(57)【要約】【課題】本発明は振動部への応力の影響を抑える圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電振動片は、長さＷＳの第１辺及び長さＬＳの第２辺を有する振動部と、長さＷＡの第１枠と長さＬＡの第２枠とを有し振動部を取り囲む枠部と、振動部の第１辺と枠部の第１枠とを第１辺と第１枠との中央で、幅ＷＲ及び長さＬＲで連結する一本の連結部と、を備え、式１、式２、式３、又は式４の少なくとも１つを満たす。（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×０．７５＜ＬＲ＜（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×１．２５…式１、（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×０．８＜ＷＲ＜（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×１．２…式２、（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×０．９４＜ＬＳ＜（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×１．０６…式３、（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×０．８８＜ＷＳ＜（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×１．１２…式４【選択図】図３
2013042388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に伸びた長さＷＳの第１辺及び前記第１方向に直交する第２方向に伸びる長さＬＳの第２辺を有する四角形状の振動部と、
前記第１方向に伸びる長さＷＡの第１枠と前記第２方向に伸びる長さＬＡの第２枠とを有し前記振動部を取り囲む枠部と、
前記振動部の前記第１辺と前記枠部の第１枠とを前記第１辺と前記第１枠との中央で、前記第１方向の幅ＷＲ及び前記第２方向の長さＬＲで連結する一本の連結部と、を備え、
数式１、数式２、数式３、又は数式４の少なくとも１つを満たす圧電振動片。
（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×０．７５＜ＬＲ＜（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×１．２５    …数式１
（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×０．８＜ＷＲ＜（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×１．２    …数式２
（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×０．９４＜ＬＳ＜（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×１．０６    …数式３
（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×０．８８＜ＷＳ＜（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×１．１２    …数式４
【請求項２】
前記振動部は、メサ領域と前記メサ領域の周囲に形成され前記メサ領域よりも薄い周辺領域とを有し、
前記メサ領域には励振電極が形成され、前記連結部及び前記枠部には前記励振電極から引き出された引出電極が形成されている請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記振動部の周辺領域及び前記連結部が同じ厚さである請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項の圧電振動片と、
前記枠部の一方の面に接続されるリッド板と、
前記枠部の他方の面に接続され、外部電極を有するベース板と、
を備えた圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動部への応力の影響が抑えられた圧電振動片又は圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の周波数で振動する振動部と振動部の周りを囲む枠部とを有する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片には枠部の表裏面にリッド板及びベース板が接合されて圧電デバイスが形成され、圧電デバイスはプリント基板などに実装されて用いられる。このような圧電デバイスはプリント基板にかかる応力を受ける場合があり、圧電デバイスにかかる応力は、圧電振動片に影響を与え、振動部の振動周波数の特性を変化させる。
【０００３】
このような振動部の振動周波数に影響を及ぼすような応力を振動部が受けないようにするための方法として、例えば特許文献１には、圧電振動片の振動部と接着部とを切欠き部により分けることにより振動部に応力が伝わることを妨げ、振動周波数の特性の変化が抑えられた圧電振動片が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−６６７７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１においても圧電振動片の振動周波数の特性の変化を抑えることは十分ではない。また、特許文献１の圧電振動片は枠部を有していない。圧電振動片は、さらに振動部へ応力がかからないようにし、振動周波数の特性の変化が抑えられることが望まれている。
【０００６】
本発明は、振動部、枠部、及び連結部の寸法の関係が適切な関係になるように形成することにより振動部への応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電振動片は、第１方向に伸びた長さＷＳの第１辺及び第１方向に直交する第２方向に伸びる長さＬＳの第２辺を有する四角形状の振動部と、第１方向に伸びる長さＷＡの第１枠と第２方向に伸びる長さＬＡの第２枠とを有し振動部を取り囲む枠部と、振動部の第１辺と枠部の第１枠とを第１辺と第１枠との中央で、第１方向の幅ＷＲ及び第２方向の長さＬＲで連結する一本の連結部と、を備え、数式１、数式２、数式３、又は数式４の少なくとも１つを満たす。
