(57)【要約】【課題】塗布動作の実行中に、各ノズルの吐出口から吐出される液滴の吐出状態を精度良く検出することが可能な技術を提供する。【解決手段】液滴吐出装置１Ａは、一定方向に搬送される搬送帯９２上の基材シートに対して、液滴を吐出する複数の吐出口を有する吐出手段１０と、光源７１から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段７２と、撮像手段７２に入射される光束中に吐出された飛翔中の液滴を、撮像手段７２によって撮像して得られる画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する検出手段とを備えている。そして、撮像手段７２は、光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、搬送帯９２の側方に配置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、液滴を吐出する複数の吐出口を有する吐出手段と、
光源と、
前記光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段と、
前記撮像手段に入射される光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記撮像手段によって撮像して得られる画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する検出手段と、
を備え、
前記撮像手段は、前記光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯の側方に配置される液滴吐出装置。
【請求項２】
前記複数の吐出口は、前記吐出手段において、一定方向に配列され、
前記撮像手段は、前記複数の吐出口の配列方向に対して斜めの位置に配置される請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記光源および前記撮像手段を、互いに対向した状態で支持する支持手段をさらに備え、
前記支持手段は、
前記搬送方向に垂直な方向に前記撮像手段を移動させることが可能な第１移動機構と、
前記搬送方向と同方向に前記撮像手段を移動させることが可能な第２移動機構と、
前記第１移動機構および前記第２移動機構のうち少なくともどちらか一方を同一平面内で回転移動させることが可能な回転移動機構と、
を有する請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記撮像手段は、塗布動作の実行前において、前記吐出状態の検出に用いる情報を取得する際には、前記複数の吐出口の配列方向に対して垂直の位置に配置される請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、液滴を吐出する複数の吐出口を有する吐出手段と、
光源と、当該光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段とを有する撮像ユニットを２組有し、
各撮像手段に入射される各光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記各撮像手段によって撮像して得られる各画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する検出手段と、
を備え、
２組の前記撮像ユニットはそれぞれ、撮像手段に入射される光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯を挟んで両側の位置に配置される液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴の吐出手段に設けられた複数の吐出口から吐出される液滴の吐出状態を検出する方法であって、
ａ）光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段を、前記光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯の側方に配置する工程と、
ｂ）一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、複数の吐出口から液滴を吐出する工程と、
