(57)【要約】【課題】立上りまたは立下りを伴う駆動電圧で圧電アクチュエータを駆動する場合に圧電アクチュエータへの負担を軽減して故障を防止できる圧電アクチュエータの駆動回路を提供する。【解決手段】立上りまたは立下りを伴う駆動電圧を印加する圧電アクチュエータの駆動回路１０であって、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数以下の周波数成分のみを有する電圧を、立上りまたは立下りにおいて傾き０から始まる波形で圧電アクチュエータ１５に印加する。これにより、立上りまたは立下りの電圧の変化が緩やかになる。その結果、圧電アクチュエータ１５にかかる負担が軽減され、その耐久性が向上する。そして、たとえば、バルブの開閉に用いられる圧電アクチュエータの駆動回路に効果的に応用できる。【選択図】図１
2013144273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立上りまたは立下りを伴う駆動電圧を印加する圧電アクチュエータの駆動回路であって、
電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、圧電アクチュエータの機械的共振周波数以下の周波数成分で形成され、傾き０から始まる波形で前記圧電アクチュエータに印加することを特徴とする圧電アクチュエータの駆動回路。
【請求項２】
前記電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、前記圧電アクチュエータの機械的共振周波数の１／３の周波数を有し位相−９０°または＋９０°から始まる正弦波より、１次微分値の絶対値が小さい波形で、前記圧電アクチュエータに電圧を印加することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの駆動回路。
【請求項３】
電源電圧を前記印加電圧波形の電圧にして前記圧電アクチュエータに印加する２次以上のＲＣローパスフィルタを備えることを特徴とする請求項２記載の圧電アクチュエータの駆動回路。
【請求項４】
電源電圧を前記印加電圧波形の電圧にして前記圧電アクチュエータに印加するＲＬＣローパスフィルタを備えることを特徴とする請求項２記載の圧電アクチュエータの駆動回路。
【請求項５】
前記電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、前記圧電アクチュエータの機械的共振周波数の１／３以下の周波数を有し位相−９０°または＋９０°から始まる正弦波の半周期の波形で、前記圧電アクチュエータに電圧を印加することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの駆動回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、立上りまたは立下りを伴う駆動電圧を印加する圧電アクチュエータの駆動回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カメラのレンズ駆動機構や精密位置決め装置等に圧電アクチュエータが用いられており、そのような機構や装置内で生じる異常な電圧や電流から圧電アクチュエータを保護する回路が提案されている。
【０００３】
たとえば、特許文献１記載の圧電アクチュエータ装置は、故障判定器で故障が判定された場合に駆動信号増幅回路から圧電アクチュエータへの電圧供給を遮断し、圧電アクチュエータを故障時の異常な印加電圧から保護している。
【０００４】
また、特許文献２記載のアクチュエータ駆動機構は、圧電素子がショートした場合でも、過電流検出抵抗の両端に接続された過電流保護回路が通電を停止させて圧電素子に対する過電流が流れないよう制御している。
【０００５】
また、特許文献３は、過電圧の駆動信号が圧電アクチュエータに入力された場合には、過電圧制限素子の抵抗が急激に下がり電流を流すことで、不適切な信号を圧電アクチュエータ素子から遮断し、圧電アクチュエータ素子を思わぬ破損から守っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許４１９０９０４号公報
【特許文献２】特許３７９８８３２号公報
【特許文献３】特許４７００４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一方、圧電アクチュエータには、バルブの開閉に代表されるＯｎＯｆｆの動作に対する耐久性が求められるようになっている。たとえば、バルブの開閉機構では、ガスの切替のために０．５秒以内の伸縮を１０００万回以上行なう駆動が求められることもある。圧電アクチュエータを矩形波など急峻な電圧の変化を伴う駆動波形で駆動した場合には、ＤＣを印加する場合より早く電圧変化の回数に応じた故障が発生する。
【０００８】
