(57)【要約】【課題】安定した印刷状態を確保しつつ、印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】基板２を搬入した後（ステップＳＴ１）、マスク１３に基板２の上面を接触させ（ステップＳＴ４）、基板２に接触させたマスク１３上でスキージ３３ｂを摺動させるスキージング動作を一往復行ってマスク１３上のペーストＰｔを基板２に転写させたら（ステップＳＴ７及びステップＳＴ８）、基板２をマスク１３から離間させて版離れを行い（ステップＳＴ９）、基板２を搬出させるとともに（ステップＳＴ１１）、マスク１３の下面に付着したペーストＰｔを除去するマスククリーニングを行う（ステップＳＴ１２）工程から成る１枚の基板２に対する印刷作業を繰り返し実行する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に接触されるマスクと、
基板の上面と接触したマスク上で２つのスキージのうちの一方を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージのうちの他方を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク上のペーストを基板に転写させるスキージヘッドと、
スキージヘッドによる基板へのペーストの転写が行われた後、基板をマスクから離間させて版離れを行う版離れ機構と、
版離れ機構による版離れが行われる毎にマスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーニングを行うクリーニング装置とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
基板を搬入する工程と、
搬入した基板の上面をマスクに接触させる工程と、
基板に接触させたマスク上で２つのスキージのうちの一方を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージのうちの他方を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク上のペーストを基板に転写させる工程と、
基板にペーストを転写させた後、基板をマスクから離間させて版離れを行う工程と、
基板の版離れを行った後、基板を搬出する工程と、
基板の版離れを行ったマスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーニングを行う工程から成る１枚の基板に対する印刷作業を繰り返し実行することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項３】
マスククリーニングを基板の搬出と並行して行うことを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク上でスキージを摺動させてマスク上のペーストを基板に転写させるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の電極に半田等のペーストを印刷する装置としてスクリーン印刷機が知られている。スクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスク、基板と接触したマスク上でスキージを摺動させるスキージング動作を行うことによってマスク上のペーストを基板に転写させるスキージヘッド及びスキージヘッドによる基板へのペーストの転写が行われた後、基板をマスクから離間させて版離れを行う版離れ機構を備えるほか、スキージヘッドによるスキージング動作によってマスクの開口部からマスクの下面に回り込んだペーストを拭き取って除去するマスククリーニングを行うクリーニング装置を備えている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機において、スキージヘッドは通常２つのスキージを備えており、１枚の基板に対して２つのスキージのうちの一方による一方向へのスキージング動作を１回行った後、次の１枚の基板に対しては他方のスキージによる前回とは反対の方向へのスキージング動作を行うといった工程を繰り返すようになっている。また、１枚の基板に対して上記２つのスキージによるスキージング動作を１回ずつ行って（すなわち１枚の基板に対して２回のスキージング動作を行って）安定した印刷状態が得られるようにしたものも知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−８９２０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のように、１枚の基板に対して２回のスキージング動作を行うようにすると、基板の１枚当たりに要する印刷作業時間が増大するという問題点が生じる。一方、このような問題点を解決するためにスキージの移動速度を上げると、１回のスキージング動作でマスクの下面に回り込むペースト量が増大し、クリーニング装置によるマスククリーニングが行われる規定のスキージング動作回数（例えば１０回）が到来するまえに基板の電極部の近傍に「にじみ」や「ブリッジ」などが発生し易くなるために印刷不良の発生率が高まってしまう。
【０００６】
そこで本発明は、安定した印刷状態を確保しつつ、印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面と接触したマスク上で２つのスキージのうちの一方を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージのうちの他方を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク上のペーストを基板に転写させるスキージヘッドと、スキージヘッドによる基板へのペーストの転写が行われた後、基板をマスクから離間させて版離れを行う版離れ機構と、版離れ機構による版離れが行われる毎にマスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーニングを行うクリーニング装置とを備えた。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷方法は、基板を搬入する工程と、搬入した基板の上面をマスクに接触させる工程と、基板に接触させたマスク上で２つのスキージのうちの一方を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージのうちの他方を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク上のペーストを基板に転写させる工程と、基板にペーストを転写させた後、基板をマスクから離間させて版離れを行う工程と、基板の版離れを行った後、基板を搬出する工程と、基板の版離れを行ったマスクの下面に付着したペーストを除去するマスククリーニングを行う工程から成る１枚の基板に対する印刷作業を繰り返し実行する。
