(57)【要約】【課題】基板に貼着された粘着テープから離型テープを迅速に剥離できる貼着装置を提供することにある。【解決手段】供給リール１０から粘着テープ７が貼着された離型テープ９を引き出して送る送り装置３７と、送り装置によって供給リールから引き出されて送られる離型テープが基板に対向して走行するようガイドする一対のガイドローラ１１ａ，１１ｂと、離型テープが送り装置によって送られて所定長さに切断された粘着テープが基板に対向するよう位置決めされたとき、粘着テープを離型テープとともに基板に加圧して貼着する加圧ツール２１と、加圧ツールが基板から離れる方向に駆動されたとき、送り装置を作動させて離型テープに引張り力を与えると同時に、一方のガイドローラを基板から離れる方向に駆動して剥離テープに作用する送り装置の引張り力を離型テープが基板に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させるローラ駆動源４３を具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを、所定位置に保持された被貼着部材に貼着してから上記離型テープを剥離する粘着テープの貼着装置であって、
上記粘着テープが貼着された上記離型テープを供給する供給手段と、
この供給手段から上記離型テープを引き出して送る送り手段と、
上記供給手段と上記送り手段の間で位置決めされて保持された上記被貼着部材の両側に位置するよう配置され上記送り手段によって上記供給手段から引き出されて送られる上記離型テープが上記被貼着部材に対向して走行するようガイドする一対のガイドローラと、
上記離型テープが上記送り手段によって送られて所定長さに切断された上記粘着テープが上記被貼着部材に対向するよう位置決めされたとき、上記被貼着部材に接近する方向に駆動されて上記粘着テープを上記離型テープとともに上記被貼着部材に加圧して貼着する加圧手段と、
上記粘着テープを上記被貼着部材に加圧した上記加圧手段が上記被貼着部材から離れる方向に駆動されたとき、上記送り手段を作動させて上記離型テープに引張り力を与えると同時に、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記被貼着部材から離れる方向に駆動して上記剥離テープに作用する上記送り手段の引張り力を上記離型テープが上記被貼着部材に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させるローラ駆動手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記離型テープが上記供給手段から引き出される方向と上記送り手段によって引張られる方向は、上記離型テープが上記一対のガイドローラにガイドされて上記被貼着部材に対向して走行する方向に対して交差する方向であることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記ローラ駆動手段は、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記加圧手段の駆動に同期させて駆動することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項４】
上記被貼着部材は、水平方向に駆動されるテーブルの上面に載置された基板であって、上記粘着テープは上記基板の上面の側辺部に貼着されることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項５】
上記送り手段は、上記供給手段から引き出された上記離型テープを挟持するチャックと、このチャックを駆動して上記離型テープを上記供給手段から引き出す駆動手段と、上記チャックによって引き出された上記離型テープを巻き取る巻取りリールによって構成されていることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項６】
上記被貼着部材に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離するとき、上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを所定の位置まで上記ローラ駆動手段によって上記被貼着部材から離れる方向に駆動すると同時に、上記送り手段によって上記離型テープに張力を加えて上記粘着テープから一気に剥離することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項７】
上記被貼着部材は、回転駆動されるインデックステーブルに設けられた保持部に上面の一端部が吸着保持された電子部品であって、上記粘着テープは上記電子部品の下面の一端部に貼着されることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項８】
離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを、所定位置に保持された被貼着部材に貼着してから上記離型テープを剥離する粘着テープの貼着方法であって、
供給手段に設けられた上記粘着テープが貼着された上記離型テープを送り手段によって引き出して送る工程と、
上記送り手段によって送られる上記離型テープを一対のガイドローラでガイドして所定の位置に位置決めされた上記被貼着部材に対向して走行させる工程と、
