(57)【要約】【課題】周縁の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールを製造すること。【解決手段】太陽電池モジュールを製造する方法は、基板の第１面の上に、第１電極、光電変換層、および第２電極を順に積層する工程と、レーザ光の照射により、基板の周縁部を第１電極、光電変換層、および第２電極から露出させる工程とを備える。レーザ光を照射する工程では、レーザ光が基板の内部で焦点を結ぶように、レーザ光を第１面とは反対側に位置する基板の第２面側から基板の第２面の周縁へ照射する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の第１面の上に、第１電極、光電変換層、および第２電極を順に積層する工程と、
レーザ光の照射により、前記基板の周縁部を前記第１電極、前記光電変換層、および前記第２電極から露出させる工程とを備え、
前記レーザ光を照射する工程では、前記レーザ光が前記基板の内部で焦点を結ぶように、前記レーザ光を前記第１面とは反対側に位置する基板の第２面側から前記基板の前記第２面の周縁へ照射する太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記レーザ光を照射する工程では、前記基板の厚み方向中央または前記基板の厚み方向中央よりも前記第１面側において前記レーザ光の焦点を結ばせる請求項１に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記レーザ光を照射する工程では、前記基板の前記第１面から前記基板の厚みの１／１０倍以上１／２倍以下離れた地点において前記レーザ光の焦点を結ばせる請求項２に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の方法にしたがって製造された太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池モジュールの製造方法および太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は、主に屋外で使用されており、かかる使用においてはフレームなどの固定部材に固定されている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、太陽電池の周縁部からの水などの浸入を防止するために太陽電池の周縁部に設けられる太陽電池パネル用シール材の構成が開示されている。また、特許文献２には、フレームなどの固定部材に固定されて使用される太陽電池を低コストで製造可能な方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−７１２３３号公報
【特許文献２】特開２００８−１０９０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
太陽電池を固定するために周縁部などに設けられるフレームまたはクリップなどの固定部材は、多くの場合、導電性を有する。そのため、フレームまたはクリップなどの固定部材と太陽電池との電気的絶縁を確保する必要がある。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、周縁の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールの製造方法の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、基板の第１面の上に、第１電極、光電変換層、および第２電極を順に積層する工程と、レーザ光の照射により、基板の周縁部を第１電極、光電変換層、および第２電極から露出させる工程とを備える。レーザ光を照射する工程では、レーザ光が基板の内部で焦点を結ぶように、レーザ光を第１面とは反対側に位置する基板の第２面側から基板の第２面の周縁へ照射する。
【０００８】
「レーザ光が基板の内部で焦点を結ぶ」は、使用するレーザ光のエネルギーが基板の内部で最大となるようにそのレーザ光のエネルギーを調整することを意味する。
【０００９】
レーザ光を照射する工程では、基板の厚み方向中央または基板の厚み方向中央よりも第１面側においてレーザ光の焦点を結ばせることが好ましく、基板の第１面から基板の厚みの１／１０倍以上１／２倍以下離れた地点においてレーザ光の焦点を結ばせることが好ましい。
【００１０】
本発明の太陽電池モジュールは、本発明の太陽電池モジュールの製造方法により製造されたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、周縁の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの構成の一例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は、図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線における断面図であり、（ｂ）は、図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線における断面図である。
【図３】図１に示す太陽電池モジュールの製造方法の一工程を図解する模式的な断面図であり、（ａ）には図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿った断面構造を示し、（ｂ）には図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿った断面構造を示す。
