(57)【要約】【課題】カップリング素子を提供する。【解決手段】基板１と、基板１に対して垂直方向に振動可能に、基板１に支持された振動部１５と、振動部１５に設けられ、入力信号に応じた逆圧電効果により駆動し、振動部１５を振動させる駆動部１２と、基板１に対して垂直方向に、振動部１５の上方に設けられた磁石部２と、磁石部２と対向するように振動部１５に設けられ、磁石部２の磁束に応じた電磁誘導により出力信号を出力するコイル部１１とを備える【選択図】図１
2013125882.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に対して垂直方向に振動可能に、前記基板に支持された振動部と、
前記振動部に設けられ、入力信号に応じた逆圧電効果により駆動し、前記振動部を振動させる駆動部と、
前記基板に対して垂直方向に、前記振動部の上方に設けられた磁石部と、
前記磁石部と対向するように前記振動部に設けられ、前記磁石部の磁束に応じた電磁誘導により出力信号を出力するコイル部と  
を備えることを特徴とするカップリング素子。
【請求項２】
前記磁石部は、前記コイル部の中心に向かって細くなるように形成されることを特徴とする請求項１に記載のカップリング素子。
【請求項３】
前記磁石部は、永久磁石と、前記永久磁石の先端に接合された磁性体とから構成され、
前記磁性体は、前記コイル部の中心に向かって細くなるように形成されることを特徴とする請求項１に記載のカップリング素子。
【請求項４】
前記コイル部は、重畳して設けられた２つのコイルからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のカップリング素子。
【請求項５】
前記コイル部は、複数設けられ、前記複数のコイル部がそれぞれ出力信号を出力することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のカップリング素子。
【請求項６】
前記コイル部は、複数設けられ、前記複数のコイル部のいずれかが、前記磁石部の磁場に応じたローレンツ力により、前記振動部の振動を制御することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のカップリング素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電効果及び電磁誘導を用いたカップリング素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気、圧電素子、光または静電容量を用いて、エネルギを伝達するカップリング素子が知られている（特許文献１参照）。このようなカップリング素子は、従来、エネルギ伝達効率が低く、消費電力が大きかった。カップリング素子は、エネルギ変換効率と絶縁性能との間に、トレードオフの関係を有しており、二次側に接続する素子に、十分な電圧、電流を与えることが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−０８２２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記問題点を鑑み、低消費電力、高効率で、高絶縁性を有するカップリング素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、基板と、前記基板に対して垂直方向に振動可能に、前記基板に支持された振動部と、前記振動部に設けられ、入力信号に応じた逆圧電効果により駆動し、前記振動部を振動させる駆動部と、前記基板に対して垂直方向に、前記振動部の上方に設けられた磁石部と、前記磁石部と対向するように前記振動部に設けられ、前記磁石部の磁束に応じた電磁誘導により出力信号を出力するコイル部とを備えるカップリング素子であることを要旨とする。
【０００６】
また、本発明の第１の態様に係るカップリング素子においては、前記磁石部は、前記コイル部の中心に向かって細くなるように形成されることができる。
【０００７】
また、本発明の第１の態様に係るカップリング素子においては、前記磁石部は、永久磁石と、前記永久磁石の先端に接合された磁性体とから構成され、前記磁性体は、前記コイル部の中心に向かって細くなるように形成されることができる。
【０００８】
また、本発明の第１の態様に係るカップリング素子においては、前記コイル部は、重畳して設けられた２つのコイルからなることができる。
【０００９】
また、本発明の第１の態様に係るカップリング素子においては、前記コイル部は、複数設けられ、前記複数のコイル部がそれぞれ出力信号を出力することができる。
【００１０】
また、本発明の第１の態様に係るカップリング素子においては、前記コイル部は、複数設けられ、前記複数のコイル部のいずれかが、前記磁石部の磁場に応じたローレンツ力により、前記振動部の振動を制御することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、低消費電力、高効率で、高絶縁性を有するカップリング素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の基本的な構成を説明する模式的な斜視図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板を説明する上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た断面図である。（ｃ）は、（ａ）の下面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板を説明する拡大斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｈ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の磁石部の変形例を説明する図である。
