(57)【要約】      （修正有）【課題】電界の染み出し量を小さくして、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことのできるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源を提供する。【解決手段】イオン引出し用電極１は、中央に開口部３を有する電極枠体２と、開口部３内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材７とを有している。そして、イオン引出し孔形成部材７の少なくとも一つは、略棒状の本体部５と本体部５から延設された渡り部６とを有する構造体であって、１つのイオン引出し孔形成部材７を構成する渡り部６は隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材７に当接している。また、イオン源の構成としては、内部に陰極を備えたプラズマ容器に隣接して、上記のイオン引出し用電極１を少なくとも１枚以上備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に開口部を有する電極枠体と、
前記開口部内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材とを有するイオンビーム引出し用の電極であって、
前記イオン引出し孔形成部材の少なくとも一つは、略棒状の本体部と前記本体部から延設された渡り部とを有する構造体であって、１つのイオン引出し孔形成部材を構成する前記渡り部は隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材に当接していることを特徴とするイオンビーム引出し用電極。
【請求項２】
前記渡り部が当接する前記イオン引出し孔形成部材の場所には凹み部が形成されていることを特徴とする請求項１記載のイオンビーム引出し用電極。
【請求項３】
前記渡り部と前記凹み部は同じ本体部に設けられており、前記本体部の一端より前記渡り部が延設されているとともに、前記本体部の他端に前記凹み部が形成されていることを特徴とする請求項２記載のイオンビーム引出し用電極。
【請求項４】
前記開口部内に並べられた前記イオン引出し孔形成部材は、全て同一形状の部材であることを特徴とする請求項１、２または３記載のイオンビーム引出し用電極。
【請求項５】
前記開口部内に並べられた前記イオン引出し孔形成部材の個数は４つ以上であり、このうち前記開口部の両端に位置する前記イオン引出し孔形成部材を除いては、前記イオン引出し孔形成部材の形状は全て同一形状の部材であることを特徴とする請求項１、２または３記載のイオンビーム引出し用電極。
【請求項６】
前記イオン引出し孔形成部材の前記渡り部と前記凹み部は、前記開口部内で複数のイオン引出し孔形成部材が並べられた方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項１、２または３記載のイオンビーム引出し用電極。
【請求項７】
内部に陰極が配置されたプラズマ容器と、前記プラズマ容器に隣接配置された請求項１、２、３、４、５または６記載のイオンビーム引出し用電極を少なくともと１枚以上備えたイオン源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ容器からイオンビームを引出す為に用いられるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ容器からイオンビームを引出す為の電極として、イオンを通過させる為の複数の円形状やスリット状のイオン引出し孔を有した電極が知られている。この電極は複数枚の電極を組にしてイオン源で使用されていて、イオンビームの引き出し方向に沿って、各電極に形成されたイオン引出し孔の位置が同じ位置になるようにしてイオン源のプラズマ容器に隣接して並べられている。
【０００３】
イオン源の運転時には、各電極に適切な電圧を印加させてプラズマ容器内で発生したプラズマよりイオンビームの引き出しが行われる。この際、プラズマ容器より引出されたイオンの電極への衝突や高温に熱せられたプラズマ容器からの熱伝達等によって、各電極の温度も高温になる。この為、電極材料としては高温に耐えうる高融点材料が用いられている。
【０００４】
