(57)【要約】【課題】機械的な精度にかかわらず、ワークへの着弾位置を高い精度で管理することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画方法を提供する。【解決手段】ワーク（基板）Ｗは、描画面とは逆側の裏面側に電極部５１０を備え、液滴吐出装置１は、吐出するインクが帯電状態となる駆動周期で吐出駆動される液滴吐出ヘッド１６と、ワークＷをセットするセットテーブル２２と、液滴吐出ヘッド１６の吐出駆動に同期して、電極部５１０に、帯電したインクと異極となるバイアス電圧を印加する制御部８と、を備えたものである。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画面に対する裏面に電極部を備えたワークに液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出装置は、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動される液滴吐出ヘッドと、
前記ワークをセットするセットテーブルと、
前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、前記電極部に、帯電した前記液滴と異極となるバイアス電圧を印加する電源制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ワークは、前記液滴が着弾するマトリクス状の複数の画素領域と、複数の画素領域を囲むバンク部と、を有し、
前記電極部は、前記複数の画素領域と同一ピッチで配設された複数の帯状電極を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
ワークに液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置であって、
吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動される液滴吐出ヘッドと、
前記ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルに設けられた電極部と、
前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、前記電極部に、帯電した前記液滴と異極となるバイアス電圧を印加する電源制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ワークは、前記液滴が着弾するマトリクス状の複数の画素領域と、複数の画素領域を囲むバンク部と、を有し、
前記電極部は、前記複数の画素領域と同一ピッチで配設された複数の帯状電極を有していることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
ワークに、液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置の描画方法であって、
液滴吐出ヘッドを、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動されると共に、
前記ワーク側に設けた電極部に、帯電した前記液滴と異極となるバイアス電圧を印加して、吐出した前記液滴に静電力を作用させることを特徴とする液滴吐出装置の描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドにより特殊なインクや発光性の樹脂液等の液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式で微小な液滴を吐出することができる機能液滴吐出ヘッドを用いて、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルターに代表される各種の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）を製造する液滴吐出装置が提案されている（特許文献１）。
この液滴吐出装置では、カラーフィルターを製造する場合、バンク部で区画された基板（ワーク）上の複数の画素領域に対し、各色の機能液（インク：フィルター材料）を導入した機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により、機能液滴を吐出・着弾させる描画処理を行い、複数の画素領域に成膜部（着色層）を形成している。この場合、装置側は元より基板側においても、カラーフィルターへの着色に色むら等が生じないように、インクの着弾位置を高い精度で管理している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３５０４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような、従来のインクジェット方式の液滴吐出装置により、着弾位置を高い精度で管理していくためには、ノズルのアレイの間隔や直線性、ヘッドを移動させるためのテーブルの走査方向や傾き角度等、機械的な精度を向上させる必要がある。しかしながら、このような機械的な精度の管理には限界がある。また、基板の精度管理にも自ずと限界がある。
【０００５】
