(57)【要約】【課題】安定したレーザ発振が得られる外部共振器型レーザ装置を提供する。【解決手段】本発明の発光装置(100)は、端面発光型の発光素子(10)と、液晶レンズ(23)を含み前記発光素子(10)の端面から出射される光を屈折させるレンズ部(20)と、前記レンズ部(20)から出射される光を回折し、その回折光の一部を前記発光素子(10)に帰還させ該発光素子(10)においてレーザ光を生じさせる回折光学素子(30)と、前記レーザ光の縦モードの単一性及び／又は光出力を監視するレーザ光監視部(40)と、前記レーザ光監視部(40)で得られる前記縦モードの単一性及び／又は光出力に基づいて前記液晶レンズ(23)を制御する液晶制御装置(25)と、を備えることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
端面発光型の発光素子と、
液晶レンズを含み、前記発光素子の端面から出射される光を屈折させるレンズ部と、
前記レンズ部から出射される光を回折し、その回折光の一部を前記発光素子に帰還させ該発光素子においてレーザ光を生じさせる回折光学素子と、
前記レーザ光の縦モードの単一性及び／又は光出力を監視するレーザ光監視部と、
前記レーザ光監視部で得られる前記縦モードの単一性及び／又は光出力に基づいて前記液晶レンズを制御する液晶制御装置と、を備える発光装置。
【請求項２】
前記レンズ部は、前記液晶レンズと、コリメータレンズと、で構成され、
前記液晶レンズは、前記コリメータレンズと前記回折光学素子の間に配置されている請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記発光素子から出射され前記液晶レンズに入射する光の遠視野像は一方向に長い形状であって、
前記液晶レンズは、その中心部において同心円状に配置された複数のパターン電極と、該パターン電極から周縁部に向かって各々引き出され並置された引き出し配線と、を備え、
且つ前記遠視野像の短手方向と、前記引き出し配線の引き出し方向と、が略平行となるように配置されている請求項１又は２に記載の発光装置。
【請求項４】
前記発光素子から出射され前記回折光学素子に入射する光の遠視野像は一方向に長い形状であって、
前記回折光学素子は、線状の光回折構造を有し、該光回折構造の延伸方向と、前記遠視野像の短手方向と、が略平行となるように配置されている請求項３に記載の発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置に関し、特に外部共振器型レーザ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大容量で高速転送が可能な次世代光ストレージとして、ホログラフィックデータストレージが注目されている。ホログラフィックデータストレージは、記録媒体に干渉縞を記録することによりデータを保存するため、縦モードの単一性に優れる高出力のレーザ光源を必要とする。
【０００３】
このようなレーザ光源として、例えば特許文献１に記載されている、半導体光増幅器を含む半導体素子と、コリメートレンズと、エタロンと、液晶波長可変ミラーと、から構成される外部共振器型波長可変レーザ装置がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１４７０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような外部共振器型レーザ装置において、温度・経時変化に伴い、外部反射鏡（特許文献１では液晶波長可変ミラー）からの反射光の拡がり角や進行方向が変化すると、利得媒質（特許文献１では半導体素子）への光結合効率が低下し、レーザ発振が不安定になる虞がある。
【０００６】
