(57)【要約】  【課題】  安全かつ簡便に透明ガスバリアフィルムの欠陥を検出することができる欠陥検出方法、欠陥検出試験体、および欠陥検出装置を提供する。  【解決手段】  バリア層１３を有する透明ガスバリアフィルム１５の一方の面に、水分の接触により色が変化する吸湿材１７を密着させ、透明ガスバリアフィルム１５の欠陥を通過して吸湿材１７に接触した水分により変化した吸湿材１７の色に基づいて、透明ガスバリアフィルム１５の欠陥を検出する。透明ガスバリアフィルム１５のバリア層１３にクラックやピンホールなど欠陥が生じている場合には、その欠陥を通過して水分（水蒸気）が吸湿材１７に接触し、吸湿材１７が変色する。そのため、吸湿材１７の色の変化を確認することにより欠陥の位置を確認することができる。【選択図】図１
2013158999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バリア層を有する透明ガスバリアフィルムの一方の面に、水分の接触により色が変化する吸湿材を密着させ、前記透明ガスバリアフィルムの欠陥を通過して前記吸湿材に接触した水分により変化した前記吸湿材の色に基づいて、前記透明ガスバリアフィルムの欠陥を検出する
ことを特徴とする透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法。
【請求項２】
前記吸湿材はシート状の形状であり、
前記吸湿材の前記透明ガスバリアフィルムと密着する面と反対の面を、水蒸気透過度が当該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度よりも低い水蒸気バリア性材料を密着させて覆う
ことを特徴とする請求項１に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法。
【請求項３】
前記水蒸気バリア性材料と前記透明ガスバリアフィルムとの間をシールして、前記吸湿材に前記透明ガスバリアフィルムの欠陥箇所以外から水分が侵入することを抑制するシール材を配置する
ことを特徴とする請求項２に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法。
【請求項４】
前記吸湿材は、多孔質材料、塩化カルシウム、炭酸カルシウム、パルプ、紙、布、および不織布からなる群から選ばれる１種あるいは２種以上の複合体であって、吸湿により色変化を示す
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法。
【請求項５】
バリア層を有する透明ガスバリアフィルムと、水分の接触により色が変化するシート状の吸湿材と、水蒸気透過度が当該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度よりも低い水蒸気バリア性材料と、をこの順に積層してなる
ことを特徴とする透明ガスバリアフィルムの欠陥検出試験体。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法に用いる欠陥検出装置であって、
内部を所望の温度および湿度に維持するチャンバと、
バリア層を有する透明ガスバリアフィルムの一方の面に水分の接触により色が変化する吸湿材を密着させた試験体を複数保持可能であって、前記チャンバ内において前記試験体それぞれが接触しないように、かつ、前記試験体を前記チャンバの底面から所定の間隔を空けて保持する保持手段と、を有する
ことを特徴とする欠陥検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、酸素や水分と接触することにより品質が低下する製品を包装する包装容器として用いることのできる、ガスバリア性を有するフィルムが多数提案されている。それらのうち、透明プラスチックフィルムに透明無機酸化物などからなるバリア層を形成した透明ガスバリアフィルムは、内容物の確認を容易に行うことができ便利である。
【０００３】
このような透明ガスバリアフィルムは、目視では容易に判別できないバリア層の欠陥（クラック、ピンホール）が発生している場合があり、その場合には高度なバリア性を保つことができない。そこで、欠陥の発見を簡便に行うことができる方法が望まれている。
