(57)【要約】【課題】本発明は、粗大な粒子の形成を防止して、微細な粒子の一酸化ニオブを効率よく生成できる製造方法を提供する。【解決手段】Ｎｂ２Ｏ５からＮｂＯを製造するＮｂＯの製造方法において、水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させてＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元処理と、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する焼成処理とを備えることを特徴とする。還元処理は、Ｎｂ２Ｏ５と気体状Ｍｇとを１ｐｐｍ以下に水分を除去した不活性ガス雰囲気下で反応させ、ＭｇＯを含むＮｂＯＸを生成する第一段階と、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸを、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液により洗浄してＭｇＯを除去し、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する第二段階とからなることが好ましい。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎｂ２Ｏ５からＮｂＯを製造するＮｂＯの製造方法において、
水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させてＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元処理と、
ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する焼成処理とを備えることを特徴とするＮｂＯの製造方法。
【請求項２】
還元処理は、Ｎｂ２Ｏ５と気体状Ｍｇとを、１ｐｐｍ以下までに水分を除去した不活性ガス雰囲気下で反応させ、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する第一段階と、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液により洗浄してＭｇＯを除去し、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する第二段階とからなり、
焼成処理は、第二段階で生成した、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５との混合粉を作製する第三段階と、第三段階の混合粉を水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する第四段階とからなる請求項１に記載のＮｂＯの製造方法。
【請求項３】
第二段階における鉱酸水溶液の過酸化水素濃度が１ｍｏｌ／Ｌ以上である請求項２に記載のＮｂＯの製造方法。
【請求項４】
第三段階における混合は、水性液を用いて行い、混合後、不活性ガス雰囲気中で乾燥して混合粉を生成する請求項２または請求項３に記載のＮｂＯの製造方法。
【請求項５】
第三段階の混合粉を、篩処理して３００μｍ以上の径を有する粗大粒子を除去する請求項２〜請求項４いずれかに記載のＮｂＯの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５いずれかに記載のＮｂＯの製造方法により生成されたＮｂＯであって、
当該ＮｂＯはＮｂＯｙであり、ｙが０．８６以上１．０３以下であることを特徴とするＮｂＯ。
【請求項７】
水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させて生成したことを特徴とするＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細な粒径の一酸化ニオブを効率的に製造する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ニオブ酸化物は、周波数フィルターやコンデンサなどのような電子部品の原料や、スパッタリングのターゲット原料等としての使用量が急増している。特に、ニオブ酸化物の中でも一酸化ニオブ（以下、場合によりＮｂＯとする）は、新しいタイプのコンデンサ原料として採用されており、小型サイズのチップで大容量を実現でき、優れた電気的安定性と高い信頼性とを備えたコンデンサとして広く普及し始めている。
【０００３】
ところで、ニオブコンデンサの小型化においては、誘電体となるＮｂＯの静電容量を増大させることが不可欠である。ここで、原料である一酸化ニオブの比表面積が大きいほど、大きな静電容量が得られる。また、静電容量は純度が高いことでも増大させることができ、アルカリ金属や重金属等の不純物が混入してしまうと、電気特性は低下してしまう。よって、ニオブ酸化物としては、より微細な粒子であり、比表面積が大きく、さらに純度も高いことが求められている。
【０００４】
このような一酸化ニオブについては、各種の製造方法が提案されている。例えば、特許文献１では、五酸化ニオブ（以下、場合によりＮｂ２Ｏ５と記載する）とニオブ（以下、場合によりＮｂと記載する）とを次のような反応をさせて、一酸化ニオブを製造する方法が知られている。