そこで、本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、安定したレーザ発振が得られる外部共振器型レーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る発光装置は、端面発光型の発光素子と、液晶レンズを含み前記発光素子の端面から出射される光を屈折させるレンズ部と、前記レンズ部から出射される光を回折し、その回折光の一部を前記発光素子に帰還させ該発光素子においてレーザ光を生じさせる回折光学素子と、前記レーザ光の縦モードの単一性及び／又は光出力を監視するレーザ光監視部と、前記レーザ光監視部で得られる前記縦モードの単一性及び／又は光出力に基づいて前記液晶レンズを制御する液晶制御装置と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る発光装置において、前記レンズ部は、前記液晶レンズと、コリメータレンズと、で構成され、前記液晶レンズは、前記コリメータレンズと前記回折光学素子の間に配置されていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明に係る発光装置において、前記発光素子から出射され前記液晶レンズに入射する光の遠視野像は一方向に長い形状であって、前記液晶レンズは、その中心部において同心円状に配置された複数のパターン電極と、該パターン電極から周縁部に向かって各々引き出され並置された引き出し配線と、を備え、且つ前記遠視野像の短手方向と、前記引き出し配線の引き出し方向と、が略平行となるように配置されていることが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明に係る発光装置において、前記発光素子から出射され前記回折光学素子に入射する光の遠視野像は一方向に長い形状であって、前記回折光学素子は、線状の光回折構造を有し、該光回折構造の延伸方向と、前記遠視野像の短手方向と、が略平行となるように配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、温度・経時変化に伴って変化する、利得媒質と外部反射鏡の間を通過する光の拡がり角又は進行方向を、液晶レンズにより補正することで、安定したレーザ発振を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る発光装置の構成を示す概略平面図（ａ）と、その発光装置における液晶レンズ及び回折光学素子の一例を示す概略Ａ矢視図（ｂ）及び概略Ｂ矢視図（ｃ）である。
【図２】回折光学素子の傾斜角度とサイドモード抑制比の関係の一例を示すグラフである。
【図３】コリメータレンズの光軸方向への変位とビーム平行度の関係の一例を示すグラフ（ａ）と、ビーム平行度と縦モードの単一性の関係の一例を示すグラフ（ｂ）である。
【図４】液晶レンズによる光の制御を説明する概略平面図（ａ）及び（ｂ）である。
【図５】本発明の一実施例に係る発光装置の駆動方法の一例を説明するブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、発明の実施の形態について適宜図面を参照して説明する。但し、以下に説明する発光装置は、本発明の技術思想を具体化するためのものであって、特定的な記載がない限り、本発明を以下のものに限定しない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。
【００１４】
＜実施の形態１＞
図１（ａ）は、実施の形態１に係る発光装置の構成を示す概略平面図であり、図１（ｂ）及び（ｃ）はそれぞれ、その発光装置における、液晶レンズの一例を示す概略Ａ矢視図及び回折光学素子の一例を示す概略Ｂ矢視図である。図１に示す例の発光装置１００は、外部共振器型レーザ装置又はその一部を構成するものである。また、この外部共振器型レーザ装置は、波長可変型である。この発光装置１００は、発光素子１０と、液晶レンズ２３を含むレンズ部２０と、液晶制御装置２５と、回折光学素子３０と、レーザ光監視部４０と、を備えている。発光素子１０は、端面発光型である。レンズ部２０は、発光素子１０の端面から出射される光を屈折させる。回折光学素子３０は、レンズ部２０から出射される光を回折し、その回折光の一部を発光素子１０に帰還させ該発光素子１０においてレーザ光を生じさせる。レーザ光監視部４０は、そのレーザ光の縦モードの単一性及び／又は光出力を監視する。液晶制御装置２５は、レーザ光監視部４０で得られる縦モードの単一性及び／又は光出力に基づいて液晶レンズ２３を制御する。
【００１５】
（発光素子１０）
