(57)【要約】【課題】厚さの増大を伴うことなくコア部同士を交差させるとともに、コア部を高密度に形成可能な光導波路、かかる光導波路を備え光配線の簡素化および省スペース化を図ることができる光配線部品および光導波路モジュール、および小型化が容易な電子機器を提供すること。【解決手段】光導波路１のコア層１３には、少なくとも一部が並列した複数のコア部１４の集合体であるコア群１４０であって同一平面上で互いに交差するよう配置された複数のコア群１４０と、各コア部１４０の側面に隣接するよう設けられた側面クラッド部１５と、を有している。光導波路１の横断面には、各コア部１４に対応する位置にあり相対的に屈折率が高い高屈折率領域ＷＨと、各側面クラッド部１５に対応する位置にあり高屈折率領域ＷＨよりも屈折率が低い低屈折率領域ＷＬと、を含み、全体的に屈折率が連続的に変化してなる屈折率分布Ｗが形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が並列した複数のコア部の集合体であるコア群が、同一平面上で互いに交差するように配置された、複数の前記コア群と、
前記各コア部の両側面にコア部と隣接するよう設けられた側面クラッド部と、
を有する光導波路であって、
前記光導波路の横断面は、
前記各コア部に対応する位置にあり相対的に屈折率が高い高屈折率領域と、
前記側面クラッド部に対応する位置にあり前記高屈折率領域よりも屈折率が低い低屈折率領域と、
を含み、
少なくとも一部で、または、全体的に、屈折率が連続的に変化してなる屈折率分布が前記領域により形成されていることを特徴とする光導波路。  
【請求項２】
前記屈折率分布は、ポリマー層に分散した、前記ポリマーと屈折率の異なる屈折率調整成分の濃度に対応して形成されている、請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
前記屈折率分布は、ポリマー中に前記ポリマーと屈折率の異なる光重合性モノマーが分散した材料で構成された前記ポリマー層に対して部分的に光を照射し、前記光重合性モノマーを移動、偏在させることにより、前記層内に屈折率の偏りを生じさせて形成されたものである請求項２に記載の光導波路。
【請求項４】
２つの前記コア部が互いに交差し、前記コア部の光軸の交差角が９０°であるとき、前記２つのコア部同士の交差部における伝送損失が０．０２ｄＢ以下である、請求項１ないし３のいずれかに記載の光導波路。
【請求項５】
前記コア部の幅は１０〜２００μｍである、請求項１ないし４のいずれかに記載の光導波路。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の光導波路と、前記光導波路の前記コア群の端部に設けられたコネクターと、を有することを特徴とする光配線部品。
【請求項７】
前記光導波路は、前記コア部の途中または延長線上に形成された、前記コア部の光路を変換する光路変換部を有する請求項６に記載の光配線部品。
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれかに記載の光導波路と、前記光導波路の一方の面側に設けられ、前記コア部と光学的に接続された受発光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項９】
請求項１ないし５のいずれかに記載の光導波路を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
前記光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗは、少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、
これらが、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように前記２つの極小値で挟まれる領域が、前記コア部であり、
前記各極小値から前記第２の極大値側の領域が、前記クラッド部であり、
前記各極小値は、前記クラッド部における平均屈折率未満の値を有し、かつ、前記屈折
率分布Ｗ全体で屈折率が連続的に変化していることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
【請求項１１】
前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
前記コア層の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗは、
少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、かつ
これら値が、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、及び第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように前記２つの極小値で挟まれる領域が前記コア部であり、かつ
前記各極小値から前記第２の極大値側の領域が前記側面クラッド部であり、
前記各極小値は、前記クラッド部における平均屈折率未満であり、かつ、前記屈折率分布全体で屈折率が連続的に変化しており、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア部に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域のそれぞれで、屈折率がほぼ一定であり、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化していることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路。
【請求項１２】
前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層されており、
光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗにおいて、前記低屈折率領域の屈折率が、ほぼ一定であり、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア層に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域のそれぞれで、屈折率がほぼ一定であり、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化していることを特徴とする、請求項１または１０に記載の光導波路。
【請求項１３】
前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗにおいて、前記低屈折率領域の屈折率が、ほぼ一定であり、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア部に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域を含み、
コア層に対応する領域では屈折率が連続的に変化しており
クラッド層に対応する領域で屈折率がほぼ一定であり、
かつ、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化することを特徴とする、請求項１または１０に記載の光導波路。
【請求項１４】
前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
極大値と、前記極大値の位置から前記クラッド層に向かって連続的に屈折率が低下している第１の部分と、前記第１の部分より光導波路の上下の両面側に位置し屈折率がほぼ一定である第２の部分と、を有し、
前記極大値および前記第１の部分に対応する領域が前記コア部、前記第２の部分に対応する領域が前記クラッド層であることを特徴とする、請求項１または１０に記載の光導波路。
【請求項１５】
前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
前記光導波路の横断面の縦方向の屈折率分布Ｔは、少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、
これらが、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように２つの前記極小値で挟まれる領域が、前記コア層であり、
前記極小値から前記第２の極大値側の領域が、前記クラッド層であり、
前記各極小値は、前記クラッド層における平均屈折率未満の値を有し、かつ、前記屈折率分布Ｔ全体で屈折率が連続的に変化していることを特徴とする、
請求項１に記載の光導波路。
【請求項１６】
以下の（ｉ）から（ｖ）の特徴の少なくとも一つを含む、
（ｉ）コア層の厚さは、１〜２００μｍ程度である；
（ｉｉ）側面クラッド部の平均幅が、５〜２５０μｍの範囲内である；
（ｉｉｉ）コア部の平均幅と側面クラッド部の平均幅の比は、０．１〜１０の範囲である；
（ｉｖ）クラッド層の平均厚さが、コア層の平均厚さの０．０１〜７倍である；
（ｖ）コア層の横断面において、
屈折率が連続して側面クラッド部の平均屈折率以上を有する、コア層の部分の幅をａとし、
屈折率が連続して側面クラッド部の平均屈折率未満である、コア層の部分の幅をｂとしたとき、ｂが０．０１ａ〜１．２ａである；
請求項１に記載の光導波路。
【請求項１７】
以下の（ｉ）から（ｖｉ）の特徴の少なくとも一つを含む、
（ｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、側面クラッド部の平均屈折率との差は、
極小値の平均屈折率値と、第１の極大値の平均屈折率値との差の、
３〜８０％である；
（ｉｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、第２の極大値の平均屈折率の差が、
極小値の平均屈折率と、第１の極大値の平均屈折率の差の
６〜９０％である；
（ｉｉｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、第１の極大値の平均屈折率の屈折率差は、０．００５〜０．０７である；
（ｉｖ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
クラッド層の平均屈折率以上である部分の幅をａとし、
クラッド層の平均屈折率未満である部分の幅をｂとするとき
ｂは、０．０１ａ〜１．２ａである；
（ｖ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、クラッド層の平均屈折率との差が、
極小値の平均屈折率と、コア部中の第１の極大値との差の３〜８０％である；
（ｖｉ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
極小値平均屈折率と、コア部中の第１の極大値との平均屈折率との差は、
０．００５〜０．０７である；
請求項１０から１５のいずれかに記載の光導波路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路、光配線部品、光導波路モジュールおよび電子機器に関するものである。
【０００２】
本願は、２０１２年２月２７日に、日本に出願された特願２０１２−０４０７９８号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００３】
光搬送波を使用してデータを移送する光通信技術が開発され、近年、この光搬送波を、一地点から他地点に導くための手段として、光導波路が普及しつつある。この光導波路は、線状のコア部と、その周囲を覆うように設けられたクラッド部とを有している。コア部は、光搬送波の光に対して実質的に透明な材料によって構成され、クラッド部は、コア部より屈折率が低い材料によって構成されている。
【０００４】
光導波路では、コア部の一端から導入された光が、クラッド部との境界で反射しながら他端に搬送される。光導波路の入射側には半導体レーザー等の発光素子が配置され、出射側にはフォトダイオード等の受光素子が配置される。発光素子から入射された光は光導波路を伝搬し、受光素子により受光され、受光した光の明滅パターンもしくはその強弱パターンに基づいて通信を行う。
【０００５】
このような光導波路を、スーパーコンピューターや大規模サーバー等に使用することが検討されている。従来のスーパーコンピューターは、半導体素子や電子部品等が実装された電気回路基板をラック内に多数収納し、これらを相互に電気接続することにより構築されている。この構成のうち、例えば電気回路基板内における電気接続、電気回路基板間における電気接続、さらにはラック間における電気接続を光ファイバーによる光接続で代替することが検討されている。この代替により、情報伝送の大容量化、高速化、省エネルギー化等が図られ、スーパーコンピューターの性能が向上するものと期待されている。
【０００６】
この光接続を担うものとして、複数の光ファイバー同士を交差させた状態で束ね、端部にコネクターを設けた光ファイバーシートが検討されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００７】
この光ファイバーシートにより電気配線を代替するためには、電気回路基板上に受発光素子およびコネクターを搭載する。そして、電気回路基板側のコネクターと光ファイバーリボン側のコネクターとを結合することにより、光接続が行われる。また、光ファイバーシート側に受発光素子を搭載したものも検討されている。
【０００８】
ところが、この光ファイバーシートは、光ファイバー同士の交差部をフィルム基材で挟むことにより形成されたものである。このため、光ファイバーの交差部では光ファイバー同士が重なり、その部分のシートの厚さが厚くなることが避けられない。このため、光接続作業の際に折り曲げ難いものとなり、強く折り曲げたときには光ファイバーが折れるおそれがある。このことから、配線空間や配線作業に様々な制約が課せられることとなる。
【０００９】
また、耐抗折性等を踏まえると、光ファイバーをさらに細くすることは困難である。このため、隣り合う光ファイバーのコア部同士の間隔をこれまで以上に狭くすることはできず、配線密度の向上には限界がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１２６３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、厚さの増大を伴うことなくコア部同士を交差させるとともに、コア部を高密度に形成可能な光導波路、前記光導波路を備え光配線の簡素化および省スペース化を図ることができる光配線部品、および光導波路モジュール、および小型化が容易な電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的は、下記（１）〜（１６）の本発明により達成される。
【００１３】
（１）  少なくとも一部が並列した複数のコア部の集合体であるコア群が、同一平面上で互いに交差するように配置された、複数の前記コア群と、
前記各コア部の両側面にコア部と隣接するよう設けられた側面クラッド部と、を有する光導波路であって、
前記光導波路の横断面は、前記各コア部に対応する位置にあり相対的に屈折率が高い高屈折率領域と、前記側面クラッド部に対応する位置にあり前記高屈折率領域よりも屈折率が低い低屈折率領域と、を含み、
少なくとも一部で、または、全体的に、屈折率が連続的に変化してなる屈折率分布が前記領域により形成されていることを特徴とする光導波路。
【００１４】
（２）  前記屈折率分布は、ポリマー層に分散した、前記ポリマーと屈折率の異なる屈折率調整成分の濃度に対応して形成されている上記（１）に記載の光導波路。
【００１５】
（３）  前記屈折率分布は、ポリマー中に前記ポリマーと屈折率の異なる光重合性モノマーが分散した材料で構成された前記ポリマー層に対して部分的に光を照射し、前記光重合性モノマーを移動、偏在させることにより、前記層内に屈折率の偏りを生じさせて形成されたものである上記（２）に記載の光導波路。
【００１６】
（４）  ２つの前記コア部が互いに交差し、前記コア部の光軸の交差角が９０°であるとき、前記２つのコア部同士の交差部における伝送損失が０．０２ｄＢ以下である上記（１）から（３）のいずれかに記載の光導波路。
【００１７】
（５）  前記コア部の幅は１０〜２００μｍである上記（１）から（４）のいずれかに記載の光導波路。
【００１８】
（６）  上記（１）から（５）のいずれかに記載の光導波路と、前記光導波路の前記コア群の端部に設けられたコネクターと、を有することを特徴とする光配線部品。
【００１９】
（７）  前記光導波路は、前記コア部の途中または延長線上に形成された、前記コア部の光路を変換する光路変換部を有する上記（６）に記載の光配線部品。
【００２０】
（８）  上記（１）から（５）のいずれかに記載の光導波路と、前記光導波路の一方の面側に設けられ、前記コア部と光学的に接続された受発光素子と、を有することを特徴とする光導波路モジュール。
【００２１】
（９）  上記（１）から（５）のいずれかに記載の光導波路を備えることを特徴とする
電子機器。
【００２２】
（１０）  前記光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗは、少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、かつ
これら値が、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、及び第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように前記２つの極小値で挟まれる領域が、前記コア部であり、かつ
前記各極小値から前記第２の極大値側の領域が、前記クラッド部であり、
前記各極小値は、前記クラッド部における平均屈折率未満の値を有しであり、かつ、前記屈折率分布Ｗ全体で屈折率が連続的に変化していることを特徴とする、（１）に記載の光導波路。
（１１）  前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層が積層されており、
前記コア層の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗは、
少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、かつ
これら値が、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、及び第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように前記２つの極小値で挟まれる領域が前記コア部であり、かつ
前記各極小値から前記第２の極大値側の領域が前記側面クラッド部であり、
前記各極小値は、前記クラッド部における平均屈折率未満であり、かつ、前記屈折率分布全体で屈折率が連続的に変化しており、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア部に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域のそれぞれで、屈折率がほぼ一定であり、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化していることを特徴とする、（１）に記載の光導波路。
（１２）  前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層されており、
光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗにおいて、前記低屈折率領域の屈折率が、ほぼ一定であり、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア層に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域のそれぞれで、屈折率がほぼ一定であり、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化していることを特徴とする、（１）または（１０）に記載の光導波路。
（１３）  前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層されており、
光導波路の横断面の幅方向の屈折率分布Ｗにおいて、前記低屈折率領域の屈折率が、ほぼ一定であり、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
前記コア層のコア部に対応する領域および前記クラッド層に対応する領域を含み、
コア層のコア部に対応する領域では屈折率が連続的に変化しており
クラッド層に対応する領域で屈折率がほぼ一定であり、
かつ、かつ前記コア部と前記クラッド層との界面で屈折率が不連続的に変化することを特徴とする、（１）または（１０）に記載の光導波路。
（１４）  前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
前記光導波路の横断面の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、
極大値と、前記極大値の位置から前記クラッド層に向かって連続的に屈折率が低下している第１の部分と、前記第１の部分より光導波路の上下の両面側に位置し屈折率がほぼ一定である第２の部分と、を有し、
前記極大値および前記第１の部分に対応する領域が前記コア部、前記第２の部分に対応する領域が前記クラッド層であることを特徴とする、（１）または（１０）に記載の光導波路。
（１５）  前記コア部と、前記側面クラッド部が、コア層を形成し、
更に前記コア層の両面にクラッド層がそれぞれ積層され、
前記光導波路の横断面の縦方向の屈折率分布Ｔは、少なくとも２つの極小値と、少なくとも１つの第１の極大値と、前記第１の極大値より小さい少なくとも２つの第２の極大値と、を有し、
これらが、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値の順で並ぶ領域を有しており、
この領域のうち、前記第１の極大値を含むように２つの前記極小値で挟まれる領域が、前記コア層であり、
前記極小値から前記第２の極大値側の領域が、前記クラッド層であり、
前記各極小値は、前記クラッド層における平均屈折率未満の値を有し、かつ、前記屈折率分布Ｔ全体で屈折率が連続的に変化していることを特徴とする、
（１）に記載の光導波路。
（１６）  以下の（ｉ）から（ｖ）の特徴の少なくとも一つを含む、
（ｉ）コア層の厚さは、１〜２００μｍ程度である；
