(57)【要約】【課題】極微細な切削部を設けることなく、漏れ出力を抑制することが可能な振動片、センサーユニットおよびその振動片を備えた電子機器を提供する。【解決手段】厚さ（ｔ）の基板から形成された振動片であって、基部の一端から延出している一対の検出用振動腕と、前記一端とは反対側の他端から延出している一対の駆動用振動腕と、前記端のいずれか一方から延出し、前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕を挟むように設けられている一対の調整用振動腕と、を備え、厚さｔと、一対の検出用振動腕、または一対の駆動用振動腕の間隔Ｂと、一方の前記調整用振動腕と、一方の検出用振動腕または一方の駆動用振動腕との間隔Ａと、他方の前記調整用振動腕と、他方の検出用振動腕または駆動用振動腕との間隔Ｃと、の関係が、Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２であることを特徴とする振動片。【選択図】図１
2013186029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さｔの基材から形成された振動片であって、
基部と、
前記基部の一端から延出している一対の検出用振動腕と、
前記基部の前記一端とは反対側の他端から延出している一対の駆動用振動腕と
前記一端、または前記他端のいずれか一方から延出し、前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕を挟むように設けられている一対の調整用振動腕と、を備え、
前記厚さｔと、
前記検出用振動腕、または前記駆動用振動腕の一対の腕の間隔Ｂと、
一方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う一方の前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕との間隔Ａと、
他方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う他方の前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕との間隔Ｃと、の関係が、
Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、
であることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
さらに、前記一対の調整用振動腕を挟むように設けられている一対のバランス用振動腕を有し、
一方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う一方の前記バランス用振動腕との間隔Ｄと、
他方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う他方の前記バランス用振動腕との間隔Ｅと、の関係が、
Ａ×０．８＜Ｄ＜Ａ×１．２、およびＣ×０．８＜Ｅ＜Ｃ×１．２、
であることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の振動片において、
前記検出用振動腕には検出用電極が設けられ、
前記調整用振動腕には金属膜が設けられ、
前記金属膜と前記検出用電極とが電気的に接続されている、
ことを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記調整用振動腕の前記基部の側とは反対側の先端部に、幅広部が設けられている、
ことを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の振動片において、
前記調整用振動腕の長さが、前記駆動用振動腕及び前記検出用振動腕の長さより短い、
ことを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、
前記駆動用振動腕を励振させる駆動回路と、前記検出用振動腕に生じる検出信号を検出する検出回路と、を含む電子部品と、
前記振動片と、前記電子部品と、を収容するパッケージと、を備えているセンサーユニット。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の振動片を備えている電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、センサーユニットおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
車両における車体制御やカーナビゲーションシステムの自車位置検出、また、デジタルカメラやデジタルビデオカメラなどの振動制御補正機能（所謂手ぶれ補正）などを充実させる角速度センサーとしての振動ジャイロセンサーが広く利用されている。振動ジャイロセンサーは、高弾性材料としての水晶などの圧電性単結晶物からなるジャイロ振動片により、物体の揺れや回転などの振動によってジャイロ振動片の一部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって物体の変位を求めるものである。
【０００３】
ジャイロセンサーに用いられる振動片としては、水晶などの圧電体材料により形成された圧電振動片（ジャイロ素子）が広く用いられている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１に記載の振動片は、水晶からなる基部と、基部の一端部から並行させて延伸された一対の振動腕と、を含む、所謂音叉型の圧電振動片である。各振動腕の主面（第１表面）には振動腕を励振する駆動電圧を供給する駆動電極（駆動用電極、励振電極）が設けられ、第１表面と直交する側面には検出電極が設けられている。そして、駆動電極に駆動信号（励振信号）を印加することにより、振動腕を振動させることができる。ここで、この振動片に駆動信号を印加して振動腕を第１表面に沿った方向に振動（面内振動）させているときに、振動腕の延伸方向の軸（例えば、水晶Ｚ板を基材としたジャイロ素子の場合、Ｙ軸）を検出軸として回転させると、コリオリの力により振動腕が第１表面と直交する方向に振動（面外振動）する。この面外振動の振幅は振動片の回転速度に比例することから角速度として検出することができる。
【０００４】
上記のようなジャイロ素子の基部や振動腕は、圧電体材料、例えば水晶を、フォトリソグラフィーを用いてエッチング加工することにより一体に形成することができる。もともと、振動腕の断面形状は矩形状となるように設計されるが、水晶のエッチング異方性や加工プロセスのばらつきなどにより、矩形状とならずに、平行四辺形や菱形、あるいは、もっと複雑な不定形を呈する。このとき、振動腕の断面形状が、もともと設計されていた矩形状から大きくずれると、振動腕の振動方向が設計値からずれて、所謂漏れ出力という望まない振動漏れが発生し、ジャイロ素子の検出感度を劣化させる要因になる。このような漏れ出力を抑制する方法として、振動腕の基部との付け根近傍に切削部を設けたジャイロ素子が、例えば、特許文献２に紹介されている。
【０００５】
特許文献２のジャイロ素子（角速度センサー素子）は、基部と、基部から延伸された振動腕と、を有し、振動腕には、振動腕の幅方向の振動を励振する駆動電極と、振動腕の厚み方向となる垂直振動による電荷を検出する検出電極（検出用電極）と、が設けられている。そして、振動腕の基部との付け根近傍において、振動腕の幅方向の少なくとも一方の端部に、レーザー加工により形成された複数の切削部が設けられている。振動腕の基部との付け根近傍に設けられた切削部によって、質量分布を変化させることにより漏れ出力（斜め振動）を抑制することができると記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２５６７２３号公報
【特許文献２】特開２００８−２０９２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献２に記載のジャイロ素子では、漏れ出力抑制のための精緻な調整を行うには、極微細な切削部を設ける必要があり、近年、進展しているジャイロ素子（振動片）の小型化に伴って、切削部の形成が更に困難になるとともに、切削部の形成によってジャイロ素子の機械的な強度が弱くなるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、少なくとも上述の課題の一つを解決するように、下記の形態または適用例として実現され得る。
【０００９】
〔適用例１〕本適用例の振動片は、厚さｔの基材から形成された振動片であって、基部と、前記基部の一端から延出している一対の検出用振動腕と、前記基部の前記一端とは反対側の他端から延出している一対の駆動用振動腕と前記一端、または前記他端のいずれか一方から延出し、前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕を挟むように設けられている一対の調整用振動腕と、を備え、前記厚さｔと、前記検出用振動腕、または前記駆動用振動腕の一対の腕の間隔Ｂと、一方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う一方の前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕との間隔Ａと、他方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う他方の前記検出用振動腕または前記駆動用振動腕との間隔Ｃと、の関係が、
Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、
であることを特徴とする。
【００１０】
本適用例の振動片によれば、それぞれの振動腕（基材）の厚さｔと、検出用振動腕、または駆動用振動腕のそれぞれの一対の腕と腕の間隔Ｂと、検出用振動腕、または駆動用振動腕と隣り合う調整用振動腕との間隔Ａ、および間隔Ｃとの関係が、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２となっている。
このように、検出用振動腕、または駆動用振動腕のそれぞれの一対の腕と腕の間隔Ｂを基準として、検出用振動腕、または駆動用振動腕と隣り合う調整用振動腕との間隔Ａ、および間隔Ｃを構成することにより、基部とそれぞれの振動腕との連結部分の外形形状を安定的に形成することが可能となる。この連結部分の外形形状とは、検出用振動腕、または駆動用振動腕のそれぞれの一対の腕の内側に向き合って形成される角部の形状である。または、検出用振動腕または駆動用振動腕と、調整用振動腕とが向き合う内側に形成される一対の角部の形状である。
なお、それぞれの振動腕（基材）の厚さｔと、検出用振動腕、または駆動用振動腕のそれぞれの一対の腕と腕の間隔Ｂとの関係が、Ｂ＜ｔとなると、基部とそれぞれの振動腕との連結部分の外形形状が不安定になり易いことが知られている。
しかしながら、本適用例のような、間隔Ｂを基準として、検出用振動腕または駆動用振動腕と隣り合う調整用振動腕との間隔Ａ、および間隔Ｃを構成することにより、Ｂ＜ｔの構成であっても、基部とそれぞれの振動腕との連結部分の外形形状を安定的に形成することが可能となる。
これにより、基部とそれぞれの振動腕との連結部分の外形形状がばらつくことによって生じる振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（Ｔｕｘモード振動）の抑制が可能となり、振動片の振動特性を安定化することができることから、高感度、高精度の振動片を得ることができる。
このように、本適用例の振動片によれば、極微細な切削部を設けることなく振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（Ｔｕｘモード振動）の抑制が可能となることから、従来に比して、小型化に有利である。さらに、精緻な調整が可能となるので、小型で、機械的強度が高く、且つ、高感度な特性を有する振動片を提供することができる。
【００１１】
〔適用例２〕上述の適用例において、さらに、前記一対の調整用振動腕を挟むように設けられている一対のバランス用振動腕を有し、一方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う一方の前記バランス用振動腕との間隔Ｄと、他方の前記調整用振動腕と、該調整用振動腕と隣り合う他方の前記バランス用振動腕との間隔Ｅと、の関係が、
Ａ×０．８＜Ｄ＜Ａ×１．２、およびＣ×０．８＜Ｅ＜Ｃ×１．２、
であることを特徴とする。
【００１２】
上述の適用例によれば、前述の適用例に加えて、バランス用振動腕が設けられている。そして、調整用振動腕と一方のバランス用振動腕との間隔Ｄと、他方の調整用振動腕と他方のバランス用振動腕との間隔Ｅと、の関係が、Ａ×０．８＜Ｄ＜Ａ×１．２、およびＣ×０．８＜Ｅ＜Ｃ×１．２となっている。
このように、バランス用振動腕が設けられていることにより、さらに振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（Ｔｕｘモード振動）の抑制が可能となる。また、それに加えて、それぞれの振動腕の間隔をＡ×０．８＜Ｄ＜Ａ×１．２、およびＣ×０．８＜Ｅ＜Ｃ×１．２とすることで、前述の適用例と同様な効果を得ることが可能となる。
【００１３】
〔適用例３〕上述の適用例において、前記検出用振動腕には検出用電極が設けられ、前記調整用振動腕には金属膜が設けられ、前記金属膜と前記検出用電極とが電気的に接続されている、ことを特徴とする。
【００１４】
上述の適用例によれば、調整用振動腕の調整部に設けた金属膜の一部を、例えばレーザー照射により除去したり、または、蒸着やスパッタリングにより金属膜を付加したりすることにより、調整用振動腕の電荷（電流）を制御することで、より精緻な漏れ出力の抑制調整を行うことができる。
【００１５】
〔適用例４〕上述の適用例において、前記調整用振動腕の前記基部の側とは反対側の先端部に、幅広部が設けられている、ことを特徴とする。
【００１６】
上述の適用例によれば、調整用振動腕の長さの増大を抑えながら漏れ振動の抑制効果を向上させることができるとともに、漏れ振動を抑制するための調整範囲が広くとれるので、より小型で高感度な特性を有する振動片を提供することができる。
【００１７】
〔適用例５〕上述の適用例において、前記調整用振動腕の長さが、前記駆動用振動腕及び前記検出用振動腕の長さより短い、ことを特徴とする。
【００１８】
上述の適用例によれば、漏れ出力を調整するための調整用振動腕の振動が、駆動用振動腕と検出用振動腕による振動片の主要な振動を阻害することがないので、振動片の振動特性が安定するとともに、振動片の小型化にも有利である。
【００１９】
〔適用例６〕本適用例のセンサーユニットは、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記駆動用振動腕を励振させる駆動回路と、前記検出用振動腕に生じる検出信号を検出する検出回路と、を含む電子部品と、前記振動片と、前記電子部品と、を収容するパッケージと、を備えている。
【００２０】
本適用例のセンサーユニットによれば、センサーユニットは、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を有する振動片を備えたセンサーユニットを得ることができる。加えて、上記構成のようなパッケージタイプのセンサーユニットは、小型化・薄型化に有利であるとともに耐衝撃性を高くすることができる。
【００２１】
〔適用例７〕本適用例の電子機器は、上述の振動片を備えている。
【００２２】
本適用例の電子機器によれば、上記適用例のいずれかにかかる漏れ出力を抑制する調整が施された高感度の振動片を備えているので、高機能で安定した特性を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１実施形態に係るジャイロ素子の概略を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図。
【図２】第１実施形態に係るジャイロ素子の電極配置の概略を示し、（ａ）は一方の面の平面図、（ｂ）は他方の面の平面図、（ｃ）は（ａ）に示すＡ−Ａ´部の断面図、（ｃ）は（ａ）に示すＢ−Ｂ´部の断面図。
【図３】その他のジャイロ素子の形態を示す概略平面図。
【図４】その他のジャイロ素子の形態を示す概略平面図。
【図５】第２実施形態に係るジャイロ素子の概略を示す平面図。
【図６】第３実施形態に係るジャイロセンサーの概略を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ´部の断面図。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、ジャイロ素子の検出用振動腕と、調整用振動腕との位相の関係を示す説明図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、ジャイロ素子の検出用振動腕と、調整用振動腕との位相の関係を示す説明図。
【図９】（ａ）、（ｂ）は「ＴｕＸ」モードの振動を説明するためのジャイロ素子の振動方向を示す概略平面図。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は「ＴｕＸ」モードの振動を説明するためのジャイロ素子の振動方向を示す概略平面図。
【図１１】各振動腕間の間隔と調整用振動腕からの取得電荷量との関係を示すグラフ。
【図１２】その他のジャイロセンサーを示す、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＤ−Ｏ−Ｄ´部の断面図。
【図１３】第４実施形態に係る電子機器を示す外観図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態を説明する。
【００２５】
（第１実施形態に係るジャイロ素子）
まず、本発明の振動片を振動ジャイロ素子に具体化した実施形態について説明する。図１は、振動片としての振動ジャイロ素子の一実施形態を示す、（ａ）は模式図的に示す斜視図、（ｂ）が模式図的に示す平面図である。図１（ａ）に示すように、振動片としての振動ジャイロ素子１０（以下、ジャイロ素子１０という）は、基材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成された基部１と、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂと、調整用振動腕４ａ，４ｂとを有している。更に、基部１から延出する第１連結部５ａと、第１連結部５ａに連結し図示しないパッケージ等の基板に固定される第１固定部５ｂと、により第１支持部５が形成され、基部１から延出する第２連結部６ａと、第２連結部６ａに連結し図示しないパッケージ等の基板に固定される第２固定部６ｂと、により第２支持部６が形成されている。
