(57)【要約】【課題】ブラシ部をピンに摺接させた際にピンが受ける過負荷ダメージをなくしてクリーニングできる基板検査装置の提供。【解決手段】回転テーブル１３を備える基板搬送機構１２と、回転テーブル１３に配設される複数の基板保持機構２２と、各基板保持機構２２に保持させた被検査基板２９に順次ピンブロック３４側を接触させて検査する検査治具機構３２と、ピンブロック３４に接触させるブラシ体４９を備えピンクリーニング機構４２とで構成され、ピンクリーニング機構４２には、回転テーブル１３に固定される基台部４３と、該基台部４３側から回動可能に突出させてブラシ体４９を支持するブラシ支持杆４６と、ブラシ支持杆４６を弾性的に回動規制してブラシ体４９をピンブロック３４側に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片とを少なくとも具備させた。【選択図】図１
2013032971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に回転制御可能に軸支された回転テーブルを備えて装置本体側に配置される基板搬送機構と、前記回転テーブルの回転方向での複数箇所に所定間隔をおいて配設される基板保持機構と、前記回転テーブルの回転方向での所定位置にて個々の前記基板保持機構に保持させた被検査基板の検査ポイントに順次ピンブロック側を接触させてその検査を可能に前記装置本体側に配置される検査治具機構と、前記ピンブロック側への接触が可能なブラシ体を備えて前記回転テーブルにおける前記基板保持機構の位置とは異なる位置に配設されるピンクリーニング機構とで構成され、
該ピンクリーニング機構には、前記回転テーブルの周縁部に固定配置される基台部と、該基台部の外側垂直面に対しその面方向とは略直交する方向に突出させ、かつ、回動可能となって前記ブラシ体を支持するブラシ支持杆と、前記ブラシ支持杆の回動方向での弾性的な支持を可能に配置して前記ブラシ体を前記ピンブロック側に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片とを少なくとも具備させたことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記検査治具機構は、前記被検査基板を両面方向から各別に検査可能な一対となって対面配置され、
前記ピンクリーニング機構は、一方の前記検査治具機構と他方の前記検査治具機構との別に対応させるべく前記回転テーブルの少なくとも２カ所に配設した請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記ピンクリーニング機構は、前記ブラシ体近傍に異物吸引部材を具備させた請求項１または２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記ブラシ体は、前記ピンブロック側のピン長さ方向を個々の毛足の長さ方向とする位置関係で前記ブラシ支持杆に支持させた請求項１ないし３のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記ブラシ体部は、個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆に支持させた請求項１ないし３のいずれかに記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の検査ポイントにピンを接触させその電気的な特性を測定・検査する基板検査装置に係り、さらに詳しくは、ピンの接触端側に付着する異物を除去するピンクリーニング機構を具備させた基板検査装置に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
基板検査装置は、多数本のピン（「プローブ」ともいう。）を有する検査治具機構を備えており、所定位置に定置させた被検査基板の検査ポイントにピンを接触させその電気的な特性を測定して該被検査基板の良否を検査できるようにしたシステムのもとで構成されている。
【０００３】
この場合、被検査基板の検査ポイントの周辺領域には、通常、半田かす（酸化被膜）などのような導電性の異物が付着していることが多く、ピンを検査ポイントに接触させた際にその先鋭接触端側にも上記異物を付着させてしまい、このような付着異物を介してピン相互を短絡させてしまうなどの不具合を生じさせるおそれがあった。
【０００４】
