(57)【要約】【課題】軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供すること。【解決手段】本発明の軟質部材の製造方法は、軟質材料で構成された接合体の製造に用いられる軟質部材を製造する方法であって、軟質材料で構成された母材１０を、流体２０を介して、ステージ３０上に設置する母材設置工程（１ａ）と、母材１０を切断する切断工程（１ｂ）とを有することを特徴とする。母材１０は、シート状をなすものであるのが好ましい。また、母材１０は、シリコーンゴムで構成されたものであるのが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟質材料で構成された接合体の製造に用いられる軟質部材を製造する方法であって、
軟質材料で構成された母材を、流体を介して、ステージ上に設置する母材設置工程と、
前記母材を切断する切断工程と、
を有することを特徴とする軟質部材の製造方法。
【請求項２】
前記母材は、シート状をなすものである請求項１に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項３】
前記母材は、シリコーンゴムで構成されたものである請求項１または２に記載の軟質部材の製造方法。
【請求項４】
前記流体として、界面活性剤を含む液体を用いる請求項１ないし３のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項５】
前記切断工程は、前記母材の厚さ方向について、複数回の切断処理を繰り返すことにより行うものである請求項１ないし４のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項６】
前記母材設置工程は、前記ステージに前記流体を付与した後に、当該流体上に前記母材を設置することにより行うものである請求項１ないし５のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項７】
前記母材設置工程は、前記母材の前記ステージに対向する側の面に前記流体を付与した後に、当該流体が付与された前記母材を前記ステージ上に設置することにより行うものである請求項１ないし６のいずれかに記載の軟質部材の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の方法を用いて製造されたことを特徴とする軟質部材。
【請求項９】
軟質材料で構成された母材を、流体を介して、ステージ上に設置する母材設置工程と、
前記母材を、切断する切断工程と、
前記母材設置工程および前記切断工程を経て得られた第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合する接合工程と、
を有することを特徴とする接合体の製造方法。
【請求項１０】
前記切断工程と前記接合工程との間に、流体上に、第１のフロートおよび第２のフロートを浮遊させ、前記第１のフロート上に第１の軟質部材を配置し、前記第２のフロート上に第２の軟質部材を配置する軟質部材設置工程を有し、
前記接合工程は、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具を配置することにより、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の表面の位置を調整した状態で、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材とを接合するものである請求項９に記載の接合体の製造方法。
【請求項１１】
前記接合工程の後に、前記第１の軟質部材の前記第１のフロートに対向していた側の面と前記第２の軟質部材の前記第２のフロートに対向していた側の面とにわたって、第３の部材を接合する補強工程を有する請求項１０に記載の接合体の製造方法。
【請求項１２】
前記アライメント用治具の前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材に接触する側の表面の水平度は０．１０°以下である請求項１０または１１に記載の接合体の製造方法。
【請求項１３】
前記第１の軟質部材と前記第１のフロートとの間と、前記第２の軟質部材と前記第２のフロートとの間の少なくともいずれか一方に、液体を浸したシート材が配される請求項１０ないし１２のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項１４】
前記第１の軟質部材は、前記第２の軟質部材と対向する側の側面部が前記第１の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有している請求項９ないし１３のいずれかに記載の接合体の製造方法。
【請求項１５】
前記第２の軟質部材は、前記第１の軟質部材と対向する側の側面部が前記第２の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有している請求項１４に記載の接合体の製造方法。
【請求項１６】
請求項９ないし１５のいずれかに記載の方法を用いて製造されたことを特徴とする接合体。
【請求項１７】
接合体は、成形型として用いられるものである請求項１６に記載の接合体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軟質部材の製造方法、軟質部材、接合体の製造方法および接合体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた（例えば、特許文献１参照）。
しかし、上記文献に開示されているように硬質材料で構成された部材（合成樹脂板）同士を接合した場合、接合部の長手方向の各部位で、隙間（ギャップ）が異なるという問題があった。そして、このような問題は、接合部の長さが長くなるほど顕著になっていた。硬質材料で構成された部材の代わりに、軟質材料で構成された部材を用いることにより、接合部の長手方向の各部位での隙間（ギャップ）の均一性を高められる。しかしながら、軟質材料で構成された部材の接合に、上記文献に開示されたような技術を転用しようとした場合、接合面において不本意な段差が生じてしまう等の問題があった。
このような問題を解決する目的で、切断により接合に供される部材の接合部付近の形状を整えることも考えられるが、軟質部材で構成された部材は、ステージ上に設置した際に、変形し、内部歪みを生じ易いため、設計値からのずれ量が大きく、上記のような問題を解決できなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３１４８号公報（特許請求の範囲）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供すること、前記接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供すること、前記接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供すること、また、前記軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の軟質部材の製造方法は、軟質材料で構成された接合体の製造に用いられる軟質部材を製造する方法であって、軟質材料で構成された母材を、流体を介して、ステージ上に設置する母材設置工程と、前記母材を切断する切断工程と、を有することを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を効率よく製造することができる軟質部材の製造方法を提供することができる。
【０００６】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記母材は、シート状をなすものであることが好ましい。
軟質材料で構成された部材がシート状をなすものであると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、軟質材料で構成された部材（母材）がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、軟質材料で構成された部材（母材）がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【０００７】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記母材は、シリコーンゴムで構成されたものであることが好ましい。
これにより、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。
【０００８】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記流体として、界面活性剤を含む液体を用いることが好ましい。
