(57)【要約】【課題】スピンコート方法およびスピンコート装置において、被塗布面の外部に移動した塗布剤によって被塗布物が汚染されることなく良好な塗布を行うことができるようにする。【解決手段】被塗布面３０Ａと、被塗布面３０Ａの裏面のレンズ面３０ｃと、被塗布面３０Ａおよびレンズ面３０ｃの外縁に隣接するレンズ側面３０ｄとを有するレンズ３０を、被塗布面３０Ａを上に向けて、被塗布面３０Ａに交差する回転軸線Ｏを中心として回転可能に保持する保持工程と、被塗布面３０Ａ上に塗布剤１２を配置しレンズ３０を回転させて、塗布剤１２を塗り拡げる塗布工程とを有するスピンコート方法であって、保持工程では、レンズ側面３０ｄ上で、被塗布面３０Ａとの境界およびレンズ面３０ｃとの境界よりも内側となる領域で、レンズ３０を把持する把持部材６を用いて、レンズ３０を保持する。【選択図】図１
2013215643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布面と、該被塗布面の裏側に位置する裏面と、前記被塗布面および前記裏面の外縁に隣接する側面とを有する被塗布物を、前記被塗布面を上に向けて、前記被塗布面に交差する回転軸線を中心として回転可能に保持する保持工程と、前記被塗布面上に塗布剤を配置し前記被塗布物を回転させて、前記塗布剤を塗り拡げる塗布工程とを有するスピンコート方法であって、
前記保持工程では、
前記側面上で、前記被塗布面との境界および前記裏面との境界よりも内側となる領域で、前記被塗布物を把持する把持部材を用いて、前記被塗布物を保持する
ことを特徴とするスピンコート方法。
【請求項２】
前記保持工程では、
前記回転軸線に沿う方向において、前記被塗布面と前記側面との境界よりも前記裏面側となる領域に前記把持部材を配置して前記被塗布物を保持する
ことを特徴とする請求項１に記載のスピンコート方法。
【請求項３】
被塗布面と、該被塗布面の裏側に位置する裏面と、前記被塗布面および前記裏面の外縁に隣接する側面とを有する被塗布物を、前記被塗布面を上に向けて、前記被塗布面に交差する回転軸線を中心として回転可能に保持する保持部と、前記被塗布面上に塗布剤を配置し前記被塗布物を回転させて、前記塗布剤を塗り拡げる塗布部とを有するスピンコート装置であって、
前記保持部は、
前記被塗布物を前記回転軸線に沿う方向に位置決めする軸方向位置決め部材と、
該軸方向位置決め部材によって位置決めされた前記被塗布物に対して、前記側面上で、前記被塗布面との境界および前記裏面との境界よりも内側となる領域に進退して、進出時に、前記被塗布物を把持する把持部材と、
前記軸方向位置決め部材と前記把持部材との前記回転軸線に沿う方向の相対位置を変更する相対移動部と、
を備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項４】
前記把持部材は、
前記軸方向位置決め部材で位置決めされた前記被塗布物を把持した状態で、前記回転軸線に沿う方向において、前記被塗布面と前記側面との境界よりも前記裏面側となる領域に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載のスピンコート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンコート方法およびスピンコート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スピンコート法における被塗布物の保持方法としては、被塗布物の裏面側を吸引して保持する方法や、被塗布物の裏面および被塗布物の外周部を受けて保持する方法などが知られている。
また、被塗布物の裏面を保持することなく被塗布物を保持する技術も知られている。
例えば、特許文献１には、プラスチック眼鏡レンズの外周側に、先端にＶ字状の切込が設けられたばね部材を配置し、プラスチック眼鏡レンズをばね部材の切込に差し込んだ状態でチャックして保持するスピンコート用保持具およびスピンコート装置が記載されている。
この保持具では、ばね部材の切込が、プラスチック眼鏡レンズのレンズ面と外周縁部（コバ部）との境界において当接し、ばね部材が表裏のレンズ面に接触しないようになっている。
また、特許文献２には、アームの先端に基材の周囲を把持し、実質的な塗料の塗布面に非接触となる固定用爪を設けているスピンコート装置が記載されている。
このスピンコート装置では、固定用爪は、Ｖ字状に屈曲されており、この屈曲部の内側で基板の外周を挟むことにより、特許文献１と同様に、基板と基板側面との境界において固定用爪が当接し、固定用爪が基板の表裏面に接触しないようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２１３５５号公報
【特許文献２】特開昭６３−２４０９６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来のスピンコート方法およびスピンコート装置には、以下のような問題があった。
被塗布物の裏面を吸着するもしくは裏面を受けることにより被塗布物を保持する場合、遠心力によって径方向外側に飛散せず被塗布物の外縁部にとどまる塗布剤が、回転停止時に保持部を伝って被塗布物の裏面へ回りこみ、被塗布物の裏面を汚してしまうという問題がある。
一方、特許文献１、２に記載の技術のように裏面を受けず、被塗布物の外縁部と被塗布物の側面との境界で保持する方法では、保持部材が裏面には当接しないものの、被塗布物を保持する保持部材の一部が、保持状態で被塗布面の上方に突出する構成になっている。
このため、保持部材が裏面に当接している場合に比べると、塗布剤の裏面への回り込みは抑制しやすくなるものの、境界に当接する保持部材の近傍には塗布剤が滞留するため、一部の塗布剤は、保持部材に沿って裏面側に回り込むおそれがある。
また、塗布剤を配置して回転を開始すると、被塗布面の外縁に達した塗布剤が、被塗布面より突出された保持部材の部分に衝突して跳ね返り、被塗布面上に再付着して、均一な薄膜の形成の妨げになるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、被塗布面の外部に移動した塗布剤によって被塗布物が汚染されることなく良好な塗布を行うことができるスピンコート方法およびスピンコート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、被塗布面と、該被塗布面の裏側に位置する裏面と、前記被塗布面および前記裏面の外縁に隣接する側面とを有する被塗布物を、前記被塗布面を上に向けて、前記被塗布面に交差する回転軸線を中心として回転可能に保持する保持工程と、前記被塗布面上に塗布剤を配置し前記被塗布物を回転させて、前記塗布剤を塗り拡げる塗布工程とを有するスピンコート方法であって、前記保持工程では、前記側面上で、前記被塗布面との境界および前記裏面との境界よりも内側となる領域で、前記被塗布物を把持する把持部材を用いて、前記被塗布物を保持する方法とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のスピンコート方法において、前記保持工程では、前記回転軸線に沿う方向において、前記被塗布面と前記側面との境界よりも前記裏面側となる領域に前記把持部材を配置して前記被塗布物を保持する方法とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明では、被塗布面と、該被塗布面の裏側に位置する裏面と、前記被塗布面および前記裏面の外縁に隣接する側面とを有する被塗布物を、前記被塗布面を上に向けて、前記被塗布面に交差する回転軸線を中心として回転可能に保持する保持部と、前記被塗布面上に塗布剤を配置し前記被塗布物を回転させて、前記塗布剤を塗り拡げる塗布部とを有するスピンコート装置であって、前記保持部は、前記被塗布物を前記回転軸線に沿う方向に位置決めする軸方向位置決め部材と、該軸方向位置決め部材によって位置決めされた前記被塗布物に対して、前記側面上で、前記被塗布面との境界および前記裏面との境界よりも内側となる領域に進退して、進出時に、前記被塗布物を把持する把持部材と、
