(57)【要約】【課題】色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を提供する。【解決手段】表面側が回路形成面とされた半導体層１１と、半導体層１１内に積層されて形成された２層以上の光電変換部ＰＤ１，ＰＤ２と、ゲート電極２１が半導体層１１の表面１５から内部に埋め込まれて形成された、縦型トランジスタＴｒ１とを含み、２層以上のうちの１層の光電変換部ＰＤ１は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体層１１に埋め込まれた部分２１Ａにまでわたって形成され、縦型トランジスタＴｒ１によって形成されるチャネルに接続されている固体撮像装置を構成する。【選択図】図２
2013084785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面側が回路形成面とされた半導体層と、
前記半導体層内に、積層されて形成された２層以上の光電変換部と、
ゲート電極が前記半導体層の表面から前記半導体層の内部に埋め込まれて形成された、縦型トランジスタとを含み、
２層以上の前記光電変換部のうちの１層の光電変換部は、前記縦型トランジスタの前記ゲート電極の前記半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成され、前記縦型トランジスタによって形成される前記チャネルに接続されている
固体撮像装置。
【請求項２】
前記半導体層の裏面側が光入射面とされた、裏面照射型構造を有する、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
電荷蓄積期間では、前記縦型トランジスタがオフ状態であって、前記縦型トランジスタの前記チャネルが形成されず、フローティングディフュージョンと前記光電変換部とが繋がっていない、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記半導体層に３層の前記光電変換部が積層されており、３層の前記光電変換部のうち、前記半導体層の裏面側から１層目の前記光電変換部及び２層目の前記光電変換部に対して、それぞれ１つずつ前記縦型トランジスタが設けられている、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記半導体層の光入射面側に配置された、有機光電変換層から成る光電変換部をさらに有する、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記有機光電変換層が、前記縦型トランジスタの前記ゲート電極の光入射面側にもわたって形成されている、請求項５に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
積層されて形成された２層の前記光電変換部を有する第１の画素と、前記第１の画素の２層の前記光電変換部とは異なる色の光を光電変換する光電変換部を有する第２の画素とを含み、前記第１の画素と前記第２の画素とが規則的に平面配置されて画素部が構成され、前記第１の画素と前記第２の画素の上にそれぞれ吸収波長の異なるカラーフィルターが設けられている、請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
光学系と、
表面側が回路形成面とされた半導体層と、前記半導体層内に、積層されて形成された２層以上の光電変換部と、ゲート電極が前記半導体層の表面から前記半導体層の内部に埋め込まれて形成された、縦型トランジスタとを含み、２層以上の前記光電変換部のうちの１層の光電変換部は、前記縦型トランジスタの前記ゲート電極の前記半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成され、前記縦型トランジスタによって形成されるチャネルに接続されている固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備えた
撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、縦方向分光イメージセンサーに用いて好適な固体撮像装置、及びこの固体撮像装置を備えた撮像装置に係わる。
【背景技術】
【０００２】
従来のイメージセンサーでは、カラーフィルターがベイヤー配列に形成されていることが一般的であった。
しかし、ベイヤー配列では、各カラーフィルターによって吸収される光を光電変換に利用できないため、カラーフィルターの分、光の利用効率が低下してしまう。
【０００３】
そこで、ベイヤー配列のカラーフィルターよりも光の利用効率を高めて、高感度化や高解像度化を図る目的で、同一画素に複数のフォトダイオードを積層した、縦方向分光イメージセンサーが提案されている（例えば、特許文献１〜特許文献３参照）。
【０００４】
シリコン基板を用いた縦方向分光イメージセンサーでは、シリコン基板中の深さによって光の吸収波長が異なることを利用して色分離を行うために、シリコン内の異なる深さにフォトダイオードを積層することが特徴である。
そして、シリコン基板の深い部分に形成されたフォトダイオードから電荷を読み出すためには、不純物インプラで形成された電荷勾配をもった電荷転送経路（以下、「インプラプラグ」と称する）を介して、シリコン基板の表面まで電荷を転送している。
一方、シリコン基板の表面近傍のフォトダイオードに蓄積された電荷は、転送ゲートを用いて、フローティングディフュージョンに読み出している。
【０００５】
上述した構造の縦方向分光イメージセンサーでは、インプラプラグや表面近傍の電界蓄積領域に光が漏れ込んでも、漏れ込んだ光により光電変換が発生する。
しかしながら、漏れこんだ光の波長成分は、インプラプラグに接続されたフォトダイオードで光電変換される光の波長成分とは異なるので、異なる波長成分の光による電荷が混合されて、混色を生じることになる。
従って、混色を防止して良好な色分離を行うために、インプラプラグ上に遮光膜を形成する必要がある。
【０００６】
一方、インプラプラグ上に遮光膜を形成することにより、インプラプラグを形成しない単層のフォトダイオードの構成と比較して、インプラプラグの分、フォトダイオード上の開口率が小さくなり、感度が下がる。
つまり、縦方向分光イメージセンサーの従来の構造では、光の利用効率が良いというメリットと共に、開口率を下げて感度を下げる方向の構造も併せ持っており、縦方向分光のメリットを生かしきれない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−１２００７号公報
