(57)【要約】【課題】  テープ貼付装置およびテープ貼り付け方法を提供する。【解決手段】  本発明に係る貼付装置１は、第一テープ７１に貼り付けられて一体保持されたウェーハ６１およびリングフレーム６２の第二面６１ｂ，６２ｂに第二テープ７２を貼り付けるテープ貼付装置１であって、ウェーハ６１を支持するウェーハ支持テーブル２１と、リングフレーム６２を支持するリングフレーム支持テーブル２２と、第二面６１ｂ，６２ｂに粘着面７２ａが向くよう第二テープ７２を配置するテープ配置手段と、第二面６１ｂが第二面６２ｂと同一面となるか、または第二面６２ｂから突出するよう、ウェーハ支持テーブル２１を相対的に移動させる移動手段と、第二面６１ｂが第二面６２ｂから突出した状態で、第二テープ７２の粘着面７２ａをウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着させて押圧する押圧手段５１とを備えることを特徴とする。【選択図】  図３
2013197149.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハと前記ウェーハより板厚が厚いリングフレームとが第一テープに貼り付けられて一体保持されており、前記ウェーハおよび前記リングフレームの、前記第一テープが貼着する第一面と反対側の第二面に、第二テープを貼り付けるテープ貼付装置であって、
前記ウェーハを支持するウェーハ支持テーブルと、
前記リングフレームを支持するリングフレーム支持テーブルと、
前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面に粘着面が向くよう前記第二テープを配置するテープ配置手段と、
前記ウェーハの第二面が、前記リングフレームの第二面と同一面となるか、または前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させる移動手段と、
前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出した状態で、前記第二テープの粘着面を前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面両方に密着させて押圧する押圧手段とを備える
ことを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
前記移動手段が、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面と同一面となるよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させ、
前記押圧手段が、前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動するローラを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。
【請求項３】
前記移動手段が、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させ、
前記押圧手段が、前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動する、弾性体から構成されたローラを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。
【請求項４】
前記ローラが押圧により径方向に変形可能な量が、前記リングフレームの第二面から前記ウェーハの第二面が突出する量より大きい
ことを特徴とする請求項３に記載のテープ貼付装置。
【請求項５】
ウェーハと前記ウェーハより板厚が厚いリングフレームとが第一テープに貼り付けられて一体保持されており、前記ウェーハおよび前記リングフレームの、前記第一テープが貼着する第一面と反対側の第二面に、第二テープを貼り付けるテープ貼付方法であって、
前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面に粘着面が向くよう前記第二テープを配置するテープ配置工程と、
前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレームに対し前記ウェーハを相対的に移動させる移動工程と、
前記ウェーハの第二面が、前記リングフレームの第二面と同一面となるか、または前記リングフレームの第二面から突出した状態で、前記第二テープの粘着面を前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面両方に密着させて押圧する押圧工程とを備える
ことを特徴とするテープ貼付方法。
【請求項６】
前記押圧工程が、ローラが前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動する工程からなる
ことを特徴とする請求項５に記載のテープ貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ貼付装置およびテープ貼付方法に関し、特に、半導体製造の際にウェーハとフレームとを一体保持するために貼り付けられるテープの貼付装置およびテープ貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に半導体のウェーハは、その表面に多数の素子の回路パターンが形成された後、バックグラインドと呼ばれる裏面からの研削あるいは研磨加工により、所望の厚さに調整される。バックグラインド中は、ウェーハが動かないよう保持する必要がある。そのため、ウェーハには円形のバックグラインド用テープが貼り付けられ、そのバックグラインド用テープの縁が環状のリングフレームに貼り付けられることにより、ウェーハはリングフレームに一体保持され、バックグラインド中はリングフレームが固定支持される。なお、バックグラインドにおいて加工対象はウェーハの裏面であるため、バックグラインド用テープはウェーハの表面に貼り付けられる。
【０００３】
薄化されたウェーハは、次にダイシングと呼ばれる分割工程を経てチップに分割される。バックグラインドと同様に、ダイシング中も、ウェーハが動かないよう保持する必要がある。そのため、ウェーハには円形のダイシング用テープが貼り付けられ、そのダイシング用テープの縁が環状のリングフレームに貼り付けられることにより、ウェーハはリングフレームに一体保持され、ダイシング中はリングフレームが固定支持される。なお、一般的にダイシングはウェーハの表面から加工する必要があるため、ダイシング用テープはウェーハの裏面に貼り付けられる。
