(57)【要約】      （修正有）【課題】小型でありかつ組立てが容易な合分波器を実現するための技術を提供する。【解決手段】合分波器１００は、基板上に形成された、第１乃至第７の光導波路４及び１本の直線状の第１の溝部８と、第１の光導波路及び第２の光導波路を第３の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第１の光学部品６−１と、第４の光導波路及び第５の光導波路を第６の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第２の光学部品６−２と、第３の光導波路及び第６の光導波路を第７の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第３の光学部品５と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された、第１乃至第７の光導波路及び１本の直線状の第１の溝部と、
前記第１の光導波路及び前記第２の光導波路を前記第３の光導波路と結合させる、前記第１の溝部に配置された第１の光学部品と、
前記第４の光導波路及び前記第５の光導波路を前記第６の光導波路と結合させる、前記第１の溝部に配置された第２の光学部品と、
前記第３の光導波路及び前記第６の光導波路を前記第７の光導波路と結合させる、前記第１の溝部に配置された第３の光学部品と、
を備える合分波器。
【請求項２】
前記第１及び第２の光学部品は、入射する光の波長により異なる透過損失を備える光フィルタであり、前記第３の光学部品は、入射する光の偏光方向により異なる透過損失を備える偏光ビームスプリッタである、請求項１に記載された合分波器。
【請求項３】
前記第３の光導波路から前記偏光ビームスプリッタに入射する光は第１の偏光方向に偏光しており、前記第６の光導波路から前記偏光ビームスプリッタに入射する光は第２の偏光方向に偏光しており、前記第１の偏光方向と前記第２の偏光方向とは略直交しており、前記第１の偏光方向と前記第２の偏光方向との一方は前記基板と略平行である、請求項２に記載された合分波器。
【請求項４】
さらに、前記第６の光導波路を伝搬する光の偏光方向を略９０度回転させる、前記第６の光導波路と前記第１の溝部とが交差する位置に配置された半波長板を備える、請求項３に記載された合分波器。
【請求項５】
さらに、
基板上に形成された１本の直線状の第２の溝部を備え、
前記第６の光導波路を伝搬する光の偏波を略９０度回転させる、前記第６の光導波路と前記第２の溝部とが交差する位置に配置された半波長板を備える、請求項３に記載された合分波器。
【請求項６】
第１乃至第７の光導波路及び１本の直線状の溝部を基板上に形成し、
前記溝部に配置された第１の光学部品によって前記第１の光導波路及び前記第２の光導波路を前記第３の光導波路と結合し、
前記溝部に配置された第２の光学部品によって前記第４の光導波路及び前記第５の光導波路を前記第６の光導波路と結合し、
前記溝部に配置された第３の光学部品によって前記第３の光導波路及び前記第６の光導波路を前記第７の光導波路と結合する、
合分波方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は異なる波長を持つ複数の信号を一つの信号に合波しあるいは複数の波長を持つ信号を波長毎に分波するための合分波器及び合分波方法に関する。本発明は、特に、低コストで小型、且つ高性能な合分波を実現するための合分波器及び合分波方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の技術の発展に伴い、光通信システムは飛躍的な発展を見せている。特にファイバの利用効率を高めるため、光信号の高速化、多波長化といった技術が進展している。そして、このような技術進展に伴い、使用される部品への要求は増々厳しくなっている。特に最近では４０Ｇｂｐｓ（ｇｉｇａｂｉｔ  ｐｅｒ  ｓｅｃｏｎｄ）や１００Ｇｂｐｓといった大容量通信の要求が高まっている一方で、高速化だけではこのような大容量通信への対応が困難な状況にある。このため、異なる波長を使用した波長多重通信が検討されている。波長多重通信は、１０Ｇｂｐｓの信号を異なる４波長で多重することで、４０Ｇｂｐｓの伝送速度を実現する。あるいは、１００Ｇｂｐｓの伝送速度を実現するために、１０Ｇｂｐｓの信号を異なる１０波長で多重したり、２５Ｇｂｐｓの信号を異なる４波長で多重したりすることが、検討されている。このような状況下において、異なる波長を合波あるいは分波する技術の重要性が高まっている。
