(57)【要約】【課題】構成要素を殆ど変更することなく、干渉縞の生じる範囲を精度良く決定できる干渉測定方法、コンピュータプログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び干渉測定装置を提供する。【解決手段】演算部ＣＡＬＣが、コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を測定範囲候補として抽出し、測定範囲候補より干渉縞測定範囲を精度良く決定することができるから、人の目に頼らない測定の自動化を推進できる。又、従来から得られていたデータの処理だけで対応できるから、特別な装置や工程を付加することなく、低コストを維持できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
参照体から射出する参照光束の波面と、被測定物から反射又は透過により射出する検査光束の波面とがなす干渉縞を撮像素子にて検出する干渉測定方法において、
前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得するステップと、
前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求めるステップと、
前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成するステップと、
前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出するステップと、
前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するステップと、
前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定するステップとを有することを特徴とする干渉測定方法。
【請求項２】
前記干渉縞測定範囲を決定するステップが、前記ハフ変換の得票値を、前記所与の形状を前記干渉縞測定範囲候補に合わせて変形させた形状の外周長さで割った値が最大のものを、干渉縞測定範囲として決定するものであることを特徴とする請求項１に記載の干渉測定方法。
【請求項３】
前記ハフ変換の投票範囲を所定のＸＹ座標範囲に限定することを特徴とする請求項１又は２に記載の干渉測定方法。
【請求項４】
前記所与の形状が円形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の干渉測定方法。
【請求項５】
前記円形状の半径が所定の範囲内に限定されていることを特徴とする請求項４に記載の干渉測定方法。
【請求項６】
参照体から射出する参照光束の波面と、被測定物から反射又は透過により射出する検査光束の波面とがなす干渉縞を撮像素子にて検出するために、
前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得するステップと、
前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求めるステップと、
前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成するステップと、
前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出するステップと、
前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するステップと、
前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定するステップとを、コンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項７】
請求項６に記載のコンピュータプログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項８】
光束を出射する光源と、前記光源から出射された光束を第１の光路と第２の光路とに分岐するビームスプリッタと、前記第１の光路内に配置された参照ミラーと、撮像素子と、前記撮像素子からの信号を入力する演算手段とを有し、前記第２の光路内に被測定物が配置されており、前記光源から出射された光束が前記ビームスプリッタで分岐された後、前記第２の光路に沿って進行する光束は、前記被測定物に入射した後に反射し、検査光束として再び前記ビームスプリッタに戻り、一方、前記第１の光路に沿って進行する光束は、前記参照ミラーを介して反射し、参照光束として再び前記ビームスプリッタに戻り、前記ビームスプリッタで重ね合わされた光束が前記撮像素子に入射して、それに対応した信号が前記演算手段に入力されるようになっている干渉測定装置において、
前記演算手段は、前記参照ミラーを光軸方向に移動させることにより、前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得し、前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求め、前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成し、前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出し、前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出し、前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定することを特徴とする干渉測定装置。
【請求項９】
