(57)【要約】【課題】本発明は、処理槽内の電極の表面積を減らして、処理液劣化を少なくするとともに、貴金属の消費量を減らすことができる表面処理装置、表面処理方法及びボンディングワイヤの製造方法を提案することを目的とする。【解決手段】処理液３０を貯留する処理槽２０と、  前記処理液中を金属線材１０が水平方向に移動するように前記金属線材を送るガイドローラー５０、５１と、  前記金属線材と平行に、前記金属線材の上下に配置されたワイヤー状の電極線６０、６１と、を有することを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理液中を金属線材が水平方向に移動するように前記金属線材を送るガイドローラーと、
前記金属線材と平行に、前記金属線材の上下に配置されたワイヤー状の電極線と、を有することを特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
前記ガイドローラーは、前記処理槽の外部に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記ガイドローラーは、前記金属線材に給電を行う給電ローラーとして構成されるか、又は前記金属線材に給電を行う給電ローラーを更に設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記ガイドローラーは、複数の巻き出し側ガイドローラーと複数の巻き取り側ガイドローラーの双方を含み、前記金属線材が複数回折り返されて前記処理液中を移動することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記電極線は、上面視的に、隣接する前記金属線材の間に等間隔で配置されるとともに、側面視的にも、前記金属線材と等間隔で上下から挟むように配置されたことを特徴とする請求項４に記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記電極線への給電は、前記処理槽内の前記金属線材の入口側と出口側の両側から行われることを特徴とする請求項５に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記処理槽内の前記金属線材の投影面積と前記電極線との投影面積比が、１：１０以下となることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記処理液の噴き出し口が前記処理槽の底面に設けられ、前記処理液が下から上に向かって流れるように構成されたことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項９】
前記金属線材は、銅又は金の線材であり、
前記処理液は、アルカリ系のアンモニア浴であり、
前記金属線材を負極性、前記電極線を正極性に帯電させ、前記金属線材の表面にパラジウムをめっきする表面処理を行うことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の表面処理装置。
【請求項１０】
ガイドローラーにより、処理槽に貯留された処理液中を水平方向に移動する金属線材の表面を処理する表面処理方法であって、
前記金属線材を正極性又は負極性に通電するとともに、
前記金属線材と平行に、前記金属線材の上下に配置されたワイヤー状の電極線を、前記金属線材と反対極性に通電させ、前記金属線材の表面を処理することを特徴とする表面処理方法。
【請求項１１】
前記ガイドローラーは、複数の巻き出し側ガイドローラーと複数の巻き取り側ガイドローラーの双方を含み、前記金属線線材を複数回折り返して前記金属線材の表面を処理することを特徴とする請求項１０に記載の表面処理方法。
【請求項１２】
前記電極線を、上面視的に、隣接する前記金属線材の間に等間隔で配置するとともに、側面視的にも、前記金属線材と等間隔で上下から挟むように配置して前記金属線材の表面を処理することを特徴とする請求項１１に記載の表面処理方法。
【請求項１３】
前記電極線への給電を、前記処理槽内の前記金属線材の入口側と出口側の両側から行うことを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の表面処理方法。
【請求項１４】
前記処理液の噴き出し口が前記処理槽の底面に設けられ、前記処理液が下から上に向かって流れる状態で前記金属線材の表面を処理することを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の表面処理方法。
【請求項１５】
前記金属線材は、銅又は金の線材であり、
前記処理液は、アルカリ系のアンモニア浴であり、
前記金属線材を負極性、前記電極線を正極性に帯電させ、前記金属線材の表面にパラジウムをめっきする表面処理を行うことを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載の表面処理方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の表面処理方法により、前記金属線材の表面を処理する工程と、
