(57)【要約】【課題】電子部品装着装置の長寿命化と高精度化を図る。【解決手段】ビーム１６は、その長手方向の垂直断面が２つのビーム突出部１６ａ，１６ｂで略Ｌ字状に形成され、固定子１８ｂは、長手方向に永久磁石が配される第１固定子突出部１８ｂ２と、長手方向に永久磁石が配される第２固定子突出部１８ｂ１と、第１固定子突出部１８ｂ２と第２固定子突出部１８ｂ１とを接続する固定子接続部１８ｂ３とで、略コ字状に形成され、ビーム１６と固定子１８ｂとは、第２固定子突出部１８ｂ１と２つのビーム突出部１６ａ，１６ｂのうち一方のビーム突出部１６ｂとが接してボルト締結で固定されるとともに、固定子接続部１８ｂ３と２つのビーム突出部１６ａ，１６ｂのうち他方のビーム突出部１６ａとが接してボルト締結で固定される。【選択図】図３
2013258346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビーム、前記ビームの長手方向に沿って移動可能な駆動案内を介して前記ビームに搭載される移動体、および、前記ビームに固定される固定子および前記移動体に固定される可動子を有するリニアモータを有する駆動ステージと、
前記駆動ステージを前記移動体の移動方向と垂直方向に移動させる駆動ステージ移動手段と、を備える電子部品装着装置であって、
前記ビームは、
その長手方向の垂直断面が２つのビーム突出部で略Ｌ字状に形成され、
前記固定子は、
長手方向に永久磁石が配される第１固定子突出部と、長手方向に永久磁石が配される第２固定子突出部と、前記第１固定子突出部と前記第２固定子突出部とを接続する固定子接続部とで、略コ字状に形成され、
前記ビームと前記固定子とは、
前記第２固定子突出部と前記２つのビーム突出部のうち一方のビーム突出部とが接してボルト締結で固定されるとともに、
前記固定子接続部と前記２つのビーム突出部のうち他方のビーム突出部とが接してボルト締結で固定される
ことを特徴とする電子部品装着装置。
【請求項２】
前記他方のビーム突出部は、一方のビーム突出部よりも短く形成されるとともに、
前記固定子接続部は、前記第１固定子突出部および前記第２固定子突出部よりも短く形成され、
前記他方のビーム突出部と前記固定子接続部とが接する面の略中央でボルト締結により固定される
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品装着装置。
【請求項３】
前記ビームは、
その長手方向に一様延伸されてその内部に中空部を有する中空構造に形成され、
前記固定子を前記ビームにボルト締結するためのボルト穴部を有するビームの板厚は、ボルトの過重負担の低減とねじ込み深さを確保するように厚肉に形成されるとともに、
前記ビームの補強のための補強壁が設けられる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品装着装置に関し、特に、電子部品装着装置に用いられる駆動ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品装着装置は、電子部品を基板に装着するマウント機構を搭載した移動体を駆動案内に沿って移動させる駆動ステージと、その駆動ステージを上記の方向と垂直な方向に移動させる駆動ステージ移動手段と、で構成され、電子部品を基板上の所定の位置に装着することを目的とした装置である。駆動ステージや移動体を移動させるアクチュエータとしてリニアモータが用いられている。
【０００３】
電子部品実装装置として、特許文献１が開示されている。図６は、第１従来例の駆動ステージの断面図である。なお、図６は、特許文献１の図３に相当する図面である。
第１従来例の駆動ステージは、マウント機構を搭載するための移動体１７と、その移動体１７を搭載するためのビーム１６と、これらを駆動するためのリニアモータ１８と、駆動案内（ガイドレール１９、スライダ２０）と、で構成されている。なお、移動体１７とビーム１６とは、駆動案内（ガイドレール１９、スライダ２０）を介して接続されている。
