(57)【要約】【課題】印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが生じるのを抑制できるスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を具備した印刷装置、及び該印刷装置を使用した電子部品の製造方法を実現する。【解決手段】スクリーン印刷版１は、パターン形成部３ａを有する第１の領域３と、該第１の領域３の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域４ａ、４ｂとが版枠２内に設けられている。第１及び第２の領域３、４ａ、４ｂは、矢印Ａで示すスキージの移動方向に対し直交する幅方向に領域分割されている。第１及び第２の領域３、４ａ、４ｂには、第１及び第２のスクリーンマスク５、６ａ、６ｂが張られている。第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂは、弾性率が第１のスクリーンマスク５よりも小さいマスク材料で形成されている。印刷装置は、このスクリーン印刷版１を具備し、コイル部品等の電子部品が製造される。【選択図】図１
2013169783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、
前記第１及び第２の領域には、第１及び第２のスクリーンマスクがそれぞれ張られると共に、
前記第２のスクリーンマスクは、弾性率が前記第１のスクリーンマスクよりも小さいマスク材料で形成されていることを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、
前記第１の領域には、スクリーンマスクが張られると共に、前記第２の領域には、スクリーンマスクが張られていないことを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記第１の領域の幅寸法は、前記一対の第２の領域の各々幅寸法の総計よりも大きいことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域を囲むようにスクリーンマスクが張られた第２の領域とを有し、
前記第２の領域は、前記第１の領域よりも面積が大きいことを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項５】
前記パターン形成部は、全面印刷パターンを形成していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のスクリーン印刷版。
【請求項６】
被印刷物を保持する保持部材と、該保持部材と対向状に配された印刷版と、該印刷版に形成されたパターン形成部上を所定方向に往復運動するスキージとを備え、前記スキージを前記印刷版に押圧して前記印刷版に供給されたペーストを前記パターン形成部を通過させ、印刷パターンを前記被印刷物に転写する印刷装置において、
前記印刷版が、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のスクリーン印刷版で形成されていることを特徴とする印刷装置。
【請求項７】
感光性材料を含有したペーストを使用してスクリーン印刷し、印刷層を形成する印刷層形成工程と、
前記印刷層に露光・現像処理を施して所定の印刷パターンを形成するパターン形成工程とを含む電子部品の製造方法において、
前記印刷層形成工程は、請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のスクリーン印刷版を使用して前記スクリーン印刷を行なうことを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項８】
前記感光性材料は、絶縁性材料及び導電性材料のうちのいずれか一方を含有すると共に、
前記印刷層形成工程は、絶縁性材料からなる絶縁層形成工程と、導電性材料からなる導電層形成工程とを含み、
前記絶縁層形成工程を実行した後、前記導電層形成工程、前記パターン形成工程、前記絶縁層形成工程、及びパターン形成工程を含む一連の工程を順次実行することを特徴とする請求項７記載の電子部品の製造方法。
【請求項９】
前記絶縁層形成工程を実施した後、前記一連の工程を複数回繰り返し実行することを特徴とする請求項７又は請求項８記載の電子部品の製造方法。
【請求項１０】
