(57)【要約】【課題】小型で、像ブレ補正オフ時にも補正光学系の高精度な位置決めが可能で、その位置を安定して保持することができる駆動ユニットを提供する。【解決手段】レンズユニットを光軸と垂直な方向に移動させ、被写体像を前記光軸と垂直な方向に変位させるレンズ駆動ユニットであって、該レンズ駆動ユニットは、固定部材と、該レンズユニットが取り付けられた可動部材と、該固定部材に設けられ、該可動部材を該固定部材に対して前記光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、該駆動手段を制御する駆動制御手段と、該固定部材と該可動部材の間に配置され、前記光軸に垂直な平面内で、該可動部材を該固定部材に対して相対移動可能に支持する支持手段と、前記可動部材を前記固定部材の方向に押し付ける押圧力を付与する押圧力付与手段と、該押圧力付与手段による押圧力を制御する、押圧力制御手段と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズユニットを光軸と垂直な方向に移動させ、被写体像を前記光軸と垂直な方向に変位させるレンズ駆動ユニットであって、該レンズ駆動ユニットは、
固定部材と、
該レンズユニットが取り付けられた可動部材と、
該固定部材に設けられ、該可動部材を該固定部材に対して前記光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、
該駆動手段を制御する駆動制御手段と、
該固定部材と該可動部材の間に配置され、前記光軸に垂直な平面内で、該可動部材を該固定部材に対して相対移動可能に支持する支持手段と、
前記可動部材を前記固定部材の方向に押し付ける押圧力を付与する押圧力付与手段と、
該押圧力付与手段による押圧力を制御する、押圧力制御手段と、を有することを特徴とするレンズ駆動ユニット。
【請求項２】
前記押圧力制御手段は、前記固定部材または前記可動部材の少なくとも一方に設けられた磁性部材を有し、磁力を用いて該可動部材を前記固定部材の方向に押し付けており、
前記押圧力制御手段は、該磁性部材の磁力を制御する、ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ駆動ユニット。
【請求項３】
前記駆動制御手段により前記可動部材を所定の位置に位置決めした後、前記押圧力制御手段は、前記押圧力付与手段を制御して、前記押圧力を付与することにより、該可動部材の該固定部材に対する位置を保持する、ことを特徴とする請求項１はまた２に記載のレンズ駆動ユニット。
【請求項４】
前記駆動手段は、前記可動部材を前記固定部材に対して光軸に垂直な平面内で回転移動させることができ、
前記駆動制御手段により前記可動部材を前記固定部材に対して所定の角度だけ回転させた後、前記押圧力制御手段は、前記押圧力付与手段を制御して、前記押圧力を付与することによって、該可動部材の該固定部材に対する位置を保持する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のレンズ駆動ユニット。
【請求項５】
前記押圧力制御手段は、前記可動部材を前記所定の位置に位置決めする際、又は前記可動部材を前記固定部材に対して前記所定の角度だけ回転させる際、前記押圧力を減少させることを特徴とする請求項３又は４に記載のレンズ駆動ユニット。
【請求項６】
前記駆動手段は、振動波モータであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のレンズ駆動ユニット。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のレンズ駆動ユニットを有するレンズ装置。
【請求項８】
撮像素子と、該撮像素子上に被写体像を結像する撮像光学系とを備える撮像装置であって、
該撮像光学系が、請求項１乃至６いずれか１項に記載のレンズ駆動ユニットを備えることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及びそれを備えたレンズ駆動ユニットに関するものであり、特に、アクチュエータ可動部の位置を保持する保持機構を備えたレンズ駆動ユニットおよびそれを有するレンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、撮影用レンズを光軸に垂直な平面内で並進移動させ像ブレを防止する補正光学系を備えた撮影用レンズが知られている。その中で、像ブレ補正オフ時に補正光学系を備えた可動部を係止する係止手段を備えたものがある。
