(57)【要約】【課題】  エアシャワー装置のユニットを連結して、各ユニット内の作業者の動きに沿って清浄空気を吹き出すエアジェットノズルの駆動を制御し、省エネを実現するエアシャワー装置を提供する。【解決手段】  本発明は、エアシャワー装置の出入口用ドアと清浄エアを吹き出すエアジェットノズルのドア側の壁面とに光電センサーを設置し、光電センサーにより作業者を検知し、または、エアシャワー装置の各ユニットの天井中央部付近に人感センサーを設置し、作業者を検知し、エアシャワー装置の各ユニットに設置したエアジェットノズルを制御する。さらに、ＩＣタグを収納する防塵服と、エアシャワー装置のユニット内に設け、ＩＣタグと情報の送受信を行うアンテナと、該アンテナからの情報を読み取るリーダ／ライタと、ＩＣタグと該リーダ／ライタとの情報の送受信の制御を行う制御装置とを備えたことを特徴とする。【選択図】  図３
2013167387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
該エアシャワー装置のユニットを連結し、
該エアシャワー装置の出入口用ドアと、該各ユニットで整列して配置した最下段の清浄エアを吹き出すエアジェットノズルのドア側の壁面とに光電センサーをそれぞれ設置し、
該光電センサーにより作業者を検知し、前記各ユニットに設置した前記エアジェットノズルを制御することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
該エアシャワー装置のユニットを連結し、
前記エアシャワー装置の各ユニットの天井中央部付近に人感センサーを設置し、
該人感センサーにより前記エアシャワー装置の各ユニットに入室する作業者を検知し、
前記エアシャワー装置の各ユニットに設置した前記エアジェットノズルを制御することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のエアシャワー装置において、
該エアシャワー装置の出入り口用ドア上部に、連結されたエアシャワー室内の作業者の入室状況を示す表示器を備えたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載のエアシャワー装置において、
前記連結されたエアシャワー室内に作業者が入室していたらエアジェットを動作させ、入室していなければ動作させないことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、
該エアシャワー装置のユニットを連結し、
ＩＣタグと、
該ＩＣタグを収納する防塵服と、
前記エアシャワー装置のユニット内に設け、前記ＩＣタグと無線で情報の送受信を行うアンテナと、
該アンテナからの情報を読み取るリーダ／ライタと、
前記ＩＣタグと該リーダ／ライタとの情報の送受信の制御を行う制御装置とを備えたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記ＩＣタグは、防塵服の裏側に収納するか又は作業者の身体の一部に身に付けることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項５記載のエアシャワー装置において、
前記ＩＣタグの情報により各エアシャワー室ユニット内のエアジェットを駆動することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項８】
請求項１又は２記載のエアシャワー装置において、
前記エアシャワー装置の床面近傍にプレフィルタを設け、
また、前記プレフィルタから塵埃等を吸込ませるファンを設け、
前記連結されたエアシャワー装置のユニットの内で、
作業者が検出されたユニットでは、前記エアジェットノズルからのエアジェットを動作させ、
かつ、前記ファンを動作させて前記プレフィルタから床面近傍の塵埃等を吸込ませ、
検出されていた作業者が検出されなくなったユニットでは、前記エアジェットノズルからのエアジェットの動作を停止し、
前記ファンを所定時間の間は動作させて前記プレフィルタから床面近傍の塵埃等を吸込ませた後に、前記ファンを停止させるように制御することを特徴とするエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアシャワー装置に係り、特に複数の作業者に対応した連結したエアシャワー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアシャワー装置とは、半導体及び精密機械等の製造、又は食品製造、加工を行うクリーンルーム又は作業室の出入口に設置され、クリーンルーム又は作業室の通路又は前室として使用され、クリーンルーム又は作業室への塵埃の流入、持ち込みを防止する装置である。
