(57)【要約】      （修正有）【課題】上部磁性体の接合性、絶縁性、耐電圧特性などを良好に維持すると共に透磁率を高めることによって、インピーダンス特性を改善して性能及び信頼性を向上することができる、ノイズ除去フィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ノイズ除去フィルタ１００は、下部磁性体１１０と、この下部磁性体上に設けられ、少なくとも一つの導電体パターン１２１、１２２を有する絶縁層１２０と、導電体パターンの電気的な入出力のために導電体パターンに電気的に接続される入出力スタッド端子１４１ａ、１４２ａと、これらの入出力スタッド端子間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む内郭上部磁性体１３１と、入出力スタッド端子と下部磁性体の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む外郭上部磁性体１３２とを備える上部磁性体とを含む。【選択図】図４
2013125966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部磁性体と、
前記下部磁性体上に設けられ、少なくとも一つの導電体パターンを有する絶縁層と、
前記導電体パターンの電気的な入出力のために、前記導電体パターンに電気的に接続される入出力スタッド端子と、
前記入出力スタッド端子間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む内郭上部磁性体と、前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む外郭上部磁性体とを備える上部磁性体と
を含むノイズ除去フィルタ。
【請求項２】
前記フェライトパウダは、前記間隔の３０〜５０％にあたるサイズを有する請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項３】
前記入出力スタッド端子間の間隔が２２０〜２５０μｍの場合、該間隔内に設けられる前記内郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項４】
前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔が６０μｍの場合、該間隔内に設けられる前記外郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項５】
前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔が２０μｍの場合、該間隔内に設けられる前記外郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項６】
前記上部磁性体は、前記間隔に対応するホールを有するマスクを通じて充填されて設けられる請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項７】
前記上部磁性体は、充填後、内部のボイドを除去するための脱泡過程と、安定化及び硬化のためのレベリング過程と、表面研摩のためのポリシング過程とを経て設けられる請求項６に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項８】
前記上部磁性体は、前記フェライトパウダとともに、樹脂、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物を含むポリマから成る請求項１に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項９】
前記樹脂と前記添加物とは、重量比で９：１の混合比率を有する請求項８に記載のノイズ除去フィルタ。
【請求項１０】
少なくとも一つの導電体パターンと該導電体パターンの電気的な入出力のための入出力スタッド端子とを有するノイズ除去フィルタユニットが複数アレイされた下部磁性体パネルを準備するステップと、
前記入出力スタッド端子間の間隔によって異なるサイズのフェライトパウダを含む複数の上部磁性体を形成するステップと、
前記複数のノイズ除去フィルタユニットを単品のノイズ除去フィルタにダイシングするステップと
を含むノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記フェライトパウダは、前記入出力スタッド端子間の間隔の３０〜５０％にあたるサイズを有する請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記ノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子とこれに隣接するノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔は、４０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記ノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子とこれに隣接するノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔は、１２０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１４】