「好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍ」をどこかに入れてください。
（ｉｉ）側面クラッド部の平均幅が、５〜２５０μｍの範囲内である；
（ｉｉｉ）コア部の平均幅と側面クラッド部の平均幅の比は、０．１〜１０の範囲である；
（ｉｖ）クラッド層の平均厚さが、コア層の平均厚さの０．０１〜７倍である；
（ｖ）コア層の横断面において、
屈折率が連続して側面クラッド部の平均屈折率以上を有する、コア層の部分の幅をａとし、
屈折率が連続して側面クラッド部の平均屈折率未満である、コア層の部分の幅をｂとしたとき、ｂが０．０１ａ〜１．２ａである；
（１）から（１８）のいずれかに記載の光導波路。
（１７）以下の（ｉ）から（ｖｉ）の特徴の少なくとも一つを含む、
（ｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、側面クラッド部の平均屈折率との差は、
極小値の平均屈折率値と、第１の極大値の平均屈折率値との差の、
３〜８０％である；
（ｉｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、第２の極大値の平均屈折率の差が、
極小値の平均屈折率と、第１の極大値の平均屈折率の差の
６〜９０％である；
（ｉｉｉ）横断面の横方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、第１の極大値の平均屈折率の屈折率差は、０．００５〜０．０７である；
（ｉｖ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
クラッド層の平均屈折率以上である部分の幅をａとし、
クラッド層の平均屈折率未満である部分の幅をｂとするとき
ｂは、０．０１ａ〜１．２ａである；
（ｖ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
極小値の平均屈折率と、クラッド層の平均屈折率との差が、
極小値の平均屈折率と、コア部中の第１の極大値との差の３〜８０％である；
（ｖｉ）横断面の縦方向の屈折率分布において、
極小値平均屈折率と、コア部中の第１の極大値との平均屈折率との差は、
０．００５〜０．０７である；
（１０）〜（１５）のいずれかに記載の光導波路。
【００２３】
前記高屈折率領域は、極大値を示す頂部と、前記極大値から両側に向かって屈折率が連続的に低下する２つの漸減部と、で構成されており、前記極大値と、前記低屈折率領域の平均屈折率との差は、０．００５〜０．０７であることも好ましい。
【００２４】
前記屈折率分布は、前記低屈折率領域と前記高屈折率領域との界面部に位置し、前記低屈折率領域の平均屈折率より屈折率が低い、極小値を含んでいることも好ましい。
【００２５】
前記低屈折率領域の屈折率は必要に応じてほぼ一定であってもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、厚さの増大を伴うことなくコア部同士を交差させるとともに、コア部を高密度に形成可能な光導波路が得られる。
【００２７】
また、本発明によれば、上記光導波路を備え、光配線の簡素化および省スペース化を図ることができる光配線部品、および光導波路モジュールが得られる。
【００２８】
また、本発明によれば、上記光導波路を備え、小型化が容易な電子機器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の光配線部品の例を示す平面図である。
【図２】本発明の光導波路の第１実施形態を示す斜視図である。
【図３】図２に示す光導波路のＸ−Ｘ線における断面について、屈折率分布Ｗの一例（ＧＩ型）を模式的に示す図である。
【図４】図２に示す光導波路のＸ−Ｘ線における断面について、屈折率分布Ｗの他の例（Ｗ型）を模式的に示す図である。
【図５】図４に示す屈折率分布を有する光導波路の２つのコア部の１つに光を入射したときの、出射光の強度分布の一例を示す図である。
【図６Ａ】図２に示す光導波路のＸ−Ｘ線における断面の一部分を示す図、および、前記部分の縦方向の屈折率分布Ｔの一例（Ｗ型）を模式的に示す図である。
【図６Ｂ】図２に示す光導波路のＸ−Ｘ線における断面の一部を示す図、および前記部分の縦方向の屈折率分布Ｔの一例（ＧＩ型）を模式的に示す図である。
【図７Ａ】図２に示す光導波路の、カバーフィルムとクラッド層を省略した、上面図である。
【図７Ｂ】図７Ａに示す光導波路の交差部近傍、及び、縦及び横方向の屈折率分布を示す図である。
【図８Ａ】図７Ａに示すコア層の交差部及びその近傍の、他の例を示す部分拡大図である。
【図８Ｂ】図７Ａに示すコア層の交差部及びその近傍の、他の例を示す部分拡大図である。
【図８Ｃ】図７Ａに示すコア層の交差部及びその近傍の、他の例を示す部分拡大図である。
【図８Ｄ】図７Ａに示すコア層の交差部及びその近傍の、他の例を示す部分拡大図である。
【図９】本発明の光導波路の第２実施形態を示す斜視図である。
【図１０】図９に示すＹ−Ｙ線における断面の一部分を示す図、および、前記部分の縦方向の屈折率分布Ｔの一例（Ｗ型）を模式的に示す図である。
【図１１】図９に示す光導波路の２つのコア部の１つに光を入射したときの、出射側端面における出射光の強度分布の一例を示す図である。
【図１２】本発明の光配線部品の他の例を示す平面図である。
【図１３】図２に示す光導波路の製造方法の一例を説明する図である。
【図１４】図２に示す光導波路の製造方法の一例を説明する図である。
【図１５】図２に示す光導波路の製造方法の一例を説明する図である。
【図１６】図１４に示す積層において、照射領域と未照射領域との間で屈折率差が生じる様子を説明する図である。
【図１７Ａ】活性放射線を照射する前の、図１４のクラッド層とコア層による積層の、厚さ方向の屈折率分布（Ｗ型）を示す図である。
【図１７Ｂ】活性放射線を照射した後の、図１４のクラッド層とコア層による積層の、厚さ方向の屈折率分布の変化を示す図である。
【図１７Ｃ】図１３の光導波路において、光導波路形成用組成物９０１による最上層及び最下層を設けなかった場合の、活性放射線を照射する前の、厚さ方向の屈折率分布を示す図である。
【図１８】コア層のクロス角度９０°における、本発明及び従来技術の光導波路の、交差数と相対損失の関係を表した表である。
【図１９】コア層のクロス角度６０°における、本発明の光導波路の、交差数と相対損失の関係を表した表である。
【図２０】コア層のクロス角度３０°における、本発明の光導波路の、交差数と相対損失の関係を表した表である。
【図２１】本発明の光導波路（横Ｗ型及び縦ＳＩ型）の横断面での、コア部とその両側に位置する側面クラッド部の屈折率分布の測定結果を表すグラフである。
【図２２】本発明の光導波路（横Ｗ型及び縦GI型）の、幅方向及び長さ方向のそれぞれの屈折率分布が示された、３次元屈折率分布である。
【図２３】本発明の光導波路（３つのコア部を含む）の幅方向の断面から得た光導波路断片を、干渉顕微鏡を用いて得た干渉縞写真である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の光導波路、光配線部品、光導波路モジュールおよび電子機器について、添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３１】
なお本発明はこれら例のみに限定されるものではない。本発明の範囲内において、必要に応じて好ましく変更、省略及び／又は追加することも可能である。装置の数や位置やサイズも必要に応じて変更してもよい。
＜光配線部品＞
まず、本発明の光配線部品、およびそれに含まれる本発明の光導波路について説明する。
【００３２】
図１は、本発明の光配線部品の実施形態を示す（クラッド層を透過して示す）平面図である。
【００３３】
図１に示す光配線部品１０は、光導波路１とその端部に設けられたコネクター１０１とを有している。
【００３４】
このうち、光導波路１は、平面視で長方形をなしており、その内部には複数のコア部１４の集合体である、複数のコア群１４０（図１では一つのコア群には並列した４本のコア
部１４が含まれる）が、所望のパターンで敷設されている（図１には４組のコア群１４０が含まれる）。この複数のコア群１４０は、同一平面上で互いに交差するよう配置されており、その両端部は、光導波路１の４辺のうち、対向する２辺で露出している。このような光導波路１によれば、厚さの増大を伴うことなく、互いに交差する、複雑かつ高密度な信号経路を構築することができる。その結果、折り曲げが容易で、小さい配線空間においても容易に配線作業を行い得る光配線部品１０が得られる。なお、図１に示すコア部１４は、いずれも平面視で滑らかな曲線を描くよう構成されている。このような形状になっていると伝送光の減衰が抑えられ、伝送効率の低下を抑えることができる。
【００３５】
また、光配線部品１０は、コア部１４の端部に設けられたコネクター１０１を有している。光導波路１０は、このコネクター１０１を介して、光導波路１のコア部と他の光学部品との光学的に接続し得るよう構成されている。なお、図１では、光導波路１の対向する２辺にコネクター１０１が設けられているが、コネクター１０１の配置はこれに限定されない。
【００３６】
以下、光配線部品１０の各部について詳述する。
【００３７】
（光導波路）
≪第１実施形態≫
まず、本発明の光導波路の第１実施形態について説明する。
【００３８】
本発明の光導波路１は、コア部１４とクラッド部１５とを有するシート状の部材であり、一方の端部から他方の端部に光信号を伝送する光配線として機能する。なお、光導波路１の平面視形状は、特に限定されず、三角形、四角形、五角形以上の多角形、円形等であってもよい。
【００３９】
図２は、本発明の光導波路の第１実施形態を示す（一部切り欠いて、および透過して示す）斜視図である。
【００４０】
図２に示す光導波路１は、支持フィルム２上に、下側からクラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２の３層を有している。また、図２に示す光導波路１は、下方から支持フィルム２により、上方からカバーフィルム３により、挟まれている。
【００４１】
また、コア層１３としては、並列する２つのコア部１４（第１のコア部１４１と第３のコア部１４２）と、これらのコア部１４とそれぞれ直角に交差する１つのコア部１４（第２のコア部１４５）と、これらのコア部１４に隣接する側面クラッド部１５（第１の側面クラッド部１５１、第２の側面クラッド部１５２、第３の側面クラッド部１５３）とが形成されている。
【００４２】
図２に示す光導波路１のコア層１３は、幅方向において屈折率が偏りを有する、屈折率分布Ｗを有する。屈折率分布Ｗは、極大値を含む高屈折率領域と、高屈折率領域よりも屈折率が低い低屈折率領域と、を含み、  少なくとも一部で、または、全体的に、屈折率が連続的に変化した分布である。このような屈折率分布Ｗにより、コア層１３には、高屈折率領域に対応してコア部１４が、低屈折率領域に対応して側面クラッド部１５が位置することとなる。なお前記“少なくとも一部で”とは、低屈折率領域中に、屈折率が一定である領域が存在する分布（ＧＩ型）を意味する。前記“全体的に”とは、低屈折率領域中においても、屈折率が連続的に変化する分布（Ｗ型）を意味する。
【００４３】
この屈折率分布Ｗは、ポリマーと、このポリマーとは屈折率の異なる光重合性モノマーを含有し、かつポリマー中に前記光重合性モノマーが分散した材料で構成された層に対し
て、部分的に光を照射し、光重合性モノマーを移動、及び偏在させることにより、層内に屈折率の偏りを生じさせ、形成された分布である。このような原理で形成されるため、前記屈折率分布Ｗでは、屈折率が連続的に変化する。
【００４４】
このような特徴を有する光導波路１は、入射された光を屈折率の高い領域に閉じ込めて伝搬することができる。特に屈折率分布Ｗを有する光導波路１によれば、屈折率の変化が連続的であることから、入射された光は、屈折率分布Ｗの屈折率の極大値近傍に集中して伝搬する。その結果、伝送損失およびパルス信号の鈍りが抑えられ、大容量の光信号を入射しても、信頼性の高い光通信を行うことができる。そして、複数のコア部１４が同一平面上で互いに交差している場合でも、光信号の混信が抑制される。また、光導波路１は、光の照射領域を選択し照射する工程のみで、形成可能である。このことから、複数のコア部１４を形成して多チャンネル化したり、コア部１４の間隔を狭めて高密度化したり、さらには一点で多数のコア部１４が交差したりしていても、設計通りの形状が再現でき、高品質な光通信を行い得るものとなる。
【００４５】
また、屈折率分布Ｗは、上述したように光重合性モノマーが移動、及び偏在することにより、屈折率が連続的に変化して形成された分布である。このため、コア層１３は、その内部に形成されるコア部１４と側面クラッド部１５との間に明瞭な構造的界面を有しない。このため、コア部１４と側面クラッド部１５との間における剥離やクラックといった問題が生じ難く、光導波路１は信頼性の高い製品となる。
【００４６】
以下、光導波路１の各部の好ましい例について詳述する。
【００４７】
（コア層）
コア層１３において、各コア部１４が、その長手方向に対して直交する面で切断されたとき、その切断面（第１の横断面）には、前述したように、幅方向において屈折率が変化する屈折率分布Ｗが形成できる。
【００４８】
なお本発明において、光導波路の横断面というとき、これをコア部の長手方向に対して直交する断面と考えても良い。
【００４９】
図３の（ａ）は、図２に示す光導波路ののＸ−Ｘ線での断面図を示す。図３の（ｂ）は、横軸に横方向への距離をとり、縦軸に屈折率をとったときの、前記断面図におけるコア層１３の厚さの中心を通過する中心線Ｃ１上の屈折率分布Ｗの一例（ＧＩ型）を、模式的に示す図である。
【００５０】
屈折率分布Ｗは、図３の（ｂ）に示すように、各コア部１４の位置と各側面クラッド部１５の位置とに対応して、分布（幅方向分布：以下屈折率分布Ｗと記載する）が設けられる。屈折率分布Ｗは、各コア部１４の位置に対応して設けられた、極大値Ｗｍと、この極大値Ｗｍから両側に向かって屈折率が連続的に低下する２つの漸減部とを含み、相対的に屈折率が高い高屈折率領域ＷＨを有している。また更に、各側面クラッド部１５の位置に対応して設けられた、相対的に屈折率が低い低屈折率領域ＷＬと、を有している。高屈折率領域ＷＨにおいて、極大値Ｗｍの両側では、隣接する低屈折率領域ＷＬに向かって屈折率が連続的に曲線を描いて低下するよう構成されている。すなわち、高屈折率領域ＷＨでは、極大値Ｗｍを頂点にしてその両側になだらかな裾を引いて低下するように、屈折率が分布している。一方、低屈折率領域ＷＬでは、高屈折率領域ＷＨの屈折率よりも低く、かつほぼ一定の値の屈折率が分布している。
【００５１】
また、屈折率分布Ｗ中に存在する複数の極大値Ｗｍは、互いに同じ値であることが好ましいが、多少ずれていてもよい。その場合、ずれ量は、複数の極大値Ｗｍの平均値の１０
％以内であることが好ましい。
【００５２】
なお、並列する２つのコア部１４（第１のコア部１４１、及び第３のコア部１４２）は、それぞれ細長い線状形状をなしている。上記のような屈折率分布Ｗは、これらのコア部１４の長手方向全体において、ほぼ同じ分布が維持される。
【００５３】
一方、これらのコア部１４（第１のコア部１４１、及び第３のコア部１４２）と交差するコア部１４（第２のコア部１４５）にも、上記のような屈折率分布Ｗが形成されている。すなわち、このコア部１４（第２のコア部１４５）の長手方向全体において、ほぼ同じ分布が維持されている。
【００５４】
以上のような屈折率分布Ｗを伴って、図２に示すコア層１３には、長尺状の２つのコア部１４と、これらのコア部１４と交差するコア部１４と、これらのコア部１４の側面に隣接する側面クラッド部１５とが形成される。
【００５５】
より詳しくは、図２に示すコア層１３には、並列する２つのコア部１４１、１４２（第１のコア部、及び第３のコア部）と、これらと交差するコア部１４５（第２のコア部）と、これらのコア部以外の領域に設けられた、第１の側面クラッド部１５１、第２の側面クラッド部１５２、第３の側面クラッド部１５３と、が設けられている。各コア部１４１、１４２、及び１４５は、それぞれ各側面クラッド部１５１、１５２、１５３、および上下の各クラッド層１１、１２で囲まれた状態となる。ここで、これらのコア部１４１、１４２、及び１４５の屈折率は、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３の屈折率より高い。よって、各コア部１４１、１４２、１４５の幅方向において光を閉じ込めることができる。なお、図１に示す各コア部１４には、密なドットを付して表し、各側面クラッド部１５には疎なドットを付している。
【００５６】
また、光導波路１では、コア部１４の一方の端部に入射された光を、各コア部１４の厚さ方向においても閉じ込めつつ他方に伝搬させることにより、前記コア部１４の他方の端部から取り出すことができる。
【００５７】
なお、図１に示すコア部１４では、その横断面形状が正方形または長方形のような四角形（矩形）を有している。しかし横断面の形状は特に限定されず、例えば、真円、楕円形、長円形等の円形、または、三角形、五角形、六角形等の多角形であってもよい。なおコア部１４の横断面形状が矩形状であると、安定した品質のコア部１４を効率よく製造することができる。一方、コア部１４の横断面形状が円形状であると、コア部１４の伝送効率が向上するとともに、伝送光の収束性が向上して他の光学部品との光結合効率が高くなる。
【００５８】
コア部１４の幅および高さ（コア層１３の厚さ）は、特に限定されないが、それぞれ、１〜２００μｍ程度であることが好ましく、５〜１００μｍ程度であることがより好ましく、１０〜７０μｍ程度であることがさらに好ましい。これにより、光導波路１におけるクロストークをより抑制することができる。コア層の厚さも特に限定されないが、１〜２００μｍ程度であることが好ましく、５〜１００μｍ程度であることがより好ましく、１０〜７０μｍ程度であることがさらに好ましい。
【００５９】
上記屈折率分布Ｗは、少なくとも一部が、又は全体的に、屈折率が連続的に曲線を描いて変化している。この特徴により、屈折率が階段状に変化したいわゆるステップインデックス型（ＳＩ型）の屈折率分布を有する光導波路に比べ、コア部１４に光を閉じ込める作用がより増強されるため、伝送損失のさらなる低減が図られる。
【００６０】
さらに、上記屈折率分布Ｗでは、上記領域において、極大値を有するとともに屈折率が連続的に変化している。このため、光の速度が屈折率に反比例するという性質により、光の速度は中心から離れるにつれて速くなり、光路ごとの伝搬時間に差が生じ難くなる。このため、伝送波形が崩れ難くなる。例えば伝送光にパルス信号が含まれている場合でも、パルス信号の鈍り（パルス信号の広がり）を抑制することができる。それに加えて、交差部における伝送光の混信が抑制される。その結果、光通信の品質をより高め得る光導波路１が得られる。
【００６１】
なお、本発明では、屈折率分布Ｗにおいて屈折率が連続的に変化しているとは、屈折率分布Ｗの曲線が各部で丸みを帯びており、この曲線が微分可能なものであるという状態を意味する。
【００６２】
また、前記屈折率分布Ｗのうち、極大値Ｗｍは、図３に示すようにコア部１４１、１４２の中に位置している。極大値Ｗｍが、コア部１４１、１４２の中でも、コア部の幅の中心部に位置していることが好ましい。この特徴により、各コア部１４１、１４２では、伝送光がコア部１４１、１４２の幅の中心部に集まる確率が高くなり、相対的に側面クラッド部１５１、１５２、１５３に漏れ出る確率が低くなる。その結果、コア部１４１、１４２の伝送損失をより低減することができる。
【００６３】
なお、コア部１４１の幅の中心部とは、高屈折率領域ＷＨの中心から両側にかけて、それぞれ高屈折率領域ＷＨの幅の３０％の距離の領域、好ましくは１５％の領域、である。
【００６４】
また、極大値Ｗｍと低屈折率領域ＷＬにおける平均屈折率との差は、できるだけ大きい方がよい。必要に応じて選択できるが、例えば、０．００５〜０．０７程度であることが好ましく、０．００７〜０．０５程度であることがより好ましく、０．０１〜０．０３程度であることがさらに好ましい。この特徴により、コア部１４１、１４２中に光を確実に閉じ込めることができる。すなわち、屈折率差が前記下限値を下回る場合、コア部１４１、１４２から光が漏れ出るおそれがある。一方、屈折率差が前記上限値を上回る場合、光を閉じ込める効果のそれ以上の向上は期待できないばかりか、光導波路１の製造が困難になる場合がある。
【００６５】
また、コア部１４１、１４２における屈折率分布Ｗは、図３の（ｂ）に示すように、横軸をコア層１３の横断面の位置（距離）とし、縦軸を屈折率としたとき、極大値Ｗｍ近傍の形状が上に凸の略逆Ｕ字状であることが好ましい。この形状により、コア部１４１、１４２における光の閉じ込め作用がより顕著なものとなる。
【００６６】
一方、低屈折率領域ＷＬにおける平均屈折率からの屈折率のずれ量は、平均屈折率の５％以内であることが好ましい。これにより、低屈折率領域ＷＬは、側面クラッド部１５として確実に機能する。
【００６７】
ここで、上述したような屈折率分布Ｗによれば、伝送損失の低減、パルス信号の鈍りの低減、クロストークの抑制、及び交差部における混信の抑制等の効果を得ることができる。また本発明者は、これらの効果が、側面クラッド部の平均幅ＷＣＬ、及び／または、コア部の平均幅ＷＣＯと側面クラッド部の平均幅ＷＣＬとの比に、大きな影響を受けることを見出した。これらの因子が所定の範囲内にあるとき、前述の効果がより顕著で確実なものになることも見出した。
【００６８】
本発明では、コア部１４の平均幅ＷＣＯと側面クラッド部１５の平均幅ＷＣＬとの比（ＷＣＯ／ＷＣＬ）は、０．１〜１０の範囲とすることが好ましい。コア部１４と側面クラッド部１５との間で幅の比を最適化することにより、前述した各効果をそれぞれ高度化す
ることができる。したがって、例えばＷＣＯ／ＷＣＬが前記下限値未満である場合、コア部１４の平均幅が狭くなり過ぎるので、クロストークの低減が図られるものの、伝送損失が大きくなり易く、また光導波路１の小型化が妨げられるおそれがある。また、ＷＣＯ／ＷＣＬが前記上限値超である場合、側面クラッド部１５の平均幅が狭くなり過ぎるので、クロストークが増加し、さらにはコア部１４の平均幅が広くなり過ぎるため、パルス信号の鈍りが増大するおそれがある。
【００６９】
なお、ＷＣＯ／ＷＣＬは、より好ましくは０．１〜５程度であり、さらに好ましくは０．２〜４程度である。
【００７０】
コア部１４の平均幅ＷＣＯと側面クラッド部１５の平均幅ＷＣＬはそれぞれ任意で選択できる。上述した以外にも、これら幅の好ましい範囲としては、例えば下限について言えば、０．１μｍ以上であってもよく、１μｍ以上であってもよく、５μｍ以上でよく、１０μｍ以上であってもよい。あるいは３０μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であっても良い。上限を言えば、例えば５ｍｍ以下であっても良く、１ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であっても良く、０．２μｍ以下であって良い。
