(57)【要約】【課題】負圧ポケットに作用する負圧力が変動しても、曲げによるテーブルの変形量の変動が小さなスライドテーブル装置を提供する。【解決手段】案内面２ｂを備えたベース２上に、負圧ポケット３ｃ１と支持用の静圧ポケット３ｃ２を設けた案内部３ｆを備えたテーブル３を搭載するスライドテーブル装置１において、  負圧ポケット３ｃ１を囲むように静圧ポケット３ｃ２を配置し、負圧ランド３ｃ３と案内面２ｂの隙間ｔ１を、案内面３ｆと案内面２ｂの隙間ｔ２より小さくする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内面を備えたベース上に、負圧ポケットと支持用の静圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部が係合するように搭載するスライドテーブル装置において、
前記負圧ポケットを囲むように前記静圧ポケットを設け、
前記負圧ポケットと前記静圧ポケットを区分する突起である負圧ランドと前記案内面の隙間が、前記静圧ポケットの外側を囲む突起である静圧ランドと前記案内面の隙間より小さいスライドテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、案内部に負圧を発生して安定性を高めたスライドテーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
テーブルの上下方向の運動を自重による案内部への押付け力により規制するスライドテーブル装置において、押付け力が大きいほどスライドテーブルが安定するので、大気圧による押付け力を付加する場合がある。例えば、図６に示すように、案内面１００Ａ、１００Ｂの両端部に保持用の静圧ポケット１００ｃ、１００ｅ、１００ｄ、１００ｆを備えその間に負圧ポケット１００ａ、１００ｂを設けたテーブル１００を潤滑油を介して搭載し、負圧ポケット１００ａ、１００ｂ内の潤滑油を吸引するスライドテーブル装置がある。（非特許文献１）
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】PM controller jet pump with examples of application.Technical information.[online].HYPROSTATIK Schonfeld GmbH.[平成23年12月19日検索]、インターネット<URL:http://24005-hyprostatik.imosnet.de/fileadmin/inhalte/pdfs/hydrostaticguides.pdf
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
非特許文献1に記載の従来技術では、案内面の両端部に備えた静圧ポケットで保持してその中間を負圧ポケットにより吸引するので、静圧ポケットを支持点とする支持スパンの中央に負圧ポケットによる負荷が作用することになる。支持スパンが長いのでテーブルに作用する曲げ力も大きくなる。負圧ポケットに作用する負圧力が変動すると曲げ力も変動し曲げによるテーブルの変形量も変動する。
また、負圧ポケットの外周から空気を吸引して負圧力が低下する恐れがある。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、負圧ポケットに作用する負圧力の変動に対するテーブルの曲げによる変形量を小さくし、さらに負圧ポケットへの空気の吸引を防止することで容易に負圧力を大きくできるスライドテーブル装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、案内面を備えたベース上に、負圧ポケットと支持用の静圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部が係合するように搭載するスライドテーブル装置において、
前記負圧ポケットを囲むように前記静圧ポケットを設け、
前記負圧ポケットと前記静圧ポケットを区分する突起である負圧ランドと前記案内面の隙間が、前記静圧ポケットの外側を囲む突起である静圧ランドと前記案内面の隙間より小さいことである。
【発明の効果】
【０００７】
請求項1に係る発明によれば、静圧ポケットに作用する支持力と負圧ポケットに作用する吸引力はポケットの外部に曲げ力を及ぼさないので、吸引するための負圧力が変動しても、曲げによるテーブルの変形量の変動が小さなスライドテーブル装置を提供できる。
さらに、負圧ポケットの周りの負圧ランドと案内面の隙間が、静圧ランドと案内面の隙間より小さいので、負圧ポケットの密閉性が高く大きな負圧を発生できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態のスライドテーブル装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】本実施形態のテーブルの案内面部の斜視図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】図４のＣ部の詳細図である。
【図６】従来のテーブルの案内面部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態をＶ−平型の静圧案内面を備えたスライドテーブル装置の事例に基づき説明する。
図１に示すように、スライドテーブル装置１は、Ｖ型案内面２ａと平型案内面２ｂを備えたベース２と、ベース２上に往復可能でリニアモータ４で駆動されるテーブル３を備えている。
図２に示すように、テーブル３は下面にＶ型案内部３Ａと平型案内部３Ｂを備え、ベース４のＶ型案内面２ａとＶ型案内部３Ａが係合し、ベースの平型案内面２ｂと平型案内部３Ｂが係合する。Ｖ型案内部３Ａは案内面（静圧ランド）３ｅに１対の複合ポケット３ａ、３ｂを備え、平型案内部３Ｂは案内面（静圧ランド）３ｆに複合ポケット３ｃ、３ｄを備えている。
