(57)【要約】【課題】  電気配線基板の配線保護信頼性が高い液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】  電気配線基板の配線上部を、第一の接着剤層、第一の保護フィルム層、第二の接着剤層、第二の保護フィルム層からなる積層体で保護する。【選択図】  図１３
2013035253.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数配設された、液体を吐出する吐出口と、複数の吐出口から液体を吐出するためのエネルギーをそれぞれ発生する複数の記録素子と、を有する記録素子基板と、
前記複数の記録素子を駆動するための電気信号を伝送する複数の配線が形成された電気配線基板と、
を有し、
電気配線基板の配線上に、少なくとも２つ以上の接着剤層とフィルム層が交互に積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
２つのフィルム層の間に配置される接着剤層の厚みは、配線が形成される層とフィルム層の間に配置される接着剤層よりも厚みが薄いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
２つのフィルム層の間に配置される接着剤層の弾性率は２つのフィルム層の弾性率よりも低いことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数のフィルム層が同一材料であることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
複数のフィルム層が異種材料であり、線膨張係数が同一であることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
複数の接着剤層が同一材料であること特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の接着剤層が異種材料であり、線膨張係数が同一であることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
電気配線基板の少なくとも一か所に直角に曲げられて固定されている箇所があることを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
曲げ部近傍に、曲げ稜線と平行な配線がないことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド、及び液体吐出ヘッドに用いられる電気配線基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドの代表的なインクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とも称する）として、記録媒体の搬送方向と交差する方向に記録媒体の幅に対応する範囲にわたってインク吐出口が配列されたフルライン型の記録ヘッドがある。
【０００３】
記録ヘッドは、記録素子に供給するための電源や、記録素子を駆動するための信号を外部から供給するために、記録素子基板に電気的に接続される電気配線基板を有している。電気配線基板は可撓性を有する樹脂フィルムに配線が形成され、配線上には保護フィルム層と接着剤層から成るカバーレイフィルム（以下、「カバーレイ」とも称する）がラミネートされたフレキシブル配線基板が適用される。フルライン型の記録ヘッドにおいては、電気配線基板が印字幅方向にほぼ全域に渡って配置されており、さらにヘッドの側面で略垂直に折り曲げて固定されるものもある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２４８７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、記録ヘッド組み立て工程時、特に電気配線基板の折り曲げ工程時に、電気配線基板の表面を傷つける可能性がある。
【０００６】
また、各色に対応した記録ヘッドを有する記録装置においては、記録装置を小型化する等の理由から、複数の記録ヘッドを狭ピッチに配置する場合がある。したがって、記録ヘッドを記録装置に取り付ける際、記録ヘッドを支持固定する記録ヘッド固定部材などの板金部品に記録ヘッドが干渉して電気配線基板の表面を傷つける可能性がある。
【０００７】
特に、電気配線基板の曲げ固定部近傍に傷がついた場合には、初期的には表面の保護フィルム層を貫通するような傷でなくても、曲げ応力によって傷が進行し、保護フィルム層を貫通する亀裂になる場合もある。そして、保護フィルム層を貫通した亀裂からインクが侵入した場合、接着剤層は保護フィルム層よりも吸水し易いために、インクが配線に接触する可能性があり、配線が腐食したり、配線同士がショートし、記録ヘッドが破損したりしてしまう恐れがある。
