(57)【要約】【課題】１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単な非分散型赤外ガスセンサを提供する。【解決手段】１つの光源２と、光源を取り囲み、光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部１４と、それぞれ異なる位置に配置され、反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部６と、を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、光源を頂点とし、複数の赤外線検出部を結んで形成される仮想円Ｃを底面とした仮想円錐が形成されるように、光源及び赤外線検出部が配置されており、凹曲面は、仮想円の外周上に設定される第１焦点Ｆ１と、光源を第２焦点Ｆ２とする楕円体を、第１焦点と第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体ＥＬ１、ＥＬ２であって、第１焦点を仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される。【選択図】図１
2013002966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線を放射する１つの光源と、
前記光源を取り囲み、前記光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部と、
それぞれ異なる位置に配置され、前記反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部と、
を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、
前記光源を頂点とし、複数の前記赤外線検出部を結んで形成される仮想円を底面とした仮想円錐が形成されるように、前記光源及び前記赤外線検出部が配置されており、
前記凹曲面は、前記仮想円の外周上に設定される第１焦点と、前記光源を第２焦点とする楕円体を、前記第１焦点と前記第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、
前記第１焦点を前記仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての前記回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される
非分散型赤外ガスセンサ。
【請求項２】
赤外線を放射する１つの光源と、
前記光源を取り囲み、前記光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部と、
それぞれ異なる位置に配置され、前記反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部と、
を備えた非分散型赤外ガスセンサであって、
前記光源と前記赤外線検出部とは同一平面上にあって、
さらに、前記反射部で反射された赤外線を反射させて前記赤外線検出部へ入射させる第２の反射部を備え、
前記光源を頂点とし、前記複数の赤外線検出部がそれぞれ配置された位置を前記第２の反射部を対称面として得られる鏡像間を結んで形成される仮想円を底面とした仮想円錐が形成されるように、前記光源及び前記赤外線検出部が配置されており、
前記凹曲面は、前記仮想円の外周上に設定される第１焦点と、前記光源を第２焦点とする楕円体を、前記第１焦点と前記第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、
前記第１焦点を前記仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての前記回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げつつ、前記同一平面より前記光源側に形成される
非分散型赤外ガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調管理、工業プロセスの雰囲気の管理、種々の気体の漏洩検知などに用いることができる非分散型赤外ガスセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
非分散型赤外ガスセンサ(Non- dispersive Infrared Gas Anaryzer；NDIR)は、赤外線を放射する光源と、赤外線の光量を検知する赤外線検出部との間に被測定ガスを通過させ、赤外線が被測定ガスによって吸収されることを利用してガス濃度を測定するものである。又、赤外線検出部の前には波長選択用の光学フィルタが配置され、ガス分子（CO、CO2等）の分子構造によって決まる特定波長の赤外線のみを透過させ、ガス種を判別するようになっている。なお、被測定ガスを筒（セル）中に流す「クローズ・パス配置形式」と、セルを用いずに光源と赤外線検出部との間がガスを流通させる開放空間となっている「オープン・パス配置形式」とがある。
