(57)【要約】【課題】２層の積層構造に製品を生産する際に小型化が可能であるとともに、工程数を減らし、コストを低減することができるコモンモードフィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】第１絶縁体シート２００と、第１絶縁体シート２００に形成されており、１層第１コイル３１０と１層第２コイル３２０とが互いに分離されて交互に配置されて形成された第１回路層３００と、第１回路層３００に積層されており、１層第１コイル３１０と１層第２コイル３２０とに接続された多数のスルーホールが一対のスルーホール列４１１、４１２をなしている第２絶縁体シート４００と、第２絶縁体シート４００に形成され、２層第１コイル５１０と２層第２コイル５２０とが互いに分離されて交互に配置されており、多数のスルーホールを介して２層第１コイル５１０が１層第１コイル３１０に接続され、２層第２コイル５２０が１層第２コイル３２０に接続された第２回路層５００と、を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１絶縁体シートと、
前記第１絶縁体シートに形成されており、１層第１コイルと１層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されて形成された第１回路層と、
前記第１回路層に積層されており、前記１層第１コイルと前記１層第２コイルとに接続された多数のスルーホールが一対のスルーホール列をなしている第２絶縁体シートと、
前記第２絶縁体シートに形成され、２層第１コイルと２層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されており、多数のスルーホールを介して前記２層第１コイルが前記１層第１コイルに接続され、前記２層第２コイルが前記１層第２コイルに接続された第２回路層と、を含むコモンモードフィルタ。
【請求項２】
前記第１絶縁体シートの前記第１回路層が形成された面の反対面に形成された第３絶縁体シートと、前記第２回路層に積層された第４絶縁体シートと、を含む請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項３】
前記第３絶縁体シートは、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板の基材のうち一つで形成される請求項２に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項４】
前記第１絶縁体シートと、第１回路層と、第２絶縁体シートと、第２回路層とで形成された積層体の側面に形成されている一対の入出力電極をさらに含む請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項５】
前記第１絶縁体シートは、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項６】
前記第２絶縁体シートは、感光材、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項７】
前記第１回路層の前記１層第１コイルは、板状導線が斜線状に配列されて交互に配置されてなり、前記第１回路層の前記１層第２コイルは、板状導線が斜線状に配列されて前記１層第１コイルの板状導線と互いに交互に配置されてなる請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項８】
前記第２回路層の前記２層第１コイルは、板状導線が斜線状に配列されて交互に配置されてなり、前記第２回路層の前記２層第２コイルは、板状導線が斜線状に配列されて前記２層第１コイルの板状導線と互いに交互に配置されてなる請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項９】
（Ａ）第１絶縁体シートに１層第１コイルと１層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されて形成された第１回路層を形成する段階と、
（Ｂ）前記第１回路層に前記１層第１コイルのランドと前記１層第２コイルのランドとに対応する多数のホールを備えた第２絶縁体シートを形成する段階と、
（Ｃ）前記第２絶縁体シートにメッキを施して、前記ホールが導電性物質で充填されスルーホールを形成するようにし、前記第２絶縁体シートに積層された金属層を形成する段階と、
（Ｄ）前記金属層を用いて、２層第１コイルと２層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されており、多数のスルーホールを介して前記２層第１コイルが前記１層第１コイルに接続され、前記２層第２コイルが前記１層第２コイルに接続された第２回路層を形成する段階と、を含むコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記（Ａ）段階の前に、（Ｅ）前記第１絶縁体シートの前記第１回路層が形成された面の反対面に第３絶縁体シートを準備して、第３絶縁体シートに前記第１絶縁体シートを積層する段階をさらに含み、
