(57)【要約】【課題】リフロー検査過程の視認性が改善された信頼性のあるイメージ情報を用いて、対象のリフロー性能を容易に検査することができるリフロー検査システム及びその制御方法を提供する。【解決手段】本発明のリフロー検査システム１００は、オーブン１１０と、オーブン１１０の内部でリフロー検査対象２００を載置し、一側にリフロー検査対象２００の温度を検知するための温度検知センサ１３１を備えるステージ１３０と、オーブン１１０の一側からリフロー検査対象２００に光を照射する光源部１２０と、リフロー検査対象２００から発生する煙を吸気し、リフロー検査対象２００のイメージ情報を獲得して外部に伝達する撮像部１４０と、撮像部１４０により獲得されたイメージ情報を処理する映像処理部１４０−２と、ステージ１３０、温度検知センサ１３１、及び映像処理部１４０−２に連結され、リフロー検査過程の制御を行う制御部１６０と、を含むものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オーブンと、
前記オーブンの内部でリフロー検査対象を載置し、一側に前記リフロー検査対象の温度を検知するための温度検知センサを備えるステージと、
前記オーブンの一側から前記リフロー検査対象に光を照射する光源部と、
前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気し、前記リフロー検査対象のイメージ情報を獲得して外部に伝達する撮像部と、
前記撮像部により獲得されたイメージ情報を処理する映像処理部と、
ステージ、温度検知センサ、及び映像処理部に連結され、リフロー検査過程の制御を行う制御部と、
を含むリフロー検査システム。
【請求項２】
前記オーブンは、前記リフロー検査対象を加熱するリフローガスが引き込まれる引き込み口と、リフロー処理後のガスを排出する排出口と、を多数備える請求項１に記載のリフロー検査システム。
【請求項３】
前記撮像部は、
レンズが備えられた開口部を介して入射された光を光ファイバを介して前記映像処理部に伝達するカメラ部と、
前記開口部に隣接した領域に突出状に備えられ、外部で前記制御部と連結された吸気ポンプに連結された吸気チューブと、
を含む請求項１に記載のリフロー検査システム。
【請求項４】
前記吸気チューブは、前記レンズが有する焦点距離より短い長さに突出され、前記吸気チューブの端部は突出方向に対して所定の鋭角を有する傾斜した切断面を有する請求項３に記載のリフロー検査システム。
【請求項５】
前記制御部は、前記映像処理部から受信したイメージ情報の明度に応じて、前記吸気ポンプの動作を制御する請求項３に記載のリフロー検査システム。
【請求項６】
前記制御部は、温度検知センサ及び映像処理部に連結され、リアルタイムで前記リフロー検査対象のリフロー検査情報を受信する請求項１に記載のリフロー検査システム。
【請求項７】
リフロー検査対象をオーブン内のステージに載置する段階と、
リフロー性能検査のためのリフロー工程条件に応じて前記リフロー検査対象をリフローする段階と、
制御部が前記リフロー検査対象の情報をリアルタイムで検出する段階と、
検出された前記リフロー検査対象の情報がリフロー性能を検査することができる良好な情報であるか否かを、前記制御部により判断する段階と、
前記判断段階の結果に応じて、前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気しながら、前記リフロー検査対象の情報をさらにリアルタイムで最終検出する段階と、
前記最終検出された前記リフロー検査対象の情報を用いて、前記リフロー検査対象のリフロー性能を検査する段階と、
を含むリフロー検査システムの制御方法。
【請求項８】
前記リフロー検査対象の情報をリアルタイムで検出する段階は、
レンズが備えられた開口部を介して入射された光を光ファイバを介して映像処理部に伝達するカメラ部と、前記開口部に隣接した領域に突出状に備えられ、外部で前記制御部と連結された吸気ポンプに連結された吸気チューブを含む撮像部と、
前記ステージの一側に備えられた温度検知センサと、を用いて、
前記リフロー検査対象のイメージ情報及び温度情報をリアルタイムで検出する請求項７に記載のリフロー検査システムの制御方法。
【請求項９】
前記リフロー性能を検査することができる良好な情報であるか否かを判断する段階は、
前記制御部が、前記映像処理部によってリアルタイムで検出された前記リフロー検査対象のイメージの明度が前記リフロー検査対象の初期イメージの明度より低いか否かを判断する請求項８に記載のリフロー検査システムの制御方法。
【請求項１０】
前記リフロー性能を検査することができる良好な情報であるか否かを判断する段階は、
