(57)【要約】【課題】プランジャを配置したシリンジ内の液体中の気泡を検知できるディスペンサ装置及び気泡検知方法を提供する。【解決手段】ディスペンサ装置は、一方の側にノズル２３が設けられたシリンジ２２と、シリンジ２２内に配置されてシリンジ２２内に充填される液体２７に接触するプランジャ２５と、シリンジ２２の他方の側からシリンジ２２内に圧力を印加する圧力印加部と、プランジャ２５の位置を検出するプランジャ位置検出部３４，３５と、制御部とを有する。制御部は、圧力印加部を制御し、プランジャ位置検出部３４，３５から出力される信号に基づいてシリンジ２２内の液体２７中の気泡の有無を判定する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の側にノズルが設けられたシリンジと、
前記シリンジ内に配置されて前記シリンジ内に充填される液体に接触するプランジャと、
前記シリンジの他方の側から前記シリンジ内に圧力を印加する圧力印加部と、
前記プランジャの位置を検出するプランジャ位置検出部と、
前記圧力印加部を制御し、前記プランジャ位置検出部から出力される信号に基づいて前記シリンジ内の液体中の気泡の有無を判定する制御部と
を有することを特徴とするディスペンサ装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記圧力印加部を制御して前記シリンジ内に圧力をパルス状に印加し、前記プランジャ位置検出部により検出した前記プランジャの位置の経時変化により前記シリンジ内の液体中の気泡の有無を判定することを特徴とする請求項１に記載のディスペンサ装置。
【請求項３】
前記圧力印加部は、気体を介して前記シリンジ内に圧力を印加することを特徴とする請求項１又は２に記載のディスペンサ装置。
【請求項４】
更に、前記制御部により制御されて前記シリンジの上下を反転させるアクチュエータを有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のディスペンサ装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記シリンジ内の液体中に気泡があると判定したときに、前記アクチュエータを制御して前記シリンジの上下を反転し、所定時間経過後に前記圧力印加部を制御して前記シリンジ内に圧力を印加することを特徴とする請求項４に記載のディスペンサ装置。
【請求項６】
シリンジ内に充填された液体中の気泡を検知する気泡検知方法であって、
前記シリンジ内に、前記液体に接触しながら移動するプランジャを配置し、前記シリンジ内に圧力を印加して前記シリンジの一方の側に設けられたノズルから前記液体を吐出させる工程と、
前記シリンジ内に圧力を印加したときの前記プランジャの経時的な位置変化を検出し、その検出結果から前記液体中の気泡の有無を判定する工程と
を有することを特徴とする気泡検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤を充填したシリンジ内の気泡を検知する方法及び気泡による不具合を改善するディスペンサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
接着剤は、電気製品や光学製品等の製造に広く使用されている。近年、電気製品や光学製品等の小型化及び高機能化にともなって部品サイズが小さくなり、小さな面積に一定量の接着剤を高精度に塗布することが要求されるようになった。このような用途に、エアー式ディスペンサ装置が使用されている。
【０００３】
エアー式ディスペンサ装置では、シリンジと呼ばれる筒状の容器内に液状の接着剤を充填し、空気圧によってシリンジ先端のノズルから接着剤を吐出する。接着剤の吐出量は、空気圧と吐出時間とに関係する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−６９８０１号公報
【特許文献２】実開昭６１−１９３３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プランジャを配置したシリンジ内の液体中の気泡を検知でき、この気泡を除去改善する手段を備えたディスペンサ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
