(57)【要約】【課題】フィルムが撓んだ場合でも、弁体を安定して開閉することができる液体導入ユニット、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体流路３８と、その一面がフィルム３９により封止された圧力室４０と、該圧力室４０と液体流路３８との連通部４１を開成又は閉成する弁体４２と、該弁体４２に対向する受圧部材４３と、を備え、受圧部材４３は、軸受部６５に回動可能に保持される軸部４３ａと、弁体４２を押圧する受圧部４３ｂと、該受圧部４３ｂと軸部４３ａとを接続する接続部４３ｃと、を有し、軸受部６５は軸部４３ａの移動を規制する壁部を有し、該壁部はフィルム３９が止着される先端部を有し、該壁部のうち、接続部４３ｃに対応する部分には切欠部６５ｄを有し、受圧部材４３はフィルム３９と対向する側の面を、受圧部のフィルム３９と対向する側の面よりも当該フィルム３９とは反対側に後退させた逃げ部４３ｄを有する。【選択図】図９
2013022810.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側から下流側に向けて液体を流通させる液体流路と、該液体流路の一部に設けられ、その一面がフィルムにより封止された圧力室と、該圧力室と上流側の液体流路との連通部に設けられ、該連通部を開成又は閉成する弁体と、該弁体と前記フィルムとの間において該弁体に対向する位置に回動可能に設けられた受圧部材と、を液体導入ユニット本体に備え、
前記受圧部材は、前記フィルムより内側において前記液体導入ユニット本体の軸受部に回動可能に保持される軸部と、前記弁体を押圧する受圧部と、該受圧部と前記軸部とを接続し、該軸部の全長より幅狭な接続部と、を有し、
前記圧力室の内圧の変化に応じて前記フィルムが変位することにより、前記受圧部材が前記弁体を変位させることで、前記連通部を開閉する液体導入ユニットであって、
前記軸受部は、該軸受部を区画して前記軸部の移動を規制する壁部を有し、
該壁部は、前記フィルムが止着される先端部を有し、
該壁部のうち、少なくとも前記受圧部材の接続部に対応する部分には、前記先端部の面とは反対側に向けて切り欠いた切欠部を有し、
前記受圧部材は、少なくとも前記切欠部内に収容された前記接続部の前記フィルムと対向する側の面を、前記受圧部の前記フィルムと対向する側の面よりも当該フィルムとは反対側に後退させた逃げ部を有することを特徴とする液体導入ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の液体導入ユニットと、
該液体導入ユニットの前記液体流路の下流側と連通するヘッド流路と、該ヘッド流路に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に開口するノズルと、を備え、該ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドユニットを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路内の内圧に基づき流路を開閉する弁体を備えた液体導入ユニット、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドユニットとしては、圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として噴射（吐出）させる液体噴射ヘッドと、液体供給源からの液体を液体噴射ヘッドに送る流路が形成された液体導入ユニットと、が組み合わされたものがある。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００４】
また、液体導入ユニットは、その内部の流路の一部を封止するフィルムと、該フィルムの内面に一部が固着される弁体（自己封止弁ともいう）と、を液体導入ユニットの本体に備えたものがある。この液体導入ユニットは、記録ヘッドのノズルから液滴が噴射されることにより流路内の内圧が減少すると、フィルムが弁体を押圧して開く方向に撓み、これにより弁体が開かれて、液体供給源からの液体を液体導入ユニットの流路を介して記録ヘッド側に供給する。一方、液体供給源からの液体が導入されて流路の内圧が上昇すると、フィルムが弁体から離隔する方向に撓み、これにより弁体が閉じて、記録ヘッド側への液体の供給が阻止される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２３０１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記した液体導入ユニットでは、フィルムを液体導入ユニットの本体に止着する際、又は弁体の一部をフィルムに固着する際に、製造誤差等によりフィルムが撓む虞があった。また、止着後においても気温や湿度の変化等により、フィルムが膨張あるいは収縮して撓む虞があった。フィルムが撓むと、弁体の周囲のフィルムに皺が発生し、皺の寄り具合によってはフィルムに固定された弁体の姿勢が変化したり、フィルムが弁体を押圧する力に偏りが生じたりする。このため、安定して弁体を開閉することができず、記録ヘッド側に送る液体の流量がばらつき、ひいては記録ヘッドから吐出する液滴量のばらつきの原因となる問題があった。
