(57)【要約】      （修正有）【課題】沈殿した微細物から切削液などの液体を確実に除去し、また除去した液体を循環経路に戻すことを可能にする。【解決手段】微細物除去装置１０は、沈降する液体が付着した微細物を沈殿させる沈殿部２１を備え、沈殿部２１は、液体を流出させるメッシュを有するクロスで成形した微細物回収袋２３と、微細物回収袋２３を収納する収納室２４とを有し、微細物回収袋２３に沈殿する液体が付着した微細物を収納し、微細物回収袋２３は、着脱可能である。微細物除去システムは、流体を循環させる循環経路Ｔに微細物除去装置１０を配置し、微細物除去装置１０により微細物に付着する液体を除去する。【選択図】図１
2013107164.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
沈降する液体が付着した微細物を沈殿させる沈殿部を備え、
前記沈殿部は、
液体を流出させるメッシュを有するクロスで成形した微細物回収袋と、
前記微細物回収袋を収納する収納室とを有し、
前記微細物回収袋に前記沈殿する液体が付着した微細物を収納し、
前記微細物回収袋は、着脱可能であることを特徴とする微細物除去装置。
【請求項２】
前記収納室を密閉状態とし、
前記収納室の内部を減圧にして前記微細物回収袋から前記微細物に収納した液体を除去する吸引手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の微細物除去装置。
【請求項３】
前記微細物回収袋は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の微細物除去装置。
【請求項４】
微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、
前記遠心分離部に、
前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の微細物除去装置。
【請求項５】
微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、
前記ホッパ部に、
前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の微細物除去装置。
【請求項６】
流体を循環させる循環経路に前記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の微細物除去装置を配置し、
前記微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することを特徴とする微細物除去システム。
【請求項７】
前記除去した液体を前記循環経路に戻す戻し経路を有することを特徴とする請求項６に記載の微細物除去システム。
【請求項８】
前記微細物除去装置の微細物回収袋は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項６に記載の微細物除去システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体に含まれる微粉末状クズ等の微細物を分離して除去する微細物除去装置及び微細物除去システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、機械加工装置では、供給タンクから切削液を供給しながら切削加工が行なわれ、切削液には微粉末状の切削クズが含まれる。この微粉末状の切削クズが含まれる切削液をフィルタ装置に供給し、このフィルタ装置で切削クズを除去して切削液を供給タンクに戻している（例えば特許文献１）。
【０００３】
このようなフィルタ装置として、例えばフィルタ膜によって切削クズを除去したり、沈殿によって切削クズを除去するものがあるが、いずれも切削液に大量に含まれる微粉末状の切削クズを、小型の装置で短時間に確実に除去することができない等の問題がある。
【０００４】
また、フィルタ膜が目詰まりを起こすことがあり、詰まってしまった場合まずフィルタ装置の分解作業をし、そのフィルタ膜を洗浄しなければならない。この洗浄作業や使用不能になると交換作業が発生する。また、フィルタ膜は大抵繰り返し使用すると、濾過精度は悪くなり、詰まり易くなるため、フィルタ膜の殆どが使い捨てフィルタ膜であり、コストがかかる等の問題がある。
【０００５】
このため、出願人は、小型の装置で短時間に大量に微細物を分離して確実に除去することが可能であり、かつ洗浄作業や交換作業をなくし、低コストである装置を提供した（例えば特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１３７７４３号公報
【特許文献２】特開２００３−２２５５１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような装置では、沈殿カップを着脱可能に接続し、沈殿カップに微細物を沈殿させて取り外すことで、沈殿した微細物を一度に排出するようにしているが、沈殿カップに切削液も混入しており、この切削液を除去することが必要になる。
