(57)【要約】【課題】外縁部に切欠部を有する板状部材を吸引して支持し、その減圧状態から切欠部の位置を認識することのできる支持装置及び支持方法、切欠部を基準として板状部材に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置及び剥離方法、切欠部を基準として板状部材に接着シートを貼付するシート貼付装置及び貼付方法、を提供する。【解決手段】板状部材ＷＦを支持する支持面１４を備えたテーブル１６と、支持面１４に設けられて板状部材ＷＦの外縁部を吸引する吸引手段１７を含む吸引手段１９と、吸引手段１７の減圧状態を検出する検出手段２２とを含んで支持装置１１が構成されている。この支持装置１１の上方に剥離用テープＰＴを板状部材ＷＦに貼付された接着シートＡＳに貼付するシート保持手段１２を設けてシート剥離装置が構成されている。シート保持手段１２は、板状部材ＷＦに設けられた切欠部２０、２１を基準として、剥離開始位置を決定し、当該剥離開始位置から接着シートを剥離するようになっている。【選択図】図１
2013098323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外縁に切欠部が形成された板状部材の支持装置であって、
前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、当該複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有することを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記制御手段の出力によって前記切欠部の位置を所定の位置に変位させる位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の支持装置。
【請求項３】
外縁に切欠部が形成された板状部材の支持方法であって、
前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、
前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、
前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、
前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含む支持方法。
【請求項４】
外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記板状部材を支持する支持装置と、
前記接着シートに剥離用テープを貼付して前記接着シートを保持するシート保持手段と、
前記支持装置と前記シート保持手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材から接着シートを剥離する移動手段とを備え、
前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、
前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する位置決め手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項５】
前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成されて当該回路上に接着シートが貼付され、
前記制御手段は、剥離される前記接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御することを特徴とする請求項４記載のシート剥離装置。
【請求項６】
外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記板状部材を支持装置によって支持する支持工程と、
前記接着シートに剥離用テープをシート保持手段によって貼付して、前記接着シートを保持するシート保持行程と、
前記支持装置と前記シート保持手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材から接着シートを剥離する移動工程とを備え、
前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、
前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項７】
外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記板状部材を支持する支持装置と、
前記接着シートを繰り出して当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給手段と、
前記支持装置と前記シート供給手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材に接着シートを貼付する移動手段とを備え、
前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、
前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する位置決め手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項８】
