(57)【要約】【課題】吐出された液体の体積を精度よく測定する。【解決手段】吐出手段１０１から吐出される液体２００を表面張力を用いて凸状に保持する保持面部１２１と、保持面部１２１の周囲に形成され、保持面部１２１からの液体２００の流出を抑止する抑止面領域１２２とを備える検査部材１０２と、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段１０３とを備える。【選択図】図５
2013002964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出手段を備える液体吐出装置であって、
前記吐出手段から吐出された液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域とを備える検査部材と、
前記保持面部に保持される液体の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段と
を備える液体吐出装置。
【請求項２】
前記検査部材は、上端面部が保持面部である柱状の保持部材を備え、
前記抑止面領域は、前記保持部材を囲う空間である
請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記抑止面領域は、前記保持面部よりも液体をはじく表面を備える、
請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
吐出された液体の体積を測定する体積測定方法であって、
吐出された液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域とを備える検査部材の前記保持面部に液体を吐出し、
前記保持面部に保持される液体の形状に関する情報である形状情報を取得し、
前記形状情報と前記保持面部の形状に関する保持面情報とに基づき、吐出された液体の体積を算出する
体積測定方法。
【請求項５】
吐出された液体の体積を測定する際に用いられる検査部材であって、
液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、
前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域と
を備える検査部材。
【請求項６】
さらに、
前記保持面部が複数個並べて設けられる請求項５に記載の検査部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、吐出手段が吐出する液体の体積を測定する技術に関し、特に、ナノリットル〜マイクロリットルオーダーの体積の微小な液滴（液体）の体積を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置、特に微小な量の液体を正確な位置に吐出する液体吐出装置は、有機ＥＬ（Electro Luminescence）を用いた表示装置の製造や、白色発光するＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明装置の製造などに用いられている。具体的に前述のような製造工程において、液体吐出装置は、ＬＥＤが放射する青色光を白色に変換する蛍光物質が分散された樹脂や有機ＥＬ材料を正確な量で正確な位置に吐出する。従って、液体吐出装置が吐出する微少量の体積を測定することは非常に重要となる。
【０００３】
従来、液体吐出装置から吐出されるきわめて微少な液体の体積を測定するには、例えば、一箇所に微少な量の液体を一単位の液滴として液体吐出装置により複数回吐出させ、精密天秤で吐出させた液体の総重量を計測し、計測結果を吐出回数で除算することで吐出された微少量の液体の重量や体積を算出する方法が採用されている。また、昨今では特許文献１や特許文献２に記載のように、液滴をシートなどに一滴吐出し、画像認識技術を用いて液滴の体積を算出する技術が提案されている。また、特許文献３に記載のように、溝内に樹脂を塗布し、溝の両壁面を伝って這い上がった樹脂の表面形状を円に近似することで塗布量を算出する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２６４６０８号公報
【特許文献２】特開平９−２４８５１２号公報
【特許文献３】国際公開第２００６／０１３９１５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが昨今では、表示装置の画素が細密化してきているため、より微小な量の液体を正確に吐出する技術が望まれている。また、ＬＥＤ照明の分野でも、蛍光物質を含有する樹脂の塗布量を正確に制御して、色むらのない安定した生産技術の確立が望まれている。