本発明は、機械的な精度にかかわらず、ワークへの着弾位置を高い精度で管理することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、描画面に対する裏面に電極部を備えたワークに液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置であって、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動される液滴吐出ヘッドと、ワークをセットするセットテーブルと、液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧を印加する電源制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動されると共に、ワークの描画面に対する裏面に電極部が設けられ、液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧が印加される。このため、液滴吐出ヘッドからの液滴をクーロン力により電極部の方向に引き寄せることで、液滴を所定の位置に確実に着弾させることができる。したがって、機械的な精度にかかわらず、ワークへの着弾位置を高い精度で管理することができる。
【０００８】
この場合、ワークは、液滴が着弾するマトリクス状の複数の画素領域と、複数の画素領域を囲むバンク部と、を有し、電極部は、複数の画素領域と同一ピッチで配設された複数の帯状電極を有していることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドからの液滴を、複数のバンク部で囲まれた画素領域の中心に確実に着弾させることができ、着色層の色むら等の発生を防止することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置であって、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動される液滴吐出ヘッドと、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルに設けられた電極部と、液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧を印加する電源制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動されると共に、ワークをセットするセットテーブルに電極部が設けられ、液滴吐出ヘッドの吐出駆動に同期して、電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧が印加される。このため、液滴吐出ヘッドからの液滴をクーロン力により電極部の方向に引き寄せることで、液滴を所定の位置に確実に着弾させることができる。したがって、機械的な精度にかかわらず、ワークへの着弾位置を高い精度で管理することができる。
【００１２】
この場合、ワークは、液滴が着弾するマトリクス状の複数の画素領域と、複数の画素領域を囲むバンク部と、を有し、電極部は、複数の画素領域と同一ピッチで配設された複数の帯状電極を有していることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドからの液滴を、複数のバンク部で囲まれた画素領域の中心に確実に着弾させることができ、着色層の色むら等の発生を防止することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置の描画方法は、ワークに、液滴を吐出して描画を実施する液滴吐出装置の描画方法であって、液滴吐出ヘッドを、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動されると共に、ワーク側に設けた電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧を印加して、吐出した液滴に静電力を作用させることを特徴とする。
【００１５】
この方法によれば、吐出する液滴が帯電状態となる駆動周期で吐出駆動されると共に、ワーク側に設けた電極部に、帯電した液滴と異極となるバイアス電圧を印加して、吐出した液滴に静電力を作用させることにより、液滴を所定の位置に確実に着弾させることができる。したがって、機械的な精度にかかわらず、ワークへの着弾位置を高い精度で管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】基板（ワーク）を模式的に表した平面図である。
【図２】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】液滴吐出ヘッドの液滴吐出部による液滴吐出のメカニズムを模式的に説明する図である。
【図５】液滴吐出装置の制御系について説明するブロック図である。
【図６】カラーフィルター製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】製造工程順に示したカラーフィルターの模式断面図である。
【図８】基板（ワーク）に電極部を設けない場合の着色層の形成を説明した模式断面図である。
【図９】基板（ワーク）に電極部を設けた場合の着色層の形成を説明した模式断面図である。
【図１０】他の実施形態を説明した模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付の図面を参照して、本発明に一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。
この液滴吐出装置は、カラーフィルター等のＦＰＤの製造ラインに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルター等の基板（ワーク）上に構成された画素領域に機能液滴を吐出・着弾させる。
【００１８】
図１に示すように、カラーフィルター５００（図７参照）の基板（ワーク）Ｗ（５０１）は、ガラス板（石英ガラス）やポリイミド樹脂等で構成されており、その周縁部の左右２箇所には、導入された液滴吐出装置１（図２参照）により位置認識される一対の基板アライメントマークＷｍ、Ｗｍがそれぞれ形成されており、その周縁部を除いた範囲には、区画壁部５０７ｂ（バンク部、図７参照）により区画した複数の画素領域５０７ａがマトリクス状に配列されている。各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂで囲まれた平面視正方形の凹部となっており、液滴吐出装置１に搭載された液滴吐出ヘッド１６（図３参照）によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）（図７参照）を形成する際に、機能液滴Ｄ（図３参照）の着弾領域となる（図７参照）。
