(57)【要約】【課題】軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の接合体の製造方法は、軟質材料で構成され、表面に凸部が設けられた第１の軟質部材および第２の軟質部材を、前記凸部が設けられた面を上側にして設置する軟質部材設置工程と、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具を配置するアライメント用治具設置工程と、前記アライメント用治具上から荷重を加え、前記第１の軟質部材が有する前記凸部の変形量、および、前記第２の軟質部材が有する前記凸部の変形量を調整する潰れ量調整工程と、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材について前記凸部の変形量を調整した状態で、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材とを接合する接合工程とを有することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟質材料で構成され、表面に凸部が設けられた第１の軟質部材および第２の軟質部材を、前記凸部が設けられた面を上側にして設置する軟質部材設置工程と、
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具を配置するアライメント用治具設置工程と、
前記アライメント用治具上から荷重を加え、前記第１の軟質部材が有する前記凸部の変形量、および、前記第２の軟質部材が有する前記凸部の変形量を調整する潰れ量調整工程と、
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材について前記凸部の変形量を調整した状態で、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材とを接合する接合工程とを有することを特徴とする接合体の製造方法。
【請求項２】
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材は、いずれも、複数個の前記凸部を有するものである請求項１に記載の接合体の製造方法。
【請求項３】
前記第１の軟質部材が有する前記凸部と、前記第２の軟質部材が有する前記凸部とは、同一形状をなすものである請求項１または２に記載の接合体の製造方法。
【請求項４】
前記第１の軟質部材が有する前記凸部、および、前記第２の軟質部材が有する前記凸部は、いずれも、平面視した際の形状が円形のものである請求項３に記載の接合体の製造方法。
【請求項５】
前記第１の軟質部材が有する前記凸部と、前記第２の軟質部材が有する前記凸部とは、同一の大きさを有するものである請求項１ないし４のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項６】
前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材の少なくともいずれか一方は、シート状をなすものである請求項１ないし５のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項７】
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材は、シリコーンゴムで構成されたものである請求項１ないし６のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項８】
前記軟質部材設置工程は、流体上に、第１のフロートおよび第２のフロートを浮遊させ、前記第１のフロート上に前記第１の軟質部材を配置し、前記第２のフロート上に前記第２の軟質部材を配置することにより行うものである請求項１ないし７のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項９】
前記流体として水を用いる請求項８に記載の接合体の製造方法。
【請求項１０】
前記第１の軟質部材と前記第１のフロートとの間と、前記第２の軟質部材と前記第２のフロートとの間の少なくともいずれか一方に、液体を浸したシート材が配される請求項８または９に記載の接合体の製造方法。
【請求項１１】
前記接合工程は、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材を接触させた状態で、前記第１の軟質部材の側面部と該側面部と対向する前記第２の軟質部材の側面部とによって構成される溝部に接着剤を付与することにより行うものである請求項１ないし１０のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項１２】
前記第１の軟質部材は、前記第２の軟質部材と対向する側の側面部が前記第１の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有している請求項１ないし１１のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項１３】
前記第２の軟質部材は、前記第１の軟質部材と対向する側の側面部が前記第２の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有している請求項１２に記載の接合体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の方法を用いて製造されたことを特徴とする接合体。
【請求項１５】
接合体は、成形型として用いられるものである請求項１４に記載の接合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合体の製造方法および接合体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた（例えば、特許文献１参照）。
しかし、上記文献に開示されているように硬質材料で構成された部材（合成樹脂板）同士を接合した場合、接合部の長手方向の各部位で、隙間（ギャップ）が異なるという問題があった。そして、このような問題は、接合部の長さが長くなるほど顕著になっていた。硬質材料で構成された部材の代わりに、軟質材料で構成された部材を用いることにより、接合部の長手方向の各部位での隙間（ギャップ）の均一性を高められる。しかしながら、軟質材料で構成された部材の接合に、上記文献に開示されたような技術を転用しようとした場合、接合面において不本意な段差が生じてしまう等の問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３１４８号公報（特許請求の範囲）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供すること、また、前記接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合体の製造方法は、軟質材料で構成され、表面に凸部が設けられた第１の軟質部材および第２の軟質部材を、前記凸部が設けられた面を上側にして設置する軟質部材設置工程と、
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具を配置するアライメント用治具設置工程と、
前記アライメント用治具上から荷重を加え、前記第１の軟質部材が有する前記凸部の変形量、および、前記第２の軟質部材が有する前記凸部の変形量を調整する潰れ量調整工程と、
前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材について前記凸部の変形量を調整した状態で、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材とを接合する接合工程とを有することを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することができる。
【０００６】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材は、いずれも、複数個の前記凸部を有するものであることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材が有する凸部の変形量、第２の軟質部材が有する凸部の変形量をより正確に検出することができる。その結果、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。また、第１の軟質部材と第２の軟質部材の接合部の長さが長いものであっても、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることを確実に防止することができる。
