(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーニング動作により、気泡室内の気泡を排出し易くすることができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路、当該液体導入流路内に混入した気泡を収容する気泡室１８、および、該気泡室１８の底部に設けられたフィルター１９を備えた液体導入部１４と、該液体導入部１４からの液体を液体流路を通じて圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、を備え、フィルター１９の気泡室側の面に、撥液性を有する撥液領域２２が設けられた液体噴射ヘッド。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路、当該液体導入流路内に混入した気泡を収容する気泡室、および、該気泡室の底部に設けられたフィルターを備えた液体導入部と、
該液体導入部からの液体を液体流路を通じて圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、
を備え、
前記フィルターの前記気泡室側の面に、撥液性を有する撥液領域が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記撥液領域は、前記フィルターの外周縁に沿った外周撥液領域に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記フィルターの中央部分に親液性を示す親液領域が設けられたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記フィルターの中央部分には、空隙率が高い高空隙部が設けられ、該高空隙部よりも前記フィルターの外周部分側には、前記高空隙部より空隙率が低い低空隙部が設けられたことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記低空隙部は、気泡が通過しない板状に形成されたことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、液体貯留部材に貯留された液体を液体導入針等の液体導入部を介して圧力室に導入し、この圧力室内に導入された液体をノズルから液滴として吐出する液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
例えば、上記のような記録ヘッドでは、液体状のインクを封入した液体貯留部材としてのインクカートリッジに、液体導入針の一種であるインク導入針を挿入している。これにより、インクカートリッジ内のインクが、インク導入針から記録ヘッド内のインク流路を通じて圧力室側に導入される。そして、圧力発生手段の駆動によって圧力室内に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズルからインクを液滴として噴射（吐出）させている。
【０００４】
ところで、上記構成の記録ヘッドでは、インクカートリッジをインク導入針に接続する際に、インク導入針内に気泡が入りこむ虞があった。この気泡がインク流路を通じて圧力室側に混入すると、記録動作（インク滴の噴射動作）時に生じる圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等の不具合を招く虞がある。
【０００５】
このため、図６に示すように、インク導入針７０内部において、上流側の導入流路７１の下端に連通する気泡室７２と、該気泡室の底部に設けられたフィルター７３と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。これにより、上流側から流下するインクをフィルター７３により濾過してインクに混入した気泡Ｂを気泡室７２内に収容することができ、記録動作時において気泡Ｂが下流側に流れないようにできる。そして、この気泡室７２内に収容された気泡Ｂは、クリーニング動作により強制的に排出される。具体的には、記録動作時よりもインク導入針７０内部のインクの流量を多くすることで、上流側と下流側との間に記録動作時よりも強い圧力差を生じさせる。これにより、図６（ｂ）に示すように、気泡室７２内の気泡Ｂをフィルター７３を通じて強制的に下流側に送ることができ、インクと共にノズルから排出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−００６７３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のようなフィルター７３は、記録動作時において、フィルター７３の表面が気泡Ｂにより覆われることによってフィルター７３を通過するインクの流れが妨げられないように、親液性（フィルター７３に対するインクの接触角θが９０°未満）のフィルター７３が用いられている。しかしながら、このようなフィルター７３では、図６（ｂ）に示すように、クリーニング動作時において気泡Ｂとフィルター７３との接触する面積が小さくなっていた。すなわち、気泡Ｂとフィルター７３との間にインクが回り込み、気泡Ｂを避けてインクが流下していた。その結果、図６（ｃ）に示すように、クリーニング動作時において十分に気泡Ｂを排出することができずに、気泡室７２内に大きな気泡Ｂが残る傾向があった。気泡室７２内に大きな気泡Ｂが残ると、記録動作時において、誤って気泡Ｂが圧力室側に流入したり、インクの圧力室側への流入が妨げられたりする虞がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーニング動作により、気泡室内の気泡を排出し易くすることができる液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、内部に液体を貯留した液体貯留部材からの液体を導入する液体導入流路、当該液体導入流路内に混入した気泡を収容する気泡室、および、該気泡室の底部に設けられたフィルターを備えた液体導入部と、