例えば、特許文献１では、像ブレ補正オフ時には補正光学系の可動部材を回転させ所定の位置で固定部材に設けた係止部受け部と可動部材に設けた係止部とを係合させ可動部材を係止する。さらに、その位相において磁力の反発力を用いて可動部材を係止受け部へ付勢し、位置を保持するものが開示されている。
【０００３】
特許文献２では、特許文献１と同様の方法で補正光学系を備えた可動部を固定部に係止させた状態で磁力の吸引力を用いて可動部材の位置を保持するものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特登録０４０１１５７６号公報
【特許文献２】特開２００８−０１５３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の特許文献に開示された従来技術では、固定部と可動部の径方向にそれぞれが係合する係止部と係止部受け部を備える必要があるため、像ブレ補正ユニットは外径側に大きくならざるをえなかった。また、係合部にはガタが発生してしまうため、そのガタ分だけ光軸とずれた位置で補正光学系の位置が保持される恐れがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、小型で、像ブレ補正オフ時にも補正光学系の高精度の位置決めが可能で、その位置を安定して保持することができる駆動ユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、レンズユニットを光軸と垂直な方向に移動させ、被写体像を前記光軸と垂直な方向に変位させるレンズ駆動ユニットであって、前記レンズ駆動ユニットは、固定部材と、該レンズユニットが取り付けられた可動部材と、該固定部材に設けられ、該可動部材を該固定部材に対して前記光軸に垂直な方向に移動させる駆動手段と、該駆動手段を制御する駆動制御手段と、該固定部材と該可動部材の間に配置され、前記光軸に垂直な平面内で該可動部材を該固定部材に対して相対移動可能に支持する支持手段と、前記可動部材を前記固定部材の方向に押し付ける押圧力を付与する押圧力付与手段と、該押圧力付与手段による押圧力を制御する押圧力制御手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、小型で、像ブレ補正オフ時にも補正光学系の高精度な位置決めが可能で、その位置を安定して保持することができる駆動ユニットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１におけるレンズ駆動ユニットの分解斜視図。
【図２】実施例１のレンズ駆動ユニットの、（Ａ）像ブレ補正モード時、（Ｂ）像ブレ補正オフモード時、における正面図。
【図３】振動波モータ周りの断面図。
【図４】電磁力ユニットの、（Ａ）コイル通電なし時、（Ｂ）コイル通電時、の磁力状態を示す断面図。
【図５】実施例１における可動ユニットの、（Ａ）ロック時、（Ｂ）ロック解除時、のフロー図。
【図６】実施例２のレンズ駆動ユニットの正面図。
【図７】実施例２における可動ユニットのロック時のフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１１】
以下、図１から図５を用いて本発明の第１の実施例における詳細な説明を行う。
【００１２】
図１は第１の実施例におけるレンズ駆動ユニットの分解斜視図である。図２（Ａ）は像ブレ補正モード時のレンズ駆動ユニットの正面図である。図２（Ｂ）は像ブレ補正オフモード時のレンズ駆動ユニットの正面図である。図２では、構成をわかりやすくするために後述する固定ユニットとボールを実線で、可動ユニットを破線で示している。
【００１３】
