(57)【要約】【課題】パーティクルの発生を抑制可能な搬送装置を提供する。【解決手段】本発明に係る搬送装置は、チャンバと、チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、第１磁気ラックの一方の側に配置され、第１磁気ラックとの間に回転軸方向で磁気結合された第１磁気ピニオンと、チャンバに固定して設けられ、基板支持体を移動可能に支持する支持部材とを備え、第１磁気ピニオンを回転することにより、基板支持体を移動させる。【選択図】図１
2013021036.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、
前記基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、
複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、前記第１磁気ラックの一方の側に配置され、前記第１磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された前記第１磁気ピニオンと、
前記チャンバに固定して設けられ、前記基板支持体を移動可能に支持する支持部材と、
を備え、
前記第１磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させる、ことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記基板支持体は、進行方向と垂直な断面において、ハの字状に傾斜して向かい合った側面を有し、その側面に基板を支持可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。  
【請求項３】
複数のピニオン磁石を有する、前記回転軸に対して回転可能な第２磁気ピニオンであって、前記第１磁気ピニオンと第１シャフトを介して接続され、かつ前記第１磁気ラックの他方の側に配置され、前記第１磁気ラックとの間において前記回転軸方向に磁気結合された前記第２磁気ピニオンと、
を備え、前記第１及び第２磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させる、ことを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第１磁気ピニオンが有する複数のピニオン磁石は、前記第２磁気ピニオンが有する複数のピニオン磁石と、位相をずらして配置していることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第１シャフトには、前記第１磁気ラックとの間で、磁気反発力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第３磁気ピニオンとを備えることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第１シャフトには、前記第１磁気ラックとの間で、磁気吸着力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第４磁気ピニオンとを備えることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記基板支持体上で、かつ前記第１磁気ラックとは反対側に配置された、直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第２磁気ラックと、
複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第４磁気ピニオンであって、前記第２磁気ラックの一方の側に配置され、前記第２磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された第４磁気ピニオンと、
複数のピニオン磁石を有する、前記回転軸に対して回転可能な第５磁気ピニオンであって、前記第４磁気ピニオンの第２シャフトと接続され、かつ前記第２磁気ラックの他方の側に配置され、前記第２磁気ラックとの間において前記回転軸方向で磁気結合された前記第５磁気ピニオンと、
前記第２シャフト上に設けられ、前記第２磁気ラックとの間で、磁気吸着力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第６磁気ピニオンと
を備えることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャンバ内の経路に沿って基板を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ラックアンドピニオン機構を用いて、基板トレーを搬送する薄膜形成装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１１８００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、基板の大型化に伴い、基板を搭載した基板支持体の重量が増加していく中、ラックアンドピニオン機構により発生するパーティクルが、無視できなくなり、歩留まりの悪化を引き起こしていた。
【０００５】
そこで、本発明は、従来の問題に鑑みてなされたものであり、パーティクルの発生を抑制する搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送装置は、チャンバと、前記チャンバ内の経路に沿って移動可能な基板支持体と、前記基板支持体上に直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第１磁気ラックと、複数のピニオン磁石を有する、回転軸に対して回転可能な第１磁気ピニオンであって、前記第１磁気ラックの一方の側に配置され、前記第１磁気ラックとの間に前記回転軸方向で磁気結合された前記第１磁気ピニオンと、前記チャンバに固定して設けられ、前記基板支持体を移動可能に支持する支持部材とを備え、前記第１磁気ピニオンを回転することにより、前記基板支持体を移動させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、パーティクルの発生を抑制する搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略図である。
