(57)【要約】【課題】  ノズル位置を高精度に調整することができる塗布ヘッドおよび当該塗布ヘッドを備えた塗布装置。【解決手段】  複数のノズルを備える塗布ヘッドおよび該塗布ヘッドを備える塗布装置であって、ノズルを保持するスライドコマ３２を摺動可能に収容する案内溝３４２１と、案内溝３４２１にスライドコマ３２が収容された状態で、案内溝３４２１の側壁３４２３とスライドコマ３２との間隙が案内溝３４２１の底部側よりも、開口部側の方が広くなるようなスライドコマ３２を採用することで、側壁３４２３とスライドコマ３２との接触を防ぐとともに、スライドコマ３２の剛性の低下を防ぐことで、高精度にノズルのピッチを調整することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルを保持するノズル保持部と、
前記ノズル保持部を所定の方向に沿って摺動可能に収容する案内溝と、前記案内溝の側壁を形成する側壁部の上面に前記ノズル保持部を固定するための固定穴とを有するノズル取付部と、
前記ノズル取付部の固定穴に固定部材を挿通し、前記ノズル保持部を前記案内溝の底部に向けて押圧することにより前記ノズル保持部を前記ノズル取付部に固定する固定機構と、を備え、
前記案内溝に前記ノズル保持部が収容された状態で、前記案内溝の側壁部と前記ノズル保持部との間隙が、前記案内溝の底部側よりも前記案内溝の開口部側の方が広いことを特徴とする塗布ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル保持部は、前記案内溝の底部側の下方部と、前記案内溝の開口部側の上方部とからなり、前記上方部の断面の幅が、前記下方部の断面の幅よりも狭いことを特徴とする請求項１に記載の塗布ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル保持部の前記下方部と前記上方部との境界位置が、前記固定穴に前記固定部材が挿通された状態の固定部材の先端位置よりも下方に位置することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布ヘッド。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の塗布ヘッドを備えた塗布装置であって、
基板を水平に保持するステージと、
前記塗布ヘッドに塗布液を供給する塗布液供給機構と、
前記基板に平行な主走査方向に前記塗布ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させる主走査機構と、
前記基板に平行であって前記主走査方向と直交する副走査方向に前記保持機構を前記塗布ヘッドに対して相対的に移動させる副走査機構と、を備えることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板あるいは半導体製造装置用マスク基板等の基板に塗布液を塗布する塗布ヘッドおよび該塗布ヘッドを用いた塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）材料を用いた有機ＥＬ表示装置の開発が行われている。例えば、高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリクス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」と称する）に対して、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」ともいう。）の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および絶縁膜の形成による封止が順次行なわれる。
【０００３】
有機ＥＬ表示装置の製造において、正孔輸送液または有機ＥＬ液を基板に塗布する装置の１つとして、特許文献１に示すように、流動性材料を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動することにより、基板上の塗布領域に有機ＥＬ液をストライプ状に塗布する装置が知られている。
【０００４】
特許文献１の塗布装置では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が３本のノズルから吐出され、基板上の塗布領域に予め形成されている隔壁間の３つの溝に塗布される。
【０００５】
