(57)【要約】【課題】撥水膜の劣化を抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置を提供する。【解決手段】表層に撥水膜が形成されたステンレス板からなるノズル板３０には、ノズル板３０を貫通する接合穴３１が設けられている。そして、ノズル板３０とステンレスからなる被接合部材としての第１基板４０とを高精度に位置合わせ後、接合穴３１の穴径よりもスポット径の大きなレーザー光を、接合穴３１に向けて照射して、ノズル板３０を第１基板４０に接合する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルを有するノズル板が接合される被接合部材の上記ノズル板との少なくとも接合部分、および上記ノズル板の上記被接合部材との少なくとも接合部分を、レーザー光により溶融する溶融材で構成し、
上記ノズル板側または被接合部材側から溶融材にレーザーを照射して上記溶融材を溶融させてノズル板を被接合部材に溶接する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記レーザー光が照射される側の部材におけるレーザー光が照射される部分に溶融材がない、または、溶融材の厚みが他の箇所に比べて薄い領域を設け、
上記領域周辺の溶融材が溶融したときに、溶融した溶融材の流入が可能な空間を上記領域に設け、
上記レーザー光のスポット径を、上記領域よりも大きくしたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記領域にレーザー光を照射して、ノズル板と上記被接合部材とを溶接して仮接合した後、ノズル板の縁部にレーザー光を照射して、上記ノズル板と上記被接合部材とを溶接したことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記領域にレーザー光を照射して、上記ノズル板と上記被接合部材とを溶接して仮接合した後、上記ノズル板と上記被接合部材とを接着剤により接合したことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２いずれかの液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記被接合部材が、画像形成装置内で液滴吐出ヘッドを位置決めする位置決め基準部品であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記位置決め基準部品に、複数のノズル板を、アレイ状に配列して接合したことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１または３の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記被接合部材が、加圧液室を備えた液室部品であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかの液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記レーザー光が上記領域以外に照射される幅を、上記レーザー光が照射される側の部材の溶融材の厚み以下としたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかの液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
上記被接合部材および上記ノズル板をステンレス部材で構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
ノズル板のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドであって、
請求項１乃至８いずれかの液滴吐出ヘッドの製造方法により製造されたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、
上記液滴吐出ヘッドとして、請求項９の液滴吐出ヘッドを用いたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクの液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを備え、記録媒体を搬送しながら、インク滴を記録媒体に付着させて画像形成を行う画像形成装置が知られている。
【０００３】
「画像形成装置」とは、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の画像記録媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。ここでいう「画像形成」には、文字や図形等の意味を持つ画像を画像記録媒体に付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を画像記録媒体に付与すること（単に液滴を画像記録媒体に着弾させること）も含まれる。また、「インク」とは、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる液体の総称として用いる。更に、画像とは、平面に付与されるものに限らず、立体物に付与されるもの、あるいは、立体物自体を造形して形成される像も含まれる。
【０００４】
液滴吐出ヘッドは、インク滴を吐出するノズルを備えたノズル板と、このノズルが連通し、内部にインク液を収納した加圧液室と、この加圧液室内を昇圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段と、加圧液室に連通しインクカートリッジ等のインクタンクからインクを供給する共通液室とを備えている。そして、アクチュエータ手段を駆動することで加圧液室内を昇圧してノズルからインク滴を吐出させ、吐出したインクの液量分のインクが共通液室から加圧液室に供給される。
【０００５】
アクチュエータ手段は、加圧液室上に載置されるようにして設けられた振動板と、この振動板を振動させる振動発生手段としての圧電素子と備えている。また、ノズル板の表面には、ノズル板表面のインク付着を抑制する目的で撥水膜が形成されている。
【０００６】
