(57)【要約】【課題】ストッカの搬送の高効率化およびストッカの省スペース化を実現することができるストッカを提供する。【解決手段】ストッカＳＴは、複数の保管物ＣＡを保管するための保管スペースＳＳに複数の保管物ＣＡを入出庫口ＧＡから入出庫するためのストッカＳＴであって、保管スペースＳＳ内に配置されたストッカクレーンハンド部ＳＨと、ストッカクレーンハンド部ＳＨを移動させるためのストッカクレーンＳＣとを備えている。ストッカクレーンハンド部ＳＨは、ストッカクレーンＳＣに支持されたアーム部ＡＲと、アーム部ＡＲに支持された２つのハンド部ＨＡと、２つのハンド部ＨＡのいずれかに配置されたバッファ部ＢＵとを含んでいる。【選択図】図１
2013006632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の保管物を保管するための保管スペースに前記複数の保管物を入出庫口から入出庫するためのストッカであって、
前記保管スペース内に配置されたストッカクレーンハンド部と、
前記ストッカクレーンハンド部を移動させるためのストッカクレーンとを備え、
前記ストッカクレーンハンド部は、
前記ストッカクレーンに支持されたアーム部と、
前記アーム部に支持された２つのハンド部と、
前記２つのハンド部のいずれかに配置されたバッファ部とを含み、
前記アーム部は、前記保管物と前記２つのハンド部の少なくともいずれかとが係合可能な第１の位置と、前記保管物と前記２つのハンド部のそれぞれとが係合しない第２の位置との間で前記２つのハンド部を移動可能に構成されており、
前記第１の位置において、前記２つのハンド部のそれぞれは、前記保管物と係合することで前記保管物を保持する保持状態と、前記保管物と係合しないことで前記保管物を保持しない非保持状態とのいずれかに移行可能に構成されており、
前記バッファ部は、前記ハンド部に保持された前記保管物を前記ハンド部に着脱可能に構成されている、ストッカ。
【請求項２】
前記入出庫口から前記複数の保管物の前記保管スペース内のそれぞれの保管場所までの搬送経路に沿った距離が短い順に、前記複数の保管物を保管可能に構成されている、請求項１に記載のストッカ。
【請求項３】
前記ストッカクレーンハンド部および前記ストッカクレーンを搬送動作させるように第１の搬送指示を出した後、前記第１の搬送指示が完了する前に、前記ストッカクレーンハンド部および前記ストッカクレーンを搬送動作させるように第２の搬送指示を出す制御部をさらに備えた、請求項１または２に記載のストッカ。
【請求項４】
前記保管スペースの外部から内部に前記保管物を自動的に移動するための自動移動機をさらに備え、
前記入出庫口は、
前記保管スペースに前記保管物を前記自動移動機により入出庫するための自動入出庫口と、
前記保管スペースに前記保管物を人手により入出庫するための人手入出庫口とを含み、
前記自動入出庫口と前記人手入出庫口とはそれぞれ別個に設けられている、請求項１〜３のいずれかに記載のストッカ。
【請求項５】
前記自動移動機による前記保管スペースへの前記保管物の入出庫と、前記人手による前記保管スペースへの前記保管物の入手庫とを自動的に切換可能なように前記自動入出庫口と人手入出庫口とを動作可能に構成されている、請求項４に記載のストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はストッカに関し、特に、複数の保管物を保管するための保管スペースに複数の保管物を入出庫口から入出庫するためのストッカに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の自動生産ラインでは、製造過程の製品等がストッカに保管される。たとえば、特開平１１−５９８２９号公報（特許文献１）には、半導体ウエハカセット搬送装置で用いられるストッカが開示されている。また、特開２００８−１７４３３５号公報（特許文献２）には、１つのハンドで２つの保管物を一緒に移動させることができるストッカが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−５９８２９号公報
【特許文献２】特開２００８−１７４３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製品工期短縮の観点から、ストッカの搬送設備には搬送の高効率化が求められる。またクリーンルームでは単位面積あたりのコストが高いため、クリーンルームに設置されるストッカには省スペース化が求められる。
【０００５】
しかしながら、上記の特開平１１−５９８２９号公報には、ストッカの搬送設備による搬送の高効率化およびストッカの省スペース化は記載されていないため、これらを実現することはできない。また、上記の特開平２００８−１７４３３５号公報に記載されたストッカでは、ハンドが２つの保管物に跨る長さを有しているため、１つのハンドで２つの保管物を１回の搬送動作で移動させることが可能である。しかし、保管物を１回の搬送動作で移動させることができる場合は、２つの保管物が隣り合って保管されている場合に限定される。したがって、その他の場合には、１つのハンドで２つの保管物を１回の搬送動作で移動させることはできない。搬送対象の保管物が隣り合って保管されている場合は少ないため、ストッカの搬送の高効率化を実現することは困難である。
【０００６】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、ストッカの搬送の高効率化およびストッカの省スペース化を実現することができるストッカを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施例によるストッカは、複数の保管物を保管するための保管スペースに複数の保管物を入出庫口から入出庫するためのストッカであって、保管スペース内に配置されたストッカクレーンハンド部と、ストッカクレーンハンド部を移動させるためのストッカクレーンとを備えている。ストッカクレーンハンド部は、ストッカクレーンに支持されたアーム部と、アーム部に支持された２つのハンド部と、２つのハンド部のいずれかに配置されたバッファ部とを含んでいる。アーム部は、保管物と２つのハンド部の少なくともいずれかとが係合可能な第１の位置と、保管物と２つのハンド部のそれぞれとが係合しない第２の位置との間で２つのハンド部を移動可能に構成されている。第１の位置において、２つのハンド部のそれぞれは、保管物と係合することで保管物を保持する保持状態と、保管物と係合しないことで保管物を保持しない非保持状態とのいずれかに移行可能に構成されている。バッファ部は、ハンド部に保持された保管物をハンド部に着脱可能に構成されている。