【０００８】
例えば、産業用途の記録装置などに適用される場合においては、記録ヘッドの稼働率が高く、記録装置内部の温度、湿度の高い環境下に晒されることとなり、電気配線基板表面のわずかな傷を起点に、上述のような事態が発生する可能性が高くなる。また、一方では、記録ヘッドの更なる長寿命化が要求されており、電気配線基板においては配線保護信頼性がより一層求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明は、複数配設された、液体を吐出する吐出口と、複数の吐出口から液体を吐出するためのエネルギーをそれぞれ発生する複数の記録素子と、を有する記録素子基板と、複数の記録素子を駆動するための電気信号を伝送する複数の配線が形成された電気配線基板と、を有し、電気配線基板の配線上に、少なくとも２つ以上の接着剤層とフィルム層が交互に積層されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、配線保護信頼性の高い電気配線基板を提供することができ、また、それを用いた信頼性の高い記録ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明を適用可能な記録ヘッドを説明するための図であり、（ａ）は記録ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は記録ヘッドの下面図、（ｃ）は、記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】記録素子ユニットの分解斜視図である。
【図３】記録素子基板を説明するための図であり、（ａ）は記録素子基板の外観斜視図、（ｂ）は図３（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図４】ベースプレートを説明するための図であり、（ａ）は記録素子基板が配置される面（装着面）を含む外観斜視図、（ｂ）はインク流入口及び流出口が設けられた面を含む外観斜視図、（ｃ）は記録素子基板が配置される面から見た、内部のインク流路を透過させて示した平面図である。
【図５】電気配線基板を説明するための図であり、（ａ）は電気配線基板の外観斜視図、（ｂ）はその配線レイアウトの模式図である。
【図６】支持部材Ａ、Ｂを示す外観斜視図である。
【図７】インク供給部材を示す外観斜視図である。
【図８】駆動回路基板ユニットを示す分解斜視図である。
【図９】記録素子ユニットと駆動回路基板ユニットとが結合された状態を示す斜視図である。
【図１０】記録装置の構成を説明するための図である。
【図１１】本発明を適用可能な記録ヘッドが装着された状態の記録装置を示す図であり、（ａ）は図９のＸ方向から見た平面図、（ｂ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ断面を含む平面図である。
【図１２】記録素子ユニットの断面模式図である。
【図１３】図１２中のＣ部を拡大し、電気配線基板の層構成を説明する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明を適用可能な液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェット記録ヘッドを例に説明する。図１から図１１は、記録ヘッド、及びこれが装着されるインクジェット記録装置（以下、「記録装置」と称す）の構成を説明するための図である。
【００１３】
（１）記録ヘッド
本発明を適用可能な記録ヘッド１００の構成を図１に示す。記録ヘッド１００は、使用が想定される紙などの記録シートの最大幅に対応する範囲にわたって、吐出口を有する記録素子基板１１００が配置されており、記録ヘッド１００を走査せず、高速の記録が可能なフルライン型の記録ヘッド１００である。
【００１４】
図１（ｃ）に示すように、記録ヘッド１００は、記録素子ユニット１０００と駆動回路基板ユニット２０００とからなり、記録素子ユニット１０００と駆動回路基板ユニット２０００は、互いに機械的および電気的に着脱可能に結合される。
【００１５】
（記録素子ユニット）
記録素子ユニット１０００の分解斜視図を図２に示す。記録素子ユニット１０００は、複数の記録素子基板１１００、ベースプレート１２００、２つの支持部材１４００、１４０５、２つのインク供給部材１５００、電気配線基板１３００、２つのサイドプレート１６００、１６５０から構成されている。
【００１６】
