板Ｇから底に落ちた液（洗浄液、リンス液等）は、ドレイン口４６より排出される。
【００３２】
基板Ｇは、リンス室Ｒ3を出ると同時に隣の液切り乾燥室Ｒ4に入る。液切り乾燥室Ｒ4では、コロ搬送路１４上の基板Ｇに対して、上部および下部エアナイフ５２Ｕ，５２Ｌがナイフ状の鋭利な高圧の気体流たとえばエア流を搬送方向に斜め逆らう方向に当てる。これによって、基板Ｇに付いていた液（大部分がリンス液）は高圧エア流の風力で払い落とされ、液切り乾燥室Ｒ4の底に落ちた液はドレイン口６０より排出される。こうして、上部および下部エアナイフ５２Ｕ，５２Ｌの間を通り過ぎた基板Ｇの表面は乾いた状態になる。
【００３３】
液切り乾燥室Ｒ4の出口５０を出た基板Ｇは、そのままコロ搬送路１４を平流しで移動して後段の熱処理装置（図示せず）へ入る。
【００３４】
この洗浄処理装置においては、ブラッシング洗浄室Ｒ1に設けられるプリウエットノズル２８Ｕ／２８Ｌおよびリンスノズル３２Ｕ／３２Ｌ、ブロー洗浄室Ｒ2に設けられる２流体ノズル３８Ｕ／３８Ｌならびにリンス室Ｒ3に設けられるリンスノズル４２Ｕ／４２Ｌのいずれにも本発明の長尺型処理液吐出ノズルを適用することが可能であり、それによって、基板Ｇ上の各部に均一な液処理（薬液ウエット処理、リンス処理等）を施し、洗浄処理能力および信頼性を向上させている。
［処理液吐出ノズルの実施形態１］
【００３５】
次に、本発明の一実施形態における処理液吐出ノズルの構成および作用を説明する。図２および図３に、本発明の一実施形態におけるスプレーノズル（処理液吐出ノズル）６４とこれを支持するためのノズル支持６６の構成を示す。
【００３６】
このスプレーノズル６４は、基本構成として、基板Ｇの横幅サイズ（Ｙ方向サイズ）を上回るたとえば２〜３ｍの全長を有する管状のノズル本体またはノズルヘッダ管６８と、このノズルヘッダ管６８に長手方向一列に並んで取り付けられる多数のノズルチップ７０とを有し、これらのノズルチップ７０を下に向けて、その両端部をノズル支持部６６により支持される。
【００３７】
ノズルヘッダ管６８は、一端（図の左端）が処理液供給源（図示せず）に通じている配管７２に接続され、他端（図の右端）が閉塞されている。ノズルヘッダ管６８の材質は、好ましくは加工性および耐薬性にすぐれたポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）であるが、他の樹脂あるいはステンレス鋼等の金属を用いてもよい。ノズルチップ７０も、ポリ塩化ビニルあるいは他の樹脂または金属からなり、ノズルヘッダ管６８に着脱可能にねじ込まれ、あるいは溶接で固着される。図３に示すように、各々のノズルチップ７０は、処理液供給源より配管７２を通ってノズルヘッダ管６８に導入された処理液（薬液、リンス液等）をスプレー状に噴出するように構成されている。
【００３８】
スプレーノズル６４において、ノズルヘッダ管６８のノズルチップ７０を取り付けている底の面とは反対側の頂面（補強面）６８ａには、ノズルヘッダ管６８が重力で撓むのを防止するためのたわみ補正機構７４が取り付けられている。このたわみ補正機構７４は、次のような多数の部品からなる組立体として構成されている。
【００３９】
すなわち、たわみ補正機構７４は、ノズルヘッダ管６８の長手方向の中心と一端との間の第１の中間点ＰM1でノズルヘッダ管６８の補強面６８ａに突出して設けられる第１の中間ジョイント部７８と、ノズルヘッダ管６８の長手方向の中心と他端との間の第２の中間点ＰM2でノズルヘッダ管６８の補強面６８ａに突出して設けられる第２の中間ジョイント部８０と、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間ジョイント部７８，８０の間たとえば長手方向の中心点ＰCでノズルヘッダ管６８の補強面６８ａに突出して設けられる中心ジョイント部７６と、中心ジョイント部７６と第１の中間ジョイント部７８との間に架け渡される第１の連結棒８２と、中心ジョイント部７６と第２の中間ジョイント部８０との間に架け渡される第２の連結棒８４とを有している。たわみ補正機構７４の各部（７６〜８４）も、その材質として、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を好適に用いてよいが、他の樹脂あるいはステンレス鋼等の金属を用いてもよい。たわみ補正機構７４のより詳細な構成および組立方法については後に説明する。
