(57)【要約】     【課題】複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供する。    【解決手段】回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられた第１〜３の駆動軸１１〜１３と、第１の駆動軸１１によって駆動されて伸縮する上側搬送機構１Ａと、上側搬送機構１Ａに対して下方に配置されるとともに、第２の駆動軸１２によって駆動されて伸縮する左下側搬送機構２Ｌと、上側搬送機構１Ａに対して下方で左下側搬送機構２Ｌと同じ高さ位置に配置されるとともに、第３の駆動軸１３によって駆動されて伸縮する右下側搬送機構２Ｒとを備える。左下側搬送機構２Ｌと、右下側搬送機構２Ｒとが、第１〜第３の駆動軸１１〜１３を挟んで基板搬送方向Ｐの両側に配置されている。【選択図】  図１
2013084823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられたアーム伸縮用の第１、第２及び第３の駆動軸と、
前記第１の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送する第１の搬送機構と、
前記第１の搬送機構に対して異なる高さ位置に配置されるとともに、前記第２の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を前記搬送物搬送方向に沿って搬送する第２の搬送機構と、
前記第１の搬送機構に対して異なる高さ位置で前記第２の搬送機構と同じ側に配置されるとともに、前記第３の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第３の搬送部を前記搬送物搬送方向に沿って搬送する第３の搬送機構とを備え、
前記第２の搬送機構と、前記第３の搬送機構とが、前記第１〜第３の駆動軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている搬送ロボット。
【請求項２】
前記第２及び第３の搬送機構が、同じ高さ位置に配置されている請求項１記載の搬送ロボット。
【請求項３】
前記第２及び第３の搬送機構が、前記第１の搬送機構の下方に配置されている請求項１又は２のいずれか１項記載の搬送ロボット。
【請求項４】
前記第１〜第３の駆動軸と同心状に配置された旋回用の補助駆動軸を有し、前記第１〜第３の駆動軸及び当該補助駆動軸の回転によって旋回するように構成されている請求項１乃至３のいずれか１項記載の搬送ロボット。
【請求項５】
前記第１の搬送機構は、前記第２及び第３の搬送機構の上側に配置された上側搬送機構であって、
前記第１の駆動軸に固定された上側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された上側補助駆動アームと、前記上側駆動アーム及び前記上側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の上側従動アーム及び第２の上側従動アームとからなる第１の上側平行クランク機構と、
前記第２の上側従動アームと、当該第２の上側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の上側従動アーム及び第４の上側従動アームと、当該第３の上側従動アーム及び第４の上側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の上側従動アームと、前記第５の従動アームの先端部に取り付けられた上側搬送部とを有する第２の上側平行クランク機構とを備え、
前記第２の搬送機構は、前記第１〜第３の駆動軸及び前記補助駆動軸に対して前記搬送物搬送方向の左下側に配置された左下側搬送機構であって、
前記第２の駆動軸に固定された左下側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された左下側補助駆動アームと、前記左下側駆動アーム及び前記左下側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の左下側従動アーム及び第２の左下側従動アームとからなる第１の左下側平行クランク機構と、
前記第２の左下側従動アームと、当該第２の左下側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の左下側従動アーム及び第４の左下側従動アームと、当該第３の左下側従動アーム及び第４の左下側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の左下側従動アームと、前記第５の左下側従動アームの先端部に取り付けられた左下側搬送部とを有する第２の左下側平行クランク機構と、
前記第３の搬送機構は、前記第１〜第３の駆動軸及び前記補助駆動軸に対して前記搬送物搬送方向の右下側に配置された右下側搬送機構であって、
前記第２の駆動軸に固定された右下側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された右下側補助駆動アームと、前記右下側駆動アーム及び前記右下側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の右下側従動アーム及び第２の右下側従動アームとからなる第１の右下側平行クランク機構と、
前記第２の右下側従動アームと、当該第２の右下側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の右下側従動アーム及び第４の右下側従動アームと、当該第３の右下側従動アーム及び第４の右下側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の右下側従動アームと、前記第５の右下側従動アームの先端部に取り付けられた右下側搬送部とを有する第２の右下側平行クランク機構とを備えた請求項４記載の搬送ロボット。
【請求項６】
前記第１の搬送部が、二つの載置部を有している請求項１乃至５のいずれか１項記載の搬送ロボット。
【請求項７】
真空槽と、
前記真空槽内に設けられた請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の搬送ロボットとを有する真空装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板等の搬送物を搬送する搬送装置に関し、特に、半導体製造装置等における真空装置に好適な搬送ロボットの技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の搬送ロボットとしては、スループットを向上させるため、基板載置部をそれぞれ有する二つの搬送機構を設けたものが知られている。
