(57)【要約】【課題】下流に位置する処理装置へガラス基板を位置精度良く受け渡すガラス基板受け渡し装置を提供する。【解決手段】多数のピンを立設したガラス基板受けピン部と、ロボットと、ガラス基板位置測定部と、ロボットを制御する制御手段とを備えて構成され、前記ガラス基板受けピン部が、ガラス基板を多数の前記ピンの上に載置する機能を有し、前記ロボットが、ガラス基板を支持するロボットハンドと、関節軸とを備えた構造を有しており、かつ、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込み、次にこのロボットハンドを移動させて下流の処理装置に搬送する機能を有し、前記ガラス基板位置測定部が、ピン上に載置されたガラス基板の位置及び向きを測定する機能を有し、前記制御手段が、ガラス基板位置測定部の測定結果に基づき、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させる機能を有することを特徴とするガラス基板受け渡し装置。【選択図】図１４
2013152265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の処理を行なう複数の処理装置からなる製造ラインにおいて、上流に位置する処理装置から前記ガラス基板を受け取り、下流に位置する処理装置に搬送するガラス基板受け渡し装置であって、多数のピンを立設したガラス基板受けピン部と、ロボットと、ガラス基板位置測定部と、ロボットを制御する制御手段とを備えて構成され、
前記ガラス基板受けピン部が、上流の処理装置から受け取ったガラス基板を多数の前記ピンの上に載置する機能を有し、
前記ロボットが、ガラス基板を支持するロボットハンドと、このロボットハンドを左右、前後、上下、Θ方向に移動させる関節軸とを備えた構造を有しており、かつ、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込み、上方に移動させて、予め定められたガラス基板の特定位置をこのロボットハンドで支持し、次にこのロボットハンドを移動させて下流の処理装置に搬送する機能を有し、
前記ガラス基板位置測定部が、ピン上に載置されたガラス基板の位置及び向きを測定する機能を有し、
前記制御手段が、ガラス基板位置測定部の測定結果に基づき、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させる機能を有する、
ことを特徴とするガラス基板受け渡し装置。
【請求項２】
ガラス基板受けピン部に載置されたガラス基板の基準位置を予め設定し、前記ガラス基板位置測定部が、載置されたガラス基板の位置情報を取得し、前記基準位置との位置ずれ量を測定するものであり、前記制御手段がこの位置ずれ量に基づいてロボットハンドを移動させるものであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板受け渡し装置。
【請求項３】
ガラス基板受けピン部に載置されたガラス基板を前記基準位置に位置決めするガラス基板アライメント部を備えることを特徴とする請求項２に記載のガラス基板受け渡し装置。
【請求項４】
ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させたとき、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込むことができない場合、警報を発生する警報出力部を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス基板受け渡し装置。
【請求項５】
前記ガラス基板位置測定部はポテンショメータ又はリニアゲージであって、ガラス基板の４つの端辺の位置を測定する機能を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板受け渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板を製造するカラーフィルタ製造ラインの処理装置間や搬送装置間でガラス基板の受け入れ、受け渡しをする際のガラス基板の位置を補正する装置であって、更に詳しくは、上流の処理装置（または搬送装置）から下流の処理装置（または搬送装置）に受け渡す場合に下流の処理装置（または搬送装置）で許容範囲内の位置で受け入れられるようにガラス基板の位置決めを行った後、下流の処理装置にガラス基板を受け渡す装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３にカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図３に示される製造ライン１１はある特定の１色（例えばＲ画素）の着色パターンを形成するためのもので、ストッカ装置１２と、ストッカ装置から処理装置に投入する搬入装置１３と、洗浄装置１４と、塗布装置１５と、露光装置１６と、現像装置１７と、ベーク装置１８と、ガラス基板をストッカ装置に搬出する搬出装置１９とを備えている。