(57)【要約】      （修正有）【課題】構造が単純であり低コスト化でき、接着テープおよび接着テープが貼付けられている製品本体の汚染防止が可能である保護フィルム剥離装置を得ることである。【解決手段】保護フィルム１１を有する接着テープ１０が貼付けられた製品本体９を載置する載置部３ａが設けられたベース３と、載置部の傍らに設けられた電動アクチュエータ１と、電動アクチュエータにより往復動されるステージと、ステージに保持されたロッド２と、ロッドに設置され、且つ保護フィルムを剥離して吸込む吸引ヘッド４とを備えたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に保護フィルムを有する接着テープが貼付けられた製品本体を載置する載置部が設けられたベースと、上記ベースにおける載置部の傍らに設けられた電動アクチュエータと、上記電動アクチュエータにより往復動されるステージと、上記ステージに保持されたロッドと、上記ロッドに設置され、且つ上記保護フィルムを剥離して吸込む吸引ヘッドとを備えており、
上記電動アクチュエータは、長手方向が上記ベースの載置部に沿って延在しており、上記電動アクチュエータにより上記ステージは、上記電動アクチュエータの長手方向であるＸ方向で往復動するようになっており、
上記ロッドは、上記ベースの載置部側の面と略平行に対向して、一端が上記ステージに保持されており、且つ上記ロッドの長手方向が、上記ステージが往復動する方向のＸ方向と直角な方向であるＹ方向に延在しており、
上記吸引ヘッドは、上記製品本体に貼付けられた接着テープの位置に対応して、上記ロッドのＹ方向の所定の位置における側面に設置されており、且つ上記ベースの載置部側の面に対して垂直な方向であるＺ方向に貫通した吸引孔が設けられた筒状体であり、上記吸引孔のＹ方向の幅が、上記保護フィルムの剥離されていく方向と直交する方向の幅より広くなっており、
上記吸引ヘッドの上記ベースと対向する側の反対側には、フレキシブルな管体の一端が接続されており、上記フレキシブルな管体の他端が、剥離し回収された上記保護フィルムを溜めておく回収箱と接続しており、上記回収箱の上記フレキシブルな管体が接続された壁面以外の壁面に、チューブの一端が接続されており、上記チューブの他端が吸引器と接続している保護フィルム剥離装置。
【請求項２】
上記吸引ヘッドが、四角状筒体であり、且つ上記吸引ヘッドのベースと対向する端部のＸ方向と平行な両側部に、上記ベースの方向に突出した突出部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項３】
上記ロッドのＹ方向における、接着テープの位置から保護フィルムの剥離が進行する方向の反対側へ延長した線と、交差する位置に吸引ヘッドを設置したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項４】
上記ロッドがステージに結合して保持されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項５】
上記ロッドが、Ｙ方向に移動可能にステージに保持されるとともに、上記ステージに保持された上記ロッドをＹ方向で往復動さす電動アクチュエータが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の保護フィルム剥離装置。
【請求項６】
上記回収箱の、フレキシブルな管体が接続された壁面とチューブが接続された壁面とが対向していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の保護フィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏光板のような平板の表面に貼着されている接着テープの保護フィルムの剥離に用いられる保護フィルム剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の保護フィルム剥離装置として、例えば、加熱して、シート材に貼付けられた保護フィルムの接着強度を低下さす加熱炉と、加熱炉から出たシート材の非接着部分にある保護フィルムを真空吸引して保持する吸着バーと、吸着バーに吸着されたフィルムにおける吸着面の反対側の面に押付ける剥離チャックと、シート材におけるフィルムが剥離された一端部を保持し移送する取出しチャックとを備えたものがある。
【０００３】