しかし、搬送機構を二つ設ける場合には、搬送機構同士の接触を避けるために搬送機構を上下に配置する必要があり、その結果、搬送ロボットを配置する真空装置の高さが高くなるという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑える技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するためになされた本発明は、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられたアーム伸縮用の第１、第２及び第３の駆動軸と、前記第１の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送する第１の搬送機構と、前記第１の搬送機構に対して異なる高さ位置に配置されるとともに、前記第２の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を前記搬送物搬送方向に沿って搬送する第２の搬送機構と、前記第１の搬送機構に対して異なる高さ位置で前記第２の搬送機構と同じ側に配置されるとともに、前記第３の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第３の搬送部を前記搬送物搬送方向に沿って搬送する第３の搬送機構とを備え、前記第２の搬送機構と、前記第３の搬送機構とが、前記第１〜第３の駆動軸を挟んで前記搬送物搬送方向の両側に配置されている搬送ロボットである。
本発明では、前記第２及び第３の搬送機構が、同じ高さ位置に配置されている場合にも効果的である。
本発明では、前記第２及び第３の搬送機構が、前記第１の搬送機構の下方に配置されている場合にも効果的である。
本発明では、前記第１〜第３の駆動軸と同心状に配置された旋回用の補助駆動軸を有し、前記第１〜第３の駆動軸及び当該補助駆動軸の回転によって旋回するように構成されている場合にも効果的である。
本発明では、前記第１の搬送機構は、前記第２及び第３の搬送機構の上側に配置された上側搬送機構であって、前記第１の駆動軸に固定された上側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された上側補助駆動アームと、前記上側駆動アーム及び前記上側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の上側従動アーム及び第２の上側従動アームとからなる第１の上側平行クランク機構と、前記第２の上側従動アームと、当該第２の上側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の上側従動アーム及び第４の上側従動アームと、当該第３の上側従動アーム及び第４の上側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の上側従動アームと、前記第５の従動アームの先端部に取り付けられた上側搬送部とを有する第２の上側平行クランク機構とを備え、前記第２の搬送機構は、前記第１〜第３の駆動軸及び前記補助駆動軸に対して前記搬送物搬送方向の左下側に配置された左下側搬送機構であって、前記第２の駆動軸に固定された左下側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された左下側補助駆動アームと、前記左下側駆動アーム及び前記左下側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の左下側従動アーム及び第２の左下側従動アームとからなる第１の左下側平行クランク機構と、前記第２の左下側従動アームと、当該第２の左下側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の左下側従動アーム及び第４の左下側従動アームと、当該第３の左下側従動アーム及び第４の左下側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の左下側従動アームと、前記第５の左下側従動アームの先端部に取り付けられた左下側搬送部とを有する第２の左下側平行クランク機構と、前記第３の搬送機構は、前記第１〜第３の駆動軸及び前記補助駆動軸に対して前記搬送物搬送方向の右下側に配置された右下側搬送機構であって、前記第２の駆動軸に固定された右下側駆動アームと、前記補助駆動軸に固定された右下側補助駆動アームと、前記右下側駆動アーム及び前記右下側補助駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第１の右下側従動アーム及び第２の右下側従動アームとからなる第１の右下側平行クランク機構と、前記第２の右下側従動アームと、当該第２の右下側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第３の右下側従動アーム及び第４の右下側従動アームと、当該第３の右下側従動アーム及び第４の右下側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第５の右下側従動アームと、前記第５の右下側従動アームの先端部に取り付けられた右下側搬送部とを有する第２の右下側平行クランク機構とを備えた場合にも効果的である。
本発明では、前記第１の搬送部が、二つの載置部を有している場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた前記のいずれかの搬送ロボットとを有する真空装置である。
【０００５】
本発明の場合、所定の回転軸を中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられたアーム伸縮用の第１、第２及び第３の駆動軸と、第１の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第１の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送する第１の搬送機構と、第１の搬送機構に対して異なる高さ位置に配置されるとともに、第２の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第２の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送する第２の搬送機構と、第１の搬送機構に対して異なる高さ位置で第２の搬送機構と同じ側に配置されるとともに、第３の駆動軸によって駆動されて伸縮し、第３の搬送部を搬送物搬送方向に沿って搬送する第３の搬送機構とを備えるとともに、第２の搬送機構と、第３の搬送機構とが、第１〜第３の駆動軸を挟んで搬送物搬送方向の両側に配置され、第１〜第３の駆動軸は同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられていることから、第１〜第３の搬送機構を互いに接触させることなく同時に伸縮させることができる。
