(57)【要約】【課題】ワイヤソーの加工液供給装置において、発生する気泡を消泡して加工液タンクからの加工液の溢れ出しを防止するとともに、加工液の供給不足による加工精度の低下やワイヤの断線を防止する。【解決手段】加工液タンク３１に貯留された加工液２５を前記加工液タンク３１に設けた供給ポンプ３２により、走行するワイヤ２と加工物２０の間に供給しながら、ワイヤ２に加工物２０を押し付けて該加工物２０を多数枚の薄板に切断するワイヤソー１の加工液供給装置３０であり、加工液タンク３１には、消泡ポンプ５０が設けられている。この消泡ポンプ５０は、液面直下の気泡層とその下層の加工液層との境界部近傍に設けられた加工液吸い込み口５７と、前記加工液吸い込み口５７から気泡と加工液２５とを吸い込むことで、該気泡を消泡するとともにこの消泡された加工液２５を液面付近に吐出する加工液吐出口５３とから構成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工液タンクに貯留された加工液を前記加工液タンクに設けた供給ポンプにより、走行するワイヤと加工物の間に供給しながら、前記ワイヤに加工物を押し付けて該加工物を多数枚の薄板に切断するワイヤソーの加工液供給装置において、
前記加工液タンクには、消泡ポンプが設けられ、
この消泡ポンプは、
液面直下の気泡層とその下層の加工液層との境界部近傍に設けられた加工液吸い込み口と、
前記加工液吸い込み口から気泡と加工液とを吸い込むことで、該気泡を消泡するとともにこの消泡された加工液を液面付近に吐出する加工液吐出口とから構成されることを特徴とするワイヤソーの加工液供給装置。
【請求項２】
前記消泡ポンプは、前記加工液吸い込み口と前記加工液吐出口との間に回転自在のインペラを備え、前記加工液吸い込み口から吸い込んだ気泡を消泡させながら前記加工液吐出口から消泡された加工液を吐出させるようにしたことを特徴とする請求項１記載のワイヤソーの加工液供給装置。
【請求項３】
前記加工液吸い込み口が液面から所定量下方に位置するように前記消泡ポンプを昇降可能に設けたことを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載のワイヤソーの加工液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソーに冷却液等の加工液を供給するワイヤソーの加工液供給装置に関する。さらに詳しくは、固定砥粒ワイヤでサファイアやシリコン等のワークを切断するワイヤソーに用いられ、前記ワイヤソーに供給する加工液の泡立ちを解消するワイヤソーの加工液供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の溝ローラ間にワイヤを巻き回してワイヤ列を形成し、このワイヤを一方向走行または往復走行させて、前記ワイヤに加工液を供給しながら、サファイア、シリコン、セラミックス等のワークを前記ワイヤ列に押し当てて切断するワイヤソーが知られている。
【０００３】
前記ワイヤソーでは、加工液としてシリコンカーバイドやダイヤモンド等の砥粒を油性や水溶性の切削液に混合したスラリを切断部近傍に供給しながらワークを切断する遊離砥粒方式のワイヤソーと、ワイヤ表面にダイヤモンド等の砥粒が電着やレジン等で固定された固定砥粒ワイヤを用い、切断部近傍に水溶性の加工液や界面活性剤が添加された水等の加工液を供給しながらワークを切断する固定砥粒方式のワイヤソーが知られている。
【０００４】
前記遊離砥粒方式及び固定砥粒方式のワイヤソーでは、前記加工液がワーク切断部に供給されながらワークの切断が行われ、この加工液はワイヤソーに設けられた回収タンクに回収された後、この回収タンクから再びワイヤソーに供給ポンプを通じて供給されるようになっている。
【０００５】
