(57)【要約】【課題】多孔質部材などの電気的特性を評価する際に、評価の精度が低いこと。【解決手段】ヒータ１２０は、多孔質部材５００の下面の一部の領域を加熱する。ローラ１１０は、多孔質部材５００を面方に搬送する。サーモビュア１３０は、上面において、加熱される領域に対して、下流にオフセットした位置の表面温度を測定する。【選択図】図１
2013152110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質部材を検査する検査装置であって、
板状の多孔質部材の所定面の一部の領域に対して加熱または吸熱をする伝熱部と、
前記多孔質部材を前記伝熱部に対して、該多孔質部材の面方向に相対移動させる搬送部と、
前記所定面と対向する反対面の領域の表面温度であって、前記所定面における現伝熱領域の下流領域に対向する領域の表面温度を測定する測定部と、
前記測定された温度に基づき、前記多孔質部材の特性の評価をする評価部と
を備える検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置であって、
前記測定部は、前記現伝熱領域に対向する領域の少なくとも一部の表面温度を測定し、該領域が前記下流領域に移動するまで、該領域の温度測定を継続する
検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置であって、
前記測定部は、前記現伝熱領域に対向する領域と、前記下流領域に対向する領域との表面温度を測定するために、前記相対移動に合わせて移動する
検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか一つに記載の検査装置であって、
前記下流領域に対向する領域は、前記反対面において最も表面温度が高い領域を含む
検査装置。
【請求項５】
多孔質部材を検査する検査方法であって、
板状の多孔質部材を伝熱源に対して、該多孔質部材の面方向に相対移動させることによって、前記多孔質部材の所定面の一部の領域に対して加熱または吸熱をする伝熱工程と、
前記所定面と対向する反対面の領域の表面温度であって、前記所定面における現伝熱領域の下流領域に対向する領域の表面温度を温度測定器によって測定する測定工程と、
前記測定された温度に基づき、前記多孔質部材の特性の評価をする評価工程と
を備える検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の検査方法であって、
前記測定工程において、前記現伝熱領域に対向する領域の少なくとも一部の表面温度を測定し、該領域が前記下流領域に移動するまで、該領域の温度測定を継続する
検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の検査方法であって、
前記測定工程において、前記現伝熱領域に対向する領域と、前記下流領域に対向する領域との表面温度を測定するために、前記相対移動に合わせて前記温度測定器を移動させる
検査方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７の何れか一つに記載の検査方法であって、
前記下流領域に対向する領域は、前記反対面において最も表面温度が高い領域を含む
検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質部材の検査に関する。
【背景技術】
【０００２】
内部が一様ではない部材、例えば多孔質部材や積層部材などを含む被検物の電気的特性を検査するために、熱伝導を利用する手法が知られている。特許文献１に開示されている手法は次の通りである。被検物となる多層配線基板の所定面を全体的に加熱しつつ、反対面の表面温度を測定する。加熱の度合いと、反対面の表面温度の変化から、被検物の熱伝導率が推定できる。推定した熱伝導率から多層配線基板の接続状態の良否を判定することによって、多層配線基板の電気的特性を評価する。
【０００３】
