(57)【要約】【課題】装着ヘッドのＹ方向の移動がケーブルに制限されることが無く、電子部品装着装置での部品装着速度を向上させることができる電子部品装着装置を提供すること。【解決手段】装置本体２上の前部及び後部の４つのブロックの設けられた各ビーム１０の接続されたフラットケーブル３１、３２、３３及び３４は、それぞれ装着ヘッドのそれぞれに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部７１、７３・・・と、このビーム配設部から延びてヘッド６の移動範囲外の位置でビーム１０の移動方向に配設された装置配設部７７・・・とを有している。【選択図】図２
2013214570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な複数のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、前記装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記装着ヘッドのそれぞれに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項２】
対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な一対のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、一方の装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記一方の装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の一方の側の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有し、他方の装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記他方の装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記他方の装着ヘッドの移動範囲外の他方の側の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項３】
対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な一対のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、前記装着ヘッドに設けられた駆動源に信号を送るための信号線により形成された信号線ケーブルと、前記駆動源に電力を供給するための動力線により形成される電力ケーブルとを並べて平板状にしてケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平方向に移動可能なビームに、このビームに沿った方向に駆動源により移動可能な装着ヘッドを設け、この装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる従来の電子部品装着装置は、例えば特許文献１等に開示されている。そして、可動ヘッド部にはノズルの上下動手段やθ回転手段の駆動手段等に電力を供給するためのケーブルやエアを供給するエアチューブをまとめてフラットケーブルとして接続する。
【０００３】
以下、フラットケーブルをビームに沿って設け、更に、フラットケーブルを電子部品装着装置の本体に配置し支持させた機構、即ち、フラットケーブルの引き回し機構について、図４に基づいて説明する。
【０００４】
図４は電子部品装着装置１の概略平面図であり、電子部品装着装置１００の装置本体２００上の前部及び後部の４つのブロックに部品供給装置が設けられている。
【０００５】
そして、電子装着装置の中央には、図４における左右の方向に基板搬送機構が設けられている。
【０００６】
そして、Ｙ方向駆動源であるリニアモータ（図示せず）の駆動によりガイドレール９に沿ってＹ方向にそれぞれのビーム１０が独立して移動する構成であり、各ビーム１０にはＸ方向駆動源（図示せず）の駆動によりＸ方向に移動する装着ヘッド６が設けられる。また、装着ヘッド６には、電子部品を吸着して取り出し、保持する保持部材としての複数の吸着ノズル７が環状に等間隔で設けられる。なお、図４においては、複数の吸着ノズルの内、１本のみ図示している。そして、吸着ノズル７は、上下動が可能で、且つ回転可能である。
【０００７】
