(57)【要約】【課題】半導体工場の構外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置を提供する。【解決手段】製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置に、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報を外部へ送信する送信手段とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、
前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、
前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、
該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段と
を備えることを特徴とする装置情報送信装置。
【請求項２】
前記取得手段は、
前記製造装置の状態を示す情報を、前記製造装置から定期的に取得するようにしてあり、
更に、前記取得手段にて定期的に取得した前記製造装置の状態を示す情報を記憶する状態記憶手段を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の装置情報送信装置。
【請求項３】
前記送信条件は、
前記製造装置の状態変化の前後の状態を示した情報を含み、
前記判定手段は、
前記状態記憶手段が記憶する前記製造装置の状態の変化が前記送信条件の状態変化に合致した場合、前記送信条件を満たすと判定するように構成してある
ことを特徴とする請求項２に記載の装置情報送信装置。
【請求項４】
前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を、メール受信プロトコルに従って受信する受信手段を備え、
前記送信条件記憶手段は、
前記受信手段にて受信した送信条件を記憶するようにしてある
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の装置情報送信装置。
【請求項５】
前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を送信する送信態様を示す第１送信態様情報、又は前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たした場合、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を１回に限り送信する送信態様を示す第２送信態様情報を、前記送信条件に対応付けて記憶する手段と、
前記製造装置の状態を示す情報を送信した場合、前記送信条件に前記第２送信態様情報が対応付けられているとき、該送信条件を無効にする手段と
を備え、
前記送信手段は、
前記送信条件に前記第１送信態様情報が対応付けられている場合、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の状態を示す情報又は前記所定情報を送信するようにしてある
ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の装置情報送信装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の装置情報送信装置と、
該装置情報送信装置から送信された情報を受信する携帯通信装置と
を備えることを特徴とする装置情報送信システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置の状態を示す情報を外部へ送信する装置情報送信装置及び装置情報送信システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の遠隔監視システムは該半導体製造装置、サーバ及び遠隔端末装置によって構成され、各装置がネットワークによって常時接続されている。各装置間で半導体製造装置に係るデータの送受信を行うことで、半導体製造装置の遠隔監視、アラームの通知などの機能が実現されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１３００７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、半導体工場の構内ネットワークの範囲においては常時接続が比較的容易に実現できるものの、構内ネットワークと構外ネットワークとを常時接続することは行われていない。半導体工場の構内及び構外のネットワークを常時接続すると、半導体製造ノウハウの漏洩、半導体製造装置の誤動作などを招く虞があるためである。従って、半導体工場外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことは事実上困難であった。