Ｎｂ２Ｏ５＋３Ｎｂ  →  ５ＮｂＯ
【０００５】
また、特許文献２では、五酸化ニオブをマグネシウム（以下、場合によりＭｇと記載する）などの気体状還元剤を用いて還元処理することにより、金属Ｎｂ粉を生成し、これらから一酸化ニオブを生成する方法が知られている。
【０００６】
しかしながら、これら先行技術における一酸化ニオブの製造方法では、生成される一酸化ニオブの粒子が粗大化してしまい、ニオブコンデンサのような微細な粒子の一酸化ニオブが要求される原料の製造方法としては、満足できるものではなかった。
【０００７】
【特許文献１】特表２００６−５１９１５７号公報
【特許文献２】特表２００２−５４４３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明では、粗大な粒子の形成を防止して、微細な粒子の一酸化ニオブを効率よく生成できる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明者等は、従来の先行技術を詳細に検討したところ、一酸化ニオブの粗大化の原因が、製造過程の中で水素化ニオブ（具体的には、ＮｂＨ、ＮｂＨ２などがある）が生成することによることを突き止め、本発明を想到するに至った。
【００１０】
本発明は、Ｎｂ２Ｏ５からＮｂＯを製造するＮｂＯの製造方法において、水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させてＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元処理と、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する焼成処理とを備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させてＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元処理は、水素化ニオブを生成しない条件のもとで行うため、最終的生成されるＮｂＯの粗大粒子の発生が抑制される。この還元処理中に水素化ニオブが発生すると、Ｎｂ２Ｏ５とＮｂＨ等が反応する際に、Ｈ２Ｏが生成されることで局所的に酸素分圧の増加（水素分圧の低下）が発生し、ＮｂＯへの反応速度の低下が生じて粗大化した粒子が生成されるものと思われる。
【００１２】
本発明において、水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させてＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元処理をする場合、その還元処理方法は、Ｎｂ２Ｏ５と気体状Ｍｇとを、１ｐｐｍ以下までに水分を除去した不活性ガス雰囲気化で反応させ、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する第一段階と、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液により洗浄してＭｇＯを除去し、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する第二段階を備えたものとすることが好ましい。そして、この還元処理により得られたＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して水素雰囲気下で焼成する焼成処理は、第二段階で生成した、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５との混合粉を作製する第三段階と、第三段階の混合粉を水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する第四段階と、を備えることが好ましい。このような第一及び第二段階による還元処理と、第三及び第四段階による焼成処理を行うことで、粗大粒子の形成が抑制されたＮｂＯを確実に製造することができる。
【００１３】
本発明における第一段階では、粒子の粗大化の原因となる水素化ニオブの生成を極力抑制するために、１ｐｐｍ以下までに水分を除去した不活性ガス雰囲気下で、Ｎｂ２Ｏ５と気体状Ｍｇとを反応させて、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成することが好ましい。１ｐｐｍを超える水分を含む不活性ガス雰囲気下で反応させると、粗大化の原因となる水素化ニオブが多く生成されることになる。好ましくは、５ｐｐｍ以下、より好ましくは１ｐｐｍ以下である。また、不活性ガスとしては、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）を含まないガスを用いることが好ましく、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅなどの不活性ガスを用いることが好ましい。不活性ガス雰囲気中に、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）が含まれていると、生成されるＮｂＯＸに窒素や炭素が混入してしまうためである。
