(57)【要約】【課題】効率を低下させることなく、コギングを低減できるリニアモータを提供する。【解決手段】対向型のリニアモータ１０１は、同一の磁極ピッチＰで平行配置された一対の磁石列１０２Ａ，１０２Ｂを形成する複数の磁石１１１，１２１と、一対の磁石列１０２Ａ，１０２Ｂに対応して平行配置された一対のコイル列１０３Ａ，１０３Ｂを形成する複数のコイル１３１，１４１と、を備え、複数のコイル１３１，１４１が、一対の磁石列１０３Ａ，１０３Ｂの磁極に対する列方向の位置関係及び相配列がそれぞれ異なる一対のコイル群１０３Ｃ，１０３Ｄを形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の磁極ピッチで平行配置された一対の磁石列を形成する複数の磁石と、
前記一対の磁石列に対応して平行配置された一対のコイル列を形成する複数のコイルと、
を備える対向型のリニアモータにおいて、
前記複数のコイルは、前記一対の磁石列の磁極に対する列方向の位置関係及び相配列がそれぞれ異なる一対のコイル群を形成するリニアモータ。
【請求項２】
前記一対のコイル群同士は、前記位置関係が前記磁極ピッチの１／４分異なる請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記一対のコイル群同士は、対等なコイルへの駆動電流が１２０°の位相差を有する請求項１又は２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記一対のコイル群のそれぞれは、前記一対のコイル列毎に相数と同数で互いに異相となる複数のコイルを有し、
前記一対のコイル群が列方向において離間して配置される請求項１から３のうちいずれか一項に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記一対のコイル群のそれぞれは、前記一対のコイル列のいずれかであり、
前記一対のコイル列同士又は前記一対の磁石列同士が列方向においてずらして配置される請求項１から３のうちいずれか一項に記載のリニアモータ。
【請求項６】
前記複数のコイルのそれぞれが回巻されると共に、前記磁極に臨む歯先面が形成される複数のティースを備え、
前記複数のティースは、互いに異相となる相数と同数のティースのうち、列方向の両端に配置される一対のティースが前記歯先面同士を背向させるように傾斜して形成される請求項１から５のうちいずれか一項に記載のリニアモータ。
【請求項７】
前記一対の磁石列は、相互に対向する磁極同士が相反するように配置される請求項１から６のうちいずれか一項に記載のリニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や工作機械等においては、リニアモータが、精密送り装置や精密位置決め装置に用いられる。リニアモータを精密送り装置や精密位置決め装置に用いる場合には、コギングを低減することが課題となる。
特許文献１には、コギングを低減したリニアモータが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−３１３４７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の対向型のリニアモータでは、対向配置された一対の磁石列同士を列方向においてずらして配置することにより、コギングの低減を図っている。
しかし、半導体製造装置や工作機械等において要求される位置決め精度等は、年々高くなっている。このため、特許文献１に記載された技術では、コギングの低減が十分ではない。リニアモータでは、さらなるコギングの低減が要請されている。
また、リニアモータの効率を低下させることなく、コギングを低減させることが要請されている。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、効率を低下させることなく、コギングを低減できるリニアモータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第一実施態様のリニアモータは、同一の磁極ピッチで平行配置された一対の磁石列を形成する複数の磁石と、前記一対の磁石列に対応して平行配置された一対のコイル列を形成する複数のコイルと、を備える対向型のリニアモータにおいて、前記複数のコイルは、前記一対の磁石列の磁極に対する列方向の位置関係及び相配列がそれぞれ異なる一対のコイル群を形成する。
【０００７】
本発明の第二実施態様のリニアモータは、第一実施態様において、前記一対のコイル群同士は、前記位置関係が前記磁極ピッチの１／４分異なる。
【０００８】
本発明の第三実施態様のリニアモータは、第一又は第二実施態様において、前記一対のコイル群同士は、対等なコイルへの駆動電流が１２０°の位相差を有する。
【０００９】
本発明の第四実施態様のリニアモータは、第一から第三実施態様のいずれかにおいて、前記一対のコイル群のそれぞれは、前記一対のコイル列毎に相数と同数で互いに異相となる複数のコイルを有し、前記一対のコイル群が列方向において離間して配置される。
【００１０】
本発明の第五実施態様のリニアモータは、第一から第三実施態様のいずれかにおいて、前記一対のコイル群のそれぞれは、前記一対のコイル列のいずれかであり、前記一対のコイル列同士又は前記一対の磁石列同士が列方向においてずらして配置される。
【００１１】
本発明の第六実施態様のリニアモータは、第一から第五実施態様のいずれかにおいて、前記複数のコイルのそれぞれが回巻されると共に、前記磁極に臨む歯先面が形成される複数のティースを備え、前記複数のティースは、互いに異相となる相数と同数のティースのうち、列方向の両端に配置される一対のティースが前記歯先面同士を背向させるように傾斜して形成される。
【００１２】
本発明の第七実施態様のリニアモータは、第一から第六実施態様のいずれかにおいて、前記一対の磁石列は、相互に対向する磁極同士が相反するように配置される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のリニアモータは、コギングを十分に低減して、高い送り精度や位置決め精度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１の概略構成を示す模式図である。
【図２】歯先面１５１Ｔ等を示す図である。
【図３】リニアモータ１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ）と従来のリニアモータ２９８を示す模式図である。
【図４】リニアモータ１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ），２９８に発生するコギングの比較を示す図である。
【図５】本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１の概略構成を示す模式図である。
【図６】リニアモータ２０１と従来のリニアモータ２９８，２９９を示す模式図である。
【図７】リニアモータ２０１，２９８，２９９に発生するコギングの比較を示す図である。
【図８】リニアモータ２０１，２９８，２９９における逆起電力定数の比較を示す図である。
【図９】リニアモータ２０１，２９８，２９９における逆起電力定数に差が生じる理由を説明する図である。
【図１０】リニアモータ２０１，２９８，２９９の特性比較をまとめた図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
