(57)【要約】【課題】ステータの振動への影響を防止するとともに、ローラとステータとの接触部分への潤滑剤の供給を可能とした振動アクチュエータの潤滑構造の提供にある。【解決手段】ステータ１３と、ステータ１３により接触支持されるローラ３０と、ローラ３０を回転可能に支持する回転軸３４と、ステータ１３に連結されると共にステータ１３とローラ３０の接触部分に超音波振動を発生させてローラ３０を回転させる振動手段と、回転軸３４に連結されて回転軸３４をステータ１３に向かって付勢することによりローラ３０をステータ１３に対して加圧する予圧手段とを備える振動アクチュエータ１０の潤滑構造である。ローラ３０とステータ１３との接触部を覆う密閉容器４４が備えられ、密閉容器４４は、回転軸３４に支持され、密閉容器４４内に接触部分を満たす潤滑剤Ｌが貯留された。【選択図】  図１
2013158131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータと、
前記ステータにより接触支持されるローラと、
前記ローラを回転可能に支持する回転軸と、
前記ステータに連結されると共に前記ステータと前記ローラの接触部分に超音波振動を発生させて前記ローラを回転させる振動手段と、
前記回転軸に連結されて前記回転軸を前記ステータに向かって付勢することにより前記ローラを前記ステータに対して加圧する予圧手段とを備える振動アクチュエータの潤滑構造において、
ローラとステータとの接触部を覆う密閉容器が備えられ、
前記密閉容器は、前記回転軸に支持され、
前記密閉容器内に前記接触部分を満たす潤滑剤が貯留されていることを特徴とする振動アクチュエータの潤滑構造。
【請求項２】
前記密閉容器の外面にフィンが形成されていることを特徴とする請求項１記載の振動アクチュエータの潤滑構造。
【請求項３】
前記フィンは前記振動手段の周辺に備えられることを特徴とする請求項２記載の振動アクチュエータの潤滑構造。
【請求項４】
前記密閉容器は、前記回転軸を支持する軸支持体を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の潤滑構造。
【請求項５】
前記潤滑剤の４０℃における動粘度は、ＩＳＯ粘度分類によりＶＧ２００〜１２００の範囲内であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の振動アクチュエータの潤滑構造。
【請求項６】
前記ステータと共に振動される振動部材が設けられ、
前記ステータ又は前記振動部材に振動の節となる部位が設定され、
前記密閉容器は、前記振動の節となる部位に支持される支持部を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の振動アクチュエータの潤滑構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、振動アクチュエータの潤滑構造に関し、特に、振動アクチュエータのローラとステータとの接触部分への潤滑剤供給を可能とする振動アクチュエータの潤滑構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動アクチュエータの潤滑構造の従来技術としては、例えば、特許文献１に開示された振動アクチュエータを挙げることができる。
特許文献１に開示された振動アクチュエータは、ステータと、ステータと接触配置されるロータと、ステータに対してロータを加圧する予圧手段と、ロータとステータとの接触部分に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段と、を備えている。
潤滑油供給手段として、ロータを密閉された空間に収容して空間内を潤滑剤で満たすとしている。
【０００３】
具体的には、ステータの上面の上に、ロータの周囲全体を覆う筐体状の支持部材が固定され、この支持部材内に潤滑油が充填されている。
支持部材の天井面のほぼ中央部に予圧部が垂下支持されており、予圧部はその下端に形成されていた凹状円錐面形状の予圧面でロータの頂部付近の表面に当接している。
