(57)【要約】【課題】マスクと電極との間に形成された電界によって、帯電性粒子を含んだ粒子群をセル内に均一に充填する。【解決手段】隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体のセル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法であって、セルの開口部が下向きになるように、基板を配置し、セルの開口部に対応して、隔壁と近接させてマスクを配置し、マスクの下に、マスクと接触させて、粒子群が充填された粒子供給体を配置し、マスクと基板に形成された電極との間に電位差を形成し、粒子供給体を、マスクと接触させながら移動して、粒子群を帯電させるとともに、マスクと電極との間に形成された電界により、マスクに形成された開口部を介してセルに粒子群を充填する。【選択図】図２
2013171124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体の前記セル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法であって、
前記セルの開口部が下向きになるように、前記基板を配置し、
前記セルの開口部に対応して、前記隔壁と近接させてマスクを配置し、
前記マスクの下に、前記マスクと接触させて、粒子群が充填された粒子供給体を配置し、
前記マスクと前記基板に形成された電極との間に電位差を形成し、
前記粒子供給体を、前記マスクと接触させながら移動して、前記粒子群を帯電させるとともに、前記マスクと前記電極との間に形成された電界により、前記マスクに形成された開口部を介して前記セルに前記粒子群を充填する、
ことを特徴とする粒子群の充填方法。
【請求項２】
前記電極または前記マスクのいずれかを接地することを特徴とする請求項１に記載の粒子群の充填方法。
【請求項３】
前記電位差を形成するための印加電圧は、一定の電圧波形にサイン波が重畳されている電圧であることを特徴とする請求項１または２に記載の粒子群の充填方法。
【請求項４】
隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体の前記セル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する粒子群充填装置であって、
基板構造体を固定するステージと、
前記セルの開口部に対応して、前記隔壁と近接させてマスクを配置するマスク配置手段と、
前記基板構造体に形成された電極と、前記マスクと、の間に電位差を形成する手段と、
前記マスクの下側に配置された粒子供給体と、を具備し、
前記粒子供給体を、前記マスクに接触させながら移動させ、前記粒子群を帯電させるとともに、前記マスクと前記電極との間に形成された電界により、前記マスクに形成された開口部を介して前記セルに前記粒子群を充填する、
ことを特徴とする粒子群充填装置。
【請求項５】
前記マスク配置手段は、
前記マスクの開口部と、前記ステージに固定された基板構造体の前記セルの位置と、を位置決めし、
前記マスクを前記ステージ側に上昇、または、前記ステージを前記マスク側に下降させ、
前記マスクに形成したマスクアライメント孔に、前記ステージ側に形成したテーパー形状の先端部を挿入して位置合わせし配置する、
ことを特徴とする請求項４に記載の粒子群充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報表示用パネルのようなパネル構造体の製造時に用いられ、隔壁および隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体のセル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法に関するものである。
【０００２】
情報表示用パネルのようなパネル構造体を製造する際に、帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法としては、パネルの基板上にマスクを配置し、そのマスク上で粒子群移動部材を移動させて、粒子群を、マスクの開口部を介して基板上に形成された隔壁で区画されたセル内に充填する方法が提案されている。例えば、特許文献１には、マスクを基板からわずかに離して配置し、マスクと基板に設けた電極との電位を制御しながら粒子群を充填する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２７１５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した充填方法では、マスクと電極との間に形成された電界により粒子群を充填することを意図しているが、粒子群、特に、粒子単体同士が凝集した凝集塊が重力により落下して、セル内に充填されていた。このように、凝集塊がセル内に混入すると、情報表示用パネルの場合にはその表示画像にむらが発生していた。
