(57)【要約】【課題】小型且つ低コストで広い部品装着可能範囲を確保できるとともに、部品の装着状態を高精度に認識でき、また部品移載時間の短縮化を図ることができる部品移載装置を提供する。【解決手段】部品移載装置３０においては、基板認識用カメラ４５の移動方向は、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４の並び方向と平行になる。これにより、基板認識用カメラ４５の撮像可能範囲および固定ノズルユニット４３と移動ノズルユニット４４との部品装着可能範囲が、ヘッド３２のＸ方向の移動可能範囲とほぼ同一になるように装置構成することができる。よって、基板Ｂのサイズが大きくなっても、代替マークを用いずに、部品移載装置３０の部品装着可能範囲内に付された基板ＢのフィデューシャルマークＭの位置を直接認識することができ、部品装着位置を高精度に認識することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
横並びに配列された部品供給可能な複数のフィーダの部品供給位置に供給された部品を、部品実装位置に搬入された基板上に移送して装着する部品移載装置であって、
前記基板の搬送方向および当該搬送方向と直角な方向に移動可能なヘッドと、
該ヘッドを前記搬送方向および当該搬送方向と直角な方向に移動させるヘッド駆動装置と、
前記ヘッドに前記フィーダの配列方向に並べて設けられ、前記部品供給位置に供給された前記部品を吸着する少なくとも２つのノズルユニットと、
前記少なくとも２つのノズルユニットの並び方向と直角な方向に配置され、前記少なくとも２つのノズルユニットのうち前記並び方向において一方端に位置する前記ノズルユニットと他方端に位置する前記ノズルユニットとの間で前記並び方向に移動可能に前記ヘッドに設けられ、前記部品実装位置に搬入された前記基板を撮像するカメラと、
前記ヘッドに設けられ、前記カメラを前記一方端に位置するノズルユニットと前記他方端に位置するノズルユニットとの間で移動させるカメラ駆動装置と、を備えた部品移載装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品移載装置であって、
前記少なくとも２つのノズルユニットの中前記一方端に位置するノズルユニットは前記ヘッドに固定され、他のノズルユニットは前記ヘッドに前記フィーダの配列方向に移動可能に設けられている部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、横並びに配列された部品供給可能な複数のフィーダの部品供給位置に供給された部品をノズルユニットで吸着し、該部品を部品実装位置に搬入された基板上に移送して装着する部品移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に記載の部品移載装置のヘッド（搭載ヘッド）には、複数のフィーダの並び方向に配列された部品吸着可能な複数のノズルユニット（吸着ノズル）と、複数のノズルユニットの配列方向と直角な方向に設けられた基板撮像可能なカメラと、ノズルユニットおよびカメラを水平方向に駆動する駆動機構とが備えられている。この部品移載装置は、基板のフィデューシャルマークをカメラで撮像して基板の部品装着位置を認識し、部品をノズルユニットで吸着して基板の所定の部品装着位置に装着する。
【０００３】
ここで、フィデューシャルマークは、基板を有効利用するために、通常基板の端に設けられている。このため、上述の部品移載装置のように１つの基板撮像カメラがノズルユニットの並び方向中央に設けられている場合、基板のサイズが大きくなると、ノズルユニットの並び方向の基板端部において、部品装着位置への部品装着は可能であるが、マーク撮像が不可能なエリアが生じる場合がある。このように、フィデューシャルマークがカメラの撮像範囲外に設けられている場合、上述の部品移載装置のように、スルーホール等の代替マークを撮像して基板の部品装着位置を認識することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１８５３８号公報（段落０００９、図２参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の部品移載装置のように、代替マークを用いた場合、代替マークとフィデューシャルマークとの位置関係を予め上流側の装置で求めておく必要がある。また、代替マークを撮像して基板の部品装着位置を認識するので、フィデューシャルマークを直接撮像して認識した部品装着位置よりも精度が低下するおそれがある。
【０００６】
