(57)【要約】【課題】軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の軟質部材の製造方法は、硬質材料で構成された成形型に流動性を有する材料を付与するとともに、硬質材料で構成され凹凸パターンを有する第１の形状安定化部材を、前記流動性を有する材料と接触させる流動性材料付与工程（１ａ）と、前記流動性を有する材料を固化することにより、軟質材料で構成され、前記成形型および前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された軟質部材を得る固化工程（１ｂ）と、前記軟質部材を前記成形型から取り外す離型工程（１ｃ）とを有することを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬質材料で構成された成形型に流動性を有する材料を付与するとともに、硬質材料で構成され凹凸パターンを有する第１の形状安定化部材を、前記流動性を有する材料と接触させる流動性材料付与工程と、
前記流動性を有する材料を固化することにより、軟質材料で構成され、前記成形型および前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された軟質部材を得る固化工程と、
前記軟質部材を前記成形型から取り外す離型工程と、
を有することを特徴とする軟質部材の製造方法。
【請求項２】
前記離型工程は、前記軟質部材から前記第１の形状安定化部材を取り外した状態で行うものである請求項１に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項３】
前記第１の形状安定化部材は、前記凹凸パターンとして、複数本の凸条または溝を有するものである請求項１または２に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項４】
前記凸条の高さまたは前記溝の深さは、１μｍ以上３００００μｍ以下である請求項３に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項５】
前記凸条の幅または前記溝の幅は、１μｍ以上３００００μｍ以下である請求項３または４に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項６】
前記凸条の高さまたは前記溝の深さをＸ［μｍ］、前記凸条の幅または前記溝の幅をＹ［μｍ］としたとき、０．００００３≦Ｘ／Ｙ≦２０の関係を満足する請求項３ないし５のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項７】
前記軟質部材は、シート状をなすものである請求項１ないし６のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項８】
前記軟質材料は、シリコーンゴムである請求項１ないし７のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の方法を用いて製造された軟質部材。
【請求項１０】
複数個の部材を接合し、接合体を得る方法であって、
前記複数個の部材として、請求項１ないし８のいずれかに記載の方法を用いて製造された軟質部材を用い、
前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された部位に、それに対応する凹凸パターンを有する第２の形状安定化部材を嵌合させた状態で接合を行うことを特徴とする接合体の製造方法。
【請求項１１】
前記複数個の部材の接合に先立ち、前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された部位に、それに対応する凹凸パターンを有する第３の形状安定化部材を嵌合させた状態で、切断により接合面となるべき部位の形状を調整する切断工程を有する請求項１０に記載の接合体の製造方法。
【請求項１２】
前記第３の形状安定化部材は、前記第１の形状安定化部材とは異なる凹凸パターンを有するものである請求項１１に記載の接合体の製造方法。
【請求項１３】
前記第２の形状安定化部材は、前記第１の形状安定化部材とは異なる凹凸パターンを有するものである請求項１０ないし１２のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１０ないし１３のいずれかに記載の方法を用いて製造されたことを特徴とする接合体。
【請求項１５】
接合体は、成形型として用いられるものである請求項１４に記載の接合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軟質部材の製造方法、軟質部材、接合体の製造方法および接合体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた（例えば、特許文献１参照）。
しかし、上記文献に開示されているように硬質材料で構成された部材（合成樹脂板）同士を接合した場合、接合部の長手方向の各部位で、隙間（ギャップ）が異なるという問題があった。そして、このような問題は、接合部の長さが長くなるほど顕著になっていた。硬質材料で構成された部材の代わりに、軟質材料で構成された部材を用いることにより、接合部の長手方向の各部位での隙間（ギャップ）の均一性を高められる。しかしながら、軟質材料で構成された部材の接合に、上記文献に開示されたような技術を転用しようとした場合、接合面において不本意な段差（反り、歪曲）が生じてしまう等の問題があった。
【０００３】
このような問題を解決する目的で、切断により接合に供される部材の接合部付近の形状を整えることも考えられるが、軟質部材で構成された部材は、ステージ上に設置した際に、変形し、内部歪みを生じ易いため、設計値からのずれ量が大きく、上記のような問題を解決できなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３１４８号公報（特許請求の範囲）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、軟質材料で構成され、構成部材同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供すること、前記接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供すること、前記接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供すること、また、前記軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の軟質部材の製造方法は、硬質材料で構成された成形型に流動性を有する材料を付与するとともに、硬質材料で構成され凹凸パターンを有する第１の形状安定化部材を、前記流動性を有する材料と接触させる流動性材料付与工程と、前記流動性を有する材料を固化することにより、軟質材料で構成され、前記成形型および前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された軟質部材を得る固化工程と、前記軟質部材を前記成形型から取り外す離型工程と、を有することを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供することができる。
【０００７】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記離型工程は、前記軟質部材から前記第１の形状安定化部材を取り外した状態で行うものであることが好ましい。
これにより、軟質部材を成形型から容易に取り外すことができるとともに、成形型からの取り外し時に軟質部材に欠陥が生じること等をより確実に防止することができる。
【０００８】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記第１の形状安定化部材は、前記凹凸パターンとして、複数本の凸条または溝を有するものであることが好ましい。
これにより、軟質部材の不本意な変形（反り、歪曲）をより確実に防止することができる。また、軟質部材からの第１の形状安定化部材の取り外しの操作を容易に行うことができるとともに、軟質部材から第１の形状安定化部材を取り外す際に軟質部材に欠陥が生じること等をより確実に防止することができる。
【０００９】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記凸条の高さまたは前記溝の深さは、１μｍ以上３００００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、軟質部材の不本意な変形（反り、歪曲）をより確実に防止することができる。また、軟質部材からの第１の形状安定化部材の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材から第１の形状安定化部材を取り外す際に軟質部材に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００１０】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記凸条の幅または前記溝の幅は、１μｍ以上３００００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、軟質部材の不本意な変形（反り、歪曲）をより確実に防止することができる。また、軟質部材からの第１の形状安定化部材の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材から第１の形状安定化部材を取り外す際に軟質部材に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００１１】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記凸条の高さまたは前記溝の深さをＸ［μｍ］、前記凸条の幅または前記溝の幅をＹ［μｍ］としたとき、０．００００３≦Ｘ／Ｙ≦２０の関係を満足することが好ましい。
