(57)【要約】      （修正有）【課題】連続して複数の物品から多数の情報を取得することを可能にするＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、コンベアユニット１１と、Ｘ線照射部１２と、Ｘ線検出部１３と、回転機構１５とを備える。コンベアユニットは、物品を搬送する。Ｘ線照射部は、コンベアユニットの第１の側方に配置され、物品に対し第１の側方からＸ線を照射する。Ｘ線照射部は、第２の側方に配置され、透過Ｘ線を検出する。第２の側方とは、第１の側方に対向する側である。また、透過Ｘ線は、物品を透過したＸ線である。回転機構は、物品を鉛直軸回りに回転させる。【選択図】図２
2013186066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を搬送するコンベアユニットと、
前記コンベアユニットの第１の側方に配置され、前記物品に対し前記第１の側方からＸ線を照射するＸ線照射部と、
前記第１の側方に対向する第２の側方に配置され、前記物品を透過した前記Ｘ線である透過Ｘ線を検出するＸ線検出部と、
前記物品を鉛直軸回りに回転させる回転機構と、
を備える、
Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記回転機構は、前記コンベアユニット上の前記物品を回転させる、
請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記回転機構は、前記コンベアユニット上の前記物品をさらに鉛直方向上方に移動させる、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記Ｘ線照射部は、Ｘ線照射空間において前記物品に前記Ｘ線を照射し、
前記回転機構は、前記物品が前記Ｘ線照射空間にあるとき、前記物品を回転させる、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記Ｘ線照射部は、Ｘ線照射空間において前記物品に前記Ｘ線を照射し、
前記回転機構は、前記物品が前記Ｘ線照射空間にあるとき、前記物品を回転させながら鉛直方向上方に移動させる、
請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記コンベアユニットは、前記物品を載せるテーブルを有し、
前記回転機構は、前記テーブルを回転させる、
請求項２から５のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記Ｘ線検出部は、フラットパネルセンサである、
請求項１から６のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物品にＸ線を照射し、物品を透過したＸ線（透過Ｘ線）に基づいて、物品に混入する異物を判定するＸ線検査装置が知られている。このようなＸ線検査装置では、例えば、特許文献１（特開２００９−８００３１号公報）に示すように、物品は、コンベアユニットによって水平方向に搬送される。Ｘ線は、コンベアユニットの上方から照射され、透過Ｘ線はコンベアユニットの下方で検出される。Ｘ線検査装置は、透過Ｘ線に基づいて物品の二次元情報を生成し、二次元情報に基づいた異物の判定を行う。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のようなＸ線検査装置は、物品の種類に対応して設定された閾値と、二次元情報とを用いて異物の判定を行う。ここで、設定された閾値が適当な値でない場合には、異物の有無について誤った判定がされる場合がある。そこで、二次元情報に基づいて異物があると判定された場合であっても、再度、物品の情報を多角的に取得し、三次元情報に基づいてより詳細な検査を行うことが好ましい。しかし、上記のようなＸ線検査装置において、物品から多角的に情報を取得しようとした場合、物品を把持し、水平軸まわりに回転させるための把持部が必要である。また、検査対象となる物品を把持部によって把持させる必要があるため、複数の物品について詳細な検査を行うことは困難である。
【０００４】
本発明の課題は、複数の物品についての詳細な検査を容易にするＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るＸ線検査装置は、コンベアユニットと、Ｘ線照射部と、Ｘ線検出部と、回転機構と、を備える。コンベアユニットは、物品を搬送する。Ｘ線照射部は、コンベアユニットの第１の側方に配置され、物品に対し第１の側方からＸ線を照射する。Ｘ線検出部は、第２の側方に配置され、透過Ｘ線を検出する。第２の側方とは、第１の側方に対向する側である。また、透過Ｘ線は、物品を透過したＸ線である。回転機構は、物品を鉛直軸回りに回転させる。これにより、複数の物品についての詳細な検査を容易に行うことができる。
