(57)【要約】【課題】密閉型タンクに粉体を投入する際に、バルブの内部に粉体の付着を防止する。【解決手段】密閉型タンクへの粉体投入装置は、粉体投入用配管１２と、粉体投入用配管１２に接続された粉体投入用バルブ１４と、真空引き用配管２２と、真空引き用配管２２に接続された真空引き用バルブ２４を有する密閉型タンク１０において、粉体投入用バルブ１４を貫通し粉体投入用配管１２の内部に挿入される粉体投入用筒状体３０と、粉体投入用筒状体３０の外周面に設けられ粉体投入用筒状体３０の下降位置決めを行う下降位置決め部３２と、粉体投入用筒状体３０の上方に延伸し粉体を流通させる粉体投入用ノズル３４と、真空引き用バルブ２４を貫通し真空引き用配管２２の内部に挿入する真空引き用筒状体４０と、真空引き用筒状体４０の外周面に設けられ真空引き用筒状体４０の下降位置決めを行う下降位置決め部４２とを有する。【選択図】図１Ｂ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
タンク内へ粉体を投入するための粉体投入用配管と、前記粉体投入用配管に接続された粉体投入用バルブとを有する密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置において、
前記粉体投入用バルブの外部に退避された退避位置と、開状態の前記粉体投入バルブを挿通して前記粉体投入用配管内に挿入された挿入位置との間で移動自在な粉体投入用筒状体と、
開口端が前記粉体投入用筒状体の内部に配置され粉体を流出させる粉体投入用ノズルと、を備え、
前記粉体投入時に前記粉体投入用筒状体を前記挿入位置に移動させた状態で前記粉体投入用ノズルから粉体を流出させて、前記粉体を前記粉体投入用筒状体によって前記タンク内へ案内することを特徴とする粉体投入装置。
【請求項２】
前記粉体投入用筒状体の外周面には、前記粉体投入用筒状体の挿入時に前記挿入位置に位置決めを行うための位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の粉体投入装置。
【請求項３】
真空引きを行うための真空引き用配管と、この真空引き用配管に接続された真空引き用バルブとをさらに備え、前記粉体を投入する時に前記真空引き配管及び前記真空引き用バルブを介して真空引きを行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の粉体投入装置。
【請求項４】
前記真空引き用バルブの外部に退避された退避位置と、開状態の前記真空引き用バルブを挿通して前記真空引き用配管内に挿入された挿入位置との間で移動自在な真空引き用筒状体をさらに備え、
前記真空引き用筒状体を前記挿入位置に移動させた状態で真空引きを行うことを特徴する請求項３に記載の粉体投入装置。
【請求項５】
前記真空引き用バルブ上に配置された第１位置と前記真空引き用バルブ上から退避された第２位置との間で移動自在に設けられた粉体受け皿と、
前記粉体受け皿の移動を制御し、粉体投入時に前記粉体受け皿を前記第１位置から第２位置に移動させ、粉体投入後に前記粉体投入用筒状体を前記退避位置に移動させた後に前記粉体受け皿を前記第１位置に移動させる制御部と、
を備えていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の粉体投入装置。
【請求項６】
タンク内に粉体を投入するための粉体投入用配管と、前記粉体投入用配管に接続された粉体投入用バルブと、真空引きを行うための真空引き用配管と、前記真空引き用配管に接続された真空引き用バルブとを有する密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入方法において、
前記真空引きバルブを開く工程と、
真空引き用筒状体を前記真空引き用バルブに挿通させて前記真空引き用配管内に配置する工程と、
前記真空引き用筒状体を介して前記タンク内の真空引きを行う工程と、
前記粉体投入用バルブを開く工程と、
粉体投入用筒状体を前記粉体投入用バルブに挿通させて前記粉体挿入配管内に配置する工程と、
粉体投入用ノズルの開口端が前記粉体投入用筒状体内に配置された状態で粉体を流出させて前記タンク内に導入する工程と、
を有することを特徴とする粉体投入方法。