これにより、軟質部材の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材からの第１の形状安定化部材の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材から第１の形状安定化部材を取り外す際に軟質部材に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００１２】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記軟質部材は、シート状をなすものであることが好ましい。
軟質材料で構成された部材がシート状をなすものであると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、軟質材料で構成された部材（軟質部材）がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、軟質材料で構成された部材（軟質部材）がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００１３】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記軟質材料は、シリコーンゴムであることが好ましい。
これにより、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。また、比較的低温（例えば、室温）で硬化反応を好適に進行させることができる点、溶剤を用いる必要がない点、安価である点等でも有利である。
【００１４】
本発明の軟質部材は、本発明の軟質部材の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することができる。
【００１５】
本発明の接合体の製造方法は、複数個の部材を接合し、接合体を得る方法であって、前記複数個の部材として、本発明の軟質部材の製造方法を用いて製造された軟質部材を用い、前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された部位に、それに対応する凹凸パターンを有する第２の形状安定化部材を嵌合させた状態で接合を行うことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することができる。
【００１６】
本発明の接合体の製造方法では、前記複数個の部材の接合に先立ち、前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された部位に、それに対応する凹凸パターンを有する第３の形状安定化部材を嵌合させた状態で、切断により接合面となるべき部位の形状を調整する切断工程を有することが好ましい。
これにより、軟質部材同士を接合して接合体を製造する場合に、接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができる。
【００１７】
本発明の接合体の製造方法では、前記第３の形状安定化部材は、前記第１の形状安定化部材とは異なる凹凸パターンを有するものであることが好ましい。
これにより、切断時の寸法交差をより広くすることができ、切断加工がより容易となるとともに、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度をより高いものとすることができる。
【００１８】
本発明の接合体の製造方法では、前記第２の形状安定化部材は、前記第１の形状安定化部材とは異なる凹凸パターンを有するものであることが好ましい。
これにより、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度をより高いものとすることができる。
【００１９】
本発明の接合体は、本発明の接合体の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供することができる。
本発明の接合体は、成形型として用いられるものであることが好ましい。
一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【図２】本発明の接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【図３】第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図４】第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの他の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図５】第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの他の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図６】第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンと、第２の形状安定化部材（または第３の形状安定化部材）が有する凹凸パターンとの関係の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。
【図７】本発明の接合体の製造方法における軟質部材の切断面の他の形態を説明するための模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
ところで、通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた。
上記のような技術は、硬質材料で構成された合成樹脂板同士の接合においては有用であるものの、軟質材料で構成された部材の接合に転用しようとした場合、接合面において不本意な段差（反り、歪曲）が生じてしまう等の問題があった。これは、軟質材料では、自重による変形等を生じ易く、また、接合すべき各部材での変形の度合い、各部位での変形の度合いが不均一になるためである。
【００２２】
このような問題を解決する目的で、切断により接合に供される部材の接合部付近の形状を整えることも考えられるが、軟質部材で構成された部材は、ステージ上に設置した際に、変形し、内部歪みを生じ易いため、設計値からのずれ量が大きく、上記のような問題を解決できなかった。これは、軟質材料では、ステージ上に設置した際に、自重による変形等を生じ易く、また、接合すべき各部材での変形の度合い、各部位での変形の度合いが不均一になるとともに、接合時には、上記のような変形状態がさらに変化することによるものであると考えられる。そこで、本発明者は、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供すること、当該接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することを目的に鋭意研究を行った。その結果、以下に述べるような本発明により、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供することができることを見出した。
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２３】
《軟質部材の製造方法》
まず、本発明の軟質部材の製造方法について説明する。
図１、図２は、本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図、図３は、第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）、図４は、第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの他の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）、図５は、第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンの他の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。なお、本明細書で参照する図面は、その一部を強調して、模式的に示したものであり、実際の寸法等を正確に反映したものではない。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態の軟質部材の製造方法は、成形型（マスター成形型）５０に流動性を有する材料（流動性材料）１’を付与するとともに、凹凸パターン３１１を有する形状安定化部材（第１の形状安定化部材）３１を、流動性材料１’と接触させる流動性材料付与工程（１ａ）と、流動性材料１’を固化することにより、軟質材料で構成され、成形型５０および第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された軟質部材１を得る固化工程（１ｂ）と、軟質部材１を成形型５０から取り外す離型工程（１ｃ）とを有している。
【００２５】
＜流動性材料付与工程＞
本工程では、硬質材料で構成された成形型５０に流動性を有する材料（流動性材料）１’を流し込みや充填によって付与するとともに、硬質材料で構成され表面に凹凸パターン３１１を有する第１の形状安定化部材３１を、該凹凸パターンの表面を流動性材料の側に向けた状態で流動性材料１’と接触させる（１ａ）。
