(57)【要約】【課題】信頼性の低下を抑制することが可能な検出器及びモータ装置を提供すること。【解決手段】回転子の回転情報を検出する検出器本体と、当該検出器本体の周囲に温調媒体を流通させる流路とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転子の回転情報を検出する検出器本体と、
前記検出器本体の周囲に温調媒体を流通させる流路と
を備える検出器。
【請求項２】
前記流路は、前記回転子の回転方向に沿って形成されている
請求項１に記載の検出器。
【請求項３】
前記流路は、前記検出器本体の外周部分に設けられている
請求項１又は請求項２に記載の検出器。
【請求項４】
前記検出器本体は、前記回転情報を処理する処理部を有し、
前記流路は、前記回転方向の一周に亘って前記処理部を囲うように形成されている
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の検出器。
【請求項５】
前記処理部を収容する第一カバー部を更に備え、
前記流路は、前記第一カバー部に設けられている
請求項４に記載の検出器。
【請求項６】
前記流路は、前記第一カバー部に形成された溝部を有し、
前記検出器本体は、前記第一カバー部との間で前記溝部を塞ぐ第二カバー部を有する
請求項５に記載の検出器。
【請求項７】
前記第一カバー部は、フィン部を有する
請求項５又は請求項６に記載の検出器。
【請求項８】
前記フィン部は、前記処理部に面する側に配置されている
請求項７に記載の検出器。
【請求項９】
前記検出器本体は、前記流路に接続され前記温調媒体が供給される供給側接続部、及び、前記流路に接続され前記温調媒体が回収される回収側接続部、のうち少なくとも一方を有する
請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載の検出器。
【請求項１０】
前記流路は、前記検出器本体の一部に設けられている
請求項１から請求項９のうちいずれか一項に記載の検出器。
【請求項１１】
前記検出器本体は、前記処理部を支持する支持部を有し、
前記流路は、前記支持部に設けられている
請求項１０に記載の検出器。
【請求項１２】
回転軸と、
前記回転軸を回転させる駆動部と、
前記駆動部に固定され、前記回転軸の位置情報を検出する検出器と
を備え、
前記検出器として、請求項１から請求項１１のうちいずれか一項に記載の検出器が用いられる
モータ装置。
【請求項１３】
前記駆動部は、前記検出器の前記流路を流通した前記温調媒体を流通させる第二流路を有する
請求項１２に記載のモータ装置。
【請求項１４】
前記駆動部は、前記検出器の前記検出器本体が固定される固定面を有し、
前記流路と前記第二流路とは、前記固定面を貫通して接続されている
請求項１３に記載のモータ装置。
【請求項１５】
前記流路と前記第二流路とを接続する接続管を有し、
前記接続管は、前記固定面を貫通して設けられている
請求項１４に記載のモータ装置。
【請求項１６】
前記駆動部と前記接続管との間に封止部材が設けられている
請求項１５に記載のモータ装置。
【請求項１７】
前記駆動部は、前記検出器本体が固定される面とは異なる非固定面を有し、
前記流路と前記第二流路とは、前記非固定面を貫通して接続されている
請求項１３から請求項１６のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出器及びモータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動装置などの回転軸の位置情報を検出する検出器として、エンコーダが知られている（例えば、特許文献１）。エンコーダは、駆動装置の回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダとして、光学パターンの変化を読み取る光学式エンコーダや、磁気パターンの変化を検出する磁気式エンコーダなどが知られている。
【０００３】
近年、電気自動車などの自動車においても、高分解能を有するエンコーダが求められている。電気自動車に用いられるエンコーダは、駆動装置の反負荷側に取り付けられる。このため、駆動装置の熱がエンコーダに伝わりやすく、使用環境が厳しい。これに対して、駆動装置に冷媒を流通させ、駆動装置を冷却する冷却機構が設けられた構成が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３０８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記構成においては、検出器を直接冷却するものではないため、例えば使用環境等によっては検出器に対する熱の影響を十分に防ぐことが困難な場合がある。  
以上のような事情に鑑み、本発明は、信頼性の低下を抑制することが可能な検出器及びモータ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第一の態様に従えば、回転子の回転情報を検出する検出器本体と、当該検出器本体の周囲に温調媒体を流通させる流路とを備える検出器が提供される。