【００４０】
ノズル支持部６６は、チャンバ１０の正面側および背面側の壁１０ｃ，１０ｄにそれぞれ同じ高さ位置でボルト８６によって固定される一対の取付金具８８と、各々の取付金具８８上でスプレーノズル６４のノズルヘッダ管６８の両端部を着脱可能に保持する１つまたは複数のクランプ９０とを有している。
【００４１】
図４Ａおよび図４Ｂに、クランプ９０の構成および作用を示す。クランプ９０は、たとえば樹脂からなる一体成型品として形成され、ベース部９２と、このベース部９２に開閉変位可能に一体結合されている一対の円弧状保持片９４，９６を有している。これら一対の円弧状保持片９４，９６の上端部には、互いに係合可能な凸部または爪部９８および凹部１００がそれぞれ形成されている。円弧状保持片９４，９６をそれぞれの上端部が重なり合うように突き合わせ、円弧状保持片９４の爪部９８と円弧状保持片９６の凹部１００とを係合させることにより、両円弧状保持片９４，９６の内側に装入されたノズルヘッダ管６８をしっかりと保持することができる。この保持状態から爪部９８と凹部１００を外すと、両円弧状保持片９４，９６が分離して開放状態となり、ノズルヘッダ管６８の装入または取り外しが可能となる。このように、ノズル支持部６６は、クランプ９０を通じて、スプレーノズル６４を安定・堅固に保持し、かつその着脱を容易に行えるようになっている。
【００４２】
再び図３において、コロ搬送路１４は、スプレーノズル６４およびノズル支持部６６の下を通っている。コロ搬送路１４を構成する各コロ６２の両端は、チャンバ１０の正面側および背面側の壁１０ｃ，１０ｄに固定された左右一対の軸受１００，１０２に回転可能にそれぞれ支持されている。コロ６２は、一定の太さ（径）を有する剛体のシャフトを有し、このシャフトの両端部に基板Ｇの両側端（長辺縁部）を支持する円筒形のローラ部６２ａを取り付け、シャフト中間部に基板Ｇの中間部を支持する複数の円筒形ローラ部６２ｂを取り付けている。両端のローラ部６２ａには基板Ｇの下端側の側面を受ける鍔状の太径部が一体に形成されている。搬送駆動部１０４は、チャンバ背面側の壁１０ｄに支持台１０６を介して固定された電気モータ１０８と、この電気モータ１０８の回転駆動力を各コロ６２に伝えるための伝動機構とを有する。この伝動機構は、電気モータ１０８の回転軸に無端ベルト１１０を介して接続された搬送方向（Ｘ方向）に延びる回転駆動シャフト１１２と、この回転駆動シャフト１１２と各コロ６２とを作動結合する交差軸型のギア１１４とを有している。搬送駆動部１０４とコロ搬送路１４とによって、平流し搬送部が構成されている。コロ搬送路１４の下には、基板Ｇ上からこぼれ落ちた処理液、あるいは連続する基板Ｇの合間にスプレーノズル６４から吐出された処理液を受け集めるためのパン１１６が設けられている。
【００４３】
次に、図５Ａ〜図５Ｅを参照して、この実施形態におけるたわみ補正機構７４のより詳細な構成および組立方法を説明する。
【００４４】
先ず、図５Ａに示すように、たわみ補正機構７４を取り付ける前のスプレーノズル６４つまりノズルヘッダ管６８は、その両端部が略同じ高さ位置で支持された状態で空中に置かれると、自重によって中心部が沈むように下に撓む。たとえば、ノズルヘッダ管６８がＰＶＣ製で、その全長ＬＴが約２５００ｍｍの場合、管内が空の状態（処理液が入っていない状態）でも、撓み量（中心部の沈み量）Ｄは約２０ｍｍにもなる。ノズルヘッダ管６８の中に処理液が入っているときは、撓み量Ｄは更に大きくなる。
【００４５】
