(57)【要約】【課題】高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止する。【解決手段】帯電装置１３は、光によって電気的特性が変化する感光体１１の表面に、静電気を帯電させる。画像露光装置１４は、静電気が帯電された感光体１１の表面へ光を照射して、被転写体１へ転写される画像を露光する。現像装置１６は、画像が露光された感光体１１の表面へ現像液を供給して、感光体１１の表面の画像を現像する。液除去手段２１，２２は、感光体１１の表面に近接して設けられ、感光体１１の表面の現像液の大部分を除去して、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。液回収槽２３は、液除去手段２１，２２により感光体１１の表面から除去された現像液を回収する。転写装置１７は、液除去手段２１，２２により湿潤な状態にされた感光体１１の表面の画像を、被転写体１へ転写する。【選択図】図１
2013076808.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光によって電気的特性が変化する感光体と、
前記感光体の表面に静電気を帯電させる帯電装置と、
前記帯電装置により静電気が帯電された前記感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写される画像を露光する画像露光装置と、
前記画像露光装置により画像が露光された前記感光体の表面へ現像液を供給して、前記感光体の表面の画像を現像する現像装置と、
前記感光体の表面に近接して設けられ、前記感光体の表面の現像液の大部分を除去して、前記感光体の表面の画像を湿潤な状態にする液除去手段と、
前記液除去手段により前記感光体の表面から除去された現像液を回収する液回収槽と、
前記液除去手段により湿潤な状態にされた前記感光体の表面の画像を、被転写体へ転写する転写装置とを備えたことを特徴とする静電式転写印刷装置。
【請求項２】
前記液除去手段は、前記感光体の表面から、前記感光体の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設けられ、前記感光体の表面の現像液に接触する液除去部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の静電式転写印刷装置。
【請求項３】
光によって電気的特性が変化する感光体の表面に静電気を帯電させ、
静電気を帯電させた感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写する画像を露光し、
画像を露光した感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像し、
感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の現像液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にし、
液除去手段により感光体の表面から除去した現像液を、液回収槽へ回収し、
液除去手段により湿潤な状態にした感光体の表面の画像を、被転写体へ転写することを特徴とする静電式転写印刷方法。
【請求項４】
液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の現像液に接触させて、感光体の表面の現像液の大部分を除去することを特徴とする請求項３に記載の静電式転写印刷方法。
【請求項５】
光によって電気的特性が変化する感光体と、
前記感光体の表面に静電気を帯電させる帯電装置と、
前記帯電装置により静電気が帯電された前記感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写される画像を露光する画像露光装置と、
前記画像露光装置により画像が露光された前記感光体の表面へ現像液を供給して、前記感光体の表面の画像を現像する現像装置と、
前記現像装置から現像液が供給された前記感光体の表面へ洗浄液を供給して、前記感光体の表面の現像液を洗い流す洗浄装置と、
前記感光体の表面に近接して設けられ、前記感光体の表面の洗浄液の大部分を除去して、前記感光体の表面の画像を湿潤な状態にする液除去手段と、
前記液除去手段により前記感光体の表面から除去された洗浄液を回収する液回収槽と、
前記液除去手段により湿潤な状態にされた前記感光体の表面の画像を、被転写体へ転写する転写装置とを備えたことを特徴とする静電式転写印刷装置。
【請求項６】
前記液除去手段は、前記感光体の表面から、前記感光体の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設けられ、前記感光体の表面の洗浄液に接触する液除去部材を含むことを特徴とする請求項５に記載の静電式転写印刷装置。
【請求項７】
光によって電気的特性が変化する感光体の表面に静電気を帯電させ、
静電気を帯電させた感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写する画像を露光し、
画像を露光した感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像し、
現像液を供給した感光体の表面へ洗浄液を供給して、感光体の表面の現像液を洗い流し、
感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にし、
液除去手段により感光体の表面から除去した洗浄液を、液回収槽へ回収し、
液除去手段により湿潤な状態にした感光体の表面の画像を、被転写体へ転写することを特徴とする静電式転写印刷方法。
【請求項８】