しかしながら、このような高融点材料を用いても微量ではあるが熱変形が生じる。イオン源の運転時間が長時間になるほど、微量な熱変形量が積み重なってその変形量は大きなものになってしまう。電極の熱変形量が大きくなると、各電極に形成されたイオン引出し孔の位置がずれてしまうので、所望する引出角度や所望する電流量のイオンビームを引出すことが困難になってしまう。
【０００５】
そこで、このような熱変形を抑制するために、特許文献１に記載の電極が使用されている。この電極のスリット状のイオンビーム引出し孔は、電極支持枠に形成された開口内に並べられた複数本のロッド間の隙間に形成されている。そして、当該ロッドの長さ方向における端部はその長さ方向に沿って移動可能となるように、電極支持枠に支持されている。具体的には、電極支持枠の側壁にロッドを通す為の穴を形成しておき、この穴にロッドを通したとき、ロッドの長さ方向における端部と穴の終端部との間に余裕部（空間）が設けられるようにしている。
【０００６】
このようなロッドを用いた構成では、電極が高温となった際、ロッドの熱による伸縮は主にその長さ方向に発生する。しかしながら、熱伸縮が発生するロッドの長さ方向の端部を固定せずに、ロッドを電極支持枠に支持するようにしているので、見かけ上、ロッドの熱伸縮が生じていないようにすることができる。その結果、複数のロッド間に形成されるスリット状のイオン引出し孔の形状をほぼ一定に保つことができ、ひいてはイオンビームの引出し方向に沿って配置された各電極間でのイオン引出し孔の位置ずれを防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１４８１０６号公報（図３、図５〜図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
イオンビームは各電極間に適切な電位差を設定することによってプラズマ容器から引出される。この際、電極間に発生した電界は一方の電極に形成されたイオン引出し孔を通じて電極外部に染み出してしまう恐れがある。この電界の染み出し量はイオン引出し孔の開口面積に関連しており、開口面積が大きいほど電界の染み出し量が多くなる。
【０００９】
スリット状のイオン引出し孔が形成された電極とこの電極のイオン引出し孔の短辺方向と同じ寸法の直径を有する円形状のイオン引出し孔が形成された電極とで電界の染み出し量を比較すると、次のようになる。
【００１０】
図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）にはイオン引出し開口部２２が形成されたプラズマ容器２１とイオンビーム引出し用の４枚の電極２３〜２６を有するイオン源２０が描かれている。図１４（Ａ）に示される電極２３〜２６にはスリット状のイオン引出し孔４が形成されていて、図１４（Ｂ）に示される電極２３〜２６には円形状のイオン引出し孔４が形成されている。この際、図示される矢印Ａ方向におけるイオンビーム引出し孔４の開口面積に着目すると、形状は異なるものの両図に描かれているイオン引出し孔４の寸法がほぼ同じであることから、矢印Ａ方向での電界の染み出し量は両電極でほぼ同じになる。一方で、矢印Ｂの方向に着目すると、スリット状のイオン引出し孔４を備えた電極の方が円形状のイオン引き出し孔４を備えた電極と比較して、イオンビーム引出し孔４の開口面積は大きい。なお、プラズマ容器２１内には、従来から知られているように図示されない陰極（フィラメント）とガス導入口が設けられている。
【００１１】
プラズマ容器２１内に生成されるプラズマの電極側端部の形状は、加速電極２３と引出し電極２４との間に発生する電界の強度に関係する。イオンビームを引出す際、引出されるイオンビームのエネルギーやイオンビームの引出角度等の条件に応じて、４枚の電極のうち、主に加速電極２３と引出し電極２４との間で発生する電界の強度が変更される。電界強度が弱いとプラズマの端部は加速電極２３側に移動し、イオンビームが引出される方向に沿ってプラズマ端部の形状は凸状となる。一方、電界強度が強いとプラズマの端部はプラズマ容器２１の内側に移動し、イオンビームが引出される方向とは反対方向に沿ってプラズマ端部の形状が凸状となる。
【００１２】
前述したように特許文献１のようなスリット状のイオン引出し口４を有する電極では電極間で発生する電界の染み出し量が大きいので、プラズマ端部もそれに合わせて大きく膨らむ。その為、スリット状のイオン引出し口４を有する電極では、電界強度が弱い場合、プラズマの端部は加速電極２３を越えて引出し電極２４の表面にまで移動して電極間の短絡を引き起こしてしまい、イオンビームの引出しを行うことが出来なくなってしまう恐れがある。一方で、電界強度が強い場合、プラズマ端部がプラズマ容器２１の内側に向けて突出する量が多くなるので、引出されるイオンビームの引出角度が過度に小さくなることが懸念される。引出角度が過度に小さくなった場合、イオン源２０より引出されるイオンビームの幅が必要以上に小さなものになってしまい、所望する幅を有するターゲット（シリコンウェーハやガラス基板等）の全面に対してイオンビームの照射ができなくなってしまう恐れがある。
