(57)【要約】      （修正有）【課題】ディスク表面検査装置に、よりコンパクトな構造で検出光学系の焦点位置を調整できる自動焦点調整手段を備える。【解決手段】磁気ディスク表面検査装置において、欠陥検査部に、第１のスピンドル１５または第２のスピンドル１６に搭載された磁気ディスクに光を照射する光照射手段１９と、この光照射部により光が照射された磁気ディスクからの反射光を検出する光学系を備えた反射光検出手段２０２と、この反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整する焦点位置調整手段とを備え、この焦点位置調整手段は第１の高さ検出部１１又は第２の高さ検出部１２で検出した磁気ディスクの高さの情報に基づいて偏心カムの回転角度を制御することにより反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を調整するようにした。【選択図】図１
2013145151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクを第１のスピンドル軸に搭載する磁気ディスク供給部と、
前記第１のスピンドル上に搭載された前記磁気ディスクの高さを測定する第１の高さ測定部と、
前記第１のスピンドルを回転させた状態で前記磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査する欠陥検査部と、
該表面が検査された前記磁気ディスクを前記第１のスピンドル軸から取出し反転させて第２のスピンドル軸に搭載する基板反転部と、
前記反転させて第２のスピンドル軸に搭載した前記磁気ディスクの高さを測定する第２の高さ測定部と、
前記第２のスピンドルを回転させた状態で表面の欠陥を前記欠陥検査部で光学的に検査された前記磁気ディスクを前記第２のスピンドルから取り外して搬出する磁気ディスク搬出部と
を備えた磁気ディスク表面検査装置であって、前記欠陥検査部は、
前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルに搭載された磁気ディスクに光を照射する光照射手段と、
該光照射部により光が照射された前記磁気ディスクからの反射光を検出する光学系を備えた反射光検出手段と、
該反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整する焦点位置調整手段とを有し、
該焦点位置調整手段は前記第１の高さ検出部又は前記第２の高さ検出部で検出した前記磁気ディスクの高さの情報に基づいて前記偏心カムの回転角度を制御することにより前記反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を調整することを特徴とするディスク表面検査装置。
【請求項２】
前記反射光検出手段はガイドに沿って前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動可能なテーブルに固定されており、前記焦点位置調整手段は前記偏心カムを回転させることにより揺動する揺動ブロックが板ばねを介して前記テーブルに繋止されており、前記偏心カムを回転させて前記揺動ブロックを揺動させることにより板ばねを繋止した前記テーブルを前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動させて前記反射光検出部の反射光を検出する光学系の焦点の位置を調整することを特徴とする請求項１記載のディスク表面検査装置。
【請求項３】
前記反射光検出手段はガイドに沿って前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動可能な第１のテーブルに固定されており、該第１のテーブルには前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向と直行する方向に移動可能な第２のテーブルが取付けられており、前記焦点位置調整手段の前記偏心カムを回転させることに  より該偏心カムの前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向と直行する方向への揺動に応じて前記第２のテーブルを移動させ、前記偏心カムの前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向への揺動に応じて前記第１のテーブルを移動させることにより前記反射光検出部の反射光を検出する光学系の焦点の位置を調整することを特徴とする請求項１記載のディスク表面検査装置。
