(57)【要約】【課題】不要シートの剥離や、接着シートの剥離及び貼付を良好に行うことができるようにすること。【解決手段】帯状シートＷＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１４と、帯状シートＷＳに円弧形状を有する切込ＣＵを形成して当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成し、切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、接着シートＡＳを初期剥離領域Ｓａから剥離する剥離板１８とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。切断手段１５は、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａにおいて、円弧から突出する突出部Ｓｔを形成可能に設けられている。【選択図】図２
2013074099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部に円弧部又は直線部を有し、
前記切断手段は、前記接着シートにおける繰出方向先端部の円弧部又は直線部に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記切断手段は、前記突出部を形成する角刃部を備えた切断刃を有することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記角刃部は、切断刃の複数箇所に設けられ、各角刃部は、前記突出部を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられていることを特徴とする請求項２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記角刃部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記切断手段で切断される領域の原反にエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段を有することを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部に円弧部又は直線部を有し、
前記切断工程において、前記接着シートにおける繰出方向先端部の円弧部又は直線部に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に円弧部又は直線部を有し、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。
【請求項８】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記接着シートは、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に円弧部又は直線部を有し、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成することを特徴とするシート製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に係り、更に詳しくは、帯状シートに切込を形成して接着シートを形成することができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）等の被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が広く利用されるに至っており、かかるシート貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１のシート貼付装置は、帯状シートが剥離シートに仮着されてなる原反を繰り出す繰出手段と、この原反を繰り出す過程で円形状の切込を形成する切断刃と、切込の内側に形成された接着シートを剥離シートから剥離するピールプレートと、剥離された接着シートをウエハ及びリングフレームに押圧して貼付可能なプレスローラとを備えている。このようなシート貼付装置では、切込形成後であって、接着シートを剥離シートから剥離する前に、切込の外側に形成された不要シートを剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段を有するものが知られている。かかる装置によれば、巻取手段を経て、剥離シートに接着シートだけが仮着された原反をピールプレートに繰り出すことで、接着シートの剥離及び貼付を行えるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近時、ウエハにあっては大径化される傾向があり、これに応じて接着シートの径寸法も大きくなる。従って、図５（Ａ）に示されるように、接着シートＡＳは、その繰出方向先端部における当該接着シートＡＳの繰出方向に沿った一定の間隔（以下、「先端縦間隔Ｓｘ」という）に対し、先端縦間隔Ｓｘ進んだ位置での接着シートＡＳの繰出方向に直交する方向に沿った間隔（以下、「先端横間隔Ｓｙ」という）の割合（以下「先端縦横比Ｓｘｙ」という）が大きくなり、微視的に見ると恰も直線であるかのような状態となる。この先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、巻取手段で接着シートＡＳの繰出方向先端部の不要シートを接着シートＡＳから切り離すときに、その切り離しが一挙に広範囲で行われることになる。この結果、接着シートＡＳと不要シートとの切り離しの切っ掛けが形成され難くなり、当該接着シートＡＳが不要シートと共に巻取手段で巻き取られて接着シートＡＳの貼付が行えなくなる、という不都合が発生する。