支持部材の弾性により、予圧部の予圧面がロータに圧接され、ロータに加圧力を付与しており、これによりロータがステータに加圧されている。
ロータの周囲全体が潤滑剤に覆われているため、ステータおよび予圧部とロータとのそれぞれの接触部分における摩耗が低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２０６２５１号公報（第８頁、図８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された振動アクチュエータは、ロータの周囲全体を覆う筐体状の支持部材がステータの上面の上に固定されているため、ステータの振動が支持部材により影響を受ける構造である。
振動アクチュエータでは、ロータの高いトルクを安定して得るためにステータの振動への影響を受け難い構造とすることが好ましいとされている。
【０００６】
本発明の目的は、ステータの振動への影響を防止するとともに、ローラとステータとの接触部分への潤滑剤の供給を可能とした振動アクチュエータの潤滑構造の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明は、ステータと、前記ステータにより接触支持されるローラと、前記ローラを回転可能に支持する回転軸と、前記ステータに連結されると共に前記ステータと前記ローラの接触部分に超音波振動を発生させて前記ローラを回転させる振動手段と、前記回転軸に連結されて前記回転軸を前記ステータに向かって付勢することにより前記ローラを前記ステータに対して加圧する予圧手段とを備える振動アクチュエータの潤滑構造において、ローラとステータとの接触部を覆う密閉容器が備えられ、前記密閉容器は、前記回転軸に支持され、前記密閉容器内に前記接触部分を満たす潤滑剤が貯留されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、潤滑剤は密閉容器の内部に満たされているため、ローラとステータとの接触部分へ潤滑剤を供給することができる。
また、潤滑剤を満たす密閉容器は、回転軸に支持されているため密閉容器がステータの振動に対して影響を与えることはない。
【０００９】
また、上記の振動アクチュエータの潤滑構造において、前記密閉容器の外面にフィンが形成されている構成としてもよい。
この場合、振動手段の振動時において振動手段に発生する熱は潤滑剤を通じて密閉容器に伝達されるが、フィンは密閉容器に伝達された熱を放熱しやすくする。
その結果、振動手段の熱による潤滑剤の劣化、又は温度特性変化を抑制することができる。
【００１０】
また、上記の振動アクチュエータの潤滑構造において、前記フィンは前記振動手段の周辺に備えられる構成としてもよい。
この場合、振動手段の周辺に設けたフィンからより効率良く放熱することができる。
【００１１】
また、上記の振動アクチュエータの潤滑構造において、前記密閉容器は、前記回転軸を支持する軸支持体を備えた構成としてもよい。
この場合、軸支持体が回転軸を回転自在に支持することができる。
【００１２】
また、上記の振動アクチュエータの潤滑構造において、前記潤滑剤の４０℃における動粘度は、ＩＳＯ粘度分類によりＶＧ２００〜１２００の範囲内である構成としてもよい。
この場合、潤滑剤の動粘度はローラが高トルクを安定して得るために適した範囲であり、ローラは潤滑剤の供給を受けて高トルクの回転を安定して得ることができる。
【００１３】
また、上記の振動アクチュエータの潤滑構造において、前記ステータと共に振動される振動部材が設けられ、前記ステータ又は前記振動部材に振動の節となる部位が設定され、前記密閉容器は、前記振動の節となる部位に支持される支持部を有する構成としてもよい。