表面処理した前記金属線材を伸線加工する伸線工程と、を有することを特徴とするボンディングワイヤの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置、表面処理方法及びボンディングワイヤの製造方法に関し、特に、金属線材の表面処理装置、表面処理方法及びボンディングワイヤの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体実装に用いられるボンディングワイヤ等を製造するため、金属線材にめっき被覆等の表面処理を行う表面処理方法及び表面処理装置が知られている。
【０００３】
かかる表面処理方法及び表面処理装置では、電流密度と処理時間によって表面処理の厚さが決定されるため、所定のめっき厚を得るためには処理時間の確保が必須である。よって、生産量を増加するために処理時間を長く取る必要が有り、処理槽内に２個以上のガイドローラーを設置し、複数本の金属線を折り返し、処理時間を長く取って表面処理を行う表面処理方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、アノード電極には表面に貴金属めっきを施した板状の不溶性アノードを用い、材料と平行に複数枚のアノード電極を配置し、アノード電極の間隙を複数の金属線材に同時に走行させ、複数本の金属線材に同時に電気めっきを行う線材の製造方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、複数本の金属線材を処理する方法として、処理槽に対して垂直方向に金属線を複数本並べるように折り返す表面処理方法も考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５９−１２９７８８号公報
【特許文献２】ＷＯ  ２００８／００１８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の複数本の金属線材に電気を通じて表面処理する方法のうち、処理槽に対して垂直方向に金属線を並べるように折り返す方法は、処理する金属線材の本数が多くなると槽の深さが深くなり、作業性が悪く、処理長の延長に制限が出てくるという問題がある。
【０００８】
また、上述の特許文献１に記載の金属線材を水平方向に複数本並べる方法では、それらの作業性が改善されるが、例えば、アルカリ系のアンモニア浴のめっき液で一般的なパラジウム錯体がジクロロテトラアンミンパラジウム錯体（Ｐｄ（ＮＨ３）４Ｃｌ２  ＮＨ４ＮＯ３  Ｈ２Ｏ）を使用しためっき処理の場合、不溶性のアノードを使用するとアノードが酸化し、めっき液が古くなると陰極、陽極で副生成物を生じる。具体的には、アノードが酸化し、ｐＨ値が低下すると、アノード側にＣｌガスが発生し、アノード（Ｐｔ）の腐食やＣｌ２ガスの蓄積が発生する。かかる副生成物がめっき液中に蓄積すると、めっきの品質に影響を与えるという問題があった。よって、陽極は、かかる副生成物を発生するため、可能な限りその面積を小さくすることが好ましい。
【０００９】
また、特許文献２に記載の方法では、電極には、ＰｔめっきされたＴｉ電極を使用するが、高速にする程アノードの面積は大きくなり、価格も高くなることから交換のメンテナンス費用も高くなる。そのため、アノード電極に、パンチング板やエキスパンドメタル等の開口部を設けたものが検討できるが、面積を小さくするのは限界があるという問題もあった。
【００１０】
そこで、本発明は、処理槽内の電極の表面積を減らして、処理液劣化を少なくするとともに、貴金属の消費量を減らすことができる表面処理装置、表面処理方法及びボンディングワイヤの製造方法を提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る表面処理装置は、処理液を貯留する処理槽と、
前記処理液中を金属線材が水平方向に移動するように前記金属線材を送るガイドローラーと、
前記金属線材と平行に、前記金属線材の上下に配置されたワイヤー状の電極線と、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、前記ガイドローラーは、前記処理槽の外部に設けられることが好ましい。
【００１３】
また、前記ガイドローラーは、前記金属線材に給電を行う給電ローラーとして構成されるか、又は前記金属線材に給電を行う給電ローラーを更に設けるようにしてもよい。
【００１４】
なお、前記ガイドローラーは、複数の巻き出し側ガイドローラーと複数の巻き取り側ガイドローラーの双方を含み、前記金属線材が複数回折り返されて前記処理液中を移動することが好ましい。
【００１５】
ここで、前記電極線は、上面視的に、隣接する前記金属線材の間に等間隔で配置されるとともに、側面視的にも、前記金属線材と等間隔で上下から挟むように配置された構成とすることが好ましい。
【００１６】
