(57)【要約】【課題】本発明は、垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置に関する。【解決手段】本発明の実施例よると、中央に基板が装着される本体部と、中央に本体部が装着され、本体部を回転させるフレームと、フレームが垂直方向に位置するようにフレームの下端を支持するフレーム支持部と、を含む垂直移送治具が提供される。【選択図】図１
2013140934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に基板が装着される本体部と、
中央に前記本体部が装着され、前記本体部を回転させるフレームと、
前記フレームが垂直方向に位置するように前記フレームの下端を支持するフレーム支持部と、
を含む垂直移送治具。
【請求項２】
前記フレームは、
前記本体部を回転させる回転部を含む請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項３】
前記回転部は、
前記フレームの左右内側に形成される請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項４】
前記回転部は、
前記フレームの下部に形成される請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項５】
前記フレームは、前記回転部が挿入される回転部挿入溝をさらに含む請求項２に記載の垂直移送治具。
【請求項６】
前記回転部は、
一側が前記本体部に結合して前記本体部を回転させるシャフトと、
前記回転部挿入溝に挿入され、前記シャフトの他側が挿入されて前記シャフトを支持する軸受と、
を含む請求項５に記載の垂直移送治具。
【請求項７】
前記フレームは、
回転する前記本体部の回転を停止させる止め部をさらに含む請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項８】
前記フレームは、前記止め部が挿入される止め部挿入溝をさらに含む請求項７に記載の垂直移送治具。
【請求項９】
前記止め部は
一側が前記止め部挿入溝の内壁に連結される弾性部材と、
前記弾性部材の他側に位置する止めボールと、
を含む請求項８に記載の垂直移送治具。
【請求項１０】
前記本体部は、
前記フレームの外部に突出された前記止めボールの一部が挿入される止め溝を含む請求項９に記載の垂直移送治具。
【請求項１１】
前記フレーム支持部は、
前記フレームの外部に突出された前記止めボールの一部が挿入される止め溝を含む請求項９に記載の垂直移送治具。
【請求項１２】
前記止め部は、前記回転部から所定間隔離隔して、前記回転部の両側に形成される請求項７に記載の垂直移送治具。
【請求項１３】
前記本体部は、前記基板を固定するクランプをさらに含む請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項１４】
前記フレーム支持部の下面にはローラガイドラインをさらに含む請求項１に記載の垂直移送治具。
【請求項１５】
中央に基板が装着される本体部、中央に前記本体部が装着され、前記本体部を回転させるフレーム、及び前記フレームが垂直方向に位置するように前記フレームの下端を支持するフレーム支持部を含む垂直移送治具と、
前記基板の一面に処理液を噴射する第１垂直ノズル部と、
前記基板の他面に処理液を噴射する第２垂直ノズル部と、
前記垂直移送治具の前記フレーム支持部に接触して前記垂直移送治具を直立状態で移送させる移送装置部と、
を含む湿式処理装置。
【請求項１６】
前記フレームに連結され、前記本体部の回転を制御する制御部をさらに含む請求項１５に記載の湿式処理装置。
【請求項１７】
前記制御部は、前記本体部を上下に回転させる請求項１５に記載の湿式処理装置。
【請求項１８】
前記制御部は、前記フレームを左右に回転させる請求項１５に記載の湿式処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷回路基板（ＰＣＢ；ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ）の製造工程において、従来の湿式処理装置は、基板を水平に移送する水平移送方式を用いる。水平移送方式の湿式処理装置は、ローラを用いて、ローラ間に薄板を水平移送することができる。従来の湿式処理装置は、水平移送される印刷回路基板の上下面に、ノズルを用いてスプレー方式により薬品を噴射することができる（韓国公開特許公報第１９９４−７００３０７６号）。しかし、基板が薄板化するに伴い、ローラを用いた水平移送方式によって基板が水平移送される場合、垂れが生じ得る。このような垂れを防止するために多数のローラを用いる場合、基板とローラとの衝突機会が増加するため、基板に形成された微細回路が損傷を受ける確率が高くなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、エッチング偏差を減少できる垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一側面によると、中央に基板が装着される本体部と、中央に本体部が装着され、本体部を回転させるフレームと、フレームが垂直方向に位置するようにフレームの下端を支持するフレーム支持部と、を含む垂直移送治具が提供される。
