(57)【要約】【課題】水平方向の省スペース化を簡易に低コストで実現し、可撓性の無い露光用マスクであっても使用可能であると共に、露光用マスクが被露光材に接触するリスクを低減できる露光装置を提供することである。【解決手段】本発明に係る露光装置は、被露光材を搬送させると共に、被露光材の露光部分を支持するローラと、ローラから送られてきた被露光材を受ける下流側受け部とを備え、ローラから下流側受け部に送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、露光用マスクからローラ側に離れる方向に延びるように、下流側受け部を配置し、ローラから下流側受け部に延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成されている。【選択図】図１
2013125079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の被露光材を長手方向に搬送させて連続的に露光する露光装置において、
前記被露光材を搬送させると共に、前記被露光材の露光部分を支持するローラと、
前記ローラから送られてきた前記被露光材を受ける下流側受け部と、
前記ローラによって搬送される前記被露光材に対して前記ローラの外側から露光光を照射する光源と、
前記光源からの前記露光光を遮断する遮光領域と前記露光光を透過させる透光領域とを有する露光用マスクと、
前記光源と前記被露光材との間において、前記露光用マスクを保持するマスク保持部と
を備え、
前記ローラから前記下流側受け部に送り出される前記被露光材が、前記ローラの軸方向からみて、前記露光用マスクから前記ローラ側に離れる方向に延びるように、前記下流側受け部を配置し、
前記ローラから前記下流側受け部に延びる前記被露光材と前記露光用マスクとの間に形成された空間に、前記マスク保持部の少なくとも一部を配置して、前記露光用マスクを前記被露光材側から保持したことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記マスク保持部は、前記露光用マスクの端部を保持する上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、
前記上流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する前記露光用マスクの端部を保持し、
前記下流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する前記露光用マスクの端部を保持し、
前記下流側端部保持部の少なくとも一部は、前記ローラから前記下流側受け部に延びる前記被露光材と前記露光用マスクとの間に形成された前記空間に位置して、前記露光用マスクを前記被露光材側から保持していることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記露光用マスクは、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、前記マスク保持部の前記上流側端部保持部と前記下流側端部保持部は、前記被露光材と対向する前記露光用マスクの表面が面一となるように、前記並置した複数のマスクを保持するものであることを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
前記被露光材を前記ローラに向けて送り出す上流側送出部と、
前記ローラによって搬送される前記被露光材に対して前記ローラの外側から露光光を照射する他の光源と、
前記他の光源からの前記露光光を遮断する遮光領域と前記露光光を透過させる透光領域とを有する他の露光用マスクと、
前記他の光源と前記被露光材との間において、前記他の露光用マスクを保持する他のマスク保持部と
をさらに備え、
前記上流側送出部から前記ローラに送り出される前記被露光材が、前記ローラの軸方向からみて、前記他の露光用マスクから前記ローラ側に離れる方向から、前記ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、
前記上流側送出部から前記ローラに延びる前記被露光材と前記他の露光用マスクとの間に形成された空間に、前記他のマスク保持部の少なくとも一部を配置して、前記他の露光用マスクを前記被露光材側から保持したことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の露光装置。
【請求項５】
前記他のマスク保持部は、前記他の露光用マスクの端部を保持する他の上流側端部保持部と他の下流側端部保持部を備え、
前記他の上流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する前記他の露光用マスクの端部を保持し、
前記他の下流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する前記他の露光用マスクの端部を保持し、
前記他の上流側端部保持部の少なくとも一部は、前記上流側送出部から前記ローラに延びる前記被露光材と前記他の露光用マスクとの間に形成された前記空間に位置して、前記他の露光用マスクを前記被露光材側から保持していることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記他の露光用マスクは、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、前記他のマスク保持部の前記他の上流側端部保持部と前記他の下流側端部保持部は、前記被露光材と対向する前記他の露光用マスクの表面が面一となるように、前記並置した複数のマスクを保持するものであることを特徴とする請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記露光用マスクのマスクパターンは、前記他の露光用マスクのマスクパターンと異なるものであり、
長手方向に搬送される前記被露光材を、前記他の露光用マスクを介して露光した後に、前記露光用マスクを介してさらに露光することによって、３次元液晶表示装置用の偏光フィルムを形成することを特徴とする請求項４から６のいずれか１項記載の露光装置。
【請求項８】
長尺状の被露光材を長手方向に搬送させて連続的に露光する露光装置において、
前記被露光材を搬送させると共に、前記被露光材の露光部分を支持するローラと、
前記被露光材を前記ローラに向けて送り出す上流側送出部と、
前記ローラによって搬送される前記被露光材に対して前記ローラの外側から露光光を照射する光源と、
前記光源からの前記露光光を遮断する遮光領域と前記露光光を透過させる透光領域とを有する露光用マスクと、
前記光源と前記被露光材との間において、前記露光用マスクを保持するマスク保持部と
を備え、
前記上流側送出部から前記ローラに送り出される前記被露光材が、前記ローラの軸方向からみて、前記露光用マスクから前記ローラ側に離れる方向から、前記ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、
前記上流側送出部から前記ローラに延びる前記被露光材と前記露光用マスクとの間に形成された空間に、前記マスク保持部の少なくとも一部を配置して、前記露光用マスクを前記被露光材側から保持したことを特徴とする露光装置。
【請求項９】
前記マスク保持部は、前記露光用マスクの端部を保持する上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、
前記上流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する前記露光用マスクの端部を保持し、
前記下流側端部保持部は、前記ローラの軸方向に延び且つ前記被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する前記露光用マスクの端部を保持し、