このため、ピンに付着した異物は、ブラシを用いて手作業で除去することが従来より行われていたが、そのメンテナンス作業に多大な時間を要することから、例えば下記特許文献１，２に開示されているようにピンに付着した異物を自動的に除去できるピンクリーニング機構を具備させた基板検査装置も既に提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平２−１２６７５号公報
【０００６】
すなわち、特許文献１には、プリント基板の載置領域が少なくとも３カ所に設けられた回転テーブルと、該回転テーブルへのプリント基板の搬入と搬出とを各別に行う搬送手段と、これらの搬送手段によるプリント基板の搬入と搬出とが行われる領域とは異なる回転テーブル上の領域の上方に昇降可能に設けられ、プリント基板に接触するピンを有する検査手段と、該検査手段のピンの導通状態からプリント基板の良否を判別する検査回路と、回転テーブル上の隣接する前記載置領域の間に設けられて回転テーブルが回転した際に前記ピンと接触するブラシ（クリーニング手段）とを備えてなる基板検査装置が開示されている。
【０００７】
このため、特許文献１の開示技術によれば、プリント基板の搬入・検査・搬出を同時に行うことで、大量のプリント基板を能率的に順次検査することができるほか、回転テーブルの回転とともにブラシ（クリーニング手段）を検査手段のピンに接触、摺動させて該ピンを自動的に清掃できる効果が得られることになる。
【０００８】
【特許文献２】ＷＯ  ２０１０／００８０３０  Ａ１
【０００９】
一方、特許文献２には、搬入部から搬出部へと至る搬送路と、該搬送路上に所定の間隔で設けられた被検査基板保持部と、該被検査基板保持部を前記搬送路に沿って移動する移動手段（回転テーブル）を備える搬送手段と、検査治具に設けられた複数のピンを前記被検査基板保持部に保持された被検査基板上の配線の検査点に接触させてその電気的特性を測定すべく前記搬送路の途中に設けられた検査部と、前記移動手段（回転テーブル）の移動により前記検査部を通過する際に前記ピンのクリーニングを行うべく、前記搬送路上の任意の隣り合う被検査基板保持部の間に設けられたクリーニング手段（ブラシ）とを備える基板検査装置が開示されている。
【００１０】
このため、特許文献２の開示技術によれば、基板検査を行うための駆動機構や時間を別途必要とすることなく、複数の被検査基板を連続的に検査する流れを中断せずにピン先端部をクリーニング手段（ブラシ）で効率よくクリーニングすることができるとされている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、上記特許文献１，２に開示されている技術は、そのいずれもが回転テーブル側に位置固定された状態で配置されているクリーニング手段（ブラシ）を回転テーブルの回転方向への動きに合わせてピンに直接接触させながらクリーニングするものであることから、ピンに対する接触圧が緩和されない過負荷のもとで接触してしまうことがあり、特にピンが微細径化されている場合には予期せぬダメージを受けてしまうという不具合があった。
【００１２】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、ブラシ部分をピンに摺接させた際の接触圧を緩和させながらピンに対し過負荷に起因するダメージを与えることなくクリーニングすることができるようにした基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、回転軸に回転制御可能に軸支された回転テーブルを備えて装置本体側に配置される基板搬送機構と、前記回転テーブルの回転方向での複数箇所に所定間隔をおいて配設される基板保持機構と、前記回転テーブルの回転方向での所定位置にて個々の前記基板保持機構に保持させた被検査基板の検査ポイントに順次ピンブロック側を接触させてその検査を可能に前記装置本体側に配置される検査治具機構と、前記ピンブロック側への接触が可能なブラシ体を備えて前記回転テーブルにおける前記基板保持機構の位置とは異なる位置に配設されるピンクリーニング機構とで構成され、該ピンクリーニング機構には、前記回転テーブルの周縁部に固定配置される基台部と、該基台部の外側垂直面に対しその面方向とは略直交する方向に突出させ、かつ、回動可能となって前記ブラシ体を支持するブラシ支持杆と、前記ブラシ支持杆の回動方向での弾性的な支持を可能に配置して前記ブラシ体を前記ピンブロック側に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片とを少なくとも具備させたことを最も主要な特徴とする。
