(57)【要約】【課題】被測定物を載置するための等変位領域を増やすことが可能な構成の加振装置を提供する。【解決手段】加振装置１は、振動が付与される基部２と、基部２の主面に設けられている突起部３と、を備え、突起部３は、計測体である加速度センサー８を載置するために、突起部３の一方の側に設けられている第１載置部５と、被測定物であるジャイロ素子９を載置するために、突起部３の他方の側に設けられ第１載置部５と等変位領域である第２載置部６と、を有している、ことを特徴とする。【選択図】図１
2013145124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動が付与される基部と、
前記基部の主面に設けられている突起部と、を備え、
前記突起部は、前記振動を計測する計測器を載置するための第１載置部と、前記突起部被測定物を載置するための第２載置部と、を有している、ことを特徴とする加振装置。
【請求項２】
請求項１に記載の加振装置であって、
前記主面が第１の方向に沿う辺と第２の方向に沿う辺とを有する矩形をなし、前記突起部が前記第１の方向または前記第２の方向のいずれかに沿って延在している、ことを特徴とする加振装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の加振装置であって、
前記突起部は、前記基部の中央を通って延在するように設けられている、ことを特徴とする加振装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の加振装置であって、
前記突起部は、前記基部の端部に設けられている、ことを特徴とする加振装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の加振装置であって、
前記第１載置部は前記突起部の一方の側に設けられ、前記第２載置部は前記突起部の他方の側に設けられている、ことを特徴とする加振装置。
【請求項６】
請求項５に記載の加振装置であって、
前記一方の側は前記突起部の一方の端部であり、前記他方の側は前記突起部の他方の端部である、ことを特徴とする加振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物に振動を付与するための加振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被測定物に衝撃を付与して振動を生じさせる加振装置としては、被測定物の下方から、この被測定物に向けて固体弾を射出し、この固体弾を被測定物に直接衝突させることにより被測定物を加振させる構成のものが開示されている。そして、この場合、固定弾は、少なくとも被測定物に衝突する直前では、慣性力により上昇するようになっていることが特徴である。この加振装置によれば、被測定物には、下方から慣性力により上昇して来た固体弾が衝突して、被測定物が加振されるため、慣性力によって上昇している固体弾は、衝突による被測定物からの反発力と、重力と、により、衝突後、自然落下する。これにより、加振装置は、被測定物に、いわゆるダブルハンマリング等の、異常振動を生じさせることなく加振することが可能である（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−１１８０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の技術では、ダブルハンマリング等による異常振動を排除する効果はあるが、直接加振された被測定物における変位分布が、特に共振領域では、バラツキの大きいものとなる傾向であった。つまり、被測定物における等変位部分の面積が少ない状態になっている。そのため、載置台に被測定物とセンサーを配置し該載置台を加振する構成、即ち被測定物を間接的に加振する構成では、被測定物とセンサーとの配置関係によって、センサーが検出する振動と被測定物が実際に受ける振動とが異なってしまうことがある。その場合、被測定物の耐振動特性等の測定において、正確な評価が行なえない、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る加振装置は、振動が付与される基部と、前記基部の主面に設けられている突起部と、を備え、前記突起部は、前記振動を計測する計測器を載置するための第１載置部と、被測定物を載置するための第２載置部と、を有している、ことを特徴とする。
