(57)【要約】【課題】電荷信号に重畳したノイズを容易に除去することができるアクティブマトリクス基板および放射線検出器を提供することを目的とする。【解決手段】電荷信号を送るためのデータ線１７は、電荷信号を読み出すためのＴＦＴ１１の一端に接続されている。一方、磁気ノイズを検出するノイズ検出線２１は、そのデータ線１７に沿って平行に配置されている。ノイズ検出線２１がデータ線１７に沿って平行に配置されているので、データ線１７に加わる磁気ノイズと同等の磁気ノイズをノイズ検出線２１で検出することができる。そのため、電荷信号（Ｘ線画像）に重畳するノイズを容易に除去することができる。【選択図】図２
2013236222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電荷信号を読み出すためのスイッチ素子を画素ごとに備えたアクティブマトリクス基板において、
前記スイッチ素子の一端に接続され、前記電荷信号を送るためのデータ線と、
前記データ線に沿って平行に配置され、ノイズを検出するノイズ検出線と、
を備えていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項２】
請求項１に記載のアクティブマトリクス基板において、
前記データ線で送られた電荷信号を前記ノイズ検出線で検出されたノイズで差分する処理を行う差分処理部を備えていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項３】
請求項２に記載のアクティブマトリクス基板において、
前記差分処理部の下流に設けられ、前記差分処理部で差分処理された電荷信号を増幅する電荷信号増幅器を備えていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項４】
請求項２に記載のアクティブマトリクス基板において、
前記差分処理部の上流に設けられ、前記データ線で送られた電荷信号を増幅する電荷信号増幅器と、
前記差分処理部の上流に設けられ、前記ノイズ検出線で検出されたノイズを増幅するノイズ増幅器と、を備え、
前記差分処理部は、前記電荷信号増幅器で増幅された電荷信号を前記ノイズ増幅器で増幅されたノイズで差分することを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板において、
前記ノイズ検出線は、前記データ線毎に設けられていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項６】
請求項１から４のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板において、
前記ノイズ検出線は、複数の前記データ線毎に設けられていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板において、
前記ノイズ検出線は、前記データ線に対して、画素ごとに設けられた前記スイッチ素子で構成される面に対して直交する積層方向に配置されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載のアクティブマトリクス基板を備えたことを特徴とする放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医用診断や非破壊検査に用いられ、放射線（例えばＸ線）を変換して得られた電荷信号を読み出すアクティブマトリクス基板および放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、入射したＸ線を検出するＸ線検出器がある。Ｘ線検出器は、入射したＸ線を電荷信号に変換する変換層と、変換層で変換された電荷情報を読み出すためのアクティブマトリクス基板とを備えている（例えば、特許文献１参照）。アクティブマトリクス基板には、データ線と、データ線に交差するゲート線とが設けられ、データ線およびゲート線からなる格子ごとに、検出素子（画素）が形成されている。なお、検出素子は、スイッチ素子としての薄膜トランジスタ（以下適宜、「ＴＦＴ」と称する）を主な要素とする。ゲート線に駆動信号が与えられると、その駆動線に接続されたＴＦＴが動作し、画素ごとの電荷信号は、ＴＦＴを通じてデータ線から読み出される。そして、ゲート線が順次駆動されることにより、全ての画素の電荷信号が得られ、二次元的なＸ線画像が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許３１４１０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。