(57)【要約】【課題】所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持できる保持治具を提供すること。【解決手段】支持孔１１を有する補強部材５と、小型部品を保持する保持孔１５を有し、シリコーンゴム粉末を含有する弾性部材６とを備え、前記保持孔１５が前記支持孔１１の内部を通るように前記補強部材５が前記弾性部材６に埋設されて成る保持治具１。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持孔を有する補強部材と、小型部品を保持する保持孔を有し、シリコーンゴム粉末を含有する弾性部材とを備え、前記保持孔が前記支持孔の内部を通るように前記補強部材が前記弾性部材に埋設されて成る保持治具。
【請求項２】
前記弾性部材は、ゴム及びシリコーンゴム粉末を含有するゴム組成物で形成されている請求項１に記載の保持治具。
【請求項３】
前記シリコーンゴム粉末は、前記ゴムを１００質量部としたときに１３０〜１５０質量部の割合で含有されている請求項２に記載の保持治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、保持治具に関し、さらに詳しくは、所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持できる保持治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ、電話機、ゲーム機、自動車電装機器等の電子機器に用いられる集積回路等には、例えば、積層セラミックチップコンデンサ（単に、チップコンデンサと称することがある。）等の小型部品が搭載されている。このような小型部品を製造する際等には、通常、小型部品を製造可能な小型部品用部材等を保持する保持孔が形成された保持治具が用いられる。
【０００３】
小型部品用部材等を保持する保持治具として、例えば、特許文献１の請求項４には「（ａ）多数の並列状貫通通路を有するプレート体を備えること。（ｂ）前記通路は弾性壁を有して電気用小型パーツが該通路内に位置可能となっており、かつ該通路の寸法は対応するパーツの寸法よりも小さく、パーツが前記通路内位置で弾発的に把持されること。以上（ａ）および（ｂ）の構成から成るを特徴とする多数の電気用小型パーツ端部のコーティング用装置」が記載されている。
【０００４】
このような保持治具は、通常、通路の寸法は対応するパーツの寸法よりも小さくなっており、この通路に電気用小型パーツを押し込んで弾性的に把持させることができ（特許文献１、特に請求項１及び４等参照。）、このように把持した状態で電気用小型パーツに所望の処理を行う（特許文献１、特に請求項２等参照。）。
【０００５】
ところで、このような保持治具においては、前記したように通路の寸法は対応するパーツの寸法よりも小さくなっているから、電気用小型パーツの製造に際してパーツの押し込み及び取り出しを繰り返し実施すると通路によるパーツの把持力が低下してパーツを所定の姿勢で把持できなくなる。
【０００６】
特に、特許文献１の請求項５に記載されているように「通路の断面が円形でパーツの断面が四角形」であると、また、例えば把持したパーツの端部に電極等を形成する電極形成処理等の熱処理をすると、通路の把持力は早急かつ著しく低下してパーツを所定の姿勢で把持できなくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特公昭６２−０２０６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持できる保持治具を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、持孔を有する補強部材と、小型部品を保持する保持孔を有し、シリコーンゴム粉末を含有する弾性部材とを備え、前記保持孔が前記支持孔の内部を通るように前記補強部材が前記弾性部材に埋設されて成る保持治具であり、
請求項２は、前記弾性部材は、ゴム及びシリコーンゴム粉末を含有するゴム組成物で形成されている請求項１に記載の保持治具であり、
請求項３は、前記シリコーンゴム粉末は、前記ゴムを１００質量部としたときに１３０〜１５０質量部の割合で含有されている請求項２に記載の保持治具である。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係る保持治具は、支持孔を有する補強部材と小型部品を保持する保持孔を有し、シリコーンゴム粉末を含有する弾性部材とを備えているから、保持孔が発揮する初期の保持力を大きく低下させることなく小型部品を所望のように保持するのに必要な保持力を長期間発揮させることができる。したがって、この発明によれば、所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持できる保持治具を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、この発明に係る保持治具の一例を示す概略上面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線で切断した一例の保持治具における断面の一部を示す概略断面図である。
