(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズル開口の高密度化を図ることができると共に、小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口２１Ａを有する第１ノズル列と、ノズル開口２１Ｂを有する第２ノズル列とが設けられたノズルプレート２０と、ノズル開口２１Ａに第１の面側４Ａで連通し、第２の面５Ａ側に開口する個別流路が設けられた第１流路形成基板１０Ａ、振動板５０、及び第１圧力発生手段３００を具備する第１アクチュエーター部材２Ａと、第１アクチュエーター部材２Ａの第２の面５Ａ側に設けられて、ノズル開口２１Ｂに第１の面４Ｂ側で連通し、第２の面５Ｂ側に開口する凹形状を有する個別流路及び個別流路とノズル開口２１Ｂとを連通するノズル連通孔が設けられた第２流路形成基板１０Ｂ、振動板５０、及び第２圧力発生手段３００を具備する第２アクチュエーター部材２Ｂと、を具備する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が第１の方向に並設された第１ノズル列と、ノズル開口が第１の方向に並設された第２ノズル列とが、第１の方向に直交する第２の方向に並設され、前記第１ノズル列の前記ノズル開口と前記第２ノズル列の前記ノズル開口とが前記第１の方向で異なる位置に設けられたノズルプレートと、
前記第１ノズル列の前記ノズル開口に一方面である第１の面側で連通し、前記第１の面とは反対側の第２の面側に開口する個別流路が設けられた第１流路形成基板、該第１流路形成基板の前記第１の面とは反対側の第２の面側に設けられた振動板、及び前記個別流路内に圧力変化を生じさせる第１圧力発生手段を具備する第１アクチュエーター部材と、
前記第１アクチュエーター部材の第２の面側に設けられて、前記第２ノズル列の前記ノズル開口に一方面である第１の面側で連通し、前記第１の面とは反対側の第２の面側に開口する凹形状を有する個別流路及び該個別流路に連通して前記第１の面側に設けられた前記ノズル開口に連通するノズル連通孔が設けられた第２流路形成基板、該第２流路形成基板の前記第２の面側に設けられた振動板、及び前記個別流路内に圧力変化を生じさせる第２圧力発生手段を具備する第２アクチュエーター部材と、を具備し、
前記第１アクチュエーター部材の前記個別流路と前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路とが、前記第１アクチュエーター部材と前記第２アクチュエーター部材の積層方向において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第２アクチュエーター部材には、前記第１アクチュエーター部材側に開口する凹形状を有し、且つ当該第１アクチュエーター部材の前記振動板上に設けられた前記第１圧力発生手段を内包する第１保持部が設けられており、前記第１アクチュエーター部材と前記第２アクチュエーター部材の積層方向において、前記第１保持部の少なくとも一部が前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路に重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第２アクチュエーター部材の前記第２の面側には、当該第２アクチュエーター部材の前記振動板上に設けられた前記第２圧力発生手段を内包する第２保持部が設けられた保護基板が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段及び前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線が、前記保護基板の前記第２アクチュエーター部材とは反対側の面まで延設されて外部配線と接続されていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段及び前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線が、前記第１アクチュエーター部材の前記第２の面の前記第２アクチュエーター部材に覆われていない領域まで延設されて外部配線と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段から引き出された引き出し配線は、前記第１流路形成基板の前記第１圧力発生手段が設けられた面側に、前記第２アクチュエーター部材に覆われていない領域まで延設されており、
前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線は、前記第２流路形成基板の前記第２圧力発生手段が設けられた面側に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記第１及び第２アクチュエーター部材には、複数の圧力発生室に共通して連通するマニホールドが設けられており、
前記第１アクチュエーター部材の前記個別流路と、前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路とは、前記マニホールドから前記個別流路の前記振動板の振動中心までの距離及び体積が等しく、且つ前記個別流路の前記振動板の振動中心から前記ノズル開口までの距離及び体積が等しいことを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、ノズル開口に連通する圧力発生室内のインクに圧力変化を生じさせてノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口を高密度に配置するために、ノズル開口を第１の方向に並設した第１ノズル列と、ノズル開口を第１の方向に並設した第２ノズル列と、を第１の方向に交差する第２の方向に並設し、第１ノズル列と第２ノズル列とを第２の方向で同じ位置とならないように第１の方向にずらした、いわゆる千鳥配置としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３０９８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のように、第１ノズル列と第２ノズル列とを第１の方向にずらした、いわゆる千鳥配置としただけでは、個別流路形成に必要な流路や隔壁の寸法確保のため、第１の方向のノズル間ピッチを狭めて高密度化するのに限界があったという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ノズル開口の高密度化を図ることができると共に、小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口が第１の方向に並設された第１ノズル列と、ノズル開口が第１の方向に並設された第２ノズル列とが、第１の方向に直交する第２の方向に並設され、前記第１ノズル列の前記ノズル開口と前記第２ノズル列の前記ノズル開口とが前記第１の方向で異なる位置に設けられたノズルプレートと、前記第１ノズル列の前記ノズル開口に一方面である第１の面側で連通し、前記第１の面とは反対側の第２の面側に開口する個別流路が設けられた第１流路形成基板、該第１流路形成基板の前記第１の面とは反対側の第２の面側に設けられた振動板、及び前記個別流路内に圧力変化を生じさせる第１圧力発生手段を具備する第１アクチュエーター部材と、前記第１アクチュエーター部材の第２の面側に設けられて、前記第２ノズル列の前記ノズル開口に一方面である第１の面側で連通し、前記第１の面とは反対側の第２の面側に開口する凹形状を有する個別流路及び該個別流路に連通して前記第１の面側に設けられた前記ノズル開口に連通するノズル連通孔が設けられた第２流路形成基板、該第２流路形成基板の前記第２の面側に設けられた振動板、及び前記個別流路内に圧力変化を生じさせる第２圧力発生手段を具備する第２アクチュエーター部材と、を具備し、前記第１アクチュエーター部材の前記個別流路と前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路とが、前記第１アクチュエーター部材と前記第２アクチュエーター部材の積層方向において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、個別流路を凹形状に設けることで、第１アクチュエーター部材の圧力発生室と第２アクチュエーター部材の個別流路とをアクチュエーター部材の積層方向で少なくとも一部が重なる位置に配置することができる。したがって、ノズル開口を第１の方向に高密度に配設することができると共に第１の方向の小型化を図ることができる。
【０００９】
ここで、前記第２アクチュエーター部材には、前記第１アクチュエーター部材側に開口する凹形状を有し、且つ当該第１アクチュエーター部材の前記振動板上に設けられた前記第１圧力発生手段を内包する第１保持部が設けられており、前記第１アクチュエーター部材と前記第２アクチュエーター部材の積層方向において、前記第１保持部の少なくとも一部が前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路に重なる位置に設けられていることが好ましい。これによれば、第２アクチュエーター部材の個別流路を凹形状に形成することで、圧力発生室と保持部とを重なる位置に設けることができ、ノズル開口を第１の方向で高密度に配置することができると共に小型化を図ることができる。
