(57)【要約】【課題】相補の信号によりプルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路を制御し、シリアライザの負荷を抑制する。【解決手段】半導体装置１０は、プルアップバッファ回路１００とプルダウンバッファ回路２００を排他的にオン・オフ制御することによりデータ端子ＤＱからデータを出力する。シリアライザ３００は、ｎ×２本の入力信号線から相補な内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３を受信し、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１をシリアルに出力する。プルアップバッファ回路１００とプルダウンバッファ回路２００は、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１により制御される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ端子と、
第１の電源ラインと前記データ端子との間に接続される第１のバッファ回路と、
第２の電源ラインと前記データ端子との間に接続される第２のバッファ回路と、
ｎ×２本の入力信号線から第１の内部データ信号とその相補信号である第２の内部データ信号をｎペア受信し（ｎは２以上の自然数）、互いに相補な第３および第４の内部データ信号を第１および第２の出力信号線から１ペアずつ出力する第１の制御回路と、を備え、
前記第１および第２のバッファ回路は、前記第３および第４の内部データ信号により択一的にオン・オフ制御されることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記第１の制御回路は、前記第１および第２の内部データ信号に応じてｎ×２本の前記入力信号線のいずれかを活性化し、活性化した前記入力信号線に応じて前記第１および第２の出力信号線のいずれかを活性化することにより互いに相補な前記第３および第４の内部データ信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記第１の制御回路は、選択した前記入力信号線に応じてｎ本の中継信号線のいずれかを活性化し、活性化した前記中継信号線に応じて前記第１および第２の出力信号線のいずれかを活性化することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１の制御回路は、前記第１および第２の出力信号線と接続され、２ペアの前記第１および第２の内部データ信号ごとに設けられる出力選択回路、を含み、
前記出力選択回路は、前記第１および第２の出力信号線から互いに相補な前記第３および第４の内部データ信号を出力することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項５】
前記出力選択回路において、前記第１の出力信号線は第３の電源ラインと第４の電源ラインの間に接続される第１導電型トランジスタと第２導電型トランジスタの接続点に接続され、前記第２の出力信号線は前記第３の電源ラインと前記第４の電源ラインの間に接続される第１導電型トランジスタと第２導電型トランジスタの接続点に接続されることを特徴とする請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記出力選択回路が複数設けられるときには、複数の前記第１の出力信号線は互いにワイヤードオア接続され、かつ、複数の前記第２の出力信号線もワイヤードオア接続されることを特徴とする請求項４または５に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第１の制御回路は、更に、第１の誤り検出信号とその相補信号である第２の誤り検出信号を受信し、前記第３および第４の内部データ信号の出力後、互いに相補な第３および第４の誤り検出信号を前記第１および第２の出力信号線から出力し、
前記第１および第２のバッファ回路は、更に、前記第３および第４の誤り検出信号により択一的にオン・オフ制御されることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項８】
前記第１の制御回路から出力される前記第３および第４の内部データ信号の振幅値をそれぞれ変更することにより、互いに相補な第５および第６の内部データ信号を生成するレベルシフタと、を更に備え、
前記第１および第２のバッファ回路は、互いに相補な前記第５および第６の内部データ信号により択一的にオン・オフ制御されることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項９】
前記レベルシフタから出力された前記第５および第６の内部データ信号のレベルを再調整する第２の制御回路、を更に備えることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記第１および第２のバッファ回路は、それぞれ複数の単位バッファ回路の並列回路を含み、
前記第２の制御回路は、オンさせる前記単位バッファの数を指定する第２の制御信号を前記第１および第２のバッファ回路に供給することによって、前記第１および第２のバッファ回路のインピーダンスを指定することを特徴とする請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
前記第５および第６の内部データ信号と前記第２の制御信号を論理合成する第４の制御回路、を更に備え、
前記１および第２のバッファ回路は、前記第４の制御回路の出力信号によってオン・オフ制御されることを特徴とする請求項１０に記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記第１の制御回路は、前記データ端子からデータ信号の出力を開始する開始タイミング以前の期間においては前記第１のバッファ回路をオン、前記第２のバッファ回路をオフに設定する前記第３および第４の内部データ信号を出力し、前記開始タイミング以降の期間においては前記データ端子から出力すべきデータの論理レベルに基づいて前記第１および第２のバッファ回路の一方をオン、他方をオフに設定する前記第３および第４の内部データ信号を出力することを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置に関し、特に、シリアライザを備えた半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）などの半導体デバイスにおいては、データ信号を半導体デバイスの外部に出力する出力バッファ回路が設けられている。特に、汎用性の高い半導体デバイスにおいては、出力バッファ回路のインピーダンスを切り替え可能に構成されていることがある（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に開示されるように、出力バッファ回路はＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタによって構成されるプルアップバッファ回路と、Ｎチャンネル型ＭＯＳトランジスタによって構成されるプルダウンバッファ回路とが直列接続された構成を有している。データ端子は、プルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路の接点に接続される。そして、データ端子からハイレベルのデータ信号を出力する場合には、プルアップバッファ回路がオン、プルダウンバッファ回路がオフとなるよう制御され、逆に、データ端子からローレベルのデータ信号を出力する場合には、プルアップバッファ回路がオフ、プルダウンバッファ回路がオンとなるよう制御される。
【０００４】
ＤＲＡＭのメモリセルからは複数ビットのデータがパラレルに読み出され、シリアライザによってパラレル／シリアル変換されることが多い（特許文献２参照）。出力バッファ回路は、このシリアル化されたデータ信号により制御される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２０３４０５号公報
【特許文献２】特開平５−２５００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、データ端子からデータ信号を出力しない期間においては、出力バッファ回路をハイインピーダンス状態とするか、或いは、所定のインピーダンスを持った終端抵抗器として機能させる必要がある。出力バッファ回路を終端抵抗器として機能は、ＯＤＴ（On Die Termination）と呼ばれる。
【０００７】
出力バッファ回路をハイインピーダンス状態とするためには、プルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路の両方をオフさせる必要がある。また、ＤＤＲ３（Double Data Rate 3）仕様のＳＤＲＡＭ（Synchronous DRAM）では、出力バッファ回路をＯＤＴ動作させる場合、プルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路の両方をオンさせる必要がある。このように、ＤＤＲ３仕様のＳＤＲＡＭでは、プルアップバッファ回路のみをオンさせるケース、プルダウンバッファ回路のみをオンさせるケース、両方のバッファ回路をオンさせるケース、さらには、両方のバッファ回路をオフさせるケースの合計４通りのケースに対応する必要がある。したがって、プルアップバッファ回路の動作とプルダウンバッファ回路の動作は、互いに独立して制御可能である必要があった。
【０００８】
プルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路において上述の４状態を実現するためには、出力バッファ回路に２ビットの信号（２種類の信号）を供給する必要がある。しかし、シリアライザから２ビットのデータを出力させようとすると、シリアライザの出力負荷が大きくなる。特に、ＤＲＡＭを高速動作させると、シリアライザの出力負荷に起因した信号品質が劣化が無視できなくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る半導体装置は、データ端子と、第１の電源ラインとデータ端子との間に接続される第１のバッファ回路と、第２の電源ラインとデータ端子との間に接続される第２のバッファ回路と、ｎ×２本の入力信号線から第１の内部データ信号とその相補信号である第２の内部データ信号をｎペア受信し（ｎは２以上の自然数）、互いに相補な第３および第４の内部データ信号を第１および第２の出力信号線から１ペアずつ出力する第１の制御回路と、を備える。第１および第２のバッファ回路は、第３および第４の内部データ信号により択一的にオン・オフ制御される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、相補の信号によりプルアップバッファ回路とプルダウンバッファ回路を制御できるため、シリアライザの出力負荷を抑制しやすい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の好ましい実施形態による半導体装置１０の全体構造を示すブロック図である。
【図２】リード動作時におけるリードデータＤＱ及びストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢの波形を示すタイミング図である。
【図３】比較例によるタイミング図である。
【図４】データ入出力回路１７の主要部を示す回路図である。
【図５】シリアライザ３００の回路図である。
【図６】シリアライザ３００に含まれる３入力ＮＡＮＤ回路の回路図である。
【図７】シリアライザ３００に含まれる２入力ＡＮＤ回路の回路図である。
【図８】比較例によるシリアライザ６６０の出力選択回路の回路図である。
【図９】シリアライザ３００の前段部分の回路図である。
【図１０】シリアライザ３００のタイミング図である。
【図１１】ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０の前段部分の回路図である。
【図１２】ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０の部分的な回路図である。
【図１３】ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０のタイミング図である。
【図１４】プルアップバッファ回路１００、プルダウンバッファ回路２００及び出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎの回路図である。
【図１５】単位制御回路４１０Ｐの回路図である。
【図１６】単位制御回路４１０Ｎの回路図である。
【図１７】単位バッファ回路１１０の回路図である。
【図１８】単位バッファ回路２１０の回路図である。
【図１９】インピーダンス制御回路５００の構成を示すブロック図である。
【図２０】セレクタ５１０の動作を説明するための真理値表である。
【図２１】リードデータＤＱの出力動作を説明するためのタイミング図である。
【図２２】リードデータＤＱの出力動作を説明するための別のタイミング図である。
【図２３】比較例によるタイミング図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明の好ましい実施形態による半導体装置１０の全体構造を示すブロック図である。
【００１４】
本実施形態による半導体装置１０は、１つの半導体チップに集積されたＤＲＡＭであり、図１に示すように、ｎ＋１個のバンクに分割されたメモリセルアレイ１１を備えている。バンクとは個別にコマンドを実行可能な単位であり、バンク間においては基本的に非排他的な動作が可能である。
【００１５】
メモリセルアレイ１１には、互いに交差する複数のワード線ＷＬと複数のビット線ＢＬが設けられており、それらの交点にメモリセルＭＣが配置されている。ワード線ＷＬの選択はロウデコーダ１２によって行われ、ビット線ＢＬの選択はカラムデコーダ１３によって行われる。ビット線ＢＬは、センス回路１４内の対応するセンスアンプＳＡにそれぞれ接続されており、カラムデコーダ１３により選択されたビット線ＢＬは、センスアンプＳＡを介してデータコントローラ１５に接続される。データコントローラ１５は、ＦＩＦＯ回路１６を介してデータ入出力回路１７に接続される。データ入出力回路１７は、データ端子２１を介してデータの入出力を行う回路ブロックである。
【００１６】
半導体装置１０にはデータ端子２１の他に、外部端子としてストローブ端子２２，２３、クロック端子２４，２５、クロックイネーブル端子２６、アドレス端子２７、コマンド端子２８、アラート端子２９、電源端子３０，３１、データマスク端子３２、ＯＤＴ端子３３などが設けられている。
【００１７】
ストローブ端子２２，２３は、それぞれストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢを入出力するための端子である。ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢは相補の信号であり、データ端子２１を介して入出力されるデータの入出力タイミングを規定する。具体的には、データの入力時、つまりライト動作時においては、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢがストローブ回路１８に供給され、ストローブ回路１８はこれらに基づいてデータ入出力回路１７の動作タイミングを制御する。これにより、データ端子２１を介して入力されるライトデータは、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢに同期してデータ入出力回路１７に取り込まれる。一方、データの出力時、つまりリード動作時においては、ストローブコントローラ１９によってストローブ回路１８の動作が制御される。これにより、データ入出力回路１７からは、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢに同期してリードデータが出力される。
【００１８】
クロック端子２４，２５は、それぞれ外部クロック信号ＣＫ、／ＣＫが入力される端子である。入力された外部クロック信号ＣＫ，／ＣＫは、クロックジェネレータ４０に供給される。本明細書において信号名の先頭に「／」が付されている信号は、ローアクティブな信号又は対応する信号の反転信号であることを意味する。したがって、外部クロック信号ＣＫ，／ＣＫは互いに相補の信号である。クロックジェネレータ４０は、クロックイネーブル端子２６を介して入力されるクロックイネーブル信号ＣＫＥに基づいて活性化され、内部クロック信号ＩＣＬＫを生成する。また、クロック端子２４，２５を介して供給された外部クロック信号ＣＫ、／ＣＫは、ＤＬＬ回路４１にも供給される。ＤＬＬ回路４１は、外部クロック信号ＣＫ、／ＣＫに基づいて位相制御された出力クロック信号ＬＣＬＫを生成する回路である。出力クロック信号ＬＣＬＫは、データ入出力回路１７によるリードデータの出力タイミングを規定するタイミング信号として用いられる。
【００１９】
アドレス端子２７は、アドレス信号ＡＤＤが供給される端子であり、供給されたアドレス信号ＡＤＤは、ロウコントロール回路５０、カラムコントロール回路６０、モードレジスタ４２、コマンドデコーダ４３などに供給される。ロウコントロール回路５０は、アドレスバッファ５１やリフレッシュカウンタ５２などを含む回路ブロックであり、ロウアドレスに基づいてロウデコーダ１２を制御する。また、カラムコントロール回路６０は、アドレスバッファ６１やバーストカウンタ６２などを含む回路ブロックであり、カラムアドレスに基づいてカラムデコーダ１３を制御する。また、モードレジスタセットにエントリしている場合には、アドレス信号ＡＤＤがモードレジスタ４２に供給され、これによってモードレジスタ４２の内容が更新される。モードレジスタ４２には、後述するインピーダンスコードＲＯＮＣ，ＯＤＴＣなどが設定される。
【００２０】
コマンド端子２８は、チップセレクト信号／ＣＳ、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳ、カラムアドレスストローブ信号／ＣＡＳ、ライトイネーブル信号／ＷＥ、パリティ信号ＰＲＴＹ及びリセット信号ＲＳＴなどが供給される端子である。これらのコマンド信号ＣＭＤはコマンドデコーダ４３に供給され、コマンドデコーダ４３はこれらコマンド信号ＣＭＤに基づいて内部コマンドＩＣＭＤを生成する。内部コマンド信号ＩＣＭＤはコントロールロジック回路４４に供給される。コントロールロジック回路４４は、内部コマンド信号ＩＣＭＤに基づいて、ロウコントロール回路５０、カラムコントロール回路６０などの動作を制御する。
【００２１】
コマンドデコーダ４３には、図示しない検証回路が含まれている。検証回路は、パリティ信号ＰＲＴＹに基づいてアドレス信号ＡＤＤ及びコマンド信号ＣＭＤを検証し、その結果、アドレス信号ＡＤＤ又はコマンド信号ＣＭＤに誤りが存在する場合には、コントロールロジック回路４４及び出力回路４５を介してアラート信号ＡＬＲＴを出力する。アラート信号ＡＬＲＴはアラート端子２９を介して外部に出力される。
【００２２】
電源端子３０，３１は、それぞれ電源電位ＶＤＤ，ＶＳＳが供給される端子である。電源端子３０，３１を介して供給された電源電位ＶＤＤ，ＶＳＳは、電源回路４６に供給される。電源回路４６は、電源電位ＶＤＤ，ＶＳＳに基づき、各種内部電位を生成する回路ブロックである。電源回路４６によって生成される内部電位としては、昇圧電位ＶＰＰ、電源電位ＶＰＥＲＩ、アレイ電位ＶＡＲＹ、基準電位ＶＲＥＦなどが含まれる。昇圧電位ＶＰＰは電源電位ＶＤＤを昇圧することによって生成され、電源電位ＶＰＥＲＩ、アレイ電位ＶＡＲＹ、基準電位ＶＲＥＦは外部電位ＶＤＤを降圧することによって生成される。
【００２３】
昇圧電圧ＶＰＰは、主にロウデコーダ１２において用いられる電位である。ロウデコーダ１２は、アドレス信号ＡＤＤに基づき選択したワード線ＷＬをＶＰＰレベルに駆動し、これによりメモリセルＭＣに含まれるセルトランジスタを導通させる。内部電位ＶＡＲＹは、主にセンス回路１４において用いられる電位である。センス回路１４が活性化すると、ビット線対の一方をＶＡＲＹレベル、他方をＶＳＳレベルに駆動することにより、読み出されたリードデータの増幅を行う。電源電圧ＶＰＥＲＩは、ロウコントロール回路５０、カラムコントロール回路６０などの大部分の周辺回路の動作電位として用いられる。これら周辺回路の動作電位として電源電位ＶＤＤよりも電圧の低い電源電位ＶＰＥＲＩを用いることにより、半導体装置１０の低消費電力化が図られている。また、基準電位ＶＲＥＦは、データ入出力回路１７において用いられる電位である。
