(57)【要約】【課題】効率の高い被検査対象の検査方法を提供する。【解決手段】被検査対象の検査方法では、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第２の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１及び第２の方向に沿ってマトリクス状に配された複数の被検査対象の検査方法であって、
撮像装置を前記複数の被検査対象に対して前記第１の方向に沿って相対的に走査させながら、前記第２の方向に沿って配された複数の被検査対象からなる被検査対象列ごとに、前記被検査対象の画像を取得していく工程と、
一の被検査対象の画像と、前記第２の方向において前記一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより前記被検査対象の検査を行う評価工程と、
を備え、
一の前記被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、前記一の被検査対象列よりも前記撮像装置の前記複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、前記一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、前記一の被検査対象列において前記第２の方向に並ぶ前記被検査対象の前記取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う、被検査対象の検査方法。
【請求項２】
取得した前記複数の被検査対象の画像を用いて、前記第１の方向に並ぶ前記被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備える、請求項１に記載の被検査対象の検査方法。
【請求項３】
前記一の被検査対象列よりも前記撮像装置の前記複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、取得した前記複数の被検査対象の画像を用いて、前記第１の方向に並ぶ前記被検査対象の画像同士を比較する工程を並行して行う、請求項２に記載の被検査対象の検査方法。
【請求項４】
前記評価工程において、ある前記被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第２の方向の一方側に並んでいる前記被検査対象の画像と比較していく工程と、ある前記被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第２の方向の他方側に並んでいる前記被検査対象の画像と比較していく工程との両方を行う、請求項１〜３のいずれか一項に記載の被検査対象の検査方法。
【請求項５】
前記マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像を直接検査する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の被検査対象の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査対象の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマディスプレイなどにおいて、ガラス基板の上に複数の電極がマトリクス状に配された基板が使用されている。この複数の電極の形状に欠陥があると、プラズマディスプレイなどの特性が劣化する。このため、プラズマディスプレイなどの製造工程においては、ガラス基板上の複数の電極の形状などを被検査対象とした、いわゆる隣接比較法による検査が行われている。このような検査においては、複数の電極の画像を撮像装置で取得した後、取得された電極の画像のうち、隣り合っているかまたは離れて並んでいる電極の画像同士を比較して、電極の欠陥の有無を検査する（例えば、特許文献１などを参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１９０６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、上記のような被検査対象の検査の効率を高めたいという要望がある。
【０００５】
本発明は、効率の高い被検査対象の検査方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の被検査対象の検査方法は、第１及び第２の方向に沿ってマトリクス状に配された複数の被検査対象の検査方法である。被検査対象の検査方法は、撮像装置を複数の被検査対象に対して第１の方向に沿って相対的に走査させながら、第２の方向に沿って配された複数の被検査対象からなる被検査対象列ごとに、被検査対象の画像を取得していく工程と、一の被検査対象の画像と、第２の方向において一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより被検査対象の検査を行う評価工程とを備える。一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第２の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う。
【０００７】
取得した複数の被検査対象の画像を用いて、第１の方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備えることが好ましい。
【０００８】
一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、取得した複数の被検査対象の画像を用いて、第１の方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する工程を並行して行うことが好ましい。
【０００９】