液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の洗浄液に接触させて、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去することを特徴とする請求項７に記載の静電式転写印刷方法。
【請求項９】
表面に金属薄膜を有する基板を被転写体として、基板の表面にエッチングマスクを転写する請求項１又は請求項２に記載の静電式転写印刷装置と、
前記静電式転写印刷装置によりエッチングマスクが転写された基板の表面へ、エッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記静電式転写印刷装置により転写されたエッチングマスクを剥離する剥離液を供給する剥離液供給手段とを備えたことを特徴とする金属配線形成装置。
【請求項１０】
表面に金属薄膜を有する基板を被転写体として、基板の表面にエッチングマスクを転写する請求項５又は請求項６に記載の静電式転写印刷装置と、
前記静電式転写印刷装置によりエッチングマスクが転写された基板の表面へ、エッチング液を供給するエッチング液供給手段と、
前記静電式転写印刷装置により転写されたエッチングマスクを剥離する剥離液を供給する剥離液供給手段とを備えたことを特徴とする金属配線形成装置。
【請求項１１】
基板上に酸化銅を主体とする配線パターンを転写する請求項１又は請求項２に記載の静電式転写印刷装置と、
前記静電式転写印刷装置により転写された配線パターン中の酸化銅を還元して、配線パターンを導体化する還元手段とを備えたことを特徴とする金属配線形成装置。
【請求項１２】
基板上に酸化銅を主体とする配線パターンを転写する請求項５又は請求項６に記載の静電式転写印刷装置と、
前記静電式転写印刷装置により転写された配線パターン中の酸化銅を還元して、配線パターンを導体化する還元手段とを備えたことを特徴とする金属配線形成装置。
【請求項１３】
請求項１又は請求項２に記載の静電式転写印刷装置を用いて、基板上に表示用パネルのカラーフィルタを転写することを特徴とするカラーフィルタ形成装置。
【請求項１４】
請求項５又は請求項６に記載の静電式転写印刷装置を用いて、基板上に表示用パネルのカラーフィルタを転写することを特徴とするカラーフィルタ形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光体の表面に静電気の電位差で描画された潜像を現像して被転写体へ転写する静電式転写印刷装置及び静電式転写印刷方法に係り、特に、現像材を溶剤に溶かした現像液を用いて現像を行う静電式転写印刷装置及び静電式転写印刷方法に関する。本発明は、また、これらの静電式転写印刷装置を利用した金属配線形成装置、及びカラーフィルタ形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
静電式転写印刷は、光によって電気的特性が変化する感光体の表面に静電気を帯電させ、感光体の表面へ光を照射して被転写体へ転写する画像を露光することにより、感光体の表面に静電気の電位差で潜像を描画し、描画した潜像を現像して被転写体へ転写するものである。
【０００３】
静電式転写印刷における現像には、カーボントナーや透明電極用金属粉等の現像材を粉末状の粒子にして用いる乾式と、現像材を溶剤に溶かした現像液を用いる湿式とがある。湿式は、現像材の微細な粒子を溶剤に溶かして使用することができるので、乾式に較べてより微細な画像を現像することができる。特許文献１には、石油系溶媒をキャリア溶媒とする現像液を用いた湿式電子写真装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１０８１５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された湿式電子写真装置では、揮発性の高い石油系溶媒が現像剤に用いられているが、引火性が高く安全面で問題がある。一方、現像液が揮発性の低いものである場合、ヒーター等の乾燥装置を用いて、現像後の感光体の表面を乾燥させる必要がある。特に厚膜の画像では、現像後、乾燥までの時間が長いと、感光体の表面に付着させた現像材が溶剤中に流れ出して遊離し、現像した画像が乱れるという問題が発生した。一方、感光体の表面の画像を極度に乾燥させると、現像された画像が被転写体へ転写する際の荷重や折り曲げ等による応力で欠けたり、転写された画像が被転写体から剥離し易くなるという問題がある。そのため、転写前の感光体の表面の画像を、適度に生乾きの湿潤な状態にすることが望ましい。
【０００６】
しかしながら、従来用いられているヒーター等の乾燥装置は、感光体の表面の乾燥状態を高精度かつ均一に制御することが難しい上、電力消費量が多く、省エネルギー性に欠けていた。さらに、ヒーター等の乾燥装置を用いて、現像液を感光体の表面から蒸発させるため、現像液の溶剤の消費量が多大になるという問題があった。あるいは、現像後に感光体の表面の洗浄を行う場合、ヒーター等の乾燥装置を用いて、洗浄液を感光体の表面から蒸発させるため、洗浄液の溶剤の消費量が多大になるという問題があった。
【０００７】
