(57)【要約】【課題】振動体を用いて駆動される移動体のガタつきを抑制することが可能な移動機構を提供する。【解決手段】支持体側に形成された一対の第１溝と、移動体側に第１溝と向き合わせて形成された一対の第２溝との間に複数の転動体を挿入し、これら転動体を含んで移動方向に平行な２列の移動軸を構成する。２列の移動軸は、支持体と移動体とが向き合う方向（対面方向）と交差する方向に離間して配置する。また、第１溝と第２溝とが向き合う方向は対面方向に対して交差し、第１溝と第２溝との位置関係は、２列の移動軸の一方と他方とで逆とする。そして、支持体または移動体の何れか一方に振動体が付勢される方向を、２列の移動軸を含む移動面に対して傾斜させる。こうすれば、２列の移動軸の何れでも第１溝と第２溝とで転動体が挟持されるので、移動体のガタつきを抑制することができる。【選択図】図４
2013258824.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする移動機構。
【請求項２】
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする移動機構。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の移動機構であって、
前記支持体または前記移動体の何れか一方の前記振動体が付勢される部分には、略直方体形状に形成された受圧体が、前記振動体が当接する面と前記付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込まれている
ことを特徴とする移動機構。
【請求項４】
請求項３に記載の移動機構であって、
前記受圧体は、前記支持体または前記移動体のうち前記受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成されている
ことを特徴とする移動機構。
【請求項５】
複数の指部と、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とするロボットハンド。
【請求項６】
複数の指部と、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とするロボットハンド。
【請求項７】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項８】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項９】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１０】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【請求項１１】
液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする送液ポンプ。
【請求項１２】
液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする送液ポンプ。
【請求項１３】
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする印刷装置。
【請求項１４】
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする印刷装置。
【請求項１５】
光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする投影装置。
【請求項１６】
光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする投影装置。
【請求項１７】
所定の位置に設置され、搬送装置を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項１８】
所定の位置に設置され、搬送装置を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動機構、ロボットハンド、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、投影装置、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
支持体に対してテーブルなどの移動体を所定方向に移動させる移動機構を搭載した種々の機器が知られている。例えば、特許文献１のロボットでは、移動方向と平行に設けられたレールと、レールを両側から挟んで嵌め合わされるレール受けとの間に複数の転動体（ボール）が挿入され、移動方向に平行な２列のボールガイドを形成している。このように２列のボールガイドで移動体が支持される移動機構では、ボールが転動することによって、移動体を円滑に移動させることが可能である。
【０００３】
また、近年では、移動機構の駆動部として、圧電モーターを採用したものが知られている（例えば、特許文献２）。圧電モーターは、圧電材料を含む振動体に電圧を印加すると、伸縮方向の振動と屈曲方向の振動とを発生させる。このため、振動体の伸縮方向の端部が移動体に付勢された状態にすると、屈曲方向の振動によって移動体を摩擦駆動することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平５−１６１７２号公報
【特許文献２】特開平１１−２７１４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のように２列のボールガイドで移動体を支持する移動機構に特許文献２の構成を採用し、移動体に振動体が付勢された状態にすると、移動体にガタつきが発生することがあるという問題があった。
【０００６】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、振動体を用いて駆動される移動体のガタつきを抑制することが可能な移動機構の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の第１の移動機構は次の構成を採用した。すなわち、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする。
【０００８】
ここで、「移動面に対して傾斜している方向」とは、移動面に平行な方向や、移動面に垂直な方向を含まないものとする。
【０００９】
このような本発明の第１の移動機構では、振動体が支持体側に支持されていれば、移動体が振動体の付勢力を受け、振動体が移動体側に支持されていれば、移動体が振動体の付勢方向とは反対方向に反力を受ける。また、振動体の付勢方向は移動面に対して傾斜しているため、移動体が受ける付勢力あるいは反力には、移動面に平行な成分と移動面に垂直な成分とが含まれる。移動体が移動面に平行な力を受けることによって、２列の移動軸のうち一方の移動軸では、移動面と平行な方向に第１溝と第２溝との間隔が詰まり、第１溝と第２溝とで転動体が挟持される。また、他方の移動軸では、第１溝と第２溝との間隔が広がるものの、移動体が移動面に垂直な力を受けることによって一方の移動軸を回転軸として移動体を回転させるモーメントが発生するので、第１溝と第２溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、移動体のガタつきを抑制することができる。
【００１０】
また、本発明の第１の移動機構は、次のような態様で把握することも可能である。すなわち、他の態様としての本発明の第１の移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記円環状の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする。
【００１１】
このような移動機構では、移動体が移動面に平行な力を受けることによって、円環状の移動軸の中心に対して対称な２箇所のうち一方の箇所では、移動面と平行な方向に第１溝と第２溝との間隔が詰まり、第１溝と第２溝とで転動体が挟持される。また、他方の箇所では、第１溝と第２溝との間隔が広がるものの、移動体が移動面に垂直な力を受けることによって一方の箇所を軸に移動体を回転させるモーメントが発生し、第１溝と第２溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、移動体のガタつきを抑制することができる。
【００１２】
また、上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の第２の移動機構は次の構成を採用した。すなわち、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している  ことを特徴とする。
【００１３】
このような本発明の第２の移動機構では、振動体が支持体側に支持されていれば、移動体が振動体の付勢力を受け、振動体が移動体側に支持されていれば、移動体が振動体の付勢方向とは反対方向に反力を受ける。そして、振動体が移動面と平行に付勢されることによって、２列の移動軸のうち一方の移動軸では、移動面と平行な方向に第１溝と第２溝との間隔が詰まり、第１溝と第２溝とで転動体が挟持される。また、他方の移動軸では、第１溝と第２溝との間隔が広がるものの、移動面から離間した位置にて移動面に平行な力を移動体が受けることによって一方の移動軸を回転軸として移動体を回転させるモーメントが発生するので、第１溝と第２溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、移動体のガタつきを抑制することができる。