【０００７】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材が有する前記凸部と、前記第２の軟質部材が有する前記凸部とは、同一形状をなすものであることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材が有する凸部の変形量と、第２の軟質部材が有する凸部の変形量との比較を、より容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができるとともに、接合体の生産性を特に優れたものとすることができる。
【０００８】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材が有する前記凸部、および、前記第２の軟質部材が有する前記凸部は、いずれも、平面視した際の形状が円形のものであることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材が有する凸部の変形量と、第２の軟質部材が有する凸部の変形量との比較を、さらに容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体の寸法精度をさらに優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをさらに確実に防止することができるとともに、接合体の生産性をさらに優れたものとすることができる。
【０００９】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材が有する前記凸部と、前記第２の軟質部材が有する前記凸部とは、同一の大きさを有するものであることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材が有する凸部の変形量と、第２の軟質部材が有する凸部の変形量との比較を、より容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができるとともに、接合体の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００１０】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材の少なくともいずれか一方は、シート状をなすものであることが好ましい。
軟質材料で構成された部材がシート状をなすものであると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、第１の軟質部材、第２の軟質部材がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、第１の軟質部材および／または第２の軟質部材がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００１１】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材は、シリコーンゴムで構成されたものであることが好ましい。
これにより、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。また、比較的低温（例えば、室温）で硬化反応を好適に進行させることができる点、溶剤を用いる必要がない点、安価である点等でも有利である。
【００１２】
本発明の接合体の製造方法では、前記軟質部材設置工程は、流体上に、第１のフロートおよび第２のフロートを浮遊させ、前記第１のフロート上に前記第１の軟質部材を配置し、前記第２のフロート上に前記第２の軟質部材を配置することにより行うものであることが好ましい。
これにより、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
【００１３】
本発明の接合体の製造方法では、前記流体として水を用いることが好ましい。
これにより、流体の取り扱いのし易さが向上する。また、本発明の方法に用いる装置の簡素化を図ることができる。また、接合体の生産コストを抑制することができる。
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材と前記第１のフロートとの間と、前記第２の軟質部材と前記第２のフロートとの間の少なくともいずれか一方に、液体を浸したシート材が配されることが好ましい。
これにより、第１のフロート上に第１の軟質部材を載置する際、第２のフロート上に第２の軟質部材を載置する際の衝撃を緩和することができ、第１の軟質部材、第２の軟質部材の不本意な変形（反り・歪曲）をより効果的に防止することができる。また、このような構成にすることにより、第１の軟質部材が接地した際、第２の軟質部材が接地した際に、応力（歪み）を緩和するような自律的な弾性回復力が起こり易くなり、第１のフロートと第１の軟質部材との間、第２のフロートと第２の軟質部材との間に応力が蓄積されてしまうことをより効果的に防止することができる。また、接合工程において第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合する際に、これらの側面部の長手方向の各部位での第１の軟質部材と第２の軟質部材との密着の程度をより好適に調整することが可能となる。その結果、接合体の接合部の長手方向の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体において、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができる。
【００１４】
本発明の接合体の製造方法では、前記接合工程は、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材を接触させた状態で、前記第１の軟質部材の側面部と該側面部と対向する前記第２の軟質部材の側面部とによって構成される溝部に接着剤を付与することにより行うものであることが好ましい。
これにより、接合体の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
【００１５】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材は、前記第２の軟質部材と対向する側の側面部が前記第１の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有していることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材を第１のフロートに載置し、かつ、第２の軟質部材を第２のフロートに載置した状態で、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを好適に接近させることができ、接合工程での第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合を好適に行うことができる。また、接合工程で、傾斜部により形成される凹部に好適に接着剤を付与することができ、接合体の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
【００１６】
本発明の接合体の製造方法では、前記第２の軟質部材は、前記第１の軟質部材と対向する側の側面部が前記第２の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有していることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材を第１のフロートに載置し、かつ、第２の軟質部材を第２のフロートに載置した状態で、第１の軟質部材と第２の軟質部材とをより好適に接近させることができ、接合工程での第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合をより好適に行うことができる。また、接合工程で、傾斜部により形成される凹部により好適に接着剤を付与することができ、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００１７】