【００２６】
本実施形態のジャイロ素子１０では、基材として圧電体材料である水晶を用いた例について説明する。水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸及び光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。本実施形態では、水晶結晶軸において直交するＸ軸及びＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さｔを有した所謂水晶Ｚ板を基材として用いた例を説明する。なお、ここでいう所定の厚さｔは、発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。また、ジャイロ素子１０を形成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、Ｘ軸を中心に０度から２度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。Ｙ軸及びＺ軸についても同様である。
【００２７】
ジャイロ素子１０は、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の端部のうち一方の端部（図中（−）Ｙ方向の端部）から、並行するようにＹ軸に沿って延伸された一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂと、基部１の他方の端部（図中（＋）Ｙ方向の端部）からＹ軸に沿って、間隔Ｂを持って並行に延伸された一対の検出用振動腕３ａ，３ｂと、を有している。このように、基部１の両端部から、一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂとが、それぞれ同軸方向に延伸されている。このような形状から、本実施形態に係るジャイロ素子１０は、Ｈ型振動片（Ｈ型ジャイロ素子）と呼ばれることがある。Ｈ型のジャイロ素子１０は、駆動用振動腕２ａ，２ｂと検出用振動腕３ａ，３ｂとが、基部１の同一軸方向の両端部からそれぞれ延伸されているので、駆動系と検出系が分離されることから、駆動系と検出系の電極間あるいは配線間の静電結合が低減され、検出感度が安定するという特徴を有する。なお、本実施形態ではＨ型振動片を例に駆動用振動腕および検出用振動腕を各々２本ずつ設けているが、振動腕の本数は１本であっても３本以上であっても良い。また、１本の振動腕に駆動用電極と検出用電極を形成しても良い。
【００２８】
また、ジャイロ素子１０は、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に検出用振動腕３ａ，３ｂと並行させてかつ検出用振動腕３ａ，３ｂを挟むように、基部１から一対の調整用振動腕４ａ，４ｂが延出されている。即ち、調整用振動腕４ａ，４ｂは、Ｙ軸に沿って（＋）Ｙ方向に延伸されている。さらに、一方の調整用振動腕４ａは、隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａを有しており、他方の調整用振動腕４ｂは、隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃを有している。そして、この間隔Ａおよび間隔Ｃと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、
Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、
となるように、調整用振動腕４ａ，４ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂが形成されている。また、調整用振動腕４ａ，４ｂは、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕４ａ，４ｂの振動が、駆動用振動腕２ａ，２ｂと検出用振動腕３ａ，３ｂによるジャイロ素子１０の主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子１０の振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子１０の小型化にも有利となる。
【００２９】
基部１の中央は、ジャイロ素子１０の重心とすることができる。そして、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、互いに直交し、重心を通るものとする。ジャイロ素子１０の外形は、重心を通るＹ軸方向の仮想の中心線に対して線対称とすることができる。これにより、ジャイロ素子１０の外形はバランスのよいものとなり、ジャイロ素子１０の特性が安定して、検出感度が向上するので好ましい。このようなジャイロ素子１０の外形形状は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウェットエッチングまたはドライエッチング）により形成することができる。なお、ジャイロ素子１０は、１枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。
【００３０】
また、上述のように、間隔Ａおよび間隔Ｃと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、となるように調整用振動腕４ａ，４ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂが設けられていることで、以下のような効果を得ることが可能となる。このように、検出用振動腕３ａ，３ｂの一対の腕と腕の間隔Ｂを基準として、検出用振動腕３ａ，３ｂと隣り合う調整用振動腕４ａ，４ｂとの間隔Ａ、および間隔Ｃを構成することにより、基部１と検出用振動腕３ａ，３ｂおよび調整用振動腕４ａ，４ｂとの連結部分の外形形状を安定的に形成することが可能となる。
【００３１】
ここで、ジャイロ素子１０の外形形状の形成と振動特性の関係について詳細に説明する。ジャイロ素子１０の外形形状を、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング加工により形成すると、水晶のエッチング異方性により基部１と検出用振動腕３ａ，３ｂおよび調整用振動腕４ａ，４ｂとの連結部分（角部）にエッチング残り（ヒレともいう）３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，４ｃ，４ｄを生じる。
【００３２】
このエッチング残り３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，４ｃ，４ｄは、水晶のエッチング異方性によりそれぞれの振動腕の付け根位置によって大きさが異なる。例えば、検出用振動腕３ａでは、図示左側（調整用振動腕４ａに対向する側）の根元に生じるエッチング残り３ｃが、図示右側（検出用振動腕３ｂに対向する側）の根元に生じるエッチング残り３ｅよりも大きくなる。同様に、検出用振動腕３ｂでは、図示左側の根元（検出用振動腕３ａに対向する側）に生じるエッチング残り３ｄが、図示右側の根元（調整用振動腕４ｂに対向する側）に生じるエッチング残り３ｆよりも大きくなる。また、同様に調整用振動腕４ａには、図示右側（検出用振動腕３ａに対向する側）の根元にエッチング残り４ｄが生じるが、隣り合う検出用振動腕３ａの調整用振動腕４ａに対向する側の根元に生じるエッチング残り３ｃよりも小さくなる。また、同様に調整用振動腕４ｂには、図示左側（検出用振動腕３ｂに対向する側）の根元にエッチング残り４ｃが生じるが、隣り合う検出用振動腕３ｂの調整用振動腕４ｂに対向する側の根元に生じるエッチング残り３ｆよりも大きくなる。
【００３３】
このような現象は、特に長いエッチング加工時間が必要となる、基材の厚さｔが大きい（厚い）場合、即ち基材の厚さｔが検出用振動腕３ａ，３ｂの一対の腕と腕の間隔Ｂより大きい（厚い）場合、或いは隣り合う振動腕と振動腕の間隔（上述の間隔Ａ，Ｂ，Ｃ）が狭い場合などに顕著に出現する。なお、基材の厚さｔが検出用振動腕３ａ，３ｂの一対の腕と腕の間隔Ｂより小さい（薄い）場合にも有効であるが、この場合は短時間でのエッチング加工時間となり、エッチング残り３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，４ｃ，４ｄが比較的小さくなるため振動特性への影響を受け難い。そして、隣り合う（向き合う）振動腕の根元に生じるエッチング残りの大きさが異なる（外形形状がばらつく）ことにより、それぞれの振動腕の振動数或いは振動モードが僅かにずれる。このずれにより、それぞれの振動腕の振動の釣り合いが崩れ、振動漏れ出力、或いは不要モード振動（ＴｕＸモード振動）などを生じ易くなる。
【００３４】
