(57)【要約】【課題】設定光量の切り換えに対する応答性が比較的悪い照明ユニットを用いたとしても、設定光量の切り換え時に照明光量を比較的短時間で目標光量とすることができる照明装置を提供するものである。【解決手段】設定光量に応じた照明光量にて被照明体を照明する第１照明ユニット３０と、設定光量の切り換えに対する応答性が前記第１照明ユニット３０より良く、第１照明ユニット３０からの照明光に重畳させた照明光にて前記被照明体を照明する第２照明ユニット４３と、第１照明ユニット３０の照明光量を所定量に維持させつつ、第２照明ユニット４３の照明光量を、制御情報に従った設定光量の切り換えにより制御する照明制御手段６０とを有する構成となる。【選択図】図５
2013152206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設定光量に応じた照明光量にて被照明体を照明する第１照明ユニットと、
設定光量の切り換えに対する応答性が前記第１照明ユニットより良く、前記第１照明ユニットからの照明光に重畳させた照明光にて前記被照明体を照明する第２照明ユニットと、
前記第１照明ユニットの照明光量を所定量に維持させつつ、前記第２照明ユニットの照明光量を、制御情報に従った設定光量の切り換えにより制御する照明制御手段とを有する照明装置。
【請求項２】
前記第１照明ユニットは、高輝度ＬＥＤを光源として含む請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
第１照明ユニットが、設定光量に応じた照明光量にて被照明体を照明し、
設定光量の切り換えに対する応答性が前記第１照明ユニットより良い第２照明ユニットが、前記第１照明ユニットからの照明光に重畳させた照明光にて前記被照明体を照明し、
前記第１照明ユニットの照明光量を所定量に維持しつつ、前記第２照明ユニットの照明光量を、制御情報に従った設定光量の切り換えにより制御する照明方法。
【請求項４】
被検査体を前記被照明体として照明する請求項１または２記載の照明装置と、
前記照明装置により照明される前記被検査体を撮影する撮影ユニットと、
前記撮影ユニットの撮影により得られる画像を用いて前記被検査体についての検査処理を行う処理ユニットとを有する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明光量が可変である照明装置及び照明方法、並びにその照明装置を用いた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に記載の透明板状体の欠陥検出装置が知られている。この欠陥検出装置（検査装置）では、被検査体である透明板状体の一方の面側に配置された照明器により透明板状体が照明された状態で、透明板状体の他方の面側に配置されたＣＣＤカメラによって当該透明板状体が撮影される。そして、ＣＣＤカメラによる撮影により得られた画像を処理することにより透明板状体にあるキズなどの欠陥が検出される。
【０００３】
この欠陥検査装置に用いられる照明器（照明装置）には、ハロゲンランプ、キセノンランプ、高圧水銀灯、ナトリウムランプ等が光源として用いられる。そして、キズ等の欠陥が判別できるような画像がＣＣＤカメラでの撮影により得られるように前記照明器による適正な照明光量が決められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１４１６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、照明光量が高い、寿命が長い等の利点により、照明装置の光源として公知の高輝度ＬＥＤを用いることが考えられる。この高輝度ＬＥＤを光源とした照明装置は、高い照明光量を維持するために、一例として複数のＬＥＤ（発光素子）が蛍光体の混合された樹脂にて封止された構造となっている。しかし、当初に設定された初期光量で発光している状態でその設定光量を目標光量に切り換えた場合、前記蛍光体の存在、及び先に述べた構造等に起因して、実際の照明光量が前記目標光量になるまでに比較的長い時間を要してしまう（例えば、２０分程度かかる場合がある）。このため、被検査体の品種変更に伴って照明光量を変更する必要がある場合、適正な照明光量になるまでに時間がかかってしまって、品種切り換え後の検査が遅れてしまう。一方、適正な照明光量に達する前に検査を開始しては、精度のよい検査が難しい。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、高輝度ＬＥＤ等の光源を用いた照明装置のように、設定光量を目標光量に切り換えた時に照明光量が前記目標光量に達するまでに要する時間が比較的長い、即ち、設定光量の切り換えに対する応答性が比較的悪い照明ユニットを用いたとしても、設定光量の切り換え時に実際の照明光量を比較的短時間で目標光量とすることができる照明装置及び照明方法を提供するものである。