【図４】図１に示す太陽電池モジュールの製造方法の他の一工程を図解する模式的な断面図であり、（ａ）には図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿った断面構造を示し、（ｂ）には図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿った断面構造を示す。
【図５】図１に示す太陽電池モジュールの製造方法の他の一工程を図解する模式的な断面図であり、（ａ）には図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿った断面構造を示し、（ｂ）には図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿った断面構造を示す。
【図６】図１に示す太陽電池モジュールの製造方法の他の一工程を図解する模式的な断面図であり、（ａ）には図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿った断面構造を示し、（ｂ）には図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿った断面構造を示す。
【図７】基板の周縁部へのレーザ光の照射工程を説明するための断面図である。
【図８】従来の太陽電池モジュールの製造方法における不具合を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の太陽電池モジュールの構成および太陽電池モジュールの製造方法について図面を用いて説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものである。また、長さ、幅、厚さ、深さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、実際の寸法関係を表すものではない。
【００１４】
図１は、本発明の太陽電池モジュールの構成の一例を示す平面図である。図２（ａ）は、図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線における断面図であり、図２（ｂ）は、図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線における断面図である。なお、図１では、図２（ａ）に示す第１薄膜３１の図示を省略している。
【００１５】
図１に示す太陽電池モジュールは、フレームまたはクリップなどの固定部材３４が太陽電池１（図２（ａ）参照）の周縁部に固定されてなる。太陽電池１は、図２（ａ）および図２（ｂ）に示すように、基板２の第１面２ａの上に、第１電極３、光電変換層４および第２電極５がこの順序で積層された構成を有している。第１電極３は、光電変換層４で埋められた第１分離溝６によって分離されており、光電変換層４および第２電極５は、第２分離溝８によって分離されている。レーザスクライブ法などによって光電変換層４が除去された部分であるコンタクトライン７を介して隣り合うセルが電気的に直列に接続されており、これにより、セルの集積部１１が構成されている。第２分離溝８の長手方向に直交する方向の両端に位置する第２電極５の上面上には、電流取り出し用の電極１０がそれぞれ形成されている。なお、図１に示す太陽電池モジュールでは、基板２の第１面２ａとは反対側に位置する第２面２ｂが受光面である。
【００１６】
一方、基板２の周縁部２ｃは、第１電極３、光電変換層４および第２電極５から露出している。ここで、基板２の周縁部２ｃは、基板２の第１面２ａの周縁と基板２の第２面２ｂの周縁と基板２の側面とを含む部位である。基板２の周縁部２ｃが第１電極３、光電変換層４および第２電極５から露出してなる太陽電池１の周縁部（以下では単に「太陽電池１の周縁部」と記す）には、第１薄膜３１、封止材３２および第２薄膜３３を挟んで固定部材３４が固定されている。
【００１７】
図３〜図６を用いて図１、図２（ａ）および図２（ｂ）に示す太陽電池モジュールの製造方法を示す。図３（ａ）〜図６（ａ）には、図１に示す太陽電池モジュールの製造方法を工程順に示す断面図を示し、図１に示すＩＩＡ−ＩＩＡ線に沿った断面構造を示す。図３（ｂ）〜図６（ｂ）には、図１に示す太陽電池モジュールの製造方法を工程順に示す断面図を示し、図１に示すＩＩＢ−ＩＩＢ線に沿った断面構造を示す。図７は、基板の周縁部へのレーザ光の照射工程を説明するための断面図である。図８は、従来の太陽電池モジュールの製造方法における不具合を説明するための断面図である。
【００１８】
まず、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、基板２の第１面２ａの上に、たとえばスパッタリング法、蒸着法またはイオンプレーティング法などにより第１電極３を形成する。その後、第１分離溝６の長手方向となる方向（図３（ｂ）の奥行き方向）にレーザ光を走査して基板２の第２面２ｂ側からレーザ光を照射する。このとき、レーザ光として、基板２を透過する一方、第１電極３に吸収されるレーザ光を用いることが好ましく、たとえばＹＡＧレーザ光の基本波（波長：１０６４ｎｍ）またはＹＶＯ4（Yttrium  Orthovanadate）レーザ光の基本波を用いることが好ましい。これにより、図３（ｂ）に示すように、第１電極３がストライプ状に除去されて、第１電極３を分離する第１分離溝６が形成される。また、第１分離溝６よりも外側であって基板２の周方向に沿ってレーザ光を走査して基板２の第２面２ｂ側からレーザ光を照射する。レーザ光としては、上記理由と同様の理由から、ＹＡＧレーザ光の基本波またはＹＶＯ4レーザ光の基本波を用いることが好ましい。これにより、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、第１電極３のうち第１分離溝６よりも周縁側に、平面視リング状の周縁溝９が形成される。