前記リフロー検査対象の初期イメージの明度の９０％を基準として行われる請求項９に記載のリフロー検査システムの制御方法。
【請求項１１】
前記リフロー検査対象の情報をさらにリアルタイムで最終検出する段階は、
前記吸気チューブの端部に形成された傾斜した切断面を介して、前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気する段階を含む請求項８に記載のリフロー検査システムの制御方法。
【請求項１２】
前記リフロー性能を検査する段階は、
前記最終検出された前記リフロー検査対象の情報に含まれたイメージ情報から接触幅（Ｄ）と接触角（θ）を検出する段階を含む請求項８に記載のリフロー検査システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リフロー検査システム及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子産業の発達により、速い処理速度及び高い集積度を有する半導体装置が求められており、これに伴い、サブミクロン単位の素子サイズを有する回路製品の生産が求められている。このような要求に応じて、リソグラフィ技術分野でも高い解像度を有する露光装置と光に敏感なフォトレジスト組成物に関する技術開発がなされている。特に、最小フィーチャサイズを有する構造に対するパターンの寸法精度を高める努力がなされている。
【０００３】
高集積半導体素子を製造するためには、エッチング及びイオン注入工程のマスクとして用いられるフォトレジストパターンをより精度よく、微細に形成する必要がある。このためには、光に敏感なフォトレジストが必要となるが、敏感なフォトレジストを用いる場合、複雑な工程が付加されるという欠点がある。
【０００４】
露光装置の光源の波長は、得られる最小解像度と直接的な関連がある。例えば、既存のＧ−ライン（λ＝４３５ｎｍ）露光装置は、約０．５μｍの解像限界を有し、Ｉ−ライン（λ＝３６５ｎｍ）露光装置は、約０．３μｍの解像限界を有する。また、０．１５μｍ程度のＣＤ（ｃｒｉｔｉｃａｌ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）を実現するために、ＫｒＦ（λ＝２４８ｎｍ）の光源を用いたり、または０．１３μｍ以下の素子を製造するために、ＡｒＦ（λ＝１９３ｎｍ）に関する研究が進められている。
【０００５】
しかし、最近の素子デザインルールは、前記解像限界より減少すると予想されるため、現在の露光装置の限界を克服できる技術の開発が要求されている。
【０００６】
特に、微細なＣＤを有するパターン、または素子のセルアレイ領域で高いアスペクト比を有する微細なコンタクトホールを含む高集積素子を製造する場合において、現在の露光装置の解像限界を克服するための様々な工程技術が開発されている。
【０００７】
このような工程技術の例として、特許文献１に記載されたフォトレジストリフロー（ｒｅｆｌｏｗ）技術、及び特許文献２に記載された半田ペーストリフロー技術を含むリフロー技術が挙げられる。
【０００８】
まず、レジストリフロー技術は、微細パターンを形成するフォトレジストを加熱して流動されるようにして、即ち、リフローして、所望のＣＤを有するラインアンドスペース（ｌｉｎｅ  ａｎｄ  ｓｐａｃｅ、Ｌ／Ｓ）または所望のサイズのコンタクトホールを形成する方法である。
【０００９】
前記レジストリフロー技術を、詳細に説明すると、次の通りである。
【００１０】
最終Ｌ／ＳパターンのＣＤまたはコンタクトホールを、所望のサイズより大きく初期フォトレジストパターンを形成する。前記所望のサイズは、用いる露光装置の解像限界より小さいことが一般的である。次に、前記初期フォトレジストパターンをフォトレジストのガラス転移温度（ｇｌａｓｓ  ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ  ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ、Ｔｇ）以上の温度に加熱して、前記フォトレジストパターンのフォトレジストを流動、即ち、リフロー（ｒｅｆｌｏｗ）されるようにする。即ち、前記加熱によって前記フォトレジストの粘度が減少することにより、フォトレジストがリフローするようになって、Ｌ／ＳパターンのＣＤまたはコンタクトホールの開口サイズが減少する。これにより、所望の微細パターンが得られる。
【００１１】
次に、半田ペーストリフロー技術は、半導体チップや抵抗チップなどの様々な形態の小型電子部品が基板に実装（ｓｕｒｆａｃｅ  ｍｏｕｎｔｉｎｇ）されるように溶融状態の半田ペースト（ｓｏｌｄｅｒ  ｐｈａｓｔｅ）が一定のパターンで塗布され、高温伝達によって小型電子部品を基板に接着する。
