(57)【要約】【課題】被接着物における本来の接着パターン形成エリアから、接着剤がはみ出すことなく接着剤パターンを連続して被接着物に接着剤を転写できる接着剤パターン形成方法と、かかる方法を実行する接着剤パターン形成装置と、これらを用いた接着方法を提供することにある。【解決手段】接着剤を転写する基材の表面に複数の撥液性領域と複数の親液性領域とを形成する表面処理工程と、形成された撥液性領域と、親液性領域とを被覆する様に接着剤を塗布する塗布工程と、塗布された接着剤に沿って除去ヘッドを移動させながら接着剤を掃引することで撥液性領域の接着剤を払拭する払拭工程を含む。これによって接着剤パターンを形成し、形成した接着剤パターンを被接着部材に転写する転写工程と、接着剤パターンが転写された被接着部材と、接合部材とが接合される接合工程を備える。【選択図】図２
2013035914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の表面に複数の撥液性領域と複数の親液性領域とを形成する表面処理工程と、
前記複数の撥液性領域と前記複数の親液性領域とを連続して被覆する接着剤を塗布する塗布工程と、
前記接着剤が塗布された塗布面に除去ヘッドを設置し、前記除去ヘッドを前記塗布面に沿って移動させながら前記接着剤を掃引することによって、前記接着剤の一部を拭う払拭工程と、を含み、
前記払拭工程において、前記複数の撥液性領域から前記接着剤が除かれ、前記複数の親液性領域に前記接着剤が偏在することを特徴とする接着剤パターン形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の接着剤パターン形成方法によって形成された接着剤パターンを用いた接着方法であって、
前記接着剤パターンが形成された基材を被接着部材に押し当てて、前記接着剤パターンを被接着部材に転写する転写工程と、
前記接着剤パターンが転写された前記被接着部材の面と、第１の接合部材と、を圧接して接合する接合工程と、を含むことを特徴とする接着方法。
【請求項３】
請求項２に記載の接着方法であって、
前記基材は柔軟性を有する材料であって、前記被接着部材の面に沿うように屈曲させて押し当てしながら前記接着剤パターンを転写すること、
を特徴とする接着方法。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の接着方法であって、
前記被接着部材の前記接着剤パターンが転写された面とは反対の面に、または前記第１の接合部材の前記被接着部材が接合された面とは反対の面に、前記接着剤パターン形成方法で別途形成した接着剤パターンを転写し、第２の接合部材を接合すること、
を特徴とする接着方法。
【請求項５】
基材ステージと除去ヘッドとを備え、
前記基材ステージは接着剤が塗布された塗布面を有する基材を保持し、
前記除去ヘッドは前記塗布面に沿って移動しながら、前記塗布面の一部の領域から前記接着剤を掃引すること、
を特徴とする接着剤パターン形成装置。
【請求項６】
請求項５に記載の接着剤パターン形成装置であって、
前記除去ヘッドは、転着面と捕捉面とを有し、
前記転着面は前記塗布面に隣在配置されて接着剤を掃引する面であって、
前記転着面は親液性を有し、
前記捕捉面は前記除去ヘッドが掃引時に進行する方向の後方側に位置していること、を特徴とする接着剤パターン形成装置。
【請求項７】
請求項６に記載の接着剤パターン形成装置であって、
前記転着面と前記捕捉面とが交差する箇所に液滞留部を有し、
前記転着面と前記捕捉面とが交差する角度は、１２０度以上であること、を特徴とする接着剤パターン形成装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載の接着剤パターン形成装置であって、
前記捕捉面に沿って配置される回収部を備え、
前記回収部の回収面と前記捕捉面とが狭間を形成し、前記狭間が前記液滞留部に留まる接着剤を逐次回収すること、を特徴とする接着剤パターン形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤パターン形成方法および接着剤パターン形成装置並びに接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着剤パターンを形成する方法として凹版印刷法を用いて、印刷版となる基材に接着剤パターンをなす凹領域を形成して接着剤を塗布し、凹領域を除いた領域の接着剤を除去することで、凹領域の接着剤からなる接着剤パターンを形成（印刷）する方法が知られている。
【０００３】
特許文献１では、凹凸形状を表面に有する被接着部材に接着剤パターンを形成する方法において、凹凸形状を表面に有する基材に接着剤を塗布し、凸部に塗布された接着剤を仮転写工程によって除去する。次に、被接着部材の凸部と、基材の凹部とを相対させつつ押し当てることで、基材の凹部に保持されている接着剤を被接着部材の凸部へ転写していた。これによって、被接着部材の凹部に接着剤が塗布されることを抑制することが可能であると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２６８８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の接着剤パターン形成方法では、基材（印刷版）の不要な部分にも接着剤が付着してしまい、頻繁に洗浄などのメンテナンスが必要になってしまうという課題があった。
