(57)【要約】【課題】部品を支持する支持部の温度を常温よりも低い温度である低温と常温とに切り替えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備えた部品検査装置を提供する。【解決手段】ハンドラーは、収容ポケット１７Ａを冷却する窒素が供給される第１供給路５７Ａと、窒素ガス供給バルブ５９Ａと、さらに第１供給路５７Ａにおけるバルブ５９Ａの下流側に接続され昇温ガスが供給される第２供給路７５Ａと、昇温ガス供給バルブ７８と、昇温ガスを昇温させるエアヒーター７９とを備える。ハンドラーは、冷却運転時には、バルブ５９Ａが開状態且つバルブ７８が閉状態に制御される。常温復帰運転時には、上記バルブ５９Ａが閉状態且つバルブ７８が開状態に制御されて、第１供給路５７Ａに昇温ガスが供給されるとともに、エアヒーター７９の出力が制御されて昇温ガスが目標温度よりも高い温度まで加熱される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、
前記媒体流路に接続され、第１の媒体を前記媒体流路に供給する第１の供給路と、
前記媒体流路に接続され、第２の媒体を前記媒体流路に供給する第２の供給路と、
前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、
前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、
前記第１の制御弁の開度と前記第２の制御弁の開度とを制御する制御部と
を備え、
前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、
前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、
前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、
前記第２の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する
ことを特徴とするハンドラー。
【請求項２】
部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、
前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、
前記媒体供給路の途中に介在し、第１の流路を流れる前記温度調整媒体と第２の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、
前記熱交換器に接続され、第１の媒体を前記第２の流路に供給する第１の供給路と、
前記熱交換器に接続され、第２の媒体を前記第２の流路に供給する第２の供給路と、
前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、
前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、
前記媒体制御弁の開度、前記第１の制御弁の開度、前記第２の制御弁の開度を制御する制御部と
を備え、
前記第２の流路は、該第２の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記第２の流路の前記流入端に対して並列に接続され、
前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、
前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、
前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する
ことを特徴とするハンドラー。
【請求項３】
前記第２の供給路には、前記第２の媒体を常温よりも高い温度まで加熱する加熱部が配設されている
請求項１または２に記載のハンドラー。
【請求項４】
前記第２の供給路には、前記加熱部への前記第１の媒体の流入を抑止する抑止部が配設されている
請求項３に記載のハンドラー。
【請求項５】
前記第２の制御弁が、前記抑止部の上流側に配設されている
請求項４に記載のハンドラー。
【請求項６】
前記支持部が収容される収容容器と、
前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路と
を有し、
前記第１の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ第２の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである
請求項１〜５のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項７】
前記排出路には、前記流出端から排出された媒体を常温まで加熱する加熱部が配設されている
請求項６に記載のハンドラー。
【請求項８】
前記支持部を複数有し、
前記第１の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも２つの支持部に対して１つずつ設けられ、
前記第２の供給路が、前記複数の第１の供給路に対して並列に接続される
請求項１〜７のいずれか一項に記載のハンドラー。
【請求項９】
部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、
前記媒体流路に接続され、第１の媒体を前記媒体流路に供給する第１の供給路と、
前記媒体流路に接続され、第２の媒体を前記媒体流路に供給する第２の供給路と、
前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、
前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、
前記第１の制御弁の開度と前記第２の制御弁の開度とを制御する制御部と
を備え、
前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、
前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、
前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、
前記第２の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する
ことを特徴とする部品検査装置。
【請求項１０】
部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、
前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、
前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、
前記媒体供給路の途中に介在し、第１の流路を流れる前記温度調整媒体と第２の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、
前記熱交換器に接続され、第１の媒体を前記第２の流路に供給する第１の供給路と、
前記熱交換器に接続され、第２の媒体を前記第２の流路に供給する第２の供給路と、
前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、
前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、
前記媒体制御弁の開度、前記第１の制御弁の開度、前記第２の制御弁の開度を制御する制御部と
を備え、
前記第２の流路は、該第２の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、
前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記第２の流路の前記流入端に対して並列に接続され、
前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、
前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、
前記制御部は、
前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、
前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する
ことを特徴とする部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を搬送するハンドラーに関し、特に部品の温度を常温よりも低い温度である低温に保持するハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置では、基台上のトレイと検査用ソケットとの間で検査前や検査後の電子部品を搬送するハンドラーが用いられている。こうした部品検査装置の中には、電子部品を０℃以下の低温にしたうえで該電子部品の電気的特性を検査するものがある。
【０００３】
従来、電子部品を低温まで冷却する方法としては、例えば特許文献１に記載のような技術が知られている。特許文献１に記載のハンドラーは、複数の電子部品が収容されるトレイと該トレイが載置されるケースとによって、電子部品を支持する支持部が構成されている。そして、乾燥状態にしたドライエアを冷凍機にて冷却し、その冷却されたドライエアをケースの内部に形成された冷却路に供給することによって、ケースを介してトレイを冷却し、そのトレイを介して電子部品を冷却している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４７３２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、電子部品の検査は、低温だけでなく、電子部品を例えば１８℃といった常温にしたうえでも行なわれ、低温による検査の後に常温による検査が連続して行なわれる場合もある。また、支持部のメンテナンスを行なう際には、低温状態にある支持部を常温に復帰させる必要もある。そのため、部品検査装置の処理効率を向上させるうえで、常温よりも低い温度である低温と常温との双方に支持部の温度を切り替えることの可能な装置が望まれている。なお、こうした要望は、電子部品を検査する部品検査装置に適用されるハンドラーに限らず、部品を低温にする機能を備えたハンドラーに概ね共通するものである。
【０００６】
本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、その目的は、部品を支持する支持部の温度を常温よりも低い温度である低温と常温とに切り替えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備えた部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、第１の媒体を前記媒体流路に供給する第１の供給路と、前記媒体流路に接続され、第２の媒体を前記媒体流路に供給する第２の供給路と、前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、前記第１の制御弁の開度と前記第２の制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、前記制御部は、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、前記第２の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する。
【０００８】
本発明のハンドラーの一態様によれば、媒体流路に常温よりも低い温度である第１媒体が流入する第１温度調整状態と、媒体流路に常温以上の温度である第２の媒体が流入する第２温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が常温よりも低い状態と支持部の温度が常温以上である状態とを切替えることが可能である。
【０００９】
本発明のハンドラーの一態様は、部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、前記媒体供給路の途中に介在し、第１の流路を流れる前記温度調整媒体と第２の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、前記熱交換器に接続され、第１の媒体を前記第２の流路に供給する第１の供給路と、前記熱交換器に接続され、第２の媒体を前記第２の流路に供給する第２の供給路と、前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、前記媒体制御弁の開度、前記第１の制御弁の開度、前記第２の制御弁の開度を制御する制御部とを備え、前記第２の流路は、該第２の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記第２の流路の前記流入端に対して並列に接続され、前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、前記制御部は、前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する。
【００１０】