【００１４】
この場合、前記検査治具機構は、前記被検査基板を両面方向から各別に検査可能な一対となって対面配置され、前記ピンクリーニング機構は、一方の前記検査治具機構と他方の前記検査治具機構との別に対応させるべく前記回転テーブルの少なくとも２カ所に配設するのが好ましい。
【００１５】
また、前記ピンクリーニング機構は、前記ブラシ支持杆近傍に異物吸引部材を具備させて構成することもできる。
【００１６】
さらに、前記ブラシ体は、前記ピンブロック側のピン長さ方向を個々の毛足の長さ方向とする位置関係で前記ブラシ支持杆に垂直支持させたり、個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係で前記ブラシ支持杆に傾斜支持させたりすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る発明によれば、基板搬送機構が備える回転テーブルに固定配置された基台部に回動可能で、かつ、バネ部片を介して回動方向での弾性的な支持を可能に取り付けられたブラシ支持杆に対しブラシ体を支持させたピンクリーニング機構を備えているので、検査治具機構が備えるピンブロック側にブラシ体を摺接させた際の接触圧をバネ部片で緩和することでダメージを与えずにピンブロック側を効率よくクリーニングすることができる。
【００１８】
しかも、基板保持機構を介して回転テーブルに定置されている被検査基板は、回転テーブルの回転に従って順次、クリーニングされたピンブロックを検査ポイントに接触させて検査を正確に、かつ、効率よく行うことができる。
【００１９】
請求項２に係る発明によれば、検査治具機構が被検査基板を両面方向からの各別での検査が可能な一対として配置され、ピンクリーニング機構は、一方の検査治具機構と他方の検査治具機構との別に対応させるべく回転テーブルの少なくとも２カ所に配設されているので、被検査基板の表裏両面の検査ポイントにピンブロック側を接触させて正確に、かつ、効率よく両面検査を行うことができる。
【００２０】
請求項３に係る発明によれば、ピンクリーニング機構は、ブラシ支持杆近傍に異物吸引部材を具備させて配置されているので、ブラシ体をピンブロック側に摺接させた際に飛散しようとする異物を確実に吸引除去しながらクリーニングを行うことができる。
【００２１】
請求項４に係る発明によれば、ブラシ体は、ピンブロック側のピン長さ方向を個々の毛足の長さ方向とする位置関係でブラシ支持杆に垂直支持されているので、ピンブロック側に対し比較的強い接触圧のもとで擦るように摺接させてピン相互間に入り込んでいる異物をより確実に掻き出すことができる。
【００２２】
請求項５に係る発明によれば、ブラシ体は、個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆に傾斜支持されているので、ピンブロック側に対し比較的弱い接触圧のもとで満遍なく円滑に摺接させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一例を示す平面図。
【図２】図１における検査治具機構とピンクリーニング機構との配置関係を側面方向からみた状態で示す説明図。
【図３】図１に示すピンクリーニング機構部分の拡大斜視図。
【図４】図１に示すピンクリーニング機構におけるブラシ体の構成例を拡大して示すものであり、そのうちの（ａ）は全体斜視図を、（ｂ）は先端接触部のパターン別側面図をそれぞれ示す。
【図５】図１におけるピンクリーニング機構の他例についての拡大斜視図。
【図６】本発明の他例を示す平面図。
【図７】図６に示すピンクリーニング機構の拡大斜視図。
【図８】図６に示す本発明の他例における検査治具機構とピンクリーニング機構との配置関係を側面方向からみた状態で示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
まず、図１に示す一例に基づいて本発明を説明すれば、基板検査装置１１の全体は、回転軸１４に回転制御可能に軸支された回転テーブル１３を備えて図示しない装置本体側に配置される基板搬送機構１２と、回転テーブル１３の回転方向での４カ所に所定間隔をおいて配設される基板保持機構２２と、回転テーブル１３の回転方向での所定位置にて各基板保持機構２２に保持させた被検査基板２９の検査ポイントに順次ピンブロック３４側を接触させてその検査を可能に図示しない装置本体側に配置される検査治具機構３２と、ピンブロック３４側への接触が可能なブラシ体４９を備えて回転テーブル１３における基板保持機構２２の位置とは異なる位置に配設されるピンクリーニング機構４２とで少なくとも構成されている。
