(57)【要約】【課題】焼入れ処理による焼入れ深さの程度を精度良く判定することのできる焼入れ処理評価装置を提供する。【解決手段】交流励磁電圧を励磁コイル４５，５５に印加する電圧印加手段と、交流励磁電圧を印加することにより検査対象部品１に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出可能な受信コイル４６，５６と、被誘導電圧の振幅値および被誘導電圧と被誘導電流との位相差を計測し、被誘導電圧の振幅値および位相差を極座標に変換する座標変換手段を備え、極座標に基づいて検査対象部品１に施された焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定する。【選択図】図１
2013145181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象部品に施された焼入れ処理を評価する焼入れ処理評価装置であって、
交流励磁電圧を印加する電圧印加手段と、
該電圧印加手段により検査対象部品に前記交流励磁電圧を印加することにより、前記検査対象部品に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出可能な検出手段と、
前記被誘導電圧の振幅値および該被誘導電圧と前記被誘導電流との位相差を計測する計測手段と、
計測された前記被誘導電圧の振幅値および前記位相差を極座標に変換する座標変換手段と、
前記極座標に基づいて前記検査対象部品に施された前記焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定する判定手段と、
を備える焼入れ処理評価装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記焼入れ深さの程度に基づき予め設定した程度別領域のどの領域内に前記極座標があるかを判定することにより前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段である請求項１に記載の焼入れ処理評価装置。
【請求項３】
前記程度別領域は、複数の前記検査対象部品についての前記極座標の分布に基づいて設定されてなる請求項２に記載の焼入れ処理評価装置。
【請求項４】
前記程度別領域は、前記焼入れ深さの規格値の範囲内でのみ設定されてなる請求項２または請求項３に記載の焼入れ処理評価装置。
【請求項５】
前記判定手段は、前記極座標が予め設定された焼入れ深さ規格範囲内であるか否かを判定し、前記極座標が前記焼入れ深さ規格範囲内であると判定した時にだけ前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段である請求項１乃至請求項４何れかに記載の焼入れ処理評価装置。
【請求項６】
前記電圧印加手段は、一の前記検査対象部品に対して複数の周波数で時分割に連続して前記交流励磁電圧を励磁可能な手段であり、
前記計測手段は、前記複数の周波数に対応する複数の前記被誘導電圧の振幅値および前記複数の周波数に対応する複数の前記位相差を計測する手段であり、
前記座標変換手段は、計測された複数の前記被誘導電圧の振幅値および複数の前記位相差を極座標に変換する手段であり、
前記判定手段は、前記複数の周波数に対応する複数の前記極座標の全てが前記規格範囲内であると判定した時にだけ前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段である請求項５に記載の焼入れ処理評価装置。
【請求項７】
検査対象部品に施された焼入れ処理を評価する焼入れ処理評価方法であって、
（ａ）前記検査対象部品に交流励磁電圧を印加し、
（ｂ）該交流励磁電圧の印加により前記検査対象部品に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出し、
（ｃ）前記被誘導電圧の振幅値および該被誘導電圧と前記被誘導電流との位相差を計測し、
（ｄ）計測された前記被誘導電圧の振幅値および前記位相差を極座標に変換し、
（ｅ）前記極座標に基づいて前記検査対象部品に施された前記焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定する
焼入れ処理評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象部品に施された焼入れ処理による焼入れ深さの程度を精度良く判定することのできる焼入れ処理評価装置および焼入れ処理評価方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の焼入れ処理評価装置としては、渦電流センサを用いて非破壊で検査対象部品の焼入れ深さを評価するものが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３０８７４９９号公報