【０００７】
本適用例の加振装置によれば、基部の有する一面である主面に突起部を有していることが特徴であって、このような基部は、加振されることによって生じる振動の変位分布を、突起部の形態によって、制御することが可能である。つまり、突起部を有する基部において、加振されると、突起部が、この加振装置にとって不要である振動の発生を妨げる役目を果たすことになり、加振装置にとって必要である一次振動のみにほぼ限定した形態で、振動が励起される。さらに、この突起部は、主面から突起していて容積の多い部分であり、突起部における振動の変位分布は、主面における振動の変位分布に比べて、等変位となる部位が広範な領域となる傾向である。このような等変位の部位を第１載置部または第２載置部として設定すれば、第１載置部に設けられた計測器の計測した振動と、第２載置部に設けられた被測定物が実際に受けた振動と、がほぼ同等となる。これにより、加振装置は、計測器と被測定部とにほぼ同じ振動を付与することができ、言い換えれば、両者の振動の差異を極小にすることにより、被測定物の振動特性を正確に評価することが可能である。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に記載の加振装置において、前記主面が第１の方向に沿う辺と第２の方向に沿う辺とを有する矩形をなし、前記突起部が前記第１の方向または前記第２の方向のいずれかに沿って延在している、ことが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、突起部は、基部を形成し矩形をなす主面に設けられていて、突起部の延在する方向は、第１の方向または第２の方向のいずれかである。このような配置の突起部は、突起部を境にして基部を分割するような配置となっており、基部における振動を規制する役目を果たすことが知見された。これにより、加振装置では、加振による振動が一次振動にほぼ限定されることになり、振動の変位分布が多岐にわたらず規制されることになる。そのため、等変位となる箇所が、突起部の無い場合に比べて、広く分布し、特に突起部における等変位箇所が広範となっている。これにより、加振装置は、突起部において、振動が等変位となるような箇所を、第１載置部または第２載置部として容易に設定でき、これら載置部に計測器または被測定物を確実に載置することが可能である。また、加振装置は、第１の方向または第２の方向のいずれかに沿って延在している突起部を有することにより、突起部の延在方向によって、異なる一次振動を得ることが可能である。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に記載の加振装置において、前記突起部は、前記基部の中央を通って延在するように設けられている、ことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、突起部が基部の中央を通るように配置されているため、加振装置は、突起部を境にして位置する基部のそれぞれにおいて、振動の変位分布が、突起部が基部の中央を通らない場合に比べて、似た傾向になり易い。これにより、加振装置は、突起部における等変位となる箇所を特定しやすい構成となっていて、換言すれば、第１載置部および第２載置部となるべき位置を設定しやすい構成となっている。即ち、突起部が主面のいずれかの辺に沿っているような形態であれば、突起部における等変位となる部位を規定しやすくなり、さらに、突起部が基部の中央を通る形態であれば、突起部における等変位となる部位をより規定しやすくなって好ましい。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に記載の加振装置において、前記突起部は、前記基部の端部に設けられている、ことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、基部の端部に設けられた突起部における振動は、基部の端部以外に突起部が設けられている場合に比べると、高くなる傾向である。これにより、加振装置は、加振されると、より高い振動となるような突起部を備えることになり、高い振動に対する被測定物の振動特性を正確に評価することが可能である。