【特許文献２】特開２００５−１５１０７７号公報
【特許文献３】特開２００６−２７８４４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
縦方向分光イメージセンターのメリットを生かしきるためには、フォトダイオード上の開口率を下げないで、混色を防ぐことができる構造が望まれる。
【０００９】
本技術の目的は、色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置、及び固体撮像装置を備えた撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本技術の固体撮像装置は、表面側が回路形成面とされた半導体層と、この半導体層内に、積層されて形成された２層以上の光電変換部と、ゲート電極が半導体層の表面から半導体層の内部に埋め込まれて形成された、縦型トランジスタとを含む。
そして、２層以上の光電変換部のうちの１層の光電変換部は、縦型トランジスタのゲート電極の半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成され、縦型トランジスタによって形成されるチャネルに接続されている。
【００１１】
本技術の撮像装置は、光学系と、上記本技術の固体撮像装置と、固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備えたものである。
【００１２】
上述の本技術の固体撮像装置の構成によれば、２層以上のうちの１層の光電変換部が、縦型トランジスタのゲート電極の半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成され、かつ、縦型トランジスタによって形成されるチャネルに接続されている。
これにより、縦型トランジスタをオン状態にすれば、縦型トランジスタのチャネルに接続された光電変換部で光電変換された信号電荷を、回路形成面である、半導体層の表面側に読み出すことができる。
また、縦型トランジスタがオフ状態となる電荷蓄積期間には、光電変換部と、縦型トランジスタの周りにチャネルが形成されないため、波長の異なる光による電荷が混ざることがなく、混色を生じない。そのため、ゲート電極の部分を遮光膜で覆わなくても混色を防ぐことができる。これにより、インプラプラグの部分を遮光膜で覆った構造と比較して、遮光膜の開口を広げて開口率を上げることが可能になる。
そして、この光電変換部が、ゲート電極の半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成されているので、インプラプラグを形成した構造と比較して、光電変換部の面積を大きくして感度を向上することが可能になる。
【００１３】
上述の本技術の撮像装置の構成によれば、本技術の固体撮像装置を含むので、固体撮像装置において、ゲート電極の部分を遮光膜で覆わなくても混色を防ぐことができ、また、光電変換部の面積を大きくして感度を向上することが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
上述の本技術によれば、混色を生じないので、色分離が良好であり、画質の良好な画像が得られる。
また、本技術によれば、光電変換部の面積を大きくして感度を向上することが可能になるため、高い感度が得られる。
従って、画質が良好であり、高い感度を有する固体撮像装置及び撮像装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（平面図）である。
【図２】第１の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図３】第２の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図４】第３の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図５】第４の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図６】第５の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図７】第６の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図である。
【図８】第６の実施の形態のカラーフィルターの平面配置である。
【図９】第７の実施の形態の撮像装置の概略構成図（ブロック図）である。
【図１０】Ａ、Ｂ  半導体基板内に複数の光電変換部を積層して設けた、従来構造の断面図である。
【図１１】図１０Ａの構成において斜めに光が入射した場合を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本技術を実施するための最良の形態（以下、実施の形態とする）について説明する。
なお、説明は以下の順序で行う。
１．第１の実施の形態（固体撮像装置）
２．第２の実施の形態（固体撮像装置）
３．第３の実施の形態（固体撮像装置）
４．第４の実施の形態（固体撮像装置）
５．第５の実施の形態（固体撮像装置）
６．第６の実施の形態（固体撮像装置）
７．固体撮像装置の変形例
８．第７の実施の形態（撮像装置）
【００１７】
＜１．第１の実施の形態（固体撮像装置）＞
第１の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（平面図）を、図１に示す。
また、第１の実施の形態の固体撮像装置の要部の断面図を、図２に示す。
本実施の形態は、ＣＭＯＳ型固体撮像装置（ＣＭＯＳイメージセンサ）に、本技術を適用したものである。
【００１８】
本実施の形態の固体撮像装置１は、図１に示すように、半導体基板１１、例えばシリコン基板に、光電変換部を含む画素２が多数規則的に２次元配列された画素部（所謂撮像領域）３と、駆動回路等を含む周辺回路部とが形成されて成る固体撮像素子によって構成される。
【００１９】
画素２は、光電変換部と、ＭＯＳトランジスタから成る画素トランジスタとを有する。
画素トランジスタとしては、例えば、転送トランジスタ、リセットトランジスタ、増幅トランジスタ、選択トランジスタ、の少なくとも１つ以上を有する。
【００２０】
周辺回路部は、垂直駆動回路４と、カラム信号処理回路５と、水平駆動回路６と、出力回路７と、制御回路８等を有して構成されている。
【００２１】
