(57)【要約】【課題】フィルムを含む２枚の板状物の貼合において、２枚の板状物の高精度な位置合わせを実現し、かつ気泡の混入なく、かつ生産効率をあげることを可能にする貼合方法及び装置を提案する。【解決手段】筐体１を減圧してスクリーン１０１に第１板状物Ｗ１を吸着保持し、ステージ２０１を減圧して第２板状物Ｗ２をステージ２０１に吸着保持する。次に、それぞれ第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２に極小隙間をもうけ、アライメントカメラ２０３による画像処理とＸＹＺ位置決め機構２０２により高精度位置合わせを行い、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の極小隙間を減圧する。最後に、第１板状物Ｗ１の中心近傍からロール１０２とロール１０３を使用し、スクリーン１０１面より第２板状物Ｗ２側へ加圧しながら、ロール１０２とロール１０３をそれぞれ端部方向へ走行させ２枚の板状物Ｗ１、Ｗ２の貼合を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の板状物を貼り合わせる貼合方法であって、
第１の板状物を多孔板上に吸着保持し、第２の板状物を前記第１の板状物に向かい合わせた位置に配置し、前記第１の板状物と前記第２の板状物との間に隙間をあけた状態で、前記第１の板状物と前記第２の板状物のアライメントを行った後、前記第１の板状物を前記第２の板状物へ加圧転写することで、２枚の板状物を貼り合わせることを特徴とする貼合方法。
【請求項２】
前記第１の板状物を吸着保持する前記多孔板がスクリーンであることを特徴とする請求項１に記載の貼合方法。
【請求項３】
前記２枚の板状物の少なくとも一方がフィルムであることを特徴とする請求項１乃至２のいずれかに記載の貼合方法。
【請求項４】
前記２枚の板状物の少なくとも一方の中心近傍より端部方向へ加圧転写し貼り合わせることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の貼合方法。
【請求項５】
前記第１の板状物と前記第２の板状物との間の空間の減圧を行うことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の貼合方法。
【請求項６】
２枚の板状物を貼り合わせる装置であって、
第１の板状物を保持する多孔板と第１の板状物の前記多孔板への吸着を可能にする減圧手段と、第２の板状物を平面保持する保持手段と、前記第１の板状物と前記第２の板状物とを向かい合わせに配置して、前記第１の板状物と前記第２の板状物との間に隙間をあけた状態でアライメントを可能にする画像処理手段と位置決め手段と、前記第１の板状物を前記第２の板状物へ加圧転写する加圧手段を具備することを特徴とする貼合装置。
【請求項７】
前記第１の板状物を吸着保持する前記多孔板がスクリーンであることを特徴とする請求項６に記載の貼合装置。
【請求項８】
前記加圧手段を少なくとも２個以上具備することを特徴とする請求項６乃至７のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項９】
前記加圧手段にゴムロール、金属ロール、スキージの少なくとも１種を用い、前記加圧手段を走行させる駆動手段を具備することを特徴とする請求項６乃至８のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１０】
前記減圧手段として、減圧量調整手段とバルブを具備することを特徴とする請求項６乃至９のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１１】
前記減圧手段として、圧縮空気供給手段と真空発生手段の２種を具備し、前記圧縮空気供給手段と前記真空発生手段のいずれかを選択可能とする切替手段を具備することを特徴とする請求項６乃至１０のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１２】
前記減圧手段として、タンクを具備することを特徴とする請求項６乃至１１のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１３】