【請求項４】
前記反射光検出手段は、前記光照射手段により光が照射された前記磁気ディスクからの反射光のうち正反射光を散乱光から分離する正反射光分離用ミラーと、該正反射光分離用ミラーにより分離された正反射光を検出する正反射光検出器と、前記正反射光が分離された残りの散乱光を検出する散乱光検出器とを備えることを特徴とする請求項１記載のディスク表面検査装置。
【請求項５】
磁気ディスクを第１のスピンドル軸に搭載し、
該第１のスピンドル上に搭載された前記磁気ディスクの高さを測定し、
前記第１のスピンドルを回転させた状態で前記磁気ディスクの上面の欠陥を光学的に検査し、
該上面が検査された前記磁気ディスクを前記第１のスピンドル軸から取出し反転させて第２のスピンドル軸に搭載し、
前記反転させて第２のスピンドル軸に搭載した前記磁気ディスクの高さを測定し、
前記第２のスピンドルを回転させた状態で前記反転させた磁気ディスクの上面の欠陥を光学的に検査し、
前記第２のスピンドル上で光学的に検査された前記磁気ディスクを前記第２のスピンドルから取り外して搬出する
磁気ディスクの表面を検査する方法であって、前記磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査することを、
前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルに搭載された磁気ディスクに光を照射し、
該光が照射された前記磁気ディスクからの反射光を検出する反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整し、
前記光が照射された前記磁気ディスクからの反射光を前記焦点の位置が偏心カムを用いて調整された反射光検出光学系で検出することにより行い、
前記反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整することを、前記第１のスピンドル上で前記磁気ディスクの高さを測定して得た情報又は前記第２のスピンドル上で前記磁気ディスクの高さを測定して得た情報に基づいて前記偏心カムの回転角度を制御することにより前記磁気ディスクの表面に前記反射光検出光学系の焦点の位置が合うように調整することを特徴とするディスク表面検査方法。
【請求項６】
前記反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整することを、前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動可能なテーブルに固定された前記反射光検出光学系を、前記テーブルに板ばねを介して繋止されていて前記偏心カムを回転させることにより揺動する揺動ブロックを前記偏心カムを回転させて揺動させることにより前記板ばねを繋止した前記テーブルを前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動させて前記反射光検出光学系の焦点の位置を調整することにより行うことを特徴とする請求項５記載のディスク表面検査方法。
【請求項７】
前記反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整することを、前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向に移動可能な第１のテーブルに固定された前記反射光検出光学系を、第１のテーブルに固定されて前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向と直行する方向に移動可能な第２のテーブルに取付けた前記偏心カムを回転させることに  該偏心カムの前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向と直行する方向への揺動に応じて前記第２のテーブルを移動させ、前記偏心カムの前記第１のスピンドルまたは前記第２のスピンドルの軸方向への揺動に応じて前記第１のテーブルを移動させることにより前記反射光検出光学系の焦点の位置を調整することを特徴とする請求項５記載のディスク表面検査方法。
【請求項８】
