(57)【要約】【課題】本発明は、高精度の抵抗値が得られるチップ抵抗器のトリミング方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明のチップ抵抗器のトリミング方法は、絶縁基板１１の上面の両端部に形成された一対の上面電極１２と電気的に接続される抵抗体１３を形成する工程と、一対の上面電極１２それぞれの上面に電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６を接触させることによって抵抗体１３の抵抗値を測定しながら、抵抗体１３の一側面１３ａから中心方向に向かってレーザによって抵抗体１３を切削してトリミング溝１４を形成する工程とを備え、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより抵抗体１３側に位置させるとともに、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより抵抗体１３の他の側面１３ｂ側に位置させるようにしたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板の上面の両端部に一対の上面電極を形成する工程と、この一対の上面電極と電気的に接続される抵抗体を形成する工程と、前記一対の上面電極それぞれの上面に電圧測定用プローブ、電流通電用プローブを接触させることによって前記抵抗体の抵抗値を測定しながら、前記抵抗体の一側面から中心方向に向かってレーザによって前記抵抗体を切削してトリミング溝を形成する工程とを備え、前記電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より前記抵抗体側に位置させるとともに、前記電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より前記抵抗体の他の側面側に位置させるようにしたチップ抵抗器のトリミング方法。
【請求項２】
すべての電圧測定用プローブおよび電流通電用プローブを、斜め上方から同時に同じ方向に押し付けるようにした請求項１記載のチップ抵抗器のトリミング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に使用されるチップ抵抗器のトリミング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のチップ抵抗器のトリミング方法は、図３において、絶縁基板１の上面の両端部に一対の上面電極２を形成した後、この一対の上面電極２と電気的に接続される抵抗体３を形成し、その後、抵抗体３の抵抗値を測定しながら抵抗体３の一側面３ａから抵抗体３の中心方向に向かってレーザで抵抗体３を切削してトリミング溝４を形成するようにしていた。そして、抵抗体３の抵抗値測定方法は、一対の上面電極２それぞれの上面に、電圧測定用プローブ５、電流通電用プローブ６を接触させ、電流通電用プローブ６から定電流を流しながら、電圧測定用プローブ５で電圧値を測定して抵抗値を測定するようにしていた。また、電圧測定用プローブ５の上面電極２との接触点５ａを、電流通電用プローブ６の上面電極２との接触点６ａより抵抗体３側（内側）に位置させるとともに、電圧測定用プローブ５の接触点５ａと電流通電用プローブ６の接触点６ａを、横方向に並ぶように（一対の上面電極２同士が向かい合う方向と同じ方向に並ぶように）配置していた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１５０５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来のチップ抵抗器の製造方法においては、トリミング溝４を形成すると、電流は主に図３の矢印Ａの方向に流れるため、電圧測定用プローブ５の上面電極２との接触点５ａと電流通電用プローブ６の上面電極２との接触点６ａを横方向に配置していると、電圧測定用プローブ５の接触点５ａにほとんど電流は流れず、正確な電圧値が測定できなくなり、これにより、精度の良い抵抗値が得られないという課題を有していた。
【０００６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、高精度の抵抗値が得られるチップ抵抗器のトリミング方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００８】
本発明の請求項１に記載の発明は、絶縁基板の上面の両端部に一対の上面電極を形成する工程と、この一対の上面電極と電気的に接続される抵抗体を形成する工程と、前記一対の上面電極それぞれの上面に電圧測定用プローブ、電流通電用プローブを接触させることによって前記抵抗体の抵抗値を測定しながら、前記抵抗体の一側面から中心方向に向かってレーザによって前記抵抗体を切削してトリミング溝を形成する工程とを備え、前記電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より前記抵抗体側に位置させるとともに、前記電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より前記抵抗体の他の側面側に位置させるようにしたもので、この方法によれば、トリミング溝を形成したとき、電圧測定用プローブの接触点に大きな電流が流れるため、正確な電圧値が測定でき、これにより、高精度の抵抗値が得られるという作用効果が得られるものである。