本発明のハンドラーの一態様によれば、第１温度調整状態では、熱交換器における第２の流路に常温よりも低い温度を有する第１の媒体が流入することから、媒体流路には、第１の媒体によって常温よりも低い温度に冷却された温度調整媒体が流入する。第２温度調整状態では、熱交換器の第２の流路に常温以上の温度を有する第２の媒体が流入することから、媒体流路に対し、常温以上の温度の温度調整媒体を流入させることが可能になる。上記２つの制御状態である第１温度調整状態と第２温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が常温よりも低い状態と支持部の温度が常温以上である状態とを切替えることが可能である。
【００１１】
本発明のハンドラーの一態様は、前記第２の供給路には、前記第２の媒体を常温よりも高い温度まで加熱する加熱部が配設されている。
このハンドラーによれば、第２温度調整状態において、第２の供給路には、常温よりも高い温度まで加熱された第２の媒体が供給されることから、常温の第２の媒体が第２の供給路に供給される場合に比べて、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
【００１２】
本発明のハンドラーの一態様は、前記第２の供給路には、前記加熱部への前記第１の媒体の流入を抑止する抑止部が配設されている。
このハンドラーによれば、第１温度調整状態において、加熱部に対する第１の媒体の流入が抑止されることから、第１の媒体による加熱部の温度低下が抑えられる。その結果、加熱部に第１の媒体が流入する場合に比べて、第２温度調整状態の開始時における加熱部の温度が高められ、第２供給路に対し、常温以上の温度まで加熱された第２の媒体を早期に供給することができる。それゆえに、支持部が低温から高温に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
【００１３】
本発明のハンドラーの一態様は、前記第２の制御弁が、前記抑止部の上流側に配設されている。
このハンドラーによれば、例えば第１の媒体が液化ガスである場合、第１温度調整状態において第１の媒体が第２の制御弁に流入するとなれば、第２の制御弁は、非常に温度の低い第１の媒体に対して耐性を有する部材で構成されることになる。この点、上述したハンドラーにおいては、第１温度調整状態において第２の制御弁への第１の媒体の流入が抑止されることから、第２の制御弁を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
【００１４】
本発明のハンドラーの一態様は、前記支持部が収容される収容容器と、前記収容容器に接続され、前記流出端から排出された媒体が流れる排出路とを有し、前記第１の媒体が液化ガスを気化させたガスであり、且つ第２の媒体がドライエアまたは液化ガスを気化させたガスである。
【００１５】
このハンドラーによれば、第１及び第２の媒体は、通常のエアに比べて水分含有量が少ない流体である。そして、第１温度調整状態においては、排出路を通じて第１の媒体が収容容器内に導入され、第２温度調整状態においては、排出路を通じて第２の媒体が収容容器内に導入されることになる。その結果、収容容器に水分含有量の少ない気体が導入されることから、収容容器内において結露が発生することを抑えるうえで、第１及び第２の媒体を有効に利用することができる。
【００１６】
本発明のハンドラーの一態様は、前記排出路には、前記流出端から排出された媒体を常温まで加熱する加熱部が配設されている。
このハンドラーによれば、収容容器に導入される第１及び第２の媒体が少なくとも常温を有していることから、収容容器内の温度がその時々の露点よりも低くなることを抑えることができる。その結果、収容容器内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
【００１７】
本発明のハンドラーの一態様は、前記支持部を複数有し、前記第１の供給路が、前記支持部のうちの少なくとも２つの支持部に対して１つずつ設けられ、前記第２の供給路が、前記複数の第１の供給路に対して並列に接続される。
【００１８】
このハンドラーによれば、複数の第１の供給路に対して第２の供給路を並列に接続することによって、複数の第１の供給路に対し、共通する供給源から第２の媒体を供給することができる。その結果、１つの第１の供給路に対して１つの第２の供給路が接続され、且つ第２の供給路の各々に第２の媒体の供給源が配設される場合に比べて、第２の媒体の供給源を削減することが可能であるとともに、第２の供給路の構成を簡素化することができる。
【００１９】
本発明の部品検査装置の一態様は、部品を支持し、媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、第１の媒体を前記媒体流路に供給する第１の供給路と、前記媒体流路に接続され、第２の媒体を前記媒体流路に供給する第２の供給路と、前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、前記第１の制御弁の開度と前記第２の制御弁の開度とを制御する制御部とを備え、前記媒体流路は、該媒体流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記媒体流路の流入端に対して並列に接続され、前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、前記制御部は、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、前記第２の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する。
【００２０】
本発明の部品検査装置の一態様によれば、媒体流路に常温よりも低い温度である第１媒体が流入する第１温度調整状態と、媒体流路に常温以上の温度である第２の媒体が流入する第２温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が常温よりも低い状態と支持部の温度が常温以上である状態とを切替えることが可能である。
【００２１】
本発明の部品検査装置の一態様は、部品を支持し、温度調整媒体が流れる媒体流路を有する支持部と、前記媒体流路に接続され、前記温度調整媒体を前記媒体流路に供給する媒体供給路と、前記媒体供給路で前記温度調整媒体の流量を制御する媒体制御弁と、前記媒体供給路の途中に介在し、第１の流路を流れる前記温度調整媒体と第２の流路を流れる流体との間で熱交換する熱交換器と、前記熱交換器に接続され、第１の媒体を前記第２の流路に供給する第１の供給路と、前記熱交換器に接続され、第２の媒体を前記第２の流路に供給する第２の供給路と、前記第１の供給路で前記第１の媒体の流量を制御する第１の制御弁と、前記第２の供給路で前記第２の媒体の流量を制御する第２の制御弁と、前記媒体制御弁の開度、前記第１の制御弁の開度、前記第２の制御弁の開度を制御する制御部とを備え、前記第２の流路は、該第２の流路の両端部のうちの一端部である流入端と他端部である流出端とを有し、前記第１の供給路と前記第２の供給路とが、前記第２の流路の前記流入端に対して並列に接続され、前記第１の媒体が、常温よりも低い温度を有し、前記第２の媒体が、常温以上の温度を有し、前記制御部は、前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を開状態、前記第２の制御弁を閉状態とする第１温度調節状態と、前記媒体制御弁を開状態、前記第１の制御弁を閉状態、前記第２の制御弁を開状態とする第２温度調節状態とを有する。
【００２２】
本発明の部品検査装置の一態様によれば、第１温度調整状態では、熱交換器における第２の流路に常温よりも低い温度を有する第１の媒体が流入することから、媒体流路には、第１の媒体によって常温よりも低い温度に冷却された温度調整媒体が流入する。第２温度調整状態では、熱交換器の第２の流路に常温以上の温度を有する第２の媒体が流入することから、媒体流路には、第２の媒体によって常温以上の温度に加熱された温度調整媒体が流入する。上記２つの制御状態である第１温度調整状態と第２温度調整状態とを制御部が有するため、支持部の温度が常温よりも低い状態と支持部の温度が常温以上である状態とを切替えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明を具体化したハンドラー及び部品検査装置の一実施形態について、その全体構成を示す構成図。
【図２】第１実施形態の温度調整ユニットにおける流路系統を示した流路系統図。
【図３】第１実施形態のハンドラーにおける電気的構成の一部を示すブロック図。
【図４】第１実施形態の冷却運転と常温復帰運転とにおける各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様を示す図。
【図５】第１実施形態の冷却運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図６】第１実施形態の常温復帰運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図７】第２実施形態の温度調整ユニットにおける流路系統を示した流路系統図。
【図８】第２実施形態のハンドラーにおける電気的構成の一部を示すブロック図。
【図９】第２実施形態の冷却運転と常温復帰運転とにおける各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様を示す図。
【図１０】第２実施形態の冷却運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図１１】第２実施形態の常温復帰運転における温度調整ユニットの作動態様を模式的に示した図。
【図１２】第１実施形態における変形例の流路系統の一部を示した流路系統図。
【図１３】第２実施形態における変形例の流路系統の一部を示した流路系統図。
【図１４】変形例における支持部を模式的に示した図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した第１及び第２実施形態について、図１〜図１１を参照して説明する。なお、部品検査装置は、電子部品を搬送するハンドラーと、ハンドラーとは別体の装置であって電子部品の電気的特性を検査するテスターとを備えるものである。
【００２５】
［ハンドラー及び部品検査装置の構成］
まず、第１及び第２実施形態のハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に共通する全体構成について図１を参照して説明する。図１に示されるように、ハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、該搭載面１１ａの大部分が、カバー部材１２によって覆われている。これらカバー部材１２と搭載面１１ａとにより囲まれた空間である搬送空間は、外部から供給されるドライエアにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。
【００２６】
基台１１の搭載面１１ａには、カバー部材１２の外側と内側との間で電子部品Ｔを搬送する４つのコンベアーＣ１〜Ｃ４が配列されている。このうち、コンベアーの配列方向であるＸ方向の一方側には、カバー部材１２の外側から内側に向かって検査前の電子部品Ｔを搬送する供給用コンベアーＣ１が敷設され、Ｘ方向の他方側には、カバー部材１２の内側から外側に向かって検査後の電子部品Ｔを搬送する回収用コンベアーＣ２，Ｃ３，Ｃ４が敷設されている。これらのコンベアーＣ１〜Ｃ４では、複数の電子部品Ｔが各コンベアー上のデバイストレイＣ１ａ〜Ｃ４ａに収容された状態で搬送される。
【００２７】
また、搭載面１１ａのうち、搬送空間の略中央には、搭載面１１ａを貫通する矩形状の開口部１３が形成されている。この開口部１３には、テスターのテストヘッド１４が取り付けられている。テストヘッド１４は、その上面に電子部品Ｔが嵌め込まれる検査用ソケットを有しており、該電子部品Ｔを検査するためのテスター内の検査回路に電気的に接続されている。このテスターにおいては、テストヘッド１４と検査用ソケット１４ａとによって１つのステージが構成されている。
【００２８】
さらに、搭載面１１ａのうち、Ｘ方向と直交するＹ方向では、開口部１３の両側に、検査前及び検査後の電子部品Ｔが一時的に載置される第１シャトル１５と第２シャトル１６とが配設されている。これらのシャトル１５，１６は、Ｘ方向に延びるように形成されており、その上面における上記供給用コンベアーＣ１側には、検査前の電子部品Ｔが収容される収容ポケット１７，１８が複数形成された供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａがそれぞれ固定されている。一方、シャトル１５，１６の上面における上記回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４側には、検査後の電子部品Ｔが収容される回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂがそれぞれ固定されている。そして、これらシャトル１５，１６は、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びるシャトルガイド１５ｃ，１６ｃにそれぞれ連結されてＸ方向に沿って往動及び復動する。ハンドラー１０においては、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａとによって１つのステージが構成されており、第２シャトル１６と供給用シャトルプレート１６ａとによって１つのステージが構成されている。
【００２９】