発光素子１０は、スーパールミネッセントダイオード素子など、端面を主たる光取り出し面とする半導体発光素子を用いることができる。窒化物系半導体、ガリウム砒素系半導体、ガリウム燐系半導体、セレン化亜鉛系半導体などのいずれでもよい。窒化物系半導体は、一般式ＩｎｘＡｌｙＧａ１−ｘ−ｙＮ（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、ｘ＋ｙ≦１）で表わされ、III族元素の一部がＢで置換されてもよく、Ｎの一部がＰ、Ａｓなどで置換されてもよい。このような発光素子１０は、その半導体素子構造１１内に、光軸に平行な方向（図中ｚ方向）つまり後方端面から前方端面に向かって延びるストライプ状の光導波路１３を有する。また、発光素子１０は、半導体素子構造１１の前方端面に反射防止膜１５（ＡＲコート：Anti-Reflective Coating）を、後方端面に反射膜１７を、各々備えている。
【００１６】
半導体素子構造１１は、少なくともｎ側半導体層、活性層、ｐ側半導体層をこの順に有する。基板は、ＧａＮ、サファイア、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＧａＰ等の結晶成長用基板でもよいし、結晶成長用基板を除去後に半導体層に接合された接合基板でもよく、除去されたままでもよい。また、分布帰還型（ＤＦＢ）のように、活性層又は光導波路１３に、周期的な凹凸が設けられてもよい。反射防止膜１５や反射膜１７は、Ｓｉ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｈｆ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｓｃ、Ｔａ、Ｇａ、Ｚｎ、Ｙ、Ｂ、Ｔｉの少なくとも１つの元素の酸化物、窒化物、フッ化物などが用いられ、これらの単層膜又は多層膜とすることができる。
【００１７】
なお、発光素子１０の光軸は、発光素子１０の前方端面に略垂直な軸である。この軸は、発光素子１０の前方端面内、好ましくは前方端面内の発光領域（光導波路１３の端面に相当する領域）内を起点とする。また、主として利用されるレーザ光が発光素子１０から取り出される方向を「前方」とし、その反対側を「後方」とする。
【００１８】
（レンズ部２０）
レンズ部２０は、コリメータレンズ２１と、液晶レンズ２３と、で構成されている。液晶レンズ２３は、コリメータレンズ２１と回折光学素子３０の間に配置されている。これにより、液晶レンズ２３に入射される光が、コリメータレンズ２１により略平行光化された光となるため、液晶レンズ２３により光を制御しやすい。このほか、液晶レンズ２３は、発光素子１０とコリメータレンズ２１の間に配置されてもよい。なお、レンズ部２０の光軸は、発光素子１０の光軸と略一致するように予め調整される。また、レンズ部２０は、液晶レンズ２３がコリメータレンズ２１の機能も兼ね、コリメータレンズ２１を省略して構成することもできる。
【００１９】
（コリメータレンズ２１）
コリメータレンズ２１は、発光素子１０から出射される光を略平行光に変換可能なものであればよい。特に、コリメータレンズ２１は、色消しレンズを用いてもよいが、該レンズ２１の色収差を液晶レンズ２３により補正可能であるため、簡素なものを用いることができ、それにより安価に構成することができる。
【００２０】
（液晶レンズ２３）
液晶レンズ２３は、図１（ｂ）に示すように、例えば同心円状に分割して設けられたＩＴＯなどの透光性のパターン電極を備える２枚のガラス基板で液晶を挟んだものを用いることができる。そして、液晶レンズ２３は、液晶制御装置２５から印加される電圧により液晶の配向状態を制御することで、その屈折率を変えることができる。これにより、液晶レンズ２３を透過する光の屈折角を制御することができる。液晶材料としては、ネマチック液晶、スメクチック液晶、カイラルネマチック液晶、コレステリック液晶（リオトロピック液晶、サーモトロピック液晶）、強誘電性液晶、又は反強誘電性液晶などが挙げられる。なお、この液晶レンズ２３は、透過する光の拡がり角及び／又は進行方向の補正が不要であるなど、レンズとして機能しなくてもよい場合があるが、そのような場合も含めて「液晶レンズ」と呼称する。
【００２１】
（回折光学素子３０）