【００１４】
［適用例５］上記適用例の加振装置において、前記第１載置部は前記突起部の一方の側に設けられ、前記第２載置部は前記突起部の他方の側に設けられている、ことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、第１載置部および第２載置部は、突起部における振動の最も等変位となる部位に設けることが好ましいという条件に合致している。つまり、突起部では、その延在する方向の中央部を境にして、一方の側と他方の側とにおける変位分布がほぼ対象となる傾向である。従って、これら一方の側と他方の側とのいずれかに第１載置部または第２載置部を設定すれば、第１載置部の計測器が計測した振動と、第２載置部の被測定物が実際に受けた振動と、の差異を極小にでき、加振装置は、計測器と被測定部とに同じ振動を付与することが可能である。
【００１６】
［適用例６］上記適用例の加振装置において、前記一方の側は前記突起部の一方の端部であり、前記他方の側は前記突起部の他方の端部である、ことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、突起部における一方の側と他方の側とにおける変位分布はほぼ対象となっているが、一方の側が突起部の一方の端部であれば、その位置を特定しやすい。同様に、他方の側が突起部の他方の端部であれば、その位置を特定しやすい。即ち、計測器または被測定部を設ける第１載置部または第２載置部の位置を、確実に特定することが容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態１にかかる加振装置を示す斜視図。
【図２】加振装置を振動させた時の変位分布を示す斜視図。
【図３】（ａ）加振装置の寸法設定箇所を示す斜視図、（ｂ）加振装置において共振周波数に対応する各部寸法を示すデータ図。
【図４】加振装置の周波数スペクトルの一例を示すグラフ図。
【図５】（ａ）実施形態２にかかる加振装置を示す斜視図、（ｂ）加振装置の変位分布を示す斜視図。
【図６】実施形態３にかかる加振装置を示す斜視図。
【図７】突起部を備えていない基部の変位分布を示す斜視図。
【図８】（ａ）変形例１にかかる加振装置を示す斜視図、（ｂ）変形例２にかかる加振装置を示す斜視図。
【図９】（ａ）変形例３にかかる円形状をなす加振装置を示す斜視図、（ｂ）変形例４にかかる円形状をなす加振装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の加振装置について、その好適な構成例を添付図面に基づいて説明する。
（実施形態１）
【００２０】
図１は、本発明の実施形態１にかかる加振装置を示す斜視図である。図１では、Ｘ軸およびＹ軸が水平方向であって、Ｚ軸が垂直方向である。実施形態１における加振装置１は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸に沿う各辺を有する直方体の形態をなしている基部２と、基部２における２つの水平面の１つであり矩形をなしている主面２ａと、主面２ａに設けられ、主面２ａにおけるＸ軸に沿う一方の辺の中央位置から、Ｘ軸に沿う他方の辺まで、Ｙ軸に沿って延在し、直方体の形態をなしている突起部３と、基部２の主面２ａと反対側の水平面側に設けられ基部２を載置している受台４と、を備えている。この場合、加振装置１は、基部２のＹ軸に平行な２つの立面のいずれかに衝撃Ｐを付与して加振するようになっていて、加振する部位が加振部７である。この場合、基部２の主面２ａにおいて、その一辺が沿うＸ軸方向が第１の方向であり、他辺が沿うＹ軸方向が第２の方向である。従って、加振装置１では、突起部３が第２の方向に沿って延在し、且つ基部２の中央を通って延在している。また、加振装置１は、基部２と突起部３とがアルミニウム合金であるジュラルミンで一体に形成されている構成となっている。