対向する部分にそれぞれ同一形状の開口部を有し、一方の内部に前記多孔板が収容され他方の内部に前記保持手段が収容された一対の筐体と、前記第１の板状物と前記第２の板状物とを向かい合わせに配置されて前記一対の筐体の開口部どうしが対向する箇所とそれ以外の箇所との間で、前記一対の筐体のうち一方を他方に対して相対移動させる移動手段と、前記一対の筐体の開口部どうしが当接した状態で、前記第１の板状物と前記第２の板状物との間の空間の減圧を可能にする筐体減圧手段を具備すること特徴とする請求項６乃至１２のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１４】
前記筐体減圧手段として、減圧量調整手段とバルブを具備することを特徴とする請求項１３に記載の貼合装置。
【請求項１５】
前記筐体減圧手段として、圧縮空気供給手段と真空発生手段の２種を具備し、前記圧縮空気供給手段と前記真空発生手段のいずれかを選択可能とする切替手段を具備することを特徴とする請求項１３乃至１４のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１６】
前記筐体減圧手段として、タンクを具備することを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１７】
前記多孔板の少なくとも１辺を支持し、該多孔板に付与する張力を前記多孔板に加わる負荷に応じて増減させる張力調整手段を具備したことを特徴とする請求項６乃至１７のいずれかに記載の貼合装置。
【請求項１８】
前記第２の板状物を平面保持する保持手段の前記位置決め手段において、前記加圧手段の加圧中に前記位置決め手段による前記第２の板状物への平面方向における前記位置決め用負荷をなくすこと特徴とした請求項６乃至１７のいずれかに記載の貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムを含む２枚の板状物の貼合方法及び装置に関する。主にディスプレイパネルの製造に使用できるが、その限りではない。
【背景技術】
【０００２】
近年のディスプレイ装置においては、ディスプレイパネルの表面に各種の機能を持ったプラスチックのフィルムを貼り合わせることが行われている。特に、何らかのパターンを有するフィルムをディスプレイパネルに貼り合わせる場合は、高い位置決め精度や貼り合わせ精度が必要とされる。
【０００３】
しかしながら、薄いプラスチックフィルムは撓んだりシワになったりしやすく、また伸縮も発生しやすいので、ディスプレイパネルに正確に位置あわせして貼合することは困難とされてきた。
【０００４】
ディスプレイ用の部材貼り合わせ方法として、特許文献１がある。これはフィルムの保持手段が微粘着で構成されている。この場合、ディスプレイ用のフィルムはＴＡＣ材料など比較的もろい材質を使用する場合が多い。特許文献１の方法では、フィルムを綺麗に微粘着面に貼ることが難しく、しわになると気泡混入につながる。また、前記を防ぐため、貼りなおす際に、フィルムを損傷させてしまう可能性もあり、更に積載時に大まかなフィルムの位置が合わせにくい。また、保持手段の粘着力も時間経過により劣化する場合もあり、繰の返安定性に欠ける。これらにより、結果、歩留まりを悪化させる問題があった。
【０００５】
また、特許文献２においては、真空チャンバー内にフィルムを含む２枚の板状物を入れ、上部からダイヤフラム膜を膨張させ、同時に２枚の板状物の隙間を減圧しつつ両板状物の位置あわせを行い貼り合わせる装置が記載されている。この場合、ダイヤフラム膜の膨張が均一でないと２枚の板状物の位置合わせが難しく、更に圧縮空気と減圧のタイミングが合わないと位置ズレやしわの原因になり、歩留まり悪化に繋がる問題があった。また、減圧時間が必要であるため、タクトが長くなり、生産効率を下げる要因になる。
【０００６】
特許文献３においては、メッシュと硬質シートを使用し、２枚の板状物をロールで貼り合わせる装置が記載されている。しかしながら、アライメント手段がなく高精度に貼り合わせることができない。さらに、端面からのロールでの貼り合わせにおいて、フィルムが１方向に伸ばされてしまう問題点があり、精度を悪化させる問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６１−１１６６６３号公報
【特許文献２】特開２００９−２９４５５１号公報