【００１４】
また、本発明の第２の移動機構は、次のような態様で把握することも可能である。すなわち、他の態様としての本発明の第２の移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体は、前記円環状の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする。
【００１５】
このような移動機構では、振動体が移動面と平行に付勢されることによって、円環状の移動軸の中心に対して対称な２箇所のうち一方の箇所では、移動面と平行な方向に第１溝と第２溝との間隔が詰まり、第１溝と第２溝とで転動体が挟持される。また、他方の箇所では、第１溝と第２溝との間隔が広がるものの、移動面から離間した位置にて移動面に平行な力を移動体が受けることによって一方の箇所を軸に移動体を回転させるモーメントが発生し、第１溝と第２溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、移動体のガタつきを抑制することができる。
【００１６】
また、こうした本発明の移動機構では、支持体または移動体の何れか一方の振動体が付勢される部分に、略直方体形状に形成された受圧体を、振動体が付勢される面と付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込んでおいてもよい。
【００１７】
このようにすれば、支持体または移動体に対して振動体が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体が逃げてしまう（受圧体の位置が移動面と平行な方向にずれてしまう）ことはなく、振動体の駆動力を受圧体に適切に伝えて移動体を支持体に対して精度良く移動させることができる。
【００１８】
また、上述した本発明の移動機構では、受圧体を、支持体または移動体のうち受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成してもよい。
【００１９】
このようにすれば、振動体と受圧体との間に働く摩擦力で受圧体が摩耗することを抑制できる。その結果、長い間の使用によっても移動体の移動精度が低下することを抑制することができる。
【００２０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部と、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。
【００２１】
このような本発明のロボットハンドでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、指部で対象物を把持する精度を高めることが可能となる。
【００２２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
複数の指部と、
前記指部が移動可能に立設された基体と、
前記基体に対して前記指部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とするロボットハンドとして把握することもできる。
【００２３】
このような本発明のロボットハンドでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、指部で対象物を把持する精度を高めることが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２５】
このような本発明の電子部品搬送装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子部品を搬送する精度を高めることが可能となる。
【００２６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００２７】
このような本発明の電子部品搬送装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子部品を搬送する精度を高めることが可能となる。
【００２８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
【００２９】
このような本発明の電子部品検査装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子部品を検査する精度を高めることが可能となる。
【００３０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
【００３１】
このような本発明の電子部品検査装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子部品を検査する精度を高めることが可能となる。
【００３２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。
【００３３】
このような本発明の送液ポンプでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、チューブ内の液体を送液する精度を高めることが可能となる。
【００３４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
液体が流動可能なチューブと、
前記チューブに当接して前記チューブを閉塞する閉塞部と、
前記閉塞部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする送液ポンプとして把握することもできる。
【００３５】
このような本発明の送液ポンプでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、チューブ内の液体を送液する精度を高めることが可能となる。
【００３６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする印刷装置として把握することもできる。
【００３７】
このような本発明の印刷装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、画像を印刷する精度を高めることが可能となる。
【００３８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
媒体に画像を印刷する印刷ヘッドと、
前記印刷ヘッドを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする印刷装置として把握することもできる。
【００３９】
このような本発明の印刷装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、画像を印刷する精度を高めることが可能となる。
【００４０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする投影装置として把握することもできる。
【００４１】
このような本発明の投影装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、光学レンズによる光の投影状態を調整する精度を高めることが可能となる。
【００４２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
光を発生させる光源と、
光学レンズを含み、前記光を投影する投影部と、
前記光学レンズを移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、前記移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする投影装置として把握することもできる。
【００４３】
このような本発明の投影装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、光学レンズによる光の投影状態を調整する精度を高めることが可能となる。
【００４４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
所定の位置に設置され、搬送装置を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする搬送装置として把握することもできる。
【００４５】
このような本発明の搬送装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、対象物を搬送する精度を高めることが可能となる。
【００４６】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
所定の位置に設置され、搬送装置を支える支持体と、
前記支持体に対して所定の移動方向に移動する移動体と、
前記支持体側に一対で設けられ、前記移動方向と平行に形成された第１溝と、
前記移動体側に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、前記移動方向に平行な移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記振動体は、前記２列の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする搬送装置として把握することもできる。
