(57)【要約】【課題】安価でかつ画像品位の高いマイクロレンズアレイ、マイクロレンズアレイユニット及び画像読取装置を提供する。【解決手段】複数の穴１３を有し、遮光部材として機能するアパーチャー１１と、アパーチャー１１上に積層された透明部材として機能する複数のマイクロレンズ１２とを備えたマイクロレンズアレイであって、アパーチャー１１が有する複数の穴１３に対して、それぞれ複数のマイクロレンズ１２が覆うように積層されている。また、このようなマイクロレンズアレイを相互に平行配置したマイクロレンズアレイユニットとして形成してもよい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の穴を有する遮光部材と、
前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、
前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
【請求項２】
前記複数のマイクロレンズはそれぞれ、互いに分離されて前記遮光部材上に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項３】
前記遮光部材と前記複数のマイクロレンズとの間に、少なくとも前記複数の穴を覆う厚さ１０μｍ以上の透明部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項４】
前記複数のマイクロレンズはそれぞれ、連続的に繋がって前記遮光部材上に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項５】
前記遮光部材が有する複数の穴にそれぞれ前記複数のマイクロレンズと屈折率が異なる部材が充填されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項６】
複数の穴を有する遮光部材と、前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されたマイクロレンズアレイが、前記複数の穴の位置がそれぞれ整合するように相互に平行配置されていることを特徴とするマイクロレンズアレイユニット。
【請求項７】
前記マイクロレンズアレイユニットの両側に前記複数のマイクロレンズが並ぶように、前記マイクロレンズアレイが相互に平行配置されていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズアレイユニット。
【請求項８】
前記マイクロレンズアレイユニットの両側が、前記遮光部材の前記複数のマイクロレンズが積層されていない側になるように、前記マイクロレンズアレイが相互に平行配置されていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズアレイユニット。
【請求項９】
前記マイクロレンズアレイユニットの片側に前記複数のマイクロレンズが並び、他の一方の側が前記遮光部材の前記複数のマイクロレンズが積層されていない側になるように前記マイクロレンズアレイが相互に平行配置されていることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズアレイユニット。
【請求項１０】
被照明体からの反射光を、マイクロレンズアレイユニットを介して読み取る画像読取装置であって、
前記マイクロレンズアレイユニットは、複数の穴を有する遮光部材と、前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されたマイクロレンズアレイが、前記複数の穴の位置がそれぞれ整合するように相互に平行配置されていることを特徴とする画像読取装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、安価に製造することが可能なマイクロレンズアレイ、マイクロレンズアレイユニット及び画像読取装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、デジタルカメラや画像読取装置の光学系として、マイクロレンズアレイが用いられており、近年では、さらに画像品位の高いレンズとして、特殊な屈折率の分布を備えたセルフォックレンズ（登録商標）などが市販されている。一方、このように画像品位が高く、かつ安価なレンズを製造する要求が高まっていることから、代替品としてより安価に同等のレンズを作製するために、複数のマイクロレンズアレイを相互に平行配置することによって、より光線を収束させるようなマイクロレンズアレイユニットが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６０−５３９２７号公報
【特許文献２】特開平７−２４８４０４号公報
【特許文献３】特開２００５−３７８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のマイクロレンズアレイ１３０では、透明部材内部を主走査方向に光が伝播するクロストークと呼ばれる現象が起こる場合がある。このクロストークが発生すると、一部の光が所定の方向へ収束せず、画像品位が低下する原因となる。以下、クロストークについて説明する。