【発明の効果】
【０００８】
本実施例のストッカによれば、第１の位置において、２つのハンド部のそれぞれは、保管物と係合することで保管物を保持する保持状態と、保管物と係合しないことで保管物を保持しない非保持状態とのいずれかに移行可能に構成されている。そして、バッファ部は、ハンド部に保持された保管物をハンド部に着脱可能に構成されている。
【０００９】
２つのハンド部のうち一方のハンド部が保持状態とされ、他方のハンド部が非保持状態とされた状態から、保持された保管物をバッファ部によって一方のハンド部から離脱させて、他方のハンド部が保持状態とされることで、１回の搬送動作で２つの保管物を移動することができる。これにより、ストッカの搬送の高効率化を実現することができる。
【００１０】
また、１つのアーム部に２つのハンド部が支持されているため、２つのハンド部にそれぞれ２つのアーム部を接続する場合と比較してストッカクレーンハンド部の面積を小さくすることができる。このため、ストッカの設置面積を小さくすることができる。これによりストッカの省スペース化を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１におけるストッカの概略平面図である。
【図２】本発明の実施の形態１におけるストッカの概略正面図である。
【図３】本発明の実施の形態１におけるストッカの概略側面図である。
【図４】本発明の実施の形態１におけるストッカクレーンハンド部のハンド部が閉じた状態を概略的に示す概略斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態１におけるストッカクレーンハンド部のハンド部が開いた状態を概略的に示す概略斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態１におけるストッカクレーンハンド部のバッファ部が保管物を持ち上げた状態を概略的に示す概略斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるストッカの動作を示す概略平面図である。
【図８】図７の次工程を示す概略平面図である。
【図９】図８の次工程を示す概略平面図である。
【図１０】図９の次工程を示す概略平面図である。
【図１１】図１０の次工程を示す概略平面図である。
【図１２】図１１の次工程を示す概略平面図である。
【図１３】図１２の次工程を示す概略平面図である。
【図１４】図１３の次工程を示す概略平面図である。
【図１５】本発明の実施の形態１における変形例のハンド部の概略斜視図である。
【図１６】本発明の実施の形態１における比較例１のストッカの概略平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態１における比較例１のストッカの動作を示す概略平面図である。
【図１８】図１７の次工程を示す概略平面図である。
【図１９】図１８の次工程を示す概略平面図である。
【図２０】図１９の次工程を示す概略平面図である。
【図２１】図２０の次工程を示す概略平面図である。
【図２２】図２１に示す状態からさらに保管物を移動させた動作を示す概略平面図である。
【図２３】本発明の実施の形態１における比較例２のストッカの概略平面図である。
【図２４】本発明の実施の形態１における比較例２のストッカの並んだ保管物を移動させる動作を示す概略平面図である。
【図２５】図２４に示す状態から保管物を移動させた動作を示す概略平面図である。
【図２６】本発明の実施の形態１における比較例２のストッカの並んでいない保管物を移動させる動作を示す概略平面図である。
【図２７】図２６の次工程を示す概略平面図である。
【図２８】図２７の次工程を示す概略平面図である。
【図２９】図２８の次工程を示す概略平面図である。
【図３０】図２９の次工程を示す概略平面図である。
【図３１】図３０の次工程を示す概略平面図である。
【図３２】図３１の次工程を示す概略平面図である。
【図３３】本発明の実施の形態１における比較例３のストッカクレーンハンド部およびストッカクレーンを示す概略平面図である。
【図３４】本発明の実施の形態１における比較例３のストッカクレーンハンド部の動作を示す概略平面図である。
【図３５】本発明の実施の形態１における比較例３のストッカクレーンハンド部の旋回動作を示す概略平面図である。
【図３６】本発明の実施の形態２におけるストッカの概略平面図である。
【図３７】本発明の実施の形態２におけるストッカの概略正面図である。
【図３８】本発明の実施の形態２におけるストッカの概略側面図である。
【図３９】本発明の実施の形態２におけるストッカクレーンハンド部のハンド部の動作を示す概略斜視図である。
【図４０】本発明の実施の形態２におけるストッカクレーンハンド部のバッファ部の動作を示す概略斜視図である。
【図４１】本発明の実施の形態２におけるストッカクレーンハンド部の動作を示す概略斜視図である。
【図４２】図４１の次工程を示す概略斜視図である。
【図４３】図４２の次工程を示す概略斜視図である。
【図４４】図４３の次工程を示す概略斜視図である。
【図４５】図４４の次工程を示す概略斜視図である。
【図４６】図４５の次工程を示す概略斜視図である。
【図４７】本発明の実施の形態２における比較例１のストッカの概略平面図である。
【図４８】本発明の実施の形態２におけるストッカの保管棚の個数を比較例１の保管棚の個数にあわせた場合の概略平面図である。
【図４９】本発明の実施の形態２における変形例１のストッカの概略平面図である。
【図５０】本発明の実施の形態２における変形例２のストッカの概略平面図である。
【図５１】本発明の実施の形態３におけるストッカの保管場所の収納順序を示す概略図である。
【図５２】本発明の実施の形態３における比較例１のストッカの保管場所の収納順序を示す概略図である。
【図５３】本発明の実施の形態３における上位計算機と制御コントローラとの間の通信および比較例２の上位計算機と制御コントローラとの間の通信を示す概略図である。
【図５４】本発明の実施の形態３におけるストッカの概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