複合ポケット３ａはＶ型案内部３Ａに設けた窪みである負圧ポケット３ａ１、負圧ポケット３ａ１を囲んで設けた溝である静圧ポケット３ａ２、及び負圧ポケット３ａ１と静圧ポケット３ａ２の間を区分し案内面３ｅよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド３ａ３で構成される。同様にして、複合ポケット３ｂは負圧ポケット３ｂ１、静圧ポケット３ｂ２、及び案内面３ｅよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド３ｂ３で構成される。
複合ポケット３ｃは平型案内部３Ｂに設けた窪みである負圧ポケット３ｃ１、負圧ポケット３ｃ１を囲んで設けた溝である静圧ポケット３ｃ２、及び負圧ポケット３ｃ１と静圧ポケット３ｃ２の間を区分し案内面３ｆよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド３ｃ３で構成される。同様にして、複合ポケット３ｄは負圧ポケット３ｄ１と静圧ポケット３ｄ２、及び負圧ポケット３ｄ１と静圧ポケット３ｄ２の間を区分し案内面３ｆよりも大きく突き出た突起部である負圧ランド３ｄ３で構成される。
【００１０】
図３に示すように、テーブル３は負圧ポケット３ａ１、３ｃ１に連通する吸引流路３ｇを備え、吸引流路３ｇは吸引管路５に連通している。吸引管路５はエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９が接続し、回収用のタンク１１へ連通している。同様にして、負圧ポケット３ｂ１、３ｄ１も図示しない吸引管路を経由してエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。
【００１１】
図４に示すように、テーブル３は静圧ポケット３ａ２、３ｃ２に絞り３ｉを経由して連通する供給流路３ｈを備え、供給流路３ｈは供給管路１０を経由してポンプ７に連通している。同様にして、静圧ポケット３ｂ２、３ｄ２も図示しない供給管路を経由してポンプ７に連通している。
【００１２】
スライドテーブル装置１の作動について説明する。
ポンプ７が起動するとポンプ７で昇圧された潤滑油が供給管路８を経由してエジェクタ６の噴出口６ｂに供給され、高速の潤滑油が噴出口６ｂから排出口６ｃに流入し吸引口６ａには負圧力が発生する。この負圧力により、吸引管路５、吸引流路３ｇを経由して負圧ポケット３ａ１、３ｂ１内の潤滑油を吸引することで、負圧ポケット３ａ１、３ｃ１が負圧力となる。同様にして負圧ポケット３ｂ１、３ｄ１も負圧力となる。これにより、負圧ポケット３ａ１、３ｂ１、３ｃ１、３ｄ１に吸引力が発生しテーブル３をベース２に引き寄せる。
同時に、ポンプ７で昇圧された潤滑油が供給管路１０、供給流路３ｈ、絞り３ｉを経由して静圧ポケット３ａ２、３ｃ２に供給される。同様にして、昇圧された潤滑油が３ｂ２、３ｄ２に供給される。これにより、静圧ポケット３ａ２、３ｂ２、３ｃ２、３ｄ２にテーブル３を浮上せる支持力が発生する。
【００１３】
図５に、静圧ポケット３ａ２、３ｂ２、３ｃ２、３ｄ２の浮上力によりテーブル３が浮上した状態の複合ポケット３ｃの詳細を示す。負圧ランド３ｃ３が案内面３ｆより突出しているので、負圧ランド３ｃ３とベース２の案内面２ｂの隙間ｔ１は案内面３ｆと案内面２ｂの隙間ｔ２より小さい。このため、静圧ポケット３ｃ２から流出する潤滑油は主にポケット外周の隙間ｔ２から流出し、内側の負圧ポケット３ｃ１へ流入する量は少ない。さらに静圧ポケット３ｃ２により負圧ポケット３ｃ１への空気の流入は遮断されるので、負圧ポケット３ｃ１から少量の潤滑油を吸引するだけで負圧ポケット３ｃ１内は大きな負圧力となる。同様にして、他の負圧ポケットにおいても少量の潤滑油を吸引するだけで負圧ポケット内は大きな負圧力となる。
この結果、エジェクタ６の吸引量を大きくしなくても、テーブル３を大きな吸引力でベース２に引き寄せることができる。
【００１４】
テーブル３に作用する曲げ力の説明をする。
テーブル３の重量は重心位置から各静圧ポケットの距離に応じて各静圧ポケットに重量負荷として配分され、重心位置と静圧ポケットの距離に応じた所定の曲モーメントが発生しテーブルは曲がる。テーブル３の重量は一定であるため、これに起因する曲げ変形も一定である。
一方、負圧ポケットの吸引力と静圧ポケットの支持力は各複合ポケット内で釣り合うため、複合ポケットの外部に及ぶ曲げ変形は少ない。
【００１５】
以上のように、本発明によればエジェクタ６の吸引量を大きくしなくても、テーブル３を大きな吸引力でベース２に引き寄せることができ、テーブル３の上下方向の運動を規制して安定した送り運動が可能となる。
さらに、負圧ポケットの吸引力と静圧ポケットの支持力により発生する曲げ変形を小さくできる、このため、エジェクタ６の流速変動などによる負圧ポケットの吸引力の変動が生じても、テーブルの曲げ変形量の変動を小さくできる。
【符号の説明】
【００１６】
２：ベース  ２ａ：Ｖ型案内面  ２ｂ：平型案内面  ３：テーブル  ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ：複合ポケット  ３ｅ、３ｆ：案内面  ３ａ１、３ｂ１、３ｃ１、３ｄ１：負圧ポケット  ３ａ２、３ｂ２、３ｃ２、３ｄ２：静圧ポケット  ３ｇ：吸引流路  ３ｈ：供給流路  ５：吸引管路  ６：エジェクタ  ７：ポンプ  ９：排出管路  １０：供給管路  １１：タンク        
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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