(57)【要約】【課題】寿命及びその他の特性が改善されるとともに様々な環境下で使用することできる被覆生成物及び触媒被覆生成物、並びに被覆生成物の製造方法を提供する。【解決手段】コア部材と、複数の第１柱状晶からなる内層、酸化した複数の第２柱状晶からなる中間層、及び酸化した複数の第３柱状晶からなる外層から構成され、前記コア部材の表面を被覆する多層被膜と、を有し、前記多層被膜は、前記外層から前記内層に向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備えること。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コア部材と、
複数の第１柱状晶からなる内層、酸化した複数の第２柱状晶からなる中間層、及び酸化した複数の第３柱状晶からなる外層から構成され、前記コア部材の表面を被覆する多層被膜と、を有し、
前記多層被膜は、前記外層から前記内層に向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備えることを特徴とする被覆生成物。
【請求項２】
前記内層、前記中間層、及び前記外層に存在する空隙同士が前記内層から前記外層に亘って連結していることを特徴とする請求項１に記載の被覆生成物。
【請求項３】
前記第１柱状晶、前記第２柱状晶、及び前記第３柱状晶は、ブルカイト型の斜晶であることを特徴とする請求項２に記載の被覆生成物。
【請求項４】
前記第１柱状晶、前記第２柱状晶、及び前記第３柱状晶が酸化還元力を有する金属を含有する請求項１乃至３のいずれか１に記載の触媒被覆生成物。
【請求項５】
前記金属はチタンであることを特徴とする請求項４に記載の触媒被覆生成物。
【請求項６】
コア部材に被覆粉末を噴射し、
前記コア部材の表面上に複数の第１柱状晶からなる内層、酸化した複数の第２柱状晶からなる中間層、及び酸化した複数の第３柱状晶からなる外層を順次形成し、
前記内層、前記中間層、及び前記外層から構成されるとともに、前記外層から前記内層に向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備える多層被膜によって前記コア部材を被覆することを特徴とする被覆生成物の製造方法。
【請求項７】
前記内層、前記中間層、及び前記外層の内部に空隙が生じ、前記内層、前記中間層、及び前記外層に存在する空隙同士が前記内層から前記外層に亘って連結していることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属又はセラミックス等のコア部材に金属又はガラス等の粉末を吹き付けて被覆した被覆生成物、触媒被覆生成物、及び被覆生成物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、空気の浄化作用、脱臭作用、水及び油の浄化作用、並びに防汚及び防カビ作用として、チタニア（二酸化チタン：ＴＩＯ2）の酸化還元作用が注目され、酸化チタン光触媒を用いた製品の開発が行われていた。
【０００３】
酸化チタン光触媒の酸化還元作用とは、太陽光や蛍光灯等に含まれる紫外線をチタニアに照射すると、チタニア表面に電子及び正孔が発生し、当該電子は空気中又は水中等の酸素を還元してスパーオキサイドイオン（Ｏ2−）となり、当該正孔はチタニア表面に付着した水分を酸化して水酸基ラジカル（ＯＨ）に変化する作用をいう。そして、当該スパーオキサイドイオン及び水酸基ラジカルが、チタニア表面の汚れ等の有機化合物を酸化分解する効果をもたらす。
【０００４】
例えば、特許文献１にはチタン粉体の噴射によりチタニア被膜を形成する光触媒コーティング方法及び、当該方法によって製造される光触媒コーティング成形物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３４４６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されているような光触媒コーティング成形物は、触媒効果を備える二酸化チタン層が平坦に形成されているため、当該二酸化チタン層の最表面が汚れ等で覆われてしまうと、酸化還元作用が生じることがなくなり、空気の浄化作用等の効果（すなわち、製品の寿命）が比較的に短かった。
【０００７】