特許文献１には、加圧液室を備えたノズル板とこのノズル板が接合される被接合部材としての振動板とを、ＹＡＧレーザーの照射によって溶接して接着する液滴吐出ヘッドの製造方法が記載されている。具体的には、ＹＡＧレーザーが透過する部材で構成されたノズル板の振動板と対向する側の面と、振動板のノズル板と対向する側の面とにＹＡＧレーザーにより溶融する溶融部材としての金属膜を形成する。次に、ノズル板を精度良く位置決めした後、ノズル板を振動板側へ加圧した状態で、ノズル板にＹＡＧレーザーを照射する。ノズル板に照射されたＹＡＧレーザーは、ノズル板を透過して、ノズル板に形成された金属膜に照射される。これにより、ノズル板の金属膜にレーザー光から熱エネルギーが供給され、ノズル板の金属膜が溶融温度にまで加熱され金属膜が溶融する。また、ノズル板の金属膜が加熱されることにより、振動板の金属膜が加熱され、振動板の金属膜も溶融する。これにより、ノズル板が振動板に溶接され、ノズル板が振動板に接合される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法においては、ＹＡＧレーザーにより加熱された金属膜からの熱伝導により、ノズル板の表面が温度上昇してノズル板表面に形成されている撥水膜が劣化するという課題があった。
【０００８】
本発明は以上の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、撥水膜の劣化を抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、液滴を吐出するノズルを有するノズル板が接合される被接合部材の上記ノズル板との少なくとも接合部分、および上記ノズル板の上記被接合部材との少なくとも接合部分を、レーザー光により溶融する溶融材で構成し、上記ノズル板側または被接合部材側から溶融材にレーザーを照射して上記溶融材を溶融させてノズル板を被接合部材に溶接する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記レーザー光が照射される側の部材におけるレーザー光が照射される部分に溶融材がない、または、溶融材の厚みが他の箇所に比べて薄い領域を設け、上記領域周辺の溶融材が溶融したときに、溶融した溶融材の流入が可能な空間を上記領域に設け、上記レーザー光のスポット径を、上記領域よりも大きくしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、レーザー光が照射される側の部材（以下、照射側部材という）のレーザー光が照射される部分に溶融材のない、または、溶融材の厚みが他の箇所に比べて薄い領域（以下、溶融材薄厚領域という）を設けたので、以下の効果を得ることができる。すなわち、照射側部材の溶融材にレーザーを照射したとき、照射側部材の溶融材のレーザー照射側から徐々に加熱され、照射側部材の溶融材が溶融温度に加熱された後、相手側部材（照射側部材でない方の部材）の溶融材との当接箇所の溶融材が溶融温度に加熱されて溶融することで、ノズル板と被接合部材とが溶融する。よって、照射側部材の厚みが厚いほど、溶融材によりレーザー光から供給される熱エネルギーが奪われるため、ノズル板と被接合部材との溶接が行われる箇所（ノズル板の溶融材が被接合部材の溶融材に当接している箇所：以下、溶接箇所という）が溶融温度にまで加熱されるのに要する時間が長くなる。
本発明は、上述した溶融材薄厚領域を設けたので、この領域では照射側部材の溶融材によりレーザー光の熱エネルギーが全く奪われないか、奪われたとしても僅かに奪われるだけである。よって、相手側部材の溶融材の溶融材薄厚領域と対向する箇所（以下、対向箇所という）がすばやく加熱される。そして、この加熱される対向箇所に隣接する溶接箇所（本発明においては、溶融材薄厚領域の周囲のノズル板溶融材と被接合部材溶融材との当接箇所）に対向箇所から熱が伝導され、溶接箇所が溶融温度にまで加熱される。このように、対向箇所がすばやく加熱され、しかも、対向箇所の隣が溶接箇所なので、溶融材薄厚領域を設けていない構成に比べて、短い時間で上記溶接箇所を溶融温度にまでに加熱することができ、ノズル板の表面の温度上昇を抑制することができる。よって、ノズル板表面の撥水膜が劣化するのを抑制することができる。
また、上記溶融材薄厚領域は、溶融材が全くないかあっても薄い。その結果、レーザー光のスポット径が溶融材薄厚領域以下の場合には、溶融材薄厚領域は全く溶接に寄与しないか、寄与できたとしても溶融材薄厚領域の溶融材量が少ないので、強固に溶接できない。このため、強固に溶接される箇所が溶融材薄厚領域の周囲の溶接箇所のみとなり、ノズル板と被接合部材との接合が弱い。
そこで、本発明は、レーザー光のスポット径を、上記溶融材薄厚領域よりも大きくし、上記溶融材薄厚領域で、照射側部材の溶融材と相手側部材の溶融材とで溶接が行われるようにした。以下にその理由について説明する。すなわち、レーザー光のスポット径を上記溶融材薄厚領域よりも大きくすることで、レーザー光は、照射側部材の溶融材の溶融材薄厚領域の周囲にも当たる。その結果、照射側部材の溶融材の溶融材薄厚領域の周囲のレーザー照射側が加熱され溶融する。溶融材薄厚領域には、領域周辺の溶融材が溶融したときに、溶融した溶融材の流入が可能な空間を設けているため、溶融した照射側部材の溶融材の溶融材薄厚領域の周囲の溶融材は、溶融材薄厚領域に流れ込む。これにより、溶融材薄厚領域の溶融材量が増える。上記対向箇所は、溶融材薄厚領域に照射されたレーザー光により加熱され溶融しているので、溶融材薄厚領域に流れ込んだ溶融材と溶接される。よって、溶融材薄厚領域で良好な溶接が行われ、ノズル板と被接合部材とを良好に接合することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】液滴吐出ヘッドの斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの加圧液室の短辺長の断面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの加圧液室の長辺方向の断面図。ｌ
【図４】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズル板側から見た平面図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの部分断面図。
【図５】仮接合後の接合穴の周辺を示す撮像した図。
【図６】仮接合後の接合穴周辺の断面図。
【図７】液滴吐出ヘッドを装置内で位置決めするための位置決め基準部品にノズル板を接合させた例を示す図。