前記上流側端部保持部の少なくとも一部は、前記上流側送出部から前記ローラに延びる前記被露光材と前記露光用マスクとの間に形成された前記空間に位置して、前記露光用マスクを前記被露光材側から保持していることを特徴とする請求項８記載の露光装置。
【請求項１０】
前記露光用マスクは、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、前記マスク保持部の前記上流側端部保持部と前記下流側端部保持部は、前記被露光材と対向する前記露光用マスクの表面が面一となるように、前記並置した複数のマスクを保持するものであることを特徴とする請求項９記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に関するものであって、特に、長尺状の被露光材を長手方向に移動させて連続的に露光する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、長尺状の被露光材を長手方向に移動させながら、所定のマスクパターンを有するマスクを介して被露光材の表面を露光する露光装置が知られている。このような露光装置は、例えば、液晶表示装置用のカラーフィルタの製造や、光配向膜の配向処理等に用いられる。長尺状の被露光材の移動には、一例としてローラ等が用いられる（例えば、特許文献１及び２）。
【０００３】
特許文献１には、被露光材である帯状のワークをロール状に巻いた状態から引き出して露光し、再びロールに巻き取る方法が記載されている。特許文献１に記載されている露光装置においては、未露光の帯状のワークが巻き付けられている巻き出しリールと露光された帯状のワークを巻き取る巻き取りリールとの間に、ガイドローラ、ドライブローラ等が設けられて、巻き出しリールから引き出した帯状のワークを所定の方向に搬送している。搬送された帯状のワークは、水平方向に板状に延びるワークステージに吸着された状態で露光される。露光パターンを形成するマスクは、ワークステージに吸着された帯状のワークの表面と対向するように、マスクステージの下側に吸着保持されている。
【０００４】
特許文献２には、長尺状の被印刷体を連続密着露光印刷処理するための露光装置が記載されている。この露光装置は、少なくとも一部が透明の露光ロールと、この露光ロールの前段側に設けられた供給ロールと、露光ロールの後段側に設けられた引出ロールとを備える。被印刷体は、供給ロールから露光ロールに送り出されて、露光ロールに巻き掛けられた状態で露光された後に、引出ロールに送り出される。
【０００５】
露光ロールは、中空状の基体ロールと、この基体ロールの外周部に貼着されたマスクと、基体ロールの内部に設けられた光源を有している。基体ロール内の光源から照射された光は、基体ロールを通過し、その外周部のマスクを通過して外部に照射されるように構成されている。露光ロールのマスクが順次回転移動して被印刷体に連続的に接することによって、長尺の被印刷体を所定のパターンで連続露光している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３４７４２５号公報
【特許文献２】特開平１１−２８８０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載された露光装置では、ワークステージを設置する必要があり、装置全体が大型化してしまう。板状に形成されたワークステージは巻き出しリールと巻取リールとの間において、水平方向に配置されているため、特に水平方向において、露光装置内に別途スペースを確保しなければならない。加えて、特許文献１に記載のマスクは、マスクステージの下側に吸着保持されているため、マスクステージの吸着力が低下した場合に、マスクが被露光材の露光面上に落下して被露光材を傷つけてしまう可能性がある。
【０００８】
特許文献２に記載された露光装置は、特許文献１に記載されているようなワークステージを採用せずに、露光ロールを用いて露光を行っている。しかしながら、露光ロールはロールの内側に光源を設置する必要があるために、製造が複雑になると共に製造コストもかかる。また、露光用のマスクは露光ロールの外周部に巻き付けられるため、可撓性を有するものでなければならない。したがって、可撓性の無い露光用マスク、例えば、一般的に流通している５ｍｍ程度の厚みを有するガラス製のフォトマスクなどを利用することができない。
【０００９】
そこで本発明の目的は、水平方向の省スペース化を簡易に低コストで実現し、可撓性の無い露光用マスクであっても使用可能であると共に、露光用マスクが被露光材に接触するリスクを低減できる露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、露光装置に係るものである。上記目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、長尺状の被露光材を長手方向に搬送させて連続的に露光する露光装置において、被露光材を搬送させると共に、被露光材の露光部分を支持するローラと、ローラから送られてきた被露光材を受ける下流側受け部と、ローラによって搬送される被露光材に対してローラの外側から露光光を照射する光源と、光源からの露光光を遮断する遮光領域と露光光を透過させる透光領域とを有する露光用マスクと、光源と被露光材との間において、露光用マスクを保持するマスク保持部とを備え、ローラから下流側受け部に送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、露光用マスクからローラ側に離れる方向に延びるように、下流側受け部を配置し、ローラから下流側受け部に延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成されている。
【００１１】
「被露光材」とは、露光される対象物をいう。「被露光材」は、露光される表面を有する基板及び基材を含み、「被露光材」の一例として、フォトレジスト膜を積層した可撓性を有するシート状基材、配向材料膜を塗布したフィルム等が挙げられる。
【００１２】
「ローラ」は、回転させて用いる部材であり、「ローラ」の一例として、被露光材を搬送させると共に、被露光材の露光部分を支持するバックロールが挙げられる。「ローラ」には、動力を用いずに回転するフリーローラが含まれる。
【００１３】
「下流側受け部」は、ローラから送られてきた被露光材を受ける部材であり、「下流側受け部」の一例として、ローラから送られてきた被露光材を受け取って所定の方向に案内するガイドローラや、ローラから送られてきた被露光材を巻き取る巻き取りリール等が挙げられる。
【００１４】
例えば、マスク保持部は、露光用マスクの端部を保持する上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、上流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する露光用マスクの端部を保持し、下流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する露光用マスクの端部を保持し、下流側端部保持部の少なくとも一部は、ローラから下流側受け部に延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、露光用マスクを被露光材側から保持している。
【００１５】
一例として、露光用マスクは、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、マスク保持部の上流側端部保持部と下流側端部保持部は、被露光材と対向する露光用マスクの表面が面一となるように、並置した複数のマスクを保持するものである。
【００１６】
「並置」とは、並べて置くことをいう。「面一」とは、複数の表面の間に段差がなく、同一平面に納まることをいう。
【００１７】
