(57)【要約】【課題】被切断物を切断する際の切断くずが切断後の物品に付着することを防止する。【解決手段】切断機構１５には、回転刃１７と切削水用ノズル１８とが設けられる。被切断物である樹脂封止体１が吸着される吸着用治具６の上面には、樹脂封止体１に設けられた格子状の複数の領域５の境界線４に各々重なる複数の溝１３，１４が設けられる。回転刃１７が樹脂封止体１を切断する際には、回転刃１７の周端部が溝１３，１４に収容される。溝１３，１４の底面には、複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが相隣り合って設けられる。回転刃１７によって樹脂封止体１が切断されている間、切削水用ノズル１８は被切削点に向かって切削水１９を吐出し、複数の供給孔３４は溝１３，１４の内部に洗浄水３７を供給する。切削水１９と洗浄水３７とは、複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって、切断くずを含む排水３８として吸着用治具６の外部に除去される。【選択図】図６
2013010180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を固定面に固定する治具と、前記固定面において前記複数の領域の境界線に重なるようにして設けられた複数の溝と、前記境界線に沿って前記被切断物を切断する回転刃とを備え、前記領域に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、
前記回転刃と前記被切断物とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水を吐出する切削水用ノズルと、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の吸引孔と、
前記複数の吸引孔に各々つながっている複数の吸引管とを備えるとともに、
前記複数の吸引管は前記複数の溝において溜まっている液体を吸引して前記治具の外部に排出し、
前記溜まっている液体には前記切削水と前記回転刃によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする切断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の切断装置において、
前記複数の吸引孔の少なくとも一部は前記複数の溝同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする切断装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の切断装置において、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の供給孔と、
前記複数の供給孔に各々つながっている複数の供給管とを備えるとともに、
前記複数の供給孔は前記複数の溝に洗浄液を供給し、
前記切削水と前記洗浄液とが前記複数の溝に行き渡り、
前記溜まっている液体には前記洗浄液が含まれることを特徴とする切断装置。
【請求項４】
請求項３に記載の切断装置において、
前記複数の吸引孔と前記複数の供給孔とは前記複数の溝同士が交差する複数の交差点に各々設けられており、
前記複数の交差点のうち隣り合う交差点には前記吸引孔と前記供給孔とが各々配置されていることを特徴とする切断装置。
【請求項５】
格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を固定面に固定する治具と、前記固定面において前記複数の領域の境界線に重なるようにして設けられた複数の溝と、前記境界線に沿って前記被切断物を切断する回転刃とを備え、前記領域に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、
前記回転刃と前記被切断物とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水を吐出する切削水用ノズルと、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の供給孔と、
前記複数の供給孔に各々つながっている複数の供給管とを備えるとともに、
前記複数の供給孔は前記複数の溝に洗浄液を供給し、
前記切削水と前記洗浄液とが前記複数の溝の長さ方向の全ての部分に十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることによって、前記複数の溝において溜まっている液体を前記治具の外部に排出し、
前記溜まっている液体には前記切削水と前記洗浄液と前記回転刃によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする切断装置。
【請求項６】
請求項５に記載の切断装置において、
前記複数の供給孔の少なくとも一部は前記複数の溝同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする切断装置。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の切断装置において、
前記被切断物は、透光性樹脂を含む樹脂封止体であって該樹脂封止体を切断して光素子を製造する場合における前記樹脂封止体、又は、透光性樹脂を含む樹脂成形体であって該樹脂成形体を切断して光学系の物品を製造する場合における前記樹脂成形体のいずれかであることを特徴とする切断装置。
【請求項８】
格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を回転刃を使用して切断することによって前記領域に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、
前記複数の領域を区切る複数の境界線に各々対応して治具の固定面に設けられた複数の溝と前記複数の境界線とを各々位置合わせする工程と、
前記被切断物を前記固定面に固定する工程と、
前記回転刃と前記被切断物とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水を吐出する工程と、
前記回転刃によって前記複数の境界線のうち１つの境界線からなる被切断線に沿って前記被切断物を切断する工程と、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の吸引孔と該複数の吸引孔に各々つながっている複数の吸引管とを順次介して、前記複数の溝において溜まっている液体を吸引して前記治具の外部に排出する工程とを備え、
前記溜まっている液体には前記切削水と前記回転刃によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする切断方法。
【請求項９】
請求項８に記載の切断方法において、
前記排出する工程では、前記複数の溝同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられた前記吸引孔を使用して前記溜まっている液体を吸引することを特徴とする切断方法。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の切断方法において、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の供給孔から前記複数の溝に洗浄液を供給する工程を備え、
前記供給する工程では前記切削水と前記洗浄液とを前記複数の溝に行き渡らせ、
前記溜まっている液体には前記洗浄液が含まれることを特徴とする切断方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の切断方法において、
前記複数の吸引孔と前記複数の供給孔とは前記複数の溝における交差点に各々設けられており、
前記交差点のうち隣り合う交差点には前記吸引孔と前記供給孔とが各々配置されていることを特徴とする切断方法。
【請求項１２】
格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を回転刃を使用して切断することによって前記領域に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、
前記複数の領域を区切る複数の境界線に各々対応して治具の固定面に設けられた複数の溝と前記複数の境界線とを各々位置合わせする工程と、
前記被切断物を前記固定面に固定する工程と、
前記回転刃と前記被切断物とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水を吐出する工程と、
前記回転刃によって前記複数の境界線のうち１つの境界線からなる被切断線に沿って前記被切断物を切断する工程と、
前記複数の溝の底面に設けられた複数の供給孔に各々つながっている複数の供給管と前記複数の供給孔とを順次介して、前記複数の溝に洗浄液を供給する工程と、
前記切削水と前記洗浄液とを前記複数の溝の長さ方向の全ての部分に十分な勢いで十分な量だけ行き渡らせることによって、前記複数の溝において溜まっている液体を前記治具の外部に排出する工程とを備え、
前記溜まっている液体には前記切削水と前記洗浄液と前記回転刃によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする切断方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の切断方法において、
前記供給する工程では、前記複数の溝同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられた前記供給孔を使用して前記洗浄液を供給することを特徴とする切断方法。
【請求項１４】
請求項８〜１３のうちいずれか１つに記載の切断方法において、
前記被切断物は、透光性樹脂を含む樹脂封止体であって該樹脂封止体を切断して光素子を製造する場合における前記樹脂封止体、又は、透光性樹脂を含む樹脂成形体であって該樹脂成形体を切断して光学系の物品を製造する場合における前記樹脂成形体のいずれかであることを特徴とする切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を切断することによって、領域に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される、切断装置及び切断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における被切断物の切断方式を、図７を参照して説明する。図７は、従来の被切断物の切断方式を説明する概略斜視図である。被切断物の例として、基板の複数の領域に各々装着されたチップ状の素子が樹脂封止されて形成された樹脂封止体を挙げて説明する。この例では、樹脂封止体を切断することによって、各領域に対応する複数の電子部品を製造する。なお、以下に説明するいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。
【０００３】
樹脂封止体１は、リードフレーム、ガラスエポキシ基板等のプリント基板、セラミックス基板等からなる基板２と、硬化樹脂３とを有する複合材料である。基板２は、仮想的に設けられた格子状の境界線４と、それらの境界線４によって区切られた複数の領域５とを有する。領域５のそれぞれには１個又は複数個のチップ状の素子（半導体チップ等からなり、以下適宜「チップ」という。）が装着され、それらのチップが硬化樹脂３によって樹脂封止されている。樹脂封止体１が有する領域５のそれぞれが切断され個片化されることによって、各領域５にそれぞれ対応する電子部品が製造される。
【０００４】