【００１９】
この場合、機能液滴Ｄが着弾した３個の画素領域５０７ａ、すなわち、Ｒの機能液滴Ｄが着弾した画素領域５０７ａと、Ｇの機能液滴Ｄが着弾した画素領域５０７ａと、Ｂの機能液滴Ｄが着弾した画素領域５０７ａとにより、いわゆる画素が構成される。また、本発明の実施形態では、カラーフィルター５００（図７参照）の基板（Ｗ）５０１には、その描画面とは逆側の裏側の面に、各画素領域５０７ａに対応する位置に、画素領域５０７ａと同一ピッチで、電極部５１０が設けられている（図７参照）。
【００２０】
次に、図２を参照して、本実施形態の液滴吐出装置１について説明する。図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、機台２上の端部に設置されたヘッド機能回復装置４と、ヘッド機能回復装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、を備えている。そして、液滴吐出装置１は、ヘッド機能回復装置４により、液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ上に機能液滴Ｄを吐出する描画処理を行うようにしている。
【００２１】
まず、液滴吐出装置１の描画装置３およびこれによる描画処理について説明する。描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３からなるＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられ、ヘッドθ軸テーブル３２を有するメインキャリッジ１４と、メインキャリッジ１４に垂設したサブキャリッジ１５とを有している。そして、サブキャリッジ１５には、ヘッドプレート（図示省略）を介して、複数（３つ）の液滴吐出ヘッド１６が搭載されている。また、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ１７，１７により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。
【００２２】
Ｘ軸テーブル１２は、基板Ｗを吸着搭載する吸着テーブル２３および基板θ軸テーブル２４等からなるセットテーブル２２と、セットテーブル２２を主走査方向（Ｘ軸方向）にスライド自在に支持するＸ軸スライダー２１と、主走査方向に延在し、セットテーブル２２を介して基板Ｗを主走査方向に移動させる一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、一対のＸ軸リニアモーターの間に並設され、Ｘ軸スライダー２１の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール（図示省略）とを備えている。一対のＸ軸リニアモーターを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレールをガイドにしながら、Ｘ軸スライダー２１が主走査方向に移動し、セットテーブル２２にセットされた基板Ｗが主走査方向に移動する。
【００２３】
また、セットテーブル２２（吸着テーブル２３）には、後述する基板Ｗに形成された電極部５１０に接触する、複数の接点２２ａが設けられている（図５参照）。詳細は後述するが、セットテーブル２２に、位置決め状態で基板Ｗがセットされると、基板Ｗに複数箇所で接点２２ａが接触し、液滴吐出ヘッド１６の駆動に同期しこの接点２２ａを介して、電極部５１０に所定のバイアス電圧が印加されるようになっている（図５参照）。
【００２４】
一方、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２と同様に、メインキャリッジ１４を吊設するブリッジプレート（図示省略）と、ブリッジプレートを支持するＹ軸スライダー３１と、副走査方向（Ｙ軸方向）に延在し、Ｙ軸スライダー３１を介してブリッジプレートを副走査方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモーターに並設され、ブリッジプレートの移動を案内する一対のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、ブリッジプレートの移動位置を検出するためのＹ軸リニアスケール（図示省略）と、を備えている。Ｙ軸リニアモーターを駆動すると、Ｙ軸スライダー３１がＹ軸ガイドレールを案内にして副走査方向を平行移動し、ブリッジプレートを副走査方向に移動させる。
【００２５】
Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３３，３３に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、主走査方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。
【００２６】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載した液滴吐出ヘッド１６を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置する機能回復エリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画を行う場合には、液滴吐出ヘッド１６を描画エリア４１に臨ませ、後述する液滴吐出ヘッド１６の機能回復処理を行う場合には、液滴吐出ヘッド１６を機能回復エリア４２に臨ませる。