【０００４】
駆動案内は、ビーム１６の長手方向（図６の紙面を貫く方向）に沿って設置されたガイドレール１９と、そのガイドレール１９上を摺動可能なスライダ２０と、で構成され、スライダ２０は移動体１７に設置されている。
リニアモータ１８は、可動子１８ａと、固定子１８ｂと、で構成され、可動子１８ａが固定子１８ｂに対向する位置に配置される。移動体１７には可動子１８ａが設置され、ビーム１６には移動体１７の移動距離に応じた長さの固定子１８ｂが設置される。
【０００５】
図６に示すように、固定子１８ｂは、ビーム１６の上にボルト２２で締結固定されるのが一般的である。ここで、リニアモータ１８を作動させると、固定子１８ｂと可動子１８ａとの間にはお互いを吸い寄せる磁気吸引力が図６のｙ方向に作用する。このため、ボルト２２は、ボルト２２の軸方向と磁気吸引力の作用方向（図６のｙ方向）が平行になるようにして、固定子１８ｂとビーム１６とを締結固定する。これにより、磁気吸引力がボルト２２の軸直角方向の力として作用しないので、締結部のすべりやボルトのせん断破壊を防ぎ、締結部の信頼性を確保することができる。
【０００６】
しかし、可動子１８ａと固定子１８ｂとの磁気吸引力によって生じるビーム１６のねじれ変形を抑制するためにビーム１６の高剛性化を図ると、ビーム１６や駆動ステージ１０全体の質量が増加するという課題が生じる。
【０００７】
そこで、２個に分割された固定子１８ｂで可動子１８ａを挟みようにリニアモータ１８を構成する技術が特許文献２に開示されている。図７は、第２従来例の駆動ステージの断面図である。なお、図７は、特許文献２の図１に相当する図面である。
図７に示す第２従来例の駆動ステージにおいて、可動子１８ａとそれぞれの固定子１８ｂとの間に作用する磁気吸引力は、その作用方向が反対方向で同軸上に作用するので、磁気吸引力は相殺される。この構成により、締結部の信頼性の確保だけでなく、ビーム１６のたわみやねじれ変形も抑制することができる。
【０００８】
また、可動子１８ａと固定子１８ｂとの磁気吸引力を相殺する駆動ステージとして、特許文献３が開示されている。図８は、第３従来例の駆動ステージの断面図である。なお、図８は、特許文献３の図２に相当する図面である。
図８に示す固定子１８ｂは図７の構成とは異なり、固定子１８ｂが一体構造となっているものの、固定子１８ｂが可動子（図示せず）を挟む構造となっているため、この場合も磁気吸引力は相殺されるようになっている。
【０００９】
しかし、駆動ステージが図８の水平方向（ｙ方向）に加速動作する場合、駆動部分の質量と加速度を乗じた力に相当する慣性力が駆動ステージに作用する。このｙ方向の慣性力は固定子１８ｂを締結固定するボルト２２の軸直角方向の力として作用することになり、大きな加速度で駆動ステージを動作させると、締結部にすべりやボルトのせん断破壊が発生するおそれがある。その結果、リニアモータ１８と駆動案内のスムーズな動作を妨げ、駆動ステージの案内精度や動作速度を低下させる要因となる。
【００１０】
そこで、上記のような駆動ステージの故障や性能低下を防ぐことを目的に、ビーム１６の上に固定子１８ｂを締結固定する構成や、ボルト２２の大径化や固定子１８ｂの構成材料の変更などが検討され、例えば、特許文献４が開示されている。図９は、第４従来例の駆動ステージの断面図である。なお、図９は、特許文献４の図４に相当する図面である。
図９に示す第４従来例の駆動ステージにおいて、水平方向（ｙ方向）に駆動ステージが加速動作しても、ｙ方向の慣性力は固定子１８ｂの設置面に対して法線方向に作用し、ボルト２２はｙ方向の慣性力を軸方向成分で全て負担することができる。したがって、慣性力に対する締結部のすべりやボルトのせん断破壊を防止することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００８−１９８６８５号公報
