(57)【要約】      （修正有）【課題】多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインに用いられ、品種が変更になった場合に、振分けを行う搬送装置の振分け設定と、処理装置のレシピと、を自動変更することを可能とする製造ライン設定変更システムを提供する。【解決手段】データ管理用データベースと、ライン内管理システムと、を備え、データ管理用データベースは、予め用意された品種情報管理テーブルと、基板が収納されたカセット情報管理テーブルと、を有し、ライン内管理システムは、製造ライン内に設けられた装置及びデータ管理用データベースとの通信機能を有し、更に、搬送装置の振分け設定の変更指示と、処理装置のレシピ設定の変更指示を行うことを特徴とする製造ライン設定変更システム。【選択図】図１０
2013021055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタガラス基板の多色処理混在型製造ラインに用いられ、製造される品種が変更される際に、カラーフィルタ製造ライン内の搬送装置の振分けと、処理装置のレシピと、を品種に応じて設定変更するシステムであって、
データ管理用データベースと、ライン内管理システムと、を備え、
データ管理用データベースは、
予め用意された品種情報管理テーブルと、基板が収納されたカセット情報管理テーブルと、を有し、
ライン内管理システムは、
製造ライン内に設けられた装置及びデータ管理用データベースとの通信機能を有し、更に、
ライン内にある基板情報と基板の位置情報と、を管理する機能と、
ライン内の装置を複数のゾーンに分け、該ゾーン内の装置情報を管理する機能と、
現在のライン内にある品種の処理工程情報と処理ルート情報とを管理する機能と
搬送装置の振分け情報と処理装置のレシピ情報とを管理する機能と、
現在の搬送装置の振分け設定情報と現在の処理装置のレシピ設定情報とを管理する機能と、
搬送装置の振分け設定と処理装置のレシピ設定の変更指示機能と、を有し、
品種を変更する際に、
前記ライン内にある基板情報と基板の位置情報と、
前記ゾーン内の装置情報と、
前記現在のライン内にある品種の処理工程情報と処理ルート情報と、
前記搬送装置の振分け情報と処理装置のレシピ情報と、
前記現在の搬送装置の振分け設定情報と処理装置のレシピ設定情報と、に基づいて、
前記搬送装置の振分け設定の変更指示と、処理装置のレシピ設定の変更指示を行うことを特徴とする製造ライン設定変更システム。
【請求項２】
ライン内管理システムは、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を前記複数のゾーン毎に行うことを特徴とする請求項１に記載の製造ライン設定変更システム。
【請求項３】
ライン内管理システムは、処理装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行う場合、品種変更する品種に応じた振分け設定と処理装置のレシピ設定とが、現在のゾーン内の装置の振分け設定とレシピ設定に一致した場合には、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行わずにゾーン内へ基板投入指示を行い、一致しない場合は投入ゾーンの直前の装置に対して基板の払い出し停止指示を行い、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行った後にゾーン内へ基板投入指示を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の製造ライン設定変更システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示装置に用いられるカラーフィルタガラス基板（以下、基板）を製造するカラーフィルタ製造ラインの搬送装置の搬送振分けや処理装置のレシピの設定を品種に応じて自動的に変更するシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１にカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の一例を断面で示す。