【００１０】
また、前記第２アクチュエーター部材の前記第２の面側には、当該第２アクチュエーター部材の前記振動板上に設けられた前記第２圧力発生手段を内包する第２保持部が設けられた保護基板が設けられていることが好ましい。これによれば、第２アクチュエーター部材の第２圧力発生手段を保護することができる。
【００１１】
また、前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段及び前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線が、前記保護基板の前記第２アクチュエーター部材とは反対側の面まで延設されて外部配線と接続されていることが好ましい。これによれば、積層されたアクチュエーター部材の圧力発生手段と外部配線とを確実に接続することができる。
【００１２】
また、前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段及び前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線が、前記第１アクチュエーター部材の前記第２の面の前記第２アクチュエーター部材に覆われていない領域まで延設されて外部配線と電気的に接続されていてもよい。これによれば、積層されたアクチュエーター部材の圧力発生手段と外部配線とを確実に接続することができる。
【００１３】
また、前記第１アクチュエーター部材の前記第１圧力発生手段から引き出された引き出し配線は、前記第１流路形成基板の前記第１圧力発生手段が設けられた面側に、前記第２アクチュエーター部材に覆われていない領域まで延設されており、前記第２アクチュエーター部材の前記第２圧力発生手段から引き出された引き出し配線は、前記第２流路形成基板の前記第２圧力発生手段が設けられた面側に設けられていてもよい。これによれば、引き出し配線をアクチュエーター部材の積層方向に引き出す必要がなく、引き出し配線の形成不良や断線などを抑制することができると共にアクチュエーター部材を３段以上に容易に積層することができる。
【００１４】
また、前記第１及び第２アクチュエーター部材には、複数の圧力発生室に共通して連通するマニホールドが設けられており、前記第１アクチュエーター部材の前記個別流路と、前記第２アクチュエーター部材の前記個別流路とは、前記マニホールドから前記個別流路の前記振動板の振動中心までの距離及び体積が等しく、且つ前記個別流路の前記振動板の振動中心から前記ノズル開口までの距離及び体積が等しいことが好ましい。これによれば、各アクチュエーター部材において、振動中心からノズル開口までの距離（流路長）と体積及びマニホールドから振動中心までの距離（流路長）及び体積を等しくすることで、ノズル開口から吐出される液体の噴射特性を揃えることができる。
【００１５】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、被噴射媒体に液滴を高密度に着弾させることができると共に小型化した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドを示す平面図である。
【図９】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態４に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態４に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態５に係る記録ヘッドの断面図である。
【図１５】本発明の実施形態５に係る記録ヘッドの断面図である。
【図１６】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの保護基板側の平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ′線断面図であり、図３は図１のＢ−Ｂ′線断面図であり、図４は図１のＣ−Ｃ′線断面図である。
【００１９】
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１は、２つのアクチュエーター部材２Ａ、２Ｂ（第１アクチュエーター部材２Ａ及び第２アクチュエーター部材２Ｂの総称としてアクチュエーター部材２とも言う）と、一方のアクチュエーター部材２（第１アクチュエーター部材２Ａ）に固定されたノズルプレート２０と、他方のアクチュエーター部材２（第２アクチュエーター部材２Ｂ）に固定された保護基板３と、を具備する。
【００２０】
ノズルプレート２０は、例えば、ステンレス鋼等の金属やシリコン等の半導体、セラミックス材料で形成された板状部材からなる。このノズルプレート２０には、第１ノズル開口２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１ノズル列と、第２ノズル開口２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２ノズル列と、が設けられている。そして、第１ノズル開口２１Ａの並設された第１ノズル列と第２ノズル開口２１Ｂの並設された第２ノズル列とが第２の方向Ｙに並設されている。第２ノズル列の第２ノズル開口２１Ｂは、第１の方向Ｘにおいて第１ノズル列の第１ノズル開口２１Ａの間に配置されている。逆に、第１ノズル列の第１ノズル開口２１Ａは、第１の方向Ｘにおいて第２ノズル列の第２ノズル開口２１Ｂの間に配置されている。すなわち、第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとを有するノズル開口２１は、第１の方向Ｘに交互に配置された所謂、千鳥配置となっている。
【００２１】
また、第１ノズル列の第１の方向で互いに隣り合う第１ノズル開口２１Ａのピッチ（間隔）と、第２ノズル列の第１の方向で互いに隣り合う第２ノズル開口２１Ｂのピッチ（間隔）とは同じピッチで設けられている。そして、第２ノズル開口２１Ｂは、第１の方向Ｘで第１ノズル開口２１Ａのピッチの半ピッチの位置に配置されている。これにより、第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとは、第１の方向Ｘで第１ノズル開口２１Ａの半ピッチの間隔で配置されていることになる。つまり、第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとを設けることによって、第１ノズル開口２１Ａのみを設けた場合に比べて２倍の高密度化を図ることができる。
【００２２】
なお、本実施形態では、第１ノズル開口２１Ａの並設方向を第１の方向Ｘと称し、第１の方向Ｘに直交する方向を第２の方向Ｙと称する。
【００２３】
アクチュエーター部材２は、一方面である第１の面４Ａにノズルプレート２０が接合された第１アクチュエーター部材２Ａと、第１アクチュエーター部材２Ａの第１の面４Ａとは反対側の第２の面５Ａに接合された第２アクチュエーター部材２Ｂと、を具備する。なお、第２アクチュエーター部材２Ｂは、ノズルプレート２０に連通する側の第１の面４Ｂが第１アクチュエーター部材２Ａの第２の面５Ａに接合され、第２アクチュエーター部材２Ｂの第１の面４Ｂとは反対側の第２の面５Ｂには、保護基板３が設けられている。
【００２４】
図２に示すように、第１アクチュエーター部材２Ａを構成する第１流路形成基板１０Ａは、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなる。
【００２５】
第１流路形成基板１０Ａには、複数の第１圧力発生室１２Ａが同じ色のインクを吐出する複数のノズル開口２１（第１ノズル開口２１Ａ）が並設される方向、すなわち、第１の方向Ｘに沿って並設されている。
【００２６】
第１流路形成基板１０Ａの第１圧力発生室１２Ａは、第１の面４Ａとは反対側の第２の面５Ａ側に開口し、第１流路形成基板１０Ａを第１の面４Ａに達することなく、すなわち、厚さ方向Ｚに貫通することなく形成された凹形状を有する。ちなみに厚さ方向Ｚとは、第１の面４Ａから第２の面５Ａに向かう方向である。
【００２７】
また、第１流路形成基板１０Ａには、第１圧力発生室１２Ａの第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙの一端部側にマニホールドを構成する第１マニホールド部１３Ａが設けられている。この第１マニホールド部１３Ａは、第１の方向Ｘに沿って複数の第１圧力発生室１２Ａに亘って連続して設けられている。そして、第１マニホールド部１３Ａと複数の第１圧力発生室１２Ａとが、各第１圧力発生室１２Ａ毎に設けられた第１供給路１４Ａを介して連通されている。なお、第１マニホールド部１３Ａは、第１圧力発生室１２Ａと同様に、第２の面５Ａに開口する凹形状を有する。もちろん、第１マニホールド部１３Ａを第１流路形成基板１０Ａを貫通させて設け、第１マニホールド部１３Ａの第１の面４Ａ側の開口をノズルプレート２０によって封止してもよい。
【００２８】