これにより、軟質部材の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ上での母材の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材を用いて製造される接合体を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。また、軟質部材の製造後に、付着した流体を容易かつ確実に除去することができるため、接合体の生産性を特に優れたものとすることができ、また、製造される接合体の信頼性を特に優れたものとすることができる。
【０００９】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記切断工程は、前記母材の厚さ方向について、複数回の切断処理を繰り返すことにより行うものであることが好ましい。
これにより、製造される軟質部材の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、母材の厚さが比較的大きい場合であっても、軟質部材の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００１０】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記母材設置工程は、前記ステージに前記流体を付与した後に、当該流体上に前記母材を設置することにより行うものであることが好ましい。
これにより、軟質部材の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ上での母材の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材を用いて製造される接合体を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。
【００１１】
本発明の軟質部材の製造方法では、前記母材設置工程は、前記母材の前記ステージに対向する側の面に前記流体を付与した後に、当該流体が付与された前記母材を前記ステージ上に設置することにより行うものであることが好ましい。
これにより、軟質部材の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ上での母材の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材を用いて製造される接合体を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。
【００１２】
本発明の軟質部材は、本発明の軟質部材の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することができる。
【００１３】
本発明の接合体の製造方法は、軟質材料で構成された母材を、流体を介して、ステージ上に設置する母材設置工程と、前記母材を、切断する切断工程と、前記母材設置工程および前記切断工程を経て得られた第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合する接合工程と、を有することを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することができる。
【００１４】
本発明の接合体の製造方法では、前記切断工程と前記接合工程との間に、流体上に、第１のフロートおよび第２のフロートを浮遊させ、前記第１のフロート上に第１の軟質部材を配置し、前記第２のフロート上に第２の軟質部材を配置する軟質部材設置工程を有し、前記接合工程は、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具を配置することにより、前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材の表面の位置を調整した状態で、前記第１の軟質部材と前記第２の軟質部材とを接合するものであることが好ましい。
これにより、製造される接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。
【００１５】
本発明の接合体の製造方法では、前記接合工程の後に、前記第１の軟質部材の前記第１のフロートに対向していた側の面と前記第２の軟質部材の前記第２のフロートに対向していた側の面とにわたって、第３の部材を接合する補強工程を有することが好ましい。
これにより、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００１６】
本発明の接合体の製造方法では、前記アライメント用治具の前記第１の軟質部材および前記第２の軟質部材に接触する側の表面の水平度は０．１０°以下であることが好ましい。
これにより、製造される接合体に不本意な変形（反り、歪曲）や、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００１７】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材と前記第１のフロートとの間と、前記第２の軟質部材と前記第２のフロートとの間の少なくともいずれか一方に、液体を浸したシート材が配されることが好ましい。
これにより、第１のフロート上に第１の軟質部材を載置する際、第２のフロート上に第２の軟質部材を載置する際の衝撃を緩和することができ、第１の軟質部材、第２の軟質部材の不本意な変形をより効果的に防止することができる。また、このような構成にすることにより、第１の軟質部材が接地した際、第２の軟質部材が接地した際に、応力（歪み）を緩和するような自律的な弾性回復力が起こり易くなり、第１のフロートと第１の軟質部材との間、第２のフロートと第２の軟質部材との間に応力が蓄積されてしまうことをより効果的に防止することができる。また、接合工程において第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合する際に、これらの接合部の各部位での第１の軟質部材と第２の軟質部材との密着の程度をより好適に調整することが可能となる。その結果、接合体の接合部の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体において、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができる。
【００１８】
本発明の接合体の製造方法では、前記第１の軟質部材は、前記第２の軟質部材と対向する側の側面部が前記第１の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有していることが好ましい。
これにより、接合工程での第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合を好適に行うことができる。また、接合工程で、傾斜部により形成される凹部に好適に接着剤を付与することができ、接合体の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
【００１９】
本発明の接合体の製造方法では、前記第２の軟質部材は、前記第１の軟質部材と対向する側の側面部が前記第２の軟質部材の厚さ方向から所定角度だけ傾斜した傾斜部を有していることが好ましい。
これにより、接合工程での第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合をより好適に行うことができる。また、接合工程で、傾斜部により形成される凹部により好適に接着剤を付与することができ、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００２０】
本発明の接合体は、本発明の接合体の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供することができる。
【００２１】
本発明の接合体は、成形型として用いられるものであることが好ましい。
一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【図２】本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
ところで、通常、合成樹脂板は、製法上限られた形状、大きさで製造されているため、大型化する場合には、複数の合成樹脂板の端面同士を接着剤で接合することが行われてきた。
しかし、硬質材料で構成された部材（合成樹脂板）同士を接合した場合、接合部の長手方向の各部位で、隙間（ギャップ）が異なるという問題があった。そして、このような問題は、接合部の長さが長くなるほど顕著になっていた。硬質材料で構成された部材の代わりに、軟質材料で構成された部材を用いることにより、接合部の長手方向の各部位での隙間（ギャップ）の均一性を高められる。しかしながら、軟質材料で構成された部材の接合に、上記のような技術を転用しようとした場合、接合面において不本意な段差が生じてしまう等の問題があった。
