(57)【要約】【課題】複数の紫外線ランプを保持する部品の点数を削減するとともに、紫外線ランプの紫外線射出範囲を遮ることなく、紫外線ランプの撓みを防止する。【解決手段】複数の紫外線ランプ２を保持する紫外線ランプホルダ１０が、上板部３１ａ及び側板部を有する枠体３１と、上板部３１ａから下方に延出して互いに隣接する紫外線ランプ２の対向面に対応する凹部３２Ｍを有する１又は複数の中間支持体３２とを備え、各紫外線ランプ２が、中間支持体３２同士の間又は中間支持体３２及び側板部３１ｂ、３１ｃの間で挟まれて保持される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直管状をなす複数の紫外線ランプと、
前記各紫外線ランプの長手方向が平行となるように前記複数の紫外線ランプを保持する紫外線ランプホルダとを備え、
前記紫外線ランプホルダが、
前記複数の紫外線ランプの光射出側と反対側の上面に対向する上板部及び前記複数の紫外線ランプの周囲を囲む側板部を有する枠体と、
前記上板部から下方に延出し、互いに隣接する紫外線ランプの対向面の両方に接触するとともに当該対向面に対応する凹部を有する１又は複数の中間支持体とを備え、
前記各紫外線ランプの両端部以外の部分が、当該紫外線ランプの両側にある前記中間支持体の間又は前記中間支持体及び前記側板部の間に挟まれて保持されることを特徴とする紫外線ランプユニット。
【請求項２】
前記側板部に設けられ、当該側板部に対向する紫外線ランプの対向面に接触するとともに当該対向面に対応する凹部を有する１又は複数のサイド支持体を有し、
前記各紫外線ランプの両端部以外の部分が、当該紫外線ランプの両側にある前記中間支持体の間又は前記中間支持体及び前記サイド支持体の間に挟まれて保持されることを特徴とする請求項１記載の紫外線ランプユニット。
【請求項３】
前記サイド支持体及び前記側板部の間に、前記サイド支持体を前記紫外線ランプ側に付勢する付勢ばねが設けられていることを特徴とする請求項２記載の紫外線ランプユニット。
【請求項４】
前記枠体の下面開口部から、前記各紫外線ランプを前記中間支持体の間、又は前記中間支持体及び前記側板部の間に嵌め入れることによって、前記紫外線ランプが保持されることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の紫外線ランプユニット。
【請求項５】
前記紫外線ランプが、直管状の放電管と当該放電管の外面にその長手方向に沿って対向して設けられた対をなす高電圧電極及びアース電極とを有する誘電体バリア放電ランプであり、
前記複数の紫外線ランプが、互いに隣接する紫外線ランプの高電圧電極同士又はアース電極同士が向かい合うように配置されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の紫外線ランプユニット。
【請求項６】
高電圧電極同士が向かい合うように配置された互いに隣接する紫外線ランプの間に設けられる中間支持体が絶縁体からなることを特徴とする請求項５記載の紫外線ランプユニット。
【請求項７】
前記紫外線ランプが、下面の所定領域に紫外線を外部に射出する紫外線射出領域を有しており、当該紫外線射出領域以外の内側周面に紫外線を遮断する遮光加工又は紫外線を反射する反射加工が施されていることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の紫外線ランプユニット。
【請求項８】
前記中間支持体が前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように前記紫外線ランプの対向面に接触していることを特徴とする請求項７記載の紫外線ランプユニット。
【請求項９】
前記紫外線射出領域が、当該紫外線射出領域が設けられた紫外線ランプに隣接する別の紫外線ランプに、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように形成されていることを特徴とする請求項７又は８記載の紫外線ランプユニット。
【請求項１０】