（第一実施形態）
図１は、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１の概略構成を示す模式図である。
【００１６】
リニアモータ１０１は、磁石部１０２、コイル部１０３等を備える。
磁石部１０２は、複数の磁石を直線状に並べた２つの磁石列（第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂ）を有する。
コイル部１０３は、複数のコイルを直線状に並べた２つのコイル列（第一コイル列１０３Ａ、第二コイル列１０３Ｂ）を有する。
２つのコイル列は、２つの磁石列に対応して平行配置される。このため、リニアモータ１０１は、対向型リニアモータと呼ばれる。
【００１７】
第一磁石列１０２Ａや第一コイル列１０３Ａ等の列方向をＸ方向とし、第一磁石列１０２Ａや第一コイル列１０３Ａ等を並べた方向をＹ方向とする（図１の座標軸参照）。
【００１８】
磁石部１０２の第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂは、平行配置される。
第一磁石列１０２Ａは、複数の磁石１１１，１１２等を有する。複数の磁石１１１，１１２等は、それぞれの磁極が列方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）を向く。複数の磁石１１１，１１２等は、列方向において磁極が交互になるように配置される。
第二磁石列１０２Ｂは、複数の磁石１２１，１２２等を有する。複数の磁石１２１，１２２等は、それぞれの磁極が列方向に直交する方向を向く。複数の磁石１２１，１２２等は、列方向において磁極が交互になるように配置される。
【００１９】
磁石１１１，１１２等及び磁石１２１，１２２等は、同一形状（平板形状）であると共に、同一特性を有する。第一磁石列１０２Ａの磁石１１１，１１２等の配置ピッチと、第二磁石列１０２Ｂの磁石１２１，１２２等の配置ピッチは、同一である。
【００２０】
配置ピッチは、同極同士（Ｎ極同士若しくはＳ極同士）のＸ方向における距離（ピッチ）である（図１参照）。配置ピッチは、磁極ピッチＰとも呼ばれる。
【００２１】
第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂとは、相互に対向する磁石同士が異なる磁極を向かい合わせるように配置される。例えば、磁石１１１は、Ｎ極面が磁石１２１側（＋Ｙ方向）を向き、磁石１２１は、Ｓ極面が磁石１１１側（−Ｙ方向）を向く。
【００２２】
コイル部１０３は、第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂの間に配置される。
コイル部１０３は、コア１０４、コイル列等を備える。
コア１０４には、直線状に並べた２つのティース列（第一ティース列１０４Ａ、第二ティース列１０４Ｂ）が形成される。
コイル列（第一コイル列１０３Ａ、第二コイル列１０３Ｂ）は、コア１０４の２つのティース列にそれぞれ巻回された複数のコイルからなる。
【００２３】
コア１０４は、本体部１０４Ｓ、第一ティース列１０４Ａ及び第二ティース列１０４Ｂから形成される。
本体部１０４Ｓは、列方向（Ｘ方向）に沿う細長い矩形の部位である。第一ティース列１０４Ａ及び第二ティース列１０４Ｂは、本体部１０４Ｓの両側面から列方向に直交する方向に突出する部位である。第一ティース列１０４Ａと第二ティース列１０４Ｂは、背向する方向に突出する。
第一ティース列１０４Ａは、複数のティース（突極）１５１，１５２等を有する。複数のティース１５１，１５２等は、列方向（Ｘ方向）において、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの２／３ピッチ分（２Ｐ／３）で配置される。
第二ティース列１０４Ｂは、複数のティース１６１，１６２等を有する。複数のティース１６１，１６２等は、列方向（Ｘ方向）において、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの２／３ピッチ分（２Ｐ／３）で配置される。
第一ティース列１０４Ａと第二ティース列１０４Ｂは、平行配置される。第一ティース列１０４Ａと第二ティース列１０４Ｂは、列方向において一致するように配置される。
ティース１５１，１５２等及びティース１６１，１６２等は、同一形状を有する。ティース１５１，１５２等及びティース１６１，１６２等は、歯元から歯先に向けて同一形状の棒状（丸棒又は角棒）に形成される。ティース１５１，１５２等は、−Ｙ方向に突出する。ティース１６１，１６２等は、＋Ｙ方向に突出する。
【００２４】
第一ティース列１０４Ａと第二ティース列１０４Ｂとは、列方向において、２つのティース群（第一ティース群１０４Ｃ、第二ティース群１０４Ｄ）に分けられる。
第一ティース群１０４Ｃは、ティース１５１，１５２，１５３及びティース１６１，１６２，１６３からなる。第二ティース群１０４Ｄは、ティース１５４，１５５，１５６及びティース１６４，１６５，１６６からなる。
第一ティース群１０４Ｃと第二ティース群１０４Ｄとは、列方向において間隔を空けて（離間して）配置される。第一ティース群１０４Ｃと第二ティース群１０４Ｄとは、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけ離間して配置される。ティース１５３，１６３とティース１５４，１６４の間隔は、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１１／１２ピッチ分（２Ｐ／３＋Ｐ／４）となる。
【００２５】
図１に示すように、第一ティース群１０４Ｃは、第二ティース群１０４Ｄに対して、＋Ｘ方向に、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけ離間して配置される。
【００２６】
第一ティース列１０４Ａの歯先は、第一磁石列１０２Ａに対して僅かな隙間（ギャップＡ)を隔てるように形成される。第二ティース列１０４Ｂの歯先は、第二磁石列１０２Ｂに対して僅かな隙間（ギャップＢ）を隔てるように形成される。
【００２７】
第一コイル列１０３Ａは、コア１０４の第一ティース列１０４Ａのティース１５１，１５２等にそれぞれ巻回された複数のコイル１３１，１３２等から構成される。
第二コイル列１０３Ｂは、コア１０４の第二ティース列１０４Ｂのティース１６１，１６２等にそれぞれ巻回された複数のコイル１４１，１４２等から構成される。
【００２８】
第一コイル列１０３Ａと第二コイル列１０３Ｂは、列方向（Ｘ方向）において、２つのコイル群（第一コイル群１０３Ｃ、第二コイル群１０３Ｄ）に分けられる。
第一コイル群１０３Ｃは、コア１０４の第一ティース群１０４Ｃのティース１５１，１６１等にそれぞれ巻回された複数のコイル１３１，１４１等から構成される。
第二コイル群１０３Ｄは、コア１０４の第二ティース群１０４Ｄのティース１５４，１６４等にそれぞれ巻回された複数のコイル１３４，１４４等から構成される。
【００２９】
コイル１３１，１３２等及びコイル１４１，１４２等は、同一形状（巻数、巻方向、銅線種類）に形成される。
第一コイル列１０３Ａのコイル１３１，１３２等は、銅線をティース１５１，１５２等の歯元から歯先に向けて右巻きに巻いて形成される。第二コイル列１０３Ｂのコイル１４１，１４２等は、銅線をティース１６１，１６２等の歯先から歯元に向けて右巻きに巻いて形成される。
