(57)【要約】【課題】検査装置で検出した欠陥の位置座標の傾向や複数欠陥の複合での統計判定を自動で行い、統計判定した結果に基づいてスリット断裁工程での不良部分の除去を想定しロットの終了まで生産を続行する（ロット終了時に停止）か、即時停止するかといった装置停止のタイミングを自動判定する手段を備えた自動欠陥検査システムを提供する。【解決手段】ロール・トゥ・ロール方式でプロセス加工されるロール状フィルムの欠陥を検査する自動欠陥検査システムであって、フィルムの搬送手段と、欠陥を抽出する手段と、統計判定する手段と、スリット判定手段と、ロス判定手段と、プロセス加工装置を制御する手段と、を備えた自動欠陥検査システム。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール・トゥ・ロール方式でプロセス加工されるロール状フィルムの欠陥を検査する自動欠陥検査システムであって、
フィルムの搬送手段と、欠陥を抽出する手段と、統計判定する手段と、スリット判定手段と、ロス判定手段と、プロセス加工装置を制御する手段と、を備え、
前記欠陥を抽出する手段は、予め設定された面積よりも大きな面積を有する異常部分を欠陥として抽出する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を越えた場合に欠陥として抽出する機構と、を有し、
前記統計判定手段は、前記抽出された欠陥の位置座標の傾向や複数欠陥を複合して統計判定するものであり、
前記スリット判定手段は、前記統計判定手段によって異常と判断されたフィルムをスリットした場合に、良品と判定されるスリット部分（良品スリットと称す）の有無を判定する手段で、
前記ロス判定手段は、前記スリット判定手段によって良品スリット有りと判定された場合に、プロセス加工装置の停止を利益金額とロス金額に基づいて判断する手段であって、
前記プロセス加工装置を制御する手段は、
前記スリット判定手段によって良品スリット無しと判定された場合にプロセス加工機を即時停止させる第一の停止指示を発令し、
一方、良品スリット有りと判定された場合に前記ロス判定手段によって、継続運転することによって前記ロス金額が利益金額より多いと判断された場合にはプロセス加工装置に第一の停止指示（レベル１の停止指示と称す）を発令し、前記利益金額がロス金額より多いと判断された場合にはロット終了まで継続運転した後に停止させる第二の停止指示（レベル２の停止指示と称す）を発令する手段であることを特徴とする自動欠陥検査システム。
【請求項２】
前記フィルムを特定の形状に仮想的に区画する仕方が、フィルムを幅方向に同じ幅長の帯状に区画する仕方（この区画をゾーン区画と称す）と、フィルムの長さ方向に同じ長さフレームに区画する仕方（この区画をフレーム区画と称す）と、前記フレーム区画を複数合わせて区画する仕方（この区画をセット区画と称す）であることを特徴とする請求項１に記載の自動欠陥検査システム。
【請求項３】
前記統計判定手段は、フィルムの幅長を変た区画で異常を判定するゾーン判定と、フィルムの長さ方向の長さを変えた区画で異常を判定するフレーム判定と、フレーム数を変えた区画で異常を判定するセット判定と、検査対象のロール内の前記セット数の不良数によって異常と判定するロール判定と、幅方向の同一座標上の欠陥の発生状況によって異常と判定する線上欠陥判定と、前記線上欠陥が流れ方向に周期的な発生状況によって異常と判定する周期欠陥判定と、からなり、前記各判定はそれぞれに対して異常と判定する閾値が設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の自動欠陥検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール状に巻いたフィルム基材（以下、ワーク）を巻き出して処理し、その後再びロール状に巻き取るロール・トゥ・ロール方式でプロセス加工処理されるフィルムの欠陥を検査するシステムで、更に詳しくは検査結果に基づいてプロセス加工処理の継続運転を行うか、停止するかを判断する自動欠陥検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
反射防止フィルムや太陽電池バックシート、リチウムイオン外装材等の電子デバイスに使用されるフィルム状の製品は、効率良く生産する為の手段として、ロール状に巻いたフィルム基材に塗布、蒸着、貼り合わせ（ラミネート）等のプロセス加工を施し再びロールに巻き取る、ロール・トゥ・ロール方式が用いられることが多い。
【０００３】
ロール・トゥ・ロール方式では、ワーク上に白抜けや異物等と呼ばれる欠陥が発生することが避けられない。図１は異物欠陥１を示す図である。従ってこれらの欠陥を検知して欠陥のある製品の外部流出を防止するため、加工の終了時にプロセス加工装置に併設された自動欠陥検査装置を使用して欠陥の検出をする工程がある。
