(57)【要約】【課題】パッドから吐出する潤滑流体に混入する異物がより少ない静圧案内装置を提供することを目的とする。【解決手段】静圧案内装置(AS)は、ベース部(1)と、貫通孔(3a)を有し貫通孔(3a)の一方の開口部(3a1)がベース部(1)に対向するようベース部(1)に設けられたパッド部(P9)と、を備える。貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)から外部へ流体(FL)を吐出させると共にパッド部(P9)と移動体(D)との間に流体(FL)を介在させてパッド部(P9)により移動体(D)を案内支持する。ベース部(1)は、一端側が貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)に対応した位置に開口する排出口(R9b1)とされて外部から他端側に供給された流体(FL)を排出口(R9b1)に導く流路(R9)と、排出口（R9b1）と貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)との間に排出口(R9b1)を覆うよう配置されたフィルタ(4)と、を備える。【選択図】図２
2013139846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、貫通孔を有し前記貫通孔の一方の開口部が前記ベース部に対向するよう前記ベース部に設けられたパッド部と、を備え、前記貫通孔の他方の開口部から外部へ流体を吐出させると共に前記パッド部と移動体との間に前記流体を介在させて前記パッド部により前記移動体を案内支持する静圧案内装置において、
前記ベース部は、
一端側が前記貫通孔の他方の開口部に対応した位置に開口する排出口とされて外部から他端側に供給された前記流体を前記排出口に導く流路と、
前記排出口と前記貫通孔の他方の開口部との間に前記排出口を覆うよう配置されたフィルタと、
を備えることを特徴とする静圧案内装置。
【請求項２】
前記パッド部は、前記排出口を臨む孔を有する基部と、前記孔に取り付けられると共に前記フィルタを前記ベース部側に押圧するフィルタ止め具と、を備え、
前記フィルタ止め具に前記貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の静圧案内装置。
【請求項３】
前記フィルタ止め具は、前記孔に着脱自在とされる一方、前記フィルタは、前記孔を通過可能な形状で形成されていることを特徴とする請求項２記載の静圧案内装置。
【請求項４】
前記孔には雌ねじが形成されており、前記フィルタ止め具は前記雌ねじに螺合するねじ部材であることを特徴とする請求項２又は請求項３記載の静圧案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧案内装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
潤滑流体を吐出する吐出口を有するパッドを備え、パッドと移動体との間に吐出した潤滑流体の膜を介在させて移動体を非接触で移動可能に支持する静圧案内装置が知られている。静圧案内装置が支持する移動体の形状は、例えば、テーブル状の平面体、回転軸やシリンダ軸などの棒状体である。静圧案内装置は、通常、移動体が平面体の場合は直動又は平行動を自在に支持し、棒状体の場合は直動又は回動を自在に支持する。
特許文献１には、平面体なる移動体の平行動を案内する静圧案内装置が、摺動装置として記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１８８６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された装置において、パッドに供給される潤滑流体は貯水槽から供給される水であって、その水は、貯水槽からフィルタを介して汲み上げるようになっている。