【図３】図３は、この発明に係る保持治具の一例を構成する補強部材の一例を示す概略上面図である。
【図４】図４は、この発明に係る保持治具の別の一例を示す概略上面図である。
【図５】図５は、図４のＡ−Ａ線で切断した一例の保持治具における断面の一部を示す概略断面図である。
【図６】図６は、この発明に係る保持治具のまた別の一例を示す概略上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
この発明に係る保持治具は、支持孔を有する補強部材と保持孔を有する弾性部材とを備え、保持孔が支持孔の内部を通るように補強部材の少なくとも一部が弾性部材に埋設されている。そして、この発明に係る保持治具は弾性部材がシリコーンゴム粉末を含有しており、弾性部材の弾性力で保持孔に挿入された小型部品を弾発的に保持することができる。
【００１３】
ここで、この発明に係る保持治具に保持される小型部品は、小型部品の製造工程、搬送工程等において保持される必要性のある、小型部品を製造可能な小型部品用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等が挙げられる。また、小型部品の製造には小型部品の搬送工程等も含まれるから、小型部品は、小型部品そのもの、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等も含まれる。したがって、この発明においては、小型部品と小型部品用部材とは明確に区別される必要はない。小型電子部品及び小型電子部品用部材としては、例えば、チップコンデンサ、インダクタチップ、抵抗体チップ等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な例えば、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等が挙げられる。このような小型部品の寸法の一例を挙げると、例えば、その軸線長さが１．０〜３．２ｍｍで、保持孔に挿入される部分の、軸線に垂直な断面形状に外接する仮想外接円の直径が０．７〜２．３ｍｍである。
【００１４】
この発明に係る保持治具は、後述するように、小型部品を保持した状態で小型部品の製造工程に供されても所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持できるから、小型部品を製造する際の保持用として好適であり、少なくとも二箇所に電極を形成する必要のある小型部品の保持用として特に好適である。
【００１５】
この発明に係る保持治具の一例である保持治具を、図面を参照して、説明する。この保持治具１は、図１及び図２等に示されるように、支持孔１１を有する補強部材５と保持孔１５を有する弾性部材６とを備え、保持孔１５それぞれが支持孔１１それぞれの内部を通るように補強部材５の一部が弾性部材６に埋設されている。
【００１６】
補強部材５は、図２及び図３に示されるように、支持孔１１が形成された平坦部１２が少なくとも後述する弾性部材６に埋設され、弾性部材６が平坦になるように弾性部材６を補強支持する。この補強部材５は、多数の支持孔１１が穿設された矩形の平坦部１２と、平坦部１２の周囲に平坦部１２の厚さ方向すなわち上面方向及び下面方向に突出した鍔部１３とを備えている。この鍔部１３はフランジ部と称することもできる。
【００１７】
鍔部１３は、平坦部１２を囲繞するように形成され、平坦部１２の上面方向及び下面方向における突出量が一定になるように調整されている。換言すると、鍔部１３は平坦部１２を囲繞する長方形の枠を成し、その厚さ方向の略中央部で鍔部１３よりも薄い平坦部１２に連結している。この鍔部１３は、平坦部１２の強度を補強し、また保持治具１としたときの優れた取扱性を確保する。鍔部１３の厚さは適宜に調整され、例えば、８〜１０．０ｍｍの範囲内に設定される。平坦部１２は、厚さ方向に貫通する支持孔１１が形成される領域であり、その厚さが一定になっている。平坦部１２の厚さは、例えば、５．５〜７ｍｍの範囲内に設定される。
【００１８】