前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成され、
前記制御手段は、貼付される前記接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御することを特徴とする請求項７記載のシート貼付装置。
【請求項９】
外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記板状部材を支持手段によって支持する支持工程と、
前記接着シートをシート供給手段によって繰り出して、当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給工程と、
前記支持装置と前記シート供給手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材に接着シートを貼付する移動工程とを備え、
前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、
前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置及び支持方法、並びに、シート剥離装置及び剥離方法、更に、シート貼付装置及び貼付方法に係り、例えば、板状部材に貼付された接着シートの剥離や、板状部材への接着シートの貼付方向に一定の規則性を持たせる場合に、当該規則性を担保できるように板状部材を支持して剥離や貼付を行うことに適応させた支持装置及び支持方法、並びに、シート剥離装置及び剥離方法、更に、シート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路が形成された半導体ウエハ（以下「ウエハ」と称する場合がある）は、その回路形成面に接着シートを貼付することで保護されており、当該接着シートは最終的に剥離され、回路毎にウエハを個片化して得られるチップが電子部品として用いられる。
このようなウエハは、Ｖ字状のノッチ（以下「ノッチ」という）や、直線状のオリエンテーションフラット（以下「オリフラ」という）等からなる切欠部が外縁部に形成されており、この切欠部の位置と関連付けて回路がウエハに形成されるようになっている。
【０００３】
ウエハの支持装置としては、例えば、特許文献１に開示された装置が知られており、また、接着シートの剥離装置としては、特許文献２に開示され、更に、接着シートの貼付装置としては、特許文献３に開示されたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２４６０２７号公報
【特許文献２】特開２００１−２９１７６２号公報
【特許文献３】特開２００６−０２４７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の支持装置は、サポートテーブルで支持したウエハの位置決めを行うために、サポートテーブルの外部から切欠部を検出してウエハの位置決めを行うため、サポートテーブルの外部にセンサを設ける必要性があり、装置が大型化するという不都合がある。
また、特許文献２は、回路形成面に貼付された保護シートを剥離するにあたり、回路の角部から保護シートを剥離するために、切欠部を検出するためのセンサをテーブルの外部に配置しているため、特許文献１と同様に大型化するという不都合がある。
更に、特許文献３も、ウエハに接着シートを貼付するにあたり、ウエハを所定角度回転させるために、ノッチを検出するためのセンサをテーブルの外部に配置しているため、特許文献１と同様に大型化するという不都合がある。
【０００６】
本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、支持装置の外部に検出手段を設けることなく、当該板状部材の切欠部の位置を認識することのできる支持装置及び支持方法を提供することにある。
また、本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、当該板状部材の切欠部の位置を認識し、当該切欠部を基準として接着シートの剥離方向を決定することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、板状部材を吸着保持し、その減圧状態を検出することで、当該板状部材の切欠部の位置を認識し、当該切欠部を基準として接着シートの貼付方向を決定することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の支持装置であって、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、当該複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有する、という構成を採っている。
【０００８】
前記支持装置は、前記制御手段の出力によって前記切欠部の位置を所定の位置に変位させる位置決め手段を備えている。
【０００９】
また、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の支持方法であって、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含む、という手法を採っている。