【００１４】
また、本発明における第一段階の気体状Ｍｇの必要量は、気体状ＭｇとＮｂ２Ｏ５とにより、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する還元反応を確実にするために、Ｎｂ２Ｏ５からＮｂまで還元するために要するＭｇの理論量（Ｎｂ２Ｏ５＋５Ｍｇ  →  ２Ｎｂ＋５ＭｇＯ  の反応式より算出されるＭｇ理論量）の１．４倍以上であることが好ましい。尚、この第一段階での還元反応は、Ｎｂ２Ｏ５＋（５−２ｘ）Ｍｇ  →  ２ＮｂＯＸ＋（５−２ｘ）ＭｇＯ（０＜Ｘ＜１）となる。そのため、この第一段階の生成物は、ＭｇＯを含んだ酸化ニオブとなる。
【００１５】
本発明における第一段階は、炉内雰囲気を制御でき、かつ焼成中に雰囲気ガスを導入、排出できる構造を備えた炉を使用することが好ましい。
【００１６】
本発明のＮｂＯの製造方法における第二段階では、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液により洗浄してＭｇＯを除去し、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を生成する。この第二段階では、第一段階で得られたＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）からＭｇＯを除去することを目的とする。このＭｇＯの除去では、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液により洗浄することにより行うが、この過酸化水素は１ｍｏｌ／Ｌ以上で、ＭｇＯを除去するために必要な量の１．１倍以上の希硫酸または希塩酸を含む鉱酸水溶液を用いることが好ましい。過酸化水素が１ｍｏｌ／Ｌ未満であると、水素化ニオブが発生する傾向となる。
【００１７】
この第二段階では、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）を予め解砕処理をして、鉱酸水溶液による洗浄を行うことが好ましい。第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）の凝集状態を解消して、鉱酸水溶液による洗浄が十分に行えるようにできるからである。解砕処理としては、３００μｍ以下の粉体になるようにすることが望ましい。
【００１８】
この第二段階において、第一段階で生成した、ＭｇＯを含むＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）に、過酸化水素を含有する鉱酸水溶液を添加して洗浄を行う際は、洗浄時間を１時間以上とることが望ましい。鉱酸水溶液とＭｇＯを含むＮｂＯＸとを混合した際の洗浄液には、発泡が生じるが、この発泡が消滅した後に濾別を行うことが好ましい。この濾別して得られた、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）は、純水でスラリー化して、濾液中のＳＯ４２−またはＣｌ−が１ｍｇ／Ｌ以下になるまで濾別、純水によるスラリー化を繰り返すことが好ましい。
【００１９】
本発明のＮｂＯの製造方法における第三段階では、第二段階で生成した、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを混合して、ＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５との混合粉を作製する。この第三段階における混合は、水性液を用いて行い、混合後、不活性ガス雰囲気中で乾燥して混合粉を生成することが好ましい。ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを、水性液を用いて湿式混合し、不活性雰囲気下で乾燥することで、顆粒状の粉体を容易に得ることができる。ここでの混合粉は、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５とを、ＮｂＯｙ（０．８６＜ｙ＜１．０３）となるように混合することが好ましい。混合方法は、ＭｇＯを含まないＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）とＮｂ２Ｏ５との二種類の粉及び水性液を容器に投入して振とうすることで行える。
【００２０】
この第三段階において湿式混合する場合、水性液としては、水または、エタノールやメタノールなどの水溶性有機溶媒と水とを混合したものを用いることが好ましい。この水性液は、混合粉が２０ｗｔ％〜５０ｗｔ％となるように用いることが好ましい。
【００２１】
そして、乾燥時においては、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）を含まない不活性ガスを用いることが好ましく、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎｅ等の不活性ガスを用いることが好ましい。
不活性ガス雰囲気中に、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）が含まれていると、混合粉に窒素や炭素が混入してしまうためである。
