(57)【要約】【課題】ワイヤ放電加工機の加工液に不活性ガスを溶解させることで溶存酸素を除去し、安定した被加工物の腐食を防止することが可能でランニングコストがかからない不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法を提供すること。【解決手段】水を主成分とする導電性の加工液を貯留する汚水層９，清水槽１０から構成される加工液貯留タンク１１と、被加工物を内部に収容する加工槽８と、加工液貯留タンク１１から加工槽８に加工液を循環させるための循環ポンプ５とを備え、加工槽８に加工液を貯留し、加工槽８内の被加工物を加工液に浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち該加工液を減圧する不活性ガス溶解装置１２を備え、加工液に不活性ガスを溶解させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水を主成分とする導電性の加工液を貯留する加工液貯留タンクと、被加工物を内部に収容する加工槽を備え、前記加工液貯留タンクの加工液を前記加工槽に供給し、前記加工槽内の被加工物を前記加工液に浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、
前記加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち該加工液を減圧する不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機。
【請求項２】
前記不活性ガス溶解装置は、加工液を加圧する加圧器と、加圧後の加工液に不活性ガスを混合させる混合器、または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器と、混合後の加工液を元の圧力に戻す減圧器から構成されることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項３】
前記混合器または前記加圧混合器の不活性ガス注入経路に加工液が逆流することを防ぐ逆止弁を設けたことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項４】
前記混合器または前記加圧混合器内の加工液への不活性ガス注入口は多孔形状であることを特徴とする請求項２または３のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項５】
加工液を貯留する加工液貯留タンクから、被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し、該ポンプと加工槽の間の流路に前記不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項６】
不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流すことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項７】
前記不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を、元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻すことを特徴とする請求項６に記載のワイヤ放電加工機。
【請求項８】
加工液の溶存酸素を測定する溶存酸素測定装置を有し、加工液の溶存酸素量が目標値まで低下したら、前記不活性ガス溶解装置を停止させることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項９】
前記不活性ガス溶解装置に加え、加工液に脱酸素剤を投入する脱酸素剤投入装置を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１０】
イオン交換樹脂を有し、加工液の比抵抗値を２＊１０5Ωｃｍ以上に維持することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１１】
前記加工液貯留タンクの加工液を上，下ノズルより供給する供給路を有し、非加工中に、前記上，下ノズルより加工液を流すことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１２】
上ガイドブロック、または下ガイドブロックに絶縁した状態で取り付けた犠牲電極を一方の極性とし、被加工物をもう他方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置を有し、被加工物に対する上，下ガイドブロック、または犠牲電極の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１３】
不活性ガスとして窒素を用いることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機。
【請求項１４】
加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、
