(57)【要約】【課題】流体噴射口を通じた吸引によって流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に、無駄に消費される流体の量を減少させることができるクリーニング装置及びクリーニング方法を提供する。【解決手段】クリーニング装置は、流体噴射ヘッド２０にインクを供給する流体供給路１１３の途中に容積可変室６９を有する流動機構３９と、容積可変室６９の容積が変化するように流動機構３９を駆動することで流体供給路１１３内を加圧状態にする機構駆動装置４０と、流体噴射ヘッド２０に形成された流体噴射口２１ａを通じて流体流路１０１を吸引することで流体噴射ヘッド２０のクリーニングを行う吸引機構２８と、常時は閉弁状態とされるとともに、吸引に伴う負圧が流体流路１０１内に生じた場合に開弁状態とされて、加圧状態の流体供給路１１３と流体流路１０１とを連通させる弁機構２２と、を備える。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給路の途中に容積可変室を有する流動機構と、
前記容積可変室の容積が変化するように前記流動機構を駆動することで前記流体供給路内を加圧状態にする機構駆動装置と、
前記流体噴射ヘッドに形成された流体噴射口を通じて該流体噴射口に連通する流体流路を吸引することで前記流体噴射ヘッドのクリーニングを行う吸引機構と、
常時は閉弁状態とされるとともに、前記吸引に伴う負圧が前記流体流路内に生じた場合に開弁状態とされて、前記加圧状態の前記流体供給路と前記流体流路とを連通させる弁機構と、
を備えることを特徴とするクリーニング装置。
【請求項２】
前記機構駆動装置は前記吸引機構による吸引の実行前に前記流動機構を駆動することで前記流体供給路内を加圧状態にし、
前記吸引機構による前記流体流路の吸引中には、前記流体供給路内の圧力値が前記加圧状態の時のよりも低くなることを特徴とする請求項１に記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記機構駆動装置は、前記吸引機構が前記流体流路を吸引するときには前記流動機構の駆動を停止することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のクリーニング装置。
【請求項４】
前記機構駆動装置は、流体の噴射時には前記容積可変室から前記弁機構に至る前記流体供給路が正圧の第１圧力値となるように前記流動機構を駆動するとともに、前記吸引機構による吸引の実行前には前記容積可変室が前記第１圧力値よりも高い第２圧力値となるように前記流動機構を駆動することを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記流動機構は、吸引駆動時に流体供給源から前記容積可変室に流体を吸引するとともに、吐出駆動時に前記容積可変室から前記流体噴射ヘッドに向けて流体を送出するダイヤフラムポンプを有することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項６】
前記弁機構は、常時は閉弁状態とされることで流体の噴射に適した負圧状態の前記流体流路と前記流体供給路との間を閉塞する一方、流体の噴射に伴って前記流体流路の圧力が低下した場合に開弁状態とされることで前記流体流路の圧力を調整する圧力調整機能を有することを特徴とする請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載のクリーニング装置。
【請求項７】
流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給路の途中に設けられた容積可変室の容積を変化させることで前記流体供給路内を加圧状態にする加圧工程と、
該加圧工程の後に前記流体噴射ヘッドに形成された流体噴射口を通じて該流体噴射口に連通する流体流路を吸引する吸引工程と、
前記加圧工程により前記加圧状態とされた前記流体供給路と前記吸引工程の前記吸引に伴う負圧が生じた前記流体流路とを連通させる連通工程と、
を備えることを特徴とするクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体噴射装置に備えられた流体噴射ヘッドを吸引によってクリーニングするクリーニング装置及びクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、流体噴射口が形成された流体噴射ヘッドを備える流体噴射装置として、用紙などのターゲットに対してインクを噴射することで文字や図形等の画像を形成するインクジェット式プリンターがある。そして、こうした流体噴射装置のうちには、特許文献１のインクジェット記録装置のように、記録ヘッド（流体噴射ヘッド）内に発生した気泡等を排出するために、ノズルを通じて記録ヘッド内を吸引する回復装置（クリーニング装置）を備えたものがある（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１８６２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
通常、流体噴射口を通じて流体噴射ヘッドを吸引することでクリーニングを行う場合には、気泡等を排出するために適切な流量を設定する必要がある。そのため、特許文献１の回復装置は、排出されるインクの流量を測定する流量測定装置を備え、この流量測定装置によって測定した流量に基づいて吸引動作を制御している。
【０００５】
ところで、流体噴射ヘッド内に発生した気泡は、流路の途中に引っかかっていることがあり、こうした気泡を流路から引き剥がして排出するには、一定以上の流速でインクを流動させる必要がある。しかし、流体噴射ヘッド内は流路断面積が小さくなっていたり複数に分岐したりしているために流路抵抗値が大きく、流体噴射口を通じて吸引を行った場合にも、流路を流れるインクが一定の流速に達するまでに時間がかかってしまう。そして、一定の流速に達するまでに排出されたインクは気泡の排出にはあまり寄与しないため、その分のインクは無駄になってしまうという問題がある。
【０００６】
なお、こうした問題はインクジェット式プリンターの流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に限らず、流体噴射装置に備えられた流体噴射ヘッドを吸引によってクリーニングする場合においては、概ね共通したものとなっている。
【０００７】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、流体噴射口を通じた吸引によって流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に、無駄に消費される流体の量を減少させることができるクリーニング装置及びクリーニング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明のクリーニング装置は、流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給路の途中に容積可変室を有する流動機構と、前記容積可変室の容積が変化するように前記流動機構を駆動することで前記流体供給路内を加圧状態にする機構駆動装置と、前記流体噴射ヘッドに形成された流体噴射口を通じて該流体噴射口に連通する流体流路を吸引することで前記流体噴射ヘッドのクリーニングを行う吸引機構と、常時は閉弁状態とされるとともに、前記吸引に伴う負圧が前記流体流路内に生じた場合に開弁状態とされて、前記加圧状態の前記流体供給路と前記流体流路とを連通させる弁機構と、を備える。
