(57)【要約】【課題】キャリアの再結合防止効果を高くすることができる太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよび配線シートの製造方法を提供する。【解決手段】第１の太陽電池セルと、第２の太陽電池セルと、を備え、第１の太陽電池セルは、第１導電型の第１半導体基板と、第１半導体基板上に設けられた、絶縁膜と、絶縁膜上の透明導電膜と、第１導電型用電極とを有し、第２の太陽電池セルは、第１導電型の第２半導体基板と、第２半導体基板に設けられた第２導電型用電極とを有し、透明導電膜と第２導電型用電極とが電気的に接続されている、太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造に用いられる配線シートの製造方法である。【選択図】図１
2013258310.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の太陽電池セルと、
第２の太陽電池セルと、を備え、
前記第１の太陽電池セルは、第１導電型の第１半導体基板と、前記第１半導体基板上に設けられた、絶縁膜と、透明導電膜と、第１導電型用電極とを有し、
前記第２の太陽電池セルは、第１導電型の第２半導体基板と、前記第２半導体基板に設けられた第２導電型用電極とを有し、
前記透明導電膜は、前記絶縁膜上に設けられており、
前記透明導電膜と前記第２導電型用電極とが電気的に接続されている、太陽電池ストリング。
【請求項２】
前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とが電気的に接続されている、請求項１に記載の太陽電池ストリング。
【請求項３】
前記第１の太陽電池セルと前記第２の太陽電池セルとの間に第３の太陽電池セルが配置されており、
前記第３の太陽電池セルは、第１導電型の第３半導体基板と、前記第３半導体基板に設けられた、第２の第１導電型用電極と、第２の第２導電型用電極とを有し、
前記第１導電型用電極と前記第２の第２導電型用電極とが電気的に接続されており、
前記第２の第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とが電気的に接続されている、請求項１に記載の太陽電池ストリング。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の太陽電池ストリングが封止材中に封止されてなる、太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の太陽電池ストリングの製造に用いられる配線シートを製造する方法であって、
絶縁性基材上に導電性物質を設置する工程と、
前記導電性物質をパターンニングすることによって、絶縁性基材上に、第１導電型用配線、第２導電型用配線、および前記透明導電膜と前記第２導電型用電極とを電気的に接続するための接続部とを同時に形成する工程と、を含む、配線シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよび配線シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の結晶シリコン系の太陽電池セルの中には、ｐ型またはｎ型の不純物がわずかにドープされたシリコン基板の受光面側にｎ型半導体層（ｎ+層）を有するものがある。このｎ+層は、太陽電池セルのカソード（陰極）の働きをする。また、当該太陽電池セルの裏面側にはｐ型不純物が多くドープされたｐ型半導体層（ｐ+層）が設けられており、このｐ+層は、太陽電池セルのアノード（陽極）の働きをする。
【０００３】
上記の構成を有する太陽電池セルに光が入射すると電子が叩き出され、電子が叩き出された後に正孔が残り、太陽電池セルの内部に電子と正孔とのペアが生じる。ここで、電子は負のキャリアであり、正孔は正のキャリアである。
【０００４】
太陽電池セルの受光面側のｎ+層の領域内で生成したキャリアが出力に寄与するためには、キャリアが拡散してｎ+層を通り抜け、太陽電池セルの内部のｐｎ接合に到達する必要がある。しかしながら、キャリアの一部は、ｎ+層を拡散する原子と再結合する。そのため、これらの再結合したキャリアは太陽電池の電流に寄与せず、太陽電池の効率が低下することになる。
【０００５】
太陽電池セルの受光面側のｎ+層におけるキャリアの再結合を防止するために、パッシベーション効果のある膜を設けることが一般的に行なわれている。パッシベーション効果のある膜としては、酸化物膜または窒化物膜が一般的に用いられる。
【０００６】
また、電界を利用してパッシベーションの効果を得る方法も検討されている。
たとえば特許文献１には、基層のバイアスをかける領域に隣接し、軽度にドープされた基層から重度にドープされた捕集層および入射層の少なくとも１つに向かう電荷キャリアの動きを促進するようにバイアスがかけられるエンハンスメント層を有する太陽電池が開示されている。
【０００７】
また、たとえば特許文献２には、光が入射することによって、導電層に負電圧が印加され、導電層の直下のｐ型層中に正孔が高濃度に蓄積した蓄積層が形成されることにより、キャリアの再結合を防止する光電変換素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特表平５−５０８２６７号公報
【特許文献２】特開２００８−２２７２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記の特許文献１に記載の太陽電池においては、エンハンスメント層にかけられるバイアスが十分ではなく、キャリアの再結合を十分に防ぐことができないことがあった。
【００１０】
また、上記の特許文献２に記載の光電変換素子においては、導電層に印加される負電圧の大きさが十分ではなく、キャリアの再結合を十分に防ぐことができないことがあった。
【００１１】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、キャリアの再結合防止効果を高くすることができる太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよび配線シートの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、第１の太陽電池セルと、第２の太陽電池セルと、を備え、第１の太陽電池セルは、第１導電型の第１半導体基板と、第１半導体基板上に設けられた、絶縁膜と、透明導電膜と、第１導電型用電極とを有し、第２の太陽電池セルは、第１導電型の第２半導体基板と、第２半導体基板に設けられた第２導電型用電極とを有し、透明導電膜は、絶縁膜上に設けられており、透明導電膜と第２導電型用電極とが電気的に接続されている、太陽電池ストリングである。
【００１３】
本発明の太陽電池ストリングにおいては、第１導電型用電極と第２導電型用電極とが電気的に接続されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の太陽電池ストリングにおいては、第１の太陽電池セルと第２の太陽電池セルとの間に第３の太陽電池セルが配置されており、第３の太陽電池セルは、第１導電型の第３半導体基板と、第３半導体基板に設けられた、第２の第１導電型用電極と、第２の第２導電型用電極とを有し、第１導電型用電極と第２の第２導電型用電極とが電気的に接続されており、第２の第１導電型用電極と第２導電型用電極とが電気的に接続されていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明は、上記の太陽電池ストリングが封止材中に封止されてなる太陽電池モジュールである。