加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤ放電加工機およびワイヤ放電加工機を用いたワイヤ放電加工方法に関し、特に、不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ放電加工機の加工液には、水を主成分とする場合と油を主成分とする場合とがある。油を主成分とした加工液の場合、電解作用がほとんど無いため、被加工物が電解腐食する問題は発生しないが、水を主成分とした加工液と比較して大きな加工エネルギーを投入できないため、荒加工速度を速くできない。また万が一、放電点が空気と接触すると、油に引火する可能性があるなど、デメリットも大きい。  
一方、水を主成分とする加工液を使用した場合、水は油と比較して比熱・気化熱が大きく、冷却効果が高いため、大きな加工エネルギーを投入でき、荒加工において数倍速い加工速度が得られるメリットがある。しかしながら、被加工物を長時間、水を主成分とする加工液に浸漬すると、電解作用により被加工物が腐食してしまう。特に、コバルトをバインダとする超硬材の場合、加工面から、結合材であるコバルトが流出して脆くなり、金型として使用した場合、寿命が短くなるといった問題がある。
【０００３】
この問題を解決するため、特許文献１には、被加工物と対向して防食用電極を設け、被加工物が陰極となるよう、被加工物と防食用電極間に微小電圧電源を用いて電圧を印加することで、被加工物の代わりに防食用電極を腐食させることで、被加工物を防食する方法が開示されている。  
また、特許文献２には、炭酸イオン、炭酸水素イオン、水酸化物イオンのうち１種類以上のイオンと、亜硝酸イオンとを固定した陰イオン交換樹脂を用いて、腐食性イオンを除去することで、水系加工液中にある鉄系金属材料からなる被加工物を防食する方法が開示されている。
【０００４】
また、特許文献３には、被加工物が鉄系材料や超硬材料のような磁性体の場合には塩基性、被加工物が銅タングステン材料のような非磁性体の場合には酸性となるよう、ｐＨセンサ・Ｈ＋型イオン交換樹脂・ＯＨ−型イオン交換樹脂を用いて加工液のｐＨを制御し、被加工物表面に不動態皮膜を形成し、腐食因子である水や酸素から被加工物を防食する方法が開示されている。  
また、特許文献４には、極間に印加する平均電圧値を、被加工物が防食されるように偏らせながら、加工液中の金属イオンを錯体化するアデニンを添加することで、被加工物を防食しつつ、金属イオンが被加工物に付着して、腐食や着色することを防止する方法が開示されている。  
また、特許文献５には、イオン交換樹脂の寿命を長くするため、真空膜脱気装置を用いて、加工液中の溶存酸素や炭酸ガスを除去する技術が開示されている。また、特許文献６には、ワイヤ放電加工時に、真空膜脱器装置を用いて、加工液から溶存気体を分離し、加工面の錆を防止する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２７０５４２７号公報
【特許文献２】特許第３７９７８８４号公報
【特許文献３】特開２０１１−２０１８５号公報
【特許文献４】特許第４６２３７５６号公報
【特許文献５】特開平５−１６９３１８号公報
【特許文献６】特開平６−３１９９０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
背景技術で説明した従来技術には、効果が電極付近に限られたり、材質が鉄系材料に限定されたり、ランニングコストが掛かるなどといった問題がある。  
特許文献１に開示される方法の場合、防食用電極から距離が離れるほど効果が弱くなるため、防食用電極から離れた被加工物面においては効果が乏しく、ほとんど防食効果がない。また、防食用電極から溶出した金属イオンが被加工物表面に付着して、被加工物の形状精度が悪化する、被加工物に腐食や着色が生じる、防食用電極は消耗品であり、ランニングコストが掛かる、といったデメリットがある。  
特許文献２に開示される方法の場合、鉄系材料には防食効果があるものの、超硬材など非鉄系材料には防食効果はない。また、陰イオン交換樹脂は消耗品であり、ランニングコストが掛かる。
【０００７】
特許文献３に開示される方法の場合、ワイヤ放電加工機の加工液のように、放電加工によって生じた重金属イオンを多量に含む液体の場合、ｐＨセンサが重金属イオンの影響を受けてしまい、ｐＨ値を正しく測定することが困難であることが、一般的に知られている。ｐＨ値を正しく測定出来ないと、加工液のｐＨが強塩基性または強酸性まで偏る可能性があり、オペレータがそのような加工液に触れてしまうと、皮膚や視力に障害を生じる可能性がある。また、Ｈ＋型とＯＨ−型イオン交換樹脂は消耗品であり、ランニングコストが掛かるといった、デメリットがある。
【０００８】
特許文献４に開示される方法の場合、平均電圧を偏らせることによる防食効果は、ガイドから距離が離れるほど効果が弱くなるため、ガイドから離れた被加工物面においては効果が乏しく、ほとんど防食効果がない。また、アデニンは溶出した金属イオンの付着を防止するものと説明されているが、この場合、加工液中の溶存酸素による酸化作用の影響が強い超硬材のコバルトの防食に対しては、大きな効果は得られない。また、アデニンは消耗品であるので、ランニングコストが掛かるといったデメリットがある。
【０００９】
