(57)【要約】【課題】第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数の振動に対する防振効果を、優れた信頼性で安定して得ることのできる、新規な構造の流体封入式防振装置を提供すること。【解決手段】仕切部材４２の主液室５８側に弾性隔壁６２が配設されて、弾性隔壁６２と仕切部材４２の対向面間に空気室１０８が形成されており、仕切部材４２に形成された連通路１１０の一方の端部が空気室１０８への連通口とされていると共に、連通路１１０の他方の端部が大気への開放口１２２とされて、連通路１１０の開放口１２２が可撓蓋体１２４によって覆蓋されている。【選択図】図１
2013029142.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の取付部材と第２の取付部材が本体ゴム弾性体によって弾性連結されていると共に、該第２の取付部材によって支持された仕切部材を挟んで一方の側に壁部の一部が該本体ゴム弾性体で構成された主液室が形成されていると共に、他方の側に壁部の一部が可撓性膜で構成された副液室が形成されており、それら主液室と副液室を相互に連通する第１のオリフィス通路が形成されている流体封入式防振装置において、
前記仕切部材の前記主液室側に弾性隔壁が配設されて、該弾性隔壁と該仕切部材の対向面間に空気室が形成されており、該仕切部材に形成された連通路の一方の端部が該空気室への連通口とされていると共に、該連通路の他方の端部が大気への開放口とされて、該連通路の該開放口が可撓蓋体によって覆蓋されていることを特徴とする流体封入式防振装置。
【請求項２】
前記可撓蓋体が環状ゴム帯とされていると共に、前記連通路の前記開放口が前記仕切部材の外周面に開口しており、該環状ゴム帯が該仕切部材の外周に装着されて該開放口が該環状ゴム帯で覆われている請求項１に記載の流体封入式防振装置。
【請求項３】
大気に対して前記可動蓋体で仕切られた内部空間が形成されていると共に、前記連通路の前記開放口が該内部空間に開口されており、該内部空間と前記空気室が該連通路を通じて相互に連通されている請求項１又は２に記載の流体封入式防振装置。
【請求項４】
前記可撓蓋体が前記連通路の前記開放口から外側に向かって凸とされており、該可撓蓋体と該開放口の間に前記内部空間が形成されている請求項３に記載の流体封入式防振装置。
【請求項５】
前記主液室には隔壁部材が配設されており、該主液室が該隔壁部材を挟んで二分されて、壁部の一部が前記本体ゴム弾性体で構成された受圧室と、壁部の一部が前記弾性隔壁で構成された中間室とが、該隔壁部材を挟んで形成されていると共に、それら受圧室と中間室とを連通する第２のオリフィス通路が形成されて、該第２のオリフィス通路が前記第１のオリフィス通路よりも高周波数にチューニングされている請求項１〜４の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
【請求項６】
前記隔壁部材が可動部材を含んで構成されており、該可動部材の一方の面に前記受圧室の液圧が及ぼされていると共に、該可動部材の他方の面に前記中間室の液圧が及ぼされている請求項５に記載の流体封入式防振装置。
【請求項７】
前記仕切部材には空気管路接続用ポートが設けられており、前記連通路の前記開放口が該空気管路接続用ポートによって構成されている請求項１〜６の何れか１項に記載の流体封入式防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば自動車のエンジンマウント等に用いられる防振装置に係り、特に内部に封入された流体の流動作用等に基づいた防振効果を利用する流体封入式防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、パワーユニットと車両ボデー等の振動伝達系を構成する部材間に介装されて、それら部材を相互に防振連結乃至は防振支持する防振装置が知られている。防振装置は、振動伝達系を構成する一方の部材に取り付けられる第１の取付部材と、振動伝達系を構成する他方の部材に取り付けられる第２の取付部材とが、本体ゴム弾性体によって弾性連結された構造を有しており、自動車のエンジンマウント等として採用されている。
【０００３】
また、防振装置の一種として、内部に非圧縮性流体が封入された流体封入領域が設けられており、流体の共振作用等の流動作用に基づいて防振効果が発揮されるようにした流体封入式防振装置も知られている。この流体封入式防振装置は、第２の取付部材によって支持される仕切部材を挟んだ両側に、壁部の一部が本体ゴム弾性体で構成された主液室と、壁部の一部が可撓性膜で構成された副液室が形成されていると共に、それら主液室と副液室を相互に連通する第１のオリフィス通路が形成された構造を有している。
【０００４】
ところで、流体封入式防振装置では、第１のオリフィス通路がチューニングされた周波数領域の入力振動に対して、流体の流動作用に基づく優れた防振効果が発揮される一方で、チューニング周波数を外れた入力振動に対しては、有効な防振効果が得られ難いという問題がある。特に、チューニング周波数よりも高周波数域では、反共振による第１のオリフィス通路の実質的な遮断によって、高動ばね化が問題になる。そこで、仕切部材における主液室の壁部の一部を構成する部分に弾性隔壁が設けられると共に、弾性隔壁を挟んで主液室と反対側に空気室が形成されており、空気室が連通路を通じて大気に開放された構成が採用される場合もある（特開２０１０−４８３５０号公報（特許文献１）参照）。これによれば、弾性隔壁の弾性変形が、大気に開放された空気室によって充分に許容されて、振動入力による主液室の内圧変動が弾性隔壁の弾性変形によって吸収されることから、第１のオリフィス通路の実質的な遮断による高動ばね化が抑えられる。
【０００５】
