(57)【要約】【課題】製品の付加価値を高めるとともに、環境汚染問題を有効に解決するシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法及びその装置を提供する。【解決手段】シリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置は、処理タンク２００、ガス貯蔵タンク４００、濾過タンク５００、固液分離ユニット６００及び逆浸透処理ユニット７００を備える。処理タンク２００は、密閉式の容器であり、廃棄濾過ケーキと水系液体とを混合して得た作動液を収納し、液面より高い位置に設けられた原料供給口２１０と、水素を吸入する排気口２３０と、底部に隣接されたポンピングホールとを有する。ガス貯蔵タンク４００は、処理タンク２００内に発生した水素を回収するために用いる。濾過タンク５００は、伸縮管５１０を有する。伸縮管５１０は、外部から処理タンク２００内に延伸される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法であって、
まず、前記ウェハの切断・研磨により生じた廃油スラリーを圧搾濾過して生成し、シリコン（Ｓｉ）と、炭化ケイ素（ＳｉＣ）と、主にポリエチレングリコール（ＰＥＧ）から構成された残留切削液と、を含む濾過ケーキを脱水処理して処理タンク内へ入れるステップ（Ａ）と、
前記処理タンク内に反応剤を入れ、前記濾過ケーキと混合して作動液を生成し、前記作動液中の前記シリコンと前記反応剤とを触媒反応させ、固体の二酸化シリコン（ＳｉＯ２）と、気体の水素（Ｈ）とを生成するステップ（Ｂ）と、
前記処理タンク内の前記水素をガス貯蔵タンク内の圧縮貯蔵装置へ案内するステップ（Ｃ）と、
比重分離方式を利用し、汚泥濃度が希釈された前記作動液から前記シリコン及び前記炭化ケイ素を分離して選別・回収するステップ（Ｄ）と、
前記シリコン及び前記炭化ケイ素の前記作動液を選別してから、膜により濾過して固液分離を行い、前記作動液を固体の二酸化シリコンと、液体の水、ポリエチレングリコールとに分離するステップ（Ｅ）と、
前記液体の水及びポリエチレングリコールを逆浸透処理した後、再利用可能な水と、ポリエチレングリコールを主成分とする回収切削液と、を得るステップ（Ｆ）と、を含むことを特徴とするシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項２】
前記ステップ（Ｂ）において、前記反応剤は水であることを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項３】
前記ステップ（Ｆ）において、逆浸透回収された水は、前記処理タンク内へ案内され、前記ステップ（Ｂ）の触媒剤として使用されることを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項４】
前記ステップ（Ｆ）を行った後、蒸留方式により前記液体のポリエチレングリコールから残留した水及び廃油を除去し、再利用可能な再生油を得ることを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項５】
前記ステップ（Ｂ）において、前記処理タンク内に加圧ガスを加えて混合し、作動液を生成することを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項６】
前記ステップ（Ｄ）を行った後、選別後の前記シリコン及び前記炭化ケイ素を乾燥処理し、包装・回収を行うことを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項７】
前記ステップ（Ｅ）において、負圧吸引力により前記作動液中の水及びポリエチレングリコールを吸引することを特徴とする請求項１に記載のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法。
【請求項８】
処理タンク、ガス貯蔵タンク、濾過タンク、固液分離ユニット及び逆浸透処理ユニットを備えたシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置であって、
前記処理タンクは、密閉式の容器であり、廃棄濾過ケーキと水系液体とを混合して得た作動液を収納し、液面より高い位置に設けられた原料供給口と、水素を吸入する排気口と、底部に隣接されたポンピングホールと、を有し、