【０００６】
また、回転機構は、コンベアユニット上の物品を回転させることが好ましい。これにより、物品の搬送を止めることなく物品から多数の情報を取得することができる。
【０００７】
また、回転機構は、コンベアユニット上の物品をさらに鉛直方向上方に移動させることが好ましい。これにより、物品全体から多数の情報を取得することができる。
【０００８】
さらに、Ｘ線照射部は、Ｘ線照射空間において物品にＸ線を照射し、回転機構は、物品がＸ線照射空間にあるとき、物品を回転させることが好ましい。これにより、物品についての三次元情報を取得することができる。
【０００９】
また、Ｘ線照射部は、Ｘ線照射空間において物品にＸ線を照射し、回転機構は、物品がＸ線照射空間にあるとき、物品を回転させながら鉛直方向上方に移動させることが好ましい。これにより、物品についての三次元情報を効率よく取得することができる。
【００１０】
また、コンベアユニットは、物品を載せるテーブルを有し、回転機構は、テーブルを回転させることが好ましい。これにより、物品を、姿勢を安定させた状態で回転させることができる。
【００１１】
また、Ｘ線検出部は、フラットパネルセンサであることが好ましい。これにより、短時間で多数の情報を取得することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るＸ線検査装置によれば、複数の物品についての詳細な検査を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の概略斜視図である。
【図３Ａ】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の概略平面図である。
【図３Ｂ】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【図３Ｃ】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【図４】本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置における処理の流れを示す図である。
【図５】本発明の変形例Ｄに係るＸ線検査装置の概略斜視図である。
【図６Ａ】本発明の変形例Ｄに係るＸ線検査装置の概略平面図である。
【図６Ｂ】本発明の変形例Ｄに係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るＸ線検査装置について説明する。
【００１５】
（１）Ｘ線検査装置の概略説明
図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１００の構成を説明するためのブロック図である。Ｘ線検査装置１００は、連続して搬送される物品ＧにＸ線を照射して物品Ｇについての異物の混入の有無を判断する。具体的に、Ｘ線検査装置１００は、複数の物品Ｇから各物品Ｇの透過Ｘ線を連続的に検出し、当該透過Ｘ線に関するデータに基づいて物品Ｇの三次元データ（サイノグラム、断層画像、および立体画像）を生成する。さらに、Ｘ線検査装置１００は、物品Ｇのサイノグラム、断層画像、および立体画像に基づいて物品Ｇに混入される異物の有無を判定する。
【００１６】
Ｘ線検査装置１００は、図１に示すように、搬送機構（コンベアユニット）１１、Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）１２、ラインセンサ（Ｘ線検出部）１３、モニタ１４、回転機構１５、および制御装置１６を備える。Ｘ線検査装置は、図示しないシールドボックスをさらに備える。以下、Ｘ線検査装置が備える各構成について詳細に説明する。
【００１７】
（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
（２−１）シールドボックス
シールドボックスは、搬送機構１１、Ｘ線照射器１２、ラインセンサ１３、回転機構１５、および制御装置１６を収容するボックスである。シールドボックスは、外部へのＸ線の漏洩を防止する。シールドボックスの正面には、モニタ１４が取り付けられる。さらに、シールドボックスの正面には、キーの差し込み口および電源スイッチ等が配置される。シールドボックスの側面には、扉が設けられる。扉は、シールドボックスに対して物品Ｇを出し入れするために用いられる。
【００１８】
（２−２）搬送機構
搬送機構１１は、シールドボックス内で物品Ｇを搬送する機構である。具体的に、搬送機構１１は、物品Ｇがシールドボックス内で旋回するように、物品Ｇを平面内で移動させる（図２参照）。
【００１９】