【０００８】
また、沈殿部の沈殿カップに沈殿した微細物を排出する排出口が設けられ、排出バルブの手動操作で排出口から沈殿した微細物を排出しているが、この微細物の排出時に切削液も漏れることがあるため、同様に切削液を除去することが必要になる。
【０００９】
この発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、沈殿した微細物から切削液などの液体を確実に液きりして除去し、また除去した液体を循環経路に戻すことが可能な微細物除去装置及び微細物除去システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
【００１１】
請求項１に記載の発明は、沈降する液体が付着した微細物を沈殿させる沈殿部を備え、前記沈殿部は、液体を流出させるメッシュを有するクロスで成形した微細物回収袋と、前記微細物回収袋を収納する収納室とを有し、前記微細物回収袋に前記沈殿する液体が付着した微細物を収納し、前記微細物回収袋は、着脱可能であることを特徴とする微細物除去装置である。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、前記収納室を密閉状態とし、前記収納室の内部を減圧にして前記微細物回収袋から前記微細物に収納した液体を除去する吸引手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の微細物除去装置である。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、前記微細物回収袋は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の微細物除去装置である。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、前記遠心分離部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の微細物除去装置である。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、前記ホッパ部に、前記沈殿部を接続することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の微細物除去装置である。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、流体を循環させる循環経路に前記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の微細物除去装置を配置し、前記微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することを特徴とする微細物除去システムである。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、前記除去した液体を前記循環経路に戻す戻し経路を有することを特徴とする請求項６に記載の微細物除去システムである。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、前記微細物除去装置の微細物回収袋は、前記液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することを特徴とする請求項６に記載の微細物除去システムである。
【発明の効果】
【００１９】
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
【００２０】
請求項１に記載の発明では、微細物回収袋に沈殿する液体が付着した微細物を収納し、微細物回収袋は、着脱可能であることで、微細物回収袋から液体を流出させて微細物を回収することができるから、液体漏れがなく微細物回収袋を取り外して除去することができる。
【００２１】
請求項２に記載の発明では、収納室を密閉状態とし、収納室の内部を減圧にして微細物回収袋から微細物に収納した液体を除去することで、微細物回収袋の目詰まりがなく、確実に微細物回収袋から液体を流出させて微細物を回収することができる。
【００２２】
請求項３に記載の発明では、微細物回収袋は、液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することで、確実に液体漏れがなく微細物回収袋を取り外して除去することができる。      
【００２３】
請求項４に記載の発明では、微細物を含む液を供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された液体が付着した微細物を沈降させる遠心分離部を備え、遠心分離部に、沈殿部を接続することで、遠心分離部から微細物を液体の漏れがなく回収することができる。
【００２４】
