(57)【要約】【課題】同一欠陥やマスク損傷等の不良の発生時に行われる剥離処理と、前記剥離処理とは処理条件の異なる通常の現像処理とを、同一装置で、同時に投入することが可能で、装置前滞留やスループット低下がなく、しかも現像処理時間の延長を行うことのない、最適現像可能なカラーフィルタ現像装置及び使用済み現像液の再利用方法を提案すること。【解決手段】基板上に塗布された感光性レジストに対して欠陥検査を行い、パターン露光あるいは未露光状態の、前記感光性レジストを、現像処理あるいは剥離処理するカラーフィルタ現像装置であって、現像槽が上段槽下段槽の２段の構成で、上段槽若しくは下段槽において現像新液により現像処理を行い、もう一方の段で前記現像において使用した使用現像液を用い剥離処理する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に塗布された感光性レジストに対して欠陥の有無を検査する欠陥検査手段を持ち、前記欠陥検査の結果に基づき、パターン露光及び現像処理を行うか、剥離処理を行うかの判断手段を持った、現像処理あるいは剥離処理を行うカラーフィルタ現像装置であって、
前記カラーフィルタ現像装置が上段槽と下段槽の２段の構成で、上段槽若しくは下段槽が現像新液により現像処理を行う現像処理手段であり、
もう一方の段が前記現像処理において使用した使用現像液を用いて剥離処理を行う剥離処理手段であることを特徴とする現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置。
【請求項２】
前記上段槽と前記下段槽それぞれにおいて、投入される基板の搬送速度、現像液の液温、現像液の吐出流量・圧調整を個別に制御する手段を持つことを特徴とする請求項１に記載の現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置。
【請求項３】
前記上段槽あるいは前記下段槽に、投入される基板に対して、欠陥の有無を検査する手段を持ち、欠陥のない基板に対しては現像処理を、欠陥のある基板に対しては剥離処理に振分をする手段を持つことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置。
【請求項４】
請求項1〜３のいずれか一項に記載の現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置を用い、カラーフィルタ基板の現像に用いた使用済み現像液にて、欠陥のある基板の剥離処理を行うことを特徴とする使用済み現像液の再利用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ現像装置に関し、特に、液晶カラーフィルタの製造工程における、露光後の現像処理あるいは未露光レジストの除去に用いる、現像液の再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置及び使用済み現像液の再利用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等に使用されるカラーフィルタの製造プロセスは、ガラス等の透明基板上にレッド、グリーン、ブルー等の感光性の着色レジストを塗布し、パターン露光後に現像工程により、パターン形成を行うフォトリソグラフィー工程を含む場合が一般的である。
【０００３】
現像工程の目的は、露光後の未硬化レジストの溶解、剥離除去であるが、露光工程での異物起因の同一欠陥やガラスカレット起因のマスク損傷を、事前に防止するため露光前検査として、レジスト塗布後の現像工程前に欠陥検査行うのが一般的である。
【０００４】
欠陥検査において、同一欠陥やマスク損傷等の不良を検出した場合、材料費削減のため、欠陥を持つ基板をラインに再投入し、全面の未硬化レジストを除去する剥離処理が行われる。
【０００５】
現像工程では、露光後の未硬化レジストを溶解する現像ステップ、又は剥離除去を目的とした剥離ステップ、現像後の現像反応の停止ステップ、現像液成分の除去を主目的とした水洗ステップに大きく分けることができ、現像方式としては、ステップ・パドル現像、揺動シャワー現像、ディップ式現像などがある。
【０００６】
図３は、一般的なステップ・パドル現像方式のフローを示した概念図であるが、パターン露光された基板は、基板の流れ１８に沿って、現像工程１に投入され、現像液４により現像され、次に水置換工程２に搬送される。続いてウォーターカーテン１０を経由して、循環１シャワー５、循環２シャワー６の後、高圧２流水７、直水リンス８、直水９の後エアーナイフ１１にて水切りが行われる。
【０００７】
現像工程１にて使用された現像液４は、現像タンク１３に集められ、リザーブタンク１２から、現像新液１９が供給される。現像新液１９が加えられた現像液は現像フィルター１６にて異物を除去され再利用される。
【０００８】