【０００３】
従来、半導体及び精密機械の製造、食品製造、加工を行うクリーンルーム又は作業室の出入口にクリーンルーム又は作業室に塵埃や菌などを持ち込まないようにエアシャワー装置が設置され、作業者に高速のエアジェット気流を吹き付けて衣類や人体からの塵埃や髪の毛などを吹き飛ばして、作業者はクリーンルーム又は作業室に入り作業を行っている。
【０００４】
エアシャワー装置において、エアジェット気流によりエアシャワー室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除するためファンを用いて循環気流を形成している。
【０００５】
また、エアシャワー装置には、使用人数、設置場所により開口寸法・奥行き寸法に多種多様な使用方法がある。その中で一度に複数人が利用するために一人用エアシャワー装置を進行方向に繋いだ連結仕様のエアシャワー装置がある。連結仕様のエアシャワー装置は、複数人で使用することを目的としているため、エアジェット起動用の光電センサーを遮ることにより連結しているエアシャワー装置全てのエアジェットが作動する構成となっている。
【０００６】
このような構成の連結仕様のエアシャワー装置においては、作業者が一人での使用する場合もあり、この場合でも連結しているエアシャワー装置の全てのエアジェットが作動するため、人のいない部分のエアジェットは空運転となり無駄な電力を消費している。
【０００７】
また、連結するエアシャワー装置に関しては、特許文献１（特開昭６１−２０９０８２号公報）に開示されているが、省エネ等については開示されていない。
【０００８】
また、特許文献２（実開昭６４-３５３３６号公報）には、多人数用エアシャワー装置において、ゾーン毎のゾーンで独立したエアブロー機構と、ゾーン毎の使用者検知機構と、入口部設置の入室検知センサーとを有し、入室検知センサー感知後、予め設定した時間をおいて、使用者検知機構が働き、感知したゾーンのエアブロー機構のみを動作させることが記載されている。
【０００９】
また、特許文献３（実開平２−１２４４２４号公報）には、多人数用エアシャワーにおいて、一回の利用人数と利用者の立った位置を検知し、人数分の風量で利用者の位置のみに送風する機能を有したエアシャワーについて記載されている。
【００１０】
また、特許文献４（特開昭６３-６５２４２号公報）には、クリーンルームにおいて、作業者による塵埃の拡散を最小限に防止するため、クリーンルームの床面を複数の区域に分割するとともに、区域毎に人体検知センサーと、床下排風機とをそれぞれ配設し、センサーの検知範囲内に作業者が所在しているか否かにより、排風機の発停を行うことが記載されている。
【００１１】
上記の引用文献２乃至４には、多人数用のエアシャワー装置において、本発明と同じように、作業者を検知して、ゾーン毎あるいは作業者にエアを吹き付けることが記載されているが、作業者を検知するセンサーの位置や作業者が居るか居ないかを表示することについては開示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開昭６１−２０９０８２号公報
【特許文献２】実開昭６４−３５３３６号公報
【特許文献３】実開平２−１２４４２４号公報
【特許文献４】特開昭６３−６５２４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
消費電力を抑制するためには、連結仕様のエアシャワー装置の各ユニット単体でエアジェットを動作させる必要がある。そのためにはエアシャワー装置に何人入室したか、どのユニットの位置に入退室者がいるのかを把握する必要がある。また、人の動作は一方向の動きだけでなく戻り動作等のイレギュラーな動きを考慮しなければならない。
【００１４】
本発明の目的は、上記の問題を解消し、連結仕様のエアシャワー装置の各ユニット単体で、入退室者を検知し、エアジェットを駆動できる構成として省エネを実現するエアシャワー装置を提供することにある。