【００１９】
次に、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、第１分離溝６で分離され且つ周縁溝９が形成された第１電極３を覆うようにして、たとえばプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法により光電変換層４を形成する。その後、コンタクトライン７の長手方向となる方向（図４（ｂ）の奥行き方向）にレーザ光を走査して基板２の第２面２ｂ側からレーザ光を照射する。このとき、レーザ光として、基板２および第１電極３を透過する一方、光電変換層４に吸収されるレーザ光を用いることが好ましく、たとえばＹＡＧレーザ光の第２高調波（波長：５３２ｎｍ）またはＹＶＯ4レーザ光の第２高調波（波長：５３２ｎｍ）を用いることが好ましい。これにより、図４（ｂ）に示すように、光電変換層４がストライプ状に除去されて、コンタクトライン７が形成される。
【００２０】
続いて、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、コンタクトライン７が形成された光電変換層４を覆うようにして、たとえばスパッタリング法により第２電極５を形成する。これにより、コンタクトライン７は第２電極５で埋められる。その後、第２分離溝８の長手方向となる方向（図５（ｂ）の奥行き方向）にレーザ光を走査して基板２の第２面２ｂ側からレーザ光を照射する。このとき、上記ＹＡＧレーザ光の第２高調波または上記ＹＶＯ4レーザ光の第２高調波を用いることが好ましい。これにより、光電変換層４がストライプ状に除去される。それだけでなく、レーザ光の照射により光電変換層４が選択的に加熱されるので、選択的に加熱された光電変換層４に接する第２電極５が蒸発する。よって、図５（ｂ）に示すように、光電変換層４および第２電極５を分離する第２分離溝８が形成される。
【００２１】
続いて、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、第１電極３に形成された周縁溝９よりも外側に基板２の周方向に沿ってレーザ光を走査させて基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へレーザ光を照射する。このとき、レーザ光として、上記ＹＡＧレーザ光の基本波または上記ＹＶＯ4レーザ光の基本波を用いることが好ましい。これにより、周縁溝９よりも外側に位置する第１電極３が除去される。また、レーザ光の照射により加熱された第１電極３に接する光電変換層４および当該光電変換層４に接する第２電極５が蒸発する。それだけでなく、第１電極３の形成時に、基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３も除去される。このようにして基板２の周縁部２ｃが第１電極３、光電変換層４および第２電極５から露出する。以下詳細に示す。
【００２２】
レーザ光が基板２の第１面２ａ上に形成された第２電極５の表面付近の任意の点Ｆ１（図７参照）において焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へ照射すると、基板２の第１面２ａの周縁に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５は除去されるが、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３は除去されない。そして、第１電極３が基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上に形成された状態で固定部材を固定する工程（次工程）を行なうと、次に示す不具合を招くことがある。
【００２３】
つまり、図８に示すように、基板２の第１面２ａ側では、太陽電池１の周縁部は封止材３２を挟んで固定部材３４に固定されるので、封止材３２の厚み分だけ基板２の第１面２ａ上に形成された第２電極５などと固定部材３４との距離を稼ぐことができる。
【００２４】
しかし、基板２の側面および基板２の第２面２ｂ側では、太陽電池１の周縁部は、封止材３２を挟むことなく固定部材３４に固定される。そのため、基板２の側面および基板２の第２面２ｂのうちの少なくとも一方の上に形成された導電性膜５１（導電性膜５１は、基板２の側面および基板２の第２面２ｂのうちの少なくとも一方の上に形成された第１電極３の総称である）と固定部材３４との距離を稼ぐことが難しい。よって、固定部材３４が導電性材料からなる場合には、固定部材３４から導電性膜５１を通って基板２の第１面２ａ側へ導通される経路が形成されることとなり、太陽電池１と固定部材３４との電気的絶縁状態を確保することが難しくなる。その結果、絶縁耐圧不良（絶縁破壊の発生）を招くこととなる。
【００２５】
