(57)【要約】【課題】チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム描画装置１を構成するチャンバ内の温度を測定する温度測定装置１１と、温度測定装置１１を収納する筐体１２と、筐体１２の互いに対向する辺に配置される複数のバッテリ１３，１４と、温度測定装置１１が測定した温度測定データを送出するデータ送出部１６とを備える。【選択図】図２
2013026489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビーム描画装置を構成するチャンバ内の温度を測定する温度測定装置と、
前記温度測定装置を収納する筐体と、
前記筐体の互いに対向する辺に配置される複数のバッテリケースと、
前記温度測定装置が測定した温度測定データを送出するデータ送出部と、
を備えることを特徴とする温度調整用マスク。
【請求項２】
前記バッテリケースは、前記筐体の対角に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の温度調整用マスク。
【請求項３】
前記バッテリケース内には、バッテリ、コンデンサのいずれか、またはいずれもが格納されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の温度調整用マスク。
【請求項４】
前記バッテリは、一次電池であることを特徴とする請求項３に記載の温度調整用マスク。
【請求項５】
温度調整用マスクに設けられている複数のバッテリケースにそれぞれバッテリを装着する工程と、
前記温度調整用マスクを荷電粒子ビーム描画装置のインターフェイスにセットする工程と、
前記温度調整用マスクを搬送用ロボットを用いて、前記荷電粒子ビーム描画装置に設けられているチャンバに搬送し、前記チャンバ内の温度を測定する工程と、
前記インターフェイスに戻った前記温度調整用マスクのデータ送出部から、測定された温度測定データを抽出する工程と、
抽出された前記温度測定データを基に、前記チャンバ内の温度を調整する工程と、
を備えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施の形態は、温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに所望の回路パターンを形成するために、リソグラフィー技術が用いられる。リソグラフィー技術では、マスク（レチクル）と称される原画パターンを使用したパターンの転写が行われる。この際、高精度なレチクルを製造するために、優れた解像度を備える電子ビーム（電子線）描画技術が用いられる。
【０００３】
レチクルに電子ビーム描画を行う荷電粒子ビーム描画装置の一方式として、例えば以下のような可変成形方式を挙げることができる。すなわち、ここでは図示しないが、この可変成形方式は、第１成形アパーチャの開口と、第２成形アパーチャの開口とを通過することで成形された電子ビームによって可動ステージに載置された試料上に図形パターンが描画される。
【０００４】
ここで、描画の対象となる試料は温度の変化によって伸び縮みする。そのためには、試料そのものに対して描画処理が行われる前にソーキングと言われる加熱処理がなされ、描画処理を行うに最も適した温度へと調整される。
【０００５】
一方で、描画処理がなされるに当たっては、試料は搬送装置によって荷電粒子ビーム描画装置内の複数のチャンバを経て描画が行われる描画室（描画チャンバ）へと搬送されることが多い。この搬送の間に試料の温度変化があるが、描画処理が行われる描画チャンバ内において試料にとって必要とされる温度を保つ必要がある。そのために、搬送される各チャンバ内の温度管理も必要とされる。ここで各チャンバ内において求められる温度精度は、例えば１／１００度の精度である。
【０００６】
このように各チャンバ内の温度管理が必要となるため、荷電粒子ビーム描画装置の各チャンバ内には温度測定用のセンサが設けられていることも多い。但し、このセンサを利用しての温度調整は大まかな調整にとどまることが多く、さらには、温度調整用マスクを使用して温度調整が行われる。
【０００７】
以下の特許文献１に記載の発明は、温度調整用マスク（温度センサ内蔵基板）を使用した温度調整の一例を示している。具体的には、一旦荷電粒子ビーム描画装置に設けられている各チャンバ内の温度を温度センサ内蔵基板を使用して測定し、その後、測定結果を基にモデルとなる式を設定する。次に、再度温度センサ内蔵基板を入れて各チャンバ内の温度を測定するが、この場合には各チャンバ内の温度が平衡温度となる前に取り出され、次々とチャンバ内の温度を測定する。その上で、それぞれのチャンバ内で測定された温度をモデル式に代入して、各チャンバ内の平衡温度を予測する。