また、別の目的は、エアシャワー装置において人の動きを考慮して、エアシャワー室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除することも可能とするエアシャワー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、上記目的を達成するためにファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、該エアシャワー装置のユニットを連結し、該エアシャワー装置の出入口用ドアと、該各ユニットで整列して配置した最下段の清浄エアを吹き出すエアジェットノズルのドア側の壁面とに光電センサーをそれぞれ設置し、該光電センサーにより作業者を検知し、前記各ユニットに設置した前記エアジェットノズルを制御することを特徴とする。
【００１６】
また、ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、該エアシャワー装置のユニットを連結し、前記エアシャワー装置の各ユニットの天井中央部付近に人感センサーを設置し、該人感センサーにより前記エアシャワー装置の各ユニットに入室する作業者を検知し、前記エアシャワー装置の各ユニットに設置した前記エアジェットノズルを制御することを特徴とする。
【００１７】
また、上記人感センサーの検出信号を受取った後に、作業者のエアシャワー内の動きに対応して、エアノズル下側、床面近傍に設置されたプレフィルタから塵埃などが吸込まれるように制御する。なお、前記プレフィルタは、前記プレフィルタから塵埃等を吸込ませるファンが動作することによって、塵埃等が吸込まれるものである。
【００１８】
人感センサーによって、作業者が居ることを検出、検知されたユニットでは、上記エアジェットノズルから清浄エアが吹き出されるように制御される。
【００１９】
これに対し、作業者が移動して、居なくなったユニットでは、上記エアジェットノズルから清浄エアが吹き出されないように出来る。但し、ユニットの下側の塵埃などを排除することが好ましい為、作業者が移動して、居なくなったユニットのエアノズル下側、床面近傍に設置されたプレフィルタから塵埃等が吸込まれるように制御する。
【００２０】
言い換えるならば、作業者の移動後、所定の時間の間は、エアノズル下側、床面近傍に設置されたプレフィルタから塵埃等が吸込まれるように制御して、上記エアジェットノズルから清浄エアが吹き出される時間よりも動作時間を長く、若しくは、停止する迄の時間を所定の時間長くするものである。
【００２１】
なお、この所定の時間は、作業者から吹き飛ばされた塵埃等が、浮遊等の後にユニットの下側に到達する時間を目安とすることが出来る。または、ユニットの下側の塵埃等が吸込まれるようにする時間を実験などで求めたり、経験値で設定するものであっても良い。
【００２２】
また、上記のエアシャワー装置において、該エアシャワー装置の出入り口用ドア上部に、連結されたエアシャワー室内の作業者の入室状況を示す表示器を備えたことを特徴とする。
【００２３】
また、上記のエアシャワー装置において、前記連結されたエアシャワー室内に作業者が入室していたらエアジェットを動作させ、入室していなければ動作させないことを特徴とする。
【００２４】
さらに、ファンからのエアをフィルタを介して人体及び衣服に吹き付け、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置において、該エアシャワー装置のユニットを連結し、ＩＣタグと、該ＩＣタグを収納する防塵服と、前記エアシャワー装置のユニット内に設け、前記ＩＣタグと無線で情報の送受信を行うアンテナと、該アンテナからの情報を読み取るリーダ／ライタと、前記ＩＣタグと該リーダ／ライタとの情報の送受信の制御を行う制御装置とを備えたことを特徴とする。
【００２５】
また、上記のエアシャワー装置において、前記ＩＣタグは、防塵服の裏側に収納するか又は作業者の身体の一部に身に付けることを特徴とする。
【００２６】
また、上記のエアシャワー装置において、前記ＩＣタグの情報により各エアシャワー室ユニット内のエアジェットを駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、上記エアシャワーは、エアジェット作動用のセンサーを人感センサーとするため一部分の検知ではなく各エアシャワーユニット全体を検知することができる。そのため人がどの位置にいるかの判断が容易となり各ユニット毎でのエアジェット作動が可能となり従来の連結ユニット全てのエアジェット作動電力から各ユニットのみのエアジェット作動電力となるため省エネとなる。
また、エアシャワーも同様に入り口付近に設けたエアジェット作動用光電センサーとノズル手前に設けた光電センサーでの同期をとるため人の位置判断が可能となる。上記と同様に従来の連結ユニット全てのエアジェット作動電力から各ユニットでのエアジェット作動電力となるため省エネとなる。また従来部品を使用するため新規設計・開発を行わずにプログラムの変更のみで対応可能となり現在有る技術のみで省エネを実現可能となる。
