(57)【要約】【課題】癖が付いたり反ったりしたワークを、表面を清浄な状態で平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定する【解決手段】ワーク保持装置１００で変形しやすいワークＷをクランプしてワーク固定装置２００の設置台２１０に搬送する。ワーク保持装置１００は、ワークＷの幅方向の２端縁部を上側クランプ部１４０と下側クランプ部１４６とでクランプして搬送する。上側クランプ部１４０は、一定間隔を隔てて配置した上側ロッド１４２を備える。ワーク固定装置２００の設置台２１０には、ワークＷの４端縁部をクランプする幅方向クランプ部２２０、前後方向クランプ部２３０を備える。上側クランプ部１４０と、前後方向クランプ部２３０とがワーク保持装置１００をワーク固定装置２００に出し入れするとき、干渉しないように構成する。【選択図】図８
2013210432.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状のワークを着脱可能に保持して搬送する搬送アームのワーク保持装置であって、
前記ワークを挟むように配置される２本の枠部材と
前記２本の枠部材からそれぞれ内側に向けて延びるように設けられ、前記ワークの相対向する２つの端縁部をそれぞれ上下から挟んで前記ワークを保持する上側クランプ部および下側クランプ部を保持部材として備え、
前記上側クランプ部および下側クランプ部の少なくとも一方は、
複数のロッドが間隔を開け、基部を連結して構成されるとともに、前記複数のロッドの先端が前記ワークに接触して前記ワークを前記枠部材に保持するクランプ位置、および前記ワークから離間したアンクランプ位置に駆動される保持部材を備えることを特徴とする搬送アームのワーク保持装置。
【請求項２】
前記保持部材を前記クランプ位置と前記アンクランプ位置との間で駆動する駆動手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送アームのワーク保持装置。
【請求項３】
搬送された四角形状のワークをワークステージに固定するワークステージの固定装置において、
前記ワークの下面を支持する設置台と、
配置された前記ワークの４つの縁部のうち少なくとも相対向する２つの縁部に沿って設置され、複数のロッドが間隔を開け、基部を連結して構成されるとともに、前記ロッドの先端が前記ワークに接触して前記ワークをクランプするクランプ位置、および前記ワークから離間したアンクランプ位置に駆動される固定部材を備えることを特徴とするワークステージのワーク固定装置。
【請求項４】
前記固定部材をクランプ位置とアンクランプ位置との間で駆動する駆動手段を備えることを特徴とすること特徴とする請求項３に記載のワークステージのワーク固定装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載の搬送アームのワーク保持装置と、請求項３または請求項４に記載のワークステージのワーク固定装置とを備え、
前記搬送アームのワーク保持装置と、前記ワークステージのワーク固定装置とを、
前記固定部材をアンクランプ位置とした前記ワークステージのワーク固定装置の前記設置台上方に、前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材と前記ワークステージのワーク固定装置の固定部材とが同方向に配置すべく挿入できるよう構成し、
前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材のワークへの接触位置と、前記ワークステージのワーク固定装置の固定部材のワークへの接触位置と、が異なる位置として前記保持部材と、前記固定部材とが干渉しないよう構成し、
前記搬送アームのワーク保持装置と前記ワークステージのワーク固定装置とを上下方向に相対移動できるよう構成し、
前記押付部材をアンクランプ位置とした前記ワークステージのワーク固定装置を、前記固定部材をクランプ状態としたワークステージのワーク固定装置から抜き出せるよう構成したことを特徴とするワーク設置装置。
【請求項６】
前記ワークステージの固定装置の押付部材をアンクランプ位置とし、
前記ワークを保持した搬送アームのワーク保持装置を前記ワークステージのワーク固定装置の設置台上方に挿入し、
前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材をアンクランプ位置とし、
前記ワークステージのワーク固定装置を固定状態とし、
前記搬送アームのワーク保持装置と前記ワークステージのワーク固定装置とを相対的に上下方向に移動し、
前記搬送アームのワーク保持装置を前記搬送アームのワーク保持装置から抜き出す、
よう駆動する制御手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のワーク設置装置。
【請求項７】
請求項３または請求項４に記載のワークステージのワーク固定装置と、設置されたワークにパターンを露光する露光光学系と、を備えることを特徴とする投影露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送アームのワーク保持装置、ワークステージのワーク固定装置、ワーク設置装置、および投影露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
