(57)【要約】【課題】テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能な透明導電膜付きガラス基板を得ること。【解決手段】フロートガラス基板１と、前記フロートガラス基板１における酸化錫膜２が形成された錫面１ｂと反対側のエア面１ａ上に分散配置されたアルカリ金属の炭酸塩３ａと、前記エア面１ａ上および前記炭酸塩３ａ上に直接形成された透光性を有する透明導電膜４と、を備え、前記エア面１ａ上に形成された前記透明導電膜４と前記炭酸塩３ａ上に形成された前記透明導電膜４との結晶配向性が異なる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フロートガラス基板と、
前記フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上に分散配置されたアルカリ金属の炭酸塩と、
前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成された透光性を有する透明導電膜と、
を備え、
前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、
を特徴とする透明導電膜付きガラス基板。
【請求項２】
前記透明導電膜の表面に凹凸構造が形成されていること、
を特徴とする請求項１に記載の透明導電膜付きガラス基板。
【請求項３】
フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面と裏面電極層との間に、透光性を有する透明導電膜と光電変換を行う光電変換層とを有する薄膜太陽電池であって、
前記エア面上にアルカリ金属の炭酸塩が分散配置され、
前記透明導電膜が前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成され、
前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、
を特徴とする薄膜太陽電池。
【請求項４】
前記透明導電膜の表面に凹凸構造が形成されていること、
を特徴とする請求項３に記載の薄膜太陽電池。
【請求項５】
フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上にアルカリ金属の炭酸塩を分散して形成する第１工程と、
前記アルカリ金属の炭酸塩が形成された前記エア面上に透光性を有する透明導電膜を成膜して、前記エア面上と前記アルカリ金属の炭酸塩上とで結晶配向性が異なる前記透明導電膜を形成する第２工程と、
を含むことを特徴とする透明導電膜付きガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記透明導電膜の表面に凹凸構造を形成すること、
を特徴とする請求項５に記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。
【請求項７】
前記第１工程では、前記エア面に水分および炭酸ガスを供給することにより、前記フロートガラス基板から溶出したアルカリ金属の炭酸塩を形成すること、
を特徴とする請求項５または６に記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記第１工程と前記第２工程との間において、前記アルカリ金属の炭酸塩を所定の高さに調整して前記エア面の凹凸形状を調整すること、
を特徴とする請求項５〜７のいずれか１つに記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１つに記載の透明導電膜付きガラス基板の製造方法により透明導電膜付きガラス基板を形成する工程と、
前記透明導電膜上に半導体膜からなり光電変換を行う光電変換層を形成する工程と、
前記光電変換層上に、導電膜からなる裏面電極層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。
【請求項１０】
請求項３または４に記載の薄膜太陽電池の少なくとも２つ以上が電気的に接続されてなること、
を特徴とする薄膜太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電膜付きガラス基板およびその製造方法、薄膜太陽電池およびその製造方法、薄膜太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の薄膜太陽電池用に使用する透明導電膜付きガラス基板では、光閉じ込め効果を利用して太陽電池の光電変換効率を向上させるために、ガラス基板の表面に凹凸構造（テクスチャ構造）を形成することが行われている。ガラス基板の表面に凹凸構造を形成する手法として様々な手法が考案され、たとえば粗面化すべきガラス基板の表面に、遮光性微粒子が混合されたフォトレジストを塗布し、露光、現像の後に基板材料のエッチング剤を用いてエッチングすることにより円柱が多数分散した凹凸構造を形成する方法が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。そして、基板表面の凹凸が急峻になるにしたがって光散乱効果は大きくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特公平４−３６５８６号公報