【００２５】
これらのうち、基板搬送機構１２は、図示例によれば平面視略正八角形を呈する回転テーブル１３と、該回転テーブル１３の中心位置に軸支させた回転軸１４とを備えており、該回転軸１４は、図示しない駆動モータから回転力が付与されて回転テーブル１３に対し例えば９０度ずつ制御された時計回りでの回転運動を付与することができるように構成されている。
【００２６】
基板保持機構２２は、回転テーブル１３の計８個の縁辺１５のうち、一つおきに位置している縁辺１５側に位置する各側縁部１６を介して固定配置された基部２３と、該基部２３から延設された拡開突出部２４の適位置に設けられて被検査基板２９を着脱自在に保持する適宜機構からなる着脱手段２５とを備えて構成されている。
【００２７】
この場合、基部２３は、回転テーブル１３の縁辺１５側から外方に向かって拡開するようにその面積を拡大させた拡開突出部２４に着脱手段２５を配設することで、回転テーブル１３の外方に位置する平面域を有効に利用して被検査基板２９を着脱自在に保持できるようになっている。
【００２８】
しかも、着脱手段２５は、被検査基板２９の両面に設けられている検査ポイントが拡開突出部２４に設けられた図示しない開口部に位置するように各被検査基板２９を定置させた状態のもとで保持できるようにして構成されている。
【００２９】
また、図２に示すように回転テーブル１３の表裏２面である一側平面１３ａ側と他側平面１３ｂ側とに各別に対面配置される一対の検査治具機構３２（図２に示す例では、一側平面１３ａ側に配置された一方の検査治具機構３２のみが示されている。）は、それぞれが昇降自在に設置されている検査治具部３３と、これらの検査治具部３３における被検査基板２９の検査ポイントとの対向面方向をそれぞれの軸方向として植設された多数本のピン３５からなるピンブロック３４とを備えて構成されている。
【００３０】
ピンクリーニング機構４２は、回転テーブル１３の表裏２面である一側平面１３ａ側と他側平面１３ｂ側とに各別に対面配置される一対の検査治具機構３２に対応させるべく、基板保持機構２２が配置されていない回転テーブル１３の縁辺１５、つまりある１つの基板保持機構２２、例えば図１で位置Ｂに位置する基板保持機構２２の両隣に位置する各縁辺１５である回転方向で前方に位置する縁辺１５と後方に位置する縁辺１５とに各別に配置されている。
【００３１】
これらのうち、回転テーブル１３にあってある１つの基板保持機構２２の前方に位置する縁辺１５に配置されている一方のピンクリーニング機構４２は、図２に示すように回転テーブル１３の一側平面１３ａ側に対面配置される一方の検査治具機構３２に対応させて配置されている。
【００３２】
すなわち、前方に配置される一方のピンクリーニング機構４２は、回転テーブル１３の縁辺１５を含む側縁部１６に固定配置される基台部４３と、該基台部４３の外側垂直面４４に対しその面方向とは略直交する方向に突出させ、かつ、回動可能となってブラシ体４９を支持するブラシ支持杆４６と、該ブラシ支持杆４６の回動方向での弾性的な支持を可能に配置してブラシ体４９側をピンブロック３４に摺接させた際の接触圧を緩和するバネ部片としての引っ張り用コイルバネ５２とを少なくとも備えて構成されている。
【００３３】
この場合、基台部４３は、図１および図３からも明らかなように、回転テーブル１３の縁辺１５長さ方向に対しその外側垂直面４４の面方向を直交させる位置関係のもとで直立させた状態で位置固定されている。
【００３４】
また、基台部４３の外側垂直面４４には、ベアリング（図示せず）を介在させるなどして基台部４３側に回動可能に回動片部４５が取着されており、該回動片部４５に対しその面方向とは略直交する外方向に突出させた状態のもとでブラシ支持杆４６の一端側が固着されている。
【００３５】
しかも、該ブラシ支持杆４６は、その長さ方向に沿わせてブラシ体４９を取り付けるための凹陥平坦面４７がその面方向を垂直方向に向けて形成されており、該凹陥平坦面４７にブラシ体４９の基端側を配置した上で、凹陥平坦面４７との対面側から着脱片４８をネジ止めすることでブラシ体４９を垂直に直立させた状態のもとで着脱自在に取り付けることができるようになっている。