垂直駆動回路４は、例えばシフトレジスタによって構成され、画素駆動配線を選択して、選択された画素駆動配線に画素を駆動するためのパルスを供給し、行単位で画素を駆動する。即ち、垂直駆動回路４は、画素部３の画素２を行単位で順次垂直方向に選択走査し、垂直信号線９を通して各画素２の光電変換素子（例えばフォトダイオード）において、受光量に応じて生成した信号電荷に基づいた画素信号を、カラム信号処理回路５に供給する。
【００２２】
カラム信号処理回路５は、画素２の例えば一列毎に配置されており、一行分の画素から出力される信号に対し、画素列毎にノイズ除去等の信号処理を行う。即ち、カラム処理回路５は、画素２に特有の固定パターンノイズを除去するためのＣＤＳや、信号増幅、ＡＤ変換等の信号処理を行う。カラム信号処理回路５の出力段には、水平選択スイッチ（図示せず）が水平信号線１０との間に接続されている。
【００２３】
出力回路７は、カラム信号処理回路５のそれぞれから水平信号線１０を通して順次供給される信号に対し、信号処理を行って出力する。
入出力端子１２は、外部と信号のやり取りを行う。
【００２４】
図２は、図１の固体撮像装置１の１つの画素２の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置では、受光部が形成された半導体基板に対して、回路や配線とは逆の側から光を入射させる、所謂裏面照射型構造としている。
【００２５】
本実施の形態では、図２に示すように、１つの画素において、半導体基板１１の深さ方向に積層した、２つの光電変換部ＰＤ１及びＰＤ２が形成されている。
光電変換部ＰＤ１，ＰＤ２は、それぞれ、半導体基板１１の内部に形成されたフォトダイオードによって構成されている。
そして、半導体基板１１の裏面１６側に、光が入射する受光面が形成されている。
一方、半導体基板１１の表面１５側に、図示しないが、所謂読み出し回路等を含む回路が形成される。
【００２６】
２つの光電変換部ＰＤ１，ＰＤ２のうち、半導体基板１１の裏面１６側の第１の光電変換部ＰＤ１では、波長の短い、青Ｂの光を光電変換する。表面１５側の第２の光電変換部ＰＤ２では、波長の長い、赤Ｒの光を光電変換する。これにより、縦方向分光イメージセンサーが構成される。
半導体基板１１の表面１５側の第２の光電変換部ＰＤ２には、転送ゲート２３を介して、左側にフローティングディフュージョン（ＦＤ）２４が設けられている。
【００２７】
本実施の形態では、特に、半導体基板１１の裏面１６側の第１の光電変換部ＰＤ１に、縦型トランジスタＴｒ１が接続されている。
縦型トランジスタＴｒ１は、半導体基板１１の表面１５側から半導体基板１１の内部にまで埋め込まれて形成されたゲート電極２１を有して構成されている。
これにより、第１の光電変換部ＰＤ１が、縦型トランジスタＴｒ１によって形成されるチャネルに接続されている。
そして、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の右側の半導体基板１１の表面１５に、フローティングディフュージョン（ＦＤ）２２が設けられている。
また、第１の光電変換部ＰＤ１は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって形成されている。
【００２８】
さらに、半導体基板１１の裏面（光入射面）１６のうち、第１の光電変換部ＰＤ１が形成されていない部分を覆って、遮光膜２５が形成されている。
【００２９】
ここで、本技術に対する比較対照として、半導体基板内に複数の光電変換部を積層して設けた、従来構造の固体撮像装置について、図１０〜図１１を参照して説明する。
この従来構造の固体撮像装置の断面図を、図１０Ａ及び図１０Ｂに示す。
【００３０】
図１０Ａに示すように、この固体撮像装置では、半導体基板５１の深い所に形成された、赤Ｒ用の第２の光電変換部ＰＤ２からの電荷転送には、半導体基板５１の上下に延びて形成された、インプラプラグ６０を使用している。
このインプラプラグ６０は、不純物のイオンインプラによって、第２の光電変換部ＰＤ２の不純物領域から連続して、かつ、半導体基板５１の上下に延びるように形成された、不純物領域で構成されている。
そして、第２の光電変換部ＰＤ２で得られた電荷は、このインプラプラグ６０を通って移動して、半導体基板５１の表面上にある転送ゲート５２の電界で読み出しが可能な部分に蓄積される。
一方、半導体基板５１の浅い所に形成された、青Ｂ用の第１の光電変換部ＰＤ１からの電荷転送には、半導体基板５１の表面上にある転送ゲート５４を使用している。
また、第１の光電変換部ＰＤ１以外の部分を覆って、半導体基板５１の上方に、遮光膜５６が形成されている。
【００３１】
次に、電荷を読み出す際の動作を、図１０Ｂに示す。
電荷を読み出す際には、左の転送ゲート５４をオンにして、図１０Ｂに矢印で示すように、第１の光電変換部ＰＤ１の電荷を左のフローティングディフュージョン（ＦＤ）５５に読み出す。
また、右の転送ゲート５２をオンにして、図１０Ｂに矢印で示すように、第２の光電変換部ＰＤ２のインプラプラグ６０の電荷を右のフローティングディフュージョン（ＦＤ）５３に読み出す。
【００３２】
インプラプラグ６０は、半導体基板５１の深い所から浅い所に延びて形成されているので、浅い所に向かうに従い、吸収する光波長が短くなっていく。
このため、電荷蓄積中にインプラプラグ６０に光が漏れこむと、赤Ｒの光電変換部ＰＤ２の信号に青色等の短波長の信号が混ざることになる。
従って、良好な色分離を行うために、遮光膜５６でインプラプラグ６０の上を覆っている。
【００３３】
しかしながら、固体撮像素子の微細化や多画素化が進むことにより、画素サイズが小さくなると、斜めに入射する光が増える。
斜めに入射する光が増えると、図１１に示すように、斜めに入射する光が遮光膜５６の下のインプラプラグ６０に入射するようになり、インプラプラグ６０では赤Ｒの光から生じた電荷と、波長の短い青Ｂ等の光により生じた電荷とが混ざってしまう。これにより、信号電荷に混色を生じて、色分離特性が劣化する。
また、インプラプラグ６０上をも覆って遮光膜５６を形成するため、インプラプラグ６０の分、遮光膜５６の開口が狭くなり、開口率が低下する。この開口率の低下に伴って、感度が低下する。
【００３４】
図１０〜図１１に示した従来の構造では、半導体基板５１の深い所に形成された第２の光電変換部ＰＤ２から、インプラプラグ６０が半導体基板５１の表面近傍まで形成されており、異なる吸収波長帯を持つ構造が繋がっている。このため、開口率低下の原因となる遮光膜５６をインプラプラグ６０上にも形成する必要がある。
【００３５】
