(57)【要約】【課題】搬送部上のワークへの塵埃の付着を低減可能な搬送装置、及びこの搬送装置の制御方法の提供。【解決手段】搬送ユニット１は、ベース部１０と、ベース部１０上に設けられた搬送ガイド部２０と、搬送ガイド部２０に沿って移動可能な搬送部３０と、搬送部３０から、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を有して引き出された引き出し部材３１ａ，３１ｂと、引き出し部材３１ａ，３１ｂに対して、上記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部４０ａ，４０ｂと、を備え、張力付加部４０ａ，４０ｂは、搬送部３０の搬送範囲の外側に設けられていることを特徴とする。【選択図】図２
2013035665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、
前記ベース部上に設けられた搬送ガイド部と、
前記搬送ガイド部に沿って移動可能な搬送部と、
前記搬送部から、前記ベース部及び前記搬送ガイド部との間に空隙を有して引き出された引き出し部材と、
前記引き出し部材に対して、前記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部と、を備え、
前記張力付加部は、前記搬送部の搬送範囲の外側に設けられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置において、前記引き出し部材は、前記搬送部の移動方向の一方側と、前記一方側とは反対側の他方側とにそれぞれ引き出され、
前記張力付加部は、前記一方側と前記他方側とのそれぞれに設けられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の搬送装置において、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた伸縮性を有する弾性部材により、前記引き出し部材に対して前記張力を加える構成であることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の搬送装置において、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた錘部と、前記錘部を前記引き出し部材と共に吊り下げる吊り下げ部と、を備え、
吊り下げられた前記錘部の質量により、前記引き出し部材に対して前記張力を加える構成であることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送装置において、前記吊り下げ部は、滑車を備え、
前記錘部と前記引き出し部材とが、前記滑車を介して吊り下げられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の搬送装置において、前記張力付加部における前記滑車と前記搬送部との間、及び前記滑車と前記錘部との間の少なくとも一方には、前記引き出し部材に対して移動方向と交差する方向に押し当てることにより前記張力を増加させる張力増加部が、設けられていることを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の搬送装置において、前記搬送部の移動時の加速度が、重力加速度以下であることを特徴とする搬送装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の搬送装置において、前記引き出し部材は、平面視において、前記搬送ガイド部と重なるように引き出されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項９】
ベース部と、前記ベース部上に設けられた搬送ガイド部と、前記搬送ガイド部に沿って移動可能な搬送部と、前記搬送部から、前記ベース部及び前記搬送ガイド部との間に空隙を有して引き出された引き出し部材と、前記引き出し部材に対して、前記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部と、を備え、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた錘部と、前記錘部を前記引き出し部材と共に滑車を介して吊り下げる吊り下げ部と、を備え、吊り下げられた前記錘部の質量により、前記引き出し部材に対して前記張力を加え、前記滑車と前記搬送部との間、及び前記滑車と前記錘部との間には、前記引き出し部材に対して移動方向と交差する方向に押し当てることにより前記張力を増加させる張力増加部が、それぞれ設けられている搬送装置の制御方法であって、
前記搬送部の移動方向を検出するステップと、
前記搬送部が前記滑車に近づく方向に移動するときには、前記張力増加部の内、前記滑車と前記搬送部との間の第１張力増加部を、前記引き出し部材に対して押し当てるステップと、
前記搬送部が前記滑車から離れる方向に移動するときには、前記張力増加部の内、前記滑車と前記錘部との間の第２張力増加部を、前記引き出し部材に対して押し当てるステップと、