【００３６】
さらに、回転テーブル１３の回転方向での前方側に位置する基台部４３と回動片４５との間には、バネ部片としての引っ張り用コイルバネ５２が介在配置されており、該引っ張り用コイルバネ５２が生成する引っ張り力により図３に示すように回動片部４５の時計方向への回転運動を弾性的に支持規制している。なお、図３中の符号５３は、回動片部４５の反時計方向への逆回転を規制するストッパーを示す。
【００３７】
図４は、この場合にブラシ支持杆４６に取り付けられるブラシ体４９の好適例を示す説明図であり、その代表的な形状は、図４（ａ）に示されているように所定の毛足長さで密集形成され、かつ、その先端部５０ａが全体で角柱状に整列されているブラシ部５０と、該ブラシ部５０をその基端部５０ｂ側にて保持するブラシ保持部５１とで一体的に形成されている。また、ブラシ部５０の先端接触部５０ａの正面形状は、図４（ｂ）において最左側に位置している図４（ａ）に示す例のほか、図４（ｂ）において最左側を除く右側に位置する３パターンのように、三角形状や左傾斜面や湾曲状に形成することで、異物を擦り取る効果をより高めてやることができる。
【００３８】
また、後方に配置される他方のピンクリーニング機構４２は、図２において回転テーブル１３の他側平面１３ｂ側に対面配置される他方の検査治具機構（図示せず）に対応させて配置されるものであることから、一方のピンクリーニング機構４２とはブラシ体４９の毛先方向が反対側（図示例では真下）を向くように取り付けることができるようになっている点で相違するのみであり、他の構成は同じである。
【００３９】
図５は、上記したピンクリーニング機構４２についての他例を示すものであり、図３に示すピンクリーニング機構４２とは、ブラシ支持杆４６近傍に異物吸引部材５４を具備させた点で相違し、その余の構成は同じである。
【００４０】
すなわち、図５によれば、ピンクリーニング機構４２は、図３に示すピンクリーニング機構４２と同様に、基台部４３の外側垂直面４４に回動可能に回動片部４５が取着されており、該回動片部４５に対しその面方向とは略直交する外方向に突出させた状態のもとでブラシ支持杆４６の一端側が固着されている。また、基台部４３と回動片部４５との間に引っ張り用コイルバネ５２を介在させて回動片部４５の時計方向への回転運動を弾性的に支持規制させている点も同じである。
【００４１】
しかし、図５に示すピンクリーニング機構４２は、ブラシ支持杆４６の後方位置（回転テーブル１４の回転方向での後方側）に異物吸引部材５４を備えている点で図３に示すピンクリーニング機構４２とはその構造を異にしている。
【００４２】
この場合、該異物吸引部材５４は、ブラシ支持杆４６と近接する後方に略平行となって位置するように基台部４３側から引き出された吸塵部５５と、該吸塵部５５にあって吸塵口５６と連通するようにして内部側に設けられている図示しない吸気部側にその一端側が連結され、他端側を図示しない空気引き装置側に接続させて吸塵口５６から吸引した異物を他所へと強制的に排出することができるようにした吸引管部５７とを備えて構成されている。
【００４３】
このような構成からなる基板搬送機構１２と基板保持機構２２と検査治具機構３２とピンクリーニング機構４２とは、図１に示す位置関係のもとで配置されている。すなわち、図１における位置Ａは、該Ａ位置にある基板保持機構２２に被検査基板２９を供給する位置とされており、位置Ｂは、該Ｂ位置にある基板保持機構２２が備える着脱手段２５を介して保持されている被検査基板２９が回転テーブル１３の所定位置に位置しているか否かをその表裏両面側から各別にチェックするＣＣＤカメラ（図示せず）が設置される位置とされており、位置Ｃは、該Ｃ位置にある基板保持機構２２に定置されている被検査基板２９の検査ポイントに表裏両面側からそれぞれのピンブロック３４側を接触させるための一対の検査治具機構３２が配設される位置とされており、位置Ｄは、該Ｄ位置にある基板保持機構２２から検査済みの被検査基板２９を搬出する位置とされている。
【００４４】
一方、図６に示す本発明の他例は、図１に示す本発明の一例と基本的な構成は同じであることから、図１との対応部位に同じ符号を付してその説明を省略するが、ピンクリーニング機構４２のみが図５に示すピンクリーニング機構４２とその具体的な構造を異にしていることから、図７に基づいてその相違点を以下に説明する。なお、図６に示すピンクリーニング機構４２は、図２にも示されているように、図３に示すピンクリーニング機構４２と同様に異物吸引部材５４を備えない構造のものを採用することもできる。