当該装置では、３本のノズルが保持部材により一体的に保持されており、基板に垂直な支持軸を中心として当該保持部材を回動して３本のノズルの副走査方向におけるピッチを小さくすることにより有機ＥＬ液の塗布ピッチを調整することができる。
【０００６】
また、特許文献２の塗布装置では、流動性材料を塗布するノズルの取付誤差やノズルの製造誤差等によりノズル間ピッチが不均一になっている場合、ノズル間ピッチを均一化するためのピッチ調整機構が記載されている。
【０００７】
当該装置では、副走査方向に移動可能なスライダに搭載されたノズルに対して、ピッチ調整機構によりスライダを副走査方向に個別に順次移動させることで、各ノズルの副走査方向に関するノズル間ピッチの調整を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１０７５５号公報
【特許文献２】特開２００８−１５５１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１に記載された装置では、製造誤差等によりノズル間ピッチが不均一になっている場合、ノズル間ピッチを精度よく調整することができない。これに対し、特許文献２に記載された装置では、製造誤差等によるノズル間ピッチの不均一を調整することができる。しかし、ピッチ調整機構により各ノズル間ピッチを調整した後、スライダに搭載された各ノズルをガイドに形成された貫通穴にボルトを挿入して固定するため、ガイドが微小変形しスライダと接触するおそれがある。そのため、ノズルをスライダで調整する動作が十分行えないという問題がある。そして、これはノズル間ピッチの調整の精度を低下させる原因となる。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、塗布装置のノズル位置を高精度に調整することを主な目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に係る発明は、塗布液を吐出するノズルと、ノズルを保持するノズル保持部と、ノズル保持部を所定の方向に沿って摺動可能に収容する案内溝と、案内溝の側壁を形成する側壁部の上面にノズル保持部を固定するための固定穴とを有するノズル取付部と、ノズル取付部の固定穴に固定部材を挿通し、ノズル保持部を案内溝の底部に向けて押圧することによりノズル保持部をノズル取付部に固定する固定機構と、を備え、案内溝にノズル保持部が収容された状態で、案内溝の側壁部とノズル保持部との間隙が、案内溝の底部側よりも案内溝の開口部側の方が広いことを特徴とする。
【００１２】
請求項２に係る発明では、ノズル保持部は、案内溝の底部側の下方部と、案内溝の開口部側の上方部とからなり、上方部の断面の幅が、下方部の断面の幅よりも狭いことを特徴とする。
【００１３】
請求項３に係る発明では、ノズル保持部の下方部と上方部との境界位置が、固定穴に固定部材が挿通された状態の固定部材の先端位置よりも下方に位置することを特徴とする。
【００１４】
請求項１ないし請求項３のように構成された発明では、案内溝の側壁部が固定部材の押圧により変形したとしても、案内溝の側壁部とノズル保持部との接触を防ぐことができる。また、ノズル保持部は、接触の可能性のある部分について側壁部との間隙が広くなるように形成されていることにより、ノズル保持部の剛性の低下を防ぐことができる。よって、ノズルを保持するノズル保持部を案内溝に沿って滑らかに摺動させることができるとともに、ノズル保持部の剛性が低下しないため、高精度にノズルのピッチを調整することができる塗布ヘッドを提供することができる。
【００１５】
請求項４に係る発明では、請求項１ないし請求項３の塗布ヘッドを備えた塗布装置であって、基板を水平に保持するステージと、塗布ヘッドに塗布液を供給する塗布液供給機構と、基板に平行な主走査方向に塗布ヘッドを基板に対して相対的に移動させる主走査機構と、基板に平行であって主走査方向と直交する副走査方向に保持機構を塗布ヘッドに対して相対的に移動させる副走査機構と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
このように構成された発明では、高精度にノズル間の位置を調整するため、精度よく基板に塗布液を塗布することができる。
【発明の効果】
【００１７】
案内溝の側壁部が固定部材の押圧により変形したとしても、案内溝の側壁部とノズル保持部との接触を防ぐことができる。また、ノズル保持部は、接触の可能性のある部分について側壁部との間隙が広くなるように形成されていることにより、ノズル保持部の剛性の低下を防ぐことができる。これにより、ノズルを保持するノズル保持部を案内溝に沿って滑らかに摺動させることができるとともに、ノズル保持部の剛性が低下しないため、高精度にノズルの位置を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】塗布装置の平面図である。