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法を用いることが知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）間ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色フォトレジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３は、一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図である。図３は１色の画素を形成する場合の製造ラインの工程を示すものである。カラーフィルタが製造される場合には先ず、基板が収納されているカセットが、ストッカー装置１０からストッカー装置内の搬送路を介してローダ（ＬＤ）１１に搬送される。次に基板が該ローダ１１によって製造ラインに投入される。その後コンベア１２、１６、１８やロボット１３、２０、２２によって、プロセス処理装置１５、１７、２１や検査装置１４、１９に搬送され、プロセス処理や検査が行われる。その後アンローダ（ＵＬＤ）２３によってカセットに回収される。カセットに回収された基板はストッカー内の搬送路を介して再びストッカー１０に搬送され保管されるか、又は次の色の画素を形成するラインに直接搬送される。基板がラインに直接搬送される場合には、上記のようにカセットに回収されてラインに直接搬送されても良く、またカセットに回収されずに１枚毎ラインに直接搬送されても良い。ここで言うプロセス処理１５、１７、２１は、例えば塗布装置やオーブンや露光装置や現像装置といった装置であって、検査装置１４、１９は外観検査装置や異物検査装置といった検査装置である。
【０００６】
図４は上記１色の画素を形成するカラーフィルタ製造ラインの一例を更に詳しく示した図である。図４に示される製造ライン３１はある特定の１色（例えばＲ画素）の着色パターンを形成するためのもので、ストッカー装置３２と、ストッカー装置からラインに基板を投入するＬＤ３３と、搬送装置４１〜４９と、洗浄装置３４と、塗布装置３５と、露光装置３６と、現像装置３７と、ベーク装置３８と、基板を回収しストッカー装置に搬出するＵＬＤ３９とを備えている。また、塗布装置３５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置５０が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１）４１から搬送装置（７）４７によって接続されている。搬送装置（７）４７の下流には搬送装置（８−１）４８があって基板は次の着色画素（例えば、Ｇ画素）を形成するために直接、次ラインの搬送装置４１に搬送されるか、または一時的にストッカー装置３２に保管されるためＵＬＤ３９によって回収される。Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後の工程には、外観を検査する検査装置５１や搬送装置（８−２）４９や、ＵＬＤ３９が設けられている。ＵＬＤ３９によって回収された基板はストッカー装置３２に搬出され、保管される。
【０００７】
カラーフィルタ基板は一般的にＢＭ、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の複数の色で構成されているため、一般的にはカラーフィルタ製造ラインは図４のような構成のラインが工程色分存在する。カラーフィルタは、構成するレジスト色や基板のパターンには様々な種類がある。これを品種と呼んでいる。また、カラーフィルタを構成する色が同じでも塗布する順番が異なる場合もある。基本的に生産は、品種毎に行われている。
【０００８】
基板の様々な処理を行う処理装置は、あらかじめ設定されたパラメータ（例えばオーブンの温度など）で処理を行っている。品種が変更される場合には、その品種に応じたパラメータに変更する必要があり、これらのパラメータは多岐にわたるため、全てのパラメータを一つずつ変更するには多大な労力を要するため、これら変更するパラメータを纏めたもの（以下、レシピと呼称）を予め用意しておき、処理装置のレシピを変更することにより一括で必要なパラメータ設定に変更することが一般的に行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−１０９９６８号公報