を有することを特徴とする搬送装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置及びこの搬送装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、搬送装置としては、クリーンルーム内で作業を行うクリーンロボットにおいて、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、この作業用ロボット及び制御装置内部の空気の流れを作業用ロボットの隙間から吸入し、クリーンロボット全体の下部より排気するように設けたことを特徴とするクリーンロボットが知られている（例えば特許文献１参照）。
このクリーンロボットは、作業用ロボットの移動に伴い発生する塵埃を、作業用ロボットの上部の隙間から吸入し、クリーンロボット全体の下部より排気することで、塵埃がクリーンルーム内に飛散するのを防止することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平２−４１８８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図５の特許文献１のクリーンロボットの概略構成を示す模式斜視図に示すように、上記クリーンロボット１０１は、作業用ロボット１０２と制御装置１０３とを繋ぐケーブルキャリア（ケーブルと、ケーブルを覆い保護するチェーン状の部材とがユニット化されたもの）１０４が、作業用ロボット１０２の下方の筐体１０５上に載置されている。
クリーンロボット１０１は、作業用ロボット１０２の移動に連動してケーブルキャリア１０４が、筐体１０５上を黒矢印方向に無限軌道状に摺動することによって、ケーブルキャリア１０４自体及び筐体１０５のケーブルキャリア１０４との摺動部分から塵埃が発生することがある。
なお、白抜き矢印は、特許文献１で述べられている排気用ファン１０８によって生じるクリーンルーム内の空気の流れを示す。
【０００５】
ここで、図５に示すように、クリーンロボット１０１は、ケーブルキャリア１０４が作業用ロボット１０２の下部に設けられた移動機構１０６の側方に配置されている。
この位置関係により、クリーンロボット１０１は、上記塵埃を移動機構１０６の上面側に設けられている隙間１０７から、排気用ファン１０８を用いても十分に吸入できない虞がある。
この結果、クリーンロボット１０１は、作業用ロボット１０２の扱うワーク（被作業物）に上記塵埃が付着することにより、ワークに対して塵埃に起因した、例えば、作動不良や性能劣化などの不具合を発生させる虞がある。
また、クリーンロボット１０１は、ケーブルキャリア１０４が作業用ロボット１０２の下部に設けられた移動機構１０６の側方に配置されていることから、ケーブルキャリア１０４のこの配置によって小型化が阻害されている虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる搬送装置は、ベース部と、前記ベース部上に設けられた搬送ガイド部と、前記搬送ガイド部に沿って移動可能な搬送部と、前記搬送部から、前記ベース部及び前記搬送ガイド部との間に空隙を有して引き出された引き出し部材と、前記引き出し部材に対して、前記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部と、を備え、前記張力付加部は、前記搬送部の搬送範囲の外側に設けられていることを特徴とする。
【０００８】
これによれば、搬送装置は、ベース部（筐体に相当）上に設けられた搬送ガイド部（移動機構に相当）と、搬送ガイド部に沿って移動可能な搬送部（作業用ロボットに相当）と、搬送部から周囲の構成部材との間に空隙を有して引き出された引き出し部材（ケーブルキャリアのケーブルに相当）と、引き出し部材に上記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部と、を備え、張力付加部が搬送範囲の外側に設けられている。
【０００９】
このことから、搬送装置は、引き出し部材と、周囲のベース部及び搬送ガイド部との接触による塵埃の発生を回避することができる。
また、搬送装置は、張力付加部が搬送範囲の外側に設けられていることから、張力付加部に発生する塵埃の搬送部への飛散を、張力付加部が搬送範囲内に設けられている場合と比較して、低減することができる。
これらの結果、搬送装置は、搬送部上のワーク（被搬送物）への塵埃の付着を低減できることから、塵埃の付着に起因したワークの不具合の発生を抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる搬送装置において、前記引き出し部材は、前記搬送部の移動方向の一方側と、前記一方側とは反対側の他方側とにそれぞれ引き出され、前記張力付加部は、前記一方側と前記他方側とのそれぞれに設けられていることが好ましい。
【００１１】
これによれば、搬送装置は、引き出し部材が、搬送部の移動方向の一方側と他方側とにそれぞれ引き出され、張力付加部が、一方側と他方側とのそれぞれに設けられている。
このことから、搬送装置は、搬送部と共に移動中の引き出し部材に、一方側と他方側とでバランスよく張力が加えられ、搬送部の位置ずれの低減や引き出し部材の弛みの発生を抑制することができる。
したがって、搬送装置は、引き出し部材とベース部及び搬送ガイド部との接触による塵埃の発生を確実に回避することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる搬送装置において、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた伸縮性を有する弾性部材により、前記引き出し部材に対して前記張力を加える構成であることが好ましい。