前記各ノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子とこれに電気的に接続された出力スタッド端子との間の間隔は、２５０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１５】
複数の前記導電体パターンが互いに分離されて設けられ、該複数の導電体パターンのうちの一方の入出力スタッド端子と他方の入出力スタッド端子との間の間隔は、２２０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１６】
前記複数の上部磁性体を形成するステップは、
前記入出力スタッド端子間の間隔に対応するホールを有するマスクを通じて異なるサイズのフェライトパウダを含む複数の複合材料を充填して行われる請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１７】
前記複数の上部磁性体を形成するステップの後に、
前記複数の上部磁性体の内部ボイドを除去するための脱泡ステップと、
前記複数の上部磁性体を安定化及び硬化するためのレベリングステップと、
前記複数の上部磁性体の表面を研摩するためのポリシングステップとを、さらに含む請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１８】
前記複数の上部磁性体は、異なるフェライトパウダとともに、樹脂、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物を含むポリマで構成される請求項１０に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【請求項１９】
前記樹脂と前記添加物とは、重量比で９：１の混合比率を有する請求項１８に記載のノイズ除去フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノイズ除去フィルタに関し、特に、簡単な構造及び工程で透磁率を高めると共にインピーダンス特性を改善して性能を向上することができるノイズ除去フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ディジタルＴＶ、スマートホン、ノートパソコンなどのような電子製品は、高周波帯域でのデータ送受信の機能が広く使われている。今後も、このようなＩＴ電子製品は、一つの機器だけではなく、相互間のＵＳＢ、その他の通信ポートを接続して多機能化・複合化して活用頻度が高くなると予想される。
【０００３】
データ送受信を早く行うためには、ＭＨｚ帯域の周波数帯域からＧＨｚ帯域の高周波数帯域へと移動してより多量の内部信号ラインを通じてデータをやりとるようになる。
【０００４】
このように多量のデータをやりとるために、メイン機器と周辺機器との間でＧＨｚ帯域の高周波数帯域の送受信時、信号の遅延やその他ノイズによってデータを円滑に処理するのに問題が発生している。
【０００５】
そのため、電子製品自体がノイズの発生源にならないようにすると共に、外部ノイズによって誤動作などが生じないようにするイミュニティ（Ｉｍｍｕｎｉｔｙ）対策が必要になる。
【０００６】
このため、ＩＴと周辺機器との接続部寄りにＥＭＩ対策部品を設けている。しかしながら、既存のＥＭＩ対策部品は巻線型／積層型タイプであって、チップ部品のサイズが大きく且つ電気的特性が悪く、特定の部位や大面積回路基板などのように限定領域のみに使用可能であった。そのため、電子製品のスリム化、小型化、複合化、多機能化への転換に応じるＥＭＩ対策部品が要求されている。
【０００７】
以下、添付の図１〜図３を参照して、従来技術によるＥＭＩ対策コイル部品の中でコモンモードフィルタについて詳記する。
【０００８】
図１〜図３を参照して、従来のコモンモードフィルタは、下部磁性基板１０と、この下部磁性基板１０の上部に設けられ、内部に第１のコイルパターン２１と第２のコイルパターン２２とが上下対称に設けられる絶縁層２０と、この絶縁層２０の上部に設けられる上部磁性体３０とを含んで構成される。
【０００９】
前記絶縁層２０は、前記下部磁性基板１０の上部に、薄膜工程によって、前記第１のコイルパターン２１及び前記第２のコイルパターン２２が内部に形成されるように設けられる。該薄膜工程の一例が、特許文献１に示されている。
【００１０】
前記絶縁層２０には、前記第１のコイルパターン２１に対して電気を入出力するための第１の入力リードパターン２１ａ及び第１の出力リードパターン２１ｂが形成され、前記第２のコイルパターン２２に対して電気を入出力するための第２の入力リードパターン２２ａ及び第２の出力リードパターン２２ｂが形成される。
【００１１】
より詳しくは、前記絶縁層２０は、前記第１のコイルパターン２１及び前記第１の入力リードパターン２１ａを有する第１のコイル層と、前記第２のコイルパターン２２及び前記第２の入力リードパターン２２ａを有する第２のコイル層と、前記第１の出力リードパターン２１ｂ及び前記第２の出力リードパターン２２ｂを有する第３のコイル層とで構成される。
【００１２】
即ち、前記下部磁性基板１０の上面に、薄膜工程によって前記第１のコイルパターン２１及び前記第１の入力リードパターン２１ａを形成してから絶縁材料をコーティングして、前記第１のコイル層を形成する。