基台１１の搭載面１１ａ上には、検査用ソケット１４ａ、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａ、及び回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂの各々に電子部品Ｔを搬送するロボット機構が搭載されている。そして、ロボット機構を構成する供給ロボット２０、搬送ロボット３０、及び回収ロボット４０の動作に合わせて、上述のシャトル１５，１６はシャトルガイド１５ｃ，１６ｃに沿って移動する。
【００３０】
供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１上のデバイストレイＣ１ａから、シャトル１５，１６上の供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに検査前の電子部品Ｔを搬送するロボットであり、供給用コンベアーＣ１のＹ方向に配置されている。詳しくは、供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された供給用ハンドユニット２３とを有している。また、供給用ハンドユニット２３は、その下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に供給側可動ガイド２２に連結されている。そして、供給側可動ガイド２２及び供給用ハンドユニット２３の移動により、デバイストレイＣ１ａに載置された電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３の吸着部に吸着されて搬送され、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａに載置される。
【００３１】
回収ロボット４０は、シャトル１５，１６上の回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂから、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４上のデバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに検査後の電子部品Ｔを搬送するロボットであり、回収用コンベアーＣ２〜Ｃ４のＹ方向に配置されている。詳しくは、回収ロボット４０は、上述の供給ロボット２０と同様、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に対してＸ方向に往動及び復動可能に連結された回収用ハンドユニット４３とを有している。また、回収用ハンドユニット４３は、その下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に回収側可動ガイド４２に連結されている。そして、回収側可動ガイド４２及び回収用ハンドユニット４３の移動により、回収用シャトルプレート１５ｂ，１６ｂに載置された電子部品Ｔが、回収用ハンドユニット４３の吸着部に吸着されて搬送され、デバイストレイＣ２ａ〜Ｃ４ａに載置される。
【００３２】
搬送ロボット３０は、搬送空間の略中央に設置されたＹ方向に延びる固定軸である搬送ガイド３１と、搬送ガイド３１に対してＹ方向に往動及び復動可能に連結された第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３とを有している。このうち、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上とテストヘッド１４上との間を往復し、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上とテストヘッド１４上との間を往復する。また、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、各々がその下端に電子部品Ｔを吸着する吸着部を有し、搭載面１１ａ対して下降及び上昇可能に搬送ガイド３１に連結されている。
【００３３】
そして、第１搬送ユニット３２は、第１シャトル１５上の供給用シャトルプレート１５ａに載置された検査前の電子部品Ｔを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。検査用ソケット１４ａの底面には、電子部品Ｔの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されており、電子部品Ｔの有する雄端子が検査用ソケット１４ａの雌端子に嵌め込まれることによって、電子部品Ｔの電気的特性がテスターにより検査可能になる。テスターは、ハンドラー１０から検査開始の指令を受けて電子部品Ｔの検査を開始し、その検査結果とともに検査の終了を示す信号をハンドラー１０に出力する。こうして電子部品Ｔの検査が終了すると、第１搬送ユニット３２は、検査後の電子部品Ｔをテストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第１シャトル１５上の回収用シャトルプレート１５ｂへ搬送する。
【００３４】
同様に、第２搬送ユニット３３は、第２シャトル１６上の供給用シャトルプレート１６ａに載置された検査前の電子部品Ｔを吸着部に吸着して搬送し、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに所定の押圧力で嵌め込む。そして、テスターによる電子部品Ｔの検査が終了すると、第２搬送ユニット３３は、検査後の電子部品Ｔを、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａから第２シャトル１６上の回収用シャトルプレート１６ｂへ搬送する。このような第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３によるテストヘッド１４への電子部品Ｔの搬送は交互に行われ、電子部品Ｔがテスターによって順次検査されていく。
【００３５】
なお、供給用ハンドユニット２３、回収用ハンドユニット４３、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３は、複数の電子部品を同時に吸着保持するものであり、各々の吸着部は例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着して把持することの可能なエンドエフェクターとして構成される。
【００３６】
ここで、本実施形態では、第１シャトル１５の周囲に、搬送空間内で隔離され、第１シャトル１５と供給用シャトルプレート１５ａ及び回収用シャトルプレート１５ｂとを収容する部屋を有する収容容器としての収容ボックス５０が配設されている。同様に、開口部１３及び開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４の周囲には、搬送空間内で隔離され、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａを収容する部屋である検査ボックス５１が配設されている。さらに、第２シャトル１６の周囲には、搬送空間内で隔離され、第２シャトルと供給用シャトルプレート１６ａ及び回収用シャトルプレート１６ｂとを収容する部屋である収容ボックス５２が配設されている。そして、これら収容ボックス５０、検査ボックス５１、及び収容ボックス５２の各々において電子部品Ｔの冷却が行なわれる。
【００３７】
［第１実施形態における温度調整ユニットの構成］
次に、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。まず、温度調整ユニットの構成について、図２を参照して説明する。なお、部品検査装置には、供給用シャトルプレート１５ａ，１６ａの収容ポケット１７，１８に収容された電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニット、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに収容された電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットが搭載されている。第１実施形態では、供給用シャトルプレート１５ａの収容ポケット１７に収容される電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットを用いて説明する。
【００３８】
図２に示されるように、１つの温度調整ユニットは、供給用シャトルプレート１５ａに形成された複数の収容ポケット１７のうち、２つの収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度を調整する。温度調整ユニットは、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度を調整することで、該収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに収容される電子部品Ｔの温度を調整する。温度調整ユニットは、例えば、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度である例えば−４５℃となるように調整する。また例えば、温度調整ユニットは、第１目標温度にある収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が例えば１８℃といった常温である第２目標温度になるように調整する。
【００３９】
温度調整ユニットにおいて、貯蔵タンク５５には、第１の媒体である窒素が液相状態にある液体窒素が貯蔵されている。貯蔵タンク５５には、共通路５６を介して第１供給路５７Ａが接続されている。この第１供給路５７Ａは、収容ポケット１７Ａの直下を通るように第１シャトル１５に形成された媒体流路５８Ａの流入端ＥｎＡに接続されている。第１供給路５７Ａには、第１の制御弁としての窒素供給バルブ５９Ａ（以下、単にバルブ５９Ａという。）が配設されており、このバルブ５９Ａは、第１供給路５７Ａを開閉して媒体流路５８Ａに対する第１の媒体の供給量を制御する。
【００４０】
また、貯蔵タンク５５には、共通路５６を介して第１供給路５７Ｂが接続されている。第１供給路５７Ｂは、第１供給路５７Ａと略等しい流路断面積を有する配管であって、収容ポケット１７Ｂの直下を通るように第１シャトル１５に形成された媒体流路５８Ｂの流入端ＥｎＢに接続されている。第１供給路５７Ｂには、第１の制御弁としての窒素供給バルブ５９Ｂ（以下、単にバルブ５９Ｂという。）が配設されており、このバルブ５９Ｂは、第１供給路５７Ｂを開閉して媒体流路５８Ｂに対する第１の媒体の供給量を制御する。
【００４１】
すなわち、第１シャトル１５は、媒体流路５８Ａと媒体流路５８Ｂとに対して互いに異なる量の第１の媒体が供給可能となっていることから、収容ポケット１７Ａに対応する媒体流路５８Ａを有する支持部と、収容ポケット１７Ｂに対応する媒体流路５８Ｂを有する支持部とを有している。
【００４２】
これら第１供給路５７Ａ，５７Ｂには、各バルブ５９Ａ，５９Ｂの下流側に気化容器６０が配設されている。気化容器６０内は、第１供給路５７Ａ，５７Ｂよりも流路断面積が大きい気化室６１Ａ，６１Ｂに仕切られており、気化室６１Ａに第１供給路５７Ａの液体窒素が流入し、気化室６１Ｂに第１供給路５７Ｂの液体窒素が流入する。気化室６１Ａ，６１Ｂに流入した液体窒素は、第１目標温度よりも低い温度の窒素ガスとなって気化容器６０から流出する。そして、窒素ガスとなった第１の媒体は、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに流入して収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを直接的に冷却する。
【００４３】
また、第１シャトル１５の内部には、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの直下に加熱ヒーター６２Ａ，６２Ｂ（以下、単にヒーター６２Ａ，６２Ｂという。）が備えられている。ヒーター６２Ａ，６２Ｂは、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを加熱する。また、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂには、該収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度を検出する温度センサー６３Ａ，６３Ｂが備えられている。そして、媒体流路５８Ａ，５８Ｂを流通する窒素ガスによる冷却とヒーター６２Ａ，６２Ｂによる加熱との協働によって、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第１目標温度に制御される。
【００４４】
一方、媒体流路５８Ａの流出端ＥｘＡには、排出路６４Ａが接続されている。排出路６４Ａは、収容ボックス５０に接続されており、媒体流路５８Ａから排出された窒素ガスを収容ボックス５０に導入する。また、媒体流路５８Ｂの流出端ＥｘＢには、排出路６４Ｂが接続されている。排出路６４Ｂは、接続部６５において排出路６４Ａに接続されており、媒体流路５８Ｂから排出された窒素ガスを排出路６４Ａに排出する。すなわち、収容ボックス５０には、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出された窒素ガスが導入される。
【００４５】