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】Martin  Python  et.al.,  “Relation  between  substrate  surface  morphology  and  microcrystalline  silicon  solar  cell  performance”  Journal  of  Non-Crystalline  Solids  354,  2008,  p2258-2262
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の薄膜太陽電池によれば、基板表面の凹凸が急峻になるにしたがって光散乱効果が大きくなるが、表面の凹凸が急峻なガラス基板上に発電層膜を形成した場合には、発電層膜に欠陥が生じて太陽光発電の発電効率が低下することが知られている（たとえば、非特許文献１参照）。
【０００６】
さらに、凹凸構造を形状の制御性良く形成するためには写真製版等の高価な装置が必要であり、太陽電池の製造コストが高くなる、という問題点があった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能な透明導電膜付きガラス基板およびその製造方法、薄膜太陽電池およびその製造方法、薄膜太陽電池モジュールを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる透明導電膜付きガラス基板は、フロートガラス基板と、前記フロートガラス基板における酸化錫膜が形成された錫面と反対側のエア面上に分散配置されたアルカリ金属の炭酸塩と、前記エア面上および前記アルカリ金属の炭酸塩上に直接形成された透光性を有する透明導電膜と、を備え、前記エア面上に形成された前記透明導電膜と前記アルカリ金属の炭酸塩上に形成された前記透明導電膜との結晶配向性が異なること、を特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現できる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を模式的に示す断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を示すフローチャートである。
【図３】図３は、フロートガラス基板の合紙に挟まれた出荷状態を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明にかかる透明導電膜付きガラス基板およびその製造方法、薄膜太陽電池およびその製造方法、薄膜太陽電池モジュールの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。
【００１２】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を模式的に示す断面図である。図２は、本発明の実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法を示すフローチャートである。以下、本発明の実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法について図１および図２を参照して説明する。
【００１３】
まず、透光性絶縁基板としてフロートガラス基板１を用意し、表面を洗浄する。フロートガラス基板１は、フロート法により、錫を融解した上に融解したガラスを薄く浮かべることで製造される。したがって、フロートガラス基板１には、その製造方法に起因して、製造時において大気に曝されていたエア面１ａと錫に接していた錫面１ｂとの２種類の主面があり、錫面１ｂ側には、酸化錫膜２が形成されている（図１（ａ））。
【００１４】
つぎに、フロートガラス基板１のエア面１ａに、フロートガラス基板１中のアルカリ金属成分の炭酸塩３を形成する（ステップＳ１０、図１（ｂ））。フロートガラス基板１中のアルカリ金属成分、たとえばナトリウムイオン（Ｎａ＋）、リチウムイオン（Ｌｉ＋）、カリウムイオン（Ｋ＋）などは拡散によって表面に出てくる。ここで、Ｎａ＋イオンは、フロートガラス基板１の表面に大気中の水分が吸着していると、大きな水和物（Ｎａ水和物）を形成してフロートガラス基板１中に戻ることができなくなる。その代わりに、Ｈ＋イオンがフロートガラス基板１中に入っていくことにより、電荷の平衡（チャージバランス）が保たれる。
【００１５】
