(57)【要約】【課題】主体金具と押圧部材とを固定する際、充填部材の密度を適正な値に保って排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止しつつ、センサ素子の破損をも防止したガスセンサの製造方法を提供する。【解決手段】内側に段部３３が周設された主体金具３０の内側に、外周に支持部３４、３５、３７が設けられたセンサ素子１００を先端側から内挿すると共に、該支持部を段部に係合させる第１工程と、第１工程の後、支持部より後端側における主体金具の内周面とセンサ素子の外周面との間に充填部材３８を配設し、さらに該充填部材より後端側に、直接又は筒状の中間部材を介して、金属製の筒状の押圧部材３９を内挿する第２工程と、該第２工程の後、押圧部材を先端側に押圧して充填部材を軸線方向に圧縮する第３工程と、該第３工程による充填部材の圧縮状態を保持した状態で、主体金具と押圧部材とを接合する第４工程と、を備えたガスセンサの製造方法である。【選択図】図２
2013228217.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側に突出した段部が周設された筒状の主体金具の内側に、外周に支持部が設けられ軸線方向に延びるセンサ素子をその先端側から同軸状に内挿すると共に、該支持部を前記段部に直接又は他部材を介して係合させる第１工程と、
該第１工程の後、前記支持部より後端側における前記主体金具の内周面と前記センサ素子の外周面との間に充填部材を配設し、さらに該充填部材より後端側に、直接又は筒状の中間部材を介して、金属製の筒状の押圧部材を同軸状に内挿する第２工程と、
該第２工程の後、前記押圧部材を先端側に押圧して前記充填部材を軸線方向に圧縮する第３工程と、
該第３工程による前記充填部材の圧縮状態を保持した状態で、前記主体金具と前記押圧部材とを接合する第４工程と、
を備えたガスセンサの製造方法。
【請求項２】
前記第４工程では、前記主体金具と前記押圧部材とが溶接又はろう付けにより接合される請求項１に記載のガスセンサの製造方法。
【請求項３】
内側に突出した段部が周設された筒状の主体金具の内側に、外周に支持部が設けられ軸線方向に延びるセンサ素子をその先端側から同軸状に内挿すると共に、該支持部を前記段部に直接又は他部材を介して係合させる第１工程と、
該第１工程の後、前記支持部より後端側における前記主体金具の内周面と前記センサ素子の外周面との間に充填部材を配設し、さらに該充填部材より後端側に、直接又は筒状の中間部材を介して、金属製の筒状の押圧部材を同軸状に内挿する第２工程と、
該第２工程の後、前記押圧部材を先端側に押圧して前記充填部材を軸線方向に圧縮する第３工程と、
該第３工程による前記充填部材の圧縮状態を保持した状態で、前記主体金具と前記押圧部材との軸線方向の重なり部を、前記主体金具の径方向外側から加締める第４工程と、
を備えたガスセンサの製造方法。
【請求項４】
前記充填部材と前記押圧部材とが直接接触する請求項１〜３のいずれかに記載のガスセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検出ガスの濃度を検出するセンサ素子を備えたガスセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車等の排気ガス中の酸素やＮＯｘの濃度を検出するガスセンサとして、固体電解質体を用いたセンサ素子を有するものが知られている。
この種のガスセンサとして、排気管に固定される筒状の主体金具（ハウジング）内に軸状のセンサ素子を挿通して保持し、その一端を被測定ガスに晒す構成が知られている。そして、センサ素子を主体金具に安定して保持すると共に、排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止するため、主体金具の内周面とセンサ素子の外周面との間には、先端から順にセンサ素子を支持する支持部材、滑石粉末、滑石粉末を押圧する押圧部材等が積層されている。そして、滑石粉末を押圧して主体金具とセンサ素子との間に加圧充填することにより、センサ素子が主体金具内に固定される。
【０００３】
ところで、滑石粉末の圧縮状態を保持するため、押圧部材を押圧した状態で、主体金具の後端部を径方向内側に加締め、該後端部で押圧部材の後端面を係止する加締め工程が行われることが知られている。この加締め工程は一般には２つの加締め工程で行われ、まず主体金具の端部を押圧して絞りながら倒し込む仮加締めをした後、滑石粉末のバックリング（一旦圧縮されたものがその弾性により元に戻ろうとすること）を防止するため、さらに主体金具の端部近傍の薄肉部を通電加熱して座屈させた状態で熱加締めが行われる。