【０００７】
また、本発明は、上記のような照明装置を用いた検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る照明装置は、設定光量に応じた照明光量にて被照明体を照明する第１照明ユニットと、設定光量の切り換えに対する応答性が前記第１照明ユニットより良く、前記第１照明ユニットからの照明光に重畳させた照明光にて前記被照明体を照明する第２照明ユニットと、前記第１照明ユニットの照明光量を所定量に維持させつつ、前記第２照明ユニットの照明光量を、制御情報に従った設定光量の切り換えにより制御する照明制御手段とを有する構成となる。
【０００９】
本発明に係る照明方法は、第１照明ユニットが、設定光量に応じた照明光量にて被照明体を照明し、設定光量の切り換えに対する応答性が前記第１照明ユニットより良い第２照明ユニットが、前記第１照明ユニットからの照明光に重畳させた照明光にて前記被照明体を照明し、前記第１照明ユニットの照明光量を所定量に維持しつつ、前記第２照明ユニットの照明光量を、制御情報に従った設定光量の切り換えにより制御する構成となる。
【００１０】
これらの構成により、所定量に維持された第１照明ユニットからの照明光に第２照明ユニットからの照明光が重畳されて被照明体が照明される。そして、制御情報に従った設定光量の切り換え制御によって第２照明ユニットからの照明光量が制御されることにより、第１照明ユニットからの照明光と第２照明ユニットからの照明光とが重畳した全体の照明光の光量が第２照明ユニットの設定光量の切り換えに対する応答性をもって制御される。
【００１１】
前記設定光量の切り換えに対する応答性は、設定光量を目標光量に切り換えた時から照明光量が前記目標光量になるまでの時間に基づいた特性をいい、その時間が短いほど応答性が良いものとなる。
【００１２】
また、本発明に係る検査装置は、被検査体を前記被照明体として照明する前記照明装置と、前記照明装置により照明される前記被検査体を撮影する撮影ユニットと、前記撮影ユニットの撮影により得られる画像を用いて前記被検査体についての検査処理を行う処理ユニットとを有する構成となる。
【００１３】
このような構成により、光量が所定量に維持される第１照明ユニットからの照明光と設定光量の切り換えにより光量が切り換え制御される第２照明ユニットからの照明光とが重畳されて照明される被検査体が撮影ユニットにて撮影され、その撮影にて得られる画像を用いて該被検査体の検査処理がなされる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る照明装置及び照明方法によれば、第１照明ユニットとして、高輝度ＬＥＤ等の光源を用いた照明ユニットのように、設定光量を目標光量に切り換えた時から照明光量が目標光量に達するまでに要する時間が比較的長い照明ユニット、即ち、設定光量の切り換えに対する応答性が比較的悪い照明ユニットを用いたとしても、その第１照明ユニットからの照明光の光量が所定量に維持され、該第１照明ユニットからの照明光に当該第１照明ユニットより設定光量の切り換えに対する応答性の良い第２照明ユニットからの照明光が重畳されて被照明体が照明されるので、第２照明ユニットの設定光量を切り換えることにより、その設定光量の切り換え時に、被照明体に対する照明光量を比較的短時間で、具体的には、第１照明ユニット単体に比べてより短時間で、目標光量とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】本発明の実施の一形態に係る検査装置にて検査されるセンサパネルアッセンブリ（貼り合わせ板状体）の構造を示す断面図である。
【図１Ｂ】センサパネルアッセンブリの構造を示す平面図である。
【図１Ｃ】図１Ａ及び図１Ｂに示すセンサパネルアッセンブリと液晶パネルアッセンブリとを接着剤により貼り合わせた構造のタッチパネル式の液晶パネルの構造を示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の基本的な構成を示す図である。
【図３】図２に示す検査装置に用いられる第１照明装置に含まれる光源装置の構造を示す図である。
【図４Ａ】第１照明装置の設定光量を初期光量からそれより低い目標光量に切り換えた際の、照明光量の変化特性の一例を示す図である。
