(57)【要約】【課題】本発明は、チップの表面、裏面、及び側面の異物を効率よく除去できる異物除去方法、及び異物除去装置を提供することを目的とする。【解決手段】本願の発明に係る異物除去方法は、表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する台座の該表面にチップをのせ、該チップの裏面と該台座を接触させる工程と、該チップの表面側から該チップへエアを吹き付けつつ、該複数の貫通孔の空気を該台座の該裏面側から吸引する異物除去工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する台座の前記表面にチップをのせ、前記チップの裏面と前記台座を接触させる工程と、
前記チップの表面側から前記チップへエアを吹き付けつつ、前記複数の貫通孔の空気を前記台座の前記裏面側から吸引する異物除去工程と、を備えたことを特徴とする異物除去方法。
【請求項２】
前記異物除去工程では、
前記複数の貫通孔のうちの第１貫通孔における吸引圧と、前記第１貫通孔に隣接する第２貫通孔における吸引圧との大小関係を変化させ続けて、前記チップを振動させることを特徴とする請求項１に記載の異物除去方法。
【請求項３】
表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する台座と、
前記表面にエアを吹きつけるエア吹きつけ部と、
前記裏面に取り付けられ、前記複数の貫通孔の空気を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする異物除去装置。
【請求項４】
前記台座は、ゴム系素材で形成されたことを特徴とする請求項３に記載の異物除去装置。
【請求項５】
前記エア吹きつけ部は、前記台座の前記表面に対して斜めにエアを吹きつけることを特徴とする請求項３又は４に記載の異物除去装置。
【請求項６】
前記台座は平面視でハニカム構造となるように形成されたことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の異物除去装置。
【請求項７】
前記複数の貫通孔のうちの第１貫通孔における吸引圧と、前記第１貫通孔に隣接する第２貫通孔における吸引圧との大小関係を変化させ続ける吸引圧調整部を備えたことを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の異物除去装置。
【請求項８】
前記吸引圧調整部は、
前記第１貫通孔又は前記第２貫通孔の吸気経路を塞ぎ吸引圧を低下させるフィルタと、
前記第１貫通孔の吸気経路と前記第２貫通孔の吸気経路を交互に塞ぐように前記フィルタを移動させるフィルタ移動部と、を備えたことを特徴とする請求項７に記載の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップなどの部品に付着した異物を除去する異物除去方法及び異物除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、純水による洗浄後のチップの表面及び裏面に対してエアを吹きつけてチップを乾燥させる技術が開示されている。この技術は、チップの表面及び裏面に対し同時にエアを吹きつけることでチップの表裏を同時に乾燥させるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１７６５１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されるようにチップの表面及び裏面に対し同時にエアを吹きつければ、チップの表面と裏面の異物除去に一定の効果がある。しかしながら、異物は、チップの表面や裏面だけでなくチップの側面にも付着していることがある。チップの表面及び裏面に対し同時にエアを吹きつけて異物を除去しようとすると、チップ表面に対するエアとチップ裏面に対するエアが相殺されてチップ側面の異物は除去し難い問題があった。そのため、特許文献１に開示の方法では、チップの異物を十分に除去できないことがあった。