【０００５】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、電子メールを利用して、製造装置の装置状態などを示した情報を送受信することで、製造工場の構外から製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置及び装置情報送信システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る装置情報送信装置は、製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る装置情報送信装置は、前記取得手段は、前記製造装置の状態を示す情報を、前記製造装置から定期的に取得するようにしてあり、更に、前記取得手段にて定期的に取得した前記製造装置の状態を示す情報を記憶する状態記憶手段を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る装置情報送信装置は、前記送信条件は、前記製造装置の状態変化の前後の状態を示した情報を含み、前記判定手段は、前記状態記憶手段が記憶する前記製造装置の状態の変化が前記送信条件の状態変化に合致した場合、前記送信条件を満たすと判定するように構成してあることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る装置情報送信装置は、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を、メール受信プロトコルに従って受信する受信手段を備え、前記送信条件記憶手段は、前記受信手段にて受信した送信条件を記憶するようにしてあることを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る装置情報送信装置は、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を送信する送信態様を示す第１送信態様情報、又は前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たした場合、前記製造装置の情報若しくは前記所定情報を１回に限り送信する送信態様を示す第２送信態様情報を、前記送信条件に対応付けて記憶する手段と、前記製造装置の状態を示す情報を送信した場合、前記送信条件に前記第２送信態様情報が対応付けられているとき、該送信条件を無効にする手段とを備え、前記送信手段は、前記送信条件に前記第１送信態様情報が対応付けられている場合、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たす都度、前記製造装置の状態を示す情報又は前記所定情報を送信するようにしてあることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る装置情報送信システムは、上述のいずれか一つの装置情報送信装置と、該装置情報送信装置から送信された情報を受信する携帯通信装置とを備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明にあっては、製造装置の状態がある送信条件を満たした場合、該製造装置の状態を示す情報又は所定情報がメール送信プロトコルに従って外部へ送信される。従って、外部から製造装置にアクセスできるように、製造装置と、外部のネットワークとを常時接続する場合に比べて、製造装置の情報が外部へ漏洩する虞を軽減することができる。
【００１３】
本発明にあっては、定期的に製造装置の状態を示した情報を取得し、状態記憶手段がその情報を記憶する。
【００１４】
本発明にあっては、送信条件に示す状態変化が製造装置に生じた場合、製造装置の状態を示す情報又は所定情報を外部へ送信する。
【００１５】
本発明にあっては、必要に応じて、送信条件を満たした場合の情報の送信を１回に限定するか、都度繰り返し行うかを選択することが可能である。送信回数を限定することによって、不必要に情報が外部へ送信されることを避けることができる。また、不要な送信条件を解除する手間を省くことができるため便宜である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電子メールを利用して、製造装置の装置状態などを示した情報を送受信することで、製造工場の構外から製造装置の遠隔監視を行うことができる。
例えば、新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者又はフィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施の形態に係る装置情報送信システムの一構成例を示す説明図である。
【図２】本実施の形態に係る装置情報送信装置の一構成例を示すブロック図である。
【図３】制御部の処理手順を示すフローチャートである。
【図４】制御部の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】装置リスト表示画面例の模式図である。
【図６】プロセス状態表示画面例の模式図である。
【図７】警告画面の一例を示した模式図である。
【図８】警告内容の詳細を示した警告内容表示画面例の模式図である。
【図９】プロセス状態毎に設定された通知条件及び選択形式の一例を示した図表である。
【図１０】選択式の通知条件の設定画面例の模式図である。
【図１１】数値入力式の通知条件の設定画面例の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