【００２６】
流動性材料１’は、後の固化工程で固化し、軟質材料となるものである。
本発明において、軟質材料とは、ヤング率が１００Ｐａ以上５００ＭＰａ未満のものであり、より好ましくは１ＭＰａ以上１００ＭＰａ以下のものを好適に用いることができる。
流動性材料１’としては、後に詳述するような軟質材料を溶融したものや溶媒に溶解したもののほか、軟質材料の前駆物質（例えば、軟質材料を構成する高分子材料に対応するモノマー、ダイマー、オリゴマー、プレポリマー等）を用いることができる。また、流動性材料１’は、重合開始剤や、触媒等を含むものであってもよい。
【００２７】
軟質材料の具体例としては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、ブチルゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロブレンゴム、ネオプレンゴム、エチレンプロピレンジエン重合体、アクリルゴム、フッ素ゴム、フロロシリコーンゴム、ポリウレタン、ポリオレフィンゴム、天然ゴム、軟質ビニールを含む高分子材料、皮膚や筋肉を含む生体組織、ゼリーやゼラチンを含む食品等が挙げられる。
【００２８】
中でも、軟質材料としては、シリコーンゴムが好ましい。これにより、室温硬化（熱膨張、収縮要因の寸法ズレ軽減）、無溶剤（密閉可、プロセス簡易）、安価（プロセスの短縮、設備の簡易化）と、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。
本工程における流動性材料１’の粘度は、０．２ｍＰａ・ｓ以上１ｋＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、１ｍＰａ・ｓ以上２００ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。これにより、流動性材料１’の成形型５０への充填性を確実に優れたものとすることができ、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００２９】
成形型５０および第１の形状安定化部材３１は、硬質材料で構成されたものである。
本発明において、硬質材料とは、ヤング率が５００ＭＰａ以上１０５０ＧＰａ以下のものであり、より好ましくは１ＧＰａ以上２５０ＧＰａ以下のことを言い、例えば、２５０ＧＰａ程度の炭素繊維強化プラスチックを用いることがプロセスにおいて軽くて良好とされる。
成形型５０の好適な構成材料としては、例えば、ＰＥＥＫ樹脂、ＰＰＳＵ樹脂、ＰＥＳ樹脂、アクリル樹脂（メタクリル）、ＡＢＳ樹脂、ＰＰ（ポリプロピレン）樹脂、ＰＣ（ポリカーボネート）樹脂、ジュラコン（ＰＯＭ）Ｃ−ＦＲＰ、炭素鋼、ニッケルクロム鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、クロム鋼、クロムモリブデン鋼、ステンレス鋼、アルミ合金、真鍮、等各種の樹脂・金属材料が挙げられる。
【００３０】
図示の構成では、成形型５０は、２つの部材で構成されている。すなわち、成形型５０は、底面を構成する第１の型部材５０Ａと、側面を構成する第２の型部材とを備えている。
成形型５０（第１の型部材５０Ａ）は、流動性材料１’と接触する部位に、軟質部材１が有すべき凹凸パターン１１１に対応する凹凸パターン５０１（凹凸パターン１１１を転写（反転）した形状の凹凸パターン５０１）を有している。
また、第１の形状安定化部材３１の好適な構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂等の樹脂材料、各種金属材料等が挙げられる。これにより、第１の形状安定化部材３１自体の形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
【００３１】
本工程では、成形型５０に流動性材料１’を付与するとともに、第１の形状安定化部材３１を流動性材料１’と接触させる。そして、第１の形状安定化部材３１は、流動性材料１’と接触部する部位に凹凸パターン３１１を有するものである。第１の形状安定化部材３１の凹凸パターン３１１は、流動性材料１’を介在させた状態で成形型５０の凹凸パターン５０１と対向して配置されている。従って、流動性材料１’の一方の表面には成形型５０の凹凸パターン５０１が接触され、流動性材料１’の一方の表面と表裏（対向）関係にある他方の表面には第１の形状安定化部材３１の凹凸パターン３１１が接触される。これにより、後述する固化工程において、軟質材料で構成された軟質部材１を第１の形状安定化部材３１と一体化したものとして得ることができる。その結果、最終的に得られる軟質部材の取り扱い性（取り扱いのし易さ）が向上し、軟質部材の取り扱い時における不本意な変形等を効果的に防止することができる。また、軟質部材の不本意な変形等を効果的に防止することができるため、複数個の軟質部材を接合する場合に、接合部に不本意な段差が生じることを確実に防止することができる。また、軟質部材の一部を切断する際にも、軟質部材の不本意な変形を防止することができる。
【００３２】
第１の形状安定化部材３１が有する凹凸パターン３１１は、凸部および／または凹部を有するものであれば、いかなる形状のものであってもよいが、複数本の凸条または溝を有するものであるのが好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作を容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をより確実に防止することができる。
【００３３】
前記凸条の高さまたは前記溝の深さは、１μｍ以上３００００μｍ以下であるのがより好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００３４】
また、前記凸条の幅または前記溝の幅は、１μｍ以上３００００μｍ以下であるのがより好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００３５】
また、前記凸条の高さまたは前記溝の深さをＸ［μｍ］、前記凸条の幅または前記溝の幅をＹ［μｍ］としたとき、０．００００３≦Ｘ／Ｙ≦２０の関係を満足するのがより好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００３６】
また、前記凸条または前記溝の長手方向に垂直な断面（寸法を制御したい方向の軸に直交した方向の軸における断面）の形状は、半円形状、三角形状等いかなるものであってもよいが、台形状をなすものであるのが好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
【００３７】
第１の形状安定化部材３１が凹凸パターン３１１として複数本の凸条または溝を有するものである場合、前記複数本の凸条または溝は、平行に配されたものであるのが好ましい。これにより、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。また、軟質部材１からの第１の形状安定化部材３１の取り外しの操作をさらに容易に行うことができるとともに、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外す際に軟質部材１に欠陥が生じること等をさらに確実に防止することができる。
第１の形状安定化部材３１が有する凹凸パターン３１１としては、例えば、図３、図４、図５に示すようなもの等が挙げられる。
【００３８】
特に、図４に示す構成では、凹凸パターン３１１を構成する凸条、溝の少なくとも一端が、第１の形状安定化部材３１の縁と同じ位置に配されている。これにより、軟質部材１の凹凸パターン１２１を構成する溝、凸条も、少なくとも一端が、軟質部材１の縁と同じ位置に配されたものとなる。その結果、前記溝が空気等の流路として効果的に機能することができ、軟質部材１に形状安定化部材（例えば、後に詳述する第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材）を装着する際に、形状安定化部材と軟質部材１との間に空気等が残存することを確実に防止することができる。したがって、前記のような残存した空気等による軟質部材１の変形をより効果的に防止することができる。特に、図４に示す構成では、凹凸パターン３１１を構成する凸条として、端部が第１の形状安定化部材３１の１つの辺としての第１の辺３１２と同じ位置に配されたものと、端部が第１の辺３１２に対向する第２の辺３１３と同じ位置に配されたものとが、交互に（互い違いに）配置されている。このような構成であることにより、凹凸パターン３１１が延在する方向の他端において、厚み（突出）方向に段差が構成されることによる度当たりができるので、厚み（突出）方向の段差が存在する上端・下端付近の寸法精度が向上する（凹凸パターン３１１の延在方向におけるズレが生じない）という効果が得られる。ここで、嵌め合わせは凹凸パターン３１１の延在方向と交差（直交）する方向から行うと空気の介在を抑えることが可能である。
【００３９】
また、図５に示す構成では、凸条、溝の主たる延在方向をｘ軸、ｘ軸に垂直な方向である面内方向をｙ軸、凸条の高さ方向、溝の深さ方向をｚ軸としたとき、凸条、溝は、ｘ軸に沿った方向から屈曲してｙ軸の方向への延在する成分を有している。従って、凸条、溝は、蛇行しながらｘ軸方向に延在している。これにより、形状安定化部材（例えば、後に詳述する第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材）が有する凸条、溝による軟質部材１の不本意な変形を防止する矯正力が、ｙ軸方向だけでなく、ｘ軸方向についても効果的に作用する。つまり、溝がピッチ配列している方向に寸法矯正力が働くことになる。その結果、軟質部材１の不本意な変形をより確実に防止することができる。