前記軸方向位置決め部材と前記把持部材との前記回転軸線に沿う方向の相対位置を変更する相対移動部と、を備える構成とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明では、請求項３に記載のスピンコート装置において、前記把持部材は、前記軸方向位置決め部材で位置決めされた前記被塗布物を把持した状態で、前記回転軸線に沿う方向において、前記被塗布面と前記側面との境界よりも前記裏面側となる領域に配置される構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のスピンコート方法およびスピンコート装置によれば、把持部材によって、被塗布物の側面上で、被塗布面との境界および裏面との境界よりも内側となる領域で被塗布物を把持するため、被塗布面の外部に移動した塗布剤によって被塗布物が汚染されることなく良好な塗布を行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態のスピンコート装置の構成を示す模式的な部分断面図である。
【図２】本発明の実施形態のスピンコート装置の主要部の被塗布物保持時および被塗布物非保持時の構成を示す模式的な斜視図である。
【図３】図２におけるＡ視の平面図である。
【図４】図３におけるＢ−Ｂ断面図、およびそのＤ部拡大図である。
【図５】図３におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図６】本発明の実施形態のスピンコート方法の工程フローを示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態のスピンコート装置の主要部の動作説明図である。
【図８】本発明の実施形態のスピンコート装置における相対移動部の動作説明図である。
【図９】本発明の実施形態のスピンコート装置の回転時の動作説明図である。
【図１０】本発明の実施形態のスピンコート装置の作用の説明図である。
【図１１】比較例のスピンコート装置の動作説明図である。
【図１２】他の比較例のスピンコート装置の動作説明図である。
【図１３】本発明の実施形態の第１〜第４変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【図１４】本発明の実施形態の第５変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【図１５】本発明の実施形態の第６変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
まず、本発明の実施形態のスピンコート装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態のスピンコート装置の構成を示す模式的な部分断面図である。図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態のスピンコート装置の主要部の被塗布物保持時および被塗布物非保持時の構成を示す模式的な斜視図である。図３は、図２（ｂ）におけるＡ視の平面図である。図４（ａ）は、図３におけるＢ−Ｂ断面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＤ部拡大図である。図５は、図３におけるＣ−Ｃ断面図である。
なお、各図面は、同一形状の複数の部材や部位が互いに対称な位置に配置されていることが明らかな場合には、見易さのため、同一形状の部材や部位への符号記入を省略している場合がある。
また、本明細書では、光軸、中心軸線、回転軸線等の軸線が特定できる軸状、筒状等の部材に対する相対位置について説明する場合に、軸線に沿う方向を軸方向、軸線回りに周回する方向を周方向、軸線に直交する平面において軸線に交差する線に沿う方向を径方向と称する。また、径方向においては、軸線から離れる方を径方向外方（外側）、軸線に近づく方を径方向内方（内側）と称する場合がある。
【００１３】
図１、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、本実施形態のスピンコート装置１００は、被塗布物の一例としてレンズ３０の表面にスピンコート法により光学薄膜を形成する装置である。
レンズ３０は、凹レンズ面であるレンズ面３０ａと、レンズ面３０ａよりも曲率半径の大きい凸レンズ面であるレンズ面３０ｃとが同軸に設けられた負メニスカスレンズである。
レンズ面３０ａの径方向外側には、レンズ３０の光軸に直交する平面からなるレンズ外周面３０ｂが隣接して設けられており、これらレンズ面３０ａ、レンズ外周面３０ｂの裏側に位置する裏面側に、レンズ面３０ｃが配置されている。
レンズ外周面３０ｂとレンズ面３０ｃの間には、レンズ３０の径方向外側の外形を形成するレンズ側面３０ｄが形成されている。レンズ側面３０ｄは、本実施形態では、レンズ３０の光軸を中心とする円筒面からなる。
また、レンズ３０の材質は、特に限定されず、例えば、ガラス製でもプラスチック製でもよい。
【００１４】
また、スピンコート装置１００によって形成する光学薄膜は、特に限定されず、例えば、屈折率が異なる薄膜を多層に形成した反射防止膜などの例を挙げることができる。
このような光学薄膜を形成する塗布剤１２は、層ごとに必要な屈折率や層厚に応じて、適宜の材質や粘度のものを採用することができる。
スピンコート装置１００によれば、レンズ面３０ａ、３０ｃのいずれにも光学薄膜を形成することができるが、以下では、一例として、レンズ面３０ａに形成する場合の例で説明する。
スピンコート法では、レンズ面３０ａの中心部に配置した塗布剤１２を遠心力によって外周側に塗り拡げるため、レンズ面３０ａに隣接する光学有効範囲外のレンズ外周面３０ｂにも同様な膜厚の薄膜が形成される。したがって、レンズ面３０ａおよびレンズ外周面３０ｂは、スピンコート装置１００の塗布における被塗布面３０Ａを構成している。また、レンズ面３０ｃは被塗布面３０Ａの裏側に位置する裏面を構成している。
以下では、レンズ側面３０ｄ上で被塗布面３０Ａおよびその裏面であるレンズ面３０ｃの境界よりも内側となる領域を、レンズ側面３０ｄの中間部と称する。すなわち、レンズ側面３０ｄの中間部という場合、レンズ側面３０ｄと被塗布面３０Ａとの境界、およびレンズ側面３０ｄとレンズ面３０ｃとの境界は除外するものとする。
なお、レンズ外周面３０ｂとレンズ側面３０ｄとが交差する稜線に面取りが施されている場合、面取りによって形成された傾斜面は、遠心力よって塗布剤１２が塗り拡げられる面になっているため、レンズ外周面３０ｂの一部、すなわち被塗布面３０Ａに含めるものとする。
なお、レンズ面３０ｃに塗布を行う場合には、レンズ面３０ｃが被塗布面を構成する。
【００１５】
スピンコート装置１００によって塗布可能なレンズの種類は、後述するレンズ保持部２によって保持可能なレンズ側面を有するレンズであればよく、レンズ面の構成は特に限定されない。例えば、正メニスカスレンズ、両凸レンズ、両凹レンズ、平凸レンズ、平凹レンズ等のレンズ面の構成でも可能である。また、レンズ面の形状は、球面でもよいし、非球面、自由曲面、平面などの面形状を有していてもよい。
また、被塗布面として、レンズ外周面３０ｂのように光学有効範囲外の面を含んでいてもよい。例えば、レンズ面の外周側にフランジ面が設けられた場合に、このフランジ面を被塗布面に含む構成であってもよい。
また、被塗布物は、レンズ以外の光学素子、例えば、プリズム、ミラー、フィルタ、基板などの光学素子も可能である。