【０００３】
本発明に関連して、特許文献１は、複数の波長を多重する光合波回路の構成を開示している。また、特許文献２は、複数の波長を多重して伝送する光波長多重伝送方式の構成を開示している。さらに、特許文献３は、溝に挿入された誘電体多層膜フィルタによって入力光を分岐させる構成を備えた光送受信モジュールの構成を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９１６８２７号公報
【特許文献２】特許第３４５８４５８号公報
【特許文献３】特開平１１−０６８７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特に最近は、多数の光信号を波長多重して伝送容量を高めるために、多重された波長の間隔を狭くすることが求められる。一般に異なる波長の合波及び分波には、フィルタが用いられる。フィルタとしては、屈折率の異なる薄膜を積層させる誘電体多層膜フィルタや、光導波路を用いたＡＷＧ（Ａｒｒａｙｅｄ  Ｗａｖｅｇｕｉｄｅ  Ｇｒａｔｉｎｇ）などが挙げられる。しかしながら、フィルタによる合波あるいは分波を行う際には、多重される波長の間隔が狭くなると、隣接する波長帯とのクロストークが発生し易くなることにより、損失の増加や、他チャンネルへの漏話といった問題が生じることがある。
【０００６】
クロストークを抑圧する方法としては、特許文献１や、特許文献２に記載されている、波長多重に加えて偏波についても信号光を多重する方法が知られている。これらの文献に記載された構成では、隣接するチャネルの波長の信号の偏波面を互いに直交させることで、隣接チャンネルとのクロストークの発生を抑圧することができる。
【０００７】
図８は、入力された光を波長及び偏波によって多重するための偏波合成機能を備えた波長合分波器の一般的な構成を示す図である。図８に示す構成では、光の波長λ１〜λ４はこの順に波長が長く（あるいは短く）なっている。これらの光は、波長合分波カプラ８１、８２及び偏波合成カプラ８３を用いて多重される。λ１及びλ３の偏波面は、λ２及びλ４の偏波面と直交しているので、偏波合成カプラ８３から出力される光において、隣接する波長同士の偏波面は直交している。しかしながら、このような偏波合成機能を備えた波長合分波器を構成するためには、偏波合成カプラ８３と波長合分波カプラ８１、８２と組合せる必要がある。その結果、図８に示す偏波合成機能を備えた波長合分波器は小型化が難しく、また、装置を組立てるために多大な工数が必要となってしまうという課題がある。しかしながら、特許文献１〜３は、偏波合成機能を備えた波長合分波器を小型化しかつ容易に組み立てが可能とするための構成を開示していない。
（発明の目的）
本発明の目的は、小型でありかつ組立てが容易な合分波器を実現するための技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の合分波器は、基板上に形成された、第１乃至第７の光導波路及び１本の直線状の第１の溝部と、第１の光導波路及び第２の光導波路を第３の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第１の光学部品と、第４の光導波路及び第５の光導波路を第６の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第２の光学部品と、第３の光導波路及び第６の光導波路を第７の光導波路と結合させる、第１の溝部に配置された第３の光学部品と、を備える。
【０００９】
本発明の合分波方法は、第１乃至第７の光導波路及び１本の直線状の溝部を基板上に形成し、溝部に配置された第１の光学部品によって第１の光導波路及び第２の光導波路を第３の光導波路と結合し、溝部に配置された第２の光学部品によって第４の光導波路及び第５の光導波路を第６の光導波路と結合し、溝部に配置された第３の光学部品によって第３の光導波路及び第６の光導波路を第７の光導波路と結合する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、小型かつ組立てが容易な合分波器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態の合分波器の構成を示す平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の合分波器の構成を示す断面図である。
