(57)【要約】【課題】気泡排出性を確保しつつ、十分な圧力変動抑制効果を得ることが難しい。【解決手段】共通液室１０は、ノズル配列方向において、平面形状で長方形状に形成され、流路部材２３を構成する流路板２の液室長手方向端部はそのまま共通液室１０内に臨み、振動板部材３の液室長手方向端部は流路板２の液室長手方向端部に対して共通液室１０と反対側の方向に後退した位置にあり、流路板２の液室６の共通液室１０側端部の一部を開口することで、液室６の入口側、すなわち、液体供給経路７の共通液室１０側は、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向（Ｘ方向）に開口する水平開口部７ａと、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向と直交する方向（Ｙ方向）に開口する垂直開口部７ｂが形成される。【選択図】図２
2013063556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルに連なって通じる複数の個別流路を形成する流路部材と、
前記複数の個別流路に液体を供給する共通流路を形成する共通流路部材と、を備え、
前記個別流路の入口側は、前記個別流路内における液体の流れ方向に沿う方向と前記液体の流れ方向と直交する方向の少なくとも２方向で、前記共通流路に対して直接開口している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体の流れ方向と直交する方向は、個別流路の配列方向とも直交する方向であり、前記開口の形成された領域の個別流路間には隔壁が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材は、前記個別流路となる溝部を形成する流路板と、前記溝部の開口側を塞ぐ壁面部材とで構成され、
前記液体の流れ方向上流側の端部において前記壁面部材の端部は、前記流路板の端部よりもノズル側へ後退していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記壁面部材の前記液体の流れ方向上流側の端部は、前記共通流路部材に接合され、前記共通液室の壁面と同じか前記共通液室内に突出している
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。
【０００３】
液体吐出ヘッドにあっては、多数のノズルを同時に駆動したときの個別流路の圧力変動が共通流路に伝播して、共通流路から個別流路に逆伝播することによって滴吐出特性が不安定になる。また、液体吐出ヘッド内に気泡が混入した場合にも滴吐出不良が生じる。
【０００４】
従来、共通流路内での圧力変動を減衰させるものとして、例えば、液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、ノズルに連なって通じる複数の個別流路を形成する流路板と、複数の個別流路に液体を供給する共通流路を形成する共通流路部材と、流路板と共通流路部材との間に設けられた振動板部材とを備えて、個別流路と共通流路とは、振動板部材を挟んで反対側に配置され、振動板部材で個別流路の壁面を形成する変形可能な振動領域と共通流路の壁面の一部を形成する変形可能なダンパ領域とを形成したものが知られている（特許文献１）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３１３７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されているようなヘッドにあっては、気泡排出性を確保しつつ、十分な圧力変動抑制効果を得ることが難しいという課題がある。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、気泡排出性を確保しつつ共通流路内での十分な圧力変動抑制を行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズル板と、
前記ノズルに連なって通じる複数の個別流路を形成する流路部材と、
前記複数の個別流路に液体を供給する共通流路を形成する共通流路部材と、を備え、
前記個別流路の入口側は、前記個別流路内における液体の流れ方向に沿う方向と前記液体の流れ方向と直交する方向の少なくとも２方向で、前記共通流路に対して直接開口している
構成とした。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、個別流路の入口側は、個別流路内における液体の流れ方向に沿う方向と液体の流れ方向と直交する方向の少なくとも２方向で共通流路に対して直接開口している構成としたので、共通流路から個別流路への十分な供給経路が確保されて気泡排出性を確保しつつ、共通流路内での充分な圧力変動抑制を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）の断面説明図である。
【図３】同ヘッドの液室短手方向（ノズル配列方向）の要部断面説明図である。
【図４】同ヘッドの共通流路と個別流路のつなぎ部分の拡大斜視説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの液室長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）に沿う断面説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドの液室長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）に沿う断面説明図である。
【図７】本発明に係る画像形成装置の一例の機構部を説明する概略側面説明図である。
【図８】同機構部の要部平面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図４を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（ノズル配列方向と直交する方向）の断面説明図、図３は同ヘッドの液室短手方向（ノズル配列方向）の要部断面説明図、図４は同ヘッドの共通流路と個別流路のつなぎ部分の拡大斜視説明図である。
【００１２】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板（液室基板）２と、振動板部材３とを積層接合し、振動板部材３を変位させる圧電アクチュエータ１００と、このヘッドのフレームを構成する共通液室部材２０とを備えている。ここでは、流路板２と振動板部材３とで流路部材２３を構成している。
【００１３】
ノズル板１、流路板２及び振動板部材３によって、液滴を吐出する複数のノズル４に連なって通じる個別流路の一部を構成する複数の液室（加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。以下、「液室」という。）６と、液室６に液体を供給する同じく個別流路の一部を構成する液室６に液体を供給する液体供給路７を形成している。
【００１４】
そして、共通液室部材２０の共通流路としての共通液室１０から液体供給路７を経て液室６に液体を供給する。
【００１５】
ここで、ノズル板１は、ニッケル（Ｎｉ）の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法（電鋳）で製造したものを用いている。これに限らず、その他の金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができる。ノズル板１には、各液室６に対応して例えば直径１０〜３５μｍのノズル４を形成し、流路板２と接着剤接合している。また、このノズル板１の液滴吐出側面（吐出方向の表面：吐出面、又は液室６側と反対の面）には撥水層を設けている。
