(57)【要約】【課題】トップテープのテンションによるテープ押さえ部材の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材の挙動不安定を抑制して電子部品のピックアップミスを防止することができる電子部品実装装置およびテープフィーダならびにテープフィーダにおけるトップテープ送り方法を提供することを目的とする。【解決手段】テープフィーダ５においてキャリアテープ１５から剥離されたトップテープ１５ｅをピッチ送り方向と反対側に導いて送るに際し、トップテープ１５ｅをテープ押さえ部材２１において吸着位置の上流側に上方に突出して設けられた突出部２６の上面を介して斜め下方に導いて、テープ押さえ部材２１の浮き上がりを防止する。これにより、トップテープ１５ｅのテンションによるテープ押さえ部材２１の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材２１の挙動不安定を抑制して、電子部品のピックアップミスを防止することができる。【選択図】図４
2013065748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部に配列されたテープフィーダから実装ヘッドによって電子部品を取り出して基板保持部に位置決め保持された基板に実装する電子部品実装装置であって、
前記テープフィーダは、電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を前記実装ヘッドによる吸着位置に供給し、
さらに前記テープフィーダは、前記キャリアテープをピッチ送りするピッチ送り機構と、前記吸着位置の手前で前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導いて送るトップテープ送り機構と、前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部とを備え、
前記トップテープ送り機構において、前記剥離されたトップテープを前記突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止することを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を電子部品実装装置の実装ヘッドによる吸着位置に供給するテープフィーダであって、
前記キャリアテープをピッチ送りするピッチ送り機構と、
前記吸着位置の手前で前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導いて送るトップテープ送り機構と、
前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部とを備え、
前記トップテープ送り機構において、前記剥離されたトップテープを前記突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止することを特徴とするテープフィーダ。
【請求項３】
前記トップテープ送り機構は、前記剥離されたトップテープを送る経路においてこのトップテープにテンションを付与するテンションローラを備え、
前記突出部は、前記テンションローラよりも高い位置に配置されていることを特徴とする請求項２記載のテープフィーダ。
【請求項４】
電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を電子部品実装装置の実装ヘッドによる吸着位置に供給するテープフィーダにおいて、前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方に導いて送るテープフィーダにおけるトップテープ送り方法であって、
前記剥離されたトップテープを、前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止することを特徴とするテープフィーダにおけるトップテープ送り方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置およびキャリアテープに保持された電子部品をピッチ送りして電子部品実装装置の吸着位置に供給するテープフィーダならびにテープフィーダにおけるトップテープ送り方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装装置において、実装ヘッドのノズルによる吸着位置に電子部品を供給する方法として、テープフィーダを用いる方法が知られている。この方法は、電子部品を保持するキャリアテープを供給リールから引き出し、電子部品の実装タイミングに同期させてピッチ送りしてノズルに供給するものである。キャリアテープの上面には、電子部品の保護と脱落防止のためトップテープが貼着されており、トップテープは吸着位置に送られる手前でキャリアテープから剥離される。そして剥離されたトップテープはピッチ送り方向と反対方向に折り返されて、送りローラなどに挟まれて送られ、トップテープを収容するテープ収納容器内に導かれる（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１８８５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の特許文献例を含め、従来技術においてはトップテープを後方に送るためのテンションに起因して、吸着位置においてキャリアテープを上面側から押さえてガイドするテープ押さえ部材の位置が不安定になる傾向があった。