【特許文献２】特許第４６４３６８５号公報
【特許文献３】特開２００６−４９３８４号公報
【特許文献４】特開２０１１−１５５１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
図９に示す第４従来例の駆動ステージの締結構造では、固定子１８ｂの自重がボルト２２の軸直角方向に作用することになるが、ボルト２２を大径化したり、小型軽量な固定子１８ｂを用いたりすることで、固定子１８ｂの自重に対する締結部のすべりやボルトのせん断破壊を防ぐことができる。
【００１３】
一方で、電子部品装着装置は小から大まで幅広いサイズの基板への対応を要求されることから、大面積の基板に電子部品を装着できるようマウント機構を搭載した移動体１７の移動範囲を広げるために固定子１８ｂを長尺化する必要が発生する。固定子１８ｂの長尺化は移動体１７やビーム１６の大型化に繋がることから、ボルト径を小さく、かつ、ボルト本数をできる限り少なくした軽量化設計が望まれる。
しかし、ボルト径を小さく、かつ、ボルト本数を少なくすると、結果としてボルト１本あたりに作用する軸直角成分の力は大きくなり、締結部のすべりやボルトのせん断破壊の発生の可能性が高まることになる。
【００１４】
そこで、本発明は、電子部品装着装置の長寿命化と高精度化を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
このような課題を解決するために、本発明は、ビーム、前記ビームの長手方向に沿って移動可能な駆動案内を介して前記ビームに搭載される移動体、および、前記ビームに固定される固定子および前記移動体に固定される可動子を有するリニアモータを有する駆動ステージと、前記駆動ステージを前記移動体の移動方向と垂直方向に移動させる駆動ステージ移動手段と、を備える電子部品装着装置であって、前記ビームは、その長手方向の垂直断面が２つのビーム突出部で略Ｌ字状に形成され、前記固定子は、長手方向に永久磁石が配される第１固定子突出部と、長手方向に永久磁石が配される第２固定子突出部と、前記第１固定子突出部と前記第２固定子突出部とを接続する固定子接続部とで、略コ字状に形成され、前記ビームと前記固定子とは、前記第２固定子突出部と前記２つのビーム突出部のうち一方のビーム突出部とが接してボルト締結で固定されるとともに、前記固定子接続部と前記２つのビーム突出部のうち他方のビーム突出部とが接してボルト締結で固定されることを特徴とする電子部品装着装置である。
【発明の効果】
【００１６】
リニアモータの固定子とビームとを締結固定する締結部のすべりやボルトのせん断破壊の発生を防止するとともに、磁気吸引力によるビームのねじれ変形を抑えることができるので、電子部品装着装置の長寿命化と高精度化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る電子部品装着装置の概略構成の正面図である。
【図２】本実施形態に係る電子部品装着装置の概略構成の上面図である。
【図３】本実施形態に係る電子部品装着装置が備える駆動ステージをｙｚ平面で切断した断面図である。
【図４】駆動ステージの斜視図である。
【図５】ビームとガイドレールの斜視図である。
【図６】第１従来例の駆動ステージの断面図である。
【図７】第２従来例の駆動ステージの断面図である。
【図８】第３従来例の駆動ステージの断面図である。
【図９】第４従来例の駆動ステージの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための形態（以下「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。