【００４５】
すなわち、図６に示す本発明の他例におけるピンクリーニング機構を図７の拡大斜視図に基づいて説明すれば、ピンクリーニング機構４２の全体は、図５と同様に基台部４３の外側垂直面４４に回動可能に回動片部４５が取着されており、該回動片部４５に対しその面方向とは略直交する外方向に突出させた状態のもとでブラシ支持杆４６の一端側が固着されている。また、基台部４３と回動片部４５との間に引っ張り用コイルバネ５２を介在させて回動片部４５の時計方向への回転運動を弾性的に支持規制させている点も同じである。
【００４６】
また、図６に示すピンクリーニング機構４２は、ブラシ支持杆４６の後方位置（回転テーブル１４の回転方向での後方側）に異物吸引部材５４を備えている点でも図５に示すピンクリーニング機構４２と同じである。
【００４７】
しかし、ブラシ体６９は、図５に示すブラシ体６９とは異なる支持角度のもとでブラシ支持杆４６に支持させることから、ブラシ体６９自体の形状のほか、該ブラシ体６９を支持するためのブラシ支持杆４６も図５に示す例とは異なる構造が採用されることになる。
【００４８】
すなわち、ブラシ体６９は、個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆４６に支持されることから、その傾斜分だけ図４に示すブラシ部の毛足長さよりもその毛足長さが長くなって形成されることになる。
【００４９】
また、ブラシ支持杆４６は、その長さ方向に沿わせてブラシ体４９を取り付けるための凹陥平坦面４７がその面方向をやや後上がり方向に傾けて形成されており、該凹陥平坦面４７にブラシ体４９の基端側を配置した上で、凹陥平坦面４７との対面側から着脱片４８をネジ止めすることでブラシ体４９を後傾させた状態のもとで着脱自在に取り付けることができるようになっている。
【００５０】
次に、上記構成からなる本発明の作用効果を図１に示す例に基づいて説明すれば、まず、図１における位置Ａでは、ここに位置している基板保持機構２２が備える着脱手段２５を開状態にした上で、その両面に設けられている検査ポイントが図示しない開口部に位置する位置関係のもとで被検査基板２９を供給配置した後、着脱手段２５を閉状態にして被検査基板２９を保持させる。
【００５１】
位置Ａに位置している基板保持機構２２は、基板搬送機構１２を構成している回転テーブル１３を９０度時計回りに回転させることにより、位置Ｂへと移動する。
【００５２】
位置Ｂでは、図示しないＣＣＤカメラにより現に位置している基板保持機構２２が備える着脱手段２５を介して保持されている被検査基板２９が予め定められている所定位置に位置しているか否かがチェックされ、その情報は検査治具機構３２側に送られて必要なアライメント処理が行われる。
【００５３】
位置Ｂに位置している基板保持機構２２は、必要なアライメント処理を経た後、基板搬送機構１２を構成している回転テーブル１３をさらに９０度時計回りに回転させることにより、位置Ｃへと移動する。
【００５４】
位置Ｃには、基板保持機構２２に定置されている被検査基板２９の検査ポイントに表裏両面側からそれぞれのピンブロック３４側を接触させるための一対の検査治具機構３２が配設されており、それぞれの検査治具部３３が備えるピンブロック３４のピン３５を位置Ｃへと移動してきた基板保持機構２２に保持されている被検査基板２９の表裏両面の検査ポイントに接触させて必要な検査が行われる。
【００５５】
位置Ｃに位置している基板保持機構２２は、該基板保持機構２２側に保持されている被検査基板２９に対する一対の検査治具機構３２による必要な検査が行われた後、基板搬送機構１２を構成している回転テーブル１３をさらに９０度時計回りに回転させることにより位置Ｄへと移動し、この位置でここに位置している基板保持機構２２が備える着脱手段２５を開状態として検査を終えた被検査基板２９が搬出される。
【００５６】
図１に示す基板搬送機構１２を介して行われる被検査基板２９に対する検査は、回転テーブル１３を９０度ずつ回転させることで、各基板保持機構２２を上記したような位置Ａ→位置Ｂ→位置Ｃ→位置Ｄへと移動させ、さらに位置Ａへと戻すことにより繰り返し行われることになる。
【００５７】