【００２１】
そして、加振装置１において、突起部３の一方の端部が加速度センサー（計測器）８を載置するための第１載置部５であり、突起部３の他方の端部がジャイロ素子（被測定物）９を載置するための第２載置部６である。第１載置部５および第２載置部６は、突起部３の端部に位置し、１つの水平面とＸ軸に平行な１つの立面とＹ軸に平行な２つの立面とをそれぞれ有している。加速度センサー８は、第１載置部５の水平面に設けられ、ジャイロ素子９は、第２載置部６の水平面、Ｘ軸に平行な立面、およびＹ軸に平行な２つの立面のいずれか、にそれぞれ設けられている。つまり、ジャイロ素子９は、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸に直交して複数設けることができるようになっていて、加振装置１では、加速度センサー８で計測した衝撃に対して、ジャイロ素子９における各軸方向の耐衝撃性等を一度に評価することができる。なお、被測定物であるジャイロ素子９は、接着剤付の粘着性ポリイミドテープで突起部３に固定されていて、脱着しやすくなっている。
【００２２】
このような構成の加振装置１は、加振部７へ衝撃Ｐが付与され加振されると、以下に説明するような振動をする。加振する方法としては、背景技術に開示されているような加振方法や、人間の手によるハンマーでの加振方法、カム機構を利用して錘を揺動させる加振方法等が挙げられる。ここで、図２は、加振装置を振動させた時の変位分布を示す斜視図である。図２に示すように、加振装置１は、加振されると、突起部３を境にして突起部３の両側にそれぞれ位置する基部２の部分が、矢印で示すようにＺ軸方向の同方向に屈曲して振動する。この時、加振装置１は、突起部３を備えることにより、基部２における振動が規制され、いわゆる一次振動のみにほぼ限定された振動をすることになる。
【００２３】
そして、加振装置１における振動の変位分布、即ちどの部分がどの程度の振動をしているかを示す分布は、おおよそＡ〜Ｇのような分布領域になっている。例えば、加振部７を含む領域であるＡは、最も振動が高い領域であり、次いでＢ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇの順に、振動が低い領域となり、Ｇが最も低い振動領域である。各領域の分布は、Ａに隣接している領域がＢであり、Ｂより突起部３寄りの領域が、わずかなＣ、Ｄの領域（不図示）を挟んで、Ｅであり、このＥは、突起部３の延在方向における中央近傍を含んでいる。また、突起部３においては、両端の部分（１つの水平面とＸ軸に平行な１つの立面とＹ軸に平行な２つの立面であり実線で示されている部分）がＣの領域であり、Ｃと該中央近傍のＥとの間がＤ（実線と破線との間の部分）である。また、ＦおよびＧは、主に基部２の内部側部分である。これらＡ〜Ｇのそれぞれは、振動が同程度である等変位の領域となっている。なお、基部２におけるＡ〜Ｇの領域は、突起部３を中心にして、ほぼ対称に分布している。
【００２４】
ここでいう突起部３におけるＣの領域は、突起部３の両端部にそれぞれ位置しており、図１に示す第１載置部５および第２載置部６の位置と一致している。そのため、突起部３におけるＣの領域である一方の端部を、加速度センサー８を載置するための第１載置部５とし、突起部３におけるＣの領域である他方の端部を、ジャイロ素子９を載置するための第２載置部６とすれば、加速度センサー８およびジャイロ素子９は、等変位の領域に載置されることになり、ジャイロ素子９に加えられた衝撃等を正確に把握することができる。なお、加振部７は、この場合、基部２のＹ軸に平行な立面に設定されているが、衝撃Pによる変位が最大となるような箇所であれば好ましいため、基部２における主面２ａの端部を含めた部位等に設定することも可能である。
