(57)【要約】【課題】基板搬送時の基板把持位置のずれを効率的に特定する搬送制御装置を提供する。【解決手段】基板６０を搬送する搬送機構２０を制御する搬送制御装置１０において、受信部は、搬送機構２０による基板搬送軌道の途中における基板の通過タイミングを示す信号を取得する。基板位置取得部は、受信部が取得した信号のタイミングに基づいて基準テーブルを参照し、基板６０の把持位置のずれを取得する。基準テーブルは、把持部２６に対する基板６０の複数の把持位置と、搬送機構２０がそれぞれの把持位置にて基板６０を把持して搬送したときの基板の通過を示す信号のタイミングとを関連づけて記録する。動作制御部は、基板位置取得部が取得した基板６０の把持位置のずれに基づいて、搬送機構２０の搬送動作を補正し、基板６０を目標位置に搬送する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送機構を制御する搬送制御装置であって、
前記搬送機構による基板搬送軌道の途中における基板の通過タイミングを示す信号を取得する受信部と、
前記搬送機構の基板把持部が基板を把持する際の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを格納する記憶部と、
前記受信部が取得した信号のタイミングに基づいて前記基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定する基板位置取得部と、を備え、
前記基準テーブルは、前記基板把持部に対する基板の複数の既知の位置と、それぞれの位置にて基板を把持して搬送したときに前記受信部が取得した信号のタイミングとを関連づけることを特徴とする搬送制御装置。
【請求項２】
前記基板位置取得部が特定した基板の位置ずれ量に基づいて、前記搬送機構の動作を補正し、前記基板を搬送目標位置に搬送させる動作制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
【請求項３】
前記搬送機構は、複数の搬送軌道に沿って基板を搬送可能であり、
前記基板位置取得部は、前記複数の搬送軌道のうちの指定された一の搬送軌道と、前記受信部が取得した信号のタイミングとに基づいて前記基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定することを特徴とする請求項１または２に記載の搬送制御装置。
【請求項４】
基板を搬送する搬送機構と、基板の通過を検知した際に信号を発するセンサと、前記搬送機構を制御する搬送制御装置とを備える搬送システムであって、
前記搬送制御装置は、
前記搬送機構の基板把持部が基板を把持する際の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを格納する記憶部と、
前記センサが発する信号のタイミングに基づいて前記基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定する基板位置取得部と、を備え、
前記基準テーブルは、前記基板把持部に対する基板の複数の位置と、それぞれの位置にて基板を把持して搬送したときに前記センサが発した信号のタイミングとを関連づけ、
前記搬送機構は、前記基板位置取得部が特定した基板の位置ずれ量に基づいて搬送動作を補正し、前記基板を搬送目標位置に搬送することを特徴とする搬送システム。
【請求項５】
基板を搬送する搬送機構と、基板の通過を検知するセンサと、搬送制御装置とを備える搬送制御システムにおいて、基板の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを作成する方法であって、
前記搬送制御装置が、前記搬送機構の搬送開始位置と、搬送目標位置とを記憶するステップと、
前記搬送機構が前記搬送開始位置に置かれた基板を既知のずれ量分ずらして把持するステップと、
前記基板を把持した搬送機構が、前記搬送目標位置に向かって基板を搬送するステップと、
前記搬送制御装置が、前記センサが基板の通過を検知した際に発する信号を取得するステップと、
前記搬送制御装置が、前記取得した信号のタイミングと前記既知のずれ量とを関連づけて記憶するステップと、
を備えることを特徴とする基準テーブル作成方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法によって作成された基準テーブルを参照して前記搬送機構が把持する基板の位置ずれを較正する方法であって、
前記搬送機構が基板を搬送する間に、前記センサが発する信号を前記搬送制御装置が取得するステップと、