しかし、このように空気室が連通路を通じて大気に開放されていると、防振装置の装着状況等によっては、連通路の大気側開口部から砂礫や塵埃等の異物が侵入するおそれがあった。特に、連通路の経路上に断面積の小さな部分があると、侵入した異物が連通路を塞いで遮断することにより、目的とする防振性能が発揮され難くなるといった不具合が生じるおそれもあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−４８３５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上述の事情を背景に為されたものであって、その解決課題は、第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数の振動に対する防振効果を、優れた信頼性で安定して得ることのできる、新規な構造の流体封入式防振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明の第１の態様は、第１の取付部材と第２の取付部材が本体ゴム弾性体によって弾性連結されていると共に、該第２の取付部材によって支持された仕切部材を挟んで一方の側に壁部の一部が該本体ゴム弾性体で構成された主液室が形成されていると共に、他方の側に壁部の一部が可撓性膜で構成された副液室が形成されており、それら主液室と副液室を相互に連通する第１のオリフィス通路が形成されている流体封入式防振装置において、前記仕切部材の前記主液室側に弾性隔壁が配設されて、該弾性隔壁と該仕切部材の対向面間に空気室が形成されており、該仕切部材に形成された連通路の一方の端部が該空気室への連通口とされていると共に、該連通路の他方の端部が大気への開放口とされて、該連通路の該開放口が可撓蓋体によって覆蓋されていることを、特徴とする。
【０００９】
このような第１の態様に従う構造の流体封入式防振装置によれば、連通路の開放口が可撓蓋体によって覆われていることによって、砂礫や塵埃等の異物が連通路および空気室に侵入するのを防ぐことができる。それ故、連通路の異物による狭窄や遮断等の不具合が回避されることから、空気室の圧力が略大気圧に維持されて、弾性隔壁の弾性変形が安定して許容される。その結果、第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数の入力振動に対して、弾性隔壁の変形による液圧吸収作用に基づいた防振効果が、有効に発揮される。
【００１０】
しかも、可撓蓋体が可撓性を有していることによって、連通路の開放口が可撓蓋体によって覆蓋されていても、可撓蓋体の変形によって空気室の圧力は略大気圧に維持される。それ故、弾性隔壁の弾性変形が、連通路の開放口が覆蓋されることなく大気に連通されている場合に比して、同程度に許容されて、液圧吸収作用に基づく防振効果を有効に得ることができる。
【００１１】
なお、可撓蓋体の弾性を調節することによって、空気室の容積変化に対する空気室の圧力変動の特性をコントロールして、防振特性（第１のオリフィス通路がチューニングされた周波数領域の振動に対する防振性能と、第１のオリフィス通路がチューニングされた周波数領域よりも高周波数の振動に対する防振性能のバランス等）を調節することもでき得る。
【００１２】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載された流体封入式防振装置において、前記可撓蓋体が環状ゴム帯で形成されていると共に、前記連通路の前記開放口が前記仕切部材の外周面に開口しており、該環状ゴム帯が該仕切部材の外周に装着されて該開放口が該環状ゴム帯で覆われているものである。
【００１３】
第２の態様によれば、環状ゴム帯は、それ自体の弾性によって仕切部材に対して簡易に位置決めされることから、仕切部材の所定位置への装着作業を容易に行うことができる。また、環状ゴム帯をそれ自体の弾性によって仕切部材の外周に密着させることによって、連通路の開放口を接着等の手段を用いることなくある程度のシール性をもって覆蓋することもできる。
【００１４】
本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様に記載された流体封入式防振装置において、大気に対して前記可動蓋体で仕切られた内部空間が形成されていると共に、前記連通路の前記開放口が該内部空間に開口されており、該内部空間と前記空気室が該連通路を通じて相互に連通されているものである。
【００１５】
第３の態様によれば、連通路の開放口が内部空間に開口していることによって、連通路の開放口と可撓蓋体が所定の距離を隔てて配置されることから、可撓蓋体の変形が内部空間によって充分に許容される。それ故、内部空間が可撓蓋体の変形によって略大気圧に維持されて、連通路を通じて内部空間と連通される空気室が略大気圧に維持されることにより、弾性隔壁の弾性変形が空気室の圧力で阻害されることなく許容される。その結果、弾性隔壁の弾性変形による液圧吸収作用が有効に発揮されて、第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数の振動入力に対して、目的とする防振効果（低動ばね効果）を得ることができる。
【００１６】
本発明の第４の態様は、第３の態様に記載された流体封入式防振装置において、前記可撓蓋体が前記連通路の前記開放口から外側に向かって凸とされており、該可撓蓋体と該開放口の間に前記内部空間が形成されているものである。
【００１７】
第４の態様によれば、可撓蓋体が外側に向かって凸形状とされて弛みを有していることにより、弾性隔壁の弾性変形時に可撓蓋体の変形がより容易に生じて、空気室の圧力変化が抑えられる。また、空気室の容積が増大するように弾性隔壁が変形した場合には、可撓蓋体が外側に向かって凸形状であることによって、可撓蓋体が連通路の開放口に密着するのが防止されて、可撓蓋体の変形が充分に許容されることにより空気室の圧力が略大気圧に維持される。
【００１８】
本発明の第５の態様は、第１〜第４の何れか１つの態様に記載された流体封入式防振装置において、前記主液室には隔壁部材が配設されており、該主液室が該隔壁部材を挟んで二分されて、壁部の一部が前記本体ゴム弾性体で構成された受圧室と、壁部の一部が前記弾性隔壁で構成された中間室とが、該隔壁部材を挟んで形成されていると共に、それら受圧室と中間室とを連通する第２のオリフィス通路が形成されて、該第２のオリフィス通路が前記第１のオリフィス通路よりも高周波数にチューニングされているものである。
【００１９】