フレームは、本体部を回転させる回転部を含むことができる。
回転部は、フレームの左右内側に形成されることができる。
回転部は、フレームの下部に形成されることができる。
フレームは、回転部が挿入される回転部挿入溝をさらに含むことができる。
【０００５】
回転部は、一側が本体部に結合して本体部を回転させるシャフトと、回転部挿入溝に挿入され、シャフトの他側が挿入されてシャフトを支持する軸受と、を含むことができる。
フレームは、回転する本体部の回転を停止させる止め部をさらに含むことができる。
フレームは、止め部が挿入される止め部挿入溝をさらに含むことができる。
止め部は、一側が止め部挿入溝の内壁に連結される弾性部材と、弾性部材の他側に位置する止めボールと、を含むことができる。
【０００６】
本体部は、フレームの外部に突出された止めボールの一部が挿入される止め溝をさらに含むことができる。
フレーム支持部は、フレームの外部に突出された止めボールの一部が挿入される止め溝をさらに含むことができる。
【０００７】
止め部は、回転部から所定間隔離隔して、前記回転部の両側に形成されることができる。
本体部は、基板を固定するクランプをさらに含むことができる。
フレーム支持部の下面には、ローラガイドラインをさらに含むことができる。
【０００８】
本発明の他の側面によると、中央に基板が装着される本体部、中央に本体部が装着され、本体部を回転させるフレーム、及びフレームが垂直方向に位置するように、フレームの下端を支持するフレーム支持部を含む垂直移送治具と、基板の一面に処理液を噴射する第１垂直ノズル部と、基板の他面に処理液を噴射する第２垂直ノズル部と、垂直移送治具のフレーム支持部に接触して垂直移送治具を直立状態で移送させる移送装置部と、を含む湿式処理装置が提供されることができる。
【０００９】
フレームに連結され、本体部の回転を制御する制御部をさらに含むことができる。
制御部は、本体部を上下に回転させることができる。
制御部は、フレームを左右に回転させることができる。
【００１０】
本発明の特徴及び利点は添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。
本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び請求範囲に用いられた用語や単語は通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の実施例による垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置は、基板を回転させることにより、重力及び慣性力によって処理液の不均一な流量偏差が発生することを防止することができる。
本発明の実施例による垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置は、処理液が基板に均一に噴射されることにより、均一な湿式処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は添付図面に係わる以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。
【００１３】
また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。本明細書において、第１、第２などの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、前記構成要素は前記用語によって限定されない。
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例による垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置について詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の垂直移送治具を示す例示図である。
図１を参照すると、垂直移送治具１００は、本体部１１０、フレーム１２０、及び支持部１３０を含むことができる。
