(57)【要約】【課題】印刷品質を向上させることができるスクリーン印刷装置など技術の提供すること。【解決手段】本技術に係るスクリーン印刷装置は、スキージと、振動部とを備える。前記スキージは、ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷する。前記振動部は、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷するスキージと、
前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部と
を具備するスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記スキージがスクリーン上を摺動されているときに、前記スキージの摺動方向の前方側で前記ペースト状物質に振動を与えながらローリングさせる第１の振動板を有する
スクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項２に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記第１の振動板よりも前記摺動方向の前方側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質に振動を与えて攪拌する第２の振動板をさらに有する
スクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項３に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鈍角に接する
スクリーン印刷装置。
【請求項５】
請求項３に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鋭角に接する
スクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項２に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記摺動方向に直行する方向である前記スキージの幅方向の両端側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質を側方から支持しながら、前記ペースト状物質に振動を与えるガイド部をさらに具備する
スクリーン印刷装置。
【請求項７】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スキージと、前記振動部とを前記振動絶縁する振動絶縁部をさらに具備する
スクリーン印刷装置。
【請求項８】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、
前記振動部に振動を発生させるための振動発生源と、
前記振動発生源に対してペースト状物質が付着しないように、前記振動発生源を内部に収納する収納領域と
を有するスクリーン印刷装置。
【請求項９】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記ペースト状物質に対する低摩擦加工又は低付着加工が施されている
スクリーン印刷装置。
【請求項１０】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ及び前記振動部を上下方向に移動させる移動機構をさらに具備し、
前記振動部は、前記スキージが上方に移動されて前記スキージが前記スクリーンから離れるタイミングにおいても振動される
スクリーン印刷装置。
【請求項１１】
ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷するスキージと、
前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部と
を具備するスキージ機構。
【請求項１２】
スクリーン上にペースト状物質を供給し、
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部とを前記摺動方向に向けて移動させ、
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷する
印刷物の製造方法。
【請求項１３】
スクリーン上にクリーム半田を供給し、
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記クリーム半田に振動を与える振動部とを前記摺動方向に向けて移動させ、
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された基板上に前記クリーム半田を印刷し、
前記クリーム半田が印刷された基板上に電子部品を実装する
基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、スクリーンに設けられた孔を介して被印刷物上にペースト状物質を印刷するスクリーン印刷装置等の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、スクリーン印刷により基板、紙、布、木材、プラスチック等の被印刷物に対してクリーム半田、インク等のペースト状物質を印刷する印刷装置が広く知られている。
【０００３】
このスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンの上方側にスキージが配置され、下方側に被印刷物が配置される。スクリーン上には、ペースト状物質が供給され、スキージは、スクリーン上を摺動される。スキージがスクリーン上を摺動されると、ペースト状物質がスキージにより押され、スクリーンに設けられたパターン孔の上方を移動する。これにより、パターン孔の下側に配置された被印刷物にペースト状物質が印刷される。
【０００４】
スクリーン印刷が行われる場合、スクリーン上でスキージが単純に摺動されるだけでは、ペースト状物質がパターン孔へ十分に充填されなかったり、ペースト状物質がパターン孔から抜けずらかったりするなどの問題がある。
【０００５】
このような問題に関連する技術として、下記特許文献１に記載されている技術が知られている。この技術では、スクリーン上でスキージを摺動させているときに、スキージを上下方向に振動させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２２１４０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載の技術では、スキージ自体が上下方向に振動する構成とされているため、スキージの上下方向の振動がスクリーンに伝わってしまう。これにより、スクリーンの下面と、スクリーンの下面側に配置された被印刷物との間に隙間が生じてしまう。隙間が生じると、毛細管現象によりペースト状物質がこの隙間に入り込んでしまうため、印刷ににじみが生じてしまう。これにより、印刷品質が低下してしまうといった問題がある。
【０００８】
以上のような事情に鑑み、本技術の目的は、印刷品質を向上させることができるスクリーン印刷装置などの技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本技術に係るスクリーン印刷装置は、スキージと、振動部とを備える。
