(57)【要約】【課題】気泡を発生させることなく電子部品を粘着シートに接着することができて、電子部品が粘着シートから剥がれるのを防止することができる電子部品供給装置及び電子部品供給方法を提供する。【解決手段】吸着部材３にて吸着された薄肉平板状の電子部品８を、粘着シート上に貼り付けるための電子部品供給装置Ｐである。粘着シート４に対して反吸着部材側に配置され、自由状態では、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐを吸着部材側に凸状とするとともに、吸着部材３にて電子部品８が供給される際には、吸着部材３による電子部品８を介した押付けにて電子部品接着部位Ｐの扁平を許容する凸状部材１を備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着する吸着面を有する吸着部材にて吸着された薄肉平板状の電子部品を、粘着シート上に貼り付けるための電子部品供給装置において、
粘着シートに対して反吸着部材側に配置され、自由状態では、粘着シートの電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とするとともに、吸着部材にて電子部品が供給される際には、吸着部材による電子部品を介した押付けにて前記電子部品接着部位の扁平を許容する凸状部材を備えたことを特徴とする電子部品供給装置。
【請求項２】
吸着部材にて電子部品が供給される際に、前記凸状部材が、粘着シートの電子部品接着部位に配置されるように、粘着シート又は凸状部材を移動させる駆動機構を備えたことを特徴とする請求項１の電子部品供給装置。
【請求項３】
前記凸状部材の自由状態における横断面形状の吸着部材側を、凸曲面を有するものとしたことを特徴とする請求項１の電子部品供給装置。
【請求項４】
前記凸状部材は、ブロック状の弾性体にて構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２の電子部品供給装置。
【請求項５】
前記凸状部材は、前記粘着シートの接着部位を、反吸着部材側から受ける薄肉平板状の弾性体と、この弾性体を反吸着部材側から押圧して電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とする支持部材とを備え、この支持部材は、吸着部材による電子部品を介した押付けにて扁平状に湾曲変形することを特徴とする請求項１又は請求項２の電子部品供給装置。
【請求項６】
吸着部材にて吸着された薄肉平板状の電子部品を、粘着シート上に貼り付けるための電子部品供給方法において、
粘着シートの電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とした後、
吸着部材にて電子部品と粘着シートとを接触させ、
その後、吸着部材の電子部品を介した押圧力付与にて、粘着シートを反吸着部材側に湾曲変形させながら、前記接触位置から電子部品と粘着シートとの接触範囲を拡大させつつ扁平状とすることを特徴とする電子部品供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品供給装置及び電子部品供給方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、第１フレームと第１粘着シートとからなる第１の支持体に支持されたウエハをダイシング工程でチップ化し、その後、チップを第２フレームと第２粘着シートとからなる第２の支持体に貼り替える方法が開示されている。このように、例えば１つのウエハにおける良品の割合が低く歩留が悪い場合や、工程毎にウエハのサイズが異なる場合、粘着シートから別の粘着シートへ、チップを貼り替えるようにする。
【０００３】
粘着シートから別の粘着シートへチップを貼り替える場合、図５に示すように、吸着穴１０２を有するフラットな金属プレート１０１上に、貼り替え用の粘着シート１０４をセットする。その後、コレット１０３でピックアップすべきチップ１０５を吸着してピックアップする。そして、コレット１０３にて、チップ１０５を粘着シート１０４の電子部品接着位置Ｐの上方にまで搬送する。その後、コレット１０３を下降させて、コレット１０３により保持したチップ１０５を押さえつつ下方から吸引することにより、粘着シート１０４の電子部品接着位置Ｐにチップ１０５を貼付することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記した方法では、コレット１０３の粘着シート１０４への押し付けにより、チップ１０５及び粘着シート１０４に撓みが発生すること等により、チップ１０５と粘着シート１０４との間に空気の泡（気泡）が発生する。