上記のように加工液は、ワイヤソーのワーク切断部と回収タンクとの間を循環するようになっているが、ワークの切断に供された加工液は、切断時に高速走行するワイヤから振り飛ばされて飛散し、加工室の壁面に打ち付けられることにより、空気が混入して気泡が発生する問題がある。また、固定砥粒方式のワイヤソーにおいては、加工液に界面活性剤を添加する場合があり、より一層気泡が発生しやすい問題がある。
【０００６】
上記のように気泡が発生した加工液は、ワイヤソーの切断部の回収口を通じて、供給タンクに注ぎ込まれるが、加工液中の気泡は、供給タンク内で上層に浮かび上がりながら、気泡同士が合わさって気泡が成長していく。この気泡が成長していく状態を表わす写真を図１０に示す。図１０は、従来のワイヤソーの加工液供給装置を用い、加工物の切断を一定時間行った際の加工液タンクの確認窓から加工液を見た状態写真である。このように供給タンク内の加工液の気泡は大径となって液面上に溜り、供給タンクからあふれ出る問題がある。
【０００７】
図１１は、従来のワイヤソーにおける加工液タンク８０の一部分を表わしたものである。図示のように、加工液８８は、図示しないワイヤソーで使用された後、回収され、加工液回収パイプ８６を通って加工液タンク８０に金網等のフィルタ８７を介して注ぎ込まれる。
【０００８】
前記加工液タンク８０に回収された加工液８８は、気泡を多く含んでおり、その気泡は、加工液８８中で上昇と同時に隣接する気泡と結合して、大径（例えば直径１０ｍｍ以上）の気泡に成長する。そして、加工物の切断が進行するにしたがって、気泡が増大するとともに大径に成長し、図示のように表面張力により加工液タンク８０の壁面を伝って、蓋８５の隙間から加工液８８が溢れ出す。また、さらに気泡が加工液タンク８０全体に行き渡ると、供給ポンプ８１が空吸い状態となって加工液８８のワイヤソーへの供給が不足し、加工精度の低下や、ワイヤの冷却不足による断線等が発生する。また、供給ポンプ８１が空吸い状態にならずとも、気泡を含んだ加工液８８が切断部に供給されることにより、加工液８８が均一に供給されなくなるため、加工物の加工精度が低下する問題がある。
【０００９】
そこで、加工液の回収経路中に気泡を除去するための回収通路を設け、加工液送給用ポンプを回収通路の下流側に設けたワイヤソーが知られている。前記ワイヤソーにおいては、下流側に向かって傾斜した回収通路を加工液が通過する際に徐々に消泡されるようになっている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−２７１８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記特許文献１のワイヤソーは、回収通路を一定距離設ける必要があり、ワイヤソーが大型化する問題がある。また、回収通路部分を流れる加工液量も考慮せねばならず、加工液を多く必要とする問題がある。さらに、回収通路部分をある程度の時間を掛けて加工液を通過させる必要があり、消泡に時間を要する問題や、加工液の粘度、表面張力などに依存して、消泡能力がばらつく問題がある。特にワイヤソーにおいては、切断開始に伴って加工液にはワークの切削屑が混入するため、加工液の粘度等の変化が起こり、気泡の状態も変化するが、特許文献１の方法においては気泡を物理的な力で消泡するものではなく、液の流れに依存するものであるため柔軟に対応することができない問題がある。
【００１２】
また、消泡させるために加工液に消泡剤を添加し、気泡を消泡させる方法もあるが、この消泡剤の添加は、加工する加工物によっては、消泡剤と化学反応して加工物の切断表面にしみ等が発生して使用できなくなる問題がある。また、消泡剤によって加工液の粘度や表面張力等の特性が変化し、加工物の加工精度が悪くなる場合もある。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、加工液の消泡を簡素でコンパクトに行なえ、加工物や加工液に悪影響を与えないワイヤソーの加工液供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために請求項１の発明は、加工液タンクに貯留された加工液を前記加工液タンクに設けた供給ポンプにより、走行するワイヤと加工物の間に供給しながら、前記ワイヤに加工物を押し付けて該加工物を多数枚の薄板に切断するワイヤソーの加工液供給装置において、