また、特許文献１に開示されているような光触媒コーティング成形物は、紫外線及び可視光線よって酸化還元作用が生じるため、当該光触媒コーティング成形物の使用環境が制限されていた。
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、寿命及びその他の特性が改善されるとともに様々な環境下で使用することができる被覆生成物、及び触媒被覆生成物を提供することにある。また、その目的とするところは、寿命及びその他の特性が改善されるとともに様々な環境下で使用することができる被覆生成物の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の被覆生成物は、コア部材と、複数の第１柱状晶からなる内層、酸化した複数の第２柱状晶からなる中間層、及び酸化した複数の第３柱状晶からなる外層から構成され、前記コア部材の表面を被覆する多層被膜と、を有し、前記多層被膜は、前記外層から前記内層に向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、上記目的を達成するため、本発明の触媒被覆生成物は、上述した被覆生成物における第１柱状晶、第２柱状晶、及び第３柱状晶が酸化還元力を有する金属であることを特徴とする。
【００１１】
更に、上記目的を達成するため、本発明の被覆生成物の製造方法は、コア部材に被覆粉末を噴射し、前記コア部材の表面上に複数の第１柱状晶からなる内層、酸化した複数の第２柱状晶からなる中間層、及び酸化した複数の第３柱状晶からなる外層を順次形成し、前記内層、前記中間層、及び前記外層から構成されるとともに、前記外層から前記内層に向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備える多層被膜によって前記コア部材を被覆することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る被覆生成物及び触媒被覆生成物において、多層被膜が酸素欠乏傾斜構造を有するとともに、当該多層被膜を構成する各層が柱状晶からなるため、被覆生成物及び触媒被覆生成物は、紫外線、可視光線、及び赤外線等の電磁波のみならず、静電気の電位によっても酸化還元作用を奏し、より強力な酸化還元力を有することになる。すなわち、本発明に係る被覆生成物及び触媒被覆生成物は、寿命及びその他の特性が改善される且つ様々な環境下で使用することができる。
【００１３】
本発明に係る被覆生成物の製造方法によれば、多層被膜が酸素欠乏傾斜構造を有するとともに、当該多層被膜を構成する各層が柱状晶からなるように被覆生成物が生成されるため、寿命及びその他の特性が改善される且つ様々な環境下で使用することができる被覆生成物を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施例に係るチタンボールの断面図である。
【図２】図１の部分的に拡大した断面図である。
【図３】図２を更に拡大した断面図である。
【図４】本発明の実施例に係るチタンボール用の製造装置の概略構成図である。
【図５】水道水が貯留された容器に本発明の実施例に係るチタンボールを投入した場合、及び投入しなかった場合の雑菌の増減を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照し、本発明の実施の形態について、実施例に基づき詳細に説明する。なお、本発明は以下に説明する内容に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において任意に変更して実施することが可能である。また、実施例の説明に用いる図面は、いずれも本発明による被覆生成物、及び触媒被覆生成物を模式的に示すものであって、理解を深めるべく部分的な強調、拡大、縮小、または省略などを行っており、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。更に、実施例で用いる様々な数値は、いずれも一例を示すものであり、必要に応じて様々に変更することが可能である。
【実施例】
【００１６】
本発明に係る被覆生成物及び触媒被覆生成物の実施例として、空気の浄化効果、脱臭効果、水及び油の浄化効果、防汚及び防カビ効果等の様々な浄化効果を奏するチタンボールを例に挙げ、図１乃至図３を参照しつつその構造を説明する。
