(57)【要約】【課題】本発明は、流体動圧ベアリングアセンブリー及びその製造方法に関する。【解決手段】本発明による流体動圧ベアリングアセンブリーは、固定部材と回転部材の間に形成されるオイルシーリング部と、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層と、を含み、固定部材と回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成させることにより、固定部材と回転部材の摩擦による摩耗を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部材と回転部材の間に形成されるオイルシーリング部と、
前記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層と、
を含む、流体動圧ベアリングアセンブリー。
【請求項２】
前記コーティング層の厚さは０．５から５μｍである、請求項１に記載の流体動圧ベアリングアセンブリー。
【請求項３】
前記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層は、前記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層が順次形成されてなる、請求項１に記載の流体動圧ベアリングアセンブリー。
【請求項４】
前記固定部材は、スリーブ及びキャップからなる群から選択された一つ以上である、請求項１に記載の流体動圧ベアリングアセンブリー。
【請求項５】
前記回転部材は、シャフト、スラストプレート及びハブからなる群から選択された一つ以上である、請求項１に記載の流体動圧ベアリングアセンブリー。
【請求項６】
オイルシーリング部がその間に形成される固定部材と回転部材を設ける段階と、
前記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成する段階と、
前記オイルシーリング部に気液界面が形成されるように潤滑油を充填する段階と、
を含む、流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法。
【請求項７】
前記コーティング層の厚さは０．５から５μｍである、請求項６に記載の流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法。
【請求項８】
前記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成する段階は、前記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層を順次形成する、請求項６に記載の流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法。
【請求項９】
前記コーティング層を形成する段階は、化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）又は物理気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）により行われる、請求項６に記載の流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法。
【請求項１０】
前記コーティング層を形成する段階は、プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）により行われる、請求項６に記載の流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定部材と回転部材の摩擦による摩耗を防止するための流体動圧ベアリングアセンブリー及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報保存装置の一つであるハードディスクドライブ（ＨＤＤ;Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）は、記録再生ヘッド（ｒｅａｄ／ｗｒｉｔｅ  ｈｅａｄ）を用いてディスクに保存されたデータを再生したりディスクにデータを記録したりする装置である。
【０００３】
このようなハードディスクドライブはディスクを駆動させることができるディスク駆動装置を必要とし、上記ディスク駆動装置には小型のスピンドルモータが用いられる。
【０００４】
このような小型のスピンドルモータには流体動圧ベアリングアセンブリーが用いられており、上記流体動圧ベアリングアセンブリーの回転部材の一つであるシャフトと固定部材の一つであるスリーブの間には潤滑流体が介在されて上記潤滑流体で生じる流体圧力によりシャフトを支持するようになる。
【０００５】
また、流体動圧ベアリングアセンブリーを採用しているスピンドルモータは流体の表面張力及び毛細管現象を用いて上記流体のシーリング部を構成しており、上記シーリング部において安定性は重要な因子の一つである。
【０００６】
しかしながら、固定部材と回転部材間の持続的な駆動による摩擦でモータ駆動の低下及び停止が発生し、これにより、モータの駆動安定性を低下させるという問題がある。
【０００７】
したがって、モータの駆動による回転部材と固定部材の摩擦力を減らし摩耗を防止してモータ駆動の安定性を向上させる研究が急がれている。
【０００８】
特許文献１は、動圧軸受け装置において軸受けの軸と回転体のスリーブの表面に炭素保護膜を形成することにより軸受けの摩耗を減らす試みをしているが、保護膜形成工程に必要とされる時間が長くて十分な効果が得られないという短所がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】日本公開特許１９９９-０６２９４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、固定部材と回転部材の摩擦による摩耗を防止するための流体動圧ベアリングアセンブリー及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーは、固定部材と回転部材の間に形成されるオイルシーリング部と、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層と、を含むことができる。
【００１２】
上記コーティング層の厚さは０．５から５μｍであることができる。
【００１３】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層は、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層が順次形成されてなることができる。
【００１４】
上記固定部材は、スリーブ及びキャップからなる群から選択された一つ以上であることができる。
【００１５】
また、上記回転部材は、シャフト、スラストプレート及びハブからなる群から選択された一つ以上であることができる。
【００１６】
本発明の他の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーの製造方法は、オイルシーリング部がその間に形成される固定部材と回転部材を設ける段階と、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成する段階と、上記オイルシーリング部に気液界面が形成されるように潤滑油を充填する段階と、を含むことができる。
【００１７】
上記コーティング層の厚さは０．５から５μｍであることができる。