【図２】塗布装置の正面図である。
【図３】ノズル取付部の斜視図である。
【図４】塗布ヘッドの側面図である。
【図５】塗布ヘッドの正面図である。
【図６】塗布ヘッドの平面図である。
【図７】案内溝が変形した様子を説明するための塗布ヘッドの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、この発明の実施の形態を図１および図２を参照しつつ説明する。図１はこの発明に係る塗布装置１の平面図であり、図２はその正面図である。
【００２０】
この塗布装置１は、矩形状のガラス基板（以下、単に「基板」と称する）９に対して塗布液を塗布するためのものである。より詳細には、この塗布装置１は、アクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置用の基板９に、揮発性の溶媒（本実施の形態では、芳香族の有機溶媒）、および、発光材料としての有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布するためのものである。
【００２１】
この塗布装置１は、主として、基板９を水平に保持するステージ１０と、ステージ１０を移動させるステージ移動機構２０と、ステージ１０に保持された基板９の上面に塗布液を塗布するための塗布ヘッド３０と、塗布ヘッド３０に塗布液を供給する塗布液供給機構４０と、塗布ヘッド３０を移動させるヘッド移動機構５０とを備える。また、塗布装置１は、塗布装置１が備える各部と電気的に接続されて、これらの各部の動作を制御する制御部２を備える。
【００２２】
ステージ１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板９を水平姿勢に載置して保持する。また、ステージ１０は、基板９よりもサイズが小さい。ステージ１０の上面には複数の吸引孔（図示省略）が形成されている。これらの吸引孔は真空ポンプ等に接続されており、該真空ポンプを動作させることで、ステージ１０上に基板９を載置したときには、吸引孔の吸引圧により基板９はステージ１０の上面に吸着され固定的に保持される。また、ステージ１０は、その内部にヒータによる加熱機構（図示省略）を備える。そして、ステージ１０上に載置された基板９を所定の温度に加熱することができる。
【００２３】
ステージ移動機構２０は、ステージ１０を基板９の主面に対して平行な所定の方向（すなわち、図１中のＹ方向であり、以下、「副走査方向」と称する）に水平移動させる。ステージ移動機構２０は、ステージ１０を回転させる回転機構２４と、ステージ１０を回転可能に支持する支持プレート２３と、支持プレート２３を水平に支持する基台２１と、基台２１を副走査方向に移動させる副走査機構２２とを有している。回転機構２４、副走査機構２２は、制御部２と電気的に接続されており、制御部２からの指示に応じてステージ１０を移動させる。
【００２４】
回転機構２４は、ステージ１０の内部に取り付けられた回転子により構成されたモータを有している。また、ステージ１０の中央部下面側と支持プレート２３との間には回転軸受機構が設けられている。そのため、モータを動作させると、回転子がＺ軸周りの回転方向に駆動し、回転軸受機構の回転軸を中心としてステージ１０が所定角度の範囲内で回転する。
【００２５】
副走査機構２２は、支持プレート２３を下方から支持する基台２１の下面に取り付けられたリニアモータ２２１と、副走査方向に延びる一対のガイドレール２２２とを有している。このため、リニアモータ２２１を駆動させると、ガイドレール２２２に沿って基台２１およびステージ１０が副走査方向に移動する。
【００２６】
塗布ヘッド３０は、複数のノズル３１を備える。より具体的にはノズル３１を１６個備えている。なお、ノズル３１の個数については１個以上であればよく、多数のノズルを備えていても良い。
【００２７】
塗布ヘッド３０は、ステージ１０に保持された基板９の上面に向けて有機ＥＬ材料を含む塗布液を連続的に吐出する。言い換えると、塗布ヘッド３０は塗布液を液柱の状態で吐出するための吐出機構である。また、複数のノズル３１は、基板９の主面に平行であって副走査方向に垂直な方向（すなわち、図１中のＹ方向に垂直なＸ方向であり、以下、「主走査方向」と称する）に関して略直線状に離れて配列されるとともに図１中の副走査方向に僅かにずれて配置される。
