(57)【要約】【課題】製造工程における製造装置の低価格化及び作業効率の効率化を図って製造コストの低コスト化を実現すると共に、支持固定状態において、振動や衝撃が加わっても気密性を損なうことなく且つ支持固定を強固に維持することが可能な信頼性の高い高圧放電ランプを提供することにある。【解決手段】放電電極３０を湾曲状又は波形状に形成し、端部に筒状の金属パイプ２０が溶着されてなる放電管１０内に挿入した放電電極３０が放電管１０の内壁に圧接するようにした。これにより、製造工程においては放電管１０に挿入した放電電極３０が該放電管１０内に仮固定された状態となり、製品化された際には金属パイプ２０が支持固定部となると同時に外部電源からの電力供給のための受電電極となる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太管部と該太管部の両側に位置する前記太管部よりも径の小さい細管部を有すると共に全体の肉厚が均一な円筒状の放電管と、
大径部と該大径部に一方の側に位置する前記大径部よりも径の小さい小径部を有し、前記大径部で前記放電管の細管部の両端部を覆うように該両端部に前記大径部を気密に溶着された、全体の肉厚が均一な円筒状の金属パイプと、
所定の長さの先端電極部と該先端電極部の一方の側から所定の長さで延びる電極軸を有し、前記金属パイプの小径部の先端部に前記電極軸が一体に融着されると共に前記放電管の細管部内を挿通して、前記先端電極部が太管部内まで到達した放電電極と、を備えた高圧放電ランプであって、
前記放電電極は、少なくとも前記電極軸が長手方向に湾曲した形状又は２箇所以上の曲部を有する波形状を呈しており、
前記放電管の細管部内を挿通した前記放電電極の電極軸が、前記細管部の内壁の２箇所以上に圧接していることを特徴とする高圧放電ランプ。
【請求項２】
前記放電電極の電極軸の直径をＤ０とし、前記金属パイプの小径部の内径をＤ１、外径をＤ２とすると、０＜（Ｄ１−Ｄ０）／（Ｄ２−Ｄ１）≦０．６となる関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の高圧放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧放電ランプに関するものであり、詳しくは、電極軸の先端部に形成された先端電極部が発光部の放電室に配置されて該電極軸が気密に封止されてなる高圧放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の高圧放電ランプ８０の例として、図１１に示す構成のものが開示されている。それは、略パイプ状の透光性セラミックスにより放電管８１が形成され、放電管８１の両端部に封着用接着剤のコンパウンド８２を介して金属パイプ８３が気密に封着されている。そして、電極軸８４と電極軸８４の先端に形成された先端電極部８５からなる電極８６が金属パイプ８３内に挿入されて金属パイプ８３の端部が絞り込まれ、絞り込まれた狭径部８７と電極軸８４が溶融されて完全封止されたものである。
【０００３】
このとき、放電管８１、金属パイプ８３及び電極８６で形成された発光部８８内にはハロゲン化金属や封入ガスが封入されており、封入ガスの発光部８８への導入に際しては、金属パイプ８３に狭径部８７を形成した後に狭径部８７と電極軸８４との隙間を通して封入ガスを発光部８８内に導入し、その後、狭径部８７と電極軸８４とをレーザ等の溶融手段で気密封止することにより発光部８８を完全気密状態とするものである（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２２０３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記高圧放電ランプ８０は上述したように、発光部８８への封入ガスの導入は金属パイプ８３の狭径部８７と電極８６の電極軸８４との隙間を通して行われる。その際、電極８６は金属パイプ８３の外部に設けた何らかの支持手段（機構）によって支持した状態を保持する必要がある。
【０００６】