【００１６】
さらに、本発明は、上記の太陽電池ストリングの製造に用いられる配線シートを製造する方法であって、絶縁性基材上に導電性物質を設置する工程と、導電性物質をパターンニングすることによって、絶縁性基材上に、第１導電型用配線、第２導電型用配線、および透明導電膜と第２導電型用電極とを電気的に接続するための接続部とを同時に形成する工程と、を含む、配線シートの製造方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、キャリアの再結合防止効果を高くすることができる太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよび配線シートの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施の形態１の太陽電池ストリングの模式的な断面図である。
【図２】実施の形態１の太陽電池ストリングの模式的な平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｈ）は、実施の形態１の太陽電池ストリングの製造において、第１の裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを接続する方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶに沿った模式的な断面図である。
【図５】実施の形態２の太陽電池ストリングの模式的な構成図である。
【図６】実施の形態２の太陽電池ストリングの模式的な拡大平面図である。
【図７】図６のＶＩＩ−ＶＩＩに沿った模式的な断面図である。
【図８】（ａ）は実施の形態３の太陽電池ストリングの模式的な拡大平面図であり、（ｂ）は（ａ）の破線で取り囲んだ箇所の模式的な拡大平面図である。
【図９】シミュレーションが行なわれた裏面電極型太陽電池セルの模式的な断面図である。
【図１０】裏面電極型太陽電池セルの受光面側のｎ+層のｎ型不純物濃度と裏面電極型太陽電池セルの変換効率との関係を示すシミュレーション結果である。
【図１１】裏面電極型太陽電池セルの受光面側にｎ+層がある場合とｎ+層がない場合において、ＩＴＯ膜に印加される電圧の大きさと裏面電極型太陽電池セルの変換効率との関係を示すシミュレーション結果である。
【図１２】裏面電極型太陽電池セルの受光面側にｎ+層および印加電圧が共にない場合、ｎ+層があって印加電圧がない場合、ならびにｎ+層がなく印加電圧がある場合において、受光面の表面再結合速度と裏面電極型太陽電池セルの変換効率との関係を示すシミュレーション結果である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２０】
＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池ストリングの一例である実施の形態１の太陽電池ストリングの模式的な断面図を示す。実施の形態１の太陽電池ストリングは、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂとを備えている。
【００２１】
（太陽電池セル）
第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａは、ｎ型シリコン基板１ａと、ｎ型シリコン基板１ａの受光面側に設けられたｎ+層６ａと、ｎ+層６ａ上に設けられた絶縁膜７ａと、絶縁膜７ａ上に設けられた透明導電膜８ａと、ｎ型シリコン基板１ａの裏面側に設けられたｎ+層４ａおよびｐ+層５ａと、ｎ型シリコン基板１ａの裏面に設けられた裏面側絶縁膜９ａと、ｎ+層４ａの裏面側に設けられたｎ電極２ａと、ｐ+層５ａの裏面側に設けられたｐ電極３ａとを備えている。
【００２２】
第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂは、ｎ型シリコン基板１ｂと、ｎ型シリコン基板１ｂの受光面側に設けられたｎ+層６ｂと、ｎ+層６ｂ上に設けられた絶縁膜７ｂと、絶縁膜７ｂ上に設けられた透明導電膜８ｂと、ｎ型シリコン基板１ｂの裏面側に設けられたｐ+層５ｂと、ｎ型シリコン基板１ｂの裏面に設けられた裏面側絶縁膜９ｂと、ｐ+層５ｂの裏面側設けられたｐ電極３ｂとを備えている。
【００２３】
太陽電池の変換効率を低下させる要因の１つであるキャリアの再結合は、結晶欠陥があると起こりやすい。絶縁膜７ａ、絶縁膜７ｂ、裏面側絶縁膜９ａおよび裏面側絶縁膜９ｂは、結晶欠陥を不活性化する効果、いわゆるパッシベーション効果を有する膜である。
【００２４】
なお、図示はしていないが、ｎ型シリコン基板１ｂの裏面側にはｐ+層５ｂと間隔を空けてｎ+層が形成されており、ｎ+層の裏面側にｎ電極が設けられている。
【００２５】
ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂとしては、たとえばｎ型の多結晶または単結晶シリコンインゴットをスライスすることによって生じたスライスダメージをアルカリ水溶液などでエッチングしてなるものを用いることができる。ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂの大きさおよび形状は特に限定されないが、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂの厚さは、たとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができる。また、図示はしていないが、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂの受光面にテクスチャ構造が形成されていてもよい。
【００２６】
ｎ+層４ａ，６ａ，４ｂ，６ｂは、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂに、たとえばリンなどのｎ型不純物を拡散させることにより、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂよりもｎ型不純物濃度を高くした層である。ｎ型不純物の拡散方法としては、たとえばＰＯＣｌ3などのｎ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法を用いることができる。
【００２７】
ｐ+層５ａ，５ｂは、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂに、たとえばボロンなどのｐ型不純物を拡散させることにより、ｎ型シリコン基板１ａ，１ｂよりもｐ型不純物濃度を高くした層である。ｐ型不純物の拡散方法としては、たとえばＢＢｒ3などのｐ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法を用いることができる。
【００２８】
ｎ電極２ａおよびｐ電極３ａ，３ｂは、たとえばｎ型シリコン基板１ａ，１ｂの裏面に銀ペーストを塗布した後に焼成することによって形成された焼成銀電極である。なお、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｎ型シリコン基板１ｂの裏面のｎ+層上に設けられるｎ電極についても、上記と同様の構成とすることができる。
【００２９】
絶縁膜７ａ，７ｂは、たとえばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などによって形成された酸化シリコン膜などを用いることができる。ここで、絶縁膜７ａ，７ｂの厚さは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００３０】
