(57)【要約】      （修正有）【課題】製造方式が簡便であり、製造コストが低減可能なコモンモードフィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】第１磁性基板１０と、コイルパターン電極２２ａ、２３ａが印刷された絶縁シート２１〜２４が積層された層であり、内部にホール（ｈｏｌｅ）２０ａが形成され、前記第１磁性基板１０の上に備えられる積層体２０と、前記ホール（ｈｏｌｅ）２０ａに挿入されたコア磁心と、前記コア磁心と一体に形成されて前記積層体の上に備えられる第２磁性基板３０と、を含むコモンモードフィルタ及びその製造方法。【選択図】図１
2013191846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１磁性基板と、
コイルパターン電極が印刷された絶縁シートが積層された層であり、内部にホール（ｈｏｌｅ）が形成され、前記第１磁性基板の上に備えられる積層体と、
前記ホール（ｈｏｌｅ）に挿入されたコア磁心と、
前記コア磁心と一体に形成されて前記積層体の上に備えられる第２磁性基板と、
を含むコモンモードフィルタ。
【請求項２】
前記コイルパターン電極が前記コア磁心に巻回された形状に前記絶縁シートに印刷される請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項３】
前記積層体は、
第１導出電極及び第２導出電極が印刷された第１絶縁シートと、
前記第１絶縁シートの上に積層され、第１コイルパターン電極が印刷された第２絶縁シートと、
前記第２絶縁シートの上に積層され、第２コイルパターン電極が印刷された第３絶縁シートと、
前記第３絶縁シートの上に積層された第４絶縁シートと、
を含む請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項４】
前記第１導出電極の一端は第２絶縁シートに形成された第１ビアホール（ｖｉａ  ｈｏｌｅ）を介して前記第１コイルパターン電極の一端に連結され、
前記第２導出電極の一端は第２絶縁シートに形成された第２ビアホール（ｖｉａ  ｈｏｌｅ）を介して前記第２コイルパターン電極の一端に連結される請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項５】
前記積層体の側面に形成され、前記第１、２導出電極の他端と、前記第１、２コイルパターン電極の他端と、にそれぞれ連結される外部電極端子をさらに含む請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項６】
前記第１、２導出電極、及び前記第１、２コイルパターン電極は、
銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または白金（Ｐｔ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成される請求項３に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項７】
前記コア磁心の厚さは前記積層体の厚さと同一であり、
前記コア磁心の形態及び大きさは前記ホール（ｈｏｌｅ）の形態及び大きさと同一である請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項８】
前記第１、２磁性基板は、
酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成される請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項９】
前記絶縁シートは、
ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、高分子重合体（ｐｏｌｙｍｅｒ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成される請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１０】
第１磁性基板及び外部に突出したコア磁心が形成された第２磁性基板を提供する段階と、
コイルパターン電極が印刷された絶縁シートからなる積層体を前記第１磁性基板の上に備える段階と、
前記積層体にホール（ｈｏｌｅ）を加工する段階と、
前記コア磁心が前記ホール（ｈｏｌｅ）に挿入されるように前記第２磁性基板を前記積層体に接合する段階と、
を含むコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記積層体は、
第１絶縁シート上に第１導出電極及び第２導出電極を印刷する段階と、
第２絶縁シート上に第１コイルパターン電極を印刷する段階と、
第３絶縁シート上に第２コイルパターン電極を印刷する段階と、