前記搬送制御装置が、取得した信号のタイミングに基づいて前記基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定するステップと、
前記搬送機構が、前記基板の位置ずれ量に基づいて搬送動作を補正し、前記基板を搬送目標位置に搬送するステップと、
を備えることを特徴とする把持位置較正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送技術に関し、特に、搬送機構の基板把持位置のずれ量を特定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路製造工程においては、シリコンウェハ等の基板に数百もの処理が施される。基板は様々な基板処理装置や基板収納カセット等の間でロボットアーム等の搬送機構により搬送される。
何らかの要因で基板が正確な置き場所からずれた位置に置かれたり、把持されたり、または搬送中に把持部上で移動した場合、搬送機構が通常の把持位置からずれた位置で基板を把持してそのまま搬送してしまう。その結果、搬送目標位置に正確に基板を置けず、製品の歩留まりに影響を及ぼしたり、基板の破損や装置の停止等の不具合を起こす可能性がある。
【０００３】
このため、搬送中の基板の把持位置のずれを検出し、較正する様々な手法が提案されている。特許文献１には、複数のセンサを用いて搬送中の基板を検出し、ロボットマニピュレータのエンドエフェクタ上の所望の位置に対する基板の離心率を確定する基板処理装置が記載されている。その技術によれば、搬送中の基板がセンサの前を通過するタイミングを検出する。予め、ロボットと搬送先のステーションとセンサの位置が厳密に計測されているため、通過のタイミングから基板の離心率を計算することができる。その計算結果をもとに位置ずれを補正するよう、ロボットマニピュレータのエンドエフェクタの停止位置を制御する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００９−５００８６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の技術を実現するためには、前提条件として搬送開始地点や搬送目標地点となる装置や搬送機構、センサ等が正確に位置決めされている必要がある。位置決めには、０．１ｍｍ程度の精度が要求されるが、それぞれある程度の大きさや複雑さを有する別の構成要素どうしを床面、または構成要素を搭載するベース上で、その精度で正確に位置決めして置くことは必ずしも容易ではない。このため、いったん装置やセンサを位置決めした後も、搬送機構の試運転を繰り返し、設置位置の誤差を試行錯誤しながら補正するといった手間および時間のかかる準備作業が行われている。
【０００６】
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、効率的に基板把持位置のずれ量を特定できる搬送制御装置、搬送システム、基準テーブル作成方法、及び把持位置較正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の搬送制御装置は、基板を搬送する搬送機構を制御する搬送制御装置であって、搬送機構による基板搬送軌道の途中における基板の通過タイミングを示す信号を取得する受信部と、搬送機構の基板把持部が基板を把持する際の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを格納する記憶部と、受信部が取得した信号のタイミングに基づいて基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定する基板位置取得部と、を備える。基準テーブルは、基板把持部に対する基板の複数の既知の位置と、それぞれの位置にて基板を把持して搬送したときに受信部が取得した信号のタイミングとを関連づける。
【０００８】
この態様によると、例えば、搬送機構の基板把持位置のずれ量を予め実測値に基づいて作成したテーブルを用いて求めることができる。
【０００９】
本発明の別の態様は、搬送システムである。この搬送システムは、基板を搬送する搬送機構と、基板の通過を検知した際に信号を発するセンサと、搬送機構を制御する搬送制御装置とを備える搬送システムであって、搬送制御装置は、搬送機構の基板把持部が基板を把持する際の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを格納する記憶部と、センサが発する信号のタイミングに基づいて基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定する基板位置取得部と、を備える。基準テーブルは、基板把持部に対する基板の複数の位置と、それぞれの位置にて基板を把持して搬送したときにセンサが発した信号のタイミングとを関連づけ、搬送機構は、基板位置取得部が特定した基板の位置ずれ量に基づいて搬送動作を補正し、基板を搬送目標位置に搬送する。
