(57)【要約】【課題】  端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】  電子ペーパ製造用基板１０は、第１、第２の剥離部３５、３６に搬送され、レジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺に洗浄液が噴出され、その長辺を洗浄処理されるとともに、第１洗浄部３７において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第１洗浄部３７から第２洗浄部３８、第３洗浄部３９および第４洗浄部４０に順次搬送され、それらの洗浄部において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。このとき、第２洗浄部３８においては、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺に洗浄液が噴出され、その短辺を洗浄処理される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに長さの異なる第１の辺および第２の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の薬液処理と洗浄処理とを行う基板処理装置において、
前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第１の辺と平行な第１の方向から前記第２の辺と平行な第２の方向に９０度変更する搬送方向変更機構と、
前記第１の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第１の辺を洗浄する第１洗浄機構と、
前記第２の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第２の辺を洗浄する第２洗浄機構と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置において、
前記第１洗浄機構は前記第１の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルであり、前記第２洗浄機構は前記第２の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルである基板処理装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板処理装置において、
前記第１洗浄機構および前記第２洗浄機構は、前記洗浄処理部に配設されている基板処理装置。
【請求項４】
互いに長さの異なる第１の辺および第２の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の処理と洗浄とを行う基板処理装置において、
インデクサ部と、
前記インデクサ部から基板を受け取り前記第１の辺と平行な第１の方向に搬送する第１搬送機構と、
前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第１の方向から前記第２の辺と平行な第２の方向に９０度変更する第１搬送方向変更機構と、
基板を前記第２の方向に搬送する第２搬送機構と、
前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第２の方向から前記第１の辺と平行で前記第１の方向と逆方向を向く第３の方向に９０度変更する第２搬送方向変更機構と、
基板を前記第３の方向に搬送して前記インデクサ部に送る第３搬送機構と、
前記洗浄処理部における前記第１搬送機構または前記第３搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第１の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第１の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、
前記洗浄処理部における前記第２搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第２の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第２の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記基板は、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板である基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、互いに長さの異なる第１の辺および第２の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の薬液処理と洗浄処理とを行う基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような基板処理装置においては、一般的に、基板の表面側、あるいは、基板の表面側と裏面側から、薬液や洗浄液を基板に噴出することにより、基板を薬液処理した後に、洗浄処理する構成を採用している。
【０００３】
なお、特許文献１には、基板を平面視において略「コ」字形状をなす搬送路に沿って搬送する基板処理装置が開示されている。また、特許文献２には、角形基板の４つの端縁に対向配置された４個の洗浄部を備え、洗浄部から溶剤とガスとを噴出しながら基板の端縁に沿って移動させることにより、基板の端縁を洗浄するようにした基板端縁洗浄装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１９６８３４号公報
【特許文献２】特開２００２−１５９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板として、例えば、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板を使用した場合には、この電子ペーパ製造用基板の端縁に浸入した薬液を洗浄することが困難であるという問題を生ずる。
【０００６】