【００３０】
第一ティース群１０４Ｃと第二ティース群１０４Ｄとは、列方向において、離間して配置される。第一ティース群１０４Ｃと第二ティース群１０４Ｄとは、列方向において、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけ離間して配置される。
このため、第一コイル群１０３Ｃと第二コイル群１０３Ｄとは、列方向において、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけ離間して配置される。
【００３１】
コイル部１０３は、列方向（Ｘ方向）において離間する２つのコイル部（第一コイル部１０５、第二コイル部１０６）からなる。
【００３２】
第一コイル部１０５は、第一ティース群１０４Ｃと第一コイル群１０３Ｃから構成される。
第一コイル部１０５は、第一コイル列１０３Ａ、第二コイル列１０３Ｂ毎に、相数と同数で互いに異相となる複数のコイルを有する。リニアモータ１０１は、三相誘導モータである。したがって、第一コイル部１０５は、３つのティース１５１，１５２，１５３に回巻された３つのコイル１３１，１３２，１３３と、３つのティース１６１，１６２，１６３に回巻された３つのコイル１４１，１４２，１４３とを有する。
【００３３】
第二コイル部１０６は、第二ティース群１０４Ｄと第二コイル群１０３Ｄから構成される。
第二コイル部１０６は、第一コイル列１０３Ａ、第二コイル列１０３Ｂ毎に、相数と同数で互いに異相となる複数のコイルを有する。リニアモータ１０１は、三相誘導モータである。したがって、第二コイル部１０６は、３つのティース１５４，１５５，１５６に回巻された３つのコイル１３４，１３５，１３６と、３つのティース１６４，１６５，１６６に回巻された３つのコイル１４４，１４５，１４６とを有する。
【００３４】
第一コイル部１０５と第二コイル部１０６とは、本体部１０４Ｓを介して連結される。
第一コイル部１０５と第二コイル部１０６とは、列方向において、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけ離間して配置される。コイル１３３，１４３とコイル１３４，１４４の間隔は、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１１／１２ピッチ分（２Ｐ／３＋Ｐ／４）となる。
【００３５】
第一コイル部１０５（第一コイル群１０３Ｃ）と第二コイル部１０６（第二コイル群１０３Ｄ）とは、第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂの磁極に対する列方向の位置関係が異なる。
図１に示すように、コイル１３１が第一磁石列１０２ＡのＮ極、コイル１４１が第二磁石列１０２ＢのＳ極に対してそれぞれ真正面から向かい合う時に、コイル１３４が第一磁石列１０２ＡのＮ極とＳ極の間、コイル１４４が第二磁石列１０２ＢのＳ極とＮ極の間に対して向かい合う。コイル１３１，１４１とコイル１３４，１４４とは、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずれているからである。
同様に、コイル１３２，１４２とコイル１３５，１４５とは、第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂの磁極に対する列方向の位置関係が異なる。コイル１３３，１４３とコイル１３６，１４６とは、第一磁石列１０２Ａと第二磁石列１０２Ｂの磁極に対する列方向の位置関係が異なる。
【００３６】
コイル部１０３（第一コイル群１０３Ｃ及び第二コイル群１０３Ｄ）には、駆動電流として三相交流電流が入力される。
第一コイル群１０３Ｃに入力される三相交流電流と第二コイル群１０３Ｄに入力される三相交流電流とは、１２０°の位相差（電気角１２０°）を有するように結線される。
Ｙ方向において相互に対向して配置されるコイル同士（例えばコイル１３１とコイル１４１、例えばコイル１３４とコイル１４４）には、同位相（位相差がない）の三相交流電流が入力される。
【００３７】
第一コイル群１０３Ｃ（第一コイル部１０５）において、第一コイル列１０３Ａのコイル１３１，１３２，１３３をそれぞれＵ相，Ｗ相，Ｖ相としたとき、第二コイル列１０３Ｂのコイル１４１，１４２，１４３がそれぞれ／Ｕ相，／Ｗ相，／Ｖ相となるように結線する。
第二コイル群１０３Ｄ（第二コイル部１０６）において、第一コイル列１０３Ａのコイル１３４，１３５，１３６をそれぞれＶ相，Ｕ相，Ｗ相としたとき、第二コイル列１０３Ｂのコイル１４４，１４５，１４６がそれぞれ／Ｖ相，／Ｕ相，／Ｗ相となるように結線する。
【００３８】
第一コイル群１０３Ｃ（第一コイル部１０５）と第二コイル群１０３Ｄ（第二コイル部１０６）とは、対等なコイルへの駆動電流が１２０°の位相差を有する。
コイル１３１がＵ相となり、これに対等なコイル１３４がＶ相となる。コイル１３２がＷ相となり、これに対等なコイル１３５がＵ相となる。コイル１３３がＶ相となり、これに対等なコイル１３６がＷ相となる。コイル１４１が／Ｕ相となり、これに対等なコイル１４４が／Ｖ相となる。コイル１４２が／Ｗ相となり、これに対等なコイル１４５が／Ｕ相となる。コイル１４３が／Ｖ相となり、これに対等なコイル１４６が／Ｗ相となる。
このように、第一コイル部１０５（第一コイル群１０３Ｃ）と第二コイル部１０６（第二コイル群１０３Ｄ）とは、相配列が異なる。
【００３９】
図２は、歯先面１５１Ｔ等を示す図である。
ティース１５１〜１５６，１６１〜１６６のそれぞれは、第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂに臨む歯先面１５１Ｔ〜１５６Ｔ，１６１Ｔ〜１６６Ｔを有する。
コイルが回巻されて互いに異なる相（Ｕ相，Ｗ相，Ｖ相）となる３つ（相数と同数）のティース（例えばティース１５１〜１５３）の歯先面（例えば歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔ）は、異なる形状に形成される。
３つのティースのうち、列方向の中央に配置されるティースの歯先面（例えばティース１５２の歯先面１５２Ｔ）は、第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂに対して平行な平面に形成される。
３つのティースのうち、列方向の両側（＋Ｘ方向及び−Ｘ方向）に配置されるティースの歯先面（例えばティース１５１，１５３の歯先面１５１Ｔ，１５３Ｔ）は、第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂに対して傾斜する平面に形成される。列方向の両側に配置されるティースの歯先面同士（例えば歯先面１５１Ｔ，１５３Ｔ同士）は、背向するように形成される。
歯先面１５１Ｔ，１５３Ｔ等の傾斜角度は、任意に設定できる。また、歯先面１５１Ｔ，１５３Ｔ等同士の傾斜角度は、同一である。歯先面１５１Ｔ，１５２Ｔ，１５３Ｔ等は、ティース１５２等のＹ方向に延びる中心線を基準にして、線対称に形成される。
【００４０】
コイルが回巻されて互いに異なる相となる３つのティースの歯先面（例えばティース１５１〜１５３の歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔ）は、全体として台形状に形成される。