このため、この部位が接着しておらず、ここからチップ１０５が剥がれるという不具合が生じるおそれがある。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みて、気泡を発生させることなく電子部品を粘着シートに接着することができて、電子部品が粘着シートから剥がれるのを防止することができる電子部品供給装置及び電子部品供給方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電子部品供給装置は、電子部品を吸着する吸着面を有する吸着部材にて吸着された薄肉平板状の電子部品を、粘着シート上に貼り付けるための電子部品供給装置において、粘着シートに対して反吸着部材側に配置され、自由状態では、粘着シートの電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とするとともに、吸着部材にて電子部品が供給される際には、吸着部材による電子部品を介した押付けにて前記電子部品接着部位の扁平を許容する凸状部材を備えたものである。
【０００８】
本発明の電子部品供給装置によれば、粘着シートの電子部品接着部位に配置される凸状部材を備えているため、粘着シートは吸着部材側に凸状となり、その後、吸着部材の電子部品を介した押圧力付与にて、電子部品接着部位は反吸着部材側に湾曲変形し、扁平となる。この際、電子部品と粘着シートとの接触範囲を徐々に拡大させることができ、電子部品と粘着シートとの間の空気層を排出することができる。
【０００９】
吸着部材にて電子部品が供給される際に、前記凸状部材が、粘着シートの電子部品接着部位に配置されるように、粘着シート又は凸状部材を移動させる駆動機構を備えることができる。これにより、粘着シートの電子部品接着部位に凸状部材を対応させることができて、粘着シートを確実に凸状とすることができる。
【００１０】
前記凸状部材の自由状態における横断面形状の吸着部材側を、凸曲面を有するものとできる。これにより、電子部品は、吸着部材にて粘着シートの電子部品接着部位を押付ける際には、まず凸状部材の頂点に対応する位置の粘着シートと線接触し、その後、面接触する。また、凸状部材は凸曲面となっているので、粘着シートを平坦状に戻しやすいものとなる。
【００１１】
前記凸状部材は、ブロック状の弾性体にて構成することができる。また、前記凸状部材は、前記粘着シートの接着部位を、反吸着部材側から受ける薄肉平板状の弾性体と、この弾性体を反吸着部材側から押圧して電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とする支持部材とを備え、この支持部材は、吸着部材による電子部品を介した押付けにて扁平状に湾曲変形するものとできる。
【００１２】
本発明の電子部品供給方法は、吸着部材にて吸着された薄肉平板状の電子部品を、粘着シート上に貼り付けるための電子部品供給方法において、粘着シートの電子部品接着部位を吸着部材側に凸状とした後、吸着部材にて電子部品と粘着シートとを接触させ、その後、吸着部材の電子部品を介した押圧力付与にて、粘着シートを反吸着部材側に湾曲変形させながら、前記接触位置から電子部品と粘着シートとの接触範囲を拡大させつつ扁平状とするものである。
【００１３】
本発明の電子部品供給方法によれば、粘着シートの電子部品接着部位は、吸着部材の電子部品を介した押圧力付与にて反吸着部材側に湾曲変形し、扁平となる。この際、電子部品と粘着シートとの接触範囲を徐々に拡大させることができ、電子部品と粘着シートとの間の空気層を排出することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の電子部品供給装置及び電子部品供給方法では、電子部品と粘着シートとの接触範囲を徐々に拡大させることができ、電子部品と粘着シートとの間の空気層を排出することができるため、気泡を発生させることなく電子部品を粘着シートに接着することができる。これにより、電子部品が安定して接着され、粘着シートから剥がれるのを防止することができる。
【００１５】
粘着シート又は凸状部材を移動させる駆動機構とを備えると、粘着シートの電子部品接着部位を確実に凸状とすることができて、電子部品が一層安定して接着され、粘着シートから剥がれるのを防止することができる。