樹脂封止体１を切断する電子部品用の切断装置には、樹脂封止体１を吸着固定する吸着用治具６が設けられる。吸着用治具６は、ベース７に取り付けられている。ベース７は、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とに移動自在であるとともに、θ方向に回動自在に設けられている。吸着用治具６には、基板２の複数の領域５をそれぞれ吸着して保持（固定）する複数の柱状の突起８が設けられている。また、各突起８は、樹脂封止体１が領域５単位に切断されて形成された各電子部品（パッケージ）を吸着して保持する。突起８の上面には、吸着用の空間である凹部９と、凹部９に設けられた吸引孔１０とが設けられている。吸引孔１０は、突起８、吸着用治具６、及びベース７の内部に設けられた吸引管（図示なし）と吸引用配管１１とを順次経由して、真空ポンプや減圧タンク等の吸引源１２につながっている。突起８同士の間には、Ｘ方向に延びる溝１３とＹ方向に延びる溝１４とが設けられている。
【０００５】
吸着用治具６の付近には、切断機構１５が、Ｙ方向に移動自在に設けられている。切断機構１５には、モータ（図示なし）の回転軸１６と、回転軸１６に固定された回転刃１７と、切削水用ノズル１８とが設けられている。切削水用ノズル１８が設けられている場所は、樹脂封止体１に対して切断機構１５が相対的に進んでいく行き先の側であって、回転刃１７の周端部が樹脂封止体１に接触する部分である被切削点付近である。また、樹脂封止体１が切断される際には、回転刃１７の周端部が溝１３又は溝１４に収容される。
【０００６】
樹脂封止体１を切断する工程では、まず、切断しようとするＹ方向に沿う境界線４に対して、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向において回転刃１７を位置合わせする。次に、樹脂封止体１に向かって切断機構１５を＋Ｙ方向に移動させる。これにより、樹脂封止体１をその境界線４に沿って完全に切断する（フルカットする）ことができる。Ｙ方向に沿う境界線４の全てにおいて樹脂封止体１を切断した後に、ベース７をθ方向に９０°だけ回動させる。その後に、新たにＹ方向に沿うことになった境界線４のそれぞれにおいて、樹脂封止体１を完全に切断する（フルカットする）。これにより、樹脂封止体１を切断して、各領域５にそれぞれ対応する電子部品に個片化することができる。
【０００７】
樹脂封止体１を切断する際に、切削水用ノズル１８は、上方又は斜め上方から被切削点に向かって切削水１９を吐出する。切削水１９は、回転刃１７と樹脂封止体１との間における加工抵抗の低減（言い換えれば潤滑）と、回転刃１７と樹脂封止体１との冷却と、発生した切断くずの除去という役割をはたす。
【０００８】
ところで、近年、コストダウンの要請に基づいて、１枚の基板における電子部品の取れ数増加という傾向がいっそう強まっている。この傾向から、基板２の大型化と、樹脂封止体１を切断する際の切り代（カーフロス、切断幅）の狭小化とが求められている。これらのことによって、次の問題が発生している。
【０００９】
まず、基板２の大型化に起因する問題がある。基板２の大型化により、Ｘ方向に延びる溝１３の長さとＹ方向に延びる溝１４の長さとが増大している。したがって、上方又は斜め上方から切削水１９を吐出する方式では、溝１３，１４の長さ方向の全ての部分に切削水１９が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。このことから、切断くずを含む水が溝１３，１４から除去されにくくなっている。
【００１０】
切断くずを含む水が溝１３，１４に残っている場合には、吸着用治具６において吸着から解除された電子部品が搬送機構（図示なし）によって搬送される際に、次の事態が発生するおそれがある。それは、個片化された複数の電子部品が搬送機構によって一括して吸着される際に、溝１３，１４において切断くずを含んで残っている水が吸い上げられて電子部品の全面にわたって付着するという事態である。そして、切断くずを含む水が電子部品の全面にわたって付着した状態で、電子部品が搬送される。
【００１１】
電子部品に付着した切断くずは、後工程において不具合を発生させるという第１の問題を引き起こす。特に、ガラスエポキシ基板等及び硬化樹脂３が切断されることによって発生する大量の樹脂系の切断くずは、接触不良の原因になる。また、基板２において配線材料として使用されている銅箔に起因する金属系の切断くずは、短絡の原因になる。更に、電子部品に付着した切断くずは、電子部品を洗浄して切断くずを完全に除去する工程が必要になるので工数が増加するという第２の問題を引き起こす。
【００１２】
次に、切り代の狭小化に起因する問題がある。上方又は斜め上方から切削水１９を吐出する従来の方式では、切り代を通して溝１３，１４に切削水１９が注入される。したがって、従来の方式では、切り代が狭くなるに伴い、狭くなった切り代を通して溝１３，１４に切削水１９が注入されにくくなる。このことにより、溝１３，１４の長さ方向の全ての部分に切削水１９が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。したがって、切断くずを含む水が溝１３，１４から除去されにくくなっているので、上述した２つの問題が発生する。
【００１３】
また、基板２の面（図では上側に示された面）にはんだバンプ等の突起状電極が形成されている場合には、突起状電極の付け根部分に切断くずが付着しやすい。したがって、上述した２つの問題はいっそう顕著になる。
【００１４】
上述した問題に対処するために、研削水（切削水）供給ノズルとは別に、ワーク（被切断物）の斜め上方に高圧洗浄ノズルを設ける構成が提案されている。この構成によれば、高圧洗浄ノズルは、ワークの切断ストローク端近傍に設けられ、切断後のワークに向けて斜め上方から、研削水よりも高圧の洗浄水を供給する（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
しかし、この構成を採用したとしても、ワークである基板の大型化と切り代の狭小化とに伴い、治具本体の上面に設けられた逃げ溝における長さ方向の全ての部分に洗浄水が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。このことから、切断くずを含む水が逃げ溝から除去されにくいという状態は解消されていない。
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−１６８６５９号公報（第２−４頁、第１−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明が解決しようとする課題は、切断装置の治具に設けられた溝における切断くずを除去することが困難であることである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
以下、「課題を解決するための手段」と「発明の効果」と「発明を実施するための最良の形態」との説明におけるかっこ内の符号は、説明における用語と図面に示された構成要素とを対比しやすくする目的で記載されたものである。また、これらの符号等は、「図面に示された構成要素に限定して、説明における用語の意義を解釈すること」を意味するものではない。
【００１９】
上述の課題を解決するために、本発明に係る切断装置は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、治具（６）の側方に設けられ、複数の溝（１３，１４）のうち回転刃（１７）が切断している１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）に向かって１つの溝（２１）が延びる方向に洗浄液（２３，２９）を噴射する噴射手段（２２，２７，２８）を備えることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係る切断装置は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、治具（６）の側方に設けられ、複数の溝（１３，１４）のうち既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かって１つの溝（２６）が延びる方向に洗浄液（２３）を噴射する噴射手段（２４）を備えることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、噴射手段（２２，２４，２７，２８）は、１つの溝（２１，２６）を含むとともに１つの溝（２１，２６）と同じ方向に延びる１又は複数の溝に向かって洗浄液（２３，２９）を噴射するとともに、１又は複数の溝のうち少なくとも１つの溝（２６）は、被切断線（２０）よりも以前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）であることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に係る切断装置は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と、複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを備えるとともに、複数の吸引管は複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出することを特徴とする。
【００２３】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）を備えるとともに、複数の供給孔（３４）は複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）における交差点に各々設けられており、交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されていることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、被切断物（１）における被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する切削水用ノズル（１８）と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）と、複数の供給孔（３４）に各々つながっている複数の供給管（３５）とを備えるとともに、切削水（１９）と複数の供給孔（３４）から複数の溝（１３，１４）に供給された洗浄水（３７）とが複数の溝（１３，１４）に行き渡ることによって複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を治具（６）の外部に排出することを特徴とする。
【００２６】
また、本発明に係る切断方法は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）のうち被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）に向かって、治具（６）の側方から１つの溝（２１）が延びる方向に洗浄液（２３，２９）を噴射する工程とを備えることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明に係る切断方法は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）のうち既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かって、治具（６）の側方から１つの溝（２６）が延びる方向に洗浄液（２３）を噴射する工程とを備えることを特徴とする。
【００２８】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、洗浄液（２３，２９）を噴射する工程では１つの溝（２１，２６）を含むとともに１つの溝（２１，２６）と同じ方向に延びる１又は複数の溝に向かって洗浄液（２３，２９）を噴射するとともに、１又は複数の溝のうち少なくとも１つの溝（２６）は、被切断線（２０）よりも以前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）であることを特徴とする。
【００２９】
また、本発明に係る切断方法は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と該複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを順次介して、複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出する工程とを備えることを特徴とする。