【００１３】
これによれば、搬送装置は、張力付加部が、引き出し部材に取り付けられた伸縮性を有する弾性部材により、引き出し部材に対して張力を加える構成である。
このことから、搬送装置は、伸縮性を有する弾性部材として、例えば、汎用的なぜんまいバネ（渦巻きバネ）を用いることにより、簡易な構成によって、引き出し部材に対して張力を加えることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる搬送装置において、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた錘部と、前記錘部を前記引き出し部材と共に吊り下げる吊り下げ部と、を備え、吊り下げられた前記錘部の質量により、前記引き出し部材に対して前記張力を加える構成であることが好ましい。
【００１５】
これによれば、搬送装置は、張力付加部が、引き出し部材に取り付けられた錘部と、錘部を引き出し部材と共に吊り下げる吊り下げ部と、を備え、吊り下げられた錘部の質量により、引き出し部材に対して張力を加える構成である。
このことから、搬送装置は、錘部と吊り下げ部との簡易な構成によって、引き出し部材に対して張力を加えることができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる搬送装置において、前記吊り下げ部は、滑車を備え、前記錘部と前記引き出し部材とが、前記滑車を介して吊り下げられていることが好ましい。
【００１７】
これによれば、搬送装置は、吊り下げ部が、滑車を備え、錘部と引き出し部材とが、滑車を介して吊り下げられている。
このことから、搬送装置は、滑車によって引き出し部材の移動がスムーズとなり、引き出し部材の弛みや過負荷（引っ掛かりなどによる過張力）を低減できると共に、吊り下げ部における塵埃の発生を抑制できる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかる搬送装置において、前記張力付加部における前記滑車と前記搬送部との間、及び前記滑車と前記錘部との間の少なくとも一方には、前記引き出し部材に対して移動方向と交差する方向に押し当てることにより前記張力を増加させる張力増加部が、設けられていることが好ましい。
【００１９】
これによれば、搬送装置は、張力付加部における滑車と搬送部との間、及び滑車と錘部との間の少なくとも一方に、引き出し部材に対して、引き出し部材の移動方向と交差する方向に押し当てることにより張力を増加させる張力増加部が設けられている。
このことから、搬送装置は、例えば、搬送部が滑車に近づく方向に移動するときには、滑車と搬送部との間の引き出し部材に対して張力増加部を押し当て、搬送部が滑車から離れる方向に移動するときには、滑車と錘部との間の引き出し部材に対して張力増加部を押し当てることにより、各移動方向における引き出し部材の弛みや滑車からの脱落を回避することができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかる搬送装置において、前記搬送部の移動時の加速度が、重力加速度以下であることが好ましい。
【００２１】
これによれば、搬送装置は、搬送部の移動時の加速度が、重力加速度（約９．８ｍ／ｓｅｃ2）以下であることから、加速度に伴って発生する慣性力による引き出し部材の弛みを抑制することができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例にかかる搬送装置において、前記引き出し部材は、平面視において、前記搬送ガイド部と重なるように引き出されていることが好ましい。
【００２３】
これによれば、搬送装置は、引き出し部材が、平面視において、搬送ガイド部と重なるように引き出されていることから、省スペース化を図ることができる。
【００２４】
［適用例９］本適用例にかかる搬送装置の制御方法は、ベース部と、前記ベース部上に設けられた搬送ガイド部と、前記搬送ガイド部に沿って移動可能な搬送部と、前記搬送部から、前記ベース部及び前記搬送ガイド部との間に空隙を有して引き出された引き出し部材と、前記引き出し部材に対して、前記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部と、を備え、前記張力付加部は、前記引き出し部材に取り付けられた錘部と、前記錘部を前記引き出し部材と共に滑車を介して吊り下げる吊り下げ部と、を備え、吊り下げられた前記錘部の質量により、前記引き出し部材に対して前記張力を加え、前記滑車と前記搬送部との間、及び前記滑車と前記錘部との間には、前記引き出し部材に対して移動方向と交差する方向に押し当てることにより前記張力を増加させる張力増加部が、それぞれ設けられている搬送装置の制御方法であって、前記搬送部の移動方向を検出するステップと、前記搬送部が前記滑車に近づく方向に移動するときには、前記張力増加部の内、前記滑車と前記搬送部との間の第１張力増加部を、前記引き出し部材に対して押し当てるステップと、前記搬送部が前記滑車から離れる方向に移動するときには、前記張力増加部の内、前記滑車と前記錘部との間の第２張力増加部を、前記引き出し部材に対して押し当てるステップと、を有することを特徴とする。
