(57)【要約】【課題】複数の波長を有するレーザ（被測定光）を測定する場合においても個々のレーザのパワーを正確に測定することのできる光パワーメータを提供する。【解決手段】被測定光を受光する光センサ手段１４と、光センサ手段１４からの受光信号により光パワーを演算する測定部２１と、を備えた光パワーメータ１００において、光センサ手段１４の近傍に光入射部４を有するポリクロメータ８を備え、ポリクロメータ８で被測定光の波長と相対スペクトルを測定すると共に、測定された波長及び相対スペクトル値から光センサ手段１４の分光感度特性を補正し、測定部２１にて、被測定光内の波長ごとの光のパワーを演算する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定光を受光する光センサ手段と、前記光センサ手段からの受光信号により光パワーを演算する測定部と、を備えた光パワーメータにおいて、
前記光センサ手段の近傍に光入射部を有するポリクロメータを備え、
前記ポリクロメータで被測定光の波長と相対スペクトルを測定すると共に、測定された波長及び相対スペクトルの値から前記光センサ手段の分光感度特性を補正し、
前記測定部にて、被測定光内の波長ごとの光のパワーを演算することを特徴とする光パワーメータ。
【請求項２】
前記光センサ手段は、拡散透過板と受光素子とを有し、
前記拡散透過板を透過した前記被測定光の拡散透過光を前記受光素子にて光電流に変換することを特徴とする請求項１に記載の光パワーメータ。
【請求項３】
前記ポリクロメータの前記光入射部にも、前記被測定光の拡散透過光が入射することを特徴とする請求項２に記載の光パワーメータ。
【請求項４】
前記測定光の波長をλ１、λ２、・・・λｎ、
前記光センサ手段の分光感度をＳ（λ１）、Ｓ（λ２）、・・・Ｓ（λｎ）、
前記光センサ手段で測定された電流値をＩｆ（Ａ）、
前記ポリクロメータで測定された相対スペクトルをＲ（λ１）、Ｒ（λ２）、・・・Ｒ（λｎ）、
前記ポリクロメータで測定された相対スペクトルの合計をＲ（λ）、
としたとき、
前記被測定光の波長（λｘ）の光パワーＰ（λｘ）は、
Ｐ（λｘ）＝Ｐｆ×［Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝］
（ｉ＝１〜ｎ）
ここで前記Ｐｆは絶対パワーであり、
Ｐｆ＝Ｉｆ×Ｒ（λ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝    （ｉ＝１〜ｎ）
であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の光パワーメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源としての、蛍光灯、電球、ＬＥＤ照明、ＬＥＤ素子、ＬＤ、ＬＣＤ（液晶ディスプレー）などからの光のパワーを測定する光パワーメータに関し、特に、例えばレーザプロジェクタ等のような複数の波長を照射する機器においてホワイトバランスなどで各レーザのパワーを測定する場合のように、複数の波長を有するレーザの個々のパワーを測定することのできる光パワーメータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、たとえば、蛍光灯、電球、ＬＥＤ素子などの測定対象光源からの光（被測定光）のパワーを測定する光パワーメータとして種々の装置が提案されている。
【０００３】
例えば、被測定光源の波長が未知な場合、光スペクトラムアナライザや分光放射計などの高額な測定器を用いて光パワーを測定することが可能であるが、一般に、光パワーメータは、受光素子として、波長に対して異なる感度特性を有するシリコンフォトダイオードなどの量子型の半導体素子を用いた光センサを使用している。安価な構成として、シリコンフォトダイオードなどの光センサを使用したパワーメータは一般に光パワーを測定する際には、シリコンフォトダイオードの分光感度特性を補正するために、被測定光の波長を測定して、機器に波長を設定して測定する必要があった。
【０００４】