排出路６４Ａには、排出路６４Ｂとの接続部６５よりも上流側に、媒体流路５８Ａから接続部６５への気体の流れを許容し、且つ接続部６５から媒体流路５８Ａへの気体の流れを抑止する逆止弁６６Ａが配設されている。同様に排出路６４Ｂには、排出路６４Ｂとの接続部６５よりも上流側に、媒体流路５８Ｂから接続部６５への気体の流れを許容し、且つ接続部６５から媒体流路５８Ｂへの気体の流れを抑止する逆止弁６６Ｂが配設されている。こうした逆止弁６６Ａ，６６Ｂを設けることによって、例えば、媒体流路５８Ａから排出された媒体が排出路６４Ｂを逆流して媒体流路５８Ｂに流入すること、媒体流路５８Ｂから排出された媒体が排出路６４Ａを逆流して媒体流路５８Ａに流入すること、これらを抑えることができる。
【００４６】
また、排出路６４Ａには、排出路６４Ｂとの接続部６５よりも下流側に加熱部としての熱交換器６７が配設されている。熱交換器６７は、いわゆるプレート式熱交換器であって、排出路６４Ａと、ドライエア供給源６９からのドライエアであるパージエアが供給されるパージエア供給路７０とが接続されている。熱交換器６７では、排出路６４Ａを流通する媒体と、パージエア供給路７０を流通するパージエアとが並行流となっており、これら媒体とパージエアとの間で熱交換が行なわれる。
【００４７】
また、排出路６４Ａには、熱交換器６７の下流側に、熱交換器６７から収容ボックス５０への気体の流れを許容し、且つ収容ボックス５０から熱交換器６７への気体の逆流を抑止する逆止弁６８が配設されている。こうした逆止弁６８を設けることによって、排出路６４Ａを通じて、熱交換器６７、媒体流路５８Ａ，５８Ｂ、気化容器６０に対し、収容ボックス５０から窒素ガスよりも水分含有量の多いエアが流れ込むことを抑えることができる。その結果、バルブ５９Ａ，５９Ｂが再び開状態に制御されたときに、逆止弁６８よりも上流側にある熱交換器６７や媒体流路５８Ａ，５８Ｂ、気化容器６０等、窒素ガスの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
【００４８】
ドライエア供給源６９は、コンプレッサーや乾燥機で構成されており、部品検査装置の周辺にあるエアを圧縮し、乾燥させたうえでパージエア供給路７０に供給する。パージエア供給路７０に対する供給量は、パージエア供給路７０の流路断面積を変化させるパージエア供給バルブ７１（以下、単にバルブ７１という。）によって制御される。パージエア供給路７０は、収容ボックス５０に接続されており、熱交換器６７から流出したパージエアは、収容ボックス５０に導入される。パージエア供給路７０には、バルブ７１と熱交換器６７との間にパージエアを加熱するエアヒーター７２が配設されている。熱交換器６７には、このエアヒーター７２によって加熱されたパージエアが供給される。
【００４９】
また、パージエア供給路７０には、熱交換器６７の下流側に、熱交換器６７から収容ボックス５０への気体の流れを許容し、且つ収容ボックス５０から熱交換器６７への気体の逆流を抑止する逆止弁７３が配設されている。こうした逆止弁７３を設けることによって、収容ボックス５０から窒素ガスよりも水分含有量の多いエアが流れ込むことを抑えられ、熱交換器６７及びパージエア供給路７０を乾燥状態に維持することができる。
【００５０】
上記ドライエア供給源６９は、上記パージエア供給路７０の他、該ドライエア供給源６９の生成するドライエアを第２の媒体である昇温ガスとして第２供給路７５に供給する。この第２供給路７５は、分岐部７６において第２供給路７５Ａと第２供給路７５Ｂとに分岐されている。第２供給路７５Ａは、第１供給路５７Ａに対して接続部７７Ａで接続され、第２供給路７５Ｂは、第１供給路５７Ｂに対して接続部７７Ｂで接続されている。
【００５１】
第２供給路７５における分岐部７６よりも上流側には、第２供給路７５の流路断面積を変化させて、第２供給路７５に対する昇温ガスの供給量を制御する第２の制御弁としての昇温ガス供給バルブ７８（以下、単にバルブ７８という。）が配設されている。また、第２供給路７５におけるバルブ７８と分岐部７６との間には、昇温ガスを第２目標温度である１８℃よりも高い所定の温度である例えば６０℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター７９とが配設されている。すなわち、窒素供給バルブ５９Ａ，５９Ｂが閉状態、且つバルブ７８が開状態にある場合、第１供給路５７Ａ，５７Ｂには、第２目標温度よりも高い温度の昇温ガスが流入することとなり、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが昇温ガスによって直接的に加熱されることになる。
【００５２】
また、第２供給路７５Ａには、第２供給路７５から第１供給路５７Ａに対する昇温ガスの流れを許容し、且つ第１供給路５７Ａから第２供給路７５への窒素ガスの流れを抑止する抑止する抑止部としての逆止弁８０Ａが配設されている。同様に、第２供給路７５Ｂには、第２供給路７５から第１供給路５７Ｂに対する昇温ガスの流れを許容し、且つ第１供給路５７Ｂから第２供給路７５への窒素ガスの流れを抑止する抑止部としての逆止弁８０Ｂが配設されている。
【００５３】
［第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成］
次に、第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー１０の電気的構成を中心に図３を参照して説明する。上記ハンドラー１０に備えられた制御部を構成する制御装置８５は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリー（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリー（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置８５は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、上述の供給ロボット２０、搬送ロボット３０、回収ロボット４０といったロボット機構の動作をはじめとするハンドラー１０にかかわる各種制御を統括的に行っている。また、制御装置８５には、テスター８８が電気的に接続されており、テスター８８との間で電子部品Ｔの検査の開始や終了を示す信号の入出力を行っている。ここでは、制御装置８５による制御のうち、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに対応する温度調整ユニットにかかわる制御の態様について説明する。なお、制御装置８５は、入出力装置８６を介して入力される目標温度に関する情報に基づいて、温度調整ユニットに関わる各種制御を実行する。
【００５４】
制御装置８５は、電子部品Ｔの目標温度が例えば−４５℃である第１目標温度である場合には、収容ポケットを冷却する第１温度調整状態である冷却運転を実施する。また、制御装置８５は、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度から例えば１８℃といった常温である第２目標温度に切り替えられた場合には、収容ポケットを常温に復帰させる第２温度調整状態である常温復帰運転を実施する。
【００５５】
図３に示されるように、制御装置８５には、バルブ駆動部８７ａと加熱ヒーター駆動部８７ｂとエアヒーター駆動部８７ｃとを有する温度調整ユニット駆動部８７が電気的に接続されている。
【００５６】
まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部８７ａ、加熱ヒーター駆動部８７ｂ、エアヒーター駆動部８７ｃによる各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
【００５７】
冷却運転において、バルブ駆動部８７ａは、制御装置８５から入力された第１目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度になるように、バルブ５９Ａ，５９Ｂの各々の開閉時間を設定するとともに、該開閉時間を示す信号を各バルブ５９Ａ，５９Ｂに出力する。バルブ５９Ａ，５９Ｂは、入力された信号に応じた開閉を行うことで媒体流路５８Ａ，５８Ｂの各々に対する窒素ガスの供給量を調整する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７８が閉状態に維持されることを示す信号をバルブ７８に出力する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７１の開度を最大開度に維持することを示す信号をバルブ７１に出力する。
【００５８】
冷却運転において、加熱ヒーター駆動部８７ｂは、制御装置８５から入力された第１目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力された温度とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が目標温度になるように、ヒーター６２Ａ，６２Ｂの各々に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力を各ヒーター６２Ａ，６２Ｂに出力し、ヒーター６２Ａ，６２Ｂを駆動する。
【００５９】
冷却運転において、エアヒーター駆動部８７ｃは、エアヒーター７２，７９のうち、エアヒーター７２のみを駆動する。エアヒーター駆動部８７ｃは、バルブ５９Ａ，５９Ｂの開閉時間に基づいて、熱交換器６７における窒素ガスとパージエアとの熱交換によって、これら窒素ガスとパージエアが常温となるように、エアヒーター７２に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター７２に出力し、エアヒーター７２を駆動する。
【００６０】
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部８７ａ、加熱ヒーター駆動部８７ｂ、エアヒーター駆動部８７ｃによる各バルブ、各加熱ヒーター、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
【００６１】
常温復帰運転において、バルブ駆動部８７ａは、バルブ５９Ａ，５９Ｂが閉状態に維持されることを示す信号を各バルブ５９Ａ，５９Ｂに出力する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７８の開度を最大開度にすることを示す信号をバルブ７８に出力する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７１の開度を最大開度にすることを示す信号をバルブ７１に出力する。
【００６２】
常温復帰運転において、加熱ヒーター駆動部８７ｂは、制御装置８５から入力された第２目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力された温度とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第２目標温度になるように、ヒーター６２Ａ，６２Ｂの各々に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力を各ヒーター６２Ａ，６２Ｂに出力し、ヒーター６２Ａ，６２Ｂを駆動する。
【００６３】
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部８７ｃは、エアヒーター７２，７９の双方を駆動する。エアヒーター駆動部８７ｃは、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに供給される昇温ガスが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター７９に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部８７ｃは、その生成した駆動電力をエアヒーター７９に出力し、エアヒーター７９を駆動する。
【００６４】
また、エアヒーター駆動部８７ｃは、温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値に基づいて、熱交換器６７における昇温ガスとパージエアとの熱交換によって、これら昇温ガスとパージエアの双方が常温以上の温度となるように、エアヒーター７２に対して駆動電力を生成する。エアヒーター駆動部８７ｃは、その生成した駆動電力をエアヒーター７２に出力し、エアヒーター７２を駆動する。
【００６５】
すなわち、温度調整ユニット駆動部８７は、冷却運転と常温復帰運転とにおいて、図４に示すように、窒素供給バルブ５９Ａ，５９Ｂ、昇温ガス供給バルブ７８、パージエア供給バルブ７１、加熱ヒーター６２Ａ，６２Ｂ、エアヒーター７２，７９の駆動態様を変化させる。
【００６６】
なお、温度調整ユニット駆動部８７と同様、供給用シャトルプレート１５ａの他の収容ポケット１７や、供給用シャトルプレート１６ａの収容ポケット１８、テストヘッド１４の検査用ソケット１４ａに対応する温度調整ユニットに対しても、該温度調整ユニットごとに温度調整ユニット駆動部が設けられている。すなわち、制御装置８５は、各温度調整ユニットを互いに独立させた態様で制御する。
【００６７】
［第１実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて］