投影露光装置では、露光ステージ（ワークステージ）にプリント基板等のワークを搬入し、この搬送されたワークにマスクに形成されたパターンの露光処理を行う（特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、プリント基板は、柔軟な素材で形成されているため、癖が付いていたり、反りが発生したりしていることがある。このようなワークを投影露光装置に搬送するワーク搬送装置のとして搬送アームにワークの上面に吸着する吸着パッドを備えるものがある（特許文献２参照）。このワーク搬送装置によれば、癖が付いていたり反ったりしたワークを確実に搬送することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２４８２６０公報参照
【特許文献２】特開２０１０−７６９２９公報参照
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、露光ステージでは、ワークの平面度を保つため、ワークを露光ステージに吸着して平面度を保っている。このワークの平面度は搬送時から高い平面度を保って搬送することが望ましい。
【０００６】
また、ワークの表面には感光剤が塗布されており、できるだけ清浄に保つことが望ましい。このため、ワークの表面に、吸着パッドなどの部材を接触させることは望ましくない。
【０００７】
本発明は上述した課題にかんがみてなされたものであり、癖が付いたり反りが発生したりしたワークを、できるだけ表面を清浄な状態で平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定することができる搬送アームのワーク保持装置、ワークステージのワーク固定装置、ワーク設置装置、および投影露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決する請求項１に記載の発明は、四角形状のワークを着脱可能に保持して搬送する搬送アームのワーク保持装置であって、前記ワークを挟むように配置される２本の枠部材と前記２本の枠部材からそれぞれ内側に向けて延びるように設けられ、前記ワークの相対向する２つの端縁部をそれぞれ上下から挟んで前記ワークを保持する上側クランプ部および下側クランプ部を保持部材として備え、前記上側クランプ部および下側クランプ部の少なくとも一方は、複数のロッドが間隔を開け、基部を連結して構成されるとともに、前記複数のロッドの先端が前記ワークに接触して前記ワークを前記枠部材に保持するクランプ位置、および前記ワークから離間したアンクランプ位置に駆動される保持部材を備えることを特徴とする搬送アームのワーク保持装置である。
本発明によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送することができる。
【０００９】
同じく請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のである搬送アームのワーク保持装置において、前記保持部材を前記クランプ位置と前記アンクランプ位置との間で駆動する駆動手段を備えることを特徴とする。
本発明によれば、ワークの両端部を保持部材でクランプして、ワークの平面度を保ちつつ搬送することができる。
【００１０】
同じく請求項３に記載の発明は、搬送された四角形状のワークをワークステージに固定するワークステージの固定装置において、ワークの下面を支持する設置台と、配置されたワークの４つの縁部のうち少なくとも相対向する２つの縁部に沿って設置され、複数のロッドが間隔を開け、基部を連結して構成されるとともに、前記ロッドの先端が前記ワークに接触して前記ワークをクランプするクランプ位置、および前記ワークから離間したアンクランプ位置に駆動される固定部材を備えることを特徴とするワークステージのワーク固定装置である。
本発明によれば、搬送されてきたワークをその平面度を確保しつつワークステージに固定することができる。
【００１１】
同じく請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のワークステージのワーク固定装置において、前記固定部材をクランプ位置とアンクランプ位置との間で駆動する駆動手段を備えることを特徴とすること特徴とする。
本発明によれば、ワークの両端を固定部材でクランプして、ワークの平面度を保ちつつワークをワークステージに固定することができる。
【００１２】
同じく請求項５に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の搬送アームのワーク保持装置と、請求項３または請求項４に記載のワークステージのワーク固定装置とを備え、前記搬送アームのワーク保持装置と、前記ワークステージのワーク固定装置とを、前記固定部材をアンクランプ位置とした前記ワークステージのワーク固定装置の前記設置台上方に、前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材と前記ワークステージのワーク固定装置の固定部材とが同方向に配置すべく挿入できるよう構成し、前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材のワークへの接触位置と、前記ワークステージのワーク固定装置の固定部材のワークへの接触位置と、が異なる位置として前記保持部材と、前記固定部材とが干渉しないよう構成し、前記搬送アームのワーク保持装置と前記ワークステージのワーク固定装置とを上下方向に相対移動できるよう構成し、前記押付部材をアンクランプ位置とした前記ワークステージのワーク固定装置を、前記固定部材をクランプ状態としたワークステージのワーク固定装置から抜き出せるよう構成したことを特徴とするワーク設置装置である。