【０００９】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、すべての電圧測定用プローブおよび電流通電用プローブを、斜め上方から同時に同じ方向に押し付けるようにしたもので、この方法によれば、一対の上面電極に電圧測定用プローブおよび電流通電用プローブを確実に接触させることができるため、接触抵抗を抑えることができ、これにより、より高精度の抵抗値が得られ、さらに、電圧測定用プローブ、電流通電用プローブの位置関係や各プローブ間の距離は変わらないため、測定抵抗値に影響を与えないという作用効果が得られるものである。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明のチップ抵抗器のトリミング方法は、一対の上面電極に電圧測定用プローブ、電流通電用プローブを接触させることによって抵抗体の抵抗値を測定しながら、抵抗体の一側面から中心方向に向かってレーザによって抵抗体を切削してトリミング溝を形成し、さらに、電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より抵抗体側に位置させるとともに、前記電圧測定用プローブの接触点を電流通電用プローブの接触点より前記抵抗体の他の側面側に位置させるようにしているため、トリミング溝を形成したとき、電圧測定用プローブの接触点に大きな電流が流れ、これにより、正確な電圧値が測定できるため、高精度の抵抗値が得られるという優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のチップ抵抗器のトリミング方法を説明する上面図
【図２】同チップ抵抗器のトリミングをしている状態の側面図
【図３】従来のチップ抵抗器のトリミング方法を説明する上面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器のトリミング方法について説明する。
【００１３】
図１において、まず、Ａｌ2Ｏ3を９６％含有するアルミナで方形状に構成された絶縁基板１１を用意する。
【００１４】
なお、表面に予め分割のための複数の１次分割溝と２次分割溝を有し、この１次分割溝、２次分割溝で１つのチップ抵抗器に相当する部分が区切られたシート状の絶縁基板を通常は用いるが、説明を簡単にするために、以降は１つのチップ抵抗器を用いた説明をする。
【００１５】
次に、絶縁基板１１の上面の両端部に、銀ペーストまたは銀を主成分とする銀パラジウム合金導体ペーストを印刷して焼成することにより一対の上面電極１２を形成する。
【００１６】
次に、絶縁基板１１、一対の上面電極１２の上面に、酸化ルテニウムや銅ニッケル等の抵抗材料からなる抵抗体１３を印刷またはスパッタにより形成する。なお、この抵抗体１３は一対の上面電極１２間を橋絡して一対の上面電極１２と電気的に接続されるように矩形状に構成する。
【００１７】
次に、抵抗体１３の一部をレーザで直線状に切削してトリミング溝１４を形成することによって抵抗体１３をトリミングし、チップ抵抗器が所定の抵抗値になるようにする。このとき、図１に示すように、一対の電圧測定用プローブ１５、一対の電流通電用プローブ１６を一対の上面電極１２それぞれの上面に接触させるとともに、一対の電流通電用プローブ１６から定電流を流し、一対の電圧測定用プローブ１５で電圧値を測定することによって抵抗値を測定しながら、抵抗体１３の一側面１３ａから抵抗体１３の中心方向に向かってレーザで切削してトリミング溝１４を形成する。ここで、トリミングをしている状態の一方の上面電極１２から他方の上面電極１２を見た側面図を図２に示す。
【００１８】
このとき、図１、図２に示すように、電圧測定用プローブ１５の上面電極１２との接触点１５ａを、電流通電用プローブ１６の上面電極１２との接触点１６ａより抵抗体１３側に位置させる。また、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより抵抗体１３の他の側面１３ｂ側、すなわちトリミング溝１４が形成される抵抗体１３の一側面１３ａと反対側になるようにする。なお、図１では、電圧計、電流計や、電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６は模式的に表しており、実際の大きさ、位置とは異なる。さらに、接触点１５ａ、１６ａはその位置のみを表しており、実際の大きさとは異なる。
【００１９】
さらに、電圧測定用プローブ１５および電流通電用プローブ１６は、垂直方向ではなく、図２のように、抵抗体１３の一側面１３ａ側の斜め上方から上面電極１２との各接触点１５ａ、１６ａへ伸びており、この方向から（図２の矢印Ｂの向きに）電圧測定用プローブ１５および電流通電用プローブ１６を一対の上面電極１２に押し付けるようにする。これにより、一対の上面電極１２に電圧測定用プローブ１５および電流通電用プローブ１６を確実に接触させることができるため、接触抵抗を抑えることができ、これにより、より高精度の抵抗値が得られる。なお、電圧測定用プローブ１５および電流通電用プローブ１６を、垂直方向から上面電極１２へ伸びるようにしないのは、トリミングの際のレーザがプローブに当たらないようにするためである。また、電圧測定用プローブ１５および電流通電用プローブ１６は、抵抗体１３の一側面１３ａ側の斜め上方からではなく、抵抗体１３の他の側面１３ｂ側の斜め上方から一対の上面電極１２に押し付けられるようにしてもよいし、矢印Ｂの向きではなく水平方向に力を加えてもよい。