【００１３】
前記第１のコイル層の上面に、薄膜工程によって、前記第１のコイルパターン２１に対応する前記第２のコイルパターン２２及び前記第２の入力リードパターン２２ａを形成してから絶縁材料をコーティングして、前記第２のコイル層を形成する。
【００１４】
続いて、前記第１のコイルパターン２１及び前記第２のコイルパターン２２の外部出力のために、前記第２のコイル層の上面に、薄膜工程によって前記第１の出力リードパターン２１ｂ及び前記第２の出力リードパターン２２ｂを形成してから絶縁材料をコーティングして、第３のコイル層を形成する。
【００１５】
前記第１のコイルパターン２１及び前記第２のコイルパターン２２は各々、前記第１の出力リードパターン２１ｂ及び前記第２の出力リードパターン２２ｂにビア接続構造によって電気的に接続されてもよい。
【００１６】
前記第１の入力リードパターン２１ａは第１の入力スタッド端子４１ａに接続され、前記第１の出力リードパターン２１ｂは前記第１の入力スタッド端子４１ａに対応する第１の出力スタッド端子４１ｂに接続され、前記第２の入力リードパターン２２ａは第２の入力スタッド端子４２ａに接続され、前記第２の出力リードパターン２２ｂは前記第２の入力スタッド端子４２ａに対応する第２の出力スタッド端子４２ｂに接続される。
【００１７】
詳しくは示されていないが、前記第１〜第３のコイル層はシート形態で製作され、積層方式で結合されることによって、前述の第１及び第２のコイルパターンと、第１及び第２の入力リードパターンと、第１及び第２の出力リードパターンを有する絶縁層を構成してもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開平８-２０３７３７号公報
【特許文献２】特開２０１０-１６５９６４号公報
【特許文献３】韓国公開特許第１０−２０１０−００１４８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
一方、こうして構成された従来のコモンモードフィルタにおいて、前記上部磁性体３０は、前記絶縁層２０との接合性、絶縁性、耐電圧特性などを向上させるために、フェライトにバインダとしての樹脂を混合した複合材料を充填して形成される。この場合、前記上部磁性体３０を構成する樹脂によってコモンモードフィルタの透磁率が著しく減衰し、コモンモードフィルタの性能及び特性を低下させるという不都合がある。
【００２０】
そのため、透磁率を高めるために、前記上部磁性体３０を構成するフェライトの粒径を増加させると、コモンモードフィルタの高周波特性が悪くなるという不都合があり、また前記上部磁性体３０のバインダとしての樹脂の量を減らすと、前記上部磁性体３０の接合性、絶縁性、耐電圧特性などが悪くなるという不都合がある。
【００２１】
また、透磁率を高めるために、前記上部磁性体３０の成形時に高温環境を提供する方法があるが、高温の環境では、作業性が低下するか、または温度を高めるための設備の増加やコモンモードフィルタの信頼性を低下させるという不都合がある。
【００２２】
本発明は上記の問題に鑑みて成されたものであって、 その目的は、上部磁性体の接合性、絶縁性、耐電圧特性などを良好に維持すると共に透磁率を高めることによって、インピーダンス特性を改善して性能及び信頼性を向上することができる、ノイズ除去フィルタ及びその製造方法を提供することにある。
【００２３】
本発明の他の目的は、簡単な構造及び工程で透磁率を高めることによって、透磁率の向上のための設備の増加を前もって防止し、製造費用の上昇を抑止して生産性を向上することができる、ノイズ除去フィルタ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を解決するために、本発明によれば、下部磁性体と、この下部磁性体上に設けられ、少なくとも一つの導電体パターンを有する絶縁層と、この導電体パターンの電気的な入出力のために、前記導電体パターンに電気的に接続される入出力スタッド端子と、この入出力スタッド端子間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む内郭上部磁性体と、前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む外郭上部磁性体とを備える上部磁性体と、を含むノイズ除去フィルタが提供される。
【００２５】
前記フェライトパウダは、前記間隔の３０〜５０％にあたるサイズを有する。
【００２６】
前記入出力スタッド端子間の間隔が２２０〜２５０μｍの場合、該間隔内に設けられる内郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する。
【００２７】
前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔が６０μｍの場合、該間隔内に設けられる外郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する。
【００２８】
また、前記入出力スタッド端子と前記下部磁性体の外側面との間の間隔が２０μｍの場合、該間隔内に設けられる外郭上部磁性体に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する。
【００２９】
