(57)【要約】      （修正有）【課題】郵便物・封筒・荷物等の非開被検査をするためのテラヘルツ分光計測装置およびその方法を提供する。【解決手段】左右円偏光間での吸収の差である円二色性、屈折率の差である光学活性は薬物等のキラリティのある試料にのみ発現し、封筒や梱包材には発現しないと考えられる。テラヘルツ分光計法において円二色性もしくは光学活性を測定すると、キラリティを有さない非対象物質に由来する不要な信号は観測されず、キラリティのある試料由来の信号のみを計測することができることから、本手法を用いることで検査の信頼性と感度を向上させることができる。【選択図】図１
2013167543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測方法であって、
テラヘルツ光源からテラヘルツ光を発生するステップと、
前記テラヘルツ光の偏光状態を右円偏光および左円偏光に円偏光させるステップと、
前記円偏光したテラヘルツ光を前記試料に照射するステップと、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出するステップと、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出するステップを有し、
前記試料の円二色性によりキラリティのある試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測方法。
【請求項２】
さらに前記検出した前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を直線偏光とするステップを有し、
前記直線偏光したテラヘルツ光から光学活性強度を抽出するステップを有することを特徴とする請求項１に記載のテラヘルツ分光計測方法。
【請求項３】
さらにキラリティが既知である試料の左手型分子構造と右手型分子構造の円二色性および光学活性を計測するステップを有し、
前記キラリティが既知である試料について前記計測された円二色性スペクトルおよび光学活性スペクトルの対称性によりテラヘルツ分光計測方法の正確性を検証するステップをさらに有することを特徴とする請求項１
乃至請求項２のいずれか１項に記載のテラヘルツ分光計測方法。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のテラヘルツ分光計測方法を有することを特徴とする郵便物自動検査方法。
【請求項５】
キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測装置であって、
テラヘルツ光を発生し得るテラヘルツ光源を備え、
前記発生したテラヘルツ光の偏光状態を右円偏光および左円偏光に円偏光させる手段を備え、
前記円偏光したテラヘルツ光を前記試料に照射する手段を備え、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出する手段を備え、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出する手段を備え、
前記試料の円二色性計測によりキラリティを有する試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測装置。
【請求項６】
キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測装置であって、
テラヘルツ光を発生し得るテラヘルツ光源を備え、
前記発生した円偏光テラヘルツ波を右円偏光と左円偏光に分割する手段を備え、
前記円偏光した二系統のテラヘルツ光を前記試料に照射する手段を備え、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出する手段を備え、
前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出する手段を備え、
前記試料の円二色性計測によりキラリティを有する試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測装置。
【請求項７】
さらに前記検出した前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を直線偏光する手段を備え、
前記直線偏光したテラヘルツ光から光学活性強度を抽出する手段を備えることを特徴とする請求項５乃至請求項６のいずれか１項に記載のテラヘルツ分光計測装置。
【請求項８】
さらにキラリティが既知である試料の左手型分子構造と右手型分子構造の円二色性および光学活性を計測する手段を有し、
前記キラリティが既知である試料について前記計測された円二色性スペクトルおよび光学活性スペクトルの対称性によりテラヘルツ分光計測装置の正確性を検証する手段をさらに備えることを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか１項に記載のテラヘルツ分光計測装置。
【請求項９】
請求項５乃至請求項８のいずれか１項に記載のテラヘルツ分光計測装置を備えることを特徴とする郵便物自動検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は郵便物・封筒・荷物等の非開被検査をするためのテラヘルツ分光計測装置およびその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
郵便物の郵送や荷物の配送を利用した麻薬等の禁止薬物や爆発物等の流通を阻止するためには、郵便局あるいは配送センターにおいて親書等を含めた郵便物等の被開披検査が必要である。
この被開披検査のために、テラヘルツ波の反射・透過分光を用いて麻薬等を検出する方法が提案されている（非特許文献１）。
【０００３】
また実際にテラヘルツ分光法を用いて郵便物の自動検査装置を行う装置が試作され、税関で試用に供されている（非特許文献２）。
【０００４】
郵便物の自動検査装置では、一般に、郵便物・荷物等の流通量は膨大であることから、あらかじめＸ線画像検査装置を用いて親書・荷物内部を非開披検査し、特定の形状を有する試料を抽出してからテラヘルツ分光法を用いる方法が提案されている（特許文献１）。
【０００５】
しかし上述の方法を用いるとしても膨大な郵便物・荷物等の全数検査を行うとなると、検査効率が重要な因子となり、テラヘルツ分光法が行う検査においても数通（個）/秒程度の処理速度が必要となってくる。
【０００６】
一方、テラヘルツ領域において、生体分子に円二色性が見られることがシミュレーションによって確認されている。（非特許文献３）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−０８４２７５
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】K. Kawase, Y. Ogawa, and Y. Watanabe,"Non-destructive Terahertz Imaging of Illicit Drugs using SpectralFingerprints", Opt. Express, Vol. 11 (2003) p.  2549.