【００２４】
データマスク端子３２及びＯＤＴ端子３３は、それぞれデータマスク信号ＤＭ及び終端信号ＯＤＴが供給される端子である。データマスク信号ＤＭ及び終端信号ＯＤＴはデータ入出力回路１７に供給される。データマスク信号ＤＭは、ライトデータ及びリードデータの一部をマスクする場合に活性化される信号であり、終端信号ＯＤＴはデータ入出力回路１７に含まれる出力バッファを終端抵抗器として使用する場合に活性化される信号である。
【００２５】
以上が本実施形態による半導体装置１０の全体構造である。以下、データ入出力回路１７に着目して、本実施形態による半導体装置１０についてより詳細に説明を進める。
【００２６】
図２は、リード動作時におけるリードデータＤＱ及びストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢの波形を示すタイミング図である。
【００２７】
図２に示す例ではバースト長が８ビットであり、時刻ｔ１１から時刻ｔ１２までの期間においてリードデータＤＱがシリアルに出力されている。ここで、バースト長とは、１回のロウアクセスに基づいてシリアルに出力する（又は入力される）データＤＱのビット数を意味する。基本的にいわゆるプリフェッチ数と一致し、ＤＤＲ４（Double Data Rate 4）型のＳＤＲＡＭ（Synchronous DRAM）においては８ビットである。
【００２８】
図２に示すように、時刻ｔ１１以前においては、リードデータＤＱを出力すべきデータ端子２１のレベルがＶＤＤレベルに固定されている。同様に、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢを入力すべきストローブ端子２２，２３のレベルもＶＤＤレベルに固定されているが、バースト出力が開始される時刻ｔ１１よりも以前の時刻ｔ１０からストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢのクロッキングが開始される。ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢのクロッキングとは、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢの一方がＶＤＤレベル、他方がＶＳＳレベルである相補信号となり、１／２クロックサイクルごとに両者のレベルが反転する状態を指す。時刻ｔ１０から時刻ｔ１１までの期間Ｐは、リードデータＤＱのバースト出力を実行する前のプリアンプル期間に相当する。本発明においては、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢのクロッキングが開始される時刻ｔ１０を「準備タイミング」と呼び、バースト出力が開始される時刻ｔ１１を「開始タイミング」と呼ぶことがある。
【００２９】
そして、時刻ｔ１１になると、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢのクロッキングに同期してリードデータＤＱがバースト出力される。図２では、Ｄ０〜Ｄ７からなる８ビットがこの順にバースト出力されている。時刻ｔ１２にバースト出力が完了すると、端子２１〜２３のレベルがＶＤＤレベルに戻る。
【００３０】
このように、本実施形態では、リードデータＤＱがバースト出力される期間（時刻ｔ１１〜時刻ｔ１２）以外の期間においては、データ端子２１のレベルがＶＤＤレベルに固定される。特に、時刻ｔ１０以前の期間において終端信号ＯＤＴが活性化している場合、予め定められたインピーダンスにてデータ端子２１がＶＤＤレベルに駆動される。一方、時刻ｔ１０以前の期間において終端信号ＯＤＴが活性化していない場合、データ端子２１はハイインピーダンス状態とされる。この場合、データ端子２１のレベルは、当該半導体装置１０とは異なる他のデバイスによってＶＤＤレベルに駆動される。また、時刻ｔ１０〜時刻ｔ１１の期間は、ＯＤＴ動作を行う必要のない期間であるが、データ端子２１のレベルはＶＤＤレベルである必要がある。
【００３１】
図３は、比較例によるタイミング図である。図３に示す例では、リードデータＤＱを出力すべきデータ端子２１のレベルが時刻ｔ１１以前においてＶＲＥＦレベルに固定されている。ＶＲＥＦレベルとは、ＶＤＤレベルとＶＳＳレベルの中間レベルであり、したがって、
ＶＲＥＦ＝（ＶＤＤ＋ＶＳＳ）／２
と定義することができる。同様に、時刻ｔ１０以前においては、ストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢもＶＲＥＦレベルに固定されている。そして、時刻ｔ１０から時刻ｔ１２の期間においてストローブ信号ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢのクロッキングが行われる。
【００３２】
図４は、データ入出力回路１７の主要部を示す回路図である。
【００３３】
図４に示すように、データ入出力回路１７には、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００からなる出力バッファ回路７０が含まれている。プルアップバッファ回路１００は電源電位ＶＤＤが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に接続されており、プルダウンバッファ回路２００は、接地電位ＶＳＳが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に接続されている。図４においてはプルアップバッファ回路１００を１個のＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタのシンボルマークで示しているが、実際には複数のＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタが並列接続された構成を有している。同様に、図４においてはプルダウンバッファ回路２００を１個のＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタのシンボルマークで示しているが、実際には複数のＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタが並列接続された構成を有している。プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００の具体的な回路構成については後述する。
【００３４】
電源電位ＶＤＤが供給される電源ラインが「第１の電源ライン」、接地電位ＶＳＳが供給される電源ラインが「第２の電源ライン」に相当する。プルアップバッファ回路１００が「第１のバッファ回路」、プルダウンバッファ回路２００が「第２のバッファ回路」に相当する。
【００３５】
データ入出力回路１７には、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００のオン／オフを制御するシリアライザ３００が設けられている。シリアライザ３００は、パラレルに供給される相補の内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３をシリアルな相補データＤＴ１／ＤＣ１に変換する。内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３は、メモリセルアレイ１１から読み出されたリードデータであり、データコントローラ１５及びＦＩＦＯ回路１６を介してシリアライザ３００に供給される。
【００３６】
シリアライザ３００が「第１の制御回路」に相当する。
【００３７】
図５は、シリアライザ３００の回路図である。
【００３８】
図５に示すように、シリアライザ３００は、３入力のＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８と、２入力のＡＮＤゲート回路３１１〜３１４と、トライステートバッファ回路３２０，３３０とを備えている。ＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８の第１の入力ノードには、対応する内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３がそれぞれ供給される。また、ＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０４の第２の入力ノードにはライズクロック信号ＣＬＫＲが供給され、ＮＡＮＤゲート回路３０５〜３０８の第２の入力ノードにはフォールクロック信号ＣＬＫＦが供給される。さらに、ＮＡＮＤゲート回路３０１，３０２の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ０が供給され、ＮＡＮＤゲート回路３０３，３０４の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ１が供給され、ＮＡＮＤゲート回路３０５，３０６の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ２が供給され、ＮＡＮＤゲート回路３０７，３０８の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ３が供給される。
【００３９】
ライズクロック信号ＣＬＫＲとフォールクロック信号ＣＬＫＦは互いに相補の信号であり、図４に示すクロック分割回路３４０によって生成される。クロック分割回路３４０は、ＤＬＬ回路４１によって生成された出力クロック信号ＬＣＬＫに基づいて、相補のライズクロック信号ＣＬＫＲとフォールクロック信号ＣＬＫＦを生成する。
【００４０】
イネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ３は、図４に示すタイミング制御回路３５０によって生成される信号である。タイミング制御回路３５０は、制御信号ＣＮＴに基づき、出力クロック信号ＬＣＬＫに同期した各種信号を生成する回路ブロックである。タイミング制御回路３５０が生成する信号としては、イネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ３の他にドライブ信号ＤＲＶが含まれる。少なくとも、イネーブル信号ＥＮ０とイネーブル信号ＥＮ１は同時に活性化することがなく、イネーブル信号ＥＮ２とイネーブル信号ＥＮ３は同時に活性化することがない。これにより、ＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の７つは全てハイレベルとなる。
【００４１】
ＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８の出力信号は、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４の対応する入力ノードに供給される。具体的には、ＡＮＤゲート回路３１１にはＮＡＮＤゲート回路３０１，３０３の出力信号が供給され、ＡＮＤゲート回路３１２にはＮＡＮＤゲート回路３０２，３０４の出力信号が供給され、ＡＮＤゲート回路３１３にはＮＡＮＤゲート回路３０５，３０７の出力信号が供給され、ＡＮＤゲート回路３１４にはＮＡＮＤゲート回路３０６，３０８の出力信号が供給される。これにより、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の３つは全てハイレベルとなる。
【００４２】
ＡＮＤゲート回路３１１，３１２の出力信号ＤＡＲはトライステートバッファ回路３２０に供給され、ＡＮＤゲート回路３１３，３１４の出力信号ＤＡＦはトライステートバッファ回路３３０に供給される。
【００４３】
トライステートバッファ回路３２０は、電源電位ＶＰＥＲＩと接地電位ＶＳＳとの間に直列接続されたＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３２１及びＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３２２と、電源電位ＶＰＥＲＩと接地電位ＶＳＳとの間に直列接続されたＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３２３及びＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３２４とを備えている。トランジスタ３２１のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１２の出力信号が供給され、トランジスタ３２２のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１１の出力信号の反転信号が供給され、トランジスタ３２３のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１１の出力信号が供給され、トランジスタ３２４のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１２の出力信号の反転信号が供給される。トランジスタ３２１，３２２の接点であるノードＮ０からは相補データの一方の信号ＤＴ１が出力され、トランジスタ３２３，３２４の接点であるノードＮ１からは相補データの他方の信号ＤＣ１が出力される。
【００４４】
トライステートバッファ回路３３０は、電源電位ＶＰＥＲＩと接地電位ＶＳＳとの間に直列接続されたＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３３１及びＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３３２と、電源電位ＶＰＥＲＩと接地電位ＶＳＳとの間に直列接続されたＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３３３及びＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタ３３４とを備えている。トランジスタ３３１のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１４の出力信号が供給され、トランジスタ３３２のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１３の出力信号の反転信号が供給され、トランジスタ３３３のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１３の出力信号が供給され、トランジスタ３３４のゲート電極にはＡＮＤゲート回路３１４の出力信号の反転信号が供給される。トランジスタ３３１，３３２の接点であるノードＮ２からは相補データの一方の信号ＤＴ１が出力され、トランジスタ３３３，３３４の接点であるノードＮ３からは相補データの他方の信号ＤＣ１が出力される。
【００４５】
トライステートバッファ回路３２０のノードＮ０とトライステートバッファ回路３３０のノードＮ２は、ワイヤードオア接続されている。同様に、トライステートバッファ回路３２０のノードＮ１とトライステートバッファ回路３３０のノードＮ３は、ワイヤードオア接続されている。
【００４６】
上述の通り、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の３つは全てハイレベルとなる。このため、トライステートバッファ回路３２０，３３０を構成するトランジスタのうち、必ず１つのＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタと１つのＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタだけがオンし、残りのトランジスタは全てオフとなる。例えば、ＡＮＤゲート回路３１１の出力信号がローレベルである場合、トランジスタ３２２，３２３のみがオンするため、ノードＮ０はローレベルに駆動され、ノードＮ１はハイレベルに駆動される。この場合、トライステートバッファ回路３３０のノードＮ２，Ｎ３はハイインピーダンス状態となる。
【００４７】
かかる構成により、イネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ３を順次ハイレベルに活性化させれば、シリアライザ３００によって、パラレルに入力される相補の内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３がシリアルな相補データＤＴ１／ＤＣ１に変換される。これにより、リードデータＤＱを出力する期間においては、出力すべきリードデータＤＱの論理レベルに基づき、相補データＤＴ１／ＤＣ１によってプルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００の一方がオン、他方がオフに制御される。一方、リードデータＤＱを出力しない期間、つまり、リードデータＤＱを出力する前の期間や、リードデータＤＱを出力した後の期間においては、プルアップバッファ回路１００がオン、プルダウンバッファ回路２００オフとなるよう、相補データＤＴ１／ＤＣ１の論理が固定される。
【００４８】
図５に示すシリアライザ３００には４ペア（４ビット）の相補信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３がパラレルに供給されている。計８種類のこれらの信号に対して、８本（４ビット×２）の入力信号線７００，７０２が設けられる。一般化すると、ｎペア（ｎは２以上の自然数）の相補信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ（ｎ−１）／ＤＡＣ（ｎ−１）に対して、ｎ×２本の入力信号線７００，７０２が設けられる。
【００４９】
シリアライザ３００は、１ペア（１ビット）の相補信号ＤＴ１／ＤＣ１を出力する。計２種類のこれらの信号に対して、２本（１ビット×２）の出力信号線７０６が設けられる。入力信号線の数に関わらず、出力信号線は２本である。内部データ信号ＤＴ１（正相信号）に対応する出力信号線７０６が「第１の出力信号線」、内部データ信号ＤＣ１（逆相信号）に対応する出力信号線７０６が「第２の出力信号線」に相当する。
【００５０】
なお、シリアライザ３００において入力される内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３のうちの正相信号であるＤＡＴ０〜ＤＡＴ３が「第１の内部データ信号」、逆相信号であるＤＡＣ０〜ＤＡＣ３が「第２の内部データ信号」に相当する。シリアライザ３００から出力される内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１のうちの正相信号であるＤＴ１が「第３の内部データ信号」、逆相信号であるＤＣ１が「第４の内部データ信号」に相当する。入力される内部データ信号（第１および第２の内部データ信号）のことをまとめて「入力データ信号」、出力される内部データ信号（第３および第４の内部データ信号）のことをまとめて「出力データ信号」ともよぶ。トライステートバッファ回路３２０，３３０は、「出力選択回路」に相当し、トライステートバッファ回路３２０，３３０において電源電位ＶＰＥＲＩが供給される電源ラインが「第３の電源ライン」、接地電位ＶＳＳが供給される電源ラインが「第４の電源ライン」に相当する。
【００５１】
８本（ｎ×２本）の入力信号線７００，７０２は、８つのＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８を経由し、４つのＡＮＤゲート回路３１１〜３１４により４本（ｎ本）の中継信号線７０４に集約され、最終的に２つのトライステートバッファ回路３２０，３３０に接続される。いいかえれば、８本の入力信号線７００，７０２のいずれかがローレベルに活性化されると、４本の中継信号線７０４のいずれかがローレベルに活性化され、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１の一方がハイレベル、他方がローレベルに設定される。
【００５２】