また、被露光材をローラに向けて送り出す上流側送出部と、ローラによって搬送される被露光材に対してローラの外側から露光光を照射する他の光源と、他の光源からの露光光を遮断する遮光領域と露光光を透過させる透光領域とを有する他の露光用マスクと、他の光源と被露光材との間において、他の露光用マスクを保持する他のマスク保持部とをさらに備え、上流側送出部からローラに送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、他の露光用マスクからローラ側に離れる方向から、ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、上流側送出部からローラに延びる被露光材と他の露光用マスクとの間に形成された空間に、他のマスク保持部の少なくとも一部を配置して、他の露光用マスクを被露光材側から保持するように構成してもよい。
【００１８】
「上流側送出部」は、被露光材をローラに向けて送り出す部材であり、「上流側送出部」の一例として、所定の方向から送られてきた被露光材をローラに向けて案内するガイドローラや、ローラに向けて被露光材が引き出される巻き出しリール等が挙げられる。
【００１９】
例えば、他のマスク保持部は、他の露光用マスクの端部を保持する他の上流側端部保持部と他の下流側端部保持部を備え、他の上流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する他の露光用マスクの端部を保持し、他の下流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する他の露光用マスクの端部を保持し、他の上流側端部保持部の少なくとも一部は、上流側送出部からローラに延びる被露光材と他の露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、他の露光用マスクを被露光材側から保持している。
【００２０】
一例として、他の露光用マスクは、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、他のマスク保持部の他の上流側端部保持部と他の下流側端部保持部は、被露光材と対向する他の露光用マスクの表面が面一となるように、並置した複数のマスクを保持する。
【００２１】
例えば、露光用マスクのマスクパターンは、他の露光用マスクのマスクパターンと異なるものであり、長手方向に搬送される被露光材を、他の露光用マスクを介して露光した後に、露光用マスクを介してさらに露光することによって、３次元液晶表示装置用の偏光フィルムを形成してもよい。
【００２２】
本発明に係る他の露光装置は、長尺状の被露光材を長手方向に搬送させて連続的に露光する露光装置において、被露光材を搬送させると共に、被露光材の露光部分を支持するローラと、被露光材をローラに向けて送り出す上流側送出部と、ローラによって搬送される被露光材に対してローラの外側から露光光を照射する光源と、光源からの露光光を遮断する遮光領域と露光光を透過させる透光領域とを有する露光用マスクと、光源と被露光材との間において、露光用マスクを保持するマスク保持部とを備え、上流側送出部からローラに送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、露光用マスクからローラ側に離れる方向から、ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、上流側送出部からローラに延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成されている。  
【００２３】
マスク保持部は、露光用マスクの端部を保持する上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、上流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して上流側に位置する露光用マスクの端部を保持し、下流側端部保持部は、ローラの軸方向に延び且つ被露光材の搬送方向に対して下流側に位置する露光用マスクの端部を保持し、上流側端部保持部の少なくとも一部は、上流側送出部からローラに延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成してもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る露光装置は、被露光材を搬送させると共に、被露光材の露光部分を支持するローラを備えている。したがって、露光面を支持するために、別途ワークステージ等を設ける必要がない。よって、露光装置における水平方向の省スペース化を簡易に低コストで実現できる。また、露光用マスクは、被露光材に対してローラの外側から露光光を照射する光源と被露光材との間に配置されるものであるため、露光用マスクに可撓性は要求されない。
【００２５】
また、本発明に係る露光装置では、ローラから下流側受け部に送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、露光用マスクからローラ側に離れる方向に延びるように、下流側受け部を配置し、ローラから下流側受け部に延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成している。
【００２６】
したがって、本発明に係る装置では、露光用マスクと露光面とを近接させた状態で、露光用マスクの端部と被露光材との間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持することができる。よって、何らかの理由によってマスク保持部の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。
【００２７】
以上に述べたように、本発明に係る露光装置によれば、水平方向の省スペース化を簡易に低コストで実現し、可撓性の無い露光用マスクであっても使用可能であると共に、露光用マスクが被露光材に接触するリスクを低減できる。
【００２８】
本発明に係る露光装置において、マスク保持部が上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、下流側端部保持部の少なくとも一部が、ローラから下流側受け部に延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成した場合は、下流側端部保持部の少なくとも一部が露光用マスクを被露光材側から保持しているため、何らかの理由によって下流側端部保持部の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。
【００２９】
なお、この構成例における上流側端部保持部については、上流側端部保持部の少なくとも一部を、ローラの周面に沿って搬送される被露光材と露光用マスクの端部との間に形成された空間に配置することができるため、上流側端部保持部の少なくとも一部によって、露光用マスクを被露光材側から保持することが可能である。
【００３０】
露光用マスクが、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、マスク保持部の上流側端部保持部と下流側端部保持部が、被露光材と対向する露光用マスクの表面が面一となるように、並置した複数のマスクを保持するように構成した場合には、各マスクから露光面までの距離を変化させることなく、厚さの異なる複数のマスクを保持できる。したがって、露光用マスクとして、厚さの異なる複数のマスクを用いた場合であっても、均一な露光を行うことができる。また、大型の露光用マスクは極めて高価であるため、安価で小型のマスクを複数個並置して露光用マスクを構成することによって、簡易且つ安価に露光用マスクを形成することができる。
【００３１】
被露光材をローラに向けて送り出す上流側送出部と、ローラによって搬送される被露光材に対してローラの外側から露光光を照射する他の光源と、他の光源からの露光光を遮断する遮光領域と露光光を透過させる透光領域とを有する他の露光用マスクと、他の光源と被露光材との間において、他の露光用マスクを保持する他のマスク保持部とをさらに備えるように構成した場合には、１個のローラに対して複数の露光を行うため、各露光ごとに高価なローラを使用する必要がなく、被露光材の露光に要する製造コストを低減できると共に、露光装置の省スペース化も図ることができる。
