(57)【要約】【課題】所定量の機能液を安定的に機能層形成領域に塗布可能な機能液の吐出方法、これを適用した有機ＥＬ素子の製造方法、有機ＥＬ装置及び電子機器を提供すること。【解決手段】本適用例の機能液の吐出方法は、複数のノズル５２を有する吐出ヘッドを機能層形成領域Ａに対して相対的に移動させる複数回の走査の間に、機能層形成領域Ａに掛かる少なくとも２つのノズル５２を含むノズル群から機能層形成材料を含む機能液を液滴として吐出する機能液の吐出方法であって、上記ノズル群のうち少なくとも１つのノズル５２を非選択として、選択されるノズル数を走査ごとに同数とする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する吐出ヘッドを機能層形成領域に対して相対的に移動させる複数回の走査の間に、前記機能層形成領域に掛かる少なくとも２つのノズルを含むノズル群から機能層形成材料を含む機能液を液滴として吐出する機能液の吐出方法であって、
前記ノズル群のうち少なくとも１つのノズルを非選択として、選択されるノズル数を前記走査ごとに同数とすることを特徴とする機能液の吐出方法。
【請求項２】
前記走査ごとに前記ノズル群から同一のノズルを選択することを特徴とする請求項１に記載の機能液の吐出方法。
【請求項３】
前記液滴の吐出が適正に行われない不良ノズルを前記非選択のノズルとすることを特徴とする請求項１又は２に記載の機能液の吐出方法。
【請求項４】
前記複数回の走査の間に、前記ノズル群のうち選択されるノズルを変えることを特徴とする請求項１に記載の機能液の吐出方法。
【請求項５】
前記機能層形成領域を囲む隔壁を有し、前記ノズル群のうち前記隔壁際のノズルは選択とすることを特徴とする請求項１又は２、４に記載の機能液の吐出方法。
【請求項６】
基板上の機能層形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の機能液の吐出方法を用い、機能層形成材料を含む機能液を前記機能層形成領域に吐出する工程と、
吐出された前記機能液を固化して前記機能層のうちの少なくとも１層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項７】
発光層形成材料を含む前記機能液を前記機能層形成領域に吐出して、前記機能層のうち前記発光層を形成することを特徴とする請求項６に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の有機ＥＬ素子の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ素子を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項９】
請求項８に記載の有機ＥＬ装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に機能層形成材料を含む機能液の吐出方法、有機ＥＬ（Electro  Luminescence）素子の製造方法、有機ＥＬ装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、紙などの印刷媒体にインクを液滴として吐出して文字や画像などを印刷する所謂インクジェットプリンターの技術を工業的に応用して、各種の機能層を形成することが実用化されている。
例えば、特許文献１には、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に走査して、基板上の同一画素領域に対して複数のノズルから着色層形成用のインクを吐出して塗布を行ってカラーフィルターを製造するカラーフィルター製造方法が開示されている。
また、例えば、特許文献２には、複数のノズルと基板との複数回の走査において液滴を吐出するノズルの選択パターンの組み合わせが膜形成領域ごとに同じである液状体の吐出方法、及びこの吐出方法を適用したカラーフィルターの製造方法ならびに有機ＥＬ素子の製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２２６６１号公報
【特許文献２】特開２００９−１４８６９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１及び特許文献２に示された吐出方法は、所定の領域に一定量のインクあるいは液状体を安定的に塗布できるとしている。しかしながら、走査ごと且つ所定の領域ごとに液滴が吐出されるノズルの数が変わると、ノズル間の機械的、あるいは電気的なクロストークによる影響で選択されたノズルから吐出される液滴の吐出量がばらついたり、走査ごとに使用するノズル数が変わることで、インクジェットヘッドの温度が走査ごとに変化して液滴の吐出量がばらつくおそれがあった。
すなわち、このような液滴の吐出量のばらつきに起因して機能層の膜厚や膜形状が変動し、所望の光学特性を有するカラーフィルターや所望の電気光学特性を有する有機ＥＬ素子をインクジェットヘッドを用いて製造することが難しいという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る機能液の吐出方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドを機能層形成領域に対して相対的に移動させる複数回の走査の間に、前記機能層形成領域に掛かる少なくとも２つのノズルを含むノズル群から機能層形成材料を含む機能液を液滴として吐出する機能液の吐出方法であって、前記ノズル群のうち少なくとも１つのノズルを非選択として、選択されるノズル数を前記走査ごとに同数とすることを特徴とする。
【０００７】
本適用例によれば、走査ごとに機能層形成領域に対して液滴を吐出する選択されるノズル数が同じであるため、走査ごとに選択されるノズル数が異なる場合に比べて、ノズル間の機械的、あるいは電気的なクロストークが低減される。また、ノズルから液滴を吐出させるために消費されるエネルギー量を複数回の走査に亘って均一にできるので、走査における吐出ヘッドの温度変化が低減される。したがって、走査における液滴の吐出量のばらつきが抑制され、機能層形成領域に所定量の機能液を安定的に塗布することができ、安定した特性を有する機能層を形成することができる。
また、走査ごとに機能層形成領域に掛かるノズル群をすべて使用して液滴を吐出すると、複数回の走査の後に機能層形成領域に塗布される機能液の総量が、所定量に対して過不足を生ずるおそれがある。これを解消する方法として、例えば機能液における機能層形成材料の濃度を調整することが考えられるが、濃度調整に手間が掛かる。
本適用例によれば、走査において機能層形成領域に掛かるノズル群のうち少なくとも１つのノズルを非選択とするので、所定量の機能液を機能層形成領域に塗布するための走査回数が増えるけれども、走査ごとに選択されるノズル数を容易に同数とすることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る機能液の吐出方法において、前記走査ごとに前記ノズル群から同一のノズルを選択することが好ましい。
この方法によれば、走査において機能層形成領域に掛かるノズル群の中から同一ノズルを用いて液滴の吐出が行われるので、走査ごとに異なるノズルを用いる場合に比べて、ノズル間における液滴の吐出量のばらつきの影響を受け難い。走査において同一のノズルが掛かる機能層形成領域間では塗布された機能液の総量（所定量）が安定する。
【０００９】
［適用例３］上記適用例に係る機能液の吐出方法において、前記液滴の吐出が適正に行われない不良ノズルを前記非選択のノズルとすることが好ましい。
この方法によれば、例えば、ノズルの目詰まりによって液滴が吐出されない、又は液滴が吐出されても吐出量が極端に少なかったり多かったりする、あるいは液滴が吐出されても飛行曲がりにより所定の位置に着弾しないなどの不良ノズルを除外して、正常な吐出が行われるノズルを用いて走査が行われる。ゆえに、液滴の吐出量のばらつきを抑制して、繰り返し安定的な吐出を実現できる。言い換えれば、不良ノズルが発生しても走査を停めずに済むので、高い生産性を実現できる。
【００１０】
［適用例４］上記適用例に係る機能液の吐出方法において、前記複数回の走査の間に、前記ノズル群のうち選択されるノズルを変えるとしてもよい。
この方法によれば、ある走査で非選択であったノズルを次の走査で選択とすることができる。つまり、非選択のノズルが固定化することで目詰まりが生じてしまうことを防ぐことができる。
【００１１】
［適用例５］上記適用例に係る機能液の吐出方法において、前記機能層形成領域を囲む隔壁を有し、前記ノズル群のうち前記隔壁際のノズルは選択とすることが好ましい。
この方法によれば、走査によって隔壁際に液滴を着弾させることができ、隔壁際に機能液が濡れ広がり難いことに起因する機能層の膜厚むらを低減できる。