【非特許文献２】大谷知行  他, 「違法薬物・危険物質の非開披探知装置の開発」成果報告書, （独）科学技術振興機構 重要課題解決型研究等の推進 平成16年度採択課題, 2005年.
【非特許文献３】Jing Xu et al.,"Terahertz Circular Dichroism Spectroscopy of Biomolecules", Proc. ofSPIE, Vol. 5268 (2004) p. 19.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従前、封筒や梱包材に覆われている郵便物や荷物、例えば封筒に納められた親書は開披できないため、封筒を通過するテラヘルツ波を照射してその吸収スペクトルを計測することで、親書内部を非開披に検査することが試みられている。
この場合、封筒を透過したテラヘルツ波の吸収スペクトルには、計測したい内容物である親書による吸収だけでなく封筒による吸収によるスペクトル構造が見られる。
また郵便物検査は日常の生活環境において行われるため、封筒を透過したテラヘルツ波の吸収スペクトルには、上述の吸収に加え、大気中に存在する湿度（水分）や埃による吸収も観測される。
さらに内容物が、例えば粉末試料である場合にはその粒径によってもテラヘルツ波の吸収スペクトルが変化して観測される。
以上のように、テラヘルツ波を用いたとしても、計測したい検査対象物の吸収スペクトルはそれ以外の物質の吸収スペクトルと混在して観測されたり、検査対象物の形状に依存したりして、検査対象物固有の吸収スペクトル分析がうまくゆかず、テラヘルツ吸収スペクトルを用いて郵便物・荷物等の非開披検査を行うことは困難であった。
なお吸収スペクトルの計測について実際の測定は透過あるいは反射スペクトルを測定する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測方法であって、テラヘルツ光源からテラヘルツ光を発生するステップと、前記テラヘルツ光の偏光状態を右円偏光および左円偏光に円偏光させるステップと、前記円偏光したテラヘルツ光を前記試料に照射するステップと、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出するステップと、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出するステップを有し、前記試料の円二色性によりキラリティのある試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測方法を提供する。
左右円偏光間での吸収の差である円二色性、屈折率の差である光学活性は波長域を選ぶことによって薬物等のキラリティのある試料にのみ発現する。
テラヘルツ分光計法においてそれらの円二色性もしくは光学活性を測定すれば、キラリティを有さない非対象物質に由来する不要な信号は観測されず、キラリティのある試料由来の信号のみを計測することができる。
すなわち封筒・プラスチックなどの容器の形状・厚さ・種類や湿度、対象物質の形状と言った検査諸条件は無視でき、キラリティのある試料のみを識別できるので、高精度な検査が期待できる。
【００１１】
本発明は、さらに前記検出した前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光テラヘルツ光を、再度直線偏光とするステップを有し、前記直線偏光したテラヘルツ光の強度変化等を用いて光学活性強度を抽出するステップを有することを特徴とする上に記載のテラヘルツ分光計測方法を提供する。
キラリティのある試料は、その光学活性の計測によっても識別することができる。
【００１２】
本発明は、さらにキラリティが既知である試料の左手型分子構造と右手型分子構造の円二色性および光学活性を計測するステップを有し、前記キラリティが既知である試料について前記計測された円二色性スペクトルおよび光学活性スペクトルの対称性によりテラヘルツ分光計測方法の正確性を検証するステップをさらに有することを特徴とする上に記載のテラヘルツ分光計測方法を提供する。
この検証法により本発明の方法の正確性が担保される。
【００１３】
また以上に述べたテラヘルツ分光計測方法を有することを特徴とする郵便物自動検査方法を提供できるので、従前に比べて、郵便物の効率的な非開披検査が可能となる。
【００１４】
さらに本発明は、キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測装置であって、テラヘルツ光を発生し得るテラヘルツ光源を備え、前記発生したテラヘルツ光の偏光状態を右円偏光および左円偏光に円偏光させる手段を備え、前記円偏光したテラヘルツ光を前記試料に照射する手段を備え、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出する手段を備え、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出する手段を備え、前記試料の円二色性計測によりキラリティを有する試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測装置を提供する。
