(57)【要約】【課題】基板検査を短いタクトタイムで行うことができる基板検査装置および基板搬送方法を提供する。【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板を搬入する基板搬入部３と、基板を検査する基板検査部４と、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部５とを有し、さらに気体を吐出することによって前記基板を浮上させる浮上プレート２０と、基板搬入部３に搬入され、浮上プレート２０により浮上した基板を保持し、個別の搬送軸上を個別に移動して搬送する基板搬送部６，７と、基板を保持した基板搬送部６、７が、基板搬入部３と、基板検査部４と、基板搬出部５とに分割された各ブロックに重複して位置しないよう制御する制御部１０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前期基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部とを有する基板検査装置であって、
気体を吐出することによって基板を浮上させる浮上プレートと、
前記基板搬入部に搬入され、前記浮上プレートにより浮上した基板を保持し、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送する２または３の基板搬送部と、
基板を保持した前記２または３の基板搬送部が、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御する制御部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記２または３の基板搬送部のいずれか１つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送とを同期させるように制御することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記基板搬入部に基板を載置する基板搬入装置と、
前記基板搬出部から基板を搬出する基板搬出装置と、を備え、
前記制御部は、前記基板搬入装置による前記基板搬入部への基板の搬入と、前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送と、前記基板搬出装置による前記基板搬出部からの基板の搬出とのいずれか２以上を同期させるように制御することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記２または３の基板搬送部は、
吸着により基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を昇降する昇降部と、を備え、
前記２または３の基板搬送部は、前記昇降部により前記基板保持部を下降させた状態で前記基板搬出部から前記基板搬入部へ移動することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の基板検査装置。
【請求項５】
基板検査のための基板位置決め機構を基板搬入部に備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の基板検査装置。
【請求項６】
検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前記基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部と、２または３の基板搬送部とを有する基板検査装置の基板搬送方法であって、
前記２または３の基板搬送部は、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送し、基板を保持した前記２または３の基板搬送部を、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御することを特徴とする基板検査装置の基板搬送方法。
【請求項７】
前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送とを同期させるように制御することを特徴とする請求項６に記載の基板検査装置の基板搬送方法。
【請求項８】
検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前記基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部と、２または３の基板搬送部と、前記基板搬入部に基板を載置する基板搬入装置と、前記基板搬出部から基板を搬出する基板搬出装置とを有する基板検査装置の基板搬送方法であって、