その結果、本発明によれば、複数の搬送物を同時に搬送することによりスループットを向上させるとともに、２組の搬送機構を上下方向に配置することによって搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑えることができる。
さらに、本発明によれば、第１〜第３の搬送機構を独立して伸縮動作させることができるので、搬送ロボットを配置する真空装置の大きさを小さくすることができるとともに、搬送機構同士間の振動を抑えることができ、これにより精確な搬送物の搬送を行うことができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、複数の搬送機構を有する搬送ロボットにおいて、スループットを向上させるとともに、搬送ロボット及びこれを配置する真空装置の高さ及び大きさを低く抑える技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】（ａ）：本発明に係る搬送ロボットの実施の形態の構成を示す平面図（ｂ）：同搬送ロボットの構成を示す正面図
【図２】同搬送ロボットの上側搬送機構を示す平面図
【図３】同搬送ロボットの下側搬送機構を示す平面図
【図４】同搬送ロボットの上側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その１）
【図５】同搬送ロボットの上側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その２）
【図６】同搬送ロボットの上側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その３）
【図７】同搬送ロボットの左下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その１）
【図８】同搬送ロボットの左下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その２）
【図９】同搬送ロボットの左下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その３）
【図１０】同搬送ロボットの右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その１）
【図１１】同搬送ロボットの右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その２）
【図１２】同搬送ロボットの右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その３）
【図１３】同搬送ロボットの左下側搬送機構及び右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その１）
【図１４】同搬送ロボットの左下側搬送機構及び右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その２）
【図１５】同搬送ロボットの左下側搬送機構及び右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その３）
【図１６】（ａ）（ｂ）：同搬送ロボットの上側搬送機構並びに下側搬送機構の左下側搬送機構及び右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その１）
【図１７】同搬送ロボットの上側搬送機構並びに下側搬送機構の左下側搬送機構及び右下側搬送機構の伸長動作を示す平面図（その２）
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明に係る搬送ロボットの実施の形態の構成を示す平面図、図１（ｂ）は、同搬送ロボットの構成を示す正面図である。
図２は、同搬送ロボットの上側搬送機構を示す平面図、図３は、同搬送ロボットの下側搬送機構を示す平面図である。
【０００９】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、本発明の搬送ロボット１は、例えば真空槽（図示せず）内において搬送物である基板１０の搬送を行うもので、図２に示す上側搬送機構１Ａと、図３に示す下側搬送機構１Ｂとを有している。
【００１０】
ここで、上側搬送機構１Ａは、下側搬送機構１Ｂの上側に配置され、第１の搬送機構に相当する。また、下側搬送機構１Ｂは、第２の搬送機構に相当する左下側搬送機構２Ｌと、第３の搬送機構に相当する右下側搬送機構２Ｒとを有している。
【００１１】
図２及び図３に示すように、本実施の形態では、独立した駆動源（図示せず）からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達される同心状の第１、第２及び第３の駆動軸１１、１２、１３並びに補助駆動軸１４を有している。
ここで、第１、第２及び第３の駆動軸１１〜１３は、アーム駆動用のものであり、補助駆動軸１４は、ロボット旋回用のものである。
【００１２】
図２に示すように、上側搬送機構１Ａは、それぞれ直線状に延びる、上側駆動アーム２１と、上側補助駆動アーム２２と、第１の上側従動アーム３１と、第２の上側従動アーム３２によって構成される第１の上側平行クランク機構４を有している。
【００１３】
ここで、上側駆動アーム２１は第１の駆動軸１１に連結され、上側補助駆動アーム２２は、補助駆動軸１４に連結されている。
上側駆動アーム２１の他方の端部（先端部）には、第１の上側従動アーム３１の一方の端部（基端部）が、上側駆動アーム２１の上方において支軸Ａを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００１４】
また、上側補助駆動アーム２２の他方の端部（先端部）には、第２の上側従動アーム３２の一方の端部（基端部）が、上側補助駆動アーム２２の下方において支軸Ｂを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
