(57)【要約】【課題】ノズル検査を、被記録媒体を使用しないで低記録コスト、低環境負荷で行う。【解決手段】供給部２から流路部３を介して流入する液体を吐出する液体噴射ヘッド４の検査方法であり、流路遮断部１２が供給部２と吐出部１０の間の流路を遮断する流路遮断ステップＳ１と、吐出部１０が供給された液体を吐出する液体吐出ステップＳ２と、圧力検出器５が、流路遮断部１２から吐出部１０にかけて内在する液体の圧力情報を検出する圧力検出ステップＳ３と、判定部６が、圧力測定器５が検出した圧力情報に応じて液体噴射ヘッド４の良／不良を判定する判定ステップＳ４とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給部から流路を介して供給される液体を吐出部から吐出する液体噴射ヘッドの検査方法であって、
流路遮断部が、前記供給部と前記吐出部との間の流路を遮断する流路遮断ステップと、
前記吐出部が、供給された液体を吐出する液体吐出ステップと、
圧力検出器が、前記流路遮断部から前記吐出部にかけて内在する液体の圧力情報を検出する圧力検出ステップと、
判定部が、検出された前記圧力情報に応じて前記液体噴射ヘッドの良／不良を判定する判定ステップと、を備える液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記流路遮断部と前記吐出部との間に圧力緩衝器が設置され、前記圧力検出器は前記圧力緩衝器に組み込まれている請求項１に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項３】
前記流路遮断部は前記供給部から供給される液体を送液するポンプとしての機能を有する請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項４】
不良と判定されたときに、前記吐出部のクリーニングを行うクリーニングステップを含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項５】
前記液体噴射ヘッドは複数のノズルを備え、
前記液体吐出ステップは、前記複数のノズルの一部のノズルから液体を吐出する請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
【請求項６】
供給部と、前記供給部から供給される液体を導く流路部と、前記流路部から液体が供給される吐出部と、前記流路部の液体の流れを遮断する流路遮断部と、前記流路遮断部と前記吐出部との間の液体の圧力情報を検出する圧力検出器と、を備え、
前記流路遮断部が前記供給部と前記吐出部との間の流路を遮断し、前記吐出部が液体を吐出した後に、前記圧力検出器が前記流路遮断部から前記吐出部にかけて内在する液体の圧力情報を検出し、検出した前記圧力情報に応じて前記吐出部の良／不良を判定する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出して記録する液体噴射ヘッドの検査方法及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字、図形を描画する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット記録方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料を液体タンクから供給管を介して液体噴射ヘッドに供給し、チャンネルに充填したインクや液体材料をチャンネルに連通するノズルから吐出させる。インクの吐出の際には、液体噴射ヘッドや噴射した液体を記録する被記録媒体を移動させて、文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。
【０００３】
この種のインクジェット記録方式では、インクの乾燥やインクの充填不足により、ノズルが部分的にインクを吐出しなくなる“ノズル抜け”という現象が発生する。このノズル抜けが発生するとその部分のノズルからインクが吐出されないために被記録媒体、例えば紙に印刷されない個所ができてしまう。そこで、被記録媒体に印刷する前に“ノズル抜け”の確認のためのノズルチェックパターン等を印刷した。そのために、印刷用紙等の被記録媒体を無駄に消費してしまう。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１には印刷用紙等の被記録媒体を消費しないノズルチェック方法が記載されている。記録ヘッドのノズル形成面近傍にレーザー光を照射し、インクが吐出されたときに照射したレーザー光が遮蔽されることを利用してインクの吐出状態を監視する。即ち、レーザー発光半導体素子からレーザー光を射出し、記録ヘッドを移動させながらノズル開口から液滴を吐出させ、レーザー光をフォトダイオードにより検出してノズルからインク滴が正常に吐出されたかどうかを監視する。ノズル開口からインク滴が吐出されればレーザー光が遮蔽されて正常と検知され、ノズル開口からインク滴が吐出されなければレーザー光は遮蔽されず、吐出不良として検知される。