（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×０．７５＜ＬＲ＜（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×１．２５    …数式１
（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×０．８＜ＷＲ＜（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×１．２    …数式２
（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×０．９４＜ＬＳ＜（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×１．０６    …数式３
（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×０．８８＜ＷＳ＜（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×１．１２    …数式４
【０００８】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、振動部がメサ領域とメサ領域の周囲に形成されメサ領域よりも薄い周辺領域とを有し、メサ領域には励振電極が形成され、連結部及び枠部には励振電極から引き出された引出電極が形成されている。
【０００９】
第３観点の圧電振動片は、第２観点において、振動部の周辺領域及び連結部が同じ厚さである。
【００１０】
第４観点の圧電デバイスは、第１観点から第３観点の圧電振動片と、枠部の一方の面に接続されるリッド板と、枠部の他方の面に接続され、外部電極を有するベース板と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の圧電振動片によれば、振動部、枠部、及び連結部の寸法の関係が適切な関係になるように形成することにより振動部への応力の影響を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面の断面図である。  （ｂ）は、圧電振動片１３０の平面図である。
【図３】（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。  （ｂ）は、図２（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】（ａ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．３２ｍｍの圧電振動片のシミュレーション結果である。  （ｂ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．３５ｍｍの圧電振動片のシミュレーション結果である。  （ｃ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．４５ｍｍの圧電振動片のシミュレーション結果である。  （ｄ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．５５ｍｍの圧電振動片のシミュレーション結果である。
【図５】圧電振動片のＸ軸方向の応力値の分布を示したグラフである。
【図６】圧電振動片の振動部のＸ軸方向の長さＬＳと、連結部のＸ軸方向の長さＬＲとの関係が示されたグラフである。
【図７】圧電振動片の振動部のＺ’軸方向の幅ＷＳと、連結部のＺ’軸方向の幅ＷＲとの関係が示されたグラフである。
【図８】圧電振動片の振動部のＸ軸方向の長さＬＳと、枠部のＸ軸方向の長さＬＡとの関係が示されたグラフである。
【図９】圧電振動片の振動部のＺ’軸方向の幅ＷＳと、枠部のＺ’軸方向の幅ＷＡとの関係が示されたグラフである。
【図１０】（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。  （ｂ）は、図１０（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００１４】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００１５】
圧電振動片１３０は、所定の振動周波数で振動する振動部１３１と、振動部１３１を囲む枠部１３２と、振動部１３１と枠部１３２とを連結する連結部１３３と、により構成されている。励振電極１３４は、振動部１３１の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面に形成されている。各励振電極１３４からは、連結部１３３を通り枠部１３２にまでそれぞれ引出電極１３５が引き出されている。
【００１６】
ベース板１２０は、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側に配置される。ベース板１２０はＸ軸方向に長辺、Ｚ’軸方向に短辺を有する矩形形状に形成されている。ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の外部電極１２４が形成されている。この外部電極１２４がハンダを介してプリント基板等に固定され電気的に接続されることにより、圧電デバイス１００がプリント基板等に実装される。また、ベース板１２０の四隅の側面にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面には凹部１２１が形成されており、凹部１２１の周りには接合面１２２が形成されている。また、接合面１２２の四隅でありキャスタレーション１２６の周りには接続電極１２３が形成されている。この接続電極１２３は、キャスタレーション１２６に形成されるキャスタレーション電極１２５を介して外部電極１２４に電気的に接続されている。ベース板１２０は、接合面１２２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に接合される。また、接続電極１２３と圧電振動片１３０の引出電極１３５とが電気的に接続される。
