(57)【要約】【課題】蛍光体のペーストに含まれる高硬度の酸化アルミニウムによりノズル孔形状の摩耗が進行し、蛍光体の塗布量が多くなって塗布不良が発生していた。【解決手段】板本体１と、板本体の両面に貫通する複数の吐出口４と、板本体の吐出側の面に形成されたダイヤモンドライクカーボン層２とを備える。ダイヤモンドライクカーボン層は、吐出口の内壁１０の、吐出側の内壁部分よりも内側に張り出して形成されている。蛍光体のペーストが吐出口の吐出側近傍の板本体に直接接触しないので、ノズル孔形状の摩耗が抑制される。【選択図】図２
2013186234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板本体と、
前記板本体の両面に貫通する、複数の吐出口と、
前記板本体の吐出側の面に形成されたダイヤモンドライクカーボン層とを備え、
前記ダイヤモンドライクカーボン層は、前記吐出口の内壁の、前記吐出側の内壁部分よりも内側に張り出して形成されている、蛍光体塗布ノズル板。
【請求項２】
前記ダイヤモンドライクカーボン層の前記吐出口における開口部の形状は、塗布対象物に対する相対的進行方向に長い長孔形状である、請求項１に記載の蛍光体塗布ノズル板。
【請求項３】
前記ダイヤモンドライクカーボン層の、前記内壁部分よりも内側に張り出している張り出し量は、前記進行方向を基準として、前記長孔の後ろ側の部分の方が前記長孔の左右両側の部分よりも大きい、請求項２に記載の蛍光体塗布ノズル板。
【請求項４】
前記複数の吐出口は、塗布対象物に対する相対的進行方向に直交する方向に配列されており、
前記配列された複数の吐出口のうち中央に位置する前記吐出口の近傍の、前記ダイヤモンドライクカーボン層の厚さは、前記配列された複数の吐出口のうち両端に位置する前記吐出口の近傍の、前記ダイヤモンドライクカーボン層の厚さよりも大きい、請求項１〜３のいずれかに記載の蛍光体塗布ノズル板。
【請求項５】
前記吐出口の、前記板本体の前記吐出側の開口は、前記板本体の前記吐出側とは反対側の開口よりも大きい、請求項１〜４のいずれかに記載の蛍光体塗布ノズル板。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の蛍光体塗布ノズル板と、
前記蛍光体塗布ノズル板の前記複数の吐出口に、蛍光体ペーストを供給するマニホールド部とを備えた蛍光体塗布ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルやＥＬディスプレイパネル、蛍光体を使用した照明などの製造に用いる、蛍光体ノズル板および蛍光体塗布ノズルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルは、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させることによりカラー表示を行っている。
【０００３】
従来の、ノズル板を使用してプラズマディスプレイパネルのパネル板に蛍光体を塗布する製造工程を説明する図を、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示す。
【０００４】
図１０（ａ）は、青色の蛍光体粉末を含んだペーストを塗布する開始時の拡大斜視図を示し、図１０（ｂ）は、そのペーストを塗布している途中の拡大斜視図を示している。
【０００５】
特許文献１および特許文献２などに見られるように、この製造工程では、図１０（ａ）に示すように、絶縁性の基板２０の上にストライプ状の隔壁２１を形成し、隔壁２１の間に蛍光体粉末を含むペーストを塗布することが行われている。
【０００６】
この蛍光体の塗布工程は、複数のノズル孔２２が４８０μｍの間隔で形成されたノズル板１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを使用した塗布装置によって、ＲＧＢの各色の蛍光体粉末を含むペーストが、単色ごとに塗布されている。
【０００７】