透明導電膜８ａ，８ｂは、たとえばスパッタリング法などによって形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜などを用いることができる。ここで、透明導電膜８ａ，８ｂの厚さは、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００３１】
裏面側絶縁膜９ａ，９ｂとしては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。ここで、裏面側絶縁膜９ａ，９ｂは、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ法などの方法により形成することができる。裏面側絶縁膜９ａ，９ｂの厚さは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【００３２】
実施の形態１の太陽電池ストリングにおいては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｎ電極２ａと第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極３ｂとが電気的に接続されているとともに、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極３ｂと第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ａとが接続部材１０によって電気的に接続されている。
【００３３】
（太陽電池セルの接続）
第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂとはたとえば以下のようにして接続することができる。
【００３４】
まず、たとえば図２の模式的平面図に示す構成を有する配線シート２００を準備する。配線シート２００は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の表面上に設置されたｎ配線１２と、ｐ配線１３と、接続用配線１４と、接続部３２とを備えている。
【００３５】
ここで、ｎ配線１２と、ｐ配線１３、接続用配線１４および接続部３２は、導電性の部材から構成されている。ｎ配線１２およびｐ配線１３は櫛形状に形成されており、接続用配線１４および接続部３２は帯状に形成されている。
【００３６】
そして、絶縁性基材１１上において、ｎ配線１２の櫛歯に相当する部分とｐ配線１３の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるように配置されており、ｎ配線１２の櫛歯の反対側は、他のｐ配線１３の櫛歯の反対側と接続用配線１４によって電気的に接続されている。
【００３７】
また、接続部３２は、ｐ配線１３の櫛歯の反対側から外側に突出するように、ｐ配線１３に電気的に接続されている。
【００３８】
配線シート２００は、たとえば以下のようにして製造することができる。まず、絶縁性基材１１を準備する。
【００３９】
絶縁性基材１１としては、電気絶縁性の材質であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：Polyethylene terephthalate）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：Polyethylene naphthalate）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：Polyphenylene sulfide）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ：Polyvinyl fluoride）およびポリイミド（Polyimide）からなる群から選択された少なくとも１種の樹脂を含むものを用いることができる。
【００４０】
絶縁性基材１１の厚さは、特に限定されず、たとえば２５μｍ以上１５０μｍ以下とすることができる。また、絶縁性基材１１は、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【００４１】
次に、絶縁性基材１１上に導電性物質を設置する。ここで、導電性物質としては、導電性の材質のものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
【００４２】
また、導電性物質の厚さも特に限定されず、たとえば１０μｍ以上５０μｍ以下とすることができる。また、導電性物質も、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【００４３】
絶縁性基材１１上への導電性物質の設置は、たとえば、所定の幅にカットされた絶縁性基材１１のロールを引き出し、絶縁性基材１１の一方の表面に接着剤を塗布し、絶縁性基材１１の幅よりやや小さくカットされた金属箔などの導電性物質のロールを重ね合わせて加圧・加熱することで貼り合わせることができる。
【００４４】
次に、絶縁性基材１１の表面に貼り合わされた導電性物質の一部をフォトエッチングなどにより除去して導電性物質をパターンニングすることによって、絶縁性基材１１の表面上にパターンニングされた導電性物質からなるｎ配線１２、ｐ配線１３、接続用配線１４および接続部３２を同時に形成する。以上により、図２に示される配線シート２００を作製することができる。
【００４５】
そして、上記のようにして作製された配線シート２００に第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂを接続する。ここで、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂは、ｎ電極がｎ配線と電気的に接続され、ｐ電極がｐ配線と電気的に接続されるようにして、設置される。なお、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂと同様にして、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃも配線シート２００に接続することができる。
【００４６】
（太陽電池セルと配線シートとの接続）
以下、図３（ａ）〜図３（ｈ）の模式的断面図を参照して、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との接続方法の一例について説明する。なお、ここでは、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａを例に挙げて説明するが、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂおよび第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃも同様にして接続することができることは言うまでもない。
【００４７】
まず、図３（ａ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａを準備する。ここでは、説明の便宜のため、ｎ型シリコン基板１ａ、ｎ電極２ａおよびｐ電極３ａのみが記載されている。
【００４８】