また、第１供給路１４Ａは、第１圧力発生室１２Ａと同じ深さ（厚さ方向Ｚ）で、第１圧力発生室１２Ａよりも狭い幅（第１の方向Ｘの幅）で形成されており、ノズル開口２１側に押し出すインク量を調整している。なお、本実施形態では、流路の幅を両側から絞ることで第１供給路１４Ａを形成したが、流路の幅を片側から絞ることで第１供給路１４Ａを形成しても良い。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向Ｚ（第１流路形成基板１０Ａとノズルプレート２０との積層方向）から絞ることで第１供給路１４Ａを形成してもよい。本実施形態では、第１圧力発生室１２Ａ、第１供給路１４Ａを第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と称する。
【００２９】
また、第１流路形成基板１０Ａには、第１圧力発生室１２Ａの第２の方向Ｙにおいて第１供給路１４Ａとは反対側の端部に連通する第１ノズル連通孔１５Ａが設けられている。
【００３０】
第１ノズル連通孔１５Ａは、ノズルプレート２０の第１ノズル開口２１Ａに相対向する位置に、第１ノズル開口２１Ａに連通するように、第１流路形成基板１０Ａを厚さ方向Ｚに貫通して設けられており、第１圧力発生室１２Ａは、第１ノズル連通孔１５Ａを介して第１ノズル開口２１Ａと連通する。
【００３１】
すなわち、第１流路形成基板１０Ａには、凹形状を有する第１供給路１４Ａ及び第１圧力発生室１２Ａを具備する個別流路と、厚さ方向Ｚに貫通する第１ノズル連通孔１５Ａと、第１マニホールド部１３Ａと、が設けられている。
【００３２】
そして、第１ノズル連通孔１５Ａが開口する第１の面４Ａには、第１ノズル連通孔１５Ａに連通するノズル開口２１である第１ノズル開口２１Ａが設けられたノズルプレート２０が接合されている。
【００３３】
このような第１流路形成基板１０Ａの第１圧力発生室１２Ａが開口する第２の面５Ａには、本実施形態では、例えば、厚さ（Ｚ方向）が１〜５μｍのセラミックス材料の薄板からなる振動板５０が固定され、第１圧力発生室１２Ａの一方面はこの振動板５０により封止されている。
【００３４】
また、振動板５０上（第１流路形成基板１０Ａとは反対面側）には、各第１圧力発生室１２Ａに対向する領域のそれぞれに第１圧力発生室１２Ａ内のインク（液体）に圧力変動を生じさせる第１圧力発生手段である圧電素子３００が設けられている。
【００３５】
ここで、各圧電素子３００は、振動板５０上に設けられた第１電極６０と、各第１圧力発生室１２Ａ毎に独立して設けられた圧電体層７０と、各圧電体層７０上に設けられた第２電極８０とで構成されている。第１電極６０は、第１の方向Ｘに並設された圧電素子３００に亘って設けられて各圧電素子３００の共通電極となっており、振動板５０の一部としても機能する。また、第１電極６０は、圧電素子３００の第２の方向Ｙの第１ノズル連通孔１５Ａ側から圧電体層７０の端部の内側まで延設されている。
【００３６】
圧電体層７０は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。もちろん、圧電体層７０は、スパッタリング法や溶液法によって第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を加熱して焼成することで結晶化して形成するようにしてもよい。
【００３７】
第２電極８０は、各圧電素子３００毎に設けられて各圧電素子３００の個別電極となっており、各圧電素子３００の第２の方向Ｙの第１電極６０が延設された第１ノズル連通孔１５Ａとは反対側の他端部側に延設されている。なお、本実施形態では、第１電極６０を共通電極とし、第２電極８０を個別電極としたが、特にこれに限定されず、第１電極を圧電体層毎に設けて個別電極とし、第２電極を複数の圧電体層に亘って設けて共通電極としてもよい。
【００３８】
このように、第１流路形成基板１０Ａと、振動板５０と、圧電素子３００とで本実施形態の第１アクチュエーター部材２Ａが構成されている。
【００３９】
そして、第１アクチュエーター部材２Ａのノズルプレート２０が接合された第１の面４Ａとは反対側の第２の面５Ａには、第２アクチュエーター部材２Ｂが接合されている。
【００４０】
図３に示すように、第２アクチュエーター部材２Ｂを構成する第２流路形成基板１０Ｂは、例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、第１流路形成基板１０Ａと同じ厚さ（Ｚ方向）を有する。第２流路形成基板１０Ｂは、ノズルプレート２０側の一方面である第１の面４Ｂが第１アクチュエーター部材２Ａの第２の面５Ａに接合されている。
【００４１】
また、第２流路形成基板１０Ｂには、第１流路形成基板１０Ａに接合される第１の面４Ｂとは反対側の第２の面５Ｂに開口する凹形状を有する第２圧力発生室１２Ｂが第１の方向Ｘに並設されている。
【００４２】
第２圧力発生室１２Ｂは、第１の方向Ｘの幅、第２の方向Ｙの長さ及び第２の面５Ｂから第１の面４Ｂに向かう深さ（厚さ方向Ｚ）が第１圧力発生室１２Ａと同じ大きさを有する。
【００４３】
また、第２流路形成基板１０Ｂには、第２圧力発生室１２Ｂの第１の方向Ｘに直交する第２の方向Ｙの一端部側にマニホールド１００を構成する第２マニホールド部１３Ｂが設けられている。この第２マニホールド部１３Ｂは、第１の方向Ｘに沿って複数の第２圧力発生室１２Ｂに亘って連続して設けられている。そして、第２マニホールド部１３Ｂと複数の第２圧力発生室１２Ｂとが、各第２圧力発生室１２Ｂ毎に設けられた第２供給路１４Ｂを介して連通されている。なお、第２マニホールド部１３Ｂは、第２流路形成基板１０Ｂを厚さ方向Ｚに貫通して、第１マニホールド部１３Ａと連通して設けられている。
【００４４】
また、第２供給路１４Ｂは、第１供給路１４Ａと同様に、第２圧力発生室１２Ｂと同じ深さ（厚さ方向Ｚ）で、図１に示すように、第２圧力発生室１２Ｂよりも狭い幅（第１の方向Ｘの幅）で形成されており、ノズル開口２１側に押し出すインク量を調整している。なお、本実施形態では、流路の幅を両側から絞ることで第２供給路１４Ｂを形成したが、流路の幅を片側から絞ることで第２供給路１４Ｂを形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向Ｚ（第１流路形成基板１０Ａとノズルプレート２０との積層方向）から絞ることで第２供給路１４Ｂを形成してもよい。本実施形態では、第２圧力発生室１２Ｂ、第２供給路１４Ｂを第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路と称する。
【００４５】
また、第２流路形成基板１０Ｂには、第２圧力発生室１２Ｂの第２の方向Ｙにおいて第２供給路１４Ｂとは反対側の端部に連通する第２ノズル連通孔１５Ｂが設けられている。
【００４６】
第２ノズル連通孔１５Ｂは、ノズルプレート２０の第２ノズル開口２１Ｂに相対向する位置に、第２ノズル開口２１Ｂに連通するように、第２流路形成基板１０Ｂを厚さ方向Ｚに貫通して設けられている。本実施形態では、第２ノズル連通孔１５Ｂは、第１流路形成基板１０Ａに厚さ方向Ｚに貫通して設けられた接続孔１７に連通しており、接続孔１７を介してノズルプレート２０のノズル開口２１である第２ノズル開口２１Ｂと連通している。これにより、第２圧力発生室１２Ｂは、第２ノズル連通孔１５Ｂ及び接続孔１７を介して第２ノズル開口２１Ｂに連通する。
【００４７】
すなわち、第２流路形成基板１０Ｂには、凹形状を有する第２供給路１４Ｂ及び第２圧力発生室１２Ｂを具備する個別流路と、厚さ方向Ｚに貫通する第２ノズル連通孔１５Ｂと、第２マニホールド部１３Ｂと、が設けられている。
【００４８】
ここで、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）は、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に、第２の方向Ｙにおいて第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）よりも第１ノズル連通孔１５Ａ側にずれた位置に配置されている。また、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）は、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に、第１の方向Ｘにおいて、当該第１の方向Ｘで互いに隣り合う第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）の間に配置されている。そして、これら第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとは、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に、少なくとも一部が重なる位置に配置されている。
【００４９】