そこで、本願添付の図４（ａ）〜（ｃ）に示すように、特許文献１には、被測定光源４０からの被測定光の波長を測定しなくても、光センサＡ、Ｂが２個という構成でアパーチャー３１に入射した光パワーを測定できる光パワーメータ１００が開示されている。特許文献１に示された光パワーメータ１００では、アパーチャー３１に入射した被測定光源４０の光を拡散透過板１で拡散させて、ガラスフィルタ３２、３４とシリコンフォトダイオード３３、３５で構成した２個の感度が異なる光センサＡ、Ｂで光のパワーを検出する。シリコンフォトダイオード３３、３５で光を電気に変換し、Ｉ−Ｖ変換回路（演算増幅器３６、３７と帰還抵抗）で電流を電圧に変換後、アナログスイッチ３８で交互にＡＤ変換してデジタル信号に変換し、ＣＰＵ４１に取り込む。２個の感度が異なる光センサＡ、Ｂは、波長に対する感度が直線的に変化し、その傾きは２個で異なる。この２個の光センサＡ、Ｂの絶対分光感度は、近似的にＲａ（λ）＝ａλ＋ｂ、Ｒｂ（λ）＝ｃλ＋ｄなる式であらわされる。この式とそれぞれのセンサの出力信号Ｓａ、ＳｂからＰ＝Ｓａ／｛ａ（ｄ・Ｓａ／Ｓｂ−ｂ）／（ａ−ｃ・Ｓａ／Ｓｂ）＋ｂ｝により、光パワーＰを演算することができる。
【０００５】
このように特許文献１の方法は、被測定光の波長を測定しなくても、光センサが２個という簡単な構成で、アパーチャーに入射した光パワーを測定できる。ただし、特許文献１の構成では、光センサの分光感度特性は波長に対して直線的に変化しなければならない。
【０００６】
なお、特許文献１の光パワーメータでは、単一の波長のレーザ光のパワー測定であれば上記の構成で問題がないが、複数の波長を有するレーザを測定する場合は、個々の波長のレーザのパワーを測定することができない。即ち、例えば、個々のレーザの波長のパワーを測定する必要のあるレーザプロジェクタのホワイトバランスなどでの調整のためには上記の構成では困難である。
【０００７】
特許文献２には、本願添付の図５に示すように、入力光を光分岐器で第１の分岐光と第２の分岐光に分岐し、第１の受光素子で第１の分岐光を検出し、第１の受光素子の波長感度特性と違う波長感度特性を持つ第２の受光素子で第２の分岐光を検出し、第１の受光素子の出力と第２の受光素子の出力を演算回路で演算して任意の波長の光パワーを測定する光パワーメータを記載している。
【０００８】
特許文献３には、本願添付の図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、光学フィルタｆと受光素子ＰＤとを備え、それぞれ感度波長領域が制限されたことになる分光感度特性Ｓ’（λ）を有した光センサＳを複数個配列することにより光センサ手段を構成し、測定部は、それぞれ異なる光センサＳの分光感度特性Ｓ’（λ）に対して重み付けを行い、各光センサＳの分光感度特性Ｓ（λ）を、所定範囲の波長領域において平坦な特性とすることにより被測定光の光パワーを測定する光パワーメータを記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開昭６３−１２７１２７号公報
【特許文献２】特開平４−４８２２８号公報
【特許文献３】特開２０１０−１１２８０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献２、３に記載の発明もまた、上記特許文献１に記載の発明と同様に、複数の波長を有するレーザを測定する場合は、個々のレーザのパワーを測定することができない、という問題を有している。
【００１１】
そこで、本発明者は、光センサ部に拡散透過光学部品を用い、拡散透過光を受光素子で光電流に変換すると共に同一センサ内にポリクロメータの光入射部を備え、光入射部が拡散透過板の光検出開口部の全体を視野する位置に配置し、同一機器内に収められたポリクロメータでレーザの波長と相対スペクトルを測定すると共に、その測定波長から受光素子の分光感度特性を補正して正確なパワーを測定する構成とし、各波長の絶対パワーを測定し得ることを見出した。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、複数の波長を有するレーザを測定する場合においても、個々のレーザのパワーを正確に測定することのできる光パワーメータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的は本発明に係る光パワーメータにて達成される。要約すれば、本発明は、被測定光を受光する光センサ手段と、前記光センサ手段からの受光信号により光パワーを演算する測定部と、を備えた光パワーメータにおいて、前記光センサ手段の近傍に光入射部を有するポリクロメータを備え、前記ポリクロメータで被測定光の波長と相対スペクトルを測定すると共に、測定された波長及び相対スペクトルの値から前記光センサ手段の分光感度特性を補正し、前記測定部にて、被測定光内の波長ごとの光のパワーを演算することを特徴とする光パワーメータである。