この他、多孔質材量の一つである燃料電池のＭＥＡやガス拡散部材などの構成材料について、角周波数ωの周期で発熱を起こした熱の伝搬を測定し、この測定結果に基づき単セルの電池特性を評価する手法が知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１０８１１０号公報
【特許文献２】特開２００８−０２７９０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記技術の課題は、加熱による上昇過程にある温度を測定しているので、その評価に誤差が入りやすく、特性評価の精度が高くないことである。さらに、装置を簡易なものにするために加熱能力を低くしたり、加熱部を小型化して簡易にしたりする場合、加熱による温度上昇が緩やかになるので、この課題は更に顕著となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためのものであり、以下の形態または適用例として実現できる。
【０００７】
適用例１：多孔質部材を検査する検査装置であって、
板状の多孔質部材の所定面の一部の領域に対して加熱または吸熱をする伝熱部と、
前記多孔質部材を前記伝熱部に対して、該多孔質部材の面方向に相対移動させる搬送部と、
前記所定面と対向する反対面の領域の表面温度であって、前記所定面における現伝熱領域の下流領域に対向する領域の表面温度を測定する測定部と、
前記測定された温度に基づき、前記多孔質部材の特性の評価をする評価部とを備える。
【０００８】
この適用例によれば、装置を簡易なものにしつつ、多孔質部材の特性評価の精度を高めることができる。この適用例において温度が測定されるのは、下流領域に対向する領域である。この測定領域は、現伝熱領域に対向する領域に比べて、面方向の温度分布が小さい。なぜなら、下流領域は、所定時間前に伝熱が開始されているので、現伝熱領域よりも厚さ方向の伝熱が進行しているからである。面方向の温度分布が小さいということは、測定された温度のバラツキが小さいことになる。温度のバラツキが小さければ、特性評価に誤差が含まれづらくなり、その精度は高くなる。
【０００９】
「多孔質部材の特性」とは、例えば、多孔質部材の粗密さや厚さである。「搬送部の相対移動」は、実際に動くのが、多孔質部材でも、伝熱部でも、その両方でも良い。「現伝熱領域」とは、現時点において伝熱されている領域のことである。「現伝熱領域の下流領域」とは、現伝熱領域に対して、相対移動の下流に位置する領域である。現伝熱領域および下流領域は、重複があっても、なくても良い。
【００１０】
適用例２：適用例１に記載の検査装置であって、
前記測定部は、前記現伝熱領域に対向する領域の少なくとも一部の表面温度を測定し、該領域が前記下流領域に移動するまで、該領域の温度測定を継続する。
【００１１】
この適用例によれば、多孔質部材の特性評価の精度を高めることができる。この適用例における測定部は、反対面の或る領域の表面温度についての経時変化を測定する。この経時変化も加味して特性を評価すれば、より精度の高い評価ができる。
【００１２】
適用例３：適用例２に記載の検査装置であって、
前記測定部は、前記現伝熱領域に対向する領域と、前記下流領域に対向する領域との表面温度を測定するために、前記相対移動に合わせて移動する。
この適用例によれば、一時に測定する範囲を狭くできるので、測定部を小型化できる。
【００１３】
適用例４：適用例１から適用例３の何れか一つに記載の検査装置であって、
前記下流領域に対向する領域は、前記反対面において最も表面温度が高い領域を含む。
この適用例によれば、特性評価の精度を高めることができる。最も温度が高い領域というのは、温度の変化率がゼロの領域を含み、温度分布が小さい。温度分布が小さい領域において測定した温度に基づいて特性評価をすれば、先述したように、その精度は高くなる。
【００１４】
適用例５：多孔質部材を検査する検査方法であって、