また、各装着ヘッド６には、重ねられた２つのフラットケーブルから構成されたフラットケーブル本体６０のビーム部５７を図４に太い破線で示したように、各装着ヘッド６からビーム１０に沿って設け、そして、第１の本体部５８を装着装置本体２の例えばガイド９に沿って中央部に向かって配置し、更に、ビーム１０の移動に伴い移動する中央部付近のUターン部５９で屈曲してUターンさせ、第２の本体部６０を第１の本体部５８とは逆の方向である外周の方向に配置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−２４６２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、フラットケーブル５５、５５を中央部付近のＵターン部５９でＵターンさせたとき、例えば図４の電子部品装着装置１００の右下に位置する装着ヘッド６が最も左に位置した状態でＹ軸方向、即ち、図４では上の方向に移動したとき、装着ヘッド６がＵターン部５９に当たることを回避するために、装着ヘッド６のＹ方向の移動が制限され、電子部品装着装置での部品装着速度が遅くなる虞があった。
【００１０】
そこで本発明は、装着ヘッド６のＹ方向の移動がケーブルに制限されることが無く、電子部品装着装置での部品装着速度を向上させることができる電子部品装着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このため第１の発明は、対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な複数のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、前記装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記装着ヘッドのそれぞれに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする。
【００１２】
第２の発明は、対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な一対のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、一方の装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記一方の装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の一方の側の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有し、他方の装着ヘッドに接続された複数のケーブルを並べて平板状にし、前記ケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記他方の装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記他方の装着ヘッドの移動範囲外の他方の側の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする。
【００１３】
第３の発明は、対向して配置されそれぞれが水平方向に移動可能な一対のビームと、これらのビームのそれぞれに設けられ、各ビームに沿った方向に移動可能な複数の装着ヘッドとを備え、これらの装着ヘッドによって電子部品を保持してプリント基板上に装着する電子部品装着装置において、前記装着ヘッドに設けられた駆動源に信号を送るための信号線により形成された信号線ケーブルと、前記駆動源に電力を供給するための動力線により形成される電力ケーブルとを並べて平板状にしてケーブルの長手方向に屈曲可能に形成したフラットケーブルは、前記装着ヘッドに接続され前記ビームに沿って設けられたビーム配設部と、このビーム配設部から延びて前記ヘッドの移動範囲外の位置で前記ビームの移動方向に配設された装置配設部とを有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装着ヘッドのＹ方向の移動がケーブルに制限されることが無く、電子部品装着装置での部品装着速度を向上させることができる電子部品装着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】電子部品装着装置の平面図である。
【図２】電子部品装着装置の概略平面図である。
【図３】固定部材によるフラットケーブルの固定状態を示した側面図である。
【図４】電子部品装着装置の概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図１及び図２に基づいて本発明の実施形態について説明する。図１は電子部品装着装置１の平面図であり、図４に示した電子部品装着装置１００と同様の機構のものには同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１７】
装置本体２上の前部及び後部の４つのブロックに第１部品供給装置３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、第２部品供給装置３Ｄとが併設されている。前記第１部品供給装置３Ａ、３Ｂ、３Ｃは、並んで載置された複数の例えばテープに所定間隔毎に電子部品を収納した部品供給ユニット５を備え、部品供給側の先端部が被装着部材であるプリント基板Ｐの搬送路に臨むように装置本体２に連結具（図示せず）を介して着脱可能に配設され、連結具を解除し把手（図示せず）を引くと下面に設けられたキャスタによりカート台が移動できる構成である。