評価工程において、ある被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第２の方向の一方側に並んでいる被検査対象の画像と比較していく工程と、ある被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第２の方向の他方側に並んでいる被検査対象の画像と比較していく工程との両方を行うことが好ましい。
【００１０】
マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像を直接検査することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、効率の高い被検査対象の検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示である。本発明は、以下の実施形態に何ら限定されない。
【００１４】
また、実施形態などにおいて参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率などが異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率などは、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１５】
図１は、本実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。本実施形態では、例えば、プラズマディスプレイのガラス基板の上に配された複数の電極などの検査方法について、図１を主として参照しながら説明する。
【００１６】
図１に示されるように、被検査対象物１１は、基板１０と、基板１０の上に配された複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５とを備えている。複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に沿ってマトリクス状に配されている。複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５は、ｘ軸方向に沿って配された複数の被検査対象列Ｌ１ａ，Ｌ２ａ，Ｌ３ａ，Ｌ４ａ，Ｌ５ａを含む。被検査対象列Ｌ１ａは、ｙ軸方向に沿って配された複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５を含む。被検査対象列Ｌ２ａは、ｙ軸方向に沿って配された複数の被検査対象Ｓ２１〜Ｓ２５を含む。被検査対象列Ｌ３ａは、ｙ軸方向に沿って配された複数の被検査対象Ｓ３１〜Ｓ３５を含む。被検査対象列Ｌ４ａは、ｙ軸方向に沿って配された複数の被検査対象Ｓ４１〜Ｓ４５を含む。被検査対象列Ｌ５ａは、ｙ軸方向に沿って配された複数の被検査対象Ｓ５１〜Ｓ５５を含む。
【００１７】
なお、本実施形態においては、被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５は、それぞれ、パターニングされた電極である。ここでは、具体的には、被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５の位置精度及び形状精度を検査する工程について説明する。
【００１８】
（画像取得工程）
まず、画像取得工程を行う。具体的には、画像取得工程において、撮像装置３を複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５に対してｘ軸方向に相対的に走査させながら、被検査対象列Ｌ１ａ，Ｌ２ａ，Ｌ３ａ，Ｌ４ａ，Ｌ５ａ毎に、被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５の画像を取得していく。
【００１９】
より具体的には、まず、制御部１は、まず撮像装置３を被検査対象列Ｌ１ａの上に位置させる。次に、制御部１は、撮像装置３に被検査対象列Ｌ１ａに含まれる被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５のそれぞれの画像を取得させ、撮像装置３から出力させる。制御部１は、撮像装置３に被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５のそれぞれの画像を一度に取得させてもよい。また、制御部１は、撮像装置３に被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５の各画像を例えばｙ軸方向に沿って順番に取得させてもよい。本実施形態では、さらに詳細には、制御部１は、撮像装置３に設けられた撮像素子をｙ軸方向に走査させながら、撮像素子に、被検査対象Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４及びＳ１５の画像をこの順番で撮像させていく。制御部１は、出力された被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５の画像を記憶部２に記憶させる。
【００２０】
次に、制御部１は、撮像装置３を、被検査対象列Ｌ１ａに対してｘ軸方向のｘ１側に位置する被検査対象列Ｌ２ａの上に移動させる。次に、制御部１は、撮像装置３に、被検査対象列Ｌ２ａに含まれる被検査対象Ｓ２１〜Ｓ２５のそれぞれの画像を取得させ、撮像装置３から出力させる。制御部１は、出力された被検査対象列Ｌ２ａに含まれる被検査対象Ｓ２１〜Ｓ２５の画像を記憶部２に記憶させる。
【００２１】
以下同様に、制御部１は、撮像装置３の移動、撮像装置３による被検査対象列Ｌ３ａ、Ｌ４ａ、Ｌ５ａに含まれる被検査対象Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５の画像撮影、及び記憶部２による画像データの記憶を行う。
【００２２】
（第１の評価工程）
