(57)【要約】【課題】高速応答性に優れ、大きく変位することが可能な変形材料、および、それを用いたアクチュエーターを提供すること。【解決手段】本発明の変形材料は、酸化還元反応により、分子鎖が伸縮する刺激応答性化合物と、ポリアルキレンオキシドと、有機塩および／または無機塩と、を含むことを特徴とする。刺激応答性化合物は、回転軸として機能する結合を有するユニットＡと、前記ユニットＡの第１の結合部位に配置された第１のユニットＢと、前記ユニットＡの第２の結合部位に配置された第２のユニットＢと、第１のユニットＣと、第２のユニットＣと、を含むものであり、前記第１のユニットＢと前記第２のユニットＢとが酸化還元反応によって結合し、前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣが液晶性を有する官能基であるのが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化還元反応により、分子構造が変わる刺激応答性化合物と、
ポリアルキレンオキシドと、
有機塩および／または無機塩と、を含むことを特徴とする変形材料。
【請求項２】
前記刺激応答性化合物は、回転軸として機能する結合を有するユニットＡと、
前記ユニットＡの第１の結合部位に配置された第１のユニットＢと、
前記ユニットＡの第２の結合部位に配置された第２のユニットＢと、
第１のユニットＣと、
第２のユニットＣと、を含むものであり、
前記第１のユニットＢと前記第２のユニットＢとが酸化還元反応によって結合し、
前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣが液晶性を有する官能基である請求項１に記載の変形材料。
【請求項３】
前記ユニットＡは、下記式（１）、下記式（２）、下記式（３）からなる群から選択される１種である請求項２に記載の変形材料。
【化１】
2013047304.tif 000009
【請求項４】
前記第１のユニットＢおよび前記第２のユニットＢは、下記式（４）で表される基である請求項２または３に記載の変形材料。
【化２】
2013047304.tif 000010
【請求項５】
前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣは、複数の環構造を有し、
前記複数の環構造のうちの１つの環構造にハロゲン原子が１つ以上結合している請求項２ないし４のいずれか１項に記載の変形材料。
【請求項６】
前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣは、重合性官能基を有している請求項２ないし５のいずれか１項に記載の変形材料。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の変形材料を用いて製造されたことを特徴とするアクチュエーター。
【請求項８】
前記変形材料で構成された変形層と、
当該変形層に積層され、電解質で構成された電解質層と、
前記変形層と前記電解質層とを挟持するよう設置された一対の電極とを有する請求項７に記載のアクチュエーター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変形材料およびアクチュエーターに関する。
近年、医療分野やマイクロマシン分野等において、小型のアクチュエーターの必要性が高まっている。
このような小型のアクチュエーターは、小型であるとともに、低電圧で駆動することが求められている。このような低電圧化を実現するために種々の試みが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００２】
従来のアクチュエーターは、イオン交換膜を用いたものが主流であり（例えば、特許文献１参照）、これは、イオンの移動により材料が収縮・膨潤するもので、イオンの拡散速度により動作が支配されるため、高速応答化には課題が多い。また、アクチュエーターの動作に方向性を持たせる方法が無く、高効率で動作させるためにも異方的な動きを実現できるものが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２２４０２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、高速応答性に優れ、大きく変位することが可能な変形材料、および、それを用いたアクチュエーターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の変形材料は、酸化還元反応により、分子構造が変わる刺激応答性化合物と、
ポリアルキレンオキシドと、