また、塗布装置１５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置２７が設けられ、現像装置１７の後には異物やパターンの欠けを検査する検査装置２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１）２１から搬送装置（６）２６によって接続されている。更に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後に、搬送装置（６）２６の外に設けられた検査装置２９や修正装置３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１９を経てストッカ装置１２に搬出される。尚、搬入装置１３からストッカ装置１２へ空のカセットが回収され、また、ストッカ装置１２は、空のカセットを搬出装置１９に供給する。
【０００６】
上記カラーフィルタ製造ラインにおいて、ガラス基板の搬送方法の一つにロボットを用いた搬送がある。搬送ロボットは、搬送ローラでガラス基板を搬送する装置や、ガラス基板を一時的に保管するバッファ装置や、処理装置から処理装置へガラス基板の受け取り、受け渡しを行う場合に用いられる。また、処理装置から処理装置へガラス基板の受け取り
、受け渡しを行う場合には、ある処理装置に対してガラス基板の受け渡し精度（処理装置へガラス基板を受け渡す際のガラス基板の位置精度）が要求される場合（例えば塗布装置１５や露光装置１６）には、処理装置の上流側にガラス基板をアライメントする（ガラス基板の位置を補正して位置決めする事）機構（以下、アライメント装置）を設置し、位置補正をした後に、搬送ロボットによってガラス基板を次の下流に位置する処理装置（上記塗布装置１５や露光装置１６）へ受け渡す。そうすることによって例えば、塗布装置１５ではガラス基板の決められた塗布領域に着色フォトレジストを塗布することが出来る。
【０００７】
上記搬送ロボットの一例を図４に示す。ガラス基板の受け取り、受け渡しに用いられているガラス基板搬送ロボットは、一般的に、ガラス基板搬送ロボットの本体５１の先端に備えられたロボットハンド５２に設けられたガラス基板支持体５３によってガラス基板５４を支えながらガラス基板の受け取り、受け渡しを行う。ガラス基板支持体５３は摩擦係数の高い材料パッドやガラス基板を真空で吸着する吸着パッドが設けられ、ガラス基板を載置して搬送する場合にガラス基板がずれたり、落下することを防いでいる。
【０００８】
ロボットハンド５２に設けられたガラス基板支持体５３によってガラス基板５４の受け取り、受け渡しを行う場合には、図５に示すように、処理装置５５（この場合の処理装置をガラス基板受け渡し装置と呼び、例えば図３の搬送装置（１）２１を指す）にガラス基板５４を載置した（図５（ａ））後、ガラス基板受けピン５６が矢印５７で示す方向に上昇してガラス基板５４を持上げ、ロボットハンド５２が侵入するスペースを確保（図５（ｂ））した後、ロボットハンド５２をガラス基板の下方で矢印５８で示す方向に挿入し、更に矢印５９で示す方向に上昇させてガラス基板５４を支え、矢印６０で示す方向に引き出してガラス基板５４を抜き取り（図５（ｃ））、更にロボットハンド５２にガラス基板を保持した状態でロボットハンド５２を旋回した後、次の処理装置へ受け渡す。ガラス基板受けピン５６はこの後、図５（ｂ）に示される矢印５７で示される方向に下降される。
【０００９】
図６は上記ガラス基板受けピン５６の上昇、下降機構が無い場合のガラス基板受けピン装置を用いたガラス基板の受け取り、受け渡しを行う方法の一例を示す。図６（ａ）に示す例では、ガラス基板の流れ方向６１に対して上流から第一の搬送ロボット６２、ガラス基板受けピン装置６３、第二の搬送ロボット６４の順に配置した場合を示す。図６（ａ）に示すように装置が配置される場合とは、下流に位置する処理装置のガラス基板の受け入れ位置が許容範囲内にあることが必要な例えば図３に示す塗布装置１５のように、ガラス基板の面内の決められたエリア（塗布領域）に塗布液が塗布されなければならない場合である。即ち、第二の搬送ロボット６４が次の下流に位置する処理装置に対して、ガラス基板を位置精度良く受け渡す必要がある場合の配置例である。