前記（Ｃ）段階の後に、（Ｆ）前記第２回路層に第４絶縁体シートを積層する段階をさらに含む請求項９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記第３絶縁体シートは、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板の基材のうち一つで形成される請求項１０に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１２】
（Ｇ）前記第１絶縁体シートと、第１回路層と、第２絶縁体シートと、第２回路層とで形成された積層体の側面に一対の入出力電極を形成する段階をさらに含む請求項９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記第１絶縁体シートは、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される請求項９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１４】
前記第２絶縁体シートは、感光材、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される請求項９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１５】
前記（Ｂ）段階は、
（Ｂ−１）前記第１回路層に液状の感光材を塗布した後、乾燥して前記第２絶縁体シートを形成する段階と、
（Ｂ−２）前記第２絶縁体シートに、前記１層第１コイルと前記１層第２コイルのランドに対応する多数のホールを形成する段階と、を含む請求項９に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コモンモードフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、システム構成とデータ容量の増大により速い伝送速度が求められており、このような速い伝送速度のために、伝送方式として差動信号方式が多く用いられている。
【０００３】
通常、伝送速度を増大するために信号を高周波化させると、信号の高周波化により所望しない電磁波（即ち、ノイズ）が生成され、信号とノイズとが重なる現象が発生する。
【０００４】
これにより、高速の差動信号ライン（即ち、二本の信号ライン）の間における不均衡によってコモンモードノイズが発生する。
【０００５】
このようなコモンモードノイズを除去するために、コモンモードフィルタが主に用いられる。前記コモンモードフィルタは、高速の差動信号ラインに主に適用されるＥＭＩフィルタである。
【０００６】
このようなコモンモードフィルタは、家電機器などのＥＭＣ特性の向上、または携帯電話などのアンテナ特性の向上に寄与する。
【０００７】
このようなコモンモードフィルタは、第１コイル及び第１コイルの上側に形成された第２コイルが渦巻き状に形成され、前記第１コイルと第２コイルとの間に絶縁体シートが形成されている（特許文献１参照）。
【０００８】
この従来のコモンモードフィルタは、第１コイル、第２コイルにコモンモードのノイズが印加された時、各コイルのインピーダンス値が高くなり、これによってコモンモードのノイズを除去した。
【０００９】
しかし、上述の従来のコモンモードフィルタは、７回以上の多くの層をビルドアップしなければならないため、工程コストが高く、工程数が多いため収率が劣るという問題点があった。
【００１０】
また、従来技術によるコモンモードフィルタは、トラック型の形状を有するため、広い二次元の構造によって、より小さいサイズに縮小するには不利な構造である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平６−５３０４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記のような問題を解決するための本発明は、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に交互に具現して、２層の積層構造に製品を生産する際に小型化が可能なコモンモードフィルタを提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明は、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に交互に具現して、工程数を減らし、コストを低減することができるコモンモードフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記のような目的を果たすための本発明の構造は、第１絶縁体シートと、前記第１絶縁体シートに形成されており、１層第１コイルと１層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されて形成された第１回路層と、前記第１回路層に積層されており、前記１層第１コイルと前記１層第２コイルとに接続された多数のスルーホールが一対のスルーホール列をなしている第２絶縁体シートと、前記第２絶縁体シートに形成されており、２層第１コイルと２層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されており、多数のスルーホールを介して前記２層第１コイルが前記１層第１コイルに接続され、前記２層第２コイルが前記１層第２コイルに接続された第２回路層と、を含む。
【００１５】
