(57)【要約】【課題】表面処理用の移送装置にて被処理基板の両端部をチャックして、前記被処理基板を処理部に入れたり処理部から出したりする際、被処理基板が撓んだ状態になるのを防止する。【解決手段】基板移送装置３のフレーム２２の第１方向に離間して設けられた一対のチャック部３０，３０にて、被処理基板９の第１方向の両端部をそれぞれチャックする。このチャック状態で、張り付与手段２７によって、少なくとも一方のチャック部３０を他方のチャック部とは反対側に付勢する。そのうえでフレーム２２を処理部１に出し入れする。【選択図】図１
2013035611.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板を一時配置部から処理部へ移送し、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を処理部から一時配置部へ移送する基板移送装置において、
フレームと、
前記フレームを、前記処理部と前記一時配置部との間で移動させる移動機構と、
前記フレームの第１方向に変位可能なように前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第１方向の一端部を解放可能にチャックする第１チャック部と、
前記第１チャック部から前記第１方向に離れて前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第１方向の他端部を解放可能にチャックする第２チャック部と、
前記被処理基板をチャックした状態で、前記第１チャック部を前記第２チャック部とは反対側に付勢する張り付与手段と、
を備えたことを特徴とする表面処理における基板移送装置。
【請求項２】
前記移送のほぼ全期間中、前記張り付与手段が前記付勢を継続することを特徴とする請求項１に規制の基板移送装置。
【請求項３】
前記被処理基板をチャックした状態のとき、前記第１チャック部が前記第２チャック部から遠ざかる側に変位可能な位置を規制する規制手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記第１チャック部が前記解放の状態のときは、前記規制手段が前記規制を解除することを特徴とする請求項３に記載の基板移送装置。
【請求項５】
前記第１チャック部が、前記第１方向と直交する第２方向に対峙する第１、第２の挟持部を有し、前記第１挟持部が、前記第２挟持部との間に前記被処理基板を挟み付けるチャック位置と、前記第２挟持部から離間した解放位置との間で前記第２方向に変位可能であり、
前記規制手段が、前記フレームに対し固定された固定側規制部と、前記第１挟持部に固対し定された可動側規制部とを含み、
前記第１挟持部が前記チャック位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部と前記第２方向に重なる位置にあり、前記第２挟持部が前記解放位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部から前記第２方向にずれていることを特徴とする請求項３又は４に記載の基板移送装置。
【請求項６】
被処理基板を基板移送装置にて処理部に入れ、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を基板移送装置にて処理部から出す移送方法において、
前記基板移送装置のフレームの第１方向に離間して設けられた一対のチャック部にて前記被処理基板の前記第１方向の両端部をそれぞれチャックし、
前記チャックした状態で、前記基板移送装置の張り付与手段によって、前記一対のチャック部の少なくとも一方のチャック部を他方のチャック部とは反対側に付勢しながら、前記フレームを前記処理部に入れ、又は前記処理部から出すことを特徴とする表面処理における基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被処理基板を処理部に入れたり表面処理済みの被処理基板を処理部から出したりする移送装置及び移送方法に関し、特に、極薄等であるために保形強度が足らず自重で撓み易い被処理基板に適した移送装置及び移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、銅等の金属板や樹脂板やガラス板を処理部に入れて表面処理を行なう表面処理装置は公知である（特許文献１等参照）。表面処理後、被処理基板を処理部から取り出す。被処理基板の出し入れには、ロボット等の移送装置が用いられる。この種の移送装置は、例えば多関節ないしは多軸のアームを有し、その先端部にチャック部が設けられている。被処理基板をチャック部にて掴んで持ち上げ、アームを動かすことで、被処理基板を処理部に入れたり、処理部から出したりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１９２２６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