前記印刷パターンは、コイル状パターンを含むことを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を使用して印刷処理を行なう印刷装置、及びこの印刷装置を使用してコイル部品等の電子部品を製造する電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、コイル部品等の電子部品は、様々な電子機器に搭載されており、電子部品の製造方法についても、従来より、種々の方法が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、コイル状の導体パターン層が絶縁層を介して積層されて複数の導体パターン層が積層一体化された電子部品の製造方法が提案されている。
【０００４】
この特許文献１では、フォトリソグラフィ技術を使用し、例えば、以下のような方法で製造している。
【０００５】
まず、基材の表面全域に感光性絶縁材料を塗布した後、露光して硬化させ、絶縁層を形成する。次いで、この絶縁層の表面全域に感光性導電材料を塗布して導電層を形成し、導電パターン形成用マスクを使用して露光・現像を行い、絶縁層の表面に導電パターン層を形成する。
【０００６】
次いで、この導電パターン層上に感光性絶縁材料を塗布して絶縁層を形成した後、ビアホール形成用マスクを使用して露光・現像を行い、ビアホールを有する絶縁層を導電パターン層上に形成する。その後、スクリーン印刷して感光性導電材料を塗布した後、ビア導体形成用マスクを使用して露光・現像を行い、これによりビアホール内にビア導体を充填する。
【０００７】
以下同様にして感光性絶縁材料又は感光性導電材料を使用し、絶縁層又は導電層を形成した後、露光・現像を行なう一連の処理を複数回繰り返すことにより、ビア導体を介して導電パターン層が積層一体化された電子部品を作製している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開２００６／０１１２９１号公報（請求項１、６、段落番号〔００２５〕〜〔００３５〕等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１のようにフォトリソグラフィ技術を使用して導電パターン層と絶縁層とを積層一体化し、電子部品を形成する場合、感光性絶縁材料や感光性導電材料の下地層への塗布には、通常、パターン形成部が全面メッシュ孔からなるスクリーン印刷版を使用して行なわれる。
【００１０】
すなわち、この種のスクリーン印刷法では、図８に示すように、保持部材１０１上の被印刷物１０２とスクリーン印刷版１０３との間に一定のクリアランス（隙間）ｔ′を設け、スキージ１０４に適度な圧力を負荷して矢印ａ方向にスクリーン印刷版１０３を押圧し、版上に供給されたペースト１０５をスクリーン印刷版１０３のパターン形成部（メッシュ孔）１０３ａに押し付けながら、スキージ１０４を図中、紙面の垂直方向に移動させてスキージングを行っている。そして、このスキージングによって被印刷物１０２とスクリーン印刷版１０３とが離れていわゆる版離れが生じ、この版離れと同時にペースト１０５がパターン形成部１０３ａから押し出されて被印刷物１０２上に所定の印刷パターンが転写される。
【００１１】
このように上記スクリーン印刷法では、良好な転写性を確保するために、被印刷物１０２とスクリーン印刷版１０３との間に一定のクリアランスｔ′を設け、スキージ１０４をスクリーン印刷版１０３に一定の圧力で押し付けながら、紙面の垂直方向にスキージ１０４を移動させてスキージングを行い、これにより印刷処理を行なっている。
【００１２】
しかしながら、このようにスクリーン印刷版１０３と被印刷物１０２との間にクリアランスｔ′を設けてスクリーン印刷を行なった場合、スクリーン印刷版１０３には矢印ａ方向からスキージ１０４により圧力が負荷される一方、スクリーン印刷版１０３からは矢印ａ方向とは逆方向に反力が発生する。
【００１３】
図９（ａ）は、スキージ１０４からスクリーン印刷版１０３に圧力が負荷された場合の圧力分布を示し、図９（ｂ）は、スクリーン印刷版１０３からの反力分布を示している。図中、横軸はスクリーン印刷版１０３の幅寸法、縦軸は圧力又は反力である。
【００１４】
スキージ１０４からスクリーン印刷版１０３に一定の圧力が負荷された場合、図９（ｂ）に示すように、スクリーン印刷版１０３の周縁部が高くなり、中央部は周縁部に比べて低くなる。その結果、図９（ａ）に示すように、スクリーン印刷版１０３の中央部に圧力が集中して高くなり、スクリーン印刷版１０３の周縁部では圧力は低くなる。
【００１５】
