(57)【要約】【課題】接着シートＡＳを被着体ＡＨに貼付するシート貼付装置であって、接着シートＡＳをその落下や折れ曲がりを生ずることなく位置決めし、貼付位置のずれや、皺、気泡等の貼付不良を防止できるようにしたものを提供する。【解決手段】接着シートＡＳを繰り出す繰出手段と、繰出手段により繰り出された接着シートＡＳを位置決めする位置決め手段２と、位置決め手段２で位置決めされた接着シートＡＳを保持する保持手段３と、保持手段３により保持された接着シートＡＳを被着体ＡＨに押圧して貼付する押圧手段４とを備える。位置決め手段２は、接着シートＡＳを下面の接着剤層ＡＤ側から接着シートＡＳの面方向に移動可能に支持する支持手段２Ａと、接着シートＡＳを所定位置に位置決めするガイド手段２Ｂとを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
接着シートを繰り出す繰出手段と、
繰出手段により繰り出された接着シートを位置決めする位置決め手段と、
位置決め手段で位置決めされた接着シートを保持する保持手段と、
保持手段により保持された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記位置決め手段は、接着シートを下面の接着剤層側から接着シートの面方向に移動可能に支持する支持手段と、当該支持手段に支持される接着シートを所定位置に位置決めするガイド手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記支持手段は、接着シートの接着剤層に気体を吹き付けることにより当該接着シートを浮上させて支持可能に構成されることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記保持手段及び前記押圧手段は、前記繰出手段から繰り出された接着シートを前記位置決め手段に移送する移送手段に兼用されることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法において、
接着シートを繰り出す工程と、
繰り出された接着シートを位置決めする位置決め工程と、
位置決めされた接着シートを保持する工程と、
接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備え、
前記位置決め工程では、接着シートを下面の接着剤層側から接着シートの面方向に移動可能に支持した状態で所定位置に位置決めすることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のシート貼付装置として、接着シートを上面の基材シート側から吸着する真空チャック装置と、接着シートを真空チャック装置に吸着させた状態で位置決めする位置決め装置とを備え、接着シートを位置決めした後に、真空チャック装置を被着体の上方に対向する位置に移動させて下動させることにより、接着シートを被着体に押圧して貼付するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このものでは、接着シートを位置決めする際に真空チャック装置の吸着力（チャック吸着力）を弱めている。然し、チャック吸着力を弱めると、接着シートが落下してしまうことがある。また、落下しない程度にチャック吸着力を弱めたとしても、剛性の低い接着シートの場合、位置決め時に接着シートが折れ曲がってしまい正確な位置決めができず、被着体への接着シートの貼付位置にずれを生じてしまう。更に、接着シートを折れ曲がった状態のまま被着体に貼付してしまうと、弛みによる皺や気泡等の貼付不良を生ずるという問題もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−２９６６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、以上の点に鑑み、接着シートをその落下や折れ曲がりを生ずることなく位置決めし、貼付位置のずれや、皺、気泡等の貼付不良を防止できるようにしたシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付する本発明のシート貼付装置は、接着シートを繰り出す繰出手段と、繰出手段により繰り出された接着シートを位置決めする位置決め手段と、位置決め手段で位置決めされた接着シートを保持する保持手段と、保持手段により保持された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記位置決め手段は、接着シートを下面の接着剤層側から接着シートの面方向に移動可能に支持する支持手段と、当該支持手段に支持される接着シートを所定位置に位置決めするガイド手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明において、前記支持手段は、接着シートの接着剤層に気体を吹き付けることにより当該接着シートを浮上させて支持可能に構成されることが望ましい。更に、前記保持手段及び前記押圧手段は、前記繰出手段から繰り出された接着シートを前記位置決め手段に移送する移送手段に兼用されることが望ましい。