本発明の接合体は、本発明の接合体の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供することができる。
本発明の接合体は、成形型として用いられるものであることが好ましい。
一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れ、精密転写に有利であるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【図２】本発明の接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【図３】第１の軟質部材の凸部および第２の軟質部材の凸部に、荷重による変形（潰れ）を生じた状態を説明するための模式的な断面図である。
【図４】潰れ量調整工程における、荷重の調整による第１の軟質部材の凸部および第２の軟質部材の凸部の変形量（潰れ量）の調整を説明するための模式的な平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
ところで、通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた。
しかし、硬質材料で構成された部材（合成樹脂板）同士を接合した場合、接合部の長手方向の各部位で、隙間（ギャップ）が異なるという問題があった。そして、このような問題は、接合部の長さが長くなるほど顕著になっていた。硬質材料で構成された部材の代わりに、軟質材料で構成された部材を用いることにより、接合部の長手方向の各部位での隙間（ギャップ）の均一性を高められる。しかしながら、軟質材料で構成された部材の接合に、上記のような技術を転用しようとした場合、接合面において不本意な段差が生じてしまう等の問題があった。これは、軟質材料では、自重による変形等を生じ易く、また、接合すべき各部材での変形の度合い、各部位での変形の度合いが不均一になるためである。
そこで、本発明者は、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供することを目的に鋭意研究を行った。その結果、以下に述べるような本発明により、上記のような問題を解決することができることを見出した。
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２０】
《接合体の製造方法》
まず、本発明の接合体の製造方法について説明する。
図１、図２は、本発明の接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図、図３は、第１の軟質部材の凸部および第２の軟質部材の凸部に、荷重による変形（潰れ）を生じた状態を説明するための模式的な断面図、図４は、潰れ量調整工程における、荷重の調整による第１の軟質部材の凸部および第２の軟質部材の凸部の変形量（潰れ量）の調整を説明するための模式的な平面図である。なお、本明細書で参照する図面は、その一部を強調して、模式的に示したものであり、実際の寸法等を正確に反映したものではない。また、図４は、アライメント用治具９を介して観察される凸部１１１１および凸部１２１１の潰れの様子を示すものであり、凸部１１１１および凸部１２１１のうち、アライメント用治具９と密着している部分を斜線部で示した。
本実施形態の接合体の製造方法は、軟質部材設置工程（１ａ）と、アライメント用治具設置工程（１ｂ）と、潰れ量調整工程（１ｃ）と、接合工程（１ｄ）と、補強工程（１ｅ）とを有している。
【００２１】
＜軟質部材設置工程＞
本工程では、軟質材料で構成され、表面（第１の面１１１）に凸部１１１１が設けられた第１の軟質部材１１を、凸部１１１１が設けられた面（第１の面１１１）を上側にして設置するとともに、軟質材料で構成され、表面（第１の面１２１）に凸部１２１１が設けられた第２の軟質部材１２を、凸部１２１１が設けられた面（第１の面１２１）が設けられた面を上側にして設置する（１ａ）。
【００２２】
特に、本実施形態では、流体３上に、第１のフロート２１および第２のフロート２２を浮遊させ、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１１を配置するとともに、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１２を配置する（１ａ）。これにより、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
【００２３】
第１のフロート２１、第２のフロート２２は、それぞれ、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２を載置した状態で、流体３に浮遊した状態を保つことができるものであればいかなるものであってもよいが、第１のフロート２１、第２のフロート２２としては、発泡スチロール等の多孔質体を好適に用いることができる。特に、発泡スチロールは、比重が小さいため、流体３の選択肢が増えるとともに、断熱性にも優れるため、流体を加熱、冷却する場合においても、温度変化による第１の軟質部材、第２の軟質部材への悪影響の発生を効果的に防止することができる。
【００２４】
第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重は、０．０１０以上０．７以下であるのが好ましく、０．０１０以上０．０３以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような第１のフロート２１、第２のフロート２２としての機能をより確実に発揮することができ、流体３の種類の選択肢等を広げることができる。これに対し、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重が前記下限値未満であると、流体３の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート２１、第２のフロート２２が流体３から受ける反発力が大きくなり、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２に不本意な変形を生じる可能性がある。また、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重が前記上限値を超えると、流体３の比重等によっては、第１の軟質部材１１を載置した第１のフロート２１、第２の軟質部材１２を載置した第２のフロート２２を、安定的に流体３上に浮遊させておくことが困難になる可能性がある。
【００２５】
また、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、全体にわたって均一な条件（組成、密度等）を有するものであってもよいし、各部位で条件（組成、密度等）の異なるものであってもよい。例えば、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、多層構造を有するもの（例えば、基部と、その表面に設けられた被膜とを有するもの）であってもよい。これにより、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重を小さいものとしつつ、第１のフロート２１、第２のフロート２２の化学的安定性、熱的安定性等を優れたものとすることができる。その結果、本発明の接合体の製造方法における条件の幅（例えば、流体３の種類、処理温度等の幅）が広がり、接合体１００の生産性や、接合体１００の寸法精度等を特に優れたものとすることができる。また、第１のフロート２１、第２のフロート２２の長寿命化を図ることができ、接合体１００の製造に繰り返し好適に用いることができるため、接合体１００の生産コストの抑制を図ることができる。
【００２６】
流体３としては、各種液体、各種気体、超臨界流体等を用いることができる。
流体３の比重は、０．７以上１．２以下であるのが好ましく、０．９以上１．１以下であるのがより好ましい。これにより、流体３上に、第１の軟質部材１１が載置された第１のフロート２１および第２の軟質部材１２が載置された第２のフロート２２を、より好適に浮遊させた状態で、後の接合工程を行うことができ、結果として、上述したような効果をより顕著に発揮させることができる。これに対し、流体３の比重が前記下限値未満であると、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重等によっては、第１の軟質部材１１を載置した第１のフロート２１、第２の軟質部材１２を載置した第２のフロート２２を、安定的に流体３上に浮遊させておくことが困難になり、後に詳述する潰れ量調整工程における凸部１１１１、凸部１２１１の潰れ量の調整が困難になる可能性がある。また、流体３の比重が前記上限値を超えると、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート２１、第２のフロート２２が流体３から受ける反発力が大きくなりすぎ、上述したような効果が十分に発揮されない可能性がある。
