(57)【要約】【課題】所望のパターンを形成できる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、記録媒体を保持する第１保持装置と、紫外光の照射により硬化する機能液を記録媒体の上に供給可能であり、所定面内の第１方向に配置された第１吐出ノズル及び第２吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、第１方向に関して第１吐出ノズルと第１距離に配置され、第１吐出ノズルから供給された機能液に紫外光を照射する第１照射装置と、第１方向に関して第２吐出ノズルと第１距離と等しい第２距離に配置され、第２吐出ノズルから供給された機能液に紫外光を照射する第２照射装置と、吐出ヘッド、及び第１、第２照射装置を保持する第２保持装置と、記録媒体に機能液が供給されるときに第１保持装置と第２保持装置とを第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体を保持する第１保持装置と、
紫外光の照射により硬化する機能液を前記記録媒体の上に供給可能であり、所定面内の第１方向に配置された第１吐出ノズル及び第２吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、
前記第１方向に関して前記第１吐出ノズルと第１距離に配置され、前記第１吐出ノズルから供給された前記機能液に紫外光を照射する第１照射装置と、
前記第１方向に関して前記第２吐出ノズルと前記第１距離と等しい第２距離に配置され、前記第２吐出ノズルから供給された前記機能液に紫外光を照射する第２照射装置と、
前記吐出ヘッド、及び前記第１、第２照射装置を保持する第２保持装置と、
前記記録媒体に前記機能液が供給されるときに前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、
前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給が行われず、
前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給が行われない液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の一側に移動しつつ、前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の他側に移動しつつ、前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、
前記第１照射装置は、前記第１方向に関して前記第１吐出ノズルの他側に配置され、
前記第２照射装置は、前記第１方向に関して前記第２吐出ノズルの一側に配置される請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
記録媒体を保持する第１保持装置と、
紫外光の照射により硬化する機能液を前記記録媒体に供給可能な第１吐出ヘッドと、
前記第１吐出ヘッドに対して所定面内の第１方向に配置され、前記機能液を前記記録媒体に供給可能な第２吐出ヘッドと、
前記第１方向に関して前記第１吐出ヘッドと第１距離に配置され、前記第１吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射する第１照射装置と、
前記第１方向に関して前記第２吐出ヘッドと前記第１距離と等しい第２距離に配置され、  前記第２吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射する第２照射装置と、
前記第１、第２吐出ヘッド、及び前記第１、第２照射装置を保持する第２保持装置と、
前記記録媒体に前記機能液が供給されるときに前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、
前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給が行われず、
前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給が行われない液滴吐出装置。
【請求項４】
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の一側に移動しつつ、前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の他側に移動しつつ、前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、
前記第１照射装置は、前記第１方向に関して前記第１吐出ヘッドの他側に配置され、
前記第２照射装置は、前記第１方向に関して前記第２吐出ヘッドの一側に配置される請求項３に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、機能液を吐出する吐出ヘッドを有し、その吐出ヘッドから吐出された機能液を記録媒体に供給して、その記録媒体にパターンを形成する。機能液として、紫外光の照射により硬化する、所謂、紫外光硬化型の機能液が知られている。紫外光硬化型の機能液で記録媒体にパターンを形成する液滴吐出装置は、機能液に紫外光を照射可能な照射装置を備えている。下記特許文献には、液滴吐出装置の一例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０３４０２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
紫外光硬化型の機能液を用いてパターンを形成する場合、記録媒体に供給された機能液に対する紫外光の照射のタイミングによっては、パターンの形状精度が低下する可能性がある。
【０００５】
本発明は、所望のパターンを形成できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、記録媒体を保持する第１保持装置と、紫外光の照射により硬化する機能液を前記記録媒体の上に供給可能であり、所定面内の第１方向に配置された第１吐出ノズル及び第２吐出ノズルを有する吐出ヘッドと、前記第１方向に関して前記第１吐出ノズルと第１距離に配置され、前記第１吐出ノズルから供給された前記機能液に紫外光を照射する第１照射装置と、前記第１方向に関して前記第２吐出ノズルと前記第１距離と等しい第２距離に配置され、前記第２吐出ノズルから供給された前記機能液に紫外光を照射する第２照射装置と、前記吐出ヘッド、及び前記第１、第２照射装置を保持する第２保持装置と、前記記録媒体に前記機能液が供給されるときに前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給が行われず、前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給が行われない液滴吐出装置が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しながら記録媒体に第１吐出ノズルから機能液を供給する場合、第１吐出ノズルから供給された機能液に、第１方向に関して第１吐出ノズルから第１距離に配置された第１照射装置から紫外光を照射するようにしたので、第１吐出ノズルから機能液を供給後、第１距離と相対移動速度とに応じた第１時間経過後に、その第１吐出ノズルからの機能液に紫外光を照射することができる。