【０００８】
このような方法を採用することによって、温度センサ内蔵基板がそれぞれのチャンバ内の温度になじむまでの時間を大幅に短縮することができ、チャンバ内の温度調整時間を大幅に短縮することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−１２９６７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した特許文献１に記載の発明では、以下の点について解決がなされていない。
【００１１】
まず事前にそれぞれのチャンバ内の温度を温度センサ内蔵基板を用いて測定した上でモデル式を作成する必要がある。確かに、モデル式に代入する測定結果を得るための温度測定の時間は大幅に短縮することができるが、上述した事前の準備に掛かる時間までも入れて考えた場合には、チャンバ内の温度測定に関して大幅な時間短縮を果たしたとは言えない可能性がある。
【００１２】
また、事前準備として各チャンバ内の温度を測定する必要があるが、その際には、異なるチャンバ内の温度を測定する度に「バッテリの交換」、或いは、「バッテリの充電」をする必要がある。これはバッテリの持続時間が短いことに起因する。上記特許文献１では、バッテリの種類については特に言及されていないが、「バッテリの充電」等の文言から複数回充電が可能な二次電池が使用されているものと思われる。
【００１３】
この二次電池は、複数回充電が可能であるので経済的であるものの、充電したとしてもどのくらいの時間持つのか不明である場合もある。そのため、荷電粒子ビーム描画装置に設けられている全てのチャンバ内の温度を一度に測定しようとするとバッテリが持たない可能性が出てくる。従ってこのような状況で温度センサ内蔵基板を使用して温度測定を行おうとすれば、温度測定時間も短くならざるを得ない。この問題に対処するため、特許文献１に記載の発明では、連続して全てのチャンバ内の温度を測定するのではなく、チャンバごとに温度測定を行い、その度に「バッテリの充電」等を行っているものと推測される。
【００１４】
また、温度センサ内蔵基板を使用しての温度測定は、頻繁に行われることはなく、例えば、荷電粒子ビーム描画装置の出荷時や大がかりな点検等があった際に行われるものである。従って、二次電池のバッテリの場合、測定の際、既にバッテリ自体が劣化しており、温度センサ内蔵基板を使用できない、といった問題が発生する可能性もある。
【００１５】
さらには、上述した問題が発生した場合に二次電池のバッテリを交換しようとしても、入手困難であったり、価格が高価であったりとすぐには調達できない場合も考えられる。
【００１６】
また温度調整用マスクを使用したチャンバ内の温度測定に当たっては、実際の描画処理が行われる状況下で測定がなされる。従って、描画チャンバ内においては、電子銃等を含む光学系に使用されるコイルも励磁された状態で温度測定が行われる。この場合、コイルは励磁されているので、その磁界の中に入ると温度調整用マスクは引力を受ける。この引力は時に温度調整用マスクを浮き上がらせる程であり、もし温度調整用マスクが浮き上がってしまうと、温度調整用マスクを支持しているステージの台座に設けられている支持ピンから落下する可能性がある。
【００１７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の実施の形態に係る特徴は、温度調整用マスクにおいて、荷電粒子ビーム描画装
置を構成するチャンバ内の温度を測定する温度測定装置と、温度測定装置を収納する筐体と、筐体の互いに対向する辺に配置される複数のバッテリケースと、温度測定装置が測定した温度測定データを送出するデータ送出部とを備える。
【００１９】
また、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリケースは、筐体の対角に配置されていることが望ましい。
【００２０】
また、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリケース内には、バッテリ、コンデンサのいずれか、またはいずれもが格納されていることが望ましい。
【００２１】
さらに、上記温度調整用マスクにおいて、バッテリは、一次電池であることが望ましい。
【００２２】