すなわち、より広い領域を検査しようとすると、アクティブマトリクス基板も大面積化となる。これに伴って、得られたＸ線画像にノイズが重畳し易くなる問題がある。通常、Ｘ線画像に現れたノイズは、そのノイズの特性に応じた画像処理（例えば、特性領域の周波数成分を除去する処理）により除去される。しかしながら、画像処理では、どのタイミングでどの場所にノイズが重畳するのかを予め予測することは難しい。また、Ｘ線画像に現れない、ノイズそのものを除去することは難しい。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、Ｘ線画像に重畳するノイズを容易に除去することができるアクティブマトリクス基板および放射線検出器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
発明者は、上記の問題を解決するために鋭意研究した結果、次のような知見を得た。すなわち、得られたＸ線画像に重畳するノイズの原因の一つとしてデータ線に直接重畳するノイズがあることである。そのため、アクティブマトリクス基板が大面積化するとデータ線が長くなり、それに伴いデータ線にノイズが重畳し易くなる。更にそのデータ線に重畳する主なノイズの一つが、機械を駆動させるモータやパーソナルコンピュータに設けられるモニタ等から発生する磁気ノイズであることも判明した。その磁気ノイズは、例えば、比較的低い周波数で強度が大きいものである。
【０００７】
このような知見に基づく本発明は、次のような構成をとる。本発明に係るアクティブマトリクス基板は、すなわち、電荷信号を読み出すためのスイッチ素子を画素ごとに備えたアクティブマトリクス基板において、前記スイッチ素子の一端に接続され、前記電荷信号を送るためのデータ線と、前記データ線に沿って平行に配置され、ノイズを検出するノイズ検出線と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明に係るアクティブマトリクス基板によれば、電荷信号を送るためのデータ線は、電荷信号を読み出すためのスイッチ素子の一端に接続されている。一方、ノイズを検出するノイズ検出線は、そのデータ線に沿って平行に配置されている。ノイズ検出線がデータ線に沿って平行に配置されているので、データ線に重畳するノイズと同等のノイズをノイズ検出線で検出することができる。そのため、電荷信号（Ｘ線画像）に重畳するノイズを容易に除去することができる。
【０００９】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板において、前記データ線で送られた電荷信号を前記ノイズ検出線で検出されたノイズで差分する処理を行う差分処理部を備えていることが好ましい。差分処理部は、データ線で送られた電荷信号を、ノイズ検出線で検出されたノイズで差分する処理を行うので、電荷信号（Ｘ線画像）に重畳するノイズを容易に除去することができる。
【００１０】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板の一例は、前記差分処理部の下流に設けられ、前記差分処理部で差分処理された電荷信号を増幅する電荷信号増幅器を備えていることである。これにより、差分処理された電荷信号を増幅するので、データ線およびノイズ検出線毎に増幅器を設けなくてもよく、構成を簡単にすることができる。
【００１１】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板の一例は、前記差分処理部の上流に設けられ、前記データ線で送られた電荷信号を増幅する電荷信号増幅器と、前記差分処理部の上流に設けられ、前記ノイズ検出線で検出されたノイズを増幅するノイズ増幅器と、を備え、前記差分処理部は、前記電荷信号増幅器で増幅された電荷信号を前記ノイズ増幅器で増幅されたノイズで差分することである。これにより、差分処理する前に、データ線で送られた電荷信号およびノイズ検出線で検出されたノイズをそれぞれ増幅させるので、増幅された電荷信号およびノイズをより高い精度で差分することができる。
【００１２】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板の一例は、前記ノイズ検出線は、前記データ線毎に設けられていることである。これにより、ノイズ検出線は、データ線毎に重畳するノイズを個別に検出するので、電荷信号に重畳したノイズを精度よく除去することができる。