請求項５に記載の発明では、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部を備え、ホッパ部に、沈殿部を接続することで、ホッパ部から微細物を液体の漏れがなく回収することができる。
【００２５】
請求項６に記載の発明では、流体を循環させる循環経路に前記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の微細物除去装置を配置し、微細物除去装置により微細物に付着する液体を除去することができる。
【００２６】
請求項７に記載の発明では、除去した液体を循環経路に戻し、液体の漏れがなく除去することができ、しかも液体を再利用し消費を抑えることができる。
【００２７】
請求項８に記載の発明では、液体を除去した微細物を固形化し、または液体を除去した状態で回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１の実施の形態の微細物除去装置の断面図である。
【図２】遠心分離部の平面図である。
【図３】第２の実施の形態の微細物除去装置の断面図である。
【図４】第３の実施の形態の微細物除去装置の断面図である。
【図５】第４の実施の形態の微細物除去装置の断面図である。
【図６】第１の実施の形態の微細物除去システムを示す構成図である。
【図７】第２の実施の形態の微細物除去システムを示す構成図である。
【図８】第３の実施の形態の微細物除去システムを示す構成図である。
【図９】第４の実施の形態の微細物除去システムを示す構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、この発明の微細物除去装置及び微細物除去システムの実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明するが、この発明はこの実施形態に限定されない。
【００３０】
この発明の微細物除去装置及び微細物除去システムは、製薬、化学、食品、飲料の原料他の微細物の回収に、また自動車、工作機、加工業の切削粉等の微細物の回収に、また各工場、水処理等の循環水、排水の濾過に、また半導体、バイオ等の不純物等の微細物の除去に、また洗浄水、溶剤等の異物である微細物の除去等に使用され、液体に含まれる微細物を分離除去するものに広く使用される。
【００３１】
（微細物除去装置）
［第１の実施の形態］
第１の実施の形態の一例を、図１及び図２に示す。図１は微細物除去装置の断面図、図２は遠心分離部の平面図である。
【００３２】
この実施の形態の微細物除去装置１０は、遠心分離部１１と、沈殿部２１とを備える。遠心分離部１１は、密閉筒１２を筒体１３に一体に複数段に設け、上段の密閉筒１２に連通して流体入口１４と流体出口１５が設けられている。このように、筒体１３に密閉筒１２を一体に設けることで、遠心分離部１１の気密性を向上させることができる。
【００３３】
遠心分離部１１は、軸芯に液体出口１５を有し、軸芯から偏位した位置に液体入口１４を有しており、テーパ下部１２ａに連通孔１２ｂを有する密閉筒１２を上下方向に２個形成しているが、２個に限定されず、１個でも、また複数個接続する構成でも良い。この密閉筒１２は、断面円状であり、筒体１３はアルミニウム等の金属で形成され、軽量で強度があるが、樹脂、ゴムなどでもよく特に限定されない。
【００３４】
遠心分離部１１は、液体入口１４から微細物を含む液を所定流速で供給して複数の密閉筒１２の内部で渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて液体出口１５から微細物を分離した液体を排出し、渦巻きを減速させて分離された微細物を沈降させ、下部に排出部１６を有する。この排出部１６には、切替バルブ１７を備える。この遠心分離部１１の構造は、この実施の形態に限定されず、一般的な遠心分離装置の構造でもよい。
【００３５】
沈殿部２１は、微細物回収袋２３と、収納室２４とを有し、微細物回収袋２３は、遠心分離部１１にジョイント部２５により着脱可能である。切替バルブ１７は、通常開いた状態で使用され、微細物を回収した微細物回収袋２３を取り外すときに連通を遮断する。
【００３６】
微細物回収袋２３は、液体を流出させるメッシュを有するクロスで成形され、クロスとしては、例えばポリアミドメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：１〜４０００ミクロン）、ポリエステルメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：１〜５０００ミクロン）、カーボンメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：５０〜５１０ミクロン）、ポリテトラフルオロエチレンメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：７〜２０００ミクロン）、ポリプロピレンメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：１０５〜３３６０ミクロン）、シルクメッシュクロス（ＪＩＳによるふるいの目開き：９５〜１１４０ミクロン）などが用いられるが、微細物回収袋２３の材質、ＪＩＳによるふるいの目開きなどは微細物に応じて設定される。ここでＪＩＳによるふるいの目開きは、メッシュの目の大きさ（糸と糸の間の隙間の大きさ）であり、ミクロン数で表示する。