本発明の実施の形態に係る特徴は、荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法において、温度調整用マスクに設けられている複数のバッテリケースにそれぞれバッテリを装着する工程と、温度調整用マスクを荷電粒子ビーム描画装置のインターフェイスにセットする工程と、温度調整用マスクを搬送用ロボットを用いて、荷電粒子ビーム描画装置に設けられているチャンバに搬送し、チャンバ内の温度を測定する工程と、インターフェイスに戻った温度調整用マスクのデータ送出部から、測定された温度測定データを抽出する工程と、抽出された温度測定データを基に、チャンバ内の温度を調整する工程とを備える。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置の構成を示す上面図である。
【図２】本発明の実施の形態における温度調整用マスクの裏面の構成を示す模式図である。
【図３】図２に示す温度調整用マスクの裏面の一部を蓋を取った状態で拡大して示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態における温度調整用マスクのバッテリの構成を示す回路図である。
【図５】本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置の温度調整の流れを大まかに示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置の温度調整の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図１は、本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置１の構成を示す上面図である。なお、以下の実施の形態においては、荷電粒子ビームの一例として電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは電子ビームに限られるものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームであっても良い。
【００２７】
荷電粒子ビーム描画装置１は、試料に所定のパターンを描画する装置であり、インター
フェイス２と、出入口チャンバ３と、アライメントチャンバ４と、庇チャンバ５と、真空ユニット６と、描画チャンバ７とを備えている。出入口チャンバ３、庇チャンバ５はそれぞれ、真空化チャンバ、着脱チャンバの例である。
【００２８】
また、出入口チャンバ３と、アライメントチャンバ４と、庇チャンバ５と、描画チャンバ７は、それぞれ真空ユニット６に連通されている。さらに出入口チャンバ３には、インターフェイス２が連通されている。
【００２９】
図１では、温度調整用マスク１０を荷電粒子ビーム描画装置１内においてロードする経路が実線の矢印にて示されている。一方、温度調整用マスク１０を荷電粒子ビーム描画装置１内からアンロードする経路が破線の矢印にて示されている。
【００３０】
次に温度調整用マスク１０を荷電粒子ビーム描画装置１内にロードする動作について説明する。なお、当該ロード動作は、実際に描画処理が行われる際に、描画対象となるマスク（試料）が搬送される動作と同じである。本発明の実施の形態における温度調整用マスク１０を使用した温度調整は、実際の描画処理と同様の状態下で行われるからである。従って、ここでの搬送対象は温度調整用マスク１０である。
【００３１】
まず、温度調整用マスク１０がインターフェイス２内に設置される。インターフェイス２は、通常の大気圧の状態下にあり、その内部にロボット本体Ｒ１１、昇降ロッドＲ１２、ロボットアームＲ１３、エンドエフェクタＲ１４からなる、大気用搬送ロボットＲ１を有している。温度調整用マスク１０は、エンドエフェクタＲ１４によって保持される、
次に、大気用搬送ロボットＲ１が温度調整用マスク１０をゲートバルブＧ１を経由して出入口チャンバ３内に搬入する。出入口チャンバ３は、温度調整用マスク１０をインターフェイス２から真空ユニット６内に搬入する経路上に位置する。出入口チャンバ３は、真空ユニット６内とこれに連通する各チャンバ内を、真空化、或いは、大気化する機能を有する。なお、出入口チャンバ３は、ロードロックチャンバとも呼ばれる。
【００３２】
温度調整用マスク１０はゲートバルブＧ２、真空ユニット６を経由してアライメントチャンバ４内に搬入される。真空ユニット６は、図示しない真空装置を利用してその内部が真空化されている。真空ユニット６は、ロボット本体Ｒ２１、昇降ロッドＲ２２、ロボットアームＲ２３、エンドエフェクタＲ２４からなる、真空用搬送ロボットＲ２を有している。温度調整用マスク１０は、エンドエフェクタＲ２４により保持された状態で真空用搬送ロボットＲ２によりアライメントチャンバ４内に搬入される。アライメントチャンバ４は、マスク（温度調整用マスク）のアライメント処理を行うためのチャンバである。このアライメント処理により、マスク（温度調整用マスク）の位置ずれや回転ずれが修正される。
【００３３】