第５の態様によれば、第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数の振動の入力に対して、第２のオリフィス通路を通じて受圧室と中間室の間で流体流動が生じることにより、流体の流動作用に基づいた防振効果が発揮される。また、中間室の壁部の一部が弾性隔壁によって構成されており、弾性隔壁の弾性変形が空気室によって許容されていることから、振動の入力時に受圧室と中間室の間で相対的な圧力差が効率的に生じて、第２のオリフィス通路を通じた流体流動が有効に惹起される。
【００２０】
本発明の第６の態様は、第５の態様に記載された流体封入式防振装置において、前記隔壁部材が可動部材を含んで構成されており、該可動部材の一方の面に前記受圧室の液圧が及ぼされていると共に、該可動部材の他方の面に前記中間室の液圧が及ぼされているものである。
【００２１】
第６の態様によれば、第２のオリフィス通路のチューニング周波数よりも更に高周波数の振動に対して、可動部材の変位や変形による液圧伝達作用によって、受圧室と中間室が実質的に連通される。それ故、高周波数振動の入力時に、第２のオリフィス通路が反共振によって実質的に遮断されても、受圧室の密閉による著しい高動ばね化が回避されて、有効な防振効果が発揮され得る。
【００２２】
本発明の第７の態様は、第１〜第６の何れか１項に記載の流体封入式防振装置において、前記仕切部材には空気管路接続用ポートが設けられており、前記連通路の前記開放口が該空気管路接続用ポートによって構成されているものである。
【００２３】
第７の態様によれば、空気室に負圧と大気圧を選択的に作用させることによって、弾性隔壁を能動的に加振して入力振動に対する相殺的な防振効果が得られるようにした空気圧式の流体封入式能動型防振装置や、弾性隔壁の変形の拘束と許容を入力振動の周波数に応じて切り替えることで防振効果をより効率的に得るようにした空気圧切替型の流体封入式防振装置等に用いられる仕切部材を流用することができる。なお、連通路の一部が空気管路接続用ポートで構成された構造では、連通路の断面積が空気管路接続用ポートにおいて部分的に小さくなり易いが、可撓蓋体が連通路の開放口に取り付けられていることから、異物の侵入による連通路の閉塞は問題にならない。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、連通路の開放口が可撓蓋体によって覆蓋されていることにより、大気中から連通路への異物（砂礫や塵埃等）の侵入が可撓蓋体によって防止されて、連通路が異物によって狭窄乃至は遮断されるのを防ぐことができる。しかも、連通路の開放口を覆う可撓蓋体が、可撓性を有して容易に変形し得ることから、空気室の圧力は、可撓蓋体の変形によって、略大気圧で安定して維持される。これにより、空気室の容積が変化した場合にも空気室が略大気圧に安定して維持されて、弾性隔壁の弾性変形が充分に許容されることから、第１のオリフィス通路のチューニング周波数よりも高周波数領域の振動に対して、液圧吸収作用に基づいた防振効果が有効に発揮される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。
【図２】本発明の第２の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２７】
図１には、本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置の第１の実施形態として、自動車用のエンジンマウント１０が示されている。エンジンマウント１０は、第１の取付部材１２と第２の取付部材１４が本体ゴム弾性体１６によって弾性連結された構造を有している。なお、以下の説明において、上下方向とは、軸方向である図１中の上下方向を言う。
【００２８】
より詳細には、第１の取付部材１２は、鉄やアルミニウム合金等で形成された高剛性の部材であって、全体として円形ブロック形状を有していると共に、軸方向中間部分には外周側に突出するフランジ部１８が一体形成されている。また、第１の取付部材１２には、中心軸上を上下に延びて、上面に開口するねじ孔２０が形成されており、その内周面にねじ山が刻設されている。
【００２９】
第２の取付部材１４は、第１の取付部材１２と同様に高剛性の部材とされており、薄肉大径の略円筒形状を有していると共に、軸方向中間部分に段差部２２が形成されており、段差部２２を挟んだ上側が下側よりも大径とされている。また、第２の取付部材１４の下端部は、全周に亘って内周側に突出するように屈曲されており、かかる内周側への突出部分が第１係止爪２４とされている。
【００３０】
そして、第１の取付部材１２と第２の取付部材１４が同一中心軸上で上下に離隔して配置されて、本体ゴム弾性体１６によって弾性連結されている。本体ゴム弾性体１６は、厚肉大径の略円錐台形状を有しており、本体ゴム弾性体１６の小径側端部が第１の取付部材１２に加硫接着されていると共に、大径側端部の外周面が第２の取付部材１４の内周面に加硫接着されている。なお、本体ゴム弾性体１６の小径側端面が第１の取付部材１２の下面に加硫接着されていると共に、本体ゴム弾性体１６と一体形成されたストッパゴム２６が第１の取付部材１２のフランジ部１８の上面に加硫接着されている。また、本体ゴム弾性体１６は、第１の取付部材１２と第２の取付部材１４を備えた一体加硫成形品として形成されている。
【００３１】
さらに、本体ゴム弾性体１６には、大径側の端面に開口する大径凹所２８が形成されている。大径凹所２８は、逆向きのすり鉢形状を呈する凹所であって、第１の取付部材１２までは至らない深さを有すると共に、第２の取付部材１４の内径寸法よりも小さい最大直径を有している。更にまた、本体ゴム弾性体１６には、筒状のシールゴム層３０が一体形成されており、大径凹所２８の開口周縁部から下方に延び出して、第２の取付部材１４の内周面に固着されている。
【００３２】
また、第２の取付部材１４には、可撓性膜３２が取り付けられている。可撓性膜３２は、薄肉大径の略円板形状を有するゴム膜であって、中央部分が上方に凸となるドーム状とされることによって、軸方向に充分な弛みを有している。また、可撓性膜３２の外周部分には、筒状の固着部３４が一体形成されており、固着部３４の外周面が固定部材３６に加硫接着されている。この固定部材３６は、薄肉大径の略円筒形状を有する硬質の部材であって、その内周面が固着部３４によって略全体に亘って被覆されている。更に、固定部材３６の上端部は、全周に亘って内周側に突出するように屈曲されており、かかる内周側への突出部分が第２係止爪３８とされている。