【図８】ラインヘッド用の位置決め基準部品に各液滴吐出ヘッドのノズル板を接合した構成を示す図。
【図９】シリアル型インクジェット記録装置の機構部の全体構成を説明する概略図。
【図１０】同機構部の要部平面図
【図１１】ライン型インクジェット記録装置の機構部の全体構成を説明する概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施形態の液滴吐出ヘッド１の斜視図である。図２は、図１の加圧液室５の短辺長の断面図であり、図３は、図１の加圧液室５の長辺方向の断面（図１の点線）を示す。
【００１３】
図１〜図３に示すように、液滴吐出ヘッド１は、ノズル板３０に設けたノズル孔６から液滴を吐出させるサイドシュータータイプのものであり、ノズル板３０と、第１基板４０と、第２基板５０とを有している。具体的には、ノズル板３０上に第１基板４０が積層形成されており、第１基板４０上に第２基板５０が積層形成されている。
【００１４】
液室部品としての第１基板４０には、加圧液室隔壁４により仕切られた複数の加圧液室５と、共通液室８と、各加圧液室５と共通液室８とを連通する流体抵抗部７とを有している。この第１基板４０上にアクチュエータ手段としての圧電型アクチェータ２が形成されている。具体的には、圧電型アクチェータ２の振動板２ａが、ベース部材１００ａに形成されており、振動板２ａ上の各加圧液室５の上面を形成する箇所の反対側の箇所に振動発生手段としての圧電素子２ｂが形成されている。圧電素子２ｂは、図２に示すように、共通電極１０と個別電極１１と圧電体１２から形成されている。各加圧液室５と流体抵抗部７の上部は、振動板２ａに覆われているが、共通液室８の上部は、振動板２ａに覆われておらず、開口している。
【００１５】
第１基板４０の上に形成される第２基板５０には、外部から液滴を供給する液滴供給口６６と共通インク流路９（図３参照）、および振動板２ａが撓むことができるように個々の加圧液室５に対応した位置にザグリ６７が形成されている。共通インク流路９は、共通液室８の真上に形成されており、液滴供給口６６、共通インク流路９を介して、液滴であるインクを外部から共通液室８へ供給できるようになっている。
【００１６】
ノズル板３０には、個々の加圧液室５に対応した位置にノズル孔（液滴吐出孔）６が形成されている。
【００１７】
このように形成された液滴吐出ヘッド１においては、各加圧液室５内に液体、例えば記録液（インク）が満たされた状態で、図示しない制御部から画像データに基づいて、記録液の吐出を行いたいノズル孔６に対応する圧電素子２ｂの個別電極１１に対して、発振回路により、例えば２０Ｖのパルス電圧を印加する。この電圧パルスを印加することにより、圧電体１２は、電歪効果により圧電体１２そのものが振動板２ａと平行方向に縮むことにより、振動板２ａが加圧液室５の方向に撓む。これにより、加圧液室５内の圧力が急激に上昇して、加圧液室５に連通するノズル孔６から記録液が吐出する。次にパルス電圧印加後は、縮んだ圧電体１２が元に戻ることから撓んだ振動板２ａは元の位置に戻るため、加圧液室５内が共通液室８内に比べて負圧となり、外部から液滴供給口６６を介して供給されているインクが共通インク流路９、共通液室８から流体抵抗部７を介して加圧液室５に供給される。これを繰り返すことにより、液滴を連続的に吐出でき、液滴吐出ヘッド１に対向して配置した被記録媒体（用紙）に画像を形成する。
【００１８】
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド１をノズル板３０側から見た平面図であり、（ｂ）は、断面図である。
ノズル板３０は、板厚５０μｍのステンレス板であり、パンチングおよび研磨等により複数のノズル６が開口されている。ノズル板３０の表層には、撥水膜が形成されている。ノズル板３０が接合される被接合部材としての第１基板４０は、１ｍｍ厚のステンレス板である。また、ノズル板３０には、ノズル板３０を貫通する接合穴３１が設けられている。
【００１９】
ここで、従来のノズル板３０と第１基板４０との接合について説明する。
ノズル板３０と第１基板４０との接合においては、吐出特性確保および位置合わせ精度を確保するため、位置精度を向上させる必要があるため、まず、ノズル板３０を第１基板４０に対して精度よく位置決めして仮接合し、その後、ノズル板３０を第１基板４０に本接合する。
【００２０】
従来は、ノズル板３０と第１基板４０とを高精度に位置合わせ後、周辺部のＵＶ樹脂で硬化させることで仮接合を行い、ノズル板３０と第１基板４０との本接合は熱硬化等の高強度な接着剤で接着接合していた。ところが、仮接合を行うＵＶ樹脂では強度が弱く、熱硬化の接着剤等を硬化させる際に、位置ズレが発生し接合精度にばらつきが発生していた。
【００２１】
そこで、本実施形態においては、ノズル板３０にノズル板３０を貫通する接合穴３１を設け、接合穴３１の穴径よりもスポット径の大きなレーザー光を、接合穴３１に向けて照射する。
【００２２】
具体的には、ノズル板３０と第１基板４０とを高精度に位置合わせ後、ノズル板３０を第１基板４０に加圧する。次に、レーザー光のスポット径の中心が、接合穴３１の中心と合うように、レーザー光を照射する光ファイバーの位置を調整して、接合穴３１にレーザー光を照射する。これにより、レーザー光が、ノズル板３０レーザー照射側の接合穴３１の周囲、被接合部材としての第１基板４０の接合穴３１から露出する部分に照射され、ノズル板３０レーザー照射側の接合穴３１周囲と、第１基板４０の接合穴３１から露出する部分とにレーザー光により熱エネルギーが供給され、加熱される。
【００２３】
第１基板４０の接合穴３１から露出する部分が加熱されることで、この露出部分に隣接する接合穴３１周囲の第１基板４０とノズル板４０との当接箇所が、露出部分の熱伝導で溶融温度に加熱され、接合穴３１の周囲が溶接される。このように、ノズル板３０を貫通する接合穴３１を設けることで、ノズル板３０と第１基板４０との接合箇所に隣接する箇所にレーザー光を照射して加熱することができるので、接合箇所をすばやく溶融温度にまで加熱することができ、第１基板４０とノズル板３０とをすばやく溶接することができる。これにより、ノズル板４０の温度上昇を抑制することができ、撥水膜が熱劣化するのを抑制することができる。
【００２４】