【００３２】
さらに、上流側送出部からローラに送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、他の露光用マスクからローラ側に離れる方向から、ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、上流側送出部からローラに延びる被露光材と他の露光用マスクとの間に形成された空間に、他のマスク保持部の少なくとも一部を配置して、他の露光用マスクを被露光材側から保持するように構成すれば、他の露光用マスクと露光面とを近接させた状態で、他の露光用マスクの端部と被露光材との間に形成された空間に、他のマスク保持部の少なくとも一部を配置して、他の露光用マスクを被露光材側から保持することができる。よって、何らかの理由によって他のマスク保持部の他の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、他の露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。
【００３３】
他のマスク保持部が、他の露光用マスクの端部を保持する他の上流側端部保持部と他の下流側端部保持部を備え、他の上流側端部保持部の少なくとも一部は、上流側送出部からローラに延びる被露光材と他の露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、他の露光用マスクを被露光材側から保持するように構成した場合には、他の上流側端部保持部の少なくとも一部が他の露光用マスクを被露光材側から保持しているため、何らかの理由によって他の上流側端部保持部の他の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、他の露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。
【００３４】
なお、この構成における他の下流側端部保持部については、他の下流側端部保持部の少なくとも一部を、ローラの周面に沿って搬送される被露光材と他の露光用マスクの端部との間に形成された空間に配置することができるため、他の下流側端部保持部の少なくとも一部によって、他の露光用マスクを被露光材側から保持することが可能である。
【００３５】
他の露光用マスクが、厚さの異なる複数のマスクを並置することによって構成され、他のマスク保持部の他の上流側端部保持部と他の下流側端部保持部が、被露光材と対向する他の露光用マスクの表面が面一となるように、並置した複数のマスクを保持するように構成した場合には、各マスクから露光面までの距離を変化させることなく、厚さの異なる複数のマスクを保持できる。したがって、他の露光用マスクとして、厚さの異なる複数のマスクを用いた場合であっても、均一な露光を行うことができる。また、大型の露光用マスクは極めて高価であるため、安価で小型のマスクを複数個並置して他の露光用マスクを構成することによって、簡易且つ安価に他の露光用マスクを形成することができる。
【００３６】
露光用マスクのマスクパターンが、他の露光用マスクのマスクパターンと異なるものであり、長手方向に搬送される被露光材を、他の露光用マスクを介して露光した後に、露光用マスクを介してさらに露光することによって、３次元液晶表示装置用の偏光フィルムを形成するように構成した場合には、１個のローラに対して複数の露光を行うため、各露光ごとに高価なローラを使用する必要がなく、ＦＰＲ（Ｆｉｌｍ  Ｐａｔｔｅｒｎｅｄ  Ｒｅｔａｒｄｅｒ）偏光フィルム等の３次元液晶表示装置用の偏光フィルムの製造コストを低減することができる。
【００３７】
本発明に係る他の露光装置において、被露光材をローラに向けて送り出す上流側送出部を備え、上流側送出部からローラに送り出される被露光材が、ローラの軸方向からみて、露光用マスクからローラ側に離れる方向から、ローラに向かって延びるように、上流側送出部を配置し、上流側送出部からローラに延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成した場合には、露光用マスクと露光面とを近接させた状態で、露光用マスクの端部と被露光材との間に形成された空間に、マスク保持部の少なくとも一部を配置して、露光用マスクを被露光材側から保持することができる。よって、何らかの理由によってマスク保持部の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。
【００３８】
マスク保持部が、露光用マスクの端部を保持する上流側端部保持部と下流側端部保持部を備え、上流側端部保持部の少なくとも一部が、上流側送出部からローラに延びる被露光材と露光用マスクとの間に形成された空間に位置して、露光用マスクを被露光材側から保持するように構成した場合には、上流側端部保持部の少なくとも一部が露光用マスクを被露光材側から保持しているため、何らかの理由によって上流側端部保持部の露光用マスクに対する保持力が弱まった場合であっても、露光用マスクが被露光材側に倒れ又は落下して被露光材に接触するリスクを低減することができる。なお、この構成例において、下流側端部保持部については、下流側端部保持部の少なくとも一部を、ローラの周面に沿って搬送される被露光材と露光用マスクの端部との間に形成された空間に配置することができるため、下流側端部保持部の少なくとも一部によって、露光用マスクを被露光材側から保持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１の実施形態に係る露光装置の側面図である。
【図２】（ａ）図１に示す露光用マスクを被露光材側からみた図である。（ｂ）（ａ）図に示したＣ−Ｃ線断面図である。
【図３】第１の実施形態に係る露光装置の側面図である。
【図４】（ａ）図３に示すマスク保持部の平面図である。（ｂ）（ａ）図に示したＤ−Ｄ線断面図である。
【図５】第３の実施形態に係る露光装置の側面図である。
【図６】図５に示す被露光材の露光面を模式的に示した図である。
【図７】他の実施形態に係る露光装置の斜視図である。
【図８】（ａ）図７に示す露光用マスクを被露光材側からみた図である。（ｂ）図７に示す内側保持部の構成を模式的に示す図である。（ｃ）図７に示す外側保持部の構成を模式的に示す図である。
【図９】他の実施形態に係る露光装置の斜視図である。
【図１０】（ａ）図９に示す内側保持部の構成を模式的に示す図である。（ｃ）図９に示す外側保持部の構成を模式的に示す図である。
【図１１】他の実施形態に係る露光装置の斜視図である。
【図１２】他の実施形態に係る露光装置の側面図である。
【図１３】他の構成例に係る露光装置の側面図である。
【図１４】図１３に示すマスク保持部の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
［第１の実施形態］
以下、本発明の実施の形態を添付の図により説明する。図１に第１の実施形態に係る露光装置の側面図を示す。第１の実施形態に係る露光装置は、長尺状の被露光材を搬送しながら、所定のマスクパターンを有する露光用マスクを介して被露光材を露光するものである。露光装置１は、被露光材２を巻き掛けるバックロール３と、バックロール３に巻き掛けられた被露光材２に露光光４を照射する光源部５と、光源部５と被露光材２との間において、被露光材２の露光面２ａに近接して配置され、光源部５からの露光光４を所定のパターンでマスクする露光用マスク６と、露光用マスク６を保持するマスク保持部８と、被露光材２を所定の方向へ案内するガイドローラ９とを備えている。
【００４１】
被露光材２は、ロール状態で供給される長尺状のフィルムであり、露光される側の表面にフォトレジスト層を有している。このフィルムは、例えば、幅が１５００ｍｍ、厚さが１００μｍであり、１個のロールのフィルム長は、一例として２ｋｍである。被露光材２は、図示しない巻き出しリールから巻き出されて、バックロール３の周面に巻き掛けられる。