【００１０】
この場合の上昇、下降機構が無いガラス基板受けピン装置６３を図６（ｂ）に示す。図６（ｂ）に示す上昇、下降機構が無いガラス基板受けピン装置６３はベース台６３ｂ上に固定された受けピン６３ａが複数設けられており、固定された受けピン６３ａ上にガラス基板５４を第一の搬送ロボット６２でガラス基板受けピン装置６３の受けピン６３ａに載置する。また、上記受けピンを有するガラス基板受けピン装置６３は、上流側から搬送されたガラス基板の位置を補正する図示しないアライメント装置を有し、アライメント装置で位置合わせを行った後、第二の搬送ロボット６４でガラス基板５４を抜き取り、ガラス基板は図示しない次の下流の処理装置へ受け渡される。このようにして下流の処理装置は位置決めされたガラス基板を受け取ることが出来る。
【００１１】
図７にアライメント装置の一例を示す。図７（ａ）は側面から見た図、図７（ｂ）は上面から見た図である。アライメント装置６５はベース台６３ｂ上に設けられ、ガラス基板５４端辺の４隅に８個所配置され、矢印６７で示す方向にガラス基板を押し込んで、ガラス基板５４の位置を補正して位置決めするものである。ガラス基板５４の位置を補正した
後、ガラス基板５４は搬送ロボットによって次の下流に位置する処理装置へ受け渡される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−３５８２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
図８は上記アライメント装置６５を詳細に示す図である。一般的にアライメント装置はアライメント機構６５ａと、アライメント機構６５ａをスライド架台６５ｂ上を矢印６６で示す方向に移動するシリンダー６５ｃと、アライメント機構６５ａを位置制御するメカストッパー６５ｄと、シリンダー６５ｃの出の状態と戻りの状態を監視するセンサ６５ｅと、アライメントピン６５ｆと、を備え、アライメントピン６５ｆをガラス基板５４の端辺に押し当てて、位置決めするものである。
【００１４】
上記アライメント装置６５はシリンダー６５ｃやメカストッパー６５ｄやセンサ６５ｅによって位置制御しているが繰り返し精度がばらついたり、シリンダー６５ｃの劣化やアライメントピン６５ｆの劣化によって、位置決め精度が悪くなったり位置決めそのものが出来なくなったりする場合もある。その結果、正しく位置決めがされていない状態で上記塗布等を行った場合には不良ガラス基板となってしまう。
【００１５】
そこで本発明では、下流に位置する処理装置へガラス基板を位置精度良く受け渡すガラス基板受け渡し装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板の処理を行なう複数の処理装置からなる製造ラインにおいて、上流に位置する処理装置から前記ガラス基板を受け取り、下流に位置する処理装置に搬送するガラス基板受け渡し装置であって、多数のピンを立設したガラス基板受けピン部と、ロボットと、ガラス基板位置測定部と、ロボットを制御する制御手段とを備えて構成され、
前記ガラス基板受けピン部が、上流の処理装置から受け取ったガラス基板を多数の前記ピンの上に載置する機能を有し、
前記ロボットが、ガラス基板を支持するロボットハンドと、このロボットハンドを左右、前後、上下、Θ方向に移動させる関節軸とを備えた構造を有しており、かつ、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込み、上方に移動させて、予め定められたガラス基板の特定位置をこのロボットハンドで支持し、次にこのロボットハンドを移動させて下流の処理装置に搬送する機能を有し、
前記ガラス基板位置測定部が、ピン上に載置されたガラス基板の位置及び向きを測定する機能を有し、
前記制御手段が、ガラス基板位置測定部の測定結果に基づき、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させる機能を有する、
ことを特徴とするガラス基板受け渡し装置である。
【００１７】