また、走査において隔壁に掛かるノズルは非選択とされることから、隔壁際のノズルを非選択とすると、非選択のノズルが連続することになる。連続した非選択のノズルに隣り合う選択されたノズルにおける液滴の吐出量はばらつき易い。したがって、走査において機能層形成領域に掛かるノズル群のうち隔壁際のノズルを選択とすることで、液滴の吐出量のばらつきをより抑制することができる。
【００１２】
［適用例６］本適用例に係る有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の機能層形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例に記載の機能液の吐出方法を用い、機能層形成材料を含む機能液を前記機能層形成領域に吐出する工程と、吐出された前記機能液を固化して前記機能層のうちの少なくとも１層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、安定した電気光学特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００１３】
［適用例７］上記適用例に係る有機ＥＬ素子の製造方法において、発光層形成材料を含む前記機能液を前記機能層形成領域に吐出して、前記機能層のうち前記発光層を形成することを特徴とする。
この方法によれば、安定した発光特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００１４】
［適用例８］本適用例に係る有機ＥＬ装置は、上記適用例に記載の有機ＥＬ素子の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ素子を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、所望の電気光学特性を有する有機ＥＬ装置を提供できる。
【００１５】
［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の有機ＥＬ装置を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、見栄えのよい表示デバイスや照明装置としての有機ＥＬ装置を備えた電子機器を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は吐出ヘッドの構造を示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】駆動波形を示すタイミングチャート。
【図６】従来例の機能液の吐出方法を説明する図。
【図７】実施例１の機能液の吐出方法を説明する図。
【図８】実施例２の機能液の吐出方法を説明する図。
【図９】実施例３の機能液の吐出方法を説明する図。
【図１０】実施例４の機能液の吐出方法を説明する図。
【図１１】実施例５の機能液の吐出方法を説明する図。
【図１２】有機ＥＬ装置を示す概略正面。
【図１３】有機ＥＬ装置の要部概略断面図。
【図１４】有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１５】（ａ）〜（ｄ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１６】（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１７】（ａ）はカラーフィルター基板の構成を示す概略平面図、（ｂ）はカラーフィルター基板の構造を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大又は縮小して表示している。
【００１８】
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、又は基板の上に他の構成物を介して配置される場合、又は基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００１９】
（第１実施形態）
＜機能液の吐出装置＞
まず、機能層形成材料を含む機能液を液滴として被吐出物に吐出可能な吐出装置について、図１〜図５を参照して説明する。図１は吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２０】
図１に示すように、吐出装置１０は、被吐出物である平板状のワークＷを第１の方向としての主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を主走査方向に直交する第２の方向としての副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２１】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダー１２（図４参照）が設けられている。
エンコーダー１２は、移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダー１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿って主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダー１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモーターなどが挙げられる。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、ワークＷ上において機能液が吐出される機能層形成領域の配置に応じて、ワークＷを例えば９０度旋回させることも可能である。
【００２２】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、吐出ヘッド５０に機能液を供給するための機能液供給機構（図示省略）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバー４８（図４参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００２３】
吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、吐出ヘッド５０ごとに吐出された機能液を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構６０（図４参照）を備えている。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。なお、図１では、メンテナンス機構及び重量計測機構６０は、図示を省略した。
【００２４】
図２は吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００２５】
図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する機能液の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に機能液のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した機能液供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、機能液をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバー４８（図４参照）に接続される２連のコネクター５８が設けられている。
【００２６】
ヘッド本体５６は、駆動手段としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００２７】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。本実施形態において、ピッチＰ１は、例えばおよそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００２８】
吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバー４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された機能液が加圧され、ノズル５２から機能液を液滴として吐出することができる。
【００２９】
吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエーターとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、機能液を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００３０】
