(57)【要約】【課題】高速の薄板状ワーク搬送を安定して行うことができ、薄板状ワークがより薄くなった場合であったとしても、薄板状ワークの反りによる影響を受けることなく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供する。【解決手段】ガラス基板Ｗの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット２と、ガラス基板Ｗの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラ３７と、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４を備え、ガラス基板Ｗの上面に向けて空気を噴出させて、ガラス基板Ｗを搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５を設けた。【選択図】図１
2013091541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて支持するエア浮上ユニットと、
前記薄板状ワークの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラと、
前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位を該搬送ローラ側に引き寄せる吸引手段を備えた薄板状ワーク搬送装置において、
前記薄板状ワークの上面に向けて空気を噴出させて、該薄板状ワークを前記搬送ローラに押し付けるエア押し付けユニットを設けた
ことを特徴とする薄板状ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記エア押し付けユニットは、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位の真裏にあたるワーク上面に向けて空気を噴出させて、該搬送ローラに押し付ける請求項１に記載の薄板状ワーク搬送装置。
【請求項３】
前記エア浮上ユニットは、圧力容器と、この圧力容器に空気を導入するファンと、前記圧力容器内で高圧となった空気が噴出するエア噴出し孔を具備している請求項１又は２に記載の薄板状ワーク搬送装置。
【請求項４】
薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて支持すると共に、ワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを前記薄板状ワークの下面に接触させて、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位を該搬送ローラ側に引き寄せつつ前記薄板状ワークを搬送するに際して、
前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位の真裏にあたるワーク上面に空気を噴出させて該搬送ローラ側に押し付ける
ことを特徴とする薄板状ワーク搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板状ワーク、例えば、液晶表示パネルの製造に用いられる厚みが０．３ｍｍ以下のガラス基板を搬送するのに好適な薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記したような薄板状ワークとしての厚みが０．３ｍｍ以下のガラス基板の表面には、回路パターン等の接触を嫌うデリケートな箇所が多数存在するため、ガラス基板の素材であるガラス板の出荷元から液晶表示パネルの製造現場に至るまでの多くの搬送時において、ガラス基板（ガラス板）の表面に触れないのは勿論のこと、洗浄の手間を省くうえでガラス基板（ガラス板）の全ての面をクリーンに保つことが求められている。
【０００３】
従来、このような厚みが０．３ｍｍ以下のガラス基板を搬送する場合には、特許文献１に開示されている薄板状ワーク搬送装置が用いられている。
この薄板状ワーク搬送装置は、表面を上に向けたガラス基板の裏面（下面）に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニットと、ガラス基板の裏面における指定部位に接触して搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを備えており、この薄板状ワーク搬送装置では、ガラス基板の搬送ローラとの接触部位を吸引してこの搬送ローラとの摩擦力を大きくすることで、ガラス基板に対して搬送ローラからの移動力が確実に伝わるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第4349101号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来の薄板状ワーク搬送装置において、ガラス基板の搬送ローラとの接触部位を吸引して搬送ローラとの摩擦力を大きくすることで、ガラス基板に移動力が確実に伝わるようにしているので、ガラス基板の安定した搬送を行うことができるものの、ガラス基板がより薄くなった場合には、反りによる浮き上がりによりガラス基板が搬送ローラから離間して、ガラス基板に対して搬送ローラが空回りしてしまう可能性があるという問題を有しており、この問題を解決することが従来の課題となっていた。