【０００４】
従来、ガスバリアフィルムの欠陥を発見する方法として、金属カルシウムの腐食する状況を画像解析し、透湿度に換算する方法（特許文献１参照）、異なる分子半径のガスを少なくとも２種類用い、各ガスの透過量を別々に測定しそれぞれの透過係数を求め、透過係数比からフィルムの欠陥を発見する方法（特許文献２参照）、分子鎖中に不飽和結合を有する粘着材を塗布した保護フィルムに試験フィルムを貼り合せて沃素ガス中に放置し、沃素が粘着材に接触して生じる発色濃度差により欠陥を発見する方法（特許文献３参照）が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４４０７４６６号公報
【特許文献２】特許第３３００２３２号公報
【特許文献３】特許第４５７００４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した特許文献１，２の方法は、測定に用いる設備が高価であり、簡便に用いることが難しかった。さらに特許文献２は、欠陥の位置を特定することができなかった。また特許文献３の方法は沃素を用いるため、安全性を保つため様々な設備や操作が必要となるという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、安全かつ簡便に透明ガスバリアフィルムの欠陥を検出することができる欠陥検出方法、欠陥検出試験体、および上記欠陥検出方法に用いる欠陥検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した問題を解決するためになされた請求項１に記載の発明は透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法に関する。本発明における透明ガスバリアフィルムとは、光透過性を有する樹脂性の基材フィルムに、酸化ケイ素、酸化アルミニウムなどの無機酸化物を一例とする光透過性を有するバリア層を形成してなるものであり、光透過性とガスバリア性とを有するものである。
【０００９】
本発明では、バリア層を有する透明ガスバリアフィルムの一方の面に、水分の接触により色が変化する吸湿材を密着させ、上記透明ガスバリアフィルムの欠陥を通過して吸湿材に接触した水分により変化した上記吸湿材の色に基づいて、透明ガスバリアフィルムの欠陥を検出することを特徴とする。
【００１０】
このような欠陥検出方法では、透明ガスバリアフィルムのバリア層にクラックやピンホールなど欠陥が生じている場合には、その欠陥を通過して水分（水蒸気）が吸湿材に接触し、吸湿材が変色する。そのため、吸湿材の色の変化を確認することにより欠陥の位置を確認することができる。
【００１１】
また本欠陥検出方法では、例えば沃素のような毒性のある材料を用いることなく、また高価な設備も必須ではないので、簡便に欠陥の位置を確認することができる。
なお、上記欠陥検出方法において、透明ガスバリアフィルムと吸湿材とは、透明ガスバリアフィルムの欠陥を通過した水蒸気がその位置で吸湿材に接触して吸収されるように、換言すると、透明ガスバリアフィルムと吸湿材との間において気体の自由な移動が困難である程度に密着していればよい。
【００１２】
また、透明ガスバリアフィルムと吸湿材の間に他の材料の層が設けられていてもよい。例えば、透明ガスバリアフィルムと吸湿材とを接着する接着剤層を形成することが考えられる。このような他の材料の層を設ける場合には、その層はある程度の水蒸気透過性を有するものとし、またその層において欠陥を通過した水蒸気が広く拡散しない厚さとすることが好ましい。
【００１３】
欠陥の有無の判定は、吸湿材の色変化を目視で行うことにより実行してもよいが、色の変化が小さい場合や確認すべき範囲が広い場合などは画像処理を行うことで効率的に欠陥を検出できる。例えば、吸湿材の画像をカメラやイメージスキャナで取り込み、試験前の色よりも所定の閾値以上色が変化した箇所や、周囲よりも所定の閾値以上色が変化している箇所を欠陥として検出することが考えられる。また画像処理によって色が変化した箇所を明りょうにすることで、目視での確認を容易にしてもよい。