これに対して、本実施の形態の構造では、半導体基板１１の深い所に形成された第１の光電変換部ＰＤ１において生じた電荷を、縦型トランジスタＴｒ１で読み出す。
裏面照射型構造であるので、半導体基板１１の裏面（光入射面）１６側に形成された第１の光電変換部ＰＤ１は、回路形成面である表面１５とは反対側に形成されている。
光入射面である裏面１６側には、転送ゲートが設けられていないため、第１の光電変換部ＰＤ１を広く形成して、開口率、即ち画素サイズに対する開口幅の比を最大にすることが可能になる。これにより、感度を最大化することが可能である。
また、半導体基板１１の表面１５側に形成される第２の光電変換部ＰＤ２も、従来構造のインプラプラグ６０がなくなる分だけ、面積を大きくすることができる。
【００３６】
そして、読み出しに縦型トランジスタＴｒ１を用いることにより、半導体基板１１の深い部分に形成された第１の光電変換部ＰＤ１は、深さを一定として、一定の波長吸収帯を持つのみとすることができる。これにより、図１０に示した従来構造のインプラプラグ６０で発生していた混色を防ぐことができる。
ただし、厳密には、縦型トランジスタＴｒ１を用いてフローティングディフュージョン２１に電荷を転送する電荷転送期間では、半導体基板１１の深い部分に形成された第１の光電変換部ＰＤ１と縦型トランジスタＴｒ１の周りに形成されるチャネル部分とが繋がる。そのため、この電荷転送期間では、従来構造と同様に、半導体基板１１内の深さの異なる部分の光電変換成分が加わる。
しかし、縦型トランジスタＴｒ１がオン状態である電荷転送期間は、電荷蓄積期間に対して十分に短いため、電荷転送期間中の混色成分は無視することができる。
電荷蓄積期間では、縦型トランジスタＴｒ１がオフ状態であり、第１の光電変換部ＰＤ１と縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、半導体基板１１内の深さの異なる部分の光電変換成分が加わることがない。
【００３７】
また、縦型トランジスタＴｒ１を用いることにより、図１０に示した従来構造ではインプラプラグ６０が形成されていて光電変換に寄与させられなかった領域にも、光電変換部を拡大することが可能になる。
また、縦型トランジスタＴｒ１の部分には、混色抑制のための遮光膜２５を形成する必要がなくなるため、開口率を向上することが可能になる。
【００３８】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内の裏面１６側に形成された第１の光電変換部ＰＤ１で光電変換された信号電荷を、縦型トランジスタＴｒ１を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１がオフ状態である電荷蓄積期間には、第１の光電変換部ＰＤ１と縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、波長の異なる光による信号電荷が混ざらない。即ち、混色を生じない。
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の部分を遮光膜２５で覆わなくても混色を生じないので、遮光膜２５の開口率を広げて感度の向上を図ることが可能になる。
【００３９】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって、第１の光電変換部ＰＤ１を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１の面積を大きくして、感度を向上することができる。
【００４０】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００４１】
＜２．第２の実施の形態（固体撮像装置）＞
第２の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（要部の断面図）を、図３に示す。図３は、図２と同様に、固体撮像装置の１つの画素の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置は、固体撮像素子の構造を、受光部が形成された半導体基板に対して、回路や配線と同じ側から光を入射させる、所謂表面照射型構造としている。
【００４２】
本実施の形態では、図３に示すように、半導体基板１１内の表面１５側の部分に、青Ｂの光を光電変換する第１の光電変換部ＰＤ１が形成され、半導体基板１１内の裏面１６側の部分に、赤Ｒの光を光電変換する第２の光電変換部ＰＤ２が形成されている。即ち、第１の光電変換部ＰＤ１及び第２の光電変換部ＰＤ２の、半導体基板１１の表面１５側と裏面１６側との配置が、図２とは逆になっている。
そして、半導体基板１１の表面１５側に、光が入射する受光面が形成されている。
さらに、半導体基板１１の表面１５側に、図示しないが、所謂読み出し回路等を含む回路が形成される。
【００４３】
半導体基板１１の表面１５側の第１の光電変換部ＰＤ１には、転送ゲート２３を介して、左側にフローティングディフュージョン（ＦＤ）２４が設けられている。
【００４４】
本実施の形態では、特に、半導体基板１１の裏面１６側の第２の光電変換部ＰＤ２に、縦型トランジスタＴｒ１が接続されている。
縦型トランジスタＴｒ１は、半導体基板１１の表面１５側から半導体基板１１の内部にまで埋め込まれて形成されたゲート電極２１を有して構成されている。
これにより、第２の光電変換部ＰＤ２が、縦型トランジスタＴｒ１によって形成されるチャネルに接続されている。
そして、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の右側の半導体基板１１の表面１５に、フローティングディフュージョン（ＦＤ）２２が設けられている。
また、第２の光電変換部ＰＤ２は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にまでわたって形成されている。
【００４５】
さらに、半導体基板１１の表面（光入射面かつ回路形成面）１５のうち、第１の光電変換部ＰＤ１が形成されていない部分を覆って、遮光膜２５が形成されている。
【００４６】
本実施の形態の構造では、半導体基板１１の深い所に形成された第２の光電変換部ＰＤ２において生じた電荷を、縦型トランジスタＴｒ１で読み出す。
この構造により、図１０に示した従来構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１及び第２の光電変換部ＰＤ２の面積を拡大することが可能になる。