【００２７】
一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部（図示下側）は、基板ＷをＸ軸テーブル１２にセットするための基板導入エリア４３となっており、この基板導入エリア４３には、上記一対の基板認識カメラ１７，１７が配設されている。そして、この一対の基板認識カメラ１７，１７により、吸着テーブル２３上に供給された基板Ｗの２箇所の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍが同時に認識され、この認識結果に基づいて、基板Ｗのアライメントがなされる。
【００２８】
サブキャリッジ１５は、ヘッドプレートと、ヘッドプレートに取り付けた３つ液滴吐出ヘッド１６を有している。３つ液滴吐出ヘッド１６には、レッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の機能液がそれぞれ導入され、基板Ｗに対しＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴Ｄを吐出し得るようになっている。
【００２９】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド１６は、導入された機能液（Ｒ・Ｇ・Ｂ３色のいずれか）の液滴をインクジェット方式で吐出する、いわゆるインクジェットヘッドであり、基板Ｗに対し機能液滴Ｄを吐出する液滴吐出部５０を有している。
【００３０】
液滴吐出部５０は、機能液タンク接続針５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なるヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方（同図では上方）に連なるヘッド本体５４の内部に形成され、機能液で満たされるヘッド内機能液流路５５とを備えている。機能液タンク接続針５２は、液滴吐出ヘッド１６のヘッド内機能液流路５５に機能液を供給する。ヘッド内機能液流路５５は、ノズル面５６ａを有するノズルプレート５６に形成された複数の吐出ノズル５７に連通している。
【００３１】
そして、ヘッド内機能液流路５５に設けられたポンプ部５８（図４参照）の作用により、ヘッド内機能液流路５５に導入された機能液が各吐出ノズル５７から吐出する。また、ヘッド基板５３には、コネクター５９が設けられており、コネクター５９はフレキシブルフラットケーブルを介して、ヘッドドライバー１１１に接続されている（図５参照）。そして、ヘッドドライバー１１１で生成された駆動波形が各コネクター５９を介してポンプ部５８に印加される。
【００３２】
また、複数の吐出ノズル５７は、それぞれ等ピッチで並べられて吐出ノズル列５７Ｌを構成している。各吐出ノズル５７は、基板Ｗに対する液滴吐出ヘッド１６の相対的な移動方向（主走査方向）に並んでいる（図２参照）。なお、吐出ノズル列５７Ｌを複数設けるようにしてもよい。
【００３３】
図４に示すように、ヘッド内機能液流路５５に設けられたポンプ部５８は、充電されると収縮し（同図（ａ）参照）、放電されると伸長する（同図（ｂ）参照）。圧電素子７１と、圧電素子７１の伸縮に従って振動（凹凸変形）し、ヘッド内機能液流路５５の圧力発生室５５ａに圧力変動を生じさせる振動板７２とから構成されている。そして、圧電素子７１に駆動波形を印加して、振動板７２を振動させて圧力発生室５５ａに圧力変動を生じさせることで、吐出ノズル５７から機能液滴Ｄが吐出される。
【００３４】
図２において、メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、機能回復処理を行うヘッド機能回復装置４の各種ユニットを分散して載置する共通ベース９１と、共通ベース９１をＸ軸方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール９２と、モーター駆動のＸ軸移動機構（図示省略）とを備えており、共通ベース９１上に分散して載置されたヘッド機能回復装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動して機能回復エリア４２に位置させる。
【００３５】
ヘッド機能回復装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置され、液滴吐出装置１の稼動停止時に液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル５７の乾燥を防止すべくこれを封止する保管ユニット８１と、液滴吐出ヘッド１６内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う吸引ユニット８２と、液滴吐出ヘッド１６のノズル面５６ａを払拭するワイピングユニット８３とを備えている。
【００３６】
次に、図５を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、液滴吐出装置１全体を統括制御する上位コンピューター１００と、液滴吐出ヘッド１６、ＸＹ移動機構１１、ヘッド機能回復装置４等を駆動する各種ドライバーを有する駆動部１１０と、駆動部１１０を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１２０（コントローラー８）とを備えている。上位コンピューター１００は、コントローラー８に接続されたコンピューター本体１０１に、キーボード１０２や、キーボード１０２による入力結果等を画像表示するディスプレイ１０３等が接続されて構成されている。
【００３７】