コイルが回巻されて互いに異なる相となる３つのティースの歯先面は、それぞれ第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂに対する隙間（ギャップＡ，Ｂ）を維持しつつ、列方向の両側では全体として第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂから徐々に離間するように形成される。
【００４１】
ティース１５４〜１５６，１６１〜１６３，１６４〜１６６の歯先面１５４Ｔ〜１５６Ｔ，１６１Ｔ〜１６３Ｔ，１６４Ｔ〜１６６Ｔは、歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔと同一形状に形成される。
【００４２】
次に、リニアモータ１０１の効果について、従来のリニアモータと比較しつつ説明する。
説明の都合上、以下では、上述したリニアモータ１０１をリニアモータ１０１Ａと示す。リニアモータ１０１Ｂは、リニアモータ１０１Ａの変形例である。
【００４３】
図３は、リニアモータ１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ）と従来のリニアモータ２９８を示す模式図である。
図３（ａ）は、従来のリニアモータ２９８を示す模式図である。２つのコイル列には、位相差のない駆動電流が入力される。
図３（ｂ）は、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ａを示す模式図である。リニアモータ１０１Ａでは、コイルが回巻されて互いに異なる相となる３つのティースの歯先面（例えばティース１５１〜１５３の歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔ）は、全体として台形状に形成される。２つのコイル列には、位相差がある駆動電流が入力される。
図３（ｃ）は、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ｂを示す模式図である。ただし、リニアモータ１０１Ｂでは、全ての歯先面１５１Ｔ等が第一磁石列１０２Ａ又は第二磁石列１０２Ｂに対して平行に形成される。２つのコイル列には、位相差がある駆動電流が入力される。
【００４４】
図４は、リニアモータ１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ），２９８に発生するＸ方向のコギングの比較を示す図である。リニアモータ１０１（１０１Ａ、１０１Ｂ）では、Ｙ方向のコギングは殆ど発生しない。
図４（ａ）は、従来のリニアモータ２９８に発生するコギングを示す図である。
図４（ｂ）は、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ａに発生するコギングを示す図である。
図４（ｃ）は、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ｂに発生するコギングを示す図である。
【００４５】
図４（ａ）に示すように、従来のリニアモータ２９８においては、大きなコギングが発生していることが確認された。リニアモータ２９８におけるコギングの最大値と最小値の差は、約２．０〜３．０Ｎ程度となった。
【００４６】
図４（ｂ）に示すように、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ａにおいては、リニアモータ２９８に比べてコギングが大幅に低減されていることが確認された。リニアモータ１０１Ａにおけるコギングの最大値と最小値の差は、約０．４Ｎ程度となった。
【００４７】
図４（ｃ）に示すように、本発明の第一実施形態に係るリニアモータ１０１Ｂにおいては、リニアモータ１０１Ａと同様に、コギングが大幅に低減されていることが確認された。リニアモータ１０１Ｂにおけるコギングの最大値と最小値の差は、約０．５Ｎ程度となった。
【００４８】
リニアモータ２９８では、−Ｘ方向側のコイル部ＣＡ（第一コイル部１０５に相当）に発生するコギングと、＋Ｘ方向側のコイル部ＣＢ（第二コイル部１０６に相当）に発生するコギングとは、位相が一致する。このため、全体としてコギングが大きくなることが確認された。
【００４９】
リニアモータ１０１Ａ，１０１Ｂでは、第一コイル部１０５に発生するコギングと、第二コイル部１０６に発生するコギングは、位相が相反する。このため、第一コイル部１０５に発生するコギングと、第二コイル部１０６に発生するコギングが相殺される。したがって、全体としてコギングが小さくなることが確認された。
【００５０】
リニアモータ１０１Ａとリニアモータ１０１Ｂを比較すると、リニアモータ１０１Ａの方がリニアモータ１０１Ｂに比べて、第一コイル部１０５と第二コイル部１０６のそれぞれのコギングが大きくなる。
しかし、リニアモータ１０１Ａの第一コイル部１０５と第二コイル部１０６におけるコギングは、正弦曲線に近似する。歯先面１５１Ｔ，１５３Ｔの傾斜角度を調整することにより、リニアモータ１０１Ａの第一コイル部１０５と第二コイル部１０６におけるコギングを、より正弦曲線に近似させることができる。
リニアモータ１０１Ｂの第一コイル部１０５と第二コイル部１０６におけるコギングは、凹凸した曲線になる。
このため、リニアモータ１０１Ａの方が、リニアモータ１０１Ｂに比べて第一コイル部１０５に発生するコギングと第二コイル部１０６に発生するコギングが良好に相殺される。
リニアモータ１０１Ａでは、コイルが回巻されて互いに異なる相となる３つのティース（例えばティース１５１〜１５３）の歯先面（例えば歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔ）を全体として台形状に形成した。これにより、第一コイル部１０５と第二コイル部１０６のそれぞれに発生するコギングが相殺されやすいことが確認できた。
【００５１】
リニアモータ１０１は、列方向において離間する第一コイル部１０５と第二コイル部１０６を有する。これにより、リニアモータ１０１では、第一コイル部１０５に発生するコギングと第二コイル部１０６に発生するコギングが相殺されるので、全体としてコギングが小さくなる。
【００５２】
特に、リニアモータ１０１では、コイルが回巻されて互いに異なる相（Ｕ相，Ｗ相，Ｖ相）となる３つ（相数と同数）のティース（例えばティース１５１〜１５３）の歯先面（例えば歯先面１５１Ｔ〜１５３Ｔ）を全体として台形状に形成した。これにより、リニアモータ１０１では、第一コイル部１０５と第二コイル部１０６のそれぞれに発生するコギングを相殺しやすい。
【００５３】
したがって、リニアモータ１０１は、磁石部の円滑な移動が妨げられることなく、高い送り精度や位置決め精度が得られる。また、リニアモータ１０１は、効率の低下が殆どなく、省エネルギーの要請を満たすことができる。
【００５４】
リニアモータ１０１は、コイル１３１，１４１等が回巻されるコア１０４が、ティース１５１，１６１等が歯元から歯先に向けて同一形状を有するため、コギングが発生しやすい。しかし、リニアモータ１０１では、ティース１５１，１６１等の形状がＴ字形状ではないが、コギングを低下させることができる。
リニアモータ１０１は、ティース１５１，１６１等が歯元から歯先に向けて同一形状を有するため、コイル１３１，１４１等を巻回しやすい（組立しやすい）。
【００５５】
