(57)【要約】【課題】製造工数、及びコストの増加を抑えた上で、接合部材の拡散を抑制できる圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。【解決手段】マウント電極１５，１６は、基部１０の一方の主面２５上に励振電極に対して離間した状態で形成され、引き出し電極１９，２０は、圧電板１１の他方の主面２６上に形成されるとともに、励振電極に接続された基部電極２７と、マウント電極１５と基部電極２７とを圧電板１１の厚さ方向に導通させる導通部２８と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の振動腕部、及び前記一対の振動腕部の長さ方向に沿う基端側を一体的に固定する基部を有する圧電板と、
前記振動腕部に形成されて前記振動腕部を振動させる励振電極と、
前記基部に形成されるとともに、接合部材を介して前記圧電板を外部に実装するマウント電極と、
前記励振電極と前記マウント電極とを接続する引き出し電極と、を備えた圧電振動片であって、
前記マウント電極は、前記基部の一方の主面上に前記励振電極に対して離間した状態で形成され、
前記引き出し電極は、前記圧電板の他方の主面上に形成されるとともに、前記励振電極に接続された基部電極と、
前記マウント電極と前記基部電極とを前記圧電板の厚さ方向に導通させる導通部と、を備えていることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記導通部は、前記基部のうち、前記マウント電極と前記基部電極とが前記厚さ方向で重なる位置において、前記基部を貫通する貫通孔と、
前記貫通孔の内面に形成された内面電極と、を備えていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記導通部の前記貫通孔は、前記マウント電極のうち、前記接合部材が接合される接合部分よりも前記長さ方向に沿う前記振動腕部側に形成されていることを特徴とする請求項２記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記基部電極は、前記導通部と前記励振電極との間で複数回折り返されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
請求項１記載の圧電振動片を備えた圧電振動子であって、
前記圧電振動片の前記マウント電極が前記接合部材を介してパッケージに実装されていることを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
請求項５記載の前記圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
【請求項７】
請求項５記載の前記圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
請求項５記載の前記圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その１つとして、いわゆる音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子が知られている。
【０００３】
圧電振動子は、例えば上述した音叉型の圧電振動片と、プラグと、プラグとともに圧電振動片を気密封止するケースと、を備えている。プラグは、圧電振動片が実装される一対のインナーリードと、インナーリードを保持するプラグ本体と、を備えている。また、図１８（ａ）に示すように、圧電振動片２００は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部２１１と、一対の振動腕部２１１の長さ方向の基端側を一体的に固定する基部２１２と、振動腕部２１１上に形成され、所定の駆動電圧が印加されたときに振動腕部２１１を振動させる一対の励振電極２１３と、基部２１２上に形成され一対の励振電極２１３にそれぞれ電気的に接続されたマウント電極２１４と、これら励振電極２１３とマウント電極２１４とを接続する引き出し電極２１５と、を備えている。
なお、一対の励振電極２１３、マウント電極２１４及び引き出し電極２１５は、クロム等からなる下地金属層２１０ａ（図１９参照）と、金等からなる仕上金属層２１０ｂと、が積層されることで形成された電極層２１０である。
【０００４】
そして、例えば特許文献１には、上述した圧電振動片２００をマウントする際、インナーリードとマウント電極２１４とを半田等の接合部材Ｅ’を介して接合する構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−３２６６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、通常、圧電振動片２００と接合部材Ｅ’とを強固に固定するためには、マウント電極２１４（仕上金属層２１０ｂ）に対して拡散性が高い材料を接合部材Ｅ’に選定する。そのため、図１８（ｂ）に示すように、時間とともに接合部材Ｅ’が電極層２１０上を拡散していく。この現象は、熱風マウント等、接合部材Ｅ’に熱を与えた場合に顕著になる。
そして、拡散した接合部材Ｅ’が振動腕部２１１に近づくほど振動状態（圧電振動片２００の変形量）への影響が大きくなり、周波数がシフトしてしまう。一方で、マウント電極２１４に対して拡散性が低い材料を接合部材Ｅ’に用いた場合は、圧電振動片２００と接合部材Ｅ’との間に十分な固定強度が得られず、圧電振動片２００が接合部材Ｅ’から脱落してしまう等の虞がある。
【０００７】
そこで、例えば、図１９（ａ）に示すように、圧電振動片２００の電極層２１０のうち、マウント電極２１４以外の部分（引き出し電極２１５や励振電極２１３）の仕上金属層２１０ｂを除去して、下地金属層２１０ａを露出させる構成も考えられる。この構成によれば、図１９（ｂ）に示すように、マウント電極２１４以外の部分での接合部材Ｅ’の拡散性を低下させることができるので、圧電振動片２００と接合部材Ｅ’とを強固に固定した上で、マウント電極２１４以外の部分への接合部材Ｅ’の拡散を防止できるとされている。