開示の技術の一観点によれば、一方の側にノズルが設けられたシリンジと、前記シリンジ内に配置されて前記シリンジ内に充填される液体に接触するプランジャと、前記シリンジの他方の側から前記シリンジ内に圧力を印加する圧力印加部と、前記プランジャの位置を検出するプランジャ位置検出部と、前記圧力印加部を制御し、前記プランジャ位置検出部から出力される信号に基づいて前記シリンジ内の液体中の気泡の有無を判定する制御部とを有するディスペンサ装置が提供される。
【０００７】
また、開示の技術の他の一観点によれば、シリンジ内に充填された液体中の気泡を検知する気泡検知方法であって、前記シリンジ内に、前記液体に接触しながら移動するプランジャを配置し、前記シリンジ内に圧力を印加して前記シリンジの一方の側に設けられたノズルから前記液体を吐出させる工程と、前記シリンジ内に圧力を印加したときの前記プランジャの経時的な位置変化を検出し、その検出結果から前記液体中の気泡の有無を判定する工程とを有する気泡検知方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
上記一観点に係るディスペンサ装置及び気泡検知方法によれば、プランジャを配置したシリンジ内の液体中の気泡を検知できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、エアー式ディスペンサ装置の一例を表した模式図である。
【図２】図２は、シリンジ内に配置されたプランジャを表した図である。
【図３】図３（ａ）はプランジャがない場合に気泡が除去されることを示す図、図３（ｂ）はプランジャがあるために気泡が除去できないことを示す図である。
【図４】図４は、第１の実施形態に係るディスペンサ装置を示す模式図である。
【図５】図５は、第１の実施形態に係るディスペンサ装置のシリンジ周辺部を拡大して示す図である。
【図６】図６は、第１の実施形態に係るディスペンサ装置の制御系を示すブロック図である。
【図７】図７（ａ）はディスペンサ本体により印加される空気圧プロファイルの一例を示す図、図７（ｂ）は図７（ａ）のように空気圧が印加されたときのプランジャの位置変化を示す図である。
【図８】図８は、第１の実施形態に係るディスペンサ装置の動作を示すフローチャートである。
【図９】図９は、空気圧印加部による空気圧の印加方法を例示した図である。
【図１０】図１０は、気泡除去処理を示すフローチャートである。
【図１１】図１１（ａ）はシリンジを半回転させてノズルを上方に配置した状態を示す図、図１１（ｂ）は接着剤中の気泡が上側に移動した状態を示す図である。
【図１２】図１２は、第２の実施形態に係るディスペンサ装置のプランジャ位置検出部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、実施形態について説明する前に、実施形態の理解を容易にするための予備的事項について説明する。
【００１１】
図１は、エアー式ディスペンサ装置の一例を表した模式図である。この図１に示すエアー式ディスペンサ装置は、ディスペンサ本体１１と、シリンジ１２とを有する。シリンジ１２は筒状の部材であり、その内側に接着剤１７を充填する。シリンジ１２の一方の側にはノズル１３が取り付けられており、他方の側にはチューブ１４が接続されている。このチューブ１４を介してディスペンサ本体１１からシリンジ１２内に空気圧が印加され、ノズル１３から接着剤１７が吐出される。
【００１２】
このような構造のエアー式ディスペンサ装置において、ノズル１３から吐出される接着剤１７の量は、シリンジ１２内に印加される空気圧と吐出時間とに関係する。しかし、空気圧と吐出時間とを一定にしても、接着剤１７中に気泡が含まれていると吐出量にばらつきが発生する。
【００１３】
この気泡は接着剤１７をシリンジ１２へ充填する際に発生しやすい。また、接着剤１７に溶け込んでいる空気や水分が、圧力の変化や温度の変化などにより気泡になることもある。そのため、図１に示すようなエアー式ディスペンサ装置を使用する場合、シリンジ１２内に接着剤１７を充填した後、遠心脱泡器又は真空脱泡器などを用いて、接着剤１７中の気泡、及び接着剤１７中に溶け込んでいる空気や水分を除去する。
【００１４】
ところで、粘度が低い接着剤の場合は、空気圧を印加していないにもかかわらずノズル１３から接着剤が垂れてしまうことがある。以下、このような現象を「液だれ」と呼ぶ。
【００１５】
液だれを防止するためには、図２に示すように、シリンジ１２内にシリンジ１２の内径とほぼ同じ直径のプランジャ１５を挿入することが有効である。
【００１６】