水置換工程２において使用される水循環１タンク、水置換２タンクからの再利用水は、ドレイン１７から廃棄される。水洗工程３において回収され、貯められた水は、水循環タンク１に比べ、水循環タンク２の水の方が、基板から洗い流される現像液の量は少なくなり、直水９に近くなる。水循環タンク１の水の方が、水置換２タンクの水と比較して汚れている。
【０００９】
全面未硬化のレジストを剥離処理する場合、レジストの溶解量が通常より多くなるため、通常の現像条件では、完全にレジストを溶解させるのは困難となる。また剥離処理不足の場合、異物周辺部の塗膜が厚膜化してしまい、次工程での塗布不良や塗布膜厚不均一、色残りによる露光機マーク読み取り不良等が発生する可能性がある。
【００１０】
上記の解決策として一般的には現像処理時間の延長（現像装置搬送速度ｄｏｗｎ）にて
対応し、剥離処理を実施している。この運用での問題点は、同一現像装置内に、複数の基板が存在する場合には、処理時間の異なる基板を投入すると、一方が最適現像されなくなる。よって、品質上、剥離処理を行う基板と通常の現像処理を行う基板とを、同一装置・搬送系に同時に投入することはできない。
【００１１】
また、欠陥が検出された剥離処理を行う基板と、欠陥がなく通常の現像を行なう基板とを同一装置・搬送系できるように、両者対応するために複数の現像液を用いることが考えられるが、複数の現像液を用いるとライン長が長くなりすぎる。この対策として、ライン長を短くし小型化するために、現像液の切替え時にエアーノズルを取付け、早期に現像液を切って水洗工程で、現像反応を停止、現像液の持ち出しを防止する提案がなされているが十分ではない（特許文献１）。
【００１２】
よって、処理時間が長くなる剥離処理を行う基板の投入においては、一時的に装置前滞留やスループット低下を引き起こす。これに対する対策として剥離作業を全面的に禁止し、再生処理やライン停止時の再投入を行えば上記の問題は発生しない。しかしながら新たに人手、時間、材料が必要となり、最適作業とは言えず、省資源化の観点から言っても問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平１０−３１２０６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
同一欠陥やマスク損傷等の不良の発生時に行われる剥離処理と、前記剥離処理とは処理条件の異なる通常の現像処理とを、同一装置で、同時に投入することが可能で、装置前滞留やスループット低下がなく、しかも現像処理時間の延長を行うことのない、最適現像可能なカラーフィルタ現像装置及び使用済み現像液の再利用方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、基板上に塗布された感光性レジストに対して欠陥の有無を検査する欠陥検査手段を持ち、前記欠陥検査の結果に基づき、パターン露光及び現像処理を行うか、剥離処理を行うかの判断手段を持った、現像処理あるいは剥離処理を行うカラーフィルタ現像装置であって、
前記カラーフィルタ現像装置が上段槽と下段槽の２段の構成で、上段槽若しくは下段槽が現像新液により現像処理を行う現像処理手段であり、
もう一方の段が前記現像処理において使用した使用現像液を用いて剥離処理を行う剥離処理手段であることを特徴とする現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置である。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明は、前記上段槽と前記下段槽それぞれにおいて、投入される基板の搬送速度、現像液の液温、現像液の吐出流量・圧調整を個別に制御する手段を持つことを特徴とする請求項１に記載の現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置である。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、前記上段槽あるいは前記下段槽に、投入される基板に対して、欠陥の有無を検査する手段を持ち、欠陥のない基板に対しては現像処理を、欠陥のある基板に対しては剥離処理に振分をする手段を持つことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置である。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項1〜３のいずれか一項に記載の現像液再利用手段を有するカラーフィルタ現像装置を用い、カラーフィルタ基板の現像に用いた使用済み現像液にて、欠陥のある基板の剥離処理を行うことを特徴とする使用済み現像液の再利用方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本願は発明により、現像前工程における不良の発生時に起こる、一時的な装置前滞留やスループットの低下をなくし、現像に使用した現像液を、剥離処理に使用できるため、現像液の再生処理が不要となり、現像液の使用量の削減、省資源化が可能となる。更には装置自体を上段下段の２段構成にすることにより、装置設置スペース(平面)の縮小化も実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本願発明における、現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置を示した、概念図である。
