(57)【要約】【課題】安定して有機材の蒸着状態を検査する。【解決手段】所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズ４と、前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部１２と、前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部８とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズと、
前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部と、
前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部と
を備えることを特徴とする検査機。
【請求項２】
前記有機材を照明する可視光を射出する照明部を備え、
前記撮像部は、前記可視光により照明された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像することを特徴とする請求項１記載の検査機。
【請求項３】
前記照射部は、前記対物レンズを介して前記紫外光を射出することを特徴とする請求項１または２記載の検査機。
【請求項４】
前記照明部は、前記対物レンズを介して前記可視光を射出することを特徴とする請求項２または３記載の検査機。
【請求項５】
前記真空室は、外部から真空室内を観察可能な観察窓を備え、
前記対物レンズは、前記観察窓を介して外部から前記有機材を観察することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の検査機。
【請求項６】
前記照射部及び前記照明部は、前記観察窓を介して前記有機材に対して紫外光及び可視光を射出することを特徴とする請求項５記載の検査機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機材の蒸着状態を検査する検査機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板上に有機材を蒸着して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２７２３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述の有機ＥＬ表示装置の製造方法を用いて有機ＥＬ表示装置を製造する場合、ガラス基板上に蒸着された有機材の蒸着状態を検査する必要がある。この場合、有機材に対して紫外光（以下、ＵＶ光という。）を照射し、有機材を発光させた状態で蒸着状態の検査を行う。
【０００５】
しかしながら、有機材に対してＵＶ光を照射すると、有機材が空気中の酸素と反応して劣化する。このため有機材が発光しなくなり、安定して蒸着状態を検査できなくなる。
【０００６】
本発明の目的は、安定して有機材の蒸着状態を検査できる検査機を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の検査機は、所定の倍率で真空室内の有機材を観察する対物レンズと、前記有機材を照射する紫外光を射出する照射部と、前記紫外光が照射された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像する撮像部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の検査機は、前記有機材を照明する可視光を射出する照明部を備え、前記撮像部は、前記可視光により照明された状態の前記有機材の像を前記対物レンズを介して撮像することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の検査機は、前記照射部が、前記対物レンズを介して前記紫外光を射出することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の検査機は、前記照明部が、前記対物レンズを介して前記可視光を射出することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の検査機は、前記真空室が、外部から真空室内を観察可能な観察窓を備え、前記対物レンズが、前記観察窓を介して外部から前記有機材を観察することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の検査機は、前記照射部及び前記照部が、前記観察窓を介して前記有機材に対して紫外光及び可視光を射出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の検査機によれば、安定して有機材の蒸着状態を検査できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態に係る検査機を側面から視た図である。