【００３３】
そして、可撓性膜３２は、後述する仕切部材４２を介して第２の取付部材１４に取り付けられており、第２の取付部材１４の上側開口部が本体ゴム弾性体１６によって閉塞されていると共に、第２の取付部材１４の下側開口部が可撓性膜３２によって閉塞されている。これにより、本体ゴム弾性体１６と可撓性膜３２の間には、外部から密閉されて非圧縮性流体が封入された流体室４０が形成されている。なお、流体室４０に封入される非圧縮性流体としては、特に限定されるものではないが、例えば、水やアルキレングリコール、ポリアルキレングリコール、シリコーン油、或いはそれらの混合液等が、採用され得る。また、後述する流体の流動作用に基づいた防振効果を効率的に発揮させるためには、０．１Ｐａ・ｓ以下の低粘性流体が望ましい。
【００３４】
また、流体室４０には、仕切部材４２が配設されている。仕切部材４２は、合成樹脂や金属等で形成された硬質の部材であって、厚肉大径の略円筒形状を有する外周筒状部４４と、外周筒状部４４の上側開口部を閉塞する略円板形状の中央板状部４６とを、一体的に備えている。
【００３５】
外周筒状部４４は厚肉大径の略円筒形状であって、その下端部分には、外周面に開口して周方向に所定長さで延びる周溝４８が形成されている。更に、外周筒状部４４には、外周面に開口して周方向に延びる第１係止溝５０と第２係止溝５２が、周溝４８よりも上方で上下に離隔して形成されている。
【００３６】
中央板状部４６は、中央側に向かって次第に下傾する略すり鉢状のテーパ板形状とされており、外周端部には上方に突出する環状の支持突部５４が一体形成されている。更に、支持突部５４の基端部（下端部）には、外周面に開口して全周に亘って連続する第３係止溝５６が形成されている。
【００３７】
このような構造とされた仕切部材４２は、第２の取付部材１４によって支持されている。即ち、第２の取付部材１４の下端部が仕切部材４２の上端部に外挿された後、第２の取付部材１４に八方絞り等の縮径加工が施されることにより、第２の取付部材１４の下端部が仕切部材４２の上端部に外嵌固定される。更に、第２の取付部材１４の第１係止爪２４が仕切部材４２の第１係止溝５０に挿入されて、それら第１係止爪２４と第１係止溝５０が軸方向で係止されることにより、第２の取付部材１４と仕切部材４２が軸方向で位置決めされている。
【００３８】
さらに、仕切部材４２には、可撓性膜３２が取り付けられている。即ち、可撓性膜３２に固着された固定部材３６が仕切部材４２の下端部に外挿された後、固定部材３６に八方絞り等の縮径加工が施されることにより、固定部材３６が仕切部材４２の下端部に外嵌固定されて、可撓性膜３２が仕切部材４２に取り付けられる。更に、固定部材３６の第２係止爪３８が仕切部材４２の第２係止溝５２に挿入されて、それら第２係止爪３８と第２係止溝５２が軸方向で係止されることにより、固定部材３６と仕切部材４２が軸方向で位置決めされている。
【００３９】
このように仕切部材４２が第２の取付部材１４および可撓性膜３２に取り付けられることにより、仕切部材４２は、流体室４０内で軸直角方向に広がるように配置される。これにより、流体室４０が仕切部材４２を挟んで上下に二分されており、仕切部材４２を挟んだ上側には、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６で構成された主液室５８が形成されていると共に、仕切部材４２を挟んだ下側には、壁部の一部が可撓性膜３２で構成されて、容積変化が容易に許容される副液室６０が形成されている。なお、本体ゴム弾性体１６の一体加硫成形品（第２の取付部材１４）および可撓性膜３２の一体加硫成形品（固定部材３６）と、仕切部材４２との組付け作業を、非圧縮性流体で満たされた水槽中で行うことにより、主液室５８および副液室６０に対して非圧縮性流体を容易に封入することができる。
【００４０】
また、仕切部材４２には、弾性隔壁６２が取り付けられている。弾性隔壁６２は、略円板形状のゴム弾性体で形成されており、外周部分が外周側に向かって次第に下傾するテーパ形状とされていると共に、中央部分はその径方向中間部分が環状に厚肉とされた円板形状を有している。更に、弾性隔壁６２の外周側には、厚さ方向の両側に突出して略円筒形状を呈する封止ゴム６４が一体形成されている。
【００４１】
さらに、弾性隔壁６２の外周面には、支持部材６６が固着されている。支持部材６６は、略円環板形状乃至は円筒形状を呈する硬質の部材であって、その内周面に封止ゴム６４の外周面が重ね合わされて加硫接着されている。また、支持部材６６の下端部は、内周側に突出するように屈曲されて、第３係止爪６８とされており、封止ゴム６４よりも内周側に突出されている。なお、本実施形態の支持部材６６は、上端部分も内周側に屈曲しており、封止ゴム６４の上面に固着されている。
【００４２】
そして、弾性隔壁６２は、仕切部材４２の主液室５８側（上側）に配設されて、仕切部材４２によって支持されている。即ち、支持部材６６の下端部が仕切部材４２の中央板状部４６に設けられた支持突部５４に外挿された後、支持部材６６に八方絞り等の縮径加工が施されることにより、支持部材６６が支持突部５４に外嵌固定されて、弾性隔壁６２が仕切部材４２に取り付けられる。また、支持部材６６の第３係止爪６８が、支持突部５４の基端部分に形成されて外周面に開口する第３係止溝５６に挿入されて、第３係止爪６８が第３係止溝５６に軸方向で係止されることにより、弾性隔壁６２が仕切部材４２に対して軸方向で位置決めされている。かかる取付状態において、弾性隔壁６２は、外周部分が仕切部材４２の支持突部５４に当接支持されていると共に、中央部分が仕切部材４２の中央板状部４６に対して上方に離隔して配置されている。
【００４３】
また、主液室５８には、隔壁部材７０が配設されている。隔壁部材７０は、本体プレート７２と挟持プレート７４の間に可動部材としての可動ゴム膜７６が挟持されて構成されている。
【００４４】
本体プレート７２は、中央部分が逆向きの略有底円筒形状とされており、その周壁部が嵌着筒状部７８とされていると共に、上底壁部が支持板部８０とされている。この支持板部８０には、径方向中間部分において上方に凸の当接突部８２が全周に亘って連続的に設けられており、当接突部８２の外周側には上方に凹の支持溝部８４が形成されていると共に、当接突部８２の内周側には厚さ方向で貫通する複数の透孔８６が形成されている。