最外側に位置する紫外線ランプの紫外線射出領域が、当該紫外線ランプに隣接する前記枠体の側板部に、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように形成されていることを特徴とする請求項７乃至９の何れかに記載の紫外線ランプユニット。
【請求項１１】
最外側に位置する紫外線ランプの紫外線射出領域が、当該紫外線ランプに隣接する前記枠体の側板部に、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たるように形成されていることを特徴とする請求項７乃至９の何れかに記載の紫外線ランプユニット。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れかに記載の紫外線ランプユニットを有する紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電ランプ等の紫外線ランプを有する紫外線ランプユニット及び当該紫外線ランプユニットを用いた紫外線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、誘電体バリア放電ランプ等の紫外線ランプは、例えば半導体やガラス基板等の被処理物を光洗浄するために用いられている。
【０００３】
そして、近年のワークの巨大化に伴い、ワークの幅方向も大きくなり、紫外線ランプの放電管長を長くする必要がある。そうすると、放電管の撓みが無視できなくなり、照射ムラを招くだけでなく、放電管とワークとの接触が生じてしまい、これらを防止するための工夫が必要となる。
【０００４】
ここで、特許文献１に示すように、１本の紫外線ランプを有する紫外線照射装置において、前記紫外線ランプの熱変形に伴う撓みを防止する構成として、紫外線ランプを介して対向する位置関係にある一対の発光管支持体を有するものが考えられている。
【０００５】
しかしながら、１本の紫外線ランプを有する紫外線照射装置においては、一対の発光管支持体を設ければよいが、複数の紫外線ランプを有する紫外線照射装置に適用した場合には、各紫外線ランプ毎に一対の発光管支持体を設ける必要があるため（引用文献１の図９参照）、部品点数が増えてしまうだけでなく、各紫外線ランプ間の距離を狭めることが難しい。また、紫外線ランプが長くなれば、その長手方向に沿って複数対の発光管支持体を設ける必要が出てくるが、そうすると、なおさら部品点数が増えてしまい、紫外線ランプを発光管支持体により保持させる作業が煩雑となってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１６０５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、複数の紫外線ランプを保持する部品の点数を削減するとともに、紫外線ランプの紫外線射出範囲を遮ることなく、紫外線ランプの撓みを防止することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち本発明に係る紫外線ランプユニットは、直管状をなす複数の紫外線ランプと、前記各紫外線ランプの長手方向が平行となるように前記複数の紫外線ランプを保持する紫外線ランプホルダとを備え、前記紫外線ランプホルダが、前記複数の紫外線ランプの光射出側と反対側の上面に対向する上板部及び前記複数の紫外線ランプの周囲を囲む側板部を有する枠体と、前記上板部から下方に延出し、互いに隣接する紫外線ランプの対向面の両方に接触するとともに当該対向面に対応する凹部を有する１又は複数の中間支持体とを備え、前記各紫外線ランプの両端部以外の部分が、当該紫外線ランプの両側にある前記中間支持体の間又は前記中間支持体及び前記側板部の間に挟まれて保持されることを特徴とする。なお、紫外線ランプの両端部とは、紫外線ランプにおいて給電ソケット等の給電部材に挿入される軸方向両端部であり、紫外線ランプの両端部以外の部分とは、紫外線ランプにおいて給電ソケット等の給電部材に挿入される軸方向両端部を除いた部分である。
【０００９】