また、スピンコート装置１００は、レンズ保持部２によって保持可能な側面を有していれば、例えば、基板など光学素子以外の被塗布物にもスピンコートすることが可能である。
【００１６】
スピンコート装置１００の概略構成は、図１に示すように、下方側から、回転駆動部１（塗布部）、レンズ保持部２（保持部）、および吐出部１０（塗布部）をこの順に備え、被塗布面３０Ａを上側に向けた状態で塗布剤１２の塗布を行えるようになっている。
【００１７】
回転駆動部１は、レンズ保持部２を下端側で回転可能に保持するもので、回転軸線Ｏ回りに回転する回転軸１ａと、回転軸１ａに回転駆動力を供給するモータ（図示略）とを備える。
本実施形態では、回転軸線Ｏは、鉛直軸に平行に形成されている。ただし、被塗布面３０Ａを上側に向けて塗布できる範囲であれば、回転軸線Ｏは鉛直軸に対して傾斜する方向に形成されていてもよい。
【００１８】
レンズ保持部２は、レンズ３０を回転軸線Ｏに対して位置合わせして着脱可能に保持し、レンズ３０を保持した状態で、回転駆動部１により回転駆動される装置部分である。
レンズ保持部２の概略構成は、シリンダ３、レンズ受け部材４（軸方向位置決め部材）、ピストン５、および把持部材６を備える。
【００１９】
シリンダ３は、その下端部において回転駆動部１の回転軸１ａに外嵌した状態で、回転軸１ａに対して着脱可能に固定された略円筒状部材である。シリンダ３の上端部の径方向外方には、円板状の上部フランジ３ａが設けられている。
シリンダ３の中心部には、上方に向かって開口する円筒穴状の穴部３ｃが形成されている。
上部フランジ３ａには、図３に示すように、回転軸線Ｏを中心として、周方向を三等分する位置に、径方向に延びて厚さ方向（図３の紙面垂直方向）に貫通するスリット部３ｄが形成されている。
また、上部フランジ３ａの上面には、各スリット部３ｄに面して、穴部３ｃから外周部に延びる壁状の突起部３ｅが形成されている。
また、図１に示すように、シリンダ３の外周部において軸方向の中間部には、径方向外方に延びる下部フランジ３ｂが形成されている。
【００２０】
レンズ受け部材４は、図４（ａ）に示すように、シリンダ３の軸方向に移動可能に内嵌された筒状部を有する部材である。
レンズ受け部材４の概略構成は、回転軸線Ｏに沿う方向に移動可能な状態でシリンダ３の穴部３ｃに内嵌された円筒軸部４ｄと、円筒軸部４ｄの上部において周方向に３等分する位置から径方向外方に向けて放射状に延出された３つのフランジ部４ｃと、各フランジ部４ｃの径方向の最外部において上方に向かって突出されたレンズ受け突起４Ａと、を備える。
各フランジ部４ｃは、図３に示すように、回転軸線Ｏを挟んで、シリンダ３のスリット部３ｄと対向するように配置されている。
【００２１】
円筒軸部４ｄの内周部には、図４（ａ）に示すように、後述するピストン５を摺動可能に挿通させる円筒面状のピストン摺動面４ｅが形成されている。
円筒軸部４ｄの上部には、回転軸線Ｏを挟んで各フランジ部４ｃと対向する位置に、それぞれスリット部４ｉが形成されている（図２（ｂ）参照）。
円筒軸部４ｄの下端部には、図５に示すように、径方向内側において、回転軸線Ｏと９０°をなす軸線（図５の紙面垂直軸）を中心としてコロ４ｇを回転可能に保持するコロ保持部４Ｂが設けられている。
コロ４ｇは、レンズ受け部材４の下方の穴部３ｃ内において回転軸線Ｏと直交する方向に進退可能に設けられた軸状カム１４（相対移動部）に対して、上方から当接し、軸状カム１４の進退に伴って軸状カム１４の表面に設けられたカム形状に沿って転動する部材である。本実施形態では、一例として、コロ保持部４Ｂに支持された支持軸４ｈに内輪が固定されたベアリングの外輪で構成されている。
軸状カム１４の詳細構成については後にまとめて説明する。
【００２２】
また、円筒軸部４ｄの軸方向の中間部には、レンズ受け部材４を下方側に牽引する引張りばね１３の上端部を係止する係止ピン４ｆが径方向外側に向かって突設されている。
係止ピン４ｆは、シリンダ３の厚さ方向に貫通された係止孔３ｇを通してシリンダ３の径方向外側に突出されている。
係止ピン４ｆが突出されたシリンダ３の外周面には、係止ピン４ｆの下方に、引張りばね１３の下端部を係止する係止ピン３ｆが突設されている。
このような構成により、レンズ受け部材４は、引張りばね１３によって下方側に牽引されている。このため、コロ４ｇは上方から押圧された状態で、軸状カム１４に当接されている。
【００２３】
各レンズ受け突起４Ａの上部には、外周受け部４ｂおよびレンズ面受け部４ａが形成されている。
外周受け部４ｂは、レンズ３０をレンズ保持部２に保持する際、レンズ３０を挿入することによって、レンズ３０の径方向の位置と、レンズ３０の回転軸線Ｏに対する傾斜角とを規制するためのガイド部である。
外周受け部４ｂは、本実施形態では、回転軸線Ｏと同軸であって、レンズ３０の外径よりわずかに大きい内径を有する円筒面の一部をなす湾曲面からなる。
各外周受け部４ｂの内径は、レンズ３０を挿入した場合にレンズ側面３０ｄとの隙間によって生じうる回転軸線Ｏに対する傾斜角が、許容限度内となる程度の大きさに設定すればよい。
【００２４】
レンズ面受け部４ａは、レンズ保持部２においてレンズ３０を保持する前に、被塗布面３０Ａの裏面であるレンズ面３０ｃの下方から当接して、レンズ３０を仮受けし、レンズ３０の回転軸線Ｏに沿う方向の位置決めを行う部位である。
レンズ面受け部４ａは、本実施形態では、外周受け部４ｂの下端部から径方向内側に延ばされた段状部の内周側の角部によって構成されている。すなわち、各段状部は、上端が回転軸線Ｏに直交する一平面に整列され、各段状部の内周面が、回転軸線Ｏと同軸であって、レンズ面３０ｃの外径より小さい内径を有する円筒面の一部をなす湾曲面からなる。これにより、各段状部の径方向内側の角部であるレンズ面受け部４ａは、レンズ面３０ｃの表面に線接触するようになっている。
なお、レンズ面受け部４ａは、図示しない面取りが施されていてもよい。
【００２５】
このようにレンズ受け部材４は、レンズ面受け部４ａを有するため、レンズ３０を回転軸線Ｏに沿う方向に位置決めする軸方向位置決め部材になっている。
【００２６】
ピストン５の概略構成は、図４（ａ）、図５に示すように、レンズ受け部材４のピストン摺動面４ｅに内嵌され、ピストン摺動面４ｅに沿って移動可能に設けられた摺動部５Ａと、摺動部５Ａの下端側の径方向内側において、回転軸線Ｏと９０°をなす軸線（図５の紙面垂直軸）を中心としてコロ５ｂを回転可能に保持するコロ保持部５Ｂとを備える。
摺動部５Ａの上面である先端面５ａには、後述する把持部材６の連動アーム６Ｃが係止されている。
コロ５ｂは、軸状カム１４に対して、上方から当接し、軸状カム１４の進退に伴って軸状カム１４の表面に設けられたカム形状に沿って転動する部材である。本実施形態では、一例として、コロ保持部５Ｂに支持された支持軸５ｃに内輪が固定されたベアリングの外輪で構成されている。
【００２７】
軸状カム１４は、レンズ受け部材４およびピストン５の回転軸線Ｏに沿う方向の位置を変化させるカム部材である。本実施形態では、回転軸線Ｏは鉛直軸に沿っているため回転軸線Ｏに沿う位置の変化は高さの変化と同じである。
軸状カム１４は、図５に示すように、両端がシリンダ３に摺動可能に挿入された摺動軸部１４ｆの中間部に、第１カム面１４ａ、第２カム面１４ｂ、第３カム面１４ｃ、第４カム面１４ｄ、および第５カム面１４ｅがこの順に形成されている。
第５カム面１４ｅ側の摺動軸部１４ｆの端部は、シリンダ３の径方向外方に突出され、その突出方向の先端に、軸状カム１４を進退させる操作を行うためのつまみ状の操作部１４ｇが設けられている。
【００２８】
第１カム面１４ａは、軸状カム１４の中心軸線に同軸な円筒面からなるカム面であり、ピストン５のコロ５ｂが当接可能となっている。第１カム面１４ａにコロ５ｂが当接した状態では、ピストン５は、ピストン５の可動範囲のうち最低の高さに位置するようになっている。