【００１３】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板の一例は、前記ノイズ検出線は、複数の前記データ線毎に設けられていることである。これにより、ノイズ検出線を設けるスペースを減少させることができ、例えば、画素を狭ピッチにすることができる。
【００１４】
また、本発明に係るアクティブマトリクス基板の一例は、前記ノイズ検出線は、前記データ線に対して、画素ごとに設けられた前記スイッチ素子で構成される面に対して直交する積層方向に配置されていることである。これにより、ノイズ検出線を設けるスペースを減少させることができる。
【００１５】
また、本発明に係る放射線検出器は、上述した本発明のアクティブマトリクス基板を備えていることを特徴とするものである。本発明に係る放射線検出器によれば、電荷信号に重畳したノイズを容易に除去することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るアクティブマトリクス基板および放射線検出器によれば、電荷信号を送るためのデータ線は、電荷信号を読み出すためのスイッチ素子の一端に接続されている。一方、ノイズを検出するノイズ検出線は、そのデータ線に沿って平行に配置されている。ノイズ検出線がデータ線に沿って平行に配置されているので、データ線に重畳するノイズと同等のノイズをノイズ検出線で検出することができる。そのため、電荷信号（Ｘ線画像）に重畳するノイズを容易に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】実施例１に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略構成を示す平面図である。
【図３】実施例２に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の要部の概略構成を示す平面図である。
【図４】実施例３に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略構成を示す平面図である。
【図５】実施例３に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の要部の概略構成を示す平面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、変形例に係るデータ線とノイズ検出線の配置関係を示す図である。
【実施例１】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略構成を示す縦断面図であり、図２は、図１の平面図である。
【００１９】
図１を参照する。フラットパネル型Ｘ線検出器（以下適宜、「ＦＰＤ」とする）１は、共通電極２、Ｘ線変換層３、電荷収集電極４およびアクティブマトリクス基板５を備えている。ＦＰＤ１は、直接、Ｘ線を電荷信号に変換する直接変換タイプのものである。なお、Ｘ線変換層３は本発明の変換層に相当する。
【００２０】
共通電極２は、バイアス電圧ｖを印加するものである。Ｘ線変換層３は、Ｘ線を電荷信号に変換するものである。Ｘ線変換層３は、例えば、ＣｄＴｅ（テルル化カドミウム）またはＣｄＺｎＴｅ（テルル化亜鉛カドミウム）の多結晶膜や、ａ−Ｓｅ（アモルファスセレン）で構成されている。電荷収集電極４は、平面視二次元マトリクス状に分離形成され、Ｘ線変換層３で変換された電荷信号を収集する。
【００２１】
アクティブマトリクス基板５は、ガラス等の電気絶縁性を有する絶縁基板７上に、Ｘ線変換層３で変換された電荷信号を読み出すための回路が形成されている。すなわち、アクティブマトリクス基板５は、電荷収集電極４ごとに、コンデンサ９と、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）１１とを備えている。これら、一組の電荷収集電極４とコンデンサ９とＴＦＴ１１は、これに応じた領域のＸ線変換層３および共通電極２と合わせて、１個の検出素子１３を構成する。
【００２２】
したがって、ＦＰＤ１の検出面には、図２に示すように、多数個の検出素子１３が交差する２軸方向である行方向Ｘと列方向Ｙに配列されている。図２では、図示の便宜上簡略化して示しており、検出素子１３は４×４個で構成される。各検出素子１３は、生成されるＸ線画像を構成する各画素と対応関係になる。
【００２３】