【特許文献３】特開２０１０−９４９１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、フィルムを含む２枚の板状物の貼合において、２枚の板状物の高精度な位置合わせを実現し、かつ気泡の混入なく、かつ生産効率をあげることを可能にする貼合方法及び装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１においては、２枚の板状物を平面に保持し、向かい合わせて間隔をあけた状態で、２枚の板状物のアライメント行い、加圧転写を行う貼合方法を採用する。
【００１０】
請求項１に係る発明によれば、２枚の板状物の平面での位置合わせを可能にし、アライメント精度向上に貢献することができる。
【００１１】
請求項２においては、１枚の板状物を保持する多孔板にスクリーンを採用する。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、スクリーン印刷で使用する版を流用でき、一般的に使用されているメッシュスクリーンを採用できる。さらに、特注でなくなるため、流通面により価格低減にも繋がる。
【００１３】
請求項３においては、２枚の板状物の少なくとも一方がフィルムであることを特徴とする。
【００１４】
請求項３に係る発明によれば、薄いフィルムの貼り合わせに本発明の貼合方法を使用することが可能となる。
【００１５】
請求項４においては、板状物の中心近傍から端部方向へ加圧する方法を採用する。
【００１６】
一般的に加圧手段で端部から反対側の端部まで加圧貼付を行うと、貼合初めから終わりにかけて、板状物が延びながら貼り合わされてしまう。これにより、初期のアライメントとは異なる位置に貼り合わせられるため、結果、貼合精度を低下させてしまう。
請求項４に係る発明によれば、中心から端部へ貼り合わせるため、伸び量は単純に半分になり、結果貼り合わせ精度を向上させることができる。また、中心のアライメント精度が向上するため、中心位置を優先する製品にとっては有利である（図４）。
【００１７】
請求項５においては、２枚の板状物間の空間を減圧する方法を採用している。
【００１８】
２枚の板状物の表面の状態によっては、気泡が混入しやすく、これを防ぐため加圧手段の移動スピードを著しく低下させる必要のあるケースが存在する。
請求項５に係る発明においては、２枚の板状物間の空間の減圧をすることで、物理的にエアーをなくし、気泡の混入を防ぐことができ、加圧手段の動作のスピードを上げることができる。但し、減圧には時間を要するため、これを利用して、気泡が混入しないような減圧度と加圧手段の動作スピードを設定でき、総合して生産性を良くすることができる。
【００１９】
請求項６においては、２枚の板状物をそれぞれ吸着保持する多孔板及び平面で保持する保持手段と、２枚の板状物の間に隙間を設けてアライメントを行う画像処理手段と位置決め手段と、２枚の板状物の加圧貼り合わせを行う加圧手段を具備する装置を採用する。
【００２０】
請求項６に係る発明によれば、２枚の板状物を平面状態でアライメント位置合わせすることで、位置決めの精度が向上し、２枚の板状物同士を高精度に貼り合わせることが可能となる装置を提供できる。
【００２１】
請求項７においては、板状物の吸着保持手段にスクリーンを採用する。
【００２２】
請求項７に係る発明によれば、吸着保持手段に従来のスクリーンの版を採用することが可能になり、コストを低減できる。さらに転写においてもたわみやすく、有利である。
【００２３】
請求項８においては、２枚の板状物を貼り合わせる加圧手段を２個以上具備する装置を採用する。
【００２４】
請求項８に係る発明によれば、板状物の中心から貼り合わせることが可能となり、板状物の伸びを低減し貼り合わせ精度を向上することができる。
【００２５】
請求項９においては、加圧手段をゴムロール、金属ロール、スキージを具備する装置を採用する。
【００２６】
請求項９に係る発明によれば、２枚の板状物の貼り合わせの際に気泡混入を防ぐ、または、貼り合わせ精度の向上に繋がる可能性がある加圧手段を選択できる。
【００２７】
請求項１０においては、減圧手段に減圧量調整手段とバルブを具備する装置を採用する。
【００２８】
請求項１０に係る発明によれば、減圧を入切できる上、減圧量を調整することができ、第１の板状物の保持力を可変することができる。
【００２９】