本体部１１０には、基板２００が装着されることができる。本体部１１０は、基板２００を内蔵する骨格であって、中央部１１１が空洞の形状である。本体部１１０の中央部１１１は、基板２００の形状に対応する形状に形成されることができる。例えば、基板２００が長方形状であれば、本体部１１０の中央部１１１は長方形の空洞の形状を有してもよい。本体部１１０は、クランプなどのような基板固定装置１１２を用いて、基板２００を中央部１１１に位置させて固定することができる。本体部１１０に基板２００が装着されると、本体部１１０と基板２００は一体の平面になることができる。
【００１５】
フレーム１２０には、本体部１１０が装着されることができる。フレーム１２０は、本体部１１０を内蔵する骨格であって、中央が空洞の形状に形成されることができる。フレーム１２０に本体部１１０が装着されると、フレーム１２０と本体部１１０が一体の平面になることができる。
【００１６】
フレーム１２０は、装着された本体部１１０を回転させることができる。フレーム１２０は、第１回転部１２１及び第１止め部１２５を含むことができる。
第１回転部１２１は、フレーム１２０と本体部１１０とを連結して、本体部１１０がフレーム１２０に装着されるようにすることができる。また、第１回転部１２１は、本体部１１０がフレーム１２０に装着された状態で、本体部１１０を回転させることができる。図１に図示されたことによると、第１回転部１２１は、フレーム１２０の左右両側に形成されて、本体部１１０の左右両側にそれぞれ連結されることができる。即ち、第１回転部１２１は、フレーム１２０の左右内側に形成されることにより、本体部１１０に連結されることができる。このように、フレーム１２０の左右両側に形成された第１回転部１２１は、本体部１１０を上下に回転させることができる。
【００１７】
第１止め部１２５は、第１回転部１２１によって回転される本体部１１０を制御することができる。第１止め部１２５は、第１回転部１２１から所定間隔離隔して、第１回転部１２１の両側に形成されることができる。しかし、第１止め部１２５の個数及び位置はこれに限定されず、当業者によって変更され得る。第１止め部１２５は、第１回転部１２１によって本体部１１０が回転する際、上下に１８０°回転した後、本体部１１０が停止するようにすることができる。
【００１８】
フレーム支持部１３０は、フレーム１２０が垂直方向に位置するようにフレーム１２０の下端を支持することができる。フレーム支持部１３０によりフレーム１２０が垂直方向に位置し、これによってフレーム１２０に装着された本体部１１０が垂直方向に位置することができる。また、本体部１１０に装着された基板２００もまた垂直方向に位置することができる。フレーム支持部１３０は、その下面にローラガイドライン（不図示）をさらに含むことができる。ローラガイドライン（不図示）は、後述する移送装置部（不図示）のローラに沿って移動する際、垂直移送治具１００を円滑に移送させる機能を行うことができる。従って、ローラガイドライン（不図示）の形状は、移送装置部（不図示）のローラに対応する形状に形成されることができる。
【００１９】
図２は、本発明の他の実施例による垂直移送治具を示す例示図である。
図２を参照すると、垂直移送治具１００は、本体部１１０、フレーム１２０、及び支持部１３０を含むことができる。
本体部１１０には、基板２００が装着されることができる。本体部１１０は、基板２００を内蔵する骨格であって、中央部１１１が空洞の形状である。本体部１１０の中央部１１１は、基板２００の形状に対応する形状に形成されることができる。本体部１１０は、クランプなどのような基板固定装置１１２を用いて基板２００を中央部１１１に位置させて固定することができる。
【００２０】
フレーム１２０には、本体部１１０が装着されることができる。本発明の実施例よると、フレーム１２０は、本体部１１０の下部に位置して本体部１１０を支持することができる。フレーム１２０に本体部１１０が装着されると、フレーム１２０と本体部１１０が一体の平面になることができる。
【００２１】
フレーム１２０は、装着された本体部１１０を回転させることができる。
フレーム１２０は、第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１を含むことができる。
【００２２】