このようなものであれば、各紫外線ランプが両側に配置された中間支持体の間又は中間支持体及び側板部の間により、紫外線ランプの両端部以外の位置で挟まれて保持されるので、紫外線ランプの撓みを防止することができる。ここで、各紫外線ランプが配列方向に沿って側面が挟まれて保持されることから、中間支持体が紫外線ランプの紫外線射出領域に重なる面積を可及的に小さく又は重ならないように配置することができ、紫外線が中間支持体により遮られることにより生じる照射ムラや光量低下を抑制することができる。また、互いに隣接する紫外線ランプの間に設けた共通の中間支持体によってそれら２つの紫外線ランプを保持する構成としているので、各紫外線ランプ毎に専用の中間支持体を設ける必要が無いため部品点数を削減し、紫外線ランプを中間支持体により保持させる作業を簡略化することができる。さらに、枠体の側板部を用いて紫外線ランプを保持する構成としているので、複数の紫外線ランプを保持するための部品点数を削減することができる。その上、複数の紫外線ランプが枠体によって周囲が囲まれた構成であるため、紫外線ランプユニットの窒素パージを効率化させることができる。
【００１０】
特に、紫外線ランプの取り付け作業を簡単化するためには、前記中間支持体の間、又は前記中間支持体及び前記側板部の間に前記紫外線ランプを嵌め入れることによって前記紫外線ランプが保持されることが望ましい。つまり、枠体に中間支持体を固定した後に、当該中間支持体の間又は前記中間支持体及び側板部の間に前記紫外線ランプを嵌め入れる。
【００１１】
上記の発明において側板部に長手方向に沿った凹部を形成することで、当該凹部に紫外線ランプの外面が嵌るようにして紫外線ランプを支持する構成とすることが考えられるが、そうすると、側板部及び紫外線ランプの外面との接触面積が大きくなってしまい、紫外線ランプの損傷の原因となる恐れがある。このため、前記側板部に設けられ、当該側板部に対向する紫外線ランプの対向面に接触するとともに当該対向面に対応する凹部を有する１又は複数のサイド支持体を有し、前記各紫外線ランプが、当該紫外線ランプの両側にある前記中間支持体の間又は前記中間支持体及び前記サイド支持体の間に挟まれて保持されることが望ましい。
【００１２】
紫外線ランプを嵌め入れる際に中間支持体及びサイド支持体からの反発力によって紫外線ランプが破損してしまうことを防止するだけでなく、紫外線ランプを取り付けた後に、中間支持体及びサイド支持体の間で紫外線ランプをガタなく保持するためには、前記サイド支持体及び前記枠体の側板部の間に、前記サイド支持体を前記紫外線ランプ側に付勢する付勢ばねが設けられていることが望ましい。
【００１３】
互いに隣接する紫外線ランプの間隔を小さくするためには、前記紫外線ランプが、直管状の放電管と当該放電管の外面にその長手方向に沿って対向して設けられた対をなす高電圧電極及びアース電極とを有する誘電体バリア放電ランプであり、前記複数の紫外線ランプが、互いに隣接する紫外線ランプの高電圧電極同士又はアース電極同士が向かい合うように配置されていることが望ましい。これならば、枠体及び紫外線ランプユニットの配列方向寸法を小型化することができ、また、紫外線ランプユニットの窒素パージを一層効率的に行うことができる。このとき、高電圧電極同士が向かい合うように配置された互いに隣接する紫外線ランプの間に設けられる中間支持体が絶縁体からなることが望ましい。
【００１４】
紫外線ランプユニットの構成を簡単化するとともに本発明の効果を最も顕著にする構成としては、２つの紫外線ランプを有し、それら２つの紫外線ランプの高電圧電極同士が向かい合うように配置されており、前記第１の支持体が絶縁体からなることが望ましい。
【００１５】
紫外線ランプを構成する放電管材料の光劣化及びそれに伴う破損を防止するためには、前記紫外線ランプが、下面の所定領域に紫外線を外部に射出する紫外線射出領域を有しており、当該紫外線射出領域以外の内側周面に紫外線を遮断する遮光加工又は紫外線を反射する反射加工が施されていることが望ましい。
【００１６】
前記中間支持体が前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように前記紫外線ランプの対向面に接触していることが望ましい。
【００１７】