【００１９】
≪電子部品装着装置≫
本実施形態に係る電子部品装着装置３０の構成について説明する。
図１および図２は、本実施形態に係る電子部品装着装置３０の概略構成図であり、図１は、電子部品装着装置３０の正面図であり、図２は、電子部品装着装置３０の上面図である。
【００２０】
電子部品装着装置３０は、基板３１（例えば、半導体ウェハや電子回路基板など）が配置された基台３２と、その基台３２の上に設けられた駆動ステージ１０を支持するとともに駆動ステージ１０を所定の方向（図２に示すｙ方向）に移動させる駆動ステージ移動手段３３と、その駆動ステージ移動手段３３の上に設けられ前記所定の方向（図２に示すｙ方向）と垂直な方向（図１、図２に示すｘ方向）に移動する移動体１７を備える駆動ステージ１０と、で構成されている。
【００２１】
駆動ステージ移動手段３３は、基板３１を挟んで互いに平行となるように基台３２の上に配置された一対のｙ軸用ガイドレール３４と、そのｙ軸用ガイドレール３４に沿って摺動可能なｙ軸用スライダ３５と、そのｙ軸用スライダ３５に固定され駆動ステージ１０の両端を支持する支持部材３６と、駆動ステージ１０を移動させるためのｙ軸用リニアモータ３７と、を備えている。
【００２２】
駆動ステージ１０は、２本のｙ軸用ガイドレール３４の間を架橋する程度に長尺なビーム１６と、そのビーム１６の長手方向（図１，２に示すｘ方向）に沿ってビーム１６の上に設けられた２本のｘ軸用ガイドレール１９と、そのｘ軸用ガイドレール１９に沿って摺動可能なｘ軸用スライダ２０（後述する図３参照）と、そのｘ軸用スライダ２０に固定された移動体１７と、移動体１７を移動させるためのｘ軸用リニアモータ１８と、を備えている。
また、移動体１７には、基板３１の上に電子部品（図示せず）を装着するためのマウント機構３８が搭載されている。
【００２３】
電子部品装着装置３０の動作の流れについて説明する。
まず、電子部品装着装置３０は、ｙ軸用リニアモータ３７を動作させることにより、駆動ステージ１０を、ｙ軸用ガイドレール３４に沿って、ｙ軸方向に移動させる。そして、電子部品装着装置３０は、ｘ軸用リニアモータ１８を動作させることにより、移動体１７を、ｘ軸用ガイドレール１９に沿って、ｘ軸方向に移動させる。
このような構成により、電子部品装着装置３０は、移動体１７を基台３２の上に配置された基板３１上の任意位置（ｘｙ平面）に移動させることができ、移動体１７に設置されたマウント機構３８が基板３１上の所定位置に電子部品（図示せず）を装着させることができるようになっている。
【００２４】
≪駆動ステージ≫
本実施形態に係る電子部品装着装置３０が備える駆動ステージ１０について、図３から図５を用いて更に説明する。
図３は、本実施形態に係る電子部品装着装置３０が備える駆動ステージ１０をｙｚ平面で切断した断面図である。図４は、駆動ステージ１０の斜視図である。図５は、ビーム１６とｘ軸用ガイドレール１９の斜視図である。
なお、図４および図５に示す斜視図においては、駆動ステージ移動手段３３の支持部材３６と接続される駆動ステージ１０の両端部は省略し、移動体１７をｘ軸方向に移動可能な領域の駆動ステージ１０（ビーム１６）についてのみ図示している。
【００２５】
駆動ステージ１０は、ｘ軸方向に長尺なビーム１６と、移動体１７と、移動体１７を移動させるためのｘ軸用リニアモータ１８と、ビーム１６に設けられた２本のｘ軸用ガイドレール１９と、移動体１７に固定されｘ軸用ガイドレール１９に沿って摺動可能なｘ軸用スライダ２０と、を備え、ｘ軸用リニアモータ１８を動作させることにより、移動体１７を、ｘ軸用ガイドレール１９に沿って、ｘ軸方向に移動させることができるようになっている。
【００２６】
ビーム１６は、図３に示すように、その長手方向（図３の紙面を貫く方向）に垂直な断面（ｙｚ断面）が略Ｌ字状に形成され、図５に示すように、その長手方向（ｘ方向）に一様で同断面に形成されている。