詳しくは、基材の表面における凹凸形状は、基材からエッチング加工などによって彫り出して形成された同一素材面であるため、繰り返しの使用によって、接着剤が凸部にも回り込んでしまうからである。さらに、この状態で転写を行うと、被接着部材における本来の接着剤パターン形成領域から、接着剤がはみ出してしまうという課題もあった。
つまり、従来の接着剤パターン形成方法では、十分な生産効率を得ることが困難であるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
（適用例１）本適用例に係る接着剤パターン形成方法は、基材の表面に複数の撥液性領域と複数の親液性領域とを形成する表面処理工程と、複数の撥液性領域と複数の親液性領域とを連続して被覆する接着剤を塗布する塗布工程と、接着剤が塗布された塗布面に除去ヘッドを設置し、除去ヘッドを接着剤の塗布面に沿って移動させながら接着剤を掃引することによって、接着剤の一部を拭う払拭工程とを含み、払拭工程において、複数の撥液性領域から接着剤が除かれ、複数の親液性領域に接着剤が偏在することを特徴とする。
【０００８】
このような接着剤パターン形成方法によれば、基材の表面に撥液性領域と、親液性領域とが形成され、接着剤を塗布することで、基材の表面を接着剤で覆い、除去ヘッドを接着剤が塗布された塗布面に沿って移動させながら接着剤を掃引（除去）することによって、撥液性領域を被覆していた接着剤を拭い取ることができる。また、撥液性領域は、塗布された接着剤を撥液する性質を有するため、接着剤パターンとなる親液性領域に偏在する接着剤が撥液性領域に流出する（はみ出す）ことを抑制することができる。さらに、接着剤パターンとなる親液性領域から接着剤が流出することが抑制されるため、基材の洗浄などのメンテナンスの頻度を低減することができ、生産効率を高めることができる。従って、本来の接着剤パターンが形成される領域から接着剤を流出させることなく、基材のメンテナンス頻度を低減した生産効率の高い接着剤パターン形成方法を実現することができる。
【０００９】
（適用例２）本適用例に係る接着方法は、上述した接着剤パターン形成方法によって形成された接着剤パターンを用いた接着方法であって、接着剤パターンが形成された基材を被接着部材に押し当てて、接着剤パターンを被接着部材に転写する転写工程と、接着剤パターンが転写された被接着部材の面と、第１の接合部材とを圧接して接合する接合工程とを含むことを特徴とする。
【００１０】
このような接着方法によれば、接着剤パターンが形成された基材の表面に、被接着部材の面を押し当てて接着剤パターンを転写し、接着剤パターンが転写された被接着部材と、第１の接合部材とを押し当てることで、かかる２つの部材を圧接して接合することができる。
【００１１】
（適用例３）上記適用例に係る接着方法において、基材に柔軟性を有する材料であって、被接着部材の面に沿うように屈曲させて押し当てしながら接着剤パターンを転写することが好ましい。
【００１２】
このような接着方法によれば、柔軟性を有する材料で基材が構成されることで、接着剤パターンを成す接着剤が転写される面に曲面が含まれている場合でも、基材を屈曲させて被接着部材の面に押し当てることができる。従って、転写される面に曲面が含まれる場合でも、基材に形成された接着剤パターンを成す接着剤を被接着部材の面に転写することができる。
【００１３】
（適用例４）上記適用例に係る接着方法において、被接着部材に接着剤パターンが転写された面とは反対の面、または第１の接合部材に被接着部材が接合された面とは反対の面に、接着剤パターン形成方法で別途形成した接着剤パターンを転写し、第２の接合部材を接合することが好ましい。
【００１４】
このような接着方法によれば、被接着部材に接着剤パターンを成す接着剤が転写された面とは反対の面、または第１の接合部材に被接着部材が接合された面と反対の面に、接着剤パターンを成す接着剤を転写することで、第２の接合部材と連接して接合することができる。
【００１５】
（適用例５）本適用例に係る接着剤パターン形成装置は、基材ステージと除去ヘッドとを備え、基材ステージは接着剤が塗布された塗布面を有する基材を保持し、除去ヘッドは塗布面に沿って移動しながら、塗布面の一部の領域から接着剤を掃引することを特徴とする。
【００１６】
このような接着剤パターン形成装置によれば、基材ステージと、除去ヘッドとを備え、塗布面に塗布された接着剤に沿って除去ヘッドを移動させることで、撥液性領域に塗布されている接着剤を除去ヘッドによって掃引することができる。
【００１７】
従って、接着剤パターンを成す親液性領域に接着剤を偏在させ、接着剤パターンを形成することができる接着剤パターン形成装置を実現することができる。
【００１８】