【００１６】
流路板２は、シリコン基板をエッチングして、あるいは、ＳＵＳ基板などの金属板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいはプレスなどの機械加工をすることで、液室６、液体供給路７などの溝部や開口をそれぞれ形成している。
【００１７】
振動板部材３は、流路板２の液室６を形成する溝部に対して壁面を形成する壁面部材を兼ねている。この振動板部材３は、各液室６に対応してその壁面の一部を形成する各振動領域（ダイアフラム部）３ａを有している。
【００１８】
そして、この振動板部材３の液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３ａを変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１００を配置している。
【００１９】
この圧電アクチュエータ１００は、ベース部材１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１２を有し、圧電部材１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１２に対して所要数の圧電柱１２Ａ、１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００２０】
なお、圧電部材１２の圧電柱１２Ａ、１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱（駆動柱）１２Ａ、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱（非駆動柱）１２Ｂとして区別している。
【００２１】
そして、駆動圧電柱１２Ａの上端面（接合面）を振動板部材３の振動領域３ａに接合している。この圧電部材１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、駆動圧電柱１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるための可撓性を有する給電部材（配線部材）としてのフレキシブル配線基板としてのＦＰＣ１５が接続されている。
【００２２】
共通液室部材２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成している。そして、この共通液室部材２０は、ノズル板１の周縁部と振動板部材３の端部に段違いで接着剤にて接合している。
【００２３】
ここで、個別流路としての液室６が共通流路である共通液室１０に連なって通じる部分について図４も参照して説明する。
【００２４】
共通液室１０は、ノズル配列方向において、平面形状で長方形状に形成している。流路部材２３を構成する流路板２の液室長手方向端部はそのまま共通液室１０内に臨んでいる。また、振動板部材３の液室長手方向端部は流路板２の液室長手方向端部に対して共通液室１０と反対側の方向、すなわちノズル４側へ後退した位置にあり、流路板２の液室６の共通液室１０側端部の一部を液室長手方向と直交する方向に開口している。
【００２５】
これにより、液室６の入口側、すなわち、液体供給路７の共通液室１０側は、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向（Ｘ方向）に開口する水平開口部７ａと、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向と直交する方向（Ｙ方向）に開口する垂直開口部７ｂが形成される。
【００２６】
つまり、液室６の入口側は、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向（Ｘ方向）と液体の流れ方向と直交する方向（Ｙ方向）の少なくとも２方向で共通液室１０に直接開口する。
【００２７】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の液室壁面を形成する振動領域３ａが下降して液室６の容積が膨張することで、液室６内に液体が流入し、その後駆動柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３ａをノズル４方向に変形させて液室６の容積を収縮させることにより、液室６内のインクが加圧され、ノズル４から液滴が吐出（噴射）される。
【００２８】
そして、駆動柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材３の振動領域３ａが初期位置に復元し、液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から液室６内に液体が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００２９】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００３０】
この液滴吐出動作を行ったとき、液室６内で生じた圧力波が液体供給路７を通じて共通液室１０に伝播して行く。そして、共通液室１０に各液室６から伝播する圧力波は、液体供給路７の水平開口部７ａと垂直開口部７ｂから、共通液室１０に対して水平方向及び垂直方向に、効率良く、かつ、広い範囲で伝播される。
【００３１】
このとき、水平開口部７ａ或いは垂直開口部７ｂを持たない従来の構成と比較して、十分に効率的な圧力波拡散を行うことができるため、共通液室１０内において、より大きな圧力減衰効果を得ることできる。これにより、ヘッドの小型化も可能になる。
【００３２】
また、水平開口部７ａと垂直開口部７ｂで作られる個別液室分離壁７ｃは、各液室６から発生した圧力波を共通液室１０全体へ拡散しつつ液室６間の相互干渉も防止することになる。つまり、液体の流れ方向と直交する方向は、液室６の配列方向とも直交する方向であり、液室６の入口側開口である開口部７ａ、７ｂの形成された領域の個別流路間には隔壁（分離壁７ｃ）を形成した構成とすることで、液室間の相互干渉を防止している。
【００３３】
この場合、液体供給路７の共通液室１０側では、垂直開口部７ｂを形成する部分では、液室間隔壁（液体供給路間隔壁）をなくすることもできるが、個別液室分離壁７ｃを設けることで、相互干渉（ある液室の駆動によって他の液室に圧力変動を生じる現象）をより効果的に抑制することができる。
【００３４】
また、共通液室１０の容量を大きくし、共通液室部材２０を弾性力を有する樹脂フレームとすることで、これらのダンピング効果（振動吸収効果））との組み合わせにより、より圧力減衰をアシストする効果が高まり、各液室で発生した滴吐出による急激な圧力変動をより効率よく減衰することができ、一層の小型化、低コスト化を図ることができる。
【００３５】
また、振動板部材３の共通液室１０側端面を、共通液室部材２０の振動板部材３との接合部２０ａの共通液室１０側端面と同じ面とするか、上記実施形態のように共通液室１０側に突出る構造とし、液室６の入口側端部で水平開口部７ａと垂直開口部７ｂを有する構成とすることで、気泡が上方向（垂直方向）、横方向（水平方向）に抜けやすくなり、液室６内の残留気泡の滞留を低減し、気泡排出性を向上させることができる。
【００３６】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図５を参照して説明する。なお、図５は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
【００３７】