本実施形態のジャイロ素子１０では、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔとの関係がＢ＜ｔのとき、一方の調整用振動腕４ａと隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａ、他方の調整用振動腕４ｂと隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃ、および一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂの関係が、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、となっている。これにより、それぞれの振動腕の根元に形成されるエッチング残り３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，４ｃ，４ｄを安定的な形状を形成することが可能となる。したがって、それぞれの振動腕の根元に形成される大きなエッチング残りやエッチング残りの形状ばらつきなどによって生じる振動漏れ出力、或いは不要モード振動（ＴｕＸモード振動）の抑制が可能となり、振動片の振動特性を安定化することができることから、高感度、高精度の振動片を得ることができる。
【００３５】
なお、間隔Ａ，Ｃを間隔Ｂの１．２倍以上とすることもできるが、ジャイロ素子１０の外形形状が大きくなり、小型化の要求を満たすことができなくなり実用的でない。
【００３６】
次に、ジャイロ素子１０の電極配置の一実施形態について説明する。図２は、第１実施形態に係るジャイロ素子１０の電極配置を示し、（ａ）は一方の主面側の電極配置を示す平面図、（ｂ）は他方の主面側の電極配置を示す平面図、（ｃ）は（ａ）に示す駆動用振動腕２ａ，２ｂのＡ−Ａ´部における断面図、（ｄ）は（ａ）に示す検出用振動腕３ａ，３ｂおよび調整用振動腕４ａ，４ｂのＢ−Ｂ´部における断面図である。
【００３７】
図２（ａ）に示すように、駆動用振動腕２ａ，２ｂを駆動させるために電極１１，１２が形成されている。電極１１，１２は図２（ｃ）に示すように、駆動用振動腕２ａの一方の主面２ｃには駆動用電極１１ａが、および他方の主面２ｄには駆動用電極１１ｂが、形成されている。また、駆動用振動腕２ａの一方の側面２ｅ、および他方の側面２ｆには駆動用電極１２ｃが、駆動用振動腕２ａの先端部を含んで形成されている。同様に、駆動用振動腕２ｂの一方の主面２ｇには駆動用電極１２ａが、および他方の主面２ｈには駆動用電極１２ｂが、形成されている。また、駆動用振動腕２ｂの一方の側面２ｊ、および他方の側面２ｋには駆動用電極１１ｃが、駆動用振動腕２ｂの先端部を含んで形成されている。
【００３８】
駆動用振動腕２ａ，２ｂに形成された駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、駆動用振動腕２ａ，２ｂを介して対向配置される駆動用電極間において同電位となるように配置される。図２（ａ），（ｂ）に示すように、電極１１では配線１１ｄ，１１ｅによって接続される第１固定部５ｂに形成された接続パッド１１ｆ、および電極１２では配線１２ｄ，１２ｅによって接続される第２固定部６ｂに形成された接続パッド１２ｆ、を通して電極１１と電極１２との間に電位差を交互に与えることにより駆動用振動腕２ａ，２ｂは、いわゆる音叉振動が励振される。
【００３９】
次に、検出用振動腕３ａ，３ｂに形成され、検出用振動腕３ａ，３ｂが振動することによって基材である水晶に発生するひずみを検出する検出用電極について説明する。図２（ａ），（ｂ）に示すように、検出用振動腕３ａでは、一方の主面３ｃには、検出用振動腕３ａの延出方向に沿って検出用電極２１ａ，２２ａが形成されている。また、主面３ｃの反対側の他方の主面３ｄにも、検出用振動腕３ａの延出方向に沿って検出用電極２１ｂ，２２ｂが形成されている。そして、検出用電極２２ａと検出用電極２２ｂとは、検出用振動腕３ａの先端部を経由して電気的に接続され、検出用電極２１ａ，２１ｂは検出用振動腕３ａの先端近傍まで延設されている。検出用電極２１ａ，２１ｂはそれぞれ、配線２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇにより第１固定部５ｂに形成された接続パッド２１ｈと電気的に接続されている。また、検出用電極２２ａ，２２ｂはそれぞれ、配線２２ｄと、後述する調整用振動腕４ａに形成された調整用電極２２ｃと、配線２２ｅにより第１固定部５ｂに形成された接続パッド２２ｆと電気的に接続されている。
【００４０】
検出用電極２１ａと検出用電極２１ｂとは同電位となるように接続され、検出用電極２２ａと検出用電極２２ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出用振動腕３ａの振動によって生じるひずみが、検出用電極２１ａ，２１ｂと検出用電極２２ａ，２２ｂの電極間の電位差を検出することにより検出される。すなわち、電極２１と電極２２との電位差を接続パッド２１ｈ，２２ｆから検出する。
【００４１】
同様に検出用振動腕３ｂにおいても、一方の主面３ｅには、検出用振動腕３ｂの延出方向に沿って検出用電極３１ａ，３２ａが形成されている。また、主面３ｅの反対側の他方の主面３ｆにも、検出用振動腕３ｂの延出方向に沿って検出用電極３１ｂ，３２ｂが形成されている。そして、検出用電極３２ａと検出用電極３２ｂとは、検出用振動腕３ｂの先端部を経由して電気的に接続され、検出用電極３１ａ，３１ｂは検出用振動腕３ｂの先端近傍まで延設されている。検出用電極３１ａ，３１ｂはそれぞれ、配線３１ｅ，３１ｆ，３１ｇにより第２固定部６ｂに形成された接続パッド３１ｈと電気的に接続されている。また、検出用電極３２ａ，３２ｂはそれぞれ、配線３２ｄと、後述する調整用振動腕４ｂに形成された調整用電極３２ｃと、配線３２ｅにより第２固定部６ｂに形成された接続パッド３２ｆと電気的に接続されている。そして、検出用電極３１ａと検出用電極３１ｂとは同電位となるように接続され、検出用電極３２ａと検出用電極３２ｂとは同電位となるように接続されている。これにより、検出用振動腕３ｂの振動によって生じるひずみが、検出用電極３１ａ，３１ｂと検出用電極３２ａ，３２ｂの電極間の電位差となり、この電位差が検出される。すなわち、電極３１と電極３２との電位差を接続パッド３１ｈ，３２ｆから検出する。
【００４２】
次に、調整用振動腕４ａ，４ｂに設けられた調整部としての電極について説明する。図２（ａ），（ｂ），（ｄ）に示すように、調整用振動腕４ａには、一方の主面４ｃには調整用電極２１ｃと、主面４ｃの反対側の他方の主面４ｄには調整用電極２１ｄと、が同電位の調整用電極として形成されている。また調整用振動腕４ａの一方の側面４ｅには調整用電極２２ｃと、側面４ｅの反対側の他方の側面４ｆには、側面４ｅの調整用電極２２ｃと調整用振動腕４ａの先端を経由して連続する調整用電極２２ｃと、が形成されている。調整用電極２１ｃ，２１ｄは配線２１ｆ，２１ｇにより、接続パッド２１ｈに接続されている。そして、調整用電極２２ｃは配線２２ｅにより、接続パッド２２ｆに電気的に接続されている。同様に、調整用振動腕４ｂには、一方の主面４ｇには調整用電極３１ｃと、主面４ｇの反対側の他方の主面４ｈには調整用電極３１ｄと、が同電位の調整用電極として形成されている。また調整用振動腕４ｂの一方の側面４ｊには調整用電極３２ｃと、側面４ｊの反対側の他方の側面４ｋには、側面４ｊの調整用電極３２ｃと調整用振動腕４ｂの先端を経由して連続する調整用電極３２ｃと、が形成されている。調整用電極３１ｃ，３１ｄは配線３１ｆ，３１ｇにより、接続パッド３１ｈに接続されている。そして、調整用電極３２ｃは配線３２ｅにより、接続パッド３２ｆに電気的に接続されている。
【００４３】
上述したように、本実施形態に係るジャイロ素子１０によれば、駆動用振動腕２ａ，２ｂを所定の励振駆動信号を印加させることにより振動させた状態で、ジャイロ素子１０に角速度が加わることにより、検出用振動腕３ａ，３ｂにはコリオリ力による振動が生じる。この検出用振動腕３ａ，３ｂの振動によって調整用振動腕４ａ，４ｂが励振される。そこで、調整用振動腕４ａ，４ｂに設けられた金属膜である調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃの重さを増減させたり、調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃの体積を増減させたりして電荷量を変化させることにより、検出用振動腕３ａ，３ｂの望まれない漏れ出力を抑制できる。
【００４４】
従って、ジャイロ素子１０の基材である水晶のエッチング異方性や、製造ばらつきなどによって生じる駆動用振動腕２ａ，２ｂや検出用振動腕３ａ，３ｂの断面形状のばらつき等によって起こり得る漏れ出力が原因となる検出感度の低下を抑制することができ、感度の高い振動片としてのジャイロ素子１０を提供することができる。
【００４５】
なお、上記の実施形態に係るジャイロ素子の説明では、基部１の一方端に、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂと、検出用振動腕３ａ，３ｂを挟む一対の調整用振動腕４ａ，４ｂとが設けられ、他方端に一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂが設けられている例を用いたが、この構成に限らない。例えば、駆動用振動腕と調整用振動腕とが、基部の同じ端から同方向に延出されている形態でもよい。詳述すると、ジャイロ素子は、基部の一方端に、一対の駆動用振動腕と、駆動用振動腕を挟む一対の調整用振動腕とが設けられ、基部の他方端に、一対の検出用振動腕が設けられている（図１０参照）。
このような形態は、以降説明する実施形態、変形例に係るジャイロ素子に適用することができる。
【００４６】