トライステートバッファ回路３２０，３３０は、２ビット（２ペア）の入力データ信号ごとに設けられる。具体的には、トライステートバッファ回路３２０は、２ビットの入力データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０，ＤＡＴ１／ＤＡＣ１に対応し、トライステートバッファ回路３３０は、２ビットの入力データ信号ＤＡＴ２／ＤＡＣ２，ＤＡＴ３／ＤＡＣ３に対応している。
【００５３】
図４に示すように、相補データＤＴ１／ＤＣ１は、ラッチ回路３６０にてラッチされるとともに、レベルシフタ３７０によってレベルシフトされる。レベルシフタ３７０は、相補データＤＴ１／ＤＣ１の振幅をＶＰＥＲＩレベルからＶＤＤレベルにシフトするための回路である。これは、内部信号の振幅がＶＰＥＲＩレベルであるのに対し、半導体装置１０の外部に出力するリードデータは、振幅が外部電圧と等しいＶＤＤレベルである必要があるからである。レベルシフタ３７０から出力される相補データＤＴ２／ＤＣ２は、補償回路３８１，３８２によって位相が補償された後、配線３８３，３８４を介して伝送される。
【００５４】
具体的には、ラッチ回路３６０は、内部データ信号ＤＣ１（逆相信号）の反転信号（正相信号）を内部データ信号ＤＴ１（正相信号）と合成し、内部データ信号ＤＴ１（正相信号）の反転信号（逆相信号）を内部データ信号ＤＣ１（逆相信号）と合成する。ラッチ回路３６０は、「調整回路」に相当する。内部データ信号ＤＴ１（第３の内部データ信号）は、レベルシフタ３７０により振幅値がＶＤＤレベルに変換され内部データ信号ＤＴ２となる。内部データ信号ＤＴ２は「第５の内部データ信号」に相当する。同様に、内部データ信号ＤＣ１（第４の内部データ信号）は、レベルシフタ３７０により振幅値がＶＤＤレベルに変換されデータ信号ＤＣ２となる。内部データ信号ＤＣ２は「第６の内部データ信号」に相当する。内部データ信号ＤＴ１と内部データ信号ＤＣ２は互いに相補であるから、内部データ信号ＤＴ２と内部データ信号ＤＣ２も互いに相補となる。
【００５５】
相補データＤＴ１／ＤＣ１（相補データＤＴ２／ＤＣ２）は、必ず一方がハイレベル、他方がローレベルとなる２値信号であることから、一対の相補信号によって１ビットのデータしか表現することができない。このことは、相補データＤＴ１／ＤＣ１（相補データＤＴ２／ＤＣ２）によって指定できるのは、プルアップバッファ回路１００をオン且つプルダウンバッファ回路２００をオフするか、プルアップバッファ回路１００をオフ且つプルダウンバッファ回路２００をオンするかの２通りしかないことを意味する。逆に言えば、プルアップバッファ回路１００とプルダウンバッファ回路２００の両方をオンさせたり、プルアップバッファ回路１００とプルダウンバッファ回路２００の両方をオフさせたりすることは、相補データＤＴ１／ＤＣ１（相補データＤＴ２／ＤＣ２）によっては不可能である。これらバッファ回路１００，２００の両方をオンさせたり、の両方をオフさせたりする動作、言い換えれば、バッファ回路１００，２００のイネーブル動作は、後述するインピーダンス制御回路５００によって行われる。
【００５６】
配線３８３，３８４を介して伝送された相補データＤＴ２／ＤＣ２は、再生回路３８５，３８６によってシングルエンド形式の制御信号ＤＰ，ＤＮに変換される。制御信号ＤＰは出力制御回路４００Ｐに供給され、制御信号ＤＮは出力制御回路４００Ｎに供給される。出力制御回路４００Ｐはプルアップバッファ回路１００を制御するための回路ブロックであり、出力制御回路４００Ｎはプルダウンバッファ回路２００を制御するための回路ブロックである。図４においては、出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎ内をいくつかのゲート回路のシンボルマークで示しているが、これは出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎの機能を説明するためのイメージであり、実際の回路構成をそのまま示しているものではない。本発明においては、出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎを「第４の制御回路」と呼ぶことがある。
【００５７】
図６は、３入力ＮＡＮＤゲート回路３０１の回路図である。他のＮＡＮＤゲート回路３０２〜３０８の構成も同様である。ＮＡＮＤゲート回路３０１は、高電圧部６０８と低電圧部６０９を含む。高電圧部６０８はＰＭＯＳトランジスタ６００〜６０２を含み、低電圧部６０９はＮＭＯＳトランジスタ６０３〜６０７を含む。高電圧部６０８と低電圧部６０９の接続部分から出力信号ＯＵＴが取り出される。
【００５８】
より具体的には、高電圧部６０８においては、ＰＭＯＳトランジスタ６００〜６０２が並列接続されており、各ＰＭＯＳトランジスタ６００〜６０２のソースには電源電位ＶＰＥＲＩが供給され、それぞれ、ライズクロック信号ＣＬＫＲ、イネーブル信号ＥＮ０、内部データ信号ＤＡＴ０によりオン・オフ制御される。すなわち、３種類の入力信号ＩＮのいずれかがローレベルであれば、高電圧部６０８と低電圧部６０９の接続部分に電源電位ＶＰＥＲＩが供給される。
【００５９】
低電圧部６０９においては、ＮＭＯＳトランジスタ６０３，６０６がイネーブル信号ＥＮ０、ＮＭＯＳトランジスタ６０４，６０５がライズクロック信号ＣＬＫＲ、ＮＭＯＳトランジスタ６０７は内部データ信号ＤＡＴ０によりオン・オフ制御される。ＮＭＯＳトランジスタ６０７のドレインには接地電位ＶＳＳが供給される。３種類の入力信号ＩＮのいずれもがハイレベルであるときに限り、高電圧部６０８と低電圧部６０９の接続部分に接地電位ＶＳＳが供給される。
【００６０】
すなわち、ＮＡＮＤゲート回路３０１は、入力信号ＩＮのいずれか一つでもローレベルであれば出力信号ＯＵＴはハイレベルとなり、入力信号ＩＮがすべてハイレベルのときには出力信号ＯＵＴはローレベルとなる。
【００６１】
図７は、２入力ＡＮＤゲート回路３１１の回路図である。他のＡＮＤゲート回路３１２〜３１４の構成も同様である。ＡＮＤゲート回路３１１は、高電圧部６１０と低電圧部６１２を含む。高電圧部６１０はＰＭＯＳトランジスタ６１４，６１５を含み、低電圧部６１２はＮＭＯＳトランジスタ６１６〜６１９を含む。高電圧部６１０と低電圧部６１２の接続部分からインバータ６１３を介して出力信号ＯＵＴが取り出される。
【００６２】
より具体的には、高電圧部６１０においては、ＰＭＯＳトランジスタ６１４，６１５が並列接続されており、各ＰＭＯＳトランジスタ６１４，６１５のソースには電源電位ＶＰＥＲＩが供給され、それぞれ、入力信号ＩＮ（Ｐ１，Ｐ２）によりオン・オフ制御される。すなわち、２種類の入力信号ＩＮのいずれかがローレベルであれば、高電圧部６１０と低電圧部６１２の接続部分に電源電位ＶＰＥＲＩが供給される。
【００６３】
低電圧部６１２においては、ＮＭＯＳトランジスタ６１７，６１８は入力信号Ｐ１、ＮＭＯＳトランジスタ６１６，６１９は入力信号Ｐ２によりオン・オフ制御される。ＮＭＯＳトランジスタ６１８，６１９のドレインには接地電位ＶＳＳが供給される。２種類の入力信号ＩＮのいずれもがハイレベルであるときに限り、高電圧部６１０と低電圧部６１２の接続部分に接地電位ＶＳＳが供給される。
【００６４】
ＡＮＤゲート回路３１１においては、入力信号ＩＮのいずれか一つでもローレベルであれば出力信号ＯＵＴはローレベルとなり、入力信号ＩＮがすべてハイレベルのときには出力信号ＯＵＴはハイレベルとなる。
【００６５】
図８は、比較例におけるシリアライザ６６０の出力選択回路の回路図である。図８に示すシリアライザ６６０では、ＤＡＴ０／ＤＡＣ０，ＤＡＴ１／ＤＡＴ１の２ペア（２ビット）の入力データ信号に対して４つのトライステートバッファ回路６２０〜６２３（出力選択回路）が設けられている。シリアライザ６６０の出力データ信号Ｄ１，Ｄ２は相補信号ではない。出力データ信号Ｄ１，Ｄ２は、ハイレベル／ローレベル、ローレベル／ハイレベルだけでなく、ハイレベル／ハイレベル、ローレベル／ローレベルという４つの組み合わせが可能である。したがって、比較例のシリアライザ６６０は２ビット出力が可能であるため、シリアライザ３００の制御によりＯＤＴ状態やハイインピーダンス状態の設定が可能である。
【００６６】
トライステートバッファ回路６２０においては、電源電位ＶＰＥＲＩと接地電位ＶＳＳの間に、２つのＰＭＯＳトランジスタと２つのＮＭＯＳトランジスタが直列接続され、ＰＭＯＳトランジスタとＮＭＯＳトランジスタの接続点に出力信号線が設置される。他のトライステートバッファ回路６２１，６２２，６２３の構成も同様である。
【００６７】
トライステートバッファ回路６２０，６２１の出力信号線はワイアードオア接続され、その出力が出力データ信号Ｄ１となる。トライステートバッファ回路６２２，６２３の出力信号線もワイアードオア接続され、その出力が出力データ信号Ｄ２となる。
【００６８】
４つのトライステートバッファ回路６２０〜６２３は、ＤＡＴ０／ＤＡＣ０，ＤＡＴ１／ＤＡＣ１，ＥＮの合計３ビットの入力信号により制御される。入力データ信号ごとにトライステートバッファ回路を設けなければならない。すなわち、４種類の入力データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０，ＤＡＴ１／ＤＡＣ１に対して、４つのトライステートバッファ回路６２０〜６２３が必要となる。４ビットの入力データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３に対応するためには、８個のトライステートバッファ回路が必要となる。また、電源電位ＶＰＥＲＩや接地電位ＶＳＳと出力信号線の間に２つのトランジスタが直列接続されるため、出力データ信号の電圧範囲が狭くなるという問題もある。
【００６９】
比較例に示すシリアライザ６６０は２ビット出力できるというメリットがあるものの、ワイヤードオア接続されるトライステートバッファ回路の数が多いため出力負荷が大きくなりやすく、信号品質が劣化しやすいというデメリットがある。特に、多数ビットの入力データ信号を高速処理しようとした場合、信号品質の劣化が問題になりやすい。
【００７０】
