(57)【要約】【課題】レンズホルダーを安定して回転させて、光学レンズに安定して蒸着を行うことができ、光学レンズに傷が付くこともなく、また単純な構造で安価なレンズ蒸着装置を提供する。【解決手段】回転ドーム４が回転軸３中心に回転することにより、プレート７の第１の切り欠き部７１aに第１のシャフト８aが係合して、第１のシャフト８aが第１の切り欠き部７１aを形成する内壁面を押圧し、プレート７が径方向軸５中心に回転を開始し、引き続き回転ドーム４が回転軸３中心に回転することにより、第２の切り欠き部７１bに第２のシャフト８bが係合し、第２のシャフト８bが第２の切り欠き部７１bを形成する内壁面を押圧し、プレート７が径方向軸５中心に回転を継続するとともに、第１のシャフト８aの第１の切り欠き部７１aへの係合を解除し、プレート７が１８０°回転した際に第２のシャフト８bの第２の切り欠き部７１bへの係合を解除する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着源と、
前記蒸着源の噴射方向に配置されて回転軸を中心に回転可能な回転ドームと、
前記回転ドームに設置されて、光学レンズを保持するとともに、前記回転ドームの前記回転軸から当該回転ドームの径方向に延在する径方向軸を中心に回転可能なレンズホルダーと、
前記レンズホルダーの径方向軸の両端部のうち前記回転軸と反対側の端部に連結されて前記径方向軸を中心に回転可能で、かつ、前記回転ドームの外周面に設けられて前記回転ドームの回転に連動するプレートと、
前記回転ドームの外側で当該回転ドームの回転方向に沿って設けられて、前記回転ドームの回転に連動して対向配置された前記プレートに係合可能な複数本のシャフトと、を備え、
前記プレートの外周には、前記複数本のシャフトがそれぞれ係合する複数の切り欠き部が形成されており、
前記回転ドームが前記回転軸を中心に回転することによって、前記シャフトに対向配置された前記プレートの第１の切り欠き部に、１本目のシャフトが係合して、当該１本目のシャフトが前記第１の切り欠き部を形成する内壁面を押圧し、前記プレートが前記径方向軸を中心に回転を開始し、
引き続き、前記回転ドームが前記回転軸を中心に回転することによって、前記プレートの第２の切り欠き部に、２本目のシャフトが係合して、当該２本目のシャフトが前記第２の切り欠き部を形成する内壁面を押圧し、前記プレートが前記径方向軸を中心に回転を継続するとともに、前記１本目のシャフトの前記第１の切り欠き部への係合を解除し、
前記プレートが回転を開始してから１８０°回転した際に、前記２本目のシャフトの前記第２の切り欠き部への係合を解除することを特徴とするレンズ蒸着装置。
【請求項２】
前記１本目のシャフトは、前記プレートが回転を開始してから９０°回転した際に、前記第１の切り欠き部への係合を解除することを特徴とする請求項１に記載のレンズ蒸着装置。
【請求項３】
前記プレートまたは前記シャフトの一方が、エンジニアプラスチックからなることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ蒸着装置。
【請求項４】
前記切り欠き部は、入り口側から奥側に向けて幅狭となるように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学レンズの両面に反射防止膜等の薄膜を形成する場合、光学レンズの一方のレンズ面に蒸着材料を蒸着した後に反対側のレンズ面に蒸着する。そのため、作業効率を考慮して真空状態の蒸着装置を開けることなく、光学レンズを反転させる反転機構を蒸着装置に持たせる技術が開示されている。例えば、反転機構として、レンズを収納するホルダー面の中心部に軸を持たせて、その軸を中心にして１８０°回転させたところで停止させる方式（例えば、特許文献１参照）や、同様な軸をバネの動力で回転させて回転終了部のストッパーで回転を停止させる方式（例えば、特許文献２参照）などが挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１７９１０２号公報