ディスペンサ本体１１からシリンジ１２内に空気圧が印加されると、プランジャ１５はシリンジ１２の内壁面に接触しながらシリンジ１２内を移動する。そして、ディスペンサ本体１１からシリンジ１２内への空気圧の印加が停止すると、プランジャ１５は摩擦力によりシリンジ１２内に固定される。プランジャ１５と接着剤１７との間にはエアー等が介在しないので、プランジャ１５がシリンジ１２内に固定されると接着剤１７が下側に移動しにくくなり、液だれが防止される。
【００１７】
但し、単にシリンジ１２内にプランジャ１５を配置しただけでは、接着剤１７中に気泡が発生したときに気泡を除去することができなくなり、接着剤１７の吐出量にばらつきが発生する。
【００１８】
すなわち、図３（ａ）に例示するように、プランジャ１５がない場合は接着剤１７中に発生した気泡１８が上昇し、接着剤１７中から気泡１８が除去される。しかし、図３（ｂ）に例示するように、単にシリンジ１２内にプランジャ１５を配置しただけでは、接着剤１７中に発生した気泡１８が接着剤１７中に留まり、除去することができなくなる。その結果、接着剤１７の吐出量にばらつきが発生する。
【００１９】
従って、プランジャ１５を配置したシリンジ内の液体中で気泡１８を検知した場合はそれを除去することができるディスペンサ装置が要望される。
【００２０】
（第１の実施形態）
図４は第１の実施形態に係るディスペンサ装置を示す模式図であり、図５は同じくそのディスペンサ装置のシリンジ周辺部を拡大して示す図である。また、図６は、本実施形態に係るディスペンサ装置の制御系を示すブロック図である。
【００２１】
本実施形態に係るディスペンサ装置は、ディスペンサ本体２１と、シリンジ２２と、気泡検知排出機構３０とを有する。また、気泡検知排出機構３０は、ホルダ３１と、ロータリーアクチュエータ３２と、回転軸３３と、発光部３４と、受光部３５とを有する。
【００２２】
図４に示すように、シリンジ２２の一方の側にはノズル２３が取り付けられており、他方の側にはチューブ２４が接続されている。このチューブ２４を介してディスペンサ本体２１からシリンジ２２内に空気圧が印加され、ノズル２３から接着剤２７が吐出される。なお、本実施形態では、シリンジ２２がガラス又はプラスチックなどを用いたものであって、比較的透明に近い材料から形成されているものとする。
【００２３】
シリンジ２２内には、シリンジ２２の内径とほぼ同じ直径のプランジャ２５が配置されている。このプランジャ２５により、シリンジ２２内の空間は、接着剤２７が充填される空間とディスペンサ本体２１から供給されるエアーが占める空間とに分離される。プランジャ２５は、シリンジ２２内に空気圧が印加されると、シリンジ２２の内面に接触しながら移動する。
【００２４】
図５に示すように、シリンジ２２はホルダ３１に保持されている。また、ホルダ３１は、ロータリーアクチュエータ３２により駆動されて、回転軸３３を中心に回転する。
【００２５】
ホルダ３１には、シリンジ２２を挟む位置に発光部３４及び受光部３５が取り付けられている。発光部３４は複数の発光素子を有し、受光部３５は複数の受光素子を有する。それらの発光素子及び受光素子はシリンジ２２の長手方向に並んでいる。そして、発光部３４から出射された光の一部がプランジャ２５により遮られ、プランジャ２５の位置が変化すると受光部３５に受光される光の量が変化する。従って、受光部３５の受光量からプランジャ２５の位置を知ることができる。
【００２６】
発光部３４及び受光部３５は、プランジャ位置検出部の一例である。本実施形態ではプランジャ位置検出部として透過型光センサを使用しているが、プランジャ位置検出部として反射型光センサを使用してもよい。発光部３４は、接着剤２７の硬化に影響を与えない波長の光を出射するものであることが好ましい。
【００２７】
図６に示すように、ディスペンサ本体２１は、制御部２１ａと、空気圧印加部２１ｂとを有する。制御部２１ａはマイクロコンピュータを含んで形成されており、発光部３４、受光部３５及びロータリーアクチュエータ３２と電気的に接続されている。空気圧印加部２１ｂは圧縮空気供給源（図示せず）とチューブ２４との間に接続されており、制御部２１ａから与えられる信号に応じてシリンジ２２内に空気圧を印加したり、空気圧の印加を停止したりする。
【００２８】
なお、図４には図示していないが、接着剤２７を吐出した後にノズル２３の先端部に残る接着剤を除去するために、濾紙やスポンジ等の吸収部材でノズル２３の先端部を両側から挟んで拭き取るワイプ装置を設けることが好ましい。
【００２９】