【００２５】
これによれば、搬送装置の制御方法は、搬送部が滑車に近づく方向に移動するときには、滑車と搬送部との間の第１張力増加部を引き出し部材に対して押し当て、搬送部が滑車から離れる方向に移動するときには、滑車と錘部との間の第２張力増加部を引き出し部材に対して押し当てるように制御する。
このことから、搬送装置の制御方法は、各移動方向における張力を、各移動方向に応じた場所で各張力増加部を引き出し部材に対して押し当てることで増加させることにより、引き出し部材の弛みや滑車からの脱落を効率的に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】搬送ユニットを備えた組み立て装置の概略構成を示す模式斜視図。
【図２】（ａ）は、図１の搬送ユニットのＺ軸方向から俯瞰した模式平面図であり、（ｂ）は、図１の搬送ユニットのＸ軸方向から矢印Ａ視した模式側面図。
【図３】変形例の搬送ユニットの概略構成を示す要部模式側面図であり、（ａ）は、搬送部が滑車に近づく方向に移動している状態を示す側面図、（ｂ）は、搬送部が滑車から離れる方向に移動している状態を示す側面図。
【図４】搬送ユニットの制御方法を示すフローチャート。
【図５】特許文献１のクリーンロボットの概略構成を示す模式斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００２８】
（実施形態）
最初に、搬送装置の一例としての搬送ユニットについて説明する。
図１は、搬送ユニットを備えた組み立て装置の概略構成を示す模式斜視図であり、図２（ａ）は、図１の搬送ユニットのＺ軸方向から俯瞰した模式平面図であり、図２（ｂ）は、図１の搬送ユニットのＸ軸方向から矢印Ａ視した模式側面図である。なお、説明の便宜上、各構成部材は簡略化されており、各構成部材の寸法比率は実際と異なる。
【００２９】
図１、図２に示すように、組み立て装置５は、ベース部１０を含む搬送ユニット１，２と、ベース部１０上に立設された実装ユニット５０と、ベース部１０上に配置され、実装ユニット５０、搬送ユニット１，２の主要部分を覆う着脱可能な防塵カバー６０と、を備えている。
【００３０】
本実施形態の搬送ユニット１は、略フレーム状の脚部に平板状の天板（ステージ）が固定されたベース部１０と、ベース部１０の上面（＋Ｚ側の面）に設けられた搬送ガイド部２０と、搬送ガイド部２０に沿って移動可能な搬送部３０と、搬送部３０から、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙（隙間）を有して引き出された引き出し部材３１ａ，３１ｂと、引き出し部材３１ａ，３１ｂに対して、上記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部４０ａ，４０ｂと、を備えている。
【００３１】
搬送ガイド部２０は、Ｙ軸方向に直線状に延びるように設けられている。搬送ガイド部２０は、Ｙ軸方向に直線状に延びる細長い箱状の筐体２１と、Ｙ軸方向に直線状に延び、外周に螺旋状の外歯が形成されたねじ軸２２と、内周に螺旋状の内歯が形成され、ねじ軸２２と図示しないボールを介して噛み合うナット２３と、ねじ軸２２を回転させる駆動モーター２４と、を備えている。
筐体２１の上面（＋Ｚ側の面）には、細長いガイド孔２５が長手方向をＹ軸方向に沿わせて直線状に設けられ、ガイド孔２５を通して筐体２１内のナット２３と筐体２１上の搬送部３０とが連結されている。
【００３２】
搬送部３０は、略四角い箱状を成しており、下面（−Ｚ側の面）がナット２３と連結され、上面（＋Ｚ側の面）がワーク３２の載置面となっている。
搬送部３０は、外部からの入力（制御）による駆動モーター２４を介した搬送ガイド部２０のねじ軸２２の回転によって、搬送ガイド部２０に沿ってＹ軸方向に移動（搬送）可能な構成となっている。なお、搬送部３０の搬送範囲（移動範囲）は、搬送ガイド部２０の全長より短くなっており、ワーク３２毎に適宜設定される。
なお、搬送部３０の移動時の加速度は、加速度により生じる慣性力を抑制するために、重力加速度（約９．８ｍ／ｓｅｃ2）以下であることが好ましい。
【００３３】
搬送部３０の移動方向の一方側（＋Ｙ側）の側面からは、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を有した状態で、平面視において、搬送ガイド部２０と重なるように引き出し部材３１ａが引き出され、一方側とは反対側の他方側（−Ｙ側）の側面からは、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を有した状態で、平面視において、搬送ガイド部２０と重なるように引き出し部材３１ｂが引き出されている。
なお、防塵カバー６０には、引き出し部材３１ａ，３１ｂが接触することなく通り抜けできるように切り欠き部が設けられている。また、防塵カバー６０には、内部の状態を視認可能なように透明材料が用いられている。
【００３４】
引き出し部材３１ａ，３１ｂは、例えば、ワーク３２を搬送部３０の載置面に吸着するための吸引ホース、搬送部３０に組み込まれた構成部材への電源供給ケーブル及び入出力信号伝達ケーブルなどを含んでいる。引き出し部材３１ａ，３１ｂの先端は、図示しない外部機器（例えば、吸引機、電源、制御機器など）に接続されている。