図１から図３において、レンズ駆動ユニット１は、不図示の撮像用レンズ本体と一体に固定された固定部材である固定ユニット２と、補正光学系（レンズユニット）３１を備え固定ユニット２に対して相対的な位置を変化させる可動部材である可動ユニット３を備えている。そして、それらの間に配置され固定ユニット２に対して可動ユニット３が光軸に垂直な平面内で相対移動可能に支持するボール４とで構成されている。ここでは、可動ユニットが固定ユニットに対して光軸に垂直な平面内で相対移動可能としたがこれに限られず、光軸に対して垂直な方向に移動しさえすれば（光軸に対して垂直な成分を持つ方向に移動しさえすれば）足りる。つまり、光軸と垂直な方向、または略垂直な方向に移動することが望ましいが、最低限光軸と非平行な方向であればそれで足りる。したがって、補正光学系（レンズユニット）の移動方向も同様である。補正光学系（レンズユニット）は、光軸と垂直な方向に移動（光軸と垂直な方向の成分を有して移動）することにより、像面上での被写体像を光軸と垂直な方向に変位させて、手振れ等の振動に起因する像ブレを補正することができる。
【００１４】
固定ユニット２は、ベース部材である保持板２１と、保持板２１に板バネ２２を介して略１２０°ごとに固定された３つの振動波モータ２３と、可動ユニット３の位置を検出する３つのエンコーダ２４とを備えている。また、固定ユニット２は、可動ユニット３を吸引するための３つの吸引用磁石２５、固定ユニット２と可動ユニット３の間に配される３つのボール４を受けるボール受け部２６を備えている。また、固定ユニット２は、像ブレ補正オフモード時に可動ユニット３の位置を保持（ロック）するための３つの電磁石ユニット２７を備えている。
【００１５】
振動波モータ２３は、電気-機械エネルギー変換素子を備えた振動部２３１、振動部２３１と一体的に形成され被駆動部に接触する接触部２３２を備えている。振動部２３１は例えば曲げ振動と縦振動が励起され、各振動により発生する変位を合成することで、接触部２３２の先端に楕円または円運動を発生させる。そして、その振動運動を接触部２３２の摩擦力を介して被駆動部に伝達することで駆動力を発生することができる。なお、保持板２１には、レンズ駆動ユニット１に大きな衝撃が加わった際に固定ユニット２から後述する可動ユニットが外れることを防止する壁部２１ａが４箇所に設けられている。
【００１６】
可動ユニット３は、像ブレ補正を行う補正光学系３１を保持している非磁性体の移動板３２、固定ユニット２の吸引用磁石２５及び押圧力付与手段である電磁力ユニット（磁性部材）２７から磁力を受ける磁性体の吸引用板３３を備えている。また、可動ユニット３は、振動波モータ２３の接触部２３２と接触するスライダ３４、エンコーダ２４と対向の位置に配された帯状のエンコーダスケール３５を備えている。吸引用板３３、スライダ３４、エンコーダスケール３５は、それぞれ移動板３２に固定されている。なお、吸引用板３３、エンコーダスケール３５は、可動ユニット３が可動範囲内で最大動いても固定ユニット２の吸引用磁石２５、エンコーダ２４から外れることのない十分な大きさを有している。
【００１７】
次に、前記固定ユニット２と前記可動ユニット３との支持方法について説明する。まず、像ブレ補正モード時には、図２（Ａ）に示すように、吸引用板３３は固定ユニット２の吸引用磁石２５と対向の位置に配置され、電磁力ユニット２７と所定角度だけずれた位置に配置されている。移動板３２は、磁性体の吸引用板３３が保持板２１に固定されている吸引用磁石２５によって吸引されることで、保持板２１に吸引される。ボール４は保持板２１と移動板３２との間に挟み込まれた状態で３つ配置されており、保持板２１に配置されたボール受け部２６の穴に納められている。ボール４は移動板３２の移動とともにボール受け部２６の穴の中で回転することで、移動板３２を光軸と垂直な平面内に（あるいは、光軸と垂直な方向の成分を有して）自在に駆動することができ、かつ、保持板２１に対して常に一定の間隔となるように移動板３２を支持している。
【００１８】
次に、可動ユニット３の駆動方法について説明する。図３は振動波モータ２３周りの断面図である。振動波モータ２３は固定ユニット２と可動ユニット３の支持状態において、保持板２１に固定された板バネ２２がたわんだ状態で移動板３２のスライダ３４に接触している。板バネ２２がたわむことで接触部２３２は図中Ａ方向に常に板バネ２２の付勢力を受けてスライダ３４に接触している。接触面には摩擦力が常に働くため、振動波モータ２３が振動運動をするとスライダ３４にはＢ方向に駆動力が伝えられる。３つの振動波モータ２３が上記振動運動をそれぞれ個別に行うことで移動板３２は光軸と垂直な平面内での並進及び回転運動（あるいは、光軸と垂直な方向の成分を有して（並進）移動）する。