【００２７】
流体３としては、液体を用いるのが好ましく、水を用いるのがより好ましい。これにより、流体３の取り扱いのし易さが向上する。また、本発明の接合体の製造方法に用いる装置の簡素化を図ることができる。また、接合体１００の生産コストを抑制することができる。
なお、流体３中には、例えば、界面活性剤、酸化防止剤、防腐剤等の各種添加剤が含まれていてもよい。
【００２８】
第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２は、軟質材料で構成されたものである。
本発明において、軟質材料とは、ヤング率が１００Ｐａ以上５００ＭＰａ以下のものであり、より好ましくは１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下のものを好適に用いることができる。
第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２を構成する軟質材料の具体例としては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、ブチルゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロブレンゴム、ネオプレンゴム、エチレンプロピレンジエン重合体、アクリルゴム、フッ素ゴム、フロロシリコーンゴム、ポリウレタン、ポリオレフィンゴム、天然ゴム、軟質ビニールを含む高分子材料、皮膚や筋肉を含む生体組織、ゼリーやゼラチンを含む食品等が挙げられる。
【００２９】
第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２は、上記のような材料の中でも、シリコーンゴムで構成されたものであるのが好ましい。これにより、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。また、比較的低温（例えば、室温）で硬化反応を好適に進行させることができる点、溶剤を用いる必要がない点、安価である点等でも有利である。
【００３０】
本実施形態では、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２は、シート状をなすものである。軟質材料で構成された部材がシート状をなすものであると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、第１の軟質部材、第２の軟質部材がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００３１】
図示の構成では、第１の軟質部材１１は、第１の面１１１が上側（アライメント用治具によって押圧される側）を向き、それとは反対側の第２の面１１２が下側を向いている。そして、第１の面１１１には、凸部１１１１が設けられており、第２の面１１２は、平坦面となっている。他方、第２の軟質部材１２は、第１の面１２１が上側を向き、それとは反対側の第２の面１２２が下側を向いている。そして、第１の面１２１には、凸部１１１１が設けられており、第２の面１２２は、平坦面となっている。なお、図１、図２中、凸部１１１１、凸部１２１１は省略した。
【００３２】
第１の軟質部材１１は、少なくとも１個の凸部１１１１を有するものであればよく、第２の軟質部材１２は、少なくとも１個の凸部１２１１を有するものであればよいが、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２のうち少なくとも一方が複数個の凸部を有するものであるのが好ましく、第１の軟質部材１１が複数個の凸部１１１１を有するものであり、かつ、第２の軟質部材１２が複数個の凸部１２１１を有するものであるのがより好ましい。これにより、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１の変形量、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１の変形量をより正確に検出することができる。その結果、製造される接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。また、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２の接合部の長さ（図１、図２、図３中の奥行き方向の長さ、図４中の上下方向の長さ）が長いものであっても、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることを確実に防止することができる。
【００３３】
図示の構成では、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１と、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１とは、同一形状をなすものである。これにより、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１の変形量と、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１の変形量との比較を、より容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができるとともに、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００３４】
特に、図示の構成では、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１、および、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１は、いずれも、平面視した際の形状が円形のものである（図４参照）。これにより、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１の変形量と、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１の変形量との比較を、さらに容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体１００の寸法精度をさらに優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをさらに確実に防止することができるとともに、接合体１００の生産性をさらに優れたものとすることができる。
【００３５】
また、図示の構成では、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１と、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１とは、同一の大きさを有するものである。これにより、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１の変形量と、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１の変形量との比較を、より容易かつ正確に行うことができる。その結果、製造される接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができるとともに、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００３６】