これに対して、図４に示した本実施形態におけるシリアライザ３００の場合、４ビットの入力データ信号に対してトライステートバッファ回路は２個しか必要でない。また、電源電位ＶＰＥＲＩや接地電位ＶＳＳと出力信号線の間のトランジスタは１つであるため、出力データ信号の電圧範囲が比較的広くなるというメリットもある。トライステートバッファ回路への入力段階において、ＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４により信号選択を行うため、トライステートバッファ回路の出力負荷を大幅に抑制できる。
【００７１】
ただし、本実施形態におけるシリアライザ３００の出力データ信号ＤＴ１／ＤＣ１は相補信号であり、１ビット出力である。シリアライザ３００のみでは出力バッファ回路７０をＯＤＴ状態やハイインピーダンス状態に設定することはできないため、後段のインピーダンス制御回路５００によりＯＤＴ状態やハイインピーダンス状態の設定を行っている。１ビットの相補信号ＤＴ１／ＤＣ１を出力する本実施形態のシリアライザ３００は、比較例のような２ビット出力のシリアライザ６６０よりも信号品質を維持しやすいため、ＤＲＡＭのいっそうの高速化やメモリセルアレイ１１から一度に読み出し可能なビット数の増加に対応しやすい。
【００７２】
図９は、シリアライザ３００の前段部分の回路図である。前述のように、コントロールロジック回路４４の制御により、ＦＩＦＯ回路１６はメモリセルアレイ１１から８ビットずつデータを読み出す。ＦＩＦＯ回路１６は、８ビットのデータを順次バッファリングし、４ビットずつ、相補信号としてシリアライザ３００に出力する。この４ビットの相補信号が、入力データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３に相当する。
【００７３】
図１０は、シリアライザ３００のタイミング図である。ここでは、メモリセルアレイ１１から一度に読み出された８ビットのデータをｄ０〜ｄ７と表記する。ＦＩＦＯ回路１６は、まず最初の４ビットｄ０〜ｄ３をシリアライザ３００に供給し、次に残りの４ビットｄ４〜ｄ７を供給する。４ビットのデータｄ０〜ｄ３は４ペアのデータ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ０／ＤＡＣ３としてシリアライザ３００に供給され、その後、４ビットのデータｄ４〜ｄ７が４ペアのデータ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ０／ＤＡＣ３として再びシリアライザ３００に供給される。
【００７４】
タイミング制御回路３５０は、４ビットのイネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ３をシリアライザ３００に供給する。イネーブル信号ＥＮ０がハイアクティブとなるとき、ライズクロック信号ＣＬＫＲに同期してビットｄ０（ＤＡＴ０／ＤＡＣ０）がラッチされ、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１として出力される。次に、イネーブル信号ＥＮ１がハイアクティブとなるとビットｄ１（ＤＡＴ１／ＤＡＣ１）がラッチされ、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１として出力される。以後同様であり、８ビットのデータ信号ｄ０〜ｄ７は１ビットずつ内部データ信号ＤＴ１／ＤＴ１として出力される。
【００７５】
図１１は、ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０の前段部分の回路図である。図１１に示すＦＩＦＯ回路１６は、検査回路６３０を内蔵している。ＤＤＲ４（Double Data Rate 4）仕様のＳＤＲＡＭでは、ＣＲＣ（Cyclic Redundancy Check）がサポートされる。ＣＲＣ信号とは、読み出したデータに誤りがないかをチェックするための信号である。検査回路６３０は、２ビットのＣＲＣをシリアライザ３００に供給している。この結果、シリアライザ６７０は８ビットのリードデータに加えて２ビットのＣＲＣ信号ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１を受信する。また、２ビットのＣＲＣ信号ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１に対応して、タイミング制御回路３５０は、更に、イネーブル信号ＥＮ４，ＥＮ５をシリアライザ３００に供給する。
【００７６】
図１２は、ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０の部分的な回路図である。ここでは、シリアライザ６７０のうち、ＣＲＣ信号の処理に関わる回路のみを示している。通常の内部データ信号の処理に関わる回路構成は、図５に示した構成と同じである。２ビットのＣＲＣ信号ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１も、内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３と同様、クロック信号ＣＬＫＲ，ＣＬＫＦとイネーブル信号ＥＮ４，ＥＮ５により制御される。ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０には、３入力のＮＡＮＤゲート回路３０１〜３０８に加えて２入力のＮＡＮＤ回路６３２〜６３５と、２入力のＡＮＤ回路３１１〜３１４に加えて２入力のＡＮＤ回路６４０，６４２と、トライステートバッファ回路３２０，３３０に加えてトライステートバッファ回路６５０が追加される。ＮＡＮＤゲート回路６３２〜６３５の第１の入力ノードには、ＣＲＣ信号ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１がそれぞれ供給される。また、ＮＡＮＤゲート回路６３２，６３３の第２の入力ノードにはライズクロック信号ＣＬＫＲが供給され、ＮＡＮＤゲート回路６３４，６３５の第２の入力ノードにはフォールクロック信号ＣＬＫＦが供給される。ＮＡＮＤ回路６３２，６３３の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ４が供給され、ＮＡＮＤゲート回路６３４，６３５の第３の入力ノードにはイネーブル信号ＥＮ５が供給される。
【００７７】
イネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ６は同時に活性化することがないため、ＮＡＮＤ回路３０１〜３０８，６３２〜６３５の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の７つは全てハイレベルとなる。
【００７８】
ＡＮＤゲート回路６４０にはＮＡＮＤゲート回路６３２，６３３の出力信号が供給され、ＡＮＤゲート回路６４２にはＮＡＮＤゲート回路６３４，６３５の出力信号が供給される。これにより、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４，６４０，６４２の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の５つは全てハイレベルとなる。ＡＮＤゲート回路３１１，３１２の出力信号ＣＲはトライステートバッファ回路６５０に供給される。トライステートバッファ回路６５０の構成は、トライステートバッファ回路３２０，３３０と同様である。
【００７９】
トライステートバッファ回路６５０のノードＮ４は、トライステートバッファ回路３２０，３３０のノードＮ０，Ｎ２とワイヤードオア接続されている。同様に、トライステートバッファ回路６５０のノードＮ５は、トライステートバッファ回路３２０，３３０のノードＮ１，Ｎ３とワイヤードオア接続されている。
【００８０】
上述の通り、ＡＮＤゲート回路３１１〜３１４，６４０，６４２の出力信号は、いずれか１つのみがローレベルとなり、他の５つは全てハイレベルとなる。このため、トライステートバッファ回路３２０，３３０，６５０を構成するトランジスタのうち、必ず１つのＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタと１つのＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタだけがオンし、残りのトランジスタは全てオフとなる。
【００８１】
かかる構成により、イネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ５を順次ハイレベルに活性化させれば、シリアライザ６７０によって、パラレルに入力される相補の内部データ信号ＤＡＴ０／ＤＡＣ０〜ＤＡＴ３／ＤＡＣ３，ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１がシリアルな相補データＤＴ１／ＤＣ１に変換される。
【００８２】
シリアライザ６７０に入力されるＣＲＣ信号ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１のうち正相信号のＣＲＴ０，ＣＲＴ１が「第１の誤り検出信号」に相当し、逆相信号のＣＲＣ０，ＣＲＣ１が「第２の誤り検出信号」に相当する。また、シリアライザ６７０からＤＴ１／ＤＣ１として出力されるＣＲＣ信号がそれぞれ「第３の誤り検出信号」「第４の誤り検出信号」に相当する。
【００８３】
図１３は、ＣＲＣ対応型のシリアライザ６７０のタイミング図である。ＦＩＦＯ回路１６は、最初の４ビットｄ０〜ｄ３をシリアライザ６７０に供給し、次に残りの４ビットｄ４〜ｄ７をシリアライザ６７０供給する。また、ビットデータｄ０〜ｄ７と同時に２ビットのＣＲＣ信号ｃ０，ｃ１（ＣＲＴ０／ＣＲＣ０，ＣＲＴ１／ＣＲＣ１）をシリアライザ６７０に供給する。
【００８４】
タイミング制御回路３５０は、４ビットのイネーブル信号ＥＮ０〜ＥＮ３に加えて２ビットのイネーブル信号ＥＮ４，Ｅ５もシリアライザ６７０に供給する。イネーブル信号ＥＮ４がハイアクティブとなるとき、ビットｃ０（ＣＲＴ０／ＣＲＣ０）がラッチされ、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１として出力される。イネーブル信号ＥＮ５がハイアクティブとなるときにはビットｃ１（ＣＲＴ１／ＣＲＣ１）がラッチされ、内部データ信号ＤＴ１／ＤＣ１として出力される。イネーブル信号ＥＮ０〜Ｅ３が２回ずつ活性化されたあと、イネーブル信号ＥＮ４，ＥＮ５が活性化されるため、シリアライザ６７０からはビット列ｄ０〜ｄ７が順次出力された後、ＣＲＣ信号ｃ０，ｃ１が出力される。