上記離型テープが上記送り手段によって送られて所定長さに切断された上記粘着テープが位置決めされた上記被貼着部材に対向したとき、上記粘着テープを上記離型テープとともに上記被貼着部材に加圧して貼着する工程と、
上記粘着テープを上記被貼着部材に加圧貼着し終えたとき、上記送り手段を作動させて上記離型テープに引張り力を与えると同時に、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記被貼着部材から離れる方向に駆動して上記剥離テープに作用する上記送り手段の引張り力を上記離型テープが上記被貼着部材に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させる工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板に電子部品を実装する前に、基板若しくは電子部品に粘着テープを貼着するための粘着テープの貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、被貼着部材としてのガラス製の基板の側部上面に、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を異方性導電部材からなる粘着テープを介して貼着（実装）する工程がある。
【０００３】
上記電子部品を上記基板の側部上面に貼着する前に、基板の側部上面に所定の長さに切断された上記粘着性テープを貼着する工程がある。粘着テープは離型テープに貼着されていて、上記離型テープは供給リールに巻装されている。
【０００４】
上記基板は水平方向に駆動されるテーブルの上面に載置されていて、この基板の側部上面に電子部品を粘着テープによって貼着する場合、まず、離型テープとともに供給リールから繰り出された粘着テープを切断機構によって所定長さに切断する。このときの粘着テープの切断長さは、上記基板の側部上面に設けられた複数の端子からなる端子部の長さ、つまり基板のほぼ側辺部に対応する長さに設定される。
【０００５】
上記離型テープはすでに粘着テープが基板に貼着されて除去された部分がチャックなどの送り手段によって挟持して送られる、つまり引張られて上記供給リールから繰り出されるようになっている。
【０００６】
上記離型テープが上記送り手段によって送られて、粘着テープの所定長さに切断された部分が上記テーブルの上面に載置された基板の側部上面に対向するよう位置決めされると、上記基板の上方で待機した加圧ツールが下降方向に駆動され、所定長さに切断された上記粘着テープが上記基板の側部上面に加圧貼着される。
【０００７】
粘着テープが上記基板の側部上面に加圧貼着されて上記加圧ツールが上昇したならば、上記基板の側部上面の一端側から他端側に向かって剥離ローラを有するローラユニットが走行し、基板に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する。
【０００８】
上記離型テープを粘着テープから剥離したならば、上記ローラユニットを上記基板の側部上面の他端側から一端側に戻した後、上記送り手段よって上記離型テープを所定長さ送り、粘着テープの所定長さに切断された新たな部分をつぎの基板に対向するよう位置決めするということが行なわれる。
【０００９】
一方、ＴＣＰは基板の側辺部に所定間隔で貼着されるため、基板の側辺部のほぼ全長に亘って粘着テープを貼着すると、粘着テープの隣り合うＴＣＰの間の部分が無駄になったり、その部分に塵埃が付着する等のことがあり、好ましくないということがある。
【００１０】
そこで、最近では粘着テープを基板に貼着せずに、ＴＣＰの下面の端子が形成された一端部の幅方向全長にわたって粘着テープを貼着するということが行なわれている。その場合にも、上述したように剥離ローラを有するローラユニットによってＴＣＰに貼着された粘着テープから離型テープを剥離するということが行なわれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００１−２９４３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上述した従来の構成によると、基板に粘着テープを貼着した後、粘着テープから離型テープを剥離するためには剥離ローラを有するローラユニットを基板の側部上面に沿って往復動させなければならなかった。
【００１３】
しかしながら、ローラユニットを基板の側部上面に沿って往復動させて離型テープを剥離するようにすると、ローラユニットを往復動させるために要する時間が長くなるため、生産性を低下させる一因となるということがあった。
【００１４】
とくに、最近では液晶ディスプレイパネルなどに用いられる基板は大型化する傾向にあるため、ローラユニットが往復動する基板の側辺部の距離が長くなるから、そのことによっても離型テープの剥離に要する時間が長くなるということがある。
【００１５】
さらに、基板の側部上面から離型テープを剥離するために、上述したローラユニットが必要となることで、貼着装置の構成部品が増大し、装置の大型化やコスト上昇を招くということもあった。
【００１６】
また、ＴＣＰに貼着された粘着テープから離型テープを剥離する場合にも、基板に粘着テープを貼着した場合と同様、ローラユニットを往復動させるために要する時間が長くなるため、生産性が低下したり、装置の大型化やコスト上昇を招くということが生じる。