複数の記録素子基板１１００は、基材としてのベースプレート１２００の装着面１２００Ａ上に、ベースプレート１２００の長手方向に関して千鳥状に精度よく配設され、装着されている。２つの支持部材１４００、１４０５と、２つのインク供給部材１５００は、ベースプレート１２００の長手方向に関する両端に固定される。電気配線基板１３００は、ベースプレート１２００に接着固定され、電気配線基板１３００の短手方向の両端は折り曲げられ、ベースプレート１２００の側面に接着固定されている。
【００１７】
次に、記録素子ユニット１０００の構成をより詳細に説明する。
【００１８】
まず、記録素子基板１１００の構成を図３（ａ）、（ｂ）に示す。記録素子基板１１００は、シリコン基板１１０８と吐出口プレート１１１０からなる。
【００１９】
シリコン基板１１０８の厚さは、例えば０．５〜１ｍｍ程度である。シリコン基板１１０８には、シリコン基板１１０８の長手方向に延びた長溝状のインク供給口１１０１が形成されている。また、インク供給口１１０１の両側には、インクを吐出するためのエネルギーを発生する記録素子としてのヒーターなどの電気熱変換素子１１０２が、それぞれ１列ずつ千鳥状に配列されている。電気熱変換素子１１０２、及び電気熱変換素子１１０２と電気的に接続されるアルミニウム等の電気配線（不図示）は、成膜技術により形成されている。また、記録素子基板１１００の長手方向の両端部には、電気配線基板１３００と電気的に接続される電極１１０３が設けられている。
【００２０】
シリコン基板１１０８の上には、樹脂材料からなる吐出口プレート１１１０が設けられており、吐出口プレート１１１０には、電気熱変換素子１１０２に対応したインク流路１１０４及び吐出口１１０５がフォトリソグラフィー技術により形成されている。吐出口１１０５は、電気熱変換素子１１０２と対向するように設けられている。すなわち、吐出口１１０５は、記録素子基板１１００の長手方向に沿って配設されている。電気熱変換素子１１０２を駆動することより気泡を発生させて、インク供給口１１０１から供給されたインクを吐出口１１０５から吐出させる。
【００２１】
次に、ベースプレート１２００の構成を図４（ａ）〜（ｃ）に示す。ベースプレート１２００は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３；以下、アルミナと称する）で形成されたアルミナグリーンシートを複数積層し、焼成することで形成されている。アルミナグリーンシートの厚さは、例えば０．５〜１ｍｍ程度であり、これらが積層されたベースプレート１２００の厚さは１０ｍｍ程度である。ベースプレート１２００には、記録素子基板１１００のインク供給口１１０１にインクを供給するインク供給スリット１２１０と、インクタンク（不図示）からインク供給スリット１２１０にインクを供給するインク流路１２２０が形成されている。
【００２２】
本実施形態では、ベースプレート１２００の材料としてアルミナを用いたが、材料はこれに限られることない。ベースプレート１２００の材料は、記録素子基板１１００の、ベースプレート１２００と接する部材の材料の線膨張率と同程度の線膨張率を有し、且つその材料の熱伝導率と同程度、もしくは同程度以上の熱伝導率を有する材料であればよい。ベースプレート１２００の材料の例としては、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア（ＺｒＯ２）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）などが挙げられる。
【００２３】
電気配線基板１３００の構成を図５に示す。電気配線基板１３００は、記録装置３０００（図１０参照）から送られる、電気熱変換素子１１０２を駆動する信号を、記録素子基板１１００に伝送し、また、電気熱変換素子１１０２を駆動する電力を記録素子基板１１００に供給する部材である。電気配線基板１３００は、ベースフィルム上に配線パターンが形成されたフレキシブル配線基板である。また、電気配線基板１３００は、内部に記録素子基板１１００を組み込むための複数の開口部１３３０を有しており、複数の開口部１３３０の両端には、記録素子基板１１００の電極１１０３に対応する電極端子１３４０が形成されている。電気配線基板１３００は、ベースプレート１２００の、インク供給スリット１２１０が形成された面に接着され、固定される。電気配線基板１３００は、記録装置３０００からの記録ヘッド１００を駆動する電気信号を受け取るための電気信号接続部１３１０と、記録装置３０００から電力を受け取るための電源接続部１３２０を有している。
【００２４】