また、吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しながら記録媒体に第２吐出ノズルから機能液を供給する場合、第２吐出ノズルから供給された機能液に、第１方向に関して第２吐出ノズルから第２距離に配置された第２照射装置から紫外光を照射するようにしたので、第２吐出ノズルから機能液を供給後、第２距離と相対移動速度とに応じた第２時間経過後に、その第２吐出ノズルからの機能液に紫外光を照射することができる。第１距離と第２距離とは等しいので、第１時間と第２時間とは実質的に等しい。すなわち、第１吐出ノズルから機能液を供給してからその機能液に紫外光を照射するまでの第１時間と、第２吐出ノズルから機能液を供給してからその機能液に紫外光を照射するまでの第２時間とを合わせることができる。したがって、例えば第１吐出ノズル及び第２吐出ノズルから供給される機能液のそれぞれで同じ線幅のパターンを形成しようとする場合、第１吐出ノズルからの機能液によって形成されるパターンの線幅と、第２吐出ノズルからの機能液によって形成されるパターンの線幅とを一致させることができる。また、第１吐出ノズルからの機能液の供給と第１照射装置からの紫外光の照射とが行われるとき、第２吐出ノズルからの機能液の供給を行わず、第２吐出ノズルからの機能液の供給と第２照射装置からの紫外光の照射とが行われるとき、第１吐出ノズルからの機能液の供給を行わないようにする。これにより、所望のパターンを形成することができる。
【０００８】
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の一側に移動しつつ、前記第１吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の他側に移動しつつ、前記第２吐出ノズルからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、前記第１照射装置は、前記第１方向に関して前記第１吐出ノズルの他側に配置され、前記第２照射装置は、前記第１方向に関して前記第２吐出ノズルの一側に配置されてもよい。これにより、第１方向に関する第１吐出ノズルと第１照射装置との第１距離、及び第２吐出ノズルと第２照射装置との第２距離のそれぞれを短くすることができる。したがって、記録媒体に供給された機能液が濡れ拡がる前に紫外光を照射することができる。
【０００９】
本発明の第２の態様に従えば、記録媒体を保持する第１保持装置と、紫外光の照射により硬化する機能液を前記記録媒体に供給可能な第１吐出ヘッドと、前記第１吐出ヘッドに対して所定面内の第１方向に配置され、前記機能液を前記記録媒体に供給可能な第２吐出ヘッドと、前記第１方向に関して前記第１吐出ヘッドと第１距離に配置され、前記第１吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射する第１照射装置と、前記第１方向に関して前記第２吐出ヘッドと前記第１距離と等しい第２距離に配置され、  前記第２吐出ヘッドから供給された前記機能液に紫外光を照射する第２照射装置と、前記第１、第２吐出ヘッド、及び前記第１、第２照射装置を保持する第２保持装置と、前記記録媒体に前記機能液が供給されるときに前記第１保持装置と前記第２保持装置とを前記第１方向に相対移動可能な駆動システムと、を備え、前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給が行われず、前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われるとき、前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給が行われない液滴吐出装置が提供される。
【００１０】
本発明の第２の態様によれば、第１吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しながら記録媒体に第１吐出ヘッドから機能液を供給する場合、第１吐出ヘッドから供給された機能液に、第１方向に関して第１吐出ヘッドから第１距離に配置された第１照射装置から紫外光を照射するようにしたので、第１吐出ヘッドから機能液を供給後、第１距離と相対移動速度とに応じた第１時間経過後に、その第１吐出ヘッドからの機能液に紫外光を照射することができる。また、第２吐出ヘッドと記録媒体とを第１方向に相対移動しながら記録媒体に第２吐出ヘッドから機能液を供給する場合、第２吐出ヘッドから供給された機能液に、第１方向に関して第２吐出ヘッドから第２距離に配置された第２照射装置から紫外光を照射するようにしたので、第２吐出ヘッドから機能液を供給後、第２距離と相対移動速度とに応じた第２時間経過後に、その第２吐出ヘッドからの機能液に紫外光を照射することができる。第１距離と第２距離とは等しいので、第１時間と第２時間とは実質的に等しい。すなわち、第１吐出ヘッドから機能液を供給してからその機能液に紫外光を照射するまでの第１時間と、第２吐出ヘッドから機能液を供給してからその機能液に紫外光を照射するまでの第２時間とを合わせることができる。したがって、例えば第１吐出ヘッド及び第２吐出ヘッドから供給される機能液のそれぞれで同じ線幅のパターンを形成しようとする場合、第１吐出ヘッドからの機能液によって形成されるパターンの線幅と、第２吐出ヘッドからの機能液によって形成されるパターンの線幅とを一致させることができる。また、第１吐出ヘッドからの機能液の供給と第１照射装置からの紫外光の照射とが行われるとき、第２吐出ヘッドからの機能液の供給を行わず、第２吐出ヘッドからの機能液の供給と第２照射装置からの紫外光の照射とが行われるとき、第１吐出ヘッドからの機能液の供給を行わないようにする。これにより、所望のパターンを形成することができる。
【００１１】
前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の一側に移動しつつ、前記第１吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第１照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、前記第２保持装置に対して前記第１保持装置を前記第１方向の他側に移動しつつ、前記第２吐出ヘッドからの前記機能液の供給と前記第２照射装置からの前記紫外光の照射とが行われ、前記第１照射装置は、前記第１方向に関して前記第１吐出ヘッドの他側に配置され、前記第２照射装置は、前記第１方向に関して前記第２吐出ヘッドの一側に配置されてもよい。これにより、第１方向に関する第１吐出ヘッドと第１照射装置との第１距離、及び第２吐出ヘッドと第２照射装置との第２距離のそれぞれを短くすることができる。したがって、記録媒体に供給された機能液が濡れ拡がる前に紫外光を照射することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置の一例を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るヘッドユニット、及び第１、第２照射装置の一例を示す図である。