第２回転部１２１−１は、フレーム１２０と本体部１１０とを連結して、本体部１１０がフレーム１２０に装着されるようにすることができる。また、第２回転部１２１−１は、本体部１１０がフレーム１２０に装着された状態で、本体部１１０を回転させることができる。図２に図示されたことによると、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０の下側に形成されて、本体部１１０の下側に連結されることができる。即ち、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０の下部の外側に形成されることができる。このように、フレーム１２０の下側に形成された第２回転部１２１−１は、本体部１１０を左右に回転させることができる。
【００２３】
第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１によって回転される本体部１１０を制御することができる。第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１から所定間隔離隔して、第２回転部１２１−１の両側に形成されることができる。しかし、第２止め部１２５−１の個数及び位置はこれに限定されず、当業者によって変更され得る。第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１によって本体部１１０が回転する際、１８０°回転した後、本体部１１０が停止するようにすることができる。
【００２４】
フレーム支持部１３０は、フレーム１２０が垂直方向に位置するようにフレーム１２０の下端を支持することができる。フレーム支持部１３０によりフレーム１２０が垂直方向に位置し、これによってフレーム１２０に装着された本体部１１０が垂直方向に位置することができる。また、本体部１１０に装着された基板２００もまた垂直方向に位置することができる。フレーム支持部１３０は、その下面にローラガイドライン（不図示）をさらに含むことができる。ローラガイドライン（不図示）は、後述する移送装置部（不図示）のローラに沿って移動する際、垂直移送治具１００を円滑に移送させる機能を行うことができる。従って、ローラガイドライン（不図示）の形状は、移送装置部（不図示）のローラに対応する形状に形成されることができる。
【００２５】
図２に図示されたことによると、本体部１１０がフレーム１２０に装着されて回転することができる。しかし、本体部１１０が左右に回転する垂直移送治具１００の構造はこれに限定されない。例えば、本体部１１０が左右に回転する垂直移送治具１００にはフレーム１２０が省略されてもよい。この際、本体部１１０の左右回転のための第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１は、支持部１３０上端に形成されることができる。即ち、支持部１３０の上端に第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１が形成されて、本体部１１０が支持部１３０に装着されることができる。
【００２６】
図３は、本発明の他の実施例による垂直移送治具を示す例示図である。
図３を参照すると、垂直移送治具１００は、本体部１１０、フレーム１２０及び支持部１３０を含むことができる。
【００２７】
本体部１１０は、基板２００が装着されることができる。本体部１１０は、基板２００を内蔵する骨格であって、中央部１１１が空洞の形状である。本体部１１０の中央部１１１は、基板２００の形状に対応する形状に形成されることができる。本体部１１０は、クランプなどのような基板固定装置１１２を用いて、基板２００を中央部１１１に位置させて固定することができる。
【００２８】
フレーム１２０には、本体部１１０が装着されることができる。フレーム１２０は、本体部１１０を内蔵する骨格であって、中央が空洞の形状に形成されることができる。フレーム１２０に本体部１１０が装着されると、フレーム１２０と本体部１１０が一体の平面になることができる。
【００２９】
フレーム１２０は、装着された本体部１１０を回転させることができる。
フレーム１２０は、第１回転部１２１、第２回転部１２１−１、第１止め部１２５、及び第２止め部１２５−１を含むことができる。
【００３０】
第１回転部１２１及び第１止め部１２５は、フレーム１２０の左右両側に形成されることができる。
【００３１】
第１回転部１２１は、フレーム１２０と本体部１１０とを連結して、本体部１１０がフレーム１２０に装着されるようにすることができる。また、第１回転部１２１は、本体部１１０がフレーム１２０に装着された状態で、本体部１１０を回転させることができる。本発明の実施例よると、第１回転部１２１は、フレーム１２０の左右両側に形成されて、本体部１１０を上下に回転させることができる。即ち、第１回転部１２１は、フレーム１２０の左右内側に形成されることにより、本体部１１０に連結されることができる。このような第１回転部１２１によって本体部１１０に装着された基板２００が上下に回転されることができる。
【００３２】