図３は、ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３１】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の吐出ヘッド５０が搭載されている。本実施形態では、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（吐出ヘッド５０）とは同種の機能液を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる機能液を吐出可能な構成となっている。
【００３２】
１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００３３】
ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の機能液を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。
【００３４】
なお、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。
【００３５】
次に吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、重量計測機構６０などを駆動する各種ドライバーを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。
【００３６】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０の各リニアモーターをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバー４７と、吐出ヘッド５０を駆動制御するヘッドドライバー４８と、重量計測機構６０を駆動制御する重量計測用ドライバー４９とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバーなどを備えているが図示を省略した。
【００３７】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピューター１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００３８】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷ及び吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバーなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェイス信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピューター１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００３９】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０及びヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに機能液を液滴として吐出するようにヘッドドライバー４８に制御信号を送出する。本実施形態では、Ｙ軸方向へのワークＷの移動に同期して機能液を吐出することを本発明における走査としての主走査と呼び、主走査に対してＸ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより機能液を吐出描画することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４０】
エンコーダー１２は、ヘッドドライバー４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００４１】
例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、吐出ヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダパルスをカウントして生成されるラッチ信号に基づいている。
【００４２】
上位コンピューター１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を吐出装置１０に送出する。また、ワークＷ上の機能層形成領域ごとに所定量の機能液を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、機能層形成領域における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦすなわち本発明における選択／非選択、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピューター１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００４３】
図５は駆動波形を示すタイミングチャートである。図５に示すように、複数のノズル５２に対応して配設された駆動手段としての圧電素子には、ラッチ信号ＬＡＴのタイミングでラッチされたノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦデータ（吐出データ）に従い、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうちから１つが選択されて供給される。そして、駆動波形が供給されるタイミングで、ノズル５２から液滴が吐出される。なお、各駆動波形は、圧電素子に供給されることで規定量の液滴が吐出されるように設計されている。
【００４４】
駆動波形の選択は、駆動波形の供給タイミングを規定する制御信号ＣＨ１〜ＣＨ３により行われる。すなわち、制御信号ＣＨ１によって第１系統のタイミングの駆動波形ＰＬ１が、制御信号ＣＨ２によって第２系統のタイミングの駆動波形ＰＬ２が、制御信号ＣＨ３によって第３系統のタイミングの駆動波形ＰＬ３がそれぞれ選択される。
【００４５】
本実施形態では、機能層形成領域に掛かる隣り合うノズル５２に対応する圧電素子に、駆動波形の供給タイミングの系統（ラッチ信号ＬＡＴを基準とした相対的な序列）を個々に対応づけることにより、吐出タイミングの重複が起こりえないように駆動波形を印加することが可能である。このような駆動波形の駆動手段（圧電素子）に対する印加の方法を時分割駆動という。時分割駆動により、少なくとも電気的なクロストークが好適に低減され、クロストークに起因するノズル５２間の吐出特性（液滴の吐出量や吐出速度など）のバラツキが相対的に緩和される。
また、各系統のタイミングは周期的となっているため、吐出条件が各吐出タイミング間で一様となり、液滴の吐出量を主走査方向に対して安定化させることができる。
また、ラッチ信号ＬＡＴの１周期内（１ラッチ内）において、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３が発生するので、同一の圧電素子に１ラッチ内で３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を印加すれば、同一ノズル５２から吐出タイミングを変えて３滴の液滴を吐出することができる。
さらに、１ラッチ内の３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３をそれぞれ別の圧電素子に印加すれば、３つのノズル５２から液滴を異なる吐出タイミングで吐出することができる。すなわち、３つのノズル５２が時分割駆動される。
また、駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３において、振幅の幅（実質的には中間電位との間の電位差すなわち駆動電圧）や波形の勾配などをそれぞれ変えることによって、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量を異ならせることが可能である。言い換えれば、同一ノズル５２の圧電素子に異なる形状の駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうち１つを選択して印加すれば液滴の吐出量の補正が可能である。
以降、ノズル５２の圧電素子に駆動波形を印加することを、ノズル５２に駆動波形を印加すると表現する。
【００４６】
前述したように吐出装置１０において、吐出分解能をおよそ１０μｍとすると、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を連続的に使用するノズル５２に印加したときには、吐出タイミングを変えて主走査方向におよそ３．３μｍの最小ピッチで液滴を吐出することが可能である。すなわち、時分割駆動における実質的な吐出分解能は、３．３μｍとなる。
【００４７】