【特許文献２】特開２００９−７３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図４は１色の画素を形成するカラーフィルタ製造ラインを示した図であるが、装置の高性能化により、近年では一つの装置で複数色の工程の基板を処理できる多色混在型カラーフィルタ製造ラインが用いられている。この多色混在型カラーフィルタ製造ラインでは、振分けや合流が多数あり装置数が多く複雑であり且つ多色処理が同時に混在するラインではあるが、多くの工程の基板を同時にラインに投入することができるため、図４に示す構成のラインで処理する場合に比べて、必要なトータル装置数やスペース等が少なくてすむ利点がある。
【００１１】
一般的に、上記多色処理が同時に混在するラインでは、ライン内の基板はライン内に投入される際に、一枚単位で基板に対して必要な基板情報というものを紐付ける。この基板情報の中には、現在の処理工程（ここでいう処理工程とは、例えばＲ画素形成工程やＧ画素形成工程やＢ画素形成工程を指す）情報や、どの検査機に投入するかといった情報が含まれる。基板がライン内（装置間）を移動する際も、この情報は引き継いでおり、ライン内を抜けるまでこれらの情報は保持される。多色処理が混在するラインでは、複数の工程の基板が同時に存在するため、特定のプロセス装置や検査装置に基板を投入するために、基板に持たせてあるキーとなる情報（例：処理工程情報など）を使って搬送装置によって基板の振分け・合流（以下振分けと呼ぶ）が行われる。振分けを行う搬送装置は、あらかじめ基板の持つキーとなる基板情報に応じて基板を受け渡す下流装置を設定しておき、基板を受け取った際に、この情報を確認し設定通りに下流装置に基板を受け渡す。これを行うことで、特定の装置に投入するための振分けを行うことができる。
【００１２】
多色処理混在型のライン構成では、搬送装置によって基板の基板情報（例：処理工程）に応じて通過するルートの振分けを行う（受け渡す下流の装置を変更する）。そのため、あらかじめ装置に振分け設定（受渡先の下流装置設定）をしておく必要があるが、この設定を現在はオペレータによる人の手で行っている。また、処理装置も同様で、品種が異なり処理装置のレシピを変更する必要がある場合も、搬送装置と同じようにオペレータによって行われている。また、これらの変更タイミングは、品種が変更となるタイミングで設定変更を行う必要があるため、設定変更忘れや変更間違いなどのミスが発生する可能性がある。設定ミスで基板が誤ったルートに流れた場合は、異なる処理を行ってしまったり、正常のルートに戻すためにイレギュラーな操作（例：基板をもとの振分け位置までバックさせる等）を行うこととなり、基板のロスやイレギュラー操作中に他の基板の流動を妨げることによる生産のロスが発生するという問題がある。処理装置のレシピ変更を間違った場合は、処理に影響がでて、設定処理装置のレシピによっては、不良基板の発生原因となる。
【００１３】
そこで本発明は上記問題に鑑みて多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインにおいて、品種が変更になった場合に、振分けを行う搬送装置の振分け設定と、処理装置のレシピと、を自動変更することを可能とする製造ライン設定変更システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
そこで本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタガラス基板の多色処理混在型製造ラインに用いられ、製造される品種が変更される際に、カラーフィルタ製造ライン内の搬送装置の振分けと、処理装置のレシピと、を品種に応じて設定変更するシステムであって、
データ管理用データベースと、ライン内管理システムと、を備え、
データ管理用データベースは、
予め用意された品種情報管理テーブルと、基板が収納されたカセット情報管理テーブルと、を有し、
ライン内管理システムは、
製造ライン内に設けられた装置及びデータ管理用データベースとの通信機能を有し、更に、
ライン内にある基板情報と基板の位置情報と、を管理する機能と、
ライン内の装置を複数のゾーンに分け、該ゾーン内の装置情報を管理する機能と、
現在のライン内にある品種の処理工程情報と処理ルート情報とを管理する機能と
搬送装置の振分け情報と処理装置のレシピ情報とを管理する機能と、