また、前記電極線への給電は、前記処理槽内の前記金属線材の入口側と出口側の両側から行われる構成としてもよい。
【００１７】
更に、前記処理槽内の前記金属線材の投影面積と前記電極線との投影面積比が、１：１０以下となる構成としてもよい。
【００１８】
また、前記処理液の噴き出し口が前記処理槽の底面に設けられ、前記処理液が下から上に向かって流れるように構成されてもよい。
【００１９】
なお、前記金属線材は、銅又は金の線材であり、
前記処理液は、アルカリ系のアンモニア浴であり、
前記金属線材を負極性、前記電極線を正極性に帯電させ、前記金属線材の表面にパラジウムをめっきする表面処理を行うこととしてもよい。
【００２０】
本発明の他の態様に係る表面処理方法は、ガイドローラーにより、処理槽に貯留された処理液中を水平方向に移動する金属線材の表面を処理する表面処理方法であって、
前記金属線材を正極性又は負極性に通電するとともに、
前記金属線材と平行に、前記金属線材の上下に配置されたワイヤー状の電極線を、前記金属線材と反対極性に通電させ、前記金属線材の表面を処理することを特徴とする。
【００２１】
ここで、前記ガイドローラーは、複数の巻き出し側ガイドローラーと複数の巻き取り側ガイドローラーの双方を含み、前記金属線線材を複数回折り返して前記金属線材の表面を処理することが好ましい。
【００２２】
また、前記電極線を、上面視的に、隣接する前記金属線材の間に等間隔で配置するとともに、側面視的にも、前記金属線材と等間隔で上下から挟むように配置して前記金属線材の表面を処理することが好ましい。
【００２３】
なお、前記電極線への給電を、前記処理槽内の前記金属線材の入口側と出口側の両側から行うこととしてもよい。
【００２４】
また、前記処理液の噴き出し口が前記処理槽の底面に設けられ、前記処理液が下から上に向かって流れる状態で前記金属線材の表面を処理することが好ましい。
【００２５】
なお、前記金属線材は、銅又は金の線材であり、
前記処理液は、アルカリ系のアンモニア浴であり、
前記金属線材を負極性、前記電極線を正極性に帯電させ、前記金属線材の表面にパラジウムをめっきする表面処理を行うことが好ましい。
【００２６】
本発明の他の態様に係るボンディングワイヤの製造方法は、前記表面処理方法により、前記金属線材の表面を処理する工程と、
表面処理した前記金属線材を伸線加工する伸線工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、処理槽内における副生成物の生成を低減させることができ、表面処理を高品質で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例を示した図である。図１（Ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例の上面図である。図１（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例の側面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した図である。図２（Ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した上面図である。図２（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る表面処理装置の電極線の金属線材に対する位置関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
【００３０】
図１は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例を示した図である。図１（Ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例の上面図であり、図１（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の一例の側面図である。
【００３１】
図１（Ａ）、（Ｂ）において、本実施形態に係る表面処理装置は、処理槽２０と、処理液３０と、ライン変更ローラー４０、４１と、ガイドローラー５０、５１とを備える。また、被処理対象物として、金属線材１０が示されている。
【００３２】
ライン変更ローラー４０、４１及びガイドローラー５０，５１は、処理槽２０の外側に、処理槽２０を長手方向で両側から挟むように設けられている。ライン変更ローラー４０、４１が処理槽２０に接近して内側に配置され、ガイドローラー５０、５１は、ライン変更ローラー４０、４１の更に外側に設けられている。図１（Ａ）に示すように、ライン変更ローラー４０、４１及びガイドローラー５０、５１の双方とも、処理槽２０の長手方向に沿って複数設けられている。
【００３３】
また、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、金属線材１０は、処理槽２０を貫通し、処理液３０中を進行するように、処理槽２０の長手方向に平行に設けられている。例えば、処理槽２０の長手方向の前後の側壁に溝が形成されており、その溝を通って金属線材１０は、処理槽２０を貫通できるように構成される。