有機塩および／または無機塩と、を含むことを特徴とする。
これにより、刺激応答性化合物（変形材料）の応答速度を効果的に向上させることができる。また、高分子電解質であるポリアルキレンオキシドを含むことにより、刺激応答性化合物の伸縮にともなう変形材料全体の変位を増幅することができる。また、ポリアルキレンオキシドを含むことにより、変形材料を固体化することができる。また、異方的な伸縮が可能な変形材料を提供することができる。
【０００６】
本発明の変形材料では、前記刺激応答性化合物は、回転軸として機能する結合を有するユニットＡと、
前記ユニットＡの第１の結合部位に配置された第１のユニットＢと、
前記ユニットＡの第２の結合部位に配置された第２のユニットＢと、
第１のユニットＣと、
第２のユニットＣと、を含むものであり、
前記第１のユニットＢと前記第２のユニットＢとが酸化還元反応によって結合し、
前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣが液晶性を有する官能基であることが好ましい。
これにより、刺激応答性化合物（変形材料）の応答速度をより効果的に向上させることができる。
【０００７】
本発明の変形材料では、前記ユニットＡは、下記式（１）、下記式（２）、下記式（３）からなる群から選択される１種であることが好ましい。
【化１】
2013047304.tif 000002
これにより、刺激応答性化合物は、より円滑な変形（変位）が可能となり、変形材料はより低電圧で駆動するものとなる。
【０００８】
本発明の変形材料では、前記第１のユニットＢおよび前記第２のユニットＢは、下記式（４）で表される基であることが好ましい。
【化２】
2013047304.tif 000003
これにより、反応条件を調整することで、ユニットＢ同士の結合状態と非結合状態とを可逆的にかつ容易に進行させることができる。また、反応性が高いため、刺激応答性化合物は、より円滑で、かつ低電圧で変形が可能となる。
【０００９】
本発明の変形材料では、前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣは、複数の環構造を有し、
前記複数の環構造のうちの１つの環構造にハロゲン原子が１つ以上結合していることが好ましい。
これにより、ユニットＣの配向時における運動性能をより高いものとすることができ、配向への移行の速度がより早くなる。その結果、刺激応答性化合物は、より速くかつより円滑に変形（変位）が可能となり、さらに低電圧で駆動するものとなる。
【００１０】
本発明の変形材料では、前記第１のユニットＣおよび前記第２のユニットＣは、重合性官能基を有していることが好ましい。
これにより、刺激応答性化合物が重合することで、より分子鎖の長い刺激応答性化合物を形成することができる。また、このように分子鎖を長くすることにより、後に詳述するように、分子の変形（変位）の度合いを大きくすることができ、より強い力（応力）で駆動させることが可能となる。
本発明のアクチュエーターは、本発明の変形材料を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高速応答性に優れ、大きく変位することが可能なアクチュエーターを提供することができる。
【００１１】
本発明のアクチュエーターでは、前記変形材料で構成された変形層と、
当該変形層に積層され、電解質で構成された電解質層と、
前記変形層と前記電解質層とを挟持するよう設置された一対の電極とを有することが好ましい。
これにより、高速応答性に優れ、大きく変位することが可能なアクチュエーターを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のアクチュエーターの好適な実施形態を示す断面図である。
【図２】刺激応答性化合物の酸化還元反応前後の分子構造を説明するための図である。
【図３】刺激応答性化合物の酸化還元反応前後の分子構造を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《アクチュエーター》
まず、本発明のアクチュエーターについて説明する。
図１は、本発明のアクチュエーターの好適な実施形態を示す断面図である。
図１に示すように、アクチュエーター１は、酸化還元反応により変形可能な変形材料で構成された変形層１１と、当該変形層１１の一方の面に積層した電解質層１２と、変形層１１と電解質層１２とを挟持するよう設置された一対の電極（変形層１１側を電極１３、電解質層１２側を電極１４とする）とを有している。
【００１４】
変形層１１は、後述する本発明の変形材料で構成された層であり、酸化還元反応により伸縮変形することが可能な層である。変形材料については、後に詳述する。