従って、貯水槽の水に混入している異物の内、所定の大きさ以上のものは、フィルタに捕捉されるので、パッドから吐出する水に含まれることはない。所定の大きさは、通常、パッドと移動体との間に形成される膜厚に対して充分小さい値とされ、フィルタは、その値に応じた濾過性能を有するものが選択されている。
【０００５】
ところで、特許文献１に記載された装置では、潤滑流体の経路において、フィルタよりも下流側で異物が生じた場合、水に混じってパッドから吐出する可能性がある。
静圧案内装置では、ベース部材の内部に穴を設けて流路とすることが一般的であり、その流路となる穴をドリル加工で形成する場合が多い。ドリル加工で流路を形成した場合、静圧案内装置の稼働前に、予め流路に対してフラッシング洗浄を行い、使用後になるべく異物が発生しないようにする。しかしながら、ドリル加工の際に流路の内壁から完全に分離せずに残った切削カスなどの異物がフラッシング洗浄で取りきれず、静圧案内装置の稼働を開始した後、流路の内壁から分離して潤滑流体に混入する場合があり得る。このように、フィルタよりも下流側の流路内で潤滑流体に異物が混入すると、異物は潤滑流体と共にパッドから吐出する。潤滑流体と共に吐出した異物の大きさが、パッドと移動体との間に介在させる潤滑流体の膜の厚さ以上であると、その異物がパッドと移動体の間に挟まって、移動体の案内の際にかじる、あるいは移動体の動きがしぶくなる、などの不具合が生じる虞がある。また、異物が極端に大きく硬質の場合には、パッドや移動体の表面を傷つけるという不具合の発生も懸念される。すなわち、パッドと移動体との間に潤滑流体の膜を介在させて移動体を非接触で移動可能に支持する静圧案内装置においては、パッドから吐出する潤滑流体にできるだけ異物が混入していないことが望まれる。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、パッドから吐出する潤滑流体に混入する異物がより少ない静圧案内装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明は次の構成を有する。
１）  ベース部(1)と、貫通孔(3a)を有し前記貫通孔(3a)の一方の開口部(3a1)が前記ベース部(1)に対向するよう前記ベース部(1)に設けられたパッド部(P9)と、を備え、前記貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)から外部へ流体(FL)を吐出させると共に前記パッド部(P9)と移動体(D)との間に前記流体(FL)を介在させて前記パッド部(P9)により前記移動体(D)を案内支持する静圧案内装置において、
前記ベース部(1)は、
一端側が前記貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)に対応した位置に開口する排出口(R9b1)とされて外部から他端側に供給された前記流体(FL)を前記排出口(R9b1)に導く流路(R9)と、
前記排出口（R9b1）と前記貫通孔(3a)の他方の開口部(3a2)との間に前記排出口(R9b1)を覆うよう配置されたフィルタ(4)と、
を備えることを特徴とする静圧案内装置(AS)である。
２）  前記パッド部(P9)は、前記排出口(R9b1)を臨む孔(P9h)を有する基部(P9ｋ)と、前記孔(P9h)に取り付けられると共に前記フィルタ(4)を前記ベース部(1)側に押圧するフィルタ止め具(3)と、を備え、
前記フィルタ止め具(3)に前記貫通孔(3a)が形成されていることを特徴とする１）に記載の静圧案内装置(AS)である。