紫外線ランプを構成する放電管材料の光劣化及びそれに伴う破損を防止するためには、前記紫外線射出領域が、当該紫外線射出領域が設けられた紫外線ランプに隣接する別の紫外線ランプに、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように形成されていることが望ましい。
【００１８】
最外側に位置する紫外線ランプの紫外線射出領域が、当該紫外線ランプに隣接する前記枠体の側板部に、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たらないように形成されていることが望ましい。これならば、側壁部に紫外線が当たることによって生じる光電効果により電子が飛び出すことを抑制することができる。
【００１９】
あるいは、最外側に位置する紫外線ランプの紫外線射出領域が、当該紫外線ランプに隣接する前記枠体の側板部に、前記紫外線射出領域から射出された紫外線が当たるように形成されていることが望ましい。これならば、側壁部に紫外線を当てて光電効果により電子を放出させることができ、金属薄膜でパターニングされた基板に紫外線が照射された際のプラス帯電（光電効果）を緩和して、静電気放電（ＥＳＤ）を防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
このように構成した本発明によれば、複数の紫外線ランプを配列方向から挟むことによって保持しているので、紫外線ランプの紫外線射出範囲を遮ることなく紫外線ランプの撓みを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態の紫外線照射装置の構成を示す模式図。
【図２】同実施形態の紫外線ランプユニットを示す下面図。
【図３】同実施形態の紫外線ランプユニットを示す部分拡大下面図。
【図４】同実施形態の紫外線ランプユニットを示す断面図。
【図５】同実施形態の紫外線ランプ及び中間支持体を示す部分拡大側面図。
【図６】変形実施形態の紫外線ランプユニットを示す断面図。
【図７】変形実施形態の紫外線ランプユニットを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明に係る紫外線照射装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
本実施形態に係る紫外線照射装置１００は、図１に示すように、図示しない搬送機構により搬送される半導体基板又はガラス基板等の被処理物Ｗに紫外線を照射することにより当該被処理物Ｗの表面に付着した有機物を分解してこれを除去することで、被処理物Ｗを洗浄するものである。
【００２４】
具体的にこの紫外線照射装置１００は、図１に示すように、複数本（本実施形態では２本）の紫外線ランプ２を前後方向に並列した状態で一体化した紫外線ランプユニット１０をケーシングＣ内に配置して構成されている。なお、前後方向とは、被処理物Ｗの搬送方向と同一方向であり、紫外線ランプ２の長手方向に直交する配列方向である。
【００２５】
紫外線ランプユニット１０は、図２〜図５に示すように、直管状をなす複数の紫外線ランプ２と、当該複数の紫外線ランプ２を収容する下面に開口を有する紫外線ランプホルダ３とを有する。
【００２６】
紫外線ランプ２は、特に図３及び図４に示すように、長尺円筒状の放電管２１及びこの放電管２１の長手方向に沿って対向して設けられた一対の高電圧電極２２及びアース電極２３を有する誘電体バリア放電ランプである。
【００２７】
放電管２１は、合成石英ガラス製の円筒の両端を閉じた断面円形状の丸管である。また、放電管２１の内部に形成された放電空間には誘電体バリア放電用ガスが充填されている。なお、誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）又はクリプトン（Ｋｒ）等の希ガス、或いは、フッ素（Ｆ２）又は塩素（Ｃｌ２）等のハロゲンガス等を用いることができる。誘電体バリア放電ランプは、ガスの種類に応じて異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等）のエキシマ光を発光する。例えば有機化合物を分解するためには、放電用ガスとしてキセノン（Ｘｅ）を用いて、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光を発光する誘電体バリア放電ランプとする。