【００２８】
また、エアシャワー装置において、上記省エネ動作も実行して、人の動きを考慮して、エアシャワー室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除することも可能とするエアシャワー装置を提供可能とするものである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の連結仕様のエアシャワー装置の全体構成を示す外観斜視図である。
【図２】従来の連結仕様のエアシャワー装置の側面断面図を示す。
【図３】人感センサーを設置した連結仕様のエアシャワー装置の側面断面図を示す。
【図４】光電センサーを設置した連結仕様のエアシャワー装置の側面断面図を示す。
【図５】人感センサーを設置した連結仕様のエアシャワー装置の動作を説明する図を示す。
【図６】光電センサーを設置した連結仕様のエアシャワー装置の動作を説明する図を示す。
【図７】人感センサーを使用した場合のエアシャワー装置の制御のフローチャートを示す。
【図８】エアシャワー装置の出入口扉の上側に設置する表示器を示す。
【図９】ＩＣタグを用いた連結仕様のエアシャワー装置のブロック図を示す。
【図１０】ＩＣタグの装着を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
（実施例１）
図１は、本発明の連結仕様のエアシャワー装置の全体構成を示す外観斜視図で、エアシャワー室のユニットは３台連結して設置しているがこれに限るものではない。
図１において、１００は連結仕様のエアシャワー装置、１は出入口側のエアシャワー室ユニット、２はエアシャワー室ユニット１に連結した中央のエアシャワー室ユニット、３はエアシャワー室ユニット２に連結したクリーンルーム側のエアシャワー室ユニットである。４はドア、５はドア４を正面にして左側の本体ケース、６はドア４を正面にして右側の本体ケース、７はガラス等を用いた窓、８はドアハンドル、９はドア４を開閉するためのヒンジ、１０はエアシャワー室内の壁面を示している。１１は清浄エアを吹き出すノズル、１２はプレフィルタ、３０はエアシャワー室内の状況を示す表示器である。
【００３１】
次に、図１でエアシャワー装置の動作について説明する。
作業者は、防塵服を身に付けてエアシャワー室１のドア４のドアハンドル８を手で回し、ドア４を開けシャワー室１内に入る。シャワー室内１内に入ると、作業者を検知してノズル１１より作業者に対して清浄エアを高速で約１０秒〜１５秒くらい吹き付け、作業者に付着した塵埃や髪の毛などを吹き飛ばす。
ノズル１１は、エアシャワー装置の各ユニットの両側面の壁１０に６〜１０個程度整列して設置され、また図示していないが天井面にも３〜４個設置されている。
ノズル１１から吹き出された清浄エアは、作業者に付着していた塵埃や髪の毛などと一緒にエアシャワー内を舞い、エアノズル下側に設置されたプレフィルタ１１より吸い込まれる。
プレフィルタ１２は、本体ケース５及び６の両側に設けられたファンによってエアシャワー内のエアを吸い込む。
【００３２】
次に、図２を用いて、従来の連結仕様のエアシャワー装置の各ユニットにエアジェット駆動用光電センサーを設置したエアシャワー装置について説明する。
図２は、連結仕様のエアシャワー装置の側面断面図を示す。
図２に示した連結されたエアシャワー装置において、左側のエアシャワー室ユニット１の壁面１０には、エアジェットノズル１１を縦２列に、３個ずつ中央付近に対称に配置している。同様に、中央のエアシャワー室ユニット２の壁面とクリーンルーム側のエアシャワー室ユニット３の壁面にもそれぞれエアジェットノズル１１を縦２列に、３個ずつ中央付近に対称に配置している。
また、エアシャワー室ユニット１の左側には、出入口用ドア４及びハンドル８を設け、エアシャワー室ユニット３の右側には、クリーンルームへの出入口用ドア４‘及びハンドル８’を設けている。また、各ユニットの下側には、プレフィルタを設置している。
図２において、従来は各ユニットの最下段の吹き出し用のエアジェットノズルの位置の間に光電センサーを設置し、入退室する作業者の状況を検知していた。
そして、光電センサー１３で、少なくとも一人の作業者を検知すると、全てのエアシャワー装置のユニットが動作していた。
このため、３台のエアシャワー室ユニットを連結したエアシャワー装置においては、一人または二人で使用する場合、無駄な電力を消費していた。
