(57)【要約】【課題】接続基板を小型化できると共に、接続基板と配線部材との接合を容易に行える液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル面３０を有し、圧力発生手段２０の駆動によりノズル２９から液体を噴射するヘッド本体１４と、該ヘッド本体１４に一側の端部が電気的に接続され、当該ヘッド本体１４に圧力発生手段２０を駆動させる駆動信号を供給する配線部材２１と、ヘッド本体１４に対しノズル面３０とは反対面側に配置され、配線部材２１の他側の端部が電気的に接続される接続基板１６と、を有し、該接続基板１６は、ヘッド本体１４側の面に形成されて配線部材２１の配線端子３６と接合される接合端子５６と、該接合端子５６が形成された面とは反対側の面において該接合端子５６と対応して形成された表面端子５７と、を備え、該表面端子５７と接合端子５６とを熱伝導部材５８により接続基板１６を貫通した状態で接続した。【選択図】図２
2013103380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが開設されたノズル面を有し、圧力発生手段の駆動によりノズルから液体を噴射するヘッド本体と、
該ヘッド本体に一側の端部が電気的に接続され、当該ヘッド本体に前記圧力発生手段を駆動させる駆動信号を供給する配線部材と、
前記ヘッド本体に対し前記ノズル面とは反対面側に配置され、前記配線部材の他側の端部が電気的に接続される接続基板と、を有し、
該接続基板は、前記ヘッド本体側の面に形成されて前記配線部材の配線端子と接合される接合端子と、該接合端子が形成された面とは反対側の面において該接合端子と対応して形成された表面端子と、を備え、
該表面端子と前記接合端子とを熱伝導部材により前記接続基板を貫通した状態で接続したことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記表面端子と前記接合端子との間を貫通する貫通孔を備え、
該貫通孔の内面に前記熱伝導部材を形成したことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記熱伝導部材に金属を用いたことを特徴とする１又は２に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
前記接合端子に対向する位置に保持面を有し、
該保持面上において前記接合端子と前記配線端子とを接合したことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体噴射ヘッドや回路基板等を組み合わせてユニット化した液体噴射ヘッドユニットを備え、この噴射ヘッドユニットから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドユニットでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドユニットではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドユニットでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドユニットでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
この種の液体噴射ヘッドユニットとしては、圧力室に開口したノズルからインクを噴射するヘッド本体と、ヘッド本体の上部に備えられた流路部材と、流路部材の上面に配置された接続基板と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。ヘッド本体は、圧力室の容積を変動可能な圧電振動子と、圧電振動子に駆動信号を供給する配線部材とを有している。流路部材は、インク貯留部材からのインクをヘッド本体側に供給する供給流路を内部に備えている。そして、インク貯留部材から供給流路を介してヘッド本体に送られたインクは、圧電振動子を駆動することで生じる圧力室内の圧力変動により、ノズルから噴射される。
【０００４】
接続基板は、流路部材の上方において配線部材と電気的に接合され、制御部からの駆動信号を配線部材に供給している。ここで、接続基板に配線部材を接合する方法としては、接合部分に半田を配置し、上方（ヘッド本体とは反対側）から発熱治具を用いて半田に熱を加えることで接続基板と配線部材を半田付けする方法が広く知られている。この場合、上方の発熱時具からの熱を半田等に効率よく伝えるために、接続基板の上面に配線部材を接続している。例えば、図８（ａ）に示すように、接続基板９０に開設した配線部材９１の幅よりも幅広な基板開口９２に配線部材９１の一端を挿通し、この基板開口９２の縁において配線部材９１と接続基板９０とを半田等を挟んで重ね合わせた状態で、上方から熱を加えることでこれらを電気的に接合した液体噴射ヘッドユニット９３が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−０５６９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような液体噴射ヘッドユニットでは、基板開口部分に配線を配置できないため、接続基板の大型化につながっていた。