【００４７】
このような本発明の搬送装置では、移動体のガタつきを抑制することができるので、対象物を搬送する精度を高めることが可能となる。
【００４８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
前記関節部に設けられて、前記関節部を回動させる回動機構と、
を備え、
前記回動機構は、
所定の位置に設置され、前記回動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記円環状の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とするロボットとして把握することもできる。
【００４９】
このような本発明のロボットでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、ロボットの動作精度を高めることが可能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。
【００５０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
回動可能な関節部が設けられた腕部と、
前記腕部に設けられたハンド部と、
前記腕部が設けられた本体部と、
前記関節部に設けられて、前記関節部を回動させる回動機構と、
を備え、
前記回動機構は、
所定の位置に設置され、前記回動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体は、前記円環状の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とするロボットとして把握することもできる。
【００５１】
このような本発明のロボットでは、移動体のガタつきを抑制することができるので、ロボットの動作精度を高めることが可能となる。尚、ハンド部は、例えば対象物を把持する動作や、ネジ締めなどを行うネジ締め動作、塗装動作、溶接動作などを行うハンド部とすることができる。
【００５２】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を回動させる回動機構と、
を備え、
前記回動機構は、
所定の位置に設置され、前記回動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記円環状の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子時計として把握することもできる。
【００５３】
このような本発明の電子時計では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子時計の動作精度を高めることが可能となる。
【００５４】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
同軸に歯車が設けられ、回動可能な回転円板と、
複数の歯車を含んで構成された歯車列と、
前記歯車列に接続され、時刻を指し示す指針と、
前記回転円板を回動させる回動機構と、
を備え、
前記回動機構は、
所定の位置に設置され、前記回動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して回転移動する移動体と、
前記支持体側に設けられ、円環状に形成された第１溝と、
前記移動体側に設けられ、前記第１溝と向き合わせて円環状に形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記第１溝と前記第２溝との間で転動する前記転動体を含み、円環状の移動軸と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、前記支持体または前記移動体の何れか一方に対して付勢された状態で何れか他方に支持される振動体と、
を備え、
前記第１溝および前記第２溝は、一方の円環の内側に他方の円環が位置し、且つ、前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記移動体とが向き合う方向に対して交差しており、
前記振動体は、前記円環状の移動軸を包含する移動面とは離間した位置にて、前記支持体または前記移動体の何れか一方に付勢され、
前記振動体が付勢される付勢方向は、前記移動面に平行で且つ前記移動方向に交差している
ことを特徴とする電子時計として把握することもできる。
【００５５】
このような本発明の電子時計では、移動体のガタつきを抑制することができるので、電子時計の動作精度を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本実施例の移動機構の構成を示した斜視図である。
【図２】圧電モーターの内部構造を示した断面図である。
【図３】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図４】移動方向に垂直な平面で取った本実施例の移動機構の断面図である。
【図５】本実施例の移動機構にてテーブルのガタつきが抑制されることを概念的に示した説明図である。
【図６】第１変形例の移動機構の構成を示した断面図である。
【図７】第２変形例の移動機構の構成を示した断面図である。
【図８】第３変形例の移動機構の構成を示した断面図である。
【図９】第４変形例の移動機構の構成を示した断面図である。
【図１０】第５変形例の移動機構の構成を示した説明図である。
【図１１】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んだロボットハンドを例示した説明図である。
【図１２】ロボットハンドを備えた単腕のロボットを例示した説明図である。
【図１３】ロボットハンドを備えた複腕のロボットを例示した説明図である。
【図１４】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んで構成された電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図１５】把持装置に内蔵された微調整機構についての説明図である。
【図１６】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んだ送液ポンプを例示した説明図である。
【図１７】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んだ印刷装置を例示した斜視図である。
【図１８】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んだ電子時計を例示した説明図である。
【図１９】本実施例あるいは変形例の移動機構を組み込んだ投影装置を例示した斜視図である。
【図２０】案内レールおよびレール受けを２組設けた例を示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００５７】
図１は、本実施例の移動機構１０の構成を示した斜視図である。図１（ａ）には本実施例の移動機構１０の全体図が示されており、図１（ｂ）には分解図が示されている。図１（ａ）に示されるように、本実施例の移動機構１０は、支持体２０と、支持体２０に対して所定の移動方向に移動するテーブル３０と、テーブル３０を駆動する圧電モーター１００などから構成されている。本実施例では、支持体２０の上方にテーブル３０が設置され、テーブル３０側に圧電モーター１００が取り付けられている。尚、図中の太線矢印は、テーブル３０の移動方向を表しており、テーブル３０は、図中の手前側から奥側に向かって、あるいは奥側から手前側に向かって移動可能である。また、本実施例のテーブル３０は、本発明の「移動体」に相当している。
【００５８】
図１（ｂ）に示されるように、テーブル３０は略矩形の平板形状であり、その下面（支持体２０に向き合う面）からは案内レール４０が垂設さている。案内レール４０は移動方向と平行に設けられ、この案内レール４０の両側面にはＶ字断面の内溝４２が形成されている。尚、本実施例の内溝４２は、本発明の「第２溝」に相当している。
【００５９】
支持体２０は略矩形の平板形状に形成されており、その上面（テーブル３０と向き合う面）には、案内レール４０を両側から挟んで一対のレール受け４６が立設されている。レール受け４６の内壁面には、案内レール４０の内溝４２と向き合うＶ字断面の外溝４８が形成されている。また、支持体２０の上面には、略直方体形状の受圧体５０がレール受け４６と平行に埋め込まれている。尚、本実施例の外溝４８は、本発明の「第１溝」に相当している。
【００６０】
案内レール４０の内溝４２とレール受け４６の外溝４８との間には、複数のボール４４が挿入されている。これら複数のボール４４は、支持体２０とテーブル３０との間で２列のボールガイドを形成しており、ボール４４が内溝４２および外溝４８に沿って転動することによって、テーブル３０は支持体２０に対して円滑に移動する。尚、本実施例のボール４４は、本発明の「転動体」に相当している。
【００６１】
圧電モーター１００には、圧電材料を含んで形成された振動体１１０が内蔵されている。振動体１１０は、直方体形状に形成されており、長手方向の端面には円柱形状の凸部１１２が設けられている。
【００６２】