また、本発明の構造は、前記第１絶縁体シートの前記第１回路層が形成された面の反対面に形成された第３絶縁体シートと、前記第２回路層に積層された第４絶縁体シートと、を含む。
【００１６】
また、本発明の構造の前記第３絶縁体シートは、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板の基材のうち一つで形成される。
【００１７】
また、本発明の構造は、前記第１絶縁体シートと、第１回路層と、第２絶縁体シートと、第２回路層とで形成された積層体の側面に形成されている一対の入出力電極をさらに含む。
【００１８】
また、本発明の構造における前記第１絶縁体シートは、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される。
【００１９】
また、本発明の構造における前記第２絶縁体シートは、感光材、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される。
【００２０】
また、本発明の構造における前記第１回路層の前記１層第１コイルは、板状導線が斜線状に配列されて交互に配置されてなり、前記第１回路層の前記１層第２コイルは、板状導線が斜線状に配列されて前記１層第１コイルの板状導線と互いに交互に配置されてなる。
【００２１】
また、本発明の構造における前記第２回路層の前記２層第１コイルは、板状導線が斜線状に配列されて交互に配置されてなり、前記第２回路層の前記２層第２コイルは、板状導線が斜線状に配列されて前記２層第１コイルの板状導線と互いに交互に配置されてなる。
【００２２】
一方、本発明の方法は、（Ａ）第１絶縁体シートに１層第１コイルと１層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されて形成された第１回路層を形成する段階と、（Ｂ）前記第１回路層に前記１層第１コイルのランドと前記１層第２コイルのランドとに対応する多数のホールを備えた第２絶縁体シートを形成する段階と、（Ｃ）前記第２絶縁体シートにメッキを施して、前記ホールが導電性物質で充填されスルーホールを形成するようにし、前記第２絶縁体シートに積層された金属層を形成する段階と、（Ｄ）前記金属層を用いて、２層第１コイルと２層第２コイルとが互いに分離されて交互に配置されており、多数のスルーホールを介して前記２層第１コイルが前記１層第１コイルに接続され、前記２層第２コイルが前記１層第２コイルに接続された第２回路層を形成する段階と、を含む。
【００２３】
また、本発明の方法は、前記（Ａ）段階の前に、（Ｅ）前記第１絶縁体シートの前記第１回路層が形成された面の反対面に第３絶縁体シートを準備して、第３絶縁体シートに前記第１絶縁体シートを積層する段階をさらに含み、前記（Ｃ）段階の後に、（Ｆ）前記第２回路層に第４絶縁体シートを積層する段階をさらに含む。
【００２４】
また、本発明の方法における前記第３絶縁体シートは、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板の基材のうち一つで形成される。
【００２５】
また、本発明の方法は、（Ｇ）前記第１絶縁体シートと、第１回路層と、第２絶縁体シートと、第２回路層とで形成された積層体の側面に一対の入出力電極を形成する段階をさらに含む。
【００２６】
また、本発明の方法における前記第１絶縁体シートは、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される。
【００２７】
また、本発明の方法における前記第２絶縁体シートは、感光材、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、または高分子ポリマーのうち一つで形成される。
【００２８】
また、本発明の方法における前記（Ｂ）段階は、（Ｂ−１）前記第１回路層に液状の感光材を塗布した後、乾燥して前記第２絶縁体シートを形成する段階と、（Ｂ−２）前記第２絶縁体シートに、前記１層第１コイルと前記１層第２コイルのランドに対応する多数のホールを形成する段階と、を含む。
【００２９】
本発明の特徴及び利点は、添付図面に基づいた以下の詳細な説明によってさらに明らかになるであろう。
【００３０】
本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び特許請求の範囲に用いられた用語や単語は、通常的かつ辞書的な意味に解釈されてはならず、発明者が自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に従って本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されるべきである。
【発明の効果】
【００３１】
上記のような本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、２層の積層構造を有する薄型のコモンモードフィルタを製作することができる。
【００３２】
また、本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより工程コストを低減することができる。
【００３３】
更に、本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより工程収率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１実施例によるコモンモードフィルタの分解斜視図である。