ここで、本実施形態では、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）とが積層方向で少なくとも一部が重なるとは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて重なっていることを言う。すなわち、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）とが、第１の方向Ｘのみで重なっていても、第２の方向Ｙで重なっていなければ、「第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとが積層方向で少なくとも一部が重なっている」とは言わない。つまり、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）とが、第１の方向Ｘで重なっており、第２の方向Ｙで重なっていない場合とは、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とが、厚さ方向Ｚから平面視した際に、第１の方向Ｘに同じ位置（座標）で設けられているものの、第２の方向Ｙでは重なることなく並んで設けられているものも含んでしまうためである。そして、このような場合には、インクジェット式記録ヘッド１は、ノズル開口２１を高密度に配置することができず、第２の方向Ｙに大型化してしまう。本実施形態では、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とを積層方向で第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて重なるように配置することで、ノズル開口２１を高密度に配置することができると共に第２の方向Ｙに小型化することができるものである。
【００５０】
同様の理由から、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）とが、第２の方向Ｙのみで重なっていても、第１の方向Ｘで重なっていなければ、「第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとが積層方向で少なくとも一部が重なっている」とは言わない。
【００５１】
また、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路（第１圧力発生室１２Ａ）と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路（第２圧力発生室１２Ｂ）とが、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に少なくとも一部が重なって設けられているとは、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とが完全に同一位置に重なって設けられたものは含まない。
【００５２】
このように第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とを、第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置することができるのは、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路が第２流路形成基板１０Ｂを貫通することなく凹形状で形成されているからである。すなわち、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路が第２流路形成基板１０Ｂを貫通して設けられていると、第２流路形成基板１０Ｂと第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００とが干渉してしまうため、第２圧力発生室１２Ｂと個別流路とを、第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置することができない。つまり、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路が第２流路形成基板１０Ｂを貫通して設けられている場合、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路を第１アクチュエーター部材２Ａの第１の方向Ｘで隣り合う圧電素子３００の間に配置しなくてはならず、また、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第１の方向Ｘの間に第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００を配置しなくてはならない。そして、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路を第１アクチュエーター部材２Ａの第１の方向Ｘで隣り合う圧電素子３００の間に配置し、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第１の方向Ｘの間に第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００を配置する場合、第１の方向Ｘで互いに隣り合う第１圧力発生室１２Ａの間隔を広くすると共に第１の方向Ｘで隣り合う第２圧力発生室１２Ｂの間の間隔を広くする必要があり、第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１（第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂ）との間隔が広くなってしまい、ノズル開口２１を第１の方向Ｘに高密度に配置することができず、また、第１流路形成基板１０Ａ及び第２流路形成基板１０Ｂが第１の方向Ｘに大型化してしまう。これに対して、本実施形態では、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路を、第２流路形成基板１０Ｂを貫通することなく凹形状で形成することで、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とを、第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとの積層方向において少なくとも一部が互いに重なる位置に配置することができる。したがって、第１の方向Ｘにおいて、隣り合う第１圧力発生室１２Ａの間隔及び隣り合う第２圧力発生室１２Ｂの間隔を狭くして、ノズル開口２１の第１の方向Ｘの間隔を狭くすることができ、ノズル開口２１を高密度に配置することができると共に、第１流路形成基板１０Ａ及び第２流路形成基板１０Ｂの第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを小型化することができる。
【００５３】
このように第２圧力発生室１２Ｂが、第１圧力発生室１２Ａよりも第２の方向Ｙの第１ノズル連通孔１５Ａ側にずれた位置に配置され、且つ第１の方向Ｘにおいて隣り合う第１圧力発生室１２Ａの間に配置されている。したがって、第２圧力発生室１２Ｂに連通する第２ノズル連通孔１５Ｂは、第２圧力発生室１２Ｂの第１圧力発生室１２Ａに対する位置と同様に、第１ノズル連通孔１５Ａに対して、第２の方向Ｙで第２圧力発生室１２Ｂとは反対側にずれた位置に配置され、且つ第１の方向Ｘにおいて隣り合う第１ノズル連通孔１５Ａの間に配置されている。そして、このように設けられた第２ノズル連通孔１５Ｂは、上述のように接続孔１７を介してノズルプレート２０のノズル開口２１である第２ノズル開口２１Ｂに連通している。
【００５４】
なお、本実施形態では、第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとが、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に、少なくとも一部が重なる位置に配置されているが、特にこれに限定されず、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とが、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）から平面視した際に、少なくとも一部が重なる位置に設けられていればよい。すなわち、例えば、第１圧力発生室１２Ａと第２供給路１４Ｂとが厚さ方向Ｚから平面視した際に少なくとも一部が重なる位置に配置されていてもよい。ちなみに、個別流路の何れが厚さ方向Ｚで重なる位置に設けられるかについては、第１ノズル開口２１Ａと第２ノズル開口２１Ｂとの相対位置と、各個別流路の流路長などによって変更されるものである。
【００５５】
また、第２流路形成基板１０Ｂの第２の面５Ｂには、第１流路形成基板１０Ａと同様に振動板５０が設けられ、振動板５０上には各第２圧力発生室１２Ｂに対応して第２圧力発生室１２Ｂ内のインク（液体）に圧力変動を生じさせる第２圧力発生手段である圧電素子３００が設けられている。第２流路形成基板１０Ｂに設けられる振動板５０及び圧電素子３００については、第１流路形成基板１０Ａに設けられた振動板５０及び圧電素子３００と同様の構成を有するため同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５６】
ここで、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第１ノズル開口２１Ａまでの距離ｌ１及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第２ノズル開口２１Ｂまでの距離ｌ３及び体積とは、等しくなるように設けられており、且つ第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第１マニホールド部１３Ａ）までの距離ｌ２及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第２マニホールド部１３Ｂ）までの距離ｌ４及び体積とは、等しくなるように設けられている。