本発明の請求項２に係る発明は、ガラス基板受けピン部に載置されたガラス基板の基準位置を予め設定し、前記ガラス基板位置測定部が、載置されたガラス基板の位置情報を取得し、前記基準位置との位置ずれ量を測定するものであり、前記制御手段がこの位置ずれ量に基づいてロボットハンドを移動させるものであることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板受け渡し装置である。
【００１８】
本発明の請求項３に係る発明は、ガラス基板受けピン部に載置されたガラス基板を前記基準位置に位置決めするガラス基板アライメント部を備えることを特徴とする請求項２に記載のガラス基板受け渡し装置である。
【００１９】
本発明の請求項４に係る発明は、ガラス基板の前記特定位置を支持できるようにロボットハンドを移動させたとき、多数の前記ピンの間にロボットハンドを差し込むことができない場合、警報を発生する警報出力部を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス基板受け渡し装置である。
【００２０】
本発明の請求項４に係る発明は、前記ガラス基板位置測定部はポテンショメータ又はリニアゲージであって、ガラス基板の４つの端辺の位置を測定する機能を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基板受け渡し装置である。
である。
【発明の効果】
【００２１】
この発明のガラス基板受け渡し装置は次のように機能する。すなわち、まず、上流の処理装置から受け取ったガラス基板を、立設した多数の前記ピンの上に載置する。ガラス基板受け渡し装置がガラス基板アライメント部を備える場合には、載置されたガラス基板を基準位置に位置決めすることができる。
この後、多数の前記ピンの上に載置されたガラス基板の位置及び向きを前記ガラス基板位置測定部によって測定する。例えば、ガラス基板の基準位置を予め設定しておけば、この基準位置とのずれ量を測定することによって、ガラス基板の位置及び向きを測定することができる。
次に、この測定結果、例えば基準位置とガラス基板とのずれ量に基づいて、ロボットハンドを移動させる。その移動位置は、予め定められたガラス基板の特定位置を支持することができる位置である。そして、この位置でロボットハンドを多数の前記ピンの間に差し込み、上方に移動させて、ガラス基板をその特定位置で支持することができる。このように、予め定められた特定位置で支持した状態でガラス基板を下流の処理装置に搬送するから、位置精度よく受け渡すことが可能となる。
尚、例えば、基準位置とガラス基板とのずれ量が大きくて、多数の前記ピンに衝突することなくその間に差し込むことができない場合には、警報を発生してもよい。こうして警報が発生した場合には、そのずれ量が小さくなるように、例えばアライメント部を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】カラーフィルタガラス基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ基板の製造工程を示すフロー図。
【図３】カラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図４】ガラス基板搬送ロボットの一例を示す図。
【図５】ガラス基板の受け渡し、受け取りを行う場合の一例を示す図。
【図６】上昇、下降機構が無い場合のガラス基板受けピン装置を用いたガラス基板の受け取り、受け渡しを行う方法の一例を示す図。（ａ）はガラス基板の流れ方向に対して上流から第一の搬送ロボット、ガラス基板受けピン装置、第二の搬送ロボットの順に配置した場合を示す。（ｂ）はガラス基板受けピン装置を示す。
【図７】従来から用いられているアライメント装置を説明するための図。（ａ）は側面から見た図。（ｂ）は上面から見た図。
【図８】アライメント装置を詳細に示す図。
【図９】本発明のガラス基板受け渡し装置の概略構成図。
【図１０】本発明に係るガラス基板受けピン部を示す図。
【図１１】本発明に係るガラス基板アライメント部とガラス基板位置測定部を示す図。（ａ）は側面から見た図。（ｂ）は上面から見た図。
【図１２】本発明に係るガラス基板アライメント部を詳細に示す図。
【図１３】ガラス基板をガラス基板受けピン部からロボットが抜き取る方法を説明するための図。（ａ）はガラス基板の位置合わせを行った結果を示す模式図。（ｂ）はロボットがガラス基板を抜き取る方法を示す図。