ここで雰囲気中に炭酸ガス（ＣＯ２ガス）が存在すると、Ｎａ水和物とＣＯ２ガスが反応して炭酸塩を生成し、炭酸塩の核が形成される。炭酸塩はその潮解性により大気中の水分を凝集して大きくなるとともに大気中のＣＯ２ガスにより中和されて結晶化して成長する。これにより、フロートガラス基板１のエア面１ａに炭酸塩が析出する。なお、ここではナトリウムイオン（Ｎａ＋）を例に説明したが、リチウムイオン（Ｌｉ＋）やカリウムイオン（Ｋ＋）などのアルカリ金属についても同様である。
【００１６】
本実施の形態では、炭酸塩の形成に必要な水分をフロートガラス基板１のエア面１ａに供給し、またＣＯ２ガスを供給するためにフロートガラス基板１を入れた高湿槽に炭酸ガスを導入して、フロートガラス基板１のエア面１ａ側に炭酸塩３を形成する。炭酸塩３を形成は、例えば６０℃、相対湿度ＲＨ（Relative  Humidity）９０％の条件で４８時間、大気中で行う。炭酸塩３を形成するためには、相対湿度はたとえば６０％程度以上とすることが好ましい。なお、温度を常温よりも高くするのは、上述した反応を促進させるためであり、常温でも構わない。
【００１７】
炭酸塩３は、フロートガラス基板１のエア面１ａの全面において微細な凸部形状で略均一に分散して形成される。したがって、炭酸塩３が形成されることにより、フロートガラス基板１のエア面１ａには微細な凹凸形状が略均一に形成される。ここで、凹部ではフロートガラス基板１のエア面１ａが露出している。なお、図１においては、理解の容易のため、炭酸塩３を誇張して示しているが、実際の炭酸塩３の大きさは高さ数ｎｍ〜３０ｎｍ程度、径数ｎｍ〜３０ｎｍ程度、ピッチ１μｍ〜数１００μｍ程度である。
【００１８】
つぎに、アルカリ液等の洗浄液を用いてフロートガラス基板１のエア面１ａを洗浄するとともにフロートガラス基板１のエア面１ａに形成した炭酸塩３の一部を除去して炭酸塩３の高さを調整する（ステップＳ２０、図１（ｃ））。洗浄条件としては、たとえばフロートガラス基板１の表面の濡れ性を改善するためにＵＶ等の照射により有機物除去を行い、２％ＫＯＨ薬液などのアルカリ溶液を用いたロールブラシ洗浄を行った後、水洗、乾燥を行う。これら一連の洗浄は、たとえばコンベアの上にフロートガラス基板１を載せて、２ｍ／分の搬送速度で行われる。そして、ロールブラシ洗浄においては、炭酸塩３の凸部は全て除去せずに、ある程度の高さの炭酸塩３ａを意図的に残存させて、エア面１ａの凹凸形状を調整する。ここでの炭酸塩３ａの高さは、たとえば数ｎｍ〜１０ｎｍ程度である。
【００１９】
なお、ここでは、ＫＯＨ薬液を用いたロールブラシ洗浄により炭酸塩３の一部を除去しているが、ロールブラシは炭酸塩３の除去の促進のために用いているため、ロールブラシを用いずに薬液のみで炭酸塩３の一部を除去してもよい。また、ロールブラシの代わりにアルカリ溶液を用いた超音波洗浄を行ってもよい。また、後述する透明導電膜４の表面形状に大きな凸形状として影響しない程度に炭酸塩３の凹凸が小さい場合には、炭酸塩３の一部除去を省略することも可能である。
【００２０】
つぎに、炭酸塩３ａが残存したフロートガラス基板１のエア面１ａ上に、透光性導電材料からなる透明導電膜として例えば酸化亜鉛からなる透明導電膜４を成膜する（ステップＳ３０、図１（ｄ））。透明導電膜４の表面状態は、炭酸塩３ａが残存したフロートガラス基板１のエア面１ａの凹凸形状に沿った形状とされる。酸化亜鉛からなる透明導電膜４は、フロートガラス基板１のエア面１ａ上と炭酸塩３ａ上とでは結晶成長性（結晶成長の方向）が異なる。このため、フロートガラス基板１のエア面１ａ上と炭酸塩３ａ上とでは、結晶配向性が異なる、異なる膜質を有する透明導電膜４が形成される。すなわち、透明導電膜４内には、結晶配向性が異なる、異なる膜質の透明導電膜が混在する。そして、フロートガラス基板１側から入射した光は、フロートガラス基板１のエア面１ａ上と炭酸塩３ａ上とに形成された異なる膜質の透明導電膜４の界面において散乱される。すなわち、フロートガラス基板１側から入射した光は、透明導電膜４内において散乱される。
【００２１】
なお、ここでは酸化亜鉛からなる透明導電膜４を例に説明しているが、安価な酸化亜鉛系材料、例えばアルミニウム（Ａｌ）やガリウム（Ｇａ）がドープされた酸化亜鉛膜や、その他の通常薄膜太陽電池の透明導電膜に用いられる材料も使用可能である。
【００２２】
つぎに、透明導電膜４の表面をたとえば塩酸などの薬液で少しエッチングし、透明導電膜４の表面にテクスチャ４ａを形成する（ステップＳ４０、図１（ｅ））。ここで、従来の薄膜太陽電池の透明導電膜４では、良好な光閉じ込め効果を得るために、表面の凹凸が急峻な大きな凹凸形状を形成する必要があった。
【００２３】
ガラス基板中のアルカリイオンは動き易いため、通常、薄膜太陽電池を形成する場合にはガラス基板からのアルカリイオンの溶出を抑えるためにガラス基板の表面にバリヤ層を形成し、その上に透明導電膜が形成される。しかしながら、バリヤ層上に形成した透明導電膜は結晶の配向性が強く、光の散乱が起こりにくい膜となる。このため、光閉じ込め効果を持たせるためには、透明導電膜の表面に凹凸を形成しなければならない。そして、高いヘイズ率を得るためには、たとえば７５ｎｍ〜３００ｎｍ程度の深い凹凸を形成する必要があり、その上に形成される光電変換層を構成する半導体膜中に欠陥が生じる。