ｃ）前記撮像手段に入射される光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記撮像手段によって撮像して得られる画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する工程と、
を備える液滴の吐出状態の検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象とする媒体への液滴塗布技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
塗布対象とする媒体（塗布対象媒体）への液滴の塗布方式としては、例えば、液滴ジェット方式が存在する（例えば、特許文献１）。当該液滴ジェット方式を採用すれば、塗布対象媒体の必要部分に対して塗布液を効率的に塗布することが可能になる。
【０００３】
上記液滴ジェット方式では、吐出ヘッドにおいて塗布液の液滴を吐出するノズルが複数設けられているが、これらのノズルは、目詰まり等によって不吐出となる可能性が高く、一旦、不吐出の異常ノズルが発生した場合は、媒体に塗布される塗布量が減少することになる。このため、ノズルから吐出される液滴の吐出状態を検出することによって、異常ノズルの発生を監視することが好ましい。
【０００４】
特許文献１には、ノズルから吐出される液滴の吐出状態を検出する手法として、光源から出た光の液滴を透過する際の光量の落ち込み量から液滴の吐出状態を検出する手法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２８０３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載の吐出状態検出手法では、ノズルの配列方向と同方向から入射された光の光量の落ち込み量に基づいて、液滴の吐出状態が検出されているため、塗布動作の実行中に、各ノズルの液滴の吐出状態を精度良く検出することが困難となっていた。
【０００７】
そこで、本発明は、塗布動作の実行中に、各ノズルの吐出口から吐出される液滴の吐出状態を精度良く検出することが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る液滴吐出装置の第１の態様は、一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、液滴を吐出する複数の吐出口を有する吐出手段と、光源と、前記光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段と、前記撮像手段に入射される光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記撮像手段によって撮像して得られる画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する検出手段とを備え、前記撮像手段は、前記光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯の側方に配置される。
【０００９】
また、本発明に係る液滴吐出装置の第２の態様は、上記第１の態様であって、前記複数の吐出口は、前記吐出手段において、一定方向に配列され、前記撮像手段は、前記複数の吐出口の配列方向に対して斜めの位置に配置される。
【００１０】
また、本発明に係る液滴吐出装置の第３の態様は、上記第１の態様または上記第２の態様であって、前記光源および前記撮像手段を、互いに対向した状態で支持する支持手段をさらに備え、前記支持手段は、前記搬送方向に垂直な方向に前記撮像手段を移動させることが可能な第１移動機構と、前記搬送方向と同方向に前記撮像手段を移動させることが可能な第２移動機構と、前記第１移動機構および前記第２移動機構のうち少なくともどちらか一方を同一平面内で回転移動させることが可能な回転移動機構とを有する。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出装置の第４の態様は、上記第３の態様であって、前記撮像手段は、塗布動作の実行前において、前記吐出状態の検出に用いる情報を取得する際には、前記複数の吐出口の配列方向に対して垂直の位置に配置される。
【００１２】
