(57)【要約】【課題】樹脂を介して板状ワークにシートが貼り付けられた板状ワークセットにおいて、板状ワークセットをカセットに収納可能とするとともに、板状ワークからシート及び樹脂を容易に剥離できるようにする。【解決手段】保持テーブルにシートを吸引保持し、シートの上方から液体樹脂を供給し、板状ワークを吸引保持した押圧部を保持テーブルに向かって降下させて液体樹脂を押圧して液体樹脂をシート上に押し広げ、液体樹脂に光を照射して液体樹脂を硬化させ、板状ワークＷの外周に沿ってシートＳ及び樹脂Ｒ１を切断するとともにシートＳ及び樹脂Ｒ１の一部が板状ワークＷの外周より外周側にはみ出すように切断することで、つまみ部１００が形成された板状ワークセットＷＳとする。つまみ部１００を把持することで、板状ワークから容易にシートＳ及び樹脂Ｒ１を剥離することができる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持テーブルにシートを保持させ、該シートの上面に液体樹脂を供給し、板状ワークを保持した押圧部で液体樹脂を押圧した後、該液体樹脂を硬化させ板状ワークに貼り付ける樹脂貼付け方法であって、
該保持テーブルにシートを供給するシート供給工程と、
該保持テーブルに該シートを吸引保持させ、該シートの上方から液体樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該保持テーブルの上方で板状ワークを吸引保持した押圧部を該保持テーブルに向かって降下させて該樹脂供給工程で供給された液体樹脂を押圧し、該液体樹脂を該保持テーブル上の該シートに押し広げる樹脂押し広げ工程と、
該樹脂押し広げ工程で押し広げられた液体樹脂に光を照射して該液体樹脂を硬化させ、該シートと該板状ワークとを樹脂で貼り合わせて板状ワークセットを形成するワークセット形成工程と、
該板状ワークセットを構成する板状ワークの外周に沿って該シート及び該樹脂を切断するとともに該シート及び該樹脂の一部が該板状ワークの外周より外周側にはみ出すように切断してつまみ部を形成する切断工程と、
から構成される樹脂貼付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークに樹脂を貼り付けるとともに、樹脂とシートとを貼り付ける方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インゴットから切り出したウェーハ等のうねりや反りがある板状ワークについては、研削により板状ワークを平坦化する加工が行われる。板状ワークの研削時は、一方の面に樹脂を塗布し、この樹脂を硬化させることにより当該一方の面側を平坦面とした後、当該平坦面側を保持し、他方の面に研削砥石を接触させて押圧することにより研削を行い、ウェーハのうねりや反りを除去している（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１においては、樹脂を板状ワークの一方の面に固着する方法として、板状ワークの一方の面に樹脂を塗布し、樹脂が塗布されたウェーハを略水平な保持面を有するステージの保持面にウェーハの一の面を露出するように保持し、ステージの保持面に保持されたウェーハを押圧手段によってウェーハの一の面側からステージ方向へ押圧した後、樹脂を硬化させる方法が提案されている。
【０００４】
また、樹脂とともにシートが板状ワークに固着される場合は、保持テーブルに保持されたシートの上面に供給された液体樹脂をステージの保持面に保持された板状ワークで押圧して液体樹脂を押し広げて板状ワークに貼り付け、その後、シート及び樹脂を板状ワークの外周縁に沿ってカットしている。
【０００５】
シート及び樹脂をカットする際には、板状ワークの外周縁にできるだけ近い位置をカットし、シート及び樹脂の板状ワークからのはみ出し部分を小さくすることにより、シート及び樹脂が板状ワークに貼り付けられて構成される板状ワークセットをカセットに収納可能としている。
【０００６】