コンデンサ９は、電荷収集電極４で収集された電荷信号を検出素子（画素）１３ごとに蓄積するものである。ＴＦＴ１１は、コンデンサ９に蓄積された電荷信号を読み出すためのＯＮ・ＯＦＦを切り替えるスイッチ素子である。
【００２４】
さらに、アクティブマトリクス基板５には、検出素子１３の行ごとにゲート線１５が配設されていると共に、検出素子１３の列ごとにデータ線１７が配設されている。各ゲート線１５は、各行（行方向Ｘ）のＴＦＴ１１のゲートに共通接続されている。また、各データ線１７は、各列（列方向Ｙ）のＴＦＴ１１のドレイン（一端）に共通接続され、電荷信号を送るためのものである。
【００２５】
また、各ゲート線１５は、ゲート駆動部１９に接続されている。ゲート駆動部１９は、各ゲート線１５ごとにＴＦＴ１１の駆動信号を送信することにより、ゲート線１５に共通接続されたＴＦＴ１１が駆動され、ＴＦＴ１１がＯＮ状態となる。これにより、コンデンサ９とデータ線１７とを接続させている。ゲート駆動部１９は、図２において、例えばアクティブマトリクス基板５の上側のゲート線１５から順番に駆動信号を与えるようになっている。
【００２６】
また、アクティブマトリクス基板５は、データ線１７に沿って平行に配置され、磁気ノイズを検出するノイズ検出線２１を備えている。ノイズ検出線２１は、データ線１７と同様に金属などの導体で構成されている。ノイズ検出線２１は、データ線１７毎に設けられている。すなわち、１本のデータ線１７に対して１本のノイズ検出線２１が設けられている。
【００２７】
また、ノイズ検出線２１の一端側では何も接続されず、その他端側ではデータ線１７と共に読み出されるようになっている。すなわち、データ線１７とノイズ検出線２１は、差分処理部２３に接続されている。差分処理部２３は、例えば差動増幅器（オペアンプ）で構成される。しかしながら、差分処理部２３は、必ずしも増幅機能を持つ必要がなく差分処理ができるものであればよい。差分処理部２３は、データ線１７で送られた電荷信号をノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズで差分する処理を行う。なお、差分処理部２３は、データ線１７で送られる電荷信号とノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズとを同じタイミングで取得（入力）する。
【００２８】
差分処理部２３の下流には、電荷電圧変換増幅器２５が設けられている。電荷電圧変換増幅器２５は、電荷信号を増幅して電圧信号に変換するものである。電荷電圧変換増幅器２５で変換された電圧信号は、マルチプレクサ２７、Ａ／Ｄ変換器２９の順番で転送される。マルチプレクサ２７は、複数の電圧信号のうちの１つを順番に選択して出力する。Ａ／Ｄ変換器２９は、電圧信号をデジタル信号に変換する。なお、電荷電圧変換増幅器２５は本発明の電荷信号増幅器に相当する。
【００２９】
なお、ゲート駆動部１９、差分処理部２３、電荷電圧変換増幅器２５、マルチプレクサ２７およびＡ／Ｄ変換器２９は、コントローラ３１で制御される。コントローラ３１は、読み出し動作のタイミング等の指示を与えるようになっている。
【００３０】
なお、図２において、４個（複数）の差分処理部２３は、まとめて差分処理部群３３とする。コントローラ３１からの指示が差分処理部群３３に与えられると、その指示が各差分処理部２３に与えられるものとする。同様に、４個（複数）の電荷電圧変換増幅器２５は、まとめて増幅器群３５とする。コントローラ３１からの指示が増幅器群３５に与えられると、その指示が各電荷電圧変換増幅器２５に与えられるものとする。
【００３１】
次に、ＦＰＤ１の動作について説明する。共通電極２にバイアス電圧ｖを印加した状態でＦＰＤ１にＸ線が入射すると、Ｘ線変換層３において電荷信号に変換される。この電荷信号は、電荷収集電極４を通って画素ごとにコンデンサ９に蓄積される。
【００３２】
コントローラ３１は、ゲート駆動部１９にゲート線１５駆動の指示を行う。ゲート駆動部１９は、コントローラ３１の指示により、例えば、図２の上側から順番に選択してゲート駆動信号を出力する。ＴＦＴ１１のゲートには、１行ごとにゲート駆動信号が供給される。コンデンサ９に蓄積された電荷信号は、ＯＮ状態となったＴＦＴ１１を通ってデータ線１７に移動する。移動した電荷信号はデータ線１７によって、差分処理部２３に送られる。
【００３３】
電荷信号が差分処理部２３に送られる間に、コントローラ３１は、差分処理部２３にも読み出しの指示を行う。差分処理部２３は、コントローラ３１の指示により、データ線１７で送られる電荷信号の到達と同じタイミングで、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズを取得する。そのため、電荷信号に重畳する磁気ノイズと、ノイズ検出線で検出された磁気ノイズとをほぼ同一のものを得ることができる。