【０００８】
しかしながら、上述した構成では、仕上金属層２１０ｂ及び下地金属層２１０ａを一括してパターニングした後、仕上金属層２１０ｂのみをパターニングして下地金属層２１０ａを露出させる必要がある。そのため、製造工数が増加して、製造コストが増加するという問題がある。
【０００９】
そこで本発明は、製造工数、及びコストの増加を抑えた上で、接合部材の拡散を抑制できる圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の圧電振動片は、一対の振動腕部、及び前記一対の振動腕部の長さ方向に沿う基端側を一体的に固定する基部を有する圧電板と、前記振動腕部に形成されて前記振動腕部を振動させる励振電極と、前記基部に形成されるとともに、接合部材を介して前記圧電板を外部に実装するマウント電極と、前記励振電極と前記マウント電極とを接続する引き出し電極と、を備えた圧電振動片であって、前記マウント電極は、前記基部の一方の主面上に前記励振電極に対して離間した状態で形成され、前記引き出し電極は、前記圧電板の他方の主面上に形成されるとともに、前記励振電極に接続された基部電極と、前記マウント電極と前記基部電極とを前記圧電板の厚さ方向に導通させる導通部と、を備えていることを特徴としている。
【００１１】
この構成によれば、一方の主面上に形成されたマウント電極が、導通部及び基部電極を介して他方の面上で励振電極に接続されているため、マウント電極と励振電極とを同一面上で接続する場合に比べて、引き出し電極の距離を延ばすことができる。これにより、接合部材にマウント電極上で拡散性の高い材料を用いた場合であっても、接合部材が振動腕部側まで拡散するのを抑制できる。
この場合、従来のようにマウント電極以外の部分の電極層を除去する等、電極層を複数回パターニングする必要もないので、製造工数、及びコストの増加を抑制した上で、接合部材の拡散を抑制できる。その結果、振動数の変動を抑制した上で、圧電振動片を強固に固定できるので、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動片を提供できる。
【００１２】
また、本発明の圧電振動片は、前記導通部が、前記基部のうち、前記マウント電極と前記基部電極とが前記厚さ方向で重なる位置において、前記基部を貫通する貫通孔と、前記貫通孔の内面に形成された内面電極と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、導通部が貫通孔の内面に内面電極が形成されたスルーホールとなっているため、マウント電極上に拡散した接合部材が貫通孔内に入り込み難くなっている。そのため、接合部材が基部の他方の主面に回り込んだ後、基部電極を伝って振動腕部側まで拡散するのを確実に抑制できる。
【００１３】
ところで、圧電振動片の小型化を図るために基部の長さを短くした場合、基部のうち振動腕部との接続部分と、マウント電極と接合部材との接合部分と、の距離が接近する。すると、振動腕部で励起された振動が基部において十分に減衰されずに接合部分を通じて、例えばパッケージ側に漏れてしまい、その結果、共振周波数がシフトしてしまう。このような現象が振動漏れとされ、この振動漏れが生じると、共振周波数がシフトする問題に加え、電気信号から機械振動への変換時の損失が大きくなるので、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：ＣＩ値）が上昇し、品質が低下する問題も生じる。
そこで、本発明の圧電振動片は、前記導通部の前記貫通孔が、前記マウント電極のうち、前記接合部材が接合される接合部分よりも前記長さ方向に沿う前記振動腕部側に形成されていることを特徴としている。
この構成によれば、基部のマウント電極と接合部材との接合部分よりも振動腕部側に、導通部が形成されているため、基部において導通部が形成された部分の長さ方向に直交する横断面の面積が、他の部分の横断面の面積よりも小さくなる。これにより、振動腕部で励起された振動が接合部分側に伝わるルートを狭くできる。そのため、振動腕部側に振動を閉じ込めることが可能になり、基部の接合部分側まで振動が漏れてしまうのを抑制できる。これにより、振動漏れを効果的に抑制でき、ＣＩ値が上昇するのを抑え、出力信号の品質が低下するのを抑えることができる。
【００１４】
また、本発明の圧電振動片は、前記基部電極が、前記導通部と前記励振電極との間で複数回折り返されていることを特徴としている。
この構成によれば、励振電極と導通部との間で基部電極を直線的に形成する場合に比べて、基部電極の距離を延ばすことができる。これにより、接合部材が基部電極を伝って振動腕部側まで拡散するのを確実に抑制できる。
【００１５】
また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明の圧電振動片を備えた圧電振動子であって、前記圧電振動片の前記マウント電極が前記接合部材を介してパッケージに実装されていることを特徴としている。
この構成によれば、製造工数、及びコストの増加を抑制した上で、接合部材の拡散を抑制し、圧電振動片を強固に固定できるので、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動子を提供できる。
【００１６】
また、本発明に係る発振器は、上記本発明の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１７】
また、本発明に係る電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１８】
また、本発明に係る電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。
【００１９】