【０００５】
また、前述のように先端縦横比Ｓｘｙが大きくなると、ピールプレートで接着シートＡＳの繰出方向先端部の剥離シートを接着シートＡＳから剥離するときに、その剥離が一挙に広範囲で行われることになる。この結果、接着シートＡＳと剥離シートとの剥離の切っ掛けが形成され難くなり、当該接着シートＡＳが剥離シートと共に折り返され、接着シートＡＳが剥離シートから剥離されずに貼付不能になる、という不都合を招来する。
上記のような不都合は、接着シートＡＳの剛性と先端縦横比Ｓｘｙとの関係によって発生する。つまり、接着シートＡＳの剛性が高ければ、先端縦横比Ｓｘｙが大きくても接着シートＡＳは不要シートから切り離され易いし、剥離シートＡＳから剥離され易い。一方、接着シートＡＳの剛性が低ければ、先端縦横比Ｓｘｙが大きいと接着シートＡＳは不要シートから切り離され難いし、剥離シートから剥離され難い。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、繰出方向先端部や後端部に円弧部や直線部を有する接着シートでも、不要シートの剥離や、接着シートの剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部に円弧部又は直線部を有し、
前記切断手段は、前記接着シートにおける繰出方向先端部の円弧部又は直線部に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、前記切断手段は、前記突出部を形成する角刃部を備えた切断刃を有する、という構成を採ることが好ましい。
【０００９】
また、前記角刃部は、切断刃の複数箇所に設けられ、各角刃部は、前記突出部を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられる、という構成も好ましくは採用される。
【００１０】
更に、前記繰出手段は、前記切断手段と連動して１枚の接着シート形成に対し、前記角刃部での切断を複数回行うとよい。
【００１１】
また、前記切断手段で切断される領域の原反にエネルギーを付与可能なエネルギー付与手段を有する、という構成を採ることができる。
【００１２】
更に、本発明のシート貼付方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部に円弧部又は直線部を有し、
前記切断工程において、前記接着シートにおける繰出方向先端部の円弧部又は直線部に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成する、という方法を採っている。
【００１３】
また、本発明のシート製造装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記接着シートは、当該接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に円弧部又は直線部を有し、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
【００１４】
また、本発明のシート製造方法は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記接着シートは、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に円弧部又は直線部を有し、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に、当該円弧部又は直線部から連続して突出する突出部を形成する、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、接着シートの繰出方向先端部に突出部を形成するので、当該突出部の形成位置から接着シートと不要シートとを切り離して当該不要シートだけを剥離シートから剥離することができる。つまり、接着シートの円弧部分が大径であったり、直線であったりしても、突出部を形成することで先端縦横比を小さくすることができ、接着シートと不要シートとの切り離しの切っ掛けを確実に形成することができる。これにより、接着シートが不要シートと共に巻取手段で巻き取られることを回避でき、従来のように接着シートの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することが可能となる。
しかも、突出部によって先端縦横比を小さくすることで、接着シートと剥離シートとの剥離の切っ掛けを確実に形成することができ、従来のようにピールプレートで剥離シートを折り返したときに、接着シートが剥離シートと共に折り返され、接着シートが剥離シートから剥離されずに貼付不能になるといった不都合を解消することができる。
【００１６】
また、切断手段の切断刃が角刃部を有する場合、切込を形成するときに突出部を簡単に形成することが可能となる。
【００１７】
更に、複数の角刃部が接着シートの繰出方向先端部に突出部を形成し得るように選択的に配置可能となるので、１の角刃部が摩耗等によって劣化しても、各角刃部の位置を変えて他の角刃部を利用できる。
【００１８】
また、角刃部での切断を複数回行うことで、切込の深さを安定して所定の深さとし、確実に突出部を形成することが可能となる。
【００１９】
更に、エネルギー付与手段を有する場合、基材シートや接着剤層等に応じ、例えば、当該基材シートや接着剤層等を軟化させて切込を形成し易くすることができ、切断不良を良好に回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】切込形成後の原反の概略斜視図。