板状の多孔質部材を伝熱源に対して、該多孔質部材の面方向に相対移動させることによって、前記多孔質部材の所定面の一部の領域に対して加熱または吸熱をする伝熱工程と、
前記所定面と対向する反対面の領域の表面温度であって、前記所定面における現伝熱領域の下流領域に対向する領域の表面温度を温度測定器によって測定する測定工程と、
前記測定された温度に基づき、前記多孔質部材の特性の評価をする評価工程とを備える。
【００１５】
適用例６：適用例５に記載の検査方法であって、
前記測定工程において、前記現伝熱領域に対向する領域の少なくとも一部の表面温度を測定し、該領域が前記下流領域に移動するまで、該領域の温度測定を継続する。
【００１６】
適用例７：適用例６に記載の検査方法であって、
前記測定工程において、前記現伝熱領域に対向する領域と、前記下流領域に対向する領域との表面温度を測定するために、前記相対移動に合わせて前記温度測定器を移動させる。
【００１７】
適用例８：適用例５から適用例７の何れか一つに記載の検査方法であって、
前記下流領域に対向する領域は、前記反対面において最も表面温度が高い領域を含む。
【００１８】
この適用例５〜８によれば、適用例１〜４と同等の効果を得ることができる。
さらに、適用例５〜８の検査結果を利用して、多孔質部材を用いた機器（例えば燃料電池）を製造する製造方法の適用例が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１検査装置１００と多孔質部材５００とを示す図。
【図２】多孔質部材５００の上面の温度分布を示したグラフ。
【図３】第１検査手順を示す工程図。
【図４】第１検査装置１００と従来技術とによる温度測定の結果を示すグラフ。
【図５】多孔質部材５００の断面図を概念的に示した図。
【図６】第２検査装置３００と多孔質部材５００とを示す図。
【図７】第２検査手順を示す工程図。
【図８】２つの領域についての表面温度の経時変化を示したグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
実施例１：
Ａ．第１検査装置１００（図１）：
図１は、第１検査装置１００と、多孔質部材５００とを示す図である。多孔質部材５００は、燃料電池の拡散層として用いられる。第１検査装置１００は、多孔質部材５００が拡散層として適切に機能するかについて検査を行う装置である。第１検査装置１００は、ローラ１１０と、ヒータ１２０と、サーモビュア１３０と、制御ユニット１４０とを備える。
【００２１】
ローラ１１０は、図１の左から右に多孔質部材５００を搬送する。１つの多孔質部材５００を搬送し終えたら、他の多孔質部材５００を次々と搬送する。ヒータ１２０は、多孔質部材５００の下面（所定面）側に配置され、下面の一部に対してジュール熱によって加熱をする。加熱される領域は、図１において「加熱領域」として示されている。サーモビュア１３０は、多孔質部材の上面（反対面）側に配置され、上面の一部を対象に、非接触方式で表面温度を測定する。温度測定される領域は、図１において「測定領域」として示されている。２つの領域は、図１においては１次元的に示されているが、実際には搬送方向に対して直交する方向（紙面と直交する方向）にも広がりを持つ２次元的な領域である。制御ユニット１４０は、ローラ１１０と、ヒータ１２０と、サーモビュア１３０とを制御するコンピュータである。
【００２２】
図１に示すように測定領域の中心が、加熱領域の中心に対して搬送の下流側にオフセットするように、ヒータ１２０及びサーモビュア１３０が配置されている。オフセット量の決め方は後述する。搬送方向に直交する方向については２つの領域の中心が一致するように、ヒータ１２０及びサーモビュア１３０が配置されている。
【００２３】
Ｂ．測定領域のオフセット量（図２）：