【００２８】
本実施形態では、隣接する２本のノズル３１の間の副走査方向に関する距離が、基板９の塗布領域９１（図１中において破線で囲んで示す）上にあらかじめ形成されている主走査方向に伸びる隔壁間のピッチ（以下、「隔壁ピッチ」と称する）の３倍に等しくなるように調整されている。なお、塗布ヘッド３０の詳細については後述する。
【００２９】
塗布液供給機構４０は、主として、有機ＥＬ材料を含む塗布液を貯留する塗布液貯留部４１と、塗布液を塗布ヘッド３０まで供給する供給管４２と、塗布液貯留部４１から塗布液を送出するためのポンプ（図示省略）とを備える。供給管４２は一方端が塗布液貯留部４１と連通接続しており、他方端は各ノズル３１に一対一で対応するように分岐され各ノズル３１と連通接続している。
【００３０】
ヘッド移動機構５０は、一対のガイド部材５１と、ガイド部材５１に対して摺動可能に配設されるスライダ５２と、一対のガイド部材５１の両端部近傍に配設され、Ｚ軸方向を向く軸を中心に回転可能な一対のプーリ５３と、プーリ５３に巻回された無端状の同期ベルト５４とを備える。
【００３１】
スライダ５２は、エア供給源（図示省略）から一定圧力のエアが供給されることで、ガイド部材５１に対して非接触状態で係合しつつ主走査方向に移動可能に支持される。また、スライダ５２の一端は、同期ベルト５４に固定されている。一方、スライダ５２の他端には、塗布ヘッド３０が固定されている。このため、モータ（図示省略）の駆動により同期ベルト５４を時計回りあるいは反時計回りに回転させることで、塗布ヘッド３０を（−Ｘ）方向または（＋Ｘ）方向に往復移動させることができる。この時、スライダ５２はガイド部材５１に対して非接触状態で支持されているため、塗布ヘッド３０の往復移動を、高速かつ滑らかなものとすることが可能となる。
【００３２】
ヘッド移動機構５０が、塗布ヘッド３０を主走査方向に移動させる主走査機構となる。なお、ヘッド移動機構５０は、制御部２と電気的に接続されており、制御部２からの指示に応じて塗布ヘッド３０を移動させる。
【００３３】
そして、塗布ヘッド３０の主走査方向への移動が完了するごとに、基板９を保持するステージ１０を副走査方向に移動させることにより、基板９の表面の塗布領域９１に対して塗布液の塗布を実行する。なお、塗布ヘッド３０の主走査時には、受液部１２の近傍にて加速または減速が完了し、基板９の上方においては、塗布ヘッド３０は、例えば、毎秒３〜５ｍ程度の一定速度で移動する。
【００３４】
制御部２は、各種の演算処理を実行しつつ、塗布装置１が備える各部の動作を制御する。制御部２は、例えば各種演算処理を行うＣＰＵ、ブートプログラム等を記憶するＲＯＭ、演算処理の作業領域となるＲＡＭ、プログラムや各種のデータファイルなどを記憶するハードディスクなどの記憶部、各種表示を行うディスプレイ、キーボード、および、マウスなどの入力部、ＬＡＮ等を介してデータ通信機能を有するデータ通信部、等を有するコンピュータによって構成される。コンピュータにインストールされたプログラムにしたがってコンピュータが動作することにより、当該コンピュータが塗布装置１の制御部２として機能する。なお、制御部２において実現される各機能部は、コンピュータによって所定のプログラムが実行されることによって実現されてもよいし、専用のハードウェアによって実現されてもよい。また、複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００３５】
また、この塗布装置１は、基板９上に形成されたアライメントマーク（図示省略）を撮像して検出するための左右一対の撮像部１１を備える。この一対の撮像部１１には、各々、ＣＣＤカメラが配設されている。そして、撮像部１１で検出されたアライメントマークの位置に基づき、基板９の位置合わせが行なわれる。
【００３６】
また、塗布ヘッド３０の往復移動方向（Ｘ方向）に関してステージ１０の両側には、塗布ヘッド３０におけるノズル３１からの塗布液を受ける一対の受液部１２が配設されている。塗布ヘッド３０は、基板９に対する塗布処理を行っていない間（待機している間）も、塗布液を連続的に吐出している。受液部１２は、この間に吐出される塗布液を受けるための機構であり、その内部に多孔性部材を備えるため塗布ヘッド３０から吐出された塗布液が周囲に液跳ねすることを防ぐことができる。
【００３７】
塗布ヘッド３０の構成について、図３ないし図６を参照しつつ詳細に説明する。
【００３８】