例えば、図８（ｂ）に示すように、複数の配線部材９１を接合基板上に接合し、配線部材９１間の同種類の端子（例えば、共通電極端子）同士を接続基板９０の配線を介して接続する場合、基板開口９２を迂回して配線を引き回さなければならず、基板開口９２と基板端との間隔が広がる傾向にあった。このため、接続基板の小型化に対応できず、液体噴射ヘッドユニットの小型化が困難になっていた。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、接続基板を小型化できると共に、接続基板と配線部材との接合を容易に行える液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルが開設されたノズル面を有し、圧力発生手段の駆動によりノズルから液体を噴射するヘッド本体と、
該ヘッド本体に一側の端部が電気的に接続され、当該ヘッド本体に前記圧力発生手段を駆動させる駆動信号を供給する配線部材と、
前記ヘッド本体に対し前記ノズル面とは反対面側に配置され、前記配線部材の他側の端部が電気的に接続される接続基板と、を有し、
該接続基板は、前記ヘッド本体側の面に形成されて前記配線部材の配線端子と接合される接合端子と、該接合端子が形成された面とは反対側の面において該接合端子と対応して形成された表面端子と、を備え、
該表面端子と前記接合端子とを熱伝導部材により前記接続基板を貫通した状態で接続したことを特徴とする。
【０００９】
本発明の液体噴射装置によれば、配線部材は、接続基板のヘッド本体側の面に接続されるため、接続基板に配線部材を挿通するための開口を設ける必要がなく、配線を迂回させる必要がない。これにより、接続基板を小型化することができ、ひいては液体噴射ヘッドユニットを小型化することができる。また、表面端子と接合端子とを熱伝導部材で接続したので、配線部材の配線端子と接合端子とを半田等を用いて接合する際に、表面端子側から効率よく熱を加えることができる。これにより、配線端子と接合端子とを容易に接合することができる。また、接続基板や配線部材の基材を介さずに、接合部分に熱を伝えることができるため、加熱温度および加熱時間を下げることができる。
【００１０】
上記構成において、前記表面端子と前記接合端子との間を貫通する貫通孔を備え、
該貫通孔の内面に前記熱伝導部材を形成したことが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、貫通孔から表面端子と接合端子との接合状態を確認でき、接合不良を簡単に発見することができる。
【００１２】
上記各構成において、前記熱伝導部材に金属を用いたことが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、接続基板を容易に作成することができる。また、表面端子と接合端子とを電気的に接続することもできる。
【００１４】
また、上記各構成において、前記接合端子に対向する位置に保持面を有し、
該保持面上において前記接合端子と前記配線端子とを接合したことが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、発熱治具を用いて表面端子と接合端子とを熱圧着する際に、これらを容易に接合することができる。
【００１６】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドユニットを備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】記録ヘッドユニットの断面図である。
【図３】記録ヘッドの断面図である。
【図４】配線基板を接続した状態における接続基板の（ａ）平面図、（ｂ）底面図である。
【図５】図４（ａ）における領域Ａの拡大図である。
【図６】図５におけるＢ−Ｂ線の断面図である。
【図７】配線基板と接続基板の接合を説明する模式図である。
【図８】従来の記録ヘッドユニットの（ａ）断面図、（ｂ）平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００１９】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドユニットの一種である記録ヘッドユニット２が取り付けられると共に、液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッドユニット２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
【００２０】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
【００２１】