この従来の保護フィルム剥離装置は、取出しチャックで挟持し保持されたシート材を水平方向に移動するとともに、吸着バーと剥離チャックとにより挟持し保持されたフィルムを、シート材の移動方向に対して所定の鈍角をなす方向に移動させて、シート材からフィルムを剥離する。そして、分離されたシート材は保管ブロックまで移送されて載置され、分離されたフィルムは回収板まで移送されて載置される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−０３５２２５号公報（第３−４頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の保護フィルム剥離装置では、シート材と貼付けられた保護フィルムの接着強度を低下さす加熱炉と、シート材の移動方向に対して所定の鈍角をなす方向にフィルムを移動させてシート材からフィルムを剥離する剥離機構と、剥離したフィルムを回収板まで移送し載置する回収機構とで形成されており、装置の構造が複雑であり、装置コストが高くなるとの問題があった。
【０００６】
また、フィルムの剥離が、シート材の移動方向に対して、所定の鈍角をなす方向にフィルムを移動させることにより行うので、フィルムの上面や側面に異物がある場合、それが脱落し、シート材の面上に異物が残ってしまうとの問題があった。
【０００７】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、接着テープに貼着されている保護フィルムの剥離と回収とを行う構造が単純であり、低コストであるとともに、保護フィルムの剥離・回収時に、保護フィルムや保護フィルム側面近傍にある製品本体の異物も回収でき、接着テープおよび接着テープが貼付けられている製品本体の汚染防止が可能である、保護フィルム剥離装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係わる保護フィルム剥離装置は、表面に保護フィルムを有する接着テープが貼付けられた製品本体を載置する載置部が設けられたベースと、ベースにおける載置部の傍らに設けられた電動アクチュエータと、電動アクチュエータにより往復動されるステージと、ステージに保持されたロッドと、ロッドに設置され、且つ保護フィルムを剥離して吸込む吸引ヘッドとを備えており、電動アクチュエータは、長手方向がベースの載置部に沿って延在しており、電動アクチュエータによりステージは、電動アクチュエータの長手方向であるＸ方向で往復動するようになっており、ロッドは、ベースの載置部側の面と略平行に対向して、一端がステージに保持されており、且つロッドの長手方向が、ステージが往復動する方向のＸ方向と直角な方向であるＹ方向に延在しており、吸引ヘッドは、製品本体に貼付けられた接着テープの位置に対応して、ロッドのＹ方向の所定の位置における側面に設置されており、且つベースの載置部側の面に対して垂直な方向であるＺ方向に貫通した吸引孔が設けられた筒状体であり、吸引孔のＹ方向の幅が、保護フィルムの剥離されていく方向と直交する方向の幅より広くなっており、吸引ヘッドのベースと対向する側の反対側には、フレキシブルな管体の一端が接続されており、フレキシブルな管体の他端が、剥離し回収された保護フィルムを溜めておく回収箱と接続しており、回収箱のフレキシブルな管体が接続された壁面以外の壁面に、チューブの一端が接続されており、チューブの他端が吸引器と接続しているものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係わる保護フィルム剥離装置は、表面に保護フィルムを有する接着テープが貼付けられた製品本体を載置する載置部が設けられたベースと、ベースにおける載置部の傍らに設けられた電動アクチュエータと、電動アクチュエータにより往復動されるステージと、ステージに保持されたロッドと、ロッドに設置され、且つ保護フィルムを剥離して吸込む吸引ヘッドとを備えており、電動アクチュエータは、長手方向がベースの載置部に沿って延在しており、電動アクチュエータによりステージは、電動アクチュエータの長手方向であるＸ方向で往復動するようになっており、ロッドは、ベースの載置部側の面と略平行に対向して、一端がステージに保持されており、且つロッドの長手方向が、ステージが往復動する方向のＸ方向と直角な方向であるＹ方向に延在しており、吸引ヘッドは、製品本体に貼付けられた接着テープの位置に対応して、ロッドのＹ方向の所定の位置における側面に設置されており、且つベースの載置部側の面に対して垂直な方向であるＺ方向に貫通した吸引孔が設けられた筒状体であり、吸引孔のＹ方向の幅が、保護フィルムの剥離されていく方向と直交する方向の幅より広くなっており、吸引ヘッドのベースと対向する側の反対側には、フレキシブルな管体の一端が接続されており、フレキシブルな管体の他端が、剥離し回収された保護フィルムを溜めておく回収箱と接続しており、回収箱のフレキシブルな管体が接続された壁面以外の壁面に、チューブの一端が接続されており、チューブの他端が吸引器と接続しているものであり、構造が単純で低コスト化を実現できるとともに、製品本体の汚染防止が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