【００１５】
本発明はまた、キラリティのある試料を識別し得るテラヘルツ分光計測装置であって、テラヘルツ光を発生し得るテラヘルツ光源を備え、前記発生した円偏光テラヘルツ波を右円偏光と左円偏光に分割する手段を備え、前記円偏光した二系統のテラヘルツ光を前記試料に照射する手段を備え、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を検出する手段を備え、前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光から、前記試料の円二色性を抽出する手段を備え、前記試料の円二色性計測によりキラリティを有する試料を識別することを特徴とするテラヘルツ分光計測装置を提供できる。
上に記載した手段において右円偏光と左円偏光の円偏光テラヘルツ光を２系統として各々の検出器で計測しその後分析器で統合分析する装置である。
【００１６】
さらに前記検出した前記試料を透過した前記円偏光したテラヘルツ光、および前記試料により反射した前記円偏光したテラヘルツ光を直線偏光する手段を備え、前記直線偏光したテラヘルツ光から光学活性強度を抽出する手段を備えることを特徴とする上に記載のテラヘルツ分光計測装置を提供する。
キラリティのある試料は、上のいずれの装置でも、その光学活性の計測によっても識別することができる。
【００１７】
さらにキラリティが既知である試料の左手型分子構造と右手型分子構造の円二色性および光学活性を計測する手段を有し、前記キラリティが既知である試料について前記計測された円二色性スペクトルおよび光学活性スペクトルの対称性によりテラヘルツ分光計測装置の正確性を検証する手段をさらに備えることを特徴とする上に記載のテラヘルツ分光計測装置を提供する。
この検証手段により本発明の装置の正確性が担保される。
最終的には、以上に述べたテラヘルツ分光計測装置を備えることを特徴とする郵便物自動検査装置が提供されるので、従前に比べて、郵便物の効率的な非開披検査が可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
上述したように、本発明によって、テラヘルツ光を用いた透過・反射スペクトル分析から、対象検査物以外の交雑物、水蒸気、梱包材等の影響を取り除くことができるようになり、対象検査物のみの情報を得ることができるようになった。
また、計測される円二色性および光学活性を利用して、薬品類の光学純度を測定することが可能となった
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１（ａ）は一般的な透過・反射スペクトル分析手法における結果の一例を表わし、図１（ｂ）は本発明による円二色性分光手法における結果の一例を表わしている。
【図２ａ】本発明を用いた薬物検査手法において円二色性計測手法の概要を示す模式チャートである。
【図２ｂ】本発明を用いた薬物検査手法において光学活性計測手法の概要を示す模式チャートである。
【図３】テラヘルツ領域の円偏光を利用した分光手法（円二色性ならびに光学活性）の有効性を検証する処理の概要を示している。
【図４】テラヘルツ領域の円二色性を利用した郵便物検査装置の例である。
【図５】テラヘルツ領域の円二色性を利用した郵便物検査装置のその他の例である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２０】
以下に、本発明であるテラヘルツ分光計測方法の概要について、図１を用いて説明する。
図１（ａ）は一般的な透過・反射スペクトル分析手法における結果の一例を表わし、図１（ｂ）は本発明による円二色性分光手法における結果の一例を表わしている。
一般にテラヘルツ分光計測では、図１（ａ）に示すように、試料の信号（１）だけでなく、試料を包んでいる容器や梱包材に由来するバックグラウンド信号（４）、水蒸気（３）や夾雑物由来の信号（２）が重畳して計測される。
そのため各対象で異なるバックグラウンドや計測環境の変化の影響を正確に考慮して試料の信号（１）のみに対して信頼性の高い計測を行うことは難しかった。
【００２１】
左右円偏光間での吸収の差である円二色性、屈折率の差である光学活性はキラリティのある試料にのみ発現する。
本発明では、図１（ｂ）に示すように、キラリティのある試料の円二色性もしくは光学活性を測定する。
円二色性もしくは光学活性を測定すると、キラリティを有さない夾雑物由来の信号（２）等は観測されないので、試料由来の信号（１）のみ計測することができる。