【００７１】
また極大値Ｗｍの間の距離は必要に応じて選択できる。前記距離の好ましい範囲としては、例えば下限値を挙げれば、１０μｍ以上が好ましく、２０μｍ以上がより好ましく、３０μｍ以上がさらに好ましい。５０μｍ以上であってもよい。また上限を挙げれば、８００μｍ以下が好ましく、５００μｍ以下がより好ましく、４００μｍ以下が更に好ましく、３００μｍが特に好ましい。必要に応じて、２００μｍ以下や、１００μｍ以下であっても良い。
【００７２】
コア部の長さは必要に応じて選択できる。例えば１〜５００ｃｍであっても良く、２〜２００ｃｍ、１０〜１００ｃｍなどであっても良い。
【００７３】
更に本発明では、ＷＣＯ／ＷＣＬと独立して、あるいはそれに加えて、側面クラッド部１５の平均幅ＷＣＬが、５〜２５０μｍの範囲内にあることがとても好ましい。この特徴により、前述した各効果をそれぞれ高度化することができる。したがって、例えばＷＣＬが前記下限値未満である場合、側面クラッド部１５の平均幅が狭くなり過ぎるので、パルス信号の鈍りが増大したり、クロストークが増加したりするおそれがある。また、ＷＣＬが前記上限値超である場合、屈折率分布Ｗの形状を最適化することができず、伝送損失が大きくなるおそれがある。さらに、光導波路１の小型化が困難になるおそれがある。
【００７４】
なお、上記ＷＣＬは、より好ましくは１０〜２００μｍの範囲内であり、さらに好ましくは１０〜１２０μｍの範囲内であり、特に好ましくは１０〜６０μｍの範囲内である。。
【００７５】
コア部１４の平均幅ＷＣＯも、より好ましくは１０〜２００μｍの範囲内であり、さらに好ましくは１０〜１２０μｍの範囲内であり、特に好ましくは１０〜６０μｍの範囲内である。
【００７６】
また本発明において、屈折率分布Ｗは、各極大値Ｗｍ近傍において、屈折率が実質的に変化していない平坦部を含んでいてもよい。この場合でも、本発明の光導波路は前述したような作用・効果を奏する。ここで、屈折率が実質的に変化していない平坦部とは、屈折率の変動が０．００１未満である領域であって、その両側では屈折率が連続的に低下している領域のことをいう。
【００７７】
平坦部の長さは、特に限定されないが、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは２
０μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以下である。
【００７８】
また、前述した漸減部では、屈折率の変化率が０．００１〜０．０３５［／１０μｍ］程度であることが好ましく、０．００２〜０．０３０［／１０μｍ］程度であることがより好ましい。屈折率の変化率が前記範囲内であれば、各コア部１４における伝送損失の低減、パルス信号の鈍りの低減、クロストークの抑制、及び交差部における混信の抑制等の効果がより増強される。
【００７９】
また、本実施形態では、コア層１３に３つのコア部１４を有する場合について説明した。しかし、コア部１４の数は特に限定されず任意に選択でき、例えば２つ、または４つ以上であってもよい。その場合も、屈折率分布Ｗは、各コア部１４に対応して高屈折率領域ＷＨを有し、高屈折率領域ＷＨ同士の間には、低屈折率領域ＷＬが存在する分布である。
【００８０】
上述したようなコア層１３の構成材料（主材料）は、上記の屈折率差が生じる材料であれば特に限定されない。例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂のような各種樹脂材料、ガラス材料等を用いることができる。なお、樹脂材料は、異なる組成のものを組み合わせた複合材料であってもよい。
【００８１】
また、これらの中でも特に（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、およびポリオレフィン系樹脂からなる群から選択される少なくとも１種を使用することが好ましい。これらの樹脂材料は、光の透過性が高いことから、特に伝送損失の小さい光導波路１が得られる。
【００８２】
なお、屈折率分布Ｗは、さらに、高屈折率領域ＷＨと低屈折率領域ＷＬとの間（界面部）に極小値を有していてもよい。このような構成により、光を屈折率の高い領域に閉じ込めて伝搬する機能が増強され、伝送損失およびパルス信号の鈍りを特に小さく抑えることができる。
【００８３】
また、低屈折率領域ＷＬ内には、高屈折率領域ＷＨに含まれる極大値（これを「第１の極大値」とする。）より小さい極大値（これを「第２の極大値」とする。）が含まれていることも好ましい。低屈折率領域ＷＬにこのような第２の極大値が含まれることにより、幅方向に隣接するコア部の間のクロストークが抑制される。その結果、コア層１３中に複数のコア部を形成して多チャンネル化したり、コア部の間隔を狭めて高密度化したりしても、本発明の光導波路１であれば、高品質な光通信を維持することができる。そして、複数のコア部１４が同一平面上で互いに交差している場合でも、光信号の混信が抑制される。
【００８４】
図４の（ａ）は、図２のＸ−Ｘ線での断面図である。図４の（ｂ）は、コア層１３の厚さ方向の中心を通過する中心線Ｃ１上の屈折率分布Ｗの、他の例を模式的に示す図である。なお特に記載のないかぎり、上記例と同じ条件をここで有していても良い。
【００８５】
図４の（ｂ）に示す屈折率分布Ｗは、４つの極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と、５つの極大値Ｗｍ１、Ｗｍ２、Ｗｍ３、Ｗｍ４、及びＷｍ５と、を有している。また、５つの極大値には、相対的に屈折率の大きい極大値（第１の極大値）Ｗｍ２、及びＷｍ４と、相対的に屈折率の小さい極大値（第２の極大値）Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５とが存在している。
【００８６】
このうち、極小値Ｗｓ１と極小値Ｗｓ２との間、および極小値Ｗｓ３と極小値Ｗｓ４と
の間には、極大値Ｗｍ２および極大値Ｗｍ４が存在している。
【００８７】
図４に示す光導波路１では、極小値Ｗｓ１と極小値Ｗｓ２との間に、相対的に屈折率の大きい極大値Ｗｍ２が位置しており、この相対的に屈折率の大きい領域がコア部１４となる。同様に、極小値Ｗｓ３と極小値Ｗｓ４との間にも極大値Ｗｍ４が位置しており、この相対的に屈折率の大きい領域がコア部１４となる。なお、ここでは、極小値Ｗｓ１と極小値Ｗｓ２との間をコア部１４１とし、極小値Ｗｓ３と極小値Ｗｓ４との間をコア部１４２とする。
【００８８】
また図４において、極小値Ｗｓ１の左側の領域、極小値Ｗｓ２と極小値Ｗｓ３との間、および極小値Ｗｓ４の右側の領域は、それぞれコア部１４の両側面に隣接する領域である。これら領域が側面クラッド部１５となる。なお、ここでは、極小値Ｗｓ１の左側の領域を側面クラッド部１５１（第１の側面クラッド部）とし、極小値Ｗｓ２と極小値Ｗｓ３との間を側面クラッド部１５２（第２の側面クラッド部）とし、極小値Ｗｓ４の右側の領域を側面クラッド部１５３（第３の側面クラッド部）とする。
【００８９】
すなわち、本例においては、屈折率分布Ｗは、少なくとも、低屈折率領域に含まれる第２の極大値、極小値、高屈折率領域に含まれる第１の極大値、極小値、及び、前記第２の極大値とは別の第２の極大値が、この順で並ぶ領域を有していればよい。なお、この領域は、コア部の数に応じて繰り返し設けられる。本実施形態のようにコア部１４が２つである場合、屈折率分布Ｗは、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、及び、第２の極大値の順のように、極大値と極小値が交互に並び、かつ極大値については第１の極大値と第２の極大値が交互に並ぶ、領域を有していればよい。
【００９０】
また、これら複数の極小値、複数の第１の極大値、および複数の第２の極大値は、それぞれ互いにほぼ同じ値であることが好ましい。しかし、極小値は第１の極大値や第２の極大値より小さく、第２の極大値は第１の極大値より小さいという関係が保持されれば、互いの値が多少ずれていても差し支えない。その場合、ずれ量は、複数の極小値の平均値の１０％以内に抑えられていることが好ましい。
【００９１】
ここで図４に示される、４つの極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４は、それぞれ、隣接する側面クラッド部１５における平均屈折率ＷＡの値未満の値を有する。この特徴により、各コア部１４と各側面クラッド部１５との境界には、側面クラッド部１５での平均屈折率よりもさらに屈折率の小さい領域が存在することとなる。その結果、各極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、Ｗｓ４の近傍では、より急峻な屈折率の勾配が形成される。これにより、各コア部１４からの光の漏れが抑制されるため、伝送損失の小さい光導波路１が得られる。
【００９２】
また、図４の（ｂ）に示す屈折率分布Ｗのうち、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）は、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３中に位置している。これら極大値は、特に側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３の縁部近傍（コア部１４１、１４２と、側面クラッド部との界面近傍）以外に位置していることが好ましい。この特徴により、コア部１４１、１４２中の極大値Ｗｍ２、及びＷｍ４（第１の極大値）と、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３中の極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）とが、互いに十分に離間したものとなる。このため、コア部１４１、１４２中の伝送光が、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３中に漏れ出る確率を十分に低くすることができる。その結果、コア部１４１、１４２の伝送損失を低減することができる。
【００９３】
なお、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３の縁部近傍とは、前述した縁部から側面クラッド部の内側にむけて、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３の幅の５％の距離までの領域である。
【００９４】
また、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）は、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３の幅の中央部に位置しており、しかも、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）から隣接する極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４に向かっては、屈折率が連続的に低下していることが好ましい。この特徴により、コア部１４１、１４２中の極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４（第１の極大値）と、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３中の極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）との離間距離は、最大限確保され、しかも極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）近傍に光を確実に閉じ込めることができる。このため、前述したコア部１４１、１４２からの伝送光の漏出をより確実に抑制することができる。
【００９５】
さらに、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）は、前述したコア部１４１、１４２に位置する極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４（第１の極大値）よりも屈折率が小さい。よって、コア部１４１、１４２のような高い光伝送性は有しないものの、周囲よりも屈折率が高くなっているため、わずかな光伝送性を有する。その結果、側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３は、コア部１４１、１４２から漏出した伝送光を閉じ込めることで、他のコア部への波及を防止する作用を有する。すなわち、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）が存在することで、クロストークを抑制することができる。
【００９６】
なお、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４は、それぞれ、前述したように、隣接する側面クラッド部１５の平均屈折率ＷＡ未満である。その差は、所定の範囲内であることが望まれる。具体的には、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と、側面クラッド部１５の平均屈折率ＷＡとの差は、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４のいずれか又は平均値と、コア部１４１、１４２中の極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４のいずれか又は平均値との差の、３〜８０％程度であることが好ましく、５〜５０％程度であることがより好ましく、７〜２０％程度であることがさらに好ましい。この特徴により、側面クラッド部１５は、クロストークを抑制するのに必要かつ十分な光伝送性を有する。なお、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と、側面クラッド部１５の平均屈折率ＷＡとの差が、前記範囲の下限値を下回る場合は、側面クラッド部１５における光伝送性が小さ過ぎて、クロストークを十分に抑制することができないおそれがある。前記上限値を上回る場合には、側面クラッド部１５における光伝送性が大き過ぎて、コア部１４１、１４２の光伝送性に悪影響を及ぼすおそれがある。
【００９７】
また、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と、極大値Ｗｍ１、Ｗｍ３、及びＷｍ５（第２の極大値）との差は、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４（第１の極大値）との差の６〜９０％程度であることが好ましく、１０〜７０％程度であることがより好ましく、１４〜４０％程度であることがさらに好ましい。これにより、側面クラッド部１５における屈折率の高さとコア部１４における屈折率の高さとのバランスが最適化され、光導波路１は、特に優れた光伝送性を有するとともに、クロストークをより確実に抑制し得るものとなる。
【００９８】
なお、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４と、コア部１４１、１４２中の極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４（第１の極大値）との屈折率差は、できるだけ大きい方がよいが、０．００５〜０．０７程度であることが好ましく、０．００７〜０．０５程度であることがより好ましく、０．０１〜０．０３程度であることがさらに好ましい。これにより、上述した屈折率差が、コア部１４１、１４２中に光を閉じ込めるのに必要かつ十分なものとなる。
【００９９】
極大値Ｗｍ２とＷｍ４（第１の極大値）の間の距離は必要に応じて選択できる。例えば好ましい範囲の下限値を挙げれば、１０μｍ以上が好ましく、２０μｍ以上がより好ましく、３０μｍ以上がさらに好ましい。また上限を挙げれば、８００μｍ以下が好ましく、５００μｍ以下がより好ましく、４００μｍ以下が更に好ましく、３００μｍが特に好ましい。必要に応じて、２００μｍ以下や、１００μｍ以下であっても良い。
【０１００】
ここで、図５は、図４に示す屈折率分布を有する光導波路１のコア部１４１のみに光を入射したときの、出射光の強度分布を示す図である。この強度分布は、光導波路１に形成された並列する２つのコア部１４１、１４２のうち、コア部１４１の端部（入射端部）に光を入射したときの、光導波路の他方の端部における出射光の強度分布である。
【０１０１】
コア部１４１に光を入射すると、出射光の強度は、コア部１４１の出射端の中心部において最も大きくなる。そして、コア部１４１の中心部から離れるにつれて出射光の強度は小さくなる。光導波路１では、コア部１４１に隣り合うコア部１４２において出射光の強度が極小値をとるような強度分布が得られる。このようにコア部１４２の位置に出射光の強度分布の極小値が一致することで、コア部１４２におけるクロストークは極めて小さく抑えられる。その結果、多チャンネル化および高密度化によっても、クロストークの発生を確実に防止し得る光導波路１が得られる。
【０１０２】
なお、従来の光導波路では、光を入射するコア部と隣り合うコア部において出射光の強度分布が極小値をとることはなく、むしろ極大値をとっていた。その結果、クロストークの問題が発生していた。これに対し、上述したような本発明の光導波路における出射光の強度分布は、クロストークを抑制する上で極めて有用である。
【０１０３】
本発明の光導波路においてこのような強度分布が得られる詳細な理由は明らかでないものの、理由の１つとしては、以下の理由が考えられる。極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４を有し、かつ、屈折率分布Ｗ全体で屈折率が連続的に変化している、という特徴的な屈折率分布Ｗが、従来であればコア部１４２に極大値を有していた出射光の強度分布について、コア部１４２に隣接する側面クラッド部１５３等に極大値をシフトさせていることが挙げられる。すなわち、この強度分布のシフトにより、クロストークが確実に抑制されているのである。
【０１０４】
なお、出射光の強度分布が側面クラッド部１５にシフトしたとしても、受光素子等はコア部１４の位置に合わせて配置されている。このため、クロストークを招くおそれはほとんどなく、光通信の品質を劣化させることはない。
【０１０５】
また、上記のような出射光の強度分布は、本発明の光導波路において少なくとも２つのコア部１４が並列して形成されている場合には観測される確率は高いものの、必ず観測されるわけではない。入射光のＮＡ（numerical aperture）やコア部１４１の横断面積、コア部１４１、１４２のピッチ等によっては、明瞭な極小値が観測されなかったり、極小値の位置がコア部１４２から外れたりする場合もある。しかしながら、このような場合でもクロストークは十分に抑制される。
【０１０６】
また、図４の（ｂ）に示す屈折率分布Ｗにおいて、側面クラッド部１５における平均屈折率をＷＡとしたとき、極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４（第１の極大値）近傍における屈折率が連続して平均屈折率ＷＡ以上である部分の幅をａ［μｍ］とし、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４近傍における屈折率が連続して平均屈折率ＷＡ未満である部分の幅をｂ［μｍ］とした。このとき、ｂは、０．０１ａ〜１．２ａ程度であることが好ましく、０．０３ａ〜１ａ程度であることがより好ましく、０．１ａ〜０．８ａ程度であることがさ
らに好ましい。これにより、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４の実質的な幅が、上述した作用・効果を奏するのに必要かつ十分なものとなる。すなわち、ｂが前記下限値を下回っている場合は、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４の実質的な幅が狭過ぎるため、コア部１４１、１４２に光を閉じ込める作用が低下するおそれがある。一方、ｂが前記上限値を上回っている場合は、極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４の実質的な幅が広過ぎて、その分、コア部１４１、１４２の幅やピッチが制限され、伝送効率が低下したり多チャンネル化および高密度化が妨げられるおそれがある。
【０１０７】
なお、側面クラッド部１５における平均屈折率ＷＡは、極大値Ｗｍ１と極小値Ｗｓ１との中点で近似することができる。
【０１０８】
（クラッド層）
クラッド層１１および１２は、それぞれ、コア層１３の下部および上部に位置するクラッド部を構成する。
【０１０９】
クラッド層１１、１２の平均厚さは、コア層１３の平均厚さ（各コア部１４の平均高さ）の０．０５〜１．５倍程度であることが好ましく、０．１〜１．２５倍程度であることがより好ましい。具体的には、クラッド層１１、１２の平均厚さは、特に限定されないが、それぞれ、通常、１〜２００μｍ程度であることが好ましく、３〜１００μｍ程度であることがより好ましく、５〜６０μｍ程度であることがさらに好ましい。これにより、光導波路１が必要以上に大型化（厚膜化）するのを防止しつつ、クラッド部としての機能が好適に発揮される。
【０１１０】
また、クラッド層１１および１２の構成材料は任意で選択できるが、例えば、前述したコア層１３の構成材料と同様の材料を用いることができる。特に（メタ）アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、またはポリオレフィン系樹脂が好ましい。
【０１１１】
コア層１３の構成材料、およびクラッド層１１、１２の構成材料を選択する場合、両者の間の屈折率差を考慮して材料を選択すればよい。具体的には、コア部１４において光を確実に閉じ込めるため、コア部１４の構成材料の屈折率が十分に大きくなるように材料を選択すればよい。これにより、光導波路１の厚さ方向において十分な屈折率差が得られ、各コア部１４からクラッド層１１、１２に光が漏れ出るのを抑制することができる。
【０１１２】
なお、光の減衰を抑制する観点からは、コア層１３の構成材料とクラッド層１１、１２の構成材料との密着性（親和性）が高いことも重要である。
【０１１３】