前記ガス貯蔵タンクは、前記処理タンク内に発生した水素を回収するために用い、
前記濾過タンクは、伸縮管を有し、前記伸縮管は、外部から前記処理タンク内に延伸され、前記作動液中の水、二酸化シリコン及びポリエチレングリコールの液体を前記濾過タンクへ案内するために用いる可動式吸引口が底端に設けられ、
前記固液分離ユニットは、円形プレート状のＵＦ膜で構成されて前記濾過タンク内に配置され、複数のＵＦ膜と、前記ＵＦ膜に直列接続されて水平に配置されて枢着された液回収管と、前記濾過タンクの外部に配置され、前記液回収管を中心として前記ＵＦ膜を回転させるモータと、前記ＵＦ膜を介して前記液回収管内の液体を吸入するために用いるオイルポンプと、を有し、
前記逆浸透処理ユニットは、前記オイルポンプの出水端に接続され、水及び濃縮されたポリエチレングリコールを分離し、回収して再利用可能な水と、ポリエチレングリコールを主成分とする再生油と、を得て、逆浸透濾過装置は、還水管を有し、回収された水が前記還水管を介して前記処理タンク内へ吸引されることを特徴とするシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウェハの廃棄物の処理方法及びその装置に関し、特に、製品の付加価値を高めるとともに、環境汚染問題を有効に解決するシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ及びソーラパネル産業において、シリコンインゴットを均一な厚さのシリコンウェハ（チップ）へ切断する技術は標準工程の一つであり、特殊な金属ワイヤソー（ｗｉｒｅ  ｓａｗ）を切断ツールとして使用し、高硬度の炭化ケイ素（ＳｉＣ：カーボランダム）を研磨材料として使用し、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）、ジエチレングリコール（ＤＥＧ）、プロピリングリコール（ＰＧ）などの鉱油を切削冷却液として使用し、これにより金属ワイヤソーが高速で往復運動する際、炭化ケイ素を媒体として用いてワイヤソーの切削能力を高めてシリコンチップを切断し、切断と同時にポリエチレングリコールを主成分とする切削液をカット部位へ噴射させることにより、冷却用途及び潤滑用途として用いる以外に、切断により生じるシリコン屑及び不純物を切断グルーブから取り出すことにより、ウェハ切断工程をスムーズかつ安定的に行い、後続工程を都合よく行えるようにする。
【０００３】
シリコンウェハの切断・研磨の過程において、切断エリアに対して噴射されて使用された切削液は、切削時に発生したシリコン屑、不純物及び摩耗の炭化ケイ素を取り出して切断エリアの外部へ継続的に排出し、粒子の濃度及び濁度が極めて高い廃油スラリー（ｗａｓｔｅ  ｏｉｌ  ｓｌｕｒｒｙ）が形成される。従来、台湾国内の多数のシリコンウェハ切断工場は、これらの廃油を廃棄物として処理したり、重油で焼却処理した後に埋めて処理していた。しかしどちらの場合でも、多くの費用をかけて廃棄物処理業者へ処理するように依頼し、廃油スラリーの焼却処理を行った場合、二酸化炭素が大量に発生して環境に悪影響を与える虞がある。そのため、ウェハを切断して研磨した後に発生する廃油スラリーを焼却したり埋めたりする処理方法は理想的でない。
【０００４】
従来、台湾国外のメーカは、濾過装置により廃油スラリー中の切削オイルを回収し、通常、薄膜技術により固液分離を行うが、この方式は、一部の液体再生油を得ることができ、シリコンウェハの切断・研磨を行う際に回収して再利用することができる。しかし、この方法は、大量の汚泥（濾過ケーキ）を発生させるが、これら汚泥中に再利用可能な炭化ケイ素、シリコン粒子及びポリエチレングリコールが依然として含まれているが、回収処理が行われず、廃棄物と見なされて埋められるため、重大な環境汚染問題が依然として発生する虞がある。そのため、固液分離方式のみで再生油の回収を行う場合、その経済収益は理想的でなく、廃油スラリーを膜で濾過する際に、良好な前処理を行わない場合、膜孔が詰まりやすく、膜の使用寿命が短くなってコストが増大する虞がある。
【０００５】
近年、ソーラエネルギ産業の急速な発展により、炭化ケイ素の需給量が多くなって品不足となり、潤滑用途及び冷却用途のポリエチレングリコールも使用量が大幅に増えてコストが増えている。そのため、メーカは、コスト及び環境に対する影響を考慮し、廃油スラリーから再生油を回収する以外に、利用価値がある炭化ケイ素、シリコン粒子を濾過ケーキから分離・回収することにより、廃棄物の生成及び総量を減らし、環境汚染と処理にかかるコストを減らすことができる。