前記第１、２、３絶縁シート、及び第４絶縁シートを下面から順に蒸着する段階と、
により形成される請求項１０に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記第１、２導出電極、及び前記第１、２コイルパターン電極は、
フォトリソグラフィ（Ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、電子ビーム（Ｅ−ｂｅａｍ）またはイオン−ビーム（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｎ）リソグラフィ（ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、乾式エッチング（Ｄｒｙ  ｅｔｃｈｉｎｇ）、湿式エッチング（Ｗｅｔ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）、ナノインプリント（Ｎａｎｏ−ｉｍｐｒｉｎｔ）のうち何れか一つの方式で印刷される請求項１１に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記積層体にホール（ｈｏｌｅ）を加工する段階は、
湿式エッチング方式、乾式エッチング方式、及びサンドブラスト（Ｓａｎｄ  Ｂｌａｓｔ）方式のうち何れか一つまたは二つ以上の方式を混合して行われる請求項１０に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コモンモードフィルタ及びその製造方法に関し、より詳細には、コア磁心と磁性基板が一体に形成されたコモンモードフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、システム構成とデータ容量の増大につれて速い伝送速度が要求されている。速い送信方法としては差動信号方式が多く用いられる。通常、伝送速度を増加させるために信号を高周波化させると、信号の高周波化に伴い所望しない電磁波（即ち、ノイズ）が生成され、信号とノイズが重複する現象が発生する。これにより、高速の差動信号ライン（即ち、２つの信号ライン）同士における不均衡によってコモンモードノイズが発生する。
【０００３】
前記コモンモードノイズを除去するために、コモンモードフィルタが主に使用される。コモンモードフィルタは、高速差動信号ラインに主に適用されるＥＭＩフィルタである。
【０００４】
コモンモードノイズは差動信号ラインで発生するノイズであり、コモンモードフィルタは既存のＥＭＩフィルタで除去することができないノイズを除去する。コモンモードフィルタは家電機器などのＥＭＣ特性向上または携帯電話などのアンテナ特性向上に寄与する。しかし、大量のデータを送受信するためにメイン機器と周辺機器との間のＧＨｚ帯域における高周波数帯域で送受信を行う場合、信号遅延及びその他の妨害によりデータを円滑に処理できない問題が生じる。特に、デジタルＴＶのように通信、映像音響信号ライン等の様々なポートツーポート（ｐｏｒｔ  ｔｏ  ｐｏｒｔ）間の連結使用の際に、上述した内部信号ラインの遅延と送受信の歪みのような問題点がより頻繁に生じ得る。
【０００５】
このような問題を解決するために、既存に使用しているＥＭＩ対策部品（例えば、コモンモードフィルタ）を巻線型または積層型に製作しているが、前記巻線型または積層型のＥＭＩ対策部品は、チップ部品のサイズが大きく、電気的特性が悪いため特定部位と大面積の回路基板に限定適用されるという問題がある。
【０００６】
さらに、最近の電子製品は、スリム化、小型化、複合化、多機能化へその機能が転換されており、このような機能に符合するＥＭＩ対策部品が台頭している。このような電子製品のスリム化、小型化などに対応する巻線型または積層型のＥＭＩ対策部品が製造されているが、小さい面積に複雑な内部回路を形成するのに限界があるため、最近、薄膜型コモンモードフィルタの製作が要求されている。
【０００７】
コイル部品において、コイル部品の電気的な特性を向上させるために、１次コイルと２次コイルとの電磁的結合度を増加させることが重要な課題である。また、１、２次コイル間の電磁的結合度を増加させるためには、二つのコイル間の間隔を狭くするか、漏れ磁束が発生しないように磁路を形成しなければならず、薄膜型コモンモードフィルタの場合、スパッタリングまたは蒸着（ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）などの薄膜形成技術によって製作されるため、１、２次コイル間の間隔を数μｍにまで狭くすることができ、従来の製品に比べて電磁的結合度が高くなり、部品の小型化も可能であるが、高価の装備を必要とし、生産性が低いという欠点がある。
【０００８】