【００３７】
ジョイント部２５は、固定部２５ａと、着脱部２５ｂとを有し、固定部２５ａは遠心分離部１１に固定され、この固定部２５ａと、着脱部２５ｂとの間に微細物回収袋２３の開口部を挟んで取り付ける。固定部２５ａから着脱部２５ｂを離間させると、微細物回収袋２３の開口部の固定が開放され、微細物を回収した微細物回収袋２３を取り外すことができる。
【００３８】
この実施の形態では、固定部２５ａと、着脱部２５ｂとの間に微細物回収袋２３の開口部を挟んで取り付けているが、微細物回収袋２３の開口部に着脱部２５ｂを固定した微細物回収袋とし、この固定部２５ａに着脱可能としても良い。また、微細物回収袋２３の開口部を、直接固定部２５ａに紐などの手段で取り付けるようにしても良く、微細物回収袋２３を着脱する構造は特に限定されず、ワンタッチで着脱可能な構造が容易に使用でき好ましい。
【００３９】
収納室２４は、微細物回収袋２３を収納する容積を有し、この微細物回収袋２３から微細物に付着した液体が収納室２４の内部に排出され、微細物回収袋２３の内部には液体が残ることが軽減される。収納室２４に溜まる液体は、収納室２４の底に設けられた排出パイプ２８を介して排出される。
【００４０】
この実施の形態では、沈殿部２１は、液体を流出させるメッシュを有するクロスで成形した微細物回収袋２３と、微細物回収袋２３を収納する収納室２４とを有し、微細物回収袋２３は、ジョイント部２５により遠心分離部１１に着脱可能であることで、微細物回収袋２３の内部に液体を流出させて微細物を回収する。このようにして微細物回収袋２３に微細物が回収されると、ジョイント部２５の固定部２５ａから着脱部２５ｂを離間させると、微細物回収袋２３の開口部の固定が開放され、微細物を回収した微細物回収袋２３を取り外して除去することができる。
【００４１】
この微細物を回収した微細物回収袋２３を取り外すときに、切替バルブ１７を操作して遠心分離部１１との連通を遮断することで、遠心分離部１１から微細物回収袋２３を取り外して液体の漏れがなく除去することができる。この微細物回収袋２３を交換時期は、例えば新たな微細物回収袋２３をセットした日を基準にして記録し、１０日、３０日などが経過すると交換する。また、例えば切替バルブ１７を開いた時を基準にし、制御装置のタイマーにより所定時間を計測し、所定時間が経過すると交換時期であると判断し、ランプ、ブザーなどの報知手段を作動して作業者に知らせるようにしてもよい。また、微細物回収袋２３の重量を計量する手段を設け、この微細物回収袋２３の重量が所定重量になると、交換時期であると判断し、ランプ、ブザーなどの報知手段を作動して作業者に知らせるようにしてもよい。重量を計量する手段としては、例えば計測器に微細物回収袋２３を吊り下げるように設け、また微細物回収袋２３が計測器の台の上に載るように設けて計測することができる。
【００４２】
［第２の実施の形態］
第２の実施の形態の一例を、図３に示す。図３は微細物除去装置の断面図である。
【００４３】
この第２の実施の形態では、遠心分離部１１は、第１の実施の形態と同様に構成されるから、同じ符号を付して説明を省略する。沈殿部２１は、密閉蓋２６を設けて収納室２４を密閉状態とし、収納室２４の内部を減圧にして微細物回収袋２３から微細物に付着した液体を除去する吸引手段２７を備える。吸引手段２７としては、吸引ポンプを用い、この吸引ポンプには、例えば真空ポンプなどがある。ここで、吸引手段２７は、密封状態の収納室２４内から気体を排出し、収納室２４内を真空にすることで、微細物回収袋２３のメッシュから液体を吸引して収納室２４内に排出する。また、吸引手段２７を作動している際に、例えば振動手段により微細物回収袋２３を振動させると、微細物回収袋２３から微細物に付着した液体をより一層確実に目詰まりなく除去することができる。振動手段としては、振動体などで振動させる手段でも、超音波を照射して振動させる手段でもよい。
【００４４】
このため、微細物回収袋２３のメッシュに微細物が目詰まりすることなく、微細物回収袋２３から微細物に付着した液体が収納室２４の内部に排出され、微細物回収袋２３の内部には液きりによって切削液が残ることがより確実に軽減される。したがって、微細物回収袋２３から確実に液体を除去し、微細物を微細物回収袋２３に回収して液体の漏れがなく除去することができる。
【００４５】
この微細物回収袋２３の除去は、吸引手段２７の駆動を停止した状態で、密閉蓋２６を取り外し、ジョイント部２５の固定部２５ａから着脱部２５ｂを離間させると、微細物回収袋２３の開口部の固定が開放され、微細物を回収した微細物回収袋２３を簡単に取り外すことができる。
【００４６】
［第３の実施の形態］