前記２または３の基板搬送部は、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送し、基板を保持した前記２または３の基板搬送部を、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御することを特徴とする基板検査装置の基板搬送方法。
【請求項９】
前記基板搬入装置による前記基板搬入部への基板の搬入と、前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送と、前記基板搬出装置による前記基板搬出部からの基板の搬出のいずれか２以上を同期させるように制御することを特徴とする請求項８に記載の基板検査装置の基板搬送方法。
【請求項１０】
前記２または３の基板搬送部の前記基板搬出部から前記基板搬入部への移動は、吸着して基板を保持する基板保持部を昇降部により下降させた状態で移動することを特徴とする請求項６〜９のいずれか一つに記載の基板検査装置の基板搬送方法。
【請求項１１】
基板検査のための基板位置決め処理は、前記基板搬入部で行うことを特徴とする請求項６〜１０のいずれか一つに記載の基板検査装置の基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型の基板を浮上させて搬送する基板検査装置および基板搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の画面の大型化に伴い、ＦＰＤに使用するガラス基板（以下、基板という）のサイズが大型化してきている。このように大型の基板を搬送する基板搬送装置に関する技術として、上方に載置される基板の下面に対して圧搾した空気を吐出することによって基板を浮上させた状態で搬送する技術が知られている（例えば、特許文献１および２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開２００３−０８６９１７号公報
【特許文献２】特開２００６−２３７４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献１では、基板を浮上させた状態で、該基板の両端部を吸着パッドで保持して対となるスライダにより、基板載置台から検査部が配置された搬送架台に搬送し、搬送架台のアライメント部等で異なるスライダに基板を受け渡しながら搬送を継続している。かかる技術では、スライダ同士での基板の受け渡しに時間を要するため、基板の搬入から検査、搬送が完了するまでの工程時間、即ちタクトタイム（Ｔａｋｔ Ｔｉｍｅ）が長くなるという問題を有していた。
【０００５】
一方、特許文献２では、独立して基板を搬送できる２つの基板搬送部を有した基板処理装置が開示されている。この２の基板搬送部は、それぞれが基板の搬入と搬出を受け持つものの、レジスト塗布工程では前記２つの基板搬送部により１の基板を同時に保持して搬送しなければならないため、タクトタイムの大幅な短縮は困難であった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、基板検査をより短いタクトタイムで行うことができる基板検査装置および基板搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る基板検査装置は、検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前期基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部とを有する基板検査装置であって、気体を吐出することによって基板を浮上させる浮上プレートと、前記基板搬入部に搬入され、前記浮上プレートにより浮上した基板を保持し、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送する２または３の基板搬送部と、基板を保持した前記２または３の基板搬送部が、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る基板検査装置は、上記発明において、前記制御部は、前記２または３の基板搬送部のいずれか１つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送とを同期させるように制御することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る基板検査装置は、上記発明において、前記基板搬入部に基板を載置する基板搬入装置と、前記基板搬出部から基板を搬出する基板搬出装置と、を備え、前記制御部は、前記基板搬入装置による前記基板搬入部への基板の搬入と、前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送と、前記基板搬出装置による前記基板搬出部からの基板の搬出とのいずれか２以上を同期させるように制御することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