そのため、発光部８８に対する排気、希ガスの置換及び封入ガスの導入等のガス処理工程に用いる処理装置を、電極８６の支持機構を考慮した構造とすることが求められ、構造が複雑化することになる。その結果、処理装置の価格が高価になって製品（高圧放電ランプ）の製造コストを上昇させる要因となる。
【０００７】
また、金属パイプ８３の狭径部８７と電極８６の電極軸８４とのレーザ溶融接合による気密封止の際に、電極軸８４が金属パイプ８３の中心軸上にあるため該中心軸方向からのレーザ光の一点集中照射による溶融接合が不可能であり、電極軸８４を避けて全円周方向からのレーザ光照射によって溶融接合が行われる。そのため、レーザ溶融接合の作業効率が良くなく、製造コストの上昇に繋がる。
【０００８】
さらに、金属パイプ８３及び電極８６がいずれもタンタル、タングステン、モリブデン等の高融点金属で形成されるものであり、そのうち、例えば高融点金属にモリブデンを用いて該モリブデンによって金属パイプ８３及び電極８６を形成したとすると、金属パイプ８３の狭径部８７と電極８６の電極軸８４との溶融接合時にモリブデンの融点の２６２０℃を超える加熱が必要となる。その場合、モリブデンは９００℃以上の温度になると再結晶化が起こり、再結晶化によって結晶粒が粗大化して延性や脆性が著しく低下することが知られている。
【０００９】
ところで、上記構成の高圧放電ランプ８０においては、高圧放電ランプ８０の支持固定に電極８６の電極軸８４を用いることが想定されている。そこで、高圧放電ランプ８０を特に車両用灯具の光源に用いた場合には、車両走行時の振動や衝撃が支持固定部の電極軸８４から金属パイプ８３の狭径部８７と電極軸８４との接合部に伝達され、その接合部にモリブデンの上述の粗大化した結晶粒の粒界を起点とする脆性破壊が生じて放電管８１の気密性が損なわれたり、あるいは高圧放電ランプ８０の支持固定の信頼性を損なうなどの不具合を生じることになる。
【００１０】
そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、製造工程における製造装置の低価格化及び作業効率の効率化を図って製造コストの低コスト化を実現すると共に、支持固定状態において、振動や衝撃が加わっても気密性を損なうことなく且つ支持固定を強固に維持することが可能な信頼性の高い高圧放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載された発明は、太管部と該太管部の両側に位置する前記太管部よりも径の小さい細管部を有すると共に全体の肉厚が均一な円筒状の放電管と、大径部と該大径部に一方の側に位置する前記大径部よりも径の小さい小径部を有し、前記大径部で前記放電管の細管部の両端部を覆うように該両端部に前記大径部を気密に溶着された、全体の肉厚が均一な円筒状の金属パイプと、所定の長さの先端電極部と該先端電極部の一方の側から所定の長さで延びる電極軸を有し、前記金属パイプの小径部の先端部に前記電極軸が一体に融着されると共に前記放電管の細管部内を挿通して、前記先端電極部が太管部内まで到達した放電電極と、を備えた高圧放電ランプであって、前記放電電極は、少なくとも前記電極軸が長手方向に湾曲した形状又は２箇所以上の曲部を有する波形状を呈しており、前記放電管の細管部内を挿通した前記放電電極の電極軸が、前記細管部の内壁の２箇所以上に圧接していることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項２に記載された発明は、請求項１において、前記放電電極の電極軸の直径をＤ０とし、前記金属パイプの小径部の内径をＤ１、外径をＤ２とすると、０＜（Ｄ１−Ｄ０）／（Ｄ２−Ｄ１）≦０．６となる関係を満たすことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の高圧放電ランプは、放電電極を湾曲状又は波形状に形成し、端部に筒状の金属パイプが溶着されてなる放電管内に挿入した放電電極が放電管の内壁に圧接するようにした。
【００１４】
そのため、放電管に挿入した放電電極が該放電管内に仮固定された状態となり、その状態で放電管に対する排気、希ガスの置換及び封入ガスの導入工程、及び、放電管に対する放電電極の気密封止固定工程等を行うことができる。その結果、放電電極を支持するための支持手段（機構）を外部に設ける必要がなく、排気、希ガスの置換及び封入ガスの導入工程に用いる装置の構造の複雑化を抑えることができる。