【図３】第１実施形態に係るヘッドユニット、及び第１、第２照射装置の一例を示す図である。
【図４】第１実施形態に係る吐出ヘッドの一例を示す図である。
【図５】第１実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図６】第１実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図７】第１実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図８】第１実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための図である。
【図９】第２実施形態に係るヘッドユニット、及び第１、第２照射装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１４】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置１の一例を示す斜視図である。図１において、液滴吐出装置１は、記録媒体Ｗの裏面を保持する保持装置２５を有するステージ装置３と、保持装置２５にされた記録媒体Ｗの上に機能液ＬＱを供給可能な吐出ヘッド３３を有するヘッドユニット１３と、Ｘ軸方向に関して吐出ヘッド３３の一側（−Ｘ側）に配置され、吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射可能な第１照射装置１５ａと、Ｘ軸方向に関して吐出ヘッド３３の他側（＋Ｘ側）に配置され、吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射可能な第２照射装置１５ｂと、吐出ヘッド３３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを保持する保持装置７と、保持装置２５と保持装置７とをＸＹ平面内において相対移動可能な駆動システム２とを備えている。駆動システム２は、保持装置２５を移動可能な駆動装置４と、保持装置７を移動可能な駆動装置１１とを有する。以下の説明において、保持装置２５を適宜、テーブル２５、と称し、保持装置７を適宜、キャリッジ７、と称する。
【００１５】
本実施形態において、吐出ヘッド３３から供給される機能液ＬＱは、紫外光ＬＵの照射により少なくとも一部が硬化する。すなわち、本実施形態において、機能液ＬＱは、紫外光硬化型の機能液ＬＱである。
【００１６】
本実施形態において、記録媒体Ｗは、プレート状（シート状）である。以下の説明において、記録媒体Ｗを適宜、基板Ｗ、と称する。
【００１７】
液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３と基板Ｗを保持したテーブル２５とをＸＹ平面内において相対移動しつつ、ヘッドユニット１３の吐出ヘッド３３から機能液ＬＱの滴を吐出して、その吐出ヘッド３３から供給された機能液ＬＱで、基板Ｗに膜を形成する。また、液滴吐出装置１は、吐出ヘッド３３から供給される機能液ＬＱで、基板Ｗにパターンを形成（描画）する。
【００１８】
ステージ装置３は、定盤２１と、ガイドレール２３ａ、２３ｂと、テーブル２５とを備えている。ガイドレール２３ａ、２３ｂは、定盤２１の上面２１ａに配置される。ガイドレール２３ａ、２３ｂは、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、Ｘ軸方向に配置される。
【００１９】
テーブル２５は、吐出ヘッド３３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂと対向するように移動可能である。テーブル２５は、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する保持面２５ａを有する。テーブル２５は、基板Ｗの表面とＸＹ平面とが実質的に平行になるように、基板Ｗを保持する。基板Ｗの表面は、吐出ヘッド３３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂと対向可能である。
【００２０】
駆動装置４は、テーブル２５をＹ軸方向に移動可能である。駆動装置４は、例えばリニアモータを含み、ガイドレール２３ａ、２３ｂに配置された固定子と、テーブル２５に配置された可動子とを有する。なお、駆動装置４が、テーブル２５を少なくともＹ軸方向に移動可能なボールねじ及びリニアガイドを有するボールねじ機構を含んでもよい。
【００２１】
なお、駆動装置４が、テーブル２５を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺの６つの方向に移動してもよい。
【００２２】
液滴吐出装置１は、架台１０１と、ガイドレール１０３とを備えている。架台１０１は、Ｘ軸方向に長い。架台１０１は、支柱１０７ａ、１０７ｂによって支持される。ガイドレール１０３は、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール１０３は、架台１０１に接続される。キャリッジ７は、ガイドレール１０３に支持される。
【００２３】
駆動装置１１は、キャリッジ７をＸ軸方向に移動可能である。駆動装置１１は、例えばリニアモータを含み、ガイドレール１０３に配置された固定子と、キャリッジ７に配置された可動子とを有する。なお、駆動装置１１が、キャリッジ７を少なくともＸ軸方向に移動可能なボールねじ及びリニアガイドを有するボールねじ機構を含んでもよい。
【００２４】
なお、駆動装置１１が、キャリッジ７を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺの６つの方向に移動してもよい。
【００２５】
図２は、キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂの一例を示す図である。図１及び図２に示すように、キャリッジ７は、ヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを保持する。ヘッドユニット１３は、キャリッジ７に接続されるヘッドプレート３１と、ヘッドプレート３１に接続される吐出ヘッド３３とを有する。吐出ヘッド３３は、ヘッドプレート３１を介して、キャリッジ７に保持される。キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂは、テーブル２５の上方において移動可能である。
【００２６】
また、図２に示すように、テーブル２５は、気体を吸引可能な吸引口２５ｂを有する。吸引口２５ｂは、保持面２５ａに配置される。吸引口２５ｂは、複数配置される。吸引口２５ｂは、基板Ｗの裏面と対向するように配置される。吸引口２５ｂのそれぞれは、真空システム（不図示）に接続される。基板Ｗの裏面と保持面２５ａとが接触した状態で、吸引口２５ｂから気体が吸引されることによって、基板Ｗが保持面２５ａに吸着保持される。