【００４０】
なお、第１の形状安定化部材３１は、図示の構成では、流動性材料１’（軟質部材１）の成形型５０と接触する面とは反対側の面の全体（全面）と接触しているが、当該面の一部のみと接触するものであってもよい。
また、第１の形状安定化部材３１は、図示の構成では、流動性材料１’との接触面の全体が、凹凸パターン３１１の設けられた領域となっているが、流動性材料１’との接触面の一部のみが凹凸パターン３１１の領域であるものであってもよい。これにより、第１の形状安定化部材３１の生産コストを抑制することができる。また、第１の形状安定化部材３１のうち、流動性材料１’との接触面の一部のみが凹凸パターン３１１が設けられた領域であると、軟質部材１も、第１の形状安定化部材３１と接触していた面（第２の面１２）の一部のみに、転写された凹凸パターン１２１を有するものとなり、後に詳述する接合体の製造方法において、切断工程に際しての軟質部材１と第３の形状安定化部材３３との嵌め合せや、接合工程に際しての軟質部材１と第２の形状安定化部材３２との嵌め合せを、より容易に行うことができる。以上のようなことから、軟質部材１、接合体１００の生産性等を特に優れたものとすることができる。
【００４１】
＜固化工程＞
その後、流動性材料１’を固化することにより、軟質材料で構成された軟質部材１を得る（１ｂ）。本工程で得られる軟質部材１は、成形型５０および第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写されたものである。そして、第１の形状安定化部材３１は、軟質部材１（流動性材料１’）との接触部に凹凸パターン３１１を有するものであるため、軟質部材１は、凹凸パターン３１１との接触部位に転写された凹凸パターン１２１を有するものとなる。その結果、軟質部材１と第１の形状安定化部材３１（後述する第２の形状安定化部材３２、第３の形状安定化部材３３についても同様）とは、嵌合状態を好適に保持することができ、軟質部材１の形状の安定性を十分に優れたものとすることができる。その一方で、軟質部材１は軟質材料で構成されたものであり、比較的容易に変形させることができるため、必要に応じて、軟質部材１から、嵌合状態の第１の形状安定化部材３１（後述する第２の形状安定化部材３２、第３の形状安定化部材３３についても同様）を容易かつ確実に取り外すことができる。
【００４２】
本発明による本実施形態では、軟質材料で構成された部材（軟質部材）がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、軟質材料で構成された部材（軟質部材）がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
本工程は、流動性材料の組成等に応じた方法を採用することができる。例えば、流動性材料１’が軟質材料を溶融したものである場合には、流動性材料を冷却する方法を採用することができる。また、流動性材料１’が軟質材料を溶媒に溶解したものである場合には、加熱や減圧による溶媒の除去を採用することができる。また、流動性材料１’が軟質材料の前駆物質で構成されたものである場合、エネルギー線（例えば、熱、赤外線、可視光、紫外線等）の照射による流動性材料１’（軟質材料の前駆物質）の重合を採用することができる。
【００４３】
軟質部材１の平均厚さ（図１中の上下方向の厚さ）は、０．２ｃｍ以上５０ｃｍ以下であるのが好ましく、１ｃｍ以上５ｃｍ以下であるのがより好ましい。軟質材料で構成された部材の厚さが前記範囲内の値であると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、軟質部材の平均厚さが前記範囲内の値であっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、軟質部材の平均厚さが前記範囲内の値である場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００４４】
＜離型工程＞
その後、軟質部材１を成形型５０から取り外す（１ｃ）。これにより、目的とする軟質部材１が得られる。
成形型５０からの軟質部材１の取り外しは、軟質部材１に第１の形状安定化部材３１が取り付けられた状態で行うものであってもよいが、軟質部材１から第１の形状安定化部材３１を取り外した状態で行うものであるのが好ましい。これにより、軟質部材１を成形型５０から容易に取り外すことができるとともに、成形型５０からの取り外し時に軟質部材１に欠陥が生じること等をより確実に防止することができる。なお、軟質部材１は、軟質材料で構成されたものであるため、比較的容易に変形させることができる。このため、軟質部材１等に欠陥が発生するのを確実に防止しつつ、軟質部材１から、第１の形状安定化部材３１、成形型５０を容易かつ確実に取り外すことができる。
【００４５】
《軟質部材》
本発明の軟質部材は、上述したような本発明の方法（軟質部材の製造方法）を用いて製造されたものである。
本発明の軟質部材は、いかなる用途のものであってもよいが、後に詳述する接合体の製造に用いられるものであるのが好ましい。これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することができる。
【００４６】
《接合体の製造方法》
次に、本発明の接合体の製造方法について説明する。
図２は、本発明の接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図、図６は、第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンと、第２の形状安定化部材（または第３の形状安定化部材）が有する凹凸パターンとの関係の一例を示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。また、図７は、本発明の接合体の製造方法における軟質部材の切断面の他の形態を説明するための模式的な断面図である。
【００４７】
本発明の接合体の製造方法は、複数個の部材を接合し、接合体を得る方法であって、前記複数個の部材として、上述したような方法（軟質部材の製造方法）を用いて製造された軟質部材を用い、前記第１の形状安定化部材の表面形状が転写された部位に、それに対応する凹凸パターン（第１の形状安定化部材が有する凹凸パターンに対応する凹凸パターン）を有する第２の形状安定化部材を嵌合させた状態で構成部材（軟質部材）同士の接合を行う接合工程を有するものである。これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することができる。
【００４８】
特に、本実施形態では、上述したような流動性材料付与工程、固化工程、離型工程の後に、軟質部材１としての第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂについて、第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３３１（３３１Ａ、３３１Ｂ）を有する第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）を嵌合させた状態で、切断により接合面となるべき部位の形状を調整する切断工程（１ｄ）と、第１の軟質部材１Ａの第１の面１１Ａ、第２の軟質部材１Ｂの第１の面を上側にして設置する軟質部材設置工程（１ｅ）と、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３２１（３２１Ａ、３２１Ｂ）を有する第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）を嵌合させた状態で、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの接合を行う接合工程（１ｆ）と、第１の軟質部材１Ａの凹凸パターン１１１Ａが設けられた側の面（第１の面１１Ａ）とは反対側の面（第２の面１２Ａ）、および、第２の軟質部材１Ｂの凹凸パターン１１１Ｂが設けられた側の面（第１の面１１Ｂ）とは反対側の面（第２の面１２Ｂ）に、第３の部材２を接合する補強工程（１ｇ）とを有している（図２参照）。
【００４９】
本実施形態のように、接合工程に先立ち、軟質部材１としての第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂについて、第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３３１（３３１Ａ、３３１Ｂ）を有する第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）を嵌合させた状態で、切断により接合面となるべき部位の形状を調整する切断工程を有することにより、最終的に得られる接合体１００において、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができる。
以下、切断工程、接合工程および補強工程について詳細に説明する。
【００５０】
＜切断工程＞