【００１０】
この態様によると、例えば、搬送機構の基板把持位置のずれ量を予め実測値に基づいて作成したテーブルを用いて求め、求めたずれ量に基づいて基板をより正確に目標位置に搬送することができる。
【００１１】
本発明のさらに別の態様は、基準テーブル作成方法である。この方法は、基板を搬送する搬送機構と、基板の通過を検知するセンサと、搬送制御装置とを備える搬送制御システムにおいて、基板の位置ずれ量特定に用いられる基準テーブルを作成する方法であって、搬送制御装置が、搬送機構の搬送開始位置と、基板搬送軌道と、搬送目標位置とを記憶するステップと、搬送機構が搬送開始位置に置かれた基板を既知のずれ量分ずらして把持するステップと、基板を把持した搬送機構が、搬送目標位置に向かって基板を搬送するステップと、搬送制御装置が、センサが基板の通過を検知した際に発する信号を取得するステップと、搬送制御装置が、取得した信号のタイミングと既知のずれ量とを関連づけて記憶するステップと、を備える。
【００１２】
この態様によると、例えば、搬送機構の基板把持位置のずれを求める際に用いるテーブルを搬送機構の自動運転により作成することができる。
【００１３】
本発明のさらに別の態様は、把持位置較正方法である。この方法は、基準テーブルを参照して搬送機構が把持する基板の位置ずれを較正する方法であって、搬送機構が基板を搬送する間に、センサが発する信号を搬送制御装置が取得するステップと、搬送制御装置が、取得した信号のタイミングに基づいて基準テーブルを参照し、基板の位置ずれ量を特定するステップと、搬送機構が、基板の位置ずれ量に基づいて搬送動作を補正し、基板を搬送目標位置に搬送するステップと、を備えることを特徴とする。
【００１４】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板を搬送する際の基板把持位置のずれを効率的に特定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例にかかる搬送制御システムを模式的に示す図である。
【図２】実施例にかかる搬送制御装置の構成を示す図である。
【図３】図３（ａ）および図３（ｂ）は、実施例にかかる搬送機構が基板を基準把持位置にて把持して基準搬送軌道に沿って基板カセットへ搬送する際のセンサからの信号タイミングを説明するための図である。
【図４】図４（ａ）および図４（ｂ）は、搬送機構が基板を把持部に対して進行方向に平行な方向にずれた位置で把持して基板カセットへ搬送する際のセンサからの信号タイミングを説明するための図である。
【図５】図５（ａ）および図５（ｂ）は、搬送機構が基板を把持部に対して進行方向に垂直な方向にずれた位置で把持して基板カセットへ搬送する際のセンサからの信号タイミングを説明するための図である。
【図６】実施例にかかる基準テーブルの例を示す図である。
【図７】搬送機構が基板を搬送する際に選択可能な複数の搬送軌道の例を示す図である。
【図８】搬送制御装置の基準テーブル作成処理を示す図である。
【図９】搬送制御装置の基板把持位置較正処理を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
はじめに概要を説明する。
本実施形態では、搬送中の基板把持位置のずれを求めるための準備作業として、搬送開始地点や搬送目標地点となる装置や搬送機構、センサ等を所望の位置に設置した後、搬送機構が学習運転を行う。
学習運転の際には、搬送機構が基板把持位置を少しずつずらしながら搬送経路を往復し、搬送制御装置はその間にセンサが基板を検出したタイミングを記録し、基板把持位置のずれとセンサ信号タイミングとを関係づけた基準テーブルを作成する。
そして実際の基板搬送時にセンサが基板の通過を検知して信号を発すると、搬送制御装置はそのタイミングに基づいて基準テーブルを参照し、基板把持位置のずれを求める。搬送機構は、予定されていた動作を基板把持位置のずれを埋め合わせるように補正することで、基板を当初の目標位置に搬送することができる。
本実施形態では、装置やセンサが実際に設置されている位置が基準テーブルに反映されるため、製造現場における装置やセンサの設置位置の誤差を吸収できる。
【００１８】
以下、具体的に説明する。