【０００７】
本発明の第二の態様に従えば、回転子と、当該回転子を回転させる駆動部と、当該駆動部に固定され、回転子の回転情報を検出する検出器とを備え、当該検出器として、第一の態様に従う検出器が用いられるモータ装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の態様によれば、信頼性の低下を抑制することが可能な検出器及びモータ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施の形態に係る駆動装置の構成を示す図。
【図２】本実施形態に係るエンコーダの構成を示す図。
【図３】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図４】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図５】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図６】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図７】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図８】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図９】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図１０】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図１１】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図１２】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【図１３】本実施形態の変形例に係るエンコーダの構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。  
図１は、本実施形態に係る駆動装置１００の全体構成を示す図である。  
図１に示すように、駆動装置（モータ装置）１００は、回転軸１０１、駆動部１０２、エンコーダ（検出器）１０３、コネクタ１０４、冷媒循環装置１０５、冷媒供給管１０６、冷媒回収管１０７、冷媒循環装置１０８、冷媒供給管１０９及び冷媒回収管１１０を有する。
【００１１】
以下、各図の説明においてはＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態では、回転軸１０１の軸線Ｃの延在方向をＺ方向として設定している。なお、Ｚ軸周りの方向については、θＺ方向と表記する。また、Ｚ軸に垂直な平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面上の一方向をＸ方向とし、ＸＹ平面上で当該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とする。
【００１２】
図１に示すように、回転軸１０１は、円筒状又は円柱状に形成されている。回転軸１０１は、ベアリング部ＢＧ（図２等参照）を介して駆動部１０２に取り付けられている。回転軸１０１は、駆動部１０２をＺ方向に貫通して設けられている。回転軸１０１は、駆動部１０２に対して−Ｚ側に突出する第一部分１０１ａと、駆動部１０２に対して＋Ｚ側に突出する第二部分１０１ｂとを有する。回転軸１０１は、第一部分１０１ａが駆動装置１００において回転力を伝達する負荷側となっており、第二部分１０１ｂが反負荷側となっている。駆動部１０２は、回転軸１０１をθＺ方向に回転させる。
【００１３】
エンコーダ１０３は、回転軸１０１の反負荷側である第二部分１０１ｂに固定されている。エンコーダ１０３は、例えば回転軸１０１の回転角度や回転速度など、回転軸１０１のθＺ方向における位置情報を検出する。本実施形態では、エンコーダ１０３として、磁場の変化（回転情報）によって上記の位置情報を検出する磁気式エンコーダが用いられているが、磁気式に限られず公知の光学式エンコーダを用いることもできる。コネクタ１０４は、エンコーダ１０３と例えば外部の制御装置（不図示）とを接続する。
【００１４】
冷媒循環装置１０５は、エンコーダ１０３の内部との間で冷媒を循環させる。当該冷媒としては、例えば水や油といった液体などが用いられる。冷媒供給管１０６及び冷媒回収管１０７は、エンコーダ１０３の内部に接続されている。冷媒循環装置１０５は、冷媒供給管１０６を介してエンコーダ１０３に冷媒を供給すると共に、冷媒回収管１０７を介してエンコーダ１０３から冷媒を回収する。
【００１５】
冷媒循環装置１０８は、駆動部１０２の内部との間で冷媒を循環させる。冷媒供給管１０９及び冷媒回収管１１０は、駆動部１０２の内部に接続されている。冷媒循環装置１０８は、冷媒供給管１０９を介して駆動部１０２に冷媒を供給すると共に、冷媒回収管１１０を介して駆動部１０２から冷媒を回収する。
【００１６】