【０００６】
しかし、画像解析技術を用いる場合、測定に時間がかかるため吐出装置の操業中に吐出量を測定して操業条件にフィードバックするなどの即時性に難があり、液体の色や屈折率によって大きな誤差が生じるなどの問題もある。一方、吐出された液体である複数の液滴をまとめて計測する場合は、平均的な値しか算出することができないため、表示装置や照明装置の製造などにおいて１箇所に１滴を吐出するだけの場合、ムラの発生を把握することが困難となり、また、即時性にも難がある。さらに、吐出される液体の粘度が異なる場合、壁を伝って這い上がる状態が大きく異なるため、経時的に粘度が変化するような樹脂を安定して正確に測定することは困難となる。
【０００７】
本願発明は、上記問題に鑑みなされたものであり、液体吐出装置から吐出される液体の体積を正確、かつ、高速に測定することのできる液体吐出装置、体積測定方法、検査部材の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本願発明にかかる液体吐出装置は、液体を吐出する吐出手段を備える液体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出された液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域とを備える検査部材と前記保持面部に保持される液体の形状に関する情報である形状情報を取得する形状情報取得手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、前記検査部材は、上端面部が保持面部である柱状の保持部材を備え、前記抑止面領域は、前記保持部材を囲う空間であってもよい。
【００１０】
また、前記抑止面領域は、前記保持面部よりも液体をはじく表面を備えてもよい。
【００１１】
これによれば、吐出手段から吐出された液体は、抑止面領域によって平面的に広がる領域が規制され、保持面部に表面張力を用いて凸状に保持される。従って、保持面部に保持される液体は、液体の粘度にあまり影響を受けることなく、一定の形状をとることとなる。このように一定の形状となる液体の形状情報、例えば、保持面部に保持される液体の高さを形状情報として取得することで、吐出手段から吐出される微小な液体の体積を正確、かつ、高速に算出することが可能となる。
【００１２】
また、上記目的を達成するために、本願発明にかかる体積測定方法は、吐出された液体の体積を測定する体積測定方法であって、吐出された液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域とを備える検査部材の前記保持面部に液体を吐出し、前記保持面部に保持される液体の形状に関する情報である形状情報を取得し、前記形状情報と前記保持面部の形状に関する保持面情報とに基づき、吐出された液体の体積を算出することを特徴とする。
【００１３】
これによれば、吐出手段から吐出された液体は、抑止面領域によって平面的に広がる領域が規制され、保持面部に表面張力を用いて凸状に保持される。従って、保持面部に保持される液体は、液体の粘度にあまり影響を受けることなく、一定の形状をとることとなる。このように一定の形状となる液体の形状情報、例えば、保持面部に保持される液体の高さを形状情報として取得することで、吐出手段から吐出される微小な液体の体積を正確、かつ、高速に算出することが可能となる。
【００１４】
また、上記目的を達成するために、本願発明にかかる検査部材は、吐出された液体の体積を測定する際に用いられる検査部材であって、液体を当該液体の表面張力を用いて凸状に保持する保持面部と、前記保持面部の周囲に形成され前記保持面部からの液体の流出を抑止する抑止面領域とを備えることを特徴とする。
【００１５】
これによれば、吐出手段から吐出された液体は、抑止面領域によって平面的に広がる領域が規制され、保持面部に表面張力を用いて凸状に保持される。従って、保持面部に保持される液体は、液体の粘度にあまり影響を受けることなく、一定の形状をとることとなる。このように一定の形状となる液体の形状情報、例えば、保持面部に保持される液体の高さを形状情報として取得することで、吐出手段から吐出される１滴の液体の体積を正確、かつ、高速に算出することが可能となる。
【００１６】
さらに、前記保持面部が複数個並べて設けられるものでもよい。
