(57)【要約】【課題】簡易な構成でシートを吸着して正確に加工する。【解決手段】複数の微細孔１１が形成された吸着板１０と、吸着板１０に対向配置されたベース基材２０と、円筒形状を具備し、該円筒形状の両端部がベース基材２０と吸着板１０とにそれぞれ当接するように配置された複数の支持部材３０とを有し、ベース基材２０と吸着板１０との間の空気が吸引されることによって、吸着板１０上に載置されたシートを微細孔１１を介して吸引する構成において、複数の支持部材３０のそれぞれは、その側面に、円筒形状の内部と外部とを連通する貫通孔３１が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の微細孔が形成された吸着板上に載置されたシートを、前記複数の微細孔を介して吸引することによって前記吸着板に吸着させる吸着テーブルであって、
前記吸着板に対向配置されたベース基材と、
円筒形状を具備し、該円筒形状の両端部が前記ベース基材と前記吸着板とにそれぞれ当接するように配置された複数の支持部材とを有し、
前記ベース基材と前記吸着板との間の空気が吸引されることによって前記シートを前記複数の微細孔を介して吸引し、
前記複数の支持部材のそれぞれは、その側面に、前記円筒形状の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている吸着テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム等のシートを加工する際にそのシートを吸着する吸着テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の印刷技術の発展に伴って、電気回路を印刷によって形成することも行われている。電気回路を印刷によって形成する場合、導電性のインキを用いて配線パターンをフィルムに印刷することになるが、その際、フィルムを吸着テーブルに吸着させることによってフィルムを固定し、その状態で配線パターンが印刷されることが行われている。
【０００３】
このようにフィルム等のシートを吸着することによって固定する場合は、例えば、シートが吸着される吸着板に複数の微細孔を設け、その微細孔を介して空気を吸引することが考えられるが、シートの加工を行う際に、空気を吸引することによって吸着板が撓ってしまうと、シートの加工が正確に行われなくなってしまう。そこで、吸着板が固定されるベース基材において、吸着板の下部に複数の柱を形成しておき、この柱によって吸着板を支える構成とすることが考えられるが、その場合、ベース基材の形状が複雑になってしまい、ベース基材の製造工程が煩雑になってしまう。
【０００４】
ここで、複数の円筒パイプを並べ、その一端を吸着面として半導体ウェハを吸着するウェハチャックが、特許文献１に開示されている。
【０００５】
図７は、特許文献１に開示されたウェハチャックの断面図である。
【０００６】
図７に示すように、特許文献１に開示されたウェハチャックは、複数のパイプ２３０が並べられてその周面にて互いに接着され、シール材２５０によってその周囲のみにてベース２２０に固定されて構成されている。そして、複数のパイプ２３０の下部には、吸気口２４０が設けられ、この吸気口２４０を介して空気が吸引されることによって、パイプ２３０上に載置されたウェハが吸着されることになる。
【０００７】
このウェハチャックは、複数のパイプ２３０によって吸着板が構成されているため、空気を吸引した場合であっても吸着面が撓りにくくなり、フィルム等のシートの加工に用いた場合、シートの加工が正確に行われなくなってしまう可能性を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６２−１１３４４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述したウェハチャックにおいては、互いに接着された複数のパイプがその周囲のみにてベースに固定されており、その下部が吸気口となって空洞であるため、空気を吸引した際に吸着面が撓りにくいとは言い難い。そのため、本来の用途である半導体ウェハの加工においては問題がないと考えられるものの、フィルム等のシートの加工においては、フィルム等のシートが半導体ウェハよりも吸着面の撓りに従順であることから、正確な加工ができなくなってしまう虞れがある。
【００１０】