【０００４】
上述の通り、バックグラインド用テープとダイシング用テープとは、ウェーハにおける貼付面が異なる。そのため、ダイシング用テープを貼り付ける際には、ウェーハの表面にバックグラインド用テープが貼り付けられた状態で、貼り付け作業を行う必要がある。この時ウェーハの厚さが薄いため、バックグラインド用テープの粘着面とダイシング用テープの粘着面とが接触しやすい状態となる。もしも粘着面同士が接触すると強力に貼着するため、剥離しようとするとウェーハを破損させるおそれが生じる。そのため、ウェーハにテープを貼り付ける際に粘着面同士が接触するのを回避するような、テープ貼付方法が考えられている（特許文献１，２）。
【０００５】
特許文献１に開示されるテープ貼付方法について、図７に基づき説明する。特許文献１に開示のテープ貼付方法は、バックグラインド用テープ１７１に貼り付けられて一体保持されたウェーハ１６１およびリングフレーム１６２の上に、リングフレーム１６２とは別のリングフレーム１６３にその縁が予め貼着されたダイシング用テープ１７２を載せて押圧し、ダイシング用テープ１７２の粘着面をウェーハ１６１に貼着させるよう構成されている。
【０００６】
この方法によれば、バックグラインド用テープからダイシング用テープに貼り替えるのに二つのリングフレーム１６２，１６３が必要となり、さらにダイシング用テープ１７２をリングフレーム１６３に予め貼っておかねばならないため、作業工程が増加するという問題がある。また、ウェーハ１６１の上にリングフレーム１６３を載せる際に、正確な位置決めを必要とするという問題がある。
【０００７】
一方、バックグラインド用テープからダイシング用テープに貼り替えるのに必要なリングフレームが一つである方法として、特許文献２に開示される方法が挙げられる。特許文献２に開示されるテープ貼付方法について、図８に基づき説明する。この方法は、一つのリングフレーム２６２を用い、ウェーハ２６１およびリングフレーム２６２の、バックグラインド用テープ２７１が貼り付けられている面と反対側の面に、ダイシング用テープ２７２を、ローラ２５１を転動させながら押圧することで貼り付ける方法である。
【０００８】
この方法は、ローラ２５１がリングフレーム２６２とウェーハ２６１との間で露出するバックグラインド用テープ２７１の粘着面上を通過している間は、ウェーハ２６１を支持するウェーハ支持テーブル２２１を下げてバックグラインド用テープ２７１とダイシング用テープ２７２との距離を十分にとって粘着面同士の接触を回避し、ローラ２５１がウェーハ２６１の上に差し掛かると、リングフレーム２６２の上面とウェーハ２６１の上面とが同一面となるよう、ウェーハ２６１を支持するウェーハ支持テーブル２２１を再度上げ、ダイシング用テープ２７２がウェーハ２６１に貼着するようにする。
【０００９】
この方法によれば、複数のリングフレームを用意する必要はないものの、ローラ２５１がリングフレーム２６２とウェーハ２６１とを押圧する一つのストロークの中で、ウェーハ支持テーブル２２１を上下に移動してウェーハ２６１の上下位置を正確に制御する、すなわちローラ２５１の運動とウェーハ支持テーブル２２１の運動とを同期させる必要があるという問題がある。また、ウェーハの温度管理をするためにウェーハ支持テーブル２２１にヒーターを設けている場合、ヒーターの熱のためにバックグラインド用テープ２７１が膨張し、バックグラインド用テープ２７１に弛みや皺が生じる場合がある。バックグラインド用テープ２７１に弛みや皺が生じたまま、リングフレーム２６２の上面とウェーハ２６１の上面とが同一面となるようウェーハ支持テーブル２２１を位置させる、すなわちバックグラインド用テープ２７１とダイシング用テープ２７２とを近接させると、テープの粘着面同士が接触するおそれが生じるという問題がある。なおこの問題は、バックグラインド用テープ２７１とダイシング用テープ２７２との間だけに限らず、ダイシング用テープとブレーキング用テープとの間など、ウェーハに貼着するテープを貼り替える際に生じる問題である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−１７３７７０号公報
【特許文献２】特開２０１１−２９４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明が解決しようとする課題は、複数のリングフレームや複雑な制御を必要とすることなく、テープの粘着面同士の接触を回避しつつ、リングフレームとウェーハとにテープを確実に貼り付けて一体保持することができる、テープ貼付装置およびテープ貼付方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、ウェーハと前記ウェーハより板厚が厚いリングフレームとが第一テープに貼り付けられて一体保持されており、前記ウェーハおよび前記リングフレームの、前記第一テープが貼着する第一面と反対側の第二面に、第二テープを貼り付けるテープ貼付装置であって、前記ウェーハを支持するウェーハ支持テーブルと、前記リングフレームを支持するリングフレーム支持テーブルと、前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面に粘着面が向くよう前記第二テープを配置するテープ配置手段と、前記ウェーハの第二面が、前記リングフレームの第二面と同一面となるか、または前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させる移動手段と、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出した状態で、前記第二テープの粘着面を前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面両方に密着させて押圧する押圧手段とを備えることを特徴とするテープ貼付装置である。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、テープの粘着面同士を接触させることなく、第二テープをウェーハおよびリングフレームに確実に貼り付けて一体保持することが可能な、テープ貼付装置を提供することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、前記移動手段が、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面と同一面となるよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させ、前記押圧手段が、前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動するローラを有することを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置である。