(57)【要約】【課題】塗布ロボットを使った液剤塗布において、半導体や医療品、食品対応したクリーンな塗布を可能とする。【解決手段】液剤塗布装置カバー上部のＨＥＰＡフィルターを設け、塗布ヘッドの下方には塗布部材を水平方向に位置決めるＸ−Ｙテーブル上に塗布部材を載置している。塗布時における塗布対応上下駆動部や、ＸＹテーブルユニットの摺動部や駆動部を塗布面より下方に構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤塗布装置のカバー上部にＨＥＰＡフィルターを設けダウンブローしている。液剤供給部と接合されている塗布関連ヘッド部が保持支柱に取り付けられている。塗布関連ヘッド部の下方には水平方向に移動可能なＸ−Ｙテーブル部があり、このテーブル部の上には塗布部材が載置されている。液剤塗布時においては、塗布関連ヘッド部と塗布部材との隙間を最適に保ち、液剤塗布可能とするために、塗布関連ヘッド部が取り付けられている保持支柱を上下動させ液剤塗布をする。この塗布関連ヘッド部の上下駆動部や、Ｘ−Ｙ位置決めテーブル部の駆動部や摺動部が、塗布面より下方に位置するように構成したことを特徴とする液剤塗布装置。
【請求項２】
前記塗布関連ヘッド部には、液剤塗布ヘッドの塗布ノズル先端と塗布面との隙間を検出するユニットや、液剤塗布状態を検出するユニットを搭載可能としたことを特徴とする請求項１記載の液剤塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は、液剤を塗布部材に塗布するに当たり、クリーンな環境内で液剤を塗布する液体塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】液剤塗布に関しては、各種業界分野に幅広く使用されている。近年クリーン度が必要な分野である、半導体分野、食品分野も液剤塗布の用途も広くなってきており、環境に対応するための分野であるＬＥＤ、バッテリー、ソーラー、情報機器、食品など環境に配慮した商品はこれからも市場拡大が続いていく。これにより対応できるクリーン度の高い塗布装置が求められる。【０００３】従来においては、各種の分野の設備においても、ヘッド部が上下する構成がとられている。装置設計からすると基本的なものであるが、半導体や医療分野においては、クリーン度を非常に高める必要がある。この場合において、必要な塗布面等の上に駆動体や摺動部がＨＥＰＡフィルターの下にあると、クリーン度はかなり低下するものである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】半導体分野や医療分野の装置を見ると、カバー上部にはＨＥＰＡフィルターが取り付いているその下方には、薬液の注入ヘッドや半導体部品装着においてもＨＥＰＡフィルターの下方にヘッドを上下動させる駆動ユニットや摺動部がトレイや回路基板の上を移動している。このためクリーン度が低下したエアーが塗布部材上にダウンブローされていることになる。【０００５】塗布装置のベースプレート近辺より、ダウンブローされたエアーは排出されるようにする。このように、理想的には塗布面より上方に駆動部や摺動部がなく、クリーンエアーがダウンブローされる構成が好ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】液剤塗布装置において、液剤塗布関連ヘッド部は、当然液剤塗布部材の上方に位置することになる。また液剤塗布部材を塗布位置に位置決めするため、Ｘ−Ｙテーブル上に塗布部材を載置している。これら装置内駆動部のＸ−Ｙテーブル部を含め、塗布関連ヘッド部を上下動させる駆動部や摺動部を、塗布部材の塗布面より下方に位置するように構成させるため、塗布関連ヘッド部を取り付けている保持支柱を、塗布面より下方で上下動させるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】本発明によれば、装置カバー上部に取り付けているＨＥＰＡフィルターからのクリーンなエアーをダウンブローさせ、塗布部材の塗布面までは装置内における駆動部や摺動部は塗布面より下方に位置させる構成とすることにより、クリーン度の高い状態で液剤塗布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態の液剤塗布装置の構成を示す斜視図
【図２】本発明の一実施形態の液剤塗布装置の右側面概略図
【図３】本発明の塗布関連ヘッド部上下駆動部の別構成図
【図４】本発明の一実施形態の液剤塗布装置の上下駆動の別構成図
【図５】本発明の一実施形態の片側スタンドの右側面概略図
【発明を実施するための形態】
【０００９】次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１において本発明の全体構成をあらわしたものである。塗布装置１の前後には、塗布部材２を搬出入するためのクリーントンネルやクリーンストッカー等、詳細に図示していないが供給部３から排出部４に取り出されていく。５は塗布装置１の制御部である。