【００１７】
この発明は、被貼着部材に貼着された粘着テープから離型テープを剥離する作業を、迅速に、しかも装置構成の複雑化やコスト上昇を招くことなく行なうことができるようにした粘着テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明は、離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを、所定位置に保持された被貼着部材に貼着してから上記離型テープを剥離する粘着テープの貼着装置であって、
上記粘着テープが貼着された上記離型テープを供給する供給手段と、
この供給手段から上記離型テープを引き出して送る送り手段と、
上記供給手段と上記送り手段の間で位置決めされて保持された上記被貼着部材の両側に配置され上記送り手段によって上記供給手段から引き出されて送られる上記離型テープが上記被貼着部材に対向して走行するようガイドする一対のガイドローラと、
上記離型テープが上記送り手段によって送られて所定長さに切断された上記粘着テープが上記被貼着部材に対向するよう位置決めされたとき、上記被貼着部材に接近する方向に駆動されて上記粘着テープを上記離型テープとともに上記被貼着部材に加圧して貼着する加圧手段と、
上記粘着テープを上記被貼着部材に加圧した上記加圧手段が上記被貼着部材から離れる方向に駆動されたとき、上記送り手段を作動させて上記離型テープに引張り力を与えると同時に、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記被貼着部材から離れる方向に駆動して上記剥離テープに作用する上記送り手段の引張り力を上記離型テープが上記被貼着部材に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させるローラ駆動手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【００１９】
上記離型テープが上記供給手段から引き出される方向と上記送り手段によって引張られる方向は、上記離型テープが上記一対のガイドローラにガイドされて上記被貼着部材に対向して走行する方向に対して交差する方向であることが好ましい。
【００２０】
上記ローラ駆動手段は、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記加圧手段の駆動に同期させて駆動することが好ましい。
【００２１】
上記被貼着部材は、水平方向に駆動されるテーブルの上面に載置された基板であって、上記粘着テープは上記基板の上面の側辺部に貼着されることが好ましい。
【００２２】
上記送り手段は、上記供給手段から引き出された上記離型テープを挟持するチャックと、このチャックを駆動して上記離型テープを上記供給手段から引き出す駆動手段と、上記チャックによって引き出された上記離型テープを巻き取る巻取りリールによって構成されていることが好ましい。
【００２３】
上記被貼着部材に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離するとき、上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを所定の位置まで上記ローラ駆動手段によって上記被貼着部材から離れる方向に駆動すると同時に、上記送り手段によって上記離型テープに張力を加えて上記粘着テープから一気に剥離することが好ましい。
【００２４】
この発明は、離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを、所定位置に保持された被貼着部材に貼着してから上記離型テープを剥離する粘着テープの貼着方法であって、
供給手段に設けられた上記粘着テープが貼着された上記離型テープを送り手段によって引き出して送る工程と、
上記送り手段によって送られる上記離型テープを一対のガイドローラでガイドして所定の位置に位置決めされた上記被貼着部材に対向して走行させる工程と、
上記離型テープが上記送り手段によって送られて所定長さに切断された上記粘着テープが位置決めされた上記被貼着部材に対向したとき、上記粘着テープを上記離型テープとともに上記被貼着部材に加圧して貼着する工程と、
上記粘着テープを上記被貼着部材に加圧貼着し終えたとき、上記送り手段を作動させて上記離型テープに引張り力を与えると同時に、上記被貼着部材の上記送り手段側の側方に位置する一方の上記ガイドローラを上記被貼着部材から離れる方向に駆動して上記剥離テープに作用する上記送り手段の引張り力を上記離型テープが上記被貼着部材に貼着された粘着テープから剥離する方向の剥離力に変換させる工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、離型テープを送り手段によって引張って送るときに上記離型テープに生じる引張り力を、上記離型テープが被貼着部材に対向して走行するようガイドする一対のガイドローラの一方を変位するよう駆動することで、上記被貼着部材に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する剥離力に変えて作用させるようにした。
【００２６】