【００２２】
第三段階における不活性ガス雰囲気中の乾燥は、雰囲気圧０〜１ＭＰａ、温度１５０〜２５０℃で、１時間以上行い、水分を十分に除去することが好ましい。
【００２３】
第三段階において乾燥、冷却して得られる乾燥粉は凝集しているので、解砕処理をして、篩処理をして粗大粒子を除去しておくことが好ましい。解砕処理としては、３００μｍ以下の粉体になるようにすることが好ましく、篩処理は目開き３００μｍ以下の篩を用いて行うことが好ましい。
【００２４】
本発明における第三段階は、炉内雰囲気を制御でき、かつ雰囲気ガスを０．３Ｌ／ｍｉｎ以上の流速で導入、排出できる構造を備えた乾燥機を使用することが好ましい。
【００２５】
そして、本発明のＮｂＯの製造方法における第四段階では、第三段階の混合粉を水素雰囲気下で焼成してＮｂＯを生成する。この第四段階での焼成は、水素濃度１〜１００％で、かつ、窒素（Ｎ）、炭素（Ｃ）を含まない不活性ガスを用い、焼成雰囲気圧を０〜２ＭＰａに維持することが好ましい。そして、焼成温度を１４００℃〜１５００℃にし、１時間以上保持することが好ましい。この焼成処理においては、３／（１−ｘ）ＮｂＯｘ（０＜ｘ＜１）＋Ｎｂ２Ｏ５  →  ｛２＋３／（１−ｘ）｝ＮｂＯ（０＜Ｘ＜１）の反応が進行する。
【００２６】
本発明における第四段階は、炉内雰囲気を制御でき、かつ焼成中に雰囲気ガスを導入、排出できる構造を備えた炉を使用することが好ましい。
【００２７】
本発明のＮｂＯの製造方法により製造されるＮｂＯは、その組成がＮｂＯｙ（０．８６≦ｙ≦１．０３）となる。そして、この得られたＮｂＯｙ（０．８６≦ｙ≦１．０３）は粗大粒子を含まない微細なＮｂＯの粒子により構成される。尚、この粗大粒子は、粒子の最大粒径が３００μｍ以上のものをいう。
【００２８】
さらに、本発明は、水素化ニオブを生成しない条件のもとで、Ｎｂ２Ｏ５とＭｇとを反応させて生成したＮｂＯＸ（０＜Ｘ＜１）に関する。
【発明の効果】
【００２９】
以上で説明したように、本発明に係るＮｂＯの製造方法によれば、粗大粒子の形成が極力抑制されており、粒径も細かい粉末状態の一酸化ニオブを効率良く得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第一段階の混合粉のＸ線回折分析
【図２】第二段階の混合粉（実施例）のＸ線回折分析
【図３】第二段階の混合粉（比較例）のＸ線回折分析
【図４】篩処理後の混合粉のＳＥＭ観察写真
【図５】篩処理前の混合粉のＳＥＭ観察写真
【図６】実施例のＮｂＯのＳＥＭ観察写真
【図７】比較例のＮｂＯのＳＥＭ観察写真
【図８】実施例のＮｂＯの粒度分布
【図９】比較例のＮｂＯの粒度分布
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態について、実施例に基づいて説明する。
【実施例】
【００３２】
原料は、一次粒子平均粒径が１．６μｍの五酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）を用いた。このＮｂ２Ｏ５  ２００ｇを、焼成中に雰囲気ガスを導入、排出できる構造を備えた焼成炉内に、１００μｍの目開きのモリブデン（Ｍｏ）製のメッシュ上に配置した。また、マグネシウム（Ｍｇ）１２８ｇを入れた酸化マグネシウム（ＭｇＯ）製の匣鉢を、そのＭｏ製のメッシュ下に配置した。
【００３３】
そして、炉内に、１ｐｐｍ未満の水分となるように水分を除去したＡｒガス（窒素、炭素も含まない）を導入し、炉内雰囲気圧を１ＭＰａにした。そして、炉内温度を１０００℃にまで昇温し、４時間保持した。その後、炉内温度５０℃以下になるまで冷却して、ＮｂＯｘとＭｇＯとの混合粉を生成した（第一段階）。冷却後、酸化のために、炉内に、酸素とＡｒとの混合ガスを導入し、炉内酸素濃度を２１ｖｏｌ％にした。得られた混合粉を分析した結果、混合物はＮｂＯＸ（Ｘ＝０．３８）とＭｇＯとの混合粉であった。
【００３４】
この第一段階で得られた混合粉をＸ線回折して分析した測定結果を図１に示す。また、図１には水分を除去していないＡｒガスを使用して得られた混合粉についての測定結果もあわせて示している。図１において、２θ／ｄｅｇが３６〜３８の範囲において上側にピーク（▲  ＮｂＨ）がある方が水分を除去していないＡｒガスの場合の測定結果で、同範囲の下側にピーク（●  ＭｇＯ）がある方が水分除去したＡｒガスの場合の測定結果である。この図１に示すように、水分を除去したＡｒガスを用いた場合の混合粉では、水素化ニオブのピークが検出されなかった。一方、水分を除去していないＡｒガスを使用して得られた混合粉では、明らかに水素化ニオブのピークが検出されていた。また、どちらの混合粉においても、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）のピークが検出された。
【００３５】
次に、第一段階で得られた混合粉について、その凝集状態を解消するために、乳鉢を用いて、３００μｍ以下となるまで解砕処理を行った。そして、解砕した混合粉１００ｇ（ＮｂＯ０．３８  ５２．５ｇ、ＭｇＯ  ４７．５ｇ）に、過酸化水素  １ｍｏｌ／Ｌ、硫酸  ３．５ｍｏｌ／Ｌの鉱酸水溶液１２５０ｍＬを用いて、酸による洗浄処理を行った（第二段階）。この洗浄処理では、解砕した混合粉を投入した容器に、鉱酸水溶液を添加し、攪拌したところ、発泡が生じたので、その発泡が消滅するまで、１時間攪拌を行った。その後、濾別し、得られたＮｂＯ０．３８を純水１０００ｍＬで再度スラリー化した。そのスラリーを濾別して、濾液中のＳＯ４２−を分析し、１ｍｇ／Ｌ以下になるまで純水によるスラリー化、濾別を５回繰り返した。