この場合、密閉容器は支持部を介してステータ又はステータと共に振動される振動部材に支持されるが、支持部はステータ又はステータと共に振動される振動部材における振動の節となる部位に支持されるから、密閉容器によるステータの振動への影響を防止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ステータの振動への影響を防止するとともに、ローラとステータとの接触部分への潤滑剤の供給を可能とした振動アクチュエータの潤滑構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態に係る振動アクチュエータの潤滑構造を示す縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】第２の実施形態に係る振動アクチュエータの潤滑構造を示す縦断面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態に係る振動アクチュエータの潤滑構造について図面を参照して説明する。
図１、図２に示す振動アクチュエータ１０は、超音波振動を利用して回転体を回転させる超音波アクチュエータである。
振動アクチュエータ１０は、円筒状の基部１１と、ステータ１３と、圧電素子１７と、回転軸３４を備えたローラ３０と、回転軸３４と連結されるロッド４０と、付勢部材としてのコイルばね４３を備えている。
【００１７】
図１、図２に示すように、基部１１は円筒状であって基部１１の中心にはねじ孔１２が形成されており、基部１１はステータ１３と連結されている。
基部１１はステータ１３と共に振動する振動部材に相当する。
ステータ１３は、ねじ孔１２に螺入可能な軸部１４と、軸部１４の基端側に形成された円柱状のステータ本体部１５を備えている。
軸部１４の先端寄りにはねじ孔１２に対応する雄ねじ１６が形成されている。
【００１８】
基部１１とステータ本体部１５との間には、振動手段としての圧電素子１７が設けられている。
圧電素子１７は略円柱状の形態を呈しており中心に通孔１８を有する。
圧電素子１７の通孔１８にステータ１３の軸部１４が挿入されることにより、圧電素子１７はステータ１３に保持される。
圧電素子１７は、駆動回路（図示せず）に電気的に接続される有孔円盤状の圧電素子板（図示せず）を積層した構造を有している。
そして、圧電素子１７を構成する複数の圧電素子板は、駆動回路から交流電圧を印加されることにより超音波振動を発生する。
【００１９】
軸部１４の基端側にはローラ３０を接触支持する円柱状のステータ本体部１５が備えられている。
図２に示すように、ステータ本体部１５のローラ３０側の端部は、間隔を設けて突出して形成された一対の接触部２０を備えている。
接触部２０はローラ３０を受承する部位であり、接触部２０の先端側には断面円弧状の接触面２１が形成されている。
接触面２１はローラ３０との接触部分に相当する。
なお、ステータ１３は、軸部１４およびステータ本体部１５の中心を貫通する貫通孔２２を有している。
【００２０】
図１に示すように、ローラ３０は外周面３１と一対のローラ端面３２を備え、ローラ３０の中心には軸孔３３が形成されている。
ローラ３０の外周面３１は、ステータ１３との接触部分に相当し、ステータ１３における接触部２０の接触面２１の曲率と同じ曲率の面に形成されている。
ローラ３０の軸孔３３には回転軸３４が貫通しており、回転軸３４はローラ３０と固定されている。
このように、回転軸３４がローラ３０を貫通することにより、回転軸３４はローラ３０を回転可能に支持している。
図示はしないが、回転軸３４は止めねじやキー等を用いてローラ３０に固定される。
回転軸３４の軸心はローラ３０の回転軸心Ｐとなる。
本実施形態では、回転軸３４の両端部は、振動アクチュエータ１０の出力端であり、回転軸３４の回転力を出力として用いる。
【００２１】
本実施形態のローラ３０の軸方向における中間部にはステータ１３側に開口する空間部３５が形成されている。
回転軸３４における空間部３５に対応する部位には、軸受４１を介してロッド４０の一方の端部が連結されている。
ロッド４０は予圧手段の一部を構成する部材であり、ロッド４０はステータ１３の軸部１４の貫通孔２２に挿入されている。
ロッド４０の他方の端部側には、円板状のばね受体４２が固定されている。