しかも、基板搬送機構１２を構成している回転テーブル１３には、既に説明した構造を備えるピンクリーニング機構４２が配設されているので、該ピンクリーニング機構４２を介して一対の検査治具機構３２の各検査治具部３３におけるピンブロック３４を構成している各ピン３５を自動的にクリーニングすることができることになる。
【００５８】
これをより詳しく説明すれば、ピンクリーニング機構４２は、回転テーブル１３の一側平面１３ａ側の一方の検査治具機構３２に対応させるために、図１に示す例では回転テーブル１３の位置Ｂに位置している基板保持機構２２の回転方向での前方に位置する縁辺１５側に配置されている一方のピンクリーニング機構４２と、回転テーブル１３の他側平面１３ｂ側の他方の検査治具機構（図示せず）に対応させるために、図１に示す例では回転テーブル１３の位置Ｂに位置している基板保持機構２２の回転方向での後方に位置する縁辺１５側に配置されている他方のピンクリーニング機構４２とで構成されている。
【００５９】
このため、前方に位置している一方のピンクリーニング機構４２は、例えば図１において位置Ｂに位置している基板保持機構２２が９０度回転して一方の検査治具機構３２一方の検査治具機構３２との対面位置に移動するに先だって、そのブラシ体５０のブラシ部５０の先端接触部５０ａが待機状態にある一方の検査治具機構３２の検査治具部３３が備えるピンブロック３４における多数のピン３５に摺接させることにより、検査に先立ってピンブロック３４側をクリーニングしておくことができる。
【００６０】
しかも、一方のピンクリーニング機構４２におけるブラシ支持杆４６は、引っ張りコイルスプリング５２を介在させたことにより、ピンブロック３４側にブラシ部５０を摺接させた際に過負荷となるに至る接触圧を緩和する方向に逃がしてやることができるので、ピンブロック３４側にダメージを与えることなく各ピン３５を効率よくクリーニングすることができる。
【００６１】
しかも、図１において位置Ｂに位置している基板保持機構２２は、このように一方の検査治具機構３２の検査治具部３３が備えるピンブロック３４における多数のピン３５が一方のピンクリーニング機構４２のブラシ部５０によりクリーニングされた後に一方の検査治具機構３２側に投入される結果、異物が除去されたピン３５を用いて被検査基板２９の検査ポイントに接触させて検査を正確に、かつ、効率よく行うことができる。
【００６２】
この場合、一方のピンクリーニング機構４２が図５に示すように異物吸引部材５４を備えている場合には、一方のピンクリーニング機構４２のブラシ部５０を摺接させてピン３５側から異物を除去した際に飛散させることなく吸塵口５６から吸引して吸引管部５７へと導いて外部へと排出することができる。
【００６３】
また、図１に示す例では回転テーブル１３の位置Ｂに位置している基板保持機構２２の回転方向での後方に位置する縁辺１５側に配置されている他方の他方のピンクリーニング機構４２は、位置Ｂに位置している基板保持機構２２が保持している被検査基板２９の検査が終了した後に、ブラシ部５０が図示しない他方の検査治具機構側を通過する結果、その際に該検査治具機構側のピンブロックにおける多数のピンに摺接させることにより、待機状態にある他方の検査治具機構のピンブロック側を同様にしてクリーニングすることができる。
【００６４】
一方、図６に示す本発明の他例は、図１に示す本発明の一例とはピンクリーニング機構の構造のみが異なっているだけなので、説明上の重複を避けるためにピンクリーニング機構４２の作用効果に限って以下に説明することとする。
【００６５】
すなわち、図６に示すピンクリーニング機構４２におけるブラシ体４９は、図７からも明らかなように個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆４６に支持させる必要があることから、その傾斜分だけ図４に示すブラシ部５０の毛足長さよりもその毛足長さを長くして形成されている。
【００６６】
このため、ブラシ体４９を後傾させてブラシ支持杆４６に支持させた状態にあっても、ブラシ部５０の先端接触部５０ａは、待機状態にある検査治具機構３２の検査治具部３３が備えるピンブロック３４における多数のピン３５に比較的弱い接触圧のもとで満遍なく円滑に摺接させることができるので、例えば図２（ここでは、異物吸引部材５４を備えていない例が示されている。）に示されているように、図５に示すブラシ部５０に比べ比較的弱い接触圧のもとで満遍なく円滑に摺接させて個々のピン３５をクリーニングすることができる。
【００６７】