引き出し部材３１ａ，３１ｂは、延在方向と直交する方向に切断した断面形状が、略円形状であれば、後述する滑車４１ａ，４１ｂとの接触抵抗が少ないので好ましいが、入手の容易さの観点から、断面形状が扁平な、所謂フラットケーブル状であってもよい。
なお、引き出し部材３１ａ，３１ｂの一方は、上記吸引ホース、電源供給ケーブル及び入出力信号伝達ケーブルなどの機能を有さないダミーケーブル（模擬部材）であってもよい。また、引き出し部材３１ａ，３１ｂの搬送部３０側は、搬送部３０内の接続部分に直接張力が加わらないようにするストッパー機構などを備えて構成されていることが好ましい。
【００３５】
張力付加部４０ａ，４０ｂは、搬送部３０の搬送範囲の外側であるベース部１０の側面に設けられている。詳述すると、張力付加部４０ａは、搬送部３０の移動方向の一方側（＋Ｙ側）であるベース部１０の＋Ｙ側の側面に設けられ、張力付加部４０ｂは、搬送部３０の移動方向の他方側（−Ｙ側）であるベース部１０の−Ｙ側の側面に設けられている。
張力付加部４０ａは、引き出し部材３１ａを搬送ガイド部２０に沿って、＋Ｙ側にガイドし、ベース部１０の＋Ｙ方向の外側で−Ｚ方向へ吊り下げる滑車４１ａと、引き出し部材３１ａの−Ｚ方向へ吊り下げられた部分に取り付けられた伸縮性を有する弾性部材としてのぜんまいバネ（渦巻きバネ）４２ａと、を備えている。
張力付加部４０ａは、伸縮するぜんまいバネ４２ａのバネ力（巻き取り力）を利用して、引き出し部材３１ａに対して、上記空隙を保持可能な張力を常時加えている。
【００３６】
同様に、張力付加部４０ｂは、引き出し部材３１ｂを搬送ガイド部２０に沿って、−Ｙ側にガイドし、ベース部１０の−Ｙ方向の外側で−Ｚ方向へ吊り下げる滑車４１ｂと、引き出し部材３１ｂの−Ｚ方向へ吊り下げられた部分に取り付けられた伸縮性を有する弾性部材としてのぜんまいバネ（渦巻きバネ）４２ｂと、を備えている。
張力付加部４０ｂは、伸縮するぜんまいバネ４２ｂのバネ力（巻き取り力）を利用して、引き出し部材３１ｂに対して、上記空隙を保持可能な張力を常時加えている。
なお、滑車４１ａ，４１ｂの溝形状は、引き出し部材３１ａ，３１ｂが溝の中心に収まり易く外れ難い、Ｘ軸方向に沿った断面形状がＶ字型をした溝形状が好ましい。
また、伸縮性を有する弾性部材としては、ぜんまいバネ（渦巻きバネ）に限定されるものではなく、引張りコイルバネ、チューブ状や帯状のゴム系部材などであってもよい。
なお、張力付加部４０ａ，４０ｂの張力は、上記空隙量、搬送部３０の移動速度、引き出し部材３１ａ，３１ｂの形状、サイズ、質量などによって適宜設定される。
【００３７】
搬送ユニット２は、搬送ユニット１と同様の構成であることから、詳細な説明を省略する。搬送ユニット２は、ベース部１０の上面に搬送ユニット１とＸ軸方向に並んで設けられている。
搬送ユニット２の搬送部２３０には、例えば、搬送ユニット１のワーク３２と異なる種類のワーク２３２が搭載されている。
【００３８】
実装ユニット５０は、実装部５１と、実装部５１をガイドする搬送ガイド部５２と、を備えている。
搬送ガイド部５２は、Ｙ軸方向から見た形状が略門型形状をしており、ベース部１０の上面に搬送ユニット１，２を跨いで、Ｘ軸方向に延びるように設けられている。
実装部５１は、搬送ガイド部５２に沿って搬送ユニット１，２の上方をＸ軸方向に移動可能な構成となっている。
これにより、実装部５１の移動方向と搬送部３０，２３０の移動方向とは、直交することになる。
実装部５１の先端部５３は、Ｚ軸方向へ移動可能であり、例えば、ワーク３２，２３２を着脱したり、ワーク３２，２３２へ接着剤、導電ペーストなどの塗布物を塗布したりするなどの、物の組み立て（実装）に関わる機能を有している。なお、実装部５１（搬送ガイド部５２）の移動機構は、搬送ユニット１に準じた構成となっている。
【００３９】
上述した構成の組み立て装置５は、例えば、水晶振動子の組み立てに用いられる。水晶振動子のような塵埃を嫌う超小型精密製品の組み立ては、クリーンルーム内で行われるのが一般的である。
ここで、組み立て装置５を用いた水晶振動子の組み立て方法について、一例を具体的に説明する。
【００４０】
まず、搬送ユニット１の搬送ガイド部２０上における＋Ｙ側の所定の位置で停止している搬送部３０の載置面（上面）に、ワーク３２としての複数個取りされたパッケージベースを搭載（吸着）する。
ついで、駆動モーター２４を回転させ、搬送部３０を実装部５１の移動経路と交わる−Ｙ側の位置に移動する。
このとき、搬送部３０の移動に連動して、引き出し部材３１ａ，３１ｂも移動することになる。詳述すると、引き出し部材３１ａは、ベース部１０の＋Ｙ側の側面側から滑車４１ａを介して上面側の−Ｙ方向へ引き出され、引き出し部材３１ｂは、ベース部１０の上面側から滑車４１ｂを介して−Ｙ側の側面側の−Ｚ方向へ引き戻される。
【００４１】
ここで、引き出し部材３１ａ，３１ｂには、取り付けられた張力付加部４０ａ，４０ｂのぜんまいバネ４２ａ，４２ｂによって、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を保持可能な張力が常時加わっている。
これにより、引き出し部材３１ａ，３１ｂは、上記移動に際してベース部１０及び搬送ガイド部２０との接触が回避され、この接触に起因する塵埃の発生が回避される。これは、以降の引き出し部材３１ａ，３１ｂが逆方向へ移動する工程においても、搬送ユニット２においても同様である。
【００４２】