【００１６】
凸状部材の自由状態における横断面形状の吸着部材側を、凸曲面を有するものとすると、電子部品は、凸状部材の頂点に対応する位置の粘着シートと線接触し、その後面接触することになって、確実に接触範囲を徐々に拡大させることができる。また、凸状部材は凸曲面となっているので、粘着シートを平坦状に戻しやすいものとなり、電子部品と粘着シートとの間の気泡の発生を安定して防止することができ、粘着シートから剥がれるのを防止することができる。
【００１７】
前記凸状部材を、ブロック状の弾性体にて構成すると、凸状部材を簡単な構成とすることができ、製造が容易となってコスト低減を図ることができる。また、前記凸状部材を、薄肉平板状の弾性体と、この弾性体を反吸着部材側から押圧する支持部材とから構成すると、自由状態における形状を安定して維持でき、粘着シートのテンションで凸状部材が変形するのを防止することができる。これにより、吸着部材にて押圧する際に、吸着部材の押圧力にて確実に凸状部材を変形させることができ、一層電子部品が安定して接着され、粘着シートから剥がれるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態を示す電子部品供給装置の簡略断面図である。
【図２】前記図１の電子部品供給装置の凸状部材及び粘着シートの斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態の電子部品供給方法の説明図であり、（ａ）はチップの接着前、（ｂ）はチップの接着途中、（ｃ）はチップの接着後である。
【図４】本発明の第２実施形態の電子部品供給方法の説明図であり、（ａ）はチップの接着前、（ｂ）はチップの接着途中、（ｃ）はチップの接着後である。
【図５】従来の電子部品供給装置の簡略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。
【００２０】
この電子部品供給装置は、粘着シート上に貼り付けられた薄肉平板状の電子部品８（以下、チップという）を吸着部材３（コレット）にて保持し、別の粘着シート４の電子部品接着部位Ｐにまで搬送して貼り付けるものである。コレット３は、下面に吸着孔が開口したヘッドを備え、この吸着孔には真空発生器が連結され、この真空発生器の駆動によって吸着孔のエアを吸引してチップを吸着する。そして、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐにチップ８を押付ける。粘着シート４は、その上面が粘着面とされており、リングフレーム５の下面に貼付け張設されている。本実施形態では、説明を簡単にするため、電子部品接着部位Ｐを１つとしているが、実際は１枚の粘着シート４に対して電子部品接着部位Ｐを複数備えるものである。
【００２１】
本発明の第１実施形態の電子部品供給装置は、図１に示すように、粘着シート４に対して反吸着部材側に配置される凸状部材１と、凸状部材１を移動させる駆動機構２とを備えている。
【００２２】
凸状部材１は、粘着シート４に対して反吸着部材側に配置され、自由状態における横断面形状のコレット側が、図２に示すような凸曲面１０を有するかまぼこ形状であるブロック状の弾性体９にて構成されている。すなわち、電子部品接着部位Ｐにチップ８を接着（粘着）する際には、図３（ａ）に示すように、凸状部材１は粘着シート４の下方に配置されており、その頂点の位置は、粘着シート４を平面状とした場合の粘着シート４の下面よりも上方に位置する。凸曲面１０の幅寸法Ｗは、チップ８の幅Ｗ１よりも大きなものとなっている。このように、凸状部材１の自由状態において、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐは、コレット側（上方）に凸状となる。この凸状部材１の弾性力は、コレット３にてチップ８が供給される際に、コレット３によるチップ８を介した押付けにて電子部品接着部位Ｐの扁平を許容するものであり、コレット３の押付力に応じて種々設定するのが望ましい。
【００２３】