【図２】図１の基板搬送装置の概略断面図である。
【図３】図１の上部マグネットを説明する拡大図である。
【図４】図１の磁気ラックおよび磁気ピニオンの拡大図である。
【図５】変形例の磁気ピニオンの上面図である。
【図６】変形例の磁気ラックの上面図である。
【図７】変形例の磁気ラックの側面図である。
【図８】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【図９】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【図１０】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【図１１】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【図１２】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【図１３】変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の概略側面図である。図２は、本発明に係る基板処理装置の側断面図である。
【００１０】
図１に示すように、基板処理装置１は、チャンバ１Ａと、該チャンバ１Ａとゲートバルブ１１を介して接続されたチャンバ１Ｂを備えている。チャンバ１Ａとしては、ロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。チャンバ１Ｂとしては、アンロードロックチャンバ、スパッタリング成膜用チャンバ、ＣＶＤ成膜用チャンバ、エッチングチャンバなどが挙げられる。各チャンバは、不図示の排気手段と接続されており、減圧雰囲気に排気可能な筐体である。なお、本例では、２つのチャンバを示しているが、これに限定されず、３つ以上のチャンバを含んでもよい。
【００１１】
図２は、基板搬送装置の概略断面図である。図２に示すように、縦向きに配置された基板支持体４は、進行方向と垂直な断面において、ハの字状に傾斜して向かい合った矩形の側面を有し、その側面にそれぞれ矩形の基板２を支持可能に構成されている。即ち、基板支持体４は、ハの字状に向かい合った傾斜側壁４ａ、４ｂと、該傾斜側壁４ａ、４ｂの各上端部を連結して平坦に設けられた上壁４ｃを有している。
基板２は、縦１７００ｍｍ以上横１３００ｍｍ以上の大型の矩形基板を用いたが、これに限定されず、円盤状の基板であってもよい。基板支持体４は、縦２０００ｍｍ以上、横１７００ｍｍ以上である。
基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの内側には、水平方向にわたって、係合部材（以下、ガイドレール）１４が設けられている。なお、係合部材１４は、曲面状の溝を有していてもよいし、摺動可能な平面を有するだけでもよい。
【００１２】
一方、図１に示すように、チャンバ１Ａ、１Ｂ内には、基板支持体４の移動経路に沿って、回転可能な複数の軸受（以下、ガイドローラ）３が離間して設けられている。ガイドローラ３は、該基板支持体４のガイドレール１４の溝にはめ込まれ、基板支持体４を水平方向に移動可能に支持する支持部材として機能している。
複数のガイドローラ３により、基板支持体４の自重を分散して支持することができるため、このガイドローラ３とガイドレール１４との接触により発生するパーティクルを低減することができる。
【００１３】
図２に示すように、基板支持体４の傾斜側壁４ａ、４ｂの下端部には、それぞれ水平方向に渡って、複数のラック磁石を有する第１磁気ラック６が設けられている。各第１磁気ラック６の下方には、第１磁気ラック６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン５ａ、５ｂが設けられている。図１に示すように、基板支持体４が移動する経路にそって、基板支持体の進行方向と垂直に複数の磁気ピニオン５が所定の間隔を隔てて配置されている。図２に示すように、基板支持体４の一方の傾斜側壁４ａの下端部に形成された、第１磁気ラック６ａと磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。さらに、基板支持体４の他方の傾斜側壁４ｂの下端部に形成された、第１磁気ラック６と磁気結合する磁気ピニオン５ａ、５ｂの回転軸も、モータ７の回転軸５１と接続され、モータ７の回転により回転可能になっている。なお、本例では、磁気ピニオン５は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを有するが、これに限定されず、片方のみの磁気ピニオンであってもかまわない。
【００１４】
磁気ピニオン５を回転することにより、基板支持体４は、矢印の方向へ直線的に移動可能である。この磁気ピニオン５と第１磁気ラック６とにより、非接触状態で磁気ピニオン５の回転を第１磁気ラック６の直線移動への変換する磁気駆動部が構成される。なお、図１に示すように、離間して設けられた複数の磁気ピニオンを回転するために、個別にモータを設けて、各モータを同期する制御手段を設けてもよい。また、複数の磁気ピニオン５同士を、ギアで連結し、単一のモータで、各磁気ピニオンの回転を同期させることもできる。
以上のように、基板支持体の進行方向に垂直に並べられた複数の磁気ラックと磁気ピニオン５により非接触の磁気駆動部を作成することにより、基板支持体の進行方向に沿って設けなければならない磁気ネジの場合と比較して、装置の小型化、製造コストの面で有利である。
【００１５】
図１及び図２に示すように、基板支持体４の上壁４ｃ上には、上部マグネット９が設けられている。一方、チャンバ１Ａの天井には、該マグネット９と磁気結合するマグネット８が配置されている。
