(57)【要約】【課題】接着シートを被着体の外縁よりも内側に収まるように切断して貼付すること。【解決手段】被着体ＷＦの一方の面に伸縮性を備えた接着シートＡＳを貼付するシート貼付装置１は、被着体ＷＦを他方の面側から支持する内側支持手段２と、内側支持手段２を囲んで設けられ、接着シートＡＳが貼付される被貼付面３４を有する外側支持手段３と、支持した被着体ＷＦの一方の面と外側支持手段３の被貼付面３４とに対向させて接着シートＡＳを供給する供給手段４と、被着体ＷＦの一方の面と外側支持手段３の被貼付面３４とに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段５と、貼付された接着シートＡＳにおける被着体ＷＦの一方の面と外側支持手段３の被貼付面３４との間の非貼付領域ＡＳ１を面外方向に付勢する付勢手段６と、付勢されて伸張した接着シートＡＳを被着体ＷＦの外縁に沿って切断する切断手段７とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に伸縮性を備えた接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体を他方の面側から支持する支持面を有する内側支持手段と、
前記内側支持手段を囲んで設けられ、前記接着シートが貼付される被貼付面を有する外側支持手段と、
前記支持面に支持した被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに対向させて前記接着シートを供給する供給手段と、
前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段により貼付された接着シートにおける前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面との間の非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に付勢する付勢手段と、
前記付勢手段により付勢されて伸張した接着シートを前記被着体の外縁に沿って切断する切断手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記切断手段により切断された接着シートを収縮させる収縮手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記付勢手段は、前記接着シートの非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記付勢手段により接着シートが付勢された状態で、当該接着シートの非貼付領域を保持する保持手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
被着体の一方の面に伸縮性を備えた接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
他方の面側から支持した被着体の一方の面と、当該被着体を囲む外側支持手段の被貼付面とに対向させて前記接着シートを供給し、
前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに前記接着シートを押圧して貼付し、
貼付された接着シートにおける前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面との間の非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に付勢し、
付勢されて伸張した接着シートを前記被着体の外縁に沿って切断することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、被着体である半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）の表面に保護シートやマウント用シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープ等の接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ウェハを保持するチャックテーブルと、保持されたウェハに帯状の接着シートを貼付する貼付ローラと、接着シートを切断するカッター刃とを備え、貼付した接着シートをカッター刃でウェハの外縁に沿って切断するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−４７９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、図３（Ａ）に示すように、ウェハＷＦの一方の面である表面ＷＡに貼付された接着シートＡＳをカッター刃ＣＵでウェハＷＦの外縁に沿って切断した後、他方の面である裏面ＷＢを研削すると、図３（Ｂ）に矢印で示すように、研削後のウェハＷＦの外縁から接着シートＡＳがはみ出てしまう。