(57)【要約】【課題】外力により吸着ノズルが変位しにくい装着ヘッドおよび電子部品実装機を提供することを課題とする。【解決手段】装着ヘッド８は、ヘッド本体８０と、ヘッド本体８０に配置される駆動源８２と、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒと、駆動源８２と一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒとを、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ間のピッチを変更可能に、連結するリンク機構部８６と、を備える。一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒに同じ入力方向から外力ＦＬ、ＦＲが加わる場合、一方の可動ノズル８５Ｌからリンク機構部８６に加わる荷重ＦＬａと、他方の可動ノズル８５Ｒからリンク機構部８６に加わる荷重ＦＲａと、がリンク機構部８６に対して、互いに反対方向から加わることを特徴とする。【選択図】図９
2013084737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド本体と、
該ヘッド本体に配置される駆動源と、
一対の可動ノズルと、
該駆動源と一対の該可動ノズルとを、一対の該可動ノズル間のピッチを変更可能に、連結するリンク機構部と、
を備え、
一対の該可動ノズルに同じ入力方向から外力が加わる場合、一方の該可動ノズルから該リンク機構部に加わる荷重と、他方の該可動ノズルから該リンク機構部に加わる荷重と、が該リンク機構部に対して、互いに反対方向から加わる装着ヘッド。
【請求項２】
一対の前記可動ノズルのピッチ変更方向に延在する仮想軸をＸ軸として、
前記外力の前記入力方向は、該Ｘ軸方向であり、
前記リンク機構部は、前記駆動源の駆動力を、一対の該可動ノズルが該Ｘ軸に沿って互いに反対方向に移動するように、一対の該可動ノズルに伝達する請求項１に記載の装着ヘッド。
【請求項３】
前記Ｘ軸に対して直交する方向に延在する仮想軸をＺ軸として、
前記リンク機構部は、
前記ヘッド本体に配置されるＺ軸ガイド部と、
該Ｚ軸ガイド部に案内され、前記駆動源により、該ヘッド本体に対して、該Ｚ軸方向に移動するＺ軸被ガイド部と、
該ヘッド本体に配置され、前記Ｘ軸方向に延在するＸ軸ガイド部と、
該Ｚ軸被ガイド部に配置される可動ガイド部と、
を備え、
一対の該可動ノズルは、共に、該Ｘ軸ガイド部および該可動ガイド部に案内され、
該Ｚ軸被ガイド部の該Ｚ軸方向の移動に伴って、一対の該可動ノズルが該Ｘ軸ガイド部に沿って互いに反対方向に移動する請求項２に記載の装着ヘッド。
【請求項４】
前記外力は、前記ヘッド本体の加減速に伴う慣性力である請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の装着ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の装着ヘッドを備える電子部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を基板に装着する装着ヘッド、および当該装着ヘッドを備える電子部品実装機に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品実装機は、部品供給装置と、装着ヘッドと、を備えている。部品供給装置は、左右方向に並ぶ、複数のフィーダを備えている。複数のフィーダには、各々、電子部品が配置されている。装着ヘッドは、前後左右方向に移動可能である。装着ヘッドは、左右方向に並ぶ、複数の吸着ノズルを備えている。装着ヘッドが移動することにより、複数の吸着ノズルは、各々、フィーダから基板まで、電子部品を搬送することができる。
【０００３】
ここで、複数の吸着ノズル間のピッチ（間隔）と、複数のフィーダ間の間隔と、が一致しない場合、フィーダから電子部品を吸着する際に、吸着ノズルつまり装着ヘッドを左右方向にずらす必要がある。例えば、２つの吸着ノズルα、β間のピッチと、２つのフィーダａ、ｂ間のピッチと、が一致しない場合、まず吸着ノズルαでフィーダａの電子部品を吸着し、次に吸着ノズルβとフィーダｂとの位置合わせのために装着ヘッドを左右方向にずらし、それから吸着ノズルβでフィーダｂの電子部品を吸着する必要がある。このため、装着ヘッドをずらす分だけ、生産効率が低下してしまう。
【０００４】
この点に鑑み、特許文献１には、３つの装着ヘッドを、２つの駆動装置により、動かす電子部品実装機が開示されている。３つの装着ヘッドは、各々、吸着ノズルを備えている。第一の装着ヘッドは、第一の駆動装置により、Ｙ軸方向に移動可能である。第二、第三の装着ヘッドは、第二の駆動装置により、Ｘ軸方向に移動可能である。同文献記載の電子部品実装機によると、３つの装着ヘッドを動かすことができる。このため、複数のフィーダ間の間隔に、複数の吸着ノズル間のピッチを、対応させることができる。したがって、フィーダから電子部品を吸着する際に、吸着ノズルつまり装着ヘッドを左右方向にずらす必要がない。つまり、複数の電子部品を、複数の吸着ノズルにより、同時に取り出すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１１５９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、同文献記載の電子部品実装機の場合、３つの吸着ノズル間のピッチを変更するために、２つの駆動装置が必要である。このため、装着ヘッド、延いては電子部品実装機の構造が複雑である。
【０００７】
また、複数の吸着ノズル間のピッチを変更可能にすると、装着ヘッドの加減速に伴い、吸着ノズルが変位しやすくなる。このため、装着ヘッド停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド加減速時と、で複数の吸着ノズル間のピッチが相違してしまう。
【０００８】
例えば、複数の吸着ノズル間の左右方向のピッチを変更可能な場合を想定する。この場合、装着ヘッドが左右方向に移動する際に加減速を行うと、左右方向の慣性力が吸着ノズルに作用する。このため、吸着ノズルのピッチ可変機構の「遊び」や駆動源の「逆駆動」などにより、吸着ノズルが左右方向に変位してしまう。したがって、装着ヘッド停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド加減速時と、で複数の吸着ノズル間の左右方向のピッチが相違してしまう。
【０００９】
また、電子部品実装機においては、フィーダから基板まで電子部品を搬送する途中で、吸着ノズルに吸着された電子部品を、撮像装置により撮像している。そして、画像から、電子部品の吸着状態を判別している。
【００１０】