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて図５を参照して説明する。上述したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ５９Ａ，５９Ｂ，７１が開閉制御されるとともに、バルブ７８が閉状態に制御される。なお、冷却運転においては、バルブ７８が閉状態であり、且つ第１供給路５７Ａ，５７Ｂから第２供給路７５への窒素ガスの流れが逆止弁８０Ａ，８０Ｂで抑止されるため、第２供給路７５，７５Ａ，７５Ｂには流体が流通していない。そのため、図５では、第２供給路７５，７５Ａ，７５Ｂを点線で示している。
【００６８】
図５に示されるように、貯蔵タンク５５から第１供給路５７Ａ，５７Ｂに供給された液体窒素は、やがて気化容器６０に流入する。気化容器６０に流入した液体窒素は、該気化容器６０において窒素ガスへと転移したのち、続いて媒体流路５８Ａ，５８Ｂに流入して収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを冷却する。
【００６９】
媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された窒素ガスは、接続部６５にて合流したのち、熱交換器６７に流入する。この熱交換器６７には、上記窒素ガスの他、エアヒーター７２によって加熱されて窒素ガスよりも温度の高いパージガスが流入している。熱交換器６７に流入した窒素ガスは、パージガスとの熱交換によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器６７に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換によって常温まで降温させられたのち、収容ボックス５０に導入される。
【００７０】
こうした冷却運転において、制御装置８５は、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力される温度が第１目標温度となるように、各バルブ５９Ａ，５９Ｂの開閉時間とヒーター６２Ａ，６２Ｂに出力される駆動電力とを制御する。また、制御装置８５は、バルブ７１を最大開度に制御するとともに、収容ボックス５０に導入される窒素ガス及びパージエアが常温となるようにエアヒーター７２に出力される駆動電力を制御する。
【００７１】
［第１実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて］
次に、常温復帰運転の温度調整ユニットについて、図６を参照して説明する。上述したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、バルブ５９Ａ，５９Ｂが閉状態に制御されるとともに、バルブ７１，７８の開度が最大開度に制御される。なお、常温復帰運転においては、貯蔵タンク５５から接続部７７Ａ，７７Ｂまでの第１供給路５７Ａ，５７Ｂには第１の媒体である窒素が流通していない。そのため、図６では、共通路５６と第１供給路５７Ａ，５７Ｂの一部とを点線で示している。
【００７２】
図６に示されるように、ドライエア供給源６９から第２供給路７５に供給された昇温ガスは、エアヒーター７９によって第２目標温度よりも高い温度まで加熱させられたのち、分岐部７６において第２供給路７５Ａ，７５Ｂに分流される。第２供給路７５Ａ，７５Ｂに流入した昇温ガスは、接続部７７Ａ，７７Ｂにおいて第１供給路５７Ａ，５７Ｂに流入し、続けて媒体流路５８Ａ，５８Ｂに流入する。媒体流路５８Ａ，５８Ｂに流入した昇温ガスは、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを加熱したのち、排出路６４Ａ，６４Ｂに排出される。すなわち、第１目標温度にあった各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂは、ヒーター６２Ａ，６２Ｂに加えて、媒体流路５８Ａ，５８Ｂを流通する昇温ガスによって直接的に加熱される。
【００７３】
媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された昇温ガスは、接続部６５にて合流したのち、熱交換器６７に流入する。この熱交換器６７には、上記窒素ガスの他、エアヒーター７２によって常温以上の温度に調整されたパージガスが流入している。熱交換器６７に流入した窒素ガスは、パージガスとの熱交換によって常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。また、熱交換器６７に流入したパージエアは、窒素ガスとの熱交換後も常温以上の温度が維持され、その後、収容ボックス５０に導入される。
【００７４】
こうした常温復帰運転において、制御装置８５は、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力される温度が第２目標温度となるように、バルブ７８の開度を最大開度に制御しつつ、エアヒーター７９に出力される駆動電力とヒーター６２Ａ，６２Ｂに出力される駆動電力とを制御する。また、制御装置８５は、バルブ７１を最大開度に制御するとともに、収容ボックス５０に導入される窒素ガス及びパージエアが常温以上となるようにエアヒーター７２に出力される駆動電力を制御する。
【００７５】
やがて温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値が第２目標温度に到達すると、ヒーター６２Ａ，６２Ｂ、エアヒーター７２，７９の駆動が停止され、常温復帰運転が終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第２目標温度に切り替えられる。なお、バルブ７１，７８は、常温復帰運転の終了後も開状態に維持される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続けられ、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【００７６】
［第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置の作用］
次に、第１実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用について説明する。
第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられると上述した常温復帰運転が実施される。常温復帰運転が開始されると、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに供給される媒体が第１の媒体である窒素から第２の媒体である昇温ガスに切り替えられる。そして、第１目標温度にあった各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂは、第２目標温度に到達するまで昇温ガスによって加熱されることとなる。
【００７７】
そのため、例えば各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが常温になるまで装置自体を待機させる場合や常温のドライエアを媒体流路５８Ａ，５８Ｂに供給する場合に比べて、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第２目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
【００７８】
また、第２供給路７５Ａ，７５Ｂには、逆止弁８０Ａ，８０Ｂが配設されていることから、冷却運転時に窒素ガスの一部がエアヒーター７９に流入し、該窒素ガスによってエアヒーター７９が冷却されることを抑えることができる。これにより、窒素ガスの一部がエアヒーター７９に流入してしまう場合に比べて、常温復帰運転開始時におけるエアヒーター７９の温度が高められることとなる。その結果、第１供給路５７Ａ，５７Ｂに対して、第２目標温度よりも高い温度の昇温ガスが早期に供給されることから、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第２目標温度に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
【００７９】
また、第２供給路７５には、エアヒーター７９の上流側にバルブ７８が配設されている。ここで、バルブ７８にも上記窒素ガスの一部が流入するとなれば、バルブ７８の設計温度を窒素ガスの温度よりも低い温度に設定する必要がある。すなわち、上記逆止弁８０Ａ，８０Ｂによって上記バルブ７８に対する窒素ガスの流入が抑止されることで、バルブ７８の設計温度を高く設定することができる。その結果、バルブ７８を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
【００８０】
また、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出路６４Ａに排出された窒素ガス及び昇温ガスは、収容ボックス５０に導入される。窒素ガスは、液体窒素を気化させたものであり水分含有量が０に近く、また昇温ガスも、ドライエアであって、部品検査装置の周辺のエアに比べれば水分含有量が少ない。そのため、これら窒素ガス及び昇温ガスが収容ボックス５０に導入されることによって、収容ボックス５０内が水分含有量の少ない気体で満たされることになる。その結果、収容ボックス５０内で結露が発生することを抑えることができる。
【００８１】
一方、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された窒素ガスは、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを含む窒素ガスの流通経路を冷却しているため、気化容器６０から流出した直後に比べて温度が高くなっているものの、未だ常温よりも低い温度が維持されている。また、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された昇温ガスは、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを含む窒素ガスの流通経路を加熱しているため、常温よりも低い温度まで温度が低下している可能性がある。こうした窒素ガスや昇温ガスが収容ボックス５０に導入されるとなれば、いくら水分含有量の少ない気体が収容ボックス５０に供給されているとはいえ、収容ボックス５０内の温度がその時々の露点よりも低い温度になってしまい、収容ボックス５０内において結露が発生する虞がある。この点、収容ボックス５０に導入される窒素ガス及び昇温ガスは、熱交換器６７におけるパージガスとの熱交換によって、その温度が常温以上の温度に調整される。そのため、収容ボックス５０内の温度がその時々の露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス５０内で結露が発生することをさらに抑えることができる。
【００８２】
そして、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを冷却する窒素ガス、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを加熱する昇温ガス、これらを収容ボックス５０における結露対策用のガスとして使用している。そのため、収容ボックス５０において結露が発生することを抑えるうえで上記窒素ガス及び昇温ガスを有効に利用することができる。
【００８３】
また、第２供給路７５は、エアヒーター７９の下流側にある分岐部７６において、第２供給路７５Ａ，７５Ｂに分岐されて、これら第２供給路７５Ａ，７５Ｂが第１供給路５７Ａ，５７Ｂに接続されている。すなわち、第２供給路７５は、エアヒーター７９の下流側で２つの第１供給路５７Ａ，５７Ｂに対して並列に接続されている。そのため、２つの第１供給路５７Ａ，５７Ｂに昇温ガスを供給する上で、ドライエア供給源６９、バルブ７８、エアヒーター７９を共通化することができる。その結果、２つの第２供給路７５Ａ，７５Ｂの各々にドライエア供給源６９、バルブ７８、エアヒーター７９が配設される場合に比べて、第２供給路の構成を簡素化することができる。
【００８４】
以上説明したように、第１実施形態のハンドラー及び部品検査装置によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）常温復帰運転によって、第１目標温度にあった収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを第２目標温度に切り替えることができるとともに、第２目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
【００８５】
（２）また、窒素ガスの流通経路と昇温ガスの流通経路とが、第１供給路と第２供給路との接続部よりも下流側で共有化されていることから、窒素ガスの流通経路と昇温ガスの流通経路とが別々に設けられた場合に比べて、温度の切り替えに要する構成を簡素にすることが可能である。
【００８６】
（３）また、逆止弁８０Ａ，８０Ｂによって、エアヒーター７９に対する窒素ガスの流入が抑止されることから、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第２目標温度に切り替わるまでに要する時間をさらに短縮することができる。
【００８７】
（４）バルブ７８は、第２供給路７５においてエアヒーター７９の上流側に配設されており、該エアヒーター７９と同様に、窒素ガスの流入が逆止弁８０Ａ，８０Ｂで抑止される。そのため、バルブ７８を構成する部材に関する自由度を高めることができる。