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上記本発明の圧電振動子を備えているので、特性及び信頼性に優れた製品を提供することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電振動片、及び圧電振動子によれば、製造工数、及びコストの増加を抑制した上で、接合部材の拡散を抑制できる。その結果、振動数の変動を抑制した上で、圧電振動片を強固に固定できるので、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動片、及び圧電振動子を提供できる。
本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計においては、上記本発明の圧電振動子を備えているので、特性及び信頼性に優れた製品を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態における圧電振動子の外観斜視図である。
【図２】圧電振動片を一方の主面側から見た平面図（上面図）である。
【図３】圧電振動片を他方の主面側から見た平面図（底面図）である。
【図４】圧電振動片の側面図である。
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図６】図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】圧電振動子の製造方法を示すフローチャートである。
【図８】圧電振動子の製造方法を示すフローチャートである。
【図９】圧電振動子の製造方法を示す工程図であって、図１のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。
【図１０】圧電振動子の製造方法を示す工程図であって、圧電振動片の基端部を一方の主面側から見た平面図である。
【図１１】第１変形例に係る圧電振動片を他方の主面側から見た平面図である。
【図１２】第２変形例に係る圧電振動片を一方の主面側から見た平面図（上面図）である。
【図１３】第２変形例に係る圧電振動片を他方の主面側から見た平面図（底面図）である。
【図１４】第２変形例に係る圧電振動片の側面図である。
【図１５】本発明の一実施形態を示す図であって、発振器の構成図である。
【図１６】本発明の一実施形態を示す図であって、電子機器の構成図である。
【図１７】本発明の一実施形態を示す図であって、電波時計の構成図である。
【図１８】従来の圧電振動片を示す平面図である。
【図１９】従来の圧電振動片を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（圧電振動子）
図１は、本実施形態に係る圧電振動子の斜視図である。
図１に示すように、圧電振動子１は、シリンダパッケージタイプの圧電振動子であって、音叉型の圧電振動片２と、圧電振動片２がマウントされたプラグ（パッケージ）４と、プラグ４とともに圧電振動片２を気密封止するケース（パッケージ）３と、を備えている。
【００２３】
（圧電振動片）
図２は圧電振動片を一方の主面側から見た平面図（上面図）であり、図３は他方の主面側から見た平面図（底面図）である。また、図４は圧電振動片の側面図である。
図２〜４に示すように、圧電振動片２は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
【００２４】
圧電振動片２は、幅方向に並んで互いに平行に配置された一対の振動腕部８，９、及びこれら一対の振動腕部８，９の基端側を一体的に固定する基部１０を有する圧電板１１と、圧電板１１上に形成された電極層１８と、を有している。なお、以下の説明では、圧電板１１における主面２５，２６の面方向のうち、振動腕部８，９の延在方向を単に長さ方向といい、長さ方向に沿う振動腕部８，９側を単に先端側、基部１０側を単に基端側といい、さらに振動腕部８，９の配列方向を単に幅方向といい、圧電板１１の厚さ方向を単に厚さ方向という。
【００２５】
図５は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図６は図１のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図５，６に示すように、電極層１８は、所定の電圧が印加されたときに一対の振動腕部８，９を振動させるものであり、クロム（Ｃｒ）等からなる下地金属層１８ａと、金（Ａｕ）等からなる仕上金属層１８ｂと、が順次積層されて構成されている。
下地金属層１８ａは、仕上金属層１８ｂと圧電板１１との密着性を向上させるためのものであり、圧電板１１と仕上金属層１８ｂとの間に挟まれるようにして形成されている。仕上金属層１８ｂは、下地金属層１８ａと同一パターンにより下地金属層１８ａを覆うように形成されている。
【００２６】
具体的に、図２〜４に示すように、電極層１８は、一対の振動腕部８，９の外表面上に形成されて一対の振動腕部８，９を振動させる第１励振電極１２及び第２励振電極１３からなる励振電極１４と、基部１０に形成されるとともに、後述する接合部材Ｅ（図１参照）を介して圧電振動片２を実装するマウント電極１５，１６と、これら第１励振電極１２及び第２励振電極１３とマウント電極１５，１６とをそれぞれ接続する引き出し電極１９，２０と、を有している。
【００２７】
励振電極１４は、一対の振動腕部８，９を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、一対の振動腕部８，９の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。第１励振電極１２は、一方の振動腕部８の両主面２５，２６上における基端部と、他方の振動腕部９の両主面２５，２６上における先端部、及び他方の振動腕部９の両側面上と、に主に形成されている。一方、第２励振電極１３は、一方の振動腕部８の両主面２５，２６上における先端部、及び一方の振動腕部８の両側面と、他方の振動腕部９の両主面２５，２６上における基端部と、に主に形成されている。