現在の搬送装置の振分け設定情報と現在の処理装置のレシピ設定情報とを管理する機能と、
搬送装置の振分け設定と処理装置のレシピ設定の変更指示機能と、を有し、
品種を変更する際に、
前記ライン内にある基板情報と基板の位置情報と、
前記ゾーン内の装置情報と、
前記現在のライン内にある品種の処理工程情報と処理ルート情報と、
前記搬送装置の振分け情報と処理装置のレシピ情報と、
前記現在の搬送装置の振分け設定情報と処理装置のレシピ設定情報と、に基づいて、
前記搬送装置の振分け設定の変更指示と、処理装置のレシピ設定の変更指示を行うことを特徴とする製造ライン設定変更システムである。
【００１５】
本発明の請求項２に係る発明は、ライン内管理システムは、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を前記複数のゾーン毎に行うことを特徴とする請求項１に記
載の製造ライン設定変更システムである。
【００１６】
本発明の請求項３に係る発明は、ライン内管理システムは、処理装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行う場合、品種変更する品種に応じた振分け設定と処理装置のレシピ設定とが、現在のゾーン内の装置の振分け設定とレシピ設定に一致した場合には、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行わずにゾーン内へ基板投入指示を行い、一致しない場合は投入ゾーンの直前の装置に対して基板の払い出し停止指示を行い、搬送装置の振分け設定変更と処理装置のレシピ設定変更を行った後にゾーン内へ基板投入指示を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の製造ライン設定変更システムである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の製造ライン設定変更システムによれば、多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインで、品種が変更となった場合に品種に応じた設定に自動で変更することが可能となる。その結果、オペレータによる変更が不要となり、変更忘れや変更ミスによる不良品の発生を抑制することが出来、更に製造ラインの稼働率を向上することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】カラーフィルタ基板の一例を断面で示す図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタ層の製造工程を示すフロー図。
【図３】一般的なカラーフィルタ製造ラインの工程の一例を示す図。
【図４】１色の画素を形成するカラーフィルタ製造ラインの一例を詳しく示した図。
【図５】本発明の製造ライン設定変更システムが適用される多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図６】本発明の製造ライン設定変更システムの概略構成を示す図。
【図７】本発明に係るライン内の装置をゾーン分けした一例を示す図。
【図８】基板の品種の切り替わり時に行われる搬送装置の振り分けや処理装置のレシピ変更を行う場合の全体の処理フローを示す図。
【図９】本発明に係る品種情報を取得するフローを示す図である。
【図１０】本発明に係る製造ライン設定変更システムにおける品種の変更があった場合の設定変更処理フローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の製造ライン設定変更システムを実施するための形態を説明する。
【００２０】
図５は、本発明の製造ライン設定変更システムが適用される多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図５に示される多色混在型のカラーフィルタ製造ライン６１では、先ず１色目の着色画素形成のために、ストッカー装置６２に保管されていた基板は、ＬＤ６３でラインに投入された後、搬送装置→洗浄装置→搬送装置→塗布装置→搬送装置→検査装置→搬送装置→露光装置→搬送装置→現像装置→搬送装置→ベーク装置→搬送装置→搬送装置の一連の工程を経て、更に次の２色目の着色画素形成のために再び最上流工程の搬送装置に送られ前記一連の工程を経て、更に３色目の着色画素形成が行われた後、検査装置→搬送装置を経て、最終的にＵＬＤ６９によって回収された後に、ストッカー装置６２に搬送され保管される。また、基板は搬送途中で抜取検査のために適宜抜取られる。