吐出不良のノズルを検知したときは、アクチュエータを駆動して当該吐出不良のノズルからインクを再吐出させて、吐出不良を回復させる、というものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−８６７５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の場合は、記録ヘッドのノズル形成面近傍をレーザー光により走査する必要があり、光ビームを発生させるための発光素子や、この光を受光するための受光素子を設置する必要がある。そのために装置が大型化するとともに、部品点数や組立工数が増えてコスト高となった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体噴射ヘッドの検査方法は、供給部から流路を介して供給される液体を吐出部から吐出する液体噴射ヘッドの検査方法であって、流路遮断部が、前記供給部と前記吐出部との間の流路を遮断する流路遮断ステップと、前記吐出部が、供給された液体を吐出する液体吐出ステップと、圧力検出器が、前記流路遮断部から前記吐出部にかけて内在する液体の圧力情報を検出する圧力検出ステップと、判定部が、検出された前記圧力情報に応じて前記液体噴射ヘッドの良／不良を判定する判定ステップと、を備えることとした。
【０００８】
また、前記流路遮断部と前記吐出部との間に圧力緩衝器が設置され、前記圧力検出器は前記圧力緩衝器に組み込まれていることとした。
【０００９】
また、前記流路遮断部は前記供給部から供給される液体を送液するポンプとしての機能を有することとした。
【００１０】
また、不良と判定されたときに、前記吐出部のクリーニングを行うクリーニングステップを含むこととした。
【００１１】
また、前記液体噴射ヘッドは複数のノズルを備え、前記液体吐出ステップは、前記複数のノズルの一部のノズルから液体を吐出することとした。
【００１２】
本発明の液体噴射装置は、供給部と、前記供給部から供給される液体を導く流路部と、前記流路部から液体が供給される吐出部と、前記流路部の液体の流れを遮断する流路遮断部と、前記流路遮断部と前記吐出部との間の液体の圧力情報を検出する圧力検出器と、を備え、前記流路遮断部が前記供給部と前記吐出部との間の流路を遮断し、前記吐出部が液体を吐出した後に、前記圧力検出器が前記流路遮断部から前記吐出部にかけて内在する液体の圧力情報を検出し、検出した前記圧力情報に応じて前記吐出部の良／不良を判定する
こととした。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドの検査方法によれば、流路遮断部が、供給部と吐出部との間の流路を遮断する流路遮断ステップと、吐出部が、供給された液体を吐出する液体吐出ステップと、圧力検出器が、流路遮断部から吐出部にかけて内在する液体の圧力情報を検出する圧力検出ステップと、判定部が、検出された圧力情報に応じて液体噴射ヘッドの良／不良を判定する判定ステップと、を備えるようにした。その結果、ノズル抜けチェックの際に被記録媒体を使用しないため、記録コストが低減し環境負荷も低減できる。更に、ノズル形成面近傍をレーザー光により走査する必要が無いので発光素子や受光素子を設置する必要が無く、設置コストの低減を図ることができる。同時に、装置の大型化を避けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射装置のブロック図である。
【図２】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法を表す工程図である。
【図３】本発明の第一又は第二実施形態に係る液体噴射装置のブロック図である。
【図４】本発明の第一又は第二実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図５】本発明の第一又は第二実施形態に係る液体噴射装置に使用可能な液体噴射ヘッドの斜視図である。
【図６】本発明の第一又は第二実施形態に係る液体噴射装置に使用可能な圧力緩衝器の模式的な分解斜視図である。
【図７】本発明の第一又は第二実施形態に係る液体噴射装置に使用可能な圧力緩衝器の縦断面模式図である。
【図８】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法を表す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第一実施形態）
図１は液体噴射装置１のブロック図であり、図２は本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド４の検査方法を表す工程図であり、図３は他の液体噴射装置１のブロック図であり、図４は図３の具体的な形態を表す液体噴射装置１の模式的な斜視図である。また、図５〜図７は、図３に示す液体噴射ヘッド４及びこれに使用される圧力緩衝器７の具体例を表す。
【００１６】