【００４５】
また、本体プレート７２の外周部分は、周上の３箇所において、中央部分の開口周縁部から軸直角方向外側に延び出すフランジ状部８８が設けられており、周方向で相互に所定距離を隔てて等間隔に配置されている。更に、周方向で隣り合うフランジ状部８８の周方向間には、支持板部８０から軸直角方向外側に延び出すと共に、その外周端部が軸方向下方に屈曲してフランジ状部８８の外周端部と周方向で一体とされた、トンネル状部９０が設けられている。なお、周上でトンネル状部９０が設けられた部分において、嵌着筒状部７８には径方向に貫通する孔が開口している。
【００４６】
挟持プレート７４は、略円環板形状とされており、内周部分が内周側に向かって上方に傾斜する支持部９２とされている。更に、挟持プレート７４は、本体プレート７２よりも外径寸法が小さくされている。そして、挟持プレート７４は、本体プレート７２の支持板部８０に対して、同一中心軸上で上方から重ね合わされて固定されている。なお、本体プレート７２と挟持プレート７４の固定手段は、特に限定されるものではなく、溶接や接着、係止等の各種手段が採用され得る。
【００４７】
また、本体プレート７２と挟持プレート７４の間には、可動ゴム膜７６が配設されている。可動ゴム膜７６は、略円板形状のゴム弾性体で形成されており、外周部分が外周側に向かって下傾していると共に、外周端部が略円形断面で周方向に延びる環状の挟持部９４とされている。
【００４８】
そして、可動ゴム膜７６の挟持部９４が、本体プレート７２の支持溝部８４と、挟持プレート７４の支持部９２との軸方向対向面間で挟持されることによって、可動ゴム膜７６が本体プレート７２と挟持プレート７４の間に配設されている。また、可動ゴム膜７６の外周部分が本体プレート７２と挟持プレート７４によって拘束されていると共に、中央部分が当接突部８２よりも内周側において、微小振幅での弾性変形が上下方向で許容されている。なお、本体プレート７２に形成された透孔８６と、挟持プレート７４の中央孔が、何れも可動ゴム膜７６によって覆われている。
【００４９】
このような構造とされた隔壁部材７０は、本体プレート７２の嵌着筒状部７８が弾性隔壁６２の支持部材６６に外嵌固定されることにより、弾性隔壁６２を介して仕切部材４２に取り付けられている。
【００５０】
かかる配設状態において、隔壁部材７０は、本体プレート７２の支持板部８０が弾性隔壁６２に対して上方に離隔して配置されており、主液室５８が隔壁部材７０を挟んで二分されている。即ち、隔壁部材７０の上方には、壁部の一部が本体ゴム弾性体１６で構成されて、振動入力時に内圧変動が惹起される受圧室９６が形成されている。一方、支持板部８０と弾性隔壁６２との軸方向対向面間には、壁部の一部が弾性隔壁６２で構成されて、弾性隔壁６２の変形によって容積変化が許容される中間室９８が形成されている。なお、本体プレート７２の外周部分（フランジ状部８８およびトンネル状部９０）は、仕切部材４２の外周筒状部４４に対して上方に離隔して配置されている。
【００５１】
また、本体プレート７２のフランジ状部８８には、厚さ方向に貫通する第１連通孔１００が形成されており、受圧室９６が本体プレート７２の外周部分と仕切部材４２の外周筒状部４４との対向面間に連通されている。更に、この本体プレート７２の外周部分と仕切部材４２の外周筒状部４４との対向面間の領域は、外周筒状部４４を軸方向に延びる図示しない通孔を通じて周溝４８の一方の端部に連通されている。そして、周溝４８の他方の端部が第２連通孔１０２を通じて副液室６０に連通されることにより、受圧室９６と副液室６０とを相互に連通する第１のオリフィス通路１０４が形成されている。なお、第１のオリフィス通路１０４は、受圧室９６および副液室６０の壁ばね剛性を考慮しつつ、通路断面積（Ａ）と通路長（Ｌ）の比（Ａ／Ｌ）を適当に設定することによって、エンジンシェイクに相当する１０Ｈｚ程度の低周波数にチューニングされている。
【００５２】
また、受圧室９６と中間室９８は、トンネル状部９０において相互に連通されており、もって、第２のオリフィス通路１０６が形成されている。この第２のオリフィス通路１０６のチューニング周波数は、第１のオリフィス通路１０４のチューニング周波数よりも高周波数に設定されており、本実施形態では、アイドリング時振動に相当する十数Ｈｚ程度の中周波数に設定されている。
【００５３】
また、可動ゴム膜７６には、その上面に挟持プレート７４の中心孔を通じて受圧室９６の液圧が及ぼされていると共に、その下面に透孔８６を通じて中間室９８の液圧が及ぼされている。そして、走行こもり音に相当する数十Ｈｚ程度の高周波小振幅振動の入力時には、受圧室９６と中間室９８の相対的な圧力変動に基づいて、可動ゴム膜７６が共振状態で厚さ方向に微小変形することで、受圧室９６の液圧が中間室９８に伝達されるようになっている。なお、低乃至中周波数の振動入力時には、可動ゴム膜７６が本体プレート７２の支持板部８０に当接して実質的に拘束されることにより、液圧伝達作用の発揮が阻止されるようになっている。
【００５４】
また、弾性隔壁６２を挟んで中間室９８と反対側には、空気室１０８が形成されている。即ち、弾性隔壁６２の仕切部材４２への装着状態において、軸直角方向に広がる略円板形状とされた弾性隔壁６２と、略すり鉢形状とされた仕切部材４２の中央板状部４６とが、軸方向に所定距離を隔てて対向している。更に、仕切部材４２の支持突部５４と支持部材６６との軸直角方向間で、弾性隔壁６２と一体形成された封止ゴム６４が狭圧されており、それら支持突部５４と支持部材６６の間が流体密にシールされている。これらにより、弾性隔壁６２と仕切部材４２の中央板状部４６との軸方向対向面間には、主液室５８に対して流体密に隔てられた空気室１０８が形成されている。この空気室１０８は、空気で満たされており、非圧縮性流体は封入されていない。なお、主液室５８の壁部の一部が弾性隔壁６２によって構成されている。また、空気室１０８は、仕切部材４２の第２の取付部材１４および固定部材３６への取付作業に先んじて、弾性隔壁６２が仕切部材４２に対して大気中で取り付けられることによって、容易に形成される。
【００５５】