【００１３】
そこで、本発明では電界の染み出し量を小さくして、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことのできるイオンビーム引出し用電極とこれを備えたイオン源を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るイオンビーム引出し用電極は、中央に開口部を有する電極枠体と、前記開口部内に少なくとも一方の端部が移動可能に支持されて、一方向に沿って互いに隙間を開けて並べられた複数のイオン引出し孔形成部材とを有するイオンビーム引出し用の電極であって、前記イオン引出し孔形成部材の少なくとも一つは、略棒状の本体部と前記本体部から延設された渡り部とを有する構造体であって、１つのイオン引出し孔形成部材を構成する前記渡り部は、当該イオン引出し孔形成部材の隣りに配置された別のイオン引出し孔形成部材に当接している。
【００１５】
また、前記渡り部が当接する前記イオン引出し孔形成部材の場所には凹み部が形成されていることが望ましい。
【００１６】
そのうえ、前記渡り部と前記凹み部は同じ本体部に設けられており、前記本体部の一端より前記渡り部が延設されているとともに、前記本体部の他端に前記凹み部が形成されていることが望ましい。
【００１７】
また、前記開口部内に並べられた前記イオン引出し孔形成部材は、全て同一形状の部材であることが望ましい。
【００１８】
一方、前記開口部内に並べられた前記イオン引出し孔形成部材の個数は４つ以上であり、このうち前記開口部の両端に位置する前記イオン引出し孔形成部材を除いては、前記イオン引出し孔形成部材の形状は全て同一形状の部材であることが望ましい。
【００１９】
また、前記イオン引出し孔形成部材の前記渡り部と前記凹み部は、前記開口部内で複数のイオン引出し孔形成部材が並べられた方向に沿って設けられていることが望ましい。
【００２０】
さらに、イオン源の構成としては、内部に陰極が配置されたプラズマ容器と、前記プラズマ容器に隣接配置された少なくとも１枚の上記したイオン引出し用電極とを備えていることが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
少なくとも１つのイオン引出し孔形成部材を略棒状の本体部とそこから延設された渡り部とで構成するとともに、この渡り部を隣りに配置されたイオン引出し孔形成部材に当接させるようにしたので、従来技術に開示されているロッドを用いた電極構成に比べて、イオン引出し孔より染み出す電界の染み出し量を小さくすることができる。その為、従来の構成に比べてイオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の一例を示す。
【図２】図１に記載のイオンビーム引出し用電極から蓋体を外したときの様子を表す。
【図３】図１に記載のイオン引出し孔形成部材の斜視図を表す。（Ａ）はＹＺ平面における本体部の断面が円形状のイオン引出し孔形成部材で、（Ｂ）はＹＺ平面における本体部の断面が四角形状のイオン引出し孔形成部材で、（Ｃ）はＹＺ平面における本体部の断面が凸形状のイオン引出し孔形成部材である。
【図４】図１に記載のイオン引出し孔形成部材のＸ方向に沿った両端部の支持構造を表す。（Ａ）はイオン引出し孔形成部材の両端部の様子を描いた斜視図で、（Ｂ）は（Ａ）に記載のＶ１線における切断面を表し、（Ｃ）は（Ａ）に記載のＷ１線における切断面を表す。
【図５】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第１の変形例を示す。
【図６】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第２の変形例を示す。
【図７】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第３の変形例を示す。
【図８】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第４の変形例を示す。