【００２１】
ＬＤ６３はカセットに収納されている基板をライン内に投入する設備であって、ストッカー装置６２のカセット置き場に保管されている基板をライン内に投入する場合、ストッ
カー装置６２から基板を収納しているカセットがＬＤ６３に運ばれる。カセットを受け取ったＬＤ６３はカセットの内の基板をライン内に投入する。
【００２２】
ＵＬＤ６９は、ライン内の基板を回収する設備であって、ＵＬＤ６９には空カセットが置いてあり、ライン内の処理が終った基板をカセットに回収する。基板に回収されたカセットはＵＬＤ６９からストッカー装置６２に払い出される。
【００２３】
搬送装置７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂと搬送装置７３〜７９はライン内の基板を搬送する装置であって、このうち搬送装置７３〜７７は下流の基板受け渡し先が複数あり、これらの搬送装置は、予め品種毎に振分ける設定情報を持っており、設定情報に従って基板を振分け搬送する。
【００２４】
処理装置は基板を設定されたレシピに基づいて処理を施す装置であって、洗浄装置６４ａ、６４ｂや塗布装置６５ａ、６５ｂや露光装置６６ａ、６６ｂや現像装置６７ａ、６７ｂやベーク装置６８ａ、６８ｂを指す。これらの処理装置は、予め品種毎に用意されるレシピ情報を紐付けている。
【００２５】
検査装置８０ａ、８０ｂは塗布された塗布膜の膜厚や塗布ムラを検査するもので、また検査装置８１は外観検査を行う検査装置である。
【００２６】
図５に示されるカラーフィルタ製造ラインは、各処理に対して２つの処理装置が設けられた場合の多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインの例を示したものである。この多色処理混在型のカラーフィルタ製造ラインでは、ＬＤ６３によって搬送装置（１−１）７１ａまたは搬送装置（１−２）７１ｂに振分け投入され、搬送装置（３）７３によって検査装置（１−１）８０ａまたは検査装置（１−２）８０ｂに振分け搬送される。同じように、搬送装置（４）７４によって露光装置（１）６６ａまたは露光装置（２）６６ｂに振分け搬送される。搬送装置（５）７５によって現像装置（１）６７ａまたは現像装置（２）６７ｂに振分け搬送される。搬送装置（６）７６によってベーク装置（１）６８ａまたはベーク装置（２）６７ｂに振分け搬送される。また、搬送装置（７）７７によって搬送装置（８−１）７８または検査装置（２）８１に振分け搬送される。
【００２７】
図６は本発明の製造ライン設定変更システムの概略構成を示す図である。製造ライン設定変更システムは、データ管理用ＤＢ９１と、ライン内管理システム９２と、を有している。
【００２８】
データ管理用ＤＢ９１は予め用意された品種毎の処理工程や処理ルート（処理工程順番）の情報を含むテーブルを有する。ライン内管理システム９２は、製造ライン内に設けられた処理装置及びデータ管理用データベースとの通信機能と、後で述べる、ライン内の装置を複数のゾーンに分け、該ゾーン内の装置情報を管理する機能と、現在のライン内にある品種の処理工程情報と処理ルート情報と、を管理する機能と、搬送装置の振分け情報と処理装置のレシピ情報と、を管理する機能と、現在の搬送装置の振分け設定情報と現在の処理装置のレシピ設定情報と、を管理する機能と、搬送装置の振分け設定と処理装置のレシピ設定の変更指示機能と、を有している。
【００２９】
上記ライン内管理システム９２は、各装置を備えたライン装置部９６内の各装置と、ＥｔｈｅｒＮｅｔ（登録商標）、ＣＣＬｉｎｋ、光ケーブル等によってネットワークが構築され、相互に通信が可能な通信機能を有している。製造ラインを構成するライン装置部９６の各装置は現在、自装置内にある現在の基板の情報をライン内管理システム９２に報告する（矢印９３）。また、ライン内管理システム９２は各装置に対して基板の品種が変更になった場合の振分け設定変更や処理装置のレシピ設定変更を通知する（矢印９４）。また、ライン内管理システム９２とデータ管理用ＤＢ９１の間では品種毎の処理工程情報や処理工程ルートの情報のやり取りを行う（矢印９５）。