【０００５】
図１３は、マイクロレンズアレイ１３０においてクロストークが起こっている状態を説明する図である。
図１３に示すように、光線がマイクロレンズアレイ１３０を通過する際に、一部の光線がたとえばレンズ面から外れることにより、迷光１３１が生じることがある。この場合、迷光１３１はレンズの凹凸によって光が収束せず、隣接するレンズ面から通過する現象が起こってしまい、画像品位が低下するという問題点がある。
【０００６】
また、２枚のマイクロレンズアレイ１３０を相互に平行配置した場合であっても、図１４に示すように、透明部材内部で迷光１４１が反射し、結果的に隣のレンズ面から迷光１４１が通過してしまうため、画像品位が低下してしまう。
【０００７】
本発明は前述の問題点に鑑み、安価でかつ画像品位の高いマイクロレンズアレイ、マイクロレンズアレイユニット及び画像読取装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のマイクロレンズアレイは、複数の穴を有する遮光部材と、前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明のマイクロレンズアレイユニットは、複数の穴を有する遮光部材と、前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されたマイクロレンズアレイが、前記複数の穴の位置がそれぞれ整合するように相互に平行配置されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の画像読取装置は、被照明体からの反射光を、マイクロレンズアレイユニットを介して読み取る画像読取装置であって、前記マイクロレンズアレイユニットは、複数の穴を有する遮光部材と、前記遮光部材上に積層された複数のマイクロレンズとを備え、前記遮光部材が有する複数の穴に対して、それぞれ前記複数のマイクロレンズが覆うように積層されたマイクロレンズアレイが、前記複数の穴の位置がそれぞれ整合するように相互に平行配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、簡単にかつ安価に作製することができるとともに、高い画像品位を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの全体構造例を示す平面図及びＩ−Ｉにおける断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの一例において拡大した断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの他の一例において拡大した断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイのその他の一例において拡大した断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイの製造方法の一例を示す概略図である。
【図６】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイユニットの一例における全体構造を示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイユニットの他の一例における全体構造を示す断面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイユニットのその他の一例における全体構造を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイユニットのその他の一例における全体構造を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るマイクロレンズアレイユニットのその他の一例における全体構造を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態において、画像読取装置としてフラットベッド方式のイメージスキャナーの外観構成例を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態において、ＣＩＳユニット内の構成例を示す模式図である。
【図１３】マイクロレンズアレイにおいてクロストークが起こっている状態を説明する図である。
【図１４】２つのマイクロレンズアレイを相互に平行配置した場合においてクロストークが起こっている状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の第１の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１（ａ）は、本実施形態に係るマイクロレンズアレイ１０の構造例を示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示すマイクロレンズアレイ１０のＩ−Ｉにおける断面図
である。