即ち、半導体基板１１の表面１５側に形成される第１の光電変換部ＰＤ１は、図１０に示した従来構造のインプラプラグ６０がなくなる分だけ、従来構造よりも領域を拡大して面積を大きくすることができる。
一方、裏面１６側に形成される第２の光電変換部ＰＤ２は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にまでわたって形成されており、遮光膜２５の開口とほぼ同じ面積にまで拡大されている。これにより、画素サイズに対する光電変換部の幅の比を最大にすることが可能になり、高い感度を得ることが可能になる。
【００４７】
なお、その他の構成は、第１の実施の形態と同様であり、図１の平面図に示した構造を採用することができる。
【００４８】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内の裏面１６側に形成された第２の光電変換部ＰＤ２で光電変換された信号電荷を、縦型トランジスタＴｒ１を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１がオフ状態である電荷蓄積期間には、第２の光電変換部ＰＤ２と縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、混色を生じない。
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の部分を遮光膜２５で覆わなくても混色を生じないので、遮光膜２５の開口率を広げて感度の向上を図ることが可能になる。
【００４９】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって、第２の光電変換部ＰＤ２を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第２の光電変換部ＰＤ２の面積を大きくして、感度を向上することができる。
【００５０】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００５１】
＜３．第３の実施の形態（固体撮像装置）＞
第３の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（要部の断面図）を、図４に示す。図４は、図２〜図３と同様に、固体撮像装置の１つの画素の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置は、半導体基板内に３層の光電変換部を積層した、裏面照射型構造としている。
【００５２】
本実施の形態では、図４に示すように、半導体基板１１の裏面（光入射面）１６側から、３層の光電変換部が積層されており、第１の実施の形態の２つの光電変換部ＰＤ１，ＰＤ２の間に、緑Ｇの第３の光電変換部ＰＤ３が設けられた構成となっている。
【００５３】
第１の光電変換部ＰＤ１からの電荷の読み出しには、第１の実施の形態と同様に、縦型トランジスタＴｒ１を用いている。
本実施の形態では、第３の光電変換部ＰＤ３からの電荷の読み出しに、第２の縦型トランジスタＴｒ２を用いている。即ち、この第３の光電変換部ＰＤ３は、第２の縦型トランジスタＴｒ２によって形成されるチャネルに接続されている。
第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６は、半導体基板１１に埋め込まれた部分２６Ａの長さが、第１の縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａよりも短くなっている。
なお、第２の光電変換部ＰＤ２からの電荷の読み出しには、半導体基板１１の表面１５上の図示しない部分に形成された、転送ゲートを用いる。この転送ゲートは図２の転送ゲート２３と同様の構成とされ、信号電荷を第２の光電変換部ＰＤ２から図示しないフローティングディフュージョン（ＦＤ）に読み出す。
第３の光電変換部ＰＤ３は、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板に埋め込まれた部分２６Ａの裏面１６側にまでわたって形成されている。
第１の光電変換部ＰＤ１は、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板に埋め込まれた部分２６Ａの裏面１６側から、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側まで形成されている。
【００５４】
その他の構成は、図１及び図２に示した第１の実施の形態と同様であるので、重複説明を省略する。
【００５５】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内に形成された第１の光電変換部ＰＤ１と第３の光電変換部ＰＤ３で光電変換された信号電荷を、それぞれ縦型トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２がオフ状態である電荷蓄積期間には、第１の光電変換部ＰＤ１や第３の光電変換部ＰＤ３と、縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、混色を生じない。
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の部分を遮光膜２５で覆わなくても混色を生じないので、遮光膜２５の開口率を広げて感度の向上を図ることが可能になる。
【００５６】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって第１の光電変換部ＰＤ１を形成している。そして、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板１１に埋め込まれた部分２６Ａの裏面１６側にもわたって第３の光電変換部ＰＤ３を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１及び第３の光電変換部ＰＤ３の面積を大きくして、感度を向上することができる。
【００５７】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００５８】
＜４．第４の実施の形態（固体撮像装置）＞
第４の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（要部の断面図）を、図５に示す。図５は、図２〜図４と同様に、固体撮像装置の１つの画素の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置は、図４に示した第３の実施の形態と同様に、半導体基板内に３層の光電変換部を積層した、裏面照射型構造としている。