当該撮像は、通常、装着ヘッドを停止した状態で実行される。しかしながら、生産効率を向上させるためには、装着ヘッドを移動させながら、当該撮像を実行する方が好ましい。装着ヘッドを移動させながら撮像を実行する場合、複数の吸着ノズル（つまり複数の電子部品）が撮像装置の視野を通過する必要がある。ここで、通過の際、装着ヘッドが加減速すると、吸着ノズルが変位してしまう。このため、装着ヘッド停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド加減速時と、で複数の吸着ノズル間のピッチが相違してしまう。したがって、精度の高い画像を取り込みにくくなる。よって、電子部品の吸着状態の判別精度、延いては基板に対する電子部品の装着精度が低下してしまう。
【００１１】
本発明の装着ヘッドおよび電子部品実装機は、上記課題に鑑みて完成されたものである。本発明は、外力により吸着ノズルが変位しにくい装着ヘッドおよび電子部品実装機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）上記課題を解決するため、本発明の装着ヘッドは、ヘッド本体と、該ヘッド本体に配置される駆動源と、一対の可動ノズルと、該駆動源と一対の該可動ノズルとを、一対の該可動ノズル間のピッチを変更可能に、連結するリンク機構部と、を備え、一対の該可動ノズルに同じ入力方向から外力が加わる場合、一方の該可動ノズルから該リンク機構部に加わる荷重と、他方の該可動ノズルから該リンク機構部に加わる荷重と、が該リンク機構部に対して、互いに反対方向から加わることを特徴とする。
【００１３】
本発明の装着ヘッドは、駆動源により動く吸着ノズルつまり可動ノズルを、少なくとも一対備えている。一方の可動ノズルからリンク機構部に加わる荷重と、他方の可動ノズルからリンク機構部に加わる荷重と、はリンク機構部に対して、互いに反対方向から加わる。すなわち、双方の荷重が、リンク機構部に対して、互いを相殺する方向に作用する。このため、外力（例えば慣性力）により、一対の可動ノズルが変位しにくい。したがって、装着ヘッド停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド加減速時と、で複数の可動ノズル間のピッチが相違しにくい。よって、装着ヘッドを移動させながら、電子部品の撮像を実行する場合であっても、精度の高い画像を取り込みやすい。このため、電子部品の吸着状態の判別精度、延いては基板に対する電子部品の装着精度を向上させることができる。また、一対の可動ノズルは、単一の駆動源により駆動される。このため、特許文献１の装着ヘッドと比較して、駆動源の数が少ない分、構造が簡単である。
【００１４】
（２）好ましくは、上記（１）の構成において、一対の前記可動ノズルのピッチ変更方向に延在する仮想軸をＸ軸として、前記外力の前記入力方向は、該Ｘ軸方向であり、前記リンク機構部は、前記駆動源の駆動力を、一対の該可動ノズルが該Ｘ軸に沿って互いに反対方向に移動するように、一対の該可動ノズルに伝達する構成とする方がよい。
【００１５】
本構成によると、一対の可動ノズルのＸ軸方向のピッチが変更可能である。Ｘ軸方向から外力が加わる場合、一方の可動ノズルからリンク機構部に加わる荷重と、他方の可動ノズルからリンク機構部に加わる荷重と、がリンク機構部に対して、互いに反対方向から加わる。このため、一対の可動ノズルが変位しにくい。
【００１６】
（３）好ましくは、上記（２）の構成において、前記Ｘ軸に対して直交する方向に延在する仮想軸をＺ軸として、前記リンク機構部は、前記ヘッド本体に配置されるＺ軸ガイド部と、該Ｚ軸ガイド部に案内され、前記駆動源により、該ヘッド本体に対して、該Ｚ軸方向に移動するＺ軸被ガイド部と、該ヘッド本体に配置され、前記Ｘ軸方向に延在するＸ軸ガイド部と、該Ｚ軸被ガイド部に配置される可動ガイド部と、を備え、一対の該可動ノズルは、共に、該Ｘ軸ガイド部および該可動ガイド部に案内され、該Ｚ軸被ガイド部の該Ｚ軸方向の移動に伴って、一対の該可動ノズルが該Ｘ軸ガイド部に沿って互いに反対方向に移動する構成とする方がよい。
【００１７】
本構成によると、駆動源のＺ軸方向の駆動力により、一対の可動ノズルを、Ｘ軸方向に、かつ互いに反対方向に、移動させることができる。すなわち、一対の可動ノズルを、Ｘ軸方向に対して直交する方向（例えばＺ軸方向）から見て、あたかも開閉するように、動かすことができる。
【００１８】
（３−１）好ましくは、上記（３）の構成において、前記可動ガイド部は、前記Ｘ軸方向と前記Ｚ軸方向との間の方向である第一傾斜方向に延在する第一傾斜ガイド部と、該第一傾斜方向に対して該Ｚ軸に軸対称の第二傾斜方向に延在する第二傾斜ガイド部と、であり、一方の前記可動ノズルは該第一傾斜ガイド部に案内され、他方の該可動ノズルは該第二傾斜ガイド部に案内される構成とする方がよい。
【００１９】
本構成によると、第一傾斜ガイド部が、Ｘ軸方向とＺ軸方向との間の方向である第一傾斜方向に延在している。また、第二傾斜ガイド部が、Ｘ軸方向とＺ軸方向との間の方向である第二傾斜方向に延在している。このため、Ｚ軸被ガイド部のＺ軸方向の動きにより、一対の可動ノズルを、Ｘ軸方向に動かすことができる。
【００２０】
また、本構成によると、Ｚ軸に対して、第一傾斜ガイド部と第二傾斜ガイド部とが、対称に配置されている。すなわち、Ｚ軸に対して、第一傾斜ガイド部と第二傾斜ガイド部とが、「ハ」の字状、あるいは逆「ハ」の字状に配置されている。このため、一対の可動ノズルを互いに反対方向に動かすことができる。
【００２１】
（４）好ましくは、上記（１）ないし（３）のいずれかの構成において、前記外力は、前記ヘッド本体の加減速に伴う慣性力である構成とする方がよい。本構成によると、慣性力により、一対の可動ノズルが変位しにくくなる。
【００２２】
（５）上記課題を解決するため、本発明の電子部品実装機は、上記（１）ないし（４）のいずれかの構成の装着ヘッドを備えることを特徴とする。本発明の電子部品実装機によると、上記（１）に記載したように、外力（例えば慣性力）により、一対の可動ノズルが変位しにくい。したがって、装着ヘッド停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド加減速時と、で複数の可動ノズル間のピッチが相違しにくい。よって、装着ヘッドを移動させながら、電子部品の撮像を実行する場合であっても、精度の高い画像を取り込みやすい。このため、電子部品の吸着状態の判別精度、延いては基板に対する電子部品の装着精度を向上させることができる。また、一対の可動ノズルは、単一の駆動源により駆動される。このため、特許文献１の装着ヘッドと比較して、駆動源の数が少ない分、構造が簡単である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によると、外力により吸着ノズルが変位しにくい装着ヘッドおよび電子部品実装機を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第一実施形態の電子部品実装機の斜視図である。
【図２】同電子部品実装機のブロック図である。
【図３】第一実施形態の装着ヘッドの閉状態における斜視図である。
【図４】同装着ヘッドの閉状態における前面図である。
【図５】同装着ヘッドのヘッド本体の斜視図である。
