(57)【要約】【課題】剛性の高い静圧液体軸受装置を提供する。【解決手段】磁性体で形成されたガイド４の案内面５に軸受隙間ｄ１及びｄ２を介在させて受圧面６及び７を有する静圧液体軸受１５が設けられている。軸受隙間ｄ１及びｄ２に流体が供給されていないときには、ガイド４の案内面５と永久磁石１の受圧面６との間に隙間ｄ２−ｄ１が画成されるように、外装２の受圧面（支持部）７がガイド４の案内面５に当接する。隙間ｄ２−ｄ１に連通する流体供給路３、８、９が静圧液体軸受１５に設けられていて、流体供給手段１０から流体供給路３、８、９への流体の供給により静圧液体軸受１５を浮上させることができる。静圧液体軸受１５のガイド４の案内面５への着座時における受圧面積の増大に伴い、磁気吸引力を高めることができ、これにより、軸受隙間ｄ１及びｄ２を狭めることや、流体供給圧力を高めることが可能となり、静圧液体軸受装置２０の剛性を高めることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内面を有し、磁性体で形成されているガイドと、
前記案内面に対向し、軸受隙間を画成する受圧面を有する静圧液体軸受と、
前記軸受隙間に流体を供給する流体供給手段と、を備える静圧液体軸受装置であって、
前記静圧液体軸受は、永久磁石と該永久磁石を支承する外装とを有し、前記軸受隙間に前記流体が供給されていないときに、前記案内面と前記永久磁石の受圧面との間に隙間が画成されるように前記外装の支持部が前記案内面に当接するように構成されており、
前記永久磁石の受圧面と前記案内面との間に画成された前記隙間に連通する流体供給路が前記静圧液体軸受に設けられていて、該流体供給路が前記流体供給手段に接続されていることを特徴とする静圧液体軸受装置。
【請求項２】
前記永久磁石が前記外装に設けられた凹部内に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項３】
前記外装が磁性体から形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項４】
前記外装の側面に磁気遮蔽部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項５】
前記外装には複数の凹部が設けられており、該複数の凹部の各々に永久磁石が固定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項６】
前記永久磁石は、スペーサを介して前記外装に支承されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項７】
前記スペーサは、弾性体から形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項８】
前記スペーサは、高透磁率材から形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の静圧液体軸受装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の静圧液体軸受を搭載する静圧ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧液体軸受装置に関し、特に精密加工機、精密測定機あるいは半導体製造装置などで用いるステージ装置において、非接触支持された静圧ステージの高剛性化を可能にする静圧液体軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密加工機、精密計測機あるいは半導体製造装置などで用いる位置決め機能を有するステージ装置を高性能化するためには、位置決め対象物を支持する軸受の高精度化が必要となる。位置決め精度が数十ナノメートルオーダで要求される場合には、静圧液体軸受により非接触支持された静圧ステージが一般に用いられている。これは、非接触支持であるために、摩擦を小さくでき、塵埃の発生を抑えることができ、且つ発熱を低減させることができるという利点があるからである。しかしながら、ナノメートルオーダの位置決め精度を要求する場合、静圧ステージの剛性が不足するという問題点があった。
【０００３】
静圧ステージの剛性を高めるために、永久磁石の磁気吸引力を利用した予圧手段により、軸受とガイドとの間の隙間を狭め、剛性を向上させる方法が提案されている。しかしながら、軸受に永久磁石を配置する専用の面積が必要であるため、静圧ステージ全面に軸受を配置することができず、剛性を十分に高めることができないという課題があった。