図３は、第１実施形態に係るジャイロ素子１０のその他の形態を示す平面図である。図３（ａ）に示すジャイロ素子１Ａは、基部１に第１連結部５ａ、第２連結部６ａによって連結される固定部７が枠状の形状を有している。すなわち、第１実施形態に係るジャイロ素子１０における第１固定部５ｂと第２固定部６ｂとが、本例では駆動用振動腕２ａ，２ｂの側で一体的に繋がった固定部７が形成されている。なお、ジャイロ素子１Ａにおいても、一方の調整用振動腕４ａは、隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａを有しており、他方の調整用振動腕４ｂは、隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃを有している。そして、この間隔Ａおよび間隔Ｃと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、となるように、調整用振動腕４ａ，４ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂが形成されている。
【００４７】
また、図３（ｂ）に示すジャイロ素子１Ｂは、枠状の固定部８の内側に基部１、駆動用振動腕２ａ，２ｂ、検出用振動腕３ａ，３ｂ、そして調整用振動腕４ａ，４ｂが配置され、第１連結部５ａ、第２連結部６ａによって基部１と固定部８が連結された形態となっている。なお、ジャイロ素子１Ｂにおいても、一方の調整用振動腕４ａは、隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａを有しており、他方の調整用振動腕４ｂは、隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃを有している。そして、この間隔Ａおよび間隔Ｃと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、となるように、調整用振動腕４ａ，４ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂが形成されている。
【００４８】
このように、図３（ａ），（ｂ）に示すようなジャイロ素子１Ａ，１Ｂによれば、前述のジャイロ素子１０で説明した効果に加え、後述するパッケージにジャイロ素子１Ａ，１Ｂを収納したジャイロユニットを形成する際に、パッケージに固定される固定部７あるいは固定部８の固定面積が広いことによって固定力が高められることで、パッケージへの振動漏れを抑制することができる。また、固定部７あるいは８が枠状であることにより、ジャイロ素子１Ａ，１Ｂの強度を高め、固定部７あるいは固定部８への振動漏れを抑制することができる。
【００４９】
（変形例１）
上述の第１実施形態のジャイロ素子１０において、調整用振動腕４ａ，４ｂは、先端部に質量を付加することが可能となる形状変化を加えることにより、ジャイロ素子１０の高感度化に寄与する効果をさらに向上させることができる。図４は、調整用振動腕の先端に幅広部を設けた振動片としてのジャイロ素子の変形例を示す模式図的な平面図である。なお、図４において、第１実施形態に係るジャイロ素子１０と同じ構成については、同一符号を付して説明を省略し、また、図示も省略する。
【００５０】
図４に示すように、本変形例のジャイロ素子１Ｃは、第１実施形態に係るジャイロ素子１０と同一構成の基部１と、基部１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂ、および、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂを有している。また、検出用振動腕３ａのＸ（−）方向に隣り合いＹ方向に基部１より延出する調整用振動腕１５ａと、検出用振動腕３ｂのＸ（＋）方向に隣り合いＹ方向に基部１より延出する調整用振動腕１５ｂと、を有している。また、ジャイロ素子１Ｃにおいても、一方の調整用振動腕１５ａは、隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａを有しており、他方の調整用振動腕１５ｂは、隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃを有している。そして、この間隔Ａおよび間隔Ｃと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、となるように、調整用振動腕１５ａ，１５ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂが形成されている。調整用振動腕１５ａ，１５ｂの主面には、ジャイロ素子１Ｃの漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極２１ｃ，３１ｃが、調整用振動腕１５ａ，１５ｂの側面には、調整用電極２２ｃ，３２ｃが、それぞれ設けられている。
【００５１】
調整用振動腕１５ａ，１５ｂの先端側には、調整用振動腕１５ａ，１５ｂより幅が広い（Ｘ軸方向の長さが長い）略矩形状の幅広部としての錘部１６ａ，１６ｂが設けられている。錘部１６ａ，１６ｂの表面には、膜体４０ａ，４０ｂが設けられている。なお、膜体は、錘部１６ａ，１６ｂの両主面、および、図示を省略したが両側面に設けることができる。また、膜体４０ａ，４０ｂは、他の電極と同じ金属材料により形成してもよいし、不導体材料により形成してもよい。他の電極と同じ金属材料により膜体４０ａ，４０ｂを形成することにより、他の電極と同時に製造することができるので生産性を高めることができる。また、不導体材料により膜体４０ａ，４０ｂを形成することにより、膜体形成材料の選択肢が広がる点で有利となる。なお、膜体形成材料としては、なるべく密度の高い（比重が大きい）材料を用いることが好ましい。
【００５２】
変形例１に係るジャイロ素子１Ｃによれば、第１実施形態に係るジャイロ素子１０で説明した調整用振動腕４ａ，４ｂと同様に調整用振動腕１５ａ，１５ｂを備えることにより、漏れ振動が抑制されたジャイロ素子１Ｃを得ることができる。さらに、各調整用振動腕１５ａ，１５ｂの先端側に幅広部としての錘部１６ａ，１６ｂを有していることにより、調整用振動腕１５ａ，１５ｂの長さの増大を抑えながら漏れ振動の抑制効果を向上させることができる。更に、漏れ振動を抑制するための調整用振動腕１５ａ，１５ｂに備える膜体（電極）重量の調整範囲が広くとれるので、漏れ振動抑制のための精緻な調整が可能となり、より感度の高いジャイロ素子１Ｃを提供することができる。
【００５３】
（第２実施形態に係るジャイロ素子）
第２実施形態に係るジャイロ素子について、図５に沿って説明する。図５は、第２実施形態に係るジャイロ素子を模式図的に示す平面図である。なお、本説明では、前述の第１実施形態のジャイロ素子１０と同様な構成については、同一符号を付けてその説明を省略、或いは簡略化することがある。
【００５４】
図５に示すように、ジャイロ素子１０ａは、基材（主要部分を構成する材料）を加工することにより一体に形成された基部１と、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂと、調整用振動腕４ａ，４ｂと、バランス用振動腕９ａ，９ｂとを有している。更に、基部１から延出する第１連結部５ａと、第１連結部５ａに連結し、図示しないパッケージ等の基板に固定される第１固定部５ｂと、により第１支持部５が形成され、基部１から延出する第２連結部６ａと、第２連結部６ａに連結し、図示しないパッケージ等の基板に固定される第２固定部６ｂと、により第２支持部６が形成されている。
【００５５】
本実施形態のジャイロ素子１０ａは、基材として厚さｔの水晶を用いているがその説明は省略する。
【００５６】
ジャイロ素子１０ａは、中心部分に位置する略矩形状の基部１と、基部１のＹ軸方向の端部のうち一方の端部から、並行するようにＹ軸に沿って延伸された一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂと、基部１の他方の端部からＹ軸に沿って、間隔Ｂを持って並行に延伸された一対の検出用振動腕３ａ，３ｂと、を有している。また、ジャイロ素子１０ａは、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に検出用振動腕３ａ，３ｂと並行させてかつ検出用振動腕３ａ，３ｂを挟むように、基部１から一対の調整用振動腕４ａ，４ｂが延出されている。即ち、調整用振動腕４ａ，４ｂは、Ｙ軸に沿って（＋）Ｙ方向に延伸されている。さらに、一方の調整用振動腕４ａは、隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａを有しており、他方の調整用振動腕４ｂは、隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃを有している。
【００５７】
また、ジャイロ素子１０ａは、水晶の結晶Ｘ軸（電気軸）と交差する方向に調整用振動腕４ａ，４ｂと並行させてかつ調整用振動腕４ａ，４ｂを挟むように、基部１から一対のバランス用振動腕９ａ，９ｂが延出されている。即ち、バランス用振動腕９ａ，９ｂは、Ｙ軸に沿って（＋）Ｙ方向に延伸されている。さらに、一方のバランス用振動腕９ａは、隣り合う調整用振動腕４ａとの間隔Ｄを有しており、他方のバランス用振動腕９ｂは、隣り合う調整用振動腕４ｂとの間隔Ｅを有している。
【００５８】
そして、この間隔Ａ、間隔Ｃ、間隔Ｄ、および間隔Ｅと、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、基材の厚さｔと、の関係が、