図３は、図１の上部マグネット８，９を説明する拡大図である。図３（ａ）は断面図であり、図３（ｂ）は側面図である。
図３（ａ）に示すように、チャンバ側には、異なる磁極の棒状マグネット８ａ、８ｂが２列に並べられている。基板支持体側には、異なる磁極の棒状マグネット９ａ、９ｂが２列に並べられている。
図３（ｂ）に示すように、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ａ（本例ではＮ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ａ（Ｓ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。同様に、チャンバ側に固定された棒状マグネット８ｂ（本例ではＳ極）と、基板支持体４側に固定された棒状マグネット９ｂ（Ｎ極）が非接触状態で鉛直方向に磁気結合している。
以上より、基板支持体４は、安定した鉛直の姿勢を維持することができるとともに、基板支持体４を上方に引き上げる力が作用するため、基板支持体を支持するガイドローラへの負荷が軽減され、ガイドローラからのパーティクルの発生を抑制することができる。
【００１６】
図４は、図１の磁気ラック６および磁気ピニオン５の拡大図である。
図４（ａ）に示すように、第１磁気ラック６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線的に配置された複数のラック磁石を含む。また、円筒形の回転可能な第１磁気ピニオン５ａは、水平方向に伸びた回転軸Ｘの周りに交互に並べられたＮ極磁石とＳ極磁石を含む。なお、ラック磁石の各磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
図４（ｂ）に示すように、第１磁気ラック６を挟んで、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂが、水平方向に伸びたシャフト５０を介して接続されて設けられている。水平方向に伸びたシャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘは、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸を示している。本例では、第１磁気ラック６と第１磁気ピニオン５ａとの間に生じる磁界は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第１磁気ピニオン５ａの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第１磁気ラック６と第２磁気ピニオン５ｂとの間に生じる磁界も、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第２磁気ピニオン５ｂの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
このように、第１磁気ラック６を挟んだ両側に、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂを配置することにより、第１磁気ピニオン５ａと第１磁気ラック６との磁力と、第２磁気ピニオン５ｂと第１磁気ラック６との磁力が相殺され、基板支持体は、水平方向での変動が少なく、安定した姿勢を維持することができる。
【００１７】
図５は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂの位相のズレを説明する図である。図５では、磁気ピニオンのラック磁石に対して磁気結合する面を表示している。
前述したとおり、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂを構成する各ピニオン磁石は、同一形状で同一の大きさで構成されている。
図５（ａ）は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で位相のズレがない場合を示す。この場合は、基板支持体への推進力を大きくすることができる。
一方、図５（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で、それぞれ２２．５°、４５°、６７、５°位相がずれた状態を示している。このように、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間で位相をずらすことで、最大推力は低下するが、水力変動が軽減され、なめらかな移動が可能になる。第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂとの間の位相のずれとしては、１５〜８５°、より好ましくは２２．５〜６７．５°となるように設定している。
【００１８】
（変形例）
図６は、変形例の磁気ラックの側面図である。図４等で示したラック磁石と異なり、本例の磁気ラック６は、Ｎ極の磁石とＳ極の磁石が所定の間隔を空けて配置されている。このように磁気ラック６の各磁石の間隔を空けることで、対応して磁気ピニオン側の各磁石も同ピッチの間隔を空けることができる。そのため、磁気ピニオン側の磁石として、上述した扇形の磁石ではなく、棒磁石を用いることができる。そのため、本例では、製造コストを低減できる。
【００１９】
図７は、磁気ラックの変形例として磁性体ラック６０を示す。磁性体ラック６０としては、鉄、ＳＵＳ４３０などの磁性体が挙げられる。本例の磁性体ラック６０は、所定の間隔を空けて凹凸形状に形成されている。この磁性体ラック６０と、図４等で示した磁気ピニオン５ａ、５ｂと組み合わせて、磁気駆動部を構成してもよい。磁性体を用いることで、磁石を用いた場合に比べ、基板支持体への推進力は低下するが、磁石よりも低コストで磁気ラックを製造することができる。
【００２０】
図８は、変形例の磁性体ピニオンを示す。磁性体ピニオン２５は外周部に凹凸が形成された円板状の磁性材となっている。この磁性体ピニオン２５と、図４又は図７で示した磁気ラック６とを組み合わせて、磁気駆動部を構成してもよい。このように磁性体ピニオンを用いることで、磁石を用いた場合に比べ、基板支持体への推進力は低下するが、磁石よりも低コストで磁気ピニオンを製造することができる。