【００１７】
リッド板１１０は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に配置される。リッド板１１０の−Ｙ’軸側の面には凹部１１１が形成されており、凹部１１１の周りには接合面１１２が形成されている。リッド板１１０は、接合面１１２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面に接合される。
【００１８】
図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面の断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面にリッド板１１０の接合面１１２が封止材１４１を介して接合され、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面にベース板１２０の接合面１２２が封止材１４１を介して接合されている。圧電振動片１３０とベース板１２０とが接合される際には、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面に形成されている引出電極１３５とベース板１２０の接合面１２２に形成されている接続電極１２３とが電気的に接続される。これによりメサ領域１３１ａの＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側に形成されている各励振電極１３４は、引出電極１３５、接続電極１２３、及びキャスタレーション電極１２５を介して外部電極１２４に電気的に接続される。
【００１９】
図２（ｂ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、矩形形状に形成された振動部１３１と、振動部１３１を囲む枠部１３２と、振動部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、により構成されている。振動部１３１は、振動部１３１の−Ｘ軸側の辺である第１辺１３８ａと、振動部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺である第２辺１３８ｂと、を有している。また枠部１３２は、Ｚ’軸方向に伸びる第１枠１３２ａと、Ｘ軸方向に伸びる第２枠１３２ｂと、により形成されている。第１枠１３２ａは、振動部１３１の＋Ｘ軸側及び−Ｘ軸側に配置され、第２枠１３２ｂは、振動部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側に配置されている。連結部１３３は、振動部１３１の第１辺１３８ａの中央に連結され、そこから−Ｘ軸方向に伸びて−Ｘ軸側の第１枠１３２ａの中央に連結されている。また、振動部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域は、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。振動部１３１は、励振電極１３４が形成されているメサ領域１３１ａと、メサ領域１３１ａの周囲に形成される周辺領域１３１ｂと、連結部１３３に直接連結される連結領域１３１ｃと、により構成されている。メサ領域１３１ａ及び連結領域１３１ｃの間には周辺領域１３１ｂが形成されており、メサ領域１３１ａと連結領域１３１ｃとは互いに接触していない。メサ領域１３１ａの＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４からは、周辺領域１３１ｂ、連結領域１３１ｃ、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介し、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引出電極１３５が引き出されている。また、メサ領域１３１ａの−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４（図２（ａ）参照）からは、周辺領域１３１ｂ、連結領域１３１ｃ、及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して枠部１３２に引出電極１３５が引き出され、引出電極１３５はさらに枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極１３５は枠部１３２の＋Ｘ軸側まで引き出されているため、＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極１３５よりも形成距離が長く形成されている。
【００２０】
図３（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。振動部１３１の第１辺１３８ａの長さは長さＷＳであり、第２辺１３８ｂは長さＬＳに形成されている。また、圧電振動片１３０の枠部１３２の第１枠１３２ａの全体のＺ’軸方向の長さを長さＷＡ、枠部１３２の第２枠１３２ｂのＸ軸方向の全体の長さを長さＬＡ、連結部１３３のＺ’軸方向の幅を幅ＷＲ、連結部１３３のＸ軸方向の長さを長さＬＲとする。
【００２１】
図３（ｂ）は、図２（ｂ）のＢ−Ｂ断面図である。圧電振動片１３０は、枠部１３２のＹ’軸方向への厚さが厚さＴ１、連結部１３３、振動部１３１の連結領域１３１ｃ及びメサ領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２、振動部１３１の周辺領域１３１ｂのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成されている。すなわち、連結部１３３と連結領域１３１ｃとは互いに厚さＴ２で直接連結されている。圧電振動片１３０では、厚さＴ１は厚さＴ２及び厚さＴ３よりも厚く形成されており、厚さＴ２は厚さＴ３より厚く形成されている。
【００２２】
＜＜圧電振動片の応力特性の測定＞＞
シミュレーションによる圧電振動片にかかる応力の予測、及び圧電デバイスを作製して圧電振動片の特性を測定することにより、圧電振動片の振動部にかかる応力が抑えられる圧電振動片の適切な寸法を求めるための実験を行った。以下に、圧電振動片のシミュレーション結果及び圧電振動片の特性の測定結果について説明する。