これに対して、特許文献１には、上面及び下面の少なくとも一面には電極パターン形状が形成されている非磁性体電極層と、前記非磁性体電極層の中央開口部及び前記非磁性体電極層の側面に位置する内部磁性体層が一つの単位となる少なくとも２層以上の内部電極層と、前記内部電極層の両面に接触するカバー層と、前記電極パターン形状の一部に連結される外部電極端子と、を含むコイル部品が開示されている。
【０００９】
このようなコイル部品の製造方法を要約して説明すると、先ず、キャリアフィルム上にそれぞれ磁性膜と非磁性膜を形成したグリーンシートを用意する。
【００１０】
その後、前記磁性膜と非磁性膜のグリーンシートにカッティングラインを形成し、カッティングラインが形成された非磁性膜のグリーンシートにはビアホールを形成する。
【００１１】
その後、ビアホールが形成された非磁性膜のグリーンシートの上面に電極パターンを形成し、磁性膜及び非磁性膜のグリーンシートから不要な部分を除去する。
【００１２】
その後、磁性膜のグリーンシート、カッティングラインが形成された磁性膜のグリーンシート、カッティングラインが形成された非磁性膜のグリーンシート、ビアホールと電極パターンが形成された非磁性膜のグリーンシートを積層し、積層された積層体を焼成した後、焼成された積層体の外部面に電極端子を形成する過程によりコイル部品を製造する。
【００１３】
しかし、前記のような乾式製造方式の場合、非磁性体と磁性体との垂直界面を安定的に形成するのが非常に困難であり、特に垂直方向に内部電極による厚さと非磁性体の厚さ、及び磁性体の厚さを適宜調整するのが非常に困難である。そのため、構造的な安全性に劣ると、最終的にコイル間の絶縁性などに対する問題点が発生する可能性がある。
【００１４】
また、磁性体と非磁性体をレイヤー（Ｌａｙｅｒ）ごとにパンチングし、必要に応じてハーフカッティング（ｈａｌｆ  ｃｕｔｔｉｎｇ）を施した後、磁性体、非磁性体をそれぞれ積層すると１個のレイヤー（Ｌａｙｅｒ）が構成されるため、製造方式が複雑であり、製造コストもまた高くなるという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】韓国特許出願公開第１０−２００２−００５９８９９号
【特許文献２】韓国特許出願公開第１０−２００６−０１２６８８７号
【特許文献３】特開２０１０−１７７３８０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、前記のような問題を解決するためのものであり、積層体に形成されたホール（ｈｏｌｅ）に挿入されたコア磁心が磁性基板と一体に形成されたコモンモードフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記のような目的を果たすために導き出された本発明は、第１磁性基板と、コイルパターン電極が印刷された絶縁シートが積層された層であり、内部にホール（ｈｏｌｅ）が形成され、前記第１磁性基板の上に備えられる積層体と、前記ホール（ｈｏｌｅ）に挿入されたコア磁心と、前記コア磁心と一体に形成されて前記積層体の上に備えられる第２磁性基板と、を含むコモンモードフィルタを提供する。
【００１８】
この際、前記コイルパターン電極が前記コア磁心に巻回された形状に前記絶縁シートに印刷されるコモンモードフィルタを提供する。
【００１９】
また、前記積層体は、第１導出電極及び第２導出電極が印刷された第１絶縁シートと、前記第１絶縁シートの上に積層され、第１コイルパターン電極が印刷された第２絶縁シートと、前記第２絶縁シートの上に積層され、第２コイルパターン電極が印刷された第３絶縁シートと、前記第３絶縁シートの上に積層された第４絶縁シートと、を含むコモンモードフィルタを提供する。
【００２０】
また、前記第１導出電極の一端は第２絶縁シートに形成された第１ビアホール（ｖｉａ  ｈｏｌｅ）を介して前記第１コイルパターン電極の一端に連結され、前記第２導出電極の一端は第２絶縁シートに形成された第２ビアホール（ｖｉａ  ｈｏｌｅ）を介して前記第２コイルパターン電極の一端に連結されるコモンモードフィルタを提供する。
【００２１】
また、前記積層体の側面に形成され、前記第１、２導出電極の他端と、前記第１、２コイルパターン電極の他端と、にそれぞれ連結される外部電極端子をさらに含むコモンモードフィルタを提供する。
【００２２】
また、前記第１、２導出電極、及び前記第１、２コイルパターン電極は、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または白金（Ｐｔ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されるコモンモードフィルタを提供する。
【００２３】
また、前記コア磁心の厚さは前記積層体の厚さと同一であり、前記コア磁心の形態及び大きさは前記ホール（ｈｏｌｅ）の形態及び大きさと同一であるコモンモードフィルタを提供する。
【００２４】