搬送機構１１は、図１に示すように、主として、平面移動部材１１ａと、回転テーブル１１ｂと、搬送駆動モータ１１ｃとから構成されている。
【００２０】
平面移動部材１１ａは、シールドボックスにおいて、物品Ｇを平面内で搬送する部材である。具体的に、平面移動部材１１ａは、物品Ｇを旋回させてＸ線の照射範囲Ｘに移動させ、さらに、照射範囲Ｘから遠ざける。平面移動部材１１ａは、物品Ｇの搬送経路を構成する環状の部材である（図２参照）。平面移動部材１１ａは、環状に連続する平面部を有する。平面移動部材１１ａは、搬送駆動モータ１１ｃによって駆動され、平面内で旋回する。
【００２１】
回転テーブル１１ｂは、平面移動部材１１ａによって照射範囲Ｘに移動させた物品Ｇを、照射範囲Ｘで回転させる部材である。回転テーブル１１ｂは、物品Ｇを載せるためのテーブルである。回転テーブル１１ｂは、平面移動部材１１ａの平面部の一部を構成する。したがって、回転テーブル１１ｂは、平面移動部材１１ａの平面内の旋回に伴って、平面内を移動する。回転テーブル１１ｂは、平面移動部材１１ａに複数配置される。複数の回転テーブル１１ｂは、所定の間隔を空けて平面移動部材１１ａに配置される。回転テーブル１１ｂは、側面に歯が切られている。回転テーブル１１ｂの側面の歯は、後述する回転機構１５の接触部材１５ａの側面と噛み合うような形状を有する。回転テーブル１１ｂは、回転機構１５の駆動により、回転テーブル１１ｂの中心を基準に鉛直軸回りに回転し、かつ、鉛直軸方向に移動する（図３Ｂおよび図３Ｃ参照）。なお、回転テーブル１１ｂが回転している間、搬送駆動モータ１１ｃは平面移動部材１１ａの駆動を停止する。すなわち、回転テーブル１１ｂは、平面内の位置を変えることなく、鉛直軸回りに物品Ｇを回転させる。
【００２２】
（２−３）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器１２は、物品ＧにＸ線を照射する。図２および図３Ａ〜図３Ｃに示すように、Ｘ線照射器１２は、物品Ｇの搬送経路の側方に配置される。すなわち、Ｘ線照射器１２は、物品Ｇに対して、側方からＸ線を照射する。図３Ａに示すように、Ｘ線の照射範囲Ｘは、平面視で、水平方向に扇状に広がる。
【００２３】
（２−４）ラインセンサ
ラインセンサ１３は、Ｘ線照射器１２から照射されたＸ線を検出する部材である。ラインセンサ１３は、図２および図３Ａ〜図３Ｃに示すように、物品Ｇの搬送経路の側方に配置される。具体的には、ラインセンサ１３は、物品Ｇの搬送経路を挟んで、Ｘ線照射器１２に対向する位置に配置される。ラインセンサ１３は、主として、多数のＸ線検出素子１３ａから構成されている。具体的に、多数のＸ線検出素子１３ａは、図２および図３Ａに示すように、水平方向に線状に並ぶ。各Ｘ線検出素子１３ａは、物品Ｇを透過したＸ線に基づいて、Ｘ線透過信号を出力する。言い換えると、Ｘ線透過信号は、透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を出力する。なお、透過したＸ線の強度は、透過したＸ線量（透過Ｘ線量）の大小に依存する。
【００２４】
さらに、ラインセンサ１３は、検体である物品Ｇが扇状のＸ線の照射範囲Ｘを通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、ラインセンサ１３は、搬送機構１１によって搬送される物品Ｇが、ラインセンサ１３の前方位置（照射範囲Ｘ）に達したとき、所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。また、ラインセンサ１３は、物品Ｇが照射範囲Ｘを通過すると所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が後述の制御装置１６に入力されることにより、照射範囲Ｘにおける製品Ｇの有無が検出される。
【００２５】
（２−５）モニタ
モニタ１４は、液晶ディスプレイである。モニタ１４は、検査時に必要となる検査パラメータ等の入力をオペレータに促す画面を表示する。モニタ１４は、タッチパネル機能も有しており、オペレータからの検査パラメータ等の入力を受け付ける。
【００２６】
（２−６）回転機構
回転機構１５は、搬送機構１１の回転テーブル１１ｂを、照射範囲Ｘで回転させる機構である。回転機構１５は、図１に示すように、主として、接触部材１５ａと、回転駆動モータ１５ｂとを有する。接触部材１５ａは、回転テーブル１１ｂの側面と接触する部材である。接触部材１５ａは、搬送経路の外側（側方）に配置される。接触部材１５ａの側面には、歯が切られている。接触部材１５ａの側面の歯は、上述したように、回転テーブル１１ｂの側面の歯と噛み合うように構成されている。また、接触部材１５ａは、回転テーブル１１ｂが照射範囲Ｘに到達したとき、回転テーブル１１ｂの側面と噛み合うように配置されている。
