(57)【要約】【課題】第二族含有薄膜、例えばＳＴＯ膜及びＢＳＴ膜を堆積するためのＡＬＤ又はＣＶＤチャンバーへの第二族前駆体の直接液体注入に用いることができる組成物を与える。【解決手段】炭化水素系溶媒への高い溶解性を有する第二族金属錯体を与える、適切な中性のドナー配位子分子が配位している第二族イミダゾレート化合物を含む組成物。【選択図】図１
2013214747.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含む、組成物：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つの、イミダゾレート；
バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム、及びカルシウムからなる群より選択される、第二族金属；及び
単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つの、前記第二族金属イミダゾレート錯体に配位する配位子。
【請求項２】
前記第二族金属イミダゾレート錯体の濃度が、０．１〜１Ｍの範囲である、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記第二族金属イミダゾレート錯体の濃度が、０．１〜０．５Ｍの範囲である、請求項２に記載の組成物。
【請求項４】
２つの異なる第二族金属イミダゾレート錯体を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項５】
１００℃以上の沸点を有する炭化水素系溶媒を含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項６】
前記炭化水素系溶媒が、シクロオクタンを含む、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
前記炭化水素系溶媒が、メシチレンを含む、請求項５に記載の組成物。
【請求項８】
第二族含有薄膜のＡＬＤ堆積又はＣＶＤ堆積用のＤＬＩ供給に用いられる、請求項５に記載の組成物。
【請求項９】
ＡＬＤ又はＣＶＤによるＳＴＯ薄膜及びＢＳＴ薄膜の堆積のために、揮発性チタン源と共に用いられる、請求項８に記載の組成物。
【請求項１０】
前記配位子が、単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子及び単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子からなる群より選択される配位子である、請求項１に記載の組成物。
【請求項１１】
前記配位子が、テトラヒドロフラン、３−メチルテトラヒドロフラン、２，５−ジヒドロフラン、２，３−ジヒドロフラン、ピリジン、Ｎ−メチルイミダゾール、及びピロールからなる群より選択される配位子である、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１２】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（  ２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１３】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１４】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１５】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１６】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１７】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート））（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン），ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項１８】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項１９】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）  イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項２０】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項１１に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項２１】
次の工程を含む、厚みを有する第二族金属酸化物膜を基材に形成する方法：
ａ．次を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含む第二族金属含有組成物を導入する工程：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つの、イミダゾレート；
バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム、及びカルシウムからなる群より選択される、第二族金属；及び
単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素の両方を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つの、前記第二族金属イミダゾレート錯体に配位する配位子；
ｂ．前記基材に、前記第二族金属含有組成物を化学吸着させる工程；
ｃ．未反応の前記第二族金属含有組成物を、パージガスを用いてパージする工程；
ｄ．加熱した前記基材上にある前記第二族金属含有組成物に酸素源を与えて、前記吸着した第二族金属含有組成物と反応させる工程；及び
ｅ．随意に、あらゆる未反応の酸素源をパージする工程。
【請求項２２】
前記厚みのフィルムが得られるまで工程ａ〜工程ｄ及び随意に工程ｅを繰り返す、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記方法が原子層堆積プロセスである、請求項２１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体製造産業は、化学気相成長（ＣＶＤ）及び原子層堆積（ＡＬＤ）等の蒸着プロセスに関して、基材上にコンフォーマルな（ｃｏｎｆｏｒｍａｌ）金属含有膜を作製するために、揮発性金属含有前駆体を原料にし続けており、例えば、これらの金属含有前駆体を用いて、シリコン、金属窒化物、金属酸化物及び他の金属含有層を作製している。
【背景技術】
【０００２】
周期表の第二族の金属（例えば、ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、バリウム（Ｂａ）及びラジウム（Ｒａ））を含む前駆体が、半導体産業で求められている。例えば、高度なメモリデバイス製造のため、バリウム及びストロンチウムを含有している前駆体が、バリウム及びストロンチウムの酸化物含有薄膜、例えばチタン酸ストロンチウム（ＳＴＯ）及びチタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）の堆積に関して、特に求められている。ストロンチウム前駆体は、不揮発性メモリのためのＳｒＢｉ２Ｔａ２Ｏ９型の強誘電材料の薄膜堆積、Ｂｉ２Ｓｒ２Ｃａｎ−１ＣｕｎＯ５＋（２ｎ−１）ｄ型の薄膜高温（Ｔｃ）超伝導体の製作、及び電子発光ディスプレイのためのＳｒＳ：Ｃｅ及びＳｒＳ：Ｃｕ蛍光体の製造のためにも有用である。優れた揮発度を有しているフッ素化バリウム前駆体が存在するが、ＢＳＴ製造に関するそれらの使用は、事実上排除される。それは、フッ化物イオンが酸化物膜中に形成され、そして電荷キャリアとして作用することがあり、それは酸化物膜の誘電率を劣化させるからである。酸化ストロンチウム及びチタン酸ストロンチウムの数多くのストロンチウム源があるが、これらの膜を堆積するのに用いられる原子層堆積（ＡＬＤ）プロセス用としては、これらの原料は有効に用いることができない。
【０００３】
上述のように、高いＡＬＤ性能を有する、フッ素化されていない揮発性のバリウム及びストロンチウム前駆体化合物が当分野で強く必要とされるが、そのような化合物はまれであり、特にバリウム化合物はまれである。このことは、バリウム＋２イオン及びストロンチウム＋２イオンの大きなイオン半径に由来する。大きなイオン半径であることは、ストロンチウム又はバリウムにおいて単量体又は二量体となる化合物を提供するのに十分な配位結合環境を提供できるイオン配位子を必要とする。このような要件が満たされない場合には、ストロンチウム化合物及び特にバリウム化合物は、揮発性が限定的である高会合型の構造又は重合体構造を形成する傾向がある。しかし、単量体又は二量体構造を達成することができても、これらは熱安定性をまだ有していない場合がある。この熱安定性は、気化に必要とされる高い昇華温度又は蒸留温度に耐えるために、そしてＡＬＤプロセスにおいて単分子層として吸着されるときにこれらの熱安定性を維持するために必要となる。これらの理由全てのために、単量体又は二量体であり、熱安定性であり、易揮発性であり、そしてＡＬＤ又はＣＶＤによるＢＳＴ及びＳＴＯに非常に適しているフッ素化されていないバリウム及びストロンチウム前駆体は非常にまれであるが、しかし強く求められている。
【０００４】
特許文献１は、第二族金属に配位することができる立体障害性のイミダゾール配位子、及びこれを含むＢＳＴ膜を形成するのに用いられる前駆体の例を与えている。ウェハーのスループットを最大化し、またＡＬＤサイクルを高速化するために、直接液体注入（ＤＬＩ：Ｄｉｒｅｃｔ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）によって、第二族前駆体の気相を輸送するのに非常に望ましいので、これらの前駆体は、高濃度で容易に溶解して、ＤＬＩ輸送用に好適な配合物を生成することが重要である。さらに、これらの配合物が、炭化水素系溶媒を用いて調製できることが特に重要である。これは、炭化水素系溶媒は、サブｐｐｍレベルの水まで容易に脱水できるためである。また、ＯＨ等の表面反応部位と相互作用して前駆体の有効反応率を低下させる場合がある酸素含有溶媒及び窒素含有溶媒よりも、炭化水素系溶媒は、ＡＬＤ基材に対して比較的不活性である。非特許文献１は、トリｔｅｒｔ−ブチル置換イミダゾールに基づく揮発性第二族イミダゾレートを記載している。ＡＬＤ又はＣＶＤ堆積プロセスに有用とするために、この特定の錯体群は、ＤＬＩ輸送用の炭化水素溶媒に対して溶解性を高くできることが重要である。最終使用者にとって、反応チャンバーに容易に輸送できる前駆体とすることが重要である。この点において、ウェハーのスループットを最大化し、またＡＬＤサイクルを高速化するために、直接液体注入（ＤＬＩ）によって気体の第二族前駆体を輸送することが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開２０１２／００３５３５１号
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】“Ｎｅｗ  Ｖｏｌａｔｉｌｅ  Ｓｔｒｏｎｔｉｕｍ  ａｎｄ  Ｂａｒｉｕｍ  Ｉｍｉｄａｚｏｌａｔｅ  Ｃｏｍｐｌｅｘｅｓ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｇｒｏｕｐ  ２  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅｓ”，Ｊ．  Ａ．  Ｔ．  Ｎｏｒｍａｎ  ｅｔ  ａｌ．，Ｉｎｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｖｏｌ．  ５０  （２０１１），ｐｐ．  １２３９６−９８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
大きな立体障害性を有するイミダゾール配位子を持つ第二族錯体を含む組成物を記載する。これは、第二族元素を含む膜、例えばＳＴＯ及びＢＳＴの成長のための蒸着プロセス、例えば原子層堆積（ＡＬＤ）及び化学気相成長（ＣＶＤ）のための、これら前駆体のＤＬＩ輸送に有用である。これらの前駆体をＤＬＩで輸送するために、これらの前駆体は、高濃度で容易に溶解して、ＤＬＩ輸送に適切な組成物を形成する必要がある。さらに、これらの組成物は、炭化水素溶媒を用いて製造できることが特に重要である。これは、この特定の溶媒が、１００万分の１部（ｐｐｍ）以下のレベルの水まで容易に脱水できるためである。また、ヒドロキシル（−ＯＨ）等の表面反応部位と相互作用して前駆体の有効反応率を低下させる場合がある酸素含有溶媒及び窒素含有溶媒よりも、炭化水素系溶媒は、ＡＬＤ基材に対して比較的不活性である。本明細書に記載した第二族イミダゾレート化合物の組成物は、気化条件下で、揮発性及び熱安定性の両方を示す。さらに、これらはＳＴＯ及びＢＳＴ膜成長用の前駆体として非常に有効であり、またバリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム又はカルシウムの前駆体を揮発源として必要とするあらゆる用途に非常に有効である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