【図６】同装着ヘッドのリンク機構部の斜視図である。
【図７】同装着ヘッドの一対の可動部の斜視図である。
【図８】同装着ヘッドの開状態における前面図である。
【図９】同装着ヘッドの加速中における前面図である。
【図１０】図９の円Ｘ内の透過拡大図である。
【図１１】図９の円ＸＩ内の透過拡大図である。
【図１２】第二実施形態の装着ヘッドの閉状態における斜視図である。
【図１３】同装着ヘッドの閉状態におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図である。
【図１４】同装着ヘッドの開状態におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図である。
【図１５】同装着ヘッドの加速中におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の装着ヘッドおよび電子部品実装機の実施の形態について説明する。以下に示す実施形態において、左右方向はＸ軸方向に、前後方向はＹ軸方向に、上下方向はＺ軸方向に、各々対応している。
【００２６】
＜＜第一実施形態＞＞
＜電子部品実装機の構成＞
まず、本実施形態の電子部品実装機の構成について説明する。図１に、本実施形態の電子部品実装機の斜視図を示す。なお、モジュール３のハウジングを透過して示す。図２に、同電子部品実装機のブロック図を示す。図１、図２に示すように、電子部品実装機１は、ベース２と、モジュール３と、部品供給装置４と、画像処理装置５と、制御装置７と、を備えている。
【００２７】
［ベース２、モジュール３］
ベース２は、工場の床面に配置されている。モジュール３は、ベース２の上面に、交換可能に配置されている。モジュール３は、搬送装置３０と、ＸＹロボット３１と、装着ヘッド８と、撮像装置３３と、基部３４と、クランプ装置３５と、デバイスパレット３６と、を備えている。
【００２８】
（デバイスパレット３６、基部３４）
デバイスパレット３６は、モジュール３のハウジングの前面開口に取り付けられている。基部３４は、モジュール３の底壁である。基部３４の上面には、一対のＹ軸ガイドレール３４０が配置されている。一対のＹ軸ガイドレール３４０は、前後方向に延在している。
【００２９】
（搬送装置３０、撮像装置３３）
搬送装置３０は、固定壁部３００と、可動壁部３０１と、一対のコンベアベルト３０２と、搬送モータ３０３と、を備えている。固定壁部３００と可動壁部３０１とは、前後方向に並設されている。可動壁部３０１は、一対のＹ軸ガイドレール３４０に対して、前後方向に摺動可能である。
【００３０】
一対のコンベアベルト３０２は、固定壁部３００の後面と、可動壁部３０１の前面と、に対向して配置されている。一対のコンベアベルト３０２は、左右方向に延在している。一対のコンベアベルト３０２には、基板Ｂが架設されている。
【００３１】
搬送モータ３０３は、一対のコンベアベルト３０２を回転駆動している。すなわち、搬送モータ３０３は、左側（搬送方向上流側）から右側（搬送方向下流側）に、基板Ｂを搬送可能である。可動壁部３０１を前後方向に移動させることにより、一対のコンベアベルト３０２間の幅、つまり基板Ｂの搬送幅を拡縮することができる。
【００３２】
撮像装置３３は、固定壁部３００の前方に配置されている。撮像装置３３は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）エリアセンサである。撮像装置３３は、上方に視野を有している。
【００３３】
（クランプ装置３５）
クランプ装置３５は、バックアップテーブル３５０と、多数のバックアップピン３５１と、一対のクランプ片３５２と、昇降モータ３５３と、を備えている。バックアップテーブル３５０は、固定壁部３００と可動壁部３０１との間に配置されている。昇降モータ３５３は、バックアップテーブル３５０を上下方向に往復動可能である。多数のバックアップピン３５１は、バックアップテーブル３５０の上面に配置されている。基板Ｂに電子部品を装着する際、多数のバックアップピン３５１は、基板Ｂの下面を支持している。
【００３４】
一対のクランプ片３５２は、固定壁部３００および可動壁部３０１の上縁に配置されている。基板Ｂに電子部品を装着する際、一対のクランプ片３５２は、基板Ｂの上面の前後両縁を押圧している。
【００３５】
すなわち、電子部品装着時において、基板Ｂは、上方から一対のクランプ片３５２により、下方から多数のバックアップピン３５１により、挟持、固定される。当該固定により、基板Ｂの位置が決定される。
【００３６】
（ＸＹロボット３１）
ＸＹロボット３１は、一対のＸ軸ガイドレール３１０と、Ｘ軸スライド３１１と、一対のＹ軸ガイドレール３１２と、Ｙ軸スライド３１３と、Ｘ軸モータ３１４と、Ｙ軸モータ３１５と、を備えている。
【００３７】
一対のＹ軸ガイドレール３１２は、モジュール３のハウジングの上壁下面に配置されている。一対のＹ軸ガイドレール３１２は、前後方向に延在している。Ｙ軸スライド３１３は、一対のＹ軸ガイドレール３１２に対して、前後方向に摺動可能である。
【００３８】
一対のＸ軸ガイドレール３１０は、Ｙ軸スライド３１３の前面に配置されている。一対のＸ軸ガイドレール３１０は、左右方向に延在している。Ｘ軸スライド３１１は、一対のＸ軸ガイドレール３１０に対して、左右方向に摺動可能である。
【００３９】
Ｘ軸モータ３１４はＸ軸スライド３１１を、Ｙ軸モータ３１５はＹ軸スライド３１３を、各々駆動可能である。Ｘ軸モータ３１４およびＹ軸モータ３１５の駆動力により、Ｘ軸スライド３１１は、前後左右方向に移動することができる。
【００４０】
装着ヘッド８は、Ｘ軸スライド３１１に交換可能に取り付けられている。装着ヘッド８の構成については、後で詳しく説明する。
【００４１】
［部品供給装置４］
部品供給装置４は、デバイスパレット３６に対して、交換可能に取り付けられている。部品供給装置４は、複数のテープフィーダ４０を備えている。複数のテープフィーダ４０は、左右方向に並んでいる。複数のテープフィーダ４０は、各々、テープを備えている。テープには、長手方向に沿って、多数の電子部品が配置されている。電子部品は、後述する３つのノズル（固定ノズル、一対の可動ノズル）により、テープから取り出される。
【００４２】
［制御装置７、画像処理装置５］
図２に示すように、制御装置７は、入出力インターフェイス７０と、記憶部７１と、演算部７２と、を備えている。入出力インターフェイス７０は、駆動回路（図略）を介して、搬送モータ３０３、Ｘ軸モータ３１４、Ｙ軸モータ３１５、昇降モータ３５３、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２、３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７、３つのθ軸モータ８８、撮像装置３３に、電気的に接続されている。制御装置７は、これらの機器を制御している。また、入出力インターフェイス７０は、画像処理装置５に電気的に接続されている。画像処理装置５には、撮像装置３３から画像（具体的には画像データ）が伝送される。