該液体導入部からの液体を液体流路を通じて圧力室に導入し、該圧力室内の液体をノズルから液滴として吐出可能な液体噴射ヘッド本体と、
を備え、
前記フィルターの前記気泡室側の面に、撥液性を有する撥液領域が設けられたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドによれば、クリーニング動作時において、撥液領域によって気泡がフィルターの表面に広がって接触するため、フィルターと気泡との接触面積を広くすることができる。これにより、フィルターを通じて効率よく気泡を排出することができる。その結果、気泡室内の気泡を無くすこと、あるいは、気泡室内に残る気泡を少なくすることができる。なお、撥液性とは、フィルターに対する液体の接触角が９０°以上であることを言う。
【００１１】
上記構成において、前記撥液領域は、前記フィルターの外周縁に沿った外周撥液領域に設けられたことが望ましい。
【００１２】
また、上記各構成において、前記フィルターの中央部分に親液性を示す親液領域が設けられたことが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、クリーニング動作後において、中央部分に気泡が残ったとしても、この気泡をフィルターから確実に離間させることができる。これにより、記録動作時において、気泡によってフィルターを通過するインクの流れが妨げられることを防止できる。なお、親液性とは、フィルターに対する液体の接触角が９０°未満であることを言う。
【００１４】
上記各構成において、前記フィルターの中央部分には、空隙率が高い高空隙部が設けられ、該高空隙部よりも前記フィルターの外周部分側には、前記高空隙部より空隙率が低い低空隙部が設けられたことが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、フィルターに接触した気泡のうち、気泡が集まり易い中央部分に、圧力を集中することができる。これにより、クリーニング動作によって、フィルターを通じて更に効率よく気泡を排出することができる。
【００１６】
上記構成において、前記フィルターの低空隙部は、気泡が通過しない板状に形成されたことが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、フィルターに接触した気泡のうち、気泡が集まり易い中央部分に、圧力をより集中することができる。これにより、クリーニング動作によって、フィルターを通じて一層効率よく気泡を排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】プリンターの斜視図である。
【図２】（ａ）は液体導入針の断面図、（ｂ）はフィルターの上面図である。
【図３】記録ヘッド本体の要部断面図である。
【図４】気泡室からの気泡の排出を説明する模式図である。
【図５】（ａ）は第２実施形態における液体導入針の断面図、（ｂ）は第２実施形態におけるフィルターの上面図である。
【図６】従来の液体導入針における気泡室からの気泡の排出を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００２０】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド２が取り付けられると共に、内部にインク（液体の一種）を貯留したインクカートリッジ３（本発明における液体貯留部材に相当）が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４を備えている。このキャリッジ４の後部には、キャリッジ４を記録紙５（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構６を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド２の下方には、間隔を空けてプラテン７を備えている。そして、このプラテン７上には、プリンター１の後方に備えた搬送機構８によって、記録紙５が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
【００２１】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構６の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー１０によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信する。キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙５上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