【図２】図１のコモンモードフィルタの第２絶縁体シートの平面図である。
【図３】図１のコモンモードフィルタの第１絶縁体シートの平面図である。
【図４Ａ】図１の第１回路層、第２絶縁体シート、及び第２回路層の詳細分離斜視図である。
【図４Ｂ】図１の第１回路層、第２絶縁体シート、及び第２回路層の詳細分離斜視図である。
【図５Ａ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｂ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｃ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｄ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｅ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｆ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｇ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｈ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｉ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｊ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【図５Ｋ】図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、本発明を説明するにあたり、係わる公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不明瞭にする可能性があると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。
【００３６】
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００３７】
図１は、本発明の第１実施例によるコモンモードフィルタの分解斜視図であり、図２は、図１のコモンモードフィルタの第２絶縁体シートの平面図であり、図３は、図１のコモンモードフィルタの第１絶縁体シートの平面図である。
【００３８】
図１から図３に示したように、本発明の第１実施例によるコモンモードフィルタは、下から順に、下層絶縁体シート１００と、第１絶縁体シート２００と、第１回路層３００と、第２絶縁体シート４００と、第２回路層５００と、上層絶縁体シート６００と、を備えており、側面に一対の入出力電極７００、８００を備えている。
【００３９】
前記下層絶縁体シート１００は、本発明によるコモンモードフィルタを支持する役割をするものであり、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板などの基材のうち一つを選択して形成することができる。
【００４０】
また、第１絶縁体シート２００は、下層絶縁体シート１００の上面に形成されており、その材料としては、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いる。このような第１絶縁体シート２００の厚さによってインピーダンスを調節する。
【００４１】
前記第１絶縁体シート２００の上面には、第１回路層３００が形成されている。
【００４２】
ここで、第１回路層３００は、板状導線が斜線状に配列されてなる１層第１コイル３１０と、板状導線が斜線状に配列されてなる１層第２コイル３２０とが、それぞれをなす板状導線が交互に配置されるように形成されて構成される。
【００４３】
このように第１絶縁体シート２００の上面に形成される１層第１コイル３１０及び１層第２コイル３２０は、同一平面上に形成され、それぞれをなす板状導線が互いに交互に配置されて１層第２コイル３２０が１層第１コイル３１０の各々の間に配置される。
【００４４】
勿論、板状導線の両末端には、ランド３１０Ｌ、３２０Ｌが形成され、第２絶縁体シート４００のスルーホールと接触されるようにして、第１回路層３００と第２回路層５００とが電気的に接続されるようにする。
【００４５】
このように、１層第１コイル３１０と１層第２コイル３２０とは、それぞれをなす板状導線が斜線状に互いに平行をなして交互に形成されているため、互いに短絡されず、電気的に絶縁状態を維持する。
【００４６】
このような１層第１コイル３１０及び１層第２コイル３２０の板状導線の材料は、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔまたはその合金のうち一つからなる。
【００４７】
一方、前記第２絶縁体シート４００は、第１回路層３００と第２回路層５００との間に形成されており、前記第１回路層３００と第２回路層５００とを電気的に接続するために、多数のスルーホールが互いに対向する一対のスルーホール列４１１、４１２をなして形成されている。
【００４８】
ここで、一対のスルーホール列４１１、４１２をなすそれぞれのスルーホールは、一定間隔離隔されており、互いに接触されないように形成されるため、電気的に絶縁状態を維持することができる。
【００４９】