保形強度が充分高い被処理基板の場合は、その両端部をチャックして持ち上げても撓むことは殆どない。しかし、例えば極薄であるために保形強度が充分でない被処理基板は、両端部をチャックして持ち上げると、中央部が自重によって垂れるように撓む。その状態で移送すると、垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かったりぶつかったりして、被処理基板が損傷するおそれがある。特に、処理部内外の移送空間が狭いと上記引っ掛かり等を起こしやすく、円滑な移送の障害になる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題点を解決するために、本発明装置は、被処理基板を一時配置部から処理部へ移送し、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を処理部から一時配置部へ移送する基板移送装置において、
フレームと、
前記フレームを、前記処理部と前記一時配置部との間で移動させる移動機構と、
前記フレームの第１方向に変位可能なように前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第１方向の一端部を解放可能にチャックする第１チャック部と、
前記第１チャック部から前記第１方向に離れて前記フレームに設けられ、前記被処理基板の前記第１方向の他端部を解放可能にチャックする第２チャック部と、
前記被処理基板をチャックした状態で、前記第１チャック部を前記第２チャック部とは反対側に付勢する張り付与手段と、
を備えたことを特徴とする。
本発明装置によれば、張り付与手段の付勢によって被処理基板を第１方向に引っ張って張りを付与することができる。したがって、被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、移送時に上記垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かる等して被処理基板が損傷するのを防止できる。移送空間が狭くても上記引っ掛かりを回避でき、移送を円滑に行なうことができる。
【０００６】
前記張り付与手段による付勢は、少なくとも移送経路上の上記引っ掛かり等が起き易い箇所を通過するときに行なうことが好ましい。
より好ましくは、前記移送のほぼ全期間中、前記張り付与手段が前記付勢を継続する。これによって、移送期間中の上記引っ掛かり等による被処理基板の損傷を確実に防止できる。被処理基板を一時配置部若しくは処理部から持ち上げる際、又は被処理基板を処理部若しくは一時配置部に降ろす際は、前記付勢を停止してもよい。
【０００７】
前記基板移送装置が、前記被処理基板をチャックした状態のとき、前記第１チャック部が前記第２チャック部から遠ざかる側に変位可能な位置を規制する規制手段を、更に備えていることが好ましい。
これによって、被処理基板の引っ張り量を制限でき、被処理基板に無理な引っ張り力が働くのを回避できる。
【０００８】
前記第１チャック部が前記解放の状態のときは、前記規制手段が前記規制を解除するようにしてもよい。これによって、被処理基板をチャックしていないときは、第１チャック部の第１方向の位置を、前記規制手段に規制されることなく被処理基板の大きさ等に応じて調節できる。前記基板移送装置が、上記第１チャック部の位置調節のために、第１チャック部を第１方向にスライドさせるスライド機構を備えていることが好ましい。このスライド機構を前記張り付与手段として兼用できる。
【０００９】
前記第１チャック部が、前記第１方向と直交する第２方向に対峙する第１、第２の挟持部を有し、前記第１挟持部が、前記第２挟持部との間に前記被処理基板を挟み付けるチャック位置と、前記第２挟持部から離間した解放位置との間で前記第２方向に変位可能であることが好ましい。これによって、被処理基板の第１方向の端部を第１挟持部と第２挟持部との間に配置したうえで、第１挟持部をチャック位置に位置させることで、第１、第２挟持部によって、被処理基板を厚さ方向の両側（第２方向）から挟み付けて確実にチャックできる。第１チャック部を解放位置にすると、被処理基板を第１チャック部から解放できる。
前記規制手段が、前記フレームに対し固定された固定側規制部と、前記第１挟持部に対し固定された可動側規制部とを含み、前記第１挟持部が前記チャック位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部と前記第２方向（被処理基板の厚さ方向）に重なる位置にあり、前記第２挟持部が前記解放位置のとき、前記可動側規制部が前記固定側規制部から前記第２方向にずれていることが好ましい。これによって、前記チャック位置のときは、前記第１チャック部を前記第１方向に沿って前記第２チャック部から遠ざかる側に変位させていくと、前記可動側規制部が前記固定側規制部に突き当たることで、前記第１チャック部の変位可能位置を確実に規制できる。前記解放位置のときは、前記第１チャック部を前記第１方向に変位させても前記可動側規制部が前記固定側規制部に突き当たることがなく、前記規制を確実に解除できる。