【０００８】
また、上記課題を解決するために、接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付する本発明のシート貼付方法は、接着シートを繰り出す工程と、繰り出された接着シートを位置決めする位置決め工程と、位置決めされた接着シートを保持する工程と、接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備え、前記位置決め工程では、接着シートを下面の接着剤層側から接着シートの面方向に移動可能に支持した状態で所定位置に位置決めすることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、接着シートを下面の接着剤層側、即ち、下方から接着シートの面方向に移動可能に支持した状態で位置決めするため、上記従来例のようなチャック吸着力に起因する接着シートの落下や折れ曲がりを生ずることなく、接着シートを位置決めできる。従って、接着シートの貼付位置のずれや、皺、気泡等の貼付不良を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態のシート貼付装置の側面図。
【図２】実施形態のシート貼付装置の斜視図。
【図３】実施形態のシート貼付装置の作動を説明する説明図。
【図４】位置決め手段の変形例の側面図。
【図５】位置決め手段の他の変形例の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＡＳを被着体ＡＨに貼付するシート貼付装置に本発明を適用した実施形態について説明する。尚、本明細書の方向若しくは位置を示す用語は、特に明示しない限り、図１を基準とし、「前」とは同図中手前側を示す一方、「後」とは、同奥行き側について用いられ、「左」、「右」、「上」、「下」も同様に図1を基準とする。
【００１２】
図１、図２を参照して、本実施形態のシート貼付装置は、被着体ＡＨを搬送する搬送手段としてのコンベアＣＶと、コンベアＣＶよりも上方に配置され、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段１と、コンベアＣＶよりも上方で且つ繰出手段１よりも下方に配置され、繰出手段１により繰り出された接着シートＡＳを位置決めする位置決め手段２と、繰出手段１よりも左方に配置され、位置決め手段２で位置決めされた接着シートＡＳを基材シートＢＳ側から保持する保持手段３と、保持手段３に保持された接着シートＡＳを被着体ＡＨに押圧して貼付する押圧手段４とを備える。
【００１３】
繰出手段１は、剥離シートＲＬに間隔を存して多数の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを巻回した状態で保持する繰出軸１１と、上下２個のガイドローラ１２，１３と、剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板１４と、剥離板１４を通過した剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５及びニップローラ１６と、剥離シートＲＬを巻き取る巻取軸１７とを備えている。駆動ローラ１５と巻取軸１７は、夫々駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２により回転駆動される。
【００１４】
位置決め手段２は、接着シートＡＳを下面の接着剤層ＡＤ側から接着シートＡＳの面方向に移動可能に支持する支持手段２Ａと、支持手段２Ａ上に支持される接着シートＡＳを所定位置に位置決めするガイド手段２Ｂとで構成され、駆動機器としての直動モータＬＭ１により保持手段３の真下の進出位置（図１に実線で示す位置）とそれより右方の退避位置（図１に仮想線で示す位置）とに進退可能に設けられている。
【００１５】