【００１４】
上述した吸湿材は、シート状の形状とすることができる。そして、吸湿材の上記透明ガスバリアフィルムと密着する面と反対の面を、水蒸気透過度が当該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度よりも低い水蒸気バリア性材料を密着させて覆った状態で透明ガスバリアフィルムの欠陥検出を行ってもよい。
【００１５】
このように水蒸気バリア性材料を吸湿材における透明ガスバリアフィルムの反対側面に密着させることで、その面において水蒸気と接触して変色してしまうことを抑制でき、欠陥の検出精度を高めることができる。
【００１６】
上述したように水蒸気バリア性材料を用いる場合には、水蒸気バリア性材料と透明ガスバリアフィルムとの間をシールして、吸湿材に透明ガスバリアフィルムの欠陥箇所以外から水分が侵入することを抑制するシール材を配置した状態で透明ガスバリアフィルムの欠陥検出を行ってもよい。
【００１７】
吸湿材としては、例えば、ゼオライト、シリカゲル、多孔質シリカ、多孔質アルミナ、多孔質ガラス、多孔質酸化チタンなどの多孔質材料や、パルプ、紙、布、不織布、あるいは炭酸カルシウムや塩化カルシウムのような化学的吸湿剤などを使用することができる。これらの材料は単独で用いてもよいし、複数の材料からなる複合体としてもよい。
【００１８】
このような吸湿材料は吸湿した際の色変化が大きくない場合があるため、そのような場合には、吸湿により色変化を示す材料（湿度インジケータ）を含有させるとよい。湿度インジケータとしては、例えば、塩化コバルト、臭化コバルト、ローダミン、クリスタルバイオレットなどを用いることができる。また、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリビニルアルコール、グアーガムのように水分を吸収すると透明になるものを湿度インジケータとして用いてもよい。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、バリア層を有する透明ガスバリアフィルムと、水分の接触により色が変化するシート状の吸湿材と、水蒸気透過度が当該透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度よりも低い水蒸気バリア性材料と、をこの順に積層してなることを特徴とする透明ガスバリアフィルムの欠陥検出試験体である。
【００２０】
この欠陥検出試験体では、透明ガスバリアフィルムのバリア層にクラックやピンホールなど欠陥が生じている場合には、その欠陥を通過して水分（水蒸気）が吸湿材に接触し、吸湿材が変色する。そのため、吸湿材の色の変化を確認することにより欠陥の位置を確認することができる。
【００２１】
また本欠陥検出試験体では、例えば沃素のような毒性のある材料を用いることなく、また高価な設備も必須ではないので、簡便に欠陥の位置を確認することができる。
上述した欠陥検出方法では、水分が欠陥を通過するまで、水蒸気を有する環境下に試験体を置く必要がある。その場合、ある程度高温であり、高湿度である環境下に試験体を置くことにより迅速に結果を出すことができるようになる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法に用いる欠陥検出装置であって、内部を所望の湿度および温度に維持するチャンバと、バリア層を有する透明ガスバリアフィルムの一方の面に水分の接触により色が変化する吸湿材を密着させた試験体を複数保持可能であって、上記チャンバ内において試験体それぞれが接触しないように、かつ、試験体をチャンバの底面から所定の間隔を空けて保持する保持手段と、を有することを特徴とする欠陥検出装置である。
【００２３】
このような欠陥検出装置であれば、透明ガスバリアフィルムに欠陥がある場合にはその欠陥から迅速に水分を通過させることができ、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法を迅速に実行することができる。
【００２４】