【０００９】
請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、請求項２に記載のスクリーン印刷方法であって、マスククリーニングを基板の搬出と並行して行う。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、１枚の基板に対して２回のスキージング動作を行うので安定した印刷状態を確保でき、１枚の基板の印刷が終わる毎に（すなわち次の基板の印刷を開始する前に）マスククリーニングを行うので印刷不良が発生しにくい。ここで、マスククリーニングは従来よりも少ない回数（２回）のスキージング動作が終了した時点で行うのでマスククリーニングに要する時間は短く、マスククリーニングを基板の搬出動作の実行中に済ませてしまうことも可能である。また、従来よりも少ない回数のスキージング動作が終了した時点でマスククリーニングを行うことから、１回のスキージング動作でマスクの下面に回り込むペーストの許容量が増大し、その分スキージの移動速度を速くすることができるので、基板の１枚当たりに要する印刷作業時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート
【図４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナによりマスククリーニングを行っている状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行するものであり、基台１１、基台１１の上方に設けられた一対のマスクホルダ１２、マスクホルダ１２によって水平姿勢に保持されて基板２の上面に接触されるマスク１３、基台１１上に設けられた基板保持ユニット移動機構１４、マスク１３の下方において、基板保持ユニット移動機構１４によって移動される基板保持ユニット１５、マスク１３の上方に設けられたスキージヘッド１６、基板保持ユニット１５とマスク１３の間の領域に設けられたカメラユニット１７、マスク１３の下面のクリーニング（マスククリーニング）を行うマスククリーナ１８及びこれら各部の作動制御を行う制御装置１９を備えている。
【００１３】
図１において、マスクホルダ１２は基台１１の上方を水平かつ平行に延びて設けられた一対のレール状の部材から成り、マスク１３は、基板２上の各電極３に対応した多数の開口部１３ｈを有した矩形薄板の金属板から成る金属板部１３ａと、金属板部１３ａの四辺を支持するとともに金属板部１３ａの外方に広がって延びた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部１３ｂから成る。シート状部１３ｂの外周（四辺）は平面視において矩形状のマスク枠１３Ｗによって支持されており、マスク枠１３Ｗの四辺のうち対向する二辺がマスクホルダ１２によって支持されている。
【００１４】
図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１３の金属板部１３ａにはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１３ｍが設けられている。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１３ｍを上下に一致させた状態でマスク１３に基板２を接触させると、基板２の電極３とマスク１３の開口部１３ｈとが合致した状態となる。
【００１５】
基板保持ユニット移動機構１４はＸＹＺロボットから成り、基板保持ユニット１５は、図１及び図２に示すように、基板保持ユニット移動機構１４によって水平面内（ＸＹ面内）の方向への移動（回転も含む）及び上下方向（Ｚ軸方向）の移動がなされるユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて水平面内の一の方向（Ｘ軸方向）に基板２を搬送する一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降される下受け部２４及び基板２の搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する水平面内方向（Ｙ軸方向）に開閉自在に設けられた一対のクランプ部材２５から成る。
【００１６】
一対のコンベア２２は水平面内の一の方向（Ｘ軸方向）への基板２の搬送と所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う。下受け部２４は下受け部昇降シリンダ２３によって昇降されて作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持し、一対のクランプ部材２５は下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する。このように基板保持ユニット１５はコンベア２２により基板２を搬入して保持する基板保持部として機能する。
【００１７】
基板保持ユニット移動機構１４は、基板２を保持した基板保持ユニット１５を移動させて基板２をマスク１３に対して接触させ、また離間させる。
【００１８】
図１及び図２において、スキージヘッド１６はプレート状のベース部３１、ベース部３１に取り付けられた２つのスキージ昇降シリンダ３２及び２つのスキージ昇降シリンダ３２の作動によってベース部３１の下方を上下移動する２つのスキージユニット３３を備えて成る。スキージヘッド１６（ベース部３１）は図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構３４によってマスク１３に対して水平方向（Ｙ軸方向）に往復移動される。