（適用例６）上記適用例に係る接着剤パターン形成装置において、上述した接着剤パターン形成装置の除去ヘッドにおいて、転着面と捕捉面とを有し、転着面は塗布面に隣在配置されて接着剤を掃引する面であって、転着面は親液性を有し、捕捉面は除去ヘッドが掃引時に進行する方向の後方側に位置していることが好ましい。
【００１９】
このような接着剤パターン形成装置によれば、除去ヘッドは、塗布面に隣在配置され、親液性を有する転着面を備えることで、撥液性領域に塗布された接着剤を掃引することができる。また、除去ヘッドにおける進行方向の後方側に捕捉面を備えていることで、塗布面から掃引した接着剤を捕捉し、基材表面の撥液性領域に接着剤が再付着をすることを抑制することができる。
【００２０】
（適用例７）上記適用例に係る接着剤パターン形成装置において、転着面と捕捉面とが交差する箇所に液滞留部を有し、転着面と捕捉面とが交差する角度は、１２０度以上であることが好ましい。
【００２１】
このような接着剤パターン形成装置によれば、転着面と、捕捉面とが交差する箇所に液滞留部を有することで、転着面によって掃引された接着剤を溜めることができる。また、１２０度以上の角度を成して交差することで、掃引した接着剤をより多く液滞留部に溜めることができる。
【００２２】
（適用例８）上記適用例に係る接着剤パターン形成装置において、捕捉面に沿って配置される回収部を備え、回収部の回収面と捕捉面とが狭間を形成し、前記狭間が液滞留部に留まる接着剤を逐次回収することが好ましい。
【００２３】
このような接着剤パターン形成装置によれば、液滞留部に溜められた接着剤は、かかる回収面と捕捉面との狭間よって逐次回収され、連続して接着剤パターン形成装置を動作させて接着剤パターンの形成を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態に係る接着剤パターン形成方法の表面処理工程を示す模式図。
【図２】第１実施形態に係る接着剤パターン形成方法の塗布工程と、払拭工程と、接着剤パターン形成装置を示す模式図。
【図３】第１実施形態に係る接着方法の転写工程を示す模式図。
【図４】第１実施形態に係る接着方法の接合工程を示す模式図。
【図５】第２実施形態に係る接着方法の転写工程と、接合工程とを示す模式図。
【図６】第３実施形態に係る接着方法の転写工程と、接合工程とを示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、実施形態を図面に基づいて説明をする。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載をしている。
【００２６】
本発明は、図１（ａ）に示すように、接着剤パターンを成す接着剤が塗布される基材１０に複数の親液性領域１２と、かかる親液性領域１２と排他的に形成される複数の撥液性領域１３を形成し、図２（ｇ）に示すように、基材１０に接着剤２０が塗布される。また、図２（ｈ）に示す接着剤パターン形成装置１によって、撥液性領域１３に塗布された接着剤２０を拭い去り、親液性領域１２に接着剤２０を偏在させることで、親液性領域１２の形状からなる接着剤パターンを形成するものである。なお、形成される親液性領域１２の形状は、円形状を図示しているが、円形状に限ることなく多角形状でも良い。
【００２７】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態の接着剤パターンが形成された基材１０と、接着剤パターン形成方法の表面処理工程とを示す模式図である。また、図２は、基材１０に接着剤２０が塗布される塗布工程と、塗布された接着剤２０を払拭する払拭工程と、接着剤パターン形成装置１とを示す模式図である。図３は、本実施形態の接着方法における塗布された接着剤２０を被接着部材４０へ転写する転写工程を示す模式図である。また、図４は、接着剤２０が転写された被接着部材４０と、接合される接合部材５０とが接合される接着工程を示す模式図である。
図１から図４を用いて、接着剤パターン形成方法の工程と、接着剤パターン形成装置１と、接着方法の工程とについて説明する。
【００２８】
本実施形態の接着剤パターン形成方法は、接着剤パターンをなす接着剤２０が塗布される基材１０の表面処理を行う表面処理工程と、表面処理された基材１０に接着剤２０を塗布する塗布工程と、基材１０に塗布された接着剤２０の一部を払拭する払拭工程とを含む。また、本実施形態の接着方法は、接着剤２０の一部が払拭された後に偏在する接着剤パターンを成す接着剤２０を被接着部材４０に転写をする転写工程と、接着剤２０が転写された被接着部材４０と、接合部材５０とを圧接する接合工程とを含む。
【００２９】
（塗布面の形成）
図１（ｂ）は、接着剤２０が塗布される塗布面１１を有する基材１０を示す模式図である。かかる基材１０は従来の印刷版に相当する物であって、本実施形態では基材表面１０ａが塗布される接着剤２０対して親液性質を有する基材１０を用いている。本実施形態では、ガラス製の基材を基材１０として用いている。
【００３０】
図１（ｃ）〜図３（ｍ）までに示す基材１０は、図１（ａ）に示した線分Ａ−Ａの断面を拡大した断面図である。