【００３４】
差分処理部２３は、電荷信号を磁気ノイズで差分する処理を行う。すなわち、差分処理部２３は、磁気ノイズが重畳する電荷信号（真の電荷信号＋磁気ノイズ）を、磁気ノイズで差分する処理を行う。これにより、電荷信号に重畳した磁気ノイズを除去することができ、真の電荷信号が得られる。
【００３５】
電荷電圧変換増幅器２５は、磁気ノイズが除去された電荷信号（真の電荷信号）を増幅して電圧信号に変換する。マルチプレクサ２７は、複数の電圧信号のうちの１つを順番に選択して出力する。Ａ／Ｄ変換器２９は、マルチプレクサ２７で選択して出力された電圧信号をデジタル信号に変換する。以上のようにして、得られた電圧信号（Ｘ線画像）は、ＦＰＤ１から出力される。ＦＰＤ１から出力された電圧信号は、図示しない画像処理部により階調処理など必要な処理が行われ、図示しないモニタ等の表示部に表示される。
【００３６】
以上のように本発明の実施例１によれば、電荷信号を送るためのデータ線１７は、電荷信号を読み出すためのＴＦＴ１１の一端に接続されている。一方、磁気ノイズを検出するノイズ検出線２１は、そのデータ線１７に沿って平行に配置されている。ノイズ検出線２１がデータ線１７に沿って平行に配置されているので、データ線１７に重畳する磁気ノイズと同等の磁気ノイズをノイズ検出線２１で検出することができる。そのため、差分処理部２３は、データ線１７で送られた電荷信号を、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズで差分する処理を行うので、電荷信号（Ｘ線画像）に重畳する（乗る）磁気ノイズを容易に除去することができる。
【００３７】
また、電荷信号に重畳するノイズを容易に除去することができるので、ノイズの周波数成分を求めてノイズを除去する等の画像処理を行わなくてもよい。そのため、ソフトウェア上の負担を減らすことができる。
【００３８】
また、差分処理部２３は、データ線１７で送られる電荷信号とノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズとを同じタイミングで取得する。データ線１７およびノイズ検出線２１に重畳する磁気ノイズはリアルタイムに変動する。そのため、電荷信号と磁気ノイズとを同じタイミングで取得することにより、ほぼ同等の磁気ノイズを取得することができる。これにより、差分処理部２３は、電荷信号から磁気ノイズを精度良く除去することができる。
【００３９】
また、ＦＰＤ１は、差分処理部２３の下流に設けられ、差分処理部２３で差分処理された電荷信号を増幅する電荷電圧変換増幅器２５を備えている。これにより、差分処理された電荷信号を増幅するので、データ線１７およびノイズ検出線２１毎に電荷電圧変換増幅器２５を設けなくてもよく、構成を簡単にすることができる。
【００４０】
また、ノイズ検出線２１は、データ線１７毎に設けられている。これにより、ノイズ検出線２１は、データ線１７毎に重畳する磁気ノイズを個別に検出するので、電荷信号に重畳した磁気ノイズを精度よく除去することができる。
【実施例２】
【００４１】
次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。図３は、実施例２に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の要部の概略構成を示す平面図である。なお、実施例１と重複する説明は省略する。
【００４２】
実施例１では、電荷電圧変換増幅器２５は、差分処理部２３の下流に設けられ、差分処理部２３で差分処理された電荷信号を増幅していた。この点、実施例２では、電荷電圧変換増幅器２５は、差分処理部２３の上流に設けられている。
【００４３】
すなわち、ＦＰＤ４１は、図３に示すように、差分処理部２３の上流に設けられた電荷電圧変換増幅器２５と、差分処理部２３の上流に設けられたノイズ増幅器４３とを備えている。電荷電圧変換増幅器２５は、データ線１７で送られた電荷信号を増幅して電圧信号に変換する。一方、ノイズ増幅器４３は、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズを増幅して磁気ノイズの電圧信号に変換する。
【００４４】