前記上部磁性体は、前記間隔に対応するホールを有するマスクを通じて充填されて設けられる。
【００３０】
前記上部磁性体は、充填後、内部のボイド（ｖｏｉｄ）を除去するための脱泡過程と、安定化及び硬化のためのレベリング過程と、表面研摩のためのポリシング過程とを経て設けられる。
【００３１】
前記上部磁性体は、前記フェライトパウダとともに、樹脂、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物を含むポリマからなる。
【００３２】
前記樹脂と前記添加物とは、重量比で９：１の混合比率を有する。
【００３３】
また、上記目的を解決するために、本発明の他の形態によれば、少なくとも一つの導電体パターンと該導電体パターンの電気的な入出力のための入出力スタッド端子とを有するノイズ除去フィルタユニットが複数アレイされた下部磁性体パネルを準備するステップと、前記入出力スタッド端子間の間隔によって異なるサイズのフェライトパウダを含む複数の上部磁性体を形成するステップと、前記複数のノイズ除去フィルタユニットを単品のノイズ除去フィルタにダイシングするステップと、を含むノイズ除去フィルタの製造方法が提供される。
【００３４】
前記フェライトパウダは、前記入出力スタッド端子間の間隔の３０〜５０％にあたるサイズを有する。
【００３５】
前記ノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子とこれに隣接するノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔は４０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する。
【００３６】
前記ノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子とこれに隣接するノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔は１２０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する。
【００３７】
前記各ノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子とこれに電気的に接続された出力スタッド端子との間の間隔は、２５０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する。
【００３８】
複数の前記導電体パターンが互いに分離されて設けられ、該複数の導電体パターンのうちの一方の入出力スタッド端子と他方の入出力スタッド端子との間の間隔は２２０μｍであり、該間隔内に設けられる上部磁性体に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有する。
【００３９】
前記複数の上部磁性体を形成するステップは、前記入出力スタッド端子間の間隔に対応するホールを有するマスクを通じて異なるサイズのフェライトパウダを含む複数の複合材料を充填して行われる。
【００４０】
また、前記ノイズ除去フィルタの製造方法は、前記複数の上部磁性体を形成するステップ後に順次に行われ、前記複数の上部磁性体の内部ボイドの除去のための脱泡ステップと、前記複数の上部磁性体の安定化及び硬化のためのレベリングステップと、前記複数の上部磁性体の表面研摩のためのポリシングステップとをさらに含んで構成される。
【００４１】
前記複数の上部磁性体は、異なるフェライトパウダとともに、樹脂、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物を含むポリマで構成される。
【００４２】
前記樹脂と前記添加物とは、重量比で９：１の混合比率を有する。
【発明の効果】
【００４３】
前述のように、本発明のノイズ除去フィルタ及びその製造方法によれば、ノイズ除去フィルタの入出力スタッド端子間の間隔によって異なるサイズを有するフェライトパウダを含む上部磁性体を選択的に注入することによって、ノイズ除去フィルタの透磁率を高めることができるという効果を奏する。
【００４４】
また、本発明のノイズ除去フィルタ及びその製造方法によれば、高い透磁率を具現し、ノイズ除去フィルタのインピーダンス特性を改善することによって、製品の性能及び信頼性を向上することができるという効果を奏する。
【００４５】
また、本発明のノイズ除去フィルタ及びその製造方法によれば、簡単な構造及び工程で透磁率を高めることによって、設備の増加に伴う製造費用の上昇を抑止して生産性を向上することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】従来のノイズ除去フィルタの中でコモンモードフィルタを概略的に示す断面図である。
【図２ａ】図１の１次コイルパターンを概略的に示す平面図である。
【図２ｂ】図１の２次コイルパターンを概略的に示す平面図である。
【図２ｃ】図２ａの１次コイルパターンの出力側リードパターンと図２ｂの２次コイルパターンの出力側リードパターンとを概略的に示す平面図である。
【図３】図１の平面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタを概略的に示す断面図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６ａ】本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタの製造方法において、磁性体パネルにノイズ除去フィルタユニットが複数アレイされた状態を概略的に示す断面図である。