【０００４】
上記課題の解決手段として、静圧発生空間と磁気吸引力発生空間が共通化されている静圧液体軸受装置が提案されている（特許文献１）。動作流体の供給孔が開口されている受圧面全面が永久磁石により構成されており、静圧発生空間である静圧液体軸受とガイドとの間の軸受隙間を通る磁束によって磁気吸引力を発生させる磁気回路を構成することで、永久磁石専用の面積を削減している。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されている静圧液体軸受装置では、受圧面が永久磁石によって構成されているため、受圧面の平面度の向上に限界があった。具体的には、５０×５０ｍｍの面積を有する永久磁石では、受圧面の平面度は１００μｍ程度が限界であった。一般に、静圧液体軸受は、浮上時における軸受隙間を数μｍから２０μｍ程度にして使用することで、高剛性を得ることができる。従って、受圧面を永久磁石によって構成している特許文献１の静圧液体軸受装置では、軸受隙間を十分に狭くすることができず、剛性の増大には限界がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３３３０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の永久磁石を用いた静圧液体軸受において、ガイドへの着座状態から浮上させるためには、着座状態からの浮上力、すなわち着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積×加圧流体の供給圧力、を永久磁石による磁気吸引力より大きくする必要がある。しかしながら、特許文献１に開示されている静圧液体軸受装置では、永久磁石に直接加圧流体を流すための開口部を加工するために、複雑な加工を施す必要があったので、着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積を十分に設けることができなかった。そのため、磁気吸引力を強くすることができなかった。従って、特許文献１に開示されている静圧液体軸受装置では、軸受隙間を十分に狭くすることができず、また、加圧流体の供給圧力を十分に増加させることができず、そのため、静圧液体軸受装置の剛性を増大させるには限界があった。
そこで本発明は、永久磁石に複雑な加工を施す必要が無く、着座時において加圧流体を流すことができる空間の断面積を十分に設けることができる構成を採用することにより、剛性を高めた静圧液体軸受装置を提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による静圧液体軸受装置は、案内面を有し、磁性体で形成されているガイドと、案内面に対向し、軸受隙間を画成する受圧面を有する静圧液体軸受と、軸受隙間に流体を供給する流体供給手段とを備え、該静圧液体軸受は、永久磁石と該永久磁石を支承する外装とを有しており、軸受隙間に流体が供給されていないときに、案内面と永久磁石の受圧面との間に隙間が画成されるように外装の支持部が案内面に当接するように構成されていて、永久磁石の受圧面と案内面との間に画成された隙間に連通する流体供給路が静圧液体軸受に設けられていて、流体供給路は流体供給手段に接続されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、流体供給手段から軸受隙間に供給される加圧流体による静圧発生空間と、永久磁石とガイドとの間の磁気吸引力発生空間を共通化することができる。また、本発明によれば、軸受隙間に流体が供給されていないとき、すなわち静圧液体軸受がガイドに着座した状態において、ガイドの案内面と永久磁石の受圧面との間に隙間が画成されるように外装の支持部がガイドの案内面に当接するように構成されている。それにより、加圧流体を流すことができる空間の断面積を大きくすることができ、それに伴って、磁気吸引力を強くすることができる。従って、静圧液体軸受の浮上時における、静圧液体軸受の受圧面とガイドの案内面との間の軸受隙間を狭くすることが可能となり、また、加圧流体の供給圧力を増加させることが可能になるので、静圧液体軸受の剛性を増大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１乃至第５実施形態それぞれにおける静圧液体軸受装置を示した図。
【図２】静圧液体軸受装置における軸受隙間と負荷容量との関係を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。なお、以下に示す図面は、本発明を容易に理解できるようにするために、実際とは異なる縮尺で描かれている場合がある。