【００２４】
このような問題を解決する目的で、切断により接合に供される部材の接合部付近の形状を整えることも考えられるが、軟質部材で構成された部材は、ステージ上に設置した際に、変形し、内部歪みを生じ易いため、設計値からのずれ量が大きく、上記のような問題を解決できなかった。これは、軟質材料では、ステージ上に設置した際に、自重による変形等を生じ易く、また、接合すべき各部材での変形の度合い、各部位での変形の度合いが不均一になるとともに、接合時には、上記のような変形状態がさらに変化することによるものであると考えられる。そこで、本発明者は、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を提供すること、当該接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することを目的に鋭意研究を行った。その結果、以下に述べるような本発明により、上記のような問題を解決することができることを見出した。
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２５】
《軟質部材の製造方法》
まず、本発明の軟質部材の製造方法について説明する。
図１、図２は、本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法の好適な実施形態を説明するための模式的な断面図である。なお、本明細書で参照する図面は、その一部を強調して、模式的に示したものであり、実際の寸法等を正確に反映したものではない。
図１に示すように、本実施形態の軟質部材の製造方法は、軟質材料で構成された母材１０を、流体（第１の流体）２０を介して、ステージ３０上に設置する母材設置工程（１ａ）と、母材１０を切断する切断工程（１ｂ）とを有している。
【００２６】
＜母材設置工程＞
本工程では、軟質材料で構成された母材１０を、流体（第１の流体）２０を介して、ステージ３０上に設置する（１ａ）。
このように、ステージ３０と軟質材料で構成された母材１０との間に、流体２０を介在させることにより、母材１０を載置する際に、軟質材料で構成された母材１０に、不本意な変形をすること、内部歪みを生じることを効果的に防止することができる。その結果、母材１０の内部応力が解放された状態で後の切断工程を行うことができ、高い寸法精度で軟質部材１を製造することができる。
【００２７】
流体（第１の流体）２０としては、水、油、界面活性剤等の各種液体、各種気体、超臨界流体等を用いることができる。
流体２０としては、液体を用いるのが好ましく、界面活性剤を含む液体を用いるのがより好ましい。これにより、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ３０上での母材１０の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材１を用いて製造される接合体１００を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。また、流体２０として界面活性剤を含む液体を用いた場合、軟質部材１の製造後に、付着した流体２０を容易かつ確実に除去することができるため、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができ、また、製造される接合体１００の信頼性を特に優れたものとすることができる。
【００２８】
界面活性剤としては、各種アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤等を用いることができる。
界面活性剤のより具体的な例としては、アニオン性界面活性剤：石鹸、アルキルベンゼンスルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、α−スルホ脂肪酸エステル、α−オレフィンスルホン酸塩、モノアルキルリン酸エステル塩、アルカンスルホン酸塩、商品名：ダイヤポン，パーソフト（日油），アデカホープ（ＡＤＥＫＡ）、エマール（花王）、ママレモン（ライオン）、カチオン性界面活性剤：アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩、アルキルジメチルベンジルアンモニウム塩、アミン塩系、商品名：ニッサンカチオン（日油）、アデカミン（ＡＤＥＫＡ）、コータミン（花王）、ノニオン性界面活性剤：ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル、アルキルグルコシド、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ショ糖脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸アルカノールアミド、商品名：ノニオン（日油）、アデカトール（ＡＤＥＫＡ）、エマルゲン（花王）、チャーミー（ライオン）、両性界面活性剤：アルキルアミノ脂肪酸塩、アルキルベタイン、アルキルアミンオキシド、商品名：ニッサンアノン（日油）、アデカアンホート（ＡＤＥＫＡ）、アンヒトール（花王）、ルック（ライオン）等が挙げられる。
【００２９】
なお、流体２０中には、例えば、酸化防止剤、防腐剤等の各種添加剤が含まれていてもよい。
母材１０は、軟質材料で構成されたものである。
本発明において、軟質材料とは、ヤング率が１００Ｐａ〜５００ＭＰａのものであり、より好ましくは１ＭＰａ〜１００ＭＰａのものを好適に用いることができる。
【００３０】
母材１０を構成する軟質材料の具体例としては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、ニトリルゴム、ブチルゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロブレンゴム、ネオプレンゴム、エチレンプロピレンジエン重合体、アクリルゴム、フッ素ゴム、フロロシリコーンゴム、ポリウレタン、ポリオレフィンゴム、天然ゴム、軟質ビニールを含む高分子材料、皮膚や筋肉を含む生体組織、ゼリーやゼラチンを含む食品等が挙げられる。
【００３１】
母材１０は、上記のような材料の中でも、シリコーンゴムで構成されたものであるのが好ましい。これにより、シリコーンゴムのタック性により、接合時の状態が維持され、段差ズレ等の再調整回数を大幅に削減できるという効果が得られる。また、比較的低温（例えば、室温）で硬化反応を好適に進行させることができる点、溶剤を用いる必要がない点、安価である点等でも有利である。
本実施形態では、母材１０（軟質部材１も同様）は、シート状をなすものである。軟質材料で構成された部材がシート状をなすものであると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、母材１０がシート状をなすものであっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、母材１０がシート状をなすものである場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００３２】
図示の構成では、母材１０は、第１の面１０１が下側を向き、それとは反対側の第２の面１０２が上側を向いている。そして、第１の面１０１には、所定の凹凸パターンが形成されており、第２の面１０２は、平坦面となっている。なお、図中、凹凸パターンは省略した。
母材１０の平均厚さ（図中の上下方向の厚さ）は、０．２ｃｍ以上５０ｃｍ以下であるのが好ましく、１ｃｍ以上５ｃｍ以下であるのがより好ましい。軟質材料で構成された部材（母材）の厚さが前記範囲内の値であると、上述したような従来の技術を転用しようとした場合に、上述したような問題の発生がより顕著になっていた。これに対し、本発明では、母材１０の平均厚さが前記範囲内の値であっても上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、母材１０の平均厚さが前記範囲内の値である場合に、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００３３】
本工程では、最終的に、母材１０とステージ３０との間に、流体２０が介在するようにすればよいが、例えば、以下のようにして、母材１０とステージ３０との間に、流体２０が介在するようにすることができる。
本工程は、ステージ３０に流体２０を付与した後に、当該流体２０上に母材１０を設置することにより行うものであってもよい。これにより、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ３０上での母材１０の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材１を用いて製造される接合体１００を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。
【００３４】