【図２】本願発明の、欠陥検査手段と欠陥検査の結果を基に、現像処理と剥離処理に振分る手段を持った現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置を示した、概念図である。
【図３】一般的なステップ・パドル現像方式のフローを示した概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下本発明の形態を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の、現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置を示しており、現像槽は上段槽２１と下段槽２２から構成されている。上段槽２１と下段槽２２の、一方が現像処理槽であり、もう片方が剥離処理槽となる。
【００２２】
図１は、上段槽２１において、現像処理を行う状態の一例を示しており、現像新液１９が供給される。現像が行われた現像使用液２８は１タンク２３、２タンク２４にて、ヒーター２５により温度調整をされた後に、下段槽２２に送られ剥離処理に再利用２６される。また、図1に示すように、配管の弁２７の開閉により、上段槽２１を剥離処理槽に、下段槽２２現像処理槽にすることができる。
【００２３】
図２は、本願発明の、欠陥検査手段と欠陥検査の結果を基に、現像処理と剥離処理に振分ける手段を持った、現像液再利用機構を有するカラーフィルタ現像装置を示しており、欠陥検査装置２９により、同一欠陥やマスク損傷等の不良の有無を確認し、振分け装置３１により、欠陥のないものと欠陥が検出されたものとに振分け、昇降装置３０により、上段、下段にセットする。
【００２４】
欠陥のない基板に対しては、露光３２が行われ、現像処理槽となっている上段槽２１に投入される。一方欠陥が検出された不良基板は、露光を行わずに剥離処理槽となっている下段槽２２投入される。下段槽２２においては、上段槽にて現像に使用された現像使用液２８が使われる。
【００２５】
上段槽２１と下段槽２２は、投入される基板の搬送速度、現像液の液温、現像液の吐出流量・圧調整を個別に制御されており、現像処理、剥離処理に適した条件に設定される。これにより、現像前工程における、不良が発生した時に生じる、一時的な装置前滞留、スループット低下を解消することができる。
【００２６】
また、上下どちらか一方で使用した現像液をもう一方にて使用するため、再生処理、再投入が不要となり、新たな材料費用もかからないため、省資源化にもつながる。更には、
装置自体を上段槽下段槽の２段構成しているため、装置設置スペース(平面)の縮小化も実現できる。
【００２７】
図1においては、本願発明の２段構成の現像槽を示しているが、本願発明においては、図示されていないが、図３に示した水置換工程２、ウォーターカーテン１０、循環１シャワー５、高圧２流水７、直水リンス８、直水９の後エアーナイフ１１にて水切りが行われる。更に、使用された現像液は、剥離処理前に現像フィルター１６にて異物を除去され再利用される。
【００２８】
本願は発明により、現像前工程において欠陥が検知されても、通常の現像処理行いながら、条件の異なる剥離処理を行うことができ、従来問題となっていた一時的な装置前滞留やスループットの低下を生じない。更に現像に使用した現像液を、剥離処理に使用するため、現像液の無駄がなく再利用ができ、しかも装置自体が上段槽下段の２段構成であり、装置が大型化してしまうことはない。
【符号の説明】
【００２９】
１・・・現像工程
２・・・水置換工程
３・・・水洗工程
４・・・現像液
５・・・循環シャワー１
６・・・循環シャワー２
７・・・高圧２流水
８・・・直水リンス
９・・・直水
１０・・・ウォーターカーテン
１１・・・エアーナイフ
１２・・・リザーブタンク
１３・・・現像タンク
１４・・・水循環タンク１
１５・・・水循環タンク２
１６・・・現像フィルター
１７・・・ドレイン
１８・・・基板の流れ
１９・・・現像新液
２０・・・現像廃液
２１・・・上段槽
２２・・・下段槽
２３・・・タンク１
２４・・・タンク２
２５・・・ヒーター
２６・・・再利用
２７・・・弁
２８・・・現像使用液
２９・・・欠陥検査装置
３０・・・昇降装置
３１・・・振り分け装置
３２・・・パターン露光
【図１】
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【図２】
2013145783.tif 000004
【図３】
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