【００８８】
（５）収容ポケットの冷却に利用した窒素ガス、及び収容ポケットの加熱に利用した昇温ガスが収容ボックス５０に導入されることから、収容ボックス５０を満たす気体の水分含有量を少なくすることができる。その結果、収容ボックス５０内において結露が発生することを抑えることができる。
【００８９】
（６）排出路６４Ａには、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出された窒素ガス及び昇温ガスの温度を調整する熱交換器６７が配設されている。その結果、収容ボックス５０内の温度が露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス５０内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
【００９０】
（７）収容ポケットの冷却に使用した窒素ガス、収容ポケットの加熱に使用した昇温ガス、これらを収容ボックス５０における結露対策用のガスとして使用している。そのため、収容ボックス５０において結露が発生することを抑えるうえで上記窒素ガス及び昇温ガスを有効に利用することができる。
【００９１】
（８）第２供給路７５は、エアヒーター７９の下流側で２つの第１供給路５７Ａ，５７Ｂに対して並列に接続されている。すなわち、２つの第２供給路７５Ａ，７５Ｂに対し、１つのドライエア供給源６９、１つのバルブ７８で昇温ガスを供給することができる。その結果、第２供給路の構成を簡素化することができる。
【００９２】
（９）また、２つの第２供給路７５Ａ，７５Ｂの各々にエアヒーター７９が配設される場合に比べて、第２供給路におけるエアヒーターの設置台数を少なくすることができることから、第２供給路の構成をさらに簡素化することができる。
【００９３】
（１０）排出路６４Ａには逆止弁６８が配設されていることから、該逆止弁６８よりも上流側における窒素ガスの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
【００９４】
（１１）また、排出路６４Ａには逆止弁６６Ａ、排出路６４Ｂには逆止弁６６Ｂが配設されている。これにより、これら逆止弁６６Ａ，６６Ｂよりも上流側における窒素ガスの流通経路において、結露や氷結が発生することをさらに抑えることができる。
【００９５】
［第２実施形態における温度調整ユニットの構成］
次に、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの温度を調整する温度調整ユニットについて説明する。
【００９６】
まず、第２実施形態における温度調整ユニットの構成について、図７を参照して説明する。なお、第１実施形態の温度調整ユニットでは収容ポケットの媒体流路に対して、第１の媒体である窒素及び第２の媒体である昇温ガスを供給していたが、第２実施形態においては、第１の媒体及び第２の媒体とは異なる温度調整媒体が収容ポケットの媒体流路に供給される。そして、第１の媒体は、温度調整媒体を介して間接的に収容ポケットを冷却する。同様に、第２の媒体も、温度調整媒体を介して間接的に収容ポケットを加熱する。第２実施形態においては、第１実施形態と異なる部分について詳細に説明し、第１実施形態における温度調整ユニットと同じ機能を有する構成要素については、同じ符号を付すことによりその詳細な説明を省略する。
【００９７】
図７に示されるように、温度調整ユニットにおいて、ドライエア供給源６９は、温度調整媒体としてのドライエアを媒体供給路であるドライエア供給路９０に供給する。ドライエア供給路９０は、第１熱交換器９１の供給側流路９１ａ、第２熱交換器９２のドライエア側流路９２ａ、第３熱交換器９３のドライエア側流路９３ａを介して、収容ポケット１７Ａに対応する媒体流路５８Ａの一端に接続されている。この媒体流路５８Ａの他端に接続された連結路９５は、第４熱交換器９４のドライエア側流路９４ａを介して収容ポケット１７Ｂに対応する媒体流路５８Ｂの一端に接続されている。この媒体流路５８Ｂの他端に接続されたドライエア排気路９６は、第１熱交換器９１の排気側流路９１ｂを介して収容ボックス５０に接続されている。なお、第３熱交換器９３のドライエア側流路９３ａ、第４熱交換器９４のドライエア側流路９４ａが第１の流路に相当する。
【００９８】
すなわち、温度調整媒体としてドライエア供給源６９から供給されたドライエアは、第１熱交換器９１の供給側流路９１ａ、第２熱交換器９２のドライエア側流路９２ａ、第３熱交換器９３のドライエア側流路９３ａを通じて、収容ポケット１７Ａに対応する媒体流路５８Ａに流入する。媒体流路５８Ａから排出されたドライエアは、第４熱交換器９４のドライエア側流路９４ａを通じて、収容ポケット１７Ｂに対応する媒体流路５８Ｂに流入する。そして、媒体流路５８Ｂからドライエア排気路９６に排出されたドライエアは、第１熱交換器９１の排気側流路９１ｂを通じて、収容ボックス５０に導入される。
【００９９】
ドライエア供給路９０には、第１熱交換器９１の上流側に、媒体制御弁としてのドライエア供給バルブ９７（以下、単にバルブ９７という。）が配設されている。バルブ９７は、ドライエア供給路９０の流路断面積を変化させて、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに対するドライエアの供給量を制御する。また、ドライエア供給路９０には、バルブ９７と第１熱交換器９１との間に、ドライエアを第２目標温度である１８℃よりも高い所定の温度である例えば６０℃まで加熱する加熱部としてのエアヒーター９８が配設されている。
【０１００】
ドライエア排気路９６には、第１熱交換器９１の下流側に逆止弁９９が配設されており、この逆止弁９９の下流側には加熱部としてのエアヒーター１００が配設されている。逆止弁９９は、第１熱交換器９１からエアヒーター１００への気体の流れを許容し、且つエアヒーター１００から第１熱交換器９１への気体の流れを抑止する。エアヒーター１００は、収容ボックス５０に導入されるドライエアの温度を例えば常温以上の温度に調整する。
【０１０１】
一方、第１供給路５７Ａは、バルブ５９Ａの下流側にて第３熱交換器９３におけるガス側流路９３ｂの流入端ＥｎＡに接続されており、第３熱交換器９３に供給された媒体は、ガス側流路９３ｂの流出端ＥｘＡから排出路６４Ａに排出される。第１供給路５７Ｂは、バルブ５９Ｂの下流側にて第４熱交換器９４におけるガス側流路９４ｂの流入端ＥｎＢに接続されており、第４熱交換器９４に供給された媒体は、ガス側流路９４ｂの流出端ＥｘＢから排出路６４Ｂに排出される。これら排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された媒体は、接続部６５で合流したのち、第２熱交換器９２のガス側流路９２ｂに流入する。排出路６４Ａには、第２熱交換器９２の下流側に逆止弁６８が配設されているとともに、この逆止弁６８の下流側に、排出路６４Ａから収容ボックス５０に導入される媒体の温度を常温以上の温度に調整するエアヒーター１０１が配設されている。
【０１０２】
上述した第１〜第４熱交換器９１〜９４は、いわゆるプレート式熱交換器であって、各熱交換器における２つの流路が第１供給路５７Ａ，５７Ｂよりも大きな流路断面積で形成されている。第１熱交換器９１では、ドライエア供給源６９から供給されて収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを冷却する前のドライエアと、媒体流路５８Ｂから排出されて収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを冷却した後のドライエアとの間で熱交換が可能となっている。第２熱交換器９２では、第１熱交換器９１を通過したドライエアと、第３及び第４熱交換器９３，９４から排出されて、先行するドライエアとの間で熱交換した後の媒体との間で熱交換が可能となっている。第３熱交換器９３では、第２熱交換器９２を通過したドライエアと、第１供給路５７Ａから供給された媒体との間で熱交換が可能となっている。第４熱交換器９４では、媒体流路５８Ａから排出されたドライエアと、第１供給路５７Ｂから供給された媒体との間で熱交換が可能となっている。
【０１０３】
［第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成］
次に、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の電気的構成について、ハンドラー１０の電気的構成を中心に図８を参照して説明する。なお、加熱ヒーター駆動部８７ｂによるヒーター６２Ａ，６２Ｂの駆動態様は、第１実施形態と同じであるためその詳細な説明を省略する。
【０１０４】
まず、冷却運転に関し、バルブ駆動部８７ａ、エアヒーター駆動部８７ｃによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
冷却運転において、バルブ駆動部８７ａは、制御装置８５から入力された第１目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力された温度とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度になるように、バルブ５９Ａ，５９Ｂの開閉時間を設定する。バルブ駆動部８７ａは、その開閉時間を示す信号を各バルブ５９Ａ，５９Ｂに出力する。バルブ５９Ａ，５９Ｂは、入力された信号に応じた開閉を行うことで第３及び第４熱交換器９３，９４に対する窒素ガスの供給量を調整する。また、バルブ駆動部８７ａは、制御装置８５から入力された第１目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力された温度とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度になるように、バルブ９７の開度を設定する。バルブ駆動部８７ａは、その開度を示す信号をバルブ９７に出力する。バルブ９７は、入力された信号に応じて媒体流路５８Ａ，５８Ｂに対するドライエアの供給量を調整する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７８が閉状態に維持されることを示す信号を該バルブ７８に出力する。
【０１０５】
冷却運転において、エアヒーター駆動部８７ｃは、エアヒーター７９，９８，１００，１０１のうち、エアヒーター１００，１０１を駆動する。エアヒーター駆動部８７ｃは、バルブ５９Ａ，５９Ｂの開閉時間に基づいて、収容ボックス５０に導入される窒素ガスの温度が常温となるように、エアヒーター１０１に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１０１に出力し、エアヒーター１０１を駆動する。また、エアヒーター駆動部８７ｃは、バルブ９７の開度に基づいて、収容ボックス５０に導入されるドライエアの温度が常温となるように、エアヒーター１００に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１００に出力し、エアヒーター１００を駆動する。
【０１０６】
次に、常温復帰運転に関し、バルブ駆動部８７ａ、エアヒーター駆動部８７ｃによる各バルブ、各エアヒーターの駆動態様について説明する。
常温復帰運転において、バルブ駆動部８７ａは、バルブ５９Ａ，５９Ｂが閉状態に維持されることを示す信号を各バルブ５９Ａ，５９Ｂに出力する。また、バルブ駆動部８７ａは、バルブ７８，９７の各々の開度を最大開度に維持することを示す信号を各バルブ７８，９７に出力する。
【０１０７】
常温復帰運転において、エアヒーター駆動部８７ｃは、エアヒーター７９，９８，１００，１０１を駆動する。エアヒーター駆動部８７ｃは、第１供給路５７Ａ，５７Ｂに供給される昇温ガスが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター７９に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター７９に出力し、エアヒーター７９を駆動する。
【０１０８】
エアヒーター駆動部８７ｃは、第１熱交換器９１に供給されるドライエアが第２目標温度よりも高い所定の温度となるように、エアヒーター９８に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター９８に出力し、エアヒーター９８を駆動する。
【０１０９】
エアヒーター駆動部８７ｃは、温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値に基づいて、収容ボックス５０に導入されるドライエアの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター１００に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１００に出力し、エアヒーター１００を駆動する。
【０１１０】
エアヒーター駆動部８７ｃは、温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値に基づいて、収容ボックス５０に導入される昇温ガスの温度が常温以上の温度となるように、エアヒーター１０１に対して駆動電力を生成するとともに、該駆動電力をエアヒーター１０１に出力し、エアヒーター１０１を駆動する。
【０１１１】
すなわち、温度調整ユニット駆動部８７は、冷却運転と常温復帰運転とでは、図９に示すように、窒素供給バルブ５９Ａ，５９Ｂ、昇温ガス供給バルブ７８、ドライエア供給バルブ９７、加熱ヒーター６２Ａ，６２Ｂ、エアヒーター７９，９８，１００，１０１の駆動態様を変化させる。