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、ローラの転動によって、リングフレームおよびウェーハの第二面に第二テープを確実に密着させて貼り付けることが可能な、テープ貼付装置を提供することができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、前記移動手段が、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレーム支持テーブルに対し前記ウェーハ支持テーブルを相対的に移動させ、前記押圧手段が、前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動する、弾性体から構成されたローラを有する
ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置である。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、弾性体のローラの転動によって、段差があるリングフレームおよびウェーハの第二面に、第二テープを確実に密着させて貼り付けることが可能な、テープ貼付装置を提供することができる。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、前記ローラが押圧により径方向に変形可能な量が、前記リングフレームの第二面から前記ウェーハの第二面が突出する量より大きいことを特徴とする請求項３に記載のテープ貼付装置である。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、弾性体のローラを一方向に転動することによって、第二テープを、段差があるリングフレームおよびウェーハの第二面に、同時に貼り付けることが可能な、テープ貼付装置を提供することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、ウェーハと前記ウェーハより板厚が厚いリングフレームとが第一テープに貼り付けられて一体保持されており、前記ウェーハおよび前記リングフレームの、前記第一テープが貼着する第一面と反対側の第二面に、第二テープを貼り付けるテープ貼付方法であって、前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面に粘着面が向くよう前記第二テープを配置するテープ配置工程と、前記ウェーハの第二面が前記リングフレームの第二面から突出するよう、前記リングフレームに対し前記ウェーハを相対的に移動させる移動工程と、前記ウェーハの第二面が、前記リングフレームの第二面と同一面となるか、または前記リングフレームの第二面から突出した状態で、前記第二テープの粘着面を前記ウェーハの第二面および前記リングフレームの第二面両方に密着させて押圧する押圧工程とを備えることを特徴とするテープ貼付方法である。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、テープの粘着面同士を接触させることなく、第二テープをウェーハおよびリングフレームに確実に貼り付けて一体保持することが可能な、テープ貼付方法を提供することができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、前記押圧工程が、ローラが前記第二テープを前記ウェーハおよび前記リングフレームに向けて押圧しながら転動する工程からなることを特徴とする請求項５に記載のテープ貼付方法である。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、ローラの転動によって、リングフレームおよびウェーハの第二面に第二テープを確実に密着させて貼り付けることが可能な、テープ貼付方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、複数のリングフレームや複雑な制御を必要とすることなく、テープの粘着面同士の接触を回避しつつ、リングフレームとウェーハとにテープを確実に貼り付けて一体保持することができる、テープ貼付装置およびテープ貼付方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】バックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームを示す斜視図である。
【図２】バックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームを示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の第一実施形態に係るテープ貼付装置を用いてテープを貼り付ける方法の各工程を、図２（ｂ）に係る断面図を用いて説明する説明図であり、（ａ）はバックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームをテープ貼付装置にセットした状態、（ｂ）は、ウェーハおよびリングフレームに対向して帯状に延びるダイシング用テープを配置するとともに、ウェーハの第二面がリングフレームの第二面と同一面となるようリングフレーム支持テーブルに対しウェーハ支持テーブルを相対的に移動させている状態、（ｃ）はダイシング用テープがウェーハおよびリングフレームに接触した状態、（ｄ）は、ダイシング用テープの粘着面をウェーハの第二面およびリングフレームの第二面両方に密着させ、ローラで押圧している状態、（ｅ）はリングフレーム上でダイシング用テープが円形に切断された状態を示す。
【図４】本発明の第二実施形態に係るテープ貼付装置を用いてテープを貼り付ける方法の各工程を、図２（ｂ）に係る断面図を用いて説明する説明図であり、（ａ）はバックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームをテープ貼付装置にセットした状態、（ｂ）は、ウェーハおよびリングフレームに対向して帯状に延びるダイシング用テープを配置するとともに、ウェーハの第二面がリングフレームの第二面から突出するようリングフレーム支持テーブルに対しウェーハ支持テーブルを相対的に移動させている状態、（ｃ）はダイシング用テープがウェーハおよびリングフレームに接触した状態、（ｄ）は、ダイシング用テープの粘着面をウェーハの第二面およびリングフレームの第二面両方に密着させて押圧した後の状態、（ｅ）はリングフレーム上でダイシング用テープが円形に切断された状態を示す。