平坦部１２の厚さ方向に貫通する支持孔１１は、平坦部１２内に、多数、例えば、５０００個以上、好ましくは少なくとも６０００個、より好ましくは少なくとも７０００個、特に好ましくは少なくとも７５００個有している（図３において、支持孔１１の一部を図示していない。）。補強部材５に多数の支持孔１１が形成されると保持治具１を用いた小型部品の製造方法における生産性が向上する。
【００１９】
複数の支持孔１１は、補強部材５の短辺方向に並行な第１配列方向及びこの第１配列方向に垂直に交差する第２配列方向に沿って、すなわち縦横方向に沿って、所定の間隔をおいて碁盤目状に穿孔されている。この例においては、第１配列方向及び第２配列方向に沿って隣接する支持孔１１の間隔（隣接する２つの支持孔１１の軸線距離をいう。以下同じ。）は同じ間隔に調整されている。この間隔は、例えば、１．８〜２．５ｍｍであるのが小型部品の生産性と平坦部１２の強度とを両立できる点で特に好ましい。
【００２０】
平坦部１２の表面に開口する支持孔１１における開口部の形状、及び、支持孔１１を平坦部１２に平行な水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状を任意に選択することができる。前記開口部の形状及び前記断面形状は同じ形状であるのがよい。この例においては、開口部の形状及び前記断面形状が同一の円形であり、同一の直径を有している。この直径は、例えば１．４〜２．５ｍｍの範囲内に設定される。
【００２１】
平坦部１２及び鍔部１３を備えて成る補強部材５は、小型部品の生産性、支持孔１１の形成数、小型部品の寸法及び保持治具１の強度等を考慮して、鍔部１３及び平坦部１２の寸法が調整される。
【００２２】
補強部材５は、弾性部材６を平坦な形状に維持することのできる材料で形成されていればよく、このような材料として金属及び樹脂等が挙げられる。具体的には、金属として、ステンレス鋼、炭素鋼、アルミニウム又はアルミニウム合金及びニッケル合金等が挙げられ、樹脂として、例えば、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン及びポリ塩化ビニル等が挙げられる。補強部材５は、加工性、ステンレス鋼、アルミニウム又はアルミニウム合金及びポリフェニレンスルフィド樹脂等で形成されるのが好ましく、特にアルミニウム又はアルミニウム合金で形成されるのが好ましい。
【００２３】
弾性部材６は、図１及び図２に示されるように、多数の保持孔１５が穿孔され、平坦部１２を内部に収容可能な空隙を有している。そして、弾性部材６は、補強部材５の平坦部１２を埋設しており、換言すると、平坦部１２の両面を被覆すると共に補強部材５の支持孔１１に貫入し、補強部材５の鍔部１３と面一になるように形成されている。すなわち、弾性部材６は平坦部１２の表面に配置され、補強部材５の鍔部１３によって囲繞されている。このように、弾性部材６は、その一部が補強部材５の支持孔１１に貫入してなる柱状体を介して補強部材５の両面に配設された２つの板状成形体が一体に成っている。ここで、弾性部材６は、その保持孔１５が支持孔１１の内部を通るように弾性部材１０を埋設している。好ましくは、弾性部材６は保持孔１５が支持孔１１の軸線Ｃと共通する軸線Ｃを有するように補強部材５特に平坦部１２を埋設している。このように弾性部材６が形成されると弾性部材６と補強部材５との密着性に優れるうえ小型部品の挿入及び抜取りが容易になる。
【００２４】
弾性部材６は、その厚さ方向に貫通し、自身に挿入又は貫入された小型部品をその弾性力で弾発的に保持する多数の保持孔１５を有している。弾性部材６は、保持孔１５を多数、例えば、５０００個以上、好ましくは少なくとも６０００個、より好ましくは少なくとも７０００個、特に好ましくは少なくとも７５００個有している（図１において、保持孔１５の一部を図示していない。）。弾性部材６に多数の保持孔１５が形成されると保持治具１を用いた小型部品の製造方法における生産性が向上する。
【００２５】
複数の保持孔１５は、支持孔１１と基本的に同様に、第１配列方向及び第２配列方向に沿って所定の間隔をおいて碁盤目状に整列されている。この例においては、第１配列方向及び第２配列方向に沿って隣接する保持孔１５の間隔（隣接する２つの保持孔１５の軸線距離をいう。以下同じ。）は同じ間隔に調整されている。この間隔は支持孔１１の間隔と基本的に同じ間隔になっている。
【００２６】
弾性部材６の表面に開口する保持孔１５における開口部の形状、及び、保持孔１５を弾性部材６に平行な水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状を任意に選択することができる。前記開口部の形状及び前記断面形状は同じ形状であるのがよい。この例においては、開口部の形状及び前記断面形状が同一の円形であり、同一の直径を有している。保持孔１５の直径は、保持する小型部品の寸法及び前記間隔等を考慮のうえ調整される。例えば、保持孔１５の直径は、小型部品の、軸線に垂直な断面形状に外接する仮想外接円の直径に対して８０〜９０％の範囲内、具体的には、０．５６〜２．０７ｍｍの範囲内に設定される。