前記スキージは、ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷する。
前記振動部は、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える。
【００１０】
このスクリーン印刷装置では、振動部によってペースト状物質に振動が与えられる。このように、ペースト状物質に振動を与えることで、スクリーンに設けられた孔に対するペースト状物質の充填性や、孔に対するペースト状物質の抜け性を向上させることができる。さらに、本技術では、振動部は、前記スキージの摺動方向の前方側に配置されており、スキージ自体が振動する構成とされていない。従って、スキージの振動によってスクリーンの下面と、スクリーンの下面側に配置された被印刷物との間に隙間が生じ、この隙間にペースト状物質が入り込んでしまうようなこともない。従って、本技術では、印刷品質を向上させることができる。
【００１１】
上記スクリーン印刷装置において、前記振動部は、前記スキージがスクリーン上を摺動されているときに、前記スキージの摺動方向の前方側で前記ペースト状物質に振動を与えながらローリングさせる第１の振動板を有していてもよい。
【００１２】
このスクリーン印刷装置では、第１の振動板によって、ペースト状物質に適切に振動を与えつつローリングされることができる。
【００１３】
上記スクリーン印刷装置において、前記振動部は、前記第１の振動板よりも前記摺動方向の前方側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質に振動を与えて攪拌する第２の振動板をさらに有していてもよい。
【００１４】
このスクリーン装置では、ローリングされたペースト状物質に第２の振動板によって振動を与えて攪拌することができるので、スクリーンに設けられた孔に対するペースト状物質の充填性や、孔に対するペースト状物質の抜け性をさらに向上させることができる。
【００１５】
上記スクリーン印刷装置において、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鈍角に接していてもよい。
【００１６】
これにより、ローリングされたペースト状物質が第２の振動板の先端部によって掻きとられるので、ローリングされたペースト状物質の径が安定する。
【００１７】
上記スクリーン印刷装置において、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鋭角に接してもよい。
【００１８】
これにより、ローリングされたペースト状物質の変形を促すことができる。
【００１９】
上記スクリーン装置は、ガイド部をさらに具備していてもよい。
前記ガイド部は、前記摺動方向に直行する方向である前記スキージの幅方向の両端側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質を側方から支持しながら、前記ペースト状物質に振動を与える。
【００２０】
このスクリーン装置では、ガイド部によって、スキージの幅方向の両端側からペースト状物質が横漏れしてしまうことを防止することができる。さらに、このガイド部が振動するため、ローリングされたペースト状物質に対してガイド部が与えるローリング抵抗を低減することができる。
【００２１】
上記スクリーン印刷装置は、前記スキージと、前記振動部とを前記振動絶縁する振動絶縁部をさらに具備していてもよい。
【００２２】
これにより、振動部の振動によってスキージが振動してしまうことを防止することができる。
【００２３】
請求項１に記載のスクリーン印刷装置において、前記振動部は、振動発生源と、収納領域とを有していてもよい。
振動発生源は、前記振動部に振動を発生させる。
収納領域は、前記振動発生源に対してペースト状物質が付着しないように、前記振動発生源を内部に収納する。
【００２４】
これにより、振動発生源に対してペースト状物質が付着してしまうことを防止することができる。
【００２５】
上記スクリーン印刷装置において、前記振動部は、前記ペースト状物質に対する低摩擦加工又は低付着加工が施されていてもよい。
【００２６】
これにより、振動部に対してペースト状物質が付着してしまうことを防止することができる。
【００２７】
上記スクリーン印刷装置は、前記スキージ及び前記振動部を上下方向に移動させる移動機構をさらに具備していてもよい。
この場合、前記振動部は、前記スキージが上方に移動されて前記スキージが前記スクリーンから離れるタイミングにおいても振動されてもよい。
【００２８】
これにより、振動部に対してペースト状物質が付着してしまうことを防止することができる。
【００２９】
本技術に係るスキージ機構は、スキージと、振動部とを具備する。
スキージは、ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷する。
前記振動部は、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える。
【００３０】
本技術に係る印刷物の製造方法は、スクリーン上にペースト状物質を供給することを含む。
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部とが前記摺動方向に向けて移動される。
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質が印刷される。
【００３１】
本技術に係る基板の製造方法は、スクリーン上にクリーム半田が供給される。
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記クリーム半田に振動を与える振動部とが前記摺動方向に向けて移動される。
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された基板上に前記クリーム半田が印刷される。
前記クリーム半田が印刷された基板上に電子部品が実装される。
【発明の効果】
【００３２】
以上のように、本技術によれば、印刷品質を向上させることができるスクリーン印刷装置などの技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本技術の第１実施形態に係るスクリーン印刷装置を示す正面図である。
【図２】スクリーン印刷装置を示す側面図である。
【図３】スクリーン印刷装置が有するスクリーンを示す上面図である。
【図４】スクリーン印刷装置を示すブロック図である。
【図５】スキージ機構を示す斜視図である。
【図６】スキージ機構を示す側面図である。
【図７】スキージ機構によって基板上にクリーム半田を印刷しているときの様子を示す側面図である。
【図８】スキージ機構によって基板上にクリーム半田を印刷しているときの様子を示す側方拡大図である。
【図９】本技術の第２実施形態に係るスキージ機構を示す斜視図である。
【図１０】スキージ機構を示す上面図である。
【図１１】第２の振動板の先端部が半田ローリングに接する角度を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本技術に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