【図９】図６〜８に記載のイオン引出し孔形成部材の斜視図を表す。（Ａ）は図６に記載の第２の変形例に対応し、（Ｂ）は図７に記載の第３の変形例に対応し、（Ｃ）は図８に記載の第４の変形例に対応する。
【図１０】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第５の変形例を示す。
【図１１】本発明で用いられるイオンビーム引出し用電極の第６の変形例を示す。
【図１２】イオン引出し孔形成部材の一部を拡大したときの様子を表す。（Ａ）は図１０に記載の第５の変形例に対応し、（Ｂ）は図１１に記載の第６の変形例に対応する。
【図１３】図４に記載のイオン引出し孔形成部材のＸ方向に沿った両端部の支持構造の変形例である。（Ａ）はイオン引出し孔形成部材の両端部の様子を描いた斜視図で、（Ｂ）は（Ａ）に記載のＶ２線における切断面を表し、（Ｃ）は（Ａ）に記載のＷ２線における切断面を表す。
【図１４】従来から用いられているイオン源の例を表す。（Ａ）はスリット状のイオン引出し孔がイオンビーム引出し用電極に形成された例を表し、（Ｂ）は円形状のイオン引出し孔がイオンビーム引出し用電極に形成された例を表す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下の実施形態において、各図に描かれているＸ、Ｙ、Ｚの各軸は互いに直交している。
【００２４】
図１、図２には、本発明で用いられるイオンビーム引き出し用電極１の例が描かれている。このイオンビーム引出し用電極１は、例えば、図１４（Ａ）に描かれたイオン源２０を構成する複数枚の電極２３〜２６の１つに相当する。
【００２５】
電極の構成について、図１、図２に基づいて具体的な説明を以下に行う。本発明のイオン引出し用電極１は中央に開口部３を有する電極枠体２を有している。この開口部３は図示されるＺ方向に電極枠体２を貫通しており、開口部３内には複数のイオン引出し孔形成部材７がＹ方向に沿って互いに隙間を空けて並べられている。
【００２６】
Ｙ方向において、個々のイオン引出し孔形成部材７の間と両端に配置されたイオン引出し孔形成部材７と電極枠体２との間にはイオン引出し孔４が形成されていて、この孔を通してイオンビームの引出しが行われる。
【００２７】
図２に開示されているように、この電極枠体２にはその表面よりＺ方向側に凹んだ支持部１０が形成されており、ここにイオン引出し孔形成部材７の両端部（Ｘ方向に沿う方向における端部）が支持されている。また、Ｘ方向に沿った方向において、イオン引出し孔形成部材７の両端部の少なくとも一方と支持部１０との間には隙間が設けられている。このような構成にすることで、特許文献１に記載のように、Ｘ方向に沿った方向においてイオン引出し孔形成部材７の熱変形による伸縮を許容することができる。
【００２８】
この例では、Ｚ方向と反対側の方向において、支持部１０に支持されたイオン引出し孔形成部材７の端部を覆うように蓋体６が設けられている（図１参照）。この蓋体６はＺ方向反対側へのイオン引出し孔形成部材７の抜け落ちを防止する為に設けられていて、蓋体６に形成された図示されない貫通孔を通して電極枠体２に形成されたネジ穴１１にネジ８が螺合されることで、蓋体６の電極枠体２への取り付けが行われている。このような構成を用いることにより、特許文献１に記載の構成に比べて、熱により変形したイオン引出し孔形成部材７（特許文献１のロッドに相当）の交換を簡単に行うことができる。
【００２９】
図３（Ａ）〜（Ｃ）には図１、図２に描かれたイオン引出し孔形成部材７の斜視図が描かれている。イオン引出し孔形成部材７はＸ方向に沿った略棒状の本体部５と本体部５から延設された渡り部６とを有している。また、渡り部６は隣りに配置されたイオン引出し孔形成部材７に物理的、電気的に当接していて、当接部分には渡り部６を収納し、これを支持する為の凹み部１２が形成されている。このような構成を採用したので、特許文献１に開示されているロッドを用いた電極構成に比べて、イオン引出し孔より染み出す電界の染み出し量を小さくすることができる。その為、イオン源より所望するイオンビームの引出しを容易に行うことができる。
【００３０】
また、Ｙ方向において、凹み部１２の側壁と渡り部６の先端部とは接触しないようにしておくことが望ましい。具体的には、凹み部１２の側壁と渡り部６との間に隙間を設けておく。このような構成を用いることで、渡り部６の熱による伸縮を許容することができる。
【００３１】