【請求項７】
さらに、粉体の投入終了後に、前記粉体投入用筒状体を前記粉体投入用バルブの外部に退避させる工程と、
前記粉体投入用バルブを閉じる工程と、
粉体受け皿を前記粉体投入用バルブ上に移動させる工程と、
真空引きを停止させる工程と、
前記真空引き用筒状体を前記真空引き用バルブの外部に退避させる工程と、
前記真空引き用バルブを閉じる工程と、
を有することを特徴とする請求項６に記載の粉体投入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、密閉型タンクへの粉体投入装置および粉体投入方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、密閉型タンクの流体投入用流路には、流体を導入した後、密閉型タンクを密閉可能とするためにバルブが設置されている。例えば、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、粉体が投入される密閉型タンク１０には、粉体投入用配管１２が接続され、さらに、粉体投入用配管１２の上流側に、フランジ１６を介してバルブ１４が設けられ、さらにバルブ１４の上流側に、フランジ１６を介して固定配管７０が接続されている。
【０００３】
図４Ｂに示す従来の密閉型タンクの粉体投入装置では、粉体を密閉型タンク１０に導入する場合、まず、バルブ１４を開状態にしてから、粉体を固定配管７０からバルブ１４を経由させて粉体投入配管１２を介して密閉型タンク１０内に投入している。
【０００４】
しかし、粉体がバルブ１４を通過する際に、バルブ１４の内面に粉体が付着する傾向がある。例えば、密閉型タンク内に予め溶媒を貯留させたところに粉体を投入する場合、溶媒の蒸気によってバルブの内面が濡れて粉体が付着する。また、密閉型タンク内に溶媒がない場合にも、粉体の水分などで固結して付着する場合がある。そして、バブル１４の内面に粉体が付着した状態でバルブ１４の開閉が繰り返し行われると、バルブ１４のシール面が削れて、バルブ１４を介して、密閉型タンク１０からのリークが発生してしまうおそれがある。
【０００５】
このようなバルブ内面への粉体の付着を防止するために、特許文献１には、流路方向に移動自在とした環状弁座と流路の内面との間に、粉体等の搬流物が固着することを防止するために、環状弁座と弁対との間を強力にシールするボールバルブのシール構造が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】登録実用新案第３０５０９６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載のボールバルブでは、密閉型タンク内に溶媒を予め貯留させたところに粉体を投入する場合の溶媒の蒸気によるバルブ内面への粉体の付着を十分に抑制することは難しい。
【０００８】
本発明は、以上のような状況を鑑みてなされたものであり、密閉型タンクに粉体を投入する場合、バルブの内部への粉体の付着が防止され、バルブの寿命を延ばす密閉型タンクへの粉体投入装置および粉体投入方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、以下に示す本発明を完成するに至った。本願発明は、以下の特徴を有する。
【００１０】
（１）タンク内へ粉体を投入するための粉体投入用配管と、前記粉体投入用配管に接続された粉体投入用バルブとを有する密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置において、前記粉体投入用バルブの外部に退避された退避位置と、開状態の前記粉体投入バルブを挿通して前記粉体投入用配管内に挿入された挿入位置との間で移動自在な粉体投入用筒状体と、開口端が前記粉体投入用筒状体の内部に配置され粉体を流出させる粉体投入用ノズルと、を備え、前記粉体投入時に前記粉体投入用筒状体を前記挿入位置に移動させた状態で前記粉体投入用ノズルから粉体を流出させて、前記粉体を前記粉体投入用筒状体によって前記タンク内へ案内する粉体投入装置である。
【００１１】
（２）前記粉体投入用筒状体の外周面には、前記粉体投入用筒状体の挿入時に前記挿入位置に位置決めを行うための位置決め部が設けられている、上記（１）に記載の粉体投入装置である。