【００１７】
これによれば、吐出された液体である液滴を断続的（例えば所定の吐出回数に１回の割合）に測定し、吐出量の経時的変化などを容易に測定することが可能となる。
【００１８】
なお、前記体積測定方法が含む各処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを実施することも本願発明の実施に該当する。無論、そのプログラムが記録された記録媒体を実施することも本願発明の実施に該当する。
【発明の効果】
【００１９】
本願発明によれば、吐出手段から吐出された微少液体（液滴）の体積を正確、かつ、高速に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、液体吐出装置の概略構成を示す斜示図である。
【図２】図２は、吐出手段の概略構成を一部断面で示す図である。
【図３】図３は、体積検査装置の機構構成などを模式的に示す斜視図である。
【図４】図４は、体積検査装置の機能構成などを模式的に示すブロック図である。
【図５】図５は、形状情報取得手段を側方から示す平面図である。
【図６】図６は、保持部材のエッジ（抑止面領域）のバリエーションの一つを側面から示す平面図である。
【図７】図６は、保持部材のエッジ（抑止面領域）のバリエーションの一つを側面から示す平面図である。
【図８】図８は、検査部材の別態様を示す斜視図である。
【図９】図９は、別態様の検査部材に設けられる保持面部の一つを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本願発明に係る液体吐出装置、体積測定方法、検査部材の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本願発明に係る液体吐出装置、体積測定方法、検査部材の一例を示したものに過ぎない。従って本願発明は、以下の実施の形態を参考に請求の範囲の文言によって範囲が画定されるものであり、以下の実施の形態のみに限定されるものではない。
【００２２】
図１は、液体吐出装置の概略構成を示す斜示図である。
【００２３】
同図に示すように、液体吐出装置１００は、液体を吐出する吐出手段１０１を備える装置であって、検査部材１０２と、形状情報取得手段１０３とで構成される体積検査装置１２０を備えている。また本実施の形態の場合、液体吐出装置１００は、被塗布体２０１上の所望の位置に液体２００を吐出することができる装置であって、被塗布体２０１を支持するステージ２０２を備えている。
【００２４】
ヘッド２０３の吐出手段１０１は、１または複数の吐出手段１０１（後述）が設けられ、ヘッドＸ軸移動装置２０５、および、ヘッドＹ軸移動装置２０６によりステージ２０２に指示された被塗布体２０１に対してＸＹ軸方向に相対的に移動する。
【００２５】
液体吐出装置１００は、この構成によって、ヘッド２０３とステージ２０２上の被塗布体２０１とを相対移動させながら、ヘッド２０３に備えられた吐出手段１０１から被塗布体２０１に向かって液体２００を吐出し、被塗布体２０１上の所望の位置に所望の量の液体を塗布する。なお、吐出手段１０１を備えるヘッド２０３と、被塗布体２０１を支持するステージ２０２とは、相対的に移動して被塗布体２０１上の所望の位置に所望の量の液体を吐出手段１０１により吐出して塗布できる構成であればよい。例えば、吐出手段１０１を備えたヘッド２０３に対して被塗布体２０１を支持するステージ２０２がＸＹ軸方向に移動する構成であってもよい。また、このようにヘッド２０３がＸＹ軸方向の水平面移動を行わない場合であれば、後述する体積検査装置１２０が水平面内を移動してヘッド２０３に対して相対移動する構成にしてもよい。
【００２６】
図２は、吐出手段の概略構成を一部断面で示す図である。
【００２７】
同図に示すように、吐出手段１０１は、所望の液体２００を液滴として吐出することができる装置である。
【００２８】
吐出手段１０１は、本実施の形態の場合、シリンジ１１３と、ニードル１１２と、プランジャ１１４とを備えている。
【００２９】
シリンジ１１３は、液体２００を内方に保持し、プランジャ１１４を移動させることにより液体２００を一定の圧力でシリンジ１１３の先端側に備えられたニードル１１２より液体２００を吐出することができる筒状の容器である。
【００３０】
プランジャ１１４は、シリンジ１１３の内方にシリンジ１１３に対し摺動自在に配置され、シリンジ１１３内の液体２００を押し出すことができるピストンである。
【００３１】