【００５７】
ちなみに、第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心とは、圧電素子３００の実質的な駆動部である圧電体能動部の第２の方向Ｙの中心のことである。また、圧電体能動部とは、第１電極６０と第２電極８０とによって挟まれた圧電体層７０の領域が、両電極への電圧の印加により電圧歪みが生じる部分であり、本実施形態では、この領域のことをいう。なお、ここで言う距離ｌ１、ｌ３とは、インクの流れる方向であり、第１圧力発生室１２Ａ及び第２圧力発生室１２Ｂの振動中心から第１ノズル連通孔１５Ａ及び第２ノズル連通孔１５Ｂまでの第２の方向Ｙの距離と、第１ノズル連通孔１５Ａ、第２ノズル連通孔１５Ｂ及び接続孔１７の厚さ方向Ｚの距離とを合わせた距離のことである。また、距離ｌ２、ｌ４とは、第１圧力発生室１２Ａ及び第２圧力発生室１２Ｂの振動中心から第１供給路１４Ａ及び第２供給路１４Ｂまでの第２の方向Ｙの距離と、第１供給路１４Ａ及び第２供給路１４Ｂの第２の方向Ｙにおける距離とを合わせた距離のことである。
【００５８】
このように、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の振動板５０の振動中心から第１ノズル開口２１Ａまでの距離ｌ１及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の振動板５０の振動中心から第２ノズル開口２１Ｂまでの距離ｌ３及び体積とを等しくし、且つ第１アクチュエーター部材２Ａの振動板５０の振動中心（第２の方向Ｙにおける）からマニホールド１００（第１マニホールド部１３Ａ）までの距離ｌ２及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの振動板５０の振動中心（第２の方向Ｙにおける）からマニホールド１００（第２マニホールド部１３Ｂ）までの距離ｌ４及び体積とを等しくなるように設けることで、第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとで圧電素子３００によって第１圧力発生室１２Ａ及び第２圧力発生室１２Ｂ内のインクに圧力変化を生じさせた際に、第１ノズル開口２１Ａ及び第２ノズル開口２１Ｂの圧力状態及びメニスカスの振動状態を同じにすることができ、第１ノズル開口２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル開口２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性（飛翔速度やインク滴の重量）を揃えることができ、均一な吐出特性で被記録媒体にインク滴を着弾させることができる。
【００５９】
ちなみに、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第１ノズル開口２１Ａまでの距離ｌ１及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第２ノズル開口２１Ｂまでの距離ｌ３及び体積とが等しくなく、且つ、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第１マニホールド部１３Ａ）までの距離ｌ２及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第２マニホールド部１３Ｂ）までの距離ｌ４及び体積とが等しくない場合、第１ノズル開口２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル開口２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性（飛翔速度やインク滴の重量）にばらつきが生じてしまう。
【００６０】
また、第２流路形成基板１０Ｂには、第１流路形成基板１０Ａの圧電素子３００に対向する領域に当該圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保可能な第１保持部１８が設けられている。この第１保持部１８は、第２流路形成基板１０Ｂの第１流路形成基板１０Ａ側の面、すなわち第１の面４Ｂに開口する凹形状を有し、各圧電素子３００毎に独立して設けられている。なお、第１保持部１８は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００６１】
このような第１保持部１８は、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂの積層方向（厚さ方向Ｚ）において、第２圧力発生室１２Ｂと重なる位置に配置されている。このため、第１保持部１８は、第２圧力発生室１２Ｂに連通しない程度の深さで形成されている。ちなみに、第１保持部１８の深さは、第２流路形成基板１０Ｂの厚さ、圧電素子３００の厚さ、第２圧力発生室１２Ｂの深さ等に応じて適宜決定されている。
【００６２】
さらに、第２流路形成基板１０Ｂの圧電素子３００が設けられた第２の面５Ｂ側には、第２流路形成基板１０Ｂの圧電素子３００に対向する領域に当該圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保可能な第２保持部３１を有する保護基板３が設けられている。この第２保持部３１は、第２流路形成基板１０Ｂに設けられた第１保持部１８と同様に各圧電素子３００毎に独立して設けられている。もちろん、第２流路形成基板１０Ｂの第１保持部１８及び保護基板３の第２保持部３１は、複数の圧電素子３００に亘って連続して設けるようにしてもよい。
【００６３】
このような保護基板３には、第２流路形成基板１０Ｂの第２マニホールド部１３Ｂに連通する第３マニホールド部３２が設けられており、第３マニホールド部３２は、第１マニホールド部１３Ａ、第２マニホールド部１３Ｂと共にマニホールド１００を構成する。すなわち、本実施形態のマニホールド１００は、第１流路形成基板１０Ａに設けられた第１マニホールド部１３Ａ、第２流路形成基板１０Ｂに設けられた第２マニホールド部１３Ｂ及び保護基板３に設けられた第３マニホールド部３２によって構成されている。
【００６４】
なお、保護基板３としては、第１流路形成基板１０Ａ及び第２流路形成基板１０Ｂと同様に、セラミックス板などを用いることができる。さらに、保護基板３上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってマニホールドの一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００６５】
なお、コンプライアンス基板４０には、マニホールド１００に相対向する領域に、当該マニホールド１００にインクを導入するためのインク導入孔４４が設けられており、インク導入孔４４を介して外部のインクカートリッジやインクタンクなどの液体貯留手段からのインクがマニホールド１００に供給される。
【００６６】
また、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００及び第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００の各電極６０、８０は、本実施形態では、保護基板３上まで引き出されて外部配線に接続されている。
【００６７】
詳しくは、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００の各電極６０、８０は、第２アクチュエーター部材２Ｂ及び保護基板３を厚さ方向Ｚに貫通するコンタクトホール９１内に設けられた引き出し配線９２を介して保護基板３の第２流路形成基板１０Ｂとは反対側の面まで引き出されている。
【００６８】
同様に、第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００の各電極６０、８０は、保護基板３を厚さ方向Ｚに貫通するコンタクトホール９３内に設けられた引き出し配線９４を介して保護基板３の第２流路形成基板１０Ｂとは反対側の面まで引き出されている。
【００６９】
なお、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００の各電極６０、８０を保護基板３上に引き出すコンタクトホール９１は、第２アクチュエーター部材２Ｂの第１の方向Ｘで隣り合う第２供給路１４Ｂの間に設けられている。本実施形態では、第２供給路１４Ｂを第２圧力発生室１２Ｂの両側から幅（第１の方向Ｘの幅）を絞ることで形成しているため、第１の方向Ｘで隣り合う第２供給路１４Ｂの間の幅は、隣り合う第２圧力発生室１２Ｂの間の幅よりも広い。したがって、コンタクトホール９１を大きな開口面積で形成しても、第２供給路１４Ｂと干渉することがなく、コンタクトホール９１を大きな開口面積で形成して、コンタクトホール９１内に形成する引き出し配線９２を太くすることができ、引き出し配線９２の断線や引き出し配線９２の電気抵抗の増大による不具合などを抑制することができる。
【００７０】