【００２７】
接触部材１５ａは、回転駆動モータ１５ｂにより駆動される。具体的には、図示しないセンサによって、接触部材１５ａと回転テーブル１１ｂとの接触が検知されると、回転駆動モータ１５ｂが、接触部材１５ａを駆動する。回転駆動モータ１５ｂは、物品Ｇが照射範囲Ｘで鉛直軸回りに３６０°回転するように、接触部材１５ａを回転させる。さらに、回転駆動モータ１５ｂは、接触部材１５ａを上下に移動させる。具体的に、回転駆動モータ１５ｂは、物品Ｇの高さ方向全域にＸ線が照射されるように、接触部材１５ａを照射範囲Ｘで鉛直軸方向上方へ所定距離移動させる。すなわち、回転駆動モータ１５ｂは、接触部材１５ａを鉛直軸周りに回転させながら上方位置へ移動させる。これにより、物品Ｇは、照射範囲Ｘにおいて３６０°回転しながらＸ線が拡がる方向を横切るように移動する（図３Ｂおよび図３Ｃ参照）。また、回転駆動モータ１５ｂは、接触部材１５ａの回転と上方位置への移動とが同時に完了するように接触部材１５ａを制御する。すなわち、接触部材１５ａが物品Ｇを３６０°回転することにより、物品Ｇの下方位置から上方位置への移動も終わる。その後、回転駆動モータ１５ｂは、接触部材１５ａを逆回転させながら、下方位置へと移動させる。
【００２８】
（２−７）制御装置
制御装置１６は、主として、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ（ハードディスク）、およびＣＰＵによって構成されている。制御装置１６は、図１に示すように、搬送駆動モータ１１ｃ、Ｘ線照射器１２、ラインセンサ１３、モニタ１４、および回転駆動モータ１５ｂ等に接続されている。また、制御装置１６は、図示しないエンコーダから搬送駆動モータ１１ｃの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、物品Ｇの平面内における移動距離を把握する。さらに、制御装置１６は、図示しないエンコーダから回転駆動モータ１５ｂの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、回転テーブル１１ｂ（物品Ｇ）の鉛直軸回りの回転角度および鉛直軸方向の移動距離を把握する。また、制御装置１６は、上述したように、ラインセンサ１３から出力されたＸ線透過信号を受信することにより、照射範囲Ｘに物品Ｇが到達したタイミングおよび照射範囲Ｘを通過したタイミングを検出する。
【００２９】
制御装置１６は、ラインセンサ１３で検出したＸ線（透過Ｘ線）に基づいて、物品Ｇの三次元データを生成する。具体的に、制御装置１６は、透過Ｘ線に基づいて、物品Ｇのサイノグラム、断層画像、および立体画像を生成する。さらに、制御装置１６は、物品Ｇのサイノグラム、断層画像、および立体画像に基づいて、物品Ｇの異物判定（異物の有無、混入されている異物の場所等）を行い、判定結果をモニタ１４に表示する。
【００３０】
（３）処理の流れ
次に、Ｘ線検査装置１００における異物判定の処理の流れについて図４を用いて説明する。
【００３１】
先ず、ステップＳ１１で、照射範囲Ｘに物品Ｇが到達したか否かが判断される。具体的には、ラインセンサ１３から物品Ｇを検出した旨の信号を受信したか否かが判断される。ステップＳ１１では、物品Ｇが照射範囲Ｘに到達するまで待機し、物品Ｇが照射範囲Ｘに到達すると、ステップＳ１２に進む。
【００３２】
ステップＳ１２では、物品Ｇについての透過Ｘ線が検出される。また、回転駆動モータ１５ｂが駆動される。具体的に、物品Ｇが照射範囲Ｘに到達すると、ラインセンサ１３は、物品Ｇを透過したＸ線に基づくＸ線透過信号を出力する。また、回転駆動モータ１５ｂが駆動され物品Ｇは照射範囲Ｘで鉛直軸回りに回転するとともに、鉛直軸方向上側に移動する。これにより、物品Ｇに対して多数の方向から照射したＸ線についての透過Ｘ線が検出される。その後、ステップＳ１３に進む。
【００３３】
ステップＳ１３では、回転テーブル１１ｂが３６０°回転したかどうかが判断される。具体的には、エンコーダから回転駆動モータ１５ｂの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、回転テーブル１１ｂの鉛直軸回りの回転角度を把握する。ステップＳ１３では、回転テーブル１１ｂが３６０°回転するまで待機し、回転テーブル１１ｂが３６０°回転すると、ステップＳ１４に進む。
【００３４】
ステップＳ１４では、物品Ｇを３６０°回転させることによって得られた物品Ｇの透過Ｘ線に関するデータ（Ｘ線透過信号）に基づいて、三次元データが生成される。具体的には、上述したように、物品Ｇのサイノグラム、断層画像、および立体画像が生成される。その後、ステップＳ１５に進む。
【００３５】