【００２２】
また、ホームポジションには、記録ヘッド２のノズル形成面（ノズルプレート３６：図３参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。キャッピング部材１１は、長方形状の底部とこの底部の周縁から起立する側壁部とを有する上面が開放したトレイ状の部材であり、ゴム等の弾性部材により形成される。また、キャッピング部材１１には、その内側を減圧するポンプ（図示せず）が接続されている。これにより、ノズル形成面をキャッピング部材１１により封止した後でポンプを動作させることで、記録ヘッド２内の気泡や増粘したインクを吸引することができる（クリーニング動作）。なお、クリーニング動作では、記録動作によりノズル４０から吐出されるインクよりも多くのインクが吸引される。
【００２３】
記録ヘッド２は、インクカートリッジ３の内部に接続される液体導入針１４（本発明における液体導入部に相当）と該液体導入部の下方に備えられた記録ヘッド本体１５（本発明における液体噴射ヘッド本体に相当）とから構成される。本実施形態の液体導入針１４は、記録ヘッド本体１５の上部に設けられている。このため、インクカートリッジ３を記録ヘッド２に装着すると、液体導入針１４がインクカートリッジ３の内部に挿入される。
【００２４】
液体導入針１４は、その内部に導入流路１７および気泡室１８が形成されている。また、液体導入針１４の尖端部には、液体導入孔１６が複数開設されている。この液体導入孔１６は、インクカートリッジ３からの液体を導入流路１７に導入する。導入流路１７は、上端部が液体導入孔１６と連通され、下端部が気泡室１８と連通された円筒状の流路である。なお、液体導入孔１６および導入流路１７が本発明における液体導入流路に相当する。
【００２５】
気泡室１８は、導入流路１７内に混入した気泡Ｂを収容する室であり、底部の開口に記録ヘッド本体側のフィルター１９が臨む。本実施形態の気泡室１８は、導入流路１７側からフィルター１９側に向けて次第に内径を広げた形状に形成されている。ヘッド本体１５において、この気泡室１８に対応する部分には、フィルター１９側から下流側に向けて次第に内径を狭めた漏斗状のフィルター室２０が形成されている。このフィルター室２０の上流側開口部にフィルター１９が配設されている。すなわち、フィルター１９は、気泡室１８とフィルター室２０との境界に位置し、気泡室１８側からフィルター室２０側に向かうインクを濾過している。また、フィルター室２０は、下側が連通流路２１と連通されている。この連通流路２１は、上端部がフィルター室２０と連通され、下端部が後述するケース流路３０と連通されている。
【００２６】
上記したフィルター１９は、例えば、金属等からなる細い線を網目状に織って形成される。このフィルター１９の気泡室１８側の面には、撥液性（フィルター１９に対するインクの接触角が９０°以上）を有する撥液領域２２が設けられている。本実施形態では、フィルター１９の気泡室１８側の面全体がコーティングされることで撥液性を有するように構成されている。すなわち、フィルター１９の気泡室１８側の全面が撥液領域２２となっている。このようなフィルター１９は、例えば、金属製のフィルター基材に撥液性を有する材料（シリコン樹脂、フッ素樹脂等）をコーティングすることで作成される。また、図２（ｂ）に示すように、フィルター１９の中央部分には、空隙率が高い高空隙部２３が設けられ、フィルター１９の外周部分（高空隙部２３よりも外周部分側）には、高空隙部２３よりも空隙率が低い低空隙部２４が設けられている。すなわち、インク、および、クリーニング動作時の気泡Ｂは、高空隙部２３を通り易くなっている。なお、クリーニング動作については、後述する。
【００２７】
記録ヘッド本体１５は、図３に示すように、ヘッドケース２６、振動子ユニット２７、及び流路ユニット２８から構成されている。ヘッドケース２６は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット２８を固定し、ケース内部に形成された収容空部２９内には振動子ユニット２７を収容している。また、ヘッドケース２６の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路３０が形成されている。このケース流路３０は、液体導入針１４からのインクを後述するリザーバー３１に供給するための流路であり、上端部が連通流路２１と連通している。
【００２８】
振動子ユニット２７は、櫛歯状に列設された複数の圧電素子３２と、この圧電素子３２に駆動基板からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル３３（配線部材）と、圧電素子３２の一側端部を固定する固定板３４と、から構成される。圧電素子３２の固定板３４に固定されない自由端部の先端面は、後述する島部４６（振動板３７）に接合されている。そして、この圧電素子３２は、駆動信号の印加により伸縮して圧力室３９の容積を膨張又は収縮することで、圧力室３９内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル４０からインクを噴射させることができる。
【００２９】