さらに、第２の上側従動アーム３２の他方の端部（先端部）は、第１の上側従動アーム３１の下方において支軸Ｃを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００１５】
本実施の形態の場合、支軸ＡＣ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＢＣ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ａ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＡＣ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｂ間の軸間距離が、支軸ＢＣ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ａ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００１６】
第１の上側平行クランク機構４の先端部即ち動作側端部には、第２の上側平行クランク機構５が連結されている。
この第２の上側平行クランク機構５は、第１の上側平行クランク機構４の第１の上側従動アーム３１と、第３の上側従動アーム３３と、第４の上側従動アーム３４と、第１の搬送部である上側エンドエフェクタ４０の支持部（第５の上側従動アーム）４１によって構成されている。
【００１７】
ここで、第１の上側従動アーム３１の上側駆動アーム２１側の端部には、第１の上側従動アーム３１の上方において、第３の上側従動アーム３３の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ａを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００１８】
また、第１の上側従動アーム３１の第２の上側従動アーム３２側の端部には、第１の上側従動アーム３１の上方において、第４の上側従動アーム３４の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｃを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００１９】
さらに、第３及び第４の上側従動アーム３３、３４の他方の端部（先端部）は、上側エンドエフェクタ４０の支持部４１の下方において、支軸ＡＣ間の軸間距離と同一の軸間距離を有する位置に設けられた支軸Ｄ、Ｅ中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２０】
本実施の形態では、第１の上側従動アーム３１に、上側駆動アーム２１と第４の上側従動アーム３４の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構３５が設けられている。
【００２１】
すなわち、上側駆動アーム２１の動力が第１の上側従動アーム３１の動力伝達機構３５を介して伝達され、第４の上側従動アーム３４が上側駆動アーム２１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
そして、このような構成により、第２の上側平行クランク機構５の動作先端部の支軸Ｄ、Ｅが基板搬送方向（搬送物搬送方向）Ｐに沿って直進し、回転軸Ｏ上を通過するようになっている。
【００２２】
本実施の形態の上側エンドエフェクタ４０は、上述した支軸Ｄ、Ｅに対して基板搬送方向Ｐの下流側先端部に、基板１０を載置する基板載置部４２、４３がそれぞれ設けられている。
【００２３】
一方、図１（ｂ）及び図３に示すように、下側搬送機構１Ｂは、回転軸Ｏから基板搬送方向Ｐに延びる直線の両側、すなわち、ここでは左側に設けられた左下側搬送機構２Ｌと、右側に設けられた右下側搬送機構２Ｒとを有している。
【００２４】
左下側搬送機構２Ｌは、それぞれ直線状に延びる、左下側駆動アーム５１と、左下側補助駆動アーム５２と、第１の左下側従動アーム６１と、第２の左下側従動アーム６２によって構成される第１の左下側平行クランク機構６を有している。
【００２５】
ここで、左下側駆動アーム５１は第２の駆動軸１２に連結され、左下側補助駆動アーム５２は、補助駆動軸１４に連結されている。
この左下側駆動アーム５１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｐと平行に延びる直線に対して左側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。また、左下側補助駆動アーム５２は、回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に延びるように設けられている。
【００２６】
左下側駆動アーム５１の他方の端部（先端部）には、第１の左下側従動アーム６１の一方の端部（基端部）が、左下側駆動アーム５１の上方において支軸Ｆを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２７】
また、左下側補助駆動アーム５２の他方の端部（先端部）には、第２の左下側従動アーム６２の一方の端部（基端部）が、左下側補助駆動アーム５２の下方において支軸Ｇを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
さらに、第２の左下側従動アーム６２の他方の端部（先端部）は、第１の左下側従動アーム６１の下方において支軸Ｈを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００２８】
本実施の形態の場合、支軸ＦＨ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｇ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＧＨ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＦＨ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｇ間の軸間距離が、支軸ＧＨ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００２９】
第１の左下側平行クランク機構６の先端部即ち動作側端部には、第２の左下側平行クランク機構７が連結されている。