また、ホームポジションには、後述するヘッド本体１４のノズル面３０（ノズルプレート１９：図３参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル面３０を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。キャッピング部材１１は、長方形状の底部とこの底部の周縁から起立する側壁部とを有する上面が開放したトレイ状の部材であり、ゴム等の弾性部材により形成される。また、キャッピング部材１１には、その内側を減圧するポンプ（図示せず）が接続されている。これにより、ノズル面３０をキャッピング部材１１により封止した後でポンプを動作させることで、記録ヘッドユニット２内の気泡や増粘したインクを吸引することができる。
【００２２】
記録ヘッドユニット２は、図２に示すように、インクを噴射するヘッド本体１４と、ヘッド本体１４の上部（ノズル面３０とは反対側）に接続された保持部材１５と、保持部材１５の上部（ヘッド本体１４とは反対面側）に配置される接続基板１６と、を有している。なお、本実施形態の記録ヘッドユニット２は、後述するノズル列に直交する方向に並設された４つのヘッド本体１４を１つの保持部材１５に備えている。
【００２３】
ヘッド本体１４は、図３に示すように、流路基板１８、ノズルプレート１９、圧電振動子２０、フレキシブルケーブル２１（本発明における配線部材）、保護基板２２、コンプライアンス基板２３、およびヘッドケース２４を備えている。
【００２４】
流路基板１８は、ノズル列方向に沿って長尺なシリコン単結晶基板からなり、長手方向に沿って細長な連通部２６が２本形成されている。これらの連通部２６に挟まれた領域には、複数の圧力室２７が各連通部２６ごとに、２列長手方向に並んだ状態で形成されている。各圧力室２７は、圧力室２７よりも狭い幅で形成されたインク供給路２８を介して、連通部２６と連通している。
【００２５】
流路基板１８の下面（圧電振動子２０とは反対側の面）には、ノズルプレート１９が、接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。ノズルプレート１９は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はシリコン単結晶等で形成されており、各圧力室２７のインク供給路２８とは反対側で開口するノズル２９が、例えば、３６０ｄｐｉのピッチで穿設されている。なお、ノズルプレート１９の下面が本発明におけるノズル面３０に相当する。
【００２６】
流路基板１８の上面（ノズルプレート１９とは反対側の面）には、弾性膜３１および絶縁体膜３２が積層されている。この絶縁体膜３２上において、下電極膜、圧電体層及び上電極膜が順次積層された圧電振動子２０（本発明における圧力発生手段の一種）が、各圧力室２７に対向した状態で、２列並設されている。この圧電振動子２０の一側（中央側）の端部には、上電極膜と導通するリード電極３４の一端が接続されている。このリード電極３４の他端は、絶縁体膜３２上においてヘッド本体１４の中央部側に延在し、フレキシブルケーブル２１と電気的に接続されている。本実施形態では、２列に列設された圧電振動子２０の間にそれぞれ対応するリード電極３４が延在しており、各リード電極３４は１つのフレキシブルケーブル２１の端子（本発明における一側の端部に相当）に接続されている。
【００２７】
フレキシブルケーブル２１は圧電振動子２０に圧電振動子２０を駆動させる駆動信号を供給する配線部材の一種であり、ＩＣ３５が実装されると共に、接続基板１６と接続される側の端部に金属製のパッドである配線端子３６が等間隔に並設されている。また、フレキシブルケーブル２１の配線端子並設方向の両端部には、ケーブル位置決め穴３７が開口している（図４参照）。
【００２８】
絶縁体膜３２上には、圧電振動子２０に対向する領域にその変位を阻害しない程度の大きさの空間となる圧電素子保持空間３８を有する保護基板２２が接合されている。この保護基板２２には、連通部２６に対向する位置に厚さ方向に貫通した長尺なリザーバー部３９が２本設けられると共に、フレキシブルケーブル２１とリード電極３４を接続可能な配置空間４０が中央部に設けられている。なお、リザーバー部３９は各連通部２６と連通し、圧力室２７にインクを供給するリザーバー４１を構成している。
【００２９】
コンプライアンス基板２３は、可撓性を有する封止膜４２と金属等の硬質の部材からなる固定板４３とを積層した基板であり、保護基板２２の上側（流路基板１８とは反対側）に接合されている。このコンプライアンス基板２３には、リザーバー４１にインクを導入するインク導入口４４が厚さ方向に貫通して形成されている。また、コンプライアンス基板２３のリザーバー４１に対向する領域のうちインク導入口４４以外の領域には、固定板４３が除去された封止膜４２のみからなる封止部４５となっている。これにより、リザーバー４１は可撓性を有する封止部４５により封止され、コンプライアンスが得られることになる。
【００３０】