【特許文献２】特開２００２−１４０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に開示されている装置では、検査対象部品に交流励磁信号を励磁した際に生ずる渦電流による検出信号の交流励磁信号に対する位相差と、実際の焼入れ硬化層深さとの相関関係から求めた回帰直線を検量線として用いることにより、位相差から焼入れ硬化層深さを求めるものであるが、検出信号の交流励磁信号に対する位相差だけでは、焼入れ硬化層深さを一義的に決定できないとの見解もある（特許文献２）。
なお、高周波焼入れの場合は、図７に示すように、硬化層深さの分布は明確であり、特許文献１に開示されている装置により判定が可能であるが、浸炭焼入れの場合には、図８に示すように、硬化層深さの分布がなだらかであり、特許文献１に開示されているような測定方法では、ばらつきが大きくなり、判定が困難となるという問題点があり、焼入れ硬化層深さを精度良く判定するには更なる改良の余地があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、検査対象部品に施された焼入れ処理による焼入れ深さの程度を精度良く判定することのできる焼入れ処理評価装置および焼入れ処理評価方法の提供を目的とし、この目的の少なくとも一部を達成するために以下の手段を採った。
本発明の焼入れ処理評価装置は、
検査対象部品に施された焼入れ処理を評価する焼入れ処理評価装置であって、
交流励磁電圧を印加する電圧印加手段と、
該電圧印加手段により検査対象部品に前記交流励磁電圧を印加することにより、前記検査対象部品に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出可能な検出手段と、
前記被誘導電圧の振幅値および該被誘導電圧と前記被誘導電流との位相差を計測する計測手段と、
計測された前記被誘導電圧の振幅値および前記位相差を極座標に変換する座標変換手段と、
前記極座標に基づいて前記検査対象部品に施された前記焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定する判定手段と、
を備えることを要旨とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の焼入れ処理評価装置は、検査対象部品に交流励磁電圧を励磁した際に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出し、被誘導電圧の振幅値および被誘導電圧と被誘導電流との位相差を極座標に変換し、変換した極座標に基づいて検査対象部品に施された焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定するものであり、焼入れ深さの程度を精度良く判定することができる。
【０００７】
また、本発明の焼入れ処理評価装置において、前記判定手段は、前記焼入れ深さの程度に基づき予め設定した程度別領域のどの領域内に前記極座標があるかを判定することにより前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段であるものとすることもできる。
こうすれば、焼入れ深さの程度に基づき予め設定した程度別領域のどの領域内に極座標があるかを判定するだけであるから、焼入れ深さの程度を簡易に判定することができる。
【０００８】
また、程度別領域のどの領域内に極座標があるかを判定する焼入れ処理評価装置において、前記程度別領域は、複数の前記検査対象部品についての前記極座標の分布に基づいて設定されてなるものとすることもできる。
こうすれば、程度別領域を容易に設定することができる。
【０００９】
また、程度別領域のどの領域内に極座標があるかを判定する焼入れ処理評価装置において、前記程度別領域は、前記焼入れ深さの規格値の範囲内でのみ設定されてなるものとすることもできる。
こうすれば、程度別領域をより容易に設定することができる。
【００１０】
また、本発明の焼入れ処理評価装置において、前記判定手段は、前記極座標が予め設定された焼入れ深さ規格範囲内であるか否かを判定し、前記極座標が前記焼入れ深さ規格範囲内であると判定した時にだけ前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段であるものとすることもできる。
こうすれば、焼入れ処理による焼入れ深さの程度が規格範囲内のものだけ、焼入れ処理の深さの程度を判定すれば良いため、判定を迅速なものとすることができる。
【００１１】
また、極座標が規格範囲内であると判定した時にだけ、焼入れ処理の深さの程度を判定する仕様の焼入れ処理評価装置において、
前記電圧印加手段は、一の前記検査対象部品に対して複数の周波数で時分割に連続して前記交流励磁電圧を励磁可能な手段であり、
前記計測手段は、前記複数の周波数に対応する複数の前記被誘導電圧の振幅値および前記複数の周波数に対応する複数の前記位相差を計測する手段であり、