【００３０】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）から複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給する工程を備えることを特徴とする。
【００３１】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）における交差点に各々設けられており、交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されていることを特徴とする。
【００３２】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、被切断物（１）における被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）に各々つながっている複数の供給管（３５）と複数の供給孔（３４）とを順次介して、複数の溝に洗浄水（３７）を供給する工程と、切削水（１９）と複数の供給孔（３４）から複数の溝（１３，１４）に供給された洗浄水（３７）とを複数の溝（１３，１４）に行き渡らせることによって複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を治具（６）の外部に排出する工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、治具（６）の側方に設けられ、複数の溝（１３，１４）のうち回転刃（１７）が切断している１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）、又は、既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かって、その１つの溝（２１，２６）が延びる方向に洗浄液（２３，２９）を噴射する噴射手段（２２，２４，２７，２８）を備える。これにより、被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）、又は、既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かってその１つの溝（２１，２６）が延びる方向に直接噴射された洗浄液（２３，２９）が、その１つの溝（２１，２６）における長さ方向の全ての部分において流動する。したがって、１つの溝（２１，２６）の内部に残っていた液体がその１つの溝（２１，２６）から除去される。
【００３４】
また、本発明によれば、噴射手段（２２，２４，２７，２８）は、被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）とその１つの溝（２１）に対して同じ方向に延びる１又は複数の溝とに向かって洗浄液（２３，２９）を噴射する。そして、その１又はそれらの複数の溝（２６）には、その時点で切断されている被切断線（２０）よりも以前に切断された境界線（２５）、すなわち既に切断され終わった境界線（２５）に重なる溝（２６）が含まれる。これにより、その時点で切断されている被切断線（２０）に重なる溝（２１）に加えて、以前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）にも、洗浄液（２３，２９）を直接噴射することができる。したがって、切断され終わった境界線（２５）に重なる溝（２６）には、その境界線（２５）自身において被切断物（１）が切断された時と、それよりも後に別の境界線（４）である被切断線（２０）において被切断物（１）が切断される時との少なくとも２回にわたって、洗浄液（２３，２９）が直接噴射される。よって、１つの溝（２６）の内部に残っていた液体がその１つの溝（２６）から除去される効果が増大する。
【００３５】
また、本発明によれば、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と、複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを備えるとともに、複数の吸引管は複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出する。これにより、複数の溝（１３，１４）の内部に残っていた液体が、治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。したがって、複数の溝（１３，１４）の内部が洗浄される。
【００３６】
また、本発明によれば、複数の吸引孔（３０）に加えて複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）を備えるとともに、複数の供給孔（３４）は複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給する。これにより、供給孔（３４）から供給された洗浄液（３７）が、吸引孔（３０）によって吸引されて治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。したがって、供給孔（３４）と吸引孔（３０）との間における溝（１３，１４）の内部が洗浄される。
【００３７】
また、本発明によれば、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）における交差点に各々設けられており、交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されている。したがって、隣り合う交差点に設けられた吸引孔（３０）と供給孔（３４）との間で洗浄液（３７）が流動するので、それらの間における溝（１３，１４）の内部が効果的に洗浄される。また、溝（１３，１４）の内部において液体が除去されにくい部分、すなわち液体が残りやすい部分である交差点に、吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが配置されている。したがって、交差点付近に残っている液体が治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
被切断物である樹脂封止体（１）が吸着される吸着用治具（６）の上面には、樹脂封止体（１）に設けられた格子状の複数の領域（５）の境界線（４）に各々重なる複数の溝（１３，１４）が設けられている。回転刃（１７）が被切断線（２０）において樹脂封止体（１）を切断する際には、回転刃（１７）の周端部が被切断線（２０）に重なる切断部溝（２１）に収容される。吸着用治具（６）の前方に設けられた洗浄水用ノズル（２２）から、切断部溝（２１）に向かって、切断部溝（２１）が延びる方向であるとともに切断くずが排出される方向である−Ｙ方向に洗浄液（２３）を噴射する。また、吸着用治具（６）の前方に設けられた別の洗浄水用ノズル（２４）から、被切断線（２０）の直前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）に向かって、−Ｙ方向に洗浄液（２３）を噴射する。
【実施例１】
【００３９】
本発明に係る切断装置の実施例１を、図１を参照して説明する。図１は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図１に示されているように、本実施例に係る切断装置が有する吸着用治具６には、樹脂封止体１が吸着固定されている。樹脂封止体１は、Ｙ方向に沿う１つの境界線４からなる被切断線２０において回転刃１７によって切断されている。その被切断線２０には、Ｙ方向に延びる溝１４のうちの１つの溝である切断部溝２１が、平面視した場合に重なっている。そして、切断部溝２１には、回転刃１７の外縁である周端部が収容される。
【００４０】
吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７と一体的に洗浄水用ノズル２２が設けられている。洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１が延びる方向に洗浄水用ノズル２２の中心軸がほぼ沿うようにして、水平又はわずかに下向きに設けられている。また、洗浄水用ノズル２２は、発生した切断くずが切削水１９によって排出される方向（−Ｙ方向）に向いて設けられている。ここで、「吸着用治具６の側方の近傍」というときの「側方の近傍」とは、図示されている治具の４つの側面（正面、背面、右側面、左側面）の近傍を意味する。
【００４１】
これらの構成によって、洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１が延びる方向かつ切断くずが排出される方向に、その切断部溝２１に向かって高圧の洗浄水２３を直接噴射し、高圧の洗浄水２３を切断部溝２１の内部において高速で流動させることができる。また、洗浄水用ノズル２２を、その中心軸がわずかに下向きになるように設けることによって、洗浄水２３を切断部溝２１の底面に衝突させた後に切断部溝２１の内部において高速で流動させることができる。
【００４２】
図１に示された切断装置は、次のようにして樹脂封止体１を切断する。まず、切断しようとするＹ方向に沿う境界線４に対して、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向において回転刃１７を位置合わせする。
【００４３】
次に、切削水１９と洗浄水２３とを噴射させながら、樹脂封止体１に向かって切断機構１５を＋Ｙ方向に移動させる。これによって、樹脂封止体１を被切断線２０に沿って切断する。ここで、洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１に向かってその切断部溝２１が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。したがって、回転刃１７によって発生した切断くずは、切断部溝２１の内部を−Ｙ方向に向かって高速で流動する洗浄水２３によって、切断部溝２１から吸着用治具６の外部に除去される。
【００４４】
次に、Ｙ方向に沿う境界線４の全てにおいて樹脂封止体１を切断した後に、吸着用治具６が取り付けられたベース７（図７参照）をθ方向に９０°だけ回動させる。その後に、新たにＹ方向に沿うことになった境界線４のそれぞれにおいて樹脂封止体１を切断する。洗浄水２３を噴射することについては、最初のＹ方向における切断の場合と同様である。ここまでの工程により、樹脂封止体１を切断して、各領域５にそれぞれ対応する電子部品に個片化することができる。
【００４５】
本実施例によれば、被切断線２０に重なる切断部溝２１に向かってその切断部溝２１が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。これにより、切断部溝２１に向かって直接噴射された洗浄水２３が、その切断部溝２１の内部における長さ方向の全ての部分において、切断くずが排出される方向に高速で流動する。したがって、切断部溝２１の内部に残っており切断くずを含む液体が、切断部溝２１の内部から吸着用治具６の外部に除去される。
【実施例２】
【００４６】
本発明に係る切断装置の実施例２を、図２を参照して説明する。図２は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図２に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、切断機構１５と一体的に２個の洗浄水用ノズル２２，２４が設けられている。洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０の直前に切断された境界線２５に重なる溝２６に向かって、設けられている。そして、洗浄水用ノズル２４は、その溝２６が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。
【００４７】