【図６ｂ】図６ａの平面図である。
【図７】図６ａの状態で複数の上部磁性体が設けられた状態を概略的に示す断面図である。
【図８】図７の状態でダイシング工程を行って製作された単品のノイズ除去フィルタを概略的に示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタの製造方法において脱泡ステップ、レベリングステップ及びポリシングステップを順次に概略的に示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、本発明の好適な実施の形態は図面を参考にして詳細に説明する。次に示される各実施の形態は当業者にとって本発明の思想が十分に伝達されることができるようにするために例として挙げられるものである。従って、本発明は以下に示している各実施の形態に限定されることなく他の形態で具体化されることができる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜上誇張して表現されることができる。明細書全体に渡って同一の参照符号は同一の構成要素を示している。
【００４８】
本明細書で使われた用語は、実摘形態を説明するためのものであって、本発明を制限しようとするものではない。本明細書において、単数形は文句で特別に言及しない限り複数形も含む。明細書で使われる「含む」とは、言及された構成要素、ステップ、動作及び/又は素子は、一つ以上の他の構成要素、ステップ、動作及び／又は素子の存在または追加を排除しないことに理解されたい。
【００４９】
以下、添付の図４〜図９を参照して、本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタ及びその製造方法について詳記する。
【００５０】
図４は、本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタを概略的に示す断面図であり、図５は、図４の平面図である。
【００５１】
図６ａ〜図８は、本発明の他の実施形態によるノイズ除去フィルタの製造方法を概略的に示す工程図であって、図６ａは、磁性体パネルにノイズ除去フィルタユニットが複数アレイされた状態を概略的に示す断面図で、図６ｂは、図６ａの平面図であり、図７は、図６ａの状態で複数の上部磁性体が設けられた状態を概略的に示す断面図で、図８は、図７の状態でダイシング工程を行って製作された単品のノイズ除去フィルタを概略的に示す断面図である。
【００５２】
図９は、本発明の他の実施形態によるノイズ除去フィルタの製造方法において脱泡ステップ、レベリングステップ及びポリシングステップを順次に概略的に示す工程図である。
【００５３】
まず、図４及び図５に示すように、本発明の一実施形態によるノイズ除去フィルタ１００は大きく、下部磁性体１１０と、この下部磁性体１１０上に設けられ、１次導電体パターン１２１及び２次導電体パターン１２２を有する絶縁層１２０と、これらの１次導電体パターン１２１及び２次導電体パターン１２２に電気的に接続される第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂと、これらの第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔が形成するキャビティと前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂと前記下部磁性体１１０の外側面との間の間隔が形成するキャビティとに設けられる上部磁性体１３０とを含んで構成される。
【００５４】
前記上部磁性体１３０は、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む内郭上部磁性体１３１と、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂと前記下部磁性体１１０の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む外郭上部磁性体１３２、１３３とを含む。
【００５５】
前記外郭上部磁性体１３２、１３３は、図４及び図５に示すように、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂの左右方向の外側面と前記下部磁性体１３１の左右方向の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む左右外郭上部磁性体１３２と、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂの前後方向の外側面と前記下部磁性体１３１の前後方向の外側面との間の間隔に対応するサイズのフェライトパウダを含む前後外郭上部磁性体１３３とを含んで構成される。
【００５６】
一例として、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔Ｓ１１が略２２０〜２５０μｍの場合、該間隔Ｓ１１内に設けられる内郭上部磁性体１３１に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有するが、これに限定するものではない。前記内郭上部磁性体１３１に含まれるフェライトパウダの粒径は、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔に対比して略３０〜５０％にあたるサイズを有する。