【００３３】
次に、光電センサーを用いた場合の連結仕様のエアシャワー装置について説明する。
図３は、光電センサーをエアシャワー室内に設置したときの連結仕様のエアシャワー装置の側面断面図である。
本発明の図３の構成と、従来技術である図２の構成の違いは光電センサーの設置位置である。
従来技術においては、エアシャワー装置の各ユニットの壁面で、最下段のエアジェットノズルの間に設置していたが、本発明は最下段の出入口側のエアジェットノズルより少し出入口側で、かつ少し下側に設置する点で相違している。
また、本発明は、ドア４の内側近辺に光電センサー２１を設置しており、これは従来技術の図２の構成とは大きく異なる。
【００３４】
ここで、光電センサーについて説明する。
光電センサーは、発光部と受光部で構成し、発光部からでた光が検出物体によって変化したのを受光部が検知して電気信号を出力する非接触センサーのことである。
発光部には、発光素子（可視光または赤外のＬＥＤ,ＬＤ）を内蔵し、受光部には対応する受光素子（フォトトランジスタ、フォトダイオード）を内蔵している。
また、光学系により透過型、反射型（拡散反射型、回帰反射型、限定反射型）、光ファイバ型などがある。非接触で、検出物体の材質を選ばず、他の近接センサーに比べて、検出距離が長い。
また、検出エリアが限定的、検出距離の設定も可能（反射型）、応答速度が速い、高精度、小型、使用する素子が長寿命で汚れにも強い、色の判別が可能などの利点がある。
【００３５】
次に、図３の構成において動作の説明を行う。
先ず、作業者はドア上の表示器を見て、シャワー室内に人が入っていないことを確認してドア４を開け、エアシャワー室に入る。
作業者が最初のエアシャワー室内に入ると、光電センサー２１及び光電センサー２０が作業者を検知し、エアジェットが駆動し作業者にエアを吹き付ける。
エアシャワー装置の最初のユニットでのエアシャワーが終了すると、作業者は次に中央のユニットに移る。中央のユニットに移ると、光電センサーが作業者を検知する。
図４は、図３の構成の動作を説明するための図である。
図４において、図４（ａ）は作業者１６がドア側のエアシャワー装置に入った場合の光電センサーとエアジェットの動作の図を示し、図４（ｂ）は作業者１６が次の中央のエアシャワー装置に移動した場合の光電センサーとエアジェットの動作の図を示す。
図４（ａ）において、作業者がドア側のエアシャワー装置に入室すると、ドア部近傍に設置した光電センサー２１及びエアシャワー室内の壁面１０に設置した光電センサー２０が人を検知して、エアジェットが動作する。
中央とクリーンルーム側の光電センサー２０は、シャワー室内に作業者が存在しないので検知しないで、エアジェットは動作しない。
このように、ドア側のみのエアシャワー室内の光電センサーが検知してエアジェットが動作し、中央及びクリーンルーム側の光電センサー２０は検知せず、エアジェットは動作しない状態となる。
また、図４（ａ）から図４（ｂ）に示すように、作業者が中央のエアシャワー室に移動した場合、中央の光電センサー２０のみが作業者を検知し、ドア側とクリーンルーム側の光電センサーは検知しない。
従って、ドア側及びクリーンルーム側のエアジェットは動作せず、中央のエアジェットのみが動作する。このように、３台連結したエアシャワー装置において、一人の作業者が入室した場合、各ユニットに設けた光電センサーにより入室していないエアシャワー室のエアジェットは動作しない。従って、３台のエアジェットを同時に動作させる構成に比べ省エネを実現できる。
【００３６】
（実施例２）
次に、図５に本発明のエアシャワー室内の天井部の中央付近に人感センサーを設置した場合の動作について説明する。
図５のエアシャワー装置の構成は、図２の場合と同じであるが、作業者を検知するセンサーが異なる。
図５においては、エアシャワー室内の天井部の中央付近に人感センサー１４を設置する。
このように天井部の中央付近に設置した人感センサー１４の検知範囲は、図５に模式図で表したように斜線で示した円錐状の範囲１５となる。
ここで人感センサー１４について説明する。
人感センサーは、人間の所在を検知するためのセンサーで、赤外線と超音波を組み合わせて検知精度を向上させるものがあり、又それぞれ単独で使用しているものもある。
赤外線センサーは、波長が０．７８〜１００μｍの赤外線の光を感知するセンサーで、赤外線は絶対零度（−２７３℃）より温度が高いものより発せられ、全ての物体より発している。そして、温度が高いものは短い波長の赤外線を多く発し、温度が低いものは長い波長の赤外線を少なく発する。