Ｂ＜ｔ、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、およびＡ×０．８＜Ｄ＜Ａ×１．２、およびＣ×０．８＜Ｅ＜Ｃ×１．２、
となるように、調整用振動腕４ａ，４ｂ、検出用振動腕３ａ，３ｂ、およびバランス用振動腕９ａ，９ｂが形成されている。
【００５９】
また、調整用振動腕４ａ，４ｂは、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂよりも全長が短く形成されている。さらに、バランス用振動腕９ａ，９ｂは、調整用振動腕４ａ，４ｂよりも全長が短く形成されている。これにより、漏れ出力を調整するための調整用振動腕４ａ，４ｂの振動、およびバランス用振動腕９ａ，９ｂの振動が、駆動用振動腕２ａ，２ｂと検出用振動腕３ａ，３ｂによるジャイロ素子１０ａの主要な振動を阻害することがないので、ジャイロ素子１０ａの振動特性が安定するとともに、ジャイロ素子１０ａの小型化にも有利となる。
【００６０】
第２実施形態のジャイロ素子１０ａによれば、前述の第１実施形態のジャイロ素子１０の構成に加えて、調整用振動腕４ａ、４ｂとの間隔Ｄ、および間隔Ｅを持ってバランス用振動腕９ａ，９ｂが設けられているため、その根元に生じるエッチング残り（ヒレ）を小さくし、形状を安定させることができる。また、バランス用振動腕９ａ，９ｂがバランサーとして機能し、さらなる振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（Ｔｕｘモード振動）の抑制が可能となる。
【００６１】
（第３実施形態に係るジャイロセンサー）
第３実施形態として、第１実施形態に係るジャイロ素子１０を備えたセンサーユニットとしてのジャイロセンサーについて説明する。図６は、第３実施形態に係るジャイロセンサー１００を示す、（ａ）は蓋体を省略して描いた概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ´部の断面図である。
【００６２】
図６（ｂ）に示すように、ジャイロセンサー１００は、パッケージ１１０の凹部に、ジャイロ素子１０と、電子部品としての半導体装置１２０と、を収容し、パッケージ１１０の開口部を蓋体１３０により密閉し、内部を気密に保持されている。パッケージ１１０は、図６（ｂ）に示すように、平板上の第１基板１１１と、第１基板１１１上に、枠状の第２基板１１２、第３基板１１３、第４基板１１４、を順に積層、固着して形成され、半導体装置１２０とジャイロ素子１０とが収容される凹部が形成される。基板１１１，１１２，１１３，１１４は、例えばセラミックスなどにより形成される。
【００６３】
第１基板１１１は、凹部側の半導体装置１２０が搭載される電子部品搭載面１１１ａには、半導体装置１２０が載置され固定されるダイパッド１１５が設けられている。半導体装置１２０はダイパッド１１５上に、例えば、ろう材（ダイアタッチ材）１４０によって接着され、固定されている。
【００６４】
半導体装置１２０は、ジャイロ素子１０を駆動振動させるための励振手段としての駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子１０に生じる検出振動を検出する検出手段としての検出回路と、を有する。具体的には、半導体装置１２０が有する駆動回路は、ジャイロ素子１０の一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂ（図２参照）にそれぞれ形成された駆動用電極１１ａ，１１ｂ，１２ｃおよび駆動用電極１１ｃ，１２ａ，１２ｂ（図２参照）に駆動信号を供給する。また、半導体装置１２０が有する検出回路は、振動ジャイロ素子１０の一対の検出用振動腕３ａ，３ｂにそれぞれ形成された検出用電極２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂおよび検出用電極３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ（図２参照）に生じる検出信号を増幅させて増幅信号を生成し、該増幅信号に基づいてジャイロセンサー１００に加わった回転角速度を検出する。
【００６５】
第２基板１１２は、ダイパッド１１５上に搭載される半導体装置１２０が収容可能な大きさの開口を有する枠状の形状に形成されている。第３基板１１３は、第２基板１１２の開口より広い開口を有する枠状の形状に形成され、第２基板１１２上に積層され、固着される。そして第２基板１１２に第３基板１１３が積層されて第３基板１１３の開口の内側に現れる第２基板面１１２ａには、半導体装置１２０の図示しない電極パッドと電気的に接続するボンディングワイヤーＢＷが接続される複数のＩＣ接続端子１１２ｂが形成されている。そして、半導体装置１２０の図示しない電極パッドとパッケージ１１０に設けられたＩＣ接続端子１１２ｂとが、ワイヤーボンディング法を用いて電気的に接続されている。すなわち、半導体装置１２０に設けられた複数の電極パッドと、パッケージ１１０の対応するＩＣ接続端子１１２ｂとが、ボンディングワイヤーＢＷにより接続されている。また、ＩＣ接続端子１１２ｂのいずれかは、パッケージ１１０の図示しない内部配線により、第１基板１１１の外部底面１１１ｂに設けられた複数の外部接続端子１１１ｃに電気的に接続されている。
【００６６】
第３基板１１３上には、第３基板１１３の開口より広い開口を有する第４基板１１４が積層され、固着されている。そして、そして第３基板１１３に第４基板１１４が積層されて第４基板１１４の開口の内側に現れる第３基板面１１３ａには、ジャイロ素子１０に形成された図２に示す接続パッド１１ｆ，１２ｆ，２１ｈ，２２ｆ，３１ｈ，３２ｆと接続される複数のジャイロ素子接続端子１１３ｂが形成されている。ジャイロ素子接続端子１１３ｂは、パッケージ１１０の図示しない内部配線によってＩＣ接続端子１１２ｂのいずれかと電気的に接続されている。ジャイロ素子１０は、第３基板面１１３ａにジャイロ素子１０の第１固定部５ｂ、第２固定部６ｂを、接続パッド１１ｆ，１２ｆ，２１ｈ，２２ｆ，３１ｈ，３２ｆとジャイロ素子接続端子１１３ｂとに位置を合わせて載置され、導電性接着剤１５０によって接着固定される。
【００６７】
更に、第４基板１１４の開口の上面に蓋体１３０が配置され、パッケージ１１０の開口を封止し、パッケージ１１０の内部が気密封止され、ジャイロセンサー１００が得られる。蓋体１３０は、例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケルおよびコバルトの合金）等の金属、セラミックス、あるいはガラスなどを用いて形成することができる。例えば、金属により蓋体１３０を形成した場合には、コバール合金などを矩形環状に型抜きして形成されたシールリング１６０を介してシーム溶接することによりパッケージ１１０と接合される。パッケージ１１０および蓋体１３０によって形成される凹部空間は、ジャイロ素子１０が動作するための空間となるため、減圧空間または不活性ガス雰囲気に密閉・封止することが好ましい。
【００６８】
（ジャイロ素子の漏れ出力の説明）
ジャイロセンサー１００において、蓋体１３０によって密閉封止が行われる前にジャイロ素子１０の漏れ出力の抑制調整が行われる。まず、ジャイロ素子１０の漏れ出力の抑制調整方法の原理について説明する。ジャイロ素子１０（図１を参照）のように、基部１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸する駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂを有するＨ型振動片に、基部１の検出用振動腕３ａ，３ｂの延出端部から同じ方向に延伸された調整用振動腕４ａ，４ｂを備えた構成において、漏れ出力の振動方向が各振動腕のエッチング加工ばらつきによる仕上がり形状によって決まり、それに応じて漏れ出力を抑制する調整を行うことが有効である。
【００６９】
具体的には、ジャイロ素子１０が、駆動時に図７（ａ）に示すように駆動用振動腕２ａ，２ｂが、図示矢印Ｐの動きをしているときには、駆動用振動腕２ａ，２ｂの出力波形ＤＳ、矢印Ｑ方向の動きをする検出用振動腕３ａ，３ｂそれぞれの漏れ出力の出力波形Ｓ１モレ，Ｓ２モレが、図７（ｂ）に示すような波形を示す。このような漏れ出力を打ち消すためには、調整用振動腕４ａ，４ｂの位相を、図７（ｃ）に示す位相Ｔ１，Ｔ２のようにする必要がある。そのためには、駆動用振動腕２ａ，２ｂと、調整用振動腕４ａ，４ｂと、を逆相にする必要がある。また、ジャイロ素子１０が、駆動時に図８（ａ）に示すように駆動用振動腕２ａ，２ｂが、図示矢印Ｐの動きをしているときには、駆動用振動腕２ａ，２ｂの出力波形ＤＳ、矢印Ｑ方向の動きをする検出用振動腕３ａ，３ｂそれぞれの漏れ出力の出力波形Ｓ１モレ，Ｓ２モレが、図８（ｂ）に示すような波形を示す。このような漏れ出力を打ち消すためには、調整用振動腕４ａ，４ｂの位相を、図８（ｃ）に示す位相Ｔ１，Ｔ２のようにする必要がある。そのためには、駆動用振動腕２ａ，２ｂと、調整用振動腕４ａ，４ｂと、を同相にする必要がある。
【００７０】
このような漏れ出力の振動方向は、上記したように、各振動腕の加工ばらつきによる仕上がり形状によって変わる。例えば、断面矩形状の振動腕を設計した場合でも、基材である水晶のエッチング異方性によって、断面が平行四辺形状となったり、台形状となったり、あるいは菱形状となったりして、漏れ出力の振動方向に影響を及ぼす。ここで、駆動用振動腕２ａ，２ｂが有する共振周波数をｆｄ、調整用振動腕４ａ，４ｂが有する共振周波数をｆｔとしたとき、ｆｄとｆｔとの関係に応じて、駆動用振動腕２ａ，２ｂの位相と調整用振動腕４ａ，４ｂの位相とが、同相、または逆相となる関係が次のように成り立つ。すなわち、