【００５７】
前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂの左右方向の外側面と前記下部磁性体１１０の左右方向の外側面との間の間隔Ｓ２が略６０μｍの場合、該間隔Ｓ２内に設けられる左右外郭上部磁性体１３２に含まれるフェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する。
【００５８】
また、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂの前後方向の外側面と前記下部磁性体１１０の前後方向の外側面との間の間隔Ｓ３が略２０μｍの場合、該間隔Ｓ３内に設けられる前後外郭上部磁性体１３３に含まれる前記フェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する。
【００５９】
これによって、本実施形態のノイズ除去フィルタ１００によれば、前記第１及び第２の入出力スタッド端子間の間隔と、前記第１及び第２の入出力スタッド端子の外側面と前記下部磁性体の外側面との間の間隔とに各々対応するサイズを有するフェライトパウダを含む複数の上部磁性体を選択的に充填して設けることによって、簡単な構造でノイズ除去フィルタの透磁率を向上すると共に、上部磁性体を該間隔に円滑に充填することができる。
【００６０】
前記下部磁性体１１０は、フェライト系列の材料を含む基板形態で形成されてもよい。
【００６１】
前記１次導電体パターン１２１及び前記２次導電体パターン１２２は、前記下部磁性体１１０上に順次に薄膜工程によって形成され、前記絶縁層１２０を介して覆われると共に互いに電気的に分離されてもよい。
【００６２】
ここで、前記１次導電体パターン１２１の入力側には第１の入力リードパターン１２１ａが形成され、その出力側には第１の出力リードパターン１２１ｂが形成される。また、前記２次導電体パターン１２２の入力側には第２の入力リードパターン１２２ａが形成され、その出力側には第２の出力リードパターン１２２ｂが形成される。
【００６３】
前記１次導電体パターン１２１及び前記２次導電体パターン１２２は、前記第１の出力リードパターン１２１ｂ及び前記第２の出力リードパターン１２２ｂに各々ビア接続構造によって電気的に接続されてもよい。
【００６４】
前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂは、前記１次導電体パターン１２１の第１の入力リードパターン１２１ａに電気的に接続され、外部から前記１次導電体パターン１２１へ電気を入力させる第１の入力スタッド端子１４１ａと、前記１次導電体パターン１２１の第１の出力リードパターン１２１ｂに電気的に接続され、外部から電気を出力する第１の出力スタッド端子１４１ｂと、前記２次導電体パターン１２２の第２の入力リードパターン１２２ａに電気的に接続され、外部から前記２次導電体パターン１２２へ電気を入力させる第２の入力スタッド端子１４２ａと、前記２次導電体パターン１２２の第２の出力リードパターン１２２ｂに電気的に接続され、外部から電気を出力する第２の出力スタッド端子１４２ｂとを含んで構成される。
【００６５】
一方、詳しくは示されていないが、前記上部磁性体１３０は、該間隔に対応するホールを有するマスクを通じて充填されてもよい。
【００６６】
つまり、前記マスクには、前記内郭上部磁性体１３１、前記左右外郭上部磁性体１３２及び前記前後外郭上部磁性体１３３に対応する複数のホールが形成されてもよい。また、該複数のホールを通じて異なるサイズのフェライトパウダを含む磁性材料を充填することによって、前記内郭上部磁性体１３１、前記左右外郭上部磁性体１３２及び前記前後外郭上部磁性体１３３を含む上部磁性体１３０を形成してもよい。
【００６７】
前記上部磁性体１３０は、充填後、内部のボイドを除去するための脱泡過程と、安定化及び硬化のためのレベリング過程と、表面研摩のためのポリシング過程とを経て設けられる。それに対する詳細は、後述する本発明によるノイズ除去フィルタの製造方法で説明する事にする。
【００６８】
前記上部磁性体１３０は、前記フェライトパウダとともに、樹脂、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物を含むポリマからなる。
【００６９】
即ち、前記内郭上部磁性体１３１、前記左右外郭上部磁性体１３２及び前記前後外郭上部磁性体１３３は、異なるサイズのフェライトパウダを含み、接合性及び絶縁性の向上のために樹脂をさらに含んでもよい。また、その他の機能向上のために、エポキシ及びポリイミドのうちの少なくともいずれか一つの添加物をさらに含んでもよい。
【００７０】
前記樹脂と前記添加物とは、重量比で９：１の混合比率を有する。
【００７１】
次に、図６ａ〜図９を参照して、本発明の他の実施形態によるノイズ除去フィルタの製造方法について詳記する。
【００７２】