すなわち、トップテープは吸着位置に設けられた吸着開口の後縁部を周回することによってキャリアテープから剥離され、ピッチ送り方向と反対方向に送られる。このとき、トップテープには弛みを防止するためのテンションが付与されており、このテンションは吸着開口が設けられたテープ押さえ部材を斜め上方に持ち上げるように作用する。そしてこの持ち上げる作用が大きい場合には、テープ押さえ部材が浮き上がり、テープ押さえ部材の挙動が不安定となる結果、キャリアテープのピッチ送り動作が安定して行われず、部品位置ずれや上下方向の微振動などを誘発し、電子部品のピックアップミスを招く場合があった。
【０００５】
そこで本発明は、トップテープのテンションによるテープ押さえ部材の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材の挙動不安定を抑制して電子部品のピックアップミスを防止することができる電子部品実装装置およびテープフィーダならびにテープフィーダにおけるトップテープ送り方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電子部品実装装置は、部品供給部に配列されたテープフィーダから実装ヘッドによって電子部品を取り出して基板保持部に位置決め保持された基板に実装する電子部品実装装置であって、前記テープフィーダは、電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を前記実装ヘッドによる吸着位置に供給し、さらに前記テープフィーダは、前記キャリアテープをピッチ送りするピッチ送り機構と、前記吸着位置の手前で前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導いて送るトップテープ送り機構と、前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部とを備え、前記トップテープ送り機構において、前記剥離されたトップテープを前記突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止する。
【０００７】
本発明のテープフィーダは、電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を電子部品実装装置の実装ヘッドによる吸着位置に供給するテープフィーダであって、前記キャリアテープをピッチ送りするピッチ送り機構と、前記吸着位置の手前で前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導いて送るトップテープ送り機構と、前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部とを備え、前記トップテープ送り機構において、前記剥離されたトップテープを前記突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止する。
【０００８】
本発明のテープフィーダにおけるトップテープ送り方法は、電子部品の上面をトップテープで覆って保持したキャリアテープをテープ押さえ部材によってテープ走行路に押さえつけた状態でピッチ送りすることにより、前記電子部品を電子部品実装装置の実装ヘッドによる吸着位置に供給するテープフィーダにおいて、前記キャリアテープから剥離された前記トップテープをピッチ送り方向と反対側の斜め下方に導いて送るテープフィーダにおけるトップテープ送り方法であって、前記剥離されたトップテープを、前記テープ押さえ部材において前記吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部の上面を介して導くことにより、前記テープ押さえ部材の浮き上がりを防止する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、テープフィーダにおいてキャリアテープから剥離されたトップテープをピッチ送り方向と反対側に導いて送るに際し、剥離されたトップテープをテープ押さえ部材において吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部の上面を介して斜め下方に導いてテープ押さえ部材の浮き上がりを防止することにより、トップテープのテンションによるテープ押さえ部材の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材の挙動不安定を抑制して電子部品のピックアップミスを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の部品実装装置の部分断面図
【図３】本発明の一実施の形態のテープフィーダの構成説明図
【図４】本発明の一実施の形態のテープフィーダのピッチ送り機構およびトップテープ送り機構の構成説明図