【００２７】
弾性部材６は、小型部品の生産性、小型部品の寸法及び発揮される弾性力等を考慮して、鍔部１３と面一になるように、その寸法及び厚さが調整される。すなわち、弾性部材６の厚さ（両外表面間の距離）は保持治具１の厚さと同じ厚さに調整され、通常、８〜１０．０ｍｍに調整される。
【００２８】
弾性部材６は、小型部品を挿入及び／又は抜き取る際に弾性変形し、かつ、破損しないように、所定の伸び、引張強さ及び硬度を有しているのが好ましい。例えば、ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の切断時伸び（引張速度５００ｍｍ／ｍｉｎ）は、２００〜１０００％であるのが好ましく、４００〜９００％であるのが特に好ましく、ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の引張強さ（引張速度５００ｍｍ／ｍｉｎ）は、５〜１５ＭＰａであるのが好ましく、７〜１４ＭＰａであるのが特に好ましく、ＪＩＳ  Ｋ６２５３に規定の硬度（ＪＩＳ  Ａ）は、２０〜８０であるのが好ましく、４０〜６０であるのが特に好ましい。前記ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の切断時伸び及び引張強さは、２３℃、湿度５０％の環境下で、３号ダンベル形状の試験片を作製して、切断時伸びはつかみ具間隔を標線距離で２０ｍｍに設定して、実施する。
【００２９】
弾性部材６の表面は、保持治具１が小型部品の製造方法、例えば、小型部品用部材の電極形成工程に使用されるから、製品の均質性を実現し、また、弾性部材６の表面に導電性ペースト等が付着しないように平坦であるのが好ましい。
【００３０】
弾性部材６は後述するゴム及びシリコーンゴム粉末を含有する含有ゴム組成物で形成され、弾性部材６の表面及び保持孔１５の周面に後述するシリコーンゴム粉末が露出して、その表面及び周面に凹凸が形成されていることも想定される。この発明の発明者は、このように保持孔１５の周面にシリコーンゴム粉末が露出していると、保持孔１５に小型部品を挿入するときは弾性部材６が小型部品の挿入方向に変形して保持孔１５の周面と小型部品との接触面積がシリコーンゴム粉末の分だけ減少することによって耐摩耗性に優れる一方、保持孔１５に小型部品を挿入保持したときは弾性部材６の表面の凹凸が平滑になるように変形して保持孔１５の周面と小型部品との接触面積が増大することによって保持力を大きく低減させることなく維持でき、その結果、「保持孔が発揮する初期の保持力を大きく低下させることなく小型部品を所望のように保持するのに必要な保持力を長期間発揮させることができる」のではないかと推測している。
【００３１】
この弾性部材６は、ゴム等の弾性変形可能な材料で形成され、シリコーンゴム粉末を含有している。換言すると、弾性部材６は、ゴム又はその前駆体とシリコーンゴム粉末と所望により各種添加剤とを含有するシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物で形成され、このシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物の硬化体で形成されている。
【００３２】
マトリックスとしてのゴムとしては、各種のゴムが挙げられるが、耐熱性等を考慮するとシリコーンゴムであるのが好ましい。なお、この発明においてゴムはエラストマーをも包含する概念である。このように弾性部材６はシリコーンゴム粉末を含有するマトリックスとしてのシリコーンゴムで形成されており、少なくともシリコーンゴムとシリコーンゴム粉末とで形成されている。ここで、シリコーンゴムとしては、特に限定されず、例えば、高重合度の線状ポリジメチルシロキサン若しくはその共重合体を架橋してゴム弾性を付与したシリコーンゴム、又は、耐酸性のシリコーンゴム等が挙げられる。
【００３３】
シリコーンゴム粉末としては、シリコーンゴムの粉末であれば中実体であっても中空体であってもよく、各種シリコーンゴムの粉末、粉砕物、造粒物等が挙げられる。シリコーンゴム粉末は、例えば、ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンゴムの粉末であればよく、例えば、直鎖状のジメチルポリシロキサンを架橋した構造を持つシリコーンゴムの粉末、及び、前記シリコーンゴムの表面をシリコーンレジン等で被覆した被覆シリコーンゴムの粉末等が挙げられる。
【００３４】