さらに、空気室１０８の壁部を構成する仕切部材４２には、連通路１１０が形成されている。より具体的には、仕切部材４２の外周筒状部４４が周上の一部において内周側に突出しており、かかる突出部分を利用して連通路１１０が貫通形成されている。この連通路１１０は、外周筒状部４４の突出部分を上下方向に延びる空気室側連通部１１２と、空気室側連通部１１２に連通して軸直角方向で外周側に延びるポート管路１１４とを、含んで構成されている。また、仕切部材４２の外周筒状部４４には、外周面に開口する接続凹所１１６が形成されており、ポート管路１１４が接続凹所１１６内に突出する筒状の空気管路接続用ポート１１８を利用して形成されている。なお、接続凹所１１６は、仕切部材４２の装着状態において、第２の取付部材１４が嵌着された上端部と、固定部材３６が嵌着された下端部との軸方向間に形成されており、第２の取付部材１４や固定部材３６によって覆われることなく開口している。
【００５６】
そして、連通路１１０は、一方の端部である空気室側連通部１１２の開口部が、空気室１０８の底壁面に開口する空気室１０８への連通口１２０とされていると共に、他方の端部であるポート管路１１４の開口部が、接続凹所１１６を介して仕切部材４２の外周面に開口する大気への開放口１２２とされている。なお、上記からも明らかなように、本実施形態では、連通路１１０の開放口１２２側の端部が、空気管路接続用ポート１１８を利用して形成されている。
【００５７】
この連通路１１０の開放口１２２は、可撓蓋体としての環状ゴム帯１２４によって覆蓋されている。環状ゴム帯１２４は、全周に亘って略一定の断面形状で延びる帯状のゴム弾性体であって、軸方向の中間部分が外周側に凸となる縦断面形状を有する覆蓋部１２６とされていると共に、軸方向の両端部分がそれぞれ環状乃至は筒状の取付部１２８とされている。また、環状ゴム帯１２４は、弾性隔壁６２や可動ゴム膜７６に比して薄肉とされて、本実施形態では可撓性膜３２と同程度の厚さで形成されることで充分な可撓性を有しており、厚さ方向の変形が容易に許容されている。また、環状ゴム帯１２４は、上側の取付部１２８の内径寸法が第２の取付部材１４の外径寸法よりも小さくされていると共に、下側の取付部１２８の内径寸法が固定部材３６の外径寸法よりも小さくされている。
【００５８】
そして、環状ゴム帯１２４は、軸方向上側の取付部１２８が第２の取付部材１４の下端部に外嵌されると共に、軸方向下側の取付部１２８が固定部材３６の上端部に外嵌されることにより、仕切部材４２の外周に装着されている。環状ゴム帯１２４をそれら第２の取付部材１４および固定部材３６に外嵌する際には、取付部１２８を拡径変形させて第２の取付部材１４および固定部材３６に外挿した後、取付部１２８の変形を解除することによって、取付部１２８がそれ自体の弾性によって第２の取付部材１４および固定部材３６に嵌着される。尤も、取付部１２８が締結用のバンド等で締め付けられて、第２の取付部材１４と固定部材３６に固定されていても良いし、取付部１２８が接着や溶着等によって第２の取付部材１４と固定部材３６に固定されていても良い。
【００５９】
かかる環状ゴム帯１２４の装着状態において、第２の取付部材１４と固定部材３６の軸方向間に開口する接続凹所１１６の開口部が、環状ゴム帯１２４によって覆蓋されている。また、環状ゴム帯１２４の装着状態において、外周側に凸の形状を有する覆蓋部１２６と、仕切部材４２の外周面との間には、環状の離間空所１３０が形成されている。そして、接続凹所１１６と離間空所１３０を含んで内部空間１３２が形成されており、この内部空間１３２が環状ゴム帯１２４によって外部空間（大気）から仕切られている。なお、本実施形態の仕切部材４２には、接続凹所１１６とは周上の異なる位置において外周面に開口する肉抜凹所１３４が形成されており、この肉抜凹所１３４の開口部が環状ゴム帯１２４で覆蓋されて、離間空所１３０と連通されることにより、肉抜凹所１３４も内部空間１３２の一部を構成している。
【００６０】
さらに、連通路１１０の開放口１２２は、内部空間１３２を構成する接続凹所１１６に開口しており、開放口１２２が環状ゴム帯１２４によって間接的に覆われていると共に、空気室１０８と内部空間１３２が連通路１１０を通じて相互に連通されている。換言すれば、連通路１１０の開放口１２２と環状ゴム帯１２４が軸直角方向で離隔しており、それら開放口１２２と環状ゴム帯１２４の間に内部空間１３２が設けられて、連通路１１０を通じて空気室１０８に連通されている。
【００６１】
以上の如き構造とされたエンジンマウント１０は、第１の取付部材１２が図示しないパワーユニットに取り付けられると共に、第２の取付部材１４が図示しない車両ボデーに取り付けられることにより、それらパワーユニットと車両ボデーの間に介装されて、パワーユニットが車両ボデーに防振支持されるようになっている。
【００６２】
そして、エンジンマウント１０の車両への装着状態において、エンジンシェイクに相当する低周波数域の振動が入力されると、受圧室９６と副液室６０の相対的な圧力差に基づいて、第１のオリフィス通路１０４を通じての流体流動が惹起される。これにより、流体の共振作用等の流動作用に基づいた防振効果（高減衰効果）が発揮される。
【００６３】
また、エンジンマウント１０の車両への装着状態において、アイドリング時振動に相当する中周波数域の振動が入力されると、低周波数にチューニングされた第１のオリフィス通路１０４が、反共振等によって実質的に遮断される。一方、中間室９８の壁部の一部が弾性隔壁６２で構成されて、その下方に空気室１０８が形成されていることにより、受圧室９６と中間室９８の間で相対的な圧力差が生じて、第２のオリフィス通路１０６を通じての流体流動が惹起される。これにより、流体の共振作用等の流動作用に基づいた防振効果（低動ばね効果）が発揮される。なお、可動ゴム膜７６は、中周波数域の振動入力時には、本体プレート７２の支持板部８０への当接によって拘束されて、受圧室９６と中間室９８の間で可動ゴム膜７６の微小変形による液圧伝達作用が抑えられるようになっている。
【００６４】
また、エンジンマウント１０の車両への装着状態において、走行こもり音に相当する高周波小振幅振動が入力されると、第１のオリフィス通路１０４および第２のオリフィス通路１０６は、何れも反共振等によって実質的に遮断される。一方、可動ゴム膜７６は、中央部分が共振状態で上下に微小変位することで、受圧室９６の液圧を中間室９８に伝達する液圧伝達作用が発揮される。そして、中間室９８に伝達された液圧変動は、弾性隔壁６２の変形によって吸収されることから、液圧吸収作用に基づいた防振効果（低動ばね効果）が発揮される。