【００１２】
図１（ａ）及び（ｂ）は、第１実施形態における静圧液体軸受装置２０の模式断面図及びＩＢ−ＩＢ矢視図をそれぞれ示している。
【００１３】
静圧液体軸受装置２０は、磁性体で形成されているガイド４及び静圧液体軸受１５を有している。ここで、磁性体とは例えば、鉄などの透磁率が大きい強磁性体である。また、静圧液体軸受１５上には静圧ステージ等の位置決め対象物１８が支持されている。
静圧液体軸受１５は永久磁石１及び外装２を有しており、永久磁石１は外装２に支承されている。具体的には、永久磁石１は外装２に設けられている凹部１１内に嵌め込まれるように固定されている。
外装２の内部には、動作流体のための内部配管８及び液体供給孔３が設けられている。また、永久磁石１の中央部には、内部配管８及び液体供給孔３と連通するように、永久磁石１を貫通した開口９が設けられている。本第１実施形態では、内部配管８、液体供給孔３及び開口９によって流体供給路が形成されている。そして、流体供給手段である加圧流体供給源１０が流体供給路である内部配管８、液体供給孔３及び開口９に接続されている。加圧流体供給源１０から供給される加圧流体は、内部配管８、液体供給孔３及び開口９を通って、ガイド４の案内面５に向かって噴出され、それによって静圧液体軸受１５がガイド４の案内面５上に浮上する。静圧液体軸受１５は、浮上することによって、ガイド４の案内面５上に２次元的に移動自在に、非接触で支持され、静圧液体軸受１５を構成する外装２の受圧面７とガイド４の案内面５の間には軸受隙間ｄ１が形成される。本第１実施形態では、永久磁石１の厚さｄ４は、外装２の凹部１１の深さｄ３より小さくなっており、その分、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２は、軸受隙間ｄ１より大きくなっている。すなわち、ｄ１＋ｄ３＝ｄ２＋ｄ４の関係になっている。
従って、加圧流体供給源１０から加圧流体が供給されていないときに、ガイド４の案内面５と永久磁石１の受圧面６との間に隙間ｄ２−ｄ１（またはｄ３−ｄ４）が画成されるように外装２の受圧面である支持部７がガイド４の案内面５に当接される。なお、本第１実施形態では、外装２の受圧面７が外装２の支持部になっているが、外装の一部が支持部となり、ガイドの案内面に当接する構成も考えることができる。
上述したように、静圧液体軸受１５は永久磁石１を有しているので、ガイド４と静圧液体軸受１５の間には磁力による引力（磁気吸引力）が発生する。具体的には、磁気回路が永久磁石１及びガイド４から形成され、それにより図１（ａ）中の破線で示したような磁束線１３が発生する。なお、磁束線１３は、永久磁石１の案内面５側がＮ極になっているものとして描かれているが、もちろん永久磁石１の案内面５側がＳ極になっており、それに伴い磁束線が逆方向になっていてもよい。
【００１４】
本第１実施形態によれば、加圧流体供給源１０から供給される加圧流体による静圧発生空間と永久磁石１とガイド４との間の磁気吸引力発生空間を共通化することができる。
従来の静圧液体軸受の受圧面は、一体の永久磁石のみによって形成されているため、受圧面は全面にわたって平面状となっていた。従って、静圧液体軸受がガイドに着座した状態において、加圧流体を流すことができる空間の断面積は永久磁石に設けられている開口部の面積しかなかった。
これに対し、本第１実施形態の静圧液体軸受１５では、外装２に凹部１１を設け、永久磁石１を凹部１１に固定することによって、永久磁石１の受圧面６と案内面５との間の軸受隙間ｄ２を、外装２の受圧面７と案内面５の間の軸受隙間ｄ１より大きくしている。それにより、静圧液体軸受１５がガイド４に着座した（外装２の支持部７がガイド４の案内面５に当接した）状態において、流体を流すことができる空間の断面積を開口９の面積Ｓ２だけでなく、永久磁石１の受圧面６の面積Ｓ１へと大幅に増大させることができる。
静圧液体軸受を着座状態から浮上させるためには、着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積×加圧流体の供給圧力を磁気吸引力より大きくすればよい。
従って、本第１実施形態では、着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積を大きくしたことに伴って、磁気吸引力を強くすることができる。
磁気吸引力を強くすることができることによって、軸受隙間ｄ１及びｄ２を狭くすること、または、加圧流体の供給圧力を増加させることが可能になるので、静圧液体軸受１５の剛性を増大させることができる。