したがって、この場合、印刷塗膜の膜厚は、スクリーン印刷版１０３からの反力の影響を受け、中央部は膜厚が薄く印刷され、周縁部は膜厚が厚く印刷されることとなり、このため印刷塗膜の膜厚にバラツキが生じるおそれがある。しかも、導電パターン層と絶縁層とを積層一体化させるためには、感光性絶縁材料や感光性導電材料を使用したスクリーン印刷が複数回繰り返されることから、印刷パターンの中央部と周縁部における膜厚のバラツキが蓄積されることとなり、膜厚の不均一性が助長されるおそれがある。
【００１６】
さらに、特許文献１のように感光性絶縁材料と感光性導電材料を使用して積層一体化されたコイル電極を形成する場合、反力の小さいパターン形成部１０３ａの中央部では、図１０（ａ）に示すように、コイル電極１０６は、層間Ｔが均一でコイル長Ｌも短いのに対し、反力の大きいパターン形成部１０３ａの周縁部では、図１０（ｂ）に示すように、コイル電極１０６は、層間Ｔ′が不均一でコイル長Ｌ′も長くなる。
【００１７】
そして、印刷塗膜の膜厚や印刷パターンの形状は、コイル部品の特性であるインダクタンスに関係することから、これら印刷塗膜の膜厚や印刷パターンの形状にバラツキが生じると、コイル部品の特性にもバラツキが生じ、製品歩留まりの低下を招くおそれがある。
【００１８】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが生じるのを抑制できるスクリーン印刷版、該スクリーン印刷版を具備した印刷装置、及び該印刷装置を使用してコイル部品等の電子部品を製造する電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
上記目的を達成するために本発明に係るスクリーン印刷版は、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、前記第１及び第２の領域には、第１及び第２のスクリーンマスクがそれぞれ張られると共に、前記第２のスクリーンマスクは、弾性率が前記第１のスクリーンマスクよりも小さいマスク材料で形成されていることを特徴としている。
【００２０】
また、本発明に係るスクリーン印刷版は、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、前記第１の領域にはスクリーンマスクが張られると共に、前記第２の領域には、スクリーンマスクが張られていないことを特徴としている。
【００２１】
また、本発明のスクリーン印刷版は、前記第１の領域の幅寸法は、前記一対の第２の領域の各々幅寸法の総計よりも大きいのが好ましい。
【００２２】
また、本発明に係るスクリーン印刷版は、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域を囲むようにスクリーンマスクが張られた第２の領域とを有し、前記第２の領域は、前記第１の領域よりも面積が大きいことを特徴としている。
【００２３】
また、本発明のスクリーン印刷版は、前記パターン形成部が、全面印刷パターンを形成しているのが好ましい。
【００２４】
また、本発明に係る印刷装置は、被印刷物を保持する保持部材と、該保持部材と対向状に配された印刷版と、該印刷版に形成されたパターン形成部上を所定方向に往復運動するスキージとを備え、前記スキージを前記印刷版に押圧して前記印刷版に供給されたペーストを前記パターン形成部を通過させ、印刷パターンを前記被印刷物に転写する印刷装置において、前記印刷版が、上記いずれかに記載のスクリーン印刷版で形成されていることを特徴としている。
【００２５】
また、本発明に係る電子部品の製造方法は、感光性材料を含有したペーストを使用してスクリーン印刷し、印刷層を形成する印刷層形成工程と、前記印刷層に露光・現像処理を施して所定の印刷パターンを形成するパターン形成工程とを含む電子部品の製造方法において、前記印刷層形成工程は、上記いずれかに記載のスクリーン印刷版を使用して前記スクリーン印刷を行なうことを特徴としている。
【００２６】
また、本発明の電子部品の製造方法は、前記感光性材料は、絶縁性材料及び導電性材料のうちのいずれか一方を含有すると共に、前記印刷層形成工程は、絶縁性材料からなる絶縁層形成工程と、導電性材料からなる導電層形成工程とを含み、前記絶縁層形成工程を実行した後、前記導電層形成工程、前記パターン形成工程、前記絶縁層形成工程、及びパターン形成工程を含む一連の工程を順次実行するのが好ましい。
【００２７】
さらに、本発明の電子部品の製造方法は、前記絶縁層形成工程を実施した後、前記一連の工程を複数回繰り返し実行するのが好ましい。
【００２８】