基部１１とばね受体４２との間には付勢部材としてのコイルばね４３が介在され、コイルばね４３の中心にはロッド４０が挿通されている。
コイルばね４３は圧縮ばねであり、回転軸３４をステータ１３へ向かって付勢する付勢力をロッド４０に付与する。
コイルばね４３の付勢力により回転軸３４がステータ１３へ向かって付勢されることから、ローラ３０がステータ１３に対して加圧される。
ロッド４０、コイルばね４３およびばね受体４２は予圧手段を構成する要素である。
ここで、説明の便宜上、ロッド４０の軸心方向をＺ軸と規定し、Ｚ軸に対して垂直方向に向かうＸ軸とし、Ｚ軸およびＸ軸に対して垂直なＹ軸が設定されているものとする。
【００２２】
本実施形態では、ローラ３０が空間部３５を有し、空間部３５において回転軸３４とロッド４０の端部が軸受４１を介して連結されていることから、ローラ３０は１回転しない一定の回転範囲（角度１８０°の回転範囲）において回転する。
図２に示すローラ３０の位置は、時計回り反時計回りに９０°回転可能な位置である。
【００２３】
ところで、本実施形態では、振動アクチュエータ１０を覆う密閉容器４４が設けられている。
本実施形態の振動アクチュエータ１０の潤滑構造は、密閉容器４４が振動アクチュエータ１０を覆い、密閉容器４４に潤滑剤Ｌが充填されて貯留されることにより構成される。
密閉容器４４は一対の容器分割体４５と蓋体４６を有している。
【００２４】
容器分割体４５は、密閉容器４４の蓋体４６を除く部位を２分割した部材である。
本実施形態では、一対の容器分割体４５は相互に対称形となるように形成されており、容器分割体４５の外面には板状の複数のフィン４７が形成されている。
これらのフィン４７は、密閉容器４４が形成されている状態において圧電素子１７から発生する熱を外部へ放熱し易くするため圧電素子１７の周辺に設けられている。
容器分割体４５には通孔４８が設けられており通孔４８には軸支持体としてのブシュ４９が嵌合されている。
ブシュ４９は回転軸３４の挿通が可能であり、ブシュ４９に挿通された回転軸３４の出力端が密閉容器４４の外部へ突出されている。
ブシュ４９と回転軸３４の外周面との隙間は密閉容器４４内の潤滑剤Ｌが殆ど漏洩しない程度の寸法に設定されている。
因みに、本実施形態のブシュ４９は表面に樹脂コーティングを施した金属製円筒体により形成されているが、樹脂製円筒体であってもよい。
ブシュ４９は回転軸３４を回転自在に支持することから、回転軸３４はブシュ４９を介して密閉容器４４を支持していると言い換えることができる。
【００２５】
本実施形態では、蓋体４６とロッド４０の他方の端部が固定されている。
ロッド４０の他方の端部はねじ軸５０が形成されており、ねじ軸５０が蓋体４６に形成されたねじ孔５１に螺入されている。
ねじ軸５０は、密閉容器４４の外側と内側においてねじ軸５０にそれぞれ装着されたナット５２の締結により蓋体４６に固定される。
従って、密閉容器４４は、回転軸３４の２つの出力端付近およびロッド４０により支持されている。
【００２６】
本実施形態では、蓋体４６にねじ孔５１と別のねじ孔５３が形成されている。
ねじ孔５３は、密閉容器４４内の潤滑剤Ｌを交換する潤滑剤交換用孔として形成されており、通常はＯリング５４介してボルト５５により閉じられている。
潤滑剤Ｌを交換する場合には、ボルト５５を外してねじ孔５３に注射器（図示せず）の注射針を挿入して潤滑剤Ｌの吸引や注入を行う。
本実施形態では、潤滑剤交換時に注射針が振動アクチュエータ１０と接触し難いように蓋体４６にねじ孔５３を設けたが、この潤滑剤交換用孔は蓋体４６に限らず、密閉容器４４のいずれの位置に設けてもよく、この複数個設けてもよい。
また、
【００２７】
ところで、本実施形態で用いる潤滑剤Ｌは、４０℃における動粘度がＩＳＯの粘度分類でＶＧ２００〜１２００の範囲内にあるオイルである。
ローラ３０に必要な駆動トルクを考慮すると、４０℃における動粘度がＩＳＯの粘度分類でＶＧ２００以上であることが必要であり、ＶＧ１２００を超えるオイルは低温時にローラ３０の回転速度が低下するおそれがある。