【００１２】
このような半田ペーストの塗布過程は、例えば、スクリーン印刷機（ｓｃｒｅｅｎ  ｐｒｉｎｔｅｒ）という半田ペースト塗布装置によって行われる。前記スクリーン印刷機は、特定パターンの開口部が形成された金属マスク（ｍｅｔａｌ  ｍａｓｋ）上に供給された半田ペーストをスキージ（ｓｑｕｅｅｇｅｅ）で圧着してプリント回路基板の部品装着部に塗布する。
【００１３】
即ち、従来の半田ペースト塗布構造は、表面実装型プリント回路基板に一定のパターン及び一定量の半田ペーストを塗布するために、スリットまたは孔が加工された半田マスクを用いて所定位置に半田ペーストを塗布する構造である。このため、前記半田マスク上に一定量の半田ペーストを供給した後、ゴム材質のスキージを用いて掻き取ることにより、前記半田マスクのスリットまたは孔に半田ペーストが浸透してプリント回路基板上の銅箔に半田ペーストパターンが形成される。
【００１４】
その後、前記回路基板からマスクを分離した後、窒素雰囲気下で温度を上昇させて半田ペーストリフローを行うと、前記半田ペーストが半球型の半田バンプに形成される。
【００１５】
次に、半導体チップや抵抗チップなどの様々な形態の小型電子部品が、半田バンプを介して基板に実装される。
【００１６】
このようなリフロー技術は、共融点（Ｅｕｔｅｃｔｉｃ  ｐｏｉｎｔ）及び共融点近傍での濡れ性などのフォトレジストまたは半田ペーストの特性を微細パターンまたはバンプの形成条件と状態に直結される最も重要な要素として有する。
【００１７】
しかし、フォトレジストまたは半田ペーストのリフロー過程で瞬間的に発生する溶融現象、フォトレジストまたは半田ペーストの表面及び界面での変化を測定できる装置は、殆どない。また、半田ペーストとともに有機溶媒、有機接着剤などが混合された場合、加熱時に発生する煙（Ｓｍｏｋｅ）によって視認性を確保することが困難となるため、リアルタイムでフォトレジストまたは半田ペーストの性能を検査することは殆ど不可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】韓国公開特許第２００８−００６００８０号公報
【特許文献２】韓国登録特許第１０−０７３９０８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
上記の問題点を解消するための本発明の課題は、リフロー過程で発生する煙を除去しながら、リフロー性能を検査するリフロー検査システムを提供することにある。
【００２０】
上記の問題点を解消するための本発明の他の課題は、リフロー過程で発生する煙を除去しながら、リフロー性能を検査するリフロー検査システムの制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムは、オーブンと、前記オーブンの内部でリフロー検査対象を載置し、一側に前記リフロー検査対象の温度を検知するための温度検知センサを備えるステージと、前記オーブンの一側から前記リフロー検査対象に光を照射する光源部と、前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気し、前記リフロー検査対象のイメージ情報を獲得して外部に伝達する撮像部と、前記撮像部により獲得されたイメージ情報を処理する映像処理部と、ステージ、温度検知センサ、及び映像処理部に連結され、リフロー検査過程の制御を行う制御部と、を含む。
【００２２】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムにおいて、前記オーブンは、前記リフロー検査対象を加熱するリフローガスが引き込まれる引き込み口と、リフロー処理後のガスを排出する排出口と、を多数備える。
【００２３】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムにおいて、前記撮像部は、レンズが備えられた開口部を介して入射された光を光ファイバを介して前記映像処理部に伝達するカメラ部と、前記開口部に隣接した領域に突出状に備えられ、外部で前記制御部と連結された吸気ポンプに連結された吸気チューブと、を含む。
【００２４】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムにおいて、前記吸気チューブは、前記レンズが有する焦点距離より短い長さに突出され、前記吸気チューブの端部は突出方向に対して所定の鋭角を有する傾斜した切断面を有する。
【００２５】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムにおいて、前記制御部は、前記映像処理部から受信したイメージ情報の明度に応じて、前記吸気ポンプの動作を制御する。