そして、板状ワークセットが複数収納されたカセットは、研削装置に搬送され、研削装置においては、カセットから板状ワークセットが１枚ずつ取り出されてそれぞれの板状ワークが研削される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１４８８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、カセットに収納された個々の板状ワークセットについては、板状ワークの研削後に樹脂を剥離する必要があるところ、シート及び樹脂の板状ワークの外周縁からのはみ出し部分が少ないと、板状ワークからシート及び樹脂を剥離することが困難であるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、液体樹脂を介して板状ワークにシートが貼り付けられた板状ワークセットにおいて、板状ワークセットをカセットに収納可能とするとともに、板状ワークからシート及び樹脂を容易に剥離できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、保持テーブルにシートを保持させ、シートの上面に液体樹脂を供給し、板状ワークを保持した押圧部で液体樹脂を押圧した後、液体樹脂を硬化させ板状ワークに貼り付ける樹脂貼付け方法に関するもので、保持テーブルにシートを供給するシート供給工程と、保持テーブルにシートを吸引保持させ、シートの上方から液体樹脂を供給する樹脂供給工程と、保持テーブルの上方で板状ワークを吸引保持した押圧部を保持テーブルに向かって降下させて樹脂供給工程で供給された液体樹脂を押圧し、液体樹脂を保持テーブル上のシートに押し広げる樹脂押し広げ工程と、樹脂押し広げ工程で押し広げられた液体樹脂に光を照射して液体樹脂を硬化させ、シートと板状ワークとを樹脂で貼り合わせて板状ワークセットを形成するワークセット形成工程と、板状ワークセットを構成する板状ワークの外周に沿ってシート及び樹脂を切断するとともにシート及び樹脂の一部が板状ワークの外周より外周側にはみ出すように切断してつまみ部を形成する切断工程とから構成される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、板状ワークセットを形成する過程において、シート及び樹脂の一部が板状ワークの外周より外周側にはみ出すように切断してつまみ部を形成するため、後に研削等の加工を施した後に、つまみ部を把持することで、板状ワークから容易にシート及び樹脂を剥離することができる。また、つまみ部が板状ワークからはみ出ている部分は一部であってごく僅かであるため、板状ワークセットを円滑にカセットに収容することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】樹脂被覆装置の一例を示す斜視図である。
【図２】板状ワークセットの一例を示す正面図である。
【図３】樹脂被覆装置のシート貼着部に備えた保持テーブルの第一の例を示す平面図である。
【図４】シート貼着部の構成を示す正面図である。
【図５】樹脂を介してシートに板状ワークを貼着する手順を略示的に示す断面図である。
【図６】切断前の板状ワークセットの第一の例を示す平面図である。
【図７】シートおよび樹脂の切断により形成された板状ワークセットの第一の例を示す平面図である。
【図８】樹脂被覆装置のシート貼着部に備えた保持テーブルの第二の例を示す平面図である。
【図９】切断前の板状ワークセットの第二の例を示す平面図である。
【図１０】シートおよび樹脂の切断により形成された板状ワークセットの第二の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示す樹脂被覆装置１は、図２に示すように、板状ワークＷに液体樹脂Ｒを塗布するとともに液体樹脂ＲにシートＳを貼り付けて液体樹脂Ｒを硬化させることにより、板状ワークＷと樹脂ＲとシートＳとを一体化させた板状ワークセットＷＳを形成する装置である。
【００１４】
図１に示す樹脂被覆装置１の奥行き方向をＸ軸方向、幅方向をＹ軸方向、高さ方向をＺ軸方向とすると、樹脂被覆装置１のＸ軸方向の後端部には、ラック状に形成されたカセット収容部２が設けられている。カセット収容部２には、樹脂を塗布する前の板状ワークＷが収容されたカセット２ａと、板状ワークＷに樹脂が塗布されシートが貼着されて構成される板状ワークセットが収容されるカセット２ｂとが収納されている。
【００１５】
カセット収容部２のＸ軸方向前方には、カセット２ａからの板状ワークＷの搬出及びカセット２ｂへの板状ワークセットの搬入を行う搬出入ロボット３が配設されている。搬出入ロボット３は、板状ワークＷ又は板状ワークセットＷＳを保持する保持部３０と、保持部３０を所望の位置に移動させるアーム部３１と、アーム部３１を駆動する駆動部３２とを備えている、駆動部３２は基台３３によって支持されており、基台３３は、その内部に備えたナットがＹ軸方向に延びるボールスクリュー３４に螺合するとともに、下部がＹ軸方向に延びるガイドレール３５に摺接している。ボールスクリュー３４はモータ３６に連結されており、モータ３６に駆動されてボールスクリュー３４が回動することにより、ガイドレール３５にガイドされて基台３３がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００１６】