る基板検査装置は、上記発明において、前記２または３の基板搬送部は、吸着により基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部を昇降する昇降部と、を備え、前記２または３の基板搬送部は、前記昇降部により前記基板保持部を下降させた状態で前記基板搬出部から前記基板搬入部へ移動することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る基板検査装置は、上記発明において、基板検査のための基板位置決め機構を基板搬入部に備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る基板搬送方法は、検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前記基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部と、２または３の基板搬送部とを有する基板検査装置の基板搬送方法であって、前記２または３の基板搬送部は、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送し、基板を保持した前記２または３の基板搬送部を、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る基板搬送方法は、上記発明において、前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送とを同期させるように制御することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る基板搬送方法は、検査する基板を搬入する基板搬入部と、前記基板搬入部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部と、前記基板検査部に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部と、２または３の基板搬送部と、前記基板搬入部に基板を載置する基板搬入装置と、前記基板搬出部から基板を搬出する基板搬出装置とを有する基板検査装置の基板搬送方法であって、前記２または３の基板搬送部は、前記基板搬入部から前記基板搬出部まで基板を個別に搬送し、基板を保持した前記２または３の基板搬送部を、前記基板搬入部と、前記基板検査部と、前記基板搬出部とに重複して位置しないよう制御することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係る基板搬送方法は、上記発明において、前記基板搬入装置による前記基板搬入部への基板の搬入と、前記２または３の基板搬送部のいずれか一つによる前記基板搬入部から前記基板検査部への基板の搬送と、前記２または３の基板搬送部の残りのいずれか一つによる前記基板検査部から前記基板搬出部への基板の搬送と、前記基板搬出装置による前記基板搬出部からの基板の搬出のいずれか２以上を同期させるように制御することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る基板搬送方法は、上記発明において、前記２または３の基板搬送部の前記基板搬出部から前記基板搬入部への移動は、吸着して基板を保持する基板保持部を昇降部により下降させた状態で移動することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係る基板搬送方法は、上記発明において、基板検査のための基板位置決め処理は、前記基板搬入部で行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、浮上プレートにより浮上した基板を保持して、保持した基板を基板搬入部から基板搬出部まで個別に搬送する２以上の基板搬送部を備え、基板を保持した前記２以上の基板搬送部が、基板搬入部と、基板検査部と、基板搬出部とに重複して位置しないよう制御するため、所定時間に基板検査装置内で検査できる基板数を増やすことができ、検査に要するタクトタイムの短縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の要部の構成を示す上面図である。
【図２】図２は、図１の基板検査装置の側面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態の基板搬送部の要部の構成を示す図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態の基板搬送部の要部の構成を示す図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る基板搬送工程のフローチャートである。
【図６】図６は、図５の基板保持工程のフローチャートである。