また、前記第１、２磁性基板は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されるコモンモードフィルタを提供する。
【００２５】
また、前記絶縁シートは、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、高分子重合体（ｐｏｌｙｍｅｒ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されるコモンモードフィルタを提供する。
【００２６】
前記のような目的を果たすために導き出された本発明は、第１磁性基板及び外部に突出したコア磁心が形成された第２磁性基板を提供する段階と、コイルパターン電極が印刷された絶縁シートからなる積層体を前記第１磁性基板の上に備える段階と、前記積層体にホール（ｈｏｌｅ）を加工する段階と、前記コア磁心が前記ホール（ｈｏｌｅ）に挿入されるように前記第２磁性基板を前記積層体に接合する段階と、を含むコモンモードフィルタの製造方法を提供する。
【００２７】
この際、前記積層体は、第１絶縁シート上に第１導出電極及び第２導出電極を印刷する段階と、第２絶縁シート上に第１コイルパターン電極を印刷する段階と、第３絶縁シート上に第２コイルパターン電極を印刷する段階と、前記第１、２、３絶縁シート、及び第４絶縁シートを下面から順に蒸着する段階と、により形成されるコモンモードフィルタの製造方法を提供する。
【００２８】
また、前記第１、２導出電極、及び前記第１、２コイルパターン電極は、フォトリソグラフィ（Ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、電子ビーム（Ｅ−ｂｅａｍ）またはイオン−ビーム（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｎ）リソグラフィ（ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、乾式エッチング（Ｄｒｙ  ｅｔｃｈｉｎｇ）、湿式エッチング（Ｗｅｔ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）、ナノインプリント（Ｎａｎｏ−ｉｍｐｒｉｎｔ）のうち何れか一つの方式で印刷されるコモンモードフィルタの製造方法を提供する。
【００２９】
また、前記積層体にホール（ｈｏｌｅ）を加工する段階は、湿式エッチング方式、乾式エッチング方式、及びサンドブラスト（Ｓａｎｄ  Ｂｌａｓｔ）方式のうち何れか一つまたは二つ以上の方式を混合して行われるコモンモードフィルタの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によるコモンモードフィルタの製造方法によると、コア磁心と一体に形成された磁性基板を用いて既存の薄膜形成技術によりコモンモードフィルタを製造するため、構造的に安定し、高い結合係数を有するコモンモードフィルタを製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明によるコモンモードフィルタの分解斜視図である。
【図２】本発明によるコモンモードフィルタを構成する第２磁性基板の断面図である。
【図３】本発明によるコモンモードフィルタの外部斜視図である。
【図４ａ】本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【図４ｂ】本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【図４ｃ】本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【図４ｄ】本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【図４ｅ】本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを果たす方法は、添付図面とともに詳細に後述される実施例を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は以下で開示される実施例に限定されず、相違する様々な形態で具現されることができる。本実施例は、本発明の開示が完全になるようにするとともに、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に伝達するために提供されることができる。明細書全体において、同一参照符号は同一構成要素を示す。
【００３３】
本明細書で用いられる用語は、実施例を説明するためのものであり、本発明を限定しようとするものではない。本明細書で、単数型は文句で特別に言及しない限り複数型も含む。明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された構成要素、段階、動作及び／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。