上記の特許文献１〜３記載の技術は、過電流や過電圧から圧電アクチュエータを保護するものにすぎず、電圧の変化の大きさには対応していない。したがって、このような回路を用いたとしても急峻な電圧の変化を伴う駆動波形に対して、圧電アクチュエータの耐久性は向上しない。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、立上りまたは立下りを伴う駆動電圧で圧電アクチュエータを駆動する場合に圧電アクチュエータへの負担を軽減して故障を防止できる圧電アクチュエータの駆動回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）上記の目的を達成するため、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、立上りまたは立下りを伴う駆動電圧を印加する圧電アクチュエータの駆動回路であって、電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、圧電アクチュエータの機械的共振周波数以下の周波数成分で形成され、傾き０から始まる波形で前記圧電アクチュエータに印加することを特徴としている。
【００１１】
このように、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、圧電アクチュエータの機械的共振周波数以下の周波数成分のみ、立上りまたは立下りにおいて傾き０から始まる波形で圧電アクチュエータに印加するため、矩形波のような立上りまたは立下りを伴う波形の電圧で駆動した場合に、立上りまたは立下りの電圧の変化が緩やかになる。その結果、圧電アクチュエータにかかる負担が軽減され、その耐久性が向上する。そして、たとえば、バルブの開閉に用いられる圧電アクチュエータの駆動回路に効果的に応用できる。
【００１２】
（２）また、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、前記電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、前記圧電アクチュエータの機械的共振周波数の１／３の周波数を有し位相−９０°または＋９０°から始まる正弦波より、１次微分値の絶対値が小さい波形で、前記圧電アクチュエータに電圧を印加することを特徴としている。これにより、特に立上りまたは立下り付近の波形が緩やかになる。その結果、圧電アクチュエータにかかる負担が軽減され、耐久性が向上する。
【００１３】
（３）また、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、電源電圧を前記印加電圧波形の電圧にして前記圧電アクチュエータに印加する２次以上のＲＣローパスフィルタを備えることを特徴としている。これにより、急峻すぎる電源電圧を緩やかな波形に変えて圧電アクチュエータに印加する構成を簡易に実現できる。
【００１４】
（４）また、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、電源電圧を前記印加電圧波形の電圧にして前記圧電アクチュエータに印加するＲＬＣローパスフィルタを備えることを特徴としている。これにより、急峻すぎる電源電圧を緩やかな波形に変えて圧電アクチュエータに印加する構成を簡易に実現できる。
【００１５】
（５）また、本発明の圧電アクチュエータの駆動回路は、前記電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、前記圧電アクチュエータの機械的共振周波数の１／３以下の周波数を有し位相−９０°または＋９０°から始まる正弦波の半周期の波形で、前記圧電アクチュエータに電圧を印加することを特徴としている。これにより、特に立上りまたは立下り付近の波形が緩やかになる。その結果、圧電アクチュエータにかかる負担が軽減され、耐久性が向上する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、立上りまたは立下りを伴う駆動電圧で圧電アクチュエータを駆動する場合に圧電アクチュエータへの負担を軽減して故障を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施形態に係る圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図２】第２の実施形態に係る圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図３】第３の実施形態に係る圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図４】比較例の圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図５】比較例の圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図６】比較例の圧電アクチュエータの駆動回路を示す回路図である。
