(57)【要約】【課題】搬送経路途上の気中において基板を処理液の噴射により処理する際のプリントの変形や破断を確実に防止することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】矩形シート状の基板Ｗを搬送する搬送経路の途上において当該基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって基板Ｗを処理するようにした基板搬送装置を前提とする。基板Ｗの横方向両端よりも外方にそれぞれ設けられ、互いに同調して駆動する２条のベルトコンベア１と、各ベルトコンベア１同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材２と、搬送方向で対をなす２つの渡し部材２に対し基板Ｗの搬送方向両端を取り付ける接着テープ３と、基板Ｗを取り付けた各渡し部材２の両端の挿通孔４２を基板Ｗが撓まない状態で各ベルトコンベア１のピン４１に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段４と、を備えている。【選択図】 図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形シート状の基板を搬送する搬送経路の途上において当該基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって前記基板を処理するようにした基板搬送装置であって、
前記基板の搬送方向と直交する横方向の両端よりも外方にそれぞれ設けられ、互いに同調して駆動する２条の無端鎖条部材と、
前記各無端鎖条部材同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材と、
前記各渡し部材のうちの前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす２つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を取り付ける取付手段と、
前記取付手段により基板の搬送方向両端が取り付けられた前記各渡し部材の両端を前記基板が撓まない状態で前記各無端鎖条部材に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段と、
を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記固定手段は、
前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の一方に設けられた突起と、
前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の他方に設けられ、前記各突起が挿通される挿通部と、
を備えている請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記取付手段としては、前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす２つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を接着する帯状の接着テープが適用されている請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器に用いられるフレキシブルプリント基板やリジッド基板などを搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種基板搬送装置は、フレキシブルプリント基板やリジッド基板などのような矩形シート状の基板を搬送する搬送経路の途上において基板の処理、例えば基板上にプリントされた配線パターンのエッチング処理などを行うようにしている（例えば、特許文献１参照）。具体的には、処理液を貯留した貯留槽内において上下双方に設置された複数のローラのニップ間で基板の搬送方向と直交する横方向（以下、単に横方向という）の両端を挟んで搬送し、基板を処理液に潜らせて処理するディップ式が採用されている。
【０００３】
しかし、このような基板搬送装置では、基板がローラに対しニップ間で直に接触しているため、基板の処理時に処理むらが発生したり、折れやしわなどが発生するおそれがあり、製品不良の原因となっていた。
【０００４】
そこで、従来より、基板の横方向両側にそれぞれガイドレールを設けるとともに、この各ガイドレールにキャリアを転動自在に設け、この各キャリアに設けたクランプ部材によって、基板の四隅をクランプした状態で各ガイドレールに沿って各キャリアとは非接触で当該基板を搬送するようにした基板搬送装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。このものでは、貯留槽の処理液に潜らせて処理する際に金属を腐食溶解した処理液を流し去り、処理面に新鮮な処理液を供給する必要があるため、貯留槽内で処理液を揺すったりかき混ぜたりする必要があり、かかる点から、基板をその四隅のクランプ部材により基板の中心から離れる向きに引張って、貯留槽内での基板の撓みや波打ちなどを抑制するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−８５１１９号公報