図２は、本実施形態に係るエンコーダ１０３の概略的な構成を示す断面図である。  
図２に示すように、エンコーダ１０３は、磁場形成部１０、回転部（回転子）２０、磁場検出部（検出器本体）３０及びカバー部４０を有している。エンコーダ１０３は、駆動部１０２に設けられる回転軸１０１のうち例えば第二部分１０１ｂに取り付けられて用いられる。
【００１７】
磁場形成部１０は、円筒状に形成された磁石１１を有している。磁石１１は、回転部２０に保持されている。Ｚ軸方向視において、磁石１１は、当該磁石１１の中心軸が回転軸１０１の軸線Ｃに一致するように配置されている。
【００１８】
また、回転部２０は、ネジなどの固定部材５０によって回転軸１０１に固定されている。回転部２０は、回転軸１０１と一体的に回転する。回転部２０は、装着部２１、鍔部２２、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４、第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６を有している。
【００１９】
回転部２０は、上記の各部が一体的に形成されている。本実施形態では、例えば回転部２０は磁性体を用いて一部材として形成されている。なお、回転部２０は、各部が一体的に形成されていれば良く、一部材に形成された構成に限られるものでは無い。したがって、例えば複数の部材を一体化させた構成であっても構わない。また、上記磁気回路部（例、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４）は、磁性体であるため、磁石１１と磁気回路部とで磁気回路を形成することによって磁力を向上させることができる。
【００２０】
装着部２１は、回転軸１０１の第二部分１０１ｂに装着される部分である。装着部２１は、回転軸１０１を挿入する凹部２１ａを有する。回転軸１０１の第二部分１０１ｂは、凹部２１ａに嵌め込まれた状態で装着部２１に装着される。
【００２１】
鍔部２２は、装着部２１の外周側に設けられている。鍔部２２は、円環状に形成されている。鍔部２２は、回転軸１０１の回転面（ＸＹ平面）に平行に形成されている。
【００２２】
第一磁気回路部２３は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられており、当該鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一磁気回路部２３には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第一磁気回路部２３の中心軸は、回転軸１０１の軸線Ｃに一致している。
【００２３】
第一磁気回路部２３の内径は、磁石１１の外径にほぼ一致する寸法に設定されている。上記の磁石１１は、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに取り付けられている。当該磁石１１は、不図示の接着剤などを介して第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに接着されている。磁石１１が第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに配置されていることにより、磁石１１が例えば高速で回転し、遠心力などにより磁石１１と内周面２３ｂとの間の接着剤が剥離した場合でも、磁石１１が回転部２０の外部（例、エンコーダ本体内、等）に飛散しない構成になっている。
【００２４】
第二磁気回路部２４は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられている。第二磁気回路部２４は、第一磁気回路部２３及び磁石１１の内側に配置されており、装着部２１及び固定部材５０を囲うように円筒状に形成されている。第二磁気回路部２４には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第二磁気回路部２４は、鍔部２２を介して第一磁気回路部２３に接続されている。したがって、鍔部２２は、第一磁気回路部２３と第二磁気回路部２４とを接続する接続部となっている。
【００２５】
第二磁気回路部２４の中心軸は、回転軸１０１の軸線Ｃに一致している。第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂの一部及び磁石１１の内周面１１ｂに対向している。第二磁気回路部２４は、外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に所定のスペースが設けられるように形成されている。当該スペースには、磁場検出部３０の少なくとも一部が配置される。
【００２６】
回転部２０の＋Ｚ側には、鍔部２２と、第一磁気回路部２３と、第二磁気回路部２４とによって囲まれた凹部２７（例、凹状の部分）が形成されている。凹部２７は、Ｚ方向視で円環状に形成されている。当該凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側から−Ｚ側へ向けて凹んでいる。すなわち、凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側に開口部を有する構成である。