本工程では、軟質部材１としての第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂについて、第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３３１（３３１Ａ、３３１Ｂ）を有する第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）を嵌合させた状態で、切断により接合面となるべき部位の形状を調整する（図２の（１ｄ）参照）。このとき、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａの凹凸パターン１２１Ａには、第３の形状安定化部材３３Ａの凹凸パターン３３１Ａが嵌合しており、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの凹凸パターン１２１Ｂには、第３の形状安定化部材３３Ｂの凹凸パターン３３１Ｂが嵌合しているため、本工程における第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂの不本意な変形は確実に防止される。したがって、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを確実に所望の形状に切断することができ、結果として、最終的に得られる接合体１００を、より確実に所望の形状を有するものとすることができる。
【００５１】
第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）としては、第１の形状安定化部材３１と同一の凹凸パターンを有するもの（例えば、前述した、流動性材料付与工程、固化工程で用いた第１の形状安定化部材３１）を用いてもよいが、第１の形状安定化部材３１とは異なる凹凸パターンを有するものを用いてもよい。このように、第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）が、第１の形状安定化部材３１とは異なる凹凸パターンを有するものであっても、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）は軟質材料で構成されているため、軟質部材１は伸縮による変形をし、第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）の形状に追従することになる。このような変形により、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）は、自然状態と比べて引き伸ばされた部位が存在することとなる。このような部位（引き伸ばされた部位）を本工程で切断することにより、切断時の寸法交差をより広くすることができ、切断加工がより容易となるとともに、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、最終的に得られる接合体１００の寸法精度をより高いものとすることができる。
【００５２】
より具体的には、例えば、図６に示すように、第３の形状安定化部材３３は、第３の形状安定化部材３３と軟質部材１とを嵌め合わせた状態（嵌合状態）で、軟質部材１の切断部を含む領域が、自然状態の軟質部材１に比べて、引き伸ばされた状態となるような凹凸パターン３３１を有するものであるのが好ましい。これにより、上述したような効果をより顕著に発揮させることができる。なお、図６中、破線部で示した部位が切断すべき部位である。
【００５３】
また、第３の形状安定化部材３３Ａと第３の形状安定化部材３３Ｂとは、互いに同一の凹凸パターンを有するものであってもよいし、異なる凹凸パターンを有するものであってもよい。
本工程は、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂを定盤上に配置した状態で行うのが好ましい。これにより、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂをより確実に所望の形状に切断することができ、最終的に得られる接合体１００の寸法精度をより高いものとすることができる。
【００５４】
また、本工程は、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の厚さ方向について、複数回の切断処理を繰り返すことにより行うものであるのが好ましい。これにより、切断後の軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の厚さが比較的大きい場合であっても、軟質部材１の切断を効率よく行うことができ、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００５５】
また、本工程で、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）を切断する切断手段としては、例えば、機械的な切断手段（例えば、各種ナイフ、メス（手術用メス等）等）、光学的な切断手段（例えば、レーザーカッター等）を用いることができる。また、機械的な切断手段を用いる場合、当該切断手段に超音波を付与しつつ、切断を行ってもよい。これにより、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の切断速度をより速いものとし、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができるとともに、切断時における軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の不本意な変形をより確実に防止することができる。
【００５６】
なお、第３の形状安定化部材３３Ａ、３３Ｂは、図示の構成では、それぞれ、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの全体（全面）と接触しているが、当該面の一部のみと接触するものであってもよい。
また、図２に示す構成では、第３の形状安定化部材３３Ａ、３３Ｂを、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂとともに切断しているが、本発明において、第３の形状安定化部材は切断されないものであってもよい。
【００５７】
また、図２に示す構成では、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の切断面を、軟質部材１の厚さ方向（法線方向）と平行な平面に設定しているが、例えば、図７に示すように、軟質部材１の切断面１３（１３Ａ、１３Ｂ）は、軟質部材１の厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部１３１（１３１Ａ、１３１Ｂ）を有するものであってもよい。これにより、後述に詳述する接合工程で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを好適に接近させることができ、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合を好適に行うことができる。また、傾斜部１３１（１３１Ａ、１３１Ｂ）により形成される凹部（溝部）に好適に接着剤を付与することができ、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。特に、図７に示す構成では、切断面１３（１３Ａ、１３Ｂ）は、図中の下面側に傾斜部１３１（１３１Ａ、１３１Ｂ）を有するとともに、上面側に軟質部材１（１Ａ、１Ｂ）の面方向に垂直な部分（法線に平行な部分）としての垂直部１３２（１３２Ａ、１３２Ｂ）を有している。このような構成であることにより、製造される接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができるとともに、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの位置合わせをより容易に行うことができ、接合体１００の製造の歩留まりを特に優れたものとすることができる。
【００５８】
また、第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）は、図示の構成では、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）との接触面の全体が、凹凸パターン３３１（３３１Ａ、３３１Ｂ）の設けられた領域となっているが、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）との接触面の一部のみが凹凸パターン３３１（３３１Ａ、３３１Ｂ）の領域であるものであってもよい。これにより、第３の形状安定化部材３３Ａ、３３Ｂの生産コストを抑制することができる。また、本工程に際しての軟質部材１と第３の形状安定化部材３３との嵌め合せをより容易に行うことができる。以上のようなことから、接合体１００の生産性等を特に優れたものとすることができる。
第３の形状安定化部材３３（３３Ａ、３３Ｂ）の好適な構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂等の樹脂材料、各種金属材料等が挙げられる。これにより、第３の形状安定化部材３３自体の形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
【００５９】
＜軟質部材設置工程＞
本工程では、第１の軟質部材１Ａを、凹凸パターン１１１Ａが設けられた面（第１の面１１Ａ）を上側にして設置するとともに、第２の軟質部材１Ｂを、凹凸パターン１１１Ｂが設けられた面（第１の面１１Ｂ）が設けられた面を上側にして設置する（図２の（１ｅ）参照）。
特に、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３２１（３２１Ａ、３２１Ｂ）を有する第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）を嵌合させた状態で載置する。これにより、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂ）の設置時による衝撃等により、軟質部材１に不本意な変形が生じることをより確実に防止することができる。