第３の実施の形態の一例を、図４に示す。図４は微細物除去装置の断面図である。この第３の実施の形態は、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部６０を備え、ホッパ部６０に、沈殿部２１を接続した構成である。
【００４７】
ホッパ部６０は、上部と下部を開口したじょうご状であり、下部に排出部６１を有する。この排出部６１には、切替バルブ６２を備える。排出部６１に沈殿部２１が接続される。ホッパ部６０の上部から微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物が供給され、ホッパ部６０に収納された液体が付着した微細物はじょうご状によって沈降して排出部６１から切替バルブ６２が開いた状態で沈殿部２１に供給される。沈殿部２１は、第１の実施の形態のものを用いたので同じ符号を付して説明を省略する。
【００４８】
［第４の実施の形態］
第４の実施の形態の一例を、図５に示す。図５は微細物除去装置の断面図である。この第４の実施の形態は、微細物を含む液から分離された液体が付着した微細物を収納して沈降させるホッパ部６０を備え、ホッパ部６０の排出部６１に、沈殿部２１を接続した構成である。ホッパ部６０は、第３の実施の形態のものを用い、沈殿部２１は、第２の実施の形態のものを用いたので、それぞれ同じ符号を付して説明を省略する。
【００４９】
（微細物除去システム）
［第１の実施の形態］
第１の実施の形態の一例を、図６に示す。図６は微細物除去システムを示す構成図である。
【００５０】
この微細物除去システムＡは、工作機、加工機などの機器の切削粉等の微細物の回収に用いる場合であり、機器に切削液を供給して循環させる循環経路Ｔを有する加工システムＢに備えられる。この循環経路Ｔは、機器１００に切削液を貯留タンク１０１から供給する供給経路１０８と、機器１００からの切削液を貯留タンク１０１に戻す戻し経路１０２から構成する。この供給経路１０８には、切替弁１０５，１０６が配置され、切替弁１０６を閉じ、切替弁１０５を開放することで、機器１００と連通し、一方切替弁１０５を閉じ、切替弁１０６を開放することで、貯留タンク１０１と連通する。
【００５１】
この循環経路Ｔの供給経路１０８にポンプ１０７を配置し、このポンプ１０７の駆動により貯留タンク１０１に貯留する切削液を、供給経路１０８から切替弁１０５を介して機器１００へ供給し、切削に用いた切削液は戻し経路１０２を介して貯留タンク１０１に戻し循環させる。切削液を機器１００へ供給しないときは、切替弁１０５を閉じ、切替弁１０６を開放して貯留タンク１０１に戻し循環させる。この実施の形態では、液体として切削液に含まれる微粉末状クズの微細物を除去する場合について用いているが、微細物であればよく、微粉末状クズに限定されない。
【００５２】
この実施の形態の微細物除去システムＡは、流体の切削液をポンプ１０７により機器１００に供給して循環させる循環経路Ｔに微細物除去装置１０を配置する。この微細物除去装置１０は、図１及び図２の実施の形態のものを用いている。
【００５３】
遠心分離部１１では、液体入口１４から微細物を含む切削液を所定流速で供給して渦巻きを生じさせ、遠心状態で微細物を外側へ移動させて液体出口１５から微細物を分離した切削液を排出し、渦巻きを減速させて分離された微細物を沈降させる。
【００５４】
遠心分離部１１の液体出口１５は、切替弁１０５，１０６の間に接続され、循環ポンプ１０７の駆動により循環経路１０８を介して液体入口１４に供給し、遠心分離部１１により微細物を分離した切削液は、切替弁１０６を閉じ、切替弁１０５を開放した状態で液体出口１５から機器１００へ供給され、切削に用いた切削液は戻し経路１０２を介して貯留タンク１０１に戻し循環させる。また、切削液を機器１００へ供給しないときは、切替弁１０５を閉じ、切替弁１０６を開放した状態で液体出口１５から貯留タンク１０１に戻し循環させる。
【００５５】
この微細物除去システムＡでは、切削液を循環させる循環経路Ｔに微細物除去装置１０を配置することで、微細物除去装置１０により微細物に付着する切削液を除去することができる。また、切削液を除去した微細物を固形化し、または切削液を除去した状態で排出することで、微細物を切削液の漏れがなく回収することができる。
【００５６】
［第２の実施の形態］
第２の実施の形態の一例を、図７に示す。図７は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態では、図６の実施の形態と同じ構成は、同じ符号を付して説明を省略する。この実施の形態では、図３の実施の形態の微細物除去装置１０を用い、この収納室２４と循環経路Ｔとを戻し経路７０で連通し、この戻し経路７０に吸引ポンプ７１に配置する。この吸引ポンプ７１の駆動により密封状態の収納室２４から微細物回収袋２３のメッシュから排出される切削液を吸引して循環経路Ｔに戻す。
【００５７】
この切削液を吸引して循環経路Ｔに戻す箇所は、貯留タンク１０１であるが、戻し経路１０２に戻してもよい。
【００５８】
［第３の実施の形態］