【００２１】
図９は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図４等で示した第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例では、第１シャフト５０上に、磁気ラック６との間に、磁気反発力を生じさせるための複数のピニオン磁石を有する回転可能な第３磁気ピニオン５ｃを備える。この第３磁気ピニオン５ｃの各ピニオン磁石は、シャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘ方向に着磁されている。しかし、これに限定されず、第３磁気ピニオン５ｃの各ピニオン磁石を、回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁してもよい。
このように、本例では、磁気ラック６の下側に、磁気ラック６と同極のピニオン磁石が位置し、磁気反発力により基板支持体４を浮上させることで、よりなめらかな移動が可能となる。
【００２２】
図１０は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。
この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図１等で示した第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、第１実施形態に係る磁気ラックおよび磁気ピニオンと相違して、第１シャフト５０上に、第１磁気ラック６と磁気結合するための第３磁気ピニオン５ｃが追加されている。つまり、本例では、第１磁気ラック６の下側に、第１磁気ラック６との間に磁気吸着力が生じる異極のピニオン磁石が位置し、これにより、この変形例では、基板支持体４により大きな推進力を伝達することができる。この第３磁気ピニオン５ｃは、シャフト５０の回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁されているが、これに限定されず、回転軸Ｘ−Ｘから径方向に着磁してもよい。
この例では、追加された第３磁気ピニオン５ｃと第１磁気ラック６とが鉛直方向で磁気結合するため、図２に示すようにガイドローラ３と基板支持体４との間に、基板支持体の自重以上の大きな力が加わる。これを軽減するため、本例では、下側方向への磁力を相殺するため、基板支持体４の上部にも、第２磁気ラック１６および磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられている。
【００２３】
具体的には、図１０に示すように、変形例における基板支持体４の上端部には、チャンバ内に、直線的に並べられた複数のラック磁石を有する第２磁気ラック１６が設けられている。すなわち、基板支持体４上には、第１磁気ラック６と反対側に第２磁気ラック１６が設けられている。この第２磁気ラック１６の上方には、第２磁気ラック１６とは非接触状態で磁気結合した、複数のピニオン磁石を有する回転可能な磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃが設けられている。
図１０（ａ）に示すように、第２磁気ラック１６は、Ｎ極磁石とＳ極磁石が交互に直線的に配置された複数のラック磁石を含む。また、円筒形の回転可能な第４磁気ピニオン１５ａは、Ｎ極磁石とＳ極磁石とが回転軸の周りに交互に並べられた複数のピニオン磁石を含む。なお、各ラック磁石は同一形状で、同一間隔で配置されている。同様に、各ピニオン磁石も同一形状で、同一間隔で配置されている。
磁気ピニオン１５の回転軸は、チャンバ１Ａの外部に設けられたモータ（不図示）の回転軸と接続され、モータの回転により回転可能になっている。
【００２４】
図４（ｂ）に示すように、第２磁気ラック１６を挟んで、第４磁気ピニオン１５ａと、第５磁気ピニオン１５ｂが離間して設けられている。本例では、第２磁気ラック１６と第４磁気ピニオン１５ａとの間に生じる磁界は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第４磁気ピニオン１５ａの各ピニオン磁石は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第２磁気ラック１６と第５磁気ピニオン１５ｂとの間に生じる磁界も、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第５磁気ピニオン１５ｂの各ピニオン磁石は、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの回転軸方向に着磁されている。
このように、第２磁気ラック１６を挟んだ両側に、第４磁気ピニオン１５ａと、第５磁気ピニオン１５ｂを配置することにより、第４磁気ピニオン１５ａとラック磁石１６との磁力と、第５磁気ピニオン１５ｂと第２磁気ラック１６との磁力が相殺され、基板支持体は安定した姿勢を維持することができる。
さらに第２シャフト１５０上に、第２磁気ラック１６と磁気結合するための第６磁気ピニオン５ｃが追加されている。この磁気吸着力により、この変形例では、基板支持体４により大きな推進力を伝達することができる。
【００２５】
図１１は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。この変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンは、図２に示した磁気ラックおよび磁気ピニオンと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。しかしながら、この変形例では、パーティクルのさらなる削減のため、磁気ピニオン５ａ、５ｂ、シャフト５０及び回転駆動軸５１が隔壁１２を介して、プロセス環境外（大気側）に配置されている点で相違する。また、磁気ピニオン５ａ、５ｂをチャンバ１Ａの外側に設けるようにしてもよい。