図１に示すように、マイクロレンズアレイ１０は、アパーチャー１１とマイクロレンズ１２とから構成されている。アパーチャー１１には、複数の円形の穴１３が形成されている。アパーチャー１１は黒色系の遮光部材として機能し、ウレア樹脂を成型して硬化されることにより製造される。このようにアパーチャー１１は黒色系の遮光部材として機能するため、迷光が生じた場合であっても光を吸収し、収束される光のみが後述する図１２の光電変換素子１２３上に結像されるようになる。また、アパーチャー１１に形成されているそれぞれの穴１３の上部には、凸型の球面形状あるいは非球面形状のマイクロレンズ１２がそれぞれ互いに分離されて積層されている。  
【００１４】
図２は、図１（ｂ）に示すマイクロレンズアレイ１０の断面を示す拡大図である。
図２に示すように、マイクロレンズ１２は、アパーチャー１１上に凸状に形成されている。
【００１５】
マイクロレンズ１２の大きさ、アパーチャー１１に形成されている穴１３の大きさについては、以下のような条件を満たすようにする。図２に示す例は、マイクロレンズ１２の頂点と、隣に位置するマイクロレンズ１２の頂点との距離をマイクロレンズ１２の配列ピッチＰとした場合に、マイクロレンズ１２の半径Ｒとの関係は、Ｐ＞２Ｒという関係となる。また、アパーチャー１１の穴１３の半径Ｒ′とマイクロレンズ１２の半径Ｒとの関係では、アパーチャー１１にマイクロレンズ１２を積層させるためにＲ＞Ｒ′という関係となる。
【００１６】
一方、アパーチャー１１の穴１３の半径Ｒ′とマイクロレンズ１２の半径Ｒとの差が小さいと、マイクロレンズ１２を支える面積が小さくなる。そこで、図３に示すようなマイクロレンズアレイ３０のように、アパーチャー１１とマイクロレンズ１２との間に、マイクロレンズ１２と同じ屈折率を有する透明部材としてレンズ板３１を設けるようにしてもよい。レンズ板３１の大きさとしては、アパーチャー１１に含まれる穴１３全部を覆う１枚のレンズ板３１を用いてもよく、所定の周期で複数のレンズ板３１を並べるように配置してもよい。レンズ板３１の厚さは、マイクロレンズ１２を支える板として効果が発揮されるように１０μｍ以上であることが好ましい。また、光線の入光角度と、マイクロレンズ１２の屈折率との組合せにより、レンズ板３１の厚さの好ましい上限値は決まる。例えば、マイクロレンズ−マイクロレンズ間の隙間に４５度で入光してくる光線を吸収させたい場合は、レンズ板３１の厚さをＬ／２以下にすることが好ましい。
【００１７】
なお、図３に示すマイクロレンズアレイ３０の例は、レンズ板３１にマイクロレンズ１２が積層された構造であるが、マイクロレンズ１２を通過する光がアパーチャー１１の穴１３に進むようにするために、アパーチャー１１の穴１３の半径Ｒ′とマイクロレンズ１２の半径Ｒとの関係では、Ｒ＞Ｒ′という関係となる。さらに、前述した理由により、アパーチャー１１の幅Ｌとマイクロレンズ１２の半径Ｒとの関係では、Ｒ＞Ｌであることが好ましい。
【００１８】
また、図２に示した例は、マイクロレンズ１２の配列ピッチＰとマイクロレンズ１２の半径Ｒとの関係は、Ｐ＞２Ｒという関係であったが、Ｐ≦２Ｒという関係であってもよい。図４に示すマイクロレンズアレイ４０の例では、２つのマイクロレンズの間にアパーチャー１１が露出している領域がないように連続的に繋がって積層されたマイクロレンズ４１を用いている。アパーチャー１１の幅Ｌをより小さくして、光を通過させる量をより多くしたい場合などに有効である。
【００１９】
次に、図２に示したマイクロレンズアレイ１０の製造方法について説明する。図５は、図２に示したマイクロレンズアレイ１０の製造方法の一例を示す概略図である。
まず、図５（ａ）に示すように、所望の形状のアパーチャー１１を作製するためにアパーチャー１１用の金型５１を用意し、ウレア樹脂を流し込む。このとき、遮光部材として機能するために、たとえばカーボン等を混合して黒色にして、ウレア樹脂を硬化させる。
【００２０】
次に、図５（ｂ）に示すように、マイクロレンズ１２の形状となるようにマイクロレンズ１２用の金型５２を用意し、ウレア樹脂を流し込む。そして、図５（ｃ）に示すように、固形のウレア樹脂が充填されたアパーチャー１１用の金型５１を、ウレア樹脂が充填されたマイクロレンズ１２用の金型５２へ張り合わせて固化させる。そして、アパーチャー１１用の金型５１及びマイクロレンズ１２用の金型５２を取り外して、図２に示すようなマイクロレンズアレイ１０を作製する。また、図５に示す手順で用いられているアパーチャー１１用の金型５１には、凸形状の杭５３が端部に設けられており、マイクロレンズ１２用の金型５２に設けられている凹部５４に差し込むことによってアパーチャー１１とマイクロレンズ１２との位置合わせを容易にしている。一方、図３に示したマイクロレンズアレイ３０や、図４に示したマイクロレンズアレイ４０を作製する場合は、マイクロレンズ１２用の金型５２をこれらの形状に合わせたものにし、それ以外は前述した手順と同様である。
【００２１】
以上のように本実施形態に係るマイクロレンズアレイを、金型を用いて容易に作製することができる。また、遮光部材として黒色系のアパーチャー１１を用い、アパーチャー１１上に透明部材であるマイクロレンズが積層された構造としているため、迷光がアパーチャー１１に吸収され、収束する光のみを通過させることができるので、高い画像品位を実現することができる。
【００２２】