電気配線基板１３００と電気熱変換素子１１０２とは、例えば、記録素子基板１１００の電極１１０３と電気配線基板１３００の電極端子１３４０とを、金ワイヤー（不図示）を用いたワイヤーボンディング技術により接合することで、電気的に接続される。そして記録素子基板１１００の電極１１０３、電気配線基板１３００の電極端子１３４０、及びワイヤーは、封止剤により被覆され、インクによる腐食や外的衝撃から保護される。
【００２５】
支持部材Ａ１４００、支持部材Ｂ１４０５の構成を図６に示す。二つの支持部材１４００、１４０５は、記録ヘッド１００を記録装置３０００に固定するための部材であり、ベースプレ−ト１２００の長手方向の両端にそれぞれ固定される。各支持部材１４００、１４０５には、記録ヘッド１００を記録装置３０００に装着した際に、記録装置３０００に設けられた位置決めピン３４３０（図１１参照）と嵌合する位置決め穴Ａ１４１０、位置決め穴Ｂ１４１５が形成されている。二つの位置決め穴１４１０、１４１５は、記録ヘッド１００の短手方向（図９に示すＸ方向）及び記録ヘッド１００の長手方向（図９に示すＹ方向）に関して、記録ヘッド１００を適正な位置に装着するためのものである。支持部材Ａ１４００の位置決め穴Ａ１４１０は丸穴、支持部材Ｂ１４０５の位置決め穴Ｂ１４１５は長穴になっている。また、記録ヘッド１００を記録装置３０００に装着した際に、記録ヘッド１００を支持するヘッドホルダ３４００（図１１参照）につきあたる、位置決め部１４３０が形成されている。この位置決め部１４３０は、記録シートと記録素子基板１１００の吐出口１１０５が設けられた側の面との間隔を一定に保持するため部材である。
【００２６】
サイドプレ−トＡ１６００、サイドプレートＢ１６５０の構成を図１２に示す。サイドプレート１６００、１６５０は、外部からのノイズが電気配線基板１３００に影響しないよう遮蔽するための板状の部材である。サイドプレート１６００、１６５０は、電気配線基板１３００の、記録素子ユニット１０００の長手方向の側面上に配される部分の表面を覆うように設けられ、二つの支持部材１４００、１４０５に固定される。
【００２７】
サイドプレート１６００、１６５０は、導電率が比較的高く、インクによって腐食されにくいＳＵＳ材料で形成されている。なお、電気配線基板１３００に静電気が放電される恐れを低減できればよいため、サイドプレート１６００、１６５０の材料として、電気配線基板１３００を構成するフィルムよりも電気伝導率が高い部材を用いていても良い。
【００２８】
インク供給部材１５００の構成を図７に示す。インク供給部材１５００は、記録装置３０００側の接続ユニット３４１０（図１１（ａ）参照）と接続され、記録装置３０００から記録素子ユニット１０００にインクを供給する部材である。インク供給部材１５００は、例えば樹脂材料で形成されており、記録装置３０００に接続される二つの接続部１５１０、ベースプレート１２００に接続される二つの開口部１５２０が設けられている。なお、記録装置３０００と記録素子ユニット１０００の間で、インクを循環させるために、接続部１５１０及び開口部１５２０は、それぞれ二つずつ設けられている。また、インク供給部材１５００の内部には、接続部１５１０と開口部１５２０とをつなぐインク流路（不図示）が設けられており、インク流路の途中には、インク中に混入された異物や気泡を取り除くためのフィルター（不図示）が配置されている。そして、接続部１５１０には、記録装置３０００のインク供給パイプと接合するためのジョイントゴムが装着されており、接続部１５１０は、記録装置３０００の接続ユニット３４１０に接続される。また、開口部１５２０がベースプレート１２００の端部付近に形成されたインク流入口１２３０、流出口１２４０（図４参照）と連通するように、インク供給部材１５００はベースプレート１２００に対して位置決めされる。
【００２９】
（駆動回路基板ユニット）
駆動回路基板ユニット２０００の構成を図８に示す。図８は、カバ−２３００をはずした状態を示している。
【００３０】
駆動回路基板ユニット２０００の内部には記録ヘッド１００の吐出駆動を制御するための駆動回路基板２１００が収められ固定されている。駆動回路基板２１００には、記録素子ユニット１０００の電気配線基板１３００に設けられた電気信号接続部１３１０と電気的に接続される電気信号コネクタ−２１１０と、記録素子ユニット１０００に電源供給を行う電源コネクタ−２１２０が配置されている。そして、駆動回路基板２１００側の電源コネクタ−２１２０と記録素子ユニット１０００の電気配線基板１３００側の電源接続部１３２０とは、ワイヤーハーネス２１３０を介して電気的に接続されている。
【００３１】
（２）記録素子ユニットと駆動回路基板ユニットの結合
図１に示すように、記録ヘッド１００は、記録素子ユニット１０００と駆動回路基板ユニット２０００とが結合されたものであり、結合は以下のようになされている。
【００３２】