【特許文献２】特開２００６−２４８６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、基板を処理液により処理するに当たり、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって行うスプレー式を採用することがある。その場合、基板の四隅を各クランプ部材により引張るものでは、ディップ式の処理を対象としているため、スプレー式の処理には不適格となる。これは、貯留槽内で基板を処理する際に必要な引張り力が気中でのスプレー式の処理には大き過ぎるからである。
このため、気中で基板を処理する際に当該基板の四隅が各クランプ部材により引張られていると、基板上にプリントされた配線パターンが変形したり、破断したりするおそれがある。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送経路途上の気中において基板を処理液の噴射により処理する際のプリントの変形や破断を確実に防止することができる基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明では、矩形シート状の基板を搬送する搬送経路の途上において当該基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって前記基板を処理するようにした基板搬送装置を前提とする。そして、前記基板の横方向両端よりも外方にそれぞれ設けられ、互いに同調して駆動する２条の無端鎖条部材と、前記各無端鎖条部材同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材と、前記各渡し部材のうちの前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす２つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を取り付ける取付手段と、前記取付手段により基板の搬送方向両端が取り付けられた前記各渡し部材の両端を前記基板が撓まない状態で前記各無端鎖条部材に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】
この特定事項により、基板の搬送方向両端が取付手段により取り付けられた各渡し部材の両端は、基板が撓まないように各無端鎖条部材に対し固定手段によってそれぞれ脱着自在に固定されているので、各無端鎖条部材に両端が固定された２つの渡し部材の間で基板が撓むことなく取り付けられている。このとき、２つの渡し部材の間で基板は引張られることはない。
このため、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板を処理する際に基板に対し不要な引張り力が作用せず、２つの渡し部材の間で基板が撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路途上において基板を気中で処理する際の基板のプリントの変形や破断を確実に防止することが可能となる。
【００１０】
また、前記固定手段に、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の一方に設けられた突起と、前記各無端索条部材及び前記各渡し部材の他方に設けられ、前記各突起が挿通される挿通部と、を設けていてもよい。
【００１１】
この場合には、突起と挿通部とで固定手段が構成され、各無端索条部材と各渡し部材の両端とを簡単な構成で固定することができる。
【００１２】
更に、前記取付手段として、前記各無端鎖条部材の搬送方向で対をなす２つの渡し部材に対し前記基板の搬送方向両端を接着する帯状の接着テープを適用していてもよい。
【００１３】
この場合には、基板の搬送方向両端が帯状の接着テープにより各渡し部材に取り付けられているので、基板の搬送方向両端を簡単に各渡し部材に取り付けることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上、要するに、各渡し部材の両端を基板が撓まないように各無端鎖条部材に対し脱着自在に固定することで、搬送経路途上の気中において基板の上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板を処理する際に基板に対し不要な引張り力が作用することがなく、２つの渡し部材の間で撓まない程度に張られた基板のプリントの変形や破断を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送装置の全体構成を示す概略側面図である。