図１（ｃ）および（ｅ）は、表面処理工程によって、基材表面１０ａに親液性領域１２と、かかる親液性領域１２と排他的に撥液性領域１３とが形成される工程を示す模式図である。
【００３１】
表面処理工程では、図１（ｃ）に示す様に、基材表面１０ａの略全面に蒸着法によって厚さ１μｍ程度のアルミニウム膜３０を形成する。次に、形成されたアルミニウム膜３０上にフォトリソ法によって、レジストパターン３１を形成する。かかるレジストパターン３１は、予め形成された接着剤パターンが転写されたマスク版（不図示）を用いて撥液性領域１３となる領域を露光し、アルミニウム膜３０を露出させる。
【００３２】
次に、撥液性領域１３となる領域に露出しているアルミニウム膜３０をウエットエッチング法によって除去する。次に、親液性領域１２となる領域に形成されているレジストパターン３１を剥離液に浸漬させ剥離することで、図１（ｄ）に示す親液性領域１２にアルミニウム膜３０が残存した状態の基材１０となる。
【００３３】
次に、基材１０へ撥液性領域１３を構成するシランカップリング剤（以下、「ＳＣＡ」と称す。）膜３２を形成する。ＳＣＡ膜３２は、アルミニウム膜３０が形成されている親液性領域１２と、基材表面１０ａが露出している撥液性領域１３との両方の領域にディップ法を用いて形成する。図１（ｅ）は、基材１０の親液性領域１２となる領域にアルミニウム膜３０が残存し、これから説明するＳＣＡ膜３２が形成された状態を示すものである。
【００３４】
かかる基材１０へのＳＣＡ膜３２の形成は、基材表面１０ａに紫外線（ＵＶ）を照射し、ダングリングボンドを誘起し、雰囲気中の水分で−（マイナス）ＯＨ基を発生させた後に、ＳＣＡ溶液に基材１０を浸漬させ、加湿乾燥および焼成を行う。本実施形態で用いるＳＣＡ溶液は、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）を溶媒とする０．２％溶液を用いている。また、好適例における加湿乾燥は、温度８０℃、湿度７５％ＲＨの雰囲気中に２時間、基材１０を載置する。さらに、好適例における焼成は、２２０℃の雰囲気中に４分間、基材１０を載置する。なお、この条件に限定されるものではなく、均一なＳＣＡ膜３２の形成が可能な条件であれば良い。
【００３５】
本実施形態では、ディップ法によってＳＣＡ膜３２を形成するが、真空蒸着法を用いてＳＣＡ膜３２を形成しても良い。真空蒸着法においてＳＣＡ膜３２を形成する方法は、基材表面１０ａに紫外線照射を行い、抵抗加熱式真空蒸発装置において真空中でＳＣＡを加熱蒸発させ基材１０にＳＣＡ膜３２を形成し、加湿乾燥と、焼成とをおこなう。
【００３６】
本実施形態のＳＣＡ膜３２は、フッ素系のシランカップリング剤（ＳＣＡ）であるフロロサーフＦＧ−５０２０（「フロロサーフ（登録商標）」は、株式会社フロロテクノロジーにおける登録商標。）を用いて、厚さ１０ｎｍ以下のＳＣＡ膜３２を形成する。なお、ＳＣＡ膜３２は１０ｎｍを超えて厚くしても良いが、撥液性能を改善させることには寄与しないことが発明者等の実験によって確認されている。
【００３７】
次に、親液性領域１２に形成されているアルミニウム膜３０と、その上に形成されているＳＣＡ膜３２を除去する。かかる除去は、ウエットエッチング法によって、希塩酸溶液に基材１０を浸漬することで、親液性領域１２に形成されているアルミニウム膜３０を溶かし、これに伴ってアルミニウム膜３０上に形成されていたＳＣＡ膜３２も溶解される。
【００３８】
図１（ｆ）は、上述の表面処理工程によって、基材表面１０ａに親液性領域１２と、かかる親液性領域１２と排他的に撥液性領域１３とが形成された状態を示す模式図である。上述の表面処理工程を行うことで、接着剤２０が塗布される塗布面１１が形成される。
【００３９】
（接着剤パターン形成方法）
図２（ｇ）は、塗布工程によって塗布面１１に、接着剤２０が塗布された状態を示す模式図である。
塗布工程は、前述した複数の親液性領域１２と、複数の撥液性領域１３とが形成された塗布面１１に接着剤２０の塗布をする工程である。塗布工程による接着剤２０の塗布は、基材表面１０ａに形成された親液性領域１２と、撥液性領域１３とを連続して接着剤２０で被覆する。塗布方法は、接着剤２０を塗布面１１の略全面に滴下し、スキージ等で薄く引き伸ばして行う。
【００４０】
本実施形態の接着剤２０は、エイブルボンド３４２−３７（「エイブルボンド（登録商標）」は、ヘンケルジャパン株式会社の登録商標。）を用いて、１．５〜７μｍの塗布厚さで塗布する。なお、塗布工程での接着剤２０の塗布厚さの偏差があっても、後述する接合工程において接合された後の接着剤２０の層厚は略均一になることが発明者等の実験によって確認された。これは、接着剤２０の物性や接着剤パターンを成す親液性領域１２の形状と、寸法と、密度とによって接着剤２０の層厚が制御されるからである。
【００４１】
（払拭工程および接着剤パターン形成装置）
図２に示す本実施形態の接着剤パターン形成装置１は、基材１０の塗布面１１に塗布された接着剤２０のうち、撥液性領域１３に塗布された接着剤２０を拭い去る装置である。また、払拭工程は、かかる接着剤パターン形成装置１を用いて接着剤２０を拭い取る工程である。以下に接着剤パターン形成装置１と、払拭工程とについて図２を用いて説明する。