シリコーンゴム粉末は、粉末であればその形状は通常球状であるが、球状に限定されず、球状であっても真球である必要はなくほぼ球状であればよく、また、楕円形、燐片状、針状、不定形等であってもよい。シリコーンゴム粉末の平均粒径は５〜２０μｍであるのが好ましく、５〜１５μｍであるのが特に好ましい。シリコーンゴム粉末が前記範囲の平均粒径を有しているとこの発明の目的をよく達成できる。シリコーンゴム粉末の平均粒径はレーザー回折−散乱法（島津製作所製  レーザー回折式粒度分布測定装置「ＳＡＬＤ−３００Ｖ」）により測定された値である。
【００３５】
このようなシリコーンゴム粉末は適宜製造してもよく市販品を使用してもよい。シリコーンゴムの粉末として、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＭＰ−５９４」、「ＫＭＰ−５９７」、「ＫＭＰ−５９８」、「Ｘ−５２−８７５」等のシリコーンゴムパウダー等が入手可能であり、シリコーンレジンの粉末として、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＭＰ−５９０」、「ＫＭＰ−７０１」、「Ｘ−５２−１６２１」等のシリコーンレジンパウダー等が入手可能であり、被覆シリコーンゴムの粉末として、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＭＰ−６００」、「ＫＭＰ−６０１」、「ＫＭＰ−６０２」、「ＫＭＰ−６０５」、「ＫＳＰ−１００」、「ＫＳＰ−１０１」、「ＫＳＰ−１０２」、「ＫＳＰ−１０５」、「ＫＳＰ−３００」等のシリコーン複合パウダー等が入手可能である。
【００３６】
弾性部材６におけるシリコーンゴム粉末の含有量は、例えば、弾性部材６を形成するマトリックスとしてのゴム又はゴムとなるゴム前駆体例えば生ゴムを１００質量部としたときに１３０〜１５０質量部、特に１３０〜１４５質量部であるのが好ましい。シリコーンゴム粉末の含有量が前記範囲内にあるとこの発明の目的をよく達成できる。シリコーンゴム粉末は一種単独で又は二種以上が含有されていてもよい。
【００３７】
弾性部材６はゴムとシリコーンゴム粉末の他にゴム組成物に通常添加される各種添加剤等を含有していてもよい。このような各種添加剤として、例えば、充填剤、カーボンブラック、耐熱性向上剤、着色剤、難燃性向上剤、離型剤、分散剤等が挙げられる。特に、添加剤として湿式シリカが弾性部材６に含有されているとシリコーンゴム粉末による効果が著しく保持孔１５は所望の姿勢でチップを保持できる保持力をより一層長期間にわたって維持できる。したがって、弾性部材６はゴムと湿式シリカとシリコーンゴム粉末とを含有しているのがこの発明の効果をよく達成できる点で好ましい。弾性部材６の含有される各種添加剤は所望の含有量で含有される。
【００３８】
この弾性部材６は、ゴム又はその前駆体とシリコーンゴム粉末とを少なくとも含有するシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物で形成される。このようなシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物は、前記ゴム又はその前駆体と前記シリコーンゴム粉末とを含有していればよく、所望により各種の添加剤を含有していてもよい。例えば、ゴムとして高重合度の線状ポリジメチルシロキサンを架橋したシリコーンゴム又はその前駆体と充填剤として乾式シリカとを含有するシリコーンゴム組成物として商品名「ＫＥ−１９５０−５０」（信越化学工業株式会社製）等が挙げられ、ゴムとして高重合度の線状ポリジメチルシロキサンを架橋したシリコーンゴム又はその前駆体と充填剤としての湿式シリカを含有するシリコーンゴム組成物として商品名「ＫＥ−１９９０−５０」（信越化学工業株式会社製）等が挙げられる。
【００３９】
シリコーンゴム粉末含有ゴム組成物は、ゴム又はその前駆体とシリコーンゴム粉末と所望により各種の添加剤とを二本ロール、三本ロール、ロールミル、バンバリーミキサ、ドウミキサ（ニーダー）等のゴム混練り機等を用いて均一に混合されるまで、例えば、数分から数時間、好ましくは５分以上１時間以下にわたって常温又は加熱下で混練して、得られる。
【００４０】
保持治具１は、所望の姿勢、例えば、小型部品の軸線が保持孔１５の軸線Ｃと略平行となる状態、特に好ましくは両軸線が一致する状態に、小型部品をその弾性力で弾発的に保持する。そして、小型部品を保持した保持治具１は小型部品の製造工程、搬送工程等に供される。
【００４１】