【００４２】
バックロール３は、被露光材２を搬送させると共に、被露光材２の露光部分を支持するものである。バックロール３は動力なしで回転するフリーローラである。バックロール３は、一例として、内部が水冷された水冷ロールであり、バックロール３に巻き掛けられた被露光材２が露光光４の照射によって高温化するのを防止している。被露光材２はバックロール３の周面に相対的速度差が存在しない状態で支持されている。したがって、バックロール３の周面上で、被露光材２にシワが生じることを防止することができる。バックロール３の直径は、一例として約６００ｍｍである。本実施形態では、図１に示す位置関係において、バックロール３は時計回りに回転するように構成されていて、被露光材２を搬送方向Ａに搬送する。被露光材２は、例えば２〜１０ｍ／分の一定速度で搬送される。
【００４３】
ガイドローラ９は、図１に示す位置関係において、反時計回りに回転するように構成されていて、バックロール３から搬送されてきた被露光材２を露光面２ａ側から回転して搬送方向Ｂに搬送することによって、被露光材２を所定の方向に案内する。
【００４４】
光源部５は、例えば、超高圧水銀ランプやキセノンフラッシュランプ等からなる光源を有し、露光波長域は一例として、２８０ｎｍ〜４００ｎｍである。光源部５は、図示しないフォトインテグレータとコンデンサレンズを搭載している。フォトインテグレータは、光源部５から照射される露光光４の横断面内の輝度分布を均一化させる。このフォトインテグレータは、フライアイレンズやロッドレンズ又はライトパイプ等であってもよい。輝度分布が均一化された露光光４はコンデンサレンズに入射して均一な輝度分布を有する平行光となる。この平行光の光軸は被露光材２の露光面２ａに対して垂直方向に設定されていて、光源部５からの露光光４は照射方向Ｘに照射されている。被露光材２における露光光４の照射面積は一例として、被露光材２の幅方向に１５００ｍｍ、長さ方向に３０ｍｍである。
【００４５】
露光用マスク６は、板状に形成されたガラス製のフォトマスクであり、光源部５からの露光光４を遮光する遮光領域と光源部５からの露光光４を透過する透光領域とからなる所定のマスクパターンを有する。露光用マスク６を透過した露光光４が被露光材２の露光面２ａに照射されることによって、被露光材２は所定のパターンに露光される。
【００４６】
本実施形態において露光用マスク６は複数のフォトマスクから構成され、マスク保持部８は複数のフォトマスクを共に保持するように構成されている。図２（ａ）に露光用マスク６とマスク保持部８を被露光材２側からみた図を示す。露光用マスク６は、第１のフォトマスク６ａと第２のフォトマスク６ｂを並置することによって一枚のフォトマスクとして機能するように構成されている。第１のフォトマスク６ａと第２のフォトマスク６ｂにおいて、被露光材２の長手方向に延びる短辺の長さは、一例として約４００ｍｍであり、被露光材２の幅方向、すなわち、バックロール３の回転軸方向に延びる露光用マスク６の長辺の長さにおいて、第１のフォトマスク６ａの長辺の長さは約５００ｍｍであり、第２のフォトマスク６ｂの長辺の長さは約８００ｍｍである。
【００４７】
第１のフォトマスク６ａは第１のマスクパターン１１を有し、第２のフォトマスク６ｂは第２のマスクパターン１２を有している。第１のマスクパターン１１と第２のマスクパターン１２は、それぞれ、露光光４を遮断する遮光領域と露光光４を透過させる透光領域とを有している。遮光領域は、ガラス基板の一方の表面に遮光膜を積層することによって形成する。遮光膜は露光光４を遮光する不透明な薄膜であり、一例として、クロム（Ｃｒ）の薄膜である。この不透明な薄膜を積層しなかった部分は、ガラス基板が露光光４を透過させるため、透光領域となる。第１のマスクパターン１１と第２のマスクパターン１２は、直線状に延びる遮光領域と透光領域を交互に配置したマスクパターンである。
【００４８】
本実施形態において、第２のマスクパターン１２における遮光領域の幅は、第１のマスクパターン１１における遮光領域よりも狭く、第２のマスクパターン１２における透光領域の幅は、第１のマスクパターン１１における透光領域の幅よりも広くなるように形成されている。第１のマスクパターン１１と第２のマスクパターン１２は、それぞれ、第１のフォトマスク６ａと第２のフォトマスク６ｂにおいて、被露光材２と対向する側の表面に描画されている。第１のフォトマスク６ａと第２のフォトマスク６ｂは、マスク保持部８に対して個別に着脱可能である。
【００４９】
マスク保持部８は、露光用マスク６を露光面２ａに近接した位置、例えば、露光面２ａから２００μｍ程度の位置に保持する。露光用マスク６は、マスクパターンが形成された露光用マスク６の表面が、露光光４の照射方向Ｘに対して垂直方向に延びるように保持される。マスク保持部８は、バックロール３の回転軸方向に延びる露光用マスク６の一方の端部を保持する下流側端部保持部１４と、他方の端部を保持する上流側端部保持部１５を備えている。下流側端部保持部１４は、ガイドローラ９に近い方の端部を保持し、上流側端部保持部１５はガイドローラ９から遠い方の端部を保持している。
【００５０】
図２（ｂ）に図２（ａ）のＣ−Ｃ線断面図を示す。マスク保持部８の下流側端部保持部１４の内側には第１の凹部２０が形成され、上流側端部保持部１５の内側には第２の凹部２１が形成されている。第１の凹部２０と第２の凹部２１には、露光用マスク６の端部がそれぞれ嵌め込まれていて、これにより、下流側端部保持部１４と上流側端部保持部１５は、それぞれ、露光用マスク６の端部を保持している。マスク保持部８は、一例としてアルミから形成されている。
【００５１】
次に、被露光材２とマスク保持部８との位置関係について、図１を参照しながら説明する。バックロール３の軸方向からみて、バックロール３の接線のうち、露光光４の照射方向Ｘに直交し且つ光源部５に近い方の接線を仮想基準線ｌとすると、バックロール３からガイドローラ９に送り出される被露光材２が、バックロール３側に露光用マスク６から離れる方向に向かって延びるように、バックロール３に対するガイドローラ９の位置が決定されている。なお、上記接線の接点において被露光材２がバックロール３の周面を覆っている場合には、上記接点は、被露光材２の外表面との接点になる。
【００５２】
マスク保持部８における下流側端部保持部１４の一部１４ａは、バックロール３の軸方向からみて、バックロール３とガイドローラ９との間に延びる被露光材２と、仮想基準線ｌとの間に形成される空間に位置している。マスク保持部８における上流側端部保持部１５の一部１５ａは、バックロール３の軸方向からみて、バックロール３の周面に沿って延びる被露光材２と、仮想基準線ｌとの間に形成される空間に位置している。
【００５３】
図示しない巻き出しリールから引き出された被露光材２は、一定速度で搬送されながら、光源部５から連続的に照射される露光光４によって連続的に露光される。露光された被露光材２は、バックロール３からガイドローラ９へ送られ、ガイドローラ９は被露光材２を所定の方向に搬送する。搬送された被露光材２は図示しない巻き取りリールによって巻き取られる。
【００５４】
第１の実施形態では、別途ワークステージ等を設けることなく、バックロール３を使用して、バックロール３に支持される被露光材２を露光面２ａに近接して配置した露光用マスク６を介して露光している。したがって、露光装置１における水平方向の省スペース化を簡易に低コストで実現できる。また、露光用マスク６はバックロール３の外側において、光源部５と被露光材２との間に配置されるものであるため、可撓性の無い露光用マスク６であっても使用可能である。
【００５５】
加えて、被露光材２は、バックロール３に支持されてシワが伸ばされた状態で、露光面２ａに近接配置された露光用マスク６を介して露光されるため、被露光材２のシワ及び振動が防止されて高精度の露光を行うことができる。
【００５６】