本実施形態では、共通液室１０内に、供給される液体から異物を除去するフィルタ部材３０を、弾性変位が可能な弾性部材３１にて保持して設けている。
【００３８】
フィルタ部材３０と弾性部材３１は同一部材でもよく、一部品として一体型に形成することもできる。例えば、Ｎｉを用いた電鋳法、ポリエチレンやポリウレタン或いはＮＢＲ合成ゴムを発泡処理やセル剤抽出処理により生成するセル径が制御された連通多孔質体で形成することができる。弾性部材３１は、セル径が限りなく小さく、フィルタ部材３０はフィルタリング機能と吐出抵抗を満足する１０μｍ程度のセル径とすることが好ましい。
【００３９】
これにより、液室６の入口側である液体供給路７の水平開口部７ａと垂直開口部７ｂから共通液室１０に伝播した圧力波による共通液室１０内に圧力変動をより効果的に吸収することができ、より大きな圧力変動減衰効果を得ることができる。
【００４０】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６を参照して説明する。なお、図６は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。
【００４１】
本実施形態では、共通液室１０の壁面の一部を小さい面積でも大きな弾性変形が得られる弾性係数の大きな樹脂ダンパフィルム４２で形成している。そして、ダンパフィルム４２の共通液室１０と反対側には、流路板２の一部で、ダンパ室となる空間４３を形成するマニホールド部４４を形成している。
【００４２】
これにより、共通液室１０内に圧力波が伝播したときに、ダンパフィルム４２が弾性変形することで、圧力変動を減衰することができる。このように、ダンパ部を設けることで、共通液室１０の大容量化が困難な場合でも圧力変動減衰効果を得ることができ、圧力変動に対するダンピング効果を安定させることができる。
【００４３】
なお、上記実施形態では、流路部材を構成している個別流路の壁面を形成する壁面部材が振動板部材である圧電型ヘッドで説明しているが、発熱抵抗体を設けた基板を壁面部材とするサーマル型ヘッドでも、その他静電型ヘッドであっても、同様に本発明を適用することができる。
【００４４】
また、上述した液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクを一体化することでヘッド一体型液体カートリッジ（カートリッジ一体型ヘッド）を得ることができる。
【００４５】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同装置の機構部の側面説明図、図８は同機構部の要部平面説明図である。
【００４６】
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。
【００４７】
このキャリッジ２３３には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドと同ヘッドに供給するインクを収容するタンクを一体化した記録ヘッド２３４を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
【００４８】
記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有し、一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を、他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。
【００４９】
また、記録ヘッド２３４のタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。
【００５０】
一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部として、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備え、この分離パッド２４４は給紙コロ２４３側に付勢されている。
【００５１】
そして、この給紙部から給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えるとともに、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。
【００５２】
この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
【００５３】
さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。
【００５４】
また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。
【００５５】
さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む本発明に係るヘッドの維持回復装置である維持回復機構２８１を配置している。この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。
【００５６】
また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置し、この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。
【００５７】
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。
【００５８】
このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。
【００５９】
そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。
【００６０】
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００６１】
なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。
【００６２】
また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。
【００６３】
また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。
【００６４】
また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。
【００６５】
また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。
【符号の説明】
【００６６】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
３ａ  振動領域
４  ノズル
６  液室（個別流路、圧力室）
７  液体供給路
７ａ  水平開口部
７ｂ  垂直開口部
１０  共通液室
１２  圧電部材
１２Ａ、１２Ｂ  圧電柱
２０  共通液室部材
２３３  キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ  記録ヘッド
【図１】
2013063556.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2013063556.tif 000007
【図６】
2013063556.tif 000008
【図７】
2013063556.tif 000009
【図８】
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