また、本工程は、母材１０のステージ３０に対向する側の面に流体２０を付与した後に、当該流体２０が付与された母材１０をステージ３０上に設置することにより行うものであってもよい。これにより、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができる。また、ステージ３０上での母材１０の変形や、内部歪みの蓄積をより確実に防止することができ、軟質部材１を用いて製造される接合体１００を、接合部での不本意な段差の発生がより効果的に防止されたものとすることができる。
【００３５】
＜切断工程＞
次に、母材１０を切断する（１ｂ）。これにより、軟質部材１が得られる。
母材１０の切断は、後に詳述する接合体の製造方法の接合工程で、他の軟質部材と接合する際に、接合面の形状が前記他の軟質部材との間で干渉せずに、接合部に不本意な段差が生じないように行う。ここで、母材１０とステージ３０との間に流体２０が介在しているため、母材１０は、内部応力が解放された状態となっている。このため、本工程において、高い寸法精度で母材１０を切断することができる。すなわち、切断により得られる軟質部材１は、上記の切断面１０３の形状を確実に確保することができる。特に、本実施形態では、切断面１０３が、母材１０の厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部と、母材１０の面方向に垂直な部分（母材１０の法線に平行な部分）としての垂直部とを有するものとして設定する（図１中の（１ａ）参照）。これにより、軟質部材１を用いて製造される接合体の接合強度、形状の安定性等を特に優れたものとすることができる。また、本発明によれば、切断面が上記のように複雑な形状を有するものであっても、母材を精確に切断することができる。
【００３６】
本工程は、母材１０の内部応力を解放した状態で行うものであるが、母材１０の周囲に、母材１０の移動を規制するガイドを配置した状態で行うのが好ましい。これにより、切断時における母材１０の不本意な移動をより確実に防止することができ、より高い寸法精度で母材１０を切断することができる。
本工程は、母材１０の厚さ方向について、複数回の切断処理を繰り返すことにより行うものであるのが好ましい。これにより、製造される軟質部材１の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、母材１０の厚さが比較的大きい場合であっても、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができる。また、図示のように、切断面１０３が複雑な形状を有するものであっても、所望の形状に確実に切断することができる。
【００３７】
本工程で、母材１０を切断する切断手段としては、例えば、機械的な切断手段（例えば、各種ナイフ、メス（手術用メス等）等）、光学的な切断手段（例えば、レーザーカッター等）を用いることができる。また、機械的な切断手段を用いる場合、当該切断手段に超音波を付与しつつ、切断を行ってもよい。これにより、母材１０の切断速度をより速いものとし、軟質部材１の生産性を特に優れたものとすることができるとともに、切断時における母材１０の不本意な変形をより確実に防止することができる。
【００３８】
《軟質部材》
本発明の軟質部材は、軟質材料で構成された接合体の製造に用いられるものであり、上述したような本発明の方法（軟質部材の製造方法）を用いて製造されたものである。これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体の製造に好適に用いることのできる軟質部材を提供することができる。
【００３９】
《接合体の製造方法》
次に、本発明の接合体の製造方法について説明する。
本発明の接合体の製造方法は、上述したような母材設置工程、切断工程の後に、軟質部材（第１の軟質部材と第２の軟質部材）を接合する接合工程を有するものである。これにより、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていない接合体を効率よく製造することができる接合体の製造方法を提供することができる。
【００４０】
特に、本実施形態では、上述したような母材設置工程、切断工程の後に、流体（第２の流体）３上に、第１のフロート２１および第２のフロート２２を浮遊させ、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを配置し、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを配置する軟質部材設置工程（１ｃ）と、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具９を配置することにより、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの表面の位置を調整した状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを接合する接合工程（１ｄ）と、第１の軟質部材１Ａの第１のフロート２１に対向していた側の面（第２の面１２Ａ）、および、第２の軟質部材１Ｂの第２のフロート２２に対向していた側の面（第２の面１２Ｂ）に、第３の部材５を接合する補強工程（１ｅ）とを有している。
【００４１】
このように、切断工程と接合工程との間に、流体（第２の流体）３上に、第１のフロート２１および第２のフロート２２を浮遊させ、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを配置し、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを配置する軟質部材設置工程を有し、接合工程が、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具９を配置することにより、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの表面の位置を調整した状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを接合するものであることにより、製造される接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができ、軟質部材１（１Ａおよび１Ｂ）同士の接合部に不本意な段差が生じることをより確実に防止することができる。すなわち、前述した切断工程を母材１０とステージ３０との間に流体２０を介在させた状態で行うことによる効果と、上記のような軟質部材設置工程および接合工程を行うことによる効果とが、相乗的に作用し合い、上記のような顕著な効果が得られる。
以下、軟質部材設置工程、接合工程および補強工程について詳細に説明する。
【００４２】
＜軟質部材設置工程＞
本工程では、流体３上に、第１のフロート２１および第２のフロート２２を浮遊させ、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを配置するとともに、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを配置する（１ｃ）。
第１のフロート２１、第２のフロート２２は、それぞれ、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを載置した状態で、流体３に浮遊した状態を保つことができるものであればいかなるものであってもよいが、第１のフロート２１、第２のフロート２２としては、発泡スチロール等の多孔質体を好適に用いることができる。特に、発泡スチロールは、比重が小さいため、流体３の選択肢が増えるとともに、断熱性にも優れるため、本発明の接合体の製造方法において、流体を加熱、冷却する場合においても、温度変化による第１の軟質部材、第２の軟質部材への悪影響の発生を効果的に防止することができる。
【００４３】
第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重は、０．０１０以上０．７以下であるのが好ましく、０．０１０以上０．０３以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような第１のフロート２１、第２のフロート２２としての機能をより確実に発揮することができ、流体３の種類の選択肢等を広げることができる。これに対し、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重が前記下限値未満であると、流体３の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート２１、第２のフロート２２が流体３から受ける反発力が大きくなり、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂに不本意な変形を生じる可能性がある。また、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重が前記上限値を超えると、流体３の比重等によっては、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート２１、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート２２を、安定的に流体３上に浮遊させておくことが困難になる可能性がある。