請求項１１においては、減圧手段に圧縮空気供給手段と真空発生手段を具備し、これらをタイミングに応じて切り替える手段を具備する装置を採用する。
【００３０】
請求項１１に係る発明によれば、板状物を吸着するときは真空発生手段で保持し、板状物を外すときは圧縮空気供給手段に切り替えることで、脱着を容易にすることが可能である。
【００３１】
請求項１２においては、減圧手段として減圧タンクを具備することを特徴とする装置を採用する。
【００３２】
請求項１２に係る発明によれば、減圧タンクにより、減圧のスピード向上と、減圧量の安定性に寄与し、生産スピード向上に貢献できる。
【００３３】
請求項１３においては、第１の板状物と第２の板状物を多孔板や保持手段と共にそれぞれ収容する一対の筐体と、各筐体の同一形状の開口部どうしが対向する箇所とそれ以外の箇所との間で、一方の筐体に対して他方の筐体を相対移動させる移動手段と、一対の筐体の開口部どうしが当接した状態で第１の板状物と第２の板状物との間の空間を減圧することが可能な筐体減圧手段を具備する装置を採用する。
【００３４】
請求項１３に係る発明によれば、貼合において、両筐体の開口部どうしが対向しない箇所で各筐体の多孔板や保持手段に第１の板状物や第２の板状物をそれぞれ保持させることができる。また、開口部どうしが対向する箇所に両筐体を相対移動させて、両開口部を当接させた状態で、筐体減圧手段により第１の板状物と第２の板状物との間の空間を減圧することで、第１の板状物と第２の板状物との間の空間への気泡の混入を防ぐことができ、加圧手段の動作のスピードを上げることができる。但し、減圧には時間を要するため、気泡が混入しない、減圧度と加圧手段の動作スピードを設定でき、総合して生産性が良くすることが可能となる。
【００３５】
請求項１４において、筐体減圧手段として、第１の板状物と第２の板状物との間の空間の減圧量を調整可能にする減圧量調整手段とバルブを具備する装置を採用する。
【００３６】
請求項１４に係る発明によれば、第１の板状物と第２の板状物との間の空間の減圧をバルブで入切できる上、減圧量を減圧量調整手段で調整することができるため、第１の板状物の保持力とバランスさせながら、気泡混入を防ぐ減圧量を設定可能となる。
【００３７】
請求項１５において、筐体減圧手段として、第１の板状物と第２の板状物との間の空間の減圧において、圧縮空気供給手段と真空発生手段の２種を具備し、前記圧縮空気供給手段と真空発生手段を切り替えるためにいずれか一方を選択可能とする切替手段を具備する装置を採用する。
【００３８】
請求項１５に係る発明によれば、第１の板状物と第２の板状物との間の空間を真空発生手段により減圧した後、貼り合わせ完了時に圧縮空気供給源に切り替えることで真空破壊のスピードが上がり、結果生産性向上が可能となる。
【００３９】
請求項１６において、筐体減圧手段として、第１の板状物と第２の板状物との間の空間の減圧において、減圧タンクを具備する装置を採用する。
【００４０】
請求項１６に係る発明によれば、減圧タンクにより、減圧のスピード向上と、減圧量の安定性に寄与し、生産スピード向上に貢献できる。
【００４１】
請求項１７において、多孔板の少なくとも１辺を支持し、多孔板に付与する張力を多孔板に加わる負荷に応じて増減させる張力調整手段を具備した装置を採用する。
【００４２】
請求項１７に係る発明によれば、加圧手段により多孔板に余分な負荷がかかった際、張力調整手段が多孔板に付与する張力を増減させることで、多孔板に余計な負荷をかけないことが可能になる。特に多孔板の端部近傍で加圧する場合に多孔板の面内の負荷変化を吸収でき、貼り合わせ時の精度や面性良化に貢献できる。
【００４３】
請求項１８において、第２の板状物を平面保持する保持手段の位置決め手段において、アライメント動作終了し、ロール等の加圧手段が第１の板状物を第２の板状物へ加圧する際、位置決めを行っているモータなどの負荷を解除し、保持手段乃至第２の板状物を平面方向においてフリーにする手段を具備した装置を採用する。
【００４４】
ロール等の走行精度と第２の板状物を平面保持するステージの平面度の差やその他様々な機械精度や製品精度により、第１の板状物が歪んで貼られることがある。これは加圧手段の走りと平面が合わないため起こる。