【００４２】
図２に示す接着剤パターン形成装置１は、塗布面１１に塗布された接着剤２０を拭う除去ヘッド１００と、かかる接着剤２０が塗布された基材１０が保持される基材ステージ２００とを備える。また、基材ステージ２００に保持された基材１０の塗布面１１に対向して除去ヘッド１００が配置される。
【００４３】
除去ヘッド１００は、転着体１１０と、回収部１２０とを備える。転着体１１０は、断面形状が台形状を成す四角柱で構成され、かかる転着体１１０の一面として親液性を有する転着面１１１を備え、転着面１１１に交差して親液性を有する捕捉面１１２が備えられている。また、転着面１１１と捕捉面１１２とが交差する箇所は、１２０度の角度をなしている。さらに、転着面１１１と捕捉面１１２とが交差する箇所には、液滞留部１１３が備えられている。
【００４４】
除去ヘッド１００は、捕捉面１１２に沿って狭間を保ち配置される回収面１２１を有する回収部１２０が備えられている。なお、除去ヘッド１００は、接着剤２０が塗布され塗布面１１と隣在配置される。
【００４５】
次に払拭工程を説明しつつ、前述の接着剤パターン形成装置１の動作について説明をする。
【００４６】
図２（ｈ）に示す払拭工程は、転着体１１０に備えられた転着面１１１を、塗布面１１に塗布された接着剤２０に沿って一定方向、例えば、図示する矢印の方向に除去ヘッド１００を移動させながら転着面１１１によって接着剤２０を掃引する。
【００４７】
図２（ｉ）は、払拭工程によって、塗布面１１に塗布された接着剤２０が掃引された状態を示す模式図である。
【００４８】
払拭工程の準備として、接着剤２０が塗布された基材１０が塗布面１１を除去ヘッド１００に対向させて基材ステージ２００に保持される。次に払拭工程は、除去ヘッド１００を塗布面１１の接着剤２０に沿って、基材１０の一方の端部から反対の端部に向けて一定方向に移動させる。除去ヘッド１００の移動速度は、毎分５〜１０ｃｍと設定する。なお、除去ヘッド１００の移動速度は、遅い方が撥液性領域１３に塗布されている接着剤２０の拭い漏れや、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０が撥液性領域１３に再付着することを抑制できることが発明者等の実験によって確認された。
【００４９】
撥液性領域１３上の接着剤２０は、除去ヘッド１００が接着剤２０に沿って移動した時に、転着面１１１によって拭われ、掃引される。また、転着面１１１によって掃引された接着剤２０は、除去ヘッド１００の掃引時における進行方向の後方に備えられた捕捉面１１２に到達した際に転着面１１１から開放され、液滞留部１１３に溜められる。さらに、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０は、捕捉面１１２と，かかる捕捉面１１２と対向する回収面１２１との狭間による毛管作用を利用して、逐次、液滞留部１１３から回収容器（不図示）に回収される。
【００５０】
上述の転着面１１１と、捕捉面１１２とが接する（交差）する角度は、１２０度以上の角度を成して接することで、除去ヘッド１００を一定方向に移動させた場合、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０を捕捉面１１２の親液性を利用して回収部１２０によって回収することができることが発明者らの実験で確認された。詳しくは、かかる角度を９０度とした場合、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０を十分に回収することができなく、かかる角度を１２０度、１３５度、１５０度とした場合、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０を十分に回収することができることが確認された。
【００５１】
従って、本実施形態の接着剤パターン形成装置１は、転着体１１０に備わる転着面１１１と、捕捉面１１２とが接する角度を１２０度以上として構成されている。
【００５２】
（接着方法）
図３は、本実施形態の接着方法に係る転写工程を示す模式図である。図３を用いて本実施形態の接着方法にかかる転写工程について説明する。
【００５３】
転写工程において接着剤２０が転写される被接着部材４０は、接着パターンを成す接着剤２０が転写される面であって、後述する接合工程によって接合部材５０と接合される面となる接着面４０ａを備える。接着面４０ａは、転写工程によって接着剤２０が転写されることから、接着剤２０に対する親液性質を備えている。
【００５４】
図３（ｊ）は、前述の払拭工程で撥液性領域１３に塗布されていた接着剤２０が除去ヘッド１００によって拭い去られた状態を示す模式図である。転写工程は、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在する接着剤２０を被接着部材４０の接着面４０ａに転写する。
【００５５】
図３（ｋ）は、接着剤２０が塗布されている基材１０の塗布面１１と、接着剤２０が転写される被接着部材４０の接着面４０ａとの配置を示す模式図である。図３（ｋ）に示す様に、接着面４０ａへの接着剤２０の転写は、塗布面１１に相対させて、被接着部材４０の接着面４０ａを配置する。