このような第２絶縁体シート４００の材料としては、感光材がもっとも適し、その他に、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いることができる。もっとも好ましく第２絶縁体シート４００の材料として感光材を用いることにより、コモンモードフィルタを薄型に製作することができる。
【００５０】
次に、前記第２絶縁体シート４００の上面には、第２回路層５００が形成されている。
【００５１】
ここで、第２回路層５００は、板状導線が斜線状に配列されてなる２層第１コイル５１０と、板状導線が斜線状に配列されてなる２層第２コイル５２０とが、それぞれをなす板状導線が交互に配置されるように形成されて構成される。
【００５２】
このように第２絶縁体シート４００の上面に形成される２層第１コイル５１０及び２層第２コイル５２０は、同一平面上に形成され、それぞれをなす板状導線が互いに交互に配置されて２層第２コイル５２０が２層第１コイル５１０の各々の間に配置される。
【００５３】
勿論、板状導線の両末端には、ランド５１０Ｌ、５２０Ｌが形成され、第２絶縁体シート４００のスルーホールと接触されるようにして、第１回路層３００と第２回路層５００とが電気的に接続されるようにする。
【００５４】
このように、２層第１コイル５１０と２層第２コイル５２０とは、斜線状に互いに平行をなして交互に形成されているため、互いに短絡されず、電気的に絶縁状態を維持する。
【００５５】
このような２層第１コイル５１０及び２層第２コイル５２０の材料は、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔまたはその合金のうち一つからなる。
【００５６】
また、上層絶縁体シート６００は、第２回路層５００の上面に形成されており、その材料としては、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いる。
【００５７】
一方、下層絶縁体シート１００に積層された第１絶縁体シート２００から上層絶縁体シート６００までの側面には、それぞれのコイルに対応する一対の入出力電極７００、８００が形成されている。
【００５８】
ここで、一対の入出力電極７００、８００は、外部の電源装置からの電源を本発明のコモンモードフィルタに供給するためのものである。
【００５９】
前記一対の入出力電極７００、８００のうち、第１コイル５１０、３１０に対応する入出力電極７００の入力電極７１０は、２層第１コイル５１０に接続され、出力電極７２０は、１層第１コイル３１０に接続されており、外部電源装置からの電源が第１コイル５１０、３１０に供給されるようにする。
【００６０】
勿論、これと反対に、第１コイル５１０、３１０に対応する入出力電極７００の入力電極７１０が１層第１コイル３１０に接続され、出力電極７２０が２層第１コイル５１０に接続されるようにして、外部電源装置からの電源が第１コイル５１０、３１０に供給されるようにすることもできる。
【００６１】
次に、前記一対の入出力電極７００、８００のうち、第２コイル５２０、３２０に対応する入出力電極８００の入力電極８１０は、２層第２コイル５２０に接続され、出力電極８２０は、１層第２コイル３２０に接続されており、外部電源装置からの電源が第２コイル５２０、３２０に供給されるようにする。
【００６２】
勿論、これと反対に、第２コイル５２０、３２０に対応する入出力電極８００の入力電極８１０が１層第２コイル３２０に接続され、出力電極８２０が２層第２コイル５２０に接続されるようにして、外部電源装置からの電源が第２コイル５２０、３２０に供給されるようにすることもできる。
【００６３】
前記一対の入出力電極７００、８００の材料は、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔまたはその合金のうち一つからなる。
【００６４】
このように構成されるコモンモードフィルタの１層第１コイル３１０と２層第１コイル５１０との連結方式を、第１回路層、第２絶縁体シート、及び第２回路層の詳細分離図である図４Ａを参照して説明すると、次の通りである。
【００６５】
スタート点は、２層第１コイル５１０の板状導線５１０−１であり、板状導線５１０−１は、ランド５１０ＬＲ１を介して点線で示されたように、それに対応するスルーホール４１１−１を経て、１層第１コイル３１０の対応するランド３１０ＬＲ１に接続され、１層第１コイル３１０の板状導線３１０−１と連結される。
【００６６】
また、１層第１コイル３１０の板状導線３１０−１は、ランド３１０ＬＬ１を介して点線で示されたようにそれに対応するスルーホール４１２−２を経て、２層第１コイル５１０の対応するランド５１０ＬＬ１に接続され、２層第１コイル５１０の次の板状導線５１０−２と連結される。
【００６７】
このような方式で、図面符号５１０−２の板状導線→図面符号５１０ＬＲ２のランド→図面符号４１１−３のスルーホール→図面符号３１０ＬＲ２のランド→図面符号３１０−２の板状導線→図面符号３１０ＬＬ２のランド→図面符号４１２−４のスルーホール→図面符号５１０ＬＬ２のランド→図面符号５１０−３の板状導線まで連結される。
【００６８】
次に、図面符号５１０−３の板状導線→図面符号５１０ＬＲ３のランド→図面符号４１１−５のスルーホール→図面符号３１０ＬＲ３のランド→図面符号３１０−３の板状導線→図面符号３１０ＬＬ３のランド→図面符号４１２−６のスルーホール→図面符号５１０ＬＬ３のランド→図面符号５１０−４の板状導線まで連結される。