第２カム面１４ｂは、第１カム面１４ａに対して操作部１４ｇ側に隣接して設けられたカム面であり、操作部１４ｇに向かって拡径するテーパ面からなる。第２カム面１４ｂはコロ５ｂが当接可能となっている。第２カム面１４ｂにコロ５ｂが当接した状態では、ピストン５は、第２カム面１４ｂに沿って昇降するようになっている。
【００２９】
第３カム面１４ｃは、第２カム面１４ｂの操作部１４ｇ側に設けられたカム面であり、軸状カム１４の中心軸線に同軸な円筒面からなる。第３カム面１４ｃは、レンズ受け部材４のコロ４ｇが当接可能となっている。第３カム面１４ｃにコロ４ｇが当接した状態では、レンズ受け部材４は、レンズ受け部材４の可動範囲のうち最低の高さに位置するようになっている。
第４カム面１４ｄは、第３カム面１４ｃに対して操作部１４ｇ側に隣接して設けられたカム面であり、操作部１４ｇに向かって拡径するテーパ面からなる。第４カム面１４ｄは、コロ４ｇが当接可能となっている。第４カム面１４ｄにコロ４ｇが当接した状態では、レンズ受け部材４は、第４カム面１４ｄに沿って昇降するようになっている。
第５カム面１４ｅは、第４カム面１４ｄに対して操作部１４ｇ側に隣接して設けられたカム面であり、軸状カム１４の中心軸線に同軸であって、第３カム面１４ｃより大径の円筒面からなる。第５カム面１４ｅは、コロ４ｇが当接可能となっている。第５カム面１４ｅにコロ４ｇが当接した状態では、レンズ受け部材４は、レンズ受け部材４の可動範囲のうち最高の高さに位置するようになっている。
【００３０】
このため、コロ４ｇが第３カム面１４ｃ、第４カム面１４ｄ、および第５カム面１４ｅのいずれに当接するかによって、レンズ受け部材４の上部に設けられた各レンズ面受け部４ａの高さが変化し、レンズ面受け部４ａによって仮受けされたレンズ３０の回転軸線Ｏに沿う位置が変化する。
第５カム面１４ｅは、後述する把持部材６によってレンズ側面３０ｄを把持する際のレンズ３０の位置を規定するカム面である。
第５カム面１４ｅのカム面の外径は、レンズ面受け部４ａにレンズ３０を仮受けした際に、レンズ側面３０ｄの中間部のみに、後述する把持部材６の把持爪部６ａが当接するような高さにレンズ３０が配置される寸法に設定する。
【００３１】
上記各カム面に応じた、レンズ受け部材４およびピストン５の昇降に伴う詳しい動作については、後述の動作説明を通して説明する。
【００３２】
把持部材６は、レンズ３０のレンズ側面３０ｄをレンズ３０の中心方向に向かって三方から把持する可動部材である（図２（ａ）参照）。
各把持部材６は、いずれも同一形状を有し、シリンダ３の各スリット部３ｄに挿入され（図３参照）、図４（ａ）に示すように、各スリット部３ｄにそれぞれ設けられた突起部３ｅの間で周方向に架設された回動支軸８が貫通されている。
これにより、把持部材６は、回動支軸８を中心として回動可能に取り付けられている。
各把持部材６は、図４（ａ）に示すように、中心部に回動支軸８を挿通する回転支軸挿入孔６ｆが設けられ、中心部よりも上方に延ばされた上側アーム６Ａと、中心部から下方側に延ばされた下側アーム６Ｂと、中心部よりわずかに上方から径方向内側に延ばされた連動アーム６Ｃとを備え、全体として略Ｔ字状または略Ｙ字状とされている。
【００３３】
上側アーム６Ａは、図３に示すように、スリット部３ｄのスリット幅（周方向の幅）よりも薄い板状とされ、スリット部３ｄのスリット幅の中心に位置している。上側アーム６Ａの上端部の径方向内側には、レンズ側面３０ｄに当接する把持爪部６ａが突出して設けられている。
把持爪部６ａは、図４（ｂ）に示すように、爪上面６ｃおよび爪下面６ｄが径方向内側の先端側に縮幅され、先端に平面状の当接部６ｂが設けられた等脚台形状の突起からなる。
当接部６ｂは、レンズ側面３０ｄの中間部を把持できる大きさであればよいが、レンズ側面３０ｄの中間部において、レンズ面３０ｃとの境界および被塗布面３０Ａとの境界からできるだけ離れた位置で把持することができるように、把持力に支障がない範囲でできるだけ小面積であることが好ましい。
爪上面６ｃは、上側アーム６Ａの最上面であるアーム上面６ｅから下方に向かう傾斜面として形成されている。これにより、アーム上面６ｅが水平となる回動位置では、把持爪部６ａは、アーム上面６ｅの下側に位置している。
【００３４】
下側アーム６Ｂは、スリット部３ｄのスリット幅よりもわずかに狭い幅を有し（図３参照）、上側アーム６Ａよりも径方向外側に向かって屈曲された状態で、下方に延ばされている（図４（ａ）参照）。
下側アーム６Ｂの下端部には錘７が連結されている。錘７の質量は、把持部材６の質量中心Ｇが回転支軸挿入孔６ｆよりも下側に位置するように設定されている。
【００３５】
連動アーム６Ｃは、把持部材６の回動位置をピストン５の先端面５ａの昇降位置に連動させるためのもので、上側アーム６Ａからシリンダ３の径方向内側に向かって延ばされ、スリット部４ｉを通ってピストン５の先端面５ａの上方に達する長さを有する。
また、連動アーム６Ｃは、上側アーム６Ａと同一幅の板状に形成されている。
連動アーム６Ｃの先端側は、先端面５ａに向かって屈曲され、円弧状に丸められた先端部６ｇが先端面５ａに当接されている。
また、連動アーム６Ｃの基端側（上側アーム６Ａの方）には、連動アーム６Ｃを下方に牽引する引張りばね９の上端部を係止する係止孔６ｈが設けられている。
係止孔６ｈに係止された引張りばね９の下端部は、シリンダ３の下部フランジ３ｂにおいて係止孔６ｈの下方に形成された係止孔３ｇに係止されている。
引張りばね９は、ばね長さおよびばね定数を適宜設定することにより、係止孔６ｈ、３ｇに係止したときに、把持部材６および錘７の自重の和による回動支軸８回りのモーメントより大きなモーメントを発生させることができるようになっている。
【００３６】
このような構成により、把持部材６は引張りばね９によって牽引されている。これにより、把持部材６は、回動支軸８を中心として上側アーム６Ａが回転軸線Ｏに向かって倒れる方向に付勢されている。
このため、連動アーム６Ｃの先端部６ｇはピストン５の先端面５ａを押圧しており、この結果、ピストン５が下方側に押圧されている。
このようにして、コロ５ｂは、上方から押圧された状態で軸状カム１４に当接されている。
【００３７】
吐出部１０は、図１に示すように、レンズ保持部２に保持されたレンズ３０の被塗布面３０Ａの中心に塗布剤１２を吐出するためのもので、レンズ保持部２の上方に配置されている。
吐出部１０には、塗布剤１２を貯留して、被塗布面３０Ａの塗布に必要な一定量の塗布剤１２を吐出部１０に供給する塗布剤供給部１１が接続されている。
また、吐出部１０の下端部には、塗布剤１２を下方に向けて一定量吐出する吐出口１０ａが設けられている。
【００３８】
このような構成により、レンズ保持部２は、レンズ３０を、被塗布面３０Ａを上に向けて、被塗布面３０Ａに交差する回転軸線Ｏを中心として回転可能に保持する保持部になっている。
また、保持部において、軸状カム１４は、軸方向位置決め部材であるレンズ受け部材４と把持部材６との回転軸線Ｏに沿う方向の相対位置を変更する相対移動部を構成している。
また、回転駆動部１および吐出部１０は、被塗布面３０Ａ上に塗布剤１２を配置しレンズ３０を回転させて、塗布剤１２を塗り拡げる塗布部を構成している。
【００３９】
次にスピンコート装置１００の動作について、本実施形態のスピンコート方法を中心として説明する。