本発明によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定することができる。
【００１３】
同じく請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のワーク設置装置において、前記ワークステージの固定装置の押付部材をアンクランプ位置とし、前記ワークを保持した搬送アームのワーク保持装置を前記ワークステージのワーク固定装置の設置台上方に挿入し、前記搬送アームのワーク保持装置の保持部材をアンクランプ位置とし、前記ワークステージのワーク固定装置を固定状態とし、前記搬送アームのワーク保持装置と前記ワークステージのワーク固定装置とを相対的に上下方向に移動し、前記搬送アームのワーク保持装置を前記搬送アームのワーク保持装置から抜き出す、ように駆動する制御手段を備えることを特徴とする。
本発明によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定することができる。
【００１４】
同じく請求項７に記載の発明は、請求項３または請求項４に記載のワークステージのワーク固定装置と、設置されたワークにパターンを露光する露光光学系と、を備えることを特徴とする投影露光装置である。
本発明によれば、癖が付いたり反ったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定し、露光することができる
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく清浄に保ち、かつ平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保してワークステージに固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態が適用される露光装置を示す模式図である。
【図２】実施形態における各装置の配置状態を示す模式図である。
【図３】実施形態１に係る搬送アームのワーク保持装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図４】実施形態１に係るワークステージのワーク固定装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図５】実施形態１に係るワーク設置装置の挿入動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図６】実施形態１に係るワーク設置装置の固定動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図７】実施形態１に係るワーク設置装置の抜き出し動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図８】実施形態１に係るワーク設置装置の各状態を示すものであり、（ａ）は挿入状態、（ｂ）は固定状態、（ｃ）は抜き出し状態を示す正面拡大図である。
【図９】実施形態２に係るワークステージのワーク固定装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図１０】実施形態２に係るワークステージのワーク固定装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図１１】実施形態２に係るワーク設置装置の動作状態（１）を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図１２】実施形態２に係るワーク設置装置の動作状態（２）を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図１３】実施形態２に係るワーク設置装置の動作状態（３）を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【図１４】実施形態２に係るワーク設置装置の各段階における動作状態を示す正面拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための形態に係る搬送アームのワーク保持装置、ワークステージのワーク固定装置、ワーク設置装置、および投影露光装置について説明する。
【００１８】
まず、実施形態に係る投影露光装置の概略構成について説明する。図１は実施形態に係る投影露光装置の光学系の概要を示す説明図である。投影露光装置２０は、光源部１、コールドミラー２、露光シャッター３、紫外線（ｉ線）バンドパスフィルター４、インテグレータレンズ５、コリメータレンズ６、平面鏡７、マスクステージ８、マスクブラインド９、投影レンズ１０、倍率補正機構１１、露光ステージ１２を備える。なお、露光シャッター３は、露光の際には、光学系の光路から適宜退避される。この投影露光装置２０によりマスク１３に形成されたパターンを基板などのワーク１４に投影する。
【００１９】
光源部１は水銀ランプ１ａと回転楕円鏡１ｂとから構成する。水銀ランプ１ａを回転楕円鏡１ｂの第１結像位置に配置し、水銀ランプ１ａからの発光光束を回転楕円鏡１ｂで反射して第２結像位置に集光する。コールドミラー２は、赤外波長よりも長波長の赤外線を除去し、可視赤外光の波長よりも短い短波長域の光束を反射して、バンドパスフィルター４に導く。バンドパスフィルター４は紫外線（ｉ線）以外の波長域の光線をカットし、ここの光線を露光用光束Ｐとしてインテグレータレンズ５に導く。
【００２０】