【００６９】
また、図面符号５１０−４の板状導線→図面符号５１０ＬＲ４のランド→図面符号４１１−７のスルーホール→図面符号３１０ＬＲ４のランド→図面符号３１０−４の板状導線→図面符号３１０ＬＬ４のランド→図面符号４１２−８のスルーホール→図面符号５１０ＬＬ４のランド→図面符号５１０−５の板状導線まで連結される。
【００７０】
最後に、図面符号５１０−５の板状導線→図面符号５１０ＬＲ５のランド→図面符号４１１−９のスルーホール→図面符号３１０ＬＲ５のランド→図面符号３１０−５の板状導線→図面符号３１０ＬＬ５のランド→図面符号４１２−１０のスルーホール→図面符号５１０ＬＬ５のランド→図面符号５１０−６の板状導線まで連結される。
【００７１】
一方、このように構成されるコモンモードフィルタの１層第２コイル３２０と２層第２コイル５２０との連結方式を、第１回路層、第２絶縁体シート、及び第２回路層の詳細分離図である図４Ｂを参照して説明すると、次の通りである。
【００７２】
スタート点は、１層第２コイル３２０の板状導線３２０−１であり、板状導線３２０−１は、ランド３２０ＬＬ１を介して点線で示されたようにそれに対応するスルーホール４１２−１を経て、２層第２コイル５２０の対応するランド５２０ＬＬ１に接続され、２層第２コイル５２０の板状導線５２０−１と連結される。
【００７３】
また、２層第２コイル５２０の板状導線５２０−１は、ランド５２０ＬＲ１を介して点線で示されたようにそれに対応するスルーホール４１１−２を経て、１層第２コイル３２０の対応するランド３２０ＬＲ１に接続され１層第２コイル３２０の次の板状導線３２０−２と連結される。
【００７４】
このような方式で、図面符号３２０−２の板状導線→図面符号３２０ＬＬ２のランド→図面符号４１２−３のスルーホール→図面符号５２０ＬＬ２のランド→図面符号５２０−２の板状導線→図面符号５２０ＬＲ２のランド→図面符号４１１−４のスルーホール→図面符号３２０ＬＲ２のランド→図面符号３２０−３の板状導線まで連結される。
【００７５】
また、図面符号３２０−３の板状導線→図面符号３２０ＬＬ３のランド→図面符号４１２−５のスルーホール→図面符号５２０ＬＬ３のランド→図面符号５２０−３の板状導線→図面符号５２０ＬＲ３のランド→図面符号４１１−６のスルーホール→図面符号３２０ＬＲ３のランド→図面符号３２０−４の板状導線まで連結される。
【００７６】
また、図面符号３２０−４の板状導線→図面符号３２０ＬＬ４のランド→図面符号４１２−７のスルーホール→図面符号５２０ＬＬ４のランド→図面符号５２０−４の板状導線→図面符号５２０ＬＲ４のランド→図面符号４１１−８のスルーホール→図面符号３２０ＬＲ４のランド→図面符号３２０−５の板状導線まで連結される。
【００７７】
最後に、図面符号３２０−５の板状導線→図面符号３２０ＬＬ５のランド→図面符号４１２−９のスルーホール→図面符号５２０ＬＬ５のランド→図面符号５２０−５の板状導線→図面符号５２０ＬＲ５のランド→図面符号４１１−１０のスルーホール→図面符号３２０ＬＲ５のランド→図面符号３２０−６の板状導線まで連結される。
【００７８】
このように構成されたコモンモードフィルタは、第１コイル３１０、５１０と第２コイル３２０、５２０とが交互に配置されることにより、コモンモードノイズを除去することができる。
【００７９】
また、上記のような本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、薄型のコモンモードフィルタを製作することができる。
【００８０】
また、本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより、工程コストを低減することができる。
【００８１】
また、本発明によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより、工程収率を高めることができる。
【００８２】
図５Ａから図５Ｋは、図１のＸ−Ｘ´線に沿って切開した部分であり、コモンモードフィルタの製作方法の流れを示す断面図である。
【００８３】
図５Ａに示すように、下層絶縁体シート１０００に第１絶縁体シート１１００が積層された原板を準備する。
【００８４】
ここで、下層絶縁体シート１０００の材料として、Ａｌ２Ｏ３、ＡｌＮ、ガラス及び石英基板などの基材のうち一つを選択して形成することができる。
【００８５】
また、第１絶縁体シート１１００の材料としては、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いる。
【００８６】
図５Ｂに図示されたように、原板に無電解メッキ及び電解メッキを施して金属層１２００を形成する。前記金属層１２００の材料は、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔまたはその合金のうちの一つからなる。
【００８７】
無電解メッキは、第１絶縁体シート１１００に対するメッキであるため、電気を帯びたイオンによる反応を期待することができない。
【００８８】
このような無電解メッキは、析出反応によってなり、析出反応は、触媒によって促進される。メッキ液から金属が析出されるためには、メッキしようとする材料の表面に触媒が付着されなければならない。これは、無電解メッキが多くの前処理を要するということを示す。
【００８９】