【図７Ａ】比較例１の印加電圧波形を示す図である。
【図７Ｂ】比較例１の印加電圧波形を示す図である。
【図７Ｃ】比較例１の印加電圧波形を示す図である。
【図８Ａ】比較例２の印加電圧波形を示す図である。
【図８Ｂ】比較例２の印加電圧波形を示す図である。
【図８Ｃ】比較例２の印加電圧波形を示す図である。
【図９Ａ】比較例３の印加電圧波形を示す図である。
【図９Ｂ】比較例３の印加電圧波形を示す図である。
【図９Ｃ】比較例３の印加電圧波形を示す図である。
【図１０Ａ】比較例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１０Ｂ】比較例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１０Ｃ】比較例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１１Ａ】比較例５の印加電圧波形を示す図である。
【図１１Ｂ】比較例５の印加電圧波形を示す図である。
【図１１Ｃ】比較例５の印加電圧波形を示す図である。
【図１２Ａ】実施例１の印加電圧波形を示す図である。
【図１２Ｂ】実施例１の印加電圧波形を示す図である。
【図１２Ｃ】実施例１の印加電圧波形を示す図である。
【図１３Ａ】実施例２の印加電圧波形を示す図である。
【図１３Ｂ】実施例２の印加電圧波形を示す図である。
【図１３Ｃ】実施例２の印加電圧波形を示す図である。
【図１４Ａ】実施例３の印加電圧波形を示す図である。
【図１４Ｂ】実施例３の印加電圧波形を示す図である。
【図１４Ｃ】実施例３の印加電圧波形を示す図である。
【図１５Ａ】実施例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１５Ｂ】実施例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１５Ｃ】実施例４の印加電圧波形を示す図である。
【図１６】各例の立上り直後の印加電圧波形を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１９】
［第１の実施形態］
図１は、２次のＲＣローパスフィルタを備える圧電アクチュエータの駆動回路１０を示す図である。駆動回路１０は、立上りまたは立下りを伴う駆動電圧が印加される用途に用いられ、頻繁にＯｎＯｆｆ駆動させられる。このような回路の応用例にはバルブの開閉機構等がある。駆動回路１０は、電源１１、圧電アクチュエータ１５および２次のＲＣローパスフィルタを備えている。
【００２０】
電源１１は、たとえばＯｎＯｆｆの指示により、矩形波のような立上りまたは立下りを伴う電源電圧を発生させる。圧電アクチュエータ１５は、電極と電極間にＰＺＴ等で形成された圧電層を有しており、印加電圧に応じて伸縮する。なお、電圧印加の立上りとは、一定だった電圧が増加に転じたときの状態をいい、電圧印加の立下りとは一定だった電圧が減少に転じたときの状態をいう。
【００２１】
２次のＲＣローパスフィルタは、圧電アクチュエータ１５の容量値に応じた特性を有する各抵抗１２、１３およびキャパシタ１４を設置することにより構成されている。すなわち、圧電アクチュエータ１５を含めて２次のＲＣローパスフィルタが構成されている。抵抗１２およびキャパシタ１４により１段目のＲＣローパスフィルタが構成され、抵抗１３および圧電アクチュエータ１５により２段目のＲＣローパスフィルタが構成されている。
【００２２】
２次のＲＣローパスフィルタは、ＯｎＯｆｆの電源電圧波形のうち圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数以下の周波数成分のみ通し、電圧印加の立上りまたは立下りにおいて傾き０から始まる波形にして圧電アクチュエータ１５に印加する。このようにして、印加電圧の変化を緩やかにするだけでなく、印加電圧が一定の電圧から変化する際の時間当たりの電圧の変化を小さくしている。上記のような波形で圧電アクチュエータ１５に電圧を印加できるように抵抗１２、１３およびキャパシタ１４の各特性値（抵抗値、容量値）が設計されている。
【００２３】
２次のＲＣローパスフィルタに代えて１次のＲＣローパスフィルタを構成した場合には、印加電圧の立ち上がりの傾きが十分に小さくならない。ただし、ＲＣローパスフィルタはさらに高次のものであってもよい。
【００２４】
なお、電圧印加の立上りにおいては、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３の周波数を有し、位相−９０°から始まる正弦波より１次微分値の絶対値が小さい波形で圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成になっていることが好ましい。また、電圧印加の立下りにおいては、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３の周波数を有し、位相＋９０°から始まる正弦波より１次微分値の絶対値が小さい波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成になっていることが好ましい。