【００２３】
＜シミュレーション結果＞
圧電デバイスがプリント基板に実装された状態において、プリント基板を曲げた場合に圧電振動片にかかる応力を求めるためのシミュレーションを行った。図４及び図５を参照して、シミュレーションの結果を説明する。また、以下のシミュレーションでは、圧電振動片の寸法を、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＬＳが１．４ｍｍ、長さＷＳが１．３７５ｍｍ、長さＬＲが０．１５ｍｍとし、連結部１３３の幅ＷＲを変えた場合の圧電振動片にかかる応力の違いを調べている。
【００２４】
図４（ａ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．３２ｍｍである圧電振動片のシミュレーション結果である。図４（ａ）では、シミュレーション結果が振動部１３１及び連結部１３３の平面図に示されている。シミュレーション結果では、灰色の領域は圧電振動片にＸ軸方向の応力がほぼかかっていないことを示しており、灰色から黒色に色が濃くなるにつれて圧電振動片のＸ軸方向の引っ張り応力が強くなり、灰色から白色に色が薄くなるにつれて圧電振動片のＸ軸方向の圧縮応力が強くなる状態を示している。図４（ａ）に示された圧電振動片では、振動部１３１の連結部１３３が接続されている付近の領域に応力かかっていることが分かる。また、メサ領域１３１ａはほぼ灰色の領域となっているため、メサ領域１３１ａには殆ど応力がかかっていないことが分かる。
【００２５】
図４（ｂ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．３５ｍｍである圧電振動片のシミュレーション結果である。図４（ｂ）に示された圧電振動片では、連結部１３３の＋Ｚ’軸側、−Ｚ’軸側、及び中心付近の色が灰色よりも濃く又は薄くなっており、これらの領域に応力がかかることが分かる。また、メサ領域１３１ａはほぼ灰色の領域となっているため、メサ領域１３１ａには殆ど応力がかかっていないことが分かる。
【００２６】
図４（ｃ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．４５ｍｍである圧電振動片のシミュレーション結果である。図４（ｃ）に示された圧電振動片では、連結部１３３とメサ領域１３１ａとの間の領域が灰色よりも濃くなっており、この領域に強い応力がかかることが分かる。また、メサ領域１３１ａにおいては、灰色よりも薄い色が見られるため、メサ領域１３１ａにも多少の応力がかかる。
【００２７】
図４（ｄ）は、連結部１３３の幅ＷＲが０．５５ｍｍである圧電振動片のシミュレーション結果である。図４（ｄ）に示された圧電振動片では、連結部１３３とメサ領域１３１ａとの間、及び振動部１３１のＸ軸に平行な辺の−Ｘ軸側に強い応力がかかることが分かる。メサ領域１３１ａにも灰色よりも濃い及び薄い色が見られるため、メサ領域１３１ａにも多少の応力がかかる。
【００２８】
図５は、圧電振動片のＸ軸方向の応力値の分布を示したグラフである。グラフの横軸は、圧電振動片の連結部１３３の中央を通り、Ｘ軸に平行な直線１４２（図４（ａ）参照）の上の位置が示されている。さらに図４（ａ）を参照して説明すると、図５には、−Ｘ軸側の枠部１３２の−Ｘ軸側の端を０ｍｍとし、そこから＋Ｘ軸方向に進んだ位置が示されている。また図５の縦軸は、圧電振動片のＸ軸方向にかかる応力が示されている。この応力が正の値である場合は引っ張り応力がかかり、負の値である場合は圧縮応力がかかる場合を示す。図５において、黒塗りの菱形は幅ＷＲが０．３２ｍｍの圧電振動片を示し、白抜きの三角形は幅ＷＲが０．３５ｍｍの圧電振動片を示し、白抜きの円形は幅ＷＲが０．４５ｍｍの圧電振動片を示し、黒塗りの四角形は幅ＷＲが０．５５ｍｍの圧電振動片を示している。
【００２９】
幅ＷＲが０．５５ｍｍの圧電振動片は、Ｘ軸方向に０．６７ｍｍ進んだところで応力値が約０．１９ＭＰａとなり最大値をとる。幅ＷＲが０．４５ｍｍの圧電振動片は、Ｘ軸方向に０．４８ｍｍ進んだところで応力値が約０．１６ＭＰａとなり最大値をとる。幅ＷＲが０．３５ｍｍの圧電振動片は、Ｘ軸方向に０．４０ｍｍ進んだところで応力値が約０．０９ＭＰａとなり最大値をとる。幅ＷＲが０．３２ｍｍの圧電振動片はＸ軸方向に０．４８ｍｍ進んだところで応力値が約０．０７ＭＰａとなり最大値をとる。
【００３０】
圧電振動片にかかる応力は、圧電振動片の振動周波数の変化を考えると０．１ＭＰａ以下であることが望ましい。図５によれば、幅ＷＲが０．５５ｍｍ及び０．４５ｍｍの圧電振動片は、圧電振動片にかかる最大応力値が０．１ＭＰａを超えている。これに対して、幅ＷＲが０．３５ｍｍ及び０．３２ｍｍの圧電振動片は、圧電振動片にかかる最大応力が０．１ＭＰａより小さく、好ましいことが分かる。すなわち、圧電振動片の幅ＷＲは、最大応力値が０．１ＭＰａを超える０．４５ｍｍと、最大応力値が０．１ＭＰａ以下である０．３５ｍｍとの中間値である０．４０ｍｍ以下であることが好ましいと考えられる。
【００３１】
＜圧電振動片の特性の測定結果＞
圧電デバイスを作製し、この圧電デバイスをプリント基板に実装して、圧電振動片の振動周波数及びクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値などの特性を測定した。この特性の測定結果を元にして好ましい圧電振動片の寸法を求める。以下の説明において、圧電振動片の特性が悪くなるとは、圧電振動片の振動周波数が変動又はＣＩ値が高くなることを示す。また作製された圧電デバイスは、シミュレーションの結果により好ましいと考えられる幅ＷＲが０．４以下の圧電振動片を用いている。以下に、図６から図９を参照して、圧電振動片の特性の測定結果を説明する。
【００３２】
図６は、圧電振動片の振動部１３１のＸ軸方向の長さＬＳと、連結部１３３のＸ軸方向の長さＬＲとの関係が示されたグラフである。図６では、圧電振動片の寸法が、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＷＳが１．３７５ｍｍ、長さＬＲが０．１５ｍｍ、幅ＷＲが０．３２ｍｍの圧電振動片ＡＳ１と、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＷＳが０．８７２ｍｍ、長さＬＲが０．２ｍｍ、幅ＷＲが０．３７ｍｍの圧電振動片ＡＳ２と、において、振動部１３１の長さＬＳを変えて圧電振動片の特性を測定している。図６のグラフでは、横軸に長さＬＳ、縦軸に長さＬＲが設定されている。また、図６では、黒塗りの菱形及び黒塗りの円が実測値を示し、黒塗りの三角形が黒塗りの菱形の実測値を元に計算された平均値を示している。