【図５】（ａ）〜（ｈ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の磁石部の変形例を説明する図である。
【図６】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の駆動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の駆動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の駆動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図９】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図１０】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の駆動部及び振動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図１１】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図１２】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な上面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係るカップリング素子に用いるコイル部の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図１４】本発明の実施の形態に係るカップリング素子に用いるコイル部の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図１６】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な拡大断面図である。
【図１７】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な拡大断面図である。
【図１８】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な上面図である。
【図２０】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の振動部の変形例を説明する模式的な拡大断面図である。
【図２１】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図２２】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な斜視図である。
【図２３】（ａ）は、図２２の模式的な上面図である。（ｂ）は、図２２の模式的な下面図である。
【図２４】（ａ）は、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な斜視図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ方向から見た模式的な断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態に係るカップリング素子の回路基板の変形例を説明する模式的な上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、断面図と平面寸法の関係、各層の厚みの比率等は、現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１４】
また、以下に示す実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
【００１５】
（カップリング素子）
本発明の実施の形態に係るカップリング素子は、図１、図２に示すように、回路基板１と、振動可能に回路基板１に支持される振動部１５と、振動部１５に設けられたコイル部１１と、駆動部１２と、コイル部１１に対向して設けられた磁石部２とを備える。
【００１６】
回路基板１は、例えば矩形平板状である。振動部１５は、回路基板１に対して垂直方向に振動可能に回路基板１に支持される。振動部１５は、例えば、回路基板１に、回路基板１の上面から下面に貫通する、平面視Ｕ字型の孔部が形成されることにより、回路基板１に対して片持ち梁構造となっている。振動部１５は、例えば矩形平板状であり、回路基板１よりも厚さが薄く形成されている。
【００１７】
駆動部１２は、振動部１５に設けられ、入力信号に応じた逆圧電効果により駆動し、振動部１５を振動させる。駆動部１２は、振動部１５の、回路基板１に支持される一端側に設けられ、コイル部１１は、他端側に設けられる。コイル部１１は、振動部１５がなす平面上に、二次元的に周回されている。コイル部１１は、磁石部２と対向するように振動部１５に設けられ、磁石部２の磁束に応じた電磁誘導により出力信号を出力する。
【００１８】