また試験体を高圧環境下に置いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１（ａ），（ｂ），（ｄ）は透明ガスバリアフィルムと吸湿材とを積層した試験サンプルを示す模式的な側面図であり、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。
【図２】実施例の試験体を示す模式的な側面図である。
【図３】保持部材を示す斜視図である。
【図４】質量変化量と時間の関係を示すグラフである。
【図５】図５（ａ）は試験前の吸湿材の外観写真であり、図５（ｂ）は試験後の吸湿材の外観写真である。
【図６】吸湿材の一部を拡大したＳＥＭ画像である。
【図７】吸湿材の外観写真を画像解析ソフトで着色した画像である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の透明ガスバリアフィルムの欠陥検出方法では、バリア層を有する透明ガスバリアフィルムの一方の面に、水分の接触により色が変化する吸湿材を密着させ、透明ガスバリアフィルムの欠陥を通過して吸湿材に接触した水分により変化した吸湿材の色に基づいて、欠陥を検出する。
【００２７】
以下に、欠陥検出の対象となる透明ガスバリアフィルムと、吸湿材およびその他の試験体（サンプル）作製に用いる材料について説明する。
（ｉ）透明ガスバリアフィルム
透明ガスバリアフィルムは、光透過性を有する基材フィルムと、基材フィルム上に形成される光透過性を有するバリア層と、からなる。基材フィルムの材料の一例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリ乳酸などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００２８】
バリア層は、Ｓｉ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｃｅ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｃａ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｂを少なくとも１種以上含む酸化物、窒化物、酸化窒化物もしくはハロゲン化合物を用いることができる。バリア層の厚さは５〜３００ｎｍの範囲とすることができるが、高いバリア性を得るためには３０ｎｍ以上とすることが好ましく、フレキシビリティを向上させてクラック等の発生を抑制するためには１００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００２９】
基材フィルム上にバリア層を形成する方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、プラズマ蒸着法などの公知の物理蒸着法や公知の化学蒸着法を用いることができる。
【００３０】
（ｉｉ）吸湿材
吸湿材としては、水分と接触して吸収・吸着することにより色が変化する機能を有するものを用いる。吸湿材自体が水分と接触することにより変色する材料からなるものであってもよいし、吸湿性を有する材料に吸湿により色変化を示す材料（湿度インジケータ）を含有させてなるものであってもよい。
【００３１】
吸湿材としては、例えば、ゼオライト（一例としてモレキュラーシーブ、商品名）、シリカゲル、多孔質シリカ、多孔質アルミナ、多孔質ガラス、多孔質酸化チタンなどの多孔質材料や、パルプ、紙、布、不織布、あるいは炭酸カルシウムや塩化カルシウムのような化学的吸湿剤などを使用することができる。吸湿材はこれらの材料１種からなるものであってもよいし、２種以上の複合体あってもよい。
【００３２】
また、湿度インジケータとしては、例えば、塩化コバルト、臭化コバルト、ローダミン、クリスタルバイオレットなどを用いることができる。また、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリビニルアルコール、グアーガムのように水分を吸収すると透明になるものを用いてもよい。
【００３３】
吸湿材の形状は特に限定されるものではないが、シート状に形成することで透明ガスバリアフィルムへの貼り付けおよび欠陥検出の確認が容易になる。