流路ユニット２８は、流路形成基板３５の一方の面にノズルプレート３６を、流路形成基板３５の他方の面に振動板３７をそれぞれ接合して構成されている。この流路ユニット２８には、リザーバー３１（共通液室）、インク供給口３８、および圧力室３９からなる一連の流路が設けられている。リザーバー３１は、ノズル列方向に沿って長尺な空部であり、その上部にケース流路３０が連通されている。インク供給口３８は、各圧力室３９とリザーバー３１を連通させる流路幅の狭い狭窄部である。圧力室３９は、ノズル列に直交する方向に沿って長尺な空部であり、ノズル４０が連通（開口）されている。なお、ケース流路３０、リザーバー３１、および、インク供給口３８からなる一連の流路が本発明における液体流路に相当し、この液体流路を通じて液体導入針１４からのインクを圧力室３９に導入している。
【００３０】
上記ノズルプレート３６は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル４０が列状に穿設されたステンレスやシリコン結晶等の薄いプレートである。本実施形態のノズル列は、例えば１８０個のノズル４０によって構成されている。
【００３１】
上記振動板３７は、支持板４２の表面に弾性体膜４３を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板４２とし、この支持板４２の表面に樹脂フィルムを弾性体膜４３としてラミネートした複合板材を用いて振動板３７が作製されている。この振動板３７には、圧力室３９の容積を変化させるダイヤフラム部４４が設けられている。また、この振動板３７には、リザーバー３１の一部を封止するコンプライアンス部４５が設けられている。
【００３２】
上記のダイヤフラム部４４は、エッチング加工等によって圧力室３９に対向する領域の支持板４２を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部４４は、圧電素子３２の自由端部（固定板３４に固定される側とは反対側の端部）の先端面が接合される島部４６と、この島部４６を囲む薄肉弾性部とからなる。上記のコンプライアンス部４５は、リザーバー３１の開口面に対向する領域の支持板４２を、ダイヤフラム部４４と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製され、リザーバー３１に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。
【００３３】
そして、上記の島部４６には圧電素子３２の先端面が接合されているので、この圧電素子３２の自由端部を伸縮させることで圧力室３９の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力室３９内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド本体１５は、この圧力変動を利用してノズル４０からインク滴を噴射（吐出）する。
【００３４】
次に、気泡室１８の気泡の排出について、図４を用いて説明する。例えば、クリーニング動作により、記録ヘッド本体１５（リザーバー３１）内の圧力が低下すると、インクカートリッジ３から液体導入孔１６を介して導入流路１７内にインクが導入される。これにより、導入流路１７から連通流路２１に向かうインクの流れが生じる。図４（ａ）に示すように、このインクの流れに伴って気泡室１８内の気泡Ｂがフィルター１９側に移動し、フィルター１９に接触する。本実施形態では、フィルター１９の気泡室１８側の全面が撥液領域２２（フィルター１９に対するインクの接触角θが９０°以上）となっているため、図４（ｂ）に示すように、気泡Ｂがフィルター１９の表面に広がって接触する。詳しくは、フィルター１９に接触した気泡Ｂは、フィルター１９の平面視においてフィルター１９の中心部分から同心円状に広がった状態、かつ、この中心部分が盛り上がった状態になっている。そして、気泡Ｂとインクとの境界のうちフィルター１９と接触する部分の接線と、フィルター表面とのなす角が接触角θになっている。
【００３５】
気泡Ｂがフィルター１９の表面に広がって接触すると、インクのフィルター１９を通過できる部分が少なくなり、インクの流れが阻害される。これにより、気泡室１８とフィルター室２０との間に比較的大きな圧力差が生じる。その結果、気泡Ｂがフィルター室２０側に排出され易くなる。そして、フィルター室２０側に排出された気泡Ｂは、インクの流れに乗ってノズル４０から排出される。特に、本実施形態では、気泡Ｂの量が多いフィルター１９の中央部分に高空隙部２３が設けられているため、この高空隙部２３から集中的に気泡Ｂを排出することができる（図４（ｂ）参照）。これにより、気泡Ｂの排出効率を高めることができ、クリーニング動作で排出されずに気泡室１８内に取り残される気泡Ｂを減らすことができる。
【００３６】
なお、図４（ｃ）に示すように、クリーニング動作で排出されずに気泡室１８内に取り残された気泡Ｂは、浮力により上昇し、フィルター１９から離間する。また、記録動作時は、クリーニング動作時に比べてノズル４０から排出するインクの量が少なく、液体導入針１４内を流れるインクの量も少ないため、気泡Ｂがフィルター１９側に移動しない。このため、記録動作時においては、記録ヘッド本体１５側への気泡Ｂの排出が抑制される。
【００３７】