支持手段２Ａは、上面を多孔質の気体噴出面２１ａとした中空盤状の支持ヘッド２１と、支持ヘッド２１の内部空間にチューブ２２を介して接続される図示省略した加圧ポンプや加圧タンク等の気体供給手段とで構成されている。尚、気体供給手段で供給する気体は、空気に限らず、窒素ガスやネオンガス等のガスでもよい。
【００１６】
ガイド手段は、支持ヘッド２１に形成したスリット２１ｂを通して支持ヘッド２１の上方に突出する左右方向両側のピン２３と、支持ヘッド２１に形成したスリット２１ｃを通して支持ヘッド２１の上方に突出する前後方向両側のピン２４とで構成されている。
左右方向両側のピン２３は、駆動機器としての直動モータＬＭ２により接近離間可能に設けられ、最接近したときの両ピン２３間の距離が接着シートＡＳの左右方向長さに等しくなるように設定されている。同様に、前後方向両側のピン２４も、駆動機器としての直動モータＬＭ３により接近離間可能に設けられ、最接近したときの両ピン２４間の距離が接着シートＡＳの前後方向長さに等しくなるように設定されている。
【００１７】
保持手段３は、剥離板１４の前方に隣接する位置に配置され、下面に多数の吸着孔３１ａを形成した中空盤状の保持ヘッド３１と、保持ヘッド３１の内部空間にチューブ３２を介して接続される図示省略した真空ポンプやエジェクタ等の減圧手段とで構成され、接着シートＡＳをその上面の基材シートＢＳ側から吸着保持する。また、押圧手段４は、保持ヘッド３１を上下動させる駆動機器としての直動モータＬＭ４で構成される。
【００１８】
次に、本実施形態のシート貼付装置の作動について説明する。図１は、接着シートＡＳを繰り出す前の状態を示しており、位置決め手段２を進出位置に前進させると共に、保持ヘッド３１をその下面が剥離板１４より上方になる位置に上動させている。この状態から気体供給手段を駆動させて支持ヘッド２１に気体を供給すると共に、繰出手段１を作動させて、剥離板１４の左方に接着シートＡＳを接着剤層ＡＤが下向きの状態で繰り出し、図３（ａ）に示す如く接着シートＡＳを上面の基材シートＢＳ側から保持ヘッド３１により吸着保持する。尚、この状態では、接着シートＡＳが保持ヘッド３１に正規位置からずれた状態で保持される可能性がある。
【００１９】
次に、保持ヘッド３１を下動させ、図３（ｂ）に示す如く支持ヘッド２１に接着シートＡＳを移送する。ここで、保持ヘッド３１から成る保持手段３及び直動モータＬＭ４から成る押圧手段４は、繰出手段１から繰り出された接着シートＡＳを支持ヘッド２１から成る位置決め手段２に移送する移送手段に兼用されることになる。
【００２０】
接着シートＡＳの移送完了後は、保持ヘッド３１による接着シートＡＳの吸着を解除した状態で保持ヘッド３１を上動させると共に、図３（ｃ）に示す如く支持ヘッド２１上の左右方向両側のピン２３と前後方向両側のピン２４を夫々接近動作させる。これにより、支持ヘッド２１に支持される接着シートＡＳが所定位置に位置決めされる。次に、保持ヘッド３１を再度下動させ、図３（ｄ）に示す如く支持ヘッド２１上の接着シートＡＳを上面の基材シートＢＳ側から保持ヘッド３１に吸着保持する。この状態では、接着シートＡＳが保持ヘッド３１に正規位置からずれることなく保持される。尚、保持ヘッド３１は、位置決め状態にある各ピン２３，２４の内側に入れる寸法であるが、保持ヘッド３１の寸法をこれより大きくし、その下面にスリット２１ｂ、２１ｃと同様の各ピン２３、２４に対する干渉を避けるためのスリットを設けてもよい。
【００２１】
その後、図３（ｅ）に示す如く保持ヘッド３１を上動させると共に、ピン２３とピン２４を夫々離間動作させ、気体供給手段の駆動を停止させた後、位置決め手段２を退避位置に後退させる。そして、図示省略したセンサにより被着体ＡＨが保持ヘッド３１の直下位置に到達したことが検知されると、コンベアＣＶを一時停止させると共に、図３（ｆ）に示す如く保持ヘッド３１を直動モータＬＭ４により下動させ、接着シートＡＳを被着体ＡＨに押圧して貼付する。その後、保持ヘッド３１による接着シートＡＳの吸着を解除した状態で保持ヘッド３１を上動させると共に、位置決め手段２を進出位置に前進させる。以上により１回のシート貼付作業が終了し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
本実施形態によると、接着シートＡＳの位置決めに際し、接着シートＡＳの下面の接着剤層ＡＤに気体を吹き付けることにより、接着シートＡＳを支持ヘッド２１上に浮上させた状態で支持するから、接着シートＡＳは、支持ヘッド２１からの摩擦抵抗を受けることなく接着シートＡＳの面方向に移動可能に支持される。そのため、接着シートＡＳの落下や折れ曲がりを生ずることなく、接着シートＡＳを位置決めできる。従って、被着体ＡＨに対する接着シートＡＳの貼付位置のずれや、折れ曲がりに起因する皺、気泡等の貼付不良を防止できる。