そこで、本発明は、マスクと電極との間に形成された電界によって、帯電性粒子を含んだ粒子群をセル内に均一に充填する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、パネル構造体の基板上に形成された隔壁で区画されたセル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法であって、前記セルの開口部が下向きになるように、前記基板を配置し、前記セルの開口部に対応して、前記隔壁と近接させてマスクを配置し、前記マスクの下に、前記マスクと接触させて、粒子群が充填された粒子供給体を配置し、前記マスクと前記基板に形成された電極との間に電位差を形成し、前記粒子供給体を、前記マスクと接触させながら移動して、前記粒子群を帯電させるとともに、前記マスクと前記電極との間に形成された電界により、前記マスクに形成された開口部を介して前記セルに前記粒子群を充填することを特徴とするものである。
【０００６】
本発明は、前記電極または前記マスクのいずれかを接地すること、前記電位差を形成するための印加電圧は、一定の電圧波形にサイン波が重畳されていることが好適である。
【０００７】
本発明の粒子群充填装置は、隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体の前記セル内に帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する粒子群充填装置であって、基板構造体を固定するステージと、前記セルの開口部に対応して、前記隔壁と近接させてマスクを配置するマスク配置手段と、前記基板構造体に形成された電極と、前記マスクと、の間に電位差を形成する手段と、前記マスクの下側に配置された粒子供給体と、を具備し、前記粒子供給体を、前記マスクに接触させながら移動させ、前記粒子群を帯電させるとともに、前記マスクと前記電極との間に形成された電界により、前記マスクに形成された開口部を介して前記セルに前記粒子群を充填することを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の粒子群充填装置では、前記マスク配置手段は、前記マスクの開口部と、前記ステージに固定された基板構造体の前記セルの位置と、を位置決めし、前記マスクを前記ステージ側に上昇、または、前記ステージを前記マスク側に下降させ、前記マスクに形成したマスクアライメント孔に、前記ステージ側に形成したテーパー形状の先端部を挿入して位置合わせし配置することが好適である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により、マスクと電極との間に形成される電界によって、粒子群を、隔壁で区画されたセルが形成された基板構造体のセル内に均一に充填する方法を提供し、情報表示用パネルにおいては、均一な表示特性を有する情報表示用パネルを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の対象となる情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】パネル構造体を製造する際の、帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法を説明するための図である。
【図３】粒子供給体に粒子群を供給する方法を説明するための図である。
【図４】印加電圧に重畳するサイン波の例を示す図である。
【図５】マスクの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