第１止め部１２５は、第１回転部１２１により回転される本体部１１０を制御することができる。第１止め部１２５は、第１回転部１２１から所定間隔離隔して、第１回転部１２１の両側に形成されることができる。しかし、第１止め部１２５の個数及び位置はこれに限定されず、当業者によって変更され得る。第１止め部１２５は、第１回転部１２１により本体部１１０が上下に回転する際、上下に１８０°回転した後、本体部１１０が停止するようにすることができる。
【００３３】
第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１は、フレーム１２０の下部に形成されることができる。
第２回転部１２１−１は、フレーム１２０とフレーム支持部１３０とを連結して、フレーム１２０がフレーム支持部１３０に装着されるようにすることができる。即ち、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０の下部の外側に形成されることができる。また、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０に装着された本体部１１０を左右に回転させることができる。ここで、本体部１１０は、第１回転部１２１によりフレーム１２０に装着されることができる。本発明の実施例よると、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０の下部に形成されて、フレーム１２０を左右に回転させることができる。即ち、第２回転部１２１−１により、フレーム１２０に装着された本体部１１０及び基板２００が左右に回転されることができる。
【００３４】
第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１により回転されるフレーム１２０を制御することができる。第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１から所定間隔離隔して、第２回転部１２１−１の両側に形成されることができる。しかし、第２止め部１２５−１の個数及び位置はこれに限定されず、当業者によって変更され得る。第２止め部１２５−１は、第２回転部１２１−１によりフレーム１２０が左右に回転する際、左右に１８０°回転した後、フレーム１２０が停止するようにすることができる。
【００３５】
本発明の実施例による垂直移送治具１００は、基板２００を第１回転部１２１を用いて上下に回転した後、第２回転部１２１−１を用いて左右に回転することができる。また、垂直移送治具１００は、基板２００を第２回転部１２１−１を用いて左右に回転した後、第１回転部１２１を用いて上下に回転することができる。または、垂直移送治具１００は、第１回転部１２１と第２回転部１２１−１を同時に作動させて、基板２００の左右回転及び上下回転を同時に行うことができる。
【００３６】
フレーム支持部１３０は、フレーム１２０が垂直方向に位置するようにフレーム１２０の下端を支持することができる。フレーム支持部１３０によりフレーム１２０が垂直方向に位置し、これによって、フレーム１２０に装着された本体部１１０が垂直方向に位置することができる。また、本体部１１０に装着された基板２００もまた垂直方向に位置することができる。フレーム支持部１３０は、その下面にローラガイドライン（不図示）をさらに含むことができる。ローラガイドライン（不図示）は、後述する移送装置部（不図示）のローラに沿って移動する際、垂直移送治具１００を円滑に移送させる機能を行うことができる。従って、ローラガイドライン（不図示）の形状は、移送装置部（不図示）のローラに対応する形状に形成されることができる。
【００３７】
本発明の実施例では、第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１がフレーム１２０の下部に形成されると説明した。しかし、第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１が形成される位置は、フレーム１２０に限定されない。即ち、第２回転部１２１−１及び第２止め部１２５−１は、フレーム支持部１３０上部に形成されることにより、フレーム１２０を上下に回転させることができる。
【００３８】
図４は、本発明の実施例による第１回転部を示す例示図である。
図４を参照すると、第１回転部１２１は、フレーム１２０に形成された回転部挿入溝１２４に形成されることができる。
第１回転部１２１は、シャフト１２２及び軸受１２３を含むことができる。
【００３９】