【００１０】
前記基板移送装置が、前記の挟み付け動作のために、第１チャック部を第１方向にスライドさせるスライド機構を備えていてもよい。前記第１チャック部を前記スライド機構によって被処理基板より第１方向の外側に位置させ、かつ前記第１挟持部を解放位置に位置させたうえで、前記第１チャック部を前記スライド機構によって第１方向の内側にスライドさせて、第１、第２挟持部の間に被処理基板の端部を差し入れ、その後、第１挟持部をチャック位置に位置させることで、被処理基板の端部を第１、第２挟持部によって挟み付けてもよい。そして、挟み付け後に、前記スライド機構にて前記第１チャック部を第１方向の外側へ変位させることで、被処理基板に張りを付与してもよい。この場合、前記スライド機構を前記張り付与手段として兼用できる。
【００１１】
本発明方法は、被処理基板を基板移送装置にて処理部に入れ、又は前記処理部にて表面処理後の被処理基板を基板移送装置にて処理部から出す移送方法において、
前記基板移送装置のフレームの第１方向に離間して設けられた一対のチャック部にて前記被処理基板の前記第１方向の両端部をそれぞれチャックし、
前記チャックした状態で、前記基板移送装置の張り付与手段によって、前記一対のチャック部の少なくとも一方のチャック部を他方のチャック部とは反対側に付勢しながら、前記フレームを前記処理部に入れ、又は前記処理部から出すことを特徴とする。
前記付勢によって被処理基板を第１方向に引っ張ることができる。したがって、被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、被処理物の処理部への出し入れ時に上記垂れた部分が付近の構造物に引っ掛かる等して被処理基板が損傷するのを防止でき、出し入れ操作を円滑に行なうことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被処理基板の保形強度が低くても、被処理基板の両端部をチャックして持ち上げたときに被処理基板の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止できる。これによって、被処理基板の出し入れを円滑に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る基板移送装置を備えた表面処理装置を、上記基板移送装置のフレームを一時配置部上に配置した状態を実線で示し、上記基板移送装置にて被処理基板を処理部内に差し入れた状態を二点鎖線で示す概略平面図である。
【図２】図２は、上記基板移送装置のチャック部を一時配置部上の被処理基板の第１方向の外方に配置した状態を二点鎖線で示し、被処理基板を一時配置部から持ち上げ、かつ張りを付与した状態、及び処理部のハウジングを開いた状態を実線で示し、ハウジングを閉じた状態を三点鎖線で示す、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う上記表面処理装置の正面図である。
【図３】図３は、上記表面処理装置を、被処理基板を一時配置部から持ち上げ、かつ張りを付与した状態、及び処理部のハウジングを開いた状態を実線で示し、被処理基板を上記処理部内に差し入れた状態を二点鎖線で示し、ハウジングを閉じた状態を三点鎖線で示す、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う側面図である。
【図４】図４は、上記基板移送装置のフレームの第１方向の先端部を、被処理基板に張りを付与した状態で示す平面図である。
【図５】図５は、上記基板移送装置のフレームを、被処理基板に張りを付与した状態で示す正面図である。
【図６】図６は、上記基板移送装置のフレームの第１方向の先端部を、被処理基板に張りを付与した状態で示す側面図である。
【図７（ａ）】図７（ａ）は、上記フレームの先端部を、被処理基板の上方に配置した状態で示す平面図である。
【図７（ｂ）】図７（ｂ）は、同図（ａ）の状態における上記フレームの先端部の正面図である。
【図８】図８は、上記フレームの先端部を、そのチャック部を被処理基板の第１方向の外方に配置した状態で示す正面図である。
【図９（ａ）】図９（ａ）は、上記フレームの先端部を、第２挟持部を被処理基板の下方に差し入れた状態で示す平面図である。
【図９（ｂ）】図９（ｂ）は、同図（ａ）の状態における上記フレームの先端部の正面図である。
【図１０】図１０は、上記フレームを、一時配置部から被処理基板を持ち上げる状態で示す正面図である。