【００１０】
更に、本発明は、外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートに剥離用テープを貼付して前記接着シートを保持するシート保持手段と、前記支持装置と前記シート保持手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材から接着シートを剥離する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する位置決め手段を備える、という構成を採っている。
【００１１】
前記シート剥離装置の前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成されて当該回路上に接着シートが貼付され、前記制御手段は、剥離される前記接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御するように構成されている。
【００１２】
また、本発明は、外縁に切欠部が形成されるとともに、他方の面に接着シートが貼付された板状部材から当該接着シートを剥離するシート剥離方法であって、前記板状部材を支持装置によって支持する支持工程と、前記接着シートに剥離用テープをシート保持手段によって貼付して、前記接着シートを保持するシート保持行程と、前記支持装置と前記シート保持手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材から接着シートを剥離する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート保持手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート保持手段が接着シートに剥離用テープを貼付する位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの剥離方向を決定する工程とを備える、という手法を採っている。
【００１３】
更に、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記板状部材を支持する支持装置と、前記接着シートを繰り出して当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給手段と、前記支持装置と前記シート供給手段とを所定の相対移動方向に相対移動させて前記板状部材に接着シートを貼付する移動手段とを備え、前記支持装置は、前記板状部材の一方の面を支持する支持面と、当該支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する検出手段と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を前記検出手段が検出することで、前記切欠部の位置を認識する制御手段とを有し、前記制御手段が認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する位置決め手段を備える、という構成を採っている。
【００１４】
前記シート貼付装置の前記板状部材は、前記他方の面に回路が形成され、前記制御手段は、貼付される前記接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように前記位置決め手段を制御するように構成されている。
【００１５】
また、本発明は、外縁に切欠部が形成された板状部材の他方の面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記板状部材を支持手段によって支持する支持工程と、
前記接着シートをシート供給手段によって繰り出して、当該接着シートを前記板状部材に押圧して接触させるシート供給工程と、前記支持装置と前記シート供給手段とを移動手段によって所定の相対移動方向に相対移動させて、前記板状部材に接着シートを貼付する移動工程とを備え、前記支持工程は、前記板状部材の一方の面を支持面で支持する工程と、前記支持面に開口して前記板状部材の外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該板状部材を吸引可能な複数の吸引手段で吸引する工程と、前記複数の吸引手段におけるそれぞれの圧力を検出する工程と、前記切欠部によって圧力が低下しない吸引手段を検出することで、前記切欠部の位置を認識する工程とを含み、前記認識した前記切欠部の位置を基にして、前記シート供給手段及び移動手段に対して前記支持装置を相対変位させることで、前記シート供給手段が板状部材に接着シートを接触させる位置、及び、前記板状部材に対する前記接着シートの貼付方向を決定する工程とを備える、という構成を採っている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、板状部材の外縁部を吸着保持したときに、切欠部の存在する位置に対応する吸引手段は、他の吸引手段に対して減圧が十分に行われないことになり、これが検出手段によって検出される。これにより、支持装置の外部に検出手段を設けることなく、当該板状部材の切欠部の位置を認識することができる。