【００２８】
一対の高電圧電極２２及びアース電極２３は、放電管２１と略同等の長さを有する膜状をなすものであり、放電管２１を前後方向から挟んだ位置に設けられている。この高電圧電極２２及びアース電極２３は、アルミニウム、アルミ合金、ステンレス等の導電性材料から形成されており、例えばメッキ、溶射、蒸着又はスパッタにより放電管２１の側周面上に形成した薄膜電極である。なお、放電管２１の側周壁において一対の高電圧電極２２及びアース電極２３の間にある下面領域にエキシマ光を射出する紫外線射出領域２Ｘが形成される（図４、図５参照）。
【００２９】
そして、特に図３及び図４に示すように、一対の高電圧電極２２及びアース電極２３のうち高電圧電極２２が、紫外線ランプ２の一端部に装着される給電ソケット４１により、電源装置の高電圧端子側に電気的に接続され、一対の高電圧電極２２及びアース電極２３のうちアース電極２３が、紫外線ランプ２の他端部に装着される給電ソケット４２により電源装置のアース端子側に電気的に接続される。なお、隣接する紫外線ランプ２間の放電を防止するため、隣接する紫外線ランプ２の高電圧電極２２同士又はアース電極２３同士を向かい合うように配置している。本実施形態は２本の紫外線ランプ２を有するものであるため、２つの紫外線ランプ２の高電圧電極２２が互いに対向するとともに、紫外線ランプ２のアース電極２３が前後側板部３１ｂ、３１ｃに対向する。
【００３０】
紫外線ランプホルダ３は、複数の紫外線ランプ２及び当該紫外線ランプ２の両端部が挿入される給電ソケット４１、４２を保持するものである。
【００３１】
具体的に紫外線ランプホルダ３は、図２〜図４に示すように、複数の紫外線ランプ２の光射出側と反対側の上面に対向する上板部３１ａ及び前記複数の紫外線ランプ２の周囲を囲む側板部３１ｂ〜３１ｅを有する枠体３１と、前記枠体３１の上板部３１ａから下方に延出して設けられた複数の中間支持体３２とを備えている。
【００３２】
枠体３１は、下面に開口部を有し、前記紫外線ランプ２を収容する概略直方体形状をなすものであり、当該枠体３１の長手方向において対向する左右側板部３１ｄ、３１ｅ又はその近傍に給電ソケット４１、４２が固定される。なお、枠体３１は、上板部３１ａ及び前後側板部３１ｂ、３１ｃを有するものであれば、紫外線ランプ２の周囲の一部を囲むものであっても良い。また、前後側板部３１ｂ、３１ｃが長手方向に部分的に設けられたものであっても良い。
【００３３】
上板部３１ａに設けられた複数の中間支持体３２は、絶縁体から形成された例えば回転体形状をなすものであり、互いに隣接する紫外線ランプ２（本実施形態では２本の紫外線ランプ２）の間において紫外線ランプ２の軸方向両端部（給電ソケット４１、４２に挿入される部分）以外の所定位置に設けられている。本実施形態では、３つの中間支持体３２が、２本の紫外線ランプ２の間において等間隔に設けられており、具体的には紫外線ランプ２を四等分する位置に設けられている。
【００３４】
そして中間支持体３２は、２本の紫外線ランプ２の対向面（本実施形態では、高電圧電極２２を含む側面）の両方に接触するとともに当該対向面に対応する凹部３２Ｍを有する。
【００３５】
また枠体３１の前後側板部３１ｂ、３１ｃの内面には、中間支持体３２に対応した位置に複数のサイド支持体３３が設けられている。本実施形態では、長手方向において、中間支持体３２と略同一位置に設けられている。なお、長手方向において中間支持体３２及びサイド支持体３３を互いに異なる位置に設けた場合には、紫外線ランプ２が前後方向に湾曲してしまう恐れがある。
【００３６】
また、サイド支持体３３は、前後側板部３１ｂ、３１ｃに対向する紫外線ランプ２の対向面（本実施形態では、アース電極２３を含む側面）に接触するものであり、絶縁体又は導電体から形成されている。そしてサイド支持体３３は、前後側板部３１ｂ、３１ｃの内面において当該前後側板部３１ｂ、３１ｃに対向する紫外線ランプ２の対向面に対応する凹部３３Ｍを有する。
【００３７】