図６は、電子ペーパ製造用基板１０を模式的に示す部分断面図である。
【０００７】
電子ペーパ製造用基板１０は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）製のフィルム等から構成される電子ペーパ用フィルム１１と、ガラスやＳＵＳ（ステンレス鋼）等から構成される支持層１３とを、接着層１２を介して積層した構成を有する。電子ペーパ用フィルム１１には、フォトリソ工程によりＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等を製造するためのパターンが形成される。
【０００８】
図６に示すように、電子ペーパ製造用基板１０においては、電子ペーパ用フィルム１１と支持層１３との間には、接着層１２が存在しない領域に１ｍｍ程度の段差が形成されている。この段差は、パターン形成後に電子ペーパ用フィルム１１を支持層１３から剥離するときに利用される。
【０００９】
この電子ペーパ製造用基板１０に対して薬液を使用して薬液処理を行った後に、洗浄液を使用して洗浄処理を行った場合に、この電子ペーパ製造用基板１０に、その表面側と裏面側から洗浄液を噴出したとしても、電子ペーパ製造用基板１０の端縁における段差部に浸入した薬液を洗浄液に置換することができず、薬液が後工程に持ち越されて、十分な洗浄処理が行い得ないという問題がある。
【００１０】
特許文献２に記載されたように、基板の端縁の洗浄処理のために専用の端縁洗浄装置を設置した場合には、電子ペーパ製造用基板１０の端縁における段差部に浸入した薬液を洗浄処理することは可能ではあるが、装置が大がかりとなり、また、広い占有スペースも必要となる。
【００１１】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、電子ペーパ製造用基板のように端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能な基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、互いに長さの異なる第１の辺および第２の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の薬液処理と洗浄処理とを行う基板処理装置において、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第１の辺と平行な第１の方向から前記第２の辺と平行な第２の方向に９０度変更する搬送方向変更機構と、前記第１の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第１の辺を洗浄する第１洗浄機構と、前記第２の方向に搬送される基板の両側に配設され、前記第２の辺を洗浄する第２洗浄機構とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第１洗浄機構は前記第１の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルであり、前記第２洗浄機構は前記第２の辺に向けて洗浄液を噴出する洗浄液噴出ノズルである。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記第１洗浄機構および前記第２洗浄機構は、前記洗浄処理部に配設されている。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、互いに長さの異なる第１の辺および第２の辺を有する矩形状の基板を、薬液処理部から洗浄処理部に搬送することにより、基板の処理と洗浄とを行う基板処理装置において、インデクサ部と、前記インデクサ部から基板を受け取り前記第１の辺と平行な第１の方向に搬送する第１搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第１の方向から前記第２の辺と平行な第２の方向に９０度変更する第１搬送方向変更機構と、基板を前記第２の方向に搬送する第２搬送機構と、前記基板の搬送方向を、当該基板の方向を変更することなく、前記第２の方向から前記第１の辺と平行で前記第１の方向と逆方向を向く第３の方向に９０度変更する第２搬送方向変更機構と、基板を前記第３の方向に搬送して前記インデクサ部に送る第３搬送機構と、前記洗浄処理部における前記第１搬送機構または前記第３搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第１の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第１の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルと、前記洗浄処理部における前記第２搬送機構により搬送される基板の両側に配設され、前記第２の辺に向けて洗浄液を噴出することにより前記第２の辺を洗浄する洗浄液噴出ノズルとを備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の発明において、前記基板は、支持層と、接着層と、電子ペーパ用フィルムとをこの順に積層した電子ペーパ製造用基板である。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１および請求項４に記載の発明によれば、基板における第１の辺を第１洗浄機構で洗浄処理し、第２の辺を第２洗浄機構で洗浄処理することにより、基板の端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能になる。このとき、基板の搬送と端縁の洗浄処理とを同時に行うことができるので、端縁の洗浄処理に余分な時間を要することなく、また、装置構成が複雑となることもなく、さらには、端縁の洗浄処理のための占有スペースが必要となることもない。
【００１８】
請求項２および請求項４に記載の発明によれば、洗浄液噴出ノズルから噴出する洗浄液により、基板を搬送しながらその端縁を洗浄処理することが可能となる。
【００１９】