このため、研削した裏面ＷＢにダイシングテープ等の他の接着シートを貼付した場合、外縁からはみ出た接着シートＡＳが他の接着シートに貼付されてしまい、ウェハＷＦから接着シートＡＳを剥離する際に剥離できなくなってしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートを被着体の外縁よりも内側に収まるように切断して貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のシート貼付装置は、被着体の一方の面に伸縮性を備えた接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記被着体を他方の面側から支持する支持面を有する内側支持手段と、前記内側支持手段を囲んで設けられ、前記接着シートが貼付される被貼付面を有する外側支持手段と、前記支持面に支持した被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに対向させて前記接着シートを供給する供給手段と、前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段により貼付された接着シートにおける前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面との間の非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に付勢する付勢手段と、前記付勢手段により付勢されて伸張した接着シートを前記被着体の外縁に沿って切断する切断手段とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置は、前記切断手段により切断された接着シートを収縮させる収縮手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記付勢手段は、前記接着シートの非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に吸引する吸引手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、前記付勢手段により接着シートが付勢された状態で、当該接着シートの非貼付領域を保持する保持手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、被着体の一方の面に伸縮性を備えた接着シートを貼付するシート貼付方法であって、他方の面側から支持した被着体の一方の面と、当該被着体を囲む外側支持手段の被貼付面とに対向させて前記接着シートを供給し、前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面とに前記接着シートを押圧して貼付し、貼付された接着シートにおける前記被着体の一方の面と前記外側支持手段の被貼付面との間の非貼付領域を当該非貼付領域の面外方向に付勢し、付勢されて伸張した接着シートを前記被着体の外縁に沿って切断することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、接着シートの非貼付領域を伸張させた状態で当該接着シートを被着体の外縁に沿って切断するので、切断後の接着シートは、その弾性復元作用によって収縮する。従って、接着シートを被着体の外縁よりも内側に収まるように切断して貼付することができる。
【００１０】
本発明において、収縮手段を設ければ、接着シートの収縮を助長することができるので、確実に接着シートを被着体の外縁よりも内側に収めることができる。
また、吸引手段を設ければ、接着シートを吸引により付勢しつつ、塵埃等の不純物を吸引することができる。このため、被着体と接着シートとの間に不純物が混入するリスクを極力低減することができる。
さらに、保持手段を設ければ、接着シートが付勢された状態で当該接着シートの非貼付領域を保持することができるので、付勢により接着シートが伸張した状態を確実に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の部分断面側面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、シート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）および（Ｂ）は、従来例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１は、ウェハＷＦの一方の面である表面ＷＡに伸縮性を備えた接着シートＡＳを貼付する装置である。ここで、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されて構成される。
【００１４】
シート貼付装置１は、ウェハＷＦの他方の面である裏面ＷＢ側からウェハＷＦを支持する支持面２１を有する内側支持手段２と、内側支持手段２を囲んで設けられ、接着シートＡＳが貼付される被貼付面３４を有する外側支持手段３と、支持面２１に支持したウェハＷＦの表面ＷＡと外側支持手段３の被貼付面３４とに対向させて接着シートＡＳを供給する供給手段４と、ウェハＷＦの表面ＷＡおよび外側支持手段３の被貼付面３４に接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段５と、押圧手段５により貼付された接着シートＡＳにおけるウェハＷＦの表面ＷＡと外側支持手段３の被貼付面３４との間の非貼付領域ＡＳ１を当該非貼付領域ＡＳ１の面外方向に付勢する付勢手段６と、付勢手段６により付勢されて伸張した接着シートＡＳを当該ウェハＷＦの外縁に沿って切断する切断手段７とを備えている。ここで、面外方向とは、非貼付領域ＡＳ１の面外方向のうちウェハＷＦの表面ＷＡ上方かつウェハＷＦの中心軸ＣＯに向かう方向を除いた方向である。
【００１５】
内側支持手段２は、支持面２１を有するテーブル２２と、出力軸２３でテーブル２２を支持する駆動機器としての直動モータ２４とを備えている。
【００１６】
外側支持手段３は、底面部３１と、底面部３１の外縁から立ち上がる側壁部３２と、上方に開口した凹部３３とを備え、凹部３３の底面に直動モータ２４が支持され、側壁部３２と所定の隙間を隔ててテーブル２２が配置されている。側壁部３２の上面は、テーブル２２の支持面２１と平行な被貼付面３４とされる。また、側壁部３２には、被貼付面３４から凹部３３の底面に向かって傾斜した傾斜面３５が設けられている。なお、被貼付面３４および傾斜面３５には、接着シートＡＳを剥離可能なように、フッ素樹脂コーティングや粗面処理等の不接着処理が施されている。