【図２】本発明の実施の形態１に係わる保護フィルム剥離装置の動作機構を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
【図４】本発明の実施の形態３に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
【図５】製品本体に貼付けられた２本の接着テープにおける、保護フィルムの非接着部が直交して重なった端部の状態を示す斜視模式図である。
【図６】本実施の形態の保護フィルム剥離装置の吸引ヘッドで、第１の保護フィルム非接着部を吸引している状態を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態４に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
【００１２】
図１に示すように、本実施の形態の保護フィルム剥離装置１００は、表面に保護フィルム１１を有する接着テープ１０が貼付けられた板状の製品本体９を載置する載置部３ａが設けられたベース３と、ベース３における載置部３ａの傍らに設けられ電動アクチュエータ１と、電動アクチュエータ１により往復動されるステージ（図示せず）と、ステージに保持されたロッド２と、ロッド２に設置され且つ保護フィルム１１を剥離して吸込む吸引ヘッド４とを備えている。
載置部３ａは、図１（ａ）に示す、ベース３における一点鎖線で囲んだ領域である。
【００１３】
電動アクチュエータ１は、その長手方向がベース３の載置部３ａに沿って延在しており、電動アクチュエータ１によりステージは、電動アクチュエータ１の長手方向であるＸ方向で、往復動するようになっている。
ロッド２は、ベース３の載置部３ａ側の面と略平行に対向して、一端がステージに保持されており、且つ長手方向が、ステージが往復動する方向のＸ方向と直角な方向であるＹ方向に延在している。ロッド２は、ステージに結合して保持されていても良い。
【００１４】
吸引ヘッド４は、製品本体９に貼付けられた接着テープ１０の位置に対応して、ロッド２の長手方向（Ｙ方向）の所定の位置における載置部３ａ方向の側面２ａに、設置されている。
しかし、吸引ヘッド４は、ロッド２のＹ方向と平行な側面であれば、側面２ａの反対側の側面に設置しても良い。
【００１５】
また、吸引ヘッド４は、ベース３の載置部３ａ側の面に対して垂直な方向であるＺ方向に貫通した吸引孔４ａが設けられた筒状体である。
吸引孔４ａは、Ｙ方向の幅Ｗｈが、剥離・吸引される保護フィルム１１のＹ方向の幅Ｗ１、すなわち、保護フィルム１１における剥離されていく方向と直交する方向の幅より広くなっていれば良く、吸引孔４ａの形状は、特に限定されない。
【００１６】
そして、本実施の形態の保護フィルム剥離装置１００において、吸引ヘッド４は、その一端側にある吸引孔４ａのベース３と対向する開口である吸引口４ｂが、保護フィルム１１の剥離時に、接着テープ１０に貼着されている保護フィルム１１の直上に配置されるようになっている。
また、吸引口４ｂのＹ方向の幅は、吸引孔４ａのＹ方向の幅Ｗｈと同じであるが、吸引孔４ａの幅より広くしても良い。
【００１７】
また、吸引ヘッド４の他端側には、フレキシブルな管体であるホース５の一端が接続されており、ホース５の他端が、剥離し回収した保護フィルム１１を溜めておく回収箱６と接続している。
そして、回収箱６は、ホース５が接続された壁面と対向する壁面に、チューブ１２の一端が接続されており、チューブ１２の他端が吸引器７と接続している。
吸引器７は、その作動により、チューブ１２と回収箱６とホース５を介して連通している吸引ヘッド４の吸引口４ｂ周辺に吸引力を発生させる。
【００１８】
チューブ１２の一端が接続される回収箱６の壁面は、ホース５が接続された壁面と対向する壁面に限定されなく、ホース５が接続された壁面以外の壁面であれば良い。