ここで、略Ｌ字状のビーム１６の各部について、図３において垂直方向（ｚ方向）の上側に突出した部分を上側突出部１６ａと定義し、水平方向（ｙ方向）の左側に突出した部分を下側突出部１６ｂと定義し、上側突出部１６ａと下側突出部１６ｂ間の領域を開口部１６ｄ（図５参照）と定義する。本実施形態におけるビーム１６は、図３に示すように、上側突出部１６ａのｚ方向に突出した長さが下側突出部１６ｂのｙ方向に突出した長さよりも短く形成されている。
【００２７】
また、ビーム１６は、図３および図５に示すように、その内部に中空部１６ｃを有した一様同断面の中空構造で形成されている。ビーム１６の上側突出部１６ａと下側突出部１６ｂには、図５に示すように、いずれもボルト（後述する図３に示すボルト２２ａ，２２ｂ）で別の部材（後述する図３に示す固定子１８ｂ）を締結固定可能なように穴２５ａ，２５ｂが形成され、ビーム１６の長手方向に等間隔に整列している。ここで、穴２５ａ，２５ｂの長手方向の間隔配置は、締結部の信頼性が確保される範囲であれば、ビーム１６の長手方向に等間隔でなくてもよい。
【００２８】
本実施形態においては、下側突出部１６ｂの穴２５ｂには雌ねじが形成され、上側突出部１６ａの穴２５ａは雌ねじを形成しない通常の貫通穴としている。
また、この穴２５ａ，２５ｂの径について、ボルト締結部の信頼性の確保を目的に、下側突出部１６ｂの穴２５ｂの穴径は、上側突出部１６ａの穴２５ａの穴径よりも大きく、１．５〜２倍程度の大きさで形成し、後述するように、下側突出部１６ｂのボルト２２ｂ方が上側突出部１６ａのボルト２２ａよりも径の大きいボルトを用いている。
【００２９】
また、ビーム１６は、アルミニウム等の軽量な材料を押出し成型することにより安価に作製される。図３に示すように、その内部にはビーム１６を補強するための補強壁２３，２４が形成され、穴２５ａ，２５ｂの形成される周辺部は、ボルト２２ａ，２２ｂの過重負担の低減とねじ込み深さを確保する程度に厚肉な厚肉部１６ａ１，１６ｂ１として形成されている。補強壁２４の厚さは、補強壁２３よりも厚肉に形成することが好ましい。また、厚肉部１６ａ１，１６ｂ１の厚さは少なくともボルトの径以上が必要であり、信頼性と軽量化を両立する観点からボルトの径の２〜３倍程度であるのが好ましい。
【００３０】
移動体１７は、図３に示すように、ビーム１６の長手方向に垂直な断面（ｙｚ断面）がΓ字状に形成されている。移動体１７は、ビーム１６の下側突出部１６ｂの端面側に配置される縦板部１７ａと、その縦板部１７ａに垂直に設けられ上側突出部１６ａの上面側に配置される横板部１７ｂと、から構成される。なお、図３および図４では省略しているが、本実施形態では、マウント機構３８（図１，図２参照）は、移動体１７の縦板部１７ａに搭載されている。
【００３１】
リニアモータ１８は、移動体１７に固定される可動子１８ａと、ビーム１６に固定される固定子１８ｂと、から構成される。
可動子１８ａは、ビーム１６の開口部１６ｄ（図５参照）に収まるように、移動体１７の縦板部１７ａに固定される。
また、固定子１８ｂは、ビーム１６の開口部１６ｄ（図５参照）に、ビーム１６の上側突出部１６ａおよび下側突出部１６ｂに形成された穴２５ａ，穴２５ｂを利用してボルト２２ａ，２２ｂで締結固定される。
【００３２】
ここで、固定子１８ｂは、図３に示すように、その長手方向に垂直な断面（ｙｚ断面）が略コ字状に形成され、図３の水平方向（ｙ方向）の左側に２個同じ長さに突出した上側突出部１８ｂ１および下側突出部１８ｂ２と、それらよりも短く形成された接続部１８ｂ３から構成され、固定子１８ｂの２個の突出部（上側突出部１８ｂ１，下側突出部１８ｂ２）には、その長手方向に永久磁石が対向するように配置されている。
【００３３】