インテグレータレンズ５は、露光用光束Ｐの光量分布を概略一様とし、コリメータレンズ６に導く。コリメータレンズ６は、第２結像位置に焦点を有し、露光用光束Ｐを平行光束にする。平面鏡７は、露光用光束Ｐの光路を折り曲げ、マスクステージ８に導く。
【００２１】
マスクステージ８にはマスク１３を設ける。マスク１３には、ワーク１４に結像すべきパターン２３を形成している。また、マスク１３には、後述するワーク１４とのアライメントを行うため、所定のマークであるアライメントマーク２１を形成している。図示を略した駆動機構は、マスクステージ８を図中横（Ｘ）方向および同縦（Ｙ）方向に移動する。マスクブラインド９は、露光用光束Ｐによりワーク１４を露光するとき、光学系の投影光路から適宜退避する。
【００２２】
投影レンズ１０は、投影レンズ群１０ａを備える。この投影レンズ群１０ａはマスク１３のパターンをこの例では拡大してワーク１４に結像する。
【００２３】
次に投影露光装置２０にワークを供給するワーク供給装置３０、ワーク搬送装置６０および投影露光装置２０の配置状態について説明する。図２は実施形態における各装置の配置状態を示す模式図である。
【００２４】
ワークＷは、プリント基板であり四角形状の薄いシート状であり、ワーク供給装置３０から供給される。ワーク搬送装置６０は、先端に実施形態に係るワーク保持装置１００を備えたハンド５０を備える。また、投影露光装置２０は、実施形態に係るワーク固定装置２００を備える。ワーク搬送装置６０のハンド５０は、図示していない制御手段の制御のもと、伸縮（図２中矢印Ｘ）、回転（図２中矢印θ）、および上下方向（紙面に垂直な矢印Ｚ）に駆動される。
【００２５】
ハンド５０が駆動され、ワーク保持装置１００がワーク供給装置３０の供給テーブル４０に配置されると、ワークＷがワーク保持装置１００に供給される。そして、ワーク供給装置３０のハンド５０が駆動されて、ワーク保持装置１００を投影露光装置２０の露光ステージ１２に搬送する。投影露光装置２０では、ワークＷをワーク固定装置２００で固定しワークＷのアライメントを精密に調整し、所定の投影露光処理を行う。
【００２６】
＜実施形態１＞
以下実施形態１に係るワーク設置装置について説明する。実施形態に係るワーク設置装置は、ワーク保持装置１００と、ワーク固定装置２００とを備える。
【００２７】
まず、ワーク保持装置１００について説明する。図３は実施形態１に係る搬送アームのワーク保持装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。実施形態において、ワークは、このワーク保持装置１００は、ワークＷをワーク保持装置１００の上側に配置して保持するものである。
【００２８】
ワーク保持装置１００は、ハンド５０の先端に固定するための取付部１１０と、ワークＷの幅方向に延びる横部材１２０と、この横部材１２０をワーク供給装置３０のハンド５０が移動する方向（Ｘ方向）に直交する幅方向（Ｙ方向）の両端からワークＷを挟んで、相対向する端縁部に沿って近接して配置した２本の枠部材１３０、１３０とを備える。枠部材１３０、１３０は、それぞれ腕部材１３１備え、２本の腕部材１３１の間にはワークＷの両縁部を近接して配置できる。
【００２９】
腕部材１３１には、ワークＷの両端縁部を上下方向で挟んで保持する保持部材としての上側クランプ部１４０と、同じく保持部材としての下側クランプ部１４６（図８参照）とを配置する。上側クランプ部１４０は、基部１４１と、基部１４１に突出形成した１０本のロッドである上側ロッド１４２とからなる。腕部材１３１に軸保持片１３２、１３３を形成し、基部１４１を軸１４３で回転自在に保持する。上側ロッド１４２は、基部１４１からワークＷの端縁部に接触可能な長さのまっすぐな棒状の短い部材であり、複数、この例では１０本が基部１４１に等間隔に配置される。
【００３０】
ワーク保持装置１００には、クランプ駆動手段としての上側クランプ駆動装置１５０を配置している。この上側クランプ駆動装置１５０は、エアシリンダなどの駆動部１５１と、この駆動部１５１の並進運動を上側クランプ部１４０の基部１４１の回転運動に変換して伝達するリンク部１５２とからなる。駆動部１５１を駆動することにより、上側クランプ部１４０の上側ロッド１４２は、ワークＷの端縁部上面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図８（ａ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが上側に抜けるアンクランプ位置（図８（ｂ）、（ｃ）の位置）とに駆動される。
【００３１】
下側クランプ部１４６は、腕部材１３１から内側に向け突出形成された１０本の突起部材であり、上側クランプ部１４０の上側ロッド１４２の配置位置に対応した位置に配置する。この下側クランプ部１４６は、腕部材１３１に固定されている。
【００３２】
次にワーク固定装置２００について説明する。図４は実施形態１に係るワークステージのワーク固定装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【００３３】
ワーク固定装置２００は、ワーク保持装置１００が保持してきたワークＷが設置される投影露光装置２０の露光ステージ１２である設置台２１０と、この設置台２１０の幅方向（Ｙ方向）の両辺に配置し、設置台２１０上のワークＷを上側から押さえて固定する固定部材としての幅方向クランプ部２２０と、設置台２１０の前後方向（Ｘ方向）の両辺に配置し、設置台２１０上のワークＷを上側から押さえる前後方向クランプ部２３０とを備える。
【００３４】