軸受１２３は、本体部１１０を回転させるシャフト１２２を支持する機能を行うことができる。軸受１２３は、フレーム１２０に形成された回転部挿入溝１２４に挿入されることができる。また、軸受１２３は、挿入されたシャフト１２２を包む形状に形成されることができる。図３に図示された軸受１２３は、フレーム１２０に挿入されて、シャフト１２２の外周面を包む形状に形成されるが、これに限定されない。即ち、軸受１２３は、シャフト１２２がフレーム１２０から離脱しないように固定し、シャフト１２２の回転軸が変更されないようにする如何なる形状に形成されてもよい。
【００４０】
シャフト１２２は、長い円筒状に形成されることができる。シャフト１２２の一側は、フレーム１２０に装着された本体部１１０に連結されることができる。シャフト１２２の一側は、本体部１１０に挿入されることができる。シャフト１２２の一側が本体部１１０に挿入された状態で、締結装置１４０によって互いに締結されることができる。例えば、締結装置１４０は、ねじ及びボルトであってもよい。図２に図示されたシャフト１２２の形態及びシャフト１２２と本体部１１０との締結方法はこれに限定されない。例えば、シャフト１２２の一側が挟み状に形成されてもよい。従って、本体部１１０の一部がシャフト１２２の挟み間に挿入されてから締結されることにより、シャフト１２２と本体部１１０が連結されることができる。このように、シャフト１２２の形態に応じて様々な方法によりシャフト１２２と本体部１１０が連結されることができる。シャフト１２２の他側は、軸受１２３に挿入されることができる。この際、シャフト１２２の他側は、軸受１２３に挿入されて、本体部１１０の外部まで貫通されることができる。本体部１１０の外部に貫通されたシャフト１２２の他側は、シャフト１２２を回転させる制御部（不図示）に連結されることができる。
【００４１】
シャフト１２２及び軸受１２３を含む第１回転部１２１は、フレーム１２０の両側に形成してもよい。第１回転部１２１がフレーム１２０の両側に形成された場合、第１回転部１２１に連結された本体部１１０は、シャフト１２２の回転により上下に回転されることができる。
【００４２】
また、第１回転部１２１は、フレーム１２０の下側に形成してもよい。第１回転部１２１がフレーム１２０の下側に形成された場合、第１回転部１２１に連結された本体部１１０は、シャフト１２２の回転により左右に回転されることができる。
【００４３】
また、第１回転部１２１は、フレーム１２０の両側及び下側の両方に形成してもよい。このような場合、シャフト１２２の回転により、本体部１１０は上下及び左右の両方に回転されることができる。
【００４４】
本発明の実施例では、フレーム１２０と本体部１１０との間に形成される第１回転部１２１を例にとって説明したが、これは第２回転部１２１−１にも同様に適用され得る。即ち、フレーム１２０とフレーム支持部１３０（図３）との間に形成される第２回転部１２１−１も第１回転部１２１と同一の構成及び構造で形成されることができる。ここで、第２回転部１２１−１は、フレーム１２０とフレーム支持部１３０（図３）のうち何れか一つに形成されることができる。
【００４５】
図５は、本発明の実施例による止め部を示す例示図である。
図５を参照すると、第１止め部１２５は、フレーム１２０に形成された止め部挿入溝１２８に形成されることができる。
【００４６】
第１止め部１２５は、弾性部材１２６及び止めボール１２７を含むことができる。
弾性部材１２６は、一側が止め部挿入溝１２８の内側に連結されることができる。弾性部材１２６の他側には、止めボール１２７が位置することができる。この際、弾性部材１２６は、止めボール１２７の一部を挿入する形態で止めボール１２７に連結されることができる。
【００４７】
弾性部材１２６は、止めボール１２７によって圧力が加えられれば、圧縮され得る。この際、弾性部材１２６は、止めボール１２７が止め部挿入溝１２８の内部に完全に挿入されるまで圧縮されることができる。また、弾性部材１２６は、止めボール１２７によって加えられた圧力が解除されると、弾性力により元の状態に戻ることができる。この際、弾性部材１２６に連結された止めボール１２７は、弾性部材１２６が元の状態に戻ることにより、一部がフレーム１２０の外部に露出される位置に移動されることができる。
【００４８】
止めボール１２７は、一側が弾性部材１２６に連結されることができる。止めボール１２７は、弾性部材１２６の動きに応じて、止め部挿入溝１２８の内部に完全に挿入されたり、フレーム１２０の外部に一部が突出され得る。止めボール１２７がフレーム１２０の外部に突出される場合、突出された止めボール１２７と本体部１１０が接触されることができる。この際、本体部１１０に突出された止めボール１２７が挿入される止め溝１１３が形成されることができる。即ち、突出された止めボール１２７が回転する本体部１１０の止め溝１１３に挿入される瞬間、本体部１１０の回転が中断されることができる。