さらに言うと、４０℃における動粘度がＩＳＯの粘度分類でＶＧ４００〜８００の範囲内にあるオイルが駆動トルクと摩耗量のバランスからみて実用上より好ましく、具体的には、この条件を満たすフッ素系オイルが低コストで最適である。
【００２８】
次に、本実施形態に係る振動アクチュエータ１０の作動について説明する。
駆動回路により交流電圧が圧電素子１７の各圧電素子板に印加されると、各圧電素子板が振動方向の異なる超音波振動を発生する。
圧電素子１７に対して位相を９０度シフトした交流電圧を印加することにより、圧電素子１７にＹ軸のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とを組み合わせた複合運動を発生させる。
超音波振動の複合振動がステータ１３に伝達され、ステータ１３における一対の接触面２１には、Ｙ軸−Ｚ軸平面におけるＸ軸周りの楕円運動（又は円運動）が発生する。
ローラ３０が接触面２１を通じて楕円運動（又は円運動）を受けることにより、ローラ３０は回転軸３４を中心にして回転される。
ローラ３０の回転により、ローラ３０に固定された回転軸３４の端部では出力として回転力が得られる。
ローラ３０の回転方向、回転速度およびトルクの制御は、印加する交流電圧や周波数等を制御することにより行うことが可能である。
【００２９】
また、本実施形態では、密閉容器４４内全体に潤滑剤Ｌが貯留されていることで、潤滑剤中に振動アクチュエータ１０が浸された状態にある。
このため、ステータ１３とローラ３０との摺動部（接触部分）、回転軸３４とブシュ４９との摺動部、回転軸３４と軸受４１との摺動部に潤滑剤が行き渡っており、振動アクチュエータ１０の作動時には各摺動部の潤滑が行われる。
各摺動部において摩耗により摩耗粉が生じても、摩耗粉は潤滑剤Ｌにより密閉容器４４内において拡散されるため、各摺動部（接触部分を含む）に堆積されない。
このため、摩耗粉が振動アクチュエータ１０に悪影響を及ぼすことは殆どない。
密閉容器４４は回転軸３４およびロッド４０により支持されているから、密閉容器４４が振動アクチュエータ１０の作動時において圧電素子１７やステータ１３の振動を妨げることはない。
【００３０】
また、密閉容器４４内には十分な量の潤滑剤Ｌが充填されているので、少量の潤滑剤を用いる振動アクチュエータと比較すると、超音波振動による潤滑剤Ｌの劣化は著しく抑制される。
また、振動アクチュエータ１０の作動時において圧電素子１７から熱が発生する。
圧電素子１７が発生する熱は、潤滑剤Ｌおよび密閉容器４４を通じて外部へ放熱されるが、  フィン４７が設けられていることにより密閉容器４４の外部への放熱が促進される。
【００３１】
密閉容器４４の蓋体４６にはねじ孔５３が形成されているので、潤滑剤Ｌを交換する場合には、ボルト５５を外してねじ孔５３に注射器の注射針を挿入して潤滑剤Ｌの吸引や注入を行えばよい。
潤滑剤交換時に注射針が振動アクチュエータ１０と接触し難いようにねじ孔５３が設けられているため、注射器や振動アクチュエータ１０は損傷を受け難い。
【００３２】
本実施形態の振動アクチュエータ１０の潤滑構造は、以下の作用効果を奏する。
（１）潤滑剤Ｌは密閉容器４４の内部に満たされているため、ローラ３０とステータ１３との接触部分へ潤滑剤Ｌを供給することができる。また、潤滑剤Ｌを満たす密閉容器４４は、回転軸３４に支持されているため密閉容器４４がステータ１３や圧電素子１７の振動に対して影響を与えることはない。このため、ローラ３０は安定した駆動トルクにより回転することができる。
（２）圧電素子１７の振動時において圧電素子１７に発生する熱は潤滑剤Ｌを通じて密閉容器４４に伝達されるが、フィン４７は密閉容器４４に伝達された熱を放熱しやすくする。その結果、圧電素子１７の熱による潤滑剤Ｌの劣化、又は温度特性変化を抑制することができる。また、フィン４７は圧電素子１７の周辺に備えられることから、フィン４７からより効率良く放熱することができる。