この第２の左下側平行クランク機構７は、第１の左下側平行クランク機構６の第１の左下側従動アーム６１と、第３の左下側従動アーム６３と、第４の左下側従動アーム６４と、第２の搬送部である左下側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部（第５の左下側従動アーム）７１Ｌによって構成されている。
【００３０】
ここで、第１の左下側従動アーム６１の左下側駆動アーム５１側の端部には、第１の左下側従動アーム６１の上方において、第３の左下側従動アーム６３の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｆを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００３１】
また、第１の左下側従動アーム６１の第２の左下側従動アーム６２側の端部には、第１の左下側従動アーム６１の上方において、第４の左下側従動アーム６４の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｈを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００３２】
さらに、第３及び第４の左下側従動アーム６３、６４の他方の端部（先端部）は、左下側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部７１Ｌの下方において、支軸ＦＨ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｉ、Ｊを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。これら第３及び第４の左下側従動アーム６３、６４は、それぞれの支軸Ｉ、Ｊが、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｐと平行に延びる直線側に位置するように構成されている。
【００３３】
本実施の形態では、第１の左下側従動アーム６１に、左下側駆動アーム５１と第４の左下側従動アーム６４の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構６５が設けられている。
【００３４】
すなわち、左下側駆動アーム５１の動力が第１の左下側従動アーム６１の動力伝達機構６５を介して伝達され、第４の左下側従動アーム６４が左下側駆動アーム５１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
【００３５】
本実施の形態の場合、支軸ＫＭ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｌ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＬＭ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＩＪ間の軸間距離と支軸ＨＦ間の軸間距離が、支軸ＦＩ間の軸間距離と支軸ＨＪ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００３６】
その一方で、本実施の形態では、支軸ＦＩ並びに支軸ＨＪ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ｆ間の軸間距離、並びに、支軸ＧＨ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
そして、このような構成により、左下側搬送機構２Ｌを基板搬送方向Ｐに沿って動作させた場合に、各部材が第１〜第３の駆動軸１１〜１３及び補助駆動軸１４に接触しないようになっている。
【００３７】
本実施の形態の左下側エンドエフェクタ７０Ｌは、上述した支軸Ｉ、Ｊに対して基板搬送方向Ｐの下流側に位置する支持部７１Ｌの先端部に、基板１０を載置する基板載置部７２Ｌが設けられている。
【００３８】
他方、本実施の形態の右下側搬送機構２Ｒは、それぞれ直線状に延びる、右下側駆動アーム８１と、右下側補助駆動アーム８２と、第１の右下側従動アーム９１と、第２の右下側従動アーム９２によって構成される第１の右下側平行クランク機構８を有している。
【００３９】
ここで、右下側駆動アーム８１は第３の駆動軸１３に連結され、右下側補助駆動アーム８２は、補助駆動軸１４に連結されている。
この右下側駆動アーム８１は、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｐと平行に延びる直線に対して右側方側に位置するようにその動作範囲が制御されるようになっている。また、右下側補助駆動アーム８２は、回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの上流側に延びるように設けられている。
【００４０】
右下側駆動アーム８１の他方の端部（先端部）には、第１の右下側従動アーム９１の一方の端部（基端部）が、右下側駆動アーム８１の上方において支軸Ｋを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４１】
また、右下側補助駆動アーム８２の他方の端部（先端部）には、第２の右下側従動アーム９２の一方の端部（基端部）が、右下側補助駆動アーム８２の下方において支軸Ｌを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
さらに、第２の右下側従動アーム９２の他方の端部（先端部）は、第１の右下側従動アーム９１の下方において支軸Ｍを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４２】
本実施の形態の場合、支軸ＫＭ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｌ間の軸間距離と同一となるように設定されている。また、支軸ＬＭ間の軸間距離は、回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離と同一となるように設定されている。
なお、支軸ＫＭ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｌ間の軸間距離が、支軸ＬＭ間の軸間距離と回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
【００４３】
第１の右下側平行クランク機構８の先端部即ち動作側端部には、第２の右下側平行クランク機構９が連結されている。