【０００５】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、チップの表面、裏面、及び側面の異物を効率よく除去できる異物除去方法、及び異物除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明に係る異物除去方法は、表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する台座の該表面にチップをのせ、該チップの裏面と該台座を接触させる工程と、該チップの表面側から該チップへエアを吹き付けつつ、該複数の貫通孔の空気を該台座の該裏面側から吸引する異物除去工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本願の発明に係る異物除去装置は、表面から裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する台座と、該表面にエアを吹きつけるエア吹きつけ部と、該裏面に取り付けられ、該複数の貫通孔の空気を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、チップの外周に沿った空気の流れを生じさせるため、チップの表面、裏面、及び側面の異物を効率よく除去できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る異物除去装置の部品である台座の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る異物除去装置を示す断面図である。
【図３】チップを台座にのせたことを示す断面図である。
【図４】チップに付着した異物を除去することを示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る異物除去装置の台座を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る異物除去装置を示す断面図である。
【図７】異物除去工程において第１貫通孔をフィルタで塞いだことを示す断面図である。
【図８】異物除去工程において第２貫通孔をフィルタで塞いだことを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る異物除去装置の部品である台座の斜視図である。台座１０は、表面１２と裏面１４を有している。台座１０には、表面１２から裏面１４まで貫通する複数の貫通孔１６が形成されている。台座１０は、ゴム系素材で形成されている。
【００１１】
図２は、本発明の実施の形態１に係る異物除去装置を示す断面図である。台座１０の表面１２側には、表面１２にエアを吹きつけるエア吹きつけ部５０が形成されている。エア吹きつけ部５０は、台座１０の表面１２に対して斜めにエアを吹きつけるように配置されている。
【００１２】
台座１０の裏面１４には、吸引部５２が取り付けられている。吸引部５２は、台座１０を支持しつつ複数の貫通孔１６の空気を吸引するものである。吸引部５２は、真空ポンプ５２ａにより貫通孔１６の空気を吸引する。
【００１３】
続いて、本発明の実施の形態１に係る異物除去装置を用いた異物除去方法を説明する。まず、チップを台座１０にのせる。図３は、チップを台座にのせたことを示す断面図である。チップ６０は台座１０の表面１２にのせる。これにより、チップ６０の裏面と台座１０が接触する。チップ６０の表面、裏面、及び側面には異物６２が付着している。
【００１４】
次いで、チップ６０に付着した異物６２を除去する異物除去工程へ処理を進める。図４は、チップに付着した異物を除去することを示す断面図である。異物除去工程では、エア吹きつけ部５０によりチップ６０の表面側からチップ６０へエアを吹き付けつつ、吸引部５２により複数の貫通孔１６の空気を台座１０の裏面１４側から吸引する。このとき、吸引部５２が貫通孔１６に及ぼす吸引圧によりチップ６０は台座１０に真空吸着する。
【００１５】
異物除去工程では、エア吹きつけ部５０と吸引部５２により、図４の矢印で示す方向の空気の流れを発生させる。すなわち、エア吹きつけ部５０から出された空気がチップ６０の表面と側面を経由して貫通孔１６へ流れる。この空気の流れによりチップ６０の表面及び側面の異物を除去できる。また、チップ６０の裏面の異物は貫通孔１６を通じて除去できる。従って、本発明の実施の形態１に係る異物除去方法によれば、チップの表面、裏面、及び側面の異物を一括して効率よく除去できる。
【００１６】
また、エア吹きつけ部５０が台座１０の表面１２に対して斜めにエアを吹きつけることで、チップ６０の側面の異物を効率的に除去できる。さらに、台座１０にはゴム系素材を用いたので、チップ６０の脱落を防止できる。
【００１７】
ところで、本発明の実施の形態１に係る異物除去装置は様々な変形が可能である。例えば、台座１０はゴム系素材以外の材料で形成してもよい。また、台座１０は、表面から裏面に向かう方向に通気性を有すれば図１の台座とは異なる形状でもよい。
【００１８】
実施の形態２．