磁石部２は、磁極を結ぶ線が回路基板１に対する垂線に沿うように、振動部１５の上方に設けられている。磁石部２は、例えば、磁極をコイル部１１に対して垂直に設けられた永久磁石２１と、永久磁石２１のコイル部１１側に接合され、強磁性体からなる磁性体２２とから構成される。
【００１９】
磁石部２は、コイル部１１に向かって垂直に配置されていることにより、コイル部１１を通過する磁束の磁束密度が大きい。磁石部２の、コイル部１１側の端部は、コイル部１１の中心に向かって細くなるように形成されており、コイル部１１を通過する磁束密度がより大きくなっている。
【００２０】
図２（ｂ）に示すように、回路基板１及び振動部１５は、例えば単結晶シリコン等からなる支持基板１０１と、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）等からなる誘電体膜１０２とからなる。コイル部１１及び駆動部１２は、誘電体膜１０２の内部に形成されている。支持基板１０１として、半導体製造技術を発展させた微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術において、一般的な材料である単結晶シリコンを使用することで、異方性エッチングによる高精度な微細加工が実施できる。また、誘電体膜１０２として、フェライト含有誘電体、フェライト含有樹脂等、高透磁率材料を採用してもよい。振動部１５を被覆する材料として，透磁率の高い材料を使用することで，振動部１５の上方に位置する磁石部２からの磁場を効率よくコイルへ導くことができる。
【００２１】
図３に示すように、駆動部１２は、電極層１２１と、電極層１２１の上面に積層された圧電体層１２２と、圧電体層１２２の上面に積層された電極層１２３とを備える。電極層１２１，１２３は、それぞれ誘電体膜１０２から外部に露出した２つの電極パッド１４と接続される。２つの電極パッド１４及び電極層１２１，１２３を介して信号を印加され、圧電体層１２２が変位することにより、振動部１５は、コイル部１１に対して垂直方向に振動する。
【００２２】
振動部１５が振動すると、コイル部１１を通る磁石部２の磁束が変動して、コイル部１１の両端にそれぞれ接続される２つの端子である電極パッド１３の間に電圧が生じる。電極パッド１３間に生じた二次電圧の位相を検出し、電極パッド１４に入力する電圧に対してフィードバック制御することにより、振動部１５の振動を、振動部１５の機械的強度の共振周波数で行うことができる。
【００２３】
振動部１５が共振周波数で振動することにより、コイル部１１が効率よく変位し、磁石部２の磁束との電磁誘導により、コイル部１１の両端に誘導起電力を発生させ、高効率にエネルギを伝達することができる。また、磁石部２の先端部が、コイル部１１に向かって細くなるように形成されていることにより、コイル部１１を通る磁束の磁束密度をより大きくすることができる。
【００２４】
回路基板１は、振動部１５の形成、コイル部１１や電極パッド１３，１４の形成及び駆動部１２の形成プロセスを、ＭＥＭＳ技術により一貫して行うことができる。また、μｍオーダでの加工ができるため、微小な力で大きな変位する振動部１５の形成が可能である。
【００２５】
図４に示すように、磁石部２として、磁極の先端が細く形成された永久磁石２１ａ〜２１ｈを用いてもよい。図４（ａ）に示す永久磁石２１ａは錐体、図４（ｂ）に示す永久磁石２１ｂは截頭錐体である。図４（ｃ）に示す永久磁石２１ｃは半球、図４（ｄ）に示す永久磁石２１ｄは截頭半球である。図４（ｅ）に示す永久磁石２１ｅは半扁球、図４（ｆ）に示す永久磁石２１ｆは截頭半扁球である。図４（ｇ）に示す永久磁石２１ｇは階段状に先端が細くなるように形成されている。図４（ｈ）に示す永久磁石２１ｈは、先端の一部が截頭錐体となっている。
【００２６】
図５に示すように、磁石部２として、永久磁石２１と、永久磁石２１に接合され、先端側が細く形成された磁性体２２ａ〜２２ｈとを用いてもよい。図５（ａ）に示す磁性体２２ａは錐体、図５（ｂ）に示す磁性体２２ｂは截頭錐体である。図５（ｃ）に示す磁性体２２ｃは半球、図５（ｄ）に示す磁性体２２ｄは截頭半球である。図５（ｅ）に示す磁性体２２ｅは半扁球、図５（ｆ）に示す磁性体２２ｆは截頭半扁球である。図５（ｇ）に示す磁性体２２ｇは階段状に先端が細くなるように形成されている。図５（ｈ）に示す磁性体２２ｈは、先端の一部が截頭錐体となっている。
【００２７】
−変形例−
以下、本発明の実施の形態に係るカップリング素子の変形例について説明する。以下の変形例において説明しない他の構成は、上述の本発明の実施の形態と実質的に同様であるので重複する説明を省略する。
【００２８】
図６に示すように、振動部１５は、上面の全域に亘って駆動部１２ａが設けられてもよい。駆動部１２ａは、振動部１５の上面全域に設けられた電極層１２１ａと、電極層１２１ａの上面に、上面の一部を除いて積層された圧電体層１２２ａと、圧電体層１２２ａの上面に積層された電極層１２３ａとを備える。電極層１２１ａ，１２３ａは、それぞれ外部に露出した２つの電極パッドと接続される。また、駆動部１２ａは、誘電体膜１０２の内部に設けられるようにしてもよい。振動部１５の上面の全域に亘って設けられた駆動部１２ａは、圧電体層１２２ａの変位量が大きいため、振動部１５の振動量を大きくすることができ、コイル部１１に発生する誘導起電力を大きくすることができる。
【００２９】