【００５９】
本実施の形態は、ほとんどの部分が図４に示した第３の実施の形態の構成と同様の構成となっているが、一部の構成が第３の実施の形態の構成とは異なっている。
即ち、本実施の形態では、図５に示すように、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板１１に埋め込まれた部分２６Ａの長さが、第１の縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａとほぼ等しい。
また、第１の光電変換部ＰＤ１は、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板１１に埋め込まれた部分２６Ａと重ならないように、形成されている。
【００６０】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内に形成された第１の光電変換部ＰＤ１と第３の光電変換部ＰＤ３で光電変換された信号電荷を、それぞれ縦型トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２がオフ状態である電荷蓄積期間には、第１の光電変換部ＰＤ１や第３の光電変換部ＰＤ３と、縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、混色を生じない。
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の部分を遮光膜２５で覆わなくても混色を生じないので、遮光膜２５の開口率を広げて感度の向上を図ることが可能になる。
【００６１】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって第１の光電変換部ＰＤ１を形成している。そして、第２の縦型トランジスタＴｒ２のゲート電極２６の半導体基板１１に埋め込まれた部分２６Ａにもわたって第３の光電変換部ＰＤ３を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１及び第３の光電変換部ＰＤ３の面積を大きくして、感度を向上することができる。
【００６２】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００６３】
ここで、第３の実施の形態の構成と第４の実施の形態の構成とを比較すると、それぞれの構成の利点は、以下の通りである。
第３の実施の形態は、第１の光電変換部ＰＤ１の面積が広いので、その分、赤Ｒの光の感度を向上することができる。
第４の実施の形態は、２つの縦型トランジスタＴｒ１，Ｔｒ２のゲート電極２１，２６の半導体基体内の深さがほぼ等しいので、これらのゲート電極２１，２６を半導体基体１１に埋め込む穴を、同時に形成することができる。これにより、半導体基板１１に深さの異なる穴を順次形成する必要がある、第３の実施の形態の構造と比較して、製造工程数を削減することが可能になる。
【００６４】
なお、半導体基板内に３層の光電変換部を積層する構成は、第３の実施の形態や第４の実施の形態のような裏面照射型構造に限定されるものではなく、表面照射型構造に適用することも可能である。
【００６５】
＜５．第５の実施の形態（固体撮像装置）＞
第５の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（要部の断面図）を、図６に示す。図６は、図２〜図５と同様に、固体撮像装置の１つの画素の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置は、半導体基板内に２層の光電変換部を積層して縦型トランジスタを用いて電荷を読み出す構造と、光入射面側に配置された、カラーフィルター機能及び光電変換機能を有する積層型光電変換層とを組み合わせた構成である。
【００６６】
本実施の形態は、図６に示すように、半導体基板１１内に第１の光電変換部ＰＤ１及び第２の光電変換部ＰＤ２が形成され、半導体基板１１の表面１５側から内部に埋め込まれて、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１が形成されている。
また、青Ｂの第１の光電変換部ＰＤ１は半導体基板１１内の裏面１６側に形成され、赤Ｒの第２の光電変換部ＰＤ２は半導体基板１１内の表面１５側に形成されている。
第１の光電変換部ＰＤ１は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１内に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって形成されている。
これらの構成は、図２に示した第１の実施の形態とほぼ同様な構成となっている。
【００６７】
本実施の形態では、さらに、半導体基板１１の裏面１６側に、緑Ｇの光を受光検出する、１つの有機光電変換部が設けられている。
この有機光電変換部は、有機光電変換材料から成る有機光電変換層３２が、光入射側の第１の電極３１と、半導体基板１１側の第２の電極３３とに挟まれて構成されている。
有機光電変換層３２は、緑Ｇの光を吸収して光電変換を行うと共に、青Ｂと赤Ｒの光を透過するカラーフィルターの機能を有する。
【００６８】
第１の電極３１及び第２の電極３３は、透明導電材料によって形成する。
第１の電極３１及び第２の電極３３の透明導電材料としては、例えば、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物等を使用することができる。
【００６９】
有機光電変換層３２の、緑Ｇの光で光電変換する有機光電変換材料としては、例えば、ローダミン系色素、メラシアニン系色素、キナクリドン等を含む有機光電変換材料を使用することができる。
【００７０】
有機光電変換部の第２の電極３３は、断面が十字形状の配線層３４を介して、半導体基板１１に電気的に接続されている。
半導体基板１１の裏面１６側の配線層３４に接続された部分には、コンタクト領域３０が形成されている。
さらに、このコンタクト領域３０に接続して、半導体基板１１の内部に電荷蓄積領域２９が形成されている。
有機光電変換層３２で光電変換された電荷は、第２の電極３３及び配線層３４を経て、コンタクト領域３０を通り、半導体基板１１内の電荷蓄積領域２９に蓄積される。
