(57)【要約】【課題】ガラス研磨を行った後、ガラスをパッドから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法を提供する。【解決手段】定盤１の表面に、少なくとも、ウレタンシート２０とエラストマーシート２１からなる積層シート２を貼り付ける工程と、積層シート２の表面に研磨対象のガラスＧを貼り付ける工程と、ガラスＧの表面を研磨する工程と、研磨工程後、ガラスＧと共に積層シート２の端部を定盤１から剥離させる工程と、剥離工程の途中でガラスＧと積層シート２の間に空気層Ａを形成させた後、ガラスＧのみを積層シート２から分離させる工程と、を有し、ウレタンシート２０は、表面スキン層２０ａとセル層２０ｂからなり、表面スキン層２０ａ側にガラスＧを貼り付け、セル層２０ｂ側をエラストマーシート２１と結合している。【選択図】図３
2013107168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤の表面に、少なくとも、ウレタンシートとエラストマーシートからなる積層シートを貼り付ける工程と、
前記積層シートの表面に研磨対象のガラスを貼り付ける工程と、
前記ガラスの表面を研磨する工程と、
研磨工程後、前記ガラスと共に前記積層シートの端部を定盤から剥離させる工程と、
前記剥離工程の途中で前記ガラスと前記積層シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記積層シートから分離させる工程と、を有し、
前記ウレタンシートは、表面スキン層とセル層の積層構造を有しており、前記表面スキン層側に前記ガラスを貼り付けていることを特徴とするガラス研磨方法。
【請求項２】
請求項１に係るガラス研磨方法において使用される積層シートであって、
少なくとも、ウレタンシートとエラストマーシートからなり、さらに、前記ウレタンシートは、表面スキン層とセル層の積層構造を有しており、前記表面スキン層側に前記ガラスを貼り付けてしていることを特徴とする積層シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シートを用いてガラスを研磨する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかるガラス研磨方法を図１により簡単に説明する。このガラス研磨装置は、ガラス保持部１００と、ガラス研磨部２００から構成される。ガラス保持部１００は、金属製の定盤１と、この定盤１の上に貼り付けられる保持パッド２と、保持パッド２の上に貼り付けられるガラスＧと、から構成される。定盤１はアーム１０１により可動に構成される。保持パッド２の例としては、例えば、下記特許文献１に開示されるものが公知である。
【０００３】
ガラス研磨部２００には、研磨パッド２０１が取り付けられ、不図示のモーターにより回転可能に構成される。実際にガラス研磨を行うときは、ガラス保持部１００とガラス研磨部２００を向かい合わせ、研磨パッド２０１によりガラスＧの表面を研磨する。研磨した後、再び、ガラス保持部１００と、ガラス研磨部２００を離間し、ガラスＧを保持パッド２から剥離させる。
【０００４】
ここで、剥離する時の様子を図６に示す。ガラスＧの端部を手で持って、保持パッド２から徐々に引き剥がしていく。ここで、ガラスＧと保持パッド２との密着状態を緩和させるため、エアガンによりガラスＧと保持パッド２の間に空気を送り込むようにする場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−３２６７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記構成は、次のような問題点がある。ガラスＧを剥離するために徐々に引
き剥がすとき手前に引き剥がす力でガラスＧが割れる可能性がある。また、エアガンで空気を送り込んだ場合も、ガラスＧが振動し、ガラスＧが割れる可能性がある。研磨対象となるガラスＧは厚みが薄いもので０．３ｍｍ程度である。そして、さらなる薄型化の要求により、さらにガラスＧが割れる確率が高くなる。
【０００７】
本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、その課題は、ガラス研磨を行った後、ガラスをパッドから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法及びこれに用いる積層シートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため本発明に係るガラス研磨方法は、
定盤の表面に、少なくとも、ウレタンシートとエラストマーシートからなる積層シートを貼り付ける工程と、
前記積層シートの表面に研磨対象のガラスを貼り付ける工程と、
前記ガラスの表面を研磨する工程と、