また、ホース５は、少なくとも、吸引ヘッド４が保護フィルム１１の全てを吸込む位置まで移動した場合でも、吸引ヘッド４と回収箱６とを接続できる長さを有している。
【００１９】
また、ベース３における載置部３ａの周縁部には、載置する製品本体９の外周部と当たり、製品本体９を位置決めする、位置決めピン１３が取付けられている。
本実施の形態では、２本の位置決めピン１３が、製品本体９における電動アクチュエータ１側のＸ方向の辺と当たり、１本の位置決めピン１３が、製品本体９におけるロッド２側のＹ方向の辺とに当たるように設けられているが、これに限定されない。
【００２０】
図２は、本発明の実施の形態１に係わる保護フィルム剥離装置の動作機構を説明する図である。
図２では、製品本体９と、製品本体９に貼付けられた、保護フィルム１１を有する接着テープ１０と、吸引ヘッド４のみを示している。
また、本実施の形態では、図１（ａ）に示すように、載置部３ａに設置された製品本体９における電動アクチュエータ側の辺の近傍に、この辺に沿ってＸ方向に延在させて貼付けられた、Ｙ方向の幅がＷ１の細長い接着テープ１０から、保護フィルム１１を剥離し回収する場合を、例示している。
【００２１】
図１に示すように、まず、ステージを、保護フィルム剥離装置１００の動作開始時の位置である、電動アクチュエータ１の長手方向（Ｘ方向）の左端側にもって来て、ロッド２を、製品本体９のＸ方向左端側の辺より、さらに左方に配置する。
次に、ステージに保持されたロッド２の長手方向（Ｙ方向）における、接着テープ１０の位置から保護フィルム１１の剥離が進行する方向の反対側へ延長した線と、交差する位置に吸引ヘッド４を設置する。
【００２２】
すなわち、図２（ａ）に示すように、吸引ヘッド４を製品本体９のＸ方向左端側の辺より、さらに左方に配置する。
この時、吸引ヘッド４の吸引口４ｂの高さ位置が、保護フィルム１１の高さ位置より、わずかに高くなるようにしている。
【００２３】
次に、図２（ｂ）に示すように、吸引器７を起動し、吸引口４ｂ周辺に吸引力を発生させながら、電動アクチュエータ１によりステージを往動させ、吸引ヘッド４を、接着テープ１０の一端側にある保護フィルム非接着部１１ｈの上方まで移動させる。そして、保護フィルム非接着部１１ｈを、吸引口４ｂから吸引ヘッド４内へ吸い込み、保護フィルム１１の接着テープ１０からの剥離を開始させる。
【００２４】
次に、図２（ｃ）に示すように、電動アクチュエータ１でステージを往動させることにより、吸引力により保護フィルム１１が吸引される速度よりも遅い速度で、吸引ヘッド４をＸ方向に平行移動させて、さらに、保護フィルム１１を吸引ヘッド４に吸込み、剥離を進行させる。
【００２５】
次に、図２（ｄ）に示すように、吸引ヘッド４を、接着テープ１０の他端側にある保護フィルム１１の接着部他端の上方まで移動させて、保護フィルム１１を接着テープ１０から全て剥離し、全ての保護フィルム１１を吸引ヘッド４で吸込む。
全て剥離して吸引ヘッド４で吸込まれた保護フィルム１１は、吸引力によりホース５を通り、回収箱６に回収される。
【００２６】
そして、保護フィルム１１の剥離・回収が終わると、ステージを、電動アクチュエータ１で復動させて、電動アクチュエータ１の長手方向（Ｘ方向）の左端側に戻すことにより、吸引ヘッド４を剥離開始前の位置に戻して、新たにセットした製品本体９に貼付けられている接着テープ１０の保護フィルム１１を、剥離し回収することを可能にする。
【００２７】
本実施の形態の保護フィルム剥離装置１００は、吸引ヘッドでの吸引により保護フィルムを剥離する剥離機構が単純なものであり、剥離し吸引された保護フィルムが吸引器側に移動する途中で回収箱に回収される、回収機構と剥離機構とが一体となっているものである。すなわち、装置の構造が単純なものであり、低コスト化が可能である。
また、吸引ヘッドが吸引しながら移動するので、保護フィルムや保護フィルム側面近傍にある製品本体上の異物も除去でき、製品本体の汚染を防止できる。
【００２８】
本実施の形態では、吸引口４ｂの高さ位置が、保護フィルム１１の高さ位置より、わずかに高くなるように吸引ヘッド４を設置しているが、吸引ヘッド４のＸ方向へ移動する軌跡上に、保護フィルムの高さ位置より高い突起物８が製品本体９に設けられている場合は、吸引口４ｂの高さ位置を、突起物８の高さよりわずかに高くすれば良い。
【００２９】
実施の形態２．
図３は、本発明の実施の形態２に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