図２は、圧電モーター１００の内部構造を示した断面図である。図示されるように、振動体１１０は、凸部１１２を突出させた状態で振動体ケース１０２内に保持されており、この振動体ケース１０２は、凸部１１２が突出した方向（Ｘ方向）に向かって移動可能な態様で収容ケース１０４に収容されている。振動体ケース１０２の側面（Ｘ方向に直交する方向（Ｙ方向）を向いた面）の一方側と収容ケース１０４との間には、Ｙ方向に振動体ケース１０２を付勢する側圧バネ１０６が設けられている。また、振動体ケース１０２の側面の他方側（側圧バネ１０６が設けられた側とは反対側）と収容ケース１０４との間には、Ｘ方向に転動するコロ１０８が設けられている。このため、振動体ケース１０２は、Ｙ方向への移動を規制されながら、Ｘ方向に滑らかに移動することが可能である。さらに、コロ１０８が設けられた側と同じ側には付勢バネ１２０が設けられており、この付勢バネ１２０は、振動体ケース１０２をＸ方向（凸部１１２が設けられた側）に付勢している。そして、図１に示したように、移動機構１０を組み立てた状態では、振動体１１０の凸部１１２が支持体２０の受圧体５０に付勢されており、圧電モーター１００の振動体１１０に電圧を印加することによって、テーブル３０を駆動することができる。
【００６３】
図３は、圧電モーター１００の動作原理を示す説明図である。図３（ａ）に示されているように、圧電モーター１００に内蔵された振動体１１０の表側の側面には、その側面を縦横に２分割（合計で４分割）するように４つの矩形形状の表電極１１４ａ〜ｄが形成されている。尚、４つの表電極１１４ａ〜ｄを区別する必要がない場合には、これらを単に表電極１１４と称することがある。また、図示は省略しているが、振動体１１０の裏側の側面には、その側面のほぼ全面に亘って裏電極が形成されている。圧電モーター１００は、振動体１１０の表電極１１４に一定周期で電圧を印加したときに、振動体１１０の凸部１１２が楕円運動することによって動作する。振動体１１０の凸部１１２が楕円運動するのは次の理由による。
【００６４】
先ず、周知のように圧電材料を含む振動体１１０は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図３（ａ）に示すように、４つの表電極１１４の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体１１０は長手方向に伸縮する動作を繰り返す。このように振動体１１０が長手方向に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。以下では、振動体１１０が伸縮する方向（図中の±Ｘ方向）を「伸縮方向」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体１１０の物性と、振動体１１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００６５】
また、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１４を組（表電極１１４ａおよび表電極１１４ｄの組、あるいは表電極１１４ｂおよび表電極１１４ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると、振動体１１０は、長手方向の先端部（凸部１１２が設けられた部分）が、図面上で左右方向に首を振るような動作を繰り返す。例えば、図３（ｂ）に示したように、表電極１１４ａおよび表電極１１４ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１０は、長手方向の先端部が右方向に移動する動作を繰り返す。また、図３（ｃ）に示したように、表電極１１４ｂおよび表電極１１４ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体１１０は、長手方向の先端部が左方向に移動する動作を繰り返す。このような振動体１１０の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体１１０が屈曲振動する方向（図中の±Ｙ方向）を「屈曲方向」と呼ぶ。こうした屈曲振動についても、振動体１１０の物性と、振動体１１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極１１４に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体１１０は屈曲方向に大きく首を振って振動する。
【００６６】
ここで、図３（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体１１０の物性や、振動体１１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体１１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば、２つの共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体１１０に対して、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図３（ｂ）あるいは図３（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図３（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図３（ｂ）に示す態様で表電極１１４ａおよび表電極１１４ｄの組に電圧を印加した場合には、振動体１１０の先端部（凸部１１２が設けられた部分）が図面上で時計回りに楕円を描くような動作（楕円運動）を行う。また、図３（ｃ）に示す態様で表電極１１４ｂおよび表電極１１４ｃの組に電圧を印加した場合には、振動体１１０の先端部が図面上で反時計回りの楕円運動を行う。尚、以上の説明では振動体１１０に正電圧を印加するものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっても変形する。従って、振動体１１０に負電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良い。また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。
【００６７】
圧電モーター１００は、このような楕円運動を利用してテーブル３０を駆動する。すなわち、図１に示したように圧電モーター１００は、振動体１１０の短手方向（屈曲方向）を移動方向に合わせてテーブル３０側に固定されており、振動体１１０の凸部１１２が支持体２０の受圧体５０に付勢された状態で楕円運動を発生させる。すると、凸部１１２は、振動体１１０が伸長する際には受圧体５０に付勢された状態で屈曲方向の何れか一方に向かって移動し、振動体１１０が収縮する際には受圧体５０から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、受圧体５０と凸部１１２との間に働く摩擦力によって、テーブル３０は、支持体２０に対して屈曲方向（移動方向）の何れか他方に向かって移動する。
【００６８】
以上に説明した圧電モーター１００の動作原理から明らかなように、テーブル３０側に固定された圧電モーター１００は、振動体１１０の凸部１１２が支持体２０側（受圧体５０）に付勢された状態としておく必要がある。このため、テーブル３０は、受圧体５０に凸部１１２が付勢される力（付勢力）の反力を受けることになり、こうした反力を受けてテーブル３０にガタつきが発生することがある。そこで、本実施例の移動機構１０では、以下のように振動体１１０の凸部１１２を付勢することによって、テーブル３０のガタつきを抑制している。
【００６９】
図４は、移動方向に垂直な平面で取った本実施例の移動機構１０の断面図である。前述したように、テーブル３０側の案内レール４０に形成された内溝４２と、支持体２０側のレール受け４６に形成された外溝４８との間に複数のボール４４が挿入されており、これら複数のボール４４によって、移動方向に平行な２列のボールガイドが支持体２０とテーブル３０との間に形成されている。２列のボールガイドに沿って複数のボール４４が転動することでテーブル３０は支持体２０に対して円滑に移動する。以下では、２列のボールガイドを含む平面を「移動面」と呼ぶ。尚、ボール４４の円滑な転動のために、ボール４４と内溝４２や外溝４８との間には若干の遊び（隙間）が設けられている。
【００７０】
また、テーブル３０の側面に取り付けられる圧電モーター１００は、内蔵する振動体１１０の短手方向（屈曲方向）を移動方向に合わせると共に、上端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）をテーブル３０側に傾けて固定されている。さらに、振動体１１０は、付勢バネ１２０によって長手方向（伸縮方向）に付勢され、支持体２０の受圧体５０に凸部１１２が付勢された状態となっている。このため、振動体１１０の凸部１１２が受圧体５０に付勢される方向（付勢方向）は、移動方向に直交し、且つ、移動面に対して所定の角度（図示した例では７５度）で傾斜している。
【００７１】