駆動機構２は、電子部品接着位置Ｐに凸状部材１を移動させるものである。駆動機構２としては、シリンダ機構、ボールねじ機構、モーターリニア機構等の種々の機構にて構成することができる。この駆動機構２は、凸状部材１をＸＹＺ方向に移動させることが可能なものとしている。そして、例えばマイクロコンピュータ等にて構成される制御手段１１にて、駆動機構２が凸状部材１を移動させる。制御手段１１は、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐの情報を予め入手して、この情報に基づいて駆動機構２を制御するものとしたり、図示省略のセンサにて電子部品接着部位Ｐを検出して、この位置に凸状部材１が位置するように駆動機構２を制御するものとしたりできる。また、予め入手した情報による制御と、センサによる制御とを組み合わせてもよい。これにより、コレット３にてチップ８が供給される際に、凸状部材１を粘着シート４の電子部品接着部位Ｐに配置することができる。
【００２４】
また、図１に示すように、リング状のフレーム保持体６が設けられている。このフレーム保持体６に、チップ８を有さない粘着シート４を有するリングフレーム５がセットされる。
【００２５】
次に、本発明の第１実施形態の電子部品供給装置を使用して粘着シート４にチップ８を貼り付ける方法について説明する。本実施形態では、粘着シートに貼り付けられたチップを、他の粘着シートに張り替える場合について説明する。ピックアップすべきチップ８は、図示省略のフレームに張設した粘着シートの上面（粘着面）に貼付け搭載されている。ピックアップすべきチップ８に対してコレット３が降下し、コレット３の吸着面がチップ８の上面に接する。そしてエアを吸引することにより、吸着面にチップ８を吸着してコレット３を上昇させる。
【００２６】
その後、図３（ａ）のように、チップ８を粘着シート４の電子部品接着部位Ｐの上部に搬送する。このとき、制御手段１１の制御により、凸状部材１が粘着シート４の電子部品接着部位Ｐに位置するように、駆動機構２を作動させる。これにより、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐは、コレット側（上方）に凸状となっており、凸曲面１０の頂点に、チップ８の略中央部が対応する。
【００２７】
次に、図３（ｂ）に示すように、コレット３を降下させる。これにより、チップ８は凸状部材１の頂点に対応する位置の粘着シート４と線接触する。
【００２８】
さらにコレット３が降下すると、図３（ｃ）に示すように、凸状部材１は、コレット３のチップ８を介した押圧力付与にて下方に湾曲変形し、電子部品接着部位Ｐは扁平となる。すなわち、チップ８は、線接触位置（略中央部）から外縁部に向かって粘着シート４と面接触する。このように、チップ８と粘着シート４との接触範囲を徐々に拡大させることができ、チップ８と粘着シート４との間の空気層を排出しながらチップ８を粘着シート４に接着することができる。
【００２９】
本発明では、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐに配置される凸状部材１を備えているため、粘着シート４は、コレット側に凸状となり、その後、コレット３のチップ８を介した押圧力付与にて電子部品接着部位Ｐは反コレット側に湾曲変形し、扁平となる。この際、チップ８と粘着シート４との接触範囲を徐々に拡大させることができ、チップ８と粘着シート４との間の空気層を排出することができるため、気泡を発生させることなくチップ８を粘着シート４に接着することができる。これにより、チップ８が安定して接着され、粘着シート４から剥がれるのを防止することができる。
【００３０】
コレット３にてチップ８が供給される際に、凸状部材１が、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐに配置されるように、凸状部材１を移動させる駆動機構２を備えている。これにより、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐを確実に凸状とすることができて、チップ８が一層安定して接着され、粘着シート４から剥がれるのを防止することができる。
【００３１】
凸状部材１の自由状態における横断面形状のコレット側を、凸曲面１０を有するものとしている。これにより、コレット３にて粘着シート４の電子部品接着部位Ｐを押付ける際には、チップ８は凸状部材１の頂点に対応する位置の粘着シート４と線接触し、その後、面接触することになって、確実に接触範囲を徐々に拡大させることができる。また、凸状部材１は凸曲面１０となっているので、粘着シート４を平坦状に戻しやすいものとなり、チップ８と粘着シート４との間の気泡の発生を安定して防止することができ、粘着シート４から剥がれるのを防止することができる。
【００３２】