【００８５】
図１４は、プルアップバッファ回路１００、プルダウンバッファ回路２００及び出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎの回路図である。
【００８６】
図１４に示すように、プルアップバッファ回路１００は、電源電位ＶＤＤが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に並列接続された複数の単位バッファ回路からなる。特に限定されるものではないが、本実施形態では７つの単位バッファ回路１１０〜１７０によってプルアップバッファ回路１００が構成されている。これら７つの単位バッファ回路１１０〜１７０は互いに同じインピーダンスを有しており、同時に活性化させる単位バッファ回路の数を選択することによって、プルアップバッファ回路１００のオン時のインピーダンスを選択することができる。各単位バッファ回路１１０〜１７０のインピーダンスは、図示しないキャリブレーション回路によって設計値（例えば２４０Ω）に調整される。キャリブレーションの結果は、後述するキャリブレーションコードＺＱＣＰとして得られる。図１４においては、単位バッファ回路１１０〜１７０のそれぞれをＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタのシンボルマークで示しているが、実際には各単位バッファ回路が１つのトランジスタで構成されているわけではない。
【００８７】
同様に、プルダウンバッファ回路２００は、接地電位ＶＳＳが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に並列接続された複数の単位バッファ回路からなる。特に限定されるものではないが、本実施形態では７つの単位バッファ回路２１０〜２７０によってプルダウンバッファ回路２００が構成されている。これら７つの単位バッファ回路２１０〜２７０は互いに同じインピーダンスを有しており、同時に活性化させる単位バッファ回路の数を選択することによって、プルダウンバッファ回路２００のオン時のインピーダンスを選択することができる。各単位バッファ回路２１０〜２７０のインピーダンスは、図示しないキャリブレーション回路によって設計値（例えば２４０Ω）に調整される。キャリブレーションの結果は、後述するキャリブレーションコードＺＱＣＮとして得られる。図１４においては、単位バッファ回路２１０〜２７０のそれぞれをＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタのシンボルマークで示しているが、実際には各単位バッファ回路が１つのトランジスタで構成されているわけではない。
【００８８】
単位バッファ回路１１０〜１７０は、出力制御回路４００Ｐに含まれる単位制御回路４１０Ｐ〜４７０Ｐによってそれぞれ制御される。単位制御回路４１０Ｐ〜４７０Ｐは、制御信号ＤＰ及び対応する選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７によって制御される。同様に、単位バッファ回路２１０〜２７０は、出力制御回路４００Ｎに含まれる単位制御回路４１０Ｎ〜４７０Ｎによってそれぞれ制御される。単位制御回路４１０Ｎ〜４７０Ｎは、制御信号ＤＮ及び対応する選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７によって制御される。選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７は、図４に示すインピーダンス制御回路５００によって生成される信号である。
【００８９】
図１５は、単位制御回路４１０Ｐの回路図である。
【００９０】
図１５に示すように、単位制御回路４１０Ｐは、選択信号ＳＥＬ１及び制御信号ＤＰを受けるＮＡＮＤゲート回路Ｇ１と、ゲート回路Ｇ１の出力を受けるインピーダンス調整回路４１１Ｐと、インピーダンス調整回路４１１Ｐの出力を受けるスルーレート調整回路４１３Ｐとを備える。インピーダンス調整回路４１１Ｐは、ゲート回路Ｇ１の出力がローレベルに活性化すると、キャリブレーションコードＺＱＣＰに基づいて複数ビットからなる制御信号４１２Ｐの１ビット以上を活性化させる。スルーレート調整回路４１３Ｐは、スルーレートコードＳＲＣＰに基づいて、活性化している制御信号４１２Ｐのビットの変化速度を調整する。そして、スルーレート調整回路４１３Ｐから出力される制御信号４１４Ｐが単位バッファ回路１１０に供給される。
【００９１】
他の単位制御回路４２０Ｐ〜４７０Ｐについても、それぞれ対応する選択信号ＳＥＬ２〜ＳＥＬ７が供給される他は、図１５に示した単位制御回路４１０Ｐと同じ回路構成を有している。単位制御回路４２０Ｐ〜４７０Ｐから出力される制御信号４２４Ｐ〜４７４Ｐは、それぞれ対応する単位バッファ回路１２０〜１７０に供給される。
【００９２】
図１６は、単位制御回路４１０Ｎの回路図である。
【００９３】
図１６に示すように、単位制御回路４１０Ｎは、選択信号ＳＥＬ１及び制御信号ＤＮを受けるＮＡＮＤゲート回路Ｇ２と、ゲート回路Ｇ２の出力を受けるインピーダンス調整回路４１１Ｎと、インピーダンス調整回路４１１Ｎの出力を受けるスルーレート調整回路４１３Ｎとを備える。インピーダンス調整回路４１１Ｎは、ゲート回路Ｇ２の出力がハイレベルに活性化すると、キャリブレーションコードＺＱＣＮに基づいて複数ビットからなる制御信号４１２Ｎの１ビット以上を活性化させる。スルーレート調整回路４１３Ｎは、スルーレートコードＳＲＣＮに基づいて、活性化している制御信号４１２Ｎのビットの変化速度を調整する。そして、スルーレート調整回路４１３Ｎから出力される制御信号４１４Ｎが単位バッファ回路２１０に供給される。
【００９４】
他の単位制御回路４２０Ｎ〜４７０Ｎについても、それぞれ対応する選択信号ＳＥＬ２〜ＳＥＬ７が供給される他は、図１６に示した単位制御回路４１０Ｎと同じ回路構成を有している。単位制御回路４２０Ｎ〜４７０Ｎから出力される制御信号４２４Ｎ〜４７４Ｎは、それぞれ対応する単位バッファ回路２２０〜２７０に供給される。
【００９５】
図１７は、単位バッファ回路１１０の回路図である。
【００９６】
図１７に示すように、単位バッファ回路１１０は、電源電位ＶＤＤが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に並列接続された複数のＰチャンネル型ＭＯＳトランジスタ１１１〜１１６からなる。各トランジスタのゲート電極には、制御信号４１４Ｐを構成する各ビットＤＰ１１〜ＤＰ１６が供給される。これにより、制御信号４１４Ｐを構成する各ビットＤＰ１１〜ＤＰ１６のうち、ローレベルであるビットに対応するトランジスタがオンする。特に限定されるものではないが、これらトランジスタ１１１〜１１６のうち、トランジスタ１１１〜１１５のチャネル幅には２のべき乗の重み付がされている。これにより、トランジスタ１１１〜１１５はインピーダンスコードＺＱＣＰに基づいてオン／オフが指定される。トランジスタ１１６については、インピーダンスコードＺＱＣＰに関わらずオンする。
【００９７】
他の単位バッファ回路１２０〜１７０についても、それぞれ対応する制御信号４２４Ｐ〜４７４Ｐが供給される他は、単位バッファ回路１１０と同じ回路構成を有している。
【００９８】
図１８は、単位バッファ回路２１０の回路図である。
【００９９】
図１８に示すように、単位バッファ回路２１０は、接地電位ＶＳＳが供給される電源ラインとデータ端子２１との間に並列接続された複数のＮチャンネル型ＭＯＳトランジスタ２１１〜２１６からなる。各トランジスタのゲート電極には、制御信号４１４Ｎを構成する各ビットＤＮ１１〜ＤＮ１６が供給される。これにより、制御信号４１４Ｎを構成する各ビットＤＮ１１〜ＤＮ１６のうち、ハイレベルであるビットに対応するトランジスタがオンする。特に限定されるものではないが、これらトランジスタ２１１〜２１６のうち、トランジスタ２１１〜２１５のチャネル幅には２のべき乗の重み付がされている。これにより、トランジスタ２１１〜２１５はインピーダンスコードＺＱＣＮに基づいてオン／オフが指定される。トランジスタ２１６については、インピーダンスコードＺＱＣＮに関わらずオンする。
【０１００】
他の単位バッファ回路２２０〜２７０についても、それぞれ対応する制御信号４２４Ｎ〜４７４Ｎが供給される他は、単位バッファ回路２１０と同じ回路構成を有している。
【０１０１】
図１９は、インピーダンス制御回路５００の構成を示すブロック図である。
【０１０２】
図１９に示すように、インピーダンス制御回路５００は、インピーダンスコードＲＯＮＣ，ＯＤＴＣを受けるセレクタ５１０と、セレクタ５１０の出力をデコードするデコーダ５２０を含んでいる。インピーダンスコードＲＯＮＣは、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００を出力回路として機能させる場合のインピーダンスを指定する信号である。一方、インピーダンスコードＯＤＴＣは、プルアップバッファ回路１００を終端抵抗器として機能させる場合のインピーダンスを指定する信号である。プルアップバッファ回路１００を終端抵抗器として機能させるのは、図１に示すＯＤＴ端子３３に入力される終端信号ＯＤＴが活性化した場合である。本実施形態では、データ端子２１の終端レベルがＶＤＤであることから、プルダウンバッファ回路２００については終端抵抗器としては使用しない。インピーダンスコードＲＯＮＣ，ＯＤＴＣは固定的である必要はなく、モードレジスタ４２の設定値によって切り替え可能とすることが好ましい。
【０１０３】
インピーダンスコードＲＯＮＣ，ＯＤＴＣのいずれを選択するかは、セレクタに入力される終端信号ＩＯＤＴ、ドライブ信号ＤＲＶ及びディセーブル信号ＤＩＳの組み合わせによって定められる。終端信号ＩＯＤＴはＯＤＴ動作を行う際にローレベルに活性化される信号であり、ＯＤＴ端子３３に入力される終端信号ＯＤＴに基づいて活性化する。ドライブ信号ＤＲＶは、リードデータＤＱの出力動作を行う際にハイレベルに活性化される信号である。ディセーブル信号ＤＩＳは、出力バッファ回路７０をハイインピーダンス状態とする場合に活性化される信号である。インピーダンスコードＲＯＮＣ，ＯＤＴＣの選択は、図２０に示す真理値表にしたがって行われる。本発明においては、インピーダンスコードＯＤＴＣが選択されている状態を「第１の制御状態」、インピーダンスコードＲＯＮＣが選択されている状態を「第２の制御状態」と呼ぶことがある。また、インピーダンス制御回路５００を「第２の制御回路」と呼ぶことがある。