本実施例によれば、その時点で切断されている被切断線２０に重なる切断部溝２１に高圧の洗浄水２３が直接噴射される。加えて、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６にも、洗浄水２３が直接噴射される。したがって、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６には、その境界線２５自身において被切断物１が切断された時と、その直後に隣の境界線である被切断線２０において被切断物１が切断される時との２回にわたって、洗浄水２３が直接噴射される。このことによって、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６、言い換えれば既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６の内部に残っており切断くずを含む液体がその１つの溝２６から除去される効果が増大する。
【００４８】
なお、洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線（直前に切断された境界線に限らない）に重なる溝に向かって、設けられていればよい。また、洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線に重なる溝に向かって、２個以上設けられていてもよい。また、２個以上設けられた洗浄水用ノズル２４のうち少なくとも１個が、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線に重なる溝に向かって、設けられていればよい。更に、２個以上設けられた洗浄水用ノズル２４には、これから切断しようとする境界線に重なる溝に向かって設けられているノズルが含まれていてもよい。
【００４９】
また、その時点で切断されている被切断線２０に重なる溝２１に向かって洗浄水２３を噴射することなく、既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６に向かって洗浄水２３を噴射することとしてもよい。言い換えれば、洗浄水用ノズル２４のみを１個又は複数個設けてもよい。更に、既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６と、まだ切断されていない境界線４に重なる溝１４とに向かって、洗浄水２３を噴射することとしてもよい。
【００５０】
なお、ここまで説明した実施例１と実施例２とにおいては、切断機構１５と一体的に洗浄水用ノズル２２，２４が設けられていることとした。これに限らず、洗浄水用ノズル２２，２４を、切断機構１５とは分離して設けることもできる。この場合には、洗浄水用ノズル２２，２４を、Ｘ方向には切断機構１５に同期して移動させ、Ｙ方向には切断機構１５とは非同期で移動させてもよい。
【００５１】
また、複数個の洗浄水用ノズル２２，２４間のピッチ（中心間距離）を可変にできる構成を採用してもよい。これにより、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においても複数個の洗浄水用ノズル２２，２４自体を変更する必要がないという効果が得られる。
【実施例３】
【００５２】
本発明に係る切断装置の実施例３を、図３を参照して説明する。図３は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図３に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７とは分離して、Ｘ方向に沿って延びる長尺の洗浄水用ノズル２７が設けられている。洗浄水用ノズル２７は、切断しようとする方向（Ｙ方向）に沿う全ての溝１４にそれぞれ対向する複数の噴射口（図示なし）を有する。そして、洗浄水用ノズル２７が有する複数の噴射口は、すべての溝１４に対して、それらの溝１４が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３をそれぞれ直接噴射する。
【００５３】
本実施例によれば、常時、すべての溝１４に対して、高圧の洗浄水２３がそれぞれ直接噴射される。これにより、その時点で切断されている被切断線２０に重なる溝２１に加えて、それ以前に切断された境界線（直前に切断された境界線２５を含む）に重なる溝（溝２６を含む）を含む他の溝１４にも、高圧の洗浄水２３がそれぞれ直接噴射される。したがって、全ての溝１４に重なる境界線４において被切断物１が切断された後においても、全ての溝１４に向かって洗浄水２３が直接噴射される。よって、全ての溝１４において、内部に残っており切断くずを含む液体が除去される効果が増大する。
【００５４】
なお、すべての噴射口間のピッチ（隣接する噴射口間の中心間距離）が異なる複数の洗浄水用ノズル２７を準備しておいてもよい。これにより、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においてもノズル自体を交換することによって対応できるという効果が得られる。
【実施例４】
【００５５】
本発明に係る切断装置の実施例４を、図４を参照して説明する。図４は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図４に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７とは分離して、Ｘ方向に沿って延びる長尺の洗浄水用ノズル２８が設けられている。洗浄水用ノズル２８は、切断しようとする方向（Ｙ方向）に沿う全ての溝１４に対向してＸ方向に沿って延びる、１個のスリット状の噴射口を有する。そして、洗浄水用ノズル２８は、すべての溝１４に対して、それらの溝１４が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、Ｘ方向とＹ方向とに延びてＺ方向に小さい厚さを有する膜状（カーテン状）で高圧の洗浄水２９を直接噴射する。
【００５６】
本実施例によれば、洗浄水２９は膜状の形状を有するので、常時、すべての溝１４に対して、高圧の洗浄水２３がそれぞれ直接噴射される。したがって、実施例３と同様の効果が得られる。加えて、本実施例によれば、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においてもノズル自体を変更する必要がないという効果が得られる。
【００５７】
なお、本実施例の説明では、洗浄水用ノズル２８が１個のスリット状の噴射口を有することとした。これに限らず、洗浄水用ノズル２８の噴射口は、Ｘ方向に沿って延びる複数個のスリット状の噴射口であってもよい。また、Ｘ方向に沿って複数の洗浄水用ノズル２８を設けてもよい。また、１個又は複数個のスリット状の噴射口を設けて、それらの噴射口が扇状に拡がる洗浄水を噴射することとしてもよい。
【００５８】
また、ここまで説明した実施例１〜４において洗浄水２３、２９に必要な条件は、洗浄水２３、２９が、切断部溝２１及び溝２６の内部における長さ方向の全ての部分において切断くずが排出される方向に高速で流動することである。したがって、切断部溝２１及び溝２６に向かって噴射された洗浄水２３の圧力、噴射速度、断面形状、断面積等については、上述した条件を満たすように定めればよい。洗浄水用ノズル２２、２４、２７、２８の噴射口と切断部溝２１及び溝２６の開口との距離についても、上述した条件を満たすように定めればよい。
【実施例５】
【００５９】
本発明に係る切断装置の実施例５を、図５を参照して説明する。図５は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図５に示されているように、吸着用治具６における溝１３，１４の底面には、複数の吸引孔３０が設けられている。複数の吸引孔３０は、吸着用治具６及びベース７の内部に設けられた吸引管（図示なし）と吸引用配管３１とを順次経由して、真空ポンプや減圧タンク等の吸引源３２につながっている。そして、回転刃１７によって樹脂封止体１が切断されている間、溝１３，１４の内部に溜まっている液体は、複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって排水３３として吸着用治具６の外部に除去される。
【００６０】
本実施例によれば、複数の溝１３，１４の底面に設けられ吸引源３２につながっている複数の吸引孔３０によって、溝１３，１４の内部が吸引される。このことにより、複数の溝１３，１４の内部に残っており切断くずを含む液体が吸引されて吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、複数の溝１３，１４の内部が洗浄される。
【００６１】
ところで、溝１３，１４の内部において複数の吸引孔３０が設けられる場所と数とについては、特に限定されるものではなく任意に定めることができる。しかし、それらの場所は、図に示されているように溝１３，１４の交差点であることが好ましい。これにより、複数の溝１３，１４の内部において切断くずを含む液体が溜まりやすい交差点において、溜まっている液体が切断装置の外部に除去される効果が高まる。
【実施例６】
【００６２】
本発明に係る切断装置の実施例６を、図６を参照して説明する。図６は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図６に示されているように、吸着用治具６における溝１３，１４の底面には、複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが相隣り合って設けられている。図６では、吸引孔３０は楕円の内部に「Ｘ」を付して、供給孔３４は楕円の内部に「・」を付して、それぞれ示されている。複数の供給孔３４は、吸着用治具６及びベース７の内部に設けられている供給管（図示なし）と供給用配管３５とを順次経由して、洗浄水の供給源３６につながっている。
【００６３】
回転刃１７によって樹脂封止体１が切断されている間、複数の供給孔３４は溝１３，１４の内部に洗浄水３７を供給する。そして、複数の供給孔３４から供給された洗浄水３７は、複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって排水３８として吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、溝１３，１４の内部に溜まっている液体は、その排水３８に混じって吸着用治具６の外部に除去される。
【００６４】
本実施例によれば、複数の供給孔３４から供給された洗浄水３７が複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって、排水３８として吸着用治具６の外部に除去される。これにより、複数の溝１３，１４の内部に残っており切断くずを含む液体が吸引されて、排水３８に混じって吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、複数の溝１３，１４の内部が効果的に洗浄される。
【００６５】
ところで、溝１３，１４の内部において、複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが相隣り合って設けられていることとした。複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが設けられる場所と数とについては、特に限定されるものではなく任意に定めることができる。しかし、それらの場所は、図に示されているように溝１３，１４の交差点であることが好ましい。これにより、複数の溝１３，１４の内部において切断くずを含む液体が溜まりやすい交差点において、溜まっている液体が切断装置の外部に除去される効果が高まる。
【００６６】
なお、上述した各実施例において、被切断物としての樹脂封止体１は、その樹脂封止体１を切断してＬＥＤパッケージ、ＣＣＤ等の光素子（光学系電子部品）を製造する場合における、透光性樹脂を含む樹脂封止体であってもよい。また、被切断物は、透光性樹脂を含む樹脂成形体を切断して光学レンズ、光通信部品、導光板等の光学系の物品を製造する場合における樹脂成形体であってもよい。特に、光素子や光学系の物品を製造する場合における切断くずの付着は、歩留まり低下の原因になる。そして、本発明によれば、光素子や光学系の物品に切断くずが付着することを防止することによって、光素子や光学系の物品を製造する際の歩留まりを向上させることができる。