【０００４】
一般的に用いられる自動欠陥検査装置の一例を図２に示す。一般的に自動欠陥検査装置（以下、検査装置）は、ワーク２をローラ３ａ〜３ｄからなる搬送ユニット（回転軸による搬送）で搬送し、ワーク幅方向（流れ方向と直交する方向）範囲を全走査して撮像できる数からなるモノクロラインＣＣＤセンサ４とＬＥＤ、蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ等を利用した照明部５と、撮像した画像を処理する画像処理部６と、画像処理部６から取得した欠陥データ（座標・画素数・輝度値）を分類整理しながらデータベース化して保存する機構７と、で構成される。符号８はワークの搬送距離を計測するエンコーダであって、一定の搬送距離に応じて撮像タイミング信号を出力するものである。
【０００５】
図３は欠陥サイズの判定方法を説明するための図で、撮像した実欠陥９（図３（ａ））を予め設定された閾値で二値化して抽出した欠陥部（図３（ｂ））のＣＣＤの画素数（ピクセル数：単位Ｐｉｘ）を数えたものであり、この画素数が設定されている数値を超えた場合、それを欠陥不良と扱う（以下この設定値を判定サイズと言い、例えば画素数に応じてＳ＜Ｍ＜Ｌ（小、中、大）等の名称で分類・識別される）。ワーク上で検出された欠陥９が許容できる（ＯＫ）範囲のものか、無視できない（ＮＧ）ものかという良否判定の基準としては、欠陥数が製品毎に予め設定された規格値を超過した場合には、その製品は「不良」となるため、装置オペレータはプロセス加工装置の停止操作を行い、更なる不良発生を抑止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−５５７２１号公報
【特許文献２】特開２００５−６２１１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記製品の不良はオペレータが生産中に検査装置で検出した欠陥発生状態を、一定時間毎に目視確認して、搬送方向（流れ方向）一定区間毎の欠陥数が管理値を超過していないか判定している。その結果、欠陥数が製品毎に設定された管理値を超過した場合は、「手動」でプロセス加工装置の停止操作を行っている。しかしながらこの作業は、人的作業による確認・判断・停止操作に時間がかかり、この時間に不良部位が多く発生し、品質異常ロスが増大する原因となっている。
【０００８】
また、単独では小さい面積を占める欠陥で通常では欠陥とみなされない欠陥であっても、当該欠陥が複数回発生した場合に欠陥発生部分を欠陥と判断して、該欠陥部分を製品から除去しなければならない。
【０００９】
更に、プロセス加工後のスリット断裁工程で幅方向にスリットして出荷する製品に関しては、ワークの一部に欠陥が多発していても、欠陥が多発している不良部分をスリット断裁工程の中で除去して繋ぎ合わせ、良品として出荷可能となる場合がある。そのような場合には、単純に流れ方向の欠陥数の判定のみで品質異常の判定はできないため、オペレータによる目視確認では装置停止判定を行うことが難しい。
【００１０】
そこで本発明では、検査装置で検出した欠陥の位置座標の傾向や複数欠陥の複合での統計判定を自動で行い、統計判定した結果に基づいてスリット断裁工程での不良部分の除去を想定し、即時停止するか、ロットの終了まで生産を続行する（ロット終了時に停止）するかといった装置停止のタイミングを自動判定する手段を備えた自動欠陥検査システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に係る発明は、ロール・トゥ・ロール方式でプロセス加工されるロール状フィルムの欠陥を検査する自動欠陥検査システムであって、
フィルムの搬送手段と、欠陥を抽出する手段と、統計判定する手段と、スリット判定手段と、ロス判定手段と、プロセス加工装置を制御する手段と、を備え、
前記欠陥を抽出する手段は、予め設定された面積よりも大きな面積を有する異常部分を欠陥として抽出する機構と、フィルムを特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を越えた場合に欠陥として抽出する機構と、を有し、
前記統計判定手段は、前記抽出された欠陥の位置座標の傾向や複数欠陥を複合して統計判定するものであり、
前記スリット判定手段は、前記統計判定手段によって異常と判断されたフィルムをスリットした場合に、良品と判定されるスリット部分（良品スリットと称す）の有無を判定する手段で、
前記ロス判定手段は、前記スリット判定手段によって良品スリット有りと判定された場合に、プロセス加工装置の停止を利益金額とロス金額に基づいて判断する手段であって、