【００６０】
第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）については、後に詳述する。
また、本実施形態では、流体４上に、第１のフロート５１および第２のフロート５２を浮遊させ、第１のフロート５１上に第１の軟質部材１Ａ（第２の形状安定化部材３２Ａが嵌合した状態の第１の軟質部材１Ａ。以下、同様。）を配置するとともに、第２のフロート５２上に第２の軟質部材１Ｂ（第２の形状安定化部材３２Ｂが嵌合した状態の第１の軟質部材１Ｂ。以下、同様。）を配置する（図２の（１ｅ）参照）。これにより、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
【００６１】
第１のフロート５１、第２のフロート５２は、それぞれ、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを載置した状態で、流体４に浮遊した状態を保つことができるものであればいかなるものであってもよいが、第１のフロート５１、第２のフロート５２としては、発泡スチロール等の多孔質体を好適に用いることができる。特に、発泡スチロールは、比重が小さいため、流体４の選択肢が増えるとともに、断熱性にも優れるため、流体を加熱、冷却する場合においても、温度変化による第１の軟質部材、第２の軟質部材への悪影響の発生を効果的に防止することができる。
【００６２】
第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重は、０．０１０以上０．７以下であるのが好ましく、０．０１０以上０．０３以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような第１のフロート５１、第２のフロート５２としての機能をより確実に発揮することができ、流体４の種類の選択肢等を広げることができる。これに対し、第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重が前記下限値未満であると、流体４の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート５１、第２のフロート５２が流体４から受ける反発力が大きくなり、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂに不本意な変形を生じる可能性がある。また、第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重が前記上限値を超えると、流体４の比重等によっては、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート５１、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート５２を、安定的に流体４上に浮遊させておくことが困難になる可能性がある。
【００６３】
また、第１のフロート５１、第２のフロート５２は、全体にわたって均一な条件（組成、密度等）を有するものであってもよいし、各部位で条件（組成、密度等）の異なるものであってもよい。例えば、第１のフロート５１、第２のフロート５２は、多層構造を有するもの（例えば、基部と、その表面に設けられた被膜とを有するもの）であってもよい。これにより、第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重を小さいものとしつつ、第１のフロート５１、第２のフロート５２の化学的安定性、熱的安定性等を優れたものとすることができる。その結果、本発明の接合体の製造方法における条件の幅（例えば、流体４の種類、処理温度等の幅）が広がり、接合体１００の生産性や、接合体１００の寸法精度等を特に優れたものとすることができる。また、第１のフロート５１、第２のフロート５２の長寿命化を図ることができ、接合体１００の製造に繰り返し好適に用いることができるため、接合体１００の生産コストの抑制を図ることができる。
【００６４】
流体４としては、各種液体、各種気体、超臨界流体等を用いることができる。
流体４の比重は、０．７以上１．２以下であるのが好ましく、０．９以上１．１以下であるのがより好ましい。これにより、流体４上に、第１の軟質部材１Ａが載置された第１のフロート５１および第２の軟質部材１Ｂが載置された第２のフロート５２を、より好適に浮遊させた状態で、後の接合工程を行うことができ、結果として、上述したような効果をより顕著に発揮させることができる。これに対し、流体４の比重が前記下限値未満であると、第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重等によっては、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート５１、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート５２を、安定的に流体４上に浮遊させておくことが困難になる可能性がある。また、流体４の比重が前記上限値を超えると、第１のフロート５１、第２のフロート５２の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート５１、第２のフロート５２が流体４から受ける反発力が大きくなりすぎ、上述したような効果が十分に発揮されない可能性がある。
【００６５】
流体４としては、液体を用いるのが好ましく、水を用いるのがより好ましい。これにより、流体４の取り扱いのし易さが向上する。また、本発明の接合体の製造方法に用いる装置の簡素化を図ることができる。また、接合体１００の生産コストを抑制することができる。
なお、流体４中には、例えば、界面活性剤、酸化防止剤、防腐剤等の各種添加剤が含まれていてもよい。
【００６６】
本実施形態において、本工程では、最終的に、第１の軟質部材１Ａが載置された第１のフロート５１が、流体４上に浮遊していればよく、流体４上に第１のフロート５１を浮遊させた後に、第１のフロート５１上に第１の軟質部材１Ａを載置してもよいし、第１のフロート５１上に第１の軟質部材１Ａを載置した状態で、流体４上に浮遊させてもよい。また、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート５１を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体４を導入し、それにより、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート５１を、流体４に浮遊させてもよい。
【００６７】
同様に、本工程では、最終的に、第２の軟質部材１Ｂが載置された第２のフロート５２が、流体４上に浮遊していればよく、流体４上に第２のフロート５２を浮遊させた後に、第２のフロート５２上に第２の軟質部材１Ｂを載置してもよいし、第２のフロート５２上に第２の軟質部材１Ｂを載置した状態で、流体４上に浮遊させてもよい。また、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート５２を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体４を導入し、それにより、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート５２を、流体４に浮遊させてもよい。
【００６８】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａと第１のフロート５１との間に液体を浸した第１のシート材７１が配されており、第２の軟質部材１Ｂと第２のフロート５２との間に液体を浸した第２のシート材７２が配されている。これにより、第１のフロート５１上に第１の軟質部材１Ａを載置する際、第２のフロート５２上に第２の軟質部材１Ｂを載置する際の衝撃を緩和することができ、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂの不本意な変形をより効果的に防止することができる。また、後の接合工程において第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを接合する際に、各軟質部材の側面部の長手方向（図２中の奥行き方向）の各部位での第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの密着の程度をより好適に調整することが可能となる。その結果、接合体１００の接合部の長手方向の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体１００において、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。
【００６９】
前記液体としては、例えば、水、油、界面活性剤（例えば、アニオン性界面活性剤：石鹸、アルキルベンゼンスルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、α−スルホ脂肪酸エステル、α−オレフィンスルホン酸塩、モノアルキルリン酸エステル塩、アルカンスルホン酸塩、商品名：ダイヤポン，パーソフト（日油），アデカホープ（ＡＤＥＫＡ）、エマール（花王）、ママレモン（ライオン）、カチオン性界面活性剤：アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩、アルキルジメチルベンジルアンモニウム塩、アミン塩系、商品名：ニッサンカチオン（日油）、アデカミン（ＡＤＥＫＡ）、コータミン（花王）、ノニオン性界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル、アルキルグルコシド、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸アルカノールアミド、商品名：ノニオン（日油）、アデカトール（ＡＤＥＫＡ）、エマルゲン（花王）、チャーミー（ライオン）、両性界面活性剤：アルキルアミノ脂肪酸塩、アルキルベタイン、アルキルアミンオキシド、商品名：ニッサンアノン（日油）、アデカアンホート（ＡＤＥＫＡ）、アンヒトール（花王）、ルック（ライオン）等）等を用いることができる。