【図２】図１の基板搬送装置のエッチング処理エリアのエッチング処理部を示す平面図である。
【図３】図２の側面図である。
【図４】図２の一方のベルトコンベアと前側の渡し部材との固定構造を示す拡大平面図である。
【図５】図４のＴ−Ｔ線における断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送装置の一方のベルトコンベアと前側の渡し部材との固定構造を示す拡大平面図である。
【図７】図６のＵ−Ｕ線における断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る基板搬送装置の一方のベルトコンベアと前側の渡し部材との固定構造を示す拡大平面図である。
【図９】図８のＶ−Ｖ線における断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施の形態に係る基板搬送装置の一方のベルトコンベアと前側の渡し部材との固定構造を示す拡大平面図である。
【図１１】図１０のＹ−Ｙ線における断面図であり、（ａ）は固定手段による固定前の状態を示しており、（ｂ）は固定手段による固定後の状態を示している。
【図１２】本発明の実施の形態の変形例を示す従動ローラ付近でのベルトコンベアの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置を図面に基づいて説明する。
【００１７】
図１は基板搬送装置の全体構成を示す概略側面図である。この基板搬送装置Ｘは、基板Ｗ（図２及び図３に表れる）を搬送経路Ｓに沿って搬送するものである。この基板Ｗとしては、配線パターンがプリントされたフレキシブルプリント基板が適用される。基板処理装置Ｘは、現像処理エリアＡ、エッチング処理エリアＢ、及び剥離処理エリアＣを搬送経路Ｓの搬送方向上流側から順に備えている。基板搬送装置Ｘの最上流端、つまり現像処理エリアＡよりも上流側には、基板搬送装置Ｘに対し基板Ｗを投入する投入部Ｘ１が設けられている。一方、基板搬送装置Ｘの最下流端、つまり剥離処理エリアＣよりも下流側には、基板搬送装置Ｘから基板Ｗを取り出す取出部Ｘ２が設けられている。
【００１８】
現像処理エリアＡは、投入部Ｘ１に投入された露光済の基板Ｗに対し上下双方からそれぞれ噴射される現像処理液（炭酸ナトリウムなどの水溶液）によって当該基板Ｗを現像処理する現像処理部Ａ１と、この現像処理部Ａ１において現像処理されて基板Ｗに付着している現像処理液を基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部Ａ２と、この水洗処理部Ａ２において水洗処理されて基板Ｗに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部Ａ３とを備えている。
【００１９】
エッチング処理エリアＢは、現像処理エリアＡにおいて処理された基板Ｗに対し上下双方からそれぞれ噴射されるエッチング処理液（例えば塩化第二鉄などの水溶液）によって当該基板Ｗをエッチング処理するエッチング処理部Ｂ１と、このエッチング処理部Ｂ１においてエッチング処理されて基板Ｗに付着しているエッチング処理液を基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部Ｂ２と、この水洗処理部Ｂ２において水洗処理されて基板Ｗに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部Ｂ３とを備えている。
【００２０】
剥離処理エリアＣは、エッチング処理エリアＢにおいて処理された基板Ｗに対し上下双方からそれぞれ噴射される剥離処理液（例えば水酸化ナトリウム）によって当該基板Ｗに貼られたドライフィルムを剥離処理する剥離処理部Ｃ１と、この剥離処理部Ｃ１において剥離処理されて基板Ｗに付着している剥離処理液を基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部Ｃ２と、この水洗処理部Ｃ２において水洗処理した基板Ｗをその上下双方からそれぞれ噴射される中和水溶液（例えば酸系の水溶液）によって剥離処理液の強アルカリ成分を中和処理する中和処理部Ｃ３と、この中和処理部Ｃ３において中和処理されて基板Ｗに付着している中和水溶液を基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される水によって水洗処理する水洗処理部Ｃ４と、この水洗処理部Ｃ４において水洗処理されて基板Ｗに付着している水をヒータにより乾燥処理する乾燥処理部Ｃ５とを備えている。各エリアＡ〜Ｃの乾燥処理部Ａ３，Ｂ３，Ｃ５では、ヒータの熱をファンにより基板Ｗの上下両面に吹き付けて乾燥処理する。また、各エリアＡ〜Ｃは、搬送経路Ｓ上においてカバー材（図示せず）によりそれぞれ個別に覆われていて、カバー材による被覆の無い渡りＤによって連結されている。この場合、搬送経路Ｓは、その搬送方向上流端の投入部Ｘ１及び搬送方向下流端の取出部Ｘ２を含めて１０ｍ〜２０ｍの搬送長さに設定されている。