次に、真空用搬送ロボットＲ２は、アライメント処理済みの温度調整用マスク１０を真空ユニット６を経由して庇チャンバ５内に搬入する。庇チャンバ５は、温度調整用マスク１０に対して導電性のマスクカバーＭＣの着脱を行うためのチャンバである。アライメントチャンバ４から庇チャンバ５へと温度調整用マスク１０が搬入されると、庇チャンバ５にて温度調整用マスク１０にマスクカバーＭＣが装着される。
【００３４】
さらに真空用搬送ロボットＲ２は、温度調整用マスク１０のアライメント処理とマスクカバーＭＣの装着が行われた温度調整用マスク１０を真空ユニット６、ゲートバルブＧ３を経由して描画チャンバ７内に搬入する。描画チャンバ７の上方には、図示しない電子銃や各種のアパーチャ、偏向器、レンズといった光学系（以下、これらをまとめて「ＥＯＳ（electro optics system）」と表わす）７１を有する鏡筒７２が設けられている。
【００３５】
温度調整用マスク１０は、描画チャンバ７内に搬入された後、描画チャンバ７内の温度を測定する。温度測定は、真空用搬送ロボットＲ２によって温度調整用マスク１０が描画チャンバ７内の隅々に移動されることによって行われる。測定後は、描画チャンバ７から搬出される。なお、描画チャンバ７で実際の描画処理が行われる際には、マスクの描画領域に電子ビームが照射されることによって当該描画領域に所定のパターンが描画される。
【００３６】
描画チャンバ７にて温度測定が完了した温度調整用マスク１０は、図１の破線の矢印に示すように、庇チャンバ５、出入口チャンバ３を経由してアンロードされる。この際、庇チャンバ５では、温度調整用マスク１０からマスクカバーＭＣを取り外す処理が行われる。
【００３７】
なお、上述したロード動作においては、庇チャンバ５にてマスクカバーＭＣの着脱が行われることを前提に説明したが、温度測定の際には、庇チャンバ５における温度測定が行われるのであれば、当該マスクカバーＭＣの着脱を省略しても良い。
【００３８】
図２は、本発明の実施の形態における温度調整用マスク１０の裏面の構成を示す模式図である。また、図３は、図２に示す温度調整用マスク１０の裏面の一部を蓋を取った状態で拡大して示す説明図である。
【００３９】
本発明の実施の形態における温度調整用マスク１０は、実際の描画処理において描画の対象とされるマスクと同様の大きさを備えている。図２に示す温度調整用マスク１０は、実際にＥＯＳ７１と対向する面を表面とすると、その裏面が示されている。エンドエフェクタＲ１４，Ｒ２４は、温度調整用マスク１０の搬送の際、この裏面に接触する。また、その内部には各チャンバ内の温度を測定するために使用される、図２において直接図示されていない温度測定装置１１が設けられている（破線の矢印で示している）。当該温度測定装置１１は、当該裏面のネジで留められている蓋で覆われる筐体１２の内部に設けられている。
【００４０】
温度測定装置内には、各チャンバ内の温度に関する情報を記憶する記憶装置（図示せず）が設けられており、測定結果はこの記憶装置内に記憶される。また、温度測定装置１１を含む温度調整用マスク１０の駆動は、図２に示す温度調整用マスク１０では対角上に設けられているバッテリ１３、１４によって行われる。
【００４１】
また、温度調整用マスク１０の裏面には、温度調整用マスク１０を使用した温度測定が終了した後に、温度測定装置１１内の記憶装置に記憶された各チャンバ内の温度に関する情報（温度測定データ）を抽出する際に用いられる外部接続端子１５が設けられている。温度測定データを抽出する際には、後述する通り、外部接続端子１５に外部電源を接続するとともに、データ送出部１６から温度測定データを抽出する。
【００４２】
本発明の実施の形態におけるバッテリ１３，１４は、筐体１２の互いに対向する辺に配置されている。ここでバッテリ１３，１４を複数設けることについては以下の理由による。すなわち、これまでの温度調整用マスクでは、その内部の温度測定装置等へ供給する電源として１つの電池を使用していた。この場合、１つの電池を温度調整用マスク全体の電源とするためには、消費される電力に見合う電源を供給しうる電池が必要とされ、そのような電池は概して大きい。
【００４３】
但し、上述したように、描画チャンバ内での温度測定は、実際の描画処理と同様にＥＯＳ７１が励磁された状態で行われることになるため、電池の大きさがあまり大きくなると、ＥＯＳ７１によって発生する磁界に入った際に、温度調整用マスク１０がＥＯＳ７１にくっついてしまう等の不都合が生ずる。一方で、ＥＯＳ７１にくっついてしまうことを嫌
って小さな電池を使用することもできるが、その数が１つでは求められる電源としての用をなさない。
【００４４】