特許文献５，特許文献６に開示されるいずれの技術も、加工液から溶存酸素を分離するため、真空膜脱気装置を用いている。真空膜脱気装置は、本発明で用いる不活性ガス溶解法に比べて装置が大掛かりであり、設備費用が高い。また、一般的に中空糸膜モジュールは消耗品であり、定期交換が前提であるが、ワイヤ放電加工に使用した加工液のように重金属イオンを多量に含んだ液体を中空糸膜モジュールに流した場合、劣化が非常に早まることが分かっており、頻繁に中空糸膜モジュールを交換する必要があり、交換の手間が多く、ランニングコストが非常に掛かる為、実用的ではない。
【００１０】
そこで、本発明は、ワイヤ放電加工機の加工液に不活性ガスを溶解させることで溶存酸素を除去し、安定した被加工物の腐食を防止することが可能でランニングコストがかからない不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願の請求項１に係る発明は、水を主成分とする導電性の加工液を貯留する加工液貯留タンクと、被加工物を内部に収容する加工槽を備え、前記加工液貯留タンクの加工液を前記加工槽に供給し、前記加工槽内の被加工物を前記加工液に浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、前記加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち該加工液を減圧する不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工機である。  
請求項２に係る発明は、前記不活性ガス溶解装置は、加工液を加圧する加圧器と、加圧後の加工液に不活性ガスを混合させる混合器、または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器と、混合後の加工液を元の圧力に戻す減圧器から構成されることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項３に係る発明は、前記混合器または前記加圧混合器の不活性ガス注入経路に加工液が逆流することを防ぐ逆止弁を設けたことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項４に係る発明は、前記混合器または前記加圧混合器内の加工液への不活性ガス注入口は多孔形状であることを特徴とする請求項２または３のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。
【００１２】
請求項５に係る発明は、加工液を貯留する加工液貯留タンクから、被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し、該ポンプと加工槽の間の流路に前記不活性ガス溶解装置を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項６に係る発明は、不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流すことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項７に係る発明は、前記不活性ガス溶解専用ポンプを用いて、加工液を前記加工液貯留タンク、または前記加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を、元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻すことを特徴とする請求項６に記載のワイヤ放電加工機である。
【００１３】
請求項８に係る発明は、加工液の溶存酸素を測定する溶存酸素測定装置を有し、加工液の溶存酸素量が目標値まで低下したら、前記不活性ガス溶解装置を停止させることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項９に係る発明は、前記不活性ガス溶解装置に加え、加工液に脱酸素剤を投入する脱酸素剤投入装置を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項１０に係る発明は、イオン交換樹脂を有し、加工液の比抵抗値を２＊１０5Ωｃｍ以上に維持することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。
【００１４】
請求項１１に係る発明は、前記加工液貯留タンクの加工液を上，下ノズルより供給する供給路を有し、非加工中に、前記上，下ノズルより加工液を流すことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項１２に係る発明は、上ガイドブロック、または下ガイドブロックに絶縁した状態で取り付けた犠牲電極を一方の極性とし、被加工物をもう他方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置を有し、被加工物に対する上，下ガイドブロック、または犠牲電極の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項１３に係る発明は、不活性ガスとして窒素を用いることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工機である。  