前記ハフ変換の得票値を、前記所与の形状を前記干渉縞測定範囲候補に合わせて変形させた形状の外周長さで割った値が最大のものを、干渉縞測定範囲として決定することを特徴とする請求項８に記載の干渉測定装置。
【請求項１０】
前記ハフ変換の投票範囲を所定のＸＹ座標範囲に限定することを特徴とする請求項８又は９に記載の干渉測定装置。
【請求項１１】
前記干渉縞測定範囲形状が円形状であることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の干渉測定装置。
【請求項１２】
前記円形状の半径が所定の範囲内に限定されていることを特徴とする請求項１１に記載の干渉測定装置。
【請求項１３】
前記被測定物と前記撮像素子の間の光路内に光束を絞る絞り手段を設けていないことを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記載の干渉測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に光学素子などの収差を測定するのに好適な干渉測定方法、コンピュータプログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び干渉測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ピックアップ装置において、レーザ光源から出射された光束を光ディスクの情報記録面に集光するために対物レンズが用いられているが、その光学面は高精度な形状で形成されている。特に近年では、レーザ光源の短波長化が進み、例えば、青紫色半導体レーザ等、波長３９０〜４２０ｎｍのレーザ光源が実用化されている。これら青紫色レーザ光源を使用すると、ＤＶＤ（デジタルバーサタイルディスク）と同じ開口数（ＮＡ）の対物レンズを使用する場合で、直径１２ｃｍの光ディスクに対して、１５〜２０ＧＢの情報の記録が可能となり、対物光学素子のＮＡを０．８５にまで高めた場合には、直径１２ｃｍの光ディスクに対して、２３〜２５ＧＢの情報の記録が可能となる。特に、このように高ＮＡの対物レンズでは、製品の収差性能が厳しい要求値を満たしているか検査する必要がある。
【０００３】
光学素子の収差状態を検査する検査技術としては、被測定物からの反射光と、参照ミラーからの反射光とを結合して、得られる干渉縞から収差を検出するものが知られている。ここで、干渉縞が生じる範囲は、検査光束と被測定物の相対位置によって変化するので、従来は人間の目で干渉縞を目視して、測定領域を決定していた。しかしながら、測定の効率化を図るためには、人間の目に頼ることなく機械的に測定領域を決定できると好ましい。ところが、被測定物を精度良く機械的に保持することには限界があるから、検査光束に対して被測定物を常に同じ位置に置くことは困難である。
【０００４】
これに対し特許文献１には、フリンジスキャン干渉法にて被検光束と参照光束との位相差を変化させ、撮像素子から出力されるデータを参照し、前記位相差の変化に伴う前記撮像素子上の輝度変化を正弦的に近似し、その輝度変化の振幅の前記撮像素子上の分布を前記データに基づいて算出し、前記振幅が所定値以上となる高振幅領域を前記分布から求め、その高振幅領域を前記撮像素子上で前記干渉縞の形成される有効測定領域と判定する光学素子等の干渉測定方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３６１１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１の問題点の一つは、被測定物である光学素子の外周に何らかの欠損等があると、高振幅領域の位置が欠損と反対方向にシフトする傾向があるため、有効測定領域を誤判定する恐れがある。これに対して、何らかの手段により光学素子の外形を検出することにより有効測定領域を推定する装置を別個に設けることも可能であるが、それにより測定装置のコスト高を招くこととなる。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決することを目的としたものであり、従来の測定装置に対して、構成要素を殆ど変更することなく、干渉縞の生じる範囲を精度良く決定できる干渉測定方法、コンピュータプログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び干渉測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の干渉測定方法は、参照体から射出する参照光束の波面と、被測定物から反射又は透過により射出する検査光束の波面とがなす干渉縞を撮像素子にて検出する干渉測定方法において、
前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得するステップと、
前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求めるステップと、
前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成するステップと、
前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出するステップと、
前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するステップと、