［スクリーン印刷装置１００の全体構成及び各部の構成］
図１は、本技術の第１実施形態に係るスクリーン印刷装置１００を示す正面図であり、図２は、スクリーン印刷装置１００を示す側面図である。図３は、スクリーン印刷装置１００が有するスクリーン３を示す上面図であり、図４は、スクリーン印刷装置１００を示すブロック図である。
【００３５】
これらの図に示すスクリーン印刷装置１００は、基板１（被印刷物）上にクリーム半田２（ペースト状物質）を印刷するスクリーン印刷装置１００である。スクリーン印刷装置１００の上流側には、例えば、スクリーン印刷装置１００に基板１を投入する基板投入装置（図示せず）が配置される。一方、スクリーン印刷装置１００の下流側には、クリーム半田２が印刷された基板１（印刷物）をスクリーン印刷装置１００から受け取って、クリーム半田２の印刷状態を検査する印刷検査装置（図示せず）が配置される。さらに、この印刷検査装置の下流側には、印刷状態が良好であると判断された基板１を印刷検査装置から受け取って、クリーム半田２が印刷された基板１上に電子部品を実装する実装装置が配置される。
【００３６】
図１乃至図３を参照して、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン３と、スクリーン３をスクリーン印刷装置１００の所定位置に固定する固定部６と、スクリーン３の上方に配置されたスキージ部１０を備えている。また、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン３の下方に配置された位置決め部２０と、撮像部３０と、クリーニング部４０とを備えている。さらに、スクリーン印刷装置１００は、スクリーン印刷装置１００の背面側で、スキージ部１０、撮像部３０及びクリーニング部４０を移動可能に支持する支持ベース５０を備えている。
【００３７】
図４を参照して、スクリーン印刷装置１００は、上記したスキージ部１０、位置決め部２０、撮像部３０、クリーニング部４０などの他に、制御部６０、記憶部６１、表示部６２、入力部６３及び通信部６４を有している。
【００３８】
スクリーン３は、平面視で矩形の平板形状を有しており、中央近傍に印刷パターンに応じた複数のパターン孔４を有している（図３参照）。スクリーン３は、ステンレス鋼などの金属により構成され、スクリーン３には、スクリーン３の四辺に沿って、スクリーン３にテンションを付与する枠体５が設けられる。
【００３９】
スクリーン３を固定する固定部６は、取り付けフレーム７と、取り付けフレーム７に設けられ、スクリーン３の枠体５を上下方向から挟み込んで固定する４つのスクリーンクランプ８とを有する。取り付けフレーム７は、支持ベース５０や、図示しない支持体などにより支持されている。
【００４０】
支持ベース５０の上部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の案内レール５１、５２が設けられる。また、支持ベース５０下部側には、Ｙ軸方向に沿って一対の案内レール５３、５４が設けられる。
【００４１】
案内レール５１、５２には、スキージ部１０を支持するキャリッジ５５が移動可能に取り付けられている。キャリッジ５５とキャリッジ５５に支持されたスキージ部１０とは、例えば、ボールネジ及びモータ等で構成される駆動機構の駆動により、支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。
【００４２】
スキージ部１０は、第１のスキージ機構１１と、第１のスキージ機構１１と対称に配置される第２のスキージ機構１２とを有する。第１のスキージ機構１１及び第２のスキージ機構１２は、それぞれ、スキージ１３と、振動部７０と、スキージ保持部材１４と、連結用ブラケット１５と、支持部材１７とを含む。
【００４３】
スキージ１３は、クリーム半田２（図７参照）が供給されたスクリーン３上を摺動方向に向けて摺動され、スクリーン３に設けられたパターン孔４を介して、スクリーン３の下側に配置された基板１上にクリーム半田２を印刷する。振動部７０は、スキージ１３の摺動方向の前方側に配置され、クリーム半田２に振動を与える。スキージ１３及び振動部７０の構成については、図５及び図６を参照して後に詳述する。
【００４４】
スキージ１３及び振動部７０は、スキージ保持部材１４によって保持されている。スキージ保持部材１４は、連結用ブラケット１５を介して支持部材１７に取り付けられている。連結用ブラケット１５及び支持部材１７は、ネジ１６によるネジ止めによって螺着されている。支持部材１７は、エアシリンダ１８の可動部に取り付けられている。エアシリンダ１８（移動機構）は、可動部の駆動により、支持部材１７、連結用ブラケット１５、スキージ保持部材１４、スキージ１３及び振動部７０を一体的に上下方向に移動させる。
【００４５】
一方のスキージ機構（１１又は１２）がスクリーン３上を摺動されて基板１上に半田２を印刷しているとき、他方のスキージ機構（１２又は１１）は、上方に位置しており、スクリーン３には当接しない状態とされる（図７参照）。スクリーン３上を摺動されるスキージ機構１１、１２は、交互に切り替えられる。
【００４６】
位置決め部２０は、スクリーン印刷の対象となる基板１をスクリーン３に対して位置決めする。この位置決め部２０は、基板１を搬送するコンベアや、基板１を吸着保持する吸着ステージ、吸着ステージを昇降させる昇降機構、吸着ステージをＸ軸、Ｙ軸、θ軸方向に移動させるテーブル機構など（いずれも図示せず）を含む。
【００４７】
支持ベース５０の下部側に設けられた案内レール５３、５４には、撮像部３０を支持するキャリッジ５６と、クリーニング部４０を支持するキャリッジ５７とがＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【００４８】
キャリッジ５６と、キャリッジ５６に支持された撮像部３０とは、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。撮像部３０は、キャリッジ５６に対してＸ軸方向に移動可能に取り付けられており、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動によりキャリッジ５６に対してＸ軸方向に沿って移動される。これにより、撮像部３０は、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に沿って移動可能とされる。
【００４９】
撮像部３０は、下側に向けて配置された第１の撮像部３１と、上側に向けて配置された第２の撮像部３２とを含む。下側に向けて配置された第１の撮像部３１は、基板１上に設けられたアライメントマークを撮像する。上側に向けて配置された第２の撮像部３２は、スクリーン３の下面側に設けられたアライメントマークを撮像する。第１の撮像部３１及び第２の撮像部３２により撮像されたアライメントマークの画像に基づいて、スクリーン３と基板１との位置合わせが行なわれる。
【００５０】
第１の撮像部３１及び第２の撮像部３２は、それぞれ、ＣＣＤセンサ（ＣＣＤ：Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳセンサ（ＣＭＯＳ：Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子と、結像レンズ等の光学系とを含む。