図１は、実施形態にかかる搬送制御システム７０を模式的に示す。
搬送制御システム７０は、ウェハなどの基板６０に処理を施す基板処理装置４０と基板６０を収容する基板カセット５０との間で基板６０を運ぶ搬送機構２０、基板６０が搬送される軌道上に設置されて基板の通過を検知し、基板の通過タイミングを示す信号を発するセンサ３０ａおよび３０ｂ（以下、総称して「センサ３０」ともよぶ）、センサ３０からの信号を受け、搬送機構２０の動作を制御する搬送制御装置１０を備える。
【００１９】
搬送機構２０は、床に対して移動可能なベース部２２、ベース部２２の回転軸に回転可能に取り付けられた第１のアームと第１のアームの先端の回転軸に回転可能に取り付けられた第２のアームとを含むアーム部２４、第２のアームの先端の回転軸に回転可能に取り付けられた把持部２６を備える。把持部２６は、図示しない静電チャックや真空チャック、機械的保持機構や摩擦力等を用いて基板を把持する。なお、ベース部２２は設置されている床に対して固定されてもよい。
【００２０】
センサ３０は基板の搬送軌道に光ビームを放射する放射部（図示せず）と、搬送軌道を挟んで放射部からの光ビームを受ける位置に設けられた検出部（図示せず）とを含む。センサ３０は、搬送機構２０により搬送軌道に沿って搬送される基板の前縁部が光ビームをが遮断したとき、すなわち基板非検知状態から基板検知状態に切り替わったときに信号を発する。
【００２１】
なおセンサ３０は、放射部と、搬送軌道を挟んで放射部からの光ビームを反射する反射部と、反射部からの光を受ける位置に設けられた受光部とで構成されてもよい。この場合、放射部と受光部は一体として形成されてもよい。
また、センサ３０は搬送軌道に沿って移動する基板の後縁部が光ビーム放射領域を通過し、基板により遮蔽されていた光ビームが再び検出されたとき、すなわち基板検知状態から基板非検知状態に切り替わったときにも信号を発してもよい。
また、センサ３０は赤外線センサや超音波センサであってもよく、搬送対象物の通過を検知できるセンサであればよい。
【００２２】
図２は、実施例にかかる搬送制御装置１０の構成を示す。
搬送制御装置１０は、基板搬送や学習運転の実行指示をユーザ等から取得する指示取得部１００、センサ３０から基板通過タイミングを示す信号を取得する受信部１０２、基板把持位置のずれ量を求めるときに参照される基準テーブル１３０を作成するテーブル作成部１２０、基準テーブル１３０を格納する記憶部１０４、基板搬送軌道を特定する軌道情報を取得する軌道情報取得部１０６、基板搬送時に基準テーブル１３０を参照し、基板の位置ずれ量を求める基板位置取得部１０８、および、基板搬送時や学習運転時に搬送機構２０を制御する動作制御部１１０を備える。
【００２３】
動作制御部１１０は、基板位置取得部１０８が求めた基板の位置ずれ量に基づいて、搬送機構２０の把持部２６の移動目標位置の補正値を算出する補正値算出部１１２、基板搬送や学習運転の際に搬送機構２０に動作指令を送る指令部１１４、および、学習運転を開始する際に基準搬送軌道（以下、「基準軌道」ともよぶ）を設定する軌道設定部１１６を備える。
【００２４】
基準軌道は、典型的には基板を搬送する際の実際の軌道であるが、実際の搬送の際には用いられない軌道であってもよく、また後述するように、複数の基板搬送軌道がある場合にはそれらのうち一の軌道であってもよい。
【００２５】
指示取得部１００は、スイッチや、キーボード、マウスやトラックボールなどのポインティングデバイス、タッチパネル、マイクロフォンなどで構成される操作部（図示せず）を介してユーザからの指示を取得する。
【００２６】
ユーザから基準テーブル１３０の作成指示を取得すると、指示取得部１００は動作制御部１１０の軌道設定部１１６に軌道設定指示を送る。軌道設定部１１６は、搬送機構の軌道設定方法として用いられる一般的な方法によりユーザから入力された軌道をテーブル作成時に用いる基準軌道として設定し、基準テーブル１３０の属性情報として記憶部１０４に格納する。例えばユーザは、把持部２６上で基板６０が把持されるべき位置（以降、「基準把持位置」とよぶ）に基板６０を置いて把持させ、その状態でアーム部２４や把持部２６、ベース部２２を手動操作し、基板６０を基板処理装置４０の搬送開始位置から基板カセット５０の目標位置まで移動させることで所望の軌道を入力する。軌道設定部１１６は、このときの把持部２６の軌道を基準軌道として記憶部１０４に格納する。
【００２７】
基準把持位置は、例えば、搬送機構２０の設計上推奨される把持位置である。または、搬送開始位置や搬送目標位置における基板設置場所の形態等に合わせてユーザが指定する所望の位置であってもよい。