【００１４】
本発明の一実施態様によると前記光センサ手段は、拡散透過板と受光素子とを有し、前記拡散透過板を透過した前記被測定光の拡散透過光を前記受光素子にて光電流に変換することを特徴とする上記構成の光パワーメータである。
【００１５】
本発明の他の実施態様によると前記ポリクロメータの前記光入射部にも、前記被測定光の拡散透過光が入射することを特徴とする上記構成の光パワーメータである。
【００１６】
本発明の他の実施態様によると前記測定光の波長をλ１、λ２、・・・λｎ、前記光センサ手段の分光感度をＳ（λ１）、Ｓ（λ２）、・・・Ｓ（λｎ）、前記光センサ手段で測定された電流値をＩｆ（Ａ）、前記ポリクロメータで測定された相対スペクトルをＲ（λ１）、Ｒ（λ２）、・・・Ｒ（λｎ）、前記ポリクロメータで測定された相対スペクトルの合計をＲ（λ）、としたとき、前記被測定光の波長（λｘ）の光パワーＰ（λｘ）は、
Ｐ（λｘ）＝Ｐｆ×［Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝］
（ｉ＝１〜ｎ）
ここで前記Ｐｆは絶対パワーであり、
Ｐｆ＝Ｉｆ×Ｒ（λ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝
（ｉ＝１〜ｎ）
であることを特徴とする上記構成の光パワーメータである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数の波長を有するレーザを測定する場合においても、個々のレーザのパワーを正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る光パワーメータの概略構成図である。
【図２】本発明に係る光パワーメータの光センサ手段の分光感度特性を示すグラフである。
【図３】本発明に係る光パワーメータのポリクロメータでの検出スペクトルを示すグラフである。
【図４】従来の光パワーメータを示す図である。図４（ａ）は従来の光パワーメータの概略構成図であり、図４（ｂ）は従来の光パワーメータの電気回路の一例を示すブロック図であり、図４（ｃ）は従来の光パワーメータに用いる２個の分光器の分光感度特性図である。
【図５】従来の光パワーメータの構成を示す図である
【図６】従来の光パワーメータを示す図である。図６（ａ）は従来の光パワーメータの検出部の概略構成図であり、図６（ｂ）は従来の光パワーメータの光センサ手段を構成する各光センサの相対分光感度特性を示す図であり、図６（ｃ）は従来の光パワーメータの光センサ手段を構成する各光センサの合算後の相対分光感度特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明に係る光パワーメータ１００を図面に則して更に詳しく説明する。
【００２０】
実施例１
図１を参照して、本発明に係る光パワーメータ１００の一実施例を説明する。図１は、本実施例における光パワーメータ１００の概略構成図である。
【００２１】
本実施例によると、光パワーメータ１００は、光センサ手段１４を備えた光センサヘッド（検出部）２０と、演算手段（ＣＰＵ）９を備えた本体部（測定部）２１とで構成されている。本実施例では光センサヘッド２０は、測定対象光源からの光（被測定光）が入射する入射部開口１３を有しており、光センサヘッド２０の入射部開口１３には、光センサ手段１４を構成する拡散透過板１と、光センサヘッド２０の拡散透過板１の後方には、