まず、本発明の対象となるパネル構造体の一例である情報表示用パネルについて説明する。本発明の対象となる情報表示用パネルは、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とし、この粒子群を電界で移動させる。この情報表示用パネルでは、対向する基板間に配置した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、粒子群が電界による力やクーロン力等によって引き寄せられ、粒子群が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。したがって、表示媒体とする粒子群が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付け合う力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力等が考えられる。
【００１２】
図１を参照して、上述した帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする情報表示用パネルの一例を説明する。
図１に示す例では、光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと、正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で区画形成された各セル７において、背面側の基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明な基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向交差（好ましくは対向直交交差）して形成する電極対に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と略垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を行う。マトリックス配置した電極対によって、画素（ドット）となる白黒のドットマトリックス表示を行うことができる。
なお、図１において、図面手前にある隔壁は省略している。ここではセルと画素（ドット）とが一対一に対応する例を示しているが、セルと画素とは対応していなくてもよい。なお、隔壁４と基板１とは接着剤８を介して接着されている。
【００１３】
本発明は、上述した情報表示用パネルのようなパネル構造体を製造する際の、帯電性粒子を含んだ粒子群を充填する方法に関するものであり、以下、本発明の特徴を説明する。
図２（ａ）に示すように、ステージ２０の下に、隔壁４が形成された基板１を、セル７の開口部が鉛直方向下向きになるように配置する。ステージ２０と基板１とは、例えば真空チャックにより固定されている。なお、ステージ２０の上に基板１を配置した後、ステージを１８０°回転させてもよい。
この基板１の下に、隔壁４と近接させてマスク２１を配置する。マスク２１は、開口部２１ａとマスク部２１ｂとを有し、開口部２１ａを、セル７の開口部に対応させる。図示例では、１つのセル７に１つの開口部２１ａを対応させているが、１つのセル７に複数の開口部２１ａを対応させてもよい。なお、近接とは隔壁とマスクとの間に加える電圧の大きさにより異なるが、絶縁破壊しない程度の距離を有することを言い、例えば２ｍｍ以下の距離を有する。また、隔壁４とマスク２１とが絶縁されていれば、隔壁４と接触させてマスク２１を配置してもよい。
マスク２１の下に、マスク２１と接触させて、粒子群（図示例では、黒色粒子群３Ｂ）が充填された粒子供給体２２を配置する。
次に、一定の電圧波形の電圧Ｖ０を印加して、マスク２１と、基板１に設けた電極５と、の間に電位差Ｖ０を形成し、マスク２１と電極５との間に電界を生成する。
粒子供給体２２をマスク２１と接触させながら図中矢印方向に移動する。粒子供給体２２とマスク２１とを擦ることにより静電気が発生し、この静電気により、粒子供給体２２内のマスク２１近傍に存在する粒子群を帯電させる。このように帯電した粒子群を、マスク２１と電極５との間に形成された電界により図中上方に移動させ、セル７に充填する（図２（ｂ））。
【００１４】
電界はマスク２１と電極５との間に形成され、マスク２１の下側には存在しない。すなわち、粒子供給体２２内の底部に存在する粒子群に対して、電界は影響しない。それゆえ、マスク２１と電極５との間に形成された電界によって、粒子供給体２２とマスク２１とを擦ることにより発生した静電気によって帯電した粒子群をセル７に移動させるためには、帯電した粒子群をマスク２１の開口部２１ａまたはマスク２１上に存在させる必要がある。
帯電した粒子群の一部は静電気力により開口部２１ａまたはマスク２１上に存在するが、粒子供給体２２を振動させる、あるいは、粒子供給体２２をマスク２１に対して押し付けて、帯電した粒子群を開口部２１ａまたはマスク２１上に確実に存在させることが好ましい。