一方、レーザ光が基板２の内部の任意の点Ｆ２（図７参照）で焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へ照射すれば、基板２の第１面２ａの周縁に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５だけでなく、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３も除去される。これにより、周縁部の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールを製造することができる。よって、固定部材３４が導電性材料からなる場合であっても、太陽電池１と固定部材３４との電気的絶縁状態が確保されることとなる。この効果を有効に得るためには、より好ましくは基板２の厚み方向中央または基板２の厚み方向中央よりも基板２の第１面２ａ側においてレーザ光の焦点を結ばせることであり、さらに好ましくは基板２の第１面２ａから基板２の厚みの１／１０倍以上１／２倍以下離れた地点においてレーザ光の焦点を結ばせることである。
【００２６】
レーザ光が基板２の内部の任意の点Ｆ２（図７参照）で焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へ照射するためには、レーザ光を発振するためのレーザ発振器の高さ（別の言い方をすると、基板２の第２面２ｂとレーザ発振器との距離）を調整すれば良い。また、基板２の厚み方向中央または基板２の厚み方向中央よりも基板２の第１面２ａ側において焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へ照射するためにも、上記レーザ発振器の高さを調整すれば良い。さらに、基板２の第１面２ａから基板の厚みの１／１０倍以上１／２倍以下離れた地点において焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から基板２の第２面２ｂの周縁へ照射するためにも、上記レーザ発振器の高さを調整すれば良い。
【００２７】
レーザ光の照射により基板２の周縁部２ｃが第１電極３、光電変換層４、および第２電極５から露出すると、太陽電池１の周縁部に固定部材３４を固定する。具体的には、太陽電池１の第１面２ａ側に封止材３２を設けてから第１薄膜３１で太陽電池１の第１面２ａ側を覆う。その後、太陽電池１の周縁部に第２薄膜３３を設けてから太陽電池１の周縁部に固定部材３４を取り付ける。このようにして図１に示す太陽電池モジュールが製造される。
【００２８】
以上説明したように、図３〜図６に示す太陽電池モジュールの製造方法では、レーザ光が基板２の内部の任意の点Ｆ２で焦点を結ぶようにレーザ光を基板２の第２面２ｂ側から照射することにより、基板２の周縁部２ｃが第１電極３、光電変換層４、および第２電極５から露出する。よって、基板２の第１面２ａの周縁に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５だけでなく、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３も除去される。したがって、周縁部の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールを製造することができ、たとえば太陽電池１と固定部材３４との電気的絶縁状態が確保された太陽電池モジュールを製造することができる。
【００２９】
また、図３〜図６に示す太陽電池モジュールの製造方法では、基板２の第１面２ａの周縁に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５を除去しつつ、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３が除去される。よって、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３を除去する工程を別途行う必要がない。したがって、低コスト且つ簡便な方法で、周縁部の電気的絶縁が確保された太陽電池モジュールを製造することができる。
【００３０】
さらに、図３〜図６に示す太陽電池モジュールの製造方法では、基板２の第２面２ｂ側からレーザ光を照射することにより、基板２の第１面２ａの周縁に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５を除去しつつ、第１電極３の形成時に基板２の側面の上または基板２の第２面２ｂの上へ回り込んで形成された第１電極３を除去する。そのため、基板２の第１面２ａの中央に形成された第１電極３、光電変換層４および第２電極５（つまり、太陽電池１として機能する第１電極３、光電変換層４および第２電極５）が除去されることなく、不要な第１電極３を除去することができる。
【００３１】
なお、本発明の太陽電池モジュールおよびその製造方法は上記記載に限定されない。基板２は、たとえばガラス基板などであることが好ましい。基板２の厚みは、たとえば３．８ｍｍ以上４．０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００３２】
第１電極３は、たとえばＳｎＯ2（酸化スズ）、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）またはＺｎＯ（酸化亜鉛）からなる層などであることが好ましい。第１電極３の厚みは、たとえば５０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３３】