【図５】本発明の一実施の形態のテープフィーダにおけるトップテープ送り方法の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１、図２を参照して、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置１の構成を説明する。電子部品実装装置１は、基板に半導体チップなどの電子部品を実装する機能を有するものであり、図２は、図１におけるＡ−Ａ断面を部分的に示している。
【００１２】
図１において基台１ａの中央にはＸ方向（基板搬送方向）に基板搬送機構２が配設されている。基板搬送機構２は上流側から搬入された基板３を搬送し、部品実装作業を実行するために設定された実装ステージに位置決めして保持する。基板搬送機構２は基板３を位置決めして保持する基板保持部となっている。基板搬送機構２の両側方には、部品供給部４が配置されており、それぞれの部品供給部４には複数のテープフィーダ５が並設されている。テープフィーダ５は、テープ状部材の部品収納面に電子部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する部品実装機構の実装ヘッドによる吸着位置に電子部品を供給する。
【００１３】
基台１ａ上面の両端部上にはＹ軸テーブル６Ａ，６Ｂが配設されており、Ｙ軸テーブル６Ａ，６Ｂ上には２台のＸ軸テーブル７Ａ、７Ｂが架設されている。Ｙ軸テーブル６Ａを駆動することにより、Ｘ軸テーブル７ＡがＹ方向に水平移動し、Ｙ軸テーブル６Ｂを駆動することにより、Ｘ軸テーブル７ＢがＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル７Ａ，７Ｂには、それぞれ実装ヘッド８および実装ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ９が装着されている。
【００１４】
Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂをそれぞれ組み合わせて駆動することにより実装ヘッド８は水平移動し、それぞれの部品供給部４から電子部品を吸着ノズル８ａ（図２参照）によってピックアップし、基板搬送機構２に位置決めされた基板３上に実装する。Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂは、実装ヘッド８を移動させるヘッド移動機構となっている。
【００１５】
実装ヘッド８とともに基板３上に移動した基板認識カメラ９は、基板３を撮像して認識する。また部品供給部４から基板搬送機構２に至る経路には、部品認識カメラ１０が配設されている。部品供給部４から電子部品を取り出した実装ヘッド８が実装ステージに位置決めされた基板３へ移動する際に、吸着ノズル８ａに保持された電子部品を部品認識カメラ１０の上方でＸ方向に移動させることにより、部品認識カメラ１０は吸着ノズル８ａに保持された電子部品を撮像する。そして撮像結果を認識装置（図示省略）によって認識処理することにより、吸着ノズル８ａに保持された状態における電子部品の位置が認識されるとともに、電子部品の種類が識別される。ノズル保持部１１は、複数種類の吸着ノズル８ａを所定姿勢で収納し、実装ヘッド８がノズル保持部１１にアクセスしてノズル交換動作を行うことにより、実装ヘッド８において対象とする電子部品の種類に応じてノズル交換が行われる。
【００１６】
部品供給部４の構造を説明する。図２に示すように、部品供給部４には複数のテープフィーダ５を着脱自在に装着するためのフィーダ装着ベース４ａが設けられている。テープフィーダ５は、フィーダ装着用の台車１２によって部品供給部４に配置され、台車１２には、キャリアテープ１５を巻回状態で収納したテープリール１４を保持するためのリール保持部１３が設けられている。リール保持部１３はテープリール１４を回転自在に保持するための保持ローラを備えており、部品供給部４に配置されたテープリール１４を回転させることにより、キャリアテープ１５を引き出すことができるようになっている。
【００１７】
次に、図３を参照してテープフィーダ５の構成および機能を説明する。図３に示すように、テープフィーダ５は当該テープフィーダ５の全体形状を構成するフィーダ本体部５ａおよびフィーダ本体部５ａの下面から下方に凸設された装着部５ｂを備えた構成となっている。フィーダ本体部５ａの下面をフィーダ装着ベース４ａに沿わせてテープフィーダ５を装着した状態では、装着部５ｂに設けられたコネクタがフィーダ装着ベース４ａに嵌合する。これにより、テープフィーダ５は部品供給部４に固定装着されるとともに、テープフィーダ５は電子部品実装装置１の制御装置と電気的に接続される。
【００１８】
フィーダ本体部５ａの内部には、フィーダ本体部５ａのテープ送り方向における上流端部に開口するテープ走行路５ｃが、実装ヘッド８による吸着位置まで連通して設けられている。テープ走行路５ｃは、テープリール１４から引き出されてフィーダ本体部５ａ内に導入されたキャリアテープ１５のテープ送りを、フィーダ本体部５ａの上流側から実装ヘッド８による吸着位置までガイドする機能を有している。
【００１９】