駆動部１１０は、液滴吐出ヘッド１６を吐出駆動制御するヘッドドライバー１１１と、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の各モーターをそれぞれ駆動制御する描画系移動用ドライバー１１２と、メンテナンス系移動テーブル５を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバー１１３と、ヘッド機能回復装置４の吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を駆動制御するメンテナンス用ドライバー１１４と、基板Ｗに形成されている電極部５１０へのバイアス電圧を制御するバイアス電圧ドライバー１１５と、を備えている。
【００３８】
制御部１２０は、ＣＰＵ１２１と、ＲＯＭ１２２と、ＲＡＭ１２３と、Ｐ−ＣＯＮ１２４とを備え、これらは互いにバス１２５を介して接続されている。ＲＯＭ１２２は、ＣＰＵ１２１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画処理や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。
【００３９】
ＲＡＭ１２３は、各種レジスター群のほか、各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ１２４には、駆動部１１０の各種ドライバーのほか、各種周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。
【００４０】
そして、ＣＰＵ１２１は、ＲＯＭ１２２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して駆動部１１０等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１２１は、液滴吐出ヘッド１６、電極部５１０、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件で基板Ｗに描画を行う。
【００４１】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルター５００の製造方法について簡単に説明する。図６は、カラーフィルター５００の製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示したカラーフィルター５００（フィルター基体５００Ａ）の模式断面図である。
【００４２】
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。また、本発明の実施形態では、基板（Ｗ）５０１の裏側の各画素領域５０７ａに対応する位置に、電極部５１０を形成しておく。電極部５１０は、例えば基板（Ｗ）５０１の裏側に、フォトリソグラフィーの技術によりレジストパターンを形成してエッチングを行い、形成したエッチング溝に電極材料を成膜することで形成される。
【００４３】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。すなわち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
【００４４】
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド１６により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定している。以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルター基体５００Ａが得られる。
【００４５】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド１６（インクジェットヘッド）によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、３つの液滴吐出ヘッド１６を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルター材料）を導入し、ＲＡＭ１２３内の吐出パターンデータ（描画データ）に従って、機能液滴の選択的な吐出を行う（描画処理）。
【００４６】
ここで、液滴吐出ヘッド１６によって機能液滴を吐出する際に、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１６を高周波（例えば５８ｋＨｚ以上）で駆動すると共に、液滴吐出ヘッド１６からの吐出駆動に同期し、吸着テーブル２３（セットテーブル２２）に設けた複数の接点２２ａを介して、各電極部５１０に、バイアス電圧を印加するようにしている。
【００４７】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。すなわち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルター５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００４８】
上述のように、本発明の実施形態では、液滴吐出ヘッド１６を例えば５８ｋＨｚ以上の高周波で駆動している。実験によると、機能液滴Ｄは、液滴吐出ヘッド１６を例えば５８ｋＨｚ以上の高周波で駆動すると、帯電状態になることが確かめられている。
【００４９】
つまり、図４に示したように、液滴吐出ヘッド１６は、圧電素子７１に駆動波形を印加して、振動板７２を振動させて圧力発生室５５ａに圧力変動を生じさせることで、吐出ノズル５７から機能液滴Ｄを吐出させるように構成されている。このような構成では、液滴吐出ヘッド１６が高周波で駆動されることにより、液滴吐出ヘッド１６内での機能液滴Ｄに対して激しく振動が加えられ、また、液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル５７からの機能液滴Ｄの吐出が加速される。これにより、上記のヘッド内機能液流路５５において、機能液滴Ｄに摩擦帯電が生じると考えられる。