【００１７】
供給手段４は、接着シートＡＳを巻回して支持する支持ローラ４１と、支持ローラ４１から引き出された接着シートＡＳを案内するガイドローラ４２と、駆動機器としての回動モータ４３Ａで駆動されて接着シートＡＳを送り出す駆動ローラ４３と、駆動ローラ４３との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ４４と、接着シートＡＳの切断により生じた不要シートＵＳを案内する２つのガイドローラ４５と、駆動機器としての回動モータ４６Ａによって駆動され、不要シートＵＳを回収する回収ローラ４６と、駆動機器としての回動モータ４７Ａで駆動される駆動ローラ４７と、駆動ローラ４７との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ４８とを備えている。ローラ４１〜４４は、外側支持手段３に対して左側に設けられた供給側フレーム４Ａに支持され、ローラ４５，４６は、外側支持手段３に対して右側に設けられた回収側フレーム４Ｂに支持されている。一方、ローラ４７，４８は、駆動機器としてのリニアモータ４９のスライダ４９Ａにより左右方向に移動自在に支持されている。
【００１８】
押圧手段５は、リニアモータ４９のスライダ４９Ｂに支持された駆動機器としての直動モータ５３と、直動モータ５３の出力軸５３Ａに支持されたフレーム５１と、フレーム５１に回転可能に支持された押圧ローラ５２とを備えている。なお、押圧ローラ５２は、ゴムや樹脂等の弾性部材や金属などの非弾性部材によって形成されている。
【００１９】
付勢手段６は、傾斜面３５に沿って円環状に設けられたポーラス体等の吸着部６６と、側壁部３２に設けられ、凹部３３内の空間ＳＰに連通する吸引孔６５と、配管６２を介して吸引孔６５に接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段６１と、配管６３を介して吸着部６６に接続された減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段６７とを備えている。なお、吸引手段６７および吸着部６６により保持手段が構成されている。
【００２０】
切断手段７は、外側支持手段３およびリニアモータ４９よりも奥側に設けられた駆動機器としての多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１の先端部に設けられた切断刃７２とを備えている。多関節ロボット７１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、当該多関節ロボット７１の作業範囲内において切断刃７２を何れの位置、何れの角度にでも変位可能に構成されている。
【００２１】
以下、シート貼付装置１の動作を説明する。
先ず、接着シートＡＳを図１に示すようにセットする。次に、図示しない搬送手段でウェハＷＦをテーブル２２に載置すると、内側支持手段２が直動モータ２４を駆動し、ウェハＷＦの表面ＷＡと外側支持手段３の被貼付面３４とが同一平面内に位置するように調整する。次に、押圧手段５が直動モータ５３およびリニアモータ４９を駆動し、押圧ローラ５２を下降させた後、押圧ローラ５２を図１中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置まで接着シートＡＳ上を転動させながら移動させて、被貼付面３４およびウェハＷＦの表面ＷＡに順次接着シートＡＳを押圧して貼付する。なお、接着シートＡＳは、凹部３３を完全に塞ぐように貼付される。
【００２２】
接着シートＡＳを貼付した後、付勢手段６が吸引手段６１を駆動し、図２（Ａ）に示すように、凹部３３内の空間ＳＰを減圧することで、非貼付領域ＡＳ１を当該非貼付領域ＡＳ１の面外方向に付勢して、非貼付領域ＡＳ１を伸張させる。また、付勢手段６が吸引手段６７を駆動し、非貼付領域ＡＳ１を傾斜面３５に吸着保持させることで、当該非貼付領域ＡＳ１が伸張した状態を維持する。
【００２３】
この状態で、切断手段７が多関節ロボット７１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、切断刃７２を接着シートＡＳの非貼付領域ＡＳ１に突き刺し、ウェハＷＦの外縁に沿って接着シートＡＳを切断する。この際、図２（Ｂ）に示すように、ウェハＷＦの外縁よりも外側の位置で接着シートＡＳを切断してもよいし、切断刃７２をウェハＷＦの外縁に接触させて切断してもよい。なお、切断刃７２をウェハＷＦに接触させないように接着シートＡＳを切断することにより、切断刃７２が被着体に接触することを防止することができ、ウェハＷＦを損傷させることを防止することができる。
【００２４】
切断された接着シートＡＳは、自身が有する弾性復元力によって、図２（Ｃ）に示すように収縮する。そして、付勢手段６が吸引手段６１，６７を停止し、空間ＳＰ内の減圧および非貼付領域ＡＳ１の吸着保持を停止する。そして、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送装置によって搬出されて裏面研削などの後工程に送られる。
【００２５】
次いで、押圧手段５が直動モータ５３を駆動し、押圧ローラ５２を上昇させた後、供給手段４が回動モータ４７Ａおよびリニアモータ４９を駆動し、駆動ローラ４７を回転させながらスライダ４９Ａを左方向に移動させる。これにより、ウェハＷＦの外縁に沿って切断され被貼付面３４上に貼付されている不要シートＵＳを、駆動ローラ４７で被貼付面３４から剥離する。
【００２６】