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたもので、代替マークを用いずに、部品移載装置の部品装着可能範囲内に付された基板のフィデューシャルマークの位置を直接認識可能な部品移載装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、請求項１に係る発明は、横並びに配列された部品供給可能な複数のフィーダの部品供給位置に供給された部品を、部品実装位置に搬入された基板上に移送して装着する部品移載装置であって、前記基板の搬送方向および当該搬送方向と直角な方向に移動可能なヘッドと、該ヘッドを前記搬送方向および当該搬送方向と直角な方向に移動させるヘッド駆動装置と、前記ヘッドに前記フィーダの配列方向に並べて設けられ、前記部品供給位置に供給された前記部品を吸着する少なくとも２つのノズルユニットと、前記少なくとも２つのノズルユニットの並び方向と直角な方向に配置され、前記少なくとも２つのノズルユニットのうち前記並び方向において一方端に位置する前記ノズルユニットと他方端に位置する前記ノズルユニットとの間で前記並び方向に移動可能に前記ヘッドに設けられ、前記部品実装位置に搬入された前記基板を撮像するカメラと、前記ヘッドに設けられ、前記カメラを前記一方端に位置するノズルユニットと前記他方端に位置するノズルユニットとの間で移動させるカメラ駆動装置と、を備えたことである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の部品移載装置であって、前記少なくとも２つのノズルユニットの中前記一方端に位置するノズルユニットは前記ヘッドに固定され、他のノズルユニットは前記ヘッドに前記フィーダの配列方向に移動可能に設けられていることである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に係る発明によれば、カメラの移動方向は、複数のノズルユニットの並び方向と平行になる。これにより、カメラの撮像可能範囲およびノズルユニットの部品装着可能範囲が、ヘッドのフィーダ配列方向の移動可能範囲とほぼ同一になるように装置構成することができる。よって、基板のサイズが大きくなっても、代替マークを用いずに、部品移載装置の部品装着可能範囲内に付された基板のフィデューシャルマークの位置を直接認識することができ、部品装着位置を高精度に認識することができる。
【００１０】
請求項２に係る発明によれば、一方端に固定されたノズルユニット以外のノズルユニットは、フィーダの配列方向に移動可能に設けられている。これにより、横並びに配列された複数のフィーダからノズルユニットの数分の部品を吸着するとき、複数のフィーダの部品供給位置の間隔が異なっていても、複数のノズルユニットの部品吸着ノズルの間隔を複数のフィーダの部品供給位置の間隔に合わせることができる。よって、複数のフィーダから同時に部品吸着することが可能であるので、部品移載時間を短縮させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態の部品移載装置を備えた部品実装装置を示す斜視図である。
【図２】図１の部品移載装置を上方から見た平面図である。
【図３】図２の部品移載装置のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】図２の部品移載装置のノズルユニットの移動状態を示す平面図である。
【図５】比較例である固定された基板認識用カメラを備えた部品移載装置の撮像可能範囲および部品装着可能範囲を示す図である。
【図６】本実施形態の移動可能な基板認識用カメラを備えた部品移載装置の撮像可能範囲および部品装着可能範囲を示す図である。
【図７】図１の部品実装装置の動作を説明するための基板、ヘッドおよびフィーダを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る部品移載装置の実施の形態を部品実装装置に適用した場合について図面に基づいて説明する。図１に示すように、この部品実装装置１は、基板搬送装置１０、部品供給装置２０および部品移載装置３０により概略構成されている。なお、図１において、基板の搬送方向をＸ方向、Ｘ方向と直交する水平方向をＹ方向、Ｙ方向と直交する垂直方向をＺ方向とする。
【００１３】