【００１７】
（チタンボールの構造）
図１は、本実施例に係るチタンボール１の断面構造を模式的に示した断面図である。また、図２は、図１における破線で囲まれた領域ＩＩを拡大した断面図である。更に、図３は、図２の一部を更に拡大した断面図である。
【００１８】
図１に示すように、チタンボール１は、球体状のコア部材２と、コア部材２を被覆するように形成された多層被膜３と、から構成されている。コア部材２は、比較的に硬質な材料から構成されていればよく、例えば、金属又はセラミックスを用いることができる。金属材料としては、例えば、アルミニウム、酸化アルミニウム（アルミナ）、ステンレス、又はタングステン等を用いることができる。また、金属及びセラミックス以外の材料としては、ジルコニア、酸化ジルコニア、石英ガラス、又はカーボン等を用いることもできる。コア部材２の直径は、通常４ｍｍ〜１０ｍｍであり、チタンボール１の使用用途及び使用環境に応じて適宜変更することができる。なお、チタンボール１の使用用途及び使用環境によっては、４ｍｍ以下及び１０ｍｍ以上のコア部材２を使用してもよい。
【００１９】
図１に示すように、多層被膜３は、コア部材２の表面上に形成された内層３ａ、内層３ａ上に形成された中間層３ｂ、及び中間層３ｂ上に形成された外層３ｃからなる３層構造を有している。本実施例において、内層３ａはチタンからなり、中間層３ｂは一酸化チタン（ＴｉＯ）からなり、外層３ｃは二酸化チタン（ＴｉＯ2）からなる。このような層構造により、多層被膜３は、外層３ｃから内層３ａに向かって酸素が欠乏している酸素欠乏傾斜構造を備えている。また、多層被膜３の膜厚は、例えば２〜４マイクロメートル（μｍ）である。
【００２０】
また、図１においては、内層３ａはコア部材２の表面に沿って平坦に形成されている図示されているが、図２及び図３に示すように、コア部材２の表面に沿ってチタンが平坦状に堆積されておらず、実際にはコア部材２の表面上に複数の略三角錐状のチタン結晶４ａが結晶成長することによって内層３ａが形成されている。すなわち、内層３ａは、通常のアナターゼ型又はルチル型ではなく、ブルカイト型の斜晶の柱状晶から構成されている。本実施例において、チタン結晶４ａのそれぞれの幅は、数ナノメートルである。また、中間層３ｂ及び外層３ｃは、複数の柱状の一酸化チタン結晶４ｂ及び二酸化チタン結晶４ｃが結晶成長することによって形成されおり、多層被膜３は、ブルカイト型の斜晶の柱状晶が３層に形成された構造を有していることになる。
【００２１】
図２及び図３に示すように、中間層３ｂを構成する一酸化チタン結晶４ｂは、チタン結晶４ａ同士の隙間において結晶成長しており、例えば、チタン結晶４ａの側面から外側に向かって柱状に結晶成長している。なお、チタン結晶４ａ同士の隙間から突出して結晶成長している部分の形状は略三角錐状である。また、図３に示すように、チタン結晶４ａと一酸化チタン結晶４ｂとは全ての界面において完全に接触してはおらず、チタン結晶４ａと一酸化チタン結晶４ｂとの間には複数の空隙５が生じている。更に、一酸化チタン結晶４ｂのそれぞれの幅は、チタン結晶４ａの幅と同様に、数ナノメートルである。
【００２２】
同様に、外層３ｃを構成する二酸化チタン結晶４ｃは、一酸化チタン結晶４ｂ同士の隙間において結晶成長しており、例えば、一酸化チタン結晶４ｂの側面から外側に向かって柱状に結晶成長している。なお、一酸化チタン結晶４ｂ同士の隙間から突出して結晶成長している部分の形状は略三角錐状である。また、一酸化チタン結晶４ｂと二酸化チタン結晶４ｃは全ての界面において完全に接触してはおらず、一酸化チタン結晶４ｂと二酸化チタン結晶４ｃとの間には複数の空隙６が生じている。そして、一酸化チタン結晶４ｂと二酸化チタン結晶４ｃとの間に生じている空隙６の一部は、チタン結晶４ａと一酸化チタン結晶４ｂとの間に生じている空隙５に連結している。換言すると、内層３ａから外層３ｃにかけて、多層被膜３を貫通する開口が生じていることになる。なお、二酸化チタン結晶４ｃのそれぞれの幅は、チタン結晶４ａ及び一酸化チタン４ｂの幅と同様に、数ナノメートルである。
【００２３】
（チタンボールの浄化作用）