【００２８】
ここで、上述した励振電極１２，１３についてより詳細に説明する。
本実施形態の励振電極１２，１３は、それぞれ主面電極部２１と、側面電極部２２と、接続電極部２３と、で構成されている。なお、各励振電極１２，１３は、圧電板１１における幅方向の中心を通り、長さ方向に沿って延在する対称軸回りに点対称に形成されているため、以下の説明では、各励振電極１２，１３のうち、第１励振電極１２について説明し、第２励振電極１３についての説明は省略する。
【００２９】
主面電極部２１は、圧電板１１の主面２５，２６上において、基部１０の先端部、及び一方の振動腕部８の基端部に亘って連続的に形成され、平面視で振動腕部８に対して幅狭の長方形状に形成されている。
【００３０】
側面電極部２２は、圧電板１１の側面のうち基部１０の基端部を回避した位置、具体的には、他方の振動腕部９の両側面に長さ方向全体に亘って形成されるとともに、基部１０における振動腕部９側の側面の先端部に形成されている。このように、本実施形態において、基部１０の両側面の基端部には、電極層１８は形成されておらず、基部１０の両主面２５，２６間で電気的に切り離された状態で電極層１８がパターニングされている。
【００３１】
接続電極部２３は、他方の振動腕部９の先端部で側面電極部２２の先端部同士を接続する一方、基部１０の主面２５，２６上で側面電極部２２と主面電極部２１との基端部同士を接続している。具体的に、接続電極部２３は、他方の振動腕部９の先端部において、幅方向の内側に位置する側面に形成された側面電極部２２と、幅方向の外側に位置する側面に形成された側面電極部２２と、を接続している。
また、接続電極部２３は、基部１０の一方の主面２５上において、主面電極部２１の基端部と、他方の振動腕部９における幅方向の外側に位置する側面に形成された側面電極部２２と、を接続するとともに、他方の主面２６上において、主面電極部２１の基端部と、一方の振動腕部８における幅方向の内側に位置する側面に形成された側面電極部２２と、を接続している。
【００３２】
図２，５，６に示すように、マウント電極１５，１６は、基部１０のうち、一方の主面２５上における基端部に幅方向に並んで形成されている。この場合、マウント電極１５，１６は、基部１０の一方の主面２５上において、上述した励振電極１２，１３と電気的に切り離された状態でパターニングされている。すなわち、マウント電極１５，１６は、基部１０の一方の主面２５上において、浮島状に形成されている。
【００３３】
ここで、引き出し電極１９，２０は、基部１０のうち、他方の主面２６上に形成された基部電極２７と、マウント電極１５，１６と基部電極２７とを厚さ方向に導通させる導通部２８と、を備えている。
まず、導通部２８は、マウント電極１５，１６の中央部において、基部１０を厚さ方向に貫通する貫通孔２８ａと、貫通孔２８ａの内面に形成された内面電極２８ｂと、を備えたスルーホールである。内面電極２８ｂは、上述したマウント電極１５，１６等と同様に、下地金属層１８ａ、及び仕上金属層１８ｂが積層されてなる電極層１８であり、貫通孔２８ａの内面において、少なくとも厚さ方向に沿って連続的に形成されている。そして、内面電極２８ｂにおける一方の主面２５側の端部がマウント電極１５，１６の内周縁にそれぞれ電気的に接続されている。
【００３４】
基部電極２７は、基部１０の他方の主面２６上において、上述したマウント電極１５，１６と厚さ方向で重なる位置に形成されたランド部３６と、ランド部３６と各励振電極１２，１３とを接続する引き回し電極３７と、を備えている。
ランド部３６は、基部１０の他方の主面２６上において、導通部２８を取り囲むように形成されており、その内周縁が内面電極２８ｂにおける他方の主面２６側の端部に電気的に接続されている。
引き回し電極３７のうち、一方の引き回し電極３７は、一方のランド部３６と第１励振電極１２の側面電極部２３に接続され、他方の引き回し電極３７は、他方のランド部３６と第２励振電極１３の接続電極部２３に接続されている。
【００３５】
ケース３は、図１に示すように、有底円筒状に形成されており、圧電振動片２を内部に収納した状態でプラグ４の後述するステム３０の外周に対して圧入されて、嵌合固定されている。なお、このケース３の圧入は、真空雰囲気下で行われており、ケース３内の圧電振動片２を囲む空間が真空に保たれた状態となっている。
【００３６】
プラグ４は、ケース３を密閉させるステム３０と、このステム３０を貫通するように平行配置された２本のリード端子３１と、ステム３０の内側に充填されてステム３０とリード端子３１とを固定させる絶縁性の充填材３２と、を有している。ステム３０は、金属材料で環状に形成されたものである。また、充填材３２の材料としては、例えばホウ珪酸ガラスである。
【００３７】
２本のリード端子３１は、ケース３内に突出している部分がインナーリード３１ａとなり、ケース３外に突出している部分がアウターリード３１ｂとなっている。リード端子３１は、その直径が例えば約０．１２ｍｍであり、リード端子３１の母材の材質としては、コバール（ＦｅＮｉＣｏ合金）が慣用されている。
【００３８】
図５に示すように、リード端子３１の表面及びステム３０の外周には、めっき層３５が被覆されている。被膜させるめっきの材質としては、下地膜３５ａに銅（Ｃｕ）めっき等が用いられ、仕上膜３５ｂに融点が例えば３００度程度の高融点ハンダめっき（錫と鉛の合金で、その重量比が１：９）が用いられる。
【００３９】
そして、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とは、仕上膜（高融点ハンダめっき）３５ｂを溶解させて形成された、接合部材Ｅを介してマウント電極１５，１６の仕上金属層１８ｂ上にマウントされている。具体的に、接合部材Ｅは、圧電板１１の一方の主面２５上において、マウント電極１５，１６上で上述した導通部２８を覆うように形成されている。すなわち、接合部材Ｅを介してインナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とが機械的に接合されていると同時に、電気的に接続されている。その結果、圧電振動片２は、２本のリード端子３１にマウントされた状態となっている。