ｆｄ＜ｆｔ
のとき、駆動用振動腕２ａ，２ｂの位相と調整用振動腕４ａ，４ｂの位相とが逆相となり、
ｆｄ＞ｆｔ
のとき、駆動用振動腕２ａ，２ｂの位相と調整用振動腕４ａ，４ｂの位相とが同相となる。
【００７１】
次に、上記した各種振動腕の関係を踏まえたジャイロ素子１０の漏れ出力抑制調整方法の一例を説明する。まず、調整用振動腕４ａ，４ｂに設けられた膜体の一部を除去、または付加したり、調整用振動腕４ａ，４ｂの基板を削るなどしたりして、調整用振動腕４ａ，４ｂの質量を減少または増加させることにより、共振周波数を変化させて、駆動用振動腕２ａ，２ｂの共振周波数ｆｄと調整用振動腕４ａ，４ｂの共振周波数ｆｔとの関係を適切な関係に調整するとともに、漏れ出力の抑制調整を行う。具体的には、調整用振動腕４ａ，４ｂに設けられた膜体としての調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃを、例えば、レーザーを照射することによりトリミングするか、または、蒸着やスパッタリングにより調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃと同種または異種の膜体を付加して調整用振動腕４ａ，４ｂの質量を減少あるいは増加させる。この質量の増減より、共振周波数を変化させて、ｆｄとｆｔとの位相の関係を所望の関係（ｆｄ＜ｆｔ、または、ｆｄ＞ｆｔ）に調整する位相調整と、電荷量を減少または増加させ、漏れ出力の影響を最小に抑制することを行う。なお、この場合、調整用振動腕４ａ，４ｂの調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃと、検出用振動腕３ａ，３ｂの検出用電極２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂは、電気的に接続されている。
【００７２】
以上、述べたように、本実施形態の漏れ出力抑制調整の方法は、調整用振動腕４ａ，４ｂの調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃの一部を除去、または付加して、駆動用振動腕２ａ，２ｂの共振周波数ｆｄと、調整用振動腕４ａ，４ｂの共振周波数ｆｔとを適切な関係に調整し、なお且つ、電荷量を変化させることにより、漏れ出力の微調整を行うことができる。なお、例えば、調整用振動腕４ａ，４ｂに幅広部としての錘部を有する変形例に示すジャイロ素子１Ｃの場合には、まず、調整用振動腕１５ａ，１５ｂの先端部に設けられた幅広部としての錘部１６ａ，１６ｂの膜体４０ａ，４０ｂを、例えば、レーザーを照射することによりトリミングするか、または、蒸着やスパッタリングにより膜体４０ａ，４０ｂと同種または異種の膜体を付加して錘部１６ａ，１６ｂの質量を減少あるいは増加させる。この質量の増減により、共振周波数を変化させて、ｆｄとｆｔとの位相の関係を所望の関係（ｆｄ＜ｆｔ、または、ｆｄ＞ｆｔ）に調整する位相調整を行う。
【００７３】
上記位相調整を行った後で、次に、漏れ出力の抑制調整を行う。具体的には、調整用振動腕１５ａ，１５ｂに設けられた調整用電極２１ｃ，２１ｄ，２２ｃ，３１ｃ，３１ｄ，３２ｃの一部を例えばレーザー照射することによって除去するか、または、蒸着やスパッタリングなどにより電極用金属を付加して、電荷量を減少、または増加させることにより、漏れ出力の影響を最小に抑制する。
【００７４】
（ジャイロ素子の漏れ出力、不要モード振動の説明）
ここで、隣り合う（向き合う）振動腕（調整用振動腕４ａ、４ｂ、検出用振動腕３ａ，３ｂ、バランス用振動腕９ａ，９ｂ、駆動用振動腕２ａ，２ｂ）の根元に生じるエッチング残りの大きさが異なる（外形形状がばらつく）ことによって生じる振動漏れ出力、或いは不要モード振動（ＴｕＸモード振動）について、図９および図１０を用いて説明する。図９（ａ）、（ｂ）は、駆動用振動腕と調整用振動腕とが、基部１から互いに反対の方向に延出されている形態における「ＴｕＸ」モードの振動を説明するためのジャイロ素子の振動方向を示す概略平面図である。また、図１０（ａ）、（ｂ）は、駆動用振動腕と調整用振動腕とが、基部１の同じ端から同方向に延出されている形態における「ＴｕＸ」モードの振動を説明するためのジャイロ素子の振動方向を示す概略平面図である。
【００７５】
先ず、図９に沿って駆動用振動腕と調整用振動腕とが、基部１から互いに反対の方向に延出されている形態における「ＴｕＸ」モードの振動について説明する。
【００７６】
本発明の実施形態に係るジャイロ素子１０は、基部１の一方端に、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂと、検出用振動腕３ａ，３ｂを挟む一対の調整用振動腕４ａ，４ｂとが設けられ、他方端に一対の駆動用振動腕２ａ，２ｂが設けられている。さらに、前述の一方端、他方端と交差する方向の基部１の両端には、第１支持部５および第２支持部６が設けられている。
【００７７】
ジャイロ素子１０の通常の振動モードは、図９（ａ）に示すように、駆動用振動腕２ａの振動方向ｆ５と駆動用振動腕２ｂの振動方向ｆ６とが逆方向（逆相）に動き、調整用振動腕４ａの振動方向ｅ５と調整用振動腕４ｂの振動方向ｅ６とが逆方向（逆相）に動く。なお、それぞれが上述とは逆方向の振動においても同様に同相方向に振れる。本例の場合のように、基部１を挟み反対側に駆動用振動腕２ａ，２ｂと調整用振動腕４ａ，４ｂが設けられていても、このような振動モード（Ｔｕモードの振動、所謂音叉振動）で振動することで、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび調整用振動腕４ａ，４ｂにおける振動ベクトル（動きのベクトル）の釣り合いが取れ、安定した振動が行われる。
【００７８】
前述したように、ジャイロ素子１０の形成工程での製造ばらつきなどによってそれぞれの振動腕や振動腕の基部１からの延出部分（根元）などの形状がばらつくことによって、前述のような安定した振動モードから逸脱した振動モード（「ＴｕＸ」モードの振動）が本例においても出現する。この「ＴｕＸ」モードの振動について、図９（ｂ）を用いて説明する。なお、ジャイロ素子１０の構成については図９（ａ）と同様であるので同符号を付けて説明を省略する。
【００７９】
図９（ｂ）に示すように、「ＴｕＸ」モードの振動は、一対の調整用振動腕４ａ，４ｂのそれぞれの振動腕が同方向（同相）に動く。詳述すると、調整用振動腕４ａは振動方向ｅ７の方向に動き、もう一方の調整用振動腕４ｂは振動方向ｅ８の方向に動く。即ち一対の調整用振動腕４ａ，４ｂが同方向（同相）に動く。このような「ＴｕＸ」モードの振動が生じると、駆動用振動腕２ａ，２ｂと調整用振動腕４ａ，４ｂとの振動のベクトル（動きのベクトル）によって、基部１の中央を中心とした回転の力が発生するなど、振動の釣合い（振動のバランス）が崩れることになり、その結果として振動漏れ出力が増大したり、振動特性が劣化したりすることになる。
【００８０】
次に、図１０に沿って駆動用振動腕と調整用振動腕とが、基部１の同じ端から同方向に延出されている形態における「ＴｕＸ」モードの振動について説明する。このような形態のジャイロ素子１０１０は、基部１００１の一方端に、一対の駆動用振動腕１００２ａ，１００２ｂと、駆動用振動腕１００２ａ，１００２ｂを挟む一対の調整用振動腕１００４ａ，１００４ｂとが設けられ、基部１００１の他方端に、一対の検出用振動腕１００３ａ，１００３ｂが設けられている。さらに、前述の一方端、他方端と交差する方向の基部１００１の両端には、第１支持部１００５および第２支持部１００６が設けられている。
【００８１】
ジャイロ素子１０１０の通常の振動モードは、図１０（ａ）に示すように、駆動用振動腕１００２ａの振動方向ｆ１と駆動用振動腕１００２ｂの振動方向ｆ２とが逆方向（逆相）に動き、調整用振動腕１００４ａの振動方向ｅ１と調整用振動腕１００４ｂの振動方向ｅ２とが逆方向（逆相）に動く。このとき隣り合う駆動用振動腕１００２ａの振動方向ｆ１と調整用振動腕１００４ａの振動方向ｅ１とは同方向に動く。同様に、隣り合う駆動用振動腕１００２ｂの振動方向ｆ２と調整用振動腕１００４ｂの振動方向ｅ２とは同方向に動く。なお、それぞれが上述とは逆方向の振動においても同様に同相方向に振れる。このような振動モード（Ｔｕモードの振動、いわゆる音叉振動）で振動することで、駆動用振動腕１００２ａ，１００２ｂおよび調整用振動腕１００４ａ，１００４ｂにおける振動ベクトル（動きのベクトル）の釣り合いが取れ、安定した振動が行われる。
【００８２】
しかしながら、ジャイロ素子１０１０の形成工程での製造ばらつきなどによってそれぞれの振動腕や振動腕の基部１００１からの延出部分（根元）などの形状がばらつくことによって、前述のような安定した振動モードから逸脱した振動モード（「ＴｕＸ」モードの振動）が出現する。この「ＴｕＸ」モードの振動について、図１０（ｂ）を用いて説明する。なお、ジャイロ素子１０１０の構成については図１０（ａ）と同様であるので同符号を付けて説明を省略する。
【００８３】