【００３４】
以下、添付の図面を参照して本発明の構成及び作用効果についてより詳細に説明する。
【００３５】
図１は本発明によるコモンモードフィルタの分解斜視図である。
【００３６】
図１を参照すると、本発明によるコモンモードフィルタは、第１磁性基板１０、積層体２０、及び第２磁性基板３０を含む。
【００３７】
前記第１磁性基板１０は、長い板状で形成され、完成されたコモンモードフィルタにおけるベース基材となる。即ち、完成されたコモンモードフィルタでは前記第２磁性基板３０と一対をなし、それぞれ最上部と最下部に位置する。
【００３８】
このような前記第１磁性基板１０は、磁性物質で形成され、磁気経路（Ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｒｏｏｐ）を形成する。そのため、前記磁性基板は、透磁率及び品質係数が高く、高周波インピーダンスが高いものを使用することが好ましく、具体的には、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されることができる。
【００３９】
前記積層体２０は前記第１磁性基板１０の上に備えられる。
【００４０】
前記積層体２０は、コイルパターン電極が印刷された絶縁シートが積層された層であり、このような前記積層体２０についてより詳細に説明すると、前記積層体２０は第１導出電極２１ａ及び第２導出電極２１ｂが印刷された第１絶縁シート２１、第１コイルパターン電極２２ａが印刷された第２絶縁シート２２、第２コイルパターン電極２３ａが印刷された第３絶縁シート２３及び第４絶縁シート２４を含むことができる。
【００４１】
前記第１、２、３、４絶縁シート２１、２２、２３、２４は、各絶縁シート２１、２２、２３、２４の間、第１絶縁シート２１と第１磁性基板１０との間、及び第４絶縁シート２４と第２磁性基板３０との間に密着力を与えると同時に、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａが互いに短絡されないようにし、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａによる凹凸を緩和する機能を行う。
【００４２】
前記第１、２、３、４絶縁シート２１、２２、２３、２４は、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、エポキシ樹脂（ｅｐｏｘｙ  ｒｅｓｉｎ）、ベンゾシクロブテン（ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ；ＢＣＢ）、高分子重合体（ｐｏｌｙｍｅｒ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されることができる。
【００４３】
前記第１、２導出電極２１ａ、２１ｂ、及び前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａは、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または白金（Ｐｔ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物を材料として様々な形状に具現されることができる。図１では螺旋に印刷されたパターン電極を示している。
【００４４】
前記積層体２０の連結構造について説明すると、第２絶縁シート２２には第１、２ビアホール（ｖｉａ  ｈｏｌｅ）２２ｂ、２２ｃが形成され、前記第１導出電極２１ａの一端２１ａａは第１ビアホール２２ｂを介して第１コイルパターン電極２２ａの一端２２ａａに連結され、前記第２導出電極２１ｂの一端２１ｂａは第２ビアホール２２ｃを介して第２コイルパターン電極２３ａの一端２３ａａに連結される。
【００４５】
このような前記積層体２０の中央部には、以下で説明する磁心が挿入される空間であるホール（ｈｏｌｅ）２０ａが形成されている。
【００４６】
前記第２磁性基板３０は前記積層体２０の上に備えられ、図２を参照して前記第２磁性基板３０の構成について説明すると、前記第２磁性基板３０の中央部には外部に突出したコア磁心３０ａが形成される。これにより、前記第２磁性基板３０は、前記コア磁心３０ａが前記積層体２０に形成されたホール２０ａに挿入された状態で積層体２０の上に備えられ、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａは前記コア磁心３０ａを巻回する形態に構成される。
【００４７】
前記第２磁性基板３０とコア磁心３０ａが一体に形成されることにより具現される効果については、以下本発明によるコモンモードフィルタの製造方法で詳細に説明する。
【００４８】