【００６７】
また、被切断物は、樹脂封止体以外に、シリコンウェーハ、化合物半導体ウエーハ等のウエーハ類、ガラス基板、セラミックス基板等の基板類であってもよい。言い換えれば、被切断物を切断して個片化する際に切断くずの付着を避けたいような場合において、本発明を適用することができる。
【００６８】
また、洗浄水用ノズルの噴射口を縦長にして、切削水用ノズルと洗浄水用ノズルとを共通化してもよい。この場合には、切削水・洗浄水兼用ノズルが、切削場所と切断部溝との双方に向かって水を噴射することになる。また、洗浄水用ノズルと同様の形状を有する切削水用ノズルを、洗浄水用ノズルに対してＺ方向に並べて設けることもできる。
【００６９】
また、１枚の回転刃１７を使用する実施例について説明した。これに限らず、切断装置には複数の回転刃１７が設けられていてもよい。
【００７０】
また、ここまでの説明における「切削水」は、加工抵抗の低減（潤滑）と冷却と切断によって発生する切りくずの除去とを目的として供給される液体、すなわち切削液の総称である。また、「洗浄水」は、切断によって発生する切りくずの除去を主な目的として供給される液体、すなわち洗浄液の総称である。そして、「切削水」と「洗浄水」とのいずれについても、通常は市水又は純水が使用される。また、「切削水」と「洗浄水」として、市水又は純水に添加剤（洗剤、潤滑剤等）を添加した液体を使用してもよい。
【００７１】
また、吸着用治具６を使用して被切断物である樹脂封止体１を吸着固定した。これに限らず、被切断物や個片化された後の物品等の寸法形状によっては、クランプ等を使用して被切断物を固定してもよい。
【００７２】
また、上述した各実施例においては、被切断物を完全に切断する「フルカット」について説明した。これに限らず、被切断物の厚み方向の一部を残して被切断物を切削（部分的に切断）する、いわゆる「ハーフカット」に対して本発明を適用することもできる。ハーフカットの場合においても、切断くずを含む切削水１９が吸着用治具６の溝１３，１４に入り込むことがあるので（図１参照）、本発明は有効である。
【００７３】
また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】実施例１に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図２】実施例２に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図３】実施例３に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図４】実施例４に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図５】実施例５に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図６】実施例６に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図７】従来の被切断物の切断方式を説明する概略斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１    樹脂封止体（被切断物）
２    基板
３    硬化樹脂
４    境界線
５    領域
６    吸着用治具（治具）
７    ベース
８    突起
９    凹部
１０    吸引孔
１１    吸引用配管
１２    吸引源
１３、１４、２６    溝
１５    切断機構
１６    回転軸
１７    回転刃
１８    切削水用ノズル
１９    切削水
２０    被切断線
２１    切断部溝
２２、２４、２７、２８    洗浄水用ノズル
２３、２９、３７    洗浄水（洗浄液）
２５    直前に切断された境界線（既に切断され終わった境界線）
３０    吸引孔
３１    吸引用配管
３２    吸引源
３３、３８    排水
３４    供給孔
３５    供給用配管
３６    供給源
【図１】
2013010180.tif 000003
【図２】
2013010180.tif 000004
【図３】
2013010180.tif 000005
【図４】
2013010180.tif 000006
【図５】
2013010180.tif 000007
【図６】
2013010180.tif 000008
【図７】
2013010180.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月18日(2012.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、格子状に設けられた複数の領域を有する被切断物を切断することによって、領域に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される、切断装置及び切断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における被切断物の切断方式を、図７を参照して説明する。図７は、従来の被切断物の切断方式を説明する概略斜視図である。被切断物の例として、基板の複数の領域に各々装着されたチップ状の素子が樹脂封止されて形成された樹脂封止体を挙げて説明する。この例では、樹脂封止体を切断することによって、各領域に対応する複数の電子部品を製造する。なお、以下に説明するいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。
【０００３】
樹脂封止体１は、リードフレーム、ガラスエポキシ基板等のプリント基板、セラミックス基板等からなる基板２と、硬化樹脂３とを有する複合材料である。基板２は、仮想的に設けられた格子状の境界線４と、それらの境界線４によって区切られた複数の領域５とを有する。領域５のそれぞれには１個又は複数個のチップ状の素子（半導体チップ等からなり、以下適宜「チップ」という。）が装着され、それらのチップが硬化樹脂３によって樹脂封止されている。樹脂封止体１が有する領域５のそれぞれが切断され個片化されることによって、各領域５にそれぞれ対応する電子部品が製造される。
【０００４】
樹脂封止体１を切断する電子部品用の切断装置には、樹脂封止体１を吸着固定する吸着用治具６が設けられる。吸着用治具６は、ベース７に取り付けられている。ベース７は、Ｘ方向とＹ方向とＺ方向とに移動自在であるとともに、θ方向に回動自在に設けられている。吸着用治具６には、基板２の複数の領域５をそれぞれ吸着して保持（固定）する複数の柱状の突起８が設けられている。また、各突起８は、樹脂封止体１が領域５単位に切断されて形成された各電子部品（パッケージ）を吸着して保持する。突起８の上面には、吸着用の空間である凹部９と、凹部９に設けられた吸引孔１０とが設けられている。吸引孔１０は、突起８、吸着用治具６、及びベース７の内部に設けられた吸引管（図示なし）と吸引用配管１１とを順次経由して、真空ポンプや減圧タンク等の吸引源１２につながっている。突起８同士の間には、Ｘ方向に延びる溝１３とＹ方向に延びる溝１４とが設けられている。
【０００５】
吸着用治具６の付近には、切断機構１５が、Ｙ方向に移動自在に設けられている。切断機構１５には、モータ（図示なし）の回転軸１６と、回転軸１６に固定された回転刃１７と、切削水用ノズル１８とが設けられている。切削水用ノズル１８が設けられている場所は、樹脂封止体１に対して切断機構１５が相対的に進んでいく行き先の側であって、回転刃１７の周端部が樹脂封止体１に接触する部分である被切削点付近である。また、樹脂封止体１が切断される際には、回転刃１７の周端部が溝１３又は溝１４に収容される。
【０００６】
樹脂封止体１を切断する工程では、まず、切断しようとするＹ方向に沿う境界線４に対して、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向において回転刃１７を位置合わせする。次に、樹脂封止体１に向かって切断機構１５を＋Ｙ方向に移動させる。これにより、樹脂封止体１をその境界線４に沿って完全に切断する（フルカットする）ことができる。Ｙ方向に沿う境界線４の全てにおいて樹脂封止体１を切断した後に、ベース７をθ方向に９０°だけ回動させる。その後に、新たにＹ方向に沿うことになった境界線４のそれぞれにおいて、樹脂封止体１を完全に切断する（フルカットする）。これにより、樹脂封止体１を切断して、各領域５にそれぞれ対応する電子部品に個片化することができる。
【０００７】
樹脂封止体１を切断する際に、切削水用ノズル１８は、上方又は斜め上方から被切削点に向かって切削水１９を吐出する。切削水１９は、回転刃１７と樹脂封止体１との間における加工抵抗の低減（言い換えれば潤滑）と、回転刃１７と樹脂封止体１との冷却と、発生した切断くずの除去という役割をはたす。
【０００８】
ところで、近年、コストダウンの要請に基づいて、１枚の基板における電子部品の取れ数増加という傾向がいっそう強まっている。この傾向から、基板２の大型化と、樹脂封止体１を切断する際の切り代（カーフロス、切断幅）の狭小化とが求められている。これらのことによって、次の問題が発生している。
【０００９】
まず、基板２の大型化に起因する問題がある。基板２の大型化により、Ｘ方向に延びる溝１３の長さとＹ方向に延びる溝１４の長さとが増大している。したがって、上方又は斜め上方から切削水１９を吐出する方式では、溝１３，１４の長さ方向の全ての部分に切削水１９が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。このことから、切断くずを含む水が溝１３，１４から除去されにくくなっている。
【００１０】
切断くずを含む水が溝１３，１４に残っている場合には、吸着用治具６において吸着から解除された電子部品が搬送機構（図示なし）によって搬送される際に、次の事態が発生するおそれがある。それは、個片化された複数の電子部品が搬送機構によって一括して吸着される際に、溝１３，１４において切断くずを含んで残っている水が吸い上げられて電子部品の全面にわたって付着するという事態である。そして、切断くずを含む水が電子部品の全面にわたって付着した状態で、電子部品が搬送される。
【００１１】
電子部品に付着した切断くずは、後工程において不具合を発生させるという第１の問題を引き起こす。特に、ガラスエポキシ基板等及び硬化樹脂３が切断されることによって発生する大量の樹脂系の切断くずは、接触不良の原因になる。また、基板２において配線材料として使用されている銅箔に起因する金属系の切断くずは、短絡の原因になる。更に、電子部品に付着した切断くずは、電子部品を洗浄して切断くずを完全に除去する工程が必要になるので工数が増加するという第２の問題を引き起こす。
【００１２】
次に、切り代の狭小化に起因する問題がある。上方又は斜め上方から切削水１９を吐出する従来の方式では、切り代を通して溝１３，１４に切削水１９が注入される。したがって、従来の方式では、切り代が狭くなるに伴い、狭くなった切り代を通して溝１３，１４に切削水１９が注入されにくくなる。このことにより、溝１３，１４の長さ方向の全ての部分に切削水１９が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。したがって、切断くずを含む水が溝１３，１４から除去されにくくなっているので、上述した２つの問題が発生する。
【００１３】
また、基板２の面（図では上側に示された面）にはんだバンプ等の突起状電極が形成されている場合には、突起状電極の付け根部分に切断くずが付着しやすい。したがって、上述した２つの問題はいっそう顕著になる。
【００１４】
上述した問題に対処するために、研削水（切削水）供給ノズルとは別に、ワーク（被切断物）の斜め上方に高圧洗浄ノズルを設ける構成が提案されている。この構成によれば、高圧洗浄ノズルは、ワークの切断ストローク端近傍に設けられ、切断後のワークに向けて斜め上方から、研削水よりも高圧の洗浄水を供給する（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