設置台２１０は、ワークＷを吸引する吸引穴２１１が多数形成される他、その幅方向（Ｙ方向）の両端縁にワーク保持装置１００の下側クランプ部１４６およびアンクランプ位置に移動した上側ロッド１４２が設置台２１０の上方から下方に向け通過できる通過溝２１２を形成している。また、設置台２１０には、前後方向クランプ部２３０を取り付けるための湾曲した腕部材２１４を配置している。この腕部材２１４は、ワーク固定装置２００からワーク保持装置１００を抜き差しするとき、ワーク保持装置１００の各部材に干渉しないよう屈曲形成している。
【００３５】
幅方向クランプ部２２０は、基部２２１と、基部２２１に突出形成した１０本のロッドである屈曲ロッド２２２とからなる。基部２２１は、腕部材２１４に回転自在に支持される。屈曲ロッド２２２は、基部２２１からワークＷの端縁部に接触可能な長さの屈曲した棒状の部材であり、１０本が基部１４１に等間隔に配置される。また、屈曲ロッド２２２は、設置台２１０の端縁部のうち通過溝２１２が形成されていない箇所でワークＷを設置台２１０に押し付ける。このため、屈曲ロッド２２２は、ワーク保持装置１００をワーク固定装置２００に配置したとき、ワーク保持装置１００の上側ロッド１４２が配置される位置の間に配置される。
【００３６】
さらに、屈曲ロッド２２２は、ワーク固定装置２００からワーク保持装置１００を抜き差しするとき、ワーク保持装置１００の各部材に干渉しないよう屈曲形成されている。
【００３７】
ワーク固定装置２００には、クランプ部駆動手段である横方向クランプ駆動装置２４０を備える。この横方向クランプ駆動装置２４０は、エアシリンダ等の駆動部２４１と、この駆動部２４１の並進運動を幅方向クランプ部２２０の基部２２１の回転運動に変換して伝達するリンク部２４２とからなる。駆動部２４１を駆動することにより、幅方向クランプ部２２０の屈曲ロッド２２２は、ワークＷの端縁部上面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図８（ｂ）、（ｃ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが上側に抜けるアンクランプ位置（図８（ａ）の位置）に駆動される。
【００３８】
前後方向クランプ部２３０は、基部２３１と、基部２２１に突出形成した１０本のロッドである前後方向ロッド２３２とからなる。基部２３１は、設置台２１０に回転自在に支持される。前後方向ロッド２３２は、複数、この例では基部２３１からワークＷの端縁部に接触可能な長さの屈曲した棒状の部材であり、１０本が基部２３１に所定間隔を開けて配置される。
【００３９】
ワーク固定装置２００には、クランプ部駆動手段である前後方向クランプ駆動装置２５０を備える。この前後方向クランプ駆動装置２５０は、エアシリンダなどの駆動部２５１と、この駆動部２５１の並進運動を前後方向クランプ部２３０の基部２３１の回転運動に変換して伝達するリンク部２５２とからなる。駆動部２５１を駆動することにより、前後方向クランプ部２３０の前後方向ロッド２３２は、ワークＷの端縁部上面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図８（ｂ）、（ｃ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが上側に抜けるアンクランプ位置に駆動（図８（ａ）の位置）に駆動される。
【００４０】
次にワークＷを露光ステージ１２に搬送して固定するときの動作について説明する。以下、一連の動作を（Ａ）挿入動作、（Ｂ）固定動作、（Ｃ）抜き出し動作、に分けて説明する。図５は実施形態１に係るワーク設置装置の挿入動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。また、図６は実施形態１に係るワーク設置装置の固定動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。また、図７は実施形態１に係るワーク設置装置の抜き出し動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。さらに、図８は実施形態１に係るワーク設置装置の各状態を示すものであり、（ａ）は挿入状態、（ｂ）は固定状態、（ｃ）は抜き出し状態を示す正面拡大図である。
【００４１】
これらの各動作は、ワーク保持装置１００の上側クランプ駆動装置１５０、およびワーク固定装置２００の横方向クランプ駆動装置２４０、前後方向クランプ駆動装置２５０の各駆動部、およびワーク搬送装置６０のハンド５０の駆動部を制御部で駆動制御して実行する。制御部は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えたマイクロコンピューターで、各部に配置した位置センサーを参照しつつプログラムを実行することにより各部を駆動制御することで実現できる。また、あらかじめ各部の動作をあらかじめ設定しておいたシークエンサーで動作を制御することができる。
【００４２】
（Ａ）挿入動作（図１、図５、図８（ａ）参照）
図１に示すように、ワーク供給装置３０は、ワーク供給装置３０の供給テーブル４０でワーク保持装置１００にワークＷを受け取る。そして、ワークＷをワーク保持装置１００で保持した状態（図３参照）で、ハンド５０をθ方向に回転してワーク保持装置１００の露光ステージ１２の手前位置に移動させる。そして、上下方向（Ｚ方向）の位置を調整しワーク保持装置１００とワーク固定装置２００の高さを合わせ、ハンド５０をＸ方向に伸ばして、ワーク保持装置１００をワーク固定装置２００に挿入する（図５（ａ）中矢印（１））。
【００４３】