【００２８】
基準軌道が設定されると動作制御部１１０の指令部１１４は搬送機構２０に搬送開始指令を送り、把持部２６を基準軌道に沿って移動させ、基板６０を搬送させる。
図３（ａ）および図３（ｂ）は、搬送機構２０が基板６０を基準把持位置にて把持して、基準軌道に沿って基板カセット５０へ搬送する際のセンサ３０からの信号タイミングを示す。
【００２９】
図３（ｂ）では、指令部１１４が搬送機構２０に対して搬送開始指令を出した時点を時刻の原点Ｔ０、基準把持位置にて搬送したときに、センサ３０ａが基板の前端を検知したときの時刻をＴａ０、センサ３０ｂが基板の前端を検知したときの時刻をＴｂ０として示す。後述する図４（ｂ）、図５（ｂ）においても同様である。
【００３０】
テーブル作成部１２０は、信号タイミングＴａ０、Ｔｂ０を基準テーブル１３０の属性情報として記憶部１０４に格納する。
基板６０が搬送目標位置まで到達すると、把持部２６は基板６０を解放し、正確に搬送目標位置に置く。
【００３１】
次に、指令部１１４は搬送機構２０に基板把持位置を少しずつずらしながら基準軌道を往復させ、テーブル作成部１２０は、センサ信号タイミングと基板把持位置とを関係づけて基準テーブル１３０を作成する。
具体的には、指令部１１４からの指令により、搬送機構２０は把持部２６の位置を搬送軌道に平行な方向（以後、「ｘ方向」ともよぶ）にｓｘ、水平面内で搬送軌道に垂直な方向（以後、「ｙ方向」ともよぶ）にｓｙ移動させ、搬送目標位置に置かれた基板６０を把持させる。把持部２６の位置が移動しているため、基板６０は把持部２６上で基準把持位置からｘ方向に−ｓｘ、ｙ方向に−ｓｙずれた位置にて把持される。基板６０を把持した後、搬送機構２０は把持部２６の位置を元の位置に戻す。
なお、把持部２６は、搬送機構２０のベース部２２、アーム部２４、把持部２６のいずれかの動作、またはこれらの動作の組み合わせにより移動される。
【００３２】
指令部１１４からの指令により、搬送機構２０は基板６０をずれた位置で把持したまま搬送開始位置に移動し、把持部２６が搬送軌道に沿って移動するよう基板６０を搬送目標である基板カセット５０まで再び搬送する。基板６０は基準把持位置からｘ方向に−ｓｘ、ｙ方向に−ｓｙずれた位置で把持されているため、基準把持位置で把持されて搬送された場合に比べてｘ方向に−ｓｘ、ｙ方向に−ｓｙずれた軌道を通る。
【００３３】
センサ３０ａ、３０ｂはそれぞれ基板６０の前端の通過を検知すると信号を発する。受信部１０２がセンサ３０ａ、３０ｂからの信号を検知すると、テーブル作成部１２０は信号検知時刻と、把持部２６に対する基板６０の把持位置とを関連づけて基準テーブル１３０に記録する。
基板６０が搬送目標である基板カセット５０に到達すると、指令部１１４は、把持部２６の位置を再度ｘ方向にｓｘ、ｙ方向にｓｙ移動させて、把持部２６に基板６０を解放させ、基板６０を正確な搬送目標位置に置かせる。
【００３４】
上記処理を複数のずれ位置ｓｘ，ｓｙについて繰り返し、それぞれの場合についてセンサ信号タイミングを測定し、基準テーブル１３０に記録する。
例えば、サンプリング間隔をｘ方向にΔｘ，ｙ方向にΔｙとし、ｉ，ｊは｜ｉ｜＜ｍ、｜ｊ｜＜ｎを満たす整数とし、ｓｘ＝ｍΔｘ、ｓｙ＝ｎΔｙとすると、（２ｍ−１）×（２ｎ−１）通りの異なる基板把持位置について、センサ信号タイミングが基準テーブル１３０に記録される。ここで、測定範囲を示す正の数ｍ、ｎやサンプリング間隔Δｘ、Δｙは、あらかじめ設定された値が用いられてもよく、ユーザにより基準テーブル１３０の作成指示のとき等に指定された値が用いられてもよい。
【００３５】
図４（ａ）および図４（ｂ）は、搬送機構２０が基板６０を把持部２６に対してｙ方向にずれた位置で把持して基板カセット５０へ搬送する際のセンサ３０からの信号タイミングを示す。この例では、センサ３０ａは、基板６０が基準把持位置で搬送された場合に比べて早い時刻Ｔ１で基板６０の前縁の通過を検知し、センサ３０ｂは、基板６０が基準把持位置で搬送された場合に比べて遅い時刻Ｔ２で基板６０の前縁の通過を検知する。
テーブル作成部１２０は、把持部２６に対する基板６０の位置と、センサ３０ａからの信号タイミングＴ１、センサ３０ｂからの信号タイミングＴ２を基準テーブル１３０に記録する。
【００３６】
図５（ａ）および図５（ｂ）は、搬送機構２０が基板６０を把持部２６に対してｘ方向にずれた位置で把持して基板カセット５０へ搬送する際のセンサ３０からの信号タイミングを示す。この場合、センサ３０ａおよびセンサ３０ｂは、共に基準把持位置で搬送された場合に比べて遅い時刻Ｔ３、Ｔ４で基板６０の前縁の通過を検知する。