この第２の右下側平行クランク機構９は、第１の右下側平行クランク機構８の第１の右下側従動アーム９１と、第３の右下側従動アーム９３と、第４の右下側従動アーム９４と、第３の搬送部である右下側エンドエフェクタ７０Ｒの支持部（第５の右下側従動アーム）７１Ｒによって構成されている。
【００４４】
ここで、第１の右下側従動アーム９１の右下側駆動アーム８１側の端部には、第１の右下側従動アーム９１の上方において、第３の右下側従動アーム９３の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｋを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４５】
また、第１の右下側従動アーム９１の第２の右下側従動アーム９２側の端部には、第１の右下側従動アーム９１の上方において、第４の右下側従動アーム９４の一方の端部（基端部）が、上述した支軸Ｍを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
【００４６】
さらに、第３及び第４の右下側従動アーム９３、９４の他方の端部（先端部）は、右下側エンドエフェクタ７０Ｒの支持部７１Ｒの下方において、支軸ＭＫ間の軸間距離と同一の軸間距離だけ離間した位置に設けられた支軸Ｎ、Ｑを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。これら第３及び第４の左下側従動アーム９３、９４は、それぞれの支軸Ｑ、Ｎが、回転軸Ｏを通り基板搬送方向Ｐと平行に延びる直線側に位置するように構成されている。
【００４７】
本実施の形態では、第１の右下側従動アーム９１に、右下側駆動アーム８１と第４の右下側従動アーム９４の回転方向が反対方向で且つ同一の角度となるように構成されたギアボックスからなる動力伝達機構９５が設けられている。
【００４８】
すなわち、右下側駆動アーム８１の動力が第１の右下側従動アーム９１の動力伝達機構９５を介して伝達され、第４の右下側従動アーム９４が右下側駆動アーム８１と同一角度で反対方向に回転するように構成されている。
【００４９】
なお、本実施の形態では、支軸ＮＱ間の軸間距離と支軸ＭＫ間の軸間距離が、支軸ＭＮ間の軸間距離と支軸ＫＱ間の軸間距離より短くなるように構成されている。
その一方で、支軸ＭＮ並びに支軸ＫＱ間の軸間距離が、回転軸Ｏ及び支軸Ｋ間の軸間距離、並びに、支軸ＬＭ間の軸間距離より短くなるようにそれぞれの軸間距離が設定されている。
【００５０】
そして、このような構成により、右下側搬送機構２Ｒを基板搬送方向Ｐに沿って動作させた場合に、各部材が第１〜第３の駆動軸１１〜１３及び補助駆動軸１４に接触しないようになっている。
【００５１】
なお、本実施の形態の場合、左下側搬送機構２Ｌの第１の左下側平行クランク機構６と、右下側搬送機構２Ｒの第１の右下側平行クランク機構８とは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００５２】
また、左下側搬送機構２Ｌの第２の左下側平行クランク機構７と、右下側搬送機構２Ｒの第２の右下側平行クランク機構９とは、それぞれ対応するアームの軸間距離が同一となるように構成されている。
【００５３】
本実施の形態の右下側エンドエフェクタ７０Ｒは、上述した支軸Ｎ、Ｑに対して基板搬送方向Ｐの下流側に位置する支持部７１Ｒの先端部に、基板１０を載置する基板載置部７２Ｒが設けられている。
【００５４】
ここで、右下側エンドエフェクタ７０Ｒは、回転軸Ｏに対する基板載置部７２の距離が、左下側エンドエフェクタ７０Ｌにおける回転軸Ｏに対する基板載置部７２Ｌの距離と等しくなるように、基板搬送方向Ｐについての支持部７１Ｒの長さが左下側エンドエフェクタ７０Ｌの支持部７１Ｌの長さより長くなるように構成されている。
【００５５】
さらに、本実施の形態では、図１（ｂ）に示すように、左下側エンドエフェクタ７０Ｌの高さ位置と、右下側エンドエフェクタ７０Ｒの高さ位置が等しくなるように左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの各部材の形状並びに配置構成が定められている。
【００５６】
以下、本実施の形態の動作について説明する。
まず、図１（ａ）（ｂ）に示すホームポジションから上側搬送機構１Ａを伸長させる場合について、図４〜図６を参照して説明する。
【００５７】
この場合は、図４に示すように、第１の駆動軸１１のみを駆動し、上側駆動アーム２１を時計回り方向に所定角度回転させる。
これにより、第１の駆動軸１１に連結された上側駆動アーム２１の回転動力によって、第１の上側平行クランク機構４と第２の上側平行クランク機構５が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動し、図５に示すように、上側エンドエフェクタ４０が回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
一方、下側搬送機構１Ｂは、動力が与えられないので静止したままである。
【００５８】
そして、以上の動作により、図６に示すように、上側搬送機構１Ａのみを伸長させることができる。
なお、図１（ｂ）に示すように、上側搬送機構１Ａの各部材は、下側搬送機構１Ｂより高い位置に設けられているため、上側搬送機構１Ａと下側搬送機構１Ｂは接触しない。
【００５９】
一方、上側搬送機構１Ａをホームポジションに戻す場合には、第１の駆動軸１１を反時計回り方向に所定角度回転させ、上側搬送機構１Ａの第１の上側平行クランク機構４と第２の上側平行クランク機構５を基板搬送方向Ｐの上流側に移動させることにより行うことができる。
【００６０】
次に、図１（ａ）（ｂ）に示すホームポジションから下側搬送機構１Ｂを伸長させる場合について、図７〜図１５を参照して説明する。
図７〜図９は、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌの伸長動作を示すものである。
【００６１】
この場合は、図７に示すように、第２の駆動軸１２のみを時計回り方向に所定角度回転させる。
これにより、第２の駆動軸１２に連結された左下側駆動アーム５１の回転動力によって、第１の左下側平行クランク機構６と第２の左下側平行クランク機構７が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動し、図８に示すように、左下側エンドエフェクタ７０Ｌが回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