前記反射光検出光学系は、前記光が照射された前記磁気ディスクからの反射光のうち正反射光を散乱光から分離し、該分離された正反射光を正反射光検出器で検出し、前記正反射光が分離された残りの散乱光を散乱光検出器で検出し、前記正反射光検出器で正反射光を検出して得た信号と前記散乱光検出器で前記正反射光が分離された残りの散乱光を検出して得た信号とを用いて前記磁気ディスクの表面を検査することを特徴とする請求項５記載のディスク表面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスクの表面を光学的に検査する検査方法及びその装置に係り、特に磁気ディスクの表面に常に焦点位置が合った状態で微細な欠陥を検出するのに適したディスク表面検査方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスクの記録密度が向上するに伴って磁気ディスク表面の欠陥の許容できるサイズがより小さくなってきており、高品質な磁気ディスクを安定して生産するためには、より微細な欠陥を見逃すことなく検出して不良品を良品から確実に区別できるようにしなければならない。従来の磁気ディスク表面の光学的な検査装置としては、たとえば特許文献１に記載されているようなものがある。
【０００３】
磁気ディスク表面の欠陥は、一般に光学的に検査される。光学的な検査装置で、より微細な欠陥を光学的に検出しようとすると、検出光学系にＮＡ（Numerical Aperture: 開口数）の大きなレンズを用いて微細な欠陥からの微弱な散乱光を検出できるようにすることが重要になる。しかし、検出光学系にＮＡの大きなレンズを用いると、検出光学系の焦点深度が浅くなる。
【０００４】
一方、磁気ディスク表面の欠陥を検査する場合において、通常、スピンドル軸先端部の突起に磁気ディスク中央部の穴をはめ込んだ状態でスピンドル軸を高速に回転させて磁気ディスクの上面又は上下両面を同時に検査する。検査を終了した磁気ディスクはスピンドル軸から取り外されて次の新たな磁気ディスクがスピンドル軸に装着されて検査が行われる。
【０００５】
このように、磁気ディスクをスピンドル軸に順次装着して光学的に検査を行う場合、検査対象の磁気ディスクの表面の高さは検査装置の検出光学系に対してある範囲でばらつきが発生する。この表面の高さのばらつきの範囲が検査装置の光学系の焦点深度の範囲よりも大きくなった場合、検査光学系には磁気ディスク表面の高さに応じて焦点位置を変えるための自動焦点調整手段を負荷することが必要になる。
【０００６】
光学系の焦点位置を調整する手段として、特許文献２には、光学系の一部を可動な構造にして可動部分を軽量化した光学系の構成が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−２６８１８９号公報
【特許文献２】特開２００６−７１６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
磁気ディスクの表面の欠陥検査装置の検出光学系にＮＡの大きなレンズを用いると、検出光学系は大型化する傾向にある。したがって、装置全体の大型化を抑えるためにも、検出光学系の焦点位置を調整する手段（自動焦点調整手段）をよりコンパクトな構造にすることが求められる。
【０００９】
一方、磁気ディスク表面の高さに応じて検出光学系焦点位置を変えるためには、スピンドル軸に装着したときの磁気ディスクの表面の高さのばらつきを考慮して、光学系を数μｍの精度で約１ｍｍ程度動かせればよい。したがって、検出光学系の自動焦点調整手段としては、分解能が数μｍ程度の比較的高い精度で駆動できて、かつ高速で回転するスピンドルの影響を受けない剛性の高い構成が求められる。
【００１０】
これに対して、特許文献１に記載されている検査装置では検出光学系焦点位置を調整することについては配慮されていない。
【００１１】
また、特許文献２には、顕微鏡の光学系の一部を可動部構造にして自動焦点調整を高速に行えるようにした構成として、直線ガイド（ＬＭガイド）をモータと接続したボールネジで駆動する構成が開示されているが、ボールネジで駆動する構成であるために小型化するには限界があり、照明光学系や検出光学系を装備した検査装置の狭い空間に採用するには難しい。
【００１２】