固定子１８ｂは、下側突出部１８ｂ２とビーム１６の下側突出部１６ｂ（厚肉部１６ｂ１）とが接し、上側突出部１８ｂ１はビーム１６とは接さず、接続部１８ｂ３とビーム１６の上側突出部１６ａ（厚肉部１６ａ１）とが接するようにビーム１６の上に設置される。また、ビーム１６と固定子１８ｂとの間には、２つの設置面が形成され、お互いの面の法線方向が直交するようになっている。
【００３４】
固定子１８ｂをビーム１６に締結固定するボルトは、接続部１８ｂ３とビーム１６の上側突出部１６ａ（厚肉部１６ａ１）を締結固定するボルト２２ａと、下側突出部１８ｂ２とビーム１６の下側突出部１６ｂ（厚肉部１６ｂ１）を締結固定するボルト２２ｂと、を有し、お互いの軸方向が直交するよう配置される。
本実施形態においては、いずれのボルト締結部の信頼性が確保される程度に、ボルト２２ｂの呼び径がボルト２２ａの呼び径よりも大きく、１．５〜２倍程度の大きさのものを用いている。
【００３５】
ここで、ボルト２２ａは、穴２５ａ（図５参照）を通して、ビーム１６の上側突出部１６ａ（厚肉部１６ａ１）と固定子１８ｂの接続部１８ｂ３とが接する面の略中央で締結固定するようになっている。
また、ボルト２２ｂは、接続部１８ｂ３を通して下側突出部１６ｂ（厚肉部１６ｂ１）の雌ねじが形成された穴２５ｂ（図５参照）に締結固定するようになっている。
【００３６】
≪作用・効果≫
本実施形態に係る電子部品装着装置３０の作用および効果を説明する。
図２において、駆動ステージ移動手段３３により駆動ステージ１０がｙ方向に移動すると、移動部（駆動ステージ１０、ｙ軸用スライダ３５、支持部材３６、ｙ軸用リニアモータ３７）の質量と加速度との積に相当する慣性力がｙ方向に発生し、この力は図３に示すｘ軸用リニアモータ１８の固定子１８ｂとビーム１６のボルト締結部に作用する。
また、固定子１８ｂの自重に相当する力がｚ方向に発生し、この力も固定子１８ｂとビーム１６のボルト締結部に作用する。
即ち、固定子１８ｂのボルト締結部は、必ずｙ方向とｚ方向の両方向からの力が作用する。
【００３７】
本実施形態においては、ｙ方向とｚ方向の力が両方向から発生しても、ビーム１６と固定子１８ｂ間には２つの設置面が形成され、お互いの面の法線方向が直交し、かつ、それぞれの設置面に締結固定されたボルト２２ａとボルト２２ｂの軸方向がお互いに直交するよう配置されているので、ボルトの軸直角方向に作用する力をいずれかのボルトで負担して、従来構造よりもボルトの軸直角方向に作用する力を低減（分散）でき、その結果、締結部のすべりやボルトのせん断破壊を防ぐことができる。
【００３８】
さらに、ビーム１６の長手方向に垂直な断面（図３に示すｙｚ断面）を略Ｌ字状に形成し、移動体１７をΓ字状に形成し、可動子１８ａと固定子１８ｂの間で発生する磁気吸引力を相殺可能なリニアモータ１８をビーム１６の開口部１６ｄ（図５参照）に配置した構成にしたことによって、駆動ステージ１０の小型化と軽量化を実現し、かつ、締結部のすべりやボルトのせん断破壊の防止効果を高めている。
【００３９】
また、ビーム１６は、その内部が中空の構造で形成され、駆動ステージ１０の軽量化に貢献しているので、駆動ステージ移動手段３３に作用する力を低減する効果も生み出している。
また、ビーム１６の固定子１８ｂを固定する締結部周辺は雌ネジの深さを確保するために厚肉の厚肉部１６ａ１，厚肉部１６ｂ１が形成されているので、ボルト２２の過重負担の低減と、ボルト２２と雌ネジのねじ山に発生する応力集中を低減し、締結部のすべりやボルトのせん断破壊の防止効果を高めている。
【００４０】
また、ビーム１６の内部の補強壁２３と補強壁２４は、上記のボルト締結部の信頼性を向上する効果を有しているだけでなく、ｙ方向の力がビーム１６に作用したときのビーム１６の開口部１６Ｄが開くような変形（上側突出部１６ａと下側突出部１６ｂとが離れるように変形する）、あるいは、閉じるような変形（上側突出部１６ａと下側突出部１６ｂとが近づくように変形する）を抑制する効果を発揮するので、固定子１８ｂの固定の安定性も格段に高めている。さらに、ビーム１６に移動体１７を搭載した状態で駆動ステージ１０が移動したときにビーム１６に作用する慣性力によるビーム１６のたわみやねじれ変形を防ぐ効果もある。