このような赤外ガスセンサとして、同一平面（回路基板）上に光源と受光器とを配置し、これらの上方に凹面反射鏡を配置した構成が開示されている（特許文献１参照）。又、特許文献１には、凹面反射鏡がそれぞれ異なる焦点の楕円形状を有する複数のミラーを組み合わせて構成され、反射光束が集束する複数の位置にそれぞれ受光器を配置した構成も開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８４８０３号公報（図６〜図９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記構成の赤外ガスセンサの場合、光源が１つだけの構成で複数の受光器を配置するためには、凹面反射鏡が、それぞれ異なる焦点の楕円形状を有する複数のミラーを組み合わせて構成される複雑な形状となる。そのため、製造コストが上昇するほか、配置する受光素子の数が増えるにつれて凹面反射鏡の形状がより複雑になるため、製造が困難になる虞があった。
そこで、本発明は、１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単な非分散型赤外ガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の非分散型赤外ガスセンサは、赤外線を放射する１つの光源と、前記光源を取り囲み、前記光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部と、それぞれ異なる位置に配置され、前記反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部と、を備え、前記光源を頂点とし、複数の前記赤外線検出部を結んで形成される仮想円を底面とした仮想円錐が形成されるように、前記光源及び前記赤外線検出部が配置されており、前記凹曲面は、前記仮想円の外周上に設定される第１焦点と、前記光源を第２焦点とする楕円体を、前記第１焦点と前記第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、前記第１焦点を前記仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての前記回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される。
この赤外ガスセンサによれば、光源が仮想円の外周（円弧）を通る平面（つまり、赤外線検出部の位置）と同一平面上に無いので、セル長を比較的長くすることができ、又、ガスセンサの幅をあまり広げずに済む。又、反射部として、回転楕円体の内面である凹曲面を用いることで構造が簡単となり、例えば金属の絞り加工や樹脂の射出成形等によって容易に製造できる。その結果、１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単で低コストとすることができる。
【０００６】
又、本発明の非分散型赤外ガスセンサは、赤外線を放射する１つの光源と、前記光源を取り囲み、前記光源からの赤外線を反射させる凹曲面を有する反射部と、それぞれ異なる位置に配置され、前記反射部で反射された赤外線を検出する複数の赤外線検出部と、を備え、前記光源と前記赤外線検出部とは同一平面上にあって、さらに、前記反射部で反射された赤外線を反射させて前記赤外線検出部へ入射させる第２の反射部を備え、前記光源を頂点とし、前記複数の赤外線検出部がそれぞれ配置された位置を前記第２の反射部を対称面として得られる鏡像間を結んで形成される仮想円を底面とした仮想円錐が形成されるように、前記光源及び前記赤外線検出部が配置されており、前記凹曲面は、前記仮想円の外周上に設定される第１焦点と、前記光源を第２焦点とする楕円体を、前記第１焦点と前記第２焦点とを結ぶ直線を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、前記第１焦点を前記仮想円の外周に沿って移動させた際に得られる全ての前記回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げつつ、前記同一平面より前記光源側に形成される。
この赤外ガスセンサによれば、光源が仮想円の外周（円弧）を通る平面（つまり、第２の反射部を対称面として、赤外線検出部の上記鏡像となる第１焦点の位置）と同一平面上に無いので、セル長を比較的長くすることができ、又、ガスセンサの幅をあまり広げずに済む。又、反射部として、回転楕円体の内面である凹曲面を用いることで簡易な構成の凹面反射鏡となり、例えば金属の絞り加工や樹脂の射出成形等によって容易に製造できる。その結果、１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、構造が簡単で低コストとすることができる。