図６は、本発明の実施形態のスピンコート方法の工程フローを示すフローチャートである。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本発明の実施形態のスピンコート装置の主要部の動作説明図である。図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の実施形態のスピンコート装置における相対移動部の動作説明図である。図９は、本発明の実施形態のスピンコート装置の回転時の動作説明図である。図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の実施形態のスピンコート装置の作用の説明図である。図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、比較例のスピンコート装置の動作説明図である。図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、他の比較例のスピンコート装置の動作説明図である。
【００４０】
本実施形態のスピンコート方法は、図６に示すように、保持工程Ｓ１０、スピンコート工程Ｓ４（塗布工程）、および保持解除工程Ｓ１１をこの順に行う方法である。
これらの各工程は、以下に説明するように、スピンコート装置１００を用いて実施することができる。
【００４１】
保持工程Ｓ１０は、レンズ３０を、被塗布面３０Ａを上に向けて、回転軸線Ｏを中心として回転可能に保持する工程であり、本実施形態では、保持工程Ｓ１０は、被塗布物仮受け工程Ｓ１、側面中間部把持工程Ｓ２、および仮受け部退避工程Ｓ３からなる３つの部分工程を、この順に行う工程である。
【００４２】
被塗布物仮受け工程Ｓ１は、把持部材６の把持爪部６ａによってレンズ側面３０ｄを把持できるように、レンズ３０の回転軸線Ｏに対する径方向の位置とレンズ３０の回転軸線Ｏに沿う方向の位置とを位置合わせするとともに、レンズ３０の回転軸線Ｏに対する姿勢が許容限度内に収まるように、レンズ３０を仮受けする工程である。
本工程では、まず、図７（ａ）に示すように、各把持部材６を回動させて各上側アーム６Ａが径方向外側に向かって開いた状態で、レンズ受け突起４Ａを予め決められた高さに上昇させておく。この高さは、レンズ面受け部４ａ上にレンズ面３０ｃを配置したときのレンズ側面３０ｄが、回動支軸８を中心とする把持爪部６ａの回動軌跡と交差する高さに設定されている。
【００４３】
このような把持部材６の開放動作とレンズ受け突起４Ａの上昇動作とは、本実施形態では、軸状カム１４を操作することによって並行して行う。
図８（ａ）に示すように、軸状カム１４の操作部１４ｇをシリンダ３側に押し込んで、軸状カム１４を移動させると、コロ５ｂの下方に第２カム面１４ｂの上端部が位置し、コロ４ｇの下方に第５カム面１４ｅが位置する。
これにより、ピストン５およびレンズ受け部材４は、それぞれの可動範囲の最上部まで上昇する。
ピストン５がその可動範囲の最上部まで上昇すると、先端面５ａの上昇に連動して連動アーム６Ｃの先端部６ｇが上方に押し上げられ、各把持部材６が回動支軸８回りに回動する。これにより、各上側アーム６Ａがシリンダ３の径方向外側に倒れ、各把持爪部６ａが径方向外側に移動する。
この結果、把持爪部６ａの先端がレンズ側面３０ｄの外径よりも大径に円周上に整列される。
レンズ受け部材４がその可動範囲の最上部まで上昇すると、各レンズ受け突起４Ａが上記のような予め決められた高さに移動する。
【００４４】
次に、図７（ｂ）に示すように、レンズ３０を配置する。すなわち、レンズ面３０ｃをレンズ保持部２側に向けてレンズ側面３０ｄを外周受け部４ｂの内周側に挿入し、レンズ面受け部４ａにレンズ面３０ｃを当接させる。
これにより、レンズ３０は、外周受け部４ｂとレンズ側面３０ｄとの間の隙間の範囲内で径方向に位置決めされるとともに、回転軸線Ｏに対する傾斜が規制され、レンズ面受け部４ａによって回転軸線Ｏに沿う方向に位置決めされた状態で、仮受けされる。
以上で、被塗布物仮受け工程Ｓ１が終了する。
【００４５】
次に、側面中間部把持工程Ｓ２を行う。本工程は、各把持部材６の把持爪部６ａによって、レンズ側面３０ｄの中間部を把持する工程である。
本工程では、図７（ｂ）に示すように、レンズ３０を仮受けした状態で、各把持部材６を回動させることにより、各把持爪部６ａを径方向内側に移動し、各把持爪部６ａの先端によってレンズ側面３０ｄを把持する。
この把持動作は、本実施形態では、軸状カム１４の操作部１４ｇをシリンダ３から離間する方向に移動し、コロ５ｂ、４ｇに当接するカム面を移動させることによって行う。
【００４６】
図８（ｂ）に示すように、操作部１４ｇをシリンダ３から離間する方向に移動させると、コロ５ｂは、第２カム面１４ｂに沿って転動するため下降していく。これに連動してピストン５の先端面５ａおよび把持部材６の先端部６ｇが下降し、上側アーム６Ａが回動支軸８を中心としてシリンダ３の径方向内側に向かって回動する。
一方、コロ４ｇは、第５カム面１４ｅに沿って転動するため、一定の高さに保たれるため、レンズ受け突起４Ａの高さは変化しない。
このため、レンズ側面３０ｄの位置も仮受け時から変化せず、各把持爪部６ａは、レンズ側面３０ｄの中間部に対向した状態でレンズ側面３０ｄに向かって移動していく。
本実施形態では、コロ５ｂが第１カム面１４ａに達すると、ピストン５がその可動範囲の最下部に到達し、各把持爪部６ａの先端がレンズ側面３０ｄの外径と同一の円周上に整列するようになっている。
また、第１カム面１４ａと第５カム面１４ｅとの位置関係は、コロ５ｂが第１カム面１４ａに達するとき、コロ４ｇは第５カム面１４ｅ上に位置する関係にある。
このため、コロ５ｂが第１カム面１４ａに達すると、レンズ側面３０ｄが各把持爪部６ａによって把持される。
この結果、レンズ３０は、仮受け時の姿勢から、把持部材６によって把持される。このとき、仮受け時にレンズ３０の光軸が回転軸線Ｏから偏心したとしても、各把持爪部６ａによって調心され、レンズ３０の光軸はレンズ保持部２の機械的な中心である回転軸線Ｏと整列される。
以上で、側面中間部把持工程Ｓ２が終了する。
【００４７】
本実施形態では、把持爪部６ａの先端の当接部６ｂの回転軸線Ｏに沿う方向の長さは、同方向のレンズ側面３０ｄの長さに比べて短いため、レンズ側面３０ｄが周方向の３箇所において、点接触に近い状態で保持される。このため、把持される際に把持爪部６ａとの当接状態に応じてレンズ３０の姿勢が矯正されることはほとんどない。
しかしながら、レンズ３０の姿勢は、仮受け時に外周受け部４ｂによって許容限度内に矯正されているため、本実施形態のように把持箇所が少なく把持位置での接触面積が小さい場合でも、レンズ３０の姿勢が良好な状態で把持することができる。
【００４８】
次に仮受け部退避工程Ｓ３を行う。本工程は、図７（ｄ）に示すように、各把持部材６によってレンズ側面３０ｄの中間部を把持した状態で、仮受け部であるレンズ受け突起４Ａを退避させ、レンズ３０から離間させる工程である。
本工程は、側面中間部把持工程Ｓ２に続けて、操作部１４ｇをシリンダ３から離間する方向に移動させることで行うことができる。
すなわち、図８（ｃ）に示すように、操作部１４ｇをシリンダ３からさらに離間する方向に移動させると、コロ５ｂは、第１カム面１４ａに沿って転動するため一定の高さを保つ。このため、ピストン５の先端面５ａおよび把持部材６の先端部６ｇの高さが変化せず、レンズ３０の把持状態が保たれる。
一方、コロ４ｇは、第４カム面１４ｄに沿って転動するため下降していく。これに連動してレンズ受け部材４が下降し、レンズ受け突起４Ａがレンズ３０の下方側に離間する。
コロ４ｇが第３カム面１４ｃに達すると、レンズ受け部材４の下降が停止され、レンズ受け突起４Ａがその可動範囲の最下部に位置付けられる。
以上で、仮受け部退避工程Ｓ３が終了する。
【００４９】
次に、スピンコート工程Ｓ４を行う。本工程は、被塗布面３０Ａ上に塗布剤１２を配置しレンズ３０を回転させて、被塗布面３０Ａに塗布剤１２を塗り拡げる工程である。
すなわち、図１に示すように、吐出部１０の吐出口１０ａから、薄膜形成に必要な量の塗布剤１２を吐出し、レンズ面３０ａの中心部に塗布剤１２を配置する。
次に、回転駆動部１を駆動して回転軸１ａを回転し、図９に示すように、レンズ保持部２およびレンズ保持部２に保持されたレンズ３０を回転させる。