【００２６】
本発明の一実施例によるリフロー検査システムにおいて、前記制御部は、温度検知センサ及び映像処理部に連結され、リアルタイムで前記リフロー検査対象のリフロー検査情報を受信する。
【００２７】
また、本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法は、リフロー検査対象をオーブン内のステージに載置する段階と、リフロー性能検査のためのリフロー工程条件に応じて前記リフロー検査対象をリフローする段階と、制御部が前記リフロー検査対象の情報をリアルタイムで検出する段階と、検出された前記リフロー検査対象の情報がリフロー性能を検査することができる良好な情報であるか否かを、前記制御部により判断する段階と、前記判断段階の結果に応じて、前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気しながら、前記リフロー検査対象の情報をさらにリアルタイムで最終検出する段階と、前記最終検出された前記リフロー検査対象の情報を用いて、前記リフロー検査対象のリフロー性能を検査する段階と、を含む。
【００２８】
本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法において、前記リフロー検査対象の情報をリアルタイムで検出する段階は、レンズが備えられた開口部を介して入射された光を光ファイバを介して映像処理部に伝達するカメラ部と、前記開口部に隣接した領域に突出状に備えられ、外部で前記制御部と連結された吸気ポンプに連結された吸気チューブを含む撮像部と、前記ステージの一側に備えられた温度検知センサと、を用いて、前記リフロー検査対象のイメージ情報及び温度情報をリアルタイムで検出する。
【００２９】
本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法において、前記リフロー性能を検査することができる良好な情報であるか否かを判断する段階は、前記制御部が、前記映像処理部によってリアルタイムで検出された前記リフロー検査対象のイメージの明度が前記リフロー検査対象の初期イメージの明度より低いか否かを判断する。
【００３０】
本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法において、前記リフロー検査対象の情報をさらにリアルタイムで最終検出する段階は、前記吸気チューブの端部に形成された傾斜した切断面を介して、前記リフロー検査対象から発生する煙を吸気する段階を含む。
【００３１】
本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法において、前記リフロー性能を検査する段階は、前記最終検出された前記リフロー検査対象の情報に含まれたイメージ情報から接触幅（Ｄ）と接触角（θ）を検出する段階を含む。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によるリフロー検査システムは、対象のリフロー性能を検査する過程で発生する煙を除去して視認性を改善するため、リフロー性能を検査することができるイメージ情報を容易に獲得することができるという効果がある。
【００３３】
本発明によるリフロー検査システムの制御方法は、リフロー検査過程の視認性が改善された信頼性のあるイメージ情報を用いて、対象のリフロー性能を容易に検査することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施例によるリフロー検査システムの構成を概略的に図示した図面である。
【図２】図１の撮像部を拡大して図示した拡大図である。
【図３】本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法を説明するためのフローチャートである。
【図４Ａ】本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法を説明するための写真である。
【図４Ｂ】本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法を説明するための写真である。
【図５】本発明の他の実施例による制御方法に従って行うリフロー検査を説明するための写真である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