【０００４】
ところで、このように２つの加締め工程を行うには、熱加締め用の電源や冷却装置等が必要となり、さらに、加締め用の金型に耐熱性や導電性が要求され、コストアップに繋がる。
そこで、押圧部材によって滑石粉末を押圧した状態を保持したまま、主体金具の後端周縁部を外方から押圧して折り曲げて加締めることで、熱加締めを不要とした技術も開発されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２０２２７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のガスセンサの製造は、いずれも主体金具の後端部を軸線方向に押圧して加締めるため、加締めを解放したときに（つまり、押圧力を解放したときに）主体金具の後端部自身の軸線方向へのバックリングが避けられず、加締め後に滑石粉末の圧縮が弱まり、滑石粉末の密度が所定の基準値を下回ることがある。そのため、排気ガスのガスセンサ内部への漏洩が生じてセンサの検出精度が低下するおそれがある。
一方、主体金具のバックリング分を考慮して滑石粉末を先端側により深く押圧した場合、滑石粉末の圧縮状態（密度）は所定の基準値を満たすようになるものの、加締め時の押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子が破損するおそれがある。
そこで、本発明は、主体金具が軸線方向にバックリングを生じないように主体金具と押圧部材とを固定することで、充填部材の密度を適正な値に保って排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止しつつ、センサ素子の破損をも防止したガスセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサの製造方法は、内側に突出した段部が周設された筒状の主体金具の内側に、外周に支持部が設けられ軸線方向に延びるセンサ素子をその先端側から同軸状に内挿すると共に、該支持部を前記段部に直接又は他部材を介して係合させる第１工程と、該第１工程の後、前記支持部より後端側における前記主体金具の内周面と前記センサ素子の外周面との間に充填部材を配設し、さらに該充填部材より後端側に、直接又は筒状の中間部材を介して、金属製の筒状の押圧部材を同軸状に内挿する第２工程と、該第２工程の後、前記押圧部材を先端側に押圧して前記充填部材を軸線方向に圧縮する第３工程と、該第３工程による前記充填部材の圧縮状態を保持した状態で、前記主体金具と前記押圧部材とを接合する第４工程と、を備えている。
このガスセンサの製造方法によれば、主体金具と押圧部材との固定方法として、主体金具の後端部を軸線方向に押圧して加締める方法を採らず、主体金具と押圧部材とを接合することで、固定の前後で両者の軸線方向の位置が変わらず、滑石粉末の圧縮状態（密度）が第３工程で管理した所定の適正な値のまま保たれることになる。
そのため、主体金具と押圧部材との固定後も充填部材の圧縮状態（密度）が所定の適正な値に保たれ、排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止し、センサの検出精度が低下することを抑制できる。又、主体金具の後端部を軸線方向に押圧して加締める方法を採らないので、主体金具のバックリング分を考慮して充填部材を先端側により深く押圧しなくてもよく、加締め時の押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子が破損することをも防止できる。
【０００８】
さらに、本発明のガスセンサの製造方法は、前記第４工程では、前記主体金具と前記押圧部材とが溶接又はろう付けにより接合されることがよい。
このガスセンサの製造方法によれば、主体金具と押圧部材とを溶接又はろう付けすることで、固定の前後で両者の軸線方向の位置を容易に変えないようにすることができるとともに、確実に両者を接合することができる。
【０００９】