具体的には、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示すように、ストライプ状の隔壁２１と交差する方向にノズル板１Ｂを配置し、ノズル板１Ｂのノズル孔２２を介して青色用の蛍光体粉末を含むペーストＢを隔壁２１の間に噴射しながら、基板２０に対してノズル板１Ｂを隔壁２１の方向（Ｙ軸方向）に相対移動させてペーストＢｂを塗布する。
【０００８】
つぎに、同じく４８０μｍの間隔で形成された別のノズル板１Ｒ（図示せず）を使用して赤色用の蛍光体粉末を含むペーストを塗布する。さらに、同じく４８０μｍの間隔で形成された別のノズル板１Ｇ（図示せず）を使用して緑色用の蛍光体粉末を含むペーストを塗布する。
【０００９】
このようにノズル板１Ｒ、１Ｇ、１Ｂを使用することによって、隔壁２１の間に１６０μｍの間隔でＲＧＢの色用の蛍光体粉末を含むペーストが塗布された部品ができあがる。
【００１０】
使用後のノズル板１Ｒ、１Ｇ、１Ｂのノズル孔２２を、ノズル孔２２の出口側から観察すると、ノズル孔２２に摩耗が発生していることが分かる。このように摩耗したノズル板１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの使用を続けて上記の部品の製造を続けると、ノズル孔２２の大きさが大きくなってしまって蛍光体の塗布量が多くなって、遂には、塗布された蛍光体が隔壁２１を乗り越える塗布不良が発生する。
【００１１】
蛍光体粉末を含むペーストには、高硬度材である酸化アルミニウムが種々の薬品と共に含まれているため、ノズル母材にペーストが接触する部分では摩耗と腐食が相乗作用で急速に起こる。そのため、ノズル母材にはステンレス鋼材（ＳＵＳ４３０）などを使用している（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−１４４７９号公報
【特許文献２】特開平１１−３０９４０２号公報
【特許文献３】特開２００９−１５４１０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上記従来の構成では、ペーストの吐出時にノズル孔の形状の磨耗が進行するため、短期間でノズル板を交換しなければならなかった。
【００１４】
すなわち、ペーストの吐出時には、蛍光体を含むペーストをノズル孔の出口方向に加圧することでノズル孔内部をペーストが通過し、隔壁間のセル内に塗布されるが、このとき、高い硬度（Ｈｖ１８００〜２４００）を持つ酸化アルミニウムを含む、蛍光体のペーストがステンレス鋼などのノズル母材に直接接触することにより、ノズル孔形状の摩耗が進行してしまう。
【００１５】
本発明は、上記課題を考慮して、蛍光体のペースト塗布時のノズル母材の摩耗の進行を抑制した、従来よりも長寿命の蛍光体塗布ノズル板および蛍光体塗布ノズルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述した課題を解決するために、第１の本発明は、
板本体と、
前記板本体の両面に貫通する、複数の吐出口と、
前記板本体の吐出側の面に形成されたダイヤモンドライクカーボン層とを備え、
前記ダイヤモンドライクカーボン層は、前記吐出口の内壁の、前記吐出側の内壁部分よりも内側に張り出して形成されている、蛍光体塗布ノズル板である。
【００１７】
また、第２の本発明は、
前記ダイヤモンドライクカーボン層の前記吐出口における開口部の形状は、塗布対象物に対する相対的進行方向に長い長孔形状である、第１の本発明の蛍光体塗布ノズル板である。
【００１８】
また、第３の本発明は、
前記ダイヤモンドライクカーボン層の、前記内壁部分よりも内側に張り出している張り出し量は、前記進行方向を基準として、前記長孔の後ろ側の部分の方が前記長孔の左右両側の部分よりも大きい、第２の本発明の蛍光体塗布ノズル板である。
【００１９】
また、第４の本発明は、
前記複数の吐出口は、塗布対象物に対する相対的進行方向に直交する方向に配列されており、
前記配列された複数の吐出口のうち中央に位置する前記吐出口の近傍の、前記ダイヤモンドライクカーボン層の厚さは、前記配列された複数の吐出口のうち両端に位置する前記吐出口の近傍の、前記ダイヤモンドライクカーボン層の厚さよりも大きい、第１〜第３のいずれかの本発明の蛍光体塗布ノズル板である。