テーブル作成部１２０は、把持部２６に対する基板６０の位置と、センサ３０ａからの信号タイミングＴ３、センサ３０ｂからの信号タイミングＴ４を基準テーブル１３０に記録する。
【００３７】
なお、図３（ｂ）、図４（ｂ）、および、図５（ｂ）では、基板６０を基準把持位置にて搬送したときにセンサ３０ａおよび３０ｂがそれぞれ基板６０の前端を検知したときの時刻Ｔａ０、Ｔｂ０が同じ時刻である例を示したが、Ｔａ０とＴｂ０は同時刻でなくてもよい。
すなわち本実施例では、必ずしもセンサ３０ａとセンサ３０ｂが搬送軌道に対して垂直な方向に配置される必要はない。センサ３０の設置位置は、搬送軌道を通る基板を検出可能な位置であればよい。
【００３８】
このように本実施例によると、センサ３０の設置位置を正確に位置決めしなくともよい。また、実際の製造現場に装置やセンサ３０を設置した状態で搬送機構２０を自動運転させ、基準テーブル１３０を作成できる。したがって、基板の把持位置のずれをセンサで検出するための準備作業を簡易化できる。
【００３９】
なお、図３（ａ）から図５（ｂ）では、指令部１１４が搬送機構２０に対して搬送開始指令を出した時点を時刻の原点Ｔ０としたが、時刻の原点は任意に定めてよい。例えば、基板６０を基準把持位置にて搬送したときにセンサ３０ａが基板６０の前端を検知したときの時刻Ｔａ０と、センサ３０ｂが基板６０の前端を検知したときの時刻Ｔｂ０を、それぞれセンサ３０ａの信号タイミングとセンサ３０ｂの信号タイミングを表す際の時刻の原点としてもよい。また、後述するように、複数の軌道に対して一の基準テーブル１３０を用いる場合には、複数の軌道と基準搬送軌道とが平行となる範囲でセンサ３０までの距離が等しくなる各軌道上任意の点を把持部２６が通過する時刻を時刻の原点と定めてもよい。
【００４０】
図６は、基準テーブル１３０の例を示す。
基準テーブル１３０は、把持部２６に対する基板６０の位置と、その位置に基板６０を載置して搬送したときのセンサ３０からの信号タイミングとを関連づける。
例えば、把持部２６に対して基板６０が座標（ｘ３，ｙ２）で表される位置に把持されて搬送されたとき、受信部１０２がセンサ３０ａ、３０ｂからの信号をそれぞれ時刻Ｔａ３、Ｔａ２に取得したとする。この場合テーブル作成部１２０は、基準テーブル１３０のｘ３欄１３２とｙ２欄１３４とが交わる欄、すなわち基板位置（ｘ３，ｙ２）に対応する欄に、センサ３０ａ、３０ｂからの信号タイミングの組み合わせ（Ｔａ３，Ｔａ２）を記録する。
【００４１】
ここで、把持部２６に対する基板６０の位置を座標として表す際の原点は任意に定めてよい。例えば、基板６０が基準把持位置にて把持されているときの基板６０の中心を原点と定めてもよい。この場合、把持部２６に対する基板６０の位置座標は、基準把持位置に基板が保持されたときの基板６０の中心に対する把持されている基板６０の中心のずれを表し、前述の基板把持位置の基準把持位置からのずれ（−ｓｘ，−ｓｙ）に対応する。
【００４２】
なお、搬送機構２０は、複数の搬送軌道に沿って基板を搬送できる。
図７は、搬送機構２０が基板６０を搬送する際に選択可能な複数の搬送軌道の例を示す。
搬送機構２０は、基板処理装置４０ａから基板カセット５０ａ、基板処理装置４０ｂから基板カセット５０ａ、基板処理装置４０ｃから基板カセット５０ｂへの３通りの搬送軌道に沿って基板を搬送できる。センサ３０ａ、３０ｂの検出可能範囲においてこれら複数の軌道が基準搬送軌道と平行であるとき、後述するように搬送制御装置１０は１つの基準テーブル１３０に基づいて、各軌道に沿って搬送される基板の把持位置のずれを特定できる。
【００４３】
図２に戻る。
指示取得部１００がユーザから、または基板処理装置４０を制御する処理制御装置（図示せず）から基板６０の搬送指示を取得すると、指示取得部１００は軌道情報取得部１０６に基板６０の搬送軌道情報取得指示を送る。軌道情報取得部１０６は、搬送指示に含まれる軌道情報を読み出し、あるいはユーザに問い合わせて軌道情報を取得し、基板６０を搬送すべき軌道（以下、「指定搬送軌道」ともよぶ）を特定する。軌道情報は、少なくとも搬送開始位置情報と搬送目標位置情報とを含む。
【００４４】
動作制御部１１０の指令部１１４は、搬送機構２０の把持部２６を搬送開始位置である基板処理装置４０に移動させ、基板６０を把持させる。この際、基板処理装置４０内で処理された基板６０の位置が通常の位置とずれていると、搬送機構２０の把持部２６も基板６０を基準把持位置と異なる位置で把持してしまう場合がある。
指令部１１４の指令により、搬送機構２０は基板６０を搬送目標位置に向かって搬送する。
【００４５】