【００２７】
図３は、キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３（吐出ヘッド３３）、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを下側（−Ｚ側）から見た図である。本実施形態において、ヘッドユニット１３は、複数の吐出ヘッド３３を有する。複数の吐出ヘッド３３は、Ｙ軸方向に配置される。本実施形態において、ヘッドユニット１３は、Ｙ軸方向に配置された２つの吐出ヘッド３３を有する。なお、吐出ヘッド３３は、Ｙ軸方向に３つ以上の任意の数だけ配置されてもよい。
【００２８】
以下の説明において、Ｙ軸方向に配置された２つの吐出ヘッド３３のうち、＋Ｙ側の吐出ヘッド３３を適宜、第１吐出ヘッド３３Ａ、と称し、−Ｙ側の吐出ヘッド３３を適宜、第２吐出ヘッド３３Ｂ、と称する。
【００２９】
以下、第１吐出ヘッド３３Ａについて主に説明する。第２吐出ヘッド３３Ｂは、第１吐出ヘッド３３Ａと実質的に同じ構造である。第２吐出ヘッド３３Ｂについての説明は適宜省略する。
【００３０】
第１吐出ヘッド３３Ａは、下面３５を有する。下面３５に、複数の開口３７が配置される。下面３５は、開口３７の周囲に配置される。開口３７から機能液の滴が吐出される。以下の説明において、下面３５を適宜、ノズル面３５、と称し、開口３７を適宜、ノズル３７、と称する。
【００３１】
第１吐出ヘッド３３Ａにおいて、複数のノズル３７は、Ｙ軸方向に配置される。複数のノズル３７は、間隔（ピッチ）ＰをあけてＹ軸方向に配置される。以下の説明において、Ｙ軸方向に配置される複数のノズル３７の群を適宜、ノズル列３９、と称する。
【００３２】
ノズル列３９は、Ｘ軸方向に複数配置される。本実施形態において、ノズル列３９は、Ｘ軸方向に８つ配置される。以下の説明において、８つのノズル列３９のうち、最も−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第１ノズル列３９ａ、と称し、第１ノズル列３９ａに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第２ノズル列３９ｂ、と称し、第２ノズル列３９ｂに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第３ノズル列３９ｃ、と称し、第３ノズル列３９ｃに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第４ノズル列３９ｄ、と称し、第４ノズル列３９ｄに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第５ノズル列３９ｅ、と称し、第５ノズル列３９ｅに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第６ノズル列３９ｆ、と称し、第６ノズル列３９ｆに次いで−Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第７ノズル列３９ｇ、と称し、８つのノズル列３９のうち、最も＋Ｘ側に配置されるノズル列３９を適宜、第８ノズル列３９ｈ、と称する。
【００３３】
本実施形態において、第１ノズル列３９ａと第２ノズル列３９ｂとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。第３ノズル列３９ｃと第４ノズル列３９ｄとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。また、  本実施形態において、第５ノズル列３９ｅと第６ノズル列３９ｆとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。第７ノズル列３９ｇと第８ノズル列３９ｈとは、Ｙ軸方向に関してＰ／２の距離だけずれて配置される。
【００３４】
第１、第２照射装置１５ａ、１５ｂのそれぞれは、紫外光ＬＵを発生する光源４３を有する。光源４３からの紫外光ＬＵは、吐出ヘッド３３から基板Ｗに供給された機能液ＬＱの硬化を促進させる。機能液ＬＱは、紫外光ＬＵの照射により硬化する。
【００３５】
光源４３は、例えばエキシマランプを含む。なお、光源４３が、ＬＥＤ、ＬＥ、水銀ランプ、メタルハライドランプ、及びキセノンランプの少なくとも一つを含んでもよい。
【００３６】
第１照射装置１５ａは、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置される。すなわち、第１照射装置１５ａは、第１〜第４ノズル列３９ａ〜３９ｄの−Ｘ側に配置される。また、第１照射装置１５ａは、第５〜第８ノズル列３９ｅ〜３９ｈの−Ｘ側に配置される。
【００３７】
第２照射装置１５ｂは、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置される。すなわち、第２照射装置１５ｂは、第５〜第８ノズル列３９ｅ〜３９ｈの＋Ｘ側に配置される。また、第２照射装置１５ｂは、第１〜第４ノズル列３９ａ〜３９ｄの＋Ｘ側に配置される。
【００３８】
Ｙ軸方向に関して、第１照射装置１５ａの寸法及び第２照射装置１５ｂの寸法は、ノズル列３９の寸法よりも大きい。なお、ノズル列３９の寸法とは、ノズル列３９のうち、最も＋Ｙ側に配置されるノズル３７と、最も−Ｙ側に配置されるノズル３７との距離をいう。
【００３９】
第１吐出ヘッド３３Ａと第２吐出ヘッド３３Ｂとは、Ｙ軸方向に関して離れている。第１吐出ヘッド３３Ａのノズル列３９のうち、最も−Ｙ側に配置されるノズル３７と、第２吐出ヘッド３３Ｂのノズル列３９のうち、最も＋Ｙ側に配置されるノズル３７とのＹ軸方向に関する距離Ｄ２は、ノズル列Ｄ１の寸法よりも小さい。
【００４０】
本実施形態において、Ｘ軸方向に関して、第１ノズル列３９ａと第１照射装置１５ａとは、距離Ｌ１だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第２ノズル列３９ｂと第１照射装置１５ａとは、距離Ｌ２だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第３ノズル列３９ｃと第１照射装置１５ａとは、距離Ｌ３だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第４ノズル列３９ｄと第１照射装置１５ａとは、距離Ｌ４だけ離れている。
【００４１】
Ｘ軸方向に関して、第８ノズル列３９ｈと第２照射装置１５ｂとは、距離Ｌ１だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第７ノズル列３９ｇと第２照射装置１５ｂとは、距離Ｌ２だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第６ノズル列３９ｆと第２照射装置１５ｂとは、距離Ｌ３だけ離れている。Ｘ軸方向に関して、第５ノズル列３９ｅと第１照射装置１５ｂとは、距離Ｌ４だけ離れている。
【００４２】