この実施形態においては、図５Ｂに示すように、たわみ補正機構７４を取り付ける前のスプレーノズル６４つまりノズルヘッダ管６８を自重が作用しない状態で、たとえば水平な作業テーブル（図示せず）の上に載せた状態で、まっすぐに延ばす。そして、ノズルヘッダ管６８にたわみ補正機構７４を取り付けるに先立ち、その長さ方向の中心点ＰC、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2の３箇所にて、ノズルヘッダ管６８の補強面６８ａに固定ピン１１８，１２０，１２２をたとえば溶接でそれぞれ固着する。なお、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2は、中心点ＰCとノズルヘッダ管６８の両端との真ん中付近にそれぞれ設定されるのが好ましく、中心点ＰCと第１の中間点ＰM1との間の距離をＬM1、中心点ＰCと第２の中間点ＰM2との間の距離をＬM2とすると、ＬM1＝ＬM2またはＬM1≒ＬM2の関係が好ましい。
【００４６】
一方、たわみ補正機構７４においては、中心ジョイント部７６、第１および第２の中間ジョイント部７８，８０、第１および第２の連結棒８２，８４の各部品を用意する。ここで、中心ジョイント部７６にはＴ字継手たとえばＴ字管を好適に使用し、第１および第２の中間ジョイント部７８，８０にはエルボ継手たとえばエルボ管を好適に使用することができる。第１および第２の連結棒８２，８４は中空管または中実管のいずれであってもよく、丸棒に限らず、角棒であってもよい。
【００４７】
そして、第１の連結棒８２の両端部を中心ジョイント部（Ｔ字管）７６の一方の横筒部および第１の中間ジョイント部（エルボ管）７８の横筒部にそれぞれ挿入して、第１の補強組立体１２４を作製する。さらに、第２の連結棒８４の両端部を中心ジョイント部７６の他方の横筒部および第２の中間ジョイント部（エルボ管）８０の横筒部にそれぞれ挿入して、第２の補強組立体１２６を作製する。第１および第２の補強組立体１２４，１２６の強度を高めるために、各々の連結箇所に接着剤を用いるのも好ましい。第１および第２の補強組立体１２４，１２６がこのように一体的に合わさって、たわみ補正機構７４の組立体が出来上がる。
【００４８】
次に、図５Ｃに示すように、自重が作用しない作業テーブル上で、たわみ補正機構７４の中心ジョイント部７６ならびに第１および第２の中間ジョイント部７８，８０をノズルヘッダ管６８の固定ピン１１８，１２０，１２２にそれぞれ対向させる。ここで、たわみ補正機構７４において、中心ジョイント部７６の中心縦軸と第１の中間ジョイント部７８の中心縦軸との間の距離つまり第１の補強組立体１２４の有効長をＬH1とし、中心ジョイント部７６の中心縦軸と第２の中間ジョイント部８０の中心縦軸との間の距離つまり第２の補強組立体１２６の有効長をＬH2とすると、ＬM1＜ＬH1、ＬM2＜ＬH2の関係が好ましい。一例として、ＬM1，ＬM2＝７００ｍｍの場合は、ＬH1、ＬH2＝７１０ｍｍに選ばれるのが好ましい。
【００４９】
そして、中心ジョイント部（Ｔ字管）７６の縦筒部を固定ピン１１８に嵌合させるとともに、第１および第２の中間ジョイント部（エルボ管）７８，８０の縦筒部を固定ピン１２０，１２２にそれぞれ嵌合させる。そうすると、図５Ｄに示すように、自重が作用しない作業テーブル上の組立状態では、上記のようなＬM1＜ＬH1、ＬM2＜ＬH2の関係により、たわみ補正機構７４（第１および第２の補強組立体１２４，１２６）が外側に位置し、ノズルヘッダ管６８が内側に位置する関係で、両者（７４，６８）が略同心円状に撓む。この場合、たわみ補正機構７４の中心ジョイント部７６とノズルヘッダ管６８の中心部の間に生じる応力ＦMが、互いに湾曲変形を生じさせるモーメントとして作用する。こうして、ノズルヘッダ管６８の補強面６８ａにたわみ補正機構７４が一体的に取り付けられる。
【００５０】
次に、上記のようにしてたわみ補正機構７４を取り付けたスプレーノズル６４を平流し搬送路の上に架かるようにして両側のノズル支持部６６，６６に取り付ける。そうすると、図５Ｅに示すように、スプレーノズル６４を空中に設置した状態では、スプレーノズル６４全体に重力が作用することにより、各部に作用する力のバランスでノズルヘッダ管６８がまっすぐな姿勢になり、たわみ補正機構７４の第１および第２の連結棒８２，８４もまっすぐになる。ここで、第１および第２の連結棒８２，８４がノズルヘッダ管６８と平行に一直線上に並んで延びるのが好ましい。
【００５１】