【図４Ｂ】第１照明装置の設定光量を初期光量からそれより高い目標光量に切り換えた際の、照射光量の変化特性の一例を示す図である。
【図５】本発明の実施の一形態に係る検査装置の処理系の基本構成を示す図である。
【図６Ａ】第２照明装置の照明光量の切り換えの状態の一例を示す図である。
【図６Ｂ】第１照明装置と第２照明装置とを合わせた照明光量の切り換えの状態の一例を示す図である。
【図７】検査装置においてシェーディング補正がなされている状態を示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る検査装置の基本的な構成を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係る検査装置の基本的な構成を示す図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態に係る検査装置の基本的な構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１７】
本発明の実施の形態に係る照明装置を用いた検査装置の検査対象（被検査体）について図１Ａ〜図１Ｃを参照して説明する。この例は、タッチパネル式の液晶表示パネルに使用されるセンサパネルアッセンブリである。なお、図１Ａは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す断面図であり、図１Ｂは、センサパネルアッセンブリ１０の構造を示す平面図であり、図１Ｃは、センサパネルアッセンブリ１０と液晶パネルアッセンブリ２０とを接着剤にて貼り合せてなるタッチパネル式の液晶表示パネルの構造を示す断面図である。
【００１８】
図１Ａ及び図１Ｂにおいて、このセンサパネルアッセンブリ１０は、センサ素子やグリッド等の回路部品が配列形成されたセンサパネル１１とカバーガラス１２とが当該センサパネル１１の全面に塗布された透光性を有する接着剤１３（レジン）によって貼り合わされた構造となっている。センサパネル１１は、ガラス基板上に回路部品が形成された構造となり、全体的に透光性を有する透光領域（ただし、回路部品の部分は不透光）となっている。また、カバーガラス１２は、周辺部が所定の幅の不透光領域１２ｂ（黒色領域）となっており、その内側の領域が透光性を有する透光領域１２ａとなっている。
【００１９】
このような構造のセンサパネルアッセンブリ１０は、図１Ｃに示すように、液晶パネルアッセンブリ２０（液晶パネル、色フィルタ、偏光板等で構成される）に透光性を有する接着剤１５によって接着されている。このように形成されたタッチパネル式の液晶表示パネルでは、液晶パネルアッセンブリ２０によって画像表示がなされるとともに、指でタッチされたカバーガラス１２上の位置に対応するセンサパネル１１上のセンサ素子から信号が出力されるようになっている。そして、このセンサパネル１１の各センサ素子から出力される信号によって液晶パネルアッセンブリ２０による画像表示を制御することができる。
【００２０】
上述したような構造のセンサパネルアッセンブリ１０を製造する過程で、接着剤１３内に気泡が発生したり接着剤１３内にゴミ等の異物が混入したりすることがある。また、センサパネル１１とカバーガラス１２との間から接着剤１３がはみ出したり、接着剤１３が足りなかったりする場合がある。このようなセンサパネルアッセンブリ１０の欠陥を検査するための検査装置は、例えば、図２に示すように構成される。
【００２１】
図２において、この検査装置は、ラインセンサカメラ４１、第１照明ユニット３０、拡散機能を有する反射板４２、第２照明ユニット４３及び移動機構５０を有している。第１照明ユニット３０及び第２照明ユニット４３により、該検査装置に用いられる照明装置が構成されている。移動機構５０は、センサパネル１１を上方に、カバーガラス１２を下方にそれぞれ向けて移動経路上にセットされたセンサパネルアッセンブリ１０を所定の速度にて直線移動させる。ラインセンサカメラ４１は、例えばＣＣＤ素子列にて構成されたラインセンサ及びレンズ群（視野を広げるための引き延ばしレンズを含み得る）等の光学系を含み、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０のセンサパネル１１に対向するように固定配置されている。