【０００６】
そのため、回収コストと環境保全とのバランスをとり、効率良く、操作コストに合致した処理方法は依然として存在しないため、シリコンウェハの切断メーカは、環境の汚染対策にかかるコストがだんだん多くなり、生産品質及び汚染防止技術を高めることにより、経済及び環境保全を兼ね備え、産業競争力を高めることが求められていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、廃棄物の発生を減らして回収コストを減らすことにより、環境汚染を有効に防ぐことができる上、廃棄物の中から回収可能な再生油、炭化ケイ素などの副産物を分離して回収するシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法を提供することにある。
本発明のもう一つの目的は、膜の詰まりを防いで膜の寿命を延ばすことにより、回収処理効率を高めるシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、シリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法であって、まず、前記ウェハの切断・研磨により生じた廃油スラリーを圧搾濾過して生成し、シリコン（Ｓｉ）と、炭化ケイ素（ＳｉＣ）と、主にポリエチレングリコール（ＰＥＧ）から構成された残留切削液と、を含む濾過ケーキを脱水処理して処理タンク内へ入れるステップ（Ａ）と、前記処理タンク内に反応剤を入れ、前記濾過ケーキと混合して作動液を生成し、前記作動液中の前記シリコンと前記反応剤とを触媒反応させ、固体の二酸化シリコン（ＳｉＯ２）と、気体の水素（Ｈ）とを生成するステップ（Ｂ）と、  前記処理タンク内の前記水素をガス貯蔵タンク内の圧縮貯蔵装置へ案内するステップ（Ｃ）と、比重分離方式を利用し、汚泥濃度が希釈された前記作動液から前記シリコン及び前記炭化ケイ素を分離して選別・回収するステップ（Ｄ）と、前記シリコン及び前記炭化ケイ素の前記作動液を選別してから、膜により濾過して固液分離を行い、前記作動液を固体の二酸化シリコンと、液体の水、ポリエチレングリコールとに分離するステップ（Ｅ）と、前記液体の水及びポリエチレングリコールを逆浸透処理した後、再利用可能な水と、ポリエチレングリコールを主成分とする回収切削液と、を得るステップ（Ｆ）と、を含むことを特徴とするシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法が提供される。
【０００９】
前記ステップ（Ｂ）において、前記反応剤は水であることが好ましい。
【００１０】
前記ステップ（Ｅ）において、前記固液分離は、円形プレート状のＵＦ膜により行うことが好ましい。
【００１１】
前記ステップ（Ｆ）において、逆浸透回収された水は、前記処理タンク内へ案内され、前記ステップ（Ｂ）の触媒剤として使用されることが好ましい。
【００１２】
前記ステップ（Ｆ）を行った後、蒸留方式により前記液体のポリエチレングリコールから残留した水及び廃油を除去し、再利用可能な再生油を得ることが好ましい。
【００１３】
前記ステップ（Ｆ）において、ＲＯ又はＮＦ膜により逆浸透処理を行うことが好ましい。
【００１４】
前記ステップ（Ｂ）において、前記処理タンク内に加圧ガスを加えて混合し、作動液を生成することが好ましい。
【００１５】
前記ステップ（Ｄ）を行った後、選別後の前記シリコン及び前記炭化ケイ素を乾燥処理し、包装・回収を行うことが好ましい。
【００１６】
前記ステップ（Ｅ）において、負圧吸引力により前記作動液中の水及びポリエチレングリコールを吸引することが好ましい。
【００１７】