【図５】本発明の第二実施形態に係るテープ貼付方法のうち、押圧工程を詳細に説明する説明図であり、（ａ）はローラがリングフレーム上を押圧している状態、（ｂ）はローラがリングフレームとウェーハとの間の範囲を押圧している状態、（ｃ）はローラがウェーハ上を押圧している状態を示す。
【図６】図５に示す押圧工程において、ローラがウェーハ上を押圧している状態を詳細に説明する説明図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図７】従来のテープ貼付方法のうち、特許文献１に記載のテープ貼付方法を説明するための説明図である。
【図８】従来のテープ貼付方法のうち、特許文献２に記載のテープ貼付方法を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
次に、本発明の実施形態について図面に基づき説明する。なお、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な実施形態であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００２７】
まず、テープを貼り付ける対象である、一体保持されたウェーハおよびリングフレームについて、図１，２を用いて説明する。図１は、バックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームを示す斜視図である。また、図２は、バックグラインド用テープに貼り付けられて一体保持されたウェーハおよびリングフレームを示す図であって、（ａ）が平面図、（ｂ）が断面図である。
【００２８】
図１，２に示す通り、リングフレーム６２は板状で環状に形成されており、リングフレーム６２の中央にウェーハ６１が配置されている。そしてその状態で、ウェーハ６１およびリングフレーム６２それぞれの第一面６１ａ，６２ａにバックグラインド用テープ７１の粘着面７１ａが貼着していることにより、一体保持されている。本実施形態に係るテープ貼付装置は、ウェーハ６１およびリングフレーム６２それぞれの第二面６１ｂ，６２ｂに、バックグラインド用テープ７１とは別の、ダイシング用テープを貼り付ける装置である。
【００２９】
（第一実施形態に係るテープ貼付装置）
次に、第一実施形態に係るテープ貼付装置について、図３を用いて説明する。まず、図３（ａ）に示すように、テープ貼付装置１は主たる構成要素として、ウェーハ支持テーブル２１と、その外側に配置されたリングフレーム支持テーブル２２とを備える。ウェーハ支持テーブル２１はウェーハ６１を支持する載置面２１ａを有し、この載置面２１ａの上に、バックグラインド用テープ７１を介してウェーハ６１の第一面６１ａが載置される。なお、バックグラインド中にウェーハ６１が動くことのないよう確実に支持するため、載置面２１ａで吸引することにより、載置面２１ａに当接するものが吸着されるよう構成されている。またウェーハ支持テーブル２１は、ウェーハ６１の温度管理を行うため、図示しないヒーターを内蔵しており、雰囲気温度等に応じて適宜ヒーターを制御するよう構成されている。
【００３０】
リングフレーム支持テーブル２２はリングフレーム６２を支持する載置面２２ａを有し、この載置面２２ａの上に、バックグラインド用テープ７１を介してリングフレーム６２の第一面６２ａが載置される。図示しない押付手段がリングフレーム６２を載置面２２ａに向けて押さえ付けることにより、リングフレーム６２がリングフレーム支持テーブル２２に支持される。このとき押付手段は、他の要素と干渉しない箇所において、リングフレーム６２を押え付けるよう構成されている。
【００３１】
さらにテープ貼付装置１は、図示しないテープ配置手段を備える。テープ配置手段は、図３（ｂ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂに対向して、帯状に延びるダイシング用テープ７２を配置する。このときテープ配置手段は、長手方向に沿ってダイシング用テープ７２にテンションを加え、その粘着面７２ａがウェーハ６１およびリングフレーム６２に向くよう配置する。なお、テープ配置手段は、ロール状に巻かれたダイシング用テープ７２の表裏をローラで挟み、このローラの回転を制御することで長手方向に沿ってテンションを与えるよう構成するなど、公知の手段により構成することができる。
【００３２】
また、テープ貼付装置１は、図示しない移動手段を備える。移動手段は、図３（ｂ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂと同一面となるよう、リングフレーム支持テーブル２２に対しウェーハ支持テーブル２１を相対的に移動させる。図３（ｂ）に図示する状態では、移動手段は、ウェーハ支持テーブル２１をリングフレーム支持テーブル２２に対して相対的に上方に移動させている。なお移動手段は、ウェーハ支持テーブル２１の底部にカムやボールスクリュージャッキを設けるなどして、公知の手段により構成することができる。その際、マイクロメータを併用することによって、移動量を精密に制御することも可能である。
【００３３】
さらにテープ貼付装置１は、押圧手段を備える。押圧手段は、図３（ｄ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂと同一面となった状態で、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａをウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着させるよう、押圧する。
【００３４】
なお、本実施形態では、図３（ｄ）に示すように、押圧手段はローラ５１を備えている。ローラ５１は、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に向けて押圧しながら、ダイシング用テープ７２の長手方向に沿って転動するよう構成されている。ローラ５１は、他の要素と干渉しないように、ダイシング用テープ７２，ウェーハ６１およびリングフレーム６２に対して接離可能に構成されている。なお本実施形態におけるローラ５１は、ウェーハ６１およびリングフレーム６２に向けて押しつける押圧荷重が一定となるよう、レギュレータにより制御されている。