【００３４】
なお、金属線材１０は、上述のライン変更ローラー４０、４１及びガイドローラー５０、５１により折り返され、処理槽２０を複数回通過し、表面処理が複数回施されるように構成されている。
【００３５】
次に、個々の構成要素について説明する。
【００３６】
金属線材１０は、被処理対象物となる金属の線材である。金属線材１０の金属材質は、用途に応じて種々のものを用いることができ、例えば、半導体実装に用いられるボンディングワイヤを製造する目的で表面処理装置を用いる場合には、銅の線材や、金の線材が金属線材１０として用いられる。金属線材１０の線径も、用途に応じて種々のものを用いることができる。
【００３７】
処理槽２０は、金属線材１０の表面処理を行うために処理液３０を貯留する槽である。処理液３０は、表面処理の種類に応じて適切な処理液３０が用いられてよい。例えば、表面処理がめっき処理である場合には、用途に応じためっき液が用いられ、表面処理が電解エッチングの場合には、用途に応じた電解エッチング液が用いられ、表面処理が電解研磨の場合には、用途に応じた電解研磨液が用いられてよい。
【００３８】
処理槽２０は、上述のように、金属線材１０が処理液３０中に浸漬された状態で処理槽２０を貫通して進行できるように、長手方向の前後の側壁に、金属細線１０が通過できる溝又は穴を有して構成される。図１（Ａ）に示すように、金属線材１０は、折り返して複数回処理槽２０を往復通過するため、処理槽２０の長手方向前後の側壁には、複数個の溝又は穴が形成される。
【００３９】
ライン変更ローラー４０、４１は、金属線材１０のラインを隣のラインに変更するためのローラーである。ライン変更ローラー４０、４１は、入口側ライン変更ローラー４０と、出口側ライン変更ローラー４１から構成される。ライン変更ローラー４０、４１は、金属線材１０が処理槽２０を通過する際のラインに対してやや傾斜して設けられ、処理槽２０を通過した金属線材１０を、図１（Ａ）の奥側から手前側に導く役割を果たす。つまり、例えば、巻き出し側Ａから巻き出された金属線材１０は、１列目（最も奥側）のガイドローラー５０を通過して処理槽２０を通過し、１列目の出口側ライン変更ローラー４１にガイドされ、処理槽２０の次のラインに配置されたガイドローラー５１に巻き回される。ガイドローラー５１に巻き回された金属線材１０は、次のライン上で処理槽２０を通過し、１列目の入口側ライン変更ローラー４０にガイドされ、２列目のガイドローラー５０に巻き回される。このような段階を経て、金属線材１０は、長手方向に折り返されながら往復し、処理槽２０の幅方向に関し、奥側から手前側に１ラインずつ移動する。ライン変更ローラー４０、４１は、このように、金属線材１０のラインを１つずつ隣のラインに移動させる役割を果たす。なお、ライン変更ローラー４０、４１は、例えば、樹脂材料から構成されてもよい。
【００４０】
ガイドローラー５０、５１は、金属線材１０を処理槽２０にガイドするためのローラーであり、金属線材１０に処理槽２０内を水平方向に移動させる役割を果たす。ガイドローラー５０、５１も、入口側ガイドローラー５０と、出口側ガイドローラー５１とから構成される。ガイドローラー５０、５１は、ライン変更ローラー４０、４１とは異なり、処理槽２０の長手方向と平行に設けられ、金属線材１０の進行方向をガイドする。
【００４１】
ガイドローラー５０、５１は、金属線材１０に通電する給電ローラーとして構成されてもよい。ガイドローラー５０、５１が給電ローラーを兼ねることにより、金属線材１０に通電するための個別の電極を設ける必要が無くなり、表面処理装置の部品点数を低減させることができる。ガイドローラー５０、５１が給電ローラーを兼ねる場合には、ガイドローラー５０、５１は、導電性を有する材料から構成される。この場合、例えば、ガイドローラー５０、５１は、金属材料から構成されてもよい。
【００４２】
なお、ガイドローラー５０、５１を給電ローラーとする他、ライン変更ローラー４０、４１を給電ローラーとしてもよいし、通電用の電極を他に別途設けるようにしてもよい。
【００４３】
本実施形態に係る表面処理装置による金属線材１０に施す表面処理がめっき処理の場合には、ガイドローラー５０、５１はカソード電極として用いられ、表面処理が電解エッチング又は電解研磨の場合には、アノード電極として用いられる。
【００４４】
次に、本実施形態に係る表面処理装置及び表面処理方法について説明する。
【００４５】
巻き出し側Ａより巻き出された金属線材１０は処理槽両側に設けられたガイドローラー５０、５１を通り、処理槽内１０に複数本の金属線材１０が有り、巻き取り側Ｂのパスラインまで導かれる。これら複数の金属線材１０は作業性を損なわないように処理槽２０に対して水平方向に複数本並べた構造としている。金属線材１０への通電は、ガイドローラー５０，５１により行う。
【００４６】