最初に、本発明の実施の形態１におけるストッカの構成について説明する。
【００１３】
図１〜図３を参照して、本実施の形態のストッカＳＴは、たとえば複数の半導体ウエハを収容可能なカセットなどの保管物ＣＡを保管するための保管スペースＳＳに複数の保管物ＣＡを入出庫口ＧＡから入出庫するための装置である。ストッカＳＴは、たとえば半導体装置が製造されるクリーンルーム内に設置され得る。
【００１４】
ストッカＳＴは、ストッカクレーンハンド部ＳＨと、ストッカクレーンＳＣと、保管棚ＳＦと、入出庫口ＧＡと、制御コントローラＣＰとを主に有している。なお、図１〜図３では保管棚ＳＦに保管された保管物ＣＡも図示されている。
【００１５】
ストッカクレーンハンド部ＳＨは、保管スペースＳＳ内に配置されている。ストッカクレーンハンド部ＳＨは、入出庫口ＧＡと保管棚ＳＦとの間で保管物ＣＡを移動可能に構成されている。
【００１６】
ストッカクレーンＳＣは、ストッカクレーンハンド部ＳＨを移動させるためのクレーンである。ストッカクレーンＳＣは、ストッカクレーンハンド部ＳＨを左右方向（図中Ｘ方向）および上下方向（図中Ｙ方向）に移動可能に構成されている。ストッカクレーンＳＣは、走行機構の駆動によりレール上を移動することで図中Ｘ方向に移動可能に構成されている。またストッカクレーンＳＣは、昇降機構の駆動により図中Ｙ方向に移動可能に構成されている。
【００１７】
複数の保管棚ＳＦのそれぞれは、所定の間隔を隔てて複数の保管物ＣＡのそれぞれを保管可能に設けられている。複数の保管棚ＳＦのそれぞれは、保管物ＣＡの下面の中央部分を保持可能に構成されている。複数の保管棚ＳＦは、ストッカクレーンＳＣの移動方向に沿って図中Ｘ方向および図中Ｙ方向に並んで配置されている。複数の保管棚ＳＦは、図中Ｘ方向に伸びるストッカクレーンＳＣのレールを挟んで図中Ｘ方向に２列に並んで配置されている。
【００１８】
複数の保管棚ＳＦには、たとえば１列毎に１３個の保管棚ＳＦが設けられており、１列毎にたとえば上下方向に１０段の保管棚ＳＦが設けられている。各保管棚ＳＦにはそれぞれアドレスが付与されている。このアドレスにより保管棚ＳＦおける保管物ＣＡの保管位置が特定される。
【００１９】
入出庫口ＧＡは、ストッカＳＴの内部に設けられた保管スペースＳＳに保管物ＣＡを入庫および出庫可能に設けられている。入出庫口ＧＡは、たとえば２つの保管棚ＳＦに保管された２つの保管物ＣＡをストッカＳＴの外部に露出させる開口を有している。この開口を通してストッカＳＴの外部から保管スペースＳＳ内に保管物ＣＡが入庫される。またこの開口を通して保管スペースＳＳ内からストッカＳＴの外部に保管物ＣＡが出庫される。
【００２０】
制御コントローラＣＰは、上位計算機ＣＵからの搬送命令に基づきストッカクレーンハンド部ＳＨおよびストッカクレーンＳＣを制御するように構成されている。上位計算機ＣＵは、ストッカＳＴ、ストッカＳＴと半導体装置の処理装置（図示せず）などとの間で保管物ＣＡを搬送する搬送装置（図示せず）などを制御するように構成されている。
【００２１】
続いて、ストッカクレーンハンド部ＳＨの構成についてさらに詳しく説明する。
ストッカクレーンハンド部ＳＨは、ストッカクレーンＳＣに支持されたアーム部ＡＲと、アーム部ＡＲに支持された２つのハンド部ＨＡと、２つのハンド部ＨＡのいずれかに配置されたバッファ部ＢＵとを主に有している。
【００２２】
アーム部ＡＲは、ハンド部ＨＡを水平方向に移動可能に構成されている。アーム部ＡＲは、たとえば固定アームＡＲ１と、第１回転アームＡＲ２と、第２回転アームＡＲ３と、接続アームＡＲ４とを有している。固定アームＡＲ１は、ストッカクレーンＳＣに固定されている。第１回転アームＡＲ２は、固定アームＡＲ１の上面に水平面内で回転可能に取り付けられている。第２回転アームＡＲ３は、第１回転アームＡＲ２の一端に水平面内で回転可能に取り付けられている。接続アームＡＲ４は、第２回転アームＡＲ３の他端とハンド部ＨＡとを水平面内で回転可能に接続している。
【００２３】
アーム部ＡＲは、ストッカクレーンＳＣを挟むように配列された保管棚ＳＦのそれぞれに対して、ハンド部ＨＡを図中Ｚ方向に進退させるように構成されている。アーム部ＡＲは、保管物ＣＡと２つのハンド部ＨＡの少なくともいずれかとが係合可能な第１の位置ＦＰ（図７参照）と、保管物ＣＡと２つのハンド部ＨＡのそれぞれとが係合しない第２の位置ＳＰとの間で２つのハンド部ＨＡを移動可能に構成されている。
【００２４】
２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡを保持可能に構成されている。たとえば、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡを保持するための保持部材を開閉可能に構成されている。そして、保持部材が閉じた状態で保管物ＣＡの下面の両端間の距離より保持部材の間隔が狭くなり、保持部材が開いた状態で保管物ＣＡの下面の両端間の距離より保持部材の間隔が広くなる。
【００２５】
図４を参照して、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、閉じた状態では、図示しない保管棚ＳＦで支持されていない保管物ＣＡの下面の両端を支持可能に構成されている。つまり、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡの下面の両端を支持することで保管物ＣＡと係合することができる。２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡと係合することで保管物ＣＡを保持することができる。
【００２６】
他方、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡを保持しない非保持状態を選択可能に構成されている。図５を参照して、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保持部材を図中Ｘ方向に開くことで保管物ＣＡを保持しない非保持状態となる。２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、開いた状態では保管物ＣＡの下面を支持しないように構成されている。つまり、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡと係合しない。そのため、保管物ＣＡは、ハンド部ＨＡによって保持されない。