図１は、本実施の形態に係る装置情報送信システムの一構成例を示す説明図である。本発明の実施の形態に係る装置情報送信システムは、複数の半導体製造装置（製造装置）１と、各半導体製造装置１の状態を示す装置状態情報、その他の各種情報を収集して解析する群管理装置２と、該群管理装置２から前記装置状態情報を定期的に取得し、取得した情報を適宜外部へ送信する装置情報送信装置３と、該装置情報送信装置３から送信された情報を受信する携帯通信装置６とを備える。
【００１９】
半導体製造装置１は、例えば、半導体デバイス等製造用のシリコンウエハ等の被処理体を処理するレジスト塗布現像装置、熱処理炉装置、プラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、ＰＶＤ装置等の基板処理装置である。半導体製造装置１は、群管理装置２の求めに応じて、自身の状態を示す装置状態情報を該群管理装置２へ送信する送信部を有する。装置状態情報としては、例えば、装置の名称、実行中のメインレシピ名、サブレシピ名、プロセスの終了予定時刻、開始時刻、プロセス終了までの残り時間、実行中のステップ番号等の情報、被処理体の投入可否を示した情報、被処理体の払い出し待ち状態にあるか否かを示した情報、異常状態を示した情報等が挙げられる。なお、これらの情報は、装置状態情報の一例である。
また、本実施の形態では製造装置の例として主に半導体処理装置を例示して説明するが、半導体処理装置にのみならず、ＬＣＤに係る製造装置、太陽電池に係る製造装置、有機ＥＬに係る製造装置等に本発明を適用することができる。
【００２０】
群管理装置２は、各半導体製造装置１及び装置情報送信装置３との間で有線又は無線で情報を送信する通信部を有する。半導体製造装置１の装置状態情報は、製造ノウハウに関わる情報を含むため、半導体製造装置１、群管理装置２及び装置情報送信装置３間で行われる情報通信は、閉じたローカルエリアで行うことが望ましい。
群管理装置２は、通信部を介して各半導体製造装置１に対して装置状態情報の送信を求め、各半導体製造装置１から送信された装置状態情報を収集し、収集した装置状態情報を、各半導体製造装置１の識別情報に対応付けてＤＢ２１に格納する。群管理装置２は、ＤＢ２１に格納した情報を用いて、処理の解析処理などを実行する。また、群管理装置２は、各半導体製造装置１の装置状態情報、その他の各種情報を、装置情報送信装置３からの求めに応じて送信する。
【００２１】
図２は、本実施の形態に係る装置情報送信装置３の一構成例を示すブロック図である。装置情報送信装置３は、該装置情報送信装置の各構成部の動作を制御する制御部３１、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を備えたコンピュータである。制御部３１には、通信路を介して一次記憶装置３２、二次記憶装置３３、データベース更新部３４、メール送信部３５及びメール受信部３６が接続されている。
なお、データベース更新部３４をハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く制御部３１の処理によって実現されるものであっても良いし、ハードウェアで構成しても良い。また、メール送信部３５及びメール受信部３６を別のハードウェアのように図示しているが、言うまでも無く、ハードウェアとして構成された送受信部で各部の機能を実現するように構成すると良い。更に、本実施の形態では、群管理装置２と、装置情報送信装置３とを別装置として構成する例を説明するが、装置情報送信装置３の機能を群管理装置２に実現させるように構成しても良い。
【００２２】
一次記憶装置３２は、コンピュータの初期動作に必要な制御プログラムを記憶したマスクＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリと、コンピュータの動作に必要な制御プログラムを記憶し、制御部３１の演算処理を実行する際に生ずる各種データを一時記憶するＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ等のメモリとで構成される。
【００２３】
二次記憶装置３３は、ハードディスクドライブ、若しくはソリッドステートドライブ等の読み出しが可能なディスクドライブ、可搬式の記憶媒体（不図示）からのデータの読み出しが可能なＣＤ−ＲＯＭドライブ等の装置である。
また、二次記憶装置３３は、装置状態情報を格納したＤＢ３３ａを記憶している。制御部３１は、群管理装置２のＤＢ２１が記憶している装置状態情報を定期的に取得し、取得した装置状態情報を自身のＤＢ３３ａに記憶させる処理を実行している。このため、ＤＢ３３ａが記憶する装置状態情報の内容は、タイムラグが存在するが、群管理装置２のＤＢ２１と同様である。
更に、二次記憶装置３３は、ＤＢ３３ａが記憶した装置状態情報を外部の携帯通信装置６へ送信すべきか否かを判定するための通知条件、通知先、送信回数等を規定した送信態様情報などを記憶する。通知先及び送信態様情報は、通知条件に対応付けられている。送信態様情報は、例えば、半導体製造装置１の装置状態情報が通知条件を満たす都度、該装置状態情報又は通知条件を満たしたことを示す所定情報を携帯通信装置６へ送信する第１モードと、装置状態情報が通知条件を満たした場合、１回に限り携帯通信装置６へ装置状態情報又は所定情報を送信する第２モードとを含む。