【００１０】塗布装置１は、上部にクリーンフィルターであるＨＥＰＡフィルター６が、装置カバー上部７に取り付けられクリーンエアーがダウンブローされている。その下方には液剤タンク８と結合されている液剤塗布ヘッド９が、ヘッド取り付けプレート１１に取り付けられている。１０は液剤供給チューブである。１２は塗布面高さ検出センサーであり、ブラケット１３に取り付けられ、ヘッド取り付けプレート１１に固定されている。
【００１１】ヘッド取り付けプレート１１は保持支柱１４に取り付けられ、保持支柱昇降駆動部１５により液剤塗布ヘッド９を上下動させる。本発明の例では、トレイ供給の塗布部材２の部品に対して塗布面の高さを塗布面高さ検出センサー１２で検出し、それに対応した塗布ノズル１６の高さが維持できるようにして液剤を塗布する。１７のポジションはメンテナンス用のポジションである。駆動は図示していないが、シリンダーとかボールネジ等で駆動させることにより、装置の前面方向でメンテナンスを容易にさせるためのものである。保持支柱１４は軽量かつ剛性の高い炭素繊維等で軽量化をすればよい。保持支柱昇降駆動部１５については図２で説明する。
【００１２】塗布装置１の本体ベースプレート１８またその近傍には、ＨＥＰＡフィルター６の風量に対してクリーンエアーが最適な方向に流れ排出できるように排気口１９を設ける。また本体ベースプレート１８上には、塗布部材２を水平方向の任意の位置に位置決めを行うＸ−Ｙテーブル部２０があり、塗布部材２を載置している。Ｘ−Ｙテーブル部２０は、Ｙ軸フレーム２１とＹ軸モータ２２およびＹ軸ボールネジ２３でＹ方向の位置決めをし、Ｘ方向駆動は、Ｘ軸フレーム２４とＸ軸モーター２５およびＸ軸ボールネジ２６によりＸ方向の位置決めを行うことにより、塗布部材２に対して水平方向の位置決めを行っている。
【００１３】図２は塗布装置１の右側面概略図である。カバー上部にはＨＥＰＡフィルター６があり、その下方には液剤塗布ヘッド９がヘッド取り付けプレート１１に固定され、保持支柱１４に取り付けられている。その下方にはＸ−Ｙテーブル部２０が本体ベースプレート１８上に取り付けられ、Ｘ−Ｙテーブル部２０には塗布部材２が載置されている。
【００１４】保持支柱昇降駆動部１５は、リニアガイド２７がブラケット２８に取り付けられ上下の案内をし、上下駆動はブラケット２９に取り付けられたＺ軸モータ３０とＺ軸ボールネジ３１により駆動される。保持支柱昇降駆動部１５は、前後２箇所に構成することにより上下の駆動をスムースに動作可能とし、Ｚ軸モータ３０に対しては同期制御方式で上下動に対する安定性を保たせている。３２はＺ軸ボールネジ３１のナットホルダーであり、保持支柱１４に取り付けられている。以上の様に塗布部材２の塗布面Ｈ−Ｈより下方に、Ｘ軸駆動部３３、Ｙ軸駆動部３４および保持支柱昇降駆動部１５の駆動部と摺動部は位置する構成とし、ＨＥＰＡフィルター６のダウンブローするクリーンエアーのクリーン度をできるだけ高く維持できるような構成としている。
【００１５】図３は、保持支柱１４を上下させるための別の駆動構成を図である。カムを用いた上下駆動方式で装置前後に一対の構成としている。リニアガイド２７がブラケット２８に取り付けられ、上下動させる板カム３６を回転駆動させるＺ軸モーター３０はブラケット３７に取り付けられている。板カム３６に対応するカムフォロアー３５は、保持支柱１４に取り付けられ、前後のモータを同期制御させることにより上下駆動させている。
【００１６】図４は、一つの昇降駆動部で上下動させるようにしたものである。塗布装置１の上部にはＨＥＰＡフィルター６があり、下方には液剤塗布ヘッド９がヘッド取り付けプレート１１に取り付けられている。その下方には塗布部材２を搭載したＸ−Ｙテーブル部２０が本体ベースプレート１８上に取り付けられている。ヘッド取り付けプレート１１を取り付けている一体型の矩形保持ブロック３８は、本体ベースプレート１８を挟むように構成しており、矩形保持ブロック３８の下部の中央部にはカムフォロアー３９を取り付け、このカムフォロアー３９に対応する位置で、液剤塗布ヘッド９を上下動させる板カム４０がモータ４１により上下駆動される。
【００１７】図５は、ヘッド取り付けプレートを、Ｘ−Ｙテーブルをまたいだ門型でなく、片方から上下駆動可能な構造としたものである。装置上部にはＨＥＰＡフィルター６があり、その下方には液剤塗布ヘッド９があり、その下方には塗布部材２を搭載したＸ−Ｙテーブル部２０が本体ベースプレート１８上に取り付けられている。この本体ベースプレート１８上にはヘッド取り付けプレート１１を保持するスタンドフレーム４２が、リニアガイド２７により上下方向に摺動可能な様にブラケット２８に取り付けられている。上下の駆動はブラケット４３に取り付けられたモーター３０とボールネジ３１により駆動される。ボールネジナット４４は、スタンドフレーム４２に取り付けられている。
【産業上の利用可能性】
【００１９】本発明の液剤塗布装置は、クリーン度を必要とされる分野である、半導体分野、食品分野等における液剤塗布に対して有用である。
【符号の説明】
【００２０】２    塗布部材
６    ＨＥＰＡフィルター
８    液剤タンク
９    液剤塗布ヘッド
１１  ヘッド取り付けプレート
１４  保持支柱
１８  本体ベースプレート
２０  Ｘ−Ｙテーブル部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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