図２は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した図である。図２（Ａ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した上面図であり、図２（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の処理槽内の構成の一例を示した側面図である。
【００４７】
図２（Ａ），（Ｂ）において、本実施形態に係る表面処理装置の処理槽２０は、電極線６０、６１と、固定部材７０と、固定ネジ７１と、電気接点８０、８１と、噴き出し口９０とを備える。また、処理槽２０の内部には、処理液３０が貯留されている。更に、処理液３０に浸漬された金属線材１０が、処理槽２０を貫通して設けられている。
【００４８】
処理槽２０内には、金属線材１０に平行に、金属線材１０を上下から挟むように、電極線６０、６１が配置されている。電極線６０、６１は、側面視して、金属線材１０から等距離となるように設けられている。電極線６０、６１は、上側電極線６０と、下側電極線６１とから構成されている。電極線６０、６１は、処理槽２０内の４箇所に位置に設けられた固定部材７０に固定ネジ７１で固定されている。電極線６０、６１は、電気接点８０、８１に接触し、電気接点８０、８１により通電されている。電気接点８０、８１も、上側電気接点８０と、下側電気接点８１とから構成される。上側電極線６０は、上側電気接点８０により通電され、下側電極線６１は、下側電気接点８１により通電されている。処理槽２０の底面には、噴き出し口９０が設けられ、処理液３０が下から上の向きに流れて供給されるように構成されている。
【００４９】
電極線６０、６１は、金属線材１０に表面処理を施すための電極であり、ワイヤー状の金属線が用いられる。例えば、金属線材１０にめっき処理を行う場合には、ガイドローラー５０、５１により金属線材１０を負極性に帯電させてカソード電極とし、電極線６０、６１を正極性に帯電させてアノード電極とし、処理液３０に金属を含むめっき液を用いれば、処理液３０内の金属がカソード電極である金属線材１０にめっきされ、金属線材１０をめっき処理することができる。逆に、金属線材１０に電解エッチング又は電解研磨の表面処理を施す場合には、電極線６０、６１をカソードとし、金属線材１０をアノードとする。
【００５０】
電極線６０、６１は、平面的には、図２（Ａ）に示すように、金属線材１０に平行に、金属線材１０を両側から挟むように所定間隔を有して配置される。
【００５１】
図３は、本発明の実施形態に係る表面処理装置の電極線６０、６１の金属線材１０に対する位置関係を示した図である。図３において、金属線材１０及び電極線６０、６１と垂直な面で切った場合の断面配置構成が示されている。
【００５２】
図３に示すように、電極線６０、６１は、側面視的には、金属線材１０を等距離で上下から挟むように配置され、上面視的には、平行に複数配置された隣接する金属線材１０同士の間に、等間隔で電極線６０、６１が配置された構成となる。
【００５３】
電極線６０、６１は、金属線材１０と同様に、金属線で構成されているので、その面積を極めて小さくすることができる。電極線６０、６１は、金属線であるため、その形状は細長い円柱形であるが、上下から金属線材１０を表面処理するため、実効的な面積は、電極線６０、６１を上面視した場合の底面への投影面積となる。つまり、電極線６０、６１の直径が縦となり、処理槽２０に沿って延びた長さが横となる細長い長方形が電極線６０、６１の実効的な電極面積となる。なお、電極線６０、６１は、上下で重なった位置に配置され、上面視すると重なってしまうが、金属線材１０を上下から挟んでおり、上側電極線６０の下面の投影面積と、下側電極線６１の上面の投影面積が金属線材１０への表面処理を行う電極の実効面積となる。よって、上面視すると上側電極線６０と下側電極線６１とは重なり合ってしまうが、両方とも金属線材１０の表面処理に対して電極として有効に機能しているので、上側電極線６０及び下側電極線６１の投影面積は両方とも独立した電極面積を有すると考えることができる。
【００５４】
電極線６０、６１の直径は、用途に応じて種々の大きさとすることができるが、例えば、φ１ｍｍ程度の金属線を用いるようにしてもよい。なお、金属線材１０に対する電極線６０、６１の面積比率は、１：１０以下となるように設定することが好ましい。つまり、電極線６０、６１の電極面積は、副生成物を発生させない観点から、被加工対象物である金属線材１０に対して、可能な限り小さい比率であることが好ましい。よって、例えば、処理槽２０内における電極線６０、６１の投影面積の合計が、金属線材１０の表面積の合計に対して、１：１０以下となるように電極線６０、６１を構成すれば、めっきの品質を十分に維持することができる。
【００５５】