また、外装２の受圧面７が、軸受隙間が最も狭くなる軸受面となるので、永久磁石の加工に比べ、平面度の精度を容易に向上させることができる。また、軸受隙間ｄ１を狭くすることができるため、静圧液体軸受１５の剛性を増大させることができる。
なお、本第１実施形態では、図１（ａ）及び（ｂ）に示されているように、永久磁石１及び外装２のｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士が接するように、永久磁石１は凹部１１に嵌め込まれて固定されている。しかしながら、永久磁石１及び外装２のｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士の間に隙間ができるように、永久磁石１が凹部１１に固定されていても構わない。
【００１５】
図１（ｃ）は、第２実施形態における静圧液体軸受装置４０の模式断面図を示している。なお、本第２実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００１６】
本第２実施形態では、静圧液体軸受装置４０の静圧液体軸受３５の外装２２は磁性体で形成されている。ここで、磁性体とは例えば、鉄などの透磁率が大きい強磁性体である。従って、磁気回路が永久磁石１、外装２２及びガイド４から形成され、それにより図１（ｃ）中の破線で示したような磁束線３３が発生する。
第１実施形態では、永久磁石１とガイド４から磁気回路が形成されていたので、磁束線１３は軸受隙間ｄ２のみを通過していた。しかしながら、本第２実施形態では、永久磁石１、外装２２及びガイド４から磁気回路が形成されているので、磁束線３３は軸受隙間ｄ２より小さい軸受隙間ｄ１を通過するようになる。従って、ガイド４と静圧液体軸受３５の間の磁気吸引力をより増加させることができ、それに伴い軸受隙間ｄ１及びｄ２をより狭くすることが可能となり、また、加圧流体の供給圧力の増加が可能となり、静圧液体軸受３５の剛性をより増大させることができる。
【００１７】
図１（ｄ）は、第３実施形態における静圧液体軸受装置６０の模式断面図を示している。なお、本第３実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００１８】
静圧液体軸受装置６０の静圧液体軸受５５では、外装２の周囲の外側面５６が磁気遮蔽部材５７で覆われている。なお、磁気遮蔽部材５７としては、例えば、パーマロイなどの高透磁率材でできた薄いシートが用いられる。これにより、永久磁石１から静圧液体軸受５５の外部への磁束の漏洩を減らすことができ、静圧液体軸受５５の永久磁石１により発生する磁力の外部への影響を低減させること、及びガイド４と静圧液体軸受５５の間の磁気吸引力をより増大させることができる。それに伴い、軸受隙間ｄ１及びｄ２をより狭くすることが可能となり、また、加圧流体の供給圧力の増加が可能となり、静圧液体軸受５５の剛性をより増大させることができる。
【００１９】
図１（ｅ）は、第４実施形態における静圧液体軸受装置８０の模式断面図を示している。また、図１（ｆ）は、第４実施形態における静圧液体軸受装置８０の静圧液体軸受７５をガイド４の案内面５側から見た下面図を示している。図１（ｅ）における静圧液体軸受７５の断面図は、図１（ｆ）に示すＡ−Ａ線に沿って切り取られている。なお、本第４実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００２０】
図１（ｆ）に示されているように、本第４実施形態の静圧液体軸受７５では、外装６２に４つの凹部７１が設けられている。そして、４つの凹部７１それぞれに挟まれるように外装６２と一体化された、十字型の仕切り６２ａが設けられている。なお、外装６２及び仕切り６２ａは、第２実施形態と同様に、磁性体で形成されている。本第４実施形態では、静圧液体軸受７５の浮上時における仕切り６２ａの受圧面６７ａとガイド４の案内面５との間の軸受隙間は、外装６２の受圧面６７とガイド４の案内面５との間の軸受隙間と同じｄ１となっている。従って、本第４実施形態では、外装６２の受圧面６７及び仕切り６２ａの受圧面６７ａが支持部を形成している。