【００１８】
なお、電子部品が装着される被装着部材はプリント基板に限定されるものではなく、例えば、フレキシブル基板などでもよい。
【００１９】
そして、対向する前記第１部品供給装置３Ａ及び３Ｂと、第１部品供給装置３Ｃ及び第２部品供給装置３Ｄの間には、基板搬送機構を構成する供給コンベア、位置決め部８（コンベアを有する）及び排出コンベアが設けられている。前記供給コンベアは上流側装置より受けた複数のプリント基板Ｐを前記位置決め部８に搬送し、位置決め部８で図示しない位置決め機構により位置決めされた該基板Ｐ上に電子部品が装着された後、排出コンベアに搬送され、その後下流側装置に搬送される。
【００２０】
そして、ビーム１０がＹ軸モータ（図示せず）の駆動によりＹ方向に移動する構成であり、各ビーム１０にはＸ軸モータ（図示せず）によりＸ方向に移動する装着ヘッド６が設けられる。また、装着ヘッド６には、電子部品を吸着して取り出し、保持する保持部材としての複数の吸着ノズル７が環状に設けられる。そして、吸着ノズル７は、上下軸モータ（図示せず）により上下動が可能で、且つθ軸モータ（図示せず）により回転可能である。なお、保持部材としては、吸着ノズル７の他に、例えば電子部品を掴んで取り出す機構を備えた把持部材などでもよい。
【００２１】
４はプリント基板Ｐの位置確認用の認識マークを撮像するときなどに使用される基板認識カメラで、各装着ヘッド６に搭載されている。１２は前記装置本体２に前記装着ヘッド６に対応して設けられる部品認識カメラで、部品供給装置３から吸着ノズル７に吸着され取り出され保持された電子部品を撮像して、認識処理装置５３により吸着ノズル７に対する電子部品の位置が認識処理される。
【００２２】
以下、電子部品装着装置１に設けられたフラットケーブルについて説明する。
【００２３】
各装着ヘッド６には、図３に示したように重ねられた２つのフラットケーブル２４、２４が接続されている。
【００２４】
フラットケーブル２４、２４は、上述したＸ軸モータ、各θ軸モータ、各上下軸モータ及びノズル選択用のモータ等に電力を供給するための電力ケーブル、真空吸引するためのエアチューブ、エアを供給するためのエアチューブ、装着ヘッド６・・・に設けられた駆動部に信号を送る信号線ケーブルである光ケーブル等から構成され、これらは可撓性の合成樹脂材料で構成されており、屈曲可能である。
【００２５】
以下、図３に基づいて固定部材２９の構成を説明する。
【００２６】
固定部材２９は、通されたフラットケーブル２４、２４が固定されて保持される固定ボックス４１と、この固定ボックス４１内に例えば上下に配置され後述する電力ケーブルやエアーチューブ等を並列状態に固定した２つのフラットケーブル２４、２４のそれぞれの上に設けられた押え板４２、４２、固定ボックス４１の上の設けられた渡し板４３、及びこの渡し板４３の複数箇所に形成されたボルト貫通孔６１、６１に通されるボルト４４、４４から構成されている。
【００２７】
固定ボックス４１は、底壁４５、この底壁４５の両縁から上方へ折れ曲った左右側壁４６、４６、両側壁４６、４６の上端から内側に折れ曲がった左右上壁４７、４７を備え、前後の面が開口している。上壁４７、４７にはボルト貫通孔６１、６１に対応して例えば２箇所ずつボルト貫通孔４８、４８が形成され、ボルト貫通孔４８、４８と同じ位置の下面には例えば溶接等によりナット４９、４９が固定されている。また、固定ボックス４１の底壁４５の上には弾性シート６２が設けられている。
【００２８】
そして、各フラットケーブル２４、２４を固定するときには、渡し板４３を取り付ける前に、対向した上壁４７と上壁４７との間から固定ボックス４１内にフラットケーブル２４、２４を入れ、各フラットケーブル２４、２４の上に押え板４２、４２を設ける。そして、矢印６３、６３に示したように、ボルト４４、４４を上方からボルト貫通孔６１、６１とボルト貫通孔４８、４８とに通し、更に、ナット４９、４９に通し、ボルト４４、４４を下方へ移動させ、上部の押え板４２を下方へ押圧し、上部のフラットケーブル２４と下部の押え板４２を介して下部のフラットケーブル２４を押圧し、それぞれのフラットケーブル２４、２４を固定する。なお、上部の押え板４２の上面に上記ナット４９、４９の位置に合わせて開口が形成された位置決め用板を溶接等により固定し、ボルト４４、４４を差し込んだときに、ボルト４４、４４の下端が位置決め用板の開口に入り込むようにすることにより、上部の押え板４２のずれを防止することができる。
【００２９】
以下、フラットケーブル２４、２４の電子部品装着装置１での引き回しについて、図２を使用して説明する。なお、図２において、図１に示した電子部品装着装置１と同じ機構の部分には、同様の符号が付してある。なお、図２は４つの各ビーム６が電子部品装着装置１の外側に位置した状態の平面図である。
【００３０】