【００１５】
また、金属パイプと放電電極との加熱溶融工程において、放電管の中心軸方向からのレーザ光の一点集中照射により両者を加熱溶融接合することができる。その結果、加熱溶融工程における作業効率の効率化を図ることが可能となる。
【００１６】
更に、金属パイプを、放電ランプを取り付ける際の支持固定部とすると同時に外部電源からの電力供給のための受電電極とすることができる。そのため、放電ランプが車載用などの機械的振動や衝撃に晒される環境下において使用される場合、外部からの振動や衝撃は放電ランプを保持する金属パイプに加わることになり、放電発光に係わる電極には直接振動や衝撃が加わることはない。
【００１７】
そのため、振動や衝撃のある厳しい環境下で使用されても極めて安定した放電発光を維持することが可能となり、極めて信頼性の高い放電ランプが実現する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態の高圧放電ランプの側面説明図である。
【図２】図１の縦断面説明図である。
【図３】高圧放電ランプの製造工程の説明図である。
【図４】同じく、高圧放電ランプの製造工程の説明図である。
【図５】同じく、高圧放電ランプの製造工程の説明図である。
【図６】同じく、高圧放電ランプの製造工程の説明図である。
【図７】同じく、高圧放電ランプの製造工程の説明図である。
【図８】電極と金属パイプとの関係を示す説明図である。
【図９】電極の説明図である。
【図１０】放電管と金属パイプと電極との関係を示す説明図である。
【図１１】従来例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、この発明の好適な実施形態を図１〜図１０を参照しながら、詳細に説明する（同一部分については同じ符号を付す）。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施形態に限られるものではない。
【００２０】
図１は本発明の実施形態に係わる高圧放電ランプの構成を説明する側面説明図、図２は図１の縦断面説明図である。
【００２１】
高圧放電ランプ（以下、放電ランプと略称する）１は、透光性セラミックスで形成された放電管１０、夫々のいずれもがタンタル、タングステン、モリブデン等の高融点金属で形成された一対の金属パイプ２０及び一対の放電電極（以下、「電極」と略称する）３０を備えている。
【００２２】
放電管１０は円筒状の太管部１１と太管部１１の両端から該太管部１１の径（内径及び外径）よりも小さい径（内径及び外径）で延びる一対の円筒状の細管部１２とで構成され、金属パイプ２０は円筒状の大径部２１と大径部２１の一端から該大径部２１の径（内径及び外径）よりも小さい径（内径及び外径）で延びる円筒状の小径部２２とで構成されている。なお、放電管１０及び金属パイプ２０はいずれも全体が均一な肉厚で形成されている。
【００２３】
各金属パイプ２０は、その大径部２１の内径が放電管１０の細管部１２の外径よりも多少大きく形成されており、放電管１０の一対の細管部１２の夫々の端部に金属パイプ２０の大径部２１を覆い被せて両者をフリット２で溶着することにより、放電管１０と金属パイプ２０とが互いに気密に封止され且つ固定されている。
【００２４】
各電極３０は、放電発光に係わる電極となる円柱状の先端電極部３１と先端電極部３１の一方の側から該先端電極部３１よりも大きい径で延びる円柱状の電極軸３２を有しており、少なくとも電極軸３２が長手方向に湾曲した形状を呈している。
【００２５】
そして、各電極３０は、先端電極部３１を放電管１０の太管部１１内に位置させた状態で電極軸３２が放電管１０の細管部１２内及び金属パイプ２０の小径部２２内を挿通されている。このとき、放電管１０の細管部１２内に挿通された電極３０の湾曲電極軸３２は、該細管部１２の内壁１３の先端近傍（Ａ部）と太管部１１側の端部近傍（Ｂ部）の２箇所に接触（圧接）している。
【００２６】
また、金属パイプ２０の小径部２２と電極３０の電極軸３２とが該小径部２２の先端部で一体に加熱溶融されて溶融部３を形成し、互いに気密に融着固定されている。
【００２７】