前記座標変換手段は、計測された複数の前記被誘導電圧の振幅値および複数の前記位相差を極座標に変換する手段であり、
前記判定手段は、前記複数の周波数に対応する複数の前記極座標の全てが前記規格範囲内であると判定した時にだけ前記焼入れ処理の深さの程度を判定する手段であるものとすることもできる。
こうすれば、焼入れ層深さの程度をより正確に判定することができる。
【００１２】
また、本発明の焼入れ処理評価方法は、
検査対象部品に施された焼入れ処理を評価する焼入れ処理評価方法であって、
（ａ）前記検査対象部品に交流励磁電圧を印加し、
（ｂ）該交流励磁電圧の印加により前記検査対象部品に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出し、
（ｃ）前記被誘導電圧の振幅値および該被誘導電圧と前記被誘導電流との位相差を計測し、
（ｄ）計測された前記被誘導電圧の振幅値および前記位相差を極座標に変換し、
（ｅ）前記極座標に基づいて前記検査対象部品に施された前記焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定することを要旨とする。
【００１３】
本発明の焼入れ処理評価方法によれば、検査対象部品に交流励磁電圧を励磁した際に生ずる渦電流に起因する被誘導電圧および被誘導電流を検出し、被誘導電圧の振幅値および被誘導電圧と被誘導電流との位相差を極座標に変換し、変換した極座標に基づいて検査対象部品に施された焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定するものであるため、焼入れ深さの程度を精度良く判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】焼入れ処理評価装置１の概略構成図である。
【図２】測定治具４，５における励磁コイル４５，５５および受信コイル４６，５６の電気的な接続状態を模式的に示す電気回路図である。
【図３】焼入れ層深さの評価処理のプログラムの一例を示すフローチャートである。
【図４】被誘導電圧Ｖと被誘導電流Ｉとの関係を示す関係図である。
【図５】焼入れ層深さ規格範囲マップの一例を示す図である。
【図６】焼入れ層深さ程度マップの一例を示す図である。
【図７】高周波焼入れの硬化層深さの分布を示す図である。
【図８】浸炭焼入れの硬化層深さの分布を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本発明を実施するための形態を実施例を用いて説明する。
図１は、焼入れ処理評価装置１の概略構成図である。
なお、実施例においては、検査対象部品が歯車の場合を例示しており、歯車２の歯部２ａの歯面に施されている焼入れ処理による焼入れ深さの程度を判定することができるものであり、特に、判定が困難であった浸炭焼入れ処理された焼入れ層の深さを精度良く判定することができる焼入れ処理評価装置１である。
【００１６】
実施例の焼入れ処理評価装置１は、検査対象部品である評価する歯車２をセット可能な測定治具４と、温度の影響をある程度抑制するために用いられる補正歯車３をセット可能な測定治具５と、測定治具４および測定治具５に電気的に接続された交流電源６と、同じく測定治具４および測定治具５に電気的に接続された計測器７と、装置全体をコントロールする電子制御ユニット８とを備える。
検査対象部品である評価する歯車２は、中心に軸孔２ｂが形成されており、外周の歯部２ａの歯面には浸炭焼入れ処理が施されて焼入れ層が形成されている。
なお、温度の影響をある程度抑制し測定精度を向上させるために、実施例では、補正歯車３を用いる。この補正歯車３は、評価する歯車２と同形のものであり、実施例では、中心に軸孔３ｂが形成され、外周の歯部３ａの歯面の焼入れ処理が焼入れ層深さ規格範囲内であってほぼ中央値であるものを用いるものとした。なお、補正歯車３は、焼入れ処理を施していないものを用いるものとしても構わない。
【００１７】
測定治具４，５は、同材料で同一形状に形成されており、例えばナイロン製のベース部４１，５１と、ナイロン製であって円筒状に形成された外周枠体４２，５２と、外周枠体４２，５２に設置された励磁コイル４５，５５および受信コイル４６，５６とから構成されている。
ベース部４１，５１の中央部には、上方へ突出した円柱状の凸部４１ａ，５１ａが形成されており、この凸部４１ａ，５１ａの外周にそれぞれ評価する歯車２および補正歯車３の軸孔２ｂ，３ｂを嵌め込んで評価する歯車２および補正歯車３をセットすることができる。
【００１８】
励磁コイル４５，５５は、導電体からなるコイルであり、複数の異なる周波数の交流電圧が印加されることにより評価する歯車２や補正歯車３に各周波数に対応する誘導電流（渦電流）を発生させるものである。励磁コイル４５，５５は、外周枠体４２，５２内に外周枠体４２，５２と同心状に設置されており、実施例では、ベース部４１，５１からの高さが１５ｍｍ程度の位置に配置するものとした。