【図１４】本発明のガラス基板受け渡し装置の動作フローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明のガラス基板受け渡し装置を実施するための形態を説明する。
【００２４】
図９は本発明のガラス基板受け渡し装置の概略構成図である。ガラス基板受け渡し装置は上流に位置する処理装置からガラス基板７０ａを受け取りガラス基板受けピンに載置するガラス基板受けピン部７１と、ガラス基板受けピン部７１に載置されたガラス基板７０ｂを位置決めするガラス基板アライメント部７２と、位置決めされたガラス基板の位置情報を取得するガラス基板位置測定部７３と、ガラス基板位置測定部７３によって測定されたガラス基板の位置が予め設定されたガラス基板の閾値内の位置にあるか否かを判断するガラス基板の位置判定部７４と、ガラス基板受けピン部７１からガラス基板７０ｂを抜き取り、次の下流に位置する処理装置へガラス基板７０ｃを受け渡すロボット７５と、ロボット７５がガラス基板７０ｂをガラス基板受けピン部７１から抜き取る際に、ガラス基板位置情報に基づいて抜き取るためのロボット７５のガラス基板抜き取り制御プログラム７６と、位置決めされたガラス基板の位置情報が予め設定された閾値を超えた場合には外部に警報を発する警報出力部７７と、を備えている。
【００２５】
図１０は本発明に係るガラス基板受けピン部７１を示す図である。ガラス基板受けピン部７１はベース台７１ｂ上に固定された受けピン７１ａが複数設けられており、上流の搬送装置から搬送されたガラス基板７０ａ（図９）は図示しない搬送ロボットのロボットハンド７５ａに保持された状態で、受けピン７１ａの間にロボットハンド７５ａが挿入されて、受けピン７１ａ上に載置される（載置されたガラス基板を符号７０ｂで示す）。
【００２６】
図１１はガラス基板アライメント部７２とガラス基板位置測定部７３を示す図である。図１１（ａ）は側面から見た図、図１１（ｂ）は上面から見た図である。アライメント部７２はガラス基板受けピン部のベース台７１ｂ上に設けられ、ガラス基板７０ｂの端辺の４箇所に配置され、矢印８１で示す方向にガラス基板７０ｂを押し込んで、ガラス基板７０ｂの位置決めを行うものである。図１１に示すガラス基板アライメント部７２は各ガラス基板端辺に２箇所ずつ合計８個設けられた場合を例示しているが、ガラス基板の大きさによって、設置位置や個数は適宜選択すれば良い。
【００２７】
図１２はアライメント部７２を詳細に示す図である。アライメント部７２はスライド架台７２ｂ上をアライメント機構７２ａを矢印８２で示す方向に押し込んで移動するシリンダー７２ｃと、アライメント機構７２ａを位置制御するメカストッパー７２ｄと、シリンダーの出の状態と戻りの状態を監視するセンサ７２ｅと、から構成される従来から用いられているアライメント装置を採用することが出来る。
【００２８】
ガラス基板位置測定部７３はガラス基板端辺に近接して配置され、ガラス基板７０ｂが
上記アライメント部７２で位置決めされた後にガラス基板７０ｂの端辺の位置を測定するものである。ガラス基板位置測定部７３にはポテンショメータ又はリニアゲージを用いることが出来る。図１１に示すガラス基板位置測定部７３はガラス基板アライメント部７２と同じようにガラス基板７０ｂの４つの端辺に２箇所ずつ合計８個設けられた場合を例示しているが、ガラス基板の大きさによって、設置位置や個数は適宜選択すれば良い。位置決めされたガラス基板７０ｂは次に図示しないロボットハンドに載置されてガラス基板受けピン部７１から抜き取られ、次の下流に位置する処理装置へ受け渡される。
【００２９】
ロボット７５について説明する。従来から一般的に用いられている左右、前後、上下方向に動作できるよう関節軸を有しあらゆる方向に対応するロボットを採用することが出来、ガラス基板位置測定部７３で得られた位置情報に基づいてガラス基板７０ｂをガラス基板受けピン部７１から抜き取り（抜き取ったガラス基板を図９の符号７０ｃで示す）、次の下流に位置する処理装置へ受け渡すものである。
【００３０】