本発明に係る液滴吐出装置の第５の態様は、一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、液滴を吐出する複数の吐出口を有する吐出手段と、光源と、当該光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段とを有する撮像ユニットを２組有し、各撮像手段に入射される各光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記各撮像手段によって撮像して得られる各画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する検出手段とを備え、２組の前記撮像ユニットはそれぞれ、撮像手段に入射される光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯を挟んで両側の位置に配置される。
【００１３】
本発明に係る液滴の吐出状態の検出方法は、液滴の吐出手段に設けられた複数の吐出口から吐出される液滴の吐出状態を検出する方法であって、ａ）光源から出射された光を受光して画像を取得する撮像手段を、前記光束中に飛翔中の各液滴の影が他の液滴に重ならない位置であって、前記搬送帯の側方に配置する工程と、ｂ）一定方向に搬送される搬送帯上の基材シートに対して、複数の吐出口から液滴を吐出する工程と、ｃ）前記撮像手段に入射される光束中に吐出された飛翔中の液滴を、前記撮像手段によって撮像して得られる画像を用いて、液滴の吐出状態を検出する工程とを備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、塗布動作の実行中に、各ノズルの吐出口から吐出される液滴の吐出状態を精度良く検出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置の外観構成を示す図である。
【図２】液滴吐出装置の上面図、および正面図を示す図である。
【図３】液滴吐出装置の上面図、正面図および側面図を示す図である。
【図４】液滴吐出装置の機能ブロックを示す図である。
【図５】液滴吐出装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】第２実施形態に係る液滴吐出装置の上面図および正面図を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の第１実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
＜１．第１実施形態＞
［１−１．外観構成および概要］
図１は、本発明の第１実施形態に係る液滴吐出装置１Ａの外観構成を示す図である。
【００１８】
図１に示されるように、液滴吐出装置１Ａは、塗布ヘッド１０と撮像ユニット７０と撮像ユニット７０を支持する支持機構（支持手段）８０とを有している。液滴吐出装置１Ａは、所定方向ＴＤに搬送される帯状の搬送帯９２上に貼設された塗布対象の媒体（基材シート）に、塗布ヘッド１０によって薬液を塗布する塗布動作を実行する。
【００１９】
また、液滴吐出装置１Ａは、塗布動作の実行中に、撮像ユニット７０によって、塗布ヘッド１０から吐出された液滴を撮影し、飛翔中の液滴の様子を表した画像（「液滴画像」または「飛翔画像」とも称する）を取得する。取得された液滴画像は、塗布ヘッド１０に設けられた、液滴を吐出する複数のノズルの中から、液滴を吐出しない異常ノズルを特定するために用いられる。また、液滴画像は、塗布ヘッド１０から吐出される液滴の液滴量を推定するために用いられる。
【００２０】
以下に、このような液滴吐出装置１Ａの各構成要素についてさらに詳述する。図２では、液滴吐出装置１Ａの上面図、および正面図が示されている。図３には、液滴吐出装置１Ａの上面図、正面図および側面図が示されている。
【００２１】
図１に示されるように、液滴吐出装置１Ａは、帯状の搬送帯９２を水平方向に沿って搬送する搬送手段としての搬送機構（不図示）と、基材シートに薬剤を含む薬液を吹き付けて塗布する塗布ヘッド１０と、液滴画像を撮像する撮像ユニット７０と、当該撮像ユニット７０を支持する支持手段８０とを備えている。また、液滴吐出装置１Ａは、装置に設けられた上記の各構成要素を制御する全体制御部４０を備えている。
【００２２】