請求項１８に係る発明によれば、位置決め初期は位置合わせを行うが、ロール等により、第１の板状物と第２の板状物の一部を設置させた後、ロール等の走行精度や第２の板状物を平面保持するステージの平面度がある程度高い場合でも、ロール等の蛇行に併せて、ステージが動くため歪みを発生することなく、第１と第２の板状物を貼り合わせることが可能となる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、フィルムを含む２枚の板状物の貼合において、２枚の板状物の高精度な位置合わせを実現し、かつ気泡の混入なく、かつ生産効率をあげることを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係る貼合装置を示す概略図である。
【図２】図１に示す２つのロールの動作順序の一例を示す説明図である。
【図３】図３のスクリーンに内蔵される機構の一例で、（ａ）は初期の状態、（ｂ）は貼合時の状態をそれぞれ示す模式図である。
【図４】図３（ｂ）に示す２枚の板状物の貼合動作を平面及び断面により示し、（ａ）は理想的な貼り合わせ状態、（ｂ）はロールが湾曲して走行した場合の貼り合わせ状態、（ｃ）はＸＹＺ位置決め機構によりロールの湾曲走行分を補正した場合の貼り合わせ状態をそれぞれ示す模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態に係る２枚の板状物の貼り合わせ手順を示す概略図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態に係る２枚の板状物の貼り合わせ手順を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
次に、本発明の実施形態について詳細を説明する。以下の説明においては、第１の板状物をフィルム、第２の板状物を液晶ディスプレイ用カラーフィルターとする。
【００４８】
まず、本発明の実施形態に係る貼合装置の概略図を図１に示す。
【００４９】
図１では、第１板状物Ｗ１をスクリーン１０１（請求項中の多孔板に相当）が吸着保持できるようになっており、このスクリーン１０１は、開口部Ｋ１ａを有する筐体Ｋ１の内部に収容されている。この筐体Ｋ１を、筐体Ｋ１の内部を真空にするためにブロアー１１５（請求項中の減圧手段、筐体減圧手段、真空発生手段に相当）とつなぐ。このブロアー１１５により筐体Ｋ１の内部を真空にすることで、スクリーン１０１に第１板状物Ｗ１が吸着される。また、ブロアー１１５と筐体Ｋ１の間の真空を操作するためにストップバルブ１１２（請求項中の減圧手段のバルブに相当）を設置し、減圧度を調整するために減圧レギュレータ１１３（請求項中の減圧手段と筐体減圧手段の減圧量調整手段に相当）を設置する。また、早期に真空状態をつくるために、バッファタンク１１４（請求項中の減圧手段と筐体減圧手段のタンクに相当）を設置し予め真空の容積を設けておく。また、真空破壊を簡易にするため、圧空源１１７（請求項中の減圧手段と筐体減圧手段の圧縮空気供給手段に相当）とレギュレータ１１６を切替バルブ１１１（請求項中の減圧手段の切替手段に相当）に繋ぐ。また第１板状物Ｗ１をスクリーン１０１越しに加圧する手段として、ロール１０２とロール１０３に加圧機構１０４と加圧機構１０５を接続し配置する。またロール１０２とロール１０３はアクチュエータ１０６で走行させることができる。アクチュエータ１０６は簡略のため１機構のみ記入しているが、ボールネジとモータの組み合わせで実施する場合は複数配置し、ロール１０２とロール１０３が個別で走行できる機構にする。
【００５０】
一方、第２板状物Ｗ２はステージ２０１（請求項中の保持手段に相当）に平面保持される。ステージ２０１には、極小の穴を設け、真空により第２板状物Ｗ２を吸着固定するために、ブロアー２２４と減圧レギュレータ２２３とストップバルブ２２２と接続する。またステージ２０１はＸＹＺ位置決め機構２０２（請求項中の位置決め手段に相当）に固定されており、制御ユニット２１８（請求項中の画像処理手段に相当）が処理するアライメントカメラ２０３の画像情報で駆動できるようにする。また、ステージ２０１及びＸＹＺ位置決め機構２０２は、筐体Ｋ１の開口部Ｋ１ａと同じ大きさの開口部Ｋ２ａを有する筐体Ｋ２の内部に収容されている。この筐体Ｋ２は、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２との間の空間を減圧できる構造になっており、減圧機構は前記筐体１と同様、切替バルブ２１１、減圧レギュレータ２１２（請求項中の筐体減圧手段の減圧量調整手段に相当）、ストップバルブ２１３（請求項中の筐体減圧手段のバルブに相当）、バッファタンク２１４（請求項中の筐体減圧手段のタンクに相当）、ブロアー２１５（請求項中の筐体減圧手段、筐体減圧手段の真空発生手段に相当）、レギュレータ２１６、圧空源２１７（請求項中の筐体減圧手段の圧縮空気供給手段に相当）と接続されている。