本発明は、上記した従来技術の課題を解決して、よりコンパクトな構造で検出光学系の焦点位置を調整する自動焦点調整手段を実現して、装置全体の大型化を抑えた自動焦点調整手段を備えたディスク表面検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明では、磁気ディスクを第１のスピンドル軸に搭載する磁気ディスク供給部と、第１のスピンドル上に搭載された磁気ディスクの高さを測定する第１の高さ測定部と、第１のスピンドルを回転させた状態で磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査する欠陥検査部と、この表面が検査された磁気ディスクを第１のスピンドル軸から取出し反転させて第２のスピンドル軸に搭載する基板反転部と、反転させて第２のスピンドル軸に搭載した磁気ディスクの高さを測定する第２の高さ測定部と、第２のスピンドルを回転させた状態で表面の欠陥を欠陥検査部で光学的に検査された磁気ディスクを第２のスピンドルから取り外して搬出する磁気ディスク搬出部とを備えた磁気ディスク表面検査装置において、欠陥検査部は、第１のスピンドルまたは第２のスピンドルに搭載された磁気ディスクに光を照射する光照射手段と、この光照射部により光が照射された磁気ディスクからの反射光を検出する光学系を備えた反射光検出手段と、この反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整する焦点位置調整手段とを有し、この焦点位置調整手段は第１の高さ検出部又は第２の高さ検出部で検出した磁気ディスクの高さの情報に基づいて偏心カムの回転角度を制御することにより反射光検出手段の反射光を検出する光学系の焦点の位置を調整するようにした。
【００１４】
また、上記課題を解決するために、本発明では、磁気ディスクを第１のスピンドル軸に搭載し、この第１のスピンドル上に搭載された磁気ディスクの高さを測定し、第１のスピンドルを回転させた状態で磁気ディスクの上面の欠陥を光学的に検査し、この上面が検査された磁気ディスクを第１のスピンドル軸から取出し反転させて第２のスピンドル軸に搭載し、反転させて第２のスピンドル軸に搭載した磁気ディスクの高さを測定し、第２のスピンドルを回転させた状態で反転させた磁気ディスクの上面の欠陥を光学的に検査し、第２のスピンドル上で光学的に検査された磁気ディスクを第２のスピンドルから取り外して搬出する磁気ディスクの表面を検査する方法において、磁気ディスクの表面の欠陥を光学的に検査することを、第１のスピンドルまたは第２のスピンドルに搭載された磁気ディスクに光を照射し、この光が照射された磁気ディスクからの反射光を検出する反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整し、光が照射された磁気ディスクからの反射光を焦点の位置が偏心カムを用いて調整された反射光検出光学系で検出することにより行い、反射光検出光学系の焦点の位置を偏心カムを用いて調整することを、第１のスピンドル上で磁気ディスクの高さを測定して得た情報又は第２のスピンドル上で磁気ディスクの高さを測定して得た情報に基づいて偏心カムの回転角度を制御することにより磁気ディスクの表面に反射光検出光学系の焦点の位置が合うように調整するようにした。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、比較的単純な構成で検出光学系の焦点位置を磁気ディスク上面に正確に合わせることができる。これにより、微細な欠陥を見逃すことなく検出できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の実施例によるディスク表面検査装置の全体の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、光学式検査ユニットの概略の構成を示すブロック図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の実施例１による光学式検査ユニットのオートフォーカス部の概略の構成を示す正面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の実施例１による光学式検査ユニットのオートフォーカス部の概略の構成を示す側面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明の実施例２による光学式検査ユニットのオートフォーカス部の概略の構成を示す正面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明の実施例２による光学式検査ユニットのオートフォーカス部の概略の構成を示す側面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、本発明の実施例２による光学式検査ユニットのオートフォーカス部のＤ−Ｄ’断面矢視図である。