前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定するステップとを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するので、被測定物や画像に何らかの欠損があった場合でも、干渉縞測定範囲として精度良く決定することができる。又、従来から得られていたデータの処理だけで対応できるから、特別な装置を付加することなく、低コストを維持できる。ここで、ハフ変換は下記非特許文献１に示す一般化ハフ変換を含み、所与の形状は任意の形状であって構わない。また、ハフ変換の投票値としてコントラストエッジ画像の明度を用いるものとする。但し、ある閾値を設けて、閾値より明るい部分を１，暗い部分を０としてコントラストエッジ画像の明度を重み付けしても良い。
非特許文献１：Ballard, D.H., "Generalizing the Hough transform to detect arbitrary shapes," Pattern Recognition 13, 2, April 1981
【００１０】
請求項２に記載の干渉測定方法は、請求項１に記載の発明において、前記干渉縞測定範囲を決定する方法が、前記ハフ変換の得票値を、前記所与の形状を前記干渉縞測定範囲候補に合わせて変形させた形状の外周長さで割った値が最大のものを、干渉縞測定範囲として決定するものであることを特徴とする。
【００１１】
通常のハフ変換では、抽出された候補の内、得票値が最も高いものを選択する方法をとるが、この方法ではエッジがあまり鋭くなくてもより大きい形状の候補で得票値が高くなるため、誤った選択をしてしまう可能性がある。そこで、ハフ変換の得票値を干渉縞測定範囲形状の外周長さで割った値が最大のものを選択することで、よりエッジの鋭い形状を選択することができ、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することが出来る。
【００１２】
請求項３に記載の干渉測定方法は、請求項１又は２に記載の発明において、前記ハフ変換の投票範囲を所定のＸＹ座標範囲に限定することを特徴とする。
【００１３】
このように投票範囲を限定することで、効率良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。また、所定のＸＹ座標範囲は、前記コントラスト画像の重心を中心としたＸＹ座標範囲に設定すると、投票範囲を精度良く画像に合致させることが可能となる。ここで言う「コントラスト画像の重心」とは、位置をコントラスト画像における各座標とみなし、質量を明度と置き換えた場合に、その１次モーメントが釣り合う点を指すが、ＸＹ座標範囲の中心は重心以外にも画像の位置を示すような点であれば良い。
【００１４】
請求項４に記載の干渉測定方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記干渉縞測定範囲形状が円形状であることを特徴とする。
【００１５】
このように前記干渉縞測定範囲形状を円形状とすることで、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。
【００１６】
請求項５に記載の干渉測定方法は、請求項４に記載の発明において、前記円形状の半径が所定の範囲内に限定されていることを特徴とする。
【００１７】
このように前記円形状の半径を所定の範囲内に限定することで、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。
【００１８】
請求項６に記載のコンピュータプログラムは、参照体から射出する参照光束の波面と、被測定物から反射又は透過により射出する検査光束の波面とがなす干渉縞を撮像素子にて検出するために、
前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得するステップと、
前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求めるステップと、
前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成するステップと、
前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出するステップと、
前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するステップと、
前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定するステップとを、コンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するので、被測定物や画像に何らかの欠損があった場合でも、干渉縞測定範囲として精度良く決定することができる。又、従来から得られていたデータの処理だけで対応できるから、特別な装置を付加することなく、低コストを維持できる。
【００２０】
請求項７に記載のコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、請求項６に記載のコンピュータプログラムを記録したことを特徴とする。
【００２１】
請求項８に記載の干渉測定装置は、光束を出射する光源と、前記光源から出射された光束を第１の光路と第２の光路とに分岐するビームスプリッタと、前記第１の光路内に配置された参照ミラーと、撮像素子と、前記撮像素子からの信号を入力する演算手段とを有し、前記第２の光路内に被測定物が配置されており、前記光源から出射された光束が前記ビームスプリッタで分岐された後、前記第２の光路に沿って進行する光束は、前記被測定物に入射した後に反射し、検査光束として再び前記ビームスプリッタに戻り、一方、前記第１の光路に沿って進行する光束は、前記参照ミラーを介して反射し、参照光束として再び前記ビームスプリッタに戻り、前記ビームスプリッタで重ね合わされた光束が前記撮像素子に入射して、それに対応した信号が前記演算手段に入力されるようになっている干渉測定装置において、