吐出ヘッド５０におけるノズル５２（圧電素子）の駆動は、前述したように時分割駆動されているので、隣り合うノズル間で吐出タイミングが重複することに伴う電気的なクロストークは低減されている。ところが、複数のノズル５２に同じ駆動波形を与えて駆動したときに、各ノズル５２から同じ吐出量の液滴が必ず吐出されるとは限らない。
例えば、加圧部５７のキャビティに充填された機能液をノズル５２に供給する流路は、ノズル列５２ａ，５２ｂを構成する複数のノズル５２において同一ではなく、ノズル列５２ａ，５２ｂにおけるノズル５２の位置によって違う。つまり、吐出ヘッド５０の機械的な構造によってノズル５２ごとに液滴の吐出量がばらつくことがある。
また、主走査において機能層形成領域に液滴を吐出するにあたり、選択されたノズル５２つまり選択されたアクチュエーター（圧電素子）を駆動すると、アクチュエーター（圧電素子）に与えられたエネルギーに相当する分の熱が生ずる。このような吐出ヘッド５０の発熱は、ヘッドプレート９ａを介して放熱されるが、その一部は充填された機能液を温めることになる。つまり、主走査における吐出ヘッド５０内の機能液の温度によって、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量がばらつく。言い換えれば、吐出ヘッド５０の駆動における電気的な負荷の違いによってノズル５２から吐出される液滴の吐出量がばらつく。
【００４８】
発明者らは、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量のばらつきを抑制すべく、前述した機械的、あるいは電気的なばらつき要因の影響を受け難い機能液の吐出方法を開発した。
【００４９】
＜機能液の吐出方法＞
次に、本実施形態の機能液の吐出方法について、従来例と実施例とを挙げて説明する。
図６は従来例の機能液の吐出方法を説明する図、図７〜図１１は実施例１〜実施例５の機能液の吐出方法を説明する図である。
本実施形態の機能液の吐出方法は、前述した吐出装置１０を用い、ワークＷ上においてＸ軸方向（副走査方向）及びＹ軸方向（主走査方向）に複数配置された機能層形成領域に機能液を塗布するものである。吐出ヘッド５０を備えたヘッドユニット９とワークＷとをＹ軸方向に相対的に移動させる主走査の間に、吐出ヘッド５０のノズル５２から機能液を液滴として吐出して機能層形成領域に着弾させる。なお、機能層形成領域は、ワークＷ上において隔壁により区画されている。また、隔壁又は隔壁の表面が機能液に対して撥液性を有している。機能層形成領域内は塗布される機能液の濡れ性を考慮して親液性を付与する表面処理が施されている。
【００５０】
（従来例）
まず、従来の機能液の吐出方法の一例について、図６を参照して説明する。図６に示すように、従来例は、ワークＷ上においてＸ軸方向とＹ軸方向とにマトリックス状に配置された矩形状の機能層形成領域Ａに吐出ヘッド５０のノズル５２から機能液を塗布するものである。機能層形成領域Ａは長手方向がＸ軸方向に沿って配置されており、ノズル列５２ａ，５２ｂは同じくＸ軸方向に延在するように機能層形成領域Ａに対して相対的に配置されている。
以降の説明を分かり易くするために、ノズル列５２ａ，５２ｂの各ノズル５２にそれぞれ符号（５２ｎ１〜５２ｎ１４）を付して呼ぶこととする。また、複数回の主走査にもそれぞれ符号（ＳＣ１〜ＳＣ７）を付して呼ぶこととする。
【００５１】
ノズル列５２ａ，５２ｂのうち、Ｙ軸方向への主走査によって機能層形成領域Ａに掛かる複数のノズル５２（ノズル群）から機能層形成領域Ａに機能液が液滴として吐出される。図６では、機能層形成領域Ａに着弾した液滴をハッチングした円形で表示し、液滴が吐出されなかった場合をハッチングせずに想像線の円形で表示している。着弾した液滴は機能層形成領域Ａに濡れ広がるので、主走査ごとに吐出された液滴の着弾状態だけを示している。なお、液滴の吐出のさせ方を示すものであって、液滴の着弾形状（円形）や着弾径（大きさ）はこれに限定されるものではない。
具体的には、主走査において機能層形成領域Ａに掛かる例えば符号５２ｎ２〜符号５２ｎ６の５つのノズル５２から６回の主走査ＳＣ１〜ＳＣ６を行って合計２８滴の液滴を機能層形成領域Ａに着弾させる。吐出ヘッド５０の描画範囲（吐出可能範囲）において、Ｘ軸方向に隣り合う機能層形成領域Ａにも符号５２ｎ９〜５２ｎ１３のノズル５２から同様に合計２８滴の液滴が吐出される。主走査において隔壁に掛かる符号５２ｎ１、５２ｎ７、５２ｎ８、５２ｎ１４のノズル５２は非選択になっている。
主走査ＳＣ１〜ＳＣ５では、それぞれ機能層形成領域Ａに掛かる５つのノズル５２が選択されて液滴が吐出されるので、１回の主走査では５滴の液滴が機能層形成領域Ａに着弾する。５回の主走査で機能層形成領域Ａには合計２５滴の液滴が吐出される。６回目の主走査ＳＣ６では、機能層形成領域Ａに掛かる５つのノズル５２のうち、例えば符号５２ｎ３〜５２ｎ５の３つのノズル５２が選択されて３滴の液滴が機能層形成領域Ａに着弾する。５回目までの主走査では、機能層形成領域Ａに掛かるすべてのノズル５２が選択されて液滴が吐出されるが、６回目の主走査では、機能層形成領域Ａに掛かるノズル群のうち３つのノズル５２だけが選択されて液滴が吐出される。
【００５２】
したがって、主走査ＳＣ６では選択されるノズル数が他の主走査ＳＣ１〜ＳＣ５よりも減少するので、５つのノズル５２をすべて選択して液滴を吐出する場合に比べて、機能層形成領域Ａに掛かるノズル５２間の機械的、あるいは電気的なクロストークの状態が変化する。それゆえに、他の主走査ＳＣ１〜ＳＣ５に比べて主走査ＳＣ６で吐出された液滴の吐出量がばらつくおそれがある。より具体的には、６回目の主走査ＳＣ６においてそれまで選択されていた符号５２ｎ２と符号５２ｎ６のノズル５２が非選択となるので、非選択のノズル５２に隣り合う符号５２ｎ３及び符号５２ｎ５のノズル５２から吐出される液滴の吐出量がそれまでの５回の主走査に比べて増減するおそれがある。隣り合うノズル５２間の電気的なクロストークに関しては、前述したように３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうちからそれぞれ異なる駆動波形を選択すれば緩和することができる。しかしながら、機能層形成領域ＡのＹ軸方向における幅が狭くなると機能層形成領域Ａに確実に機能液を塗布するために精度よく液滴を着弾させる必要性が生じ、液滴を吐出させるノズル５２は同一の駆動波形を選択する方が好ましい。言い換えれば、液滴の着弾位置がＹ軸方向にずれる異なる駆動波形の選択をし難くなるという問題がある。
また、６回目の主走査ＳＣ６だけ選択されるノズル数が減少するので、吐出ヘッド５０のアクチュエーター（圧電素子）における発熱量が低下して液滴の吐出量がばらつくおそれがある。
すなわち、６回の主走査によって１つの機能層形成領域Ａに２８滴の液滴を吐出したとしても、選択されたノズル５２から吐出された液滴の吐出量がばらつくことによって所定量の機能液を量的に安定した状態で各機能層形成領域Ａに塗布することが困難となる。
【００５３】
以降に説明する実施例は従来例と比較し易くするために、従来例と同じく機能層形成領域Ａに２８滴の液滴を吐出して塗布する例を示すものである。
【００５４】
（実施例１）
図７を参照して実施例１の機能液の吐出方法について説明する。実施例１の機能液の吐出方法は、従来例に対して主走査において機能層形成領域Ａに掛かる５つのノズル５２のうち１つのノズル５２を非選択として、残り４つのノズル５２から液滴を吐出する。また、主走査ごとに選択されるノズル数は同数であり、且つ選択されるノズルも同じである。
【００５５】
具体的には、図７に示すように、機能層形成領域Ａに掛かる５つのノズル５２のうち、４つのノズル５２ｎ２，５２ｎ３，５２ｎ５，５２ｎ６を選択し、機能層形成領域Ａのほぼ中央を相対的に通過するノズル５２ｎ４を非選択とする。１回の主走査によって４滴の液滴を吐出して機能層形成領域Ａに着弾させる。前述したように合計２８滴の液滴を着弾させる必要があるので、７回の主走査ＳＣ１〜ＳＣ７を行う。Ｘ軸方向において隣り合う機能層形成領域Ａにおいても同様に、ノズル５２ｎ１１を非選択として残り４つのノズル５２ｎ９，５２ｎ１０，５２ｎ１２，５２ｎ１３が選択され、主走査ごとに液滴が吐出される。
【００５６】
実施例１の機能液の吐出方法によれば、従来例に比べて主走査の回数が１回増えるけれども、主走査ごとに選択されるノズル数が同数であり、且つ選択されるノズル５２が同一である。また、同一の機能液が吐出される機能層形成領域Ａでは選択されるノズル５２（以降、ノズル５２の選択パターンとも言う）が同一である。したがって、各主走査におけるノズル間の機械的、あるいは電気的なクロストロークの状態が一定になると共に、吐出ヘッド５０の発熱量が一定となるため、ノズル群から吐出される液滴の吐出量のばらつきを従来例に比べて抑えることができる。ゆえに、各機能層形成領域Ａに所定量（２８滴の液滴に相当する）の機能液を安定的に塗布することができる。