図１に示すように、液体噴射装置１は、液体を供給する供給部２と、供給された液体を導く流路部３と、流路部３から液体が供給される吐出部１０と、流路部３の液体の流れを遮断する流路遮断部１２と、流路遮断部１２から吐出部１０にかけて内在する液体の圧力に関する情報（以下、圧力情報という。）を検出する圧力検出器５と、検出した圧力情報に応じて液体噴射ヘッド４の良／不良を判定する判定部６を備えている。なお、流路遮断部１２は流路部３に設けた電磁バルブであってもよいし、後に説明する送液用ポンプであってもよい。要は、供給部２と吐出部１０の間の流路を遮断できるものであればよい。また、供給部２はインク等の液体を貯留するタンクや液体の供給可能な配管等である。
【００１７】
図２を参照して液体噴射ヘッド４の検査方法を説明する。まず、流路遮断ステップＳ１において、流路遮断部１２は供給部２と吐出部１０との間の流路を遮断する。次に、液体吐出ステップＳ２において、吐出部１０は検査対象とする所定のノズルから液体を吐出する。次に、圧力検出ステップＳ３において、圧力検出器５は流路遮断部１２から吐出部１０にかけて内在する液体の圧力情報を検出する。検査対象のノズルが正常に駆動して液体を吐出した後は、流路部３から吐出部１０の液体の圧力は吐出された分低下する。これに対して検査対象のノズルが不良で正常に動作しない場合は液体が吐出されないので、液体吐出駆動の前後において圧力が変動しない、または変動量が小さい。そこで、判定ステップＳ４において、判定部６は、圧力検出器５が検出した圧力情報の測定値が基準値よりも大きい場合は不良と判定し（ＹＥＳ）、基準値よりも小さい場合は良と判定する（ＮＯ）。
【００１８】
検査対象となるノズルが液体噴射ヘッド４の一部のノズルである場合は、上記検査工程を繰り返して全てのノズルを検査する。この液体噴射ヘッド４の検査方法によれば、液体の圧力検出器５を流路部３や液体噴射ヘッド４に取り付けることで、不良ノズルを簡単に検出することができる。被記録媒体を消費しないので、記録コストを低減させ環境負荷も低減する。また、液体噴射ヘッド４のノズル形成面近傍に発光素子や受光素子を設置する必要もないので装置をコンパクトに構成することができる。
【００１９】
圧力検出器５は流路部３に組み込んでもよいし液体噴射ヘッド４に組み込んでもよい。つまり、流路部３をチューブ状の管路で構成し、供給部２から液体噴射ヘッド４までの流路部３の途中に圧力検出器５が位置してもかまわないし、圧力検出器５が液体噴射ヘッド４に搭載されるように構成してもかまわない。吐出不良を判定するための基準値は、正常な液体噴射ヘッドを用いて予め実測した値に基づいて設定しておくことができる。また、上記検査方法は、１ノズルずつ検査してもよいし、複数ノズルを一括して検査してもよい。一度に検査するノズル数は、圧力検出器の検出感度との兼ね合いで決定する。検出感度が高ければ検査対象のノズルを増やして短時間で検査することができる。
【００２０】
図３は、他の液体噴射装置１のブロック図であり、図２に示す検査方法を適用することができる。供給部２はインク等の液体を貯留する液体タンクであり、液体ポンプ８は供給された液体を流路部３に送液する。液体ポンプ８はチューブポンプや他のポンプを使用することができる。チューブポンプの動作は、ローラーがチューブを押しつぶしながら回転することで送液するため、チューブポンプを使用すればポンプが作動していないときは流路が遮断される。従って、ポンプの他に流路遮断用のバルブを設ける必要が無く、この場合は液体ポンプ８が流路遮断部１２として機能し、あるいは流路遮断部１２がポンプとして機能する。液体噴射ヘッド４は、流路部３の液体の圧力変動を緩和させるための圧力緩衝器７と、圧力緩衝器７から液体を流入し被記録媒体に吐出する吐出部１０を備えている。圧力緩衝器７は内部に圧力検出器５を備えている。制御部１１は、液体ポンプ８や液体噴射ヘッド４の駆動を制御する。制御部１１は、圧力検出器５から圧力情報を取得して判定する判定部６を備えている。
【００２１】
図４は、液体噴射装置１の具体的な形態を表す模式的な斜視図である。液体噴射装置１は、液体噴射ヘッド４、４’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド４、４’に液体を供給する流路部３、３’と、流路部３、３’に押圧して供給する液体ポンプ８、８’と、液体ポンプ８、８’に液体を供給する供給部である液体タンク９、９’と、液体噴射ヘッド４、４’のヘッドクリーニングを行うサービスステーション５０を備えている。各液体噴射ヘッド４、４’は複数のチャンネルを備え、各チャンネルに連通するノズルから液滴を吐出する。サービスステーション５０は、液体噴射ヘッド４、４’のノズルの検査や、ノズルのクリーニングを行う領域である。
【００２２】
液体噴射装置１は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド４、４’と、液体噴射ヘッド４、４’を保持するキャリッジユニット４３と、液体噴射ヘッド４、４’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０を備えている。図示しない制御部１１は液体噴射ヘッド４、４’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。