ここで、吸着面を撓りにくくするためにパイプの厚さを厚くしたり長さを長くしたりすることが考えられる。ところが、フィルム等のシートに印刷を行う場合、印刷工程における処理の高速化を図るためにシートが吸着された吸着テーブルそのものを移動させることがあり、パイプの厚さを厚くしたり長さを長くしたりした場合、吸着テーブル全体の重量が増えてしまうとともに全体の厚さも厚くなってしまい、好ましくない。
【００１１】
本発明は、上述したような従来の技術が有する問題点に鑑みてなされたものであって、簡易な構成でシートを吸着して正確に加工することができる吸着テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために本発明は、
複数の微細孔が形成された吸着板上に載置されたシートを、前記複数の微細孔を介して吸引することによって前記吸着板に吸着させる吸着テーブルであって、
前記吸着板に対向配置されたベース基材と、
円筒形状を具備し、該円筒形状の両端部が前記ベース基材と前記吸着板とにそれぞれ当接するように配置された複数の支持部材とを有し、
前記ベース基材と前記吸着板との間の空気が吸引されることによって前記シートを前記複数の微細孔を介して吸引し、
前記複数の支持部材のそれぞれは、その側面に、前記円筒形状の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている。
【００１３】
上記のように構成された本発明においては、吸着板上に載置されたシートを、吸着板に形成された複数の微細孔を介して吸引することによって吸着板に吸着させるために、吸着板とベース基材との間の空気が吸引されると、吸着板とベース基材とがそれぞれ近づく方向に撓るような力が働くが、円筒形状の複数の支持部材が、円筒形状の両端部がベース基材と吸着板とにそれぞれ当接するように配置されているので、ベース基材と吸着板との間の空気が吸引されても、吸着板とベース基材の撓りが支持部材によって規制されることになり、それにより、ベース基材を特殊な形状とすることなく、簡易な構成で吸着板が撓りにくくなる。また、このように、支持部材が、その円筒形状の両端部がベース基材と吸着板とにそれぞれ当接していることにより、吸着板に形成された微細孔のうち、円筒形状の内部に対向するものが存在した場合、ベース基材と吸着板との間の空気が吸引されても、その微細孔を介してはシートが吸引されなくなってしまうことになるが、支持部材の側面に円筒形状の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられていることにより、その微細孔においても、貫通孔を介して空気の吸引力が伝わってシートが吸引されることになる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、シートを吸着する吸着板と、これに対向配置されたベース基材との間において、円筒形状の複数の支持部材が、円筒形状の両端部がベース基材と吸着板とにそれぞれ当接するように配置された構成としたため、吸着板上に載置されたシートを、吸着板に形成された複数の微細孔を介して吸引することによって吸着板に吸着させるために吸着板とベース基材との間の空気が吸引されて吸着板とベース基材とがそれぞれ近づく方向に撓るような力が働いても、吸着板とベース基材の撓りが支持部材によって規制されることになり、それにより、簡易な構成で吸着板が撓りにくくなり、吸着したシートに対して正確な加工を行うことができる。また、その際、吸着板に形成された微細孔のうち、円筒形状の内部に対向するものが存在した場合であっても、支持部材の側面に円筒形状の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられていることにより、ベース基材と吸着板との間の空気が吸引された場合に、その微細孔においても貫通孔を介して空気の吸引力が伝わってシートを吸引することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の吸着テーブルの実施の一形態を示す図であり、（ａ）は表面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図、（ｃ）は（ｂ）に示したベース基材を示す図、（ｄ）は（ａ）に示した支持部材の外観斜視図である。
【図２】図１に示した吸着テーブルの作用を説明するための図である。
【図３】図１に示した吸着テーブルの使用時の作用を説明するための図であり、吸着テーブルの一部の断面を示す図、（ｂ）は全体の断面を示す図である。
【図４】図１に示した微細孔の変形例を示す図であり、（ａ）は微細孔と支持部材との位置関係を示す図、（ｂ）は微細孔の形状と支持部材の厚さとの関係を示す図、（ｃ）は微細孔における空気の流れを示す図である。