【００２５】
［第２の実施形態］
圧電アクチュエータの駆動回路は、２次以上のＲＣローパスフィルタに代えてＲＬＣローパスフィルタを備えていてもよい。図２は、ＲＬＣローパスフィルタを備える圧電アクチュエータの駆動回路２０を示す図である。駆動回路２０は、電源１１、圧電アクチュエータ１５およびＲＬＣローパスフィルタを備えている。
【００２６】
ＲＬＣローパスフィルタは、所定の特性を有する抵抗２２、コイル２３およびキャパシタ２４により構成されている。ＲＬＣローパスフィルタは、ＯｎＯｆｆの電源電圧波形のうち圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数以下の周波数成分のみを通し、傾き０から始まる波形にして圧電アクチュエータ１５に印加する。このような波形で圧電アクチュエータ１５に電圧を印加できるように抵抗２２、コイル２３およびキャパシタ２４の各特性値（抵抗値、インダクタンス、容量値）が設計されている。
【００２７】
なお、電圧印加の立上りにおいては、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３の周波数を有し、位相−９０°から始まる正弦波より１次微分値の絶対値が小さい印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成になっていることが好ましい。また、電圧印加の立下りにおいては、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３の周波数を有し、位相＋９０°から始まる正弦波より１次微分値の絶対値が小さい印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成になっていることが好ましい。
【００２８】
［第３の実施形態］
圧電アクチュエータの駆動回路は、電源自体が２次以上のＲＣローパスフィルタやＲＬＣローパスフィルタと同様の動作をするものであってもよい。図３は、電源自体が所定の動作を行なう圧電アクチュエータの駆動回路３０を示す図である。駆動回路３０は、電源３１および圧電アクチュエータ１５を備えている。電源３１は、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数以下の周波数成分のみで形成され、傾き０から始まる波形で駆動電圧を圧電アクチュエータ１５に印加する。また、電源３１は、電圧印加の立上りまたは立下りにおいて、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３の周波数を有する正弦波より１次微分値の絶対値が小さい印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加することが好ましい。
【００２９】
また、上記のような印加電圧波形に代えて、電圧印加の立上りにおいて、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３以下の周波数を有し、位相−９０°から始まる正弦波の半周期の印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成としてもよい。また、電圧印加の立下りにおいて、圧電アクチュエータ１５の機械的共振周波数の１／３以下の周波数を有し、位相＋９０°から始まる正弦波の半周期の印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加する構成としてもよい。
【００３０】
［耐久性試験］
上記の実施形態に対応する実施例およびこれと比較するための比較例の回路を構成し、圧電アクチュエータの耐久性を確認する試験を行なった。具体的には、各回路で圧電アクチュエータに対して、定格電圧のＯｎＯｆｆで駆動電圧を発生させ、波形を測定するとともに定期的に絶縁抵抗を測定して１ＭΩを下回ったところで故障したと判断した。
【００３１】
圧電アクチュエータとして、日本セラテック社製ＰＲＢ−４０４０を各水準について１０本用意し、バネを介して約３００Ｎの予圧をかけた。この圧電アクチュエータの静電容量は約６．５μＦであった。この状態で共振周波数を測定したところ、約３００Ｈｚであった。各回路では、任意波形が作成可能なファンクションジェネレータと２アンペアの４象限アンプで電源電圧を発生させた。矩形波の電圧はすべて０−１５０Ｖ、周波数は１ＨｚでＤｕｔｙ比５０％とした。
【００３２】
（比較例１）