基板搬送装置１０は、基板をＸ方向に搬送する第１搬送装置１１および第２搬送装置１２を２列並設したいわゆるダブルコンベアタイプのものである。第１搬送装置１１および第２搬送装置１２は、基台１３上にそれぞれ一対のガイドレール１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを互いに平行に対向させてそれぞれ水平に並設し、これらガイドレール１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂによりそれぞれ案内される基板を支持して搬送する一対のコンベアベルト（図示省略）を互いに対向させて並設して構成されている。また、第１搬送装置１１および第２搬送装置１２には、所定位置まで搬送された基板を押し上げてクランプすることで、基板を部品実装位置で位置決め固定するクランプ装置（図示省略）がそれぞれ設けられている。
【００１４】
部品供給装置２０は、基枠１上に複数のフィーダ２１をＸ方向に横並びに配列したカセットタイプのものである。フィーダ２１は、基枠１に離脱可能に取付けた本体２２と、本体２２の後部に設けられ、部品が所定ピッチで封入された細長いテープ（図示省略）が巻回保持された供給リール２３と、本体２２の前部に設けられ、供給リール２３からテープを所定ピッチで引き出し、封入状態を解除して部品を部品供給位置に順次送り込むスプロケット２４とを備えている。また、部品供給装置２０と基板搬送装置１０の間には、後述する部品移載装置３０のノズルユニットに保持された部品の保持位置を検出するＣＣＤ等で構成された部品認識用カメラ２５が設けられている。
【００１５】
部品移載装置３０は、基枠１上部に装架されて基板搬送装置１０および部品供給装置２０の上方に配設されたＸＹロボットタイプのものである。部品移載装置３０は、ヘッド駆動機構３１およびヘッド３２を備えている。ヘッド駆動機構３１は、Ｙ軸サーボモータ３３によりＹ方向に移動されるＹ軸スライダ３４と、このＹ軸スライダ３４にＸ方向に移動可能に案内され、Ｙ軸スライダ３４に固定されたＸ軸サーボモータ３５によりＸ方向に移動されるＸ軸スライダ３６とを備えている。
【００１６】
Ｙ軸サーボモータ３３の出力軸には、Ｙ方向に延びるボールねじ軸３７が連結されている。ボールねじ軸３７は、ボール（図示省略）を介して、Ｙ軸スライダ３４に固定されたボールナット３８に螺合されている。すなわち、Ｙ軸スライダ３４は、Ｙ軸サーボモータ３３の駆動によるボールねじ軸３７の回転により、ボールナット３８を介してガイドレール３９に案内されてＹ方向に移動するように構成されている。
【００１７】
図２および図３に示すように、Ｘ軸サーボモータ３５の出力軸には、Ｘ方向に延びるボールねじ軸４０が連結されている。ボールねじ軸４０は、ボール（図示省略）を介して、Ｘ軸スライダ３６に固定されたボールナット４１に螺合されている。すなわち、Ｘ軸スライダ３６は、Ｘ軸サーボモータ３５の駆動によるボールねじ軸４０の回転により、ボールナット４１を介してガイドレール４２に案内されてＸ方向に移動するように構成されている。このＸ軸スライダ３６には、部品を基板に装着するヘッド３２が交換可能に取付けられている。
【００１８】
ヘッド３２には、部品供給位置に供給された部品をそれぞれ吸着する２つのノズルユニット４３,４４と、部品実装位置に搬入された基板を撮像するＣＣＤ等で構成された基板認識用カメラ４５（本発明の「カメラ」に相当する）とがそれぞれ下方に突設されている。２つのノズルユニット４３,４４は、フィーダ２１の配列方向（Ｘ方向）に並べて設けられ、一方のノズルユニット４３は、ヘッド３２の一方端（本例では、図２の左端）に固定され、他方のノズルユニット４４は、ヘッド３２に設けられたノズル駆動装置４６により、一方のノズルユニット４３に最接近する位置とヘッド３２の他方端（本例では、図２の右端）の最端位置との間をフィーダ２１の配列方向（Ｘ方向）に移動可能に設けられている。すなわち、図４に示すように、２つのノズルユニット４３,４４（以下、固定ノズルユニット４３、移動ノズルユニット４４という）の後述する部品吸着ノズル５２の中心軸Ｃ１，Ｃ２間の距離は、移動ノズルユニット４４が固定ノズルユニット４３に最接近したときの距離ｆ１と他方端の最端位置に位置したときの距離ｆ２との間で可変できるようになっている。
【００１９】
ノズル駆動装置４６は、一対のレール４７と、ボールねじ４８と、ボールねじ４８と螺合可能なナット４９と、モータ５０とを備えている。一対のレール４７は、ヘッド３２内部の底面３２ａ上に所定間隔をあけてＸ方向に延在するように設けられている。一対のレール４７上には、移動ノズルユニット４４のユニット本体５１がＸ方向にスライド可能に配置されている。ボールねじ４８は、ヘッド３２内部の底面３２ａ上にＸ方向に延在するように配置され、ユニット本体５１に貫装されたナット４９に螺合され、一端がヘッド３２内部の底面３２ａ上に固定されたモータ５０のモータ軸と接続され、他端がヘッド３２内部の底面３２ａ上に固定された軸受４８ａに回転可能に支承されている。
【００２０】