前記加工液タンクには、消泡ポンプが設けられ、
この消泡ポンプは、
液面直下の気泡層とその下層の加工液層との境界部近傍に設けられた加工液吸い込み口と、
前記加工液吸い込み口から気泡と加工液とを吸い込むことで、該気泡を消泡するとともにこの消泡された加工液を液面付近に吐出する加工液吐出口とから構成されることを採用したワイヤソーの加工液供給装置である。
【００１５】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のワイヤソーの加工液供給装置において、前記消泡ポンプは、前記加工液吸い込み口と前記加工液吐出口との間に回転自在のインペラを備え、前記加工液吸い込み口から吸い込んだ気泡を消泡させながら前記加工液吐出口から消泡された加工液を吐出させるようにした構成を採用したものである。
【００１６】
また、請求項３の発明は、請求項１または２のいずれかに記載のワイヤソーの加工液供給装置において、前記加工液吸い込み口が液面から所定量下方に位置するように前記消泡ポンプを昇降可能に設けた構成を採用したものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は、ワイヤソーの加工液供給装置に消泡ポンプを設けるようにしたので、消泡用に別途回収通路を設ける必要がなく、ワイヤソーが大型化することがない。また、加工液の種類に依存することなく、消泡が行なえる。また、消泡剤を使用しないので、加工物にしみ等が発生することがなく、不良率を低減できるとともに加工液の変性による加工精度の低下を防止できる。
【００１８】
また、本発明は、消泡ポンプの加工液吸い込み口を液面直下の大きな気泡が多く混ざった気泡層とその下層の気泡が少ない加工液層との境界部近傍に設けるようにしているので、消泡ポンプのエア噛みによる加工液の吸い込み量低下が発生しない。また、消泡が必要な大きな気泡を適量含んだ加工液を加工液吸い込み口から吸い込んで消泡させていくので、気泡が成長して加工液タンクからあふれ出ることがない。
【００１９】
また、本発明は、消泡ポンプの加工液吸い込み口と加工液吐出口との間に回転自在のインペラが設けられているので、吸い込んだ加工液をインペラの回転により消泡でき、その後の加工液吐出口までの内圧による消泡と併せて効率良く加工液の消泡が行なえる。
【００２０】
また、本発明は、消泡ポンプで消泡した加工液を液面付近で、かつ加工液タンクの円周方向に噴射せしめるようにしたので、新たに撹拌用のポンプを設けることなく加工液を均一に撹拌でき、加工液供給装置の小型化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】は、本発明の加工液供給装置を適用したワイヤソーの全体概略図である。
【図２】は、本発明のワイヤソーの加工液供給装置の第一の実施形態を表す平面図である。
【図３】は、図２のＡ−Ａ方向矢視断面図である。
【図４】は、図３のＢ−Ｂ方向矢視断面図である。
【図５】は、本発明に用いられる消泡ポンプのインペラの一実施形態を表す平面図である。
【図６】は、図５のＣ−Ｃ方向矢視断面図である。
【図７】は、本発明の第一の実施形態に係るワイヤソーの加工液供給装置の作用を表す説明図である。
【図８】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係るワイヤソーの加工液供給装置の作用を表す説明図である。
【図９】は、本発明のワイヤソーの加工液供給装置を適用し、一定時間加工物の切断を行なった際の加工液の状態写真である。
【図１０】従来の加工液供給装置を用いたワイヤソーで一定時間加工物の切断を行なった際の加工液の状態写真である。
【図１１】従来のワイヤソーの加工液供給装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図１乃至図６に基づいて説明する。