受信コイル４６，５６は、励磁コイル４５，５５と同一特性を有するコイルとして構成されており、評価する歯車２および補正歯車３に発生する誘導電流（渦電流）に起因する被誘導電圧Ｖ１，Ｖ２を検出する。受信コイル４６，５６は、各励磁コイル４５，５５の内側に励磁コイル４５，５５と同心状に配置されており、実施例では、セットされる評価する歯車２および補正歯車３の歯部２ａ，３ａの歯幅のほぼ中央付近に配置するものとした。      
【００１９】
励磁コイル４５，５５、受信コイル４６，５６、評価する歯車２および補正歯車３それぞれの位置関係を調整するために、ベース部４１，５１と外周枠対４２，５２との間にリング状のスペーサー４３，５３が配置され、ベース部４１，５１と評価する歯車２および補正歯車３との間にリング状のスペーサー４４，５４が配置されている。
なお、励磁コイル４５，５５、受信コイル４６，５６、評価する歯車２および補正歯車３それぞれの位置関係は、上述した関係に限定されるものではなく、それぞれの形状や評価部位に応じて最適な位置関係は変更されるものである。
【００２０】
図２は、測定治具４，５における励磁コイル４５，５５および受信コイル４６，５６の電気的な接続状態を模式的に示す電気回路図である。
励磁コイル４５，５５は、図２に示すように、互いに直列に接続されるとともに両端が後述する交流電源６に接続されており、閉回路が構成されている。
また、受信コイル４６，５６は、互いに直列に接続されるとともに両端が計測器７に接続されており、閉回路が構成されている。
ここで、各コイルの巻き方や回路の構成は、測定治具４（励磁コイル４５および受信コイル４６内）に評価する歯車２がセットされていないとき、または、評価する歯車２として補正歯車３と組織・形状が完全に一致するものがセットされたときに計測器７が値０を出力するように設計されている。
即ち、計測器７は、評価する歯車２に発生する誘導電流に起因する被誘導電圧Ｖ１および被誘導電流Ｉ１の補正歯車３に発生する誘導電流に起因する被誘導電圧Ｖ２および被誘導電流Ｉ２に対する相対値としての被誘導電圧Ｖおよび被誘導電流Ｉを計測する。このように、相対値（差分値）としての被誘導電圧Ｖおよび被誘導電流Ｉを計測することにより、温度の影響をある程度抑制することができる。
【００２１】
交流電源６は、所定の周波数を有する所定の振幅の交流電圧を発生する電力源として構成されており、複数の周波数の交流電圧（交流励磁信号Ｖ１）を選択的に励磁コイル４５，５５に時分割に連続して印加することができるように、励磁信号線６ａ，６ｂにより励磁コイル４５，５５それぞれの両端と電気的に接続されている。
電子制御ユニット８は、ＣＰＵ８ａを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、ＣＰＵ８ａの他に処理プログラムを記憶するＲＯＭ８ｃと、データを一時的に記憶するＲＡＭ８ｂと、図示しない入出力ポートとを備える。電子制御ユニット８には、計測器７からの被誘導電圧Ｖおよび被誘導電流Ｉなどが入力ポートを介して入力されている。また、電子制御ユニット８からは、交流電源６への印加信号などが出力ポートを介して出力されている。
【００２２】
次に、こうして構成された焼入れ処理評価装置１の電子制御ユニット８により実行される焼入れ層深さの評価処理について説明する。
図３は、焼入れ処理評価装置１における電子制御ユニット８により実行される焼入れ層深さの評価処理のプログラムの一例を示すフローチャートである。この処理プログラムは、ＲＯＭ８ｃ内に記憶されている。
【００２３】
焼入れ層深さ評価処理が実行されると、電子制御ユニット８のＣＰＵ８ａは、まず、励磁コイル４５，５５に複数の異なる周波数の交流電圧が時分割に連続して印加されるよう交流電源６に印加信号を出力する（ステップＳ１）。
ここで、複数の異なる周波数は、実施例では、焼入れ不良品であることが判定し易い周波数を実験などにより予め求めておき、設定しておくものとした。即ち、焼入れ不良品における後述する極座標P（Ｘ，Ｙ）を後述する焼入れ層深さ規格範囲マップにプロットしたときに、極座標P（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲マップの焼入れ層深さ規格範囲Ｍから大きく外れた位置にプロットされるような周波数を選定する。
【００２４】
次に、各周波数に対応する複数の被誘導電圧Ｖおよび被誘導電流Ｉを計測器７から読み込むとともに（ステップＳ２）、被誘導電圧Ｖと被誘導電流Ｉとの間の位相差φを各周波数毎に求める（ステップＳ３）。そして、各周波数に対応する被誘導電圧Ｖと位相差φとを極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）に変換する処理を実施する（ステップＳ４）。