図３に示すように、本実施の形態の保護フィルム剥離装置２００は、製品本体９に貼付けられたＹ方向の幅が広い、保護フィルム２１を有する接着テープ２０から、保護フィルム２１を剥離し回収するものであり、吸引ヘッド２４が、Ｙ方向が長い長方形断面の筒状体であり、フレキシブルな管体であるホース２５が、厚みが薄く幅が広い扁平断面形状である以外、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様である。
すなわち、吸引ヘッド２４における、吸引孔２４ａと吸引口２４ｂとの形状が、Ｘ方向の幅に比べＹ方向の幅がかなり大きくなっているものである。
【００３０】
本実施の形態の保護フィルム剥離装置２００は、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様な効果を有するとともに、吸引ヘッド２４における、吸引孔２４ａと吸引口２４ｂとのＹ方向の幅Ｗｍおよびホース２５の流路部の幅とが、剥離し吸引される保護フィルム２１のＹ方向の幅Ｗ２より広くなっており、幅の広い保護フィルム２１を、吸引ヘッド２４で剥離・吸引し、ホース２５を通過させて回収箱６に回収できる。
【００３１】
実施の形態３．
図４は、本発明の実施の形態３に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図（ａ）と、側面模式図（ｂ）と、上面模式図および側面模式図に示すＡ領域を矢印Ｂ方向から見た模式図（ｃ）とである。
図４（ｃ）に示すように、本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００は、吸引ヘッド３４が、四角状筒体であり、且つ吸引ヘッド３４のベース３と対向する端部の、Ｘ方向と平行な両側部に、ベース３の方向に突出した突出部３４ｃが設けられている以外、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様である。
【００３２】
すなわち、本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００は、吸引ヘッド３４における、吸引孔３４ａのベース３と対向する開口である吸引口３４ｂのＸ方向と平行な両縁部に、ベース３方向への突出部３４ｃが設けられており、端部の保護フィルムの非接着部を直交させて重ねた状態で、製品本体９に貼付けられた２本の接着テープにおける一方の接着テープの保護フィルムを剥離し回収するものである。
【００３３】
次に、本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００の、製品本体９に貼付けられた２本の接着テープにおける一方の接着テープの保護フィルムを剥離し回収する動作機構について、説明する。
本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００の動作機構を説明するのに用いられる接着テープが貼付けられた製品本体は、図４に示すように、電動アクチュエータ１側のＸ方向の辺に沿って第１の接着テープ３０ａが貼付けられ、ロッド２側のＹ方向の辺に沿って第２の接着テープ３０ｂが貼付けられているものである。
【００３４】
図５は、製品本体に貼付けられた２本の接着テープにおける、保護フィルムの非接着部が直交して重なった端部の状態を示す斜視模式図である。
図５は、図４（ａ）に示すＣ領域を拡大して示している。
図５に示すように、第２の接着テープ３０ｂの保護フィルム（第２の保護フィルムと記す）３１ｂにおける非接着部（第２の保護フィルム非接着部と記す）３１ｉの上に、第１の接着テープ３０ａの保護フィルム（第１の保護フィルムと記す）３１ａにおける非接着部（第１の保護フィルム非接着部と記す）３１ｈが直交して重なっている。
【００３５】
本発明の実施の形態３の保護フィルム剥離装置３００も、まず、ステージを動作開始時の位置にもって来て、ロッド２を製品本体９のＸ方向左端側の辺よりさらに左方に配置する。
次に、ロッド２の長手方向（Ｙ方向）における、第１の接着テープ３０ａの位置から第１の保護フィルム３１ａの剥離が進行する方向の反対側へ延長した線と、交差する位置に吸引ヘッド３４を設置する。
次に、吸引ヘッド３４の吸引口３４ｂ周辺に吸引力を発生させながら、吸引ヘッド３４を第１の保護フィルム非接着部３１ｈの上部まで移動させる。
【００３６】
図６は、本実施の形態の保護フィルム剥離装置の吸引ヘッドで、第１の保護フィルム非接着部を吸引している状態を示す図である。