また、切欠部の位置を基にして、シート保持手段が接着シートに対して剥離用テープを貼付する位置、及び、移動手段の相対移動方向を決定するように構成すれば、各板状部材に対してそれぞれ同じ位置から接着シートを剥離することができるので、例えば、接着シートが引っ張られることで、各板状部材に付与される残留応力の量や方向を全て同じとすることができ、板状部材の品質の均等化を図ることができる。
更に、板状部材が例えば半導体ウエハのように回路を有し、当該回路形成面に貼付された接着シートを剥離する場合、接着シートの剥離縁が回路の辺部と平行とならないように当該接着シートを剥離すれば、回路の凹凸部に極力接着剤を残すことなく接着シートを剥離することが可能となる。
また、切欠部の位置を基にして、シート供給手段が板状部材に対して接着シートを接触させる位置、及び、移動手段の相対移動方向を決定するように構成すれば、各板状部材に対してそれぞれ同じ位置から接着シートを貼付することができるので、例えば、接着シートが押圧されることで、各板状部材に付与される残留応力の量や方向を全て同じとすることができ、板状部材の品質の均等化を図ることができる。
更に、板状部材が例えば半導体ウエハのように回路を有し、当該回路形成面に接着シートを貼付する場合、接着シートの貼付縁が回路の辺部と平行とならないように当該接着シートを押圧すれば、回路の凹凸部によって接着剤を押圧する単位面積あたりの力が不足しないように接着シートを貼付することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】支持装置の概略平面図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、ウエハの外形説明図。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）は、ウエハの位置決め要領の説明図。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）は、要部説明図。
【図６】第２実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施形態）
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本実施形態では、図１中左右方向をＸ軸方向とし、図１の紙面に直交する方向でありＸ軸に直交する方向をＹ軸とし、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向をＺ軸とする。また、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
【００１９】
図１に示されるように、シート剥離装置１０は、板状部材としてのウエハＷＦを支持する支持装置１１と、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付して接着シートＡＳを保持するシート保持手段１２と、支持装置１１とシート保持手段１２とを所定の相対移動方向に相対移動させてウエハＷＦから接着シートＡＳを剥離する移動手段１３と、支持手段１１を所定の平面内で回転させて変位可能とする位置決め手段２３とを備えて構成されている。
【００２０】
前記ウエハＷＦは、図３（Ａ）、（Ｂ）に示される２つのタイプを含む。これらウエハＷＦは、切欠部ＣＵとしてのノッチ２０、又は、オリフラ２１が形成され、この切欠部ＣＵを基準位置とし、片側の面に外枠ＣＴＯで囲まれる領域を１単位とし、各外枠ＣＴＯの領域内に、プリント配線、プリント部品、搭載部品等から構成され、全て同じ形状に設けられた多数の回路ＣＴが形成されており、当該回路ＣＴを保護するように接着シートＡＳが貼付されている。なお、図３（Ａ)のウエハＷＦを第１ウエハＷＦ１、図３（Ｂ)のウエハＷＦを第２ウエハＷＦ２とする。
【００２１】
前記支持装置１１は、図１及び図２に示されるように、ウエハＷＦにおいて回路ＣＴが形成されていない一方の面（下側の面）を支持する支持面１４を備えたテーブル１６と、支持面１４に開口してウエハＷＦの外縁部によって閉塞可能に設けられ、当該ウエハＷＦを吸引可能な複数の吸引手段１７と、複数の吸引手段１７におけるそれぞれの圧力すなわち減圧状態を検出する検出手段としての圧力センサ２２と、切欠部ＣＵによって圧力が低下しない吸引手段１７を圧力センサ２２が検出することで、切欠部ＣＵの位置を認識するコンピュータやシーケンサ等からなる制御手段１８とを備えて構成されている。
【００２２】
前記テーブル１６は、ウエハＷＦの平面形状に対応した平面視円形をなし、その上面が支持面１４とされる。
前記各吸引手段１７は、支持面１４の外周に沿う円弧状の縦穴３５と、縦穴３５からテーブル１６の中心方向に向かう横穴３４と、横穴３４に連なる吸引ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とにより構成され、各縦穴３５は、隔壁１７Ｂによって遮られ、各横穴３４の道中に圧力センサ２２がそれぞれ設けられている。なお、縦穴３５は、ポーラス体や微細な孔を有する図示しない孔形成体によって支持面１４に開口し、当該孔形成体は、支持面１４と同一平面内に平坦面を有している。また、各圧力センサ２２は、制御手段１８に接続されており、当該制御手段１８が圧力の下がらない吸引手段１７を特定して切欠部ＣＵの位置を認識するようになっている。本実施形態では、周方向に沿って１０度間隔で縦穴３５が合計３６個設けられている。