受光素子２が配置されている。また、光センサ手段１４に隣接してポリクロメータ光入射部４である光ファイバ５の端面が設置されている。受光素子２の後方には、電流電圧変換アンプ３が設置されており、光センサヘッド２０はケーブル１２を介して本体部２１と接続されている。ケーブル１２内を通って、光ファイバ５と電流電圧変換アンプ３からの電圧信号を運ぶ電線６が本体部２１へと延出している。本体部２１には、信号処理回路７、ポリクロメータ８、ＣＰＵ（演算手段）９、メモリ１０、表示１１が設けられている。
【００２２】
尚、本実施例では、限定されるものではないが、拡散透過板１としては、シグマ光機株式会社製「オパール型拡散板」（商品名）を使用し、ポリクロメータ１００としては浜松ホトニクス株式会社製「ミニ分光器  Ｃ１１６９７ＭＡ」（商品名）を使用した。
【００２３】
一般に、被測定光の光パワーが時間的に安定している場合などは、ポリクロメータで絶対値のパワーを測定することも可能である。
【００２４】
従来、ポリクロメータの光検出部はフォトダイオードアレイやＣＣＤリニアイメージセンサが使用されており、一般に受光素子の内部に光電流を蓄積するため、被測定光のパワーによって露光時間を調整して使用する。一般にその露光時間は数ｍｓ〜数ｓまでの範囲で設定する。比較的被測定光のパワーが弱い場合は、露光時間を数ｓなどに設定するため、露光時間内で明るさが変調する光のちらつきは測定することができない。
【００２５】
現在、ＬＥＤ照明を対象とした測光では、被照射面の照度以外に演色性やちらつきを測定することが課題として挙げられている。一般にちらつきは１００Ｈｚや５００Ｈｚなどの照度のちらつきを測定することが考えられており、そのちらつきを測定するためには、上記の周波数以上のサンプリングが必要である。従って、このちらつきを測定する場合は、露光時間を設定するようなポリクロメータで無く、一定のサンプリング時間で（一例として１０ｋＨｚ等）で受光素子の受光電流を測定し、ちらつきの周波数や強度変化のレベルを測定することが必要である。本発明の光パワーメータは、これらの諸問題を解決し得る。
【００２６】
入射部開口１３から入射した被測定光は光センサヘッド２０の入射部開口１３に設けられている拡散透過板１にて拡散され、入射部開口１３から入射する光の角度が変化しても受光素子２とポリクロメータ光入射部４への拡散透過光である光束（放射束）部分は偏りが生じず、均一である。拡散透過板１に入射した放射束は拡散透過板１を透過し、受光素子２に照射する。ここで、入射する放射束を検出するにあたり、入射位置依存性を軽減するために、受光素子２の受光面のサイズは□１０ｍｍなど大きいものが望まれる。受光素子２で受光された放射束は光電流に変換され、後段の電流電圧変換アンプ３によって光電流である受光信号（電流信号）が電圧に変換される。変換された信号はケーブル１２内の電線６を通り、本体部２１の信号処理回路７に伝えられる。本体部２１において、信号処理回路７に伝えられた放射束の信号により、光電流のレベルを検出する。
【００２７】
また、拡散透過板１にて拡散透過した光の一部はポリクロメータ８の光入射部４に入射する。ポリクロメータ８に接続した光ファイバ５の視野が入射部開口径１３ａ全体を視野するよう、光ファイバの端面である光入射部４を受光素子２の近傍に位置させ、拡散透過板１のどの位置に被測定光が入射しても検出できるようにする。光入射部４に入射した放射束はケーブル１２の中の光ファイバ５を通って本体部２１のポリクロメータ８に伝えられる。
【００２８】
本体部２１のポリクロメータ（分光部）８は光ファイバ型であり、ここで、被測定光の相対スペクトルを検出する。
【００２９】
ここで、図２に本実施例の光パワーメータ１００の光センサ手段１４（拡散透過板１と受光素子２）の分光感度特性を示す。この分光感度特性はあらかじめ製造段階で検査され、所定範囲の波長領域内の値として本体部２１内のメモリ１０に記憶されている。
【００３０】
光センサ手段１４の分光感度特性は、以下のように検査され、記憶される。光センサ手段１４に一定の光パワーの単色光（例：波長幅１ｎｍ）を入射する。その時の受光素子２で検出した電流値を測定する。単色光は波長λ１〜λｎ、一例として波長２００ｎｍ〜１２００ｎｍの範囲で１ｎｍ毎に掃引される。各単色光の電流値を測定することで、各単色光（各波長）の受光感度Ｓ（Ａ／Ｗ）を求め、本体部２１のメモリ１０に記憶する。
【００３１】