【００５７】
（実施例２）
次に、図８を参照して実施例２の機能液の吐出方法について説明する。実施例２は実施例１に対して主走査ごとに選択されるノズル数を同数としつつ、ノズル５２の選択パターンを変えたものである。また、以降、図中で上方に位置する機能層形成領域Ａに符号Ａ１を付与し、下方に位置する機能層形成領域Ａに符号Ａ２を付与して説明する。もちろん、機能層形成領域Ａ１及び機能層形成領域Ａ２は形状や大きさが同じである。
【００５８】
具体的には、図８に示すように、機能層形成領域Ａ１に掛かるノズル群のうちノズル５２ｎ２，５２ｎ３，５２ｎ５，５２ｎ６を選択し、ノズル５２ｎ４を非選択とする。また、機能層形成領域Ａ２に掛かるノズル群のうちノズル５２ｎ９，５２ｎ１０，５２ｎ１１，５２ｎ１３を選択し、ノズル５２ｎ１２を非選択として７回の主走査ＳＣ１〜ＳＣ７を行う。機能層形成領域Ａ１，Ａ２にはいずれも２８滴の液滴が吐出される。主走査ごとに選択されるノズル数はいずれの機能層形成領域Ａ１，Ａ２も同数である。主走査ごとの機能層形成領域Ａ１におけるノズル５２の選択パターンは同じである。主走査ごとの機能層形成領域Ａ２におけるノズル５２の選択パターンは同じである。一方、機能層形成領域Ａ１におけるノズル５２の選択パターンと、機能層形成領域Ａ２におけるノズル５２の選択パターンとは異なる。
【００５９】
実施例２の機能液の吐出方法によれば、主走査によって機能層形成領域Ａ１，Ａ２に掛かるノズル群の中に、例えば、ノズル５２の目詰まりによって液滴が吐出されない、又は液滴が吐出されても吐出量が極端に少なかったり多かったりする、あるいは液滴が吐出されても飛行曲がりにより所定の位置に着弾しないなどの不良ノズルがあるとき、当該不良ノズルを非選択として主走査を行うことができる。例えば、実施例２は実施例１に対してノズル５２ｎ１２が不良ノズルであってこれを非選択とし、その代わりにノズル５２ｎ１１を選択としたと考えればよい。
主走査ごとに選択されるノズル数は実施例１と同じで同数であり、主走査方向（Ｙ軸方向）に配列する機能層形成領域Ａには同じ選択パターンのノズル５２から液滴が吐出される。すなわち、少なくとも主走査方向に配列する機能層形成領域Ａに対して吐出量のばらつきを抑えて液滴を吐出することができる。
加えて、不良ノズルを非選択のノズルとすることができ、不良ノズルが発生しても主走査を止めずに対応できるため、機能液の吐出において高い生産性を実現できる。
なお、図８では説明の都合上、同じ機能液が塗布される機能層形成領域Ａ１と機能層形成領域Ａ２とがＸ軸方向に隣り合って配置された例を示したが、これに限定されるものではなく、主走査によって不良ノズルが掛かる機能層形成領域Ａにおいて、当該不良ノズルを非選択のノズル５２とすればよい。
【００６０】
（実施例３）
次に、図９を参照して実施例３の機能液の吐出方法について説明する。実施例３は実施例１に対して、主走査ごとに選択されるノズル数を同数としつつ、複数回の主走査の間に、ノズル５２の選択パターンを変化させたものである。
【００６１】
具体的には、図９に示すように、１回目の主走査ＳＣ１では、機能層形成領域Ａ１に掛かるノズル群のうち例えば端に位置するノズル５２ｎ２を非選択として残り４つのノズル５２から液滴を吐出する。以降、２回目〜７回目の主走査ＳＣ２〜ＳＣ７では、該ノズル群のうち端から順にノズル５２を非選択として液滴を吐出する。７回の主走査のうち１回目の主走査ＳＣ１と６回目の主走査ＳＣ６、２回目の主走査ＳＣ２と７回目の主走査ＳＣ７におけるノズル５２の選択パターンが同一となり、３回目〜５回目の主走査ＳＣ３〜ＳＣ５ではノズル５２の選択パターンが異なる。
【００６２】
このようなノズル５２の選択パターンの違いは、他の機能層形成領域Ａ２において同様に適用してもよいし、図９に示すように、主走査ごとに機能層形成領域Ａ１と機能層形成領域Ａ２とで異ならせてもよい。
【００６３】
実施例３の機能液の吐出方法によれば、主走査ごとに選択されるノズル数が同数であるため、吐出ヘッド５０の駆動に係る電気的な負荷を複数回（７回）の主走査に亘って均一化して、機能層形成領域Ａ１，Ａ２に掛かるノズル群から吐出量のばらつきを抑制して液滴を吐出できる。
また、複数回の主走査の間に、ノズル群における非選択のノズル５２を変えるので、非選択のノズル５２が固定化される場合に比べて、ノズル５２内の機能液が乾燥して目詰まりを起こすなどの不具合を低減できる。
【００６４】
ノズル５２の目詰まりを低減する観点では、前述したように非選択のノズル５２を主走査ごとに且つノズル５２の配列に対応して順に（周期的に）変えることが望ましい。なお、前後の主走査においてノズル５２の選択パターンを変えなくてもよく、ノズル群におけるノズル数に対して主走査の回数が上回る分は同じ選択パターンを繰り返してもよい。言い換えれば、機能層形成領域Ａに掛かるノズル群を構成する複数のノズル５２がそれぞれ複数回の主走査のうち少なくとも１回非選択となればよい。
【００６５】
（実施例４）
次に、図１０を参照して実施例４の機能液の吐出方法について説明する。実施例４は実施例３に対して、機能層形成領域Ａに掛かるノズル群のうちＸ軸方向において隔壁際に位置するノズル５２を常に選択する構成としたものである。
【００６６】
実施例３では、例えば図９に示すように主走査ＳＣ５において、機能層形成領域Ａ１に掛かるノズル５２ｎ６から機能層形成領域Ａ２に掛かるノズル５２ｎ９までの４つのノズル５２が連続して非選択となる。隔壁に掛かる２つのノズル５２ｎ７，５２ｎ８は当然ながら非選択となるため、機能層形成領域Ａ１，Ａ２のＸ軸方向における隔壁際のノズル５２の少なくとも１つを非選択とすると、非選択のノズル５２が少なくとも３つ連続することが起り得る。連続した非選択のノズル５２に隣り合う選択されたノズル５２から吐出される液滴は吐出ヘッド５０の構造における機械的あるいは電気的なクロストークの影響を受け易くなり、吐出量がばらつくおそれがある。
【００６７】
そこで、実施例４では図１０に示すように機能層形成領域Ａ１，Ａ２に掛かるノズル群のうちＸ軸方向の隔壁際に位置するノズル５２を常に選択として、残るノズル５２の中から１つを非選択とする。これによって、隔壁に掛かるノズル５２を除いては、主走査ごとに非選択なノズル５２が連続しない。よって、非選択のノズル５２が連続することに起因する液滴の吐出量のばらつきを抑制できる。また、隔壁際のノズル５２を常に選択とするので、着弾した液滴を確実に隔壁まで濡れ広げて塗布ムラを低減できる。もちろん、主走査ごとに選択されるノズル数が同数であることから吐出ヘッド５０の駆動に係る電気的な負荷に起因する液滴の吐出量ばらつきは抑制される。
【００６８】
（実施例５）
次に、図１１を参照して実施例５の機能液の吐出方法について説明する。実施例５は実施例１又は実施例２と実施例４とを組み合わせたものである。
具体的には、図１１に示すように、機能層形成領域Ａ１に掛かるノズル群のうちノズル５２ｎ４を非選択として、残りのノズル５２から液滴を吐出する。また、機能層形成領域Ａ２に掛かるノズル群のうちＸ軸方向における隔壁際のノズル５２を常に選択として、残りのノズル５２の中から主走査ごとに１つのノズル５２を非選択とする。
実施例５の機能液の吐出方法によれば、実施例４の効果を得る一方で、不良ノズルが発生した場合には、主走査により不良ノズルが掛かる機能層形成領域Ａにおいて、当該不良ノズルを非選択のノズル５２として扱うことができる。つまり、液滴の吐出量のばらつきを抑制すると共に高い生産性を実現できる。
【００６９】
総括すると、本実施形態の機能液の吐出方法は、主走査により機能層形成領域Ａに掛かるノズル群のうち１つを非選択として残り４つの選択されたノズル５２から液滴を吐出する。且つ主走査ごとに選択されたノズル数を同数として、所定量の機能液が機能層形成領域Ａごとに塗布されるように、主走査の回数を設定する。
これによれば、主走査において機能層形成領域Ａに掛かるノズル群のノズル間の機械的、あるいは電気的なクロストークの影響を受け難くすることができる。さらに、主走査ごとに選択されたノズル数を同数とするので、吐出ヘッド５０の駆動における電気的な負荷を複数回の主走査に亘って均一化して、液滴の吐出量のばらつきを抑制できる。つまりは、所定量の機能液が各機能層形成領域Ａに安定的に塗布されるので、塗布された機能液を固化した後に、膜厚や膜形状が安定した機能層を形成することができる。
【００７０】
なお、機能層形成領域Ａに塗布すべき機能液の所定量を液滴として吐出する際の吐出数（液滴数）が主走査の回数つまり整数で除したときに割り切れないときには、整数で割り切れる吐出数（液滴数）に調整する。調整方法としては、例えば液滴の吐出量を予め所望の吐出数となるように補正する。また、機能液における機能層形成材料（固形分）の濃度を調整することでも液滴の吐出数（液滴数）を調整することができる。
【００７１】
本発明の機能液の吐出方法は、上記実施形態の実施例１〜実施例５に限定されるものではなく、実施例１〜実施例４を適宜組み合わせて前述した液滴の配置情報（ビットマップ）を構成してもよい。