搬出入ロボット３の保持部３０の可動範囲には、板状ワークＷを撮像して板状ワークＷの中心位置や大きさ、形状等の情報を取得するためのワーク検出部４が配設されている。ワーク検出部４は、ワークＷが仮置きされる仮置きテーブル４０と、仮置きテーブル４０上の板状ワークを撮像する撮像部４１とを有している。撮像部４１は、撮像により取得した画像情報を制御部１０に出力し、制御部１０では、画像の解析により、ワークＷの中心位置や水平方向の向きを算出する。
【００１７】
ワーク検出部４の下方には、樹脂を介して板状ワークに貼着されたシートをカットするカット部５が配設されている。カット部５は、図２に示した板状ワークセットＷＳが保持されるテーブル５０と、水平方向及びＺ軸方向に移動可能なカッター５１とを有している。保持テーブル５０は、中央に円形の吸引領域５０ａを備えている。また、吸引領域５０ａの外周側には、カッター５１の刃先を受け入れる逃げ溝５０ｂが形成されている。逃げ溝５０ｂは、円形の一部が外周側に突出して形成されている。
【００１８】
ワーク検出部４及びカット部５のＸ軸方向前方には、板状ワークに対して樹脂を供給するとともに樹脂を介してシートを貼着するシート貼着部６が配設されている。また、シート貼着部６の前方には、シート貼着部６に向けてシートＳを送り出すシート供給部７が配設されている。
【００１９】
シート貼着部６は、ガラス等の透明又は半透明な材料により凹部６０ａを有する形状に形成されシートＳを保持する保持テーブル６０と、シートＳの上面に液体樹脂を滴下する樹脂滴下部６１と、樹脂滴下部６１に対して液体樹脂を供給する樹脂ディスペンサ６２と、保持テーブル６０の上方に設けられた押圧部６３と、押圧部６３を昇降させる昇降機構６４と、保持テーブル６０の下方に位置する発光部６５とを備えている。なお、図示の例では発光部６５が保持テーブル６０の下方に位置しているが、保持テーブル６０の側方外周側に位置していてもよい。
【００２０】
図３に示すように、保持テーブル６０に形成された凹部６０ａは、板状ワークＷよりも大きく形成され、円弧の一部を外周側に引き伸ばした形状の拡張エリア６０ｂを備えている。
【００２１】
図１に示す昇降機構６４は、Ｚ軸方向に延びるボールスクリュー６４０と、ボールスクリュー６４０と平行に配設された一対のガイドレール６４１と、ボールスクリュー６４０を回動させるモータ６４２と、ボールスクリュー６４０に螺合するナットを内部に備えるとともに側部がガイドレール６４１に摺接する昇降板６４３とを備え、モータ６４２がボールスクリュー６４０を回動させると昇降板６４３がガイドレール６４１にガイドされて昇降する構成となっている。また、昇降板６４３には、押圧部６３を支持する支持部材６４４が連結されており、昇降板６４３の昇降にともなって押圧部６３も昇降する。押圧部６３は、樹脂滴下部６１によって保持テーブル６０に滴下された樹脂を押圧して水平方向に押し広げる役割を果たすとともに、板状ワークＷを吸引保持する役割を果たす。
【００２２】
シート供給部７は、シートＳが巻かれたロールシートＲＳを支持するロールシート支持部７０と、ロールシートＲＳからシートＳを引き出す引き出し部７１とを備えている。
【００２３】
シートＳは、シート搬送部８によってシート貼着部６に搬送される。シート搬送部８は、シートを保持する保持部８０と、保持部８０に連結されたアーム部８１と、アーム部８１をＸ軸方向に移動させる駆動機構８２とを備えている。
【００２４】
搬出入ロボット３の前方には、板状ワークＷをワーク検出部４からシート貼着部６に搬送するとともに、板状ワークセットＷＳをシート貼着部６からカット部５に搬送する搬送手段９が設けられている。搬送手段９は、板状ワークＷ又は板状ワークセットＷＳを保持する保持部９０と、保持部９０を所望の位置に移動させるアーム部９１と、アーム部９１を駆動する駆動部９２とを備えている、駆動部９２は基台９３によって支持されており、基台９３は、その内部に備えたナットがＹ軸方向に延びるボールスクリュー９４に螺合するとともに、下部がＸ軸方向に延びるガイドレール９５に摺接している。ボールスクリュー９４は図示しないモータに連結されており、モータに駆動されてボールスクリュー９４が回動することにより、ガイドレール９５にガイドされて基台９３がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００２５】