そして、保護基板３上に引き出された引き出し配線９２及び９４には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）やテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）等の外部配線１１０が接続されている。
【００７１】
このようなインクジェット式記録ヘッド１では、図示しない外部のインク貯留手段からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１（第１ノズル開口２１Ａ、第２ノズル開口２１Ｂ）に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、外部配線１１０を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、振動板５０及び圧電素子３００を撓み変形させることにより、第１圧力発生室１２Ａ及び第２圧力発生室１２Ｂ内の圧力を変化させてノズル開口２１（第１ノズル開口２１Ａ及び第２ノズル開口２１Ｂ）からインク滴を吐出させる。
【００７２】
以上説明したように、本実施形態では、第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとを各アクチュエーター部材２の第２の面（５Ａ、５Ｂ）に開口する凹形状で設け、第１圧力発生室１２Ａと第２圧力発生室１２Ｂとを第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとの積層方向（厚さ方向Ｚ）で少なくとも一部が互いに重なるように配置することで、ノズル開口２１の第１の方向Ｘの高密度化を図ると共に、各アクチュエーター部材２の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの小型化を図ることができる。
【００７３】
また、第２アクチュエーター部材２Ｂの第２圧力発生室１２Ｂから第２ノズル開口２１Ｂまでの距離ｌ２及び体積と、第１アクチュエーター部材２Ａの第１圧力発生室１２Ａから第１ノズル開口２１Ａまでの距離ｌ１及び体積とを等しくなるように設け、第２アクチュエーター部材２Ｂのマニホールド１００（第２マニホールド部１３Ｂ）から第２圧力発生室１２Ｂまでの距離ｌ４及び体積と、第１アクチュエーター部材２Ａのマニホールド１００（第１マニホールド部１３Ａ）から第１圧力発生室１２Ａまでの距離ｌ３及び体積とを等しくなるように設けることで、第１ノズル開口２１Ａ及び第２ノズル開口２１Ｂから吐出されるインク滴の吐出特性を揃えて、印刷品質を向上することができる。
【００７４】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に対応する断面図である。また、図６は、本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの図１のＢ−Ｂ′線に対応する断面図である。さらに、図７は、本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図１のＡ−Ａ′線に対応する断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７５】
図５及び図６に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、第１アクチュエーター部材２Ａ、第２アクチュエーター部材２Ｂ、ノズルプレート２０及び保護基板３を具備する。
【００７６】
第１アクチュエーター部材２Ａは、第２の方向Ｙの幅が第２アクチュエーター部材２Ｂよりも幅広に設けられており、第１アクチュエーター部材２Ａの第２の方向Ｙの第１ノズル連通孔１５Ａ側の一端部が、第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出して設けられている。
【００７７】
そして、図５に示すように、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００の各電極６０、８０は、引き出し配線９５によって、第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出した領域に延設されて、外部配線１１０と電気的に接続されている。
【００７８】
また、図６に示すように、第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００の各電極６０、８０は、第２アクチュエーター部材２Ｂの外周の側面上に設けられた引き出し配線９６によって、第１アクチュエーター部材２Ａ上の第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出した領域に延設されて、外部配線１１０と電気的に接続されている。
【００７９】
この第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００の各電極６０、８０に接続された引き出し配線９６は、第２アクチュエーター部材２Ｂの外周面上に設けずに、図７に示すように、第２アクチュエーター部材２Ｂを厚さ方向Ｚで貫通するコンタクトホール９７内に設けるようにしてもよい。
【００８０】
このように、引き出し配線９５を第１アクチュエーター部材２Ａの第１流路形成基板１０Ａの振動板５０上に引き出して外部配線１１０と接続することによって、第２アクチュエーター部材２Ｂの上（第１アクチュエーター部材２Ａとは反対面側）にさらにアクチュエーター部材を積層することもできる。
【００８１】
（実施形態３）
図８は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図９は、図８のＤ−Ｄ′線断面図である。また、図１０は、本発明の実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図８のＤ−Ｄ′線に対応する断面図である。さらに、図１１は、本発明の実施形態３に係るインクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図８のＤ−Ｄ′線に対応する断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００８２】
図８及び図９に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、第１アクチュエーター部材２Ａ、第２アクチュエーター部材２Ｂ、ノズルプレート２０及び保護基板３を具備する。
【００８３】
第１アクチュエーター部材２Ａ（第１流路形成基板１０Ａ）は、上述した図５及び図６と同様に、第２の方向Ｙの幅が第２アクチュエーター部材２Ｂ（第２流路形成基板１０Ｂ）よりも幅広に設けられており、第１アクチュエーター部材２Ａの第２の方向Ｙの第１ノズル連通孔１５Ａ側の一端部が、第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出して設けられている。なお、本実施形態では、第１流路形成基板１０Ａの第２流路形成基板１０Ｂよりも突出した領域には、振動板５０が設けられている。
【００８４】
そして、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００の第１電極６０及び第２電極８０から引き出された引き出し配線９５は、第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出した第１流路形成基板１０Ａの振動板５０上に延設されて、延設された端部で外部配線１１０と電気的に接続されている。すなわち、本実施形態では、引き出し配線９５は、圧電素子３００が設けられた面である振動板５０上と同一面内に設けられており、一端が圧電素子３００の第１電極６０または第２電極８０に接続され、他端が第１流路形成基板１０Ａ（振動板５０）の第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出した領域に延設されて、延設された端部で外部配線１１０と電気的に接続されている。
【００８５】
つまり、第１アクチュエーター部材２Ａの第１圧力発生手段である圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５は、第１流路形成基板１０Ａの第１圧力発生手段である圧電素子３００が設けられた面側（振動板５０上）に、第２アクチュエーター部材２Ｂに覆われていない領域まで延設されている。
【００８６】
また、第２アクチュエーター部材２Ｂは、第２流路形成基板１０Ｂの第２の方向Ｙの幅が、保護基板３よりも幅広に設けられており、第２流路形成基板１０Ｂの第２ノズル連通孔１５Ｂ側の一端部が、保護基板３よりも外側に突出して設けられている。なお、本実施形態では、第２流路形成基板１０Ｂの保護基板３よりも突出した領域には、振動板５０が設けられている。
【００８７】
そして、第２アクチュエーター部材２Ｂの第２圧力発生手段である圧電素子３００の第１電極６０及び第２電極８０から引き出された引き出し配線９５は、保護基板３よりも外側に突出した第２流路形成基板１０Ｂの振動板５０上に延設されて、延設された端部で外部配線１１０と電気的に接続されている。
【００８８】