ステップＳ１５では、物品Ｇの三次元データに基づいて、異物判定が行われる。具体的には、物品Ｇにおける異物の有無や、物品Ｇに異物が混入されている場合にその異物の場所等が判定される。その後、ステップＳ１６に進む。
【００３６】
ステップＳ１６では、物品Ｇについての異物判定の結果がモニタ１４に表示される。例えば、モニタ１４には、各物品Ｇが通過するたびに、物品Ｇの判定結果（「ＯＫ」または「ＮＧ」、ＮＧの場合に混入異物の場所等）が表示される。
【００３７】
（４）特徴
（４−１）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、物品Ｇは、搬送機構１１によって搬送される。Ｘ線照射器１２とラインセンサ１３とは、搬送経路の幅方向において、対向する位置に配置される。具体的には、Ｘ線照射器１２は、物品Ｇの搬送経路の幅方向において、第１の側部に配置され、ラインセンサ１３は、第1の側部に対向する位置である第２の側部に配置される。Ｘ線照射器１２は、水平軸方向に延びる扇状のＸ線を照射する（図３Ａ〜図３Ｃ参照）。物品Ｇは、搬送機構１１によってＸ線の照射範囲Ｘに搬送され、回転テーブル１１ｂによって照射範囲Ｘで鉛直軸回りに３６０°回転しながら上昇する。
【００３８】
従来のＸ線検査装置では、コンベアユニットによって搬送される物品に対して垂直方向上側からＸ線を照射し、垂直方向下側から物品の透過Ｘ線を検出していた。このようなＸ線検査装置では、物品の二次元データ（平面画像）を生成し、二次元データに基づいて異物判定を行っていた。Ｘ線検査装置による異物判定では、物品の種類に対応して異物判定の閾値が設定される。したがって、設定された閾値が適当でない場合には、物品に異物が混入されているものと誤って判断される可能性がある。そのため、より精確な異物判定を行うためには、物品Ｇの三次元情報を用いることが好ましい。ここで、従来のＸ線検査装置と同様に、物品に対し垂直方向上側からＸ線を照射し、垂直方向下側で物品の透過Ｘ線を検出するようなＸ線検査装置を用いて、物品の三次元データを生成しようとすると、物品を水平軸回りに回転させる必要がある。そのため、検査対象となる物品を、水平軸回りの回転を可能にする把持部に把持させる必要がある。すなわち、各物品の異物判定を行うたびに、検査対象となる物品を把持部に把持させる必要がある。したがって、多数の物品について三次元データを生成することが煩雑となる。
【００３９】
しかし、上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｇに対して側方からＸ線を照射する。また、物品Ｇの三次元データを生成するために、物品Ｇを鉛直軸方向移動させながら鉛直軸回りに回転させる。したがって、物品Ｇを把持部に把持させる必要がないため、複数の物品Ｇを詳細検査の対象とした場合であっても、異物判定を容易に行うことができる。
【００４０】
（４−２）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、回転テーブル１１ｂが、平面移動部材１１ａの平面部の一部を構成する。また、回転テーブル１１ｂは、平面移動部材１１ａに複数配置される。これにより、シールドボックス内に複数の物品Ｇを投入しておき、当該複数の物品Ｇの異物判定を連続して行うことが可能になる。
【００４１】
（４−３）
また、上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｇが回転テーブル１１ｂ上で３６０°回転する。例えば、物品Ｇが、包装材と内容物とからなり、内容物が包装材の内部で自由に移動する缶詰やスナック菓子などである場合、水平軸回りの回転により内容物は包装材の内部で移動し、精確な判定結果を得ることが困難である。しかし、上記実施形態に係るＸ線検査装置１００は、物品Ｇが回転テーブル１１ｂに載せられた状態で回転する。これにより、物品の姿勢が安定するため、包装材の内部で内容物が移動することを抑制し、精確な情報を取得することが可能になる。
【００４２】
（５）変形例
（５−１）変形例Ａ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１００では、複数の物品Ｇを予めシールドボックス内に投入しておき、当該複数の物品Ｇについて連続して異物判定を行なった。ここで、Ｘ線検査装置１００は、他のコンベアユニットと連結可能な構成としてもよい。具体的には、Ｘ線検査装置１００の正面視で、シールドボックスの左右方向に物品Ｇの搬入口および搬出口を形成する。搬入口および搬出口にはＸ線漏洩防止用の暖簾を取り付けるものとする。また、搬送機構１１は、物品Ｇを搬入口から搬出口に向けて搬送するものとし、平面移動部材１１ａは、物品Ｇが搬入口から照射範囲Ｘを経て搬出口に移動しうるような搬送経路を構成する部材であるものとする。上流のコンベアユニットは、平面移動部材１１ａの搬入口側に連結され、上流のコンベアユニットは、所定の時間間隔または距離間隔で物品ＧをＸ線検査装置１００に搬送し、自動的に当該物品Ｇが回転テーブル１１ｂに載置される構成としてもよい。これにより、多数の物品Ｇについて三次元データに基づく異物判定を連続して行うことができる。