保持治具１に小型部品を保持する方法として、保持治具１の一方の表面が板状部材の平坦な表面に当接するように保持治具１と板状部材とを積層した状態に配置して、前記板状部材に対して反対側の他方の表面から小型部品を保持孔１５に圧入する方法が一般的に採用される。このような方法の例として、例えば特許第４３３７４９８号明細書には、従来の各種方法（例えば、０００４欄〜０００９欄及び図９〜１４参照。）と、これらの各種方法を改良した方法（特許請求の範囲及び図１及び図２等参照。）とが記載されている。具体的には、平坦な表面を有する板状部材と、保持孔１５と同数の貫通孔が保持孔１５と同じ間隔で同様に整列された整列板とをそれぞれ準備し、板状部材に重ね合わせた保持治具１に、その保持孔１５と整列板の貫通孔との軸線が一致するように整列板をさらに重ね合わせる。次いで、整列板の貫通孔それぞれに小型部品を挿入し、小型部品を平坦な押圧部材で前記板状部材に向かって均一に保持治具１側に押圧する。そうすると、小型部品は保持孔１５に前記状態となるように挿入され、弾発的に保持される。
【００４２】
このとき、小型部品を所望の姿勢で保持するのに必要な保持力は、保持孔１５及び小型部品の寸法及び形状等によって変化するが、通常、１０ｇｆ以上である。この保持力は次のようにして測定される。まず、保持孔１５の直径に対して前記仮想外接円の直径が約８０〜９５％となるサイズ、例えば、保持孔１５の直径が１．１９〜１．４１ｍｍである場合には縦０．８ｍｍ×横０．８ｍｍ（前記下層外接円の直径１．１３ｍｍ）×軸線長さ１．６ｍｍの直方体状チップ（ダミーチップ含む。）を保持孔１５に平板を用いてプレート面と同じ高さになるまで表面から水平に押し込む。次に、そのチップを保持孔１５の裏面からチップより小さな面を持つ押しピンで排出する。このチップ排出時に押しピンが接続された荷重測定器（商品名：デジタルフォースアナライザーＦＡ  ＰＬＵＳ、株式会社イマダ製）で押しピンにかかる最大の荷重を測定し、測定された最大荷重を保持力と定義する。なお、測定は複数回、例えば５回実施し、最大荷重は算術平均値とする。
【００４３】
保持治具１は、例えば、前記材料で作製した補強部材５とシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物とを、保持孔１５を形成することのできる成形ピンを有する成形金型内に収納して、一体成形することで、製造できる。
【００４４】
この保持治具１は補強部材５とシリコーンゴム粉末を含有する弾性部材６とを備えているから、弾性部材６の保持孔１５に挿入された小型部品を所望の姿勢で保持することができる。そして、この保持治具１は、保持孔１５に小型部品を多数回にわたって繰り返し挿脱すなわち保持し取り外しても、また小型部品を保持した状態で小型部品の製造工程、例えば加熱処理する電極形成工程等に供されても、保持孔１５が発揮する初期の保持力を大きく低下することがなく小型部品を所望のように保持するのに必要な保持力を長期間にわたって発揮するから、小型部品を所望の姿勢で保持することができる。その理由の１つとして前記のようにシリコーンゴム粉末が保持孔１５の周面に露出していることが想定される。したがって、このように保持治具１は高い耐久性を発揮する。
【００４５】
この発明に係る保持治具の別の一例である保持治具２は、図４及び図５に示されるように、支持孔１１を有する補強部材５と保持孔１５を有する弾性部材６とを備え、支持孔１１及び保持孔１５の配列が異なること以外は前記保持治具１と基本的に同様である。したがって、保持治具２は保持治具１と同様に所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持でき、高い耐久性を発揮する。
【００４６】
支持孔１１は、明確に図示されていないが、例えば図４に示される保持孔１５と同様に、図４に図示した補強部材５の短辺方向に並行な第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１支持孔１１Ａと偶数行に配列された第２支持孔１１Ｂ（図示しない。）とからなる所謂「千鳥状」に配列されている。その配列については保持孔１５で説明する。このような所謂「千鳥状」に配列は、同じ領域であれば、保持治具１のような碁盤目状の配列等に対してより多数の、すなわち高密度で支持孔１１を形成することができるので保持治具２の生産性を大きく向上させることができる。多数の支持孔１１は第１配列方向及び第２配列方向共に一定の間隔、例えば、１．８〜２．５ｍｍの間隔をおいて配列されている。
【００４７】