また、人感センサーの一つである超音波センサーは、超音波を発する送波器より対象物に向け発信し、その反射波を受波器で受信することにより対象物の有無や対象物までの距離を検出するものである。
本発明において、人感センサー１４は赤外センサーでも超音波センサーでも良く、また、二つのセンサーを組み合わせたものでも構わない。
【００３７】
図６は、図５の構成の動作を説明するための図である。
図６において、図６（ａ）は作業者１６がドア側のエアシャワー装置に入った場合の天井に設置した人感センサーとエアジェットの動作の図を示し、図６（ｂ）は作業者１６が次の中央のエアシャワー装置に移動した場合の人感センサーとエアジェットの動作の図を示す。
図６（ａ）において、作業者がドア側のエアシャワー室内に入室すると、天井中央部に設置した人感センサーは作業者の存在を検知し、中央のエアシャワー室及びクリーンルーム側のエアシャワー室の人感センサーは作業者が存在しないために検知はしない。
このような状況では、ドア側のエアジェットは動作し、中央及びクリーンルーム側のエアジェットは動作しない。
【００３８】
また、図６（ａ）から図６（ｂ）に示すように、作業者が中央のエアシャワー室に移動した場合、中央の人感センサーのみが作業者を検知し、ドア側とクリーンルーム側の人感センサーは検知しない。
従って、ドア側及びクリーンルーム側のエアジェットは動作せず、中央のエアジェットのみが動作する。このように、３台連結したエアシャワー装置において、一人の作業者が入室した場合、各ユニットの天井中央部に設けた人感センサーにより入室していないエアシャワー室のエアジェットは動作しない。従って、３台のエアジェットを同時に動作させる構成に比べ、実施例２と同様に省エネを実現できる。
【００３９】
次に、図７に示したフローチャートによりエアシャワー装置のユニットの制御について説明する。
図７において、先ず、エアシャワー室ユニット内に作業者が居るか判断する（ステップＳ１００）。作業者が居なければ、ステップ１００に戻り作業者が来るまで待つ。
作業者が居る場合は、ユニット内にエアジェットノズルから清浄エアを吹き出し、またプレフィルタ１２からユニット内のエアの吸い込みの処理を実行する（ステップＳ１１０）。
そして、ユニット内から作業者が居なくなったかと判断する（ステップＳ１２０）。作業者がユニット内に居ればステップＳ１２０の処理を行い、作業者が居なくなったらエアジェットノズルからの清浄エアの吹き出しを停止する（ステップＳ１３０）。そして、エアジェットノズルからの清浄エアの吹き出しを停止した後、所定時間経過したかを判断する（ステップＳ１４０）。所定時間経過していなければ、所定時間経過するまでステップＳ１４０を繰り返す。
所定時間経過したら、エアシャワー室内のプレフィルタ１２の吸い込みの駆動を停止し（ステップＳ１５０）、終了となる。
上記のステップ１５０の処理は、エアジェットノズルからの清浄エアの吹き出しを停止した後、所定時間プレフィルタを動作させて塵埃を吸い込み、ユニット内をクリーンにするためである。この所定時間は、実験等により最適な時間を設定する。
【００４０】
前述の動作について、他の表現にて説明をする。
前記エアシャワー装置の床面近傍にプレフィルタを設け、また、前記プレフィルタから塵埃等を吸込ませるファンを設け、前記連結されたエアシャワー装置のユニットの内で、先ず、作業者が検出されたユニットでは、前記エアジェットノズルからのエアジェットを動作させ、かつ、前記ファンを動作させて前記プレフィルタから床面近傍の塵埃等を吸込ませるようにする。
【００４１】
次に、検出されていた作業者が検出されなくなったユニットでは、前記エアジェットノズルからのエアジェットの動作を停止させるのであるが、前記ファンを所定時間の間は動作させて前記プレフィルタからは床面近傍の塵埃等を吸込ませた後に、前記ファンを停止させるように制御するようにする。
【００４２】
（実施例３）
次に、図８にエアシャワー装置の出入口ドアの上部にエアシャワー室内の作業者の入退室状況が分かる表示器を設置した図を示す。
図８は、各ユニットに例えばドア側から“１”、“２”、“３”と番号を付して、作業者が入室していたらそのユニットの番号のランプを点灯させるもので、図８ではユニット２に作業者が居ることを表している。
また、外に、液晶ディスプレイなどを用いて、エアシャワー室内での作業者の動きを表示しても待機している作業者は分かり易い。
【００４３】
(実施例４)
次にＩＣタグを用いて連結仕様のエアシャワー装置のエアジェットの制御について説明する。