【００６５】
また、受圧室９６と中間室９８の相対的な圧力差は、弾性隔壁６２の弾性変形による中間室９８の容積変化によって生じるようになっており、かかる弾性隔壁６２の弾性変形が、連通路１１０を通じて内部空間１３２に連通された空気室１０８によって許容されている。即ち、内部空間１３２は、壁部の一部が可撓性を有する環状ゴム帯１２４で構成されており、環状ゴム帯１２４の変形によって略大気圧に維持されるようになっている。そして、その内部空間１３２が連通路１１０を通じて空気室１０８に連通されていることにより、空気室１０８は、弾性隔壁６２の弾性変形の有無に関わらず、常時略大気圧に維持されている。これにより、空気室１０８内の圧力変化によって弾性隔壁６２の弾性変形が制限されるのを防止できて、中間室９８の圧力変化が抑えられる。その結果、受圧室９６と中間室９８の圧力差が効率的に確保されて、第２のオリフィス通路１０６を通じての流体流動による防振効果や、可動ゴム膜７６の微小変形による防振効果が、何れも効率的に発揮され得る。
【００６６】
しかも、空気室１０８と内部空間１３２、それらを連通する連通路１１０には、空気が封入されていることから、液体が封入されている場合に比して、空気室１０８と内部空間１３２の間で連通路１１０を通じての流体（空気）の流動が、流体を慣性マスとするマス−バネ共振等の影響を受けることなく、スムーズに実現される。それ故、空気室１０８を略一定の圧力に維持することが可能とされて、弾性隔壁６２の弾性変形を安定して許容することができる。
【００６７】
また、内部空間１３２は、環状ゴム帯１２４によって大気から隔てられており、砂礫や塵埃等の異物が内部空間１３２に侵入することはない。これにより、内部空間１３２から連通路１１０に異物が侵入するおそれはなく、連通路１１０が異物によって狭窄乃至は閉塞されることもない。それ故、空気室１０８と内部空間１３２の連通路１１０を通じた連通状態が保持されて、環状ゴム帯１２４の可撓性に基づいて空気室１０８が略大気圧に維持される。
【００６８】
特に、仕切部材４２は、連通路１１０の一部が空気管路接続用ポート１１８で構成されており、弾性隔壁６２を能動的に加振する空気圧式の流体封入式能動型防振装置や、弾性隔壁６２の弾性変形の許容と制限を切り替える空気圧切替式の流体封入式防振装置等にも、流用可能な構造とされている。このような流体封入式能動型防振装置や切替式の流体封入式防振装置等にも採用可能な構造の仕切部材４２は、大気開放型の流体封入式防振装置に採用されると、空気管路接続用ポート１１８において連通路１１０の断面積が小さくなっていることから、異物が詰まるおそれがある。しかしながら、本実施形態のエンジンマウント１０では、連通路１１０の開放口１２２が内部空間１３２に連通されて、環状ゴム帯１２４によって大気から隔てられていることから、異物による連通路１１０の閉塞が回避される。
【００６９】
また、可撓蓋体として環状ゴム帯１２４が採用されており、環状ゴム帯１２４の取付部１２８が、それ自体の弾性を利用して、第２の取付部材１４と固定部材３６に密着している。これにより、内部空間１３２は、環状ゴム帯１２４によって大気から封止されて隔てられており、環状ゴム帯１２４と第２の取付部材１４および固定部材３６との間を通じた異物の侵入が防止されている。
【００７０】
しかも、環状ゴム帯１２４の軸方向の中間部分が、縦断面形状において外周側に凸となる覆蓋部１２６とされており、仕切部材４２の外周面に対して径方向外方に離隔している。これにより、連通路１１０の開放口１２２と環状ゴム帯１２４との離隔距離が大きく確保されて、環状ゴム帯１２４の変形時にも、連通路１１０の開放口１２２に環状ゴム帯１２４が密着するのを防いで、連通路１１０を通じた空気の流動が充分に許容される。
【００７１】
加えて、外周側に向かって凸形状の覆蓋部１２６が設けられることで、環状ゴム帯１２４に対する内部空間１３２の空気圧および外部空間の空気圧（大気圧）の作用面積が、大きく確保される。それ故、弾性隔壁６２の弾性変形時に、環状ゴム帯１２４が広範囲に亘って変形して、小さな環状ゴム帯１２４の変形量によって、内部空間１３２の容積変化を大きく得ることができる。従って、環状ゴム帯１２４は、それ自体の弾性に起因して変形を制限されるのが防止されることから、環状ゴム帯１２４の変形によって内部空間１３２の圧力変動が抑えられて、内部空間１３２に連通された空気室１０８の圧力がより安定して略一定に維持される。特に、全周に亘って覆蓋部１２６が形成されて、その内周側に環状の離間空所１３０が形成されていることにより、弾性隔壁６２の弾性変形時に、環状ゴム帯１２４が全周に亘って変形することから、より小さな変形量で内部空間１３２の圧力変動を充分に低減することができる。
【００７２】
図２には、本発明に従う構造とされた流体封入式防振装置の第２の実施形態として、自動車用のエンジンマウント１４０が示されている。なお、以下の説明において、第１の実施形態と実質的に同一の部材および部位については、図中に同一の符号を付すことで説明を省略する。
【００７３】
より詳細には、エンジンマウント１４０は、仕切部材１４２を有している。仕切部材１４２には、一方の端部が空気室１０８に開口する連通口１２０とされると共に、他方の端部が仕切部材１４２の外周面に開口する開放口１２２とされた、連通路１４４が形成されている。また、連通路１４４は、連通口１２０に比して開放口１２２の面積が大きくなっており、後述する可撓ゴム膜１４６の変形が充分に許容されるようになっている。なお、本実施形態では、第１の実施形態の接続凹所１１６や空気管路接続用ポート１１８が省略されて、連通路１４４が、空気室１０８側から下方に延びた後、屈曲して軸直角方向外側に延び出す孔によって構成されており、開放口１２２が仕切部材１４２の外周面に直接に開口している。
【００７４】