ついで、実装部５１を搬送部３０のワーク（パッケージベース）３２の直上に移動する。
ついで、先端部５３を−Ｚ側に移動し、固定用の導電性接着剤をワーク（パッケージベース）３２に塗布する。なお、この工程や以降の工程における位置合わせは、図示しない画像認識装置などにより行う。
ついで、搬送ユニット２の搬送ガイド部２２０上における＋Ｙ側の所定の位置で停止している搬送部２３０の載置面（上面）に、ワーク２３２としてのトレイに収容された複数の水晶振動片を搭載する。
ついで、搬送部２３０を実装部５１の移動経路と交わる−Ｙ側の位置に移動する。
ついで、実装部５１を搬送部２３０のワーク（水晶振動片）２３２の直上に移動する。
ついで、実装部５１の先端部５３を−Ｚ側に移動し、ワーク（水晶振動片）２３２を吸着した後、先端部５３を＋Ｚ側に移動し元の位置に戻す。
【００４３】
ついで、実装部５１を搬送部３０のワーク（パッケージベース）３２の直上に移動した後、実装部５１の先端部５３を−Ｚ側に移動し、ワーク（水晶振動片）２３２をワーク（パッケージベース）３２に、先に塗布した導電性接着剤を介して取り付ける（実装する）。
ついで、上記各工程を繰り返し、トレイ上のすべてのワーク（水晶振動片）２３２の実装が終了したところで、搬送部３０を最初の位置（＋Ｙ側の所定の位置）に移動し、ワーク（水晶振動片）２３２が取り付けられたワーク（パッケージベース）３２を搬送部３０から取り外し、後工程に回す。以降この作業を繰り返す。
【００４４】
上述したように、本実施形態の搬送ユニット１は、ベース部１０上に設けられた搬送ガイド部２０と、搬送ガイド部２０に沿って移動可能な搬送部３０と、搬送部３０からベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を有して引き出された引き出し部材３１ａ，３１ｂと、引き出し部材３１ａ，３１ｂに上記空隙を保持可能な張力を加える張力付加部４０ａ，４０ｂと、を備え、張力付加部４０ａ，４０ｂが搬送部３０の搬送範囲（移動範囲）の外側に設けられている。
このことから、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂと、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との接触による塵埃の発生を回避することができる。
【００４５】
また、搬送ユニット１は、張力付加部４０ａ，４０ｂが搬送部３０の搬送範囲の外側に設けられていることから、張力付加部４０ａ，４０ｂに発生する塵埃の搬送部３０への飛散を、張力付加部４０ａ，４０ｂが、例えば、搬送部３０の搬送範囲内に設けられている場合と比較して、低減することができる。
加えて、搬送ユニット１は、防塵カバー６０が、搬送ガイド部２０と張力付加部４０ａ，４０ｂとの間に配置されていることから、張力付加部４０ａ，４０ｂに発生する塵埃の搬送部３０への飛散を、防塵カバー６０がない場合と比較して低減することができる。
これらの結果、搬送ユニット１は、搬送部３０上のワーク３２への塵埃の付着を低減できることから、塵埃の付着に起因したワーク３２の不具合の発生を抑制することができる。
【００４６】
また、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂが、搬送部３０の移動方向の一方側（＋Ｙ側）と他方側（−Ｙ側）とにそれぞれ引き出され、張力付加部４０ａ，４０ｂが、ベース部１０の側面の上記一方側と他方側とに設けられている。
このことから、搬送ユニット１は、搬送部３０と共に移動中の引き出し部材３１ａ，３１ｂに、一方側と他方側とでバランスよく張力が加えられ（換言すれば、搬送部３０の両側から引っ張ることにより、搬送部３０に働く慣性力を緩和できることで）、搬送部３０の位置ずれの低減や、引き出し部材３１ａ，３１ｂの弛みの発生を抑制することができる。
したがって、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂと、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との接触による塵埃の発生を確実に回避することができる。
【００４７】
また、搬送ユニット１は、張力付加部４０ａ，４０ｂが、引き出し部材３１ａ，３１ｂに取り付けられた伸縮性を有する弾性部材により、引き出し部材３１ａ，３１ｂに対して張力を加える構成である。
このことから、搬送ユニット１は、伸縮性を有する弾性部材として汎用的な（例えば、掃除機の電源コードや自動車のシートベルトの巻き取り機構などに広く用いられている）ぜんまいバネ（渦巻きバネ）４２ａ，４２ｂを用いることにより、簡易な構成によって、引き出し部材３１ａ，３１ｂに対して確実に張力を加えることができる。
【００４８】
また、搬送ユニット１は、張力付加部４０ａ，４０ｂが滑車４１ａ，４１ｂを備えていることから、滑車４１ａ，４１ｂによって引き出し部材３１ａ，３１ｂの移動がスムーズとなり、引き出し部材３１ａ，３１ｂの弛みや過負荷（引っ掛かりなどによる過張力）を低減できると共に、引き出し部材３１ａ，３１ｂと滑車４１ａ，４１ｂとの接触部分における塵埃の発生を抑制できる。
【００４９】
また、搬送ユニット１は、搬送部３０の移動時の加速度が、重力加速度（約９．８ｍ／ｓｅｃ2）以下であれば、加速度に伴って発生する慣性力による引き出し部材３１ａ，３１ｂの弛みを抑制することができる。