【００２１】
図２はエッチング処理エリアＢのエッチング処理部Ｂ１を示す平面図、図３はエッチング処理部Ｂ１を示す側面図である。
図２及び図３に示すように、基板搬送装置Ｘは、矩形シート状の基板Ｗの横方向両端（図２では上下方向両端）よりも外方にそれぞれ設けられた２条の無端鎖条部材としての平ベルトタイプのベルトコンベア１と、各ベルトコンベア１同士の間にそれぞれ掛け渡される複数の渡し部材２，２，…と、各渡し部材２のうちのベルトコンベア１の搬送方向で対をなす２つの渡し部材２，２に対し基板Ｗの搬送方向両端を取り付ける取付手段３と、この取付手段３により基板Ｗの搬送方向両端が取り付けられた各渡し部材２の両端を各ベルトコンベア１に対しそれぞれ脱着自在に固定する固定手段４と、を備えている。
【００２２】
エッチング処理部Ｂ１に対応する各ベルトコンベア１同士の間には、基板Ｗの上下両面に対しエッチング処理液を噴霧する複数のスプレーノズルＸ３，Ｘ４，…が搬送方向に均等に配置されている。この場合、基板Ｗに対し上方から噴霧する上側スプレーノズルＸ３及び下方から噴霧する下側スプレーノズルＸ４は、互いに上下に対向する位置に設けられていて、上下から噴霧されるエッチング処理液による基板Ｗの波打ちを抑制している。なお、現像処理エリアＡの現像処理部Ａ１での現像処理液の噴射、水洗処理部Ａ２での水の噴射、エッチング処理エリアＢの水洗処理部Ｂ２での水の噴射、剥離処理エリアＣの剥離処理部Ｃ１での剥離処理液の噴射、水洗処理部Ｃ２，Ｃ４での水の噴射、及び中和処理部Ｃ３での中和水溶液の噴射においても、同様に上下に配置された複数のスプレーノズルが供される。このスプレーノズルの噴射は、いずれにおいても搬送経路Ｓ途上の気中において行われる。
【００２３】
各ベルトコンベア１は、２０〜３０ｍｍ程度の幅に設定され、基板搬送装置Ｘの最上流端の投入部Ｘ１から現像処理エリアＡ、エッチング処理エリアＢ及び剥離処理エリアＣを経て最下流端の取出部Ｘ２に至る搬送経路Ｓに亘って敷設されている。この各ベルトコンベア１は、樹脂材よりなり、投入部Ｘ１又は取出部Ｘ２に設けられた駆動ローラ（図示せず）の両端に巻き掛けられ、互いに同調して駆動するようになっている。また、各ベルトコンベア１は、その搬送方向所定間隔置きに設けられた複数の従動ローラ１１（図２及び図３では２つのみ示す）によってガイドされている。この各ベルトコンベア１は、２８０ｍｍ程度の間隔を隔てて配置されている。
【００２４】
各渡し部材２は、ガラスエポキシ樹脂製の板状物よりなり、断面略矩形状を呈している。この各渡し部材２は、ほぼ２６０ｍｍ程度の長さに形成され、各ベルトコンベア１の搬送方向と直交する方向に掛け渡されている。この場合、各渡し部材２は、０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の厚さに形成され、各ベルトコンベア１間に掛け渡された際に撓み難い硬度を有している。
【００２５】
取付手段３としては、各ベルトコンベア１の搬送方向で対をなす２つの渡し部材２，２に対し基板Ｗの搬送方向両端を接着する帯状の接着テープが適用されている。この接着テープ３（取付手段）は、対をなす２つの渡し部材２，２の互いに対抗する対向面２１の上端と基板Ｗの搬送方向の端辺Ｗ１とを互いに一致させた状態（図２に破線で示す状態）で、各渡し部材２の上面の対向面２１側縁と基板Ｗの上面の端辺Ｗ１側縁とに上方から跨って接着されている。この場合、接着テープ３は、基板Ｗの搬送方向の寸法と略一致する長さのものが用いられている。
【００２６】
図４は一方のベルトコンベア１と前側の渡し部材２との固定構造を示す拡大図、図５は図４のＴ−Ｔ線における断面図である。
この図４及び図５において、固定手段４は、各ベルトコンベア１（図４及び図５では一方のもののみ示す）の搬送方向所定間隔置き（例えば１３ｍｍ〜２０ｍｍ程度の間隔置き）に外方へ突出する突起としての複数のピン４１，４１，…と、各渡し部材２の両端に貫通され、ピン４１が挿通される挿通部としての挿通孔４２とを備えている。各ピン４１は、５〜１０ｍｍ程度の長さに設定されている。
【００２７】
そして、固定手段４による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の固定は、投入部Ｘ１において各ベルトコンベア1のピン４１に対し上方から渡し部材２の両端の挿通孔４２を挿通させることによって行われる。また、固定手段４による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の解除は、取出部Ｘ２において各ベルトコンベア1に対し渡し部材２を上方へ持ち上げて各ピン４１から渡し部材２両端の挿通孔４２を抜き取ることで行われる。