本発明の目的、特定の長所及び新規の特徴は、添付図面に係る以下の詳細な説明及び好ましい実施例によってさらに明らかになるであろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるに際し、同一の構成要素に限っては、たとえ異なる図面に示されても、できるだけ同一の番号を付けるようにしていることに留意しなければならない。また、「一面」、「他面」、「第１」、「第２」などの用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別するために用いられるものであり、構成要素が前記用語によって限定されるものではない。以下、本発明を説明するにあたり、本発明の要旨を不明瞭にする可能性がある係る公知技術についての詳細な説明は省略する。
【００３６】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００３７】
図１は、本発明の一実施例によるリフロー検査システムの構成を概略的に図示した図面であり、図２は、図１の撮像部を拡大して図示した拡大図である。
【００３８】
図１に図示されたように、本発明の一実施例によるリフロー検査システム１００は、オーブン１１０と、オーブン１１０の内部でリフロー検査対象２００を載置し、一側にリフロー検査対象２００の温度を検知するための温度検知センサ１３１を備えたステージ１３０と、オーブン１１０の一側からリフロー検査対象２００に光を照射する光源部１２０と、前記光源部１２０に対応して備えられ、リフロー検査対象２００のイメージ情報を獲得して外部に伝達する撮像部１４０と、撮像部１４０により獲得されたイメージ情報を処理する映像処理部１４０−２と、ステージ１３０、温度検知センサ１３１、映像処理部１４０−２及び吸気ポンプ１５０の調整弁などに連結され、全体的な制御を行う制御部１６０と、を含む。
【００３９】
ここで、リフロー検査対象２００は、リフロー工程が適用される電子部品の試料をその対象とし、例えば、リフロー工程前に基板上にフォトレジストまたは半田ペーストなどを形成した状態の試料を対象とすることができる。
【００４０】
オーブン１１０は、検査条件に応じてリフロー検査対象２００を加熱するリフローガスが引き込まれる引き込み口と、リフロー処理後のガスを排出する排出口と、を多数備える。ここで、オーブン１１０に引き込まれるリフローガスは、検査条件に応じてリフロー検査対象２００を加熱するために所定温度に予熱されて引き込まれる非活性ガス、例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどを用いることができる。
【００４１】
勿論、オーブン１１０は、リフローガスを用いず、その内部にヒータなどの熱源を備えてリフロー検査対象２００を加熱することもできる。
【００４２】
ステージ１３０は、オーブン１１０内でリフロー検査対象２００を上部面に載置するための金属板１３２と、一側にリフロー検査対象２００の温度を検知するために備えられる温度検知センサ１３１と、を含む。このようなステージ１３０は、制御部１６０の制御により、例えば電動モータなどを用いてＸ−Ｙ−Ｚ軸に沿って移動することができるため、リフロー検査対象２００を容易に撮像できる位置に移動することができる。
【００４３】
また、温度検知センサ１３１は、ステージ１３０の一側で金属板１３２に接触して、金属板１３２に沿って熱伝導されたリフロー検査対象２００の温度をリアルタイムで検知することができる。リフロー検査対象２００の温度をより正確に検知するために、温度検知センサ１３１は、リフロー検査対象２００の基板に接触して、熱伝導現象によってフォトレジストまたは半田ペーストの溶融温度を検知することができる。
【００４４】
撮像部１４０は、オーブン１１０の内部でリフロー検査対象２００が載置されたステージ１３０を中心に一側に備えられた光源部１２０に対応して装着され、外部の映像処理部１４０−２と吸気ポンプ１５０に連結される。
【００４５】
具体的には、撮像部１４０は、図２に図示されたように、超小型カメラ構造を有しており、レンズが備えられた開口部１４１−１を有する超小型カメラ部１４１と、開口部１４１−１に隣接した領域に突出状に備えられ、吸気ポンプ１５０に連結された吸気チューブ１４２と、を含む。
【００４６】
このような撮像部１４０は、開口部１４１−１のレンズを介して入射された光を光ファイバを介して映像処理部１４０−２に伝達し、選択的に、開口部１４１−１に隣接した他の領域に別の光源を備えてリフロー検査対象２００に光を照射することもできる。
【００４７】
また、撮像部１４０は、開口部１４１−１に隣接して外部に所定長さに突出された吸気チューブ１４２を備え、制御部１６０の制御により、リフロー検査対象２００に対するリフロー検査過程で発生する煙を、吸気チューブ１４２を介して吸気する。