すなわち容器の形状・厚さ・種類や環境湿度等本来試料に由来しない検査諸条件は無視でき、試料に照準をあわせた高精度な検査をすることができる。
【００２２】
図２は本発明を実施する装置の構成を示している。
図２ａを用いて、薬物検査を目的とした円二色性計測について説明する。
テラヘルツ光源（３１）から出たテラヘルツ光（２１）を試料台（２６）に載せた試料（２５）に照射する。キラリティを有する物質の多くは、透過光や反射光の強度に円偏光の左右で差が生じるため、右円偏光（２３）と左円偏光（２４）の透過・反射スペクトルには違いが見られる。透過・反射テラヘルツ光（２７）を検出器（２９）で測定し、左円偏光と左円偏光間での試料透過・反射光強度の差、すなわち円二色性を抽出して計測する。
【００２３】
以下、本手法について詳しく説明する。円偏光テラヘルツ波（２３）（２４）を発生し、試料台（２６）に載せた試料（２５）へ照射する。テラヘルツ光源（３１）から発生したテラヘルツ光（２１）を円偏光とし、何らかの方法で左円偏光状態および右円偏光状態を切り替えて照射する。ここで円偏光状態を切り替える一つの方法として、例えば波長板を入射光に垂直な面内方向で回転させるものが挙げられるがこれに限らない。右偏光（２３）に対する吸収と、左偏光（２４）に対する吸収の差は非常にわずかであるため、試料透過光もしくは反射光（２７）を検出器（２９）で検出し、ロックインアンプ（３０）等を用いて円偏光の切り替え周波数と同じ周波数成分の信号を抽出して計測することで、左右円偏光での透過・反射強度の差、すなわち円二色性を高感度で計測する。このとき左円偏光状態および右円偏光の切り替え周波数信号を参照信号（２２）としてロックインアンプ（３０）に入力する。
キラリティのある物質の円二色性スペクトルには、ある波長域において左右円偏光の吸収に差が見られ、これが正あるいは負のピークとしてスペクトル上に観測される。これによってキラリティのある試料を識別する。キラリティのない試料は、左右円偏光に対する吸収が等しいため、スペクトルの差分を取ると原理的にはゼロとなることから、キラリティのある物質のみを高感度に検出できる。
【００２４】
次に図２ｂを用いて、薬物検査を目的とした光学活性計測について説明する。
光学活性を測定する場合は試料（２５）と検出器（２９）間にさらに直線偏光子（２８）を挿入し、円二色性計測時と同様に試料透過光もしくは反射光（２７）を検出器（２９）で検出し、ロックインアンプ（３０）等を用いて円偏光の切り替え周波数と同じ周波数成分の信号を抽出して計測することで、光学活性を高感度で計測する。これによってキラリティのある試料が識別できる。このとき左円偏光状態および右円偏光の切り替え周波数信号を参照信号（２２）としてロックインアンプ（３０）に入力する。
【００２５】
効果的かつ効率的に試料の弁別や特定を行うためには、試料や測定条件によって円二色性もしくは光学活性のどちらを用いるかを適宜選択する。
円偏光テラヘルツ波の波長は試料によって選択することが可能であり、試料の円二色性・光学活性がよくあらわれる波長であればテラヘルツ光に限定しなくてもよい。
【実施例２】
【００２６】
次に図３を用いて、本発明の有効性を検証する方法について説明する。
【００２７】
アスパラギン酸などの、キラリティが既知である試料を封書等に封緘した状態で円二色性を計測し、本手法の有効性を検証する例を示す。
一般的に、光学活性スペクトルと円二色性スペクトルとにはクラマース・クローニッヒの関係があり、複素屈折率においては、光学活性スペクトルと円二色性スペクトルはどちらか一方を測定すればもう一方は計算で求めることができることが知られている。
本実施例は、このことを利用して本発明の有効性を検証する方法である。
【００２８】
検証用試料のひとつであるアミノ酸の一種であるアスパラギン酸は左手型（１５）と右手型（１６）の分子構造を有してキラリティがあり、また波数４５(ｃｍ-1）近傍に吸収ピークを持つことが知られている。波数とは波長の逆数である。
そこで波数４５(ｃｍ-1）近傍において、左手型（１５）と右手型（１６）の分子構造を持つアスパラギン酸に対して円二色性と光学活性計測を行い、それぞれの波長スペクトル（１７）と（２０）、および（１８）と（１９）が４５（ｃｍ-1）を中心として短波長側と長波長側で形が対称であるかを確認する。また円二色性スペクトルと光学活性スペクトル間にクラマース・クローニッヒの関係が成り立つかどうかを確認する。
【００２９】
円二色性と光学活性について波長スペクトルが対称であること、またクラマース・クローニッヒの関係の成立が確認されれば、正確な信号が計測された証拠となる。
【実施例３】
【００３０】