まず、駆動回路基板ユニット２０００は、記録素子ユニット１０００の、記録素子基板１１００が設けられた吐出面とは反対側で、記録素子ユニット１０００の長手方向に関する両端に設けられた支持部材１４００、１４０５の上に支持され、ネジ止めされている。そして、図９に示すように駆動回路基板２１００に接続されたワイヤーハーネス２１３０が、記録素子ユニット１０００の電気配線基板１３００に取り付けられた電源接続部１３２０と接続されている。記録素子ユニット１０００の電源接続部１３２０の近傍は、サイドプレ−トＢ１６５０と一体的に形成された配線基板固定部１６５５に固定されている（図１（ｃ）参照）。この配線基板固定部１６５５は、記録素子ユニット１０００の支持部材１４００、１４０５に固定されている。
【００３３】
図１に示すように、駆動回路基板ユニット２０００はカバ−２３００で覆われている。また、記録素子ユニット１０００と駆動回路基板ユニット２０００とが結合され、記録素子ユニット１０００と駆動回路基板ユニット２０００との間はほぼ隙間がない状態となる。
【００３４】
（３）インクジェット記録装置
本発明の実施形態の記録装置３０００の構成を図１０に示す。記録装置３０００は、長尺のフルライン型の記録ヘッド１００を用いて、被記録媒体としての記録シート３２００を搬送方向（図９に示すＸ方向）に連続搬送しながら記録を行うラインプリンタである。記録装置３０００は、ロール状に巻かれた記録シート３２００を保持するホルダ（不図示）、記録シート３２００を所定速度でＸ方向へ搬送する搬送機構３３００、記録シート３２００に対して記録ヘッド１００を用いて記録を行う記録部３１００を備えている。なお、記録シート３２００は連続したロールシートに限らず、カットシートであってもよい。更に、記録装置３０００は、記録ヘッド１００に供給するためのインクを収容するインクタンク（不図示）を備えている。記録部３１００には、異なるインク色にそれぞれ対応した複数の記録ヘッド１００が並列して備えられている。本実施形態では、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの四色に対応した四つの記録ヘッド１００としているが、色の数や色の種類はこれに限定されない。
【００３５】
記録ヘッド１００が装着された状態の記録装置３０００を図１１に示す。記録ヘッド１００の長手方向に関する両端部に設けられた接続部１５１０と、記録装置３０００の接続ユニット３４１０とが接続されており、この接続された部分において、記録ヘッド１００へのインクの導入、記録ヘッド１００からのインクの導出が行われる。各色のインクはインクタンクからそれぞれインクチューブ３４２０を介して、記録ヘッド１００に供給される。
【００３６】
接続部１５１０より記録ヘッド１００の長手方向に関する内側に配置された位置決め穴１４１０、１４１５（図６参照）が、ヘッドホルダ３４００の位置決めピン３４３０と嵌合されている。また、記録ヘッド１００の位置決め部１４３０がヘッドホルダ３４００に突きあてられることにより、記録ヘッド１００の記録装置３０００に対する位置決めがなされている。記録ヘッド１００の両端に設けられた支持部材１４００、１４０５が、ヘッド固定ボルト１４５０でそれぞれ記録装置３０００に固定され、保持されている。
【００３７】
（第一の実施形態）
以下に本発明の特徴である、電気配線基板の層構成について説明する。
【００３８】
図１３は図１２中のＣ部における断面図である。電気配線基板１３００は、ベースプレート１２００の記録素子基板１１００が搭載される面において接着剤１７０１で接着され、さらに略直角に折り曲げられてベースプレート１２００の側面に接着剤１７０２で接着されている。
【００３９】
図１３に示すように、本発明の電気配線基板は、第一のカバーレイ１３０３と第二のカバーレイ１３０４の二層のカバーレイによって配線１３０２を保護した構成である。第一のカバーレイ１３０３は第一の保護フィルム層１３０３ａと第一の接着剤層１３０３ｂから成り、第二のカバーレイ１３０４は第二の保護フィルム層１３０４ａと第二の接着剤層１３０４ｂから成る。
【００４０】
本実施例においては、第一の保護フィルム層１３０３ａと第二の保護フィルム層１３０４ａの厚みはいずれも３〜１５μとした。
【００４１】
また、第一の接着剤層１３０３ｂは配線１３０２の間を隙間なく充填できる量が必要であり、本実施例では第一の接着剤層１３０３ｂの厚みを２０〜５０μとした。一方、第二の接着剤層１３０４ｂは第一の保護フィルム層１３０３ａと第二の保護フィルム層１３０４ａを接着するだけの役割を果たせれば良いため、第一の接着剤層１３０３ｂよりも薄くて良く、第二の接着剤層１３０４ｂの厚みを１０〜４０μとした。
【００４２】