図３ないし図６はそれぞれ、ノズル取付部３４の斜視図、塗布ヘッド３０の側面図、正面図、および平面図である。なお、図５および図６では説明の便宜上、ノズル３１の図示を省略している。
【００３９】
塗布ヘッド３０は、基板９に向けて有機ＥＬ材料を含む塗布液を連続的に吐出するノズル３１、および、ノズル３１が取り付けられるノズル取付部３４を備える。
【００４０】
まず、図３を参照しつつノズル取付部３４について説明する。ノズル取付部３４はＹ方向に略垂直な背板３４１、および、背板３４１の下端部（すなわち、（−Ｚ）側の端部）に固定されるＺ方向に略垂直な支持板３４２を備える。
【００４１】
支持板３４２は、（−Ｙ）側の端部から（＋Ｙ）方向（すなわち、副走査方向）に伸びる一対の側壁３４２３と、これら側壁３４２３の間に形成される案内溝３４２１とを備える。なお、隣り合う案内溝３４２１の間に設けられる側壁３４２３は、これらの案内溝３４２１が共有している。また、図示の都合上、案内溝３４２１は２つのみ図示しているが、この数はノズル３１の数に応じて形成されていればよい。
【００４２】
案内溝３４２１の底面には、開口部３４２２が形成されている。開口部３４２２は、ノズル３１の先端部を基板９に向けて突出させるための開口として機能する。また、案内溝３４２１の側壁３４２３の上面には、後記するスライドコマ３２を固定するための固定穴３４２４が形成されている。固定穴３４２４は、支持板３４２の両端部に形成される側壁３４２３にあっては、１つの固定穴３４２４が形成されている。また、両端部の側壁３４２３に挟まれる位置に形成される側壁３４２３の上面には側壁３４２３が延びる方向に沿って隣接するように２つの固定穴３４２４が形成されている。つまり、隣り合う案内溝３４２１に共有される側壁３４２３の上面には、隣接するように２つの固定穴３４２４が形成されている。そして、固定穴３４２４に後記する固定機構３３を固定することでスライドコマ３２をノズル取付部３４の所定の位置に固定することができる。
【００４３】
また、案内溝３４２１の（＋Ｙ）側の内壁面には、後記する位置調整機構３５によるスライドコマ３２の位置を調整するための貫通孔３４２５が形成されている。案内溝３４２１の底面は、スライドコマ３２が円滑に摺動可能となるよう平坦に形成されている。案内溝３４２１のＸ方向の幅は、スライドコマ３２の幅よりもわずかに広くなっている。したがって、案内溝３４２１にスライドコマ３２を配設すると、スライドコマ３２の両側面と案内溝３４２１の側壁面との間にはわずかに間隙が形成される。なお、詳細については後述する。
【００４４】
図４ないし図６を参照しつつ説明を続ける。ノズル取付部３４の案内溝３４２１には、ノズル３１を保持するスライドコマ３２が案内溝３４２１に沿って移動可能となるように配設される。言い換えると、ノズル取付部３４の案内溝３４２１は、ノズル３１を保持するスライドコマ３２を摺動可能に収容する。
【００４５】
案内溝３４２１に配設されたスライドコマ３２は、案内溝３４２１に沿って移動可能となる。そのため、所定の位置に固定するための固定機構３３を備える。固定機構３３は、スライドコマ３２の上面に当接する押さえ部材３３１と、押さえ部材３３１を側壁３４２３に固定するための固定部材として機能する固定ネジ３３２と、押さえ部材３３１に押圧力を与える弾性部材３３３とを備える。
【００４６】
図５に図示されるように、押さえ部材３３１は、（−Ｙ）方向側から見て十字形状となっている。そして、（−Ｙ）方向側から見て十字形状の略中心付近に弾性部材３３３によって与えられる押圧力を一時的に解除するための解除穴３３４と、十字形状の両端であってその上面には固定ネジ３３２を挿通することができる孔とが形成されている。なお、本図では図示の都合上、１つのスライドコマ３２のみ配設する構造としているが、複数の場合は、側壁３４２３に隣接するように別の案内溝が形成される。
【００４７】
ノズル３１を保持した状態で、案内溝３４２１に収容されたスライドコマ３２は、後記する位置調整機構３５によってスライドコマ３２のＹ方向（副走査方向）の位置が調整される。そして、押さえ部材３３１がスライドコマ３２の上面に当接され、押さえ部材３３１に形成された一対の孔に固定ネジ３３２が挿通される。この時、固定ネジ３３２をコイルバネ状の弾性部材３３３に挿通することで、押さえ部材３３１と固定ネジ３３２のフランジ部分との間に弾性部材３３３が配設される。押さえ部材３３１に挿通された固定ネジ３３２は、続いて側壁３４２３の上面に形成された固定穴３４２４に挿入される。固定穴３４２４の内壁には、例えばネジ山が形成されており、固定ネジ３３２を挿入した状態で固定することができる。