【０００７】
このような不具合を防止すべく、弁体とフィルムとの間において一端を回動可能にした板状の受圧板をフィルムに固着させずに弁体に対向させ、この受圧板を介して弁体を押圧するように構成したものが開発されつつある。例えば、図１０（ａ）に示す液体導入ユニット８０では、一面がフィルム８１により区画される圧力室８２内において、該圧力室８２と液体流路８３との連通部８４を開閉する弁体８５に対向させて受圧板８６を設けている。弁体８５は、液体流路８３内に備えられ、バネ８８により液体流路８３側から連通部８４側へ付勢されている。また、受圧板８６は、回動軸となる軸部８６ａを上端部に有し、該軸部８６ａが液体導入ユニット本体の軸受部８７に保持されている。この軸受部８７は、軸部８６ａの移動を規制する上側壁部８７ａおよび下側壁部８７ｂから成る断面凹状に形成され、その内側が受圧板８６の軸部８６ａの直径よりも僅かに大きく形成されている。また、下側壁部８７ｂには、受圧板８６の一部と対応する部分に受圧板８６の回動を許容する切欠部（図示せず）を有している。そして、上側壁部８７ａおよび下側壁部８７ｂの先端面にフィルム８１を固着することで、切欠部および軸受部８７の開口部をフィルム８１により封止し、受圧板８６の軸部８６ａの移動を規制している。これにより、圧力室８２の内圧の変化に応じてフィルム８１が内側に変位すると、フィルム８１に押圧された受圧板８６が軸部８６ａの回動中心Ｓを軸に回動して弁体８５を押圧する（図１０（ｂ）参照）。押圧された弁体８５は、バネ８８の付勢力に抗して連通部８４とは反対側に移動して開状態となる。そして、受圧板８６はフィルム８１に固着されていないため、たとえフィルム８１が撓んだとしても、フィルム８１の撓みの影響を受けることなく受圧板８６の姿勢を維持することができ、弁体８５の開閉の安定化を図ることができる。
【０００８】
しかしながら、図１０（ｃ）に示すように、軸受部８７を封止する部分のフィルム８１が外側に撓んだ場合、受圧板８６の軸部８６ａのフィルム８１側への移動が許容され、この軸部８６ａが前後にぶれる虞がある。受圧板８６の軸部８６ａが前後にぶれると、回動中心の位置が変わる虞がある。即ち、受圧板８６の軸部８６ａがフィルム８１側へ移動した場合、軸部８６ａより受圧板８６の先端寄り部分が、切欠部の開口部に張られたフィルム８１に当接し、この当接部分を回動中心Ｓ′として受圧板８６が回動する虞がある。特に、弁体８５が開状態から閉状態に変化する際、即ち、圧力室８２内の圧力の上昇に伴ってフィルム８１の押圧力が弱まり、弁体８５がバネ８８の付勢力により受圧板８６をフィルム８１側へ押圧する際において、軸部８６ａもフィルム８１側へ押圧されるため、受圧板８６の回動中心の位置が変化し易くなる。このように回動中心の位置が変化すると、力のモーメントが変化して受圧板８６を回動させる力が変化する。その結果、弁体８５の開閉にかかる力が変化して、弁体８５の開閉が不安定になる虞がある。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルムが撓んだ場合でも、弁体を安定して開閉することができる液体導入ユニット、液体噴射ヘッドユニット、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体導入ユニットは、上記目的を達成するために提案されたものであり、上流側から下流側に向けて液体を流通させる液体流路と、該液体流路の一部に設けられ、その一面がフィルムにより封止された圧力室と、該圧力室と上流側の液体流路との連通部に設けられ、該連通部を開成又は閉成する弁体と、該弁体と前記フィルムとの間において該弁体に対向する位置に回動可能に設けられた受圧部材と、を液体導入ユニット本体に備え、
前記受圧部材は、前記フィルムより内側において前記液体導入ユニット本体の軸受部に回動可能に保持される軸部と、前記弁体を押圧する受圧部と、該受圧部と前記軸部とを接続し、該軸部の全長より幅狭な接続部と、を有し、
前記圧力室の内圧の変化に応じて前記フィルムが変位することにより、前記受圧部材が前記弁体を変位させることで、前記連通部を開閉する液体導入ユニットであって、
前記軸受部は、該軸受部を区画して前記軸部の移動を規制する壁部を有し、
該壁部は、前記フィルムが止着される先端部を有し、
該壁部のうち、少なくとも前記受圧部材の接続部に対応する部分には、前記先端部の面とは反対側に向けて切り欠いた切欠部を有し、