【図５】図１に示した支持部材の変形例を示す外観斜視図である。
【図６】図１に示した支持部材の固定方法の一例を示す図であり、（ａ）は吸着板側から見た図、（ｂ）は（ａ）に示したＣ−Ｃ’断面図である。
【図７】特許文献１に開示されたウェハチャックの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は、本発明の吸着テーブルの実施の一形態を示す図であり、（ａ）は表面図、（ｂ）は（ａ）に示したＡ−Ａ’断面図、（ｃ）は（ｂ）に示したベース基材２０を示す図、（ｄ）は（ａ）に示した支持部材３０の外観斜視図である。
【００１８】
本形態は図１に示すように、互いに同一形状の吸着板１０とベース基材２０とが対向配置され、これら吸着板１０とベース基材２０との間に複数の支持部材３０が配置されて構成されており、吸着板１０とベース基材２０とは、その周囲にて枠材（不図示）を介して接着または溶着されている。
【００１９】
吸着板１０は、例えば４ｍｍ程度の厚さの金属からなり、複数の微細孔１１がマトリックス状に形成されている。この微細孔１１は、例えば、直径が１ｍｍであって、２０ｍｍピッチで吸着板１０に形成されている。
【００２０】
ベース基材２０は、例えば４ｍｍの厚さの金属からなり、予め決められた領域に４つの吸気孔２１が形成されている。この吸気孔２１の数は、微細孔１１の数と同数であってもよいし、異なる数であってもよいが、微細孔１１の数よりも少ない場合は、直径を微細孔１１よりも大きくすることが好ましい。
【００２１】
支持部材３０は、円筒形状からなり、その円筒形状の一方の端部が吸着板１０に当接し、他方の端部がベース基材２０に当接するように吸着板１０とベース基材２０との間に配置されている。すなわち、ベース基材２０上に複数の支持部材３０が載置され、この複数の支持部材３０上に吸着板１０が載置された状態となっている。支持部材３０は、例えば、厚さが２ｍｍ、直径が２０ｍｍであって、ベース基材２０上に１００〜１５０ｍｍ間隔でマトリックス状に載置されている。また、その側面には、一方の端部から半分の高さまで切り欠かれた２つの貫通孔３１が設けられており、それにより、円筒形状の内部と外部とが連通している。
【００２２】
以下に、上記のように構成された吸着テーブル１の作用について説明する。
【００２３】
図２は、図１に示した吸着テーブル１の作用を説明するための図であり、吸着テーブル１の一部の断面を示す。
【００２４】
図１に示した吸着テーブル１は、吸気孔２１に接続された吸引手段（不図示）によって、ベース基材２０に形成された吸気孔２１を介して吸気が行われることにより、吸着板１０とベース基材２０との間の空気が吸引される。すると、吸気孔２１が支持部材３０の円筒形状の外部に対向している場合は、図２に示すように、吸着板１０に形成された微細孔１１のうち支持部材３０の円筒形状の外部に対向している微細孔１１においては、吸引手段による吸引力によってその微細孔１１を介して外部から吸着板１０とベース基材２０との間に空気が吸引され、その空気が吸気孔２１を介して吸引手段に吸引されていく。また、吸着板１０に形成された微細孔１１のうち支持部材３０の円筒形状の内部に対向している微細孔１１においても、支持部材３０の側面に設けられた貫通孔３１によって支持部材３０の円筒形状の内部と外部とが連通していることにより、吸引手段による吸気孔２１を介しての吸引力が貫通孔３１を介して伝わり、その微細孔１１を介して外部から吸着板１０とベース基材２０との間に空気が吸引され、その空気が吸気孔２１を介して吸引手段に吸引されていく。なお、吸引手段は、任意の手段を用いることができるが、例えば、毎分２００リットル程度の空気を吸引するようなポンプ等が考えられる。
【００２５】
また、吸気孔２１が支持部材３０の円筒形状の内部に対向している場合は、吸着板１０に形成された微細孔１１のうち、吸気孔２１が対向している支持部材３０の円筒形状の内部に対向している微細孔１１においては、吸引手段による吸引力によってその微細孔１１を介して外部から吸着板１０とベース基材２０との間に空気が吸引され、その空気が吸気孔２１を介して吸引手段に吸引されていく。また、吸着板１０に形成された微細孔１１のうち、支持部材３０の円筒形状の外部に対向している微細孔１１や、吸気孔２１が対向している支持部材３０以外の支持部材３０の内部に対向している微細孔１１においても、支持部材３０の側面に設けられた貫通孔３１によって支持部材３０の円筒形状の内部と外部とが連通していることにより、吸引手段による吸気孔２１を介しての吸引力が貫通孔３１を介して伝わり、その微細孔１１を介して外部から吸着板１０とベース基材２０との間に空気が吸引され、その空気が吸気孔２１を介して吸引手段に吸引されていく。