第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂは、相互に対向する磁極同士が相反するように配置される。第一コイル列１０３Ａのコイル１３１，１３２等は、銅線がティース１５１，１５２等の歯元から歯先に向けて右巻きに巻いて形成される。第二コイル列１０３Ｂのコイル１４１，１４２等は銅線がティース１６１，１６２等の歯先から歯元に向けて右巻きに巻いて形成される。第一コイル列１０３Ａ、第二コイル列１０３Ｂのコイル１３１，１３２，１４１，１４２等の銅線の巻き方向を一致させることにより、組立性の向上が図られる。
【００５６】
（第二実施形態）
図５は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１の概略構成を示す模式図である。
リニアモータ２０１は、磁石部２０２、コイル部２０３等を備える。
磁石部２０２は、複数の磁石を直線状に並べた２つの磁石列（第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂ）を有する。
コイル部２０３は、複数のコイルを直線状に並べた２つのコイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）を有する。
２つのコイル列は、２つの磁石列に対応して平行配置される。このため、リニアモータ２０１は、対向型リニアモータと呼ばれる。
【００５７】
第一磁石列２０２Ａや第一コイル列２０３Ａ等の列方向をＸ方向とし、第一磁石列２０２Ａや第一コイル列２０３Ａ等を並べた方向をＹ方向とする（図５の座標軸参照）。
【００５８】
磁石部２０２の第一磁石列２０２Ａと第二磁石列２０２Ｂは、平行配置される。
第一磁石列２０２Ａは、複数の磁石２１１，２１２等を有する。複数の磁石２１１，２１２等は、それぞれの磁極が列方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）を向く。複数の磁石２１１，２１２等は、列方向において磁極が交互になるように配置される。
第二磁石列２０２Ｂは、複数の磁石２２１，２２２等を有する。複数の磁石２２１，２２２等は、それぞれの磁極が列方向に直交する方向を向く。複数の磁石２２１，２２２等は、列方向において磁極が交互になるように配置される。
磁石２１１，２１２等及び磁石２２１，２２２等は、同一形状（平板形状）であると共に、同一特性を有する。第一磁石列２０２Ａの磁石２１１，２１２等の配置ピッチと、第二磁石列２０２Ｂの磁石２２１，２２２等の配置ピッチは、同一である。
【００５９】
配置ピッチは、同極同士（Ｎ極同士若しくはＳ極同士）のＸ方向における距離（ピッチ）である（図５参照）。配置ピッチは、磁極ピッチＰとも呼ばれる。
【００６０】
第一磁石列２０２Ａと第二磁石列２０２Ｂは、相互に対向する磁石同士が異なる磁極を向かい合わせるように配置される。例えば、磁石２１１は、Ｎ極面が磁石２２１側（＋Ｙ方向）を向き、磁石２２１は、Ｓ極面が磁石２１１側（−Ｙ方向）を向く。
【００６１】
コイル部２０３は、第一磁石列２０２Ａと第二磁石列２０２Ｂの間に配置される。
コイル部２０３は、コア２０４、コイル列等を備える。
コア２０４には、直線状に並べた２つのティース列（第一ティース列２０４Ａ、第二ティース列２０４Ｂ）が形成される。
コイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）は、コア２０４の２つのティース列にそれぞれ巻回された複数のコイルからなる。
【００６２】
コア２０４は、本体部２０４Ｓ、第一ティース列２０４Ａ及び第二ティース列２０４Ｂから形成される。
本体部２０４Ｓは、列方向（Ｘ方向）に沿う細長い矩形の部位である。第一ティース列２０４Ａ及び第二ティース列２０４Ｂは、本体部２０４Ｓの両側面から列方向に直交する方向に突出する部位である。第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂは、背向する方向に突出する。
第一ティース列２０４Ａは、複数のティース（突極）２５１，２５２等を有する。複数のティース２５１，２５２等は、列方向（Ｘ方向）において、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの２／３ピッチ分（２Ｐ／３）で配置される。
第二ティース列２０４Ｂは、複数のティース２６１，２６２等を有する。複数のティース２６１，２６２等は、列方向（Ｘ方向）において、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの２／３ピッチ分（２Ｐ／３）で配置される。
第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂは、平行配置される。ティース２５１，２５２等及びティース２６１，２６２等は、同一形状を有する。ティース２５１，２５２等及びティース２６１，２６２等は、歯元から歯先に向けて同一形状の棒状（丸棒又は角棒）に形成される。ティース２５１，２５２等は、−Ｙ方向に突出する。ティース２６１，２６２等は、＋Ｙ方向に突出する。
【００６３】
第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂとは、列方向においてずらして配置される。第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂとは、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
【００６４】
第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂは、２つのティース群（第一ティース群２０４Ｃ、第二ティース群２０４Ｄ）とも呼ばれる。
第一ティース群２０４Ｃは、ティース１５１〜１５６からなる。第二ティース群２０４Ｄは、ティース１６１〜１６６からなる。
第一ティース群２０４Ｃと第二ティース群２０４Ｄとは、列方向においてずらして配置される。第一ティース群２０４Ｃと第二ティース群２０４Ｄとは、第一磁石列１０２Ａ、第二磁石列１０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
【００６５】
図５に示すように、第一ティース列２０４Ａは、第二ティース列２０４Ｂに対して、＋Ｘ方向に、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
図５において、第一ティース列２０４Ａは、第二ティース列２０４Ｂに対して、−Ｘ方向に、ずらして配置してもよい。
【００６６】
第一ティース列２０４Ａの歯先は、第一磁石列２０２Ａに対して僅かな隙間（ギャップＡ)を隔てるように形成される。第二ティース列２０４Ｂの歯先は、第二磁石列２０２Ｂに対して僅かな隙間（ギャップＢ）を隔てるように形成される。
【００６７】
第一コイル列２０３Ａは、コア２０４の第一ティース列２０４Ａのティース２５１，２５２等にそれぞれ巻回された複数のコイル２３１，２３２等から構成される。
第二コイル列２０３Ｂは、コア２０４の第二ティース列２０４Ｂのティース２６１，２６２等にそれぞれ巻回された複数のコイル２４１，２４２等から構成される。
【００６８】
第一コイル列２０３Ａと第二コイル列２０３Ｂは、２つのコイル群（第一コイル群２０３Ｃ、第二コイル群２０３Ｄ）とも呼ばれる。
第一コイル群２０３Ｃは、コア２０４の第一ティース群２０４Ｃのティース２５１〜２５６にそれぞれ巻回された複数のコイル２３１〜２３６から構成される。