次に、図３（ｂ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｎ型シリコン基板１ａのｎ電極２ａとｐ電極３ａとの間、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの周縁部とｎ電極２ａとの間、および裏面電極型太陽電池セル１００ａの周縁部とｐ電極３ａとの間に、未硬化の固定樹脂２２ａを設置する。
【００４９】
このように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間だけでなく、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極（ｎ電極２ａ、ｐ電極３ａ）と周縁部との間にも固定樹脂２２ａを設置することが好ましい。この場合には、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との機械的な接続の安定性をさらに向上することができるとともに、ｎ電極２ａとｐ電極３ａとの間の短絡を防ぐことができる。
【００５０】
ここで、固定樹脂２２ａの設置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を挙げることができる。なかでも、固定樹脂２２ａの設置方法としては、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷により固定樹脂２２ａを設置する場合には、簡易に、低コストで、かつ短時間で固定樹脂２２ａを設置することができる。
【００５１】
固定樹脂２２ａとしては、Ｂステージ化可能な樹脂が用いられることが好ましい。Ｂステージ化可能な樹脂とは、液体状態の未硬化の固定樹脂２２ａを加熱したときに、粘度が上昇して硬化状態（第１の硬化状態）となった後に粘度が低下して軟化し、その後に再度粘度が上昇して硬化状態（第２の硬化状態）となる樹脂のことである。上記の第１の硬化状態がＢステージと言われる。Ｂステージ化可能な樹脂としては、たとえば、液体状態から溶媒を揮発させて固体状態（Ｂステージ）とすることができる樹脂などがある。また、Ｂステージ化可能な樹脂としては、たとえば、第２の硬化状態の後に、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの裏面の電極間および配線シート２００の配線間の短絡を防止することができる程度の絶縁性を有するとともに、太陽電池ストリングおよび太陽電池モジュールの長期信頼性を保つために第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との間の機械的な接続強度を保持することができる程度の接着力を有する樹脂を用いることができる。
【００５２】
また、固定樹脂２２ａとしては、膨潤タイプの樹脂を用いることも好ましい。膨潤タイプの樹脂は、未硬化で液体状態の樹脂と、微粒子状態の樹脂と、の混合物である。膨潤タイプの樹脂の熱挙動はたとえば以下のようである。膨潤タイプの樹脂を微粒子状態の樹脂のガラス転移温度以上に加熱すると、微粒子状態の樹脂の分子間に液体状態の樹脂が入り込む。これにより、見かけ上、微粒子状態の樹脂の体積が膨張した状態（膨潤状態）となって粘度が上昇するため、見かけ上硬化状態（第１の硬化状態）となる。しかしながら、液体状態の樹脂は未硬化であるため、再度加熱すると、微粒子状態の樹脂の分子間に入り込んだ液体状態の樹脂が流動可能な状態となり粘度が低下して軟化状態となる。そして、さらに加熱を続けると、液体状態の樹脂が硬化して硬化状態（第２の硬化状態）となる。
【００５３】
固定樹脂２２ａとして、たとえばＢステージ化可能な樹脂や膨潤タイプの樹脂を用いた場合には、未硬化の固定樹脂２２ａが、第１の硬化状態および軟化状態を経た後に、第２の硬化状態とすることができる。
【００５４】
なお、本実施の形態においては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間に固定樹脂２２ａを設置する場合について説明するが、配線シート２００の配線間に固定樹脂２２ａを設置してもよく、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間および配線シート２００の配線間のそれぞれに固定樹脂２２ａを設置してもよい。
【００５５】
次に、図３（ｃ）に示すように、未硬化の固定樹脂２２ａを硬化して第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂとする。
【００５６】
ここで、未硬化の固定樹脂２２ａは、たとえば、加熱および／または紫外線などの光の照射などによって硬化して第１の硬化状態となる。これにより、未硬化の固定樹脂２２ａの状態と比べて、粘着力および流動性が低下した第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂを得ることができる。
【００５７】
また、第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂは、常温（約２５℃）における未硬化状態と比べて粘度が高く、形状保持性（外力を加えない限り変形しない性質）を有しており、かつ接着性の低い状態（固定樹脂２２ｂの表面に第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａや配線シート２００を接触させても第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａや配線シート２００に固定樹脂２２ｂが付着しない程度の接着性を有する状態）であることが好ましい。この場合には、後述する接合部材を設置する工程において、生産性の高い印刷工程を採用することが可能となる。さらには、後述する第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを重ね合わせる工程において、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを重ね合わせた後においても、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを容易に取り外しできる傾向にある。そのため、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極と配線シート２００の配線との位置合わせを容易かつ高精度に行なうことができる傾向にある。
【００５８】
未硬化状態の固定樹脂２２ａを第１の硬化状態の第１の固定樹脂２２ｂとする手段が加熱による場合は、第１の硬化状態の第１の固定樹脂２２ｂとなる温度は、後述する第１の硬化状態の第１の固定樹脂２２ｂが軟化する温度および軟化状態の第１の固定樹脂２２ｃが第２の硬化状態となる温度よりも低いことが好ましい。これにより、未硬化状態の固定樹脂２２ａを第１の硬化状態の第１の固定樹脂２２ｂとする工程における加熱温度を制御した場合には、未硬化状態の固定樹脂２２ａが軟化状態や第２の硬化状態まで進行してしまうことを防止することができる。
【００５９】
次に、図３（ｄ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｎ型シリコン基板１ａの裏面のｎ電極２ａおよびｐ電極３ａの表面に接合部材２１を設置する。
【００６０】
接合部材２１としては、導電性物質を含む材質を用いることができ、たとえば半田などを用いることができる。
【００６１】
接合部材２１は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法により設置することができる。接合部材２１の設置方法としては、なかでも、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷により接合部材２１を設置する場合には、簡易に、低コストで、かつ短時間で接合部材２１を設置することができる。