【００４８】
これにより、撮像部１４０は、吸気チューブ１４２を介して煙を除去することによって、リフロー検査対象２００のリフロー過程での視認性を改善することができ、開口部１４１−１のレンズを介してリフロー検査対象２００のイメージ情報（図４Ａ参照）を獲得して外部の映像処理部１４０−２に伝達する。
【００４９】
特に、吸気チューブ１４２は、開口部１４１−１のレンズが有する焦点距離より短い長さで突出されており、その端部の形態は、煙の除去を容易に行うために突出方向に所定の鋭角を有する傾斜した切断面１４２−２に形成される。このような吸気チューブ１４２の切断面１４２−２は、開口部１４１−１を基準として上、下、左、右に位置してリフロー検査対象２００に近接して、リフロー検査過程で発生するリフロー検査対象２００の煙を吸気する。
【００５０】
制御部１６０は、リフロー検査システム１００の全体的な制御を行うものであり、特に、ステージ１３０、温度検知センサ１３１、映像処理部１４０−２及び吸気ポンプ１５０の調整弁などに連結されてリフロー検査過程の制御を行う。
【００５１】
特に、制御部１６０は、映像処理部１４０−２から伝達されたイメージ情報が、煙などに隠れてリフロー検査を行うことができないエラーイメージ情報（図４Ｂ参照）であると判断されると、吸気ポンプ１５０を駆動して吸気チューブ１４２を介して煙を吸気除去する。
【００５２】
このように構成された本発明の一実施例によるリフロー検査システム１００は、吸気チューブ１４２を用いて、リフロー検査対象２００で発生する煙が、リフロー検査対象２００に対するイメージ撮像を妨害することを防止する。
【００５３】
従って、本発明の一実施例によるリフロー検査システム１００は、リフロー過程で発生する煙を除去しながら、リフロー検査対象２００のリフロー性能を容易に検査することができる。
【００５４】
以下、本発明の他の実施例によるリフロー検査システム１００の制御方法について、図３から図５を参照して説明する。
【００５５】
図３は、本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法を説明するためのフローチャートであり、図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の他の実施例によるリフロー検査システムの制御方法を説明するための写真であり、図５は、本発明の他の実施例による制御方法に従って行うリフロー検査を説明するための写真である。
【００５６】
本発明の他の実施例によるリフロー検査システム１００の制御方法は、リフロー検査対象２００のリフロー性能を検査する過程に関する制御方法であって、まず、リフロー検査対象２００をステージ１３０に載置する（Ｓ３１０）。
【００５７】
ここで、リフロー検査対象２００は、リフロー工程が適用される電子部品の試料をその対象とし、例えば、リフロー工程前に基板上にフォトレジストまたは半田ペーストなどを形成した状態の試料を対象とする。
【００５８】
この際、リフロー検査対象２００は、ステージ１３０の一側に装着された温度検知センサ１３１に接触するように載置され、温度検知センサ１３１によってリアルタイムで検知されたリフロー検査対象２００の温度情報が制御部１６０に伝達される。
【００５９】
また、撮像部１４０が、リフロー検査対象２００に近接して装着され、特に、吸気チューブ１４２の傾斜した切断面がリフロー検査対象２００に近接して装着される。
【００６０】
リフロー検査対象２００をステージ１３０に載置した後、リフロー検査対象２００は、リフロー性能検査のために、リフロー工程条件に応じて、リフローされる（Ｓ３２０）。
リフロー工程条件は、多様な工程条件を含むことができ、例えば、リフローがなされる加熱温度に関する条件を含む。即ち、リフロー検査対象２００を加熱するために、所定温度に予熱されてオーブン１１０に引き込まれる窒素ガス、アルゴンガスなどの非活性ガス、またはオーブン１１０の内部に備えられたヒータなどの加熱装置を用いて、オーブン１１０の雰囲気温度を設定されたリフロー加熱温度条件に応じて上昇させることができる。
【００６１】
このようにリフロー工程条件に応じてリフロー検査対象２００のリフローが行われると、制御部１６０は、撮像部１４０と映像処理部１４０−２を用いてリフロー検査対象２００のイメージ情報をリアルタイムで検出する（Ｓ３３０）。
【００６２】
勿論、制御部１６０は、図４Ａに図示されたイメージのように、撮像部１４０と映像処理部１４０−２を用いて、リフロー検査対象２００に対してリフローを行う前からリフロー検査対象２００のイメージを検出することができる。
【００６３】