図４に示すように、押圧部６３には押圧センサ６６ａが接続されており、押圧センサ６６ａは、押圧した樹脂が十分に広がった否かを判断し、その判断結果を制御部１０に通知することができる。そして、制御部１０では、通知の内容に応じた処理を行うことができる。
【００２６】
また、押圧部６３には、板状ワークＷを吸引保持する保持部６３ａを備えており、保持部６３ａは、保持部６３ａに吸引力を作用させる吸引部６７ａ又は保持部６３ａにエアを供給する供給部６７ｂに選択的に接続される。保持部６３ａには、圧力値に基づき板状ワークＷを吸引保持したか否かを検出する圧力センサ６６ｂが接続されており、検出内容を制御部１０に通知することができる。
【００２７】
以下では、図１に示したカセット収容部２に収容された板状ワークＷに樹脂及びシートを被覆して図２に示した板状ワークセットＷＳを形成し、その板状ワークセットＷＳを図１に示したカセット２ｂに収容するまでの処理について説明する。
【００２８】
（１）板状ワーク準備工程
カセット収容部２ａに収容されている板状ワークＷは、インゴットから切り出され、デバイスが形成される前のもので、板状ワークＷには、切断時に形成されたうねりや反りがある。
【００２９】
搬出入ロボット３の保持部３０が板状ワークＷを保持し、カセット収容部２ａから取り出す。そして、取り出した板状ワークＷは、ワーク検出部４の仮置きテーブル４０に載置される。そしてここで、撮像部４１によって板状ワークＷが撮像され、板状ワークＷの大きさや中心位置等が認識され、制御部１０に記憶される。
【００３０】
板状ワークＷは、その後、搬送手段９の保持部９０によって保持されてシート貼着部６に搬送され、押圧部の保持テーブル６０によって保持される。
【００３１】
（２）シート供給工程
シート供給部７においては、ロールシート支持部７０に巻き付けられたロールシートＲＳからシートＳが引き出し部７１によって引き出され、そのシートＳがシート貼着部６の保持テーブル６０に供給されて吸着される。このとき、図５（ａ）に示すように、シートＳは、保持テーブル６０の凹部６０ａにならって吸引保持される。
【００３２】
（３）樹脂供給工程
次に、樹脂滴下部６１をシートＳの上方に位置させ、保持テーブル６０にシートＳを保持させた状態で、樹脂滴下部６１からシートＳ上に粘性のある液体樹脂Ｒを滴下する。そうすると、図５（ｂ）に示すように、シートＳ上に液体樹脂Ｒによる液溜まりが形成される。液体樹脂Ｒの滴下量は、保持テーブル６０の凹部６０ａの容積と同等な量とする。
【００３３】
（４）樹脂押し広げ工程
次に、図５（ｃ）に示すように、保持テーブル６０に保持されたシートＳの上方において、保持部６３ａが板状ワークＷを保持した押圧部６３を、保持テーブル６０に向かって徐々に下降させていくことにより、樹脂供給工程でシートＳ上に供給された液体樹脂Ｒを押圧する。そして、図４に示した圧力センサ６６ｂの値によって、液体樹脂Ｒが十分に押し広げられたことが確認されて制御部１０にその旨が通知されると、制御部１０による制御の下で押圧部６３の下降を停止する。そうすると、液体樹脂ＲがシートＳ上において水平方向に押し広げられるとともに、ほぼ均一な厚さになる。このとき、図５（ｄ）に示すように、液体樹脂Ｒは、保持テーブル６０の凹部６０ａの内部に充填され、凹部６０ａの外側にははみ出ない。また、図３に示したように、保持テーブル６０には拡張エリア６０ｂが形成されているため、液体樹脂Ｒは拡張エリア６０ｂにも入り込み、拡張エリア６０ｂに入り込んだ樹脂によって拡張部ＲＥが形成される。
【００３４】
（５）ワークセット形成工程
次に、図５（ｅ）に示すように、発光部６５を発光させ、押し広げられた液体樹脂Ｒに光を照射し、拡張部ＲＥを含めて液体樹脂Ｒを硬化させて樹脂Ｒ１とする。液体樹脂Ｒが硬化してできた樹脂Ｒ１は、シートＳと板状ワークＷとを貼り合わせるため、シートＳと板状ワークＷと樹脂Ｒ１とからなる板状ワークセットＷＳ０が形成される。ここで、樹脂Ｒ１のうち、拡張部ＲＥが硬化した部分を拡張部ＲＥ１とする。
【００３５】
（６）切断工程
上記ワークセット形成工程の直後は、図６に示すように、シートＳが樹脂Ｒ１よりも大きい状態となっているため、この板状ワークセットＷＳ０をカット部５に搬送し、シートＳの余計な部分を除去する。板状ワークセットＷＳ０のカット部５への搬送は、搬送手段９によって行う。