【００３３】
圧電振動片ＡＳ１では、振動部１３１の長さＬＳが０．９９ｍｍ（図６の点ＡＳ１ａ）、及び１．１０５ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ１では、振動部１３１の長さＬＳがこの２点の中間値である１．０４７５ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。また、圧電振動片ＡＳ２では、振動部１３１の長さＬＳが１．３７５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ａ）、及び１．４ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ２では、振動部１３１の長さＬＳがこの２点の中間値である１．３８７５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。すなわち圧電振動片は、長さＬＲと長さＬＳとが図６の点ＡＳ１ｃと点ＡＳ２ｃとを通る直線ＬＮ１で表される関係を満たすことが良いと考えられる。この直線ＬＮ１は、以下の数式１で示される。
ＬＲ＝０．１４７１×ＬＳ−０．００４  …  数式１
【００３４】
一方、圧電振動片ＡＳ１に関して、長さＬＳが１．０４７５ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｃ）の場合に長さＬＲの値を１．５ｍｍから上昇させると、長さＬＲの値が０．１９ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｄ）となるときに圧電デバイスの落下試験において圧電振動片が破損した。同様に、圧電振動片ＡＳ２に関して、長さＬＳが１．３８７５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｃ）の場合に長さＬＲの値を０．２ｍｍから上昇させると、長さＬＲの値が０．２５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｄ）となるときに圧電デバイスの落下試験において圧電振動片が破損した。すなわち、圧電振動片の長さＬＲは、点ＡＳ１ｄ及び点ＡＳ２ｄを通る直線ＬＮ１ａから導かれる長さＬＲよりも小さいことが好ましい。この直線ＬＮ１ａから導かれる長さＬＲは、直線ＬＮ１から導かれる長さＬＲの約＋２５％となっている。
【００３５】
また、圧電振動片に関して基板折り曲げ試験を行った。基板折り曲げ試験は、圧電デバイスをプリント基板に実装した状態で、プリント基板を折り曲げて、圧電振動片の振動周波数の変化を調べる試験である。圧電振動片ＡＳ１に関して、長さＬＳが１．０４７５ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｃ）の場合に長さＬＲの値を１．５ｍｍから減少させると、長さＬＲの値が１．１２５ｍｍ（図６の点ＡＳ１ｅ）となるときに、圧電振動片の振動周波数が大きく変化した。同様に、圧電振動片ＡＳ２に関して、長さＬＳが１．３８７５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｃ）の場合に長さＬＲの値を０．２ｍｍから減少させると、長さＬＲの値が０．１５ｍｍ（図６の点ＡＳ２ｅ）となるときに、圧電振動片の振動周波数が大きく変化した。この圧電振動片の振動周波数の変化は、連結部１３３の長さＬＲを短くなることにより、プリント基板から枠部１３２を介してメサ領域１３１ａに伝わる応力が大きくなるためであると考えられる。すなわち、圧電振動片は点ＡＳ１ｅ及び点ＡＳ２ｅを通る直線ＬＮ１ｂから導かれる長さＬＲよりも大きいことが好ましい。この直線ＬＮ１ｂから導かれる長さＬＲは、直線ＬＮ１から導かれる長さＬＲの約−２５％となっている。
【００３６】
以上より、圧電振動片の長さＬＳと長さＬＲとの関係は、直線ＬＮ１から導かれる長さＬＲの＋２５％より小さく、−２５％よりも大きいことが望ましい。すなわち、圧電振動片の長さＬＳと長さＬＲとの関係は、以下の数式２を満たすことが望ましい。
（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×０．７５＜ＬＲ＜（０．１４７１×ＬＳ―０．００４）×１．２５    …数式２
【００３７】
図７は、圧電振動片の振動部１３１のＺ’軸方向の長さＷＳと、連結部１３３のＺ’軸方向の幅ＷＲとの関係が示されたグラフである。図７では、圧電振動片の寸法が、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＬＳが０．９ｍｍ、長さＬＲが０．２ｍｍ、幅ＷＲが０．３５ｍｍの圧電振動片ＡＳ３と、長さＬＡが１．６ｍｍ、長さＷＡが１．２ｍｍ、長さＬＳが０．６６８ｍｍ、長さＬＲが０．１４ｍｍ、幅ＷＲが０．２５ｍｍの圧電振動片ＡＳ４と、において、振動部１３１の長さＷＳを変えて圧電振動片の特性を測定している。図７のグラフでは、横軸に長さＷＳ、縦軸に幅ＷＲが設定されている。また、図７では、黒塗りの菱形及び黒塗りの円が実測値を示し、黒塗りの三角形が黒塗りの菱形の実測値を元に計算された平均値を示している。
【００３８】
圧電振動片ＡＳ３では、振動部１３１の長さＷＳが０．５２５ｍｍ（図７の点ＡＳ３ａ）、及び０．６６８ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ３では、振動部１３１の長さＷＳがこの２点の中間値である０．５９６５ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。また、圧電振動片ＡＳ４では、振動部１３１の長さＷＳが０．８７２ｍｍ（図７の点ＡＳ４ａ）、及び０．９ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ４では、振動部１３１の長さＷＳがこの２点の中間値である０．８８６ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。すなわち圧電振動片は、幅ＷＲと長さＷＳとが図７の点ＡＳ３ｃと点ＡＳ４ｃとを通る直線ＬＮ２で表される関係を満たすことが良いと考えられる。この直線ＬＮ２は、以下の数式３で示される。