【００２７】
第１の位置ＦＰにおいて、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡと係合することで保管物ＣＡを保持する保持状態と、保管物ＣＡと係合しないことで保管物ＣＡを保持しない非保持状態とのいずれかに移行可能に構成されている。
【００２８】
図６を参照して、バッファ部ＢＵは、ハンド部ＨＡに保持された保管物ＣＡをハンド部ＨＡに着脱可能に構成されている。バッファ部ＢＵは、２つのハンド部ＨＡの一方に設けられている。ハンド部ＨＡに係合された保管物ＣＡの下面の中央部をバッファ部ＢＵの上面で保持した状態で上方（図中Ｙ方向）に持ち上げることでハンド部ＨＡから保管物ＣＡを離脱させることができる。また、保管物ＣＡを持ち上げた状態からバッファ部ＢＵを図中Ｙ方向に下降させることでハンド部ＨＡに保管物ＣＡを再び保持することができる。つまり、保管物ＣＡはバッファ部ＢＵに一時的に仮置きされる。
【００２９】
次に、本発明の実施の形態１におけるストッカの動作について説明する。
図７を参照して、上位計算機ＣＵから制御コントローラＣＰが搬出命令を受信した後、ストッカクレーンＳＣが搬出対象である保管物ＣＡ１の近傍に移動する。アーム部ＡＲが伸びるように移動することで２つのハンド部ＨＡが保管物ＣＡ１を保管する保管棚ＳＦの下方に移動する。この際、２つのハンド部ＨＡの一方が閉じた状態であり、他方が開いた状態である。そして、閉じた状態の一方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ１の下方に位置し、開いた状態の他方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ１の図中右隣の保管物ＣＡの下方に位置する。ストッカクレーンＳＣが保管物ＣＡ１と一方のハンド部ＨＡとが係合するようにストッカクレーンハンド部ＳＨを上昇させる。これにより第１の位置ＦＰにアーム部ＡＲが移動する。
【００３０】
一方のハンド部ＨＡは閉じた状態であるため一方のハンド部ＨＡによって保管物ＣＡ１の下面が支持される。そのため、一方のハンド部ＨＡは保管物ＣＡ１と係合することで保管物ＣＡ１を保持する保持状態となる。他方のハンド部ＨＡは開いた状態であるため他方のハンド部ＨＡによって保管物ＣＡ１の右隣の保管物ＣＡの下面は支持されない、そのため、他方のハンド部ＨＡは保管物ＣＡと係合しないことで保管物ＣＡを保持しない非保持状態となる。
【００３１】
続いて、図８を参照して、アーム部ＡＲが縮むように移動することで２つのハンド部ＨＡがストッカクレーンＳＣに固定された固定アームＡＲ１の上方に移動する。この際、一方のハンド部ＨＡのみが保管物ＣＡ１を保持する。
【００３２】
続いて、図９を参照して、ストッカクレーンハンド部ＳＨが１８０度旋回する。ストッカクレーンＳＣは、他方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ２に近接するように移動する。
【００３３】
続いて、図１０を参照して、バッファ部ＢＵが保管物ＣＡ１を持ち上げることで固定アームＡＲ１の上方に保管物ＣＡ１が仮置きされる。そして、アーム部ＡＲが伸びるように移動することで他方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ２を保管する保管棚ＳＦの下方に移動する。この際、一方のハンド部ＨＡが開いた状態であり、他方のハンド部ＨＡが閉じた状態である。そして、閉じた状態の他方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ２の下方に位置し、開いた状態の一方のハンド部ＨＡが保管物ＣＡ２の図中右隣の保管物ＣＡの下方に位置する。ストッカクレーンＳＣが保管物ＣＡ２と他方のハンド部ＨＡとが係合するようにストッカクレーンハンド部ＳＨを上昇させる。これにより第１の位置ＦＰにアーム部ＡＲが移動する。
【００３４】
他方のハンド部ＨＡは閉じた状態であるため他方のハンド部ＨＡによって保管物ＣＡ２の下面が支持される。そのため、他方のハンド部ＨＡは保管物ＣＡ２と係合することで保管物ＣＡ２を保持する保持状態となる。一方のハンド部ＨＡは開いた状態であるため一方のハンド部ＨＡによって保管物ＣＡ２の右隣の保管物ＣＡの下面は支持されない、そのため、一方のハンド部ＨＡは保管物ＣＡと係合しないことで保管物ＣＡを保持しない非保持状態となる。
【００３５】
続いて、図１１を参照して、アーム部ＡＲが縮むように移動することで２つのハンド部ＨＡが固定アームＡＲ１の上方に移動する。この際、他方のハンド部ＨＡに保管物ＣＡ２が保持されている。バッファ部ＢＵが上方に仮置きされていた保管物ＣＡ１を下降させることで再び一方のハンド部ＨＡに保管物ＣＡ１が保持される。
【００３６】
続いて、図１２を参照して、ストッカクレーンハンド部ＳＨが１８０度旋回する。ストッカクレーンＳＣは、２つのハンド部ＨＡが入出庫口ＧＡと対向するように移動する。
【００３７】
続いて、図１３を参照して、アーム部ＡＲが伸びるように移動することで保管物ＣＡ１およびＣＡ２が入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに移動する。
【００３８】
続いて、図１４を参照して、アーム部ＡＲが縮むように移動することで入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ１およびＣＡ２が保持される。そして、２つのハンド部ＨＡは固定アームＡＲ１の上方に位置する。これにより保管物ＣＡ１およびＣＡ２の移動が完了する。この後、入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦから入出庫口ＧＡを通して保管物ＣＡ１およびＣＡ２が出庫される。このようにして、保管物ＣＡがストッカＳＴの内部から外部に出庫される。他の保管物ＣＡも同様に出庫することができる。
【００３９】
また、上記では保管物ＣＡの下面を支持するハンド部ＨＡについて説明したが、保管物ＣＡが突出部を有しており、ハンド部ＨＡが保管物ＣＡの突出部を支持するように構成されていてもよい。図１５を参照して、本実施の形態の変形例のハンド部ＨＡは、図中Ｘ方向に開閉可能に構成されている。ハンド部ＨＡは、保管物ＣＡの突出部の下面をハンド部ＨＡが支持するように構成されている。このように構成されたハンド部ＨＡでも上記のハンド部ＨＡと同様に用いられる。