【００５６】
図３（ｌ）は、前述の基材１０と、被接着部材４０とを互いに押し当てて、接着剤２０を転写している状態を示す模式図である。図３（ｌ）に示す様に、塗布面１１と、接着面４０ａとを互いに押し当てる（当接する）ことによって、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在する接着剤２０が接着面４０ａに転写される。
【００５７】
図３（ｍ）は、前述の被接着部材４０の接着面４０ａに、基材表面１０ａの接着剤２０が転写された状態を示す模式図である。図３（ｍ）に示す様に、基材１０の塗布面１１と、被接着部材４０の接着面４０ａとが互いに押し当てられ、それぞれの面を引き離すことによって、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在する接着剤２０が接着面４０ａに転写され、接着剤パターンが形成される。
【００５８】
図４は、接着剤２０が転写された被接着部材４０と、接合部材５０とを接合する接合工程を示す模式図である。図４を用いて本実施形態の接着方法にかかる接合工程について説明する。
【００５９】
図４（ｎ）は、被接着部材４０と、接合部材５０との配置を示す模式図である。図４（ｎ）に示す様に、被接着部材４０と、接合部材５０との接合は、接着剤２０が転写された接着面４０ａに相対させて、接合部材５０の接合面５０ａを配置する。
【００６０】
図４（ｏ）は、被接着部材４０と、接合部材５０とが接合された状態を示す模式図である。図４（ｏ）に示す様に、被接着部材４０の接着面４０ａと、接合部材５０の接合面５０ａとが相対して配置され、互いに押し当てられることで接着面４０ａに転写された接着剤パターンを成す接着剤２０が押し伸ばされ、被接着部材４０と、接合部材５０とが接合される。なお、互いに押し当てる力は、接合後の接着剤２０の層厚が１〜３μｍとなる力をもって押し当てられる。本接合工程をもって、接着剤パターン形成装置１を用いた一連の接着剤パターン形成方法、および接着方法の各工程が終了する。
【００６１】
上述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
このような接着剤パターン形成方法によれば、親液性領域１２と、撥液性領域１３とが形成された基材表面１０ａ（塗布面１１）に接着剤２０を塗布し、接着剤２０で覆われた塗布面１１に沿って除去ヘッド１００を移動させながら接着剤２０を掃引することによって、撥液性領域１３を覆っていた接着剤２０を拭い取ることができる。また、塗布面１１は、撥液性領域１３に塗布された接着剤２０を撥液する性質を有するため、接着剤パターンとなる親液性領域１２に偏在する接着剤２０が撥液性領域１３に流出する（はみ出す）ことを抑制することができる。
【００６２】
さらに、接着剤パターンとなる親液性領域１２から接着剤２０が流出することが抑制されるため、基材の洗浄などのメンテナンスの頻度を低減することができ、生産効率を高めることができる。従って、本来の接着剤パターンが形成される領域から接着剤２０を流出させることなく、基材のメンテナンス頻度を低減した生産効率の高い接着剤パターン形成方法と、これを実行する接着剤パターン形成装置１と、かかる形成方法および形成装置を用いる接着方法を実現することができる。
【００６３】
このような接着剤パターン形成装置１によれば、基材ステージ２００と除去ヘッド１００とを備え、除去ヘッド１００は、塗布面１１に対向して隣在配置される親液性を有する転着面１１１を備え、塗布面１１に沿って除去ヘッド１００を移動させることで、塗布されている接着剤２０を掃引することができる。また、除去ヘッド１００の進行方向の後方側に捕捉面１１２を備え、転着面１１１と、捕捉面１１２とが交差する箇所に液滞留部１１３を備えることで、掃引した接着剤２０を溜めることができる。さらに、転着面１１１と、捕捉面１１２との交差は、１２０度以上の角度を成して交差することで、より多くの接着剤２０を液滞留部１１３に溜めることができる。
【００６４】
従って、除去ヘッド１００が塗布面１１に沿って移動することによって、撥液性領域１３を覆う様に塗布された接着剤２０を拭い去り、親液性領域１２に接着剤パターンを成す接着剤２０を偏在させることができる。
【００６５】
このような接着剤パターン形成装置１によれば、転着体１１０に設けられた捕捉面１１２に対向して一定の狭間をもって配置される回収面１２１を有する回収部１２０を備える。回収部１２０を備えることで、液滞留部１１３に溜められた接着剤２０は、かかる回収面１２１と、捕捉面１１２との狭間よって逐次回収され、連続して接着剤パターン形成装置１を動作させて接着剤パターンの形成を行うことができる。
【００６６】
従って、撥液性領域１３上の接着剤２０が残留することを抑制し、接着剤パターンを成す親液性領域１２に接着剤２０を偏在させることができ、かつ連続して接着剤パターンの形成ができる生産性の高い接着剤パターン形成装置１が実現できる。