また、マスク２１近傍の粒子群のみが帯電するため、粒子群の充填に伴って、粒子供給体２２内部の粒子群が減少したら、粒子供給体２２に新たな粒子群を供給する、あるいは、粒子供給体２２の底部を上昇させることが好ましい。
なお、粒子供給体２２に粒子群を供給する方法としては、振動フィーダー等を用いる方法が考えられる。例えば、図３（ａ）に示すように、粒子供給体２２にガイド部２３を設け、ガイド部２３に沿って粒子群を粒子供給体２２内に供給する。その後、図３（ｂ）に示すように、ガイド部２３を用いて、粒子供給体２２の表面をすりきることにより、余分な粒子群を除去し、図３（ｃ）に示すように粒子群の供給が完了する。
【００１５】
本発明では、セル７の開口部が下向きになるように基板１を配置することにより、重力の影響を受けずに電界の影響だけを利用して、粒子群を下から上に移動させてセル７内に充填するため、粒子の凝集塊をセル７内に充填することがなくなり、情報表示用パネルの製造においては、均一な表示特性を有する情報表示用パネルを製造することができる。なお、セルの開口部が鉛直下向き近傍になるように基板を配置する方が、より電界の力だけを利用して粒子を充填することができるという理由から好ましい。
さらに、粒子供給体２２とマスク２１とを擦ることにより静電気を発生させ、この静電気を利用して粒子群を帯電させるため、粒子群を直接摩擦する必要がない。それゆえ、従来の粒子群移動部材を用いてマスク上の粒子群を移動させながら粒子の充填を行う方法における粒子群がマスクと擦れて損傷するといった問題や、ベルトコンベア上で整列させる際に粒子群が粒子群移動部材と擦れて損傷するといった問題を防止することができる。その結果、損傷した粒子群がセル７内に充填され、情報表示用パネルの製造においては、情報表示用パネルのコントラスト低下のような現象を防止することができる。
また、上記した粒子群移動部材を用いてマスク上の粒子群を移動させながら粒子の充填を行う方法では、粒子群の充填が完了後にマスク上に残存した粒子群は廃棄されていたが、本発明では、粒子供給体２２内の粒子群を廃棄せずに使用することができるといった効果も有している。
【００１６】
本発明において「基板の電極」という用語は、図示例のように基板１の内表面に設けられた電極５だけでなく、基板１の内部に埋設された電極および基板１の外部に設けた電極も含むものとする。
また、マスク２１と粒子供給体２２とは接触しているので、粒子供給体２２に電圧Ｖ０を印加してもよい。
【００１７】
上述した例では、基板１に設けた電極５を接地していたが（すなわち、電極５の電位は０Ｖである）、マスク２１に電圧Ｖ１、電極に電圧Ｖ２を印加して電位差Ｖ０とすることもできる。
【００１８】
また、印加電圧は、電圧値Ｖ０の直流（ＤＣ）または交流（ＡＣ）電圧（一定の電圧波形）に、図４（ａ）に示すサイン波（Ｓｉｎ波）または、図４（ｂ）に示す方形波または、図４（ｃ）に示す三角波が重畳されている電圧であることが好ましい。方形波や三角波は、周波数の異なる複数のサイン波を、フーリエ変換を適用して合成して得られるので、サイン波は、方形波（図４（ｂ）に示す）や三角波（図４（ｃ）に示す）を含むといえる。このような波形（サイン波）が重畳された電圧を印加することにより、粒子群を微視的に振動させ、摩擦させることにより、粒子群を構成するそれぞれの粒子の帯電量を大きくすることおよび粒子群の帯電量の均質化を図ることができる。したがって、粒子群をセル内に効率的に充填することができる。電圧Ｖ０は、直流（ＤＣ）であれば、＋Ｖ０でも−Ｖ０でもよい。また、電圧Ｖ０の一定の電圧波形に重畳するサイン波（方形波、三角波を含む）も、プラス側やマイナス側にあってもよい。
サイン波を重畳することにより、粒子群を微視的に振動させ、摩擦させることができ、粒子群を形成するそれぞれの粒子の帯電量を大きくすることと、粒子群の帯電量の均質化を図ることができる。したがって、粒子群をセル内に効率的に充填できる。
【００１９】
印加電圧Ｖ０は、粒子群がマスク２１から基板１へ飛翔を始める電圧より大きく、放電する電圧より小さければよい。
【００２０】
また、上述した粒子群を充填する工程の前に、マスク２１と電極５との間の距離をマスク２１全体にわたって測定し、測定した距離に基づいて、マスク２１と電極５との間の距離を制御する、あるいは、マスク２１と電極５との間に印加する電圧を制御することが好ましい。これにより、基板１、電極５、マスク２１等の厚みのばらつきおよび傾きがあっても、マスク２１と電極５との間の電界をマスク２１の全面にわたり一定にすることができるので、均一な粒子群の充填を行うことができる。