そこで、本願発明の実施の形態における温度調整用マスク１０では、使用される電池を複数備えることによって、温度調整用マスク１０内で必要とされる電力の供給に不足がないようにするとともに、温度測定中のＥＯＳ７１への引力による接触等を防ぐこととしている。電池が小さければ、たとえＥＯＳ７１が発生させる磁界の中にその１つが入ったとしてもそれだけでは引力によって浮き上がったり接触するということは起きないものと考えられる。
【００４５】
また、温度調整用マスク１０に複数設けられるバッテリは、筐体１２の互いに対向する辺に配置される。これはなるべくＥＯＳ７１が発生させる磁界の中にバッテリ１３，１４が入らないようにするためである。図２に示す、本発明の実施の形態における温度調整用マスク１０では、バッテリ１３，１４は、互いに対角の位置に配置されている。対角の位置が最もバッテリ１３，１４を離して配置するに適しているからである。但し、上述したように、複数のバッテリが筐体１２の互いに対向する辺に配置されていれば、互いの位置関係は対角でなくとも良い。
【００４６】
本発明の実施の形態におけるバッテリ１３、１４は、拡大図である図３においても図示していないが、バッテリである電池とコンデンサをバッテリケースの内部に備えている。図３において、符号１３ａにて示される領域が、電池格納領域である。一方、符号１３ｂにて示される領域が、コンデンサ格納領域である。また、通常はバッテリケース１３ｃの上部にはねじ等の部材によって蓋１３ｄが止められている。
【００４７】
なお、温度調整用マスク１０は、真空雰囲気中に搬入されて使用されることから、バッテリケース１３ｃに蓋１３ｄを閉める場合には、間にＯリング１３ｅが挟まれることになる。
【００４８】
図４は、本発明の実施の形態における温度調整用マスク１０のバッテリ１３，１４の構成を示す回路図である。図４に示されているように、負荷（ここでは、例えば、温度測定装置１１）に直列に２つの電池Ｂ１３，Ｂ１４が接続されている。これは、上述したように、温度調整用マスク１０に必要とされる電力の供給を行うためである。なお、ここでの電池は、これまでの実験等の結果から、例えば、酸化銀電池、或いは、水銀電池が好適に使用される。
【００４９】
また、温度調整用マスク１０にて使用される電池は、市販の一次電池である。まず「一次電池」を使用することとしているのは、二次電池を使用する場合には、温度調整のための温度測定データを収集している間にバッテリが切れてしまうことを防止するためである。二次電池のメリットは、上述したように繰り返し充電できるところにあるが、十分に充電したとしても温度測定中にバッテリが切れてしまうおそれが拭えない。一方、一次電池の場合は、特に温度測定前に新品に交換しておくことで、測定中の電池切れのおそれは十分に解消できると考えられる。そこで、本願発明の実施の形態においては、温度調整用マスク１０には一次電池を使用する。
【００５０】
さらに、この一次電池は、「市販」されている電池を使用することとしている。これは、二次電池、しかも温度調整用マスク１０に使用されている二次電池については、入手先が限られることも考えられ、温度測定を行う際に急に電池が必要になった場合に対応することができない。一方、市販の一次電池であれば基本的にどのような状況下にあっても入手が可能であると考えられるからである。
【００５１】
また、電池Ｂ１３と並列にコンデンサＣ１３が、電池Ｂ１４と並列にコンデンサＣ１４が接続されている。このように電池を小さくすると、それに伴って瞬間的に流すことができる電流が減ってしまうが、電池に並列にコンデンサを接続することによって、記憶装置への温度測定データの書き込み等で大きな電流が流れるときに電圧が低下して回路がリセットしてしまうことを防止することができる。なお、ここでのコンデンサは、例えば、電気二重層コンデンサ等が好適に使用される。
【００５２】
次に荷電粒子ビーム描画装置１の温度調整の流れについて、図５及び図６に示すフローチャートを利用して説明する。図５は、本発明の実施の形態における荷電粒子ビーム描画装置１の温度調整の流れを大まかに示すフローチャートであり、図６は、温度調整用マスク１０を使用しての温度調整の詳細な流れを示すフローチャートである。
【００５３】
荷電粒子ビーム描画装置１には、図１において図示されていないが、各チャンバ内に温度を測定するセンサが予め設けられている。従って、例えば、描画チャンバ７内の温度を調整する際には、設置されている温度センサを用いて予め粗く（大まかに）温度調整を行っておく（ＳＴ１）。
【００５４】
その上で、上述したようにチャンバ内の温度調整は、例えば、１／１００度のレベルでの調整が必要とされるので、この部分について温度調整用マスク１０を使用して調整を行う（ＳＴ２）。この温度調整用マスク１０を使用する温度調整の流れは図６を用いて説明する。
【００５５】
