(57)【要約】【課題】フォトスペーサー高さ検査装置の装置タクトタイムを短縮する。【解決手段】膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶し、  Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示す相関データを記憶し、  搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出し、  カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定する。【選択図】図７
2013125013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、ＲＧＢのいずれかの画素をＢａｓｅ面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置が行う方法であって、
膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶し、
Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示す相関データを記憶し、
搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出し、
カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定することを特徴とするフォトスペーサー高さ検査方法。
【請求項２】
カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、ＲＧＢのいずれかの画素をＢａｓｅ面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置であって、
膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶する手段と、
Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示す相関データを記憶する手段と、
搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出す手段と、
カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定する手段とを備えることを特徴とするフォトスペーサー高さ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトスペーサー高さ検査方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、カラーフィルタ基板は、例えば、図１に示すように、ガラス基板１０上にブラックマトリックス（ＢＭとも云う）１１、赤色画素（Ｒ画素とも云う）１２、緑色画素（Ｇ画素とも云う）１３、青色画素（Ｂ画素とも云う）１４、透明電極１５、及びフォトスペーサー（ＰＳとも云う）１６が順次形成されたものである。
【０００３】
従来、カラーフィルタ製造に使用しているフォトスペーサー高さ検査装置には、種々のものがあるが（例えば特許文献１参照）、一例として、図２のフォローチャートに示すように、カラーフィルタ基板搬入（Ｓ１）後、メカアライメント（Ｓ２）及びソフトアライメント（Ｓ３）による位置合わせを行うと、カメラが測定座標に移動し（Ｓ４）、カラーフィルタ基板に対してオートフォーカス動作（Ｓ５）をかけてから、測定（Ｓ６）を行っているものがある。ここで、メカアライメントは機械式の位置合わせ、ソフトアライメントはコンピュータソフトウェアを用いた位置合わせのことである。
【０００４】
オートフォーカス動作は、測定の前段階として、カメラのピントを大まかに合わせるために実施するもので、カメラが測定座標に移動後、測定対象のカラーフィルタ基板に対してＺ方向に粗いピッチでスキャンをかけて画像を取得し、測定のＢａｓｅとなる面（Ｂａｓｅ面とも云う）が最も明るくなるＺ方向の位置（Ｚ位置とも云う）をピントの合った位置として、そのＺ位置にカメラを移動する動作である。オートフォーカス動作の所要時間は、約１．０〜２．０秒である。
【０００５】
具体的には、図３に示すように、カメラ２０がＺ軸を上から下へ移動しながら、１ピッチごとに画像を取得する。図３に示す例では、Ａ〜Ｅの位置で画像を取得し、取得した画像の合計数は５枚であるが、実際は、数十枚の画像を取得する。そして、Ｂａｓｅ面が最も明るい画像を取得した位置を、ピントが合った位置とする。図３に示す例では、Ｂａｓｅ面が最も明るいのは、Ｄの位置である。
【０００６】
尚、一般に、フォトスペーサー高さ測定では、ＲＧＢいずれかの画素をＢａｓｅ面とする。
【０００７】
オートフォーカス動作の後、ピントが合った位置を基準として、細かいピッチでスキャンをかけて測定を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−２３６００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述のフォトスペーサー高さ検査装置の例では、測定座標ごとに毎回オートフォーカス動作を実施するために、装置タクトタイムが延びるという問題がある。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、フォトスペーサー高さ検査装置の
装置タクトタイムを短縮することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、
カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、ＲＧＢのいずれかの画素をＢａｓｅ面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置が行う方法であって、
膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶し、
Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示す相関データを記憶し、
搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出し、
カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定することを特徴とするフォトスペーサー高さ検査方法としたものである。
【００１２】
また請求項２の発明では、
カラーフィルタ基板を搬入し、搬入したカラーフィルタ基板に対して、カメラで、測定座標ごとに、ＲＧＢのいずれかの画素をＢａｓｅ面として、フォトスペーサーの高さを検査して搬出する装置であって、
膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を受信して記憶する手段と、
Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示す相関データを記憶する手段と、
搬入したカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出す手段と、
カメラを各測定座標へ移動し、各測定座標にて、相関データに基づいて、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動して、フォトスペーサーの高さを測定する手段とを備えることを特徴とするフォトスペーサー高さ検査装置としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、オートフォーカス動作を実施しないので、フォトスペーサー高さ検査装置の装置タクトタイムを短縮できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】カラーフィルタ基板の一例を示す断面図。