一方、光導波路１の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、コア部１４の屈折率が高く、クラッド層１１、１２の屈折率が低ければその形状は特に限定されない（例えば、ステップインデックス型（ＳＩ型）、屈折率が連続的に変化したいわゆるグレーデッドインデックス型（ＧＩ型）やＷ型でもよい。）。しかしながら、コア部１４に極大値を有し、コア部１４とクラッド層１１、１２との境界付近に極小値を有していることが好ましい。なお、「屈折率が連続的に変化」とは、前述した屈折率分布Ｗと同様、屈折率分布Ｔの曲線が各部で丸みを帯びており、この曲線が微分可能なものであるという状態である。
【０１１４】
図６Ａの（ａ）、図６Ｂの（ｃ）は、図２に示すＸ−Ｘ線断面図の一部であって、上下をクラッド層に挟まれたコア部を中心として切り出した図である。図６Ａの（ｂ）、図６Ｂの（ｄ）は、前記コア部の幅の中心を垂直に通過する中心線Ｃ２上の屈折率分布Ｔの一例を、模式的に示した図である。なお、図６Ａ（ｂ）、及び図６Ｂの（ｄ）は、横軸に屈折率をとり、縦軸に中心線Ｃ２上の位置（距離：コア部の厚さ方向の中心をゼロとする）をとったときの、屈折率分布Ｔの一例を示す図である。
【０１１５】
前述したように、光導波路１は、クラッド層１１、コア層１３およびクラッド層１２に分かれている。その横断面のうち、図６Ａの（ｂ）に示すコア部１４における厚さ方向の屈折率分布Ｔは、その中心部に位置する極大値Ｔｍと、極大値Ｔｍの両側にそれぞれ位置する極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２を有している。なお、極大値Ｔｍの下側に位置する極小値をＴｓ１とし、上側に位置する極大値をＴｓ２とする。
【０１１６】
光導波路１では、図６Ａの（ｂ）に示すように、極小値Ｔｓ１と極小値Ｔｓ２との間に極大値Ｔｍを含んでいることから、この領域がコア部１４となる。
【０１１７】
一方、極小値Ｔｓ１の下側の領域がクラッド層１１となり、極小値Ｔｓ２の上側の領域がクラッド層１２となる。
【０１１８】
すなわち、屈折率分布Ｔは、少なくとも、極小値、極大値、極小値がこの順で並ぶ領域を有していればよい。
【０１１９】
なお、この領域は、コア層１３が積層される数に応じて繰り返し設けられる。例えばクラッド層を介してコア層１３を２層設けた場合、屈折率分布Ｔでは、極小値と極大値が交互に並ぶこととなる。この場合、極大値については、相対的に大きい第１の極大値と相対的に小さい第２の極大値が交互に並んでいることが好ましい。すなわち、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値、極小値、第１の極大値・・・のように、極大値が並んでいることが好ましい。
【０１２０】
また、これらの複数の極小値、複数の第１の極大値、および複数の第２の極大値は、それぞれが互いにほぼ同じ値であることが好ましい。極小値は第１の極大値や第２の極大値より小さく、第２の極大値は第１の極大値より小さいという関係が保持されれば、複数の値において、互いの値が多少ずれていても差し支えない。その場合、ズレ量は、複数の極小値の平均値の１０％以内に抑えられていることが好ましい。
【０１２１】
なお、上記のような屈折率分布Ｔは、光導波路１の長手方向全体においてほぼ同じ分布が維持されている。
【０１２２】
ここで、極小値Ｔｓ１は、クラッド層１１における平均屈折率ＴＡ未満である。極小値Ｔｓ２は、クラッド層１２における平均屈折率ＴＡ未満である。これにより、コア部１４と各クラッド層１１、１２との間に、各クラッド層１１、１２の平均屈折率よりもさらに屈折率の小さい領域が存在することとなる。その結果、各極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２の近傍では、より急峻な屈折率の勾配が形成される。これにより、各コア部１４から各クラッド層１１、１２への光の漏れが抑制されるため、伝送損失の小さい光導波路１が得られる。
【０１２３】
また、これらの屈折率分布Ｔは、全体で屈折率が連続的に変化している。これにより、ステップインデックス型の屈折率分布を有する光導波路に比べ、コア部１４に光を閉じ込める作用がより増強される。このため、伝送損失のさらなる低減が図られる。
【０１２４】
さらに、屈折率分布Ｔでは、上述したような各極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２を有するとともに屈折率が連続的に変化している。このため、光の速度が屈折率に反比例するという性質により、光の速度は中心から離れるにつれて速くなり、光路ごとの伝搬時間に差が生じ難くなる。このため、伝送波形が崩れ難くなり、例えば伝送光にパルス信号が含まれている場合でも、パルス信号の鈍り（パルス信号の広がり）を抑制することができる。その結果、光通信の品質をより高め得る光導波路１が得られる。
【０１２５】
なお、屈折率分布Ｔにおいて屈折率が連続的に変化しているとは、屈折率分布Ｔの曲線が各部で丸みを帯びており、この曲線が微分可能なものであるという状態である。
【０１２６】
また、屈折率分布Ｔのうち、極大値Ｔｍは、図６Ａの（ｂ）に示すに示すようにコア部１４に位置しており、かつ、コア部１４の中でもその厚さの中心部に位置している。これにより、コア部１４では、伝送光がコア部１４の厚さの中心部に集まる確率が高くなり、相対的に各クラッド層１１、１２に漏れ出る確率が低くなる。その結果、コア部１４１、１４２の伝送損失をより低減することができる。
【０１２７】
なお、コア部１４の厚さの中心部とは、極小値Ｔｓ１と極小値Ｔｓ２との間の中点から両側に、コア部１４の厚さの３０％の距離の領域である。
【０１２８】
また、極大値Ｔｍの位置は、必ずしも中心部でなくても、コア部１４の縁部近傍（各クラッド層１１、１２との界面近傍）以外の場所に位置していればよい。これにより、コア部１４の伝送損失をある程度抑えることができる。
【０１２９】
なお、コア部１４の縁部近傍とは、前述した縁部から内側に、コア部１４の厚さの５％の距離の領域である。
【０１３０】
一方、屈折率分布Ｔでは、各クラッド層１１、１２において、コア部１４との界面近傍以外で最も高く、コア部１４との界面近傍で最も低くなるよう屈折率が変化している。これにより、コア部１４中の極大値Ｔｍと、各クラッド層１１、１２中における屈折率の高い領域とが、互いに十分に離間したものとなる。このため、コア部１４中の伝送光が、各クラッド層１１、１２中に漏れ出る確率を十分に低くすることができる。その結果、コア部１４の伝送損失を低減することができる。
【０１３１】
なお、各クラッド層１１、１２におけるコア部１４との界面近傍とは、この界面から内側に、各クラッド層１１、１２の厚さの５％の距離の領域である。
【０１３２】
また、各クラッド層１１、１２における平均屈折率ＴＡは、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２と各クラッド層１１、１２における最大値との中点で近似することができる。
【０１３３】
また、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２は、前述したように、各クラッド層１１、１２の平均屈折率ＴＡ未満である。両者の値の差は、所定の範囲内であることが望まれる。具体的には、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２と、クラッド層１１、１２の平均屈折率ＴＡとの差は、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２とコア部１４中の極大値Ｔｍとの差の３〜８０％程度であることが好ましく、５〜５０％程度であることがより好ましく、７〜３０％程度であることがさらに好ましい。これにより、各クラッド層１１、１２は、クロストークを抑制するのに必要かつ十分な光伝送性を有する層となる。なお、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２と、各クラッド層１１、１２の平均屈折率ＴＡとの差が、前記下限値を下回る場合は、各クラッド層１１、１２における光伝送性が小さ過ぎて、クロストークを十分に抑制することができないおそれがある。一方、前記上限値を上回る場合には、各クラッド層１１、１２における光伝送性が大き過ぎて、コア部１４の光伝送性に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０１３４】
また、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２とコア部１４中の極大値Ｔｍとの屈折率差は、できるだけ大きい方がよい。前記差は必要に応じて選択できるが、０．００５〜０．０７程度であることが好ましく、０．００７〜０．０５程度であることがより好ましく、０．０１〜０．０５程度であることがさらに好ましい。これにより、上述した屈折率差が、コア部１４中に光を閉じ込めるのに必要かつ十分な差となる。
【０１３５】
なお、前述したように、屈折率分布Ｔは、図６Ｂの（ｄ）に示すような、いわゆるグレーデッドインデックス型の分布であってもよい。図６Ｂの（ｄ）に示す屈折率分布Ｔは、コア部１４に極大値Ｔｍを有し、クラッド層１１、１２では極大値Ｔｍより小さい一定の屈折率を有している。
【０１３６】
（交差部）
図７Ａは、図２に示す光導波路１を示す上面図図（上部の層３と層１２は省略）である。図７Ｂは、交差部近傍の屈折率分布を示す図である。
【０１３７】
コア部１４１（第１のコア部）及び１４２（第３のコア部）と、コア部１４５（第２のコア部）との交差部１４７は、図７Ｂに示すように、中心部に極大値があり、そこから周辺に向かって裾を引くように屈折率が漸減するような屈折率分布を有していてもよく、あるいは、交差部１４７の屈折率分布は一様であってもよい。前者の場合、交差部１４７の中心部に信号光が集まり易くなるので、より混信が生じ難くなる。後者の場合、交差部１４７内では信号光を直進させることができ、意図しない方向への伝搬が抑制される。
【０１３８】
そして、交差部１４７の屈折率は、その周囲に比べて高いことが好ましい。この屈折率差に基づき、交差部１４７に進入した信号光は、その信号光が伝搬してきたコア部と交差するコア部には進入し難くなる。その結果、光導波路１では、交差部１４７において信号光を混信させることなく、コア部同士を同一平面上で交差させることができる。
【０１３９】
また、同一平面上で複数のコア部同士を交差させることにより、立体交差化することなく、信号の交差が可能になる。このため、このような光導波路１を用いることにより、光導波路１が実装されたデバイスの小型化、薄型化および高密度化を容易に図ることができる。
【０１４０】
交差部１４７の最大の屈折率は、屈折率分布Ｗの極大値Ｗｍより０．００１〜０．０５程度高いことが好ましく、０．００２〜０．０３程度高いのがより好ましい。
【０１４１】
なお、交差部１４７の構成材料は、コア層１３を構成する他の部位と異なっていてもよい。この場合、コア層１３の形成後、一部を除去し、そこに他の材料を充填することによって一様な屈折率分布を有する交差部１４７を形成することができる。他の材料としては、後述するポリマー等が挙げられ、コア部１４の屈折率との大小関係に応じて適宜選択される。
【０１４２】
また、屈折率分布が一様であるとは、交差部１４７における屈折率のバラツキが交差部１４７における平均屈折率の５％以下であることをいう。
【０１４３】
ここで、コア部１４１（第１のコア部）の光軸をＡ１とし、コア部１４２（第３のコア部）の光軸をＡ２とし、コア部１４５（第２のコア部）の光軸をＡ５としたとき、光軸Ａ１と光軸Ａ５との交差角、および光軸Ａ２と光軸Ａ５との交差角は、それぞれ１０〜９０°であることが好ましく、２０〜９０°であることがより好ましい。交差角がこの範囲内であれば、混信の発生を十分に抑えることができる。
【０１４４】
また、前述した屈折率分布Ｗを有するコア部１４１、１４２、及び１４５は、信号光が極大値近傍に集中して伝搬するため、前述したように交差部１４７での混信が生じ難い。しかしながら上記条件等を任意で選択することにより、交差部１４７における減衰も抑えられる。具体的には、光軸Ａ１と光軸Ａ５との交差角が９０°である場合、本発明の光導波路１は、交差部１４７における伝送損失が０．０２ｄＢ以下のものとなる。このような光導波路１は、多数の交差部１４７を形成しても伝送損失を小さく抑えられるため、複雑
な光配線を構築可能なものとなる。
【０１４５】
図８Ａ、及び図８Ｂは、交差部近傍の他の構成例を示す部分拡大図である。
【０１４６】
図８Ａ、及び図８Ｂに示す光導波路は、それぞれ、交差部１４７の近傍において、コア部１４１およびコア部１４５の幅が、交差部１４７に向かうにつれて漸増するよう構成されている。このうち、図８Ａに示す光導波路ではコア部１４１およびコア部１４５の幅が直線的に漸増している。一方、図８Ｂに示す光導波路では、コア部１４１およびコア部１４５の幅が曲線的に漸増している。このような構造になっていると、交差部１４７における混信が特に抑制されるとともに、交差部１４７における伝送効率の改善が図られる。
【０１４７】
また、図７Ａでは、コア部１４１とコア部１４５、および、コア部１４２とコア部１４５が、それぞれ異なる交差部１４７で交差している例を示しているが、コア部１４１、コア部１４２およびコア部１４５の３つが、同一の交差部で交差していてもよい。あるいはそれ以上のコア部が交差しても良い。図８Ｃ、及び図８Ｄは、コア部が３つ以上交差する、後者の例を示す図である。
【０１４８】
図８Ｃに示す交差部１４８では、コア部１４１の光軸Ａ１、コア部１４２の光軸Ａ２、およびコア部１４５の光軸Ａ５は、形成される内角がいずれも６０°になるよう一点で交差している。
【０１４９】
さらに、図８Ｄに示す交差部１４８では、コア部１４１、コア部１４２、コア部１４５およびコア部１４６の４つが同一の交差部で交差している。図８Ｄに示す交差部１４８では、コア部１４１の光軸Ａ１、コア部１４２の光軸Ａ２、コア部１４５の光軸Ａ５、およびコア部１４６の光軸Ａ６は、形成される内角がいずれも４５°になるよう一点で交差している。
【０１５０】
これらのような交差部１４８を有することにより、光導波路１は、より高密度でより複雑な光配線を構築可能な光導波路となる。なお、交差部１４８において交差するコア部の数は必要に応じて選択でき、５つ以上であってもよい。また、交差部１４８においては、形成される内角が好ましくは１０〜８０°、より好ましくは２０〜７０°、さらに好ましくは３０〜６０°となるよう、交差数が適宜調整される。さらに、形成される複数の内角は、互いに等しくても異なっていてもよい。
【０１５１】
（ミラー）
光導波路１には、必要に応じてミラーを設けるようにしてもよい。
光導波路１のコア部１４の途中にミラーが形成されていてもよい。
【０１５２】
（支持フィルム）
光導波路１の下面には、必要に応じて、図２に示すような支持フィルム２を積層してもよい。
【０１５３】
支持フィルム２は任意に選択でき、光導波路１の下面を支持して、保護・補強する。これにより、光導波路１の信頼性および機械的特性を高めることができる。
【０１５４】
≪第２実施形態≫
次に、本発明の光導波路の第２実施形態について説明する。
【０１５５】
図９は、本発明の光導波路の第２実施形態を示す（一部切り欠いて、および透過して示
す）斜視図である。なお、以下の説明では、図９中の上側を「上」、下側を「下」という。
【０１５６】
以下、光導波路の第２実施形態について説明するが、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、図９において、第１実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【０１５７】
第２実施形態は、クラッド層を介して積層された２層のコア層１３を有している以外、第１実施形態と同様である。すなわち、図９に示す光導波路１は、下側からクラッド層１１、コア層１３、クラッド層１２１、コア層１３、クラッド層１２２の５層をこの順で積層してなるものである。
【０１５８】
このうち、２つのコア層１３には、第１実施形態と同様、それぞれ、幅方向に並列した２つのコア部１４（第１のコア部と第３のコア部）と、これらのコア部１４とそれぞれ交差する１つのコア部１４（第２のコア部）と、これらのコア部１４に隣接する側面クラッド部１５と、が形成されている。
【０１５９】
より詳しくは、図９に示す２つのコア層１３のうち、下方のコア層１３１には、並列する２つのコア部１４１（第１のコア部）、１４２（第３のコア部）と、これらのコア部１４１、１４２とそれぞれ交差する１つのコア部１４５（第２のコア部）と、これらのコア部１４１、１４２、及び１４５に隣接する側面クラッド部１５１、１５２、及び１５３とが形成されている。
【０１６０】
一方、上方のコア層１３２にも、並列する２つのコア部１４３（第１のコア部）、１４４（第３のコア部）と、これらのコア部１４３、１４４とそれぞれ交差する１つのコア部１４５（第２のコア部）と、これらのコア部１４３、１４４、及び１４５に隣接する側面クラッド部１５４、１５５、１５６とが形成されている。
【０１６１】
また、図９に示すように、各コア層１３１、１３２において、各コア部１４（１４１、１４２、１４５、１４３、１４４、及び１４５）は、所定の位置及び組み合わせにより、平面視で重なるように設けられている。
【０１６２】
ここで、図９に示す光導波路１には、厚さ方向において屈折率が偏りを有してなる屈折率分布Ｔが形成されている。この屈折率分布Ｔは、相対的に屈折率の高い領域と低い領域とを有しており、これにより入射された光を屈折率の高い領域に閉じ込めて伝搬することができる。
【０１６３】
以下、この屈折率分布Ｔの一例について説明する。
【０１６４】
図１０の（ａ）は、図９に示すＹ−Ｙ線断面図の一部であって、クラッド層に挟まれた２つのコア部を切り出した図である。図１０の（ｂ）は、このＹ−Ｙ線横断面のコア部の幅の中心を通過する中心線Ｃ２’上の屈折率分布Ｔの一例を、模式的に示す図である。なお、図１０の（ｂ）は、横軸に屈折率をとり、縦軸を横断面のコア部の厚さ方向の位置（距離）としたときの、厚さ方向の屈折率分布の一例を、模式的に示す図である。横軸は、右に行くほど大きな屈折率であることを示す。
【０１６５】
光導波路１は、図１０の（ｂ）に示すような、４つの極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４と、５つの極大値Ｔｍ１、Ｔｍ２、Ｔｍ３、Ｔｍ４、及びＴｍ５と、を含む屈折率分布Ｔを有している。また、５つの極大値には、相対的に屈折率の大きい極大値（第
１の極大値）Ｔｍ２、Ｔｍ４と、相対的に屈折率の小さい極大値（第２の極大値）Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５と、が存在している。
【０１６６】
このうち、極小値Ｔｓ１と極小値Ｔｓ２との間、および極小値Ｔｓ３と極小値Ｔｓ４との間には、それぞれ相対的に屈折率の大きい極大値Ｔｍ２およびＴｍ４が存在している。それ以外の極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３およびＴｍ５は、それぞれ相対的に屈折率の小さい極大値である。
【０１６７】
そして、極小値Ｔｓ１はクラッド層１１とコア部１４１との境界線上に、極小値Ｔｓ２はコア部１４１とクラッド層１２１との境界線上に、極小値Ｔｓ３はクラッド層１２１とコア部１４３との境界線上に、極小値Ｔｓ４はコア部１４３とクラッド層１２２との境界線上に、それぞれ位置している。
【０１６８】
また、極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）は、コア部１４１、１４３の中心部に位置していることが好ましい。一方、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）は、クラッド層１１、１２１、及び１２２の中心部に位置していることが好ましい。
【０１６９】
すなわち、屈折率分布Ｔは、少なくとも、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値がこの順で並ぶ領域を有していればよい。なお、この領域は、コア層の積層数に応じて繰り返し設けられる。本実施形態のようにコア層１３の積層数が２層である場合、屈折率分布Ｔは、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値、極小値、第１の極大値、極小値、第２の極大値のように、極大値と極小値が交互に並び、かつ極大値については第１の極大値と第２の極大値が交互に並んだ形状であればよい。
【０１７０】
ここで、４つの極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４は、それぞれ、隣接するクラッド層１１、１２１、及び１２２における平均屈折率ＴＡの値未満である。これにより、各コア部１４と各クラッド層１１、１２１、及び１２２との間に、各クラッド層１１、１２１、１２２の平均屈折率ＴＡよりもさらに屈折率の小さい領域が存在することとなる。その結果、各極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４の近傍では、より急峻な屈折率の勾配が形成される。これにより、各コア部１４からの光の漏れが抑制されるため、伝送損失の小さく、かつ厚さ方向にクロストークの発生が抑制された、光導波路１が得られる。
【０１７１】
また、屈折率分布Ｔは、全体で屈折率が連続的に変化している。これにより、ステップインデックス型の屈折率分布を有する光導波路に比べ、コア部１４に光を閉じ込める作用がより増強される。このため、伝送損失のさらなる低減およびクロストークの発生のさらなる抑制が図られる。
【０１７２】
一方、屈折率分布Ｔのうち、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）は、図１０の（ｂ）に示すように、各クラッド層１１、１２１、及び１２２中に位置している。これら極大値は、特に、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の縁部近傍（コア部１４１、１４３との界面近傍）以外の場所に位置していることが好ましい。これにより、コア部１４１、１４３中の極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）と、各クラッド層１１、１２１、及び１２２中の極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）とが、互いに十分に離間したものとなる。このため、コア部１４１、１４３中の伝送光が、各クラッド層１１、１２１、及び１２２中に漏れ出る確率を十分に低くすることができる。その結果、コア部１４１、１４３の伝送損失を低減するとともに、クロストークをより抑制することができる。
【０１７３】
なお、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の縁部近傍とは、前述した縁部から内側