【特許文献２】特開２０００−３０３１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述のようなレンズホルダーを反転させる反転機構を一定の速度で反転させ、停止位置で急に停止させると、その衝撃によって、収納されているレンズが、レンズホルダーに対して位置がずれて適正に蒸着することができなかったり、レンズホルダー内でのレンズの動きによって、レンズに傷が付いたりして不良が発生するという問題がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、レンズホルダーを安定して回転させて、光学レンズに安定して蒸着を行うことができ、また、光学レンズに傷が付くなど不良が発生することもなく、また、単純な構造で安価なレンズ蒸着装置を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明によれば、蒸着源と、
前記蒸着源の噴射方向に配置されて回転軸を中心に回転可能な回転ドームと、
前記回転ドームに設置されて、光学レンズを保持するとともに、前記回転ドームの前記回転軸から当該回転ドームの径方向に延在する径方向軸を中心に回転可能なレンズホルダーと、
前記レンズホルダーの径方向軸の両端部のうち前記回転軸と反対側の端部に連結されて前記径方向軸を中心に回転可能で、かつ、前記回転ドームの外周面に設けられて前記回転ドームの回転に連動するプレートと、
前記回転ドームの外側で当該回転ドームの回転方向に沿って設けられて、前記回転ドームの回転に連動して対向配置された前記プレートに係合可能な複数本のシャフトと、を備え、
前記プレートの外周には、前記複数本のシャフトがそれぞれ係合する複数の切り欠き部が形成されており、
前記回転ドームが前記回転軸を中心に回転することによって、前記シャフトに対向配置された前記プレートの第１の切り欠き部に、１本目のシャフトが係合して、当該１本目のシャフトが前記第１の切り欠き部を形成する内壁面を押圧し、前記プレートが前記径方向軸を中心に回転を開始し、
引き続き、前記回転ドームが前記回転軸を中心に回転することによって、前記プレートの第２の切り欠き部に、２本目のシャフトが係合して、当該２本目のシャフトが前記第２の切り欠き部を形成する内壁面を押圧し、前記プレートが前記径方向軸を中心に回転を継続するとともに、前記１本目のシャフトの前記第１の切り欠き部への係合を解除し、
前記プレートが回転を開始してから１８０°回転した際に、前記２本目のシャフトの前記第２の切り欠き部への係合を解除することを特徴とするレンズ蒸着装置が提供される。
【０００６】
請求項２の発明によれば、前記１本目のシャフトは、前記プレートが回転を開始してから９０°回転した際に、前記第１の切り欠き部への係合を解除することを特徴とする請求項１に記載のレンズ蒸着装置が提供される。
【０００７】
請求項３の発明によれば、前記プレートまたは前記シャフトの一方が、エンジニアプラスチックからなることを特徴とする請求項１又は２に記載のレンズ蒸着装置が提供される。
【０００８】
請求項４の発明によれば、前記切り欠き部は、入り口側から奥側に向けて幅狭となるように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のレンズ蒸着装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、レンズホルダーを安定して回転させることができ、レンズホルダーに対して光学レンズが位置ずれすることがない。その結果、光学レンズに安定して蒸着を行うことができ、また、光学レンズに傷が付くなど不良が発生することもなくなる。さらに、単純な構造で安価なレンズ蒸着装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】レンズ蒸着装置の外観図である。
【図２】レンズ蒸着装置の一部を示した平面図である。
【図３】レンズ蒸着装置の一部を示した斜視図である。
【図４】レンズ蒸着装置の一部を示した斜視図である。
【図５】(a)〜(e)は、プレートが回転する場合の、プレート及びシャフトの位置関係を示した側面図である。
【図６】プレート及びシャフトの大きさを示した側面図である。