１つの態様では、フラン、ピロール、イミダゾール、ピラゾール、テトラゾール、ピラゾール、オキサゾール、イソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾール、ピラジン、ピリミジン、ピリダジン、及びピリジンからなる群より選択される中性のドナー配位子を、第二族トリ−ｔｅｒｔ−アルキルイミダゾレート錯体に配位させて、イミダゾレートアニオンを含む付加物錯体を与える方法を提供する。この付加物錯体中のイミダゾレートアニオンは、ビス−η５型で構成され、かつ炭化水素系溶媒に溶解して組成物を与える。
【０００９】
さらなる態様では、次を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含有する組成物Ａが与えられる：２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート、２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート、２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つを含む、イミダゾレート；バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム及びカルシウムから選択される、第二族金属；及び上記第二族金属イミダゾレート錯体に配位する配位子であって、単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つである、配位子。
【００１０】
さらなる態様では、以下の工程を含む、厚みを有する第二族金属酸化物膜を基材に形成する方法が与えられる：
ａ．次を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含有する第二族金属含有組成物を導入する工程：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート、２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート、２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート、２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート、及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つを含む、イミダゾレート；バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム及びカルシウムから選択される、第二族金属；及び上記錯体の上記イミダゾレートに第二族金属を配位させる配位子であって、単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つである、配位子、
ｂ．上記基材に上記第二族金属含有組成物を化学吸着させる工程、
ｃ．パージガスを用いて、未反応の上記第二族金属含有組成物をパージする工程、
ｄ．加熱した上記基材上の上記第二族金属含有組成物に、酸素源を与えて、上記吸着した第二族金属含有組成と反応させる工程、及び
ｅ．随意に、未反応の酸素源をパージする工程。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）のＸ線構造の説明図である。
【図２】ストロンチウムジ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）の説明図である。
【図３】ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の構造の説明図である。
【図４】ストロンチウムジ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（１，２−ジメトキシプロパン）の説明図である。
【図５】ストロンチウムジ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（１，１−ジメトキシエタン）の説明図である。
【図６】ストロンチウムジ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラメチルエチレンジアミン）の説明図である。
【図７】ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）に関する熱重量分析（ＴＧＡ）／示唆走査熱量計（ＤＳＣ）の結果である。ＴＧＡが実線であり、ＤＣＳが破線である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート前駆体を、特定の中性配位子、例えばフラン又は他の小さなヘテロ環配位子にまず配位させることによって、それらの炭化水素系溶媒への本質的に低い溶解性を改善する組成物を開示する。ここで開示される第二族イミダゾレート化合物の生成組成物は、蒸着プロセスに関する揮発性、より特定的には原子層堆積に関する揮発性、及び気化条件における熱安定性の両方を与える。さらに、上記の化合物又は錯体及びこれらを含む組成物は、ＳＴＯ膜及びＢＳＴ膜の成長の前駆体として有用であり、またバリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム又はカルシウムの前駆体の揮発源を必要とするあらゆる用途に有用である。
【００１３】
式２、３又は４に示すような種類の単量体錯体を生成するための、式１に示すような種類の第二族金属イミダゾレート二量体への中性配位子の配位が記載される。式２では、Ｌ１が金属の中心に配位して、２つのη５型配位イミダゾレートアニオンを含む錯体を生成しており、ここでは５員のイミダゾレートアニオンの両方の各３つの炭素原子及び各２つの窒素原子が、その金属に結合している。中性配位子Ｌ１の例としては、限定されないが、単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素又は酸素含有環状分子が挙げられ、例えばテトラヒドロフラン、３−メチルテトラヒドロフラン、２，５−ジヒドロフラン、２，３−ジヒドロフラン、ピリジン、Ｎ−メチルイミダゾール及びピロールが挙げられる。式３では、Ｌ２が金属中心に配位して、１つのη１型イミダゾレート及び１つのη５型イミダゾレートアニオンを含む錯体を生成している。η１型イミダゾレートでは、イミダゾレートアニオンの１つのみの窒素原子を通じて金属中心への結合が生じている。中性配位子Ｌ２の例としては、限定されないが、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素又は酸素含有二座配位子が挙げられ、例えば１，１−ジメトキシエタン、１，２−ジメトキシプロパンが挙げられる。式４では、Ｌ３が金属中心に配位して、２つのη１型イミダゾレートアニオンを含む錯体を生成している。中性配位子Ｌ３の例としては、限定されないが、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子が挙げられ、例えばテトラメチルエチレンジアミンが挙げられる。予想外なことに、式２で例示される種類のビスη５型配位の例のみで、炭化水素系溶媒への溶解性の向上が観察された。理論に拘束されることを望むものではないが、ビスη５型配位の場合では、１つ（式３）の又は両方（式４）のイミダゾレートアニオンがη１型である場合に比べて、金属−イミダゾレート結合の共有結合性が比較的強く、イオン性が比較的弱い性質であることが考えられる。η１型では、金属−イミダゾレート結合のイオン性が比較的強く、共有結合性が比較的弱いと考えられる。炭化水素系溶媒への溶解度は、イオン性分子に対して共有結合性分子の方が高いため、ビスη５型付加物錯体前駆体は、１つのη１型又は２つのη１型イミダゾレートアニオンを有する前駆体に比べて、高い溶解度を有する。これに関して、ビスη５型付加物錯体前駆体の溶解度の向上は、元の前駆体（例えば、式１を有する第二族金属イミダゾレート二量体）の約８〜１０倍である。以下に示される式１、２、３及び４では、イミダゾレートアニオンの環の３つの炭素にある嵩高いアルキル置換基（Ｒ１、Ｒ２及びＲ３、ここでＲ１、Ｒ２及びＲ３はＣ３〜１２の分岐アルキルから独立して選択される）は、明確性のために省略されている。イミダゾレートアニオンの３つの炭素原子のそれぞれに置換しているこれらの嵩高いアルキル基は、第３級の基であり、好ましくはｔｅｒｔ−ブチル基である。
【００１４】
【化１】
2013214747.tif 000003
【００１５】
【化２】
2013214747.tif 000004
【００１６】
【化３】
2013214747.tif 000005
【００１７】
【化４】
2013214747.tif 000006
【００１８】
溶媒のシクロオクタン及びメシチレンへのストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（Ｌ）付加物の溶解度を、以下の表１及び表２にそれぞれ示す。溶解度は、室温で秤量した溶媒を用いて、それ以上溶解できなくなるまで徐々に金属錯体を撹拌しながら添加し、そして得られた溶液を再秤量し、溶解した金属錯体の重量百分率を計算することによって決定された。そして、一定の体積の溶液を秤量した。この重量から、金属錯体の重量及び溶解した金属錯体のモル数を計算する。そして、金属錯体のモル数を、秤量した溶液のリットル単位での体積で除して、溶液のモル濃度を得る。表１及び表２を参照すると、全てが式２に示す種類のビスη５型配位のイミダゾレートを有する、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、及びストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）は、その元の錯体であるジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）よりも、溶媒のメシチレンに対する溶解性が９〜１３倍高い。例外である錯体ビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）も、その元の錯体よりも、シクロオクタンに対する溶解性が１１〜１２倍高い。式３で示される他の例は、元の錯体よりもわずかに高い溶解性を有し、式４の例は、元の錯体よりもわずかに低い溶解性を有する。さらに、本明細書の例７で例示されるように、単純なエーテル、例えばジ−ｎ−ブチルエーテルは、ジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）と錯体を形成しないことが示される。全ての中性配位子分子が配位して、ビスη５型イミダゾレート錯体を形成しないのはもちろんのこと、錯体を形成しないという事実に留意すべきである。したがって、選ばれた種類の中性配位子だけが、第二族イミダゾレートに配位して、錯体を形成し、そして、中性配位子の群の中でも、選ばれた群のみが、第二族金属へのビスη５型イミダゾレート配位を有する錯体を形成し、炭化水素系溶媒への非常に高い溶解性を与えるであろう。
【００１９】
【表１】
2013214747.tif 000007
【００２０】
【表２】
2013214747.tif 000008
【００２１】
表１及び２の錯体の熱重量分析（ＴＧＡ）は、安定した窒素流の下で、一定の速度で加熱しながら、微量天秤パンにサンプルを入れて、実行した。温度／時間の関数として重量損失を測定しながら、示差走査熱量計で発熱（分解）又は吸熱（相変化／溶融又は蒸発冷却）を監視する。上記の付加物錯体前駆体からのＴＧＡの結果は、配位した中性配位子の気化による初期重量損失が、配位子自身の沸点よりも大幅に高い温度で始まることを示している。代表的な例では、図７のビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）の場合では、テトラヒドロフランの喪失に関連する重量損失における初期の減少は、純粋なテトラヒドロフランの沸点が６５℃なのに対して、約１００℃超の温度で始まる。
【００２２】
理論に拘束されることを望むものではないが、配位する配位子は、それらが、ＴＧＡ条件の下で少なくとも部分的にそのストロンチウム前駆体と同時に気化できる十分な親和性を有して、配位していると考えられ、これにより炭化水素系溶媒、例えばシクロオクタン又はメシチレンに溶解したこれらの前駆体の組成物、好ましくは図２に示した種類の前駆体を用いた組成物を用いたＤＬＩシステムでは、高い性能を期待できると考えられる。