一対のフラットケーブル２４、２４により構成され各装着ヘッド６に接続された４つのフラットケーブル本体３１、３２、３３、３４のうち、まず、図２に図示した電子部品装着装置１の左奥側の第１ブロック３５に位置したフラットケーブル本体３１について説明する。フラットケーブル本体３１は、図２に太い破線で示したように、装着ヘッド６からビーム１０に沿って電子部品装着装置（以下、装置という。）の側部に向かい（図２においてはビーム１０の左側端部に向かい）設けられた第１のビーム配設部７１と、ビーム１０の左が側の端部で屈曲してUターンする第１の屈曲部７２と、この第１の屈曲部７２からビーム１０に沿って装置の中央部に向かって（図２においてはビーム１０の右側端部に向かう方向であり、第１のビーム配設部７１とは反対方向）設けられた第２のビーム配設部７３と、この第２のビーム配設部７３の右側端部（装置の中央部側の端部）でほぼ直角に装置中央部のガイド９に沿う方向に屈曲する第２の屈曲部７４と、この第２の屈曲部７４から中央部のガイド９に沿い装置の奥に向かい設けられた第１の装置配設部７５と、この第１の装置配設部７５での装置の奥側端部で屈曲してUターンする第３の屈曲部７６と、この第３の屈曲部７６から装置の中央部を奥から前部に向かい配設された第２の装置配設部７７とから構成されている。
【００３１】
次に、図２に図示した電子部品装着装置１の右奥側の第２ブロック３６に位置したフラットケーブル本体３２について説明する。フラットケーブル本体３２は、図２に太い破線で示したように、右奥側の装着ヘッド６からビーム１０に沿って装置の中央部に向かい（図２においてはビーム１０の左側端部に向かい）設けられた第１のビーム配設部７１と、ビーム１０の左側の端部（装置の中央部側の端部）で屈曲してUターンする第１の屈曲部７２と、この第１の屈曲部７２からビーム１０に沿って装置の側部に向かって（図２においてはビーム１０の右側端部に向かう方向であり、第１のビーム配設部７１とは反対方向）設けられた第２のビーム配設部７３と、この第２のビーム配設部７３の右側端部（装置の右側の端部）でほぼ直角に装置の右側の側部のガイド９に沿う方向に屈曲する第２の屈曲部７４と、この第２の屈曲部７４から右側部のガイド９に沿い装置の奥に向かい設けられた第１の装置配設部７５と、この第１の装置配設部７５での装置の奥側端部で屈曲してUターンする第３の屈曲部７６と、この第３の屈曲部７６から装置の右側の側部を奥から前部に向かい配設された第２の装置配設部７７とから構成されている。
【００３２】
次に、図２に図示した電子部品装着装置１の右前側の第３ブロック３７に位置したフラットケーブル本体３３について説明する。フラットケーブル本体３３は、図２に太い破線で示したように、右前部（手前側）の装着ヘッド６からビーム１０に沿って装置の右側部に向かい（図２においてはビーム１０の右側端部に向かい）設けられた第２のビーム配設部８１と、ビーム１０の右側の端部で屈曲してUターンする第４の屈曲部８２と、この第４の屈曲部８２からビーム１０に沿って装置の中央部に向かって（図２においてはビーム１０の左側端部に向かう方向であり、第３のビーム配設部８１とは反対方向）設けられた第４のビーム配設部８３と、この第４のビーム配設部８３の左側端部（装置の中央部側）でほぼ直角に装置の中央部のガイド９に沿う方向に屈曲する第５の屈曲部８４と、この第５の屈曲部８４から中央部のガイド９に沿い装置の前部に向かい設けられた第３の装置配設部８５と、この第３の装置配設部８５での装置の前側端部で屈曲してUターンする第６の屈曲部８６と、この第６の屈曲部８６から装置の中央部を前部から奥へ向かい配設された第４の装置配設部８７とから構成されている。
【００３３】
次に、図２に図示した電子部品装着装置１の左前側の第４ブロック３８に位置したフラットケーブル本体３４について説明する。フラットケーブル本体３４は、図２に太い破線で示したように、右前部（手前側）の装着ヘッド６からビーム１０に沿って装置の中央部に向かい（図２においてはビーム１０の右側端部に向かい）設けられた第２のビーム配設部８１と、ビーム１０の右側の端部（装置の中央部側の端部）で屈曲してUターンする第４の屈曲部８２と、この第４の屈曲部８２からビーム１０に沿って装置の左側の側部に向かって（図２においてはビーム１０の左側端部に向かう方向であり、第３のビーム配設部８１とは反対方向）設けられた第４のビーム配設部８３と、この第４のビーム配設部８３の左側端部でほぼ直角に装置の左側の側部のガイド９に沿う方向に屈曲する第５の屈曲部８４と、この第５の屈曲部８４から左側の側部のガイド９に沿い装置の前部に向かい設けられた第３の装置配設部８５と、この第３の装置配設部８５での装置の前側端部で屈曲してUターンする第６の屈曲部８６と、この第６の屈曲部８６から装置の左側の側部を前部から奥へ向かい配設された第４の装置配設部８７とから構成されている。
【００３４】
上述した第１ブロック３５及び第４ブロック３８に設けられたフラットケーブル本体３１、３４の第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７は、何れもビーム１０の外側、即ち、装着ヘッド６のＸ軸方向移動範囲の外に位置している。したがって、装着ヘッド６は、第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７と干渉することなく、Ｙ軸方向に移動することができる。