図２を用いて、測定領域のオフセット量について説明する。図２は、図１に示した位置に多孔質部材５００が搬送された時点における上面の温度分布を示したグラフである。グラフの縦軸は上面の表面温度、横軸は上面の搬送方向の位置を示す。このグラフの元となるデータは、第１検査装置１００によっては取得できない。このデータの取得は、ローラ１１０による被検物の搬送とヒータによる加熱とを行いつつ、サーモビュア１３０の代わりに、上面全体の表面温度を測定領域とする温度測定器を用いた測定によって実行した。
【００２４】
図２に示すように、加熱対向領域（加熱領域に対向する領域）の上流端よりも上流側は、加熱される前であるので、表面温度が搬送位置によらず一定である。一方、加熱対向領域の上流端から下流側は、ヒータ１２０による加熱によって、上流端から上流側に比べて表面温度が高くなる。図２に示すように、加熱対向領域の上流端から下流端は、下流に進むに連れて表面温度が上昇していく。これは、多孔質部材５００が熱抵抗を有することによって、下面から上面へ熱が伝わるのに時間が掛かることを反映している。
【００２５】
加熱対向領域の下流端から下流側は、図２に示すように、下流に進むに連れて、表面温度は下降していく。これは、下面において加熱が行われず、上面と下面とから徐々に放熱が進行することを反映している。
【００２６】
このように、表面温度のピークは、加熱対向領域の中心よりも、下流側に位置することになる。上記の測定結果に基づき、表面温度のピークと加熱対向領域の中心との距離を求める。この距離が、測定領域のオフセット量となる。
【００２７】
第１検査装置１００を構成する際、測定領域の中心を、求めたオフセット量の分、加熱対向領域の中心から下流側にずらしてサーモビュア１３０を配置する。この結果、表面温度のピーク位置は、多少のバラツキがあったとしても、測定領域の中心の近くとなる。図２においては、表面温度のピークが加熱対向領域の下流端またはその近くに位置するように示されているが、必ずこのようになるという訳ではない。何れの位置に表面温度のピークが位置するかは、ヒータ１２０の加熱能力、多孔質部材５００の熱抵抗のバラツキ、搬送速度などに依存する。
【００２８】
Ｃ．第１検査手順（図３）：
図３は、第１検査手順を示す工程図である。先述したように、ローラ１１０、ヒータ１２０及びサーモビュア１３０は、制御ユニット１４０によって制御される。第１検査手順においては、ローラ１１０による多孔質部材５００の搬送（工程Ｓ２１０）、ヒータ１２０による加熱（工程Ｓ２２０）及びサーモビュア１３０による温度測定（工程Ｓ２３０）が連続的に行われる。
【００２９】
制御ユニット１４０は、多孔質部材５００の端から端までの温度測定結果を記憶する（工程Ｓ２６０）。具体的には、多孔質部材５００の一端が測定領域に到達してから、他端が通過するまでの温度測定の経時変化を記憶する。「多孔質部材５００の一端が測定領域に到達」したこと、及び「多孔質部材５００の他端が測定領域を通過」したことは、サーモビュア１３０による測定温度に基づいて判定する。この判定は、「多孔質部材５００の上流端が測定領域に到達」する前、及び「多孔質部材５００の下流端が測定領域を通過」した後は、ヒータ１２０とサーモビュア１３０との間を多孔質部材５００が遮らないことによって高温が測定されることを利用して行う。
【００３０】
続いて、温度測定の経時変化が所定範囲内かを判定する（工程Ｓ２７０）。判定の具体的手法は後述する。所定範囲内と判定した場合（工程Ｓ２７０、ＹＥＳ）、多孔質部材５００を良品と見なし、ローラ１１０による搬送を続けることによって、多孔質部材５００を組み付け工程に回し（工程Ｓ２８０）、第１検査手順を終える。一方、所定範囲内ではないと判定した場合（工程Ｓ２７０、ＮＯ）、多孔質部材５００を不良品と見なし、図示されていない構成によってローラ１１０上から除外することによって、多孔質部材５００を不良品置き場に排除し（工程Ｓ２９０）、第１検査手順を終える。
【００３１】
Ｄ．第１検査手順の作用効果（図４、図５）：