このとき、ワーク保持装置１００では、ワーク保持装置１００を受け取った後、上側クランプ駆動装置１５０が上側ロッド１４２をクランプ位置に配置している。これにより、ワークＷは、上側クランプ部１４０の上側ロッド１４２と下側クランプ部１４６とで２本の腕部材１３１、１３１の間でクランプされている。このため、ワークＷは、腕部材１３１、１３１の間で高い平面度でクランプされた状態である。
【００４４】
一方、ワーク固定装置２００では、横方向クランプ駆動装置２４０が幅方向クランプ部２２０の屈曲ロッド２２２をアンクランプ位置に配置している。同様に前後方向クランプ駆動装置２５０が前後方向クランプ部２３０の前後方向ロッド２３２をアンクランプ位置に配置している。
【００４５】
この状態でワーク保持装置１００は、図８（ａ）に示すように、ワーク固定装置２００の幅方向クランプ部２２０、リンク部２４２に接触することなく、設置台２１０の上方にワークＷを配置するよう移動できる。
【００４６】
（Ｂ）固定動作（図６、図８（ｂ）参照）
ついで、ワーク保持装置１００を下方（Ｚ方向）に移動し（図６（ｂ）中矢印（２））、ワークＷを設置台２１０（露光ステージ１２）上に設置する。このとき、下側クランプ部１４６は、設置台２１０の通過溝２１２に配置されるので、通過溝２１２が邪魔にならず、ワークＷを設置台２１０上に接触させることができる。
【００４７】
次に横方向クランプ駆動装置２４０、前後方向クランプ駆動装置２５０で、幅方向クランプ部２２０の屈曲ロッド２２２、前後方向クランプ部２３０の前後方向ロッド２３２をクランプ位置に移動する（図６（ｄ）中矢印（３））。さらに、上側クランプ駆動装置１５０で、上側クランプ部１４０の上側ロッド１４２をアンクランプ位置に移動する（図６（ｃ）中矢印（４））。これらの動作により、ワークＷは、ワーク固定装置２００にクランプされるとともに、ワーク保持装置１００からアンクランプされた状態となる。
【００４８】
（Ｃ）抜き出し動作（図７、図８（ｃ）参照）
ここで、図８においては、屈曲ロッド２２２、前後方向ロッド２３２の状態を見やすくするため、ワークＷを仮想線で表示している。
【００４９】
ワーク保持装置１００をワーク固定装置２００から抜き出すには、ワークＷがワーク固定装置２００にクランプされた状態で、ワーク保持装置１００を下方（Ｚ方向）に移動する（図７（ｂ）中矢印（４））。このとき、下側クランプ部１４６および上側ロッド１４２は、ワーク保持装置１００が下方に移動するとき、設置台２１０の通過溝２１２を通過する。これにより、図８（ｃ）に示すように、ワーク保持装置１００は、腕部材２１４と、屈曲ロッド２２２で囲まれた領域内に配置された状態となる。
【００５０】
そして、ワーク保持装置１００をワーク固定装置２００から引き出す（図７（ａ）中矢印（６））。この状態でワークＷは、設置台２１０上において、その４辺の周縁部で、屈曲ロッド２２２と前後方向ロッド２３２とでクランプされ、平面度を保つことができる。一連のワーク搬送処理が終了したのち、ワーク保持装置１００はワーク搬送装置６０でワーク供給装置３０に戻され同様の動作を繰り返す。そして、投影露光装置２０において所定の手順で露光処理を実行する。
【００５１】
以上のように実施形態１によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保して露光ステージに固定することができ、良好な露光処理を行うことができる。
【００５２】
＜実施形態２＞
以下実施形態２に係るワーク設置装置について説明する。実施形態に係るワーク設置装置は、ワーク保持装置３００と、ワーク固定装置４００とを備える。
【００５３】
まず、ワーク保持装置３００について説明する。図９は実施形態２に係る搬送アームのワーク保持装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。実施形態２において、ワーク保持装置３００は、ワークＷをワーク保持装置３００の下側に配置して保持するものである。
【００５４】
ワーク保持装置３００は、ハンド５０の先端に固定された取付部３１０にワークＷの幅方向に延びる横部材３２０と、この横部材３２０をワーク供給装置３０のハンド５０が移動する方向（Ｘ方向）に直交する幅方向（Ｙ方向：図２参照）の両端からワークＷを挟んで、相対向する端縁部に沿って近接して配置した２本の枠部材３３０、３３０を備える。枠部材３３０、３３０は、それぞれ腕部材３３１を備え、２本の腕部材１３１の間にはワークＷの両縁部を近接して配置できる。
【００５５】
腕部材３３１には、内側に向け突出形成され、ワークＷの両端縁部に上方から接触して保持する保持部材である上側クランプ部３３２を備える。上側クランプ部３３２は、複数例えば１０個の棒状部材であり、それぞれの腕部材３３１に配置される。また、腕部材３３１には、下方向からワークＷを保持する保持部としての下側クランプ部３４０を配置する。下側クランプ部３４０は、基部３４１と、基部３４１に突出形成した１０本のロッドである保持部材である下側ロッド３４２とからなる。腕部材３３１に軸保持片３３３、３３４を形成し、基部３４１を軸３４３で回転自在に保持する。下側ロッド３４２は、基部３４１からワークＷの端縁部に接触可能な屈曲した部材であり、複数、この例では１０本が基部３４１に等間隔に配置される。この下側ロッド３４２は、上側クランプ部３３２とでワークＷを挟んでクランプするよう、同じ位置に配置される。
【００５６】
ワークＷをワーク保持装置３００でクランプしたとき、ワークＷは、そのＹ方向の両端縁部の上側で上側クランプ部３３２に接触し、上側クランプ部３３２の接触した箇所の下側を下側ロッド３４２で上方に押し付けられ支持される。