【図５】図５は、本発明の実施例３による光学式検査ユニットの検出光学系の概略の構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施例を、図を用いて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１は、本実施例によるディスク表面検査装置の全体の構成を示す図である。
１はディスク供給ロボット、２は表面ディスクチェンジャ、３はディスク反転機構、４は裏面ディスクチェンジャ、５はディスク排出ロボット、６は光学式検査ユニットである。光学式検査ユニット６で検出した信号は、信号処理ユニット７に送られて処理され、欠陥が検出される。また、ディスク供給ロボット１、表面ディスクチェンジャ２、ディスク反転機構３、裏面ディスクチェンジャ４、ディスク排出ロボット５、光学式検査ユニット６はそれぞれシーケンサ９に接続されて以下に説明する一連の動作が制御される。信号処理ユニット７とシーケンサ９とはＰＣ８に接続されており、ＰＣ８により制御される。
【００１９】
ディスク供給ロボット１は、図示していないカセットから磁気ディスクを取出して表面ディスクチェンジャ２に受け渡す。磁気ディスクを受け取った表面ディスクチェンジャ２は、光学式検査ユニット６に磁気ディスクを供給する。光学式検査ユニット６では磁気ディスクの表面を検査し、検査後の磁気ディスクを表面ディスクチェンジャ２で取出す。表面ディスクチェンジャ２は表面の検査を終えた磁気ディスクを反転させて裏面の側を上面にする。裏面の側を上面にされた磁気ディスクは、裏面ディスクチェンジャ４で再び光学式検査ユニット６に搬送され、光学式検査ユニット６で裏面の側が検査される。裏面の側が検査されて磁気ディスクは、裏面ディスクチェンジャ４で光学式検査ユニット６から取出される。この光学式検査ユニット６から取出されて両面が検査された磁気ディスクは、ディスク排出ロボット５により受け渡されて図示していないカセットに収納される。
【００２０】
次に、光学式検査ユニット６の構成について、図２を用いて説明する。  
１１と１２とは高さ検出器、１３は表面を上面にした状態の磁気ディスク、１４は裏面を上面にした状態の磁気ディスク、１５と１６はスピンドル、１７はスピンドルを移動させるスピンドルキャリッジ、１８０はオートフォーカス部、１９０は照明光学系部で、１９はレーザ光源、２００は検出光学系である。
【００２１】
スピンドル１５が図２のポジションＡの位置で表面を上面にした状態の磁気ディスク１３を搭載した状態で、高さ検出器１１で磁気ディスク１３の表面の高さを検出する。この検出した信号は信号処理ユニット７へ送られて予め記憶されている基準高さの情報と比較して磁気ディスク１３の表面の高さ情報として記憶される。次に、スピンドルキャリッジ１７でスピンドル１５を駆動して、図２の中央の位置：ポジションＢへ移動させる。この状態で、シーケンサ９はスピンドル１５の駆動モータ（図示せず）を作動させてスピンドル１５を回転させ、スピンドル１５に搭載した磁気ディスク１３を回転させる。このとき、シーケンサ９は信号処理ユニットで求めた磁気ディスク１３の表面の高さ情報に基づいて後述するオートフォーカス部１８０を制御して、検出光学系２００の焦点位置を磁気ディスク１３の表面に合うように検出光学系２００の高さを調整する。焦点の位置を磁気ディスク１３の表面に合わせた状態で検出光学系２００は、この回転している磁気ディスク１３にレーザ光源１９から発射したレーザを照射して磁気ディスク１３からの反射光（正反射光と散乱光）を検出光学系２００で検出する。検出光学系２００で検出した信号は信号処理ユニット７へ送られて処理される。磁気ディスク１３の表面の側の全面の検査が終了すると、スピンドル１５はスピンドルキャリッジ１７により図２の左側に位置；ポジションＡへ戻される。
【００２２】