また、ノズル板４０のレーザー照射側の接合穴３１周囲が、レーザーの照射により溶融温度にまで加熱される。この溶融したレーザー照射側の接合穴３１周囲の溶融材としてのステンレスは、接合穴３１に流れ込む。上述したように、第１基板４０の接合穴３１から露出した部分は、レーザー照射により溶融しているため、接合穴３１へ流れ込んできた溶融したステンレスと溶接される。これにより、接合穴３１以下のスポット径のレーザー光を、照射する場合に比べて、ノズル板３０と第１基板４０との溶接面積が広がり、強固にノズル板３０を第１基板４０の仮接合することができる。
【００２５】
図５は、仮接合後の接合穴３１の周辺を撮像した図であり、図６は、仮接合後の接合穴３１周辺の断面図である。
図５のＢは、レーザー光の照射スポットを示しており、図５のＡは、レーザー照射前の接合穴３１径を示している。また、図６のＡ１は接合穴３１の外径を示しており、Ｂ１はレーザー光のスポット径を示している。また、図５、図６に示すように、レーザー光を照射することで、接合穴３１の周囲が溶融して、第１基板４０に接合していることがわかる。また、溶融した溶融材としてのステンレスが、接合穴３１の形成部分にも流れ込んで、接合穴３１の部分も溶接されている。このように、レーザー光のスポット径を、接合穴３１よりも大きくすることで、ノズル板のレーザー照射側が溶融して接合穴３１に流れ込み、接合穴３１の一部が溶接される。これにより、ノズル板３０を第１基板４０に強固に固定することができる。
【００２６】
本実施形態では、レーザー光を照射してノズル板３０を第１基板４０に仮接合することにより、ＵＶ樹脂で仮接合する場合に比べ、ノズル板３０を強固に第１基板４０に仮固定（接合）することができる。
【００２７】
また、レーザー光のスポット径の中心が、接合穴３１の中心と合うように、レーザー光を照射することで、接合穴３１の周囲を均一に溶融、凝固させることができる。レーザー光のスポット径の中心が、接合穴３１の中心と合ってなく、接合穴３１の周囲が均一に溶融、凝固されない場合、接合穴３１の周囲の凝固スピードが異なる。接合穴３１の周囲の凝固スピードが異なると、凝固スピードが速い部分の応力が他の部分よりも高くなり、位置ズレが発生する。しかし、本実施形態では、レーザー光のスポット径の中心が、接合穴３１の中心と合うように、レーザー光を照射することで、接合穴３１の周囲を均一に溶融、凝固させているので、位置ズレが発生するのを防止できる。
【００２８】
また、本実施形態においては、ノズル板３０および第１基板４０の材質をともに溶融材としてのステンレスにしているので、インクに対する耐食性を向上できる。また、ノズル板３０と第１基板とを同一部材で構成することにより線膨張率を揃え、接合時の接合箇所への応力を低減できるとともに、使用環境下での温度変化に対して膨張収縮による位置ズレを低減できる。第１基板４０は、ノズル板３０とレーザー接合される接合部がステンレスであればよく、樹脂とのインサート一体成型構造としてもよい。
【００２９】
レーザー光によりノズル板３０と第１基板４０とを仮接合した後、上記と同様、インクのシール機能を持たせるために熱硬化の接着剤等を硬化させ、ノズル板３０と第１基板４０とを本接合する。本実施形態においては、接着剤でノズル板３０と第１基板４０とを本接合するとき、ノズル板３０と第１基板４０とが強固に仮接合されているので、接着剤による本接合のときに、位置ズレが発生することなく接合できる。
【００３０】
次に、レーザー光のスポット径と、接合穴３１との関係について説明する。
板厚５０μｍのノズル板３０に穴径３００μｍの接合穴３１を先の図４と同じ位置に設けたものを２つ用意した。
ノズル６と第１基板４０との位置合わせを行い加圧した状態で一方のノズル板３０の接合穴３１には、クラッド径４００μｍのファイバーにて、スポット径４００μｍのレーザー光を接合穴の中心部に照射して溶接し、他方のノズル板３０には、クラッド径８００μｍのファイバーにて、スポット径８００μｍのレーザー光を接合穴の中心部に照射して溶接した。すなわち、スポット径４００μｍのレーザー光のときは、接合穴３１の周囲５０μｍの幅で接合穴３１以外の箇所にレーザー光を照射し、スポット径８００μｍのときは、接合穴３１の周囲２５０μｍの幅で接合穴３１以外の箇所にレーザー光を照射した。
【００３１】
スポット径を４００μｍのレーザー光を照射して接合を行ったときは、溶接幅が３０〜５０μｍであり、仮固定穴周辺の撥水膜劣化は小さかった。一方、スポット径８００μｍのレーザー光を照射して接合を行ったときは、接合穴３１周辺の溶接幅が大きくなり、ノズル板３０と第１基板４０とを強固に溶接できたが、照射面積の拡大以上に熱ダメージを受けた撥水膜面積が大きくなってしまった。これは、スポット径を４００μｍにしたものは、ノズル板３０へのレーザー光の照射範囲が狭いため、ノズル板３０に付与されるレーザー光からの熱エネルギーを少なくでき、ノズル板３０の温度上昇を極力抑えられた効果であると考えられる。なお、スポット径４００μｍもノズル板３０は、第１基板４０に強固に仮固定されていた。このことから、接合穴３１の周囲に照射するレーザー光の幅は、ノズル板３０（溶融材）の厚み以下にするのが好ましい。
【００３２】
図７は、ノズル板３０を第１基板４０よりも大きな形状にし、液滴吐出ヘッド１を装置内で位置決めするための位置決め基準部品６０にノズル板３０を接合させた例を示す図である。
位置決め基準部品６０にノズル板３０を接合することで、位置決め基準に対するノズル位置精度を向上させることができる。また、ヘッド交換等を行う際は位置決め基準ごとヘッドを交換することになり、液滴吐出ヘッド１の装置に対する位置精度を確保しつつ、容易に液滴吐出ヘッドを交換することができる。
【００３３】
図７に示すように、ノズル板３０は、１ｍｍ厚のステンレス製位置決め基準部品６０に接合されている。ノズル板３０の位置決め基準部品６０への接合は、上述と同様にして、接合穴３１にレーザー光を照射し、仮接合した後、ノズル板３０を位置決め基準部品６０に本接合した。
【００３４】
具体的には、ノズル板３０を、位置決め基準部品６０に精度よく位置決めした後、ノズル板３０を位置決め基準部品６０に加圧した状態で、上述と同様、接合穴３１の中心にレーザー光を照射してノズル板３０を位置決め基準部品６０に仮接合する。これにより、ＵＶ樹脂で仮接合する場合に比べて、ノズル板３０を強固に第１基板４０に仮固定（接合）することができ、本接合のときの位置ズレを抑制することができる。これにより、ＵＶ樹脂で仮接合する場合に比べて、位置決め基準部品６０に対するノズル位置精度を向上させることができる。
【００３５】