【００２５】
一方、加振装置１が突起部３を備えていない場合の基部２の挙動について、簡単に説明する。図７は、突起部を備えていない基部の変位分布を示す斜視図である。突起部を備えていない基部２は、加振部７に加振されると、加振部７の近傍が最も振動の高いＡの領域となり、Ｂ〜Ｇの詳細表示は図示していないが、基部２の全域にわたり、図７に示すような振動の変位分布となっている。この変位分布によれば、基部２における各領域が複雑に入り組んでいることや、加速度センサー８やジャイロ素子９を載置できる十分な面積の領域を、等変位の領域として確保することが難しいこと等により、第１載置部５および第２載置部６の設定が困難である。
【００２６】
これに対し、突起部３を有する基部２を備えた加振装置１は、突起部３に第１載置部５および第２載置部６を設定することが十分に可能な領域を、等変位の領域として確実に確保することができる。即ち、加振装置１において、等変位となる領域の面積を、突起部３を備えていない場合に比べ、増やすことができる。これにより、加振装置１は、ジャイロ素子９の振動特性を正確に評価することができる。
【００２７】
次に、加振装置１の各部の大きさと、その大きさにおける加振装置１のいわゆる共振周波数と、の関係について、説明する。図３（ａ）は、加振装置の寸法設定箇所を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、加振装置において共振周波数に対応する各部寸法を示すデータ図である。図３（ａ）に示す加振装置１は、既述したようにジュラルミン製であって、基部２のＸ軸方向の長さがＬ、基部２および突起部３のＹ軸方向の長さがＷ、基部２のＺ軸方向の厚さがＴ、突起部３のＸ軸方向の長さがＤ、突起部３のＺ軸方向の厚さがＨである。
【００２８】
データ図に示すように、加振装置１において、Ｌ＝１６５ｍｍ、Ｗ＝１４８ｍｍ、Ｔ＝２５ｍｍ、Ｄ＝２０ｍｍ、Ｈ＝２１ｍｍとした場合、その共振周波数は４ｋＨｚである。また、加振装置１において、Ｔ＝２５ｍｍ、Ｄ＝２０ｍｍ、Ｈ＝２１ｍｍをそのままにして、Ｌ＝１２３ｍｍ、Ｗ＝１１２ｍｍに変えた場合、その共振周波数は７ｋＨｚであり、Ｔ＝２５ｍｍ、Ｄ＝２０ｍｍ、Ｈ＝２１ｍｍをそのままにして、Ｌ＝１１４ｍｍ、Ｗ＝１０４ｍｍとした場合、加振装置１の共振周波数は８ｋＨｚである。同様に、Ｌ＝１０４ｍｍ、Ｗ＝９０ｍｍとした場合、加振装置１の共振周波数は９ｋＨｚであり、Ｌ＝９７ｍｍ、Ｗ＝８４ｍｍとした場合、加振装置１の共振周波数は１０ｋＨｚであり、Ｌ＝９０ｍｍ、Ｗ＝７８ｍｍとした場合、加振装置１の共振周波数は１１ｋＨｚである。
【００２９】
このように、加振装置１では、基部２のＸ軸方向の長さのＬ、および基部２のＹ軸方向の長さのＷを変えることにより、所望の共振周波数を有することが可能である、ということが知見できた。ジャイロ素子９の耐衝撃性を試験する際に、例えば共振周波数８ｋＨｚの加振装置１にジャイロ素子９を載置すれば、衝撃Ｐによる加振によって、共振周波数４ｋＨｚの加振装置１にジャイロ素子９を載置した場合に比べ、ジャイロ素子９へ高い周波数の強い振動を付与することができる。即ち、調べたい衝撃値近傍におけるジャイロ素子９の耐衝撃性を、効率良く把握することができる。
【００３０】
ここで、加振装置１が加振された時、第１載置部５の加速度センサー８が示す値を例示する。図４は、加振装置の周波数スペクトルの一例を示すグラフ図である。加振されたジャイロ素子９の振動（周波数）、即ち加速度センサー８の値、をピックアップしてスペクトル分析すると、加振装置１の形状に応じて定まる共振周波数の位置に、スペクトルのピークが現れる。加振装置１は、既述したように共振周波数が８ｋＨｚであり、加振部７への衝撃Ｐによる加振によって、図４に示すように、ピークが８ｋＨｚの位置となっている。この時の加振は、単一回の加振をすることが重要であり、図４では、ダブルハンマリングやトリプルハンマリングのように、２回以上にわたって加振をしてしまうことや、ハンマリング部材が基部２に引っ付いてしまうこと等に起因する異常振動のないことが、スペクトラムから読み取れる。