に、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の厚さの５％の距離の領域である。
【０１７４】
また、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）は、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の厚さの中央部に位置しており、しかも、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５から隣接する極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４に向かっては、屈折率が連続的に低下していることが好ましい。これにより、コア部１４１、１４３中の極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）と、各クラッド層１１、１２１、及び１２２中の極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）との離間距離は、最大限確保され、しかも極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５近傍に光を確実に閉じ込められる。このため、前述したコア部１４１、１４３からの伝送光の漏出をより確実に抑制することができる。
【０１７５】
なお、クラッド層１２１の厚さの中心部とは、極小値Ｔｓ２と極小値Ｔｓ３との間の中点から両側にむけて、クラッド層１２１の厚さの３０％の距離までの領域である。
【０１７６】
さらに、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５は、前述したコア部１４１、１４３に位置する極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）よりも屈折率の低い極大値である。よって、コア部１４１、１４３のような高い光伝送性は有しないものの、周囲よりも屈折率が高くなっているため、わずかな光伝送性を有することとなる。その結果、各クラッド層１１、１２１、及び１２２は、コア部１４１、１４３から漏出した伝送光を閉じ込めることで、他のコア部への波及を防止する作用を有する。すなわち、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５が存在することで、クロストークをより確実に抑制することができる。
【０１７７】
なお、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４は、前述したように、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の平均屈折率ＴＡ未満の屈折率を有するが、その差は、所定の範囲内であることが望まれる。具体的には、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４と、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の平均屈折率ＴＡとの差は、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４とコア部１４１、１４３中の極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）との差の３〜８０％程度であることが好ましく、５〜５０％程度であることがより好ましく、７〜３０％程度であることがさらに好ましい。これにより、各クラッド層１１、１２１、及び１２２は、クロストークを抑制するのに必要かつ十分な光伝送性を有する層となる。なお、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４と、各クラッド層１１、１２１、及び１２２の平均屈折率ＴＡとの差が、前記下限値を下回る場合は、各クラッド層１１、１２１、及び１２２における光伝送性が小さ過ぎて、クロストークを十分に抑制することができないおそれがある。一方、前記上限値を上回る場合には、各クラッド層１１、１２１、及び１２２における光伝送性が大き過ぎて、コア部１４１、１４３の光伝送性に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０１７８】
また、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４と、極大値Ｔｍ１、Ｔｍ３、及びＴｍ５（第２の極大値）との差は、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４と極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）との差の６〜９０％程度であることが好ましく、１０〜７０％程度であることがより好ましく、１４〜４０％程度であることがさらに好ましい。これにより、クラッド層における屈折率の高さとコア部における屈折率の高さとのバランスが最適化される。よって、光導波路１は、特に優れた光伝送性を有するとともに、クロストークをより確実に抑制し得るものとなる。
【０１７９】
また、図１０の（ｂ）に示す屈折率分布Ｔにおいて、各クラッド層１１、１２１、及び１２２における平均屈折率をＴＡとしたとき、極大値Ｔｍ２、Ｔｍ４（第１の極大値）近傍における屈折率が連続して平均屈折率ＴＡ以上である部分の幅をａ［μｍ］とし、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４近傍における屈折率が連続して平均屈折率ＴＡ未満である部分の幅をｂ［μｍ］とする（図４の場合と同じようにａとｂを設定）。このと
き、ｂは、０．０１ａ〜１．２ａ程度であることが好ましく、０．０３ａ〜１ａ程度であることがより好ましく、０．１ａ〜０．８ａ程度であることがさらに好ましい。これにより、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４の実質的な幅が、上述した作用・効果を奏するのに必要かつ十分なものとなる。すなわち、ｂが前記下限値を下回っている場合は、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４の実質的な幅が狭過ぎるため、コア部１４１、１４３に光を閉じ込める作用が低下するおそれがある。一方、ｂが前記上限値を上回っている場合は、極小値Ｔｓ１、Ｔｓ２、Ｔｓ３、及びＴｓ４の実質的な幅が広過ぎて、その分、コア部１４１、１４３の厚さやピッチが制限され、伝送効率が低下したり、多チャンネル化および高密度化が妨げられるおそれがある。
【０１８０】
なお、クラッド層１１における平均屈折率ＴＡは、極大値Ｔｍ１と極小値Ｔｓ１との中点で近似することができる。
【０１８１】
また、本実施形態では、光導波路１の厚さ方向に並んだコア部１４１、１４３間においてクロストークを抑制することができる。
【０１８２】
具体的には、図９に示す光導波路１の複数のコア部１４１、１４２、１４３、及び１４４のうち、所望の１つコア部の端部に光を入射し、これらコア部の他方の端部における出射光の強度分布Ｐ２を取得したとき、その強度分布はクロストークの抑制に適した特徴的な分布を示す。
【０１８３】
図１１は、図９に示す光導波路１のコア部１４１のみに光を入射したとき、出射側端面の一部における、出射光の強度分布Ｐ２を示す図である。具体的には、横軸に出射光の強度をとり、縦軸に出射側端面の位置（厚さ方向の距離）をとったときの、強度分布の一例を示す図である。
【０１８４】
コア部１４１（ＣＨ１）に光を入射すると、出射光の強度は、コア部１４１の出射端の中心部において最も大きくなる。そして、コア部１４１の中心部から離れるにつれて出射光の強度は小さくなるが、コア部１４１の厚さ方向に隣り合うコア部１４３（ＣＨ２）において局所的に小さな値をとる。すなわち、この場合の出射光の強度分布Ｐ２は、コア部１４１（ＣＨ１）の出射端の中心部において極大値Ｐｍ１をとり、コア部１４３（ＣＨ２）において極小値Ｐｓ１をとる。出射光がこのような強度分布を有する光導波路１によれば、コア部１４１を伝搬する光の完全なる漏出は防止できないものの、その漏出光がコア部１４３に集まるのを抑制している。このため、漏出光がコア部１４３に混在する「クロストーク」を確実に抑制することができる。その結果、光導波路１は、幅方向のみならず、厚さ方向に多チャンネル化および高密度化したとしても、クロストークの発生を確実に防止し得るものとなる。
【０１８５】
なお、本実施形態においても、前述したように屈折率分布Ｔがいわゆるステップインデックス型であってもよく、グレーデッドインデックス型であってもよい。
【０１８６】
（コネクター）
コネクター１０１は、光導波路１の端部に設けられ、コア群１４０を他の光学部品と光学的に接続し得るものである。このコネクター１０１は、各種コネクター規格に準拠したものであってもよい。コネクター規格に準拠したものとしては、例えば小型（Ｍｉｎｉ）ＭＴコネクター、ＪＩＳ  Ｃ  ５９８１に規定されたＭＴコネクター、１６ＭＴコネクター、２次元配列型ＭＴコネクター、ＭＰＯコネクター、及びＭＰＸコネクター等が挙げられる。
【０１８７】
光導波路１にコネクター１０１が装着されると、コア群１４０の端部はコネクター１０
１の端面から露出した状態となる。このコネクター１０１に対して他のコネクターを接続することによって、例えばコア群１４０と他の光導波路や光ファイバーといった光学部品を光学的に接続することができる。接続される光学部品としては、光導波路や光ファイバーの他に、例えば、波長変換素子、フィルター、回折格子、偏光子、プリズム、レンズ等が挙げられる。
【０１８８】
また、コネクター１０１の構成材料としては、例えば、樹脂材料、金属材料、セラミックス材料等が挙げられる。
【０１８９】
また、コネクター１０１の装着構造は、特に限定されない。例えば、光導波路１の端面からコネクター１０１が突出する構造であってもよく、その場合は、光導波路１に切り欠き等を設ける必要はない。
【０１９０】
なお、光導波路１におけるコア群１４０のパターンは、図１に示すものに限定されず、いかなるものであってもよい。
【０１９１】
図１２は、本発明の光配線部品の第１実施形態の他の構成例を示す（クラッド層を透過して示す）平面図である。
【０１９２】
図１２に示す光導波路１は、並列した４本のコア部１４の集合体であるコア群１４０のうち、各コア部１４が途中で互いに異なる方向に分かれるよう敷設されており、互いに異なるコネクター１０１に接続されていること以外は、図１に示す光導波路１と同様である。このようなパターンの光導波路１を含む光配線部品１０においても、前述したのと同様の効果が得られる。すなわち、厚さの増大を伴うことなく、同一平面上で互いに交差するような複雑かつ高密度な信号経路を構築することができるので、折り曲げが容易で、小さい配線空間においても容易に配線作業を行い得る光配線部品１０が得られる。
＜光導波路の製造方法＞
次に、本発明の光導波路を製造する方法の一例について説明する。
【０１９３】
光導波路１は、クラッド層１１を形成するための組成物、コア層１３を形成するための組成物、およびクラッド層１２を形成するための組成物を、順次成膜して製造することもできるが、複数の組成物を複数の層に、例えば３種の組成物を同時に３層に、押出成形して同時に製造することもできる。以下では後者の方法について説明する。
図１３〜１５は、それぞれ図２に示す光導波路１の製造方法を説明するための図である。なお、以下の説明では、図１３〜１５中の上側を「上」、下側を「下」という。
【０１９４】
光導波路１の製造方法では、例えば、以下の工程を含むことができる。
［１］まず、支持基板９５１上に、２種類の光導波路形成用組成物９０１、９０２（第１の組成物および第２の組成物）を層状に任意の数だけ交互に、好ましくは押出成形して、形成し、層９１０を得る。
［２］次いで、層９１０の一部に活性放射線を照射することで屈折率差を生じさせ、光導波路１を得る。
【０１９５】
以下、各工程について順次説明する。
【０１９６】
［１］の工程
まず、光導波路形成用組成物９０１、９０２を用意する。
【０１９７】
光導波路形成用組成物９０１、９０２は、それぞれ、ポリマー９１５と、添加剤９２０（本実施形態では、少なくともモノマーを含む。）と、を含有するものである。ただし、
その組成は互いに異なる。
【０１９８】
２種類の組成物のうち、光導波路形成用組成物９０１は、主にコア層１３を形成するための材料である。具体的には、光導波路形成用組成物９０１は、活性放射線の照射により、ポリマー９１５中において少なくともモノマーの活発な反応が生じ、それに伴って屈折率分布に変化を生じさせる材料である。すなわち、光導波路形成用組成物９０１は、ポリマー９１５とモノマーの存在比率の偏りによって屈折率分布に変化が生じ、その結果、コア層１３中にコア部１４と側面クラッド部１５とを形成することのできる材料である。
【０１９９】
一方、光導波路形成用組成物９０２は、主にクラッド層１１、１２を形成するための材料であり、光導波路形成用組成物９０１の材料より低屈折率の材料で構成されている。
【０２００】
光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２との屈折率差は、それぞれに含まれるポリマー９１５の組成、モノマーの組成、ポリマー９１５とモノマーとの存在比率等を設定することにより、適宜調整することができる。
【０２０１】
例えば、モノマーの屈折率がポリマー９１５より低い場合、組成物中のモノマーの含有率は、光導波路形成用組成物９０１より光導波路形成用組成物９０２の方が高くされることが好ましい。一方、モノマーの屈折率がポリマー９１５より高い場合、組成物中のモノマーの含有率は、光導波路形成用組成物９０２より光導波路形成用組成物９０１の方が高くされることが好ましい。換言すれば、ポリマー９１５やモノマーの各屈折率に応じて、各光導波路形成用組成物９０１、９０２中のポリマー９１５および添加剤９２０（モノマーを含む）の組成が、適宜選択されている。
【０２０２】
また、光導波路形成用組成物９０１および光導波路形成用組成物９０２では、モノマーの含有率が互いにほぼ等しくなるよう、組成が設定されていることも好ましい。このように設定すれば、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２との間で、モノマーの含有率の差が小さくなる。このため、これをきっかけにしたモノマーの拡散移動が抑制できる。モノマーの拡散移動は、前述したように屈折率差の形成において有用である場合もあるが、含有率の差が大きい場合には望ましくない方向に移動することが避けられない場合もある。後述する多色押出成形法では、層９１０の厚さ方向の屈折率分布を自由に形成することが可能である。このため、少なくとも厚さ方向においてはモノマーの拡散移動が抑制されていても差し支えなく、むしろ厚さ方向における意図しないモノマーの拡散移動は抑制される方が好ましい。意図しないモノマーの拡散移動を抑制することにより、最終的に目的とする形状の屈折率分布Ｔを有する光導波路１を確実に製造することができる。
【０２０３】
なお、モノマーの含有率をほぼ等しくした場合には、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２との間で、ポリマー９１５またはモノマーの条件を異ならせればよい。具体的には、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２とで、用いるポリマー９１５の組成を異ならせる他、同じ組成であってもポリマーの分子量や重合度を互いに異ならせるようにすればよい。また、用いるモノマーの組成、すなわち屈折率を異ならせるようにしてもよい。このようにすれば、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２とで、モノマーの含有率をほぼ等しくし、モノマーの拡散移動を抑制しながら、両者の間に屈折率差を形成することができる。
【０２０４】
次いで、支持基板９５１上に、光導波路形成用組成物９０１、９０２を多色押出成形法により層状に成形する方法を説明する。
【０２０５】
多色押出成形法では、例えば、光導波路形成用組成物９０１を３層で押し出すとともに
、これらの層間にそれぞれ光導波路形成用組成物９０２を押し出すことで、５層からなる多色成形体９１４を一括形成する。
【０２０６】
具体的には、多色成形体９１４では、光導波路形成用組成物９０１、光導波路形成用組成物９０２、光導波路形成用組成物９０１、光導波路形成用組成物９０２、および光導波路形成用組成物９０１が、下方からこの順で同時に押し出される。このため、組成物同士の境界においては、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２とがわずかに混濁する。したがって、組成物同士の境界近傍では、光導波路形成用組成物９０１の一部と光導波路形成用組成物９０２の一部とが混合し、厚さ方向に沿って混合比率が連続的に変化している領域が形成される。
【０２０７】
その結果、多色成形体９１４は、図１３の（ａ）の層の下方から、主に光導波路形成用組成物９０１からなる第１成形層９１４ａ、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２の混合物からなる第２成形層９１４ｂ、主に光導波路形成用組成物９０２からなる第３成形層９１４ｃ、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２の混合物からなる第４成形層９１４ｄ、主に光導波路形成用組成物９０１からなる第５成形層９１４ｅ、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２の混合物からなる第６成形層９１４ｆ、主に光導波路形成用組成物９０２からなる第７成形層９１４ｇ、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２の混合物からなる第８成形層９１４ｈ、および主に光導波路形成用組成物９０１からなる第９成形層９１４ｉが、この順で、積層されたものとなる。
【０２０８】
そして、得られた多色成形体９１４中の溶媒を蒸発（脱溶媒）させ、層９１０を得る（図１３の（ｂ）参照）。
【０２０９】
得られた層９１０は、図１３の（ｂ）の積層の下方から、第３成形層９１４ｃの中心部より下方の層から形成されるクラッド層１１と、第３成形層９１４ｃの中心部より上方で第７成形層９１４ｇの中心部より下方の層から形成されるコア層１３と、第７成形層９１４ｇの中心部より上方の層から形成されるクラッド層１２との積層体となる。コア層１３は、クラッド層１１や１２より、高い屈折率を有する。
【０２１０】
得られた層９１０中では、横方向に、ポリマー（マトリックス）９１５が実質的に一様かつランダムに存在している。また添加剤９２０は、ポリマー９１５中に実質的に一様かつランダムに分散している。これにより、層９１０中には、添加剤９２０が実質的に一様かつランダムに分散している。
【０２１１】
層９１０の平均厚さは、形成すべき光導波路１の厚さに応じて適宜設定され、特に限定されない。しかしながら、１０〜５００μｍ程度であることが好ましく、２０〜３００μｍ程度であることがより好ましい。
【０２１２】
なお、支持基板９５１は任意に選択でき、例えば、シリコン基板、二酸化ケイ素基板、ガラス基板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等が用いられる。
【０２１３】
ところで、このような層９１０を得るための多色成形体９１４は、例えば任意で選択できる、ダイコーター（多色押出成形装置）などを用いて製造される。
【０２１４】
なお、厚さ方向の分布を調整したいとき、例えば、第１成形層９１４ａおよび第９成形層９１４ｉは、その他の成形層、例えば第５成形層９１４ｅに比べて十分に薄くすることで、最下層部および最下層部の屈折率が、中層部の屈折率より高くなるのを防止することができる。
【０２１５】
なお、多色成形体９１４は、搬送フィルム上にも形成でき、この搬送フィルムをそのまま前述した支持基板９５１として、さらには支持フィルム２として利用することもできる。
【０２１６】
なお、上記多色押出成形法およびダイコーターは、多色成形体９１４を製造する方法および装置の一例である。層間での組成物の混濁を生じ得る方法および装置であれば、その他の方法や装置、例えば射出成形法（装置）、塗布法（装置）、印刷法（装置）等の各種方法（装置）を用いることもできる。
【０２１７】
次に、ポリマー９１５および添加剤９２０について説明する。
【０２１８】
（ポリマー）
ポリマー９１５は、光導波路１のベースポリマーとなる材料である。
【０２１９】
ポリマー９１５には、透明性が十分に高く（無色透明であり）、かつ、後述するモノマーと相溶性を有するものが好適に用いられる。またさらに、そのポリマー中でも後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが重合した後においても十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【０２２０】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和して、光導波路形成用組成物９０１、９０２中や層９１０中においてポリマー９１５と相分離を起こさないことをいう。
【０２２１】
このようなポリマー９１５としては必要に応じて選択されえるが、例えば、アクリル系樹脂（ポリマー）、メタクリル系樹脂、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ノルボルネン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて（ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体など）用いることができる。
【０２２２】
ポリマー９１５としてこれらの樹脂を用いることにより、優れた光伝送性能を有する光導波路１を得ることができる。以下、これらの樹脂について詳述する。
【０２２３】
（アクリル系ポリマー）
アクリル系ポリマーは、必要に応じて選択できる。例えば、メチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、及び／または（メタ）アクリル酸シクロヘキシルを用いることが好ましい。
【０２２４】
また、アクリル系ポリマーの原料モノマーとしては、例えば、ＭＭＡモノマー（クラレ製または三菱レイヨン製）等が好ましく挙げられる。
【０２２５】
コア層１３の各部の屈折率は、各部における（メタ）アクリル系ポリマーの屈折率とモノマーの屈折率の相対的な大小関係とその存在比率に応じて決定される。そのため、用いるモノマーの種類および（メタ）アクリル系ポリマーの種類を適宜選択することにより、コア層１３の各部の屈折率を調整することができる。