尚、本実施例の受圧体５０は、略直方体形状に形成されており、上面（振動体１１０の凸部１１２が当接する面）が付勢方向に直交する状態で支持体２０に埋め込まれている。これにより、受圧体５０の位置がずれることはなく、また、凸部１１２と受圧体５０との間に摩擦力を効率よく発生させることができる。加えて、本実施例の移動機構１０では、支持体２０がプラスチック材料で形成されているのに対して、受圧体５０がセラミックス材料や金属材料などのプラスチック材料よりも硬度の高い材料で形成されている。このため、凸部１１２と受圧体５０との間に働く摩擦力で受圧体５０が摩耗することを抑制できる。
【００７２】
ここで、テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２が受圧体５０に付勢されることによって、付勢方向とは反対方向に反力を受ける。この反力には、移動面に平行な図中左方向の成分と、移動面に垂直な図中上方向の成分とが含まれる。そして、テーブル３０が移動面に平行な反力を受けることによって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドでは、ボール４４と内溝４２および外溝４８との間の遊び（隙間）が詰まり、内溝４２および外溝４８でボール４４が挟持された状態となる。
【００７３】
一方、圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドでは、内溝４２と外溝４８との間隔が広がるものの、テーブル３０が移動面に垂直な反力を受けることによって、図中左側の隙間が詰まったボールガイドを軸としてテーブル３０を上方に向かって回転させるモーメントが発生し、内溝４２の下端側と外溝４８の上端側とでボール４４を挟持した状態となる。
【００７４】
以上のように、本実施例の移動機構１０では、移動面に対して振動体１１０の凸部１１２が斜めに付勢されることによって、２列のボールガイドのうち一方のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間を詰めると共に、その一方のボールガイドを軸に回転モーメントを発生させて他方のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４を挟持することができる。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００７５】
また、本実施例の移動機構１０では、テーブル３０が反力を受ける位置が、回転の軸となる図中左側のボールガイド（ボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まった側のボールガイド）に対して、図中右側のボールガイド（内溝４２と外溝４８との間隔が広がった側のボールガイド）よりも遠い位置になっており、大きな回転モーメントが発生する。このため、テーブル３０に加重等の外力が加わっても、テーブル３０にガタつきが発生し難い。
【００７６】
図５は、本実施例の移動機構１０にてテーブル３０のガタつきが抑制されることを概念的に示した説明図である。先ず、支持体２０に対してテーブル３０を移動させ、所定位置（起点から２００μｍの位置）でテーブル３０を位置決めするように圧電モーター１００を制御する。このとき、テーブル３０が所定位置を通過した場合は、テーブル３０を逆方向に移動させ、所定位置との誤差が所定範囲（±３μｍ）となるまでに要する移動時間を計測する。このようなテーブル３０の移動動作を繰り返し行って、移動時間と、その移動時間を要した移動回数（頻度）との関係を図５のグラフに示した。図中の実線は、本実施例の移動機構１０で移動動作を行った場合を表しており、図中の一点鎖線は、比較例として、付勢方向（振動体１１０の凸部１１２が受圧体５０に付勢される方向）が移動面に対して垂直である移動機構１０で移動動作を行った場合を表している。移動面に対して付勢方向が傾斜している本実施例の移動機構１０では、テーブル３０のガタつきが抑えられることによって、テーブル３０の位置決めに要する移動時間のばらつき（偏差）が比較例に比べて小さくなっている。
【００７７】
以下では、上述した本実施例の移動機構１０の変形例について説明する。尚、変形例の説明にあたっては、上述の実施例と同様の構成部分については、先に説明した実施例と同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７８】
図６は、第１変形例の移動機構１０の構成を示した断面図である。第１変形例の移動機構１０では、案内レール４０が支持体２０の上面（テーブル３０と向き合う面）から立接されており、案内レール４０を両側から挟む一対のレール受け４６がテーブル３０の下面（支持体２０と向き合う面）から垂設されている。そして、案内レール４０の両側面に形成された内溝４２と、レール受け４６の内壁面に形成された外溝４８との間に複数のボール４４が挿入され、２列のボールガイドを形成している。尚、第１変形例の内溝４２は、本発明の「第１溝」に相当し、第１変形例の外溝４８は、本発明の「第２溝」に相当している。
【００７９】
また、テーブル３０の側面に取り付けられる圧電モーター１００は、上端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）をテーブル３０とは反対側に傾けて固定されており、振動体１１０の凸部１１２が受圧体５０に付勢される方向（付勢方向）は、２列のボールガイドを含む移動面に対して傾斜している。尚、受圧体５０は、上面が付勢方向に直交するように支持体２０に埋め込まれている。
【００８０】
テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢方向とは反対方向に反力を受け、この反力には、移動面に平行な図中右方向の成分と、移動面に垂直な図中上方向の成分とが含まれる。そして、移動面に平行な反力によって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まると共に、移動面に垂直な反力によって図中左側のボールガイドを軸にテーブル３０を上方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドでも内溝４２の上端側と外溝４８の下端側とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００８１】
また、第１変形例のテーブル３０の上面（支持体２０と向き合う面とは反対側の面）は、回転モーメントによりテーブル３０が回転した状態で支持体２０と平行となるように、テーブル３０の下面に対して回転分だけ傾斜が付けられている。これにより、テーブル３０の上面に載置される載置物の水平を保つことができる。
【００８２】
図７は、第２変形例の移動機構１０の構成を示した断面図である。前述した実施例では、圧電モーター１００をテーブル３０側に固定し、振動体１１０の凸部１１２が支持体２０側に付勢されていたのに対して、第２変形例の移動機構１０では、圧電モーター１００を支持体２０側に固定し、振動体１１０の凸部１１２がテーブル３０側に付勢される構成となっている。
【００８３】
図７に示されるように、第２変形例の圧電モーター１００は、支持体２０の上面（テーブル３０に向き合う面）から立設された支柱２２に取り付けられ、上端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）をテーブル３０とは反対側に傾けて固定されている。そして、圧電モーター１００に内蔵された振動体１１０は、付勢バネ１２０の付勢力によって、凸部１１２がテーブル３０の上面（支持体２０に向き合う面とは反対側の面）に付勢され、その付勢される方向（付勢方向）は、移動面に対して傾斜している。尚、テーブル３０の上面の凸部１１２が付勢される位置には、付勢方向に直交する受圧面３２が形成されている。
【００８４】
このように、第２変形例のテーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢力を直接的に受ける。この付勢力には、移動面に平行な図中左方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、移動面に平行な力によって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まると共に、移動面に垂直な力によって図中左側のボールガイドを軸にテーブル３０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００８５】
図８は、第３変形例の移動機構１０の構成を示した断面図である。前述した実施例では、支持体２０の上方にテーブル３０を設置していたのに対して、第３変形例の移動機構１０では、支持体２０の下方にテーブル３０を設置する構成となっている。
【００８６】
図８（ａ）には、実施例の移動機構１０（図４参照）の上下を反転させ、支持体２０に対してテーブル３０を吊り下げた状態が示されている。テーブル３０の側面に取り付けられる圧電モーター１００は、下端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）をテーブル３０側に傾けて固定されており、振動体１１０の凸部１１２が受圧体５０に付勢される方向（付勢方向）は、２列のボールガイドを含む移動面に対して傾斜している。テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢方向とは反対方向に反力を受け、この反力には、移動面に平行な図中左方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、移動面に平行な力によって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まると共に、移動面に垂直な力によって図中左側のボールガイドを軸にテーブル３０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００８７】