請求項３および請求項４に記載の発明によれば、洗浄液噴出ノズルから噴出された洗浄液を洗浄処理部で使用される洗浄液とともに回収することが可能となる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、電子ペーパ製造用基板における端縁の段差部に浸入した薬液を洗浄液に置換して、清浄に洗浄処理することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明に係る基板処理装置の概要図である。
【図２】電子ペーパ製造用基板１０を搬送する様子を模式的に示す説明図である。
【図３】洗浄液噴出ノズル５１により電子ペーパ製造用基板１０の長辺Ｓ１を洗浄処理する様子を模式的に示す説明図である。
【図４】電子ペーパ製造用基板１０を搬送するための搬送機構および搬送方向変更機構の要部を示す斜視図である。
【図５】電子ペーパ製造用基板１０の搬送機構による搬送動作を示す概要図である。
【図６】電子ペーパ製造用基板１０を模式的に示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、この発明に係る基板処理装置の概要図である。また、図２は、電子ペーパ製造用基板１０を搬送する様子を模式的に示す説明図である。
【００２３】
この基板処理装置は、上述した矩形状の電子ペーパ製造用基板１０に対して、薬液として剥離液を使用したレジストの剥離処理と、洗浄液を使用した洗浄処理とを行うものである。この基板処理装置は、電子ペーパ製造用基板１０を収納したカセット１５を載置するインデクサ部３１と、カセット１５内の電子ペーパ製造用基板１０をコンベア部３４に搬入し、あるいは、コンベア部４２に搬送された電子ペーパ製造用基板１０をカセット１５に搬出する搬送ロボット３３を備えた移載部３２と、第１の剥離部３５と、第２の剥離部３６と、この発明に係る第１洗浄機構としての一対の洗浄液噴出ノズル５１を備えた第１洗浄部３７と、この発明に係る第２洗浄機構としての一対の洗浄液噴出ノズル５２を備えた第２洗浄部３８と、第３洗浄部３９と、第４洗浄部４０と、乾燥部４１とを備える。
【００２４】
搬送ロボット３３によりカセット１５から取り出された電子ペーパ製造用基板１０は、後述するように、電子ペーパ製造用基板１０をその長辺である第１の辺Ｓ１と平行な第１の方向に搬送する第１搬送機構により、コンベア部３４、第１の剥離部３５、第２の剥離部３６および第１洗浄部３７に順次搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第１搬送方向変更機構により、その搬送方向を、第１の方向から９０度変更される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、電子ペーパ製造用基板１０をその短辺である第２の辺Ｓ２と平行な第２の方向に搬送する第２搬送機構により、第１洗浄部３７から、第２洗浄部３８を介して、第３洗浄部３９に順次搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第２搬送方向変更機構により、その搬送方向を、第２の方向から第１の方向と逆方向を向く第３の方向に９０度変更される。そして、電子ペーパ製造用基板１０は、第３搬送機構により、第３洗浄部３９、第４洗浄部４０、乾燥部４１、コンベア部４２に順次搬送された後、搬送ロボット３３によりカセット１５内に収納される。
【００２５】
このとき、電子ペーパ製造用基板１０は、第１洗浄部３７において一対の洗浄液噴出ノズル５１により第１の辺Ｓ１を洗浄処理され、第２洗浄部３８において一対の洗浄液噴出ノズル５２により第２の辺Ｓ２を洗浄処理される。
【００２６】
図３は、洗浄液噴出ノズル５１により電子ペーパ製造用基板１０の長辺Ｓ１を洗浄処理する様子を模式的に示す説明図である。
【００２７】
この洗浄液噴出ノズル５１は、第１洗浄部３７において、第１搬送機構により搬送される電子ペーパ製造用基板１０の長辺Ｓ１に向けて洗浄液を噴出するための、図示しない洗浄液の供給部に接続された洗浄液噴出口を有する。洗浄液噴出ノズル５１から噴出された洗浄液は、電子ペーパ製造用基板１０の長辺Ｓ１における段差部内に浸入し、そこに残存する剥離液を洗浄液に置換することにより、電子ペーパ製造用基板１０の長辺Ｓ１全域を清浄に洗浄処理する。
【００２８】
なお、第２洗浄部３８に配設された洗浄液噴出ノズル５２も、図３に示す洗浄液噴出ノズル５１と同様の構成を有し、第２搬送機構により搬送される電子ペーパ製造用基板１０の短辺Ｓ２に向けて洗浄液を噴出することにより、電子ペーパ製造用基板１０の短辺Ｓ２全域を洗浄処理する。
【００２９】
次に、上述した電子ペーパ製造用基板１０の搬送機構および搬送方向変更機構の構成について説明する。図４は、電子ペーパ製造用基板１０を搬送するための搬送機構および搬送方向変更機構の要部を示す斜視図である。また、図５は、電子ペーパ製造用基板１０の搬送機構による搬送動作を示す概要図である。
【００３０】
電子ペーパ製造用基板１０は、最初に、複数の搬送ローラ７１から成る第１搬送機構６１により、その長辺（第１の辺）Ｓ１と平行な第１の方向に搬送される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、複数の搬送ローラ７２と、複数の搬送ローラ７５と、複数の搬送ローラ７３とから成る第２搬送機構６２により、その短辺（第２の辺）Ｓ２と平行な第２の方向に搬送される。さらに、電子ペーパ製造用基板１０は、複数の搬送ローラ７４から成る第３搬送機構６３により、その長辺Ｓ１と平行で第１の方向と逆方向を向く第３の方向に搬送される。
【００３１】
特徴的には、図５（ｂ）に示すように、電子ペーパ製造用基板１０が第２の方向に搬送されるときには、第２搬送機構６２の一部を構成する複数の搬送ローラ７５は、第１搬送機構６１を構成する複数の搬送ローラ７１や、第３搬送機構６３を構成する複数の搬送ローラ７４よりも、高い位置に配置されている。そして、第２搬送機構６２の一部を構成する複数の搬送ローラ７２と、同じく第２搬送機構６２の一部を構成する複数の搬送ローラ７３とは、第２搬送機構６２の一部を構成する複数の搬送ローラ７５と同じ高さである上昇位置と、第１搬送機構６１を構成する複数の搬送ローラ７１や第３搬送機構６３を構成する複数の搬送ローラ７４よりも低い下降位置との間を昇降可能となっている。
【００３２】