３）  前記フィルタ止め具(3)は、前記孔(P9h)に着脱自在とされる一方、前記フィルタ(4)は、前記孔(P9h)を通過可能な形状で形成されていることを特徴とする２）に記載の静圧案内装置(AS)。
４）  前記孔(P9h)には雌ねじ(P9e)が形成されており、前記フィルタ止め具(3)は前記雌ねじ(P9e)に螺合するねじ部材であることを特徴とする２）又は３）に記載の静圧案内装置(AS)である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、パッドから吐出する潤滑流体に混入する異物をより少なくできるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の静圧案内装置の実施例を示す平面図及び断面図である。
【図２】本発明の静圧案内装置の実施例における要部を説明するための平面図及び断面図である。
【図３】本発明の静圧案内装置の実施例における要部を説明するための斜視的断面図である。
【図４】本発明の静圧案内装置の実施例における要部を説明するための分解図である。
【図５】本発明の静圧案内装置の実施例における潤滑流体の模式的経路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の静圧案内装置の実施の形態を、図１〜図５を参照して説明する。まず、静圧案内装置の概略構成について、図１（ａ），（ｂ）を参照して説明する。
図１（ａ），（ｂ）は、実施例としての静圧案内装置ＡＳを示す平面図及び断面図である。図１（ａ）は静圧案内装置ＡＳの平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＳ１−Ｓ１断面図である。Ｘ，Ｙ，Ｚ軸は、便宜的にそれぞれ左右方向，前後方向，天地方向と定める。
【００１１】
静圧案内装置ＡＳは、静圧パッドであるパッド部Ｐ１〜Ｐ１３が取り付けられたベース部１を備え、移動体ＤをＸ軸方向に直動移動可能とする案内装置である。移動体Ｄは、テーブル状の直方体なる基部Ｄ１と、基部Ｄ１の天側においてその中心部位を含む一部の範囲が長手方向に突出してなる突出部Ｄ２と、を有して形成されている。突出部Ｄ２は、移動体Ｄの中心位置ＣＴＲを含む一部の範囲が突出してなる台座部Ｄ３を有している。基部Ｄ１における、底面Ｄｂ，前方側の側面Ｄｓ１，及び後方側の側面Ｄｓ２、並びに、突出部Ｄ２を挟む前方側の天面Ｄｔ１及び後方側の天面Ｄｔ２は、ベース部１に取り付けられたパッド部Ｐ１〜Ｐ１３に対向して案内される案内面となっている（詳細は後述する）。
【００１２】
ベース部１は、ＹＺ平面に沿って切断した断面形状が略Ｃ字形状を呈しており、金属によって形成されている。このＣ字形状は、例えば、図１（ｂ）に示されるように、直方体の五つの単部材１Ａ〜１Ｅを組み合わせることで得られている。単部材１Ａ〜１Ｅは、予めそれぞれに所定の加工が施されており、ボルトなどで互いに締結され、一体のベース部１とされている。ベース部１において、Ｃ字形状の内面における地側となる床面１ｂには、四隅近傍にそれぞれパッド部Ｐ１〜Ｐ４が取り付けられている。また、床面１ｂの中心位置にはパッド部Ｐ５が取り付けられている。すなわち、床面１ｂには、５個のパッド部Ｐ１〜Ｐ５が取り付けられている。
【００１３】
また、Ｃ字形状のＹ軸方向に対向する一対の側面の内、前方側の側面１ｓ１には、Ｘ軸方向に離隔して一対のパッド部Ｐ６，Ｐ７が取り付けられており、後方側の側面１ｓ２には、Ｘ軸方向に離隔して一対のパッド部Ｐ８，Ｐ９が取り付けられている。また、床面１ｂに対向する面の内、前方側の天井面１ｔ１には、Ｘ軸方向に離隔して一対のパッド部Ｐ１０，Ｐ１１が取り付けられており、後方側の側面１ｔ２には、Ｘ軸方向に離隔して一対のパッド部Ｐ１２，Ｐ１３が取り付けられている。