図４は、第１検査装置１００と従来技術とによる温度測定の結果を示すグラフである。ここで言う従来技術とは、加熱対向領域と測定領域との中心を一致させる手法のことである。グラフの縦軸は頻度、横軸は温度を示す。この測定結果は、或る時刻におけるものである。図２のグラフにおいては、或る搬送方向の位置において測定される温度の値は１つとして示したが、微視的には、搬送方向にも、搬送公報との直交方向にも分布を持つ。よって、サーモビュア１３０の測定結果は、図４のグラフに示すように「測定領域において、各温度がどの程度の頻度を持つか」として整理される。
【００３２】
図２に示したグラフの縦軸の温度とは、各位置の代表温度である。代表温度とは、測定領域における重み付き平均値を、その測定領域の中心位置の表面温度として代表させた値である。ここで用いる「重み」は、頻度値である。この頻度分布は多くの場合に正規分布するので、重み付き平均値は、最頻値および重みを考慮しない平均値と近い値となる。よって、最頻値および重みを考慮しない平均値を、表面温度の代表値としても良い。
【００３３】
ところで、図２に示すように、実施例１において、測定領域においては、加熱対向領域に比べて、温度の変化率が小さい。この「温度の変化率」とは、例えば「単位時間当たりの変化量の絶対値を積算した値」と定義できる。
【００３４】
従来技術の場合、測定温度の変化率が大きいので、測定される温度の範囲も広い。このことは、図４において頻度分布の広さとして表れている。頻度分布が広い場合、重み付き平均値は、それらの値から離れた値も反映したものとなり、この結果、誤差を含んだものとなりやすい。
【００３５】
それに対して第１検査装置１００による測定結果の場合、測定温度の変化率が小さいので、図４に示すように、温度の頻度分布は狭い範囲に収まる。温度の頻度分布が狭ければ、重み付き平均値は、被検物の特性をより的確に示す値となる。
【００３６】
第１検査手順における工程Ｓ２７０の判定手法は、このようにして取得する温度の頻度分布の時系列データ、つまり図４に示したグラフをサンプリング周波数×時間の数だけ取得したデータに基づいて行う。各時刻におけるデータから推定できるのは、その時刻における測定領域の厚さ方向の粗密さである。この疎密さについて、図５を用いて説明する。
【００３７】
図５は、多孔質部材５００の断面図を、概念的に示した図である。図５に示すように、多孔質部材５００は主に、多数の基材５１０と多数のバインダ５２０とが接合されて構成される。上記「厚さ方向の粗密さ」とは、主にバインダ５２０の分布に対応する。つまり、バインダ５２０の量が多い部位は「密」、少ない部位は「疎」、ということになる。
【００３８】
バインダ５２０の量が多い部位は、基材５１０同士が接続され、或る基材５１０から他の基材５１０へと熱が伝わりやすくなる。そうすると、多孔質部材５００の厚さ方向の熱抵抗（Ｋ／Ｗ）が小さくなり、上面における放熱が増大することになる。この結果、温度分布が全体的に低温側にシフトすることになる。これに対して、バインダ５２０の量が少ない部位は、逆のことが言えるので、温度分布が全体的に高温側にシフトすることになる。
【００３９】
バインダ５２０の分布は、多孔質部材５００が燃料電池に組み込まれた場合に、発電性能に影響するので、適切な範囲に収まっているのが好ましい。バインダ５２０の量が適切な範囲に収まっているかは、上記の通り温度分布から推定できる。よって、工程Ｓ２７０における良否の判断手法は、各時刻における温度分布が適切な範囲に収まっているかに基づいて行う。具体的には、何れの時刻の平均値においても、予め定めた範囲に収まっていれば良品、そうでなければ不良品、と判定できる。
【００４０】
このように、サーモビュア１３０の中心を、ヒータ１２０の中心よりも下流側にオフセットすることによって、精度の高い評価ができるようになる。しかも、ヒータ１２０及びサーモビュア１３０は、小型の物で良く、第１検査装置１００を簡易に構成できる。
【００４１】
実施例２：
Ｅ．第２検査装置３００（図６）：
図６は、第２検査装置３００と多孔質部材５００とを示す図である。第２検査装置３００は、ローラ３１０と、ヒータ３２０と、サーモビュア３３０と、制御ユニット３４０とを備える。ローラ３１０は、実施例１のローラ１１０と同じ物であり、ヒータ３２０は、実施例１のヒータ１２０と同じ物である。