【００３０】
データ管理用ＤＢ９１は、予め用意された品種毎の処理工程や処理工程順番（以下、処理ルート）の情報を含む、品種情報管理テーブルとカセット情報管理テーブルと、で構成されている。
【００３１】
品種情報管理テーブルの一例を表１に示す。品種情報管理テーブルは品種毎の処理工程（ここでいう処理工程とは、例えば、Ｒ画素形成工程やＧ画素形成工程やＢ画素形成工程を指す）や、処理ルート（ここでいう処理ルートとは１〜ｎ番目の処理工程を指す）を管理するテーブルである。品種情報管理テーブルはライン内管理システムと相互に通信が可能で、ライン内管理システムより品種の問い合わせが有った場合に、その品種の情報をライン内管理システムに通知する。
【００３２】
【表１】
2013021055.tif 000003
【００３３】
カセット情報管理テーブルの一例を表２に示す。カセット情報管理テーブルは、カセット内にある基板の品種情報や次に処理する工程情報やカセット内にある基板数やカセットの各段に収納されている基板コード情報を管理するテーブルであって、カセットがＬＤに設置された際に、ネットワークを介して、ＬＤから報告されるカセット情報をライン内管理システムに通知する。
【００３４】
【表２】
2013021055.tif 000004
【００３５】
ライン内管理システムについて説明する。ライン内管理システムは、次に示す情報を管理する機能を有している。即ち、
（１）品種毎にライン内にある基板の情報を管理する。
（２）ライン内の基板の現在の位置を管理する。
（３）ライン内の装置を部分分けした群（以下、ゾーン）を管理する。
（４）現在、ライン内にある品種の処理工程と処理ルートを管理する。
（５）装置の設定情報（振分け設定情報、レシピ設定情報）を管理する。
（６）現在の搬送装置の振分け設定や処理装置のレシピ設定の情報を管理する。
また、振分け設定やレシピ設定の変更指示、基板払い出し停止指示を、インターフェイスを介して装置に出力する。
【００３６】
上記ライン内管理システムが有する管理機能の内容を説明する。上記管理機能の（１）及び（２）の項目を指すライン内基板情報管理のテーブル例を表３に示す。ライン内基板情報管理テーブルは、ライン内にある基板すべての基板コードと、現在処理されている基板の工程情報を示す処理工程と、基板の品種と、基板が存在する装置を示す現在位置装置ＩＤと、現在装置位置から求めたゾーンＮｏ．情報を示す現在ゾーン位置情報を含んでいる。
【００３７】
【表３】
2013021055.tif 000005
【００３８】
図７にライン内の装置をゾーン分けした一例を示す。図７に示される製造ラインのゾーン分けの例では、ゾーン１〜ゾーン５の５つのゾーンに分けられている。
【００３９】
上記機能の（３）の項目を指すゾーン状態情報管理テーブルの例を表４に示す。ゾーン状態情報管理テーブルは、ライン内に属する装置のゾーン分けを示すテーブルであって、どの装置がどのゾーンに属しているかを管理するテーブルである。即ち、ゾーン状態情報
管理テーブルはゾーン分けしたゾーンＮｏ．毎にそのゾーンに属する全ての装置ＩＤの情報が含まれる。
【００４０】
【表４】
2013021055.tif 000006
【００４１】
上記機能の（４）の項目を指す品種情報管理テーブルは、表１に示す品種情報管理テーブルを指すものであって品種毎の処理工程や、処理ルートを管理するテーブルである。
【００４２】
上記機能の（５）の項目を指す設定情報管理テーブルの例を表５に示す。設定情報管理テーブルは、品種毎に工程処理フローが用意されており、基板の品種と、処理工程と、レシピ設定を示すレシピ番号情報と、振分け装置の振分け設定情報と、が含まれる。設定情報は、品種の工程毎に管理されるものであり、レシピ情報と、ライン内にある振分け該当装置すべての振分け設定を管理している。これらの情報は予め用意される。また、品種毎のレシピ情報は、１品種１処理工程につき１つであるものとする。
【００４３】
【表５】
2013021055.tif 000007
【００４４】
上記機能の（６）の項目を指す振分け設定や、レシピ設定情報を管理する現在設定情報管理テーブルの例を表６（現在設定されている情報を示す振分け設定情報管理テーブル）及び表７（現在設定されている情報を示すレシピ設定情報管理テーブル）に示す。表６に示される振分け設定情報管理テーブルは、現在の該当装置全てに対する振分け設定情報を含んでいる。