また、本発明の電子部品の製造方法は、前記印刷パターンは、コイル状パターンを含むのが好ましい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のスクリーン印刷版によれば、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、前記第１及び第２の領域には、第１及び第２のスクリーンマスクがそれぞれ張られると共に、前記第２のスクリーンマスクは、弾性率が前記第１のスクリーンマスクよりも小さいマスク材料で形成されているので、第２のスクリーンマスクは、第１のスクリーンマスクよりも伸びやすくなり、これによりスクリーン印刷版と被印刷物との間にクリアランスを設けてスクリーン印刷しても、第２の領域で生じる反力を抑制することが可能となり、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された高品質の印刷物を得ることが可能となる。
【００３０】
また、本発明の別のスクリーン印刷版によれば、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域とを有し、前記第１の領域にはスクリーンマスクが張られると共に、前記第２の領域には、スクリーンマスクが張られていないので、第２の領域にはスクリーンマスクからの反力が生じず、上述と同様、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された高品質の印刷物を得ることができる。しかも、この場合は、第２の領域には、スクリーンマスクが張られていないので、スクリーンマスクが張られている場合に比べ、コストの低減が可能になると共に、マスク材料の材質選択を行う必要もなく、所望の高品質な印刷物を容易に得ることが可能となる。
【００３１】
また、本発明の更なる別のスクリーン印刷版によれば、パターン形成部を有する第１の領域と、該第１の領域を囲むように形成されたスクリーンマスクが張られた第２の領域とを有し、前記第２の領域は、前記第１の領域よりも面積が大きいので、第２の領域の幅寸法を第１の領域の幅寸法に比べて十分に大きくすることができ、これにより反力のバラツキを抑制することができ、上述と同様、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された高品質の印刷物を得ることが可能となる。
【００３２】
また、本発明の印刷装置によれば、被印刷物を保持する保持部材と、該保持部材と対向状に配された印刷版と、該印刷版に形成されたパターン形成部上を所定方向に往復運動するスキージとを備え、前記スキージを前記印刷版に押圧して前記印刷版に供給されたペーストを前記パターン形成部を通過させ、印刷パターンを前記被印刷物に転写する印刷装置において、前記印刷版が、上記いずれかに記載のスクリーン印刷版で形成されているので、スキージからスクリーン印刷版に圧力が負荷されても、スクリーン印刷版からの反力のバラツキが抑制され、これにより印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された所望の印刷物を容易に得ることができる。
【００３３】
さらに、本発明の電子部品の製造方法によれば、感光性材料を含有したペーストを使用し、スクリーン印刷して印刷層を形成する印刷層形成工程と、前記印刷層に露光・現像処理を施して所定の印刷パターンを形成するパターン形成工程とを含む電子部品の製造方法において、前記印刷層形成工程は、上記いずれかに記載のスクリーン印刷版を使用して前記スクリーン印刷を行なうので、印刷パターンの膜厚のバラツキが抑制され、特性バラツキの抑制されたコイル部品等の電子部品を得ることができる。
【００３４】
また、前記感光性材料には、絶縁性材料及び導電性材料のうちのいずれか一方を含有すると共に、前記印刷層形成工程は、絶縁性材料からなる絶縁層形成工程と、導電性材料からなる導電層形成工程とを含み、前記絶縁層形成工程を実行した後、前記導電層形成工程、前記パターン形成工程、前記絶縁層形成工程、及びパターン形成工程を含む一連の工程を順次実行することにより、印刷塗膜の膜厚バラツキは印刷パターンの形状バラツキが抑制された電子部品用内部電極を得ることができ、これによりインダクタンス等の電気特性のバラツキが抑制された高品質の電子部品を得ることが可能である。
【００３５】
さらに、本発明の電子部品の製造方法は、前記絶縁層形成工程を実施した後、前記一連の工程を複数回繰り返し実行することにより、特性バラツキが抑制された積層コイル部品等の積層型電子部品を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷版の一実施の形態（第１の実施の形態）を示す平面図である。