【００６２】
なお、固定樹脂２２ａを設置した後に接合部材２１をスクリーン印刷により設置する場合には、粘着力の高い固定樹脂２２ａとスクリーン印刷の印刷マスクとが接触して接合部材２１を設置することができないという問題がある。
【００６３】
また、固定樹脂２２ａを設置した後に接合部材２１をディスペンサ塗布またはインクジェット塗布により設置する場合には、固定樹脂２２ａの粘着力が高い場合でも接合部材２１を設置することはできるが、処理時間が長く、生産性が悪化するおそれがある。
【００６４】
さらに、固定樹脂２２ａの流動性が高い状態で接合部材２１を設置した場合には、後述するように第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを重ね合わせた後に加圧しながら加熱する場合に、固定樹脂２２ａが接合部材２１に流入して接合部材２１と配線シート２００の配線との電気的な接続を阻害したり、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との接合力が低下したり、接合部材２１が溶融して固定樹脂２２ａと混ざり合ってしまうことによって、隣り合う接合部材２１間が短絡するおそれもある。
【００６５】
以上の観点から、固定樹脂２２ａを硬化して第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂとした後に接合部材２１を設置することによって、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との機械的な接続の安定性および第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極と配線シート２００の配線との電気的な接続の安定性を向上して、太陽電池ストリングおよび太陽電池モジュールの生産性をさらに高くすることができる。
【００６６】
なお、本実施の形態においては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極上に接合部材２１を設置する場合について説明するが、配線シート２００の配線上に接合部材２１を設置してもよく、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極上および配線シート２００の配線上のそれぞれに接合部材２１を設置してもよい。また、固定樹脂２２ａと接合部材２１との両方を第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａ若しくは配線シート２００に設置するようにしなくてもよく、たとえば、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間に固定樹脂２２ａを設置して、配線シート２００の配線上に接合部材２１を設置してもよい。
【００６７】
次に、図３（ｅ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを重ね合わせる。
【００６８】
第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との重ね合わせは、たとえば、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｎ電極２ａおよびｐ電極２ｂがそれぞれ配線シート２００の絶縁性基材１１上に設けられたｎ配線１２およびｐ配線１３と接合部材２１を介して対向するようにして行なわれる。
【００６９】
次に、上記のようにして重ね合わせた第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを加圧しながら加熱および／または光を照射する。これにより、第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂは粘度が低下して軟化し、図３（ｆ）に示すような軟化状態の固定樹脂２２ｃになる。
【００７０】
そして、図３（ｇ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間に位置する軟化状態の固定樹脂２２ｃは、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との間の加圧によって変形して、配線シート２００の配線間に入り込む。また、接合部材２１中の導電性物質も加熱されることによって溶融し、図３（ｇ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との間の加圧によって、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極と配線シート２００の配線との間で変形する。
【００７１】
その後、図３（ｈ）に示すように、軟化状態の固定樹脂２２ｃがさらに加熱および／または紫外線などの光の照射によって粘度が上昇して再度硬化し、第２の硬化状態の固定樹脂２２ｄになる。第２の硬化状態は樹脂の架橋反応による硬化であるため、第２の硬化状態の固定樹脂２２ｄは再度軟化することなく状態が安定する。
【００７２】
ここで、第２の硬化状態の固定樹脂２２ｄは、第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂの粘度が一旦低下した後に再度上昇することによって接着可能となる状態であることが好ましい。この場合には、第１の硬化状態で第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との位置関係を調整した後に第２の硬化状態とすることによって、所望の位置関係で第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを接着することができる傾向にある。これにより、生産性、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００との機械的な接続の安定性、および第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極と配線シート２００の配線との電気的な接続の安定性を向上することができる傾向が大きくなる。
【００７３】
ここで、接合部材２１の導電性物質の溶融開始温度が第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂの軟化開始温度よりも高い場合には、接合部材２１が加熱されて接合部材２１中の導電性物質が溶融し始めたときでも、軟化状態の固定樹脂２２ｃが配線シート２００の配線間および第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの電極間に既に入り込んでいるため、隣りの配線および電極に向かって流出しない。そのため、隣り合う電極間および配線間が接合部材２１の導電性物質で短絡するのを有効に防止することができる。したがって、接合部材２１の導電性物質の溶融開始温度は、第１の硬化状態の固定樹脂２２ｂの軟化開始温度よりも高いことが好ましい。
【００７４】
軟化状態の固定樹脂２２ｃが配線シート２００の配線間に入り込むことによって配線シート２００の表面のより広い領域に軟化状態の固定樹脂２２ｃを接触させることができ、その後、軟化状態の固定樹脂２２ｃが硬化して第２の硬化状態の固定樹脂２２ｄとなることによって、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと配線シート２００とを強固に接合することができる。