又、本発明のガスセンサの別の製造方法は、内側に突出した段部が周設された筒状の主体金具の内側に、外周に支持部が設けられ軸線方向に延びるセンサ素子をその先端側から同軸状に内挿すると共に、該支持部を前記段部に直接又は他部材を介して係合させる第１工程と、該第１工程の後、前記支持部より後端側における前記主体金具の内周面と前記センサ素子の外周面との間に充填部材を配設し、さらに該充填部材より後端側に、直接又は筒状の中間部材を介して、金属製筒状の押圧部材を同軸状に内挿する第２工程と、該第２工程の後、前記押圧部材を先端側に押圧して前記充填部材を軸線方向に圧縮する第３工程と、該第３工程による前記充填部材の圧縮状態を保持した状態で、前記主体金具と前記押圧部材との軸線方向の重なり部分を、前記主体金具の径方向外側から加締める第４工程と、を備えている。
このガスセンサの製造方法によれば、主体金具と押圧部材との固定方法として、主体金具の後端部を軸線方向に押圧して加締める方法を採らず、主体金具と押圧部材とを径方向に加締める。このため、主体金具は径方向にはバックリングを生じるが、主体金具と押圧部材との軸線方向の位置は固定の前後で変わらないので、滑石粉末の圧縮状態（密度）が第３工程で管理した所定の適正な値のまま保たれる。
そのため、主体金具と押圧部材との固定後も充填部材の圧縮状態（密度）が所定の適正な値に保たれ、排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止し、センサの検出精度が低下することを抑制できる。又、主体金具の後端部を軸線方向に押圧して加締める方法を採らないので、主体金具のバックリング分を考慮して充填部材を先端側により深く押圧しなくてもよく、主体金具の後端部を加締める際に押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子が破損することをも防止できる。
【００１０】
さらに、本発明のガスセンサの製造方法は、前記充填部材と前記押圧部材とが直接接触するとよい。
このガスセンサの製造方法によれば、第３工程における充填部材の圧縮状態（密度）の制御や管理が容易になるので好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、主体金具が軸線方向にバックリングを生じないように主体金具と押圧部材とを固定することで、充填部材の密度を適正な値に保って排気ガスのガスセンサ内部への漏洩を防止しつつ、センサ素子の破損をも防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態によって製造される、ガスセンサ（酸素センサ）の長手方向に沿う断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るガスセンサの製造方法を示す工程図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の第４工程を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施形態の第４工程を示す図である。
【図５】本発明の第４の実施形態の第４工程を示す図である。
【図６】本発明の第５の実施形態の第４工程を示す図である。
【図７】本発明の第６の実施形態に係るガスセンサの製造方法を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は本発明の実施形態によって製造される、ガスセンサ（酸素センサ）１の長手方向（軸線Ｏ方向）に沿う断面図、図２は本発明の第１の実施形態に係るガスセンサの製造方法を示す工程図である。
【００１４】
図１に示すように、ガスセンサ１は、軸線Ｏ方向に延びる板状のセンサ素子（酸素センサ素子）１００、センサ素子１００の周囲を取り囲む主体金具３０、センサ素子１００の外周に外嵌されるセラミックホルダ３５、滑石３６、スリーブ（特許請求の範囲の「押圧部材」に相当）３９等を有している。センサ素子１００は軸線Ｏ方向に延びるように配置されている。
【００１５】
センサ素子１００は公知の酸素センサ素子である。詳細な説明は行わないが、固体電解質体の表面に一対の電極を有する検知部を備え、検知部が被測定ガスに晒されることで、信号を出力する。この信号を図示しない外部回路に出力することで、被測定ガス中の酸素濃度を検知する。さらに、ガスセンサ素子１００の検知部は、耐被水性及び耐被毒性を有する多孔質保護層２０で覆われている。
【００１６】