レンズ保持部２の回転速度は、塗布剤１２の粘度や形成する光学薄膜の層厚などの条件に応じて、適宜設定する。
【００５０】
レンズ保持部２が回転すると、遠心力の作用によってレンズ面３０ａ上の塗布剤１２が径方向外側に塗り拡げられ、レンズ面３０ａおよびレンズ外周面３０ｂ上に薄膜層３２（図１０（ｂ）、（ｃ）参照）が形成される。
また、把持部材６の質量中心Ｇには遠心力Ｆが作用する。質量中心Ｇは、回動支軸８よりも下方に位置しているため、回動支軸８のモーメントが把持部材６に作用して、把持部材６の上側アーム６Ａがレンズ３０側に向かって倒れる方向に回動しようとする。このため、把持爪部６ａがレンズ側面３０ｄ側に付勢される。
このようにして、把持部材６によるレンズ３０に対する把持力は、回転開始後に増大するため、回転中でもレンズ３０を強固に保持することができる。
【００５１】
レンズ外周面３０ｂの外縁部に到達した塗布剤１２は、図１０（ａ）に示すように、一部が塗布剤液滴１２Ａとして、回転軸線Ｏに直交する方向に略沿ってレンズ３０の径方向外側に飛散する。また、その他の余剰の塗布剤１２のうち、表面張力によってレンズ３０の表面に残留するものは、レンズ外周面３０ｂの外縁からレンズ側面３０ｄに沿って落下して、レンズ側面３０ｄ上で塗布剤溜まり１２Ｂが形成する。
塗布剤溜まり１２Ｂのうち、把持爪部６ａに接触したものは、爪上面６ｃ上に溜まっていく。爪上面６ｃ上に、ある程度溜まると遠心力の作用により爪上面６ｃ上およびアーム上面６ｅ上を移動し、塗布剤液滴１２Ｃとして径方向外側に飛散していく。
このように、本実施形態では、把持爪部６ａがレンズ側面３０ｄの中間部を把持しており、かつアーム上面６ｅがレンズ側面３０ｄの上端よりも下方に位置しているため、塗布剤液滴１２Ａは把持部材６に衝突することなく飛散する。
これにより、把持部材６に衝突する塗布剤液滴１２Ａがレンズ３０側に跳ね返って被塗布面３０Ａに再付着し、被塗布面３０Ａを汚染することを防止できる。
【００５２】
また、塗布剤溜まり１２Ｂは、把持爪部６ａとの接触部分から、塗布剤液滴１２Ｃとして飛散していくため、塗布剤溜まり１２Ｂは、表面張力によって遠心力に抗して付着できる程度の量となる。
【００５３】
被塗布面３０Ａ上に必要な薄膜層３２が形成されたら、回転駆動部１の駆動を停止する。これにより、成膜済みレンズ３１が製造される。
このとき、レンズ側面３０ｄ上の塗布剤溜まり１２Ｂは、余剰分が飛散し少量になっているため、図１０（ｂ）に示すように、表面張力によってレンズ側面３０ｄ上にとどまる。このため、塗布剤溜まり１２Ｂは、レンズ面３０ｃに回り込むことがなく、塗布剤１２の回り込みによるレンズ面３０ｃの汚染を防止することができる。
ただし、時間が経過すると、塗布剤溜まり１２Ｂは、重力により次第に下降し、図１０（ｃ）に塗布剤溜まり１２Ｂ’として示すように、レンズ側面３０ｄの下端側に集まっていくおそれがあるが、塗布剤溜まり１２Ｂ’は少量であるため、表面張力によってレンズ面３０ｃとの境界の近傍のレンズ側面３０ｄ上にとどまる。
このとき、把持爪部６ａは、レンズ側面３０ｄとレンズ面３０ｃとの境界には接していないため、塗布剤溜まり１２Ｂ’に接触することがなく、把持爪部６ａを伝ってレンズ面３０ｃに塗布剤溜まり１２Ｂ’が移動することを防止することができる。
以上で、スピンコート工程Ｓ４が終了する。
【００５４】
ここで、本実施形態の上記のような作用について、比較例と対照して説明する。
例えば、図１１（ａ）に示すように、円板状の基板２００の表面２００ａを被塗布面とし、被塗布面の裏側の裏面２００ｂと被塗布面に隣接する基板側面２００ｃとを、それぞれ保持部２０１の側面受け部２０１ａと裏面受け部２０１ｂとで受けて保持した状態で、スピンコートを行う場合の比較例について考える。ただし、側面受け部２０１ａに隣接する保持部上面２０１ｃは、基板２００の表面２００ａよりも突出しない高さに設けられている。
この比較例では、保持部２０１の回転中は、図１１（ｂ）に示すように、本実施形態と同様にして、余剰な塗布剤１２が、塗布剤液滴１２Ａ、１２Ｃとして径方向外側に飛散され、基板側面２００ｃにおいて保持部上面２０１ｃより上側に、塗布剤溜まり１２Ｂが形成される。
しかしながら、塗布剤溜まり１２Ｂは、基板側面２００ｃと側面受け部２０１ａとの間の微小な隙間に接するため、毛細管現象によってこの隙間に侵入し、同様に微小な隙間を形成する裏面２００ｂと裏面受け部２０１ｂとの間の隙間にも侵入する。この結果、裏面２００ｂは汚染されてしてしまう。
【００５５】
また、図１１（ｃ）に示すように、保持部２０１の回転を停止すると、基板側面２００ｃの上部の塗布剤溜まり１２Ｂが重力によって徐々に下降し、塗布剤溜まり１２Ｄのように、側面受け部２０１ａと基板側面２００ｃとの接触部上に移動するため、塗布剤１２Ｅ、１２Ｆなどのように、さらに上記の隙間に侵入しやすくなる。
【００５６】
また、例えば、図１２（ａ）に示すように、基板２００の裏面２００ｂを、保持部２０２の裏面受け部２０２ｂ上に載置し、裏面受け部２０２ｂの中心部に貫通された吸引口２０２ａから真空吸引し、基板２００の裏面２００ｂを吸着固定した状態で、スピンコートを行う場合の他の比較例について考える。ただし、裏面受け部２０２ｂ上には基板２００の表面２００ａよりも突出した部材は設けられていない。
この比較例では、保持部２０２の回転中は、図１２（ｂ）に示すように、本実施形態と同様にして、余剰な塗布剤１２が、塗布剤液滴１２Ａ、１２Ｃとして径方向外側に飛散され、基板側面２００ｃにおいて裏面受け部２０２ｂより上側に、塗布剤溜まり１２Ｂが形成される。
しかしながら、塗布剤溜まり１２Ｂは、裏面２００ｂと裏面受け部２０２ｂとの間の微小な隙間に接するため、毛細管現象によってこの隙間に侵入し、裏面２００ｂを汚染してしまう。
【００５７】
また、図１２（ｃ）に示すように、保持部２０２の回転を停止すると、基板側面２００ｃの上部の塗布剤溜まり１２Ｂが重力によって徐々に下降し、塗布剤溜まり１２Ｄのように、裏面受け部２０２ｂおよび基板側面２００ｃによる隅部に移動する。このとき、吸引口２０２ａから吸気されているため、塗布剤溜まり１２Ｄは、吸引口２０２ａに向かって吸引され、さらに上記の隙間に侵入しやすくなる。
【００５８】
このように、塗布面を上方に向けてスピンコートを行う場合、特に、被塗布物の側面の下端側の境界に保持部が接していると、毛細管現象や保持部の濡れ性などにより、被塗布物の裏面に容易に塗布剤が回り込んでしまう。
本実施形態では、把持爪部６ａが、レンズ側面３０ｄの中間部に当接するため、このような塗布剤１２の回り込みを確実に防止することができる。
【００５９】
次に、保持解除工程Ｓ１１を行う。本工程は、上記レンズ保持部２からレンズ３０を保持解除する工程であり、図６に示すように、被塗布物支持工程Ｓ５、および側面中間部把持解除工程Ｓ６からなる２つの部分工程を、この順に行う工程である。
【００６０】
被塗布物支持工程Ｓ５は、把持部材６によって把持された状態のレンズ３０を下方から支持する工程であり、側面中間部把持解除工程Ｓ６は、下方から支持された状態のレンズ３０の把持部材６による把持を解除する工程である。
これらの工程は、本実施形態では、上記保持工程Ｓ１０の各動作を逆の順序で行う工程である。
すなわち、軸状カム１４をシリンダ３側に押し込んでいくことにより、レンズ受け部材４が上昇する。レンズ受け部材４がその可動範囲で最上部に達すると、外周受け部４ｂ内にレンズ側面３０ｄが挿入され、レンズ面受け部４ａによってレンズ面３０ｃが下方から支持される（被塗布物支持工程Ｓ５）。
さらに軸状カム１４をシリンダ３側に押し込んでいくと、レンズ受け部材４の高さが一定に保たれた状態で、各把持部材６の把持爪部６ａが径方向外側に退避され、レンズ側面３０ｄの把持が解除される（側面中間部把持解除工程Ｓ６）。
このようにして、レンズ受け部材４上に支持されたレンズ３０の取り外しが可能となり、保持解除工程Ｓ１１が終了する。