なお、本発明において、マスク２１と電極５との距離は１０ｍｍ以下であり、マスク２１と電極５との間に印加する電圧は１０ｋＶ以下である。
【００２１】
また、本発明の粒子群充填装置では、マスク２１を配置する手段は、マスク２１の開口部２１ａと、ステージ２０に固定された基板のセル７の位置と、を位置決めする。また、マスク２１をステージ２０側に上昇させる、または、ステージ２０をマスク２１側に下降させ、マスク２１に形成したマスクアライメント孔に、ステージ２０側に形成したテーパー形状の先端部を挿入して位置合わせし配置することが好適である。
【００２２】
なお、本発明は上述した例に限定されるものではない。
例えば、１つの粒子供給体２２をマスク２１の一端から他端まで移動させる場合を図示したが、複数の粒子供給体２２を用いることもできる。
また、粒子群を充填する工程は、上述した順番に限定されるものではない。すなわち、基板１をステージ２０に配置する工程、マスク２１を配置する工程、粒子供給体２２を配置する工程は、任意の順番にすることができる。
【００２３】
マスク２１は、マスク２１と電極５との間に電位差を形成して電界を形成できる構造であればよい。具体的には、マスク２１と電極５とのいずれか一方に電圧を印加して他方を接地したり、マスク２１と電極５との双方に電圧を印加したりする。
マスク２１の構成としては、図５（ａ）に示すように、非導電性材層で構成したマスク２１、図５（ｂ）に示すように、導電性の金属層または有機導電体の層と、この導電性の金属層または有機導電体の層の両面の絶縁層と、で構成したマスク２１、図５（ｃ）に示すように、導電性の金属層または有機導電体の層と、この導電性の金属層または有機導電体の層の、隔壁４側と反両面の絶縁層と、で構成したマスク２１、図５（ｄ）に示すように、絶縁層または導電性の金属層または有機導電体の層内に繊維を編んで構成したメッシュを含むマスク２１、図５（ｅ）に示すように、導電性の金属層または有機導電体の層と、この導電性の金属層または有機導電体の層の、隔壁４側の絶縁層と、で構成したマスク２１、図５（ｆ）に示すように、導電性の金属層や有機導電体の層だけで構成したマスク２１が挙げられる。
図５の右端に示した矢印Ａは、マスク２１の形態として好ましい方向を、すなわち、矢印側に行くほど好ましいマスク２１の形態であることを示している。
なお、絶縁層とは、例えば体積抵抗率の大きい樹脂層である。また、有機導電体とは、導電性を有するプラスチックなどの体積抵抗率の小さい樹脂である。
粒子群に接触する側（粒子供給体側）の面が金属や有機導電体のような導電性材の層であると、マスク２１の表面に電荷を帯びないので好ましい。マスク２１の表面に電荷を帯びると、静電気により粒子の状態が不安定になり、充填された時に充填むらを発生させてしまうためである。それゆえ、図５に示す構成では、下に行くほど好ましい。
なお、絶縁層とは、例えば体積抵抗率が、１×１０１０Ω・ｃｍ以上の樹脂層である。
【００２４】
マスク２１は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル、アルミニウム、鉄、銅等の導電性金属を用いた導電性マスクや有機導電体で構成した導電性マスクとするのが好ましい。また、これら導電性材料を用いた導電性マスクと汎用プラスチックのような非導電性材料を用いた非導電性マスクとを例えば積層するなどして組み合わせた導電性マスク等とすることができる。
この積層型の導電性マスクの作製方法としては、非導電性材料製マスクに導電性材料製マスクを積層したり、非導電性材料製マスクに導電性材料をコーティングしたりする方法が挙げられる。コーティング方法には、塗布法、蒸着法、スパッタ法、転写法などを用いることができる。一方の面を非導電性材料製マスク、もう一方の面を導電性材料製マスクとした二層構造にしたり、中心を非導電性材料製マスクとしその両面に導電性材料製マスクを積層した三層構造にしたりすることができる。
導電性のメタルマスクの作製方法としては、ニッケル電鋳法が知られている。ニッケルのような導電性メタルを電鋳法で作製したマスクは導電性を有しているとともに、精細な開口を精度よく配置した構成とすることができるので、本発明で用いるマスクとして好適である。
マスク２１の厚さは、充填する粒子群の種類にもよるが、粒子径に合わせて決められる。平均粒子径が５μｍ〜２０μｍの粒子群の場合のマスク厚は、２５μｍ〜１００μｍの範囲で決められる。