【００５７】
ワーク保持装置３００には、クランプ駆動手段としての下側クランプ駆動装置３５０を配置している。この下側クランプ駆動装置３５０は、エアシリンダなどの駆動部３５１と、この駆動部３５１の並進運動を下側クランプ部３４０の基部３４１の回転運動に変換して伝達するリンク部３５２とからなる。駆動部３５１を駆動することにより、下側クランプ部３４０の下側ロッド３４２は、ワークＷの端縁部下面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図１４（ａ）、（ｂ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが下側に抜けるアンクランプ位置（図１４（ｃ）の位置）とに駆動される。
【００５８】
次にワーク固定装置４００について説明する。図１０は実施形態２に係るワークステージのワーク固定装置を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。
【００５９】
ワーク固定装置４００は、ワーク保持装置３００が保持してきたワークＷが設置される投影露光装置２０の露光ステージ１２である設置台４１０と、この設置台４１０の幅方向（Ｙ方向）の両辺に配置し、設置台４１０上のワークＷを上側から固定する固定部材である幅方向クランプ部４２０を備える。また、ワーク固定装置４００は、設置台４１０の前後方向（Ｘ方向）の両辺に配置し、設置台４１０上のワークＷを上側から押さえる前後方向クランプ部４３０を備える。
【００６０】
設置台４１０は、ワークＷを吸引する吸引穴４１１が多数形成される。また、設置台４１０には、幅方向クランプ部４２０を取り付けるための腕部材４１３と、前後方向クランプ部４３０を取り付けるための取付部材４１４とを配置している。
【００６１】
幅方向クランプ部４２０は、基部４２１と、基部４２１に突出形成した１０本のロッドである直線ロッド４２２とからなる。基部４２１は、腕部材４１３に回転自在に支持される。直線ロッド４２２は、複数、例えば１０本が基部４２１に等間隔に配置される。また、前後方向クランプ部４３０は、基部４３１に３枚の板部材、すなわち中央部材４３２と、端部材４３３、４３３とを備え、取付部材４１４に回転自在に支持される。
【００６２】
ワーク固定装置４００には、クランプ部駆動手段であり幅方向クランプ部４２０を駆動する横方向クランプ駆動装置４４０と、前後方向クランプ部４３０を駆動する前後方向クランプ駆動装置４５０とを備える。横方向クランプ駆動装置４４０および前後方向クランプ駆動装置４５０は、エアシリンダなどの駆動部４４１、４５１と、この駆動部２４１の並進運動を幅方向クランプ部４２０の基部４２１、および中央部材４３２、端部材４３３、４３３に回転運動として伝達するリンク部４４２、４５２とからなる。
【００６３】
駆動部４４１を駆動することにより、幅方向クランプ部４２０の直線ロッド４２２は、ワークＷの幅方向端縁部上面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図８（ｂ）、（ｃ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが上側に抜けるアンクランプ位置（図８（ａ）の位置）に駆動される。同様に、駆動部４５１を駆動することにより、前後方向クランプ部４３０の中央部材４３２、端部材４３３、４３３は、ワークＷの前後方向端縁部上面に接触してワークＷをクランプするクランプ位置（図８（ｂ）、（ｃ）の位置）と、ワークＷから離間して、ワークＷが上側に抜けるアンクランプ位置に駆動される。また、ワーク固定装置４００には、移動手段（図示していない）が接続されており、ワーク固定装置４００全体を上下方向（Ｚ方向）に移動することができる。
【００６４】
次に露光ステージ１２にワークＷを搬送して固定するときの動作について説明する。以下、一連の動作を（Ａ）挿入動作、（Ｂ）固定動作、（Ｃ）抜き出し動作に分けて説明する。図１１は実施形態２に係るワーク設置装置の挿入動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。また、図１２は実施形態２に係るワーク設置装置の固定動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。また、図１３は実施形態２に係るワーク設置装置の抜き出し動作を示すものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は斜視図である。さらに、図１４は実施形態２に係るワーク設置装置の各状態を示すものであり、（ａ）は挿入状態、（ｂ）は固定状態、（ｃ）は抜き出し状態を示す正面拡大図である。
【００６５】
これらの各動作は、ワーク保持装置３００の下側クランプ駆動装置３５０、およびワーク固定装置４００の下側クランプ部３４０、下側クランプ駆動装置３５０の各駆動部、ワーク固定装置４００を上下に移動する手段、およびワーク搬送装置６０のハンド５０の駆動部を制御部で駆動制御して実行する。制御部は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えたマイクロコンピューターで、各部に配置した位置センサーを参照しつつプログラムを実行することにより各部を駆動制御することで実現できる。また、あらかじめ各部の動作をあらかじめ設定しておいたシークエンサーで動作を制御することができる。
【００６６】
（Ａ）挿入動作（図１、図１１、図１４（ａ）参照）