このように、二次記憶装置３３は、状態記憶手段及び送信条件記憶手段として機能する。
【００２４】
データベース更新部３４は、群管理装置２のＤＢ２１から各半導体製造装置１の装置状態情報を取得し、取得した装置状態情報にてＤＢ３３ａの内容を更新する処理を実行する機能部である。
【００２５】
メール送信部３５は、ＳＭＴＰなどの所定のメール送信プロトコルに従って、メール送信サーバ４にアクセスし、装置状態情報などの各種情報のメール送信を依頼する機能部である。
【００２６】
メール受信部３６は、ＰＯＰなどの所定のメール受信プロトコルに従って、メール受信サーバ５にアクセスし、外部から装置情報送信装置３へメール送信された情報の転送を依頼する機能部である。
【００２７】
メール送信サーバ４は、装置情報送信装置３からのメール送信依頼を受信した場合、送信先である携帯通信装置６の図示しないＳＭＴＰサーバへ装置状態情報を送信する。携帯通信装置６側の図示しないＰＯＰサーバは、携帯通信装置６の求めに応じて、又は定期的に、受信した装置状態情報を携帯通信装置６へ送信する。
【００２８】
メール受信サーバ５は、携帯通信装置６から図示しないＳＭＴＰサーバを経由して装置情報送信装置３宛に送信された各種情報を該装置情報送信装置３へ送信する。
【００２９】
携帯通信装置６は、例えば、メール通信機能を有する携帯電話端末である。携帯通信装置６は、制御部３１、記憶部、表示部、操作部及び送受信部等を備える。制御部３１は、装置情報送信装置３からメール送信された情報を受信し、受信した情報に基づいて映像を表示部に表示させる。例えば、装置状態情報を受信した場合、該装置状態情報に基づいて、半導体製造装置１の装置状態を文字又は図形を用いて表示部に表示させる。また、制御部３１は、操作部にて半導体製造装置１の装置状態の送信指示を受け付け、通信部を介して、送信の指示を依頼するメールを装置情報送信装置３へ送信する。
【００３０】
図３及び図４は、制御部３１の処理手順を示すフローチャートである。装置情報送信装置３のメール受信部３６は、定期的にメール受信サーバ５に問い合わせを行い、携帯通信装置６から装置情報送信装置３宛の電子メールを受信する（ステップＳ１１）。
【００３１】
次いで、制御部３１は、受信した電子メールが、半導体製造装置１の装置状態情報の取得を要求するメールであるか否かを判定する（ステップＳ１２）。装置状態情報の取得を要求するメールであると判定した場合（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、制御部３１は、ＤＢ３３ａに格納された装置状態情報を読み出す（ステップＳ１３）。なお、制御部３１は、群管理装置２に装置状態情報を要求し、要求に応じて群管理装置２から送信された装置状態情報を取得するように構成しても良い。メール送信部３５は、ＤＢ３３ａから読み出された装置状態情報の送信をメール送信サーバ４に依頼し、該装置状態情報を携帯通信装置６へ送信させる（ステップＳ１４）。携帯通信装置６は、装置情報送信装置３から送信された装置状態情報を電子メールとして受信する。
なお、言うまでも無く、装置状態情報の送信先は特定の範囲に制限されるべきであり、二次記憶装置３３は、装置状態情報の取得を要求し、装置状態情報の受信が許可された携帯通信装置６の電子メールアドレス、機器ＩＤ等を記憶している。また、装置状態情報の送信を要求する使用者を認証するための認証情報を二次記憶装置３３に記憶させても良い。制御部３１は、二次記憶装置３３が記憶している電子メールアドレス、機器ＩＤ、認証情報等に基づいて、装置状態情報の送信の可否を判定し、送信可と判定した場合、装置状態情報の取得を要求する携帯通信装置６へ装置状態情報を送信するように構成してある。
また電子メールで装置状態情報を送信する際、該装置状態情報を暗号化して携帯通信装置６へ送信すると良い。
【００３２】
携帯通信装置６は、装置情報送信装置３から送信された装置状態情報を電子メールにて受信する。装置状態情報を受信した携帯通信装置６は、装置リスト表示画面を表示部に表示させることができる。
【００３３】
図５は、装置リスト表示画面例の模式図である。装置リスト表示画面には、例えば、監視対象の複数の半導体製造装置１の名称が含まれる。また、名称と共に、半導体製造装置１の種類等を表したアイコンを表示するように構成しても良い。更に、携帯通信装置６は、各半導体製造装置１に異常が発生している場合、異常が発生している旨を示す警告アイコンを表示する。
【００３４】
携帯通信装置６は、ある一つの半導体製造装置１の指定を操作部にて受け付けた場合、指定された半導体製造装置１のプロセス状態を表したプロセス状態表示画面を表示部に表示させる。
【００３５】
図６は、プロセス状態表示画面例の模式図である。プロセス状態表示画面には、指定された半導体製造装置１の名称、プロセス状態、実行中のプロセスレシピ名、被処理体の状態などが表示される。また、半導体製造装置１に異常が発生している場合、警告ボタンが表示される。
【００３６】
図６に示した警告ボタンが操作された場合、又は図５の警告アイコンが操作された場合、携帯通信装置６は、警告画面を表示部に表示する。