【０００９】
この発明の流体噴射装置によれば、吸引によって弁機構が開弁状態とされると、加圧状態の流体供給路が負圧状態の流体流路と連通するので、流体供給路側から流体流路側に速やかに流体を送出することができる。すなわち、クリーニングのための吸引を実行する前に流体供給路を加圧しておくことで、吸引の実行時に流体流路を流れる流体の流速が気泡等を排出するのに必要な流速に達するまでの時間を短くすることができる。したがって、流体噴射口を通じた吸引によって流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に、無駄に消費される流体の量を減少させることができる。
【００１０】
また、本発明のクリーニング装置において、前記機構駆動装置は前記吸引機構による吸引の実行前に前記流動機構を駆動することで前記流体供給路内を加圧状態にし、前記吸引機構による前記流体流路の吸引中には、前記流体供給路内の圧力値が前記加圧状態の時のよりも低くなる。
【００１１】
この発明のクリーニング装置によれば、吸引機構による吸引中には流体供給路内の圧力値が加圧状態の時よりも低くなるので、吸引の実行前に加圧状態とされた流体供給路内の圧力値が吸引中も維持されるように加圧を継続する場合と比較して、流体の無駄な消費を抑制することができる。
【００１２】
また、本発明のクリーニング装置において、前記機構駆動装置は、前記吸引機構が前記流体流路を吸引するときには前記流動機構の駆動を停止する。
この発明のクリーニング装置によれば、機構駆動装置は吸引機構が流体流路を吸引するときに流動機構の駆動を停止するので、吸引時にも流体供給路を加圧する場合と比較して、流体の無駄な消費を抑制することができる。
【００１３】
また、本発明のクリーニング装置において、前記機構駆動装置は、流体の噴射時には前記容積可変室から前記弁機構に至る前記流体供給路が正圧の第１圧力値となるように前記流動機構を駆動するとともに、前記吸引機構による吸引の実行前には前記容積可変室が前記第１圧力値よりも高い第２圧力値となるように前記流動機構を駆動する。
【００１４】
この発明のクリーニング装置によれば、機構駆動装置は吸引機構による吸引の実行前に容積可変室が第２圧力値となるように流動機構を駆動するので、流体供給路と流体流路との連通時には流体の噴射時よりも高い圧力で流体を流体流路に送出することができる。
【００１５】
また、本発明のクリーニング装置において、前記流動機構は、吸引駆動時に流体供給源から前記容積可変室に流体を吸引するとともに、吐出駆動時に前記容積可変室から前記流体噴射ヘッドに向けて流体を送出するダイヤフラムポンプを有する。
【００１６】
この発明のクリーニング装置によれば、流体噴射ヘッドに流体を供給するダイヤフラムポンプを用いて、クリーニングのための吸引を実行する前に流体供給路を加圧することができる。
【００１７】
また、本発明のクリーニング装置において、前記弁機構は、常時は閉弁状態とされることで流体の噴射に適した負圧状態の前記流体流路と前記流体供給路との間を閉塞する一方、流体の噴射に伴って前記流体流路の圧力が低下した場合に開弁状態とされることで前記流体流路の圧力を調整する圧力調整機能を有する。
【００１８】
この発明のクリーニング装置によれば、流体の噴射時に流体流路の圧力を調整する弁機構の圧力調整機能を用いて、クリーニングのための吸引時に加圧状態の流体供給路と流体流路とを連通させることができるので、クリーニング専用の弁機構を備える必要がない。
【００１９】
上記目的を達成するために、本発明のクリーニング方法は、流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給路の途中に設けられた容積可変室の容積を変化させることで前記流体供給路内を加圧状態にする加圧工程と、該加圧工程の後に前記流体噴射ヘッドに形成された流体噴射口を通じて該流体噴射口に連通する流体流路を吸引する吸引工程と、前記加圧工程により前記加圧状態とされた前記流体供給路と前記吸引工程の前記吸引に伴う負圧が生じた前記流体流路とを連通させる連通工程と、を備える。
【００２０】
この発明のクリーニング方法によれば、連通工程において、加圧状態の流体供給路が負圧状態の流体流路と連通することで、流体供給路側から流体流路側に速やかに流体を送出することができる。すなわち、吸引工程の前に加圧工程で流体供給路を加圧しておくことで、連通工程の後に流体流路を流れる流体の流速が気泡等を排出するのに必要な流速に達するまでの時間を短くすることができる。したがって、流体噴射口を通じた吸引によって流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に、無駄に消費される流体の量を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る実施形態のクリーニング装置を備える流体噴射装置の平面図。
【図２】流体収容体及び流体供給機構を前面側から見た斜視図。
【図３】流体供給機構を背面側から見た斜視図。
【図４】ダイヤフラムポンプ及び機構駆動装置の分解斜視図。
【図５】流体供給機構の断面図。
【図６】流動機構の一部を背面側から見た分解斜視図。
【図７】流動機構の一部を前面側から見た分解斜視図。
【図８】閉弁状態とされた弁機構を示す断面図。
【図９】開弁状態とされた弁機構を示す断面図。
【図１０】吸引駆動するダイヤフラムポンプを模式的に示す断面図。
【図１１】吐出駆動するダイヤフラムポンプを模式的に示す断面図。
【図１２】加圧工程の流体供給機構を模式的に示す断面図。
【図１３】第２変位部材が第１変位部材に対して相対移動する様子を示す斜視図。
【図１４】連通工程の流体供給機構及び流体噴射ヘッドを模式的に示す断面図。
【図１５】加圧吸引クリーニングの作用を説明するグラフ。
【図１６】変形例のクリーニング装置を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明のクリーニング装置をインクジェット式プリンター（以下、単に「プリンター」という）として具体化した流体噴射装置に備えた場合の一実施形態について、図を参照して説明する。
【００２３】
図１に示すように、プリンター１１は、略矩形箱状をなす本体ケース１２を備える。この本体ケース１２内の前方下部には、支持部材１３が主走査方向となる本体ケース１２の長手方向（図１において左右方向）に沿って架設されている。この支持部材１３上には、図示しない紙送り機構により記録用紙Ｓが主走査方向と直交する副走査方向に沿って給送される。
【００２４】
本体ケース１２内において支持部材１３の後部上方には、主走査方向に沿って棒状のガイド軸１４が架設されている。また、このガイド軸１４にはキャリッジ１５が支持されている。本体ケース１２内の後方側面においてガイド軸１４の両端部と対応する位置には、駆動プーリ１６及び従動プーリ１７が回転自在に支持されている。駆動プーリ１６にはキャリッジモータ１８が連結されるとともに、一対のプーリ１６，１７間にはキャリッジ１５が連結された無端状のタイミングベルト１９が掛装されている。そして、キャリッジモータ１８の駆動によって、キャリッジ１５はガイド軸１４に沿って主走査方向に往復移動する。
【００２５】