なお、吐出手段１０１は、例えば加圧手段（図示せず）によりエアーをシリンジ１１３内に導入することで、プランジャ１１４をシリンジ１１３に対し摺動させ、液体２００を加圧して吐出口であるニードル１１２から吐出することができるものとなっている。
【００３２】
なお、液体２００の粘度により吐出体１１０より液体２００の吐出に問題が無ければシリンジ１１３にプランジャ１１４を備えていない構成であってもよい。
【００３３】
図３は、体積検査装置の機構構成などを模式的に示す斜視図である。
【００３４】
図４は、体積検査装置の機能構成などを模式的に示すブロック図である。
【００３５】
図５は、形状情報取得手段を側方から示す平面図である。
【００３６】
体積検査装置１２０は、液滴として吐出される液体の体積を測定する装置であって、検査部材１０２と、形状情報取得手段１０３とを備えている。また、本実施の形態の場合、体積検査装置１２０は、体積算出部１２９と、保持面情報取得部１２８と、判断部１２７とを備えている。
【００３７】
検査部材１０２は、吐出手段１０１から吐出される液体２００を所定の領域に上方凸状に保持し、吐出された液体２００を略半球状やドーム状に保持することができる部材であり、保持面部１２１と、抑止面領域１２２とを備えている。本実施の形態、検査部材１０２は、上端面部が保持面部１２１である円柱状の保持部材１２３を備えており、さらに、保持面部１２１が複数個並べて一直線上に配置されるように、保持部材１２３を一列に並べて保持する長尺帯状の基材１２４を備えている。また、本実施の形態の場合、体積検査装置１２０は、保持部材１２３のピッチで基材１２４を一方向に送ることができる送り機構（図示せず）を備え、液体２００が付着していない保持部材１２３を順次供給できるものとなっている。
【００３８】
保持部材１２３は、上端面部が保持面部１２１である柱状の部材であり、保持部材１２３の上端面部の周囲に形成され保持面部１２１と同一の面に存在する空間が抑止面領域１２２（図５参照）として機能している。本実施の形態の場合、保持部材１２３の保持面部１２１の周縁部にあるエッジ、すなわち保持面部１２１と抑止面領域１２２との境界が存在することにより、抑止面領域１２２は、保持面部１２１に保持された液体２００が保持面部１２１から流出することを抑止し、液体２００が保持面部１２１に保持されている状態を維持することができるものとなっている。
【００３９】
ここで、保持部材１２３、特に保持面部１２１の材質は、特に限定されるものでは無いが、保持する液体２００とのぬれ性がある程度高いものを選定することが好ましい。保持面部１２１上に吐出された液体２００の表面張力により凸状に保持される液体２００のぬれ性の接触角αは０°＜α≦９０°で表される浸漬ぬれが好ましい。保持面部１２１が液体２００をはじきすぎてしまうと、保持面部１２１に保持される液体２００の形状が安定せず、形状に関する情報を正確に取得することが困難となるからである。また、保持部材１２３が樹脂などの場合、保持する液体２００に対する耐性（耐溶剤性、耐薬品性など）の高い材質（例えば、ポリエチレンやポリプロピレン）を選定することが好ましい。また、保持部材１２３を使い捨てにしない場合などには、耐溶剤性や耐薬品性が高く、かつ、洗浄時の摺擦にも耐えるステンレスやアルミニウムなどの金属材料を選定してもよい。特にアルミニウムは、吐出された液体２００とともに精密天秤にて重量の検証がし易いという効果を有する。
【００４０】
また、周囲に抑止面領域１２２が形成された保持面部１２１の形状は、保持面部１２１の全体にぬれ広がり、表面張力により凸形状保持された液体２００の形状が球体の一部であるとして近似できるような形状であることが好ましい。さらに具体的には、保持面部１２１にぬれ広がった液体２００の凸形状の水平面に鉛直な断面形状が円弧曲線に近似できる形状が好ましい。
【００４１】
また、保持部材１２３の上端面部周縁のエッジの形状は、図５に示すような直角でもよく、また、図６に示すような、先端に向かって狭まるテーパ形状や、図７に示すような、先端に向かって広がるテーパ形状であってもよい。また、保持部材１２３の上端面部周縁（エッジ）は製造の都合上ある程度丸くなる場合もあるが、液体２００を保持面部１２１上に維持できる程度（接触角：α、０°＜α≦９０°）の丸さであれば、特に問題は無い。
【００４２】
また、保持面部１２１の形状は円形に限定されることは無く、矩形や星形など任意の形状を選定しうるが、円形を採用すると、液体２００を安定して保持することができ、また、形状情報として液体２００の高さのみを取得した場合でも、液体２００の凸形状の鉛直断面はその表面張力により円弧近似が可能で、高い精度で液体２００の体積を外挿することが可能となるため好ましい。