【図７】(a)〜(c)は、プレートの変形例を示した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１に示すように、レンズ蒸着装置１００は、真空容器１内に配置された蒸着源２と、蒸着源２の噴射方向に配置されて回転軸３を中心に回転可能な回転ドーム４と、回転ドーム４に設置されて、光学レンズＬを保持するとともに、回転ドーム４の回転軸３から当該回転ドーム４の径方向に延在する径方向軸５を中心に回転可能な複数のレンズホルダー６と、レンズホルダー６の径方向軸５の両端部のうち回転軸３と反対側の端部に連結されて径方向軸５を中心に回転可能で、かつ、回転ドーム４の外周面に設けられて、回転ドーム４の回転に連動するプレート７と、回転ドーム４の外側に設けられて、回転ドーム４の回転に連動して対向配置されたプレート７に係合可能な複数本のシャフト８、とを備える。
【００１２】
真空容器１には、真空容器１内の気圧を制御する気圧制御部９１が接続されており、この気圧制御部９１によって真空容器１の内部空間を減圧したり、リークしたり制御できるようになっている。
【００１３】
蒸着源２は、真空蒸着を可能にするものであり、ルツボ部分２１と、電子銃部分２２と、を備えるルツボ部分２１は、光学レンズＬのコーティング用の蒸着材料を収容している。電子銃部分２２は、ルツボ部分２１中の蒸着材料に対して電子線を入射させる。これにより、電子線でルツボ部分２１中の蒸着材料を加熱して溶かし、ルツボ部分２１から蒸着材料の蒸気を上方の光学レンズＬ側に射出させることができるようになっている。蒸着源２は、蒸着制御部９２によって動作が制御されている。
【００１４】
回転ドーム４は、真空容器１内で蒸着源２の上方に配置されている。回転ドーム４は、その中心部に鉛直軸方向に沿って回転軸３が設けられており、当該回転軸３を中心として軸回りに回転可能となっている。回転ドーム４は、モーター等の駆動手段（図示しない）により回転されるようになっている。このような駆動手段は、回転駆動制御部９３によって動作が制御されている。
【００１５】
図２は、レンズ蒸着装置１００の一部を示した平面図、図３及び図４は、レンズ蒸着装置１００の一部を示した斜視図である。
図２〜図４に示すように、回転ドーム４は、全体としてドーム状に形成されている。回転ドーム４は、中心部に配置される円環状の中心枠４１と、当該中心枠４１の外側に配置される円環状の外枠４２と、当該中心枠４１の外周面から外枠４２の内周面まで放射線状に延在する複数の連結枠４３と、を備えている。そして、互いに隣接する連結枠４３と、中心枠４１及び外枠４２によって形成された平面視扇形状の空間内にそれぞれレンズホルダー６が保持されるようになっている。なお、図３では図面の関係上、レンズホルダー６は１つのみ図示しており、光学レンズＬの図示は省略している。
【００１６】
中心枠４１には、所定間隔に複数の凹部４１１が形成されている。また、外枠４２には、中心枠４１の凹部４１１に対向する位置に、それぞれ凹部４２１が形成されている。中心枠４１の凹部４１１と、これに対向する外枠４２の凹部４２１に、レンズホルダー６の径方向軸５の各端部が載置され、これによってレンズホルダー６が回転ドーム４に保持されるようになっている。
【００１７】
レンズホルダー６は、平面視扇形状をなしており、レンズホルダー６内に複数のホルダー部６１が設けられている。
ホルダー部６１は、複数の光学レンズＬを収容する複数のレンズ収容部６１１が形成されている。レンズ収容部６１１は、ホルダー部６１に形成された凹部であって、当該凹部には、表裏面を貫通する貫通穴（図示しない）が形成されている。そして、レンズ収容部６１１に配置された光学レンズＬは、前記貫通穴を介して蒸着源２から蒸発された蒸着材料が一方のレンズ面に蒸着するようになっている。また、ホルダー部６１に、レンズ収容部６１１を覆うとともに光学レンズＬのレンズ面を露出させるカバー（図示しない）が取り付けられて、レンズホルダー６が反転されることによって、当該カバーから露出した反対側のレンズ面に蒸着材料が蒸着するようになっている。
【００１８】
レンズホルダー６には、回転ドーム４の回転軸３から当該回転ドーム４の径方向に延在する径方向軸５が取り付けられている。レンズホルダー６は、径方向軸５に関して線対称に形成されており、レンズホルダー６は、径方向軸５を中心に回転可能となっている。
径方向軸５の一端部は中心枠４１の凹部４１１内に載置され、他端部が外枠４２の凹部４２１内に載置されることによって、レンズホルダー６が回転ドーム４に設置されている。また、径方向軸５の他端部は、外枠４２の外周面４２２から突出しており、この突出した他端部にプレート７が連結されている。したがって、同心軸に設けられたプレート７及びレンズホルダー６は、径方向軸５を中心に回転可能となっている。
【００１９】