そのため、被貼着部材に貼着された粘着テープから離型テープを剥離するため、従来のようの離型ローラを有するローラユニットを往復動させるということが不要になるから、離型テープを剥離するために要する時間を短縮することができるばかりか、装置の部品点数を減少させて構成の簡略化やコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】この発明の第１の実施の形態の基板に粘着テープを貼着する貼着装置の概略的構成図。
【図２】離型テープの貼着された粘着テープを所定の長さに切断する切断ユニットを示す図。
【図３】側辺部に複数のＴＣＰが粘着テープによって貼着された基板の平面図。
【図４】図１に示す貼着装置の制御系統図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は基板に貼着された粘着テープから離型テープを剥離する動作を順次示した説明図。
【図６】この発明の第２の実施の形態を示す基板に貼着された粘着テープから離型テープを剥離する動作の説明図。
【図７】この発明の第３の実施の形態の基板に粘着テープを貼着する貼着装置の概略的構成図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。
【００２９】
図１乃至図５はこの発明の第１の実施の形態を示し、図１に示す貼着装置はテーブルユニット１を備えている。このテーブルユニット１はベース２を有し、このベース２の上面にＸ駆動源３ａによって矢印Ｘで示すＸ方向に駆動されるＸテーブル３、このＸテーブル３に設けられたＹ駆動源４ａによって上記Ｘ方向と交差するＹ方向に駆動されるＹテーブル４及びこのＹテーブル４に設けられたθ駆動源５ａによって水平方向に沿って回転駆動されるθテーブル５が設けられている。
【００３０】
上記θテーブル５の上面には、被貼着部材としての液晶ディスプレイパネルなどに用いられる、ガラス製の基板Ｗが供給されて吸着保持される。基板Ｗの上面の一側部には図示しない複数の端子が所定間隔で形成された端子部が所定長さで設けられている。
【００３１】
上記基板Ｗの上記端子部が設けられた側辺部の上面には、図３に示すように熱硬化性樹脂によって形成された両面粘着性の異方性導電部材（ＡＣＦ）からなる粘着テープ７が後述するように所定の長さに切断されて貼着される。そして、粘着テープ７が貼着された基板Ｗの側辺部の上面には電子部品としての複数のＴＣＰ８が所定間隔で圧着される。
【００３２】
図１に示すように、上記粘着テープ７は樹脂製のテープ部材からなる離型テープ９の一側面に貼着されていて、粘着テープ７が貼着された上記離型テープ９は供給手段としての供給リール１０に巻装されている。
【００３３】
上記供給リール１０から垂直方向下方に向かって引き出された上記離型テープ９は、粘着テープ７が貼着された一側面が下向きになるよう回転可能に設けられた第１のガイドローラ１１ａにガイドされて水平方向に方向変換される。
【００３４】
上記第１のガイドローラ１１ａによって方向変換された上記離型テープ９は上記θテーブル５の上面に載置された基板Ｗの一側部の上面に接近して平行に走行したのち、第２のガイドローラ１１ｂによって垂直方向上方に方向変換されて送り手段としての巻取りリール１２に巻取られるようになっている。
【００３５】
上記供給リール１０と上記巻取りリール１２はそれぞれ第１の回転駆動源１３と第２の回転駆動源１４とによって回転駆動されるようになっている。これら第１、第２の回転駆動源１３，１４は図４に示す制御装置１５によって駆動が制御されるようになっている。
【００３６】
なお、上記供給リール１０は第１の回転駆動源１３によって回転駆動せず、後述するように離型テープ９に引張り力が加わったときに、その引張り力によって回転するよう回転可能に設けるだけであってもよい。
【００３７】
上記離型テープ９の一対のガイドローラ１１ａ，１１ｂによって水平に走行するようガイドされた部分の上方、つまり上記テーブルユニット１に載置された基板Ｗの一側部の上方には、加圧手段としてのヒータ２１ａを有する加圧ツール２１がシリンダやリニアモータなどの上下駆動源２２によって上下動可能に設けられている。この上下駆動源２２は上記制御装置１５によって駆動が制御されるようになっている。
【００３８】
上記離型テープ９の一側面に貼着された上記粘着テープ７は、上記供給リール１０と上記第１のガイドローラ１１ａとの間に配置された後述する切断ユニット２３によって所定長さ、つまり上記基板Ｗの側辺部に対応する長さに切断されるようになっている。
【００３９】
上記粘着テープ７が上記切断ユニット２３によって所定長さに切断されると、その切断された部分は上記離型テープ９とともに上記θテーブル５の上面に載置された基板Ｗの側辺部の上面に対向する位置まで後述するように搬送されて位置決めされる。
【００４０】
そして、所定長さに切断された上記粘着テープ７が位置決めされると、上記加圧ツール２１は上記上下駆動源２２によって下降方向に駆動され、所定長の上記粘着テープ７が上記基板Ｗの側辺部の上面に加圧貼着される。貼着後、上記離型テープ９は基板Ｗに貼着された粘着テープ７から後述するよう剥離され、上記巻取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００４１】
上記切断ユニット２３は、図２に示すように上記供給リール１０から引き出されて垂直に走行する上記離型テープ９に貼着された粘着テープ７に先端を対向させて配置されたカッタ２４と、このカッタ２４よりも離型テープ９の走行方向下流側に対向して配置された剥離機構２５と、上記離型テープ９を挟んで上記カッタ２４及び剥離機構２５と対向して配置された保持ブロック２６から構成されている。上記カッタ２４は図示しない駆動機構によって矢印で示す水平方向に駆動可能となっている。