【０１０４】
ドライブ信号ＤＲＶは、図４に示したタイミング制御回路３５０によって生成される信号である。タイミング制御回路３５０は、リードデータＤＱの出力タイミングに合わせてドライブ信号ＤＲＶを活性化させることにより、ＯＤＴ動作を行っている出力バッファ回路７０をリードデータＤＱの出力動作に切り替え、或いは、ハイインピーダンス状態である出力バッファ回路７０をリードデータＤＱの出力動作に切り替える。当然ながらその逆の制御、つまり、リードデータＤＱの出力動作を行っている出力バッファ回路７０をＯＤＴ動作に切り替え、或いは、ハイインピーダンス状態に切り替える制御も行う。本発明においては、タイミング制御回路３５０を「第３の制御回路」と呼ぶことがある。
【０１０５】
セレクタ５１０によって選択されたインピーダンスコードＲＯＮＣ又はＯＤＴＣは、デコーダ５２０に供給される。デコーダ５２０は、これに基づいて活性化させる選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７の本数を制御する。上述の通り、選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７はそれぞれ対応する単位バッファ回路１１０〜１７０，２１０〜２７０を活性化させるための信号であることから、活性化される選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７の本数が多いほど、オン状態であるプルアップバッファ回路１００又はプルダウンバッファ回路２００のインピーダンスが低くなる。本発明においては、選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７を「第２の制御信号」と呼ぶことがある。
【０１０６】
図２１は、リードデータＤＱの出力動作を説明するためのタイミング図である。
【０１０７】
図２１に示す例では、時刻ｔ２０にストローブ信号ＤＱＳＴ／ＤＱＳＢのクロッキングが開始され、その１クロックサイクル後である時刻ｔ２１からリードデータＤＱの出力が開始されている。リードデータＤＱの出力動作は時刻ｔ２２にて終了する。したがって、時刻ｔ２１以前の期間である制御期間Ｔ１，Ｔ３、並びに、時刻ｔ２２以降の期間である制御期間Ｔ４においては、データ端子２１のレベルをＶＤＤとする必要がある。
【０１０８】
これを実現するためには、制御期間Ｔ１，Ｔ３，Ｔ４においてはプルアップバッファ回路１００のみをオンさせることによってＯＤＴ動作を実行するか、或いは、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００の両方をオフさせることによってデータ端子２１をハイインピーダンス状態とする必要がある。ＯＤＴ動作を行う場合には、プルアップバッファ回路１００のインピーダンスをインピーダンスコードＯＤＴＣに基づいて制御する必要がある。上述の通り、インピーダンスコードＯＤＴＣに基づくインピーダンスの制御は、活性化させる単位バッファ回路１１０〜１７０の数を選択することにより行う。
【０１０９】
一方、時刻ｔ２１〜ｔ２２の期間である制御期間Ｔ２においては、出力すべきリードデータＤＱの論理レベルに基づいて、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００の一方をオン、他方をオフとする必要がある。リードデータＤＱの出力動作を行う場合には、プルアップバッファ回路１００のインピーダンスをインピーダンスコードＲＯＮＣに基づいて制御する必要がある。インピーダンスコードＲＯＮＣに基づくインピーダンスの制御についても、活性化させる単位バッファ回路１１０〜１７０，２１０〜２７０の数を選択することにより行う。
【０１１０】
ここで、リードデータＤＱの出力を開始するタイミングは、時刻ｔ２１に正確に合わせる必要がある。かかるタイミング制御は、シリアライザ３００によって正確に制御される。これに対し、プルアップバッファ回路１００のインピーダンスをインピーダンスコードＯＤＴＣに基づくインピーダンスから、インピーダンスコードＲＯＮＣに基づくインピーダンスに切り替えるタイミングは、必ずしも時刻ｔ２１に正確に合わせる必要はない。これは、時刻ｔ２０以前の制御期間Ｔ１におけるデータ端子２１のレベルと、時刻ｔ２０〜ｔ２１の制御期間Ｔ３におけるデータ端子２１のレベルが等しいからであり、この期間内であれば、プルダウンバッファ回路２００のインピーダンスを変化させても、半導体装置１０に接続された他の半導体デバイスに実質的に影響を与えないからである。
【０１１１】
したがって、選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７が変化するタイミングは、時刻ｔ２０〜ｔ２１の制御期間Ｔ３内であればいつでも良く、出力クロック信号ＬＣＬＫを用いた厳密なタイミング制御が不要となる。その結果、図４に示すように、プルアップバッファ回路１００及びプルダウンバッファ回路２００のインピーダンスを指定する選択信号ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７をシリアライザ３００ではなく、これらバッファ回路１００，２００の直前に設けられた出力制御回路４００Ｐ，４００Ｎに入力することが可能となる。図２１においては、選択信号ＳＥＬの変化を模式的に２値で表している。図２１において選択信号ＳＥＬがローレベルであるのは、インピーダンスコードＯＤＴＣが選択されていることを意味し、選択信号ＳＥＬがハイレベルであるのは、インピーダンスコードＲＯＮＣが選択されていることを意味する。
【０１１２】
図２２は、他の例によるリードデータＤＱの出力動作を説明するためのタイミング図である。図２２に示す例では、時刻ｔ３０にストローブ信号ＤＱＳＴ／ＤＱＳＢのクロッキングが開始され、その２クロックサイクル後である時刻ｔ３１からリードデータＤＱの出力が開始されている。リードデータＤＱの出力動作は時刻ｔ３２にて終了する。このように、いわゆるプリアンブルの期間が長くなると、プルアップバッファ回路１００のインピーダンスを切り替えるタイミングマージンもその分拡大する。
【０１１３】
図２３は比較例によるタイミング図である。
【０１１４】
図２３に示す例では、時刻ｔ４０にストローブ信号ＤＱＳＴ／ＤＱＳＢのクロッキングが開始され、その１クロックサイクル後である時刻ｔ４１からリードデータＤＱの出力が開始されている。リードデータＤＱの出力動作は時刻ｔ４２にて終了する。本例では、図３を用いて説明したように、データ端子２１の終端レベルがＶＤＤ／２に設定されている。この場合、出力バッファ回路７０のインピーダンスを切り替えるタイミングは、リードデータＤＱの出力を開始するタイミングと正確に一致する必要がある。このことは、出力バッファ回路７０のインピーダンスを切り替えるための信号をシリアライザに入力する必要があることを意味する。図２３においては、プルアップバッファ回路１００のインピーダンスを切り替えるための信号をＯＥＰ、プルダウンバッファ回路２００のインピーダンスを切り替えるための信号をＯＥＮと表記している。このように、本例では信号ＯＥＰ，ＯＥＮをシリアライザに入力する必要があるため、そのタイミングマージンはプリアンブルの期間の長さにかかわらずシビアとなる。図２３に示すｔＳはセットアップマージン、ｔＨはホールドマージンである。
【０１１５】
これに対し、本実施形態ではこのような問題がなく、十分な余裕を持ってインピーダンスの切り替えを行うことが可能となる。
【０１１６】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【符号の説明】
【０１１７】
１０  半導体装置、１１  メモリセルアレイ、１２  ロウデコーダ、１３  カラムデコーダ、１４  センス回路、１５  データコントローラ、１６  ＦＩＦＯ回路、１７  データ入出力回路、１８  ストローブ回路、１９  ストローブコントローラ、２１  データ端子、２２，２３  ストローブ端子、２４，２５  クロック端子、２６  クロックイネーブル端子、２７  アドレス端子、２８  コマンド端子、２９  アラート端子、３０，３１  電源端子、３２  データマスク端子、３３  ＯＤＴ端子、４０  クロックジェネレータ、４１  ＤＬＬ回路、４２  モードレジスタ、４３  コマンドデコーダ、４４  コントロールロジック回路、４５  出力回路、４６  電源回路、５０  ロウコントロール回路、５１  アドレスバッファ、５２  リフレッシュカウンタ、６０  カラムコントロール回路、６１  アドレスバッファ、６２  バーストカウンタ、７０  出力バッファ回路、１００  プルアップバッファ回路、１１０〜１７０，２１０〜２７０  単位バッファ回路、１１１〜１１６，２１１〜２１６  トランジスタ、２００  プルダウンバッファ回路、３００，６６０，６７０  シリアライザ、３０１〜３０８，３１１〜３１４，３２１〜３２４，３３１〜３３４，６３２〜６３５，６４０，６４２  ゲート回路、３２０，３３０，６５０  トライステートバッファ回路、３４０  クロック分割回路、３５０  タイミング制御回路、３６０  ラッチ回路、３７０  レベルシフタ、３８１，３８２  補償回路、３８３，３８４  配線、３８５，３８６  再生回路、４００Ｐ，４００Ｎ  出力制御回路、４１０Ｎ〜４７０Ｎ，４１０Ｐ〜４７０Ｐ  単位制御回路、４１１Ｎ，４１１Ｐ  インピーダンス調整回路、４１３Ｎ，４１３Ｐ  スルーレート調整回路、５００  インピーダンス制御回路、５１０  セレクタ、５２０  デコーダ、ＤＱ  リードデータ、ＤＱＳＴ，ＤＱＳＢ  ストローブ信号、ＤＴ１／ＤＣ１  相補データ、ＯＤＴＣ，ＲＯＮＣ  インピーダンスコード、ＳＥＬ１〜ＳＥＬ７  選択信号。
【図１】
2013074562.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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