【００４０】
なお、接合部材Ｅは、マウント電極１５，１６、及び引き出し電極１９，２０を介して励振電極１２，１３に電気的に接続されている。この場合、マウント電極１５，１６と引き出し電極１９，２０のランド部３６とは、上述したように導通部２８によって電気的に接続されているため、接合部材Ｅを導通部２８の内側に充填する必要はない。但し、後述するマウント工程時において、毛細管現象等により導通部２８内に接合部材Ｅが流れ込み、導通部２８の内面に付着しても構わない。
【００４１】
なお、上述した２本のリード端子３１は、一端側（アウターリード３１ｂ側）が外部に電気的に接続され、他端側（インナーリード３１ａ側）が圧電振動片２に対してマウントされる外部接続端子として機能する。
また、ステム３０の外周に被膜されためっき層３５を介在させながらケース３の内周に真空中で冷間圧接させることにより、ケース３の内部を真空状態で気密封止できるようになっている。
【００４２】
このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、２本のリード端子３１のアウターリード３１ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、インナーリード３１ａ、接合部材Ｅ、マウント電極１５，１６及び引き出し電極１９，２０を介して、第１励振電極１２及び第２励振電極１３からなる励振電極１４に電流を流すことができ、一対の振動腕部８，９を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部８，９の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。
【００４３】
（圧電振動子の製造方法）
次に、上述した圧電振動子の製造方法について説明する。図７，８は、圧電振動子の製造方法を示すフローチャートである。
まず、図７に示すように、水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウエハＳとする。続いて、このウエハＳ（図９参照）をラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、その後ポリッシュ等の鏡面研磨加工を行って、所定の厚みのウエハＳとする（Ｓ１０）。
【００４４】
次に、研磨後のウエハＳを複数の圧電板１１の外形形状を形成する外形形成工程を行う（Ｓ２０）。具体的には、圧電板１１の外形形状にパターニングされたエッチング保護膜（不図示）をマスクとしてエッチング加工を行なうことで、エッチング保護膜でマスクされていない領域を選択的に除去して、圧電板１１の外形形状を形作ることができる。この圧電板１１の外形形成と同時に、マウント電極１５，１６及びランド部３６の形成領域と厚さ方向で重なる位置に導通部２８となる貫通孔２８ａを形成する。なお、圧電板１１は、後に行う切断工程（Ｓ４０）を行うまで、図示しない連結部を介してウエハＳに連結された状態となっている。
【００４５】
ここで、複数の圧電板１１の外表面上に下地金属層１８ａ及び仕上金属層１８ｂを積層して、電極層１８（励振電極１４、引き出し電極１９，２０及びマウント電極１５，１６）を形成する電極層形成工程を行う（Ｓ３０）。
【００４６】
図９は、圧電振動子の製造方法を示す工程図であって、図２のＢ−Ｂ線に相当する断面図である。
始めに、図９（ａ）に示すように、圧電板１１上に下地金属層１８ａ及び仕上金属層１８ｂを、蒸着やスパッタリング等により順次成膜する（Ｓ３１）。この際、圧電板１１の両主面２５，２６上、及び側面全周に加えて貫通孔２８ａの内面にも電極層１８が積層される。
【００４７】
次に、図９（ｂ）に示すように、スプレーコート等によりフォトレジスト膜４１を成膜した後、フォトリソ技術でパターニングする（Ｓ３２）。この際、電極層１８の形成領域が、フォトレジスト膜４１によって被膜されるようにパターニングする。そして、残ったフォトレジスト膜４１をマスクとして、図９（ｃ）に示すように、電極層１８をエッチング加工するエッチング工程を行う（Ｓ３３）。これにより、下地金属層１８ａ及び仕上金属層１８ｂが積層された電極層１８（励振電極１４、マウント電極１５，１６、及び引き出し電極１９，２０）が形成される。この際、基部１０の一方の主面２５上でマウント電極１５，１６と励振電極１２，１３とが、電気的に切り離された状態でパターニングされるとともに、基部１０の他方の主面２６上で引き回し電極１９，２０と励振電極１２，１３とが電気的に接続された状態でパターニングされる。なお、基部１０の側面における基端部は、両主面２５，２６間で電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。
その後、フォトレジスト膜４１を除去することで、電極層形成工程（Ｓ３０）が終了する。
【００４８】
次いで、ウエハＳと圧電振動片２とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電振動片２をウエハＳから切り離して個片化する切断工程を行う（Ｓ４０）。これにより、ウエハＳから、電極層１８（励振電極１４、マウント電極１５，１６、及び引き出し電極１９，２０）が形成された圧電振動片２を一度に複数製造することができる。
【００４９】
次に、図８に示すように、プラグ４を作製する気密端子作製工程を行う（Ｓ６０）。
続いて、プラグ４のリード端子３１の外表面及びステム３０の外周に、同一材料のめっき層を湿式めっき法で被膜させるめっき工程を行う（Ｓ７１）。
このように、下地膜３５ａ及び仕上膜３５ｂ（図５参照）からなるめっき層３５をリード端子３１に被膜することで、インナーリード３１ａと圧電振動片２との接続を可能にすることができる。また、圧電振動片２の接続だけでなく、ステム３０の外周に被膜されためっき層３５が柔らかく弾性変形する特性を有しているので、ステム３０とケース３との冷間圧接を可能にすることができ、気密接合を行うことができる。