【００７５】
以上のようにして、配線シート２００と、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａ、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂおよび第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃとを接続する。
【００７６】
その後、図４の模式的断面図に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂとの間の配線シート２００の接続部３２と、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ａとを接続部材１０によって電気的に接続する。これにより、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極３ｂと第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ａとが接続部材１０によって電気的に接続される。
【００７７】
また、上記と同様にして、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂと第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃとの間の配線シート２００の接続部３２と、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ｂとを接続部材１０によって電気的に接続する。これにより、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃのｐ電極と第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの透明導電膜８ｂとが接続部材１０によって電気的に接続される。以上により、実施の形態１の太陽電池ストリングが作製される。
【００７８】
接続部材１０は、導電性の部材であれば特に限定されないが、たとえば導電性フィルムなどを用いることができる。また、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの端面での短絡を防止するために、導電性フィルムの表面の一部に絶縁膜が設置されているものを用いてもよい。
【００７９】
以上の構成を有する実施の形態１の太陽電池ストリングの第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの透明導電膜８ｂには、接続部材１０によって、複数の裏面電極型太陽電池セルの光起電力に相当する電界が印加されることになる。
【００８０】
したがって、実施の形態１の太陽電池ストリングにおいては、従来の特許文献１の太陽電池および特許文献２に記載の光電変換素子と比較して、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜８ａおよび第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの透明導電膜８ｂにより高い電圧を印加することができるため、キャリアの再結合防止効果を高くすることができる。
【００８１】
また、上記のようにして作製された実施の形態１の太陽電池ストリングは、表面保護材と裏面保護材との間の封止材中に封止されることにより、太陽電池モジュールとすることができる。
【００８２】
実施の形態１の太陽電池ストリングの封止材中への封止は、たとえば、ガラスなどの表面保護材に備えられたエチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などの封止材と、ポリエステルフィルムなどの裏面保護材に備えられたＥＶＡなどの封止材との間に実施の形態１の太陽電池ストリングを挟み込み、表面保護材と裏面保護材との間を加圧しながら加熱することによって、これらの封止材を一体化して行なうことができる。
【００８３】
なお、上記においては、ｎ型シリコン基板を用いた場合について説明したが、ｎ型シリコン基板に代えてｐ型シリコン基板を用いてもよい。なお、ｐ型シリコン基板を用いた場合には、受光面側のｎ+層はｐ+層とされる。
【００８４】
また、上記においては、受光面側のパッシベーション効果を上げる場合について説明したが、本発明は裏面側のパッシベーション効果を上げる場合にも適用することができる。
【００８５】
また、上記においては、太陽電池ストリングおよび太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルとして、裏面のみに電極を有する裏面電極型太陽電池セルを用いたが、受光面および裏面のそれぞれに電極を有する両面電極型太陽電池セルを用いてもよい。
【００８６】
＜実施の形態２＞
実施の形態２の太陽電池ストリングは、裏面電極型太陽電池セルの透明導電膜とその隣りの裏面電極型太陽電池セルのｐ電極とが電気的に接続されるのではなく、さらにその隣の裏面電極型太陽電池セルのｐ電極とが電気的に接続されることを特徴としている。
【００８７】
図５に、実施の形態２の太陽電池ストリングの模式的な構成図を示す。図５に示すように、実施の形態２の太陽電池ストリングは、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａ、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃ、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂおよび第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄの順に配列されている。
【００８８】
ここで、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜は、その隣の第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃのｐ電極ではなく、さらにその隣の第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極と電気的に接続される。また、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃの透明導電膜は、その隣の第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極ではなく、さらにその隣の第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄのｐ電極と電気的に接続される。
【００８９】
図６に、実施の形態２の太陽電池ストリングの模式的な拡大平面図を示す。図６に示すように、実施の形態２の太陽電池ストリングの配線シート２００の絶縁性基材１１上においては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜と第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極とを電気的に接続するための接続部５１と、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃの透明導電膜と第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄのｐ電極とを電気的に接続するための接続部５２とが設けられている。