図７は、警告画面の一例を示した模式図である。警告画面には、半導体製造装置１の名称と、警告の概要を示した警告項目ボタンが表示される。警告項目ボタンが操作された場合、携帯通信装置６は、警告内容の詳細を表示した警告内容表示画面を表示部に表示させる。
【００３７】
図８は、警告内容の詳細を示した警告内容表示画面例の模式図である。警告内容表示画面には、半導体製造装置１で発生した問題の内容、原因、対処方法等が表示される。なお、問題の原因及び対処方法の情報は、装置情報送信装置３から装置状態情報を送信する際、該装置状態情報と共に送信するように構成すると良い。また、問題に対する典型的な原因及び対処方法が一意に定まるようなものである場合、原因及び対処方法を携帯通信装置６が予め記憶しておき、装置状態情報に含まれる情報に対応する原因及び対処方法を特定し、表示するようにしても良い。
【００３８】
図３に戻り、ステップＳ１４の処理を終えた場合、又はステップＳ１２において、装置状態情報の取得を要求するメールでは無いと判定した場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、制御部３１は、ステップＳ１１で受信したメールが、装置状態情報の通知条件の設定を要求する電子メールであるか否かを判定する（ステップＳ１５）。通知条件の設定を要求する電子メールであると判定した場合（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、制御部３１は、受信した電子メールに記述されている通知条件をＤＢ３３ａに記憶させる（ステップＳ１６）。通知条件は、半導体製造装置１がある状態になった場合に、半導体製造装置１の状態を示す情報を外部の携帯通信装置６へ送信すべきか否かを判定するための情報である。また、半導体製造装置１がある所定の第１状態から、所定の第２状態になった場合に、半導体製造装置１の状態を示す情報を、外部の携帯通信装置６へ送信すべきか否かを判定するための情報としても良い。つまり、半導体製造装置１の前後の状態の組み合わせを、通知条件としても良い。
【００３９】
図９は、プロセス状態毎に設定された通知条件及び選択形式の一例を示した図表である。左欄の項目は半導体製造装置１のプロセス状態の例が示されている。半導体製造装置１のプロセス状態を示す情報としては、実行中のメインレシピ名、実行中のサブレシピ名、終了予定時刻、プロセス開始時刻、プロセス残り時間、実行中のステップ、被処理体の投入が可能である状態、被処理体の払い出し待ち状態、アラーム発生状態などがある。中欄は各プロセス状態について通知条件を設定できる対象であるか否かを示す情報が設定されている。例えば、実行中メインレシピ名に丸印が設定されているため、実行されているプロセスのメインレシピ名が電子メール送信のトリガに設定することができることを示している。右欄は、通知条件の形式を示している。例えば、電子メールによる通知条件として、実行中のメインレシピ名を設定する場合、複数のメインレシピ名の中から特定のメインレシピ名を選択することになるため、「選択式」の形式が設定されている。また、電子メールによる通知条件として、プロセス残り時間を設定する場合、時間を数字で設定することになるため、「数値入力」の形式が設定されている。
【００４０】
図１０は、選択式の通知条件の設定画面例の模式図である。図１０に示すように、「選択式」の通知条件として、プロセス状態の変化を設定することができる。設定画面は、例えばメール通知のオン及びオフの選択を受け付けるボタンを含む。また、設定画面は、電子メールによる通知を都度行う第１モードと、電子メールによる通知を１回に限り行う第２モードとを選択するためのボタンを含む。更に、設定画面は、変化前のプロセス状態、変化後のプロセス状態を選択する選択ボックスを含む。更にまた、設定画面には、電子メールアドレスの送信先が表示され、設定ボタン及びキャンセルボタンが含まれている。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる状態変化の内容を入力し、設定ボタンを選択すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置３へ送信される。
【００４１】
図１１は、数値入力式の通知条件の設定画面例の模式図である。図１１に示すように、「数値入力」の通知条件として、例えば、プロセス残り時間の数値を設定することができる。設定画面は、図１０と同様、メール通知のオン及びオフの選択を受け付けるボタン、電子メールによる通知を繰り返し行うかどうかを選択するボタン、電子メールアドレスの送信先、設定ボタン及びキャンセルボタン等が含まれている。更に、設定画面は、閾値を入力するためのスライドバー、電子メールの通知条件として、閾値を下回った場合、閾値と同値になった場合、閾値を越えた場合などの条件を設定するための選択ボックスを含む。
使用者は、携帯通信端末の操作部を操作し、メール通知のオンオフ、電子メールによる通知を繰り返し行うか否かの設定、通知の条件となる数値等を入力し、設定ボタンを選択又は押下すると、入力され通知条件が電子メールにて、装置情報送信装置３へ送信される。
【００４２】