【００４０】
次に、本実施の形態のストッカの作用効果について、比較例と比較して説明する。
図１６を参照して、本実施の形態の比較例１のストッカＳＴは、ハンド部ＨＡが１つである点で本実施の形態のストッカＳＴと主に異なっている。図１７を参照して、アーム部ＡＲが伸びるように移動し、ハンド部ＨＡが保管物ＣＡ１と係合する。図１８を参照して、アーム部ＡＲが縮むように移動し、保管物ＣＡ１が保管棚ＳＦから固定アームＡＲ１の上方に移動する。図１９を参照して、ストッカクレーンＳＣは、ハンド部ＨＡが入出庫口ＧＡと対向するように移動する。
【００４１】
図２０を参照して、アーム部ＡＲが伸びるように移動することで保管物ＣＡ１が入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保持される。続いて、図２１を参照して、アーム部ＡＲが縮むように移動することで入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ１が保持される。そして、ハンド部ＨＡは固定アームＡＲ１の上方に位置する。
【００４２】
図２２を参照して、保管物ＣＡ１と同様の動作によって、図中矢印で示すように入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ２が移動する。保管物ＣＡ２は、保管物ＣＡ１が保管された保管棚ＳＦの図中右隣の保管棚ＳＦに移動する。比較例１のストッカＳＴでは、保管物ＣＡ１およびＣＡ２をそれぞれ別個に搬送するため、入出庫口ＧＡに２つの保管物ＣＡ１およびＣＡ２を搬送する場合、それぞれ別個に２回の搬送動作が必要となる。そのため、１回の搬送動作で搬送できる場合と比較して搬送が非効率となる。
【００４３】
たとえば、１回の搬送時間が１５秒の場合、保管物ＣＡ１およびＣＡ２を搬送するために３０秒（１５秒×２回）の搬送時間が必要となる。また保管物ＣＡを５個搬送する場合、７５秒（１５秒×５回）の搬送時間が必要となる。そのため、１個の保管物ＣＡの平均搬送時間は１５秒となる。
【００４４】
図２３を参照して、本実施の形態の比較例２のストッカＳＴは、バッファ部ＢＵを有していない点で本実施の形態のストッカＳＴと主に異なっている。まず、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されている場合について説明する。図２４を参照して、アーム部ＡＲが伸びるように移動し、隣り合って保管されている保管物ＣＡ１およびＣＡ２と２つのハンド部ＨＡが係合する。図２５を参照して、比較例１のストッカＳＴと同様の搬送動作によって、図中矢印で示すように入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ１およびＣＡ２が移動する。この場合には、保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されているため保管物ＣＡ１およびＣＡ２を１回の搬送動作で移動させ得る。
【００４５】
しかし、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されている場合は少ない。続いて、図２６を参照して、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されていない場合について説明する。
【００４６】
図２７を参照して、アーム部ＡＲが伸びるように移動し、隣り合って保管されている保管物ＣＡ１およびＣＡ３と２つのハンド部ＨＡが係合する。保管物ＣＡ３は搬送対象ではないため、保管物ＣＡ３は後述するように後で元の保管棚ＳＦに戻される。図２８を参照して、比較例１のストッカＳＴと同様の搬送動作によって、図中矢印で示すように入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ１およびＣＡ３が移動する。図２９を参照して、保管物ＣＡ１は入出庫口ＧＡから出庫される。
【００４７】
図３０を参照して、保管物ＣＡ３は搬送対象ではないため、保管物ＣＡ３は入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに移動した際と同様の搬送動作によって図中矢印で示すように元の保管棚ＳＦに移動する。図３１を参照して、保管物ＣＡ３が元の保管棚ＳＦに収納された後、ハンド部ＨＡが１８０度旋回する。図３２を参照して、保管物ＣＡ１と同様の搬送動作によって、図中矢印で示すように入出庫口ＧＡに近接する保管棚ＳＦに保管物ＣＡ２が移動する。
【００４８】
このように、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されていない場合には、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２を１回の搬送動作で移動させることはできない。さらに元の保管棚ＳＦへの収容動作も必要となる。上述のように、搬送対象の保管物ＣＡ１およびＣＡ２が隣り合って保管されている場合は少ないため、この方法ではストッカの搬送の高効率化を実現することは困難である。
【００４９】
たとえば、１回の搬送時間が１５秒の場合、保管物ＣＡ１およびＣＡ２を搬送するために、収容動作を含めて６０秒（１５秒×４回）の搬送時間が必要となる。また、保管物ＣＡを５個搬送する場であって、まず１個の保管物ＣＡが搬送され（１５秒）、続いて隣り合った２個の保管物ＣＡが同時に搬送され（１５秒）、さらに隣り合っていない２個の保管物ＣＡが別々に搬送された（１５秒×４回）場合、９０秒の搬送時間が必要となる。そのため、１個の保管物ＣＡの平均搬送時間は１８秒となる。
【００５０】
図３３を参照して、本実施の形態の比較例３のストッカＳＴは、アーム部ＡＲが２つである点で本実施の形態のストッカＳＴと主に異なっている。アーム部ＡＲは第１アーム部ＡＲＬおよび第２アーム部ＡＲＲを有している。第１アーム部ＡＲＬおよび第２アーム部ＡＲＲのそれぞれにハンド部ＨＡが接続されている。図３４を参照して、第１アーム部ＡＲＬおよび第２アーム部ＡＲＲは互いに独立して動作可能に構成されている。したがって、第１アーム部ＡＲＬが保管物ＣＡ１と結合し、第２アーム部ＡＲＲが保管物ＣＡ２と結合することで、保管物ＣＡ１およびＣＡ２を１回の搬送動作で移動させ得る。