この電荷蓄積領域２９に蓄積された電荷は、転送ゲート２７によって、半導体基板１１の表面１５側に形成されたフローティングディフュージョン（ＦＤ）２８に読み出される。
【００７１】
配線層３４は、電荷蓄積領域２９に対する遮光膜としても作用するように、タングステン等の遮光性を有する金属材料によって形成することが望ましい。
【００７２】
有機光電変換部の有機光電変換層３２は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の裏面１６側の部分、及び、電荷蓄積領域２９の裏面１６側の部分を含み、第１の光電変換部ＰＤ１よりも広い面積で形成されている。これにより、有機光電変換層を半導体基板内の光電変換部とほぼ同じ広さで形成した構成と比較して、有機光電変換層３２における緑Ｇの光の感度を向上することができる。
【００７３】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内の裏面１６側に形成された第１の光電変換部ＰＤ１で光電変換された信号電荷を、縦型トランジスタＴｒ１を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１がオフ状態である電荷蓄積期間には、第１の光電変換部ＰＤ１と縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、混色を生じない。
【００７４】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって第１の光電変換部ＰＤ１を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１の面積を大きくして、感度を向上することができる。
さらに、有機光電変換部の有機光電変換層３２が第１の光電変換部ＰＤ１よりも広い面積で形成されている。これにより、有機光電変換層を第１の光電変換部とほぼ同じ広さで形成した構成と比較して、有機光電変換層３２における緑Ｇの光の感度を向上することができる。
【００７５】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００７６】
上述の実施の形態では、色の組み合わせとして、有機光電変換部を緑Ｇ、第１の光電変換部を青Ｂ、第２の光電変換部を赤Ｒとしたが、その他の色の組み合わせも可能である。
例えば、有機光電変換部を赤Ｒ或いは青Ｂとして、半導体基板内の２つの光電変換部を、その他の対応する色に設定することが可能である。
赤Ｒの光で光電変換する有機光電変換材料としては、フタロシアニン系色素を含む有機光電変換材料を使用することができる。
青Ｂの光で光電変換する有機光電変換材料としては、クマリン系色素、メラシアニン系色素等を含む有機光電変換材料を使用することができる。
【００７７】
また、有機光電変換層と本技術の光電変換部との組み合わせは、表面照射型構造に適用することも可能である。
その場合は、半導体基板内に形成する光電変換部は、光入射面側から青Ｂの第１の光電変換部ＰＤ１、赤Ｒの第２の光電変換部ＰＤ２を配置して、縦型トランジスタを用いて読み出すのは、第２の実施の形態と同様に、赤Ｒの第２の光電変換部ＰＤ２になる。
【００７８】
＜６．第６の実施の形態（固体撮像装置）＞
第６の実施の形態の固体撮像装置の概略構成図（要部の断面図）を、図７に示す。図７は、固体撮像装置の隣接する２つの画素の断面図を示している。
本実施の形態の固体撮像装置は、半導体基板内に２層の光電変換部を積層して縦型トランジスタを用いて電荷を読み出す構造と、従来の半導体基板内に１層の光電変換部を形成して転送ゲートを用いて電荷を読み出す構造とを組み合わせた構成である。
【００７９】
本実施の形態は、図７に示すように、半導体基板１１内に第１の光電変換部ＰＤ１及び第２の光電変換部ＰＤ２が形成され、半導体基板１１の表面１５側から内部に埋め込まれて、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１が形成されている。
また、青Ｂの第１の光電変換部ＰＤ１は半導体基板１１内の裏面１６側に形成され、赤Ｒの第２の光電変換部ＰＤ２は半導体基板１１内の表面１５側に形成されている。
第１の光電変換部ＰＤ１は、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１内に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって形成されている。
さらに、半導体基板１１の裏面１６側の第１の光電変換部ＰＤ１以外の部分を覆って、遮光膜２５が形成されている。
これらの構成は、図２に示した第１の実施の形態とほぼ同様な構成となっている。
【００８０】
本実施の形態では、さらに、第１の光電変換部ＰＤ１及び第２の光電変換部ＰＤ２が形成された第１の画素では、遮光膜２５よりも光入射側に、Ｍａｇｅｎｔａ（Ｍｇ）のカラーフィルター３５が設けられている。
また、この第１の画素に隣接する第２の画素では、半導体基板１１の内部に、緑Ｇの第３の光電変換部ＰＤ３が形成され、遮光膜２５よりも光入射側に、Ｇｒｅｅｎ（Ｇ）のカラーフィルター３６が設けられている。そして、半導体基板１１の表面１５側に、第３の光電変換部ＰＤ３で光電変換された電荷を転送する転送ゲート２７と、転送ゲート２７によって転送された電荷が送られるフローティングディフュージョン（ＦＤ）２８が設けられている。
【００８１】
また、本実施の形態におけるカラーフィルターの平面配置を、図８に示す。
図８に示すように、Ｍａｇｅｎｔａ（Ｍｇ）のカラーフィルターと、Ｇｒｅｅｎ（Ｇ）のカラーフィルターとを、市松状に配列している。
【００８２】
カラーフィルターの平面配置は、図８に示した市松配列に限定されず、その他の平面配置とすることも可能である。
また、使用するカラーフィルターの色の種類も、ＭａｇｅｎｔａとＧｒｅｅｎの２種類に限定されず、他の組み合わせも可能である。
【００８３】
上述の本実施の形態の固体撮像装置の構成によれば、半導体基板１１内の裏面１６側に形成された第１の光電変換部ＰＤ１で光電変換された信号電荷を、縦型トランジスタＴｒ１を用いて読み出す構成としている。
これにより、縦型トランジスタＴｒ１がオフ状態である電荷蓄積期間には、第１の光電変換部ＰＤ１と縦型トランジスタＴｒ１の周りにチャネルが形成されないため、混色を生じない。
【００８４】
また、縦型トランジスタＴｒ１のゲート電極２１の半導体基板１１に埋め込まれた部分２１Ａの裏面１６側にもわたって第１の光電変換部ＰＤ１を形成している。