さらに、光源が赤外線検出部と同一平面上にあるので、光源と赤外線検出部の実装が容易となって生産性が向上する。又、この平面を下にして非分散型赤外ガスセンサを設置し易い。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、セル長を比較的長くすることができ、又、ガスセンサの幅をあまり広げずに済む。又、反射部として、回転楕円体の内面である凹曲面を用いることで構造が簡単となり、１つの光源で複数の赤外線検出部に簡易な構成の凹面反射鏡で集光させることができ、コスト低減が図られる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の発明の実施形態に係る非分散型赤外ガスセンサ（ＣＯ２ガスセンサ）の斜視図である。
【図２】従来の赤外ガスセンサと本発明の赤外ガスセンサの光源と赤外線検出部の配置状態を示す断面図である。
【図３】赤外線検出部が１つの円周上に位置しないと仮定した場合の反射部の位置を示す断面図である。
【図４】反射部の横断面を示す断面図である。
【図５】本発明の第２の発明の実施形態に係る非分散型赤外ガスセンサ（ＣＯ２ガスセンサ）の斜視図である。
【図６】図５の非分散型赤外ガスセンサを基台に垂直な平面で切断した断面図である。
【図７】図５の非分散型赤外ガスセンサの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１の発明の実施形態に係る非分散型赤外ガスセンサ（ＣＯ２ガスセンサ）１１０の斜視図を示す。非分散型赤外ガスセンサ１１０は、赤外線を放射する１つの光源２と、光源２を取り囲み光源２からの赤外線Ｓ１を反射させる凹曲面を有する反射部１４と、それぞれ異なる位置に配置され反射部１４で反射された赤外線Ｓ２を検出する４個の赤外線検出部６と、赤外線検出部６の表面に配置されて特定波長の赤外線を赤外線検出部６へ透過させる波長選択手段８と、を備えている。
赤外線検出部６（及び波長選択手段８）は円筒状の基台２０上に配置（実装）されている。基台２０は半導体パッケージ（ＴＯ；Transistor Outline）となっていて、基台２０上に４個の赤外線検出部６が実装されている。この半導体パッケージ内には、光源２、赤外線検出部６に電力を供給する配線と共に、光源２の点灯や赤外線検出部６の検出信号の変換や外部への伝送等を制御する回路の少なくとも一部が併設されていてもよい。
又、反射部１４と基台２０とは長軸方向ＬＡに離間しており、両者の間に円筒状の筒状体５５が介装されており、この筒状体５５の内側にガス測定室５０が設けられている。ガス測定室５０の上方と下方（換言すれば、筒状体５５自身）には、それぞれガス導入孔５１及びガス排出孔５２が形成され、被測定ガスはガス導入孔５１からガス測定室５０内に導入されてガス排出孔５２から排出されるようになっている。つまり、非分散型赤外ガスセンサ１１０は、被測定ガスを閉鎖空間であるガス測定室５０（セル）に導入させる「クローズ・パス配置形式」で構成され、反射赤外線Ｓ２がガス測定室５０を通過する際に被測定ガスによって吸収されることを利用して、ガス濃度を測定可能になっている。
【００１０】
ここで、光源２及び赤外線検出部６は、当該光源２を頂点とし、複数の赤外線検出部６を結んで形成される仮想円Ｃを底面とした仮想円錐が形成されるように配置されている。つまり、光源２及び赤外線検出部６は同一平面上になく、図１では光源２が左側に位置し、赤外線検出部６が右側に位置している。
又、反射部１４の内面を構成する凹曲面は、仮想円Ｃの外周（円弧）上に設定される第１焦点Ｆ１と、光源２を第２焦点Ｆ２とする楕円体（図１では２つの楕円体ＥＬ１、ＥＬ２のみ表示）を、第１焦点Ｆ１と第２焦点Ｆ２とを結ぶ直線（図１では２つの直線Ｌ１、Ｌ２のみ表示）を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、かつ第１焦点Ｆ１を仮想円Ｃの外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げて形成されるものである。
なお、図１の左右方向（長軸Ｌ１、Ｌ２の延びる方向）を長軸方向ＬＡとする。図１では、４個の赤外線検出部６（及び波長選択手段８）は仮想円Ｃの円弧上に等分配置されているが、反射部１４が回転対称体であることから、反射赤外線Ｓ２の強度は仮想円Ｃ上のどの位置でも一定であるので、赤外線検出部６を等分配置しなくてもよい。
【００１１】
光源２としては、例えばタングステンランプ等の電球や、ヒータ等の発熱抵抗体からなる白色光源が挙げられる。
反射部１４は、例えばプラスチック又は金属で構成することができ、プラスチックの内面には赤外線の反射率が高い金属（アルミニウム、クロムなど）の膜を被覆するとよい。また、筒状体５５は、例えばプラスチック又は金属で構成することができる。
赤外線検出部６としては、例えばサーモパイル素子(TP)、焦電素子、フォトダイオード(PD)が挙げられる。