一実施例において、無電解メッキ工程は、脱脂（ｃｌｅａｎｅｔ）過程、ソフトエッチング（ｓｏｆｔ  ｅｔｃｈｉｎｇ）過程、予備触媒処理（ｐｒｅ−ｃａｔａｌｙｓｔ）過程、触媒処理過程、活性化（ａｃｃｅｌｅｒａｔｏｒ）過程、無電解メッキ過程及び酸化防止処理過程を含む。
【００９０】
上述の無電解メッキ工程は、通常、電解メッキに比べ物理的特性が劣るため、薄く形成する。
【００９１】
前記無電解メッキが完了した後、原板をメッキ作業槽に浸漬した後、直流整流器を用いて電解メッキを施すことにより電解メッキ層を形成する。このような電解メッキは、メッキすべき面積を計算して、直流整流器に適した電流を用いて金属を析出する方式を用いることが好ましい。電解メッキは、メッキ層の物理的特性が無電解メッキ層より優れ、厚いメッキ層を形成することが容易である長所がある。
【００９２】
図５Ｃに図示されたように、ドライフィルム（ｄｒｙ  ｆｉｌｍ）１３００を塗布した後、所定のパターンが印刷されたアートワークフィルム（ａｒｔ  ｗｏｒｋ  ｆｉｌｍ、不図示）を用いて、ドライフィルム１３００を露光及び現像することにより、第１回路層の１層第１コイル１２１０及び１層第２コイル１２２０の回路パターンを含むエッチングレジストパターン（ｅｔｃｈｉｎｇ  ｒｅｓｉｓｔ  ｐａｔｔｅｒｎ）を、ドライフィルム１３００に形成する。
【００９３】
ここで、ドライフィルム１３００は、カバーフィルム（ｃｏｖｅｒ  ｆｉｌｍ）、感光性材料で形成されたフォトレジストフィルム（ｐｈｏｔｏ−ｒｅｓｉｓｔ  ｆｉｌｍ）及びマイラーフィルム（Ｍｙｌａｒｆｉｌｍ）の３層で構成され、実質的にレジストの役割をする層は、フォトレジストフィルムである。
【００９４】
前記ドライフィルム１３００の露光及び現象工程は、所定のパターンが印刷されたアートワークフィルムをドライフィルム１３００上に密着させた後、紫外線を照射することにより行われる。この際、アートワークフィルムのパターンが印刷された黒い部分には、紫外線が透過されず、印刷されていない部分には、紫外線が透過して、アートワークフィルムの下側のドライフィルム１３００を硬化させる。
【００９５】
このようにドライフィルム１３００が硬化された原板を現像液に浸漬すると、硬化されていないドライフィルム１３００の部分が現像液によって除去され、硬化されたドライフィルム１３００の部分のみ残ってエッチングレジストパターンを形成する。ここで、現像液としては、炭酸ナトリウム（Ｎａ２ＣＯ３）または炭酸カリウム（Ｋ２ＣＯ３）の水溶液などを用いる。
【００９６】
図５Ｄに図示されたように、ドライフィルム１３００をエッチングレジストとして用いて、金属層１２００をエッチングすることにより、原板の金属層１２００に、１層第１コイル１２１０及び１層第２コイル１２２０を形成する。
【００９７】
ここで、１層第１コイル１２１０は、交互に形成された多数の板状導線とそれぞれの板状導線の両側に形成された多数のランドとからなる。
【００９８】
また、１層第２コイル１２２０も、交互に形成された多数の板状導線とそれぞれの板状導線の両側に形成された多数のランドとからなる。
【００９９】
その後、ドライフィルム１３００を水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）または水酸化カリウム（ＫＯＨ）などの剥離液を用いて除去する。
【０１００】
その後、図５Ｅに図示されたように、紫外線により感光される液体状態の感光材を原板に塗布して第２絶縁体シート１４００を形成した後、乾燥させる。次に、所定のパターンが形成されたアートワークフィルムを用いて、感光材を露光及び現像することにより、感光材に、１層第１コイル１２１０の多数のランド及び１層第２コイル１２２０の多数のランドに対応する多数のホールを形成する。
【０１０１】
ここで、液体状態の感光材をコーティングする方式としては、ディップコーティング（ｄｉｐ  ｃｏａｔｉｎｇ）方式、ロールコーティング（ｒｏｌｌ  ｃｏａｔｉｎｇ）方式、電気蒸着（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）方式などを用いることができる。
【０１０２】
一方、第２絶縁体シート１４００の材料として、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いることができ、この場合は、ホールを形成するために、レーザドリルを用いることもできる。この際、レーザドリルは、二酸化炭素レーザドリルを用いることが好ましい。
【０１０３】
一方、図５Ｆに図示されたように、第２絶縁体シート１４００の上面に、第２回路層の母材（ｐｒｅｆｏｒｍ）となる金属層１５００、１６００を形成する。前記金属層１５００、１６００の材料は、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｔまたはその合金のうち一つからなる。
【０１０４】
形成されたホールの電気的連結及び電解メッキを施すために、無電解メッキして無電解メッキ層１５００を形成し、その後電解メッキを施して電解メッキ層１６００を形成することにより、金属層１５００、１６００を完成する。
【０１０５】
前記ホールは、このように無電解メッキ層１５００と電解メッキ層１６００によって導電性物質が充填されると、導電性を有するスルーホールになる。
【０１０６】