【００６２】
一方、上側搬送機構１Ａ及び下側搬送機構１Ｂの右下側搬送機構２Ｒは、動力が与えられないので静止したままである。
そして、以上の動作により、図９に示すように、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌのみを伸長させることができる。
【００６３】
なお、図１（ａ）（ｂ）に示すように、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌの各部材は、上側搬送機構１Ａより低い位置に設けられるとともに、回転軸Ｏを挟んで右下側搬送機構２Ｒに対して反対側の側方に位置しているため、左下側搬送機構２Ｌは、上側搬送機構１Ａ及び右下側搬送機構２Ｒには接触しない。
【００６４】
一方、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌをホームポジションに戻す場合には、第２の駆動軸１２を反時計回り方向に所定角度回転させ、左下側搬送機構２Ｌの第１の左下側平行クランク機構６と第２の左下側平行クランク機構７を基板搬送方向Ｐの上流側に移動させることにより行うことができる。
【００６５】
なお、本実施の形態の場合、第３の左下側従動アーム６３及び第４の左下側従動アーム６４の軸間距離が、左下側駆動アーム５１及び第２の左下側従動アーム６２の軸間距離より短いため、左下側エンドエフェクタ７０Ｌは曲線を描くように移動する。
【００６６】
図１０〜図１２は、下側搬送機構１Ｂの右下側搬送機構２Ｒの伸長動作を示すものである。
この場合は、図１０に示すように、第３の駆動軸１３のみを反時計回り方向に所定角度回転させる。
【００６７】
これにより、第３の駆動軸１３に連結された右下側駆動アーム８１の回転動力によって、第１の右下側平行クランク機構８と第２の右下側平行クランク機構９が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動し、図１１に示すように、右下側エンドエフェクタ７０Ｒが回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
【００６８】
一方、上側搬送機構１Ａ及び下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌは、動力が与えられないので静止したままである。
そして、以上の動作により、図１２に示すように、下側搬送機構１Ｂの右下側搬送機構２Ｒのみを伸長させることができる。
【００６９】
なお、図１（ａ）（ｂ）に示すように、下側搬送機構１Ｂの右下側搬送機構２Ｒの各部材は、上側搬送機構１Ａより低い位置に設けられるとともに、回転軸Ｏを挟んで左下搬送機構２Ｌに対して反対側の側方に位置しているため、右下側搬送機構２Ｒは、上側搬送機構１Ａ及び左下搬送機構２Ｌには接触しない。
【００７０】
一方、下側搬送機構１Ｂの右下側搬送機構２Ｒをホームポジションに戻す場合には、第３の駆動軸１３を時計回り方向に所定角度回転させ、右下側搬送機構２Ｒの第１の右下側平行クランク機構８と第２の右下側平行クランク機構９を基板搬送方向Ｐの上流側に移動させることにより行うことができる。
【００７１】
なお、本実施の形態の場合、第３の右下側従動アーム９３及び第４の右下側従動アーム９４の軸間距離が、右下側駆動アーム８１及び第２の右下側従動アーム９２の軸間距離より短いため、右下側エンドエフェクタ７０Ｒは曲線を描くように移動する。
【００７２】
図１３〜図１５は、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの伸長動作を示すものである。
この場合は、図１３に示すように、第２の駆動軸１２を時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第３の駆動軸１３を反時計回り方向に所定角度回転させる。
【００７３】
これにより、第２の駆動軸１２に連結された左下側駆動アーム５１の回転動力によって、第１の左下側平行クランク機構６と第２の左下側平行クランク機構７が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動する。
また、第３の駆動軸１３に連結された右下側駆動アーム８１の回転動力によって、第１の右下側平行クランク機構８と第２の右下側平行クランク機構９が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動する。
【００７４】
そして、以上の動作により、図１４に示すように、左下側エンドエフェクタ７０Ｌと右下側エンドエフェクタ７０Ｒが共に回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
一方、上側搬送機構１Ａは、動力が与えられないので静止したままである。
以上より、本実施の形態によれば、図１５に示すように、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを同時に伸長させることができる。
【００７５】
一方、下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌと右下側搬送機構２Ｒをホームポジションに戻す場合には、上述したように、第２の駆動軸１２を反時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第３の駆動軸１３を時計回り方向に所定角度回転させることにより行うことができる。
【００７６】
図１６（ａ）（ｂ）及び図１７は、上側搬送機構１Ａ並びに下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒの伸長動作を示すものである。
この場合は、図１６（ａ）（ｂ）に示すように、第１の駆動軸１１を時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第２の駆動軸１２を時計回り方向に所定角度回転させ、さらに、第３の駆動軸１３を反時計回り方向に所定角度回転させる。
【００７７】
これにより、第１の駆動軸１１に連結された上側駆動アーム２１の回転動力によって、上側搬送機構１Ａにおいて、第１の上側平行クランク機構４と第２の上側平行クランク機構５が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動し、上側エンドエフェクタ４０が回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
【００７８】