【００９０】
なお、図示はされていないが、接続部５１は、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極が電気的に接続される配線シート２００のｐ配線１３に電気的に接続されており、接続部５２は、第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄのｐ電極が電気的に接続される配線シート２００のｐ配線１３に電気的に接続されている。
【００９１】
また、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｎ電極は、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａに隣り合う第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃのｐ電極と配線シート２００の配線を介して電気的に接続されている。
【００９２】
また、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃのｎ電極は、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃに隣り合う第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂのｐ電極と配線シート２００の配線を介して電気的に接続されている。
【００９３】
図７に、図６のＶＩＩ−ＶＩＩに沿った模式的な断面図を示す。図７に示すように、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃは、ｎ型シリコン基板１ｃと、ｎ型シリコン基板１ｃの受光面側に設けられたｎ+層６ｃと、ｎ+層６ｃ上に設けられた絶縁膜７ｃと、絶縁膜７ｃ上に設けられた透明導電膜８ｃと、ｎ型シリコン基板１ｃの裏面側に設けられたｎ+層４ｃおよびｐ+層５ｃと、ｎ型シリコン基板１ｃの裏面に設けられた裏面側絶縁膜９ｃと、ｎ+層４ｃ上に設けられたｎ電極２ｃと、ｐ+層５ｃ上に設けられたｐ電極３ｃとを備えている。
【００９４】
そして、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃの透明導電膜８ｃは、接続部材１０によって接続部５２と接続されている。これにより、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃの透明導電膜８ｃと、第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄのｐ電極とが電気的に接続される。なお、接続部５１は、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃの裏面側絶縁膜９ｃと対向しているため、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃと接続部５１との間における電気的な短絡の発生を抑制することができる。また、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜と接続部５１との接続も上記と同様にして行なうことができる。
【００９５】
また、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃのｎ型シリコン基板１ｃ、ｎ電極２ｃ、ｐ電極３ｃ、ｎ+層４ｃ、ｐ+層５ｃ、ｎ+層６ｃ、絶縁膜７ｃ、透明導電膜８ｃおよび裏面側絶縁膜９ｃとしては、実施の形態１の第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａと同様のものを用いることができる。
【００９６】
実施の形態２の太陽電池ストリングにおいては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜および第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの透明導電膜にそれぞれ裏面電極型太陽電池セル３個の光起電力分の電界を印加することができる。
【００９７】
したがって、実施の形態２の太陽電池ストリングにおいては、従来の特許文献１の太陽電池および特許文献２に記載の光電変換素子と比較して、第１の裏面電極型太陽電池セルの透明導電膜および第２の裏面電極型太陽電池セルの透明導電膜により高い電圧を印加することができるため、キャリアの再結合防止効果を高くすることができる。
【００９８】
また、実施の形態２においては、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜に裏面電極型太陽電池セル３個の光起電力分の電界を印加する場合について述べたが、裏面電極型太陽電池セル４個以上の光起電力分の電界を印加することもできる。たとえば、裏面電極型太陽電池セル４個の光起電力分の電界を印加する場合には、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの透明導電膜と、裏面電極型太陽電池セル２個を挟んだ位置にある第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄのｐ電極とを電気的に接続すればよい。後に説明するが、印加する電界が大きくなるほど、高いパッシベーション効果を得ることが可能となる。
【００９９】
実施の形態２における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【０１００】
＜実施の形態３＞
実施の形態３の太陽電池ストリングは、ウエハカットの際に生じる裏面電極型太陽電池セルの隙間に小型の裏面電極型太陽電池セルを配置して、裏面電極型太陽電池セルの受光面側の透明導電膜に電圧を印加することを特徴としている。
【０１０１】
図８（ａ）に実施の形態３の太陽電池ストリングの模式的な拡大平面図を示し、図８（ｂ）に図８（ａ）の破線で取り囲んだ箇所の模式的な拡大平面図を示す。図８（ａ）に示すように、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａ、第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂ、第３の裏面電極型太陽電池セル１００ｃおよび第４の裏面電極型太陽電池セル１００ｄの隣接部分においては、裏面電極型太陽電池セルのウエハカット部分によって取り囲まれた領域３００が形成される。
【０１０２】
そして、図８（ｂ）に示すように、領域３００に、小型の裏面電極型太陽電池セル１００ｅ，１００ｆ，１００ｇを設置し、これらを接続部材１０で直列に接続するとともに、その両端を、たとえば、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの受光面側の透明導電膜８ａと、他の裏面電極型太陽電池セルのｐ電極に電気的に接続する配線シートの接続部３２とに接続部材１０で電気的に接続する。
【０１０３】
これにより、実施の形態３の太陽電池ストリングにおいては、小型の裏面電極型太陽電池セル１００ｅ，１００ｆ，１００ｇの３個分の光起電力をさらに追加して第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａの受光面側の透明導電膜８ａに印加することができるため、キャリアの再結合防止効果を高くすることができる。
【０１０４】
実施の形態３における上記以外の説明は、実施の形態１および２と同様であるため、ここではその説明については省略する。