【０００６】
本発明は、上記した従来の課題に着目してなされたもので、これまでの速さと同等ないしより高速の薄板状ワークの搬送を安定して行うことができ、薄板状ワークがより薄くなった場合であったとしても、薄板状ワークの反りによる影響を受けることなく安定して搬送することが可能である薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に係る薄板状ワーク搬送装置は、例えば、厚みが０．３ｍｍ以下のガラス基板の搬送に用いるのに好適な搬送装置であって、薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて支持するエア浮上ユニットと、前記薄板状ワークの下面に接触してワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラと、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位を該搬送ローラ側に引き寄せる吸引手段を備えた薄板状ワーク搬送装置において、前記薄板状ワークの上面に向けて空気を噴出させて、該薄板状ワークを前記搬送ローラに押し付けるエア押し付けユニットを設けた構成としたことを特徴としており、この構成の薄板状ワーク搬送装置を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【０００８】
本発明の請求項２に係る薄板状ワーク搬送装置において、前記エア押し付けユニットは、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位の真裏にあたるワーク上面に向けて空気を噴出させて、該搬送ローラに押し付ける構成としており、本発明の請求項３に係る薄板状ワーク搬送装置において、前記エア浮上ユニットは、圧力容器と、この圧力容器に空気を導入するファンと、前記圧力容器内で高圧となった空気が噴出するエア噴出し孔を具備している構成としている。
【０００９】
一方、本発明の請求項４に係る薄板状ワーク搬送方法は、薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて支持すると共に、ワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラを前記薄板状ワークの下面に接触させて、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位を該搬送ローラ側に引き寄せつつ前記薄板状ワークを搬送するに際して、前記薄板状ワークの前記搬送ローラとの接触部位の真裏にあたるワーク上面に空気を噴出させて該搬送ローラ側に押し付ける構成としている。
【００１０】
本発明に係る薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法において、薄板状ワークにワーク搬送方向の移動力を付与する搬送ローラは、例えば、薄板状ワークの下面における中央部に接触するように配置したり、薄板状ワークの下面における両側縁部に接触するように搬送方向と交差する方向に並べて配置したりすることができ、搬送ローラのレイアウトや個数は、薄板状ワークの下面において接触が許容される指定部位の位置及び数に応じて適宜決定される。
【００１１】
そして、薄板状ワークを支持するための空気の吹き付けは、薄板状ワークを安定して支持し得る部位で且つ薄板状ワークと搬送ローラとの接触状態を阻害しない部位に対して行われる。
【００１２】
本発明に係る薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法では、例えば、薄板状ワークを次工程に搬送するに際して、まず、薄板状ワークの下面に空気を吹き付けて支持すると共に、搬送ローラを薄板状ワークの下面に接触させる。
次いで、薄板状ワークの搬送ローラとの接触部位を搬送ローラ側に引き寄せると共に、薄板状ワークの上面に向けて空気を噴出させて、薄板状ワークを搬送ローラに押し付けながら薄板状ワークを搬送する。
【００１３】
この薄板状ワークの搬送において、薄板状ワークの搬送ローラとの接触部位を搬送ローラ側に引き寄せる力（吸引力）及び薄板状ワークを搬送ローラに押し付ける力（押圧力）の二つの同一方向の力が、薄板状ワークと搬送ローラとの間に働くので、従来と比べて押圧力が増える分だけ両者間により大きな摩擦力が生じることとなり、その結果、これまでの速さと同等ないしより高速の安定した薄板状ワークの搬送が成されることとなり、加えて、薄板状ワークがより薄くなった場合であったとしても、薄板状ワークの反りによる影響を受けない搬送を行い得ることとなる。
【００１４】
また、この薄板状ワークの搬送において、薄板状ワークの搬送ローラとの接触部位の真裏にあたるワーク上面に向けて空気を噴出させて搬送ローラに押し付けるように成せば、薄板状ワークと搬送ローラとの間により大きな摩擦力が生じることとなって、搬送ローラからより大きな移動力を薄板状ワークに付与し得ることとなり、その結果、薄板状ワークのより高速な搬送が図られることとなる。
【００１５】