図７に示すように、振動部１５は、積層された圧電体層１２２ｂと、積層された圧電体層１２２ｂのそれぞれの間に、互い違いに積層された電極層１２１ｂ及び電極層１２３ｂとを備える駆動部１２ｂが設けられてもよい。駆動部１２ｂは、振動部１５の、回路基板１に支持される一端側に設けられる。駆動部１２ｂは、圧電体層１２２ｂが積層されているため変位量が大きく、振動部１５の振動量を大きくすることができ、コイル部１１に発生する誘導起電力を大きくすることができる。
【００３０】
図８に示すように、振動部１５は、上面の広域に亘って駆動部１２ｃが設けられ、下面の全域に亘って駆動部１２ｄが設けられるようにしてもよい。駆動部１２ｃは、振動部１５の上面の広域に設けられた電極層１２１ｃと、電極層１２１ｃの上面に、上面の一部を除いて積層された圧電体層１２２ｃと、圧電体層１２２ａの上面の広域に積層された電極層１２３ａとを備える。駆動部１２ｄは、振動部１５の下面の広域に設けられた電極層１２１ｄと、電極層１２１ｄの下面の広域に積層された圧電体層１２２ｄと、圧電体層１２２ｄの下面の広域に積層された電極層１２３ｄとを備える。電極層１２１ｄ，１２３ｄは、圧電体層１２２ｄが設けられていない箇所に、絶縁膜１０３が設けられており、互いに絶縁されている。振動部１５のそれぞれ両面に設けられた駆動部１２ｃ及び駆動部１２ｄは、振動部１５の振動量を大きくすることができ、コイル部１１に発生する誘導起電力を大きくすることができる。
【００３１】
図９に示すように、振動部１５ｅは、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）等の誘電体から構成されてもよい。振動部１５ｅは、化学蒸着、物理蒸着、溶液キャスト法等により形成可能である。振動部１５ｅは、例えば、樹脂等からなる接合部１０５を介して、支持基板１０４に振動可能に支持される。コイル部１１は、振動部１５ｅの内部に埋め込まれるよう設けられてもよく、振動部１５ｅの表面に設けられるようにしてもよい。
【００３２】
図１０に示すように、振動部１５ｆは、圧電体層１２２を主として構成されるようにしてもよい。振動部１５ｆは、平板状の圧電体層１２２ｆと、圧電体層１２２ｆの両面に形成された電極層１２１ｆ，１２３ｆとを備える。コイル部１１は、圧電体層１２２ｆの内部に埋め込まれるよう設けられてもよく、絶縁膜を介して振動部１５ｆの表面に設けられるようにしてもよい。バルクの圧電材料から構成される振動部１５ｆは、駆動部としての薄膜状の圧電体よりも安定した圧電特性を得ることができる。バルクの圧電材料から構成される振動部１５ｆは、薄膜状の圧電体よりも電極の短絡の可能性が低い。
【００３３】
図１１に示すように、振動部１５ｇ及びコイル部１１ｇは、１枚の金属板１０６を選択的に貫通させることにより形成されてもよい。金属板１０６は、機械加工や成型加工が容易であり、材料が非常に安価であるため、低コストでのデバイス製作が可能となる。また、振動部１５ｇと磁石部２とのパッケージング材料としても使用することが出来るため、振動部１５ｇとパッケージ部との一体成型が可能となる。
【００３４】
図１２に示すように、振動部１５ｈは、樹脂から構成されてもよい。振動部１５ｈは、樹脂基板１０５ｈから形成される。振動部１５ｈは、樹脂基板１０５ｈを加工することで端部に形成された接合部において、支持基板１０４に振動可能に支持される。コイル部１１は、振動部１５ｈの内部に埋め込まれるよう設けられてもよく、振動部１５ｈの表面に設けられるようにしてもよい。
【００３５】
図１３に示すように、振動部１５が備えるコイル部１１は、互いに接続された複数のコイルにより形成されてもよい。コイル部（１１１，１１２）は、回路基板１に対して垂直方向に重畳して設けられた２つのコイル１１１，１１２から構成される。コイル１１１，１１２は、それぞれの中心において互いに接続され、他所は誘電体膜等により絶縁されている。重畳して設けられたコイル部（１１１，１１２）は、磁石部２の磁束に応じた電磁誘導により、出力信号として、より大きな誘導起電力を得ることができる。
【００３６】
図１４に示すように、重畳して設けられたコイル部（１１１，１１２）は、複数設けられてもよい。複数のコイル部（１１１ｊ，１１２ｊ），（１１１ｋ，１１２ｋ）は、磁石部２の磁束に応じた電磁誘導により、出力信号として、図１３に示すコイル部（１１１，１１２）の場合より更に大きな誘導起電力を得ることができる。
【００３７】
図１５に示すように、複数のコイル部１１ｍ、１１ｎを備える振動部１５ｍは、コイル部１１ｎを、振動の制御に用いることができる。コイル部１１ｍは、磁石部２の磁束に応じて電極パッド１３ｍの間に誘導起電力を生じる。コイル部１１ｎは、電極パッド１３ｎからの入力及び磁石部２の磁場に応じたローレンツ力により、振動部１５ｍの振動を制御する。振動部１５ｍの振動の制御は、電極パッド１３ｍに生じた二次電圧の位相を電極パッド１３ｎに入力する信号にフィードバック制御することにより行うことができる。振動部１５が共振振動をしている状態において、入力信号をオフにしてから停止するまで、振動の減衰に時間を要する。コイル部１１ｎは、磁石部２とのローレンツ力を利用することにより、停止までの時間を短くすることができる。
【００３８】
図１６に示すように、振動部１５ｏのコイル部１１ｏは、誘電体膜１０２の上面に露出して設けられてもよい。これにより、コイル部１１ｏと磁石部２との間の距離を短くすることができ、より大きな誘導起電力を得ることができる。
【００３９】