このように構成された紫外線ランプホルダ３において、２本の紫外線ランプ２は、各紫外線ランプ２の両端部以外の部分が中間支持体３２の凹部３２Ｍ及びサイド支持体３３の凹部３３Ｍに嵌った状態で配列方向（前後方向）から挟まれて保持される。このように中間支持体３２の凹部３２Ｍ及びサイド支持体３３の凹部３３Ｍに嵌った状態で挟まれて保持されることによって、紫外線ランプ２は、凹部３２Ｍ及び凹部３３Ｍの下端突起部により上方に支持されて、紫外線ランプ２の下方への撓みが抑制される。なお、中間支持体３２の凹部３２Ｍ及びサイド支持体３３の凹部３３Ｍは、下端突起部を有するものであれば、コの字状をなす凹部でなくても良い。
【００３８】
ここでサイド支持体３３及び枠体３１の前後側板部３１ｂ、３１ｃの間に、サイド支持体３３を紫外線ランプ２側に付勢する付勢ばね３４が設けられている。この付勢ばね３４を介して、サイド支持体３３は、前後側板部３１ｂ、３１ｃに対して、進退移動可能に設けられている。
【００３９】
このように構成した紫外線ランプユニット１０の組み立て方法の一例について説明する。
【００４０】
まず、枠体３１の上板部３１ａに中間支持体３２及び前後側板部３１ｂ、３１ｃにサイド支持体３３を取り付ける。その後、紫外線ランプ２を枠体３１の開口部から、中間支持体３２及びサイド支持体３３の間に紫外線ランプ２を嵌め入れるようにして取り付ける。このとき、紫外線ランプ２の両端部を給電ソケット４１、４２に装着されるようにする。ここで、サイド支持体３３が前後側板部３１ｂ、３１ｃに対して進退移動可能に構成されていることから、紫外線ランプ２を嵌め入れる際に、サイド支持体３３が退避することによって、紫外線ランプ２が中間支持体３２及びサイド支持体３３に接触して破損することを防止できる。また、嵌め入れた状態において、紫外線ランプ２は、中間支持体３２と、付勢ばね３４により付勢されたサイド支持体３３とにより挟まれて確実に保持される。
【００４１】
また本実施形態の紫外線ランプ２は、図４に示すように、放電管２１における紫外線射出領域２Ｘ以外の内側周面に、紫外線を遮断する遮光加工又は紫外線を反射する反射加工が施されている。
【００４２】
この紫外線ランプ２において前記中間支持体３２及びサイド支持体３３は、前記紫外線射出領域２Ｘが形成された部分以外の外周面に接触するように構成されている。これにより、中間支持体３２及びサイド支持体３３に紫外線射出領域２Ｘから射出された紫外線が当たらないように構成している。
【００４３】
また、紫外線射出領域２Ｘは、当該紫外線射出領域２Ｘが設けられた紫外線ランプ２に隣接する別の紫外線ランプ２に、当該紫外線射出領域２Ｘから射出された紫外線が当たらないように形成されるとともに、紫外線ランプ２に隣接する前後側板部３１ｂ、３１ｃに、紫外線射出領域２Ｘから射出された紫外線が当たらないように形成される。具体的には、前記放電管２１の内側周面に施される遮光加工又は反射加工の周方向範囲を設定することにより、上記のように構成している。
【００４４】
このように構成した本実施形態に係る紫外線照射装置１００によれば、２つの紫外線ランプ２が共通の中間支持体３２及び前後側板部３１ｂ、３１ｃに設けたサイド支持体３３の間で挟まれて保持されるので、紫外線ランプ２の撓みを防止することができる。ここで、各紫外線ランプ２が配列方向に沿って側面が挟まれて保持されることから、中間支持体３２が紫外線ランプ２の紫外線射出領域２Ｘに重なる面積を可及的に小さく又は重ならないように配置することができ、紫外線が中間支持体３２により遮られることにより生じる照射ムラや光量低下を抑制することができる。
【００４５】
また、互いに隣接する紫外線ランプ２の間に設けた共通の中間支持体３２によってそれら２つの紫外線ランプ２を保持する構成としているので、各紫外線ランプ２毎に専用の中間支持体３２を設ける必要が無いため部品点数を削減し、紫外線ランプ２を中間支持体３２により保持させる作業を簡略化することができる。
【００４６】
さらに、サイド支持体３３及び前後側板部３１ｂ、３１ｃの間に付勢ばね３４を設けているので、紫外線ランプ２を嵌め入れる際に中間支持体３２及びサイド支持体３３からの反発力によって紫外線ランプ２が破損してしまうことを防止するだけでなく、紫外線ランプ２を取り付けた後に、中間支持体３２及びサイド支持体３３の間で紫外線ランプ２をガタなく保持することができる。