次に、本実施例に係るチタンボール１の浄化作用について説明する。チタンボール１は、露出している外層３ｃが二酸化チタンから構成されているため、一般的な酸化還元反応を引き起こす。具体的には、チタンボール１が一般的な紫外線及び可視光線を吸収すると、光化学反応を引き起こし、外層３ｃに接触した有機物に対して強力な酸化力を発揮することになる。また、チタンボール１は、外層３ｃから内層３ａに向かって結合する酸素の量が減っているような３層構造（すなわち、酸素欠乏傾斜構造）を有することにより、紫外線及び可視光線以外の電磁波（ガンマ線、Ｘ線、赤外線、電波）を吸収して上述した酸化還元反応を引き起こすこともできる。
【００２４】
更に、チタンボール１を構成する多層被膜３の各層が略三角錐状の結晶から構成されているため、静電気の電位によっても酸化還元反応を引き起こすことができる。すなわち、チタンボール１は、光触媒としての機能を有するだけでなく、静電気によって反応可能な触媒としての機能も有している。
【００２５】
チタンボール１は、酸化還元反応を引き起こすことができることから、空気の浄化、脱臭、水及び油の浄化、並びに防汚及び防カビ効果を奏し、一般的な浄化剤として用いることが可能になる。特に、チタンボール１は、静電気のみによっても酸化還元反応を引き起こすことができるため、光が照射されることがない空間（例えば、タンス及びクローゼットの内部）であっても、良好な浄化作用をもたらすことになる。
【００２６】
そして、本実施例に係るチタンボール１には、内層３ａから外層３ｃにかけて、多層被膜３を貫通する開口（空隙５及び空隙６）が存在することから、空隙５及び空隙６を経由してチタンボール１の内側に浸入するバクテリア等の雑菌が浸入することになる。しかしながら、チタンボール１の内側においては、チタン結晶４ａ、一酸化チタン結晶４ｂ及び二酸化チタン結晶４ｃの形状及びこれらの積層状態によって外部から酸素が供給されにくいことから、チタンボール１の内側に浸入した雑菌は酸欠状態となって死滅することになる。すなわち、本実施例に係るチタンボール１は、多層被膜３がブルカイト型の斜晶の柱状晶からなる３層構造を有していないような従来のチタンボールと比較して、良好な浄化作用をもたらすことになる。
【００２７】
また、外層３ｃの最表面の全面に汚れが付着した場合であっても、多層被膜３を貫通する開口が存在するため、外層３ｃの内部において酸化還元反応を引き起こすことができることから、チタンボール１の効果が従来品よりも持続することになる。すなわち、本実施例にかかるチタンボール１の寿命は、従来品よりも長くなる。更に、二酸化チタンと同等の酸化還元力はないものの、チタン及び一酸化チタンも酸化還元力を有することから、多層被膜３を貫通する開口が存在することにより、内層３ａ及び中間層３ｂにおいても浄化効果を奏することが可能となり、チタンボール１全体しての浄化効果をいっそう高めることが可能になる。そして、多層被膜３を貫通する開口が存在するため、多層被膜３の内部で発生する熱を外部に効率よく放熱することがで、本実施例にかかるチタンボール１は、従来品よりも耐熱面においても優れている。
【００２８】
（チタンボールの製造装置及び製造方法）
次に、本実施例に係るチタンボール１の製造方法にいて、図４を参照しつつ説明する。図４は、実施例に係るチタンボール１用の製造装置１０の概略構成図である。
【００２９】
図４に示すように、製造装置１０は、チャンバー１１、チャンバー１１内に設置されている治具１２、治具１２を回転せしめる回転装置１３、治具１２に向けてチタン等の被覆粉末を噴射する３本のノズル１４、当該被覆粉末を格納する格納庫１５、チャンバー１１内に残存している被覆粉末を回収してノズル１４に供給する回収装置１６、及びチャンバー１１内の真空度を調整するための真空ポンプ１７を有している。
【００３０】
治具１２は全体的に球状体であって、その内部には複数のコア部材２を収納するための空隙が形成されている。例えば、コア部材２の直径が４ｍｍである場合には、約９５０００個のコア部材２を収納することができ、コア部材２の直径が１０ｍｍである場合には、約４２５００個のコア部材２を収納することができる。
【００３１】