前記演算手段は、前記参照ミラーを光軸方向に移動させることにより、前記参照光束と前記検査光束との位相差を変化させて、前記測定物上の複数点における位相情報を取得し、前記位相情報に基づいて、前記撮像素子の受光面上における座標毎に輝度変化を求め、前記各座標の輝度変化から、コントラスト画像を形成し、前記コントラスト画像に基づいて、コントラストエッジ画像を抽出し、前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出し、前記干渉縞測定範囲候補より干渉縞測定範囲を決定することを特徴とする。
【００２２】
本発明によれば、前記演算手段が、前記コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を干渉縞測定範囲候補として抽出するので、被測定物や画像に何らかの欠損があった場合でも、干渉縞測定範囲として精度良く決定することができる。又、従来から得られていたデータの処理だけで対応できるから、特別な装置を付加することなく、低コストを維持できる。
【００２３】
請求項９に記載の干渉測定装置は、請求項８に記載の発明において、前記干渉縞測定範囲を決定する方法が、前記ハフ変換の得票値を、前記所与の形状を前記干渉縞測定範囲候補に合わせて変形させた形状の外周長さで割った値が最大のものを、干渉縞測定範囲として決定することを特徴とする。
【００２４】
このようにハフ変換の得票値を干渉縞測定範囲形状の外周長さで割った値が最大のものを干渉縞測定範囲とすることで、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することが出来る。
【００２５】
請求項１０に記載の干渉測定装置は、請求項８又は９に記載の発明において、前記ハフ変換の投票範囲を所定のＸＹ座標範囲に限定することを特徴とする。
【００２６】
このように投票範囲を限定することで、効率良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。
【００２７】
請求項１１に記載の干渉測定装置は、請求項８〜１０のいずれかに記載の発明において、前記干渉縞測定範囲形状が円形状であることを特徴とする。
【００２８】
このように前記干渉縞測定範囲形状を円形状とすることで、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。
【００２９】
請求項１２に記載の干渉測定装置は、請求項１１に記載の発明において、前記円形状の半径が所定の範囲内に限定されていることを特徴とする。
【００３０】
このように前記円形状の半径を所定の範囲内に限定することで、より精度良く干渉縞測定範囲を決定することができ、更に、探索速度を向上させることが可能となる。  
【００３１】
請求項１３に記載の干渉測定装置は、請求項８〜１２のいずれかに記載の発明において、前記被測定物と前記撮像素子の間の光路内に光束を絞る絞り手段を設けていないことを特徴とする。
【００３２】
本発明によれば、前記演算手段内の処理により干渉縞測定範囲を決定できるので、別個に絞り手段等を設ける必要はなく、簡素な構成を実現できる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、従来の測定装置に対して、構成要素を殆ど変更することなく、干渉縞の生じる範囲を精度良く決定できる干渉測定方法、コンピュータプログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び干渉測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施の形態にかかる干渉測定装置の概略図である。
【図２】本実施の形態の干渉測定方法を示すフローチャートである。
【図３】（ａ）はコントラスト画像の例を示す図、（ｂ）はコントラストエッジ画像を示す図、（ｃ）はコントラストエッジ画像上に測定範囲を示す円を描いた図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる干渉測定装置の概略図である。図１において、干渉測定装置ＩＭＤは、光束を出射する半導体レーザである光源ＬＤと、コリメータＣＯＬと、光源ＬＤから出射された光束を、第１の光路と第２の光路とに分岐するビームスプリッタＢＳと、第１の光路内に移動可能に配置された参照ミラーＲＭと、被測定物である対物レンズＯＢＪの背面側に配置された凹状の背面ミラーＢＭと、結像レンズＬＳと、撮像素子ＣＣＤと、撮像素子ＣＣＤからの信号を入力するコンピュータである演算部（演算手段）ＣＡＬとを有する。尚、本実施の形態では、対物レンズＯＢＪと撮像素子ＣＣＤとの間の光路内に、絞り部材（絞り手段）は設けられていない。又、被測定物である対物レンズＯＢＪは、光学面に輪帯状の回折構造を有しているものとする。
【００３６】
測定動作を説明すると、光源ＬＤから出射された発散光束は、コリメータＣＯＬで平行光束に変換され、ビームスプリッタＢＳに入射する。ビームスプリッタＢＳは、光源ＬＤから出射された光束を、第１の光路と第２の光路とに分岐して出射する。ビームスプリッタＢＳを通過した光束は、第１の光路に沿って進行し、第１の光路内に配置された参照ミラーＲＭに入射し、ここで反射され、参照光束として再びビームスプリッタＢＳに入射する。
【００３７】
一方、ビームスプリッタＢＳで反射された光束は、第２の光路に沿って進行し、第２の光路内に配置された対物レンズＯＢＪに入射し、これを透過して平行平板ＦＰを通過し、背面ミラーＢＭで反射した後、再度平行平板ＦＰを通過して、対物レンズＯＢＪを透過し、検査光束として再びビームスプリッタＢＳに入射する。