上記ガラス基板位置測定部７３で得られた位置情報に基づいてガラス基板７０ｂをガラス基板受けピン部７１からロボットが抜き取る方法を図１３を用いて説明する。図１３（ａ）はガラス基板の位置合わせを行った結果を示す模式図で、符号７０ｂ−１で示す破線部が本来位置決めされるべきガラス基板の位置（基準位置）で、符号７０ｂ−２で示す実線部がガラス基板アライメント部によって位置決めされたガラス基板の位置を示す。図１３（ａ）では、ガラス基板アライメント部によって位置決めされたガラス基板位置は、本来位置決めされるべき基準位置に対して、Ｘ軸のプラス方向にＸ１、Ｙ軸のプラス方向にＹ１、ガラス基板の位置がずれて位置決めされたことを示す。位置決めされたガラス基板の位置は上記したように、ガラス基板の４つの端辺に設けられたガラス基板位置測定部７３によって測定される。尚、ガラス基板の位置ずれはＸ軸方向、Ｙ軸方向のほかに曲がりΘがあるが、図１３（ａ）は説明の便宜上、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に位置ずれした場合を示している。
【００３１】
図１３（ｂ）は図１３（ａ）のように基準位置７０ｂ−１に対してアライメント部によって位置決めされたガラス基板の位置が７０ｂ−２の場合に、ロボットがガラス基板を抜き取る方法を示す図である。例えば基準位置７０ｂ−１に位置決めされた場合には、ロボットハンドは破線で示す７５ｂ−１の位置に挿入される。一方、符号７０ｂ−２のように基準位置に対して位置決めされた位置がＸ軸のプラス方向にＸ１、Ｙ軸のプラス方向にＹ１であった場合には、ロボットハンドは基準位置からのずれ量に基づいてガラス基板の抜き取り位置をプラス方向にＸ１、プラス方向にＹ１だけずらした位置７５ｂ−２に挿入され、その後ガラス基板は抜き取られる。即ち、位置決めされた位置が基準位置に対してずれた分だけ、抜き取り位置を変えてロボットハンドは挿入される。これによって、アライメント部で位置決めされたガラス基板の位置がずれていても、位置ずれに対応してロボットハンドが挿入され、その結果下流に位置する処理装置に位置ずれが無くガラス基板を受け渡すことが出来る。
【００３２】
このようにロボットハンドがガラス基板をガラス基板受けピン部から抜き取る際に、ガラス基板位置情報に基づいて抜き取るために、ロボットのガラス基板抜き取り制御プログラムが用意される。ガラス基板抜き取り制御プログラムは、位置決めされたガラス基板位置情報として、上記Ｘ軸方向の位置ずれ量とＹ軸方向のずれ量と、曲がり量（Θ）を含む位置決めされたガラス基板位置情報に基づいて用意される。
【００３３】
上記のようにアライメント部によって位置決めされたガラス基板の位置は、アライメント部を構成するシリンダーやメカストッパーやセンサによって位置制御されるが、繰り返し精度がばらついたり、シリンダーの劣化やアライメントピンの劣化によって、位置決め精度が悪くなったり、位置決めそのものが出来なくなったりする場合もある。このような
場合には、アライメント部の劣化部分や、調整不良部分を特定し修復する必要がある。このような状態が発生しているか否かはガラス基板の位置判定部によって、位置決めされたガラス基板の位置情報が予め設定された閾値を超えたかを判定し、閾値を超えた場合には警報出力部によって外部に警報を発する。警報が発せられた場合にはオペレータによって、アライメント部の劣化部分や調整不良部分の特定が行われ修復される。
【００３４】
上記アライメント部を修復した後、ガラス基板を位置決めした場合には、劣化部品の交換や調整によって上記本来位置決めされるべき基準位置に位置決めされるとは限らない。このため、新たな基準位置を基板位置測定部で測定して基準位置データを更新し、同時に更新された基準位置に対してロボットがガラス基板を抜き取る際の新たな制御プログラムが更新される。即ち上記本来位置決めされるべき基準位置に対して更新された基準位置が例えばＸ軸方向にプラスＸ２ずれた場合に、尚且つアライメント部で位置決めされた位置が更新された基準位置に対してプラスＸ３ずれた場合には、ロボットハンドはプラス方向に（Ｘ２＋Ｘ３）だけずらしてガラス基板を抜き取らなければならない。このように基準位置が更新された場合には、ロボットの新たな制御プログラムが更新される。
【００３５】
上記予め設定された閾値は、ロボットハンドがガラス基板受けピンに干渉しない範囲や、ロボットの可動範囲を考慮して決められる。
【００３６】
図１４は上流の処理装置から搬送されたガラス基板を位置決めし、下流の処理装置へ受け渡す場合の本発明によるガラス基板受け渡し装置の動作フローを示す。
【００３７】