このように、クリーニング動作時において、撥液領域２２によって気泡Ｂがフィルター１９の表面に広がって接触するため、フィルター１９と気泡Ｂとの接触面積を広くすることができる。これにより、フィルター１９を通じて効率よく気泡Ｂを排出することができる。その結果、気泡室１８内の気泡Ｂを無くすこと、あるいは、気泡室１８内に残る気泡Ｂを少なくすることができる。また、本実施形態では、フィルター１９の中央部分に高空隙部２３を設けたので、フィルター１９に接触した気泡Ｂのうち、気泡Ｂが集まり易い中央部分に圧力を集中することができる。これにより、クリーニング動作によって、フィルター１９を通じて更に効率よく気泡Ｂを排出することができる。
【００３８】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、図５に示す第２の実施形態の液体導入針１４では、フィルター１９′の低空隙部を気泡Ｂが通過しない板状（空隙率がほぼ０％）に形成されている。本実施形態のフィルター１９′の低空隙部は、例えば撥液性を有するシリコン樹脂等からなる円形状の板部２４′によって形成される。この板部２４′の中央部分を開口し、この開口部分に通過するインクを濾過でき、かつ、撥液性を有するフィルター部２３′を備えている。なお、その他の構成は、上記実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００３９】
このようにすれば、クリーニング動作時において、気泡Ｂが板部２４′の表面に広がって接触するため、フィルター部２３′の全面を覆うように気泡Ｂが接触することができる。これにより、フィルター部２３′を通じて効率よく気泡Ｂを排出することができる。また、フィルター１９′の中央部分をフィルター部２３′とし、低空隙部を板部２４′としたので、フィルター１９′に接触した気泡Ｂのうち、気泡Ｂが集まり易い中央部分に、圧力をより集中させることができる。これにより、クリーニング動作によって、フィルター１９′を通じて一層効率よく気泡Ｂを排出することができる。
【００４０】
また、上記実施形態では、フィルター１９の気泡室１８側の全面を撥液領域２２としたが、これには限らず、フィルター１９の外周縁に沿った領域（外周撥液領域）に設けてもよい。例えば、第１の実施形態における低空隙部２４の気泡室１８側の面を、撥液性を有する外周撥液領域とすることができる。また、フィルター１９の中央部分に親液性（フィルター１９に対するインクの接触角が９０°未満）を示す親液領域を設けることもできる。例えば、第１の実施形態における高空隙部２３の気泡室１８側の面を親液領域とすることができる。親液領域では、気泡の下側にインクが回り込み、フィルター１９と気泡との接触面積が小さくなるため、気泡がフィルター１９から離間し易くなる。
【００４１】
このようにすれば、クリーニング動作時において、親液領域の外側の外周縁（外周撥液領域）に気泡が広がって接触するため、フィルター１９と気泡との接触面積を広くすることができる。これにより、フィルター１９を通じて効率よく気泡を排出することができる。また、クリーニング動作後において、中央部分に気泡が残ったとしても、この気泡をフィルター１９から確実に離間させることができる。これにより、記録動作時において、気泡によってフィルター１９を通過するインクの流れが妨げられることを防止できる。
【００４２】
さらに、上記実施形態では、液体導入部として液体導入針１４を例示したが、これには限られず、例えば、インク供給チューブを通じて記録ヘッド側にインクを供給するタイプを採用することも可能である。このようなタイプのプリンターでは、インクカートリッジが記録ヘッド側に装着されず、プリンターの筐体側に装着されている。そして、インク供給チューブは、一端がインクカートリッジに連通され、他端が記録ヘッドの気泡室に連通されている。これにより、インクカートリッジからのインクは、インク供給チューブを通じて記録ヘッド側に供給される。この場合、インク供給チューブが本発明における液体導入流路に相当する。
【００４３】
また、上記した各実施形態では、圧力発生手段として、所謂縦振動型の圧電素子３２を例示したが、これには限られず、例えば、所謂撓み振動型の圧電素子を採用することも可能である。その他、圧力発生手段としては、発熱によりインクを突沸させることで圧力変動を生じさせる発熱素子や、静電気力により圧力室の区画壁を変位させることで圧力変動を生じさせる静電アクチュエーターなどの圧力発生手段を採用する構成においても本発明を適用することが可能である。
【００４４】
そして、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４５】
１…プリンター，２…記録ヘッド，３…インクカートリッジ，１４…液体導入針，１５…記録ヘッド本体，１６…液体導入孔，１７…導入流路，１８…気泡室，１９…フィルター，２０…フィルター室，２１…連通流路，２２…撥液領域，２３…高空隙部，２４…低空隙部，２７…振動子ユニット，２８…流路ユニット，３０…ケース流路，３１…リザーバー，３２…圧電素子，３９…圧力室，４０…ノズル
【図１】
2013116564.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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