キャリッジ１５の下面側には、流体としてのインクを噴射するノズル（図示略）が複数形成された流体噴射ヘッド２０が取り付けられている。流体噴射ヘッド２０の下端部にはノズル形成面２１が設けられているとともに、ノズル形成面２１にはノズルの下流端となる流体噴射口２１ａが複数開口している。また、キャリッジ１５には、流体噴射ヘッド２０に形成された流体噴射口２１ａに向けて噴射に適した圧力でインクを供給するための弁機構２２が設けられている。
【００２６】
本体ケース１２内の一端側（図１では右端側）には箱形をなすとともに前面側に開口を有するカートリッジホルダー２３が設けられている。カートリッジホルダー２３には、前面側の開口を覆蓋可能なホルダーカバー２４が開閉可能に取り付けられている。また、カートリッジホルダー２３内には、流体供給源としてのインクカートリッジ２５がインクの色毎に複数個（本実施形態においては４個）、装着可能となっている。
【００２７】
カートリッジホルダー２３の背面側には、インクカートリッジ２５内に収容されたインクを流体噴射ヘッド２０に供給するための流体供給機構２６が取り付けられている。流体供給機構２６はカートリッジホルダー２３に装着可能なインクカートリッジ２５の数に対応して複数（本実施形態では４つ）設けられているとともに、各流体供給機構２６にはインク供給チューブ２７の上流端が接続されている。
【００２８】
上流端が流体供給機構２６に接続されたインク供給チューブ２７は、その下流端がキャリッジ１５に設けられた弁機構２２に接続されている。そして、インクカートリッジ２５に収容されたインクが流体供給機構２６からインク供給チューブ２７を通じてキャリッジ１５側に供給される。また、供給されたインクが弁機構２２において圧力調整され、流体噴射ヘッド２０の流体噴射口２１ａから支持部材１３に支持された記録用紙Ｓに向けて噴射されることで、画像等を形成する印刷処理が行われる。
【００２９】
カートリッジホルダー２３と支持部材１３との間には、流体噴射ヘッド２０の退避位置となるホームポジションＨＰが設けられている。ホームポジションＨＰの下方には、流体噴射ヘッド２０のメンテナンスを行う吸引機構２８が設置されている。
【００３０】
吸引機構２８は、ホームポジションＨＰに配置された流体噴射ヘッド２０の流体噴射口２１ａを囲むように流体噴射ヘッド２０に当接する有底箱状のキャップ２９と、キャップ２９を昇降移動させるための昇降機構３０とを備えている。キャップ２９の底部には吸引孔３１が形成されている。また、キャップ２９の底部には吸引孔３１に連通する吸引チューブ３２の上流端が接続されている。この吸引チューブ３２の途中位置にはチューブポンプ３３が配設されているとともに、吸引チューブ３２の下流端は廃液タンク３４内に挿入されている。
【００３１】
そして、キャップ２９が流体噴射ヘッド２０に当接した状態でチューブポンプ３３が駆動されると、キャップ２９と流体噴射ヘッド２０のノズル形成面２１とによって囲み形成される閉空間に負圧が発生する。すると、流体噴射口２１ａを通じて流体噴射ヘッド２０内のインクが吸引され、増粘したインクや気泡などが吸引チューブ３２を通じて廃液タンク３４に排出される。
【００３２】
次に、流体供給機構２６の構成について説明する。
なお、各流体供給機構２６は概ね同様の構成を有しているため、以下の説明においては１つの流体供給機構２６についてその構成を説明する。
【００３３】
図２に示すように、流体供給機構２６は、装着されるインクカートリッジ２５に接続される供給針３５と、インク供給チューブ２７の上流端が接続されるインク流出部３６とを有している。また、流体供給機構２６は、供給針３５からインク流出部３６に至るインク流路を形成する流路形成体３７と、流路形成体３７の後面側に取り付けられた機構駆動装置枠体３８とを有している。
【００３４】
さらに、流体供給機構２６は、供給針３５からインク流出部３６に向けてインクを流動させる流動機構３９と、流動機構３９を駆動する機構駆動装置４０と、機構駆動装置４０の駆動源としての駆動モーター４１とを備えている。流動機構３９は、流路形成体３７が形成するインク流路の途中に設けられている。また、機構駆動装置枠体３８は機構駆動装置４０の筐体を構成している。
【００３５】
図３に示すように、流動機構３９は、吸入弁４２と、弾性部材からなるダイヤフラム４３ａを有するダイヤフラムポンプ４３と、吐出弁４４とを備えている。吸入弁４２、ダイヤフラムポンプ４３及び吐出弁４４は、流路形成体３７において供給針３５からインク流出部３６に至るインク流路の途中において、上流側から順に並ぶように配置されている。なお、図３においては、機構駆動装置４０の構成を明示するために、機構駆動装置枠体３８の図示を省略している。
【００３６】
機構駆動装置４０は、駆動モーター４１の回転がベルト４５によって伝達されることで回転するねじ歯車４６と、ねじ歯車４６と噛合する斜歯歯車４７が一端側に取り付けられた回転軸４８とを備えている。回転軸４８にはその軸線方向の略中央に偏心カム４９が設けられている。また、機構駆動装置４０は円筒状のアクチュエーター５０を備えている。
【００３７】
図４に示すように、アクチュエーター５０は、有底円筒状をなす第１変位部材５１と、第１変位部材５１よりも一回り小さい有底円筒状をなす第２変位部材５２とを有している。そして、第１変位部材５１は底部５３が回転軸４８と一体回転する偏心カム４９に当接する一方、第２変位部材５２は底部５４がダイヤフラム４３ａに当接する。また、第１変位部材５１と第２変位部材５２との間には第１コイルばね５５が介装される。
【００３８】
第１変位部材５１の上部と下部とには、それぞれ円筒の軸方向に延びる被係止突部５７が突設されている。また、第１変位部材５１の内底部からは、円筒状の第１ばね掛け部５８が流路形成体３７側に向けて延設されている。さらに、第１変位部材５１の円筒状の側壁には、回転軸４８側となる部分に回転軸４８の軸方向に貫通するように一対の開口部５９が形成されているとともに、両開口部５９には対をなす係合凹部６０が流路形成体３７側に向けて凹み形成されている。
【００３９】
第２変位部材５２の外周面からは、回転軸４８側となる部分から対をなす係合突部６１が円筒の軸方向に延びるように側方に向けて突設されている。また、第２変位部材５２の内底部からは、円筒状の第２ばね掛け部６２が回転軸４８側に向けて突設されている。さらに、第２変位部材５２の内周面には、周方向に並ぶ複数（本実施形態では４つ）の位置決め突起６３が円筒の軸方向に延びるように突設されている。
【００４０】
第１コイルばね５５は、回転軸４８側から第１変位部材５１の第１ばね掛け部５８が貫装されるとともに、回転軸４８側の端部が第１変位部材５１の内底部に係止される。また、第１コイルばね５５は、流路形成体３７側から第２変位部材５２の第２ばね掛け部６２が貫装されるとともに、流路形成体３７側の端部が第２変位部材５２の内底部に係止される。このとき、第１コイルばね５５は第２変位部材５２の位置決め突起６３によって位置決めされる。
【００４１】
第２変位部材５２は、その外周面が第１変位部材５１の内周面と摺動可能な状態で第１変位部材５１内に収容される。このとき、第２変位部材５２は係合突部６１が第１変位部材５１の係合凹部６０と係合することで周方向への回転が規制されるとともに、円筒の軸方向に沿って第１変位部材５１に対して相対移動可能な状態となる。すなわち、第１変位部材５１の係合凹部６０は、第２変位部材５２の相対移動時に第２変位部材５２の移動を案内する案内部として機能する。
【００４２】
次に、流動機構３９を構成するダイヤフラムポンプ４３の構成について説明する。
流路形成体３７の後面側においてダイヤフラム４３ａと対向する部分には、回転軸４８側に向けて開口する凹部６４が形成されている。
【００４３】