なお、吸湿材における透明ガスバリアフィルムと密着する面と反対の面に、水蒸気透過度が透明ガスバリアフィルムの水蒸気透過度よりも低い水蒸気バリア性材料（以降、支持基材と述べる）を密着させることで、その面において水蒸気と接触して変色してしまうことを抑制でき、欠陥の検出精度を高めることができる。
【００３４】
なおこの支持基材は、予め吸湿材と一体として形成されているものであってもよいし、欠陥検出の操作を行う際に密着させるものであってもよい。
支持基材としては、金属板、金属箔、ガラス板などのほか、水蒸気透過性の低い様々な材料を用いることができる。
【００３５】
（ｉｉｉ）その他
透明ガスバリアフィルムと吸湿材および支持基材との接着に接着剤を用いてもよい。
透明ガスバリアフィルムと吸湿材とを接着剤を用いて接着する場合には、接着剤としてある程度の水蒸気透過性を有するものを選択するとよい。それにより接着剤による吸湿材への水分吸収の抑制が低減でき、欠陥の検出が妨げられない。
【００３６】
また、接着剤によって透明ガスバリアフィルムと支持基材との間をシールして、吸湿材に透明ガスバリアフィルムの欠陥箇所以外から水分が侵入することを抑制してもよい。透明ガスバリアフィルム、吸湿材、および支持基材をシート状に積層した場合には、それらの端部をシールするように接着剤を塗布することで水分侵入を抑制できる。
【００３７】
接着剤としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂などを用いることができる。熱可塑性樹脂の一例として、ポリエチレン系、酢酸ビニル系、ポリイソブチレン系、アクリル変性ポリエチレン系、ポリウレタンゴム系などの材料が利用できる。透明ガスバリアフィルムと吸湿材との接着には、熱可塑性樹脂をフィルム状に成型した熱融着フィルムを用いることで良好に接着を実現できる。
【００３８】
熱硬化性樹脂としては、エポキシ系、フェノール系、アミノ系、不飽和ポリエステル系などの材料が利用できる。
光硬化性樹脂としては、ウレタンアクリレート系、エポキシアクリレート系、エステルアクリレート系、アクリレート系、エポキシ系、ビニルエーテル系、オキセタン系などの材料が利用できる。端部をシールするシール剤としては、光硬化性樹脂を利用することで良好に接着を実現できる。
【００３９】
また、吸湿材を保護する保護部材によって吸湿材を覆ってもよい。例えば水蒸気透過性を有する薄いプラスチックシートで吸湿材の片面あるいは両面を覆うことで、吸湿材の物理的な破損を抑制できる。
【００４０】
上記（ｉ）〜（ｉｉｉ）を適宜組み合わせてなる試験サンプルの構成例を図１（ａ）〜（ｄ）に示す。なお図１（ａ）〜（ｄ）は模式的な図であるため、各構成要素の大きさの比率は実際のものとは相違する場合がある。
【００４１】
図１（ａ）のサンプル１は、基材フィルム１１、バリア層１３、からなる透明ガスバリアフィルム１５と、吸湿材１７と、支持基材１９と、をこの順に積層してなるものである。
【００４２】
各層は少なくとも密着していればよく、各層間の接着は必須ではないが、密着状態を良好に維持するために接着してもよい。透明ガスバリアフィルム１５と吸湿材１７との接着には、ある程度の水蒸気透過性を有する接着剤を用いることが好ましい。
【００４３】
図１（ｂ）のサンプル３は、透明ガスバリアフィルム１５、吸湿材１７、および支持基材１９については図１（ａ）のサンプル１と同様の構成であるが、透明ガスバリアフィルム１５の端部と支持基材１９の端部との間を接着剤２１にてシールしている点で相違する。即ちサンプル３では接着剤２１をシール材として利用している。
【００４４】
この接着剤２１は、図１（ｃ）に示すように、サンプル３の周縁に沿って配される。この接着剤２１は、透明ガスバリアフィルム１５と支持基材１９とを接着するとともに、吸湿材１７に側方から水分が侵入することを抑制する。
【００４５】
また図１（ｄ）のサンプル５は、支持基材１９を用いず、吸湿材１７の両面に透明ガスバリアフィルム１５を配置してなるものである。この場合、吸湿材１７の両面から欠陥を通過した水分が侵入する可能性があるため、水分による変色が上下いずれの透明ガスバリアフィルム１５の欠陥によるものであるかの判別が困難になる可能性があるものの、上下の透明ガスバリアフィルム１５のいずれかに欠陥があることや、またその欠陥の大きさ等の検出が可能である。