【図１１】図１１は、上記フレームを、被処理基板の第１方向の両端をチャックした状態で示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
被処理基板９は、例えば銅等の金属板であるが、これに限られず、樹脂板でもよく、ガラス板でもよい。被処理基板９の形状は、例えば四角形であるが、これに限られず、四角形以外の多角形であってもよく、円形であってもよい。被処理基板９の大きさや形状が複数種類あってもよい。この実施形態では、第１の辺９ａの長さが同じで、それと直交する第２の辺９ｂの長さが異なる複数種類の被処理基板９がある（図１では一種類の被処理基板９のみ図示）。
【００１５】
被処理基板９の厚さは、極めて薄く、各辺９ａ，９ｂの長さと比べると非常に小さい。そのため、被処理基板９は、保形強度が充分でなく、撓みやすい。例えば、被処理基板９の各辺９ａ，９ｂの長さは、４００ｍｍ〜５００ｍｍ程度であり、被処理基板９の厚さは、０．１ｍｍ以下である。
【００１６】
図１〜図３に示すように、表面処理装置Ｓは、処理部１と、搬送コンベア２と、基板移送装置３を備えている。図３において簡略化して示すように、処理部１は、ハウジング１０と、該ハウジング１０内に設けられた複数の電極１３及び基板支持部１４を有している。ハウジング１０は、上下一対のハウジング部材１１，１２を有している。これらハウジング部材１１，１２の少なくとも一方が昇降機構（図示省略）によって昇降されることで、ハウジング１０が上下に開閉される。この実施形態では、下側ハウジング部材１１が昇降可能になっている。下側ハウジング部材１２を下降させることで（図２及び図３の実線）、ハウジング１０が開く。この開状態において、上下のハウジング部材１１，１２間に、差し入れスペース１９が形成される。図３の二点鎖線に示すように、スペース１９には被処理基板９が側方から差し入れられる。ハウジング１０の複数の支柱１６，１６…のうちの少なくも１つの支柱１６Ｓは、上記差し入れ動作を許容するために他の支柱１６より短くなっている。差し入れられた被処理基板９は、下側ハウジング部材１２の上面の支持部１４に水平にセットされる。支持部１４は、被処理基板９の周縁部及び中央部を支持する「日」字形状の枠にて構成されている。支持部１４は、上側ハウジング部材１１の下面に設けてもよい。
【００１７】
追って詳述するように、上記の差し入れには移送装置３を用いる。図３に示すように、開時のハウジング１０の差し入れスペース１９の上下端部と移送装置３の差し入れ部分とのクリアランスＣは狭く、例えば、Ｃ＝１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度である。
【００１８】
図２及び図３の三点鎖線に示すように、下側ハウジング部材１２を上昇させて、上側ハウジング部材１１に当てることで、ハウジング１０が閉じられる。閉じたハウジング１０の内部には、密閉チャンバー１５が形成される。表面処理の際は、チャンバー１５内のガスを吸引排気してチャンバー１５の内圧を例えば１０Ｐａ〜１５０Ｐａ程度の真空にする。なお、チャンバー１５の内圧は、真空に限られず、大気圧又はその近傍であってもよく、大気圧より高圧であってもよい。そして、チャンバー１５内に処理ガスを導入するとともに、電極１３への電圧供給によって放電を生成し、処理ガスをプラズマ化（励起、活性化、ラジカル化、イオン化等を含む）する。この処理ガスが被処理基板９に接触することによって、被処理基板９が表面処理される。この実施形態では、上下のハウジング部材１１，１２にそれぞれ電極１４及び処理ガス導入部が設けられており、被処理基板９の両面を同時に処理できる。表面処理の内容は、特に限定が無く、エッチング、アッシング、表面改質（親水化、撥水化等）、成膜、その他の種々の表面処理を行なうことができる。表面処理の内容に応じて処理ガス成分等の処理条件を適宜選定する。表面処理後、チャンバー１５の内圧を大気圧に戻したうえで、ハウジング１０を開けて被処理基板９を取り出す。
【００１９】
図１〜図３に示すように、搬送コンベア２は、例えばコロコンベアにて構成されている。搬送コンベア２の搬送方向の一端部２ｅが処理部１の近くに配置されている。搬送コンベア２の端部２ｅの側部に移送装置３が設けられている。
【００２０】
図１に示すように、被処理基板９が、第１辺９ａを搬送コンベア２の幅方向に向け、かつ第２辺９ｂを搬送コンベア２の搬送方向に向けた状態で、搬送コンベア２上に載置される。図１及び図３に示すように、この被処理基板９が、搬送コンベア２によって端部２ｅまで搬入され、そこから移送装置３によって処理部１に移入され、上述した表面処理に付される。或いは、表面処理後の被処理基板９が、移送装置３によって処理部１から端部２ｅに移出され、搬送コンベア２によって搬出される。上記端部２ｅは、処理部１に出し入れされる被処理基板９を処理部１の近くに一時的に載置するための一時配置部を構成する。
【００２１】