また、図８（ａ）のように支持体２０に対してテーブル３０を吊り下げる構成では、テーブル３０の荷重が回転モーメントに付加され、内溝４２と外溝４８とでボール４４を強く挟持する方向に作用するので、テーブル３０のガタつきを抑制する上で好適である。
【００８８】
図８（ｂ）には、図８（ａ）の別例として、圧電モーター１００を支持体２０側に固定し、振動体１１０の凸部１１２がテーブル３０側に付勢される構成が示されている。支持体２０の側面に取り付けられる圧電モーター１００は、上端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）を支持体２０とは反対側に傾けて固定されており、テーブル３０の上面（支持体２０と向き合う面）に埋め込まれた受圧体５０に振動体１１０の凸部が付勢される方向（付勢方向）は移動面に対して傾斜している。テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢力を受け、その付勢力には、移動面に平行な図中左方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、移動面に平行な力によって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まると共に、移動面に垂直な力によって図中左側のボールガイドを軸にテーブル３０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００８９】
図９は、第４変形例の移動機構１０の構成を示した断面図である。前述した実施例では、移動面に対して振動体１１０の凸部１１２が斜めに付勢されていたのに対して、第４変形例の移動機構１０では、移動面と平行に振動体１１０の凸部１１２が付勢される構成となっている。
【００９０】
図９（ａ）には、圧電モーター１００を支持体２０側に固定し、振動体１１０の凸部１１２がテーブル３０側に付勢される構成が示されている。圧電モーター１００は、支持体２０の上面（テーブル３０に向き合う面）から立設された支柱２２に取り付けられ、振動体１１０の長手方向（伸縮方向）を移動面と平行にして固定されている。振動体１１０は、付勢バネ１２０の付勢力によって、凸部１１２がテーブル３０の側面に付勢され、その付勢される方向（付勢方向）は、移動面と平行になっている。
【００９１】
テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢力を直接的に受け、その付勢力は、移動面に垂直な成分を含んでおらず、移動面に平行な図中左方向の成分だけとなっている。テーブル３０が移動面に平行な付勢力を受けることによって、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００から近い側（図中右側）のボールガイドでは、ボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まる。また、テーブル３０は、移動面に垂直な付勢力を受けることはないものの、移動面から離間した上方の位置にて移動面に平行な付勢力を受けることによって、図中右側のボールガイドを軸にテーブル３０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００９２】
図９（ｂ）には、図９（ａ）の別例として、支持体２０に対してテーブル３０を吊り下げた状態で、圧電モーター１００をテーブル３０側に固定し、振動体１１０の凸部１１２が支持体２０側に付勢される構成が示されている。圧電モーター１００は、テーブル３０の下面（支持体２０と向き合う面とは反対側の面）に取り付けられている。また、支持体２０の下面（テーブル３０と向き合う面）からは縦壁２４が垂設されており、振動体１１０は、付勢バネ１２０の付勢力によって、凸部１１２が縦壁２４に付勢される。テーブル３０は、移動面から離間した下方の位置にて、移動面に平行な図中左方向の反力を受ける。これにより、２列のボールガイドのうち圧電モーター１００に近い側（図中右側）のボールガイドのボール４４と内溝４２および外溝４８との隙間が詰まると共に、図中右側のボールガイドを軸にテーブル３０を上方に向かって回転させるモーメントが発生し、圧電モーター１００から遠い側（図中左側）のボールガイドでも内溝４２と外溝４８とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００９３】
図１０は、第５変形例の移動機構１０の構成を示した説明図である。図１０（ａ）には、外観形状が斜視図で示されており、図１０（ｂ）には、内部構造が断面図で示されている。前述した実施例では、支持体２０に対してテーブル３０を直線移動させる（移動方向が直線方向である）のに対して、第５変形例の移動機構１０では、支持体２０に対してテーブル３０を回転移動させる構成となっている。
【００９４】
図１０（ａ）に示されるように、第５変形例のテーブル３０は、円板形状に形成され、支持体２０の上方に設置されている。また、圧電モーター１００は、支持体２０の上面（テーブル３０と向き合う面）から立設された支柱２２に取り付けられており、圧電モーター１００に内蔵された振動体１１０は、付勢バネ１２０の付勢力によって、凸部１１２がテーブル３０の上面（支持体２０と向き合う面とは反対側の面）に付勢されている。
【００９５】
図１０（ｂ）に示されるように、テーブル３０の下面（支持体２０に向き合う面）からは円柱形状の案内軸６０が垂設されており、案内軸６０の外周面にはＶ字断面の内溝６２（第２溝）が形成されている。一方、支持体２０の上面（テーブル３０と向き合う面）には、案内軸６０が挿通される円筒形状の軸受け６６が立設されており、軸受け６６の内周面には、案内軸６０の内溝６２と向き合うＶ字断面の外溝６８（第１溝）が形成されている。案内軸６０の内溝６２と軸受け６６の外溝６８との間には、複数のボール４４が挿入されており、これら複数のボール４４は、支持体２０とテーブル３０との間でリング状のボールガイドを形成している。ボール４４が内溝６２および外溝６８に沿って転動することによって、テーブル３０は支持体２０に対して円滑に回転移動する。
【００９６】
支持体２０側の支柱２２に取り付けられた圧電モーター１００は、上端側（凸部１１２が設けられた側とは反対側）をテーブル３０とは反対側に傾けて固定されており、振動体１１０の凸部１１２がテーブル３０の上面に付勢される方向（付勢方向）は、リング状のボールガイドを含む移動面に対して傾斜している。尚、テーブル３０の上面の凸部１１２が付勢される位置には、付勢方向に直交する受圧面３４が形成されている。
【００９７】
テーブル３０は、振動体１１０の凸部１１２の付勢力を直接的に受け、その付勢力には、移動面に平行な図中右方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。リング状のボールガイドのうち圧電モーター１００から遠い側（図中右側）の部分では、移動面に平行な力によって、ボール４４と内溝６２および外溝６８との隙間が詰まる。また、リング状のボールガイドの圧電モーター１００に近い側（図中左側）の部分では、内溝６２と外溝６８との間隔が広がるものの、移動面に垂直な力によって、ボールガイドの図中右側の部分を軸としてテーブル３０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、内溝６２の上端側と外溝６８の下端側とでボール４４が挟持される。その結果、テーブル３０のガタつきを抑制することができる。
【００９８】
上述した本実施例の移動機構１０あるいは変形例の移動機構１０は、テーブル３０のガタつきを抑制してテーブル３０を精度良く移動させることができるから、以下のような装置の移動機構として好適に組み込むことができる。
【００９９】
図１１は、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を組み込んだロボットハンド２００を例示した説明図である。図示したロボットハンド２００は、基体２０２から複数本の指部２０３が立設されており、手首２０４を介してアーム２１０に接続されている。ここで、指部２０３の根元の部分は基体２０２内で移動可能となっており、この指部２０３の根元の部分にテーブル３０を固定した状態で直線式の移動機構１０が搭載されている。このため、移動機構１０を動作させる（テーブル３０を移動させる）ことで、指部２０３を移動させて対象物を把持することができる。また、手首２０４の部分には、第５変形例の回転式の移動機構１０が搭載されている。このため、移動機構１０を動作させることで、基体２０２全体を回転させることが可能である。
【０１００】
図１２は、ロボットハンド２００（ハンド部）を備えた単腕のロボット２５０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２（リンク部材）と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０（腕部）を有している。また、ロボットハンド２００はアーム２１０の先端に接続されている。そして、関節部２２０には、第５変形例の回転式の移動機構１０が内蔵されている。このため、移動機構１０を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲（回動）させることが可能である。