電解質層１２は、図１に示すように変形層１１の一方の面に設置された層であり、電解質で構成された層である。
また、電解質層１２は、電極間に電位差を生じさせるために設けられる層であるとともに、変形層１１内に電位差が生じるのを防止する層である。電解質層１２を設けることにより、電位は電解質層１２中に掛り、電極１３と変形層１１は一体の電極とみなすことができ、変形層１１は等電位になる。これにより、変形層１１内に電位の分布を生じなくなる。
【００１５】
電解質としては、例えば、過塩素酸リチウム、トリフルオロメタンスルホン酸リチウム等の無機塩、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロホウ素等の有機塩等を用いることができる。
電極１３を構成する材料としては、金属、炭素繊維、導電性高分子等が挙げられる。
このような構成のアクチュエーター１において、電極に電圧を印加すると、アクチュエーター１の厚さ方向、すなわち、各層に垂直な方向に、アクチュエーター１が伸縮運動する。
なお、上記説明では、電解質層１２を有するものとして説明したが、電解質層１２は、無くてもよい。また、アクチュエーター１が平板状のものについて説明したが、これに限定されず、例えば、筒状であってもよい。
【００１６】
《変形材料》
次に、変形層１１を構成する変形材料について説明する。
変形材料は、酸化還元反応により分子鎖が伸縮する刺激応答性化合物と、ポリアルキレンオキシドと、有機塩および／または無機塩とを含んでいる。
ところで、アクチュエーターは、イオン交換膜を用いたものが主流であり、これは、イオンの移動により材料が収縮・膨潤するもので、イオンの拡散速度により動作が支配されるため、高速応答化には課題が多い。また、アクチュエーターの動作に方向性を持たせる方法が無く、高効率で動作させるためにも異方的な動きを実現できるものが求められている。
【００１７】
これに対して、本発明の変形材料は、酸化還元反応により分子鎖が伸縮する刺激応答性化合物とともに、ポリアルキレンオキシドと、有機塩および／または無機塩とを含むことにより、刺激応答性化合物のすぐ側で電子の受け渡しを行うことができるため、刺激応答性化合物（変形材料）の応答速度を効果的に向上させることができる。また、高分子電解質であるポリアルキレンオキシドを含むことにより、刺激応答性化合物の伸縮にともなう変形材料全体の変位を増幅することができる。また、ポリアルキレンオキシドを含むことにより、変形材料を固体化することができる。
【００１８】
以下、各成分について説明する。
＜刺激応答性化合物＞
まず、刺激応答性化合物の好適な実施形態について説明する。
図２、図３は、本実施形態の刺激応答性化合物の酸化還元反応前後の分子構造を説明するための図である。図２、図３中、○は官能基を意味し、線は結合を意味する。
【００１９】
図２（ａ）に示すように、本実施形態の刺激応答性化合物は、回転軸として機能する結合を有するユニットＡと、ユニットＡの両末端に結合した２つのユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）と、それぞれのユニットＢに結合した２つのユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）とを有している。
刺激応答性化合物は、刺激によって、分子の形状を変形（変位）させる機能、言い換えると、分子鎖が伸縮する機能を有する化合物のことを指す。
【００２０】
刺激応答性化合物を構成するユニットＡは、回転軸として機能する結合を有しており、当該結合を軸に回転可能となっている基（ユニット）である。このようなユニットを有することにより、刺激応答性化合物は、変形（変位）可能となっている。
ユニットＡとしては、例えば、２つの芳香環が結合した基を用いることができるが、中でも、下記式（１）から（３）なる群から選択される１種の基であるのが好ましい。このような基をユニットＡとして用いることにより、刺激応答性化合物は、より円滑な変形（変位）が可能となり、より低電圧で駆動するものとなる。
【００２１】
【化３】
2013047304.tif 000004
【００２２】
ユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）は、図２（ａ）に示すように、ユニットＡの回転軸方向の両末端（ユニットＡの第１の結合部位および第２の結合部位）に結合している基である。すなわち、第１のユニットＢがユニットＡの第１の結合部位に、第２のユニットＢがユニットＡの第２の結合部位に結合している。