【００４３】
＜装着ヘッドの構成＞
次に、本実施形態の装着ヘッドの構成について説明する。図１に示すように、装着ヘッド８は、Ｘ軸スライド３１１に交換可能に取り付けられている。このため、装着ヘッド８は、Ｘ軸スライド３１１と共に、前後左右方向に移動することができる。
【００４４】
図３に、本実施形態の装着ヘッドの閉状態における斜視図を示す。図４に、同装着ヘッドの閉状態における前面図を示す。閉状態とは、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが閉じている状態である。
【００４５】
図３、図４に示すように、装着ヘッド８は、ヘッド本体８０と、固定ノズル８１と、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２と、減速機（図略）と、ボールねじ部８３と、一対の可動部８４Ｌ、８４Ｒと、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒと、リンク機構部８６と、３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７（図２参照）と、３つのθ軸モータ８８（図２参照）と、を備えている。
【００４６】
［ヘッド本体８０、固定ノズル８１、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２］
図５に、同装着ヘッドのヘッド本体の斜視図を示す。図５に示すように、ヘッド本体８０は、固定ノズル取付部８００と、底壁部８０１と、立壁部８０２と、上壁部８０３と、を備えている。底壁部８０１には、左右一対の開口部８０１Ｌ、８０１Ｒが開設されている。固定ノズル取付部８００は、底壁部８０１の左右方向略中央から、前方に突設されている。立壁部８０２は、底壁部８０１の後縁から上方に立設されている。上壁部８０３は、立壁部８０２の左上隅に配置されている。
【００４７】
固定ノズル８１は、固定ノズル取付部８００の下面に、交換可能に配置されている。ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２は、上壁部８０３の上面に取り付けられている。ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２は、本発明の「駆動源」の概念に含まれる。
【００４８】
［リンク機構部８６］
図６に、同装着ヘッドのリンク機構部の斜視図を示す。図６に示すように、リンク機構部８６は、Ｚ軸ガイド部８６０（図５参照）と、Ｚ軸被ガイド部８６１と、第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌ（図５参照）と、第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒ（図５参照）と、第一傾斜ガイド部８６３Ｌと、第二傾斜ガイド部８６３Ｒと、を備えている。
【００４９】
第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌ、第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒは、各々、本発明の「Ｘ軸ガイド部」の概念に含まれる。第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、各々、本発明の「可動ガイド部」の概念に含まれる。
【００５０】
図５に示すように、Ｚ軸ガイド部８６０は、ヘッド本体８０の立壁部８０２の前面の右側部分に配置されている。Ｚ軸ガイド部８６０は、上下方向に延在している。第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌ、第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒは、ヘッド本体８０の底壁部８０１の下面に配置されている。第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌは、開口部８０１Ｌの前方に配置されている。第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒは、開口部８０１Ｒの前方に配置されている。第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌ、第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒは、各々、左右方向に延在している。第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌと第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒとは、固定ノズル取付部８００を挟んで、左右に配置されている。
【００５１】
図６に示すように、Ｚ軸被ガイド部８６１は、Ｚ軸スライド８６１ａと、被ガイド部本体８６１ｂと、を備えている。被ガイド部本体８６１ｂは、下方に開口するＣ字状を呈している。Ｚ軸スライド８６１ａは、被ガイド部本体８６１ｂの後面の右側部分に配置されている。図３、図５に示すように、Ｚ軸スライド８６１ａは、Ｚ軸ガイド部８６０に対して、上下方向に移動可能である。第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、被ガイド部本体８６１ｂの前面に配置されている。第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、前方から見て「ハ」の字状に配置されている。すなわち、第一傾斜ガイド部８６３Ｌは、右上−左下方向に延在している。第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、左上−右下方向に延在している。図３、図５に示すように、第一傾斜ガイド部８６３Ｌは開口部８０１Ｌに出入り可能である。第二傾斜ガイド部８６３Ｒは開口部８０１Ｒに出入り可能である。
【００５２】
［ボールねじ部８３］
図３、図５、図６に示すように、ボールねじ部８３は、シャフト部８３０と、ナット部８３１と、を備えている。シャフト部８３０は、減速機を介して、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２の回転軸に連結されている。シャフト部８３０は、上下方向に延在している。ナット部８３１は、被ガイド部本体８６１ｂの後面の左側部分に配置されている。ナット部８３１は、多数のボール（図略）を介して、シャフト部８３０に螺合している。
【００５３】
［一対の可動部８４Ｌ、８４Ｒ、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ］