【図３】フィルタ６−１の波長に対する損失特性を示す図である。
【図４】フィルタ６−２の波長に対する損失特性を示す図である。
【図５】偏波ビームスプリッタの偏波及び波長に対する損失特性を示す図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の合分波器の構成を示す平面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態の合分波器の構成を示す平面図である。
【図８】偏波合成機能を備えた波長合分波器の一般的な構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１の実施形態）
本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１及び図２は本発明の第１の実施形態の合分波器１００の構成を示す平面図及び断面図である。図１及び図２を参照すると、合分波器１００においては、基板２上に光導波路４−１〜４−８を構成するための光導波路層３が形成されている。なお、光導波路４−１〜４−８を総称する場合はこれらを光導波路４と記載する。また、基板２及び光導波路層３には溝８が形成されており、光導波路４と溝８とが交差する部分では、光導波路４には溝８によって間隙が生じている。そして、この溝８の中には、偏波ビームスプリッタ５、フィルタ６−１、６−２及び半波長板７といった光部品が挿入されている。溝８の幅を挿入される光部品の厚みよりも厚くすることで、光部品を溝８の方向にスライドさせることでその位置調整を行うことができる。
【００１３】
なお、説明を簡略化するために、図１では、４波長の信号光を合分波する場合についてのみ説明する。しかし、更に合分波する波長が増えた場合でも、本実施形態で説明する合分波のための構成を増加させることで、より多くの波長の合分波が可能である。
【００１４】
まず合分波器１００を合波器として使用する場合について説明する。合分波器１００において合分波される信号光の波長をλ１、λ２、λ３、λ４とし、λ１＜λ２＜λ３＜λ４であるとする。また、隣接する波長の間隔はいずれも等しくΔλであるとする。本発明においては、λ１とλ３、及び、λ２とλ４、をそれぞれ一つの組としてフィルタにおいて合波させる。その結果、それぞれの組の中で合波される信号光の波長（λ１とλ３、及びλ２とλ４）の間隔は２×Δλとなる。このため、波長間隔がΔλの信号光を合波する場合と比較して、隣接する信号光との間のクロストークの発生を低減することができる。
【００１５】
なお、本実施形態においては信号光の偏波特性を利用するため、合分波器１００に入力される信号光は偏波方向を一定の方向にそろえておくことが好ましい。本実施形態では、光導波路４に結合後の信号光の偏波方向がＴＭモード（入射光の電界成分が基板に垂直なモード）になるように信号光を合分波器１００に入力するものとする。
【００１６】
図３及び図４は、図１において溝８上に配置されたフィルタ６−１及びフィルタ６−２のそれぞれの波長に対する損失特性を示す図である。図３及び図４の斜線部は、λ１〜λ４のそれぞれの波長の変動範囲を示す。フィルタ６−１は波長λ１の光の大部分を反射し、波長λ３、λ４の光の大部分を透過するように作成されている。このため、図３において、フィルタ６−１の波長λ１における透過損失は大きく、波長λ３、λ４における透過損失は小さい。また、フィルタ６−２は波長λ１、λ２の光の大部分を反射し、波長λ４の光の大部分を透過するように作成されている。このため、図４において、フィルタ６−２の波長λ１、λ２における透過損失は大きく、波長λ４における透過損失は小さい。
【００１７】
図１において、ポート１０−１に入力された波長λ１の信号光は光導波路４−１を伝搬し、フィルタ６−１に入射する。またポート１０−３から入力された波長λ３の信号光は光導波路４−３を伝搬し、波長λ１の信号光の反対側からフィルタ６−１に入射する。フィルタ６−１の波長特性を図３のように設計することにより、波長λ１の信号光はフィルタ６−１にて反射されるとともに、波長λ３の信号光はフィルタ６−１を透過する。反射あるいは透過された波長λ１及びλ２の信号光は、光導波路４−５に結合される。