【００２４】
しかしながら、本実施の形態にかかる薄膜太陽電池においては、上述したように透明導電膜４内においても入射光が散乱効果を有するため、従来のように透明導電膜４の表面の凹凸を急峻に設ける必要がなく、また高低差の大きな凹凸形状を形成する必要がない。すなわち、本実施の形態にかかる薄膜太陽電池では、フロートガラス基板１上に形成した後にエッチングにより表面に急峻な凹凸構造を形成した従来の透明導電膜よりも凹凸構造が浅くても、透明導電膜４全体として従来と同等のヘイズ率が得られる。このような透明導電膜４の表面の凹凸形状の大きさとしては、たとえば７５ｎｍ〜３００ｎｍ程度である。そして、表面の凹凸構造の深さ（高低差）を浅くできるため、透明導電膜４の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、ターゲットコストを低減できる。なお、ここでの凹凸構造の深さ（高低差）とは、エッチング後に形成された透明導電膜の凹凸高低差により定義される。
【００２５】
以上のような工程を実施することにより、フロートガラス基板１のエア面１ａ上と炭酸塩３ａ上とにおいて膜質の異なる膜を有し、従来よりもなだらかな凹凸構造を有するテクスチャ４ａが形成された透明導電膜４が得られ、実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板が得られる。
【００２６】
つぎに、テクスチャが形成された透明導電膜４上に、半導体膜からなり光電変換を行う光電変換層５を形成する（ステップＳ５０、図１（ｆ））。光電変換層５は、たとえばｐｉｎ接合を有するシリコン(Ｓｉ)系薄膜半導体層からなり、フロートガラス基板１の面方向に平行なｐ型半導体層５ａ、真性（ｉ型）半導体層５ｂおよびｎ型半導体層５ｃが、テクスチャが形成された透明導電膜４上に順次積層されたｐｉｎ半導体接合を含む。シリコン系薄膜半導体層は、例えばシリコン半導体、または炭素（Ｃ）、ゲルマニウム(Ｇｅ)、酸素（Ｏ）またはその他の元素の少なくとも１つが添加された薄膜から構成することができる。この光電変換層５は、プラズマＣＶＤ法または熱ＣＶＤ法等を用いて堆積形成される。
【００２７】
ここで、上述したように透明導電膜４の表面は従来のような急峻な凹凸形状とされていないため、この上に形成された光電変換層５では、透明導電膜４の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥が低減される。これにより、光電変換層５の膜中欠陥に起因した発電効率の低下を抑制して、高い光電変換効率を得ることができる。
【００２８】
続いて、光電変換層５上に、裏面電極層６を形成する（ステップＳ６０、図１（ｆ））。裏面電極層６は、高い反射率および導電性を有する、銀（Ａｇ）、アルミニウム、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、ロジウム（Ｒｈ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｒ）、チタン（Ｔｉ）、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）等から選択した少なくとも１種類以上の元素または合金からなる層により構成される。なお、これらの裏面電極層６の高反射率および導電性材料としての具体的材料は特に限定されるものではなく、周知の材料から適宜選択して用いることができる。以上の工程を実施することにより、実施の形態１にかかる薄膜太陽電池が得られる。
【００２９】
以上のような実施の形態１にかかる透明導電膜付きガラス基板の製造方法および薄膜太陽電池の製造方法によれば、フロートガラス基板１のエア面１ａに炭酸塩３ａを形成し、その上に透明導電膜４を成膜することにより、エア面１ａ上と炭酸塩３ａ上とにおいて結晶配向性が異なる、異なる膜質の透明導電膜が混在した透明導電膜４を形成する。これにより、透明導電膜４内の結晶配向性が異なる透明導電膜間の界面において入射光の散乱が生じ、光閉じ込め効果が得られる。
【００３０】
そして、透明導電膜４内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜４の表面（光電変換層５側）のテクスチャ構造を従来に比べて浅くなだらかな形状として、透明導電膜４の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥を低減することができる。透明導電膜４の表面のテクスチャ構造急峻で深い形状の場合と比べて、透明導電膜４の表面のテクスチャ構造による光閉じ込め効果は小さくなるが、透明導電膜４内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜４全体としては従来と同等のヘイズ率が得られる。