図３に戻り、ステップＳ１６の処理を終えた場合、又はステップＳ１５において通知条件の設定を要求する電子メールでは無いと判定した場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、制御部３１は、ＤＢ２１の内容を監視する所定のタイミングであるか否かを判定する（ステップＳ１７）。
【００４３】
前記所定の監視タイミングで無いと判定した場合（ステップＳ１７：ＮＯ）、制御部３１は、処理をステップＳ１１へ戻す。前記所定のタイミングであると判定した場合（ステップＳ１７：ＹＥＳ）、制御部３１は、ＤＢ２１が記憶する装置状態情報を取得し（ステップＳ１８）、取得した装置状態情報をＤＢ３３ａに記憶させることによって、ＤＢ３３ａが記憶する装置状態情報を最新の情報に更新する（ステップＳ１９）。
【００４４】
ステップＳ１９の処理を終えた制御部３１は、ＤＢ３３ａが記憶している装置状態情報と、通知条件とを読み出し（ステップＳ２０）、装置状態情報が通知条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ２１）。通知条件を満たさないと判定した場合（ステップＳ２１：ＮＯ）、制御部３１は、処理をステップＳ１１へ戻す。通知条件を満たすと判定した場合（ステップＳ２１：ＹＥＳ）、制御部３１は、メール送信プロトコルに従って通知条件を満たした装置状態情報又は通知条件を満たした旨を示す所定情報を携帯通信装置６へ送信する（ステップＳ２２）。具体的には、メール送信部３５は、ＳＭＴＰなどの所定のメール送信プロトコルに従って、メール送信サーバ４にアクセスし、装置状態情報などの情報のメール送信を依頼し、メール送信サーバ４から携帯通信装置６へ装置状態情報を電子メールにて送信する。
【００４５】
ステップＳ２２の処理で送信された装置状態情報又は所定情報を受信した携帯通信装置６は、半導体製造装置１が通知条件を満たした旨を表示する。また、図５に示した装置リストを表示し、半導体製造装置１の状態を表示するように構成しても良い。
【００４６】
次いで、制御部３１は、ステップＳ２２で送信した装置状態情報が通知条件を満たすと判定した該通知条件に対応付けられた送信態様が第１モード、即ち「繰り返し」送信であるか否かを判定する（ステップＳ２３）。送信態様が「繰り返し」で無いと判定した場合（ステップＳ２３：ＮＯ）、制御部３１は、前記通知条件を無効にし（ステップＳ２４）、処理を終える。送信態様が「繰り返し」であると判定した場合（ステップＳ２３：ＹＥＳ）、制御部３１は、通信条件に変更を加えること無く、処理を終える。つまり、二次記憶装置３３は、通知条件に対応付けられた送信態様が第１モードの「繰り返し」である場合、該通知条件を保持するため、再び装置状態情報が通知条件を満たした場合、その都度、装置状態情報が携帯通信装置６へ送信される。
【００４７】
このように構成された装置情報送信システムによれば、電子メールを利用して、半導体製造装置１の装置状態などを示した情報を送受信することができ、半導体工場の構外から半導体製造装置１の遠隔監視を行うことができる。
新規の長時間プロセス立ち上げ時などで、半導体製造装置１近傍で作業担当者が張り付いて監視する時間を減少させ、作業担当者のリソースを有効に活用することができる。
半導体製造装置１における顧客担当エリアが広域なメンテナンス担当者、フィールドエンジニアなど、すぐに現地に赴くことができない場合であっても、半導体製造装置１の問題に対して速やかに対応することが可能になる。
【００４８】
また、通知条件を設定する際、送信態様として、通知条件を満たす都度、通知を行う第１モードと、通知条件を満たした場合に１回に限り通知を行う第２モードとを選択し、設定できる構成であるため、送信回数を限定することができ、不要な情報が外部へ送信されることを避けることができる。また、不要な送信条件を解除する手間を省くことができるため便宜である。
【００４９】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものでは無いと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味では無く、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５０】
１  半導体製造装置
２  群管理装置
３  装置情報送信装置
４  メール送信サーバ
５  メール受信サーバ
６  携帯通信装置
２１  ＤＢ
３１  制御部
３２  一次記憶装置
３３  二次記憶装置
３３ａ  ＤＢ
３４  データベース更新部
３５  メール送信部
３６  メール受信部
【図１】
2013201378.tif 000003
【図２】
2013201378.tif 000004
【図３】
2013201378.tif 000005
【図４】
2013201378.tif 000006
【図５】
2013201378.tif 000007
【図６】
2013201378.tif 000008
【図７】
2013201378.tif 000009
【図８】
2013201378.tif 000010
【図９】
2013201378.tif 000011
【図１０】
2013201378.tif 000012
【図１１】
2013201378.tif 000013