主体金具３０は、ＳＵＳ４３０等のステンレス製のものであり、ガスセンサを排気管に取り付けるための雄ねじ部３１と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部３２とを有している。また、主体金具３０には、径方向内側に向かって突出する段部３３が先端側に周方向にわたって設けられており、この段部３３はセンサ素子１００を内挿したセラミックホルダ３５を、金属ホルダ３４を介して保持している。そしてこの金属ホルダ３４の内側にはセラミックホルダ３５、第１滑石３７が先端側から順に配置されている。なお、金属ホルダ３４、セラミックホルダ３５、第１滑石３７が特許請求の範囲の「支持部」に相当する。さらに、第１滑石３７の後端側には、第２滑石３８（特許請求の範囲の「充填部材」に相当）が配置されている。なお、本実施形態では、第１滑石３７と第２滑石３８とで滑石３６としている。金属ホルダ３４内で第１滑石３７が圧縮充填されることによって、センサ素子１００は金属ホルダ３４及びセラミックホルダ３５に対して固定される。また、主体金具３０内で第２滑石３８が圧縮充填されることによって、金属ホルダ３４、セラミックホルダ３５、及び第１滑石が固定されたセンサ素子１００が主体金具３０に固定されると共に、センサ素子１００の外面と主体金具３０の内面との間のシール性が確保される。そして第２滑石３８の後端側には、スリーブ３９が主体金具３０の内側に配置されている。
スリーブ３９は多段の金属製の円筒状（例えば、ＳＵＳ４３０等のステンレス製）に形成されており、径方向外縁に繋がる第２後端面３９ｂと、第２後端面３９ｂより径方向内側にて後端側に設けられた最後端面３９ｄとを有する。又、スリーブ３９には、最後端面３９ｄの中心に開口を設けるようにして、軸線に沿う軸孔３９ａが設けられ、軸孔３９ａの内部にセンサ素子１００を挿通している。
そして、詳しくは図２で説明するように、主体金具３０の後端部３０ｃと、スリーブ３９の径大部３９ｃとの軸線方向の重なり部分が、溶接によって接合されて溶接部Ｗを形成している。
【００１７】
また、主体金具３０の先端側外周には、主体金具３０の先端から突出するセンサ素子１００の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔２４ａを有する金属製のプロテクタ２４が溶接によって取り付けられている。このプロテクタ２４は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ４１、内側には後端部４２ａの外径が先端部４２ｂの外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテクタ４２が配置されている。
【００１８】
一方、主体金具３０の後端側には、ＳＵＳ４３０製の外筒２５の先端部２５ａが挿入されている。この外筒２５は先端部２５ａを主体金具３０にレーザ溶接等により固定している。外筒２５の内部には、セパレータ５０が配置され、セパレータ５０と外筒２５の隙間に保持部材５１が介在している。この保持部材５１は、セパレータ５０の鍔部５０ａに係合し、外筒２５を加締めることにより外筒２５とセパレータ５０とにより固定されている。
【００１９】
また、セパレータ５０には、センサ素子１００のリード線１１〜１５を挿入するための通孔５０ｂが先端側から後端側にかけて貫設されている（なお、リード線１４、１５については図示せず）。通孔５０ｂ内には、リード線１１〜１５と、センサ素子１００の電極パッド（図示せず）とを接続する５本の接続端子１６（図１では１本のみ）が収容されている。
さらに、セパレータ５０の後端側には、外筒２５の後端側の開口部２５ｂを閉塞するための略円柱状のゴムキャップ５２が配置されている。このゴムキャップ５２は、外筒２５の開口部２５ｂ内に装着された状態で、外筒２５の外周を径方向内側に向かって加締めることにより、外筒２５に固着されている。ゴムキャップ５２にも、リード線１１〜１５をそれぞれ挿入するための通孔５２ａが先端側から後端側にかけて貫設されている。
【００２０】
次に、図２を参照し、本発明の第１の実施形態に係るガスセンサの製造方法の各工程について説明する。
まず、金属ホルダ３４の内側にセラミックホルダ３５、及び圧縮前の第１滑石３７ｘを順に配置し、セラミックホルダ３５及び第１滑石３７ｘの中心軸孔にセンサ素子１００を挿通する。そして、第１滑石３７ｘを押圧することで、センサ素子１００が金属ホルダ３４に保持され、センサ素子１００、金属ホルダ３４、セラミックホルダ３５、及び第１滑石３７が一体となった素子ユニットが形成される。
【００２１】