また、第１の実施形態では、バックロール３からガイドローラ９に送り出される被露光材２が、バックロール３側に露光用マスク６から離れる方向に向かって延びるように構成されている。したがって、マスク保持部８の少なくとも一部を露光用マスク６から被露光材２側に突出させたとしても、この突出部が被露光材２と衝突することなく、露光用マスク６を露光面２ａにできるだけ近接させた状態で被露光材２側から露光用マスク６を保持することができる。この利点について、さらに明確にするために、他の構成例について検討する。
【００５７】
図１３に他の構成による露光装置１００を示す。露光装置１００は被露光材１０２をバックロール１０３によって搬送方向Ａに搬送し、被露光材１０２はバックロール１０３から搬送方向Ｂに搬送される。ここで搬送方向Ｂは、光源部１０５からの露光光１０４の照射方向Ｘとバックロール１０３の軸方向に対して垂直に交わる方向である。したがって、バックロール１０３から搬送される被露光材１０２は、光源部１０５からの露光光１０４の照射方向Ｘに対して垂直方向に、また、露光用マスク１０６の対向面と平行に延びている。
【００５８】
露光用マスク１０６を透過した露光光１０４が露光面１０２ａに向かって拡散することを防ぐためには、露光用マスク１０６は露光面１０２ａにできるだけ近接して（一例として、２００μｍ）配置させることが望ましい。しかしながら、バックロール１０３から送り出される被露光材１０２は、露光用マスク１０６の対向面と平行に延びているため、露光用マスク１０６を被露光材１０２の露光面１０２ａに近接して配置すると、露光用マスク１０６を被露光材１０２側から保持するための保持機構を設けるスペースが確保できない。したがって、図１３に示すように、露光用マスク１０６を光源部１０５側からのみ保持するマスク保持部１０８を配置することになる。マスク保持部１０８は、露光用マスク１０６の端部を光源部１０５側から吸着保持している。しかしながら、このように構成すると、例えば、エア吸着機構のエアが切れる等、何らかの理由によって、マスク保持部１０８の吸着力が低下した場合に、露光用マスク１０６が被露光材１０２側に外れて、被露光材１０２を傷つけてしまう可能性がある。
【００５９】
これに対して、第１の実施形態では、図１に示すように、バックロール３の軸方向からみて、バックロール３からガイドローラ９に送り出される被露光材２が、バックロール３側に露光用マスク６から離れる方向に延びるように、ガイドローラ９を配置している。したがって、図１に示すように、仮想基準線ｌと被露光材２との間に空間を形成することができる。この空間が形成されたことによって、仮想基準線ｌと被露光材２との間の空間に、露光用マスク６を被露光材２側から保持する保持機構を配置することができる。露光装置１では、上記のように、マスク保持部８の一部１４ａを仮想基準線ｌと被露光材２との間の空間に配置し、露光用マスク６を被露光材２側から保持している。よって、露光用マスク６が被露光材２に接触するリスクを低減できる。
【００６０】
また、第１の実施形態に係る露光装置１では、第１のフォトマスク６ａと第２のフォトマスク６ｂとを並置して露光用マスク６を構成している。大型の露光用マスクは極めて高価であるため、安価で小型のマスクを複数個並置して露光用マスク６を構成することによって、簡易且つ安価に露光用マスク６を形成することができる。
【００６１】
［第２の実施形態］
図３に第２の実施形態に係る露光装置の側面図を示す。露光装置３０における被露光材２と、バックロール３と、光源部５と、ガイドローラ９は、第１の実施形態に係るものと同様である。
第２の実施形態に係る露光装置３０では、露光用マスク３６を構成する複数のフォトマスクの厚さが異なる点と、マスク保持部３８が厚さの異なる複数のフォトマスクを共に保持できるように構成されている点が、第１の実施形態に係る露光装置１と異なっている。
【００６２】
マスク保持部３８は、バックロール３の回転軸方向に延びる露光用マスク３６の一方の端部を保持する下流側端部保持部３４と、他方の端部を保持する上流側端部保持部３５を備えている。下流側端部保持部３４は、ガイドローラ９に近い方の端部を保持し、上流側端部保持部３５はガイドローラ９から遠い方の端部を保持している。
【００６３】
図３に示すマスク保持部３８を平面方向からみた図を図４（ａ）に示す。露光用マスク３６は、薄く形成された第１のフォトマスク３６ａと、第１のフォトマスク３６ａよりも厚く形成された第２のフォトマスク３６ｂから構成されている。図４（ａ）に示すように、下流側端部保持部３４は、複数のバネ部材３７を備え、厚さの異なる第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂを共に保持できるように構成されている。なお、図４（ａ）に示す位置関係において、第１のフォトマスク３６ａ、第２のフォトマスク３６ｂ及び複数のバネ部材３７は、実際には、下流側端部保持部３４によって隠れてしまうため、これらの構成要素は仮想線によって示している。図４（ｂ）に図４（ａ）のＤ−Ｄ線断面図を示す。
【００６４】
下流側端部保持部３４は、露光用マスク３６を嵌合して保持するための凹部３４ａを備えている。この凹部３４ａを構成する壁面の内、光源部５に近い側の壁面にはバネ部材３７が取り付けられている。このバネ部材３７は、凹部３４ａに嵌合された露光用マスク３６を、凹部３４ａ内において被露光材２側に押し付ける。したがって、第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂは、被露光材２に対向する側の表面が面一となる状態で、マスク保持部３８によって保持される。なお、上流側端部保持部３５も下流側端部保持部３４と同様の構成を有している。
【００６５】
第２の実施形態に係る露光装置３０では、露光用マスク３６が、異なる厚さの複数のフォトマスクから構成される場合であっても、被露光材２に対向する側の表面が面一となる状態で、並置した複数のフォトマスクを保持することができる。したがって、第２の実施形態に係る露光装置３０は、第１の実施形態において前述した利点に加えて、各フォトマスクから露光面２ａまでの距離を変化させることなく、厚さの異なる複数のフォトマスクを保持できるという利点を備えている。この利点について、さらに明確にするために、他の構成例について検討する。
【００６６】
前述した図１３に示す露光装置について、露光用マスク１０６に厚さの異なる第１のフォトマスク１０６ａと第２のフォトマスク１０６ｂを使用し、この露光用マスク１０６とマスク保持部１０８を図１３の平面方向からみた図を図１４に示す。前述したように、図１３に示す露光装置では、露光用マスク１０６を被露光材１０２側から保持するスペースがないために、マスク保持部１０８は、露光用マスク１０６を光源部１０５側から吸着保持している。したがって、図１４に示すように、第１のフォトマスク１０６ａと第２のフォトマスク１０６ｂは、マスク保持部１０８に吸着されている側の面が面一となり、露光面１０２ａと対向する側の面には段差が生じてしまう。よって、第１のフォトマスク１０６ａから露光面１０２ａまでの距離ｇ１と第２のフォトマスク１０６ｂから露光面１０２ａまでの距離ｇ２が異なるため、均一な露光ができなくなる。
【００６７】
これに対して、第２の実施形態に係る露光装置３０では、前述のように、各フォトマスクから露光面までの距離を変化させることなく、厚さの異なる複数のフォトマスクを保持できるため、均一な露光ができなくなるという悪影響を排除することができる。
【００６８】
［第３の実施形態］
図５に第３の実施形態に係る露光装置４０の側面図を示す。露光装置４０は、被露光材４２を上流側と下流側において２度露光することにより、３次元液晶表示装置用の偏光フィルムを形成するものである。露光装置４０は、被露光材４２を巻き掛けるバックロール４３と、バックロール４３に巻き掛けられた上流側の被露光材４２に露光光４４ａを照射する第１の光源部４５ａと、第１の光源部４５ａと被露光材４２との間において、被露光材４２の第１の露光面４２ａに近接して配置され、第１の光源部４５ａからの露光光４４ａを所定のパターンでマスクする第１の露光用マスク４６ａと、第１の露光用マスク４６ａを保持する第１のマスク保持部４８ａと、被露光材４２を所定の方向からバックロール４３へ案内する第１のガイドローラ４９ａとを備えている。