【００７０】
＜接合工程＞
その後、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの第１の形状安定化部材３１の表面形状が転写された部位に、それぞれ、当該第１の形状安定化部材３１の表面形状に対応する凹凸パターン３２１（３２１Ａ、３２１Ｂ）を有する第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）を嵌合させた状態で、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの接合を行うことにより、仮接合体１００’を得る（図２の（１ｆ）参照）。これにより、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じるのを確実に防止した状態で、これらを固定化できる。
【００７１】
特に、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具９を配置した状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合を行う。ここで、第１の軟質部材１Ａは第１のフロート５１上に載置されており、第２の軟質部材１Ｂは第２のフロート５２上に載置されているため、アライメント用治具９による押圧により、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに加えられた力は、第１のフロート５１および第２のフロート５２に伝わり、第１のフロート５１、第２のフロート５２は、それぞれ独立して、所定深さだけ流体４中に沈み込む。その結果、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの変形を防止しつつ、第１の軟質部材１Ａの第１の面１１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの第１の面１１Ｂが面位置となるように、調整することができる。その結果、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じるのをより確実に防止した状態で、これらを固定化できる。
【００７２】
第２の形状安定化部材３２Ａ、３２Ｂとしては、第１の形状安定化部材３１と同一の凹凸パターンを有するもの（例えば、前述した、流動性材料付与工程、固化工程で用いた第１の形状安定化部材３１）を用いてもよいが、第１の形状安定化部材３１とは異なる凹凸パターンを有するものを用いてもよい。このように、第２の形状安定化部材３３（３２Ａ、３２Ｂ）が、第１の形状安定化部材３１とは異なる凹凸パターンを有するものであっても、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）は軟質材料で構成されているため、軟質部材１は伸縮による変形をし、第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）の形状に追従することになる。このような変形により、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）は、自然状態と比べて引き伸ばされた部位が存在することとなる。このような部位（引き伸ばされた部位）を本工程で接合することにより、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、最終的に得られる接合体１００の寸法精度をより高いものとすることができる。
【００７３】
より具体的には、例えば、図６に示すように、第２の形状安定化部材３２は、第２の形状安定化部材３２と軟質部材１とを嵌め合わせた状態（嵌合状態）で、軟質部材１の接合部を含む領域が、自然状態の軟質部材１に比べて、引き伸ばされた状態となるような凹凸パターン３２１を有するものであるのが好ましい。これにより、上述したような効果をより顕著に発揮させることができる。なお、図６中、第２の形状安定化部材３２の右側の辺が接合部となるべき部位である。
【００７４】
また、第２の形状安定化部材３２Ａ、３２Ｂとしては、第３の形状安定化部材３３Ａ、３３Ｂと同一の凹凸パターンを有するものを用いてもよいし、第３の形状安定化部材３３Ａ、３３Ｂとは異なる凹凸パターンを有するものを用いてもよい。
また、第２の形状安定化部材３２Ａと第２の形状安定化部材３２Ｂとは、互いに同一の凹凸パターンを有するものであってもよいし、異なる凹凸パターンを有するものであってもよい。
【００７５】
なお、第２の形状安定化部材３２Ａ、３２Ｂは、図示の構成では、それぞれ、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの全体（全面）と接触しているが、当該面の一部のみと接触するものであってもよい。
また、第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）は、図示の構成では、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）との接触面の全体が、凹凸パターン３２１（３２１Ａ、３２１Ｂ）の設けられた領域となっているが、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）との接触面の一部のみが凹凸パターン３２１（３２１Ａ、３２１Ｂ）の領域であるものであってもよい。これにより、第２の形状安定化部材３２Ａ、３２Ｂの生産コストを抑制することができる。また、本工程に際しての軟質部材１と第２の形状安定化部材３２との嵌め合せをより容易に行うことができる。以上のようなことから、接合体１００の生産性等を特に優れたものとすることができる。
【００７６】
第２の形状安定化部材３２（３２Ａ、３２Ｂ）の好適な構成材料としては、例えば、アクリル系樹脂等の樹脂材料、各種金属材料等が挙げられる。これにより、第２の形状安定化部材３２自体の形状の安定性を特に優れたものとすることができる。また、これらの材料は、液体の吸収率が低いものであるため、前記流体が液体である場合に、第２の形状安定化部材３２が、当該液体を吸収することによる不本意な変形がより効果的に防止される。
【００７７】
第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合は、接着剤によるものであるのが好ましい。これにより、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
接着剤としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。
【００７８】
アライメント用治具９の第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面の水平度は、０．１０°以下であるのが好ましく、０．０５°以下であるのがより好ましい。これにより、製造される接合体１００に不本意な変形（反り）や、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００７９】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを跨ぐように配置されるアライメント用治具９に加え、第１の軟質部材１Ａの第１の面１１Ａのみを押圧するアライメント用治具９’、第２の軟質部材１Ｂの第１の面１１Ｂのみを押圧するアライメント用治具９’’を用いている。そして、アライメント用治具９、アライメント用治具９’、および、アライメント用治具９’’の下面が、同一平面上に位置するように配置されている。これにより、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート５１の浮力、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート５２の浮力により、アライメント用治具９により押圧された第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂが部分的に浮き上がり、製造される接合体１００に不本意な変形（反り）が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００８０】
アライメント用治具９、９’、９’’は、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを構成する軟質材料よりも硬質の材料で構成されたものであればよいが、例えば、各種ガラス等の透明体で構成する事により、微細構造表面をマイクロスコープ等で確認でき、アライメント調整がより確実なものとする事ができる。また、アライメント用治具９’、９’’が大きくなるにつれ、平坦度を確保した部材の調達が難しくなるが、ガラスで構成されたものを使用する事により比較的短納期になる。これにより、アライメント用治具９の形状の安定性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、アライメント用治具９の耐久性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００８１】