これにより、電極３０が金属パイプ２０を介して放電管１０に固定されると共に、放電管１０の太管部１１内の空間が金属パイプ２０及び電極３０によって完全気密の放電空間４となっている。
【００２８】
また、放電空間４内には、例えば、キセノンを主成分とするガスなどの封入ガス５が封入されており、放電空間４内に位置する、電極３０の先端電極部３１は電極軸３２の溶融部３を介して金属パイプ２０の小径部２２に電気的に接続されている。
【００２９】
そのため、放電ランプ１の取付固定及び放電発光に際しては、外部電源に電気的に接続されると同時に放電ランプ１を支持固定する働きも有する支持固定部材に金属パイプ２０を接続固定することにより、金属パイプ２０を介して放電ランプ１を所定の位置に保持することができると共に、金属パイプ２０を介して支持固定部材から受電した受電電力を電極３０の先端電極部３１に給電することにより放電ランプ１の放電発光を開始・維持することができる。
【００３０】
つまり、放電ランプ１の金属パイプ２０は、構造的な支持部としての働きと電気的な受電電極部としての働きの両方の働きを兼ねるものである。
【００３１】
これにより、放電ランプ１が車載用などの機械的振動や衝撃に晒される環境下において使用される場合、外部からの振動や衝撃は放電ランプ１を保持する金属パイプ２０に加わることになり、放電発光に係わる電極３には直接振動や衝撃が加わることはない。
【００３２】
そのため、振動や衝撃のある厳しい環境下で使用されても極めて安定した放電発光を維持することが可能となり、極めて信頼性の高い放電ランプ１が実現する。
【００３３】
次に、上述の実施形態に係わる放電ランプ１の製造方法について説明する。
【００３４】
まず、図３（放電ランプの製造工程の説明図）に示すように、透光性セラミックスによって、円筒状の太管部１１と太管部１１の両端から該太管部１１の径（内径及び外径）よりも小さい径（内径及び外径）で延びる一対の円筒状の細管部１２とで構成された放電管１０と、タンタル、タングステン、モリブデン等の高融点金属によって、円筒状の大径部２１と大径部２１の一端から該大径部２１の径（内径及び外径）よりも小さい径（内径及び外径）で延びる円筒状の小径部２２とで構成された金属パイプ２０を用い、放電管１０の一方の側（一次側）の細管部１２の端部に金属パイプ２０の大径部２１を覆い被せて両者をフリット２によって気密に溶着固定する。
【００３５】
そのため、金属パイプ２０の大径部２１の内径は放電管１０の細管部１２の外径よりも多少大きく形成されている。また、放電管１０及び金属パイプ２０はいずれも全体が均一な肉厚に形成されている。
【００３６】
次に、タンタル、タングステン、モリブデン等の高融点金属によって形成され、図４（放電ランプの製造工程の説明図）に示すような、放電発光に係わる電極部となる円柱状の先端電極部３１と先端電極部３１の一方の側から該先端電極部３１よりも大きい径で延びる円柱状の電極軸３２を有し、少なくとも電極軸３２が長手方向に湾曲した形状を呈する電極３０を、図５（放電ランプの製造工程の説明図）に示すように、先端電極部３１側から金属パイプ２０の小径部２２内を通して放電管１０内に挿入し、先端電極部３１が放電管１０の太管部１１内の端部近傍に位置した状態にセット（仮固定）する。
【００３７】
このとき、電極３０の電極軸３２の先端部３３は、金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３と面一か、あるいは金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３よりも多少突出した状態とされている。
【００３８】
また、放電管１０内に挿入された電極３０は、電極軸３２が湾曲状に形成されているために放電管１０の細管部１２の内壁１３の先端近傍（Ａ部）と太管部１１側の端部近傍（Ｂ部）の２箇所に当接し、且つ湾曲状の電極軸３２の付勢力によって圧接している。
【００３９】
そこで次に、図６（放電ランプの製造工程の説明図）に示すように、金属パイプ２０が溶着されてなる放電管１０内に挿入されて圧接仮固定された電極３０の電極軸３２の先端部３３と金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３とが近接する部分に、放電管１０の中心軸（Ｚ）方向からレーザ光を一点集中照射して加熱溶融し、両者が気密に一体化した溶融部３を形成する。