【００４３】
さらに、Ｘ線検査装置１００には、振り分け装置を接続してもよい。具体的に、振り分け装置は、平面移動部材１１ａの搬出口側に連結し、Ｘ線検査装置１００による異物判定の結果に応じて物品Ｇを振り分ける構成とする。これにより、物品Ｇの振り分け処理を自動的に行うことができる。
【００４４】
（５−２）変形例Ｂ
上記実施形態では、接触部材１５ａが回転テーブル１１ｂに接触したタイミングで、回転テーブル１１ｂが回転駆動された。ここで、回転テーブル１１ｂの回転駆動は、ラインセンサ１３によって物品Ｇが検知されたタイミングであってもよい。
【００４５】
（５−３）変形例Ｃ
また、上記実施形態では、回転駆動モータ１５ｂによって接触部材１５ａが回転駆動され、接触部材１５ａの回転により、接触部材１５ａと接触する回転テーブル１１ｂが回転する。ここで、回転テーブル１１ｂは、接触部材１５ａとは異なる構成によって回転されてもよい。すなわち、回転テーブル１１ｂは、照射範囲Ｘで物品Ｇを３６０°回転させる構成であれば他の構成であってもよい。
【００４６】
（５−４）変形例Ｄ
上記実施形態では、Ｘ線検査装置１００がラインセンサ１３を備えたが、ラインセンサ１３に代えてフラットパネルセンサ２３を備えてもよい（図５参照）。フラットパネルセンサ２３は、多数のＸ線検出素子２３ａから構成されている。具体的に、フラットパネルセンサ２３は、多数のＸ線検出素子２３ａが、図５に示すように、紙面の上下方向および奥行き方向に並ぶパネル状のセンサである。このとき、Ｘ線照射器１２は、Ｘ線の照射範囲Ｘが、フラットパネルセンサ２３の全域に拡がるように構成する。具体的に、Ｘ線の照射範囲Ｘは、図６Ａに示すように、平面視でフラットパネルセンサ２３の幅方向に拡がり、図６Ｂに示すように、側面視でフラットパネルセンサ２３の高さ方向（垂直方向）にも拡がるものとする。さらに、接触部材１５ａを接触部材２５に置き換える。接触部材２５は、平面移動部材１１ａの側方位置であって、照射範囲Ｘに入る回転テーブル１１ｂの側面に接触する位置に配置される。接触部材２５には、回転テーブル１１ｂの側面と接触する面（側面）に歯が切られている。当該歯は、回転テーブル１１ｂの側面と噛み合うような形状である。接触部材２５の側面は、フラットパネルセンサ２３の長さ方向に延びる。平面移動部材１１ａによって物品Ｇを載せた回転テーブル１１ｂがＸ線の照射範囲Ｘに到達すると、回転テーブル１１ｂの側面が接触部材２５の側面と噛み合う。回転テーブル１１ｂは、側面を接触部材２５の側面と噛み合わせた状態で、平面移動部材１１ａの移動に伴って平面内を移動する。すなわち、回転テーブル１１ｂは、平面内を移動しながら鉛直軸回りに回転する。言い換えると、Ｘ線検査装置１００では、平面移動部材１１ａによる物品Ｇの平面内の移動を止めることなく、物品Ｇを回転させ、物品Ｇについての三次元データを生成することができる。これにより、上記実施形態に係るＸ線検査装置と比較して、単位時間当たりの検査対象数を向上させることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１１      搬送機構（コンベアユニット）
１１ａ    平面移動部材
１１ｂ    回転テーブル
１１ｃ    搬送駆動モータ
１２      Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
１３      ラインセンサ（Ｘ線検出部）
１４      モニタ
１５，２５      回転機構
１５ａ，２５    接触部材
１５ｂ    回転駆動モータ
１６      制御装置
２３      フラットパネルセンサ（Ｘ線検出部）
１００    Ｘ線検査装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４８】
【特許文献１】特開２００９−８００３１号公報
【図１】
2013186066.tif 000003
【図２】
2013186066.tif 000004
【図３Ａ】
2013186066.tif 000005
【図３Ｂ】
2013186066.tif 000006
【図３Ｃ】
2013186066.tif 000007
【図４】
2013186066.tif 000008
【図５】
2013186066.tif 000009
【図６Ａ】
2013186066.tif 000010
【図６Ｂ】
2013186066.tif 000011