第二コイル群２０３Ｄは、コア１０４の第二ティース群１０４Ｄのティース２６１〜２６６にそれぞれ巻回された複数のコイル２４１〜２４６から構成される。
【００６９】
コイル２３１，２３２等及びコイル２４１，２４２等は、同一形状（巻数、巻方向、銅線種類）に形成される。
第一コイル列２０３Ａのコイル２３１，２３２等は、銅線をティース２５１，２５２等の歯元から歯先に向けて右巻きに巻いて形成される。第二コイル列２０３Ｂのコイル２４１，２４２等は、銅線をティース２６１，２６２等の歯先から歯元に向けて右巻きに巻いて形成される。
【００７０】
第一ティース列２０４Ａと第二ティース列２０４Ｂとは、列方向において、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
このため、第一コイル列２０３Ａ（第一コイル群２０３Ｃ）と第二コイル列２０３Ｂ（、第二コイル群２０３Ｄ）とは、列方向において、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
【００７１】
コイル部２０３は、２つのコイル部（第一コイル部２０５、第二コイル部２０６）からなる。
第一コイル部２０５は、第一コイル列２０３Ａ，第一ティース列２０４Ａを形成するコイル２３１〜２３６，ティース２５１〜２５６から構成される。
第二コイル部２０６は、第二コイル列２０３Ｂ，第二ティース列２０４Ｂを形成するコイル２４１〜２４６，ティース２６１〜２６６から構成される。
第一コイル部１０５と第二コイル部１０６とは、列方向において、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置される。
【００７２】
第一コイル部２０５（第一コイル群２０３Ｃ）と第二コイル部２０６（第二コイル群２０３Ｄ）とは、第一磁石列１０２Ａと第二磁石列２０２Ｂの磁極に対する列方向の位置関係が異なる。
図５に示すように、コイル２３１が第一磁石列２０２ＡのＮ極に対して真正面から向かい合う時に、コイル２３１が第二磁石列２０２ＢのＮ極とＳ極の間に対して向かい合う。コイル２３１とコイル２４１とは、第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂの磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずれているからである。
同様に、コイル２３２〜２３６とコイル２４２〜２４６とは、第一磁石列２０２Ａと第二磁石列２０２Ｂの磁極に対する列方向の位置関係が異なる。
【００７３】
コイル部２０３（第一コイル列２０３Ａ及び第二コイル列２０３Ｂ）には、三相交流電流（駆動電流）が入力される。
第一コイル列２０３Ａに入力される三相交流電流と第二コイル列２０３Ｂに入力される三相交流電流とは、１２０°の位相差（電気角１２０°）を有するように結線される。
Ｙ方向において相互に対向して配置されるコイル同士（例えばコイル２３１とコイル２４１、例えばコイル２３２とコイル２４２、例えばコイル２３３とコイル２４３）には、それぞれ１２０°の位相差を有する三相交流電流が入力される。
第一コイル列２０３Ａのコイル２３１，２３２，２３３をそれぞれＵ相，Ｗ相，Ｖ相としたとき、第二コイル列２０３Ｂのコイル２４１，２４２，２４３がそれぞれＶ相，Ｕ相，Ｗ相となるように結線する。
【００７４】
第一コイル列２０３Ａ（第一コイル部２０５）と第二コイル列２０３Ｂ（第一コイル部２０５）とは、対等なコイルへの駆動電流が１２０°の位相差を有する。
コイル２３１がＵ相となり、これに対等なコイル２４１が／Ｖ相となる。コイル２３２がＷ相となり、これに対等なコイル２４２が／Ｕ相となる。コイル２３３がＶ相となり、これに対等なコイル２４３が／Ｗ相となる。コイル２３４がＵ相となり、これに対等なコイル２４４が／Ｖ相となる。コイル２３５がＷ相となり、これに対等なコイル２４５が／Ｕ相となる。コイル２３６がＶ相となり、これに対等なコイル２４６が／Ｗ相となる。
このように、第一コイル部２０５（第一コイル群２０３Ｃ）と第二コイル部２０６（第二コイル群２０３Ｄ）とは、相配列が異なる。
【００７５】
次に、リニアモータ２０１の効果について、従来のリニアモータと比較しつつ説明する。
図６は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１と従来のリニアモータ２９８，２９９を示す模式図である。
図６（ａ）は、従来のリニアモータ２９８を示す模式図である。ティースに回巻された２つのコイル列には、列方向にずれはない。２つのコイル列には、位相差のない駆動電流が入力される。
図６（ｂ）は、従来のリニアモータ２９９を示す模式図である。ティースに回巻された２つのコイル列には、列方向にずれがある。２つのコイル列には、位相差のない駆動電流が入力される。
図６（ｃ）は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１を示す模式図である。ティースに回巻された２つのコイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）には、列方向にずれがある。２つのコイル列には、位相差がある駆動電流が入力される。
【００７６】
図７は、リニアモータ２０１，２９８，２９９に発生するコギングの比較を示す図である。
図７（ａ）は、従来のリニアモータ２９８に発生するコギングを示す図である。
図７（ｂ）は、従来のリニアモータ２９９に発生するコギングを示す図である。
図７（ｃ）は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１に発生するコギングを示す図である。
【００７７】
図７（ａ）に示すように、従来のリニアモータ２９８においては、大きなコギングが発生していることが確認された。リニアモータ２９８におけるコギングの最大値と最小値の差は、約２．０〜３．０Ｎ程度となった。
【００７８】
図７（ｂ）に示すように、従来のリニアモータ２９９においては、リニアモータ２９８に比べてコギングが大幅に低減されていることが確認された。リニアモータ２９９におけるコギングの最大値と最小値の差は、約０．５Ｎ程度となった。
【００７９】
図７（ｃ）に示すように、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１においては、リニアモータ２９８にコギングが大幅に低減されていることが確認された。リニアモータ２０１におけるコギングの最大値と最小値の差は、約０．４Ｎ程度となった。
【００８０】
ティースに回巻された２つのコイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）を列方向に磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）ずらして配置することにより、リニアモータ２０１，２９８に発生するコギングを大幅に低減できることが確認された。
【００８１】
図８は、リニアモータ２０１，２９８，２９９における逆起電力定数（解析値）の比較を示す図である。
図８（ａ）は、従来のリニアモータ２９８における逆起電力定数（解析値）を示す図である。
図８（ｂ）は、従来のリニアモータ２９９における逆起電力定数（解析値）を示す図である。
図８（ｃ）は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１における逆起電力定数（解析値）を示す図である。
【００８２】