波長選択手段８としては、例えば波長選択フィルタ、回折格子、ファブリペローフィルタ等が挙げられる。波長選択フィルタは、例えばサファイヤ、石英ガラス、シリコン、ゲルマニウム、セレン化亜鉛などの赤外線透過材料からなる基板の表面に複数の透明膜を積層させることによって形成される。なお、一部の赤外線検出部６の表面に配置される波長選択手段（波長選択フィルタ）８はＣＯ２の特性吸収帯域の赤外光のみを通過させるバンドパスフィルタであり、この赤外線検出部６はＣＯ２の検出部となっている。又、他の赤外線検出部６の表面に配置される波長選択手段（波長選択フィルタ）８はＣＯ２の特性吸収帯域以外の赤外光のみを通過させるバンドパスフィルタであり、この赤外線検出部６はＣＯ２の比較部（ブランク）となっている。
【００１２】
次に、本発明の第１の発明の特徴部分である反射部１４の形状及び赤外線検出部６の配置について説明する。
まず、図２（ｂ）に示すように、本発明の第１の発明においては、赤外線検出部６（図２の第１焦点Ｆ１）は１つの仮想円Ｃの外周上に位置し、かつ光源２（図２の第２焦点Ｆ２）が仮想円Ｃを通る平面（第１焦点Ｆ１）と同一平面上に無い。これに対し図２（ａ）に示すように、従来の赤外ガスセンサ（特許文献１）の場合、光源２（第２焦点Ｆ２）と赤外線検出部６（第１焦点Ｆ１）とが同一平面上に位置し、反射部１４００によって赤外線が折り返し光路Ｓ１、Ｓ２を形成するためにセル長が比較的短くなり、セル長を長くしようとするとガスセンサの平面方向の幅が大きくなる。
一方、上記したように、本発明の第１の発明（図２（ｂ））においては光源２（第２焦点Ｆ２）が赤外線検出部６（第１焦点Ｆ１）と同一平面上に無いので、セル長を比較的長くすることができ、又、ガスセンサの幅をあまり広げずに済む。
【００１３】
又、本発明の第１の発明においては、図２（ｂ）に示すように、反射部４として、回転楕円体ＥＬ１、ＥＬ２の内面の一部をそれぞれ繋げて形成される凹曲面を用いることで、光源２が赤外線検出部６と同一平面上に無くても、１個の光源２からの赤外線を凹曲面（反射部４）で反射させて複数の赤外線検出部６に集光させることができる。
これに対し、仮に図２（ｂ）において、回転楕円体Ｌ１、ＥＬ２の内面のうち、反射部４と反対側の凸曲面４００を反射部に用いた場合、セル長を長くするために長軸Ｌ１、Ｌ２のなす角を小さくすると、光源２（第２焦点Ｆ２）から凸曲面４００を見込む立体角が小さくなって光源２からの赤外線を有効に利用することが難しくなる。
【００１４】
なお、図３に示すように、仮に赤外線検出部６の一部が仮想円Ｃの外周上に位置しない場合（つまり、仮想円Ｃより外側にも一部の赤外線検出部６が存在する場合）、この赤外線検出部６（焦点Ｆ１０）に光源２（第２焦点Ｆ２）からの赤外線を集光させるためには、Ｆ２とＦ１０とを結ぶ長軸Ｌ１０を回転軸として得られる回転楕円体ＥＬ１０の内面４４０を反射部とする必要がある。ところが、この場合、内面４４０より内側の反射部１４が消失するので（図３の矢印方向参照）、仮想円Ｃのが外周（円弧）上に位置して回転楕円体ＥＬ１に対応する赤外線検出部６（第１焦点Ｆ１）に光源２からの赤外線が到達しなくなる。
このようなことから、赤外線検出部６が１つの仮想円Ｃの外周（円弧）上に位置する必要がある。
【００１５】
図４は、反射部１４の横断面（長軸方向ＬＡに垂直な断面）を示す。反射部１４（の内面）は、第１焦点Ｆ１を仮想円Ｃの外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部を繋げて形成される円形をなす。
一方、図４の上下方向の２つの楕円体ＥＬ１、ＥＬ２のみを用いて反射部４を形成した場合、反射部４の内面はそれぞれ楕円体ＥＬ１、ＥＬ２の内面４ａ、４ｂを上下で繋いだ形状をなし、内面４ａ、４ｂとの間には窪み４ｄが形成される。この場合、窪み４ｄでも光源２からの赤外線が反射されて個々の赤外線検出部６へ比較的高い効率で集光される。
これに対し、反射部１４の場合には窪み４ｄが消失し（図４の矢印Ｓ参照）、窪み４ｄで反射されるべき赤外線が赤外線検出部６へ到達せず、その分、個々の赤外線検出部６への赤外線の光量は少なくなる。しかしながら、反射部１４の他の部分から赤外線が赤外線検出部６へ到達すると共に、赤外線検出部６の設置個数を増やすことで、個々の赤外線検出部６への赤外線の光量不足を回復することができる。又、反射部１４の場合、赤外線検出部６の配置個数を増減させても反射部１４の形状を変えなくてよく、汎用性が高くなる。さらに、反射部１４の場合、反射部４のように表面に窪みが無いので、反射部４の内外面の形状を単純化することができ、例えば金属の絞り加工や樹脂の射出成形等によって容易に製造できる。特に、反射部１４とガス測定室５０を構成する筒状体５５とを深絞り等で一体成形する場合、製造が容易となる。
【００１６】
次に、図５〜図７を参照し、本発明の第２の発明の実施形態に係る非分散型赤外ガスセンサ（ＣＯ２ガスセンサ）１４０について説明する。図５は、非分散型赤外ガスセンサ１４０の斜視図を示す。
非分散型赤外ガスセンサ１４０は、光源２と、反射部４４と、反射部４４で反射された赤外線を検出する２個の赤外線検出部６と、赤外線検出部６の表面に配置された波長選択手段８とを備えている。
又、反射部４４は第２の焦点Ｆ２側から長軸方向ＬＡに延び、半円筒状のガス測定室８０を構成する半筒状体８５に接続されている。ガス測定室８０の半筒面の一端と他端には、それぞれガス導入孔８１及びガス排出孔８２が形成され、「クローズ・パス配置形式」として構成されている。さらに、ガス測定室８０の終端は、詳しくは後述する半円板状の第２の反射部９０に接続されている。