本発明の課題は、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止することである。また、本発明の課題は、現像後の感光体の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることである。さらに、本発明の課題は、現像液の溶剤の消費量を少なくすることである。あるいは、本発明の課題は、現像後に感光体の表面の洗浄を行う場合、洗浄後の感光体の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることである。さらに、本発明の課題は、現像後に感光体の表面の洗浄を行う場合、洗浄液の溶剤の消費量を少なくすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の静電式転写印刷装置は、光によって電気的特性が変化する感光体と、感光体の表面に静電気を帯電させる帯電装置と、帯電装置により静電気が帯電された感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写される画像を露光する画像露光装置と、画像露光装置により画像が露光された感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像する現像装置と、感光体の表面に近接して設けられ、感光体の表面の現像液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にする液除去手段と、液除去手段により感光体の表面から除去された現像液を回収する液回収槽と、液除去手段により湿潤な状態にされた感光体の表面の画像を、被転写体へ転写する転写装置とを備えたものである。
【０００９】
また、本発明の静電式転写印刷方法は、光によって電気的特性が変化する感光体の表面に静電気を帯電させ、静電気を帯電させた感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写する画像を露光し、画像を露光した感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像し、感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の現像液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にし、液除去手段により感光体の表面から除去した現像液を、液回収槽へ回収し、液除去手段により湿潤な状態にした感光体の表面の画像を、被転写体へ転写するものである。
【００１０】
感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の現像液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にするので、感光体の表面から余剰な現像液が迅速に除去され、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れが防止される。そして、ヒーター等の乾燥装置を用いることなく、現像後の感光体の表面の画像が、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態になる。また、液除去手段により感光体の表面から除去した現像液を、液回収槽へ回収するので、現像液の溶剤の消費量が少なくなる。
【００１１】
液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の現像液に接触させて、感光体の表面の現像液の大部分を除去すると、簡単な構成で感光体の表面から余剰な現像液が迅速に除去される。
【００１２】
あるいは、本発明の静電式転写印刷装置は、光によって電気的特性が変化する感光体と、感光体の表面に静電気を帯電させる帯電装置と、帯電装置により静電気が帯電された感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写される画像を露光する画像露光装置と、画像露光装置により画像が露光された感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像する現像装置と、現像装置から現像液が供給された感光体の表面へ洗浄液を供給して、感光体の表面の現像液を洗い流す洗浄装置と、感光体の表面に近接して設けられ、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にする液除去手段と、液除去手段により感光体の表面から除去された洗浄液を回収する液回収槽と、液除去手段により湿潤な状態にされた感光体の表面の画像を、被転写体へ転写する転写装置とを備えたものである。
【００１３】
また、本発明の静電式転写印刷方法は、光によって電気的特性が変化する感光体の表面に静電気を帯電させ、静電気を帯電させた感光体の表面へ光を照射して、被転写体へ転写する画像を露光し、画像を露光した感光体の表面へ現像液を供給して、感光体の表面の画像を現像し、現像液を供給した感光体の表面へ洗浄液を供給して、感光体の表面の現像液を洗い流し、感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にし、液除去手段により感光体の表面から除去した洗浄液を、液回収槽へ回収し、液除去手段により湿潤な状態にした感光体の表面の画像を、被転写体へ転写するものである。
【００１４】
現像後に感光体の表面の洗浄を行う場合、感光体の表面に近接させて設けた液除去手段により、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去して、感光体の表面の画像を湿潤な状態にするので、感光体の表面から余剰な洗浄液が迅速に除去され、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れが防止される。そして、ヒーター等の乾燥装置を用いることなく、洗浄後の感光体の表面の画像が、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態になる。また、液除去手段により感光体の表面から除去した洗浄液を、液回収槽へ回収するので、洗浄液の溶剤の消費量が少なくなる。