【００２３】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、支持ヘッド２１の上面に、接着シートＡＳの下面の接着剤層ＡＤに点接触する図４に示す針２５や、図５に示す上端が尖った突起２６を突設してもよい。このものでも、接着シートＡＳを下面の接着剤層ＡＤ側から大きな摩擦抵抗を生ずることなく接着シートの面方向に移動可能に支持することができる。尚、針２５や突起２６の上端には、フッ素樹脂コーティングや粗面処理等の非接着処理を施こすことが望ましい。
【００２４】
また、上記実施形態では、支持ヘッド２１に、左右方向両側のピン２３と、前後方向両側のピン２４とを設けているが、接着シートＡＳは、剥離板１４からの繰出方向と直交する前後方向には殆ど位置ずれしないため、前後方向両側のピン２４は省略可能である。更に、左右方向両側のピン２３の一方を支持ヘッド２１に固定し、この一方のピンに対する他方のピンの接近動作で接着シートＡＳを位置決めするようにしてもよい。
また、上記実施形態において、各ピン２３，２４の断面形状は円形であるが、三角形、四角形やそれ以上の多角形等の非円形であってもよく、更には、ピン２３，２４を板状体に代えてもよく、要は、接着シートＡＳを位置決め可能なものであればよい。
【００２５】
また、支持ヘッド２１の上面周縁部に、上記ピン２３，２４に代えて、上端に内下がりの傾斜面を有するガイドブロックを立設し、このガイドブロックでガイド手段２Ｂを構成することも可能である。この場合、接着シートＡＳはガイドブロックの傾斜面に案内されて位置決めされる。更に、接着シートＡＳに孔が形成されている場合、支持ヘッド２１に接着シートＡＳに設けられた孔に嵌合するテーパーピンを立設し、このテーパーピンでガイド手段２Ｂを構成してもよい。当該孔及びテーパーピンは単数でも複数でもよい。
【００２６】
また、上記実施形態では、繰出手段１から繰り出される接着シートＡＳを一旦保持ヘッド３１に保持させ、保持ヘッド３１を下動させて支持ヘッド２１に接着シートＡＳを移送するようにしたが、繰出手段１から繰り出される接着シートＡＳを支持ヘッド２１に直接落とし込むようにしてもよい。
【００２７】
更に、保持手段３は、静電チャックで構成してもよく、また、押圧手段４は、気体を吹き出すことにより、接着シートＡＳを被着体ＡＨに押圧して貼付するものであってもよい。
【００２８】
更に、上記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【００２９】
また、保持手段３及び押圧手段４を移送手段として兼用する場合は、保持手段３及び押圧手段４を駆動機器によって左右方向への移動を可能としておき、剥離板１４の上方に位置する接着シートＡＳを保持した状態から接着シートＡＳの繰り出し速度と同速度で左方向に移動しつつ、接着シートＡＳを剥離して位置決め手段２に移送するようにしてもよい。
【００３０】
更に、上記実施形態では基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する２層構造の接着シートＡＳを例示したが、上面に剥離シートが仮着された両面接着シートのような１層構造であってもよいし、他の層を有する３層以上の接着シートであってもよい。
また、接着シートＡＳの形状は、矩形形状に限らず、丸型や楕円形や三角形であってもよい。この場合、当該接着シートＡＳの形状に合わせてガイド手段２Ｂの配置を変更する。
【００３１】
更に、被着体ＡＨは、段ボールケース、樹脂容器、半導体ウエハ、光ディスク、ガラス板、鋼板、樹脂板その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができ、何ら限定されるものではない。
【符号の説明】
【００３２】
ＡＨ…被着体、ＡＳ…接着シート、ＢＳ…基材シート、ＡＤ…接着剤層、１…繰出手段、２…位置決め手段、２Ａ…支持手段、２Ｂ…ガイド手段、２１…支持ヘッド（支持手段の構成要素）、２３，２４…ピン（ガイド手段の構成要素）、３…保持手段、４…押圧手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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