アライメント用治具９は、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面に、表面処理剤による表面処理が施されたものであるのが好ましい。これにより、アライメント用治具９下での第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの滑りが制御可能となり、接合工程でのアライメント調整が容易となるという効果が得られる。
また、アライメント用治具９’の第１の軟質部材１Ａに接触する側の表面や、アライメント用治具９’’の第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面にも、表面処理剤による表面処理が施されていてもよい。これにより、上記と同様な効果が得られる。
表面処理剤としては、フッ素系離型剤、シリコーン系離型剤等の離型剤等が挙げられる。
【００８２】
＜補強工程＞
その後、第１の軟質部材１Ａの凹凸パターン１１１Ａが設けられた側の面（第１の面１１Ａ）とは反対側の面（第２の面１２Ａ）、および、第２の軟質部材１Ｂの凹凸パターン１１１Ｂが設けられた側の面（第１の面１１Ｂ）とは反対側の面（第２の面１２Ｂ）に、第３の部材２を接合する（図２の（１ｇ）参照）。これにより、接合体１００が得られる。このように、本実施形態では補強工程を有している。これにより、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００８３】
第３の部材２としては、軟質材料を好適に用いることができる。
第３の部材２の具体的な構成材料としては、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の構成材料として例示したものを用いることができるが、第３の部材２は、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂと同一の材料で構成されたものであってもよいし、異なる材料で構成されたものであってもよい。
【００８４】
第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合体（仮接合体１００’）と第３の部材２との接合は、例えば、接着剤を用いた接着により行うことができる。仮接合体１００’と第３の部材２との接合を、接着剤を用いた接着により行う場合、以下のような効果が得られる。すなわち、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、および、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂには、それぞれ、成形型５０の凹凸パターン５０１に対応する凹凸パターン１２１（１２１Ａ、１２１Ｂ）が設けられているため、接着剤は、当該凹凸パターン１２１（１２１Ａ、１２１Ｂ）を構成する凹部内（凸部間）に侵入することとなる。その結果、アンカー効果が発揮され、第１の軟質部材１Ａと第３の部材２との接合強度、第２の軟質部材１Ｂと第３の部材２との接合強度は、特に優れたものとなり、接合体１００は、形状の安定性、耐久性等が特に優れたものとなる。
【００８５】
本工程では、接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。
なお、第３の部材２は、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、および、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの全体を被覆するものであってもよいし、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、および、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの一部のみ（例えば、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部を跨ぐ領域のみ）を被覆するものであってもよい。
【００８６】
《接合体》
本発明の接合体は、上述したような方法（本発明の接合体の製造方法）を用いて製造されたものである。これにより、接合体を、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていないものとすることができる。
本発明の接合体は、いかなる用途のものであってもよいが、成形型として用いられるものであるのが好ましい。一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【００８７】
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、前述した実施形態では、軟質部材（第１の軟質部材および第２の軟質部材）が、シート状をなすものである場合について代表的に説明したが、本発明において、軟質部材の形状は、いかなるものであってもよく、シート状に限定されるものではない。
【００８８】
また、本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法では、上述した工程に加えて、さらに他の工程として、前処理工程、後処理工程、中間工程を有していてもよい。
また、前述した接合体の製造方法の実施形態では、接合工程において、フロート（第１のフロート、第２のフロート）、アライメント用治具を用いる場合について代表的に説明したが、これらの部材は用いなくてもよい。
【００８９】
また、前述した接合体の製造方法の実施形態では、接合工程のほかに、切断工程、軟質部材設置工程、補強工程を有する場合について代表的に説明したが、本発明の接合体の製造方法は、接合工程を有していればよく、それ以外の工程は有していなくてもよい。
また、前述した実施形態では、第１の形状安定化部材（第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）は、軟質部材の成形型と接触していた側の面とは反対側の面で接触（嵌合）するものとして説明したが、第１の形状安定化部材（第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）は、軟質部材の他の部位に接触（嵌合）するものであってもよい。例えば、軟質部材が、シート状をなすものである場合、第１の形状安定化部材（第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）は、軟質部材の側面で接触（嵌合）するものであってもよい。
【００９０】
また、前述した実施形態では、形状安定化部材（第１の形状安定化部材、第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）が、凹凸パターンとして、複数の凸条、溝を有するものである場合について代表的に説明したが、形状安定化部材（第１の形状安定化部材、第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）が有する凹凸パターンは、凸条、溝以外の凸部、凹部を有するものであってもよい。例えば、形状安定化部材（第１の形状安定化部材、第２の形状安定化部材、第３の形状安定化部材についても同様）は、頂部に向かって断面積が漸減する断面積漸減部を有する島状の凸部を有するものであってもよい。これにより、形状安定化部材の作製が容易となり、形状安定化部材の生産コストを抑制することができる。また、切断工程に際しての軟質部材と形状安定化部材との嵌め合せや、接合工程に際しての軟質部材と形状安定化部材との嵌め合せを、より容易に行うことができる。以上のようなことから、軟質部材、接合体の生産性等を特に優れたものとすることができる。
【符号の説明】
【００９１】
１００…接合体  １００’…仮接合体  １…軟質部材  １１…第１の面  １１１…凹凸パターン  １２…第２の面  １２１…凹凸パターン  １３…切断面  １３１…傾斜部  １３２…垂直部  １’…流動性を有する材料（流動性材料）  １Ａ…第１の軟質部材（軟質部材）  １１Ａ…第１の面  １１１Ａ…凹凸パターン  １２Ａ…第２の面  １２１Ａ…凹凸パターン  １３Ａ…切断面  １３１Ａ…傾斜部  １３２Ａ…垂直部  １Ｂ…第２の軟質部材（軟質部材）  １１Ｂ…第１の面  １１１Ｂ…凹凸パターン  １２Ｂ…第２の面  １２１Ｂ…凹凸パターン  １３Ｂ…切断面  １３１Ｂ…傾斜部  １３２Ｂ…垂直部  ２…第３の部材  ３１…形状安定化部材（第１の形状安定化部材）  ３１１…凹凸パターン  ３１２…第１の辺  ３１３…第２の辺  ３２、３２Ａ、３２Ｂ…第２の形状安定化部材  ３２１、３２１Ａ、３２１Ｂ…凹凸パターン  ３３、３３Ａ、３３Ｂ…第３の形状安定化部材  ３３１、３３１Ａ、３３１Ｂ…凹凸パターン  ４…流体  ５１…第１のフロート  ５２…第２のフロート  ７１…第１のシート材  ７２…第２のシート材  ８…槽  ９…アライメント用治具  ９’…アライメント用治具  ９’’…アライメント用治具  ５０…成形型（マスター成形型）  ５０Ａ…第１の型部材  ５０Ｂ…第２の型部材  ５０１…凹凸パターン
【図１】
2013226763.tif 000002
【図２】
2013226763.tif 000003
【図３】
2013226763.tif 000004
【図４】
2013226763.tif 000005
【図５】
2013226763.tif 000006
【図６】
2013226763.tif 000007
【図７】
2013226763.tif 000008