【００２７】
鍔部２２の＋Ｚ側の面は、凹部２７の底面に相当する。第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ及び第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、それぞれ凹部２７の側面に相当する。したがって、上記の磁石１１は、凹部２７の側面に接着されている。なお、本実施形態における凹部２７は、くぼみ、へこみ、溝、等であって、凹状、Ｖ字状、等の形状を有する。
【００２８】
また、本実施形態における凹部２７は、例えば、凹状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸１０１の外周面と平行方向の面で構成され、Ｖ字状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸１０１の外周面と異なる方向の面で構成される。
【００２９】
第一ラビリンス形成部２５は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第一ラビリンス形成部２５は、回転軸１０１の外周面を囲うように、鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一ラビリンス形成部２５の中心軸は、回転軸１０１の軸線Ｃに一致している。したがって、第一ラビリンス形成部２５及び上記の第一磁気回路部２３は、同一の円筒面上に形成されている。
【００３０】
第二ラビリンス形成部２６は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第二ラビリンス形成部２６は、回転軸１０１の外周面に沿って円筒状に形成されている。第二ラビリンス形成部２６の内径は、回転軸１０１の第二部分１０１ｂの外径とほぼ等しくなっている。第二ラビリンス形成部２６の中心軸は、回転軸１０１の軸線Ｃに一致している。このように、第二ラビリンス形成部２６及び上記の装着部２１の壁部は、同一の円筒面に沿って形成されている。
【００３１】
回転軸１０１の第二部分１０１ｂの一部は、第二ラビリンス形成部２６の一部によって保持されている。このため、第二ラビリンス形成部２６は、回転軸１０１を嵌め込ませる装着部２１の一部としての機能を有する。
【００３２】
基材４１には、回転軸１０１の外周を囲うように＋Ｚ側に突出した突出部（凸部）４１ａが形成されている。突出部４１ａは、回転軸１０１の外周に沿って円筒状に形成されている。突出部４１ａは、回転部２０が装着された状態において、第一ラビリンス形成部２５と第二ラビリンス形成部２６との間に挿入されている。
【００３３】
突出部４１ａは、上記第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６に対して隙間を空けて配置されている。このため、第一ラビリンス形成部２５と、突出部４１ａと、第二ラビリンス形成部２６とにより、断面視Ｕ字状のラビリンス部６０が形成されている。
【００３４】
ラビリンス部６０は、回転軸１０１から磁場形成部１０への流体の移動を規制する規制部の一つである。ラビリンス部６０は、当該回転軸１０１の断面視Ｕ字状に形成されており、回転軸１０１の延在方向に直交する部分を有するため、回転軸１０１から流れてくる流体（駆動部１０２の潤滑油など）の移動が妨げられることになる。このように、ラビリンス部６０は、磁場形成部１０の磁石１１へ向けて流体が移動するのを規制（又は低減）している。
【００３５】
磁場検出部３０は、図２に示すように、基板３１、磁気センサ３２、処理部３３及び基板３１を支持する支持部３４を有する。磁場検出部３０は、磁石１１の磁気パターンによる磁場を検出する。
【００３６】
基板３１は、回転部２０の＋Ｚ側に設けられている。基板３１は、ＸＹ平面に平行に配置されている。基板３１は、磁気センサ３２及び処理部３３を保持する。基板３１には、不図示の配線や端子などが形成されている。基板３１は、ネジなどの固定部材３５により支持部３４を介して基材４１に固定されている。
【００３７】
磁気センサ３２は、基板３１の第一面３１ａに固定されている。磁気センサ３２は、例えばホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子（不図示）を有している。磁気センサ３２は、磁気パターンによる磁場を検出し、電気信号に変換する。磁気センサ３２において生成された電気信号は、基板３１の不図示の配線を介して処理部３３に送信される。
【００３８】
磁気センサ３２は、センサ本体３２ａ、支持部３２ｂを有する。センサ本体３２ａは、凹部２７のうち、第二磁気回路部２４の外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に形成された隙間２７ａ（図２参照）に挿入される。センサ本体３２ａには、上記ホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子が設けられている。支持部３２ｂは、センサ本体３２ａと基板３１とを接続する。支持部３２ｂには、センサ本体３２ａに設けられた検出素子と基板３１とを電気的に接続する配線（不図示）が設けられている。