また、図１１には示していないが、図１０で示した磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃを用いた場合も、同様に、磁気ピニオン１５ａ、１５ｂ、１５ｃを、隔壁を介して大気側に設ける、もしくはチャンバ１Ａの外側に設けるようにしてもよい。
【００２６】
図１２は、変形例の磁気ラックおよび磁気ピニオンの概略図である。この変形例では、図４に示した磁気ピニオンとは異なり、基板支持体４の両側に第１磁気ラック６ａと第２磁気ラック６ｂを設け、第１磁気ラック６ａと第２磁気ラック６ｂを挟んで、それぞれ磁気ピニオンを設け、かつ各磁気ピニオンの回転軸が鉛直方向を向いている点で相違する。
【００２７】
具体的には、基板支持体４の一方側の第１磁気ラック６ａは、鉛直方向で第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂと磁気結合している。第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂは、シャフト５０を介して連結され、シャフト５０はモータ７ａの回転軸と連結されている。
つまり本例では、第１磁気ラック６ａと第１磁気ピニオン５ａとの間に生じる磁界は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第１磁気ピニオン５ａの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に磁化されている。
同様に、第１磁気ラック６ａと第２磁気ピニオン５ｂとの間に生じる磁界も、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第２磁気ピニオン５ｂの各ピニオン磁石は、第１磁気ピニオン５ａと第２磁気ピニオン５ｂの回転軸方向に着磁されている。
一方、基板支持体４の他方側の第２磁気ラック６ｂは、鉛直方向で第７群磁気ピニオン５５ａ及び第８群磁気ピニオン５５ｂと磁気結合している。第７群磁気ピニオン５５ａと第８群磁気ピニオン５５ｂは、シャフト５０を介して連結され、シャフト５０はモータ７ｂの回転軸と連結されている。
つまり本例では、第２磁気ラック６ｂと第７磁気ピニオン５５ａとの間に生じる磁界は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第７磁気ピニオン５５ａの各ピニオン磁石は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に着磁されている。
同様に、第２磁気ラック６ｂと第８磁気ピニオン５５ｂとの間に生じる磁界も、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に向いている。つまり、第８磁気ピニオン５５ｂの各ピニオン磁石は、第７磁気ピニオン５５ａと第８磁気ピニオン５５ｂの回転軸方向に着磁されている。
モータ７ａ、７ｂは、制御部２０と接続され、制御部２０により同期して回転可能になっている。
【００２８】
図１３は、制御部２０を用いず、２つの磁気ピニオンを同期する機構を説明する図である。本例では、モータ７の回転軸と連結された回転伝達手段（例えば、ギア、傘歯車、磁気歯車、ベルト）により、一方の側のピニオンの回転軸５１ａと、他方の側のピニオンの回転軸５１ｂとを同期して回転することができる。
具体的には、モータ７の回転軸５１ａの先端部には、回転伝達手段１３ａが設けられている。回転伝達手段１３ａは、シャフト５１ｃに連結された回転伝達手段１３ｂと係合され、モータ７の回転をシャフト５１ｃの回転への変換している。さらにシャフト５１ｃの両端部には、回転伝達手段１３ｃ、１３ｄが設けられている。
回転伝達手段１３ｃは、磁気ピニオンの回転軸５１ａの先端に連結された回転伝達手段１３ｅと係合しており、シャフト５１ｃの回転は磁気ピニオンの回転軸５１ａの回転へと変換させることができる。同様に、回転伝達手段１３ｄは、磁気ピニオンの回転軸５１ｂの先端に連結された回転伝達手段１３ｆと係合しており、シャフト５１ｃの回転は磁気ピニオンの回転軸５１ａの回転へと変換させることができる。
こうした機構により、モータ７の回転は、同期して、二つの磁気ピニオンの回転軸５１ａ、５１ｂの回転へと変換される。
この場合、パーティクルの発生を防止する観点から、回転伝達手段１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｆの部分はチャンバの外側に配置することが好ましい。
なお、図１４では、回転伝達手段１３として、傘歯車を用いた例を示したが、磁気歯車を用いることで、非接触状態で回転を伝達してもよい。
【００２９】
本発明の搬送装置は、各実施形態で述べられたいかなる特徴をも組み合わせることによって構成することができる。
また、第４磁気ピニオン１５ａと第５磁気ピニオン１５ｂの位相も、図６で示した、第１磁気ピニオン５ａ及び第２磁気ピニオン５ｂと同様に、互いにずらすようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１Ａ，１Ｂ  チャンバ
２  基板
３  支持部材（ガイドローラ）
４  基板支持体
５  下部磁気ピニオン
５ａ  第１磁気ピニオン
５ｂ  第２磁気ピニオン
５ｃ  第３磁気ピニオン
６  下部磁気ラック（第１磁気ラック）
７  モータ
８ａ，８ｂ  磁石
９ａ，９ｂ  磁石
１０  磁気駆動部
１２  隔壁
１３  回転伝達手段
１４  ガイドレール
１５  上部磁気ピニオン
１５ａ  第４磁気ピニオン
１５ｂ  第５磁気ピニオン
１５ｃ  第６磁気ピニオン
１６  上部磁気ラック（第２磁気ラック）
２５  磁性体ピニオン
５０  第１シャフト
５１  駆動軸
５５ａ  第７群磁気ピニオン
５５ｂ  第８群磁気ピニオン
１５０  第２シャフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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