【００１９】
次に、像ブレ補正モード時のレンズ駆動ユニット１の制御方法について説明する。像ブレ補正モード時には、まず不図示のカメラもしくはレンズ本体の振動検出センサから像ブレ量が不図示の駆動制御手段であるレンズ駆動ユニット用ＣＰＵに入力される。ＣＰＵは入力された像ブレ量から像ブレを補正するために必要な補正光学系の駆動量を算出し、それに基づいた駆動量を３つの振動波モータ２３にそれぞれ駆動信号として出力する。振動波モータ２３は出力信号に基づいて振動運動し、移動板３２を光軸に垂直な平面内で並進移動する。移動板３２の位置情報は、保持板２１に設けられた３つのエンコーダ２４がエンコーダスケール３５を読み取ることで検出されてＣＰＵにフィードバックされる。ＣＰＵはフィードバックされた位置情報と新たに振動検出センサから入力された像ブレ量を基に補正光学系の駆動量を算出し、それに伴った駆動信号を振動波モータ２３に出力する。以上の操作を繰り返し行うことでレンズ駆動ユニット１は像ブレ補正を連続的に行う。
【００２０】
次に、可動ユニットのロック及びロック解除方法について説明する。はじめに固定ユニット２に配置された電磁石ユニット２７の磁気作用と制御方法について図４を用いて説明する。図４は電磁石ユニット２７の断面図であり、図４（Ａ）はコイル２７４への通電がない状態での磁力の発生状態を示しおり、図４（Ｂ）は通電が有る状態での磁力発生状態を示している。図４（Ａ）に示すとおり電磁石ユニット２７は永久磁石２７１と円柱の中をくり貫いた形状のヨーク２７２、永久磁石２７１の上に固定された鉄心２７３、鉄心２７３の外形を囲むように巻かれたコイル２７４からなる。
【００２１】
図４（Ａ）に示すように、コイル２７４が通電していない時には、電磁石ユニット２７は永久磁石２７１の磁界によって＋Ｃ方向に磁力を発生させている。一方、図４（Ｂ）に示すように、コイル２７４に通電をするとコイル２７４は鉄心２７３との電磁作用により電磁力を−Ｃ方向に発生する。電磁力ユニット２７はコイル２７４へ所定量の電流を流すことで永久磁石２７１と逆向きに同じ大きさだけの磁力を発生させ、磁力の総和をゼロにすることができる。ここでは、磁力の総和をゼロにしているがこの限りではなく、磁力の総和（永久磁石による磁力と電磁石による磁力の総和）が、永久磁石による磁力よりも小さくなっていれば（減少していれば）それで足りる。
【００２２】
続いて図５（Ａ）を用いて像ブレ補正オフモード時の可動ユニットのロック方法について説明する。
【００２３】
レンズ駆動ユニット１がカメラもしくはレンズから像ブレ補正オフの信号を受けるとＣＰＵは移動板３２の位置情報と光軸との距離から補正光学系３１を光軸と一致させるために必要な駆動量を算出し、各振動波モータ２３に駆動信号を出力する（Ｓ１０１）。各振動波モータ２３は駆動信号を基づいて振動運動し補正光学系３１と光軸が一致する位置まで移動板３２を並進移動する（Ｓ１０２〜１０３）。続いて、押圧力制御手段としてのＣＰＵはコイル２７４に所定の電流を流し電磁石ユニット２７の磁力の総和をゼロにする（Ｓ１０４）。次に、可動ユニット３の吸引用板３３と電磁力ユニット２７との位相が合う位置（ロック位置）まで移動板３２を光軸周りに回転移動させる（Ｓ１０５）。ロック位置に位置決め制御する際に一旦磁力を弱める理由は、電磁石ユニット２７に備えられた永久磁石２７１の磁力が移動板３２の動きを妨げないようにするためである。なお、図２（Ａ）に示すように、吸引用板３３はロック位置においても吸引用磁石２５から外れない位置に配されている。移動板３２がロック位置まで回転したことをエンコーダ２４が検知する（Ｓ１０６）とＣＰＵはコイル２７４への通電を中止し、電磁力ユニット２７は移動板３２を吸引する方向に磁力を発生させる（Ｓ１０７）。電磁力ユニット２７に磁力が発生すると移動板３２とボール４との加圧力は永久磁石２７１の磁力分向上し、可動ユニット３を固定ユニット２に対してロックすることができる。