そして、４つの凹部７１それぞれに、４つの永久磁石６１がそれぞれ嵌め込まれるように固定されている。なお、本第４実施形態では、第１実施形態と同様に、永久磁石６１と外装６２及び仕切り６２ａとのｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士が接するように、永久磁石６１は凹部７１に嵌め込まれて固定されている。しかしながら、永久磁石６１と外装６２及び仕切り６２ａのｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士の間に隙間ができるように、永久磁石６１が凹部７１に固定されていても構わない。第１実施形態と同様に、本第４実施形態でも、永久磁石６１の厚さｄ４は、凹部７１の深さｄ３より小さくなっており、その分、永久磁石６１の受圧面６６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２は、軸受隙間ｄ１より大きくなっている。すなわち、ｄ１＋ｄ３＝ｄ２＋ｄ４の関係になっている。
また、本第４実施形態では、静圧液体軸受７５において流体供給孔３が永久磁石６１の受圧面６６と外装６２の受圧面（支持部）６７及び仕切り６２ａの受圧面（支持部）６７ａとの空間と連通するように、仕切り６２ａの中央部に十字型の凹部７１ａを設けている。本第４実施形態では、内部配管８、液体供給孔３及び十字型の凹部７１ａによって流体供給路が形成されている。なお、十字型の凹部７１ａの深さは、凹部７１の深さと同じｄ３になっている。
従って、本第４実施形態では、第１実施形態と異なり、永久磁石６１に内部配管８及び液体供給孔３と連通する開口が設けられていない。
【００２１】
上述のように、本第４実施形態の静圧液体軸受７５では、外装６２に一体化された仕切り６２ａを設けている。そのため、永久磁石６１、外装６２及びガイド４からなる磁気回路に加えて、永久磁石６１、仕切り６２ａ及びガイド４からなる磁気回路が形成され、軸受隙間ｄ２より小さい軸受隙間ｄ１を通過する磁束線の数が多くなる。従って、ガイド４と静圧液体軸受７５の間の磁気吸引力をより増大させることができ、それに伴い、軸受隙間ｄ１及びｄ２をより狭くすることが可能となり、また、加圧流体の供給圧力の増加が可能となり、静圧液体軸受７５の剛性をより増大させることができる。
【００２２】
また、本第４実施形態の静圧液体軸受７５では、流体供給孔３が永久磁石６１の受圧面６６と外装６２の受圧面（支持部）６７及び仕切り６２ａの受圧面（支持部）６７ａとの空間と連通するように、仕切り６２ａの中央部に十字型の凹部７１ａを設けている。従って、静圧液体軸受７５がガイド４に着座した（外装６２及び仕切り６２ａの支持部６７及び６７ａがガイド４の案内面５に当接した）際に、流体を流すことができる空間の断面積が４つの永久磁石６１の受圧面６６の総面積４Ｓ３＋凹部７１ａの面積Ｓ４となる。すなわち、加圧流体を流すことができる空間の断面積を従来に比べて大きくすることができる。静圧液体軸受を着座状態から浮上させるためには、着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積×加圧流体の供給圧力を磁気吸引力より大きくすればよい。従って、本第４実施形態では、着座時における加圧流体を流すことができる空間の断面積を大きくしたことに伴って、磁気吸引力を強くすることができる。磁気吸引力を強くすることができることによって、軸受隙間ｄ１及びｄ２をより狭くすること、または、加圧流体の供給圧力を増加させることが可能になるので、静圧液体軸受７５の剛性をより増大させることができる。
【００２３】
なお、凹部７１の数及び仕切り６２ａの幅は、外装６２及び仕切り６２ａを通過する磁束が飽和しないように決めればよい。すなわち、凹部７１の数及び仕切り６２ａの幅は、永久磁石６１それぞれの受圧面６６の総面積と外装６２の受圧面６７及び仕切り６２ａの受圧面６７ａの総面積との比率に基づいて決めればよい。従って、本第４実施形態に示した複数の凹部７１及び複数の永久磁石６１の数は４つに限定されるものではなく、種々変形可能である。
【００２４】
また、本第４実施形態において、外装６２及び仕切り６２ａを非磁性体で形成する構成も可能である。
【００２５】
図１（ｇ）は、第５実施形態における静圧液体軸受装置１００の模式断面図を示している。なお、本第５実施形態において、第１実施形態と同じ構成要素には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
【００２６】
本第５実施形態の静圧液体軸受装置１００の静圧液体軸受９５では、板状のスペーサ９９を介して永久磁石１が外装２に支承されている。具体的には、厚さｄ６のスペーサ９９と厚さｄ５の永久磁石１が深さｄ３の凹部１１内に嵌め込まれるように固定されている。このように構成することによって、スペーサ９９の厚さｄ６を変化させることで、静圧液体軸受９５の浮上時における永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２を変えることができる。従って、本第５実施形態の静圧液体軸受装置１００では、スペーサ９９の厚さｄ６を変化させることによって、永久磁石１による磁気吸引力を調整することができる。なお、スペーサ９９には、磁気回路における磁気抵抗とならないように鉄などの高透磁率材を用いることが考えられる。