これにより、インプラプラグを形成した構造と比較して、第１の光電変換部ＰＤ１の面積を大きくして、感度を向上することができる。
【００８５】
従って、本実施の形態の構成により、混色を生じないので色分離が良好であり、かつ、高い感度を有する固体撮像装置を実現することができる。
【００８６】
＜７．固体撮像装置の変形例＞
本技術の固体撮像装置において、画素部及び周辺回路部の構成は、図１に示した構成に限定されるものではなく、その他の構成とすることも可能である。
【００８７】
上述の各実施の形態では、フォトダイオードから成る光電変換部ＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３を、シリコン基板等の半導体基板に形成していた。
本技術において、積層される複数層の光電変換部を形成する半導体層は、半導体基板に限定されるものではなく、半導体基板上に半導体エピタキシャル層を形成した半導体基体や、ＳＯＩ基板の酸化膜上のシリコン層等を用いることも可能である。
また、本技術において、半導体層の材料としては、シリコンの他、Ｇｅや化合物半導体等の半導体を使用することも可能である。
【００８８】
本技術に係る固体撮像装置は、例えば、デジタルカメラやビデオカメラ等のカメラシステムや、撮像機能を有する携帯電話、撮像機能を備えた他の機器等に適用することができる。
【００８９】
＜８．第７の実施の形態（撮像装置）＞
第７の実施の形態の撮像装置の概略構成図（ブロック図）を、図９に示す。
図９に示すように、この撮像装置１２１は、固体撮像装置１２２、光学系１２３、シャッタ装置１２４、駆動回路１２５、信号処理回路１２６を有する。
【００９０】
光学系１２３は、光学レンズ等により構成され、被写体からの像光（入射光）を固体撮像装置１２２の画素部に結像させる。これにより、固体撮像装置１２２内に、一定期間信号電荷が蓄積される。光学系１２３は、複数個の光学レンズから構成された光学レンズ系としても良い。
固体撮像装置１２２としては、前述した各実施の形態の固体撮像装置等、本技術に係る固体撮像装置を使用する。
シャッタ装置１２４は、固体撮像装置１２２への光照射期間及び遮光期間を制御する。
駆動回路１２５は、固体撮像装置１２２の転送動作及びシャッタ装置１２４のシャッタ動作を制御する駆動信号を供給する。駆動回路１２５から供給される駆動信号（タイミング信号）により、固体撮像装置１２２の信号転送を行う。
信号処理回路１２６は、各種の信号処理を行う。信号処理が行われた映像信号は、メモリ等の記憶媒体に記憶され、或いは、モニタに出力される。
【００９１】
上述の本実施の形態の撮像装置１２１の構成によれば、固体撮像装置１２２として、前述した各実施の形態の固体撮像装置等、本技術に係る固体撮像装置を使用することにより、混色を防ぐことができ、また、感度を向上することが可能になる。
【００９２】
本技術において、撮像装置の構成は、図９に示した構成に限定されるものではなく、本技術に係る固体撮像装置を使用する構成であれば、図９に示した以外の構成とすることも可能である。
【００９３】
なお、本開示は以下のような構成も取ることができる。
（１）表面側が回路形成面とされた半導体層と、前記半導体層内に、積層されて形成された２層以上の光電変換部と、ゲート電極が前記半導体層の表面から前記半導体層の内部に埋め込まれて形成された、縦型トランジスタとを含み、２層以上の前記光電変換部のうちの１層の光電変換部は、前記縦型トランジスタの前記ゲート電極の前記半導体層に埋め込まれた部分にまでわたって形成され、前記縦型トランジスタによって形成されるチャネルに接続されている固体撮像装置。
（２）前記半導体層の裏面側が光入射面とされた、裏面照射型構造を有する、前記（１）に記載の固体撮像装置。
（３）電荷蓄積期間では、前記縦型トランジスタがオフ状態であって、前記縦型トランジスタの前記チャネルが形成されず、フローティングディフュージョンと前記光電変換部とが繋がっていない、前記（１）又は（２）に記載の固体撮像装置。
（４）前記半導体層に３層の前記光電変換部が積層されており、３層の前記光電変換部のうち、前記半導体層の裏面側から１層目の前記光電変換部及び２層目の前記光電変換部に対して、それぞれ１つずつ前記縦型トランジスタが設けられている、前記（１）から（３）のいずれかに記載の固体撮像装置。
（５）前記半導体層の光入射面側に配置された、有機光電変換層から成る光電変換部をさらに有する、前記（１）から（３）のいずれかに記載の固体撮像装置。
（６）前記有機光電変換層が、前記縦型トランジスタの前記ゲート電極の光入射面側にもわたって形成されている、前記（５）に記載の固体撮像装置。
（７）積層されて形成された２層の前記光電変換部を有する第１の画素と、前記第１の画素の２層の前記光電変換部とは異なる色の光を光電変換する光電変換部を有する第２の画素とを含み、前記第１の画素と前記第２の画素とが規則的に平面配置されて画素部が構成され、前記第１の画素と前記第２の画素の上にそれぞれ吸収波長の異なるカラーフィルターが設けられている、前記（１）から（３）のいずれかに記載の固体撮像装置。
（８）光学系と、前記（１）から（７）のいずれかに記載の固体撮像装置と、前記固体撮像装置の出力信号を処理する信号処理回路を備えた撮像装置。
【００９４】
本技術は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【符号の説明】
【００９５】
１，１２２  固体撮像装置、２  画素、３  画素部、４  垂直駆動回路、５  カラム信号処理回路、６  水平駆動回路、７  出力回路、８  制御回路、９  垂直信号線、１０  水平信号線、１１  半導体基板、１２  入出力端子、１５  表面、１６  裏面、２１，２６  ゲート電極、２２，２４，２８  フローティングディフュージョン、２３，２７  転送ゲート、２５  遮光膜、２９  電荷蓄積領域、３０  コンタクト領域、３１  第１の電極、３２  有機光電変換層、３３  第２の電極、３４  配線層、３５，３６  カラーフィルター、１２１  撮像装置、１２３  光学系、１２４  シャッタ装置、１２５  駆動回路、１２６  信号処理回路、ＰＤ１  第１の光電変換部、ＰＤ２  第２の光電変換部、ＰＤ３  第３の光電変換部、Ｔｒ１  縦型トランジスタ、Ｔｒ２  第２の縦型トランジスタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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