【００１５】
液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の洗浄液に接触させて、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去すると、簡単な構成で感光体の表面から余剰な洗浄液が迅速に除去される。
【００１６】
本発明の金属配線形成装置は、表面に金属薄膜を有する基板を被転写体として、基板の表面にエッチングマスクを転写する上記のいずれかの静電式転写印刷装置と、静電式転写印刷装置によりエッチングマスクが転写された基板の表面へ、エッチング液を供給するエッチング液供給手段と、静電式転写印刷装置により転写されたエッチングマスクを剥離する剥離液を供給する剥離液供給手段とを備えたものである。上記のいずれかの静電式転写印刷装置により、高精細なエッチングマスクのパターンが画像の乱れ無く基板に転写され、高精細な金属配線が基板に形成される。
【００１７】
あるいは、本発明の金属配線形成装置は、基板上に酸化銅を主体とする配線パターンを転写する上記のいずれかの静電式転写印刷装置と、静電式転写印刷装置により転写された配線パターン中の酸化銅を還元して、配線パターンを導体化する還元手段とを備えたものである。上記のいずれかの静電式転写印刷装置により、高精細な金属配線のパターンが画像の乱れ無く基板に転写され、高精細な金属配線が基板に形成される。
【００１８】
本発明のカラーフィルタ形成装置は、上記のいずれかの静電式転写印刷装置を用いて、基板上に表示用パネルのカラーフィルタを転写するものである。上記のいずれかの静電式転写印刷装置により、高精細なカラーフィルタのパターンが画像の乱れ無く基板に転写され、高精細なカラーフィルタが形成される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の静電式転写印刷装置及び静電式転写印刷方法によれば、感光体の表面から余剰な現像液を迅速に除去することができるので、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止することができる。そして、現像後の感光体の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることができる。また、現像液の溶剤の消費量を少なくすることができる。
【００２０】
さらに、本発明の静電式転写印刷装置及び静電式転写印刷方法によれば、液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の現像液に接触させて、感光体の表面の現像液の大部分を除去することにより、簡単な構成で感光体の表面から余剰な現像液を迅速に除去することができる。
【００２１】
あるいは、本発明によれば、現像後に感光体の表面の洗浄を行う場合、感光体の表面から余剰な洗浄液を迅速に除去することができるので、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止することができる。そして、洗浄後の感光体の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることができる。また、洗浄液の溶剤の消費量を少なくすることができる。
【００２２】
さらに、本発明の静電式転写印刷装置及び静電式転写印刷方法によれば、液除去手段として、液除去部材を、感光体の表面から、感光体の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液除去部材を感光体の表面の洗浄液に接触させて、感光体の表面の洗浄液の大部分を除去することにより、簡単な構成で感光体の表面から余剰な洗浄液を迅速に除去することができる。
【００２３】
本発明の金属配線形成装置によれば、表面に金属薄膜を有する基板を被転写体として、基板の表面にエッチングマスクを転写する上記のいずれかの静電式転写印刷装置と、静電式転写印刷装置によりエッチングマスクが転写された基板の表面へ、エッチング液を供給するエッチング液供給手段と、静電式転写印刷装置により転写されたエッチングマスクを剥離する剥離液を供給する剥離液供給手段とを備えることにより、高精細なエッチングマスクのパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細な金属配線を基板に形成することができる。
【００２４】
あるいは、本発明の金属配線形成装置によれば、基板上に酸化銅を主体とする配線パターンを転写する上記のいずれかの静電式転写印刷装置と、静電式転写印刷装置により転写された配線パターン中の酸化銅を還元して、配線パターンを導体化する還元手段とを備えることにより、高精細な金属配線のパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細な金属配線を基板に形成することができる。
【００２５】
本発明のカラーフィルタ形成装置によれば、上記のいずれかの静電式転写印刷装置を用いて、基板上に表示用パネルのカラーフィルタを転写することにより、高精細なカラーフィルタのパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細なカラーフィルタを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態による静電式転写印刷装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の他の実施の形態による静電式転写印刷装置の概略構成を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。