第１の軟質部材１１は、第２の軟質部材１２と対向する側の側面部１１３が第１の軟質部材１１の厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部１１３１を有している。これにより、第１の軟質部材１１を第１のフロート２１に載置し、かつ、第２の軟質部材１２を第２のフロート２２に載置した状態で、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを好適に接近させることができ、後の接合工程での第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合を好適に行うことができる。また、後の接合工程で、傾斜部１１３１により形成される凹部（溝部）に好適に接着剤４を付与することができ、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。図示の構成では、側面部１１３全体が傾斜部１１３１となっているが、傾斜部１１３１は、側面部１１３の一部にのみ設けられたものであってもよい。
【００３７】
また、第２の軟質部材１２は、第１の軟質部材１１と対向する側の側面部１２３が第２の軟質部材１２の厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部１２３１を有している。これにより、第１の軟質部材１１を第１のフロート２１に載置し、かつ、第２の軟質部材１２を第２のフロート２２に載置した状態で、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを好適に接近させることができ、後の接合工程での第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合を好適に行うことができる。また、後の接合工程で、傾斜部１２３１により形成される凹部（溝部）に好適に接着剤４を付与することができ、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。図示の構成では、側面部１２３全体が傾斜部１２３１となっているが、傾斜部１２３１は、側面部１２３の一部にのみ設けられたものであってもよい。
【００３８】
なお、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２のうち一方のみが傾斜部を有するものであってもよく、このような場合あっても、上述したような効果が得られるが、図示のように、第１の軟質部材１１が傾斜部１１３１を有し、第２の軟質部材１２が傾斜部１２３１を有していることにより、これらの効果が相乗的に作用し、上述したような効果がより顕著に発揮される。
【００３９】
傾斜部１１３１の傾斜角度（第１の軟質部材１１の厚さ方向（法線方向）と、傾斜部１１３１の面方向とのなす角）θ１、傾斜部１２３１の傾斜角度（第２の軟質部材１２の厚さ方向（法線方向）と、傾斜部１２３１の面方向とのなす角）θ２は、特に限定されないが、１°以上１２°以下であるのが好ましく、１°以上６°以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような効果がより顕著に発揮される。これに対し、θ１、θ２が前記下限値未満であると、上述したような効果が十分に発揮されない可能性がある。また、θ１、θ２が前記上限値を超えると、上記のような、接合工程後における第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合強度を特に優れたものとすることができるという効果が十分に発揮されない可能性がある。また、第１のフロート２１上における第１の軟質部材１１の不本意な変形（だれ）の程度、第２のフロート２２上における第２の軟質部材１２の不本意な変形（だれ）の程度が大きくなり、十分に高い寸法精度で、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを接合するのが困難になる可能性がある。
【００４０】
第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２の平均厚さ（図中の上下方向の厚さ）は、０．２ｃｍ以上５０ｃｍ以下であるのが好ましく、１ｃｍ以上５ｃｍ以下であるのがより好ましい。軟質材料で構成された部材の厚さが前記範囲内の値であると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、第１の軟質部材、第２の軟質部材の平均厚さが前記範囲内の値であっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２の平均厚さが前記範囲内の値である場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００４１】
本実施形態において、本工程では、最終的に、第１の軟質部材１１が載置された第１のフロート２１が、流体３上に浮遊していればよく、流体３上に第１のフロート２１を浮遊させた後に、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１１を載置してもよいし、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１１を載置した状態で、流体３上に浮遊させてもよい。また、第１の軟質部材１１を載置した第１のフロート２１を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体３を導入し、それにより、第１の軟質部材１１を載置した第１のフロート２１を、流体３に浮遊させてもよい。
【００４２】
同様に、本工程では、最終的に、第２の軟質部材１２が載置された第２のフロート２２が、流体３上に浮遊していればよく、流体３上に第２のフロート２２を浮遊させた後に、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１２を載置してもよいし、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１２を載置した状態で、流体３上に浮遊させてもよい。また、第２の軟質部材１２を載置した第２のフロート２２を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体３を導入し、それにより、第２の軟質部材１２を載置した第２のフロート２２を、流体３に浮遊させてもよい。
【００４３】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１１と第１のフロート２１との間に液体を浸した第１のシート材７１が配されており、第２の軟質部材１２と第２のフロート２２との間に液体を浸した第２のシート材７２が配されている。これにより、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１１を載置する際、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１２を載置する際の衝撃を緩和することができ、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２の不本意な変形をより効果的に防止することができる。また、このような構成にすることにより、第１の軟質部材１１が接地した際、第２の軟質部材１２が接地した際に、応力（歪み）を緩和するような自律的な変形が起こり易くなり、第１のフロート２１と第１の軟質部材１１との間、第２のフロート２２と第２の軟質部材１２との間に応力が蓄積されてしまうことをより効果的に防止することができる。また、後の接合工程において第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２を接合する際に、側面部１１３、側面部１２３の長手方向（図中の奥行き方向）の各部位での第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との密着の程度をより好適に調整することが可能となる。その結果、接合体１００の接合部の長手方向の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体１００において、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。
前記液体としては、例えば、水、油、界面活性剤（例えば、ライオン（株）ママレモン等を用いることができる。
【００４４】
＜アライメント用治具設置工程＞
次に、第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具９を配置する（１ｂ）。これにより、アライメント用治具９の荷重により、軟質材料で構成された第１の軟質部材１１の凸部１１１１および第２の軟質部材１２の凸部１２１１が変形する。
【００４５】