【０１１２】
［第２実施形態における冷却運転時の温度調整ユニットについて］
次に、冷却運転時における温度調整ユニットについて、図１０を参照して説明する。上述したように、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置における冷却運転では、バルブ５９Ａ，５９Ｂ，９７が開閉制御されるとともに、バルブ７８が閉状態に制御される。また、エアヒーター７９，９８が停止状態に制御されるとともに、エアヒーター１００，１０１の駆動電力が制御される。なお、冷却運転においては、バルブ７８が閉状態であり、且つ第１供給路５７Ａ，５７Ｂから第２供給路７５への窒素ガスの流れが逆止弁８０Ａ，８０Ｂで抑止されるため、第２供給路７５，７５Ａ，７５Ｂには流体が流通していない。そのため、図１０では、第２供給路７５，７５Ａ，７５Ｂを点線で示している。
【０１１３】
図１０に示されるように、貯蔵タンク５５から第１供給路５７Ａに供給された液体窒素は、第３熱交換器９３のガス側流路９３ｂに流入して窒素ガスへと転移したのち第２熱交換器９２のガス側流路９２ｂに流入する。貯蔵タンク５５から第１供給路５７Ｂに供給された液体窒素は、第４熱交換器９４のガス側流路９４ｂに流入して窒素ガスへと転移したのち第２熱交換器９２のガス側流路９２ｂに流入する。そして、第２熱交換器９２のガス側流路９２ｂから排出された窒素ガスは、エアヒーター１０１によって常温まで加熱されたのち、収容ボックス５０に導入される。
【０１１４】
一方、ドライエア供給源６９からドライエア供給路９０に供給されたドライエアは、第１熱交換器９１の供給側流路９１ａ、第２熱交換器９２のドライエア側流路９２ａ、第３熱交換器９３のドライエア側流路９３ａに続けて流入する。ドライエアは、第１及び第２熱交換器９１，９２における熱交換によって段階的に冷却されたのち、第３熱交換器９３における窒素ガスとの熱交換によって第１目標温度よりも低い温度まで冷却される。そして、第３熱交換器９３のドライエア側流路９３ａを通過したドライエアは、媒体流路５８Ａに流入して収容ポケット１７Ａを冷却する。
【０１１５】
媒体流路５８Ａから排出されたドライエアは、連結路９５を通じて第４熱交換器９４のドライエア側流路９４ａに流入する。第４熱交換器９４に流入するドライエアは、収容ポケット１７Ａの冷却によって昇温されているが、該第４熱交換器９４における窒素ガスとの熱交換によって第１目標温度よりも低い温度まで再び冷却される。そして、第４熱交換器９４を通過したドライエアは、媒体流路５８Ｂに流入して収容ポケット１７Ｂを冷却する。媒体流路５８Ｂからドライエア排気路９６に排出されたドライエアは、続けて第１熱交換器９１の排気側流路９１ｂを通過したのち、エアヒーター１００によって常温まで加熱されたうえで収容ボックス５０に導入される。
【０１１６】
媒体流路５８Ｂからドライエア排気路９６に排出されるドライエアは、収容ポケット１７Ｂの冷却によって昇温されているとはいえ、常温よりは低い温度にある。そのため、第１熱交換器９１では、先行して収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを冷却したドライエアの廃熱を利用して、第２熱交換器９２に流入する前のドライエアが冷却される。
【０１１７】
また、第２熱交換器９２に流入する窒素ガスは、第３及び第４熱交換器９３，９４におけるドライエアとの熱交換によって昇温されているとはいえ、第１熱交換器９１で冷却されたドライエアの温度よりは低い温度にある。そのため、第２熱交換器９２では、先行するドライエアを冷却した窒素ガスの廃熱を利用して、第３熱交換器９３に流入する前のドライエアが冷却される。
【０１１８】
制御装置８５は、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力される温度が第１目標温度となるように、各媒体流路５８Ａ，５８Ｂに供給されるドライエアの供給量と、各第１供給路５７Ａ，５７Ｂに供給される液体窒素の供給量と、ヒーター６２Ａ，６２Ｂに出力される駆動電力とを制御する。これにより、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに収容された電子部品Ｔが第１目標温度に制御される。
【０１１９】
［第２実施形態における常温復帰運転時の温度調整ユニットについて］
次に、常温復帰運転時の温度調整ユニットについて図１１を参照して説明する。上述したように、第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置における常温復帰運転では、温度調整ユニットにおいて、バルブ７８，９７が開閉制御されるとともに、バルブ５９Ａ，５９Ｂが閉状態に制御される。また、エアヒーター７９，９８，１００，１０１の駆動電力が制御される。なお、常温復帰運転においては、貯蔵タンク５５から接続部７７Ａ，７７Ｂまでの第１供給路５７Ａ，５７Ｂには第１の媒体である窒素が流通していない。そのため、図１１では、共通路５６と第１供給路５７Ａ，５７Ｂの一部とを点線で示している。
【０１２０】
図１１に示されるように、ドライエア供給源６９から第２供給路７５に供給された昇温ガスは、エアヒーター７９によって第２目標温度よりも高い温度まで加熱されたのち、分岐部７６において第２供給路７５Ａ，７５Ｂに分流される。
【０１２１】
第２供給路７５Ａに流入した昇温ガスは、接続部７７Ａにおいて第１供給路５７Ａに流入し、続けて第３熱交換器９３のガス側流路９３ｂに流入する。また、第２供給路７５Ｂに流入した昇温ガスは、接続部７７Ｂにおいて第１供給路５７Ｂに流入し、続けて第４熱交換器９４のガス側流路９４ｂに流入する。これら第３及び第４熱交換器９３，９４から排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された昇温ガスは、接続部６５にて合流して第２熱交換器９２のガス側流路９２ｂに流入する。そして、第２熱交換器９２から排出された昇温ガスは、エアヒーター１０１に流入する。すなわち、昇温ガスは、第２〜第４熱交換器９２〜９４等、冷却運転時に低温となっていた窒素ガスの流通経路を加熱する。そして、窒素ガスの流通経路を加熱することによって温度が低下した昇温ガスは、エアヒーター１０１によってその温度が常温以上の温度に調整されたのち、収容ボックス５０に導入される。
【０１２２】
一方、ドライエア供給源６９からドライエア供給路９０に供給されたドライエアは、エアヒーター９８によって第２目標温度よりも高い所定の温度まで加熱される。その後、ドライエアは、ドライエア供給路９０、及び冷却運転時にドライエアを段階的に冷却していた第１〜第３熱交換器９１〜９３を加熱しながら流通し、やがて媒体流路５８Ａに流入する。
【０１２３】
この過程においてドライエアは、その温度が徐々に低下することになるが、第２及び第３熱交換器９２，９３は、上記ドライエアに加えて、第２供給路７５Ａからの昇温ガスによっても加熱されている。そのため、媒体流路５８Ａに流入するドライエアは、第２及び第３熱交換器９２，９３に昇温ガスが供給されない場合よりも高い温度で媒体流路５８Ａに流入することになる。そして、冷却運転時に低温にあった収容ポケット１７Ａは、媒体流路５８Ａに流入するドライエアによって加熱される。
【０１２４】
媒体流路５８Ａから排出されたドライエアは、連結路９５、及び冷却運転時にドライエアを冷却していた第４熱交換器９４を加熱しながら流通し、やがて媒体流路５８Ｂに流入する。この過程においてもドライエアは、その温度が徐々に低下することになるが、第４熱交換器９４も、上記ドライエアに加えて、第２供給路７５Ｂからの昇温ガスによって加熱されている。そのため、媒体流路５８Ｂに流入するドライエアは、第４熱交換器９４に昇温ガスが供給されない場合よりも高い温度で媒体流路５８Ｂに流入する。そして、冷却運転時に低温となっていた収容ポケット１７Ｂは、媒体流路５８Ｂに流入するドライエアによって加熱される。
【０１２５】
媒体流路５８Ｂからドライエア排気路９６に排出されたドライエアは、ドライエア排気路９６、及び第１熱交換器９１を加熱しながら流通したのち、エアヒーター１００に流入する。ドライエアは、エアヒーター１００によってその温度が常温以上の温度に調整されたうえで収容ボックス５０に導入される。
【０１２６】
そして、常温復帰運転が進むにつれて、ドライエア供給路９０、第１〜第４熱交換器９１〜９４の温度が上昇することから、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに流入するドライエアの温度も常温以上の温度まで上昇する。やがて温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値が第２目標温度に到達すると、バルブ７８が閉状態に制御されるとともにエアヒーター７９，９８，１００，１０１の駆動が停止され、常温復帰運転が終了する。これにより、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられ、これにともない収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに収容された電子部品Ｔの温度も第１目標温度から第２目標温度に切り替えられる。なお、バルブ９７は、常温復帰運転の終了後も開状態に制御される。これにより、収容ボックス５０内にドライエアが供給され続け、該収容ボックス５０内が乾燥状態に維持される。
【０１２７】
［第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用］
次に、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置の作用について説明する。第２実施形態のハンドラー及び部品検査装置において、電子部品Ｔの目標温度が第１目標温度から第２目標温度に切り替えられると常温復帰運転が実施される。
【０１２８】
常温復帰運転が開始されると、第１供給路５７Ａ，５７Ｂに供給される媒体が第１の媒体である窒素から第２の媒体である昇温ガスに切り替えられるとともに、ドライエア供給路９０から第１熱交換器９１に供給されるドライエアが第２目標温度よりも高い所定の温度まで加熱されたドライエアに切り替えられる。そして、第１目標温度にあった各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第２目標温度に到達するまで、ドライエアの流通経路及び窒素ガスの流通経路が加熱されることとなる。
【０１２９】
そのため、例えば各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが常温になるまで装置自体を待機させる場合や、第２供給路７５Ａ，７５Ｂに昇温ガスが供給されず且つ常温のドライエアがドライエア供給路９０に供給される場合に比べて、ドライエアの流通経路が早期に昇温される。その結果、媒体流路５８Ａ，５８Ｂに到達するまでの過程におけるドライエアの温度低下が抑えられることから、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが第２目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
【０１３０】
また、収容ボックス５０には、エアヒーター１００によって常温以上の温度が調整されたドライエアと、エアヒーター１０１によって常温以上の温度に調整された窒素ガスまたは昇温ガスが導入される。そのため、媒体流路５８Ａ，５８Ｂから排出されたドライエア、排出路６４Ａ，６４Ｂに排出された窒素ガスまたは昇温ガス、これらが常温よりも低い温度で収容ボックス５０に導入される場合に比べて、収容ボックス５０内の温度がその時々における露点よりも低い温度まで低下することを抑えることができる。
【０１３１】
また、ドライエア排気路９６において、第１熱交換器９１の下流には逆止弁９９が配設されている。そのため、バルブ９７が閉状態に制御されている期間において、ドライエアの流通経路に対し、ドライエアよりも水分含有量の多いエアが収容ボックス５０から流れ込むことを抑えることができる。その結果、冷却運転時にドライエアの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
【０１３２】
以上説明したように、第２実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置によれば、第１実施形態に記載した（２）〜（５）、（７）〜（１１）に準ずる効果に加えて、以下に列挙する効果が得られるようになる。
【０１３３】
（１２）常温復帰運転によって、窒素ガスの流通経路、ドライエアの流通経路がともに加熱されることで、各収容ポケット１７Ａ，１７Ｂに供給されるドライエアの温度を効果的に高めることができる。その結果、第１目標温度にあった収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを第２目標温度に切り替えることができるとともに、第２目標温度に切り替わるまでに要する時間を短縮することができる。
【０１３４】
（１３）排出路６４Ａには、第２熱交換器９２から排出された窒素ガスあるいは昇温ガスを常温以上の温度に調整するエアヒーター１０１が配設されている。また、ドライエア排気路９６には、媒体流路５８Ｂから排出されたドライエアを常温以上の温度に調整するエアヒーター１００が配設されている。その結果、収容ボックス５０内の温度がその時々における露点よりも低い温度まで低下することが抑えられ、収容ボックス５０内において結露が発生することをさらに抑えることができる。