また、制御部１は、第１の評価工程を行う。第１の評価工程において、制御部１は、一の被検査対象の画像と、ｙ軸方向において、その一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより、被検査対象の検査を行う。具体的には、制御部１は、まず、一の被検査対象の画像データと、その一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを記憶部２から読み出す。次に、制御部１は、それらの画像を比較する。制御部１は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有しているか否かについて判断することにより、被検査対象の検査を行う。例えば、複数の被検査対象に形状寸法が異なるものがなく、すべてが良品である場合は、制御部１は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有していると常に判断することとなる。複数の被検査対象に不良が含まれている場合は、制御部１は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有していないと判断する場合がある。このように判断された箇所には不良が存在する可能性が高い。従って、この第１の評価工程を行うことにより、複数の被検査対象に不良が含まれているか否か、不良が含まれている場合に、不良が存在する場所の見当をつけることができる。ここで、ｙ軸方向において、一の被検査対象と並ぶ被検査対象には、ｙ軸方向において、一の被検査対象と隣接する被検査対象だけでなく、一の被検査対象と隣接せずに離れて並んでいる被検査対象も含んでいる。
【００２３】
より具体的には、制御部１は、第１の評価工程を被検査対象列Ｌ１ａ〜Ｌ５ａ毎に行う。即ち、まず、制御部１は、第１の被検査対象列Ｌ１ａに対して第１の評価工程を行う。詳細には、制御部１は、まず、被検査対象Ｓ１１の画像データと、ｙ軸方向において被検査対象Ｓ１１に隣り合っている被検査対象Ｓ１２の画像データとを記憶部２から読み出す。次に、制御部１は、読み出した両画像において被検査対象の形状寸法の異同を判断し、その結果を記憶部２に対して出力する。次に、制御部１は、被検査対象Ｓ１２の画像データと、被検査対象Ｓ１３の画像データとを記憶部２から読み出し、比較することにより、被検査対象Ｓ１２と被検査対象Ｓ１３との形状寸法の異同を判断し、その結果を記憶部２に対して出力する。同様にして、制御部１は、被検査対象Ｓ１３と被検査対象Ｓ１４との異同、被検査対象Ｓ１４と被検査対象Ｓ１５との異同を判断し、結果を記憶部２に対して出力する。同様にして、制御部１は、第２〜５の被検査対象列Ｌ２ａ〜Ｌ５ａのそれぞれに対して第１の評価工程を行う。
【００２４】
以下、図１に示す例を用いて、第１の評価工程についてさらに詳細に説明する。
【００２５】
本実施形態では、第１の被検査対象列Ｌ１ａに含まれる被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５の中で被検査対象Ｓ１３のみが不良となっている。このため、制御部１は、被検査対象Ｓ１２と被検査対象Ｓ１３とを比較したときと、被検査対象Ｓ１３と被検査対象Ｓ１４とを比較したときとに、形状寸法が異なっていると判断する。この結果から、制御部１は、被検査対象Ｓ１３が不良である可能性が高いと判断する。
【００２６】
第２の被検査対象列Ｌ２ａには、不良となる被検査対象は含まれていない。従って、制御部１は、第２の被検査対象列Ｌ２ａの評価においては、形状寸法が異なっているという判断をすることがなく、制御部１は、第２の被検査対象列Ｌ２ａには不良が含まれていないものと判断する。
【００２７】
第３の被検査対象列Ｌ３ａでは、被検査対象Ｓ３２，Ｓ３３，Ｓ３４が不良となっている。このため、制御部１は、被検査対象Ｓ３１と被検査対象Ｓ３２とを比較したとき、被検査対象Ｓ３４と被検査対象Ｓ３５とを比較したときに、形状寸法が異なっていると判断する。この結果から、制御部１は、被検査対象Ｓ３２〜Ｓ３４が不良である可能性が高いと判断する。
【００２８】
第４の被検査対象列Ｌ４ａと第５の被検査対象列Ｌ５ａとのそれぞれには、不良となる被検査対象は含まれていない。従って、制御部１は、第４の被検査対象列Ｌ４ａと第５の被検査対象列Ｌ５ａとのそれぞれの評価においては、形状寸法が異なっているという判断をすることがなく、制御部１は、第４の被検査対象列Ｌ４ａと第５の被検査対象列Ｌ５ａとのそれぞれには不良が含まれていないものと判断する。
【００２９】
以上の結果から、被検査対象物１１において不良である可能性が高い被検査対象は、被検査対象Ｓ１３、被検査対象Ｓ３２〜Ｓ３４であると判断される。従って、これら４つの被検査対象Ｓ１３、Ｓ３２〜Ｓ３４を直接検査により再度検査することによって、不良である被検査対象を特定することができる。
【００３０】
なお、マトリクス状に配された複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５のいくつかについては、基準となる被検査対象を有さない場合がある。第１の評価工程においては、最もｙ１側に位置している被検査対象Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１，Ｓ５１は、他の基準となる被検査対象と比較されない。従って、４つの被検査対象Ｓ１３、Ｓ３２〜Ｓ３４に加えて、被検査対象Ｓ１１，Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１，Ｓ５１についても、直接検査を行うことが好ましい。また、マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像は、直接検査することが好ましい。例えば、図２に示されるように、角部１０ａに位置する被検査対象Ｓ１１に欠陥がある場合、制御部１による検査が正しくされないため、被検査対象Ｓ１１を直接検査することが好ましい。
【００３１】
なお、直接検査とは、直接目視したり、顕微鏡などを用いて観察したりすることにより、他と比較することなく、画像を直接的に検査することをいう。
【００３２】