【００５１】
しかし、図３５を参照して、第１アーム部ＡＲＬおよび第２アーム部ＡＲＲは互いに独立して動作可能であるため、第１アーム部ＡＲＬおよび第２アーム部ＡＲＲを動作させるための機構がそれぞれ必要となる。このため、ストッカクレーンハンド部ＳＨの平面上の面積が大きくなる。そのため、ストッカクレーンハンド部ＳＨの回転半径が大きくなる。その結果、ストッカクレーンハンド部ＳＨと保管棚ＳＦとの距離（寸法）Ａが大きくなるため、ストッカＳＴの設置面積が大きくなる。このため、この方法ではストッカの省スペース化を実現することは困難である。
【００５２】
上記の比較例１〜３に対して、本実施の形態のストッカは、第１の位置ＦＰにおいて、２つのハンド部ＨＡのそれぞれは、保管物ＣＡと係合することで保管物ＣＡを保持する保持状態と、保管物ＣＡと係合しないことで保管物ＣＡを保持しない非保持状態とのいずれかに移行可能に構成されている。そして、バッファ部ＢＵは、ハンド部ＨＡに保持された保管物ＣＡをハンド部ＨＡに着脱可能に構成されている。
【００５３】
２つのハンド部ＨＡのうち一方のハンド部ＨＡが保持状態とされ、他方のハンド部ＨＡが非保持状態とされた状態から、保持された保管物ＣＡをバッファ部ＢＵによって一方のハンド部ＨＡから離脱させて、他方のハンド部ＨＡが保持状態とされることで、１回の搬送動作で２つの保管物ＣＡを移動することができる。これにより、ストッカＳＴの搬送の高効率化を実現することができる。
【００５４】
たとえば、本実施の形態のストッカＳＴでは、保管物ＣＡ１およびＣＡ２を２０秒の搬送時間で搬送することができる。また、保管物ＣＡを５個搬送する場であって、まず１個の保管物ＣＡが搬送され（１５秒）、続いて隣り合った２個の保管物ＣＡが同時に搬送され（１５秒）、さらに隣り合っていない２個の保管物ＣＡが別々に搬送された（２０秒）場合、５０秒の搬送時間が必要となる。そのため、１個の保管物ＣＡの平均搬送時間は１０秒となる。
【００５５】
また、１つのアーム部ＡＲに２つのハンド部ＨＡが支持されているため、２つのハンド部ＨＡにそれぞれ２つのアーム部ＡＲを接続する場合と比較してストッカクレーンハンド部ＳＨの面積を小さくすることができる。このため、ストッカＳＴの設置面積を小さくすることができる。これによりストッカＳＴの省スペース化を実現することができる。
【００５６】
（実施の形態２）
最初に、本発明の実施の形態２におけるストッカの構成について説明する。
【００５７】
図３６〜図３８を参照して、本実施の形態のストッカＳＴは、ストッカクレーンハンド部ＳＨと、ストッカクレーンＳＣと、保管棚ＳＦと、入出庫口ＧＡと、制御コントローラＣＰとを主に有している。なお、図３６〜図３８では保管棚ＳＦに保管された保管物ＣＡも図示されている。
【００５８】
ストッカクレーンハンド部ＳＨは、入出庫口ＧＡと保管棚ＳＦとの間で保管物ＣＡを移動可能に構成されている。ストッカクレーンＳＣは、ストッカクレーンハンド部ＳＨを左右方向（図中Ｘ方向）および上下方向（図中Ｙ方向）に移動可能に構成されている。
【００５９】
複数の保管棚ＳＦのそれぞれは、保管物ＣＡの下面の両端部分を保持可能に構成されている。複数の保管棚ＳＦは、図中Ｘ方向に伸びるストッカクレーンＳＣのレールを挟んで図中Ｘ方向に片側２列および合計４列に並んで配置されている。複数の保管棚ＳＦは、たとえば１列毎に１２個の保管棚ＳＦが設けられており、１列毎にたとえば上下方向に１５段の保管棚ＳＦが設けられている。
【００６０】
入出庫口ＧＡは、ストッカＳＴの内部に設けられた保管スペースＳＳに保管物ＣＡを入庫および出庫可能に設けられている。制御コントローラＣＰは、上位計算機ＣＵからの搬送命令に基づきストッカクレーンハンド部ＳＨおよびストッカクレーンＳＣを制御するように構成されている。
【００６１】
続いて、ストッカクレーンハンド部ＳＨの構成についてさらに詳しく説明する。
ストッカクレーンハンド部ＳＨは、ストッカクレーンＳＣに支持されたアーム部ＡＲと、アーム部ＡＲに支持されたハンド部ＨＡと、ハンド部ＨＡに配置されたバッファ部ＢＵとを主に有している。なお、図３６〜図３８では、見やすくするためにバッファ部ＢＵが簡略化して示されている。
【００６２】
アーム部ＡＲは、水平面内で回転可能に設けられている。アーム部ＡＲは、ハンド部ＨＡを水平方向に移動可能に構成されている。アーム部ＡＲは、ストッカクレーンＳＣを挟むように配列された保管棚ＳＦのそれぞれに対して、ハンド部ＨＡを図中Ｚ方向に進退させるように構成されている。
【００６３】
図３９を参照して、ハンド部ＨＡは水平方向（図中Ｚ方向）に移動可能に構成されている。なお、図３９では見やすくするためバッファ部ＢＵは図示されていない。ハンド部ＨＡは、保管物ＣＡの下面の中央部を保持可能に構成されている。つまり、保管棚ＳＦが保管物ＣＡの下面の両端部を支持しているため、その両端部の間の中央部分とハンド部ＨＡとが係合することで、ハンド部ＨＡは保管物ＣＡを保持することができる。
【００６４】
ハンド部ＨＡは、片側２列に配列された保管棚ＳＦの列と交差する方向（行方向）の２つの保管棚ＳＦに跨る長さを有している。このため、ハンド部ＨＡは、行方向の２個の保管物ＣＡを１度に移動させることができる。
【００６５】
図４０を参照して、バッファ部ＢＵは、ハンド部ＨＡに保持された保管物ＣＡをハンド部ＨＡに着脱可能に構成されている。バッファ部ＢＵは、ハンド部ＨＡの先端の近傍に設けられている。バッファ部ＢＵは、たとえばハンド部ＨＡの先端を囲むように形成されていてもよい。なお、バッファ部ＢＵは、ハンド部ＨＡの両側に配置された２つの部材で形成されていてもよい。
【００６６】
ハンド部ＨＡに係合された保管物ＣＡの下面の両端部をバッファ部ＢＵの上面で保持した状態で上方（図中Ｙ方向）に持ち上げることでハンド部ＨＡから保管物ＣＡを離脱させることができる。また、保管物ＣＡを持ち上げた状態からバッファ部ＢＵを図中Ｙ方向に下降させることでハンド部ＨＡに保管物ＣＡを再び保持することができる。つまり、保管物ＣＡはバッファ部ＢＵに一時的に仮置きされる。
【００６７】
次に、本発明の実施の形態２におけるストッカの動作について説明する。