すなわち、本実施形態において、Ｘ軸方向に関して、第１ノズル列３９ａと第１照射装置１５ａとの距離と、第８ノズル列３９ｈと第２照射装置１５ｂとの距離とは、等しい。
Ｘ軸方向に関して、第２ノズル列３９ｂと第１照射装置１５ａとの距離と、第７ノズル列３９ｇと第２照射装置１５ｂとの距離とは、等しい。Ｘ軸方向に関して、第３ノズル列３９ｃと第１照射装置１５ａとの距離と、第６ノズル列３９ｆと第２照射装置１５ｂとの距離とは、等しい。Ｘ軸方向に関して、第４ノズル列３９ｄと第１照射装置１５ａとの距離と、第５ノズル列３９ｅと第２照射装置１５ｂとの距離とは、等しい。
【００４３】
第１照射装置１５ａは、第１、第２、第３、第４ノズル列３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射する。第２照射装置１５ｂは、第５、第６、第７、第８ノズル列３９ｅ、３９ｆ、３９ｇ、３９ｈのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射する。
【００４４】
一方、第１照射装置１５ａは、第５、第６、第７、第８ノズル列３９ｅ、３９ｆ、３９ｇ、３９ｈのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射しない。第２照射装置１５ｂは、第１、第２、第３、第４ノズル列３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射しない。
【００４５】
本実施形態において、第１ノズル列３９ａのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第８ノズル列３９ｈのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第２ノズル列３９ｂのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第７ノズル列３９ｇのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第３ノズル列３９ｃのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第６ノズル列３９ｆのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第４ノズル列３９ｄのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第５ノズル列３９ｅのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。なお、液体ＬＱの種類は、液体ＬＱの物性（組成）、及び液体ＬＱの粘度の少なくとも一つを含む。
【００４６】
例えば、第１ノズル列３９ａのノズル３７、及び第８ノズル列３９ｈのノズル３７から、イエロー（Ｙ）の機能液ＬＱが供給される。第２ノズル列３９ｂのノズル３７、及び第７ノズル列３９ｇのノズル３７から、マゼンタ（Ｍ）の機能液ＬＱが供給される。第３ノズル列３９ｃのノズル３７、及び第６ノズル列３９ｆのノズル３７から、シアン（Ｃ）の機能液ＬＱが供給される。第４ノズル列３９ｄのノズル３７、及び第５ノズル列３９ｅのノズル３７から、ブラック（Ｂｋ）の機能液ＬＱが供給される。
【００４７】
図４は、吐出ヘッド３３の一例を示す断面図である。図４に示すように、吐出ヘッド３３は、ノズルプレート４６と、キャビティプレート４７と、振動板４８と、圧電素子４９とを有する。
【００４８】
ノズルプレート４６は、ノズル面３５と、ノズル面３５の反対方向を向く上面３６とを輸する。ノズルプレート４６に、ノズル３７が形成される。
【００４９】
キャビティプレート４７は、ノズルプレート４６の上面３６と対向する下面４７ｂと、その下面４７ｂの反対方向を向く上面４７ａとを有する。キャビティプレート４７は、キャビティ５１を有する。キャビティ５１は、複数のノズル３７のそれぞれに対応するように、複数形成される。タンク等を含む機能液供給装置から、キャビティ５１に対して機能液ＬＱが供給される。
【００５０】
振動板４８は、キャビティプレート４７の上面４７ａと対向する下面４８ｂと、その下面４８ｂの反対方向を向く上面４８ａとを有する。振動板４８が振動すると、キャビティ５１の容積が拡大又は縮小する。
【００５１】
圧電素子４９は、振動板４８の上面４８ａと対向するように配置される。圧電素子４９は、複数のキャビティ５１のそれぞれに対応するように、複数配置される。圧電素子４９に駆動信号が入力されると、その駆動信号に応じて、圧電素子４９が伸縮する。これにより、振動板４８が振動し、キャビティ５１の容積が拡大又は縮小する。キャビティ５１の容積が変化し、そのキャビティ５１の圧力が高くなると、そのキャビティ５１内の機能液ＬＱがノズル３７から吐出される。これにより、ノズル３７と対向する基板Ｗに、ノズル３７から機能液ＬＱの滴が供給される。
【００５２】
次に、上述の液滴吐出装置１を用いて、基板Ｗに膜を形成する方法の一例について説明する。図５〜図８は、本実施形態に係る成膜方法の一例を説明するための模式図である。
【００５３】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、基板Ｗに機能液ＬＱで膜Ｆが形成されるように、吐出ヘッド３３と基板ＷとＸ軸方向に相対移動しつつ、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。また、液滴吐出装置１は、基板Ｗの裏面がテーブル２５に吸着保持された状態で、機能液ＬＱの供給と、その供給された機能液ＬＱに対する紫外光ＬＵの照射を行う。
【００５４】
本実施形態において、液滴吐出装置１は、テーブル２５（基板Ｗ）に対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂからの機能液ＬＱの供給と、その第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂから供給された機能液ＬＱに対する第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗの部分Ｗａ、Ｗｃに膜Ｆの一部を形成する。また、液滴吐出装置１は、テーブル２５（基板Ｗ）に対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂからの機能液ＬＱの供給と、その第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂから供給された機能液ＬＱに対する第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗの部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆの一部を形成する。
【００５５】
以下、一例として、イエロー（Ｙ）の機能液ＬＱで基板Ｗに膜Ｆを形成する場合について説明する。
【００５６】