前記プロセス加工装置を制御する手段は、
前記スリット判定手段によって良品スリット無しと判定された場合にプロセス加工機を即時停止させる第一の停止指示を発令し、
一方、良品スリット有りと判定された場合に前記ロス判定手段によって、継続運転することによって前記ロス金額が利益金額より多いと判断された場合にはプロセス加工装置に第一の停止指示（レベル１の停止指示と称す）を発令し、前記利益金額がロス金額より多いと判断された場合にはロット終了まで継続運転した後に停止させる第二の停止指示（レベル２の停止指示と称す）を発令する手段であることを特徴とする自動欠陥検査システムである。
【００１２】
本発明の請求項２に係る発明は、前記フィルムを特定の形状に仮想的に区画する仕方が、フィルムを幅方向に同じ幅長の帯状に区画する仕方（この区画をゾーン区画と称す）、フィルムの長さ方向に同じ長さフレームに区画する仕方（この区画をフレーム区画と称す）、前記フレーム区画を複数合わせて区画する仕方（この区画をセット区画と称す）であることを特徴とする請求項１に記載の自動欠陥検査システムである。
【００１３】
本発明の請求項３に係る発明は、前記統計判定手段は、フィルムの幅長を変た区画で異常を判定するゾーン判定と、フィルムの長さ方向の長さを変えた区画で異常を判定するフレーム判定と、フレーム数を変えた区画で異常を判定するセット判定と、検査対象のロール内の前記セット数の不良数によって異常と判定するロール判定と、幅方向の同一座標上の欠陥の発生状況によって異常と判定する線上欠陥判定と、前記線上欠陥が流れ方向に周期的な発生状況によって異常と判定する周期欠陥判定と、からなり、前記各判定はそれぞれに対して異常と判定する閾値が設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の自動欠陥検査システムである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による自動欠陥検査システムによれば、単独では小さい面積を占める欠陥で通常では欠陥とみなされない欠陥であっても、当該欠陥が複数回発生した場合に欠陥発生部分を欠陥と判断し、更に欠陥発生部分がある場合であっても、欠陥と判断されたフィルムをスリットした場合に、良品と判定されるスリット部分（良品スリットと称す）の有無を判定し、しかもロス金額の方が利益金額よりも大きい場合にプロセス加工装置に対して運転停止指示し、逆にロス金額の方が利益金額よりも小さい場合にはプロセス加工装置に対して継続運転しロット終了後に運転停止指示しを発令することが出来るため、品質異常ロスを最小限に抑えるとともに生産効率を高めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】異物欠陥を示す図。
【図２】一般的に用いられる自動欠陥検査装置の一例を示す図。
【図３】欠陥サイズの判定方法を説明するための図。（ａ）は撮像した実欠陥を示す。（ｂ）は設定された閾値で二値化して抽出した欠陥部を示す。
【図４】本発明の自動欠陥検査システムの概略構成の一例を示す図。
【図５】本発明の自動欠陥検査システムにおける全体の処理フローを示す図。
【図６】本発明に係る統計判定処理の概略を示す図。
【図７】本発明に係るゾーン判定フローを示す図。
【図８】本発明に係るセット判定フローを示す図。
【図９】本発明に係る線上欠陥判定フローを示す図。
【図１０】本発明に係る周期欠陥判定フローを示す図。
【図１１】本発明に係るスリット判定を説明するための図。（ａ）はスリット判定のフローを示す。（ｂ）は判定例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る自動欠陥検査システムの実施形態を説明する。
【００１７】
図４は本発明の自動欠陥検査システムの概略構成の一例を示す図である。本発明の自動欠陥検査システムは、ロール・トゥ・ロール方式でプロセス加工されるロール状フィルム１２の搬送手段１３ａ〜１３ｄと、欠陥を抽出する手段１６と、統計判定する手段とスリット判定手段とロス判定手段とを有するパソコン１８と、プロセス加工装置を制御する手段１９と、を備えている。また、一般的な検査装置に用いられるフィルム１２を照明する照明部１５と、撮像タイミング信号を発生する信号発生部１７と、照明されたフィルムを撮像する撮像部１４と、を備えている
【００１８】
搬送手段はローラ１３ａ〜１３ｄを回転させてフィルム１２を搬送させるものである。      
【００１９】
フィルム１２を照明する照明部１５と、撮像タイミング信号を発生する信号発生部１７と、照明されたフィルムを撮像する撮像部１４は、一般的な検査装置での構成と同じで良いが、以下に説明する。