【０１３５】
（１４）ドライエア排気路９６には第１熱交換器９１の下流側に逆止弁９９が配設されていることから、該逆止弁９９よりも上流側におけるドライエアの流通経路において結露や氷結が発生することを抑えることができる。
【０１３６】
なお、上記の第１及び第２実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・第１及び第２実施形態において、第２供給路は、収容ポケット１７Ａに対応する第１供給路５７Ａ、収容ポケット１７Ｂに対応する第１供給路５７Ｂに対して並列に接続されている。これに限らず、収容ポケットが複数ある場合には、互いに異なるドライエア供給源、流量制御弁、エアヒーターを備える第２供給路が複数の第１供給路に対して個別に接続されていてもよい。
【０１３７】
・第１及び第２実施形態において、１つの第２供給路７５は、３つ以上の第１供給路に対して並列に接続されていてもよい。
・第１及び第２実施形態において、分岐部７６の上流側におけるエアヒーター７９を割愛し、分岐部７６の下流側である第２供給路７５Ａ，７５Ｂの各々にエアヒーターを備えていてもよい。
【０１３８】
・第１及び第２実施形態において、媒体流路５８Ａ，５８Ｂは、互いに異なるシャトルに配設された媒体流路であってもよい。その際、例えば媒体流路５８Ｂが第２シャトル１６に配設されているならば、該媒体流路５８Ｂから排出されたドライエアは、収容ボックス５２に導入される構成が好ましい。
【０１３９】
・第１及び第２実施形態において、ハンドラー１０は、該ハンドラー１０が乾燥雰囲気下に設置されているならば、収容ボックス５０，５２、検査ボックス５１が割愛された構成であってもよい。
【０１４０】
・第１及び第２の媒体は、大気中よりも水分含有量が少ないものであればよい。例えば、第１の媒体は、液化ガスを気化させたガスであればよく、例えば酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。また例えば、第２の媒体は、ドライエアに限らず、液化ガスを気化させたガスであってもよく、第１の媒体同様、窒素、酸素、水素、ヘリウム等であってもよい。
【０１４１】
・第１及び第２実施形態において、窒素ガス、及び昇温ガス等のドライエアは、カバー部材１２内や大気中に排出されてもよい。
・第１及び第２実施形態において、昇温ガス供給バルブ７８は、エアヒーター７９と分岐部７６との間に配設されてもよいし、第２供給路７５Ａ，７５Ｂにおける逆止弁８０Ａ，８０Ｂの下流側に配設されていてもよい。
【０１４２】
・第１及び第２実施形態においては、逆止弁８０Ａ，８０Ｂを抑止部としている。これに限らず、抑止部は、第１供給路５７Ａ，５７Ｂから第２供給路７５に対する窒素ガスの流入を抑止するものであればよく、例えば制御装置８５によって開閉が制御される仕切弁などであってもよい。
【０１４３】
・第１及び第２実施形態において、第２供給路７５Ａ，７５Ｂにおける逆止弁８０Ａ，８０Ｂの少なくとも一方が割愛された構成であってもよい。
・第１及び第２実施形態において、第２の媒体である昇温ガスを加熱するエアヒーター７９が割愛された構成であってもよい。すなわち、第２の媒体は、常温であってもよい。
【０１４４】
・第１及び第２実施形態において、媒体流路は、例えば第１シャトル１５ではなく供給用シャトルプレート１５ａに形成されていてもよいし、第１シャトル１５及び供給用シャトルプレート１５ａに連なるように形成されていてもよい。
【０１４５】
・第２実施形態のドライエア供給路９０において、エアヒーター９８が割愛された構成であってもよい。こうした構成の下では、常温復帰運転が進行するにつれて、第２〜第４熱交換器９２〜９４における昇温ガスとの熱交換によって加熱されたドライエアが媒体流路５８Ａ，５８Ｂに供給されることになる。
【０１４６】
・第１実施形態において、第２供給路は、図１２に示されるような構成であってもよい。すなわち、図１２に示されるように、パージエア供給路７０における熱交換器６７と逆止弁７３との間にある分岐部１１１と、バルブ７８とを接続する分岐路１１３を第２供給路としてもよい。また、同様に、排出路６４Ａにおける熱交換器６７と逆止弁６８との間に分岐部を設け、この分岐部とバルブ７８を接続する分岐路を第２供給路としてもよい。
【０１４７】
・第１実施形態において、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが常温に復帰したことを温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値でなく、例えば熱交換器６７や排出路６４Ａに新たに設けられた温度センサーの検出値に基づいて判断してもよい。
【０１４８】
・第２実施形態において、第２供給路は、図１３に示されるような構成であってもよい。図１３に示されるように、ドライエア排気路９６における第１熱交換器９１と逆止弁９９との間にある分岐部１１５と、バルブ７８とを接続する分岐路１１７を第２供給路としてもよい。また、同様に、排出路６４Ａにおける第２熱交換器９２と逆止弁６８との間に分岐部を設け、この分岐部とバルブ７８を接続する分岐路を第２供給路としてもよい。
【０１４９】
・第２実施形態において、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂが常温に復帰したことを温度センサー６３Ａ，６３Ｂの検出値でなく、例えばドライエア排気路９６に設けられた温度センサーの検出値に基づいて判断してもよい。
【０１５０】
・第２実施形態において、制御装置８５は、例えばエアヒーター１００に流入するドライエアの温度を検出する温度センサーを設け、該温度センサーの検出値に基づいて、エアヒーター１００に出力する駆動電力を生成してもよい。同様に、制御装置８５は、例えばエアヒーター１０１に流入する窒素ガスあるいは昇温ガスの温度を検出する温度センサーを設け、該温度センサーの検出値に基づいて、エアヒーター１０１に出力する駆動電力を生成してもよい。
【０１５１】
・第１及び第２実施形態では、第２温度調整状態として、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを常温に復帰させる常温復帰運転について説明した。これに限らず、第２温度調整状態は、収容ポケットを常温以上の温度に昇温させる運転状態であればよく、例えば１２０℃程度といった第２目標温度よりも高い第３目標温度まで収容ポケットを昇温させるような運転状態であってもよい。この運転状態においても、各バルブの開閉態様は常温復帰運転と同じであり、エアヒーターによって第３目標温度よりも高い温度まで昇温ガス及びドライエアが加熱される。
【０１５２】
・また、この上記運転状態において、各加熱ヒーター６２Ａ，６２Ｂは、制御装置８５から入力された第３目標温度と、温度センサー６３Ａ，６３Ｂから入力された温度とに基づいて、収容ポケット１７Ａ，１７Ｂの温度が第３目標温度となるように駆動されてもよい。
【０１５３】
・また、第２温度調整状態が常温復帰運転であるという前提の下では、第３目標温度まで収容ポケット１７Ａ，１７Ｂを昇温させる運転状態において、各加熱ヒーター６２Ａ，６２Ｂのみが駆動されてもよい。
【０１５４】
・上記第１及び第２実施形態において、基台１１を貫通する開口部１３に取り付けられたテストヘッド１４とテストヘッド１４上面の検査用ソケット１４ａとによりステージが構成されるものとした。これに代えて、図１４に示されるように、媒体の流れる媒体流路１２０、ヒーター１２１、及び検査用ソケット１４ａの収容される収容部１２２を備える台座１２３を基台１１に設置し、この台座１２３を支持部としてもよい。この場合、検査用ソケット１４ａは、台座１２３の収容部１２２に収容されることによってハンドラー１０に搭載される。そして、台座１２３の温度が調整されることによって、検査用ソケット１４ａに収容された電子部品の温度が調整される。
【０１５５】
部品検査装置を構成するハンドラーとテスターとは別体の装置であるため、テストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａをステージとする場合、ハンドラー側の構成とは別に、予めテスターのテストヘッド１４に媒体の流れる媒体流路やヒーターを備えておく必要がある。この点、上述した構成によれば、媒体流路やヒーターを備えたテストヘッド１４を要することなく、検査用ソケット１４ａに収容された電子部品Ｔの温度を調整することが可能となる。
【０１５６】
なお、温度センサーは、検査用ソケット１４ａの温度が検出可能であれば、台座１２３に搭載されていてもよいし、検査用ソケット１４ａに搭載されていてもよい。また、図１４に記載の台座１２３には１つの収容部１２２が形成されているが、台座１２３に形成される収容部１２２の数は、２以上であってもよい。また、台座１２３の収容部１２２にテストヘッド１４及び検査用ソケット１４ａが収容される構成としてもよい。要は、電子部品を支持する支持部として、熱を伝導する部材を挟んで電子部品に間接的に触れる部材そのものが冷却される態様であればよい。なお、台座１２３に複数の収容部１２２が形成されている場合、台座１２３には、各収容部１２２に個別に対応する媒体流路１２０が形成されることが好ましい。
【０１５７】
・また、支持部は、基台１１の搭載面１１ａ上、もしくはカバー部材１２によって覆われた搬送空間内における基台１１の上方で電子部品Ｔを支持する部分であれば任意に設定することが可能である。例えば、供給用シャトルプレート１５ａと回収用シャトルプレート１５ｂとをそれぞれ別のステージとして、これらに対して各別の温度調整ユニットを設けてもよい。また、搬送ロボット３０における第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の下端の吸着部にステージを配設し、第１搬送ユニット３２及び第２搬送ユニット３３の各々の下端部に温度調整ユニットを設けるようにしてもよい。要は、電子部品Ｔが支持される部分であれば、その箇所を支持部として温度調整ユニットを設けることができる。なお、各温度調整ユニット間において電子部品Ｔを搬送する際には、収容容器の一部を開閉して電子部品Ｔの移送を行うようにすればよい。
【符号の説明】
【０１５８】
ＥｎＡ，ＥｎＢ…流入端、ＥｘＡ，ＥｘＢ…流出端、Ｔ…電子部品、Ｃ１…供給用コンベアー、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…回収用コンベアー、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…デバイストレイ、１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１２…カバー部材、１３…開口部、１４…テストヘッド、１４ａ…検査用ソケット、１５…第１シャトル、１５ａ…供給用シャトルプレート、１５ｂ…回収用シャトルプレート、１５ｃ…シャトルガイド、１６…第２シャトル、１６ａ…供給用シャトルプレート、１６ｂ…回収用シャトルプレート、１６ｃ…シャトルガイド、１７，１７Ａ，１７Ｂ，１８…収容ポケット、２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給用ハンドユニット、３０…搬送ロボット、３１…搬送ガイド、３２…第１搬送ユニット、３３…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収用ハンドユニット、５０…収容ボックス、５１…検査ボックス、５２…収容ボックス、５５…貯蔵タンク、５６…共通路、５７Ａ，５７Ｂ…第１供給路、５８Ａ，５８Ｂ…媒体流路、５９Ａ，５９Ｂ…窒素供給バルブ、６０…気化容器、６１Ａ，６１Ｂ…気化室、６２Ａ，６２Ｂ…加熱ヒーター、６３Ａ，６３Ｂ…温度センサー、６４Ａ，６４Ｂ…排出路、６５…接続部、６６Ａ，６６Ｂ…逆止弁、６７…熱交換器、６８…逆止弁、６９…ドライエア供給源、７０…パージエア供給路、７１…パージエア供給バルブ、７２…エアヒーター、７３…逆止弁、７５，７５Ａ，７５Ｂ…第２供給路、７６…分岐部、７７Ａ，７７Ｂ…接続部、７８…昇温ガス供給バルブ、７９…エアヒーター、８０Ａ，８０Ｂ…逆止弁、８５…制御装置、８７…温度調整ユニット駆動部、８７ａ…バルブ駆動部、８７ｂ…加熱ヒーター駆動部、８７ｃ…エアヒーター駆動部、８８…テスター、９０…ドライエア供給路、９１…第１熱交換器、９２…第２熱交換器、９３…第３熱交換器、９４…第４熱交換器、９５…連結路、９６…ドライエア排出路、９７…ドライエア供給バルブ、９８…エアヒーター、９９…逆止弁、１００，１０１…エアヒーター、１１１…分岐部、１１３…分岐路、１１５…分岐部、１１７…分岐路、１２０…媒体流路、１２１…加熱ヒーター、１２２…収容部、１２３…台座。
【図１】
2013167482.tif 000003
【図２】
2013167482.tif 000004
【図３】
2013167482.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013167482.tif 000009
【図８】
2013167482.tif 000010
【図９】
2013167482.tif 000011
【図１０】
2013167482.tif 000012
【図１１】
2013167482.tif 000013
【図１２】
2013167482.tif 000014
【図１３】
2013167482.tif 000015
【図１４】
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