図９は、作業者１６がＩＣタグを装着した防塵服を着用し、エアシャワー室内に入ったときのＩＣタグシステムを示すブロック図及びエアシャワー装置の正面の断面図である。
図９において、１１はエアジェットノズル、１２はプレフィルタ、２２はファン、２３は加圧チャンバ、２４はＨＥＰＡフィルタである。１６は作業者で、３１は作業者が着用する防塵服、３２は防塵服の内側の設けた内ポケット、３３はＩＣタグ、４０はＩＣタグと情報を送受信するアンテナ、４１は信号を送受信するリーダ／ライタ、４２はＩＣタグシステムを制御するパソコンなどの制御装置である。
【００４４】
ＩＣタグとは、シールラベル、タグ、コイン、キー、カプセルなど種々の形状のものにＩＣチップと小型のアンテナを埋め込み、そこに記憶された情報を電波によって直接触れずに読み取る技術のことである。
ＩＣチップは、特定の働きをする電気回路が０．数ｍｍという大きさにまとめられたＩＣのことで、小さくても膨大な容量の記憶メモリを有している。
情報の読み取りには、無線（ＲＦ：Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）を使った専用のリーダ／ライタ（読取機）４１を使って、ＩＣタグに記憶されているＩＤ番号（ＩＤ：Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ、個体を表す情報）を読み取るので別名ＲＦＩＤタグとも呼ばれる。また、ＩＣタグ３３には、電池を有さないパッシブタグと電池を有したアクティブタグがある。
パッシブタグは、リーダ／ライタの電波より電力を得て、電波を飛ばすので通信距離は短くなるが比較的安価で長期間の使用が可能である。一方、アクティブタグは、バッテリ駆動のため自ら電波を飛ばすことができ、通信距離が長くなる。しかし、電池を有する分大きさも大きくなり、コストも高くなり、電池を交換する手間も必要となる。
本発明においてはパッシブタグでもアクティブタグでもどちらの方式でも問題はない。
また、ＩＣタグを送受信するアンテナを各エアシャワー室内に設置することにより、作業者がどのユニットに入室しているかを検知でき、実施例１及び２に説明したように、エアジェットの制御を行うことができる。
【００４５】
ＩＣタグに記憶する情報は、ＩＤコード、クリーンルームへの入室時間、退室時間などの入退室管理や滞在時間管理などに関するものや、現在居る情報などである。
【００４６】
図９において、ＩＣタグ３３を作業者１６が着用している防塵服３１の内側の胸ポケット３２に挿入し、収納する。図１０（ａ）にも示したが、防塵服の内側にポケットを設けた理由は、防塵服の表側の方が塵埃を付着し易く、クリーンルーム内に影響を及ぼす可能性が高く、内側であれば塵埃が付着し難いためである。
また、図１０（ｂ）に示したように、作業者の腕に巻けるようにバンドタイプにして、その上に防塵服を着用してもＩＣタグの使用には問題ない。
【符号の説明】
【００４７】
１‥エアシャワー室ユニット                      ２‥エアシャワー室ユニット
３‥エアシャワー室ユニット                      ４‥ドア
５‥本体ケース                                  ６‥本体ケース
７‥ドア窓                                      ８‥ドアハンドル
９‥ドアヒンジ                                １０‥エアシャワー室壁面
１１‥エアジェットノズル                      １２‥プレフィルタ
１３、２０‥光電センサー                      １４‥人感センサー
１５‥検知範囲                                １６‥作業者
２１‥光電センサー                            ３０‥表示器
２２‥ファン                                  ２３‥加圧チャンバ
３１‥防塵服                                  ３２‥防塵服の内ポケット
３３‥ＩＣタグ                                ４０‥ＩＣタグ用アンテナ
４１‥リーダ／ライタ                          ４２‥制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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