【０２２６】
（エポキシ系ポリマー）
エポキシ系ポリマーは、必要に応じて選択できる。
【０２２７】
エポキシ系ポリマーは、特に、透明性が高く、優れた光伝送性を有し、さらに優れた耐
熱性および密着性を有することから、本発明におけるポリマーとして好ましく用いられる。また、かかるエポキシ系ポリマーには、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中でも後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが反応した後においても十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【０２２８】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和して、光導波路形成用組成物９０１、９０２中や層９１０中においてエポキシ系ポリマーと相分離を起こさないことをいう。
【０２２９】
さらに、脂環式エポキシモノマーとしては、例えば、以下の式（４）で表わされるものが挙げられる。
【０２３０】
なお、式（４）で表される化合物は、３、４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’、４’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートであり、この化合物としては、例えば、ダイセル化学社製  セロキサイド２０２１Ｐを使用することができる。
【０２３１】
【化１】
2013210597.tif 000003
【０２３２】
また、エポキシ系ポリマーまたは原料モノマーとしては、上記の他に、YP-50Sなどのフェノキシ樹脂ＹＰシリーズ、オグソールＥＧ（大阪ガスケミカル製）、等を使用することができる。
【０２３３】
ここでコア層１３の各部の屈折率は、各部におけるエポキシ系ポリマーの屈折率とモノマーの屈折率の相対的な大小関係とその存在比率に応じて決定される。そのため、用いるモノマーの種類およびエポキシ系ポリマーの種類を適宜選択することにより、コア層１３の各部の屈折率を調整することができる。
【０２３４】
（シリコーン系ポリマー）
シリコーン系ポリマーは、特に、透明性が高く、優れた光伝送性を有し、さらに優れた耐熱性、光安定性および電気絶縁性を有することから、本発明におけるポリマーとして用いられる。また、かかるシリコーン系ポリマーには、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中でも後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが反応した後においても十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【０２３５】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和して、光導波路形成用組成物９０１、９０２中や層９１０中においてシリコーン系ポリマーと相分離を起こさないことをいう。
【０２３６】
さらに、シリコーン系ポリマーとは、オルガノアルコキシシランまたはその誘導体を原料モノマーとして、この原料モノマーを重合（加水分解・縮合または縮合）してなるポリマー（樹脂およびゴムを含む。）である。
【０２３７】
オルガノアルコキシシランとしては、具体的には、例えば、イソプロピルトリメトキシシラン、ネオペンチルトリメトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、等が挙げられる。
【０２３８】
（ポリイミド系ポリマー）
ポリイミド系ポリマーは、特に、透明性が高く、優れた光伝送性を有し、さらに優れた耐熱性、光安定性、機械的特性、密着性および電気絶縁性を有する。このことから、本発明におけるポリマーとして好ましく用いられる。また、前記ポリイミド系ポリマーとしては、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中でも後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが反応した後においても十分な透明性を有するものが好適に用いられる。
【０２３９】
ここで、「相溶性を有する」とは、モノマーが少なくとも混和した場合、光導波路形成用組成物９０１、９０２中や層９１０中において、ポリイミド系ポリマーと相分離を起こさないことをいう。
【０２４０】
さらに、ポリイミド系ポリマーとは、テトラカルボン酸無水物とジアミンとを反応させることにより得られるポリアミド酸を加熱・硬化（イミド化）させてなる、ポリイミド（オリゴマー）を含むポリマーである。
【０２４１】
（フッ素系ポリマー）
フッ素系ポリマーは、特に、透明性が高く、優れた光伝送性を有し、さらに優れた機械的特性および耐吸湿性を有する。このことから、本発明におけるポリマーとして好ましく用いられる。また、前記フッ素系ポリマーには、後述するモノマーと相溶性を有するもの、さらに、その中でも後述するようにモノマーが反応（重合反応や架橋反応）可能であり、モノマーが反応した後においても十分な透明性を有するものが、好適に用いられる。
【０２４２】
さらに、フッ素系ポリマーとは、その分子構造中にフッ素原子を含有する重合体である。本発明では、フッ素系ポリマーとしては、脂肪族環構造、イミド環構造、トリアジン環構造、ベンゾオキサゾール構造および芳香族環構造のうちの少なくとも１種の環構造を有するものであり、かかる構造中にフッ素原子を含有するものであるものが好ましい。これらの中でも、特に、脂肪族環構造を主鎖として有する重合体であることが好ましい。これにより、光導波路形成用組成物９０１、９０２から得られる層９１０をより均一な膜厚を有するものとすることができる。
【０２４３】
本発明で好ましく使用できる、含フッ素脂肪族環構造重合体としては、具体的には、例えば、下記式（１２）〜（１６）に挙げるような構成単位（繰り返し単位）を主鎖に備えるものが挙げられる。
【０２４４】
【化２】
2013210597.tif 000004
【０２４５】
（上記各式中、ｌは０〜５、ｍは０〜４、ｎは０〜１、ｌ＋ｍ＋ｎは１〜６であり、ｏ、ｐ、ｑは、それぞれ独立して、０〜５であり、ｏ＋ｐ＋ｑは１〜６であり、Ｒ１、Ｒ２およびＲ３は、それぞれ独立して、Ｆ、Ｃｌ、ＣＦ３、Ｃ２Ｆ５、Ｃ３Ｆ７またはＯＣＦ３であり、Ｘ１およびＸ２は、それぞれ独立して、ＦまたはＣｌである。）
（ポリオレフィン系ポリマー）
ポリオレフィン系ポリマーは必要に応じて選択できる。
【０２４６】
ポリオレフィン系ポリマーは、ノルボルネン系ポリマー、ベンゾシクロブテン系ポリマーのような環状オレフィン系ポリマーであってもよい。環状オレフィン系ポリマーとしては、例えば、特開２０１０−０９０３２８号公報に記載されたものが用いられる。
【０２４７】
（添加剤）
本実施形態では、光導波路形成用組成物９０１および光導波路形成用組成物９０２の双方において、添加剤９２０がモノマーを含んでいる。また、本実施形態では、光導波路形成用組成物９０１中の添加剤９２０が、さらに重合開始剤を含んでいてもよく、一方で、光導波路形成用組成物９０２中の添加剤９２０は、重合開始剤を含んでいなくても良い。
【０２４８】
（モノマー）
モノマー（光重合性モノマー）は、後述する活性放射線の照射により、照射領域において反応して反応物を形成し、それとともにモノマーが拡散移動することで、層９１０において照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせ得る化合物である。
【０２４９】
モノマーの反応物としては、モノマーがポリマー９１５中で重合して形成されたポリマー（重合体）、モノマーがポリマー９１５同士を架橋した架橋構造、および、モノマーがポリマー９１５に重合してポリマー９１５から分岐部分を形成した分岐構造のうちの、少なくとも１つが挙げられる。
【０２５０】
ところで、照射領域と未照射領域との間に生じる屈折率差は、ポリマー９１５の屈折率とモノマーの屈折率との差に基づいて生じる。このことから、添加剤９２０中に含まれるモノマーは、ポリマー９１５の屈折率との大小関係を考慮して選択される。
【０２５１】
具体的には、層９１０において、照射領域の屈折率が高くなることが望まれる場合には、比較的低い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して高い屈折率を有するモノマーとを組み合わせて使用される。一方、照射領域の屈折率が低くなることが望まれる場合には、比較的高い屈折率を有するポリマー９１５と、このポリマー９１５に対して低い屈折率を有するモノマーとを組み合わせて使用される。
【０２５２】
なお、屈折率が「高い」または「低い」とは、屈折率の絶対値を意味するものではなく、ある材料同士の相対的な関係を意味するものである。
【０２５３】
そして、モノマーの反応（反応物の生成）により、層９１０において照射領域の屈折率が低下した領域には、屈折率分布Ｗの低屈折率領域ＷＬが対応する。照射領域の屈折率が上昇した領域には、屈折率分布Ｗの高屈折率領域ＷＨが対応する。
【０２５４】
なお、モノマーとしては、ポリマー９１５との相溶性を有し、ポリマー９１５との屈折率差が０．０１以上であるものが好ましく用いられる。
【０２５５】
このようなモノマーとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよい。ポリマー９１５の原料として挙げたモノマー等が用いられ、特に限定されない。例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられる。これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０２５６】
これらのモノマーのうち、ポリマー９１５と同種のモノマーを用いることにより、ポリマー９１５中にモノマーをより均一に分散することができる。よって、光導波路形成用組成物９０１、９０２の特性の均質化を図ることができる。
【０２５７】
モノマーの分子量は必要に応じて選択できる。例を挙げれば、それぞれ５０〜５００が好ましく、８０〜４００がより好ましく、１００以上４００以下が更に好ましく、１００〜３５０が特に好ましい。
【０２５８】
また、モノマーの重合可能な部位としては、特に不飽和炭化水素が好ましく用いられる。不飽和炭化水素を含む化合物は、ラジカル重合やカチオン重合といった重合反応を生じ易く、本発明に用いられるモノマーとして好適である。
【０２５９】
ここで、モノマーとして使用できる、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、及びエポキシ系モノマーとしては、ポリマー９１５の原料として挙げたモノマーと同様のものを用いることができる。
【０２６０】
また、オキセタニル基およびエポキシ基のような環状エーテル基を有するモノマーまたはオリゴマーは、環状エーテル基の開環が起こり易いため、速やかに反応し得る。したがって、前記モノマーを用いることにより、コア層１３の形成時間の短縮、ひいては光導波路１の製造時間の短縮を図ることができる。
【０２６１】
環状エーテル基を有するモノマーの分子量またはオリゴマーの分子量（重量平均分子量）は必要に応じて選択できる。例を挙げれば、それぞれ５０〜５００が好ましく、８０〜４００がより好ましく、１００〜４００が更に好ましく、１００〜３５０が特に好ましい。
【０２６２】
なお、これらのモノマーと前述したポリマー９１５との組み合わせは、特に限定されず、いかなる組み合わせであってもよい。
【０２６３】
オキセタニル基を有するモノマーとしては、例えば、アロンオキセタン（東亞合成製）を使用することができる。
【０２６４】
また、モノマーは、その少なくとも一部が、上述したようにオリゴマー化していてもよい。
【０２６５】
なお、オキセタニル基を有するモノマーおよびオリゴマーやエポキシ基を有するモノマーおよびオリゴマーとしては、例えば、特開２０１０−０９０３２８号公報に記載されたものが挙げられる。
【０２６６】
これらのモノマーの添加量は必要に応じて選択できる。ポリマー９１５の１００質量部に対し、１質量部以上５０質量部以下であることが好ましく、２質量部以上４０質量部以下であることがより好ましく、１５質量部以上４０質量部以下がさらに好ましい。これにより、コア部１４と側面クラッド部１５との間の屈折率変調をより確実に起こすことができる。また光導波路形成の際には、必要に応じて選択される方法で、モノマーの移動の程度を調整してもよい。移動の程度をコントロールして、横幅方向の好ましいＷ型やＧＩ型の分布を作り出しても良い。
【０２６７】
なお、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２との間で、含まれるモノマーは同じ組成のものでも、異なる組成のものでもよい。
【０２６８】
また、光導波路形成用組成物９０１がモノマーを含む一方、光導波路形成用組成物９０２がモノマーを含まないように構成されてもよい。この場合、各クラッド層１１、１２では、層内でのモノマーの拡散移動が生じないので、各クラッド層１１、１２の層内の屈折率を均一にすることができる。
【０２６９】
なお、上述した光重合性のモノマーは、いわゆる屈折率調整成分の一種である。添加剤９２０として添加される屈折率調整成分としては、ポリマー９１５と屈折率の異なるものであれば、ポリマーであっても、光重合性以外のモノマーであってもよい。例えば、２−ブロモテトラフルオロベンゾトリフルオライド、クロロペンタフルオロベンゼン、デカフルオロベンゾフェノン、パーフルオロアセトフェノン、パーフルオロビフェニル、ブロモヘプタフルオロナフタレン等が挙げられる。これらのうちの少なくとも１種またはそれと他の成分との混合物が用いられる。
【０２７０】
なお、屈折率調整成分を用いる場合、その濃度に勾配をもたせることによって、前述したような屈折率分布を形成することができる。濃度勾配を形成するには、例えば、ポリマー９１５からなる層に対して屈折率調整成分を添加する際、形成すべき屈折率分布に応じてその添加量に偏りを設けるようにすればよい。
【０２７１】
（重合開始剤）
重合開始剤は、前記組成物に任意に含まれてよい。重合開始剤は、活性放射線の照射に伴ってモノマーに作用し、モノマーの反応を促すものである。
【０２７２】
用いる重合開始剤としては、モノマーの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、スチレン系モノマーには、ラジカル重合開始剤が好ましく使用される。エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマーには、カチオン重合開始剤が好ましく用いられる。
【０２７３】
ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類等が挙げられる。具体的には、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４（以上、ＢＡＳＦジャパン製）等が挙げられる。
【０２７４】
一方、カチオン重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩のようなルイス酸発生型のもの、ヨードニウム塩、スルホニウム塩のようなブレンステッド酸発生型のもの等が挙げられる。具体的には、アデカオプトマーＳＰ−１７０（ＡＤＥＫＡ製）、サンエイドＳＩ−１００Ｌ（三新化学工業製）、Ｒｈｏｄｏｒｓｉｌ２０７４（ローディアジャパン製）等が挙げられる。
【０２７５】
以上のようなポリマー９１５と添加剤９２０とを含有する層９１０は、ポリマー９１５中に一様に分散する添加剤９２０の作用により、所定の屈折率を有している。
【０２７６】
［２］の工程
［１］の工程に続いて、次に、図１３の（ｂ）のように形成された層９１０に対して、開口（窓）９３５１が形成されたマスク（マスキング）９３５を用意し、このマスク９３５を介して、前記層９１０に対して活性放射線９３０を照射する（図１４参照）。
【０２７７】
以下において、モノマーとして、ポリマー９１５より低い屈折率を有するものを用いる場合を一例に説明する。また、これに対応して、ポリマー９１５の組成は、層９１０を形成するために用いた光導波路形成用組成物９０１、９０２が、（光導波路形成用組成物９０１の屈折率）＞（光導波路形成用組成物９０２の屈折率）の関係を満足するように、設定されている。この条件により、層９１０では、厚さ方向の中央部が最も屈折率が高く、
そこから層９１０の表面および裏面との間にそれぞれ極小値が存在し、かつ、屈折率が連続的に変化する屈折率分布が形成されている。
【０２７８】
また、ここで示す例では、活性放射線９３０の照射領域９２５が、主に側面クラッド部１５となる。
【０２７９】
したがって、ここで示す例では、マスク９３５には、主に、形成すべき側面クラッド部１５のパターンと等価な、すなわち同じ又はほぼ同じ形状の、開口（窓）９３５１が形成される。この開口９３５１は、照射する活性放射線９３０が透過する透過部を有する。なお、コア部１４や側面クラッド部１５のパターンは、活性放射線９３０の照射に応じて形成される屈折率分布Ｗに基づいて決まる。このため、開口９３５１のパターンと側面クラッド部１５のパターンとは完全に一致するものではなく、前記両パターンには多少のずれが生じる場合もある。
【０２８０】
マスク９３５は、予め形成（別途形成）されたもの（例えばプレート状のもの）でも、層９１０上に例えば気相成膜法や塗布法により形成されたものでもよい。
【０２８１】
マスク９３５として好ましいものの例としては、石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスク、ステンシルマスク、及び気相成膜法（蒸着、スパッタリング等）により形成された金属薄膜等が挙げられる。これらの中でもフォトマスクやステンシルマスクを用いることが特に好ましい。微細なパターンを精度良く形成することができるとともに、ハンドリングがし易く、生産性の向上に有利であるからである。
【０２８２】
また、図１４においては、マスク９３５の開口（窓）９３５１は、活性放射線９３０の照射領域９２５のパターンに沿って、マスクを部分的に除去したものを示した。前記石英ガラスやＰＥＴ基材等で作製されたフォトマスクを用いる場合、該フォトマスク上に例えばクロム等の金属による遮蔽材で構成された活性放射線９３０の遮蔽部を必要な箇所に設けたものを用いることもできる。このマスクでは、遮蔽部以外の部分が前記窓（透過部）となる。
【０２８３】
用いる活性放射線９３０は、重合開始剤に対して光化学的な反応（変化）を生じさせ得るものであればよい。例えば、可視光、紫外光、赤外光、レーザー光の他、電子線やＸ線等を用いることもできる。
【０２８４】
活性放射線９３０は、重合開始剤等によって適宜選択でき、特に限定されない。波長２００〜４５０ｎｍの範囲にピーク波長を有するものであることが好ましい。これにより、重合開始剤を比較的容易に活性化させることができる。
【０２８５】
マスク９３５を介して層９１０に活性放射線９３０を照射すると、照射領域９２５のうち、コア層１３における照射領域９２５３において、モノマーが重合する。これにより、モノマーが重合すると、照射領域９２５３におけるモノマーの量が減少する。このため、それに応じて未照射領域９４０のうち、コア層１３における未照射領域９４０３中のモノマーが、照射領域９２５３に拡散移動する。前述したように、ポリマー９１５とモノマーは、互いに屈折率差が生じるように適宜選択される。このため、モノマーの拡散移動に伴って、コア層１３の照射領域９２５３と未照射領域９４０３との間に、屈折率差が生じる。一方、クラッド層１１、１２における照射領域９２５１、９２５２では、光導波路形成用組成物９０２にモノマーを含有しないなどの条件を採用することにより、モノマーの重合反応が抑えられる。
【０２８６】
なおクラッド層１１、１２において、照射領域９２５１、９２５２で、モノマーの重合
反応を抑える方法は、任意で選択できる。例えば、モノマーの種類を変えたり、光導波路形成用組成物９０１中の添加剤９２０に重合開始剤を含ませる一方で、光導波路形成用組成物９０２中の添加剤９２０に重合開始剤を含ませず、又は少量含ませる方法も採用できる。その場合、光照射により、コア層１３においてモノマーが重合開始剤の助けをかりて十分にモノマーが重合及び移動する。一方で、クラッド層においては重合剤が無い又は少ないため、モノマーが重合しない又は不十分に重合し、かつ、モノマーの移動もない、または少ない。
【０２８７】
図１６は、図１４のコア層１３の照射領域９２５３と未照射領域９４０３との間で、屈折率差が生じる様子を説明するための模式図である。層９１０の横断面の幅方向の位置を横軸にとり、横断面の屈折率を縦軸にとったときの、屈折率分布の、照射による変化を示す図である。
【０２８８】
本実施形態では、モノマーとしてポリマー９１５より屈折率が小さいものを用いている。このため、モノマーの拡散移動に伴い、未照射領域９４０３の屈折率が高くなるとともに、照射領域９２５３の屈折率は低くなる（図１６参照）。照射部分の幅及び未照射部分の幅は狭いため、モノマーは十分移動できると想定する。
【０２８９】
モノマーの拡散移動は、照射領域９２５３においてモノマーが消費され、それに応じて形成されたモノマーの濃度勾配がきっかけとなって起こると考えられる。このため、未照射領域９４０３全体のモノマーが一斉に照射領域９２５３に向かうのではなく、照射領域９２５３に近い部分から徐々に移動が始まり、これを補うように未照射領域９４０３の中央部から外側へのモノマーの移動も生起される。その結果、図１６に示すように、照射領域９２５３と未照射領域９４０３との境界を挟んで、未照射領域９４０３側に高屈折率部Ｈ、照射領域９２５３側に低屈折率部Ｌが形成される。これら高屈折率部Ｈおよび低屈折率部Ｌは、それぞれ上述したようなモノマーの拡散移動に伴って形成される。このため、必然的に滑らかな曲線で構成されることとなる。具体的には、高屈折率部Ｈは、例えば上に凸の略Ｕ字状となり、低屈折率部Ｌは、例えば下に凸の略Ｕ字状となる。
【０２９０】
なお、上述したようなモノマーが重合して形成されるポリマーの屈折率は、重合前のモノマーの屈折率とほぼ同じ（屈折率差が０〜０．００１程度）である。このため、照射領域９２５３では、モノマーの重合が進むにつれ、移動するモノマーの量およびモノマー由来の物質の量に応じて屈折率の低下が進む。したがって、ポリマーに対するモノマーの量あるいは重合開始剤の量等を適宜調整することにより、屈折率分布Ｗの形状を制御することができる。例えば、図３に示す分布や図４に示す分布を自在に選択することができる。
【０２９１】
一方、未照射領域９４０３では、重合開始剤が活性化されないため、モノマーの重合は促進されない。