「ＴｕＸ」モードの振動は、一対の調整用振動腕１００４ａ，１００４ｂのそれぞれの振動腕が同方向（同相）に動く。図１０（ｂ）に沿って詳述すると、調整用振動腕１００４ａは振動方向ｅ３の方向に動き、もう一方の調整用振動腕１００４ｂは振動方向ｅ４の方向に動く。即ち一対の調整用振動腕１００４ａ，１００４ｂが同方向（同相）に動く。このような「ＴｕＸ」モードの振動が生じると、駆動用振動腕１００２ａ，１００２ｂと調整用振動腕１００４ａ，１００４ｂとの振動のベクトル（動きのベクトル）の釣り合いが崩れ、結果的に漏れ振動の発生が増加することになる。
【００８４】
しかしながら、本例のジャイロ素子１０は、前述の実施形態のように各振動腕の間隔が構成されているため、それぞれの振動腕の基部１，１００１からの延出部分（根元）に形成されるエッチング残りを安定的な形状を形成することが可能となる。その結果、これらによって生じる振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（ＴｕＸモード振動）の抑制が可能となり、振動片の振動特性を安定化することができることから、高感度、高精度の振動片を得ることができる。
【００８５】
図１１は、前述の実施形態に係るジャイロ素子１０の各振動腕間の間隔と調整用振動腕からの取得電荷量との関係を示すグラフである。横軸に基材の厚さｔとの関係がＢ＜ｔのときの、一対の検出用振動腕３ａ，３ｂの間隔Ｂと、一方の調整用振動腕４ａと隣り合う検出用振動腕３ａとの間隔Ａと、他方の調整用振動腕４ｂと隣り合う検出用振動腕３ｂとの間隔Ｃと、の寸法比を示している。また、縦軸には、調整用振動腕からの取得電荷量を示している。
【００８６】
図１１のグラフに示すように、間隔Ｂと間隔Ａまたは間隔Ｃとの比が、０．８を越えると調整用振動腕からの取得電荷量が正となり、正常な振動モードが得られていることが分かる。このように、間隔Ｂと、基材の厚さｔとの関係がＢ＜ｔのときの、間隔Ｂと、間隔Ａと、間隔Ｃとが、Ｂ×０．８＜Ａ＜Ｂ×１．２、およびＢ×０．８＜Ｃ＜Ｂ×１．２、の構成においては、振動漏れ出力の抑制、或いは不要モード振動（ＴｕＸモード振動）の抑制が実現できている。
【００８７】
なお、図３（ａ）、（ｂ）で説明したジャイロ素子１Ａ、ジャイロ素子１Ｂのように、基部１に第１連結部５ａ、第２連結部６ａによって連結された枠状の固定部７，８形状を有し、第１固定部５ｂおよび第２固定部６ｂを有する構成であっても、同様な効果を得ることができる。
【００８８】
漏れ出力の抑制調整を施した後に、パッケージ１１０に接合されたジャイロ素子１０の周波数の微調整を行う。周波数調整は、ジャイロ素子１０の電極の一部をレーザートリミングにより除去して質量を減少させることによる方法や、蒸着やスパッタリングなどによりジャイロ素子１０に質量を付加させることによる方法、あるいは、半導体装置１２０のデータの書き換えによる方法などにより行うことができる。
【００８９】
（その他のジャイロセンサー）
図１２は、第３実施形態に係るジャイロセンサー１００において、ジャイロ素子１０に変えて、図３（ｂ）に示すジャイロ素子１Ｂを収容したジャイロセンサー１０Ａを示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＤ−Ｏ−Ｄ´部の断面図である。なお、図６に示すジャイロセンサー１００と同じ構成には同じ符号を付し、説明は省略する。
【００９０】
図１２に示すように、ジャイロ素子１Ｂは第３基板１１３の第３基板面１１３ａ上に載置されている。ジャイロ素子１Ｂは、固定部８を、接続パッド１１ｆ，１２ｆ，２１ｈ，２２ｆ，３１ｈ，３２ｆ（図２参照）とジャイロ素子接続端子１１３ｂとに位置を合わせて載置され、導電性接着剤１５０によって接着固定される。更に、固定部８の接続パッド１１ｆ，１２ｆ，２１ｈ，２２ｆ，３１ｈ，３２ｆが形成されない部位が接着剤１７０によって接着固定される。接着剤１７０は、ジャイロ素子接続端子１１３ｂに用いられる導電性接着剤１５０を用いても良い。
【００９１】
枠状の固定部８を有するジャイロ素子１Ｂを用いてジャイロセンサー１０Ａを構成することにより、接着剤１７０によって広い面積に亘って接着固定されることで、ジャイロ素子１Ｂのパッケージ１１０への固定力が強いジャイロセンサーを得ることができる。従って、駆動用振動腕２ａ，２ｂおよび検出用振動腕３ａ，３ｂの振動がパッケージ１１０へ漏れることを、なお一層抑制することができる。
【００９２】
（第４実施形態に係る電子機器）
図１３に、第４実施形態としての第１実施形態に係るジャイロ素子１０、もしくはジャイロ素子１Ａ、１Ｂ、１Ｃを備える電子機器の外観図を示す。図１３（ａ）は、ジャイロ素子１０、もしくはジャイロ素子１Ａ、１Ｂ、１Ｃを備えるデジタルビデオカメラ１０００を示す。デジタルビデオカメラ１０００は、受像部１１００、操作部１２００、音声入力部１３００、及び表示ユニット１４００を備えている。このようなデジタルビデオカメラ１０００に、上述の実施形態のジャイロ素子１０，１Ａや、センサーユニットとしてのジャイロセンサー１００，１０Ａを搭載する手ぶれ補正機能を具備させることができる。
【００９３】
図１３（ｂ）は、電子機器としての携帯電話機、図１３（ｃ）は、情報携帯端末（ＰＤＡ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）への適用例をそれぞれ示すものである。図１３（ｂ）に示す携帯電話機２０００は、複数の操作ボタン２１００及びスクロールボタン２２００、並びに表示ユニット２３００を備える。スクロールボタン２２００を操作することによって、表示ユニット２３００に表示される画面がスクロールされる。また、図１３（ｃ）に示すＰＤＡ３０００は、複数の操作ボタン３１００及び電源スイッチ３２００、並びに表示ユニット３３００を備える。電源スイッチ３２００を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が表示ユニット３３００に表示される。
【００９４】
このような携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００に、上述の実施形態のジャイロ素子１０，１Ａや、センサーユニットとしてのジャイロセンサー１００，１０Ａを搭載することにより、様々な機能を付与することができる。例えば、図１３（ｂ）の携帯電話機２０００に、図示しないカメラ機能を付与した場合に、上記のデジタルビデオカメラ１０００と同様に、手振れ補正を行うことができる。また、図１３（ｂ）の携帯電話機２０００や、図１３（ｃ）のＰＤＡ３０００に、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）として広く知られる汎地球測位システムを具備した場合に、上述の実施形態のジャイロ素子１０，１Ａや、センサーユニットとしてのジャイロセンサー１００，１０Ａを搭載することにより、ＧＰＳによって、携帯電話機２０００やＰＤＡ３０００の位置や姿勢を認識させることができる。
【００９５】
なお、図１３に示す電子機器に限らず、本発明の振動片を備えたセンサーユニット（ジャイロセンサー）を適用可能な電子機器として、モバイルコンピューター、カーナビゲーション装置、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ゲーム機などが挙げられる。
【００９６】
以上、実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態および変形例では、振動片としてのジャイロ素子形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。例えば、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）や、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ランガサイト（Ｌａ3Ｇａ5ＳｉＯ14）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは圧電セラミックスなどを用いることができる。また、圧電体材料以外の材料を用いて振動片を形成することができる。例えば、シリコン半導体材料などを用いて振動片を形成することもできる。また、振動片の振動（駆動）方式は圧電駆動に限らない。圧電基板を用いた圧電駆動型のもの以外に、静電気力を用いた静電駆動型や、磁力を利用したローレンツ駆動型などの振動片においても、本発明の構成およびその効果を発揮させることができる。
【００９７】
また、上記変形例では、調整用振動腕１５ａ，１５ｂの自由端側の先端に幅広部としての錘部１６ａ，１６ｂを設けて、漏れ出力抑制のための調整の幅を広げた例を説明した。これに限らず、駆動用振動腕や検出用振動腕の自由端側の先端に幅広部としての錘部を設けることにより、振動片（ジャイロ素子）の外形サイズの増大を抑えながら共振周波数を低くすることができるなど、小型化および高感度化を図ることができる。
【符号の説明】
【００９８】
１…基部、２ａ，２ｂ…駆動用振動腕、３ａ，３ｂ…検出用振動腕、４ａ，４ｂ…調整用振動腕、５…第１支持部、５ａ…第１連結部、５ｂ…第１固定部、６…第２支持部、６ａ…第２連結部、６ｂ…第２固定部、１０，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…ジャイロ素子、１００，１０Ａ…ジャイロセンサー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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