そして、ラインセンサカメラ４１の姿勢が、ラインセンサ（ＣＣＤ素子列）の延びる方向がセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａを横切り（例えば、移動方向Ａと直交し）、かつ、その光軸ＡＯＰＴ１がセンサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面に直交するように調整されている。反射板４２は、入射光を乱反射するように加工された反射面を有しており、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の近傍で、その反射面がセンサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２に対向するように固定配置されている。このように配置された反射板４２での反射光により、センサパネルアッセンブリ１０のカバーガラス１２側からラインセンサカメラ４１に向けて照明がなされるようになる。
【００２２】
第１照明ユニット３０は、光源装置３１、照明ヘッド３２、光源装置３１の出射光を照明ヘッド３２に導くライトガイド３３及び照明ヘッド３２の光の出射面に結合されて集光位置の調整が可能な集光器３４を有している。光源装置３１は、例えば、図３に示すように、高輝度ＬＥＤユニット３１１、導光ミラー３１２、電源ユニット３１３及び冷却ファン３１４を有している。高輝度ＬＥＤユニット３１１は、多数のＬＥＤ３１０（発光素子）が蛍光体の混合された樹脂にて封止された構造となっている。高輝度ＬＥＤユニット３１１は、電源ユニット３１３からの電力供給を受け、個々のＬＥＤ３１０の発光、及びそれにともなう蛍光体の発光により樹脂製の封止体全体から光を照射する。高輝度ＬＥＤユニット３１１から照射される光は導光ミラー３１２によって導かれてライトガイド３３の端部に入射し、その光がライトガイド３３を伝搬して照明ヘッド３２から出射する（図２参照）。発光する多くのＬＥＤ３１０を含む高輝度ＬＥＤユニット３１１は、冷却ファン３１４によって冷却され、その動作温度が規定温度範囲内に維持されるようになっている。
【００２３】
第１照明ユニット３０の照明ヘッド３２は、移動経路上のセンサパネルアッセンブリ１０の移動方向Ａにおけるラインセンサカメラ４１の下流側、即ち、ラインセンサカメラ４１の走査方向Ｂにおける当該ラインセンサカメラ４１の上流側に、センサパネル１１に対向するように配置されている。照明ヘッド３２の姿勢は、センサパネルアッセンブリ１０の斜め上方から、具体的には、センサパネルアッセンブリ１０（センサパネル１１）の表面の法線方向に対してその光軸ＡＯＰT２が所定角度αとなる方向からラインセンサカメラ４１の光軸ＡＯＰＴ１を横切ることなくセンサパネルアッセンブリ１０の表面を照明するように調整されている。このような調整により、第１照明ユニット３０の照明ヘッド３２から出射した光の一部は、被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０の表面で反射してラインセンサカメラ４１に入射する。また、照明ヘッド３２から出射した光の他の一部は、センサパネルアッセンブリ１０を透過して反射板４２で乱反射し、その乱反射光の一部がセンサパネルアッセンブリ１０を透過してラインセンサカメラ４１に入射する。
【００２４】
上述したような高輝度ＬＥＤユニット３１１を含む第１照明ユニット３０の調光制御では、その設定光量を初期光量Ｉintから目標光量Ｉtgtに切り換えた際に、第１照明ユニット３０の実際の照明光量が目標光量Ｉtgtに達するまでに、例えば、目標光量Ｉtgtが初期光量Ｉintより低い場合、図４Ａに曲線ＱＤＷＮで示すように、また、目標光量Ｉtgtが初期光量Ｉintより高い場合、図４Ｂに曲線ＱＵＰで示すように、時間がかかる（例えば、２０分程度）。これは、前述したように、蛍光体の存在、及び高輝度ＬＥＤユニット３１１における多数のＬＥＤ３１０が蛍光体の混ざった樹脂にて封止されている（図３参照）ことに起因している。なお、図４Ａ、図４Ｂに於いて、縦軸は照射光量、横軸は照射光量を切り換えてからの経過時間をそれぞれ示す。
【００２５】
第２照明ユニット４３は、拡散機能を有する反射板４２の反射面と逆側の面の側に、その光軸がラインセンサカメラ４１の光軸ＡＯＰＴ１と一致するように配置されている。第２照明ユニット４３からの照明光は、反射板４２を透過して、反射板４２で反射する第１照明ユニット３０からの照明光の成分と重畳してセンサパネルアッセンブリ１０（被照明体・被検査体）を透過してラインセンサカメラ４１に入射する。このように、センサパネルアッセンブリ１０は、第１照明ユニット３０からの照明光と第２照明ユニット４３からの照明光とが重畳された照明光によって照明される。
【００２６】