プレート７は、円板状をなし、プレート７の幅ｍはレンズホルダー６の幅Ｍよりも小さく形成されている。
また、図３及び図４に示すように、プレート７は、当該円板の外周面から中心部に向けて切り欠かれた４つの切り欠き部７１を有する。これら４つの切り欠き部７１は、等間隔（９０°間隔）に形成されている。
切り欠き部７１は、平面視略三角形状をなしており、切り欠き部７１の入り口側（プレート７の周縁側）から奥側（プレート７の中心側）に向けて徐々に幅狭となっている。このような形状とすることによって、よりがたつきが少なく、プレート７を回転させることができる。
【００２０】
図５(a)〜(e)は、プレートが径方向軸中心に回転する場合の、プレート及びシャフトの位置関係を示した側面図である。
なお、以下の説明において、１本目のシャフトを第１のシャフト８a、２本目のシャフトを第２のシャフト８b、４つの切り欠き部７１を、第１〜第４の切り欠き部７１a〜７１dとも言う。
プレート７は、回転ドーム４の回転に伴い、第１及び第２のシャフト８a，８bに対向する位置に到達すると、図５(a)に示すように、第１の切り欠き部７１a内に第１のシャフト８aが入り込み、回転ドーム４の回転力によって第１のシャフト８aが第１の切り欠き部７１aに係合してプレート７が径方向軸５を中心に回転を開始する。
続いて、図５(c)に示すように、第２の切り欠き部７１b内に第２のシャフト８bが入り込み、回転ドーム４の回転力によって第２のシャフト８bが第２の切り欠き部７１bに係合して、プレート７の径方向軸５中心への回転が継続される。
【００２１】
詳細には、図５(a)に示すように、第１のシャフト８aが第１の切り欠き部７１a内に入り込むと、第１の切り欠き部７１aを形成する内壁面であって、回転ドーム４の回転方向（図５中、矢印Ｘ方向）における後方側の内壁面７２aに係合し、回転ドーム４の回転力によって、第１のシャフト８aが当該内壁面７２aを径方向軸５中心に回転する方向（図５中、矢印Ｙ方向）に押圧する。これによってプレート７が径方向軸５を中心に回転を開始する。その後、図５(b)に示すように、プレート７の回転が継続される。
その後、図５(c)に示すように、プレート７の回転開始から９０°回転した際に、第２の切り欠き部７１b内に第２のシャフト８bが入り込むと、第２の切り欠き部７１bを形成する内壁面であって、回転ドーム４の回転方向Ｘにおける後方側の内壁面８２bに係合し、回転ドーム４の回転力によって、第２のシャフト８bが当該内壁面８２bを径方向軸５中心に回転する方向Ｙに押圧する。これによってプレート７の径方向軸５中心への回転が継続されるとともに、第１の切り欠き部７１a内から第１のシャフト８aが抜け出る。
その後、図５(d)に示すように、プレート７の回転が継続され、図５(e)に示すように、プレート７の回転開始から１８０°回転した際に、第２の切り欠き部７１b内から第２のシャフト８bが抜け出て、プレート７は１８０°回転された状態で停止する。
このように、プレート７が回転を開始してから１８０°回転する直前まで、第１〜第４の切り欠き部７１a〜７１dのいずれかの切り欠き部に、常に第１または第２のシャフト８a，８bが係合しているので、プレート７が安定した状態で回転して停止するので、プレート７の慣性力によって光学レンズＬに衝撃を与えることが無い。
【００２２】
そして、プレート７が１８０°回転して停止することによって、径方向軸５に設けられたレンズホルダー６及びレンズホルダー６にセットされた光学レンズＬも１８０°回転するので、光学レンズＬの他方のレンズ面が蒸着源２側に配置される。
【００２３】
なお、図５(a)に示すように、プレート７の切り欠き部７１とシャフト８とは、シャフト８が切り欠き部７１内に入り込む際に、切り欠き部７１の内壁面であって、回転ドーム４の回転方向Ｘにおける前方側の内壁面７３に当接しない位置関係になっている。
また、図６に示すように、切り欠き部７１の奥側（中心部側）における頂点部７４の径Ｒは、シャフト８の径ｒよりも大きく形成されている。
さらに、図５(b)に示すように、プレート７が径方向軸５中心に回転することによって、切り欠き部７１の頂点部７４が最下部に位置した際に、切り欠き部７１内のシャフト８の上面が切り欠き部７１の頂点部７４に接触しないようになっている。そのため、切り欠き部７１の頂点部７４にシャフト８の上面が接触することによって、プレート７を押し上げる方向に力が加わり、その結果、外枠４２の凹部４２１に載置されたレンズホルダー６の径方向軸５が凹部４２１内から外れるといった不具合を防いでいる。