【００２３】
他の実験では、発明者らは、ジストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）が、室温では０．０３Ｍが飽和濃度であるのに対して、７０℃では０．３Ｍのシクロオクタン溶液を容易に形成できることを見出した。したがって、配位したテトラヒドロフランの全てが、ＤＬＩ気化中に溶液が気化器で７０℃に到達するのにしたがって、シクロオクタン中の０．３Ｍのストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）から気化して失われたとしても、こうして形成された残渣のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）が溶液中に残留するであろう。しかし、図７のＴＧＡは、テトラヒドロフランが、約１００℃まで失われないことを示しており、この温度では、シクロオクタンへのジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）の溶解度は、０．３Ｍを超えると予想されるであろう。理論に拘束されることを望むものではないが、これらの結果は、この前駆体が、炭化水素系溶媒との同時気化中に沈殿するのではなく、溶解したままであることを示唆している。
【００２４】
他の１つの態様では、バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、カルシウム、もしくはラジウム、又はこれらの混合物からなる群より選択される金属に配位した１つ以上の多置換イミダゾレートアニオンを有する化合物を含む組成物が、本明細書で記載される。この生成錯体には、中性配位子、例えばエーテル、アミン、又はここで規定した任意の他の配位子が配位して、新たな比較的高い溶解性の錯体を形成し、これを適切な溶媒に溶解し、そしてその生成した組成物を、ＤＬＩに用いる。他の金属錯体と組み合わせた本明細書に記載した組成物も、考慮することができ、この場合、その追加の金属錯体は、チタンイミダゾレート錯体又は非イミダゾレート錯体となることができ、これはこの錯体を溶媒に溶解したものを含み、その生成した組成物をＤＬＩモードで用いる。特に有用な組合せとしては、ＡＬＤ又はＣＶＤの第二族金属含有薄膜の堆積によるＳＴＯ、ＢＳＴ又はＢＴＯ用のＤＬＩ組成物として用いるために適切な組成物を形成するために、このような組成物を与えるように、又は適切な溶媒にともに溶解して与えるように、ストロンチウムイミダゾールをチタン錯体と組み合わせた組成物が挙げられる。同様に、ストロンチウムイミダゾレート錯体及びバリウムイミダゾレート錯体を含む組成物を、ＢＳＴ膜成長のために、適切なチタン錯体と組み合わせることができる。
【００２５】
あるいは、これらの組成物に、１つのイミダゾレートアニオンを、第二の非イミダゾレートアニオンと置換することができる。さらに、イミダゾレートアニオンが、置換基を有してもよく、これを脱プロトン化して、２価のアニオン種を生成してもよく、そしてこの２価アニオンが金属、例えばバリウム、ストロンチウム、マグネシウム、カルシウム、若しくはラジウム、又はこれらの混合物に配位してもよい。
【００２６】
好ましくは、第二の非イミダゾレートアニオンは、多置換イミダゾレートアニオン、ポリアルキル化ピロリルアニオン、β−ジケトナート、アセテート、ケトイミナート、ジイミン、アルコキシド、アミド、ヒドリド、β−ケトエステル、アミジナート、グアジニナート、シクロペンタジエニル、シアニド、イソシアニド、ホルマート、オキサラート、マロナート、フェノキシド、チオラート、スルフィド、ニトラート、アルキル、シリルアルキル、フルオロアルキル、アリール、イミダゾレート、ヒドリド、及びこれらの混合物からなる群より選択される。
【００２７】
配位ドナー配位子化合物の存在下しているＤＬＩ溶媒中でイミダゾール配位子を第二族原料試薬と反応させる、ここで開示した新規なＤＬＩ配合物の直接的合成も、考慮される。
【００２８】
ここに開示したＤＬＩ配合物に基づくバリウム及びストロンチウムイミダゾレートの、ＢＳＴ及びＳＴＯ膜の製造のための使用も考慮される。
【００２９】
最も好ましくは、このイミダゾレートは、２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；並びに、これらそれぞれの第二族、又はバリウム、ストロンチウム、マグネシウム及びカルシウム化合物からなる群より選択される少なくとも１つである。
【００３０】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えば、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（  ２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３１】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えば、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３２】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えばカルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３３】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えばカルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３４】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えば、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３５】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えば、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート））（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３６】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えばカルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ａｎｄ  バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３７】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えばカルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）  イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ａｎｄ  バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３８】
ＤＬＩ用の好ましい組成物は、金属イミダゾレートを含み、これは例えばカルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）が挙げられる。
【００３９】
好ましくは、本発明の金属イミダゾレート組成物は、ステンレス鋼容器に入れられる。より好ましくは、このステンレス鋼容器は、その内部を電解研磨されている。最も好ましくは、このステンレス鋼容器は、高純度及び少ないデッドスペースでの供給のために、入口バルブ及び出口バルブを備えている。
【００４０】
近年、半導体産業でのＡＬＤの主要な用途は、金属酸化物膜、例えば酸化ストロンチウム、酸化バリウム、及びペロブスカイト型酸化物、チタン酸ストロンチウム（ＳＴＯ）、及びチタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）の成長である。多くの場合、これらのプロセスでは、完全にコンフォーマルな膜を、深い孔の円筒形容積部（ビア）又は他の円柱状構造体（ピラー）に成長さえることが求められており、ここでは熱分解が起きないこと、又はコンフォーマル性を劣化させるであろうＣＶＤ成分がないことが必須である。
【００４１】
ＤＬＩにより供給される第二族イミダゾール前駆体は、ＣＶＤによる堆積を防ぐために熱安定性であることに加えて、これらは、ＡＬＤ条件の下で高い化学反応性を維持することも必要である。ＡＬＤ基材上の反応部位、例えば表面−ＯＨは、酸素及び窒素を含有する溶媒と反応することがあるので、これらの溶媒は、前駆体の有効反応率（ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ  ｒｅａｃｔｉｖｉｔｙ）を低下させる可能性がある。この観点から、炭化水素系溶媒を用いることが非常に望ましく、炭化水素に非常に溶解しやすい前駆体を用いる必要性が強調される。さらに、炭化水素系溶媒は、サブｐｐｍレベルの水まで容易に脱水できて、前駆体のあらゆる加水分解の発生を防ぐ。前駆体の加水分解の発生は、ＤＬＩ輸送装置の微細孔の気化ノズルを詰まらせて障害を発生させる場合がある、不溶性の副生成物の生成を導くことがある。
【００４２】
好ましくは、ここで開示されるＤＬＩ配合物を調製するための、第二族イミダゾレートを調製するのに用いることができるイミダゾールは、次のイミダゾールの少なくとも１つである：
【００４３】
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）  イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００４４】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００４５】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；
【００４６】
２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；
【００４７】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００４８】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００４９】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール。
【００５０】
２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００５１】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００５２】
２，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ブチル）イミダゾール；
【００５３】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチル  ブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチル  ペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００５４】
２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００５５】
２，４，５−トリ（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール
【００５６】
２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−−（１，１−ジメチルペンチル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−イミダゾール；
【００５７】
２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【００５８】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；
【００５９】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルｐｅｎｙｌ）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【００６０】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；
【００６１】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５  -（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール
【００６２】
２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，５−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；
【００６３】
２，４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール
【００６４】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００６５】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００６６】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００６７】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００６８】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【００６９】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−  （１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−５−イミダゾール；
【００７０】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−５−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５（１，２−ジメチルプロピル）−５イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル））イミダゾール；
【００７１】
２，５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル））イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；
【００７２】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７３】
２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−  （１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７４】
２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；及び２，５−ジ（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール。
【００７５】
特定の実施態様では、このイミダゾールは次から選択される１つである：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７６】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７７】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７８】
２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００７９】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−  （１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−  （１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−  （１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；
【００８０】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００８１】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル  イミダゾール；
【００８２】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピルイミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；
【００８３】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；
【００８４】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；
【００８５】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ペンチル）−５−  ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチル  ヘキシル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチル  ブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００８６】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチル  ペンチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチル  ブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチル  ブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；及び２，５−ジ（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール。
【００８７】
好ましくは、このイミダゾールは、以下のいずれかである：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔブチル−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００８８】
２，４，５−トリ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００８９】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９０】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９１】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９２】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９３】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−  ４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９４】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−  ４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−  ４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９５】
２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−  ５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９６】
２，４−ジ（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【００９７】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【００９８】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；
【００９９】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【０１００】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【０１０１】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；
【０１０２】
２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【０１０３】
２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔブチル−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０４】
２，４，５−トリ（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０５】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０６】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０７】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０８】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１０９】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−  ４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１１０】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−  ４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１１１】
２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−  ４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１１２】
２，４−ジ（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；
【０１１３】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【０１１４】
２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；
【０１１５】
２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【０１１６】
２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【０１１７】
２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；
【０１１８】
２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【０１１９】
２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔブチル−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２０】
２，４，５−トリ（１−メチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２１】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２２】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２３】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２４】
２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２５】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２６】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２７】
２−（１−メチルエチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２８】