【００２３】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。
【００２４】
キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド４、４’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク９、９’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ８、８’、流路部３、３’を介して液体噴射ヘッド４、４’に供給する。各液体噴射ヘッド４、４’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド４、４’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。
【００２５】
キャリッジユニット４３は、液体噴射ヘッド４、４’のノズル検査及びクリーニングを行うときはサービスステーション５０の上部に移動する。サービスステーション５０は図示しないクリーニングユニットを備え、液体噴射ヘッド４、４’のノズル面に当接して図示しない吸引ポンプにより液体噴射ヘッド４、４’から液体を吸引する、また、液体噴射ヘッド４、４’のノズルから液体を吐出してノズルのクリーニングを行う。
【００２６】
図５は、図３に示す液体噴射ヘッド４の具体例を表す斜視図である。液体噴射ヘッド４は、ベース２４と、図示しない被記録媒体に液滴を吐出する吐出部１０と、吐出部１０に液体を供給する圧力緩衝器７と、吐出部１０を制御する制御部を搭載した制御回路基板２５を備えている。吐出部１０は、駆動信号に応じて液滴を吐出するアクチュエータ２６と、アクチュエータ２６に液体を供給する流路部材２３と、アクチュエータ２６と制御回路基板２５の間を電気的に接続する図示しないフレキシブル回路基板を備えている。ベース２４は、衝立の形状を有し、底部と側面が交差する位置にアクチュエータ２６を搭載し、側面に制御回路基板２５と圧力緩衝器７を固定している。圧力緩衝器７は、カバー２２を外側に、本体部２０をベース２４側に向けてベース２４に固定されている。
【００２７】
液体は、流路部３から接続部２１ａを介して本体部２０に流入し、接続部２１ｂを介して流路部材２３に流入し、更にアクチュエータ２６に流入する。アクチュエータ２６は、制御部からの駆動信号に応じて図示しない被記録媒体に液滴を吐出する。
【００２８】
図６は図３及び図５に示す圧力緩衝器７の模式的な分解斜視図であり、図７は圧力緩衝器７の縦断面模式図である。圧力緩衝器７は、流入した液体の圧力変動を緩和させるとともに、圧力検出器５により液体の圧力情報を検出して制御回路基板２５（図５を参照）に送信する。制御回路基板２５の制御部１１（図３を参照）は検出した圧力情報を判定する判定部６（図３を参照）を備えている。図６に示すように、圧力緩衝器７は、チャンバー３４を形成する凹部３５と液体流入用の接続部２１ａと液体流出用の接続部２１ｂを有する本体部２０と、凹部３５の上面に設置して凹部３５の上端の開口を閉塞する緩衝部材２７と、内面に検出部３１を設置したカバー２２を備えている。凹部３５はコイルバネから成る弾性体２９と弾性体２９の上端に設置した被検出部３２を収納する。弾性体２９は被検出部３２を付勢して緩衝部材２７に当接させる。緩衝部材２７は、板状体２８が上下方向にほぼ自由端として変位するので液体圧力の急激な変化に対して圧力緩和機能を発揮する。
【００２９】
検出部３１は、緩衝部材２７のチャンバー３４側に設置した被検出部３２との間の相対距離の変化から液体の圧力変動を検出する。例えば、検出部３１を、磁力線を送信する送信コイル、受信した磁界により誘導起電力を誘起する受信コイル、誘導起電力を検波する検波回路等から構成し、被検出部３２を磁性体材料から構成する。検出部３１と被検出部３２の間の距離が変化すると磁性体材料により磁力線の経路が変化し、誘導起電力の大きさが変化する。即ち、誘導起電力の変化に基づいてチャンバー３４内の液体の圧力変化を検出することができる。
【００３０】
また、被検出部３２に導電体材料を使用し、検出部３１の送信コイル又は受信コイルのインピーダンスの変化を検出して検出部３１と被検出部３２の相対距離の変化を検出してもよい。即ち、被検出部３２が導電性材料であれば被検出部３２を横切る磁力線によって渦電流が発生し損失を受ける。磁力線の損失はコイルと被検出部３２の間の距離に依存するから、一定強度の磁界の下で誘導起電力と距離の関係を予め求めておくことにより、誘導起電力の大きさから被検出部３２の位置を検出することができる。従って、誘導起電力の変化に基づいてチャンバー３４内の液体の圧力変化を検出することができる。また、光学的に又は静電容量の変化に基づいて検出部３１と被検出部３２の相対位置の変化を検出してもよい。