【００１８】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成する段階は、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層を順次形成することができる。
【００１９】
上記コーティング層を形成する段階は、化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）又は物理気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）により行われることができる。
【００２０】
また、上記コーティング層を形成する段階は、プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）により行われることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、固定部材と回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成させることにより、固定部材と回転部材の摩擦による摩耗を防止することができる。
【００２２】
また、珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成させることにより、一般的なダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）コーティング層を適用する場合に比べて工程時間を短縮することができるため、生産性が向上する効果がある。
【００２３】
また、固定部材と回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成することにより、上記部材の表面硬度を増加させ摩擦係数を減少させることができるため、接触部分の損傷を防止すると共に持続的な使用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【図３】本発明の第３の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の実施形態は多様な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は下記の実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は当業界で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及びサイズなどはより明確な説明のために誇張されることがあり、図面上の同一の符号で表示される要素は同一の要素である。
【００２６】
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【００２８】
図１を参照すると、本発明の第１の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０は、固定部材１２、１４と回転部材１１、１３、２２の間に形成されるオイルシーリング部１６と、上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７と、を含むことができる。
【００２９】
以下、上記構成について詳細に説明する。
【００３０】
上記固定部材はスリーブ（ｓｌｅｅｖｅ）１２及びキャップ（ｃａｐ）１４であることができ、上記回転部材はシャフト（ｓｈａｆｔ）１１、スラスト（ｔｈｒｕｓｔ）プレート１３及びハブ（ｈｕｂ）２２であることができる。
【００３１】
上記固定部材１２、１４と回転部材１１、１３、２２の間にオイルシーリング部１６が形成されることができ、特に、スリーブ（ｓｌｅｅｖｅ）１２、スラスト（ｔｈｒｕｓｔ）プレート１３及びキャップ（ｃａｐ）１４の間に形成されることができる。
【００３２】
上記キャップ１４は上記スラストプレート１３の上側から圧入されて上記スラストプレート１３の間に潤滑油１９がシーリングされるようにする部材であり、上記スラストプレート１３と上記スリーブ１２に圧入されるように外径方向に円周方向の溝が形成されることができる。
【００３３】
上記キャップ１４は、潤滑油１９がシーリングされるようにするために下面に突出部が形成されることができ、これは、モータの駆動時に潤滑油１９が外部に漏れることを防止するために毛細管現象及び潤滑油の表面張力を用いたものである。
【００３４】
本発明の一実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０は、上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７を含むことができる。
【００３５】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層１７は、上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層が順次形成されてなることができる。
【００３６】
また、上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面に形成されたコーティング層１７は、タングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）を含むことができる。
【００３７】
本発明の一実施形態によると、上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７が上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面に形成されることにより、上記固定部材１２、１４と回転部材１１、１３、２２間の持続的な駆動による摩擦力を減らすことができる。
【００３８】
また、上記固定部材１２、１４と回転部材１１、１３、２２間の摩擦力を減少させると共に摩耗を防止することができるため、モータ駆動の安定性を向上させることができる。
【００３９】
上記固定部材１２、１４及び回転部材１１、１３、２２のうち少なくとも一つの表面に上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７を形成する方法は特に制限されず、例えば、蒸着工程により行われることができる。
【００４０】
特に、上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７の形成は、化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）又は物理気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）により行われることができる。
【００４１】
上記物理気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）により珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７を形成する場合、母材とコーティング層間の接着力を向上させることができるため、摩耗を低下させる摩擦係数を低めることができる効果がある。
【００４２】
上記化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）は、原料として用いられるガス（ｇａｓ）の種類を広範囲に応用することができ、また、蒸着時間が短くて工程の効率が上昇するため、珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）のコーティングに有利であることができる。