なお、本第５実施形態では、永久磁石１の厚さｄ５とスペーサ９９の厚さｄ６の合計ｄ５＋ｄ６は、凹部１１の深さｄ３より小さくなっている。その分、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２は、外装２の受圧面７とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ１より大きくなっている。すなわち、ｄ１＋ｄ３＝ｄ２＋ｄ５＋ｄ６の関係になっている。
【００２７】
また、スペーサ９９に弾性体を用いてもよい。この場合、弾性体の伸縮に伴って、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２を変化させ、それにより、永久磁石１による磁気吸引力を変化させることができる。
図２は、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間と負荷容量との関係を示している。まず、静圧液体軸受９５において、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間がｄ２で、負荷容量がＦ、すなわち、図２中のＢの状態にあるとする。そこに、外力ΔＦが印加され、負荷容量がＦ＋ΔＦに増加すると、軸受隙間はｄ２からｄ２−Δｄ２へ減少し、すなわち、静圧液体軸受９５は、図２中のＣの状態に変わる。もし、スペーサ９９が剛体の場合には、このＣの状態で釣り合う。一方で、スペーサ９９を弾性体にした場合には、軸受隙間が減少したことに伴い、永久磁石１の受圧面６に印加されている加圧流体の圧力が上昇し、スペーサ９９が縮む。そして、スペーサ９９が縮むことによって、軸受隙間が大きくなり、それに伴い永久磁石１による磁気吸引力が減少する。その結果、軸受隙間はｄ２−Δｄ２からｄ２に増加すると共に、負荷容量はＦ＋ΔＦからＦに減少し、すなわち、静圧液体軸受９５は、図２中のＣの状態からＢの状態に戻る。
このように、弾性体のスペーサ９９が伸縮できることによって、印加された外力を打ち消すように、永久磁石１による磁気吸引力が変化する。
従って、静圧液体軸受９５におけるスペーサ９９に弾性体を用いることによって、外力印加に伴う負荷容量の変化に対して、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間の変化を小さくすることができ、すなわち剛性を更に増大させることができる。
【００２８】
なお、本第５実施形態では、第１実施形態と同様に、永久磁石１及びスペーサ９９と外装２のｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士が接するように、永久磁石１及びスペーサ９９は凹部１１に嵌め込まれて固定されている。しかしながら、永久磁石１及びスペーサ９９と外装２のｘ軸方向及びｙ軸方向の対向する側面同士の間に隙間ができるように、永久磁石１及びスペーサ９９が凹部１１に固定されていても構わない。
【００２９】
ここで、スペーサ９９に用いられる弾性体のヤング率が、磁気回路において、永久磁石１の受圧面６とガイド４の案内面５との間の軸受隙間ｄ２の変化に対する磁気吸引力の変化の割合に近いほど、静圧液体軸受９５の剛性はより大きく増大させることができる。
なお、弾性体は、具体的には、テフロン（登録商標）などの樹脂材料やゴム材料、または、内部に空気室を設けた空気ばねなどを含む。また、弾性体に高透磁率材の粉末を混ぜ込むことによって、弾性体の比透磁率を大きくすると、磁気回路における磁気抵抗を小さくすることができる。
【００３０】
さらに、上述の第１乃至第５実施形態における静圧液体軸受を搭載した、剛性の高い静圧ステージ装置を作成することも可能である。
【符号の説明】
【００３１】
１  永久磁石
２  外装
３  流体供給孔（流体供給路）
４  ガイド
５  案内面
６  永久磁石１の受圧面
７  外装２の受圧面
８  内部配管（流体供給路）
９  開口（流体供給路）
１０  加圧流体供給源（流体供給手段）
１５  静圧液体軸受
２０  静圧液体軸受装置
【図１】
2013167325.tif 000003
【図２】
2013167325.tif 000004