【００２３】
図１は、本発明のワイヤソーの加工液供給装置の第一の実施形態を表す全体概略図である。ワイヤソー１は、供給リール３から繰り出した一本のワイヤ２を溝ローラ９ａ、９ｂに巻き回してワイヤ列を形成した後、回収リール１５に巻き取るようになっている。本実施形態においてはワイヤ２として例えばダイヤモンドの砥粒がワイヤ２の芯線に電着またはレジンで固着された固定砥粒ワイヤを用いた場合を例に説明する。
【００２４】
前記ワイヤ２は、供給リール３から正逆方向または一方向に駆動モータ４を駆動して繰り出され、供給トラバーサ５、複数のガイドプーリ６、テンションナー７を経由して多数の溝が形成された溝ローラ９ａ、９ｂ間に巻き回されてワイヤ列を形成する。前記供給側と同様にワイヤ列を経由したワイヤ２は、テンションプーリ１２、複数のガイドローラ１３、回収トラバーサ１４を経由して回収リール１５に駆動モータ１６の駆動によって巻き取られるようになっている。
【００２５】
前記ワイヤ２は、供給側のロードセル８と回収側のロードセル１１によって、それぞれ張力が読み取られ、図示しない制御部によってテンショナー７、１２でそれぞれ張力が調整されるようになっている。
【００２６】
また、溝ローラ９ａ、９ｂ間に形成されたワイヤ列上方には図示しない適宜な駆動源で昇降する加工テーブル１７が設けられ、この加工テーブル１７の下方に貼り付け台１８とダミー部材１９を介して加工物２０が固定されている。前記ダミー部材１９は例えばセラミックスや樹脂、カーボン等の部材が用いられ、加工物２０とともに切り込まれることによって加工物２０が完全切断される。また、加工物２０として、例えばシリコンやサファイア、シリコンカーバイド、窒化ケイ素、セラミックス等の高脆性材料が好ましく切断される。
【００２７】
前記ワイヤ列と加工物２０の近傍には、水や水溶性あるいは油性の各種のものから選ばれる加工液２５が供給される。これらの加工液２５には、ワイヤ２への付着や加工物２０の切断部へ加工液２５が浸入し易いように界面活性剤が適宜添加される。上記のように加工液２５が切断部近傍に供給されながら、加工テーブル１７が下降し、加工物２０がワイヤ列に押し付けられて多数枚のウエハに切断されるようになっている。
【００２８】
また、前記ワイヤソー１の下方には切断に使用された加工液２５を受ける加工液受け２２と、回収された加工液２５を循環供給する加工液供給装置３０が設けられている。前記加工液受け２２から回収された加工液２５は、回収口２３から加工液回収パイプ３５を経て加工液供給装置３０の加工液タンク３１に回収される。
【００２９】
前記加工液供給装置３０は、加工液２５をその内部に貯留する加工液タンク３１と、この加工液タンク３１の上部に設けられた２連の加工液供給ポンプ３２、３２と、前記加工液タンク３１の上部中央に設けられた消泡ポンプ５０とから構成されている。
【００３０】
図１乃至図３のように前記加工液タンク３１は、ほぼ円形の桶状に形成され、その底面は円弧状に形成されている。また、前記加工液タンク３１の上部には開閉自在に蓋４０が設けられ、この蓋４０の中心に消泡ポンプ５０が設けられている。また、この消泡ポンプ５０を中心とした同心円上に２連の供給ポンプ３２、３２が設けられている。また、図２のように消泡ポンプ５０の後方には加工液回収パイプ３５が接続され、前記消泡ポンプ５０の前方には加工液タンク３１の内部を確認するための蓋４５が設けられている。
【００３１】
また、加工液タンク３１内には上方から下方に向かって螺旋状の冷却パイプ６４が設けられ、その供給側と回収側は、蓋４０の上面に設けられたアダプタ６２、６３にそれぞれ接続されている。前記供給側のアダプタ６２には、冷却液供給パイプ３３が接続され、この冷却パイプ３３は、温度調節器２４に接続されている。また、前記温度調節器２４を介して冷却液回収パイプ３４が回収側のアダプタ６３に接続され、油や水等の冷却液が加工液タンク３１内の冷却パイプ６４を介して循環するようになっている。この冷却液の循環により、加工液タンク３１内の加工液２５を前記冷却パイプ６４を介して温度調節するようになっている。