図１７に示すように、１つの回路基板が、それぞれ、駆動部１２ｐ，１２ｑ、コイル部１１ｐ，１１ｑを備える２つの振動部１５ｐ，１５ｑを備えるようにしてもよい。２つの振動部１５ｐ，１５ｑは、同一の支持基板１０１及び誘電体膜１０２からなり、それぞれ駆動部１２ｐ，１２ｑが設けられた、支持される一端側において、共通の支持部によって支持される。支持基板１０１からなる支持部は、例えば他の基板１０６に接合される。振動部１５ｐ，１５ｑは、それぞれ支持部を中心に振動することにより、コイル部１１ｐ，１１ｑのそれぞれ両端に誘導起電力が生じる。磁石部２は、コイル部１１ｐ，１１ｑそれぞれに対応して複数設けられてもよく、コイル部１１ｐ，１１ｑに対して共通の磁石部を用いるようにしてもよい。振動部１５ｐ，１５ｑの両先端側にコイル部１１ｐ，１１ｑを配置して、振動部１５ｐ，１５ｑの中心を支点として振動することで、一つの入力信号で，二つの出力信号を取り出すことができる。
【００４０】
図１８に示すように、振動部１５ｒは、回路基板１ｒに支持された一端側において、２つのトーションビーム１６により、回路基板１ｒに支持されるようにしてもよい。振動部１５ｒは、２つのトーションビーム１６を結ぶ線を回転軸として、回路基板１ｒに対して垂直方向に振動する。振動部１５ｒは、コイル部１１ｒが設けられる一端側の反対側に、トーションビーム１６から長さｄだけ延伸している。これにより、振動部１５ｒと回路基板１ｒとの接合部分を、振動部１５ｒの側面部とすることができるため、振動部１５ｒのバネ剛性を低減でき、その結果、振動部１５ｒの振動振幅を増加させることができる。
【００４１】
図１９に示すように、回路基板１ｓは、複数の振動部１５ｓ-1，１５ｓ-2，…，１５ｓ-n（ｎ：２以上の整数）を備えるようにしてもよい。１つの回路基板１ｓに複数の振動部１５ｓ-1〜１５ｓ-nを配列することで、１つの入力信号に対して、複数の信号出力が可能となる。
【００４２】
図２０に示すように、振動部１５ｔは、先端部におもり部１７を有するようにしてもよい。おもり部１７は、例えば、振動部１５ｔの先端部の下面に、支持基板１０１により形成された凸部とすることができる。振動部１５ｔの先端部におもり部１７を有することにより、振動部１５ｔの振動振幅を増加させることができる。
【００４３】
図２１に示すように、図１８に示す例において、振動部１５ｕは、トーションビーム１６ｕからコイル部１１ｕが設けられる一端側に向かって幅が広くなるように形成される。振動部１５ｕの先端部近傍のおもさが増加することで、振動部１５ｕの振動振幅を増加させることができる。
【００４４】
図２２，２３に示すように、振動部（１５１，１５２）は、それぞれ、棒状であり、先端部が渦状に形成された同形状の２つの上層振動部１５１、下層振動部１５２から構成される。コイル部１１ｖは、上層振動部１５１の上面から下層振動部１５２の下面にかけて形成されている。振動部（１５１，１５２）の形状を渦状とすることで，振動部（１５１、１５２）の長さを増加させることができるので、振動振幅を増加させることができる。
【００４５】
図２４に示すように、振動部１５ｗ及びコイル部１１ｗは、同一の基板から構成されるようにしてもよい。基板は、例えば、上層から順に、金属板１０７、絶縁膜１０８、支持基板１０９とからなる。振動部１５ｗ及びコイル部１１ｗは、同様の断面である延伸部１１３，１１４の断面を図２４（ｂ）に示すように、金属板１０７、絶縁膜１０８、を選択的にエッチングすることにより形成可能である。コイル部１１ｗの中心は、ワイヤ１１５によりワイヤボンディングされるようにすればよい。振動部１５ｗとコイル部１１ｗを一枚の金属板１０７から、機械成型によって製作することが出来るため、製作時間の短縮、および、コストの低減が可能となる。
【００４６】
図２５に示すように、振動部１５の周囲の領域ＤにＣＭＯＳ回路等の集積回路を形成することができる。シリコン基板を使用した振動部１５形成の過程またはその前後で、シリコン基板上に、集積回路を形成できることから、駆動デバイス部と信号処理回路を一体化することができる。そのため、小型化、プロセスの低コスト化が可能となる。
【００４７】
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を上記の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００４８】
上記の他、各変形例を互いに応用した構成等、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００４９】
１…回路基板
２…磁石部
１１…コイル部
１２…駆動部
１５…振動部
２１…永久磁石
２２…磁性体
１１１，１１２…コイル
【図４】
2013125882.tif 000003
【図５】
2013125882.tif 000004
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2013125882.tif 000009
【図１１】
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【図１２】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２４】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図１３】
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【図１４】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２５】
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