【００５０】
また、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂが、平面視において、搬送ガイド部２０と重なるように引き出されていることから、この配置によりベース部１０の省スペース化を図ることができる。
【００５１】
なお、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂと滑車４１ａ，４１ｂとの接触部分を覆う防塵カバーを設けることが好ましい。これによれば、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂと滑車４１ａ，４１ｂとの接触部分に生じる塵埃の、搬送部３０への飛散を更に低減することができる。
【００５２】
なお、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂの弛みや滑車４１ａ，４１ｂからの脱落の回避に支障がなければ、引き出し部材３１ａ，３１ｂ及び張力付加部４０ａ，４０ｂを、いずれか一方側（例えば、引き出し部材３１ａ及び張力付加部４０ａ）のみとしてもよい。また、防塵カバー６０は、例えば、クリーンルームのクリーン度が比較的高く、防塵に支障がなければ、除去してもよい。
なお、搬送ユニット１は、引き出し部材３１ａ，３１ｂと滑車４１ａ，４１ｂとの接触部分に生じる塵埃を、送風ファンなどによって搬送部３０の搬送範囲から遠ざかる方向に吹き飛ばすようにしてもよい。
また、搬送部３０は、搬送ガイド部２０の上面ではなく側面に配置されてもよい。
【００５３】
（変形例）
次に、上記実施形態の変形例について説明する。
図３は、変形例の搬送装置としての搬送ユニットの概略構成を示す要部模式側面図である。図３（ａ）は、搬送部が滑車に近づく方向に移動している状態を示す側面図であり、図３（ｂ）は、搬送部が滑車から離れる方向に移動している状態を示す側面図である。
なお、上記実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５４】
図３に示すように、変形例の搬送ユニット３は、張力付加部３４０ａが、引き出し部材３１ａに取り付けられた錘部３４２ａと、錘部３４２ａを引き出し部材３１ａと共に吊り下げる吊り下げ部３４３ａと、を備えている。そして、吊り下げ部３４３ａは、滑車３４１ａを備えている。
【００５５】
引き出し部材３１ａは、滑車３４１ａを介して搬送ガイド部２０に沿って、＋Ｙ側にガイドされ、ベース部１０の＋Ｙ方向の外側で−Ｚ方向へ吊り下げられている。
錘部３４２ａは、滑車３４１ａを介して吊り下げられた引き出し部材３１ａに、例えば、引き出し部材３１ａを取り巻くようにして取り付けられ、−Ｚ方向へ吊り下げられている。なお、錘部３４２ａには、鉄系や銅系の比較的比重の大きい金属などを用いることが好ましい。
搬送ユニット３は、滑車３４１ａを介して−Ｚ方向へ吊り下げられた錘部３４２ａの質量（重量）により、引き出し部材３１ａに対して、ベース部１０及び搬送ガイド部２０との間に空隙を保持可能な張力を加える構成となっている。
【００５６】
加えて、搬送ユニット３は、張力付加部３４０ａにおける滑車３４１ａと搬送部３０との間、及び滑車３４１ａと錘部３４２ａとの間の少なくとも一方（ここでは両方）に、引き出し部材３１ａに対して、引き出し部材３１ａの移動方向と交差する方向に押し当てることにより上記張力を増加させる張力増加部としての張力滑車３４４ａ，３４５ａが、設けられている。
滑車３４１ａと搬送部３０との間の第１張力増加部としての張力滑車３４４ａ、及び滑車３４１ａと錘部３４２ａとの間の第２張力増加部としての張力滑車３４５ａは、例えば、滑車３４１ａの回転軸を支点にして、シーソー状に遥動（回動）する支持枠３４６ａに取り付けられている。
支持枠３４６ａは、図示しないリンク機構などによって、シーソー状に遥動されることにより、張力滑車３４４ａ，３４５ａを引き出し部材３１ａに押し当てることが可能な構成となっている。
【００５７】
ここで、搬送ユニット３の上記張力滑車３４４ａ，３４５ａの押し当てに関する制御方法について、図４の搬送ユニットの制御方法を示すフローチャートを参照して説明する。
【００５８】
ステップＳ１０：まず、例えば、駆動モーター２４（ねじ軸２２）の回転方向などから搬送部３０の移動方向を検出する。
【００５９】
ステップＳ２０：ついで、搬送部３０の移動方向が＋Ｙ方向（搬送部３０が滑車３４１ａに近づく方向）か否かを確認し、＋Ｙ方向であれば、ステップＳ３０に移行し、＋Ｙ方向でなければ（−Ｙ方向（搬送部３０が滑車３４１ａから離れる方向）であれば）、ステップＳ４０に移行する。
【００６０】
ステップＳ３０：ついで、図３（ａ）に示すように、支持枠３４６ａを反時計回りに遥動（回動）させて、張力滑車３４４ａを引き出し部材３１ａに対して移動方向（＋Ｙ方向）と交差する方向（矢印Ｂ方向：ここでは略−Ｚ方向）に押し当て、引き出し部材３１ａの弛みを取ることで上記張力を増加させる。このとき、張力滑車３４５ａは、支持枠３４６ａの反時計回りの遥動により、引き出し部材３１ａから離れている。
【００６１】
ステップＳ４０：ついで、図３（ｂ）に示すように、支持枠３４６ａを時計回りに遥動させて、張力滑車３４５ａを引き出し部材３１ａに対して移動方向（ベース部１０上では−Ｙ方向であるが、張力滑車３４５ａの位置では、滑車３４１ａに吊り下げられて＋Ｚ方向となっている）と交差する方向（矢印Ｃ方向：ここでは略−Ｙ方向）に押し当て、引き出し部材３１ａの弛みを取ることで上記張力を増加させる。