【００６９】
加えて、露光装置４０は、バックロール４３に巻き掛けられた下流側の被露光材４２に露光光を照射する第２の光源部４５ｂと、第２の光源部４５ｂと被露光材４２との間において、被露光材４２の第２の露光面４２ｂに近接して配置され、第２の光源部４５ｂからの露光光４４ｂを所定のパターンでマスクする第２の露光用マスク４６ｂと、第２の露光用マスク４６ｂを保持する第２のマスク保持部４８ｂと、被露光材４２をバックロール４３から所定の方向へ案内する第２のガイドローラ４９ｂとを備えている。
【００７０】
被露光材４２は、ロール状態で供給される長尺状のフィルムであり、例えば、ＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）又はＴＡＣ（トリアセチルセルロース）フィルムである。このフィルムの露光される側の表面に配光材料膜が塗布されている。この配光材料膜は、露光光の照射によって硬化量が変化する露光材料によって構成されている。このフィルムは、例えば、幅が１５００ｍｍ、厚さが１００μｍであり、１個のロールのフィルム長は、一例として２ｋｍである。バックロール４３は、第１の実施形態におけるバックロール３と同様の構成を有していて、被露光材４２を搬送方向Ａに、例えば２〜１０ｍ／分の一定速度で搬送する。
【００７１】
第１の光源部４５ａからの露光光４４ａは、時計回り方向に偏光する（ＣＷ（ｃｌｏｃｋ  ｗｉｓｅ）円偏光の光（以下、「ＣＷ円偏光」という）であり、第２の光源部４５ｂからの露光光４４ｂは、反時計回り方向に偏光する（ＣＣＷ（ｃｏｕｎｔｅｒ  ｃｌｏｃｋｗｉｓｅ））円偏光の光（以下、「ＣＣＷ円偏光」という）である。
【００７２】
第１の露光用マスク４６ａと第２の露光用マスク４６ｂは、それぞれ、第１の露光面４２ａと第２の露光面４２ｂから２００μｍ程度の距離に近接して配置されている。第１のマスク保持部４８ａと第２のマスク保持部４８ｂは、それぞれ、第１の実施形態に係るマスク保持部８と同様の構成を有している。
【００７３】
次に、被露光材４２と第１のマスク保持部４８ａ及び第２のマスク保持部４８ｂとの位置関係について説明する。バックロール４３の軸方向からみて、バックロール４３の接線のうち、第１の光源部４５ａからの露光光４４ａの照射方向Ｘ１に直交し且つ第１の光源部４５ａに近い方の接線を第１の仮想基準線ｌ１とすると、第１のガイドローラ４９ａからバックロール４３に送り出される被露光材４２が、第１の仮想基準線ｌ１よりもバックロール４３側に向かって第１の露光用マスク４６ａから離れる方向に向かって延びるように、バックロール４３に対する第１のガイドローラ４９ａの位置が決定されている。
【００７４】
また、バックロール４３の軸方向からみて、バックロール４３の接線のうち、第２の光源部４５ｂからの露光光４４ｂの照射方向Ｘ２に直交し且つ第２の光源部４５ｂに近い方の接線を第２の仮想基準線ｌ２とすると、バックロール４３から第２のガイドローラ４９ｂに送り出される被露光材４２が、第２の仮想基準線ｌ２よりもバックロール４３側に向かって第２の露光用マスク４６ｂから離れる方向に向かって延びるように、バックロール４３に対する第２のガイドローラ４９ｂの位置が決定されている。
【００７５】
なお、上記接線の接点において被露光材４２がバックロール４３の周面を覆っている場合には、上記接点は、被露光材４２の外表面との接点になる。第１のガイドローラ４９ａと第２のガイドローラ４９ｂの位置は、上記のように決定されるため、第１のガイドローラ４９ａと第２のガイドローラ４９ｂとの間の幅ｗはバックロール４３の直径よりも狭くなり、被露光材４２は、バックロール４３の軸方向からみてバックロール４３の周面に半円以上巻き掛けられることになる。
【００７６】
第２のマスク保持部４８ｂにおける下流側端部保持部の一部５０ｂは、第１の実施形態と同様に、第２の仮想基準線ｌ２と被露光材４２との間の空間に位置している。このように、第２のマスク保持部４８ｂは、被露光材４２側に突出する構成を有し、第２の露光用マスク４６ｂの少なくとも一部は、第２の露光用マスク４６ｂを被露光材４２側から保持している。また、第１のマスク保持部４８ａにおける上流側端部保持部の一部５０ａは、第２のマスク保持部４８ｂと同様に、第１の仮想基準線ｌ１と被露光材４２との間の空間に位置し、第１のマスク保持部４８ａの少なくとも一部は、第１の露光用マスク４６ａを被露光材４２側から保持している。
【００７７】
図６に第１の露光用マスク４６ａ及び第２の露光用マスク４６ｂと被露光材４２の露光面を示す。第１の露光用マスク４６ａは被露光材４２の長手方向に延びる矩形の透光部５１を、被露光材４２の幅方向に沿って複数個配列したガラス製のフォトマスクである。第２の露光用マスク４６ｂは、被露光材４２の幅方向のほぼ全域で露光光４４ｂを透光させる１個の透光部５２を有するガラス製のフォトマスクである。
【００７８】
被露光材４２は、まず、第１の露光用マスク４６ａを介して第１の光源部４５ａからのＣＷ円偏光の露光光４４ａによって露光される。露光光４４ａは透光部５１を透過して被露光材４２の表面に塗布された配向材料膜に照射される。配光材料膜は非可逆性の材料膜であり、露光光の照射を受けた部分は１００％硬化し、この部分の配向材料膜の配向方向は固定される。これにより、被露光材４２の表面に帯状の第１の偏光部５４が形成される。
【００７９】
第１の露光用マスク４６ａを介して露光された後に、被露光材４２には、第２の露光用マスク４６ｂを介して、第２の光源部４５ｂからＣＣＷ円偏光の露光光４４ｂが照射される。露光光４４ｂは、第２の露光用マスク４６ｂの透光部５２から被露光材４２の幅方向のほぼ全域を露光する。しかしながら、第１の偏光部５４は、ＣＷ円偏光の照射によって偏光方向が固定されているので、ＣＣＷ円偏光の照射を受けても、偏光方向は変化しない。第１の光源部４５ａからの露光光４４ａによって露光されなかった部分のみが、第２の露光光４４ｂの照射に反応して、ＣＣＷ円偏光に対応する第２の偏光部５５となる。これにより、第１の偏光部５４と第２の偏光部５５とが交互に位置し、第１の偏光部５４と第２の偏光部５５が走査線の１ラインに相当する偏光フィルムを製造することができる。
【００８０】
第３の実施形態に係る露光装置４０は、第１の実施形態において前述した利点に加えて、１個のバックロール４３に対して２回の露光を行うため、各露光ごとに高価なバックロール４３を使用する必要がなく、偏光フィルムの製造コストを低減できると共に、露光装置４０の省スペース化も図ることができる。また、本実施形態では、ＣＷ円偏光の露光光４４ａによって第１の偏光部５４を形成した後に、ＣＣＷ円偏光の露光光４４ｂを露光面の全面に照射することによって、第１の偏光部５４間に第２の偏光部５５を形成するため、第１の露光用マスク４６ａと第２の露光用マスク４６ｂとの位置合わせが不要となるという利点も有している。
【００８１】
［他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。例えば、第１の実施形態から第３の実施形態において、バックロール３，４３に対して下流側又は上流側にガイドローラ９，４９ａ，４９ｂを配置しているがこれに限定されない。バックロール３，４３へ延びる被露光材２，４２又はバックロール３，４３から延びる被露光材２，４２と、露光用マスク６，３６，４６ａ，４６ｂとの間に、露光用マスク６，３６，４６ａ，４６ｂを被露光材２，４２側から保持する空間が確保できれば足りる。したがって、上流側に配置したガイドローラ４９ａに代えて、被露光材４２が引き出される巻き出しリールを配置してもよいし、下流側に配置したガイドローラ９，４９ｂに代えて、被露光材２，４２を巻き取る巻き取りリールを配置してもよい。また、ガイドローラ９，４９ａ，４９ｂに代えて、エアーターンバーを配置してもよい。
【００８２】