【図７】図７は、図５の基板保持解除工程のフローチャートである。
【図８】図８は、本発明の実施の形態の変形例に係る基板搬送工程のフローチャートである。
【図９Ａ】図９Ａは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｄ】図９Ｄは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｅ】図９Ｅは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｆ】図９Ｆは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｇ】図９Ｇは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【図９Ｈ】図９Ｈは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の基板搬送を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を説明する。なお、以下の説明で参照する図面は模式的なものであって、同じ物体を異なる図面で示す場合には、寸法や縮尺等が異なる場合もある。
【００２１】
図１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１の要部の構成を示す上面図である。図２は、図１の基板検査装置１の側面図である。図１および図２に示す基板検査装置１は、ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤに使用する矩形状の基板Ｇを浮上させながら搬送する装置である。
【００２２】
基板検査装置１は、基板Ｇを載置する基板載置部２と、基板Ｇを搬送する第１基板搬送部６および第２基板搬送部７と、基板Ｇを検査する検査用機器９と、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７の制御を行う制御部１０とを備える。
【００２３】
基板載置部２は、図示しないリフター等の基板搬入ロボットにより搬入された検査用の基板Ｇを載置する基板搬入部３と、検査用機器９により基板Ｇを検査する基板検査部４と、検査が終了した基板Ｇをリフター等の基板搬出装置により搬出するまで載置する基板搬出部５とを備える。
【００２４】
基板載置部２の基板載置面には、基板Ｇの下方から基板Ｇの下面に向けて気体を吐出することによって基板Ｇを浮上させる複数の浮上プレート２０が設けられる。浮上プレート２０は、基板Ｇの搬送方向に沿って細長い帯状をなして延びている。複数の浮上プレート２０は、互いに平行であり、かつ互いの高さが等しい状態で基板載置部２に取り付けられている。浮上プレート２０には、上面に開口を有し、気体を上方へ吐出する複数の吐出孔２１が、全面にわたってほぼ均一に設けられている。吐出孔２１から吐出される気体は、例えばクリーンドライエアであり、吐出孔２１から吐出された気体により基板載置面から基板Ｇを浮上させた状態で、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７が基板Ｇを保持して基板載置部２上を搬送する。
【００２５】
基板搬入部３と基板搬出部５の浮上プレート２０の間には、複数のリフトピン２２が設けられる。リフトピン２２は、基板載置面から昇降可能に設けられ、基板Ｇの搬入時および搬出時に上昇することにより、搬入出時の基板Ｇとの接触を低減して基板Ｇへの傷の発生を防止する。リフトピン２２は、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７による基板Ｇの搬送の際は、基板載置面より下降される。
【００２６】
基板検査部４の略中央部には、基板載置部２を搬送方向と直交する方向に跨いで門型アーム８が設置され、門型アーム８に、顕微鏡、ラインセンサまたはＣＣＤカメラ等の検査用機器９が設けられる。
【００２７】
第１基板搬送部６は、基板載置部２の一端であって、基板Ｇの搬送方向と平行な方向に設けられる。第１基板搬送部６は、基板Ｇの搬送方向に沿って直線的に延びるレール６０と、レール６０上を搬送方向に沿って駆動する駆動部６１と、駆動部６１の上面に、昇降部６４（図３参照）を介して取り付けられて基板Ｇの端部を吸着する複数の基板保持部６２とを有する。駆動部６１は、リニアモータや、ベルト、ボールネジ、ラック・アンド・ピニオンなどにより構成されるが、等速性に優れるリニアモータを使用することが好ましい。
【００２８】
第２基板搬送部７は、基板載置部２の他端であって、基板Ｇの搬送方向と平行な方向に設けられる。第２基板搬送部７は、第１基板搬送部６と同様に、基板Ｇの搬送方向に沿って直線的に延びるレール７０と、レール７０上を搬送方向に沿って駆動する駆動部７１と、駆動部７１の上面に、昇降部（図示しない）を介して取り付けられて基板Ｇの端部を吸着する複数の基板保持部７２とを有する。駆動部７１は、リニアモータや、ベルト、ボールネジ、ラック・アンド・ピニオンなどにより構成されるが、等速性に優れるリニアモータを使用することが好ましい。