しかし、この構成を採用したとしても、ワークである基板の大型化と切り代の狭小化とに伴い、治具本体の上面に設けられた逃げ溝における長さ方向の全ての部分に洗浄水が十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることが困難になっている。このことから、切断くずを含む水が逃げ溝から除去されにくいという状態は解消されていない。
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−１６８６５９号公報（第２−４頁、第１−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明が解決しようとする課題は、切断装置の治具に設けられた溝における切断くずを除去することが困難であることである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
以下、「課題を解決するための手段」と「発明の効果」と「発明を実施するための最良の形態」との説明におけるかっこ内の符号は、説明における用語と図面に示された構成要素とを対比しやすくする目的で記載されたものである。また、これらの符号等は、「図面に示された構成要素に限定して、説明における用語の意義を解釈すること」を意味するものではない。
【００１９】
上述の課題を解決するために、本発明に係る切断装置は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、回転刃（１７）と被切断物（１）とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する切削水用ノズル（１８）と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と、複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを備えるとともに、複数の吸引管は複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出し、溜まっている液体には切削水（１９）と回転刃（１７）によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の吸引孔（３０）の少なくとも一部は複数の溝（１３，１４）同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）と、複数の供給孔（３４）に各々つながっている複数の供給管とを備えるとともに、複数の供給孔（３４）は複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給し、切削水（１９）と洗浄液（３７）とが複数の溝（１３，１４）に行き渡り、溜まっている液体には洗浄液（３７）が含まれることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）同士が交差する複数の交差点に各々設けられており、複数の交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されていることを特徴とする。
【００２３】
また、本発明に係る切断装置は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を固定面に固定する治具（６）と、固定面において複数の領域（５）の境界線（４）に重なるようにして設けられた複数の溝（１３，１４）と、境界線（４）に沿って被切断物（１）を切断する回転刃（１７）とを備え、領域（５）に各々対応する複数の物品を製造する際に使用される切断装置であって、回転刃（１７）と被切断物（１）とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する切削水用ノズル（１８）と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）と、複数の供給孔（３４）に各々つながっている複数の供給管とを備えるとともに、複数の供給孔（３４）は複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給し、切削水（１９）と洗浄液（３７）とが複数の溝（１３，１４）の長さ方向の全ての部分に十分な勢いで十分な量だけ行き渡ることによって、複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を治具（６）の外部に排出し、溜まっている液体には切削水（１９）と洗浄液（３７）と回転刃（１７）によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする。
【００２４】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、複数の供給孔（３４）の少なくとも一部は複数の溝（１３，１４）同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る切断装置は、上述の切断装置において、被切断物（１）は、透光性樹脂を含む樹脂封止体であって該樹脂封止体を切断して光素子を製造する場合における樹脂封止体、又は、透光性樹脂を含む樹脂成形体であって該樹脂成形体を切断して光学系の物品を製造する場合における樹脂成形体のいずれかであることを特徴とする。
【００２６】
また、本発明に係る切断方法は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を回転刃（１７）を使用して切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、回転刃（１７）と被切断物（１）とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と該複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを順次介して、複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出する工程とを備え、溜まっている液体には切削水（１９）と回転刃（１７）によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする。
【００２７】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、排出する工程では、複数の溝（１３，１４）同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられた吸引孔（３０）を使用して溜まっている液体を吸引することを特徴とする。
【００２８】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）から複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給する工程を備え、供給する工程では切削水（１９）と洗浄液（３７）とを複数の溝（１３，１４）に行き渡らせ、溜まっている液体には洗浄液（３７）が含まれることを特徴とする。
【００２９】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）における交差点に各々設けられており、交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されていることを特徴とする。
【００３０】
また、本発明に係る切断方法は、格子状に設けられた複数の領域（５）を有する被切断物（１）を回転刃（１７）を使用して切断することによって領域（５）に各々対応する複数の物品を形成する切断方法であって、複数の領域（５）を区切る複数の境界線（４）に各々対応して治具（６）の固定面に設けられた複数の溝（１３，１４）と複数の境界線（４）とを各々位置合わせする工程と、被切断物（１）を固定面に固定する工程と、回転刃（１７）と被切断物（１）とが接触する被切削点に向かって上方又は斜め上方から切削水（１９）を吐出する工程と、回転刃（１７）によって複数の境界線（４）のうち１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に沿って被切断物（１）を切断する工程と、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）に各々つながっている複数の供給管と複数の供給孔（３４）とを順次介して、複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給する工程と、切削水（１９）と洗浄液（３７）とを複数の溝（１３，１４）の長さ方向の全ての部分に十分な勢いで十分な量だけ行き渡らせることによって、複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を治具（６）の外部に排出する工程とを備え、溜まっている液体には切削水（１９）と洗浄液（３７）と回転刃（１７）によって発生した切断くずとが含まれることを特徴とする。
【００３１】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、供給する工程では、複数の溝（１３，１４）同士が交差する複数の交差点の少なくとも一部に設けられた供給孔（３４）を使用して洗浄液（３７）を供給することを特徴とする。
【００３２】
また、本発明に係る切断方法は、上述の切断方法において、被切断物（１）は、透光性樹脂を含む樹脂封止体であって該樹脂封止体を切断して光素子を製造する場合における樹脂封止体、又は、透光性樹脂を含む樹脂成形体であって該樹脂成形体を切断して光学系の物品を製造する場合における樹脂成形体のいずれかであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、治具（６）の側方に設けられ、複数の溝（１３，１４）のうち回転刃（１７）が切断している１つの境界線（４）からなる被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）、又は、既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かって、その１つの溝（２１，２６）が延びる方向に洗浄液（２３，２９）を噴射する噴射手段（２２，２４，２７，２８）を備える。これにより、被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）、又は、既に切断され終わった境界線（２５）に重なる１つの溝（２６）に向かってその１つの溝（２１，２６）が延びる方向に直接噴射された洗浄液（２３，２９）が、その１つの溝（２１，２６）における長さ方向の全ての部分において流動する。したがって、１つの溝（２１，２６）の内部に残っていた液体がその１つの溝（２１，２６）から除去される。
【００３４】
また、本発明によれば、噴射手段（２２，２４，２７，２８）は、被切断線（２０）に重なる１つの溝（２１）とその１つの溝（２１）に対して同じ方向に延びる１又は複数の溝とに向かって洗浄液（２３，２９）を噴射する。そして、その１又はそれらの複数の溝（２６）には、その時点で切断されている被切断線（２０）よりも以前に切断された境界線（２５）、すなわち既に切断され終わった境界線（２５）に重なる溝（２６）が含まれる。これにより、その時点で切断されている被切断線（２０）に重なる溝（２１）に加えて、以前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）にも、洗浄液（２３，２９）を直接噴射することができる。したがって、切断され終わった境界線（２５）に重なる溝（２６）には、その境界線（２５）自身において被切断物（１）が切断された時と、それよりも後に別の境界線（４）である被切断線（２０）において被切断物（１）が切断される時との少なくとも２回にわたって、洗浄液（２３，２９）が直接噴射される。よって、１つの溝（２６）の内部に残っていた液体がその１つの溝（２６）から除去される効果が増大する。
【００３５】