２，４−ジ（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；
【０１２９】
２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルブチル）イミダゾール；２，５−（１，２−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【０１３０】
２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；
【０１３１】
２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；
【０１３２】
２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；
【０１３３】
２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチルブチル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；
【０１３４】
２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１−メチルエチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチルブチル）−５−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール；及び２，５−ジ（１−メチルブチル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）イミダゾール。
【０１３５】
より好ましくは、このイミダゾールは以下の１つである：
２−ｔｅｒｔブチル−  ４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１３６】
２−（１−メチルエチル）−４，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４，５−トリ（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ−ｔｅｒ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ−ｔｅｒ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１３７】
２−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１３８】
２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチルエチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチルエチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１，２−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１３９】
２，５−ジ（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１４０】
２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−４−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−５−ジ（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルブチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；
【０１４１】
２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルブチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，４−（１，１−ジメチルヘキシル）−５−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２，５−（１，１−ジメチルヘキシル）−４−（１−メチル−１−エチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；
【０１４２】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチル−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチル−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）−５−（ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；
【０１４３】
２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（ジメチルペンチル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２−（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（ジメチルペンチル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルペンチル）イミダゾール；２，４−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−５−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール；及び２，５−ジ（１−メチル−１−エチルプロピル）−４−（１，１−ジメチルヘキシル）イミダゾール。
【０１４４】
これらのイミダゾールを脱プロトン化して、個々のイミダゾレートアニオンを生成することができ、そしてそれらをバリウム、ストロンチウム、カルシウム、又はラジウムのイオンに配位させて、それぞれ錯体を生成することができる。本明細書に記載した付加物錯体を、ドナー配位子の存在の下で金属錯体を生成することによって、この手順で直接的に合成することができる。
【０１４５】
好ましくは、このイミダゾレートのＲ１及びＲ３は、次の群から個々に選択される：ｔｅｒｔ−ブチル、イソプロピル、ｔｅｒｔ−アミル、ネオペンチル、アダマンチル（ａｄａｍａｎｔｌｙ）、ヘキシル、シクロヘキシル、プロピル、ブチル、ネオブチル、ペンチル、シクロペンチル、ネオペンチル、ネオペンチル、ノルボルニル、ビシクロ［２．２．１］ヘプチル、プロピル、ブチル、ネオブチル、ペンチル、ネオペンチル、ジメチルブチル、ジメチルペンチル、ジメチルヘキシル、ｓｅｃ−ブチル、エチルメチルプロピル、ネオヘキシル、ネオペンチル。
【０１４６】
好ましくは、このイミダゾレートのＲ２は、次の群から個々に選択される嵩高い基である：ｔｅｒｔ−ブチル、イソプロピル、ｔｅｒｔ−アミル、ネオペンチル、アダマンチル、ヘキシル、ヘキシル、シクロヘキシル、プロピル、ブチル、ネオブチル、ペンチル、シクロペンチル、ネオペンチル、ネオペンチル、ノルボルニル、ビシクロ［２．２．１］ヘプチル、プロピル、ブチル、ネオブチル、ペンチル、ネオペンチル、ジメチルブチル、ジメチルペンチル、ジメチルヘキシル、ｓｅｃ−ブチル、エチルメチルプロピル、ネオヘキシル、ネオペンチル。
【０１４７】
特定の実施態様では、このイミダゾレートは、次からなる群から選択される１つである：２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；並びにこれらのバリウム、ストロンチウム、マグネシウム及びカルシウム化合物。
【０１４８】
他の1つの態様では、本発明は、バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、カルシウム若しくはラジウム、又はこれらの混合物から選択される金属に配位した、１以上の多置換イミダゾレートアニオンを含む化合物を教示する。
【０１４９】
あるいは、１つのイミダゾレートアニオンを、第二の非イミダゾレートアニオンと置換することができる。さらに、このイミダゾレートアニオンは、置換基を有してもよく、これを脱プロトン化して、二価アニオン種を生成してもよい。この二価アニオンは、金属、例えば、バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、カルシウム若しくはラジウム、又はこれらの混合物に配位する。
【０１５０】
この新規な化合物又は錯体の合成、及びＢＳＴ膜を形成するためのそれらの使用も考慮される。
【０１５１】
本明細書に記載した第二族金属含有組成物は、半導体型のマイクロ電子デバイス、例えばＤＲＡＭデバイス等のメモリ用途のマイクロキャパシタセルの製造に用いられる、ＡＬＤ、ＣＶＤ、パルスＣＶＤ、プラズマＡＬＤ、プラズマＣＶＤ用の揮発性前駆体として用いるのに非常に好適である。また、それらは高温検出器（ｐｙｒｏｄｅｔｅｃｔｏｒ）の製造にも非常に有用である。本明細書に開示した方法に好適な堆積プロセスの例としては、限定されないが、サイクリックＣＶＤ（ＣＣＶＤ）、ＭＯＣＶＤ（有機金属ＣＶＤ）、熱化学気相成長、プラズマ化学気相成長（「ＰＥＣＶＤ」）（ｐｌａｓｍａ ｅｎｈａｎｃｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、高密度ＰＥＣＶＤ、光ＣＶＤ（ｐｈｏｔｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ＣＶＤ）、プラズマ−光ＣＶＤ（「ＰＰＥＣＶＤ」）（ｐｌａｓｍａ−ｐｈｏｔｏｎ ａｓｓｉｓｔｅｄ ＣＶＤ）、極低温化学気相成長（ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、化学支援気相成長（ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｓｓｉｓｔｅｄ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱フィラメント化学気相成長、液体ポリマー前駆体のＣＶＤ、超臨界流体からの堆積、及び低エネルギーＣＶＤ（ＬＥＣＶＤ）（ｌｏｗ ｅｎｅｒｇｙ ＣＶＤ）が挙げられる。特定の実施態様では、金属含有膜を、原子層堆積（ＡＬＤ）、プラズマＡＬＤ（ＰＥＡＬＤ）、又はプラズマサイクリックＣＶＤ（ＰＥＣＣＶＤ）プロセスによって堆積する。本明細書で用いる場合、用語「化学気相成長プロセス（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）」とは、基材表面で反応及び／又は分解して所望の堆積物を生成する１種以上の揮発性前駆体に、基材を曝露する、あらゆるプロセスについて言及している。本明細書で用いられる場合、用語「原子層堆積プロセス」は、様々な組成の基材に膜の材料を堆積させる、自己制限的な（例えば、各反応サイクルで堆積する膜材料の量が一定である）、順次的な表面化学反応について言及している。本明細書で用いられる前駆体、試薬及び物質源は、「ガス状」として記載される場合があるが、この前駆体は、不活性ガスを用いて又は不活性ガスを用いずに、直接気化、バブリング又は昇華によって、反応器に輸送される、液体又は固体のいずれかであってよいことが理解される。いくつかの場合では、揮発した前駆体は、プラズマ発生器を通過することができる。１つの実施態様では、金属含有膜を、ＡＬＤプロセスを用いて堆積させる。他の一つの実施態様では、金属含有膜を、ＣＣＶＤプロセスを用いて堆積させる。さらなる実施態様では、金属含有膜を、熱ＣＶＤプロセスを用いて堆積させる。本明細書で用いる場合、用語「反応器」は、限定しないが、反応チャンバー又は堆積チャンバーを含む。
【０１５２】
ある種の実施態様では、本明細書に開示した方法は、反応器に導入する前に且つ／又は導入中に、前駆体を分離しておくＡＬＤ法又はＣＣＶＤ法を用いることによって、前駆体の事前反応を防ぐ。これに関連して、堆積技術、例えばＡＬＤプロセス又はＣＣＶＤプロセスを用いて、この誘電膜を堆積させる。１つの実施態様では、基材表面を、第二族金属含有組成物、酸素源、又は他の前駆体若しくは試薬の１種以上に交互に曝露することによって、ＡＬＤプロセスを用いて、膜を堆積させる。膜の成長は、表面反応の自己制限的な制御、各前駆体又は試薬のパルス長さ、及び堆積温度によって進む。しかし、基材の表面が飽和すると、膜の成長は停止する。
【０１５３】
堆積方法に応じて、ある種の実施態様では、１種以上の第二族金属前駆体を、所定のモル体積で又は約０．１〜約１０００マイクロモルで、反応器に導入することができる。この実施態様又は他の実施態様では、第二族金属前駆体を、所定の時間間隔で反応器に導入することができる。ある種の実施態様では、その時間間隔は、約０．００１〜約５００秒の範囲となる。
【０１５４】