【００４２】
上記保持ブロック２６には離型テープ９を介して上記粘着テープ７を押圧する押し出し部材２７がスライド可能に設けられている。この押し出し部材２７は図示せぬシリンダなどによって所定のタイミングで押圧される。
【００４３】
上記剥離機構２５は上記離型テープ９を介して上記押し出し部材２７と対向するよう配置された剥離ヘッド２８を有する。この剥離ヘッド２８は矩形状のベース板２９の一端に取り付けられている。このベース板２９には粘着性の剥離テープ３１が巻回された供給リール３２が設けられている。
【００４４】
上記剥離テープ３１は上記剥離ヘッド２８の上面に沿って走行して巻取りリール３３に巻き取られるようになっている。上記巻取りリール３３は図示しない駆動源によって回転駆動され、上記剥離テープ３１を所定長さずつ巻き取るようになっている。
【００４５】
上記ベース板２９は上記制御装置１５によって駆動が制御されるシリンダやリニアモータなどの水平駆動源３４によって離型テープ９の垂直に走行する部分に対して接離する方向に駆動される。
【００４６】
上記ベース板２９が水平駆動源３４によって上記離型テープ９に接近する方向に駆動されると、上記カッタ２４によって上記粘着テープ７に形成された一対の切断線２ｂにより切断された箇所が上記押し出し部材２７によって押圧される。上記切断線２ｂは、上記カッタ２４が矢印方向に駆動され、粘着テープ７の上記保持ブロック２６の側面に対向する部分に突き当たることで形成される。
【００４７】
それによって、粘着テープ７の一対の切断線２ｂによって切断された部分２ｃが剥離ヘッド２８の剥離テープ３１に押し付けられるから、その部分２ｃが離型テープ９から剥離される。
【００４８】
つまり、粘着テープ７には、上記カッタ２４によってそれぞれ一対の切断線２ｂが所定間隔で二箇所形成され、各一対の切断線２ｂの間の部分２ｃが上記剥離機構２５によって除去されることで所定長さに形成される。そして、粘着テープ７の所定長さに形成された部分が上述したように上記加圧ツール２１によって基板Ｗの側部上面に加圧されて貼着されることになる。
【００４９】
図１に示すように、上記第２のガイドローラ１１ｂと上記巻取りリール１２との間、つまり離型テープ９が上記第２のガイドローラ１１ｂによって走行方向が水平方向から垂直方向に方向変換された部分には、所定長さに切断された粘着テープ７が上記基板Ｗの側部上面に貼着除去された部分の離型テープ９を引張って送るための送り手段を構成する送り装置３７が配設されている。
【００５０】
上記送り装置３７はチャック３８を有する。このチャック３８はベース板３８ａと、このベース板３８ａに開閉駆動可能に設けられた上記離型テープ９を挟持する一対の爪３８ｂによって構成されている。
【００５１】
上記チャック３８は図示しないガイド体によって回転不能にガイドされていて、上記ベース板３８ａに突設されためねじ体３８ｃにはサーボモータ３９によって回転駆動される駆動ねじ４１が螺合されている。上記めねじ体３８ｃとサーボモータ３９によって駆動手段を構成している。
【００５２】
上記サーボモータ３９は図４に示す上記制御装置１５によって駆動が制御され、このサーボモータ３９によって上記駆動ねじ４１が回転駆動されると、上記チャック３８は矢印Ｚで示す上下方向に直線駆動されるようになっている。
【００５３】
すなわち、上記チャック３８の爪３８ｂが離型テープ９を挟持した状態で上記駆動ねじ４１を回転駆動し、このチャック３８をＺ方向上方へ駆動すれば、上記離型テープ９が引張られ、上記供給リール１０から繰り出されるようになっている。そして、上記離型テープ９の上記供給リール１０から繰り出された分が上記巻取りリール１２に巻取られる。
【００５４】
この実施の形態では上記巻取りリール１２、送り装置３７及び上記チャック３８によって上記送り手段を構成している。  
なお、上記チャック３８は離型テープ９を２個のローラ出挟持して送るニップローラであってもよい。
【００５５】
上記制御装置１５は、上記巻取りリール１２によって上記離型テープ９が巻取られる長さが上記チャック３８によって引張られる長さと同じになるよう、上記チャック３８を駆動するサーボモータ３９と、上記巻取りリール１２を回転駆動する第２の回転駆動源１４の駆動を制御するようになっている。
【００５６】
つまり、上記サーボモータ３９が作動して上記駆動ねじ４１が駆動されると、図示しないエンコーダによって上記サーボモータ３９の駆動軸の回転角度が検出され、その検出信号が上記制御装置１５に出力される。それによって、上記制御装置１５は上記第２の回転駆動源１４の駆動を制御するようになっている。
【００５７】
このとき、上記第１の回転駆動源１３を上記第２の回転駆動源１４と同期させて駆動して上記供給リール１０を回転させれば、上記離型テープ９を上記チャック３８によって引張られた長さに対応する長さで、上記供給リール１０から円滑に繰り出すことが可能となる。
【００５８】
なお、上述したように上記供給リール１０を上記第１の回転駆動源１３に回転駆動せずに、上記供給リール１０を上記離型テープ９が巻取りリール１２によって巻取られることで上記離型テープ９に生じる引張力だけで回転させるようにしてもよい。
【００５９】