【００３１】
以上説明したように、加振装置１は、突起部３を備えていることにより、突起部３における等変位となる領域が広範となる傾向を有している。この等変位の箇所に加速度センサー８またはジャイロ素子９を配置すれば、それぞれに同じ振動を付与することができ、加振装置１は、ジャイロ素子９の耐衝撃性等を正確に評価することが可能である。
（実施形態２）
【００３２】
次に、加振装置の他の好適な形態について、説明する。図５（ａ）は、実施形態２にかかる加振装置を示す斜視図であり、図５（ｂ）は、加振装置の変位分布を示す斜視図である。
【００３３】
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、加振装置１０は、実施形態１の加振装置１と同様にジュラルミン製であって、基部２のＸ軸方向の長さがＬ、基部２のＹ軸方向の長さがＷ、基部２のＺ軸方向の厚さがＴである。そして、加振装置１０が加振装置１と異なっている点は、突起部３ａが、基部２における主面２ａに設けられ、主面２ａにおけるＹ軸に沿う一方の辺の中央位置から、Ｙ軸に沿う他方の辺まで、Ｘ軸に沿って延在する直方体の形態をなしていることである。この場合、加振装置１では、突起部３が第１の方向に沿って延在していることになり、この突起部３ａは、Ｙ軸方向の長さがＤ、Ｘ軸方向の長さがＬ、Ｚ軸方向の厚さがＨである。なお、図５では、受台４を省略して描いてある。
【００３４】
この加振装置１０は、突起部３ａの一方の端部に第１載置部５ａを有し、突起部３ａの他方の端部に第２載置部６ａを有している。加振装置１０は、基部２のＸ軸に平行な２つの立面の一方に位置する加振部７ａに加振するようになっていて、加振されると、突起部３ａを境にして突起部３ａの両側にそれぞれ位置する基部２の部分が、Ｚ軸方向の同方向に屈曲して振動する。この時、加振装置１０は、突起部３ａを備えることにより、基部２における振動が規制され、いわゆる一次振動のみにほぼ限定された振動をすることになる。
【００３５】
ここで、加振装置１０における振動の変位分布、即ちどの部分がどの程度の振動をしているかを示す分布、は、加振部７ａの近傍が最も振動の高い領域のＡであって、加振装置１における分布領域とほぼ類似している。つまり、基部２における変位の領域は、突起部３ａを中心にして、ほぼ対称に分布している。そして、突起部３ａにおいては、突起部３ａの端部の水平面の領域とＸ軸に平行な２つの立面とが等変位となっていて、この等変位の領域に、第１載置部５ａおよび第２載置部６ａを設けることができる。一方、突起部３ａのＹ軸に平行な立面は、この場合、第１載置部５ａおよび第２載置部６ａとは異なる変位領域となっている。そのため、加振装置１０において、加速度センサー８（不図示）は、第１載置部５ａの水平面に設けられ、ジャイロ素子９（不図示）は、第２載置部６ａの水平面、およびＸ軸に平行な２つの立面、にそれぞれ設けられている。
【００３６】
このような構成の加振装置１０は、Ｘ軸に沿って延在している突起部３ａを有することによっても、突起部３ａに広範な等変位の領域を設定でき、第１載置部５ａおよび第２載置部６ａを容易に且つ確実に配置することができる。また、加振装置１０は、突起部３ａの延在方向が加振装置１の突起部３と異なっていることによって、加振装置１とは異なる一次振動を得ることができる。
（実施形態３）
【００３７】
次に、加振装置の他の好適な形態について、説明する。図６は、実施形態３にかかる加振装置を示す斜視図である。図６に示すように、加振装置２０は、実施形態１の加振装置１と同様にジュラルミン製であって、基部２と突起部３ｂとを備えている。そして、加振装置２０が加振装置１と異なっている点は、基部２における主面２ａに設けられている突起部３ｂが、主面２ａの端部に位置して、Ｙ軸方向に沿って延在する直方体の形態をなしている、ことである。なお、図６では、受台４を省略して描いてある。
【００３８】