測定され、記憶された波長λ１から波長λｎまでの受光感度は、図２に示すように、
Ｓ（λ１）、Ｓ（λ２）、Ｓ（λ３）・・・Ｓ（λｘ）・・・Ｓ（λｙ）・・・Ｓ（λｎ）
となる。
【００３２】
次に、上記の受光感度Ｓを持った光センサ手段１４とポリクロメータ８を設置した本実施例における光パワーメータ１００でのパワーの測定方法について述べる。
【００３３】
まず、被測定光が１波長の光で構成されていた場合について述べる。
【００３４】
光パワーメータ１００に被測定光が入射すると、光センサ手段１４で受光し、光電流値Ｉｆｚが測定される。また、同時にポリクロメータ８の光ファイバの光入射部４にも被測定光が入射し、ポリクロメータ８で被測定光のスペクトルが測定される。
【００３５】
このポリクロメータ８で測定されたスペクトルの波長によって、被測定光の波長がわかり、その時の波長λｚの時の光センサ手段１４の分光感度特性はＳ（λｚ）である。
【００３６】
よって、光センサ手段１４で測定された電流値Ｉｆｚと分光感度特性Ｓ（λｚ）より、被測定光のパワーＰｆｚは以下の通りとなる。
Ｐｆｚ＝Ｉｆｚ／Ｓ（λｚ）・・・（１）
上記式（１）はメモリ１０に記憶された分光感度特性Ｓ（λｚ）とポリクロメータ８で測定された波長λｚと光センサ手段１４で測定された光電流値ＩｆｚからＣＰＵ９にて演算され、表示部１１に演算結果が表示される。また、ＣＰＵ９にて演算された結果は表示部１１に表示されるだけでなく、外部記録媒体、または記録紙などに出力されても良い。
【００３７】
次に被測定光が複数の波長の光で構成されている場合について述べる。
【００３８】
図３は本実施例の光パワーメータ１００で被測定光を検出した相対スペクトルの一例である。ポリクロメータ８で検出したデータであり、一例として、２波長λｘとλｙでの相対スペクトルが検出された場合について述べる。
【００３９】
本実施例における光パワーメータ１００に設置されている光センサ手段１４の受光素子の分光感度特性は図２における通りであり、検出された相対スペクトルＲ（λｘ）、Ｒ（λｙ）によって、被測定光Ｒ（λ）の中にλｘとλｙの波長の２波長の光を含むことがわかる。ここで、被測定光の中の２波長の光は相対スペクトルによって、それぞれ以下の割合で存在していることがわかる。
λｘの波長光に対する補正値＝Ｒ（λｘ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝・・・（２）
λｙの波長光に対する補正値＝Ｒ（λｙ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝・・・（３）
ここで、それぞれの受光素子の感度はそれぞれの波長λｘ、λｙの光を受光した時の感度なので、受光素子のそれぞれの被測定光内の２波長に対する感度は下記の通りとなる。
【００４０】
波長λｘの光に対し、受光素子の絶対感度はＳ（λｘ）であるので、被測定光に対する感度Ｓ’（λｘ）は
Ｓ’（λｘ）＝Ｓ（λｘ）×［Ｒ（λｘ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝］・・・（４）
であり、
波長λｙの光に対し、受光素子の絶対感度はＳ（λｙ）であるので、被測定光に対する感度Ｓ’（λｙ）は
Ｓ’（λｙ）＝Ｓ（λｙ）×［Ｒ（λｙ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝］・・・（５）
である。
【００４１】
ここで、光センサの入射光パワーＰ（Ｗ）と検出される光電流Ｉ（Ａ）と応答感度Ｓ（Ａ／Ｗ）の関係は
Ｐ＝Ｉ／Ｓ・・・（６）
であるので、本実施例における被測定光の光センサ手段１４で測定された電流値をＩｆ、被測定光のパワーをＰｆとすると、以下の通りとなる。
Ｐｆ＝Ｉｆ／｛Ｓ’（λｘ）＋Ｓ’（λｙ）｝
＝Ｉｆ／［Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝＋Ｓ（λｙ）×Ｒ（λｙ）／｛Ｒ（λｘ）＋Ｒ（λｙ）｝］・・・（７）
ここで、被測定光の全体のスペクトルの合計をＲ（λ）とし、今回の２波長のＲ（λｘ）、Ｒ（λｙ）の合計を上記式で置き換えると
Ｐｆ＝Ｉｆ／［Ｓ（λｘ）×｛Ｒ（λｘ）／Ｒ（λ）｝＋Ｓ（λｙ）×｛Ｒ（λｙ）／Ｒ（λ）｝］