すなわち、可動ユニット３の吸引用板３３と固定ユニット２に配置された電磁力ユニット２７は、ボール４と可動ユニット３の摺動面と固定ユニット２の保持版２１のボール受け部２６との間に押圧力を付与する押圧力付与手段として働く。以上のようにしてレンズ駆動ユニット１は像ブレ補正オフモードとなる。像ブレ補正オフモード時は振動波モータ２３へ電圧が印加されていないため、振動波モータ２３の保持トルクにより可動ユニット３は固定ユニット２に保持される。さらに、永久磁石２７１の磁力による保持トルクが加えられることで、運搬時等に強い衝撃が作用した際も、補正光学系３１を強固に保持することができる。
【００２４】
次に、図５（Ｂ）を用いてロック解除方法について説明する。ロックを解除し再び像ブレ補正モードに戻る際には、まず、電磁力ユニット２７の磁力がゼロとなるようにコイル２７４に電流が流される（Ｓ２０１）。電磁力ユニット２７の磁力がゼロになると移動板３２とボール４の加圧力が弱められ、電磁力ユニット２７と移動板３２の間に働く磁気吸引力はなくなり、移動板３２によるロック状態は解除される。ロック解除後、移動板３２は像ブレ補正位置まで回転移動され（Ｓ２０２〜２０３）、その後コイル２７４への通電が停止される（Ｓ２０４）。以上のようにしてレンズ駆動ユニット１は像ブレ補正モードとなる。なお、像ブレ補正モードではコイル２７４に通電されず、電磁力ユニット２７に磁力が発生していても移動板３２が非磁性体であるため、電磁力ユニット２７の磁力の影響を受けることなくスムーズに並進移動することが可能である。
【００２５】
以上のような構成とすることで、像ブレ補正オフモード時にも位置決めのための係止部材を特に設けることなく可動部ユニット３の位置を保持できるため、レンズ駆動ユニット１を小型化することができる。すなわち、保持板２６と移動版３２の光軸に垂直な平面内での相対移動が可能な状態で相互間の間隔を維持しているボール４と、保持板２６と移動板３２との間の押圧力を増加させることで、ボール４と、保持板２６と移動板３２との間の滑り摩擦力を増加させ、所定値以下の力では、保持板２６と移動板３２は、光軸に垂直な平面内で相対移動しないように構成している。また、これにより係合ガタの発生もないため、像ブレ補正オフモード時において補正光学系３１を高精度に位置決めし保持することが可能となる。また、ロック位置に移行または脱出する際も、コイル２７４に通電することで電磁力ユニット２７の磁力の影響を受けることなく可動ユニット３を駆動することが可能となるため、スムーズに移動板３２を移動することが可能である。また、電源オフ時にも可動ユニット３のロック位置では、コイル２７４への通電なしでも常に電磁力ユニット２７に永久磁石２７１の磁力が発生して移動板３２へ加圧力を与え続けることができる。したがって、衝撃等の外力が作用した際も補正光学系３１が動くことなく安定して可動ユニットの位置を保持することができる。
【００２６】
なお、本実施の形態では、補正光学系３１の中心と光軸との位置を一致させた後、可動ユニット３をロック位置まで回転させる制御としたが、補正光学系３１の光軸中心への並進移動とロック位置までの回転移動を同時に制御する構成としてもよい。その際、電磁力ユニット２７は像ブレ補正オフの信号を受けた時点で磁力の総和をゼロにするよう制御すればよい。また、吸引用磁石２５及び電磁石ユニット２７を固定ユニット２側に、吸引用板３３を可動ユニット３側に設ける構成としたが、逆の構成となっても同様の効果が得られる。さらに、本実施例においては、保持板２６と移動板３２の間に働く磁気吸引力により、保持板２６と移動板３２が相対移動しないように、ボール４と保持板２６と移動板３２との間に働く押圧力を増加させたが、本発明は、この構成に限定されることはなく、ボール４と保持板２６と移動板３２との間に働く押圧力を増加させる構成であれば、同様の効果を得ることができる。
【実施例２】
【００２７】
以下、図６から図７を用いて本発明の第２の実施例における詳細な説明を行う。
【００２８】
図６は、本実施例におけるレンズ駆動ユニットの正面図である。実施例１と同一の符号は同じ部材であるため説明を省略する。また、実施例１の時と同様に構成をわかりやすくするため固定ユニットとボールを実線で、可動ユニットを破線で示している。