【００１９】
図１及び図２において、各スキージユニット３３はスキージ昇降シリンダ３２のピストンロッド３２ａに取り付けられてＸ軸方向に延びるスキージホルダ３３ａとスキージホルダ３３ａに取り付けられた薄板部材から成るスキージ３３ｂから成る。各スキージユニット３３はスキージ昇降シリンダ３２のピストンロッド３２ａが下方への突没動作によってベース部３１の下方を昇降するが、マスク１３とベース部３１の上下方向の相対位置は変化しないので、各スキージユニット３３をベース部３１に対して下降させることで、スキージ３３ｂをマスク１３に上方から当接させることができる。
【００２０】
スクリーン印刷機１の操作を行うオペレータ（図示せず）は通常、２つのスキージ３３ｂが対向する方向（Ｙ軸方向）の一方側に位置しており、以下の説明では、オペレータが位置する側をスクリーン印刷機１の前方、その反対側をスクリーン印刷機１の後方とする。
【００２１】
図１及び図２において、カメラユニット１７は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂを備えて成る。カメラユニット１７は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラ移動機構１７Ｍ（図２）によって基板保持ユニット１５とマスク１３との間の領域を水平面内方向に移動される。
【００２２】
マスククリーナ１８は、マスク１３と平行な方向（Ｙ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられた平面視断面が矩形状の筒状部材から成るノズル部４１の上端部にペーパー部材４２が掛け渡されて成る。ペーパー部材４２のノズル部４１の上端部に掛け渡された部分はマスク１３の下面と接触してマスク１３の下面に付着したペーストＰｔの残り滓を拭き取る拭き取り領域Ｒである。
【００２３】
マスククリーナ１８は平面内方向への移動と上下方向への移動が可能であり、ノズル部４１の上端部によってペーパー部材４２をマスク１３の下面に押し付けた状態でＹ軸方向に移動することにより、マスク１３の下面に付着したペーストＰｔを拭き取る。ペーパー部材４２の拭き取り領域Ｒは、一対のローラ部材４３によってペーパー部材４２を巻き取ることで更新することができる。
【００２４】
図２において、ノズル部４１内には図示しない空気吸引管路が設けられており、ペーパー部材４２の拭き取り領域Ｒを介して空気吸引管路内に空気を吸引することによりペーパー部材４２によるペーストＰｔの拭き取り効果を向上させることができる。
【００２５】
基板保持ユニット１５のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置１９が前述の下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１５Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１５の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置１９が前述の基板保持ユニット移動機構１４の作動制御を行うことによってなされる。
【００２６】
スキージヘッド１６（ベース部３１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置１９が前述のスキージヘッド移動機構３４の作動制御を行うことによってなされ、各スキージユニット３３の（したがってスキージ３３ｂの）ベース部３１に対する昇降動作は、制御装置１９が２つのスキージ昇降シリンダ３２の作動制御を行うことによってなされる。
【００２７】
カメラユニット１７の水平面内での移動動作は、制御装置１９が前述のカメラ移動機構１７Ｍの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置１９によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置１９に送信されて制御装置１９の画像認識部１９ａ（図２）において画像認識処理される。
【００２８】
マスククリーナ１８の水平面内の移動機構はカメラ移動機構１７Ｍと兼用されており、マスククリーナ１８の水平面内方向への移動動作は制御装置１９がカメラ移動機構１７Ｍの作動制御を行うことによってなされる。マスククリーナ１８の上下方向への移動動作とペーパー部材４２の巻き取り動作及びペーパー部材４２を介したペーストＰｔの吸引動作は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構１８Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２９】
次に、図３のフローチャート及び図４〜図７の説明図を加えてスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業（スクリーン印刷方法）の実行手順について説明する。スクリーン印刷機１の制御装置１９は、スクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置等（図示せず）から基板２が送られてきたことを検知したら、基板保持ユニット１５のコンベア２２を作動させて、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入し（図３に示すステップＳＴ１）、基板保持機構１５Ｍの作動制御を行って基板２を保持する（図４（ａ）。図３に示すステップＳＴ２）。
【００３０】
ここで、基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げるとともに（図４（ａ）中に示す矢印Ａ１）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図４（ａ）中に示す矢印Ｂ１）ことによって行う。
【００３１】