（３）密閉容器４４は、回転軸３４を支持するブシュ４９を備えていることから、ブシュ４９が回転軸３４を支持することができる。また、ブシュ４９と回転軸３４との摩擦力は抑制されているので、ブシュ４９に支持される回転軸３４は円滑に回転することができる。また、回転軸３４の外周面を囲むブシュ４９を用いることで、ブシュ４９と回転軸３４の隙間を微小とし、この隙間からの潤滑剤Ｌの漏洩を防止することができる。
（４）潤滑剤Ｌは密閉容器４４の内部に満たされているため、ローラ３０とステータ１３との接触部分に摩耗粉が生じても摩耗粉は潤滑剤Ｌにより密閉容器４４内において拡散されて接触部分への摩耗粉の堆積が防止される。これにより、摩耗粉によるローラ３０への悪影響を抑制することができる。
（５）潤滑剤Ｌの４０℃における動粘度は、ＩＳＯ粘度分類によりＶＧ２００〜１２００の範囲内であるから、潤滑剤Ｌの動粘度はローラ３０が高トルクを得るために適した範囲であり、ローラ３０は潤滑剤Ｌの供給を受けて高トルクの回転を得ることができる。
（６）密閉容器４４の蓋体４６にはねじ孔５３が形成されているので、密閉容器４４を分解することなく密閉容器４４内の潤滑剤Ｌを交換することができる。また、ねじ孔５３が密閉容器４４において潤滑剤交換時に注射針が振動アクチュエータ１０と接触し難い位置に設けられているため、潤滑剤交換時に注射器や振動アクチュエータ１０は相互接触による損傷を受け難くなる。
【００３３】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る振動アクチュエータの潤滑構造について説明する。
本実施形態の振動アクチュエータの潤滑構造は、密閉容器の構成が第１の実施形態と相違する。
本実施形態では、第１の実施形態と共通する構成については、第１の実施形態の説明を援用して説明を省略するほか、同じ符号を用いる。
【００３４】
図３に示すように、本実施形態の密閉容器６０は一対の容器分割体６１と蓋体６２を有している。
容器分割体６１は、密閉容器６０の蓋体６２を除く部位を２分割した部材である。
本実施形態では、一対の容器分割体６１は相互に対称形となるように形成されており、図３、図４に示すように容器分割体６１の外面全体に板状の複数のフィン６３が形成されている。
これらのフィン６３は潤滑剤Ｌの熱や圧電素子１７から発生して密閉容器６０へ伝達される熱を外部へ放熱し易くする。
容器分割体６１には通孔６４が設けられており通孔６４には軸支持体としてのブシュ４９が嵌合されている。
ブシュ４９に挿通された回転軸３４の出力端が密閉容器６０の外部へ突出されている。
ブシュ４９は回転軸３４を回転自在に支持し、回転軸３４はブシュ４９を介して密閉容器６０を支持すると言い換えることができる。
【００３５】
本実施形態では、蓋体６２とステータ１３がシール部材６７を介して固定されている。
密閉容器６０のブシュ４９を固定側の支持部とすると、ステータ１３と固定される支持部は振動側の支持部に相当する。
蓋体６２には、密閉容器６０の振動側の支持部を形成する開口部６６が形成され、開口部６６にステータ１３が挿入されることにより蓋体６２がステータ１３の周囲を囲み、ステータ１３と蓋体６２の間に密封のためのシール部材６７が介在される。
シール部材６７は、ゴム系材料等の弾性を有する材料により形成されたＯリングである。
密閉容器６０内の潤滑剤Ｌは、ステータ１３とローラ３０との摺動部（接触部分）、回転軸３４とブシュ４９との摺動部、回転軸３４と軸受４１との摺動部に潤滑剤Ｌが行き渡っており、振動アクチュエータ１０の作動時には各摺動部の潤滑が行われる。
【００３６】
このように、本実施形態の密閉容器６０が回転軸３４およびステータ１３に支持される構成であるが、密閉容器６０が支持されるステータ１３の部位は、振動の節または振動の節の近接した位置である。
振動の節とは、振動する要素が発生する振動が節となる部位、すなわち振幅がゼロになる部位である。
従って、この振動の節において密閉容器６０を支持させても、振動アクチュエータ１０の作動時において密閉容器６０がステータ１３の振動を阻害することは殆どない。
また、本実施形態では、密閉容器６０とステータ１３との間にシール部材６７を介在させている。