センサ３０ａ、３０ｂはそれぞれ基板６０の前端の通過を検知すると信号を発し、受信部１０２はセンサ３０ａ、３０ｂからの信号を取得する。基板位置取得部１０８は、基準テーブル１３０を検索し、センサ３０ａ、３０ｂの信号タイミングの組み合わせと近い信号タイミングの組み合わせと、その組み合わせに対応する基板６０の把持部２６に対する位置を取得する。
基板位置取得部１０８は、測定されたセンサ３０のタイミングと近い二組以上のデータを用いて、線形補間によりセンサ３０ａ、３０ｂの信号タイミングの実測値に対応する基板６０の把持部２６に対する位置を特定する。線形補間に代えて、２次補間や多項式補間を用いてもよい。
基板位置取得部１０８は、特定した基板６０の把持部２６に対する位置と、基準把持位置との差をとり、基板６０の基準把持位置に対するずれ量を算出する。
【００４６】
なお、基準搬送軌道と指定搬送軌道が等しい場合、基板位置取得部１０８は基準テーブル１３０に示される基板６０の把持部２６に対する位置をそのまま利用できるが、基準搬送軌道と指定搬送軌道が異なる場合にはオフセット値による補正が必要となる。
この場合、基板位置取得部１０８は基準テーブル１３０の属性情報および指定搬送軌道の軌道情報を参照し、基準搬送軌道と指定搬送軌道の位置関係によって位置座標と時刻のオフセット値を算出する。
【００４７】
位置座標については、例えば、センサ３０の検出範囲付近における基準搬送軌道と指定搬送軌道との距離を位置オフセット値とする。
また時刻については、例えば、基準搬送軌道と指定搬送軌道とで、それぞれの時刻原点からセンサ３０ａ、３０ｂの検出範囲に到達するまでの時間が等しくなるように時刻オフセット値を定める。
【００４８】
これにより、基準テーブル１３０作成時の基準軌道と異なる軌道にて基板を搬送するときにも、同じ基準テーブル１３０を利用することができる。また、搬送機構２０が複数の軌道に沿って基板を搬送する場合にも、同じ基準テーブル１３０を利用することができる。したがって、基板の把持位置のずれをセンサで検出するための準備作業をより簡易化でき、また、効率的に基板の把持位置のずれを特定できる。
【００４９】
補正値算出部１１２は、基板位置取得部１０８が求めた位置ずれ量を補償するように把持部２６の移動目標位置の補正値を算出する。具体的には、例えば位置ずれ量がｘ方向にｄｘ、ｙ方向にｄｙである場合には、把持部２６の移動目標位置をｘ方向に−ｄｘ、ｙ方向に−ｄｙ補正する。
【００５０】
指令部１１４は、搬送機構２０の把持部２６が最終的に補正された移動目標位置に到達するように移動させる。これにより、基板６０の把持位置のずれが把持部２６の移動により相殺され、基板６０が本来の搬送目標位置に搬送される。
把持部２６の移動目標位置を補正する際、搬送機構２０はベース部２２、アーム部２４、把持部２６のいずれの動作を変更してもよい。また最終的に把持部２６が補正された移動目標位置に到達すればよいため、移動目標位置に到達するまでの軌道は任意でよい。
これにより、搬送工程において比較的簡便に基板把持位置のずれを補償できる。
【００５１】
以上の構成による動作は以下のとおりである。
図８は、実施形態にかかる搬送制御装置１０の基準テーブル作成処理を示す。
まず、ユーザが基準テーブル作成指示を入力し、指示取得部１００が基準テーブル作成指示を取得する（Ｓ１０）。ユーザが、基板６０を把持部２６に基準把持位置にて把持させ、搬送機構２０を手動で操作して基板６０を搬送目標位置まで移動させると、軌道設定部１１６はその際に把持部２６が辿った経路を基準軌道とし、基準テーブル１３０の属性情報として記録する（Ｓ１２）。
【００５２】
指令部１１４の指示により、搬送機構２０は把持部２６を基準軌道に沿って移動させ、基準把持位置に把持された基板６０を搬送する（Ｓ１４）。センサ３０は、基板６０の通過を検知すると信号を発し、受信部１０２はセンサ３０からの信号を取得すると（Ｓ１６）、基準テーブル１３０の属性情報として信号検知時刻を記録する（Ｓ１８）。基板６０が搬送目標位置に到達すると、把持部２６は基板６０を搬送目標位置に置く（Ｓ２０）。
【００５３】
測定範囲の走査が完了していないので（Ｓ２２のＮ）、指令部１１４は、搬送機構２０の把持部２６を移動させ、基準把持位置からずれた位置で基板６０を把持させる（Ｓ２４）。搬送機構２０は指令部１１４の指示により搬送開始位置に戻り、再び把持部２６が基準軌道に沿って移動するよう基板６０を搬送する（Ｓ１４）。センサ３０は、基板６０の通過を検知すると信号を発し、受信部１０２はセンサ３０からの信号を取得すると（Ｓ１６）、基板６０の把持部２６に対する位置と、信号検知時刻とを関連づけて基準テーブル１３０に記録する（Ｓ１８）。基板６０が搬送目標位置まで到達すると、把持部２６は基板６０を本来の搬送目標位置に置く（Ｓ２０）。