この仮接合によりノズル板３０（液滴吐出ヘッド１）の位置決め基準部品６０に対する位置ずれを防止することができるが、この仮接合のみで薄いノズル板３０を位置決め基準部品６０に固定をすることは、その後のストレスに対して信頼性を確保することが出来ない。そのため、本接合を行って、ノズル板３０と位置決め基準部品６０とをより強度に固定しておく必要がある。
【００３６】
本接合には、接着接合等の工法を用いてもよいが、加熱硬化プロセスを必要とするなど工程に時間がかかるため、低コスト化が困難である。よって、本実施形態では、仮固定穴部での仮接合が完了後、図７に示すように、ノズル板周囲と位置決め基準部品６０とをレーザーにより接合することにより、本接合を完了する。このように、レーザー接合することで、新たな接合部材を必要とせず、接合時間も短縮できることから低コスト化が可能となる。
【００３７】
ノズル板周囲をレーザー接合により位置決め基準部品６０に接合する場合、周辺を線状に接合することも可能であるが、連続接合の場合は熱伝導により、ノズル板表層部の撥水膜に熱ダメージを与えてしまう可能性があり、点状に接合することがより好ましい。
【００３８】
また、仮接合を行う接合穴の他に、本接合するための接合穴を複数設けて、仮接合を行う接合穴にレーザーを照射して仮接合を行った後、本接合を行う接合穴にレーザー光を照射して、ノズル板３０を、位置決め基準部品に接合してもよい。
【００３９】
図８は、ラインヘッド用の位置決め基準部品６０Ａに各液滴吐出ヘッド１のノズル板３０を接合した構成を示す図である。
図８に示すように、ラインヘッド用の液滴吐出ヘッド１Ａは、２ｍｍ厚のステンレス製位置決め基準部品６０Ａに対して、短冊上の個別ヘッドを２列以上千鳥配置している。各ノズル板３０は、位置決め基準部品６０Ａに上述と同様にして、接合穴３１にレーザー光を照射し、仮接合した後、ノズル板３０を位置決め基準部品６０に本接合した。本接合は、先の図７に示すように、ノズル板周囲と位置決め基準部品６０Ａとをレーザーにより接合する。
【００４０】
本構成によれば、個別ヘッド間の位置合わせ精度を確保することが出来るようになり、ラインヘッドにおいて課題となっていたヘッド歩留りの向上と列内での位置合わせ精度の両立を行うことができる。
【００４１】
また、接合穴３１は、貫通穴でなくてもよい。この場合、接合穴３１にレーザーを照射すると、板厚の薄い接合穴３１の底面および接合穴３１の周囲が溶融して、ノズル板３０を被接合部材（第１基板４０、位置決め基準部品６０）に接合させることができる。また、被接合部材のステンレス層に穴を設け、被接合部材側からレーザー光を照射してもよい。また、本実施形態においては、ノズル板をレーザー光が照射すると溶融する溶融部材としてのステンレスで構成しているが、ノズル板３０をレーザー光が透過する部材と、ノズル板３０の被接合部材側に溶融部材としてのステンレス層とで形成したものでもよい。この場合は、ステンレス層に接合穴を設ければよい。また、ステンレス層は、接合する箇所の周辺のみ設けてもよい。
【００４２】
また、本実施形態においては、接合穴３１としているが、穴に限定されるものではない。すなわち、レーザー照射側の部材であるノズル板３０のレーザー照射部分に、溶融材としてのステンレスがない、もしくは、あっても他の部分よりも薄い溶融材薄厚領域が形成されていれば、その領域周辺のノズル板３０と被接合部材（第１基板４０、位置決め基準部品６０）との当接箇所がすばやく加熱することができ、すばやく接合することができる。また、この溶融材薄厚領域に、ノズル板のこの領域周辺のレーザー照射側がレーザー光の照射により溶融したとき、この溶融した材が流れ込むための空間が形成されていれば、この溶融材薄厚領域でも溶接が行われ、ノズル板３０を被接合部材（第１基板４０、位置決め基準部品６０）に強固に接合することができる。
【００４３】
図９は上述した液滴吐出ヘッド１を搭載したインクジェット記録装置の機構部の全体構成を説明する概略図であり、図１０は機構部の要部平面図である。
このインクジェット記録装置はシリアル型のインクジェット記録装置であり、図１０に示すように、フレーム１２１を構成する左右の側板１２１Ａ、１２１Ｂに横架したガイド部材であるガイドロッド１３１とステー１３２とでキャリッジ１３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図１０で矢示方向である双方向のキャリッジ主走査方向に移動走査する。
【００４４】
キャリッジ１３３には、前述したように、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する４個の液滴吐出ヘッド１ａ〜１ｄとからなる液滴吐出ヘッド１が、主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。なお、各色のインク液滴を吐出するノズル列を有する１又は複数のヘッド構成などを採用することもできる。
【００４５】
ここで、液滴吐出ヘッド１を構成するインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。
【００４６】
また、キャリッジ１３３には、各液滴吐出ヘッド１ａ〜１ｄに各色のインクを供給するためのヘッドタンク１３５ａ〜１３５ｄを搭載している。各ヘッドタンク１３５ａ〜１３５ｄには各色のインクを送液する可撓性のインク供給チューブ１３６を介してカートリッジ装填部１０４に装着された各色のインクカートリッジ１１０ｙ，１１０ｍ，１１０ｃ，１１０ｋから各色のインクが充填供給される。なお、このカートリッジ装填１０４にはインクカートリッジ１１０内のインクを送液するための供給ポンプユニット１２４が設けられ、またインク供給チューブ１３６は這い回しの途中でフレーム１２１を構成する後板１２１Ｃに係止部材１２５にて保持されている。供給ポンプユニット１２４は逆方向に送液（逆転送液）することもできる。
【００４７】
一方、図９の給紙トレイ１０２の用紙積載部（圧板）１４１上に積載した用紙１４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部１４１から用紙１４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）１４３及び給紙コロ１４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド１４４を備え、この分離パッド１４４は給紙コロ１４３側に付勢されている。
【００４８】