【００６７】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態に係る接着方法の転写工程と、接合工程とを示す模式図である。図５を用いて本実施形態の接着方法について説明する。本実施形態は、被接着部材４０、および接合部材５０が曲面を含んでいる点、また、かかる曲面に接着剤２０を転写するため基材１０が柔軟性を有している点で第１実施形態と異なっている。その他は、第１実施形態と同様であるため、同様の構成および工程は同様の符号を付して説明は簡略または省略する。
【００６８】
本実施形態の接着方法は、第１実施形態と同様に、接着方法の各工程に先立ち、基材１０の表面処理を行う表面処理工程と、表面処理された基材１０に接着剤２０の塗布をする塗布工程と、基材１０に塗布された接着剤２０の一部を払拭する払拭工程とをおこなう。
【００６９】
本実施形態の接着剤パターン形成方法は、柔軟性を有する基材１０が平面を備える基材ステージ２００に保持され、第１実施形態で述べた表面処理工程と、塗布工程とが行われる。各工程の内容は第１実施形態と同様であるため説明は省略し、以下、本実施形態の接着方法を転写工程から工程順に説明をする。
【００７０】
図５（ａ）〜図５（ｃ）は、本実施形態の接着方法の転写工程を示す模式図である。本実施形態の転写工程は、前述の払拭工程によって親液性領域１２に偏在させた接着剤２０を、曲面を含む被接着部材４０の接着面４０ａに転写をさせる工程である。
【００７１】
図５（ａ）は、接着剤パターンを成す接着剤２０が塗布されている基材１０の塗布面１１と、かかる接着剤２０が転写される被接着部材４０の配置を示す模式図である。図５（ａ）に示す様に、接着面４０ａへの接着剤２０の転写は、接着剤２０が塗布された塗布面１１に相対させて、被接着部材４０の接着面４０ａを配置させておこなう。
【００７２】
図５（ｂ）は、柔軟性を有する基材１０と、曲面を含む被接着部材４０とを互いに押し当てて、接着剤２０を転写している状態を示す模式図である。図５（ｂ）に示す様に、被接着部材４０と、接着面４０ａの曲がりに沿って基材１０とを屈曲させ、互いに押し当てることで、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在している接着剤２０が接着面４０ａに転写される。
【００７３】
図５（ｃ）は、前述の曲面を含む接着面４０ａに、基材１０の親液性領域１２に偏在されていた接着剤２０が転写された状態を示す模式図である。図５（ｃ）に示す様に、基材１０の塗布面１１と、被接着部材４０の接着面４０ａとを互いに押し当てられたあと、それぞれの面を引き離すことによって、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在されていた接着剤２０は、接着面４０ａに転写され、接着剤パターンが形成される。
【００７４】
図５（ｄ）および図５（ｅ）は、前述の接着剤パターンを成す接着剤２０が転写された被接着部材４０と、かかる被接着部材４０と、接合される接合部材５０とが接合される接合工程を示す模式図である。第１実施形態と同様に、被接着部材４０と接合される接合部材５０は、接合面５０ａを備える。
【００７５】
図５（ｄ）は、接着剤２０が接着面４０ａに転写された被接着部材４０と、かかる接着面４０ａと接合される接合面５０ａを備える接合部材５０との配置を示す模式図である。第１実施形態と同様、かつ図５（ｄ）に示す様に、被接着部材４０と、接合部材５０との接合は、接着剤２０が転写された接着面４０ａに相対して、接合部材５０の接合面５０ａを配置する。
【００７６】
図５（ｅ）は、被接着部材４０と、接合部材５０とが互いに押し当てられている状態を示す模式図である。図５（ｅ）に示す様に、被接着部材４０の接着面４０ａと、接合部材５０の接合面５０ａとが相対して配置され、互いに押し当てられることで、被接着部材４０に転写された接着剤２０が押し伸ばされ、接合部材５０と接合される。本接合工程をもって、本実施形態の接着方法の各工程が終了する。
【００７７】
上述した第２実施形態によれば、以下の効果が得られる。
このような接着方法は、柔軟性を有する材料で基材１０が構成されていることで、被接着部材４０の接着面４０ａが曲面を有する場合において、接着剤パターンを成す接着剤２０が塗布されている塗布面１１を有する基材１０を屈曲させることで、接着面４０ａに沿って押し当てることができる。従って、接着剤パターンを成す接着剤２０が転写される面に曲面が含まれている場合でも、基材１０の塗布面１１に塗布された接着剤２０を被接着部材４０の曲面を含む接着面４０ａに転写をすることができる。
【００７８】
（第３実施形態）
図６は、第３実施形態に係る接着方法の転写工程と、接合工程とを示す模式図である。図６を参照して本実施形態の接着方法について説明する。
【００７９】
本実施形態の接着方法は、第１実施形態の接着剤パターン形成方法、ならびに接着方法によって、被接着部材４０と、接合部材５０とが接合され、さらに本実施形態で、被接着部材４０の接着面４０ｂに接着剤パターンをなす接着剤２０を転写し、第２の接合部材５１と接合をする点が上述した実施形態と異なっている。その他、第１実施形態と同様であるため、同様の構成および工程は同様の符号を付して説明は簡略または省略する。