そして、形成された素子ユニットを、ガスセンサ素子１００の先端側から主体金具３０の内側に同軸状に内挿すると共に、金属ホルダ３４を段部３３に係合する。(図２（ａ）の第１工程)。
【００２２】
次に、第１滑石３７より後端側の主体金具３０の内側に圧縮前の第２滑石３８ｘを配設し、さらに第２滑石３８ｘより後端側の主体金具３０の内側に、スリーブ３９を同軸状に内挿する(図２（ｂ）の第２工程)。ここで、センサ素子１００を第２滑石３８ｘの中心軸孔及びスリーブ３９の軸孔３９ａに挿通する。なお、本実施形態では、スリーブ３９の先端面が第２滑石３８ｘの後端面と直接接している。これにより、この後の第３工程における滑石３８ｘの圧縮状態（密度）の制御や管理が容易になるので好ましい。但し、スリーブ３９の先端面が、第２滑石３８ｘの後端面に直接接することなく、両者の間に金属リング等の中間部材を介していてもよい。
【００２３】
次に、スリーブ３９の最後端面３９ｄに、円筒状のプレス機Ｐを当接させ、プレス機Ｐを先端側に向かって加圧する。これによりスリーブ３９を軸方向先側に押圧して第２滑石３８を軸線方向に圧縮する(図２（ｃ）の第３工程)。このとき、例えばプレス機Ｐの加重値をモニタし、所定の加重値になるようにプレス機Ｐの軸線方向の進退量（ストローク）を調整することで、滑石３６の圧縮状態（密度）を所定の適正な値に正確に管理することができる。
【００２４】
次に、プレス機Ｐ（スリーブ３９）による滑石３６の圧縮状態を保持した状態で、主体金具３０の後端部３０ｃと、スリーブ３９の径大部３９ｃとを、径方向外側から全周をレーザ溶接Ａを行う図２（ｄ）の第４工程)。これにより、主体金具３０とスリーブ３９との間に溶接部Ｗを形成する。
このように、主体金具３０とスリーブ３９との固定方法として、主体金具の後端部を軸線Ｏ方向に押圧して加締める方法を採らず、主体金具３０とスリーブ３９とを接合(溶接)することで、固定の前後で両者の軸線Ｏ方向の位置が変わらず、滑石粉末の圧縮状態（密度）が第３工程で管理した所定の適正な値のまま保たれることになる。
そのため、主体金具３０とスリーブ３９との固定後も第２滑石３８の圧縮状態（密度）が所定の適正な値に保たれ、排気ガスのガスセンサ１内部への漏洩を防止し、センサの検出精度が低下することを抑制できる。又、主体金具３０の後端部３０ｃを軸線Ｏ方向に押圧して加締める方法を採らないので、主体金具３０のバックリング分を考慮して第２滑石３８を先端側により深く押圧しなくてもよく、押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子１００が破損することをも防止できる。
【００２５】
さらに、第４工程では、主体金具３０とスリーブ３９とを溶接することで、固定の前後で両者の軸線Ｏ方向の位置を容易に変えないようにすることができるとともに、確実に両者を接合することができる。
なお、本発明において「接合」とは、接合部位にて主体金具３０とスリーブ３９の材料同士が一体となっていることをいう。又、図２の例では、接合としてレーザ溶接を行ったが、公知の他の溶接も適用できる。又、全周溶接に限らず、接合部位の一部を溶接してもよい（例えば、スポットレーザ溶接でもよい）。
【００２６】
図３は、接合として溶接に代えてろう付けを行う場合の本発明の第２の実施形態を示す。なお、図３は、図２の第４工程（図２（ｄ））に対応しており、第１〜第３工程については図２と同様であるので説明を省略する。
図３に示すように、第２の実施形態においては、プレス機Ｐ（スリーブ３９）の押圧状態を保持した状態で、主体金具３０の後端面３０ｂと、スリーブ３９の径方向外縁に繋がる第２後端面３９ｂとの間に繋がる領域を、ろう付けする(図３の符号Ｂ)。これにより、主体金具３０とスリーブ３９との間にろう付け部ＢＲを形成する。なお、主体金具３０の後端面３０ｂは、スリーブ３９の第２後端面３９ｂよりも先端側に位置し、両者の間の段部にろう材が表面張力で溜まるようになっている。
第２の実施形態においても、主体金具３０とスリーブ３９とを接合(ろう付け)することで、固定の前後で両者の軸線Ｏ方向の位置が変わらず、滑石粉末の圧縮状態（密度）が第３工程で管理した所定の適正な値のまま保たれる。
そのため、主体金具３０とスリーブ３９との固定後も第２滑石３８の圧縮状態（密度）が所定の適正な値に保たれ、排気ガスのガスセンサ１内部への漏洩を防止し、センサの検出精度が低下することを抑制できる。又、主体金具３０の後端部３０ｃを軸線Ｏ方向に押圧して加締める方法を採らないので、主体金具３０のバックリング分を考慮して第２滑石３８を先端側により深く押圧しなくてもよく、押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子１００が破損することをも防止できる。