【図２】従来のフォトスペーサー高さ検査装置の動作フローの例を示すフローチャート。
【図３】オートフォース動作を説明する図。
【図４】ＲＧＢ各工程での装置配置を示す図。
【図５】ＰＳＡＶＳ工程での装置配置を示す図。
【図６】Ｂａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚値とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示すグラフ。
【図７】本発明のフォトスペーサー高さ検査装置の動作フローの例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００１６】
本実施形態では、カラーフィルタ基板は、ブラックマトリックスを形成するＢＭ工程、Ｒ画素を形成するＲｅｄ工程（Ｒ工程とも云う）、Ｇ画素を形成するＧｒｅｅｎ工程（Ｇ工程とも云う）、Ｂ画素を形成するＢｌｕｅ工程（Ｂ工程とも云う）、ブラックマトリック及びＲＧＢ画素の形成面を研磨して酸化インジウム錫（ＩＴＯとも云う）からなる透明電極を形成する研磨ＩＴＯ工程、フォトスペーサーを形成するＰＳＡＳＶ工程、検査工程を経て製造される。
【００１７】
ＲＧＢ各工程には、図４に示すように、膜厚監視装置（ＴＭＳとも云う）３０が設置され、ＰＳＡＳＶ工程には、図５に示すように、本発明のフォトスペーサー高さ検査装置４０が配置され、膜厚監視装置３０と、フォトスペーサー高さ検査装置４０とは、ネットワークで接続され、相互に通信可能となっている。
【００１８】
ＲＧＢそれぞれの工程の膜厚監視装置は、フォトスペーサー高さ検査装置の測定座標と同座標でのＲＧＢそれぞれの画素の膜厚測定を全カラーフィルタ基板で行っている。
【００１９】
ＲＧＢのいずれかの工程の膜厚監視装置は、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を測定すると、各カラーフィルタ基板を識別する基板ＩＤと関係付けて、フォトスペーサー高さ検査装置に送信する。
【００２０】
本発明のフォトスペーサー高さ検査装置は、ＲＧＢのいずれかの工程の膜厚監視装置から、各カラーフィルタ基板の測定座標ごとのＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値と、各カラーフィルタ基板を識別する基板ＩＤとを関係付けたものを受信して、記憶装置に記憶する。
【００２１】
また本発明のフォトスペーサー高さ検査装置にて、図６に示すような、Ｂａｓｅ面となるＲＧＢのいずれかの画素の膜厚値（Ｂａｓｅ面高さとも云う）とカメラのピントが合うＺ位置との相関を示すデータ（相関データとも云う）をとっておき、この相関データを記憶装置に記憶しておく。
【００２２】
そして本発明のフォトスペーサー高さ検査装置は、カラーフィルタ基板搬入後、このカラーフィルタ基板の基板ＩＤと関係付けて記憶している、このカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出して取得し、カメラを各測定座標に移動後に、オートフォーカス動作（スキャン動作）を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、各測定座標にてＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置カメラを移動し、測定を行う。
【００２３】
以下に、本発明のフォトスペーサー高さ検査装置の動作フローの例を、図７に示すフローチャートに従って説明する。
【００２４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
カラーフィルタ基板を搬入する。
【００２５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
以下のＳＴＥＰ２ａとＳＴＥＰ２ｂとを平行して実施する。
【００２６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２ａ；
搬入したカラーフィルタ基板に対して、メカアライメント及びソフトアライメントによる位置合わせを行う。
【００２７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２ｂ；
搬入したカラーフィルタ基板の基板ＩＤと関係付けて記憶している、このカラーフィルタ基板の測定座標ごとのＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値を読み出して取得する。
【００２８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
カメラを最初の測定座標へ移動する。
【００２９】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
オートフォーカス動作（スキャン動作）を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、最初の測定座標にてＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動する。
【００３０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
最初の測定座標で、フォトスペーサーの高さを測定する。
【００３１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
カメラを次の測定座標へ移動する。
【００３２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）７；
オートフォーカス動作（スキャン動作）を行うことなく、記憶している相関データに基づいて、次の測定座標にてＢａｓｅ面となるＲＧＢいずれかの画素の膜厚測定値から、カメラのピントが合うＺ位置を求め、求めたＺ位置にカメラを移動する。
【００３３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）８；
次の測定座標で、フォトスペーサーの高さを測定する。
【００３４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）９；
全ての測定座標でフォトスペーサーの高さを測定したかを確かめ、
全ての測定座標で測定したならば、ＳＴＥＰ１０に進み、
他方、測定していない測定座標があるならば、ＳＴＥＰ６に戻る。
【００３５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１０；
カラーフィルタ基板を搬出する。
【符号の説明】
【００３６】
１０…ガラス基板
１１…ブラックマトリックス（ＢＭ）
１２…赤色画素（Ｒ画素）
１３…緑色画素（Ｇ画素）
１４…青色画素（Ｂ画素）
１５…透明電極
１６…フォトスペーサー（ＰＳ）
２０…カメラ
３０…膜厚監視装置（ＴＭＳ）
４０…フォトスペーサー高さ検査装置
【図２】
2013125013.tif 000003
【図６】
2013125013.tif 000004
【図７】
2013125013.tif 000005
【図１】
2013125013.tif 000006
【図３】
2013125013.tif 000007
【図４】
2013125013.tif 000008
【図５】
2013125013.tif 000009