【００５０】
図１０は、圧電振動子の製造方法を示す工程図であって、圧電振動片の基端部を一方の主面側から見た平面図である。
そして、図１０（ａ）に示すように、圧電振動片２のうち、一方の主面２５（実装面）側に形成されたマウント電極１５，１６をインナーリード３１ａに接合するマウント工程を行う（Ｓ７４）。具体的には、３００度を超える温度でインナーリード３１ａを加熱しながら、インナーリード３１ａと圧電振動片２とを所定の圧力で重ね合わせる。これにより、インナーリード３１ａの仕上膜３５ｂである高融点ハンダめっきが溶解し、マウント電極１５，１６（仕上金属層１８ｂ）上に濡れ広がる。これにより、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とを接続することができる。その結果、圧電振動片２をマウントすることができる。すなわち、圧電振動片２は、リード端子３１に機械的に支持されるとともに、電気的に接続された状態となる。
なお、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とを接続する際に、加熱・加圧を行ってマウントしたが、熱風や超音波を利用して接続を行っても構わない。
【００５１】
ここで、図１０(ｂ)に示すように、マウント電極１５，１６とインナーリード３１ａとを接合すると、接合部材Ｅはマウント電極１５，１６上を拡散する。この際、本実施形態では、基部１０の一方の主面２５上において、マウント電極１５，１６が励振電極１２，１３に対して電気的に切り離されているため、接合部材Ｅが電極層１８を伝って振動腕部８，９側まで拡散するのを抑制できる。
また、マウント電極１５，１６と基部電極２７とが導通部２８を介して接続されているため、接合部材Ｅが貫通孔２８ａ内に入り込み難くなっている。そのため、接合部材Ｅが基部１０の他方の主面２６に回り込んだ後、基部電極２７を伝って振動腕部８，９側まで拡散するのを抑制できる。
さらに、マウント電極１５，１６及び引き出し電極１９，２０は、基部１０の両主面２５，２６間で電気的に切り離されているため、接合部材Ｅが基部１０の側面を伝って一方の主面２５から他方の主面２６まで回り込むのも抑制できる。
【００５２】
次に、封止工程を行う前に、上述したマウントによる歪みをなくすために、所定の温度でベーキングを行う（Ｓ７５）。
最後に、マウントされた圧電振動片２を内部に収納するようにケース３をステム３０に圧入し、圧電振動片２を気密封止するケース圧入工程を行う（Ｓ７６）。具体的には、真空中で所定の荷重を加えながらケース３をプラグ４のステム３０の外周に圧入する。すると、ステム３０の外周に形成された金属膜が弾性変形するので、冷間圧接により気密封止することができる。これにより、ケース３内に圧電振動片２を密閉して真空封止することができる。
なお、この工程を行う前に、圧電振動片２、ケース３及びプラグ４を十分に加熱して、表面吸着水分等を脱離させておくことが好ましい。
【００５３】
そして、ケース３の固定が終了した後、スクリーニングを行う（Ｓ７７）。このスクリーニングは、周波数や共振抵抗値の安定化を図るとともに、ケース３を圧入した嵌合部に圧縮応力に起因する金属ウイスカが発生してしまうことを抑制するために行うものである。
スクリーニング終了後、内部の電気特性検査を行う（Ｓ７８）。そして、最後に圧電振動子１の外観検査を行って、寸法や品質等を最終的にチェックする。この結果、図１に示す圧電振動子１を製造することができる。
【００５４】
このように、本実施形態では、マウント電極１５，１６が、基部１０の一方の主面２５上に励振電極１２，１３に対して離間した状態で形成され、引き出し電極１９，２０が、マウント電極１５，１６と基部電極２７とを厚さ方向に導通させる導通部２８を備えている構成とした。
この構成によれば、一方の主面２５上に形成されたマウント電極１５，１６が、導通部２８及び基部電極２７を介して他方の主面２６上で励振電極１２，１３に接続されているため、マウント電極１５，１６と励振電極１２，１３とを同一面上で接続する場合に比べて、引き出し電極１９，２０の距離を延ばすことができる。そのため、マウント電極１５，１６上で拡散性の高い材料を接合部材Ｅに用いた場合であっても、接合部材Ｅが電極層１８を伝って振動腕部８，９側まで拡散するのを抑制することができる。
この場合、従来のようにマウント電極１５，１６以外の部分の仕上金属層１８ｂを除去する等、電極層１８を複数回パターニングする必要もないので、製造工数、及びコストの増加を抑制した上で、接合部材Ｅの拡散を抑制できる。その結果、振動数の変動を抑制した上で、圧電振動片２を強固に固定できるので、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動片２を提供できる。
【００５５】
特に、本実施形態の導通部２８は、貫通孔２８ａの内面に内面電極２８ｂが形成されたスルーホールとなっているため、マウント電極１５，１６上に拡散した接合部材Ｅが貫通孔２８ａ内に入り込み難くなっている。そのため、接合部材Ｅが基部１０の他方の主面２６に回り込んだ後、基部電極２７を伝って振動腕部８，９側まで拡散するのを確実に抑制できる。
【００５６】
また、本実施形態の仕上金属層１８ｂが金からなり、接合部材Ｅが半田（高融点ハンダめっき）からなるので、接合部材Ｅがマウント電極１５，１６（仕上金属層１８ｂ）上で良好に拡散することになる。そのため、圧電振動片２と接合部材Ｅとを強固に固定できる。
【００５７】
そして、本実施形態の圧電振動子１では、上述した圧電振動片２が接合部材Ｅを介してプラグ４にマウントされているため、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動子１を提供できる。
【００５８】
（第１変形例）