また、ユニットＢは、ユニットＢ同士で酸化還元反応によって結合を形成する基である（図２（ｂ）参照）。言い換えると、外部から電子の受け取る（還元される）ことによって結合を形成する基である。また、外部に電子を放出する（酸化される）ことで結合を解除する基である。
【００２３】
ユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）としては、ユニットＢ同士（第１のユニットＢと第２のユニットＢと）で酸化還元反応によって結合を形成する基であれば、特に限定されないが、ユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）は、下記式（４）で表される基であるのが好ましい。これにより、反応条件を調整することで、ユニットＢ同士の結合状態と非結合状態とを可逆的にかつ容易に進行させることができる。また、反応性が高いため、刺激応答性化合物は、より円滑で、かつ低電圧で変形が可能となる。
【００２４】
【化４】
2013047304.tif 000005
【００２５】
ユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）は、ユニットＢに結合した基であり、液晶性を有する基である。第１のユニットＢには第１のユニットＣが結合しており、第２のユニットＢには第２のユニットＣが結合している。液晶性を有することにより、ユニットＣは、液晶の配向技術を用いることにより、一定の配向性を示す。これにより、刺激応答性化合物は、その駆動に一定の方向性を有するものとなる。
ユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）としては、液晶性を示す基であれば特に限定されず、複数の環構造を有する基、例えば、複数のフェニル基をエステル基で連結したもの、ベンゼン環若しくはシクロヘキサン環が直接連結したものが挙げられる。
【００２６】
ユニットＣとしては、特に、複数の環構造のうちの１つの環構造にハロゲン原子が１つ以上結合した基を用いるのが好ましい。これにより、ユニットＣの配向時における運動性能をより高いものとすることができ、配向への移行の速度がより早くなる。その結果、刺激応答性化合物は、より速くかつより円滑に変形（変位）が可能となり、さらに低電圧で駆動するものとなる。
【００２７】
また、ユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）は、重合性官能基を有しているのが好ましい。この重合性官能基によって、刺激応答性化合物が重合することで、より分子鎖の長い刺激応答性化合物を形成することができる。また、このように分子鎖を長くすることにより、後に詳述するように、分子の変形（変位）の度合いを大きくすることができ、より強い力（応力）で駆動させることが可能となる。
ユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）の具体例としては、以下のようなものが挙げることができる。
【００２８】
【化５】
2013047304.tif 000006
【００２９】
以上説明したように、本実施形態の刺激応答性化合物は、軸回転可能なユニットＡと、ユニットＡの両末端（第１の結合部位および第２の結合部位）に結合した２つのユニットであって、酸化還元反応によりユニット同士で結合を形成することが可能なユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）と、ユニットＢ（第１のユニットＢと第２のユニットＢ）に結合した２つのユニットであって、液晶性を有するユニットＣ（第１のユニットＣと第２のユニットＣ）とを有している点に特徴を有している。このような特徴を有することにより、低電力で変形（変位）させることができるとともに、変位の度合いを比較的大きくすることができる。これは、以下の理由によるものと考えられる。
【００３０】
すなわち、液晶性を有するユニットＣによって複数の刺激応答性化合物分子が配向した（並んだ）状態で存在することができ、その揃った状態で電圧等を印加して１分子内のユニットＢ同士が酸化還元反応により結合する（架橋する）。このように、ユニットＣの配向性（液晶性）とユニットＢの刺激による結合性とを利用することで、図２（ａ）に示す状態から、図２（ｂ）に示す状態へと確実に変形（変位）することができる。特に、ユニットＣの配向とユニットＢ同士の結合は、低い電圧で進行するので、低電圧で、大きな変形（変位）が可能となる。
【００３１】
なお、ユニットＣの重合性官能基を利用して重合した刺激応答性化合物を用いた場合、上述したように、低電圧で、さらに大きな変形が可能となる。