【００３２】
前記供給ポンプ３２は、図３のように加工液タンク３１の蓋４０上に固定されるモータと、タンク本体４１内の加工液２５に浸漬される加工液２５の吸い上げ部とで構成され、前記吸い上げ部の下端には加工液吸い込み口４６が下方に向けて開口している。前記供給ポンプ３２は、前記モータを駆動することで上下方向に複数枚設けられたインペラ６５を回転させて加工液２５の吸い上げ力を発生させ、前記加工液吸い込み口４６から加工液２５を吸い込んで吐出口４７から吐出するようになっている。
【００３３】
両供給ポンプ３２、３２から吐出された加工液２５は、供給パイプ３６で合わさって、バルブ３７を介して温度調節器２４に送り込まれる。そして、加工液２５は、温度調節器２４で温度調節された後、バルブ４４を介して加工液供給パイプ３９を経て加工液ノズル２１から加工物２０の切断部近傍に供給されるようになっている。使用された加工液２５は、前述のように加工液回収パイプ３５を経て加工液タンク３１に回収される。
【００３４】
前記消泡ポンプ５０は、加工液タンク３１の蓋４０の中央に立設された４本の支柱５５上に設けた固定板５４に固定されている。この消泡ポンプ５０は、前記固定板５４上に固定されたモータと、この固定板５４の下方に延設された気泡及び加工液２５の吸い上げ部とから構成されている。
【００３５】
前記消泡ポンプ５０の吸い上げ部は、図３及び図４のようにその中心に前記モータのモータ軸５６が下方に向かって延設され、その外側に２本のパイプ５１、５１が立設されている。また、前記モータ軸５６の下端付近は、円形状のポンプ上壁５９に覆われており、前記パイプ５１、５１の下端は、このポンプ上壁５９に接続されている。このポンプ上壁５９の中央部には加工液吸い込み口５７としての開口部が前記モータ軸５６と同心円状に設けられている。また、前記モータ軸５６の下端には、インペラ５８が軸止されており、このインペラ５８は、前記モータを駆動することで、回転駆動されるようになっている。前記インペラ５８の回転により、加工液吸い込み口５７に加工液２５の吸引力が発生し、加工液２５が消泡ポンプ５０内に吸い込まれる。
【００３６】
前記インペラ５８は、図５及び図６のように、モータ軸５６の下端に固定される円板６０とその上面に放射状に設けられる円弧形状の４枚の羽根６１とから構成される。この羽根６１は、円板６０を図示時計方向に回転させることで、吸い込んだ加工液２５を外側に押し出すことで、加工液吸い込み口５７に負圧を働かせ、気泡及び加工液２５をポンプ内に吸い込ませるようになっている。また、吸い込んだ気泡は、このインペラ５８の羽根６１によって、切られることによって消泡されるようになっている。
【００３７】
詳細は後述するが、前記加工液吸い込み口５７は、液面２６よりも少し下方に位置するように配置され、加工液２５に発生した気泡と気泡の少ない加工液２５とを同時に吸い込むようになっている。
【００３８】
また、前記両パイプ５１、５１は、その上端が加工液吐出パイプ５２に連通しており、この加工液吐出パイプ５２はその他端側に加工液２５を吐出する加工液吐出口５３が設けられている。前記加工液吐出口５３は、液面２６付近で、円周方向に向けて設けられる。このように、加工液吐出口５３を設けることで、加工液２５の噴射力により、別途撹拌機構を設けることなく、加工液タンク３１内の加工液２５を撹拌することができる。また、吐出された加工液２５が再び泡立つことがない。
【００３９】
以上が本発明のワイヤソーの加工液循環装置の第一の実施形態の構成であり、次に本発明の作用について図７に基づいて以下に説明する。
【００４０】
図７は、本発明のワイヤソーの加工液循環装置における要部を説明用に拡大したものである。なお、加工液２５の回収口は、理解が容易なように、実際の構成よりも近接して描いてあることに留意されたい。
【００４１】