ある種の実施態様では、本明細書に記載した方法を用いて堆積させる膜を、酸素源、試薬又は酸素を含む前駆体を用いて、酸素の存在下で形成させる。酸素源は、少なくとも１種の酸素源の形態で反応器に導入させることができ、且つ／又は堆積プロセスで用いる他の前駆体に付随して存在させることができる。適切な酸素源ガスとしては、例えば水（Ｈ２Ｏ）（例えば、脱イオン水、精製水、及び／又は蒸留水）、水プラズマ、酸素（Ｏ２）、酸素プラズマ、オゾン（Ｏ３）、ＮＯ、ＮＯ２、一酸化炭素（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ２）及びこれらの組合せを挙げることができる。ある種の実施態様では、酸素源は、約１〜約２０００ｓｃｃｍ又は約１〜約１０００ｓｃｃｍの範囲の流量で反応器に導入する酸素源を含む。酸素源を、約０．１秒〜約１００秒の範囲の時間で導入することができる。１つの特定の実施態様では、酸素源は、１０℃以上の温度を有する水を含む。膜をＡＬＤプロセス又はサイクリックＣＶＤプロセスによって堆積させる実施態様において、前駆体パルスは、０．０１秒超であるパルス時間を有することができ、且つ酸素源が、０．０１秒未満であるパルス時間を有することができ、さらに水のパルス時間が、０．０１秒未満であるパルス時間を有することができる。さらなる他の１つの実施態様では、パルスとパルスの間のパージ時間間隔は、０秒程度まで小さくすることができ、又はその間にパージをしないで連続的なパルスにすることができる。
【０１５５】
本明細書で開示した堆積方法は、１種以上のパージガスを伴う場合がある。未反応の反応物及び／又は反応副生成物をパージするために用いるパージガスは、不活性ガスであり、これは前駆体と反応しない。典型的なパージガスとしては、限定されないが、アルゴン（Ａｒ）、窒素（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン、水素（Ｈ２）及びこれらの混合物が挙げられる。ある種の実施態様では、パージガス、例えばＡｒを、約０．１秒〜１０００秒の間に、約１０〜約２０００ｓｃｃｍの範囲の流量で反応器に供給することができ、それにより反応器に残留している場合がある未反応の材料及びあらゆる副生成物を、パージすることができる。
【０１５６】
前駆体、酸素源、並びに／又は他の前駆体、他の物質源ガス及び／若しくは試薬を供給する各工程を、それらを供給する時間を変えることによって実行し、生成膜の化学両論的な組成を変えることができる。
【０１５７】
エネルギーを、前駆体、酸素含有源、還元剤、他の前駆体又はこれらの組合せの少なくとも１つに適用して、反応を誘導し、そして金属含有膜又は金属含有コーティングを基材に形成させる。そのようなエネルギーは、限定されないが、熱、プラズマ、パルスプラズマ、ヘリコンプラズマ、高密度プラズマ、誘導結合プラズマ、Ｘ線、電子線、光子、リモートプラズマ法及びこれらの組合せによって与えることができる。ある種の実施態様では、二次高周波（ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  ｒｆ  ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）源を用いて、プラズマ特性を基材表面で変えることができる。堆積にプラズマを伴う実施態様では、プラズマ生成プロセスは、プラズマを反応器で直接的に生成させる直接プラズマ生成プロセス、あるいはプラズマを反応器の外部で生成させて反応器に供給するリモートプラズマ生成プロセスを、含むことができる。
【０１５８】
第二族金属前駆体を、反応チャンバー、例えばＣＶＤ反応器又はＡＬＤ反応器に、様々な方法で提供することができる。１つの実施態様では、液体提供システムを用いることができる。別の実施態様では、液体提供プロセスとフラッシュ気化プロセスが組み合わされたユニット、例えばターボ気化器（ＭＳＰ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製、ショアビュー、ミネソタ州、米国）を用いることで、低揮発度物質を容量分析的に供給することができる。これは、前駆体の熱的分解のない状態で再現性のある輸送及び堆積をもたらすことができる。本明細書に記載した前駆体組成物は、ＤＬＩモードでの原料試薬として効果的に用いることができ、これらの第二族イミダゾレート前駆体の気相流をＡＬＤ又はＣＶＤ反応器に供給することができる。これらの組成物としては、特にサブｐｐｍレベルの水まで脱水できる性質に起因して特に望ましい炭化水素系溶媒を用いる組成物が挙げられる。本発明で用いることができる典型的な炭化水素系溶媒としては、限定されないが、トルエン、メシチレン、クメン（イソプロピルベンゼン）、ｐ−シメン（４−イソプロピルトルエン）、１，３−ジイソプロピルベンゼン、オクタン、ドデカン、１，２，４−トリメチルシクロヘキサン、ｎ−ブチルシクロヘキサン、及びデカヒドロナフタレン（デカリン）が挙げられる。本明細書に記載の前駆体は、ステンレス鋼容器内で貯蔵して使用することもできる。特定の実施態様では、この組成物中の炭化水素系溶媒は、高沸点溶媒であり、又は１００℃超の沸点を有する。本明細書に記載の第二族イミダゾレート前駆体ＤＬＩ組成物を、他の好適な金属前駆体と混合することもでき、この混合物を用いて、二成分金属酸化物膜又は窒化物膜の成長のために同時に両方の金属を供給することができる。例えば、本開示のストロンチウム前駆体は、チタン酸ストロンチウム（ＳＴＯ）膜の成長のために、イミダゾレート系チタン前駆体を含む好適なチタン前駆体と混合することができる。同様に、本開示のバリウム前駆体も、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）膜の成長のために、イミダゾレート系ストロンチウム前駆体を含む好適なストロンチウム前駆体と、そしてイミダゾレート前駆体を含む好適なチタン前駆体と混合することができる。同様に、本開示のバリウム前駆体は、チタン酸バリウム（ＢＴＯ）膜の成長のために、イミダゾレート系チタン前駆体を含む好適なチタン前駆体と混合することができる。
【０１５９】
特定の実施態様では、この前駆体組成物の純度は、信頼性のある半導体の製造を可能とするのに十分に高い。特定の実施態様では、本明細書に記載した第二族金属含有前駆体及びそれを含む組成物は、次の不純物の１種以上を、２重量％以下、１重量％以下、又は０．５重量％以下で有する：遊離アミン、ハロゲン化物及び比較的高い分子量の物質。本明細書に記載した第二族金属含有前駆体の比較的高い純度は、次の１以上のプロセスを通じて得ることができる：精製、吸着及び／又は蒸留。
【０１６０】
ある種の実施態様では、前駆体容器から反応チャンバーに連結するガスラインを、プロセスの必要性に応じて、１以上の温度に加熱し、この組成物を含む容器を、バブリングのために１以上の温度で維持する。他の実施態様では、第二族金属含有前駆体を含む組成物を、直接液体注入のために１以上の温度で維持した気化器に注入する。
【０１６１】
アルゴン及び／又は他のガスの流れを、キャリアガスとして用いて、前駆体パルスの間に、少なくとも１種の第二族金属含有前駆体の気相を反応チャンバーへの供給を促進することができる。ある種の実施態様では、反応チャンバーのプロセス圧力は、約１Ｔｏｒｒである。
【０１６２】
典型的なＡＬＤ又はＣＣＶＤプロセスでは、基材、例えば酸化ケイ素基材を、反応チャンバー内のヒーター台で加熱し、これを始めに第二族金属含有前駆体にさらして、錯体を基材の表面に化学的に吸着させる。
【０１６３】
パージガス、例えばアルゴンは、未吸着の余分な錯体をプロセスチャンバーからパージする。十分なパージの後で、窒素含有源を、反応チャンバーに導入して、吸着した表面と反応させた後で、他のガスパージによって、チャンバーから反応副生成物を除去することができる。このプロセスサイクルを、所望の膜厚さを得るように繰り返すことができる。
【０１６４】
特定の実施態様では、このプロセスは、還元剤を用いる。還元剤は、典型的にはガス状の形態で導入される。適切な還元剤の例としては、限定されないが、水素ガス、水素プラズマ、リモート水素プラズマ、シラン類（例えば、ジエチルシラン、エチルシラン、ジメチルシラン、フェニルシラン、シラン、ジシラン、アミノシラン、クロロシラン）、ボラン類（例えば、ボラン、ジボラン）、アレイン、ゲルマン、ヒドラジン、アンモニア、又はこれらの混合物が挙げられる。アモルファスシリコンの堆積等の特定の実施態様では、還元剤を用いる。
【０１６５】
この実施態様、又は他の実施態様において、本明細書に記載した方法の工程を、様々な順番で実行でき、順次的に又は同時に（例えば、他の１つの工程の少なくとも一部の間に）実行でき、そしてこれらのあらゆる組合せで実行することができると理解される。前駆体及び窒素含有源ガスを提供するそれぞれの工程を、それらを供給するための持続時間を変えることによって実行して、生成する誘電膜の化学量論的組成を変えることができる。
【０１６６】
本明細書に開示した方法の他の１つの実施態様では、誘電膜を、次の工程を含むＡＬＤ堆積法を用いて形成する：
基材を反応器に与える工程；
上記反応器に、第二族金属含有前駆体を含む含有組成物を導入する工程；
上記第二族金属含有前駆体を、基材に化学吸着させる工程；
未吸着の上記第二族金属含有前駆体を、パージガスを用いてパージする工程；
酸素源を、加熱した上記基材上の上記第二族金属含有前駆体に与えて、上記吸着した少なくとも１種の第二族金属含有前駆体と反応させる工程；及び
随意に、あらゆる未反応の酸素源をパージする工程。
【０１６７】
本明細書に記載した方法に関して、上記の工程は１サイクルを構成し；このサイクルを、所望の厚みの膜を得るまで繰り返すことができる。この実施態様又は他の実施態様において、本明細書に記載した方法の工程を、様々な順番で実行することができ、順次的に又は同時に（例えば、他の１つの工程の少なくとも一部の間に）実行でき、そしてこれらのあらゆる組合せで実行することができると理解される。前駆体及び酸素源を提供するそれぞれの工程を、それらを供給するための持続時間を変えることによって実行して、生成する誘電膜の化学量論的組成を変えることができる。ただし、ここでは、利用可能なケイ素に対して、常に酸素を化学量論量よりも少なくして用いる。
【０１６８】
多成分膜に関して、他の前駆体、例えばケイ素含有前駆体、窒素含有前駆体、還元剤及び／又は他の試薬を、反応チャンバーに交互に導入することができる。
【０１６９】
本明細書に記載した方法のさらなる実施態様では、誘電膜を、熱ＣＶＤプロセスを用いて堆積させる。この実施態様では、この方法は、次のステップを含む：
周囲温度から約７００℃までの範囲の温度に加熱し、且つ１Ｔｏｒｒ以下の圧力で維持した反応器に、１以上の基材を置くステップ；
第二族金属含有前駆体を含む組成物を導入するステップ：
酸素源を、上記反応器に与えて、上記第二族金属含有前駆体と少なくとも部分的に反応させ、そして上記１以上の基材に第二族金属膜を堆積させるステップ。
このＣＶＤ法のある種の実施態様では、上記反応器を、上記導入ステップの間に１００ｍＴｏｒｒ〜６００ｍＴｏｒｒの範囲の圧力で維持する。
【０１７０】
本明細書に記載した方法に関して、上記の工程は１サイクルを構成し；このサイクルを、所望の厚みの膜を得るまで繰り返すことができる。この実施態様又は他の実施態様において、本明細書に記載した方法の工程を、様々な順番で実行することができ、順次的に又は同時に（例えば、他の１つの工程の少なくとも一部の間に）実行でき、そしてこれらのあらゆる組合せで実行することができると理解される。前駆体及び酸素源を提供するそれぞれの工程を、それらを供給するための持続時間を変えることによって実行して、生成する膜の化学量論的組成を変えることができる。
【０１７１】
多成分膜に関して、他の前駆体、例えばケイ素含有前駆体、窒素含有前駆体、酸素源、還元剤及び／又は他の試薬を、反応チャンバーに交互に導入することができる。
【０１７２】
ここでは、上記の本発明の金属イミダゾート前駆体を含む組成物を用いることを含む、ＡＬＤ又はＣＶＤによる金属含有膜を堆積する方法が述べられる。特定の実施態様では、第二族イミダゾレート（付加物）前駆体及び適合する溶媒を含む組成物を、反応チャンバーにＤＫＩ供給によって供給し、そして、０．００１〜１０００Ｔｏｒｒの反応器圧力及び０〜１０００℃の温度を用いて、水、アルコール、酸素、オゾン、亜酸化窒素、二酸化窒素、過酸化水素又はそれらの組合せからなる群より選択される酸化剤と反応させて、酸化バリウム、酸化ストロンチウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム又は酸化ラジウム及びそれらの混合物からなる群より選択される金属含有膜を成長させることで、金属含有膜を堆積する方法が与えられる。第二族金属の性質に応じて、この方法は、酸化バリウム又は酸化ストロンチウムを、１サイクル当たり約１オングストローム（Å）以上で堆積させる。
【０１７３】