前記受圧部材は、少なくとも前記切欠部内に収容された前記接続部の前記フィルムと対向する側の面を、前記受圧部の前記フィルムと対向する側の面よりも当該フィルムとは反対側に後退させた逃げ部を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の液体導入ユニットによれば、フィルムが撓んで受圧部材の軸部がフィルム方向にぶれた場合でも、受圧部材と切欠部の開口部に張られたフィルムとが当接することを逃げ部によって防止できるので、回動中心の位置が軸部から変化することを防止できる。これにより、力のモーメントが変化することによる受圧部材を回動させる力の変化を防止でき、連通部を安定して開閉することができる。
【００１２】
また、本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上記構成の液体導入ユニットと、
該液体導入ユニットの前記液体流路の下流側と連通するヘッド流路と、該ヘッド流路に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に開口するノズルと、を備え、該ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドと、
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドユニットによれば、液体導入ユニットの連通部を安定して開閉することができるため、圧力発生室に液体を安定して供給することができ、ノズルから吐出する液滴量のばらつきを抑制することができる。
【００１４】
そして、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体噴射装置を備えたことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドユニットの正面図である。
【図３】記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】液体導入ユニットの斜視図である。
【図５】（ａ）液体導入ユニットの平面図、（ｂ）図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】受圧板の正面図である。
【図７】図６におけるＢ−Ｂ断面の要部拡大図である。
【図８】フィルムが撓んでいない状態における連通部の開閉を説明する図であり、（ａ）閉状態を表す要部断面図、（ｂ）開状態を表す要部断面図である。
【図９】フィルムが撓んだ状態における連通部の開閉を説明する図であり、（ａ）閉状態を表す要部断面図、（ｂ）開状態を表す要部断面図である。
【図１０】液体導入ユニットを説明する図であり、（ａ）フィルムが撓んでいない状態における弁体の閉状態を表す要部断面図、（ｂ）フィルムが撓んでいない状態における弁体の開状態を表す要部断面図、（ｃ）フィルムが撓んだ状態における弁体の開状態を表す要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置１（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００１７】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、液体噴射ヘッドユニットの一種である記録ヘッドユニット２が取り付けられると共に、液体供給源の一種であるインクカートリッジ３が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録動作時の記録ヘッドユニット２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６（記録媒体および着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７と、主走査方向に直交する副走査方向に記録紙６を搬送する搬送機構８と、を備えている。なお、プリンター１としては、インクカートリッジ３がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ３から供給チューブを通じて後述する液体導入ユニット１３に液体が供給される所謂オフキャリッジタイプの構成を採用することも可能である。
【００１８】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ４の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー（図示せず）によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス（位置情報の一種）をプリンター１の制御部に送信している。
【００１９】