【００４４】
また、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、全体にわたって均一な条件（組成、密度等）を有するものであってもよいし、各部位で条件（組成、密度等）の異なるものであってもよい。例えば、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、多層構造を有するもの（例えば、基部と、その表面に設けられた被膜とを有するもの）であってもよい。これにより、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重を小さいものとしつつ、第１のフロート２１、第２のフロート２２の化学的安定性、熱的安定性等を優れたものとすることができる。その結果、本発明の接合体の製造方法における条件の幅（例えば、流体３の種類、処理温度等の幅）が広がり、接合体１００の生産性や、接合体１００の寸法精度等を特に優れたものとすることができる。また、第１のフロート２１、第２のフロート２２の長寿命化を図ることができ、接合体１００の製造に繰り返し好適に用いることができるため、接合体１００の生産コストの抑制を図ることができる。
【００４５】
流体３としては、各種液体、各種気体、超臨界流体等を用いることができる。
流体３の比重は、０．７以上１．２以下であるのが好ましく、０．９以上１．１以下であるのがより好ましい。これにより、流体３上に、第１の軟質部材１Ａが載置された第１のフロート２１および第２の軟質部材１Ｂが載置された第２のフロート２２を、より好適に浮遊させた状態で、後の接合工程を行うことができ、結果として、上述したような効果をより顕著に発揮させることができる。これに対し、流体３の比重が前記下限値未満であると、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重等によっては、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート２１、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート２２を、安定的に流体３上に浮遊させておくことが困難になる可能性がある。また、流体３の比重が前記上限値を超えると、第１のフロート２１、第２のフロート２２の比重等によっては、後の接合工程におけるアライメント用治具９による押圧の際に、第１のフロート２１、第２のフロート２２が流体３から受ける反発力が大きくなり、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂに不本意な変形を生じる可能性がある。
【００４６】
流体３としては、液体を用いるのが好ましく、水を用いるのがより好ましい。これにより、流体３の取り扱いのし易さが向上する。また、本発明の接合体の製造方法に用いる装置の簡素化を図ることができる。また、接合体１００の生産コストを抑制することができる。
なお、流体３中には、例えば、酸化防止剤、防腐剤等の各種添加剤が含まれていてもよい。
【００４７】
図示の構成では、第１の軟質部材１Ａは、第１の面１１Ａが上側（アライメント用治具によって押圧される側）を向き、それとは反対側の第２の面１２Ａが下側を向いている。そして、第１の面１１Ａには、所定の凹凸パターンが形成されており、第２の面１２Ａは、平坦面となっている。他方、第２の軟質部材１Ｂは、第１の面１１Ｂが上側（アライメント用治具によって押圧される側）を向き、それとは反対側の第２の面１２Ｂが下側を向いている。そして、第１の面１１Ｂには、所定の凹凸パターンが形成されており、第２の面１２Ｂは、平坦面となっている。なお、図中、凹凸パターンは省略した。
【００４８】
第１の軟質部材１Ａは、第２の軟質部材１Ｂと対向する側の側面部１３Ａが第１の軟質部材１Ａの厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部１３１Ａを有している。これにより、第１の軟質部材１Ａを第１のフロート２１に載置し、かつ、第２の軟質部材１Ｂを第２のフロート２２に載置した状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを好適に接近させることができ、後の接合工程での第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合を好適に行うことができる。また、後の接合工程で、傾斜部１３１Ａにより形成される凹部（溝部）６に好適に接着剤４を付与することができ、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。特に、図示の構成では、側面部１３Ａは、図中の下面側に傾斜部１３１Ａを有するとともに、上面側に第１の軟質部材１Ａの面方向に垂直な部分（第１の軟質部材１Ａの法線に平行な部分）としての垂直部１３２Ａを有している。このような構成であることにより、製造される接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができるとともに、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの位置合わせをより容易に行うことができ、接合体１００の製造の歩留まりを特に優れたものとすることができる。
【００４９】
また、第２の軟質部材１Ｂは、第１の軟質部材１Ａと対向する側の側面部１３Ｂが第２の軟質部材１Ｂの厚さ方向（法線方向）から所定角度だけ傾斜した傾斜部１３１Ｂを有している。これにより、第１の軟質部材１Ａを第１のフロート２１に載置し、かつ、第２の軟質部材１Ｂを第２のフロート２２に載置した状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを好適に接近させることができ、後の接合工程での第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合を好適に行うことができる。また、後の接合工程で、傾斜部１３１Ｂにより形成される凹部（溝部）６に好適に接着剤４を付与することができ、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。特に、図示の構成では、側面部１３Ｂは、図中の下面側に傾斜部１３１Ｂを有するとともに、上面側に第２の軟質部材１Ｂの面方向に垂直な部分（第２の軟質部材１Ｂの法線に平行な部分）としての垂直部１３２Ｂを有している。このような構成であることにより、製造される接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができるとともに、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの位置合わせをより容易に行うことができ、接合体１００の製造の歩留まりを特に優れたものとすることができる。
【００５０】
なお、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂのうち一方のみが傾斜部を有するものであってもよく、このような場合であっても、上述したような効果が得られるが、図示のように、第１の軟質部材１Ａが傾斜部１３１Ａを有し、第２の軟質部材１Ｂが傾斜部１３１Ｂを有していることにより、これらの効果が相乗的に作用し、上述したような効果がより顕著に発揮される。
また、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂのうち一方のみが傾斜部に加えて垂直部を有するものであってもよく、このような場合であっても、上述したような効果が得られるが、図示のように、第１の軟質部材１Ａが傾斜部１３１Ａに加え垂直部１３２Ａを有し、第２の軟質部材１Ｂが傾斜部１３１Ｂに加え垂直部１３２Ｂを有していることにより、これらの効果が相乗的に作用し、上述したような効果がより顕著に発揮される。
【００５１】