また、ピンクリーニング機構４３は、引っ張りコイルスプリング５２を介在させたことにより、この場合においてもピンブロック３４側にブラシ部５０を摺接させた際に過負荷となるに至る接触圧を緩和する方向に逃がしてやることができるので、ピンブロック３４側にダメージを与えることなく各ピン３５を効率よくクリーニングすることができる。
【００６８】
さらに、図６に示すピンクリーニング機構４２は、異物吸引部材５４を備えているので、ブラシ部５０を摺接させてピン３５側から異物を除去した際に飛散させることなく吸塵口５６から吸引して吸引管部５７へと導いて外部へと排出することができる。
【００６９】
このため、本発明によれば、ピンクリーニング機構４２は、基板搬送機構１２が備える回転テーブル１３に固定配置された基台部４３に回動可能で、かつ、バネ部片である引っ張り用コイルバネ５２を介して回動方向での弾性的な支持を可能に取り付けられたブラシ支持杆４６に対しブラシ体４９を支持させて構成されているので、検査治具機構３２が備えるピンブロック３４側にブラシ体４９を摺接させた際の接触圧を緩和することでダメージを与えずにピンブロック３４側を効率よくクリーニングすることができることになる。
【００７０】
しかも、基板保持機構２２を介して回転テーブル１３側に定置されている被検査基板２９の検査ポイントに対しては、回転テーブル１３の回転に従ってピンクリーニング機構４２により順次クリーニングされたピンブロック３４を接触させて検査を正確に、かつ、効率よく行うことができることになる。
【００７１】
また、検査治具機構３２が被検査基板２９を両面方向からの各別での検査が可能な一対として配置され、ピンクリーニング機構４２も一方の検査治具機構３２と図示しない他方の検査治具機構との別に対応させるべく回転テーブル１３の少なくとも２カ所に配設されている場合には、被検査基板２９の表裏両面の検査ポイントにピンブロック３４側を接触させて正確に、かつ、効率よく検査を行うことができることになる。
【００７２】
さらに、ブラシ支持杆４６近傍に異物吸引部材５４を具備させたピンクリーニング機構４２を配置する場合には、ブラシ体４９をピンブロック３４側に摺接させた際に飛散しようとする異物を確実に吸引除去しながらクリーニングを行うことができる。
【００７３】
また、ブラシ体４９がピンブロック３４側のピン３５長さ方向を個々の毛足の長さ方向とする位置関係でブラシ支持杆４６に垂直支持されている場合には、ピンブロック側に対し比較的強い接触圧のもとで擦るように摺接させてピン相互間に入り込んでいる異物をより確実に掻き出すことができるので、それだけクリーニング効果を高めてやることができる。
【００７４】
さらに、ブラシ体４９が個々の毛足の長さ方向が後傾する位置関係でブラシ支持杆４６に支持されている場合には、ピンブロック３４側に対し比較的弱い接触圧のもとで満遍なく円滑に摺接させることができるので、その接触時に個々のピンが受けるダメージをそれだけ低減させることができる。
【００７５】
以上は、本発明を図示例に基づいて説明したものであり、本発明の要旨はこれに限定されるものではない。例えば、基板保持機構２２は、所望に応じて回転テーブル１３の３箇所や５箇所以上の位置に所定間隔をおいて配設することもできる。また、検査治具機構３２は、回転テーブル１３のいずれか一方の面と対面させて配置し、これに伴ってピンクリーニング機構４２も１箇所に配置するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１１  基板検査装置
１２  基板搬送機構
１３  回転テーブル
１３ａ一側平面
１３ｂ他側平面
１４  回転軸
１５  縁辺
１６  側縁部
２２  基板保持機構
２３  基部
２４  拡開突出部
２５  着脱手段
２９  被検査基板
３２  検査治具機構
３３  検査治具部
３４  ピンブロック
３５  ピン
４２  ピンクリーニング機構
４３  基台部
４４  外側垂直面
４５  回動片部
４６  ブラシ支持杆
４７  凹陥平坦面
４８  着脱片
４９  ブラシ体
５０  ブラシ部
５０ａ  接触端部
５０ｂ  基端部
５１  ブラシ保持部
５２  引っ張り用コイルバネ（バネ部片）
５３  ストッパー
５４  異物吸引部材
５５  吸塵部
５６  吸塵口
５７  吸引管部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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