【００７２】
（第２実施形態）
＜有機ＥＬ装置＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子の製造方法を適用して製造された有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬ装置について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は有機ＥＬ装置を示す概略正面図、図１３は有機ＥＬ装置の要部概略断面図である。
【００７３】
図１２に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の発光画素１０７を備えた素子基板１０１と、素子基板１０１に所定の間隔を置いて対向配置された封止基板１０２とを備えている。封止基板１０２は、複数の発光画素１０７が設けられた発光領域１０６を封着するように、高い気密性を有する封着剤を用いて素子基板１０１に貼り合わされている。
【００７４】
発光画素１０７は、後述する発光素子としての有機ＥＬ素子１１２（図１３参照）を備えるものであって、同色の発光が得られる発光画素１０７が、図面上の縦方向に配列した所謂ストライプ方式となっている。なお、実際には、発光画素１０７は微細なものであり、図示の都合上拡大して現している。
【００７５】
素子基板１０１は、封止基板１０２よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、発光画素１０７を駆動する２つの走査線駆動回路部１０３と１つのデータ線駆動回路部１０４が設けられている。走査線駆動回路部１０３、データ線駆動回路部１０４は、例えば、電気回路が集積されたＩＣとして素子基板１０１に実装してもよいし、走査線駆動回路部１０３及びデータ線駆動回路部１０４を素子基板１０１の表面に直接形成してもよい。
【００７６】
素子基板１０１の端子部１０１ａには、これらの走査線駆動回路部１０３やデータ線駆動回路部１０４と外部駆動回路とを接続するための中継基板１０５が実装されている。中継基板１０５は、例えば、フレキシブル回路基板などを用いることができる。
【００７７】
図１３に示すように、有機ＥＬ装置１００において、有機ＥＬ素子１１２は、画素電極としての陽極１３１と、陽極１３１を区画する隔壁１３３と、陽極１３１上に形成された有機膜からなる発光層を含む機能層１３２とを有している。また、機能層１３２を介して陽極１３１と対向するように形成された共通電極としての陰極１３４を有している。
【００７８】
隔壁１３３は、フェノール又はポリイミドなどの絶縁性を有する感光性樹脂からなり、発光画素１０７を構成する陽極１３１の周囲を一部覆って、複数の陽極１３１をそれぞれ区画するように設けられている。
【００７９】
陽極１３１は、素子基板１０１上に形成されたＴＦＴ素子１０８の３端子のうちの１つに接続しており、例えば、透明電極材料であるＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）を厚さ１００ｎｍ程度に成膜した電極である。
【００８０】
陰極１３４は、例えばＡｌやＡｇなどの光反射性を有する金属材料や、該金属材料と他の金属（例えばＭｇ）との合金などにより形成されている。
【００８１】
本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、所謂ボトムエミッション型の構造となっており、陽極１３１と陰極１３４との間に駆動電流を流して機能層１３２で発光した光を陰極１３４で反射させて素子基板１０１側から取り出す。したがって、素子基板１０１はガラスなどの透明基板を用いる。また、封止基板１０２は、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
【００８２】
素子基板１０１には、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１が設けられている。すなわち、素子基板１０１の表面にはＳｉＯ2を主体とする下地保護層１２１が下地として形成され、その上には例えばポリシリコンなどからなる半導体層１２２が形成されている。この半導体層１２２の表面には、ＳｉＯ2及び／又はＳｉＮを主体とするゲート絶縁膜１２３が形成されている。
【００８３】
また、半導体層１２２のうち、ゲート絶縁膜１２３を挟んでゲート電極１２６と重なる領域がチャネル領域１２２ａとされている。なお、このゲート電極１２６は、図示しない走査線の一部である。一方、半導体層１２２を覆い、ゲート電極１２６を形成したゲート絶縁膜１２３の表面には、ＳｉＯ2を主体とする第１層間絶縁層１２７が形成されている。
【００８４】
また、半導体層１２２のうち、チャネル領域１２２ａのソース側には、低濃度ソース領域及び高濃度ソース領域１２２ｃが設けられる一方、チャネル領域１２２ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域及び高濃度ドレイン領域１２２ｂが設けられて、所謂ＬＤＤ（Light  Doped  Drain）構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域１２２ｃは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２５ａを介して、ソース電極１２５に接続されている。このソース電極１２５は、電源線（図示せず）の一部として構成されている。一方、高濃度ドレイン領域１２２ｂは、ゲート絶縁膜１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２４ａを介して、ソース電極１２５と同一層からなるドレイン電極１２４に接続されている。
【００８５】
ソース電極１２５及びドレイン電極１２４が形成された第１層間絶縁層１２７の上層には、平坦化層１２８が形成されている。この平坦化層１２８は、アクリル系やポリイミド系等の、耐熱性絶縁性樹脂などによって形成されたもので、ＴＦＴ素子１０８やソース電極１２５、ドレイン電極１２４などによる表面の凹凸をなくすために形成された公知のものである。
【００８６】
そして、陽極１３１が、この平坦化層１２８の表面上に形成されると共に、該平坦化層１２８に設けられたコンタクトホール１２８ａを介してドレイン電極１２４に接続されている。すなわち、陽極１３１は、ドレイン電極１２４を介して、半導体層１２２の高濃度ドレイン領域１２２ｂに接続されている。陰極１３４は、ＧＮＤに接続されている。したがって、スイッチング素子としてのＴＦＴ素子１０８により、上記電源線から陽極１３１に供給され陰極１３４との間で流れる駆動電流を制御する。これにより、回路部１１１は、所望の有機ＥＬ素子１１２を発光させカラー表示を可能としている。
【００８７】
なお、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１の構成は、これに限定されるものではない。
【００８８】
機能層１３２は、有機膜からなる正孔注入層、中間層、発光層を含む複数の薄膜層からなり、陽極１３１側からこの順で積層されている。本実施形態において、これらの薄膜層は液滴吐出法（インクジェット法）を用いて成膜されている。
【００８９】
正孔注入層の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）を加えた混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）や、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体を用いてもよい。
【００９０】
中間層は、正孔注入層と発光層との間に設けられ、発光層に対する正孔の輸送性（注入性）を向上させると共に、発光層から正孔注入層に電子が浸入することを抑制するために設けられている。すなわち、発光層における正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。中間層の材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。
【００９１】
発光層の材料としては、例えば、赤色、緑色、青色の発光が得られるポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ＰＥＤＯＴ等のポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン（ＰＭＰＳ）等を用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等の高分子材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクドリン等低分子材料をドープしてもよい。