図面では、それぞれ単一の搬送コンベア２及び移送装置３によって、被処理基板９の搬入及び移入、並びに移出及び搬出を行っているが、搬入用の搬送コンベアと搬出用の搬送コンベアを別々に設けてもよく、移入用の移送装置と移出用の移送装置を別々に設けてもよい。
【００２２】
移送装置３について詳述する。
図１〜図３に示すように、移送装置３は、アーム２１と、ハンドフレーム２２（フレーム）と、一対のアタッチメント２５を備えている。アーム２１は、水平に延びている。図面では簡単のためにアーム２１が単一のアーム部材にて構成されているが、アーム２１が一列に連結された複数のアーム部材によって構成されていてもよい。隣接するアーム部材どうしは、回転軸を介して角度調節可能に連結されていてもよく、スライド可能に連結されていてもよい。アーム２１の基端部には、支持シャフト２３が設けられている。支持シャフト２３は、アーム２１を回転可能かつ昇降可能に支持している。アーム２１及び支持シャフト２３が、ハンドフレーム２２を移動させる移動機構２４を構成している。
【００２３】
図１及び図３に示すように、アーム２１の先端部にハンドフレーム２２が設けられている。ハンドフレーム２２は、概略長方形（四角形）の枠状又は板状をなして水平に配置されている。図示は省略するが、ハンドフレーム２２の上面には梁や補強リブが設けられている。ハンドフレーム２２の長手方向（第１方向）の基端部（図１の実線の状態において右）がアーム２１に連結されている。図面では簡単のためにハンドフレーム２２がアーム２１に対して固定されているが、フレーム２２がアーム２１に回転可能に連結されていてもよい。ハンドフレーム２２の長手方向の寸法は、被処理基板９の第１辺９ａの長さとほぼ等しい。この実施形態では、被処理基板９の種類が異なっても、第１辺９ａの長さは互いに同じであるから、１つのハンドフレーム２２で対応できる。
【００２４】
図１に示すように、フレーム２２の長手方向（第１方向）の先端部（アーム２１とは逆側）と基端部（アーム２１側）にそれぞれアタッチメント２５が設けられている。これら両端のアタッチメント２５，２５は、互いに第１方向に反転している点を除き、同一構造になっている。更に、各アタッチメント２５は、フレーム２２の短手方向に対称になっている。図１及び図５に示すように、各アタッチメント２５は、チャック機構２６と、スライド機構兼張り付与手段２７を有している。
【００２５】
図１に示すように、各チャック機構２６は、ビーム２８と、一対のチャック部３０，３０を含む。図４に示すように、ビーム２８は、フレーム２２の短手方向に延びている。後述するように、ビーム２８は、スライド機構兼張り付与手段２７を介してフレーム２２に支持されている。図４及び図６に示すように、ビーム２８の両端部にそれぞれチャック部３０が設けられている。したがって、図１に示すように、フレーム２２には４つのチャック部３０が設けられている。４つのチャック部３０がフレーム２２の４つの隅角部の付近に配置されている。これらチャック部３０によって被処理基板９の四隅が把持される。フレーム２２の先端側（図１の実線の状態において左）の２つのチャック部３０，３０と、フレーム２２の基端側（図１の実線の状態において右）の２つのチャック部３０，３０とのうち何れか一方が、特許請求の範囲の「第１チャック部」を構成し、他方が、特許請求の範囲の「第２チャック部」を構成する。これら第１、第２のチャック部どうしは、フレーム２２の長手方向すなわち第１方向に互いに離れている。
【００２６】
各チャック部３０は次のように構成されている。
図５及び図６に示すように、チャック部３０は、第１挟持体３１と、第２挟持体３２を有している。第１挟持体３１は、チャック駆動部４０を介してビーム２８に昇降可能に支持されている。
【００２７】
図５及び図６に示すように、チャック駆動部４０は、シリンダ本体４１と昇降ロッド４２とを含むシリンダーアクチュエータにて構成されている。駆動部４０は、流体圧アクチュエータでもよく、電磁アクチュエータでもよい。図４及び図６に示すように、シリンダ本体４１が、軸線を鉛直に向けてビーム２８の端面に固定されている。シリンダ本体４１の軸線上に昇降ロッド４２が配置されている。
【００２８】
図５に示すように、第１挟持体３１は、昇降板３３と、第１挟持部３４を含む。昇降板３３は、Ｌ字の板状であり、その垂直な板部３３ｖがシリンダ本体４１の外壁に昇降可能に支持され、水平な底板部３３ｈが昇降ロッド４２の下端部に連結されている。底板部３３ｈの下面に第１挟持部３４が設けられている。第１挟持部３４は、直方体形状ないしは厚板状になっている。
【００２９】
図６に示すように、第２挟持体３２は、縦板部３５と、第２挟持部３６を一体に有している。縦板部３５は、垂直な板状になっており、その上端部がビーム２８の外側面に重ねられて固定されている。縦板部３５の下端部は、ビーム２８及びハンドフレーム２２よりも下に突出している。図５及び図６に示すように、第２挟持部３６は、縦板部３５と直交する水平な板状になっており、縦板部３５の下端部からビーム２８の延び方向（ハンドフレーム２２の短手方向）の外側へ向けて突出し、かつ縦板部３５の下端部からハンドフレーム２２の長手方向の内側（他方のアタッチメント２５側）へ向けて突出している。第２挟持部３６は、第１挟持部３４のちょうど真下に配置されている。第１挟持部３４と第２挟持部３６が、上下（第１方向と直交する第２方向）に対峙している。
