(57)【要約】【課題】モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、ロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、均一かつ精度良く微細構造を作製し、かつ生産による劣化を有効に回避することができるようにする。【解決手段】長尺のロール材により基材２と、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型２５とを積層して、製造用金型２５に作製された凹凸形状を基材２に賦型する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺のロール材による基材と、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型とを積層して、前記製造用金型に作製された凹凸形状を前記基材に賦型する賦型工程と、
前記製造用金型より前記基材を剥離させる剥離工程とを備える
反射防止フィルムの製造方法。
【請求項２】
さらに長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する
請求項１に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記アルミニウムのフィルムは、
前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に保護フィルムが設けられた
請求項１、又は請求項２に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記保護フィルムを、前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に配置する補強工程を有する
請求項３に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項５】
基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型の製造方法において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する
反射防止フィルム製造用金型の製造方法。
【請求項６】
基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムであって、
陽極酸化処理及びエッチング処理により、表面に、賦型に供する前記凹凸形状が作製された
反射防止フィルム製造用金型。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイにおける反射防止技術の１つとして、凹凸の周期が可視光の波長以下に制御された微細な凹凸パターンを表面に形成することによって反射防止を図る技術が注目されている（特許文献１〜６参照）。このような方法は、いわゆるモスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、屈折率の不連続界面を消失させることによって光の反射を防止するものである。
【０００３】
このようなモスアイ構造は、その微細な凹凸形状を反転させた形状を有する製造用金型を用いて、その凹凸形状を任意の樹脂層に転写することによって製造されるのが一般的である。従ってモスアイ構造の反射防止フィルムを作製する方法としては、基板上に紫外線硬化性樹脂等からなる樹脂層を形成した後、上記のような製造用金型を用いて当該樹脂層の表面にモスアイ構造を賦型し、さらに当該樹脂層を硬化させることによって形成する方法を用いることができる。このような製造方法は、簡易な方法で、かつ高い製造効率で反射防止フィルムを連続的に製造することができる。
【０００４】
このような反射防止フィルムの製造に関して、特許文献７には、転写用の微細な凹凸形状を周側面に作製した円柱形状による製造用金型（いわゆるロール版である）を使用して、効率良く反射防止フィルムを生産する工夫が提案されている。またこの種の製造用金型は、アルミニウムの陽極酸化を利用して微細穴を密に形成して作製され、例えば特許文献８にはこの種の製造用金型の作製に関する工夫が提案されている。
【０００５】
ところでロール版を使用して反射防止フィルムを作製する場合には、長尺のフィルム材を連続処理して作製することができることにより、反射防止フィルムを簡易かつ大量に量産することができる。しかしながらロール版を使用した反射防止フィルムの製造では、実用上未だ不十分な問題がある。
【０００６】
すなわち賦型に供する金型は、微細な凹凸形状を均一かつ精度良く作製することが必要である。ロール版では、このような微細な凹凸形状を周側面に作製することが必要であり、これにより精度の高いロール版を簡易に作製することが困難な問題があった。
【０００７】
またこの種のモスアイ構造に係る反射防止フィルムは、可視光の波長以下の周期による微細な凹凸構造を備える。これによりこの種の金型は、賦型後の離型時に加わる応力等により徐々に劣化する問題ある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表２００１−５１７３１９号公報
【特許文献２】特開２００４−２０５９９０号公報
【特許文献３】特開２００４−２８７２３８号公報
【特許文献４】特開２００１−２７２５０５号公報
【特許文献５】特開２００２−２８６９０６号公報
【特許文献６】国際公開第２００６／０５９６８６号パンフレット