また、キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ４の走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド１４のノズル形成面（ノズルプレート２５：図３参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能になる。
【００２０】
キャリッジ４に取り付けられる記録ヘッドユニット２は、図２に示すように、インクカートリッジ３からのインク（後述するノズル３１から吐出される液体の一種）を内部に導入する液体導入ユニット１３と、該液体導入ユニット１３の下部（下流側）に接続され、インクを記録紙６に向けて吐出する記録ヘッド１４（液体噴射ヘッドの一種）と、を備えている。そして、インクカートリッジ３に貯留されたインクは、液体導入ユニット１３を介して記録ヘッド１４に供給される。
【００２１】
記録ヘッド１４は、図３に示すように、ヘッドケース１５、振動子ユニット１６、及び流路ユニット１７から構成されている。ヘッドケース１５は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット１７を固定し、ケース内部に形成された収容空部１８内には振動子ユニット１６を収容している。また、ヘッドケース１５の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路１９が形成されている。このケース流路１９は、液体導入ユニット１３側からのインクを後述するリザーバー２７に供給するための流路であり、１つのリザーバー２７に対して２本ずつ設けられている。本実施形態における記録ヘッド１４は、後述するように２条のノズル列（ノズル群）に対応して２つのリザーバー２７を有しており、合計４本のケース流路１９がヘッドケース１５内部に形成されている。なお、本実施形態の記録ヘッド１４は、ノズル列方向に対して左右対称であるため、図３において一側を省略している。
【００２２】
振動子ユニット１６は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子２０と、この圧電振動子２０に駆動基板からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル２１（配線部材）と、圧電振動子２０の一側端部を固定する固定板２２と、から構成される。圧電振動子２０の固定板２２に固定されない自由端部の先端面は、後述する島部３６（振動板２６）に接合されている。そして、この圧電振動子２０は、駆動信号の印加により伸縮して圧力発生室２９の容積を膨張又は収縮することで、圧力発生室２９内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル３１からインクを噴射させることができる。
【００２３】
流路ユニット１７は、流路形成基板２４の一方の面にノズルプレート２５を、流路形成基板２４の他方の面に振動板２６をそれぞれ接合して構成されている。この流路ユニット１７には、ケース流路１９と連通するリザーバー２７（共通液室）と、流路幅の狭い狭窄部として形成されるインク供給口２８と、インク供給口２８を介してリザーバー２７と連通する圧力発生室２９と、圧力発生室２９に連通（開口）したノズル３１とが設けられている。リザーバー２７は、ノズル列を挟んで２列形成されており、各リザーバー２７には２本のケース流路１９の下端がそれぞれ連通している。また、インク供給口２８から圧力発生室２９を経てノズル３１に至る一連のインク流路が、各ノズル３１に対応して複数列状に形成されている。なお、ヘッドケース１５のケース流路１９、リザーバー２７、及びインク供給口２８からなる一連の流路が本発明のヘッド流路に相当する。
【００２４】
上記ノズルプレート２５は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル３１が列状に穿設されたステンレス等の金属製の薄いプレートである。本実施形態のノズルプレート２５には、ノズル３１を列設したノズル列が２条設けられており、１つのノズル列は、例えば１８０個のノズル３１によって構成される。
【００２５】
上記振動板２６は、支持板３２の表面に弾性体膜３３を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板３２とし、この支持板３２の表面に樹脂フィルムを弾性体膜３３としてラミネートした複合板材を用いて振動板２６を作製している。この振動板２６には、圧力発生室２９の容積を変化させるダイヤフラム部３４が設けられている。また、この振動板２６には、リザーバー２７の一部を封止するコンプライアンス部３５が設けられている。
【００２６】