【００４０】
これにより、電極３０が金属パイプ２０を介して放電管１０の一次側に気密固定される。
【００４１】
一方、放電管１０の二次側の気密処理工程は、少なくとも電極軸３２が長手方向に湾曲した形状を呈する電極３０を、先端電極部３１側から金属パイプ２０の小径部２２内を通して放電管１０内に挿入し、先端電極部３１が放電管１０の太管部１１内の端部近傍に位置すると共に、放電管１０内に挿入された電極３０が、放電管１０の細管部１２の内壁１３の先端近傍（Ａ部）と太管部１１側の端部近傍（Ｂ部）の２箇所に当接し、且つ湾曲状の電極軸３２の付勢力によって圧接している状態（図５参照）とされるまでは、上述の一次側の気密処理工程と同様である。
【００４２】
二次側の気密処理工程については次に、放電管１０の二次側から放電管１０内（特に放電管１０の太管部１１内）に対する排気、希ガスの置換及び、例えば、キセノンを主成分とするガス（封入ガス５）の導入を行う。この場合、放電管１０内に対するガスの排気、置換及び導入は、電極３０の電極軸３２と金属パイプ２０の小径部２２の内壁２４との隙間、及び電極３０の電極軸３２と放電管１０の細管部１２の内壁１３との隙間を通して行われる（図７（放電ランプの製造工程の説明図）参照）。
【００４３】
その後、一次側の気密処理工程と同様に、金属パイプ２０が溶着されてなる放電管１０内に挿入されて圧接仮固定された電極３０の電極軸３２の先端部３３と金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３とが近接する部分に、放電管１０の中心軸（Ｚ）方向からレーザ光を一点集中照射して加熱溶融し、両者が気密に一体化した溶融部３を形成する（図６参照）。
【００４４】
これにより、電極３０が一対の金属パイプ２０介して放電管１０の一次側及び二次側に気密に固定されると共に、放電管１０の放電空間４内にキセノンを主成分とする封入ガス５が気密に封入されてなる放電ランプ１が完成する（図２参照）。
【００４５】
なお、電極３０の電極軸３２の先端部３３と金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３とのレーザ光照射による加熱溶融工程において、溶融部３を確実に形成して両者による気密封止を信頼性の高いものとするために、電極３０の電極軸３２の先端部３３と金属パイプ２０の小径部２２の先端部２との最適な寸法関係を、試作試験等に基づいて導き出した。
【００４６】
具体的には、図８（電極と金属パイプとの関係を示す説明図）にあるように、電極３０の電極軸３２の直径をＤ０とし、金属パイプ２０の小径部２２の内径をＤ１、外径をＤ２とすると、０＜（Ｄ１−Ｄ０）／（Ｄ２−Ｄ１）≦０．６となる関係を満たすことが好ましい。
【００４７】
もしも、（Ｄ１−Ｄ０）／（Ｄ２−Ｄ１）＞０．６の関係になると、電極３０の電極軸３２と金属パイプ２０の小径部２２の内壁２４との隙間に対して金属パイプ２０の小径部２２の肉厚が相対的に薄い状態となる。その結果、金属パイプ２０の小径部２２の溶融量では前記隙間を完全に且つ再現性良く埋めるだけの十分な溶融量を確保できない可能性があり、信頼性のある完全気密封止を形成することができない恐れがある。
【００４８】
また、電極３０は少なくとも電極軸３２が長手方向に湾曲した形状を呈しており、放電管１０(特に、放電管１０の細管部１２)内に挿入した状態においては、放電管１０の中心軸（放電管１０の細管部１２の中心軸でもある）（Ｚ）に対して偏心している。そのため、放電管１０の太管部１１内に位置する、電極３０の先端電極部３１の先端の位置が、前記中心軸（Ｚ）を中心とする円周方向（ＸＹ方向）及び中心軸（Ｚ）に沿う方向（Ｚ方向）に対して不均一な配置となり、個々の放電ランプ１が互いにばらつきのある放電発光特性を有することになる。
【００４９】