【００３５】
また、第２ブロック３６及び第３ブロック３７においても、フラットケーブル本体３２、３３の第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７は、何れもビーム１０の外側、即ち、装着ヘッド６のＸ軸方向移動範囲の外に位置している。したがって、装着ヘッド６は、第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７と干渉することなく、Ｙ軸方向に移動することができる。
【００３６】
以上の構成により、以下動作について説明する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアにより上流装置より供給コンベアを介して位置決め部８に搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。
【００３７】
次に、図示しない記憶装置に格納されたプリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置及び各部品供給ユニットの配置番号等が指定された装着データに従い、装着順序に従い電子部品の部品種に対応した各吸着ノズル７が装着すべき電子部品を所定の部品供給ユニットから吸着して取出す。
【００３８】
即ち、Ｙ方向はＹ軸モータが駆動して一対のガイド９に沿ってビーム１０が移動し、Ｘ方向はＸ軸モータが駆動して各装着ヘッド６が衝突することなく移動し、順次装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット上方に位置するよう移動する。
【００３９】
そして、既に所定の供給ユニットは駆動されて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるため、一方の装着ヘッド６の選択された吸着ノズル７が上下軸モータにより下降して電子部品を吸着し取出し、次に吸着ノズル７は上昇すると共に他方の装着ヘッド６の吸着ノズル７が次に装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニット上方に移動し、同じく前記ノズル７が下降して電子部品を吸着し取出す。
【００４０】
更に、前述したように、各装着ヘッド６を水平方向に移動させ、位置決め部４上のプリント基板Ｐ上方に移動し、各装着ヘッド６の各吸着ノズル７を下降させてプリント基板Ｐ上にそれぞれ電子部品を装着する。
【００４１】
この場合、各装着ヘッド６がＸ軸モータ（図示せず）によりガイド９に沿ってＸ方向に移動する際、前記フラットケーブル２４、２４は屈曲可能であるから、各装着ヘッド６及びビーム１０は滑らかに移動することができる。
【００４２】
また、上述したように、第１ブロック３５及び第４ブロック３８に設けられたフラットケーブル本体３１、３４の第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７は、何れもビーム１０の外側、即ち、装着ヘッド６のＸ軸方向移動範囲の外に位置している。したがって、装着ヘッド６は、第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７と干渉することなく、Ｙ軸方向に移動することができるので、第１ブロック３５及び第４ブロック３８での装着ヘッド６のＹ方向の移動がフラットケーブル本体、即ち、フラットケーブル２４、２４に制限されることが無く、電子部品装着装置１での部品装着速度を向上させることができる．
同様に、第２ブロック３６及び第３ブロック３７に設けられたフラットケーブル本体３２、３３の第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７は、何れもビーム１０の外側、即ち、装着ヘッド６のＸ軸方向移動範囲の外に位置している。したがって、装着ヘッド６は、第２の装置配設部７７及び第４の装置配設部８７と干渉することなく、Ｙ軸方向に移動することができるので、第１ブロック３５及び第４ブロック３８での装着ヘッド６のＹ方向の移動がフラットケーブル本体、即ち、フラットケーブル２４、２４に制限されることが無く、電子部品装着装置１での部品装着速度を向上させることができる．
この結果、第１〜第４のブロック３５〜３８を備えた電子部品供給装置１での部品装着速度を向上させることができる
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００４３】
１      電子部品装着装置
６      ヘッド
１０    ビーム
２４    フラットケーブル
７１    第１のビーム配設部
７３    第２のビーム配設部
７７    第１の装置配設部
【図１】
2013214570.tif 000003
【図２】
2013214570.tif 000004
【図３】
2013214570.tif 000005
【図４】
2013214570.tif 000006