【００４８】
また、図６に示すようにそれぞれの固定機構３３をＹ方向に向かって水平に傾斜させた状態で配設することで、ノズル取付部３４の幅方向の寸法を小さくすることができる。これにより、塗布ヘッド３０を小型化することができる。
【００４９】
固定ネジ３３２が固定穴３４２４に螺合されることで、固定ネジ３３２のフランジと押さえ部材３３１との間に配設された弾性部材に弾性力が発生する。この弾性力により、押さえ部材３３１はスライドコマ３２をノズル取付部３４に形成された案内溝３４２１の底部に向けて押圧する。これにより、スライドコマ３２は案内溝３４２１の所定の位置に固定される。
【００５０】
上述したように、押さえ部材３３１には解除穴３３４が形成されている。解除穴３３４は、スライドコマ３２が押圧され固定された状態を解除するためのものであり、例えば、解除穴３３４にＬ字形状を有するピン等を挿入し押さえ部材３３１を鉛直方向（Ｚ方向）に引き上げることで、弾性部材３３３が収縮し、押さえ部材３３１によるスライドコマ３２に対する押圧力が解除される。そして、位置調整機構３５によりスライドコマ３２の案内溝３４２１に沿った位置が調整され、ノズル３１の位置（ピッチ）を調整することができる。
【００５１】
図４を参照しつつ位置調整機構３５について説明する。位置調整機構３５は、案内溝３４２１に収容されたスライドコマ３２の案内溝３４２１に沿った方向の位置を調整するための機能を有する。位置調整機構３５は、支持板３４２の案内溝３４２１に形成される貫通孔３４２５に（−Ｙ）側から挿通するためのロッド３５２と、ロッド３５２を貫通孔３４２５に挿通した状態で前後方向に移動させるためのアクチュエータ３５１とを備える。
【００５２】
ロッド３５２は貫通孔３４２５に挿通され、その先端部はスライドコマ３２に連結されている。そして、ロッド３５２の後端部はアクチュエータ３５１と連結されており、アクチュエータ３５１が制御部２のからの命令にしたがって駆動し、ロッド３５２を前方あるいは後方に移動させることでスライドコマ３２の位置を調整する。言うまでもないが、スライドコマ３２はノズル３１を保持しており、位置調整機構３５がスライドコマ３２の位置調整を行うことでノズル３１の位置を調整することになる。なお、位置調整機構３５による調整時には、固定機構３３によるスライドコマ３２の固定状態が解除される。
【００５３】
次に、スライドコマ３２について説明する。スライドコマ３２には、ノズル３１を挿通し保持するための挿入孔３２１を備えており、ノズル保持部として機能する。また、スライドコマ３２に挿通されたノズル３１を固定するための固定穴３２２を備える。
【００５４】
挿入孔３２１は、スライドコマ３２の上面から下面まで貫通しており、その直径はノズル３１が挿入可能な程度に形成されている。また、固定穴３２２は、スライドコマ３２の（−Ｙ）側の端面から（＋Ｙ）側方向に略水平となるトンネル状に形成されており、挿入孔３２１と連通している。そして、挿入孔３２１にノズル３１が挿入された状態で、固定穴３２２にノズル固定ネジ３２３を挿入し、その先端部をノズル３１に当接させることで、ノズル３１をスライドコマ３２の挿入孔３２１の内壁面に押圧固定する。このように構成とすることで、ノズル３１のスライドコマ３２に対する位置を固定することができる。
【００５５】
引き続き、スライドコマ３２の形状について詳細に説明する。図５に示されるように案内溝３４２１にスライドコマ３２を収容した状態で、案内溝３４２１を形成する一対の側壁３４２３と、スライドコマ３２との間に間隙ＳＰが形成される。間隙ＳＰが形成されることにより、スライドコマ３２が案内溝３４２１に沿って摺動可能となり、上述した位置調整機構３５により高精度にスライドコマ３２の位置を調整することができる。そのため、間隙ＳＰが幅方向（主走査方向）に広すぎると、スライドコマ３２が幅方向に振れてしまいスライドコマ３２の位置調整を精度よく行うことができない。また、間隙ＳＰが幅方向に狭すぎると側壁３４２３とスライドコマ３２が接触してしまい、滑らかにスライドコマ３２を摺動させることができずスライドコマ３２の位置調整が十分行えない。これは、ノズル３１の位置調整を精度良く行えないことを意味する。したがって、ノズル３１の位置を精度良く調整可能とするためには、間隙ＳＰが適度に形成されている必要がある。例えば、当該間隙ＳＰの寸法は５〜１０μｍ程度有することが好ましい。
【００５６】