【図４】本発明の他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。
【図５】本発明のさらに他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。
【図６】本発明のさらに他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。
【図７】本発明の一実施の形態によるカラーフィルタ形成装置の概略構成を示す図である。
【図８】本発明の他の実施の形態によるカラーフィルタ形成装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１は、本発明の一実施の形態による静電式転写印刷装置の概略構成を示す図である。静電式転写印刷装置１０は、感光体１１、除電・クリーニング装置１２、帯電装置１３、画像露光装置１４、現像液槽１５、現像装置１６、転写装置１７、液除去装置、及び液回収槽２３を含んで構成されている。感光体１１は、図面奥行き方向に被転写体１の幅と概ね同じ長さを有する円筒形であり、図示しない回転駆動装置により、矢印で示す反時計回りに回転される。感光体１１の表面は、光を照射すると電気的特性が変化する材料で構成されている。
【００２８】
除電・クリーニング装置１２は、感光体１１の表面から残留電荷を除去して、感光体１１の表面をクリーニングする。帯電装置１３は、除電・クリーニング装置１２により除電及びクリーニングが行われた感光体１１の表面に、静電気を帯電させる。帯電装置１３としては、コロトロン帯電器、スコロトロン帯電器、ローラ帯電器等が使用される。画像露光装置１４は、帯電装置１３により静電気が帯電された感光体１１の表面へ光を照射して、被転写体１へ転写する画像を露光する。画像露光装置１４から感光体１１の表面へ光を照射して、被転写体１へ転写する画像を露光することにより、感光体１１の表面に静電気の電位差で潜像が描画される。画像露光装置１４の光源には、レーザーダイオード（ＬＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、キセノンランプ、ハロゲンランプ等の可視光を発生する光源が使用されている。
【００２９】
現像液槽１５には、カーボントナーや透明電極用金属粉等の現像材を非極性溶剤に溶かした現像液が貯蔵されている。現像装置１６は、現像液槽１５に貯蔵された現像液を感光体１１の表面へ供給して、感光体１１の表面に現像液の液膜２を形成する。対向電極である現像装置１６に電圧を印加すると、現像液の液膜２中の現像材が、感光体１１の表面の画像露光装置１４により静電気が除去された部分、あるいは静電気が除去されていない部分に付着して、感光体１１の表面に描画された潜像が現像される。現像の種類が「ポジティブ」であるか「ネガティブ」であるかは、現像材と対向電極である現像装置１６の極性とにより制御される。
【００３０】
被転写体１へ転写する画像が現像された後、感光体１１の表面の現像液の液膜２は、液切りローラ２１又はエアナイフ２２から成る液除去装置により、感光体１１の表面から除去される。液切りローラ２１は、感光体１１と概ね同じ長さの円筒形であり、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の現像液の液膜２の厚さよりも小さい距離だけ離して設けられている。液切りローラ２１は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡り、感光体１１の表面の現像液の液膜２に接触して、現像液の大部分を感光体１１の表面から除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。
【００３１】
また、本実施の形態では、別の液除去装置として、エアナイフ２２が設けられている。エアナイフ２２は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡って設けられている。エアナイフ２２は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡り、感光体１１の表面へエアを吹き付け、感光体１１の表面に残った現像液を感光体１１の表面から押し流して除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。
【００３２】
なお、本実施の形態では、液除去装置として液切りローラ２１又はエアナイフ２２を用いているが、液除去装置として図示しない液切りブレードを用いてもよい。液切りブレードは、感光体１１と概ね同じ長さのナイフ状の薄板であり、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の現像液の液膜２の厚さよりも小さい距離だけ離して設けられている。液切りブレードは、感光体１１の表面の現像液の液膜２に接触して、現像液の大部分を感光体１１の表面から除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。液除去装置としての液切りローラ２１、エアナイフ２２、または液切りブレードは、それぞれ単独で用いてもよいし、図１に示した例の様に２つ以上を組み合わせてもよい。
【００３３】
図１において、液除去装置としての液切りローラ２１又はエアナイフ２２により感光体１１の表面から除去された現像液は、液回収槽２３へ流れ落ちる。液回収槽２３は、液切りローラ２１により感光体１１の表面から除去された現像液、及びエアナイフ２２からのエアにより感光体１１の表面から除去された現像液を回収する。
【００３４】