【００５１】
最後に、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２をスクリーン１０１とステージ２０１にそれぞれセットし、また、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２を貼り合わせるために、筐体Ｋ１と筐体Ｋ２の開口部Ｋ１ａ、Ｋ２ａどうしを接近離間させる必要があるため、筐体Ｋ２は筐体移動アクチュエータ２２１（請求項中の移動手段に相当）により、筐体Ｋ１に対して接近離間する方向に移動できるようにする。
図２は２つのロール１０２、１０３の動作順序の一例を示す。図２（ａ）において第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２を対面させ微小隙間を作り、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２のアライメントを行う。次に図２（ｂ）のようにロール１０２により中心近傍から貼り合わせを行う。次に図２（ｃ）のようにロール１０３をロール１０２と反対方向に走行させる。図２（ｄ）は最終的にロール１０２とロール１０３が端部まで到達し、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の貼り合わせが完了した状態である。
【００５２】
また、スクリーン１０１は図３のような機構を内蔵していてもよい。図３（ａ）は多孔板１０１の支持部に、多孔板１０１の張力が一定になるように、張力調整機構３０１と張力調整機構３０２（請求項中の張力調整手段に相当）を持っていることを示す。図３（ｂ）においては、ロール１０２により多孔板１０１が極微量だが伸ばされる。張力調整機構３０１、３０２がこの伸び分を吸収するように、多孔板１０１に付与する張力を増減させることで、多孔板１０１が常に一定張力で張られるようになり、面内の余分な負荷が張力調整機構３０１に吸収される。
図４は第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の位置合わせが完了し、ロール１０２が貼り合わせを開始する工程を示している。  図４（ａ）は理想的なロール走行を示している。図４（ａ）の上図は第１板状物Ｗ１の上面から見た図であり、下図はＡ−Ａ断面の図である。理想的な動作としては、ロール１０２はステージ２０１と平行に進むほうが望ましい。しかし、実際はロール１０２の真円度や変形及び走り平行度及びステージ２０１の平面度のバラツキが存在し、数μｍ程度ズレが発生する。これらをなくすことは不可能であり、実軌道としては、図４（ｂ）の上図のようにロール１０２が実軌道１０２′のように湾曲して進もうとする。湾曲して走行しようとした場合、多孔板１０１及び第１板状物Ｗ１が歪められてしまい、図４（ｂ）の下図に示すＢ−Ｂ断面の図のようにずれて張り合わされ、貼り合わせ精度の悪化に繋がる。そこで図４（ｃ）の上図のようにアライメント完了後ロール１０２の走行中はＸＹＺ位置決め機構２０１に対してステージ２０１をＸ軸方向またはＹ軸方向においてフリーにすることで、ロール１０２が実軌道１０２′で進んだ場合に多孔板１０１及び第１板状物Ｗ１の歪みを、ステージ２０１がロール１０２の進行負荷に追従することで吸収し、貼り合わせ精度の悪化を防止することが可能になる。
【００５３】
次に、図５及び図６に本発明の実施形態の動作概略図を示す。
【００５４】
図５（ａ）では、第１板状物Ｗ１をスクリーン１０１にセットし、切替バルブ１１１を真空側に切り替え、ストップバルブ１１２を開き、ブロアー１１３を動作させる。また保持力を調整するため、減圧レギュレータ１１３で減圧量を調整する。また、第２板状物Ｗ２をステージ２０１にストップバルブ２２２、減圧レギュレータ２２３、ブロアー２２４を使用して吸着保持する。これによりワークセットが完了する。
【００５５】
図５（ｂ）では、筐体Ｋ２を筐体移動アクチュエータ２２１を使用し、筐体Ｋ１の上部に搬送する。