【００２０】
フィルム１２を照明する照明部１５は、ＬＥＤ、蛍光灯、ハロゲンランプ、キセノンランプを利用してフィルム１２を照明するもので、照明光源は適宜選択して用いることが出来る。また、図４に示されるフィルム１２を照明する照明部１５はフィルム１２に対して撮像カメラ１４と対向する位置に設けられ透過照明する場合を示しているが、撮像カメラ１４側に設けて反射照明しても良く適宜選択される。
【００２１】
撮像タイミング信号を発生する信号発生部１７は、搬送手段のロール１３によって搬送されるフィルム１２に接触しながら回転するロータリーエンコーダであって、フィルム１５の搬送長さに応じて撮像タイミング信号を出力するものである。
【００２２】
フィルムを撮像する撮像部１４は、撮像タイミング信号が出力される度に照明されたフィルム１２の表面を撮像するもので、ＣＣＤラインカメラや二次元カメラを用いることが出来る。
【００２３】
欠陥を抽出する手段１６は、一般的な画像処理装置を用いることが出来、撮像された画像から予め設定された面積よりも大きな面積を有する異常部分を欠陥として抽出する機構と、フィルム１２を特定の形状に仮想的に区画し、該仮想区画内における前記設定面積より小さな面積を有する異常部分の頻度が予め設定した閾値を越えた場合に欠陥として抽出する機構と、を有している。抽出した欠陥データ（座標・画素数・輝度値等）は、ファイルで出力される。
【００２４】
統計判定する手段は、上記抽出された欠陥の位置座標の傾向や複数欠陥を複合して統計判定するものである。
【００２５】
スリット判定手段は、統計判定手段によって異常と判断されたロール状のフィルムに対し、良品スリットの有無を判定するものである。
【００２６】
ロス判定手段は、スリット判定手段によって良品スリット有りと判定されたロールに対して、プロセス加工装置の停止を利益金額とロス金額に基づいて判断する手段である。
【００２７】
尚、上記統計判定する手段とスリット判定手段はパソコン１８内の処理プログラムによって達成される。
【００２８】
プロセス加工装置を制御する手段１９は、ロス判定手段によって加工装置を運転継続した場合のロス金額が利益金額よりも大きいと判断された場合に、プロセス加工装置２０の装置制御ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）２０ａに対して装置停止指示を出力する装置制御部である。
【００２９】
装置制御部１９のＰＣＳ（Ｐｒｏｃｅｓｓ）データ収集ＰＬＣ１９ａはプロセス加工装置本体２０ｂの巻出しロールの全長、巻出し長、巻取り長等の生産中のワーク情報及び、張力、乾燥温度等のパラメータデータをプロセス加工装置部２０に備えられた装置制御ＰＬＣ２０ａを介して常時収集し、収集した情報はデータベース保持部１９ｂへ保存される。また、データ収集ＰＬＣ１９ａは装置制御ＰＬＣ２０ａに対して、上記装置停止指示のほかに装置レシピパラメータを変更することが出来る。
【００３０】
また、プロセス加工装置本体２０ｂはロール・トゥ・ロール方式を用いて、塗布、蒸着、貼り合せ（ラミネート）等のプロセス加工を行う装置であって、装置制御ＰＬＣ２０ａによって動作制御される。
【００３１】
上記欠陥を抽出する手段（画像処理装置）１６、パソコン１８、装置制御部１９、プロセス加工装置部２０は、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）及び、ＣＣ−Ｌｉｎｋ等のフィールドネットワークによって接続され、相互通信が可能となっている。
【００３２】
ワーク１２の表面の状態はＣＣＤを用いた撮像カメラ１４によって撮像され、画像処理１６に画像情報として取り込まれ、微小なＣＣＤの素子単位（ピクセル：Ｐｉｘ）ごとにデジタル化され、欠陥部分の画素数が設定されている数値（閾値）を超えた場合、それを欠陥不良と扱う。この場合の問題は、個々の欠陥としてはこの閾値よりも小さな欠陥に対する処理である。これらの欠陥も品質上、無いにこしたことはなく、ワーク上の欠陥の位置を特定することで当該部分を除去するか、発生原因を究明して根本的に除去することが望ましい。
【００３３】
但し、閾値より小さいといっても一定の限界のある小ささであり、閾値同様に適宜選定されるものである。欠陥の大きさを例えばＳ＜Ｍ＜Ｌ（小、中、大）と分別して、Ｌの大きさの欠陥は単独で欠陥と判定し、Ｍは複数個の欠陥の発生で欠陥と判定し、Ｓは当座は無視するというようにである。しかし判定基準によってはＳまで欠陥と判定することがある。
【００３４】
図５に本発明の自動欠陥検査システムにおける全体の処理フローを示す。
【００３５】