すなわち、本実施形態では、引き出し配線９５は、圧電素子３００が設けられた面である振動板５０上と同一面内に設けられており、一端が圧電素子３００の第１電極６０または第２電極８０に接続され、他端が第１流路形成基板１０Ａ（振動板５０）の第２アクチュエーター部材２Ｂよりも外側に突出した領域に延設されて、延設された端部で外部配線１１０と電気的に接続されている。
【００８９】
つまり、第２アクチュエーター部材２Ｂの第２圧力発生手段である圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５は、第２流路形成基板１０Ｂの第２圧力発生手段である圧電素子３００が設けられた面側（振動板５０上）に設けられている。
【００９０】
このような構成では、各アクチュエーター部材２の各圧電素子３００から引き出した引き出し配線９５をそれぞれ各アクチュエーター部材２の流路形成基板１０の圧電素子３００が設けられた面側に引き出して、外部配線１１０と接続することができるため、引き出し配線９５を厚さ方向Ｚに引き回す必要がない。したがって、引き出し配線９５の形成不良や断線等が発生するのを抑制して、アクチュエーター部材２を厚さ方向Ｚに２段以上の複数段に積層し易くすることができる。
【００９１】
また、図８及び図９に示すインクジェット式記録ヘッド１の引き出し配線９５には、外部配線１１０を接続せずに、半導体集積回路等の駆動回路を接続するようにしてもよい。このような例を図１０及び図１１に示す。
【００９２】
図１０に示すように、第１アクチュエーター部材２Ａの第１流路形成基板１０Ａの引き出し配線９５が設けられた面と同一面、すなわち、振動板５０上には、半導体集積回路（ＩＣ）等の駆動回路１２０が固定されている。そして、この駆動回路１２０と、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５及び第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５とは、ボンディングワイヤー等の接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００９３】
また、図１１に示すように、保護基板３の第２アクチュエーター部材２Ｂとは反対面側には、半導体集積回路（ＩＣ）等の駆動回路１２０が設けられている。そして、この駆動回路１２０と、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５及び第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００から引き出された引き出し配線９５とは、ボンディングワイヤー等の接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００９４】
このように、圧電素子３００から引き出した引き出し配線９５は、図７〜図９に示すように、外部配線１１０によって外部と接続してもよく、また、図１０及び図１１に示すように、インクジェット式記録ヘッド１に駆動回路１２０を設け、駆動回路１２０と接続するようにしてもよい。
【００９５】
（実施形態４）
図１２は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に対応する断面図である。また、図１３は、本発明の実施形態４に係るインクジェット式記録ヘッドの図１のＢ−Ｂ′線に対応する断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９６】
図１２及び図１３に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、第１アクチュエーター部材２Ａ、第２アクチュエーター部材２Ｂ、ノズルプレート２０及び保護基板３を具備する。
【００９７】
第１アクチュエーター部材２Ａは、第１流路形成基板１０Ａを具備し、第１流路形成基板１０Ａには、厚さ方向に貫通した第１圧力発生室１２Ａ、第１マニホールド部１３Ａ及び第１供給路１４Ａが形成されている。
【００９８】
この第１流路形成基板１０Ａの第１圧力発生室１２Ａ、第１マニホールド部１３Ａ及び第１供給路１４Ａの圧電素子３００とは反対面側の開口は、ノズルプレート２０によって封止されている。
【００９９】
これにより、第１圧力発生室１２Ａは、上述した実施形態１のように第１ノズル連通孔１５Ａを用いることなく、直接、第１ノズル開口２１Ａと連通する。
【０１００】
また、第１アクチュエーター部材２Ａには、上述した実施形態１と同様に、振動板５０及び圧電素子３００が形成されている。
【０１０１】
さらに、第１アクチュエーター部材２Ａの圧電素子３００側の第２の面５Ａには、第２アクチュエーター部材２Ｂが接合されている。
【０１０２】
第２アクチュエーター部材２Ｂには、上述した実施形態１と同様に、第２圧力発生室１２Ｂと第２供給路１４Ｂとが、第１の面４Ｂとは反対側の第２の面５Ｂ側に開口し、第２流路形成基板１０Ｂを第１の面４Ｂに達することなく、すなわち、厚さ方向Ｚに貫通することなく凹形状で形成されている。
【０１０３】
また、第２流路形成基板１０Ｂには、厚さ方向Ｚに貫通して、第１マニホールド部１３Ａと連通する第２マニホールド部１３Ｂが設けられている。
【０１０４】
さらに、第２流路形成基板１０Ｂには、第２ノズル連通孔１５Ｂが形成され、第２圧力発生室１２Ｂは、第２ノズル連通孔１５Ｂ及び接続孔１７を介して第２ノズル開口２１Ｂに連通する。
【０１０５】
そして、これら第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとは、上述した実施形態１と同様に、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第１ノズル開口２１Ａまでの距離ｌ５及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心から第２ノズル開口２１Ｂまでの距離ｌ７及び体積とは、等しくなるように設けられており、且つ、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第１マニホールド部１３Ａ）までの距離ｌ６及び体積と、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路の第２の方向Ｙにおける振動板５０の振動中心からマニホールド１００（第２マニホールド部１３Ｂ）までの距離ｌ８及び体積とは、等しくなるように設けられている。
【０１０６】
これにより、第１ノズル開口２１Ａから吐出されるインク滴と第２ノズル開口２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性（飛翔速度やインク滴の重量）を揃えることができ、均一な吐出特性で被記録媒体にインク滴を着弾させることができる。
【０１０７】
このように、第１アクチュエーター部材２Ａの第１圧力発生室１２Ａや第１供給路１４Ａ等を具備する個別流路は、第１流路形成基板１０Ａを厚さ方向に貫通して設けられていても、少なくとも第２圧力発生室１２Ｂ及び第２供給路１４Ｂが第１アクチュエーター部材２Ａとは反対面である第２の面５Ｂに開口する凹形状で形成していれば、第１アクチュエーター部材２Ａの個別流路と第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路とは積層方向（厚さ方向Ｚ）で少なくとも互いに重なる位置に設けることができる。ただし、第１流路形成基板１０Ａと第２流路形成基板１０Ｂとは異なる厚さの部材を用いる必要がある。
【０１０８】
（実施形態５）
図１４は、本発明の実施形態５に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に対応する断面図である。また、図１５は、本発明の実施形態５に係るインクジェット式記録ヘッドの図１のＢ−Ｂ′線に対応する断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【０１０９】
図１４及び図１５に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１は、第１アクチュエーター部材２Ａ、第２アクチュエーター部材２Ｂ、ノズルプレート２０及び保護基板３を具備する。
【０１１０】
第１アクチュエーター部材２Ａは、第１流路形成基板１０Ａを具備し、第１流路形成基板１０Ａは第１流路形成基板用第１基板１０１Ａと、第１流路形成基板用第２基板１０２Ａと、が積層されて構成されている。
【０１１１】
第１流路形成基板用第１基板１０１Ａには、第１圧力発生室１２Ａ、第１マニホールド部１３Ａ、第１供給路１４Ａ及び第１ノズル連通孔１５Ａの一部が厚さ方向に貫通して設けられている。
【０１１２】
また、第１流路形成基板用第２基板１０２Ａには、第１ノズル連通孔１５Ａの一部が厚さ方向に貫通して設けられている。なお、第１流路形成基板１０Ａには、厚さ方向に貫通する接続孔１７も形成されている。
【０１１３】
一方、第２アクチュエーター部材２Ｂは、第２流路形成基板１０Ｂを具備し、第２流路形成基板１０Ｂは、第２流路形成基板用第１基板１０１Ｂと、第２流路形成基板用第２基板１０２Ｂと、第２流路形成基板用第３基板１０３Ｂとが積層されて構成されている。
【０１１４】