そして、供給手段４がリニアモータ４９および回動モータ４６Ａを駆動し、駆動ローラ４７の回転を停止したままでスライダ４９Ａを右方向に移動させ、回収ローラ４６で不要シートＵＳを巻き取るとともに、押圧手段５がリニアモータ４９を駆動し、押圧ローラ５２を右方向に移動させる。また、この移動に同期して供給手段４が回動モータ４３Ａを駆動し、支持ローラ４１から接着シートＡＳの未使用部分を繰り出すことにより、支持面２１の上方に接着シートＡＳの接着剤層ＡＤ側を対向させて供給する。その後、次のウェハＷＦが内側支持手段２に支持される。以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２７】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、接着シートＡＳの非貼付領域ＡＳ１を伸張させた状態で当該接着シートＡＳをウェハＷＦの外縁に沿って切断するので、切断後の接着シートＡＳは、その弾性復元作用によって収縮する。従って、接着シートＡＳをウェハＷＦの外縁よりも内側に収まるように切断して貼付することができる。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２９】
例えば、接着シートＡＳとして熱収縮可能なものを採用した場合、図１中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳを一層収縮させる収縮手段８を設けてもよい。収縮手段８は、ヒータ、放電加熱機、赤外線加熱機等の加熱手段を有した温風供給手段８１と、配管６３の途中に設けられた切替弁８２と、温風供給手段８１と切替弁８２とを接続する配管８３とを備え、当該温風供給手段８１から配管８３、切替弁８２、配管６３、および吸着部６６を介して接着シートＡＳに温風を吹付可能に構成されている。この場合、切断手段７が接着シートＡＳを切断した後、付勢手段６が吸引手段６１、６７を停止し、収縮手段８が、温風供給手段８１と配管６３とが連通するように切替弁８２を切り替えるとともに、温風供給手段８１を駆動し、接着シートＡＳに温風を吹き付ける。これにより、接着シートＡＳにおけるウェハＷＦの表面ＷＡからはみ出した部分を収縮させ、確実に接着シートＡＳをウェハＷＦの外縁よりも内側に収めることができる。なお、接着シートＡＳが冷却によって収縮可能な場合は、温風供給手段８１に替えて冷風供給手段で収縮手段８を構成し、接着シートＡＳに冷風を吹き付けてもよい。冷風供給手段としては、ペルティエ素子や冷却ファン等が例示できる。
また、接着シートＡＳとして紫外線やマイクロ波等のエネルギー線によって収縮可能なものを採用した場合、温風供給手段８１に変えて、紫外線やマイクロ波等のエネルギー線が照射可能なエネルギー線照射手段で収縮手段８を構成してもよい。
【００３０】
また、付勢手段６として、接着シートＡＳの上方に非貼付領域ＡＳ１を下方に押圧する押圧部材を設けて、当該押圧部材により非貼付領域ＡＳ１を面外方向に付勢するようにしてもよい。さらに、当該押圧部材で接着シートＡＳの非貼付領域ＡＳ１を下方に押圧しつつ、直動モータ２４を駆動してテーブル２２を上昇させることで、非貼付領域ＡＳ１を面外方向に付勢するようにしてもよい。また、付勢手段６は、接着シートＡＳの非貼付領域ＡＳ１を下方または傾斜面３５の方向に付勢するものに限らず、非貼付領域ＡＳ１を上方かつウェハＷＦの中心軸ＣＯから離れる方向に付勢してもよいし、ウェハＷＦの表面ＷＡと平行にウェハＷＦの中心軸ＣＯから離れる方向に付勢してもよいし、下方かつウェハＷＦの中心軸ＣＯに向かう方向に付勢してもよい。
【００３１】
また、押圧手段５は、押圧ローラ５２にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
【００３２】
さらに、被着体は、ウェハＷＦ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他のものも対象とすることができる。そして、ウェハＷＦは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートＡＳは、保護シート、マウント用シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。
【００３３】
また、接着シートＡＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよいし、基材シートＢＳを有さない接着剤層ＡＤ単体のものでもよい。
さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＡＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００３４】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００３５】
さらに、保持手段を構成する吸着部６６は、ポーラス体に限定されることはなく、接着シートＡＳが吸着保持可能な限り他のもので構成することができ、例えば、傾斜面３５に吸引孔を形成し、当該吸引孔を傾斜面３５に沿って円環状にまたは同心円状に配置してもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１      シート貼付装置
２      内側支持手段
３      外側支持手段
４      供給手段
５      押圧手段
６      付勢手段
７      切断手段
８      収縮手段
２１    支持面
３４    被貼付面
６１    吸引手段（保持手段）
６６    吸着部（保持手段）
ＡＳ    接着シート
ＡＳ１  非貼付領域
ＷＡ    表面（一方の面）
ＷＢ    裏面（他方の面）
ＷＦ    ウェハ（被着体）
【図１】
2013197117.tif 000003
【図２】
2013197117.tif 000004
【図３】
2013197117.tif 000005