保持孔１５は、図４及び図５に示されるように、図４に図示した補強部材５の短辺方向に並行な第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１保持孔１５Ａと偶数行に配列された第２保持孔１５Ｂとからなる。さらに具体的には、保持孔１５は、第１配列方向及びこの第１配列方向に交差する第２配列方向、この例において図４に図示した補強部材５の長辺方向に沿って配列された第１保持孔１５Ａと、第１配列方向に沿って隣接する２つの第１保持孔１５Ａ並びに第２配列方向の同じ側に２つの前記第１保持孔１５Ａに隣接する２つの第１保持孔１５Ａで囲まれる矩形領域に配列された第２保持孔１５Ｂとからなる。そして、第１配列方向の最外列に第１保持孔１５Ａが配列され、第２配列方向の最外列に第２保持孔１５Ｂが配列されている。この所謂「千鳥状」の配列においては、第２保持孔１５Ｂの軸線は包囲される４つの第１保持孔１５Ａで囲まれる領域の略中心に存在している。第１保持孔１５Ａ及び第２保持孔１５Ｂの第１配列方向及び第２配列方向の間隔はいずれも第１配列方向の間隔が第２配列方向の間隔よりも約１．７倍大きくなっている。
【００４８】
この発明に係る保持治具の別の一例である保持治具３は、図６に示されるように、支持孔を有する補強部材５と保持孔１５を有する弾性部材６とを備え、支持孔及び保持孔１５の配列が異なること以外は保持治具１及び保持治具２と基本的に同様である。したがって、保持治具２は保持治具１と同様に所望の姿勢でチップを保持できる保持力を長期間維持でき、高い耐久性を発揮する。保持治具３における保持孔１５の配列は、具体的には、図６に示されるように、第１配列方向及び第２配列方向に沿って所謂「千鳥状」に配列されており、第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１保持孔１５Ａと偶数行に配列された第２保持孔１５Ｂとからなる。そして、第１配列方向の最外列及び第２配列方向の最外列のいずれにも第１保持孔１５Ａが配列されている。なお、支持孔は図示されないが保持孔１５と同様に配列されている。
【００４９】
この発明に係る保持治具は、前記した一例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。
【００５０】
例えば、保持治具１は支持孔１１及び保持孔１５が碁盤目状に配列され、保持治具２及び３は支持孔１１及び保持孔１５が千鳥状に配列されているが、この発明において、支持孔及び保持孔の配列はこれらに限定されず、例えば、前記碁盤目状配列を４５度回転した配列であってもよい。
【００５１】
保持治具１〜３はいずれも支持孔１１及び保持孔１５が同様の開口部形状に穿孔されているが、この発明において、支持孔及び保持孔は互いに異なる開口部形状に穿孔されてもよい。また保持治具１〜３はいずれも鍔部１３を有しているが、この発明において、鍔部を有していなくてもよく、また平坦部の少なくとも一端縁に有していてもよい。
【００５２】
保持治具１は、第１配列方向及び第２配列方向に沿う支持孔１１及び保持孔１５の間隔が同一間隔に設定されているが、この発明において、第１配列方向及び第２配列方向に沿う支持孔及び保持孔の間隔は異なる間隔に設定されていてもよい。また、保持治具２及び保持治具３は第１配列方向及び第２配列方向に沿う支持孔１１及び保持孔１５の間隔が異なる間隔に設定されているが、この発明において、第１配列方向及び第２配列方向に沿う支持孔及び保持孔の間隔は同一間隔に設定されていてもよい。
【００５３】
保持治具２は第１保持孔１５Ａが第１配列方向の最外列になるように配列され、第２保持孔１５Ｂが第２配列方向の最外列になるように配列されており、一方、保持治具３は第１保持孔１５Ａが第１配列方向の最外列及び第２配列方向の最外列になるように配列されているが、この発明において、第１保持孔又は第２保持孔が第１配列方向及び第２配列方向の少なくとも１つの最外列又はすべての最外列になるように配列されてもよい。
【実施例】
【００５４】
（実施例１）
厚さ８．９ｍｍのアルミニウム板を縦１８０ｍｍ×横２７０ｍｍに切り出し、その縦１５０ｍｍ×横２２５ｍｍの長方形の領域における両表面から深さ１．５ｍｍまでの部分を切削して、厚さが５．９ｍｍの平坦部とその周囲に厚さ８．９ｍｍの鍔部１３とを有する板状体を作製した。この平担部に２．０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、縦方向及び横方向に２．３ｍｍの間隔で縦１１０列及び横６７行に整列した状態に、穿孔した。このようにして図３に示される補強部材５を作製した。
【００５５】
次いで、高重合度の線状ポリジメチルシロキサンを架橋したシリコーンゴム又はその前駆体１００質量部と湿式シリカ３３．３質量部とを含有するシリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９９０−５０」、信越化学工業株式会社製）に、シリコーンゴム粉末（商品名「シリコーンゴムパウダー  ＫＭＰ−５９４」、球状、平均粒径５μｍ）１３３．３質量部を添加して均一になるまで混合して、シリコーンゴム粉末含有ゴム組成物を得た。このシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物において、高重合度の線状ポリジメチルシロキサンを架橋したシリコーンゴム又はその前駆体１００質量部に対するシリコーンゴム粉末の含有量は１３３．３質量部であった。