そして、複数の搬送ローラ７２の昇降動作に伴って、電子ペーパ製造用基板１０は、その搬送方向を第１の方向から第２の方向に変更され、複数の搬送ローラ７３の昇降動作に伴って、電子ペーパ製造用基板１０は、その搬送方向を第２の方向から第３の方向に変更される。すなわち、複数の搬送ローラ７２は、電子ペーパ製造用基板１０の搬送方向を、この電子ペーパ製造用基板１０の方向を変更することなく、第１の方向から第２の方向に９０度変更する搬送方向変更機構として機能し、複数の搬送ローラ７３は、電子ペーパ製造用基板１０の搬送方向を、この電子ペーパ製造用基板１０の方向を変更することなく、第２の方向から第３の方向に９０度変更する搬送方向変更機構として機能する。
【００３３】
すなわち、電子ペーパ製造用基板１０は、最初に、第１搬送機構６１を構成する複数の搬送ローラ７１により第１の方向に搬送される。このときには、図５（ａ）に示すように、複数の搬送ローラ７２は下降位置に配置されている。そして、電子ペーパ製造用基板１０が複数の搬送ローラ７２の上方の位置まで搬送されれば、図５（ｂ）に示すように、複数の搬送ローラ７２が上昇位置に移動する。これにより、電子ペーパ製造用基板１０は、第１搬送機構６１を構成する複数の搬送ローラ７１から第２搬送機構６２を構成する複数の搬送ローラ７２に受け渡される。このときには、図５（ｂ）に示すように、複数の搬送ローラ７３も、上昇位置に移動している。この状態において、第２搬送機構６２を構成する各搬送ローラ７２、７５、７３を同期して回転させる。これにより、電子ペーパ製造用基板１０は、第２の方向に搬送される。
【００３４】
電子ペーパ製造用基板１０が複数のローラ７４の上方の位置まで搬送されれば、第２搬送機構を構成する各搬送ローラ７２、７５、７３の回転を停止する。そして、図５（ｃ）に示すように、複数の搬送ローラ７３が下降位置に移動する。これにより、電子ペーパ製造用基板１０は、第２搬送機構６２を構成する複数の搬送ローラ７３から第３搬送機構６３を構成する複数の搬送ローラ７４に受け渡される。そして、電子ペーパ製造用基板１０は、第３搬送機構を構成する複数の搬送ローラ７４が回転することにより、第３の方向に搬送される。
【００３５】
以上のような構成を有する基板処理装置においては、搬送ロボット３３によりカセット１５から取り出された電子ペーパ製造用基板１０は、第１搬送機構６１により、コンベア部３４を介して第１の剥離部３５および第２の剥離部３６に搬送され、レジストの剥離処理がなされる。そして、この電子ペーパ製造用基板１０は、第１搬送機構６１に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺Ｓ１に洗浄液が噴出され、その長辺Ｓ１を洗浄処理されるとともに、第１洗浄部３７における図示しない洗浄液噴出機構により、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。
【００３６】
次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第２搬送機構６２を構成する各搬送ローラ７２、７５、７３により、第１洗浄部３７から第２洗浄部３８および第３洗浄部３９に順次搬送され、それらの洗浄部における図示しない洗浄液噴出機構により、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。このとき、第２洗浄部３８においては、電子ペーパ製造用基板１０が第２搬送機構６２により搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺Ｓ２に洗浄液が噴出され、その短辺Ｓ２を洗浄処理される。
【００３７】
しかる後、電子ペーパ製造用基板１０は、第３搬送機構６３により、第３洗浄部３９から第４洗浄部４０に搬送されてさらに洗浄処理されるとともに、乾燥部４１に搬送されて乾燥され、コンベア部４２に搬送された後、搬送ロボット３３によりカセット１５内に収納される。
【００３８】
このように、この基板処理装置においては、電子ペーパ製造用基板１０を搬送しながら、その表面および裏面の洗浄処理と、長辺Ｓ１および短辺Ｓ２の洗浄処理とを同時に実行することができることから、その端縁の洗浄処理に余分な時間を要することなく、また、端縁の洗浄処理のための占有スペースが必要となることもない。
【００３９】
なお、上述した実施形態においては、電子ペーパ製造用基板１０が第１搬送機構６１に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺Ｓ１に洗浄液が噴出して長辺Ｓ１を洗浄処理しているが、電子ペーパ製造用基板１０が第３洗浄部３９または第４洗浄部４０において、第３搬送機構６３に搬送されている間に、洗浄液噴出ノズルからその長辺Ｓ１に洗浄液を噴出して長辺Ｓ１を洗浄処理するようにしてもよい。すなわち、全ての洗浄部に搬送され通過した後の電子ペーパ製造用基板１０は、その長辺Ｓ１と短辺Ｓ２の両方の洗浄処理が完了されていればよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０      電子ペーパ製造用基板
１５      カセット
３１      インデクサ部
３２      移載部
３３      搬送ロボット
３４      コンベア部
３５      第１の剥離部
３６      第２の剥離部
３７      第１洗浄部
３８      第２洗浄部
３９      第３洗浄部
４０      第４洗浄部
４１      乾燥部
５１      洗浄液噴出ノズル
５２      洗浄液噴出ノズル
６１      第１搬送機構
６２      第２搬送機構
６３      第３搬送機構
７１      搬送ローラ
７２      搬送ローラ
７３      搬送ローラ
７４      搬送ローラ
７５      搬送ローラ
Ｓ１      長辺
Ｓ２      短辺
【図１】
2013043106.tif 000003
【図２】
2013043106.tif 000004
【図３】
2013043106.tif 000005
【図４】
2013043106.tif 000006
【図５】
2013043106.tif 000007
【図６】
2013043106.tif 000008