イオン引出し孔形成部材７のＹＺ平面における形状は、図３（Ａ）に示されているような円形状のものであっても良いし、図３（Ｂ）に示されているような四角形状のものであっても良い。また、図３（Ｃ）に示されているような凸形状のものであっても良い。引出し時のイオンビームの形状制御や引出されるイオンビームの電流量の制御がやり易いような形状にしておけば良い。
【００３２】
図４（Ａ）には図２に記載のイオン引出し孔形成部材７のＸ方向に沿った両端部の支持構造が描かれている。また、図４（Ｂ）と図４（Ｃ）には、図４（Ａ）に記載のＶ１線、Ｗ１線における断面の様子がそれぞれ描かれている。この図４（Ａ）に記載されているように、Ｘ方向に沿った方向において、イオン引出し孔形成部材７の両端部は支持部１０の側壁に接触していない。つまり、イオン引出し孔形成部材７の両端部と支持部１０の側壁との間には隙間が設けられている。このような構成を採用することで、イオン引出し孔形成部材７のＸ方向における熱伸縮を許容することができる。なお、図示されている構成に限らず、先述したように、イオン引出し孔形成部材７の一方の端部と支持部１０との間に隙間が形成されていれば良い。つまり、Ｘ方向に沿った方向においてイオン引出し孔形成部材７のいずれか一方の端部は、支持部１０の側壁に当接していても良い。
【００３３】
本発明のイオン引出し孔形成部材７の構成は、これまでに述べたものに限られない。図５には、イオン引出し孔形成部材７の第１の変形例が描かれている。
【００３４】
図１、図２に描かれた複数のイオン引出し孔形成部材７では、Ｙ方向に沿った方向おいて、電極枠体２に形成された開口部３内の両端に配置されたイオン引出し孔形成部材７とそれ以外の場所に配置されたイオン引出し孔形成部材７との形状が異なっていた。これに対して、図５に示す第１の変形例では全てのイオン引出し孔形成部材７の形状が同一である。このような構成を採用すると、部材を共通して使用することができるので、イオン引出し孔形成部材７の製造費用を安くすることができる。なお、この場合、紙面の最も下側に描かれているイオン引出し孔形成部材７の渡り部６は電極枠体２に形成された凹み部１２によって支持されるように構成しておけば良い。
【００３５】
図６には、イオン引出し孔形成部材７の第２の変形例が描かれている。この図６に描かれているように、各イオン引出し孔形成部材７の渡り部６の本数は２本でも良い。また、これに限らず、２本よりも多い本数にしても良い。例えば、何本にするかは、イオン引出し孔４からの電界の染み出し量と引出されるイオンビームの電流量との関係で、適宜、選択されるようにしておけば良い。
【００３６】
図７には、イオン引出し孔形成部材７の第３の変形例が描かれている。この例に示されているように、渡り部６を有するイオン引出し孔形成部材７と渡り部６を有さないイオン引出し孔形成部材７を設けるようにしておいても良い。図７の例では、１つのイオン引出し孔形成部材７の本体部５から延設された渡り部６は、隣りに配置されたイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２に当接支持されているとともに、この凹み部１２を越えて２つ隣りに配置されたイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２にまで、その先端が延設されている。
【００３７】
図８には、イオン引出し孔形成部材７の第４の変形例が描かれている。この図に描かれているように、Ｙ方向に沿って渡り部６が本体部５の両側に設けられているイオン引出し孔形成部材７を用いても良い。
【００３８】
図９（Ａ）〜（Ｃ）には、図６〜図８に描かれるイオン引出し孔形成部材７の斜視図が描かれている。図９（Ａ）は図６に対応しており、イオン引出し孔形成部材７の本体部５より２つの渡り部６が延設され、隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２に支持されている様子が描かれている。図９（Ｂ）は図７に対応しており、１つのイオン引出し孔形成部材７の渡り部６が隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部７を介して、２つ隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２に支持されている様子が描かれている。図９（Ｃ）は図８に対応しており、１つのイオン引出し孔形成部材７を構成する本体部５の両側に渡り部６が設けられている様子が描かれている。
【００３９】
図１０には、イオン引出し孔形成部材７の第５の変形例が描かれている。この例では、イオン引出し孔形成部材７の本体部５より延設された渡り部６の先端に凹み部１２が形成されている。この構成の詳細については後述する図１２（Ａ）を基に説明する。