上記基板Ｗに貼着された粘着テープ７からの離型テープ９の剥離は、上記離型テープ９が水平に走行するようガイドする一対のガイドローラ１１ａ，１１ｂのうちの、離型テープ９の走行方向の下流側に位置する第２のガイドローラ１１ｂを利用して行われる。
【００６０】
上記第２のガイドローラ１１ｂは帯状の取付け部材４２に回転可能に取付けられている。この取付け部材４２はシリンダやリニアモータなどのローラ駆動手段としてのローラ駆動源４３によって上下方向、つまり上記離型テープ９の上記第２のガイドローラ１１ｂと上記巻取りリール１２との間での走行方向と同方向、つまりＺ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００６１】
上記ローラ駆動源４３は図４に示す上記制御装置１５によって駆動が制御される。つまり、上記加圧ツール２１が下降して離型テープ９に貼着された所定長さの粘着テープ７が基板Ｗの側辺部の上面に貼着された後、上記加圧ツール２１が上昇し始めたときに、上記ローラ駆動源４３が作動して上記第２のガイドローラ１１ｂを上記加圧ツール２１の上昇に同期させて駆動する。
【００６２】
それによって、後述するように上記巻取りリール１２が離型テープ９を巻き取ることでこの離型テープ９に発生する引張り力が上記第２のガイドローラ１１ｂによって基板Ｗに貼着された粘着テープ７から離型テープ９を剥離する剥離力に変換され、上記粘着テープ７から上記離型テープ９が剥離されるようになっている。
【００６３】
なお、上記第２のガイドローラ１１ｂの上昇方向への駆動は、上記加圧ツール２１に同期させず、加圧ツール２１が上昇し終わってからでもよい。
【００６４】
このような構成の貼着装置によれば、基板Ｗに粘着テープ７を貼着して加圧ツール２１の上昇を開始させたならば、上記加圧ツール２１を上昇させる上下駆動源２２の作動に同期させてローラ駆動源４３を作動させ、離型テープ９の走行方向下流側に位置する一方のガイドローラ１１ｂを上昇させる。
【００６５】
それと同時に、送り装置３７のチャック３８をサーボモータ３９によって駆動し、離型テープ９に引張り力を作用させる。つまり、チャック３８とガイドローラ１１ｂのＺ方向上方への駆動を同期させ、ガイドローラ１１ｂが上昇しても、離型テープ９に一定の張力が加わり、弛みが生じることがないよう維持される。
【００６６】
上記チャック３８の上昇によって離型テープ９に加わる引張り力の一部は、一方のガイドローラ１１ｂが上昇させられて図５（ａ）に示すように離型テープ９の粘着テープ７の末端と第２のガイドローラ１１ｂとの間に位置する部分９ａが基板Ｗの板面に対して平行な状態から角度θで傾斜することで、上記離型テープ９の上記粘着テープ７に貼着された端部を上方に持ち上げる剥離力になる。
【００６７】
したがって、上記第２のガイドローラ１１ｂを上昇させながら、上記チャック３８も同期させて上昇方向に駆動することで、上記粘着テープ７に引張り力を発生させ続ければ、上記粘着テープ７に貼着された上記離型テープ９は上記粘着テープ７の上記第２のガイドローラ１１ｂ側の一端部から他端部に向かって剥離が進行することになる。
【００６８】
図５（ａ）は第２のガイドローラ１１ｂを第１のガイドローラ１１ａと同じ高さからＨ１の高さまで上昇させた状態を示している。このとき、離型テープ９の粘着テープ７の末端と第２のガイドローラ１１ｂとの間に位置する部分９ａは基板Ｗの板面に対して平行な状態から角度θで傾斜する。
【００６９】
上記粘着テープ７の上記部分９ａが角度θで傾斜すると、図５（ａ）に矢印ｔで示すように離型テープ９には斜め上方に向かう引張り力が作用するから、その引張り力ｔの分力が離型テープ９を基板Ｗに貼着された粘着テープ７から剥離する剥離力として作用することになる。
【００７０】
それによって、基板Ｗに貼着された粘着テープ７からの離型テープ９の剥離が開始されることになる。つまり、離型テープ９の粘着テープ７からの剥離の開始は、離型テープ９の粘着テープ７の末端と上記第２のガイドローラ１１ｂとの間に位置する部分９ａが水平な状態から角度θで傾斜し始めたときに開始される。
【００７１】
そのため、離型テープ９の剥離が開始されるとき、粘着テープ７の端部に加わる剥離力は離型テープ９に加わる斜め上方に向かう引張り力ｔの分力であるから、剥離開始時に粘着テープ７の端部が離型テープ９によって真上に強く引張られ、粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲れ上がるという、貼着不良を招くのを防止することができる。
【００７２】
このようにして、上記第２のガイドローラ１１ｂが図５（ａ）に示す高さＨ１から、図５（ｂ）に示す高さＨ２まで上昇すると、離型テープ９は粘着テープ７の長手方向中途部まで剥離され、さらにガイドローラ１１ｂが図５（ｃ）に示すようにＨ３の高さまでさらに上昇すると、離型テープ９は粘着テープ７の長手方向全長から剥離される。
【００７３】
基板Ｗに貼着された粘着テープ７から離型テープ９が剥離されたならば、基板Ｗをテーブルユニット１によって移動させると同時に、上記第２のガイドローラ１１ｂを第１のガイドローラ１１ａと同じ高さである、初期の高さまで下降させると同時に、上記チャック３８によって離型テープ９を送り、所定の長さに切断されたつぎの粘着テープ７を加圧ツール２１の下方に位置決めする。
【００７４】
そして、上述した粘着テープ７の貼着と、貼着された粘着テープ７からの離型テープ９の剥離とが繰り返して行なわれる。
【００７５】