【００２８】
したがって、本実施の形態では、基板Ｗの搬送方向両端が接着テープ３により取り付けられた各渡し部材２の両端は、基板Ｗが撓まないように各ベルトコンベア１に対し固定手段４によって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア１に両端が固定された２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓むことなく取り付けられている。このとき、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗは引張られることはない。
このため、搬送経路Ｓ途上の気中において基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Ｗを処理する際に基板Ｗに対し不要な引張り力が作用せず、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路Ｓ途上において基板Ｗを気中で処理する際の基板Ｗのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。
【００２９】
また、各ベルトコンベア１の搬送方向所定間隔置きに外方へ突出する複数のピン４１と、各渡し部材２の両端に貫通された挿通孔４２とで固定手段４が構成されているので、各ベルトコンベア１と各渡し部材２の両端とを簡単な構成で固定することができる。
【００３０】
更に、基板Ｗの搬送方向両端が帯状の接着テープ３によって各渡し部材２に取り付けられているので、基板Ｗの搬送方向両端を簡単に各渡し部材２に取り付けることができる。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態を図６及び図７に基づいて説明する。図６は基板搬送装置Ｘの一方のベルトコンベア１と前側の渡し部材２との固定構造を示す拡大平面図、図７は図６のＵ−Ｕ線における断面図である。
【００３２】
この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第１の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３３】
すなわち、図６及び図７に示すように、固定手段５は、各ベルトコンベア１（図６及び図７では一方のもののみ示す）の搬送方向所定間隔置き（例えば１３ｍｍ〜２０ｍｍ程度の間隔置き）に貫通する挿通部としての複数の挿通孔５１，５１，…と、各渡し部材２の両端より下方に突設され、挿通孔５１に挿通される突起としてのピン５２とを備えている。各ピン５２は、５〜１０ｍｍ程度の長さに設定されている。
【００３４】
そして、固定手段５による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の固定は、投入部Ｘ１において各ベルトコンベア1の各挿通孔５１に対し上方から渡し部材２の両端のピン５２を挿通させることによって行われる。また、固定手段５による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の解除は、取出部Ｘ２において各ベルトコンベア1に対し渡し部材２を上方へ持ち上げて渡し部材２両端の挿通孔５１から各ピン５２を抜き取ることで行われる。この場合、各ベルトコンベア１は、挿通孔５１にピン５２が挿通される構造であるため、ピン５２の長さを考慮して厚肉に形成されている。
【００３５】
したがって、本実施の形態では、各渡し部材２は、その両端より下方に突設したピン５２を当該基板Ｗが撓まないように各ベルトコンベア１に貫通する挿通孔５１に対し挿通させることによって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア１に両端が固定された２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓むことなく取り付けられ、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが引張られることもない。
このため、搬送経路Ｓ途上の気中において基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Ｗを処理する際に基板Ｗに対し不要な引張り力が作用せず、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路Ｓ途上において基板Ｗを気中で処理する際の基板Ｗのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。
【００３６】
次に、本発明の第３の実施の形態を図８及び図９に基づいて説明する。図８は基板搬送装置Ｘの一方のベルトコンベア１と前側の渡し部材２との固定構造を示す拡大平面図、図９は図８のＶ−Ｖ線における断面図である。