本実施形態では、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、その一の被検査対象列よりも撮像装置３の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向（ｘ軸方向）の下流側（ｘ１側）に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列においてｙ軸方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第１の評価工程とを並行して行う。即ち、一の被検査対象列に対する第１の評価工程と、その一の被検査対象列に対して撮像装置３の相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に対する画像取得工程とを並行して行う。
【００３３】
具体的には、第２の被検査対象列Ｌ２ａに対する画像取得工程と、第１の被検査対象列Ｌ１ａに対する第１の評価工程とを並行して行う。第３の被検査対象列Ｌ３ａに対する画像取得工程と、第２の被検査対象列Ｌ２ａに対する第１の評価工程とを並行して行う。第４の被検査対象列Ｌ４ａに対する画像取得工程と、第３の被検査対象列Ｌ３ａに対する第１の評価工程とを並行して行う。第５の被検査対象列Ｌ５ａに対する画像取得工程と、第４の被検査対象列Ｌ４ａに対する第１の評価工程とを並行して行う。従って、本実施形態の被検査対象の検査方法は、効率が高い。
【００３４】
なお、第１の評価工程において、ある被検査対象の画像を、その被検査対象のｙ１側に位置する被検査対象の画像と、ｙ２側に位置する被検査対象の画像との両方と比較するようにしてもよい。そのようにすることにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。
【００３５】
（第２の評価工程）
また、画像取得工程と第１の評価工程とを行った後に、下記の第２の評価工程をさらに行うことが好ましい。第２の評価工程では、制御部１は、画像取得工程において取得した複数の被検査対象Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５の画像を用いて、ｘ軸方向に並ぶ被検査対象の画像を比較する。ここで、ｘ軸方向に並ぶ被検査対象には、ｘ軸方向に隣接する被検査対象だけでなく、ｘ軸方向に隣接せずに離れて並んでいる被検査対象も含む。
【００３６】
具体的には、制御部１は、まず、第１の被検査対象行Ｌ１ｂに対して第２の評価工程を行う。すなわち、制御部１は、第１の被検査対象行Ｌ１ｂにおいてｘ軸方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する。より具体的には、制御部１は、記憶部２から被検査対象Ｓ１１の画像と、被検査対象Ｓ１１とｘ軸方向に隣接する被検査対象Ｓ２１の画像とを読み出す。次に、制御部１は、被検査対象Ｓ２１の画像を、被検査対象Ｓ１１の画像と比較することにより、被検査対象Ｓ２１の形状寸法が被検査対象Ｓ１１の形状寸法と実質的に同じであるか否かを判断する。次に、制御部１は、被検査対象Ｓ３１の画像を、被検査対象Ｓ２１の画像と比較することにより、被検査対象Ｓ３１の形状寸法が被検査対象Ｓ２１の形状寸法と実質的に同じかを判断する。同様にして、制御部１は、被検査対象Ｓ４１の形状寸法が被検査対象Ｓ３１の形状寸法と同じであるか否か、被検査対象Ｓ５１の形状寸法が被検査対象Ｓ４１の形状寸法と同じであるか否かを判断する。その後、同様にして、制御部１は、被検査対象行Ｌ２ｂ、Ｌ３ｂ、Ｌ４ｂ、Ｌ５ｂに対して第２の評価工程を順に行っていく。このような第２の評価工程を、第１の評価工程に加えて行うことにより、第１の評価工程においては、評価されなかった被検査対象Ｓ２１，Ｓ３１，Ｓ４１，Ｓ５１の検査も行うことができる。このように、取得した複数の被検査対象列における被検査対象の画像を用いて、ｘ軸方向に隣り合う被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備えることが好ましい。これにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。
【００３７】
なお、第２の評価工程において、ある被検査対象の画像を、その被検査対象のｘ１側に位置する被検査対象の画像と、ｘ２側に位置する被検査対象の画像との両方と比較するようにしてもよい。そのようにすることにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。
【００３８】
また、本実施形態では、画像取得工程と第１の評価工程とを行った後に第２の評価工程を行う例について説明したが、必ずしもこの順番ではなくてもよい。例えば、第１の評価工程と第２の評価工程の順番を入れ替えてもよい。
【００３９】
また、本実施形態では、被検査対象の一つを含む一のｙ軸方向に沿った被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、その一の被検査対象列よりも撮像装置３の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向（ｘ軸方向）の下流側（ｘ１側）に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列においてｙ軸方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第１の評価工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第１の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第２の評価工程とを並行して行う。このように、第１の評価工程に加え、第２の評価工程を並行して行うことによって、本実施形態の被検査対象の検査方法では、さらに被検査対象の検査効率が高くなる。
【符号の説明】
【００４０】
１…制御部
２…記憶部
３…撮像装置
１０…基板
１０ａ…角部
１１…被検査対象物
Ｓ１１〜Ｓ１５、Ｓ２１〜Ｓ２５、Ｓ３１〜Ｓ３５、Ｓ４１〜Ｓ４５、Ｓ５１〜Ｓ５５…被検査対象
Ｌ１ａ，Ｌ２ａ，Ｌ３ａ，Ｌ４ａ，Ｌ５ａ…被検査対象列
Ｌ１ｂ，Ｌ２ｂ，Ｌ３ｂ，Ｌ４ｂ，Ｌ５ｂ…被検査対象行
【図１】
2013152183.tif 000003
【図２】
2013152183.tif 000004