図５及び図６は、基板Ｗの部分Ｗａ、Ｗｃにイエロー（Ｙ）の機能液ＬＱで膜Ｆの一部を形成する状態の一例を模式的示す図であって、図５は側面図、図６は平面図を示す。図６に示すように、部分Ｗａと部分Ｗｃとは、Ｙ軸方向に関して離れている。
【００５７】
図５及び図６に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００５８】
第１ノズル列３９ａからの機能液ＬＱの供給と第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、少なくとも第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。本実施形態においては、第１ノズル列３９ａからの機能液ＬＱの供給と第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第２〜第８ノズル列３９ｂ〜３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。
【００５９】
液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に速度Ｖで移動（等速移動）しつつ、第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００６０】
したがって、本実施形態においては、第１ノズル列３９ａのノズル３７から基板Ｗに機能液ＬＱが供給されてから、その機能液ＬＱに紫外光ＬＵが照射されるまでの時間Ｔ１は、Ｌ１／Ｖとなる。
【００６１】
図７及び図８は、基板Ｗの部分Ｗｂ、Ｗｄにイエロー（Ｙ）の機能液ＬＱで膜Ｆの一部を形成する状態の一例を模式的示す図であって、図７は側面図、図８は平面図を示す。図８に示すように、部分Ｗｂと部分Ｗｄとは、Ｙ軸方向に関して離れている。部分Ｗｂは、部分Ｗａと部分Ｗｃとの間に配置される。
【００６２】
部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆの一部を形成するために、液滴吐出装置１は、吐出ヘッド３３から機能液ＬＱを供給する前に、テーブル２５（基板Ｗ）をＹ軸方向に移動する。本実施形態において、Ｙ軸方向に関する部分Ｗｂ、Ｗｄの寸法は、部分Ｗａ、Ｗｃの寸法よりも小さい。液滴吐出装置１は、部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆを形成するとき、部分Ｗｂ、Ｗｄのみに機能液ＬＱが供給され、部分Ｗａ、Ｗｃには機能液ＬＱが供給されないように（部分Ｗａ、Ｗｃに既に形成されている膜Ｆの上に機能液ＬＱが供給されないように）、複数のノズル３７のうち、機能液ＬＱの滴を吐出するノズル３７を選択する。
【００６３】
図７及び図８に示すように、本実施形態において、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００６４】
第８ノズル列３９ｈからの機能液ＬＱの供給と第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、少なくとも第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。本実施形態においては、第８ノズル列３９ｈからの機能液ＬＱの供給と第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第１〜第７ノズル列３９ａ〜３９ｇのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。
【００６５】
液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に速度Ｖで移動（等速移動）しつつ、第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００６６】
したがって、本実施形態においては、第８ノズル列３９ｈのノズル３７から基板Ｗに機能液ＬＱが供給されてから、その機能液ＬＱに紫外光ＬＵが照射されるまでの時間Ｔ２は、Ｌ１／Ｖとなる。
【００６７】
すなわち、本実施形態において、第１ノズル列３９ａのノズル３７から基板Ｗに機能液ＬＱが供給されてからその機能液ＬＱに紫外光ＬＵが照射されるまでの時間Ｔ１と、第８ノズル列３９ｈのノズル３７から基板Ｗに機能液ＬＱが供給されてからその機能液ＬＱに紫外光ＬＵが照射されるまでの時間Ｔ２とは、実質的に等しい。換言すれば、部分Ｗａ、Ｗｃに膜Ｆを形成するときの機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射条件と、部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆを形成するときの機能液ＬＱの供給及び紫外光ＬＵの照射条件とは、実質的に等しい。
【００６８】
液滴吐出装置１においては、基板Ｗに供給された機能液ＬＱの滴は、基板Ｗにおいて濡れ拡がる。濡れ拡がりの度合い（濡れ拡がった機能液ＬＱの滴の直径）は、機能液ＬＱの物性（例えば粘度など）、及び基板Ｗに機能液ＬＱが供給されてからの経過時間に応じて変化する。例えば、ある粘度の機能液ＬＱが基板Ｗに供給されてから時間Ｔａ経過後の機能液ＬＱの滴の直径Ｈａと、時間Ｔｂ経過後の機能液ＬＱの滴の直径Ｈｂとは、異なる。
【００６９】
したがって、例えば部分Ｗａ、Ｗｃに膜Ｆを形成するためにその部分Ｗａ、Ｗｃに機能液ＬＱを供給してから、その機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射するまで（機能液ＬＱが硬化するまで）の時間Ｔ１と、部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆを形成するためにその部分Ｗｂ、Ｗｄに機能液ＬＱを供給してから、その機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射するまで（機能液ＬＱが硬化するまで）の時間Ｔ２とが異なると、部分Ｗａ、Ｗｃに供給された機能液ＬＱの滴の直径と、部分Ｗｂ、Ｗｄに供給された機能液ＬＱの滴の直径とが異なった状態で、それら機能液ＬＱが硬化されてしまうこととなる。その結果、例えば機能液ＬＱで線パターンを形成しようとする場合、部分Ｗａ、Ｗｃ、及び部分Ｗｂ、Ｗｄに同じ線幅の線パターンを形成しようとしても、部分Ｗａ、Ｗｃに形成される線パターンの線幅と、部分Ｗｂ、Ｗｄに形成される線パターンの線幅とが異なってしまうこととなる。
【００７０】
本実施形態によれば、第１ノズル列３９ａのノズル３７及び第２ノズル列３９ｈのノズル３７から供給される機能液ＬＱのそれぞれで同じ線幅の線パターンを形成しようとする場合、第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱによって形成される線パターンの線幅と、第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱによって形成される線パターンの線幅とを一致させることができる。
【００７１】