【００４９】
本発明の実施例によると、このように弾性部材１２６と止めボール１２７を含む第１止め部１２５は、第１回転部１２１と所定間隔離隔して、第１回転部１２１の両側に形成されることができる。しかし、第１止め部１２５が形成される位置はこれに限定されず、当業者によって容易に変更され得る。
第１止め部１２５は、フレーム１２０の外部に止めボール１２７が突出された場合、止めボール１２７により本体部１１０の回転運動を止めることができる。また、第１止め部１２５は、外部から止めボール１２７に圧力が加えられた場合、フレーム１２０の内部に挿入されることにより、本体部１１０が回転運動を行うことができる。
【００５０】
本発明の実施例では、フレーム１２０と本体部１１０との間に形成される第１止め部１２５を例にとって説明したが、これは、第２止め部１２５−１にも同様に適用され得る。即ち、フレーム１２０とフレーム支持部１３０（図３）との間に形成される第２止め部１２５−１も第１止め部１２５と同一の構成及び構造で形成されることができる。ここで、第２止め部１２５−１は、フレーム１２０とフレーム支持部１３０（図３）のうち何れか一つに形成されることができる。例えば、第２回転部１２１−１（図３）がフレーム１２０の下部に形成された場合、第２止め部１２５−１は、フレーム支持部１３０（図３）の上部に形成されることができる。また、例えば、第２回転部１２１−１（図３）がフレーム支持部１３０（図３）の上部に形成された場合、第２止め部１２５−１は、フレーム１２０の下部に形成されることができる。
【００５１】
図６は、本発明の実施例による湿式処理装置を示す例示図である。
図６を参照すると、湿式処理装置３００は、垂直移送治具１００、第１垂直ノズル部３１０、第２垂直ノズル部３２０、移送装置部３３０、及び制御部３４０を含むことができる。
【００５２】
湿式処理装置３００は、基板２００に処理液を噴射して、エッチング、洗浄などのような湿式処理を行うことができる。
垂直移送治具１００は、基板２００を垂直に直立させた状態で移送する構成部である。垂直移送治具１００は、図１を参照した前記垂直移送治具１００と同一である。垂直移送治具１００は、基板２００を固定して直立した状態で移送装置部３３０のローラに沿って移送されることができる。
【００５３】
第１垂直ノズル部３１０は、垂直移送治具１００に装着された基板の一面に処理液を噴射することができる。
第２垂直ノズル部３２０は、垂直移送治具１００に装着された基板の他面に処理液を噴射することができる。
【００５４】
第１垂直ノズル部３１０及び第２垂直ノズル部３２０は、垂直移送治具１００の進行方向と平行に位置することができる。第１垂直ノズル部３１０及び第２垂直ノズル部３２０は、互いに離隔して位置することができる。第１垂直ノズル部３１０及び第２垂直ノズル部３２０の離隔距離は、垂直移送治具１００がその間を通過できる程度の距離であってもよい。また、第１垂直ノズル部３１０及び第２垂直ノズル部３２０の離隔距離は、噴射される処理液が垂直移送治具１００に装着された基板２００の全般に塗布されることができる程度の距離であってもよい。
【００５５】
移送装置部３３０は、垂直移送治具１００のフレーム支持部１３０に接触して、垂直移送治具１００を直立状態で移送させる。
ここで、移送装置部３３０は、駆動装置部（不図示）、連結装置部（不図示）、ローラ３３１、ローラ軸３３２を含むことができる。このような移送装置部３３０は、公知技術によって実施されることができるため、詳細な説明は省略する。
【００５６】
移送装置部３３０は、ローラ軸３３２の長さを調節することにより、その幅を変更することができる。移送装置部３３０はローラ軸３３２の長さを調節することにより、幅を変更して、多数個の垂直移送治具をローラ軸３３２の線上で同時に移送させることができる。ローラ軸３３２に備えられるローラ３３１の個数はローラ軸３３２の線上に移送される垂直移送治具１００の個数に応じて変更され得る。
【００５７】
制御部３４０は、垂直移送治具１００に連結され、垂直移送治具１００の本体部１１０を回転させることができる。制御部３４０は、垂直移送治具１００の回転部１２１に動力を伝達して、回転部１２１のシャフト１２２を回転させて本体部１１０が回転するようにすることができる。また、制御部３４０は、垂直移送治具１００の位置を計算または検知することができる。制御部３４０は、位置測定のためのセンサ（不図示）などにより、垂直移送治具１００の位置を計算することができる。また、制御部３４０は、垂直移送治具１００の移動速度を用いて垂直移送治具１００の位置を計算することができる。制御部３４０が垂直移送治具１００の位置を測定する方法として、センサ検知方法及び時間計算方法の他にも様々な方法を用いることができる。即ち、制御部３４０は、このような方法により垂直移送治具１００が所定の位置を通過する際、本体部１１０が回転できるように回転部１２１、１２１−１を制御することができる。制御部３４０は、無線または有線で回転動力を伝送して、垂直移送治具１００のシャフト１２２を回転させることができる。この際、回転部１２１、１２１−１は、制御部３４０から送信される回転動力を受信するための受信部（不図示）を含むことができる。また、制御部３４０は、ロボットアーム（不図示）などのようなその他の装置を制御することにより、その他の装置によってシャフト１２２を回転させることができる。