【００５１】
キャリッジ５７と、キャリッジ５７に支持されたクリーニング部４０とは、ボールネジ及びモータ等の駆動機構の駆動により支持ベース５０に対してＹ軸方向に沿って移動される。クリーニング部４０は、ローラ４１と、クリーニングテープを送り出す送り出しローラ４２と、クリーニングテープを巻き取る巻き取りローラ４３とを有する。
【００５２】
クリーニング部４０がＹ軸方向に沿って移動されると、それに連動して、ローラ４１、送り出しローラ４２及び巻き取りローラ４３が回転される。送り出しローラ４２から送り出されたクリーニングテープは、スクリーン３の下面に当接しながらローラ４１の周囲を回転し、巻き取りローラ４３によって巻き取られる。これにより、スクリーン３の下面がクリーニングされる。
【００５３】
制御部６０は、例えば、ＣＰU（Central Processing Unit）等により構成され、スクリーン印刷装置１００の各部を統括的に制御する。記憶部６１は、制御部６０の作業用の領域として用いられる不揮発性のメモリと、制御部６０の処理に必要な各種のプログラムが記憶された不揮発性のメモリとを含む。上記各種のプログラムは、光ディスク、半導体メモリ等の可搬性の記録媒体から読み取られても構わない。
【００５４】
表示部６２は、例えば、液晶ディスプレイ等により構成される。入力部６３は、キーボード、タッチパネル等により構成され、オペレータからの指示を入力する。通信部６４は、印刷検査装置や、実装装置等の他の装置へ情報を送信したり、他の装置から情報を受信したりする。
【００５５】
図５は、スキージ機構を示す斜視図であり、図６は、スキージ機構を示す側面図である。
【００５６】
これらの図に示すように、スキージ１３は、一方向（Ｘ軸方向）に長い矩形の平板状の形状を有している。スキージ１３は、典型的には、ステンレス鋼等の金属により構成されるが、スキージ１３の材料は特に限定されない。スキージ１３は、水平面（Ｘ―Ｙ平面）に対して所定の角度傾斜して設けられており、これにより、スキージ１３は、その先端部においてスクリーン３に対して所定の角度傾斜して接触する。スキージ１３は、スキージ保持部材１４と、スキージ固定部材７３との間に挟み込まれ、締結部材７５によって、スキージ固定部材７３がスキージ保持部材１４に固定されることで、スキージ保持部材１４に対して強固に固定される。
【００５７】
スキージ１３の先端部近傍において、摺動方向の後ろ側の面には、幅方向（Ｘ軸方向）に沿って溝１３ａが形成される。この溝１３ａによってスキージ１３の柔軟性を向上させることができるので、スキージ１３とスクリーン３との密着性を向上させることができる。
【００５８】
スキージ１３は、その表面に、クリーム半田２に対する低摩擦加工又は低付着加工が施されていてもよい。低摩擦加工としては、例えば、フッ素系樹脂コーティング加工が挙げられ、低付着加工としては水玉凹凸加工が挙げられる。フッ素系樹脂コーティングと、水玉凹凸加工との両方がスキージ１３の表面に施されていてもよい。
【００５９】
振動部７０は、スキージ１３の摺動方向の前方側に配置され、スキージ１３がスクリーン３上を摺動方向に向けて摺動されているときに、スキージ１３の摺動方向の前方側でクリーム半田２に振動を与えながらローリングさせる第１の振動板７１ａを有する。また、振動部７０は、第１の振動板７１ａよりも摺動方向の前方側に配置され、ローリングされたクリーム半田２に振動を与えて攪拌する第２の振動板７１ｂを有する。また、振動部７０は、第１の振動板７１ａに振動を発生させるための第１の圧電素子部７２ａ（振動発生源）と、第２の振動板７１ｂに振動を発生させるための第２の圧電素子部７２ｂ（振動発生源）とを有する。
【００６０】
第１の振動板７１ａは、一方向（Ｘ軸方向）に長い矩形の平板状の形状を有している。第１の振動部７０は、上下方向の中央よりも少し上方側の位置がＸ軸方向に沿って折れ曲がるようにして形成されている。第１の振動板７１ａをＸ軸方向に沿って折れ曲がるように形成することで、スキージ１３と、第１の振動板７１ａとの間に、第１の圧電素子部７２ａを収納するための第１の収納領域７４ａを形成することができる。なお、以降では、第１の振動板７１ａにおいて、折り曲げられた箇所よりも下側の部分を振動板本体と呼び、上側の部分を取り付け部と呼ぶ。
【００６１】
振動板本体は、水平面（Ｘ―Ｙ平面）に対して所定の角度傾斜して設けられている。振動板本体が水平面に対して傾斜する角度は、第１の振動板７１ａが折り曲げられて形成されている関係上、スキージ１３が水平面に対して傾斜する角度よりも鋭角とされる。なお、第１の振動板７１ａが水平面に対して傾斜する角度は、スキージ１３が水平面に対して傾斜する角度と同じであってもよい。
【００６２】
第１の振動板７１ａの材料としては、例えば、ＳＵＳ３０３や、ＳＵＳ３０４（ＪＩＳ：Japanese Industrial Standards）等のステンレス鋼や、ＰＥＴ（PolyEthylene Terephthalate）等の樹脂が用いられる。なお、第１の振動板７１ａの材料は、これらに限られず、他の金属や樹脂が用いられてもよい。これは、第２の振動板７１ｂについても同様である。
【００６３】
第１の振動板７１ａは、摺動方向の前方側の面（少なくとも振動板本体の前面）に、スキージ１３と同様の低摩擦加工又は低付着加工（あるいはこれらの組み合わせ）が施されていてもよい。
【００６４】
第１の振動板７１ａの先端部は、スキージ１３の先端部よりも上方に位置しており、第１の振動板７１ａの先端部は、スクリーン３には接触しない。第１の振動板７１ａの先端部と、スキージ１３の先端部との間には、第１の振動絶縁材８１ａが介在される。この第１の振動絶縁材８１ａによって、第１の振動板７１ａの振動がスキージ１３に伝達されてしまうことを防止することができる。
【００６５】
さらに、この第１の振動絶縁材８１ａは、振動絶縁材としての機能の他に、第１の収納領域７４ａへクリーム半田２が侵入してしまうことを防止するためのパッキン材としての機能も有している。上記２つの機能を付与するための第１の振動絶縁材８１ａの材料として、例えば、ＮＰＧＥＬシート、ゲルテープＧＴ５（いずれもタイカ社製）等のαゲル（登録商標）が用いられる。
【００６６】
第１の振動板７１ａの上部（取り付け部）は、締結部材７５によってスキージ固定部材７３及びスキージ保持部材１４に対して固定される。第１の振動板７１ａと締結部材７５との間には、第２の振動絶縁材８１ｂが介在され、第１の振動板７１ａと、支持板７６の取り付け部７６ａ（後述）との間には、第３の振動絶縁材８１ｃが介在される。第２の振動絶縁材８１ｂにより、第１の振動板７１ａの振動が締結部材７５を介してスキージ１３に伝達されてしまうことを防止することができる。第３の振動絶縁材８１ｃにより、第１の振動板７１ａの振動がスキージ固定部材７３を介してスキージ１３に伝達してしまうことを防止することができる。
【００６７】
第２の振動絶縁材８１ｂ、第３の振動絶縁材８１ｃの材料としては、例えば、シリコンゴムが用いられる。なお、第１の振動絶縁材８１ａと同様に、ＮＰＧＥＬシート、ゲルテープＧＴ５（いずれもタイカ社製）等のαゲル（登録商標）が用いられても構わない。これは、後述の第４の振動絶縁材８１ｄについても同様である。