【特許文献７】特開２００５−１５６６９５号公報
【特許文献８】特表２００３−５３１９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、ロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、均一かつ精度良く微細構造を作製し、かつ生産による劣化を有効に回避することができる反射防止フィルムの製造方法、反射防止フィルム製造用金型の製造方法及び反射防止フィルム製造用金型を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、長尺のアルミニウムのフィルムを用いて製造用金型を生産する、との着想に至り、本発明を完成するに至った。
【００１１】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する
【００１２】
（１）  長尺のロール材による基材と、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型とを積層して、前記製造用金型に作製された凹凸形状を前記基材に賦型する賦型工程と、
前記製造用金型より前記基材を剥離させる剥離工程とを備えるようにする。
【００１３】
長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型は、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。
【００１４】
（２）  （１）において、さらに長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する。
【００１５】
（２）によれば、長尺のロール材であって、表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型を具体的に作製することができる。
【００１６】
（３）  （１）又は（２）において、
前記アルミニウムのフィルムは、
前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に保護フィルムが設けられた。
【００１７】
（３）によれば、アルミニウム箔を設けた各種のフィルム材等を利用して製造用金型を作製することができる。また強度を確保することができる。
【００１８】
（４）  前記保護フィルムを、前記凹凸形状を作製する面とは逆側面に配置する補強工程を有する。
（４）によれば、製造時の要求に対応するように強度等を種々に設定することができる。
【００１９】
（５）  基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型の製造方法において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、前記凹凸形状を作製する金型作製工程を有する。
【００２０】
（５）によれば、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。
【００２１】
（６）  基材への凹凸形状の賦型により反射防止フィルムを製造する反射防止フィルム製造用金型において、
長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムであって、
陽極酸化処理及びエッチング処理により、表面に、賦型に供する前記凹凸形状が作製された。
【００２２】
（６）によれば、アルミニウムのフィルムの連続した処理により作製することができ、これにより均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。これらによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。
【発明の効果】
【００２３】
モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、ロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、均一かつ精度良く微細構造を作製し、かつ生産による劣化を有効に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射防止フィルムを示す図である。
【図２】図１の反射防止フィルムの製造工程を示す図である。
【図３】金型作製工程を示す図である。
【図４】紫外線硬化性樹脂塗布工程を示す図である。
【図５】紫外線硬化性樹脂硬化工程を示す図である。
【図６】剥離工程を示す図である。
【図７】金型作製工程の詳細説明に供する図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る製造工程を示す図である。
【図９】原反作製工程を示す図である。
【図１０】原反作製工程の他の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る反射防止フィルムを示す図である。反射防止フィルム１は、透明フィルムによる基材２に凹凸膜３を配置して作製される。ここで基材２は、例えばＴＡＣ（Triacetylcellulose）、アクリル、ＰＥＴ（Polyethylene  terephthalate）、ＰＣ（Polycarbonate）等の各種透明フィルムを適用することができる。反射防止フィルム１は、反射防止フィルム製造用金型を使用して、基材２の表面に、紫外線硬化性樹脂４により微細な凹凸形状を作製して凹凸膜３が作製成される。反射防止フィルム１は、この凹凸膜３による微細な凹凸形状により厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を防止する。