【００４５】
【表６】
2013021055.tif 000008
【００４６】
表７に示されるレシピ設定情報テーブルは、現在の該当装置全てに対するレシピ設定情報を含んでいる。
【００４７】
このように振分け設定情報とレシピ設定情報は、別々に管理される。
【００４８】
【表７】
2013021055.tif 000009
【００４９】
ライン内管理システムはライン内装置に対して基板の払い出しを停止させる払い出し停止機能や、振分け設定を変更する機能や、レシピ設定を変更する機能を有し、払い出し停止や振分け設定変更やレシピ設定変更を行う場合には、ライン内管理システムはこれらの指示を任意のタイミングで通知でき、また、ライン内装置も信号を受信した場合は、これに対応して指示された動作を行うことが出来る。即ち、払い出し停止の指示信号を受信した場合には、装置は自装置内にある基板を次の処理装置に移動させない。振分け設定変更を受信した場合には、装置は指示された振分け設定に変更する。レシピ設定変更を受信した場合には、装置は指示されたレシピ設定に変更する。
【００５０】
基板の品種の切り替わり時に行われる搬送装置の振り分けや処理装置のレシピ変更を行う場合の処理フローを説明する。図８は全体の処理フローを示す図である。開始（Ｓ１）後、ＬＤにカセットが設置されると（Ｓ２）、ライン内管理システムはカセット内にある基板の基板コードや、後で述べる品種情報、品種処理フローの情報を取得する（Ｓ３）。この時、取得した基板コードの情報や処理工程の情報を紐付けしてＬＤから基板は投入される。基板がライン内へ投入される前にライン内管理システムは品種の処理工程に応じてライン内の振分け装置に対する振分け設定変更、処理装置のレシピ設定変更が必要な品種の場合は設定変更処理を行う（Ｓ４）。設定が変更された後、ＬＤよりライン内に基板が投入される（Ｓ５）。投入された基板は、処理が行われた後、その基板の処理フローに基
づいて、次の工程処理に進みライン内を循環するか、またはＵＬＤに回収するかの判定が行われる（Ｓ６）。この場合、全ての工程が終わっていない（例えば、Ｒ画素のパターン形成処理は終わっているが、Ｇ画素、Ｂ画素の処理が終わっていない場合）には（（Ｓ６）のＮＯ）、基板の処理工程は次工程に変更され（Ｓ７）、再度、ステップ（Ｓ４）に移行し、ライン内循環となり、次の工程の処理が行われる。一方、全ての処理工程が終わった場合には（（Ｓ６）のＹＥＳ）、基板はＵＬＤのカセットに回収され、処理フローは終了（Ｓ８）する。
【００５１】
上記品種情報を取得するフローを説明する。図９は品種情報を取得するフローを示す図である。ライン内管理システムは、品種の処理フロー情報を管理する。開始（Ｕ１）後、カセットが工程内のＬＤに設置されると（Ｕ２）、ＬＤはカセットのタグ情報を読取りカセットＩＤをライン管理システムに報告する（Ｕ３）。ライン管理システムはデータ管理用ＤＢと通信を行う（Ｕ４）。上記カセットＩＤ情報はストッカーにあるカセットがライン内のＬＤに設置された際に、カセットにあらかじめ取り付けられているＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグ情報から取得される。ＲＦＩＤタグ情報にはカセットの名称を指すＩＤ情報が書き込まれている。ライン内管理システムはカセットＩＤ情報に基づいて、データ管理用ＤＢの品種情報管理テーブル（表１）やカセット情報管理テーブル（表２）で管理しているカセット内の基板情報（１〜ｎ段目基板コード）や品種情報（品種）、品種の処理工程情報（１〜ｎ番目処理工程）を取得する（Ｕ５）。また、ライン内管理システムは、取得した上記基板コードや次に処理する処理工程情報をＬＤに通知する（Ｕ６）。ＬＤはこの情報を基板に紐付けてライン内に基板を投入し（Ｕ７）、終了（Ｕ８）する。
【００５２】