【図２】実施の形態に係る検査機の検査対象物となる有機ＥＬパネルを示す図である。
【図３】実施の形態に係る検査機を備えた蒸着装置の構成を示す図である。
【図４】実施の形態に係る検査機で検査する有機材を発光させながら可視光で照明した状態を示す図である。
【図５】実施の形態に係る他の検査機を側面から視た図である。
【図６】実施の形態に係る他の検査機を側面から視た図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る検査機について、有機ＥＬ表示装置の製造工程において用いられる検査機を例に説明する。図１は、実施の形態に係る検査機を側面から視た図である。図１に示すように、検査機２は、鏡筒３の一端部に所定の倍率で検査対象物である有機ＥＬパネル２０（図２参照）を観察する対物レンズ４を備え、鏡筒３の他端部に対物レンズ４によって観察される有機ＥＬパネル２０の像を撮像するカメラ８を備えている。また、鏡筒３の側面には、有機ＥＬパネル２０を照射するＵＶ光を射出するＵＶ光源１２、及び有機ＥＬパネル２０を照明する可視光を射出する可視光源１４が設けられている。また、鏡筒３の内部には、ＵＶ光を反射し可視光を透過するダイクロイックミラー１６、及びハーフミラー１８が備えられている。
【００１６】
ここで、ＵＶ光源１２から射出されたＵＶ光は、ダイクロイックミラー１６で反射された後、対物レンズ４を介して有機ＥＬパネル２０を照射する。また、可視光源１４から射出された可視光は、ハーフミラー１８で反射された後、ダイクロイックミラー１６を透過し、対物レンズ４を介して有機ＥＬパネル２０を照明する。なお、有機ＥＬパネル２０からの光は、対物レンズ４に入射した後、ダイクロイックミラー１６及びハーフミラー１８を透過して図示しない撮像素子に結像し、撮像素子に結像した像がカメラ８によって撮像される。
【００１７】
次に、図２を参照して、実施の形態に係る検査機２の検査対象物となる有機ＥＬパネル２０について説明する。図２（ａ）は、有機ＥＬパネル２０を対物レンズ４側から視た図である。図２（ａ）に示すように、ガラス基板２２上に蒸着された有機材２４は、赤色有機材２４ｒ、緑色有機材２４ｇ、及び青色有機材２４ｂの３種の異なる発光色を有する有機材から構成されている。
【００１８】
また、図２（ｂ）は、有機ＥＬパネル２０のＡ−Ａ断面の一部を示す図である。図２（ｂ）に示すように、ガラス基板２２の上側の面には、ガラス基板２２をチャッキングするチャック面２３が形成され、ガラス基板２２の下側の面（ＵＶ光及び可視光が照射される側の面）には、ＴＦＴ層２５が形成されている。また、ＴＦＴ層２５の下側には、可視光を透過する透明な電極層２６が形成されており、電極層２６に有機材２４が蒸着される。なお、ＴＦＴ層２５には、不透明なＴＦＴ２７、可視光を透過するＴＦＴ開口部２８が備えられている。
【００１９】
ここで、ＵＶ光により有機ＥＬパネル２０が照射された場合、有機材２４の位置する領域に射出されたＵＶ光は、有機材２４をそれぞれの発光色で発光させる。また、可視光により有機ＥＬパネル２０が照明された場合、ＴＦＴ開口部２８の位置する領域に射出された可視光は、有機材２４、電極層２６、ＴＦＴ開口部２８、及びガラス基板２２を透過して、チャック面２３で反射される。チャック面２３で反射された反射光は、元の光路を戻り対物レンズ４に入射する。また、ＴＦＴ開口部２８の位置しない領域に照射された可視光は、有機材２４を透過した後、ＴＦＴ層２５で反射される。ＴＦＴ層２５で反射された反射光は、元の光路を戻り対物レンズ４に入射する。
【００２０】
次に、図３を参照して、実施の形態に係る検査機２を備えた蒸着装置の構成について説明する。図３（ａ）に示すように、蒸着装置３０のチャンバ３１の内部は真空状態に維持されており、チャンバ３１内は、有機ＥＬパネル２０を搬送する搬送装置３３、及び蒸着部３４で構成される。ここで、検査機２は、チャンバ３１の外部に配置されており、ＵＶ光及び可視光を透過する検査窓３６を介してチャンバ３１の外側から有機材２４の蒸着状態を検査する。
【００２１】
また、図３（ｂ）は、チャンバ３１内の搬送装置３３を上側から視た図である。図３（ｂ）に示すように、搬送装置３３は、一対のレール３３ａから構成され、蒸着部３４で有機材２４が蒸着された有機ＥＬパネル２０は、両縁部をレール３３ａに支えられた状態で搬送される。なお、図３（ｂ）に示すように、チャンバ３１の外部には、検査機２が複数配置されている。これにより、有機ＥＬパネル２０に蒸着された有機材２４（図２（ｂ）参照）を広い範囲で検査することができる。
【００２２】