【００２４】
シャフト８は、図２及び図４に示すように、真空容器１の外面から内面を貫通する貫通穴１０に挿入されている。シャフト８は、当該貫通穴１０において、回転ドーム４側と真空容器１の外側とで伸縮自在とされている。シャフト８の駆動手段８１としては、例えばモーターやシリンダー等が挙げられる。
レンズホルダー６の径方向軸５中心における回転（反転）が必要なタイミングで、シャフト８が、回転ドーム４側へと延出し、当該シャフト８に対向する位置に移動してきたプレート７の切り欠き部７１に係合するようになっている。シャフト８は、シャフト制御部９４（図１参照）によって動作が制御されている。
２本のシャフト８は、回転ドーム４の回転方向Ｘに対して平行となるように回転方向Ｘに沿って所定間隔に配置されている。
プレート７またはシャフト８の材質は、相互に磨耗等の影響を与えない材質とすることが好ましく、プレート７またはシャフト８の一方が摺動性の高いＭＣナイロン等のエンジニアプラスチックからなることが好ましい。
【００２５】
気圧制御部９１、蒸着制御部９２、回転駆動制御部９３及びシャフト制御部９４は、制御部９によって制御されている（図１参照）。
【００２６】
次に、レンズ蒸着装置１００の動作について説明する。
図１及び図２に示すように、ホルダー部６１の複数のレンズ収容部６１１にそれぞれ光学レンズＬを収容し、このホルダー部６１をレンズホルダー６にセットする。初期状態では、レンズホルダー６は、光学レンズＬの一方のレンズ面が蒸着源２側を向くように保持させる。次いで、蒸着源２に蒸着材料をセットした状態とし、真空容器１の扉（図示しない）を閉じる。
そして、気圧制御部９１を動作させ、真空容器１の内部空間を高真空に減圧する。次いで、蒸着源制御部９２によって蒸着源２を動作させ、蒸着材料を光学レンズＬの一方のレンズ面に蒸着させる。このとき、モーター等を駆動させ、回転ドーム４とともにレンズホルダー６にセットした光学レンズＬを回転軸３中心に回転させる。これにより、光学レンズＬの位置を成膜中変化させることができ、複数の光学レンズＬにおいて、一方のレンズ面に均一に成膜することができる。
【００２７】
次いで、光学レンズＬの一方のレンズ面に蒸着材料を蒸着させ、所定の膜厚に成膜した後、レンズホルダー６を径方向軸５中心に１８０°回転させて、光学レンズＬの他方のレンズ面を蒸着源２側に配置する。
詳細には、まず、シャフト制御部９４を動作させて、真空容器１の貫通穴１０内に挿入されているシャフト８を回転ドーム４側へと延出させる。そして、回転ドーム４の回転に連動するプレート７が、シャフト８に対向する位置に到達すると、第１の切り欠き部７１a内に第１のシャフト８aが入り込み、回転ドーム４の回転力によって第１のシャフト８aが第１の切り欠き部７１aに係合してプレート７が径方向軸５を中心に回転を開始する（図５(a)、(b)参照）。続いて、第２の切り欠き部７１b内に第２のシャフト８bが入り込み、回転ドーム４の回転力によって第２のシャフト８bが第２の切り欠き部７１bに係合してプレート７の径方向軸５中心への回転が継続される。その後、プレート７の回転開始から９０°以上回転する際に、第１の切り欠き部７１a内から第１のシャフト８aが抜け出る（図５(c)、(d)参照）。さらに、プレート７の回転開始から１８０°回転した際に、第２の切り欠き部７１b内から第２のシャフト８bが抜け出て、プレート７は１８０°回転された状態で停止する（図５(e)参照）。
このようにしてプレート７が径方向軸５を中心に回転することで、径方向軸５に設けられたレンズホルダー６及びレンズホルダー６にセットされた光学レンズＬが１８０°回転する。そして、光学レンズＬの他方のレンズ面が蒸着源２側に配置され、この状態で、蒸着材料が光学レンズＬの他方のレンズ面に蒸着される。
【００２８】
以上のようにして一つのレンズホルダー６が反転され、その後の回転ドーム４の回転に伴い上述の２本のシャフト８が次のプレート７の各切り欠き部７１に係合していき、順次、レンズホルダー６が反転される。そして、当該レンズホルダー６にセットされた光学レンズＬの他方のレンズ面に蒸着材料が蒸着されていく。その結果、複数の光学レンズＬの他方のレンズ面においても均一に成膜することができる。
【００２９】