回折光学素子３０は、凹凸や屈折率分布などの光回折構造を有する光学素子を用いることができる。例えば、図１（ｃ）に示すように、ガラス基板などの表面に、縦方向（図中ｙｇ方向）に延伸する線状の凹凸（溝）が周期的に設けられた回折格子が挙げられる。液晶を用いたものでもよい。格子の形状（延伸方向に垂直な断面形状）は、例えば矩形波状、三角波形状、正弦波形状などとすることができる。回折光学素子３０は、本例では透過型を用いているが、反射型を用いることもできる。なお、回折光学素子３０の光回折構造が設けられた表面に対する法線に平行な方向をｚｇ方向とし、ｙｇ方向及びｚｇ方向に垂直な横方向をｘｇ方向とする。回折光学素子３０は、発光素子１０の光軸つまりｚ軸に対して、ｙｇ軸が略垂直となるように設置されることが好ましい。回折光学素子３０は、発光素子１０の光軸に対して、その表面が略垂直に設置されてもよいが、ｙｇ軸を回転軸として、例えば４５°、回転されて設置されてもよい。そして、回折光学素子３０は、入射された光を、入射面内つまりｘｇｚｇ面内に、分光された回折光として放出する。
【００２２】
また、回折光学素子３０は、角度制御装置３５に接続された回転機構（不図示）上に設置されている。回折光学素子３０は、この角度制御装置３５と回転機構により、図中ｙｇ軸を回転軸として回転させることができ、発光素子１０に帰還させる回折光を選択することができる。これにより、発振波長を変えることができる。さらに、回折光学素子３０又は回転機構には、発振波長検出部３７が接続されており、回折光学素子３０の位置情報（回転量）を検出することで、発振波長を算出することができる。
【００２３】
（液晶レンズ、回折素子への光入射）
なお、図１（ｂ）に示すように、液晶レンズ２３は、その中心部において同心円状に配置された複数のパターン電極と、該パターン電極から周縁部に向かって各々引き出され並置された引き出し配線２４と、を備えている。このような液晶レンズ２３において、引き出し配線２４が設けられた領域は、液晶の配向が比較的乱れやすい。そのため、発光素子１０から出射され液晶レンズ２３に入射する光の遠視野像（ＦＦＰ：ファーフィールドパターン）が楕円状などの一方向に長い形状である場合、液晶レンズ２３は、その入射光の遠視野像の短手方向（例えば楕円状の像であれば短軸）と、引き出し配線２４の引き出し方向と、が略平行となるように配置されていることが好ましい。これにより、液晶レンズ２３の引き出し配線２４の設けられた領域に入射する光成分を低減させ、液晶レンズ２３に入射する光を制御しやすくすることができる。なお、このとき、発光素子１０の光軸は、液晶レンズ２３のパターン電極が設けられた領域の略中心を通ることが好ましい。
【００２４】
また、図２は、回折光学素子の傾斜角度（ｘｇ軸を回転軸とする）とサイドモード抑制比（ＳＭＳＲ：Side-mode suppression ratio）の関係の一例を示すグラフである。発光素子１０から出射され回折光学素子３０に入射する光の遠視野像が楕円状などの一方向に長い形状である場合、回折光学素子の線状の光回折構造の延伸方向（以降、「格子線」と称する）に対する入射光の遠視野像の向きが、発光素子１０への回折光の結合効率に影響する。図２に示すように、回折光学素子３０への入射光の遠視野像の短手方向（例えば楕円状の像であれば短軸）と、回折光学素子３０の格子線と、が略垂直である場合、回折光学素子３０の傾斜角度が５ｍｄｅｇ（ミリ度）変化しただけでも、縦モードの単一性を表すＳＭＳＲの大幅な低下が見られる一方、略平行である場合は±５０ｍｄｅｇ程度まで２０ｄＢｍ付近のＳＭＳＲを維持している。したがって、図１（ｃ）に示すように、回折光学素子３０に入射する光の遠視野像が一方向に長い形状である場合、回折光学素子３０は、その入射光の遠視野像の短手方向と、回折光学素子３０の格子線と、が略平行となるように配置されていることが好ましい。これにより、回折光学素子３０により回折される光を発光素子１０に効率良く光結合させることができ、レーザ発振を安定させやすい。具体的には、発光素子１０の半導体層の積層界面と、回折光学素子３０の格子線と、が略平行となるように、発光素子１０に対して回折光学素子３０を配置することで、これを実現することができる。
【００２５】
（レーザ光監視部４０）
レーザ光監視部４０は、レーザ光の光出力を監視する光出力監視部４１と、レーザ光の縦モードの単一性を監視する縦モード監視部４５と、により構成されている。光出力監視部４１は、少なくともフォトダイオードやＣＭＯＳセンサなどの光検出器で構成することができる。縦モード監視部４５は、レーザ光をハーフミラーなどで分岐させ、それを干渉させて、その干渉縞をＣＣＤカメラなどで検出し、コントラスト比を解析可能な構成とする。このようなレーザ光監視部４０で得られる情報に基づき、液晶レンズ２３を液晶制御装置２５によりフィードバック制御する。
【００２６】