また、仕切部材１４２の外周面には、可撓蓋体としての可撓ゴム膜１４６が装着されている。可撓ゴム膜１４６は、薄肉シート状のゴム弾性体で形成されており、仕切部材１４２の外周面における開放口１２２の開口する部分に重ね合わされていると共に、開放口１２２の開口に重ね合わされた部分の周囲が、全周に亘って第２の取付部材１４と固定部材３６と仕切部材１４２の各外周面に接着等により固着されている。これにより、連通路１４４の開放口１２２は、可撓ゴム膜１４６によって覆蓋されており、連通路１４４が可撓ゴム膜１４６によって大気から隔てられている。なお、図２に示されているように、本実施形態では、可撓ゴム膜１４６が開放口１２２に対して隙間なく重ね合わされている。
【００７５】
このような構造とされたエンジンマウント１４０によっても、第１の実施形態と同様に、可撓ゴム膜１４６の変形によって空気室１０８の圧力が略大気圧に維持されて、弾性隔壁６２の弾性変形による液圧吸収作用が有効に発揮される。更に、連通路１４４に対する開放口１２２からの異物の侵入が可撓ゴム膜１４６によって防止されて、連通路１４４の異物による閉塞が回避されることから、目的とする防振特性を安定して得ることができる。
【００７６】
なお、連通路１４４の開放口１２２が仕切部材１４２の外周面に直接開口していると共に、可撓ゴム膜１４６が縦断面において直線的な形状とされており、可撓ゴム膜１４６が連通路１４４の開放口１２２に重ね合わされている。そこにおいて、連通路１４４の開放口１２２の面積が大きく確保されていることにより、弾性隔壁６２が空気室１０８の容積が大きくなるように弾性変形した場合にも、可撓ゴム膜１４６が連通路１４４に入り込むように変形することで、空気室１０８の圧力が略大気圧に維持されている。
【００７７】
第２の実施形態に示された構造からも明らかなように、第１の実施形態において環状ゴム帯１２４に設けられた外周側に凸の縦断面形状を有する覆蓋部１２６は、必須ではない。また、可撓蓋体は、第１の実施形態に示された環状のものに限定されるものではなく、本実施形態に示された可撓ゴム膜１４６のように、仕切部材１４２の外周面における開放口１２２の開口部分だけを部分的に覆う膜状のものも採用され得る。
【００７８】
また、第１の実施形態では、連通路１１０の開放口１２２が接続凹所１１６内に開口しており、内部空間１３２を隔てて環状ゴム帯１２４と径方向に離隔していたが、第２の実施形態に示された可撓ゴム膜１４６のように、連通路１４４の開放口１２２に対して隙間なく配置されていても良い。特に、開放口１２２の面積が、可撓ゴム膜１４６の変形を充分に許容して、空気室１０８の圧力を略一定に保ち得る程度に、大きく確保されている場合には、可撓ゴム膜１４６が開放口１２２に対して離間することなく配置された構造が採用され得る。
【００７９】
また、第１の実施形態に示された空気管路接続用ポート１１８は必須ではなく、空気管路接続用ポート１１８を持たず、流体封入式能動型防振装置や切替式の流体封入式防振装置等には流用不能な仕切部材（例えば、第２の実施形態の仕切部材１４２）も、採用され得る。
【００８０】
以上、本発明の実施形態について詳述してきたが、本発明はその具体的な記載によって限定されない。例えば、可撓蓋体の形状は、前記実施形態に例示されたものに限定されず、可撓蓋体における連通路の開放口を覆う部分が、外周側に凹の縦断面形状とされていても良い。また、可撓蓋体は、空気室１０８の圧力変化が防振特性上問題にならない程度で抑えられるように、可撓性が付与されていれば、薄肉の膜状や帯状だけに限定されるものではない。
【００８１】
また、可撓蓋体の弾性を利用して流体封入式防振装置の防振特性を調節することも可能である。即ち、例えば、連通路１１０の開口を覆蓋する可撓蓋体に適当な弾性を付与することで、空気室１０８の容積変化量に対する空気室１０８の圧力変動量を調節して、弾性隔壁６２の変形特性を制御することにより、低周波数領域の振動入力に対する減衰特性と、中〜高周波数領域の振動入力に対する動ばね特性を、適当に調整することもでき得る。
【００８２】
また、前記実施形態では、エンジンシェイクに相当する低周波数域の振動と、アイドリング時振動に相当する中周波数域の振動と、走行こもり音に相当する高周波数域の振動との、周波数が異なる３種類の振動に対して、有効な防振効果が発揮される構造が例示されている。しかしながら、本発明は、第１のオリフィス通路１０４がチューニングされた周波数域の振動と、第１のオリフィス通路１０４がチューニングされた周波数よりも高周波数域の振動との、少なくとも２種類の振動に対する防振効果が発揮されれば良い。具体的には、例えば、第２のオリフィス通路１０６と可動ゴム膜７６は、何れかが選択的に設けられていても良く、第２のオリフィス通路１０６が設けられると共に、挟持プレート７４と可動ゴム膜７６と透孔８６とが廃された構造や、第２のオリフィス通路１０６が廃された構造が、何れも採用可能である。更に、隔壁部材７０の全体を廃して、第２のオリフィス通路と可動部材の両方を省略した構造も採用可能であって、主液室５８の壁部の一部を構成する弾性隔壁６２の液圧吸収作用によって、第１のオリフィス通路１０４のチューニング周波数よりも高周波数域の振動に対する防振効果（低動ばね効果）が発揮される。
【００８３】
また、可動部材は、前記実施形態に示されているような外周部分を拘束された可動膜構造に限定されるものではなく、厚さ方向の微小変位を許容された状態で収容スペース内に拘束されることなく配設される、可動板構造も可動部材として採用可能である。
【００８４】
また、本発明の適用範囲は、エンジンマウントに限定されるものではなく、例えば、サブフレームマウントやボデーマウント、デフマウント等への適用も可能である。更に、本発明は、自動車用の流体封入式防振装置のみに適用されるものではなく、例えば、自動二輪車や産業用車両、鉄道用車両等に用いられる流体封入式防振装置にも好適に適用される。
【符号の説明】
【００８５】
１０，１４０：エンジンマウント（流体封入式防振装置）、１２：第１の取付部材、１４：第２の取付部材、１６：本体ゴム弾性体、３２：可撓性膜、４２，１４２：仕切部材、５６：主液室、５８：副液室、６２：弾性隔壁、７０：隔壁部材、７６：可動ゴム膜（可動部材）、９６：受圧室、９８：中間室、１０４：第１のオリフィス通路、１０６：第２のオリフィス通路、１０８：空気室、１１０，１４４：連通路、１１８：空気管路接続用ポート、１２０：連通口、１２２：開放口、１２４：環状ゴム帯（可撓蓋体）、１３２：内部空間，１４６：可撓ゴム膜（可撓蓋体）
【図１】
2013029142.tif 000003
【図２】
2013029142.tif 000004