そして、この給紙部から給紙された用紙１４２を液滴吐出ヘッド１の下方側に送り込むために、用紙１４２を案内するガイド部材１４５と、カウンタローラ１４６と、搬送ガイド部材１４７と、先端加圧コロ１４９を有する押さえ部材１４８とを備えるとともに、給送された用紙１４２を静電吸着して液滴吐出ヘッド１に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト１５１を備えている。
【００４９】
この搬送ベルト１５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ１５２とテンションローラ１５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト１５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ１５６を備えている。この帯電ローラ１５６は、搬送ベルト１５１の表層に接触し、搬送ベルト１５１の回動に従動して回転するように配置されている。更に、搬送ベルト１５１の裏側には、液滴吐出ヘッド１による印写領域に対応してガイド部材１５７が配置されている。
【００５０】
この搬送ベルト１５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ１５２が回転駆動されることによって図２のベルト搬送方向に周回移動する。
【００５１】
更に、液滴吐出ヘッド１で記録された用紙１４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト１５１から用紙１４２を分離するための分離爪１６１と、排紙ローラ１６２及び排紙コロ１６３とを備え、排紙ローラ１６２の下方に排紙トレイ１０３を備えている。
【００５２】
また、装置本体１０１の背面部には両面ユニット１７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット１７１は搬送ベルト１５１の逆方向回転で戻される用紙１４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ１４６と搬送ベルト１５１との間に給紙する。また、この両面ユニット１７１の上面は手差しトレイ１７２としている。
【００５３】
更に、図１０に示すように、キャリッジ１３３の走査方向一方側の非印字領域には、液滴吐出ヘッド１のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構１８１を配置している。
【００５４】
この維持回復機構１８１には、液滴吐出ヘッド１の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）１８２ａ〜１８２ｄ（区別しないときは「キャップ１８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード１８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け１８４などを備えている。ここでは、キャップ１８２ａを吸引及び保湿用キャップとし、他のキャップ１８２ｂ〜１８２ｄは保湿用キャップとしている。
【００５５】
そして、この維持回復機構１８１による維持回復動作で生じる記録液の廃液、キャップ１８２に排出されたインク、あるいはワイパーブレード１８３に付着してワイパークリーナ１８５で除去されたインク、空吐出受け１８４に空吐出されたインクは図示しない廃液タンクに排出されて収容される。
【００５６】
また、図１０に示すように、キャリッジ１３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け１８８を配置し、この空吐出受け１８８には液滴吐出ヘッド１のノズル列方向に沿った開口１８９などを備えている。
【００５７】
このように構成した本実施形態のインクジェット記録装置においては、給紙トレイ１０２から用紙１４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙１４２はガイド１４５で案内され、搬送ベルト１５１とカウンタローラ１４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド１３７で案内されて先端加圧コロ１４９で搬送ベルト１５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００５８】
このとき、後述する制御部のＡＣバイアス供給部から帯電ローラ１５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト１５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト１５１上に用紙１４２が給送されると、用紙１４２が搬送ベルト１５１に吸着され、搬送ベルト１５１の周回移動によって用紙１４２が副走査方向に搬送される。
【００５９】
そこで、リニアエンコーダ１３７による主走査位置情報に基づいてキャリッジ１３３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙１４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙１４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙１４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙１４２を排紙トレイ１０３に排紙する。
【００６０】
また、印字（記録）待機中にはキャリッジ１３３は維持回復機構１８１側に移動されて、キャップ１８２で液滴吐出ヘッド１がキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ１８２で液滴吐出ヘッド１をキャッピングした状態で図示しない吸引ポンプによってノズルから記録液を吸引（「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。）し、増粘した記録液や気泡を排出する回復動作を行う。また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、液滴吐出ヘッド１の安定した吐出性能を維持する。
【００６１】
次に、先の図８に示すライン型の液滴吐出ヘッド１Ａを備える画像形成装置の一例としてのライン型インクジェット記録装置について説明する。
図１１はライン型インクジェット記録装置の機構部全体の概略構成図である。