【００２０】
また、第５の本発明は、
前記吐出口の、前記板本体の前記吐出側の開口は、前記板本体の前記吐出側とは反対側の開口よりも大きい、第１〜第４のいずれかの本発明の蛍光体塗布ノズル板である。
【００２１】
また、第６の本発明は、
第１〜第５のいずれかの本発明の蛍光体塗布ノズル板と、
前記蛍光体塗布ノズル板の前記複数の吐出口に、蛍光体ペーストを供給するマニホールド部とを備えた蛍光体塗布ノズルである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明により、蛍光体のペースト塗布時のノズル母材の摩耗の進行を抑制した、従来よりも長寿命の蛍光体塗布ノズル板および蛍光体塗布ノズルを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１および実施の形態２における蛍光体塗布ノズルのＧ−Ｇ断面図、（ｂ）本発明の実施の形態１および実施の形態２における蛍光体塗布ノズルの模式底面図
【図２】本発明の実施の形態１における蛍光体塗布ノズル板の吐出口部分の断面図
【図３】本発明の実施の形態１のノズル板の吐出口における蛍光体ペーストに含有される酸化アルミニウムの動作を説明するための、吐出口の吐出側部分の断面拡大図
【図４】本発明の実施の形態１における蛍光体塗布ノズルの吐出口部分の、吐出側から見た平面図
【図５】本発明の実施の形態１における蛍光体塗布ノズルの塗布動作を説明する図
【図６】本発明の実施の形態２における蛍光体塗布ノズルの左右方向の全体に亘るＤＬＣ層の膜厚の変化を示した図
【図７】（ａ）本発明の実施の形態２における蛍光体塗布ノズル内の蛍光体ペーストＡの流れを説明する、正面から見た蛍光体塗布ノズルの模式断面図、（ｂ）本発明の実施の形態２における蛍光体塗布ノズルの模式底面図、（ｃ）本発明の実施の形態２における蛍光体塗布ノズルの左右方向の、各吐出口における圧力分布を示した図
【図８】比較例の蛍光体塗布ノズル板の吐出口部分の断面図
【図９】本発明の実施例の蛍光体塗布ノズルおよび比較例の蛍光体塗布ノズルの寿命を示す図
【図１０】（ａ）従来の、ノズル板を使用して青色の蛍光体粉末を含んだペーストを塗布する製造工程の塗布開始時を説明する拡大斜視図、（ｂ）従来の、ノズル板を使用して青色の蛍光体粉末を含んだペーストを塗布する製造工程の塗布途中を説明する拡大斜視図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の蛍光体塗布ノズルを具体的に説明した実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２５】
（実施の形態１）
図１（ｂ）に、本発明の実施の形態１における蛍光体塗布ノズルの模式底面図を示し、図１（ａ）に、図１（ｂ）のＧ−Ｇ断面図を示す。
【００２６】
複数の吐出口４が、ノズル板１に貫通して設けられており、吐出口４の周囲のノズル板１の表面に、ダイヤモンドライクカーボン層（以下ＤＬＣ層と記す）２が形成されている。ペースト供給板７に、蛍光体ペーストＡが供給されるペースト供給口６が設けられている。
【００２７】
ノズル板１とペースト供給板７間の空間により、マニホールド９とマニホールドゲート部８が形成され、マニホールド９、マニホールドゲート部８および吐出口４によって蛍光体ペーストＡの流路が形成されている。
【００２８】
吐出口４は、塗布対象物により異なるが、高精細プラズマディスプレイパネルの蛍光体塗布では１９２２個が、塗布対象物に対してノズル板１が進行する方向に直交する方向に１列に配列されている。
【００２９】
なお、ノズル板１が塗布対象物に対して相対的に移動しながら、塗布対象物に蛍光体ペーストＡを塗布していくが、塗布対象物に対してノズル板１が相対的に移動すればよい。すなわち、塗布対象物が移動してもよく、ノズル板１が移動してもよく、また両者が移動する構成であってもよい。本明細書では、ノズル板１が塗布対象物に対して相対的に進行する方向を、単に「ノズル板１の進行方向」として説明する。