図１に示すように、ワーク供給装置３０は、ワーク供給装置３０の供給テーブル４０でワーク保持装置３００にワークＷを受け取る。そして、ワークＷをワーク保持装置３００で保持した状態（図３参照）で、ハンド５０をθ方向に回転してワーク保持装置３００の露光ステージ１２の手前位置に移動させる。そして、上下方向（Ｚ方向）の位置を調整しワーク保持装置３００とワーク固定装置４００の高さを合わせ、ハンド５０をＸ方向に伸ばして、ワーク保持装置３００をワーク固定装置４００に挿入する（図１１（ａ）中矢印（１））。
【００６７】
このとき、ワーク保持装置３００では、ワーク保持装置３００を受け取った後、下側クランプ駆動装置３５０が下側ロッド３４２をクランプ位置に配置している。これにより、ワークＷは、下側クランプ部３４０の下側ロッド３４２と上側クランプ部３３２とで２本の腕部材３３１、３３１の間でクランプされている。このため、ワークＷは、腕部材３３１、３３１の間で高い平面度でクランプされた状態である。
【００６８】
一方、ワーク固定装置４００では、横方向クランプ駆動装置４４０が幅方向クランプ部４２０の直線ロッド４２２をアンクランプ位置に配置している。同様に前後方向クランプ駆動装置４５０が前後方向クランプ部４３０の中央部材４３２、端部材４３３、４３３をアンクランプ位置に配置している。
【００６９】
この状態でワーク保持装置３００は、図１４（ａ）に示すように、ワーク固定装置４００に接触することなく、設置台４１０の上方にワークＷを配置するよう移動できる。
【００７０】
（Ｂ）固定動作（図１２、図１４（ｂ）参照）
ついで、ワーク固定装置４００を上方（Ｚ方向）に移動し（図１２（ｂ）中矢印（２））、ワークＷを設置台４１０上に設置する。
【００７１】
次に横方向クランプ駆動装置４４０、前後方向クランプ駆動装置４５０で、幅方向クランプ部４２０の直線ロッド４２２、前後方向クランプ部４３０の中央部材４３２、端部材４３３、４３３をクランプ位置に移動する（図１２（ｄ）中矢印（３））。さらに、下側クランプ駆動装置３５０で、下側クランプ部３４０の下側ロッド３４２をアンクランプ位置に移動する（図１２（ｃ）中矢印（４））。これらの動作により、ワークＷは、ワーク固定装置４００にクランプされるとともに、ワーク保持装置３００からアンクランプされた状態となる。
【００７２】
（Ｃ）抜き出し動作（図１３、図１４（ｃ）参照）
ワーク保持装置３００をワーク固定装置４００から抜き出すには、ワークＷがワーク固定装置４００にクランプされた状態で、ワーク固定装置４００を下方（Ｚ方向）に移動する（図７（ｂ）中矢印（４））。このとき、ワーク保持装置３００はワーク固定装置４００の上方の離れた位置に配置されているため、ワーク保持装置３００と、ワーク固定装置４００とが干渉することがない。
【００７３】
そして、ワーク保持装置３００をワーク固定装置４００から引き出す（図１３（ａ）中矢印（５））。この状態でワークＷは、設置台４１０にその４辺の周縁部で、直線ロッド４２２、中央部材４３２、端部材４３３、４３３でクランプされており、平面度を保つことができる。ワーク搬送の処理が終了したのち、ワーク保持装置１００はワーク搬送装置６０でワーク供給装置３０に戻され同様の動作を繰り返す。そして、投影露光装置２０において所定の手順で露光処理を実行する。
【００７４】
以上のように実施形態２によれば、癖が付いたり反り上がったりしたワークを、表面に部材を接触させることなく平面度を保って搬送し、さらに平面度を確保して露光ステージに固定することができ、良好な露光処理を行うことができる。
【符号の説明】
【００７５】
１０：投影レンズ
１２：露光ステージ
１３：マスク
１４：ワーク
２０：投影露光装置
３０：ワーク供給装置
４０：供給テーブル
５０：ハンド
６０：ワーク搬送装置
１００：ワーク保持装置
１４０：上側クランプ部（保持部材）
１４１：基部
１４２：上側ロッド
１４６：下側クランプ部（保持部材）
１５０：上側クランプ駆動装置
２００：ワーク固定装置
２１０：設置台
２１２：通過溝
２２０：幅方向クランプ部（固定部材）
２２１：基部
２２２：屈曲ロッド
２３０：前後方向クランプ部
２３１：基部
２３２：前後方向ロッド
２４０：横方向クランプ駆動装置
２５０：前後方向クランプ駆動装置
３００：ワーク保持装置
３３０：枠部材
３３２：上側クランプ部
３４０：下側クランプ部（保持部材）
３４１：基部
３４２：下側ロッド（保持部材）
３５０：下側クランプ駆動装置
４００：ワーク固定装置
４１０：設置台
４２０：幅方向クランプ部（固定部材）
４２１：基部
４２２：直線ロッド
４３０：前後方向クランプ部
４３１：基部
４３２：中央部材
４３３、４３３：端部材
４４０：横方向クランプ駆動装置
４４１：駆動部
４５０：前後方向クランプ駆動装置
Ｗ：ワーク
【図１】
2013210432.tif 000003
【図２】
2013210432.tif 000004
【図３】
2013210432.tif 000005
【図４】
2013210432.tif 000006
【図５】
2013210432.tif 000007
【図６】
2013210432.tif 000008
【図７】
2013210432.tif 000009
【図８】
2013210432.tif 000010
【図９】
2013210432.tif 000011
【図１０】
2013210432.tif 000012
【図１１】
2013210432.tif 000013
【図１２】
2013210432.tif 000014
【図１３】
2013210432.tif 000015
【図１４】
2013210432.tif 000016