図６に示すように、吸引口３４ｂ周辺に吸引力を発生させながら、吸引ヘッド３４が、第１の保護フィルム非接着部３１ｈの上にくると、第１の保護フィルム非接着部３１ｈが、吸引口３４ｂから吸引ヘッド３４内へ吸い込まれる。
この時、第２の保護フィルム非接着部３１ｉも、吸引ヘッド３４で吸引され、吸引ヘッド３４方向に持ち上がる。
【００３７】
しかし、本実施の形態の吸引ヘッド３４では、吸引口３４ｂのＸ方向と平行な両縁部、すなわち、吸引口３４ｂの第２の接着テープ３０ｂの長手方向と交差する両縁部に、ベース３方向への突出部３４ｃが設けられているので、この突出部３４ｃにより、第２の保護フィルム非接着部３１ｉが、吸引口３４ｂから吸引ヘッド３４内へ吸い込まれるのが防止される。
【００３８】
本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００は、吸引ヘッド３４に第１の保護フィルム非接着部３１ｈのみが吸い込まれるので、実施の形態１と同様な電動アクチュエータ１によるステージの往動で、吸引ヘッド３４をＸ方向に平行移動させることにより、第１の保護フィルム３１ａのみを剥離し回収する。
【００３９】
本実施の形態の保護フィルム剥離装置３００は、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様な効果を有するとともに、交差して貼付けられた２本の接着テープの内、その長手方向が吸引ヘッドの移動方向と平行である一方の接着テープの保護フィルムのみを剥離し回収できる。
残った他方の接着テープの保護フィルムの剥離・回収も、他方の接着テープの長手方向が吸引ヘッドの移動方向と平行になるように、製品本体をベースにセットすることにより、一方の接着テープの保護フィルムの剥離・回収と同様にして行える。
【００４０】
実施の形態４．
図７は、本発明の実施の形態４に係わる保護フィルム剥離装置の上面模式図である。
図７に示すように、本実施の形態の保護フィルム剥離装置４００は、ロッド４２が、その長手方向（Ｙ方向）に移動可能にステージに保持されるとともに、ステージに保持されたロッド４２を長手方向（Ｙ方向）で往復動さす電動アクチュエータ（図示せず）が設けられている以外、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様である。
【００４１】
本実施の形態の保護フィルム剥離装置４００は、ステージをＸ方向で往復動させる電動アクチュエータ１と、ロッド４２を長手方向（Ｙ方向）に移動可能に保持するステージと、ロッド４２をＹ方向で往復動させる電動アクチュエータとを備えているので、両電動アクチュエータを作動させることにより、ロッド４２に設置された吸引ヘッド４を、製品本体９の面と平行な面内の所望の位置に移動できる。
本実施の形態の保護フィルム剥離装置４００は、実施の形態１の保護フィルム剥離装置１００と同様な効果を有するとともに、図７に示す、螺旋形状に貼付けられた接着テープ４０に設けられた保護フィルム４１であっても、剥離し回収することができる。
【００４２】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明に係わる保護フィルム剥離装置は、単純な構造であり低コスト化を実現できるとともに、製品本体の汚染防止が可能であるので、製造コストの低減と歩留まり向上とが要求される光学部品の製造に用いられる。
【符号の説明】
【００４４】
１  電動アクチュエータ、２  ロッド、２ａ  側面、３  ベース、３ａ  載置部、
４  吸引ヘッド、４ａ  吸引孔、４ｂ  吸引口、５  ホース、６  回収箱、７  吸引器、
８  突起物、１０  接着テープ、１１  保護フィルム、１１ｈ  保護フィルム非接着部、
１２  チューブ、１３  位置決めピン、２０  接着テープ、２１  保護フィルム、
２４  吸引ヘッド、２４ａ  吸引孔、２４ｂ  吸引口、２５  ホース、
３０ａ  第１の接着テープ、３０ｂ  第２の接着テープ、３１ａ  第１の保護フィルム、
３１ｂ  第２の保護フィルム、３１ｈ  第１の保護フィルム非接着部、
３１ｉ  第２の保護フィルム非接着部、３４  吸引ヘッド、３４ａ  吸引孔、
３４ｂ  吸引口、３４ｃ  突出部、４０  接着テープ、４１  保護フィルム、
４２  ロッド、１００，２００，３００，４００  保護フィルム剥離装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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