図７に、同装着ヘッドの一対の可動部の斜視図を示す。図７に示すように、一対の可動部８４Ｌ、８４Ｒは、Ｘ軸スライド８４０Ｌ、８４０Ｒと、傾斜スライド８４１Ｌ、８４１Ｒと、立壁部８４２Ｌ、８４２Ｒと、可動ノズル取付部８４３Ｌ、８４３Ｒと、を備えている。
【００５４】
まず、左側の可動部８４Ｌについて説明する。可動ノズル取付部８４３Ｌは、前後方向に延在している。Ｘ軸スライド８４０Ｌは、可動ノズル取付部８４３Ｌの上面の後方部分に配置されている。図３、図５に示すように、Ｘ軸スライド８４０Ｌは、第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌに対して、左右方向に移動可能である。図７に戻って、立壁部８４２Ｌは、Ｘ軸スライド８４０Ｌの後面に配置されている。立壁部８４２Ｌは、上方に立設されている。傾斜スライド８４１Ｌは、立壁部８４２Ｌの後面に配置されている。傾斜スライド８４１Ｌは、右上−左下方向に延在している。図３、図６に示すように、傾斜スライド８４１Ｌは、第一傾斜ガイド部８６３Ｌに対して、右上−左下方向に移動可能である。
【００５５】
次に、右側の可動部８４Ｒについて説明する。可動部８４Ｒの構成は、可動部８４Ｌの構成と、同様である。また、可動部８４Ｒの配置は、可動部８４Ｌの配置と、左右対称である。すなわち、図３、図５に示すように、Ｘ軸スライド８４０Ｒは、第二Ｘ軸ガイド部８６２Ｒに対して、左右方向に移動可能である。また、図３、図６に示すように、傾斜スライド８４１Ｒは、第二傾斜ガイド部８６３Ｒに対して、左上−右下方向に移動可能である。
【００５６】
図７に示すように、可動ノズル８５Ｌは、可動ノズル取付部８４３Ｌの下面に、交換可能に配置されている。可動ノズル８５Ｒは、可動ノズル取付部８４３Ｒの下面に、交換可能に配置されている。図４に示すように、可動ノズル８５Ｌは、固定ノズル８１の左側に配置されている。可動ノズル８５Ｒは、固定ノズル８１の右側に配置されている。
【００５７】
［３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７、３つのθ軸モータ８８］
図２に示すように、３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７は、制御装置７に接続されている。３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７は、固定ノズル８１、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、上下方向に駆動する。
【００５８】
３つのθ軸モータ８８は、制御装置７に接続されている。３つのθ軸モータ８８は、固定ノズル８１、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、水平面内における回転方向に駆動する。
【００５９】
＜電子部品実装機の動き＞
次に、本実施形態の電子部品実装機の動きについて説明する。まず、図１、図２に示すように、制御装置７が搬送モータ３０３を駆動し、一対のコンベアベルト３０２を回転させる。そして、基板Ｂを電子部品実装機１に搬入する。続いて、制御装置７が昇降モータ３５３を駆動し、バックアップテーブル３５０を上昇させる。そして、多数のバックアップピン３５１により、一対のコンベアベルト３０２から、基板Ｂを持ち上げる。それから、多数のバックアップピン３５１と、一対のクランプ片３５２と、の間に、基板Ｂを挟持、固定する。つまり、基板Ｂの位置決めを行う。
【００６０】
次に、制御装置７がＸ軸モータ３１４、Ｙ軸モータ３１５、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２、３つのノズル昇降用Ｚ軸モータ８７、３つのθ軸モータ８８を適宜駆動し、装着ヘッド８により、テープフィーダ４０から基板Ｂまで、電子部品を搬送する。そして、基板Ｂの所定の装着座標に、電子部品を装着する。なお、搬送の途中で、装着ヘッド８は、撮像装置３３の上空（つまり視野）を経由する。装着ヘッド８は、上記搬送作業を繰り返し実行する。そして、装着ヘッド８は、電子部品実装機１に割り当てられた所定数の電子部品を、基板Ｂに装着する。
【００６１】
最後に、制御装置７が昇降モータ３５３を駆動し、バックアップテーブル３５０を下降させる。そして、多数のバックアップピン３５１から一対のコンベアベルト３０２に、基板Ｂを引き渡す。続いて、制御装置７が搬送モータ３０３を駆動し、一対のコンベアベルト３０２を回転させる。そして、基板Ｂを下流側の機器（電子部品実装機、基板外観検査機など）に払い出す。
【００６２】
＜装着ヘッドのノズル開閉時の動き＞
上述したように、装着ヘッド８は、電子部品の搬送作業の際、電子部品をテープフィーダ４０から取り出す。また、装着ヘッド８は、取り出した電子部品を基板Ｂの所定の装着座標に装着する。図４に示すように、装着ヘッド８は、３つのノズル（固定ノズル８１、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ）を備えている。このため、装着ヘッド８は、一度に３つの電子部品を、３つのテープフィーダ４０から取り出すことができる。また、装着ヘッド８は、一度に３つの電子部品を、３箇所の装着座標に装着することができる。
【００６３】
ここで、電子部品を取り出す３つのテープフィーダ４０間の左右方向間隔は、任意の電子部品の搬送作業において、基板Ｂに装着する電子部品の部品種に依存する。すなわち、電子部品を取り出す３つのテープフィーダ４０間の左右方向間隔は、電子部品の搬送作業ごとに変化し、一定ではない。
【００６４】
図４に点線で示すように、左右方向に隣接した３つのテープフィーダ４０ｃ〜４０ｅから３つの電子部品を取り出す場合、左右方向間隔は短距離になる。また、左右方向に一つおきに隣接した３つのテープフィーダ４０ｂ、４０ｄ、４０ｆから３つの電子部品を取り出す場合、左右方向間隔は中距離になる。また、左右方向に二つおきに隣接した３つのテープフィーダ４０ａ、４０ｄ、４０ｇから３つの電子部品を取り出す場合、左右方向間隔は長距離になる。同様に、電子部品を装着する３つの装着座標間の間隔も、電子部品の搬送作業ごとに変化し、一定ではない。
【００６５】
この点、本実施形態の装着ヘッド８は、可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを左右方向に動かすことができる。すなわち、ノズルを開閉することができる。このため、上記、テープフィーダ４０間の間隔の変化や、装着座標間の間隔の変化に、柔軟に対応することができる。なお、ノズルの開閉は、電子部品取出前や電子部品装着前のタイミングで実行される。
【００６６】
以下、本実施形態の装着ヘッド８のノズル開閉時の動きについて説明する。図８に、本実施形態の装着ヘッドの開状態における前面図を示す。開状態とは、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが開いている状態（開状態）である。
【００６７】