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。図１１は、第１変形例に係る圧電振動片を他方の主面側から見た平面図である。なお、以下の説明では、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して、説明を省略する。
図１１に示すように、本変形例の圧電振動片２における引き回し電極３７は、ランド部３６を取り囲む矩形の渦巻状に形成されている。そして、この引き回し電極３７の内側端部がランド部３６に接続され、外側端部が引き回し電極３７に接続されている。
【００５９】
この構成によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏するとともに、励振電極１２，１３とランド部３６との間で引き回し電極３７を直線的に形成する場合に比べて、引き回し電極３７の距離を延ばすことができる。これにより、接合部材Ｅが引き回し電極３７を伝って振動腕部８，９側まで拡散するのを確実に抑制できる。
また、上述した引き回し電極３７は、渦巻状に限らず、蛇行させる等、励振電極１２，１３とランド部３６との間で複数回折り返すことで、引き回し電極３７の距離を延ばすことができる。なお、引き回し電極３７の折り返し部分は、その折り曲げ角度が９０゜以上の部分をいう。
【００６０】
（第２変形例）
次に、本実施形態の第２変形例について説明する。図１２は第２変形例に係る圧電振動片を一方の主面側から見た平面図であり、図１３は他方の主面側から見た平面図である。また、図１４は第２変形例に係る圧電振動片の側面図である。
図１２〜１４に示すように、本変形例の圧電振動片２における導通部２８は、マウント電極１５，１６の先端部、すなわちマウント電極１５，１６において接合部材Ｅが接合される接合部分よりも先端側に配設されている。本変形例の導通部２８における貫通孔２８ａは、マウント電極１５，１６の先端縁を幅方向に沿って延在する平面視で長方形状の開口を有し、その内面に内面電極２８ｂが形成されている。
また、基部電極２７は、ランド部３６の基端縁からさらに基端側に向けて延在した後、先端側に向けて折り返されることで、励振電極１２，１３に接続されている。
【００６１】
ところで、圧電振動片２の小型化を図るために基部１０の長さを短くした場合、基部１０のうち振動腕部８，９との接続部分と、マウント電極１５，１６と接合部材Ｅとの接合部分と、の距離が接近する。すると、振動腕部８，９で励起された振動が基部１０において十分に減衰されずに接合部分を通じて、例えばプラグ４側に漏れてしまい、その結果、共振周波数がシフトしてしまう。このような現象が振動漏れとされ、この振動漏れが生じると、共振周波数がシフトする問題に加え、電気信号から機械振動への変換時の損失が大きくなるので、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：ＣＩ値）が上昇し、品質が低下する問題も生じる。
【００６２】
これに対して、本実施形態の圧電振動片２では、基部１０のマウント電極１５，１６と接合部材Ｅとの接合部分よりも先端側に、導通部２８の貫通孔２８ａが形成されているため、基部１０において貫通孔２８ａが形成された部分の長さ方向に直交する横断面の面積が、他の部分の横断面の面積よりも小さくなる。これにより、振動腕部８，９で励起された振動が接合部分側に伝わるルートを狭くできる。そのため、振動腕部８，９側に振動を閉じ込めることが可能になり、基部１０の接合部分側まで振動が漏れてしまうのを抑制できる。これにより、振動漏れを効果的に抑制でき、ＣＩ値が上昇するのを抑え、出力信号の品質が低下するのを抑えることができる。
【００６３】
なお、上述した本変形例では、貫通孔２８ａが圧電板１１の両主面２５，２６に開口する構成について説明したが、これに限らず、基部１０における幅方向の外側を向く側面に開口する構成にしても構わない。すなわち、基部１０において導通部２８が形成された部分が、他の部分に比べて幅が狭い幅狭部とされたくびれ形状に形成しても構わない
【００６４】
（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１５を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図１５に示すように、圧電振動子１を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の上述した集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子１が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
【００６５】
このように構成された発振器１００において、圧電振動子１に電圧を印加すると、この圧電振動子１内の圧電振動片２が振動する。この振動は、圧電振動片２が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。
これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
【００６６】
上述したように、本実施形態の発振器１００によれば、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動子１を備えているので、特性及び信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる発振器１００を提供できる。
【００６７】
（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１６を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子１を有する携帯情報機器１１０を例にして説明する。始めに本実施形態の携帯情報機器１１０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