【０１０１】
図１３は、ロボットハンド２００を備えた複腕のロボット２６０を例示した説明図である。図示されるようにロボット２５０は、複数本のリンク部２１２と、それらリンク部２１２の間を屈曲可能な状態で接続する関節部２２０とを備えたアーム２１０を複数本（図示した例では２本）有している。アーム２１０の先端には、ロボットハンド２００や、工具２０１（ハンド部）が接続されている。また、頭部２６２には複数体のカメラ２６３が搭載され、本体部２６４の内部には全体の動作を制御する制御部２６６が搭載されている。更に、本体部２６４の底面に設けられたキャスター２６８によって搬送可能である。このロボット２６０にも、関節部２２０には、第５変形例の回転式の移動機構１０が内蔵されている。このため、移動機構１０を動作させることにより、それぞれの関節部２２０を任意の角度だけ屈曲（回動）させることが可能である。
【０１０２】
図１４は、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を組み込んで構成された電子部品検査装置３００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置３００は、大まかには基体３１０と、基体３１０の側面に立設された支持体３３０とを備えている。基体３１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ３１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ３１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ３１２ｕと下流側ステージ３１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置３１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査体３１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。
【０１０３】
また、支持体３３０には、基体３１０の上流側ステージ３１２ｕおよび下流側ステージ３１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ３３２が設けられており、Ｙステージ３３２からは、基体３１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部３３４が延設されている。また、腕部３３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ３３６が設けられている。そして、Ｘステージ３３６には、撮像カメラ３３８と、上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージを内蔵した把持装置３５０が設けられている。また、把持装置３５０の先端には、電子部品１を把持する把持部３５２が設けられている。更に、基体３１０の前面側には、電子部品検査装置３００の全体の動作を制御する制御装置３１８も設けられている。尚、本実施例では、支持体３３０に設けられたＹステージ３３２や、腕部３３４や、Ｘステージ３３６や、把持装置３５０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
【０１０４】
以上のような構成を有する電子部品検査装置３００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ３１２ｕに載せられて、検査体３１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、上流側ステージ３１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置３５０を移動させる。このとき、撮像カメラ３３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置３５０内に内蔵されたＺステージを用いて把持装置３５０を降下させて、把持部３５２で電子部品１を把持すると、そのまま把持装置３５０を撮像装置３１４の上に移動させて、撮像装置３１４を用いて電子部品１の姿勢を確認する。続いて、把持装置３５０に内蔵されている微調整機構を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置３５０を検査体３１６の上まで移動させた後、把持装置３５０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査体３１６の上にセットする。把持装置３５０内の微調整機構を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査体３１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査体３１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、再び、今度は検査体３１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ３３２およびＸステージ３３６を動かして、下流側ステージ３１２ｄの上まで把持装置３５０を移動させ、下流側ステージ３１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ３１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【０１０５】
図１５は、把持装置３５０に内蔵された微調整機構についての説明図である。図示されるように把持装置３５０内には、把持部３５２に接続された回転軸３５４や、回転軸３５４が回転可能に取り付けられた微調整プレート３５６などが設けられている。また、微調整プレート３５６は、図示しないガイド機構によってガイドされながら、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能である。
【０１０６】
ここで、図１５に斜線を付して示されるように、回転軸３５４には第５変形例の回転式の移動機構１０θが搭載されている。このため、移動機構１０θを動作させることによって、回転軸３５４（および把持部３５２）をθ方向に任意の角度だけ精度良く回転させることが可能である。また、微調整プレート３５６にＸ方向用の直線式の移動機構１０ｘと、Ｙ方向用の直線式の移動機構１０ｙとが設けられており、それぞれのテーブル３０が微調整プレート３５６の表面に固定されている。このため、移動機構１０ｘを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＸ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることができ、同様に、移動機構１０ｙを動作させることによって、微調整プレート３５６（および把持部３５２）をＹ方向に任意の距離だけ精度良く移動させることが可能である。従って、図１４の電子部品検査装置３００は、移動機構１０θ、移動機構１０ｘ、移動機構１０ｙを動作させることにより、把持部３５２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。
【０１０７】
図１６は、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を組み込んで構成された送液ポンプ４００を例示した説明図である。図１６（ａ）には送液ポンプ４００を上面視した平面図が示されており、図１６（ｂ）には送液ポンプ４００を側面視した断面図が示されている。図示されるように送液ポンプ４００は、矩形形状のケース４０２内に円板形状のローター４０４が回転可能に設けられており、ケース４０２とローター４０４との間には、薬液などの液体が内部を流通するチューブ４０６が挟持されている。また、チューブ４０６の一部は、ローター４０４に設けられたボール４０８（閉塞部）によって押しつぶされて閉塞した状態となっている。このためローター４０４が回転すると、ボール４０８がチューブ４０６を押しつぶす位置が移動するので、チューブ４０６の液体が送液される。そして、ローター４０４にテーブル３０を同軸で固定した状態で第５変形例の回転式の移動機構１０を設ければ、移動機構１０を動作させることにより、ローター４０４を回転させることができる。こうすれば、極僅かな量を精度良く送液することが可能となる。
【０１０８】
図１７は、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を組み込んだ印刷装置５００を例示した斜視図である。図示した印刷装置５００は、印刷媒体２の表面にインクを噴射して画像を印刷するいわゆるインクジェットプリンターである。尚、印刷装置５００が印刷する「画像」には、文字、図形、絵画、模様、写真映像などが含まれるものとする。印刷装置５００は、略箱形の外観形状をしており、前面のほぼ中央には排紙トレイ５０１や、排出口５０２や、複数の操作ボタン５０５が設けられている。また、背面側には供給トレイ５０３が設けられている。供給トレイ５０３に印刷媒体２をセットして操作ボタン５０５を操作すると、供給トレイ５０３から印刷媒体２が吸い込まれて、印刷装置５００の内部で印刷媒体２の表面に画像が印刷された後、排出口５０２から排出される。