【００４３】
また、保持面部１２１の面積は、測定対象となる吐出された液体２００の液滴の量、すなわち、保持する液体２００の体積に対応して選定する。具体的には、液体２００の体積に対して保持面部１２１の面積が広すぎる場合、吐出された液体２００が周囲に抑止面領域１２２が形成された保持面部１２１の全体に広がることができないため液体２００の形状が安定せず、また、液体２００の十分な高さを得ることができないため、正確な形状に関する情報を取得することができない。また、液体２００の体積に対して保持面部１２１の面積が狭すぎる場合、保持面部１２１から液体が容易に流出し、液体２００の体積を測定することができなくなる。例えば、測定対象となる液体２００の体積が２立方ミリメートルの場合、円形の保持面部１２１の直径が２ｍｍ以上８ｍｍ以下から選定する。ナノリットルオーダーの体積の液体２００を測定する場合、円形の保持面部１２１の直径は０．５ｍｍ以下となる。
【００４４】
図８は、検査部材の別態様を示す斜視図である。
【００４５】
図９は、別態様の検査部材に設けられる保持面部の一つを示す斜視図である。
【００４６】
これらの図に示すように、検査部材１０２は、板状（シート状）の保持体１２５の表面に保持面部１２１を設け、保持面部１２１の周囲に保持面部１２１よりも液体をはじく表面を備える抑止面領域１２２を設けてもかまわない。具体的には、保持体１２５の表面の一部を環状に荒らし（表面粗度を悪くする）、当該荒れた部分を抑止面領域１２２、抑止面領域１２２に囲われた部分を保持面部１２１としてもよい。また、保持体１２５の表面の一部にフッ素樹脂など液体をはじきやすい物質を環状に形成し、その物質が形成された部分を抑止面領域１２２、抑止面領域１２２に囲われた部分を保持面部１２１としてもよい。
【００４７】
また検査部材１０２の別態様として、上端面部が保持面部１２１である柱状部材を水平面上にマトリクス状に配置する構成でもよい。
【００４８】
形状情報取得手段１０３は、保持面部１２１に保持される液体２００の形状に関する情報である形状情報を取得する装置である。図３や図５に示すように、本実施の形態の場合、形状情報取得手段１０３は、鉛直方向（図中Ｚ軸方向）に延在し水平方向（図中Ｙ軸方向）に進行する平行光を投光する投光部１３１と、投光部１３１から投光された光りを受光したか否かを高い分解能で検出する受光部１３２とを備えている。形状情報取得手段１０３は、検査部材１０２の保持面部１２１上に保持されている液体２００により投光部１３１から投光される光りの一部が遮られることを利用し、液体２００の形状情報の一つである保持面部１２１からの液体の高さの情報を送信することができるものとなっている。
【００４９】
なお、形状情報取得手段１０３は、上記構成に限定されるわけではない。例えば、投光部１３１、および、受光部１３２と保持部材１２３とを相対的に移動させることにより、液体２００の形状情報を二次元的に取得するものでもかまわない。また、保持面部１２１に対しレーザ光などを垂直に照射し、反射光などを利用して液体２００の保持面部１２１からの高さを測定するものでもかまわない。この場合も、レーザ光を走査することにより、液体２００の２次元形状や３次元形状を測定してもかまわない。また、液体２００をカメラで撮像し、得られた撮像情報から形状情報を取得してもかまわない。
【００５０】
図４において、保持面情報取得部１２８は、中央演算装置とメモリなどからなるコンピュータを用い、プログラムを実行させることで実現される演算部に含まれ、検査に用いられる検査部材１０２の情報、特に、保持面部１２１の面積や直径など形状に関する保持面情報を取得する処理部である。なお、保持面情報の入力方法は特に限定されるわけではなく人間によって情報を入力してもよく、保持面情報取得部１２８が複数種類の検査部材１０２の形状に関する保持面情報を記憶し、検査部材１０２が備える識別情報に基づき保持面情報を選択するものでもかまわない。
【００５１】
体積算出部１２９は、演算部に含まれ、形状情報取得手段１０３から得られた形状情報と、保持面情報取得部１２８から得られた保持面情報とに基づき保持面部１２１に保持される液体２００の体積を算出する処理部である。具体的には、形状情報取得手段１０３から得られた液体２００の高さの情報と、保持面情報取得部１２８から得られた保持面部１２１の径の情報に基づき、液体２００の形状を球の一部であるとして近似することで液体２００の体積を算出、あるいは、保持面部１２１上の液体２００の形状情報により、液体２００の体積を算出する。