【００９２】
このような有機ＥＬ素子１１２を有する素子基板１０１は、熱硬化型エポキシ樹脂等を封着部材として用いた封着層１３５を介して封止基板１０２と隙間なくベタ封止されている。
【００９３】
本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、後述する有機ＥＬ素子１１２の製造方法を用いて製造されており、発光層がほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有しているため、異なる発光色が得られる機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂにおいてそれぞれ所望の発光特性が得られる。
【００９４】
なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、ボトムエミッション型に限定されず、例えば陽極１３１を光反射性の導電材料を用いて形成し、共通電極としての陰極１３４を透明な導電材料を用いて形成して、有機ＥＬ素子１１２の発光を陽極１３１で反射させて、封止基板１０２側から取り出すトップエミッション型の構造としてもよい。また、トップエミッション型とする場合、有機ＥＬ素子１１２の発光色に対応させたカラーフィルターを封止基板１０２側に設ける構成としてもよい。さらには、封止基板１０２側にカラーフィルターを有する場合、有機ＥＬ素子１１２から白色発光が得られる構成としてもよい。
【００９５】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法を適用した有機ＥＬ装置の製造方法について図１４〜図１６を参照して説明する。図１４は有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１５（ａ）〜（ｄ）及び図１６（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【００９６】
図１４に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００の製造方法は、隔壁形成工程（ステップＳ１）と、隔壁が形成された基板に表面処理を施す表面処理工程（ステップＳ２）と、正孔注入層形成工程（ステップＳ３）と、中間層形成工程（ステップＳ４）と、発光層形成工程（ステップＳ５）と、陰極形成工程（ステップＳ６）と、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１と封止基板１０２とを接合する封止基板接合工程（ステップＳ７）とを少なくとも備えている。なお、素子基板１０１上に回路部１１１（図１３参照）を形成する工程や回路部１１１に電気的に接続した陽極１３１を形成する工程は、公知の製造方法を用いればよく、本実施形態では詳細の説明は省略する。したがって、図１５（ａ）〜（ｄ）及び図１６（ｅ）〜（ｈ）では、回路部１１１の図示を省略している。
【００９７】
図１４のステップＳ１は、隔壁形成工程である。ステップＳ１では、図１５（ａ）に示すように、陽極１３１の周囲の一部を覆って陽極１３１ごとを区画するように隔壁１３３を形成する。形成方法としては、例えば、陽極１３１が形成された素子基板１０１の表面に、感光性のフェノール樹脂又はポリイミド樹脂をおよそ１μｍ〜３μｍ程度の厚みで塗布する。塗布方法としては、転写法、スリットコート法などが挙げられる。そして、発光画素１０７の形状に対応したマスクを用いて露光し、現像することにより隔壁１３３を形成する。以降、隔壁１３３により区画された発光画素１０７の領域を機能層形成領域Ａと呼ぶ。そして、ステップＳ２へ進む。
【００９８】
図１４のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、隔壁１３３が形成された素子基板１０１の表面に親液処理と撥液処理とを施す。まず、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を行い、主に無機材料からなる陽極１３１の表面に親液処理を施す。次に、ＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理を行い、有機材料からなる隔壁１３３の表面にフッ素を導入して撥液処理を施す。
なお、撥液性を有する隔壁１３３の形成は、これに限定されず。例えば、隔壁１３３の頭頂部に撥液性材を転写して撥液層を形成したり、上記感光性樹脂自体に撥液性材を含ませて隔壁１３３を形成してもよい。そして、ステップＳ３へ進む。
【００９９】
図１４のステップＳ３は、正孔注入層形成工程である。ステップＳ３では、まず、図１５（ｂ）に示すように、正孔注入層形成材料を含む機能液７０を機能層形成領域Ａに塗布する。機能液７０は、例えば、溶媒としてジエチレングリコールと水（純水）とを含んでおり、正孔注入層形成材料としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを重量比で０．５％程度含んだものを用いた。粘度がおよそ２０ｍＰａ・ｓ以下となるように溶媒の割合が調整されている。
機能液７０を塗布する方法としては、第１実施形態において説明した機能液（インク）を吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出可能な吐出装置１０を用いる。吐出ヘッド５０とワークＷである素子基板１０１とを対向させ、吐出ヘッド５０から機能液７０を吐出する。吐出された機能液７０は、液滴として親液処理された陽極１３１に着弾して濡れ拡がる。また、乾燥後の正孔注入層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜７０ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１００】
乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、機能液７０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図１５（ｃ）に示すように機能層形成領域Ａの陽極１３１上に正孔注入層１３２ａを形成する。なお、本実施形態では、各機能層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入層１３２ａを形成したが、後に形成される発光層に対応して正孔注入層１３２ａの材料を発光色ごとに変えてもよい。そしてステップＳ４へ進む。
【０１０１】
図１４のステップＳ４は、中間層形成工程である。ステップＳ４では、図１５（ｄ）に示すように、中間層形成材料を含む機能液８０を機能層形成領域Ａに塗布する。
機能液８０は、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含み、中間層形成材料として、前述したトリフェニルアミン系ポリマーを重量比で０．１％程度含んだものを用いた。粘度はおよそ６ｍＰａ・ｓである。
機能液８０を塗布する方法としては、機能液７０を塗布する場合と同様に、第１実施形態の吐出装置１０を用いる。乾燥後の中間層の膜厚がおよそ１０ｎｍ〜２０ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１０２】
乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、機能液８０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図１６（ｅ）に示すように機能層形成領域Ａの正孔注入層１３２ａ上に中間層１３２ｃを形成する。そしてステップＳ５へ進む。
【０１０３】
図１４のステップＳ５は、発光層形成工程である。ステップＳ５では、図１６（ｆ）に示すように、発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂをそれぞれ対応する機能層形成領域Ａに塗布する。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含んでおり、発光層形成材料としてＰＦを重量比で０．７％含んだものを用いた。粘度はおよそ１４ｍＰａ・ｓである。
機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを塗布する方法は、やはり第１実施形態の吐出装置１０を用い、それぞれ異なる吐出ヘッド５０に充填されて吐出される。
発光層の成膜にあたり、機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを機能層形成領域Ａに吐出ムラなく、且つ必要量を安定的に吐出することができる第１実施形態の機能液の吐出方法を用いた。すなわち、主走査により機能層形成領域Ａに掛かるノズル群のうち少なくとも１つのノズル５２を非選択として残りのノズル５２から液滴を吐出した。そして、主走査ごとに選択されるノズル数が同数となるように非選択のノズル５２と主走査の回数を設定した。また、乾燥後の発光層の膜厚がおよそ５０ｎｍ〜１００ｎｍとなるように、機能層形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