この加振装置２０は、突起部３ｂの一方の端部に第１載置部５ｂを有し、突起部３ｂの他方の端部に第２載置部６ｂを有している。加振装置２０は、基部２における突起部３ｂと反対側の立面である加振部７ｂに加振するようになっている。加振部７ｂに加振されると、基部２は、加振装置１の基部２とほぼ同様に、Ｚ軸方向に屈曲して振動する。この時、加振装置２０は、突起部３ｂを備えることにより、基部２における振動が規制され、いわゆる一次振動のみにほぼ限定された振動をすることになる。
【００３９】
ここで、加振装置２０における振動の変位分布、即ちどの部分がどの程度の振動をしているかを示す分布、は、加振部７ｂの近傍が最も振動の高い領域のＡであって、加振部７ｂから突起部３ｂへかけての領域は、次第に振動が低くなっている分布である。一方、突起部３ａにおいては、突起部３ａの水平面の領域が、その中央部を除いて、広範囲に等変位となっていて、この等変位の領域に、第１載置部５ａおよび第２載置部６ａが設けられている。さらに、突起部３ｂにおいて、第１載置部５ａおよび第２載置部６ａが設けられている等変位の領域は、加振による変位が加振部７ｂに匹敵するような大きさとなっている。つまり、突起部３ｂは、同じ衝撃Ｐで加振されても、記述した突起部３および突起部３ａに比べ、より大きな変位となっている。加振装置２０では、より大きな変位の得られる突起部３ｂの第１載置部５ｂに、加速度センサー８（不図示）を設け、第１載置部５ｂと等変位の第２載置部６ｂに、ジャイロ素子９（不図示）を設けている。
【００４０】
これにより、基部２の端部に突起部３ｂを備えた加振装置２０は、突起部３ｂにおける振動が、基部２の端部以外に突起部が設けられている場合に比べると、高くなる傾向であるため、高い振動に対するジャイロ素子９の耐衝撃性等を評価することに適した装置である。
【００４１】
以上説明した加振装置１，１０，２０は、各実施形態における形態に限定されるものではなく、次に挙げる変形例のような形態であっても、各実施形態と同様な効果が得られる。
【００４２】
（変形例１）加振装置１，１０，２０は、突起部３，３ａ，３ｂが１つだけの構成であるが、これに限定されるものではない。図８（ａ）は、変形例１にかかる加振装置を示す斜視図である。図８（ａ）に示すように、変形例１にかかる加振装置３０は、２つの突起部３ｃを備えている。突起部３ｃは、直方体をなす基部２の端部にそれぞれ設けられ、この場合の端部は、Ｙ軸に沿う２辺の近傍を指している。つまり、加振装置３０は、実施形態３における加振装置２０において、基部２の突起部３ｂと対極側に、もう１つ突起部を設けたような構成である。このような構成の加振装置３０は、突起部３ｃの個々の等変位領域は増えないが、突起部３ｃにおける変位量は、基部２の部分より大きくなっている。従って、突起部３ｃのそれぞれに加速度センサーおよびジャイロ素子９を載置すれば、加振装置３０は、加振装置１，１０，２０より多くのジャイロ素子９を、同時に評価することができる。
【００４３】
（変形例２）また、図８（ｂ）は、変形例２にかかる加振装置を示す斜視図である。図８（ｂ）に示すように、変形例２にかかる加振装置４０は、直方体の形態をなしている基部２と、基部２の中央を通ってＹ軸方向へ延在する直方体の突起部３ｄと、突起部３ｄの両側に突起部３ｄと平行に且つ突起部３ｄより短くそれぞれ延在している突起部３ｅと、を備えている。このような構成の加振装置４０は、突起部３ｅにおける変位が基部２および突起部３ｄより高い傾向となっているが、突起部３ｄの等変位領域を増やすような効果は有していない。しかし、加振装置４０では、突起部３ｄ，３ｅを備えることにより、異なる変位におけるジャイロ素子９の評価を同時に行なうこと等が可能である。
【００４４】