請求項１４に係る発明は、加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明により、ワイヤ放電加工機の加工液に不活性ガスを溶解させることで溶存酸素を除去し、安定した被加工物の腐食を防止することが可能でランニングコストがかからない不活性ガスを加工液に溶解させるワイヤ放電加工機及びワイヤ放電加工方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】加工液を貯留する加工液貯留タンクから被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し該ポンプと加工槽の間の流路に不活性ガス溶解装置を備えた実施形態を説明する図である。
【図２】不活性ガス溶解専用ポンプを用いて加工液を前記加工液貯留タンク、または加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻す実施形態を説明する図である。
【図３】不活性ガス溶解装置の構成例を説明する図である。
【図４】溶存酸素測定器を加工槽に実装した例を説明する図である。
【図５】犠牲電極と補助電源装置とを実装した例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。  
図１は、加工液を貯留する加工液貯留タンクから被加工物を浸漬させる加工槽に加工液を流すポンプを有し該ポンプと加工槽の間の流路に不活性ガス溶解装置を備えた実施形態を説明する図である。  
ワイヤ放電加工機は、通常、非加工中の液面を保つために、常に加工槽に循環液を流している。この循環液用のポンプを利用して、不活性ガス溶解装置に加工液を送り込むことで、専用のポンプを設けることなく、不活性ガス溶解装置を構成することが出来る。
【００１８】
ワイヤ放電加工機は、加工槽８を備え、加工槽８の内部には被加工物（図示せず）を載せるテーブルが配置されている。加工槽８には水を主成分とする導電性の加工液が貯留され、被加工物を加工液中に浸漬して加工する加工領域が設けられている。上ガイドブロック１と下ガイドブロック２との間に図示しないワイヤ電極線を張架し、ワイヤ電極線に放電加工用の高周波パルスを印加することにより、ワイヤ電極線と被加工物との間に放電を発生させ、被加工物を加工する。上ガイドブロック１には上ノズル３が、下ガイドブロック２には下ノズル４が取り付けられている。
【００１９】
加工槽８には加工液が供給され貯留されている。この加工槽８内の加工液には放電加工によって生じた加工屑が混ざり合っており、この加工液は排水ダクト６から汚水槽９に流出するように構成されている。汚水槽９に回収・貯留された加工屑が混じった加工液は、図示しないフィルタなどから構成される加工屑除去手段によって加工屑が取り除かれ、清水槽１０に供給される。なお、本明細書において、汚水槽９と清水槽１０とを合わせて加工液貯留タンク１１と称する。循環ポンプ５は清水槽に貯留された加工液を汲み上げ、循環水配管７を介して汚水層９に供給される。循環水配管７の途中には不活性ガス熔解装置１２が取り付けられている。
【００２０】
図２は、不活性ガス溶解専用ポンプを用いて加工液を前記加工液貯留タンク、または加工槽から前記不活性ガス溶解装置に流し、処理後の加工液を元の該加工液貯留タンク、または該加工槽に戻す実施形態を説明する図である。
【００２１】
不活性ガス専用ポンプ１３を用い清水槽１０から加工液を汲み上げる。汲み上げられた加工液は不活性ガス熔解装置給水配管１４を経由して不活性ガス熔解装置１２を送られ、不活性ガスが加工液に熔解された後、不活性ガス熔解装置排水配管１５を経由して清水槽１０に戻る。
【００２２】
図１に示す構成において不活性ガス溶解装置１２に加工液を送ることで、循環液の流路抵抗が増えて加工液の流量が不足する場合や、清水槽１０内の加工液だけを不活性ガス溶解装置１２に循環させた方が、より溶存酸素を低減出来る場合には、このような方式が適している。なお、不活性ガス溶解装置１２に、加工スラッジを含んだ加工液を流しても目詰まりしないのであれば、清水槽１０ではなく、加工槽８や汚水槽９に直接不活性ガス溶解装置１２を取り付けてもよい。
【００２３】
図２の構成により、ワイヤ放電加工機に不活性ガス溶解装置１２を取り付け、実際に水中（加工液中）の溶存酸素を除去したところ、通常、２５℃の水の飽和溶存酸素が８ｍｇ／ｌなのに対し、加工槽８の溶存酸素を約０．９ｍｇ／ｌまで低減させることが出来た。この状態でφ０．２ｍｍのワイヤ電極線として真鍮ワイヤで超硬材にワイヤ放電加工を行い、加工液中に約６０時間浸漬させ、分析走査電子顕微鏡を用いて超硬材の加工面を元素分析したところ、結合材であるコバルトの腐食が、ほとんど発生していないことが確認できた。
【００２４】
図３は、不活性ガス溶解装置の構成例を説明する図である。この例では、不活性ガスである窒素ガスを発生させる窒素発生装置として中空糸膜式窒素分離装置２１を用いているが、窒素ボンベを使用しても良い。中空糸膜式窒素分離装置２１に塵・油分・水分が入り込むと、中空糸膜式窒素分離装置２１の窒素分離能力が劣化するため、エアフィルタ１６、エアミストフィルタ１７、エアドライヤ１８を通した圧縮空気を用いる。
【００２５】
一般的に、適切な空気を流していれば、中空糸膜式窒素分離装置２１の性能が劣化することはないが、エアフィルタ１６、エアミストフィルタ１７、エアドライヤ１８で塵・油分・水分が取りきれない場合には、性能が劣化していく可能性がある。このため、溶存酸素が充分に低下した場合には、エア電磁弁２０により空気流入を遮断出来るようにすることで、エアフィルタ１６、エアミストフィルタ１７、エアドライヤ１８、中空糸膜式窒素分離装置２１の製品寿命を延ばすことが出来る。また、エア圧力調整弁１９により、中空糸膜式窒素分離装置２１に流す圧縮空気圧力を調整することで、圧縮空気内の窒素分圧を最適値に調整できる。