研磨工程後、前記ガラスと共に前記積層シートの端部を定盤から剥離させる工程と、
前記剥離工程の途中で前記ガラスと前記積層シートの間に空気層を形成させた後、前記ガラスのみを前記積層シートから分離させる工程と、を有し、
前記ウレタンシートは、表面スキン層とセル層の積層構造を有しており、前記表面スキン層側に前記ガラスを貼り付けていることを特徴とするものである。
【０００９】
かかる構成によるガラス研磨方法の作用・効果を説明する。まず、定盤の上に積層シートが貼り付けられ、さらに、その上に研磨対象のガラスが更に貼り付けられる。なお、これらを貼り付ける順番は、上記の順番に限定されるものではない。この状態でガラスを研磨パッドにより研磨し、研磨した後、ガラスを積層シートから剥離させる必要がある。このとき、まず、ガラスと積層シートを共に、定盤から引き剥がす。この剥離工程で、ガラスと積層シートのたわみ剛性の違いにより、ガラスと積層シートの間に空気層が形成される。この状態になれば、ガラスを積層シートから自然に分離させることができる。このように、ガラスを無理なく剥離できるので、ガラスが割れる確率を減らすことができる。その結果、ガラス研磨を行った後、ガラスをシートから剥離させる時に、ガラスの割れを防止可能なガラス研磨方法を提供することができる。
【００１０】
上記課題を解決するため本発明に係る積層シートは、
少なくとも、ウレタンシートとエラストマーシートからなり、さらに、前記ウレタンシートは、表面スキン層とセル層の積層構造を有しており、前記表面スキン層側に前記ガラスを貼り付けていることを特徴とするものである。
【００１１】
この構成による作用・効果はすでに述べた通りであり、ガラスを無理なく剥離できるので、ガラスが割れる確率を減らすことができる。また、ウレタンシートのスキン層の吸着特性を利用してガラスを貼り付けることができる。さらに、ウレタンシートのセル層側をエラストマーシートと結合することで、エラストマーシートの表面に存在する凹凸をセル層で吸収することができる。これにより、ガラスを平坦な状態で積層シートの表面に保持させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ガラス研磨装置の構成を示す概念図
【図２】積層シートの断面構成を示す図
【図３】積層シートの効果を説明する図
【図４】ガラスを定盤にセットした時の状態を示す側面図
【図５】ガラスを積層シートから剥離させる時の手順を示す図
【図６】従来技術においてガラスを剥離させる時の手順を示す図
【図７】積層シートの別実施形態の断面構成を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係るガラス研磨方法及び装置の好適な実施形態を図面を用いて説明する。なお、ガラス研磨装置の構成は、従来技術において説明した図１と基本構成は同じである。研磨対象となるガラスは、研磨を必要とするガラスであり、特に厚みの薄いガラスにおいて、本発明は有用である。
【００１４】
＜ガラスの貼り付け構成＞
図１に示すガラス研磨装置のガラス保持部１００にガラスＧを保持した時の状態を図２に示す。定盤１の表面に積層シート２が貼り付けられており、更に、その積層シート２の表面にガラスＧが貼り付けられている。
【００１５】
＜積層シートの構成＞
積層シート２の断面構成を図２に示す。積層シート２は、ウレタンシート２０とエラストマーシート２１が積層されており、これらを粘着剤層２２により結合して一体化している。あるいは、ホットメルトにより接着して一体化してもよい。エラストマーシート２１の一方の面は定盤１に貼り付ける面である。エラストマーシート２１の他方の面は、粘着剤層２２を介してウレタンシート２０と結合される。
【００１６】
ウレタンシート２０は、表面スキン層２０ａと、セル層２０ｂにより構成されている。表面スキン層２０ａには、緻密な微細孔が形成されている。セル層２０ｂは、内部に形成され、発泡孔が多数形成される。セル層側が粘着剤層２２を介してエラストマーシート２１と結合される。
【００１７】
ウレタンシート２０としては、湿式製法による表面スキン層とセル層を保有するウレタンシートあるいは乾式製法による表面スキン層とセル層を保有するウレタンシートが使用される。エラストマーシート２１としては、スチレンエラストマーシートあるいはその他の素材のエラストマーシートが使用される。これらの任意の組み合わせにより積層シート２が構成される。どのように組み合わせるかは、作業者が必要とする研磨品質や作業性により決めることができる。
【００１８】
エラストマーシートは、強い自己粘着性を有し、そのままで定盤１に貼り付けることができる。
【００１９】
＜積層シートの作用＞