（変形例３）そして、加振装置１，１０，２０の基部２は、直方体の形状に限定されるものではなく、他の形状であっても良い。例えば、図９（ａ）は、変形例３にかかる円形状をなす加振装置を示す斜視図である。この加振装置５０は、平面視円形状の円柱をなす基部２１と、基部２１における２つの水平面の１つである主面２１ａと、主面２１ａの中央を通って円柱の外周端部まで延在し直方体をなす突起部３ｆと、を備えている。このような構成の加振装置５０は、基部２１および突起部３ｆを含めて、一次振動における変位が同心円状に広がった分布となっている。つまり、等変位の領域は、同心円状となっており、これら同じ同心円の部分を第１載置部または第２載置部とすることにより、加振装置５０は、ジャイロ素子９の評価を確実に行なうことができる。なお、図示していないが、突起部３ｆのない場合の基部２１においても、ほぼ同様な変位の分布であることが知見できている。
【００４５】
（変形例４）さらに、図９（ｂ）は、変形例４にかかる円形状をなす加振装置を示す斜視図である。この加振装置６０は、平面視円形状の円柱をなす基部２２と、基部２２における２つの水平面の１つである主面２２ａと、主面２２ａの外周に沿ってリング状の形態で設けられている突起部３ｇと、を備えている。このような構成の加振装置６０は、基部２２における変位が同心円状に広がった分布となっている。そして、突起部３ｇの水平面は、ほぼ全域が等変位となっていて、広範なリング状領域である。この加振装置６０は、リング状の突起部３ｇに多量のジャイロ素子９を載置し、耐震性等の評価を同時に行なうことができる。
【００４６】
（変形例５）加振装置１，１０，２０において、突起部３，３ａ，３ｂは、基部２と一体に形成されているが、この構成に限定されない。他の構成として、例えば、基部２に突起部３をねじで固定する構成や、基部２に突起部３をろう付けまたは溶接して固定する構成等が挙げられる。
【００４７】
（変形例６）加振装置１，１０，２０において、基部２および突起部３，３ａ，３ｂは、突起部３，３ａ，３ｂに等変位領域が確保される形態であることが肝要であり、例えば、直方体の形態をなしている突起部３，３ａ，３ｂが直方体以外の形状であっても良い。また、突起部３，３ａ，３ｂは、基部２の辺に沿って延在せず、基部２の辺に対して斜め等に延在していても良く、複数形成されていても良い。さらに、基部２の形状も、主面２ａが長方形の直方体である形態に限定されない。ただし、各実施形態で示した各形態が、より確実にジャイロ素子９の評価を行なうことに適している。
【００４８】
（変形例７）ジャイロ素子９は、突起部３，３ａ，３ｂに粘着性ポリイミドテープにより固定されているが、接着剤のみによる固定、突起部３，３ａ，３ｂのねじ穴へのねじによる固定、押さえ板等で挟持する固定等であっても良い。
【００４９】
（変形例８）図３における加振装置１の寸法設定では、基部２のＺ軸方向の厚さＴ、突起部３のＸ軸方向の長さＤ、突起部３のＺ軸方向の厚さＨを固定し、基部２のＸ軸方向の長さＬおよびＹ軸方向の長さＷを変えて、加振装置１の共振振動数を規定しているが、Ｄ，ＴおよびＨも変更して、加振装置１の共振振動数を規定しても良い。
【００５０】
（変形例９）被測定物としては、ジャイロ素子９だけでなく、衝撃や共振周波数等によって品質に影響があると予想されるものや、破壊衝撃加速度等を求めることが必要なものが該当し、例えば、ＩＣ（integrated  circuit）等の電子部品、音叉型振動子やＡＴ振動子等の各種振動素子、圧力センサー等が挙げられる。
【００５１】
（変形例１０）加振装置１，１０，２０は、ジュラルミンで形成されているが、ジュラルミン以外の材料である、鉄、銅、真鍮等の銅合金、ステンレススチール等のニッケル合金等を用いても良い。
【符号の説明】
【００５２】
１…加振装置、２…基部、２ａ…主面、３…突起部、３ａ…突起部、３ｂ…突起部、５…第１載置部、５ａ…第１載置部、５ｂ…第１載置部、６…第２載置部、６ａ…第２載置部、６ｂ…第２載置部、８…計測器としての加速度センサー、９…被測定物としてのジャイロ素子、１０…加振装置、２０…加振装置、３０…加振装置、Ａ〜Ｇ…等変位の領域。
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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