回転装置１３は、回転軸１３ａを介して治具１２に接続されており、回転軸１３ａを介して回転装置１３における回転力が治具１２に伝えられる。例えば、回転装置１３は、１秒間に治具１２を２回転させるように、回転速度が設定されている。なお、治具１２の回転速度はこれに限定されることがないが、治具１２を高速で回転させすぎるとコア部材２へのチタン被覆（すなわち、多層被膜３の形成）が進まなくなるため、チタン被覆の進行状況に応じて適宜調整する必要がある。
【００３２】
ノズル１４は、チャンバー１１内において治具１２に向かって延設されている。また、ノズル１４は、格納庫１５及び回収装置１６に配管を介して接続されている。例えば、ノズル１４はセラミックスから構成されており、被覆粉末を１０〜２０気圧で噴射することができるような耐圧性を備えている。ノズル１４の数量は、３個に限定されることなく、コア部材２の数量及び被覆速度に応じて適宜増減することができる。
【００３３】
格納庫１５は、ノズル１４に配管を介して接続されており、チタン等の被覆粉末を格納する。なお、格納庫１５を複数の格納室に分けることにより、複数種類の被覆粉末を格納し、複数種類の被覆粉末を適宜使い分けることができるようにしてもよい。また、このような場合には、種類の異なる被覆粉末を交互に噴射することも可能になる。
【００３４】
回収装置１６は、配管を介してチャンバー１１及びノズル１４に接続されている。回収装置１６は、チタン結晶４ａ、一酸化チタン結晶４ｂ又は二酸化チタン結晶４ｃとして結晶成長に寄与することなくチャンバー１１の底に堆積した被覆粉末を、回収することができる吸引機構を備えている。回収装置１６は、当該吸引機構によって吸引した被覆粉末を配管を介してノズル１４に供給する。これにより、被覆粉末を効率良く使用することができ、チタンボールの製造コストを低減することができる。
【００３５】
真空ポンプ１７は、拡散ポンプ又はターボ分子ポンプ等の公知の真空ポンプである。例えば、真空ポンプ１７は、チャンバー１１内の真空度を約１．５気圧以下にする。真空ポンプ１７を用いて、チャンバー１１内を大気圧よりも高くすることにより、コア部材２の表面上に多層被膜３を容易に形成することができる。
【００３６】
具体的なチタンボール１の製造方法としては、先ず、複数のコア部材２を治具１２に収納し、回転装置１３によって治具１２を継続して回転（１秒間に２回転）させつつ、チャンバー１１内の真空度を約１．５気圧以下にする。その後、ノズル１４から約１０〜２０気圧でチタン粉末を治具１２に向けて噴射する。この際、チャンバー１１内の温度は、約摂氏３０〜４０度（３０〜４０℃）に設定され、１分間で１．５リットルのチタン粉末を噴射させる。そして、当該噴射を１０分〜２０分間実施することにより、コア部材２の表面を被覆するように多層被膜３が形成され、チタンボール１の形成が完了する。
【００３７】
（チタンボールの評価結果）
次に、本実施例に係るチタンボール１の評価結果について、表１及び図５を参照しつつ説明する。
【００３８】
表１は、大腸菌が繁殖したビーカー内にチタンボール１を投入することによる大腸菌の増減評価の測定結果を示す表である。具体的な評価方法としては、以下の通りである。先ず、減菌した生理食塩水５００ｍＬをビーカーに取り、当該ビーカー内に大腸菌（ＮＢＲＣ３９７２）の溶液を滴下して菌濃度が約１０００個／ｍＬになるように調整した。その後、当該ビーカー内にチタンボール１を１５投入し、マグネティクスターラーで撹拌した。そして、０時間、１時間後、４時間後、８時間後、及び２４時間後に当該ビーカーから１９９μＬずつを取りだし、各時間２枚（サンプルＡ、サンプルＢ）ずつのＳＣＤ寒天培地（直径９ｃｍ）上に塗抹し、３５℃で２日間培養した後に、形成されるコロニーを観察した。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
表１に示すように、サンプルＡ及びサンプルＢともに、大腸菌が徐々に減少し、８時間後には大腸菌の存在を確認することができなかった。かかる結果から、本実施例に係るチタンボール１は、大腸菌の増殖を防ぎ、大腸菌の静菌化に対してとても有効であることがわかった。
【００４１】
また、図５は、水道水が貯留された容器にチタンボール１を投入した場合、及び投入しなかった場合の雑菌の増減を示すグラフである。具体的な評価方法としては、水道水が貯留された容器にチタンボール１を１５個投入したサンプルと、チタンボールを投入しなかったサンプルを準備し、１時間おきに各サンプル内のコロニー数を測定した。