上記のダイヤフラム部３４は、エッチング加工等によって圧力発生室２９に対向する領域の支持板３２を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部３４は、圧電振動子２０の自由端部（固定板２２に固定される側とは反対側の端部）の先端面が接合される島部３６と、この島部３６を囲む薄肉弾性部とからなる。上記のコンプライアンス部３５は、リザーバー２７の開口面に対向する領域の支持板３２を、ダイヤフラム部３４と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製され、リザーバー２７に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。
【００２７】
そして、上記の島部３６には圧電振動子２０の先端面が接合されているので、この圧電振動子２０の自由端部を伸縮させることで圧力発生室２９の容積を変動させることができる。この容積変動に伴って圧力発生室２９内のインクに圧力変動が生じる。そして、記録ヘッド１４は、この圧力変動を利用してノズル３１からインク滴を吐出する。
【００２８】
次に、液体導入ユニット１３について説明する。図４は液体導入ユニット１３の斜視図、図５（ａ）は液体導入ユニット１３の平面図、図５（ｂ）は図２におけるＡ−Ａ断面図である。
液体導入ユニット１３は、上流側（インクカートリッジ３側）から下流側（記録ヘッド１４側）にインクを供給するインク導入路３８（本発明における液体流路に相当）と、インク導入路３８の一部に設けられ、その一面（開口面）がフィルム３９により封止された圧力室４０と、を液体導入ユニット本体４４に備えている。また、圧力室４０と上流側のインク導入路３８とを連通する貫通孔４１（本発明における連通部に相当）には、該貫通孔４１を開成又は閉成する弁体４２を備えている。さらに、圧力室４０内において弁体４２とフィルム３９との間には、弁体４２に対向する位置に回動可能に設けられた受圧板４３（本発明における受圧部材に相当）を備えている。
【００２９】
具体的に説明すると、液体導入ユニット本体４４は、合成樹脂等によってノズル列方向に長い直方体状に成型されており、本実施形態では、熱可塑性樹脂（例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）等）を用いて作製されている。また、液体導入ユニット本体４４には、長手方向の両端にフランジ部４６が形成され、このフランジ部４６には止着孔４７が開設されている。この止着孔４７は、液体導入ユニット１３をヘッドケース１５の上面にノズルプレート２５に対して起立した姿勢で重ねた状態において、ヘッドケース１５の上面（ノズルプレート２５とは反対側の面）に開口したネジ孔（図示せず）と対応しており、ネジ孔を通じて止着孔４７にネジ等を止着（螺合）することができる。これにより、液体導入ユニット１３を、記録ヘッド１４に固定することができる。
【００３０】
液体導入ユニット本体４４の上面には、長手方向の両側にインク導入孔４９がそれぞれ形成されている。このインク導入孔４９は、インクカートリッジ３からのインクが導入される部分である。また、液体導入ユニット本体４４の下面には、長手方向の両側に記録ヘッド１４のケース流路１９の上端と接続される接続孔５０が、各ケース流路１９に対応して一対ずつ合計４つ形成されている。この接続孔５０とインク導入孔４９との間、即ち、液体導入ユニット本体４４に、両孔を繋ぐ一連のインク導入路３８が形成される。さらに、液体導入ユニット本体４４のノズル列方向に沿った両側面には、可撓性を有する透明な薄手のフィルム３９がそれぞれ貼着されている。このフィルム３９は、後述するように、区画部６０、第１軸受壁６５ａおよび第２軸受壁６５ｂの先端面に一体成型されたダイレクタ６８に熱溶着等によって接合される。そして、このフィルム３９により封止されることで、インク導入路３８の一部が液体導入ユニット本体４４の両側面に区画形成される。
【００３１】
本実施形態のインク導入路３８は、インク導入孔４９、上流側連通路５２、第１フィルター室５３、内部流路５４、貫通孔４１、圧力室４０、下流側連通路５６、主流路５７、第２フィルター室５８、及び接続孔５０から構成される。また、インク導入路３８は、２つのインク導入孔４９に対応して互いに別個独立した状態で液体導入ユニット本体４４に２つ形成されている。なお、この２つのインク導入路３８は液体導入ユニット１３の平面視において中心対称に配置されているため、以下では一のインク導入路３８について説明し、他のインク導入路３８については説明を省略する。また、図５（ｂ）では一方の内部流路５４の一部を省略している。
【００３２】