【００３９】
センサ本体３２ａは、板状に形成されている。センサ本体３２ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ、第二磁気回路部２４の外周面２４ａ及び磁石１１の内周面１１ｂに対向して配置されている。すなわち、センサ本体３２ａは、回転部２０の上記凹部２７の側面に対向して配置されている。
【００４０】
内周面１１ｂとセンサ本体３２ａとは、回転軸１０１の延在方向に直交する方向に対向する。この構成により、磁石１１とセンサ本体３２ａとがＺ方向（回転軸１０１の軸方向）に相対的に位置ずれを起こしても、磁気センサ３２の検出精度にはほとんど影響を及ぼさずに済む。
【００４１】
処理部３３は、基板３１の＋Ｚ側の第二面３１ｂ上に配置されている。処理部３３は、回転情報を処理するものであり、例えば磁気センサ３２からの電気信号の波形を整形する処理を含む所定の処理を行う。処理部３３を経由した電気信号は、基板３１に形成された不図示の配線や端子などを介して駆動装置１００のコネクタ１０４に送信され、当該コネクタ１０４を介して外部の不図示の制御装置などに送信される。
【００４２】
支持部３４は、例えば円筒状に形成されている。支持部３４のうち＋Ｚ側の第一端面３４ａには、基板３１が配置されている。支持部３４のうち−Ｚ側の第二端面３４ｂは、機材４１に当接されている。
【００４３】
カバー部４０は、基材４１、第一カバー部４２、第二カバー部４３、封止部材４４、締結部材４５及び締結部材４６を有し、基材４１に固定されている。基材４１は、円盤状に形成されており、駆動部１０２の＋Ｚ側端面及びベアリング部ＢＧを覆っている。
【００４４】
第一カバー部４２は、基材４１の平坦面４１ｂに当接される環状部４２ａと、当該環状部４２ａから＋Ｚ側へ向けて形成される円筒状の外周側壁部４２ｂと、環状部４２ａの内縁部から＋Ｚ側へ向けて外周側壁部４２ｂと平行に形成される円筒状の内周側壁部４２ｃと、当該内周側壁部４２ｃの＋Ｚ側端部を塞ぐように形成された円盤状の天板部４２ｄと、外周側壁部４２ｂの＋Ｚ側端部から外周側へ向けて形成された縁部４２ｅとを有する。
【００４５】
第一カバー部４２は、環状部４２ａと基材４１との間が締結部材４５によって締結された状態で固定されている。第一カバー部４２は、環状部４２ａ、内周側壁部４２ｃ及び天板部４２ｄによって、上記磁場形成部１０、回転部２０及び磁場検出部３０を覆っている。また、第一カバー部４２には、環状部４２ａ、外周側壁部４２ｂ及び内周側壁部４２ｃによって囲まれた凹部４２ｈが形成されている。凹部４２ｈは、Ｚ方向視において環状に形成されている。
【００４６】
第二カバー部４３は、円板状に形成されており、第一カバー部４２の＋Ｚ側に配置されている。第二カバー部４３は、第一カバー部４２のうち天板部４２ｄ及び縁部４２ｅの＋Ｚ側を覆うように設けられる。第二カバー部４３と第一カバー部４２との間は、封止部材４４によって封止されている。
【００４７】
第二カバー部４３及び封止部材４４により、第一カバー部４２の凹部４２ｈが封止されている。この構成により、第一カバー部４２と第二カバー部４３との間には、θＺ方向に延在する環状のエンコーダ内部流路４７が形成されている。当該エンコーダ内部流路４７は、中空状に形成されており、冷媒が流通する。
【００４８】
図３は、エンコーダ１０３を＋Ｚ側から見たときの構成を示す図である。図３は、一部において内部構造が確認できるように示している。  
図２又は図３に示すように、当該エンコーダ内部流路４７には、第二カバー部４３の開口部４３ａを貫通して冷媒供給管１０６が配置されている。同様に、エンコーダ内部流路４７には、第二カバー部４３の開口部４３ｂを貫通して冷媒回収管１０７が配置されている。開口部４３ａ及び開口部４３ｂは、＋Ｚ側から見てエンコーダ内部流路４７に重なる位置に設けられている。このように、エンコーダ内部流路４７は、開口部４３ａにおいて冷媒供給管１０６に接続されており、開口部４３ｂにおいて冷媒回収管１０７に接続されている。
【００４９】
図４は、図３の一部の構成を拡大して示す斜視図である。図４においても、一部において内部構造が確認できるように示している。  
図３及び図４に示すように、エンコーダ内部流路４７のうち開口部４３ａと開口部４３ｂとの間の部分が仕切り部４２ｇによって仕切られている。仕切り部４２ｇは、外周側壁部４２ｂと内周側壁部４２ｃとを接続するように形成されている。仕切り部４２ｇが設けられているため、冷媒供給管１０６から供給された冷媒はθＺ方向に反時計回りにエンコーダ内部流路４７を流通し、冷媒回収管１０７へと到達するようになっている。このように、エンコーダ内部流路４７は、冷媒の流路として機能している。
【００５０】
次に、上記のように構成された駆動装置１００の動作を説明する。  