前記ワイヤソー１の切断部に供給された加工液２５は、ワイヤ２の高速走行（例えば５００〜１０００ｍ／ｍｉｎ）により、ワイヤソー１の加工室内で飛散し、加工室の壁面に打ち付けられることで、空気が混入して気泡が発生する。そして、気泡が発生した加工液２５は、加工液受け２２で収集され、回収パイプ３５を介して図７のように加工液タンク３１内に吐出される。なお、加工液タンク３１の加工液回収口には、切断時に発生した端材等の異物を除去する金網等のフィルタ７５が設けられている。
【００４２】
前記回収された加工液２５は、前述のように多数の気泡を含んでおり、この気泡は、加工液２５の下層から液面２６付近に上昇するにしたがって、気泡同士が結合して成長し、大きくなる（例えば直径１０ｍｍ以上）。
【００４３】
本発明では、ワイヤソー１の起動と同時に消泡ポンプ５０も起動させているので図示のように、一定以上気泡は成長しない。
【００４４】
次に、前記消泡ポンプ５０について詳細に説明する。前記消泡ポンプ５０の加工液吸い込み口５７は、加工液２５の液面２６より少し下方（本実施形態では、例えば液面２６より約５０〜１００ｍｍ程度下方）となるように配置されている。これは、液面２６付近では大きな気泡が多いため、液面２６付近に加工液吸い込み口５７を配置すると、消泡ポンプ５０がエア噛みを起こし、加工液２５の吸い上げ不良が発生するためである。また、液面２６よりも大きく下方に加工液吸い込み口５７を配置すると気泡が存在しなかったり、気泡が存在しても気泡径が小さすぎたりして消泡効果が得られないためである。したがって、本発明においては、気泡を多く含む気泡層７０と気泡をほとんど含まないあるいは小径の気泡を含む加工液層７２との境界部７１の近傍に加工液吸い込み口５７を配置している。また、加工液吸い込み口５７は、上側から吸い込むものが好ましく使用できる。下側から吸い込むものは、気泡を効率良く吸い込むことができず、液面２６付近に加工液の吸い込み口を設けるとエア噛みが発生しやすいことによる。
【００４５】
上記のように加工液吸い込み口５７を配置することによって、消泡したい気泡と加工液２５を同時に消泡ポンプ５０内に吸い込むことができ、エア噛みによる吸い上げ不良を発生することなく、効率の良い消泡を行なうことができる。また、気泡以外の空気を吸い込まない位置に加工液吸い込み口５７が設けられることにより、インペラ５８によって泡立てられることもない。なお、加工液吸い込み口５７は、使用する加工液２５の種類や切断加工によって混入する切粉による加工液２５の粘度変化、気泡の発生状態等を考慮して、適宜変更できる。
【００４６】
前記加工液吸い込み口５７から吸い込まれた気泡は、インペラ５８の羽根６１によって破泡されることで消泡される。また、パイプ５１を通過する際にそのパイプ５１内の内圧によってさらに消泡される。なお、インペラ５８を備えたターボ型のポンプではなく、差圧式のポンプも用いることができ、この場合は、インペラ５８を備えないが、ポンプ内の内圧で気泡が消泡される。
【００４７】
また、消泡ポンプ５８のインペラ５８の羽根６１の枚数や形状も様々なものを用いることができ、例えば１枚羽根が螺旋状に配置されたものも用いることができる。
【００４８】
図９に本発明の加工液供給装置３０を適用したワイヤソー１で一定時間加工物２０を切断した際の加工液２５の状態写真を示す（図２の蓋４５を開けて見たものである）。従来例の図１０に比べ、気泡が少なくなり、気泡径も小さくなっていることがわかる。なお、図９と図１０は、比較のため切断時間、加工物の種類を合わせてある。
【００４９】
以上が、本発明のワイヤソーの加工液循環装置の第一の実施形態であり、次に本発明の第二の実施形態について図８（ａ）及び（ｂ）に基づいて以下に説明する。
【００５０】
本実施形態においても使用する消泡ポンプ５０は同じものであるので、消泡ポンプ５０自体の説明は省略する。
【００５１】
本実施形態の消泡ポンプ５０の蓋４０への取り付け部が第一の実施形態における支柱５５に代えて、昇降自在なガイド７４となっており、消泡ポンプ５０の液面２６に位置する部分のパイプ５１、５１の外側にフロート７３が固定されている。