【００２７】
さらに、第４工程では、主体金具３０とスリーブ３９とをろう付けすることで、固定の前後で両者の軸線Ｏ方向の位置を容易に変えないようにすることができるとともに、確実に両者を接合することができる。
なお、ろう付けの材料としては、金、銀、ニッケル、銅、及びこれらの合金が例示される。
【００２８】
図４は、接合に代えて、加締めを行う場合の本発明の第３の実施形態を示す。なお、図４は、図２の第４工程（図２（ｄ））に対応しており、第１〜第３工程については図２と同様であるので説明を省略する。
図４に示すように、第３の実施形態においては、プレス機Ｐ（スリーブ３９）の押圧状態を保持した状態で、主体金具３０の後端部３０ｃとスリーブ３９の径大部３９ｃとの軸線Ｏ方向の重なり部を、主体金具３０の径方向外側から加締める(図４の符号Ｃ)。これにより、主体金具３０とスリーブ３９との間に周方向にわたって加締め部ＳＷを形成する。
第３の実施形態においては、主体金具３０とスリーブ３９とを径方向に加締める。このため、主体金具３０は径方向にはバックリングを生じるが、主体金具３０とスリーブ３９との軸線Ｏ方向の位置は固定の前後で変わらないので、第１、第２の実施形態と同様、滑石粉末の圧縮状態（密度）が第３工程で管理した所定の適正な値のまま保たれる。
そのため、主体金具３０とスリーブ３９との固定後も第２滑石３８の圧縮状態（密度）が所定の適正な値基準に保たれ、排気ガスのガスセンサ１内部への漏洩を防止し、センサの検出精度が低下することを抑制できる。又、主体金具３０の後端部３０ｃを軸線Ｏ方向に押圧して加締める方法を採らないので、主体金具３０のバックリング分を考慮して第２滑石３８を先端側により深く押圧しなくてもよく、主体金具３０の後端部３０ｃを加締める際に押圧力が強くなり過ぎてセンサ素子１００が破損することをも防止できる。
【００２９】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、第１の実施形態において、主体金具３０の後端部３０ｃと、スリーブ３９の径大部３９ｃとを、径方向外側から全周にわたってレーザ溶接Ａを行っていたが、これに限られることはない。図５は、溶接を軸線方向後端側から行う場合の本発明の第４の実施形態を示す。なお、図５は、図２の第４工程（図２（ｄ））に対応しており、第１〜第３工程については図２と同様であるので説明を省略する。
図５に示すように、第４の実施形態においては、主体金具３０の後端面３０ｂと、スリーブ３９の第２後端面３９ｂとをほぼ面一にし、主体金具３０とスリーブ３９との間を、軸線Ｏ方向後端側から円周状にレーザ溶接する(図５の符号Ａ１)。これにより、主体金具３０とスリーブ３９との間に溶接部Ｗ１を形成する。
【００３０】
また、第２の実施形態において、主体金具３０の後端面３０ｂをスリーブ３９の第２後端面３９ｂよりも先端側に位置させ、主体金具３０の後端面３０ｂとスリーブ３９の第２後端面３９ｂとの間に繋がる領域をろう付けしていたが、これに限られることはない。図６は、ろう付け位置を変えた場合の本発明の第５の実施形態を示す。なお、図６は、図２の第４工程（図２（ｄ））に対応しており、第１〜第３工程については図２と同様であるので説明を省略する。
図６に示すように、第５の実施形態においては、主体金具３０の後端面３０ｂよりも、スリーブ３９の第２後端面３９ｂを先端側に位置させ、両者の間に繋がる領域を、ろう付けする(図６の符号Ｂ１)。これにより、主体金具３０とスリーブ３９との間にろう付け部ＢＲ１を形成する。なお、主体金具３０の後端面３０ｂとスリーブ３９の第２後端面３９ｂとの間の段部にろう材が表面張力で溜まるようになっている。
【００３１】
さらに、上記実施形態では、充填部材（滑石３６）が第１滑石３７及び第２滑石３８の２つの部材からなっていたが、充填部材の個数は限定されない。
さらに、上記実施形態では、支持部として、金属ホルダ３４、セラミックホルダ３５、第１滑石３７を用い、これらを第１工程で同時に主体金具に内挿したが、これに限られることなく、例えば、セラミックホルダ３５のみを支持部として用いることもできる。具体的には、センサ素子１００と、セラミックホルダ３５と、滑石３６とを第１工程、第２工程で主体金具３０の内側に配置することもできる。この場合、セラミックホルダ３５が主体金具３０の段部３３に係合することとなる。