次に、図面を参照して実施の形態に係る検査機２の検査処理について説明する。まず、有機ＥＬ表示装置の製造工程において、図３に（ａ）に示すように、蒸着部３４で有機材２４を蒸着された有機ＥＬパネル２０（図２（ｂ）参照）は、搬送装置３３によって検査機２の位置に搬送される。
【００２３】
次に、有機ＥＬパネル２０が対物レンズ４の直上に位置すると、制御部は、ＵＶ光源１２（図１参照）からＵＶ光を射出し、ＵＶ光で有機材２４を照射する。ここで、チャンバ３１内は真空状態に維持されているため（図３（ａ）参照）、有機材２４は、酸素と反応して劣化することなくそれぞれの発光色で発光する。例えば、図２（ａ）に示すように、赤色有機材２４ｒは赤色で発光し、緑色有機材２４ｇは緑色で発光し、青色有機材２４ｂは青色で発光する。
【００２４】
なお、仮にＵＶ光源１２からＵＶ光を射出せずに可視光源１４から可視光のみを射出して有機ＥＬパネル２０を照明した場合、有機材２４は発光せず、図２（ｂ）に示す、ＴＦＴ開口部２８等の有機材２４の背面に形成されるＴＦＴ層２５が観察される。
【００２５】
次に、制御部は、有機材２４を発光させたまま可視光源１４（図１参照）から可視光を射出し、有機ＥＬパネル２０を照明する。この場合、図２（ａ）に示す、それぞれの発光色で発光する赤色有機材２４ｒ、緑色有機材２４ｇ、及び青色有機材２４ｂと共に、図２（ｂ）に示す、有機材２４の背面に形成されるＴＦＴ層２５を観察することができる。
【００２６】
なお、チャック面２３（図２（ｂ）参照）の反射率は、ＴＦＴ２７等のその他の部材の反射率と比較して大きいため、図４に示すように、有機材２４を発光させながら可視光で照明した有機ＥＬパネル２０を対物レンズ４側から視た場合、ＴＦＴ開口部２８の位置が他の部分よりも明るく観察される。
【００２７】
次に、制御部は、カメラ８により、発光させながら可視光で照明した状態の有機材２４を撮像する。そして、撮像された撮像データに基づいて有機材２４の蒸着状態を検査する。例えば、赤色有機材２４ｒとＴＦＴ開口部２８との位置ズレ、緑色有機材２４ｇとＴＦＴ開口部２８との位置ズレ、及び青色有機材２４ｂとＴＦＴ開口部２８との位置ズレ等を検査する。また、赤色有機材６ｒ、緑色有機材６ｇ、及び青色有機材６ｂの幅等を検査する。
【００２８】
この実施の形態に係る検査機２によれば、真空状態に置かれた有機材２４に対してＵＶ光を照射することにより、有機材２４が発光した状態で安定して蒸着状態を検査することができる。また、有機材２４を可視光で照明することにより、ＴＦＴ開口部２８の位置が検出できるため、良好に有機材２４の蒸着ズレを検査することができる。また、図２に示すように下側から有機材２４を観察することにより、ＴＦＴ２７が邪魔にならず正確に蒸着状態を検査することができる。
【００２９】
なお、上述の実施の形態においては、ＴＦＴ開口部２８の位置する領域に射出された可視光がガラス基板２２を透過し、チャック面２３で反射される場合を例に説明しているが、可視光の一部は、ガラス基板２２において反射される。このため、チャック面２３の反射率が低い場合であっても、図４に示すように、ガラス基板２２からの反射でＴＦＴ開口部２８の位置が他の部分よりも明るく観察される。
【００３０】
また、上述の実施の形態においては、赤色有機材２４ｒ、緑色有機材２４ｇ、及び青色有機材２４ｂの３種の有機材がガラス基板２２に蒸着された後に検査機２による検査を行う場合を例に説明しているが、赤色有機材２４ｒ、緑色有機材２４ｇ、及び青色有機材２４ｂの何れか一色の有機材が蒸着された後に検査機２による検査を行ってもよい。これにより、単色の有機材の蒸着状態についての検査が可能となる。
【００３１】
また、上述の実施の形態において、図５に示すように、ＵＶ光源１２を鏡筒３の外部に配置し、ダイクロイックミラー１６を対物レンズ４と有機ＥＬパネル（不図示）との間に配置するようにしてもよい。これにより、ダイクロイックミラー１６を鏡筒３の内部に備えずに、ＵＶ光により有機材２４を照明することができる。
【００３２】
また、上述の実施の形態において、図６に示すように、ＵＶ光源（不図示）を鏡筒３の外側に配置し、ＵＶ光源から射出されたＵＶ光がダイクロイックミラー１６及び対物レンズ４を介さずに直接有機材２４に照射されるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
２…検査機、３…鏡筒、４…対物レンズ、８…カメラ、１２…ＵＶ光源、１４…可視光源、１６…ダイクロイックミラー、１８…ハーフミラー、２０…有機ＥＬパネル、２２…ガラス基板、２４…有機材、２５…ＴＦＴ層、２８…ＴＦＴ開口部、３０…蒸着装置、３１…チャンバ、３６…検査窓
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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