ヘッドケース２４は、コンプライアンス基板２３の上側（保護基板２２とは反対側）に接合された中空箱体状部材である。ヘッドケース２４の内部には、保護基板２２の配置空間４０と連通する挿通空間４７、およびケース流路４８がその高さ方向に貫通して形成されている。この挿通空間４７内には、フレキシブルケーブル２１が挿通されている。ケース流路４８は、保持部材１５側からのインクをリザーバー４１に供給するための流路であり、インク導入口４４と連通している。また、ヘッドケース２４の下面のうち封止部４５に対向する部分には、封止膜４２の可撓変形を阻害しない程度の封止空間４９を備えている。
【００３１】
保持部材１５は、図２に示すように、下部に複数（本実施形態では４つ）のヘッド本体１４（ヘッドケース２４）がノズル列に直行する方向に並列した状態で接合され、各ヘッドケース２４の挿通空間４７と連通する保持空間５０がその高さ方向に貫通して４つ形成されている。各保持空間５０内には、フレキシブルケーブル２１が挿通され、フレキシブルケーブル２１の先端部が保持部材１５の上面側に折り曲げられた状態で、その内部に保持されている。本実施形態では、図６に示すように、フレキシブルケーブル２１の折り曲げられた先端部は、配線端子３６が上側に向いた状態で、接着材５１により保持空間５０の上側の開口縁に接着されている。この接着材５１によりフレキシブルケーブル２１が接着される保持部材１５の上面が、接合端子５６（後述）に対向する配線端子３６を保持する保持面５２となる。
【００３２】
また、保持部材１５の内部には、各ヘッド本体１４にインクを供給する供給流路５３が設けられている。供給流路５３は、下端部が各ケース流路４８と連通し、上端部がインクカートリッジ３に接続されるインク導入針（図示せず）と連通している。本実施形態の供給流路５３は、一部が斜めに形成され、その上部が保持部材１５の上面から上方に向けて延在した接続管５４の内部に形成されている。これにより、インクカートリッジ３からのインクは、供給流路５３、ケース流路４８、インク導入口４４、リザーバー４１、インク供給路２８、を介して圧力室２７に供給される。そして、圧力室２７内の圧力変動によりノズル２９からインクを噴射している。
【００３３】
接続基板１６は、保持部材１５の上部に配置された、絶縁層と導電層の配線パターンとが積層された多層基板である。この接続基板１６の下面（ヘッド本体１４側の面）には、図６に示すように、フレキシブルケーブル２１の先端部に設けられた配線端子３６と接合（電気的に接続）される接合端子５６が形成されている。また、接続基板１６の上面（接合端子５６が形成された面とは反対側の面）には、接合端子５６と対応して形成された表面端子５７が形成されている。この表面端子５７と接合端子５６とは、熱伝導部材５８（本実施形態では金属）により接続基板１６を貫通した状態で接続されている。
【００３４】
具体的に説明すると、接続基板１６の上面には、図４（ａ）に示すように、ヘッド本体１４の並列方向における接続基板１６の両端部に配置されるコネクター５９と、接合端子５６に対応して列設された表面端子５７とを備えている。コネクター５９は、一端がプリンター１の制御部と接続されたフラットケーブル（図示せず）の他端が接続され、制御部からの駆動信号等が入力される。表面端子５７は、図５に示すように、金属からなる長方形状のパッドであり、中心部分には後述する貫通孔６２が開口している。また、接続基板１６の下面には、図４（ｂ）に示すように、フレキシブルケーブル２１の配線端子３６に対応した接合端子５６が複数列状に形成されている。本実施形態では、４つのヘッド本体１４に対応して、４つのフレキシブルケーブル２１が接続基板１６に接合されるため、これに対応して接合端子５６は４列に形成されている。この接合端子５６は、表面端子５７と同様に金属からなる長方形状のパッドであり、接続基板１６の下面側の配線と電気的に接続されている。
【００３５】
また、接続基板１６には、その厚さ方向に貫通した流路用開口６０、位置決め穴６１、および貫通孔６２が開設されている。流路用開口６０は、内部に供給流路５３の一部が形成された接続管５４を挿通するための開口であり、各接続管５４に対応する位置に設けられている。位置決め穴６１は、ケーブル位置決め穴３７と位置を揃えられており、それぞれ保持部材１５の上面に突設された位置決め凸部（図示せず）に嵌め込まれている。これにより、フレキシブルケーブル２１と接続基板１６との位置決め、すなわち、配線端子３６と接合端子５６との位置決めをしている。貫通孔６２は、図５、図６に示すように、表面端子５７と接合端子５６との間を貫通した穴であり、その内面に熱伝導部材５８が形成されている。本実施形態の熱伝導部材５８は、表面端子５７および接合端子５６と同じ金属で構成され、表面端子５７および接合端子５６と連続して貫通孔６２の縁および内面を覆っている。
【００３６】
そして、各接合端子５６は、対応する各配線端子３６と半田６３を介在して接合されている。これにより、制御部からの駆動信号を、フラットケーブル、コネクター５９、接続基板１６内の配線、接合端子５６、フレキシブルケーブル２１、リード電極３４を介して圧電振動子２０に供給することができる。この駆動信号の供給により圧電振動子２０を駆動させると、圧力室２７内に圧力変動が生じる。そして、この圧力変動を利用することで、ノズル２９からインクを噴射している。
【００３７】