凹部６４のテーパー状の側壁部分には、吸引孔６４ａが流路形成体３７を貫通するように形成されている。また、凹部６４の内底部からは回転軸４８側に向けて有底円筒状の突部６５が突設されている。さらに、突部６５には流路形成体３７を貫通するように吐出孔６６が形成されている。そして、ダイヤフラム４３ａと流路形成体３７の凹部６４との間には第２コイルばね６７が配置されている。なお、第２コイルばね６７は第１コイルばね５５よりもばね常数が小さくなるように設定されている。
【００４４】
図５に示すように、第２コイルばね６７は、突部６５が貫装された状態で凹部６４内に収容される。また、ダイヤフラム４３ａの流路形成体３７側となる前面側には、その中心付近に円盤状のばね受け部６８が突設されている。
【００４５】
第２コイルばね６７は、流路形成体３７側の端部が凹部６４の内底部に係止される一方で、回転軸４８側の端部がダイヤフラム４３ａのばね受け部６８に係止される。また、機構駆動装置枠体３８のダイヤフラム４３ａと対向する部分には、ダイヤフラム４３ａの外縁形状に沿うように開口部が形成されている。
【００４６】
そして、ダイヤフラム４３ａが流路形成体３７の凹部６４を覆蓋するように流路形成体３７と機構駆動装置枠体３８との間に配置された状態で、流路形成体３７が機構駆動装置枠体３８にねじ止め固定されている。これにより、ダイヤフラム４３ａと流路形成体３７の凹部６４とによってダイヤフラムポンプ４３のポンプ室となる容積可変室６９が囲み形成される。すなわち、容積可変室６９の壁面の一部は、弾性部材からなるとともに可撓性を有するダイヤフラム４３ａによって構成されている。なお、第２コイルばね６７はやや圧縮された状態で容積可変室６９内に収容されることで、容積可変室６９の容積を拡大する方向にダイヤフラム４３ａを付勢した状態となっている。
【００４７】
機構駆動装置枠体３８には回転軸４８を回転可能に支持する軸受け部７１と、アクチュエーター５０を支持する支持壁７２とが形成されている。支持壁７２は、上下に対をなすように流路形成体３７側から回転軸４８側に向けて延設されるとともに、支持壁７２の互いに対向する面にはそれぞれ係止溝７３が凹設されている。
【００４８】
そして、アクチュエーター５０は第１変位部材５１の上部と下部とに突設された被係止突部５７が係止溝７３に対して摺動可能に係止された状態で、機構駆動装置枠体３８の支持壁７２に支持されている。このとき、アクチュエーター５０は係止溝７３に沿って容積可変室６９に接近する第１方向Ｘ１及び容積可変室６９から離間する第２方向Ｘ２への移動が可能な状態となっているとともに、周方向への回転が規制された状態となっている。
【００４９】
また、アクチュエーター５０は、第１変位部材５１が回転軸４８の偏心カム４９に当接することで第２方向Ｘ２への移動が規制されている一方、第２変位部材５２がダイヤフラム４３ａを介して第２コイルばね６７の付勢力を受けることで第１方向Ｘ１への移動が規制されている。
【００５０】
そして、回転軸４８の回転に伴って偏心カム４９が図５に二点鎖線で示す位置から図５に実線で示す位置に変位すると、偏心カム４９に押圧された第１変位部材５１が第１方向Ｘ１に移動する。このとき、第１コイルばね５５は第２コイルばね６７よりもばね常数が大きく設定されているので、第２変位部材５２も第２コイルばね６７の付勢力に抗して第１方向Ｘ１に移動する。また、回転軸４８の回転に伴って偏心カム４９が図５に実線で示す位置から図５に二点鎖線で示す位置に変位すると、第１変位部材５１に対する偏心カム４９の押圧力が低下する。そのため、第１変位部材５１及び第２変位部材５２は第２コイルばね６７の付勢力によって第２方向Ｘ２に移動する。
【００５１】
すなわち、第１変位部材５１は容積可変室６９に接近する第１方向Ｘ１と容積可変室６９から離間する第２方向Ｘ２とに変位可能となっているとともに、第２変位部材５２は第１変位部材５１に対して第１方向Ｘ１及び第２方向Ｘ２に相対移動可能な状態で容積可変室６９と第１変位部材５１との間に配置されている。
【００５２】
そして、アクチュエーター５０が第２コイルばね６７の付勢力に抗して第１方向Ｘ１に移動すると、ダイヤフラム４３ａが容積可変室６９の容積を減少させる方向に変位し、ダイヤフラムポンプ４３は吐出駆動する。また、アクチュエーター５０が第２コイルばね６７の付勢力によって第２方向Ｘ２に移動すると、ダイヤフラム４３ａが容積可変室６９の容積を増加させる方向に変位し、ダイヤフラムポンプ４３は吸引駆動する。
【００５３】
次に、流動機構３９を構成する吸入弁４２及び吐出弁４４の構成について説明する。
なお、吸入弁４２及び吐出弁４４は、上流側となる供給針３５側から下流側となるインク流出部３６側に向かうインクの流れを許容するとともに、下流側から上流側に向かうインクの逆流を抑制する一方向弁である。
【００５４】
図６に示すように、吸入弁４２は、流路形成体３７の後面側に形成された第１凹部７４と、第１凹部７４内に収容される平面視略円状の第１弁体７５と、略円盤状の第１固定部材７６とを備えている。第１凹部７４の内底部には、流路形成体３７を貫通するように第１流入孔７７が形成されている。そして、第１流入孔７７は流路形成体３７の前面側から突設される供給針３５と連通している。また、流路形成体３７の後面側には第１凹部７４の上部と上流端が連通する第１流路形成凹部７８が形成されている。
【００５５】
流路形成体３７の回転軸４８側となる後面側には、可撓性を有する第１フィルム部材７９が溶着される。そして、第１凹部７４と第１フィルム部材７９とによって第１弁室８０が囲み形成されるとともに、第１流路形成凹部７８と第１フィルム部材７９とによって吸入弁４２の第１弁室８０と容積可変室６９とを連通させる第１連通流路８１の上流側の一部が囲み形成される。
【００５６】
流路形成体３７において第１流路形成凹部７８の下流端となる位置には流路形成体３７を貫通するように貫通孔７８ａが形成されている。この貫通孔７８ａは第１連通流路８１の一部を構成する。
【００５７】
第１弁体７５の中央付近は撓み変位可能な第１当接部７５ａになっているとともに、第１当接部７５ａの周囲には２つの第１連通孔７５ｂが形成されている。また、第１固定部材７６の第１弁体７５側となる前面側には、第１弁体７５の外縁部分に当接する第１固定突部７６ａが突設されている。そして、第１固定部材７６の第１固定突部７６ａが第１弁体７５の外縁部分に当接した状態で第１固定部材７６の後面側に第１フィルム部材７９が配置されることで、第１弁体７５が第１弁室８０内において固定される。
【００５８】
以上のように構成された吸入弁４２は、第１弁体７５の第１当接部７５ａが第１固定部材７６側に撓み変位して第１流入孔７７から離間することで開弁状態となる一方、第１当接部７５ａが第１凹部７４の内底部に当接して第１流入孔７７を閉塞することで開弁状態となる。
【００５９】
吐出弁４４は、流路形成体３７の後面側に形成された第２凹部８４と、第２凹部８４内に収容される平面視略円状の第２弁体８５と、略円盤状の第２固定部材８６とを備えている。第２凹部８４の内底部には、流路形成体３７を貫通するように第２流入孔８７が形成されている。そして、流路形成体３７の後面側には第２凹部８４の上部と連通するとともに第２凹部８４から上方に向けて延設されるように流出流路形成凹部８８が形成されている。
【００６０】
そして、流路形成体３７の後面側に溶着される第１フィルム部材７９と第２凹部８４とによって第２弁室９０が囲み形成されるとともに、第１フィルム部材７９と流出流路形成凹部８８とによって流出流路９１が囲み形成される。なお、流出流路９１は上流端が第２弁室９０に連通するとともに、下流端がインク流出部３６に連通している。