また、本発明によれば、複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の吸引孔（３０）と、複数の吸引孔（３０）に各々つながっている複数の吸引管とを備えるとともに、複数の吸引管は複数の溝（１３，１４）において溜まっている液体を吸引して治具（６）の外部に排出する。これにより、複数の溝（１３，１４）の内部に残っていた液体が、治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。したがって、複数の溝（１３，１４）の内部が洗浄される。
【００３６】
また、本発明によれば、複数の吸引孔（３０）に加えて複数の溝（１３，１４）の底面に設けられた複数の供給孔（３４）を備えるとともに、複数の供給孔（３４）は複数の溝（１３，１４）に洗浄液（３７）を供給する。これにより、供給孔（３４）から供給された洗浄液（３７）が、吸引孔（３０）によって吸引されて治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。したがって、供給孔（３４）と吸引孔（３０）との間における溝（１３，１４）の内部が洗浄される。
【００３７】
また、本発明によれば、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とは複数の溝（１３，１４）における交差点に各々設けられており、交差点のうち隣り合う交差点には吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが各々配置されている。したがって、隣り合う交差点に設けられた吸引孔（３０）と供給孔（３４）との間で洗浄液（３７）が流動するので、それらの間における溝（１３，１４）の内部が効果的に洗浄される。また、溝（１３，１４）の内部において液体が除去されにくい部分、すなわち液体が残りやすい部分である交差点に、吸引孔（３０）と供給孔（３４）とが配置されている。したがって、交差点付近に残っている液体が治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に排出される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
被切断物である樹脂封止体（１）が吸着される吸着用治具（６）の上面には、樹脂封止体（１）に設けられた格子状の複数の領域（５）の境界線（４）に各々重なる複数の溝（１３，１４）が設けられている。回転刃（１７）が被切断線（２０）において樹脂封止体（１）を切断する際には、回転刃（１７）の周端部が被切断線（２０）に重なる切断部溝（２１）に収容される。吸着用治具（６）の前方に設けられた洗浄水用ノズル（２２）から、切断部溝（２１）に向かって、切断部溝（２１）が延びる方向であるとともに切断くずが排出される方向である−Ｙ方向に洗浄液（２３）を噴射する。また、吸着用治具（６）の前方に設けられた別の洗浄水用ノズル（２４）から、被切断線（２０）の直前に切断された境界線（２５）に重なる溝（２６）に向かって、−Ｙ方向に洗浄液（２３）を噴射する。
切断機構（１５）には、モータの回転軸（１６）と、回転軸（１６）に固定された回転刃（１７）と、切削水用ノズル（１８）とが設けられている。樹脂封止体１を切断する際に、切削水用ノズル（１８）は、上方又は斜め上方から被切削点に向かって切削水（１９）を吐出する。吸着用治具（６）における溝（１３，１４）の底面には、複数の吸引孔（３０）と複数の供給孔（３４）とが相隣り合って設けられている。回転刃（１７）によって樹脂封止体１が切断されている間、複数の供給孔（３４）は溝（１３，１４）の内部に洗浄水（３７）を供給する。そして、複数の供給孔（３４）から供給された洗浄水（３７）は、複数の吸引孔（３０）を経由して吸引されることによって排水（３８）として吸着用治具（６）の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。
【実施例１】
【００３９】
本発明に係る切断装置の実施例１を、図１を参照して説明する。図１は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図１に示されているように、本実施例に係る切断装置が有する吸着用治具６には、樹脂封止体１が吸着固定されている。樹脂封止体１は、Ｙ方向に沿う１つの境界線４からなる被切断線２０において回転刃１７によって切断されている。その被切断線２０には、Ｙ方向に延びる溝１４のうちの１つの溝である切断部溝２１が、平面視した場合に重なっている。そして、切断部溝２１には、回転刃１７の外縁である周端部が収容される。
【００４０】
吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７と一体的に洗浄水用ノズル２２が設けられている。洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１が延びる方向に洗浄水用ノズル２２の中心軸がほぼ沿うようにして、水平又はわずかに下向きに設けられている。また、洗浄水用ノズル２２は、発生した切断くずが切削水１９によって排出される方向（−Ｙ方向）に向いて設けられている。ここで、「吸着用治具６の側方の近傍」というときの「側方の近傍」とは、図示されている治具の４つの側面（正面、背面、右側面、左側面）の近傍を意味する。
【００４１】
これらの構成によって、洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１が延びる方向かつ切断くずが排出される方向に、その切断部溝２１に向かって高圧の洗浄水２３を直接噴射し、高圧の洗浄水２３を切断部溝２１の内部において高速で流動させることができる。また、洗浄水用ノズル２２を、その中心軸がわずかに下向きになるように設けることによって、洗浄水２３を切断部溝２１の底面に衝突させた後に切断部溝２１の内部において高速で流動させることができる。
【００４２】
図１に示された切断装置は、次のようにして樹脂封止体１を切断する。まず、切断しようとするＹ方向に沿う境界線４に対して、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向において回転刃１７を位置合わせする。
【００４３】
次に、切削水１９と洗浄水２３とを噴射させながら、樹脂封止体１に向かって切断機構１５を＋Ｙ方向に移動させる。これによって、樹脂封止体１を被切断線２０に沿って切断する。ここで、洗浄水用ノズル２２は、切断部溝２１に向かってその切断部溝２１が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。したがって、回転刃１７によって発生した切断くずは、切断部溝２１の内部を−Ｙ方向に向かって高速で流動する洗浄水２３によって、切断部溝２１から吸着用治具６の外部に除去される。
【００４４】
次に、Ｙ方向に沿う境界線４の全てにおいて樹脂封止体１を切断した後に、吸着用治具６が取り付けられたベース７（図７参照）をθ方向に９０°だけ回動させる。その後に、新たにＹ方向に沿うことになった境界線４のそれぞれにおいて樹脂封止体１を切断する。洗浄水２３を噴射することについては、最初のＹ方向における切断の場合と同様である。ここまでの工程により、樹脂封止体１を切断して、各領域５にそれぞれ対応する電子部品に個片化することができる。
【００４５】
本実施例によれば、被切断線２０に重なる切断部溝２１に向かってその切断部溝２１が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。これにより、切断部溝２１に向かって直接噴射された洗浄水２３が、その切断部溝２１の内部における長さ方向の全ての部分において、切断くずが排出される方向に高速で流動する。したがって、切断部溝２１の内部に残っており切断くずを含む液体が、切断部溝２１の内部から吸着用治具６の外部に除去される。
【実施例２】
【００４６】
本発明に係る切断装置の実施例２を、図２を参照して説明する。図２は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図２に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、切断機構１５と一体的に２個の洗浄水用ノズル２２，２４が設けられている。洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０の直前に切断された境界線２５に重なる溝２６に向かって、設けられている。そして、洗浄水用ノズル２４は、その溝２６が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３を直接噴射する。
【００４７】
本実施例によれば、その時点で切断されている被切断線２０に重なる切断部溝２１に高圧の洗浄水２３が直接噴射される。加えて、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６にも、洗浄水２３が直接噴射される。したがって、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６には、その境界線２５自身において被切断物１が切断された時と、その直後に隣の境界線である被切断線２０において被切断物１が切断される時との２回にわたって、洗浄水２３が直接噴射される。このことによって、直前に切断された境界線２５に重なる溝２６、言い換えれば既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６の内部に残っており切断くずを含む液体がその１つの溝２６から除去される効果が増大する。
【００４８】
なお、洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線（直前に切断された境界線に限らない）に重なる溝に向かって、設けられていればよい。また、洗浄水用ノズル２４は、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線に重なる溝に向かって、２個以上設けられていてもよい。また、２個以上設けられた洗浄水用ノズル２４のうち少なくとも１個が、その時点で切断されている被切断線２０よりも以前に切断された境界線に重なる溝に向かって、設けられていればよい。更に、２個以上設けられた洗浄水用ノズル２４には、これから切断しようとする境界線に重なる溝に向かって設けられているノズルが含まれていてもよい。
【００４９】
また、その時点で切断されている被切断線２０に重なる溝２１に向かって洗浄水２３を噴射することなく、既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６に向かって洗浄水２３を噴射することとしてもよい。言い換えれば、洗浄水用ノズル２４のみを１個又は複数個設けてもよい。更に、既に切断され終わった境界線２５に重なる溝２６と、まだ切断されていない境界線４に重なる溝１４とに向かって、洗浄水２３を噴射することとしてもよい。
【００５０】
なお、ここまで説明した実施例１と実施例２とにおいては、切断機構１５と一体的に洗浄水用ノズル２２，２４が設けられていることとした。これに限らず、洗浄水用ノズル２２，２４を、切断機構１５とは分離して設けることもできる。この場合には、洗浄水用ノズル２２，２４を、Ｘ方向には切断機構１５に同期して移動させ、Ｙ方向には切断機構１５とは非同期で移動させてもよい。
【００５１】
また、複数個の洗浄水用ノズル２２，２４間のピッチ（中心間距離）を可変にできる構成を採用してもよい。これにより、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においても複数個の洗浄水用ノズル２２，２４自体を変更する必要がないという効果が得られる。
【実施例３】
【００５２】
本発明に係る切断装置の実施例３を、図３を参照して説明する。図３は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図３に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７とは分離して、Ｘ方向に沿って延びる長尺の洗浄水用ノズル２７が設けられている。洗浄水用ノズル２７は、切断しようとする方向（Ｙ方向）に沿う全ての溝１４にそれぞれ対向する複数の噴射口（図示なし）を有する。そして、洗浄水用ノズル２７が有する複数の噴射口は、すべての溝１４に対して、それらの溝１４が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、高圧の洗浄水２３をそれぞれ直接噴射する。