【００３７】
この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第１の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３８】
すなわち、図８及び図９に示すように、固定手段６は、各ベルトコンベア１（図８及び図９では一方のもののみ示す）の搬送方向所定間隔置き（各渡し部材２の短手方向の長さよりも若干長い間隔置き、例えば２５ｍｍ〜４０ｍｍ程度）に外方へ突出する複数の突起６１，６１，…を備えている。そして、固定手段６は、ベルトコンベア１の搬送方向で互いに相隣なる一対の突起６１，６１により構成され、その各突起６１，６１同士の間に渡し部材２の両端を収容して固定している。各突起６１は、その下流側面（ベルトコンベア１の搬送方向下流側の面）の内外方向略中央位置より略４５°の傾斜角度を存して外方に行くに従い下流側に膨出する略三角形状の膨出部６２を備えている。各突起６１は、１０ｍｍ程度の長さに設定されている。
【００３９】
そして、固定手段６による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の固定は、投入部Ｘ１において各ベルトコンベア1の一対の突起６１，６１に対し上方から渡し部材２の両端を挿通、具体的には、上流側の突起６１の膨出部６２の傾斜面に沿うように渡し部材２を斜めにして突起６１，６１同士の間に収容させることによって行われる。また、固定手段６による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の解除は、取出部Ｘ２において各ベルトコンベア1に対し渡し部材２を上方へ持ち上げて渡し部材２の両端を抜き取る、具体的には、上流側の突起６１の膨出部６２の傾斜面に沿うように渡し部材２を斜めにして突起６１，６１同士の間から抜き取ることで行われる。
【００４０】
したがって、本実施の形態では、各渡し部材２は、その両端を当該基板Ｗが撓まないように各ベルトコンベア１の突起６１，６１同士の間に収容させることによって、脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア１に両端が固定された２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓むことなく取り付けられ、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが引張られることもない。
このため、搬送経路Ｓ途上の気中において基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Ｗを処理する際に基板Ｗに対し不要な引張り力が作用せず、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路Ｓ途上において基板Ｗを気中で処理する際の基板Ｗのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。
【００４１】
しかも、上流側の突起６１の膨出部６２の傾斜面に沿うように渡し部材２を斜めにしなければ突起６１，６１同士の間から渡し部材２が抜き取れないので、スプレーノズルの噴射時、特に下側スプレーノズルの噴射時に、渡し部材２の浮き上がりが膨出部６２によって抑制され、実施する上で非常に有利なものとなる。
【００４２】
次に、本発明の第４の実施の形態を図１０及び図１１に基づいて説明する。図１０は基板搬送装置Ｘの一方のベルトコンベア１と前側の渡し部材２との固定構造を示す拡大平面図である。また、図１１は図１０のＹ−Ｙ線における断面図であり、（ａ）は固定手段による固定前の状態を示し、（ｂ）は固定手段による固定後の状態を示している。
【００４３】
この実施の形態では、固定手段の構成を変更している。なお、固定手段を除くその他の構成は、前記第１の実施の形態と同じであり、同一部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４４】
すなわち、図１０及び図１１に示すように、固定手段７は、各ベルトコンベア１（図１０及び図１１では一方のもののみ示す）の搬送方向所定間隔置き（各渡し部材２の短手方向の長さよりも若干長い間隔置き、例えば７５ｍｍ〜１２０ｍｍ程度）に外方へ突出する複数の突起７１，７１，…と、各突起７１の下上流側面（ベルトコンベア１の搬送方向下流側の面）の外部（図１１では上部）より下流側（図１１では右側）に膨出する膨出部７２と、各渡し部材２の両端における上流側面（ベルトコンベア１の搬送方向上流側の面）の下部に凹設され、膨出部７２が挿通される挿通部としての挿通穴７３とを備えている。各突起７１は、渡し部材２の略半分程度の高さ（例えば０．１ｍｍ〜０．２５ｍｍ程度）に設定されている。