制御装置１９は、基板２を保持したら、カメラ移動機構１７Ｍの作動制御を行い、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させたうえで下方撮像カメラ１７ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせてその画像データから基板２の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ１７ｂをマスク１３に設けられたマスク側マーク１３ｍの直下に位置させたうえで上方撮像カメラ１７ｂにマスク側マーク１３ｍの撮像を行わせてその画像データからマスク１３の位置を把握する。そして、基板保持ユニット１５を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１３ｍとが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図３に示すステップＳＴ３）。
【００３２】
制御装置１９は、マスク１３に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１４の作動制御を行って基板保持ユニット１５を基台１１に対して上昇させ（図４（ｂ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２の上面（及び一対のクランプ部材２５の上面）をマスク１３の金属板部１３ａの下面に下方から接触させる（図４（ｂ）。図３に示すステップＳＴ４）。これにより基板２上の電極３とマスク１３の開口部１３ｈとが合致した状態となる。
【００３３】
制御装置１９は、基板２をマスク１３に接触させたら、制御装置１９に繋がるディスプレイ装置ＤＰ（図２）に、オペレータにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図３に示すステップＳＴ５）。これに対してオペレータは、現在、マスク１３上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意した図示しないペースト供給シリンジにより、マスク１３上にペーストＰｔを供給する。そして、ペーストＰｔの供給が終わったら、制御装置１９に繋がる動作再開ボタンＢＴ（図２）の操作を行う。オペレータは、ペーストＰｔの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンＢＴの操作を行う。
【００３４】
制御装置１９は、ステップＳＴ５において、ディスプレイ装置ＤＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタンＢＴの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図３に示すステップＳＴ６）、動作再開ボタンＢＴからの信号出力に基づいて、オペレータによって動作再開ボタンＢＴの操作がなされたことを検知したときには、制御装置１９は２つのスキージ３３ｂのうちの前方に位置する側のスキージ３３ｂ（以下、前方のスキージ３３ｂと称する）によるスキージング動作（図３に示すステップＳＴ７）と、２つのスキージ３３ｂのうちの後方に位置する側のスキージ３３ｂ（以下、後方のスキージ３３ｂと称する）によるスキージング動作（図３に示すステップＳＴ８）を続けて行う。
【００３５】
ここで、制御装置１９は、前方のスキージ３３ｂによるスキージング動作では、スキージヘッド１６を前方のクランプ部材２５の上方に位置させたうえで前方のスキージ３３ｂを下降させ、前方のスキージ３３ｂの下端をクランプ部材２５と接触しているマスク１３の上面に当接させたうえで、スキージヘッド１６を後方に移動させる（図５（ａ）。図中に示す矢印Ｄ１）。そして、前方のスキージ３３ｂが後方のクランプ部材２５上に達したら、前方のスキージ３３ｂを元の位置まで上昇させる。一方、後方のスキージ３３ｂによるスキージング動作では、制御装置１９は、スキージヘッド１６を後方のクランプ部材２５の上方に位置させたうえで後方のスキージ３３ｂを下降させ、後方のスキージ３３ｂの下端をクランプ部材２５と接触しているマスク１３の上面に当接させたうえで、スキージヘッド１６を前方に移動させる（図５（ｂ）。図中に示す矢印Ｄ２。）そして、後方のスキージ３３ｂが前方のクランプ部材２５上に達したら、後方のスキージ３３ｂを元の位置まで上昇させる。
【００３６】
このようにスキージヘッド１６は、基板２の上面と接触したマスク１３上で２つのスキージ３３ｂのうちの一方（前方のスキージ３３ｂ）を水平面内の一の方向（後方）に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージ３３ｂのうちの他方（後方のスキージ３３ｂ）を第１のスキージングのときとは反対の方向（前方）に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク１３上のペーストＰｔを基板２に転写させるものとなっている。
【００３７】
制御装置１９は、ステップＳＴ７の前方のスキージ３３ｂによるスキージング動作とステップＳＴ８の後方のスキージ３３ｂによるスキージング動作が終了したら、基板保持ユニット移動機構１４を作動させて基板保持ユニット１５を下降させ（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、基板２の版離れを行う（図６（ａ）。図３に示すステップＳＴ９）。
【００３８】
このように本実施の形態において、基板保持ユニット移動機構１４は、スキージヘッド１６による基板２へのペーストＰｔの転写が行われた後、基板２をマスク１３から離間させて版離れを行う版離れ機構として機能する。
【００３９】
制御装置１９は基板２の版離れを行ったら、基板保持機構１５Ｍを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで（図６（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受け部２４を下降させて（図６（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろす。これにより基板保持ユニット１５による基板２の保持が解除される（図６（ｂ）。図３に示すステップＳＴ１０）。
【００４０】
制御装置１９は、基板２の保持を解除したら、基板保持ユニット移動機構１４を作動させて基板保持ユニット１５を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえで、コンベア２２を作動させて基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図３に示すステップＳＴ１１）。