本実施形態では、スライドコマ３２は、案内溝３４２１の底部側に位置する下方部３２４と、案内溝３４２１の開口部側に位置する上方部３２５とで一体的に形成されている。そして、上方部３２５は、断面形状が開口部側に向かってテーパー形状とされている。そのため、案内溝３４２１にスライドコマ３２を収容した際、スライドコマ３２の上方部３２５の断面の幅寸法が、下方部３２４の断面の幅寸法よりも短くなる。言い換えると、案内溝３４２１とスライドコマ３２との底部側の間隙をＳＰ１とし、開口部側の間隙をＳＰ２とすると、間隙ＳＰ１＜間隙ＳＰ２の関係が成立する。つまり、案内溝３４２１の底部側から開口部側に向かって間隙は広くなる。
【００５７】
特に、間隙ＳＰ１と間隙ＳＰ２が切り替わる位置である、上方部３２５と下方部３２４との境界位置Ｂは、少なくとも固定穴３４２４に挿入された固定ネジ３３２の先端部の位置である先端位置Ａよりも、案内溝３４２１の下方側に位置する。好ましくは、境界位置Ｂは、スライドコマ３２の高さ方向について半分の高さ位置よりも上方であり、先端位置Ａよりも下方となるよう形成される。
【００５８】
なぜなら、図７に示すように固定機構３３によりスライドコマ３２を押圧した際、固定穴３４２４が形成されている領域では、側壁３４２３の肉厚が薄くなっているため案内溝３４２１側に側壁３４２３が膨らむような変形を生じる場合がある。この変形は固定穴３４２４に固定ネジ３３２を挿入した時、固定ネジ３３２の先端部近傍まで生じる。したがって、境界位置Ｂを固定ネジ３３２の先端部の位置である先端位置Ａよりも案内溝３４２１の下方側に位置するスライドコマ３２を採用することで、スライドコマ３２を案内溝３４２１に沿って滑らかに摺動することができ、高精度にノズル３１の位置（ピッチ）を調整することができる。また、上方部３２５に比べて下方部３２４は、断面形状の幅寸法が広くなるよう形成されているため、スライドコマ３２の剛性が低下することを防ぐことができる。
【００５９】
このような、下方部３２４に比べて上方部３２５の方が断面形状の幅寸法が小さくなる形状は、スライドコマ３２において、案内溝３４２１に沿って移動することで固定ネジ３３２の近傍を通過する区間だけ形成されていればよい。このようにスライドコマ３２を形成することで剛性の低下をより防ぐことができる。
【００６０】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変更が可能である。
【００６１】
例えば、本実施形態では、スライドコマ３２は、案内溝３４２１の底部側から開口部側に向かって多段階に広くなっている形状としてもよい。
【００６２】
また、下方部３２４から上方部３２５の境界位置Ｂから開口部側に向かって傾斜面を有しているが、これに限られるものではなく、垂直面あるいは曲面を形成するようにしてもよい。
【００６３】
上記塗布装置は、必ずしも有機ＥＬ表示装置用の有機ＥＬ材料または正孔輸送材料の塗布のみに利用されるわけではなく、例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置等の平面表示装置用の基板に対して、着色材料や蛍光材料等の他の種類の画素形成材料を含む流動性材料を塗布する場合に利用されてもよい。
【００６４】
このような、有機ＥＬ表示装置用の基板に対する正孔輸送材料の塗布やその他の平面表示装置用の基板に対する画素形成材料を含む流動性材料の塗布では、流動性材料の塗布位置に高い位置精度が求められる。上述のように、塗布装置は、複数のノズル３１のピッチを高精度に調整することができるため、有機ＥＬ表示装置用の基板に対する正孔輸送材料の塗布や、その他の平面表示装置用の基板に対する画素形成材料を含む流動性材料の塗布にも特に適している。
【符号の説明】
【００６５】
１    塗布装置
９    基板
１０    ステージ
２２    副走査機構
３０    塗布ヘッド
３１    ノズル
３２    スライドコマ
３３    固定機構
３４    ノズル取付部
４０    塗布液供給機構
５０    ヘッド移動機構
３２４    下方部
３２５    上方部
３３１    押さえ部材
３３２    固定ネジ
３３３    弾性部材
３４２１    案内溝
３４２３    側壁
３４２４    固定穴
Ａ    先端位置
Ｂ    境界位置
ＳＰ    間隙
ＳＰ１    間隙
ＳＰ２    間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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