図３は、積層シート２の作用を示す図である。図３（ａ）は、エラストマーシート２１のみでガラスＧを吸着させた場合を示す。エラストマーシート２１は、表面を洗浄するなどして、定盤１に対して繰り返し密着および剥離できる機能を持続することができる。しかし、内部にセル層を有していないので、弾性に乏しい。従って、エラストマーシート２１自身に少々の凹凸がある場合に、そのままガラスＧを貼り付けて研磨すると、研磨されたガラスＧの平滑性に斑を与えてしまう。一方、図３（ｂ）に示すように、ウレタンシート２０はセル層２０ｂを有しており、これをエラストマーシート２１に貼り付けることで、凹凸を吸収し、貼り付けたガラスＧの平滑性に斑を与えることなく研磨作業を行うことができる。
【００２０】
＜ガラス研磨方法＞
次に、実際にガラスＧを研磨する時の手順を説明する。図４は、ガラスＧを定盤１にセットした時の状態を示す側面図である。まず、定盤１の表面に積層シート２を貼り付ける。積層シート２の素材は前述の素材が選択される。
【００２１】
次に、積層シート２の表面にガラスＧを貼り付ける。なお、積層シート２は、研磨されるガラスＧの形状に合わせたシート材として形成される。また、サイズについては、積層シート２の表面積は、ガラスＧの表面積よりと同じか少し大きくなるように設定しておくことが好ましい。これにより、ガラスＧを剥離する時の操作が行いやすくなる。
【００２２】
上記の例では、定盤１の表面に順番に積層シート２とガラスＧを貼り付けたが、予め、積層シート２とガラスＧを貼り付けておき、これを定盤１の表面に貼り付けるようにしてもよい。
【００２３】
図４のようにセットされた後、図１にも示すように、研磨パッド２０１により、ガラスＧの表面を研磨する。研磨工程は従来と同じ方法で行うことができる。
【００２４】
＜ガラスの剥離工程＞
次に、研磨工程が終了した後、ガラスＧを積層シート２から剥離させる時の手順を図５により説明する。
【００２５】
図５（ａ）に示すように、矩形の積層シート２の四隅のうちの１つを保持し、徐々にはがしていく。この時、積層シート２とガラスＧが一体となって剥がれていく。一定の面積（約１／４）程度剥がすと、図５（ｂ）に示すように、ガラスＧと積層シート２の間に空気層Ａが形成し始め、ガラスＧが積層シート２から剥離し始める。これは、ガラスＧと積層シート２のたわみ剛性の差に基づくものである。
【００２６】
この状態になれば、積層シート２の剥離動作を終了し、ガラスＧを積層シート２から引き剥がす。空気層Ａが形成されているので、無理なく剥離させることができる。ガラスＧを完全に分離した後、図５（ｃ）に示すように、積層シート２を元の状態に戻す。
【００２７】
以上の方法によれば、エアブローなどを用いないでガラスＧを剥離させることができ、ガラスＧが割れることを防止することができる。従って、薄いガラスでも剥離時の割れを防止することができ、歩留まりを向上させることができる。また、剥離するまでの時間も短縮化することができ、図６の場合に比べ、本発明の構成によれば短時間で剥離させることができ、作業効率も改善される。
【００２８】
＜積層シートの実施形態＞
本発明に係る積層シートは、図２に示す構造に限定されるものではなく、図７に示す構造のものを採用してもよい。この積層シート２は、ウレタンシート２０とエラストマーシート２１の間にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）シート２３が介在している。ＰＥＴシート２３とウレタンシート２０あるいはエラストマーシート２１は、粘着剤層２２あるいはホットメルト等による接着により、一体化されている。あるいは、ＰＥＴシート２３の上に、直接ウレタンシート２０とエラストマーシート２１を成形して一体結合させてもよい。ＰＥＴシート２３を設けることにより、積層シート全体のたわみ強さが増すという利点がある。
【００２９】
＜別実施形態＞
本発明において、積層シート２やガラスＧの貼り付け及び剥離、また、ガラスＧの貼り付け及び剥離操作については、作業員が手動で行ってもよいし、ロボットを用いて機械により自動的に行ってもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１        定盤
２        積層シート
２０      ウレタンシート
２０ａ    表面スキン層
２０ｂ    セル層
２１      エラストマーシート
２２      粘着剤層
２３      ＰＥＴシート
１００    ガラス保持部
２００    ガラス研磨部
２０１    研磨パッド
Ａ        空気層
Ｇ        ガラス
【図１】
2013107168.tif 000003
【図２】
2013107168.tif 000004
【図３】
2013107168.tif 000005
【図４】
2013107168.tif 000006
【図５】
2013107168.tif 000007
【図６】
2013107168.tif 000008
【図７】
2013107168.tif 000009