ＷＲ＝０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４  …  数式３
【００３９】
一方、圧電振動片ＡＳ３に関して、長さＷＳが０．５９６５ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｃ）の場合に幅ＷＲの値を０．２５ｍｍから上昇させると、幅ＷＲの値が０．３ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｄ）となるときに、基板折り曲げ試験において圧電振動片の振動周波数が大きく変化した。同様に、圧電振動片ＡＳ４に関して、長さＷＳが０．８８６ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｃ）の場合に幅ＷＲの値を０．３５ｍｍから上昇させると、幅ＷＲの値が０．４２ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｄ）となるときに、基板折り曲げ試験において圧電振動片の振動周波数が大きく変化した。この圧電振動片の振動周波数の変化は、連結部１３３の幅ＷＲを長くすることにより、プリント基板から枠部１３２を介してメサ領域１３１ａに伝わる応力が大きくなるためであると考えられる。すなわち、圧電振動片の幅ＷＲは、点ＡＳ３ｄ及び点ＡＳ４ｄを通る直線ＬＮ２ａから導かれる幅ＷＲよりも小さいことが好ましい。この直線ＬＮ２ａから導かれる幅ＷＲは、直線ＬＮ２から導かれる幅ＷＲの約＋２０％となっている。
【００４０】
また、圧電振動片ＡＳ３に関して、長さＷＳが０．５９６５ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｃ）の場合に幅ＷＲの値を０．２５ｍｍから減少させると、幅ＷＲの値が０．２ｍｍ（図７の点ＡＳ３ｅ）となるときに、圧電デバイスの落下試験において圧電振動片が破損した。同様に、圧電振動片ＡＳ４に関して、長さＷＳが０．８８６ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｃ）の場合に幅ＷＲの値を０．３５ｍｍから減少させると、幅ＷＲの値が０．２８ｍｍ（図７の点ＡＳ４ｅ）となるときに、圧電デバイスの落下試験において圧電振動片が破損した。すなわち、圧電振動片は点ＡＳ３ｅ及び点ＡＳ４ｅを通る直線ＬＮ２ｂから導かれる幅ＷＲよりも大きいことが好ましい。この直線ＬＮ２ｂから導かれる幅ＷＲは、直線ＬＮ２から導かれる幅ＷＲの約−２０％となっている。
【００４１】
以上より、圧電振動片の長さＷＳと幅ＷＲとの関係は、直線ＬＮ２から導かれる幅ＷＲの＋２０％より小さく、−２０％よりも大きいことが望ましい。すなわち、圧電振動片の長さＷＳと幅ＷＲとの関係は、以下の数式４を満たすことが望ましい。
（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×０．８＜ＷＲ＜（０．３５４５×ＷＳ＋０．０４４）×１．２    …  数式４
【００４２】
図８は、圧電振動片の振動部１３１のＸ軸方向の長さＬＳと、枠部１３２のＸ軸方向の長さＬＡとの関係が示されたグラフである。図８では、圧電振動片の寸法が、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＷＳが１．３７５ｍｍ、長さＬＲが０．１５ｍｍ、幅ＷＲが０．３２ｍｍである圧電振動片ＡＳ５と、長さＬＡが１．６ｍｍ、長さＷＡが１．２ｍｍ、長さＷＳが０．９９ｍｍ、長さＬＲが０．１２ｍｍ、幅ＷＲが０．２２ｍｍである圧電振動片ＡＳ６とにおいて、振動部１３１の長さＬＳを変えて圧電振動片の特性を測定している。図８のグラフでは、横軸に長さＬＡ、縦軸に長さＬＳが設定されている。また、図８では、黒塗りの菱形及び黒塗りの円形が実測値を示し、黒塗りの三角形が黒塗りの菱形の実測値を元に計算された平均値を示している。
【００４３】
圧電振動片ＡＳ５では、振動部１３１の長さＬＳが１．１０５ｍｍ（図８の点ＡＳ５ａ）、及び０．９９ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ５では、振動部１３１の長さＬＳがこの２点の中間値である１．０４７５ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。また、圧電振動片ＡＳ６では、振動部１３１の長さＬＳが１．４ｍｍ（図８の点ＡＳ６ａ）、及び１．３７５ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ６では、振動部１３１の長さＬＳがこの２点の中間値である１．３８７５ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。すなわち圧電振動片は、長さＬＡと長さＬＳとが図８の点ＡＳ５ｃと点ＡＳ６ｃとを通る直線ＬＮ３で表される関係を満たすことが良いと考えられる。この直線ＬＮ３は、以下の数式５で示される。
ＬＳ＝０．８５×ＬＡ−０．３１２５  …  数式５
【００４４】
一方、圧電振動片ＡＳ５に関して、長さＬＳの値を１．０４７５ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｃ）から上昇させると、長さＬＳの値が１．１１０４ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｄ）より大きくなると貫通孔１３６（図２（ｂ）参照）の幅が狭くなるため、ウエットエッチングによる貫通孔１３６の形成が困難になる。同様に、圧電振動片ＡＳ６に関して、長さＬＳの値を１．３８７５ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｃ）から上昇させると、長さＬＳの値が１．４７０８ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｄ）より大きくなると貫通孔１３６（図２（ｂ）参照）の幅が狭くなるため、ウエットエッチングによる貫通孔１３６の形成が困難になる。すなわち、圧電振動片の長さＬＳは、点ＡＳ５ｄ及び点ＡＳ６ｄを通る直線ＬＮ３ａから導かれる長さＬＳよりも小さいことが好ましい。この直線ＬＮ３ａから導かれる長さＬＳは、直線ＬＮ３から導かれる長さＬＳの約＋６％となっている。