【００２６】
このようにして、ベース基材２０に形成された吸気孔２１を介して吸気が行われると、吸着板１０に形成された全ての微細孔１１を介して外部から吸着板１０とベース基材２０との間に空気が吸引され、その空気が吸気孔２１を介して吸引手段に吸引されていくことになる。またこの際、支持部材３０が円筒形状からなるものであることにより、微細孔１１を介して吸引された空気の吸気孔２１までの流れが乱れて微細孔１１毎に吸引力が大きく異なってしまうことが回避される。
【００２７】
以下に、上述した吸着テーブル１の実際の使用時の作用について説明する。
【００２８】
図３は、図１に示した吸着テーブル１の使用時の作用を説明するための図であり、吸着テーブル１の一部の断面を示す図、（ｂ）は全体の断面を示す図である。
【００２９】
図３に示すように、図１に示した吸着テーブル１上にフィルム２が載置された状態で、吸引手段によって吸気孔２１を介して吸気が行われ、吸着板１０とベース基材２０との間の空気が吸引されると、吸引手段による吸気孔２１を介しての吸引力が、上述したように、吸着板１０に形成された全ての微細孔１１に伝わり、吸着板１０上に載置されたフィルム２が、全ての微細孔１１を介して吸引され、吸着板１０に吸着されることになる。それにより、吸着板１１上に載置されたフィルム２の全体がむらなく吸着板１０に吸着された状態となる。またその際、上述したように微細孔１１毎に吸引力が大きく異なることがないため、フィルム２が吸着板１０の全体に渡って均一に吸着されることになる。
【００３０】
ここで、上述したように、吸着板１０上に載置されたフィルム２を微細孔１１を介して吸引することによって吸着板１０に吸着させるために、吸着板１０とベース基材２０との間の空気が吸引されると、吸着板１０とベース基材２０とがそれぞれ近づく方向に撓るような力が働く。ところが、吸着板１０とベース基材２０との間には、複数の支持部材３０が、その円筒形状の一方の端部が吸着板１０に当接し、他方の端部がベース基材２０に当接するように配置されているので、吸着板１０とベース基材２０との間の空気が吸引されても、吸着板１０とベース基材２０の撓りが支持部材３０によって規制されることになり、それにより、ベース基材２０を特殊な形状とすることなく、また、支持部材３０の厚さを厚くしたり長さを長くしたりすることなく、簡易な構成で吸着板１０が撓りにくくなる。
【００３１】
上記のようにして吸着板１０に吸着されたフィルム２においては、その全体がむらなく吸着板１０に吸着されているとともに、吸着板１０に撓りが生じていないため、フィルム２に対する印刷等の加工を正確に行うことができる。
【００３２】
ここで、吸着板１０に形成された微細孔１１と支持部材３０との関係による吸引効果について説明する。
【００３３】
上述したように、支持部材３０は吸着板１０とベース基材２０との間に配置されているが、微細孔１１と支持部材３０との位置関係は、図１に示したもののように微細孔１１が支持部材３０の円筒形状の内部に対向するようなものであるとは限らない。微細孔１１が支持部材３０の側面を形成する側壁の端部に対向した場合、微細孔１１の直径が支持部材３０の厚さよりも小さいとその微細孔１１が支持部材３０の側壁によって塞がれてしまい、その微細孔１１を介した吸引が行われなくなってしまうことになる。そこで、微細孔１１の直径を大きくすることが考えられるが、微細孔１１の直径を大きくすると、吸着板１０とベース基材２０との間の空気が吸引された場合、吸着板１０上に載置されたフィルム等のシートがその微細孔１１に入り込むようにして変形してしまい、フィルム等のシートに対して正確な加工ができなくなってしまう。
【００３４】
以下に、吸着板１０に形成された微細孔１１と支持部材３０との位置関係がいかなる場合であっても、全ての微細孔１１にてシートを吸引することができる構成について説明する。
【００３５】
図４は、図１に示した微細孔１１の変形例を示す図であり、（ａ）は微細孔と支持部材との位置関係を示す図、（ｂ）は微細孔の形状と支持部材の厚さとの関係を示す図、（ｃ）は微細孔における空気の流れを示す図である。
【００３６】