【００３１】
このように、圧力緩衝器７の内部に圧力検出器５を設置したので、装置全体をコンパクトに構成することができる。圧力検出器５は、吐出部１０のノズル検査に使用することの他に、充填された液体の圧力情報を検出してアクチュエータ２６のフィードバック制御に使用することができる。なお、上記圧力緩衝器７及び圧力検出器５の構造は一例であり、圧力検出器５を吐出部１０の流路に設置してもよいし、流路部３に設置してもよい。
【００３２】
（第二実施形態）
図８は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド４の検査方法を表す工程図である。電源投入後のヘッド移動ステップＳ１０において、移動機構４０は、キャリッジユニット４３をサービスステーション５０の上部に移動させる。次に、流路遮断ステップＳ１１において、液体ポンプ８はポンプ動作を停止して供給部である液体タンク９と流路部３との間の流路を遮断する。次に、初期圧力検出ステップＳ１２において、圧力検出器５は検出部３１と被検出部３２との間の距離を検出してチャンバー３４の圧力情報を生成し、制御部１１が当該圧力情報を取得して初期圧力情報として記憶領域に格納する。次に、液体吐出ステップＳ１３において、制御部１１は検査対象のノズルを特定し、液体噴射ヘッド４は特定されたノズルから液体を吐出する。次に、圧力検出ステップＳ１４において、圧力検出器５は検出部３１と被検出部３２との間の距離を検出してチャンバー３４の圧力情報を生成し、制御部１１は当該圧力情報を取得して検出圧力情報として記憶領域に格納する。
【００３３】
圧力判定ステップＳ１５において、判定部６は記憶領域に格納された初期圧力情報に基づいて生成された基準値と検出圧力情報からなる測定値を比較する。判定部６が、測定値が基準値を超えており、検査対象のノズルに不良ノズルが含まれていると判定したときは（圧力判定ステップＳ１５のＹＥＳ）、クリーニングステップＳ１６に進む。クリーニングステップＳ１６において、制御部１１は、吐出部１０にクリーニングユニットを当接させて吐出部１０から液体を吸引する、又はアクチュエータ２６を作動して吐出部１０から液体を吐出させる。次に、初期圧力検出ステップＳ１２、液体吐出ステップＳ１３を経て圧力判定ステップＳ１５を再度行う。判定部６は、初期圧力情報に基づく基準値と測定値を比較し、測定値が基準値を超えておらず、検査対象のノズルに不良ノズルが含まれていないと判定したときは（圧力判定ステップＳ１５のＮＯ）、終了判定ステップＳ１７に進む。制御部１１は、終了判定ステップＳ１７において、全ノズルの検査が終了していないと判定したときは（終了判定ステップＳ１７のＮＯ）検査ノズル変更ステップＳ１８に進み、検査対象のノズルを更新する。そして、初期圧力検出ステップＳ１２に戻り、液体吐出ステップＳ１３〜圧力判定ステップＳ１５を繰り返す。制御部１１が、終了判定ステップＳ１７において、全ノズル検査を終了したと判定したときに（終了判定ステップＳ１７のＹＥＳ）検査を終了する。
【００３４】
なお、圧力判定ステップＳ１５において、制御部１１は、クリーニングステップＳ１６の後でも検査対象ノズルの不良が解消されないときは、クリーニングステップＳ１６、初期圧力検出ステップＳ１２、液体吐出ステップＳ１３、圧力検出ステップＳ１４及び圧力判定ステップＳ１５を何度か繰り返し、それでも復帰しないときに液体噴射ヘッド４を不良と判定する。また、本第二実施形態においては基準値を初期圧力検出ステップＳ１２に基づいて決定したが、予め基準値を設定しておき、初期圧力検出ステップＳ１２を省略してもよい。
【００３５】
また、１回の検査対象ノズルは１個でもよいし、複数個でもよい。例えば１回に１０個のノズルを検査する場合は次のようになる。１回の吐出で液体を３０ｐリットル消費するとして、１０個のノズルから一万回吐出したときの吐出量は３μリットルである。このうち１個のノズルが不良の場合、吐出量は２．７μリットルとなる。従って、圧力測定器５は０．３μリットルの液量変化を圧力差として検出できる分解能を必要とする。圧力測定器５が０．０３μリットルの液量変化を圧力差として検出できる分解能があれば、一度に１００ノズルを検査することができるので、検査時間を短縮することができる。
【００３６】
このように、圧力検出器５により圧力情報を検出しながら吐出部１０のノズルを検査することができるので、発光素子や受光素子を設置する必要が無く、装置の大型化を避けることができる。また、吐出部１０の検査のために被記録媒体を消費することがないので、低記録コストで環境負荷も低減できる。
【符号の説明】
【００３７】
１  液体噴射装置
２  供給部
３  流路部
４  液体噴射ヘッド
５  圧力検出器
６  判定部
７  圧力緩衝器
８  液体ポンプ
９  液体タンク
１０  吐出部
１１  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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