感光体１１の表面に近接させて設けた液除去装置により、感光体１１の表面の現像液の大部分を除去して、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にするので、感光体１１の表面から余剰な現像液が迅速に除去され、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れが防止される。そして、ヒーター等の乾燥装置を用いることなく、現像後の感光体１１の表面の画像が、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態になる。また、液除去装置により感光体１１の表面から除去した現像液を、液回収槽２３へ回収するので、現像液の溶剤の消費量が少なくなる。
【００３５】
さらに、液除去装置として、液切りローラ２１又は液切りブレードを、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液切りローラ２１又は液切りブレードを感光体１１の表面の現像液に接触させて、感光体１１の表面の現像液の大部分を除去するので、簡単な構成で感光体１１の表面から余剰な現像液が迅速に除去される。
【００３６】
転写装置１７は、湿潤な状態にある感光体１１の表面の画像を、被転写体１へ転写する。転写装置１７には、転写ベルト、転写ローラ、または転写チャージャによる転写方式が用いられる。さらに、転写を容易にする方法として、感光体１１の表面に、現像液の溶剤、または現像液の溶剤に近い成分の液体を塗布する方法がある。転写直前に、図示しない塗布装置から感光体１１の表面へ現像液の溶剤、または現像液の溶剤に近い成分の液体を塗布することにより、感光体１１の表面の画像は、転写時の応力に対する追従性が向上し、高精細な画像の転写が容易に行われる。特に、厚膜の画像に対しては効果が大きい。静電式転写印刷装置１０により表面に画像が転写された被転写体１は、定着装置４０へ搬送され、定着装置４０により焼成されて、画像の定着が行われる。
【００３７】
図１に示した実施の形態によれば、感光体１１の表面から余剰な現像液を迅速に除去することができるので、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止することができる。そして、現像後の感光体１１の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることができる。また、現像液の溶剤の消費量を少なくすることができる。
【００３８】
さらに、液切りローラ２１又は液切りブレードを、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の現像液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液切りローラ２１又は液切りブレードを感光体１１の表面の現像液に接触させて、感光体１１の表面の現像液の大部分を除去することにより、簡単な構成で感光体１１の表面から余剰な現像液を迅速に除去することができる。
【００３９】
図２は、本発明の他の実施の形態による静電式転写印刷装置の概略構成を示す図である。静電式転写印刷装置１０’は、感光体１１、除電・クリーニング装置１２、帯電装置１３、画像露光装置１４、現像液槽１５、現像装置１６、転写装置１７、洗浄液槽１８、洗浄装置１９、液除去装置、及び液回収槽３３を含んで構成されている。感光体１１、除電・クリーニング装置１２、帯電装置１３、画像露光装置１４、現像液槽１５、現像装置１６の構成及び機能は、図１に示した実施の形態と同様である。
【００４０】
洗浄液槽１８には、現像液を洗い流すための非極性溶剤から成る洗浄液が貯蔵されている。洗浄装置１９は、洗浄液槽１８に貯蔵された洗浄液を、感光体１１の表面へ供給しながら、洗浄液槽１８から逆電位をかけて、余剰な現像材（カーボントナーや透明電極用金属粉等）を静電気力で除去する。そして、洗浄装置１９から供給された洗浄液により、感光体１１の表面の余剰な現像液が洗い流され、感光体１１の表面には、洗浄液の液膜３が形成される。
【００４１】
感光体１１の表面の洗浄液の液膜３は、液切りローラ３１又はエアナイフ３２から成る液除去装置により、感光体１１の表面から除去される。液切りローラ３１は、感光体１１と概ね同じ長さの円筒形であり、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の洗浄液の液膜３の厚さよりも小さい距離だけ離して設けられている。液切りローラ３１は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡り、感光体１１の表面の洗浄液の液膜３に接触して、洗浄液の大部分を感光体１１の表面から除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。
【００４２】
また、本実施の形態では、別の液除去装置として、エアナイフ３２が設けられている。エアナイフ３２は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡って設けられている。エアナイフ３２は、感光体１１の図面奥行き方向の幅に渡り、感光体１１の表面へエアを吹き付け、感光体１１の表面に残った洗浄液を感光体１１の表面から押し流して除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。
【００４３】