＝Ｉｆ×Ｒ（λ）／｛Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）＋Ｓ（λｙ）×Ｒ（λｙ）｝・・・（８）
となり、光センサ手段１４の測定値であるＩｆとポリクロメータ８で検出された被測定光内の波長（λｘ、λｙ）とその波長に対する相対スペクトル（Ｒ（λｘ）、Ｒ（λｙ））と、あらかじめ記憶されていた光センサ手段１４の分光感度（Ｓ（λｘ）、Ｓ（λｙ））から被測定光の絶対パワーＰｆが求められる。
【００４２】
また、被測定光内のそれぞれの波長の光のパワーは絶対パワーＰｆに対してのそれぞれの波長の光の相対値である。よって、以下の式で求められる。
被測定光の中のλｘの波長の光のパワーＰｘは
Ｐｘ＝Ｐｆ×［Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）／｛Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）＋Ｓ（λｙ）×Ｒ（λｙ）｝］・・・（９）
Ｐｙについても同様に求められる。即ち、
Ｐｙ＝Ｐｆ×［Ｓ（λｙ）×Ｒ（λｙ）／｛Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）＋Ｓ（λｙ）×Ｒ（λｙ）｝］・・・（１０）
【００４３】
以上の通り、上記では被測定光の中に２波長の光が入っていた場合について述べたが、実際には２波長だけではない場合もある。その時は、上記の２波長の光が被測定光の中に入っていた場合と同様に求めることができる。
【００４４】
例えば、被測定光の中に波長λ１、λ２、・・・・λｎのｎ個の光が含まれているとすると、
測定された相対スペクトルＲ（λ１）、Ｒ（λ２）・・・・Ｒ（λｎ）、
予め記憶されていた光センサ手段１４の分光感度特性Ｓ（λ１）、Ｓ（λ２）・・・Ｓ（λｎ）
及び光センサ手段１４で測定された電流値Ｉｆ（Ａ）
によって、被測定光の絶対パワーＰｆは以下の式（１１）のようになる。上記の（８）式の場合と同じように、各相対スペクトルの合計をＲ（λ）とすると
Ｐｆ＝Ｉｆ×Ｒ（λ）／｛Ｓ（λ１）×Ｒ（λ１）＋Ｓ（λ２）×Ｒ（λ２）＋・・・＋Ｓ（λｎ）×Ｒ（λｎ）｝・・・（１１）
ここで、ｉ＝１〜ｎとして、式を整理すると
Ｐｆ＝Ｉｆ×Ｒ（λ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝  （ｉ＝１〜ｎ）・・・（１２）
となる。
【００４５】
被測定光内のそれぞれの光のパワーについても前述の２波長の場合と同じように求められる。
例えばλｘの波長のパワーＰ（λｘ）については
Ｐ（λｘ）＝Ｐｆ×［Ｓ（λｘ）×Ｒ（λｘ）／Σ｛Ｓ（λｉ）×Ｒ（λｉ）｝］（ｉ＝１〜ｎ）・・・（１３）
となる。
【００４６】
上記の演算はそれぞれの測定結果、あるいはメモリ１０にあらかじめ記憶されていた光センサ手段１４の分光感度特性の値からＣＰＵ９にて演算され、表示部１１に表示、または外部記録媒体、または記録紙などに出力される。
【００４７】
以上の通り、本実施例における光パワーメータ１００によると、被測定光が１波長の光で構成されていた場合だけでなく、いくつかの波長の複合光であったとしても、絶対パワーや、それぞれの構成している光の波長のパワーを個別に求めることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１      拡散透過板
２      受光素子
４      光入射部
５      光ファイバ
８      ポリクロメータ
９      ＣＰＵ（演算部）
１３    光入射部
１４    光センサ手段
２０    センサヘッド部（検出部）
２１    本体部（測定部）
１００  光パワーメータ
【図１】
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【図２】
2013171007.tif 000004
【図３】
2013171007.tif 000005
【図４】
2013171007.tif 000006
【図５】
2013171007.tif 000007
【図６】
2013171007.tif 000008