この場合、空中に架けられたスプレーノズル６４においては、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰC（重心）にかかる重力Ｆcが上記モーメント力ＦMに打ち勝つ。さらに、この重心重力Ｆcが、中心ジョイント部７６、第１および第２の連結棒８２，８４ならびに第１および第２の中間ジョイント部７８，８０を介してノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2に伝わり、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2にも下向きの力ＦM1，ＦM2が作用する。このため、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰCが重心重力Ｆcによって下に変位しようとしても、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2が中心点ＰCからたわみ補正機構７４を介して伝達される重力（中間重力）ＦM1，ＦM2によって同じく下に変位しようとするので、ノズルヘッダ管６８全体の湾曲変形つまり撓みが阻止される。
【００５２】
さらに、この実施形態では、上記のようにＬM1＜ＬH1、ＬM2＜ＬH2の関係の下で中心ジョイント部７６の縦筒部を固定ピン１１８に嵌合させるとともに、第１および第２の中間ジョイント部７８，８０の縦筒部を固定ピン１２０，１２２にそれぞれ嵌合させているので、中心ジョイント部７６と第１および第２の中間ジョイント部７８，８０との間で第１および第２の連結棒８２，８４が縮む方向に応力を受けてごく僅かであるが変形している。したがって、第１および第２の連結棒８２，８４は、この変形状態から原状態に復帰しようとして中心ジョイント部７６と第１および第２の中間ジョイント部７８，８０に横方向外向きの力（反作用）ＦN1，ＦN2を及ぼし、ひいてはノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2に横方向（ノズル長手方向）外向きの応力ＦT1，ＦT2を与える。これらノズル長手方向の応力ＦT1，ＦT2も、ノズルヘッダ管６８の湾曲変形つまり撓みを阻止する方向に働く。
【００５３】
このように、この実施形態の処理液吐出ノズル６４は、ノズルヘッダ管６８に上記構成のたわみ補正機構７４を一体的に取り付けることにより、ノズル支持部６６によってノズルヘッダ管６８の両端部だけを支持されればそれで十分であり、ノズルヘッダ管６８の中心部が重力で沈むように撓むことはなく、常に水平一直線の姿勢を保つことができる。
【００５４】
こうして、処理液吐出ノズル６４においては、図３に示すように、ノズルヘッダ管６８に取り付けられている多数のノズルチップ７０が同じ高さ位置で一直線上に並び、ノズル長手方向で各ノズルチップ７０とコロ搬送路１４上の基板Ｇとの距離間隔が均一になる。これにより、基板Ｇ上の各部に均一な液処理（薬液ウエット処理、リンス処理等）が施される。
［他の実施形態または変形例］  
【００５５】
上記実施形態のスプレーノズル６４においては、たわみ補正機構７４よりノズルヘッダ管６８に与えられるノズル長手方向の応力ＦT1，ＦT2を調整するためのねじ機構を備えることができる。
【００５６】
図６に示す構成例は、ノズルヘッダ管６８の第１の中間点ＰM1に与えるノズル長手方向の応力ＦT1を調整するために、第１のエルボ継手７８に第１の連結棒８２を螺合させている。より詳細には、エルボ継手７８の横筒部を貫通させて、その横筒部に雌ねじ部１３０を形成するとともに、エルボ継手７８の横筒部を貫通する連結棒８２の胴部にエルボ継手７８の雌ねじ部１３０と螺合可能な雄ねじ部１３２を形成する。Ｔ字継手７６には、連結棒８２の先端部を受け入れる横筒部にざぐり穴（盲孔）１３４が形成している。このざぐり穴１３４の終端面に連結棒８２の先端が当たるようにする。エルボ継手７８の外側に出ている連結棒８２の頭部１３８を回し、その回転の向きと回転量に応じて、連結棒８２を軸方向で双方向に動かすことができる。
【００５７】