【００６８】
第１の圧電素子部７２ａは、第１の収納領域７４ａの内部において、第１の振動板７１ａ（振動板本体）の後面に取り付けられる。第１の圧電素子部７２ａは、幅方向（Ｘ軸方向）に沿って所定の間隔を開けて配列された複数の圧電素子を含む。第１の圧電素子部７２ａは、制御部６０と電気的に接続されており、制御部６０の制御に応じて、所定の振動数で振動する。
【００６９】
本実施形態では、第１の圧電素子部７２ａが第１の収納領域７４ａの内部に収納されており、第１の振動絶縁材８１ａはパッキン材としても機能するため、第１の圧電素子部７２ａに対してクリーム半田２が付着してしまうことを防止することができる。図５及び図６に示す例では、第１の収納領域７４ａの幅方向（Ｘ軸方向）の両側の側部が開放されているが、第１の収納領域７４ａを閉じた領域とすることもできる。この場合、第１の収納領域７４ａの両側の側部の位置に壁部が設けられる。
【００７０】
第２の振動板７１ｂは、第２の振動板７１ｂを支持する支持板７６によって支持されている。支持板７６は、締結部材７５によりスキージ固定部材７３（スキージ保持部材１４）に取り付けられる取り付け部７６ａと、前方側斜め下方向に傾斜して設けられた延在部７６ｂと、後方側斜め下方向に傾斜して設けられた支持部７６ｃとを有する。支持板７６は、典型的には、金属や樹脂などの材料により構成されるが、これに限られず他の材料が用いられてもよい。
【００７１】
支持板７６の支持部７６ｃは、上端部と、下端部以外の部分が前方斜め下方向に向けて突出して形成されている。支持部７６ｃの後方側には、第２の振動板７１ｂが取り付けられる。支持部７６ｃの突出した部分と、第２の振動板７１ｂとの間には、第２の圧電素子部７２ｂを収納するための第２の収納領域７４ｂが形成される。
【００７２】
第２の振動板７１ｂは、一方向（Ｘ軸方向）に長い矩形の平板状の形状を有している。第２の振動板７１ｂは、水平面に対して所定の角度傾斜して設けられている。図に示す一例では、第２の振動板７１ｂが水平面に対して傾斜する角度は、第１の振動板７１ａ（振動板本体）と同じ角度とされているが、第２の振動板７１ｂの角度は、第１の振動板７１ａの角度と異なっていてもよい。
【００７３】
第２の振動板７１ｂの先端部は、支持部７６ｃの下端部よりも突出している。この第２の振動板７１ｂの先端部は、第１の振動板７１ａによってローリングされたクリーム半田２ａ（図６の一点鎖線参照）に接する位置に配置される。なお、以降では、第１の振動板７１ａによってローリングされたクリーム半田２を半田ローリング２ａと呼ぶ。
【００７４】
第２の振動板７１ｂは、摺動方向の後方側の面（先端部については、前面にも）に、低摩擦加工又は低付着加工（あるいはこれらの組み合わせ）が施されていてもよい。
【００７５】
第２の圧電素子部７２ｂは、第２の収納領域７４ｂの内部において、第２の振動板７１ｂの前面側に取り付けられる。第２の圧電素子部７２ｂは、幅方向（Ｘ軸方向）に沿って所定の間隔を開けて配列された複数の圧電素子を含む。第２の圧電素子部７２ｂは、制御部６０と電気的に接続されており、制御部６０の制御に応じて、所定の振動数で振動する。
【００７６】
第２の振動板７１ｂ及び支持部７６ｃの上端部の間、並びに第２の振動板７１ｂ及び支持部７６ｃの下端部の間には、第４の振動絶縁材８１ｄが介在されている。この第４の振動絶縁材８１ｄにより、第２の振動板７１ｂの振動が支持板７６へ伝達してしまうことを防止することができる。従って、第２の振動板７１ｂの振動がスキージ１３に伝達してしまうことを防止することができる。支持板７６の取り付け部７６ａと、第１の振動板７１ａとの間には、上記したように、第３の振動絶縁材８１ｃが介在されているため、第２の振動板７１ｂの振動と、第１の振動板７１ａの振動とは互に干渉しない。
【００７７】
第２の振動板７１ｂの振動が支持板７６を介してスキージ固定部材７３側に伝達してしまうことを防止するために、支持板７６の取り付け部７６ａと、スキージ固定部材７３との間に振動絶縁材が介在されていてもよい。
【００７８】
ここで、第１の振動板７１ａ及び第２の振動板７１ｂが振動する振動数及び振幅について説明する。
【００７９】
まず、振動数について説明する。上記したように、第１の振動板７１ａは、第１の振動絶縁材８１ａ乃至第３の振動絶縁材８１ｃによって、スキージ１３への振動の伝達が防止されている。同様に、第２の振動板７１ｂは、第４の振動絶縁材８１ｄによって支持板７６への振動の伝達が防止されている。振動絶縁材８１の材料として、シリコンゴム（αゲル（登録商標））が用いられており、このシリコンゴムの固有振動数は、最大で３５Ｈｚ程度である。
【００８０】
振動板７１と、振動絶縁材８１との間の共振を防止するためには、振動板７１を第１の振動絶縁材８１の固有振動数の√２倍以上の振動数で振動させる必要がある。従って、振動板７１は、典型的には、５０Ｈｚ（≒３５×√２）以上の振動数で振動される。
【００８１】
振動板７１の振幅について説明する。クリーム半田２は、半田粒子及びフラックスとから構成されている。振動板７１によってクリーム半田２の液状化を促すためには、半田粒子間のフラックスに一定以上の力を加えることが必要である。例えば、クリーム半田２に含まれる半田粒子の粒径よりも大きい振幅で第１の振動板７１ａを振動させることで、クリーム半田２の液状化を促すことができる。例えば、半田粒子の粒径が２０μｍである場合、振動板７１は、２０μｍ以上の振幅で振動される。なお、第１の振動板７１ａの振動数及び振幅と、第２の振動板７１ｂの振動数及び振幅とは、同じであってもよいし異なっていてもよい。
【００８２】
［動作説明］
次に、スクリーン印刷装置１００の動作について説明する。
図７は、スキージ機構によって基板１上にクリーム半田２を印刷しているときの様子を示す側面図である。図８は、スキージ機構によって基板１上にクリーム半田２を印刷しているときの様子を示す側方拡大図である。
【００８３】
まず、位置決め部２０によって、スクリーン３の下側に基板１が接触される。次に、エアシリンダ１８が駆動され、第１のスキージ機構１１が下方に移動される（図７（Ａ）破線参照）。第１のスキージ機構１１が下方に移動されると、スキージ１３の先端部がスクリーン３に対して所定の圧力で当接される。スクリーン３上には、半田供給部（図示せず）によってクリーム半田２が供給されている。
【００８４】
次に、摺動方向へ向けて、第１のスキージ機構１１の移動が開始される（図７（Ａ）実線参照）。第１のスキージ機構１１の移動が開始されるタイミングで、第１の圧電素部及び第２の圧電素子部７２ｂに電圧が印加され、第１のスキージ機構１１の第１の振動板７１ａ及び第２の振動板７１ｂの振動が開始される。
【００８５】
第１のスキージ機構１１が摺動方向に向けて移動されると、スキージ１３がスクリーン３上を摺動される。このとき、第１の振動板７１ａは、スキージ１３の摺動方向の前方側でクリーム半田２に振動を与えながらローリングさせる。ローリングされたクリーム半田２（半田ローリング２ａ）は、第１の振動板７１ａにより表面が液状化され、これにより、半田ローリング２ａ表面に液状化層が形成される。
【００８６】