【００１４】
パッド部Ｐ１〜Ｐ４とパッド部Ｐ１０〜Ｐ１３とはそれぞれ対向する位置に取り付けられている。また、パッド部Ｐ６，Ｐ７とパッド部Ｐ８，Ｐ９とは、それぞれ対向する位置に取り付けられている。パッド部Ｐ１，Ｐ３，Ｐ６，Ｐ８，Ｐ１０，Ｐ１２は、Ｘ軸方向において同じ位置に取り付けられている。パッド部Ｐ２，Ｐ４，Ｐ７，Ｐ９,Ｐ１１，Ｐ１３は、Ｘ軸方向において同じ位置に取り付けられている。パッド部Ｐ１〜Ｐ１３は、それぞれ中央部において潤滑流体を吐出する吐出口Ｐ１ｈ〜Ｐ１３ｈを有している。但し、詳細を後述するパッド部Ｐ９の吐出口Ｐ９ｈと同様の構成を有するパッド部Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８の吐出口Ｐ６ｈ，Ｐ７ｈ，Ｐ８ｈは、図面の都合上図示を省略する。
【００１５】
ベース部１は、外部の流体供給装置ＲＫから供給される潤滑流体ＦＬをパッド部Ｐ１〜Ｐ１３の吐出口Ｐ１ｈ〜Ｐ１３ｈから吐出させるようにそれぞれ供給する流路Ｒ１〜Ｒ１３を有している。図１（ａ）では、流路Ｒ１〜Ｒ１３のうち、パッド部Ｐ５,Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８,Ｐ９に潤滑流体ＦＬを供給する流路Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７，Ｒ８，Ｒ９を模式的に一点鎖線で示している。図１（ｂ）では、流路Ｒ２,Ｒ４，Ｒ７，Ｒ９，Ｒ１１，Ｒ１３の断面が丸穴として示されている。
【００１６】
流路Ｒ１〜Ｒ１３は、それぞれ複数の直穴の組み合わせによって形成されている。ここで、直穴とは、軸が直線状となっている穴を意味する。具体的には、流路Ｒ１〜Ｒ１３は、一端側が供給口としてベース部１における前後左右のいずれかの側面に開口し、他端側がパッド部Ｐ１〜Ｐ１３に対応した位置に開口するよう形成されている。流路Ｒ１〜Ｒ１３を形成する各直穴は、ドリル加工で形成されている。ここで、パッド部Ｐ９に潤滑流体ＦＬを供給する流路Ｒ９を代表として詳述すると、流路Ｒ９は、ベース部１を構成する単部材１Ｂの左側面１ＬＳに対しドリル加工で左右方向に形成された直穴Ｒ９ａと、ベース部１の側面１ｓ２（単部材１Ｂの前方側の側面）に対してドリル加工で前後方向に形成された直穴９ｂと、により、略Ｌ字状の穴の内部空間Ｖ９として形成されている。直穴Ｒ９ａにおける左側面１ＬＳの開口部は、供給口Ｒ９ａ１とされ、直穴Ｒ９ｂにおける側面１ｓ２の開口部は、排出口Ｒ９ｂ１とされている。
【００１７】
流路Ｒ１〜Ｒ１３の各供給口には、流体供給装置ＲＫからフィルタＦＴ１を介し共通の経路又は独立した経路を経て潤滑流体ＦＬが供給される。供給経路の途中には、圧力計，流量計，絞り弁などの機器が適宜配設されていてよい。図１（ａ）では、描画線の煩雑化を避けるために、流体供給装置ＲＫ及びフィルタＦＴ１を複数箇所記載してあるが、流体供給装置ＲＫ及びフィルタＦＴ１は、一箇所にまとめられていてよい。
【００１８】
図１（ｂ）に示されるように、移動体Ｄは、基部Ｄ１がベース部１におけるＣ字状に囲まれた内部の空間に収められるようにしてベース部１に支持されている。具体的には、移動体Ｄの底面Ｄｂがパッド部Ｐ１〜Ｐ５と対向し、側面Ｄｓ１がパッド部Ｐ６，Ｐ７と対向し、側面Ｄｓ２がパッド部Ｐ８，Ｐ９と対向し、天面Ｄｔ１がパッド部Ｐ１０，Ｐ１１と対向し、天面Ｄｔ２がパッド部Ｐ１２，Ｐ１３と対向している。移動体Ｄとパッド部Ｐ１〜Ｐ１３とにおける対向する面間には僅かな隙間が生じるように、かつ、移動体Ｄの案内において、その隙間が潤滑流体ＦＬの膜で充填され得るように各部の寸法が設定されている。