前記コア磁心３０ａが前記ホール２０ａに挿入されることができるようにするために、前記コア磁心３０ａの厚さは前記積層体２０の厚さと同一に、前記コア磁心３０ａの形態及び大きさは前記ホール２０ａの形態及び大きさと同一に形成することが好ましい。ここで、前記コア磁心３０ａは様々な形態に形成されることができるが、図１では直線状の前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａに応じて四角柱状からなるコア磁心３０ａを示している。
【００４９】
前記コア磁心３０ａは、透磁率及び品質係数が高く、高周波インピーダンスが高い酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されることができ、その大きさが小さすぎると具現しようとする効果が低く、大きすぎると製品の小型化に不利であり、コイルパターン電極との短絡が問題となり得るため、製品の大きさを考慮して適切な大きさで形成する。
【００５０】
また、前記第２磁性基板３０は、前記第１磁性基板１０及びコア磁心３０ａと同様に、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されることができる。
【００５１】
図３は本発明によるコモンモードフィルタの外部斜視図であり、図３に図示されたように、本発明によるコモンモードフィルタは、前記積層体２０の側面に形成され、前記第１、２導出電極２１ａ、２１ｂと、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａと、にそれぞれ連結される外部電極端子４１、４２、４３、４４をさらに含むことができる。
【００５２】
図１及び図３を参照して説明すると、前記第１導出電極２１ａの他端２１ａｂは外部電極端子４１に連結され、前記第２導出電極２１ｂの他端２１ｂｂは外部電極端子４２に連結される。また、前記第１コイルパターン電極２２ａの他端から引き出された電極２２ａｂは外部電極端子４３に連結され、前記第２コイルパターン電極２３ａの他端から引き出された電極２３ａｂは外部電極端子４４に連結される。これにより、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａは外部電極端子４１、４２、４３、４４を介して外部回路と電気的に連結されることができる。
【００５３】
以下、本発明によるコモンモードフィルタの製造方法について説明する。
【００５４】
図４は本発明によるコモンモードフィルタの製造方法を順に示す工程図である。
【００５５】
図４ａを参照すると、本発明によるコモンモードフィルタの製造方法は、先ず、第１磁性基板１０及び中央部に突出したコア磁心３０ａが形成された第２磁性基板３０を提供する段階を行う。
【００５６】
前記第１、２磁性基板１０、３０は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス（Ｇｌａｓｓ）、石英（Ｑｕａｒｔｚ）、フェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅ）から選択される少なくとも一つまたは少なくとも二つの混合物で形成されたスラリーを鋳型に注入した後、これを一定条件下で硬化してから鋳型を除去する射出工程により形成されることができる。
【００５７】
その後、前記提供された第１磁性基板１０の上に、コイルパターン電極が印刷された絶縁シートからなる積層体２０を備える段階を行う。
【００５８】
前記積層体２０を第１磁性基板１０の上に積層する段階についてより具体的に説明すると、先ず、図４ｂに図示されたように、第１絶縁シート２１を前記第１磁性基板１０の上に蒸着する。
【００５９】
前記第１絶縁シート２１の上面には第１導出電極２１ａ及び第２導出電極２１ｂが印刷された状態であり、第１導出電極２１ａ及び第２導出電極２１ｂは本発明が属した技術分野において公知された方式によって前記第１絶縁シート２１上に印刷されることができる。例えば、本発明では、フォトリソグラフィ（Ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、電子ビーム（Ｅ−ｂｅａｍ）またはイオン−ビーム（Ｆｏｃｕｓｅｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｎ）リソグラフィ（ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、乾式エッチング（Ｄｒｙ  ｅｔｃｈｉｎｇ）、湿式エッチング（Ｗｅｔ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）、ナノインプリント（Ｎａｎｏ−ｉｍｐｒｉｎｔ）のうち何れか一つの方式で行われることができる。
【００６０】