【図２】本発明に係る印刷装置の一実施の形態を示す要部断面図である。
【図３】本発明に係る電子部品としてのコイル部品の製造方法を説明するための斜視図（１／２）である。
【図４】本発明に係る電子部品としてのコイル部品の製造方法を説明するための斜視図（２／２）である。
【図５】図３（ｃ）の要部平面図である。
【図６】本発明に係るスクリーン印刷版の第２の実施の形態を示す平面図である。
【図７】本発明に係るスクリーン印刷版の第２の実施の形態を示す平面図である。
【図８】従来のスクリーン印刷版を備えた印刷装置の要部断面図である。
【図９】スキージの圧力分布（ａ）及びスクリーン印刷版の反力分布（ｂ）を示す図である。
【図１０】スクリーン印刷でコイルパターンを形成した場合の従来の課題を説明する場合の図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づき詳説する。
【００３８】
図１は、本発明に係るスクリーン印刷版の一実施の形態（第１の実施の形態）を示す平面図である。
【００３９】
このスクリーン印刷版１は、パターン形成部３ａを有する第１の領域３と、該第１の領域３の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域４ａ、４ｂとが版枠２内に設けられている。これら第１及び第２の領域３、４ａ、４ｂは、矢印Ａで示すスキージの移動方向に対し直交方向、すなわち幅方向に領域分割されている。
【００４０】
そして、第１及び第２の領域３、４ａ、４ｂには、第１及び第２のスクリーンマスク５、６ａ、６ｂが張られている。この実施の形態では、第１のスクリーンマスク５は、パターン形成部３ａが全面印刷パターン（全面メッシュ孔）を形成するようにマスク形成されている。
【００４１】
そして、第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂは、弾性率が第１のスクリーンマスク５よりも小さいマスク材料で形成されている。
【００４２】
このように第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂの弾性率が第１のスクリーンマスク５の弾性率よりも小さいマスク材料を使用することにより、パターン形成部３ａに圧力が負荷されてスクリーン印刷版１から反力が生じても、第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂに生じる反力を抑制でき、その結果、スクリーン印刷版２の周縁部と中央部での反力分布のバラツキが軽減され、これにより印刷厚みや印刷パターンのバラツキを抑制することができ、被印刷物の寸法精度の向上を図ることができる。
【００４３】
ここで、第１の領域３の幅寸法Ｈ１は、左右一対の第２の領域Ｈ２の幅寸法Ｈ２、Ｈ２′の総計よりも大きいのが好ましく、このようにＨ１＞（Ｈ２＋Ｈ２′）とすることにより、スクリーン印刷版２からの反力分布のバラツキをより一層効果的に抑制することが可能となる。
【００４４】
そして、このようなマスク材料としては、第１のスクリーンマスクとして、エマルジョン厚みの厚いものを使用し、第２のスクリーンマスクとして、第１のスクリーンマスクよりエマルジョン厚みの薄いものを用いる。
【００４５】
次に、上記スクリーン印刷版を具備した印刷装置について詳述する。
【００４６】
図２は、本印刷装置の一実施の形態を模式的に示す要部断面図である。
【００４７】
すなわち、この印刷装置は、被印刷物７を保持する保持部材８と、該保持部材８とクリアランスｔを有して対向状に配された上記スクリーン印刷版１と、該スクリーン印刷版１に形成されたパターン形成部３ａ上を紙面に対し垂直方向に往復運動するスキージ９とを備えている。
【００４８】
この印刷装置では、矢印Ｂに示すように、スキージ９に所定の圧力を負荷してスクリーン印刷版１の第１の領域３を押圧し、版上に供給されたペースト１０をパターン形成部３ａに押し付けながら、スキージ９を図中、紙面の垂直方向（図１の矢印Ａ方向）に移動させてスキージングを行う。そして、このスキージングによって被印刷物７とパターン形成部３ａとが離れて版離れが生じ、この版離れと同時にペースト１０がパターン形成部３ａから押し出されて被印刷物７上に所定の印刷パターンが転写される。
【００４９】