閉状態（図３、図４）から開状態（図８）まで一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを動かす場合は、図２に示す制御装置７がノズル開閉用Ｚ軸モータ８２を駆動する。ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２が動くと、図３に示すシャフト部８３０が軸周りに回転し、ナット部８３１つまりＺ軸被ガイド部８６１が、図８に矢印Ｙ１で示すように、ヘッド本体８０に対して、上昇する。並びに、第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒが上昇する。この際、Ｚ軸被ガイド部８６１のＺ軸スライド８６１ａは、Ｚ軸ガイド部８６０に案内される。
【００６８】
ここで、第一傾斜ガイド部８６３Ｌは、右上−左下方向に延在している。一方、Ｘ軸スライド８４０Ｌの移動方向は、第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌにより、左右方向に限定されている。このため、第一傾斜ガイド部８６３Ｌが上昇すると、図８に矢印Ｙ２Ｌで示すように、傾斜スライド８４１Ｌが、第一傾斜ガイド部８６３Ｌを、右上から左下に、相対的にスライドする。したがって、矢印Ｙ３Ｌで示すように、Ｘ軸スライド８４０Ｌが、第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｌを、右から左に、相対的にスライドする。よって、可動部８４Ｌは、ヘッド本体８０に対して、右から左に移動する。このように、第一傾斜ガイド部８６３Ｌにより、Ｚ軸被ガイド部８６１の上向きの力が、可動部８４Ｌの左向きの力に、直交方向に変換される。
【００６９】
同様に、第二傾斜ガイド部８６３Ｒが上昇すると、図８に矢印Ｙ２Ｒで示すように、傾斜スライド８４１Ｒが、第二傾斜ガイド部８６３Ｒを、左上から右下に、相対的にスライドする。また、矢印Ｙ３Ｒで示すように、Ｘ軸スライド８４０Ｒが、第一Ｘ軸ガイド部８６２Ｒを、左から右に、相対的にスライドする。よって、可動部８４Ｒは、ヘッド本体８０に対して、左から右に移動する。このように、第二傾斜ガイド部８６３Ｒにより、Ｚ軸被ガイド部８６１の上向きの力が、可動部８４Ｒの右向きの力に、直交方向に変換される。
【００７０】
このようにして、閉状態（図３、図４）から開状態（図８）まで、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを移動させる。なお、開状態から閉状態まで、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを移動させる場合は、Ｚ軸被ガイド部８６１を、ヘッド本体８０に対して、下降させる。当該移動機構を利用して、本実施形態の装着ヘッド８は、テープフィーダ４０間の間隔の変化や、装着座標間の間隔の変化に、柔軟に対応することができる。
【００７１】
＜装着ヘッドの加減速時の動き＞
上述したように、３つの電子部品を取り出した装着ヘッド８は、電子部品の搬送作業の途中で、撮像装置３３（図１参照）の上空（つまり視野）を通過する。具体的には、装着ヘッド８の３つのノズル（固定ノズル８１、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ）は、左右方向に、撮像装置３３の視野を、停止せずに通過する。
【００７２】
図２に示すように、撮像装置３３は、３つのノズルが通過する際に、３つの電子部品を撮像する。なお、撮像は、３つの電子部品に対して、一度に行ってもよい。また、撮像は、３つの電子部品に対して、個別に行ってもよい。撮像装置３３は、撮像により取得した画像を、画像処理装置５に伝送する。画像処理装置５は、当該画像を基に、３つのノズルに対する電子部品の吸着状態を判別する。
【００７３】
ここで、撮像装置３３が３つの電子部品を撮像する際、装着ヘッド８の加減速により、３つの電子部品の相対的な位置関係が変位すると、精度の高い画像を取り込みにくくなる。よって、電子部品の吸着状態の判別精度、延いては基板Ｂに対する電子部品の装着精度が低下してしまう。
【００７４】
この点、本実施形態の装着ヘッド８によると、装着ヘッド８が加減速する場合であっても、３つの電子部品、つまり３つのノズルの相対的な位置関係が変位しにくい。以下、本実施形態の装着ヘッド８の加減速時の動きについて説明する。図９に、本実施形態の装着ヘッドの加速中の前面図を示す。図９に矢印Ｙ５で示すように、左から右に向かって移動する装着ヘッド８が加速すると、右から左に向かって一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒに慣性力ＦＬ、ＦＲが作用する。つまり、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒは、ヘッド本体８０に対して、右から左に向かって移動しようとする。
【００７５】
図１０に、図９の円Ｘ内の透過拡大図を示す。図１０に太線で示すように、傾斜スライド８４１Ｌの被ガイド溝８４１Ｌａの下面と、第一傾斜ガイド部８６３Ｌの下面と、は当接している。このため、当接面を介して、傾斜スライド８４１Ｌから第一傾斜ガイド部８６３Ｌに加わる慣性力ＦＬが、荷重ＦＬａ、ＦＬｂに分解される。上向きの荷重ＦＬａにより、傾斜スライド８４１Ｌは、第一傾斜ガイド部８６３ＬつまりＺ軸被ガイド部８６１を、押し上げる。このように、傾斜スライド８４１Ｌから第一傾斜ガイド部８６３Ｌに加わる慣性力ＦＬは、Ｚ軸被ガイド部８６１を上昇させる方向に作用する。
【００７６】
図１１に、図９の円ＸＩ内の透過拡大図を示す。図１１に太線で示すように、傾斜スライド８４１Ｒの被ガイド溝８４１Ｒａの上面と、第二傾斜ガイド部８６３Ｒの上面と、は当接している。このため、当接面を介して、傾斜スライド８４１Ｒから第二傾斜ガイド部８６３Ｒに加わる慣性力ＦＲが、荷重ＦＲａ、ＦＲｂに分解される。荷重ＦＲａにより、傾斜スライド８４１Ｌは、第二傾斜ガイド部８６３ＲつまりＺ軸被ガイド部８６１を、押し下げる。このように、傾斜スライド８４１Ｒから第二傾斜ガイド部８６３Ｒに加わる慣性力ＦＲは、Ｚ軸被ガイド部８６１を下降させる方向に作用する。
【００７７】
このように、可動ノズル８５Ｌからの慣性力ＦＬは、Ｚ軸被ガイド部８６１を上昇させる方向に、作用する。反対に、可動ノズル８５Ｒからの慣性力ＦＲは、Ｚ軸被ガイド部８６１を下降させる方向に、作用する。このため、慣性力ＦＬ、ＦＲは、Ｚ軸被ガイド部８６１において、互いに相殺される。よって、装着ヘッド８が左から右に向かって加速しても、慣性力ＦＬ、ＦＲが互いに相殺されるため、ヘッド本体８０に対して、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが変位しにくい。
【００７８】
なお、装着ヘッド８が、左から右に向かって減速する場合、右から左に向かって加速する場合、右から左に向かって減速する場合も、同様に慣性力ＦＬ、ＦＲが互いに相殺される。このため、ヘッド本体８０に対して、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが変位しにくい。