【００２９】
図３は、基板Ｇが基板載置面に浮上している状態の第一基板搬送部６の周辺部を示した図である。図４は、第１基板搬送部６の基板保持部６２により基板Ｇを保持した状態を示す図である。図３に示すように、基板保持部６２は、アクチュエータ等により昇降可能な昇降部６４を介して駆動部６１上に設置されている。リフターにより基板搬入部３に基板Ｇが搬入されると、制御部１０は、上昇して基板Ｇを保持するリフトピン２２を下降させるとともに、エア供給部により吐出口２１からエアを吐出させて、基板Ｇを浮上状態とする。
【００３０】
基板Ｇの位置調整を行った後、制御部１０は、昇降部６４を上昇させるよう制御するとともに、基板保持部６２の吸引口６３を吸引部（図示しない）により吸引する。基板保持部６２は、昇降部６４の上昇により基板Ｇの下面と接触し、吸引口６３を介して吸引されるため、基板Ｇに密着して保持する。
【００３１】
続いて、図５〜図７を参照して、本実施の形態に係る基板検査装置１の基板搬送工程を説明する。図５は、本発明の実施の形態に係る基板搬送工程のフローチャートである。図６は、図５の基板保持工程のフローチャートである。図７は、図５の基板保持解除工程のフローチャートである。
【００３２】
まず、リフターにより検査する基板Ｇを基板搬入部３に搬入する（ステップＳ１０１）。基板Ｇを搬入する際、基板Ｇの保護のために、制御部１０はリフトピン２２を上昇させる。
【００３３】
基板搬入部３に基板Ｇが搬入されると、制御部１０は、基板保持部６２により基板Ｇを保持させる（ステップＳ１０２）。
【００３４】
基板保持部６２による基板Ｇの保持は、図６の工程で行われる。まず、制御部１０は、リフトピン２２を降下させるとともに（ステップＳ２０１）、吐出口２１からエアを吐出させる（ステップＳ２０２）。その後、制御部１０は、吐出されたエアにより浮上状態の基板Ｇを、位置決め機構により位置決めした後（ステップＳ２０３）、昇降部６４を上昇させるとともに（ステップＳ２０４）、吸引口６３から吸引して、基板保持部６２により基板Ｇを密着保持する（ステップＳ２０５）。
【００３５】
基板保持部６２が基板Ｇを保持すると、制御部１０は、第２基板搬送部７が所定位置、例えば基板搬出部５に移動したか否かを確認する（ステップＳ１０３）。他の基板Ｇが検査中で、第２基板搬送部７が基板検査部４内に存在する場合は（ステップＳ１０３、Ｎｏ）、ステップＳ１０３に戻り、第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かの判断を繰り返す。基板Ｇの検査を終了し、第２基板搬送部７が基板検査部４から基板搬出部５に移動した場合は（ステップＳ１０３、Ｙｅｓ）、制御部１０は、第１基板搬送部６の駆動部６１を駆動して、基板保持部６２で保持した基板Ｇを基板搬入部３から基板検査部４に搬送させる（ステップＳ１０４）。
【００３６】
基板検査部４に搬送された基板Ｇは、検査用機器９により検査が行われ（ステップＳ１０５）、検査終了後、制御部１０は、第２基板搬送部７が所定位置、例えば基板搬入部３に移動したか否かを確認する（ステップＳ１０６）。第２基板搬送部７が基板搬出部５内に存在する場合は（ステップＳ１０６、Ｎｏ）、ステップＳ１０５に戻り、第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かの判断を繰り返す。第２基板搬送部７が基板搬出部５から基板搬入部３に移動した場合は（ステップＳ１０６、Ｙｅｓ）、制御部１０は、第１基板搬送部６の駆動部６１を駆動して、基板保持部６２で保持した基板Ｇを基板検査部４から基板搬出部５に搬送させる（ステップＳ１０７）。
【００３７】
基板搬出部５に基板Ｇを搬送した後、制御部１０は、基板保持部６２による基板Ｇの保持を解除させる（ステップＳ１０８）。保持解除工程は、図７の工程で行われる。まず、制御部１０は、吸引口６３からの吸引を停止するとともに（ステップＳ３０１）、昇降部６４を下降させて、基板保持部６２による基板Ｇの密着保持を解除する（ステップＳ３０２）。その後、リフトピン２２を上昇させて、吐出口２１から吐出されているエアにより浮上状態の基板Ｇをリフトピン２２で保持して（ステップＳ３０３）、基板保持部６２による基板Ｇの保持解除を終了する。
【００３８】
基板保持部６２が基板Ｇの保持を解除すると、リフトピン２２で保持された基板Ｇをリフターで基板検査装置１外へ搬出し（ステップＳ１０９）、基板Ｇの搬送が終了した第１基板搬送部６は基板搬入部３へ移動して（ステップＳ１１０）、新たに検査する基板Ｇの搬送のためにステップＳ１０２から繰り返す。基板搬出部５から基板搬入部３への移動の際、制御部１０は、第１基板搬送部６の昇降部６４を下降したまま保持させ、基板保持部６２が基板検査装置１内に搬入済みの基板Ｇと接触しないよう制御する。