第２流路形成基板用第１基板１０１Ｂには、第１流路形成基板用第１基板１０１Ａと同様に、第２圧力発生室１２Ｂ、第２マニホールド部１３Ｂの一部、第２供給路１４Ｂ及び第２ノズル連通孔１５Ｂの一部が厚さ方向に貫通して設けられている。
【０１１５】
また、第２流路形成基板用第２基板１０２Ｂには、第２ノズル連通孔１５Ｂの一部と、第２マニホールド部１３Ｂの一部とが厚さ方向に貫通して設けられている。
【０１１６】
さらに、第２流路形成基板用第３基板１０３Ｂには、第２ノズル連通孔１５Ｂの一部と、第２マニホールド部１３Ｂの一部と、第１保持部１８とが厚さ方向に貫通して設けられている。なお、第２流路形成基板用第１基板１０１Ｂ及び第２流路形成基板用第２基板１０２Ｂには、第１保持部１８は設けられておらず、第１保持部１８の一方の開口は第２流路形成基板用第２基板１０２Ｂによって封止されている。
【０１１７】
このように、第１流路形成基板１０Ａ及び第２流路形成基板１０Ｂのそれぞれを積層された基板１０１Ａ、１０２Ａ、１０１Ｂ、１０２Ｂ、１０３Ｂ等で形成することで、基板に貫通しない凹形状の流路や保持部１８等の加工をハーフエッチング等で形成する必要がなく、各基板を貫通して流路や保持部などを形成することができる。したがって、材料と加工方法の選択性が広がる。
【０１１８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、第１アクチュエーター部材２Ａ及び第２アクチュエーター部材２Ｂに、個別流路として、第１圧力発生室１２Ａ及び第１供給路１４Ａや第２圧力発生室１２Ｂ及び第２供給路１４Ｂを設けるようにしたが、これに限定されず、第１供給路１４Ａと第１マニホールド部１３Ａとを連通する連通路や、第２供給路１４Ｂと第２マニホールド部１３Ｂとを連通する連通路等を設けるようにしてもよい。
【０１１９】
また、上述した実施形態１では、第１アクチュエーター部材２Ａに第１圧力発生室１２Ａを第１の方向Ｘに並設するようにしたが、特にこれに限定されず、第１アクチュエーター部材２Ａに第１圧力発生室１２Ａとして、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室の列を第２の方向Ｙに２列以上設けるようにしてもよい。もちろん、第２アクチュエーター部材２Ｂにおいても同様である。つまり、第１流路形成基板１０Ａに第１圧力発生室１２Ａが第１の方向Ｘに並設された列を複数列設けるようにしてもよい。同様に、第２流路形成基板１０Ｂに第２圧力発生室１２Ｂが第１の方向Ｘに並設された列を複数列設けるようにしてもよい。
【０１２０】
さらに、上述した各実施形態では、インクジェット式記録ヘッド１に２つのアクチュエーター部材（２Ａ、２Ｂ）を設けるようにしたが、３つ以上のアクチュエーター部材２を設けるようにしてもよい。ここで、その他の例として、３つのアクチュエーター部材を設けた例を図１６に示す。なお、図１６は、本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であり、図１のＣ−Ｃ′線に対応した断面図である。
【０１２１】
図１６に示すように、ノズルプレート２０には、第１ノズル開口２１Ａが第１の方向Ｘに並設された第１ノズル列と、第２ノズル開口２１Ｂが第１の方向Ｘに並設された第２ノズル列と、第３ノズル開口２１Ｃが第１の方向Ｘに並設された第３ノズル列と、が第２の方向Ｙに並設されている。
【０１２２】
これら第２ノズル列及び第３ノズル列は、第１ノズル列に対して、第１ノズル列を構成する第１ノズル開口２１Ａの第１の方向Ｘのピッチの１／３ピッチだけ第１の方向Ｘにずれて配置されている。つまり、第１の方向において、第１の方向Ｘで隣り合う第１ノズル開口２１Ａの間には、第２ノズル開口２１Ｂと第３ノズル開口２１Ｃとが等間隔となるように配置されている。
【０１２３】
また、第２アクチュエーター部材２Ｂの第２の面５Ｂ上には、第３アクチュエーター部材２Ｃが設けられている。第３アクチュエーター部材２Ｃを構成する第３流路形成基板１０Ｃには、第２アクチュエーター部材２Ｂと同様に、第３圧力発生室１２Ｃ等の個別流路が形成されている。なお、第３アクチュエーター部材２Ｃには、特に図示していないが、マニホールド１００を構成する第３マニホールド部、第３圧力発生室１２Ｃとマニホールド１００とを連通する第３供給路、第３圧力発生室１２Ｃと第３ノズル開口２１Ｃとを連通する第３ノズル連通孔等が第２アクチュエーター部材２Ｂと同様に形成されている。また、第３流路形成基板１０Ｃには、振動板５０を介して圧電素子３００が設けられている。さらに、第３流路形成基板１０Ｃには、第１の面４Ｃ側に第２アクチュエーター部材２Ｂの圧電素子３００を内包する第１保持部１８が設けられており、第２の面５Ｃ側に保護基板３が設けられている。
【０１２４】
このような構成の場合、第２アクチュエーター部材２Ｂと第３アクチュエーター部材２Ｃとが、特許請求の範囲の第１アクチュエーター部材と第２アクチュエーター部材とに相当し、第２アクチュエーター部材２Ｂの個別流路と第３アクチュエーター部材２Ｃの個別流路とが積層方向Ｚにおいて少なくとも一部が重なる位置に設けられていればよい。これにより、インクジェット式記録ヘッド１を３列のノズル列を高密度に配置することができ、高密度印刷が可能となると共に、インクジェット式記録ヘッド１の第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの小型化を図ることができる。
【０１２５】
また、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子３００を有するインクジェット式記録ヘッド１を例示したが、第１圧力発生室１２Ａ、第２圧力発生室１２Ｂに圧力変化を生じさせる圧力発生手段（第１圧力発生手段、第２圧力発生手段）としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、振動板５０と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板５０の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエーターなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。なお、圧力発生手段としては、例えば、上述した実施形態１の圧電素子３００を第１アクチュエーター部材２Ａと第２アクチュエーター部材２Ｂとの積層方向に２以上積層したものを用いるようにしてもよい。
【０１２６】
また、上述したインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図１７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【０１２７】
図１７に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを具備する。記録ヘッドユニット１Ａ、１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２００Ａ及び２００Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動可能に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【０１２８】
また、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン２０８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【０１２９】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ２０３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【０１３０】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【０１３１】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  アクチュエーター部材、  ２Ａ  第１アクチュエーター部材、  ２Ｂ  第２アクチュエーター部材、  ２Ｃ  第３アクチュエーター部材、  １０Ａ  第１流路形成基板、  １０Ｂ  第２流路形成基板、  １０Ｃ  第３流路形成基板、  １２Ａ  第１圧力発生室、  １２Ｂ  第２圧力発生室、  １２Ｃ  第３圧力発生室、  １５Ａ  第１ノズル連通孔、  １５Ｂ  第２ノズル連通孔、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２１Ａ  第１ノズル開口、  ２１Ｂ  第２ノズル開口、  ２１Ｃ  第３ノズル開口、  ５０  振動板、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９１、９３、９７  コンタクトホール、  ９２、９４、９５、９６  引き出し配線、  １００  マニホールド、  １１０  外部配線、  ３００  圧電素子（圧力発生手段、第１圧力発生手段、第２圧力発生手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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