また、本実施形態によれば、第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第２〜第８ノズル列３９ｂ〜３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給を行わず、第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第１〜第７ノズル列３９ｂ〜３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給を行わないようにするので、所望のパターンを形成することができる。
【００７２】
また、本実施形態によれば、テーブル２５に対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１ノズル列３９ａの−Ｘ側に配置された第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われ、テーブル２５に対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第８ノズル列３９ｈの＋Ｘ側に配置された第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われるようにしたので、Ｘ軸方向に関する第１ノズル列３９ａのノズル３７と第１照射装置１５ｂとの距離Ｌ１、及び第２ノズル列３９ｈのノズル３７と第２照射装置１５ｂとの距離Ｌ１のそれぞれを短くすることができる。そのため、基板Ｗに供給された機能液ＬＱが濡れ拡がる前に紫外光ＬＵを照射することができる。したがって、所望のパターンを形成することができる。
【００７３】
なお、上述の実施形態において、テーブル２５に対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１ノズル列３９ａの＋Ｘ側に配置された第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行い、テーブル２５に対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第８ノズル列３９ｈの−Ｘ側に配置された第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行うようにしてもよい。
【００７４】
なお、上述の実施形態においては、第１ノズル列３９ａ及び第８ノズル列３９ｈそれぞれのノズル３７からイエロー（Ｙ）の機能液ＬＱを供給する場合を例にして説明した。第２ノズル列３９ｂ及び第７ノズル列３９ｇそれぞれのノズル３７からマゼンタ（Ｍ）の機能液ＬＱを供給する場合、第３ノズル列３９ｃ及び第６ノズル列３９ｆそれぞれのノズル３７からシアン（Ｃ）の機能液ＬＱを供給する場合、及び第４ノズル列３９ｄ及び第５ノズル列３９ｅそれぞれのノズル３７からブラック（Ｂｋ）の機能液ＬＱを供給する場合も同様である。
【００７５】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００７６】
図９は、キャリッジ７に保持されたヘッドユニット１３（吐出ヘッド３３）、第１照射装置１５ａ、及び第２照射装置１５ｂを下側（−Ｚ側）から見た図である。本実施形態において、ヘッドユニット１３は、複数の吐出ヘッド３３を有する。複数の吐出ヘッド３３は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に配置される。本実施形態において、ヘッドユニット１３は、第１吐出ヘッド３３Ａと、第１吐出ヘッド３３Ａに対して−Ｙ側に配置された第２吐出ヘッド３３Ｂと、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂに対して＋Ｘ側に配置された第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ，３３Ｄとを有する。第４吐出ヘッド３３Ｄは、第３吐出ヘッド３３Ｃに対して−Ｙ側に配置されている。
【００７７】
第１吐出ヘッド３３Ａと第２吐出ヘッド３３Ｂとは、Ｙ軸方向に関して離れている。第３吐出ヘッド３３Ｃと第４吐出ヘッド３３Ｄとは、Ｙ軸方向に関して離れている。第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂと、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄとは、Ｘ軸方向に関して離れている。
【００７８】
第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂは、第１ノズル列３９ａ、第２ノズル列３９ｂ、第３ノズル列３９ｃ、及び第４ノズル列３９ｄを有する。第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄは、第５ノズル列３９ｅ、第６ノズル列３９ｆ、第７ノズル列３９ｇ、及び第８ノズル列３９ｈを有する。
【００７９】
第１照射装置１５ａは、吐出ヘッド３３の−Ｘ側に配置される。すなわち、第１照射装置１５ａは、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの−Ｘ側に配置される。また、第１照射装置１５ａは、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄの−Ｘ側に配置される。
【００８０】
第２照射装置１５ｂは、吐出ヘッド３３の＋Ｘ側に配置される。すなわち、第２照射装置１５ｂは、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄの＋Ｘ側に配置される。また、第２照射装置１５ｂは、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの＋Ｘ側に配置される。
【００８１】
Ｙ軸方向に関して、第１照射装置１５ａの寸法及び第２照射装置１５ｂの寸法は、第１吐出ヘッド３３Ａの寸法及び第２吐出ヘッド３３Ｂの寸法の和よりも大きい。また、Ｙ軸方向に関して、第１照射装置１５ａの寸法及び第２照射装置１５ｂの寸法は、第３吐出ヘッド３３Ｃの寸法及び第４吐出ヘッド３３Ｄの寸法の和よりも大きい。
【００８２】
本実施形態において、Ｘ軸方向に関して、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂと第１照射装置１５ａとは、距離Ｌａだけ離れている。
【００８３】
Ｘ軸方向に関して、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄと第２照射装置１５ｂとは、距離Ｌａだけ離れている。
【００８４】
すなわち、本実施形態において、Ｘ軸方向に関して、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂと第１照射装置１５ａとの距離と、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄと第２照射装置１５ｂとの距離とは、等しい。
【００８５】