アライメント用治具９の第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２に接触する側の表面の水平度は、０．１０°以下であるのが好ましく、０．０５°以下であるのがより好ましい。これにより、製造される接合体１００に不本意な変形（反り・歪曲）や、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合部に不本意な段差が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを跨ぐように配置されるアライメント用治具９に加え、第１の軟質部材１１の第１の面１１１のみを押圧するアライメント用治具９’、第２の軟質部材１２の第１の面１２１のみを押圧するアライメント用治具９’’を用いている。これにより、例えば、軟質部材（第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２）とアライメント用治具（アライメント用治具９、アライメント用治具９’およびアライメント用治具９’’）との全体としての接触面積を大きくすることができ、各部位に加わる圧力を比較的小さいものとし、本工程における凸部１１１１、凸部１２１１の不本意な変形を防止しつつ、第１の軟質部材１１の第１の面１１１と第２の軟質部材１２の第１の面１２１とが面位置となるようにすることができる。その結果、後の潰れ量調整工程での凸部１１１１、凸部１２１１の潰れ量の調整をより好適に行うことができる。言い換えると、本工程（アライメント用治具設置工程）での凸部１１１１、凸部１２１１の変形が必要以上に大きくなると、後の潰れ量調整工程での凸部１１１１、凸部１２１１の変形可能範囲が小さいものとなるため、潰れ量の調整を好適に行うことが困難になる可能性がある。また、アライメント用治具９とともに、アライメント用治具９’およびアライメント用治具９’’を用いることにより、第１の軟質部材１１を載置した第１のフロート２１の浮力、第２の軟質部材１２を載置した第２のフロート２２の浮力により、アライメント用治具９により押圧された第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２が部分的に浮き上がり、製造される接合体１００に不本意な変形（反り・歪曲）が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００４７】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１１は第１のフロート２１上に載置されており、第２の軟質部材１２は第２のフロート２２上に載置されているため、アライメント用治具９による押圧により、第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２に加えられた力は、第１のフロート２１および第２のフロート２２に伝わり、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、それぞれ独立して、所定深さだけ流体３中に沈み込む。その結果、各部位に加わる圧力を比較的小さいものとし、本工程における凸部１１１１、凸部１２１１の不本意な変形を防止しつつ、第１の軟質部材１１の第１の面１１１と第２の軟質部材１２の第１の面１２１とが面位置となるようにすることができる。その結果、後の潰れ量調整工程での凸部１１１１、凸部１２１１の潰れ量の調整をより好適に行うことができる。
【００４８】
アライメント用治具９は、透明性を有する材料で構成されたものであるのが好ましい。これにより、潰れ量調整工程での凸部１１１１の変形、凸部１２１１の変形の検出をより容易かつ確実に行うことが可能となる。
アライメント用治具９、９’、９’’は、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２を構成する軟質材料よりも硬質の材料で構成されたものであればよいが、例えば、各種ガラス等の透明体で構成する事により、微細構造表面をマイクロスコープ等で確認でき、アライメント調整がより確実なものとする事ができる。また、アライメント用治具９’、９’’が大きくなるにつれ、平坦度を確保した部材の調達が難しくなるが、ガラスで構成されたものを使用する事により比較的短納期になる。これにより、アライメント用治具９の形状の安定性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、アライメント用治具９の耐久性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ガラスは、一般に、透明性が高いため、潰れ量調整工程での凸部１１１１の変形、凸部１２１１の変形の検出をより容易かつ確実に行うことが可能となる。
【００４９】
アライメント用治具９は、第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２に接触する側の表面に、表面処理剤による表面処理が施されたものであるのが好ましい。これにより、アライメント用治具９下での第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２の滑りが制御可能となり、接合工程でのアライメント調整が容易となるという効果が得られる。
【００５０】
また、アライメント用治具９’の第１の軟質部材１１に接触する側の表面や、アライメント用治具９’’の第２の軟質部材１２に接触する側の表面にも、表面処理剤による表面処理が施されていてもよい。これにより、上記と同様な効果が得られる。
表面処理剤としては、フッ素系離型剤、シリコーン系離型剤等の離型剤等が挙げられる。
【００５１】
＜潰れ量調整工程＞
ところで、上述したようなアライメント用治具設置工程により、例えば、第１の軟質部材１１の第１の面１１１と第２の軟質部材１２の第１の面１２１とが面位置となるようにすることができる。しかしながら、上述したように、軟質材料では、自重による変形等を生じ易く、また、接合すべき各部材での変形の度合い、各部位での変形の度合いが不均一になるという問題があるため、単に、第１の軟質部材の第１の面と第２の軟質部材の第１の面とが面位置となるようにしただけでは、その状態で、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合したとしても、最終的に得られる接合体において、不本意な段差の発生を十分に防止することができないことがあった。
【００５２】
そこで、アライメント用治具９上から荷重を加え、第１の軟質部材１１が有する凸部１１１１の変形量、および、第２の軟質部材１２が有する凸部１２１１の変形量を調整することとした（１ｃ）。これにより、上面（第１の軟質部材１１の第１の面１１１、第２の軟質部材１２の第１の面１２１）側における不本意な段差の発生を防止することができ、最終的に得られる接合体１００においても、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じることを確実に防止することができる。
【００５３】
特に、本実施形態では、アライメント用治具９上に、錘５０に載置することにより、凸部１１１１の変形量、および、凸部１２１１の変形量を調整している。これにより、第１の軟質部材１１および第２の軟質部材１２に対して、所望の部位に所望の大きさの荷重を安定的に加えることができる。また、錘５０を用いることにより、荷重を加える部位の変更、調整が容易となる。
【００５４】
図３に示す構成では、凸部１１１１と凸部１２１１とが、互いに同一の大きさの半球状をなすものである場合についての変形（潰れ）の様子を示している。
また、本実施形態では、アライメント用治具９に荷重を加えるための錘５０を複数個用いている。これにより、各部位への荷重の大きさ等の変更、調整をより容易に行うことができる。
【００５５】
特に、本実施形態では、図３に示すように、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２の接合部の長手方向の異なる部位に錘５０を配置している。これにより、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２の接合部の長さが長いものであっても、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