駆動装置１００の回転軸１０１のうち負荷側である第一部分１０１ａに駆動対象を取り付けた後、駆動部１０２が回転軸１０１をθＺ方向に回転させる。この動作により、回転軸１０１の回転が駆動対象に伝達される。
【００５１】
一方、上記回転軸１０１の回転動作により、回転軸１０１の回転が第二部分１０１ｂを介してエンコーダ１０３の回転部２０に伝達され、回転部２０が回転する。回転部２０の回転により、当該回転部２０に保持された磁石１１がθＺ方向に回転する。磁石１１の回転により、磁気パターンがθＺ方向に移動する。
【００５２】
磁気センサ３２では、磁気パターンの移動による磁場の変化（回転情報）を検出する。このとき、例えばθＺ方向に９０°ずれて配置された２つの磁気センサ３２において、位相が９０°ずれた２つの正弦波信号として磁場の変化が検出される。磁気センサ３２による検出結果は処理部３３に送信される。処理部３３は、送信された検出結果を用いて回転軸１０１の回転回数や回転軸１０１の回転方向などを求める。処理部３３による処理結果は、コネクタ１０４を介して外部の制御装置等に送信される。
【００５３】
本実施形態では、高精度な検出を可能とするため、磁気センサ３２による検出結果が正弦波信号となるように、磁石１１の磁気パターンが形成されている。一例として、隙間２７ａにおける磁束分布が平行分布となるように磁石１１を予め着磁しておくことにより、上記のような正弦波信号の検出結果を得ることができる。
【００５４】
駆動装置１００が上記動作を行う場合、駆動部１０２の熱がエンコーダ１０３側に伝わりやすいため、使用環境が厳しくなる可能性がある。これに対して、例えば冷媒循環装置１０８を用いて駆動部１０２に冷媒を流通させ、駆動部１０２を冷却するようにしている。一方、駆動部１０２を冷却するだけでは、エンコーダ１０３を直接冷却するものではないため、エンコーダ１０３に伝わる熱を十分に抑制できず、信頼性の点において十分ではない場合がある。
【００５５】
これに対して、本実施形態では、上記駆動装置１００の動作において冷媒循環装置１０５を作動させ、冷媒供給管１０６を介してエンコーダ１０３に冷媒を供給する。冷媒供給管１０６を流通する冷媒は、エンコーダ１０３の第一カバー部４２と第二カバー部４３との間に形成されるエンコーダ内部流路４７に流入する。当該エンコーダ内部流路４７は仕切り部４２ｇによって開口部４３ａと開口部４３ｂとの間が仕切られているため、エンコーダ内部流路４７に流入した冷媒は、外周側壁部４２ｂ及び内周側壁部４２ｃに沿ってエンコーダ内部流路４７の内部を流れる。
【００５６】
冷媒は、エンコーダ内部流路４７の内部を流れる際に、外周側壁部４２ｂ及び内周側壁部４２ｃを介して磁場形成部１０や回転部２０、磁場検出部３０の熱を吸収し、エンコーダ１０３の内部を冷却する。例えば磁場検出部３０には電子部品等からなる処理部３３が形成されており、当該処理部３３において熱の影響により動作不良が生じるのを防ぐことができる。また、処理部３３自体の発熱を冷却することができる。
【００５７】
冷媒は、開口部４３ｂに到達した後、開口部４３ｂに配置された冷媒回収管１０７を介して冷媒循環装置１０５に戻される。冷媒循環装置１０５に戻された冷媒は、当該冷媒循環装置１０５の内部の温調機構により所定の温度に戻され、再度冷媒供給管１０６からエンコーダ１０３の内部に送られる。このように、冷媒をエンコーダ１０３の内部に循環させることで、エンコーダ１０３が直接的に冷却される。
【００５８】
以上のように、本実施形態に係るエンコーダ１０３は、回転部２０の回転情報を検出する磁場検出部３０を備え、かつ、当該磁場検出部３０の周囲に温調媒体として冷媒を流通させるエンコーダ内部流路４７を流路として備えるので、当該エンコーダ内部流路４７に冷媒を供給して磁場検出部３０を冷却することができる。これにより、使用環境等に拘らずエンコーダ１０３検出器に対する熱の影響を防ぐことが可能となるため、エンコーダ１０３の信頼性の低下を抑制することができる。
【００５９】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、図５に示すように、第一カバー部４２のうち磁場検出部３０側の面（内面）に冷却フィン４２ｆが設けられた構成としても良い。この構成により、第一カバー部４２の内面の表面積が大きくなるので、冷却効率が高まることになる。したがって、磁場検出部３０の信頼性を一層向上させることができる。
【００６０】
また、上記実施形態においては、エンコーダ１０３を冷却する冷媒循環装置１０５と、駆動部１０２を冷却する冷媒循環装置１０８とが別個に設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図６に示すように、エンコーダ１０３と駆動部１０２との間に共通の冷媒循環装置１１１を用いて冷媒を循環させる構成であっても良い。
【００６１】
図６に示す構成では、冷媒循環装置１１１には冷媒供給管１１２及び冷媒回収管１１４が接続されている。冷媒供給管１１２は、エンコーダ１０３の第二カバー部４３に設けられた開口部４３ａを介してエンコーダ内部流路４７に接続されている。冷媒回収管１１４は、駆動部１０２に接続されている。また、第二カバー部４３に設けられた開口部４３ｂには、外部接続管１１３の一端が接続されている。外部接続管１１３の他端は、駆動部１０２に接続されている。