上流側連通路５２は、図４に示すように、インク導入孔４９と第１フィルター室５３を連通する流路である。具体的には、上流側連通路５２はインク導入孔４９から液体導入ユニット本体４４の内部を下方（記録ヘッド１４側）に向けて伸びた後、液体導入ユニット本体４４の上下方向の中央部において外側（フィルム３９側）に向けて屈曲し、第１フィルター室５３に開口している。この第１フィルター室５３は、液体導入ユニット本体４４の側面から起立した区画部６０により周囲が区画され、この区画部６０の先端のダイレクタ６８（後述）に溶着されたフィルム３９によって封止されている。また、第１フィルター室５３の内側（フィルム３９とは反対側）には、通過するインクを濾過するための第１フィルター６１が面内に沿って取り付けられており、この第１フィルター６１を介して、第１フィルター室５３と内部流路５４とが連通している。
【００３３】
内部流路５４は、図５（ｂ）、図８等に示すように、液体導入ユニット本体４４の内部において、第１フィルター室５３側から圧力室４０側に向けて前後（液体導入ユニット本体４４の側面に対して垂直な方向）に形成された流路であり、その内側には、一端がバネ座６２に固定されたバネ６３（付勢部材の一種）と、このバネ６３の他端に固定された弁体４２と、を収容している。バネ座６２は、第１フィルター６１より内側において液体導入ユニット本体４４に固定され、その一部にインクの流通が可能な流通孔（図示せず）を形成している。
【００３４】
弁体４２は、バネ６３により圧力室４０側、より具体的には、圧力室４０の底面（開口面とは反対側の面）を構成する壁面側に付勢され、当該壁面に開設されて圧力室４０と内部流路５４とを連通する貫通孔４１を開閉する円板部４２ａと、この円板部４２ａから圧力室４０側に突出した弁体軸部４２ｂと、から構成されている。円板部４２ａは、図８（ａ）に示すように、バネ６３とは反対側の周囲に貫通孔４１の縁に当接するパッキン４２ｃが設けられ、この円板部４２ａのパッキン４２ｃが貫通孔４１の縁に当接している状態（閉状態）において貫通孔４１を密閉することができる。また、弁体軸部４２ｂは、貫通孔４１よりも小径に形成されるとともに貫通孔４１に挿入され、閉状態において先端が圧力室４０側に突出する。そして、後述する受圧板４３に弁体軸部４２ｂが押圧されて、バネ６３の付勢力に抗しながら弁体４２が圧力室４０から遠ざかる方向に移動すると、円板部４２ａのパッキン４２ｃが貫通孔４１の縁から離間する状態（開状態）に変換され、貫通孔４１（貫通孔４１と弁体軸部４２ｂの隙間）を介して内部流路５４と圧力室４０とが連通する。なお、貫通孔４１の開閉については、後で詳述する。
【００３５】
圧力室４０は、第１フィルター室５３とは反対側の側面において区画部６０により区画されるとともに、この区画部６０の先端のダイレクタ６８に溶着されたフィルム３９によって封止されており、その内部には、軸受部６５に回動可能に固定された受圧板４３が備えられている。詳しく説明すると、受圧板４３は、図６に示すように、上端部において回動軸となる軸部４３ａと、貫通孔４１と対向して、貫通孔４１から突出した弁体軸部４２ｂを押圧可能な円板状の受圧部４３ｂと、軸部４３ａと受圧部４３ｂとを接続する接続部４３ｃと、から構成されている。
【００３６】
接続部４３ｃは、軸部４３ａの全長より幅狭に形成されている。また、接続部４３ｃは、図７に示すように、少なくとも後述する切欠部６５ｄ内に収容される部分の前面（フィルム３９と対向する側の面）を、受圧部４３ｂの前面よりも当該フィルム３９とは反対側に後退させた逃げ部４３ｄを有している。具体的には、本実施形態の接続部４３ｃは、軸部４３ａの直径よりも厚さの薄い板状に形成され、後面（上記の前面とは反対側の面）が軸部４３ａに対して接平面となる状態でその一端部を軸部４３ａの中心に対して一方（図７においてフィルム３９側とは反対側）に偏らせた位置に接続し、他端部（図７において第２軸受壁６５ｂよりも下方の部分）を前方（フィルム３９側）に向けてクランク状に屈曲して受圧部４３ｂと接続している。そして、この屈曲した部分と軸部４３ａとにより挟まれた断面凹状の空間が逃げ部４３ｄに相当する。なお、逃げ部４３ｄの深さ（受圧部４３ｂの前面から逃げ部４３ｄに対応する接続部４３ｃの前面までの距離）は、フィルム３９が外側に撓んで軸部４３ａが前方へ移動したとしても、接続部４３ｃが切欠部６５ｄの開口部に張られたフィルム３９に当接しない程度の深さに設定される。また、本実施形態の受圧部４３ｂは、接続部４３ｃと同じ厚さに揃えられている。さらに、本実施形態の受圧板４３は、液体導入ユニット本体４４よりも可撓変形し難い樹脂等（例えば、ＰＯＭ（ポリアセタール）等）により形成されている。
【００３７】