このため、例えば、ステータ１３における振動の節の近接した位置にて密閉容器６０を支持させるようにしても、シール部材６７が密閉容器６０によるステータ１３への振動の影響を妨げるから、ステータ１３の振動は密閉容器６０の影響を受け難い。
【００３７】
なお、本実施形態では、蓋体６２にねじ孔６８が形成されている。
ねじ孔６８は、密閉容器６０の潤滑剤Ｌを交換するために形成されており、通常はＯリング５４を介してボルト５５により閉じられている。
【００３８】
本実施形態によれば、第１の実施形態の作用効果（２）〜（６）と同等の作用効果を奏する。
また、密閉容器６０を振動要素であるステータ１３に支持させてもステータ１３の振動は密閉容器６０により阻害されることはない。
密閉容器６０が回転軸３４およびステータ１３に支持されることから、振動アクチュエータ１０の全体を収容する密閉容器４４と比較すると小型化される。
密閉容器６０の小型化により、振動アクチュエータ１０の潤滑構造の軽量化を図ることができる。
【００３９】
なお、上記の実施形態は、本発明の一実施形態を示すものであり、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、下記のように発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能である。
【００４０】
○  上記の実施形態では、密閉容器の一部にフィンを設ける構成としたが、密閉容器にフィンを設けることは必須ではない。また、密閉容器の外面全体にフィンを設けるように構成してもよい。また、密閉容器の一部にフィンを設ける場合でも、圧電素子の周辺のみに設ける構成に限らず、圧電素子以外の部分に設けるように構成してもよい。また、フィンは板状に限らず柱状であってもよい。
○  上記の実施形態では、回転範囲が規定されたローラを備える振動アクチュエータとしたが、回転範囲が規定されないローラを備えた振動アクチュエータであってもよく、またローラも複数設けてもよい。
○  上記の実施形態では、ステータとローラとの摺動部（接触部分）、回転軸とブシュとの摺動部、回転軸とロッドの軸受との摺動部に潤滑剤が行き渡る密閉容器としたが、これに限定されない。密閉容器は少なくともステータとローラとの摺動部（接触部分）に潤滑剤を供給することができるとともに、回転軸に支持される構成であればよく、この条件を満たす密閉容器であれば形状や構造は特に限定されない。
○  上記の実施形態では、予圧手段としてロッドとコイルばねを用いたが、予圧手段の構成は、連結軸をステータ側へ付勢することができる構成であれば特に限定されない。例えば、押圧部材により連結軸をステータ側へ押圧する構成であってもよい。
○  第２の実施形態では、ステータに振動の節となる部位が設定され、密閉容器が回転軸とともに振動の節となる部位により指示されるとしたが、振動アクチュエータの条件によっては、ステータと共に振動する基部に振動の節が設定される場合がある。振動の節が基部に設定される場合であっても、振動の節となる部位において密閉容器の振動側の支持部が支持されるようにすればよい。また、振動の節の位置は振動する要素の測定により把握することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１０  振動アクチュエータ
１３  ステータ
１７  圧電素子
２０  接触部
２１  接触面
３０  ローラ
３４  回転軸
３５  空間部
４０  ロッド
４１  軸受
４２  ばね受体
４３  コイルばね
４４、６０  密閉容器
４５、６１  容器分割体
４６、６２  蓋体
４７、６３  フィン
４９  ブシュ
５３、６８  ねじ孔
６６  開口部
６７  シール部材
Ｐ  回転軸心
Ｌ  潤滑剤
【図１】
2013158131.tif 000003
【図２】
2013158131.tif 000004
【図３】
2013158131.tif 000005
【図４】
2013158131.tif 000006