先ず、１）統計判定処理について説明する。単独では欠陥に判定されない複数のＭ（中サイズ）に属する欠陥が同時にまたは径時的に発生した場合の統計判定手段の統計判定処理の概略を図６に示す。ゾーン判定から線上欠陥判定まで６個に分類してあるが、一つの判定基準で異常と判定されると終了ということではなく６種類全部の判定がなされるものである。従って判定の順序は問題にならないし（図中の丸数字のように）、複数の異なる見方で異常があると判定されることがある。またゾーン判定からフレーム判定は検査対象の範囲で一定であるが、同時に複数の異なる大きさに関して遂行されることがある。
【００３６】
統計判定処理の個別の判定条件について説明する。統計判定処理には（１）欠陥座標の傾向による判定と（２）欠陥の複合情報による判定がある。
【００３７】
（１）欠陥座標の傾向による判定
１−１：ゾーン判定
ワークを幅方向に一定長間隔で帯状に仮想的に区画し、その各区画をゾーンと呼ぶ。各ゾーン内に、所定の範囲（Ｓ、Ｍ、Ｌ）に属する大きさの欠陥が、設定された閾値数（単位：個）以上となった時点で判定を確定する。但し、ゾーン幅については、ワーク幅が９００ｍｍであれば下記の例では９個のゾーンに分けて欠陥数がカウントされるが、３００ｍｍのゾーン幅でカウントされることも、５０ｍｍ幅でカウントされることがある。これも条件の一部であり、フレーム判定以下の判定条件についても同様である。
【００３８】
ゾーン判定フローを図７に示した。
【００３９】
（ゾーン判定の設定条件の一例）
・ゾーン幅（例：１００ｍｍ）
・欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・閾値（例：１０個）
・確定ゾーン判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
＊複数条件設定可能（例えば閾値５個と１０個とし欠陥が１０個以上の場合は不良（ＮＧ）、１０個以内５個以上の場合はペンディング（ＰＤ））とする。
ここで、「確定ゾーン判定」とは、上記設定条件の場合、幅方向１００ｍｍの区間に、Ｍサイズ以上の欠陥が１０個検出された場合当該するゾーンに対して、その後どのような処置をするかどうかの判定を設定するものである。文字の意味は、
・ＯＫ：当該ゾーンはＯＫ（良品扱い）
・ＮＧ：当該ゾーンはＮＧ（不良品扱い）
・ＰＤ：当該ゾーンはペンディング（判定保留とし、後で再判定する）
・ＲＰ：当該ゾーンはリペア（修正品扱いとし、後で異物修正工程等に投入する）
【００４０】
１−２：フレーム判定
ワークを流れ方向に一定長間隔で区切り、その各区間をフレームと呼ぶ。各フレーム内に設定されたサイズ以上の欠陥が、設定された閾値数（単位：個）以上となった時点で判定を確定する。判定フローはゾーン判定と同じであるため省略する。
【００４１】
（フレーム判定の設定条件の一例）
・フレーム長（例：５０ｍ）
・欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・閾値（例：１０個）
・確定フレーム判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
＊複数条件設定可能とする。
【００４２】
１−３：セット判定
複数のフレームを併せて１つのセットと呼ぶ。各セット内に、例えば、不良（ＮＧ）もしくはペンディング（ＰＤ）と判定されたフレームの総数が閾値（単位：フレーム）以上となった時点で判定を確定する。判定フローを図５に示す。但し、セット内のフレームにはペンディングと判定されたフレームが１つ以上存在することが必要である。図８にセット判定フローを示した。
【００４３】
（セット判定の設定条件の一例）
・フレーム数（例：５フレーム）
・フレーム判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
・閾値（例：２フレーム）
・確定セット判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
＊複数条件設定可能とする。
【００４４】
セット判定を導入する理由は、例えば、個々のフレームがＯＫで合っても、流れ方向の一定区間（セット）に、ＮＧ判定されたフレームが一定数以上あれば、製品として出荷できる長さを満たすことが出来ないため、セット全体をＮＧ（不良品）とみなすような運用に対応するためである。上記設定条件の一例では、１セット（5フレーム）内に、ＮＧ判定のフレームが２個以上あれば、セット全体をＮＧとするということである。
【００４５】
「複数条件設定可能」についてここで説明すると、上記のような条件を１つのロールに対し複数同時に設定し実行することが可能という意味である。
例えば、
複数条件（１）
・フレーム数（５フレーム）
・フレーム判定：ＮＧ
・閾値（２フレーム）
・確定セット判定（ＮＧ）