【００２９】
図６に示すとおり、固定ユニット５は２つの振動波モータ２３と２つのエンコーダ２４を備える。可動ユニット６は２つのスライダ６１、２つのエンコーダスケール６２を備える。固定ユニット５と可動ユニット６との支持方法及びその他の構成は実施例１と同様である。また、実施例１と同様に、保持板５１には、レンズ駆動ユニットに大きな衝撃が加わった際に固定ユニット５から可動ユニット６が外れることを防止する壁部５１ａが４箇所に設けられている。また、保持板５１には、移動板３２の回転運動を規制する不図示のガイドが設けられている。
【００３０】
可動ユニット６の可動及びロック方法について説明する。実施例１と同様に２つの振動波モータ２３は駆動し、図中矢印方向に移動板３２を並進移動する。像ブレ補正モードにおいて、電磁力ユニット２７はコイル２７４に常に電流が流れた状態になっており、電磁力ユニット２７の磁力の総和はゼロになっている。その状態で移動板３２は振動波モータ２３の振動運動により光軸と垂直な平面内を並進移動し（あるいは、光軸と垂直な方向の成分を有して並進移動し）像ブレを補正する。
【００３１】
次に、像ブレ補正オフモード時の可動ユニット６のロック方法について図７を用いて説明する。像ブレ補正オフモードに移行する際には、まずコイル２７４に通電した状態で補正光学系３１の中心と光軸とを一致させるよう可動ユニットを駆動する（Ｓ３０１〜３０２）。光軸と一致したことをエンコーダ２４によって検知すると（Ｓ３０３）、コイル２７４の通電を停止する（Ｓ３０４）。コイル２７４の通電がなくなると、永久磁石２７１の磁力により電磁石ユニット２７は移動板３２を吸引するように磁力を発生する。電磁力ユニット２７の磁力が発生すると移動板３２とボール４との加圧力が向上し、可動ユニット６は固定ユニット５にロックされる。ロック解除を行う際にはコイル２７４に通電を開始し、電磁力ユニット２７の磁力の総和をゼロとすることで移動板３２の移動を可能にする。
【００３２】
以上のような構成とすることで、実施例２の構成においては、像ブレ補正モードで撮影している間は電磁力ユニット２７のコイル２７４に通電しておく必要はあるものの、実施例１で得られる効果の他に部品点数を少なくすることができるという効果を享受できる。本構成では、可動ユニット６の回転運動を行わないため、少なくとも２つのエンコーダ２４及び振動波モータ２３を備えればよい。また、同時にスライダ６１、エンコーダスケール６２の面積も小さくできる。また、回転方向の駆動を必要としないため可動時の制御をより容易に行うことができる。また、本実施例では移動板３２の材質を磁性体とする構成としてもよい。移動板３２を磁性体とすると移動板３２が吸引用板３３の役目を同時に行うことができるため更に部品点数を減らすことが可能となる。
【００３３】
上記の実施例１、２で示した本発明のレンズ駆動ユニットを、例えば、防振機構に備えることにより、小型で、像ブレ補正オフ時にも補正光学系の高精度な位置決めが可能で、その位置を安定して保持することができるレンズ装置を提供することができる。また、撮像素子と、該撮像素子上に被写体像を結像する撮像光学系とを備える撮像装置において、該撮像光学系が、上記の実施例１、２で示した本発明のレンズ駆動ユニットを有する防振機構を備えることにより、像ブレ補正オフ時にも補正光学系の高精度な位置決めが可能で、その位置を安定して保持することができるという、本発明の効果を享受することが出来る撮像装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１          ・・・レンズ駆動ユニット
２、５      ・・・固定ユニット
２１        ・・・保持板
２３        ・・・振動波モータ
２５        ・・・吸引用磁石
２７        ・・・電磁石ユニット
３、６      ・・・可動ユニット
３１        ・・・補正光学系
３２        ・・・移動板
４          ・・・ボール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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