凸状部材１は、ブロック状の弾性体にて構成しているので、凸状部材１を簡単な構成とすることができ、製造が容易となってコスト低減を図ることができる。
【００３３】
次に、本発明の第２実施形態の電子部品供給装置について説明する。この場合、図４に示すように、凸状部材１は、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐを、反コレット側（下方）から受ける薄肉平板状の弾性体２０と、この弾性体２０を凸状とする支持部材２１とを備える。支持部材２１は、弾性体２０の外形が凸曲面２２を有するかまぼこ形状とする板ばね２５と、板ばね２５の略中央部を、下方から支持するピン部材２６とから構成されている。板ばね２５の下端部は、基台２３に支持されている。また、基台２３には孔部２４が設けられており、この孔部２４にピン部材２６が挿入されている。ピン部材２６の下端部には、図示省略の上下動機構が設けられており、自由状態において、ピン部材２６は板ばね２５を下方から押圧して電子部品接着部位Ｐをコレット側に凸状となるように支持すると共に、弾性体２０が扁平状となった状態において、下方に降下するようにしている（図４（ｃ）参照）。
【００３４】
第２実施形態の電子部品供給装置を使用して粘着シート４にチップ８を貼り付ける方法について説明する。まず、前記第１実施形態と同様の方法にてコレット３の吸着面にチップ８を吸着し、図４（ａ）のように、チップ８を粘着シート４の電子部品接着部位Ｐの上部に搬送する。このとき、凸状部材１を粘着シート４の電子部品接着部位Ｐに位置させる。これにより、粘着シート４の電子部品接着部位Ｐは、コレット側（上方）に凸状となっており、凸曲面２２の頂点に、チップ８の略中央部が対応する。
【００３５】
次に、図４（ｂ）に示すように、コレット３を降下させる。これにより、チップ８は凸状部材１の頂点に対応する位置の粘着シート４と線接触する。
【００３６】
さらにコレット３が降下すると、図４（ｃ）に示すように、凸状部材１の弾性体２０は、コレット３のチップ８を介した押圧力付与により、板ばねの弾性力に抗して弾性体２０が湾曲変形するとともに、ピン部材２６が下方に降下して電子部品接着部位Ｐは扁平となる。そして、チップ８は、中央部から外縁部に向かって粘着シート４と面接触し、チップ８と粘着シート４との接触範囲を徐々に拡大させる。このようにして、チップ８と粘着シート４との間の空気層を排出しながらチップ８を粘着シート４に接着することができる。
【００３７】
このように、第２実施形態の電子部品供給装置についても前記第１実施形態の電子部品供給方法と同様の作用効果を得ることができる。特に、凸状部材１は、薄肉平板状の弾性体２０と、この弾性体２０を反コレット側から押圧する支持部材２１とから構成しているため、自由状態において、粘着シート４のテンションで凸状部材１が変形するのを防止することができる。これにより、コレット３にて押圧する際に、コレット３の押圧力にて確実に凸状部材１を変形させることができ、一層チップ８が安定して接着され、粘着シート４から剥がれるのを防止することができる。なお、図４に示す電子部品供給装置において、図１〜図３に示す電子部品供給装置と同様の構成については、図１〜図３と同一符号を付してその説明を省略する。
【００３８】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、凸曲面１０、２２の大きさは、チップ８よりも大きければ種々の大きさとすることができ、曲率も種々のものとできる。弾性体９、２０の材質も種々のものとできる。凸状部材１は、かまぼこ形状としたが、半球状のものであっても、太鼓状であってもよい。実施形態では、凸状部材１を移動させて電子部品接着位置Ｐに凸状部材１を対応させたが、フレーム保持体６を移動させる駆動機構を備えたものであってもよく、凸状部材１とフレーム保持体６との両方を移動させるものであってもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１      凸状部材
２      駆動機構
３      コレット
４      粘着シート
８      チップ
９、２０      弾性体
２１    支持部材
Ｐ      電子部品接着部位
【図１】
2013258249.tif 000003
【図２】
2013258249.tif 000004
【図３】
2013258249.tif 000005
【図４】
2013258249.tif 000006
【図５】
2013258249.tif 000007