【００４０】
図１１には、Ｙ方向に沿って並べられたイオン引出し孔形成部材７の渡り部６の本数が、イオン引出し孔形成部材７ごとに交互に異なっている様子が描かれている。このようなイオン引出し孔形成部材７を用いても良い。
【００４１】
図１２（Ａ）、（Ｂ）には図１０と図１１に描かれるイオン引出し孔形成部材７の斜視図が描かれている。図１２（Ａ）は図１０に対応しており、隣り合うイオン引出し孔形成部７の渡り部６の先端部に形成された凹み部１２が、Ｚ方向において、互いに重なっている様子が描かれている。また、図１２（Ｂ）は図１１に対応しており、隣り合うイオン引出し孔形成部材７の渡り部６の本数が異なっている様子が描かれている。
【００４２】
これまでに説明した実施形態では、渡り部６の延設方向はＹ方向に沿ったものであったが、これに限らず、Ｙ方向とある角度をもった方向に延設されていても良い。
【００４３】
また、複数のイオン引出し孔形成部材７の渡り部６は一直線上に配置されている必要はなく、個々のイオン引出し孔形成部材７で、渡り部６の設けられるＸ方向における位置を変更しても良い。
【００４４】
さらに、全てのイオン引出し孔形成部材７に渡り部６が形成されている必要はなく、例えば、開口部３の中央付近に並べられた数本のイオン引出し孔形成部材７にのみ渡り部６が形成されているようにしておいても良い。
【００４５】
また、イオン源の構成としては、これまで述べてきたイオンビーム引出し用電極１を有するイオン源であれば良い。例えば、図１４（Ａ）に示した従来の構成のイオン源２０で、複数の電極２３〜２６のそれぞれにイオンビーム引出し用電極１が用いられていてもいい。一方、加速電極２３のみに本発明のイオンビーム引出し用電極１を用いるようにしても良い。加速電極２３以外の電極に本発明のイオンビーム引出し用電極１を用いた場合、加速電極２３を用いてプラズマより引出されたイオンが加速電極２３以降の電極２４〜２６の渡り部６に衝突する可能性がある。イオンが衝突すると電極から２次電子が放出され、この２次電子によって放電が発生する恐れがある。その為、このような放電の発生を抑制する為に、加速電極２３のみに本発明のイオンビーム引出し用電極１を用いることが考えられる。また、ここで述べたような４枚電極を備えたイオン源である必要はなく、このような電極を１枚以上備えた構成のイオン源であれば良い。
【００４６】
さらに、本体部５の構成は略棒状であればよく、必ずしも棒のようにまっすぐになっている必要はない。つまり、若干、歪んでいるような形状のものであっても良い。
【００４７】
一方、これまでの実施形態では、凹み部１２に渡り部６を当接させる構成について説明してきたが、凹み部１２を設けずに、渡り部６を隣接するイオン引出し孔形成部材７の上に直接乗せるようにしておいても良い。この際、イオン引出し孔形成部材７の姿勢が不安定となることから、渡り部６の先端を略コの字状にしておき、これを隣りに配置されたイオン引出し孔形成部材７の本体部５にひっかけるように構成しておくことが考えられる。
【００４８】
図１３（Ａ）には図４で説明したイオン引出し孔形成部材７のＸ方向に沿った両端部の支持構造についての変形例が描かれている。また、図１３（Ｂ）と図１３（Ｃ）には、図１３（Ａ）に記載のＶ２線、Ｗ２線における切断面の様子がそれぞれ描かれている。
【００４９】
図１３（Ｂ）に描かれているように、Ｘ方向と反対側に位置するイオン引出し孔形成部材７の端部のＺ方向における寸法は、同方向における支持部１０の寸法に比べて大きい。その為、イオン引出し孔形成部材７の一部が支持部１０から突出している。また、支持部１０の上方を覆う蓋体９の一部は、イオン引出し孔形成部材７の支持部１０より突出した部分の形状に沿って形成されていて、電極枠体２に蓋体９が取り付けられることで、Ｚ方向に向けてイオン引出し孔形成部材７を支持部１０に押し付けるように構成されている。この為、Ｘ方向と反対側でのイオン引出し孔形成部材７の端部は固定された状態で支持部１０に支持されることになる。一方、図１３（Ｃ）に描かれているように、Ｘ方向側でのイオン引出し孔形成部材７の端部は、図４（Ｃ）の例で示したものと同様に、移動可能な状態で支持部１０に支持されている。
【００５０】
イオン引出し孔形成部材７の両端部を移動可能に支持する構成に代えて、上記例で示したようにイオン引出し孔形成部材７の一端部を固定し、他端部を移動可能に支持するようにしておくようにしても良い。このような構成を用いても、一方の端部が移動可能に支持されているので、イオン引出し孔形成部材７の熱伸縮を許容することができる。