また、本実施形態では、第１の軟質部材１１は第１のフロート２１上に載置されており、第２の軟質部材１２は第２のフロート２２上に載置されているため、加えられる荷重は、凸部（凸部１１１１および凸部１２１１）の変形に利用されるとともに、軟質部材が載置されたフロートの流体中への沈み込みにも利用される。その結果、凸部１１１１、凸部１２１１の変形量の微妙な調整を容易に行うことが可能となる。その結果、製造される接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
【００５６】
凸部１１１１の変形量、凸部１２１１の変形量は、例えば、マイクロスコープを用いた観察等の光学的な観察の結果に基づいて求めることができる。
例えば、比較すべき凸部１１１１および凸部１２１１が、いずれも、平面視した際の形状が円形のものであり、かつ、同一の大きさを有するものである場合、本工程では、凸部１１１１の変形量（潰れ量）と凸部１２１１の変形量（潰れ量）とが同一となるように、すなわち、マイクロスコープ等の検出手段を用いて検出される潰れの形状が、同一の大きさ（直径）の円となるように、両者の潰れ量を調整することができる（図４参照）。
【００５７】
凸部１１１１の変形量、凸部１２１１の変形量は、アライメント用治具９が載置された領域全体について求めるものであってもよいし、アライメント用治具９が載置された領域のうちの一部について求めるものであってもよい。
なお、図示の構成では、錘５０は、アライメント用治具９上のみに載置しているが、アライメント用治具９上に加え、アライメント用治具９’上や、アライメント用治具９’’上に載置してもよい。
【００５８】
＜接合工程＞
次に、第１の軟質部材１１の凸部１１１１の変形量および第２の軟質部材１２の凸部１２１１の変形量を調整した状態で、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを接合する（１ｄ）。これにより、仮接合体１００’が得られる。このように、第１の軟質部材１１の凸部１１１１の変形量および第２の軟質部材１２の凸部１２１１の変形量を調整した状態で、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２とを接合することにより、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との上面側の接合部に不本意な段差が生じるのを確実に防止した状態で、これらを固定化できる。
【００５９】
特に、本実施形態では、本工程は、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２を接触させた状態で、第１の軟質部材１１の側面部１１３と、該側面部１１３と対向する第２の軟質部材１２の側面部１２３とによって構成される溝部に接着剤４を付与することにより行う。これにより、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
接着剤４としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。
【００６０】
＜補強工程＞
次に、第１の軟質部材１１の第１のフロート２１に対向していた側の面（第２の面１１２）、および、第２の軟質部材１２の第２のフロート２２に対向していた側の面（第２の面１２２）に、第３の部材５を接合する（１ｅ）。これにより、接合体が得られる。このように、本実施形態では、軟質部材設置工程、アライメント用治具設置工程、潰れ量調整工程、接合工程に加え、補強工程を有している。これにより、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００６１】
第３の部材５としては、軟質材料を好適に用いることができる。
第３の部材５の具体的な構成材料としては、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２の構成材料として例示したものを用いることができるが、第３の部材５は、第１の軟質部材１１、第２の軟質部材１２と同一の材料で構成されたものであってもよいし、異なる材料で構成されたものであってもよい。
【００６２】
第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合体（仮接合体１００’）と第３の部材５との接合は、例えば、接着剤を用いた接着により行うことができる。当該接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。
なお、第３の部材５は、第１の軟質部材１１の第２の面１１２、および、第２の軟質部材１２の第２の面１２２の全体を被覆するものであってもよいし、第１の軟質部材１１の第２の面１１２、および、第２の軟質部材１２の第２の面１２２の一部のみ（例えば、第１の軟質部材１１と第２の軟質部材１２との接合部（凹部）を跨ぐ領域のみ）を被覆するものであってもよい。
【００６３】
《接合体》
本発明の接合体は、上述したような方法（本発明の接合体の製造方法）を用いて製造されたものである。これにより、接合体を、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていないものとすることができる。
本発明の接合体は、いかなる用途のものであってもよいが、成形型として用いられるものであるのが好ましい。一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れ、精密転写に有利であるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【００６４】
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、前述した実施形態では、第１の軟質部材および第２の軟質部材が、いずれもシート状をなすものである場合について代表的に説明したが、本発明において、第１の軟質部材、第２の軟質部材の形状は、いかなるものであってもよく、シート状に限定されるものではない。
【００６５】
また、前述した実施形態では、軟質部材設置工程を、流体上にフロート（第１のフロートおよび第２のフロート）に浮遊させた状態で行う場合について代表的に説明したが、本発明の接合体の製造方法では、流体、フロートを用いることなく、軟質部材設置工程等を行ってもよい。
また、前述した実施形態では、軟質部材設置工程、アライメント用治具設置工程、潰れ量調整工程、接合工程に加え、補強工程を有する場合について、代表的に説明したが、本発明の接合体の製造方法は、軟質部材設置工程、アライメント用治具設置工程、潰れ量調整工程および接合工程を有するものであればよく、補強工程は省略してもよい。
【００６６】
また、前述した実施形態では、１つの第１の軟質部材について１つの第１のフロートを用い、かつ、１つの第２の軟質部材について１つの第２のフロートを用いる場合について代表的に説明したが、１つの第１の軟質部材について複数個の第１のフロートを用いてもよいし、１つの第２の軟質部材について複数個の第２のフロートを用いてもよい。例えば、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部の長手方向に沿って、複数個の第１のフロートおよび／または複数個の第２のフロートを配置してもよい。これにより、接合部の長手方向の各部位での第１の軟質部材と第２の軟質部材との密着の程度をより好適に調整することができる。その結果、接合部の長手方向の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体において、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができる。なお、このように、１つの第１の軟質部材について複数個の第１のフロートを用いる場合や、１つの第２の軟質部材について複数個の第２のフロートを用いる場合、第１のフロート同士、第２のフロート同士を、紐等の連結部材で連結してもよい。
【００６７】
また、前述した実施形態では、複数個のアライメント用治具を用いる場合について代表的に説明したが、本発明では、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを跨ぐように配置される少なくとも１つのアライメント用治具を用いればよい。この場合、当該アライメント用治具は、第１の軟質部材および第２の軟質部材の一部のみを覆うものであってもよいし、第１の軟質部材および第２の軟質部材のほぼ全面を覆うものであってもよい。
【実施例】
【００６８】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
［１］接合体の製造
（実施例１）