【００８０】
本実施形態の接着方法は、第１実施形態および第２実施形態の接着方法と同様に、接着方法の各工程に先立ち、表面処理工程と、塗布工程と、払拭工程とを行い、基材表面１０ａの親液性領域１２に接着剤パターンをなす接着剤２０を偏在させる。
【００８１】
図６（ａ）および図６（ｂ）は、本実施形態の接着方法の転写工程を示す模式図である。本実施形態の転写工程は、接合部材５０と接合された被接着部材４０の接着面４０ｂに、接着剤パターンをなす接着剤２０を転写する。
【００８２】
図６（ａ）は、既に接合された被接着部材４０および接合部材５０と、接着剤２０がなす接着剤パターンが形成されている基材１０の配置を示す模式図である。図６（ａ）に示す様に被接着部材４０は、接着剤２０が塗布された基材１０の塗布面１１に相対させて、既に接合部材５０と接合された接着面４０ａとは反対の面となる接着面４０ｂを配置させておこなう。
【００８３】
図６（ｂ）は、前述の被接着部材４０の接着面４０ｂに、基材１０の親液性領域１２に偏在されていた接着剤２０を転写させている状態を示す模式図である。図６（ｂ）に示す様に、基材１０の塗布面１１と、被接着部材４０の接着面４０ｂとが互いに押し当てられ、接着剤２０が接着面４０ｂに転写される。図示は省略するが、互いに押し当てられた接着面４０ｂと、塗布面１１とを引き離すことによって、基材表面１０ａの親液性領域１２に偏在されていた接着剤２０が、接着面４０ｂに転写され接着剤パターンが形成される。
【００８４】
図６（ｃ）は、接着剤パターンをなす接着剤２０が接着面４０ｂに転写された被接着部材４０と、かかる接着面４０ｂと接合される接合面５０ａを備える第２の接合部材５１との配置を示す模式図である。図６（ｃ）に示す様に、被接着部材４０と、第２の接合部材５１との接合は、接着剤２０が転写された接着面４０ｂに相対して、第２の接合部材５１の接合面５１ａを配置させておこなう。
【００８５】
図６（ｄ）は、被接着部材４０と、第２の接合部材５１とが互いに押し当てられている状態を示す模式図である。図６（ｄ）に示す様に、被接着部材４０の接着面４０ｂと、第２の接合部材５１の接合面５１ａとが相対して配置され、互いに押し当てられることで被接着部材４０に転写された接着剤２０が押し伸ばされ、第２の接合部材５１と接合される。本接合工程をもって、本実施形態の接着方法の各工程が終了する。
【００８６】
本実施形態において、被接着部材４０の接着面４０ｂと、第２の接合部材５１を接合する場合を説明したが、既に被接着部材４０と接合されている第１の接合部材５０の接合面５０ａと反対の面となる接合面５０ｂに接着剤パターンを成す接着剤２０を転写し、新たな被接着部材４０もしくは接合部材５０（第２の接合部材５１）と接合しても良い。
【００８７】
上述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
このような接着方法は、被接着部材４０に接着剤パターンを成す接着剤２０が転写された接着面４０ａとは反対の面となる接着面４０ｂ、または第１の接合部材５０に被接着部材４０が接合された接合面５０ａとは反対の面となる接合面５０ｂに、接着剤パターンを成す接着剤２０を転写する。接着剤２０を転写することで、第２の接合部材５０、もしくは第２の被接着部材４０と連接して接合をすることができる。従って、複数の被接着部材４０、または接合部材５０を積層して接合することができる。
【００８８】
なお、上述した実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更や改良等を加えて実施する事が可能である。変形例を以下に述べる。
【００８９】
（変形例１）第１実施形態の接着剤パターン形成装置１は、塗布面１１に塗布された接着剤２０を払拭する除去ヘッド１００を備えている。しかし、これに限定せず除去ヘッドの１００の移動する進行方向の後方側に、さらに、除去ヘッド１００を設けても良い。除去ヘッド１００をさらに設けることで、撥液性領域１３上に塗布された接着剤２０をさらに拭い取り、接着剤パターンを成す接着剤２０以外を被接着部材４０へ転写されることを抑制することができる。
【符号の説明】
【００９０】
１…接着剤パターン形成装置、１０…基材、１０ａ…基材表面、１１…塗布面、１２…親液性領域、１３…撥液性領域、２０…接着剤、３０…アルミニウム膜、３１…レジストパターン、３２…ＳＣＡ膜、４０…被接着部材、４０ａ…接着面、４０ｂ…接着面、５０…接合部材、５０ａ…接合面、５０ｂ…接合面、５１…第２の接合部材、５１ａ…接合面、１００…除去ヘッド、１１０…転着体、１１１…転着面、１１２…捕捉面、１１３…液滞留部、１２０…回収部、１２１…回収面、２００…基材ステージ。
【図１】
2013035914.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2013035914.tif 000007
【図６】
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