【００３０】
なお、ノズル板１の母材部分が、本発明の板本体の一例にあたる。また、マニホールド９、マニホールドゲート部８および吐出口４によって形成される蛍光体ペーストＡの流路が、本発明のマニホールド部の一例にあたる。
【００３１】
図２は、本実施の形態１における蛍光体塗布ノズル板１の吐出口４部分の断面図である。
【００３２】
蛍光体ペーストＡには種々の薬品が用いられるため、ノズル板１は腐食の恐れがあるので、ノズル板１として、フェライト系ステンレス鋼やマルテンサイト系ステンレス鋼、析出硬化形ステンレス鋼を使用するのが良い。具体的にはＳＵＳ４３０、ＳＵＳ４２０、ＳＵＳ４４０Ｃ、ＳＵＳ６３０などを使用するのが良い。
【００３３】
ＤＬＣ層２は、ノズル板１の蛍光体ペーストＡの吐出側に形成されており、その表面硬度はＨｖ１００００程度である。
【００３４】
図２に示すように、ＤＬＣ層２の一部が吐出口４の内壁１０よりも内側に、すなわち、吐出口４の中心に向かって突出している。このＤＬＣ層２近傍の吐出口内壁１０の部分よりも内側に突出している部分をＤＬＣ層突出部３と呼ぶ。
【００３５】
ＤＬＣ層突出部３の、ノズル板１の吐出口４の内壁１０よりも内側に突出している突出量Ｅは、０．５μｍ以上、２．５μｍ以下が好ましい。ＤＬＣ層突出量Ｅが、０．５μｍ未満では、早期に磨耗してしまい、２．５μｍを超えるとＤＬＣ層突出部３が折損し寿命が短くなるからである。
【００３６】
なお、ＤＬＣ層２近傍の吐出口内壁１０の部分が、本発明の、吐出口の内壁の、吐出側の内壁部分の一例にあたる。また、ＤＬＣ層突出部３の吐出口内壁１０よりも内側に突出している突出量Ｅが、本発明の、内壁部分よりも内側に張り出している張り出し量の一例にあたる。
【００３７】
蛍光体ペーストＡは、図１（ａ）に示すペースト供給口６から供給され、マニホールド９およびマニホールドゲート部８を通過し、吐出口４から吐出される。そして、蛍光体ペーストＡは、図２に示すようにガラス基板隔壁５間の蛍光体セルＣ内へ塗布される。
【００３８】
図３に、蛍光体ペーストＡに含有される酸化アルミニウムの動作を説明するための、本実施の形態１におけるノズル板１の吐出口４の吐出側部分の断面拡大図を示す。図３は、吐出口４の中心よりも片側の部分のみを示している。
【００３９】
図３において、ノズル板１に貫通して形成された吐出口４の上部から蛍光体塗布時に加圧し、蛍光体ペーストＡを押し出すことで、前述の図２のように、蛍光体ペーストＡがガラス基板隔壁５間の蛍光体セルＣ内に塗布される。蛍光体ペーストＡには、高硬度材である粒径１μｍから３μｍ程度の酸化アルミニウムＢと種々の薬品と蛍光体が含有されている。
【００４０】
ＤＬＣ層２をノズル板１の吐出口４の内壁１０よりも、０．５μｍ以上、２．５μｍ以下の突出量Ｅで内側に張り出して突出させることで、図３に示すように、ＤＬＣ層突出部３により、吐出口４の下端部分に蛍光体ペーストＡによるペースト澱みＤが発生する。そのペースト澱みＤにより、吐出口４の吐出側近傍のノズル板１の母材に、蛍光体ペーストＡに含有される高硬度材である酸化アルミニウムＢが直接触れにくくなり、また、蛍光体ペーストＡの流れが緩やかになるので、酸化アルミニウムＢによる吐出口４への干渉が低減される。
【００４１】
蛍光体ペーストＡ内に含有される種々の薬品と酸化アルミニウムＢにより、ノズル板１の吐出口内壁１０は腐食と摩耗が相乗的に繰り返される。
【００４２】
特に端部となる部分から侵食が進行するが、本実施の形態１のノズル板１では、Ｈｖ１００００の硬度を持つ突出したＤＬＣ層突出部３により、蛍光体ペーストＡが吐出口内壁１０の下部に直接接触しないことと、ＤＬＣ層突出部３と吐出口内壁１０との段差により、前述したペースト澱みＤが発生し、蛍光体ペーストＡの流れが緩やかになることとで、ノズル板１の母材の摩耗が抑制される。
【００４３】
ＤＬＣ層突出部３と吐出口内壁１０との段差により、高硬度材である酸化アルミニウムＢが吐出口内壁１０の下部に直接干渉しないことから、母材の腐食と摩耗を抑制し、ノズル板１の長寿命化が図れる。