【００３９】
一方、第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かを確認し（ステップＳ１０３）、第２基板搬送部７が基板検査部４から基板搬出部５に移動した場合（ステップＳ１０３、Ｙｅｓ）、制御部１０は、第１基板搬送部６の駆動部６１を駆動して、基板保持部６２で保持した基板Ｇを基板検査部４に搬送するのと同期して（ステップＳ１０４）、搬入する検査基板Ｇがあるか否かを確認し（ステップＳ１１１）、搬入する検査基板がある場合は（ステップＳ１１１、Ｙｅｓ）、リフター等の基板搬入装置により、検査する基板Ｇを基板搬入部３に搬入する（ステップＳ１１２）。
【００４０】
基板搬入部３に基板Ｇが搬入されると、制御部１０は、第２基板搬送部７の基板保持部７２により基板Ｇを保持させる（ステップＳ１１３）。
【００４１】
基板保持部７２による基板Ｇの保持は、基板保持部６２による基板Ｇの保持と同様に、図６の工程で行われる。ただし、吐出口２１からはエアが吐出された状態であるため、吐出口２１からのエアの吐出工程は省略される。したがって、制御部１０は、リフトピン２２を降下させ（ステップＳ２０１）、吐出エアにより浮上状態の基板Ｇを、基板Ｇの位置決め機構等により位置決めした後（ステップＳ２０３）、昇降部を上昇させるとともに（ステップＳ２０４）、吸引口７３を介して吸引して、基板Ｇを密着保持する（ステップＳ２０５）。
【００４２】
基板保持部７２が基板Ｇを保持すると、制御部１０は、第１基板搬送部６が所定位置に移動したか否かを確認する（ステップＳ１１４）。第１基板搬送部６が基板検査部４内の場合は（ステップＳ１１４、Ｎｏ）、ステップＳ１１４に戻り、第１基板搬送部６が基板検査部４内か否かの判断を繰り返す。基板Ｇの検査が終了し、第１基板搬送部６が基板検査部４から基板搬出部５に移動した場合は（ステップＳ１１４、Ｙｅｓ）、制御部１０は、第２基板搬送部７の駆動部７１を駆動して、基板保持部７２で保持した基板Ｇを基板検査部４に搬送させる（ステップＳ１１５）。
【００４３】
基板検査部４に搬送された基板Ｇは、検査用機器９により検査が行われ（ステップＳ１１６）、検査終了後、制御部１０は、制御部１０は、第１基板搬送部６が所定位置、例えば基板搬入部３に移動したか否かを確認する（ステップＳ１１７）。第１基板搬送部６が基板搬出部５内に存在する場合は（ステップＳ１１７、Ｎｏ）、ステップＳ１１７に戻り、第１基板搬送部６が所定位置に移動したか否かの判断を繰り返す。第１基板搬送部６が基板搬出部５から基板搬入部３に移動した場合は（ステップＳ１１７、Ｙｅｓ）、第２基板搬送部７の駆動部７１を駆動して、第２基板保持部７２で保持した基板Ｇを基板搬出部５に搬送させる（ステップＳ１１８）。
【００４４】
基板搬出部５に基板Ｇを搬送した後、制御部１０は、基板保持部７２による基板Ｇの保持を解除させる（ステップＳ１１９）。保持解除工程は、基板保持部６２による基板Ｇの保持解除と同様に、図７の工程で行われる。まず、制御部１０は、吸引口７３からの吸引を停止するとともに（ステップＳ３０１）、昇降部を下降させて基板Ｇの密着保持を解除する（ステップＳ３０２）。その後、リフトピン２２を上昇させて、吐出口２１から吐出されているエアにより浮上状態の基板Ｇをリフトピン２２で保持して（ステップＳ３０３）、基板保持部７２による基板Ｇの保持解除を終了する。
【００４５】
基板保持部７２が基板Ｇの保持を解除すると、リフトピン２２で保持された基板Ｇを基板搬出用ロボットで基板検査装置１外へ搬出し（ステップＳ１２０）、第２基板搬送部７は基板搬出部５から基板搬入部３へ移動して（ステップＳ１２１）、新たに検査する基板Ｇの搬送のためにステップＳ１１２から繰り返す。第２基板搬送部７の基板搬出部５から基板搬入部３への移動の際、制御部１０は、昇降部を下降したまま保持させ、基板保持部７２が基板検査装置１内に搬入済みの基板Ｇと接触しないよう制御する。
【００４６】
一方、第１基板搬送部６が所定位置に移動したか否かを確認し（ステップＳ１１４）、第１基板搬送部６が基板検査部４から基板搬出部５に移動した場合（ステップＳ１１４、Ｎｏ）、制御部１０は、第２基板搬送部７の駆動部７１を駆動して、基板保持部７２で保持した基板Ｇを基板搬入部３から基板検査部４に搬送させるのと同期して（ステップＳ１１５）、搬入する検査基板Ｇがあるか否かを確認し（ステップＳ１２２）、搬入する検査基板Ｇがある場合は（ステップＳ１２２、Ｙｅｓ）、リフター等の基板搬入ロボットにより、検査基板Ｇを基板搬入部３に搬入させ（ステップＳ１２３）、ステップＳ１０２から第１基板搬送部６による基板Ｇの搬送を繰り返す。
【００４７】
ステップＳ１１１およびステップＳ１２２で、搬送する検査基板Ｇがない場合は（ステップＳ１１１およびステップＳ１２２、Ｎｏ）、基板搬送工程を終了する。なお、ステップＳ１０３およびステップＳ１１４において、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇの搬送と、リフター等の基板搬入装置による基板Ｇの基板搬入部３への搬入を同期させるために、所定位置は基板検査部４と基板搬出部５との境界より基板検査部４側とするのが好ましい。