【００４１】
ここで制御装置１９は、ステップＳＴ９の版離れを行った後、ステップＳＴ１０の基板２の保持の解除動作及びステップＳＴ１１の基板２の搬出動作と並行して、マスククリーナ１８によりマスク１３の下面に付着したペーストＰｔの残り滓を拭き取らせてマスク１３の下面をクリーニングするマスククリーニングを実行する（図３に示すステップＳＴ１２）。
【００４２】
このマスククリーニング動作では、制御装置１９は、カメラ移動機構１７Ｍとクリーナ作動機構１８Ｍの作動制御を行ってマスククリーナ１８が備えるペーパー部材４２の拭き取り領域Ｒをマスク１３の下面に押し付けた後、ノズル部４１を水平面内方向（Ｙ軸方向）に移動させて（図７中に示す矢印Ｅ）、ペーパー部材４２によりマスク１３の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取る。ここで、制御装置１９は、上記のマスククリーニングを行う際には、ノズル部４１内の空気吸引管路を介した空気の吸引動作を行うようにする。制御装置１９は、ペーパー部材４２の拭き取り領域ＲにくっついたペーストＰｔが多くなってきた頃に、ペーパー部材４２の巻き取りを行ってペーパー部材４２の拭き取り領域Ｒの更新を行う。
【００４３】
このように本実施の形態において、マスククリーナ１８は、版離れ機構としての基板保持ユニット移動機構１４による版離れが行われる毎にマスク１３の下面に付着したペーストＰｔを除去するマスククリーニングを行うクリーニング装置となっている。
【００４４】
制御装置１９は、基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図３に示すステップＳＴ１３）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００４５】
このように本実施の形態におけるスクリーン印刷機１において、制御装置１９は、コンベア２２が基板２を搬入した後、その基板２を基板保持ユニット１５及び基板保持ユニット移動機構１４がその搬入した基板２を保持してマスク１３に接触させ、スキージヘッド１６が基板２に接触させたマスク１３上で２つのスキージ３３ｂのうちの一方（前方のスキージ３３ｂ）を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージ３３ｂのうちの他方（後方のスキージ３３ｂ）を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク１３上のペーストＰｔを基板２に転写させた後、基板保持ユニット１５が基板２をマスク１３から離間させて版離れを行い、コンベア２２が基板２を搬出させつつ、マスククリーナ１８がマスク１３の下面に付着したペーストＰｔを除去するマスククリーニングを行う一連の動作から成る１枚の基板２に対する印刷作業（ステップＳＴ１〜ステップＳＴ１２）を繰り返し実行させるものとなっている。
【００４６】
そして、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、基板２を搬入する工程（ステップＳＴ１）、搬入した基板２をマスク１３に接触させる工程（ステップＳＴ４）、基板２に接触させたマスク１３上で２つのスキージ３３ｂのうちの一方を一の方向に摺動させる第１のスキージング動作及び２つのスキージ３３ｂのうちの他方を第１のスキージングのときとは反対の方向に摺動させる第２のスキージング動作を１回ずつ続けて行ってマスク１３上のペーストＰｔを基板２に転写させる工程（ステップＳＴ７及びステップＳＴ８）、基板２にペーストＰｔを転写させた後、基板２をマスク１３から離間させて版離れを行う工程（ステップＳＴ９）、基板２の版離れを行った後、基板２を搬出する工程（ステップＳＴ１１）及び基板２の版離れを行ったマスク１３の下面に付着したペーストＰｔを除去するマスククリーニングを行う工程（ステップＳＴ１２）から成る１枚の基板２に対する印刷作業を繰り返し実行するものとなっている。
【００４７】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法）では、１枚の基板２に対して２回のスキージング動作を行うので安定した印刷状態を確保でき、１枚の基板２の印刷が終わる毎に（すなわち次の基板２の印刷を開始する前に）マスククリーニングを行うので印刷不良が発生しにくい。
【００４８】
ここで、本実施の形態では、ステップＳＴ１２のマスククリーニングをステップＳＴ１１の基板２の搬出と並行して行うようになっているが、マスククリーニングは従来よりも少ない回数（２回）のスキージング動作が終了した時点で行うのでマスククリーニングに要する時間は短く、マスククリーニングを基板２の搬出動作の実行中に済ませてしまうことも可能である。
【００４９】
また、従来よりも少ない回数のスキージング動作が終了した時点でマスククリーニングを行うことから、１回のスキージング動作でマスク１３の下面に回り込むペーストＰｔの許容量が増大し、その分スキージ３３ｂの移動速度を速くすることができるので、基板２の１枚当たりに要する印刷作業時間を短縮して基板２の生産性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
安定した印刷状態を確保しつつ、印刷不良の発生を抑えることができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００５１】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１３  マスク
１４  基板保持ユニット移動機構（版離れ機構）
１６  スキージヘッド
１８  マスククリーナ（クリーニング装置）
３３ｂ  スキージ
Ｐｔ  ペースト
【図１】
2013043418.tif 000003
【図２】
2013043418.tif 000004
【図３】
2013043418.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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