【００１８】
同様にポート１０−２から入力された波長λ２の信号光は光導波路４−２を伝搬し、フィルタ６−２に入射する。またポート１０−４から入力された波長λ４の信号光は光導波路４−４を伝搬し、波長λ２の信号光の反対側からフィルタ６−２に入射する。フィルタ６−２の波長特性を図４のように設計することにより、波長λ２の信号光はフィルタ６−２にて反射されるとともに、波長λ４の信号光はフィルタ６−２を透過する。反射あるいは透過された波長λ２及びλ４の信号光は、光導波路４−６に結合される。
【００１９】
ここで、合分波器１００において、波長λ１とλ３、及び波長λ２とλ４のそれぞれの組のいずれか一方の組に含まれる信号光の偏波方向は、最初の偏波方向と直交状態となるように回転される。本実施形態では、波長λ１〜λ４の信号光はＴＭモードで合分波器１に入力されているため、合分波器１００において、一方の組の波長の信号光に対してＴＭモードからＴＥモード（入射光の電界成分が基板に平行なモード）への変換が行われる。偏波面の回転には、一般的には半波長板が用いられる。信号光を半波長板を透過させることで、ＴＭモードからＴＥモードへの変換が実現できる。図１においては、波長λ２とλ４の信号光は、光導波路４−６から溝８に挿入された半波長板７に入射する。半波長板を通過した波長λ２、λ４の信号光はＴＥモードに変換され、光導波路４−７に結合される。
【００２０】
次に、ＴＭモードである波長λ１とλ３の信号光は、光導波路４−５から偏波ビームスプリッタ５に入射する。そして、ＴＥモードである波長λ２とλ４の信号光は、光導波路４−７から偏波ビームスプリッタ５へ入射する。
【００２１】
図５は、偏波ビームスプリッタ５の偏波及び波長に対する損失特性を示す図である。偏波ビームスプリッタ５は、ＴＭモードの波長λ１〜λ４の光を反射し、ＴＥモードの波長λ１〜λ４の光を透過する。従って、図５に示すように、偏波ビームスプリッタ５は、ＴＭモードの波長λ１〜λ４の光に対する透過損失が大きく、ＴＥモードの波長λ１〜λ４の光に対する透過損失は小さい。偏波ビームスプリッタ５の波長及び偏波特性を図５のように設計することにより、光導波路４−５を伝搬した波長λ１、λ３の信号光は、偏波ビームスプリッタ５にて反射される。そして、光導波路４−７を伝搬した波長λ２、λ４の信号光は偏波ビームスプリッタ５を透過する。これらの反射又は透過された信号光は、光導波路４−８に結合され伝搬し、出力ポート１０から取り出される。以上説明したように、合分波器１００は、波長λ１、λ２、λ３、λ４の信号光を合波させることができる。
【００２２】
一方、波長λ１、λ２、λ３、λ４の信号を分波させる場合には、波長λ１、λ３の信号光の偏波と、波長λ２、λ４の信号光の偏波とが直交するようにポート１０から光導波路４−８へ入力させる。そして、入力された信号光は上述の逆方向の光路で伝搬する。その結果、偏波ビームスプリッタ５において波長λ１、λ３の信号光と波長λ２、λ４の信号光とが分離される。さらに、フィルタ６−１及び６−２によって波長λ１とλ３，波長λ２とλ４が分離される。分離された波長λ１〜λ４の信号光は、それぞれポート１０−１〜１０−４から出力される。このように、合分波器１００は分波器としても機能する。
【００２３】
以上説明したように、第１の実施形態の合分波器１００では、光導波路層３と基板２とに溝８が形成され、この溝８の中に偏波ビームスプリッタ５と、フィルタ６−１、６−２と半波長板７が挿入されている。第１の実施形態の合分波器１００は、形成された１本の溝の中に、偏波ビームスプリッタ５と、フィルタ６−１、６−２と半波長版７を光導波路４との交差部分に挿入するだけでよく、これらの光部品を挿入する際の位置調整は溝８の方向のみでよい。このため、合分波器１００は、合分波器を組み立てる際の工数を大幅に低減することができ、合分波器を低コスト化できるという効果を奏する。また、光導波路によって合分波機能を実現しているため、合分波器１００は、光合分波器を小型化することができるという効果も奏する。
【００２４】