【０２９２】
そして、活性放射線９３０の照射量を調整することにより、形成される屈折率差および屈折率分布の形状を制御することができる。例えば、照射量を多くすることで、屈折率差を拡大することができる。また、活性放射線９３０の照射前に層９１０を乾燥させてもよい。その際の乾燥の程度を調整することにより、屈折率分布の形状を制御することもできる。例えば、乾燥の程度を大きくすることで、モノマーの拡散移動量を抑えることができる。例えば、図３に示す分布や図４に示す分布を自在に選択することができる。
【０２９３】
また、照射領域９２５３では、コア層１３中の未照射領域９４０３からのモノマーの拡散移動のみならず、照射領域９２５３のうち、クラッド層１１における照射領域９２５１およびクラッド層１２における照射領域９２５２からのモノマーの拡散移動も生じえる。クラッド層に含まれるモノマーの屈折率も低いと、これにより、照射領域９２５３では、
さらに屈折率の低下が生じることとなる。一方、照射領域９２５１および照射領域９２５２では、モノマーの拡散移動に伴って屈折率の上昇が生じるが、この領域ではそもそも屈折率が低くなるようポリマー９１５の組成等が設定されている。よって、屈折率の上昇が生じても光導波路１の機能を損なうことはない。
【０２９４】
以上のような原理で、光導波路１が得られる（図１５参照）。このような光導波路１は、ポリマー９１５中にモノマーが分散してなる光導波路形成用組成物で構成された層９１０に対して部分的に活性放射線９３０を照射し、モノマーを拡散移動、偏在させることにより、層９１０内に屈折率の偏りを生じた屈折率分布Ｗを有する。また、このような光導波路１は、単に活性放射線９３０を部分的に照射するのみで形成可能であり、しかも伝送効率の高いものとなる。よって、コア部１４や側面クラッド部１５の幅やピッチが狭くても、高品質な光通信が可能なものとなる。また、コア部１４同士を同一平面上で多数交差させても、混信や伝送効率の低下が生じ難い。したがって、光導波路１は、多チャンネル化および高密度化が容易なものとなる。
【０２９５】
なお、屈折率分布Ｗにおいては、低屈折率部Ｌが転化した極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４が存在しており（図３の（ｂ）参照）、これらの極小値の位置がコア部１４と側面クラッド部１５との界面に相当する。
【０２９６】
また、モノマーとしてポリマー９１５より高い屈折率を有するものを用いる場合には、上記と反対に、モノマーの拡散移動に伴って移動先の屈折率が高くなる。よって、その挙動に応じて、照射領域９２５および未照射領域９４０を設定するようにすればよい。
【０２９７】
屈折率分布Ｗは、上述したように光重合性モノマーが移動、偏在することにより、屈折率が連続的に変化して形成されたものである。このため、コア層１３は、コア部１４と側面クラッド部１５との間に明瞭な構造的界面が有しない。このため、剥離やクラックといった問題が生じ難く、光導波路１は信頼性の高いものとなる。
【０２９８】
ポリマー９１５のショアＤ硬度は、３５〜９５程度であることが好ましく、４０〜９０程度であることがより好ましく、４５〜８５程度であることがさらに好ましい。このような硬度のポリマー９１５は、光導波路１に必要かつ十分な可撓性と抗折性とを付与しつつ、モノマーを確実に拡散移動させ、十分な屈折率差の形成に寄与する。したがって、得られた光導波路１は、折り曲げ使用に適した十分な柔軟性と機械的強度とを備えるとともに、折り曲げた状態でも優れた光学特性を有するものとなる。
【０２９９】
同様に、ポリマー９１５のロックウェル硬度は、Ｍスケールで４０〜１２５程度であることが好ましく、５０〜１１５程度であることがより好ましく、６０〜１１０程度であることがさらに好ましい。
【０３００】
また、ポリマー９１５の軟化点は、９０℃以上、３００℃以下であることが好ましく、より好ましくは、９５〜２８０℃であり、特に好ましくは、１００〜２６０℃である。これにより、得られた光導波路１は、屈折率分布Ｗを確実に形成し、かつ形成された屈折率分布Ｗを長期にわたって確実に維持し得るとともに、折り曲げた状態で使用しても断線を防止し得る十分な機械的強度を備えた光導波路となる。したがって、光導波路１は、光学特性に優れた信頼性の高いものとなる。なお、ポリマー９１５の軟化点は、ポリマー９１５のガラス転移温度または融点であり、双方あるときは低い方を指す。
【０３０１】
なお、交差部１４７では、モノマーが四方に拡散移動するため、屈折率の変化幅が大きくなる。このようにして交差部１４７の屈折率の極大値をコア部１４の極大値より高くすることができる。
【０３０２】
一方、活性放射線９３０を照射する前の層９１０には、９１４ａ層〜９１４ｉ層が存在するため、図１７Ａに示すように、その厚さ方向において、屈折率分布Ｔ’が形成される。すなわち、屈折率を横軸にとり、横断面の厚さ方向の位置（距離）を縦軸にとったときの、屈折率分布（Ｗ型）が示される。
この屈折率分布Ｔ’は、前述したように、互いに屈折率の異なる光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２とを用い、多色成形法によって層９１０を得たことにより形成されたものである。なおこのような構造を２重に重ねると、例えば、図１０の（ｂ）に示されるような屈折率分布も得ることができる。
【０３０３】
ここで、マスク９３５を介して層９１０に活性放射線９３０を照射すると、光導波路形成用組成物９０１と光導波路形成用組成物９０２とでモノマーの含有率に差がある場合、未照射領域９４０３中のモノマーが照射領域９２５３に拡散移動するため、コア部１４の厚さ方向における屈折率分布Ｔ’において、コア部１４に対応する領域の屈折率が高くなる。一方、コア部１４の上下に位置するクラッド層１１、１２では、屈折率が変化しない又は変化が小さいため、結果的に、コア部１４とその上下のクラッド層１１、１２との間で屈折率差が拡大することとなる。
【０３０４】
以上のような原理で、極大値と極小値との間で屈折率差の大きい屈折率分布Ｔを有する光導波路１が得られる（図１７（Ｂ）参照）。なお、屈折率分布Ｔ’において、すでに十分な効果が認められるような屈折率分布の形状が実現されている場合には、上述した屈折率分布Ｔ’から屈折率分布Ｔへの変化は省略されてもよい。
【０３０５】
なお図１３の（ａ）において、光導波路形成用組成物９０１による層を最上層及び最下層として設けない構造の場合、図１７Ｃに示すような厚さ方向の屈折率分布を有する光導波路を得ることができる。
【０３０６】
なお、屈折率分布Ｗは、コア層１３中のモノマー由来の構造体濃度に一定の相関関係を有している。したがって、このモノマー由来の構造体の濃度やその材料の濃度を測定することにより、光導波路１が有する屈折率分布Ｗを、間接的に特定することが可能である。
【０３０７】
同様に、屈折率分布Ｔは、光導波路１中のモノマー由来の構造体の濃度やその材料の濃度に一定の相関関係を有している。したがって、このモノマー由来の構造体の濃度を測定することにより、光導波路１が有する屈折率分布Ｔを間接的に特定することが可能である。
【０３０８】
なお、モノマー由来の構造体とは、モノマー、モノマーが反応してなるオリゴマー、およびモノマーが反応してなるポリマー等、モノマーの未反応物か、反応に伴って形成される構造体のことである。
【０３０９】
構造体の濃度の測定は、例えば、ＦＴ−ＩＲ、ＴＯＦ−ＳＩＭＳの線分析、または面分析等を用いて行うことができる。
【０３１０】
さらには、光導波路１の出射光の強度分布が、屈折率分布Ｗあるいは屈折率分布Ｔと一定の相関関係を有していることを利用しても、屈折率分布Ｗおよび屈折率分布Ｔを間接的に特定することができる。すなわち、出射光の強度分布を濃度測定に用いても良い。
【０３１１】
また、例えば、（１）干渉顕微鏡（ｄｕａｌ−ｂｅａｍ  ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて屈折率依存の干渉縞を観測し、その干渉縞から屈折率分布を算出するという方法、（２）屈折ニアフィールド法（Ｒｅｆｒａｃｔｅｄ  Ｎｅａｒ
Ｆｉｅｌｄ  ｍｅｔｈｏｄ；ＲＮＦ）により直接測定する方法を用いることが可能である。このうち、屈折ニアフィールド法は、例えば特開平５−３３２８８０号公報に記載の測定条件を採用することができる。一方、干渉顕微鏡は、屈折率分布の測定を簡便に行い得る点で好ましく用いられる。
【０３１２】
以下、干渉顕微鏡を使用した屈折率分布の測定手順の一例について説明する。まず、断面方向（幅方向）に光導波路をスライスして、光導波路断片を得る。例えば、光導波路の長さが２００〜３００μｍとなるようにスライスする。次いで、２つのスライドガラスで囲まれた空間に、屈折率１．５３６のオイルで充填したチャンバーを作製する。そして、チャンバー内の空間に、光導波路断片を挟み込んで測定サンプル部と、光導波路断片を入れていないブランクサンプル部とを作製する。次いで、干渉顕微鏡を使用し、２つに分けた光をそれぞれ測定サンプル部とブランクサンプル部に照射した後、透過光を統合することによって干渉縞写真を得る（図２３参照。横Ｗ型及び縦ＧＩ型分布を有する、本発明の光導波路の干渉縞写真）。干渉縞は光導波路断片の屈折率分布（位相分布）に伴って発生するものである。よって、得られた干渉縞写真を画像解析することにより、光導波路の幅方向の屈折率分布Ｗを得ることができる（図２１参照。横Ｗ型及び縦SＩ型分布を有する
、本発明の光導波路の横方向のＷ型屈折率分布）。なお、屈折率分布Ｗを取得する際には、複数の干渉縞写真を画像解析することで屈折率分布Ｗの精度を高めることができる。複数の干渉縞写真を得るときには、干渉顕微鏡内のプリズムを移動させることにより、光路長を変化させ、干渉縞の間隔や干渉縞のできる箇所を互いに異ならせた写真を得るようにすればよい。また、干渉縞写真を画像解析する際には、例えば２．５μｍの間隔で解析点を設定すればよい。なお画像解析により、光導波路の幅方向の屈折率分布Ｗと縦方向の屈折率分布Ｔをえて、図２２に示すような、本発明の光導波路の３次元屈折率分布を得ることも可能である。  以上により、光導波路１が得られる。
【０３１３】
その後、必要に応じて、支持基板９５１から光導波路１を剥離するとともに、光導波路１の下面に支持フィルム２を積層し、上面にカバーフィルム３を積層する。
【０３１４】
本発明の光導波路は、断面（横断面）において、Ｗ型やＧＩ型の分布形状を好ましく有することができる。また本発明の光導波路は、断面（縦断面）において、Ｗ型やＧＩ型やＳＩ型の分布形状を好ましく有することができる。
【０３１５】
中でも、横断面においてＷ型の分布形状を有し、縦断面においてＧＩ型またはＳＩ型の分布形状を有する光導波路が好ましい。横断面においてＷ型の分布形状を有し、縦断面においてＧＩ型の分布形状を有する光導波路が特に好ましい。
【０３１６】
図１８〜２０のグラフは、２つのコア部同士の交差部における伝送損失を表し、具体的には、横軸が交差数を示し、縦軸が交差数が無い場合と比較した相対損失を、示してる。コア部の交差部は、交差部がパターンとして形成されたフォトマスクを使用する方法により形成した。コア層のクロス角度が９０°、６０°及び３０°である。
【０３１７】
これらグラフには、ほぼ同じ条件で形成された２つの横断路、具体的には、（１）横断面においてＷ型の分布形状を有し、縦断面においてＳＩ型の分布形状を有する光導波路（黒四角）、及び、（２）横断面においてＷ型の分布形状を有し、縦断面においてＧＩ型の分布形状を有する光導波路（白四角）が示される。図１８に示される直線は、１交差あたりの損失が０．０２ｄＢの場合を想定し計算された直線である。
【０３１８】
またクロスマーク（バツマーク）によって示されるデーターは、従来技術により形成された光導波路のデータを、参考のためにプロットしたものである。製造条件は異なるのであくまでも参考としてグラフに示してある。なお従来技術を記載した文献として、「Opti
cal interconnection using VCSELs and polymeric waveguide circuits,” T. Sakamoto, H. Tsuda, M. Hikita, T. Kagawa, K. Tateno, and C. Amano, J. Lightwave Technol.
11, 1487-1492 (2000)」のデーターをそのまま使用した。
【０３１９】
図１８〜２０に示されるように、本発明のＷ型分布＋ＳＩ型分布の組み合わせを有する光導波路、及びＷ型分布＋GＩ型分布の組み合わせを有する光導波路は、どちらも優れた
、低い伝送損失を示している。特に、Ｗ型分布＋GＩ型分布の組み合わせを有する光導波
路は、評価された全てのクロス角度において、非常に低い伝送損失を達成している。
【０３２０】
また、コア層１３を複数層含むように層９１０を形成した場合、これに活性放射線９３０を照射すると、１回の照射で複数のコア層１３に対して一括にコア部１４および側面クラッド部１５を形成することができる。このため、複数のコア層１３を有する光導波路１を少ない工程で製造することができる。またこの場合、複数のコア層１３の間においてコア部１４の位置ずれはほとんど起こり得ない。したがって、寸法精度が極めて高い光導波路１が得られる。このような光導波路１は、受発光素子等との光結合に際して、光結合効率が特に高いものとなる。
【０３２１】
また、本発明の光導波路は、伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、多チャンネル化および高密度化してもクロストークや交差部における混信が生じ難い。このため、高密度かつ小面積でも信頼性の高い光導波路が得られ、この光導波路を搭載することで、電子機器の信頼性向上および小型化が図られる。
【０３２２】
以上、本発明の光導波路、光配線部品、光導波路モジュールおよび電子機器について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば光導波路には、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０３２３】
また、本発明の光導波路を製造する方法は、上記の方法に限定されない。例えば、活性放射線の照射により分子結合を切断し、屈折率を変化させる方法（フォトブリーチ法）、コア層を形成する組成物に光異性化または光二量化可能な不飽和結合を有する光架橋性ポリマーを含有させ、これに活性放射線を照射して分子構造を変化させるとともに屈折率を変化させる方法（光異性化法・光二量化法）等の方法を用いることもできる。
【０３２４】
これらの方法では、活性放射線の照射量に応じて屈折率の変化量を調整することができる。よって、目的とする屈折率分布Ｗの形状に応じて層の各部に照射する活性放射線の照射量を異ならせることにより、屈折率分布Ｗを有するコア層を形成することができる。
【実施例】
【０３２５】
次に、本発明の実施例について説明する。しかしながら本発明はこれら例のみに限定されない。特に問題の無い限り、位置、数、量、種類などの、変更、追加及び省略などをおこなってもよい。
１．図３に示す屈折率分布を有する光導波路の製造
まず、図３に示す屈折率分布を有する直線状のコア部を有する光導波路をそれぞれ条件を変えて製造し（実施例１〜１８）、また比較のための比較例１、参考例１から４の光導波路も製造した。また下記に示す３ではこれら光導波路の評価を行った。
（実施例１）
（１）クラッド層形成用樹脂組成物の製造
ダイセル化学工業（株）製の脂環式エポキシ樹脂：セロキサイド２０８１  ２０ｇ、（株）ＡＤＥＫＡ製のカチオン重合開始剤：アデカオプトマーＳＰ−１７０  ０．６ｇ、およびメチルイソブチルケトン８０ｇを撹拌混合して、溶液を調製した。
【０３２６】
次いで、得られた溶液を、０．２μｍ孔径のＰＴＦＥフィルターでろ過して、清浄で無色透明なクラッド層形成用樹脂組成物Ｅ１を得た。
（２）感光性樹脂組成物の製造
エポキシ系ポリマーとして新日鐵化学（株）製のフェノキシ樹脂：ＹＰ−５０Ｓ  ２０ｇ、モノマーとしてダイセル化学工業（株）製のセロキサイド２０２１Ｐ  ５ｇ、および重合開始剤として（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカオプトマーＳＰ−１７０  ０．２ｇを、メチルイソブチルケトン８０ｇ中に投入し、撹拌溶解して、溶液を調製した。
【０３２７】
次いで、得られた溶液を、０．２μｍ孔径のＰＴＦＥフィルターでろ過して清浄で無色透明な感光性樹脂組成物Ｆ１を得た。
（３）下側クラッド層の作製
クラッド層形成用樹脂組成物Ｅ１を、ドクターブレードにより、厚さ２５μｍのポリイミドフィルム上に均一に塗布した。この後、５０℃の乾燥機に１０分間投入した。溶媒を完全に除去した後、ＵＶ露光機で全面に紫外線を照射し、塗布した樹脂組成物Ｅ１を硬化させた。これにより、厚さ１０μｍの無色透明な下側クラッド層を得た。なお、紫外線の積算光量は５００ｍＪ／ｃｍ２とした。
（４）コア層の作製
作製した下側クラッド層上に、感光性樹脂組成物Ｆ１を、ドクターブレードにより均一に塗布した。この後、４０℃の乾燥機に５分間投入した。溶媒を完全に除去して被膜とした後、得られた被膜上に、ライン、スペースの直線パターンが全面に描かれたフォトマスクを圧着した。そして、フォトマスク上から平行露光機により紫外線を照射した。なお、紫外線の積算光量は１０００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３２８】
次いで、フォトマスクを取り去り、１５０℃のオーブンに３０分間投入した。オーブンから取り出すと、被膜には鮮明な導波路パターンが現れていることが確認された。コア部の平均幅ＷＣＯと、側面クラッド部の平均幅ＷＣＬとをそれぞれ表１に示す。また、得られたコア層の厚さは５０μｍ、コア部の本数は８本とした。
（５）上側クラッド層の作製
作製したコア層上に、（３）と同様にしてクラッド層形成用樹脂組成物Ｅ１を塗布し、厚さ１０μｍの無色透明な上側クラッド層を得た。このようにして光導波路を得た。
（６）屈折率分布の評価
そして、得られた光導波路のコア層の横断面について、干渉顕微鏡により、幅方向の屈折率分布Ｗを取得した。その結果、屈折率分布Ｗは、複数の低屈折率領域および高屈折率領域を有し、屈折率が連続的に変化したものであった。
（実施例２〜８）
ポリマーの組成、モノマーの組成と含有率、および紫外線の積算光量を、表１に示すように設定するとともに、コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表１に示す値になるようにフォトマスクのパターンを設定した以外は、それぞれ実施例１と同様にして、実施例２〜８の光導波路を得た。
（実施例９）
（１）（メタ）アクリル系ポリマーの合成
メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）２０．０ｇ、ベンジルメタクリレート（ＢｚＭＡ）３０．０ｇ、およびメチルイソブチルケトン４５０ｇを、セパラブルフラスコに投入した。これらを撹拌混合したのち、窒素ガスで置換して、モノマー溶液を調製した。
【０３２９】
一方、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル０．２５ｇをメチルイソブチルケトン１０ｇに溶解したのち、窒素ガスで置換して、開始剤溶液を調製した。
【０３３０】
そして、前記モノマー溶液を８０℃に加熱した状態で撹拌しつつ、シリンジを用いて前記開始剤溶液を前記モノマー溶液に添加した。そのまま８０℃で１時間撹拌したのちに冷
却し、重合体溶液を調製した。その後、５Ｌのイソプロパノールをビーカー中に準備し、攪拌機により常温下で撹拌しつつ、ビーカー内に前記重合体溶液を滴下した。滴下が完了してからも引き続き３０分間撹拌し、その後沈殿したポリマーを取り出し、真空乾燥機にて減圧下６０℃で８時間乾燥させた。これにより、アクリル系ポリマーＡ１を得た。
（２）クラッド層形成用樹脂組成物の製造
互応化学工業（株）製の水性アクリレート樹脂溶液：ＲＤ−１８０  ２０ｇ、イソプロパノール２０ｇ、および重合開始剤として日清紡ケミカル（株）製のカルボジライトＶ−０２−Ｌ２  ０．４ｇを、撹拌混合して溶液を調製した。
【０３３１】
次いで、得られた溶液を０．２μｍ孔径のＰＴＦＥフィルターでろ過して、清浄で無色透明なクラッド層形成用樹脂組成物Ｂ１を得た。
（３）感光性樹脂組成物の製造
合成したアクリル系ポリマーＡ１  ２０ｇと、モノマーとしてメタクリル酸シクロヘキシル５ｇと、重合開始剤としてＢＡＳＦジャパン（株）製イルガキュア６５１  ０．２ｇを、メチルイソブチルケトン８０ｇ中に投入し、撹拌溶解し、溶液を調製した。
【０３３２】
次いで、得られた溶液を０．２μｍ孔径のＰＴＦＥフィルターでろ過して、清浄で無色透明な感光性樹脂組成物Ｃ１を得た。
（４）下側クラッド層の作製
クラッド層形成用樹脂組成物Ｂ１をドクターブレードにより厚さ２５μｍのポリイミドフィルム上に均一に塗布した後、８０℃の乾燥機に１０分間投入した。溶媒を完全に除去した後、さらに１５０℃のオーブンに１０分間投入し、硬化させて、厚さ１０μｍの無色透明な下側クラッド層を得た。
（５）コア層の作製
作製した下側クラッド層上に、感光性樹脂組成物Ｃ１をドクターブレードにより均一に塗布した。この後、４０℃の乾燥機に５分間投入した。溶媒を完全に除去して被膜とした後、得られた被膜上に、ライン、スペースの直線パターンが全面に描かれたフォトマスクを圧着した。そして、フォトマスク上から平行露光機により紫外線を照射した。なお、紫外線の積算光量は８００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３３３】
次いで、フォトマスクを取り去り、１５０℃のオーブンに３０分間投入した。オーブンから取り出すと、被膜には断面が矩形状をなす鮮明な導波路パターンが現れていることが確認された。コア部の平均幅ＷＣＯと側面クラッド部の平均幅ＷＣＬとをそれぞれ表２に示す。また、得られたコア層の厚さは５０μｍ、コア部の本数は８本とした。
（６）上側クラッド層の作製
作製したコア層上に、（４）と同様にしてクラッド層形成用樹脂組成物Ｂ１を塗布し、厚さ１０μｍの無色透明な上側クラッド層を得た。上記と同様にして光導波路を得た。
（７）屈折率分布の評価
そして、得られた光導波路のコア層の横断面について、干渉顕微鏡により、幅方向の屈折率分布Ｗを取得した。その結果、屈折率分布Ｗは、複数の低屈折率領域および高屈折率領域を有し、屈折率が連続的に変化したものであった。
（実施例１０〜１２）
モノマーの組成と含有率、および紫外線の積算光量を、表２に示すように設定するとともに、コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表２に示す値になるようにフォトマスクのパターンを設定した以外は、それぞれ実施例９と同様にして、実施例１０〜１２の光導波路を得た。
（実施例１３）
（１）ポリオレフィン系樹脂の合成