【００２０】
なお、このとき、電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６が一対の上面電極１２上を滑って、その接触点１５ａ、１６ａが動く可能性があるが、この場合は、一方の上面電極１２、他方の上面電極１２にそれぞれ接触される電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６のすべてを根元で一体化して、同時に同じ方向に押し付けるようにすれば、各電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６の位置関係や各プローブ間の距離は変わらないため、測定抵抗値に影響はない。
【００２１】
そして、上記のようにトリミングした後、プリコートガラス、保護膜、側面電極、めっき層等を適宜形成して、本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器が製造される。
【００２２】
上記したように本発明の一実施の形態においては、一対の上面電極１２に電圧測定用プローブ１５、電流通電用プローブ１６を接触させることによって抵抗体１３の抵抗値を測定しながら、抵抗体１３の一側面１３ａから中心方向に向かってレーザによって抵抗体１３を切削してトリミング溝１４を形成し、さらに、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより抵抗体１３側に位置させるとともに、前記電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより前記抵抗体１３の他の側面１３ｂ側に位置させるようにしているため、トリミング溝１４を形成したとき、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａに大きな電流が流れ、これにより、正確な電圧値が測定できるため、高精度の抵抗値が得られるという効果が得られるものである。
【００２３】
すなわち、トリミング溝１４は、抵抗体１３の一側面１３ａから抵抗体１３の中心方向に向かって形成されるため、トリミングが進むと電流通電用プローブ１６から流れる電流は、図１の矢印Ｃのように抵抗体１３の他の側面１３ｂ側を通るようになる。したがって、電圧測定用プローブ１５の上面電極１２との接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の上面電極１２との接触点１６ａより抵抗体１３側に位置させ、かつ電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａを電流通電用プローブ１６の接触点１６ａより抵抗体１３の他の側面１３ｂ側に形成すれば、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａ上に大きな電流が流れるようになる。
【００２４】
また、トリミングの開始直後は、まだ電流は抵抗体１３の他の側面１３ｂ側を通らないため、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａ上にはあまり電流が流れないが、この時点では粗調整の段階であるため最終の抵抗値にはあまり影響はない。一方、トリミングの終了直前では、電流はトリミング溝１４の外側の抵抗体１３の他の側面１３ｂ側を通るため、電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａ上に電流が流れ、そして、この時点は抵抗値の最終調整の段階となり、このときに電圧測定用プローブ１５の接触点１５ａ上に電流が流れるようにすることで、正確な電圧値が測定できるようにし、これにより、高精度の抵抗値が得られる。
【００２５】
なお、上記本発明の一実施の形態において、トリミング溝１４の形状を直線状としたが、Ｌ字状としても、抵抗体１３の一側面１３ａから中心方向に向かって切削された部分を有するため、同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明に係るチップ抵抗器のトリミング方法は、高精度の抵抗値が得られるという効果を有するものであり、特に各種電子機器に使用されるチップ抵抗器等において有用となるものである。
【符号の説明】
【００２７】
１１  絶縁基板
１２  上面電極
１３  抵抗体
１３ａ  抵抗体の一側面
１３ｂ  抵抗体の他の側面
１４  トリミング溝
１５  電圧測定用プローブ
１５ａ  電圧測定用プローブの接触点
１６  電流通電用プローブ
１６ａ  電流通電用プローブの接触点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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