【００６１】
第２弁体８５の中央付近は撓み変位可能な第２当接部８５ａになっているとともに、第２当接部８５ａの周囲には２つの第２連通孔８５ｂが形成されている。また、第２固定部材８６の第２弁体８５側となる前面側には、第２弁体８５の外縁部分に当接する第２固定突部８６ａが突設されている。そして、第２固定部材８６の第２固定突部８６ａが第２弁体８５の外縁部分に当接した状態で第２固定部材８６の後面側に第１フィルム部材７９が配置されることで、第２弁体８５が第２弁室９０内に固定される。
【００６２】
以上のように構成された吐出弁４４は、第２弁体８５の第２当接部８５ａが第２固定部材８６側に撓み変位して第２流入孔８７から離間することで開弁状態となる一方、第２当接部８５ａが第２凹部８４の内底部に当接して第２流入孔８７を閉塞することで閉弁状態となる。
【００６３】
図７に示すように、流路形成体３７の供給針３５が突設された前面側には、上流端が吐出孔６６に連通するとともに下流端が第２流入孔８７に連通する第２流路形成凹部９２が形成されている。また、流路形成体３７の前面側には第２流路形成凹部９２を覆蓋するように第２フィルム部材９３が溶着される。そして、第２フィルム部材９３と第２流路形成凹部９２とによって第２連通流路９４が囲み形成される。なお、吐出孔６６及び第２流入孔８７も第２連通流路９４の一部を構成する。
【００６４】
さらに、流路形成体３７の前面側には、上流端が貫通孔７８ａに連通するとともに下流端が吸引孔６４ａに連通する第３流路形成凹部９５が形成されている。そして、流路形成体３７の前面側には第３流路形成凹部９５を覆蓋するように第３フィルム部材９６が溶着される。なお、第３フィルム部材９６と第３流路形成凹部９５とによって囲み形成されるインク流路及び吸引孔６４ａは、第１連通流路８１の下流側の一部を構成する。
【００６５】
次に、弁機構２２の構成について詳述する。
図８に示すように、弁機構２２は、合成樹脂からなる基材９７を備えている。基材９７の一側面には側壁がテーパー状をなす流出側凹部９８が形成されているとともに、基材９７の他側面には流出側凹部９８よりも開口面積の小さい流入側凹部９９が形成されている。流入側凹部９９の側壁には基材９７を貫通するように形成された導入路１００の下流端が開口している。なお、導入路１００の上流側はインク供給チューブ２７と連通している。一方、流出側凹部９８の側壁には基材９７を貫通するように形成された流体流路１０１の上流端が開口している。なお、流体流路１０１の下流側は流体噴射ヘッド２０に接続されている。
【００６６】
流入側凹部９９には、その開口を塞ぐように円盤状のばね受け座１０２が嵌着されている。また、基材９７の他側面には、ばね受け座１０２の上から流入側凹部９９を覆うようにフィルム１０３が固着されている。そして、流入側凹部９９とフィルム１０３とによってインク供給室１０４が囲み形成されている。
【００６７】
一方、基材９７の一側面には可撓性を有するフィルム１０５が流出側凹部９８側に弛みを持たせた状態で固着されている。そして、流出側凹部９８とフィルム１０５とによって圧力室１０６が囲み形成されている。フィルム１０５における流出側凹部９８側と反対の面の中央部には、流出側凹部９８の開口面積よりも面積が小さい円盤状の受圧板１０７が固着されている。
【００６８】
圧力室１０６とインク供給室１０４との間には、圧力室１０６とインク供給室１０４とを区画する隔壁１０８が設けられるとともに、隔壁１０８には圧力室１０６とインク供給室１０４とを連通させる連通孔１０９が形成されている。インク供給室１０４には、コイルばね１１０と、弁体１１１とが収容される。弁体１１１は、コイルばね１１０を介してばね受け座１０２と連結される略円板状のベース部１１１ａと、ベース部１１１ａの中央部から延設されて連通孔１０９に挿通される棒状のロッド部１１１ｂとを有している。なお、弁体１１１のロッド部１１１ｂの先端は、圧力室１０６内におけるフィルム１０５の近接位置まで達している。
【００６９】
弁体１１１のベース部１１１ａにおける隔壁１０８側の面にはロッド部１１１ｂを囲むように円環状のシール部材１１２が設けられている。なお、シール部材１１２の内径は連通孔１０９の径よりも大きくなるように設定されている。そして、弁体１１１は、通常、コイルばね１１０によって付勢されて隔壁１０８に圧接されることで、図８に示す閉弁位置に位置している。すなわち、弁機構２２は、常時はコイルばね１１０の付勢力によって弁体１１１のベース部１１１ａがシール部材１１２を介して隔壁１０８に密着することで、連通孔１０９が弁体１１１によって閉塞された閉弁状態になっている。
【００７０】
ここで、圧力室１０６内のインクが流体流路１０１を通じて流体噴射ヘッド２０側へ流出すると、圧力室１０６内のインク量の減少に伴って圧力室１０６内に負圧が発生し、フィルム１０５が受圧板１０７とともに流出側凹部９８側に変位して弁体１１１のロッド部１１１ｂの先端に当接する。
【００７１】
そしてさらに圧力室１０６内のインク量が減少して、フィルム１０５の押圧力がコイルばね１１０の付勢力よりも大きくなった場合には、コイルばね１１０の付勢力に抗して弁体１１１がばね受け座１０２側に移動して、弁機構２２は図９に示す開弁状態になる。
【００７２】
弁機構２２が開弁状態になると、インク供給室１０４内のインクが連通孔１０９を介して圧力室１０６内に流入するため、圧力室１０６内の負圧が解消される。そして、弁体１１１がコイルばね１１０の付勢力によって圧力室１０６側に移動すると、弁機構２２は再び弁体１１１によって連通孔１０９が閉塞された閉弁状態となる。
【００７３】
次に、流体供給機構２６から流体噴射ヘッド２０へのインクの供給について、図１０及び図１１を参照して説明する。なお、図１０はダイヤフラムポンプ４３が吸引駆動した場合の流体供給機構２６の様子を模式的に示したものである。また、図１１はダイヤフラムポンプ４３が吐出駆動した場合の流体供給機構２６の様子を模式的に示したものである。
【００７４】
図１０に示すように、インクカートリッジ２５がカートリッジホルダー２３に装着された状態で駆動モーター４１が駆動されると、機構駆動装置４０の回転軸４８が回転する。そして、回転軸４８の回転に伴ってアクチュエーター５０が第２方向Ｘ２に変位すると、容積可変室６９、第１連通流路８１、第１弁室８０及び第２連通流路９４内に負圧が生じる。すると、吐出弁４４が閉弁状態となる一方で吸入弁４２が開弁状態となり、供給針３５及び第１流入孔７７を通じてインクカートリッジ２５内のインクが図１０に矢印で示すように第１弁室８０、第１連通流路８１及び容積可変室６９内に流入する。
【００７５】
続いて、図１１に示すように、回転軸４８の回転に伴ってアクチュエーター５０が第１方向Ｘ１に変位すると、容積可変室６９、第１連通流路８１、第１弁室８０及び第２連通流路９４内が加圧状態となる。これにより、吸入弁４２が閉弁状態となる一方で吐出弁４４が開弁状態となる。
【００７６】
そして、容積可変室６９から押し出されたインクが図１１に矢印で示すように第２連通流路９４、第２弁室９０、流出流路９１、インク流出部３６及びインク供給チューブ２７を通じてキャリッジ１５側に供給される。なお、以下の説明において、容積可変室６９と弁機構２２との間に位置する第２連通流路９４、第２弁室９０、流出流路９１、インク流出部３６及びインク供給チューブ２７からなるインク流路を流体供給路１１３という。
【００７７】