【００５３】
本実施例によれば、常時、すべての溝１４に対して、高圧の洗浄水２３がそれぞれ直接噴射される。これにより、その時点で切断されている被切断線２０に重なる溝２１に加えて、それ以前に切断された境界線（直前に切断された境界線２５を含む）に重なる溝（溝２６を含む）を含む他の溝１４にも、高圧の洗浄水２３がそれぞれ直接噴射される。したがって、全ての溝１４に重なる境界線４において被切断物１が切断された後においても、全ての溝１４に向かって洗浄水２３が直接噴射される。よって、全ての溝１４において、内部に残っており切断くずを含む液体が除去される効果が増大する。
【００５４】
なお、すべての噴射口間のピッチ（隣接する噴射口間の中心間距離）が異なる複数の洗浄水用ノズル２７を準備しておいてもよい。これにより、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においてもノズル自体を交換することによって対応できるという効果が得られる。
【実施例４】
【００５５】
本発明に係る切断装置の実施例４を、図４を参照して説明する。図４は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図４に示されているように、吸着用治具６における側方（図１では前方）の近傍には、回転刃１７とは分離して、Ｘ方向に沿って延びる長尺の洗浄水用ノズル２８が設けられている。洗浄水用ノズル２８は、切断しようとする方向（Ｙ方向）に沿う全ての溝１４に対向してＸ方向に沿って延びる、１個のスリット状の噴射口を有する。そして、洗浄水用ノズル２８は、すべての溝１４に対して、それらの溝１４が延びる方向に、かつ、切断くずが排出される方向（−Ｙ方向）に、Ｘ方向とＹ方向とに延びてＺ方向に小さい厚さを有する膜状（カーテン状）で高圧の洗浄水２９を直接噴射する。
【００５６】
本実施例によれば、洗浄水２９は膜状の形状を有するので、常時、すべての溝１４に対して、高圧の洗浄水２９がそれぞれ直接噴射される。したがって、実施例３と同様の効果が得られる。加えて、本実施例によれば、電子部品のサイズ、言い換えれば境界線４の間隔が変わった場合においてもノズル自体を変更する必要がないという効果が得られる。
【００５７】
なお、本実施例の説明では、洗浄水用ノズル２８が１個のスリット状の噴射口を有することとした。これに限らず、洗浄水用ノズル２８の噴射口は、Ｘ方向に沿って延びる複数個のスリット状の噴射口であってもよい。また、Ｘ方向に沿って複数の洗浄水用ノズル２８を設けてもよい。また、１個又は複数個のスリット状の噴射口を設けて、それらの噴射口が扇状に拡がる洗浄水を噴射することとしてもよい。
【００５８】
また、ここまで説明した実施例１〜４において洗浄水２３、２９に必要な条件は、洗浄水２３、２９が、切断部溝２１及び溝２６の内部における長さ方向の全ての部分において切断くずが排出される方向に高速で流動することである。したがって、切断部溝２１及び溝２６に向かって噴射された洗浄水２３、２９の圧力、噴射速度、断面形状、断面積等については、上述した条件を満たすように定めればよい。洗浄水用ノズル２２、２４、２７、２８の噴射口と切断部溝２１及び溝２６の開口との距離についても、上述した条件を満たすように定めればよい。
【実施例５】
【００５９】
本発明に係る切断装置の実施例５を、図５を参照して説明する。図５は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図５に示されているように、吸着用治具６における溝１３，１４の底面には、複数の吸引孔３０が設けられている。複数の吸引孔３０は、吸着用治具６及びベース７の内部に設けられた吸引管（図示なし）と吸引用配管３１とを順次経由して、真空ポンプや減圧タンク等の吸引源３２につながっている。そして、回転刃１７によって樹脂封止体１が切断されている間、溝１３，１４の内部に溜まっている液体は、複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって排水３３として吸着用治具６の外部に除去される。
【００６０】
本実施例によれば、複数の溝１３，１４の底面に設けられ吸引源３２につながっている複数の吸引孔３０によって、溝１３，１４の内部が吸引される。このことにより、複数の溝１３，１４の内部に残っており切断くずを含む液体が吸引されて吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、複数の溝１３，１４の内部が洗浄される。
【００６１】
ところで、溝１３，１４の内部において複数の吸引孔３０が設けられる場所と数とについては、特に限定されるものではなく任意に定めることができる。しかし、それらの場所は、図に示されているように溝１３，１４の交差点であることが好ましい。これにより、複数の溝１３，１４の内部において切断くずを含む液体が溜まりやすい交差点において、溜まっている液体が切断装置の外部に除去される効果が高まる。
【実施例６】
【００６２】
本発明に係る切断装置の実施例６を、図６を参照して説明する。図６は、本実施例に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。図６に示されているように、吸着用治具６における溝１３，１４の底面には、複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが相隣り合って設けられている。図６では、吸引孔３０は楕円の内部に「Ｘ」を付して、供給孔３４は楕円の内部に「・」を付して、それぞれ示されている。複数の供給孔３４は、吸着用治具６及びベース７の内部に設けられている供給管（図示なし）と供給用配管３５とを順次経由して、洗浄水の供給源３６につながっている。
【００６３】
回転刃１７によって樹脂封止体１が切断されている間、複数の供給孔３４は溝１３，１４の内部に洗浄水３７を供給する。そして、複数の供給孔３４から供給された洗浄水３７は、複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって排水３８として吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、溝１３，１４の内部に溜まっている液体は、その排水３８に混じって吸着用治具６の外部に除去される。
【００６４】
本実施例によれば、複数の供給孔３４から供給された洗浄水３７が複数の吸引孔３０を経由して吸引されることによって、排水３８として吸着用治具６の外部に除去される。これにより、複数の溝１３，１４の内部に残っており切断くずを含む液体が吸引されて、排水３８に混じって吸着用治具６の外部、ひいては切断装置の外部に除去される。したがって、複数の溝１３，１４の内部が効果的に洗浄される。
【００６５】
ところで、溝１３，１４の内部において、複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが相隣り合って設けられていることとした。複数の吸引孔３０と複数の供給孔３４とが設けられる場所と数とについては、特に限定されるものではなく任意に定めることができる。しかし、それらの場所は、図に示されているように溝１３，１４の交差点であることが好ましい。これにより、複数の溝１３，１４の内部において切断くずを含む液体が溜まりやすい交差点において、溜まっている液体が切断装置の外部に除去される効果が高まる。
【００６６】
なお、上述した各実施例において、被切断物としての樹脂封止体１は、その樹脂封止体１を切断してＬＥＤパッケージ、ＣＣＤ等の光素子（光学系電子部品）を製造する場合における、透光性樹脂を含む樹脂封止体であってもよい。また、被切断物は、透光性樹脂を含む樹脂成形体を切断して光学レンズ、光通信部品、導光板等の光学系の物品を製造する場合における樹脂成形体であってもよい。特に、光素子や光学系の物品を製造する場合における切断くずの付着は、歩留まり低下の原因になる。そして、本発明によれば、光素子や光学系の物品に切断くずが付着することを防止することによって、光素子や光学系の物品を製造する際の歩留まりを向上させることができる。
【００６７】
また、被切断物は、樹脂封止体以外に、シリコンウェーハ、化合物半導体ウエーハ等のウエーハ類、ガラス基板、セラミックス基板等の基板類であってもよい。言い換えれば、被切断物を切断して個片化する際に切断くずの付着を避けたいような場合において、本発明を適用することができる。
【００６８】
また、洗浄水用ノズルの噴射口を縦長にして、切削水用ノズルと洗浄水用ノズルとを共通化してもよい。この場合には、切削水・洗浄水兼用ノズルが、切削場所と切断部溝との双方に向かって水を噴射することになる。また、洗浄水用ノズルと同様の形状を有する切削水用ノズルを、洗浄水用ノズルに対してＺ方向に並べて設けることもできる。
【００６９】
また、１枚の回転刃１７を使用する実施例について説明した。これに限らず、切断装置には複数の回転刃１７が設けられていてもよい。
【００７０】
また、ここまでの説明における「切削水」は、加工抵抗の低減（潤滑）と冷却と切断によって発生する切りくずの除去とを目的として供給される液体、すなわち切削液の総称である。また、「洗浄水」は、切断によって発生する切りくずの除去を主な目的として供給される液体、すなわち洗浄液の総称である。そして、「切削水」と「洗浄水」とのいずれについても、通常は市水又は純水が使用される。また、「切削水」と「洗浄水」として、市水又は純水に添加剤（洗剤、潤滑剤等）を添加した液体を使用してもよい。
【００７１】
また、吸着用治具６を使用して被切断物である樹脂封止体１を吸着固定した。これに限らず、被切断物や個片化された後の物品等の寸法形状によっては、クランプ等を使用して被切断物を固定してもよい。
【００７２】
また、上述した各実施例においては、被切断物を完全に切断する「フルカット」について説明した。これに限らず、被切断物の厚み方向の一部を残して被切断物を切削（部分的に切断）する、いわゆる「ハーフカット」に対して本発明を適用することもできる。ハーフカットの場合においても、切断くずを含む切削水１９が吸着用治具６の溝１３，１４に入り込むことがあるので（図１参照）、本発明は有効である。
【００７３】
また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】実施例１に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図２】実施例２に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図３】実施例３に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図４】実施例４に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図５】実施例５に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図６】実施例６に係る切断装置の要部を示す概略斜視図である。
【図７】従来の被切断物の切断方式を説明する概略斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１    樹脂封止体（被切断物）
２    基板
３    硬化樹脂
４    境界線
５    領域
６    吸着用治具（治具）
７    ベース
８    突起
９    凹部
１０    吸引孔
１１    吸引用配管
１２    吸引源
１３、１４、２６    溝
１５    切断機構
１６    回転軸
１７    回転刃
１８    切削水用ノズル
１９    切削水
２０    被切断線
２１    切断部溝
２２、２４、２７、２８    洗浄水用ノズル
２３、２９、３７    洗浄水（洗浄液）
２５    直前に切断された境界線（既に切断され終わった境界線）
３０    吸引孔
３１    吸引用配管
３２    吸引源
３３、３８    排水
３４    供給孔
３５    供給用配管
３６    供給源