この場合、第１の連結棒８２を前進させる向きにその頭部１３８を回すと、第１の補強組立体１２４の有効長ＬH1が長くなって、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰCおよび第１の中間点ＰM1にそれぞれ与えられる長手方向の応力ＦTC，ＦT1が増大する。反対に、第１の連結棒８２を後退させる向きにその頭部１３８を回すと、第１の補強組立体１２４の有効長ＬH1が短くなって、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰCおよび第１の中間点ＰM1にそれぞれ与えられる長手方向の応力ＦTC，ＦT1が減少する。
【００５８】
図示省略するが、ノズルヘッダ管６８の第２の中間点ＰM2に与えるノズル長手方向の応力ＦT2を調整するために、第２の連結棒８４回りにも上記と同様のねじ機構を設けることができる。また、図示省略するが、連結棒８２（８４）の胴部を、長手方向で頭部１３８側の雌ねじ部１３２と、ねじ山の無い部分１３３とに２分割することも可能である。
【００５９】
図７に示す構成例は、第１の連結棒８２をダブル雄ねじの中間連結棒１４０を挟んで第１および第２の片側連結棒１４２，１４４に２分割し、中間連結棒１４０に対して第１および第２の片側連結部を逆向きで螺合させている。より詳細には、第１および第２の片側連結棒１４２，１４４の相対向する先端部に雌ねじ部１４６，１４８をそれぞれ形成し、中間連結棒１４０の一方の雄ねじ部１４０ａを第１の片側連結棒１４２の雌ねじ部１４６に螺合させ、中間連結棒１４０の他方の雄ねじ部１４０ｂを第２の片側連結棒１４４の雌ねじ部１４８に螺合させている。ここで、中間連結棒１４０の一方の雄ねじ部１４０ａと他方の雄ねじ部１４０ｂはねじ山の螺旋方向が逆向きになっている。これにより、中間連結棒１４０の中心部に設けられたつまみ部１４９を回すと、その回転方向および回転量に応じて、第１および第２の片側連結棒１４２，１４４を同時に互いに接近する方向もしくは互いに遠ざかる方向に動かすことができる。エルボ継手７８およびＴ字継手７６には、片側連結棒１４２，１４４の他方の端部を受け入れる横筒部にざぐり穴（盲孔）１５０，１５２がそれぞれ形成されている。これらのざぐり穴（盲孔）１５０，１５２の終端面に片側連結棒１４２，１４４の先端がそれぞれ当たるようにする。
【００６０】
この場合、第１および第２の片側連結棒１４２，１４４を互いに遠ざける向きに中間連結棒１４０のつまみ部１４９を回すと、第１の補強組立体１２４の有効長ＬH1が長くなって、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰCおよび第１の中間点ＰM1にそれぞれ与えられる長手方向の応力ＦTC，ＦT1が増大する。反対に、第１および第２の片側連結棒１４２，１４４を互いに近づける向きに中間連結棒１４０のつまみ部１４９を回すと、第１の補強組立体１２４の有効長ＬH1が短くなって、ノズルヘッダ管６８の中心点ＰCおよび第１の中間点ＰM1にそれぞれ与えられる長手方向の応力ＦTC，ＦT1が減少する。図７の構成例は、第２の連結棒８４回りにも同様に適用可能である。
【００６１】
上記実施形態の処理液吐出ノズル６４においては、別の変形例として、図８Ａに示すように、たわみ補正機構７４のＴ字継手（Ｔ字管）７６、第１および第２のエルボ継手（エルボ管）７８，８０に流路コネクタ１６０，１６２，１６４を介して処理液供給管７２（またはその分岐管）に接続する構成も可能である。この場合、処理液供給源からの処理液は、処理液供給管７２、流路コネクタ１６０，１６２，１６４、Ｔ字継手（Ｔ字管）７６、第１および第２のエルボ継手（エルボ管）７８，８０を通ってノズルヘッダ管６８内に導入される。
【００６２】
あるいは、図８Ｂに示すように、たわみ補正機構７４の第１および第２の連結棒８２，８４に中空管を用いて、Ｔ字継手（Ｔ字管）７６と第１および第２のエルボ継手（エルボ管）７８，８０とを連通させ、処理液供給管７２をたとえばＴ字継手（Ｔ字管）７６だけに接続する構成も可能である。
【００６３】
上記実施形態の処理液吐出ノズル６４におけるたわみ補正機構７４は、多数の部品（７６〜８４）からなる組立体として構成された。しかし、上記実施形態の中心ジョイント部７６、第１および第２の中間ジョイント部７８，８０および第１および第２の連結棒８２，８４に相当する各部を有する一体成型品として、たわみ補正機構７４を構成することも可能である。