本発明の実施の形態２に係る異物除去装置と異物除去方法については、実施の形態１との相違点を中心に説明する。図５は、本発明の実施の形態２に係る異物除去装置の台座を示す斜視図である。台座７０には、表面７２から裏面７４まで貫通する複数の貫通孔７６が形成されている。また、台座７０は平面視でハニカム構造となるように形成されている。
【００１９】
台座７０をハニカム構造とすることにより、台座７０の強度を維持しつつ台座７０の隔壁を薄くすることができる。台座７０の隔壁を薄くすると、チップと台座７０の接触面積が減りチップの裏面の大部分を貫通孔７６に露出させることができる。よって、異物除去効率を高めることができる。また、チップと台座７０の接触面積を減らすことにより、チップの傷を防止することもできる。
【００２０】
実施の形態３．
本発明の実施の形態３に係る異物除去装置と異物除去方法については、実施の形態１との相違点を中心に説明する。図６は、本発明の実施の形態３に係る異物除去装置を示す断面図である。異物除去装置１００は、複数の貫通孔１６のうちの第１貫通孔１６ａにおける吸引圧と、第１貫通孔１６ａに隣接する第２貫通孔１６ｂにおける吸引圧との大小関係を変化させ続けるための吸引圧調整部１０２を備えている。吸引圧調整部１０２は、フィルタ１０２ａとフィルタ移動部１０２ｂを有している。
【００２１】
フィルタ１０２ａは、複数の貫通孔１６の各貫通孔を１つおきに塞ぐように形成されている。フィルタ１０２ａは、吸引部５２による空気の吸引圧を低減するものである。よってフィルタ１０２ａで塞がれた貫通孔における吸引圧は、フィルタ１０２ａに塞がれていない貫通孔における吸引圧より小さくなる。
【００２２】
フィルタ移動部１０２ｂは、フィルタ１０２ａを台座１０に対してスライドさせるものである。フィルタ移動部１０２ｂは、第１貫通孔１６ａの吸気経路と第２貫通孔１６ｂの吸気経路を交互に塞ぐようにフィルタ１０２ａを移動させるものである。すなわち、フィルタ移動部１０２ｂは、所定の周期で図６の左右方向に移動可能に構成されている。
【００２３】
続いて、異物除去装置１００を用いた異物除去方法を説明する。図７は、異物除去工程において第１貫通孔をフィルタで塞いだことを示す断面図である。第１貫通孔１６ａをフィルタ１０２ａで塞ぐと、第１貫通孔１６ａにおける吸引圧は第２貫通孔１６ｂにおける吸引圧より小さくなる。この状態を第１状態と称する。
【００２４】
次いで、フィルタ移動部１０２ｂでフィルタ１０２ａを移動させて第２貫通孔１６ｂをフィルタ１０２ａで塞ぐ。図８は、異物除去工程において第２貫通孔をフィルタで塞いだことを示す断面図である。第２貫通孔１６ｂをフィルタ１０２ａで塞ぐと、第２貫通孔１６ｂにおける吸引圧は第１貫通孔１６ａにおける吸引圧より小さくなる。この状態を第２状態と称する。
【００２５】
本発明の実施の形態３に係る異物除去工程では、第１状態と第２状態を交互に繰り返す。そうすると、第１貫通孔１６ａにおける吸引圧と、第２貫通孔１６ｂにおける吸引圧との大小関係が変化し続けて、チップ６０が振動する。この振動によりチップ６０の異物除去効率を高めることができる。チップ６０を振動させることにより、特にチップ６０の裏面に付着した異物の除去を促進できる。そして、フィルタ移動部１０２ｂの動きを制御することでチップ６０の振動を任意に変化させることができる。
【００２６】
このように本発明の実施の形態３に係る異物除去工程では、実施の形態１で示したようにチップ６０の周りに空気の流れを発生させつつチップ６０に振動を与えるためチップ６０に付着した異物を効率的に除去できる。本発明の実施の形態３に係る異物除去方法は、この特徴を失わない限りにおいて様々な変形が可能である。例えば、吸引圧調整部１０２は、貫通孔における吸引圧を時間変化させるものであればよく、上述の構成に限定されない。また、実施の形態２、３に係る異物除去方法、及び異物除去装置は、少なくとも実施の形態１と同程度の変形が可能である。なお、各実施の形態に係る異物除去方法、及び異物除去装置の特徴を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００２７】
１０  台座、  １２  表面、  １４  裏面、  １６  貫通孔、  １６ａ  第１貫通孔、  １６ｂ  第２貫通孔、  ５０  エア吹き付け部、  ５２  吸引部、  ５２ａ  真空ポンプ、  ６０  チップ、  ６２  異物、  ７０  台座、  ７２  表面、  ７４  裏面、  ７６  貫通孔、  １００  異物除去装置、  １０２  吸引圧調整部、  １０２ａ  フィルタ、  １０２ｂ  フィルタ移動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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