品種の変更があった場合の設定変更処理フローを図１０を用いて説明する。開始（Ｄ１）後、ＬＤ部にカセットが設置されると（Ｄ２）、ライン内管理システムは、そのカセットに搭載されている基板の品種情報を品種情報管理テーブルから取得する（Ｄ３）。ライン内管理システムは、装置をゾーン毎に分けた情報をゾーン状態情報管理テーブルから取得し（Ｄ４）、更に今からゾーンに投入される（最初はＬＤから）基板の処理情報を確認し、ゾーン番号１〜ゾーン番号の最後（この場合のゾーン番号の最後は、図７に示されるようにゾーン番号５）までゾーン番号を１つずつ増やしながら（Ｄ５）、対象処理工程の現在のライン内の振分け装置の振分け設定、処理装置のレシピ設定を取得し（Ｄ６）、取得した品種の振分け設定、レシピ設定と、を比較を行う（Ｄ７）。比較情報が一致した場合には（（Ｄ８）のＹＥＳ）は、ゾーン内に基板を投入する（Ｄ９）。一方、不一致の場合（（Ｄ８）のＮＯ）は、ゾーン内への基板投入を行わないために投入ゾーンの直前のゾーンの終端装置に払い出し停止信号を通知する（Ｄ１０）。その後、ライン管理システムはゾーン内の装置に存在する基板の情報を取得し（Ｄ１１）、ゾーン内に同じ処理工程の基板がある場合は（Ｄ１２のＹＥＳ）、ゾーン内の基板がゾーンを抜けるまで待機し（Ｄ１３）、再びステップ（Ｄ１１）に移行する。ゾーン内に同じ処理工程の基板がない場合は（（Ｄ１２）のＮＯ）、ライン内管理システムはゾーン内の装置に対して振分け設定とレシピ設定の変更指示を通知し（Ｄ１４）、装置は変更実施したことを示す変更実施情報をライン管理システムに報告し（Ｄ１５）、再びステップ（Ｄ７）に移行する。ステップ（Ｄ９）の後は、ゾーン番号を１つ増やし（Ｄ１６）、ゾーンが最後のゾーンまで到達していない場合は（（Ｄ１７）のＹＥＳ）、再び（Ｄ６）に移行する。一方最後のゾーンに達した場合は（（Ｄ１７）のＮＯ）、終了する（Ｄ１８）。ステップ（Ｄ１７）でゾーン番号Ｎ＜５としたのは、例示したゾーンが５であるためである。
【００５３】
ゾーン内の装置の振分け設定とレシピ設定をゾーン単位で行うことによって、振分け設定とレシピ設定時の基板の流動の乱れを防ぐことが出来る。
【００５４】
このようにして、品種が変更になった場合にはライン内の装置の振分けとレシピを予め
用意されていた設定に変更することができる。
【００５５】
以上のように本発明による製造ライン設定変更システムによれば、製造する品種が変更される際に、ライン内の装置の振分けとレシピの変更を自動的に行うことが出来、その結果、オペレータによる変更負荷を無くすることが出来、また変更ミスによる不良品の発生を防ぐことが出来る。
【符号の説明】
【００５６】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス
４−１・・・レッドＲの着色画素
４−２・・・グリーンＧの着色画素
４−３・・・ブルーＢの着色画素
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー
７・・・バーテイカルアライメント
１０・・・ストッカー装置
１１・・・ローダ（ＬＤ）
１２，１６，１８・・・コンベア
１３、２０、２２・・・ロボット
１４、１９・・・検査装置
１５、１７、２１・・・プロセス処理装置
２３・・・アンローダ（ＵＬＤ）
３１・・・製造ライン
３２・・・ストッカー装置
３３・・・ＬＤ
３４・・・洗浄装置
３５・・・塗布装置
３６・・・露光装置
３７・・・現像装置
３８・・・ベーク装置
３９・・・ＵＬＤ
４１〜４７・・・搬送装置
４８・・・搬送装置（８−１）
４９・・・搬送装置（８−２）
５０・・・検査装置
５１・・・検査装置
６１・・・カラーフィルタ製造ライン
６２・・・ストッカー装置
６３・・・ＬＤ
６４ａ、６４ｂ・・・洗浄装置
６５ａ、６５ｂ・・・塗布装置
６６ａ、６６ｂ・・・露光装置
６７ａ、６７ｂ・・・現像装置
６８ａ、６８ｂ・・・ベーク装置
６９・・・ＵＬＤ
７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、７３〜７９・・・搬送装置
８０ａ、８０ｂ、８１・・・検査装置
９１・・・データ管理用ＤＢ
９２・・・ライン内管理システム
９３・・・ライン装置部の各装置が自装置内にある現在の基板の情報をライン内管理システムに報告する方向を示す矢印
９４・・・ライン内管理システムが各装置に対して振分け設定変更や処理装置のレシピ設定変更を通知する方向を示す矢印
９５・・・ライン内管理システムとデータ管理用ＤＢ間の情報のやり取りを行う方向を示す矢印
９６・・・ライン装置部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図６】
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