軸受部６５は、液体導入ユニット本体４４に一体成型され、外側（前方）に向けて突出した第１軸受壁６５ａおよび第２軸受壁６５ｂ（本発明の壁部に相当）を上下に間隔を空けて一対備え、第１軸受壁６５ａと第２軸受壁６５ｂとに挟まれた液体導入ユニット本体４４の側面を他の側面より前方に向けて一段高くした軸受底部６５ｃを備えている。即ち、軸受部６５は、第１軸受壁６５ａ、第２軸受壁６５ｂ、及び軸受底部６５ｃにより区画されて、外側（フィルム３９側）に開口した断面凹状に形成されている。そして、第１軸受壁６５ａおよび第２軸受壁６５ｂの先端部（後述するダイレクタ６８）にフィルム３９を止着することで、軸受部６５および切欠部６５ｄ（後述）の開口部を封止している。これにより、フィルム３９と軸受部６５とにより囲まれた空間に、該空間の内法よりも僅かに小径な受圧板４３の軸部４３ａを回動可能に保持することができ、軸部４３ａの上下方向（ノズルプレート２５に対し垂直な方向）および前後方向（弁体４２の変位方向）への移動を規制することができる。
【００３８】
また、本実施形態の第１軸受壁６５ａは、受圧板４３の軸部４３ａの一側（図６における上側）において、液体導入ユニット本体４４の上下面に平行に形成されている。さらに、第２軸受壁６５ｂは、受圧板４３の軸部４３ａの他側（図６における下側）おいて、第１軸受壁６５ａに平行に形成されている。そして、この第２軸受壁６５ｂは、長手方向の略中央部の少なくとも受圧板４３の接続部４３ｃに対応する部分を、先端部の面とは反対側に向けて切り欠いた切欠部６５ｄを有している。この切欠部６５ｄの幅は、接続部４３ｃの幅より広く設定されるとともに、切欠部６５ｄの深さは、接続部４３ｃの厚さ（逃げ部４３ｄに対応する部分の前面から後面までの距離）よりも深く設定されている。これにより、受圧板４３の軸部４３ａが軸受部６５に嵌合した状態において、第２軸受壁６５ｂの切欠部６５ｄに受圧板４３の接続部４３ｃの一部（少なくとも逃げ部４３ｄに対応する部分）が収容可能になるとともに、受圧板４３が回動して弁体４２を開状態に変化させる際に受圧板４３の回動が阻害されることを防止している。また、第１軸受壁６５ａおよび第２軸受壁６５ｂの先端部には、可撓変形してフィルム３９の一部を止着（溶着）するためのダイレクタ６８が形成されている。本実施形態のダイレクタ６８は、フィルム３９を止着した状態において、第１軸受壁６５ａおよび第２軸受壁６５ｂの先端部よりも狭い断面幅となるように形成されている。なお、受圧板４３は、ダイレクタ６８およびフィルム３９に止着されていない。
【００３９】
圧力室４０の上部には、図４に示すように、液体導入ユニット本体４４の長手方向中央部に向けて延びた下流側連通路５６が連通している。この下流側連通路５６は、上下に間隔を空けて並行に延びた一対の区画部６０により区画され、フィルム３９により封止された面流路であり、圧力室４０とは反対側で主流路５７の上部と連通している。主流路５７は、下流側連通路５６と同様に区画部６０およびフィルム３９により区画された面流路であり、上方から下方に向けて次第に流路の幅を広げて形成し、下端で第２フィルター室５８と連通している。また、主流路５７の内側には、区画部６０よりも高さの低い棚部６９が、区画部６０の内側に沿って段差をつけて形成されている。このため、棚部６９のフィルム側の面と当該フィルム３９との間に深さが浅い流路が形成され、この流路内に気泡等が入ることが抑制されている。これにより、主流路５７内に気泡等が混入したとしても、少なくとも棚部６９とフィルム３９との間に形成された流路を介してインクを流通させることができ、その結果、主流路５７が塞がれることを防止できる。
【００４０】
第２フィルター室５８は、液体導入ユニット１３の下部において区画部６０およびフィルム３９により区画された長手方向に横長な面流路であり、フィルム３９とは反対側の底面に設けられた第２フィルター７０を介して、液体導入ユニット本体４４の下面に開口する接続孔５０に連通している。また、主流路５７から流入したインクが両側の接続孔５０に分配されるように、第２フィルター室５８の底部のうち主流路５７に対向する部分は、上方（主流路５７側）に向けて三角形状に隆起している。そして、接続孔５０に流入したインクは、記録ヘッド１４のケース流路１９に供給される。
【００４１】
このように液体導入ユニット１３は、インク導入孔４９から、上流側連通路５２、第１フィルター室５３、内部流路５４、貫通孔４１、圧力室４０、下流側連通路５６、主流路５７および第２フィルター室５８を介して接続孔５０に至る一連のインク導入路３８を形成している。そして、圧力室４０の内圧の変化に応じてフィルム３９が変位することにより、貫通孔４１を開閉させ、記録ヘッド１４側にインク送ることができる。なお、図５には、インク導入孔４９から、主流路５７に至るまでのインクの流れ（Ｆ１またはＦ２）を図示している。
【００４２】
次に、貫通孔４１の開閉について、図８に基づいて具体的に説明する。本実施形態のインク導入路３８のうち貫通孔４１よりも下流側は、流路内が十分にインクで満たされている場合、大気圧に対して僅かに負圧になるように設定されている。この場合、圧力室４０を封止するフィルム３９は、圧力室４０の開口面と同一面または僅かに圧力室４０の底面側（受圧板４３側）に位置する。この状態では、フィルム３９は、受圧板４３を押圧しない。このため、バネ６３の付勢力により弁体４２の円板部４２ａのパッキン４２ｃが貫通孔４１の縁に当接し、弁体４２の閉状態を維持する（図８（ａ）参照）。