【００３０】
図１０及び図１１に示すように、チャック駆動部４０の昇降ロッド４２を昇降させることによって、第１挟持体３１ひいては第１挟持部３４が、上側の解放位置と下側のチャック位置との間で昇降（第２方向に変位）される。図１０に示すように、解放位置では、第１挟持部３４が第２挟持部３６の上方に離れて位置する。解放位置における第１、第２挟持部３４，３６間の離間距離は、基板９の厚さより好ましくは充分に大きい。図５及び図１１に示すように、チャック位置では、第１挟持部３４が第２挟持部３６に近接し、これら挟持部３４，３６どうし間に被処理基板９が挟み付けられる。
【００３１】
図４に示すように、チャック部３０は、ビーム２８を介してスライド機構兼張り付与手段２７に連結されている。図４及び図５に示すように、スライド機構兼張り付与手段２７は、スライド駆動部５０と、一対のスライドガイド５３，５３を備えている。図４及び図６に示すように、スライド駆動部５０が、ビーム２８の中央部に配置され、一対のスライドガイド５３，５３がビーム２８の両端部に配置されている。スライド駆動部５０は、シリンダ本体５１とスライドロッド５２とを含むシリンダーアクチュエータにて構成されている。駆動部５０は、流体圧アクチュエータでもよく、電磁アクチュエータでもよい。シリンダ本体５１が、軸線をフレーム２２の長手方向（第１方向）に向けて、フレーム２２の上面に固定されている。シリンダ本体５１の軸線上のスライドロッド５２が、シリンダ本体５１から突出してビーム２８の中央部に連結されている。スライド駆動部５０のロッド５２を第１方向にスライドさせることで、ビーム２８ひいてはチャック機構２６全体が、第１方向に進退される。したがって、チャック部３０が第１方向に変位される。更には、フレーム２２の長手方向（第１方向）の両端の第１、第２チャック部３０，３０どうしが、第１方向に接近離間する（図２の実線及び二点鎖線参照）。スライド機構兼張り付与手段２７は、各チャック部３０が被処理基板９をチャックした状態で、対応するチャック部３０を他方のアタッチメント２２のチャック部３０とは反対側に付勢して変位させることができる。
【００３２】
図４に示すように、各スライドガイド５３は、ガイドブロック５４と、ガイドロッド５５を含む。ガイドブロック５４がフレーム２２の上面に固定されている。このガイドブロック５４に、ガイドロッド５５が軸線を第１方向に向けてスライド可能に支持されている。ガイドロッド５５にビーム２８の端部が連結されている。フレーム２２の短手方向（図４において上下）の両側のスライドガイド５３，５３によって、ビーム２８ひいてはチャック機構２６が、上記短手方向に対し平行を保ちつつ第１方向にスライド可能に支持されている。
【００３３】
図５に示すように、各チャック部３０とフレーム２２との間には規制手段６０が設けられている。規制手段６０は、可動側規制部６１と、固定側規制部６２にて構成されている。可動側規制部６１の上側部分が、昇降板３３の垂直な板部に重ねられて固定されている。可動側規制部６１の下側部分が、逆Ｌ字状に折り曲げられてシリンダ本体４１側とは反対側に突出している。固定側規制部６２は、フレーム２２の隅角部の近くの上面に固定された凸片部材にて構成され、可動側規制部６１とフレーム２２の短手方向の同じ位置に配置されている。
【００３４】
図１０及び図１１に示すように、可動側規制部６１は、第１挟持体３１と一体に昇降される。図１０に示すように、第１挟持部３４が解放位置のとき、可動側規制部６１が、固定側規制部６２より上方に離れる。すなわち、可動側規制部６１が、固定側規制部６から第２方向にずれて配置される。したがって、上記解放位置では、規制手段６０による規制が解除され、チャック部３０を、規制手段６０に規制されることなく第１方向にスライドできる（図７（ｂ）、図８、図９）。図１１に示すように、第１挟持部３４がチャック位置のとき、可動側規制部６１の下側の逆Ｌ字状の部分が、固定側規制部６２と上下方向（第２方向）に重なる位置になる。このとき、可動側規制部６１の下端部は、固定側規制部６２より第１方向の内側（フレーム２２の中央側）に位置する。したがって、チャック位置では、チャック部３０を、図１１の状態から第１方向の外方へスライドさせていくと、やがて可動側規制部６１の下端部が固定側規制部６２に突き当たることによって（図５）、チャック部３０の第１方向の外方への変位可能位置が規制される。
【００３５】
上記のように構成された移送装置３の動作を説明する。