光電変換層４は、ｐｉｎ接合を有することが好ましく、たとえばアモルファスシリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造からなっても良いし、アモルファスシリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造と微結晶シリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造とを組み合わせたタンデム構造からなっても良いし、アモルファスシリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造と微結晶シリコン薄膜からなるｐ層、ｉ層およびｎ層が順次積層された構造との間にＺｎＯ等からなる中間層が挿入された構造からなっても良い。
【００３４】
また、光電変換層４としては、ｐ層、ｉ層およびｎ層のうち少なくとも１層をアモルファスシリコン薄膜から構成し、残りの層を微結晶シリコン薄膜から構成して、ｐ層、ｉ層およびｎ層にアモルファスシリコン薄膜からなる層と微結晶シリコン薄膜からなる層とを混在させてもよい。たとえば、光電変換層４は、アモルファスシリコン薄膜からなるｐ層およびｉ層と微結晶シリコン薄膜からなるｎ層とを組み合わせた構造からなっても良い。
【００３５】
なお、アモルファスシリコン薄膜としては、シリコンの未結合手（ダングリングボンド）が水素で終端された水素化アモルファスシリコン系半導体（ａ−Ｓｉ：Ｈ）からなる薄膜を用いることができる。また、微結晶シリコン薄膜としては、シリコンの未結合手（ダングリングボンド）が水素で終端された水素化微結晶シリコン系半導体（μｃ−Ｓｉ：Ｈ）からなる薄膜を用いることができる。
【００３６】
光電変換層４の厚みは、たとえば２００ｎｍ以上５μｍ以下とすることができる。光電変換層４の形成方法は、プラズマＣＶＤ法に限定されない。
【００３７】
第２電極５は、たとえば銀またはアルミニウムからなる金属薄膜とＺｎＯ等の透明導電膜との積層体であることが好ましい。ここで、金属薄膜の厚みはたとえば１００ｎｍ以上１μｍ以下であることが好ましく、透明導電膜の厚みはたとえば２０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３８】
また、第２電極５は、金属薄膜の単層または複数層のみであっても良い。このとき、単層または複数層の金属薄膜からなる第２電極５と光電変換層４との間に透明導電膜を設ければ、金属薄膜からなる第２電極５から光電変換層４に金属原子が拡散するのを防止することができ、さらに第２電極５による太陽光の反射率が向上する。よって、第２電極５は、金属薄膜の単層または複数層のみからなる場合には、第２電極５と光電変換層４との間に透明導電膜を設けることが好ましい。
【００３９】
第１分離溝６および第２分離溝８の各幅は特に限定されず、たとえば０．０３ｍｍ以上０．０９ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、セルの集積部１１間において短絡が発生することを防止できる。また、コンタクトライン７の幅は特に限定されず、たとえば０．０３ｍｍ以上０．０９ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、隣り合うセルの集積部１１を互いに直列に接続することができる。
【００４０】
第１薄膜３１、封止材３２および第２薄膜３３は絶縁性材料からなることが好ましい。たとえば、第１薄膜３１はＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート（polyethylene  terephthalate））樹脂フィルムからなることが好ましく、封止材３２はエチレン酢酸ビニル（ethylene  vinyl  acetate）からなることが好ましく、第２薄膜３３はエチレンプロピレンゴムからなることが好ましい。第１薄膜３１および第２薄膜３３の厚さは特に限定されない。
【００４１】
固定部材３４は、太陽電池１の周縁部に沿って設けられていることが好ましく、図２（ａ）などに示すように太陽電池１の周縁部に嵌合可能なフレームであっても良いし、太陽電池１の周縁部を挟持可能なクリップであっても良い。固定部材３４の材料は特に限定されず、樹脂などの絶縁性材料であっても良いし、アルミニウムなどの導電性材料であっても良い。しかし、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は固定部材３４が導電性材料からなる場合に特異な効果を発揮するため、固定部材３４の材料は導電性材料であることが好ましい。
【００４２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４３】
１  太陽電池、２  基板、２ａ  第１面、２ｂ  第２面、２ｃ  周縁部、３  第１電極、４  光電変換層、５  第２電極、６  第１分離溝、７  コンタクトライン、８  第２分離溝、９  周縁溝、１０  電流取り出し用の電極、１１  セルの集積部、３１  第１薄膜、３２  封止材、３３  第２薄膜、３４  固定部材、５１  導電性膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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