第２照明ユニット４３は、低輝度ＬＥＤ（例えば、封止体内に蛍光体が混合されていない通常のＬＥＤ）を光源として含み、設定光量の切り換えに対する応答性（設定光量の目標光量Ｉtgtへの切り換え時から照明光量が当該目標光量Ｉtgtになるまでの時間に基づいた特性）が第１照明ユニット３０より良く、ほとんど切り換え時の遅れがなく照明光量を切り換えることができる。
【００２７】
このような構造の検査装置では、移動機構５０によりセンサパネルアッセンブリ１０が移動経路上を方向Ａに移動することにより、ラインセンサカメラ４１と照明ヘッド３２（第１照明ユニット３０）及び第２照明ユニット４３との相対的な位置関係が維持されつつラインセンサカメラ４１が前記移動方向Ａと逆方向Ｂにセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査する。その走査によりラインセンサカメラ４１によるセンサパネルアッセンブリ１０の撮影がなされる。
【００２８】
検査装置の処理系は、図５に示すように構成される。
【００２９】
図５において、処理ユニット６０に、ラインセンサカメラ４１が接続されるとともに、表示ユニット６１及び操作ユニット６２、更に、第１照明ユニット３０（光源装置３１）及び第２照明ユニット４３が接続されている。処理ユニット６０は、移動機構５０によるセンサパネルアッセンブリ１０（被照明体・被検査体）の移動に同期してセンサパネルアッセンブリ１０を光学的に走査するラインセンサカメラ４１からの画像信号を入力し、その画像信号に基づいてセンサパネルアッセンブリ１０の画像を表す検査画像データを生成する。
【００３０】
処理ユニット６０は、照明生後手段として機能し、設定光量の切り換えに対する応答性の良い第２照明ユニット４３の照明光量を制御情報に従って切り換え制御する。前記制御情報は、被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０の品種の切り換えにより、照明光量を切り換える必要がある場合に、他のシステムから、あるいは、オペレータが操作する操作ユニット６２から提供される。また、処理ユニット６０は、第１照明ユニット３０（光源装置３１）を、センサパネルアッセンブリ１０の品種の切り換えにかかわりなく、所定光量に維持されるように制御する。
【００３１】
また、処理ユニット６０は、生成した検査画像データに基づいて表示ユニット７１にセンサパネルアッセンブリ１０の画像を表示させ、また、その検査画像データを用いて検査処理を実行する。
【００３２】
このような検査装置では、設定光量の切り換えに対する応答性の良好な第２照明ユニット４３の照明光量が、最大光量ＩＭＡＸ（Ｉ３）までの範囲内で切り換え制御される。例えば、図６Ａに示すように、被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０の品種が切り換えられるタイミングｔ１、ｔ２、ｔ３において、照明光量がゼロからＩ２に、Ｉ２からＩ３（ＩＭＡＸ）に、更に、Ｉ３からＩ１に切り換えられる。このとき、高輝度ＬＥＤユニット３１１を光源として含む第１照明ユニット３０の照明光量は、所定光量Ｉｏに維持されている。その結果、図６Ｂに示すように、第１照明ユニット３０からの照明光と第２照明ユニット４３からの照明光とが重畳して、被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０の品種が切り換えられるタイミングｔ１、ｔ２、ｔ３において、その品種に適した照明光量となるように、設定光量がＩｏから（Ｉｏ＋Ｉ２）に、（Ｉｏ＋Ｉ２）から（Ｉｏ＋Ｉ３（ＩＭＡＸ））に、更に、（Ｉｏ＋Ｉ３）から（Ｉｏ＋Ｉ１）に切り換えられる。
【００３３】
なお、図６Ｂに示した例では、検査時での適正な照射光量がＩｏとなるセンサパネルアッセンブリの場合、第２照明ユニット４３の照明光量をゼロにすることになる。第１照明ユニット３０が劣化等の理由により所定光量Ｉｏを維持できない状態を想定する場合には、所定光量Ｉｏを、検査対象とされる複数種のセンサパネルアッセンブリの中で、検査時の適正な照明光量が最も低い値よりもさらに低い値に設定し、第２照明ユニット４３の照明光量をゼロにしないようにして適正な照射光量を得るようにすることもできる。
【００３４】
また、この場合に、例えば移動機構５０の一部に照度計を設置しておき、この照度計の出力値に基づいて第２照明ユニット４３の照明光量を、自動調整、あるいはオペレータが操作するものであっても良い。
【００３５】