各ノズルユニット４３,４４のユニット本体５１には、下方に突出して設けられて後述の部品吸着ノズル５２が着脱されるノズルホルダー部５３と、該ノズルホルダー部５３の下端部に設けられて部品を吸着保持する部品吸着ノズル５２とがそれぞれ取付けられている。ノズルホルダー部５３は、ユニット本体５１に内蔵されたＺ軸サーボモータ５４（図３参照）によりＺ方向に昇降可能に且つＲ軸サーボモータ５５（図３参照）によりノズル軸周りで回転可能に支承されている。部品吸着ノズル５２は、ノズル先端で部品を吸引可能なように図略の真空ポンプに接続され、ノズルホルダー部５３の下端部に取付けられている。
【００２１】
なお、ユニット本体５１には、１個の部品を吸着する部品吸着ノズル５２を取付けているが、この部品吸着ノズル５２に代えて既知のロータリー式部品吸着ノズル、すなわち回転可能な円筒状のノズルホルダー部に複数本の部品吸着ノズルを円周上に等角度間隔で配置し、ノズルホルダー部を回転させると共に部品吸着ノズルを順次昇降させて複数の部品を順次吸着するロータリー式部品吸着ノズルを取付けることもできる。
【００２２】
基板認識用カメラ４５は、移動ノズルユニット４４の移動と平行に移動可能に設けられている。すなわち、基板認識用カメラ４５のレンズ中心（不図示）は、ヘッド３２に設けられたカメラ駆動装置５６により、フィーダ２１の配列方向（Ｘ方向）においてヘッド３２の図示左端に位置する固定ノズルユニット４３の部品吸着ノズル５２の中心軸Ｃ１（図４参照）とヘッド３２の図示右端に移動した移動ノズルユニット４４の部品吸着ノズル５２の中心軸Ｃ２（図４参照）との間でフィーダの配列方向（Ｘ方向）に移動可能に設けられている。
【００２３】
カメラ駆動装置５６は、一対のレール５７と、ボールねじ５８と、ボールねじ５８と螺合可能なナット５９と、モータ６０とを備えている。一対のレール５７は、ヘッド３２内部の底面３２ａ上に所定間隔をあけてＸ方向に延在するように、且つノズル駆動装置４６のレール４７と平行に設けられている。一対のレール５７上には、基板認識用カメラ４５のカメラ本体６１がＸ方向にスライド可能に配置されている。ボールねじ５８は、ヘッド３２内部の底面３２ａ上にＸ方向に延在するように、且つノズル駆動装置４６のボールねじ４８と平行に配置されている。そして、ボールねじ５８は、カメラ本体６１に貫装されたナット５９に螺合され、一端がヘッド３２内部の底面３２ａ上に固定されたモータ６０のモータ軸と接続され、他端がヘッド３２内部の底面３２ａ上に固定された軸受５８ａに回転可能に支承されている。
【００２４】
ここで、図５に示すように、１つの基板認識用カメラ２がヘッド３２のＸ方向中央に固定された部品移載装置３の場合、ヘッド３２のＸ方向の移動可能範囲において、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４によるＸ方向の部品装着可能範囲ｇは、基板認識用カメラ２によるＸ方向の撮像可能範囲ｊよりも両側に(ｇ−ｊ)／２ずつ大きくなる。すなわち、１つの基板認識用カメラ２による撮像可能範囲ｊは固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４による部品装着可能範囲ｇをカバーすることができない。
【００２５】
一方、図６に示すように、本実施形態の部品移載装置３０によれば、ヘッド３２のＸ方向の移動可能範囲において、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４によるＸ方向の部品装着可能範囲ｇは、１つの基板認識用カメラ４５によるＸ方向の撮像可能範囲ｈと一致することになる。すなわち、１つの基板認識用カメラ４５による撮像可能範囲ｈは、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４による部品装着可能範囲ｇをカバーすることができる。よって、移動ノズルユニット４４による部品装着可能範囲ｇに付された基板ＢのフィデューシャルマークＭの位置を１つの基板認識用カメラ４５で直接認識することができる。
【００２６】
次に、上述の部品実装装置の動作について説明する。図７に示すように、複数のフィーダ２１のうち、例えばフィーダ２１Ａの部品供給位置Ａで供給される部品Ｐａおよびフィーダ２１Ｂの部品供給位置のＢで供給される部品Ｐｂを吸着し、各部品Ｐａ，Ｐｂを基板Ｂの部品装着位置ＡＡおよび部品装着位置ＢＢに装着する場合の動作を説明する。
【００２７】