例えば、移動体Ｄは、パッド部Ｐ１〜Ｐ１３により、パッド部Ｐ１〜Ｐ１３から吐出した潤滑流体ＦＬの厚さ２０μｍ〜３０μｍの膜によってＸ軸方向へ滑らかに移動可能に支持されるようになっている。図１（ａ）に示されるように、移動体Ｄには、駆動部ＡＣが接続されており、移動体Ｄは、駆動部ＡＣによってＸ軸方向に移動させられるようになっている。移動方向（左右方向）及び移動速度で決められる移動のパターンは自由に設定できる。例えば、左右方向の僅かな距離を高速で往復するパターンも設定可能である。
【００１９】
パッド部Ｐ１〜Ｐ１３は、互いに同じ形状の部材とされている。その形状の詳細を、パッド部Ｐ９を代表として図２〜図４を参照して詳述する。図２（ａ）は、パッド部Ｐ９を図１（ａ）の矢印ＹＳ１方向から見た平面図である。図２（ｂ）は、図１（ｂ）におけるパッド部９及び単部材１Ｂにおいてパッド部９が取り付けられている部位近傍のＳ９−Ｓ９断面図である。図３は、図２（ｂ）に対応する斜視的断面図であり、図４は、パッド部Ｐ９の取り付け構造を説明するための分解図である。すなわち、図２〜図４は、本発明の静圧案内装置ＡＳの実施例における要部である潤滑流体濾過構造ＦＫを説明する図である。
【００２０】
パッド部Ｐ９は、基部Ｐ９ｋと止めネジ３とを含んで構成されている。基部Ｐ９ｋは、扁平の概ね直方体に形成されている。パッド部Ｐ９は、パッド部Ｐ９が取り付けられている単部材１Ｂの側面１ｓ２とは反対側となる面において、中央部にリセスとして抉られた凹部Ｐ９ａを有している。凹部Ｐ９ａを囲む周縁部は、リセスである凹部Ｐ９ａに対しランドとして枠状に突出した枠部Ｐ９ｂとされている。パッド部Ｐ９は、枠部Ｐ９ｂにおける天面Ｐ９ｃを含む天面Ｐ９ｃ側の部分がホワイトメタルで形成され、他の部分が機械構造用炭素鋼（Ｓ２０Ｃ）で形成されている。ホワイトメタルの替わりに銅系の合金であってもよい。また、パッド部Ｐ９全体を銅合金で形成してもよい。天面Ｐ９ｃは、枠部Ｐ９ｂにおいて移動体Ｄと対向する面である。凹部Ｐ９ａの底面Ｐ９ａ１には、段付き孔Ｐ９ｄが、直列する四箇所を一列として長手方向（左右方向）に平行に二列（合計八箇所）設けられている。凹部Ｐ９ａには、貫通する孔Ｐ９ｈが設けられている。孔Ｐ９ｈの位置は、例えば凹部Ｐ９ａの中央である。孔Ｐ９ｈの内周面には内径ＤＭ１なる雌ねじ部Ｐ９ｅが形成されている。
【００２１】
一方、側面１ｓ２においてパッド部Ｐ９が取り付けられる部位には、所定深さの窪みである凹部１Ｂ１が設けられている。凹部１Ｂ１は、例えば円形の窪みである。凹部１Ｂ１の底面１Ｂ２には、流路Ｒ９を構成する直穴Ｒ９ｂの排出口Ｒ９ｂ１が開口している。排出口Ｒ９ｂ１の開口位置は、例えば底面１Ｂ２の中央である。側面１ｓ２には、排出口Ｒ９ｂ１の軸線ＣＬ９とパッド部Ｐ９の雌ねじＰ９ｅの軸線とが一致するように、かつ、パッド部Ｐ９の長手方向（図２における左右方向）を、Ｘ軸方向に沿う姿勢でパッド部Ｐ９を側面１ｓ２に当接させた際に、パッド部Ｐ９の八箇所の段付き孔Ｐ９ｄに取り付けられたボルトＢｔがそれぞれ螺合可能となる雌ねじ１Ｂ３が設けられている（図４参照）。パッド部Ｐ９が側面１ｓ２に対してボルトＢｔによって固定された状態で、段付きボルトＢｔの天面は、パッド部Ｐ９の凹部Ｐ９ａにおける底面Ｐ９ａ１から突出しないようになっている。
【００２２】
パッド部Ｐ９が側面１ｓ２に取り付けられた状態で、凹部１Ｂ１の底面１Ｂ２とパッド部Ｐ９の基部Ｐ９ｋとの間には、シールリング２が介在している。シールリング２は、断面の直径が凹部Ｐ９ａの所定深さよりも若干大きいものが使用されている。これにより、シールリング２は、パッド部Ｐ９が側面１ｓ２に取り付けられた状態で軸線ＣＬ９方向に潰されており、凹部１Ｂ１と基部Ｐ９ｋとで囲まれた空間Ｖ２を、直穴Ｒ９ｂ及び孔Ｐ９ｈ以外において封止状態としている。