それに対し、本実施形態の電極３０は、先端電極部３１の長さ、電極軸３２の長さ及び湾曲形状を再現性良く作製し、放電管１０内に挿入するに際しては、金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３と電極３０の電極軸３２の先端部３３との位置関係を一定にすることにより電極３０の先端電極部３１の先端の、中心軸（Ｚ）に沿う方向（Ｚ方向）の位置の再現性を確保し、電極３０の湾曲方向を中心軸（Ｚ）を中心とする一定の放射方向とすることにより電極３０の先端電極部３１の先端の、中心軸（Ｚ）を中心とする円周方向（ＸＹ方向）の位置の再現性を確保している（図５参照）。
【００５０】
そのため、湾曲状の電極３０を用いた放電ランプ１は、該電極３０の先端電極部３１の先端が放電管１０のＸＹＺの夫々の方向に対して再現性良く位置決めされており、個々の放電ランプ１が互いに均一な放電発光特性を有するものとなる。
【００５１】
また、放電ランプ１の製造工程において、湾曲状の電極３０が放電管１０内に挿入されて圧接仮固定された状態で、放電管１０内（特に放電管１０の太管部１１内）に対する排気、希ガスの置換及び、例えば、キセノンを主成分とするガス（封入ガス５）の導入が行われる。
【００５２】
そのため、電極３０を支持するための支持手段（機構）を外部に設ける必要がなく、排気、希ガスの置換及び封入ガスの導入等のガス処理工程に用いる処理装置の構造を複雑化することはない。その結果、処理装置の価格上昇が抑制され、製品（高圧放電ランプ）の製造コストを低く抑えることができる。  
【００５３】
更に、金属パイプ２０の小径部２２と電極３０の電極軸３２との加熱溶融の際に、電極３０の電極軸３２の先端部３３と金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３とが近接する部分に、放電管１０の中心軸（Ｚ）方向からレーザ光を一点集中照射して加熱溶融を行うことができる。
【００５４】
そのため、加熱溶融工程における作業効率の効率化が図られ、これによっても製品（高圧放電ランプ）の製造コストが低く抑えられる。
【００５５】
なお、電極３０の形状は、上記実施形態のような１箇所の曲部を有する湾曲形状に限られるものではなく、図９（電極の説明図）のように、少なくとも電極軸３２が長手方向に２箇所以上（図９は具体的に２箇所）の曲部を有する波形状を呈する形状としてもよい。
【００５６】
この場合も、上記実施形態同様、電極３０の先端電極部３１の長さ、電極軸３２の長さ及び湾曲形状を再現性良く作製し、放電管１０内に挿入するに際しては、図１０（放電管と金属パイプと電極との関係を示す説明図）に示すように、金属パイプ２０の小径部２２の先端部２３と電極３０の電極軸３２の先端部３３との位置関係を一定にすることにより電極３０の先端電極部３１の先端の、中心軸（Ｚ）に沿う方向（Ｚ方向）の位置の再現性を確保し、電極３０の湾曲方向を中心軸（Ｚ）を中心とする一定の放射方向とすることにより電極３０の先端電極部３１の先端の、中心軸（Ｚ）を中心とする円周方向（ＸＹ方向）の位置の再現性を確保する。
【００５７】
このとき、放電管１０の細管部１２内に挿通された電極３０の波状電極軸３２は、該細管部１２の内壁１３の２箇所以上（図１０では具体的に先端近傍（Ａ部）と中央部近傍（Ｂ部）の２箇所）に接触（圧接）している。
【００５８】
これにより、波形状の電極３０を用いた放電ランプは、該電極３０の先端電極部３１の先端が放電管１０のＸＹＺの夫々の方向に対して再現性良く位置決めされており、個々の放電ランプが互いに均一な放電発光特性を有するものとなる。
【符号の説明】
【００５９】
１…  高圧放電ランプ
２…  フリット
３…  溶融部
４…  放電空間
５…  封入ガス
１０…  放電管
１１…  太管部
１２…  細管部
１３…  内壁
２０…  金属パイプ
２１…  大径部
２２…  小径部
２３…  先端部
２４…  内壁
３０…  放電電極
３１…  先端電極部
３２…  電極軸
３３…  先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013152851.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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