これは１セット（５フレーム）内に、ＮＧ（不良）判定のフレームが２個以上あれば、セット全体をＮＧ（不良）判定とするということである。
【００４６】
複数条件（２）
・フレーム数（５フレーム）
・フレーム判定：ＰＤ
・閾値（２フレーム）
・確定セット判定（ＰＤ）
これは１セット（５フレーム）内に、ＰＤ（保留）判定のフレームが２個以上あれば、セット全体をＰＤ（保留）判定とするということである。
【００４７】
複数条件（３）
・フレーム数（５フレーム）
・フレーム判定：ＰＤ
・閾値（２フレーム）
・確定セット判定（ＮＧ）
これは１セット（５フレーム）内に、ＰＤ（保留）判定のフレームが２個以上あれば、セット全体をＮＧ判定とするということである。
【００４８】
１−４：ロール判定
対象ロール内に例えば、欠陥もしくはペンディングと判定されたセットの総数が閾値（単位：セット）以上となった時点で判定を確定する。判定フローは、セット判定と同じであるので省略する。但し、ロール内のセットにはペンディングと判定されたセットが１つ以上存在することが必要である。
【００４９】
（ロール判定の設定条件の一例）
・セット数（例：５セット）
・セット判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
・閾値（例：１０セット）
・確定セット判定（例：ＯＫ／ＮＧ／ＰＤ／ＲＰ）
＊複数条件設定可能とする。
【００５０】
次に、欠陥の複合情報による判定について説明する。
（２）欠陥の複合情報による判定
２−１：線上欠陥判定
ワーク上の欠陥の幅方向の座標位置が、流れ方向で同じである欠陥を抽出するものである。これは実質的に欠陥座標の傾向による判定におけるゾーン判定のゾーンの幅を狭くしたもの（例えば１ｍｍ）に対応するものである。抽出した欠陥のうち、設定されたサイズの欠陥数が、閾値（単位：個）以上になった時点で欠陥（ＮＧ）判定とする。
幅方向座標は、設定された同一判定長以内に存在する場合に同一と判定する。線上欠陥判定判定フローを図９に示す。
【００５１】
（線上欠陥判定の設定条件の一例）
・幅方向  同一座標判定長（例：１ｍｍ）
・流れ方向差  上限長（例：１０００ｍｍ）
・欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・線状欠陥判定個数（例：１０個）
線上欠陥判定で異常と判定された場合には、同一欠陥の疑いがあるため、以降の判定を待たずに異常とする（後で述べるプロセス装置の即時停止を発令する）。
【００５２】
２−２：周期欠陥判定
欠陥の幅方向座標が、既検出の欠陥座標と同一の欠陥を抽出し、抽出した欠陥のうち、自身を含む直近の３欠陥の流れ方向座標の差を比較し、同一の場合に欠陥（ＮＧ）と判定する。これもゾーン判定のゾーン幅を狭くしたものに対応し、且つ流れ方向の離間距離が同一の欠陥を抽出するものである。ただし、流れ方向座標の差は、上限を設定可能とし、上限以上の場合は判定対象外とする。
幅方向座標及び、流れ方向座標の差は、設定長以内に存在する場合に同一と判定する。この場合の欠陥認定に要する欠陥数は３個であり、他の判定基準より少ないので異常発生が早期に認識される。判定フローを図１０に示した。
【００５３】
（周期欠陥判定の設定条件の一例）
・幅方向  同一座標判定長（例：１ｍｍ）
・流れ方向差  同一判定長（例：１０ｍｍ）
・流れ方向差  上限長（例：１０００ｍｍ）  
・欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・周期欠陥判定個数（例：１０個）
【００５４】
上記の判定条件で異常判定と判定された場合であってもＯＫ判定としたい場合がある。これはゾーン判定で異常判定とされた場合、及び周期欠陥判定で異常判定とされた場合である。
【００５５】
ゾーン判定で異常判定とされた場合の除外判定について説明する。
３−１：ゾーン除外処理
特定のゾーン内に存在する欠陥に対して、除外処理を行う。
除外例としては、流れ方向に発生するシワなどは、実際には欠陥ではないが自動欠陥検査装置では、欠陥として検出してしまうため、異常判定しないように除外する。
また、異常判定として除外するが検査結果データの記録として残すかどうか及び、異常警報を発令するかどうかをＯＮ／ＯＦＦ設定可能とする。
【００５６】
流れ方向に発生するシワなどは、検査機では幅方向の一定座標（同一ゾーン内）に大量に連続して検出される。このような連続した欠陥が検査機で検出された場合、シワが（例えば塗布装置の不良による）本当の欠陥かどうかを判定するのは、あくまで人手による外観チエックとなる。以降、このロールの巻取りが終わるまで、幅方向の該当座標に発生する欠陥（但し、除外欠陥サイズ以下の欠陥）は、各種判定（フレーム判定／セット判定／ロール判定／周期欠陥判定／線上欠陥判定）の対象外とするよう、人手で設定する。