【００３５】
（第一実施形態に係るテープ貼付方法）
次に、第一実施形態に係るテープ貼付方法の手順を、図３に基づき説明する。まず、図３（ａ）に示すように、バックグラインド用テープ７１に貼り付けられて一体保持されたウェーハ６１およびリングフレーム６２を、テープ貼付装置１にセットする。具体的には、ウェーハ６１およびリングフレーム６２それぞれの第二面６１ｂ，６２ｂを上に向けて、ウェーハ６１の第一面６１ａを、バックグラインド用テープ７１を介して、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａに載置するとともに、リングフレーム６２の第一面６２ａを、バックグラインド用テープ７１を介して、リングフレーム支持テーブル２２の載置面２２ａに載置する。そして、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａを吸引することで、バックグラインド用テープ７１を介してウェーハ６１が載置面２１ａに吸着する。また、図示しない押付手段がリングフレーム６２を載置面２２ａに向けて押さえ付けることにより、リングフレーム６２がリングフレーム支持テーブル２２に支持される。
【００３６】
なお、この時点では、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａと、リングフレーム支持テーブル２２の載置面２２ａとは同一平面上に位置している。そして、バックグラインドは既に終了しているため、ウェーハ６１の厚さはリングフレーム６２の厚さより薄くなっている。また、バックグラインド用テープ７１の厚さは一定である。そのため、テープ貼付装置１にセットされた状態では、ウェーハ６１の第一面６１ａはリングフレーム６２の第一面６２ａと同一面でありつつ、ウェーハ６１の第二面６１ｂはリングフレーム６２の第二面６２ｂより陥没している。
【００３７】
次に、図３（ｂ）に示すように、図示しないテープ配置手段により、ウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂに対向して、帯状に延びるダイシング用テープ７２を配置する。このときテープ配置手段は、長手方向に沿ってダイシング用テープ７２にテンションを加え、その粘着面７２ａがウェーハ６１およびリングフレーム６２に向くよう配置する。
【００３８】
そして、図示しない移動手段により、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂと同一面となるよう、リングフレーム支持テーブル２２に対しウェーハ支持テーブル２１を相対的に移動させる。本実施形態においては、ウェーハ支持テーブル２１を上方に移動させている。
【００３９】
このとき、ウェーハ６１がリングフレーム６２に対して相対的に上方に移動することにより、ウェーハ６１の第一面６１ａがリングフレーム６２の第一面６２ａより上方に移動するので、バックグラインド用テープ７１のうちウェーハ６１とリングフレーム６２との間の領域において、テンションが作用することになる。そのため、もしもウェーハ支持テーブル２１に内蔵されたヒーターの熱によりバックグラインド用テープ７１が膨張し、ウェーハ６１とリングフレーム６２との間の領域において弛みや皺が生じていたとしても、このテンションにより弛みや皺が伸びることになる。
【００４０】
なお、ダイシング用テープ７２を図３（ｂ）に示す位置に配置するより前に、ウェーハ支持テーブル２１を図３（ｂ）に示す位置に移動させることも勿論可能であり、これらの順序は特に限定されない。
【００４１】
次に、図３（ｃ）に示すように、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に接触させる。これには、テープ配置手段を動かしてダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に近付けてもよく、またウェーハ支持テーブル２１およびリングフレーム支持テーブル２２を、これらの位置関係を保ったまま動かして、ダイシング用テープ７２に近付けてもよい。
【００４２】
なお、テープ配置手段が、ダイシング用テープ７２の表裏をローラで挟むよう構成されている場合は、これらのローラおよびダイシング用テープ７２を、併せて一体的に平行移動させることで、テープ配置手段が移動することになる。
【００４３】
次に、図３（ｄ）に示すように、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａをウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着させて、押圧する。この押圧工程はローラ５１を用いて行われる。すなわち、ウェーハ６１およびリングフレーム６２両方に密着したダイシング用テープ７２の上を、ローラ５１が、左から右に向けて、押圧を維持しながら転動する。
【００４４】
この工程により、図３（ｄ）に示すように、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａがウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着し、ダイシング用テープ７２がウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けられることになる。そしてこの工程の間、バックグラインド用テープ７１の粘着面７１ａとダイシング用テープ７２の粘着面７２ａとは離れており、また弛みや皺が伸ばされているため、これらが接触することはない。
【００４５】
なお、本実施形態では、図３（ｃ）に示すように、ウェーハ６１とダイシング用テープ７２とを一旦接触させてからその後押圧するよう構成されているが、ウェーハ６１とダイシング用テープ７２とが離間した状態から、ローラ５１をダイシング用テープ７２から押しつけて、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けるように構成することも、勿論可能である。
【００４６】