次に、電荷電圧変換増幅器２５とノイズ増幅器４３との動作が同期する様子について説明する。ある電荷電圧変換増幅器２５と、これと対応関係にあるノイズ増幅器４３は、電荷信号と磁気ノイズを同じタイミングで取得する。すなわち、ノイズ増幅器４３は、電荷電圧変換増幅器２５で電荷信号を取得するタイミングと同じタイミングで、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズを取得する。なお、上述のように、コントローラ３１（図１参照）は、ゲート駆動部１９にゲート線１５駆動の指示を行うと共に、増幅器群３５（電荷電圧変換増幅器２５およびノイズ増幅器４３）に読み出しの指示を行っている。
【００４５】
差分処理部２３は、電荷電圧変換増幅器２５で増幅された電荷信号を、ノイズ増幅器４３で増幅された磁気ノイズで差分する処理を行う。
【００４６】
また、図３において、電荷電圧変換増幅器２５およびノイズ増幅器４３の下流に設けられた差分処理部２３を設けない構成としてもよい。この場合、増幅された電荷信号および増幅された磁気ノイズは、それぞれマルチプレクサ２７およびＡ／Ｄ変換器２９を通過した後、ＦＰＤ４１からＸ線画像およびノイズ検出信号として出力される。ＦＰＤ４１の下流には、画像処理部４５が設けられている。例えば、画像処理部４５は、ＦＰＤ４１から出力されたＸ線検出信号をノイズ検出信号で差分する処理を行ってもよい。また、差分処理は、例えば、画像処理部４５の下流に設けられた図示しないパーソナルコンピュータ等のソフトウェア上で行われてもよい。
【００４７】
以上のように本発明の実施例２によれば、ＦＰＤ１は、差分処理部２３の上流に設けられ、データ線１７で送られた電荷信号を増幅する電荷電圧変換増幅器２５と、差分処理部２３の上流に設けられ、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズを増幅するノイズ増幅器４３とを備えている。差分処理部２３は、電荷電圧変換増幅器２５で増幅された電荷信号をノイズ増幅器４３で増幅された磁気ノイズで差分する。これにより、差分処理する前に、データ線１７で送られた電荷信号およびノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズをそれぞれ増幅させるので、増幅された電荷信号および磁気ノイズをより高い精度で差分することができる。
【実施例３】
【００４８】
次に、図面を参照して本発明の実施例３を説明する。図４は、実施例３に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略構成を示す平面図である。図５は、図４と異なる構成であって、フラットパネル型Ｘ線検出器の要部の概略構成を示す平面図である。なお、実施例１および２と重複する説明は省略する。
【００４９】
実施例１および２では、図２に示すように、ノイズ検出線２１は、データ線１７毎に設けられていた。この点、実施例３では、ノイズ検出線２１を間引いて構成する。すなわち、ＦＰＤ５１は、図４に示すように、ノイズ検出線２１は、２本（複数）のデータ線１７毎に設けられている。なお、ノイズ検出線は、３本以上のデータ線１７毎に設けられてもよい。
【００５０】
実施例３の場合、ノイズ検出線は、２本（複数）のデータ線１７に対して、検出した磁気ノイズを供給する。なお、詳細を説明するために、図４において、データ線１７を、データ線１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄとし、実施例３におけるノイズ検出線を、ノイズ検出線２１ｂ，２１ｄとする。このうちノイズ検出線２１ｂは、複数の出力があり、差分処理部２３ｂと差分処理部２３ａとに磁気ノイズを供給する。すなわち、ノイズ検出線２１ｂは、差分処理部２３ｂに磁気ノイズを供給するだけでなく、差分処理部２３ａにも磁気ノイズを供給するのである。ノイズ検出線２１ｄも同様である。また、差分処理部２３を、差分処理部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄとする。
【００５１】
差分処理部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの各々が電荷信号と磁気ノイズとを同期して取得する様子について説明する。例えば、差分処理部２３ａは、データ線１７ａで送られる電荷信号とノイズ検出線２１ｂで検出された磁気ノイズとを同じタイミングで取得する。また、差分処理部２３ｂは、データ線１７ｂで送られる電荷信号とノイズ検出線２１ｂで検出された磁気ノイズとを同じタイミングで取得する。差分処理部２３ａ〜２３ｄは、電荷信号を磁気ノイズで差分する処理を行う。