リアルタイムでリフロー検査対象２００のイメージ情報が検出されると、制御部１６０は、検出されたイメージ情報が、リフロー検査対象２００のリフロー性能を検査することができる良好なイメージ情報であるか否かを判断する（Ｓ３４０）。
【００６４】
即ち、リフロー検査対象２００に対してリフローを行う過程で、リフロー検査対象２００から発生する煙が撮像部１４０の開口部１４１−１に入射する光を遮断して、撮像部１４０が良好なイメージ情報を検出することができない（図４Ｂ参照）ということを判断することができる。
【００６５】
これにより、制御部１６０は、撮像部１４０と映像処理部１４０−２によって検出されたイメージの明度が、リフローを行う前の初期イメージの明度より低い明度、例えば初期イメージの明度の９０％以下の低い明度である場合、良好なイメージ情報ではないと判断して、吸気ポンプ１５０を駆動して吸気チューブ１４２が煙を吸気するようにする（Ｓ３４５）。
【００６６】
その後、吸気チューブ１４２が煙を吸気すると、制御部１６０は、撮像部１４０と映像処理部１４０−２を用いて、さらにリフロー検査対象２００のイメージ情報をリアルタイムで検出する。
【００６７】
一方、上記の判断段階（Ｓ３４０）で検出されたイメージ情報が、リフロー検査対象２００のリフロー性能を検査することができる良好なイメージ情報であると、制御部１６０は、検出されたイメージ情報を用いてリフロー検査対象２００のリフロー性能を検査する（Ｓ３５０）。
【００６８】
例えば、制御部１６０は、リフロー性能を検査するための項目として、溶融開始温度、リフロー時間、濡れ性（ｗｅｔｔａｂｉｌｉｔｙ）などを検査することができる。
【００６９】
具体的には、制御部１６０は、リフロー過程でリフロー検査対象２００のフォトレジストまたは半田ペーストなどが溶融される時点の温度情報を、温度検知センサ１３１から受信して、溶融開始温度を検出することができる。
【００７０】
また、制御部１６０は、リフロー検査対象２００をステージ１３０に載置して、リフローを行う前の時点からリフローを行った後の時点までのリアルタイムで検出された時間情報を用いて、リフロー時間情報を検出することができる。
【００７１】
特に、制御部１６０は、図５に図示されたリフロー後に検出された半田ペーストのイメージ情報から半田ペーストの接触幅（Ｄ）と接触角（θ）などを検出して濡れ性を検査することができる。
【００７２】
その後、制御部１６０は、このようなリフロー性能の検査結果を、モニターなどのディスプレイ部に、リフロー検査対象２００のリフロー性能情報として、ディスプレイすることができる。
【００７３】
これにより、本発明の他の実施例によるリフロー検査システム１００の制御方法は、対象２００のリフロー性能を検査する過程で発生する煙を除去して視認性を改善するため、リフロー性能を検査することができるイメージ情報を容易に獲得することができる。
【００７４】
従って、本発明の他の実施例によるリフロー検査システム１００の制御方法は、リフロー検査過程の視認性が改善された信頼性のあるイメージ情報を用いて、リフロー検査対象２００のリフロー性能を容易に検査することができる。
【００７５】
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのものであり、本発明はこれに限定されず、該当分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想内にての変形や改良が可能であることは明白であろう。
【００７６】
本発明の単純な変形乃至変更はいずれも本発明の領域に属するものであり、本発明の具体的な保護範囲は添付の特許請求の範囲により明確になるであろう。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
本発明は、リフロー検査過程の視認性が改善された信頼性のあるイメージ情報を用いて、対象のリフロー性能を容易に検査することができるリフロー検査システム及びその制御方法に適用可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１００  リフロー検査システム
１１０  オーブン
１２０  光源部
１３０  ステージ
１３１  温度検知センサ
１３２  金属板
１４０  撮像部
１４０−２  映像処理部
１４１  超小型カメラ部
１４１−１  開口部
１４２  吸気チューブ
１４２−２  切断面
１５０  吸気ポンプ
１６０  制御部
２００  リフロー検査対象
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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