なお、図６Ｂの説明では、簡単のために、第１照明ユニット３０からの照明光の全部が第２照明ユニット４３からの照明光の全部と重畳するものとしているが、実際には、第１照明ユニット３０からの照明光の一部と第２照明ユニット４３の照明光の一部とが重畳して被検査体であるセンサパネルユニット１０の照明に寄与している。
【００３６】
このような検査装置によれば、高輝度ＬＥＤユニット３１１を光源として用いて、設定光量の切り換えに対する応答性の悪い第１照明ユニット３０からの照明光と、低輝度ＬＥＤを光源として用いて、設定光量の切り換えに対する応答性が第１照明ユニット３０よりの良い第２照明ユニット４３からの照明光とを重畳させてセンサパネルアッセンブリ１０を照明し、第１照明ユニット３０からの照明光量を所定量Ｉｏに維持しつつ、第２照明ユニット４３からの照明光の光量が設定光量の切り換えによって切り換え制御されるので、センサパネルアッセンブリ１０を照明するための照明光量を第１照明ユニット３０単体と比べて短時間で、例えば、切り換えた直後から、目標光量とすることができる。その結果、多品種のセンサパネルアッセンブリについて、適正な検査を効率的に行うことができる。
【００３７】
なお、前述した検査装置において、シェーディング補正のための調整を行う際には、図７に示すように、被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０に第１照明ユニット３０及び第２照明ユニット４３からの照明光が入射しないように、センサパネルアッセンブリ１０が退避される。
【００３８】
第１照明ユニット３０、第２照明ユニット４３、ラインセンサカメラ４１及び被検査体であるセンサパネルアッセンブリ１０の相対的な位置関係は、前述した検査装置で説明したものに限定されない。例えば、図８に示すように、ラインセンサカメラ４１の光軸を垂直方向から傾かせるようにしてもよい。また、図９に示すように、第２照明ユニット４３を、ラインセンサカメラ４１を挟んで第１照明ユニット３０の逆側に配置することもできる。この場合、第１照明ユニット３０からの照明光と第２照明ユニット４３からの照明光の双方がセンサパネルアッセンブリ１０での反射光がラインセンサカメラ４１に入射する。更に、図１０に示すように、第１照明ユニット３０と第２照明ユニット４３とを反射板４２の背後に配置することもできる。この場合、第１照明ユニット３０からの照明光と第２照明ユニット４３からの照明光の双方が反射板４２を通してセンサパネルアッセンブリ１０を透過し、その透過光がラインセンサカメラ４１に入射する。
【００３９】
また、上述した実施の一形態では、本発明に係る照明装置を検査装置に適用したものであったが、本発明に係る照明装置は、例えば光学顕微鏡の光源として用いられているメタルハライドランプに替わって用いるなど、検査装置以外にも適用できる。
【００４０】
さらに、上述した実施の一形態では、第１照明ユニット及び第２照明ユニットを１つずつ備えた例であったが、数について限定するものではなく、一方が単数で他方が複数、両者複数など、その組み合わせは自由である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  センサパネルアッセンブリ（被照明体・被検査体）
１１  センサパネル
１２  カバーガラス
１３、１５  接着剤
２０  液晶パネルアッセンブリ
３０  第１照明ユニット
３１  光源装置
３２  照明ヘッド
３３  ライトガイド
３４  集光器
４１  ラインセンサカメラ
４２  反射板（拡散板）
４３  第２照明ユニット
５０  移動機構
６０  処理ユニット
６１  表示ユニット
６２  操作ユニット
３１１  高輝度ＬＥＤユニット
３１２  導光ミラー
３１３  電源ユニット
３１４  冷却ファン
【図１Ａ】
2013152206.tif 000003
【図１Ｂ】
2013152206.tif 000004
【図１Ｃ】
2013152206.tif 000005
【図２】
2013152206.tif 000006
【図３】
2013152206.tif 000007
【図４Ａ】
2013152206.tif 000008
【図４Ｂ】
2013152206.tif 000009
【図５】
2013152206.tif 000010
【図６Ａ】
2013152206.tif 000011
【図６Ｂ】
2013152206.tif 000012
【図７】
2013152206.tif 000013
【図８】
2013152206.tif 000014
【図９】
2013152206.tif 000015
【図１０】
2013152206.tif 000016