【図３】刃基板及び切断刃の展開図。
【図４】接着シートを貼付した被着体の平面図。
【図５】剥離動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図１を基準として用いる。
【００２２】
図１〜図４において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを吸着支持するテーブル１１と、このテーブル１１を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータ１２と、帯状の剥離シートＲＬと、その一方の面に仮着された帯状シートＷＳとにより構成された原反ＲＳを繰り出し可能な繰出手段１４と、この繰出手段１４により繰り出された原反ＲＳの帯状シートＷＳに切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段１５と、不要シートＵＳを巻き取り可能な巻取手段１６と、剥離シートＲＬを折り返して接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板１８と、この剥離板１８で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９とを備えて構成されている。帯状シートＷＳは、基材シートＢＳと、この基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＤとを備え、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着されている。なお、ウエハＷＦの下面には保護シートＰＳが貼付されている。
【００２３】
前記繰出手段１４は、原反ＲＳを支持する支持軸２５と、この支持軸２５から繰り出されて切断手段１５を通過する前の原反ＲＳを挟み込む第１駆動ローラ２７及び第１ピンチローラ２８と、剥離板１８を経た後の剥離シートＲＬを挟み込む第２駆動ローラ３１及び第２ピンチローラ３２と、これらを通過した後の剥離シートＲＬを図示しない駆動機器によって所定のトルクで巻き取る巻取軸３４とを備えている。各駆動ローラ２７、３１は、駆動機器としての回動モータＤＭ１、ＤＭ２を介して回転可能に設けられている。
【００２４】
前記切断手段１５は、繰り出される原反ＲＳの帯状シートＷＳ側で回転可能に設けられたダイカットローラ３６と、原反ＲＳの剥離シートＲＬ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ３６と連動して回転可能に設けられたプラテンローラ３７と、ダイカットローラ３６を回転させる駆動機器としての回動モータＤＭ３と、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との相対間隔を調整する間隔調整手段であって図示しない直動モータ等の駆動機器とを備えている。
【００２５】
前記ダイカットローラ３６は、帯状シートＷＳを切断して切込ＣＵを形成する切断刃４０と、この切断刃４０が表面に突設される刃基板４１と、この刃基板４１を外周に巻き付け可能な円柱状のマグネットシリンダ４３とを備えている。
【００２６】
前記切断刃４０は、切込ＣＵを形成するときに、帯状シートＷＳの厚み方向に高さを有するように刃基板４１から突設されている。切断刃４０は、図３に示されるように、刃基板４１を平面に展開したときに、略円形の形状に設けられ、この形状と同形となる切込ＣＵを形成可能となっている。切断刃４０の径寸法は、リングフレームＲＦの内径寸法よりも大きく、外形寸法よりも小さく、直径４００ｍｍに設定されている。切断刃４０は、その円形状の周方向９０°間隔毎に４つ形成された角刃部４６と、隣り合う角刃部４６の間にそれぞれ位置する円弧状の円弧刃部４７とを備えている。各角刃部４６は、頂点４６Ａを形成する同じ長さの一対の傾斜部４６Ｂをそれぞれ備えており、円弧刃部４７から径方向外側に突出するように形成されている。本実施形態の場合、刃基板４１をエッチング加工して切断刃４０が形成されている。なお、角刃部４６は、頂点４６Ａの角度が６０°に設定され、傾斜部４６Ｂの長さが３．５ｍｍに設定されている。
【００２７】
前記刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に磁力を介して着脱可能に設けられている。刃基板４１は、平面に展開したときに、略正方形状に形成され、その４辺に沿うように各角刃部４６設けられている。また、刃基板４１は、一辺の長さがマグネットシリンダ４３の外周長さ以下に設けられ、展開した状態から相対する２辺が対向する状態でマグネットシリンダ４３に巻き付け可能となっている。従って、刃基板４１をマグネットシリンダ４３に装着したときに、切断刃４０における角刃部４６は、マグネットシリンダ４３の軸方向両側及び周方向両側に位置することとなる。ここで、切断刃４０によって形成された接着シートＡＳは、帯状シートＷＳの繰出方向（原反ＲＳが支持軸２５から巻取軸３４に向かう方向）先端領域が剥離板１８によって剥離シートＲＬから最初に剥離される接着シートの繰出方向先端部としての初期剥離領域Ｓａ（図２参照）となる。初期剥離領域Ｓａは、その繰出方向先端部に円弧部ＳＣを有している。なお、刃基板４１は、マグネットシリンダ４３に巻き付けるときに、対向する２辺を他の２辺に変更したり、マグネットシリンダ４３の軸方向に対する向きを反対にしたりしてもよい。これにより、４つの角刃部４６の何れでも初期剥離領域Ｓａにおける切込ＣＵを形成可能となり、角刃部４６の劣化状態等に応じて何れかの角刃部４６を選択的に利用することが可能となる。
【００２８】