まず、基板搬送装置１０のコンベアベルトが駆動され、基板Ｂがガイドレール１４ａ，１４ｂ（１５ａ，１５ｂ）に案内されて所定の位置まで搬送される。そして、クランプ装置により、基板Ｂが押し上げられてクランプされ、部品実装位置に位置決め固定される。次に、部品移載装置３０のＹ軸サーボモータ３３およびＸ軸サーボモータ３５が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４およびＸ軸スライダ３６が移動され、ヘッド３２が基板搬送装置１０の部品実装位置に位置決め固定された基板Ｂ上に移動され、基板認識用カメラ４５が基板Ｂに付されているフィデューシャルマークＭ上に位置決めされる。
【００２８】
そして、フィデューシャルマークＭが撮像され、フィデューシャルマークＭの画像に基づいてフィデューシャルマークＭの位置情報が読取られる。読取られたフィデューシャルマークＭの位置情報に基づいて、基板Ｂの基板座標系と部品移載装置３０の機械座標系とが関連付けられる。例えば、フィデューシャルマークＭを原点として該原点を通る直交座標軸と部品移載装置３０に予め設定されている原点を通る直交座標軸とが一致するように、基板の直交座標軸と部品移載装置３０の直交座標軸とを相対移動および相対回転させる。
【００２９】
次に、部品移載装置３０のＹ軸サーボモータ３３およびＸ軸サーボモータ３５が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４およびＸ軸スライダ３６が移動され、ヘッド３２が部品供給装置２０のフィーダ２１上に移動される。ここで、フィーダ２１Ａの部品供給位置Ａとフィーダ２１Ｂの部品供給位置Ｂとの距離ｄがｆ１≦ｄ≦ｆ２（ｆ１，ｆ２は、固定ノズルユニット４３の部品吸着ノズル５２の中心軸Ｃ１と移動ノズルユニット４４の部品吸着ノズル５２の中心軸Ｃ２との距離（図４参照））である場合は、ヘッド３２の移動中に、ノズル駆動装置４６により移動ノズルユニット４４が固定ノズルユニット４３と距離ｄだけ離間するように移動される。そして、固定ノズルユニット４３の部品吸着ノズル５２が、フィーダ２１Ａの部品供給位置Ａに供給された部品Ｐａ上に位置決めされ、移動ノズルユニット４４の部品吸着ノズル５２が、フィーダ２１Ｂの部品供給位置のＢで供給される部品Ｐｂ上に位置決めされる。
【００３０】
そして、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４の各Ｚ軸サーボモータ５４が正転されることにより、各ノズルホルダー部５３が下降され、各部品吸着ノズル５２の先端部が部品供給位置Ａ，Ｂに供給された部品Ｐａ，Ｐｂに接近する位置まで押下げられる。その状態で、真空ポンプから各部品吸着ノズル５２に負圧が供給され、各部品吸着ノズル５２の先端部に部品Ｐａ，Ｐｂが吸着保持される。その後、各Ｚ軸サーボモータ５４が逆転されることにより、各ノズルホルダー部５３が上昇される。
【００３１】
Ｙ軸サーボモータ３３およびＸ軸サーボモータ３５が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４およびＸ軸スライダ３６が移動され、ヘッド３２が部品認識用カメラ２５の上方まで移動される。そして、例えば、先ず、固定ノズルユニット４３の部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐａの保持姿勢が検出され、必要があればＲ軸サーボモータ５５が回転されることにより、部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐａの保持姿勢が修正される。次に、移動ノズルユニット４４の部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐｂの保持姿勢が検出され、必要があればＲ軸サーボモータ５５が回転されることにより、部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐｂの保持姿勢が修正される。
【００３２】
Ｙ軸サーボモータ３３およびＸ軸サーボモータ３５が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４およびＸ軸スライダ３６が移動され、ヘッド３２が基板搬送装置１０の部品実装位置に位置決め固定された基板Ｂ上に移動され、例えば固定ノズルユニット４３の部品吸着ノズル５２が基板Ｂの部品装着位置ＡＡ上に位置決めされる。そして、固定ノズルユニット４３のＺ軸サーボモータ５４が正転されることにより、ノズルホルダー部５３が下降され、部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐａが基板Ｂの部品装着位置ＡＡに装着される。その状態で、真空ポンプから部品吸着ノズル５２に供給されていた負圧が供給停止され、部品吸着ノズル５２の先端部から部品Ｐａが離脱される。その後、Ｚ軸サーボモータ５４が逆転されることにより、ノズルホルダー部５３が上昇される。