被処理基板９を搬送コンベア２の端部２ｅから処理部１に移送する際は、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、先ず、移送装置３のハンドフレーム２２を、移動機構２４によってコンベア端部２ｅ上の被処理基板９の上方に配置する。また、チャック駆動部４０によって第１挟持部３４を解放位置にして、規制手段６０によるスライド規制を解除したうえで、スライド機構２７によって、第２挟持体３２が被処理基板９より第１方向の外側に位置するまで、チャック機構２６を第１方向の外方にスライドさせる。そして、図８に示すように、ハンドフレーム２２を下降させて被処理基板９の上面に近づける。これによって、第２挟持部３６を、被処理基板９と干渉することなく被処理基板９より下に位置させることができる。第１挟持部３６は、被処理基板９より上に位置させる。
【００３６】
次に、図９（ａ）に示すように、スライド機構２７によって、チャック機構２６をハンドフレーム２２に向けて第１方向の内側へスライドさせる。これによって、図９（ｂ）に示すように、第２挟持部３６が被処理基板９の端部の真下に入り込む。
【００３７】
次に、図１０に示すように、移動機構２４によってハンドフレーム２２を上昇させる。これによって、第２挟持部３６に被処理基板９の端部が引っ掛かり、更に被処理基板９が搬送コンベア２から持ち上げられる。
【００３８】
被処理基板９の持ち上げと前後して、図１１に示すように、チャック駆動部４０によって第１挟持体３１をチャック位置へ下降させる。これによって、第１挟持部３４と第２挟持部３６との間に被処理基板９の端部を挟み付けてチャックできる。フレーム２２の４つのチャック部３０によって、被処理基板９の四隅をチャックできる。
【００３９】
図１１に示すように、被処理基板９を搬送コンベア２から持ち上げると、被処理基板９の中央部が自重で下に垂れるように撓む。そこで、図５に示すように、各スライド機構兼張り付与手段２７によって、各チャック機構２６を第１方向の外方（他方のチャック機構２６とは反対方向）へ付勢して変位させる。すなわち、第１チャック部３０を第２チャック部とは反対側へ付勢して変位させる。これによって、被処理基板９を第１方向に引っ張って、被処理基板９に張りを付与することができる。この結果、被処理基板９の撓みを矯正してほぼ平らに戻すことができる。
上記挟み付けのためのスライド動作に用いたスライド機構２７に張り付与手段としての機能を兼ねさせることができる。
【００４０】
上記付勢によってチャック機構２６を第１方向の外方へ変位させていくと、図５に示すように、やがて可動側規制部６１が固定側規制部６２に突き当たる。これによって、チャック機構２６ひいてはチャック部３０の第１方向の外方への変位が規制される。したがって、被処理基板９がそれ以上、第１方向に延ばされるのが防止される。この結果、被処理基板９に過大な張力が作用するのを回避でき、被処理基板９の破損を防止できる。
【００４１】
図３の実線に示すように、処理部１のハウジング１０は開けた状態にしておく。そして、図１の二点鎖線及び図３の二点鎖線に示すように、移動機構２４によってハンドフレーム２２を上下ハウジング部材１１，１２間のスペース１９に差し入れる。この被処理基板９の移送の間、張り付与手段２７による上記付勢を継続する。これによって、被処理基板９が移送中に再び撓むのを防止でき、被処理基板９の弛んだ部分が移送路上の構造物に当たって損傷するのを防止できる。特に、差し入れスペース１９の上下端部と移送装置３とのクリアランスＣが小さくても、被処理基板９が処理部１の構造部材に引っ掛かるのを回避できる。
【００４２】
被処理基板９をスペース１９に差し入れて支持部１４の真上に配置したら、張り付与手段２７による上記付勢を停止し、被処理基板９への張りを解除する。その後、フレーム２２を下降させて、被処理基板９を支持部１４に支持させる。或いは、被処理基板９をスペース１９に差し入れ、更に支持部１４に支持させた後、張り付与手段２７による被処理基板９への張りを解除してもよい。次に、第１挟持体３１を上昇させて、チャック部３０によるチャックを解除する。次に、チャック機構２６を第１方向の外側へスライドさせ、第２挟持体３２を被処理基板９よりも外側へ出す。これによって、ハンドフレーム２２を、被処理基板９と干渉しないようにしながら処理部１の外に出すことができる。その後、ハウジング１０を閉じ、処理部１において被処理基板９の表面処理を行なう。
【００４３】
表面処理済みの被処理基板９を処理部１から移出する際は、ハウジング１０を開けて、ハンドフレーム２２をスペース１９に差し入れる。そして、上述した移入時と同様に、被処理基板９を持ち上げてチャックした後、張り付与手段２７にて被処理基板９に張りを付与しながら、被処理基板９を配置部２ｅへ移送する。そして、被処理基板９への張りを解除するとともに被処理基板９を配置部２ｅに載置し、その後、ハンドフレーム２２を被処理基板９から離す。
【００４４】