【００５８】
図７及び図８は、本発明の実施例による垂直移送治具に装着された基板の回転を示す例示図である。
図７及び図８を参照すると、垂直移送治具１００の本体部１１０の回転による基板２００の変更される方向を確認することができる。
【００５９】
図７を参照すると、湿式処理装置３００（図６）にローディングされる垂直移送治具１００を確認することができる。垂直移送治具１００は、図７に図示された状態で湿式処理装置３００にローディングされ、第一の湿式処理が行われることができる。ここで、第一の湿式処理は、垂直移送治具１００が多数個の第１垂直ノズル部３１０（図６）及び第２垂直ノズル部３２０（図６）の半分を通過するまでの湿式処理であってもよい。本発明の実施例では、第一の湿式処理は、第１垂直ノズル部３１０（図６）及び第２垂直ノズル部３２０（図６）の半分を通過するまでと例示しているが、これに限定されない。垂直移送治具１００の本体部１１０が回転する前の第一の湿式処理は、当業者によってその時点が変更され得る。
【００６０】
図８を参照すると、湿式処理装置３００（図６）における第二の湿式処理で、湿式処理装置３００にアンローディングするまでの垂直移送治具１００を確認することができる。垂直移送治具１００は、図７に図示されたような状態で第一の湿式処理を行った後、本体部１１０及びフレーム１２０が回転されることができる。この際、本体部１１０は、上下に回転され、フレーム１２０は、左右に回転されることができる。本体部１１０及びフレーム１２０が回転されると、図８に図示されたように、基板２００の位置が変更され得る。このように基板２００の位置が変更された状態で、第二の湿式処理が行われることができる。ここで、第二の湿式処理は、垂直移送治具１００が第一の湿式処理を経た後、第１垂直ノズル部３１０（図６）及び第２垂直ノズル部３２０（図６）を完全に通過するまでの湿式処理であってもよい。
【００６１】
図７及び図８を参照すると、湿式処理中に本体部１１０及びフレーム１２０の回転により基板２００の方向が変更されることによって、重力と慣性力により処理液が基板に不均一に噴射されることを防止することができる。このように基板２００に処理液が均一に噴射されることにより、基板２００に湿式処理が均一に行われることができる。
【００６２】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明による垂直移送治具及びこれを用いた湿式処理装置はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の垂直移送治具を示す例示図である。
【図２】本発明の他の実施例による垂直移送治具を示す例示図である。
【図３】本発明の他の実施例による垂直移送治具を示す例示図である。
【図４】本発明の実施例による回転部を示す例示図である。
【図５】本発明の実施例による止め部を示す例示図である。
【図６】本発明の実施例による湿式処理装置を示す例示図である。
【図７】本発明の実施例による垂直移送治具に装着された基板の回転を示す例示図である。
【図８】本発明の実施例による垂直移送治具に装着された基板の回転を示す例示図である。
【符号の説明】
【００６４】
１００  垂直移送治具
１１０  本体部
１１１  中央部
１１２  基板固定装置
１１３  止め溝
１２０  フレーム
１２１  第１回転部
１２１−１  第２回転部
１２２  シャフト
１２３  軸受
１２４  回転部挿入溝
１２５  第１止め部
１２５−１  第２止め部
１２６  弾性部材
１２７  止めボール
１２８  止め部挿入溝
１３０  フレーム支持部
１４０  締結装置
２００  基板
３００  湿式処理装置
３１０  第１垂直ノズル部
３２０  第２垂直ノズル部
３３０  移送装置部
３３１  ローラ
３３２  ローラ軸
３４０  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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