なお、本実施形態に係るマイクロレンズアレイでは、アパーチャー１１に複数の穴１３が形成されているが、これらの穴１３に、マイクロレンズ１２と屈折率の異なる樹脂部材が充填された構造であってもよい。これにより、空気により穴１３の内部で光が反射してしまうことを防止することができる。
【００２３】
また、前述したマイクロレンズアレイはアパーチャー１１にマイクロレンズ１２が積層された１層のマイクロレンズアレイであるが、このマイクロレンズアレイを２層以上に構成するようにしてもよい。
【００２４】
図６は、マイクロレンズ１２が積層された面が両側（外側）に位置するようにマイクロレンズアレイ１０を２層構造にしたマイクロレンズアレイユニット６０の一例を示す断面図である。以下、図２〜図４に示した２つ以上のマイクロレンズアレイ１０を複数の穴１３の位置がそれぞれ整合するように相互に平行配置することにより後述する図１２のＣＩＳユニット１１５に組み込まれるものをマイクロレンズアレイユニットと称す。
図６に示す例では、両側（外側）にマイクロレンズ１２が位置するようにマイクロレンズアレイ１０が平行配置されている。マイクロレンズアレイ１０のアパーチャー１１部分は同じアパーチャー１１用の金型５１を用いて作製されるため、２つのアパーチャー１１の外周を横から囲むことにより、２つのマイクロレンズアレイ１０の位置が調整される。このようにアパーチャー１１の端を揃えることにより、アパーチャー１１に形成されている穴１３の位置が互いに一致する。
【００２５】
図６に示すマイクロレンズアレイユニット６０の場合、両面（外側）にマイクロレンズ１２が取り付けられているため、イメージスキャナー等の組立て時にマイクロレンズ１２の破損の虞が生じ、取り扱いにくいことがある。そこで、図７に示すように、マイクロレンズ１２が互いに内側になるようなマイクロレンズアレイユニット７０としてもよい。この場合、互いのマイクロレンズ１２が接触しないように空間７１を設ける必要がある。空間７１の大きさについては、光を結像させるための距離に応じて適宜設計される。このように空間７１を設ける場合も同様に、２つのアパーチャー１１を横から囲むことにより、２つのマイクロレンズアレイ１０の位置が調整される。また、光が収束されるような距離を保つように空間７１に屈折率が異なる樹脂部材を充填させてもよい。
【００２６】
この空間７１が大きくなりすぎる場合には、図８に示すように、マイクロレンズが積層されていないアパーチャー１１が挿入されたマイクロレンズアレイユニット８０であってもよい。図７に示すマイクロレンズアレイユニット７０または図８に示すマイクロレンズアレイユニット８０の場合は、両面（外側）にはマイクロレンズ１２がないため、組立て時のマイクロレンズ１２の破損の虞を低減できる。ところが、両面（外側）にはアパーチャー１１の穴１３がそのまま存在しているため、この穴１３にゴミなどが溜まることで解像度が低下する虞がある。そこで、この穴１３に屈折率が異なる樹脂部材を充填させてもよい。これにより、穴１３にゴミが溜まることを防止することができるとともに、穴１３の内部における光の反射を抑えることができる。
【００２７】
また、図９に示すように、２つのマイクロレンズアレイ１０を同一方向に２枚相互に平行配置したようなマイクロレンズアレイユニット９０であってもよい。この場合は、マイクロレンズアレイユニット９０の片側にマイクロレンズ１２が位置し、他の一方の側が平らとなる構造であるため、図６に示したマイクロレンズアレイユニット６０よりは組立て時の取り扱いが容易となる。なお、図７に示したマイクロレンズアレイユニット７０と同様に、２つのマイクロレンズアレイ１０の間に空間７１を設ける必要がある。前述したように、この空間７１に屈折率の異なる樹脂部材を充填してもよい。また、図７に示した例と同様に、マイクロレンズアレイユニット７０のマイクロレンズ１２に形成されている穴１３に、屈折率の異なる樹脂部材を充填させてもよい。
【００２８】
さらには、図１０に示すように、図６に示したマイクロレンズアレイユニット６０を２段構造にしたマイクロレンズアレイユニット１００であってもよい。この場合、２つのマイクロレンズアレイユニット６０の間の空間７１は、図７に示すマイクロレンズアレイユニット７０における空間７１と同様のものである。この空間７１を設ける方法は、図７に示した例と同様である。
【００２９】
次に、前述したマイクロレンズアレイ、もしくはマイクロレンズアレイユニットを画像読取装置に適用した例について説明する。なお、以下で説明する各図では、必要に応じてイメージセンサユニットの主走査方向を矢印Ｍで示し、副走査方向を矢印Ｓで示している。
図１１は、画像読取装置としてフラットベッド方式のイメージスキャナー１１１の外観構成例を示す斜視図である。図１１に示すように、イメージスキャナー１１１は、筐体１１２と、原稿を覆うことができるように筐体１１２に対して開閉自在に設けられるプラテンカバー１１３と、を備えている。
【００３０】