【００４８】
また、上記の基板搬送工程では、制御部１０が、所定位置に設置した位置センサ等の情報を基に、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かを判断してもう一方の基板搬送部を移動させているが、図８のフローチャートに示すように、ステップＳ４０３およびステップＳ４１４において、制御部１０が基板検査部４で基板の検査が終了したか否かを判断し、基板の検査終了をトリガーとして他の基板搬送部の搬送を制御してもよい。
【００４９】
上述した基板搬送工程では、制御部１０は、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇの搬送と、リフター等の基板搬入装置による基板Ｇの基板搬入部３への搬入を同期させているが、本実施の形態では、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７が、基板搬入部３と、基板検査部４と、基板搬出部５とに分割された各ブロックに重複して位置しないよう制御できればよく、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇの搬送と、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板検査部４から基板搬出部５への基板Ｇの搬送を同期させてもよい。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態に係る基板搬送方法は、検査する基板を搬入する基板搬入部３と、基板搬入部３に対して基板搬送方向の下流側に位置し、基板を検査する基板検査部４と、基板検査部４に対して基板搬送方向の下流側に位置し、検査が終了した基板を搬出する基板搬出部５と、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７を備えた基板検査装置１において、制御部１０により、第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かを確認するステップＳ１０３と、第１基板搬送部６により基板Ｇを基板搬入部３から基板検査部４に搬送させるステップＳ１０４と、第２基板搬送部７が所定位置に移動したか否かを確認するステップＳ１０６と、第１基板搬送部６により基板Ｇを基板検査部４から基板搬出部５に搬送させるステップＳ１０７と、第１基板搬送部６が所定位置に移動したか否かを確認するステップＳ１１４と、第２基板搬送部７により基板Ｇを基板搬入部３から基板検査部４に搬送させるステップＳ１１５と、第１基板搬送部６が所定位置に移動したか否かを確認するステップＳ１１７と、第２基板搬送部７により基板Ｇを基板検査部４から基板搬出部５に搬送させるステップＳ１１８と、により実施することが可能である。
【００５１】
また、図９Ａ〜図９Ｈに示すように、リフター等の基板搬入装置による基板Ｇの基板搬入部３への搬入と、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇの搬送と、第１基板搬送部６または第２基板搬送部７による基板検査部４から基板搬出部５への基板Ｇの搬送と、リフター等の基板搬出装置による基板Ｇの基板搬出部５からの搬出とを、すべて同期させてもよい。図９Ａ〜図９Ｈは、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１の基板搬送を説明する図である。なお、図９Ａ〜図９Ｈにおいては、浮上プレート２０および吐出口２１の記載は省略し、リフトピン２２の記載も、下降時は省略し、上昇時のみ明示している。
【００５２】
図９Ａに示すように、まず、リフトピン２２が上昇している状態の基板搬入部３に、リフター等の基板搬入装置により基板Ｇ１が搬入される。
【００５３】
続いて、図９Ｂに示すように、リフトピン２２を下降し、吐出口２１からエアを吐出し基板Ｇ１を浮上させ位置決めした後、昇降部６４を上昇するともに吸引口６３を介して吸引して、基板保持部６２により基板Ｇ１を吸着保持する。
【００５４】
基板保持部６２による基板Ｇ１保持の完了後、図９Ｃに示すように、第１基板搬送部６により基板搬入部３から基板検査部４に基板Ｇ１が搬送されるとともに、基板搬入部３には新たな検査用の基板Ｇ２が基板搬入装置により搬入される。
【００５５】
図９Ｄに示すように、基板搬入部３に搬入された基板Ｇ２の基板保持部７２による基板Ｇ２保持が完了し、基板検査部４での基板Ｇ１の検査が終了した段階で、第１基板搬送部６により基板検査部４から基板搬出部５への基板Ｇ１の搬送と、第２基板搬送部７による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇ２の搬送と、基板搬入装置による新たな検査用の基板Ｇ３の搬入とを同期して行う（図９Ｅ参照）。