このように、上記構成の貼着装置によれば、従来のように粘着テープ７から離型テープ９を剥離するために剥離ローラを有するローラユニットを設け、このローラユニットを基板Ｗの側辺部に沿って往復動させるということをせず、第２のガイドローラ１１ｂを第１のガイドローラ１１ａと同じ高さから高さＨ３まで上昇させながら、離型テープ９を送ることで、基板Ｗに貼着された粘着テープ７から離型テープ９を剥離することができる。そのため、ローラユニットを往復動させて剥離する従来に場合に比べ、離型テープ９の剥離を迅速に行なうことができる。
【００７６】
しかも、第２のガイドローラ１１ｂを上昇させて離型テープ９が粘着テープ７の端部に対して角度θで傾斜したときに上記離型テープの剥離が開始される。そのため、剥離の開始時に、離型テープ９が粘着テープ７の端部を強く真上に引張るということがないから、粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲くれ上がるという、貼着不良が発生するのを防止することができる。
【００７７】
さらに、従来の貼着装置のようにローラユニットを備える必要がないから、その分、貼着装置を簡単な構成とすることができる。
【００７８】
また、粘着テープ７から離型テープ９を剥離させるために、従来のようにローラユニットを往復動作せずにすむから、ローラユニットが往復動させることによって粘着テープ７上に塵埃が落下するということがない。
【００７９】
そのため、基板ＷにＴＣＰ８を貼着する際、貼着面間に塵埃等の異物が混入して貼着不良を招くということがないばかりか、異物の混入によってＴＣＰ８の貼着時に基板Ｗに必要以上の圧力が加わり、基板を損傷させるということも防止できる。
【００８０】
基板Ｗに貼着された粘着テープ７から離型テープ９を剥離する際、離型テープ９の粘着テープ７の末端と第２のガイドローラ１１ｂとの間に位置する部分９ａは、上記第２のガイドローラ１１ｂが上昇するにつれて水平な状態から図５（ａ）に示す角度θの状態を経て大きくなってゆく。
【００８１】
そのため、粘着テープ７に加わる引張り力ｔは第２のガイドローラ１１ｂの上昇高さに応じて大きくなるから、離型テープ９が粘着テープ７から剥離される剥離力は、最初は小さく、その後、離型テープ９の角度が大きくなるにつれて徐々に大きくなる。
【００８２】
つまり、粘着テープ７から離型テープ９を剥離するとき、粘着テープ７の端部に離型テープ９によって急激に大きな剥離力が加わるということがないから、粘着テープ７の端部に捲れや剥離が生じるのを防止することができる。
【００８３】
また、図５（ａ）に示すように、離型テープ９の粘着テープ７の末端と第２のガイドローラ１１ｂとの間に位置する部分９ａを、ローラユニットを用いて離型テープ９を剥離する従来に比べて長くすることができる。しかも、離型テープ９は剥離時に加わる引張り力によって伸びが生じる。
【００８４】
そのため、粘着テープ７から離型テープ９を剥離する際、離型テープ９の上記部分９ａが長く、しかも伸びることによって粘着テープ７の端部に加わる剥離力が軽減されるから、そのことによっても粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲れたり、剥離が生じるのが防止されることになる。
【００８５】
図６はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は基板Ｗに貼着された粘着テープ７から離型テープ９を剥離するときの変形例である。つまり、第１の実施の形態では第２のガイドローラ１１ｂを加圧ツール２１の上昇に同期させて駆動する場合を例に挙げて説明したが、第２の実施の形態では上記加圧ツール２１を所定の高さである、上昇限まで上昇させた後、上記第２のガイドローラ１１ｂをローラ駆動源４３によって一気に高さＨまで上昇させる。
【００８６】
上記第２のガイドローラ１１ｂを高さＨまで上昇させると同時に、送り装置３７のチャック３８を駆動して離型テープ９に張力を与えながら、チャック３８の駆動距離分だけ、離型テープ９を巻取りリール１２に巻き取る。
【００８７】
それによって、上記離型テープ９は上記第２のガイドローラ１１ｂが高さＨに上昇した後、基板Ｗに貼着された粘着テープ７から、図６に鎖線Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３で示すように経時的に剥離されることになる。
【００８８】
その場合、粘着テープ７に加わる引張り力ｔは第２のガイドローラ１１ｂの上昇高さに応じて大きくなるから、離型テープ９を基板Ｗに貼着された粘着テープ７から剥離する剥離力も大きくなる。それによって、粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲れ上がるという虞がある。
【００８９】
しかしながら、上記第２のガイドローラ１１ｂを一気に上昇させる高さＨを、上記粘着テープ７から上記離型テープ９が剥離するときに、この離型テープ９に生じる剥離力ｔが基板Ｗに貼着された粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲れることのない大きさとなるよう設定する。それによって、粘着テープ７の端部が基板Ｗから捲れ上がるのを防止しながら離型テープ９を剥離することができる。
【００９０】