このインクジェット記録装置は、装置本体４０１の内部に画像形成部４０２等を有し、装置本体４０１の下方側に多数枚の記録媒体（用紙）４０３を積載可能な給紙トレイ４０４を備えている。この給紙トレイ４０４から給紙される用紙４０３を取り込み、搬送機構４０５によって用紙４０３を搬送しながら画像形成部４０２によって所要の画像を記録する。その後、装置本体４０１の側方に装着された排紙トレイ４０６に用紙４０３を排紙する。また、装置本体４０１に対して着脱可能な両面ユニット４０７を備えている。両面印刷を行うときには、一面（表面）印刷終了後、搬送機構４０５によって用紙４０３を逆方向に搬送しながら両面ユニット４０７内に取り込む。そして、反転させて他面（裏面）を印刷可能面として再度搬送機構４０５に送り込み、他面（裏面）印刷終了後排紙トレイ４０６に用紙４０３を排紙する。ここで、画像形成部４０２は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の先の図８に示した液滴吐出ヘッドで構成した記録ヘッド４１１ｋ、４１１ｃ、４１１ｍ、４１１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド４１１」という。）を備え、各記録ヘッド４１１は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ４１３に装着している。
【００６２】
また、各記録ヘッド４１１に対応して記録ヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構４１２ｋ、４１２ｃ、４１２ｍ、４１２ｙ（色を区別しないときには「維持回復機構４１２」という。）を備えている。パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド４１１と維持回復機構４１２とを相対的に移動させて、記録ヘッド４１１のノズル面に維持回復機構４１２を構成するキャッピング部材などを対向させる。ここでは、記録ヘッド４１１は、用紙搬送方向上流側から、ブランク、シアン、マゼンタ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。
【００６３】
記録ヘッドとこの記録ヘッドにインクを供給する記録液カートリッジとを一体とすることも別体とすることもできる。給紙トレイ４０４の用紙４０３は、給紙コロ（半月コロ）４２１と図示しない分離パッドによって１枚ずつ分離され装置本体４０１内に給紙される。そして、搬送ガイド部材４２３のガイド面４２３ａに沿ってレジストローラ４２５と搬送ベルト４３３との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材４２６を介して搬送機構４０５の搬送ベルト４３３に送り込まれる。
【００６４】
また、搬送ガイド部材４２３には両面ユニット４０７から送り出される用紙４０３を案内するガイド面４２３ｂも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構４０５から戻される用紙４０３を両面ユニット４０７に案内するガイド部材４２７も配置している。搬送機構４０５は、搬送ベルト４３３、帯電ローラ４３４、プランテン部材４３５及び押さえコロ４３６を有している。そして、搬送ベルト４３３は、駆動ローラである搬送ローラ４３１と従動ローラ４３２との間に掛け渡した無端状の搬送ベルトである。帯電ローラ４３４は、搬送ベルト４３３を帯電させるための帯電ローラである。プラテン部材４３５は、画像形成部４０２に対向する部分で搬送ベルト４３３の平面性を維持する部材である。押さえコロ４３６は、搬送ベルト４３３から送り出す用紙４０３を搬送ローラ４３１側に押し付けている。その他図示しないが、搬送ベルト４３３に付着したインクを除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなども有している。この搬送機構４０５の下流側には、画像が記録された用紙４０３を排紙トレイ４０６に送り出すための排紙ローラ４３８及び拍車４３９を備えている。
【００６５】
このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト４３３は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ４３４と接触することで帯電される。そして、この高電位に帯電した搬送ベルト４３３上に用紙４０３が給送されると、用紙４０３は搬送ベルト４３３に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト４３３に強力に吸着した用紙４０３は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。そして、搬送ベルト４３３を周回させて用紙４０３を移動させ、記録ヘッド４１１から液滴を吐出する。これにより、用紙４０３上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙４０３は排紙ローラ４３８によって排紙トレイ４０６に排紙される。
【００６６】
液滴吐出ヘッドをインクジェットヘッドに適用したが、インク以外の液体の滴、例えばパターニング用の液体レジストを吐出する液滴吐出ヘッド、遺伝子分析試料を吐出する液滴吐出ヘッドなどにも適用することできる。
【００６７】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の（１）〜（１１）態様毎に特有の効果を奏する。
（１）
液滴を吐出するノズル６を有するノズル板３０が接合される被接合部材（第１基板４０または位置決め基準部品６０）の上記ノズル板との少なくとも接合部分、および上記ノズル板の上記被接合部材との少なくとも接合部分を、レーザー光により溶融するステンレスなどの溶融材で構成し、上記ノズル板３０側または被接合部材側から溶融材にレーザーを照射して上記溶融材を溶融させてノズル板３０を被接合部材に溶接する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、接合穴３１を設けるなどして、上記レーザー光が照射される側の部材におけるレーザー光が照射される部分に溶融材がない、または、溶融材の厚みが他の箇所に比べて薄い領域を設け、上記領域周辺の溶融材が溶融したときに、溶融した溶融材の流入が可能な空間を上記領域に設け、上記レーザー光のスポット径を、上記領域よりも大きくした。