【００５６】
その後、図９Ｆに示すように、基板搬出部５に搬送された基板Ｇ１の基板保持部６２による保持は解除され、基板搬出部５のリフトピン２２は、基板搬出装置による搬出のために上昇される。また、基板搬入部３のリフトピン２２は、基板搬入装置による基板Ｇ３の搬入後下降され、基板Ｇ３は位置決め機構により位置決めが行われる。
【００５７】
基板搬出部５での基板搬出準備が終了すると、図９Ｇに示すように基板搬出装置により基板Ｇ１は搬出され、第１基板搬送部６はレール６０上を移動して、図中の矢印で示すように基板搬出部５から基板搬入部３へ移動する。第１基板搬送部６の基板搬入部３への移動の際、昇降部６４を下降したまま保持し、基板保持部６２が基板検査部４内の基板Ｇ２や基板搬入部３内の基板Ｇ３との接触を防止する。
【００５８】
第１基板搬送部６が基板搬入部３へ移動し、基板搬入部３に搬入された基板Ｇ３の保持を行う間、基板検査部４では基板Ｇ２の検査がおこなわれる（図９Ｈ参照）。基板搬入部３に搬入された基板Ｇ３の基板保持部６２による基板Ｇ３保持が完了し、基板検査部４での基板Ｇ２の検査が終了した段階で、第２基板搬送部６により基板検査部４から基板搬出部５への基板Ｇ２の搬送と、第１基板搬送部６による基板搬入部３から基板検査部４への基板Ｇ３の搬送と、基板搬入装置による新たな検査用の基板Ｇの搬入とが同期して行われることにより、基板Ｇの検査工程が続行される。
【００５９】
本実施の形態に係る基板検査装置１は、第一基板搬送部６および第２基板搬送部７を備え、第一基板搬送部６および第２基板搬送部７は、個別の搬送軸を有し、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７間で基板Ｇを持ち変えることなく基板Ｇを基板搬入部３から基板検査部４および基板搬出部５まで搬送するため、基板Ｇの搬送や検査に要する時間を短縮することができる。また、通常、基板Ｇの検査に最も時間を要するが、本実施の形態では、基板Ｇの位置決め等の検査準備を基板搬入部３で行うことができるため、基板Ｇの検査に要するタクトタイムをさらに短くすることができる。
【００６０】
なお、上記した本発明の実施の形態は、基板搬送部を２つ（第１基板搬送部６および第２基板搬送部７）備えた例について説明したが、例えば、基板搬送部を３つ（例えば、第一基板搬送部６と第２基板搬送部７との間に、搬送軸が第一基板搬送部６と第２基板搬送部７の搬送軸に平行な第３基板搬送部をさらに備える）備えた基板検査装置においても、同様の効果を得ることができる。
【００６１】
上記の実施の形態に係る基板検査装置１において、基板搬入装置および基板搬出装置はリフター等を使用しているが、基板搬入装置および基板搬出装置としてコンベアーを使用し、基板検査装置１はリフトピン２２なしとするリフターレスの構成としてもよい。或いは、複数の浮上プレートの間に搬送ロボットの搬送アームが挿通できる間隙部分を設け、搬送ロボットが基板載置部に基板Ｇを直接載置するリフターレスの構成としてもよい。
【００６２】
さらにまた、第１基板搬送部６および第２基板搬送部７の基板保持部６２および７２は、吸引口６３および７３より吸引して基板Ｇを密着保持するが、基板保持部は、基板Ｇの端部を把持し、基板搬出部５から基板搬入部３への移動の際、基板検査装置１内に既に搬入された基板Ｇと接触しない機構を有するものであれば、使用することが可能である。
【００６３】
また、上記の実施の形態に係る基板検査装置１では、基板載置部２を、複数の浮上プレートにより基板Ｇを浮上させながら搬送を行う浮上ステージの構成として説明したが、この複数の浮上プレートに代えて、基板載置面に複数のローラーを設け、この複数のローラーによって基板Ｇを移動可能に支持したローラーステージの構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１  基板検査装置
２  基板載置部
３  基板搬入部
４  基板検査部
５  基板搬出部
６  第１基板搬送部
７  第２基板搬送部
８  門型アーム
９  検査用機器
１０  制御部
２０  浮上プレート
２１  吐出口
２２  リフトピン
６０、７０  レール
６１、７１  駆動部
６２、７２  基板保持部
６３、７３  吸引口
６４  昇降部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図９Ｆ】
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【図９Ｇ】
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【図９Ｈ】
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