さらに、一般的には基板Ｗに対する粘着テープ７の粘着力に対し、離型テープ９の粘着テープ７に対する粘着力の方が小さい。そのため、上記第２のガイドローラ１１ｂを一気に高さＨまで上昇させても、上記第２のガイドローラ１１ｂのＨの高さ設定と相俟って、粘着テープ７の端部が捲れ上がるのを防止することができる。
【００９１】
上記離型テープ９に加わる力は、上昇方向に駆動される上記チャック３８からだけであって、離型テープ９を一気に上昇させて粘着テープ７から剥離することで、上記離型テープ９の初期の傾斜角度θは大きくなるものの、離型テープ９を粘着テープ７から剥離するために作用する剥離力は離型テープ９の剥離が終了するまでの間、ほぼ均一に変化することになる。そのため、粘着テープ７に不均一な剥離力が加わって捲れの原因になるということもない。
【００９２】
図７はこの発明の第３の実施の形態を示す。この実施の形態は粘着テープ７が貼着される被貼着部材が基板Ｗに代わり電子部品であるＴＣＰ８の場合を示している。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する
図中５１は回転駆動源５２によって周方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルである。このインデックステーブル５１の下面には周方向に所定間隔、たとえば９０度間隔で４つの保持部５３が設けられている。図７には３つだけ示している。供給位置に位置決めされた上記保持部５３には、図示しない金型ユニットによって打ち抜かれた上記ＴＣＰ８が供給されて吸着保持される。
【００９３】
上記保持部５３に供給されたＴＣＰ８は、上記インデックステーブル５１が９０度回転される毎に、供給位置から清掃位置で下面の端子が設けられた一端部が清掃された後、貼着位置で上記ＴＣＰ８の下面の一端部に所定の長さ、つまりＴＣＰ８の幅寸法と同じ長さ寸法に切断された粘着テープ７が貼着される。
【００９４】
ついで、粘着テープ７が貼着されたＴＣＰ８は排出位置に位置決めされ、排出位置に位置決めされたＴＣＰ８は基板Ｗに仮圧着する実装ツール（図示せず）に受け渡されるようになっている。
【００９５】
ＴＣＰ８が上記貼着位置に位置決めされたときに、第１の実施の形態と同様、ＴＣＰ８の下面に所定の長さに切断された粘着テープ７が貼着された後、この粘着テープ７から離型テープ９が剥離される。
【００９６】
第１の実施の形態では、粘着テープ７を基板Ｗの上面に貼着するため、貼着装置が基板Ｗの上方に設けられていたが、この第２の実施の形態では粘着テープ７をＴＣＰ８の下面に貼着するため、上記貼着装置は保持部５３に保持されたＴＣＰ８の下面側に設けられている。
【００９７】
上記貼着装置の構成は第１の実施の形態と上下の向きが逆である点、及び加圧ツール２１がＴＣＰ８の幅寸法に対応する長さで、第１の実施の形態に比べて短いという点で相違するものの、その他の点ではほぼ同じであるので、同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
【００９８】
このような構成によれば、上記ＴＣＰ８の下面に粘着テープ７を貼着した後、第２のガイドローラ１１ｂを下降方向に駆動し、離型テープ９を送り装置３７のチャック３８によって引張って送ることで、上記ＴＣＰ８に貼着された粘着テープ７から離型テープ９を剥離することができる。
【００９９】
つまり、離型テープ９の剥離を能率よく、しかもＴＣＰ８に貼着された粘着テープ７を剥すことなく確実に行なうことができるばかりか、従来に比べて貼着装置の構成を簡略化することができるなど、第１、第２の実施の形態と同様の利点がある。
【０１００】
上記各実施の形態では離型テープを送り装置のチャックで引張って送り、その送り量に見合う長さを巻取りリールで巻き取るようにしたが、送り装置としてのチャックを設けず、離型テープを巻取りリールによって巻き取ることで、送るようにしてもよい。つまり、供給リールから離型テープを引き出して送る送り手段はチャックに代えて巻取りリールであってもよい。
【０１０１】
上記実施の形態では送り手段のチャックを垂直方向に駆動する例を挙げて説明したが、第２のガイドローラによって上方に方向変換された離型紙を他のガイドローラによってたとえば水平方向にさらに方向変換するとともに、上記チャックを方向変換された離型紙と同方向に駆動するよう設け、上記離型紙を上記チャックによって水平方向におくるようにしてもよい。
【０１０２】
また、離型テープの巻取りリールによって巻取られる部分は第２のガイドローラによって垂直方向上方に方向変換させるようにしたが、上記第２のガイドローラによる離型テープの変換方向は垂直方向上方でなく、斜め上方であってもよい。離型テープを斜め上方に方向変換すれば、離型テープが粘着テープから剥離される速度が離型テープの角度に応じて遅くなるから、離型テープが粘着テープを急激に強く引張って捲れや剥離が生じるのを防止することができる。
【符号の説明】
【０１０３】
７…粘着テープ、９…離型テープ、１０…供給リール（供給手段）、１１ａ…第１のガイドローラ、１１ｂ…第２のガイドローラ、１２…巻取りリール（送り手段）、１５…制御装置、２１…加圧ツール（加圧手段）、２３…切断ユニット、３７…送り装置（送り手段）、４３（送り手段）ローラ駆動源。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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