【００２３】
雌ねじ部Ｐ９ｅには、止めネジ３がねじ込まれている。ねじ込まれた止めネジ３の先端面と凹部１Ｂ１の底面１Ｂ２との間には円盤状のフィルタ４が挟まれて保持されている。すなわち、止めネジ３は、フィルタ４をベース部１側に押圧してフィルタ４を保持するフィルタ４の止め具ＴＧとされている。フィルタ４の外径ＤＭ２（図２参照）は、雌ねじ部Ｐ９ｅの内径ＤＭ１よりも小さく設定されている。止めネジ３には貫通孔３ａが設けられている。貫通孔３ａは、例えば６角孔とされて六角レンチによって止めネジ３を回転させることができるようになっている。止めネジ３は、貫通孔３ａの一方の開口部３ａ１がベース部１に対向する姿勢でベース部１に取り付けられている。貫通穴３ａの他方の開口部３ａ２は、潤滑流体ＦＬが吐出する吐出口となる。止めネジ３が雌ねじ部Ｐ９ｅにねじ込まれた状態で、貫通孔３ａの軸線は、直穴Ｒ９ｂの排出口Ｒ９ｂ１の軸線ＣＬ９と一致し、貫通孔３ａの横断面積は、直穴Ｒ９ｂの排出口Ｒ９ｂ１の開口面積とほぼ同じとされている。
【００２４】
フィルタ４は、潤滑流体ＦＬに対して所望の濾過能力を有するものが選択されている。例えば、静圧案内装置ＡＳで、移動体Ｄとパッド部Ｐ９の天面Ｐ９ｃとの間に介在させる潤滑流体ＦＬの膜厚を２０〜３０μｍと設定した場合、濾過能力として最大外形寸法が、その膜厚よりも充分に小さい、例えば１０μｍ以上の異物を捕捉するフィルタを選択する。フィルタ４は、直穴Ｒ９ｂの排出口Ｒ９ｂ１を完全に覆い凹部１Ｂ１の底面１Ｂ２と止め具ＴＧである止めネジ３の先端部との間に挟持され得る形状であれば、円形でなくてもよい。フィルタ４は、雌ねじ部Ｐ９ｅを容易に通過して取り出せる形状や大きさであることが好ましい。
【００２５】
上述の潤滑流体濾過構造ＦＫにおいて、パッド部Ｐ９に流路Ｒ９により供給される潤滑流体ＦＬの全体の経路について、図５を参照して説明する。図５は、パッド部Ｐ９に供給される潤滑流体ＦＬが流れる経路ＫＲの模式図である。他の流路Ｒ１〜Ｒ８及びＲ１０〜Ｒ１３に関する経路についても同様である。
【００２６】
流体供給装置ＲＫから所定の圧力が付与されて出力された潤滑流体ＦＬは、フィルタＦＴ１を通過しベース部１の左側面１ＬＳに設けられた供給口Ｒ９ａ１から流路Ｒ９内に流入する（図１も参照）。潤滑流体ＦＬは、流路Ｒ９においてまず直穴Ｒ９ａ内を通過し、直穴Ｒ９ｂとの接続部位である屈曲部Ｋで流れの向きを９０°変え、直穴Ｒ９ｂに流入する（図１〜図３も参照）。直穴Ｒ９ｂの出口である排出口Ｒ９ｂ１は、フィルタ４で覆われているので（図２，図３も参照）、潤滑流体ＦＬの流体分及びフィルタ４において通過が許容される大きさの粒子がこのフィルタ４を通過し、通過が禁止される大きさ以上の粒子が異物としてフィルタ４により捕捉される。フィルタ４を通過した潤滑流体ＦＬ内、フィルタ４の側面から抜け出た分はシールリング２により凹部１Ｂ１外への漏出が防止され、フィルタ４を厚さ方向に通過した分は、止めネジ３の一方の開口部３ａ１から貫通孔３ａ内に流入した後、吐出口である他方の開口部３ａ２から流出してパッド部Ｐ９のリセスである凹部Ｐ９ａ内に吐出する。凹部Ｐ９ａに吐出した潤滑流体ＦＬは、枠部Ｐ９ｂの天面Ｐ９ｃと移動体Ｄとの間に介在する膜として移動体Ｄのスムースな移動案内に供された後、パッド部Ｐ９の外部へ流出し、回収経路ＫＫを経て流体供給装置ＲＫに回帰し再利用される。
【００２７】