次に第１の実施形態の合分波器の構成について、さらに説明する。溝８は、ダイシングにより形成することが一般的であるがドライエッチングにより形成することも可能である。ただし、形成される溝は、損失の発生を抑えるため、凹凸が少ないことが好ましい。また、溝８の側面が傾斜していると信号光が反射する際の損失の増加につながるため、溝８の側面は垂直に保っておく必要がある。なお、溝８に偏波ビームスプリッタや、フィルタ、半波長板を挿入して固定する際には、光学的に損失の少ない接着剤を用いることが望ましい。更に光学的損失を低減するためには、溝の幅はできる限り狭くすることが望ましい。なぜならば、溝の中に挿入された偏波ビームスプリッタや、フィルタ、半波長板などを信号光が透過し、信号光が再度光導波路に結合する際に溝８の幅が広いと光学的な損失が増加するためである。但し、偏波ビームスプリッタや、フィルタ、半波長板などを挿入するためには、これらの幅よりも溝８の幅をやや大きくしておくことが好ましい。さらに、偏波ビームスプリッタや、フィルタ、半波長板の幅はできるだけ薄いものを選定することが好ましい。これらの部品は、１０〜３０μｍ前後の幅のものが市販されている。
【００２５】
次にフィルタ６−１，６−２と接続される光導波路４の構成について詳細に説明する。薄膜化が可能なフィルタとしては、屈折率の異なる薄膜を積層させて構成される誘電体多層膜フィルタが一般的に用いられる。誘電体多層膜フィルタを用いて合分波を行う場合には、信号光をフィルタ法線に対して斜めから入射あるいは出射する必要がある。しかしながら、フィルタ法線に対して傾斜角度が大きくなると、偏波によるフィルタ特性の変化が大きくなる場合がある。このため、光導波路４から出射し、フィルタ６−１、６−２に入射する際の入射角（フィルタ面の法線に対する角度）はできるだけ小さくすることが望ましい。一般的には、光導波路からフィルタへの入射角は５〜２０度程度に設定されることが多い。
【００２６】
次に偏波ビームスプリッタ５と接続される光導波路４の構成について詳細に説明する。薄膜化が可能な偏波ビームスプリッタとしては、フィルタと同様に屈折率の異なる薄膜を積層させて構成されるものが一般的である。上述の通り、誘電体多層膜フィルタにおいては、フィルタ法線に対して傾斜角度が大きくなると、偏波による特性の変化が大きくなる。しかし、偏波ビームスプリッタを用いて偏波の合分波を行う場合には、この特性を積極的に利用し、信号光をフィルタの法線に対して大きく傾けることにより、所望の偏波特性を実現することができる。一般的には偏波ビームスプリッタの薄膜の法線に対して４５度の角度をもって入射される場合が多い。
【００２７】
なお、半波長板７については、光導波路４からの出射光は、半波長板７において透過させるだけであるため、一般的には半波長板の薄膜の法線に対して垂直に入射させることが望ましい。
【００２８】
（第２の実施形態）
第１の実施形態で説明した合分波器１００は、偏波ビームスプリッタや、フィルタ、半波長板等の部品を全て、一本の溝に挿入する構成であった。しかしながら、使用する部品によっては、所望の厚さまで薄膜化することが困難な場合がある。このような場合は、異なる幅を有する溝を基板上の別の場所に形成し、その溝の中に部品を挿入して合分波器を構成することができる。
【００２９】
図６は、本発明の第２の実施形態の合分波器２００の構成を示す平面図である。図６において、図１と共通する要素には同一の参照符号を付して説明は省略する。図６に示す合分波器２００は、第１の実施形態で説明した合分波器１と比較して、溝８よりも幅が広い直線状の溝９がさらに形成されている点で相違する。溝９は、光導波路４−６ａと光導波路４−６ｂとの間に設けられている。
【００３０】
合分波器２００では、半波長板７の厚みがフィルタ６−１、６−２及び偏波ビームスプリッタ５よりも大きいため、溝９に半波長板７が挿入されている。フィルタ６−２によって光導波路４−６ａへ合波された波長λ２の光及び波長λ４の信号光は、半波長板７により偏波方向が９０度回転させられる。半波長板７から出力された信号光は、光導波路４−６ｂを伝搬する。なお、図６においては光導波路４−６ｂと光導波路４−７との間には溝８による間隙が生じている。間隙による損失を低減するために、光導波路４−６ｂと光導波路４−７との間にこれらと屈折率の差が少ない接着剤を充填してもよい。
【００３１】
このような構成においても、半波長板７の位置調整は、光導波路４−６ａから出力された光が半波長板７を透過して光導波路４−６ｂに入力されるように、溝９の方向のみに行えばよい。このため、合分波器２００は、第１の実施形態の合分波器１００と同様に、合分波器を組み立てる際の工数を大幅に低減することができ、合分波器を低コスト化できるという効果を奏する。また、光導波路によって合分波機能を実現しているため、合分波器を小型化することができるという効果も奏する。