次に、ダイシング用テープ７２がウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けられた後の工程について説明する。ダイシング用テープ７２が貼り付けられた後、ダイシング用テープ７２はリングフレーム６２上で円形にくりぬくように切断される（図３（ｅ）参照）。そして、円形にくりぬかれた帯状のテープは回収される。第一面６１ａ，６２ａおよび第二面６１ｂ，６２ｂにそれぞれバックグラインド用テープ７１およびダイシング用テープ７２が貼りつけられたウェーハ６１およびリングフレーム６２は、次の工程であるダイシング工程に供されるが、この際にはバックグラインド用テープ７１を剥離する。これにより、ダイシング用テープ７２に貼り付けられリングフレーム６２に一体的に支持されたウェーハ６１の第一面６１ａが露出するため、ここからダイシングが可能となる。
【００４７】
なお、本実施形態は、バックグラインド工程からダイシング工程に移行するに際して、バックグラインド用テープ７１からダイシング用テープ７２に貼り替える方法として、バックグランド用テープ７１が貼り付けられたウェーハ６１およびリングフレーム６２に、ダイシング用テープ７２を貼り付ける形態となっている。しかし、本発明に係るテープ貼付装置およびテープ貼付方法は、テープの種類がこれらに限定されるわけではない。すなわち、例えばバックグラインド工程の後ブレーキング工程に移行する場合があるが、そのときウェーハおよびリングフレームのうち、バックグラインド用テープが貼り付けられた面の反対の面に、ブレーキング用テープを貼り付ける。本発明に係るテープ貼付装置およびテープ貼付方法は、このような場合にももちろん適用される。すなわち、ウェーハ６１およびリングフレーム６２の第一面６１ａ，６２ａに貼り付けられるテープを第一テープ、第二面６１ｂ，６２ｂに貼り付けられるテープを第二テープと読み替えることができ、その場合第一テープとしてバッググラインド用テープ７１を用い、第二テープとしてダイシング用テープ７２やブレーキング用テープ、その他任意のテープを用いることが可能である。
【００４８】
（第二実施形態に係るテープ貼付装置）
次に、第二実施形態に係るテープ貼付装置について、図４，５を用いて説明する。なお、第一実施形態と同一の要素については、同一の符号を付して説明する。まず、図４（ａ）に示すように、テープ貼付装置１は主たる構成要素として、ウェーハ支持テーブル２１と、その外側に配置されたリングフレーム支持テーブル２２とを備える。ウェーハ支持テーブル２１はウェーハ６１を支持する載置面２１ａを有し、この載置面２１ａの上に、バックグラインド用テープ７１を介してウェーハ６１の第一面６１ａが載置される。なお、バックグラインド中にウェーハ６１が動くことのないよう確実に支持するため、載置面２１ａで吸引することにより、載置面２１ａに当接するものが吸着されるよう構成されている。またウェーハ支持テーブル２１は、ウェーハ６１の温度管理を行うため、図示しないヒーターを内蔵しており、雰囲気温度等に応じて適宜ヒーターを制御するよう構成されている。
【００４９】
リングフレーム支持テーブル２２はリングフレーム６２を支持する載置面２２ａを有し、この載置面２２ａの上に、バックグラインド用テープ７１を介してリングフレーム６２の第一面６２ａが載置される。図示しない押付手段がリングフレーム６２を載置面２２ａに向けて押さえ付けることにより、リングフレーム６２がリングフレーム支持テーブル２２に支持される。このとき押付手段は、他の要素と干渉しない箇所において、リングフレーム６２を押え付けるよう構成されている。
【００５０】
さらにテープ貼付装置１は、図示しないテープ配置手段を備える。テープ配置手段は、図４（ｂ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂに対向して、帯状に延びるダイシング用テープ７２を配置する。このときテープ配置手段は、長手方向に沿ってダイシング用テープ７２にテンションを加え、その粘着面７２ａがウェーハ６１およびリングフレーム６２に向くよう配置する。なお、テープ配置手段は、ロール状に巻かれたダイシング用テープ７２の表裏をローラで挟み、このローラの回転を制御することで長手方向に沿ってテンションを与えるよう構成するなど、公知の手段により構成することができる。
【００５１】
また、テープ貼付装置１は、図示しない移動手段を備える。移動手段は、図４（ｂ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂから突出するよう、リングフレーム支持テーブル２２に対しウェーハ支持テーブル２１を相対的に移動させる。図４（ｂ）に図示する状態では、移動手段は、ウェーハ支持テーブル２１をリングフレーム支持テーブル２２に対して相対的に上方に移動させている。なお移動手段は、ウェーハ支持テーブル２１の底部にカムやボールスクリュージャッキを設けるなどして、公知の手段により構成することができる。その際、マイクロメータを併用することによって、移動量を精密に制御することも可能である。
【００５２】
さらにテープ貼付装置１は、押圧手段を備える。押圧手段は、図４（ｄ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂから突出した状態で、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａをウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着させるよう、押圧する。
【００５３】
なお、本実施形態では、図５に示すように、押圧手段はローラ５１を備えている。ローラ５１は、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に向けて押圧しながら、ダイシング用テープ７２の長手方向に沿って転動するよう構成されている。ローラ５１は、他の要素と干渉しないように、ダイシング用テープ７２，ウェーハ６１およびリングフレーム６２に対して接離可能に構成されている。ローラ５１は弾性体で構成されており、押圧によりウェーハ６１およびリングフレーム６２に当接する部分が、作用する圧縮応力に応じて径方向にへこむよう構成されている。ローラ５１に用いる弾性体の硬度は適宜設定できる。なお本実施形態におけるローラ５１は、ウェーハ６１およびリングフレーム６２に向けて押しつける押圧荷重が一定となるよう、レギュレータにより制御されている。
【００５４】
（第二実施形態に係るテープ貼付方法）