図４は、比較例１の圧電アクチュエータの駆動回路４０を示す回路図である。圧電アクチュエータ１５に直列に２．２ｋΩの抵抗４２をつないで駆動回路４０を構成した。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いて電源１１を構成し、矩形波の電圧を印加した。
【００３３】
（比較例２）
１０ｋΩの抵抗４２を用いて図４に示す圧電アクチュエータの駆動回路４０を構成した。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いて電源１１を構成し、矩形波の電圧を印加した。
【００３４】
（比較例３）
図５は、比較例３の圧電アクチュエータの駆動回路５０を示す回路図である。圧電アクチュエータの駆動回路５０は、２．２ｋΩの抵抗５２および容量値１μＦのキャパシタ５３を有する１次のＲＣ１次のローパスフィルタを備えている。上記の比較例１、２と同様に、ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いて電源１１を構成し、矩形波の電圧を印加した。
【００３５】
（比較例４）
図６に示す圧電アクチュエータの駆動回路６０を用いて比較例４の圧電アクチュエータの駆動回路を構成した。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いた電源６１により、１ｋΩの抵抗、インダクタンス１ｍＨのコイルおよび６．５μＦのキャパシタで構成された図２に示すようなＲＬＣローパスフィルタを構成した。そして、電源電圧をＲＬＣローパスフィルタを介して圧電アクチュエータ１５に印加した。
【００３６】
（比較例５）
図６は、比較例５の圧電アクチュエータの駆動回路６０を示す回路図である。圧電アクチュエータの駆動回路６０は、電源６１および圧電アクチュエータ１５を備えている。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いて電源６１を構成し、立上りと立下りを１ｋＨｚの正弦波の半周期で形成した矩形波の電圧を圧電アクチュエータ１５に印加した。
【００３７】
（実施例１）
実施例１として、図１に示す圧電アクチュエータの駆動回路１０を構成した。２次のＲＣローパスフィルタを各抵抗値１ｋΩの抵抗および容量値１μＦのキャパシタで構成し、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加した。
【００３８】
（実施例２）
実施例２として、図２に示す圧電アクチュエータの駆動回路２０を構成した。２次のＲＬＣローパスフィルタを各抵抗値１ｋΩの抵抗および容量値２．５μＦのキャパシタで構成し、圧電アクチュエータ１５に電圧を印加した。
【００３９】
（実施例３）
圧電アクチュエータに直列に１ｋΩの抵抗と１Ｈのコイルを直列につないで矩形波を入力した時と同じ駆動波形の電圧を加えた。
【００４０】
図３に示す圧電アクチュエータの駆動回路３０を用いて実施例３の圧電アクチュエータの駆動回路を構成した。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いた電源３１により、１ｋΩの抵抗、インダクタンス１Ｈのコイルおよび６．５μＦのキャパシタで構成されたＲＬＣローパスフィルタを擬似的に構成した。そして、電源電圧を、ＲＬＣローパスフィルタを介して圧電アクチュエータ１５に印加した。
【００４１】
（実施例４）
実施例４として、図３に示す圧電アクチュエータの駆動回路３０を構成した。ファンクションジェネレータおよび２アンペアの４象限アンプを用いて電源１１を構成し、矩形波の立ち上がり立下り部分を１００Ｈｚの正弦波の半周期の形状とした印加電圧波形で、圧電アクチュエータ１５に印加した。
【００４２】
（各例の波形）
図７Ａ〜図１４Ｃは、比較例１〜５および実施例１〜４のの印加電圧波形を示す図である。図では各例に対して３段階の時間スケールで印加電圧波形を示している。
【００４３】
比較例１では、電源１１と圧電アクチュエータ１５との間に２．２ｋΩの抵抗４２を設けたところ、図７Ａ〜７Ｂに示すように電圧の変化が緩やかになったが、図７Ｃに示すように立上りの印加電圧波形の傾きは急峻なままだった。比較例２では、電源１１と圧電アクチュエータ１５との間に１０ｋΩの抵抗４２を設けたところ、図８Ａ〜８Ｂに示すようにさらに電圧の変化が緩やかになったが、図８Ｃに示すように立上りの傾きは比較例１と大差なかった。比較例３では、電源１１と圧電アクチュエータ１５との間に１次のローパスフィルタを設けたが、図９Ａ〜図９Ｃに示すように比較例１と大差ない印加電圧波形にしかならなかった。
【００４４】
これに対し、実施例１、２では、回路に２次のＲＣローパスフィルタを構成したところ、図１２Ａ〜１２Ｃ、図１３Ａ〜１３Ｃにそれぞれ示すように、図１２Ａ〜１２Ｂ、図１３Ａ〜１３Ｂに示すように電圧の変化が緩やかになった。また、図１２Ｃ、図１３Ｃに示すように立上りの印加電圧波形の傾きも緩やかになった。