【００１２】
（３）真空引きを行うための真空引き用配管と、この真空引き用配管に接続された真空引き用バルブとをさらに備え、前記粉体を投入する時に前記真空引き配管及び前記真空引き用バルブを介して真空引きを行う、上記（１）または（２）に記載の粉体投入装置である。
【００１３】
（４）前記真空引き用バルブの外部に退避された退避位置と、開状態の前記真空引き用バルブを挿通して前記真空引き用配管内に挿入された挿入位置との間で移動自在な真空引き用筒状体をさらに備え、前記真空引き用筒状体を前記挿入位置に移動させた状態で真空引きを行う、上記（３）に記載の粉体投入装置である。
【００１４】
（５）前記真空引き用バルブ上に配置された第１位置と前記真空引き用バルブ上から退避された第２位置との間で移動自在に設けられた粉体受け皿と、前記粉体受け皿の移動を制御し、粉体投入時に前記粉体受け皿を前記第１位置から第２位置に移動させ、粉体投入後に前記粉体投入用筒状体を前記退避位置に移動させた後に前記粉体受け皿を前記第１位置に移動させる制御部と、を備えている、上記（１）から（４）のいずれか１つに記載の粉体投入装置である。
【００１５】
（６）タンク内に粉体を投入するための粉体投入用配管と、前記粉体投入用配管に接続された粉体投入用バルブと、真空引きを行うための真空引き用配管と、前記真空引き用配管に接続された真空引き用バルブとを有する密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入方法において、前記真空引きバルブを開く工程と、真空引き用筒状体を前記真空引き用バルブに挿通させて前記真空引き用配管内に配置する工程と、前記真空引き用筒状体を介して前記タンク内の真空引きを行う工程と、前記粉体投入用バルブを開く工程と、粉体投入用筒状体を前記粉体投入用バルブに挿通させて前記粉体挿入配管内に配置する工程と、  粉体投入用ノズルの開口端が前記粉体投入用筒状体内に配置された状態で粉体を流出させて前記タンク内に導入する工程と、を有することを特徴とする粉体投入方法である。
【００１６】
（７）さらに、粉体の投入終了後に、前記粉体投入用筒状体を前記粉体投入用バルブの外部に退避させる工程と、前記粉体投入用バルブを閉じる工程と、粉体受け皿を前記粉体投入用バルブ上に移動させる工程と、真空引きを停止させる工程と、前記真空引き用筒状体を前記真空引き用バルブの外部に退避させる工程と、前記真空引き用バルブを閉じる工程と、を有する、上記（６）に記載の粉体投入方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本願発明における密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置によれば、粉体投入用筒状体が粉体投入用バルブに挿通された後に、粉体投入用ノズルから流入した粉体が粉体投入用筒状体を介し粉体投入用配管を経由して密閉タンク内に案内されることから、粉体投入用バルブの内面に粉体が接触せず、粉体投入用バルブの内面への粉体の付着が防止され、粉体投入用バルブの寿命を延ばすことができる。
【００１８】
また、本願発明における密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置によれば、粉体投入用筒状体の外周面に位置決め部が設けられているので、確実に、粉体投入用筒状体が粉体投入用バルブに挿通させ、粉体投入用配管内の所定の位置に配置される。これにより、粉体投入用バルブの内面への粉体付着が確実に抑制される。
【００１９】
また、本願発明における密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置によれば、真空引き用配管と真空引き用バルブとを備えるため、密閉タンク内への粉体案内が促進される。
【００２０】
また、本願発明における密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置によれば、粉体を密閉タンク内に案内する際に、真空引き用バルブに真空引き用筒状体を挿通するので、密閉型タンクに投入された粉体の一部が舞い上がっても、真空引き用バルブの内面に粉体が接触しない。これにより、真空引き用バルブの内面への粉体付着が防止され、真空引き用バルブの寿命が延びる。