【００４１】
以上のとおり、本実施形態の駆動ステージ１０を備える電子部品装着装置３０によれば、ビーム１６とリニアモータ１８の固定子１８ｂの締結部のすべりやボルトのせん断破壊の発生を防ぐことができ、磁気吸引力によるビーム１６のねじれ変形を抑えることができる。また、駆動ステージ１０の高速化に向けて加速度を向上させるために高性能なリニアモータ１８を用いると、リニアモータ１８の質量は増加していくが、この場合も、本実施形態によって、上記の課題を解決することができ、駆動ステージ１０の高速化も実現することができるようになる。
【００４２】
＜変形例＞
なお、本実施形態に係る電子部品装着装置３０は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更が可能である。
【００４３】
図５において、ビーム１６に形成された穴２５ａおよび穴２６ｂは、ｘ方向の位置が等しく、かつ、同数形成されているがこれに限られるものではない。
例えば、穴２５ａおよび穴２６ｂのｘ方向の位置が千鳥配置となるように形成されていてもよい。このように構成することにより、固定子１８ｂの接続部１８ｂ３に形成されるボルト２２ａが貫通する貫通穴と、ボルト２２ｂが固定される雌ネジ穴との干渉を防ぐことができ、ボルト２２ｂが固定される雌ネジ穴を深く形成することができる。これにより、ボルト２２ｂと雌ネジのねじ山に発生する応力集中を低減し、締結部のすべりやボルトのせん断破壊の防止効果をより高めることができる。
また、穴２５ａおよび穴２５ｂの数（ボルト２２ａおよびボルト２２ｂの数）は、締結部の信頼性が確保される範囲であればよく、同数でなくともよい。
【００４４】
図３において、固定子１８ｂがｙ方向（図３の左側）に開口し、可動子１８ａが移動体１７の縦板部１７ａからｙ方向（図３の左側から右側）に突出するように配置されているものとして説明したが、これに限られるものではない。
例えば、固定子１８ｂがｚ方向（図３の上側）に開口し、可動子１８ａが移動体１７の横板部１７ｂからｚ方向（図３の上側から下側）に突出するように配置されている構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４５】
１０      駆動ステージ
１６      ビーム
１６ａ    上側突出部（ビーム突出部、他方のビーム突出部）
１６ａ１  厚肉部
１６ｂ    下側突出部（ビーム突出部、一方のビーム突出部）
１６ａ１，１６ｂ１  厚肉部
１６ｃ    中空部
１６ｄ    開口部
１７      移動体
１７ａ    縦板部
１７ｂ    横板部
１８      リニアモータ
１８ａ    可動子
１８ｂ    固定子
１８ｂ１  上側突出部（第２固定子突出部）
１８ｂ２  下側突出部（第１固定子突出部）
１８ｂ３  接続部（固定子接続部）
１９      ガイドレール（駆動案内）
２０      スライダ（駆動案内）
２２，２２ａ，２２ｂ  ボルト
２３，２４  補強壁
２５ａ，穴２５ｂ  穴（ボルト穴部）
３０      電子部品装着装置
３１      基板
３２      基台
３３      駆動ステージ移動手段
３４      ガイドレール
３５      スライダ
３６      支持部材
３７      リニアモータ
３８      マウント機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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