【００２５】
粒子供給体２２は、電気的に絶縁な樹脂を用いることが望ましい。構成材として例示するとポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂等が挙げられる。
【００２６】
以下、本発明の対象となる情報表示用パネルのようなパネル構造体を構成するその他の部材について説明する。
【００２７】
まず、隔壁の形状は、表示にかかわる表示媒体の種類や、配置する電極の形状、配置により適宜最適に設定され、特に限定はされないが、隔壁の幅は２μｍ〜１００μｍ、好ましくは３μｍ〜５０μｍとし、隔壁の高さは１０μｍ〜５００μｍ、好ましくは１０μｍ〜２００μｍとする。基板間ギャップを確保するために配置する隔壁の高さは、確保したい基板間ギャップと合わせる。基板間空間をセルに仕切るために配置する隔壁の高さは、基板間ギャップと同じにしても、幾分低くしてもよい。
また、隔壁を形成するにあたり、対向する両基板１、２の各々にリブを形成した後に接合する両リブ法、片側の基板上にのみリブを形成する片リブ法が考えられる。この発明では、いずれの方法も好適に使用できる。この隔壁により区画されるセルの形状は、基板平面方向からみて四角状、三角状、六角状、円形状、ライン状が例示され、配置としては格子状やハニカム状、網目状が例示される。なお、隔壁（リブ）の幅はできるだけ小さくした方が良く、表示状態の鮮明さが増す。
ここで、隔壁の形成方法を例示すると、金型転写法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、フォトリソ法、アディティブ法が挙げられる。いずれの方法もこの発明の対象となる情報表示用パネルに好適に用いることができるが、これらのうち、レジストフィルムや液状レジスト材を用いるフォトリソグラフィー法や金型転写法は特に好適である。
【００２８】
情報表示用パネルの基板としては、少なくとも一方の基板はパネル外側から表示媒体としている粒子群を確認できる透明基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。もう一方の基板となる背面側基板は、透明でも不透明でも構わない。基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルサルフィン（ＰＥＳ）、アクリル等のプラスチック基板や、ガラスシート、石英シート、絶縁膜で被覆した金属シート等を用い、観察側にはこのうち透明なものを用いる。基板の厚みは、好ましくは２μｍ〜２０００μｍであり、さらに好ましくは５μｍ〜１０００μｍである。薄すぎると、強度、基板間の隔壁均一性を保ちにくくなり、２０００μｍより厚いと、薄型の情報表示用パネルとする場合に不都合だからである。
【００２９】
電極の材料としては、アルミニウム、銀、ニッケル、銅、金等の金属類や酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、酸化インジウム、導電性酸化錫、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳなどがある）等の導電性高分子類が例示され、適宜選択して用いられる。なお、電極の厚みは、導電性や光透過性を鑑みて決定され、０．０１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．０５μｍ〜５μｍである。背面側基板に設ける電極の材質や厚みについては、光透過性を鑑みる必要はない。
【００３０】
情報表示用パネルの表示媒体とする帯電性粒子は平均粒子径ｄ（０．５）が、１μｍ〜２０μｍの範囲であり、均一で揃っていることが好ましい。平均粒子径ｄ(０．５)がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために粒子群としての移動に支障をきたすようになる。
【実施例】
【００３１】
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例１および実施例２によって製造した情報表示用パネルの表示性能について、表示むらの要因となる粒子群の充填むらを評価した。充填むらは、レーザーを基板上面から照射し、背面に受光部を設置し、透過率を測定し、透過率で評価した。粒子群が充填されることで透過率が低下する。数点を測定してそのばらつきを見ることによって、充填むらを評価した。