水分および酸素濃度がいずれも１ｐｐｍ以下に制御され、乾燥窒素で満たされたグローブボックス中において、ヘキシルノルボルネン（ＨｘＮＢ）７．２ｇ（４０．１ｍｍｏｌ
）、及びジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン１２．９ｇ（４０．１ｍｍｏｌ）を、５００ｍＬバイアル瓶に計量し、脱水トルエン６０ｇと酢酸エチル１１ｇを加えた。このグローブボックスにシリコン製のシーラーを被せて上部を密栓した。
【０３３４】
次に、１００ｍＬバイアルビン中にＮｉ触媒１．５６ｇ（３．２ｍｍｏｌ）と脱水トルエン１０ｍＬを計量した。スターラーチップを入れてビンを密栓し、触媒を十分に撹拌して完全に溶解させた。
【０３３５】
このＮｉ触媒溶液１ｍＬをシリンジで正確に計量し、上記２種のノルボルネンを溶解させたバイアル瓶中に定量的に注入し、室温で１時間撹拌した。その結果、著しい粘度上昇が確認された。この時点で栓を抜き、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）６０ｇを加えて撹拌を行い、反応溶液を得た。
【０３３６】
１００ｍＬビーカーに、無水酢酸９．５ｇ、過酸化水素水１８ｇ（濃度３０％）、及びイオン交換水３０ｇを加えて撹拌し、その場で、過酢酸水溶液を調製した。次にこの水溶液全量を上記反応溶液に加えて１２時間撹拌して、Ｎｉの還元処理を行った。
【０３３７】
次に、処理の完了した反応溶液を分液ロートに移し替え、下部の水層を除去した。この後、イソプロピルアルコールの３０％水溶液を１００ｍＬ加えて激しく撹拌を行った。静置して完全に二層分離が行われた後で、水層を除去した。この水洗プロセスを合計で３回繰り返した。この後、油層を大過剰のアセトン中に滴下して生成したポリマーを再沈殿させ、ろ過により、ろ液と分別した。この後、６０℃に設定した真空乾燥機中で１２時間加熱乾燥を行うことにより、ポリマー＃１を得た。ポリマー＃１の分子量分布は、ＧＰＣ測定により、Ｍｗ＝１０万、Ｍｎ＝４万であった。また、ポリマー＃１中の各構造単位のモル比は、ＮＭＲによる同定により、ヘキシルノルボルネン構造単位が５０ｍｏｌ％、ジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン構造単位が５０ｍｏｌ％であった。
（２）コア層形成用組成物の製造
精製した上記ポリマー＃１  １０ｇを１００ｍＬのガラス容器に秤量し、これに、メシチレン４０ｇ、酸化防止剤Ｉｒｇａｎｏｘ１０７６（チバガイギー社製）０．０１ｇ、シクロヘキシルオキセタンモノマー（東亜合成製  ＣＨＯＸ、ＣＡＳ＃４８３３０３−２５−９、分子量１８６、沸点１２５℃／１．３３ｋＰａ）２ｇ、及び重合開始剤（光酸発生剤）  ＲｈｏｄｏｒｓｉｌＰｈｏｔｏｉｎｉｔｉａｔｏｒ  ２０７４（Ｒｈｏｄｉａ社製、ＣＡＳ＃  １７８２３３−７２−２）（０．０１２５ｇ、酢酸エチル０．１ｍＬ中）を加え均一に溶解させた。この後、０．２μｍのＰＴＦＥフィルターによりろ過を行い、清浄なコア層形成用組成物を得た。また、前記重合開始剤は、表１中においてＰＩ  ２０７４と表記する。
（３）クラッド層形成用組成物の製造
精製した上記ポリマー＃１の各構造単位のモル比を、ヘキシルノルボルネン構造単位８０ｍｏｌ％、及びジフェニルメチルノルボルネンメトキシシラン構造単位２０ｍｏｌ％にそれぞれ変更したものを、前記ポリマー＃１に代えて用いるようにした以外は、コア層形成用組成物と同様にして、クラッド層形成用組成物を得た。
（４）下側クラッド層の作製
クラッド層形成用組成物をドクターブレードにより厚さ２５μｍのポリイミドフィルム上に均一に塗布した。この後、５０℃の乾燥機に１０分間投入した。溶媒を完全に除去した後、ＵＶ露光機で全面に紫外線を照射し、塗布した組成物を硬化させた。これにより、厚さ１０μｍの無色透明な下側クラッド層を得た。なお、紫外線の積算光量は５００ｍＪ／ｃｍ２とした。
（５）コア層の作製
作製した下側クラッド層上に、コア層樹脂組成物をドクターブレードにより均一に塗布した。この後、４０℃の乾燥機に５分間投入した。溶媒を完全に除去して被膜とした後、
得られた被膜上に、ライン、スペースの直線パターンが全面に描かれたフォトマスクを圧着した。そして、フォトマスク上から平行露光機により紫外線を照射した。なお、紫外線の積算光量は１３００ｍＪ／ｃｍ２とした。
【０３３８】
次いで、フォトマスクを取り去り、１５０℃のオーブンに３０分間投入した。オーブンから取り出すと、被膜には断面が矩形状をなす鮮明な導波路パターンが現れていることが確認された。得られたコア層の厚さは５０μｍであった。また、コア部の本数は８本とした。
（６）上側クラッド層の作製
作製したコア層上に、（３）と同様にしてクラッド層形成用樹脂組成物Ｅ１を塗布し、厚さ１０μｍの無色透明な上側クラッド層を得た。以上のようにして光導波路を得た。
（７）屈折率分布の評価
そして、得られた光導波路のコア層の横断面について、干渉顕微鏡により幅方向の屈折率分布Ｗを取得した。その結果、屈折率分布Ｗは、複数の低屈折率領域および高屈折率領域を有し、屈折率が連続的に変化したものであった。
（実施例１４、１５）
モノマーの組成と含有率、および紫外線の積算光量を、表３に示すように設定するとともに、コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表３に示す値になるようにフォトマスクのパターンを設定した以外は、それぞれ実施例１３と同様にして光導波路を得た。
（実施例１６）
（１）光導波路の製造
実施例１３に用いた光導波路形成用組成物を用い、ダイコーターにより、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）フィルム上に、多色押出成形を行った。これにより、コア層形成用組成物を中間層とし、クラッド層形成用組成物を下層および上層とする、３層が押出された、多色成形体を得た。これを５５℃の乾燥器に１０分間投入し、溶剤を完全に除去した。この後、フォトマスクを圧着して紫外線を１３００ｍＪ／ｃｍ２で選択的に照射した。マスクを取り去り、乾燥機中で１５０℃、１．５時間の加熱を行った。加熱後、鮮明な導波路パターンが現れており、コア部および側面クラッド部が形成されていることが確認された。その後、得られた光導波路から、長さ１０ｃｍ分を切り出した。なお、形成された光導波路は、コア部が８本並列に形成されたものである。また、光導波路の全体の厚さを１００μｍとした。
（２）屈折率分布の評価
そして、得られた光導波路のコア層の横断面について、干渉顕微鏡により幅方向の屈折率分布Ｗを取得した。その結果、屈折率分布Ｗは、複数の低屈折率領域および高屈折率領域を有し、屈折率が連続的に変化したものであった。
【０３３９】
一方、光導波路の横断面について、そのコア部の幅の中心を上下方向に通過する中心線に沿って干渉顕微鏡により厚さ方向の屈折率分布Ｔを取得した。その結果、屈折率分布Ｔは、その中央部に屈折率が連続的に変化している領域と、その両側に、前記領域より屈折率が低く、かつほぼ一定の値の領域を有していた。すなわち、得られた光導波路の厚さ方向の屈折率分布Ｔは、いわゆるグレーデッドインデックス型になっていた。
（実施例１７、１８）
モノマーの組成と含有率、および紫外線の積算光量を表３に示すように設定するとともに、コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表３に示す値になるようにフォトマスクのパターンを設定するようにした以外は、それぞれ実施例１６と同様にして、実施例１７、１８の光導波路を得た。
（比較例１）
コア形成用組成物およびクラッド形成用組成物について、ＣＨＯＸを添加せず、ＰＩ２０７４の添加量を０．０１ｇとした以外は、実施例１３と同様にして、比較例１の光導波
路を得た。
【０３４０】
なお、得られた光導波路では、コア部の屈折率は一定であり、側面クラッド部の屈折率も一定であり、コア部とクラッド部との屈折率は不連続であった。すなわち、得られた光導波路のコア層の屈折率分布は、いわゆるステップインデックス（ＳＩ）型の分布になっていた。
（参考例１、２）
コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表１に示す値になるようにフォトマスクのパターンを変更するようにした以外は、それぞれ実施例１、２と同様にして、参考例１、２の光導波路を得た。
（参考例３、４）
コア部の平均幅ＷＣＯおよび側面クラッド部の平均幅ＷＣＬがそれぞれ表２に示す値になるようにフォトマスクのパターンを変更するようにした以外は、それぞれ実施例９、１０と同様にして、参考例３、４の光導波路を得た。
【０３４１】
以上の各実施例、各比較例および参考例で得られた光導波路について、それらの製造条件を、表１、２、３に示す。
【０３４２】
【表１】
2013210597.tif 000005
【０３４３】
【表２】
2013210597.tif 000006
【０３４４】
【表３】
2013210597.tif 000007
【０３４５】
２．図４に示す屈折率分布を有する光導波路の製造
まず、図４に示す屈折率分布を有する直線状のコア部を有する光導波路を製造し、３ではその評価を行った。
（実施例１９〜３７、比較例２および参考例５〜１０）
製造条件を表４、５、６に示すように変更するとともに、実施例１９〜３１および参考例５〜８におけるコア層形成時の乾燥条件を５０℃×１０分間に、実施例３２〜３７、比較例２および参考例９、１９におけるコア層形成時の乾燥条件を６０℃×１５分間に変更した以外は、それぞれ実施例１と同様にして光導波路を得た。なお実施例３５〜３７は、実施例１６と同様の方法を用いて光導波路を製造した。
【０３４６】
【表４】
2013210597.tif 000008
【０３４７】
【表５】
2013210597.tif 000009
【０３４８】
【表６】
2013210597.tif 000010
【０３４９】
３．光導波路の評価
３．１  光導波路の屈折率分布
得られた光導波路のコア層の横断面について、その厚さ方向の中心線に沿って干渉顕微鏡により屈折率分布を測定し、コア層の横断面の幅方向の屈折率分布を得た。なお、得られた屈折率分布は、コア部ごとに同様の屈折率分布パターンが繰り返されているので、得られた屈折率分布から一部を切り出し、これを屈折率分布Ｗとした。また、同様にして屈折率分布Ｔを得た。
【０３５０】
屈折率分布Ｗのうち、表１、２、及び３において「ＧＩ型」とした分布の形状は、図３に示すような、極大値Ｗｍを含む高屈折率領域ＷＨと低屈折率領域ＷＬとが交互に並んだ形状であった。
【０３５１】
また、屈折率分布Ｗのうち、表４、５、及び６において「Ｗ型」とした分布の形状は、図４に示すような、４つの極小値と５つの極大値とが交互に並んだ形状であった。このＷ型の屈折率分布Ｗから、各極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４および各極大値Ｗｍ１、Ｗｍ２、Ｗｍ３、Ｗｍ４、及びＷｍ５を求めるとともに、クラッド部における平均屈折率ＷＡを求めた。なお、各実施例および各参考例で得られた光導波路の幅方向の屈折率分布Ｗは、それぞれ、その全体において屈折率の変化が連続的であった。
【０３５２】
また、このＷ型の屈折率分布Ｗにおいて、コア部に形成された極大値Ｗｍ２、Ｗｍ４近傍における屈折率が、平均屈折率ＷＡ以上の値を有している部分の幅ａ［μｍ］、および、各極小値Ｗｓ１、Ｗｓ２、Ｗｓ３、及びＷｓ４近傍における屈折率が、平均屈折率ＷＡ未満の値を有している部分の幅ｂ［μｍ］をそれぞれ測定した。
【０３５３】
また、各光導波路において、漸減部における屈折率の最大の変化率は０．００８〜０．０２５の範囲内であった。また、交差部の屈折率の極大値は、いずれも極大値Ｗｍよりも高く、その差は０．００３〜０．０１５の範囲内であった。
【０３５４】
以上の測定結果を表７〜１３に示す。
【０３５５】
【表７】
2013210597.tif 000011
【０３５６】
【表８】
2013210597.tif 000012
【０３５７】
【表９】
2013210597.tif 000013
【０３５８】
【表１０】
2013210597.tif 000014
【０３５９】
【表１１】
2013210597.tif 000015
【０３６０】
【表１２】
2013210597.tif 000016
【０３６１】
【表１３】
2013210597.tif 000017
【０３６２】
なお、比較例１、２で得られた光導波路の幅方向の屈折率分布Ｗは、ステップインデックス型であった。
３．２  光導波路の伝送損失
８５０ｎｍＶＣＳＥＬ（面発光レーザー）より発せられた光を５０μｍφの光ファイバーを経由して、各実施例および各比較例で得られた光導波路に導入し、出射光を２００μｍφの光ファイバーで受光し、光の強度を測定した。なお、伝送損失の測定にはカットバック法を採用した。そして、光導波路の長手方向を横軸にとり、挿入損失を縦軸にとって測定値をプロットしたところ、測定値は直線上に並んだ。そこで、その直線の傾きから伝送損失を算出した。結果を、下記表１４〜１９に示す。
３．３  パルス信号の波形の保持性
得られた光導波路に対して、レーザーパルス光源からパルス幅１ｎｓのパルス信号を入射し、出射光のパルス幅を測定した。
【０３６３】
そして、測定した出射光のパルス幅について、表１４〜１６では比較例１で得られた光導波路の測定値を１とし、表１７〜１９では比較例２で得られた光導波路の測定値を１としたときの相対値をそれぞれ算出し、これを以下の評価基準にしたがって評価した。結果を、下記表１４〜１９に示す。
【０３６４】
＜パルス幅の評価基準＞
◎：パルス幅の相対値が０．５未満である
○：パルス幅の相対値が０．５以上０．８未満である
△：パルス幅の相対値が０．８以上１未満である
×：パルス幅の相対値が１以上である
以上、３．２および３．３の評価結果を表１４〜１９に示す。
【０３６５】
【表１４】
2013210597.tif 000018
【０３６６】
【表１５】
2013210597.tif 000019
【０３６７】
【表１６】
2013210597.tif 000020
【０３６８】
【表１７】
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【０３６９】
【表１８】
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【０３７０】
【表１９】
2013210597.tif 000023
【０３７１】
表１４〜１９から明らかなように、各実施例で得られた光導波路では、各比較例で得られた光導波路に比べ、伝送損失およびパルス信号の鈍りがそれぞれ抑えられていることが認められた。
【０３７２】
なお、比較例１で使用したフォトブリーチング現象が生じるコア層形成用組成物について、照射光量に応じて屈折率の変調量を調整することができるので、それを利用し、積算光量が徐々に変化するよう設定したフォトマスクを使用して屈折率分布Ｗを形成することを試みた。得られた光導波路に対して上述したように屈折率分布を評価したところ、高屈折率領域と低屈折率領域とが確認されたが、屈折率の変化は各実施例ほど連続的ではなかった。また、得られた光導波路については、各実施例に比べて伝送損失が大きく、パルス信号の波形の保持性も低かった。
４．交差部を有する光導波路の製造
次いで、上記の各実施例、各比較例および各参考例と同様の条件で、以下のように交差部を有する光導波路を製造した。
（実施例Ａ）
コア層を作製する際に使用するフォトマスクとして交差部を有する光導波路のパターンに対応したものを使用した以外、実施例１と同様にして光導波路を製造することにより、交差部を有する光導波路を製造した。なお、光導波路の製造にあたっては、各交差部における交差角が３０°、６０°、９０°である３種の光導波路を製造した。
（実施例Ｂ〜Ｚ、ａ〜ｋ、比較例Ａ、Ｂおよび参考例Ａ〜Ｊ）
コア層を作製する際に使用するフォトマスクとして交差部を有するコア部のパターンに対応したものを使用した以外、実施例２〜３７、比較例１、２および参考例１〜１０と同様にして光導波路を製造することにより、それぞれ交差部を有する光導波路を製造した。なお、光導波路の製造にあたっては、各交差部における交差角が３０°、６０°、及び９０°である、３種の光導波路を製造した。
５．交差部を有する光導波路の評価
次いで、得られた交差部を有する光導波路について、両端部間の挿入損失を測定した。
その結果、挿入損失の値は、前述した伝送損失と同様の傾向を示した。すなわち、各実施例で得られた交差部を有する光導波路は、挿入損失が十分に小さかった一方、各比較例で得られた交差部を有する光導波路は、挿入損失が比較的大きかった。そして、２．で測定された伝送損失が小さいものほど、混信する信号光の光量も少ないことが認められた。
【０３７３】
また、交差部における伝送損失を算出したところ、各実施例で得られた交差部を有する光導波路は、各比較例で得られた交差部を有する光導波路よりも交差部における伝送損失が小さいことが明らかとなった。算出された交差部における伝送損失を表１４〜１９に示す。なお、交差角度が９０°の場合、伝送損失はいずれも０．０２ｄＢ以下であった。
【０３７４】
また、交差部における伝送損失の算出方法は、交差数の異なる試料を複数用意し、それらの挿入損失の比較から交差部１つ当たりの伝送損失を算出する方法とした。
【０３７５】
また、測定対象のコア部と交差しているコア部に混信している信号光の光量（以下、「混信光量」という。）を測定した。そして、測定した混信光量について、表１４〜１６では比較例１で得られた光導波路の測定値を１とし、表１７〜１９では比較例２で得られた光導波路の測定値を１としたときの相対値をそれぞれ算出し、表１４〜１９に示した。
【０３７６】
その結果、屈折率分布Ｗを最適化することにより、混信する信号光の光量が低下することが認められた。
【０３７７】
以上のことから、屈折率分布が特定の条件を満たす連続的な分布になっているコア部を有する光導波路では、損失や混信を抑制し得ることが明らかとなった。
【産業上の利用可能性】
【０３７８】
厚さの増大を伴うことなくコア部同士を交差させるとともに、コア部を高密度に形成可能な光導波路、かかる光導波路を備え光配線の簡素化および省スペース化を図ることができる光配線部品および光導波路モジュール、および小型化が容易な電子機器を提供すること。
【符号の説明】
【０３７９】
１                      光導波路
１０                    光配線部品
１０１                  コネクター
１１、１２、１２１、１２２  クラッド層
１３、１３１、１３２    コア層
１４                    コア部
１４０                  コア群
１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、１４６  コア部
１４７、１４８          交差部
１５                    側面クラッド部
１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６  側面クラッド部
２                      支持フィルム
３                      カバーフィルム
９０１          光導波路形成用組成物（第１の組成物）
９０２          光導波路形成用組成物（第２の組成物）
９１０                  層
９１４                  多色成形体
９１４ａ                第１成形層
９１４ｂ                第２成形層
９１４ｃ                第３成形層
９１４ｄ                第４成形層
９１４ｅ                第５成形層
９１４ｆ                第６成形層
９１４ｇ                第７成形層
９１４ｈ                第８成形層
９１４ｉ                第９成形層
９１５                  ポリマー
９２０                  添加剤
９３０                  活性放射線
９３５                  マスク（マスキング）
９３５１                開口（窓）
９２５                  照射領域
９２５１、９２５２、９２５３  照射領域
９４０                  未照射領域
９４０３                未照射領域
９５１                  支持基板
Ｃ１、Ｃ２、Ｃ２’      中心線
Ｗ                      屈折率分布
Ｐ２                    強度分布
Ｔ、Ｔ’                屈折率分布
Ｈ                      高屈折率部
Ｌ                      低屈折率部
【図１】
2013210597.tif 000024
【図２】
2013210597.tif 000025
【図３】
2013210597.tif 000026
【図４】
2013210597.tif 000027
【図５】
2013210597.tif 000028
【図６Ａ】
2013210597.tif 000029
【図６Ｂ】
2013210597.tif 000030
【図７Ａ】
2013210597.tif 000031
【図７Ｂ】
2013210597.tif 000032
【図８Ａ】
2013210597.tif 000033
【図８Ｂ】
2013210597.tif 000034
【図８Ｃ】
2013210597.tif 000035
【図８Ｄ】
2013210597.tif 000036
【図９】
2013210597.tif 000037
【図１０】
2013210597.tif 000038
【図１１】
2013210597.tif 000039
【図１２】
2013210597.tif 000040
【図１３】
2013210597.tif 000041
【図１４】
2013210597.tif 000042
【図１５】
2013210597.tif 000043
【図１６】
2013210597.tif 000044
【図１７Ａ】
2013210597.tif 000045
【図１７Ｂ】
2013210597.tif 000046
【図１７Ｃ】
2013210597.tif 000047
【図１８】
2013210597.tif 000048
【図１９】
2013210597.tif 000049
【図２０】
2013210597.tif 000050
【図２１】
2013210597.tif 000051
【図２２】
2013210597.tif 000052
【図２３】
2013210597.tif 000053