【００３２】
さらに、上記実施形態では、センサ素子１００の支持部は、センサ素子１００と別体の部材であったが、例えばセンサ素子として、公知の有底筒状の固体電解質体からなる酸素センサ素子を用いてもよい。この酸素センサ素子の場合、固体電解質体自身の一部を径方向外側に突出させた鍔部を形成し、これを支持部として用いてもよい。
【００３３】
図７は、有底筒状の固体電解質体からなる酸素センサ素子を用いる場合の本発明の第６の実施形態を示す。なお、図７は、図２に対応している。なお、以下の説明において、第３工程、第４工程は、酸素センサ素子の形状が異なるのみであり、方法自体は図２と同様であるので説明を簡略する。
図７に示すように酸素センサ素子１００Ａは、有底筒状の固体電解質体１１０Ａの外側面及び内側面に図示しない検知電極及び基準電極が設けられており、さらに、固体電解質体１１０Ａの軸線Ｏ方向の略中央には、径方向に突出する鍔部１１１Ａが設けられている。
そして、第６の実施形態においては、準備した酸素センサ素子１００Ａを金属パッキン１１２Ａと共に、先端側から主体金具３０Ａの内側に同軸状に内挿し、鍔部１１１Ａを金属パッキン１１２Ａを介して段部３３Ａに係合する。(図７（ａ）の第１工程)。
【００３４】
次に、鍔部１１１Ａより後端側の主体金具３０の内側に圧縮前の滑石３６ｙを配設し、さらに滑石３６ｙより後端側の主体金具３０の内側に、スリーブ３９０を同軸状に内挿する(図７（ｂ）の第２工程)。ここで酸素センサ素子１００Ａを滑石３６ｙの中心軸孔及びスリーブ３９０の軸孔３９０ａに挿通する。
【００３５】
その後、スリーブ３９０の最後端面３９０ｄに、円筒状のプレス機Ｐを当接させ、プレス機Ｐを先端側に向かって加圧する（図７（ｃ）の第３工程）。その後、プレス機Ｐ（スリーブ３９０）による滑石３６の圧縮状態を保持した状態で、主体金具３０Ａの後端部３０Ａｃと、スリーブ３９０の径大部３９０ｃとを、径方向外側から全周にわたってレーザ溶接Ａ２を行い(図７（ｄ）の第４工程)、主体金具３０Ａとスリーブ３９０との間に溶接部Ｗ２を形成する。
【００３６】
さらに、ガスセンサの種類としては、酸素センサの他、全領域空燃比センサ、及びＮＯｘセンサ等を用いることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１                                          ガスセンサ
３０、３０Ａ                                主体金具
３３、３３Ａ                                主体金具の段部
３４                                        金属ホルダ（支持部）
３５                                        セラミックホルダ（支持部）
３６                                        滑石
３６ｙ                                      圧縮前の滑石
３７                                        第１滑石（支持部）
３７ｘ                                      圧縮前の第１滑石
３８                                        第２滑石（充填部材）
３８ｘ                                      圧縮前の第２滑石
３９，３９０                                スリーブ（押圧部材）
１００                                      センサ素子
１００Ａ                                    酸素センサ素子
１１１Ａ                                    酸素センサ素子の鍔部（支持部）
Ｗ、Ｗ１、Ｗ２              溶接部
ＢＲ、ＢＲ１            ろう付け部
ＳＷ            加締め部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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