【００５７】
（ゾーン除外処理の設定条件の一例）
・除外ゾーンＮｏ．
・除外欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・異常記録ＯＮ／ＯＦＦ
・異常警報ＯＮ／ＯＦＦ
【００５８】
周期欠陥判定で異常判定とされた場合の除外判定について説明する。
３−２：周期欠陥除外処理
特定の周期欠陥に対して、除外処理を行う。
除外例としては、周期欠陥の発生は検知したが、異常とする必要のない場合に適用する。また、異常判定は除外するが検査結果データの記録として残すかどうか及び、異常警報を発令するかどうかをＯＮ／ＯＦＦ設定可能とする。
異常にする必要がない場合の具体例としては、例えば、前工程で異常が発生したが、人の判断で良品進行ＯＫとされた周期欠陥が、当該工程で再度欠陥として判定されないように
する場合などが考えられる。
【００５９】
（周期欠陥除外処理の設定条件の一例）
・幅方向  同一座標判定長（例：１ｍｍ）
・流れ方向差  同一判定長（例：１０ｍｍ）
・流れ方向差  上限長（例：１０００ｍｍ）
・異常記録ＯＮ／ＯＦＦ
・異常警報ＯＮ／ＯＦＦ
【００６０】
次に、２）スリット判定処理について説明する。図５に示すように上記１）統計判定処理でいずれかの判定条件で異常判定された場合、スリット判定処理を行う。この判定処理は、後工程でスリッター装置などで幅方向にスリット断裁して出荷する製品に適用される。スリット判定を行う意味は、異常判定とされた場合であっても異常部分のフィルムを除去して繋ぎ合わせ、製品として出荷できる可能性があるためである。
【００６１】
スリット判定処理では、ワークを幅方向に製品仕様で規定された間隔で区切り、その各区間を「スリット」と呼び、各スリットにはＡ、Ｂ、Ｃ、〜Ｎの名称をつけることとする。そして製品毎、スリット毎に、設定されたサイズの欠陥が、設定された閾値数（単位：個）以上存在するかどうか判定を行い、良品スリット（ＯＫ）と不良品スリット（ＮＧ）を識別する。スリット判定のフローを図１１（ａ）に、判定例を図１１（ｂ）に示す。
【００６２】
図１１（ｂ）に示すワークはフレーム判定でＮＧと判定されたため、上記スリット判定処理が行われる。
【００６３】
（スリット判定処理の設定条件の一例）
・製品名
・スリット名（例：スリットＡ、スリットＢ、スリットＣ）
・ スリット幅（例：０〜１９９［ｍｍ］、  ２００〜４９９［ｍｍ］、  ５００〜７９９［ｍｍ］）
・欠陥サイズ（例：Ｍサイズ）
・欠陥数閾値（例：  １０［個］）
・確定スリット判定（例：ＯＫ／ＮＧ等）
これらの条件は、複数設定可能とし、また１）統計判定処理を行うパソコン１８（図４参照）への直接手入力、他システムとのデータ通信による取得などの手段で登録を可能とする。
【００６４】
例えば上記スリット判定処理の設定条件の一例を図１１（ｂ）で具体的に示すと、
（設定条件）として
スリットＡ：
欠陥サイズ：Ｍサイズ、欠陥数閾値：１０個
欠陥サイズ：Ｌサイズ、欠陥数閾値：５個
スリットＢ
欠陥サイズ：Ｍサイズ、欠陥数閾値：５個
欠陥サイズ：Ｌサイズ、欠陥数閾値：１個
スリットＣ
欠陥サイズ：Ｍサイズ、欠陥数閾値：５個
欠陥サイズ：Ｌサイズ、欠陥数閾値：１個
とした場合には、（判定）結果として
スリットＡでは
Ｍサイズ欠陥：１個、Ｌサイズ０個であるから上記設定条件の閾値を超えないため、判
定ＯＫとなり
スリットＢでは
Ｍサイズ欠陥：１個、Ｌサイズ０個であるから上記設定条件の閾値を超えないため、判定ＯＫとなり、
一方、スリットＣでは、
Ｍサイズ欠陥：９個、Ｌサイズ４個であるから上記設定条件の（Ｍサイズ欠陥、Ｌサイズ欠陥ともに）閾値を超えるため、判定ＮＧとなる。
【００６５】
このようにスリット判定によって良品と判定されるスリット部分（良品スリット）がスリットＡ、スリットＢで存在していることが判断される。
【００６６】
３）ロス判定処理について説明する。ロス判定処理は、上記スリット判定によって良品スリットがあった場合に判定処理するものである。良品スリットがあった場合には次の２つの金額を比較することで、装置停止指示を発令するタイミングを判定する。
（１）このままの品質状態（欠陥発生状態）がロットの終了まで継続すると仮定した場合に、見込まれる利益金額。
（２）異常判定時に装置停止した場合に発生するロス金額（見込み金額）。
【００６７】
上記判定ために、１）統計判定処理を行うパソコン１８（図４参照）は、少なくとも以下のデータベーステーブルを持つこととする。
（製品単価データベース）
・製品名
・各スリット毎の売上単価（例：Ａ⇒５００円／ｍ、Ｂ：６００円／ｍ、・・・）
・フィルムなどの主材料費（例：３００円／ｍ）