第１の振動板７１ａは、適切な振動数（例えば、５０Ｈｚ以上）及び振幅（例えば、２０μｍ以上）で振動しているため、第１の振動板７１ａの振動がスキージ１３に伝わってしまうことを防止しつつ、適切に液状化層を形成することができる。
【００８７】
さらに、半田ローリング２ａは、振動する第２の振動板７１ｂの先端部によって内部の深い領域まで攪拌される。これにより、半田ローリング２ａの表面の液状化層をさらに厚くすることができる。第２の振動板７１ｂは、適切な振動数（例えば、５０Ｈｚ以上）及び振幅（例えば、２０μｍ以上）で振動しているため、第２の振動板７１ｂの振動がスキージ１３に伝わってしまうことを防止しつつ、適切に半田ローリング２ａを攪拌することができる。
【００８８】
半田ローリング２ａの表面に形成された液状化層の一部は、第２の振動板７１ｂの先端部によって掻き取られる。これにより、第２の振動板７１ｂの先端部付近に液状化されたクリーム半田２の溜まり部が形成される。このように、液状化層の一部が第２の振動板７１ｂの先端部によって掻き取られるため、半田ローリング２ａのローリング径を一定にすることができる。
【００８９】
液状化されたクリーム半田２は、半田ローリング２ａと、スキージ１３の前面及び第１の振動板７１ａの前面との間の領域に入り込む。この液状化されたクリーム半田２は、スクリーン３上を摺動するスキージ１３によって、スクリーン３に設けられたパターン孔４に対して充填され、これにより、スクリーン３の下側に配置された基板１上にクリーム半田２が印刷される。本実施形態では、適切に液状化された適度な柔らかさのクリーム半田２をパターン孔４に充填させることができるため、パターン孔４に対するクリーム半田２の充填性を向上させることができる。
【００９０】
クリーム半田２がパターン孔４に充填されると、位置決め部２０によって基板１が下方へ移動され、基板１がスクリーン３の下面から離れる。基板１が下方に移動される動作に伴って、パターン孔４に充填されたクリーム半田２がパターン孔４から抜ける。本実施形態では、適度な柔らかさのクリーム半田２がパターン孔４に充填されているので、クリーム半田２がパターン孔４から抜けるときの抜け性を向上させることができる。
【００９１】
クリーム半田２が印刷された基板１は、位置決め部２０によって搬送されて、印刷検査装置に受け渡される。位置決め部２０は、クリーム半田２が印刷された基板１を受け渡すと、印刷前の基板１を新たに搬送して、スクリーン３の下面に当接させる。
【００９２】
第１のスキージ機構１１がスクリーン３の端部付近まで到達すると、第１のスキージ１３の摺動方向への移動が停止される。次に、第１のスキージ機構１１がエアシリンダ１８により上方に移動され、第２のスキージ機構１２がエアシリンダ１８により下方へ移動される（図７（Ｂ）破線参照）。
【００９３】
振動板７１は、第１のスキージ機構１１が上方に移動されてスキージ１３がスクリーン３から離れるタイミングにおいても、振動されていてもよい。これにより、振動板７１に対してクリーム半田２が付着してしまうことを防止することができる。これにより、振動板７１に付着したクリーム半田２が乾燥したり、化学変化を起こしたりしてクリーム半田２の品質に悪影響を与えてしまうことを防止することができる。また、第１のスキージ機構１１は、振動板７１からクリーム半田２が滑り落ちる加速度で上方に移動されてもよい。
【００９４】
第１のスキージ機構１１の振動板７１の振動は、第１のスキージ機構１１が上方に移動されて所定の時間が経過した後に停止される。
【００９５】
第２のスキージ機構１２が下方に移動されて、第２のスキージ機構１２のスキージ１３が基板１に当接すると、次に、移動摺動方向へ向けて、第２のスキージ機構１２の移動が開始される（図７（Ｂ）実線参照）。第２のスキージ機構１２の移動が開始されるタイミングで、第１の圧電素子部７２ａ及び第２の圧電素子部７２ｂに電圧が印加され、第２のスキージ機構１２の第１の振動板７１ａ及び第２の振動板７１ｂの振動が開始される。
【００９６】
そして、第２のスキージ機構１２によって、基板１上にクリーム半田２が印刷される。第２のスキージ機構１２による印刷は、第１のスキージ機構１１による印刷と向きが異なる点を除いて同じである。以降、第１のスキージ機構１１による印刷と第２のスキージ機構１２による印刷とが交互に繰り返される。
【００９７】
［作用等］
以上説明したように、本技術に係るスクリーン印刷装置１００では、振動する第１の振動板７１ａにより半田ローリング２ａの表面に液状化層を形成することができる。そして、この液状化された適度な柔らかさのクリーム半田２がスキージ１３によりスクリーン３のパターン孔４に充填される。従って、スクリーン３に設けられたパターン孔４に対するクリーム半田２の充填性や、パターン孔４に対するクリーム半田２の抜け性を向上させることができる。
【００９８】
また、振動する第２の振動板７１ｂよって半田ローリング２ａを内部の深い領域まで攪拌することができるため、半田ローリング２ａの表面の液状化層をさらに厚くすることができる。従って、スクリーン３に設けられたパターン孔４に対するクリーム半田２の充填性や、パターン孔４に対するクリーム半田２の抜け性をさらに向上させることができる。
【００９９】
また、本実施形態では、第１の振動板７１ａ及び第２の振動板７１ｂは、スキージ１３の摺動方向の前方側に配置されており、スキージ１３自体が振動する構成とされていない。従って、スキージ１３の振動によってスクリーン３の下面と、スクリーン３の下面側に配置された基板１との間に隙間が生じ、この隙間にクリーム半田２が入り込んでしまうようなこともない。従って、本技術では、印刷品質を向上させることができる。
【０１００】
また、本実施形態では、振動絶縁材８１（振動絶縁部）によって、振動板７１の振動がスキージ１３に伝達されてしまうことが防止されているので、スキージ１３が振動するようなこともない。
【０１０１】
また、本実施形態では、液状化層の一部が第２の振動板７１ｂの先端部によって掻き取られるため、半田ローリング２ａのローリング径を一定にすることができる。このように、半田ローリング２ａのローリング径を一定にすることで、パターン孔４に対するクリーム半田２の充填品質（パターン孔４毎に、クリーム半田２の厚さにばらつきがないこと）を向上させることができる。なお、クリーム半田２の充填品質は、半田ローリング２ａのローリング径と、スキージ１３の移動速度を一定とすることで向上させることができる。また、本実施形態では、第２の振動板７１ｂによって半田ローリング２ａのローリング径が自動的に一定となるため、半田供給装置による細かいローリング径の管理が不要となる。
【０１０２】
また、本実施形態では、スキージ機構１１、１２の摺動方向への移動速度を速めることができる。これは、スキージ機構１１、１２の摺動方向への移動速度を速めても、振動板７１によって十分な量の液状化したクリーム半田２を確保することができるためである。また、振動板７１によって十分な量の液状化したクリーム半田２を確保することができるために、クリーム半田２のチクソ性（液状化しやすさ）のばらつきを吸収することができるためである。スキージ１３の移動速度を向上させることで、生産タクトを向上させることができる。
【０１０３】
＜第２実施形態＞
次に、本技術の第２実施形態について説明する。第２実施形態以降の説明では、上述の第１実施形態と同様の機能及び構成を有する部材については同一符号を付し、説明を省略又は簡略化する。