なお、本実施の形態では、液除去装置として液切りローラ３１又はエアナイフ３２を用いているが、液除去装置として図示しない液切りブレードを用いてもよい。液切りブレードは、感光体１１と概ね同じ長さのナイフ状の薄板であり、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の洗浄液の液膜３の厚さよりも小さい距離だけ離して設けられている。液切りブレードは、感光体１１の表面の洗浄液の液膜３に接触して、洗浄液の大部分を感光体１１の表面から除去し、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にする。液除去装置としての液切りローラ３１、エアナイフ３２、または液切りブレードは、それぞれ単独で用いてもよいし、図２に示した例の様に２つ以上を組み合わせてもよい。
【００４４】
図２において、液除去装置としての液切りローラ３１又はエアナイフ３２により感光体１１の表面から除去された洗浄液は、液回収槽３３へ流れ落ちる。液回収槽３３は、液切りローラ３１により感光体１１の表面から除去された洗浄液、及びエアナイフ３２からのエアにより感光体１１の表面から除去された洗浄液を回収する。
【００４５】
現像後に感光体１１の表面の洗浄を行う場合、感光体１１の表面に近接させて設けた液除去装置により、感光体１１の表面の洗浄液の大部分を除去して、感光体１１の表面の画像を湿潤な状態にするので、感光体１１の表面から余剰な洗浄液が迅速に除去され、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れが防止される。そして、ヒーター等の乾燥装置を用いることなく、洗浄後の感光体１１の表面の画像が、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態になる。また、液除去装置により感光体の表面から除去した洗浄液を、液回収槽３３へ回収するので、洗浄液の溶剤の消費量が少なくなる。
【００４６】
さらに、液除去装置として、液切りローラ３１又は液切りブレードを、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液切りローラ３１又は液切りブレードを感光体１１の表面の洗浄液に接触させて、感光体１１の表面の洗浄液の大部分を除去するので、簡単な構成で感光体１１の表面から余剰な洗浄液が迅速に除去される。
【００４７】
転写装置１７は、湿潤な状態にある感光体１１の表面の画像を、被転写体１へ転写する。転写装置１７には、転写ベルト、転写ローラ、または転写チャージャによる転写方式が用いられる。さらに、転写を容易にする方法として、感光体１１の表面に、洗浄液の溶剤、または洗浄液の溶剤に近い成分の液体を塗布する方法がある。転写直前に、図示しない塗布装置から感光体１１の表面へ洗浄液の溶剤、または洗浄液の溶剤に近い成分の液体を塗布することにより、感光体１１の表面の画像は、転写時の応力に対する追従性が向上し、高精細な画像の転写が容易に行われる。特に、厚膜の画像に対しては効果が大きい。静電式転写印刷装置１０’により表面に画像が転写された被転写体１は、定着装置４０へ搬送され、定着装置４０により焼成されて、画像の定着が行われる。
【００４８】
図２に示した実施の形態によれば、現像後に感光体１１の表面の洗浄を行う場合、感光体１１の表面から余剰な洗浄液を迅速に除去することができるので、高精細な画像、特に高精細な厚膜の画像の乱れを防止することができる。そして、洗浄後の感光体１１の表面の画像を、少ないエネルギー消費量で早期に転写に適した状態にすることができる。また、洗浄液の溶剤の消費量を少なくすることができる。
【００４９】
さらに、液切りローラ３１又は液切りブレードを、感光体１１の表面から、感光体１１の表面の洗浄液の膜厚よりも小さい距離だけ離して設け、液切りローラ３１又は液切りブレードを感光体１１の表面の洗浄液に接触させて、感光体１１の表面の洗浄液の大部分を除去することにより、簡単な構成で感光体１１の表面から余剰な洗浄液を迅速に除去することができる。
【００５０】
図３は、本発明の一実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。また、図４は、本発明の他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。図３及び図４に示した金属配線形成装置は、フォトリソグラフィー技術を用いて、フィルム基板上に金属配線を形成するものである。図３に示した金属配線形成装置は、図１に示した静電式転写印刷装置１０、定着装置４０、供給ローラ５２、回収ローラ６２、エッチング液ノズル７０、剥離液ノズル８０、及びエアナイフ９０を含んで構成されている。また、図４に示した金属配線形成装置は、図２に示した静電式転写印刷装置１０’、定着装置４０、供給ローラ５２、回収ローラ６２、エッチング液ノズル７０、剥離液ノズル８０、及びエアナイフ９０を含んで構成されている。
【００５１】
図３及び図４において、供給ローラ５２は、フィルム基板４を静電式転写印刷装置１０，１０’へ供給する。フィルム基板４の表面には、銅等の導電性の良い金属の薄膜が形成されている。静電式転写印刷装置１０，１０’は、表面に金属薄膜を有するフィルム基板４を被転写体として、フィルム基板４の表面にエッチングマスクを転写する。静電式転写印刷装置１０，１０’により表面にエッチングマスクが転写されたフィルム基板４は、定着装置４０へ搬送され、定着装置４０により焼成されて、エッチングマスクの定着が行われる。
【００５２】
エッチング液ノズル７０は、静電式転写印刷装置１０，１０’によりエッチングマスクが転写されたフィルム基板４の表面へ、エッチング液を供給する。フィルム基板４の表面へ供給されたエッチング液により、フィルム基板４の表面の金属薄膜の内、エッチングマスクで覆われていない部分が除去される。剥離液ノズル８０は、エッチング処理が終了したフィルム基板４の表面へ、剥離液を供給する。フィルム基板４の表面へ供給された剥離液により、役目を終えたエッチングマスクが剥離され、エッチングマスクで覆われていた部分に金属配線が形成される。エアナイフ９０は、剥離処理が終了したフィルム基板４へエアを吹き付けて、フィルム基板４を乾燥させる。回収ローラ６２は、乾燥処理が終了したフィルム基板４を、巻き取って回収する。