【００６８】
次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図１６に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
【００６９】
制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。
【００７０】
計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片２が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。
【００７１】
通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
【００７２】
また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
【００７３】
電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。
【００７４】
即ち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。
【００７５】
上述したように、本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動子１を備えているので、特性及び信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示できる携帯情報機器１１０を提供できる。
【００７６】
（電波時計）
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１７を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図１７に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。
【００７７】
以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、上述した搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１３８、１３９をそれぞれ備えている。
【００７８】
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。
続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８、１３９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
【００７９】
なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。
【００８０】
上述したように、本実施形態の電波時計１３０によれば、振動特性に優れ、かつ信頼性の高い圧電振動子１を備えているので、特性及び信頼性に優れた高品質、かつ、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントできる電波時計１３０を提供できる。
【００８１】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上述した実施形態では、圧電振動子の一例として、シリンダパッケージタイプや表面実装型の圧電振動子１を例に挙げて説明したが、この圧電振動子１に限定されるものではない。例えば、セラミックパッケージタイプの圧電振動子や、シリンダパッケージタイプの圧電振動子１を、さらにモールド樹脂部で固めて表面実装型振動子としても構わない。
【００８２】
また、上述した実施形態では、インナーリード３１ａの外周面に形成された高融点ハンダめっきを溶解させ、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とを接合する場合について説明したが、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６との間に両者を接合するための半田等からなるバンプ（接合部材）を介在させて両者を接合してもよい。この場合においても、バンプの濡れ性が良好になり、インナーリード３１ａとマウント電極１５，１６とを確実に接合することができる。なお、接合部材Ｅは半田に限らず、金等、種々の材質を適用することが可能である。
【００８３】
また、上述した実施形態では、導通部２８をスルーホールとする構成について説明したが、これに限られない。例えば、貫通孔２８ａ内に導電性材料を充填したり、貫通孔２８ａ内に導電性の芯材を埋設したりする等、マウント電極１５，１６と基部電極２７とが厚さ方向で導通していれば構わない。また、導通部２８として、基部１０の基端側に位置する端面に電極層１８を形成し、この電極層１８を介してマウント電極１５，１６と基部電極２７とを接続する構成にしても構わない。
【００８４】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１…圧電振動子  ２…圧電振動片  ３…ケース（パッケージ）  ４…プラグ（パッケージ）  ５…圧電振動片  ８，９…振動腕部  １０…基部  １１…圧電板  １４…励振電極
１５，１６…マウント電極  １９，２０…引き出し電極  ２５…一方の主面  ２６…他方の主面  ２７…基部電極  ２８…導通部  ２８ａ…貫通孔  ２８ｂ…内面電極  １００…発振器  １０１…発振器の集積回路  １１０…携帯情報機器（電子機器）  １１３…電子機器の計時部  １３０…電波時計  １３１…電波時計のフィルタ部  Ｅ…接合部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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