第１照射装置１５ａは、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射する。第２照射装置１５ｂは、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射する。
【００８６】
一方、第１照射装置１５ａは、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７から供給された機能液ＬＱに紫外光ＬＵを照射しない。
【００８７】
本実施形態において、第１ノズル列３９ａのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第８ノズル列３９ｈのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第２ノズル列３９ｂのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第７ノズル列３９ｇのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第３ノズル列３９ｃのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第６ノズル列３９ｆのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。第４ノズル列３９ｄのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類と、第５ノズル列３９ｅのノズル３７から供給される機能液ＬＱの種類とは、同じである。
【００８８】
次に、上述の液滴吐出装置１を用いて、基板Ｗに膜Ｆを形成する方法の一例について説明する。
【００８９】
液滴吐出装置１は、テーブル２５（基板Ｗ）に対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂからの機能液ＬＱの供給と、その第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂから供給された機能液ＬＱに対する第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗに膜Ｆの一部を形成する。また、液滴吐出装置１は、テーブル２５（基板Ｗ）に対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄからの機能液ＬＱの供給と、その第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄから供給された機能液ＬＱに対する第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行って、基板Ｗに膜Ｆの一部を形成する。
【００９０】
例えば、イエロー（Ｙ）の機能液ＬＱで基板Ｗの部分Ｗａ、Ｗｃに膜Ｆの一部を形成する場合、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの第１ノズル列３９ａのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００９１】
第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。また、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射も行われない。
【００９２】
液滴吐出装置１は、キャリッジ７を＋Ｘ方向に速度Ｖで移動（等速移動）しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００９３】
また、基板Ｗの部分Ｗｂ、Ｗｄに膜Ｆの一部を形成する場合、液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に移動しつつ、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄの第８ノズル列３９ｈのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００９４】
第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とが行われるとき、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７からの機能液ＬＱの供給が行われない。また、第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射も行われない。
【００９５】
液滴吐出装置１は、キャリッジ７を−Ｘ方向に速度Ｖで移動（等速移動）しつつ、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行う。
【００９６】
本実施形態においても、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７及び第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７から供給される機能液ＬＱのそれぞれで同じ線幅の線パターンを形成しようとする場合、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７からの機能液ＬＱによって形成される線パターンの線幅と、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７からの機能液ＬＱによって形成される線パターンの線幅とを一致させることができる。
【００９７】
なお、上述の実施形態において、テーブル２５に対してキャリッジ７を−Ｘ側に移動しつつ、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第１、第２吐出ヘッド３３Ａ、３３Ｂの＋Ｘ側に配置された第２照射装置１５ｂからの紫外光ＬＵの照射とを行い、テーブル２５に対してキャリッジ７を＋Ｘ側に移動しつつ、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄのノズル３７からの機能液ＬＱの供給と、第３、第４吐出ヘッド３３Ｃ、３３Ｄの−Ｘ側に配置された第１照射装置１５ａからの紫外光ＬＵの照射とを行うようにしてもよい。
【００９８】
なお、上述の実施形態においては、ノズル３７からイエロー（Ｙ）の機能液ＬＱを供給する場合を例にして説明した。マゼンタ（Ｍ）の機能液ＬＱを供給する場合、シアン（Ｃ）の機能液ＬＱを供給する場合、及びブラック（Ｂｋ）の機能液ＬＱを供給する場合も同様である。
【符号の説明】
【００９９】
１…液滴吐出装置、２…駆動システム、４…駆動装置、７…キャリッジ、１１…駆動装置、１５ａ…第１照射装置、１５ｂ…第２照射装置、２５…テーブル、３３…吐出ヘッド、ＬＱ…機能液、ＬＵ…紫外光、Ｆ…膜、Ｗ…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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