【００５４】
基板把持位置をサンプリング間隔単位で変えながら、ステップ２４、およびステップＳ１４からＳ２２の処理を繰り返し、測定範囲についての走査が完了すると（Ｓ２２のＹ）、基準テーブル１３０の作成処理は終了する。
【００５５】
なお、いったん基準テーブル１３０を作成し、その基準テーブル１３０を利用して基板搬送処理を定常的に開始した後も、例えば月に１回や年に数回程度、再度基準テーブル１３０を作成する。
これにより、経年変化による基板処理装置４０、基板カセット５０、搬送機構２０やセンサ３０の位置のずれおよび寸法の変化等を基準テーブル１３０に反映させることができ、長期間に渡ってより正確に搬送中の基板把持位置のずれを特定することができる。
【００５６】
図９は、実施形態にかかる搬送制御装置１０の基板把持位置較正処理を示す。
指示取得部１００が基板６０の搬送指示を取得すると（Ｓ３０）、軌道情報取得部１０６が実際に基板を搬送する指定搬送軌道の情報を取得する（Ｓ３２）。指令部１１４は、搬送機構２０に指定搬送軌道の搬送目標位置に向かって基板６０を搬送させる（Ｓ３４）。センサ３０は基板６０の前端の通過を検知すると信号を発し、受信部１０２はセンサ３０からの信号を取得する（Ｓ３６）。
【００５７】
基板位置取得部１０８は、基準テーブル１３０を検索し、検知した信号タイミングの組み合わせと近い２以上のデータを取得し、補間することで把持部２６に対する基板６０の把持位置を求め、基準把持位置に対する把持位置のずれ量を特定する（Ｓ３８）。補正値算出部１１２は、把持位置のずれ量に基づいて把持部２６の移動目標位置を補正し（Ｓ４０）、搬送機構２０は、算出された補正値に基づいて把持部２６の移動目標位置を補正し、基板の把持位置のずれを補償して基板６０を本来の搬送目標位置に搬送する（Ｓ４２）。
【００５８】
以上、本発明を実施形態にもとづいて説明した。本発明は上記実施形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解される。
【００５９】
実施形態においては、２個のセンサ３０により基板を検知したが、センサ３０は１個でもよい。この場合、センサ３０は、基板非検知状態が基板検知状態に切り替わったときに信号を発する。すなわち、基板６０の前縁が通過したときに加えて、後縁が通過したときにも信号を発する。実施形態でのセンサ３０ａからの信号タイミングとセンサ３０ｂからの信号タイミングの組み合わせを、前縁通過の際の信号タイミングと後縁通過の際の信号タイミングとの組み合わせに代えることで、実施形態と同様に、簡便な前準備により、基板把持位置のずれを特定できる。さらに、センサ設置スペースが限られているような場合にも対応できる。
【００６０】
３個以上のセンサが設けられてもよい。また２個以上のセンサを設ける場合に、センサの一部または全部が基板６０の前縁および後縁の両方の通過を検知してもよい。この場合、基準テーブル１３０は、把持部２６に対する基板の把持位置と、各センサ３０の基板検知タイミングとを関連づける。
これにより、基板６０の把持位置のずれを高い精度で特定できる。また、円以外の形の搬送対象物を搬送する際の位置ずれにも適用可能となる。
【００６１】
また、実施形態においては基板６０を搬送する搬送機構の例について説明したが、本発明はこれに限られず、特定の形状をもつ搬送対象物を把持または載置して同じ搬送シークエンスで搬送を繰り返す処理や装置に対して適用できる。
基板の既知の形状に従って、信号タイミング及びテーブルを参照することで、ずれ量だけでなく基板の座標も演算することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
以上のように本発明は、基板の搬送を制御する搬送制御装置に利用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１０  搬送制御装置、  ２０  搬送機構、  ２６  把持部、  ３０  センサ、  ６０  基板、  ７０  搬送制御システム、  ８０，８２，８４  搬送軌道、  １０２  受信部、  １０４  記憶部、  １０８  基板位置取得部、  １１０  動作制御部、  １３０  基準テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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