処理タンク、ガス貯蔵タンク、濾過タンク、固液分離ユニット及び逆浸透処理ユニットを備えたシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置であって、前記処理タンクは、密閉式の容器であり、廃棄濾過ケーキと水系液体とを混合して得た作動液を収納し、液面より高い位置に設けられた原料供給口と、水素を吸入する排気口と、底部に隣接されたポンピングホールと、を有し、前記ガス貯蔵タンクは、前記処理タンク内に発生した水素を回収するために用い、前記濾過タンクは、伸縮管を有し、前記伸縮管は、外部から前記処理タンク内に延伸され、前記作動液中の水、二酸化シリコン及びポリエチレングリコールの液体を前記濾過タンクへ案内するために用いる可動式吸引口が底端に設けられ、前記固液分離ユニットは、円形プレート状のＵＦ膜で構成されて前記濾過タンク内に配置され、複数のＵＦ膜と、前記ＵＦ膜に直列接続されて水平に配置されて枢着された液回収管と、前記濾過タンクの外部に配置され、前記液回収管を中心として前記ＵＦ膜を回転させるモータと、前記ＵＦ膜を介して前記液回収管内の液体を吸入するために用いるオイルポンプと、を有し、前記逆浸透処理ユニットは、前記オイルポンプの出水端に接続され、水及び濃縮されたポリエチレングリコールを分離し、回収して再利用可能な水と、ポリエチレングリコールを主成分とする再生油と、を得て、逆浸透濾過装置は、還水管を有し、回収された水が前記還水管を介して前記処理タンク内へ吸引されることを特徴とするシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理装置が提供される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法及びその装置は、まず、水を主成分とする触媒剤を濾過ケーキに混合し、この濾過ケーキを希釈して作動液を生成し、シリコン粉末と触媒反応させて二酸化ケイ素及び水素を生成させた後、水素を吸引して回収し、続いて、水により比重分離を行い炭化ケイ素と残余のシリコン粒子とを選別してから、固液分離を行い、作動液を分離して固体の二酸化ケイ素と、液体の水、ポリエチレングリコールとに分離し、最終的に水及びポリエチレングリコールを分離する。これにより、元々回収工程で発生していた汚泥から、有用なシリコン粒子、炭化ケイ素、二酸化ケイ素及びポリエチレングリコールを再回収し、廃棄物の発生量を減らし、廃棄物を埋める際の問題を解決し、産業価値を有する水素を生成して利用の付加価値を高めて、エネルギ消費量及び二酸化炭素の排出量が少なく、環境を汚染しない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法を示す流れ図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る濾過ケーキの回収システムを示す模式図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る濾過タンクの内部構造を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る円形プレート状のＵＦ膜を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。
【００２１】
（第１実施形態）
図１〜図３を参照する。図１〜図３に示すように、本発明の第１実施形態に係るシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法は、以下のステップ（Ａ）〜（Ｅ）を含む。
【００２２】
ステップ（Ａ）：まず、圧搾脱水処理を行った濾過ケーキ（ｆｉｌｔｅｒ  ｃａｋｅ）１００を原料供給口２１０から処理タンク２００内へ入れる。この処理タンク２００は、密閉状態であり、濾過ケーキ１００は、ウェハの切断及び研磨により生じたウェハ切断廃棄物（ｗａｆｅｒ  ｃｕｔｔｉｎｇ  ｗａｓｔｅ）であり、初期の圧搾濾過を行った後に生成され、シリコン（Ｓｉ）と、炭化ケイ素（ＳｉＣ）と、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）から主に構成される残留切削液と、を含む。
【００２３】
本実施形態のウェハ切断廃棄物は、プレートフレームフィルタプレス機（ｐｌａｔｅ−ｆｒａｍｅ  ｆｉｌｔｅｒ  ｐｒｅｓｓ）により脱水処理され、フィルタプレス機のフィルタプレートを利用し、ウェハ切断廃棄物中の大部分の固形物を濾過してから、高圧空気で二次圧縮した後に汚泥状の濾過ケーキを形成する。この種の濾過ケーキは、シリコン粉末（Ｓｉ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）及び不純物を含む他、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）から主に構成される切削オイルが少量残留し、本発明は濾過ケーキ１００中のこれらの組成物に対して再処理を行い、回収・包装を行う。
【００２４】