【００２６】
一方、加工液は、加工液加圧器２２により一旦加圧された状態になり、加圧されたまま窒素混合器２３内で窒素を混合し溶解させる。窒素や酸素の場合、溶解度は成分気体の分圧に比例するという物理法則に従うので、加圧して大量の窒素を溶解させた後、加工液を加工液減圧器２４を用いて減圧することで、加工液中に溶解していた酸素を除去する。
【００２７】
不活性ガス混合器である窒素混合器２３または加工液を加圧しながら加工液に不活性ガスを混合させる加圧混合器（図示せず）において、不活性ガス注入経路である窒素注入経路に図示しない逆止弁（図示せず）を設けることで、加工液が中空糸膜式窒素分離装置２１へ逆流することを防ぐことができる。  
不活性ガス混合器である窒素混合器２３または加圧混合器（図示せず）において、加工液への不活性ガス注入口である窒素注入口を多孔形状とすることで、加工液に注入する窒素を微細な気泡とする。その結果、窒素の気泡の表面積が大きくなり、加工液に窒素が溶解し易くすることができる。
【００２８】
図４は、溶存酸素測定器を加工槽に実装した例を説明する図である。被加工物を配置する加工槽８に溶存酸素測定装置２５を取り付けて、加工槽８の溶存酸素量が目標値まで低下したら、不活性ガス溶解装置１２用の不活性ガス専用ポンプ１３（図２の構成の場合）を停止させ、不活性ガス溶解装置１２内のエア電磁弁２０を閉じる。これにより、不活性ガス溶解装置１２の不活性ガス専用ポンプ１３、エアフィルタ１６、エアミストフィルタ１７、エアドライヤ１８、中空糸膜式窒素分離装置２１の製品寿命を延ばすことが出来て、かつ、省エネにもなる。
【００２９】
ところで、３日間以上被加工物を加工液中に浸漬する場合など、不活性ガス溶解装置１２を用いただけでは、防錆効果が足りない場合の追加手段について説明する。
そこで、図１の加工槽８、汚水槽９、および清水槽１０の少なくとも１つの中に、ヒドラジンや亜硫酸ナトリウムといった、脱酸素剤（防錆剤）を添加することで、防錆効果を高めることができる。脱酸素剤（防錆剤）は適量ずつ加工槽８、汚水槽９、清水槽１０の少なくとも一つの槽に脱断素剤投入装置（図示せず）により投入される。脱酸素剤投入装置は薬剤を適量投入できる公知の装置を使用するとよい。
【００３０】
また、イオン交換樹脂を用いて、加工液の比抵抗値を、加工に用いる一般的な比抵抗値（７＊１０4Ωｃｍ〜１０＊１０4Ωｃｍ）よりも高めに維持するように調整することで、加工液中のイオン濃度を低下させて、腐食電流を抑制することで、防錆効果を高めるものである。
【００３１】
また、通常加工中しか流さないワイヤ冷却用の加工液を、被加工物浸漬中も、図１の上，下ノズル３、４から流し続けることで、被加工物表面の加工液が滞留せずに流れるようにすることで、防錆効果を高めることができる。
【００３２】
図５は、犠牲電極と補助電源装置とを実装した例を説明する図である。上ガイドブロック１、または下ガイドブロック２に絶縁した状態で取り付けた犠牲電極２７を一方の極性とし、加工槽８の内部に収容された被加工物３０をもう一方の極性として、両極間に電圧を印加する補助電源装置２９を備える。被加工物３０に対する上，下ガイドブロック１，２、または犠牲電極２７の電圧の平均値が正となるように電圧を印加することで、テーブル２８に載置された被加工物３０の防錆効果を高めるものである。なお、補助電源装置２９より印加される電圧波形は、被加工物３０に対する、上，下ガイドブロック１，２または犠牲電極２７の電圧の平均値が正であれば、どのような波形でも良い。
【００３３】
上述した不活性ガス溶解装置１２を備えたワイヤ放電加工機を用い、加工槽に水を主成分とする導電性の加工液を貯留し被加工物を浸漬して加工するワイヤ放電加工機において、加工液を加圧して不活性ガスを溶解させたのち加工液を減圧する不活性ガス溶解装置により不活性ガスを加工液に溶解させながらワイヤ放電加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法を実現できる。
【符号の説明】
【００３４】
１  上ガイドブロック
２  下ガイドブロック
３  上ノズル
４  下ノズル
５  循環ポンプ
６  排水ダクト
７  循環水配管
８  加工槽
９  汚水槽
１０  清水槽
１１  加工液貯留タンク
１２  不活性ガス溶解装置
１３  不活性ガス専用ポンプ
１４  不活性ガス溶解装置給水配管
１５  不活性ガス溶解装置排水配管
１６  エアフィルタ
１７  エアミストフィルタ
１８  エアドライヤ
１９  エア圧力調整弁
２０  エア電磁弁
２１  中空糸膜式窒素分離装置（窒素発生装置）
２２  加工液加圧器
２３  窒素混合器
２４  加工液減圧器
２５  溶存酸素測定装置
２６  絶縁板
２７  犠牲電極
２８  テーブル
２９  補助電源装置
３０  被加工物
【図１】
2013132735.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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