そして、このスクリーン印刷版１では、上述したように第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂの弾性率が第１のスクリーンマスク５の弾性率よりも小さいマスク材料で形成されているので、スクリーン印刷版１と被印刷物７との間にクリアランスｔを設け、スキージ９からの押圧力がパターン形成部３ａに負荷された場合であっても、スクリーン印刷版１の周縁部と中央部での反力分布のバラツキが抑制され、これにより印刷厚みのバラツキや印刷パターンの形状バラツキを抑制することが可能となる。
【００５０】
次に、上記印刷装置を使用したコイル部品（電子部品）の製造方法を図３及び図４に参照しながら詳述する。
【００５１】
まず、図３（ａ）に示すように、アルミナ等の金属材料からなる保持基板１１の表面に感光性絶縁材料を塗布し、絶縁層１２を作製する。
【００５２】
すなわち、保持基板１１とクリアランスｔを有して対向状に上記スクリーン印刷版１を配し、スクリーン印刷版１上に感光性絶縁材料を供給し、該感光性絶縁材料をスクレーパ等でパターン形成部３ａの全面に広げ、その後、金属や樹脂等で形成されたスキージ９を所定方向にスキージングし、保持基板１１の略全面に感光性絶縁材料を印刷する。
【００５３】
尚、スキージ９の押圧力は、スクリーン印刷版１と保持基板１１とのクリアランスが十分になくなる程度の圧力であれば良く、通常は、スクリーンマスクが張られている張力と同程度以上であればよい。
【００５４】
このように保持基板１１に感光性絶縁材料を全面印刷した後、露光して硬化させ、これにより絶縁層１２を形成する。
【００５５】
そして、上記感光性絶縁材料を使用したスクリーン印刷において、第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂは、第１のスクリーンマスク５よりも弾性率が小さいことから、第２のスクリーンマスク６ａ、６ｂは第１のスクリーンマスク５よりも伸び易い。したがって、スクリーン印刷版１と保持基板１１との間では、クリアランスｔが存在しても、スキージング時におけるスクリーン印刷版１からの反力はスキージ９の幅方向にわたって、略均一に保持することが可能となる。
【００５６】
次に、上記スクリーン印刷版１を使用し、上述と同様の方法で、図３（ｂ）に示すように、絶縁層１２の全面に感光性導電材料を印刷し、導電層１３を形成する。
【００５７】
次に、導電パターン用マスクを使用し、露光し、感光性導電材料をコイル状に硬化させる。
【００５８】
次いで、露光処理後に現像液をスピンコート法等を使用して塗布した後、現像し、これにより周縁部等の未硬化部分の感光性導電材料を除去し、図３（ｃ）に示すように、コイル状の導電パターン１４を形成する。図５は、現像後の導電パターン１４の一部を示している。
【００５９】
次いで、再びスクリーン印刷版１を使用し、上述と同様の方法で図４（ｄ）に示すように、感光性絶縁材料を印刷し、露光・現像処理を行なって絶縁層１５を形成する。
【００６０】
次いで、ビアホール形成用マスクを使用して露光・硬化させた後、現像処理を行い、図４（ｅ）に示すように、ビアホール１６を形成する。
【００６１】
その後、感光性導電性材料がビアホール１６に充填されるように、該感光性導電性材料をスクリーン印刷し、次いで露光・現像処理を行なう。そしてこれにより、コイル状導電パターン１４とビア導体とが電気的に接続される。
【００６２】
その後、上記図３（ｂ）〜図４（ｅ）で示した一連の処理を複数回繰り返すことにより、多数の積層一体化されたコイル状内部電極をマトリックス状に形成したブロック体を形成し、このブロック体を切断して分割することにより、部品本体が形成される。
【００６３】
尚、部品本体を分割する方法は、押し切りであっても良いし、ダイサーによる切断であっても良い。
【００６４】
そして、最後に部品本体の内部電極と電気的接続が可能となるように、前記部品本体の外表面に外部電極を形成し、これによりコイル部品が作製される。
【００６５】
このように本電子部品の製造方法では、感光性絶縁性材料からなる絶縁層形成工程と、感光性導電性材料からなる導電層形成工程、及び絶縁層又は導電層に露光・現像処理を施して所定パターンを形成するパターン形成工程とを含み、前記絶縁層形成工程を実行した後、導電層形成工程、パターン形成工程、絶縁層形成工程、及びパターン形成工程を含む一連の工程を複数回順次実行することにより、印刷塗膜の膜厚バラツキは印刷パターンの形状バラツキが抑制されたコイル電極を得ることができ、これによりインダクタンス等の特性バラツキが抑制された高品質のコイル部品を得ることが可能である。
【００６６】
図６は、スクリーン印刷版の第２の実施の形態を示す平面図である。