【００１７】
第２の発明においては、光源２と赤外線検出部６（及び波長選択手段８）とは、プリント基板等の平板状の基台２５上に（同一平面上に）配置（実装）されている。基台２５上には光源２、赤外線検出部６に電力を供給する配線と共に、光源２の点灯や赤外線検出部６の検出信号の変換や外部への伝送等を制御する回路基板の少なくとも一部が併設されていてもよい。
なお、光源２、赤外線検出部６（及び波長選択手段８）は第１の実施形態に係る非分散型赤外ガスセンサ１００と同一であるので説明を省略する。
【００１８】
図６は非分散型赤外ガスセンサ１４０を、光源２を含む位置において基台２５に垂直な平面で長軸方向ＬＡに沿って切断した断面図であり、図７は非分散型赤外ガスセンサ１４０の上面図である。ガス測定室８０の終端に、基台２５と略４５度の角度をなす半円状の第２の反射部９０が接続されている。そして、光源２からの赤外線Ｓ１は反射部４４（凹曲面）で反射され（反射赤外線Ｓ２）、さらに第２の反射部９０で反射されて（反射赤外線Ｓ３）、赤外線検出部６に入射するようになっている。
【００１９】
ここで、光源２及び赤外線検出部６は、光源２を頂点とし、複数の赤外線検出部６がそれぞれ配置された位置を第２の反射部９０を対称面として得られる鏡像間を結んで形成される仮想円Ｃ（図６参照）を底面とした仮想円錐が形成されるように配置されている。
又、反射部４４を構成する凹曲面は、第１の発明の反射部１４と同様に、仮想円Ｃの外周（円弧）上に設定される第１焦点Ｆ１と、光源２を第２焦点Ｆ２とする楕円体（図５では２つの楕円体ＥＬ１、ＥＬ６のみ表示）を、第１焦点Ｆ１と第２焦点Ｆ２とを結ぶ直線（図５では２つの直線Ｌ１、Ｌ６のみ表示）を軸として回転させることで形成される回転楕円体であって、第１焦点Ｆ１を仮想円Ｃの外周に沿って移動させた際に得られる全ての回転楕円体の内面の一部をそれぞれ繋げつつ、この曲面を基台２５で上半分に切った構成となっている。従って、反射部４４は、基台２５の面（特許請求の範囲の「同一平面」に相当）より光源２側に形成される。
つまり、第２の反射部９０を対称面としたとき、赤外線検出部６がそれぞれ配置された位置が第１焦点Ｆ１の鏡像となる。なお、複数の鏡像間を結んでなる仮想円Ｃは基台２５と交わる（直交する）半円となっている。又、仮想円Ｃに沿う第１焦点Ｆ１の軌跡は、基台２５上に半円Ｃｘとして描かれる。
このように、第２の反射部９０を設け、基台２５上に赤外線検出部６を配置することで、光源２と赤外線検出部６とを平板状の基台２５（同一平面）上に配置することができ、光源２と赤外線検出部６の実装が容易となって生産性が向上する。又、基台２５が平面状であるので、基台２５を下にして非分散型赤外ガスセンサ１４０を設置し易い。
【００２０】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、仮想円Ｃ上に配置される赤外線検出部の配置個数は上記に限られない。
又、複数の赤外線検出部毎に異なる波長選択手段を設置し、複数の波長域の赤外線強度を検出できるようにすれば、複数のガス種の濃度を定量的に測定できる。さらに、測定環境に存在するガス種によっては吸収されない波長域の赤外線強度を測定することによって、環境や光源強度の変化に対する補正を行うことができる。
又、波長選択手段への赤外線の入射角を制限するために、反射部やガス測定室の内面の少なくとも一部に赤外線吸収部材を塗布してもよい。さらに、赤外線検出部の特性や、必要な測定周期に応じて、光源と赤外線検出部との間にチョッパーを設けたり、光源を間欠駆動（点滅）することもできる。
【００２１】
さらに、上記実施形態では「クローズ・パス配置形式」の非分散型赤外ガスセンサを例示したが、これに限られず、反射部と、赤外線検出部（及び波長選択手段）を配置する基台とを長軸方向に離間させ、被測定ガスを筒（セル）を用いずに光源と赤外線検出部との間がガスを流通させる開放空間とする「オープン・パス配置形式」で構成してもよい。
【符号の説明】
【００２２】
２                光源
１４、４４        反射部
６                赤外線検出部
８                波長選択手段
９０              第２の反射部
１１０、１４０    非分散型赤外ガスセンサ
Ｃ                仮想円
Ｆ１               第１焦点
Ｆ２               第２焦点
Ｌ１〜Ｌ６          各焦点を結ぶ直線
ＥＬ１〜ＥＬ６      楕円体
【図１】
2013002966.tif 000003
【図２】
2013002966.tif 000004
【図３】
2013002966.tif 000005
【図４】
2013002966.tif 000006
【図５】
2013002966.tif 000007
【図６】
2013002966.tif 000008
【図７】
2013002966.tif 000009