先ずガラス基板位置測定部によって、位置決めされたガラス基板の位置情報を取得し、その位置情報を基準位置データとし（Ｓ１）、基準位置データに基づいてロボットのガラス基板抜き取りプログラムを作成する（Ｓ２）。その後アライメント部に上流の処理装置からガラス基板をガラス基板受けピン上に搬送し（Ｓ３）、アライメント部でガラス基板を位置決めする（Ｓ４）。位置決め後、ガラス基板位置測定部で基準位置とのずれ量を測定し（Ｓ５）、ずれ量が閾値内であった場合は（Ｓ６のＹＥＳ）、ずれ量に基づいてロボットハンドによってガラス基板をガラス基板受けピンから抜き取り、次の下流の処理装置に受け渡す（Ｓ８）。ステップ（Ｓ６）でずれ量が閾値を越えていた場合は（Ｓ６のＮＯ）、アライメント部を修復（Ｓ９）した後、基準位置データを更新し（Ｓ１０）、更に更新した基準位置データに基づいてロボットのガラス基板抜き取り制御プログラムを更新する（Ｓ１１）。
【００３８】
上記本発明のガラス基板受け渡し装置を実施する形態では、カラーフィルタガラス基板の製造ラインの場合を例示したが、これに限定されず、広くガラス基板が処理される工程に適用することが出来る。
【００３９】
このように本発明のガラス基板受け渡し装置によれば、次の下流に位置する処理装置に受け渡すガラス基板を位置決めし、更に閾値内で位置決めされたガラス基板の位置ずれ量をロボットの制御プログラムに反映することによって、下流の処理装置にガラス基板を位置精度良く受け渡すことが出来る。又、位置決めした結果、ガラス基板の位置ずれ量が閾値を超えた場合には、外部に警報を発することによって、アライメント部の劣化を修復することが出来、その結果、不良ガラス基板の発生を抑制することが可能となる。
【符号の説明】
【００４０】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１１・・・カラーフィルタ製造ライン
１２・・・ストッカ装置
１３・・・搬入装置
１４・・・洗浄装置
１５・・・塗布装置
１６・・・露光装置
１７・・・現像装置
１８・・・ベーク装置
１９・・・搬出装置
２１〜２６・・・搬送装置（１）〜搬送装置（６）
２７〜２９・・・検査装置
３０・・・修正装置
５１・・・ガラス基板搬送ロボットの本体
５２・・・ロボットハンド
５３・・・ガラス基板支持体
５４・・・ガラス基板
５５・・・処理装置（ガラス基板受け渡し装置）
５６・・・ガラス基板受けピン
５７・・・ガラス基板を持ち上げる方向を示す矢印
５８・・・ロボットハンドをガラス基板の下方に挿入する方向を示す図
５９・・・ロボットハンドを上昇させる方向を示す矢印
６０・・・ロボットハンドを引き出す方向を示す矢印
６１・・・ガラス基板の流れ方向を示す矢印
６２・・・第一の搬送ロボット
６３・・・ガラス基板受けピン装置
６３ａ・・・受けピン
６３ｂ・・・ガラス基板受けピン装置のベース台
６４・・・第二の搬送ロボット
６５・・・アライメント装置
６５ａ・・・アライメント機構
６５ｂ・・・スライド架台
６５ｃ・・・シリンダー
６５ｄ・・・メカストッパー
６５ｅ・・・センサ
６５ｆ・・・アライメントピン
６６・・・アライメント機構をスライド架台上を移動する方向を示す矢印
６７・・・ガラス基板を押し込む方向を示す矢印
７０ａ、７０ｂ、７０ｃ・・・ガラス基板
７０ｂ−１・・・本来位置決めされるべきガラス基板の位置（基準位置）
７０ｂ−２・・・ガラス基板アライメント部によって位置決めされたガラス基板の位置
７１・・・ガラス基板受けピン部
７１ａ・・・受けピン
７１ｂ・・・ベース台
７２・・・ガラス基板アライメント部
７２ａ・・・アライメント機構
７２ｂ・・・スライド架台
７２ｃ・・・シリンダー
７２ｄ・・・メカストッパー
７２ｅ・・・センサ
７３・・・ガラス基板位置測定部
７４・・・ガラス基板の位置判定部
７５・・・ロボット
７５ａ・・・ロボットハンド
７５ｂ−１・・・基準位置に位置決めされた場合のロボットハンドの挿入位置
７５ｂ−２・・・基準位置に対して位置決めされた位置がＸ軸のプラス方向にＸ１、Ｙ軸のプラス方向にＹ１であった場合のロボットハンドの挿入位置
７６・・・ガラス基板抜き取り制御プログラム
７７・・・警報出力部
８１・・・ガラス基板を押し込む方向を示す矢印
８２・・・アライメントピンを移動する方向を示す矢印
【図２】
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【図３】
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【図１４】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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