【００４４】
以下に、ＤＬＣ層突出部３と吐出口内壁１０との位置関係について、さらに詳細に説明する。
【００４５】
図４は、本実施の形態１のノズル板１の吐出側から見た吐出口４部分の平面図である。
【００４６】
ＤＬＣ層２はノズル板１の上に蒸着されており、ＤＬＣ層２がノズル板１の吐出口４の内壁１０よりも吐出口４の内側に向けて突出している。
【００４７】
ＤＬＣ層突出部３および吐出口４は、ノズルの進行方向に長い長孔となっている。図１に示すように、隣接する吐出口４は、長孔形状の長手方向が互いに平行となるように配置されている。
【００４８】
なお、図４において、周囲をＤＬＣ層突出部３によって囲まれる孔の部分が、本発明の、ダイヤモンドライクカーボン層の吐出口における開口部の一例にあたる。
【００４９】
ここでは、ＤＬＣ層突出部３のうち、ノズル進行方向の前側および後ろ側の部分を長径側ＤＬＣ層突出部３ａとし、ノズル進行方向の左右側の部分を短径側ＤＬＣ層突出部３ｂとする。
【００５０】
長径側ＤＬＣ層突出部３ａは１．５μｍ〜２．５μｍであり、短径側ＤＬＣ層突出部３ｂは０．５μｍ〜１．５μｍとなるよう形成されており、長径側ＤＬＣ層突出部３ａの突出量Ｅは短径側ＤＬＣ層突出部３ｂの突出量Ｅよりも大きい。
【００５１】
図５は、本実施の形態１の蛍光体塗布ノズルが進行方向に移動しながら蛍光体ペーストＡを押し出し、ガラス基板隔壁５間の蛍光体セルＣ内に蛍光体ペーストＡを塗布している動作を説明する図である。
【００５２】
図５は、蛍光体ペーストＡが、ガラス基板隔壁５間の蛍光体セルＣ内に塗布される状態を側面から表したものである。
【００５３】
ノズル板１の吐出口４から加圧された蛍光体ペーストＡが押し出され、ノズル板１が進行しながらガラス基板隔壁５間の蛍光体セルＣ内に塗布された蛍光体ペーストＡが引きずられ、吐出口４の下端部の角部Ｆで方向を大きく変えることから、角部Ｆで最も蛍光体ペーストＡの流れが速くなることを示している。
【００５４】
図４で示したように、短径側ＤＬＣ層突出部３ｂの突出量Ｅよりも長径側ＤＬＣ層突出部３ａの突出量Ｅを大きくすることで、蛍光体ペーストＡの移動速度が最も高くなる吐出口４の下端部の角部Ｆの摩耗を低減し、寿命により蛍光体塗布ノズルを交換する際の残りのＤＬＣ層突出量Ｅを、長孔開口部の全周に亘って同程度とすることができる。これにより、蛍光体塗布ノズルを交換する際の残りのＤＬＣ層２の量を低減することができる。
【００５５】
ノズル板１が塗布対象物に対して静止している状態で蛍光体ペーストＡを吐出した場合には、図４に示すような長孔では、長径方向両端部の半円形状の頂点部分に摩擦抵抗が集中するため、長径方向両端部の磨耗の進行が最も早くなると考えられる。そして、図５に示すようにノズル板１を塗布対象物に対して移動させた場合、ノズル板１の進行方向の後ろ側、すなわち角部Ｆ部分の、長孔の半円形上の頂点部分に加わる摩擦抵抗は、静止しているときよりも大きくなる。一方、ノズル板１の進行方向の前側の、長孔の半円形上の頂点部分に加わる摩擦抵抗は、静止しているときよりも小さくなる。
【００５６】
したがって、長孔形状の長手方向端部のうち、ノズル板１の塗布対象物に対する相対的進行方向を基準として後ろ側の部分、すなわち角部Ｆ部分の突出量Ｅを、より大きくするのが好ましい。
【００５７】
なお、ＤＬＣ層突出部３によって形成される開口部の長孔形状とは、図４に示すような、左右が直線形状で長手方向の両端が半円形状であるような形状でもよいし、楕円形状などであってもよい。
【００５８】
また、ＤＬＣ層突出部３によって形成される開口部を長孔ではなく丸孔としても、その開口部にＤＬＣ層突出部３が形成されていれば、ノズル板の長寿命化を図ることができる。また、ＤＬＣ層突出部３によって形成される開口部を丸孔とした場合には、ＤＬＣ層突出部３による突出量Ｅを、ノズルの進行方向に関わらず均一の突出量としてもよい。
【００５９】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における蛍光体塗布ノズルの底面図および断面図は、実施の形態１の蛍光体塗布ノズルと同様であり、図１（ｂ）および図１（ａ）に示す通りである。