図４（ａ）に示すように、本例においては、吸着板１１０に形成された微細孔１１１が支持部材３０の側面を形成する側壁の端部に対向している。そして、微細孔１１１は、図４（ｂ）に示すように、フィルム等のシートが載置される面から支持部材３０に当接する面に向かってその直径が大きくなるようなテーパー形状を有している。具体的には、微細孔１１１は、フィルム等のシートが載置される面における直径ｒ1が支持部材３０の厚さｔよりも小さく、かつ、支持部材３０に当接する面における直径ｒ2が支持部材３０の厚さｔよりも大きくなっている。
【００３７】
このような構成を有する微細孔１１１においては、支持部材３０の側面を形成する側壁の端部に対向した場合であっても、吸着板１１０とベース基材２０との間の空気が吸引されると、図４（ｃ）に示すように、微細孔１１１を介して外部から吸着板１１０とベース基材２０との間に空気が吸引されることになり、吸着板１１０上にフィルム等のシートが載置された場合、そのシートがその微細孔１１１を介しても吸引されることになる。またその際、フィルム等のシートが載置される面における直径は大きくする必要がないため、吸着板１１０とベース基材２０との間の空気が吸引された場合、吸着板１１０上に載置されたフィルム等のシートがその微細孔１１１に入り込むようにして変形してしまうことはない。
【００３８】
なお、上述した実施の形態においては、支持部材３０として、その側面に、一方の端部から半分の高さまで切り欠かれた２つの貫通孔３１が設けられたものを例に挙げて説明したが、貫通孔は、円筒形状の内部と外部とを連通するものであればこれに限らない。以下に、支持部材３０の変形例について説明する。
【００３９】
図５は、図１に示した支持部材３０の変形例を示す外観斜視図である。
【００４０】
図５に示すように、本例の支持部材１３０は、その側面に、一方の端部から他方の端部まで切り欠かれた２つの貫通孔１３１が設けられて構成されている。このように構成された支持部材１３０においても、円筒形状の内部と外部とが、貫通孔１３１によって連通することにより、上記同様の作用が生じることになる。
【００４１】
なお、支持部材３０，１３０に設けられる貫通孔３１，１３１の数は、上述したように２つに限らない。
【００４２】
また、吸着板１０とベース基材２０との間の空気は、ベース基材２０に形成された吸気孔２１を介してではなく、吸着板１０とベース基材２０との間の側面から吸引される構成としてもよい。
【００４３】
また、吸着板１０とベース基材２０とは、その周囲にて枠材を介して接着または溶着されているものに限らず、例えば、支持部材３０，１３０の内部等の領域にてビスによって固定してもよい。これは、吸着板１０とベース基材２０のサイズが大きくなった場合に特に有効である。吸着板１０及びベース基材２０は、時間の経過や熱によって変形し、吸着板１０が膨張して浮き上がってしまう場合がある。特に、吸着板１０とベース基材２０のサイズが大きくなった場合は、吸着板１０の中央部分の浮き上がりが大きなものとなってしまう。そこで、吸着板１０とベース基材２０とをビスで固定することによって、そのような吸着板１０の浮き上がりを防止することができる。またその際、吸着板１０，１１０やベース基材２０に溝を設けることによって、支持部材３０，１３０を固定することも考えられる。
【００４４】
図６は、図１に示した支持部材３０の固定方法の一例を示す図であり、（ａ）は吸着板側から見た図、（ｂ）は（ａ）に示したＣ−Ｃ’断面図である。
【００４５】
図６に示すように、吸着板３１０とベース基材３２０とのそれぞれに、支持部材３０の形状に合わせて溝３１２，３２２を設けておき、この溝に支持部材３０の端部が嵌合するようにすれば、支持部材３０を吸着板３１０とベース基材３２０との間にてずれることなく固定することができる。特に、上述したように吸着板３１０とベース基材３２０との間の空気の吸引動作は、吸着板３１０とベース基材３２０との間の圧力の急激な変化を伴うため、このように溝３１２，３２２によって支持部材３０を固定することは有効なものとなる。
【符号の説明】
【００４６】
１    吸着テーブル
２    フィルム
１０，１１０，３１０    吸着板
１１，１１１    微細孔
２０，３２０    ベース基材
２１    吸気孔
３０，１３０    支持部材
３１，１３１    貫通孔
３１２，３２２    溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2013197457.tif 000007
【図６】
2013197457.tif 000008
【図７】
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