【００４３】
次に、記録ヘッド１４がノズル３１からインクを吐出すると、リザーバー２７の圧力が低下し、これに伴って弁体４２よりも下流側のインク導入路３８の圧力が低下する。この圧力の低下により、圧力室４０を封止するフィルム３９が受圧板４３側に変位し、受圧板４３を弁体４２側に押圧する。これにより、受圧板４３が軸部４３ａの回動中心Ｓを中心として回動して弁体４２を押圧し、弁体４２がバネ６３の付勢力に抗しながら内側（第１フィルター６１側）に変位して貫通孔４１の縁から離隔して開状態となる。この開状態では、上流側から貫通孔４１を通じて下流側（内部流路５４から圧力室４０）へのインクの流入を許容する（図８（ｂ）参照）。
【００４４】
そして、上流側からのインクの流入により、下流側のインク導入路３８が再びインクで満たされると、圧力室４０の圧力が大気圧に近づき、フィルム３９が圧力室４０の底面から離隔する側に変位する。これに伴って、バネ６３の付勢力により弁体４２および受圧板４３がフィルム３９側に変位し、弁体４２が貫通孔４１の縁に密着して閉状態に戻る。
【００４５】
また、本発明の液体導入ユニット１３は、フィルム３９が撓んだ場合でも、貫通孔４１を安定して開閉することができる。フィルム３９の止着時における誤差等やフィルム３９の止着後における気温や湿度の変化等により、軸受部６５の開口部を封止するフィルム３９が外側に撓んだ場合、受圧板４３の軸部４３ａの前方への移動が許容される（図９（ａ）参照）。このとき、軸部４３ａが前後にぶれる虞がある。しかしながら、たとえ軸部４３ａが前方へ移動したとしても、接続部４３ｃに逃げ部４３ｄを有しているため、切欠部６５ｄの開口部に張られたフィルムと接続部４３ｃとが当接することが防止される。このため、軸部４３ａが前方へ移動した状態で、フィルム３９の変位により受圧板４３が回動した場合でも回動中心Ｓの位置が軸部４３ａから変化することが防止され、力のモーメントが変化することによる受圧板を回動させる力の変化を抑制することができる。その結果、受圧板４３の軸部４３ａの前後へのぶれに拘らず、安定して弁体４２を開状態に変化させることができる。
【００４６】
また、圧力室４０の圧力の上昇により、弁体４２が開状態から閉状態に変化する際にも、軸部４３ａが前後にぶれる虞がある（図９（ｂ）参照）。特に、この場合は圧力室４０の圧力が上昇するため、フィルム３９が外側に撓み易く、また、受圧板４３も弁体４２により前方に押圧されるため、軸部４３ａが前方へ移動し易い。しかしながら、この場合でも接続部４３ｃに逃げ部４３ｄを有しているため、切欠部６５ｄの開口部に張られたフィルムと接続部４３ｃとが当接することが防止され、回動中心Ｓの位置が軸部４３ａから変化することが防止される。これにより、力のモーメントが変化することによる受圧板４３を回動させる力の変化を抑制でき、安定して弁体４２を閉状態に変化させることができる。
【００４７】
このように、フィルム３９が撓んで受圧板４３の軸部４３ａがフィルム方向にぶれた場合でも、接続部４３ｃと切欠部６５ｄの開口部に張られたフィルムとが当接することを逃げ部４３ｄによって防止でき、回動中心Ｓの位置が軸部４３ａから変化することを防止できる。これにより、力のモーメントが変化することによる受圧板４３を回動させる力の変化を防止でき、貫通孔４１を安定して開閉することができる。その結果、圧力発生室２９に液体を安定して供給することができ、ノズル３１から吐出する液滴量のばらつきを抑制することができる。
【００４８】
また、本発明は、圧力発生手段を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射装置であれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからＲ（Ｒｅｄ）・Ｇ（Ｇｒｅｅｎ）・Ｂ（Ｂｌｕｅ）の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
【符号の説明】
【００４９】
１…プリンター，２…記録ヘッドユニット，１３…液体導入ユニット，１４…記録ヘッド，３８…インク導入路，３９…フィルム，４０…圧力室，４１…貫通孔，４２…弁体，４３…受圧板，４３ａ…軸部，４３ｂ…受圧部，４３ｃ…接続部，４３ｄ…逃げ部，４４…液体導入ユニット本体，５４…内部流路，６５…軸受部，６５ａ…第１軸受壁，６５ｂ…第２軸受壁，６５ｃ…軸受底部，６５ｄ…切欠部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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