すなわち、電圧を印加する前（酸化還元反応が進行する前）は、図３（ａ）に示すように、長い分子が伸びた状態で存在している。そこへ電圧を印加すると、図３（ｂ）に示すように、ユニットＡを軸に回転し、隣接するユニットＢ同士が酸化還元反応により結合し、さらに、液晶性のユニットＣが配向することにより、長い分子が折りたたまれた状態となる。このため、変位の度合いを大きなものとすることができる。
【００３２】
＜ポリアルキレンオキシド＞
ポリアルキレンオキシドは、上記刺激応答性化合物に対して電子の受け渡しを行う機能を備えた成分である。また、ポリアルキレンオキシドは、常温で固体の成分であり、これにより、上述した変形層１１を固形化することが可能となる。
また、ポリアルキレンオキシドは、刺激応答性化合物の変位による変形層の変形を増幅する機能を備えている。これは、刺激応答性化合物の変位にともなってポリアルキレンオキシドである高分子が移動するためであると考えられる。
【００３３】
ポリアルキレンオキシドとしては、例えば、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド等を挙げることができる。
変形材料中におけるポリアルキレンオキシドの含有率は、１０質量％以上９０質量％以下であるのが好ましく、４０質量％以上８０質量％以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような効果がより顕著に発揮される。
【００３４】
＜有機塩および／または無機塩＞
有機塩、無機塩は、ポリアルキレンオキシドと同様に刺激応答性化合物に対して電子の受け渡しを行う機能を備えた成分である。また、有機塩、無機塩は、常温で固体の成分であり、これにより、上述した変形層１１を固形化することが可能となる。
無機塩としては、例えば、過塩素酸リチウム、トリフルオロメタンスルホン酸リチウム等が挙げられ、有機塩としては、例えば、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロホウ素等が挙げられる。
【００３５】
変形材料中における有機塩および無機塩の総含有率は、０．１質量％以上１０質量％以下であるのが好ましく、１質量％以上２質量％以下であるのがより好ましい。これにより、上述したような効果がより顕著に発揮される。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【実施例】
【００３６】
以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
（実施例１）
刺激応答性化合物を用いて、図１に示すようなアクチュエーターを作成した。
変形材料としての、刺激応答性化合物：１０質量部と、ポリエチレンオキシド：８０質量部と、過塩素酸リチウム：１０質量部とを有機溶媒に溶解・分散させ、それをシャーレ上に塗布・乾燥し、乾燥物を３ｃｍ×２ｃｍの大きさに切り取り、変形層を形成した。なお、変形層の平均厚さは、１ｍｍであった。
【００３７】
一方、過塩素酸リチウムを溶媒に分散し、それをシャーレ上に塗布・乾燥し、乾燥物を３ｃｍ×２ｃｍの大きさに切り取り、電解質層を形成した。なお、電解質層の平均厚さは、１ｍｍであった。
形成した変形層と電解質層とを重ね合わせ、積層体を形成し、走査電子顕微鏡の試料作成用スパッタマシンを用いて、積層体の両面に金をスパッタして接合し、アクチュエータを得た。条件は、片面当たり１０ｍＡで３０分とした。
なお、刺激応答性化合物は以下のようにして合成したものを用いた。
【００３８】
［ユニットＡおよびＢの合成］
ブロモチオフェンを原料として亜鉛、ニッケルの触媒を用いた２量化、臭素化を行い、ＤＭＦによるアルデヒド基の導入（ホルミル化）を行った。
次に、アルデヒド基の保護を行い、ブチルリチウムと水により臭素を水素に変換した。その後ベンゼンジチオールのメタ位を臭素化した。
次に、脱保護を行い、酸触媒存在下、ベンゼンジチオールと反応させ２，３−ジクロロ−５，６−ジシアノ−ｐ−ベンゾキノン（ＤＤＱ）で処理し、４フッ化ホウ素を加え、ユニットＡとユニットＢが結合した化合物（下記式（６））を得た。
【００３９】
【化６】
2013047304.tif 000007
【００４０】
［ユニットＣの合成］
まず、ヒドロキシ安息香酸とアルキレンハライドとを反応させた。
その後、ジヒドロキシビフェニルと、上記ヒドロキシ安息香酸と、ヒドロキノンとのエステル化を行い、ユニットＣとなる化合物を得た。
［刺激応答性化合物の製造］
ユニットＡとユニットＢが結合した化合物と、ユニットＣとなる化合物とを、塩基存在下でのエーテル化することにより刺激応答性化合物を得た。