【００５３】
図３及び図４に示した金属配線形成装置によれば、表面に金属薄膜を有する基板を被転写体として、基板の表面にエッチングマスクを転写する静電式転写印刷装置１０，１０’と、静電式転写印刷装置１０，１０’によりエッチングマスクが転写された基板の表面へ、エッチング液を供給するエッチング液ノズル７０と、静電式転写印刷装置１０，１０’により転写されたエッチングマスクを剥離する剥離液を供給する剥離液ノズル８０とを備えることにより、高精細なエッチングマスクのパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細な金属配線を基板に形成することができる。
【００５４】
図５は、本発明のさらに他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。また、図６は、本発明のさらに他の実施の形態による金属配線形成装置の概略構成を示す図である。図５及び図６に示した実施の形態の金属配線形成装置は、フォトリソグラフィー技術を用いることなく、フィルム基板上に金属配線を直接形成するものである。図５に示した金属配線形成装置は、図１に示した静電式転写印刷装置１０、定着・還元装置４１、供給ローラ５３、及び回収ローラ６３を含んで構成されている。また、図６に示した金属配線形成装置は、図２に示した静電式転写印刷装置１０’、定着・還元装置４１、供給ローラ５３、及び回収ローラ６３を含んで構成されている。
【００５５】
図５及び図６において、供給ローラ５３は、フィルム基板５を静電式転写印刷装置１０，１０’へ供給する。静電式転写印刷装置１０，１０’は、フィルム基板５上に、酸化銅を主体とする配線パターンを転写する。静電式転写印刷装置１０，１０’により表面に配線パターンが転写されたフィルム基板５は、定着・還元装置４１へ搬送され、定着・還元装置４１により焼成されて、配線パターンの定着が行われると共に、配線パターン中の酸化銅が還元されて、配線パターンが導体化される。回収ローラ６３は、焼成処理が終了したフィルム基板５を、巻き取って回収する。なお、ここでは配線パターンを酸化銅を用いて形成したが、他の導電性金属も適用可能である。
【００５６】
図５及び図６に示した金属配線形成装置によれば、基板上に酸化銅を主体とする配線パターンを転写する静電式転写印刷装置１０，１０’と、静電式転写印刷装置１０，１０’により転写された配線パターン中の酸化銅を還元して、配線パターンを導体化する定着・還元装置４１とを備えることにより、高精細な金属配線のパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細な金属配線を基板に形成することができる。なお、ここでは配線パターンを酸化銅を用いて形成したが、他の導電性金属も適用可能である。
【００５７】
図７は、本発明の一実施の形態によるカラーフィルタ形成装置の概略構成を示す図である。また、図８は、本発明の他の実施の形態によるカラーフィルタ形成装置の概略構成を示す図である。図７及び図８に示した実施の形態のカラーフィルタ形成装置は、フォトリソグラフィー技術を用いることなく、フィルム基板上にカラーフィルタを直接形成するものである。図７に示した金属配線形成装置は、図１に示した静電式転写印刷装置１０、定着装置４０、供給ローラ５４、及び回収ローラ６４を含んで構成されている。また、図８に示した金属配線形成装置は、図２に示した静電式転写印刷装置１０’、定着装置４０、供給ローラ５４、及び回収ローラ６４を含んで構成されている。
【００５８】
図７及び図８において、供給ローラ５４は、フィルム基板６を静電式転写印刷装置１０，１０’へ供給する。静電式転写印刷装置１０，１０’は、フィルム基板６上に、表示用パネルのカラーフィルタを転写する。静電式転写印刷装置１０，１０’により表面にカラーフィルタが転写されたフィルム基板６は、定着装置４０へ搬送され、定着装置４０により焼成されて、カラーフィルタの定着が行われる。回収ローラ６４は、焼成処理が終了したフィルム基板６を、巻き取って回収する。
【００５９】
図７及び図８に示したカラーフィルタ形成装置によれば、静電式転写印刷装置１０，１０’を用いて、基板上に表示用パネルのカラーフィルタを転写することにより、高精細なカラーフィルタのパターンを画像の乱れ無く基板に転写して、高精細なカラーフィルタを形成することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  被転写体
４，５，６  フィルム基板
１０，１０’  静電式転写印刷装置
１１  感光体
１２  除電・クリーニング装置
１３  帯電装置
１４  画像露光装置
１５  現像液槽
１６  現像装置
１７  転写装置
１８  洗浄液槽
１９  洗浄装置
２１，３１  液切りローラ
２２，３２  エアナイフ
２３，３３  液回収槽
４０  定着装置
４１  定着・還元装置
５２，５３，５４  供給ローラ
６２，６３，６４  回収ローラ
７０  エッチング液ノズル
８０  剥離液ノズル
９０  エアナイフ
【図１】
2013076808.tif 000003
【図２】
2013076808.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2013076808.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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