傾斜部１３１Ａの傾斜角度（第１の軟質部材１Ａの厚さ方向（法線方向）と、傾斜部１３１Ａの面方向とのなす角）θ１、傾斜部１３１Ｂの傾斜角度（第２の軟質部材１Ｂの厚さ方向（法線方向）と、傾斜部１３１Ｂの面方向とのなす角）θ２は、特に限定されないが、１°以上１２°以下であるのが好ましく、１°以上６°以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような効果がより顕著に発揮される。これに対し、θ１、θ２が前記下限値未満であると、上述したような効果が十分に発揮されない可能性がある。また、θ１、θ２が前記上限値を超えると、上記のような、接合工程後における第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合強度を特に優れたものとすることができるという効果が十分に発揮されない可能性がある。また、第１のフロート２１上における第１の軟質部材１Ａの変形量、第２のフロート２２上における第２の軟質部材１Ｂの変形量が大きくなり、十分に高い寸法精度で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを接合するのが困難になる可能性がある。
【００５２】
本工程では、最終的に、第１の軟質部材１Ａが載置された第１のフロート２１が、流体３上に浮遊していればよく、流体３上に第１のフロート２１を浮遊させた後に、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを載置してもよいし、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを載置した状態で、流体３上に浮遊させてもよい。また、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート２１を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体３を導入し、それにより、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート２１を、流体３に浮遊させてもよい。
【００５３】
同様に、本工程では、最終的に、第２の軟質部材１Ｂが載置された第２のフロート２２が、流体３上に浮遊していればよく、流体３上に第２のフロート２２を浮遊させた後に、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを載置してもよいし、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを載置した状態で、流体３上に浮遊させてもよい。また、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート２２を槽８の底部に置き、その後、槽８内に流体３を導入し、それにより、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート２２を、流体３に浮遊させてもよい。
【００５４】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａと第１のフロート２１との間に液体を浸した第１のシート材７１が配されており、第２の軟質部材１Ｂと第２のフロート２２との間に液体を浸した第２のシート材７２が配されている。これにより、第１のフロート２１上に第１の軟質部材１Ａを載置する際、第２のフロート２２上に第２の軟質部材１Ｂを載置する際の衝撃を緩和することができ、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂの不本意な変形をより効果的に防止することができる。また、このような構成にすることにより、第１の軟質部材１Ａが接地した際、第２の軟質部材１Ｂが接地した際に、応力（歪み）を緩和するような自律的な変形が起こり易くなり、第１のフロート２１と第１の軟質部材１Ａとの間、第２のフロート２２と第２の軟質部材１Ｂとの間に応力が蓄積されてしまうことをより効果的に防止することができる。また、後の接合工程において第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを接合する際に、接合部の各部位での第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの密着の程度をより好適に調整することが可能となる。その結果、接合体１００の接合部の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体１００において、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。
前記液体としては、例えば、水、油、界面活性剤（例えば、ライオン（株）ママレモン等）等を用いることができる。
【００５５】
＜接合工程＞
次に、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの上面側に、これらの部材を跨ぐように、アライメント用治具９を配置する。ここで、第１の軟質部材１Ａは第１のフロート２１上に載置されており、第２の軟質部材１Ｂは第２のフロート２２上に載置されているため、アライメント用治具９による押圧により、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに加えられた力は、第１のフロート２１および第２のフロート２２に伝わり、第１のフロート２１、第２のフロート２２は、それぞれ独立して、所定深さだけ流体３中に沈み込む。その結果、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの変形を防止しつつ、第１の軟質部材１Ａの第１の面１１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの第１の面１１Ｂが面位置となるように、調整することができる。そして、このような状態で、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを接合し、仮接合体１００’を得る（１ｄ）。これにより、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じるのをより確実に防止した状態で、これらを固定化できる。
【００５６】
アライメント用治具９の第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面の水平度は、０．１０°以下であるのが好ましく、０．０５°以下であるのがより好ましい。これにより、製造される接合体１００に不本意な変形（反り、歪曲）や、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部に不本意な段差が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００５７】
また、本実施形態では、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとを跨ぐように配置されるアライメント用治具９に加え、第１の軟質部材１Ａの第１の面１１Ａのみを押圧するアライメント用治具９’、第２の軟質部材１Ｂの第１の面１１Ｂのみを押圧するアライメント用治具９’’を用いている。そして、アライメント用治具９、アライメント用治具９’、および、アライメント用治具９’’の下面が、同一平面上に位置するように配置されている。これにより、第１の軟質部材１Ａを載置した第１のフロート２１の浮力、第２の軟質部材１Ｂを載置した第２のフロート２２の浮力により、アライメント用治具９により押圧された第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂが部分的に浮き上がり、製造される接合体１００に不本意な変形（反り）が生じてしまうのをより確実に防止することができる。
【００５８】
アライメント用治具９、９’、９’’は、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂを構成する軟質材料よりも硬質の材料で構成されたものであればよいが、例えば、各種ガラス等の透明体で構成する事により、微細構造表面をマイクロスコープ等で確認でき、アライメント調整がより確実なものとする事ができる。また、アライメント用治具９’、９’’が大きくなるにつれ、平坦度を確保した部材の調達が難しくなるが、ガラスで構成されたものを使用する事により比較的短納期になる。これにより、アライメント用治具９の形状の安定性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の寸法精度を特に優れたものとすることができる。また、アライメント用治具９の耐久性を特に優れたものとすることができ、接合体１００の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００５９】
アライメント用治具９は、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面に、表面処理剤による表面処理が施されたものであるのが好ましい。これにより、アライメント用治具９下での、第１の軟質部材１Ａおよび第２の軟質部材１Ｂの滑りが制御可能となり、接合工程でのアライメント調整が容易となるという効果が得られる。
また、アライメント用治具９’の第１の軟質部材１Ａに接触する側の表面や、アライメント用治具９’’の第２の軟質部材１Ｂに接触する側の表面にも、表面処理剤による表面処理が施されていてもよい。これにより、上記と同様な効果が得られる。