次に、第二実施形態に係るテープ貼付方法の手順を、図４および図５に基づき説明する。まず、図４（ａ）に示すように、バックグラインド用テープ７１に貼り付けられて一体保持されたウェーハ６１およびリングフレーム６２を、テープ貼付装置１にセットする。具体的には、ウェーハ６１およびリングフレーム６２それぞれの第二面６１ｂ，６２ｂを上に向けて、ウェーハ６１の第一面６１ａを、バックグラインド用テープ７１を介して、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａに載置するとともに、リングフレーム６２の第一面６２ａを、バックグラインド用テープ７１を介して、リングフレーム支持テーブル２２の載置面２２ａに載置する。そして、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａを吸引することで、バックグラインド用テープ７１を介してウェーハ６１が載置面２１ａに吸着する。また、図示しない押付手段がリングフレーム６２を載置面２２ａに向けて押さえ付けることにより、リングフレーム６２がリングフレーム支持テーブル２２に支持される。
【００５５】
なお、この時点では、ウェーハ支持テーブル２１の載置面２１ａと、リングフレーム支持テーブル２２の載置面２２ａとは同一平面上に位置している。そして、バックグラインドは既に終了しているため、ウェーハ６１の厚さはリングフレーム６２の厚さより薄くなっている。また、バックグラインド用テープ７１の厚さは一定である。そのため、テープ貼付装置１にセットされた状態では、ウェーハ６１の第一面６１ａはリングフレーム６２の第一面６２ａと同一面でありつつ、ウェーハ６１の第二面６１ｂはリングフレーム６２の第二面６２ｂより陥没している。
【００５６】
次に、図４（ｂ）に示すように、図示しないテープ配置手段により、ウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂに対向して、帯状に延びるダイシング用テープ７２を配置する。このときテープ配置手段は、長手方向に沿ってダイシング用テープ７２にテンションを加え、その粘着面７２ａがウェーハ６１およびリングフレーム６２に向くよう配置する。
【００５７】
そして、図示しない移動手段により、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂから突出するよう、リングフレーム支持テーブル２２に対しウェーハ支持テーブル２１を相対的に移動させる。本実施形態においては、図４（ｂ）に示すように、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂから、ウェーハ６１の厚さ分突出するよう、ウェーハ支持テーブル２１を上方に移動させている。ウェーハ支持テーブル２１移動後のウェーハ６１の第一面６１ａは、リングフレーム６２の第二面６２ｂと同一面上に位置することになるので、ウェーハ支持テーブル２１の上方への移動量はリングフレーム６２の厚さ分となる。
【００５８】
このとき、ウェーハ６１がリングフレーム６２に対して相対的に上方に移動することにより、ウェーハ６１の第一面６１ａがリングフレーム６２の第一面６２ａより上方に移動するので、バックグラインド用テープ７１のうちウェーハ６１とリングフレーム６２との間の領域において、テンションが作用することになる。そのため、もしもウェーハ支持テーブル２１に内蔵されたヒーターの熱によりバックグラインド用テープ７１が膨張し、ウェーハ６１とリングフレーム６２との間の領域において弛みや皺が生じていたとしても、このテンションにより弛みや皺が伸びることになる。
【００５９】
ウェーハ６１の第二面６１ｂをリングフレーム６２の第二面６２ｂからどれだけ突出させるかは、バックグラインド用テープ７１に加えるべきテンションに応じて、適宜設定することができる。すなわち、バックグラインド用テープ７１の厚さや膨張係数、ウェーハ支持テーブル２１の熱量および雰囲気の温度などに応じて、適宜設定することができる。
【００６０】
なお、ダイシング用テープ７２を図４（ｂ）に示す位置に配置するより前に、ウェーハ支持テーブル２１を図４（ｂ）に示す位置に移動させることも勿論可能であり、これらの順序は特に限定されない。
【００６１】
次に、図４（ｃ）に示すように、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に接触させる。これには、テープ配置手段を動かしてダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に近付けてもよく、またウェーハ支持テーブル２１およびリングフレーム支持テーブル２２を、これらの位置関係を保ったまま動かして、ダイシング用テープ７２に近付けてもよい。
【００６２】
ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａには、まずウェーハ６１の第二面６１ｂが接触した後、リングフレーム６２の第二面６２ｂが接触する。そのため、リングフレーム６２の第二面６２ｂがダイシング用テープ７２の粘着面７２ａに接触する時点では、ダイシング用テープ７２にテンションが作用していることになる。そして、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａは接触すると貼着するため、ウェーハ６１とリングフレーム６２との間で、ダイシング用テープ７２に若干のテンションが作用した状態で、維持される。
【００６３】
なお、テープ配置手段が、ダイシング用テープ７２の表裏をローラで挟むよう構成されている場合は、これらのローラおよびダイシング用テープ７２を、併せて一体的に平行移動させることで、テープ配置手段が移動することになる。
【００６４】
次に、図４（ｄ）に示すように、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａをウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着させて、押圧する。この押圧工程については、図５を用いて詳細に説明する。
【００６５】
まず、ローラ５１を用いてダイシング用テープ７２をリングフレーム６２に密着させて押しつける（図５（ａ）参照）。次にローラ５１による押圧を維持しながら、左に向けて転動させる。ダイシング用テープ７２のうち押圧された領域はリングフレーム６２に貼着する。
【００６６】
引き続きローラ５１を左に向けて転動させると、リングフレーム６２とウェーハ６１との間の範囲にさしかかる（図５（ｂ）参照）。この範囲では、バックグラインド用テープ７１が上向きに傾斜しているが、ダイシング用テープ７２も、上向きに傾斜した状態で維持されている。このときダイシング用テープ７２には、前述の通り、若干のテンションが作用している。また前述の通り、バックグラインド用テープ７１には弛みも皺もない。そのため、ローラ５１が、リングフレーム６２とウェーハ６１との間の範囲において、ダイシング用テープ７２を上から押圧しても、粘着面７２ａがバックグラインド用テープ７１の粘着面７１ａに接触することはない。