このとき、張力滑車３４４ａは、支持枠３４６ａの時計回りの遥動により、引き出し部材３１ａから離れている。
【００６２】
ステップＳ５０：ついで、例えば、駆動モーター２４（ねじ軸２２）の回転の有無などから搬送部３０が停止したか否かを確認し、搬送部３０が停止していれば、ステップＳ６０へ移行し、搬送部３０が停止していなければ、移行直前のステップであるステップＳ３０またはステップＳ４０へ戻る。なお、この確認は、連続的または間欠的に行われる。
【００６３】
ステップＳ６０：ついで、支持枠３４６ａを遥動させて、張力滑車３４４ａまたは張力滑車３４５ａの引き出し部材３１ａに対する押し当てを解除する。
以降、上記フローを繰り返す。
【００６４】
上述したように、変形例の搬送ユニット３は、張力付加部３４０ａが、引き出し部材３１ａに取り付けられた錘部３４２ａと、錘部３４２ａを引き出し部材３１ａと共に吊り下げる吊り下げ部３４３ａと、を備え、吊り下げられた錘部３４２ａの質量により、引き出し部材３１ａに対して張力を加える構成である。
このことから、搬送ユニット３は、錘部３４２ａと吊り下げ部３４３ａとの簡易な構成によって、引き出し部材３１ａに対して張力を加えることができる。
これにより、搬送ユニット３は、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６５】
また、搬送ユニット３は、吊り下げ部３４３ａが、滑車３４１ａを備え、錘部３４２ａと引き出し部材３１ａとが、滑車３４１ａを介して吊り下げられている。
このことから、搬送ユニット３は、前述した実施形態と同様に、滑車３４１ａによって引き出し部材３１ａの移動がスムーズとなり、引き出し部材３１ａの弛みや過負荷（引っ掛かりなどによる過張力）を低減できると共に、吊り下げ部３４３ａにおける滑車３４１ａと引き出し部材３１ａとの接触による塵埃の発生を抑制できる。
【００６６】
また、搬送ユニット３は、張力付加部３４０ａにおける滑車３４１ａと搬送部３０との間、及び滑車３４１ａと錘部３４２ａとの間に、引き出し部材３１ａに対して、引き出し部材３１ａの移動方向と交差する方向に押し当てることにより張力を増加させる張力滑車３４４ａ，３４５ａが設けられている。
このことから、搬送ユニット３は、搬送部３０が滑車３４１ａに近づく方向に移動するときには、滑車３４１ａと搬送部３０との間の引き出し部材３１ａに対して張力滑車３４４ａを押し当て、搬送部３０が滑車３４１ａから離れる方向に移動するときには、滑車３４１ａと錘部３４２ａとの間の引き出し部材３１ａに対して張力滑車３４５ａを押し当てることにより、各移動方向における引き出し部材３１ａの弛みや滑車３４１ａからの脱落を回避することができる。
【００６７】
また、搬送ユニット３の制御方法は、搬送部３０の移動方向を検出し（ステップＳ１０）、移動方向によって（ステップＳ２０）、搬送部３０が滑車３４１ａに近づく方向に移動するときには、滑車３４１ａと搬送部３０との間の張力滑車３４４ａを引き出し部材３１ａに対して押し当て（ステップＳ３０）、搬送部３０が滑車３４１ａから離れる方向に移動するときには、滑車３４１ａと錘部３４２ａとの間の張力滑車３４５ａを引き出し部材３１ａに対して押し当てる（ステップＳ４０）ように制御する。
このことから、搬送ユニット３の制御方法は、各移動方向における引き出し部材３１ａに対する張力を、各移動方向に応じた場所で張力滑車３４４ａ，３４５ａを押し当てることによって増加させることにより、例えば、錘部３４２ａや引き出し部材３１ａに働く慣性力による引き出し部材３１ａの弛みや滑車３４１ａからの脱落を効率的に回避することができる。
【００６８】
なお、引き出し部材３１ａに対する張力滑車３４４ａ，３４５ａの押し当ての程度は、搬送部３０の停止時における引き出し部材３１ａに対する張力、引き出し部材３１ａの弛みの度合い、搬送部３０の移動速度（移動加速度）などに応じて適宜設定される。
なお、図３では、張力滑車３４４ａ，３４５ａを含む張力付加部３４０ａは、ベース部の＋Ｙ側に設けられているが、ベース部の−Ｙ側に設けられていてもよく、＋Ｙ側、−Ｙ側の両側に設けられていてもよい。
また、張力滑車３４４ａ，３４５ａは、いずれか一方のみが備えられていてもよく、両方とも備えられていなくてもよい（つまり、張力滑車３４４ａ，３４５ａは、引き出し部材３１ａの弛みや滑車３４１ａからの脱落などの回避に支障がなければ、なくてもよい）。
なお、張力滑車３４４ａ，３４５ａは、上記実施形態にも適用可能である。
【符号の説明】
【００６９】
１，２…搬送装置としての搬送ユニット、５…組み立て装置、１０…ベース部、２０…搬送ガイド部、２１…筐体、２２…ねじ軸、２３…ナット、２４…駆動モーター、２５…ガイド孔、３０…搬送部、３１ａ，３１ｂ…引き出し部材、３２…ワーク、４０ａ，４０ｂ…張力付加部、４１ａ，４１ｂ…滑車、４２ａ，４２ｂ…伸縮性を有する弾性部材としてのぜんまいバネ、６０…防塵カバー。
【図１】
2013035665.tif 000003
【図２】
2013035665.tif 000004
【図３】
2013035665.tif 000005
【図４】
2013035665.tif 000006
【図５】
2013035665.tif 000007