【００６０】
表面処理剤としては、フッ素系離型剤、シリコーン系離型剤等の離型剤等が挙げられる。
本実施形態では、本工程は、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂを接触させた状態で、第１の軟質部材１Ａの側面部１３Ａと、側面部１３Ａと対向する第２の軟質部材１Ｂの側面部１３Ｂとによって構成される溝部６に接着剤４を付与することにより行う。これにより、接合体１００の強度、形状の安定性を特に優れたものとすることができる。
接着剤４としては、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。
【００６１】
＜補強工程＞
次に、第１の軟質部材１Ａの第１のフロート２１に対向していた側の面（第２の面１２Ａ）と、第２の軟質部材１Ｂの第２のフロート２２に対向していた側の面（第２の面１２Ｂ）とにわたって、第３の部材５を接合する（１ｅ）。これにより、接合体１００が得られる。このように、本実施形態では補強工程を有している。これにより、接合体の強度、形状の安定性をさらに優れたものとすることができる。
【００６２】
第３の部材５としては、軟質材料を好適に用いることができる。
第３の部材５の具体的な構成材料としては、軟質部材１（第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂ）の構成材料として例示したものを用いることができるが、第３の部材５は、第１の軟質部材１Ａ、第２の軟質部材１Ｂと同一の材料で構成されたものであってもよいし、異なる材料で構成されたものであってもよい。
【００６３】
第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合体（仮接合体１００’）と第３の部材５との接合は、例えば、接着剤を用いた接着により行うことができる。当該接着剤としては、例えば、アクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、ウレタン系接着剤、シリコーン系接着剤等の各種接着剤を用いることができる。また、第１の軟質部材、第２の軟質部材と同質の材料を用いて接合することができる。
【００６４】
なお、第３の部材５は、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、および、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの全体を被覆するものであってもよいし、第１の軟質部材１Ａの第２の面１２Ａ、および、第２の軟質部材１Ｂの第２の面１２Ｂの一部のみ（例えば、第１の軟質部材１Ａと第２の軟質部材１Ｂとの接合部を跨ぐ（凹部６を塞ぐ）領域のみ）を被覆するものであってもよい。
【００６５】
《接合体》
本発明の接合体は、上述したような本発明の接合体の製造方法を用いて製造されたものである。これにより、接合体を、軟質材料で構成され、構成部材（軟質部材）同士の接合部に不本意な段差が生じていないものとすることができる。
本発明の接合体は、いかなる用途のものであってもよいが、成形型として用いられるものであるのが好ましい。一般に、軟質材料で構成された成形型は、硬質材料で構成されたものに比べ、成形品の離型性に優れるという利点があるが、複数の部材を接合して製造した場合に、これらの部材の接合部に不本意な段差を生じ易く、また、それによる弊害が大きいという問題点があった。これに対して、本発明では、成形型の製造に適用した場合であっても、上記のような問題の発生を確実に防止することができる。すなわち、接合体が成形型であると、成形品の優れた離型性を確保しつつ、上述したような本発明による効果をより顕著に発揮させることができる。
【００６６】
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、前述した実施形態では、母材、第１の軟質部材および第２の軟質部材が、いずれもシート状をなすものである場合について代表的に説明したが、本発明において、母材、第１の軟質部材、第２の軟質部材の形状は、いかなるものであってもよく、シート状に限定されるものではない。
【００６７】
また、本発明の軟質部材の製造方法、接合体の製造方法では、上述した工程に加えて、さらに他の工程として、前処理工程、後処理工程、中間工程を有していてもよい。このような工程としては、例えば、母材設置工程で用いた流体（第１の流体）のうち、軟質部材（母材）に付着しているものを除去する洗浄工程等が挙げられる。
また、前述した接合体の製造方法の実施形態では、軟質部材設置工程を有する場合について代表的に説明したが、本発明の接合体の製造方法は、軟質部材設置工程を有していなくてもよい。
【００６８】
また、前述した接合体の製造方法の実施形態では、補強工程を有する場合について代表的に説明したが、本発明の接合体の製造方法は、補強工程を有していなくてもよい。
また、前述した実施形態では、１つの第１の軟質部材について１つの第１のフロートを用い、かつ、１つの第２の軟質部材について１つの第２のフロートを用いる場合について代表的に説明したが、１つの第１の軟質部材について複数個の第１のフロートを用いてもよいし、１つの第２の軟質部材について複数個の第２のフロートを用いてもよい。例えば、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部の長手方向に沿って、複数個の第１のフロートおよび／または複数個の第２のフロートを配置してもよい。これにより、接合部の長手方向の各部位での第１の軟質部材と第２の軟質部材との密着の程度をより好適に調整することができる。その結果、接合部の長手方向の各部位で、圧縮応力、引っ張り応力のばらつきが生じてしまうことをより効果的に防止することができる。したがって、最終的に得られる接合体において、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合部に不本意な段差が生じることをより効果的に防止することができ、接合体の寸法精度を特に優れたものとすることができる。なお、このように、１つの第１の軟質部材について複数個の第１のフロートを用いる場合や、１つの第２の軟質部材について複数個の第２のフロートを用いる場合、第１のフロート同士、第２のフロート同士を、紐等の連結部材で連結してもよい。
【００６９】
また、前述した実施形態では、複数個のアライメント用治具を用いる場合について代表的に説明したが、本発明では、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを跨ぐように配置される少なくとも１つのアライメント用治具を用いればよい。この場合、当該アライメント治具は、第１の軟質部材および第２の軟質部材の一部のみを覆うものであってもよいし、第１の軟質部材および第２の軟質部材のほぼ全面を覆うものであってもよい。
【実施例】
【００７０】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
［１］接合体の製造
（実施例１）
まず、定盤（ステージ）の全面に、流体としての界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を塗布した。次に、流体が塗布されたステージ上に、シリコーンゴム（軟質材料、ヤング率１５ＭＰａ）で構成されシート状をなす母材（厚さ５ｃｍ）を載置した（母材設置工程）。その後、母材をステージのｘ方向（ステージの面内方向であり、かつ、母材の縦方向）およびｙ方向（ステージの面内方向であり、かつ、母材の横方向）に移動させることにより、母材の応力を確実に解放した。母材としては、一方の面（第１の面）に直径３００μｍの半球状の凸部が正方格子状に規則正しく配列されたものであり、他方の面（第２の面）が平坦面であるものを用いた。母材を平面視した際の隣接する凸部のピッチ（中心間距離）は２５０μｍであった。また、母材は、第１の面が上側を向くように配置した。
【００７１】
次に、母材の内部応力が解放された状態を維持しつつ、母材の周囲に、母材の移動を規制するガイドを配置した状態で、切断手段としての手術用メスを用い、母材の厚さ方向についての切断を行った（切断工程）。本工程では、母材の厚さ方向について、複数回の切断処理を繰り返すことにより行った。すなわち、本工程では、切断処理１回あたりの切り込み量（切り込み深さ）を０．３ｍｍとして、２０回の切断処理を繰り返し行った。また、本工程では、切断面のうち、第２の面側に垂直部が形成され、また、第２の面側に傾斜部が形成されるように、各切断処理において切断位置を調整しつつ行った。上記のような母材設置工程、切断工程を経て、同一形状を有する２枚の軟質部材として、第１の軟質部材および第２の軟質部材を得た。第１の軟質部材が有する傾斜部の傾斜角度（第１の軟質部材の厚さ方向（法線方向）と傾斜部の面方向とのなす角）θ１、第２の軟質部材が有する傾斜部の傾斜角度（第２の軟質部材の厚さ方向（法線方向）と傾斜部の面方向とのなす角）θ２は、いずれも、０．０５°であった。