【００４２】
これに対してサーモビュア３３０は、実施例１のサーモビュア１３０と異なる物である。サーモビュア３３０は、多孔質部材５００の搬送方向に往復移動する機構を備える。この往復移動の範囲は、加熱対向領域の上流端から表面温度のピーク位置までが、測定領域に含まれるように設定される。サーモビュア３３０の場合、余裕を持たせるために、加熱対向領域の上流端よりも更に上流の領域から、表面温度のピーク位置よりも更に下流の領域までが測定領域に含まれるように、移動範囲が設定されている。移動の速度は、搬送の上流から下流への向き（図の右向き）については、多孔質部材５００の搬送速度と同じ速度に設定される。下流から上流（図の左向き）へ移動する速度は、往復移動機構に故障などの不具合が発生しない範囲で、できるだけ速い速度に設定される。
【００４３】
制御ユニット３４０は、制御ユニット１４０とは異なる制御を実行する。その制御は、次から説明する第２検査手順によって実現される。
【００４４】
Ｆ．第２検査手順（図７）：
図７は、第２検査手順を示す工程図である。サーモビュア３３０の初期位置（第２検査手順開始時における位置）は、移動範囲における最も上流側の位置である。工程Ｓ４１０〜工程Ｓ４３０は、第１検査手順の工程Ｓ２１０〜工程Ｓ２３０と同じなので説明を省く。ただし、符号は適宜、読み替える。
【００４５】
制御ユニット３４０は、工程Ｓ４１０〜工程Ｓ４３０の最中、多孔質部材５００の一端が測定領域に到達したことを検出する（工程Ｓ４３５）。この到達の検出後、サーモビュア３３０の下流への移動を開始する（工程Ｓ４４０）。先述したように、サーモビュア３３０の移動速度は搬送速度と同じなので、測定領域は、多孔質部材５００に対して移動しない。よって、同じ領域を対象に、表面温度の経時変化を測定することになる。
【００４６】
次に、サーモビュア３３０が移動範囲の下流端に到達したことを契機に、サーモビュア３３０を上流へ向けて移動させる（工程Ｓ４５０）。この移動時においては、温度測定は不要なので行わない。続いて、多孔質部材５００の他端が測定領域を通過したかを、サーモビュア３３０が移動範囲の上流端に到達した時点において判断する（工程Ｓ４６０）。まだ到達していないと判断した場合（工程Ｓ４６０、ＮＯ）、工程Ｓ４４０に戻る。
【００４７】
このようにして複数の領域について温度の経時変化を測定した後、多孔質部材５００の他端が測定領域を通過したと判断した場合（工程Ｓ４６０、ＹＥＳ）、測定した温度分布が所定範囲内かを判定する（工程Ｓ４７０）。具体的な判定手法は後述する。温度分布が所定範囲内と判定した場合（工程Ｓ４７０、ＹＥＳ）、工程Ｓ４８０に進み、第２検査手順を終える。一方、温度分布が所定範囲内でないと判定した場合（工程Ｓ４８０、ＮＯ）、工程Ｓ４９０に進み、第２検査手順を終える。工程Ｓ４８０、工程Ｓ４９０は、第１検査手順の工程Ｓ２８０、工程Ｓ２９０と同じなので説明を省く。
【００４８】
Ｇ．第２検査手順による作用効果（図８）：
第２検査手順によって取得されるデータは、先述したように、複数の領域についての温度分布の経時変化である。図８は、或る２つの領域についての表面温度の経時変化を示したグラフである。グラフの縦軸は、測定された表面温度の平均値であり、横軸は時間である。
【００４９】
図８に示すように、曲線６００及び曲線７００は、表面温度の最大値が互いにほぼ同じである一方、曲線の立ち上がり方（Ｋ／ｓ）が互いに異なる。ヒータ３２０による加熱（Ｗ＝Ｊ／ｓ）は何れの領域でも同じ条件なので、立ち上がり方は、測定対象となった領域の熱容量（Ｊ／Ｋ）の逆数を反映している。つまり、曲線６００の立ち上がり方が急なのは、測定領域における厚さ方向の部位の熱容量が小さいからであり、曲線７００の立ち上がり方が緩やかなのは、測定領域における厚さ方向の部位の熱容量が大きいからである。
【００５０】