【００４６】
なお、吸湿材１７の間に上下を仕切る仕切り材を配置することや、吸湿材１７を十分な厚さとすることなどにより、欠陥の位置の判断も可能となる。
以下に、本発明の実施例を説明する。
【００４７】
［実施例］
実施例において用いた材料を説明する。
欠陥検出対象とする透明ガスバリアフィルムとして、ＳｉＯｘ膜を片面に成膜したＰＥＴフィルムを用いた。
【００４８】
吸湿材および支持基材として、モイストキャッチ（共同印刷株式会社製、商品名）を用いた。モイストキャッチの支持基材は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、アルミニウム箔（Ａｌ）、をその順に積層したものである。また、モイストキャッチの吸湿材は合成ゼオライト（モレキュラーシーブ）を樹脂に混ぜてフィルム状に形成してなるものである。吸湿材層の厚さは６０μｍ厚である。また吸湿材の両面には１０μｍ厚のＬＤＰＥ層が形成されている。
【００４９】
即ち、モイストキャッチの積層構造は、ＰＥＴ／ＬＤＰＥ／Ａｌ／ＬＤＰＥ（１０μｍ）／吸湿材層（６０μｍ）／ＬＤＰＥ（１０μｍ）、となる。吸湿量は７ｇ／ｍ2である。
【００５０】
モイストキャッチは、水分と接触する前は不透明な白色であるが、吸湿すると透明に変化するため吸湿個所を目視で確認しやすい。また吸湿材層が薄く横方向への水分の拡散も少ないため透明ガスバリアフィルムの欠陥部分と欠陥の無い部分での色の差がはっきりと確認できる。そのため、透明ガスバリアフィルムの欠陥部分を判別しやすい。
【００５１】
透明ガスバリアフィルムとモイストキャッチとを接着する接着剤として、熱融着フィルムであるアイオノマー樹脂（ポリエチレン系）ハイミランフィルムＨＭ５２−３０μｍ（タマポリ社製）を用いた。
【００５２】
本実施例では、透明ガスバリアフィルムにおけるＳｉＯｘ膜の形成された面に、上述したモイストキャッチの吸湿面を密着させたものを２組準備した。そして、図２に示すように、それらをモイストキャッチ（１７，１９）の支持基材１９側同士が接触するように重ね、透明ガスバリアフィルム１５の端部同士を上記接着剤２１でシールし、測定用の試験体７を作成した。接着剤によるシールは、上記接着剤を挟んでラミネーター（ＧＬＭＴ１アコブランズジャパン社製）を用いて温度１７０℃、ラミネート速度１００ｃｍ／分で貼り合せることで実現した。
【００５３】
次に、試験評価について説明する。
上記試験体を環境試験機（ＳＨ−２４１エスペック社製）のチャンバ内にて保持手段により保持しつつ静置し、所定の試験環境（４０℃９０％ＲＨ）で湿熱負荷を与えた。図３に保持手段３１と試験体３３とを示す。保持手段３１は、一対の縦板３５と一対の補助板３７とを有している。縦板３５は間隔を空けて複数のスリット３９が形成され、互いに対向して配置される。補助板３７は各縦板３５の外側において縦板３５に沿って設けられ、スリット３９の下端よりも上方に上端が位置し、その上端にて試験体３３を支持する。保持手段３１は試験体３３をスリット３９に収めることで複数保持可能である。
【００５４】
各試験体３３は、スリット３９同士の間隔により他の試験体３３と接触しない。また試験体３３は補助板３７あるいは縦板３５によりチャンバの底面から所定の間隔を空けて保持されている。そのため、例えばチャンバの底面に溜まる水に接触してしまうといったチャンバ底面に試験体３３を配置することによる影響を受けることなく、所望の湿度環境において試験を行うことができる。保持手段３１は試験体３３がチャンバの側面に接触しないようにチャンバの側面から距離をおいて設置される。
【００５５】
試験開始後、一定時間ごとに試験体を取り出して、質量を測定し、同時にスキャナでモイストキャッチの吸湿面の画像を取り込んだ。
＜評価１＞
質量の時間変化より、透湿度を算出し、モコン法（ＪＩＳ  Ｋ  ７１２９Ｂ）による当湿度の測定結果と比較した。具体的な計算式は以下の通りである。
【００５６】
透湿度（ｇ／ｍ2／ｄａｙ）＝  質量増加速度（ｇ／ｈ）×２４（ｈ）／透過面積（ｍ2）