【００６２】
この構成において、冷媒循環装置１１１の動作により、冷媒は、まず冷媒供給管１１２を介してエンコーダ１０３に供給される。エンコーダ１０３に供給された冷媒は、エンコーダ１０３に形成されるエンコーダ内部流路４７を流通し、開口部４３ｂから外部接続管１１３に流れ出す。外部接続管１１３に流れた冷媒は、駆動部１０２に供給され、駆動部１０２の内部を流通する。その後、冷媒は、冷媒回収管１１４を介して冷媒循環装置１１１に戻される。このように循環した冷媒は、冷媒循環装置１１１において温調され、再度冷媒供給管１１２からエンコーダ１０３に供給される。
【００６３】
なお、駆動部１０２の内部において冷媒に吸収される熱量がエンコーダ１０３の内部において冷媒に吸収される熱量よりも大きいため、冷媒は先にエンコーダ１０３の内部の熱を吸収し、その後に駆動部１０２の内部の熱を吸収する。これにより、エンコーダ１０３及び駆動部１０２を効率的に冷却することができる。
【００６４】
また、エンコーダ１０３と駆動部１０２との間に共通の冷媒循環装置１１１を用いて冷媒を循環させる構成については、他の構成とすることができる。例えば図７及び図８に示すように、エンコーダ内部流路４７と、駆動部１０２の内部の流路である駆動部内部流路１１７との間が、直結された構成としても良い。
【００６５】
図７及び図８に示す構成では、エンコーダ内部流路４７と駆動部内部流路１１７との間を接続する内部接続管１２０が設けられている。内部接続管１２０は、第一カバー部４２の環状部４２ａ、基材４１及び駆動部外壁１０２ｂを貫通して設けられている。したがって、内部接続管１２０により、エンコーダ内部流路４７と駆動部内部流路１１７とが連通されている。また、内部接続管１２０と駆動部外壁１０２ｂとの間には２つの環状封止部材６０が設けられており、内部接続管１２０と駆動部外壁１０２ｂとの隙間部から冷媒が漏れ出さないように機密性を確保している。
【００６６】
この構成によれば、冷媒供給管１１２を介してエンコーダ１０３に供給された冷媒は、エンコーダ内部流路４７を流通し、内部接続管１２０を経由して駆動部内部流路１１７に供給され、当該駆動部内部流路１１７を流通する。その後、冷媒は、冷媒回収管１１４を介して冷媒循環装置１１１に戻される。このように循環した冷媒は、冷媒循環装置１１１において温調され、再度冷媒供給管１１２からエンコーダ１０３に供給される。この構成により、駆動装置１００の重量を減少させることができ、コストダウンを図ることができる。
【００６７】
なお、駆動部１０２とエンコーダ１０３の組み立て時の寸法誤差により、内部接続管１２０と駆動部外壁１０２ｂとの隙間部にも寸法誤差を生じる場合がある。しかし、図７及び図８に示す構成では、内部接続管１２０と駆動部外壁１０２ｂとの間に２つの環状封止部材６０が設けられており、この環状封止部材６０が該隙間部の寸法誤差を吸収するので、内部流路の機密性を確保することができる。なお、環状封止部材６０の数は２つに限らず、設計に応じて１つ、または３つ以上としてもよい。
【００６８】
また、エンコーダ１０３と駆動部１０２との間で冷媒が直接流通する構成については、図７及び図８に示す構成に限られない。例えば、図９及び図１０に示すように、上記内部接続管１２０に加えて、駆動部１０２に設けられる駆動部第二流路１２７とエンコーダ内部流路４７とを接続する第二内部接続管１２１が設けられた構成であっても良い。
【００６９】
図９及び図１０に示す構成では、駆動部第二流路１２７は、冷媒供給管１０９に接続されており、エンコーダ１０３側へ向けて＋Ｚ方向に延在している。駆動部第二流路１２７は、例えば駆動部１０２のうちコイルなどの発熱部から離れた位置を通過するように形成されている。これにより、駆動部第二流路１２７での熱の吸収が極力抑えられる。
【００７０】
第二内部接続管１２１は、駆動部第二流路１２７からエンコーダ１０３のエンコーダ内部流路４７にかけて、駆動部外壁１０２ｂ、基材４１及び環状部４２ａを貫通して設けられている。したがって、駆動部第二流路１２７とエンコーダ内部流路４７との間は、第二内部接続管１２１によって連通されている。
【００７１】
この構成によれば、冷媒供給管１０９を介して駆動部１０２に供給された冷媒は、駆動部第二流路１２７を流れ、第二内部接続管１２１を経由してエンコーダ内部流路４７に供給される。エンコーダ内部流路４７に供給された冷媒は、当該エンコーダ内部流路４７に沿って流通する過程で磁場検出部３０などエンコーダ１０３内部の熱を吸収する。
【００７２】
エンコーダ内部流路４７を流通した冷媒は、内部接続管１２０を経由して駆動部内部流路１１７に供給される。駆動部内部流路１１７に供給された冷媒は、当該駆動部内部流路１１７に沿って流通する過程で、例えばコイルから発生した熱などの駆動部１０２内部の熱を吸収する。
【００７３】