このように、ダイヤフラムポンプ４３は吸引駆動時にインクカートリッジ２５から容積可変室６９にインクを吸引するとともに、吐出駆動時に容積可変室６９から流体噴射ヘッド２０に向けてインクを送出する。そして、ダイヤフラムポンプ４３の吸引駆動及び吐出駆動によって容積可変室６９から弁機構２２に至る流体供給路１１３の圧力が予め規定された正圧の第１圧力値Ｐ１（Ｐ１＞０）の加圧状態になると、駆動モーター４１の駆動が停止される。
【００７８】
ここで、流体噴射ヘッド２０に形成された流体流路１０１は、弁機構２２の下流側において複数に分岐しているとともに、その分岐した下流側がそれぞれ流体噴射口２１ａに連通している。そして、分岐した各流体流路１０１に振動板（図示略）を介して設けられた圧電素子（図示略）の伸縮に伴って、流体噴射口２１ａからインク滴が噴射される。
【００７９】
なお、流体流路１０１は、常時は予め規定された圧力値Ｐｎの負圧（例えば、−１ｋＰａ程度の負圧）が生じた状態となるように弁機構２２によってその内圧が調整されている。この負圧は、流体噴射口２１ａからインクが垂れ落ちることを防止するとともに、流体噴射口２１ａに凹状のメニスカスを形成して噴射動作を安定させるためのものである。
【００８０】
また、インクの噴射に伴って流体流路１０１内の圧力が圧力値Ｐｎより低下すると、弁機構２２が開弁状態となって流体供給路１１３側からインクが供給される。そして、このインクの供給によって流体流路１０１内の圧力が圧力値Ｐｎにまで回復すると、弁機構２２が閉弁状態となる。
【００８１】
このように、弁機構２２は下流側で一定以上の負圧が発生した場合に流体供給路１１３と流体流路１０１とを連通させる一方、上流側の流体供給路１１３が加圧状態になっても閉弁状態を保持する。すなわち、弁機構２２は、常時は閉弁状態とされることでインクの噴射に適した負圧状態の流体流路１０１と第１圧力値Ｐ１の流体供給路１１３との間を閉塞する一方、インクの噴射に伴って流体流路１０１の圧力が低下した場合に開弁状態とされることで流体流路１０１の圧力を調整する圧力調整機能を有している。
【００８２】
一方、ダイヤフラムポンプ４３は、こうした弁機構２２の開弁動作に伴って流体供給路１１３から流体流路１０１へインクが供給されても、流体供給路１１３内の圧力が第１圧力値Ｐ１程度の正圧に保持されるように、適宜吸引駆動及び吐出駆動を実行する。すなわち、機構駆動装置４０は、インクの噴射前やインクの噴射時には容積可変室６９から弁機構２２に至る流体供給路１１３が正圧の第１圧力値Ｐ１となるように流動機構３９を駆動して流体噴射ヘッド２０側にインクを供給する。また、ダイヤフラムポンプ４３がインク供給のための駆動を中断又は終了する時には、図１１に示すように吐出駆動が終了して容積可変室６９の容積が減少するとともに流体供給路１１３内が加圧された状態で停止する。
【００８３】
次に、流体噴射ヘッド２０のクリーニング方法である加圧吸引クリーニングについて、図１１〜図１４を参照しつつ説明する。なお、この加圧吸引クリーニングにおいては、流動機構３９及び機構駆動装置４０によって加圧工程が実行された後に吸引機構２８によって吸引工程が実行され、さらに吸引工程に連動して弁機構２２による連通工程が実行される。そして、本実施形態においては、弁機構２２、吸引機構２８、流動機構３９及び機構駆動装置４０によってクリーニング装置が構成される。
【００８４】
まず、加圧工程では、流体噴射ヘッド２０にインクを供給する流体供給路１１３の途中に設けられた容積可変室６９の容積が変化するように機構駆動装置４０が流動機構３９を駆動することで、流体供給路１１３内を加圧状態にする。すなわち、図１１に示すように吐出駆動を終了した状態から、ダイヤフラムポンプ４３がさらに数回（例えば２〜３回）吸引駆動及び吐出駆動を実行して、図１２に示すように吸引駆動を終了した状態で停止する。
【００８５】
なお、この加圧工程では、第１圧力値Ｐ１の加圧状態とされた流体供給路１１３において、下流側へのインクの流出がない状態でダイヤフラムポンプ４３が駆動される。そのため、１回目の吸引駆動で容積可変室６９内にインクが吸引された後、続いて行われる吐出駆動時に容積可変室６９から送出されるインクの行き場がない。その結果、吐出駆動時に第１方向Ｘ１へ移動しようとするアクチュエーター５０に押圧されたダイヤフラム４３ａが容積可変室６９の容積が増加する方向に弾性変形する。
【００８６】
また、この容積可変室６９の容積の増加に伴って、第２変位部材５２が第１コイルばね５５の付勢力に抗して図１３に二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に向けて第２方向Ｘ２に移動する。このとき、第１変位部材５１は偏心カム４９によって第２方向Ｘ２への移動が規制されているので、第２変位部材５２が第１変位部材５１に対して第２方向Ｘ２に相対移動することで、アクチュエーター５０はその円筒の軸方向における長さが短くなる。
【００８７】
そして、同様に２回目以降の吸引駆動及び吐出駆動を繰り返すと、加圧工程における最後の吸引駆動が終了したときに、ダイヤフラム４３ａは図１２に実線で示すように弾性変形した状態となる。このとき、容積可変室６９の容積は、インク供給を目的とした吸引駆動の終了時（図１２に二点鎖線で示す）よりも増加している。また、加圧工程によって容積可変室６９及び流体供給路１１３内の圧力は、第１圧力値Ｐ１よりも高い第２圧力値Ｐ２（Ｐ２＞Ｐ１）に変化して、インクの噴射時よりもさらに加圧された状態になる。
【００８８】
すなわち、通常、インクを供給するためにダイヤフラムポンプ４３が駆動する場合には、加圧状態となる吐出駆動時には容積可変室６９の容積が減少する一方、容積可変室６９の容積が増加する吸引駆動時には容積可変室６９内が負圧状態となる。これに対して、加圧工程では、インクの流出がない状態でダイヤフラムポンプ４３を連続的に駆動させることで、容積可変室６９の容積が吸引駆動時よりも増加するとともに、容積可変室６９及び流体供給路１１３内が吐出駆動時よりも加圧された状態となる。
【００８９】
このように、加圧工程においては流体噴射ヘッド２０にインクを供給する流体供給路１１３の途中に設けられた容積可変室６９の容積を変化させることで、流体供給路１１３内を第２圧力値Ｐ２の加圧状態にする。そして、容積可変室６９から弁機構２２までの流体供給路１１３が第２圧力値Ｐ２の加圧状態となると、駆動モーター４１が停止され、機構駆動装置４０は流動機構３９の駆動を停止する。
【００９０】
なお、機構駆動装置４０が流動機構３９の駆動を停止した状態においても、ダイヤフラム４３ａは第１コイルばね５５の付勢力によって第１方向Ｘ１に押圧されているので、容積可変室６９及び流体供給路１１３内の加圧状態は保持される。
【００９１】
また、加圧工程の後には、吸引機構２８によって流体噴射ヘッド２０に形成された流体噴射口２１ａを通じて流体流路１０１を吸引する吸引工程が実行される。すなわち、図１４に示すように流体噴射ヘッド２０がホームポジションＨＰに配置されるとともに、キャップ２９が上昇移動して流体噴射口２１ａを囲むように流体噴射ヘッド２０のノズル形成面２１に当接する。
【００９２】
そして、この状態でチューブポンプ３３が駆動されると、キャップ２９とノズル形成面２１とによって囲み形成される閉空間Ｒに負圧が発生し、流体噴射口２１ａを通じて流体噴射ヘッド２０内のインクが吸引される。なお、流体噴射ヘッド２０のホームポジションＨＰへの移動やキャップ２９の上昇移動などは、加圧工程の前又は加圧工程と同時に実行しておいてもよい。
【００９３】