このような方式により、第２絶縁シート２２上に第１コイルパターン電極２２ａを印刷し、第３絶縁シート２３上に第２コイルパターン電極２３ａを印刷した後、これを前記第１絶縁シート２１上に順に蒸着し、最後に、前記第３絶縁シート２３の上に第４絶縁シート２４を蒸着することにより、図４ｃに図示されたように、前記積層体２０を第１磁性基板１０の上に備えることができる。蒸着工程は、スクリーンプリンティングまたはスピンコーティング法など一般的な薄膜形成技術により行われることができ、このような薄膜形成技術は当業者にとって公知の技術であるため、詳細な説明は省略する。
【００６１】
一方、前記第２絶縁シート２２には、前記第１、２コイルパターン電極２２ａ、２３ａが前記第１、２導出電極２１ａ、２１ｂに連結されるように、第１ビアホール及び第２ビアホールを加工した後、各ビアホールにコイル導体パターンと同一の材料を充填してビア電極（不図示）を形成することが好ましい。
【００６２】
前記積層体２０を第１磁性基板１０の上に積層すると、図４ｄに図示されたように、前記積層体２０内部の中央部にホール２０ａを加工する段階を行う。
【００６３】
前記ホール２０ａは、前記第２磁性基板３０の中央部に形成されたコア磁心３０ａが挿入される空間であり、これは湿式エッチング方式、乾式エッチング方式、及びサンドブラスト（Ｓａｎｄ  Ｂｌａｓｔ）方式のうち何れか一つまたは二つ以上の方式を混合して加工することができる。
【００６４】
磁性物質からなる基板の場合、化学的に非常に安定して湿式または乾式エッチング方式によってはエッチングされる厚さが大きくないため、前記湿式エッチング方式または乾式エッチング方式は薄形のコモンモードフィルタに用いられることができる。
【００６５】
従って、前記コア磁心３０ａの厚さが１０μｍ以上である場合、前記第２磁性基板３０上にドライフィルム（Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ）を密着してパターニングした後、サンドブラスト方式を用いてエッチングすることができる。サンドブラスト方式により加工された磁性基板の場合、表面が多少粗いが数十μｍの厚さのエッチングが可能であるため、前記サンドブラスト方式は前記コア磁心３０ａの厚さが大きい場合に適用することができる。
【００６６】
この際、前記コア磁心３０ａが前記ホール２０ａに挿入されることができるように、前記コア磁心３０ａと同一の厚さ、同一の形態、及び同一の大きさで前記ホール２０ａを形成する。
【００６７】
前記積層体２０内部の中央部にホール２０ａを加工してから最後に、図４ｅに図示されたように、前記コア磁心３０ａが前記ホール２０ａに挿入されるように前記上部磁性基板を前記絶縁層に接合する段階を行ってコモンモードフィルタを完成する。前記接合工程もまた、スクリーンプリンティングまたはスピンコーティング法など一般的な薄膜形成技術により行われることができる。
【００６８】
薄膜型コモンモードフィルタは、製品の小型化に最適化したコイル部品であり、薄膜形成技術によって製作されるためコイルパターン電極間の間隔が数μｍに過ぎず、その厚さもまた数ｍｍと非常に薄い。そのため、従来の湿式または乾式の製造方法ではコモンモードフィルタ特性を向上させるコア磁心をコモンモードフィルタの内部に備えることが非常に困難である。しかし、本発明によるコモンモードフィルタの製造方法では、コア磁心と一体に形成された磁性基板を用いて既存の薄膜形成技術によりコモンモードフィルタを製造するため、構造的に安定し、高い結合係数を有するコモンモードフィルタを製作することができる。
【００６９】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、上述の内容は本発明の好ましい実施形態を示して説明するものに過ぎず、本発明は多様な他の組合、変更及び環境で用いることができる。即ち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、述べた開示内容と均等な範囲及び／または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。上述の実施例は本発明を実施するにおいて最善の状態を説明するためのものであり、本発明のような他の発明を用いるにおいて当業界に公知された他の状態での実施、そして発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。従って、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むと解釈されるべきであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
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【図４ｅ】
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