第３の実施の形態の一例を、図８に示す。図８は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態では、機器１００に切削液を貯留タンク２０１から供給する供給経路２０８と、機器１００からの切削液を貯留タンク２０１に戻す戻し経路２０２から循環経路Ｔを構成する。この供給経路２０８には、ポンプ２０９が配置されている。
【００５９】
この循環経路Ｔには、遠心分離装置３００が配置され、この遠心分離装置３００によってポンプ２０９の駆動により供給経路２０８から供給される切削液に含まれる微粉末状クズ等の微細物を分離して除去し、分離した微細物を回収タンク１２０に供給し、微細物を除去した切削液を機器１００に供給する。遠心分離装置３００は、図１及び図２に示す遠心分離部１１のように構成されるが、これに限定されない。
【００６０】
回収タンク１２０に貯留される微細物には、切削液が付着していることで、切削液が溜まる。回収タンク１２０には、ベルトコンベア１２１が配置され、モータ１２２によりベルトコンベア１２１を駆動し、回収タンク１２０の底部に沈殿する微細物をかきあげて微細物除去装置１０に供給する。なお、この実施の形態では、ベルトコンベア１２１を用いているが、スクリュウコンベアなどを用いてもよい。回収タンク１２０に溜まる液体は、排出口１２５からオーバーフローして戻し通路１２６を介して貯留タンク２０１に戻される。回収タンク１２０には、バッフルプレート１２７が遠心分離装置３００からの微細物が切削液とともに落下して供給される位置と、排出口１２５との間に配置され、浮遊した微細物が排出口１２５から排出されることを防ぎ、かつ沈殿した微細物をベルトコンベア１２１によってかきあげるようにする。
【００６１】
この微細物除去装置１０は、図５の実施の形態のものが用いられ、ホッパ部６０の上部から微細物を含む切削液から分離された切削液が付着した微細物が供給され、ホッパ部６０に収納された切削液が付着した微細物はじょうご状によって沈降して下部から沈殿部２１に供給される。
【００６２】
このように、ホッパ部６０に、沈殿部２１を接続することで、ホッパ部６０から微細物を切削液の漏れがなく回収することができ、除去した切削液を循環経路Ｔに戻し、切削液の漏れがなく除去することができ、しかも切削液を再利用し消費を抑えることができる。この実施の形態では、ホッパ部６０において除去した切削液は、戻し通路１３０を介して循環経路Ｔの貯留タンク２０１に戻す。
【００６３】
［第４の実施の形態］
第４の実施の形態の一例を、図９に示す。図９は微細物除去システムを示す構成図である。この実施の形態では、機器１００に切削液を貯留タンク２０１から供給する供給経路２１８と、機器１００からの切削液を回収タンク１２０に戻す戻し経路２１２を有する。この供給経路２１８には、ポンプ２１９が配置されている。
【００６４】
この回収タンク１２０は、図８の実施の形態と同様に構成され、ベルトコンベア１２１を駆動し、回収タンク１２０の底部に沈殿する微細物を汲み上げて微細物除去装置１０に供給する。
【００６５】
この微細物除去装置１０は、図５の実施の形態のものが用いられ、ホッパ部６０に、沈殿部２１を接続することで、ホッパ部６０から微細物を切削液の漏れがなく回収することができ、除去した切削液を循環経路Ｔに戻し、切削液の漏れがなく除去することができ、しかも切削液を再利用し消費を抑えることができる。この実施の形態では、ホッパ部６０において除去した切削液を、戻し経路１３０を介して循環経路Ｔの貯留タンク２０１に戻す。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
この発明は、流体に含まれる微粉末状クズ等の微細物を分離して除去する微細物除去装置及び微細物除去システムに適用可能であり、沈殿した微細物から切削液などの液体を確実に液きりして除去し、また除去した液体を循環経路に戻すことが可能である。
【符号の説明】
【００６７】
Ａ  微細物除去システム
Ｂ  加工システム
Ｔ  循環経路
１０  微細物除去装置
１１  遠心分離部
１２  密閉筒
１２ａ  テーパ下部
１２ｂ  連通孔
１３  筒体
１４  流体入口
１５  流体出口
１６，６１  排出部
１７，６２  切替バルブ
２１  沈殿部
２３  微細物回収袋
２４  収納室
２５  ジョイント部
２５ａ  固定部
２５ｂ  着脱部
２６  密閉蓋
２７  吸引手段
６０  ホッパ部
７０  戻し経路
７１  吸引ポンプ
１００  機器
１０１，２０１  貯留タンク
１０８，２０８，２１８  供給経路
１０２，１３０，２０２，２１２  戻し経路
１０５，１０６  一方向弁
１０７  ポンプ
１２０  回収タンク
１２１  ベルトコンベア
１２２  モータ
１２５  排出口
１２６  戻し通路
１２７  バッフルプレート
２１９  ポンプ
３００  遠心分離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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