図５Ｇに図示されたように、金属層１６００にドライフィルム１７００をそれぞれ塗布した後、所定のパターンが印刷されたアートワークフィルム（不図示）を用いてドライフィルム１７００を露光及び現像することにより、ドライフィルム１７００に第２回路層の第１コイル１５１０、１６１０及び第２コイル１５２０、１６２０の回路パターンを含むエッチングレジストパターンを形成する。
【０１０７】
図５Ｈに図示されたように、ドライフィルム１７００をエッチングレジストとして用いて、金属層１５００、１６００をエッチングすることにより、第２回路層の第１コイル１５１０、１６１０及び第２コイル１５２０、１６２０を形成する。
【０１０８】
その後、ドライフィルム１７００を水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）または水酸化カリウム（ＫＯＨ）などの剥離液を用いて除去する。
【０１０９】
上述した図５Ｇ及び図５Ｈの過程も、液体状態の感光材をエッチングレジストとして用いて、第２回路層の第１コイル及び第２コイルを形成することができる。
【０１１０】
次に、図５Ｉに図示されたように、２層第１コイル１５１０、１６１０及び２層第２コイル１５２０、１６２０からなる第２回路層に、上層絶縁体シート１８００を積層する。
【０１１１】
ここで、上層絶縁体シート１８００は、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏ  ｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、またはその他の高分子ポリマーのうち一つを選択して用いることができる。
【０１１２】
その後、図５Ｊに図示されたように、下層絶縁体シート１０００に積層された第１絶縁体シート１１００から上層絶縁体シート１８００に至る積層体を多様なエッチング工程により側面を除去する。
【０１１３】
また、図５Ｋに図示されたように、一対の入出力電極１９００を前記エッチングされた部分に付着する。このような入出力電極１９００は、多様な接着剤を用いて付着されることができる。
【０１１４】
このような本発明の工程によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより工程コストを低減することができる。
【０１１５】
また、本発明の工程によると、第１コイルと第２コイルとを同一平面に斜線状に具現して、工程数を減らすことができ、これにより工程収率を高めることができる。
【０１１６】
本発明は、上述の実施例及び添付の図面により限定されず、添付の特許請求の範囲により限定される。本発明の装置は、本発明の技術的思想を外れない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が出来るということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明白である。
【産業上の利用可能性】
【０１１７】
本発明は、２層の積層構造に製品を生産する際に小型化が可能であるとともに、工程数を減らし、コストを低減することができるコモンモードフィルタ及びその製造方法に適用可能である。
【符号の説明】
【０１１８】
１００  下層絶縁体シート
２００  第１絶縁体シート
３００  第１回路層
３１０  １層第１コイル（第１コイル）
３１０Ｌ  ランド
３２０  １層第２コイル（第２コイル）
３２０Ｌ  ランド
４００  第２絶縁体シート
４１１、４１２  スルーホール列
５００  第２回路層
５１０  ２層第１コイル（第１コイル）
５１０Ｌ  ランド
５２０  ２層第２コイル（第２コイル）
５２０Ｌ  ランド
６００  上層絶縁体シート
７００  入出力電極
７１０  入力電極
７２０  出力電極
８００  入出力電極
８１０  入力電極
８２０  出力電極
１０００  下層絶縁体シート
１１００  第１絶縁体シート
１２００  金属層
１２１０  １層第１コイル（第１コイル）
１２２０  １層第２コイル（第２コイル）
１３００  ドライフィルム
１４００  第２絶縁体シート
１５００  無電解メッキ層（金属層）
１５１０  ２層第１コイル（第１コイル）
１５２０  ２層第２コイル（第２コイル）
１６００  電解メッキ層（金属層）
１６１０  ２層第１コイル（第１コイル）
１６２０  ２層第２コイル（第２コイル）
１７００  ドライフィルム
１８００  上層絶縁体シート
１９００  入出力電極
【図１】
2013140933.tif 000003
【図２】
2013140933.tif 000004
【図３】
2013140933.tif 000005
【図４Ａ】
2013140933.tif 000006
【図４Ｂ】
2013140933.tif 000007
【図５Ａ】
2013140933.tif 000008
【図５Ｂ】
2013140933.tif 000009
【図５Ｃ】
2013140933.tif 000010
【図５Ｄ】
2013140933.tif 000011
【図５Ｅ】
2013140933.tif 000012
【図５Ｆ】
2013140933.tif 000013
【図５Ｇ】
2013140933.tif 000014
【図５Ｈ】
2013140933.tif 000015
【図５Ｉ】
2013140933.tif 000016
【図５Ｊ】
2013140933.tif 000017
【図５Ｋ】
2013140933.tif 000018