【００７９】
＜作用効果＞
次に、本実施形態の装着ヘッドおよび電子部品実装機の作用効果について説明する。図１０、図１１に示すように、本実施形態の装着ヘッド８によると、一方の可動ノズル８５Ｌからリンク機構部８６に加わる荷重ＦＬａと、他方の可動ノズル８５Ｒからリンク機構部８６に加わる荷重ＦＲａと、はリンク機構部８６に対して、互いに反対方向から加わる。すなわち、双方の荷重ＦＬａ、ＦＲａが、リンク機構部８６に対して、互いを相殺する方向に作用する。このため、慣性力ＦＬ、ＦＲにより、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが変位しにくい。したがって、装着ヘッド８停止時（あるいは定速移動時）と、装着ヘッド８加減速時と、で一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ間のピッチが相違しにくい。よって、装着ヘッド８を移動させながら、電子部品の撮像を実行する場合であっても、精度の高い画像を取り込みやすい。このため、電子部品の吸着状態の判別精度、延いては基板Ｂに対する電子部品の装着精度を向上させることができる。また、図８に示すように、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒは、単一のノズル開閉用Ｚ軸モータ８２により駆動される。このため、特許文献１の装着ヘッドと比較して、駆動源の数が少ない分、構造が簡単である。
【００８０】
また、本実施形態の装着ヘッド８によると、ノズル開閉用Ｚ軸モータ８２の上下方向の駆動力により、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、左右方向に、かつ互いに反対方向に、移動させることができる。すなわち、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、上下方向、または前後方向から見て、あたかも開閉するように、動かすことができる。
【００８１】
また、本実施形態の装着ヘッド８によると、第一傾斜ガイド部８６３Ｌが、左右方向と上下方向との間の方向である第一傾斜方向（右上−左下方向）に延在している。また、第二傾斜ガイド部８６３Ｒが、左右方向と上下方向との間の方向である第二傾斜方向（左上−右下）に延在している。このため、Ｚ軸被ガイド部８６１の上下方向の動きにより、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、左右方向に動かすことができる。
【００８２】
また、本実施形態の装着ヘッド８によると、Ｚ軸（上下軸）に対して、第一傾斜ガイド部８６３Ｌと第二傾斜ガイド部８６３Ｒとが、対称に配置されている。すなわち、Ｚ軸に対して、第一傾斜ガイド部８６３Ｌと第二傾斜ガイド部８６３Ｒとが、「ハ」の字状に配置されている。具体的には、水平面に対して、第一傾斜ガイド部８６３Ｌは＋４５°の方向に、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは−４５°の方向に、それぞれ延在している。このため、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを互いに反対方向に動かすことができる。
【００８３】
＜＜第二実施形態＞＞
本実施形態の装着ヘッドおよび電子部品実装機と、第一実施形態の装着ヘッドおよび電子部品実装機との相違点は、リンク機構部の構造のみである。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００８４】
まず、装着ヘッド８の構成について説明する。図１２に、本実施形態の装着ヘッドの閉状態における斜視図を示す。なお、図３と対応する部位については同じ符号で示す。図１３に、同装着ヘッドの閉状態におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図を示す。
【００８５】
図１２、図１３に示すように、本実施形態の装着ヘッド８のヘッド本体８０の底壁部８０１には、ガイド溝部８０１ａが開設されている。ガイド溝部８０１ａは、左右方向に延在している。底壁部８０１の左面には、ノズル開閉用Ｘ軸モータ８２ａが配置されている。ノズル開閉用Ｘ軸モータ８２ａは、本発明の「駆動源」の概念に含まれる。リンク機構部８９は、いわゆるボールねじである。リンク機構部８９は、シャフト部８９０と、一対のナット部８９１Ｌ、８９１Ｒと、を備えている。シャフト部８９０は、ガイド溝部８０１ａ内に配置されている。シャフト部８９０は、左右方向に延在している。シャフト部８９０は、減速機（図略）を介して、ノズル開閉用Ｘ軸モータ８２ａの回転軸に連結されている。シャフト部８９０の左半分と右半分には、上下方向に延在する中心線Ｌ１を境に、ねじ部８９０Ｌとねじ部８９０Ｒとが形成されている。ねじ部８９０Ｌの螺旋方向と、ねじ部８９０Ｒの螺旋方向と、は互いに逆向きである。ナット部８９１Ｌは、ねじ部８９０Ｌに螺合している。ナット部８９１Ｌは、可動部８４Ｌに固定されている。ナット部８９１Ｒは、ねじ部８９０Ｒに螺合している。ナット部８９１Ｒは、可動部８４Ｒに固定されている。
【００８６】
次に、装着ヘッド８のノズル開閉時の動きについて説明する。図１４に、本実施形態の装着ヘッドの開状態におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図を示す。
【００８７】
閉状態（図１２、図１３）から開状態（図１４）まで一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを動かす場合は、図２に示す制御装置７がノズル開閉用Ｘ軸モータ８２ａを駆動する。ノズル開閉用Ｘ軸モータ８２ａが動くと、シャフト部８９０が軸周りに回転する。ここで、ねじ部８９０Ｌの螺旋方向と、ねじ部８９０Ｒの螺旋方向と、は互いに逆向きである。このため、ナット部８９１Ｌつまり可動部８４Ｌは、図１４に矢印Ｙ１０Ｌで示すように、左側に移動する。並びに、ナット部８９１Ｒつまり可動部８４Ｒは、図１４に矢印Ｙ１０Ｒで示すように、右側に移動する。
【００８８】
このようにして、閉状態（図１２、図１３）から開状態（図１４）まで、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを移動させる。なお、開状態から閉状態まで、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを移動させる場合は、シャフト部８９０を逆方向に回転させる。当該移動機構を利用して、本実施形態の装着ヘッド８は、テープフィーダ４０間の間隔の変化や、装着座標間の間隔の変化に、柔軟に対応することができる。
【００８９】