さらに、薄板状ワークの下面に空気を吹き付けるエア浮上ユニットとして、圧力容器と、この圧力容器に空気を導入するファンと、圧力容器内で高圧となった空気が噴出するエア噴出し孔を具備した構造のエア浮上ユニットを採用し、このエア浮上ユニットの構造を薄板状ワークの上面に向けて空気を噴出させるエア押し付けユニットにも採用した場合には、部品を共用化し得る分だけ、搬送装置のコスト低減が図られることとなる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る薄板状ワーク搬送装置では、上記した構成としているので、薄板状ワークをこれまでの速さと同等ないしより高速でしかも安定して搬送することができ、加えて、薄板状ワークがより薄くなった場合であったとしても、薄板状ワークの反りによる影響を受けることなく安定して搬送することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る薄板状ワーク搬送装置の断面説明図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る薄板状ワーク搬送装置の断面説明図（ａ）及び平面説明図（ｂ）である。
【図３】本発明のさらに他の実施形態に係る薄板状ワーク搬送装置の断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る薄板状ワーク搬送装置の一実施形態を示しており、この実施形態では、薄板状ワークが液晶表示パネルの製造に用いられる厚み０．３ｍｍ以下の極薄のガラス基板である場合を例に挙げて説明する。
【００１９】
図１に示すように、この薄板状ワーク搬送装置１は、表面に回路パターンが形成された、もしくは形成される予定のガラス基板Ｗを搬送する装置であって、表面を上に向けたガラス基板Ｗの下面に空気を吹き付けて非接触状態で支持するエア浮上ユニット２と、ガラス基板Ｗの下面に接触してワーク搬送方向（図１奥行き方向）の移動力を付与する搬送ローラ３７を具備した搬送ユニット３と、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４を備えている。
【００２０】
搬送ユニット３は、その搬送ローラ３７がガラス基板Ｗの下面における接触許容部（この実施形態では幅方向中央部）に接触するように配置してあり、一方、エア浮上ユニット２は、ガラス基板Ｗを安定して支持し得るように、そして、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との接触状態を阻害しないようにして、ガラス基板Ｗの下面における幅方向両側縁部にそれぞれ対向して配置してあり、これらのエア浮上ユニット２及び搬送ユニット３は、いずれもフレーム１０の横梁１１に固定されている。
【００２１】
エア浮上ユニット２は、ボックス形状を成す圧力容器２１と、この圧力容器２１にフィルタ２２を介して空気Ａを導入するファン２３と、圧力容器２１内に導入されて高圧となった空気Ａを噴出させるエア噴出し孔２４を具備している。このエア噴出し孔２４は、圧力容器２１のファン２３とは反対側の噴出面２１ａにおける四辺に沿って形成されており、この際、噴出面２１ａとガラス基板Ｗとの間に空気溜まりＡｔを形成して押し上げ力ＦＬとしてガラス基板Ｗに作用させるべく、四つのエア噴出し孔２４をいずれも内側に向けて傾斜させてある。
【００２２】
搬送ユニット３は、カバー３１により囲まれる内部に収容された枠体３２と、この枠体３２に出力軸３３ａを水平にした状態で固定されたモータ３３と、このモータ３３の出力軸３３ａに固定したモータ側プーリ３４と、枠体３２に軸受３５を介して回転自在で且つ水平に支持された回転軸３６と、この回転軸３６の端部に固定されたローラ側プーリ３８と、モータ側プーリ３４及びローラ側プーリ３８間に掛け渡されて、モータ３３の回転力を回転軸３６に伝えるベルト３９を具備しており、上記した搬送ローラ３７は、その周縁部をカバー３１の上面から突出させた状態で回転軸３６に固定されている。
【００２３】
この場合、カバー３１とこのカバー３１の上面から突出する搬送ローラ３７との間に吸引手段４を構成する隙間４１を設けていると共に、カバー３１に同じく吸引手段４を構成する吸引排気部４２を設けており、図外の吸引器でカバー３１内の空気を吸引してガラス基板Ｗ近傍に吸引力Ｂを生じさせることで、ガラス基板Ｗを搬送ローラ３７に引き寄せて圧接させるようになっている。
【００２４】
また、薄板状ワーク搬送装置１は、ガラス基板Ｗの上方に位置するフレーム１０の上梁１２に配置されて、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるガラス基板上面に向けて空気を噴出させて搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５を備えており、この実施形態において、エア押し付けユニット５は、エア浮上ユニット２と同一の構造を成している。
【００２５】
すなわち、このエア押し付けユニット５（２）では、圧力容器２１内に導入されて高圧となった空気Ａを四つのエア噴出し孔２４から噴出させて、噴出面２１ａとガラス基板Ｗとの間に空気溜まりＡｔを形成して押し付け力Ｆとしてガラス基板Ｗに作用させるようになっている。
【００２６】