【００７２】
次に、発泡ポリスチレン樹脂で構成された板状の第１のフロート（縦１８０ｃｍ×横１５０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）および第２のフロート（縦１８０ｃｍ×横１５０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）を槽（水槽）内に設置した。
次に、第１のフロートの上面に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を浸した第１のシート材（アキレス製、縦１８０ｃｍ×横１５０ｃｍ×厚さ１ｍｍ）を載置し、さらに、第１のシート材の上面に、第１の軟質部材（縦１５０ｃｍ×横１２０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）を載置した。また、第２のフロートの上面に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を浸した第２のシート材（アキレス製、縦１８０ｃｍ×横１５０ｃｍ×厚さ１ｍｍ）を載置し、さらに、第２のシート材の上面に、第２の軟質部材（縦１５０ｃｍ×横１２０ｃｍ×厚さ５０ｍｍ）を載置した。第１の軟質部材および第２の軟質部材は、第１の面が上側を向くように配置した。
【００７３】
次に、水槽内に水（流体）を流入させ、第１のシート材と第１の軟質部材とを載せた第１のフロート、および、第２のシート材と第２の軟質部材とを載せた第２のフロートを、浮遊させた（軟質部材設置工程）。
その後、さらに水槽内に水（流体）を流入させ、第１の軟質部材および第２の軟質部材の位置を上昇させ、水槽の上部側に水平に設置されたアライメント用治具（第１のアライメント用治具）を、第１の軟質部材および第２の軟質部材の上面と接触させた。このとき、アライメント用治具（第１のアライメント用治具）は、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを跨ぐようにした。また、第１の軟質部材の上面にはアライメント用治具（第２のアライメント用治具）を配置し、第２の軟質部材の上面にはアライメント用治具（第３のアライメント用治具）を配置した。これらのアライメント用治具（第１のアライメント用治具、第２のアライメント用治具、第３のアライメント用治具）としては、ガラスで構成された基材の表面全体にフッ素系離型剤による表面処理が施されたものを用いた。これらのアライメント用治具（第１のアライメント用治具、第２のアライメント用治具、第３のアライメント用治具）の大きさは、いずれも、縦２００ｃｍ×横６０ｃｍ×厚さ５０ｍｍであり、第１の軟質部材、第２の軟質部材の縦方向（ｙ方向）の全長にわたって、第１の軟質部材、第２の軟質部材と接触するものとした。
【００７４】
その後、以下のようにしてアライメント調整を行った。
すなわち、まず、アライメント用治具（第１のアライメント用治具、第２のアライメント用治具、第３のアライメント用治具）の左右での水平度（図１中の左右方向での水平度）が規定値以下（０．０５°以下）となるように調整した。
次に、図１中の左右方向（ｘ方向）に移動させるｘ調整機構により、第１のフロートおよび第２のフロートを図１中の左右方向（ｘ方向）に移動させ、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接近させた。この際、マイクロスコープによる観察を行い、第１の軟質部材と第２の軟質部材との間隔を０．１５ｍｍに設定した。
次に、図１中の奥行き方向（ｙ方向）に移動させるｙ調整機構により、第１のフロートおよび第２のフロートを図１中のｙ方向に移動させ、ｙ方向アライメントを規定値以下（２０μｍ以下）に調整した。
次に、第１の軟質部材、第２の軟質部材の接合部全長にわたって、第１の軟質部材と第２の軟質部材との隙間（ｘ方向の隙間）を測定し、測定値の最大値分だけｘ方向に移動させ、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接触させ、その後、第１の軟質部材および第２の軟質部材を固定した。
次に、ｘ調整機構による第１の軟質部材および第２の軟質部材の固定を解除し、シリコーンゴムのゴム弾力を用いて、第１の軟質部材および第２の軟質部材の圧縮歪みを取り除いた。
次に、マイクロスコープを用いて、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向（ｘ方向およびｙ方向に対して垂直な方向）についての第１の軟質部材と第２の軟質部材とのずれ量を測定し、いずれもが規定値以下であることを確認した。
【００７５】
上記のようなアライメント調整を行った後に、第１の軟質部材の側面部と、該側面部と対向する第２の軟質部材の側面部とによって構成される溝部にシリコーン系接着剤を付与し、第１の軟質部材と第２の軟質部材とを接合することにより、仮接合体を得た（接合工程）。
その後、第１の軟質部材の第２の面と第２の軟質部材の第２の面の全体にわたって、シリコーンゴムで構成された第３の部材（補強部材）を接合した（補強工程）。当該接合は、シリコーン系接着剤を付与することにより行った。これにより、接合体としての成形型を得た。
【００７６】
（実施例２）
定盤（ステージ）の全面に流体としての界面活性剤を塗布する代わりに、母材のステージに対向する側の面に流体としての界面活性剤を付与した後に当該流体が付与された母材をステージ上に設置した以外は、前記実施例１と同様にして接合体としての成形型を製造した。
【００７７】
（実施例３）
切断工程における切断処理を１回のみ行い、切断面を垂直面のみで構成されたものとし、また、第１のシート材および第２のシート材を用いることなく、第１の軟質部材を第１のフロート上に直接設置し、第２の軟質部材を第２のフロート上に直接設置し、さらに、アライメント用治具として表面処理剤による表面処理が施されていないものを用いた以外は、前記実施例１と同様にして接合体としての成形型を製造した。
【００７８】
（比較例１）
まず、定盤（ステージ）に流体を付与しなかった以外は、前記実施例１と同様にして母材設置工程および切断工程を行い、２つの軟質部材（第１の軟質部材および第２の軟質部材）を得た。
その後、定盤の表面全体に、界面活性剤（ライオン社製、ママレモン）を塗布した。
【００７９】
次に、界面活性剤が付与された定盤上に、上記のようにして得られた第１の軟質部材および第２の軟質部材を、第１の面が上側を向くように載置した。
次に、前記実施例１で述べたのと同様なアライメント調整を行い、その後、前記実施例１で述べたのと同様にして、第１の軟質部材と第２の軟質部材との接合、第３の部材の接合を行うことにより、接合体としての成形型を得た。
【００８０】
［２］評価
前記各実施例および比較例で製造した接合体について、マイクロスコープを用いた観察を行い、接合部での段差（不本意な段差）の発生状況について、以下の基準に従い評価した。
Ａ：接合部における段差の最大値が、２μｍ未満。
Ｂ：接合部における段差の最大値が、２μｍ以上５μｍ未満。
Ｃ：接合部における段差の最大値が、５μｍ以上７μｍ未満。
Ｄ：接合部における段差の最大値が、７μｍ以上１０μｍ未満。
Ｅ：接合部における段差の最大値が、１０μｍ以上１５μｍ未満。
Ｆ：接合部における段差の最大値が、１５μｍ以上。
前記各実施例および比較例についての接合体の製造方法の条件とともに評価の結果を、表１にまとめて示した。
【００８１】
【表１】
2013227456.tif 000003
【００８２】
表１から明らかなように、本発明では、接合部における不本意な段差の発生が効果的に防止されていた。また、本発明では、アライメント調整を容易かつ確実に行うことができ、接合体の生産性を特に優れたものとすることができた。これに対し、比較例では、満足な結果が得られなかった。
【符号の説明】
【００８３】
１００…接合体  １００’…仮接合体  １０…母材  １０１…第１の面  １０２…第２の面  １０３…切断面  ２０…流体（第１の流体）  ３０…ステージ  １…軟質部材  １Ａ…第１の軟質部材  １１Ａ…第１の面  １２Ａ…第２の面  １３Ａ…側面部  １３１Ａ…傾斜部  １３２Ａ…垂直部  １Ｂ…第２の軟質部材  １１Ｂ…第１の面  １２Ｂ…第２の面  １３Ｂ…側面部  １３１Ｂ…傾斜部  １３２Ｂ…垂直部  ２１…第１のフロート  ２２…第２のフロート  ３…流体（第２の流体）  ４…接着剤  ５…第３の部材  ６…凹部（溝部）  ７１…第１のシート材  ７２…第２のシート材  ８…槽  ９…アライメント用治具  ９’…アライメント用治具  ９’’…アライメント用治具
【図１】
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【図２】
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