・塗液、フィルタなどの副資材費（例：２００円／ｍ）
（装置稼働経費データベース）  
・製品名
・装置名
・ラインスピード（例：５０ｍ／ｍｉｎ）
・電気、蒸気、Ｎ２等のＵＴＴ（ユーティリティ）費（例：５０円／ｍｉｎ）
・装置オペレータ人件費（例：２００円／ｍｉｎ）
（装置情報データベース）
・装置名
・装置内パス長（巻出し〜巻取り）
（装置停止レベル設定データベース）
・装置停止レベル１：即時停止
・装置停止レベル２：ロット終了時に停止
・装置停止レベル３：装置停止なし
（装置判定金額データベース）
・製品名
・装置停止判定金額（例：２、０００、０００円）
これらの情報は、統計判定処理を行うパソコン１８（図４参照）への直接手入力、他システムとのデータ通信による取得などの手段で登録を可能とする。
また、装置制御部１９（図４参照）よりロット内のワーク長（投入長）、巻取り長情報を取得する。
【００６８】
上記のデータを用いて、（１）、（２）を算出する。
（１）見込み利益金額は、良品判定された各スリットの巻出しロールの全長と材料費で算出する。見込み利益金額の計算式は、    
「見込み利益金額」＝「良品スリットの売上単価の和（例：５００円／ｍ＋６００円
／ｍ）」×「ロット残りワーク長（※１）」−（「主材料費（円／ｍ）」＋「副資材費（円／ｍ）」）×「ロット残りワーク長」−（「ＵＴＴ費）＋「人件費」）×「ロット残り時間（※２）」で算出される。
ここで上記
※１：「ロット残りワーク長（ｍ）」＝「巻出しロールの全長（ｍ）」−「異常判定時の巻取り長（ｍ）であり、
※２：「ロット残り時間（ｍｉｎ）」＝「ロット残りワーク長（ｍ）」÷「ラインスピード（ｍ／ｍｉｎ）」である。
【００６９】
（２）見込みロス金額は、以下の計算式で算出される。
前提として、ロール・トゥ・ロール工程では、装置停止した時点で装置内（例えば装置が塗工装置であった場合には、塗工部〜巻取部を指す）に存在するワークは、乾燥路等での過乾燥などが発生するため、基本的に全数不良品となる。
「見込みロス金額（円）」＝「装置内パス長（ｍ）×（「主材料費（円／ｍ）」＋「副資材費（円／ｍ）」）で算出される。
【００７０】
算出した（１）、（２）の金額を用いて、例えば以下のように停止タイミングを判定する。
判定例１：（１）≦（２）：装置停止指示［レベル１］
装置停止指示［レベル１］の場合は、装置制御部に対して、即時に装置本体を停止させる第一の停止指示を発令する。
指示を受け取った装置システムは、装置ＰＬＣへ停止指示を発令する。
判定例２：（１）＞（２）：装置停止指示［レベル２］
装置停止指示［レベル２］の場合はロット終了まで待って、装置制御部を停止させる第二の停止指示を発令する。
指示を受け取った装置システムは、装置ＰＬＣへ停止指示を発令する。
判定例３：（１）＞＞（２）：装置停止なし。
この場合は装置停止なしで、次ロットも継続して生産する。
判定例２との違いは、（１）と（２）の差が設定された「装置停止判定金額」以上であった場合とする。
また、（１）と（２）の大小関係と装置停止レベルの組み合わせは、任意に設定可能とする。
【００７１】
以上のように本発明の自動欠陥検査システムによれば、従来目視で行われていた欠陥の発生状態を検査装置で検出し、該欠陥の大きさや個数が良品とする管理値を越えていた場合には、プロセス装置を即時停止する指令を発令することによって品質異常の発生を最小限とすることが出来る。
【００７２】
また欠陥が発生している場合でもプロセス処理の後工程のスリット工程でスリット良品があると判断した場合は、フ゜ロセス装置を停止せず継続運転した場合の利益金額とロス金額を比較して、継続運転の可否を判断することによってプロセス装置の停止タイミングを判断することが出来るため、生産ロスを最小限に抑えることが出来る。
【符号の説明】
【００７３】
１・・・異物欠陥
２・・・ワーク
３ａ〜３ｄ・・・ローラ
４・・・モノクロラインＣＣＤセンサ
５・・・照明部
６・・・画像処理部
７・・・データベース化して保存する機構
８・・・エンコーダ
９・・・撮像した実欠陥
１２・・・フィルム
１３ａ〜１３ｄ・・・搬送手段（ローラ）
１４・・・撮像部
１５・・・照明部
１６・・・欠陥を抽出する手段（画像処理装置）
１７・・・信号発生部
１８・・・パソコン
１９・・・プロセス加工装置を制御する手段（装置制御部）
１９ａ・・・ＰＣＳデータ収集ＰＬＣ
１９ｂ・・・データベース保持部
２０・・・プロセス加工装置
２０ａ・・・装置制御ＰＬＣ
２０ｂ・・・プロセス加工装置本体
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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