このような構成の薄板状ワーク搬送装置１により、ガラス基板Ｗを次工程に搬送するに際しては、まず、ガラス基板Ｗの下方に位置する２つエア浮上ユニット２を作動させ、各々のエア噴出し孔２４からそれぞれ噴出させた空気Ａをガラス基板Ｗの下面に吹き付けて非接触状態で支持すると共に、搬送ローラ３７をガラス基板Ｗの下面に接触させる。
【００２７】
このとき、エア浮上ユニット２の圧力容器２１の噴出面２１ａとガラス基板Ｗとの間には、空気溜まりＡｔが形成されて押し上げ力ＦＬとしてガラス基板Ｗに作用するので、ガラス基板Ｗを効率良く支持し得ることとなる。
【００２８】
次いで、図外の吸引器を作動させて、カバー３１に設けた吸引手段４である吸引排気部４２、及び、カバー３１と搬送ローラ３７との間の隙間４１を介してガラス基板Ｗ近傍に吸引力Ｂを生じさせることで、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せると共に、エア押し付けユニット５を作動させて、四つのエア噴出し孔２４から噴出させた空気Ａをガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるガラス基板上面に吹き付けながらガラス基板Ｗを搬送する。
【００２９】
このときも、エア押し付けユニット５（２）の圧力容器２１の噴出面２１ａとガラス基板Ｗとの間には、空気溜まりＡｔが形成されて押し付け力Ｆとしてガラス基板Ｗに作用するので、ガラス基板Ｗを効率良く押圧し得ることとなる。
【００３０】
この薄板状ワーク搬送装置１によるガラス基板Ｗの搬送において、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４による吸引力Ｂ及びガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５による押し付け力Ｆの二つの同一方向の力が、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との間に作用するので、吸引手段４による吸引力Ｂだけを作用させていた従来と比べて、エア押し付けユニット５による押し付け力Ｆが増える分だけ両者間により大きな摩擦力が生じることとなり、その結果、これまでの速さと同等ないしより高速の安定したガラス基板Ｗの搬送が成されることとなり、加えて、ガラス基板Ｗがより薄くなった場合であったとしても、ガラス基板Ｗの反りによる影響を受けない搬送を行い得ることとなる。
【００３１】
また、この薄板状ワーク搬送装置１によるガラス基板Ｗの搬送において、エア押し付けユニット５からガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるワーク上面に向けて空気を噴出させているので、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との間により大きな摩擦力が生じることとなり、したがって、搬送ローラ３７からより大きな移動力がガラス基板Ｗに付与されることとなって、ガラス基板Ｗのより高速な搬送が図られることとなる。
【００３２】
さらに、この薄板状ワーク搬送装置１では、エア押し付けユニット５が、エア浮上ユニット２と同一の構造を成しているので、部品を共用化し得る分だけ、搬送コストの低減が図られることとなり、加えて、エア押し付けユニット５（エア浮上ユニット２）では、フィルタ２２を介して空気Ａを圧力容器２１に導入するようにしているので、ガラス基板Ｗに対して表裏を問わず清浄な空気Ａを吹き付け得ることとなる。
【００３３】
図２は本発明に係る薄板状ワーク搬送装置の他の実施形態を示しており、この実施形態に係る薄板状ワーク搬送装置が、先の実施形態による薄板状ワーク搬送装置と異なるところは、エア押し付けユニットとして多孔質パッドを有するエア押し付けユニットを採用した点にあり、他の構成は先の実施形態による薄板状ワーク搬送装置と同じである。
【００３４】
図２に示すように、この薄板状ワーク搬送装置１Ａのエア押し付けユニット５Ａは、フレーム１０の上梁１２に配置されており、この上梁１２に固定されるホルダ５１と、上記の多孔質パッド５２を具備している。ホルダ５１は筒状を成し、一端側が一方の端面で開口するポート５１ａと、このポート５１ａの他端側に接続する空気充填空間５１ｂと、この空気充填空間５１ｂと接続し且つ他方の端面で開口するパッド保持部５１ｃを具備しており、ポート５１ａ，空気充填空間５１ｂ及びパッド保持部５１ｃはいずれも軸心Ｌ上に位置している。
【００３５】
ホルダ５１の外周面には雄ねじ部５１ｄが形成されており、このホルダ５１は、フレーム１０の上梁１２のホルダ保持孔１２ａに貫通状態で配置され、上梁１２の上下において雄ねじ部５１ｄにそれぞれねじ込まれたナット５３，５３により、上下方向の位置調整可能に固定されている。
【００３６】
この薄板状ワーク搬送装置１Ａのエア押し付けユニット５Ａでは、ホルダ５１のポート５１ａに対して図外から高圧の空気を供給することで、多孔質パッド５２の表面に反発力（押し付け力）を生じさせるようになっている。
【００３７】