【００２６】
図２は、この反射防止フィルム１の製造工程を示す図である。この製造工程１０は、金型作製工程１１において、モスアイ構造の賦型に供する金型を作製する。より具体的に金型作製工程１１では、アルミニウムの陽極酸化処理とエッチング処理（符号１２により示す）との繰り返しにより、賦型に供する微細穴を密に作製し、この微細穴を掘り進めながら穴径を拡大して金型を作製する。
【００２７】
続いてこの製造工程１０は、賦型工程１３において、金型作製工程で作製した金型を使用して基材２にモスアイ構造に係る微細構造を賦型する。すなわちこの賦型工程１３において、基材２は長尺のロール材により供給される。賦型工程１３では、紫外線硬化性樹脂塗布工程（ＵＶ樹脂塗布）１４において、基材２に紫外線硬化性樹脂４を塗布した後、金型作製工程１１で作製した製造用金型に基材２を押し付け、続く紫外線硬化性樹脂硬化工程（ＵＶ硬化）１５において、紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させ、これにより基材２にモスアイ構造に係る微細構造を賦型する。
【００２８】
続いてこの製造工程１０は、剥離工程１６において、基材２から賦型に供した製造用金型を剥離する。製造工程１０は、必要に応じてこの基材２に粘着層等を作製した後、所望の大きさに切断して反射防止フィルム１が作製される。これにより反射防止フィルム１は、ロール材による長尺の基材２の連続処理により効率良く量産される。
【００２９】
図３は、金型作製工程１１を詳細に示す図である。この金型作製工程１１では、ロール材による長尺のアルミニウムのフィルムに、陽極酸化処理とエッチング処理とを繰り返してモスアイ構造に係る微細構造を作製し、賦型に供する製造用金型を作製する。ここでこのアルミニウムのフィルムは、不純物が少なく、かつピンホールの無い高純度圧延フィルムが適用される。また少なくともモスアイ構造を作製する側の面が、鏡面（例えば算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下）に仕上げられているものが適用され、反射率が９０％以上のものが適用される。また後述する一連の処理を適用可能な一定のいわゆる腰の出る厚みのものが適用される。
【００３０】
この実施形態では、このロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して作製された製造用金型を使用して、モスアイ構造に係る微細な凹凸形状を賦型し、これによりロール版を使用する場合の各種の問題点を一挙に解決して、高い精度により効率良く反射防止フィルムを量産する。
【００３１】
すなわちこのようなロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して作製された製造用金型にあっては、後述するように、アルミニウムのフィルムを搬送しながらの連続した処理により陽極酸化処理、エッチング処理を実行できることにより、均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができる。また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化を何ら考慮することなく、反射防止フィルムを生産することができる。
【００３２】
この金型作製工程１１では、供給ロール２１からこのアルミニウムのフィルム２０が順次供給される。この金型作製工程１１は、このアルミニウムのフィルム２０を電解研磨した後（１２Ａ）、陽極酸化１２Ｂ、水洗１２Ｃ、エッチング１２Ｄの処理を所定回数繰り返し、水洗１２Ｅする。また続いて乾燥機２２により乾燥させ、これによりアルミニウムのフィルムに賦型に供する微細構造を作製した製造用金型２５を作製し、この製造用金型２５を中間リール２３に巻き取って次工程に搬送する。この時必要に応じて中間リール２３にシリコーンなどを離型剤として塗布してもよい。
【００３３】
図４は、紫外線硬化性樹脂塗布工程１４を示す図である。この紫外線硬化性樹脂塗布工程１４は、供給ロール３０から長尺のロール材による基材２が順次供給される。この紫外線硬化性樹脂塗布工程１４は、ローラ３１を介してこの基材２を搬送し、グラビアコートの手法を適用して紫外線硬化性樹脂４を塗布する。すなわち紫外線硬化性樹脂塗布工程１４は、基材２をシリンダーロール３３及びバックロール３２に導く。さらにこれらシリンダーロール３３及びバックロール３２により基材２を挟持して搬送し、インクパン３４に保持された紫外線硬化性樹脂４の塗布液をシリンダーロール３３により塗布する。
【００３４】
紫外線硬化性樹脂塗布工程１４は、続いてローラ３５を介してこの基材２を乾燥機３６に搬送し、ここで紫外線硬化性樹脂４を乾燥させる。さらに中間リール２３より引き出した製造用金型２５に基材２を重ね合わせて押圧ローラ３８Ａ、３８Ｂに搬送し、ここで基材２に製造用金型２５を押し付け、基材２に塗布した紫外線硬化性樹脂４を賦型する。続いてこの工程は、製造用金型２５と基材２とを重ね合わせた状態で、中間リール３９に巻き取って次工程に搬送する。
【００３５】