【００２１】
また、本願発明における密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置によれば、粉体投入後、粉体投入用筒状体を粉体投入用バルブから退避された後に、粉体投入用バルブ上の第１位置に粉体受け皿を移動させるので、粉体投入用筒状体に残留した粉体が粉体投入用バルブ上に落下しない。これにより、粉体投入用バルブへの粉体付着が大幅に抑制される。
【００２２】
本願発明における密閉型タンクへの粉体投入方法によれば、密閉型タンクに、粉体投入用配管と、前記粉体投入用配管に接続された粉体投入用バルブと、真空引き用配管と、前記真空引き用配管に接続された真空引き用バルブとが設けられている場合、粉体投入用筒状体が粉体投入用バルブに挿通されてから粉体が粉体投入用筒状体を介して密閉タンク内に案内されるので、粉体投入用バルブの内面に粉体が接触しない。これにより、粉体投入用バルブの内面への粉体付着が防止され、粉体投入用バルブの寿命が延びる。また、真空引き用バルブに真空引き用筒状体が挿通した後に、密閉型タンク内に粉体が案内されるので、密閉タンク内部から粉体の一部が舞い上がったとしても、真空引き用バルブの内面に粉体が接触しない。これにより、真空引き用バルブの内面への粉体付着が防止され、真空引き用バルブの寿命が延びる。
【００２３】
また、本願発明における密閉型タンクへの粉体投入方法によれば、粉体投入後に粉体投入用筒状体を粉体投入用バルブから退避させた後、粉体受け皿を粉体投入用バルブ上の第１位置に移動させるので、粉体投入用筒状体に残留した粉体が粉体投入用バルブ上に落下しない。これにより、粉体投入用バルブへの粉体付着が大幅に抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１Ａ】本実施形態に係る密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置の構成の一例を示し、粉体投入前及び粉体投入後の状態を示す概略構成図である。
【図１Ｂ】本実施形態に係る密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置の構成の一例を示し、粉体投入時および粉体投入中の状態を示す概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入装置の構成の他の例を説明する図である。
【図３】本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入方法の一例を説明するフロー図である。
【図４Ａ】従来の密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置の構成の一例を示し、粉体投入前及び粉体投入後の状態を示す概略構成図である。
【図４Ｂ】従来の密閉型タンクへ粉体を投入する粉体投入装置の構成の一例を示し、粉体投入時および粉体投入中の状態を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１Ａ及び図１Ｂに、本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入装置の構成の一例を例示する。図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施の形態における密閉型タンク１０は、粉体投入用配管１２と、粉体投入用配管１２にフランジ１６を介して接続された粉体投入用バルブ１４と、真空引き用配管２２と、真空引き用配管２２にフランジ２６を介して接続された真空引き用バルブ２４と、を有する。そして、本実施の形態における粉体投入装置は、粉体投入用バルブ１４を挿通して粉体投入用配管１２の内部に挿入可能な粉体投入用筒状体３０と、粉体投入用筒状体３０の外周面に設けられ粉体投入用筒状体３０の挿入時に粉体投入用筒状体３０の下降位置決めを行う粉体投入用筒状体３０の下降位置決め部３２と、粉体投入用筒状体３０の内部に開口端が配置され粉体を流出させる粉体投入用ノズル３４とを有し、さらに、真空引き用バルブ２４を挿通して真空引き用配管２２の内部に挿入可能な真空引き用筒状体４０と、真空引き用筒状体４０の外周面に設けられ真空引き用筒状体４０の挿入時に真空引き用筒状体４０の下降位置決めを行う真空引き用筒状体の下降位置決め部４２と、を有する。