【００６４】
さらに、別の実施形態のたわみ補正機構７４'として、図９Ｂに示すように、中心ジョイント部７６'を第１および第２の中間ジョイント部７８'，８０'よりも短くする構成を好適に採ることができる。なお、図９Ｂは、たわみ補正機構７４'を取り付ける前のスプレーノズル６４つまりノズルヘッダ管６８を自重が作用しない水平な作業テーブル（図示せず）の上に載せてまっすぐに延ばしている状態を示している。この場合も、図９Ａに示すように、たわみ補正機構７４'を取り付ける前のスプレーノズル６４つまりノズルヘッダ管６８をその両端部を支持して空中に置くと、自重によって中心部が沈むように下に撓む。
【００６５】
たわみ補正機構７４'においては、図９Ｂに示すように、中心ジョイント部７６'、第１および第２の中間ジョイント部７８'，８０'、第１および第２の棒状連結部８２'，８４'を一体成型品で構成するのが好ましい。ここで、たわみ補正機構７４'をノズルヘッダ管６８に取り付ける前に、中心ジョイント部７６'をノズルヘッダ管６８の中心点Ｐcに対向させたときに、第１および第２の中間ジョイント部７８'，８０'の下端が第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2よりも中心点Ｐc寄りに位置する構成、つまり第１および第２の棒状連結部８２'，８４'の長さをそれぞれＬ1，Ｌ2とすると、Ｌ1＜ＬM1、Ｌ2＜ＬM2の関係が好ましい。
【００６６】
そして、図９Ｃに示すように、自重が作用しない作業テーブル上で、たわみ補正機構７４'の中心ジョイント部７６'、第１および第２の中間ジョイント部７８'，８０'のそれぞれの端（下端）をノズルヘッダ管６８の中心点Ｐc、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2に溶接で結合する。こうしてたわみ補正機構７４'をノズルヘッダ管６８に結合すると、可撓性のノズルヘッダ管６８が、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2の間で第１および第２の棒状連結部８２'，８４'に寄るように変形して、水平な作業テーブル上で図示のように撓む。
【００６７】
次に、上記のようにしてたわみ補正機構７４'を取り付けたスプレーノズル６４を平流し搬送路の上に架かるようにして両側のノズル支持部６６，６６に取り付ける。そうすると、図９Ｄに示すように、スプレーノズル６４を空中に設置した状態では、スプレーノズル６４全体に重力が作用することにより、各部に作用する力のバランスでノズルヘッダ管６８がまっすぐな姿勢になる。
【００６８】
たわみ補正機構７４'においては、第１の中間ジョイント部７８'と第１の棒状連結部８２'との接続点Ａ1および第２の中間ジョイント部８０'と第２の棒状連結部８４'との接続点Ａ2がさらに中心点Ｐc寄りにシフトする。つまり、たわみ補正機構７４'の方が変形する。たわみ補正機構７４'がこの変形状態から図９Ｃの原状態に復帰しようとして、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2には横方向（ノズル長手方向）の内向きの応力ＦT1，ＦT2を与え、ノズルヘッダ管６８の中心点Ｐcには上向きの応力ＦUを与える。これらノズル長手方向の応力ＦT1，ＦT2および上向きの応力ＦUは、第１および第２の中間点ＰM1，ＰM2に与えられる中間重力ＦM1，ＦM2と共に、ノズルヘッダ管６８全体の湾曲変形つまり撓みを阻止する方向に働く。
【００６９】
したがって、この実施形態においても、ノズルヘッダ管６８に上記構成のたわみ補正機構７４'を一体的に取り付けることにより、ノズル支持部６６によってノズルヘッダ管６８の両端部だけを支持されればそれで十分であり、ノズルヘッダ管６８の中心部が重力で落ち込むように撓むことはなく、常に水平一直線の姿勢を保つことができる。
【００７０】