【００５２】
なお、図４では、電荷電圧変換増幅器２５は、差分処理部２３の下流に設けられている。この点、実施例２で説明したように、増幅した電荷信号および磁気ノイズに対して、差分処理を行ってもよい（図５のＦＰＤ５５参照）。ここで、差分処理部２３と電荷電圧変換増幅器２５とノイズ増幅器４３の動作について説明する。図５に示すように、差分処理部２３を、差分処理部２３ａ，２３ｂとする。また、電荷電圧変換増幅器２５を、電荷電圧変換増幅器２５ａ，２５ｂとし、ノイズ増幅器４３を、ノイズ増幅器４３ａ，４３ｂとする。
【００５３】
例えば、電荷電圧変換増幅器２５ａは、データ線１７で送られた電荷信号を取得する。ノイズ増幅器４３ａは、電荷電圧変換増幅器２５ａで電荷信号を取得するタイミングと同じタイミングで、ノイズ検出線２１で検出された磁気ノイズを取得する。また、電荷電圧変換増幅器２５ａは、取得した電荷信号を増幅し、ノイズ増幅器４３ａは、磁気ノイズを増幅する。そして、差分処理部２３ａは、電荷電圧変換増幅器２５ａで増幅された電荷信号を、ノイズ増幅器４３ａで増幅された磁気ノイズで差分する処理を行う。
【００５４】
以上のように本発明の実施例３によれば、ノイズ検出線２１は、複数のデータ線１７毎に設けられている。これにより、ノイズ検出線２１を設けるスペースを減少させることができ、例えば、画素を狭ピッチにすることができる。
【００５５】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５６】
（１）上述した各実施例では、例えば、図２に示すように、ノイズ検出線２１は、データ線１７に対し、画素ごとに設けられたコンデンサ９やＴＦＴ１１で構成される面と同一面に隣接して配置している。しかしながら、図６（ａ）に示すように、ノイズ検出線２１は、データ線１７に対して、（Ｘ・Ｙ方向に広がる）当該構成面と直交するＺ方向（絶縁膜６３と絶縁基板７とが積層する積層方向）に配置するようにしてもよい。これにより、アクティブマトリクス基板においてノイズ検出線２１を設けるスペースを減少させることができる。
【００５７】
なお、図６（ａ）において、ノイズ検出線２１とデータ線１７の配置を入れ換えて構成してもよい。また、ノイズ検出線２１とデータ線１７は、図６（ｂ）に示すように、Ｚ方向に対し傾斜した方向に配置してもよい。
【００５８】
（２）上述した各実施例および変形例（１）では、ＦＰＤ１は、直接変換タイプのものであったが、間接変換タイプのものであってもよい。この場合、変換層は、Ｘ線（放射線）を光に変換するシンチレータと、シンチレータで変換された光を電荷信号に変換するフォトダイオードとを備えている。なお、共通電極は、シンチレータとフォトダイオードとの間に設けられる。
【００５９】
（３）上述した各実施例および各変形例において、アクティブマトリクス基板５は、ゲート駆動部１９、差分処理部２３と、電荷電圧変換増幅器２５、マルチプレクサ２７、Ａ／Ｄ変換器２９およびコントローラ３１を含めた構成であってもよい。
【００６０】
（４）上述した各実施例および各変形例では、図２に示すように、２次元状のＸ線像を検出するものであったが、検出素子１３が１列に並ぶだけの１次元のＸ線像を検出するものであってもよい。
【００６１】
（５）上述した各実施例および各変形例では、Ｘ線変換層３は、Ｘ線を電荷信号に変換していた。しかしながら、γ線または光（可視光や紫外線、赤外線等）等であってもよい。
【００６２】
（６）上述した各実施例および各変形例では、データ線に重畳する主なノイズの一つとして磁気ノイズを例示したが、その他のノイズであってもよい。
【符号の説明】
【００６３】
１，４１，５１，５５  …  フラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）
３    …  Ｘ線変換層
５    …  アクティブマトリクス基板
１１  …  薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
１７  …  データ線
１９  …  ゲート駆動部
２１  …  ノイズ検出線
２３  …  差分処理部
２５  …  電荷電圧変換増幅器
３１  …  コントローラ
４３  …  ノイズ増幅器
４５  …  画像処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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