図４１を参照して、上位計算機ＣＵから制御コントローラＣＰが搬出命令を受信した後、ストッカクレーンＳＣが搬出対象である保管物ＣＡ１の近傍に移動する。続いて、図４２を参照して、アーム部ＡＲは、水平面内に略９０度回転し、ハンド部ＨＡを水平方向に移動させる。これによりハンド部ＨＡが保管物ＣＡ１および手前側の保管物ＣＡの両方の下方に移動する。そして、ストッカクレーンＳＣが保管物ＣＡ１および手前側の保管物ＣＡと係合するようにストッカクレーンハンド部ＳＨを上昇させる。これにより保管物ＣＡ１および手前側の保管物ＣＡがハンド部ＨＡに保持される。この状態でアーム部ＡＲは、ハンド部ＨＡを元の位置に戻るように水平方向に移動させ、元の位置に戻るように水平面内に略９０度回転する。これにより、ハンド部ＨＡに保管物ＣＡ１および手前側の保管物ＣＡが同時に取り込まれる。
【００６８】
続いて、図４３を参照して、バッファ部ＢＵが保管物ＣＡ１を持ち上げることでアーム部ＡＲの上方に保管物ＣＡ１が仮置きされる。続いて、図４４を参照して、バッファ部ＢＵに保管物ＣＡが仮置きされた状態で、アーム部ＡＲは、再び水平面内に略９０度回転し、ハンド部ＨＡを水平方向に移動させ、手前側の保管物ＣＡを移動前の位置に戻す。続いて、図４５を参照して、手前側の保管物ＣＡが移動前の位置に戻された後、アーム部ＡＲはハンド部ＨＡをバッファ部ＢＵの下方の元の位置に戻す。続いて、図４６を参照して、バッファ部ＢＵが上方に仮置きされていた保管物ＣＡ１を下降させてハンド部ＨＡに係合させる。これにより再びハンド部ＨＡに保管物ＣＡ１が保持される。この後、保管物ＣＡ１が入出庫口ＧＡに搬送される。
【００６９】
なお、本実施の形態のこれ以外の構成等は、上述した実施の形態１と同様であるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７０】
次に、本実施の形態のストッカの作用効果について、比較例と比較して説明する。
図４７を参照して、本実施の形態の比較例１のストッカＳＴでは、２４個の保管棚ＳＦがストッカクレーンＳＣを挟んで２列に配置されている。
【００７１】
これに対して、本実施の形態のストッカＳＴでは、上述のように片側２列の保管棚ＳＦにおいて搬送対称である保管物ＣＡ１を搬送することができる。図４８には、本実施の形態のストッカＳＴの保管棚ＳＦの個数を比較例１の保管棚ＳＦの個数にあわせた場合の構成が示されている。図４８を参照して、片側２列の保管棚ＳＦを装備することで、片側１列の保管棚ＳＦを装備した場合（図４７参照）と比較して、同じ保管棚ＳＦの個数でストッカＳＴの設置面積を小さくすることができる。これにより、高収納のストッカＳＴを提供することができる。
【００７２】
また、図４９を参照して、本実施の形態のストッカＳＴでは、保管棚ＳＦが３列で配置されていてもよい。本実施の形態の変形例１のストッカＳＴでは、ストッカクレーンＳＣを挟んだ一方側には保管棚ＳＦが２列で配置されており、他方側には保管棚ＳＦが１列で配置されている。
【００７３】
また、図５０を参照して、本実施の形態のストッカＳＴでは、ラインレイアウトに応じた形状を有していてもよい。本実施の形態の変形例２のストッカＳＴでは、製造装置ＭＳがストッカクレーンＳＣの近傍に配置されている。このような場合であっても、ラインレイアウトに応じて保管棚ＳＦを配置することができる。
【００７４】
（実施の形態３）
本実施の形態は、特に説明しない限り、上述した実施の形態１および２の構成と同様であるため同一の要素については同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【００７５】
図５１を参照して、本発明の実施の形態３のストッカＳＴは、保管物ＣＡの収納時に収納時間と次に出庫する動作時間とを考慮して収納場所を決定するよう構成されている。なお、図中の番号は収納順序を示している。ストッカＳＴは、入出庫口ＧＡから複数の保管物ＣＡの保管スペースＳＳ内のそれぞれの保管場所ＳＥまでの搬送経路に沿った距離が短い順に、複数の保管物ＣＡを保管可能に構成されている。
【００７６】
図５２を参照して、本実施の形態の比較例１のストッカＳＴは、下の保管場所ＳＥから順に保管物ＣＡを保管するよう構成されている。これに対して、本実施の形態のストッカＳＴでは、入出庫口ＧＡから複数の保管物ＣＡのそれぞれの保管場所ＳＥまでの搬送経路に沿った距離が短い順に、複数の保管物ＣＡを保管可能であるため、ストッカクレーンＳＣの動作時間を短縮することができる。このため、保管物ＣＡの搬送時間を短縮することができる。
【００７７】
また、図５３を参照して、本実施の形態のストッカＳＴは、上位計算機（制御部）ＣＵをさらに備えている。本実施の形態のストッカＳＴでは、上位計算機（制御部）ＣＵからストッカクレーンハンド部およびストッカクレーンＳＣを動作させるように制御コントローラＣＰに複数の搬送指示が出される。
【００７８】
上位計算機（制御部）ＣＵは、ストッカクレーンハンド部ＳＨおよびストッカクレーンＳＣを搬送動作させるように第１の搬送指示を出した後、第１の搬送指示が完了する前に、ストッカクレーンハンド部ＳＨおよびストッカクレーンＳＣを搬送動作させるように第２の搬送指示を出す。
【００７９】
比較例２のストッカＳＴでは、上位計算機（制御部）ＣＵから制御コントローラＣＰへ第１の搬送指示が出され、制御コントローラＣＰから上位計算機（制御部）ＣＵへ完了報告が送信された後、上位計算機（制御部）ＣＵから制御コントローラＣＰへ第２の搬送指示が出される。つまり、次の搬送指示があっても動作中の搬送指示が完了しないと次の搬送指示は送信されない。
【００８０】
他方、本実施の形態のストッカＳＴでは、上位計算機（ＣＵ）から制御コントローラＣＰへ第１の搬送指示が出され、制御コントローラＣＰから上位計算機（ＣＵ）へ完了報告が送信される前に、上位計算機（制御部）ＣＵから制御コントローラＣＰへ第２の搬送指示が出される。つまり、次の搬送指示があれば動作中でも次の搬送指示が送信される。このため、上位計算機（制御部）ＣＵと制御コントローラＣＰとの通信時間を短縮することができる。
【００８１】
また、図５４を参照して、本実施の形態のストッカＳＴは、複数の自動移動機ＴＭおよび人手によって入出庫が行われるよう構成されている。本実施の形態のストッカＳＴは、保管スペースＳＳの外部から内部に保管物ＣＡを自動的に移動するための自動移動機ＴＭをさらに備えている。
【００８２】