【０１０９】
印刷装置５００の内部には、印刷媒体２上で主走査方向に往復動する印刷ヘッド５２０と、印刷ヘッド５２０の主走査方向への動きをガイドするガイドレール５１０が設けられている。また、図示した印刷ヘッド５２０は、印刷媒体２上にインクを噴射する印字部５２２や、印刷ヘッド５２０を主走査方向に走査するための走査部５２４などから構成されている。印字部５２２の底面側（印刷媒体２に向いた側）には、複数の噴射ノズルが設けられており、噴射ノズルから印刷媒体２に向かってインクを噴射することができる。また、走査部５２４には、直線式の移動機構１０ｍ，１０ｓが搭載されている。このため、移動機構１０ｍを動作させることで、印刷ヘッド５２０を主走査方向に移動させることができる。また、移動機構１０ｓを動作させることで、印字部５２２の底面側を印刷媒体２に近付けたり、印刷媒体２から遠ざけたりすることが可能である。また、印刷装置５００には、ロール紙５０４を切断するための切断機構５３０も搭載されている。切断機構５３０は、用紙カッター５３６を先端に搭載したカッターホルダー５３４と、カッターホルダー５３４を貫通して主走査方向に延設されたガイド軸５３２とを備えている。カッターホルダー５３４内には直線式の移動機構１０ｃが搭載されており、移動機構１０ｃを動作させるとカッターホルダー５３４がガイド軸５３２に沿って主走査方向に移動し、用紙カッター５３６がロール紙５０４を切断する。また、印刷媒体２を紙送りするために移動機構１０を用いることも可能である。
【０１１０】
図１８は、本実施例の移動機構１０を組み込んだ電子時計６００の内部構造を例示した説明図である。図１８では、電子時計６００の時刻表示側とは反対側（裏蓋側）から見た平面図が示されている。図１８に例示した電子時計６００の内部には、円板形状の回転円板６０２と、回転円板６０２の回転を、時刻を表示する指針（図示省略）に伝達する歯車列６０４と、回転円板６０２を回転移動させる移動機構１０と、電力供給部６０６と、水晶チップ６０８と、ＩＣ６１０とを備えている。また、電力供給部６０６や、水晶チップ６０８、ＩＣ６１０は、図示しない回路基板に搭載されている。歯車列６０４は、図示しないラチェットを含む複数の歯車で構成されており、隣り合う歯車同士の歯を噛み合わせて順次回転を伝達するように配列されている。尚、図示が煩雑となることを避けるために、図１８では、歯車の歯先を結んだ線を細い一点鎖線で表し、歯車の歯元を結んだ線を太い実線で表している。従って、太い実線および細い一点鎖線による二重の円形は歯車を表していることになる。また、歯先を示す細い一点鎖線については全周を表示せず、他の歯車と噛み合う部分の周辺のみを表示している。
【０１１１】
回転円板６０２には、同軸に小さな歯車６０２ｇが設けられており、この歯車６０２ｇが歯車列６０４と噛み合わされている。このため回転円板６０２の回転は、所定の比率で減速されながら歯車列６０４を伝わる。そして、この歯車の回転が時刻を表す指針に伝達されて時刻を表示する。そして、回転円板６０２にテーブル３０を同軸で固定した状態で第５変形例の回転式の移動機構１０を設ければ、移動機構１０を動作させることにより、回転円板６０２を回転させることができる。
【０１１２】
図１９は、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を組み込んだ投影装置７００を例示した説明図である。図示されるように投影装置７００は、光学レンズを含んだ投影部７０２を備えており、内蔵する光源（図示は省略）からの光を投影することによって画像を表示する。そして、投影部７０２に含まれる光学レンズの焦点を合わせるための調整機構７０４に、本実施例あるいは変形例の移動機構１０を用いても良い。移動機構１０は位置決めの分解能が高いので、光学レンズを移動させて微妙な焦点合わせを行うことができる。また、光源からの光を投影しない間は、レンズカバー７０６で投影部７０２の光学レンズを覆うことで、光学レンズに傷が付くことを防ぐことができる。このレンズカバー７０６を開閉するために本実施例あるいは変形例の移動機構１０を用いることもできる。
【０１１３】
以上、本発明の移動機構や、移動機構を搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例や、変形例、適用例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【０１１４】
例えば、前述した実施例では、内溝４２および外溝４８の断面形状がＶ字型に形成されていた。しかし、内溝４２および外溝４８の断面形状は、これに限られるわけではなく、ボール４４などの転動体が転動可能に挟持される形状であればよい。例えば、半円形状としてもよい。同じ大きさのボール４４を用いる場合に、半円形状の溝であれば、Ｖ字型の溝に比べて溝の深さは浅くて良いので、溝を形成する加工コストを抑えることができ、また、形成する溝の深さに制約がある場合（例えば、案内レール４０の厚みの確保が困難な場合）でも、ボール４４を受ける溝を形成することが可能となる。
【０１１５】
また、前述した実施例では、内溝４２と外溝４８との間に複数のボール４４が転動体として挿入されていた。しかし、内溝４２と外溝４８との間で転動してテーブル３０を円滑に移動させることができる転動体であれば、ボール４４に限られるわけではない。例えば、内溝４２および外溝４８に沿って円筒形のコロを交互に直交させて配列するクロスローラーとしてもよい。クロスローラーは、コロが溝に線接触することにより、ボール４４（溝に点接触）を用いる場合に比べて、高荷重に耐えることができるので、クロスローラーを用いれば、移動機構１０の剛性を高めることができる。
【０１１６】
また、前述した実施例および変形例では、支持体２０とテーブル３０との配置関係が上下方向（鉛直方向）となっていたが、これに限られるわけではなく、例えば、左右方向（水平方向）であってもよい。このように、支持体２０とテーブル３０との配置関係を変えることにより、移動機構１０のレイアウトの自由度が増すので、移動機構１０の配置スペースに制約がある場合や、複数の移動機構１０を組み合わせる場合でも適応が容易となる。
【０１１７】
また、前述した実施例では、支持体２０とテーブル３０との間に一組の案内レール４０およびレール受け４６が設けられていたが、図２０に示されるように、２組以上の案内レール４０およびレール受け４６を設けることとしてもよい。図２０に示した例では、テーブル３０の下面（支持体２０と向き合う面）に、２つの案内レール４０が移動方向と平行に設けられており、これら２つの案内レール４０は、移動方向と直交する方向に離間して配置されている。また、支持体２０の上面（テーブル３０と向き合う面）には、テーブル３０側の２つの案内レール４０に対応して２つのレール受け４６が移動方向と平行に設けられている。このように複数組の案内レール４０およびレール受け４６を設けることにより、各組にかかる荷重を軽減すると共に、移動機構１０の剛性を高めることができる。
【符号の説明】
【０１１８】
１…電子部品、    ２…印刷媒体、    １０…移動機構、
２０…支持体、    ２２…支柱、    ２４…縦壁、
３０…テーブル、    ３２…受圧面、    ３４…受圧面、
４０…案内レール、    ４２…内溝、    ４４…ボール、
４６…レール受け、    ４８…外溝、    ５０…受圧体、
６０…案内軸、    ６２…内溝、    ６６…軸受け、
６８…外溝、    １００…圧電モーター、    １１０…振動体、
１１２…凸部、    １１４…表電極、    １２０…付勢バネ、
２００…ロボットハンド、    ２０１…工具、
２０２…基体、    ２０３…指部、    ２０４…手首、
２１０…アーム、    ２１２…リンク部、    ２２０…関節部、
２５０…ロボット、    ２６０…ロボット、    ２６２…頭部、
２６３…カメラ、    ２６４…本体部、    ２６６…制御部、
２６８…キャスター、    ３００…電子部品検査装置、    ３１０…基体、
３１２ｄ…下流側ステージ、    ３１２ｕ…上流側ステージ、
３１４…撮像装置、    ３１６…検査体、    ３１８…制御装置、
３３０…支持体、    ３３４…腕部、    ３３８…撮像カメラ
３５０…把持装置、    ３５２…把持部、    ３５４…回転軸、
３５６…微調整プレート、    ４００…送液ポンプ、    ４０２…ケース、
４０４…ローター、    ４０６…チューブ、    ４０８…ボール、
５００…印刷装置、    ５０１…排紙トレイ、    ５０２…排出口、
５０３…供給トレイ、    ５０５…操作ボタン、    ５１０…ガイドレール、
５２０…印刷ヘッド、    ５２２…印字部、    ５２４…走査部、
６００…電子時計、    ６０２…回転円板、    ６０２ｇ…歯車、
６０４…歯車列、    ６０６…電池、    ６０８…水晶チップ、
６１０…ＩＣ、    ７００…投影装置、    ７０２…投影部、
７０４…調整機構、    ７０６…レンズカバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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