第一の保護フィルム層１３０３ａと第二の保護フィルム層１３０４ａは同一材料でも異種材料であっても良い。なお、少なくとも第二の保護フィルム層１３０４ａは耐インク性の良い材料を適用することが望ましい。
【００４３】
また、第一の接着剤層１３０３ｂと第二の接着剤層１３０４ｂも同一材料でも異種材料であっても良い。
【００４４】
しかしながら、いずれの場合も、異種材料を適用する場合には線膨張係数が同程度であることが望ましく、線膨張係数が大幅に異なると、電気配線基板の製造時に線膨張係数の違いから、保護フィルム層にしわが入ったり、接着不良を起こしたりする可能性がある。
【００４５】
また、第二の接着剤層１３０４ｂは第一の保護フィルム層１３０３ａおよび第二の保護フィルム層１３０４ａよりも弾性率が低い方が好ましい。これにより配線保護信頼性を高めつつ、曲げ剛性が高くなり過ぎず、容易に電気配線基板を曲げることができる。また、曲げ反力を小さくすることができるため、曲げ部の接着信頼性を損なうことも無い。本実施例では、第二の接着剤層１３０４ｂの弾性率を第一の保護フィルム層１３０３ａおよび第二の保護フィルム層１３０４ａの１／３〜１／２程度とした。
【００４６】
上述の構成により、仮に最表層である第二の保護フィルム層１３０４ａの曲げ部近傍に傷が付き、曲げ応力によって傷が進行して第二の保護フィルム層１３０４ａを貫通するような亀裂となったとしても、第一の保護フィルム層１３０３ａによってインクの侵入を阻止することができ、配線保護信頼性を高めることができる。一方、一層のカバーレイ構成のまま保護フィルム層の厚みを増やしても、傷が進行し、最終的に保護フィルム層が貫通してしまう可能性があり、また、曲げ反力が強くなり過ぎて曲げ接着部が剥がれて何らかの問題を引き起こす可能性もある。
【００４７】
さらに、図５に示すように、電気配線基板１２００の内部に形成される配線パターン（信号系配線１３１１及び電源系配線１３２１）は、曲げ部Ｂにおいて、曲げ稜線と略平行となる配線を配置していないとさらに良い。これにより、電気配線基板１２００を曲げた際に、配線１３０２のエッジによって内部からカバーレイに亀裂を入れてしまう可能性が低くなり、配線保護信頼性をさらに高めることができる。
【００４８】
以上説明した本実施例の二層のカバーレイ構成を形成する手順は、予め第一のカバーレイ１３０３と第二のカバーレイ１３０４を一体化させ、配線１３０２にラミネートしていても、配線１３０２に第一のカバーレイ１３０３をラミネートした後、さらに第二のカバーレイ１３０４をラミネートしていてもどちらでも良く、配線保護信頼性の高い記録ヘッドを提供することができる。
【００４９】
本実施例では、両面配線の電気配線基板を例にとり、両面とも二層のカバーレイで配線を保護する構成を示したが、より傷が付く可能性の高い外層側（ベースプレート１２００と接着される側と反対側）だけを二層のカバーレイ構成としても良い。また、略直角に曲げ固定されることがない電気配線基板に適用しても良い。
【００５０】
さらにまた、フルライン型の記録ヘッドを例に本発明の構成を説明したが、本発明はこれに限ることなく、電気配線基板を用いたあらゆる記録ヘッドに適用が可能であり、本発明を用いて配線保護信頼性の高い記録ヘッドを提供することが可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１００  インクジェット記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１００  記録素子基板
１１０２  電気熱変換素子（記録素子）
１１０５  吐出口
１２００  ベースプレート
１３００  電気配線基板
１３０１  ベースフィルム
１３０２  配線
１３０３  第一のカバーレイ
１３０３ａ  第一の保護フィルム層
１３０３ｂ  第一の接着層
１３０４  第一のカバーレイ
１３０４ａ  第二の保護フィルム層
１３０４ｂ  第二の接着層
【図１】
2013035253.tif 000003
【図２】
2013035253.tif 000004
【図３】
2013035253.tif 000005
【図４】
2013035253.tif 000006
【図５】
2013035253.tif 000007
【図６】
2013035253.tif 000008
【図７】
2013035253.tif 000009
【図８】
2013035253.tif 000010
【図９】
2013035253.tif 000011
【図１０】
2013035253.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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