塗布ヘッド１０は、薬剤を含む薬液を微滴化して微小液滴を生成し、その液滴を搬送機構によって搬送される基材シートの上面に吹き付ける。具体的には、塗布ヘッド１０は、搬送帯９２の全幅と同等の幅を有し、搬送方向ＴＤに垂直な方向（搬送帯９２の幅方向）に沿って、所定ピッチで配列された複数のノズル１１（図２参照）を備えている。全体制御部４０（詳細には、後述の塗布動作制御部４５）は、各ノズル１１に印加する電圧を制御して、各ノズル１１からの液滴の吐出を制御する。なお、塗布ヘッド１０としては、液滴ジェット方式によって薬液を噴出する液滴ジェットヘッド（例えば、駆動方式が積層ピエゾドロップオンデマンド方式のインクジェットヘッド）を採用することができるが、液滴を吐出する方式はこれに限定されない。
【００２３】
このような構成を有する塗布ヘッド１０は、全体制御部４０からの制御に応じて、薬液を液滴として吐出し、搬送機構によって搬送される基材シートに所定の塗布パターンを形成する。
【００２４】
なお、塗布ヘッド１０から吐出される薬液とは、薬剤を含む液体である。薬剤の具体的な種類は特に限定されないが、人体が皮膚を通して吸収し得るもの、すなわち経皮吸収可能な薬剤が好ましい。そのような薬剤としては、例えば、インドメタシン、ケトプロフェン、フルルビプロフェン、イブプロフェン、ビロキシカム、サリチル酸メチル、サリチル酸グリコール、l-メントール、dl-カンフル、ノニル酸ワリニリルアシド、カプサイシン等の鎮痛消炎剤が挙げられる。また、ニトログリセリン、ニフェジピン、イソソルバイドナイトレート等の冠血管拡張剤、または、プロカテロール、ツロブテロール等の喘息薬を薬剤として使用してもよい。さらに、上記の他にも薬剤として、全身性麻酔薬、催眠・鎮静薬、抗てんかん薬、鎮暈薬、精神神経用薬、骨格筋弛緩薬、自律神経用薬、鎮痙薬、抗パーキンソン薬、抗ヒスタミン薬、強心薬、不整脈用薬、利尿薬、血圧降下薬、血管収縮薬、末梢血管拡張薬、動脈硬化用薬、循環器用薬、呼吸促進薬、鎮咳去痰薬、ホルモン薬、化膿性疾患用外用薬、鎮痛・鎮痒・収斂・消炎用薬、寄生性皮膚疾患用薬、止血用薬、痛風治療用薬、糖尿病用薬、抗悪性腫瘍用薬、抗生物質、化学療法薬、麻薬、抗うつ用薬、禁煙補助薬（ニコチン）等を使用することができる。
【００２５】
このような薬剤が溶媒中に溶解されて薬液とされている。溶媒としては、薬剤の性質に応じて、水、または、アルコールを用いることができる。薬剤が溶媒中に溶解された所定濃度の薬液が調合タンクにて調合され、その薬液が調合タンクから供給されて薬液タンクに貯留される。薬液タンクに貯留されている薬液は、塗布ヘッド１０が薬液を噴出したときにノズル１１内に生じる毛管現象によって供給配管を介して各ノズル１１に送給される。なお、薬液には、基材シートへの密着性を高めるバインダー、および／または、添加剤がさらに含まれていてもよい。また、薬液には、薬液の粘度および表面張力を調整するために薬剤の溶媒が添加されてもよい。また、薬液には、薬液の乾燥を防ぐために保湿剤が添加されてもよい。
【００２６】
撮像ユニット７０は、ＬＥＤ、ＥＬ、ランプ等の光源７１と、当該光源７１からの出射光を受光可能な位置に配置された撮像手段７２とを備えている。撮像手段７２は、受光した光を電気信号に変換する撮像素子（例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）センサ等）を有し、光源７１からの出射光を受光して画像信号を生成する。
【００２７】
図１に示されるように、光源７１と撮像手段７２とは、互いに対向した位置で支持機構８０によって保持される。これにより、撮像手段７２は、光源７１からの出射光を受光することが可能になる。
【００２８】
そして、このような構成を有する撮像ユニット７０は、図２に示されるように、光源７１から出射され、撮像手段７２に入射される光束ＬＨの光路と、塗布ヘッド１０から吐出される液滴の飛翔軌跡ＦＣとが重なる位置に配置される。
【００２９】
当該位置に配置された状態で、撮像手段７２は、光束ＬＨの光路上に飛翔中の液滴を撮像して液滴画像を取得する。このようにして撮像された液滴画像では、液滴の影が映し出されることになる。
【００３０】
なお、液滴画像の撮像は、塗布ヘッド１０の液滴の吐出と、光源７１の発光と、撮像素子の露光とを複数回に渡って同期させて行われる。このような多重露光を行うことで、鮮明な液滴画像が取得されることになる。また、撮像手段７２として高速度カメラ（ハイスピードカメラ）を採用した場合は、このような複数回の露光を行うことなく、液滴画像を取得することができる。
【００３１】
支持機構８０は、撮像ユニット７０を支持するとともに、撮像ユニット７０の位置を変更可能な移動手段として機能する。
【００３２】