【００３６】
カット部５においては、図１に示したテーブル５０に板状ワークセットＷＳ０が保持される。そして、板状ワークＷの外周に沿ってカッター５１を切り込ませることにより、シートＳ及び樹脂Ｒ１を切断する。カッター５１は、逃げ溝５０ｂに沿って移動させ、拡張部ＲＥ１についてはそのまま残し、拡張部ＲＥ１の回りを切断する。そうすると、図７に示すように、シートＳ、及び、樹脂Ｒ１の一部である拡張部ＲＥ１が板状ワークＷの外周よりも外周側にはみ出たつまみ部１００が形成された板状ワークセットＷＳとなる。
【００３７】
このようにしてつまみ部１００が形成された板状ワークセットＷＳは、後に研削等の加工を施した後に、つまみ部１００を把持することで、板状ワークＷから容易にシートＳ及び樹脂Ｒ１を剥離することができる。
【００３８】
カット部５において形成された板状ワークセットＷＳは、最後に、搬出入ロボット３によって保持されて搬送され、カセット２ｂに収容される。このとき、板状ワークセットＷＳは、つまみ部１００が形成されているものの、つまみ部１００が板状ワークＷからはみ出て部分は一部であってごく僅かであるため、板状ワークセットＷＳを円滑にカセット２ｂに収容することができる。
【００３９】
なお、上記実施形態では、図３に示したように、シート貼着部６の保持テーブル６０に、はみ出し部１００に対応した形状の拡張エリア６０ｂがあらかじめ形成されており、これを利用してはみ出し部１００を形成したが、保持テーブル６０に拡張エリア６０ｂが形成されていなくても、はみ出し部１００を形成することができる。
【００４０】
具体的には、図８に示すように、保持テーブル６００に、板状ワークＷよりも大きな凹部６００ａを形成しておく。そして、図９に示すように、樹脂Ｒ２が板状ワークＷよりも円形状に外周側にはみ出るように樹脂を板状ワークＷで押圧して凹部６００ａに充填し、シートＳが樹脂Ｒ２よりも大きい状態となって貼着された板状ワークセットＷＳ２を形成する。
【００４１】
そして、この板状ワークセットＷＳ２について、板状ワークＷの外周に沿ってカッター５１を切り込ませることにより、シートＳ及び樹脂Ｒ２を切断する。また、拡張部ＲＥ２が形成されるように、拡張部ＲＥ２の外側を切断する。拡張部ＲＥ２を残して切断するために、カット部５のテーブル５０には、拡張部ＲＥ２の外形に沿ってカッター５１を誘導するための溝であるカット部誘導溝５２を形成しておくことが望ましい。
【００４２】
このようにしてシートＳ及び樹脂Ｒ２の切断を行うと、図１０に示すように、シートＳ、及び、樹脂Ｒ２の一部である拡張部ＲＥ２が板状ワークＷの外周よりも外周側にはみ出たつまみ部１０１が形成された板状ワークセットＷＳ’となる。
【００４３】
図１０に示す板状ワークセットＷＳ’は、図７に示した板状ワークセットＷＳと同様の形状であるため、つまみ部１００を把持することで板状ワークＷから容易にシートＳ及び樹脂Ｒ２を剥離することができ、また、円滑にカセット２ｂに収容することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１：樹脂被覆装置
Ｗ：板状ワーク
ＷＳ、ＷＳ’：板状ワークセット  Ｓ：シート
Ｒ：液体樹脂  Ｒ１、Ｒ２：樹脂
１００、１０１：つまみ部
２：カセット収容部  ２ａ：カセット  ２ｂ：カセット
３：搬出入ロボット
３０：保持部  ３１：アーム部  ３２：駆動部  ３３：基台  ３４：ボールスクリュー
３５：ガイドレール  ３６：モータ
４：ワーク検出部  ４０：仮置きテーブル  ４１：撮像部
５：カット部  ５０：テーブル  ５０ａ：吸引領域  ５０ｂ：逃げ溝
５１：カッター
６：シート貼着部
６０：保持テーブル  ６０ａ：凹部  ６０ｂ：拡張エリア
６１：樹脂滴下部  ６２：樹脂ディスペンサ
６３：押圧部  ６３ａ：保持部
６４：昇降機構
６４０：ボールスクリュー  ６４１：ガイドレール  ６４２：モータ  ６４３：昇降板
６４４：支持部材
６５：発光部
７：シート供給部
７０：ロールシート支持部  ７１：引き出し部
８：シート搬送部
８０：保持部  ８１：アーム部  ８２：駆動機構
９：搬送手段
９０：保持部  ９１：アーム部  ９２：駆動部  ９３：基台  ９４：ボールスクリュー
９５：ガイドレール
１０：制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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