【００２３】
前記シート保持手段１２は、駆動機器としての回動モータ４０Ａにより剥離用テープＰＴを繰出可能に設けられた繰出部４０と、駆動機器としての回動モータ４１Ａにより剥離用テープＰＴを巻き取り可能に設けられた巻取部４１と、これら繰出部４０及び巻取部４１間に配置され、駆動機器としてのエアシリンダ４４の出力軸先端に支持されたローラ等からなる貼付部材４３とからなる。
【００２４】
前記移動手段１３は駆動機器としてのリニアモータ５０により構成され、当該リニアモータ５０のスライダ５１がベーステーブル３０の下面側に固定されており、ベーステーブル３０の上面に支持装置１１が支持されている。なお、ベーステーブル３０には、テーブル１６の中心点を基準として周方向１２０度間隔で配置された駆動機器としてのリニアモータ３２と、各リニアモータ３２のスライダ３２Ａに設けられ、テーブル１６の中心点に向かって進退可能に設けられたセンタリングピン３２Ｂとからなるセンタリング手段３１が設けられている。
【００２５】
前記位置決め手段２３は、ベーステーブル３０の上面に設けられ、出力軸２３Ｂがテーブル１６の下面に接続されてテーブル１６を支持面１４の面内で回転可能な駆動機器としての回動モータ２３Ａからなる。
【００２６】
次に、本実施形態における支持方法及びシート剥離方法について説明する。
【００２７】
図１に示されるように、接着シートＡＳが上面側となる向きでウエハＷＦがテーブル１６上に配置されると、３つのセンタリングピン３２Ｂが図２中実線位置から点線位置に向かって移動することで、ウエハＷＦの中心点ＣＰがテーブル１６の中心点に一致するようにセンタリングが行われる。このとき、各縦穴３５は、切欠部ＣＵの形成部位に対応するものを除き、ウエハＷＦの外縁部によって閉塞された状態となる（図４参照）。
【００２８】
次いで、図示しない減圧手段が作動して、吸引手段１７によりウエハＷＦの外縁部を吸引することで当該ウエハＷＦが支持面１４に吸着保持されるとともに、センタリングピン３２Ｂが図２中実線位置に復帰する。吸引手段１７により吸引が行われると、各圧力センサ２２の検出値が制御手段１８にそれぞれ出力される。このとき、第１ウエハＷＦ１の場合、図４（Ａ）に示すように、ノッチ２０の形成部位に対応する縦穴３５Ａは、ノッチ２０によって外気がリークするので圧力が下がらず、縦穴３５Ａに対応する圧力センサ２２の検出値は他の圧力センサ２２の検出値に対して極端に異なる値となる。また、第２ウエハＷＦ２の場合、図４（Ｂ）に示すように、オリフラ２１の形成部位に対応する３つの縦穴３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄは、オリフラ２１によって外気がリークするので圧力が下がらず、縦穴３５Ｂ、３５Ｃ、３５Ｄに対応する圧力センサ２２の検出値は他の圧力センサ２２の検出値に対して極端に異なる値となる。これにより制御手段１８は、テーブル１６に対して何れの位置に切欠部ＣＵが位置しているのかを認識することができる。
【００２９】
ここで、第１ウエハＷＦ１の場合、図３（Ａ）に示すように、ノッチ２０の谷部中心と当該ウエハＷＦの中心点ＣＰとを結ぶ直線をＹ軸と平行にし、回路面をＸ軸と平行とした場合、各回路ＣＴには、Ｘ軸方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴＸと、Ｙ軸方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴＹと、Ｘ軸から観て左回転方向に４５度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴ４５が存在することが解っている。これら各回路部分ＣＴＸ、ＣＴＹ、ＣＴ４５の存在は、オペレータが制御手段１８に直接または間接的に入力したり、図示しないカメラ等の撮像手段や光学センサ等の検出手段によって検出したりすることによって、制御手段１８に記憶させることができる。よって、第１ウエハＷＦ１の場合、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び、Ｘ軸から観て左回転方向に１３５度進んだ方向（Ｘ軸から観て右回転方向に４５度進んだ方向）からの剥離を行うと、図１中二点鎖線で示す接着シートＡＳの剥離縁ＳＥが微細に凹凸している各辺部と平行となってしまう。このように接着シートＡＳの剥離縁ＳＥと各辺部とが平行となると、各辺部によって形成された凹凸部に入り込んでいる接着剤は、剥離される接着シートＡＳ側にうまく引き寄せられることなく取り残されてしまい、半導体の製造における歩止りが低下してしまうことがある。この様な場合、制御手段１８は、接着シートＡＳの剥離縁ＳＥが各辺部と平行とならないように、例えば、Ｘ軸から観て左回転方向に１１２．５度進んだ方向ＤＲ１１２．５からウエハＷＦの中心点ＣＰに向かう剥離を行うように回動モータ２３Ａを制御する。すなわち、図４（Ａ）に示すように、テーブル１６の中心点（ウエハＷＦの中心点ＣＰ）から縦穴３５Ａにおける支持面１４内の中心に延びる仮想中心線Ｌ１が、Ｘ軸から観て右回転方向に２２．５度進んだ位置となるようにテーブル１６を回動させる制御が行われる。なお、前記方向ＤＲ１１２．５度は一例に過ぎない。すなわち、接着シートＡＳの剥離縁ＳＥが回路部分ＣＴＸ、ＣＴＹ、ＣＴ４５の何れに対しても平行とならない角度で剥離できる限りにおいて任意に決定できる。