【０１０４】
本実施形態における吐出された機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの乾燥工程は、一般的な加熱乾燥に比べて溶媒成分を比較的均一に乾燥可能な減圧乾燥法を用いている。機能層形成領域Ａに満遍なく必要量の機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが塗布されている。したがって、図１６（ｇ）に示すように、乾燥後に形成された発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂは機能層形成領域Ａごとにほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）を有する。そして、ステップＳ６へ進む。
【０１０５】
図１４のステップＳ６は、陰極形成工程である。ステップＳ６では、図１６（ｈ）に示すように、隔壁１３３と各機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂとを覆うように陰極１３４を形成する。これにより有機ＥＬ素子１１２が構成される。
陰極１３４の材料としては、アルミニウム（Ａｌ）や銀（Ａｇ）とマグネシウム（Ｍｇ）の合金などが用いられる。機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成してもよい。また、陰極１３４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極１３４の酸化を防止することができる。陰極１３４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。ここまでが、有機ＥＬ素子１１２の製造工程を示すものである。そして、ステップＳ７へ進む。
【０１０６】
図１４のステップＳ７は、封止基板接合工程である。ステップＳ７では、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１に封着層１３５を塗布して、封止基板１０２と隙間なくベタ封止する（図１３参照）。さらに封止基板１０２の外周領域において水分や酸素等の進入を防ぐ接着層を設けて接合することが望ましい。
【０１０７】
以上のような有機ＥＬ素子１１２の製造方法によれば、液滴吐出法により成膜された機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂは、成膜ムラが低減され、それぞれほぼ一定の膜厚と安定した膜形状（断面形状）の発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを有している。したがって、成膜ムラに起因する輝度ムラが低減された有機ＥＬ素子１１２を製造することができる。
なお、上記実施形態の機能液の吐出方法は、発光層形成材料を含む機能液９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの塗布に適用するだけでなく、もちろん、正孔注入層形成材料を含む機能液７０や中間層形成材料を含む機能液８０の塗布においても適用することができる。
【０１０８】
このようにして製造された異なる発光が得られる有機ＥＬ素子１１２を備えた有機ＥＬ装置１００は、所望の発光特性が実現され、見映えのよいカラー表示が可能である。
【０１０９】
＜電子機器＞
本発明の有機ＥＬ素子１１２の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ装置１００は、様々な電子機器の表示部として好適に用いることができる。
電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピューター、ＰＤＡ、ＰＯＳなどの携帯型情報端末、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）、ＨＵＤ（ヘッドアップディスプレイ）などを挙げることができる。
また、有機ＥＬ装置１００は、表示部として用いられるだけでなく、例えば有機ＥＬ素子１１２を白色発光が得られる構成として電子機器の照明装置として用いてもよい。
【０１１０】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う機能液の吐出方法及び有機ＥＬ素子の製造方法ならびに該有機ＥＬ素子の製造方法を用いて製造された有機ＥＬ素子を適用する有機ＥＬ装置や電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１１１】
（変形例１）上記実施形態の機能液の吐出方法は、有機ＥＬ素子１１２の製造方法に用いることに限定されない。図１７（ａ）はカラーフィルター基板の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）はカラーフィルター基板の構造を示す概略断面図である。図１７に示すように、カラーフィルター基板２００は、ガラスなどの透明な基材２０１と、基材２０１に形成された隔壁２０２と、隔壁２０２によって区画された機能層形成領域に形成された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色に対応した着色層２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂを有している。したがって、色ごとに用意される着色層形成材料を含む機能液を機能層形成領域に塗布する際にも、本実施形態の機能液の吐出方法を適用できる。これにより、所望の膜厚と膜形状を有する着色層２０３Ｒ，２０３Ｇ，２０３Ｂを備えたカラーフィルター基板２００を製造することができる。
【０１１２】
（変形例２）上記実施形態の機能液の吐出方法では、ワークＷ上においてマトリックス状に配置された矩形状の機能層形成領域Ａの長手方向（Ｘ軸方向）に並行するようにノズル列５２ａ，５２ｂ（吐出ヘッド５０）を配置したが、これに限定されない。例えば、機能層形成領域Ａの長手方向（Ｘ軸方向）と交差するようにノズル列５２ａ，５２ｂを傾けて配置してもよい。これによれば、主走査における実質的なノズルピッチをさらに狭くして液滴を着弾させることができる。言い換えれば、機能層形成領域Ａの面積が小さくなっても、機能層形成領域Ａに掛かるノズル数を増やすことができ、本発明の機能液の吐出方法を適用し易くなる。なお、主走査において機能層形成領域Ａに掛かるノズル数を少なくとも２つとすれば、本発明の機能液の吐出方法を適用することができる。
【０１１３】
（変形例３）上記実施形態の機能液の吐出方法において、１回の主走査で機能層形成領域Ａの主走査方向（Ｙ軸方向）に着弾させる液滴の数は、１滴に限定されない。吐出タイミングを変えて複数の液滴を吐出してもよい。これによれば、機能層形成領域Ａに所定量の機能液を塗布する主走査の回数を減らすことができる。
【０１１４】
（変形例４）上記実施形態の機能液の吐出方法において、機能層形成領域Ａの形状及び配置は、これに限定されない。例えば、ストライプ方式の配置だけでなく、モザイク方式やデルタ方式の配置においても適用できる。
【０１１５】
（変形例５）上記実施形態の機能液の吐出方法において、時分割駆動を実現する駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３の構成は、これに限定されない。例えば、２種類の波形構成としても時分割駆動は可能である。
【０１１６】
（変形例６）上記実施形態における吐出装置１０の構成は、これに限定されない。例えば、ヘッドプレート９ａに搭載される吐出ヘッド５０の配置は、吐出される機能液の種類によってその配置を変えてもよい。
【符号の説明】
【０１１７】
５０…吐出ヘッド、５２…ノズル、９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂ…発光層形成材料を含む機能液、１００…有機ＥＬ装置、１０１…基板としての素子基板、１１２…有機ＥＬ素子、１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂ…発光層、１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂ…機能層、１３３…隔壁、Ａ，Ａ１，Ａ２…機能層形成領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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