一方、ディスク反転機構で反転されて裏面が上面になった磁気ディスク１４は、ポジションＣの位置でスピンドル１６に搭載されて、上記に説明した磁気ディスク１３と同様に処理される。ただし、磁気ディスク１３が図２の中央の位置；ポジションＢで検査されているときに、磁気ディスク１４は図２の右側の一点差線で示した位置；ポジションＣで高さ検出器１２による高さの検出やスピンドル１６への搭載、取出しの動作が行われ、磁気ディスク１３が検査が終わってスピンドル１５が図２の左側に位置；ポジションＡに移動するときにスピンドル１６が図２に示した中央の位置；ポジションＢに移動して検査が行われる。
【００２３】
次に、照明光学系１９０の一部と検出光学系２００とを含むオートフォーカス部１８０の詳細な構成を図３Ａ及び図３Ｂを用いて説明する。
【００２４】
オートフォーカス部１８０は、光学ブロック３９を備え、光学ブロック３９上に  照明光学系１９０の一部と検出光学系２００とが搭載されている。
【００２５】
光学ブロック３９上に搭載されている照明光学系１９０の一部は、レーザ光源１９から発射されたレーザを集光する投光レンズ４０、投光レンズを透過したレーザを反射する第１の投光ミラー３１１、第１の投光ミラーで反射されたレーザを再び反射して磁気ディスク１３の表面に照射する第２の投光ミラー３１２を含んで構成されている。
【００２６】
また、光学ブロック３９上に搭載されている検出光学系２００は、基板１３で反射したレーザを反射する第１の受光ミラー３２１、この第１の受光ミラーで反射されたレーザを受けて上方に反射する第２の受光ミラー３２２、第２の受光ミラー３２２で反射された磁気ディスク１３からの反射光のうち正反射光を第２の受光ミラー３２２の光軸方向に対して直角な方向に反射する第１の反射鏡３４１、第２の受光ミラー３２２で反射された磁気ディスク１３からの反射光のうち第１の反射鏡３４１で反射された正反射光以外の正反射光の近傍の散乱光を集光する受光レンズ３３、受光レンズ３３を透過した磁気ディスク１３からの正反射光の近傍の散乱光を検出する散乱光検出部２０１、第１の反射鏡３４１で反射された正反射光を反射する第２の反射鏡３４２、第２の反射鏡３４２で反射された正反射光を検出する正反射光検出部２０２を含んで構成されている。
【００２７】
散乱光検出部２０１で磁気ディスクからの散乱光を検出した信号と正反射光検出部２０２で磁気ディスクからの正反射光を検出した信号とは信号処理ユニット７へ送られて処理され、磁気ディスク１３上の欠陥が検出される。
【００２８】
次に、光学ブロック３９の高さ調整機構について説明する。光学ブロック３９は、図３Ｂに示すように、ＬＭガイド３７のテーブル３７４に固定されている。ＬＭガイド３７は、図示していないベースプレートの固定されたベース３７１、ベースの固定された固定ガイド３７２、テーブル３７４に固定されて固定ガイド３７２と摺動可能に繋合している移動ガイド３７３を備えて形成されている。
【００２９】
ＬＭガイド３７のベース３７１には、パルスモータ４３が固定されており、パルスモータ４３には偏心軸３６が取付けられている。また、パルスモータ４３の一方の側に伸びる軸には軸位置確認度具３８が取付けられている。また、ＬＭガイド３７のベース３７１に、軸位置確認度具３８の回転の状態を検出する軸回転センサ３４が取付けられている。
【００３０】
また、パルスモータ４３に取付けられた偏心軸３６の先端部分は揺動ブロック４１に固定されたベアリング４２と嵌合している。揺動ブロック４１は、１対の板ばね３５，３５’でＬＭガイド３７のテーブル３７４に接続（繋止）されている。
【００３１】
このような構成で、シーケンサ９でパルスモータ４３を駆動して偏心軸３６を回転させると、偏心軸３６と嵌合しているベアリング４２が固定された揺動ブロック４１は、偏心軸３６の回転に応じて図３Ａのｘ方向とｚ方向とに揺動する。揺動ブロック４１がこのように揺動すると、１対の板ばね３５，３５’で接続されたＬＭガイド３７のテーブル３７４は、揺動ブロック４１のｚ方向の移動に拘束されてｚ方向に変位する。一方、揺動ブロック４１のｘ方向の移動に対しては、テーブル３７４が固定ガイド３７２でｘ方向の変位が拘束されているので移動せず、１対の板ばね３５，３５’が変形することにより変位量の差が吸収される。
【００３２】
すなわち、高さ検出器１１又は１２で計測した磁気ディスク１３または１４の上面の高さ情報に応じてＰＣ８で制御されたシーケンサ９でパルスモータ４３を回転駆動することにより偏心軸３６が回転し、偏心軸３６の回転量に応じて光学ブロック３９を高さ方向（ｚ方向）の位置を制御することができる。偏心軸３６を１回転させることで、高さ方向（ｚ方向）の位置を偏心量の２倍変化させることができる。