第１の実施形態から第３の実施形態において、バックロール３，４３は、動力を要しないフリーローラであるが、これに限定されない。バックロール３，４３を動力を用いて回転するローラとして構成してもよい。第２の実施形態には、厚さの異なる複数のマスクを保持する機構として、光源部５側から各複数のマスクに力を加えるバネ部材３７を用いているが、これに限定されない。例えば、バネ部材３７に代えてエアシリンダーを用いてもよい。
【００８３】
一例として、第１から第３の実施形態において、露光用マスク６，３６，４６ａ，４６ｂは、鉛直方向に縦置き配置されているが、これに限定されない。露光用マスクを水平方向に横置き配置してもよいし、水平方向又は鉛直方向に対して斜めに配置してもよい。一例として、露光用マスクを水平方向に横置き配置した露光装置の斜視図を図７に示す。露光装置６０は、図１に図示した第１の実施形態に係る露光装置１を９０度回転したものであり、バックロール３に対するガイドローラ９の位置は、第１の実施形態と同様である。また、露光装置６０は、第２の実施形態における露光用マスク３６と同様に、厚さの異なる第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂから構成されていて、第１及び第２の実施形態におけるマスク保持部８，３８と異なる構成を有するマスク保持部６８を備えている。
【００８４】
マスク保持部６８は、被露光材２側に突出する内側保持部６８ｂと、内側保持部６８ｂの上に配置された露光用マスク３６を外側から挟み込む外側保持部６８ａとを備えている。図８（ａ）に、露光用マスク３６とマスク保持部６８とを被露光材２側からみた図を示し、図８（ｂ）に内側保持部６８ｂの光源に近い側の表面を示し、図８（ｃ）に外側保持部６８ａの被露光材２に近い側の表面を示す。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、内側保持部６８ｂは、第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂにおいてバックロール３の軸方向に延びる各端部を保持する一対の端部保持部６１を備えている。第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂの各端部は、内側保持部６８ｂのマスク載置部６２に並置される。
【００８５】
図８（ｃ）に示すように、外側保持部６８ａは、マスク接触部６３において複数のバネ部材６４を備えている。外側保持部６８ａは、内側保持部６８ｂに並置された厚さの異なる第１のフォトマスク３６ａ及び第２のフォトマスク３６ｂの上に、バネ部材６４が第１のフォトマスク３６ａ及び第２のフォトマスク３６ｂと接するように載置される。これによって、外側保持部６８ａと内側保持部６８ｂとの間に第１のフォトマスク３６ａ及び第２のフォトマスク３６ｂを挟み込むと共に、外側保持部６８ａ側から第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂに力を加えるバネ部材６４によって、第１のフォトマスク３６ａと第２のフォトマスク３６ｂとの厚みの差を埋めることができる。したがって、より安定して露光用マスク３６を保持することができる。
【００８６】
図９に、マスク保持部の幅がバックロールの幅よりも大きい場合の露光装置の斜視図を示す。露光装置７０は、露光用マスクの大きさとマスク保持部以外は、図７に示す露光装置６０と同様の構成を有している。マスク保持部７８は、被露光材２側に突出する内側保持部７８ｂと、内側保持部７８ｂの上に配置された露光用マスク３６を外側から挟み込む外側保持部７８ａとを備えている。図１０（ａ）に内側保持部７８ｂの光源に近い側の表面を示し、図１０（ｂ）に外側保持部７８ａの被露光材２に近い側の表面を示す。
【００８７】
図１０（ａ）に示すように、内側保持部７８ｂは、バックロール３の軸方向に延びる露光用マスクの端部を保持する一対の幅方向端部保持部７４に加えて、被露光材２の長手方向に延びる露光用マスクの端部を保持する一対の長さ方向端部保持部７５を備えている。露光用マスクは、内側保持部７８ｂのマスク載置部７２に載置される。一対の長さ方向端部保持部７５は、バックロール３の幅より外側において、バックロール３の軸方向に突出している（図９）。図１０（ｂ）に示す外側保持部７８ａは、図８（ｃ）に示す外側保持部６８ａと同様の構成を有していて、露光用マスク３６の上に載置される。
【００８８】
図７及び図９に示す露光装置６０，７０では、露光用マスク３６は水平方向に配置されているため、マスク保持部６８，７８の内側保持部６８ｂ，７８ｂのみによっても露光用マスク３６を保持することができる。例えば、内側保持部６８ｂ，７８ｂのマスク載置部６２，７２に吸着機構を設けて、内側保持部６８ｂ，７８ｂの上面に載置した露光用マスク３６を吸着保持するように構成してもよい。この場合、露光用マスク３６は内側保持部６８ｂ，７８ｂの上面に載置されているため、内側保持部６８ｂ，７８ｂの吸着力が低減した場合であっても、被露光材２側に露光用マスク３６が落下するリスクは低い。
【００８９】
また、露光用マスクを構成する複数のフォトマスクの厚みが同一である場合には、外側保持部６８ａ，７８ａのマスク接触部６３にバネ部材６４の代わりに吸着機構を設け、内側保持部６８ｂ，７８ｂの上面に載置した露光用マスクを外側保持部６８ａ，７８ａによって吸着保持するように構成してもよい。この場合、外側保持部６８ａ，７８ａの吸着力が低下した場合であっても、内側保持部６８ｂ，７８ｂによって露光用マスクが保持されるため、被露光材２側に露光用マスクが落下するリスクは低い。
【００９０】
前述したすべての露光用マスクの材質は限定されない。上記第１から第３の実施形態において示すようにガラス製のフォトマスクであってもよいし、金属製のメタルマスクであってもよい。また、前述したすべてのマスク保持部は、任意の支持方法によって、所定の位置に支持される。例えば、図７に示すマスク保持部６８の内側保持部６８ｂの端部において、図１１に示すように、一対の端部保持部６１を連結して上方に突出する被把持部６７を備えるように構成してもよい。この場合、任意の把持機構によって被把持部６７を把持し、内側保持部６８ｂを所定の位置に支持することができる。
【００９１】
第１及び第２の実施形態では、被露光材２の搬送方向の下流側のみにおいて被露光材２を露光し、第３の実施形態では、被露光材４２の搬送方向の上流側及び下流側において被露光材４２を露光するように構成しているが、これに限定されない。例えば、図１２に示すように被露光材２の搬送方向の上流側のみにおいて被露光材２を露光するように構成してもよい。
【００９２】
図１２に示す露光装置８０において、バックロール３、被露光材２は第１の実施形態における同様の構成要素に対応し、光源部８５、露光光８４及び露光用マスク８６は第１の実施形態における光源部５、露光光４及び露光用マスク６と同様の構成を有している。露光光の照射方向Ｘ、マスク保持部８８、ガイドローラ８９、露光面２ａ、仮想基準線ｌは、それぞれ、第３の実施形態における露光光４４ａの照射方向Ｘ１、マスク保持部４８ａ、第１のガイドローラ４９ａ、露光面４２ａ、仮想基準線ｌ１に対応している。
【符号の説明】
【００９３】
１，３０，４０，６０，７０，８０，１００  露光装置
２，４２，１０２  被露光材
３，４３，１０３  バックロール
４，８４，１０４  露光光
４４ａ  第１の露光光
４４ｂ  第２の露光光
５，８５，１０５  光源部
４５ａ  第１の光源部
４５ｂ  第２の光源部
６，３６，８６，１０６  露光用マスク
４６ａ  第１の露光用マスク
４６ｂ  第２の露光用マスク
６ａ，３６ａ  第１のフォトマスク
６ｂ，３６ｂ  第２のフォトマスク
８，３８，６８，７８，８８，１０８  マスク保持部
４８ａ  第１のマスク保持部
４８ｂ  第２のマスク保持部
１４，３４  下流側端部保持部
１５，３５  上流側端部保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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