ここで、切断手段１５には図示しないエネルギー付与手段が設けられ、このエネルギー付与手段により原反ＲＳにエネルギーを付与しながら切込ＣＵを形成可能となっている。エネルギー付与手段としては、例えば、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の少なくとも一方に内蔵されるコイルヒータの他、これらローラ３６、３７から離れた位置から切込ＣＵの形成位置に温風を送風する送風機器や紫外線、赤外線、マイクロ波等のエネルギー線等を照射する照射装置等が例示できる。
【００２９】
前記巻取手段１６は、切断手段１５により切込ＣＵを形成した後の不要シートＵＳに掛け回されて当該不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ５０と、剥離ローラ５０を経た後の不要シートＵＳを巻き取る巻取軸５１とを備えて構成されている。巻取軸５１は、駆動機器としての回動モータＤＭ４を介して回転可能に設けられ、所定のトルクで不要シートＵＳを巻き取り可能となっている。
【００３０】
次に、本実施形態における接着シートＡＳの貼付方法について説明する。
【００３１】
まず、支持軸２５に支持された原反ＲＳを第１駆動ローラ２７と第１ピンチローラ２８との間、及び、ダイカットローラ３６とプラテンローラ３７との間を通過させる。そして、剥離シートＲＬから帯状シートＷＳを剥離し、当該帯状シートＷＳを剥離ローラ５０に掛け回した後、そのリード端を巻取軸５１に固定する。また、剥離シートＲＬは、剥離板１８の先端で折り返して第２駆動ローラ３１と第２ピンチローラ３２との間を通過させ、そのリード端を巻取軸３４に固定する。本実施形態では、図１に示されるように、ダイカットローラ３６の回転方向における切断刃４０が形成されていない領域の中央をダイカットローラ３６のスタート位置Ｓｔｒｔとし、当該スタート位置Ｓｔｒｔがプラテンローラ３７に再接近した状態で、ダイカットローラ３６の回転を停止させておく。
【００３２】
そして、回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出すと、切断刃４０により基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって切込ＣＵが形成され、帯状シートＷＳは、切込ＣＵの内側の接着シートＡＳと、切込ＣＵの外側の不要シートＵＳとに区分される。このとき、接着シートＡＳの初期剥離領域Ｓａを含む４箇所位置において、角刃部４６によって先端が尖った形状の突出部Ｓｔが形成され、各突出部Ｓｔは円弧刃部４７により形成される円弧状の切込ＣＵ部分から外側に突出するように設けられる。
【００３３】
切込ＣＵの形成後、繰り出された原反ＲＳは、剥離ローラ５０で剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離され、不要シートＵＳが巻取軸５１に巻き取られる。次いで、不要シートＵＳが巻き取られた原反ＲＳの接着シートＡＳが剥離板１８の先端から所定量剥離されて抜け出ると、図示しないセンサで当該接着シートＡＳの先端が検出されて停止し、スタンバイ状態となる。なお、スタンバイ状態のとき、ダイカットローラ３６は、図１に示されるように、スタート位置Ｓｔｒｔがプラテンローラ３７に対向した状態で、図示しない駆動機器である切込位置調整手段によって、ダイカットローラ３６及びプラテンローラ３７の位置を上下方向に変位できるように構成されている。これによれば各接着シートＡＳの間隔を任意に調整することができる上、接着シートＡＳの繰出方向における長さに応じ、それらの位置を上下方向に変更できる。その後、図示しない搬送手段を介してリングクレームＲＦとウエハＷＦとがテーブル１１上に載置され、吸着保持される。次いで、直動モータ１２を介してテーブル１１が剥離板１８の下方を右側から左側に搬送される。テーブル１１が所定の位置で図示しないセンサによって検知されると、テーブル１１の搬送に同期して第１及び第２駆動ローラ２７、３１が回転して原反ＲＳが繰り出され、剥離板１８の先端で接着シートＡＳが剥離される。そして、剥離された接着シートＡＳが押圧ローラ１９による押圧力を受け、リングクレームＲＦ及びウエハＷＦの各上面に貼付され、接着シートＡＳを介してウエハＷＦとリングクレームＲＦとが一体化される。
ここで、突出部Ｓｔが形成されていない接着シートＡＳの場合、先端縦間隔Ｓｘを１ｍｍとすると、先端横間隔Ｓｙが約４０ｍｍで、先端縦横比Ｓｘｙが４０となる。一方、図５（Ｂ）に示されるように、突出部Ｓｔが形成された接着シートＡＳの場合、先端縦間隔Ｓｘを上記と同様１ｍｍとすると、先端横間隔Ｓｙが約１．１５ｍｍで、先端縦横比Ｓｘｙが１．１５となり、先端縦横比Ｓｘｙを約３４分の１と小さくすることができ、確実に切り離しの切っ掛けや剥離の切っ掛けを形成することができる。なお、接着シートＡＳは、切り離しや剥離の切っ掛けが形成されれば、後は滑らかに切り離されたり剥離されたりする傾向にある。
【００３４】
従って、このような実施形態によれば、巻取軸５１により不要シートＵＳを巻き取るときに、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に巻取軸５１方向へ共上がりすること防止することができ、接着シートＡＳの貼付が行えなくなるといった不都合を解消することができる。
また、剥離板１８で剥離シートＲＬを折り返すときに、接着シートＡＳが剥離シートＲＬと共に第２駆動ローラ３１方向に繰り出されること防止することができ、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されずに貼付不能になるといった不都合を解消できる。