キャリアテープ１５は、テープ本体を構成するベーステープ１５ａに、電子部品１６を収納保持する部品ポケット１５ｂおよびキャリアテープ１５をピッチ送りするための送り穴１５ｄを所定ピッチで設けた構成となっている。ベーステープ１５ａの下面において部品ポケット１５ｂに対応した位置は下方に突出したエンボス部１５ｃとなっている。ベーステープ１５ａの上面は、部品ポケット１５ｂから電子部品１６が脱落するのを防止するために、部品ポケット１５ｂを覆ってトップテープ１５ｅによって封止されている。
【００２０】
フィーダ本体部５ａには、キャリアテープ１５をピッチ送りするためのピッチ送り機構１７が内蔵されている。ピッチ送り機構１７は、フィーダ本体部５ａのテープ送り方向における下流端部に軸線を水平にした姿勢で配置されたスプロケット２０、スプロケット２０を回転駆動する駆動機構１９および駆動機構１９を制御するフィーダ制御部１８を備えている。スプロケット２０の外周に設けられた送りピン２０ａ（図４参照）をキャリアテープ１５の送り穴１５ｄに係合させた状態で駆動機構１９を駆動することにより、キャリアテープ１５はテープ走行路５ｃに沿ってピッチ送りされる。
【００２１】
スプロケット２０の手前側は、部品ポケット１５ｂ内の電子部品１６を、実装ヘッド８の吸着ノズル８ａによって吸着して取り出す吸着位置となっている。スプロケット２０近傍のフィーダ本体部５ａの上面側には、テープ押さえ部材２１が配設されており、テープ押さえ部材２１には吸着ノズル８ａによる吸着位置に対応して吸着開口部２２が設けられている。吸着開口部２２の上流端は、トップテープ１５ｅを剥離するためのトップテープ剥離部２２ａとなっている。
【００２２】
キャリアテープ１５はテープ押さえ部材２１によってテープ走行路５ｃに押さえつけた状態でピッチ送りされる。キャリアテープ１５がテープ押さえ部材２１の下方を走行する過程において、トップテープ１５ｅをトップテープ剥離部２２ａを周回させて上流側に引き出すことによって、吸着位置の上流側にてトップテープ１５ｅがベーステープ１５ａから剥離される。これにより、部品ポケット１５ｂ内の電子部品１６は吸着開口部２２において上方へ露呈され、吸着ノズル８ａによる取り出しが可能な状態となる。
【００２３】
テープ押さえ部材２１において吸着開口部２２（吸着位置）のピッチ送り方向における上流側には、上方に突出して突出部２６が設けられている。テープ剥離位置にてベーステープ１５ａから剥離されて折り返されたトップテープ１５ｅは、突出部２６の上面を介してトップテープ送り機構２５によってピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導かれる。トップテープ送り機構２５は送り駆動機構２５ａおよびテンションガイド機構２５ｂを備えており、突出部２６の上面を介して導かれたトップテープ１５ｅは、テンションガイド機構２５ｂによってテンションを付与されてガイドされ、送り駆動機構２５ａによってフィーダ本体部５ａの上流側に設けられたテープ回収部２７内へ送られる。すなわちトップテープ送り機構２５は、吸着位置の手前でキャリアテープ１５から剥離されたトップテープ１５ｅを、ピッチ送り方向と反対側の斜め下方へ導いて送る機能を有している。
【００２４】
次に、ピッチ送り機構１７およびトップテープ送り機構２５について、図４を参照して説明する。図４において、キャリアテープ１５をピッチ送りするスプロケット２０は、モータ１９ａによってベベルギア１９ｂを介して回転駆動され、ピッチ送り動作に対応した間欠回転動作を行う。スプロケット２０の外周にはピン２０ａが定ピッチで設けられており、キャリアテープ１５に設けられた送り穴１５ｄにピン２０ａが嵌合した状態でスプロケット２０が回転することによりテープ送りが行われ、モータ１９ａの回転をフィーダ制御部１８によって制御することにより、テープ送り時の停止位置が制御される。
【００２５】
スプロケット２０近傍には、キャリアテープ１５をテープ走行路５ｃに押さえつけるテープ押さえ部材２１が軸支部２１ａによって軸支されて、軸支部２１ａ廻りに開閉自在に配設されている。テープ押さえ部材２１に設けられた吸着開口部２２の上流端は、トップテープ１５ｅを剥離するためのトップテープ剥離部２２ａとなっている。下流側へピッチ送りされるキャリアテープ１５から剥離されたトップテープ１５ｅは、テープ押さえ部材２１において吸着開口部２２の上流側に上方に突出して設けられた突出部２６の上面を介して、トップテープ送り機構２５に導かれる。
【００２６】
トップテープ送り機構２５に導かれた折り返されたトップテープ１５ｅは、送り駆動機構２５ａに設けられた回転送り部材３３，３４によってテープ回収部２７内に送り込まれる。回転送り部材３３，３４の回転駆動は、モータ３０の回転をベベルギア３１，伝動ギア部材３２を介して回転送り部材３４に伝達することによって行われる。
【００２７】
送り駆動機構２５ａの手前側には、可動なテンションローラ３６を備えたテンションガイド機構２５ｂが配設されている。テンションローラ３６はガイドローラ３７と同軸の支点を有するレバー部材３８ａによって保持されており、剥離されたトップテープ１５ｅは、ガイドローラ３７の上側、テンションローラ３６の下側を周回して送り駆動機構２５ａに導かれる。レバー部材３８ａと一体のアーム部材３８ｂにはスプリング３９が結合され、レバー部材３８ａ、アーム部材３８ｂはスプリング３９によって常に下方へ付勢されている。これにより、トップテープ１５ｅにはテンションローラ３６によってテンションが付与される。
【００２８】