吸引機構２８による吸引が行われると、流体流路１０１にはインク噴射時よりも大きな負圧（例えば、−８０ｋＰａ程度の負圧）が生じるので、弁機構２２が開弁状態となるとともに、上流側の流体供給路１１３にも負圧が波及して吐出弁４４及び吸入弁４２も開弁状態となる。
【００９４】
すなわち、常時は閉弁状態とされる弁機構２２が、吸引に伴う負圧が流体流路１０１内に生じた場合に開弁状態とされることで、加圧工程により加圧状態とされた流体供給路１１３と吸引工程の吸引に伴う負圧が生じた流体流路１０１とを連通させる連通工程が実行される。これにより、インクカートリッジ２５内のインクが図１４に矢印で示すように流体供給路１１３内及び流体噴射ヘッド２０内を流動し、流体噴射口２１ａから排出される。このとき、流体噴射ヘッド２０内などに滞留していた気泡や増粘したインクなども、流動するインクとともに排出される。
【００９５】
このように、吸引機構２８は、吸引工程において流体噴射ヘッド２０に形成された流体噴射口２１ａを通じて流体噴射口２１ａに連通する流体流路１０１を吸引することで、流体噴射ヘッド２０内から増粘したインクや気泡等を排出するクリーニングを行う。そして、吸引工程に連動して実行される連通工程では、加圧工程によって第２圧力値Ｐ２とされた流体供給路１１３が負圧状態の流体流路１０１と連通するため、流体供給路１１３から流体流路１０１に向けて勢いよくインクが流動する。
【００９６】
次に、以上のように構成されたクリーニング装置及び加圧吸引クリーニングの作用について、図１５を参照して説明する。なお、図１５には、加圧工程を経ずに吸引工程及び連通工程が実行される従来の吸引クリーニングを行った場合に、流体供給路１１３のある流路断面を流れるインクの流速を一点鎖線で示している。また、図１５には、加圧吸引クリーニングを実行した場合に流体供給路１１３の同じ流路断面を流れるインクの流速を実線で示している。
【００９７】
吸引機構２８による吸引によって流体噴射ヘッド２０内に滞留した気泡等を排出するためには、インク流路内に引っかかっている気泡等を引きはがすために所定の流速Ｖｃでインクを流動させる必要がある。また、インク流路から引きはがした気泡等を流体噴射口２１ａまで運ぶためには、流速Ｖｃに達してから所定時間Ｔｃをかけて流量Ｑｃのインクを流動させるのが好ましい。
【００９８】
ただし、流体供給路１１３と比較して、流体流路１０１は複数の流体噴射口２１ａに連通するために分岐して流路形状が複雑になっていたり、断面積が小さくなっていたりするために、その流路抵抗値が大きい。そのため、従来の吸引クリーニングにおいて、流体供給路１１３の初期圧力値が第１圧力値Ｐ１の状態で、時点ｔ０１に吸引が開始された場合、流体供給路１１３を流れるインクの流速が流速Ｖｃに達するまでに時間Ｔｓ１を要する。そのため、時間Ｔｓ１の間に流れたインクは気泡等の排出にはあまり寄与せず、無駄に消費されてしまうことになる。
【００９９】
これに対して、加圧吸引クリーニングの場合には、吸引機構２８による吸引の実行前に、容積可変室６９が第１圧力値Ｐ１よりも高い第２圧力値Ｐ２となるように機構駆動装置４０が流動機構３９を駆動する。これにより、加圧工程後に流体供給路１１３の初期圧力値は第１圧力値Ｐ１よりも高い第２圧力値Ｐ２となり、吸引工程の吸引に伴う負圧が流体流路１０１に生じて、連通工程で弁機構２２が開弁すると、流体流路１０１に対してより高い圧力で流体供給路１１３からインクが送出される。
【０１００】
したがって、加圧吸引クリーニングにおいて時点ｔ０２に吸引が開始された場合、流体供給路１１３を流れるインクの流速が流速Ｖｃに達するまでの時間Ｔｓ２は、従来の吸引クリーニングの場合の時間Ｔｓ１よりも短くなる（０＜Ｔｓ２＜Ｔｓ１）。そのため、従来の吸引クリーニングと本実施形態の加圧吸引クリーニングとでは、インクの流速が流速Ｖｃに達するまでに流出するインクの量にΔＱｓの差が生じる。すなわち、加圧吸引クリーニングの場合、従来の吸引クリーニングよりも無駄に消費されるインクの量が少なくて済む。
【０１０１】
なお、流体供給路１１３を流れるインクの流速が流速Ｖｃに達した後に必要以上に流速を増すと、無駄にインクを排出させてしまうことになる。その点、本実施形態においては、吸引機構２８による流体流路１０１の吸引中には流体供給路１１３内の圧力値が加圧状態の時の圧力値よりも低くなる。また、機構駆動装置４０は、吸引機構２８が流体流路１０１を吸引するときには流動機構３９の駆動を停止するので、所定時間Ｔｃの間にインクが無駄に消費されることがない。
【０１０２】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）吸引によって弁機構２２が開弁状態とされると、加圧状態の流体供給路１１３が負圧状態の流体流路１０１と連通するので、流体供給路１１３側から流体流路１０１側に速やかにインクを送出することができる。すなわち、クリーニングのための吸引を実行する前に流体供給路１１３を加圧しておくことで、吸引の実行時に流体流路１０１を流れるインクの流速が気泡等を排出するのに必要な流速Ｖｃに達するまでの時間を短くすることができる。したがって、流体噴射口２１ａを通じた吸引によって流体噴射ヘッド２０をクリーニングする場合に、無駄に消費されるインクの量を減少させることができる。
【０１０３】
（２）吸引機構２８による吸引中には流体供給路１１３内の圧力値が加圧状態の時よりも低くなるので、吸引実行前に加圧状態とされた流体供給路１１３内の圧力値が吸引中も維持されるように加圧を継続する場合と比較して、インクの無駄な消費を抑制することができる。
【０１０４】
（３）機構駆動装置４０は吸引機構２８が流体流路１０１を吸引するときに流動機構３９の駆動を停止するので、吸引時にも流体供給路１１３を加圧する場合と比較して、インクの無駄な消費を抑制することができる。
【０１０５】
（４）機構駆動装置４０は吸引機構２８による吸引の実行前に容積可変室６９が第２圧力値Ｐ２となるように流動機構３９を駆動するので、流体供給路１１３と流体流路１０１との連通時にはインクの噴射時よりも高い圧力でインクを流体流路１０１に送出することができる。
【０１０６】
（５）流体噴射ヘッド２０にインクを供給するダイヤフラムポンプ４３を用いて、クリーニングのための吸引を実行する前に流体供給路１１３を加圧することができる。
（６）インクの噴射時に流体流路１０１の圧力を調整する弁機構２２の圧力調整機能を用いて、クリーニングのための吸引時に加圧状態の流体供給路１１３と流体流路１０１とを連通させることができるので、クリーニング専用の弁機構を備える必要がない。また、弁機構２２は下流側に一定以上の負圧が生じることで開弁状態となるので、連通工程の際に弁機構２２を開弁状態とするための操作を外部から行うことなく、吸引工程と連動して連通工程を実行させることができる。
【０１０７】
（７）連通工程において、加圧状態の流体供給路１１３が負圧状態の流体流路１０１と連通することで、流体供給路１１３側から流体流路１０１側に速やかにインクを送出することができる。すなわち、吸引工程の前に加圧工程で流体供給路１１３を加圧しておくことで、連通工程の後に流体流路１０１を流れるインクの流速が気泡等を排出するのに必要な流速Ｖｃに達するまでの時間を短くすることができる。したがって、流体噴射口２１ａを通じた吸引によって流体噴射ヘッド２０をクリーニングする場合に、無駄に消費されるインクの量を減少させることができる。
【０１０８】
（８）加圧吸引クリーニングにおいては、加圧工程でダイヤフラム４３ａが弾性変形することで、容積可変室６９の容積を変化させることができる。すなわち、ダイヤフラムポンプ４３の駆動によってダイヤフラム４３ａが弾性変形することで、容積可変室６９の容積をインクの噴射時よりもさらに増加させることができる。これにより、クリーニングのための吸引を実行する前に、流体供給路１１３を第２圧力値Ｐ２の加圧状態とすることができる。