【００５０】
また、本発明の実施形態では、基板（Ｗ）５０１の各画素領域５０７ａに対応する位置に電極部５１０が形成されており、これらの電極部５１０には、液滴吐出ヘッド１６からの吐出駆動に同期して、機能液滴Ｄの極性と異なる極性のバイアス電圧が印加される。すなわち、機能液滴Ｄは高周波駆動により負極に帯電され、電極部５１０には、正極のバイアス電圧が印加される。これにより、液滴吐出ヘッド１６からの帯電した機能液滴Ｄは、クーロン力を受けて、電極部５１０に引き寄せられていき、飛行曲り等が生じても、各画素領域５０７ａの位置に確実に着弾される。
【００５１】
図８および図９は、液滴吐出ヘッド１６を高周波駆動し、基板（Ｗ）５０１の電極部５１０にバイアス電圧を印加することにより、液滴吐出ヘッド１６からの機能液滴Ｄを各画素領域５０７ａの位置に確実に着弾できることを説明するものである。
【００５２】
図８（ａ）に示すように、例えば画素領域５０７ａの中心から外れた位置にある吐出ノズル５７により、当該画素領域５０７ａに機能液滴Ｄを吐出したり（画素ピッチに対しノズルピッチが十分に小さい）、吐出ノズル５７に飛行曲りを生ずるものが存在するものとする。この場合、電極部５１０を設けられていないとすると、図８（ａ）に示すように、吐出ノズル５７からの機能液滴Ｄは、吐出ノズル５７の位置や飛行曲りの影響により、各画素領域５０７ａの中心位置からずれ、区画壁部５０７ｂ（バンク部）に着弾される。その結果、図８（ｂ）に示すように、各画素領域５０７ａの着色層５０８Ｘ（赤の着色層、緑の着色層、青の着色層の何れか）が均一にならなくなる。このため、各画素で着色層５０８Ｘが同一の色であれば、色むらとなり、異なる色であれば混色が生じる。
【００５３】
これに対し、図９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１の各画素領域５０７ａに対応する位置に電極部５１０を設けた場合には、例えば液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル５７に飛行曲り等が発生していたとしても、吐出ノズル５７から吐出した機能液滴Ｄは、クーロン力を受けて、電極部５１０の方向に引き寄せられていく。このため、図９（ａ）に示すように、吐出ノズル５７からの機能液滴Ｄは、電極部５１０のある各画素領域５０７ａの位置に引き寄せられ、各画素領域５０７ａ内に着弾される。また、区画壁部５０７ｂに着弾する機能液滴Ｄがあっても、この機能液滴Ｄもクーロン力を受け、所望の区画壁部５０７ｂに流れ込む。このため、図９（ｂ）に示すように、各画素領域５０７ａの着色層５０８Ｘは均一になり、色むら等は発生しない。
【００５４】
このように、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１６を例えば５８ｋＨｚ前後の高周波で駆動することで機能液滴Ｄを帯電させ、電極部５１０にバイアス電圧を印加することで、液滴吐出ヘッド１６からの機能液滴Ｄをクーロン力により電極部５１０の方向に引き寄せることで、機能液滴Ｄを各画素領域５０７ａ内に確実に着弾させることができる。また、本実施形態では、機能液滴Ｄに、帯電した物質を混入したり、誘電率の微小な粒子を分散させたりせずに、機能液滴Ｄを帯電させることができる。
【００５５】
図１０は、本発明の他の実施形態（第２実施形態）を示すものである。前述の実施形態（第１実施形態）では、基板（Ｗ）５０１の各画素領域５０７ａに対応する位置に、電極部５１０を形成している。これに対して、この実施形態では、基板（Ｗ）５０１をセットするセットテーブル２２に、電極部６１０を設けるようにしている。
【００５６】
すなわち、図２に示したように、Ｘ軸テーブル１２には、吸着テーブル２３および基板θ軸テーブル２４等から成るセットテーブル２２が設けられており、基板（Ｗ）５０１は、このセットテーブル２２に吸着セットされる。そこで、この実施形態では、図１０に示すように、セットテーブル２２の基板（Ｗ）５０１を構成する吸着テーブル２３のセット面に、基板（Ｗ）５０１の各画素領域５０７ａの位置に対応して、画素領域５０７ａと同一ピッチで、複数の電極部６１０が埋め込まれるようにして、形成されている。なお、図示では省略したが、電極部６１０は、絶縁膜を介して吸着テーブル２３に埋め込まれている。
【００５７】
この実施形態の場合にも、前述の実施形態と同様に、液滴吐出ヘッド１６が例えば５８ｋＨｚ以上の高周波で駆動されると共に、液滴吐出ヘッド１６からの吐出駆動に同期して、電極部６１０に、帯電した機能液滴Ｄの極性と異なる極性のバイアス電圧が印加される。これにより、例えば液滴吐出ヘッド１６の吐出ノズル５７に飛行曲り等が発生していたとしても、吐出ノズル５７から吐出した機能液滴Ｄは、クーロン力を受けて、各画素領域５０７ａに対応する位置にある電極部６１０に引き寄せられていく。このため、各画素領域５０７ａの色むらや混色は発生しない。他の構成については、前述の実施形態と同様であり、その説明を省略する。
【００５８】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内で様々な変形や応用が可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１…液滴吐出装置  ８…コントローラー  １２…Ｘ軸テーブル  １４…サブキャリッジ  １６…液滴吐出ヘッド  ５０…液滴吐出部  ５７…吐出ノズル  ５００…カラーフィルター  ５０７ａ…画素領域  ５０７ｂ…区画壁部  ５１０，６１０…電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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