【００４１】
（実施例２）
刺激応答性化合物として、以下のようにして合成したものを用いた以外は、実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
［ユニットＡおよびＢの合成］
上記実施例１と同様にしてユニットＡとユニットＢが結合した化合物（上記式（６））を得た。
【００４２】
［ユニットＣの合成］
以下のようにして、ユニットＣとなる化合物（下記式（７））を得た。
１，２−ジフルオロベンゼンを原料として、ブチルリチウムとホウ酸トリメチルにより、２，３−ジフルオロフェニルボロン酸をえた。１−ブロモ−４−ブトキシベンゼンとパラジウム触媒を用いたカップリング反応により２，３−ジフルオロ−４−（４−ブトキシフェニル）ベンゼンを得た。上記と同様の方法でボロン酸を合成し、１，４−ジブロモベンゼンとカップリング反応することにより、４−（２，３−ジフルオロ−４−ブトキシフェニル）フェニルボロン酸（下記式（７））を得た。
【００４３】
【化７】
2013047304.tif 000008
【００４４】
［刺激応答性化合物の製造］
ユニットＡとユニットＢが結合した化合物と、ユニットＣとなる化合物とを、パラジウムを触媒としたカップリング反応で結合させることにより刺激応答性化合物を得た。
【００４５】
（実施例３）
ポリエチレンオキシドの代わりにポリプロピレンオキシドを用いた以外は、前記実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
（実施例４）
過塩素酸リチウムの代わりにトリフルオロメタンスルホン酸リチウムを用いた以外は、前記実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
（実施例５）
過塩素酸リチウムの代わりにテトラブチルアンモニウムテトラフルオロホウ素を用いた以外は、前記実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
【００４６】
（比較例１）
単層カーボンナノチューブ（カーボン・ナノテクノロジー・インコーポレーテッド社製「ＨｉＰｃｏ」、含有Ｆｅ量１４重量％）（以下、ＳＷＮＴともいう）２５ｍｇ、５重量％ナフィオン溶液（アルドリッチ社製、低分子量直鎖アルコールと水（１０％）混合溶媒）２５ｍｌ、および試薬特級メタノール２５ｍｌを、ビーカーに秤量して混合した後、超音波洗浄器中で、超音波照射を１０時間以上行い、ＳＷＮＴとナフィオンの混合分散液を調製した。この分散液をガラス製のシャーレにキャストし、ドラフト中で一昼夜以上放置して溶媒を除去した。溶媒を除去した後、１５０℃で４時間、熱処理を行った。形成されたＳＷＮＴとナフィオンの複合体フィルムをシャーレから剥がした後、３ｃｍ×２ｃｍの大きさに切り取り、変形層とした。
【００４７】
一方、過塩素酸リチウムを溶媒に分散し、それをシャーレ上に塗布・乾燥し、乾燥物を３ｃｍ×２ｃｍの大きさに切り取り、電解質層を形成した。なお、電解質層の平均厚さは、１ｍｍであった。
形成した変形層と電解質層とを重ね合わせ、積層体を形成し、走査電子顕微鏡の試料作成用スパッタマシンを用いて、積層体の両面に金をスパッタして接合し、アクチュエーターを得た。条件は、片面当たり１０ｍＡで３０分とした。
【００４８】
（比較例２）
ポリエチレンオキシドの代わりにトリフルオロメタンスルホン酸リチウムを用いた以外は、前記実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
（比較例３）
過塩素酸リチウムの代わりにさらにポリエチレンオキシドを用いた以外は、前記実施例１と同様にしてアクチュエーターを製造した。
【００４９】
（応答性の評価）
評価は、各実施例および各比較例のアクチュエーターを１ｍｍ×１５ｍｍの短冊状に切り取った試験片の電極に、空気中で電圧５Ｖを加え、レーザー変位計を用いて、厚さ方向の変位、および、通電から変位が最大値まで達する時間を観測した。
その結果、本発明の変形材料を用いたアクチュエーターでは、幅方向に大きく変位したが、比較例のアクチュエーターは、変位の度合いが小さかった。また、通電から変位が最大値まで達する時間が、本発明の変形材料を用いたアクチュエーターでは短く、満足する応答速度であった。これに対して、比較例では、満足行く結果が得られなかった。
【符号の説明】
【００５０】
１…アクチュエーター  １１…変形層  １２…電解質層  １３、１４…電極
【図１】
2013047304.tif 000011
【図２】
2013047304.tif 000012
【図３】
2013047304.tif 000013