またここでは、本明細書に記載したＢａ及びＳｒイミダゾレート構造体を、チタンアルコキシド、チタンアルコキシド／ジケトナート、チタンシクロペンタジエニル、チタンアミド、チタンイミダゾレート及びそれらの混合物からなる群より選択されるチタン前駆体の交互パルスとＡＬＤ又はパルスＣＶＤモードで反応させて、ＢＳＴ膜を成長させる工程を含む方法も述べられる。
【０１７４】
他の１つの実施態様では、本発明のＳｒイミダゾレート前駆体を、チタンアルコキシド、チタンアルコキシド／ジケトナート、チタンシクロペンタジエニル、チタンアミド、チタンイミダゾレート及びそれらの混合物からなる群より選択されるチタン前駆体の交互パルスとＡＬＤ又はパルスＣＶＤモードで反応させて、ＳＴＯ膜を成長させる工程を含む方法が与えられる。
【０１７５】
さらなる実施態様は、本発明のＢａイミダゾレート前駆体を、チタンアルコキシド、チタンアルコキシド／ジケトナート、チタンシクロペンタジエニル、チタンアミド、チタンイミダゾレート及びそれらの混合物からなる群より選択されるチタン前駆体の交互パルスとＡＬＤ又はパルスＣＶＤモードで反応させて、ＢＴＯ膜を成長させる工程を含む方法である。
【０１７６】
なおさらなる実施態様は、本発明のバリウムイミダゾレート前駆体を、ストロンチウムケトイミネート、ストロンチウムジケトネート及びそれらの混合物からなる群より選択されるストロンチウム化合物、並びにチタンアルコキシド、チタンアルコキシド／ジケトネート、チタンアルコキシ／ケトエステル、チタンシクロペンタジエニル、チタンアミド及びそれらの混合物からなる群より選択されるチタン化合物と、ＡＬＤ、ＣＶＤ又はパルス化ＣＶＤで反応させてＢＳＴ膜を成長させる方法である。
【０１７７】
さらに別の実施態様は、イミダゾレート前駆体を、ＨＣｌ、ＨＦ、ＳｉＣｌ4、ＨＢｒ及びそれらの混合物からなる群より選択されるハロゲン化物含有ガスとＡＬＤ、ＣＶＤ又はパルス化ＣＶＤモードで反応させて、ＭＸ2（式中、Ｘはハロゲン化物であり、ＭはＢａ、Ｓｒ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｒａ及びそれらの混合物からなる群より選択される）を成長させる方法である。
【０１７８】
上記の前駆体を合成する方法もここで与えられ、これは、ｎ−ブチルリチウム、ｎ−ヘキシルリチウム、ｓｅｃ−ブチルリチウム、ｔｅｒｔ−ブチルリチウム、リチウムジイソプロピルアミド、水素化カリウム、水素化ナトリウム、ナトリウム金属、カリウム金属、ナトリウムｔ−ブトキシド、カリウムｔ−ブトキシド、カリウムヘキサメチルジシラザン、ナトリウムヘキサメチルジシラザンからなる群より選択される金属試薬でイミダゾールを直接金属化し、次いで、得られた生成物を、アルカリ土類金属ヨウ化物、アルカリ土類金属アセテート、アルカリ土類金属カルボキシレート、アルカリ土類金属カルボネート、アルカリ土類金属ホルメート、アルカリ土類金属臭化物、アルカリ土類金属トリフルオロアセテート、アルカリ土類金属ヘキサフルオロアセチルアセトン、アルカリ土類金属トリフルオロアセチルアセトネート、アルカリ土類金属アセチルアセトネート、アルカリ土類金属ジイミン、アルカリ土類金属ケトイミン、アルカリ土類金属アミジネート、アルカリ土類金属グアニジネート及びそれらの混合物からなる群より選択される反応物と、ドナー配位子の存在下又は不在下で、反応させることによって行われる。ドナー配位子が不在の下で合成した場合には、その単離後にドナー配位子をこのイミダゾレート錯体に付加してもよい。
【０１７９】
本発明のイミダゾレート構造体を直接に合成する方法は、アルカリ土類金属アミド、アルカリ土類金属フェノキシド、アルカリ土類金属ヒドロキシド、アルカリ土類金属アルキル、アルカリ土類金属アリール及びそれらの混合物からなる群より選択される試薬を用いて、ドナー配位子の存在下又は不在下で、ポリアルキル化イミダゾールを反応させることによって行われる。ドナー配位子が不在の下で合成した場合には、その単離後にドナー配位子をこのイミダゾレート錯体に付加してもよい。
【０１８０】
別の実施態様では、本発明は、アンモニアの存在下で、ドナー配位子の存在下又は不在下で、イミダゾールをアルカリ土類金属と反応させることにより本発明のイミダゾレート構造体を合成する方法である。ドナー配位子が不在の下で合成した場合には、その単離後にドナー配位子をこのイミダゾレート錯体に付加してもよい。
【０１８１】
さらに別の実施態様は、アンモニアを含むアミンの存在下で、ドナー配位子の存在下又は不在下で、イミダゾールをアルカリ土類金属と反応させることにより本発明のイミダゾレート構造体を合成する方法である。ドナー配位子が不在の下で合成した場合には、その単離後にドナー配位子をこのイミダゾレート錯体に付加してもよい。
【０１８２】
本発明はまた、本発明の金属イミダゾレートの混合物を用いて、ＳＴＯ及びＢＳＴからなる群より選択される誘電体膜を成長させて、ダイナミックランダムアクセスメモリ（ＤＲＡＭ）のメモリセル及び高温測定デバイス（ｐｙｒｏｍｅｔｒｉｃ  ｄｅｖｉｃｅ）からなる群より選択されるマイクロ電子デバイスを形成する方法である。
【０１８３】
あるいは、本発明は、本発明のイミダゾレート構造体を用いて、不揮発性強誘電体マイクロ電子メモリデバイス、電子発光ディスプレイのためのディスプレイ蛍光体、高Ｔｃ超伝導デバイスからなる群より選択されるマイクロ電子デバイスを製造する方法である。
【０１８４】
さらに別の実施態様では、本発明は、エーテル、アミノエーテル、アミド、エステル、芳香族又は炭化水素系溶剤からなる群より選択される溶剤中に溶解した、チタン源及び本発明のバリウム又はストロンチウムイミダゾレート構造体を提供する工程、及び得られた組成物をＤＬＩシステムによって供給して、その組成物の気相流を提供し、ＡＬＤ又はＣＶＤによって金属酸化物膜又は金属窒化物膜を成長させる工程を含む、ＡＬＤ又はＣＶＤによって金属酸化物膜又は金属窒化物膜を成長させる方法である。
【実施例】
【０１８５】
例１：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ミリリットル（ｍｌ）の脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．３６ｇ（０．００５モル）のテトラヒドロフランを、５分にわたって添加して、このストロンチウム錯体をゆっくりと溶解させた。この生成溶液を終夜攪拌し、そして減圧してヘキサンを除去した。生成物は２．８ｇであった。最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図１のように決定し、式２のタイプとなることが分かった。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ  ＝１．３４（ｍ、４Ｈ）、δ＝１．４１（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．５７（ｓ、３６Ｈ）、δ＝３．９６（ｍ、４Ｈ）。
【０１８６】
例２：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．５０ｍｌ（０．００５モル）の３−メチルＴＨＦを添加して、この混合物を終夜で攪拌した。そして、減圧してヘキサンを除去して、白い固体を得た。最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図２のように決定し、式２のタイプとなることが分かった。収率：２．７４ｇ、８５％。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ  ＝０．７２（ｄ、３Ｈ）、δ＝１．４３（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．５３（ｍ、１Ｈ）、δ＝１．５８（ｓ、３６Ｈ）、δ＝１．８７（ｍ、２Ｈ）、δ＝３．２５（ｔ、１Ｈ）、δ＝４．００３５（ｍ、２Ｈ）、δ＝４．３４５６（ｔ、１Ｈ）。
【０１８７】
例３：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．３５ｇ（０．００５モル）の２，５−ジヒドロフランを添加して、この混合物を終夜で攪拌した。そして、減圧してヘキサンを除去して、白い固体を得た。最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図３のように決定し、式２のタイプとなることが分かった。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ  ＝１．４３（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．５６（ｓ、３６Ｈ）、δ＝４．４７（ｓ、４Ｈ）、δ＝５．２４（ｓ、２Ｈ）。
収率：２．５１ｇ、８０％。
ＴＧＡ：８．０９％の残渣質量
【０１８８】
例４：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（１，２−ジメトキシプロパン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．５２ｇ（０．００５モル）のジメトキシプロパンを５分にわたって添加して、このストロンチウム錯体をゆっくりと溶解させた。さらに２０分の攪拌後、この混合物は濁り、そしてさらに１０分以内に白い沈殿物が形成した。この混合物を終夜で攪拌した。減圧してヘキサンを除去して、白い固体を得た。生成物は２．８３ｇであった。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ＝０．４７（ｄ、３Ｈ）、δ＝１．４７（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．６２（ｓ、３６Ｈ）、δ＝２．２５（ｍ、１Ｈ）、δ＝２．４（ｍ、１Ｈ）、δ＝２．６４（ｍ、１Ｈ）、δ＝２．８６（ｓ、３Ｈ）、δ＝３．０２（ｓ、３Ｈ）。
最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図４のように決定し、式３のタイプとなることが分かった。
【０１８９】
例５：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（１，１−ジメトキシエタン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、３０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．５３ｍｌ（０．００５モル）の１，１−ジメトキシエタンを添加して、この混合物を終夜で攪拌した。そして、減圧してヘキサンを除去して、白い固体を得た。収率：３．０５ｇ、９４％。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ＝０．６１（ｄ、３Ｈ）、δ＝１．４８（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．５８（ｓ、３６Ｈ）、δ＝２．７３（ｓ、６Ｈ）、δ＝３．５８（ｑ、１Ｈ）。
最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図５のように決定し、式３のタイプとなることが分かった。
【０１９０】
例６：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（テトラメチルエチレンジアンミン）
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．５８ｇ（０．００５モル）のテトラメチルエチレンジアンミンを５分にわたって添加して、このストロンチウム錯体をゆっくりと溶解させた。さらに２０分の攪拌後、この混合物は濁り、そしてさらに１０分以内に白い沈殿物が形成した。この混合物を終夜で攪拌した。減圧してヘキサンを除去して、白い固体を得た。生成物：２．８ｇ。
1Ｈ ＮＭＲ：（５００ＭＨｚ、Ｄ８トルエン）：δ＝１．５０（ｓ、１８Ｈ）、δ＝１．５９（ｓ、３６Ｈ）、δ＝１．６８（ｔ、４Ｈ）、δ＝１．７９（ｓ、１２Ｈ）。
最終生成物の構造が、Ｘ線結晶解析によって図６のように決定し、式４のタイプとなることが分かった。
【０１９１】
例７：ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（ジ−ｎ−ブチルエーテル）の合成の試み
２．７９ｇ（０．００２５モル）のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）を、５０ｍｌの脱水ヘキサン中で、窒素雰囲気下で攪拌した。次いで、０．６５ｇ（０．００５モル）のジ−ｎ−ブチルエーテルを添加して、この混合物を終夜で攪拌した。そして、減圧を適用してヘキサンを除去して、白い固体を得た。この白い固体のＮＭＲは、のジ−ストロンチウムテトラ（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）であることを示し、これは減圧によってジ−ｎ−ブチルエーテルも除去されたこと、及びこのストロンチウムイミダゾレートと錯体を形成しないことを示唆した。