【００６０】
図６は、本実施の形態２における蛍光体塗布ノズルを正面から見たときの、蛍光体塗布ノズルの全体に亘るＤＬＣ層２の膜厚の変化を示した図である。
【００６１】
図６は、吐出口４側が上になるように、すなわち蛍光体塗布ノズルの底面が上になるように記載している。
【００６２】
図６は、蛍光体塗布ノズルの底面側からのＤＬＣ層２の厚みの変化を表している。ノズル板１の左右長手方向の両端部には０．５μｍ〜1μｍ程度の厚みを持つＤＬＣ層２が形成され、左右長手方向の中央部には０．７μｍ〜２μｍ程度の厚みを持つＤＬＣ層２が形成されており、中央部のＤＬＣ層２の膜厚が左右両端部のＤＬＣ層２の膜厚より厚くなるように構成されている。
【００６３】
図７（ａ）〜図７（ｃ）に、本実施の形態２の蛍光体塗布ノズルの全体におけるペースト吐出時の圧力分布の相関を説明する図を示す。
【００６４】
図７（ａ）は、本実施の形態３の蛍光体塗布ノズル内の蛍光体ペーストＡの流れを説明する、正面から見た蛍光体塗布ノズルの模式断面図を示し、図７（ｂ）は、蛍光体塗布ノズルの模式底面図を示し、図７（ｃ）は、図７（ａ）および図７（ｂ）の吐出口４の位置に対応する、蛍光体塗布ノズルの左右方向の圧力分布を示している。
【００６５】
図７（ａ）に示すように、蛍光体ペーストＡは、ペースト供給口６を通り、マニホールド９で方向を変え、マニホールドゲート部８を乗り越えることにより、ある程度は各吐出口４に到達時の蛍光体ペーストＡの圧力を均一化することができ、さらに吐出圧力を受けることで吐出口４から吐出される。
【００６６】
図７（ｃ）より、このとき吐出口４にかかる圧力は、ペースト供給口６が長手方向中央に配置されている影響を受け、左右長手方向端部よりも左右長手方向中央部の吐出口４に吐出圧力がかかりやすいことを示している。
【００６７】
ペースト供給口６の配置位置の影響を受けて蛍光体塗布ノズルの左右長手方向中央部の吐出口４の圧力が高くなることにより、左右長手方向中央部の吐出口４の周囲のＤＬＣ層２の摩耗進行が、左右長手方向端部の吐出口４の周囲のＤＬＣ層２の摩耗進行よりも早くなることが予想される。図６に示すように、ノズル板１の左右長手方向端部のＤＬＣ層２の膜厚１５ｂよりも、左右長手方向中央部のＤＬＣ層２の膜厚１５ａを大きくすることで、吐出圧力が高い左右長手方向中央部のＤＬＣ層２部分の吐出圧力を受け止めると共に、左右長手方向端部に比べ、吐出圧力の高く流速が速くなる左右長手方向中央部のＤＬＣ層２の侵食の低減に有効である。
【００６８】
図７（ａ）で示したペースト供給口６から供給・加圧された蛍光体ペーストＡは、ノズル板１の左右長手方向端部に比べ、左右長手方向中央部にかかる流速および圧力が高くなるが、本実施の形態２では、ノズル板１の左右長手方向中央部のＤＬＣ層２の膜厚１５ａを左右長手方向端部のＤＬＣ層２の膜厚１５ｂよりも大きくしたことにより、左右長手方向中央部の蛍光体ペーストＡの侵食が進み摩耗バランスが崩れることを抑制でき、ノズル寿命の長寿命化が図れる。
【００６９】
（実施例）
実施例として、上記した本発明の実施の形態１および２を基に蛍光体塗布ノズルを製作し、比較例の蛍光体塗布ノズルとの比較を行った。どちらもノズル板はステンレス鋼を用い、吐出口は長孔とし、ＤＬＣ層を設けた。
【００７０】
実施例で用いた蛍光体塗布ノズルは、長径側ＤＬＣ層突出部３ａの平均値を１．６μｍ、短径側ＤＬＣ層突出部３ｂの平均値を０．５μｍとし、ノズル板１の左右長手方向中央部のＤＬＣ層２の膜厚１５ａを１．１μｍ、左右長手方向端部のＤＬＣ層２の膜厚１５ｂを０．９μｍとした。
【００７１】
図８は、比較例の蛍光体塗布ノズル板１１の吐出口１４部分の断面図である。
【００７２】
図８に示す比較例では、従来の穴加工方法により、ノズル板１１にドリルで孔を開けた後、ノズル板１１の吐出側の表面にＤＬＣ層１２を蒸着させて吐出口１４を形成した。
【００７３】