【００５２】
図８（ａ）は、液面２６が高い位置にある場合を示し、消泡ポンプ５０はフロート７３により上端位置に位置する。なお、このフロート７３は、消泡ポンプ５０を浮力で浮上させるようになっており、前記加工液吸い込み口５７は、絶えず気泡層７０と加工液層７２の境界部７１の近傍に位置するようになっている。
【００５３】
図８（ｂ）は、ワイヤソー１で加工物２０を加工する途中で、ワイヤソー１内への加工液２５の付着等により、加工液２５の液面２６が下降した場合を示す。図示のように消泡ポンプ５０は、フロート７３の下降とともに二点鎖線位置から実線位置へと下降する。このように消泡ポンプ５０が液面２６の下降に伴って下降することにより、液面２６の位置が変化しても加工液吸い込み口５７は、気泡層７０と加工液層７２との境界部７１の近傍に絶えず位置するので、効率の良い消泡を行なうことができる。
【００５４】
なお、上記第二の実施形態は、消泡ポンプ５０が比較的小型で軽量の場合に好ましく実施でき、消泡ポンプ５０が大型化する場合は、フロート７３に代えて、例えば液面２６の検知センサを設け、適当なアクチュエータを用いて強制的に消泡ポンプ５０を昇降させるようにすれば良い。
【００５５】
以上が、本発明の各実施形態の構成であるが、適宜、発明の範囲内で変更することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１    ワイヤソー
２    ワイヤ
３    供給リール
４    駆動モータ
５    供給トラバーサ
６    ガイドプーリ
７    テンショナー
８    ロードセル
９ａ    溝ローラ
９ｂ    溝ローラ
１０    駆動モータ
１１    ロードセル
１２    テンショナー
１３    ガイドプーリ
１４    回収トラバーサ
１５    回収リール
１６    駆動モータ
１７    加工テーブル
１８    貼り付け台
１９    ダミー板
２０    加工物
２１    供給ノズル
２２    加工液受け
２３    回収口
２４    温度調節器
２５    加工液
２６    液面
３０    加工液供給装置
３１    加工液タンク
３２    供給ポンプ
３３    冷却液供給パイプ
３４    冷却液回収パイプ
３５    加工液回収パイプ
３６    加工液供給パイプ
３７    バルブ
３８    加工液供給パイプ
３９    バルブ
４０    タンク蓋
４１    タンク本体
４３    加工液吐出口
４４    温度センサ
４５    蓋
４６    加工液吸い込み口
４７    吐出口
５０    消泡ポンプ
５１    パイプ
５２    加工液吐出パイプ
５３    加工液吐出口
５４    固定板
５５    支柱
５６    モータ軸
５７    加工液吸い込み口
５８    インペラ
５９    ポンプ上壁
６０    円板
６１    羽根
６２    アダプタ
６３    アダプタ
６４    冷却パイプ
６５    インペラ
７０    気泡層
７１    境界部
７２    加工液層
７３    フロート
７４    ガイド
７５    フィルタ
８０    加工液タンク
８１    供給ポンプ
８２    加工液吐出口
８３    加工液供給パイプ
８４    タンク本体
８５    タンク蓋
８６    加工液回収パイプ
８７    フィルタ
８８    加工液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１１】
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【図９】
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【図１０】
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