まず、発泡ポリスチレン樹脂で構成された板状の第１のフロート（縦１８０ｃｍ×横１６０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）および第２のフロート（縦１８０ｃｍ×横１６０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）を槽（水槽）内に設置した。
【００６９】
次に、第１のフロートの上面に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を浸した第１のシート材（アキレス製、縦１８０ｃｍ×横１６０ｃｍ×厚さ１ｍｍ）を載置し、さらに、第１のシート材の上面に、シリコーンゴム（軟質材料、ヤング率１５ＭＰａ）で構成されシート状をなす第１の軟質部材（縦１５００ｍｍ×横１５００ｍｍ×厚さ５０ｍｍ）を載置した。また、第２のフロートの上面に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を浸した第２のシート材（アキレス製、縦１８０ｃｍ×横１６０ｃｍ×厚さ１ｍｍ）を載置し、さらに、第２のシート材の上面に、シリコーンゴム（軟質材料、ヤング率１５ＭＰａ）で構成されシート状をなす第２の軟質部材（縦１５００ｍｍ×横１５００ｍｍ×厚さ５０ｍｍ）を載置した。第１の軟質部材としては、一方の面（第１の面）に直径２００μｍの半球状の凸部が正方格子状に規則正しく配列されたものであり、他方の面（第２の面）が平坦面であるものを用いた。第１の軟質部材を平面視した際の隣接する凸部のピッチ（中心間距離）は１８０μｍであった。また、第２の軟質部材としては、一方の面（第１の面）に直径２００μｍの半球状の凸部が正方格子状に規則正しく配列されたものであり、他方の面（第２の面）が平坦面であるものを用いた。第２の軟質部材を平面視した際の隣接する凸部のピッチ（中心間距離）は１８０μｍであった。また、第１の軟質部材および第２の軟質部材は、第１の面が上側を向くように配置した。また、第１の軟質部材および第２の軟質部材は、側面部（接合されるべき面）の全体が傾斜部となったものであった（図１（１ａ）参照）。また、第１の軟質部材が有する傾斜部の傾斜角度（第１の軟質部材の厚さ方向（法線方向）と傾斜部の面方向とのなす角）θ１、第２の軟質部材が有する傾斜部の傾斜角度（第２の軟質部材の厚さ方向（法線方向）と傾斜部の面方向とのなす角）θ２は、いずれも、０．０５°であった。
【００７０】
次に、水槽内に水（流体）を流入させ、第１のシート材と第１の軟質部材とを載せた第１のフロート、および、第２のシート材と第２の軟質部材とを載せた第２のフロートを、浮遊させた（図１（１ａ）参照）。
次に、第１のフロートと第２のフロートを接近させ、第１の軟質部材の側面部（接合されるべき面）と、第２の軟質部材の側面部（接合されるべき面）とを接触させた。
【００７１】
その後、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを跨ぐように、第１の軟質部材および第２の軟質部材の上面に、アライメント用治具（第１のアライメント用治具）を設置した（図１（１ｂ）参照）。また、第１の軟質部材の上面にはアライメント用治具（第２のアライメント用治具）を配置し、第２の軟質部材の上面にはアライメント用治具（第３のアライメント用治具）を配置した。これらのアライメント用治具（第１のアライメント用治具、第２のアライメント用治具、第３のアライメント用治具）としては、ガラスで構成された基材の表面全体にフッ素系離型剤による表面処理が施されたものを用いた。これらのアライメント用治具（第１のアライメント用治具、第２のアライメント用治具、第３のアライメント用治具）の大きさは、いずれも、縦２００ｃｍ×横６０ｃｍ×厚さ５０ｍｍであり、第１の軟質部材、第２の軟質部材の縦方向（ｙ方向）の全長にわたって、第１の軟質部材、第２の軟質部材と接触するものとした。
【００７２】
その後、以下のようにしてアライメント調整を行った。
まず、マイクロスコープを用いて、第１の軟質部材の第１の面に設けられた凸部、および、第２の軟質部材の第１の面に設けられた凸部の潰れ量を観察した。凸部の潰れ量の観察は、透明の第１のアライメント用治具を介して行った。
次に、上記のような潰れ量の観察を行いつつ、第１のアライメント用治具上の複数の箇所に、錘を配置することにより、凸部の潰れ量の調整を行った（図２（１ｃ）参照）。
そして、第１のアライメント用治具により押圧された領域における、第１の軟質部材の凸部および第２の軟質部材の凸部の潰れ量（直径）の最大差が規定値以下（６０μｍ以下）となった時点で、アライメント調整を完了した。
【００７３】
上記のようなアライメント調整を行った後に、第１の軟質部材の側面部と、該側面部と対向する第２の軟質部材の側面部とによって構成される溝部にシリコーン系接着剤を付与し、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合することにより、仮接合体を得た（図２（１ｄ）参照）。
その後、第１の軟質部材の第２の面と第２の軟質部材の第２の面の全体にわたって、シリコーンゴムで構成された第３の部材（補強部材）を接合した。当該接合は、シリコーン系接着剤を付与することにより行った。これにより、接合体としての成形型を得た（図２（１ｅ）参照）。
【００７４】
（実施例２）
第１のシート材および第２のシート材を用いることなく、第１の軟質部材を第１のフロート上に直接設置し、第２の軟質部材を第２のフロート上に直接設置し、さらに、アライメント用治具として表面処理剤による表面処理が施されていないものを用いた以外は、前記実施例１と同様にして接合体としての成形型を製造した。
【００７５】
（比較例１）
まず、定盤の表面全体に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を塗布した。
次に、界面活性剤が付与された定盤上に、前記実施例１で用いたのと同様の第１の軟質部材および第２の軟質部材を、第１の面が上側を向くように載置した。
【００７６】
次に、定盤上の第１の軟質部材と第２の軟質部材を接近させ、第１の軟質部材の側面部（接合されるべき面）と、第２の軟質部材の側面部（接合されるべき面）とを接触させた。
次に、前記実施例１で述べたようなアライメント用治具を用いたアライメント調整を行うことを省略した以外は、前記実施例１で述べたのと同様にして、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合、第３の部材の接合を行い、接合体としての成形型を得た。
【００７７】
［２］評価
前記各実施例および比較例で製造した接合体について、マイクロスコープを用いた観察を行い、接合部での段差（不本意な段差）の発生状況について、以下の基準に従い評価した。
Ａ：接合部における段差の最大値が、２μｍ未満。
Ｂ：接合部における段差の最大値が、２μｍ以上５μｍ未満。
Ｃ：接合部における段差の最大値が、５μｍ以上７μｍ未満。
Ｄ：接合部における段差の最大値が、７μｍ以上１０μｍ未満。
Ｅ：接合部における段差の最大値が、１０μｍ以上１５μｍ未満。
Ｆ：接合部における段差の最大値が、１５μｍ以上。
前記各実施例および比較例についての接合体の製造方法の条件とともに評価の結果を、表１にまとめて示した。
【００７８】
【表１】
2013226762.tif 000002
【００７９】
表１から明らかなように、本発明では、接合部における不本意な段差の発生が効果的に防止されていた。また、本発明では、アライメント調整を容易かつ確実に行うことができ、接合体の生産性を特に優れたものとすることができた。これに対し、比較例では、満足な結果が得られなかった。
【符号の説明】
【００８０】
１００…接合体  １００’…仮接合体  １１…第１の軟質部材  １１１…第１の面  １１１１…凸部  １１２…第２の面  １１３…側面部  １１３１…傾斜部  １２…第２の軟質部材  １２１…第１の面  １２１１…凸部  １２２…第２の面  １２３…側面部  １２３１…傾斜部  ２１…第１のフロート  ２２…第２のフロート  ３…流体  ４…接着剤  ５…第３の部材  ７１…第１のシート材  ７２…第２のシート材  ８…槽  ９…アライメント用治具  ９’…アライメント用治具  ９’’…アライメント用治具  ５０…錘  θ１…傾斜角度  θ２…傾斜角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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