【００４３】
上記のような蒸着工程により上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７は薄膜で形成されることができる。
【００４４】
一方、上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７の形成は、プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）により行われることもできる。
【００４５】
本発明の一実施形態によると、上記プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）によりコーティング層１７を形成することにより、コーティング時間を短縮することができるため、工程効率に優れることができる。
【００４６】
また、原料として用いられるガス（ｇａｓ）の種類を広範囲に用いることができるため、用いられるガスに応じてコーティング層の多様な性能を具現することができる。
【００４７】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７の厚さは特に制限されず、例えば、０．５から５μｍであることができる。
【００４８】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７を０．５から５μｍの薄膜で形成することにより、上記固定部材１２、１４と回転部材１１、１３、２２間の摩擦力を減少させると共に摩耗を防止することができるため、モータ駆動の安定性を向上させることができる。
【００４９】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７の厚さが０．５μｍ未満の場合は、コーティング層の厚さが薄すぎてコーティング層の摩耗性能が低下する可能性がある。
【００５０】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７の厚さが５μｍを超える場合は、コーティング層の厚さが厚すぎてモータの駆動に問題が生じる可能性がある。
【００５１】
一方、本発明の一実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０は、シャフト１１、スリーブ１２、スラストプレート１３、キャップ１４及びオイルシーリング部１６を含むことができる。
【００５２】
上記スリーブ１２は、上記シャフト１１の上端が軸方向の上側に突出されるように上記シャフト１１を支持することができ、銅（Ｃｕ）又はアルミニウム（Ａｌ）を鍛造するか又は銅‐鉄（Ｃｕ‐Ｆｅ）系合金粉末又はＳＵＳ系粉末を焼結して形成されることができる。
【００５３】
ここで、上記シャフト１１は上記スリーブ１２の軸穴と微小間隙を有するように挿入され、上記微小間隙には潤滑流体が充填され上記シャフト１１の外径及び上記スリーブ１２の内径のうち少なくとも一つに形成されるラジアル動圧溝（図示せず）によって上記ローター２０の回転をよりスムーズに支持することができる。
【００５４】
上記ラジアル動圧溝は、上記スリーブ１２の軸穴の内部である上記スリーブ１２の内側面に形成され、上記シャフト１１の回転時に一方に偏向するように圧力を形成させるようになる。
【００５５】
但し、上記ラジアル動圧溝は、上述したように上記スリーブ１２の内側面に設けられることに限定されず、上記シャフト１１の外径部に設けられることも可能であり、個数にも制限がない。
【００５６】
ここで、上記スリーブ１２の下部には、間隙を維持した状態で上記スリーブ１２と結合し上記間隙に潤滑流体を収容するカバープレート１５が結合されることができる。
【００５７】
上記カバープレート１５は、上記スリーブ１２の間の間隙に潤滑流体を収容することにより、それ自体で上記シャフト１１の下面を支持するベアリングとしての機能を行うことができる。
【００５８】
スラストプレート１３は上記スリーブ１２の軸方向の上部に配置され中央にシャフト１１の断面に相応する孔を備えることにより、この孔に上記シャフト１１が挿入されることができる。
【００５９】
この際、上記スラストプレート１３は、別個に製造されて上記シャフト１１と結合することもできるが、製造時から上記シャフト１１と一体的に形成されることもでき、上記シャフト１１の回転運動時に上記シャフト１１に沿って回転運動するようになる。
【００６０】
また、上記スラストプレート１３の上面には、上記シャフト１１にスラスト動圧を提供するスラスト動圧溝が形成されることができる。
【００６１】
上記スラスト動圧溝は、上述したように上記スラストプレート１３の上面に形成されることに限定されず、上記スラストプレート１３の下面に対応するスリーブ１２の上面にも形成されることができる。
【００６２】
ステータ３０は、コイル３２、コア３３及びベース部材３１を含むことができる。
【００６３】
即ち、上記ステータ３０は、電源印加時に一定の大きさの電磁気力を発生させるコイル３２及び上記コイル３２が巻線される複数のコア３３を備える固定構造物であることができる。
【００６４】
上記コア３３はパターン回路が印刷された印刷回路基板（図示せず）が備えられるベース部材３１の上部に固定配置され、上記コイル３２と対応するベース部材３１の上部面には上記コイル３２を下部に露出させるように一定のサイズのコイル穴が複数貫通形成されることができ、上記コイル３２は外部電源が供給されるように上記印刷回路基板（図示せず）と電気的に連結されることができる。
【００６５】
ローター２０は、上記ステータ３０に対して回転可能に備えられる回転構造物であり、上記コア３３と一定間隔をおいて互いに対応する環状のマグネット２３を外面に備えるローターケース２１を含むことができる。
【００６６】
そして、上記マグネット２３は、円周方向にＮ極、Ｓ極が交互に着磁されて一定の強さの磁気力を発生させる永久磁石として備えられる。
【００６７】
ここで、上記ローターケース２１は、シャフト１１の上端に圧入されて固定されるようにするハブベース２２及び上記ハブベース２２から外径方向に伸びて軸方向の下側に折れ曲がって上記マグネット２３を支持するマグネット支持部２４からなることができる。
【００６８】
図２は、本発明の第２の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【００６９】
図３は、本発明の第３の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリーを含むモータを示す概略断面図である。
【００７０】
図２及び図３には、本発明の第２及び第３の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１００、２００を含むモータが示されている。
【００７１】
本発明の第２及び第３の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１００、２００は、固定部材１２０、２２０、１４０、２４０と回転部材１１０、２１０、１３０、２３０の間に形成されるオイルシーリング部１６０、２６０と、上記固定部材１２０、２２０、１４０、２４０及び回転部材１１０、２１０、１３０、２３０のうち少なくとも一つの表面に形成された珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層１７０、２７０と、を含むことができる。