図４を用いて、本手法を用いた郵便物検査装置の例を示す。テラヘルツ光源（３１）から発生した直線偏光テラヘルツ波（２１）を波長板（３２）を用いて右円偏光（２３）および左円偏光（２４）に変換し、波長板（３２）の回転角あるいは円偏光度などの位相情報を参照信号（２２）としてロックインアンプ（３０）へ入力する。波長板（３２）は、電子ビームに偏光変調磁場を印加することで左右の円偏光を動的に変調するための磁場発生器、あるいは電気的に位相変調する素子としてもよい。いずれにせよ、円偏光テラヘルツ波を高速で位相変調させることができればよい。
ここで発生した円偏光テラヘルツ波（２３）（２４）を、試料送り台（３４）に載せた郵便物（３３）に照射し、検出器（２９）を用いて、透過あるいは反射光を測定し、これをロックインアンプ（３０）に入力して、円二色性が抽出されて計測される。検出器（２９）は分光を行う能力があるものとする。左右の円偏光を切り替える際の偏光変調周波数（ν）は、画素の大きさをｄとして次の数式（１）で表される。
【数１】
2013167543.tif 000003
（１）
ここでｎは画素あたりの偏光切り替え回数、ｖは試料送り台（３４）の移動速度である。例えば試料の送り速度を毎秒１０ｃｍ、画素サイズを１ｍｍ、画素あたりの偏光切り替え回数を１００とした場合、νは１０ｋＨｚとなるため、波長板（３２）を高速で回転する必要がある。このような場合、テラヘルツ波に任意の位相遅れを生じさせる電気的な素子等を用いると良い。また、このような高速の測定を行うには高強度のテラヘルツ光源が必要となるが、電子加速器等から発生するコヒーレント放射などを用いることで解決が可能である。
図５に検査装置の他の例を示す。テラヘルツ光源（３１）から発生したテラヘルツ波（２１）を偏光スプリッター（３５）を用いて分岐させ、右円偏光（２３）と左円偏光（２４）とする。図５の例では直進光は右円偏光（２３）とし、分岐光は左円偏光（２４）として９０度方向を変えさらにミラー（３７）で９０度方向を戻して、試料送り台（３４）に載せた郵便物（３３）へ、直進光とは異なる位置で照射される。それぞれの透過光、反射光（２７）は検出器（２９）によって検出され、透過あるいは反射光スペクトルを測定する。検出器（２９）は分光を行う能力があるものとする。それぞれの信号は分析器（３６）によって分析され、円二色性や光学活性が抽出されて計測される。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
メタンフェタミンなどの麻薬物質はテラヘルツ領域に特徴的な吸収を持ち、かつキラリティを有しているため、円二色性・光学活性も同様にテラヘルツ領域に発現すると予測される。
本手法を用いると、キラリティを持たない物質は信号として観測されないため、キラリティのある物質だけを高感度で検出することが可能である。そのため、試料中の夾雑物、周囲の水蒸気、梱包材などのバックグラウンド信号を効果的かつ効率的に除去可能であり、郵便局・税関・配送センターでの郵便物・親書・荷物等の効率的な非開披検査が可能となった。
また本発明はキラリティを有する成分を含む医薬品の多形分析、テラヘルツ領域のエリプソメトリーにも有効である。
【符号の説明】
【００３２】
１    試料の信号（真）
２    夾雑物の信号（偽）
３    水蒸気などの信号（偽）
４    梱包材の信号（偽）
５    左手型分子に対する円二色性スペクトルの例
６    右手型分子に対する円二色性スペクトルの例
７    左手型試料の例としてＬ-アスパラギン酸の分子構造
８    右手型試料の例としてＤ-アスパラギン酸の分子構造
１１  吸収スペクトルを測定
１２  円二色性と光学活性を測定
１３  左手型と右手型が対称となることを証明
１４  円二色性と光学活性間におけるクラマース・クローニッヒ関係の成立の証明
１５  左手型試料の例としてＬ-アスパラギン酸の分子構造
１６  右手型試料の例としてＤ-アスパラギン酸の分子構造
１７  左手型の分子構造の円二色性スペクトル
１８  左手型の分子構造の光学活性スペクトル
１９  右手型の分子構造の光学活性スペクトル
２０  右手型の分子構造の円二色性スペクトル
２１  テラヘルツ光
２２  参照信号
２３  右円偏光
２４  左円偏光
２５  試料
２６  試料台
２７  透過光、反射光
２８  偏光子
２９  検出器
３０  ロックインアンプ
３１  テラヘルツ光源
３２  波長板
３３  郵便物
３４  試料送り台
３５  偏光スプリッター
３６  分析器
３７  ミラー
【図１】
2013167543.tif 000004
【図２ａ】
2013167543.tif 000005
【図２ｂ】
2013167543.tif 000006
【図３】
2013167543.tif 000007
【図４】
2013167543.tif 000008
【図５】
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