まず、図６ａ及び図６ｂに示すように、下部磁性体パネル１１０ａを準備し、該下部磁性体パネル１１０ａ上に１次導電体パターン１２１及び２次導電体パターン１２２と、前記１次及び２次導電体パターン１２１、１２２各々の電気的な入出力のための第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂを有するノイズ除去フィルタユニット１００ａを複数アレイする。
【００７３】
続いて、図７に示すように、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔と、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂとこれに隣接する他のノイズ除去フィルタユニットの第１及び第２の入出力スタッド端子との間の間隔とによって、異なるサイズのフェライトパウダを含む複数の上部磁性体１３０を形成する。
【００７４】
前記ノイズ除去フィルタユニット１００ａの第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔Ｓ１１またはＳ１２が略２２０〜２５０μｍの場合、該間隔Ｓ１１またはＳ１２内に設けられる内郭上部磁性体１３１に含まれるフェライトパウダの粒径は、５０〜１００μｍのサイズを有するが、これに限定するものではない。例えば、前記内郭上部磁性体１３１に含まれるフェライトパウダの粒径は、前記第１及び第２の入出力スタッド端子１４１ａ、１４１ｂ、１４２ａ、１４２ｂ間の間隔に対比して略３０〜５０％にあたるサイズを有してもよい。
【００７５】
前記第１の入力スタッド端子１４１ａと前記第１の出力スタッド端子１４１ｂとの間の間隔Ｓ１１は略２５０μｍ内外に設けられ、前記第１の出力スタッド端子１４１ｂと前記第２の出力スタッド端子１４２ｂとの間の間隔Ｓ１２は略２２０μｍ内外に設けられる。
【００７６】
また、前記ノイズ除去フィルタユニット１００ａの第１及び第２の出力スタッド端子１４１ｂ、１４２ｂのうちのいずれか一つと、これに隣接する他のノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔Ｓ２１は、略１２０μｍに設けられる。この場合、該間隔Ｓ２１内に設けられる左右外郭上部磁性体１３２に含まれるフェライトパウダの粒径は、２０〜５０μｍのサイズを有する。
【００７７】
勿論、前記ノイズ除去フィルタユニット１００ａの第１及び第２の入力スタッド端子１４１ａ、１４２ａのうちのいずれか一つと、これに隣接する他のノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子との間の間隔も略１２０μｍに設けられる。
【００７８】
また、前記ノイズ除去フィルタユニット１００ａの第１及び第２の入力スタッド端子１４１ａ、１４２ａのうちのいずれか一つと、これに隣接する他のノイズ除去フィルタユニットの出力スタッド端子との間の間隔Ｓ３１は、略４０μｍに設けられる。この場合、該間隔Ｓ３１内に設けられる前後外郭上部磁性体１３３に含まれるフェライトパウダの粒径は、１〜２０μｍのサイズを有する。
【００７９】
勿論、前記ノイズ除去フィルタユニット１００ａの第１及び第２の出力スタッド端子１４１ｂ、１４２ｂのうちのいずれか一つと、これに隣接する他のノイズ除去フィルタユニットの入力スタッド端子との間の間隔も略４０μｍに設けられる。
【００８０】
続いて、図９に示すように、前記上部磁性体１３０を充填した後、該充填された磁性材料内に含まれた真空、即ち、ボイド、ソルベントなどを除去する脱泡工程を行う。
【００８１】
続いて、該脱泡工程後、前記磁性材料がキャビティ内の全体に均一に充填されて安定化・硬化されるレベリング工程を行う。
【００８２】
続いて、過充填された磁性材料を取り除き、表面を研くポリシング工程を行う。
【００８３】
前述のように、上部磁性体１３０の製造工程が完了した後、図８に示すように、ダイシングラインＬ１、Ｌ２に沿って複数のノイズ除去フィルタユニットをダイシングすることによって、単品のノイズ除去フィルタ１００の製作が完了する。
【００８４】
本実施形態のノイズ除去フィルタの製造方法において、前述のノイズ除去フィルタの構造と重複する説明、例えば、上部磁性体の構成材料、混合割合及びマスク充填などの説明は同じなので、それに対する詳細は略する事にする。
【００８５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、前記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００８６】
１００  ノイズ除去フィルタ
１００ａ  ノイズ除去フィルタユニット
１１０  下部磁性体
１１０ａ  下部磁性体パネル
１２０  絶縁層
１２１  １次導電体パターン
１２１ａ  第１の入力リードパターン
１２１ｂ  第１の出力リードパターン
１２２  ２次導電体パターン
１２２ａ  第２の入力リードパターン
１２２ｂ  第２の出力リードパターン
１３０  上部磁性体
１３１  内郭上部磁性体
１３２  左右外郭上部磁性体
１３３  前後外郭上部磁性体
１４１ａ  第１の入力スタッド端子
１４１ｂ  第１の出力スタッド端子
１４２ａ  第２の入力スタッド端子
１４２ｂ  第２の出力スタッド端子
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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