透過面積は、８０ｍｍ×８０ｍｍ×２＝１２８００ｍｍ2＝０．０１２８ｍ2とした。質量変化速度（ｇ／ｈ）は、図４に示す質量変化量−時間グラフの傾きより求めた。グラフから求まる質量変化速度と、透湿度、およびモコン法での測定結果との比較を表１に示す。
【００５７】
【表１】
2013158999.tif 000003
【００５８】
表１からわかるように、透明ガスバリアフィルム、基材フィルム、ガラスとも、モコン法による透湿度の測定結果と同等の測定結果となった。即ち、上記手法により適切に透湿度を算出することができた。
【００５９】
＜評価２＞
外観からピンホールやキズの個所、数等の解析を行った。モイストキャッチの吸湿面の外観写真を図５（ａ），（ｂ）に示す。図５（ａ）は試験前の外観写真であり、図５（ｂ）は試験後（２４０時間経過後）の外観写真である。試験後は、水分と接触した箇所の色が変色した。
【００６０】
ピンホールやクラックにより無機酸化物からなるバリア層（ＳｉＯｘ膜）に欠陥がある個所では水蒸気透過量が多いため、吸湿材が水分を吸収し、白色から透明へ変化する。透明ガスバリアフィルム表面における吸湿材が透明になった位置に対応する位置をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて観察したところ、図６に示すように、クラックやピンホールが存在していることが確かめられた。
【００６１】
このように、吸湿材を観察することにより、透明ガスバリアフィルムの欠陥の位置を確認することができた。
＜評価３＞
次に、画像解析ソフト（ＳｉｇｍａＳＣＡＮ  ヒューリンクス社製）を用いて、欠陥部分を抽出して着色表示するとともに、着色した部分の面積から欠陥のサイズを算出し、また欠陥の個数を算出した。
【００６２】
欠陥部分を抽出して着色表示したものを図７に示す。着色により目視による判断が容易にできるようになった。また、上記画像解析ソフトによる、欠陥の大きさごとに欠陥の個数をカウントした結果を表２に示す。
【００６３】
【表２】
2013158999.tif 000004
【００６４】
このように画像解析ソフトを用いることによって、幅が５０μｍ未満の欠陥、１００μｍ未満の欠陥、および１００μｍ以上の欠陥の３パターンに分類し、それぞれの数を定量化することができた。
【００６５】
［効果］
上記実施例の欠陥検出方法では、吸湿材の変色に基づいて、欠陥の位置を特定することができた。また質量の測定を行うことにより、透湿度の算出も同時に行うことができた。また画像解析ソフトを用いることにより、欠陥位置の明りょう化と、欠陥を大きさごとに分類してその数を定量化することができた。
【００６６】
なお上記実施例においては吸湿材としてモイストキャッチを用いたが、もちろんこれ以外の吸湿材を用いてもよく、吸湿材に湿度インジケータを含有させてもよい。
また、欠陥の検出対象となる透明ガスバリアフィルムは上記実施例のものに限定されず、上述した様々なフィルムを用いることができる。
【００６７】
また上記環境試験機においてはチャンバ内部の温度および湿度を調整してその内部に試験体を静置したが、チャンバ内の圧力も同時に調整してもよい。
［他の実施例］
上記実施例で用いた透明ガスバリアフィルムのＳｉＯｘ膜を、スパッタリング法により形成したステンレス膜（ＳＵＳ３１０Ｓ、膜厚５０ｎｍ）に変更して同様の試験を行ったところ、上記実施例と同様に欠陥の位置の特定を行うことができた。
【符号の説明】
【００６８】
１…サンプル、３…サンプル、５…サンプル、７…試験体、１１…基材フィルム、１３…バリア層、１５…透明ガスバリアフィルム、１７…吸湿材、１９…支持基材、２１…接着剤、３１…保持手段、３３…試験体、３５…縦板、３７…補助板、３９…スリット
【図１】
2013158999.tif 000005
【図２】
2013158999.tif 000006
【図３】
2013158999.tif 000007
【図４】
2013158999.tif 000008
【図５】
2013158999.tif 000009
【図６】
2013158999.tif 000010
【図７】
2013158999.tif 000011