【００４５】
また、圧電振動片ＡＳ５に関して、長さＬＳの値を１．０４７５ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｃ）から減少させると、長さＬＳの値が０．９８４６ｍｍ（図８の点ＡＳ５ｅ）よりも小さくなる場合に製品として好ましい範囲のＣＩ値を超えてしまう。同様に、圧電振動片ＡＳ６に関して、長さＬＳの値を１．３８７５ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｃ）から減少させると、長さＬＳの値が１．３０４２ｍｍ（図８の点ＡＳ６ｅ）より小さくなる場合に製品として好ましい範囲のＣＩ値を超えてしまう。すなわち、圧電振動片の長さＬＳは、点ＡＳ５ｄ及び点ＡＳ６ｄを通る直線ＬＮ３ｂから導かれる長さＬＳよりも大きいことが好ましい。この直線ＬＮ３ｂから導かれる長さＬＳは、直線ＬＮ３から導かれる長さＬＳの約−６％となっている。
【００４６】
以上より、圧電振動片の長さＬＳと長さＬＡとの関係は、直線ＬＮ３から導かれる長さＬＳの＋６％より小さく、−６％よりも大きいことが望ましい。すなわち、圧電振動片の長さＬＳと長さＬＡとの関係は、以下の数式６を満たすことが望ましい。
（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×０．９４＜ＬＳ＜（０．８５×ＬＡ−０．３１２５）×１．０６    …  数式６
【００４７】
図９は、圧電振動片の振動部１３１のＺ’軸方向の長さＷＳと、枠部１３２のＺ’軸方向の長さＷＡとの関係が示されたグラフである。図９では、圧電振動片の寸法が、長さＬＡが２．０ｍｍ、長さＷＡが１．６ｍｍ、長さＬＳが０．９ｍｍ、長さＬＲが０．２ｍｍ、幅ＷＲが０．３７ｍｍである圧電振動片ＡＳ７と、長さＬＡが１．６ｍｍ、長さＷＡが１．２ｍｍ、長さＬＳが０．６６８ｍｍ、長さＬＲが０．１４ｍｍ、幅ＷＲが０．２４である圧電振動片ＡＳ８とにおいて、振動部１３１の長さＷＳを変えて圧電振動片の特性を測定している。図９のグラフでは、横軸に長さＷＡ、縦軸に長さＷＳが設定されている。また、図９では、黒塗りの菱形及び白抜きの円形が実測値を示し、黒塗りの三角形が黒塗りの菱形の実測値を元に計算された平均値を示している。
【００４８】
圧電振動片ＡＳ７では、振動部１３１の長さＷＳが０．６６８ｍｍ（図９の点ＡＳ７ａ）、及び０．５２５ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ７では、振動部１３１の長さＷＳがこの２点の中間値である０．５９７ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。また、圧電振動片ＡＳ８では、振動部１３１の長さＷＳが０．９ｍｍ（図９の点ＡＳ８ａ）、及び０．８７２ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｂ）において、圧電振動片の特性が調べられ、両方の圧電振動片において良好な特性が得られている。そのため、圧電振動片ＡＳ８では、振動部１３１の長さＷＳがこの２点の中間値である０．８８６ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｃ）において好ましい特性を有すると考えられる。すなわち圧電振動片は、長さＷＡと長さＷＳとが図９の点ＡＳ７ｃと点ＡＳ８ｃとを通る直線ＬＮ４で表される関係を満たすことが良いと考えられる。この直線ＬＮ４は、以下の数式７で示される。
ＷＳ＝０．７２３７×ＷＡ−０．２７２  …  数式７
【００４９】
一方、圧電振動片ＡＳ７に関して、長さＷＳの値を０．５９７ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｃ）から上昇させると、長さＷＳの値が０．６６８７ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｄ）より大きくなると貫通孔１３６（図２（ｂ）参照）の幅が狭くなるため、ウエットエッチングによる貫通孔１３６の形成が困難になる。同様に、圧電振動片ＡＳ８に関して、長さＷＳの値を０．８８６ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｃ）から上昇させると、長さＷＳの値が０．９９２４ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｄ）より大きくなると貫通孔１３６（図２（ｂ）参照）の幅が狭くなるため、ウエットエッチングによる貫通孔１３６の形成が困難になる。すなわち、圧電振動片の長さＷＳは、点ＡＳ７ｄ及び点ＡＳ８ｄを通る直線ＬＮ４ａから導かれる長さＷＳよりも小さいことが好ましい。この直線ＬＮ４ａから導かれる長さＷＳは、直線ＬＮ４から導かれる長さＷＳの約＋１２％となっている。
【００５０】
また、圧電振動片ＡＳ７に関して、長さＷＳの値を０．５９７ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｃ）から減少させると、長さＷＳの値が０．５２５ｍｍ（図９の点ＡＳ７ｅ）よりも小さくなる場合に製品として好ましい範囲のＣＩ値を超えてしまう。同様に、圧電振動片ＡＳ８に関して、長さＷＳの値を０．８８６ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｃ）から減少させると、長さＷＳの値が０．７７９６ｍｍ（図９の点ＡＳ８ｅ）よりも小さくなる場合に製品として好ましい範囲のＣＩ値を超えてしまう。すなわち、圧電振動片の長さＷＳは、点ＡＳ７ｅ及び点ＡＳ８ｅを通る直線ＬＮ４ｂから導かれる長さＷＳよりも大きいことが好ましい。この直線ＬＮ４ｂから導かれる長さＷＳは、直線ＬＮ４から導かれる長さＷＳの約−１２％となっている。
【００５１】
以上より、圧電振動片の長さＷＳと長さＷＡとの関係は、直線ＬＮ４から導かれる長さＷＳの＋１２％より小さく、−１２％よりも大きいことが望ましい。すなわち、圧電振動片の長さＷＳと長さＷＡとの関係は、以下の数式８を満たすことが望ましい。
（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×０．８８＜ＷＳ＜（０．７２３７×ＷＡ−０．２７２）×１．１２    …  数式８