図５から明らかなように、仮に、経路ＫＲにおける流体供給装置ＲＫ側に設けられたフィルタＦＴ１とパッド部Ｐ９との間で異物が生じ、潤滑流体ＦＬに混入したとしても、その異物が案内機能に支障をきたす虞のある所定の大きさ以上であれば、異物は移動体Ｄの案内に供されるパッド部Ｐ９に供給される直前に配置されたフィルタ４によって捕捉される。従って、静圧案内装置ＡＳにおいて移動体Ｄの移動の案内に支障をきたすことはない。特に、ベース部１内の流路Ｒ９は、ドリル加工で形成される直穴Ｒ９ａ及び直穴Ｒ９ｂの組み合わせで構成されているので、静圧案内装置ＡＳの稼働前のフラッシング処理で除去されず、稼働後において混入する削りカスの存在が懸念される。これに対し、上述した潤滑流体濾過構造ＦＫ及びそれを備えた静圧案内装置ＡＳによれば、案内機能上の不具合の原因となることが懸念される異物を捕捉するフィルタ４を、異物がパッド部Ｐ９から吐出する直前に配しているので、静圧案内装置ＡＳの稼働後において潤滑流体ＦＬに削りカスが混入しても、案内機能に支障のある削りカスが確実に除去された潤滑流体ＦＬのみが潤滑膜に供される。すなわち、パッド部から吐出する潤滑流体に混入する異物はより少なくなっている。
以上、パッド部Ｐ９及び流路Ｒ９に関する経路ＫＲついて詳述したが、他のパッド部Ｐ１〜Ｐ８，Ｐ１０〜Ｐ１３及び流路Ｒ１〜Ｒ８，Ｒ１０〜Ｒ１３に関する経路ついても同様である。
【００２８】
上述のように、フィルタ４の外径ＤＭ２は、雌ねじ部Ｐ９ｅの内径ＤＭ１よりも小さく設定されている。また、止めネジ３は、雌ねじ部Ｐ９ｅに対して着脱自在に螺合しており、例えばメンテナンスの際に作業者によって取り外すことができる。これにより、汚れたフィルタ４の交換を容易に行うことができる。交換作業は、まず、止めネジ３を緩めて雌ねじ部Ｐ９ｅから外した後、汚れたフィルタ４をピンセット等で雌ねじ部Ｐ９ｅを通過させて取り出す。次に、新しいフィルタ４を雄ねじ部Ｐ９ｅを通して底面１Ｂ２の所定位置にセットし、止めネジ３を締め付けることで行う。交換作業は、ベース部１を単部材１Ａ〜１Ｅに分解し、止めネジ３を天方向に取り外す姿勢で行うと、フィルタ４が脱落しないのでより容易となる。
底面１Ｂ２に、フィルタ４の外形形状に対応した形状でその厚さ方向の一部が収まる凹みを設けておくことは、フィルタ４の位置がより的確に定まり、作業も容易になるので好ましい。
【００２９】
実施例の静圧案内装置ＡＳは、床面１ｂに５個のパッド部Ｐ１〜Ｐ５を有しており、中央のパッド部Ｐ５は、床面１ｂの中心位置に配置されている。この中心位置は、移動体Ｄの台座部Ｄ３の位置に対応している。台座部Ｄ３は、移動体Ｄと他の部材とを連結する際に利用されるよう設けられている。例えば、静圧案内装置ＡＳの利用用途として、移動体Ｄに対し、Ｚ軸方向における天側から地側に向かう負荷力となる押圧力が付与された状態で、その移動体ＤをＸ軸方向に案内する用途がある。その場合、押圧力は移動体Ｄの台座部Ｄ３に付与される。例えば、重量物を移動体Ｄの台座部Ｄ３に連結して案内支持する用途がそれに当たる。このような用途にも対応すべく、静圧案内装置ＡＳは、押圧力の作用点となる台座部Ｄ３に対応した位置にパッド部Ｐ５を配置してある。これにより、パッド部Ｐ１〜Ｐ４のみ場合に比べパッド部Ｐ５が加わった分だけ広い受け面積で負荷力を受け止めることができるので、静圧案内装置ＡＳは耐負荷力が向上している。また、受け面積をより広くしてあることで、移動体Ｄとパッド部Ｐ１〜Ｐ５との間の隙間を広くすることなく案内作用が発揮される。従って、静圧案内装置ＡＳは、負荷力が大きくても移動体Ｄの案内を高精度で行うことができる。
【００３０】