熱容量が小さい、つまり曲線の立ち上がり方が急ということは、早く温度が上昇するということなので、熱が伝わりやすいことを意味する。よって、図５を用いて既に説明したように、測定領域にバインダ５２０が密に分布していることが推測される。
【００５１】
工程Ｓ４７０における判定は、立ち上がり方が所定範囲内に収まっていれば良品、そうでなければ不良品、と判定する。この所定範囲は、例えば、表面温度の上昇が始まってから、表面温度が最大値の９０％に達するまでの時間が所定範囲内であるか、という基準で判定できる。
【００５２】
曲線の立ち上がり方によって良否を判定する手法は、測定領域が飛び飛びの領域となるものの、過渡的な現象を加味している点において、判定の精度がより良いと言える。しかも、第２検査装置３００は、実施例１の第１検査装置１００に対して、制御ユニット３４０による制御を変更し、サーモビュア３３０の往復機構を追加するだけで実現できるので、簡易に構成できる。
【００５３】
Ｈ．実施形態と適用例との対応関係：
第１検査装置１００が適用例１及び４の検査装置に、第２検査装置３００が適用例１〜４の検査装置に、加熱領域が現伝熱領域に、測定領域が「下流領域に対向する領域」に各々対応する。
【００５４】
Ｉ．他の実施形態：
加熱の方法は、ヒータでなくても良い。例えばレーザや赤外線の照射など、どのようなものでも良い。
加熱の代わりに、吸熱しても良い。吸熱する方法としては、例えば、冷風を当てる方法が考えられる。吸熱する場合、熱の移動が逆向きになることを考慮して、判定や評価をすれば良い。
搬送の方法は、ローラでなくても良い。例えば、ベルトコンベアなどであっても良い。
温度測定の方法は、サーモビュアでなくても良い。例えば、可視光線を利用するパイロメータや、接触式のものであっても良い。
第１及び第２検査手順における「多孔質部材５００の一端が測定領域に到達」したこと、及び「多孔質部材５００の他端が測定領域を通過」したことは、サーモビュア１３０の測定結果を用いる代わりに、ビデオカメラなど他のセンサを用いて、多孔質部材５００の搬送位置を判断しても良い。
実施例２のサーモビュア３３０の代わりに、測定領域を広げた温度測定機器を用いても良い。この温度測定機器の測定領域は、実施例２における加熱対向領域から表面温度がピークとなる位置まで含む。このようにすれば、温度測定機器の往復移動が不要となる。
第１検査手順における良品／不良品の判定は、実施例１と異なる手法であっても良い。例えば、高温域及び／又は低温域の偏在、高温域の大きさを基準にして判定しても良い。
第２検査手順における良品／不良品の判定は、実施例２と異なる手法であっても良い。例えば、曲線の立ち上がり方に加えて、表面温度の最高値を加味して判定しても良い。
被検物とする多孔質部材は、燃料電池用でなくても良い。例えば、吸着剤，触媒、防音材などの用途であっても良い。
被検物の多孔質部材は、連続したロール形状であっても良い。この場合、温度分布が所定の範囲内ではない領域の位置を記憶し、個別の形状に切り出す時にその記憶した位置を排除しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１００…第１検査装置
１１０…ローラ
１２０…ヒータ
１３０…サーモビュア
１４０…制御ユニット
３００…第２検査装置
３１０…ローラ
３２０…ヒータ
３３０…サーモビュア
３４０…制御ユニット
５００…多孔質部材
５１０…基材
５２０…バインダ
６００…曲線
７００…曲線
【図１】
2013152110.tif 000003
【図２】
2013152110.tif 000004
【図３】
2013152110.tif 000005
【図４】
2013152110.tif 000006
【図５】
2013152110.tif 000007
【図６】
2013152110.tif 000008
【図７】
2013152110.tif 000009
【図８】
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