ステップ（Ｂ）：処理タンク２００内にポンプにより反応剤を入れる。本実施形態の反応剤は、水分を含んだ液体であることが好ましい。さらに、この液体には、少量の微細気泡が含まれているため、元々汚泥状であった濾過ケーキ１００が希釈された後、気泡及び固形物を含む作動液３００が生成され、前述の微細気泡は、ベンチュリ効果を利用し、液体と気体とを予め混合してから処理タンク２００内へポンプで入れ、液体と濾過ケーキ１００との攪拌により発生する化学反応を加速させ、濾過ケーキ１００内の重量が軽い残りのポリエチレングリコールなどのオイル及び不純物を、気泡の浮力により液面上層へ浮上させ、後続の分離が都合よく行えるようにする。そのため、所定時間が過ぎた後、作動液３００中の反応剤はシリコン粉末と触媒反応され、固体の二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）及び気体の水素（Ｈ）を次第に生成し、その化学反応式は、化学式（Ｉ）で表すことができる。
【００２５】
（化１）
Ｓｉ＋２Ｈ２Ｏ＝ＳｉＯ２（固体）＋２Ｈ２（気体）  ・・・（Ｉ）
【００２６】
本実施形態の反応剤は、処理タンク２００の底部近くに設けられた散気孔２２０からポンプにより入れられる他、上述の反応剤が含む液体と気泡との量は比率が３：１であることが最適であり、作動液３００の液面高さは、水素を一時的に蓄えることができるように原料供給口２１０より僅かに低いことが好ましい。
【００２７】
ステップ（Ｃ）：所定時間が過ぎた後、処理タンク２００上層の水素は、排気口２３０からガス貯蔵タンク４００内へポンプで入れられて圧縮された状態で貯蔵され、発生された水素が別々に包装・販売され、熱源を再利用してもよい。
【００２８】
ステップ（Ｄ）：シリコン粒子と炭化ケイ素との比重が、水（シリコンの比重は２．３であり、炭化ケイ素の比重は３．２である）より高いため、水素（Ｈ）が処理タンク２００から排出されると、比重分離方式を利用し、作動液３００中から残留したシリコン粒子及び炭化ケイ素をさらに分離させることができる。本実施形態では、処理タンク２００底部に固体の炭化ケイ素及びシリコン粒子が順次沈殿された後、底部の原料排出口２４０から原料篩タンク２５０中へ排出されて乾燥処理され、選別（ｓｏｒｔｉｎｇ）されて回収される。
【００２９】
ステップ（Ｅ）：シリコン粒子及び炭化ケイ素の作動液３００を選別して、濾過タンク５００内へ案内して固液分離を行う。本実施形態の濾過タンク５００は、伸縮管５１０を有する。この伸縮管５１０は、外部から処理タンク２００内へ延伸されて入れられ、円錐形状の吸引口５２０が底端に接続される。吸引口５２０は、作動液３００の水位に応じて昇降し、底端の開口には、細目スクリーン（図示せず）が設けられる。この細目スクリーンは、作動液３００内の水、二酸化ケイ素及びポリエチレングリコールなどの液体を濾過タンク５００内へ入れるために用いる。
【００３０】
また、濾過タンク５００内には、半没式固液分離ユニット６００が設けられる。この固液分離ユニット６００は、円形プレート状のＵＦ膜であることが好ましい。図４を参照する。図４に示すように、その全体構造は、複数のＵＦ膜６１０を直列接続して水平状にして液回収管６２０上に枢着し、濾過タンク５００の外部は、モータ６３０により液回収管６２０を中心としてＵＦ膜６１０を駆動させ、他方の側部は、オイルポンプ６４０を利用し、ＵＦ膜６１０を介して液回収管６２０内の液体を集めることにより、モータ６３０の負圧吸引力により、作動液３００内の液体状である水、ポリエチレングリコールなどの切削液をＵＦ膜６１０で濾過して濾過タンク５００の外部へ送り出す。固体である二酸化ケイ素などの微小な不純物などの固形物は、濾過タンク５００内に留まり、濾過タンク５００内の固形物の粒子濃度が継続的に高まるに従い、二酸化ケイ素及び不純物が蒸発乾燥処理されると、回収されて２次建材として再利用することができる（例えば、レンガ、間仕切り用建材、歩道用ブロック）。これにより、元からある作動液３００は、固体である二酸化ケイ素と、液体である水、ポリエチレングリコールなどの切削液とに分離される。
【００３１】
本ステップにおいて、ＵＦ膜の使用寿命を延ばすために、各ＵＦ膜６１０間に掻き取り部材６５０を掛着させる。この掻き取り部材６５０は、ＵＦ膜６１０が回転すると、膜面の汚泥を自動的に掻き取り、膜表面に垢が溜まって孔が塞がり、水系液体の濾過速度が低下することを防ぐ。
【００３２】