図５は、紫外線硬化性樹脂硬化工程１５を示す図である。この工程１５は、基材２及び製造用金型２５の積層体を中間リール３９から引き出して搬送し、ローラ４１により押圧しながらこの積層体をローラ４３に巻き付ける。ここでこのローラ４３には周囲に紫外線を照射する光源４４が配置され、これによりこの光源４４から照射される紫外線により基材２に塗布した紫外線を硬化させる。その後、紫外線硬化性樹脂硬化工程１５は、ローラ４２、４５を介して基材２及び製造用金型５の積層体を搬送し、中間リール４６に巻き取って次工程に搬送する。
【００３６】
図６は、剥離工程１６を示す図である。この工程１６は、中間リール４６から基材２及び製造用金型５の積層体を引き出し、ローラ５１、５２に搬送する。ここでこの工程１６は、ローラ５１、５２により挟持して基材２及び製造用金型５の積層体を搬送し、基材２側をリール５４に巻き取ると共に、基材２から製造用金型５を剥離してリール５３に巻き取る。これによりこの剥離工程１６は、このリール５４に反射防止フィルム１が巻き取られ、この製造工程は、このリール５４に巻き取った反射防止フィルム１を切断等の工程に搬送することになる。
【００３７】
図７は、金型作製工程１１における陽極酸化１２Ｂ及び水洗１２Ｃ（図７（Ａ））とエッチング１２Ｄ（図７（Ｂ））との処理の説明に供する図である。陽極酸化の工程では、陽極酸化用の電圧供給電極を兼用するローラ６１を介して、アルミニウムのフィルム２０を洗浄槽６２に搬送して洗浄した後、第１〜第３の陽極酸化槽６３Ａ、６３Ｂ、６４Ｂにより順次陽極酸化処理を実行する。また続いて洗浄槽６４により陽極酸化に供した薬液を洗浄した後、図示しない乾燥機により乾燥させてローラ６５により次工程に搬送する。
【００３８】
エッチングの工程では、前処理槽６６により前処理した後、エッチング槽６７によりエッチング処理し、続く水洗槽６８Ａ、６８Ｂ、純水処理槽６８Ｃによりエッチングに供した薬液を順次洗浄して搬送する。
【００３９】
以上の構成によれば、ロール材による長尺のアルミニウムのフィルムを処理して製造用金型を作製することにより、均一かつ高い精度により賦型に供する微細形状を作製することができ、また例えば一回限りの使い捨てとすることも可能であることにより、製造による劣化も何ら考慮することなく反射防止フィルムを生産することができる。これによりロール版に関する各種の問題点を一挙に回避して、高い精度により反射防止フィルムを効率良く量産することができる。
【００４０】
またこのとき長尺のロール材によるアルミニウムのフィルムを陽極酸化処理及びエッチング処理して、賦型用の金型を作製することにより、具体的に表面にモスアイ構造の賦型に供する凹凸形状が作製されたアルミニウムのフィルムによる製造用金型を作製することができる。
【００４１】
〔第２実施形態〕
図８は、図２との対比により本発明の第２実施形態に係る反射防止フィルムの製造工程を示す図である。この製造工程１０では、原反作製工程７０において、事前にアルミニウムのフィルムを処理する点を除いて、上述の実施形態と同一に構成される。
【００４２】
ここでこの原反作製工程７０は、アルミニウムのフィルムの裏面に、補強用の保護フィルムを配置する。これによりこの実施形態では、アルミニウムの使用量を低減して、充分な強度を確保する。なおこの補強用の保護フィルムは、ＴＡＣ、アクリル、ＰＥＴ、ＰＣ等の各種のフィルムを適用することができる。またこの配置には、粘着層を使用した貼合わせ、接着材を使用した貼合わせ等の各種の手法を適用することができる。
【００４３】
図９は、原反作製工程７０を詳細に示す図である。この実施形態では、保護フィルムにＰＥＴを適用し、粘着剤を使用した貼合わせにより保護フィルムを配置する。すなわちこの原反作製工程７０は、供給ロール８１から粘着剤を塗布した保護フィルム８３が供給され、ローラ８２を介してこの保護フィルム８３をローラ８５Ａ、８５Ｂに搬送する。またこの工程７０は、供給ロール８４からアルミニウムのフィルム７１が供給され、このアルミニウムのフィルム７１をローラ８５Ａ、８５Ｂに搬送する。この工程７０は、保護フィルム８３とアルミニウムのフィルム７１とを積層してローラ８５Ａ、８５Ｂにより押圧し、これによりアルミニウムのフィルム７１に保護フィルム８３を配置して中間リール８７に巻き取る。
【００４４】
この第２実施形態では、この中間リール８７に巻き取ったアルミニウムのフィルムを第１実施形態と同様に処理して反射防止フィルムを製造する。
【００４５】
この実施形態では、アルミニウムのフィルムに保護フィルムを配置するようにしても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。またこのように保護フィルムを配置することにより、一連の反射防止フィルムの製造工程で求められる各種の要求に柔軟に対応できるようにして製造用金型を生産することができる。
【００４６】
〔第３実施形態〕
図１０は、図９との対比による本発明の第３実施形態に係る原反作製工程を示す図である。この実施形態では、この図１０に示す構成が異なる点を除いて、第２実施形態と同一に構成される。この実施形態では、保護フィルムにＰＥＴを適用し、ドライラミネートである接着剤を使用した貼合わせにより保護フィルムを配置する。
【００４７】
すなわちこの原反作製工程７０は、供給ロール９１から保護フィルム９２が供給される。この工程７０は、ローラ９３を介して保護フィルム９２を搬送し、グラビアコートの手法を適用して接着剤を塗布する。すなわちこの工程７０は、保護フィルム９２をシリンダーロール９５及びバックロール９４に導く。さらにこれらシリンダーロール９５及びバックロール９４により保護フィルム９２を挟持して搬送し、インクパン９６に保持された塗布液をシリンダーロール９５により塗布する。