図８（ａ）に示すように、従来のリニアモータ２９８においては、コイル部全体の逆起電力定数（ＥＭＦ）が３．５Ｖｒｍｓ／ｍ／ｓであることが確認された。リニアモータ２９８においては、コイル部（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の逆起電力定数の変化（波形）が波打っていることが確認された。このため、逆起電力定数（ＥＭＦ）も波打っている。
従来のリニアモータ２９８においては、定格電流を１Ａｒｍｓとすると、定格推力が１０．２Ｎとなった。
【００８３】
図８（ｂ）に示すように、従来のリニアモータ２９９においては、コイル部全体の逆起電力定数（ＥＭＦ）が２．４Ｖｒｍｓ／ｍ／ｓであることが確認された。リニアモータ２９９においては、コイル部（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の逆起電力定数の変化（波形）が大きく波打っていることが確認された。このため、逆起電力定数（ＥＭＦ）も大きく波打っている。
従来のリニアモータ２９９においては、定格電流を１Ａｒｍｓとすると、定格推力が７．１Ｎとなった。
【００８４】
図８（ｃ）に示すように、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１においては、コイル部２０３の全体の逆起電力定数（ＥＭＦ）が３．３Ｖｒｍｓ／ｍ／ｓであることが確認された。リニアモータ２０１においては、結線したコイル同士で補正し合わせているため逆起電力波形が正弦波に近くなっている。コイル部（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の逆起電力定数の変化（波形）が殆ど波打っていないことが確認された。このため、逆起電力定数（ＥＭＦ）も殆ど波打っていない。
本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１においては、定格電流を１Ａｒｍｓとすると、定格推力が９．４Ｎとなった。
【００８５】
リニアモータ２０１では、磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）ずらしたティースに回巻された２つのコイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）に対して、１２０°の位相差（電気角１２０°）のある駆動電流を入力することにより、逆起電力定数を、従来のリニアモータ２９８と同程度にできることが確認された。言い換えれば、リニアモータ２０１は、従来のリニアモータ２９９のように逆起電力定数が低下することを、抑制できる。
したがって、リニアモータ２０１では、従来のリニアモータ２９９のように定格推力が低下することなく、従来のリニアモータ２９８と同程度の定格推力が得られた。
【００８６】
図９は、リニアモータ２０１，２９９における逆起電力定数に差が生じる理由を説明する図である。
図９（ａ）は、従来のリニアモータ２９９の２つのコイル列における逆起電力定数を示す図である。
図９（ｂ）は、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１の２つのコイル列（第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂ）における逆起電力定数を示す図である。
【００８７】
図９（ａ）に示すように、従来のリニアモータ２９９では、相互に対向配置されたコイル（例えばコイルＣ１，Ｃ２（図６（ｂ）参照））の逆起電力定数の波形は、それぞれのピークが電気角９０°程度ずれていることが確認された。
図９（ｂ）に示すように、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１では、相互に対向配置されたコイル（例えば、コイル２３１とコイル２４１）の逆起電力定数の波形は、それぞれのピークが電気角３０°程度ずれていることが確認された。
【００８８】
リニアモータ２０１，２９９では、相互に対向配置されたコイルの逆起電力定数の波形の電気角の差に相違がある。
リニアモータ２９９では、コイルＣ１，Ｃ２等の逆起電力定数の波形の電気角の差が大きいので、コイル部の全体の逆起電力定数に損失が生じる。リニアモータ２０１では、コイル２３１，２４１等の逆起電力定数の波形の電気角の差が小さいので、コイル部２０３の全体の逆起電力定数に損失が少ない。
したがって、リニアモータ２０１，２９９における逆起電力定数に差が生じたと考えられる。
【００８９】
図１０は、リニアモータ２０１，２９８，２９９の特性比較をまとめた図である。
従来のリニアモータ２９８では、逆起電力定数及び定格推力が大きいが、コギングも大きい。このため、リニアモータ２９８では、コギングにより磁石部の円滑な移動が妨げられる。
従来のリニアモータ２９９では、リニアモータ２９８に比べてコギングを８５％程度低下させることができる。しかし、従来のリニアモータ２９９では、逆起電力定数及び定格推力がリニアモータ２９８に比べてそれぞれ３１％、３０％低下してしまう。このため、リニアモータ２９９では、効率が低くなり、省エネルギーの要請を満たすことができない。
【００９０】
これに対して、本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１は、リニアモータ２９８に比べてコギングを８８％程度低下させることができる。同時に、リニアモータ２０１は、逆起電力定数及び定格推力がリニアモータ２９８に比べてそれぞれ６％、８％の低下に留まっている。
したがって、リニアモータ２０１は、磁石部の円滑な移動が妨げられることなく、高い送り精度や位置決め精度が得られる。また、リニアモータ２０１は、効率の低下が殆どなく、省エネルギーの要請を満たすことができる。
【００９１】
リニアモータ２０１は、コイル２３１，２４１等が回巻されるコア２０４が、ティース２５１，２６１等が歯元から歯先に向けて同一形状を有するため、コギングが発生しやすい。しかし、リニアモータ２０１では、ティース２５１，２６１等の形状がＴ字形状ではないが、コギングを低下させることができる。
リニアモータ２０１は、ティース２５１，２６１等が歯元から歯先に向けて同一形状を有するため、コイル２３１，２４１等を巻回しやすい（組立しやすい）。
【００９２】
第一磁石列２０２Ａ、第二磁石列２０２Ｂは、相互に対向する磁極同士が相反するように配置される。第一コイル列２０３Ａのコイル２３１，２３２等は、銅線がティース２５１，２５２等の歯元から歯先に向けて右巻きに巻いて形成される。第二コイル列２０３Ｂのコイル２４１，２４２等は銅線がティース２６１，２６２等の歯先から歯元に向けて右巻きに巻いて形成される。第一コイル列２０３Ａ、第二コイル列２０３Ｂのコイル２３１，２３２，２４１，２４２等の銅線の巻き方向を一致させることにより、組立性の向上が図られる。
【００９３】
上述した作用効果は、第一実施形態に係るリニアモータ１０１（１０１Ａ，１０１Ｂ）においても同様に得られる。
【００９４】
リニアモータ２０１においても、第一実施形態に係るリニアモータ１０１と同様に、一部のティースの歯先面を傾斜させてもよい。図示は省略するが、下記の様にしてもよい（後述するリニアモータ２０１Ｂに該当する）。
説明の都合上、以下では、上述したリニアモータ２０１をリニアモータ２０１Ａと示す。
【００９５】