【００６１】
このようにして、レンズ３０の被塗布面３０Ａに薄膜層３２が形成された成膜済みレンズ３１が製造される。さらに他の薄膜層を積層する必要がある場合には、上記レンズ３０に代えて、この成膜済みレンズ３１をレンズ保持部２に保持し、上記と同様にして、薄膜層３２上に適宜の塗布剤をスピンコートする。これにより、適宜の薄膜層が積層された光学薄膜を有する光学素子を製造することができる。
【００６２】
このように本実施形態のスピンコート装置１００を用いて行うスピンコート方法によれば、把持部材６によって、レンズ３０のレンズ側面３０ｄ上で被塗布面３０Ａおよび裏面であるレンズ面３０ｃの境界よりも内側となる領域でレンズ３０を把持するため、被塗布面３０Ａの外部に移動した塗布剤１２によってレンズ３０が汚染されることなく良好な塗布を行うことができる。このため、光学面であるレンズ面３０ａやレンズ面３０ｃが正常に保たれる。
【００６３】
また、本実施形態では、凸部である把持爪部６ａによってレンズ３０を把持して押さえるため、塗布剤１２が爪上面６ｃ、爪下面６ｄに沿って径方向外側に振り切れる。このため、塗布剤１２のレンズ面３０ｃへの回りこみを防止しやすくなる。
また、レンズ３０の仮受け、把持を行うためのレンズ受け部材４および把持部材６の各動作の連動タイミングを軸状カム１４によって制御できるため、操作部１４ｇを進退させる簡単な操作によって、仮受け状態での把持動作あるいは支持状態での把持解除動作を確実に行うことができる。このため、レンズ３０の保持位置が安定して保持位置が安定して、良好な薄膜の形成が可能となる。
また、レンズ３０をレンズ側面３０ｄにおいて、当接部６ｂが当接する微小面積だけで把持し、かつ把持部材６がレンズ側面３０ｄと被塗布面３０Ａとの境界よりも突出していないので、飛び散りや跳ね返りによる塗布剤１２の意図せぬ場所への再付着を防止できる。
【００６４】
［第１〜第４変形例］
次に、本実施形態の第１〜第４変形例について説明する。
図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、本発明の実施形態の第１〜第４変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【００６５】
以下に説明する第１〜第４変形例は、いずれも、上記実施形態のスピンコート装置１００において、把持爪部６ａに代えて、他の構成を有する把持爪部を備えた変形例である。
以下では、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００６６】
第１変形例のスピンコート装置は、上記実施形態の把持爪部６ａに代えて、図１３（ａ）に主要部を示すように、把持爪部２６ａを備える。
把持爪部２６ａは、把持爪部６ａの平面状の当接部６ｂに代えて、曲面当接部２６ｂを備える。
曲面当接部２６ｂは、少なくとも回転軸線Ｏを含む平面内の断面形状（図１３（ａ）参照）が回転軸線Ｏに向かう凸状の曲線となる曲面を採用している。
このような曲面としては、例えば、爪上面６ｃおよび爪下面６ｄの先端部をＵ字状に接続した円筒面状の曲面や、半球面などの曲面形状を採用することができる。
【００６７】
本変形例によれば、図１３（ａ）に二点鎖線で示すように、把持爪部２６ａに対して相対的にレンズ側面３０ｄが傾斜している場合であっても、同様な線接触または点接触の状態で把持することができる。
このため、例えば、レンズ３０のレンズ側面３０ｄが円筒面状でもテーパ形状でも同様な把持を行うことができるため、レンズ側面３０ｄの形状が異なる複数種類のレンズ３０をスピンコートする場合にも、レンズ側面３０ｄの形状に応じて、把持爪部２６ａを交換することなくスピンコートを続けることができる。
【００６８】
また、本変形例によれば、把持部材６の回動位置が変わることにより、レンズ側面３０ｄに対する把持爪部２６ａの相対的な傾斜角が変わっても曲面当接部２６ｂは、レンズ側面３０ｄに対して同様な線接触または点接触の状態で把持することができる。
このため、例えば、レンズ側面３０ｄの外径が異なるレンズ３０であっても、把持部材６をそれぞれが把持可能な回動位置まで回動すれば、把持部材６を交換しなくても把持することが可能である。
【００６９】
第２変形例のスピンコート装置は、上記実施形態の把持爪部６ａに代えて、図１３（ｂ）に示すように、把持爪部３６ａを備える。
把持爪部３６ａは、把持爪部６ａの平面状の当接部６ｂに代えて、先細当接部３６ｂを備える。
先細当接部３６ｂは、少なくとも回転軸線Ｏを含む平面内の断面形状（図１３（ｂ）参照）が先端が回転軸線Ｏに向かう三角形状の突起部である。
このような突起部としては、例えば、爪上面６ｃおよび爪下面６ｄが交差して形成される三角柱状の形状や、円錐形状などの例を挙げることができる。
【００７０】
本変形例によれば、上記第１変形例と同様に、図１３（ｂ）に二点鎖線で示すように、把持爪部３６ａに対して相対的にレンズ側面３０ｄが傾斜している場合であっても、同様な線接触または点接触の状態で把持することができる。このため、上記第１変形例と同様の作用効果を備える。
【００７１】
第３変形例のスピンコート装置は、上記実施形態の把持爪部６ａに代えて、図１３（ｃ）に主要部を示すように、把持爪部４６ａを備える。
把持爪部４６ａは、把持爪部６ａに代えて、把持爪部６ａと同様の等脚台形状の断面形状を有する突起部をレンズ側面３０ｄに沿う方向において互いに離間して配置したものである。図１３（ｃ）では、２つの突起部を離間して配置した場合を示しているが、３つ以上の突起部を有することも可能である。
各当接部６ｂは、レンズ側面３０ｄの外形に対応した面形状に整列されている。
例えば、レンズ側面３０ｄが円筒面の場合には、各当接部６ｂは、一平面に整列させた構成とする。
【００７２】
本変形例によれば、各当接部６ｂとレンズ３０とは、上記実施形態と同様に、略点接触するものの、これらがレンズ側面３０ｄ上で、回転軸線Ｏに沿う方向に離間して当接するため、把持状態では、各当接部６ｂが整列する方向に合わせてレンズ側面３０ｄの姿勢が矯正される。
このため、例えば、被塗布物仮受け工程Ｓ１において、レンズ３０の姿勢の調整が不十分であったとしても、把持爪部４６ａによって側面中間部把持工程Ｓ２を行うことによりレンズ３０の姿勢が把持爪部４６ａに倣って矯正される。
したがって、被塗布物仮受け工程Ｓ１における姿勢の矯正を緩和することができ、例えば、外周受け部４ｂの内径をより大きくすることが可能となるため、レンズ３０の外周受け部４ｂへの挿入が容易となり、作業性を向上することができる。
【００７３】
第４変形例のスピンコート装置は、上記実施形態の把持爪部６ａに代えて、図１３（ｄ）に主要部を示すように、把持爪部５６ａを備える。
把持爪部５６ａは、把持爪部６ａにおいて、一端部が当接部６ｂに開口する吸引管路５６ｂを追加し、この吸引管路５６ｂの図示略に他端部に真空吸引装置を接続したものである。
【００７４】
本変形例によれば、上記実施形態の側面中間部把持工程Ｓ２において、各当接部６ｂとレンズ３０とを当接させた後に、吸引管路５６ｂを通して真空吸引することで、レンズ側面３０ｄを吸着固定することができる。
このため、より強固にレンズ３０を保持することができる。
さらに、本変形例では、爪上面６ｃ上に滞留する塗布剤１２は、当接部６ｂとレンズ側面３０ｄとの間の微小な隙間に侵入すると、吸引管路５６ｂ内に吸引される。
これにより、上記実施形態に比べると、レンズ側面３０ｄ上に残留する塗布剤溜まり１２Ｂの量をより低減することができる。
【００７５】
［第５変形例］
次に、本実施形態の第５変形例について説明する。
図１４は、本発明の実施形態の第５変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【００７６】