図７（ａ）は、横軸に時間をとり、縦軸にシリンジ２２内に印加される空気圧をとって、ディスペンサ本体２１により印加される空気圧プロファイルの一例を示す図である。また、図７（ｂ）は、横軸に時間をとり、縦軸にシリンジ２２の長手方向におけるプランジャ２５の位置をとって、図７（ａ）のように空気圧が印加されたときのプランジャ２５の位置変化を示す図である。
【００３０】
本実施形態では、シリンジ２２内に供給されるエアーの圧力をパルス状に変化させる。例えば、図７（ａ）に示すように時間ｔ１にシリンジ２２内に１００ｋＰａの空気圧を印加し、時間ｔ３に空気圧の印加を停止する。
【００３１】
接着剤２７中に気泡がない場合、図７（ａ）のように空気圧を印加すると、図７（ｂ）中に実線で示すようにプランジャ２５の位置は時間の経過とともに直線状に変化する。そして、時間ｔ３で空気圧の印加を停止すると、プランジャ２５の位置は一定となる。この場合、図７（ｂ）中に矢印Ａで示すプランジャ２５の位置変化量に応じた量の接着剤２７が、シリンジ２２の先端のノズル２３から吐出される。
【００３２】
一方、接着剤２７中に気泡がある場合は、図７（ｂ）中に破線で示すように、時間ｔ１から時間ｔ２の間は空気圧の印加とともにプランジャ２５の位置が急激に変化する。そして、時間ｔ２から時間ｔ３までの間は、プランジャ２５の位置が変化するものの、その変化の割合は比較的穏やかになる。時間ｔ３で空気圧の印加が停止すると、プランジャ２５は逆方向に移動した後、時間ｔ４でプランジャ２５の移動は停止する。
【００３３】
図７（ｂ）において、時間ｔ１から時間ｔ２までの間にプランジャ２５の位置が急激に変化するのは、空気圧の印加にともなって気泡が圧縮されるためである。また、時間ｔ３から時間ｔ４までの間にプランジャ２５が逆方向に移動するのは、空気圧の印加が停止すると圧縮されていた気泡が膨張するためである。図７（ｂ）中に矢印Ｂで示すプランジャ２５の位置変化量に応じた量の接着剤が、吐出量のばらつきとなる。
【００３４】
図７（ｂ）からわかるように、接着剤２７中に気泡があるときは、時間ｔ１から時間ｔ３までの間にプランジャ２５の移動速度が大きく変化する。また、接着剤２７中に気泡があるときは、時間ｔ３で圧力の印加を停止した後もプランジャ２５の位置が変化する。本実施形態では、このような圧力印加時のプランジャ２５の移動速度の変化、又は圧力印加停止後のプランジャ２５の位置変化から、接着剤２７中に気泡があるか否かを判定する。
【００３５】
図８は、本実施形態に係るディスペンサ装置の動作を示すフローチャートである。なお、初期状態では、図４のようにシリンジ２２はノズル２３を下側にして配置されているものとする。
【００３６】
まず、ステップＳ１１において、制御部２１ａは、発光部３４ａ及び受光部３５に電力を供給し、受光部３５の出力を監視する。その後、ステップＳ１２に移行し、制御部２１ａは空気圧印加部２１ｂを制御して、シリンジ２２に空気圧を印加する。本実施形態では、図９に示すように、パルス状の空気圧を複数回連続して供給するものとする。
【００３７】
次に、ステップＳ１３に移行し、制御部２１ａは受光部２５の出力から、シリンジ２２内の接着剤２７中の気泡の有無を判定する。例えば、制御部２１ａは、空気圧の印加停止とほぼ同時に受光部２５の出力の変化が停止したときには接着剤２７に気泡がないと判定し、空気圧の印加停止後も比較的長時間受光部２５ａの出力が変化したときには接着剤２７中に気泡があると判定する。
【００３８】
ステップＳ１３で気泡がないと判定した場合（ＮＯの場合）は、ステップＳ１５に移行する。そして、制御部２１ａは空気圧印加部２１ｂを制御してシリンジ２２内に空気圧を印加し、ノズル２３から接着剤２７を吐出させる。これにより、処理物に一定量の接着剤が塗布される。
【００３９】
一方、ステップＳ１３で気泡があると判定した場合（ＹＥＳの場合）は、ステップＳ１４に移行して、気泡除去処理を実施する。
【００４０】
図１０は、気泡除去処理を示すフローチャートである。
【００４１】
気泡除去処理を開始すると、まずステップＳ２１において、制御部２１ａはロータリーアクチュエータ３２を制御し、図１１（ａ）に示すように、シリンジ２２を半回転させてノズル２３を上方に配置する。図１１（ａ）中の符号２８は、接着剤２７中の気泡を表している。
【００４２】
その後、ステップＳ２２に移行し、制御部２１ａは所定の時間が経過するのを待つ。この間に、図１１（ｂ）に示すように、接着剤２７中の気泡２８は上側に移動する。
【００４３】