その後、冷媒は、上記同様に冷媒回収管１１０を介して冷媒循環装置１０８に戻される。このように循環した冷媒は、冷媒循環装置１０８において温調され、再度冷媒供給管１０９から駆動部１０２に供給される。この構成により、エンコーダ１０３側に冷媒を供給する機構を設けることなく、駆動部１０２に冷媒を供給する従来の機構を用いてエンコーダ１０３側に冷媒を供給することができる。これにより、コストダウンを図ることができる。
【００７４】
なお、図９及び図１０に示す構成においても、第二内部接続管１２１と駆動部外壁１０２ｂとの間に２つの環状封止部材６０が設けられている。この場合も、上述した内部接続管１２０と駆動部外壁１０２ｂとの間に設けられた環状封止部材６０と同様の効果を有する。
【００７５】
また、上記実施形態では、締結部材４６により第一カバー部４２と第二カバー部４３とを締結する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。  
例えば、図１１及び図１２に示すように、第一カバー部１４２及び第二カバー部１４３をそれぞれ基材４１に固定させる構成であっても良い。
【００７６】
図１１及び図１２に示す構成においては、第一カバー部１４２は、基材４１の平坦面４１ｂに当接される環状部１４２ａと、当該環状部１４２ａから＋Ｚ側へ向けて形成される円筒状の壁部１４２ｂと当該壁部１４２ｂの＋Ｚ側端部を塞ぐように形成された円盤状の天板部１４２ｃとを有する。環状部１４２ａは、封止部材６１を介して締結部材４５によって基材４１に締結されて固定されており、冷媒が外部へ漏れ出さない構成となっている。
【００７７】
また、第二カバー部１４３は、第一カバー部１４２とほぼ同様の形状に形成されており、基材４１の平坦面４１ｂに当接される環状部１４３ａと、当該環状部１４３ａから＋Ｚ側へ向けて形成される円筒状の壁部１４３ｂと当該壁部１４３ｂの＋Ｚ側端部を塞ぐように形成された円盤状の天板部１４３ｃとを有する。環状部１４３ａは、封止部材６２を介して締結部材４６によって基材４１に締結されて固定されており、冷媒が外部へ漏れ出さない構成となっている。
【００７８】
第二カバー部１４３の環状部１４３ａは、第一カバー部１４２の環状部１４２ａよりも外周側に配置されており、当該環状部１４２ａに対して所定の間隔を空けて配置されている。第一カバー部１４２の天板部１４２ｃと、第二カバー部１４３の天板部１４３ｃとの間は、封止部材４４によって封止されている。この構成において、第一カバー部１４２の壁部１４２ｂと第二カバー部１４３の壁部１４３ｂとの間には、冷媒が流通するエンコーダ内部流路４７が形成されている。
【００７９】
第二カバー部１４３の天板部１４３ｃに設けられた開口部１４３ｄには冷媒供給管１０６が挿入されている。また、天板部１４３ｃに設けられた開口部１４３ｅ（図１２参照）には冷媒回収管１０７（図１２参照）が挿入されている。また、図１２に示すように、エンコーダ内部流路４７には、開口部１４３ｄと開口部１４３ｅとの間を塞ぐ仕切り部１３０が設けられている。
【００８０】
このため、冷媒供給管１０６からエンコーダ内部流路４７に流入した冷媒は、エンコーダ内部流路４７を図１２の反時計回りに流れ、開口部１４３ｅから冷媒回収管１０７へと流出することになる。このように、簡単な構造の第一カバー部１４２及び第二カバー部１４３を用いてエンコーダ内部流路４７を形成することができる。
【００８１】
また、図１３に示すように、第一カバー部４２と支持部３４とを一体化させた構成としても構わない。図１３に示す構成において、第一カバー部４２には、内周側壁部４２ｃの一部が内側に突出した固定部４２ｉが設けられている。また、第一カバー部４２の内周側壁部４２ｃには円板部が設けられておらず、当該内周側壁部４２ｃの＋Ｚ側の端部が円環状の封止部材１４４を介して第二カバー部４３に密着されている。固定部４２ｉの＋Ｚ側の端面は、基板３１を支持している。
【００８２】
また、図１３に示すように、固定部４２ｉの−Ｚ側の端面は、基材４１の平坦面４１ｂに当接されている。この構成では、第一カバー部４２が基材４１によって位置決めされるため、第一カバー部４２の位置精度が高められる。
【符号の説明】
【００８３】
１０…磁場形成部  ２０…回転部  ３０…磁場検出部  ４０…カバー部  ４２、１４２…第一カバー部  ４２ａ…環状部  ４２ｂ…外周側壁部  ４２ｃ…内周側壁部  ４２ｄ…天板部  ４２ｅ…縁部  ４２ｇ、１３０…仕切り部  ４２ｆ…冷却フィン  ４２ｉ…固定部  ４３、１４３…第二カバー部  ４３ａ…開口部  ４３ｂ…開口部  ４４、１４４…封止部材  ４５…締結部材  ４６…固締結部材  ４７…エンコーダ内部流路  ５０…固定部材  １００…駆動装置  １０１…回転軸  １０２…駆動部  １０３…エンコーダ  １０４…コネクタ  １０５、１０８、１１１…冷媒循環装置  １０６、１０９、１１２…冷媒供給管  １０７、１１０、１１４…冷媒回収管  １１３…外部接続管  １１７…駆動部内部流路  １２０…内部接続管  １２１…第二内部接続管  １２７…駆動部第二流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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