図４は、被誘導電圧Ｖと被誘導電流Ｉとの関係を示す関係図である。被誘導電圧Ｖと被誘導電流Ｉとの間には、図４に示すように、位相差φが生じており、被誘導電圧Ｖの振幅値Ｖ１と位相差φとの極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さと相関があることは周知であるため、その詳細説明については省略する。ここで、Ｘ＝Ｖ１ｃｏｓφ，Ｙ＝Ｖ１ｓｉｎφである。
【００２５】
こうして各周波数に対応する極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）を求めると、これら極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲Ｍ内であるか否かを判定する処理を実行する（ステップＳ５）。
ここで、焼入れ層深さ規格範囲Ｍは、良品、即ち、焼入れ層深さ規格範囲内であることが既知である複数の評価する歯車２について極座標Ｐ’（Ｘ’，Ｙ’）を求めて、これら複数の極座標Ｐ’（Ｘ’，Ｙ’）の分布から焼入れ層深さ規格範囲を設定するとともに予め焼入れ層深さ規格範囲マップとしてＲＯＭ８ｃに記憶しておき、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が与えられるとＲＯＭ８ｃに記憶された焼入れ層深さ規格範囲マップ上に極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）をプロットすることにより、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲Ｍ内にあるか否かを判定するものとした。
焼入れ層深さ規格範囲マップは、各周波数毎に設定される。焼入れ層深さ規格範囲Ｍは、実施例では、０．６５ｍｍ〜０．９０ｍｍとした。焼入れ層深さ規格範囲マップの一例を図５に示す。
なお、極座標Ｐ’（Ｘ’，Ｙ’）の算出において使用する補正歯車３が、後述する焼入れ層深さ程度判定マップの作成および今後焼入れ層深さを判定する際においても使用される。
【００２６】
各周波数に対応する極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が全て焼入れ層深さ規格範囲Ｍ内（０．６５ｍｍ〜０．９０ｍｍ）であると判定されると、続いて、焼入れ層深さの程度を判定する処理が実行される（ステップＳ６）。
ここで、焼入れ層深さの程度判定は、焼入れ層深さ規格範囲内（０．６５ｍｍ〜０．９０ｍｍ）であって焼入れ層の深さが既知である複数の評価歯車１を、所定幅（例えば、０．０５ｍｍ）の焼入れ層深さ毎に極座標Ｐ’’（Ｘ’’，Ｙ’’）を求めて、これら所定幅（例えば、０．０５ｍｍ）の焼入れ層深さ毎の極座標Ｐ’’（Ｘ’’，Ｙ’’）の分布から所定幅（例えば、０．０５ｍｍ）の焼入れ層深さ毎の領域を設定し、予め焼入れ層深さ程度マップとしてＲＯＭ８ｃに記憶しておき、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が与えられるとＲＯＭ８ｃに記憶された焼入れ層深さ程度マップ上に極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）をプロットすることにより、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ程度マップ上どの領域に属するかを判定することにより行うものとした。
なお、焼入れ層深さ程度判定は、実施例では、複数の異なる周波数全てについて実施するのではなく、代表する１つの周波数について実施するものとした。代表する周波数の選定は、焼入れ層深さ程度マップを作成した際に、各領域の境界が明確となる周波数を選定するものとすれば良い。焼入れ層深さ程度マップの一例を図６に示す。
【００２７】
焼入れ層深さ程度マップは、図６に示すように、焼入れ層深さが０．６５ｍｍ〜０．７０ｍｍの領域Ｍ１、焼入れ層深さが０．７０ｍｍ〜０．７５ｍｍの領域Ｍ２、焼入れ層深さが０．７５ｍｍ〜０．８０ｍｍの領域Ｍ３、焼入れ層深さが０．８０ｍｍ〜０．８５ｍｍの領域Ｍ４および焼入れ層深さが０．８５ｍｍ〜０．９０ｍｍの領域Ｍ５および領域Ｍ１〜Ｍ５以外のＮＧ領域（焼入れ層深さが０．６５ｍｍ未満および０．９０ｍｍより大きい領域）から構成されている。このように、焼入れ層の深さが既知である複数の極座標の分布に基づいて焼入れ層深さ程度マップを作成するだけだから、焼入れ層深さ程度マップを容易に作成でき、判定も容易なものとすることができる。
こうして、焼入れ層深さの程度が判定されると、評価する歯車２が「良品」である旨および焼入れ層深さの程度（例えば、０．６５ｍｍ〜０．７０ｍｍ）を出力して（ステップＳ７）、本処理を終了する
一方、ステップＳ５における極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲Ｍ内であるか否かの判定において、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲Ｍ外であると判定されたときには、「不良品」である旨を出力して（ステップＳ８）、本処理を終了する。