【０１０４】
図９は、第２実施形態に係るスキージ機構を示す斜視図である。図１０は、スキージ機構を示す上面図である。
【０１０５】
このスキージ機構は、スキージ１３（及び振動部７０）の幅方向（摺動方向に直交する方向）の両端部側に、ガイド部９０が配置されている点で上述の第１実施形態と異なっている。その他の点については、上述の第１実施形態と同様である。
【０１０６】
ガイド部９０は、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂを含む。第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、金属や樹脂等の材料に構成されており、例えば、平板状の部材の前方側が外側に向けて湾曲するようにして形成されている。第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、水平面に対して略垂直に配置される。この第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂにより、クリーム半田２がスキージ１３の側方から横漏れしてしまうことを防止することができる。
【０１０７】
第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂの外面には、それぞれ第３の圧電素子部９３が設けられている。この第３の圧電素子部９３は、たとえば、半田ローリング２ａが形成される箇所に対応する位置に配置される。
【０１０８】
第３の圧電素子部９３は、制御部６０と電気的に接続されており、制御部６０の制御に応じて所定の振動数で振動する。これにより、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂが所定の振動数及び振幅で幅方向に振動する。この第３の圧電素子部９３が振動する振動数は、第１の圧電素子部７２ａ及び第２の圧電素子部７２ｂと同じであってもよく異なっていてもよい。
【０１０９】
第３の圧電素子部９３は、例えば、図示しないカバー部材によって覆われていてもよい。これにより、第３の圧電素子部９３に対してクリーム半田２が付着してしまうことを防止することができる。
【０１１０】
第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、それぞれ第５の振動絶縁材９４を介して、スキージ保持部材１４に取り付けられている。これにより、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂの振動がスキージ１３に伝達してしまうことを防止することができる。第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、スキージ１３及び振動部７０とは接触しておらず、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂと、スキージ１３及び振動部７０との間には、隙間９５が形成される。スキージ機構１１、１２は、この隙間９５を介して、スキージ１３の後ろ側にクリーム半田２の一部を逃がすように構成されている。
【０１１１】
第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、その表面に、クリーム半田２に対する低摩擦加工又は低付着加工（あるいは、これらの組み合わせ）が施されていてもよい。
【０１１２】
［動作説明］
次に、第２実施形態に係るスクリーン印刷装置１００の動作について説明する。
第１のスキージ機構１１の移動が開始されると（図７（Ａ）実線参照）、第１の圧電素子部７２ａ及び第２の圧電素子部７２ｂに電圧が印加され、さらに、第３の圧電素子部９３にも電圧が印加される。これにより、第１のスキージ機構１１の振動板７１、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂが振動される。
【０１１３】
第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、半田ローリング２ａを側方から支持してクリーム半田２の横漏れを防止しつつ、半田ローリング２ａに振動を与える。このように、半田ローリング２ａに対して振動を側方から与えることで、幅方向（Ｘ軸方向）での半田ローリング２ａのローリング速度のばらつきを抑制することができる。
【０１１４】
すなわち、半田の横漏れ防止のために、スキージ１３の幅方向の両端部側に第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂを配置した場合、半田ローリング２ａの幅方向の両端側が第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂによって支持される。このガイドによる半田ローリング２ａの支持が半田ローリング２ａのローリング抵抗となり、幅方向で半田ローリング２ａのローリング速度にばらつきが生じてしまう。例えば、半田ローリング２ａの幅方向の中央近傍でローリング速度が相対的に速くなり、半田ローリング２ａの幅方向の両端部側でローリング速度が相対的に遅くなる。これにより、スクリーン３に設けられたパターン孔４に対するクリーム半田２の充填品質が低下してしまう恐れがある。
【０１１５】
一方、上記したように、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは幅方向に振動されているので、上記したローリング抵抗を低減することができる。従って、幅方向（Ｘ軸方向）での半田ローリング２ａのローリング速度のばらつきを抑制することができる。これにより、スクリーン３に設けられたパターン孔４に対するクリーム半田２の充填品質の低減を抑制することができる。
【０１１６】
第１のスキージ機構１１が摺動方向に向けて移動されているとき、上記した隙間９５を介して、クリーム半田２の一部がスキージ１３の後ろ側に逃げ、スクリーン３上に残される。
【０１１７】
第１のスキージ機構１１がスクリーン３の端部付近まで到達すると、第１のスキージ機構１１が上方に移動され、第２のスキージ機構１２が下方へ移動される（図７（Ｂ）破線参照）。
【０１１８】
第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂは、第１のスキージ機構１１が上方に移動されてスキージ１３がスクリーン３から離れるタイミングにおいても、振動されていてもよい。これにより、第１のガイド９０ａ部９０及び第２のガイド９０ｂ部９０に対してクリーム半田２が付着してしまうことを防止することができる。
【０１１９】
第２のスキージ機構１２が下方に移動されて、第２のスキージ機構１２のスキージ１３が基板１に当接すると、次に、摺動方向へ向けて、第２のスキージ機構１２の移動が開始される（図７（Ｂ）実線参照）。
【０１２０】
第２のスキージ機構１２が移動されると、先ほど第１のスキージ機構１１の隙間から逃げてスクリーン３上に残されたクリーム半田２が、第１のガイド９０ａ及び第２のガイド９０ｂの前端部（湾曲された部分）によって回収される。以降、第１のスキージ機構１１による印刷と第２のスキージ機構１２による印刷とが交互に繰り返される。