他にも種種の変形が可能である。たとえば、上記実施形態のたわみ補正機構７４（７４'）は、ノズルヘッダ管６８の中心点Ｐcの両側に一対の中間点ＰM1，ＰM2を設定し、一対の中間ジョイント部７８，８０を設けたが、二対以上の中間点および中間ジョイント部を設けることも可能である。また、本発明において中心ジョイント部７６と結合するノズルヘッダ管６８の部位は、必ずしもノズルヘッダ管６８の中心点Ｐcである必要はなく、中心点Ｐcから長手方向にずれていてもよい。一対の中間点ＰM1，ＰM2を設ける場合も、それらの中間点ＰM1，ＰM2が必ずしもノズルヘッダ管６８上で中心点Ｐcと両端との真ん中である必要はなく、そこから長手方向にずれていても構わない。したがって、第１および第２の棒状連結部（連結棒）８２，８４の長さが違っていてもよい。
【００７１】
また、本発明の処理液吐出ノズルの吐出部においても種種の変形が可能である。たとえば、上記実施形態では、ノズルヘッダ管６８に長手方向一列に並んで分布する多数の離散型吐出口（開口）にノズルチップ７０を取り付けている。一変形例として、ノズルヘッダ管６８の離散型吐出口にノズルチップ７０を取り付けずに、各吐出口（開口）から処理液をそのまま噴出させることも可能である。また、ノズルヘッダ管６８に多数の離散型吐出口またはノズルチップ７０をたとえば千鳥状に複数列設けることも可能である。さらに、別の変形例として、ノズルヘッダ管６８に長手方向に延びるスリット状の吐出口を設け、そのスリット吐出口より処理液を帯状に噴出させることも可能である。
【００７２】
また、搬送系においては、コロ搬送路８４に代えて、たとえばベルトコンベア等の他の平流し搬送路を用いてもよい。本発明の平流し搬送において、基板は任意の姿勢をとることが可能であり、水平姿勢の平流し搬送であってもよいが、傾斜姿勢の平流し搬送も可能である。
【００７３】
上記実施形態の基板処理装置は平流し方式の洗浄処理装置に係るものであったが、本発明は長尺型の処理液吐出ノズルを備える任意の基板処理装置に適用可能であり、たとえば平流し方式の現像処理装置にも適用可能である。その場合、たとえば現像液ノズルやリンスノズル等に本発明の長尺型の処理液吐出ノズルを適用することができる。
【００７４】
本発明における被処理基板はＬＣＤ基板に限らず、他のフラットパネルディスプレイ用基板、太陽電池用基板、半導体ウエハ、ＣＤ基板、ガラス基板、フォトマスク、プリント基板等も可能である。
【符号の説明】
【００７５】
１４    平流し搬送路
２８Ｕ，２８Ｌ    プリウエットノズル
３２Ｕ，３２Ｌ    リンスノズル
３８Ｕ，３８Ｌ    ２流体ノズル
４２Ｕ，４２Ｌ    リンスノズル
６４    処理液吐出ノズル
６６    ノズル支持部
６８    ノズルヘッダ管
７２    配管（処理液供給管）
７４，７４'    たわみ補正機構
７６    中心ジョイント部
７８    第１の中間ジョイント部
８０    第２の中間ジョイント部
８２    第１の棒状連結部（連結棒）
８４    第２の棒状連結部（連結棒）
９０    クランプ
【図１】
2013066829.tif 000003
【図２】
2013066829.tif 000004
【図３】
2013066829.tif 000005
【図４Ａ】
2013066829.tif 000006
【図４Ｂ】
2013066829.tif 000007
【図５Ａ】
2013066829.tif 000008
【図５Ｂ】
2013066829.tif 000009
【図５Ｃ】
2013066829.tif 000010
【図５Ｄ】
2013066829.tif 000011
【図５Ｅ】
2013066829.tif 000012
【図６】
2013066829.tif 000013
【図７】
2013066829.tif 000014
【図８Ａ】
2013066829.tif 000015
【図８Ｂ】
2013066829.tif 000016
【図９Ａ】
2013066829.tif 000017
【図９Ｂ】
2013066829.tif 000018
【図９Ｃ】
2013066829.tif 000019
【図９Ｄ】
2013066829.tif 000020
【図１０】
2013066829.tif 000021
【図１１】
2013066829.tif 000022