【００２８】
以上説明した実施例の焼入れ処理評価装置１によれば、評価する歯車２と補正歯車３とに発生する渦電流の差分に起因する被誘導電圧Ｖおよび被誘導電流Ｉを計測するとともに、被誘導電圧Ｖと被誘導電流Ｉとの位相差φを算出し、被誘導電圧Ｖと位相差φとを極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）に変換して、焼入れ層深さ程度マップ上のどの領域に極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が属するのかを判定するから、焼入れ層深さの程度を簡易かつ精度良く判定することができる。しかも、評価する歯車２と補正歯車３とに発生する渦電流の差分を検出するから、温度の影響をある程度抑制でき、測定精度を向上することができる。
【００２９】
また、実施例の焼入れ処理評価装置１によれば、まず、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲内であるか否かを判定し、焼入れ層深さ規格範囲内である場合にのみ焼入れ層深さの程度を判定するから、迅速に判定することができる。
【００３０】
さらに、実施例の焼入れ処理評価装置１によれば、複数の異なる周波数の交流電圧に対応する複数の焼入れ層深さ規格範囲マップを有し、複数の異なる周波数の交流電圧に対応して測定された複数の極座標P（Ｘ，Ｙ）の全てが、対応する焼入れ層深さ規格範囲内にあるときにだけ焼入れ層深さの程度を判定する。即ち、測定した極座標P（Ｘ，Ｙ）が確実に焼入れ層深さ規格範囲内であることを確認した上で焼入れ層深さの程度を判定するから、迅速かつ精度良く焼入れ層深さの程度を判定することができる。
【００３１】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、まず、極座標Ｐ（Ｘ，Ｙ）が焼入れ層深さ規格範囲内であるか否かを判定し、焼入れ層深さ規格範囲内である場合にのみ焼入れ層深さの程度を判定するものとしたが、焼入れ層深さ規格範囲内であるか否かの判定は行なわずに、直接、焼入れ層深さの程度を判定するものとしても構わない。
【００３２】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、焼入れ層深さ規格範囲内においてのみ焼入れ層深さ程度を判定可能な領域を設定するものとしたが、焼入れ層深さ規格範囲外においても焼入れ層深さ程度を判定可能な領域を設定するものとしても構わない。こうすれば、どの程度規格から外れているかを推定することができる。
【００３３】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、複数の異なる周波数の交流電圧を励磁コイル４５，５５に印加するものとしたが、単一の周波数の交流電圧を励磁コイル４５，５５に印加するものしても差し支えない。
【００３４】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、補正歯車３は、歯部３ａの歯面の焼入れ処理が焼入れ層深さ規格範囲内であってほぼ中央値であるものとしたが、焼入れ層深さ規格範囲内であれば、例えば、焼入れ層深さ規格範囲の上限値や下限値であっても構わない。
【００３５】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、補正歯車３を用いて温度の影響をある程度抑制するものとしたが、補正歯車３は用いなくても差し支えない。
【００３６】
実施例の焼入れ処理評価装置１では、歯車における焼入れ深さの程度を評価する装置について説明したが、軸部材やベアリングなどの焼入れ処理、特に、浸炭焼入れ処理された検査対象部品についても同様に焼入れ深さの程度を評価することができることはいうまでもない。この場合、測定治具４，５や励磁コイル４５，５５、受信コイル４６，５６は、検査対象部品に対応した形状、材質、配置にすれば良い。
【符号の説明】
【００３７】
１  焼入れ処理評価装置
２  歯車（検査対象部品）
２ａ，３ａ  歯部
３  補正歯車
４  測定治具（歯車用）
５  測定治具（補正歯車用）
６  電源
７  計測器
８  電子制御ユニット
４１，５１  ベース部
４２，５２  外周枠体
４５，５５  励磁コイル
４６，５６  受信コイル
【図１】
2013145181.tif 000003
【図２】
2013145181.tif 000004
【図３】
2013145181.tif 000005
【図４】
2013145181.tif 000006
【図５】
2013145181.tif 000007
【図６】
2013145181.tif 000008
【図７】
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【図８】
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