【００６７】
この第２の実施の形態のスクリーン印刷版２１は、第１の実施の形態と同様、パターン形成部２３ａを有する第１の領域２３と、該第１の領域２３の両端部に隣接して形成された一対の第２の領域２４ａ、２４ｂとが版枠２２内に設けられている。これら第１及び第２の領域２３、２４ａ、２４ｂは、矢印Ｃで示すスキージの移動方向に対し直交方向、すなわち幅方向に領域分割されている。
【００６８】
そして、第１の領域２３には、スクリーンマスク２５が張られると共に、第２の領域２４ａ、２４ｂには、スクリーンマスクが張られておらず、中空状態とされている。
【００６９】
このように本第２の実施の形態では、第２の領域２４ａ、２４ｂにはスクリーンマスクが張られていないので、第２の領域２４ａ、２４ｂにはスクリーンマスクからの反力が生じず、これにより第１の実施の形態と同様、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された高品質の印刷物を得ることが可能となる。しかも、この場合は、第２の領域２４ａ、２４ｂには、スクリーンマスクが張られていないので、第２の領域２４ａ、２４ｂにスクリーンマスクが張られている第１の実施の形態に比べ、コストの低減が可能になると共に、マスク材料の材質選択を行う必要もなく、高品質の印刷物を得ることが可能となる。
【００７０】
図７は、スクリーン印刷版の第３の実施の形態を示す平面図である。
【００７１】
この第３の実施の形態のスクリーン印刷版３１は、全面メッシュ孔とされたパターン形成部３３ａを有する第１の領域３３と、該第１の領域３３を囲むようにスクリーンマスク３４ａが張られた第２の領域３４とが版枠３２内に設けられ、第２の領域３４は、第１の領域３３よりも面積が大きく形成されている。すなわち、この第３の実施の形態では、矢印Ｄで示すスキージの移動方向に対し直交方向、すなわち幅方向の寸法が第１の領域３３に比べ、十分に大きくなるように形成されている。
【００７２】
このように本第３の実施の形態では、第２の領域３４は、第１の領域３３よりも面積が大きいので、第２の領域３４の幅寸法Ｈ４を第１の領域３３の幅寸法Ｈ３に比べて十分に大きくすることができ、これにより反力が分散されることから該反力のバラツキを抑制することができ、上記第１及び第２の実施の形態と同様、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキが抑制された高品質の印刷物を得ることが可能となる。
【００７３】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変形例が可能であるのはいうまでもない。上記実施の形態では、電子部品としてコイル部品を例示したが、スクリーン印刷版と被印刷物との間でクリアランスを設けてスクリーン印刷する場合に広く適用でき、印刷塗膜の膜厚や印刷パターンの形状に精度が要求される積層セラミックコンデンサやＬＣ複合部品その他の各種電子部品に広範に適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
スクリーン印刷版と被印刷物との間でクリアランスを設けてスクリーン印刷しても、印刷塗膜の膜厚バラツキや印刷パターンの形状バラツキを抑制でき、電気特性や磁気特性等の特性バラツキが抑制された歩留まりの良いコイル部品等の電子部品を実現できる。
【符号の説明】
【００７５】
３  第１の領域
３ａ  パターン形成部
４ａ、４ｂ  第２の領域
５  第１のスクリーンマスク
６ａ、６ｂ  第２のスクリーンマスク
７  被印刷物
８  保持部材
９  スキージ
１０  ペースト
１２  絶縁層
１３  導電層
１４  導電パターン（印刷パターン）
２１  スクリーン印刷版
２３  第１の領域
２３ａ  パターン形成部
２４ａ、２４ｂ  第２の領域
２５  スクリーンマスク
３３  第１の領域
３３ａ  パターン形成部
３４  第２の領域
【図１】
2013169783.tif 000003
【図２】
2013169783.tif 000004
【図３】
2013169783.tif 000005
【図４】
2013169783.tif 000006
【図５】
2013169783.tif 000007
【図６】
2013169783.tif 000008
【図７】
2013169783.tif 000009
【図８】
2013169783.tif 000010
【図９】
2013169783.tif 000011
【図１０】
2013169783.tif 000012