【００３６】
この第二段階で得られた混合粉（実施例）をＸ線回折して分析した測定結果を図２に示す。また、比較のために、上記第二段階において、過酸化水素を含まない硫酸のみによる鉱酸水溶液を用いて得られた混合粉（比較例：過酸化水素を使用しない以外はすべて同じ条件）をＸ線回折して分析した測定結果を図３に示す。
【００３７】
図２に示すように、過酸化水素と硫酸との鉱酸水溶液の場合、水素化ニオブのピークが検出されなかった。一方、図３に示すように、過酸化水素を含まない硫酸のみ鉱酸水溶液を用いて第二段階を行った場合、明らかに水素化ニオブ（ＮｂＨ、ＮｂＨ２）のピークが検出されていた。
【００３８】
続いて、第二段階で得られた粉体（ＮｂＯ０．３８  ５０ｇ）を乾燥機（ＶＯＳ−３０１ＳＤ、東京理化器械株式会社）内に配置し、乾燥機内雰囲気はＡｒガス（窒素、炭素を含まない）を０．５Ｌ／ｍｉｎの流速で導入して排出する状態とし、乾燥温度条件は１５０℃まで昇温し、６時間保持することで、粉体に含まれる水分を除去した。その後、Ａｒガス雰囲気下において、５０℃まで冷却して粉体を取り出した。そして、この水分を除去したＮｂＯ０．３８  ４０ｇとＮｂ２Ｏ５  ２３．５ｇとを混合した。この混合条件は、ＮｂＯｙ（ｙ＝１．００）となるようにしたものである。この混合した粉体と、水１６ｍＬとを密閉容器に投入して、振とうにより混練した。そして、内部雰囲気がＡｒガス（窒素、炭素を含まない）を０．５Ｌ／ｍｉｎの流速で導入して排出する状態にされた乾燥機内に、混練した粉体を配置して、１５０℃、６時間乾燥処理をした。この乾燥した混練粉体を、目開き３００μｍの篩により篩処理を行い、ＮｂＯ０．３８  ４０ｇとＮｂ２Ｏ５  ２３．５ｇとの混合粉を得た（第三段階）。この第三段階における篩処理を行った混合粉のＳＥＭ観察写真（倍率１００倍）を図４に示す。また、篩処理を行う前の混合粉のＳＥＭ観察写真（倍率１００倍）を図５に示す。図４に示すように篩処理後の混合粉では、３００μｍ以上の粒子は観察されなかった。
【００３９】
さらに、焼成中に雰囲気ガスを導入、排出できる構造を備えた焼成炉内に配置したＭｏ製の容器に、第三段階で得られた混合粉６０ｇを投入し、炉内を水素濃度１００ｖｏｌ％となるように調整し、加えてＡｒガス（窒素、炭素を含まない）を導入し、炉内雰囲気圧を１ＭＰａにした。そして、炉内温度を１５００℃にまで昇温し、４時間保持した。その後、炉内温度５０℃以下になるまで冷却して、ＮｂＯを生成した（第四段階）。
【００４０】
図６には、上記第四段階で得られたＮｂＯ（実施例）のＳＥＭ観察写真（倍率５０００倍）を示す。また、比較のために、第一段階で水分を除去していないＡｒガス（水分２０ｐｐｍ程度）を使用して得られた混合粉（水素化ニオブを形成）を、第二段階で過酸化水素を含まない硫酸のみ鉱酸水溶液を用いて洗浄したものを用い、上記第三段階、第四段階と同条件で処理して得られたＮｂＯ（比較例）についてもＳＥＭ観察を行った。この比較のためのＮｂＯのＳＥＭ観察写真（倍率５０００倍）を図７に示す。
【００４１】
図６に示すように、本実施例で得られたＮｂＯは、粗大粒子が形成されて無く、微細なＮｂＯ粒子により構成されていることが判明した。これに対して、図７に示すように、比較例のＮｂＯでは、粗大化したＮｂＯ粒子が観察された。この粗大化粒子は、第一及び第二段階で形成された水素化ニオブが原因である。また、それぞれのＮｂＯの物性を調べたところ、図６の場合、平均粒径２．０８μｍ、比表面積１．６３ｍ２／ｇ、酸素含有量１４．９ｗｔ％であり、図７の場合、平均粒径４．２５μｍ、比表面積０．７５ｍ２／ｇ、酸素含有量１４．８ｗｔ％であった。
【００４２】
さらに、図６及び図７に示したＮｂＯについて、その粒度分布状態（（株）堀場製作所製、レーザー回折／散乱式粒度分布測定装置ＬＡ−９２０）を調べた。図８には図６の本実施の粒度分布状態、図９には図７の比較例のＮｂＯの粒度分布状態を示す。図８に示すように、本実施例のＮｂＯの場合、その粒度分布には粗大粒子が偏在するような特徴は認められなかった。これに対して、比較例のＮｂＯの場合、図９に示すように、粒度分布に粗粒側にピークがあり、全体的に粗粒側に偏った粒度分布であることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、ニオブコンデンサの原料として好適な、粗大粒子の形成が極力抑制され、粒径も細かい一酸化ニオブを効率良く得ることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図８】
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【図９】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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