テンションガイド機構２５ｂの動作を説明する。テンションガイド機構２５ｂの位置においてトップテープ１５ｅに弛みが生じると、テンションローラ３６が下方に移動する。これとともにアーム部材３８ｂがスプリング３９の付勢力によって回転し、先端に設けられたドグ３８ｃが下方に変位する。そしてこの変位をフォトスイッチ４０によって検出することにより、トップテープ１５ｅの弛みが検出される。弛みが検出されたならば、直ちにモータ３０が回転駆動され、これにより弛んだトップテープ１５ｅはテープ回収部２７内へ送り込まれ、所定のテープテンションが保たれる。すなわち、トップテープ送り機構２５は、剥離されたトップテープ１５ｅを送る経路においてこのトップテープ１５ｅにテンションを付与するテンションローラ３６を備えている。
【００２９】
上述の構成において、テープ押さえ部材２１に設けられた突出部２６は、テンションガイド機構２５ｂに設けられたテンションローラ３６、ガイドローラ３７よりも高い位置に配置されている。したがって、トップテープ剥離部２２ａによって剥離された後に突出部２６の上面を介してテンションガイド機構２５ｂに導かれるトップテープ１５ｅは、常に斜め下方に向かってテープ送りされる。これにより、図５に説明するように、テープ押さえ部材２１の浮き上がりを防止して、テープ押さえ部材２１の挙動不安定を抑制することができる。
【００３０】
すなわち、図５に示すように、突出部２６の上面を介して上流側の斜め下方に導かれるキャリアテープ１５には、トップテープ送り機構２５のテンションローラ３６によって付与されるテンションＴが作用している。そしてトップテープ１５ｅが上面を周回する突出部２６には、テンションＴの下向きの分力に相当する押さえ力Ｆが作用する。この押さえ力Ｆは、テープ押さえ部材２１を軸支部２１ａ廻りに下方に押し付けるように作用し、テープ押さえ部材２１の浮き上がりを抑制することができる。
【００３１】
すなわち、突出部２６が存在しない場合には、剥離されたトップテープ１５ｅはトップテープ剥離部２２ａから略水平方向に上流側に導かれるため、トップテープ１５ｅはテープ押さえ部材２１に対して軸支部２１ａ廻りに破線矢印ｆ方向に持ち上げるような力を及ぼす。これに対し、本実施の形態に示すように突出部２６を設けることにより、テープ押さえ部材２１に対して常に下向きの押さえ力Ｆを作用させることができる。このとき、突出部２６のテープ押さえ部材２１からの高さｈとトップテープ剥離部２２ａから突出部２６までの間隔Ｄを適切に設定することにより、トップテープ１５ｅに作用するテンションＴの作用方向を所望の角度方向θに設定して、良好な浮き上がり防止効果を得ることができる。
【００３２】
なお、本実施の形態では、テープ押さえ部材２１の軸支部２１ａがテープ送り方向の上流側に位置して、テープ押さえ部材２１の開放時に下流側を上に回動させる例を示したが、テープ押さえ部材２１において軸支部２１ａをテープ送り方向の上流側に位置させて、開放時に上流側を上に回動させる構成においても、同様に本発明を適用することができる。
【００３３】
上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品実装装置、テープフィーダおよびトップテープ送り方法は、テープフィーダ５においてキャリアテープ１５から剥離されたトップテープ１５ｅをピッチ送り方向と反対側に導いて送るに際し、剥離されたトップテープ１５ｅをテープ押さえ部材２１において吸着位置のピッチ送り方向における上流側に上方に突出して設けられた突出部２６の上面を介して斜め下方に導いて、テープ押さえ部材２１の浮き上がりを防止するようにしたものである。これにより、トップテープ１５ｅのテンションによるテープ押さえ部材２１の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材２１の挙動不安定を抑制して、電子部品のピックアップミスを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の電子部品実装装置およびテープフィーダならびにテープフィーダにおけるトップテープ送り方法は、トップテープのテンションによるテープ押さえ部材の浮き上がりに起因するテープ押さえ部材の挙動不安定を抑制して、電子部品のピックアップミスを防止することができるという利点を有し、テープフィーダによって供給される部品を基板に実装する電子部品実装分野において有用である。
【符号の説明】
【００３５】
１  電子部品実装装置
２  基板搬送機構
３  基板
４  部品供給部
５  テープフィーダ
５ｃ  テープ走行路
８  実装ヘッド
１５  キャリアテープ
１５ｅ  トップテープ
１７  ピッチ送り機構
１８  フィーダ制御部
１９  駆動機構
２０  スプロケット
２１  テープ押さえ部材
２２  吸着開口部
２５  トップテープ送り機構
２５ａ  送り駆動機構
２５ｂ  テンションガイド機構
２６  突出部
２７  テープ回収部
３６  テンションローラ
【図１】
2013065748.tif 000003
【図２】
2013065748.tif 000004
【図３】
2013065748.tif 000005
【図４】
2013065748.tif 000006
【図５】
2013065748.tif 000007