【実施例】
【０１０５】
図９に示す断面を有する裏面電極型太陽電池セル１０００について、以下のシミュレーションを行なった。ここで、図９に示す裏面電極型太陽電池セル１０００は、ｎ型シリコン基板１０１（ｎ型不純物濃度：約１×１０15個／ｃｍ3）と、ｎ型シリコン基板１０１の受光面側に設けられたｎ+層１０６と、ｎ+層１０６上に設けられた厚さ７５ｎｍのＳｉＯ2膜１０７と、ＳｉＯ2膜１０７上に設けられた厚さ７５ｎｍのＩＴＯ膜１０８と、ｎ型シリコン基板１０１の裏面側に設けられたｎ+層１０４（ｎ型不純物濃度：約１×１０20個／ｃｍ3）およびｐ+層１０５（ｐ型不純物濃度：約１×１０19個／ｃｍ3）と、ｎ型シリコン基板１０１の裏面に設けられた裏面側絶縁膜１０９と、ｎ+層１０４上に設けられたｎコンタクト１０２と、ｐ+層１０５上に設けられたｐコンタクト１０３とを備えている。
【０１０６】
ｎ型シリコン基板１０１の厚さＴ１は１００μｍであり、ｎ+層１０６の厚さＴ６は約０．５μｍである。
【０１０７】
また、ｎ型シリコン基板１０１の幅Ｗ１は１５００μｍであり、ｎ+層１０４の幅Ｗ４は２５０μｍであり、ｐ+層１０５の幅Ｗ５は１２５０μｍである。
【０１０８】
上記の構成を有する図９に示す裏面電極型太陽電池セル１０００のｎ+層１０６のｎ型不純物濃度を変化させ、ＩＴＯ膜１０８に０Ｖ、１Ｖおよび２Ｖの電圧を印加したときの裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率についてシミュレーションした。その結果を図１０に示す。
【０１０９】
図１０に示すように、ＩＴＯ膜１０８に印加する電圧が大きいほど、裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率が高くなり、ｎ+層１０６のｎ型不純物濃度が低いほど、その傾向が顕著になった。
【０１１０】
次に、図９に示す裏面電極型太陽電池セル１０００の受光面にｎ+層１０６を設けなかった場合と、ｎ+層１０６を設けた場合（ｎ型不純物濃度：５×１０18個／ｃｍ3）とで、ＩＴＯ膜１０８に印加する電圧の大きさを変化させたときの裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率についてシミュレーションした。その結果を図１１に示す。
【０１１１】
図１１に示すように、ＩＴＯ膜１０８に印加する電圧が大きいほど、裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率が高くなる傾向があり、さらにｎ+層１０６を設けなかった場合の方がその傾向が顕著になった。したがって、これらの結果から、上記の実施の形態１〜３の太陽電池ストリングにおいては、太陽電池ストリングを構成する裏面電極型太陽電池セルの直列接続数が多い方が変換効率が高くなると考えられる。さらに、ｎ+層１０６のｎ型不純物濃度が低いほど、変換効率が高くなる効果が大きくなると考えられる。
【０１１２】
また、図１１に示すように、ｎ+層１０６を設けない場合には、ＩＴＯ膜１０８に負の印加電圧を加えても、裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率が高くなる傾向があることがわかった。このことから、実施の形態１で示した第２の裏面電極型太陽電池セル１００ｂの透明導電膜と、第１の裏面電極型太陽電池セル１００ａのｐ電極とを電気的に接続した場合にも、高いキャリアの再結合防止効果を得ることができることが推測される。よって、太陽電池ストリングのいずれの方向からもＩＴＯ膜１０８に印加する電圧を取り出すことができるため、太陽電池ストリングを構成するすべての裏面電極型太陽電池セルにおいて、キャリアの再結合を防止し、高い変換効率を得ることが可能となる。
【０１１３】
次に、図９に示す裏面電極型太陽電池セル１０００の受光面にｎ+層１０６を設けずにＩＴＯ膜１０８に電圧を印加しなかった場合と、ｎ+層１０６を設けて（ｎ型不純物濃度：５×１０18個／ｃｍ3）ＩＴＯ膜１０８に電圧を印加しなかった場合と、ｎ+層１０６を設けずにＩＴＯ膜１０８に電圧を印加した場合（印加電圧：１Ｖ）とで、受光面における表面再結合速度を１００（ｃｍ／ｓ）、１０００（ｃｍ／ｓ）および１００００（ｃｍ／ｓ）と変化させたときの裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率についてシミュレーションした。その結果を図１２に示す。
【０１１４】
図１２に示すように、表面再結合速度が高くなるほど、裏面電極型太陽電池セル１０００の変換効率が低くなる傾向にあったが、ＩＴＯ膜１０８に電圧を印加することによってｎ+層１０６を設けなかった場合でもその傾向が抑えられることが確認された。
【０１１５】
以上のシミュレーション結果から、ＩＴＯ膜１０８への電圧の印加は、受光面側のｎ+層１０６の形成と同様のパッシベーション効果があると考えられる。これにより、ＩＴＯ膜１０８への電圧の印加によって、受光面側にｎ+層１０６を形成する必要がなくなるため、太陽電池ストリングおよび太陽電池モジュールの製造プロセスを簡略化することができる。また、ｎ+層１０６にはｎ型不純物を添加する必要があるため、ｎ+層１０６には当該ｎ型不純物の添加に起因するキャリアの再結合に起因する変換効率の損失が発生し得るが、ＩＴＯ膜１０８への電圧の印加に代替した場合にはｎ型不純物の添加に起因するキャリアの再結合が発生しないため、変換効率の損失が発生しない。
【０１１６】
したがって、上記の実施の形態１〜３のように、受光面側の透明導電膜に電圧を印加する構成を採用した場合には、変換効率を向上させる観点からは、受光面側に不純物拡散層を設けないことが好ましいと考えられる。
【０１１７】
以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および各実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【０１１８】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明は、太陽電池ストリング、太陽電池モジュールおよび配線シートの製造方法に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【０１２０】
１ａ，１ｂ，１ｃ  ｎ型シリコン基板、２ａ，２ｃ  ｎ電極、３ａ，３ｂ，３ｃ  ｐ電極、４ａ，４ｃ  ｎ+層、５ａ，５ｂ，５ｃ  ｐ+層、６ａ，６ｂ，６ｃ  ｎ+層、７ａ，７ｂ，７ｃ  絶縁膜、８ａ，８ｂ，８ｃ  透明導電膜、９ａ，９ｂ，９ｃ  裏面側絶縁膜、１０  接続部材、１１  絶縁性基材、１２  ｎ配線、１３  ｐ配線、１４  接続用配線、２１  接合部材、２２ａ  未硬化の固定樹脂、２２ｂ  第１の硬化状態の固定樹脂、２２ｃ  軟化状態の固定樹脂、２２ｄ  第２の硬化状態の固定樹脂、３２，５１，５２  接続部、１００ａ  第１の裏面電極型太陽電池セル、１００ｂ  第２の裏面電極型太陽電池セル、１００ｃ  第３の裏面電極型太陽電池セル、１００ｄ  第４の裏面電極型太陽電池セル、１０１  ｎ型シリコン基板、１０２  ｎコンタクト、１０３  ｐコンタクト、１０４  ｎ+層、１０５  ｐ+層、１０６  ｎ+層、１０７  ＳｉＯ2膜、１０８  ＩＴＯ膜、１０９  裏面側絶縁膜、２００  配線シート、１０００  裏面電極型太陽電池セル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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