【００４５】
また、比較例４では、ＲＬＣローパスフィルタを構成したが、コイルのインダクタンスが１ｍＨであり、立上りの印加電圧の傾きは大きいままだった。これに対し、実施例３では、コイルのインダクタンスが１Ｈとして擬似的にＲＬＣローパスフィルタを構成したことで、図３に示すように立上りの傾きが緩やかな印加電圧波形が得られた。
【００４６】
また、比較例５では、ファンクションジェネレータで立上りと立下りを１ｋＨｚの正弦波の半周期分で形成した電圧を印加したが、図１１Ａ〜１１Ｃに示すように印加電圧波形の傾きは小さくならなかった。これに対して、実施例４では、ファンクションジェネレータで立上りと立下りを１００Ｈｚの正弦波の半周期分で形成した電圧を印加したところ、図１５Ａ〜１５Ｃに示すように印加電圧の傾きが緩やかになった。
【００４７】
（ＭＴＴＦ）
上記の比較例１〜５および実施例１〜４の回路に対して、故障した回数のデータでワイブルプロットし、ＭＴＴＦ（平均故障寿命）を推定した。表１は、各回路に対するカットオフ周波数（Ｈｚ）およびＭＴＴＦを示す表である。表１に示すように、比較例１〜５と実施例１〜４とでは明らかに耐久性に違いが現れた。耐久性は、駆動回路のカットオフ周波数の大小とは必ずしも一致しなかった。
【表１】
2013144273.tif 000003
【００４８】
図１６は、比較例１〜５および実施例１〜４の立上りの印加電圧波形を示す図である。比較例１〜５は、電圧の変化し始めから電圧の変化割合が大きく、実施例は電圧の変化割合が０から始まっていることが分かる。比較例の電圧波形では、電圧の変化のし始めに圧電アクチュエータの加速度が大きくなるため、系の共振周波数より早い動きとなり、駆動電圧に対して圧電アクチュエータの動作がついていけない時間が発生する。このため、圧電アクチュエータの故障が起きやすくなったと考えられる。一方、実施例の波形では、加速度が十分小さく、系の共振周波数を超えることが無いため、圧電アクチュエータの動作に無理がかからなかったものと考えられる。
【００４９】
なお、図１６に示すように、実施例１〜３の電圧は、実施例４の電圧より小さい。また、０．０００１５ｓ内であれば、実施例４の電圧は比較例１〜５の電圧より小さい。このような結果から、立上りまたは立下りの時間は、たとえば０．０００１５ｓとして特定できる。また、傾き０とは、たとえば図１６に示されているように時間に対する電圧の波形が０．０１ｓ〜０．００１ｓ程度のスケールのグラフ上でほぼ水平に立ち上がっている（または立ち下がっている）ことをいう。
【符号の説明】
【００５０】
１０、２０、３０  駆動回路
１１、３１  電源
１２、１３、２２  抵抗
１４、２４  キャパシタ
１５  圧電アクチュエータ
２３  コイル
【図１】
2013144273.tif 000004
【図２】
2013144273.tif 000005
【図３】
2013144273.tif 000006
【図４】
2013144273.tif 000007
【図５】
2013144273.tif 000008
【図６】
2013144273.tif 000009
【図７Ａ】
2013144273.tif 000010
【図７Ｂ】
2013144273.tif 000011
【図７Ｃ】
2013144273.tif 000012
【図８Ａ】
2013144273.tif 000013
【図８Ｂ】
2013144273.tif 000014
【図８Ｃ】
2013144273.tif 000015
【図９Ａ】
2013144273.tif 000016
【図９Ｂ】
2013144273.tif 000017
【図９Ｃ】
2013144273.tif 000018
【図１０Ａ】
2013144273.tif 000019
【図１０Ｂ】
2013144273.tif 000020
【図１０Ｃ】
2013144273.tif 000021
【図１１Ａ】
2013144273.tif 000022
【図１１Ｂ】
2013144273.tif 000023
【図１１Ｃ】
2013144273.tif 000024
【図１２Ａ】
2013144273.tif 000025
【図１２Ｂ】
2013144273.tif 000026
【図１２Ｃ】
2013144273.tif 000027
【図１３Ａ】
2013144273.tif 000028
【図１３Ｂ】
2013144273.tif 000029
【図１３Ｃ】
2013144273.tif 000030
【図１４Ａ】
2013144273.tif 000031
【図１４Ｂ】
2013144273.tif 000032
【図１４Ｃ】
2013144273.tif 000033
【図１５Ａ】
2013144273.tif 000034
【図１５Ｂ】
2013144273.tif 000035
【図１５Ｃ】
2013144273.tif 000036
【図１６】
2013144273.tif 000037