かかる構成とすることで、実施形態で説明したように、上記領域の周囲の接合箇所（ノズル板３０と被接合部材との当接箇所）をすばやく溶融温度に加熱することができ、レーザーの照射時間を短くすることができる。これにより、ノズル板６０の温度上昇を抑制することができ、ノズル板３０の表面に形成された撥水膜が熱劣化するのを抑制することができる。また、レーザー光の照射時間を短縮することができるので、接合コストを削減することができ、かつ、接合に要する時間を短縮することができる。
また、領域の周囲に照射されたレーザー光により、領域周囲のレーザー照射側が溶融し、溶融した溶融材が領域に流れ込んで、領域でも溶接が行われる。これにより、溶接の面積を広げることができ、良好にノズル板と被接合部材とを溶接することができる。
【００６８】
（２）
また、上記（１）に記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記領域にレーザー光を照射して、上記ノズル板３０と上記被接合部材とを仮接合した後、ノズル板３０の縁部にレーザー光を照射して、ノズル板３０と被接合部材とを溶接した。
かかる構成とすることで、実施形態で説明したように、新たな接合部材を必要とせず、接合時間も短縮できることから低コスト化が可能となる。
【００６９】
（３）
また、上記（１）に記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記接合穴３１にレーザー光を照射して、上記ノズル板３０と上記被接合部材とを仮接合した後、上記ノズル板３０と上記被接合部材とを接着剤により接合した。
かかる構成とすることで、インクのシール機能を持たせることができ、ノズル板３０と被接合部材との間からインクが漏れ出すことを防止することができる。
【００７０】
（４）
また、上記（１）または（２）に記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、被接合部材が、画像形成装置内で液滴吐出ヘッドを位置決めする位置決め基準部品６０である。
ノズル板３０を上記（１）に記載の態様で位置決め基準部品６０に接合することで、実施形態で説明したように、ノズル板３０の位置決め基準部品６０の位置ずれを防止することができ、位置決め基準部品６０に対するノズル位置精度を向上させることができる。また、ヘッド交換等を行う際は位置決め基準ごとヘッドを交換することになり、液滴吐出ヘッド１の装置に対する位置精度を確保しつつ、容易に液滴吐出ヘッドを交換することができる。
【００７１】
（５）
上記（４）に記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記位置決め基準部品６０に、複数のノズル板３０をアレイ状に配列して接合した。
かかる構成とすることで、各個別ヘッド間の位置合わせ精度を確保することができ、ラインヘッドにおいて課題となっていたヘッド歩留りの向上と列内での位置合わせ精度の両立を行うことができる。
【００７２】
（６）
上記（１）または（３）に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記被接合部材が、加圧液室を備えた第１基板４０などの液室部品である。
ノズル板３０を上記（１）に記載の態様で液室部品に接合することで、ノズル板３０の液室部品に対する位置ずれを防止することができ、良好な吐出性能を確保することができる。
【００７３】
（７）
また、上記（１）乃至（６）いずれかに記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記レーザー光が上記領域以外に照射される幅を、上記レーザー光が照射される側の部材の溶融材の厚みの以下とした。
かかる構成とすることで、ノズル板３０に、レーザー光から必要以上に熱エネルギーが供給されるのを抑制することができ、ノズル板３０の温度上昇を抑制することができる。これにより、ノズル板３０に形成された撥水膜の熱劣化を抑制することができる。
【００７４】
（８）
また、上記（１）乃至（７）いずれかに記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、上記被接合部材および上記ノズル板をステンレス部材で構成した。
かかる構成とすることで、実施形態で説明したように、インクに対する耐食性を向上できる。また、ノズル板３０と被接合部材とを同一部材で構成することにより線膨張率を揃え、接合時の接合箇所への応力を低減できるとともに、使用環境下での温度変化に対して膨張収縮による位置ズレを低減できる。
【００７５】
（９）
また、ノズル板３０のノズル６から液滴を吐出する液滴吐出ヘッド１であって、上記（１）乃至（８）いずれかに記載の態様の液滴吐出ヘッドの製造方法により製造されたものである。
かかる構成を備えることで、良好な液滴吐出性能を得ることができる。
【００７６】
（１０）
また、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、上記液滴吐出ヘッドとして、上記（９）に記載の態様の液滴吐出ヘッドを用いた。
かかる構成を備えることで、良好な画像を得ることができる。
【符号の説明】
【００７７】
１：液滴吐出ヘッド
２：圧電型アクチェータ
２ａ：振動板
２ｂ：圧電素子
４：加圧液室隔壁
５：加圧液室
６：ノズル
７：流体抵抗部
８：共通液室
９：共通インク流路
１０：共通電極
１１：個別電極
１２：圧電体
３０：ノズル板
３１：接合穴
４０：第１基板
５０：第２基板
６０：位置決め基準部品
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７８】
【特許文献１】特開平９−５７９８３号公報
【図１】
2013144390.tif 000003
【図２】
2013144390.tif 000004
【図３】
2013144390.tif 000005
【図４】
2013144390.tif 000006
【図６】
2013144390.tif 000007
【図７】
2013144390.tif 000008
【図８】
2013144390.tif 000009
【図９】
2013144390.tif 000010
【図１０】
2013144390.tif 000011
【図１１】
2013144390.tif 000012
【図５】
2013144390.tif 000013