具体的には、図１に示されるように、支持機構８０は、ノズル１１の配列方向（Ｘ軸方向）に支持物（ここでは、撮像ユニット７０）を移動させることが可能なＸ軸移動機構（第１移動機構）８１と、Ｘ軸に垂直な基材シートの搬送方向ＴＤ（Ｙ軸方向）に支持物を移動させることが可能なＹ軸移動機構（第２移動機構）８３とを有している。また、支持機構８０は、Ｘ軸移動機構８１とＹ軸移動機構８３との間に回転移動機構（第３移動機構）８２をさらに有している。回転移動機構（第３移動機構）８２は、Ｘ軸およびＹ軸を含む座標平面内でＹ軸移動機構８３を回転移動させる機構である。
【００３３】
このような支持機構８０によれば、図３に示されるように、Ｘ軸およびＹ軸を含む座標平面内において、搬送方向ＴＤに対する撮像手段７２の角度θを−９０°から９０°まで変更することが可能になる。
【００３４】
以上が、液滴吐出装置１Ａの主たる構成要素である。なお、液滴吐出装置１Ａは、上記の構成以外にも説明を省略する種々の機構を備えている。例えば、液滴吐出装置１Ａは、搬送帯９２が搬送機構により所定距離搬送される度にパルス信号を出力するエンコーダをさらに備えている。当該エンコーダとしては、例えば、搬送帯９２の搬送量に応じて回転し、所定の回転量毎にパルス信号を出力するロータリーエンコーダを採用することができる。エンコーダから出力されたパルス信号は、ノズルからの液滴の吐出タイミングの特定、或いは撮像手段７２による撮影タイミングの特定等に用いられる。
【００３５】
［１−２．機能構成］
次に、液滴吐出装置１Ａの機能構成について説明する。図４は、液滴吐出装置１Ａの機能ブロックを示す図である。
【００３６】
図４に示されるように、液滴吐出装置１Ａの全体制御部４０は、マイクロコンピュータとして構成され、主にＣＰＵ４１、ＲＯＭ４２およびＲＡＭ４３等を備えている。全体制御部４０は、ＲＯＭ４２内に格納されたプログラムを読み出し、当該プログラムをＣＰＵ４１で実行することによって、各種機能を実現する。
【００３７】
具体的には、全体制御部４０は、上述のプログラムの実行によって、塗布動作制御部４５、撮影制御部４６、および吐出状態検出部４７を機能的に実現する。
【００３８】
塗布動作制御部４５は、所望の塗布パターンを規定する塗布データに基づいて、塗布ヘッド１０内のノズルに印加する電圧を調整することによって、各ノズルからの液滴の吐出を制御し、塗布動作を実行させる。
【００３９】
撮影制御部４６は、撮像ユニット７０による撮影動作を制御し、液滴画像を撮像手段７２に取得させる。取得された液滴画像の画像データは、高速アクセス可能な画像メモリ５４に一時的に記憶される。
【００４０】
吐出状態検出部４７は、液滴画像に基づいて、各ノズルに関する液滴の吐出状態を検出する機能を有している。具体的には、吐出状態検出部４７は、液滴画像中の液滴領域に含まれる画素数を数えて、液滴領域の大きさを求める。そして、吐出状態検出部４７は、当該液滴領域の大きさと撮影倍率とに基づいて、実際の液滴の大きさ（面積）を特定する。
【００４１】
ここで、塗布動作実行前に得られた、ノズル１１への印加電圧（駆動電圧）と液滴の大きさとの関係を示す基準検量線を用いれば、現在の駆動電圧から、現在吐出されるべき理想的な液滴の大きさを求めることができる。
【００４２】
吐出状態検出部４７は、このようにして求められた理想的な液滴の大きさと、実際の液滴の大きさとを比較することによって、各ノズル１１の吐出状態を検出することができ、液滴を吐出しなかった異常ノズル、および吐出量の少ない異常ノズルを特定することが可能になる。
【００４３】
また、吐出状態検出部４７は、異常ノズルの特定の他に、液滴画像を用いて特定される実際の液滴の大きさに基づいて、現在吐出されている液滴の液滴量を推定することもできる。
【００４４】
現在の液滴量の推定には、駆動電圧と液滴の大きさとの関係を示す上記基準検量線（第１基準検量線）に加えて、実際の塗布動作実行前に得られる、駆動電圧と液滴量との関係を示す第２基準検量線が用いられる。これら第１基準検量線および第２基準検量線は、駆動電圧を共通のパラメータとして有していることから、第１基準検量線と第２基準検量線とに基づいて、液滴の大きさと液滴量との関係を示す第３基準検量線を得ることができる。
【００４５】
吐出状態検出部４７は、このようにして得られた第３基準検量線を参照することによって、実際の液滴の大きさに基づいて現在の液滴量を推定する。
【００４６】