次に、装着ヘッド８の加減速時の動きについて説明する。図１５に、本実施形態の装着ヘッドの加速中におけるリンク機構部および一対の可動部の前面図を示す。図１５に矢印Ｙ１５で示すように、左から右に向かって移動する装着ヘッド８が加速すると、右から左に向かって、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒに慣性力ＦＬ、ＦＲが作用する。つまり、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒは、ヘッド本体８０に対して、右から左に向かって移動しようとする。
【００９０】
ここで、ねじ部８９０Ｌの螺旋方向と、ねじ部８９０Ｒの螺旋方向と、は互いに逆向きである。このため、左側からシャフト部８９０を見た場合、ナット部８９１Ｌは、シャフト部８９０に対して、反時計回り方向の荷重Ｆ１０Ｌを加える。これに対して、左側からシャフト部８９０を見た場合、ナット部８９１Ｒは、シャフト部８９０に対して、時計回り方向の荷重Ｆ１０Ｒを加える。
【００９１】
このように、可動ノズル８５Ｌからの慣性力ＦＬは、シャフト部８９０を反時計回り方向に回転させる方向に、作用する。反対に、可動ノズル８５Ｒからの慣性力ＦＲは、シャフト部８９０を時計回り方向に回転させる方向に、作用する。このため、一対の慣性力ＦＬ、ＦＲは、シャフト部８９０において、互いに相殺される。よって、装着ヘッド８が左から右に向かって加速しても、一対の慣性力ＦＬ、ＦＲが互いに相殺されるため、ヘッド本体８０に対して、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが変位しにくい。
【００９２】
なお、装着ヘッド８が、左から右に向かって減速する場合、右から左に向かって加速する場合、右から左に向かって減速する場合も、同様に一対の慣性力が互いに相殺される。このため、ヘッド本体８０に対して、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒが変位しにくい。
【００９３】
本実施形態の装着ヘッドおよび電子部品実装機と、第一実施形態の装着ヘッドおよび電子部品実装機と、は構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。
【００９４】
＜＜その他＞＞
以上、本発明の装着ヘッドおよび電子部品実装機の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００９５】
例えば、リンク機構部８６の構造は特に限定しない。レールやボールねじの他、カムなどを用いてもよい。単一の駆動源により、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒを、互いに反対方向に駆動できればよい。また、駆動源から可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒへの動力伝達機構は、ボールねじの他、流体（液体、気体）シリンダ、ソレノイドなどを用いてもよい。
【００９６】
第一実施形態の装着ヘッド８の第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒの傾斜角度は特に限定しない。傾斜角度により、図１０、図１１に示す荷重ＦＬａ、ＦＲａの大きさを自在に調整することができる。また、第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、前方から見て逆「ハ」の字状に配置されていてもよい。また、第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、各々、曲線状であってもよい。
【００９７】
第二実施形態の装着ヘッド８のシャフト部８９０のねじ部８９０Ｌ、８９０Ｒの螺旋角度は特に限定しない。螺旋角度により、図１５に示す荷重Ｆ１０Ｌ、Ｆ１０Ｒの大きさを自在に調整することができる。また、第一傾斜ガイド部８６３Ｌ、第二傾斜ガイド部８６３Ｒは、左右逆に配置されていてもよい。
【００９８】
また、図４に示す装着ヘッド８の３つのノズル（固定ノズル８１、一対の可動ノズル８５Ｌ、８５Ｒ）の配置方向は、限定しない。左右方向でも前後方向でもよい。また、固定ノズル８１は配置しなくてもよい。また、可動ノズル８５Ｌを複数配置してもよい。また、可動ノズル８５Ｒを複数配置してもよい。好ましくは、可動ノズル８５Ｌと可動ノズル８５Ｒとは同数である方がよい。
【００９９】
また、部品供給装置４が、テープフィーダ４０の代わりに、トレイを備えていてもよい。この場合、トレイ上に配置された複数の電子部品の中から、３つの電子部品を、本発明の装着ヘッドを用いて、同時に搬送、装着することができる。また、撮像装置３３として、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）エリアセンサを用いてもよい。
【符号の説明】
【０１００】
１：電子部品実装機、２：ベース、３：モジュール、４：部品供給装置、５：画像処理装置、７：制御装置、８：装着ヘッド。
３０：搬送装置、３１：ＸＹロボット、３３：撮像装置、３４：基部、３５：クランプ装置、３６：デバイスパレット、４０：テープフィーダ、４０ａ〜４０ｇ：テープフィーダ、７０：入出力インターフェイス、７１：記憶部、７２：演算部、８０：ヘッド本体、８１：固定ノズル、８２：ノズル開閉用Ｚ軸モータ（駆動源）、８２ａ：ノズル開閉用Ｘ軸モータ（駆動源）、８３：ボールねじ部、８４Ｌ：可動部、８４Ｒ：可動部、８５Ｌ：可動ノズル、８５Ｒ：可動ノズル、８６：リンク機構部、８７：ノズル昇降用Ｚ軸モータ、８８：θ軸モータ、８９：リンク機構部。
３００：固定壁部、３０１：可動壁部、３０２：コンベアベルト、３０３：搬送モータ、３１０：Ｘ軸ガイドレール、３１１：Ｘ軸スライド、３１２：Ｙ軸ガイドレール、３１３：Ｙ軸スライド、３１４：Ｘ軸モータ、３１５：Ｙ軸モータ、３４０：Ｙ軸ガイドレール、３５０：バックアップテーブル、３５１：バックアップピン、３５２：クランプ片、３５３：昇降モータ、８００：固定ノズル取付部、８０１：底壁部、８０１Ｌ：開口部、８０１Ｒ：開口部、８０１ａ：ガイド溝部、８０２：立壁部、８０３：上壁部、８３０：シャフト部、８３１：ナット部、８４０Ｌ：Ｘ軸スライド、８４０Ｒ：Ｘ軸スライド、８４１Ｌ：傾斜スライド、８４１Ｌａ：被ガイド溝、８４１Ｒ：傾斜スライド、８４１Ｒａ：被ガイド溝、８４２Ｌ：立壁部、８４３Ｌ：可動ノズル取付部、８４３Ｒ：可動ノズル取付部、８６０：Ｚ軸ガイド部、８６１：Ｚ軸被ガイド部、８６１ａ：Ｚ軸スライド、８６１ｂ：被ガイド部本体、８６２Ｌ：第一Ｘ軸ガイド部（Ｘ軸ガイド部）、８６２Ｒ：第二Ｘ軸ガイド部（Ｘ軸ガイド部）、８６３Ｌ：第一傾斜ガイド部（可動ガイド部）、８６３Ｒ：第二傾斜ガイド部（可動ガイド部）、８９０：シャフト部、８９０Ｌ：ねじ部、８９０Ｒ：ねじ部、８９１Ｌ：ナット部、８９１Ｒ：ナット部。
Ｂ：基板、Ｆ１０Ｌ：荷重、Ｆ１０Ｒ：荷重、ＦＬ：慣性力、ＦＬａ：荷重、ＦＲ：慣性力、ＦＲａ：荷重、Ｌ１：中心線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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