【０１２１】
＜各種変形例＞
ここで、第２の振動板７１ｂの先端部が半田ローリング２ａに接する角度について説明する。図１１は、第２の振動板７１ｂの先端部が半田ローリング２ａに接する角度を示す図である。図１１に示すように、第２の振動板７１ｂの先端部が半田ローリング２ａに接する点について、半田ローリング２ａに対して接線を引く。そして、半田ローリング２ａが回転される方向（図では、反時計回り）を角度が増加する方向とした場合に、この接線からの角度が９０°以上である場合、本明細書中では、「先端部が鈍角に接する」と呼ぶ。一方、上記接線からの角度が９０°未満である場合、本明細書中では「先端部が鋭角に接する」と呼ぶ。
【０１２２】
上述の実施形態では、接線からの角度が９０°以上であるため、第２の振動板７１ｂの先端部は、半田ローリング２ａに対して鈍角に接している。この場合、上記したように、半田ローリング２ａを深い領域まで攪拌させたり、半田ローリング２ａのローリング径を一定にしたりすることができる。一方、第２の振動板７１ｂの先端部は、半田ローリング２ａに対して鋭角に接してもよい。この場合、第２の振動板７１ｂは、半田ローリング２ａを攪拌して半田ローリング２ａの形状の変形を促すことができる。これは、例えば、クリーム半田２の半田粘度が高い場合に有効である。
【０１２３】
上述の各実施形態では、クリーム半田２を基板１上に印刷するスクリーン印刷装置１００について説明した。一方、本技術は、インク（ペースト状物質）を紙、布、木材、プラスチック等（被印刷物）に印刷するスクリーン印刷装置１００にも適用することができる。
【０１２４】
上記した各実施形態では、振動板７１に振動を発生させるための振動発生源の一例として、圧電素子を例に挙げて説明したが、振動発生源はこれに限られない。例えば、振動発生源の他の例として、出力軸に偏心の錘が取り付けられたモータ（携帯電話などに広く用いられている）などが挙げられる。
【０１２５】
本技術は、以下の構成をとることもできる。
（１）ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷するスキージと、
前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部と
を具備するスクリーン印刷装置。
（２）  上記（１）に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記スキージがスクリーン上を摺動されているときに、前記スキージの摺動方向の前方側で前記ペースト状物質に振動を与えながらローリングさせる第１の振動板を有する
スクリーン印刷装置。
（３）  上記（１）又は（２）に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記第１の振動板よりも前記摺動方向の前方側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質に振動を与えて攪拌する第２の振動板をさらに有する
スクリーン印刷装置。
（４）  上記（３）に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鈍角に接する
スクリーン印刷装置。
（５）  上記（３）に記載のスクリーン印刷装置であって、
前記第２の振動板は、前記第２の振動板の先端部がローリングされたペースト状物質に対して鋭角に接する
スクリーン印刷装置。
（６）  上記（２）乃至（５）のうちいずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記摺動方向に直行する方向である前記スキージの幅方向の両端側に配置され、ローリングされた前記ペースト状物質を側方から支持しながら、前記ペースト状物質に振動を与えるガイド部をさらに具備する
スクリーン印刷装置。
（７）  上記（１）乃至（６）のうちいずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スキージと、前記振動部とを前記振動絶縁する振動絶縁部をさらに具備する
スクリーン印刷装置。
（８）  上記（１）乃至（７）のうちいずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、
前記振動部に振動を発生させるための振動発生源と、
前記振動発生源に対してペースト状物質が付着しないように、前記振動発生源を内部に収納する収納領域と
を有するスクリーン印刷装置。
（９）  上記（１）乃至（８）のうちいずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記振動部は、前記ペースト状物質に対する低摩擦加工又は低付着加工が施されている
スクリーン印刷装置。
（１０）  上記（１）乃至（９）のうちいずれか１つに記載のスクリーン印刷装置であって、
前記スキージ及び前記振動部を上下方向に移動させる移動機構をさらに具備し、
前記振動部は、前記スキージが上方に移動されて前記スキージが前記スクリーンから離れるタイミングにおいても振動される
スクリーン印刷装置。
（１１）  ペースト状物質が供給されたスクリーン上を摺動方向に向けて摺動され、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷するスキージと、
前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部と
を具備するスキージ機構。
（１２）  スクリーン上にペースト状物質を供給し、
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記ペースト状物質に振動を与える振動部とを前記摺動方向に向けて移動させ、
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された被印刷物上に前記ペースト状物質を印刷する
印刷物の製造方法。
（１３）  スクリーン上にクリーム半田を供給し、
前記スクリーン上を摺動方向に向けて摺動されるスキージと、前記スキージの摺動方向の前方側に配置され、前記クリーム半田に振動を与える振動部とを前記摺動方向に向けて移動させ、
前記スキージによって、前記スクリーンに設けられた孔を介して、前記スクリーンの下側に配置された基板上に前記クリーム半田を印刷し、
前記クリーム半田が印刷された基板上に電子部品を実装する
基板の製造方法。
【符号の説明】
【０１２６】
２…クリーム半田
２ａ…半田ローリング
３…スクリーン
４…パターン孔
１０…スキージ部
１１…第１のスキージ機構
１２…第２のスキージ機構
１８…エアシリンダ
７１ａ…第１の振動板
７１ｂ…第２の振動板
７２ａ…第１の圧電素子部
７２ｂ…第２の圧電素子部
７４ａ…第１の収納領域
７４ｂ…第２の収納領域
７５…締結部材
７６…支持板
８１…振動絶縁材
９０ａ…第１のガイド
９０ｂ…第２のガイド
１００…スクリーン印刷装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図８】
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