【００３２】
なお、半波長板７のみならず、厚みの異なる光学部品を用いる必要がある場合には、本実施形態のように幅の異なる直線状の溝を別に形成することで、本実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３３】
（第３の実施形態）
図７は、本発明の第３の実施形態の合分波器３００の構成を示す平面図である。図７に示す合分波器３００は、第１及び第２の実施形態で説明した半波長板７を備えておらず、偏波ビームスプリッタ５及びフィルタ６−１、６−２のみが溝８に挿入されている。合分波器３００においては、波長λ２の光と波長λ４の信号光とはフィルタ６−２で合波されて、光導波路４−９へ出力される。そして、光導波路４−９を伝搬した光は、偏波ビームスプリッタ５に入射する。また、波長λ１の信号光及び波長λ３の信号光は、第１の実施形態と同様に、フィルタ６−１で合波されて光導波路４−５を伝搬して偏波ビームスプリッタ５へ入射する。
【００３４】
２本の光導波路４−５、４−９から偏波ビームスプリッタ５に入射される信号光の一方がＴＭモード、他方がＴＥモードとなるように偏波面が設定されていれば、第１及び第２の実施形態とは異なり半波長板を挿入する必要はない。従って、偏波ビームスプリッタ５に入射される信号光の偏波を合分波器３００の外部で制御できる場合には、合分波器３００のように、偏波ビームスプリッタとフィルタのみが用いられる構成においても、第１及び第２の実施形態と同様の作用及び効果が得られる。
【００３５】
なお、第３の実施形態に記載した合分波器３００の構成は、以下のようにも記載できる。すなわち、合分波器３００は、基板上に形成された、第１〜第７の光導波路及び１本の直線状の溝部と、溝部に配置された第１〜第３の光学部品と、を備える。第１の光学部品は、第１の光導波路及び第２の光導波路を第３の光導波路と結合させる。第２の光学部品は、第４の光導波路及び第５の光導波路を第６の光導波路と結合させる。第３の光学部品は、第３の光導波路及び第６の光導波路を第７の光導波路と結合させる。
【００３６】
図７では、光導波路４−１、４−３及び４−５がそれぞれ第１、第２及び第３の光導波路に対応し、光導波路４−２、４−４及び４−９がそれぞれ第４、第５及び第６の光導波路に対応し、光導波路４−８が第７の光導波路に対応する。また、フィルタ６−１、６−２及び偏波ビームスプリッタがそれぞれ第１、第２及び第３の光学部品に相当する。
【００３７】
このような構成を備える合分波器３００は、光導波路を用いているので小型である。そして、合分波器３００は、溝部に挿入された光学部品により、光導波路を伝搬してきた光を合波させることができる。また、光学部品が挿入される溝部は１本の直線状であるので、基板上に容易に形成することが可能である。さらに、光学部品の位置は溝部の上で光学部品を溝の方向に動かすだけで調整可能であるので、合分波器３００は、組み立てが容易である。
【００３８】
以上、実施形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１００、２００、３００  合分波器
２  基板
３  光導波路層
４−１〜４−９、４−６ａ、４−６ｂ  光導波路
５  偏波ビームスプリッタ
６−１  フィルタ
６−２  フィルタ
７  半波長板
８、９  溝
１０  出力ポート
１０−１〜１０−４  ポート
８１、８２  波長合分波カプラ
８３  偏波合成カプラ
【図１】
2013167845.tif 000003
【図２】
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【図３】
2013167845.tif 000005
【図４】
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【図５】
2013167845.tif 000007
【図６】
2013167845.tif 000008
【図７】
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【図８】
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