次に、フレキシブルケーブル２１と接続基板１６の接続方法について、図７を用いて説明する。なお、本実施形態では、４つのフレキシブルケーブル２１を接続基板１６に接続しているが、各フレキシブルケーブル２１の接続方法は同じであるため、１のフレキシブルケーブル２１に着目して説明する。まず、保持部材１５の保持面５２上に接着材５１を塗布し、フレキシブルケーブル２１の先端部分（本発明における他側の端部に相当）を、配線端子３６が上面側に向いた状態で保持面５２側に折り曲げる。そして、フレキシブルケーブル２１のケーブル位置決め穴３７を保持部材１５の位置決め凸部に嵌め込んで位置決めし、接着材５１によりフレキシブルケーブル２１の配線端子３６とは反対側の面を保持面５２上に接着する。
【００３８】
次に、各接合端子５６に予め半田６３を盛り付けた接続基板１６を、接合端子５６が保持面５２側に対向するように配置する。このとき、位置決め穴６１を保持部材１５の位置決め凸部にフレキシブルケーブル２１のケーブル位置決め穴３７の上から嵌め込んで、接続基板１６の位置決めをする。この状態で、所定の温度（例えば、半田６３の融点）に設定された発熱治具６５を表面端子５７に当接すると共に、接続基板１６を保持面５２側に所定の時間押圧する。本実施形態では、表面端子５７および接合端子５６を貫通孔６２の内面に形成された金属５８を介して接続しているので、発熱治具６５からの熱を接合端子５６の表面にある半田６３に効率よく伝えることができる。これにより、半田６３が溶解して接合端子５６と配線端子３６の間に充填される。その後、発熱治具６５を接続基板１６から離隔して、半田６３の熱が下がると、半田６３が凝固して配線端子３６と接合端子５６とが接合され、上記構成の記録ヘッドユニット２が得られる。また、必要に応じて、表面端子５７の上方から貫通孔６２を介して、半田６３の接合状態を確認する。
【００３９】
そして、上記構成によれば、フレキシブルケーブル２１は、接続基板１６のヘッド本体１４側の面に接続されるため、接続基板１６にフレキシブルケーブル２１を挿通するための開口を設ける必要がなく、配線を迂回させる必要がない。例えば、複数のフレキシブルケーブル２１の共通の配線端子３６同士を接続する共通配線を、迂回させることなく直線状に配線できる。これにより、接続基板１６を小型化することができ、ひいては記録ヘッドユニット２を小型化することができる。また、表面端子５７と接合端子５６とを金属５８で接続したので、フレキシブルケーブル２１の配線端子３６と接合端子５６とを半田６３を用いて接合する際に、表面端子５７側から効率よく熱を加えることができる。これにより、配線端子３６と接合端子５６とを容易に接合することができる。また、接続基板１６やフレキシブルケーブル２１の基材を介さずに、接合部分に熱を伝えることができるため、加熱温度および加熱時間を下げることができる。
【００４０】
また、本実施形態では、表面端子５７と接合端子５６との間に貫通孔６２を備え、貫通孔６２の内面に金属５８を形成したので、貫通孔６２から表面端子５７と接合端子５６との接合状態を確認でき、接合不良を簡単に発見することができる。さらに、表面端子５７と接合端子５６との間を金属５８を用いて接続しているため、接続基板１６を容易に作成することができる。加えて、表面端子５７と接合端子５６とを電気的に接続することもできる。また、保持面５２上において接合端子５６と配線端子３６とを接合したので、発熱治具６５を用いて表面端子５７と接合端子５６とを熱圧着する際に、これらを容易に接合することができる。
【００４１】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、表面端子と接合端子との間に貫通孔を備え、貫通孔の内面に金属を形成したが、これには限らず、貫通孔を設けず表面端子と接合端子との間を金属で接続しても良い。すなわち、表面端子と接合端子との間を貫通させた孔の内部を全て、金属で充填しても良い。このようにすれば、表面端子側から接合端子側により効率よく熱を伝えることができる。
【００４２】
また、上記実施形態では、表面端子と接合端子との間を金属で接続したが、これには限らず、熱伝導率の大きい熱伝導部材（例えば、シリコーンゴム等）を用いることもできる。さらに、上記実施形態では、配線端子と接合端子とを半田を用いて接合したが、これには限らず、例えば、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）等を用いることもできる。
【００４３】
そして、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４４】
１…プリンター，２…記録ヘッドユニット，１４…ヘッド本体，１５…保持部材，１６…接続基板，２０…圧電振動子，２１…フレキシブルケーブル，３６…配線端子，５２…保持面，５６…接合端子，５７…表面端子，５８…熱伝導部材，６２…貫通孔，６３…半田，５６…発熱時具
【図１】
2013103380.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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