【００３８】
参照光束と検査光束は、ビームスプリッタＢＳで結合されて干渉光となるが、このとき参照光束の波面と検査光束の波面とが重なり合って干渉縞を発生させる。かかる干渉光は、結像レンズＬＳを介して撮像素子ＣＣＤの受光面に受光され、これに応じた信号が演算部ＣＡＬＣに入力されるようになっている。よって、演算部ＣＡＬＣは入力信号に基づいて、形成された干渉縞を解析することで、対物レンズＯＢＪの光学面が設計通りに形成されているか否かを判別できる。
【００３９】
ここで、判別に当たって、演算部ＣＡＬＣは、撮像素子ＣＣＤの受光面上で、いかなる範囲が測定領域かを判別しなくてはならない。即ち、対物レンズＯＢＪにおける光学面以外のフランジ部などを通過した光束は、適切な干渉縞を発生させないため、フランジ部などを通過した光束を測定領域として決定すると、対物レンズＯＢＪの検査を正しく行うことが出来ない。しかしながら、対物レンズＯＢＪ毎に人間の目で干渉縞のある範囲を測定領域として決定するのでは、時間がかかるため検査の効率を図れない。そこで、本実施の形態では、以下のようにして測定領域を決定している。尚、以下のような演算部ＣＡＬＣの動作は、コンピュータにより読み込み可能な記録媒体ＤＶＤに記録されたコンピュータプログラムにより実行される。
【００４０】
演算部ＣＡＬＣで行う処理（干渉測定方法）を、図２のフローチャートを参照して説明する。まず、ステップＳ１０１において、測定範囲の形状を予め外部より取得しておく。本実施の形態では、測定範囲の形状は円とする。
【００４１】
次に、ステップＳ１０２において、不図示の駆動手段により、参照ミラーＲＭを光軸方向に移動させると、参照光と検査光束との位相差が変わるので、それに応じて撮像素子ＣＣＤに受光される干渉縞が変化する（シフトする）こととなる。これをフリンジスキャンといい、これにより演算部ＣＡＬＣが得る情報が位相情報である。
【００４２】
フリンジスキャンにより変化する干渉縞を撮像素子ＣＣＤで撮像すると、各画素の座標毎に正弦状態の輝度変化が生じるので、演算部ＣＡＬＣは、撮像素子ＣＣＤの受光面上の画素座標毎に輝度変化を求める。
【００４３】
次いで、ステップＳ１０３で、演算部ＣＡＬＣは、画素座標毎に求めた輝度変化に基づいて、コントラスト画像を形成する。コントラスト画像とは、輝度変化が大きな画素は明るく表示し、輝度変化が小さいか全く起きない画素は暗く表示したものであり、図３（ａ）に例を示す。つまり対物レンズＯＢＪの光学面を通過した光束のみが、フリンジスキャンにより大きな輝度変化を生じるので、図３（ａ）に示すように、光学面を通過した光束については明るく表示され、フランジ部を通過した光束は暗く表示される。尚、光学面の回折構造の輪帯境界部では輝度変化があまり生じない場合が多い。
【００４４】
更にステップＳ１０４で、演算部ＣＡＬＣは、コントラスト画像からコントラストエッジ画像を抽出する。コントラストエッジ画像とは、コントラスト画像における明暗の境界を輪郭付けしたものであり、図３（ｂ）に例を示す。ここで、コントラストエッジ画像としては、対物レンズの光学面とフランジ部との境界、及び回折構造の輪帯境界部等が明るく表示される。これを明円部という。コントラストエッジ画像の明円部の円周上に当たる画素の明度は、周囲より高くなる。
【００４５】
次いで、ステップＳ１０５で、演算部ＣＡＬＣは、コントラスト画像の重心を求めて、これを中心とした所定のＸＹ座標の範囲をハフ変換の投票範囲として定める。又、ステップ１０６で、演算部ＣＡＬＣは、所定の半径の範囲をハフ変換の投票範囲として定める。
【００４６】
その後、ステップＳ１０７で、演算部ＣＡＬＣは、コントラストエッジ画像をハフ（Ｈｏｕｇｈ）変換することで、明円部を測定範囲候補として抽出する。図３（ｂ）の様にコントラスト画像に複数の明円部が存在し、かつそれぞれの明円部がハフ変換の投票範囲内であった場合、ハフ変換後にそれぞれの明円部が測定範囲候補として抽出され、独自の得票値を持つことになる。
【００４７】
そして、ステップＳ１０８で、演算部ＣＡＬＣは、測定範囲候補の内「ハフ変換の得票値÷円周長さ」が最大のものを測定範囲として決定する。図３（ｃ）では、測定範囲として決定された明円部を点線で示している。
【００４８】
本実施の形態によれば、演算部ＣＡＬＣが、コントラストエッジ画像に対して、ハフ変換を行うことで所与の形状を測定範囲候補として抽出し、測定範囲候補より干渉縞測定範囲を精度良く決定することができるから、人の目に頼らない測定の自動化を推進できる。又、従来から得られていたデータの処理だけで対応できるから、特別な装置や工程を付加することなく、低コストを維持できる。
【００４９】
本発明は、明細書に記載の実施例に限定されるものではなく、他の実施例・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施例や思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施例は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。例えば被測定物は対物レンズに限られない。又、背面ミラーを設けず、対物レンズの光学面からの反射光を検査光束として用いても良い。
【符号の説明】
【００５０】
ＢＭ 背面ミラー
ＢＳ ビームスプリッタ
ＣＡＬＣ 演算部
ＣＣＤ 撮像素子
ＣＯＬ コリメータ
ＦＰ 平行平板
ＩＭＤ 干渉測定装置
ＬＤ 光源
ＬＳ 結像レンズ
ＯＢＪ 対物レンズ
ＲＭ 参照ミラー
【図１】
2013210282.tif 000003
【図２】
2013210282.tif 000004
【図３】
2013210282.tif 000005