図２及び図３に示されるように、流路Ｒ９における直穴Ｒ９ａと直穴Ｒ９ｂとが接続した屈曲部Ｋは、直穴Ｒ９ａ，直穴Ｒ９ｂのいずれかの中間部位ではなく各先端部位同士が接続して形成されている。すなわち、直穴Ｒ９ａ，直穴Ｒ９ｂ共に屈曲部Ｋを越える部分がない。これは、流路Ｒ９を形成する際に、明ける穴の深さの精度を高くして、これから明ける穴の先端部位が、次に明ける穴の位置と一致するようにし、次の穴明けの際に、先端部位が先に明けた穴の先端部位を越えることなく丁度達して穴明けが完了するよう穴の深さを高精度に管理して穴明けすることで実現している。これにより、直穴Ｒ９ａ，Ｒ９ｂにおいて、本来の流路Ｒ９であるＬ字状の通路以外の余分な穴空間が存在しないので、流路Ｒ９の容積が最小限となり、使用する潤滑流体ＦＬの量を削減できる。また、余分な穴空間がないので削りカスなどが溜まり易い場所がなく、静圧案内装置ＡＳの稼働過程で削りカスが異物として潤滑流体ＦＬ中に混入することが防止できる。
【００３１】
本発明の実施例は、上述した構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
移動体Ｄの基部Ｄ１は、テーブル状の直方体に限るものではない。例えば、角柱状や円柱状であってもよい。例えばパッド部Ｐ９の天面Ｐ９ｃは、平面に沿うものでなくてもよい。移動体Ｄの被案内面が曲面の場合は、その表面に沿った曲面形状であってもよい。潤滑流体ＦＬは油に限らない。他の液体や気体であってもよい。フィルタ４は、濾過性能の異なる複数種を重ねて配設するようにしてもよい。フィルタ４は、孔Ｐ９ｈを通過させることができる形状に形成されていれば、円盤状でなくてもよい。ここで、通過させることができる形状とは、撓ませるなどの変形を施して通過させることができる物を含む。例えば、フィルター４は、折り曲げた状態で孔Ｐ９ｈを通過させることができるものでもよい。止めネジ３の貫通孔３ａは、六角孔でなくてもよい。貫通孔３ａを丸孔とし、止めネジ３２を回転のためのすり割り等を有する形状であってもよい。フィルタの止め具ＴＧは、孔Ｐ９ｈに対してネジの螺合で着脱可能に取り付けられるものに限らない。例えば、孔Ｐ９ｈ側に凹部又は凸部を設け、止め具ＴＧを、孔Ｐ９ｈの凹部又は凸部に係合する凸部又は凹部を有する可撓性の爪部を備えた樹脂成型部材とし、所謂スナップフィットで孔Ｐ９ｈに着脱可能に取り付けられるものでもよい。その場合、止め具ＴＧと孔Ｐ９ｈ側とが係合した状態で、止め具ＴＧの先端部がフィルタ４をベース部１側に押圧してフィルタ４を保持するように構成する。静圧案内装置ＡＳは、流体供給装置ＲＫと潤滑流体ＦＬの経路ＫＲとの一方又は両方を備えて構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
１  ベース部、１Ａ〜１Ｅ  単部材
１Ｂ１  凹部、１Ｂ２  底面、１Ｂ３  雌ねじ
１ＬＳ  （単部材１Ｂの）左側面
１ｂ  床面、１ｓ１，１ｓ２  側面、１ｔ１，１ｔ２  天井面
２  シールリング、３  止めネジ
３ａ  貫通孔、３ａ１  （一方の）開口部、３ａ２  （他方の）開口部（吐出口）
４，ＦＴ１  フィルタ
ＡＣ  駆動部、ＡＳ  静圧案内装置、Ｂｔ  ボルト
ＣＬ９  軸線、ＣＴＲ  中心位置
Ｄ  移動体、Ｄｂ  底面、Ｄｓ１，Ｄｓ２  側面、Ｄｔ１，Ｄｔ２  天面
Ｄ１  基部、Ｄ２  突出部、Ｄ３  台座部
ＤＭ１  内径、ＤＭ２  外径
ＦＫ  潤滑流体濾過構造、ＦＬ  潤滑流体
Ｋ  屈曲部、ＫＫ  回収経路
Ｐ１〜Ｐ１３  パッド部、Ｐ９ａ  凹部、Ｐ９ａ１  底面、Ｐ９ｂ  枠部、Ｐ９ｃ  天面、Ｐ９ｄ  段付き孔、Ｐ９ｅ  雌ねじ部、Ｐ９ｈ  孔、Ｐ９ｋ  基部
Ｒ１〜Ｒ１３  流路
Ｒ９ａ，Ｒ９ｂ  直穴、Ｒ９ａ１  供給口、Ｒ９ｂ１  排出口
ＲＫ  流体供給装置
ＴＧ  （フィルタの）止め具、Ｖ２  空間、Ｖ９  内部空間（流路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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