透過率は粒子群の充填量により変化するため、粒子供給体の速度を調整することによって５０〜６０％とした。このとき標準偏差が５％より大きいと、情報表示用パネルの表示性能においても画面上の“表示むら”となる。したがって、この評価では、標準偏差が５％より大きい場合を不良とし、５％以下である場合を良好とした。
【００３２】
＜粒子群を充填する基板について＞
パネルを構成するガラス基板の厚さは、０．７ｍｍ厚さであり、表面には、厚さ１００ｎｍで任意に配線されたＩＴＯ電極が形成され、その上に、高さ５０μｍ、幅２０μｍの格子状隔壁が形成されている。この隔壁によって、基板面は開口が３００μｍ×３００μｍのセルで区切られている。
【００３３】
＜実施例１＞
図２（ａ）、（ｂ）に示すようにして実施した。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲に５０μｍφの孔を縦横１００μｍピッチで開口した厚さ５０μｍのニッケル製のメタルマスク（導電性メタルマスク）の下に、正帯電性を有する黒色粒子群を満たした粒子供給体を配置した。このメタルマスクから２ｍｍ上方に、このメタルマスクに接触しないように、隔壁が形成されたガラス基板を隔壁側がメタルマスクに向くように配置した。
次に、メタルマスクに１ｋＶの直流電圧Ｖ０を印加した。
続いて、メタルマスクの下方に配置した粒子供給体をメタルマスクに接触させ、５０ｍｍ／ｓで移動させたところ、基板に黒色粒子群が転写されていることが確認できた。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲で等間隔に２５か所をレーザーで透過率を測定したところ、平均が５５．４％、標準偏差が２．３％であり、粒子群充填が良好であることが確認できた。
【００３４】
＜実施例２＞
図２（ａ）、（ｂ）に示すようにして実施した。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲に５０μｍφの孔を縦横１００μｍピッチで開口した厚さ５０μｍのニッケル製のメタルマスク（導電性メタルマスク）の下に、正帯電性を有する黒色粒子群を満たした粒子供給体を配置した。このメタルマスクから２ｍｍ上方に、このメタルマスクに接触しないように、隔壁が形成されたガラス基板を隔壁側がメタルマスクに向くように配置した。
次に、メタルマスクに０．８ｋＶの直流電圧Ｖ０にさらに１００Ｈｚで±０．２ｋＶのサイン波を重畳して印加した。
続いて、メタルマスクの下方に配置した粒子供給体をメタルマスクに接触させ、５０ｍｍ／ｓで移動させたところ、基板に黒色粒子群が転写されていることが確認できた。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲で等間隔に２５か所をレーザーで透過率を測定したところ、平均が５２．３％、標準偏差が１．５％であり、粒子群充填が良好であることが確認できた。
【００３５】
＜比較例＞
従来の板状の粒子群移動部材を用いる方法で実施した。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲に５０μｍφの孔を縦横１００μｍピッチで開口した厚さ５０μｍのニッケル製のメタルマスク（導電性メタルマスク）の２ｍｍ下方に、このメタルマスクに接触しないように、隔壁が形成されたガラス基板を隔壁側がメタルマスクに向くように配置した。
次に、正帯電性を有する黒色粒子群をこのメタルマスクの一端に載せ、０．８ｋＶの直流電圧Ｖ０にさらに１００Ｈｚで±０．２ｋＶのサイン波を重畳して印加し、ウレタンゴム製の板状を一端から多端へ移動させ、粒子群を板状の粒子群移動部材で移動させながらマスク開口部から下に落下させてセル内に充填した。
２００ｍｍ×２００ｍｍの範囲で等間隔に２５か所をレーザーで透過率を測定したところ、平均が５４．８％、標準偏差が１２．３％であり、粒子群充填はムラが激しくて不良であった。
【符号の説明】
【００３６】
１      基板
２      基板
３Ｗ    負帯電性白色粒子群
３Ｗａ  白色負帯電性粒子
３Ｂ    正帯電性黒色粒子群
３Ｂａ  黒色正帯電性粒子
４      隔壁
５      電極
６      電極
７      セル
８      接着剤
２０    ステージ
２１    マスク
２１ａ  開口部
２１ｂ  マスク部
２２    粒子供給体
２３    ガイド部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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