なお、本実施の形態では、共振器を構成する一対の反射鏡の一方が発光素子１０の後方端面に設けられる例について示したが、共振器を構成する一対の反射鏡の両方が発光素子の外部に設けられた外部反射鏡であってもよい。この場合、発光素子の前方、後方の両端面には、反射防止膜が設けられることが好ましい。このほか、回折光学素子を反射型として発光素子の後方に設け、発光素子の前方端面に又は外部反射鏡として反射膜や反射鏡が設けられてもよい。
【００２７】
（レーザ発振）
発光素子１０の端面から出射した光は、その拡がり角がコリメータレンズ２１により調整され、回折光学素子３０に入射する。そして、回折光学素子３０から放出される回折光の一部は、コリメータレンズ２１を介して発光素子１０の端面に入射し、光導波路１３に光結合する。これにより、発光素子１０内で利得を生じ、発光素子１０の反射膜１７と回折光学素子３０を共振器として、レーザ発振する。このような外部共振器型レーザ装置において、効率の良いレーザ発振を得るためには、外部反射鏡（本例では回折光学素子３０）からの反射光を利得媒質（本例では発光素子１０、特にその光導波路１３）に効率良く光結合させる必要がある。
【００２８】
しかしながら、発光素子１０又はコリメータレンズ２１を保持する保持部材は、温度変化による線膨張や経時変化によって変形又は変位する。そうすると、発光素子１０とコリメータレンズ２１の相対的な位置関係が変わって、コリメータレンズ２１から出射される光のビーム平行度や進行方向が変わる場合がある。また、発光素子１０が劣化することによって、発光素子１０から出射される光の拡がり角や進行方向が変わる場合もある。これらにより、回折光学素子３０から帰還する光の発光素子１０への結合効率が低下してしまう虞がある。
【００２９】
図３（ａ）は、コリメータレンズの光軸方向への変位とビーム平行度の関係の一例を示すグラフである。図３（ｂ）は、ビーム平行度と縦モードの単一性の関係の一例を示すグラフである。図３（ａ）に示すように、例えば、コリメータレンズ２１が発光素子１０に対して光軸方向（図中ｚ方向）に１μｍ変位すると、ビーム平行度を表すZernike多項式のPower Termが０．１５λ変わる。そうすると、図３（ｂ）に示すように、レーザ光の縦モードの単一性を表すコントラスト比が低下する場合があり、また、それに伴いレーザ光の光出力も低下する場合がある。このコントラスト比が０．８を下回ると、記録信号のＳ/Ｎ比が低下することにより、例えば記録媒体に記録するデジタル信号のビットエラーレートが悪化し、記録内容の品質が低下する虞がある。
【００３０】
そこで、本発明では、レンズ部２０に液晶レンズ２３を含み、回折光学素子３０に入射する光の拡がり角及び／又は進行方向が変わった場合に、液晶レンズ２３の屈折率を制御して、その拡がり角及び／又は進行方向を補正する。図４は、液晶レンズによる光の制御を説明する概略平面図（ａ）及び（ｂ）である。ここでは、温度変化による線膨張や経時変化によって、例えばコリメータレンズ２１が略平行光を出射可能な位置から発光素子１０に近づく方向に変位した場合を考える。図４（ａ）に示すように、液晶レンズ２３がなければ、コリメータレンズ２１から出射される光の拡がり角（半値）がα度大きくなり、回折光学素子３０には拡散光が入射する。そうすると、回折光学素子３０からコリメータレンズ２１に戻る光は２α度拡がっているため、発光素子１０への入射角度が発光素子１０からの出射角度と大きく異なり、発光素子１０に帰還する光の結合効率が低下する虞がある。これに対して、図４（ｂ）に示すように、液晶レンズ２３があれば、コリメータレンズ２１の変位による光の拡がり角の変化を補正して、回折光学素子３０に光を入射させることができる。これにより、発光素子１０に帰還する光の入射角度を出射角度と略同じにすることができ、高効率の光結合を維持することができる。このほか、回折光学素子３０に入射する光の進行方向（光軸）が変わった場合も、液晶レンズ２３により補正することが可能である。また、回折光学素子３０に液晶を用いたものを使用する場合、液晶制御装置２５にその回折光学素子３０の液晶を制御する機能を付与してもよい。
【００３１】
なお、このとき、液晶レンズ２３は、レーザ光監視部４０で検出される、レーザ光の縦モードの単一性及び／又は光出力が、所定の範囲内である、又は初期の状態（好適に調整された状態）を維持する、ように制御されることが好ましい。これにより、安定したレーザ発振を得ることができる。また、このような制御は、液晶制御装置２５やレーザ光監視部４０（好ましくは回折光学素子の角度制御装置３５、発振波長検出部３７も含めて）に接続される計算機及びそれに組み込まれたプログラムによって、自動的に行われるようにすることができる。