【００３０】
また、第２ウエハＷＦ２の場合、図３（Ｂ）に示すように、オリフラ２１における同図中左右方向の中心と当該ウエハＷＦの中心点ＣＰとを結ぶ直線をＹ軸と平行にし、回路面をＸ軸と平行とした場合、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴＸ及びＣＴＹと、Ｘ軸から観て左回転方向に５０度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴ５０と、Ｘ軸から観て左回転方向に１２０度進んだ方向に延びる辺部としての回路部分ＣＴ１２０とが存在することが解っている。よって、第２ウエハＷＦ２の場合、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｘ軸から観て左回転方向に３０度進んだ方向及び、Ｘ軸から観て左回転方向に１４０度進んだ方向からの剥離を行うと、接着シートＡＳの剥離縁ＳＥが各辺部と平行となってしまう。そこで、制御手段１８は、接着シートＡＳの剥離縁ＳＥが各辺部と平行とならないように、例えば、Ｘ軸から観て左回転方向に６０度進んだ方向ＤＲ６０からウエハＷＦの中心点ＣＰに向かう剥離を行うように回動モータ２３Ａを制御する。すなわち、図４（Ｂ）に示すように、テーブル１６の中心点（ウエハＷＦの中心点ＣＰ）から縦穴３５Ｃにおける支持面１４内の中心に延びる仮想中心線Ｌ２が、Ｘ軸から観て右回転方向に３０度進んだ位置となるようにテーブル１６を回動させる制御が行われる。
【００３１】
なお、上記のような場合、所定の位置に対して最大で５度の位置決め誤差がでるものの、この誤差範囲内で各辺部が剥離縁ＳＥと平行とならないようにテーブル１６の変位角度を決定すればよく、それでも各辺部が剥離縁ＳＥと平行となってしまう場合には、縦穴３５の数を増やせばよい。ここで、図５（Ａ）に示されるように、２つの縦穴３５Ｅ、３５Ｆに跨ってノッチ２０が位置する場合があるが、このような場合、テーブル１６の中心点（ウエハＷＦの中心点ＣＰ）から縦穴３５Ｅ、３５Ｆ間に位置する隔壁１７Ｂの中心に延びる仮想中心線Ｌ３がＸ軸から観て左右の回転方向に所定角度進むようにテーブル１６を回動させる制御が行われる。また、図５（Ｂ）に示されるように、オリフラ２１が４つの縦穴３５Ｇ〜３５Ｊに跨って検出された場合には、テーブル１６の中心点から縦穴３５Ｈ、３５Ｉ間に位置する隔壁１７Ｂの中心に延びる仮想中心線Ｌ４がＸ軸から観て左右の回転方向に所定角度進むようにテーブル１６を回動させる制御が制御される。
【００３２】
このようにして位置決めが完了すると、リニアモータ５０によってテーブル１６がＸ軸方向に移動され、Ｘ軸と接着シートＡＳとの交点が貼付部材４３の直下に位置するように制御される。その後、エアシリンダ４４によって剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの右端部に貼付して接着シートＡＳを保持する。次いで、リニアモータ５０によってテーブル１６をＸ軸方向右側に移動する動作に同期して、回動モータ４０Ａ、４１Ａも駆動することで、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが剥離縁ＳＥでウエハＷＦから剥離されつつ、巻取部４１に巻き取られる。
【００３３】
従って、本実施形態によれば、支持装置の外部に光学系のセンサ等を配置することなく切欠部ＣＵの位置を検出して認識でき、当該切欠部ＣＵを基準として接着シートＡＳを最適な方向に向かって剥離することができる。
【００３４】
（第２実施形態）
図６に示されるように、シート貼付装置５０は、シート保持手段１２に代えてシート供給手段６０が設けられている点で第１実施形態のシート剥離装置１０と相違するのみであり、ここではシート供給手段６０のみの説明とする。
【００３５】
前記シート供給手段６０は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持軸６１と、２個のガイドローラ６２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板６３と、駆動機器としての回動モータ６４によって剥離シートＲＬに繰出力を付与する駆動ローラ６５と、駆動ローラ６５とで剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ６６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ６７と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して接触させる押圧ローラ６８とを備えている。
【００３６】