また、全体制御部４０は、液晶ディスプレイ等で構成される表示装置５１への表示動作を制御する。当該表示動作によって、表示装置５１には、処理結果およびメッセージ等の種々の情報が表示される。
【００４７】
また、全体制御部４０は、キーボードおよびマウス等の入力装置５２を介してコマンドおよびパラメータ等の入力を受け付ける。装置の操作者（使用者）は、表示装置５１に表示された内容を確認しつつ入力装置５２から入力操作を行うことができる。なお、表示装置５１と入力装置５２とは、一体化してタッチパネルとして構成してもよい。
【００４８】
またさらに、全体制御部４０は、ＤＶＤまたはＣＤなどの記録媒体ＲＭから記録内容を読み取る読取装置５３を制御することによって、処理プログラムまたは動作パラメータ等を取得することができる。
【００４９】
［１−３．吐出状態検出動作］
次に、液滴吐出装置１Ａの動作について説明する。図５は、液滴吐出装置１Ａの動作を示すフローチャートである。
【００５０】
図５に示されるように、ステップＳＰ１１では、液滴の吐出状態を検出するために用いる基本情報が取得される。
【００５１】
基本情報としては、ノズル１１の駆動電圧と液滴の大きさとの関係を示す第１基準検量線がある。当該第１基準検量線は、撮像ユニット７０を初期位置ＮＱ１（図３参照）に配置した状態で、駆動電圧を変更しつつ、液滴画像を撮像することによって作成される。
【００５２】
撮像ユニット７０を初期位置ＮＱ１に配置すると、撮像手段７２はノズル１１の配列方向に対して略垂直な位置に配置されることになる。したがって、液滴画像に基づいて各ノズル１１から吐出された液滴の大きさを求める際に、撮影倍率および撮影距離を考慮した補正処理を行う必要性が低減されるので、各ノズル１１についての検量線の作成および校正を効率良く行うことが可能になる。なお、第１基準検量線は、数本の代表ノズルまたは１本のノズルから吐出された液滴を撮影した液滴画像に基づいて作成してもよい。
【００５３】
また、現在の液滴量を推定する場合は、駆動電圧と液滴量との関係を示す第２基準検量線も基本情報として取得されることになる。
【００５４】
次のステップＳＰ１２では、撮像ユニット７０が基材シートの搬送に干渉しない位置であって、各ノズル１１の配列方向に対して斜めに配置される。具体的には、図３に示されるように、撮像ユニット７０の位置が初期位置ＮＱ１から位置ＮＱ２に変更される。位置ＮＱ２は、搬送帯９２の側方であって、各ノズル１１の配列方向に対して斜めの位置である。このような撮像ユニット７０の位置変更は、ノズル１１の配列方向および当該配列方向に垂直な搬送方向ＴＤに撮像手段７２の位置を変更可能にするとともに、同一平面内において、搬送方向ＴＤに対する撮像手段７２の角度θを−９０°から９０°まで変更可能な支持機構８０によって実現される。なお、液滴画像を取得する際の撮像ユニット７０の位置ＮＱ２は、「検出位置」とも称される。
【００５５】
ステップＳＰ１３では、塗布動作制御部４５からの指令に応じて塗布ヘッド１０が動作され、基材シートへの薬液の塗布が開始される。
【００５６】
ステップＳＰ１４では、撮影制御部４６からの指令に応じて撮像手段７２が動作し、液滴画像が取得される。
【００５７】
次のステップＳＰ１５では、吐出状態検出部４７によって、液滴画像に基づいて液滴の吐出状態が検出される。
【００５８】
このように、液滴吐出装置１Ａは、撮像ユニット７０を搬送帯９２の側方であって、各ノズル１１の配列方向に対して斜めの位置に配置した状態で、液滴画像を取得し、当該液滴画像に基づいて液滴の吐出状態を検出する。
【００５９】
撮像ユニット７０を搬送帯９２の側方に配置すれば、撮像ユニット７０が基材シートの搬送の障害となることを避けることができるので、塗布動作の実行中にリアルタイムで、吐出状態の検出を行うことが可能になる。また、液滴吐出装置１Ａは、吐出された液滴に関する液滴画像に基づいて、吐出状態の検出を行うので、塗布後のパターンを確認する場合に比べて、現在の吐出状態をタイムラグなく把握することが可能になる。
【００６０】
なお、撮像ユニット７０が配置される位置、すなわち各ノズル１１の配列方向に対して斜めの位置は、撮像手段７２に入射される光束の光路が、各ノズル１１の配列方向に対して斜めになる位置とも表現することができる。
【００６１】