【００５６】
図５（ｃ）では筐体Ｋ１と筐体Ｋ２を接合し、まず、ＸＹＺ位置決め機構２０２で、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２との間にギャップＧ１（隙間）を取り、アライメントカメラ２０３で第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２のマークを読み取り、ＸＹＺ位置決め機構２０２にフィードバックし、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の位置合わせを実施する。ギャップＧ１は極小隙間にしておくことで、貼合精度が良化する。位置合わせが完了したのち、先行して、切替バルブ２１１、ストップバルブ２１２、減圧レギュレータ２１３、ブロアー２１５を使用して、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の間の空間を減圧する。このとき先行してストップバルブ２１２を閉じておいて、ブロアー２１５を作動させておくことで、バッファタンク２１４に減圧空間ができ、このときの減圧スピードを早くすることができ、生産性向上に繋がる。また、これにより精度のよい平面位置決めと減圧による気泡混入防止効果を得ることができる。
【００５７】
図５（ｄ）では、ロール１０２と加圧機構１０４を使用して、メッシュ１０１越しに第１板状物Ｗ１を第２板状物Ｗ２に、ステージ２０１の中心近傍から周縁へと押し付ける。この後、図４（ｃ）のようにＸＹＺ位置決め機構２０２のＸ・Ｙの各方向をフリーにすることも可能である。
【００５８】
図６（ａ）と図６（ｂ）では、ロール１０２がメッシュ１０１の端部方向へ走行した後、ロール１０３を加圧機構１０５で同様に押し付け、ロール１０２と反対方向へ走行させる。これにより第１板状物Ｗ１を第２板状物Ｗ２に中心から貼り合わせることが可能になり、貼り合わせ精度の向上を狙える。また、これにより、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２は完全に貼りあわされる。
【００５９】
図６（ｃ）では、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２を接合した完成体を取り出すため、切替ロール１０２とロール１０３を接地状態から脱し、切替バルブ１１１、２１１を使用し、圧空源１１７、２１７とレギュレータ１１６、２１６に切り替え、筐体Ｋ１と筐体Ｋ２の真空破壊を瞬時に行う。常圧になった時点で、切替バルブ１１１、２１１とストップバルブ１１２、２１２を使用し、空気の流れをとめる。
【００６０】
最後に、図６（ｄ）のように筐体Ｋ２を筐体移動アクチュエータ２２１により開き、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２を接合した完成体を取り出すことができる。
【００６１】
これにより、第１板状物Ｗ１と第２板状物Ｗ２の高精度な貼り合わせを行うことが可能となり、同時に気泡混入を防止しながら、生産性を向上することが可能となる。
【符号の説明】
【００６２】
１０１…多孔板（スクリーン）
１０２…ロール
１０２′…実際のロールの軌道
１０３…ロール
１０４…加圧機構
１０５…加圧機構
１０６…アクチュエータ（ロール１・ロール２）
１１１…切替バルブ
１１２…ストップバルブ
１１３…減圧レギュレータ
１１４…バッファタンク
１１５…減圧ブロアー
１１６…レギュレータ
１１７…圧空源
２０１…ステージ
２０２…ＸＹＺ位置決め機構
２０３…アライメントカメラ
２１１…切替バルブ
２１２…ストップバルブ
２１３…減圧レギュレータ
２１４…バッファタンク
２１５…減圧ブロアー
２１６…レギュレータ
２１７…圧空源
２１８…制御ユニット
２２１…筐体移動アクチュエータ
２２２…ストップバルブ
２２３…減圧レギュレータ
２２４…減圧ブロアー
３０１…張力調整機構
３０２…張力調整機構
Ｇ１…ギャップ
Ｋ１…筐体
Ｋ１ａ…開口部
Ｋ２…筐体
Ｋ２ａ…開口部
Ｗ１…第１板状物
Ｗ２…第２板状物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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