【００３５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３６】
例えば、前記巻取手段１６を省略し、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離せずに、剥離板１８で接着シートＡＳを剥離し、剥離シートＲＬと不要シートＵＳとを巻取軸３４で巻き取るようにしてもよい。このような場合にでも、剥離板１８で初期剥離領域Ｓａが剥離できず、接着シートＡＳが不要シートＵＳと共に第２駆動ローラ３１方向に巻き取れてしまうことを防止することができる。
【００３７】
また、切込ＣＵの形成にあっては、各回動モータＤＭ１〜ＤＭ４を連動させて原反ＲＳを繰り出し方向に往復動させ、１枚の接着シートＡＳ形成に対し、初期剥離領域Ｓａに対応する角刃部４６での切断を複数回行ってもよい。
【００３８】
更に、前記シート貼付装置１０の剥離板１８及び押圧ローラ１９を省略することにより、シート製造装置を構成してもよい。同装置によれば、前記実施形態と同様に切断手段１５によって接着シートＡＳを形成した後、当該接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが巻取軸３４に巻き取られる。巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、別途搬送、保管したり、切断手段を有しないシート貼付装置等で利用したりすることができる。このように、巻取軸３４に巻き取られた原反ＲＳは、繰出手段１４の繰出方向後端部が別途利用されるシート貼付装置等の初期剥離領域Ｓａとなるので、少なくとも接着シートＡＳにおける繰出手段１４の繰出方向後端部に突出部Ｓｔを形成するように切断手段１５を構成すればよい。
【００３９】
また、接着シートＡＳ及び切断刃４０の平面形状は、略円形とした場合を説明したが、多角形状、楕円、長円、菱形、直線と曲線とを組み合わせた形状等に変更が可能であり、例えば、図４中下方に示されるように、初期剥離領域Ｓａの繰出方向先端部に直線部ＳＬを有しているものでもよい。
更に、角刃部４６及び突出部Ｓｔの平面形状は、前述と同様に不要シートＵＳの巻き取り及び接着シートＡＳの剥離を行える限りにおいて変更可能であり、例えば、角刃部４６の頂点４６Ａを円弧状或いは面取りした形状に形成してもよい。なお、接着シートＡＳに剛性の低いものが採用され、上記実施形態の突出部Ｓｔでも剥離の切っ掛けが形成できないような場合は、角刃部４６の頂点４６Ａの角度を６０°よりも小さい例えば４５°としたり３０°としたりして、先端縦横比Ｓｘｙがもっと小さくなるように設定してもよい。
【００４０】
更に、前記実施形態において、初期剥離領域Ｓａを形成する角刃部４６以外の少なくとも一つの角刃部４６を省略してもよい。
また、刃基板４１を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる角刃部４６の数を増やすことができる。
【００４１】
また、切断手段１５は、前記切込ＣＵを形成できる限りにおいて、レーザ光線等の他の切断手段を用いてもよい。
更に、切断刃４０は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
【００４２】
更に、繰出手段１４や剥離板１８、押圧ローラ１９は、種々の設計変更が可能である。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃４０とプラテンローラ３７との相対間隔は、原反ＲＳの厚みや性質、特に剥離シートＲＳの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反ＲＳを構成する部材の厚みは、何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置１０を移動させる駆動機器を設け、テーブル１１を停止させた状態で、シート貼付装置１０を図１中右方向に移動させたり、テーブル１１を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置１０を右方向に移動させたりして接着シートＡＳを被着体に貼付するように構成してもよいし、
【００４３】
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【００４４】
また、被着体は、ウエハＷＦやリングフレームＲＦに代えて、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。また、リングフレームＲＦに代えて、Ｃ字状やＵ字状等の別形状のフレームを用いてもよいし、リングフレームＲＦなしで単独の被着体を接着シートＡＳの貼付対象としてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１０  シート貼付装置
１４  繰出手段
１５  切断手段
１８  剥離板（剥離手段）
１９  押圧ローラ（押圧手段）
４０  切断刃
４６  角刃部
ＡＤ  接着剤層
ＡＳ  接着シート
ＢＳ  基材シート
ＣＵ  切込
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
ＲＬ  剥離シート
ＲＳ  原反
Ｓａ  初期剥離領域（接着シートの繰出方向先端部）
ＳＣ  円弧部
ＳＬ  直線部
Ｓｔ  突出部
ＵＳ  不要シート
ＷＦ  半導体ウエハ（被着体）
ＷＳ  帯状シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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