この基板移送装置３によれば、被処理基板９の処理部１からの出し入れ時に、張り付与手段２７によって被処理基板９に張りを付与することで、被処理基板９の中央部が自重で垂れるように撓むのを防止でき、上記垂れた部分が移送経路上の構造物に引っ掛かったりぶつかったりして被処理基板９が損傷するのを防止できる。移送経路上の移送スペースが狭くても、上記引っ掛かり等を充分に回避でき、被処理基板９の移送操作を円滑に行なうことができる。特に、移送装置３による移送のほぼ全期間中、張り付与手段２７による付勢を継続することによって、移送経路での上記引っ掛かり等による被処理基板９の損傷を確実に防止できる。これによって、被処理基板９の移送操作を確実に円滑に行なうことができる。
【００４５】
本発明は、上記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の形態を採用可能である。
例えば、フレーム２２の長手方向（第１方向）の両端の一対のチャック機構２６，２６のうち一方のチャック機構２６だけがスライド機構２７によってスライド可能になっていてもよく、他方のチャック機構２６はハンドフレーム２２に対し固定されていてもよい。第１方向に離れた一対のチャック部３０，３０のうち第１チャック部３だけが第１方向に変位可能かつ張り付与手段２７によって第１方向に付勢されるようになっていてもよく、第２チャック部はハンドフレーム２２に対し固定されていてもよい。
各チャック機構２６にチャック部３０が１つだけ設けられていてもよく、３つ以上設けられていてもよい。
チャック部は、被処理基板９を厚さ方向の両側から挟んでチャックするものに限られず、例えば吸着によってチャックするものであってもよい。チャック部が、被処理基板を吸着する吸着部を有していてもよい。
張り付与手段が、スライド機構２２とは別途に設けられていてもよい。チャック部が吸着方式等の場合は、チャック機構２６全体はフレーム１２に対して固定としてスライド機構２２を省略し、チャック部３０だけを第１方向に変位可能にして張り付与手段にて付勢されるようにしてもよい。
張り付与手段は、シリンダーアクチェエータ５０に限られず、バネ等の弾性部材にてチャック部３０を付勢するようになっていてもよい。
張り付与手段によるチャック部の付勢は、被処理物が移送経路上の少なくとも引っ掛かり等が起き易い箇所を通過するときに行なうようにすればよく、移送の全期間を通じて張り付与手段が上記付勢を継続していなくてもよい。
規制部６２が、チャック部３０のチャック動作に連動して出没可能であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、被処理基板のエッチング、表面改質、成膜等の表面処理を行なう表面処理装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｓ      表面処理装置
１      処理部
２      搬送コンベア
２ｅ    端部（一時配置部）
３      移送装置
９      被処理基板
９ａ    第１辺
９ｂ    第２辺
１０    ハウジング
１１    上側ハウジング部材
１２    下側ハウジング部材
１３    電極
１４    支持部
１５    チャンバー
１６    支柱
１９    差し入れスペース
２１    アーム
２２    ハンドフレーム（フレーム）
２３    支持シャフト
２４    移動機構
２５    アタッチメント
２６    チャック機構
２７    スライド機構、張り付与手段
２８    ビーム
３０    チャック部
３１    第１挟持体
３２    第２挟持体
３３    昇降板
３３ｖ  垂直板部
３３ｈ  底板部
３４    第１挟持部
３５    縦板部
３６    第２挟持部
４０    チャック駆動部
４１    シリンダ本体
４２    昇降ロッド
５０    スライド駆動部
５１    シリンダ本体
５２    スライドロッド
５３    スライドガイド
５４    ガイドブロック
５５    ガイドロッド
６０    規制手段
６１    可動側規制部
６２    固定側規制部
【図１】
2013035611.tif 000003
【図２】
2013035611.tif 000004
【図３】
2013035611.tif 000005
【図４】
2013035611.tif 000006
【図５】
2013035611.tif 000007
【図６】
2013035611.tif 000008
【図７（ａ）】
2013035611.tif 000009
【図７（ｂ）】
2013035611.tif 000010
【図８】
2013035611.tif 000011
【図９（ａ）】
2013035611.tif 000012
【図９（ｂ）】
2013035611.tif 000013
【図１０】
2013035611.tif 000014
【図１１】
2013035611.tif 000015