光学レンズＬの他方の面が、所定の膜厚に成膜されると、蒸着制御部９２によって蒸着源２の動作が停止され、光学レンズＬに蒸着させた蒸着材料を徐々に冷却する。その後、ある程度冷却した段階で、気圧制御部９１によって真空容器１内のリークを開始させ、真空容器１内を徐々に外気圧に戻し始める。真空容器１内の気圧が外気圧に達したことを検出した後、真空容器１の扉を開放する。
【００３０】
以上、本実施形態によれば、２つ以上の切り欠き部７１を有するプレート７と、２本以上のシャフト８と、を備えているので、回転ドーム４が回転軸３を中心に回転することによって、プレート７の第１の切り欠き部７１aに第１のシャフト８aが係合して、第１のシャフト８aが第１の切り欠き部７１aを形成する内壁面７２aを回転ドーム４の回転方向Ｘと反対方向に押圧し、プレート７が径方向軸５を中心に回転を開始する。引き続き、回転ドーム４が回転軸３を中心に回転することによって、プレート７の第２の切り欠き部７１bに第２のシャフト８bが係合して、第２のシャフト８bが第２の切り欠き部７１bを形成する内壁面７２bを回転ドーム４の回転方向Ｘと反対方向に押圧し、プレート５の径方向軸５中心への回転を継続する。そして、プレート７が回転を開始してから１８０°回転した際に、第２のシャフト８bの第２の切り欠き部７１bへの係合を解除するので、プレート７の回転開始から１８０°回転する直前まで、常に、いずれかの切り欠き部７１にシャフト８が入り込んで係合している。このように、プレート７の回転動作が回転開始から停止まで常にシャフト８により保持されることから、プレート７に連結されたレンズホルダー６を安定して回転（反転）させることができる。したがって、プレート７が１８０°回転してプレート７の回転を停止させた場合でも、プレート７の慣性力によってプレート７が回転することがないので、レンズホルダー６にセットされた光学レンズＬが衝撃を受けて、レンズホルダー６に対して位置ずれすることがない。その結果、光学レンズＬに安定して蒸着を行うことができ、また、レンズホルダー６内での光学レンズＬの位置ずれによって、傷が付くなど不良が発生することもない。
また、レンズ蒸着装置１００は、複数の切り欠き部７１を有するプレート７と、切り欠き部７１に係合して回転ドーム４の回転力を伝達させてプレート７（レンズホルダー６）を回転させる複数のシャフト８を設けた構造であるので、単純な構造で、安価に製造することができる。
【００３１】
なお、本実施形態は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、プレート７は図５に示す円板状のものを使用したが、これに限定されるものではなく、図７(a)に示すように角板状のものであっても良い。図７(a)に示すプレート７Ａは、角板に４つの切り欠き部７１Ａを形成したものである。
また、図７(b)に示すプレート７Ｂのように、切り欠き部７１Ｂの入り口側の径をさらに大きく形成したものとしても良い。
また、図７(c)に示すプレート７Ｃのように、８つの切り欠き部７１Ｃを形成したものとしても良い。この場合、シャフト８Ｃの本数も３本以上にすることで、シャフト８Ｃ及びプレート７Ｃの磨耗対策となり、また、レンズホルダー６の安定した回転動作を得ることができる。
【００３２】
また、上記実施形態では、レンズホルダー６にホルダー部６１を設置し、ホルダー部６１のレンズ収容部６１１に光学レンズＬを収容するとしたが、ホルダー部６１を設けずに、レンズホルダー６に直接、光学レンズＬを収容するレンズ収容部を設けて、当該レンズ収容部に光学レンズＬを収容するように構成しても良い。
【００３３】
また、上記実施形態では、蒸着源２を電子線で加熱するとしたが、他の加熱法で蒸着源２を加熱することもできる。
【符号の説明】
【００３４】
１  真空容器
２  蒸着源
３  回転軸
４  回転ドーム
５  径方向軸
６  レンズホルダー
７  プレート
７１  切り欠き部
７１a  第１の切り欠き部
７１b  第２の切り欠き部
８  シャフト
８a  第１のシャフト（１本目のシャフト）
８b  第２のシャフト（２本目のシャフト）
１００  レンズ蒸着装置
Ｌ  光学レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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