このようなシート貼付装置５０によってウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付するには、第１実施形態と同様に回路面が上面側となる向きでウエハＷＦがテーブル１６上に配置され、センタリングと吸着保持が行われ、切欠部ＣＵが認識されて当該切欠部ＣＵが所定の位置となるようにテーブル１６が回動させる制御が行われて位置決めが行われる。その後、リニアモータ５０によってテーブル１６をＸ軸方向右側に移動すると、図示しないセンサによってウエハＷＦが所定の位置に到達したことを検知し、この検知によって制御手段１８が回動モータ６４を駆動させ、剥離板６３で剥離した接着シートＡＳを押圧ローラ６８で押圧して貼付する。このとき、接着シートＡＳは、貼付縁ＳＦを先頭にウエハＷＦに接着される。よって、貼付縁ＳＦが各辺部と平行になって貼付されると、押圧ローラ６８の押圧力が一度に広い範囲の凹凸に乗り上げたり、下ったりするので、この一瞬に接着シートＡＳを押圧する単位面積あたりの押圧力が不足し、気泡を巻き込んで接着シートＡＳがウエハＷＦに貼付され、接着シートＡＳの貼付不良が発生してしまう。このような不都合を避けるために、制御手段１８は、第１実施形態と同様に、貼付縁ＳＦが何れの辺部とも平行とならないようにテーブル１６を所定角度変位させる。
【００３７】
従って、本実施形態によれば、切欠部ＣＵを基準として接着シートＡＳを最適な方向に向かって貼付することができる。
【００３８】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３９】
例えば、前記実施形態では、テーブル１６をウエハＷＦと同じ大きさとしたが、吸引手段１７がウエハＷＲの外縁部に沿って位置する限り、テーブルの平面形状や大きさは限定されるものではない。
また、吸引手段１７の配置間隔、形成数及び形状は、前記実施形態のものに限定されることはなく、板状部材の形状や材質等によって適宜変更することができる。
更に、前述のテーブル１６の回動角は一例であって、剥離縁が各辺部と平行にならなければよく、例えば、第１ウエハＷＦ１の場合、Ｘ軸から観て左回転方向１７０度や、右回転方向６５度の方向から剥離するように構成してもよい。また、第２ウエハＷＦ２のウエハの場合、Ｘ軸から観て左回転方向１００度や、右回転方向１０３度の方向から剥離するように構成してもよい。
【００４０】
また、移動手段１３は、テーブル１６を停止させておき、シート保持手段１２を移動させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ移動させる構成としてもよい。
更に、移動手段１３は、テーブル１６を停止させておき、シート供給手段６０を移動させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ移動させる構成としてもよい。
【００４１】
また、位置決め手段２３は、テーブル１６を停止させておき、シート保持手段１２及び移動手段１３を変位させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ変位させる構成としてもよい。
更に、位置決め手段２３は、テーブル１６を停止させておき、シート供給手段６０及び移動手段１３を変位させる構成としてもよいし、それら双方をそれぞれ変位させる構成としてもよい。
【００４２】
また、前記実施形態では、支持装置１１をシート剥離装置１０やシート貼付装置５０に組み込んだ例を示したが、支持装置１１を単体で使用してもよい。この場合、制御手段１８は、認識した板状部材の切欠部ＣＵの位置を例えば、図示しない搬送装置に出力し、当該搬送装置が当該板状部材を別の場所に搬送するときに、切欠部ＣＵの位置を揃えて搬送することができる。また、制御手段１８が図示しないカメラ等の撮像手段に出力し、当該板状部材の所定の位置を撮像するといったことも可能である。
【００４３】
更に、切欠部ＣＵは、ノッチ２０、又は、オリフラ２１以外のものであってもよく、板状部材の外縁を吸着保持したときに、一定の条件下で吸引の減圧によって圧力が下がらない領域ができるものであれば足りる。
【００４４】
また、前記実施形態では、縦穴３５を周方向に沿って１０度間隔で３６個設けたが、３７個以上設けてもよいし、２個以上３５個以下の範囲で設けてもよく、例えば、周方向に沿って５度間隔で７２個設けたり、周方向に沿って３０度間隔で１２個設けたり、周方向に沿って１８０度間隔で２個設けたりすることができる。
【００４５】
更に、本発明における被着体（板状部材）および接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するものや、基材シートＢＳの上面にカバー層を有するもの等３層以上のものでもよい。また、被着体が適宜な物品（例えば、食品や樹脂容器等）であって、接着シートＡＳがラベルであってもよく、被着体が半導体ウエハであって、接着シートＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等が例示でき、このような半導体ウエハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００４６】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４７】
１０  シート剥離装置
１１  支持装置
１２  シート保持手段
１３  移動手段
１４  支持面
１７  吸引手段
１８  制御手段
１９  吸引手段
５０  シート貼付装置
６０  シート供給手段
２２圧力センサ（検出手段）
２３  位置決め手段
ＡＳ  接着シート
ＣＴ  回路
ＣＵ  切欠部
ＰＴ  剥離用テープ
ＳＥ  剥離縁
ＳＦ  貼付縁
ＷＦ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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