【０１０９】
（９）第２変位部材５２は第１変位部材５１に対して相対移動可能な状態で配置されるので、加圧工程で流動機構３９の駆動によって容積可変室６９の容積が増加する場合には、容積可変室６９から離間する第２方向Ｘ２に移動することができる。また、第２変位部材５２は第２方向Ｘ２へ移動した場合に第１コイルばね５５の付勢力を受けるので、機構駆動装置４０が流動機構３９の駆動を停止した状態でも、第１コイルばね５５の付勢力によって容積可変室６９の加圧状態を保持することができる。そして、連通工程で容積可変室６９の容積が減少する場合には、第２変位部材５２が第１コイルばね５５の付勢力によって第１方向Ｘ１に移動するので、容積可変室６９から速やかにインクを流出させることができる。
【０１１０】
（１０）回転軸４８の回転に伴って第１変位部材５１を変位させることができるとともに、回転軸４８の回転を停止させることで第１変位部材５１の変位を停止させることができる。これにより、吸引機構２８が流体流路１０１を吸引するときに、流動機構３９の駆動を停止させて、吸引中に継続的な加圧を行わないようにすることができる。
【０１１１】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・図１６に示すように、クリーニング装置が流体供給路１１３の途中に設けられた加圧吸引クリーニング用の容積可変室６９Ａと、容積可変室６９Ａの壁面の一部を構成するピストン式の変位部材１１４と、変位部材１１４を変位させるための機構駆動装置４０Ａとを備えるようにしてもよい。この場合には、ダイヤフラムポンプ４３はダイヤフラム４３ａに固着された押圧板５０Ａを回転軸４８と一体回転する偏心カム４９が押圧することで吐出駆動するようにしてもよい。すなわち、この構成によれば、機構駆動装置４０がアクチュエーター５０を備えなくてもよい。
【０１１２】
また、この構成によれば、例えば機構駆動装置４０Ａが備える回転軸４８Ａと一体回転する偏心カム４９Ａが変位部材１１４を押圧して容積可変室６９Ａに接近する第１方向Ｘ１に移動させることで、流体供給路１１３内を加圧することができる。さらに、この構成によれば、流体噴射ヘッド２０にインクを供給するためにダイヤフラムを備えないポンプを用いたり、水頭差によって流体噴射ヘッド２０にインクを供給したりすることができるので、設計の自由度が高くなる。
【０１１３】
・加圧工程におけるダイヤフラムポンプ４３の駆動回数は任意に設定することができる。また、第１圧力値Ｐ１及び第２圧力値Ｐ２も厳密に特定の値に設定される必要はなく、それぞれ所定の変動範囲を有する任意の圧力値に設定することができる。
【０１１４】
・滞留した気泡の排出が可能であれば、加圧工程において流体供給路１１３が第１圧力値Ｐ１の加圧状態になった後、第２圧力値Ｐ２まで加圧しなくてもよい。
・加圧工程において、ダイヤフラムポンプ４３が吐出駆動を終了した状態で停止するようにしてもよい。
【０１１５】
・流速Ｖｃに達してから所定時間Ｔｃをかけて流量Ｑｃのインクを流動させることが可能であれば、吸引機構２８による吸引動作の途中で流体供給路１１３が第１圧力値Ｐ１より低い圧力値になってもよい。また、流速Ｖｃに達してから所定時間Ｔｃをかけて流量Ｑｃのインクを流動させることが可能であれば、吸引機構２８による吸引動作の途中で流体供給路１１３が非加圧状態になってもよい。なお、吸引工程における流体供給路１１３内の圧力値は、ダイヤフラムポンプ４３の駆動回数を変更することで設定することができる。
【０１１６】
・容積可変室６９が伸縮性を有する部材によって構成されるようにしてもよい。この構成によれば、構成部材が縮小した状態から伸長した状態に変化することで、容積可変室６９の容積を増加させることができる。この場合には、ダイヤフラムポンプ４３に換えてベローズポンプを用いることができる。
【０１１７】
・流体供給源は着脱可能に装着されるインクカートリッジ２５に限らず、本体ケース１２に備え付けられるインクタンクなどでもよい。
・上記実施形態において、流体噴射装置は、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体、流体として流して噴射できる固体を含む）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置であってもよい。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置であってもよい。また、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置であってもよい。また、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置、トナーなどの粉体（粉粒体）を例とする固体を噴射する粉粒体噴射装置（例えばトナージェット式記録装置）であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置に本発明を適用することができる。なお、本明細書において「流体」とは、気体のみからなる流体を含まない概念であり、流体には、例えば液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、液状体、流状体、粉粒体（粒体、粉体を含む）などが含まれる。
【０１１８】
さらに、上記実施形態及び各変形例から把握される技術的思想を以下に記載する。
（イ）流体噴射口及び該流体噴射口に連通する流体流路を有する流体噴射ヘッドと、
該流体噴射ヘッドに流体を供給する流体供給路と、
該流体供給路の途中に容積可変室を有する流動機構と、
前記容積可変室の容積が変化するように前記流動機構を駆動することで前記流体供給路内を加圧状態にする機構駆動装置と、
前記流体噴射口を通じて前記流体流路を吸引することで前記流体噴射ヘッドのクリーニングを行う吸引機構と、
常時は閉弁状態とされるとともに、前記吸引に伴う負圧が前記流体流路内に生じた場合に開弁状態とされて、前記加圧状態の前記流体供給路と前記流体流路とを連通させる弁機構と、
を備えることを特徴とする流体噴射装置。
【０１１９】
この構成によれば、弁機構が開弁状態とされると、加圧状態の流体供給路が負圧状態の流体流路と連通するので、流体供給路側から流体流路側に速やかに流体を送出することができる。すなわち、クリーニングのための吸引を実行する前に流体供給路を加圧しておくことで、吸引の実行時に流体流路を流れる流体の流速が気泡等を排出するのに必要な流速に達するまでの時間を短くすることができる。したがって、流体噴射口を通じた吸引によって流体噴射ヘッドをクリーニングする場合に、無駄に消費される流体の量を減少させることができる。
【符号の説明】
【０１２０】
１１…プリンター（流体噴射装置）、２０…流体噴射ヘッド、２１ａ…流体噴射口、２２…弁機構、２８…吸引機構、２５…インクカートリッジ（流体供給源）、３９…流動機構、４０，４０Ａ…機構駆動装置、４３…ダイヤフラムポンプ、６９，６９Ａ…容積可変室、１０１…流体流路、１１３…流体供給路、Ｐ１…第１圧力値、Ｐ２…第２圧力値。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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