【００６７】
ローラ５１をさらに左に向けて転動させると、ローラ５１はウェーハ６１の上方に乗り、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１に向けて押圧する（図５（ｃ）参照）。この状態について、図６を用いてさらに詳細に説明する。図６（ａ）は、ローラがウェーハ上を押圧している状態における平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【００６８】
ウェーハ６１の第二面６１ｂは、リングフレーム６２の第二面６２ｂから、ウェーハ６１の厚さ分突出している。そしてローラ５１は弾性体からなり、かつ押圧する荷重が作用しているため、ローラ５１の外周は、ウェーハ６１を押圧している領域５１ａに関して、圧縮応力により径方向に変形する（図６（ｂ）参照）。そして、ウェーハ６１の第二面６１ｂのリングフレーム６２の第二面６２ｂからの突出量（すなわちウェーハ６１の厚さ）より、ローラ５１の外周の、径方向への変形可能な量が大きければ、ウェーハ６１の第二面６１ｂ上に関しては、ローラ５１の領域５１ａがダイシング用テープ７２をウェーハ６１に密着させて押圧しつつ、リングフレーム６２の第二面６２ｂ上に関しては、ローラ５１の領域５１ｂ，５１ｂが、ダイシング用テープ７２をリングフレーム６２に密着させて押圧する。すなわち、リングフレーム６２の第二面６２ｂより突出しているウェーハ６１の第二面６１ｂの上にローラ５１が乗り上げる領域においても、ローラ５１はダイシング用テープ７２をリングフレーム６２に向けて押圧するので、ダイシング用テープ７２は、ローラ５１の一方向への転動でリングフレーム６２に貼り付けられる。なお、弾性体の硬度およびローラ５１をウェーハ６１およびリングフレーム６２に向けて押しつける荷重は、ウェーハ６１の第二面６１ｂがリングフレーム６２の第二面６２ｂからどれだけ突出しているかに応じて、適宜設定することができる。
【００６９】
なお、ダイシング用テープ７２とウェーハ６１およびリングフレーム６２との間から空気を確実に追い出すことが可能という点で、押圧手段としてローラ５１が好適である。そして空気を負い出すために、図４（ｃ）のように右から左に向けて、ローラ５１を一方向に転動して押圧するのが好適である。
【００７０】
この工程により、図４（ｄ）に示すように、ダイシング用テープ７２の粘着面７２ａがウェーハ６１の第二面６１ｂおよびリングフレーム６２の第二面６２ｂ両方に密着し、ダイシング用テープ７２がウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けられることになる。そしてこの工程の間、バックグラインド用テープ７１の粘着面７１ａとダイシング用テープ７２の粘着面７２ａとが接触することはない。
【００７１】
なお、本実施形態では、図４（ｃ）に示すように、ウェーハ６１とダイシング用テープ７２とを一旦接触させてからその後押圧するよう構成されているが、ウェーハ６１とダイシング用テープ７２とが離間した状態から、ローラ５１をダイシング用テープ７２から押しつけて、ダイシング用テープ７２をウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けるように構成することも、勿論可能である。
【００７２】
次に、ダイシング用テープ７２がウェーハ６１およびリングフレーム６２に貼り付けられた後の工程について説明する。ダイシング用テープ７２が貼り付けられた後、ダイシング用テープ７２はリングフレーム６２上で円形にくりぬくように切断される（図４（ｅ）参照）。そして、円形にくりぬかれた帯状のテープは回収される。第一面６１ａ，６２ａおよび第二面６１ｂ，６２ｂにそれぞれバックグラインド用テープ７１およびダイシング用テープ７２が貼りつけられたウェーハ６１およびリングフレーム６２は、次の工程であるダイシング工程に供されるが、この際にはバックグラインド用テープ７１を剥離する。これにより、ダイシング用テープ７２に貼り付けられリングフレーム６２に一体的に支持されたウェーハ６１の第一面６１ａが露出するため、ここからダイシングが可能となる。
【００７３】
なお、本実施形態は、バックグラインド工程からダイシング工程に移行するに際して、バックグラインド用テープ７１からダイシング用テープ７２に貼り替える方法として、バックグランド用テープ７１が貼り付けられたウェーハ６１およびリングフレーム６２に、ダイシング用テープ７２を貼り付ける形態となっている。しかし、本発明に係るテープ貼付装置およびテープ貼付方法は、テープの種類がこれらに限定されるわけではない。すなわち、例えばバックグラインド工程の後ブレーキング工程に移行する場合があるが、そのときウェーハおよびリングフレームのうち、バックグラインド用テープが貼り付けられた面の反対の面に、ブレーキング用テープを貼り付ける。本発明に係るテープ貼付装置およびテープ貼付方法は、このような場合にももちろん適用される。すなわち、ウェーハ６１およびリングフレーム６２の第一面６１ａ，６２ａに貼り付けられるテープを第一テープ、第二面６１ｂ，６２ｂに貼り付けられるテープを第二テープと読み替えることができ、その場合第一テープとしてバッググラインド用テープ７１を用い、第二テープとしてダイシング用テープ７２やブレーキング用テープ、その他任意のテープを用いることが可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１      テープ貼付装置
２１    ウェーハ支持テーブル
２２    リングフレーム支持テーブル
５１    ローラ
６１    ウェーハ
６１ａ  第一面
６１ｂ  第二面
６２    リングフレーム
６２ａ  第一面
６２ｂ  第二面
７１    バックグラインド用テープ
７１ａ  粘着面
７２    ダイシング用テープ
７２ａ  粘着面
【図１】
2013197149.tif 000003
【図２】
2013197149.tif 000004
【図３】
2013197149.tif 000005
【図４】
2013197149.tif 000006
【図５】
2013197149.tif 000007
【図６】
2013197149.tif 000008
【図７】
2013197149.tif 000009
【図８】
2013197149.tif 000010