まず、温度調整用マスク１０に設けられている複数のバッテリケース１３ｃ，１４ｃにバッテリ（電池）を装着する（ＳＴ２１）。電池の装着は、温度測定の度に行わなくとも良いと考えられる。但し、電池が一次電池であることを考慮しても荷電粒子ビーム描画装置１の温度調整の頻度がそれほど多くないことを考慮すると、念のため新たな電池を装着することも可能である。
【００５６】
次に、温度調整用マスク１０をインターフェイス２にセットし、各チャンバへの搬送が開始される（ＳＴ２２）。真空ユニット６内に設けられているアライメントチャンバ４と、庇チャンバ５、及び描画チャンバ７内の温度を測定する際には、真空用搬送ロボットＲ２が温度調整用マスク１０を各チャンバへと搬送する。そして、各チャンバにて温度が測定される（ＳＴ２３）。
【００５７】
そして、図１の破線の矢印で示される経路を通って（描画チャンバ７から庇チャンバ５、出入口チャンバ３）温度調整用マスク１０をインターフェイス２から取り出す（ＳＴ２４）。その上で、温度調整用マスク１０の裏面に設けられている外部接続端子１５に外部電源を接続する（ＳＴ２５）。これは、測定された温度測定データを温度調整用マスク１０から抽出するには、バッテリ１３，１４の容量では足りないからである。
【００５８】
そして、データ送出部１６から温度測定装置１１内の記憶装置から温度測定データを抽出する（ＳＴ２６）。なおデータ送出部１６からの温度測定データの抽出方法については、例えば、赤外線通信等、どのような手段を用いても良い。
【００５９】
この抽出された温度測定データを用いて、各チャンバ内の温度を調整する（ＳＴ２７）。温度調整用マスク１０が実際に各チャンバ内の温度を測定して収集したデータを基にしているので、各チャンバ内の温度をより精度良く調整することができる。
【００６０】
以上説明した温度調整用マスクを使用することで、チャンバ内の温度測定中のバッテリ切れをなくすとともに、実際の描画処理と同様の状況下での測定を可能とし、かつ各チャ
ンバ内の温度調整を精度良く行うことが可能な温度調整用マスク及び荷電粒子ビーム描画装置の温度調整方法を提供することができる。
【００６１】
なお、温度調整用マスクは、以下の用途にも利用することが可能である。すなわち、温度調整用マスクの筐体内には、温度測定装置の他、例えば、加速度測定を行うためのセンサが設けられている。通常、描画処理の対象となるマスクが描画処理の際にどのような加速度をもって移動するかについての測定は、描画チャンバ内を大気雰囲気にした上で行われる。但し、描画チャンバ内を真空雰囲気、或いは、大気雰囲気とするのは装置構成から言って困難なことも多いため、真空雰囲気内で温度測定が可能な温度調整用マスクを利用することができれば、加速度測定をその精度を維持しつつより簡易に行うことが可能となる。そこで、温度調整用マスク内に設けられている加速度測定を行うためのセンサを用いてマスクの加速度測定を行うことが考えられる。
【００６２】
但し、加速度測定は、温度測定の場合と異なり、ＥＯＳが励磁されない状態で行うことが可能である。従って、ＥＯＳの励磁による温度調整用マスクの浮き上がりを考慮することは不要であり、バッテリとなる電池を複数の小さい電池とする必要はない、
そこで加速度測定を行う場合に温度調整用マスクを使用する場合には、容量の大きな電池を１つ使用することで十分な測定時間を確保することができる。
【００６３】
なお、この場合には、電池の大きさに対応するべく、例えば、スペーサを利用することが考えられる。また、複数のバッテリを単数とするため、それまで直列で接続されていた回路構成を、例えば、バッテリが収納されないバッテリケース内において短絡させるといったバッテリ（ケース）間の接続を考慮する必要がある。この点に関しては、例えば、そもそも複数種類のバッテリを使い分けることを考慮して、例えば、温度測定装置内に予め切替回路を設けておくことで、対応することも可能である。
【００６４】
本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１    荷電粒子ビーム描画装置
２    インターフェイス
３    出入口チャンバ
４    アライメントチャンバ
５    庇チャンバ
６    真空ユニット
７    描画チャンバ
１０    温度調整用マスク
１１    温度測定装置
１２    筐体
１３    バッテリ
１４    バッテリ
１５    外部接続端子
１６    データ送出部
【図１】
2013026489.tif 000003
【図２】
2013026489.tif 000004
【図３】
2013026489.tif 000005
【図４】
2013026489.tif 000006
【図５】
2013026489.tif 000007
【図６】
2013026489.tif 000008