【実施例】
【００３２】
以下、本発明に係る実施例について詳述する。なお、本発明は以下に示す実施例のみに限定されないことは言うまでもない。
【００３３】
実施例１の発光装置は、図１に示す発光装置１００の一例である。発光素子１０は、φ５．６ｍｍのステム上に実装された、発光ピーク波長４０５ｎｍのスーパールミネセントダイオード素子である。この発光素子１０は、窒化物系半導体で構成される半導体素子構造１１を有する。その半導体素子構造１１には、幅１．５μｍのストライプ状のリッジが形成され、それにより光導波路１３が設けられている。また、その前方端面には、Ａｌ２Ｏ３の反射防止膜１５が設けられ、後方端面にはＳｉＯ２／ＺｒＯ２の反射膜１７が設けられている。
【００３４】
レンズ部２０は、ＮＡが０．６、焦点距離が５ｍｍのコリメータレンズ２１と、ネマチック液晶を有する液晶レンズ２３と、で構成されている。
【００３５】
回折光学素子３０は、透過型の回折格子であり、入射角４５度にて波長４０５ｎｍの一次回折光を放出する。回折光学素子の角度制御装置３５は、回転機構とステッピングモータで構成されている。発振波長検出手段３７は、回転機構に設置された発光ダイオードと、位置検出素子（ＰＳＤ：Position Sensitive Detector）で構成されている。
【００３６】
また、レーザ発振の状態を監視するため、回折光学素子３０で回折されるレーザ光の一部を、反射鏡などを用いてレーザ光監視部４０に導光する。本例では、その反射鏡などにより反射させたレーザ光をさらにビームスプリッタで分岐して、光出力監視部４１と縦モード監視部４５に各々導光する。光出力監視部４０は、フォトダイオードで構成されている。縦モード監視部４５は、ウェッジ基板と、リニアセンサアレイと、で構成されている。
【００３７】
図５は、実施例１に係る発光装置の駆動方法の一例を説明するブロック図である。液晶制御装置２５は、液晶ドライバ（液晶駆動回路）と、マイコンと、を含んでいる。そして、図５に示すように、光出力監視部４１、縦モード監視部４５で検出されるレーザ光の光出力や縦モードの単一性（本例ではコントラスト比）の検出信号を、マイコンに予め設定したテーブルと照合して、液晶レンズ２３への印加電圧を決定し、液晶レンズ２３を液晶ドライバで駆動させる。例えば、定期的に検出する光出力又はコントラスト比が、発光装置の起動時に検出した光出力又はコントラスト比の初期値と比較して１０％低下している場合、テーブル中の−１０％に対応する電圧を液晶レンズ２３に印加するように、液晶ドライバに指令を送って、液晶レンズ２３の屈折率を変化させる。
【００３８】
以上のような構成の発光装置は、発光素子１０とコリメータレンズ２１の相対的な位置関係が変わった場合でも、Power Termの悪化を抑制し、調整された初期の状態と略同じコントラスト比を維持することができる。これにより、記録信号のＳ/Ｎ比や、媒体へ記録するデジタル信号のビットエラーレートの悪化を抑制し、記録内容の良好な品質を維持することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明に係る発光装置は、ホログラフィックデータストレージなど高密度光記録・再生装置のほか、レーザディスプレイ、レーザプリンタ、光通信デバイスなどの光源に利用することができる。
【符号の説明】
【００４０】
１０…端面発光型の発光素子（１１…半導体素子構造、１３…光導波路、１５…反射防止膜、１７…反射膜）
２０…レンズ部（２１…コリメータレンズ、２３…液晶レンズ（２４…引き出し配線））
２５…液晶制御装置
３０…回折光学素子、３５…回折光学素子の角度制御装置、３７…発振波長検出部
４０…レーザ光監視部（４１…光出力監視部、４５…縦モード監視部）
５０…入射光の遠視野像
１００…発光装置
【図１】
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【図２】
2013098204.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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