第５変形例のスピンコート装置は、図１４に主要部を示すように、上記実施形態の各レンズ受け突起４Ａのレンズ面受け部４ａおよび外周受け部４ｂに代えて、各レンズ受け突起４Ａの上端側の内周面において上方から下方に向かって回転軸線Ｏに向かって傾斜するテーパ状受け部６４ａを備える。以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７７】
本変形例によれば、３つのレンズ受け突起４Ａの上部にそれぞれテーパ状受け部６４ａが形成されているため、これらテーパ状受け部６４ａの内側にレンズ３０を上方から挿入する。これにより、図１４に示すように、レンズ面３０ｃとレンズ側面３０ｄとの境界となる稜線Ｌとテーパ状受け部６４ａに当接してレンズ３０が仮受けされる。
このとき、レンズ３０の光軸が回転軸線Ｏに対して傾斜していると、稜線Ｌとテーパ状受け部６４ａとの当接状態が不安定になってがたつきが生じる。そこで操作者は、稜線Ｌがその全周にわたってテーパ状受け部６４ａに当接し、レンズ３０のがたつきがなくなるまで、レンズ３０の配置姿勢を微調整する。
このようにしてレンズ３０の姿勢が矯正された状態で仮受けを行うことができる。
本変形例では、テーパ状受け部６４ａの上部は、上記実施形態の外周受け部４ｂの開口よりも大きいため、レンズ３０を容易に挿入することができる。このため作業性が向上する。
【００７８】
［第６変形例］
次に、本実施形態の第６変形例について説明する。
図１５は、本発明の実施形態の第６変形例のスピンコート装置の主要部の構成を示す模式的な断面図である。
【００７９】
第６変形例のスピンコート装置は、図１５に主要部を示すように、上記実施形態の把持爪部６ａに代えて、把持爪部７６ａを備える。
把持爪部７６ａは、上記実施形態の把持爪部６ａにおける爪上面６ｃに代えて、回転軸線Ｏに対する傾斜角θが４５°以上９０°未満に限定された爪上面７６ｃを備えるものである。ただし、傾斜角θは、回転軸線Ｏ上側を基準として、爪上面７６ｃのアーム上面６ｅ側の端部が開く角度を測るものとする。上記実施形態のように回転軸線Ｏが鉛直軸に整列している場合には、９０°−θが、爪上面７６ｃが水平面となす角度に等しくなる。
以下、上記実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００８０】
本変形例では、把持爪部７６ａの爪上面７６ｃの傾斜角θが４５°以上９０°未満になっているため、回転軸線Ｏと直交する方向に飛散する塗布剤液滴１２Ｇが、爪上面７６ｃに衝突すると、爪上面７６ｃに対して４５°以下の角度をなして衝突する。このため、衝突した塗布剤液滴１２Ｇは、衝突位置よりも径方向外方の空中に飛散するか（図１５における矢印ａ参照）、または爪上面７６ｃに沿って移動してアーム上面６ｅに到達する（図１５における矢印ｂ参照）。
爪上面７６ｃを経てアーム上面６ｅに到達した場合には、上記実施形態と同様に、塗布剤液滴１２Ｃとして上側アーム６Ａよりも径方向外側に飛散する。
いずれにしても、塗布剤液滴１２Ｇ、１２Ｃは、被塗布面３０Ａに再付着することはない。
したがって、本変形例によれば、爪上面７６ｃおよびアーム上面６ｅを、レンズ側面３０ｄの上端の境界よりも上方に位置させることが可能である。
このため、レンズ側面３０ｄの中間部の長さが短い場合でも把持することが容易となる。
【００８１】
なお、上記実施形態および各変形例の説明では、把持部材６が３つの場合の例で説明したが、被塗布物を回転中に把持できれば、把持部材６の個数や配置位置は特に限定されない。例えば、４箇所以上に設けてもよい。また、把持爪部６ａをレンズ側面３０ｄの外形に対して、周方向にわたって面接触する円弧板状などの形状に設けておけば、回転軸線Ｏを挟んで対向する２箇所に把持部材６を設けた構成とすることも可能である。
【００８２】
また、上記実施形態および各変形例の説明では、レンズ受け部材４の昇降動作と、ピストン５の昇降動作とを、軸状カム１４を進退させる動作によって連動させた構成の例で説明したが、これらの動作は、それぞれが別々の駆動部を有し、各駆動部を協調制御することにより、各動作が連動するようにしてもよい。
【００８３】
また、上記実施形態および各変形例の説明では、相対移動部である軸状カム１４によって、回転軸線Ｏに沿う方向の把持部材６とレンズ受け部材４との相対位置を、レンズ受け部材４を移動して相対移動させる場合の例で説明したが、レンズ受け部材４の位置を固定して、把持部材６を回転軸線Ｏに沿う方向に移動させる相対移動部を採用することも可能である。また、レンズ受け部材４および把持部材６の両方を移動させる相対移動部を設けてもよい。
【００８４】
また、上記実施形態および各変形例の説明では、仮受け時のレンズ面受け部４ａの回転軸線Ｏに沿う方向の位置が一定値に設定される場合の例で説明した。
このような構成によれば、把持爪部６ａは、レンズ側面３０ｄの中間部のどこを把持してもよいため、例えば、レンズ種類が変わるなどして、仮受け時のレンズ側面３０ｄの位置や長さがある程度変化しても、把持を行うことが可能である。
ただし、仮受け時のレンズ受け突起４Ａの位置を被塗布物の形状に合わせて変更できる構成の可能である。例えば、フランジ部４ｃ上に昇降ステージなどを介してレンズ受け突起４Ａを設けたり、軸状カム１４のカム形状を切り換え可能に設けたりすることで、このような位置調整が可能である。
このような構成とすれば、回転軸線Ｏに沿う方向におけるレンズ側面３０ｄの長さや位置がレンズ３０の形状により変化する場合にも、容易にレンズ側面３０ｄの中間部を把持することができる。
【００８５】
また、上記の実施形態で説明した構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせたり、削除したりして実施することができる。
【符号の説明】
【００８６】
１  回転駆動部（塗布部）
２  レンズ保持部（保持部）
３  シリンダ
４  レンズ受け部材（軸方向位置決め部材）
４Ａ  レンズ受け突起
４ａ  レンズ面受け部
４ｂ  外周受け部
４ｇ、５ｂ  コロ
５  ピストン
５ａ  先端面
６  把持部材
６Ａ  上側アーム
６Ｃ  連動アーム
６ａ、２６ａ、３６ａ、４６ａ、５６ａ、７６ａ  把持爪部
６ｂ  当接部
６ｃ、７６ｃ  爪上面
６ｅ  アーム上面
７  錘
８  回動支軸
１０  吐出部（塗布部）
１２、１２Ｅ、１２Ｆ  塗布剤
１２Ａ、１２Ｃ、１２Ｇ  塗布剤液滴
１２Ｂ  塗布剤溜まり
１４  軸状カム（相対移動部）
２６ｂ  曲面当接部
３０  レンズ
３０Ａ  被塗布面
３０ｃ  レンズ面（裏面）
３０ｄ  レンズ側面（被塗布面および裏面の外縁に隣接する側面）
３６ｂ  先細当接部
５６ｂ  吸引管路
６４ａ  テーパ状受け部
１００  スピンコート装置
Ｇ  質量中心
Ｏ  回転軸線
Ｓ１  被塗布物仮受け工程
Ｓ２  側面中間部把持工程
Ｓ３  仮受け部退避工程
Ｓ４  スピンコート工程
【図１】
2013215643.tif 000003
【図２】
2013215643.tif 000004
【図３】
2013215643.tif 000005
【図４】
2013215643.tif 000006
【図５】
2013215643.tif 000007
【図６】
2013215643.tif 000008
【図７】
2013215643.tif 000009
【図８】
2013215643.tif 000010
【図９】
2013215643.tif 000011
【図１０】
2013215643.tif 000012
【図１１】
2013215643.tif 000013
【図１２】
2013215643.tif 000014
【図１３】
2013215643.tif 000015
【図１４】
2013215643.tif 000016
【図１５】
2013215643.tif 000017