【００３３】
このように、本実施例によれば、パルスモータで回転駆動される偏心軸３６と揺動ブロック４１及び一対の板ばね３５，３５’とを組合せた比較的単純な構成でＬＭガイド３７の上下方向の位置（高さ）を制御することにより、検出光学系２０の焦点位置を磁気ディスク１３または１４の上面に正確に合わせることができる。これにより、微細な欠陥を見逃すことなく検出できるようになった。
【実施例２】
【００３４】
次に、本発明の第２の実施例を、図４Ａ乃至図４Ｃを用いて説明する。  
実施例１では、光学ブロック３９の高さ調整機構として、ＬＭガイド３７のテーブル３７４を一対の板ばね３５，３５’を介してパルスモータ４３に取付けた偏心軸３６で駆動する構成であったが、本実施例では、これをＬＭガイドに置き換えたものである。すなわち実施例２では、ＬＭガイド４７と４８とを２つ組合わせた構成とした。それ以外の構成は実施例１と同じであるので、説明を省略する。
【００３５】
図４Ａは照明光学系１９０の一部と検出光学系２００とを含むオートフォーカス部１８１の詳細な構成の正面図を示し、図４Ｂはオートフォーカス部１８１の側面図を示す。光学ブロック３９は、第１のＬＭガイド４７の第１のテーブル４７４に固定されている。また、第１のテーブル４７４には、第２のＬＭガイド４８の第２のベース４８１が固定されている。第２のベース４８１には一対の第２の固定ガイド４８２が固定されている。一方、第２のテーブル４８４には第２の移動ガイド４８３が固定されており、第２の移動ガイドは第２の固定ガイド４８２と摺動可能に繋合している。
【００３６】
第２のテーブル４８４には、図４Ｂに示すように軸受け４９が固定されており、軸受け４９には偏心軸３６が嵌合している。
【００３７】
このような構成において、パルスモータ４３を駆動して偏心軸３６を回転させると、偏心軸３６のｘ軸方向の変位に対しては第２のＬＭガイド４８の第２のテーブル４８４が移動して対応する。このとき、第１のＬＭガイド４７の第１のテーブル４７４は動かない。一方、偏心軸３６のｚ軸方向の変位に対しては第１のＬＭガイド４７の第１のテーブル４７４が移動して対応する。これにより、光学ブロック３９の高さを、偏心軸３６のｚ軸方向の変位に対応させて正確に制御することができる。
【００３８】
本実施例では、第２のＬＭガイドの第２のベース４８１及び第２の固定ガイド４８２、第２の移動ガイド４８３の分だけ第１の実施例の場合と比べてパルスモータ４３で駆動する質量が増加するが、光学ブロック３９の高さ方向の位置をより正確に制御できるようになった。
【実施例３】
【００３９】
実施例１及び実施例２では、検出光学系２００として、正反射光を検出する検出器２０２と、正反射向近傍の散乱光を検出する検出器２０１とを備えた構成を説明したが、実施例３においては、図５に示すように、検出光学系２００’として、検出器２０１と検出器２０２とに加えて、更に、異なる仰角方向に散乱した散乱光をレンズ３３１で集光して検出器２０３で検出する構成とした。
【００４０】
本実施例においては、この検出光学系２００’を実施例１で説明したＬＭガイド３７のテーブル３７４又は実施例２で説明したＬＭガイド４７のプレート４７４に固定して、偏心軸３６のｚ軸方向の変位に対応させて高さを制御する。
【００４１】
検出器２０１と検出器２０２及び検出器２０３で検出した信号は、それぞれ信号処理ユニット９に入力されて処理され、磁気ディスク１３又は１４上の欠陥が検出されて欠陥の位置情報とともに記憶される。
【００４２】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４３】
１…ディスク供給ロボット    ２…表面ディスクチェンジャ    ３…ディスク反転機構    ４…裏面ディスクチェンジャ    ５…ディスク排出ロボット    ６…光学式検査ユニット  ７…信号処理ユニット    ８…ＰＣ    ９…シーケンサ    １１，１２…高さ検出部    １５，１６…スピンドル    １７…スピンドルキャレッジ    ３５…板ばね    ３６…偏心軸    ３７…ＬＭガイド    ４１…揺動ブロック    ４２…ベアリング    ４３…パルスモータ    
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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