【００５６】
作製した補強部材５と調製したシリコーンゴム粉末含有ゴム組成物とを所定の成形金型に収納した後に、１３０℃で５分間加熱して一体成形し、図１及び図２に示される保持治具１を製造した。この保持治具１は、直径１．０ｍｍの保持孔１５が２．３ｍｍの間隔で縦１１０列、横６７列に配列されていた。
【００５７】
（実施例２及び３）
シリコーンゴム粉末の混合量をそれぞれ１３０質量部（前記シリコーンゴム又はその前駆体１００質量部に対する含有量は１３０質量部）及び１５０質量部（前記シリコーンゴム又はその前駆体１００質量部に対する含有量は１５０質量部）に変更したこと以外は実施例１と基本的に同様にして保持治具をそれぞれ製造した。
【００５８】
（比較例１）
シリコーンゴム粉末を添加せずに前記シリコーンゴム組成物のみを用いたこと以外は実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００５９】
（初期保持力の測定）
実施例及び比較例で製造した保持治具の初期保持力を次のようにして測定した。すなわち、保持孔１５の直径に対する所定割合（縦０．８ｍｍ×横０．８ｍｍ×軸線長さ１．６ｍｍ）の直方体状チップ（ダミーチップ含む。）を保持孔１５に平板を用いて弾性部材６の表面と同じ高さになるまで表面から水平に押し込んだ。次いで、この直方体状チップを保持孔１５の裏面から直方体状チップよりも小さな先端面を持つ押しピンで保持孔１５から排出した。直方体状チップを保持孔１５から完全に排出するまでに押しピンに作用する荷重を連続して測定し、最大荷重を初期保持力とした。その結果、初期保持力は、実施例１が１８．６ｇｆ、実施例２が２１．０ｇｆ、実施例３が２１．１ｇｆで比較例１が２６．１ｇｆであった。
【００６０】
（４００サイクル加熱挿脱後の保持力の測定）
「初期保持力の測定」に使用した直方体状チップと同寸の直方体状の小型部品を準備した。この小型部品を各保持治具の保持孔１５に挿入保持して保持治具ごと１５０℃に約８時間加熱した後に２０℃に放冷後に小型部品を取り外す加熱挿脱工程を繰り返し４００サイクル実施した。このようにして４００サイクル加熱挿脱後の保持孔１５の保持力を前記初期保持力と基本的に同様にして測定した。その結果、４００サイクル加熱挿脱後の保持力は、実施例１が１７．１ｇｆ、実施例２が１８．３ｇｆ、実施例３が１９．４ｇｆで比較例１が２１．４ｇｆであった。
【００６１】
（保持力の保持割合算出）
このようにして測定された４００サイクル加熱挿脱後の保持力を初期保持力で除して保持力の保持割合（百分率％）を算出した。その結果、保持力の保持割合は、実施例１が９１％、実施例２が８７％、実施例３が９２％で比較例１が８２％であった。
【００６２】
このように、実施例１〜３の保持治具は保持力の保持割合が極めて大きく、すなわち初期保持力に対する保持力の低下割合が小さく、小型部品を所望の姿勢で保持するのに必要な保持力である１０ｇｆ以上の初期保持力を維持していた。これに対して比較例１の保持治具は保持力の保持割合が実施例と比較すると小さくなっており、初期保持力を長期間維持しにくいことが分かった。
【００６３】
実施例１〜３のように４００サイクル加熱挿脱後の保持力が９０％前後の保持割合で保持されていると、実使用を考慮して実施例１〜３の保持治具を用いて前記小型部品を２０００サイクル加熱挿脱しても初期保持力が長期にわたって十分に維持されることが容易に推測される。これに対して、比較例１の保持治具は保持力の絶対値は大きいものの、初期保持力に対する保持力の保持割合が小さいから、前記小型部品を２０００サイクル加熱挿脱すると小型部品を所望の姿勢で保持するのに必要な保持力である１０ｇｆ以上を下回って初期保持力を十分に維持できないであろうことが予想される。
【００６４】
なお、保持孔１１を碁盤目状に配列した保持治具１に代えて図４及び図５に示される千鳥配列並びに図６に示される千鳥配列に配列した保持治具（保持孔の直径は０．６４ｍｍ）を製造したところ、保持力等の試験結果に保持治具１と基本的に同様の傾向が確認できた。
【符号の説明】
【００６５】
１、２、３  保持治具
５  補強部材
６  弾性部材
１１  支持孔
１１Ａ  第１支持孔
１２  平坦部
１３  鍔部
１５  保持孔
１５Ａ  第１保持孔
１５Ｂ  第２保持孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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