また、撮像手段７２に入射される光束の光路が、各ノズル１１の配列方向に対して斜めにすると、撮像ユニット７０の位置は、光束中に飛翔中の各液滴の影が重ならない位置となる。このように、撮像ユニット７０を、光束中に飛翔中の各液滴の影が重ならない位置に配置することによれば、各ノズル１１から吐出された各液滴に関する画像を取得することができ、各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を精度良く検出することが可能になる。
【００６２】
＜２．第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ｂでは、液滴画像が２方向から同時に取得される。第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ｂは、液滴画像を２つの撮像ユニット７０を用いて２方向から同時に取得する点以外は、上記液滴吐出装置１Ａとほぼ同様の構成および機能を有しており、共通する部分については同じ符号を付して説明を省略する。図６には、第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ｂの上面図および正面図が示されている。
【００６３】
図６に示されるように、第２実施形態に係る液滴吐出装置１Ｂは、２組の撮像ユニット７０Ａ，７０Ｂを有している。そして、撮像ユニット７０Ａ，７０Ｂそれぞれを、基材シートの搬送方向に対して斜めの位置であって、基材シートを搬送する搬送帯９２を挟んで両側の位置に配置した状態で、液滴画像を取得する。
【００６４】
そして、液滴吐出装置１Ｂは、取得された２枚の液滴画像それぞれから得られる、液滴の面積を平均することによって、実際の液滴の大きさを特定する。
【００６５】
このように２方向から液滴画像を取得し、取得された２枚の液滴画像を用いて、ノズル１１から吐出された液滴の大きさを特定することによれば、各ノズル１１の吐出状態をより正確に検出することが可能になる。
【００６６】
具体的には、各ノズル１１から吐出された液滴は、通常、ノズル１１の軸に対して軸対象に飛翔し、さらに、ノズル１１面から８００μｍ程度離れた場所では、ほぼ球状となる。しかし、ノズル１１から吐出された液滴が、尾（テイル）を有した縦長の形状を有し、ノズル１１の軸に対して傾いている場合は、撮像手段７２の配置位置に応じて、液滴画像中の液滴の形状が大きく変化することになる。
【００６７】
そこで、本実施形態のように、２方向から液滴画像を取得し、取得された２枚の液滴画像を用いて、ノズル１１から吐出された液滴の大きさを特定することによれば、液滴の形状に左右されることなく、液滴の大きさを精度良く特定することができ、各ノズル１１の吐出状態をより正確に検出することが可能になる。
【００６８】
＜３．変形例＞
以上、この発明の実施の形態について説明したが、この発明は、上記に説明した内容に限定されるものではない。
【００６９】
例えば、上記各実施形態では、光源７１と撮像手段７２とが、互いに対向した位置で支持機構８０によって保持された態様を例示していたが、光源７１と撮像手段７２とは、光源７１からの出射光を受光可能であれば、必ずしも対向した位置に配置されていなくてもよい。
【００７０】
また、上記各実施形態では、初期位置ＮＱ１で撮影した液滴画像に基づいて第１基準検量線を作成していたがこれに限定されず、検出位置ＮＱ２で撮影した液滴画像に基づいて第１基準検量線を作成するようにしてもよい。
【００７１】
また、上記第２実施形態では、液滴吐出装置１Ｂが２組の撮像ユニットを有する場合を例示していたがこれに限定されず、３組以上の撮像ユニットを有する態様であってもよい。３組以上の撮像ユニットを有する場合も、各撮像ユニットは、搬送帯９２の側方であって、各ノズル１１の配列方向に対して斜めの位置に配置される。
【符号の説明】
【００７２】
１Ａ，１Ｂ  液滴吐出装置
１０  塗布ヘッド
１１  ノズル
４０  全体制御部
４５  塗布動作制御部
４６  撮影制御部
４７  吐出状態検出部
７０，７０Ａ，７０Ｂ  撮像ユニット
７１  光源
７２  撮像手段
８０  支持機構（支持手段）
８１  Ｘ軸移動機構（第１移動機構）
８２  回転移動機構（第３移動機構）
８３  Ｙ軸移動機構（第２移動機構）
９２  搬送帯
ＦＣ  飛翔軌跡
ＬＨ  光束
ＮＱ１  初期位置
ＮＱ２  検出位置
ＴＤ  搬送方向
【図１】
2013176714.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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