【００５２】
（第２実施形態）
圧電振動片は、連結部の厚さが振動部の周辺領域と同じ厚さに形成されていてもよい。以下に、連結部の厚さが振動部の周辺領域と同じ厚さに形成された圧電振動片２３０について説明する。また、以下の説明では、第１実施形態と同様の部分は第１実施形態と同じ符号を用いて表し、その説明を省略する。
【００５３】
＜圧電振動片２３０の構成＞
図１０（ａ）は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、所定の振動周波数で振動し四角形状に形成された振動部２３１と、振動部２３１を囲む枠部１３２と、振動部２３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部２３３と、により構成されている。振動部２３１と枠部１３２との間の連結部２３３以外の領域は、圧電振動片２３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。振動部２３１は、励振電極１３４が形成されるメサ領域２３１ａと、メサ領域２３１ａの周囲に形成されメサ領域２３１ａよりもＹ’軸方向の厚さが薄い周辺領域２３１ｂと、により形成されている。振動部１３１は、振動部１３１の短辺であり振動部１３１の−Ｘ軸側の辺である第１辺１３８ａと、振動部１３１の長辺であり振動部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺である第２辺１３８ｂと、を有している。また枠部１３２は、Ｚ’軸方向に伸びる第１枠１３２ａと、Ｘ軸方向に伸びる第２枠１３２ｂと、により形成されている。連結部２３３は、振動部２３１の第１辺１３８ａの中央に連結され、そこから−Ｘ軸方向に伸びて−Ｘ軸側の第１枠１３２ａの中央に連結されている。メサ領域２３１ａに形成されている励振電極１３４は、メサ領域２３１ａの＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面に形成されている。メサ領域２３１ａの＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４からは、周辺領域２３１ｂ、連結部２３３の＋Ｙ’軸側の面、連結部２３３の＋Ｚ’軸側の側面２３３ａ、及び連結部２３３の−Ｙ’軸側の面を介し、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引出電極１３５引き出されている。また、メサ領域２３１ａの−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４（図１０（ｂ）参照）からは、周辺領域２３１ｂ、及び連結部２３３の−Ｙ’軸側の面を介して枠部１３２に引出電極１３５が引き出され、引出電極１３５はさらに枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。−Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極１３５は枠部１３２の＋Ｘ軸側まで引き出されているため、＋Ｙ’軸側の面に形成されている励振電極１３４から引き出されている引出電極１３５よりも、形成距離が長く形成されている。
【００５４】
図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。圧電振動片２３０は、枠部１３２のＹ’軸方向への厚さが厚さＴ１、メサ領域２３１ａのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２、連結部２３３及び振動部２３１の周辺領域２３１ｂのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成されている。すなわち、連結部２３３と周辺領域２３１ｂとは互いに厚さＴ３で直接連結されて接続されている。圧電振動片２３０では、厚さＴ１は厚さＴ２及び厚さＴ３よりも厚く形成されており、厚さＴ２は厚さＴ３より厚く形成されている。
【００５５】
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００５６】
例えば、上記の実施形態では圧電振動片にＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカット、又は音叉型水晶振動片などであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００５７】
１００  …  圧電デバイス
１１０  …  リッド板
１１１、１２１  …  凹部
１１２  …  接合面
１２０  …  ベース板
１２２  …  接合面
１２３  …  接続電極
１２４  …  外部電極
１２５  …  キャスタレーション電極
１２６  …  キャスタレーション
１３０、２３０  …  圧電振動片
１３１、２３１  …  振動部
１３１ａ、２３１ａ  …  メサ領域
１３１ｂ、２３１ｂ  …  周辺領域
１３１ｃ  …  連結領域
１３２  …  枠部
１３２ａ  …  第１枠
１３２ｂ  …  第２枠
１３３、２３３  …  連結部
１３３ａ  …  連結部１３３の＋Ｚ’軸側側面
１３４  …  励振電極
１３５  …  引出電極
１３６  …  貫通孔
１３８ａ  …  第１辺
１３８ｂ  …  第２辺
１４１  …  封止材
【図１】
2013042388.tif 000003
【図２】
2013042388.tif 000004
【図３】
2013042388.tif 000005
【図４】
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【図５】
2013042388.tif 000007
【図６】
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【図７】
2013042388.tif 000009
【図８】
2013042388.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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