ステップ（Ｆ）：液体の水及びポリエチレングリコールを逆浸透処理ユニット７００により逆浸透処理する。この逆浸透処理ユニット７００には、ＮＦ（Ｎａｎｏ  Ｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ）膜又はＲＯ（Ｒｅｖｅｒｓｅ  Ｏｓｍｏｓｉｓ）膜を利用してもよい。本実施形態ではＲＯ膜を使用し、ＲＯ膜の利用により水分子だけを膜孔で透析し、さらに水と濃縮したポリエチレングリコールを分離し、回収して再利用することができる水及びポリエチレングリコールを主成分とする油状の液体を得る。ここで、回収した水は、還水管７１０を介してステップ（Ｂ）の処理タンク２００内へ送り、シリコン粉末の触媒反応剤として使用し、処理タンク２００に必要な水量を減らす。
【００３３】
ステップ（Ｇ）：前述の液体のポリエチレングリコールは、蒸留方式により残留した水分及び廃油を除去し、濃縮されたポリエチレングリコールは、濁度計により計測した後に回収して再利用可能な再生油を得て、油貯蔵タンク８００へ送る。再生油は、別々に包装された後、ウェハの切断・研磨工程で使用される。
【００３４】
そのため本発明は、水を主成分とする触媒剤を、圧搾脱水処理を行った濾過ケーキ１００（汚泥）へ混合し、濾過ケーキ１００を希釈して汚泥濃度が低い作動液３００を得て、シリコン粉末と触媒作用を発生させて固体の二酸化ケイ素と気体の酸素とを生成してから、水素を吸引して回収する。続いて、水により比重分離を行い、作動液３００中の炭化ケイ素と、残留したシリコン粒子とを選出してから、ＵＦ膜６１０により固液分離を行い、作動液３００を分離して固体の二酸化ケイ素と、液体の水及びポリエチレングリコールとに分離してから、最終的に、ＲＯ膜により水及びポリエチレングリコールに分離する。このように、元々の回収工程において生成された汚泥から、有用なシリコン粒子、炭化ケイ素、二酸化ケイ素及びポリエチレングリコールを再回収することができる。そのため、廃棄物の総量を減らし、廃棄物を埋め立てて処理する必要がなくなる上、商業価値を有する水素を得ることができるため、本発明は利用付加価値が高く、エネルギ消費量及び二酸化炭素の排出量が少なく、環境を汚染しない。
【００３５】
上述したことから分かるように、本発明のシリコンウェハの切断・研磨により発生する廃棄物の回収処理方法及びその装置は、従来技術と異なり以下（１）〜（３）の長所を有する。
（１）元々再処理することができなかった濾過ケーキ（汚泥）に、まず、加水により触媒を行って水素を生成し、比重分離により炭化ケイ素及びシリコン粒子を分離し、ＵＦ膜及びＲＯ膜により、作動液中の二酸化ケイ素、水、ポリエチレングリコールを分離し、最終的に回収して使用することができる水素、シリコン粒子、炭化ケイ素、二酸化ケイ素、水、ポリエチレングリコールを生成することにより、本発明は回収利用の付加価値を高め、処理した後に残った屑などの廃棄物の量が非常に少ないため、エネルギ消費量及び二酸化炭素の排出量が少なく、環境を汚染しない。
（２）固液分離工程を行う前に、比重分離方式により固体の炭化ケイ素及びシリコン粒子を分離して作動液中の固形物の比率を下げ、後続工程で行う固液分離を行う際、ＵＦ膜に溜まった垢が詰まることを遅らせ、作動液の濃度が高くなることを防いで、膜の使用寿命を延ばしてコストを減らす。
（３）固液分離で用いる円形プレート状のＵＦ膜は、膜が回転するときに掻き取ることにより膜面に濾過ケーキが生成されることを防ぐことができる。このように、全体の回収処理効率を高めて膜の寿命を延ばすことができるため、回収効率及びコストの面で好ましい。
【００３６】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００３７】
１００  濾過ケーキ
２００  処理タンク
２１０  原料供給口
２２０  散気孔
２３０  排気口
２４０  原料排出口
２５０  原料篩タンク
３００  作動液
４００  ガス貯蔵タンク
５００  濾過タンク
５１０  伸縮管
５２０  吸引口
６００  固液分離ユニット
６１０  ＵＦ膜
６２０  液回収管
６３０  モータ
６４０  オイルポンプ
６５０  掻き取り部材
７００  逆浸透処理ユニット
７１０  還水管
８００  油貯蔵タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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