【０１９２】
例８：シクロオクタンへのストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の０．３７Ｍ溶液の調製
０．２９ｇ（０．４６ｍｍｏｌ）のストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）を、０．９１ｇのシクロオクタンに、室温で、ドライ窒素雰囲気下で溶解して、１．２ｇの重量の１．２５ｍｌの体積の最終的な溶液を得た。
【０１９３】
ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の最終的なモル濃度は、０．０００４６／０．００１２５＝０．３７Ｍと計算された。
【０１９４】
ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の最終的なｗｔ％は、０．２９／１．２＝２４ｗｔ％と計算された。
【０１９５】
例９：メシチレンへのストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の０．６４Ｍ溶液の調製
０．３３ｇ（０．５３ｍｍｏｌ）のストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）を、０．５３ｇのメシチレンに、室温で、ドライ窒素雰囲気下で溶解して、０．８６ｇの重量の０．８１ｍｌの体積の最終的な溶液を得た。
【０１９６】
ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の最終的なモル濃度は、０．０００５３／０．０００８１＝０．６５Ｍと計算された。
【０１９７】
ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）の最終的なｗｔ％は、０．３３／０．８６＝３８ｗｔ％と計算された。
【０１９８】
例１０：メシチレン中の０．３Ｍのストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）の直接液体注入
メシチレン中のストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）の０．３Ｍ溶液を、ＤＬＩシステム（モデル：２８３０ＨＴ、ＭＳＰ  Ｃｏｒｐ．、米国）に、０．５ｇ／分で提供した。５００ｓｃｃｍのアルゴンフローを用いて、２００℃で設定した気化器を通じて、その生成蒸気流を、１Ｔｏｒｒの圧力に設定したＡＬＤ反応チャンバーに送った。３０秒の液体フローコントローラー（ＬＦＣ：ｌｉｑｕｉｄ  ｆｌｏｗ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）による前駆体パルスに続く、９０秒のアルゴンパージの繰り返しサイクルを実行した。２００分間にわたって、サイクル当たりのＬＦＣフローレートは、一定に０．５ｇ／分に保持した。これにより、気化器の詰り及びその結果として起こる前駆体流の制限は発生しなかった。これは、前駆体溶液の清浄な気化を明らかに示している。メシチレン及びストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）からなる蒸気を、４重極質量分析器（ＱＭＳ）によって、同じく２００分間にわたって、サンプリングした。組成物中に存在するメシチレンを表している、分子フラグメントが７７及び７９ｍｕのイオン流強度を、時間の関数としてプロットした。ＱＭＳの結果は、７７及び７９質量単位（ｍｕ：ｍａｓｓ  ｕｎｉｔ）のフラグメントの応答が、１×１０ｅ−１０（液体フローがオフ）及び１×１０ｅ−７（液体フローがオン）の間で一貫してサイクルを行った場合に、効果的に重なることを示した。さらに、この質量分析器のイオン流サイクルと調和して、ＱＭＳの圧力が、３．５×１０ｅ−６Ｔｏｒｒ（液体フローがオフ）及び５．５×１０ｅ−６Ｔｏｒｒ（液体フローがオン）の間での一貫したサイクルとなることを観測した。これらの結果は、ＱＭＳ圧力及びメシチレンの流がＬＦＣ前駆体パルスと共に一貫したサイクルになることを示している。また、これらの結果は気化器の詰り及びその結果としての前駆体流の制限が起こらないこと、及びこの前駆体溶液が清浄に気化することを、さらに示している。
【図１】
2013214747.tif 000009
【図２】
2013214747.tif 000010
【図３】
2013214747.tif 000011
【図４】
2013214747.tif 000012
【図５】
2013214747.tif 000013
【図６】
2013214747.tif 000014
【図７】
2013214747.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月12日(2013.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含む、組成物：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つの、イミダゾレート；
バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム、及びカルシウムからなる群より選択される、第二族金属；及び
単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つの、前記第二族金属イミダゾレート錯体に配位する配位子。
【請求項２】
第二族含有薄膜のＡＬＤ堆積又はＣＶＤ堆積用のＤＬＩ供給に用いられる、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
ＡＬＤ又はＣＶＤによるＳＴＯ薄膜及びＢＳＴ薄膜の堆積のために、揮発性チタン源と共に用いられる、請求項２に記載の組成物。
【請求項４】
前記配位子が、単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子及び単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子からなる群より選択される配位子である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項５】
前記配位子が、テトラヒドロフラン、３−メチルテトラヒドロフラン、２，５−ジヒドロフラン、２，３−ジヒドロフラン、ピリジン、Ｎ−メチルイミダゾール、及びピロールからなる群より選択される配位子である、請求項４に記載の組成物。
【請求項６】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（  ２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項７】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項８】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項９】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１０】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル））イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１１】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート））（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン），ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２．４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項１２】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項１３】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）  イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）−  イミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）  。
【請求項１４】
前記第二族金属イミダゾレート錯体が、以下から選択される少なくとも１つである、請求項５に記載の組成物：
カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（テトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（３−メチルテトラヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、バリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，５−ジヒドロフラン）、カルシウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、ストロンチウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）、及びバリウムビス（２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート）（２，３−ジヒドロフラン）。
【請求項１５】
前記第二族金属イミダゾレート錯体の濃度が、０．１〜１Ｍの範囲である、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１６】
前記第二族金属イミダゾレート錯体の濃度が、０．１〜０．５Ｍの範囲である、請求項１５に記載の組成物。
【請求項１７】
２つの異なる第二族金属イミダゾレート錯体を含む、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１８】
１００℃以上の沸点を有する炭化水素系溶媒を含む、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１９】
前記炭化水素系溶媒が、シクロオクタンを含む、請求項１８に記載の組成物。
【請求項２０】
前記炭化水素系溶媒が、メシチレンを含む、請求項１８に記載の組成物。
【請求項２１】
次の工程を含む、厚みを有する第二族金属酸化物膜を基材に形成する方法：
ａ．次を含む第二族金属イミダゾレート錯体、及び炭化水素系溶媒を含む第二族金属含有組成物を導入する工程：
２，４，５−トリ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレート；２−（１，１−ジメチルブチル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−ｔｅｒｔ−ブチル−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；２，４，５−トリ−（１，１−ジメチルプロピル）イミダゾレート；２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−（１，１−ジメチルブチル）イミダゾレート；及び２−（１，１−ジメチルプロピル）−４，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルイミダゾレートからなる群より選択される少なくとも１つの、イミダゾレート；
バリウム、ストロンチウム、マグネシウム、ラジウム、及びカルシウムからなる群より選択される、第二族金属；及び
単座のＣ４〜Ｃ１２の窒素含有環状分子、単座のＣ４〜Ｃ１２の酸素含有環状分子、Ｃ４〜Ｃ１２の窒素含有二座配位子、Ｃ４〜Ｃ１２の酸素含有二座配位子、及びＣ４〜Ｃ１２の窒素及び酸素の両方を含有する二座配位子からなる群より選択される少なくとも１つの、前記第二族金属イミダゾレート錯体に配位する配位子；
ｂ．前記基材に、前記第二族金属含有組成物を化学吸着させる工程；
ｃ．未反応の前記第二族金属含有組成物を、パージガスを用いてパージする工程；及び
ｄ．加熱した前記基材上にある前記第二族金属含有組成物に酸素源を与えて、前記吸着した第二族金属含有組成物と反応させる工程。
【請求項２２】
ｅ．あらゆる未反応の酸素源をパージする工程をさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記厚みのフィルムが得られるまで前記工程を繰り返す、請求項２１又は２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記方法が原子層堆積プロセスである、請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の方法。
【外国語明細書】
2013214747000001.pdf