【００２６】
また、図２に、本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入装置の構成の他の例を例示する。図２に示す密閉型タンクへの粉体投入装置は、図１に示す密閉型タンクへの粉体投入装置に加え、さらに、回転軸５２に設けられた粉体受け皿５０と、回転軸５２を回転させる駆動装置５４と、駆動装置５４を制御して、粉体投入時に粉体受け皿５０を粉体投入用バルブ１４上の第１位置（図２の実線で示す位置）から退避させた第２位置（図２の点線で示す位置）に移動させ、粉体投入後に粉体投入用筒状体３０を粉体投入用バルブ１４の上方（退避位置）に引き上げた後に粉体受け皿５０を粉体投入用バルブ１４上の第１位置に移動させる制御部６０と、を有する。
【００２７】
本実施の形態において、粉体投入用筒状体の下降位置決め部３２は、粉体投入用筒状体３０の上方の外周面に設けられていることが好ましく、また、真空引き用筒状体の下降位置決め部４２は、真空引き用筒状体４０の上方の外周面に設けられていることが好ましい。また、本実施の形態において、粉体投入用筒状体３０は、粉体投入用バルブ１４の外部に退避された退避位置（図１Ａに示す位置）と、開状態の粉体投入バルブ１４を挿通して粉体投入用配管１２内に挿入された挿入位置（図１Ｂに示す位置）との間で移動自在に設けられている。また、真空引き用筒状体４０も同様に、真空引き用バルブ２４の外部に退避された退避位置（図１Ａに示す位置）と、開状態のバルブ１４を挿通して真空引き用配管２２内に挿入された挿入位置（図１Ｂに示す位置）との間で移動自在に設けられている。
【００２８】
粉体投入用筒状体３０及び真空引き用筒状体４０は、エアシリンダ（図示せず）によって前述の退避位置と挿入位置との間で往復移動可能にされている。なお、これらの筒状体３０，４０を移動させるための移動手段としては、前述のエアシリンダに限るものではなく、退避位置と挿入位置との間で往復移動させることができれば他のものでも良い。
【００２９】
さらに、粉体投入用筒状体３０が下降する際に、粉体投入用ノズル３４は所定の位置に固定された構成になっている。従って、粉体投入用筒状体３０を下降させると、粉体投入用ノズル３４は、あたかも、粉体投入用筒状体３０の上方に延伸し、且つ粉体投入用筒状体３０と連結した状態で一定量延伸した状態になる。
【００３０】
さらに、本実施の形態では、粉体投入用筒状体３０および真空引き用筒状体４０の所定量の上下反復移動は、図示しない制御装置により制御されている。
【００３１】
また、本実施の形態における粉体投入用バルブ１４および真空引き用バルブ２４は、それぞれ筒状体が挿入されるため、広めの流路を有するボールバルブやゲートバルブが用いられる。なお、本実施の形態では、粉体投入用バルブ１４および真空引き用バルブ２４はボールバルブを例に取って説明する。
【００３２】
次に、本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入装置の動作について、図１Ａから図３を用いて以下に説明する。以下の粉体投入装置の動作説明において、粉体受け皿５０を設けた場合を例に説明する。なお、粉体受け皿５０を設けない場合の動作は、粉体受け皿５０を移動させる動作がないだけの違いであり、詳しい説明を省略する。
【００３３】
本実施形態に係る密閉型タンクへの粉体投入装置は、密閉型タンクが密閉の場合、図１Ａに示すように、粉体投入用バルブ１４および真空引き用バルブ２４は閉状態であって、粉体投入用筒状体３０および粉体投入用ノズル３４ならびに真空引き用筒状体４０は、上方（退避位置）に位置している。一方、粉体を投入する場合、最初に、真空引き用バルブ２４を開状態として（Ｓ１００）、図１Ｂに示すように、真空引き用バルブ２４を挿通して真空引き用筒状体４０を真空引き用配管２２の内部に挿入し、真空引き用筒状体４０の外周面に設けられた下降位置決め部４２をフランジ２６に当接させることにより、真空引き用筒状体４０の下降位置決めを行う（Ｓ１０２）。この時、真空引き用筒状体４０の開口端は、真空引き用配管２２内に配置されても良いし、密閉型タンク１０内まで突出するように配置されても良い。