また、電極線６０、６１の配置は、被処理対象物である金属線材１０から同一距離となるように配置することが好ましい。図３に示すように、例えば、隣接する金属線材１０の中間地点に、上下に重なるように、上下に金属線材１０から等間隔を空けて配置すれば、電極線６０、６１は金属線材１０から同一距離で配置される。より具体的には、電極線６０、６１は、金属線材１０の折り返されるピッチと同一ピッチで、１／２ピッチだけずれた位置に来るように、金属線材１０に対して同一距離となるように設置されている。このように、電極線６０、６１を金属線材１０から等間隔に配置することにより、金属線材１０の周囲の表面処理量を均一にすることができる。よって、めっき処理においては、膜厚が均一なめっき膜を形成することが可能となるし、電解エッチングであれば、均一なエッチング量で金属線材１０の周囲のエッチングを行うことができる。
【００５６】
電極線６０、６１は、導電性を有する金属材料であれば、用途に応じて種々の材料を用いることができる。例えば、電極線６０、６１は、チタン（Ｔｉ）からなる金属ワイヤーを用いるようにしてもよい。
【００５７】
図２に戻り、他の構成要素について説明する。
【００５８】
固定部材７０及び固定ネジ７１は、電極線６０、６１を物理的に固定するための固定部材である。固定部材７０及び固定ネジ７１は、図２に示すように、上側電極線６０及び下側電極線６１の双方を固定し、金属線材１０の上下に電極線６０、６１を設置する。例えば、固定部材７０は、表面にＰｔめっきが施された金属板を用いるようにしてもよい。また、固定ネジ７１は、例えば、樹脂性のネジ、ボルト等を用いることができる。
【００５９】
なお、固定部材７０及び固定ネジ７１は、処理槽２０の両端を含む４箇所で電極線６０、６１を上下で固定しており、横長の処理槽２０の中で、バランスよく電極線６０、６１を固定設置している。
【００６０】
電気接点８０、８１は、電極線６０、６１に電圧を印加し、電極線６０、６１を通電するためのコンタクト部材である。図２に示すように、上側電極線６０には上側電気接点８０が接触して通電を行い、下側電極線６１には下側電気接点８１が接触して通電を行う構成となっている。よって、電気接点８０、８１は、金属板等の金属材料から構成される。なお、図２には図示されていないが、電気接点８０、８１は、例えば整流器に接続され、電気接点８０、８１を介して電極線６０、６１に電力が供給されるように構成される。
【００６１】
噴き出し口９０は、処理液３０を、流れの方向性有して供給するための供給口である。図２に示すように、噴き出し口９０を下側電極線６１の下側に設け、下側電極線６１、金属線材１０、上側電極線６０の方向に液が流れるように構成されている。噴き出し口９０が、処理槽２０の底面に設けられていることにより、処理液３０は、下から上の一様な流れの向きを有して供給される。これにより、金属線材１０の表面を均一に処理することが可能となる。
【００６２】
以上説明した通り、本実施形態に係る表面処理装置によれば、金属線材の処理を高速化するために装置全長を伸ばすことなく、処理槽に対して水平に金属線材を折り返すことで作業性を損なうことなく、経済的な装置の提供が可能である。また、処理槽内の電極に金属線（ワイヤー）からなる電極線を使用することで、電極線と金属線材の面積比を１：１０以下に減らすことが可能であり、アノード電極の酸化、めっき液の劣化防止を延ばすことができる。また、アノード電極の表面積を減らすことで、アノード電極のコストを１／３以下に減らす事が可能となった。また、アノード電極と金属線材をそれぞれ両側より給電することと、アノード電極を金属線材に対して同一距離の位置に設置することにより、金属線材の円周方向と長さ方向に均一な設定膜厚に対して、１０％以内の膜厚誤差でめっき厚を得られることが可能であった。
【００６３】
なお、本実施形態に係る表面処理装置を用いた表面処理方法によれば、同様の効果を得ることができる。更に、本実施形態に係る表面処理方法を用いて、銅又は金からなる金属線材にパラジウムめっき液を用いてパラジウム被覆を行い、更にパラジウム被覆した金属線材を伸線加工する伸線工程を行うことにより、半導体実装に用いられるボンディングワイヤを製造することができる。
【００６４】
なお、かかるパラジウムめっき工程を行う場合には、めっき液としてアルカリ系のアンモニア浴を用い、金属線材をカソード電極、電極線をアノード電極としてめっきを行うようにすることが好ましい。
【００６５】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、金属線材の表面処理に利用することができ、例えば、半導体実装に用いられるボンディングワイヤに利用することができる。
【符号の説明】
【００６７】
１０    金属線材
２０    処理槽
３０    処理液
４０、４１    ライン変更ローラー
５０、５１    ガイドローラー
６０、６１    電極線
７０    固定部材
７１    固定ネジ
８０、８１    電気接点
９０    噴き出し口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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