図８に示すように、ノズル板１１の吐出口１４の吐出側の端部には「ダレ」と呼ばれる曲面が形成されている。これは、ドリルで孔を開ける際に発生する「バリ」と呼称されている加工熱および塑性変形によって発生する母材が孔外部に突き出たものを除去するために磨きが行われた結果、形成される微小な曲面である。「ダレ」が形成されているため、ノズル板１１の吐出側の面にＤＬＣ層を蒸着すると、図８に示すように、ＤＬＣ層１２は、ノズル板１１の吐出口１４の内壁よりも内側に突出することなく形成される。
【００７４】
したがって、図８に示す比較例の蛍光体塗布ノズルでは、吐出口１４を通過する蛍光体ペーストＡに含有される酸化アルミニウムＢおよび種々の薬品が、吐出口１４の吐出側の端部に直接接触し続けることになる。
【００７５】
図４および図５で説明したように、ノズル進行方向に引きずられるペーストＡにより、特に吐出側開口部の長径側の角部Ｆの部分の摩耗が進行しやすい。
【００７６】
一方、実施例では、レーザー加工によりノズル板１に孔を開けた後、ノズル板１の吐出側の表面にＤＬＣ層２を蒸着させて吐出口４を形成した。この場合には、孔を開けた際に「バリ」は生じないため、研磨加工することなくＤＬＣ層２を蒸着して、ＤＬＣ層突出部３を形成させた。
【００７７】
図９に、本発明の実施の形態１および２の構成を有する実施例の蛍光体ノズルの寿命と、比較例の蛍光体塗布ノズルの寿命を示す。
【００７８】
図９において、蛍光体塗布ノズルのペースト吐出圧力を縦軸とし、横軸を蛍光体塗布の塗布回数（以下、ショット数と示す）とした。吐出圧力の下限を閾値とし、寿命とした。
【００７９】
蛍光体塗布を繰り返すと、前述した様々な理由により吐出口４が摩耗することで孔が拡大し、吐出圧力が低下していく。その吐出圧力が下限に達したとき、図２および図８に示したガラス基板隔壁５に吐出ペーストＡが干渉し、乗り上げ、塗布不良を起こす。
【００８０】
そこで、この吐出圧力の減衰を観測しながら、吐出圧力が下限に達したときのショット数を寿命として評価を行った。
【００８１】
一定吐出圧から下限吐出圧までの時間観測を行った結果、図９に示すように、比較例では３５０００ショットで寿命が尽きたのに比べ、本発明の蛍光体塗布ノズルでは、５２０００ショットとなり、比較例の約１．６倍の寿命となった。
【００８２】
このように、本発明の構成を用いることにより、実施の形態１および２で説明した作用および効果が発揮され、従来よりも長寿命化を図れることを確認できた。
【００８３】
なお、各実施の形態では、吐出口４の形状として、断面積が変化しないストレート形状の例を挙げたが、蛍光体ペーストＡの入口側の開口が広く吐出側の開口が狭くなっている形状としてもよい。このような形状とすることにより、蛍光体ペーストＡが吐出口４から吐出される際に、蛍光体ペーストＡが広がるのを抑制することができる。
【００８４】
なお、この場合の蛍光体ペーストＡの入口側の開口が、本発明の、板本体の吐出側とは反対側の開口の一例にあたる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明に係る蛍光体塗布ノズル板および蛍光体塗布ノズルは、蛍光体のペースト塗布時のノズル母材の摩耗の進行を抑制し従来よりも長寿命にできる効果を有し、プラズマディスプレイパネルの蛍光体や有機ＥＬや無機ＥＬなどの塗布用途として有用である。
【符号の説明】
【００８６】
１  ノズル板
２  ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層
３  ＤＬＣ層突出部
３ａ  長径側ＤＬＣ層突出部
３ｂ  短径側ＤＬＣ層突出部
４  吐出口
５  ガラス基板隔壁
６  ペースト供給口
７  ペースト供給板
８  マニホールドゲート部
９  マニホールド
１０  吐出口内壁
１５ａ  中央部ＤＬＣ層膜厚
１５ｂ  端部ＤＬＣ層膜厚
Ａ  蛍光体ペースト
Ｂ  酸化アルミニウム
Ｃ  蛍光体セル
Ｄ  ペースト澱み
Ｅ  ＤＬＣ層突出量
Ｆ  吐出口の下端部の角部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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