【００３４】
真空引き用筒状体４０を真空引き用配管に挿入した後、真空引きを開始する（Ｓ１０４）。その後、粉体受け皿５０を第１位置（図２の実線で示す位置）から第２位置（図２の点線で示す位置）へ退避させる（Ｓ１０６）。この時、退避角度は、第１バルブ１４へ粉体投入用筒状体３０が挿入される位置から粉体受け皿５０が退避する角度であればいかなる角度でもよいが、便宜上、９０°から１８０°退避することが好ましい。その後、粉体投入用バルブ１４を開状態にする（Ｓ１０８）。
【００３５】
また、粉体投入用バルブ１４を挿通して粉体投入用筒状体３０を粉体投入用配管１２の内部に挿入し、粉体投入用筒状体３０の外周面に設けられた下降位置決め部３２をフランジ１６に当接させることより、粉体投入用筒状体３０の下降位置決めを行う（Ｓ１１０）。この時、粉体投入用筒状体３４の開口端は、粉体投入用配管１２内に配置されても良いし、密閉型タンク１０内まで突出するように配置されても良い。
【００３６】
一方、粉体投入用筒状体３０が下降すると、粉体投入用ノズル３４は、見かけ上、粉体投入用筒状体３０の上方に延伸していき、且つ粉体投入用筒状体３０と連結した状態で一定量延伸した状態となる。なお、粉体投入用ノズル３４は、粉体投入用筒状体３０が挿入位置（図１Ｂに示す位置）に移動した場合でも、少なくとも開口端が粉体投入用筒状体３０内部にあるように配置位置が設定されている。
【００３７】
次に、粉体投入用ノズル３４から粉体を流出させ、粉体投入用筒状体３０によって粉体が密閉型タンク１０内に導入される（Ｓ１１２）。粉体の投入終了後、粉体投入用筒状体３０を引き上げて退避位置に移動させる（Ｓ１１４）。次いで、粉体投入用バルブ１４を閉状態にする（Ｓ１１６）。その後、制御部６０は、駆動装置５４を用いて回転軸５２を所定量回動させ、粉体受け皿５０を粉体投入用バルブ１４上（第１位置）に移動させる（Ｓ１１８）。粉体受け皿５０を移動させた後、真空引きを停止させて（Ｓ１２０）、真空引き用筒状体４０を引き上げる（Ｓ１２２）。その後、真空引き用バルブ２４を閉状態にする（Ｓ１２４）。これにより、粉体投入の処理が終了する。
【００３８】
前述したように、粉体投入用筒状体３０によって、粉体が密閉型タンク１０内に案内されるので、粉体投入用バルブ１４の内部に粉体が接触せず、粉体投入用バルブ１４の内部に粉体の付着が防止されるため、粉体投入用バルブ１４の寿命を延ばすことができる。また、真空引き用バルブ２４を挿通して真空引き用配管２２内に真空引き用筒状体４０を配置しているので、密閉型タンク１０に投入された粉体の一部が舞い上がっても、真空引き用バルブ２４の内部に粉体が接触しないので、真空引き用バルブ１４の内部に粉体の付着が防止され、真空引き用バルブ２４の寿命を延ばすことができる。また、仮に、密閉型タンク１０内に予め溶媒が貯留されている場合に、粉体を投入した場合であっても、予め、粉体投入用バルブ１４には、粉体投入用筒状体３０が挿通され、真空引き用バルブ２４には、真空引き用筒状体４０が挿通されているので、粉体投入用バルブ１４および真空引き用バルブ２４のいずれにも直接溶媒の蒸気が接触する可能性は低い。従って、粉体投入用バルブ１４および真空引き用バルブ２４のシール面に溶媒が付着することが抑制され、さらに溶媒による濡れによる粉体付着も防止される。
【００３９】
なお、粉体受け皿５０を回動自在に設ける場合を例に説明したが、これに限るものではなく、粉体投入用バルブ１４の上方位置（第１位置）と粉体投入用バルブ１４から退避させた退避位置（第２位置）との間で移動可能であれば、例えば、水平方向に進退移動する構成でも良い。
【符号の説明】
【００４０】
１０  密閉型タンク、１２  粉体投入用配管、１４  粉体投入用バルブ、１６，２６  フランジ、２４  真空引き用バルブ、３０  粉体投入用筒状体、３２，４２  下降位置決め部、３４  粉体投入用ノズル、４０  真空引き用筒状体、５０  粉体受け皿、５２  回転軸、５４  駆動装置、６０  制御部、７０  固定配管。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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