この薄板状ワーク搬送装置１Ａによっても、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４による吸引力Ｂ及びガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５Ａによる反発力の二つの同一方向の力が、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との間に作用するので、吸引手段４による吸引力Ｂだけを作用させていた従来と比べて、エア押し付けユニット５Ａによる反発力が増える分だけ両者間により大きな摩擦力が生じることとなり、その結果、これまでの速さと同等ないしより高速の安定したガラス基板Ｗの搬送が成されるうえ、ガラス基板Ｗがより薄くなった場合であったとしても、ガラス基板Ｗの反りによる影響を受けない搬送を行い得ることとなる。
【００３８】
また、この薄板状ワーク搬送装置１Ａによるガラス基板Ｗの搬送においても、エア押し付けユニット５Ａで生じる反発力をガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるガラス基板上面に作用させるように成せば、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との間により大きな摩擦力が生じることとなり、したがって、搬送ローラ３７からより大きな移動力がガラス基板Ｗに付与されることとなって、ガラス基板Ｗのより高速な搬送が図られることとなる。
【００３９】
図３は本発明に係る薄板状ワーク搬送装置のさらに他の実施形態を示しており、この実施形態に係る薄板状ワーク搬送装置が、先の実施形態による薄板状ワーク搬送装置と異なるところは、エア押し付けユニットとして配管を採用した点にあり、他の構成は先の実施形態による薄板状ワーク搬送装置と同じである。
【００４０】
図３に示すように、この薄板状ワーク搬送装置１Ｂのエア押し付けユニット５Ｂは、ワーク搬送方向（図３奥行き方向）に沿って配置した配管５５に、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるガラス基板上面に対して空気を噴射可能な噴射孔５５ａを形成して成っており、配管５５は、フレーム１０の上梁１２に支持されている。
【００４１】
この薄板状ワーク搬送装置１Ｂによっても、ガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７側に引き寄せる吸引手段４による吸引力Ｂ及びガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔを搬送ローラ３７に押し付けるエア押し付けユニット５Ｂによる押し付け力の二つの同一方向の力が、ガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との間に作用するので、これまでの速さと同等ないしより高速の安定したガラス基板Ｗの搬送が成されるうえ、ガラス基板Ｗがより薄くなった場合であったとしても、ガラス基板Ｗの反りによる影響を受けない搬送を行い得ることとなる。
【００４２】
また、この薄板状ワーク搬送装置１Ｂによるガラス基板Ｗの搬送においても、エア押し付けユニット５Ｂで生じる押し付け力をガラス基板Ｗの搬送ローラ３７との接触部位Ｗｔの真裏にあたるガラス基板上面に作用させるように成せば、搬送ローラ３７からより大きな移動力がガラス基板Ｗに付与されることとなって、ガラス基板Ｗのより高速な搬送が図られることとなる。
【００４３】
上記した実施形態において、搬送ユニット３をガラス基板Ｗの下面における幅方向中央部に配置し、これに伴って、エア押し付けユニット５（５Ａ，５Ｂ）もガラス基板Ｗの上面における幅方向中央部に対向して配置しているが、これに限定されるものではなく、搬送ユニット３及びエア押し付けユニット５（５Ａ，５Ｂ）は、例えば、ガラス基板Ｗの両側縁部が接触を許容される指定部位である場合には、この両側縁部に対応するように搬送方向と交差する方向に並べて配置することができ、搬送ユニット３及びエア押し付けユニット５（５Ａ，５Ｂ）のレイアウトやセット数は、ガラス基板Ｗの下面において接触が許容される指定部位の位置及び数に応じて適宜決定することができる。
【００４４】
また、上記した実施形態において、エア浮上ユニット２をガラス基板Ｗの下面における幅方向両側縁部にそれぞれ対向して配置しているが、エア浮上ユニット２は、ガラス基板Ｗを安定して支持し得る部位で且つガラス基板Ｗと搬送ローラ３７との接触状態を阻害しない部位に対応して配置することができる。
【００４５】
本発明に係る薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法の構成は、上記した実施形態の構成に限定されるものではなく、また、本発明に係る薄板状ワーク搬送装置及び薄板状ワーク搬送方法により搬送する薄板状ワークは、上記した実施形態における極薄のガラス基板Ｗに限定されない。
【符号の説明】
【００４６】
１，１Ａ，１Ｂ  薄板状ワーク搬送装置
２  エア浮上ユニット
４  吸引手段
５，５Ａ，５Ｂ  エア押し付けユニット
２１  圧力容器
２３  ファン
２４  エア噴出し孔
３７  搬送ローラ
４１  隙間
４２  吸引排気部
Ａ  空気
Ｗ  ガラス基板（薄板状ワーク）
Ｗｔ  接触部位
【図１】
2013091541.tif 000003
【図２】
2013091541.tif 000004
【図３】
2013091541.tif 000005