入出庫口ＧＡは、保管スペースＳＳに保管物ＣＡを自動移動機ＴＭにより入出庫するための自動入出庫口ＧＳと、保管スペースＳＳに保管物ＣＡを人手により入出庫するための人手入出庫口ＧＨとを有している。自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとはそれぞれ別個に設けられている。
【００８３】
自動入出庫口ＧＳは、自動入庫口ＧＳ１および自動出庫口ＧＳ２を有している。保管物ＣＡが自動入庫口ＧＳ１から入庫され、自動出庫口ＧＳ２から出庫される。人手入出庫口ＧＨは、人手入庫口ＧＨ１および人手出庫口ＧＨ２を有している。保管物ＣＡが人手入庫口ＧＨ１から入庫され、人手出庫口ＧＨ２から出庫される。
【００８４】
複数の自動移動機ＴＭおよび人手による入出庫作業で使用する入出庫口が重複すると待ち時間が発生する。本実施の形態のストッカＳＴでは、自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとはそれぞれ別個に設けられているため、自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとが重複することによる待ち時間が発生しない。そのため、保管物ＣＡの搬送時間を短縮することができる。
【００８５】
また、本実施の形態のストッカＳＴは、自動移動機ＴＭによる保管スペースＳＳへの保管物ＣＡの入出庫と、人手による保管スペースＳＳへの保管物ＣＡの入手庫とを自動的に切換可能なように自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとを動作可能に構成されていていてもよい。
【００８６】
本実施の形態のストッカＳＴでは、自動移動機ＴＭによる入出庫と、人手による入手庫とを自動的に切換可能なように自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとを動作可能に構成されているため、自動入出庫口ＧＳと人手入出庫口ＧＨとの搬送指示を実行する優先順位を決定することができる。このため、たとえば工程間の自動移動機ＴＭを優先することでライン全体の物流を効率化することができる。
【００８７】
上記の各実施の形態は適宜組み合わせられ得る。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることを意図される。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、複数の保管物を保管するための保管スペースに複数の保管物を入出庫口から入出庫するためのストッカに特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００８９】
ＡＲ  アーム部、ＡＲ１  固定アーム、ＡＲ２  第１回転アーム、ＡＲ３  第２回転アーム、ＡＲ４  接続アーム、ＡＲＬ  第１アーム部、ＡＲＲ  第２アーム部、ＢＵ  バッファ部、ＣＡ  保管物、ＣＰ  制御コントローラ、ＣＵ  上位計算機、ＦＰ  第１の位置、ＧＡ  入出庫口、ＧＨ  人手入出庫口、ＧＨ１  人手入庫口、ＧＨ２  人手出庫口、ＧＳ  自動入出庫口、ＧＳ１  自動入庫口、ＧＳ２  自動出庫口、ＨＡ  ハンド部、ＭＳ  製造装置、ＳＣ  ストッカクレーン、ＳＥ  保管場所、ＳＦ  保管棚、ＳＨ  ストッカクレーンハンド部、ＳＰ  第２の位置、ＳＳ  保管スペース、ＳＴ  ストッカ、ＴＭ  自動移動機。
【図１】
2013006632.tif 000003
【図２】
2013006632.tif 000004
【図３】
2013006632.tif 000005
【図４】
2013006632.tif 000006
【図５】
2013006632.tif 000007
【図６】
2013006632.tif 000008
【図７】
2013006632.tif 000009
【図８】
2013006632.tif 000010
【図９】
2013006632.tif 000011
【図１０】
2013006632.tif 000012
【図１１】
2013006632.tif 000013
【図１２】
2013006632.tif 000014
【図１３】
2013006632.tif 000015
【図１４】
2013006632.tif 000016
【図１５】
2013006632.tif 000017
【図１６】
2013006632.tif 000018
【図１７】
2013006632.tif 000019
【図１８】
2013006632.tif 000020
【図１９】
2013006632.tif 000021
【図２０】
2013006632.tif 000022
【図２１】
2013006632.tif 000023
【図２２】
2013006632.tif 000024
【図２３】
2013006632.tif 000025
【図２４】
2013006632.tif 000026
【図２５】
2013006632.tif 000027
【図２６】
2013006632.tif 000028
【図２７】
2013006632.tif 000029
【図２８】
2013006632.tif 000030
【図２９】
2013006632.tif 000031
【図３０】
2013006632.tif 000032
【図３１】
2013006632.tif 000033
【図３２】
2013006632.tif 000034
【図３３】
2013006632.tif 000035
【図３４】
2013006632.tif 000036
【図３５】
2013006632.tif 000037
【図３６】
2013006632.tif 000038
【図３７】
2013006632.tif 000039
【図３８】
2013006632.tif 000040
【図３９】
2013006632.tif 000041
【図４０】
2013006632.tif 000042
【図４１】
2013006632.tif 000043
【図４２】
2013006632.tif 000044
【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
2013006632.tif 000049
【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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