【００３３】
続いて、Ｙ軸サーボモータ３３のみが駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４が移動され、基板認識用カメラ４５が部品装着位置ＡＡに装着された部品Ｐａ上に位置決めされる。そして、部品Ｐａが撮像され、部品Ｐａの画像に基づいて部品Ｐａの装着状態が認識される。このとき、ヘッド３２をＸ方向に移動させる必要はなく、Ｙ方向に移動させるのみでよいので、ヘッド３２をＸＹ方向に移動させるときよりも高精度に移動させることができ、部品Ｐａの装着状態を高精度に認識することができる。認識された部品Ｐａの装着状態に問題がある場合は、次回の部品装着にフィードバックされる。
【００３４】
続いて、Ｙ軸サーボモータ３３およびＸ軸サーボモータ３５が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４およびＸ軸スライダ３６が移動され、移動ノズルユニット４４の部品吸着ノズル５２が基板Ｂの部品装着位置ＢＢ上に位置決めされる。そして、固定ノズルユニット４３のＺ軸サーボモータ５３が正転されることにより、ノズルホルダー部５３が下降され、部品吸着ノズル５２の先端部に吸着保持されている部品Ｐｂが基板Ｂの部品装着位置ＢＢに装着される。その状態で、真空ポンプから部品吸着ノズル５２に供給されていた負圧が供給停止され、部品吸着ノズル５２の先端部から部品Ｐｂが離脱される。その後、Ｚ軸サーボモータ５４が逆転されることにより、ノズルホルダー部５３が上昇される。
【００３５】
続いて、Ｙ軸サーボモータ３３が駆動されることにより、Ｙ軸スライダ３４が移動され、基板認識用カメラ４５が部品装着位置ＢＢに装着された部品Ｐｂ上に位置決めされる。そして、部品Ｐｂが撮像され、部品Ｐｂの画像に基づいて部品Ｐｂの装着状態が認識される。このとき、ヘッド３２をＸ方向に移動させる必要はなく、Ｙ方向に移動させるのみでよいので、ヘッド３２をＸＹ方向に移動させるときよりも高精度に移動させることができ、部品Ｐｂの装着状態を高精度に認識することができる。認識された部品Ｐｂの装着状態に問題がある場合は、次回の部品装着にフィードバックされる。以上で現部品装着が完了し、次部品装着が開始される。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態の部品移載装置３０によれば、基板認識用カメラ４５の移動方向は、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４の並び方向と平行になる。これにより、基板認識用カメラ４５の撮像可能範囲および固定ノズルユニット４３と移動ノズルユニット４４との部品装着可能範囲が、ヘッド３２のＸ方向の移動可能範囲とほぼ同一になるように装置構成することができる。よって、基板Ｂのサイズが大きくなっても、代替マークを用いずに、部品移載装置３０の部品装着可能範囲内に付された基板ＢのフィデューシャルマークＭの位置を直接認識することができ、部品装着位置を高精度に認識することができる。
【００３７】
また、移動ノズルユニット４４は、フィーダ２１の配列方向に移動可能に設けられているので、固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４で２つのフィーダ２１から部品をそれぞれ吸着するとき、２つのフィーダ２１の部品供給位置の間隔が異なっていても同時に部品吸着することが可能であるので、部品移載時間を短縮させることができる。
【００３８】
なお、上述の実施の形態においては、ヘッド３２に固定ノズルユニット４３および移動ノズルユニット４４を設けた構成としたが、ヘッド３２に固定された複数のノズルユニットを設けた構成としても、基板認識用カメラ４５が移動可能に構成されているため、同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１０…基板搬送装置、２０…部品供給装置、２１…フィーダ、３０…部品移載装置、３１…ヘッド駆動機構、３２…ヘッド、４３…固定ノズルユニット、４４…移動ノズルユニット、４５…基盤認識用カメラ（カメラ）、５２…部品吸着ノズル、Ｐａ，Ｐｂ…部品、Ｂ…基板、Ａ，Ｂ…部品供給位置、ＡＡ，ＢＢ…部品装着位置、Ｍ…フィデューシャルマーク。
【図１】
2013191765.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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