【００５１】
前述した以外に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行っても良いのはもちろんである。
【符号の説明】
【００５２】
１・・・イオンビーム引出し用電極
２・・・電極枠体
３・・・開口部
４・・・イオン引出し孔
５・・・本体部
６・・・渡り部
７・・・イオン引出し孔形成部材
２０・・・イオン源
２１・・・プラズマ容器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2013098003.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2013098003.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成24年9月7日(2012.9.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図４（Ａ）に開示されているように、この電極枠体２にはその表面よりＺ方向側に凹んだ支持部１０が形成されており、ここにイオン引出し孔形成部材７の両端部（Ｘ方向に沿う方向における端部）が支持されている。また、Ｘ方向に沿った方向において、イオン引出し孔形成部材７の両端部の少なくとも一方と支持部１０との間には隙間が設けられている。このような構成にすることで、特許文献１に記載のように、Ｘ方向に沿った方向においてイオン引出し孔形成部材７の熱変形による伸縮を許容することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
この例では、Ｚ方向と反対側の方向において、支持部１０に支持されたイオン引出し孔形成部材７の端部を覆うように蓋体９が設けられている（図１参照）。この蓋体９はＺ方向反対側へのイオン引出し孔形成部材７の抜け落ちを防止する為に設けられていて、蓋体９に形成された図示されない貫通孔を通して電極枠体２に形成されたネジ穴１１にネジ８が螺合されることで、蓋体９の電極枠体２への取り付けが行われている。このような構成を用いることにより、特許文献１に記載の構成に比べて、熱により変形したイオン引出し孔形成部材７（特許文献１のロッドに相当）の交換を簡単に行うことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
また、Ｘ方向において、凹み部１２の側壁と渡り部６の先端部とは接触しないようにしておくことが望ましい。具体的には、凹み部１２の側壁と渡り部６との間に隙間を設けておく。このような構成を用いることで、渡り部６の熱による伸縮を許容することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図９（Ａ）〜（Ｃ）には、図６〜図８に描かれるイオン引出し孔形成部材７の斜視図が描かれている。図９（Ａ）は図６に対応しており、イオン引出し孔形成部材７の本体部５より２つの渡り部６が延設され、隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２に支持されている様子が描かれている。図９（Ｂ）は図７に対応しており、１つのイオン引出し孔形成部材７の渡り部６が隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２を介して、２つ隣りのイオン引出し孔形成部材７の凹み部１２に支持されている様子が描かれている。図９（Ｃ）は図８に対応しており、１つのイオン引出し孔形成部材７を構成する本体部５の両側に渡り部６が設けられている様子が描かれている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記イオン引出し孔形成部材の前記渡り部と前記凹み部は、前記開口部内で複数のイオン引出し孔形成部材が並べられた方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項２または３記載のイオンビーム引出し用電極。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2013098003.tif 000017
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2013098003.tif 000018