【００４８】
この工程７０は、続いてローラ９７を介してこの保護フィルム９２を乾燥機９８に搬送し、ここで塗布液を乾燥させる。さらに供給ロール８４より引き出したアルミニウムのフィルム７１に保護フィルム９２を重ね合わせて押圧ローラ９９Ａ、９９Ｂに搬送し、ここでアルミニウムのフィルム７１に保護フィルム９２を押し付けて貼り合わせる。続いてこの工程は、この貼合わせたフィルム１０１を中間リール１００に巻き取る。この第３実施形態では、この中間リール１００に巻き取ったアルミニウムのフィルムを第１実施形態と同様に処理して反射防止フィルムを製造する。
【００４９】
この実施形態では、接着により保護フィルムを配置するようにしても、第２実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５０】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更し、さらには従来構成と組み合わせることができる。
【００５１】
すなわち上述の実施形態では、製造用金型を一回限りの使い捨てにする場合について述べたが、本発明はこれに限らず、必要に応じて繰り返し使用しても良い。
【００５２】
また上述の実施形態では、工程毎に、中間リールにフィルムを巻き取って次工程に搬送する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、連続した工程により一連の処理を実行しても良い。
【００５３】
また上述の実施形態では、陽極酸化処理とエッチング処理とを繰り返す場合について述べたが、本発明はこれに限らず、実用上充分に所望の形状に微細穴を作製できる場合には、１回の処理により実行してもよい。
【００５４】
また上述の実施形態では、基材側に紫外線硬化性樹脂を塗布して賦型する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、金型側に紫外線硬化性樹脂を塗布する場合にも広く適用することができる。
【００５５】
また上述の実施形態では、紫外線の照射により硬化する樹脂である紫外線硬化性樹脂を使用して賦型する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、この賦型に供する樹脂材料にあっては、電子線等の各種エネルギーの照射により硬化する樹脂材料、熱の供給等による各種のエネルギーの供給により硬化する樹脂材料等を広く適用することができる。
【００５６】
また上述の実施形態では、紫外線硬化性樹脂の賦型により金型の凹凸形状を転写（賦型）する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば加熱した熱可塑性の樹脂を押圧して賦型する場合等に広く適用することができる。
【符号の説明】
【００５７】
１  反射防止フィルム
２  基材
３  凹凸膜
４  紫外線硬化性樹脂
１０  製造工程
１１  金型作製工程
１２  陽極酸化処理、エッチング処理
１２Ａ  電解研磨処理
１２Ｂ  陽極酸化処理
１２Ｃ、１２Ｅ  水洗処理
１２Ｄ  エッチング処理
１３  賦型工程
１４  紫外線硬化性樹脂塗布工程
１５  紫外線硬化性樹脂硬化工程
１６  剥離工程
２０、７１  アルミニウムのフィルム
２１、３０、８１、８４、８７、９１  供給ロール
２２、３６、９８  乾燥機
２３、３９、４６、１００  中間リール
２５  製造用金型
３１、３５、４１、４２、４３、４５、５１、５２、６１、６５、８２、８５Ａ、８５Ｂ、９３、９７  ローラ
３２、９４  バックロール
３３、９５  シリンダーロール
３４、９６  インクパン
３８Ａ、３８Ｂ、９９Ａ、９９Ｂ  押圧ローラ
４４  光源
５３、５４  リール
６２、６８Ａ、６８Ｂ  水洗槽
６３Ａ、６３Ｂ、６４Ｂ  陽極酸化槽
６４  洗浄槽
６６  前処理槽
６７  エッチング槽
６８Ｃ  純水処理槽
７０  原反作製工程
８３、９２  保護フィルム
【図１】
2013140314.tif 000003
【図２】
2013140314.tif 000004
【図３】
2013140314.tif 000005
【図４】
2013140314.tif 000006
【図５】
2013140314.tif 000007
【図６】
2013140314.tif 000008
【図７】
2013140314.tif 000009
【図８】
2013140314.tif 000010
【図９】
2013140314.tif 000011
【図１０】
2013140314.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成24年1月10日(2012.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図７は、金型作製工程１１における陽極酸化１２Ｂ及び水洗１２Ｃ（図７（Ａ））とエッチング１２Ｄ（図７（Ｂ））との処理の説明に供する図である。陽極酸化の工程では、ローラ６１を介して、アルミニウムのフィルム２０を洗浄槽６２に搬送して洗浄した後、第１〜第３の陽極酸化槽６３Ａ、６３Ｂ、６４Ｂにより順次陽極酸化処理を実行する。また続いて洗浄槽６４により陽極酸化に供した薬液を洗浄した後、図示しない乾燥機により乾燥させてローラ６５により次工程に搬送する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2013140314.tif 000013