【００４７】
その上、複数の紫外線ランプ２が枠体３１によって周囲が囲まれた構成であるため、紫外線ランプユニット１０の窒素パージを効率化させることができる。
【００４８】
また、本実施形態の紫外線照射装置１００では、紫外線ランプユニット１０が２本の紫外線ランプ２を有するものであり、各紫外線ランプ２それぞれが中間支持体３２及び進退移動可能なサイド支持体３３により挟まれる構成であるため、各紫外線ランプ２を紫外線ランプホルダ３に取り付けやすく、また取り付けた後の各紫外線ランプ２はそれぞれサイド支持体３３に弾性的に押圧される構造であるため、各紫外線ランプ２それぞれのガタつきを防止することができる。
【００４９】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、前後側板部３１ｂ、３１ｃにサイド支持体３３を設ける構成であったが、図６に示すように、サイド支持体３３を設けることなく、中間支持体３２及び前後側板部３１ｂ、３１ｃにより紫外線ランプ２を配列方向から挟んで保持する構成としても良い。このとき、前後側板部３１ｂ、３１ｃには、前記中間支持体３２の凹部３２Ｍと対応して長手方向に沿った凹部３１Ｍが形成される。これならば、サイド支持体３３が不要であることから、部品点数を一層削減することができる。
【００５０】
また、紫外線射出領域２Ｘが、当該紫外線ランプ２に隣接する前後側板部３１ｂ、３１ｃに、当該紫外線射出領域２Ｘから射出された紫外線が当たるように形成されたものであっても良い。具体的には、放電管２１の内側周面に施される遮光加工又は反射加工の周方向範囲を調節することにより行う。これならば、前後側板部３１ｂ、３１ｃに紫外線を当てて光電効果により電子を放出させることができ、金属薄膜でパターニングされた基板Ｗに紫外線が照射された際のプラス帯電（光電効果）を緩和して、基板Ｗにおける静電気放電（ＥＳＤ）を防止することができる。
【００５１】
さらに、前記実施形態では、２本の紫外線ランプ２を有する紫外線ランプユニット１０について説明したが、３本以上の紫外線ランプ２を有するものであっても良い。この場合、図７に示すように、最外側に位置する紫外線ランプ２が中間支持体３２及びサイド支持体３３により両側から挟まれて保持されるとともに、最外側以外の紫外線ランプ２は、配列方向に対をなす中間支持体３２により両側から挟まれて保持される構成となる。
【００５２】
さらに、前記実施形態では、紫外線ランプ２を枠体３１の開口部側から嵌め入れるようにして組み立てるものであったが、枠体３１の長手方向から紫外線ランプ２を挿入することによって枠体３１に取り付けるものであっても良い。
【００５３】
その上、前記実施形態では、中間支持体３２及びサイド支持体３３を長手方向に沿って複数個所（３箇所）に設けた場合について説明したが、紫外線ランプ２の長手方向中央部に１箇所設けたものであっても良いし、紫外線ランプ２を複数に等分割したその分割点毎に複数の中間支持体３２及びサイド支持体３３を設けるようにしても良い。
【００５４】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５５】
１００・・・紫外線照射装置
１０  ・・・紫外線ランプユニット
２    ・・・紫外線ランプ（誘電体バリア放電ランプ）
２１  ・・・放電管
２２  ・・・高電圧電極
２３  ・・・アース電極
２Ｘ  ・・・紫外線射出領域
Ｐ    ・・・長手方向
Ｑ    ・・・配列方向
３    ・・・紫外線ランプホルダ
３１  ・・・枠体
３１ａ・・・上板部
３１ｂ・・・前側板部
３１ｃ・・・後側板部
３２  ・・・中間支持体
３２Ｍ・・・凹部
３３  ・・・サイド支持体
３３Ｍ・・・凹部
３４  ・・・付勢ばね
【図１】
2013191758.tif 000003
【図２】
2013191758.tif 000004
【図３】
2013191758.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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