【００７２】
その他の特徴は上述した本発明の第１の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０の特徴と同一であるため、ここではその説明を省略する。
【００７３】
一方、本発明の他の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０の製造方法は、オイルシーリング部がその間に形成される固定部材と回転部材を設ける段階と、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成する段階と、上記オイルシーリング部に気液界面が形成されるように潤滑油を充填する段階と、を含むことができる。
【００７４】
上記コーティング層の厚さは０．５から５μｍであることができる。
【００７５】
上記コーティング層を形成する段階は、化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）又は物理気相蒸着法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＶＤ）により行われることができる。
【００７６】
上記珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成する段階は、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層を順次形成することができる。
【００７７】
また、上記コーティング層を形成する段階は、プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）により行われることができる。
【００７８】
本発明の他の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０の製造方法は、本発明の上記の特徴を除いては一般的な製造方法と同じでも良い。
【００７９】
以下では、本発明の他の実施例による流体動圧ベアリングアセンブリー１０の製造方法の特徴を具体的に説明するが、上述した流体動圧ベアリングアセンブリーの特徴と重複する説明及び一般的な製造工程は省略する。
【００８０】
まず、本発明の一実施形態による流体動圧ベアリングアセンブリー１０の製造方法では、オイルシーリング部がその間に形成される固定部材と回転部材を設けることができる。
【００８１】
上記固定部材と回転部材は特に制限されず、その具体的な例は上述したものと同様である。
【００８２】
次に、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を形成することができ、次いで、上記オイルシーリング部に気液界面が形成されるように潤滑油を充填することができる。
【００８３】
特に、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を形成する場合は、珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層を順次形成することができる。
【００８４】
具体的には、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面に対してエア（Ａｉｒ）洗浄工程を行うことができる。
【００８５】
次に、上記固定部材及び回転部材のうち少なくとも一つの表面上に珪素（Ｓｉ）を媒介としてダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）をコーティングすることにより、珪素（Ｓｉ）層とダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）層が順次形成されることができる。
【００８６】
上記コーティング層の形成は、特に、プラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）により行われることができる。
【００８７】
上記のようにプラズマ強化化学気相蒸着法（Ｐｌａｓｍａ  Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＰＥＣＶＤ）によりコーティング層を形成する場合、従来の方法に比べて工程時間を短縮することができるため、効率に優れた効果がある。
【００８８】
具体的には、従来のコーティング方法によりコーティング層を形成する場合、エア（Ａｉｒ）洗浄工程、クロム（Ｃｒ）及びダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）蒸着工程に必要とされる時間が平均２４０分であるのに対し、本発明の一実施形態による場合、エア（Ａｉｒ）洗浄工程、珪素（Ｓｉ）及びダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）蒸着工程に必要とされる時間が平均６０分程度であることができる。
【００８９】
即ち、本発明の一実施形態によりコーティング層を形成する場合、従来と比べて工程所要時間を約１／４程度短縮することができるため、工程効率に優れることができる。
【００９０】
下記の表１は、本発明の実施例である珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）コーティング層を適用した場合と、比較例である一般的なダイヤモンド状カーボン（ＤＬＣ）コーティング層を適用した場合において、コーティング物質、化学結合及びコーティング時間を比較した表である。
【００９１】
【表１】
2013257034.tif 000003
【００９２】
下記の表２は、珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を適用した流体動圧ベアリングアセンブリーにおいて、上記コーティング層の厚さ、薄膜硬度及び摩擦係数を比較した表である。
【００９３】
【表２】
2013257034.tif 000004
【００９４】
上記表２を参照すると、珪素‐ダイヤモンド状カーボン（Ｓｉ‐ＤＬＣ）又はタングステン‐カーバイド（Ｗ‐Ｃａｒｂｉｄｅ）コーティング層を固定部材又は回転部材に適用する場合、表面硬度が増加し摩擦係数が減少することにより、固定部材と回転部材の摩擦による摩耗を防止することができることが分かる。
【００９５】
本発明は、上述した実施形態及び添付の図面によって限定されず、添付の特許請求の範囲によって限定される。したがって、特許請求の範囲に記載の本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で当該技術分野における通常の知識を有する者による多様な形態の置換、変形及び変更が可能であり、これもまた本発明の範囲に属する。
【符号の説明】
【００９６】
１０、１００、２００  流体動圧ベアリングアセンブリー
１１、１１０、２１０  シャフト
１２、１２０、２２０  スリーブ
１３、１３０、２３０  スラストプレート
１４、１４０、２４０  キャップ
１５  カバープレート
１６、１６０、２６０  オイルシーリング部
１７、１７０、２７０  窒化膜コーティング層
２０  ローター
２１  ローターケース
２２  ハブ
２３  マグネット
２４  マグネット支持部
３０  ステータ
３１  ベース部材
３２  巻線コイル
３３  コア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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