【００４２】
図５に示すように、チタンボール１を投入したサンプルは、雑菌が徐々に減少し、約８時間後には雑菌を確認することができなかった。一方、チタンボール１を投入しなかったサンプルは、雑菌が急激に増加し、４時間後には雑菌の数量が多すぎるため、雑菌の数量を測定することができなかった。かかる結果から、本実施例に係るチタンボール１は、水道水中の雑菌の増殖を防ぎ、雑菌の静菌化に対してとても有効であることがわかった。
【００４３】
（本実施例による効果）
本実施例に係るチタンボール１において、多層被膜３が酸素欠乏傾斜構造を有するとともに、多層被膜３を構成する各層が柱状晶からなるため、チタンボール１は、紫外線、可視光線、及び赤外線等の電磁波のみならず、静電気の電位によっても酸化還元作用を奏し、より強力な酸化還元力を有することになる。すなわち、本実施例に係るチタンボール１は、寿命及びその他の特性が改善される且つ様々な環境下で使用することができる。
【００４４】
本実施例に係るチタンボール１の製造方法によれば、多層被膜３が酸素欠乏傾斜構造を有するとともに、多層被膜３を構成する各層が柱状晶からなるようにチタンボール１が生成されるため、寿命及びその他の特性が改善される且つ様々な環境下で使用することができるチタンボール１を製造することができる。
【００４５】
なお、本実施例においては、球状の触媒被覆生成物であるチタンボール１を説明したが、本発明に係る被覆生成物及び触媒被覆生成物の形状は球状に限定されることはなく、立方体、直方体、その他の立体形状を有していてもよい。
【００４６】
本実施例においては、多層被膜３の材料にチタンを用いることによってチタンボール１を形成していが、多層被膜３の材料はチタンに限定されることはなく、例えば他の金属粉末又はガラスビーズ（ガラス粉末）を用いることができる。ここで、イオン化傾向の高い金属であって酸化還元力が特に優れて触媒力がある銀、マンガン、亜鉛、悪菌、ゲルマニウム、ロジウム、又はインジウムを用いる場合にも、多層被膜３はブルカイト型の斜晶の柱状晶が３層に形成された構造を有することになるため、チタンボール１と同一の効果を得ることができる。従って、このような場合に生成される触媒被覆生成物は、チタンボール１と同様に、空気の浄化、脱臭、水及び油の浄化、防汚及び防カビ効果を奏し、一般的な浄化剤として用いることが可能になる。
【００４７】
また、酸化還元力がないようなモリブデンを用いる場合、生成される被覆生成物は、ベアリングとして用いることができる。このような場合にも、多層被膜３はブルカイト型の斜晶の柱状晶が３層に形成された構造を有することになるため、放熱性に優れた被覆生成物を得ることができる。そして、ベアリング以外にも、上述した実施例と同一の方法を用いて、摩擦抵抗を小さくする必要がある材料の表面にモリブデンの多層被膜を形成することにより、所望の摩擦低減部材を提供することが可能になる。
【００４８】
更に、金属以外の材料としてガラスビーズを用いる場合、生成される被覆生成物は、優れた耐圧性を備えるため、半導体集積回路等に必要となる高耐圧部材として用いることができる。このような場合には、多層被膜３はブルカイト型の斜晶の柱状晶が３層に形成された構造を有しているため、放熱性に優れた被覆生成物を得ることができる。なお、ガラスビーズを用いる場合、ブルカイト型の斜晶の柱状晶は、略六角錘状に結晶成長することになる。
【符号の説明】
【００４９】
１    チタンボール（被覆生成物、触媒被覆生成物）
２    コア部材
３    多層被膜
３ａ    内層
３ｂ    中間層
３ｃ    外層
４ａ    チタン結晶
４ｂ    一酸化チタン結晶
４ｃ    二酸化チタン結晶
５    空隙
６    空隙
１０    製造装置
１１    チャンバー
１２    治具
１３    回転装置
１３ａ    回転軸
１４    ノズル
１５    格納庫
１６    回収装置
１７    真空ポンプ
【図１】
2013132617.tif 000004
【図２】
2013132617.tif 000005
【図３】
2013132617.tif 000006
【図４】
2013132617.tif 000007
【図５】
2013132617.tif 000008