また、第２の駆動軸１２に連結された左下側駆動アーム５１の回転動力によって、下側搬送機構１Ｂにおいて、第１の左下側平行クランク機構６と第２の左下側平行クランク機構７が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動するとともに、第３の駆動軸１３に連結された右下側駆動アーム８１の回転動力によって、第１の右下側平行クランク機構８と第２の右下側平行クランク機構９が基板搬送方向Ｐに付勢されて移動する。
【００７９】
そして、以上の動作により、図１７に示すように、左下側エンドエフェクタ７０Ｌと右下側エンドエフェクタ７０Ｒが共に回転軸Ｏに対して基板搬送方向Ｐの下流側に配置される。
以上より、本実施の形態によれば、図１５に示すように、上側搬送機構１Ａ並びに下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを同時に伸長させることができる。
【００８０】
一方、上側搬送機構１Ａ並びに下側搬送機構１Ｂの左下側搬送機構２Ｌと右下側搬送機構２Ｒをホームポジションに戻す場合には、上述したように、第１の駆動軸１１を反時計回り方向に所定角度回転させるとともに、第２の駆動軸１２を反時計回り方向に所定角度回転させ、さらに、第３の駆動軸１３を時計回り方向に所定角度回転させることにより行うことができる。
他方、搬送ロボット１を旋回させる場合には、ホームポジションの状態において、第１〜第３の駆動軸１１〜１３及び補助駆動軸１４を同時に同一方向へ同じ角度回転させればよい。
【００８１】
以上述べたように本実施の形態にあっては、回転軸Ｏを中心として同心状に配置され水平面内でそれぞれ独立して回転可能に設けられたアーム伸縮用の第１〜３の駆動軸１１〜１３と、第１の駆動軸１１によって駆動されて伸縮し、上側エンドエフェクタ４０を基板搬送方向Ｐに沿って搬送する上側搬送機構１Ａと、上側搬送機構１Ａに対して下方に配置されるとともに、第２の駆動軸１２によって駆動されて伸縮し、左下側エンドエフェクタ７０Ｌを基板搬送方向Ｐに沿って搬送する左下側搬送機構２Ｌと、上側搬送機構１Ａに対して下方で左下側搬送機構２Ｌと同じ高さ位置に配置されるとともに、第３の駆動軸１３によって駆動されて伸縮し、右下側エンドエフェクタ７０Ｒを基板搬送方向Ｐに沿って搬送する右下側搬送機構２Ｒとを備えるとともに、左下側搬送機構２Ｌと、右下側搬送機構２Ｒとが、第１〜第３の駆動軸１１〜１３を挟んで基板搬送方向Ｐの両側に配置されていることから、上側搬送機構１Ａ、左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを互いに接触させることなく同時に伸縮させることができる。
【００８２】
その結果、本実施の形態によれば、複数の基板１０を同時に搬送することによりスループットを向上させるとともに、２組の搬送機構（上側搬送機構１Ａ、下側搬送機構１Ｂ）を上下方向に配置することによって搬送ロボット１及びこれを配置する真空装置の高さを低く抑えることができる。
【００８３】
さらに、本実施の形態によれば、上側搬送機構１Ａ、左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒを独立して伸縮動作させることができるので、搬送ロボット１を配置する真空装置の大きさを小さくすることができるとともに、上側搬送機構１Ａ、左下側搬送機構２Ｌ及び右下側搬送機構２Ｒ同士間の振動を抑えることができ、これにより精確な基板の搬送を行うことができる。
【００８４】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態では、第１の搬送機構として上側搬送機構１Ａを設け、第２及び第３の搬送機構として左下側搬送機構２Ｌ、右下側搬送機構２Ｒを設けるようにしたが、本発明はこれに限られず、第２及び第３の搬送機構を第１の搬送機構より上方に配置することも可能である。
【００８５】
さらに、上記実施の形態では、上側搬送機構１Ａに載置部を二つ設け、左下側搬送機構２Ｌ、右下側搬送機構２Ｒに載置部を設けるようにしたが、本発明はこれに限られず、各搬送機構において載置部を一つ又は三つ以上設けることもできる。
【符号の説明】
【００８６】
１…搬送ロボット
１Ａ…上側搬送機構（第１の搬送機構）
１Ｂ…下側搬送機構
２Ｌ…左下側搬送機構（第２の搬送機構）
２Ｒ…右下側搬送機構（第３の搬送機構）
４…第１の上側平行クランク機構
５…第２の上側平行クランク機構
６…第１の左下側平行クランク機構
７…第２の左下側平行クランク機構
８…第１の右下側平行クランク機構
９…第２の右下側平行クランク機構
１０…基板（搬送物）
１１…第１の駆動軸
１２…第２の駆動軸
１３…第３の駆動軸
１４…補助駆動軸
２１…上側駆動アーム
２２…上側補助駆動アーム
３１…第１の上側従動アーム
３２…第２の上側従動アーム
３３…第３の上側従動アーム
３４…第４の上側従動アーム
４０…上側エンドエフェクタ（第１の搬送部、上側搬送部）
５１…左下側駆動アーム
５２…左下側補助駆動アーム
６１…第１の左下側従動アーム
６２…第２の左下側従動アーム
６３…第３の左下側従動アーム
６４…第４の左下側従動アーム
７０Ｌ…左下側エンドエフェクタ（第２の搬送部、左下側搬送部）
７０Ｒ…右下側エンドエフェクタ（第３の搬送部、右下側搬送部）
８１…右下側駆動アーム
８２…右下側補助駆動アーム
９１…第１の右下側従動アーム
９２…第２の右下側従動アーム
９３…第３の右下側従動アーム
９４…第４の右下側従動アーム
Ｐ…基板搬送方向（搬送物搬送方向） 
【図１】
2013084823.tif 000003
【図２】
2013084823.tif 000004
【図３】
2013084823.tif 000005
【図４】
2013084823.tif 000006
【図５】
2013084823.tif 000007
【図６】
2013084823.tif 000008
【図７】
2013084823.tif 000009
【図８】
2013084823.tif 000010
【図９】
2013084823.tif 000011
【図１０】
2013084823.tif 000012
【図１１】
2013084823.tif 000013
【図１２】
2013084823.tif 000014
【図１３】
2013084823.tif 000015
【図１４】
2013084823.tif 000016
【図１５】
2013084823.tif 000017
【図１６】
2013084823.tif 000018
【図１７】
2013084823.tif 000019