【００３１】
また、上述したように透明導電膜４の表面の凹凸構造の深さ（高低差）を浅くできるため、透明導電膜４自体の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、コストを低減できる。
【００３２】
さらに、フロートガラス基板１中のアルカリ金属の溶出を抑えるためのバリヤ層の形成が不要となるため、工程およびコストを削除できる。なお、高湿槽と二酸化炭素が必要となるが、高価な装置でなく、簡略な構成で実現可能であり、総合的に太陽電池の製造コストを低減できる。
【００３３】
したがって、実施の形態１によれば、テクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能である。
【００３４】
実施の形態２．
実施の形態１では、高湿槽にフロートガラス基板１を入れ、炭酸ガスを導入して炭酸塩３を形成する例を示したが、実施の形態２では、炭酸塩３の他の形成方法について説明する。通常、フロートガラス基板１は、ガラス工場から出荷される際には図３に示されるようにフロートガラス基板１間の仕切である合紙１１に挟まれて出荷される。図３は、フロートガラス基板１の合紙１１に挟まれた出荷状態を模式的に示す断面図である。そこで、この合紙１１に水分を含ませて、大気中に放置することによって、フロートガラス基板１の表面に炭酸塩３を形成できる。
【００３５】
すなわち、合紙１１に水分を含ませることにより、合紙１１に挟まれたフロートガラス基板１のエア面１ａ近傍は高湿度状態とされ、フロートガラス基板１のエア面１ａにも水滴が付着する。フロートガラス基板１のエア面１ａ側に溶出したＮａ＋イオンは、合紙１１に含まれる水分によって大きな水和物（Ｎａ水和物）を形成してフロートガラス基板１中に戻ることができなくなる。そして、Ｎａ水和物は、大気中のＣＯ２ガスと反応して炭酸塩を生成し、炭酸塩の核が形成される。炭酸塩はその潮解性により大気中の水分を凝集して大きくなるとともに大気中のＣＯ２ガスにより中和されて結晶化して成長する。これにより、フロートガラス基板１のエア面１ａに炭酸塩３が形成される。
【００３６】
そして、これ以降の炭酸塩３の形成以外は実施の形態１の場合と同様にして薄膜太陽電池を形成する。
【００３７】
上述した方法においても、実施の形態１の場合と同様にフロートガラス基板１のエア面１ａ側に、結晶配構成が異なり膜質の異なる透明導電膜が混在した透明導電膜４を形成することができる。これにより、透明導電膜４の表面（光電変換層５側）のテクスチャ構造を従来に比べて浅くなだらかな形状として、透明導電膜４の表面凹凸形状に起因した膜中欠陥を低減することができる。そして、透明導電膜４内において光閉じ込め効果が得られるため、透明導電膜４全体としては従来と同等のヘイズ率が得られる。
【００３８】
また、実施の形態１の場合と同様に透明導電膜４の表面の凹凸構造の深さを浅くできるため、透明導電膜４自体の膜厚を薄くすることが可能であり、材料コストおよび製膜時間を低減でき、コストを低減できる。
【００３９】
さらに、フロートガラス基板１中のアルカリ金属の溶出を抑えるためのバリヤ層の形成が不要となるため、工程およびコストを削除できる。
【００４０】
したがって、実施の形態２によれば、実施の形態１の場合と同様にテクスチャ構造に起因した光電変換効率の低下を防止して、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた薄膜太陽電池を安価に実現可能である。
【００４１】
また、上記の実施の形態で説明した構成を有する薄膜太陽電池セルをフロートガラス基板１のエア面１ａ上に複数形成し、隣接する薄膜太陽電池セル同士を電気的に接続することにより、良好な光閉じ込め効果を有し、光電変換効率に優れた薄膜太陽電池モジュールが実現できる。この場合は、隣接する薄膜太陽電池セルの一方の透明導電膜４と他方の裏面電極層６とを電気的に接続すればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上のように、本発明にかかる透明導電膜付きガラス基板は、光閉じ込め効果が高く光電変換効率に優れた安価な薄膜太陽電池の実現に有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１  フロートガラス基板
１ａ  エア面
１ｂ  錫面
２  酸化錫膜
３  炭酸塩
３ａ  炭酸塩
４  透明導電膜
４ａ  テクスチャ
５  光電変換層
５ａ  ｐ型半導体層
５ｂ  ｉ型半導体層
５ｃ  ｎ型半導体層
６  裏面電極層
１１  合紙
【図１】
2013021261.tif 000003
【図２】
2013021261.tif 000004
【図３】
2013021261.tif 000005