筐体１１２は、プラテンガラス１１４、密着型イメージセンサユニット（以下、ＣＩＳユニット１１５という）、保持部材１１６、スライドシャフト１１７、駆動モータ１１８、ワイヤ１１９などを備えている。プラテンガラス１１４は原稿載置部としてのガラス製の透明板である。ＣＩＳユニット１１５は、プラテンガラス１１４上に載置された被照明体としての原稿の画像情報を光学的に読み取って電気信号に変換する。ＣＩＳユニット１１５の詳細な構成については後述する。保持部材１１６は、ＣＩＳユニット１１５の周囲を囲むように保持する。駆動モータ１１８を駆動することによってワイヤ１１９を介して、保持部材１１６に保持されたＣＩＳユニット１１５が、スライドシャフト１１７に沿って読取方向（副走査方向）に移動する。
【００３１】
次に、ＣＩＳユニット１１５内の構成部品と光源１２０からの光路との関係について図１２を参照して説明する。図１２は、ＣＩＳユニット１１５内の構成例を示す模式図である。なお、本実施形態では、図６に示したマイクロレンズアレイユニット６０が組み込まれている例について説明する。ＣＩＳユニット１１５の内部には、光源１２０、導光体１２１、マイクロレンズアレイユニット６０、センサ基板１２４が配設されている。
光源１２０は、原稿を照明するためのものであり、例えば赤緑青３色の発光波長を持つ発光素子１２０ｒ、１２０ｇ、１２０ｂを有している。光源１２０は、発光素子１２０ｒ、１２０ｇ、１２０ｂを順次点灯駆動することによって光を照射する。
【００３２】
導光体１２１は、光源１２０から照射された光を上述したプラテンガラス１１４上に載置された原稿へと導くものであり、原稿の幅に対応した長さの細長状に形成されている。導光体１２１は、アクリル樹脂やポリカーボネートなどの透明プラスチックにより形成される。
導光体１２１の長手方向（主走査方向）の一方の端面は、光源１２０からの光が入光される入光面１２１ａである。ＣＩＳユニット１１５では、光源１２０からの光が効率よく導光体１２１に入光するように、光源１２０の発光素子１２０ｒ、１２０ｇ、１２０ｂが入光面１２１ａに対向して配置される。また、導光体１２１の長手方向に沿い、かつプラテンガラス１１４上の原稿と対向する面は、導光体１２１に入光した光が出光される出光面１２１ｂである。また、出光面１２１ｂと対向する面は、入光面１２１ａからの光を導光体１２１の内部で反射させる反射面１２１ｃである。
【００３３】
したがって、導光体１２１は、入光面１２１ａから入光された光を反射面１２１ｃで散乱させ、出光面１２１ｂから出光させて、原稿を照明する。このように、光源１２０と導光体１２１とは、原稿を照明する照明装置として機能する。
マイクロレンズアレイユニット６０の内部には、前述した図２のマイクロレンズアレイ１０が組み込まれている。このようにマイクロレンズアレイユニット６０は、原稿からの反射光を光電変換素子１２３に結像させる。
センサ基板１２４は、マイクロレンズアレイユニット６０により結像された反射光を電気信号に変換する光電変換素子１２３を導光体１２１の長手方向と同方向に複数実装したものである。
また、マイクロレンズアレイユニット６０および光電変換素子１２３は、原稿の幅に対応する長さに形成されている。
【００３４】
上述したように構成されるＣＩＳユニット１１５を備えたイメージスキャナー１１１が原稿の読み取りを行う場合、イメージスキャナー１１１は原稿の読み取り開始位置までＣＩＳユニット１１５を移動する。読み取り開始位置に移動したＣＩＳユニット１１５は、光源１２０の発光素子１２０ｒ、１２０ｇ、１２０ｂを順次点灯する。光源１２０からの光は、導光体１２１の入光面１２１ａから入光した後、出光面１２１ｂから均一に出光する。導光体１２１を出光した光は、原稿の表面を主走査方向に沿ってライン状に照射する。照射された光は、原稿によって反射された後、マイクロレンズアレイユニット６０によってセンサ基板１２４上に実装された光電変換素子１２３に結像される。光電変換素子１２３は、結像された反射光を電気信号に変換する。ＣＩＳユニット１１５は、赤緑青全ての反射光を変換することで、主走査方向に沿った１走査ラインの読み取り動作が終了する。
【００３５】
続いて、イメージスキャナー１１１は、ＣＩＳユニット１１５を１走査ライン分だけ副走査方向に移動する。ＣＩＳユニット１１５は、上述と同様に１走査ラインの読み取り動作を行う。このように、ＣＩＳユニット１１５が１走査ラインの移動と読み取り動作とを繰り返すことで、原稿全面の読み取りを行うことができる。イメージスキャナー１１１では、ＣＩＳユニット１１５によって変換された電気信号を、必要に応じて画像処理したり、記憶部に画像データとして記憶したりすることで、プラテンガラス１１４上に載置された原稿全面の読み取りが完了する。
【００３６】
以上のように本実施形態によれば、アパーチャー１１用の金型５１と、マイクロレンズ１２用の金型５２とを用いて作成することができるため、マイクロレンズアレイを簡単にかつ安価に作製することができる。また、複数のマイクロレンズアレイを用いてマイクロレンズアレイユニットとする場合には、さらに高い画像品位を実現させることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１１  アパーチャー
１２  マイクロレンズ
１３  穴
４１  レンズ板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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