【００４５】
そして、固定手段７による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の固定は、投入部Ｘ１において各ベルトコンベア１の突起７１，７１同士の間に渡し部材２の両端を載置し、各ベルトコンベア１の搬送に伴い移動する突起７１の膨出部７２を渡し部材２の両端を滑らせながら挿通穴７３に挿通させることによって行われる。また、固定手段７による、各ベルトコンベア１に対する各渡し部材２の解除は、取出部Ｘ２において各ベルトコンベア1に対し渡し部材２を滑らせて渡し部材２の両端の挿通穴７３から突起７１の膨出部７２を離脱させて抜き取ることで行われる。
【００４６】
したがって、本実施の形態では、各渡し部材２は、その両端の挿通穴７３に対し各ベルトコンベア1の突起７１の膨出部７２を基板Ｗが撓まないように挿通させることによって、それぞれ脱着自在に固定されているので、各ベルトコンベア１に両端が固定された２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓むことなく取り付けられ、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが引張られることもない。
このため、搬送経路Ｓ途上の気中において基板Ｗの上下双方からそれぞれ噴射される処理液によって当該基板Ｗを処理する際に基板Ｗに対し不要な引張り力が作用せず、２つの渡し部材２，２の間で基板Ｗが撓まない程度に張られている。これにより、搬送経路Ｓ途上において基板Ｗを気中で処理する際の基板Ｗのプリントの変形や破断を確実に防止することができる。
【００４７】
しかも、各ベルトコンベア1の突起７１，７１同士の間に渡し部材２の両端を載置し、各ベルトコンベア１の搬送に伴い移動する突起７１の膨出部７２を渡し部材２の両端を滑らせながら嵌合穴７３に嵌合させて固定されるので、コンベアベルト１に対する渡し部材２の固定が簡単に行われ、固定手段７による固定作業の簡単化を図ることができる。
【００４８】
なお、本発明は、前記各実施の形態に限定されるものではなく、その他種々の変形例を包含している。例えば、前記各実施の形態では、各ベルトコンベア１として平ベルトタイプのものを用いたが、図１２に示すように、裏面に断面略半円形状の複数の歯８０，８０，…を搬送方向所定間隔置きに一体的に設けたタイミングベルトタイプの２条のコンベアベルト８を用いてもよく、この各ベルトコンベア８の各歯８０と噛合する凹溝８２，８２，…を、駆動ローラ及び従動ローラ８１の両端の外周面に設ける必要がある。この場合には、各コンベアベルト８裏面の各歯８０と駆動ローラ及び従動ローラ８１の各凹溝８２とが滑りなく噛み合い、スプレーノズルからの噴射による両者８，８１間での滑りを確実に防止することが可能となる。
【００４９】
また、前記各実施の形態では、各渡し部材２の対向面２１の上端と基板Ｗの端辺Ｗ１とを互いに一致させた状態で接着テープ３により接着したが、各渡し部材の上面の対向面側縁に基板の端辺を重ねてオーバーラップさせた状態で、接着テープにより接着されていてもよい。しかも、接着テープは、基板の搬送方向の寸法と略一致する長さのものを必ずしも用いる必要はなく、短尺な複数の接着テープによって各渡し部材の対向面の上端と基板の端辺とが接着されていてもよい。
【００５０】
また、前記各実施の形態では、基板Ｗの横方向両端よりも外方にそれぞれベルトコンベア１を設けたが、チェーンなどの無端鎖条部材であってもよい。
【００５１】
また、前記各実施の形態では、基板Ｗとしてフレキシブルプリント基板を適用したが、硬質のリジッド基板やガラス基板を適用してもよいのはいうまでもない。
【００５２】
更に、各ベルトコンベア１より外方に突出する複数のピン４１や突起６１，７１、又は、各ベルトコンベア１を貫通する複数の挿通孔５１に対する渡し部材２の両端の固定位置を明確にする上で、渡し部材の両端の固定位置に対応するピン、突起又は挿通孔に着色などが施されていてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１        ベルトコンベア（無端鎖条部材）
２        渡し部材
３        接着テープ（取付手段）
４        固定手段
４１      ピン（突起）
４２      挿通孔（挿通部）
５        固定手段
５１      挿通孔（挿通部）
５２      ピン（突起）
６        固定手段
６１      突起
７        固定手段
７１      突起
７３      挿通穴（挿通部）
Ｗ        基板
Ｘ        基板搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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