【００５２】
判断部１２７は、演算部の一部であり、体積算出部１２９で算出された液体２００の体積が保持面部１２１の情報に対して許容範囲内か否かを閾値判断し、許容範囲を逸脱している場合、その旨を報知する処理部である。
【００５３】
なお、体積算出部１２９は必須の構成ではなく、例えば、判断部１２７は、形状情報取得手段１０３が取得した形状情報（例えば液体２００の高さ）を断続的に取得しておき、形状情報の変化度合いに基づきエラーを報知したり、形状情報に対して閾値判断することでエラーを報知してもかまわない。
【００５４】
次に、上記液体吐出装置１００に適用される体積測定方法について説明する。
【００５５】
液体吐出装置１００は、通常の操業状態として液体２００を吐出し被塗布体２０１に対し液体２００を吐出する。そして、吐出回数毎や時間毎など予め定められた規則に従い、液体吐出装置１００は、体積検査装置１２０の検査部材１０２に対し、液体２００を１回、あるいは複数回吐出する。ここで、本実施の形態の液体吐出装置１００により、保持面部１２１の径が０．３ｍｍ程度であったとしても正確に保持面部１２１に液体２００を吐出（塗布）することが可能である。
【００５６】
次に、保持面部１２１に保持される液体の形状に関する情報である形状情報を形状情報取得手段１０３により取得する。本実施形態の場合、液体２００の最も高い部分の高さを形状情報として取得する。ここで、保持面部１２１の形状は円形であるため、保持面部１２１の中心から鉛直上方に仮想的に延びる線と液体２００の表面とが交差する部分が液体２００の最も高い部分と考えられる。
【００５７】
次に、形状情報取得手段１０３により取得された形状情報と保持面情報取得部１２８により予め取得された保持面部の形状に関する保持面情報とに基づき、液体２００の体積を算出する。
【００５８】
次に、判断部１２７は、算出された体積を閾値判断し、その結果を液体吐出装置１００にフィードバックする。
【００５９】
液体吐出装置１００は、判断部１２７からの情報に基づき、液体２００の吐出圧力や吐出液体２００の温度などのパラメータを調整して液体２００の吐出量が所定の範囲に収まるように調整する。また、パラメータの調整により調整できる限度を超えている場合、吐出体１１０の交換などを行う。なお、液体吐出装置１００は、液体２００の吐出圧力のパラメータに替えて吐出量のパラメータ（図示せず）を調整する構成であってもよい。
【００６０】
以上のようにすることで、液体吐出装置１００は、一定の体積の液体２００を安定して吐出することが可能となる。
【００６１】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００６２】
例えば、体積検査装置１２０は、液体吐出装置１００とは別体で独立して存在する装置であってもかまわない。また、検査部材１０２は使い捨てではなく、洗浄して繰り返し利用するものでもかまわない。また、検査部材１０２は、保持面部１２１が一つのみ存在するものでもかまわない。
【００６３】
また、体積検査装置１２０が計時手段を備え、形状情報取得手段１０３から形状情報を所定の間隔で取得し、保持面部１２１に液体２００が吐出されてから、急激に形状情報が変化するまでの時間を測定することにより、液体２００の粘度を測定してもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本願発明は、液体を液滴として吐出する、インクジェット印刷装置や液体塗布装置などに利用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１００  液体吐出装置
１０１  吐出手段
１０２  検査部材
１０３  形状情報取得手段
１１２  ニードル（吐出口）
１１３  シリンジ
１１４  プランジャ
１２０  体積検査装置
１２１  保持面部
１２２  抑止面領域
１２３  保持部材
１２４  基材
１２５  保持体
１２７  判断部
１２８  保持面情報取得部
１２９  体積算出部
１３１  投光部
１３２  受光部
２００  液体
２０１  被塗布体
２０２  ステージ
２０３  ヘッド
２０５  ヘッド移動装置
２０６  ステージ移動装置
【図１】
2013002964.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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