ティース２５１〜２５６，２６１〜２６６のそれぞれは、第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに臨む歯先面２５１Ｔ〜２５６Ｔ，２６１Ｔ〜２６６Ｔを有する。
互いに異なる相（Ｕ相，Ｗ相，Ｖ相）となる３つ（相数と同数）のティース（例えばティース２５１〜２５３）の歯先面（例えば歯先面２５１Ｔ〜２５３Ｔ）は、異なる形状に形成される。
３つのティースのうち、列方向の中央に配置されるティースの歯先面（例えばティース２５２の歯先面２５２Ｔ）は、第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対して平行な平面に形成される。
３つのティースのうち、列方向の両側（＋Ｘ方向及び−Ｘ方向）に配置されるティースの歯先面（例えばティース２５１，２５３の歯先面２５１Ｔ，２５３Ｔ）は、第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対して傾斜する平面に形成される。列方向の両側に配置されるティースの歯先面同士（例えば歯先面２５１Ｔ，２５３Ｔ同士）は、背向するように形成される。
歯先面２５１Ｔ〜２５３Ｔ等の形状は、歯先面１５１Ｔ〜１５３等の形状と同一である。
【００９６】
互いに異なる相となる３つのティースの歯先面（例えばティース２５１〜２５３の歯先面２５１Ｔ〜２５３Ｔ）は、全体として台形状に形成される。
互いに異なる相となる３つのティースの歯先面は、それぞれ第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対する隙間（ギャップＡ，Ｂ）を維持しつつ、列方向の両側では全体として第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂから徐々に離間するように形成される。
ティース２５４〜２５６，２６１〜２６３，２６４〜２６６の歯先面２５４Ｔ〜２５６Ｔ，２６１Ｔ〜２６３Ｔ，２６４Ｔ〜２６６Ｔは、歯先面２５１Ｔ〜２５３Ｔと同一形状に形成される。
【００９７】
本発明の第二実施形態に係るリニアモータ２０１（２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃ）に発生するＸ方向のコギングを比較する。
リニアモータ２０１Ｂ，２０１Ｃは、リニアモータ２０１Ａの変形例である。
【００９８】
リニアモータ２０１Ａでは、全ての歯先面２５１Ｔ等が第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対して平行に形成される。
リニアモータ２０１Ｂでは、互いに異なる相となる３つのティースの歯先面（例えばティース２５１〜２５３の歯先面２５１Ｔ〜２５３Ｔ）は、全体として台形状に形成される。
リニアモータ２０１Ｃでは、歯先面２５１Ｔ，２５６Ｔ，２６１Ｔ，２６６Ｔが第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対して傾斜して形成され、歯先面２５３Ｔ，２５４Ｔ，２６３Ｔ，２６４Ｔが第一磁石列２０２Ａ又は第二磁石列２０２Ｂに対して平行に形成される。
【００９９】
リニアモータ２０１Ａにおいては、Ｘ方向のコギングの最大値と最小値の差は、約０．１６Ｎ程度となった。
リニアモータ２０１Ｂにおいては、Ｘ方向のコギングの最大値と最小値の差は、約０．１３Ｎ程度となった。
リニアモータ２０１Ｃにおいては、Ｘ方向のコギングの最大値と最小値の差は、約０．１４Ｎ程度となった。
【０１００】
リニアモータ２０１Ａ，２０１Ｂ，２０１Ｃに発生するＸ方向のコギングを比較すると、リニアモータ２０１Ｂに発生するＸ方向のコギングが最も小さく、次にリニアモータ２０１Ｃに発生するＸ方向のコギングが小さいことが確認された。
リニアモータ２０１Ｂ，２０１Ｃでは、第一実施形態に係るリニアモータ１０１（１０１Ａ）と同様の作用効果が得られることが確認できた。
【０１０１】
上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【０１０２】
第一コイル部１０５と第二コイル部１０６との列方向の間隔（離間した距離）が第一磁石列１０２Ａ等の磁極ピッチＰの１／４分（機械角９０°）の場合について説明したが、これに限らない。間隔が、機械角−３０°〜９０°の間にあればよい。
【０１０３】
第一コイル部２０５と第二コイル部２０６との列方向のずれ量（ずらした距離）が第一磁石列２０２Ａ等の磁極ピッチＰの１／４分（機械角９０°）の場合について説明したが、これに限らない。ずれ量が、機械角−３０°〜９０°の間にあればよい。
【０１０４】
第一磁石列１０２Ａ，２０２Ａと第二磁石列１０２Ｂ，２０２Ｂ、第一コイル列１０３Ａ，２０３Ａと第二コイル列１０３Ｂ，２０３Ｂは、それぞれ対向配置する場合に限らない。フラット形のリニアモータのように、第一磁石列１０２Ａ，２０２Ａと第二磁石列１０２Ｂ，２０２Ｂが同一方向を向くように配置する。そして、第一磁石列１０２Ａ，２０２Ａと第二磁石列１０２Ｂ，２０２Ｂに対して第一コイル列１０３Ａ，２０３Ａと第二コイル列１０３Ｂ，２０３Ｂが面する（臨む）ように配置してもよい。
【０１０５】
リニアモータ１０１，２０１が三相誘導モータの場合について説明したが、これに限らない。リニアモータ１０１，２０１が二相誘導モータや多相誘導モータの場合であってもよい。
例えば、リニアモータ１０１，２０１が二相誘導モータの場合には、第一コイル列１０３Ａ，２０３Ａへの入力電流と第二コイル列１０３Ｂ，２０３Ｂへの入電流の位相差（電気角）を１８０°に設定する。
例えば、リニアモータ１０１，２０１が五相誘導モータの場合には、第一コイル列１０３Ａ，２０３Ａへの入力電流と第二コイル列１０３Ｂ，２０３Ｂへの入電流の位相差（電気角）を７２°に設定する。
【０１０６】
リニアモータ２０１では、第一コイル部１０５と第二コイル部１０６とを列方向においてずらして配置する場合について説明したが、これに限らない。
磁石部２０２の第一磁石列２０２Ａと第二磁石列２０２Ｂとを列方向において、磁極ピッチＰの１／４分（Ｐ／４）だけずらして配置してもよい。この場合には、第一コイル部１０５と第二コイル部１０６とは列方向においてずらすことなく配置する。そして、第一コイル部１０５（第一コイル列２０３Ａ）と第二コイル部１０６（第二コイル列２０３Ｂ）に対して、１２０°の位相差を有する三相交流電流を入力する。
【符号の説明】
【０１０７】
１０１…リニアモータ、  １０２Ａ…第一磁石列、  １０２Ｂ…第二磁石列、  １０３Ａ…第一コイル列、  １０３Ｂ…第二コイル列、  １０３Ｃ…第一コイル群、  １０３Ｄ…第二コイル群、  １１１，１１２，１２１，１２２…磁石、  １３１〜１３６，１４１〜１４６…コイル、  １５１〜１５６，１６１〜１６６…ティース、  １５１Ｔ〜１５６Ｔ，１６１Ｔ〜１６６Ｔ…歯先面、  ２０１…リニアモータ、  ２０２Ａ…第一磁石列、  ２０２Ｂ…第二磁石列、  ２０３Ａ…第一コイル列、  ２０３Ｂ…第二コイル列、  ２０３Ｃ…第一コイル群、  ２０３Ｄ…第二コイル群、  ２１１，２１２，２２１，２２２…磁石、  ２３１〜２３６，２４１〜２４６…コイル、  ２５１〜２５６，２６１〜２６６…ティース、  ２５１Ｔ〜２５６Ｔ，２６１Ｔ〜２６６Ｔ…歯先面、  Ｐ…磁極ピッチ    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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