次に、ステップＳ２３に移行し、制御部２１ａは圧力印加部２１ｂを制御し、シリンジ２２内にパルス状の空気圧を複数回連続して供給して、気泡２８をノズル２３から外に押し出す。
【００４４】
次いで、ステップＳ２４に移行し、制御部２１ａはロータリーアクチュエータ３２を制御し、シリンジ２２を半回転させてノズル２３を下方に配置する。
【００４５】
このようにして気泡除去処理を行った後、再度ステップＳ１２に戻って空気圧を印加し、ステップＳ１３で気泡の有無を判定する。
【００４６】
本実施形態では、上述したように処理物に実際に接着剤２７を塗布する前にシリンジ２２内に空気圧を印加し、プランジャ２５の位置変化により接着剤２７中に気泡があるか否かを判定する。
【００４７】
例えば、シリンジ２２内の接着剤２７に光を照射し、光の乱反射により気泡の有無を判定することも考えられる。しかし、接着剤２７が光硬化性の場合は、光の照射により硬化が進んでしまうので、そのような方法を採用することはできない。これに対し、本実施形態では、シリンジ２２に空気圧を印加してプランジャ２５の位置変化により接着剤２７中の気泡の有無を判定するので、接着剤２７が光硬化性の場合にも使用することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、接着剤２７中に気泡があると判定したときには、シリンジ２２を反転させて、気泡除去処理を実施する。このため、気泡に起因する接着剤２７の吐出量のばらつきが抑制され、処理物に常に一定量の接着剤２７を塗布することができる。
【００４９】
更に、本実施形態では、シリンジ２２を反転させてノズル２３側から気泡を除去するので、シリンジ２２内にプランジャ２５を配置しても気泡除去が可能である。そして、シリンジ２２内にプランジャ２５を配置することにより、接着剤２７の粘度が低い場合であっても、液だれが発生しにくいという利点がある。
【００５０】
（第２の実施形態）
第１の実施形態では、プランジャ位置検出部として光センサを使用しているが、機械的にプランジャ２５の位置を検出するようにしてもよい。
【００５１】
図１２は、第２の実施形態に係るディスペンサ装置のプランジャ位置検出部を示す図である。なお、本実施形態が第１の実施形態と異なる点はプランジャ位置検出部として接触式変位センサ４１を使用していることにあり、その他の構造は基本的に第１の実施形態と同様である。このため、図１２において、図５と同一物には同一符号を付して、重複する部分の説明は省略する。
【００５２】
接触式変位センサ４１は、例えばコイル４２と、コイル４２の中心軸方向に沿って移動する棒状の可動鉄心４３と、ばね４４とを有する。そして、可動鉄心４３は、ばね４４によりプランジャ２５に向けて付勢され、その下側先端部がプランジャ２５に接触して、プランジャ２５とともに移動する。なお、ばね４４は付勢部材の一例である。
【００５３】
このような接触式変位センサ４１において、コイル４２に電流を流した状態で可動鉄心４３がコイル４２内を移動すると、コイル４２のインピーダンスが変化し、インピーダンスの変化に応じた電気信号が出力される。制御部２１ａ（図６参照）は、接触式変位センサ４１から出力される電気信号により、プランジャ２５の変位を検知する。そして、制御部２１ａは、第１の実施形態と同様に、プランジャ２５の変位に基づいて接着剤２７中の気泡の有無を判定する。
【００５４】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態では、プランジャ２５の変位量の検出に光を使用しないので、シリンジ２２が透明でなくてもよい。例えばシリンジ２２内に挿入する接着剤２７が光硬化性の場合、シリンジ２２を遮光性にすることにより、シリンジ２２内での接着剤２７の光反応による硬化を防止できる。
【００５５】
なお、上述した第１の実施形態及び第２の実施形態ではいずれもシリンジから接着剤を吐出するディスペンサ装置について説明したが、開示した技術は接着剤以外の液体を吐出するディスペンサ装置に適用することが可能である。
【００５６】
以上の諸実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００５７】
（付記１）一方の側にノズルが設けられたシリンジと、
前記シリンジ内に配置されて前記シリンジ内に充填される液体に接触するプランジャと、
前記シリンジの他方の側から前記シリンジ内に圧力を印加する圧力印加部と、
前記プランジャの位置を検出するプランジャ位置検出部と、
前記圧力印加部を制御し、前記プランジャ位置検出部から出力される信号に基づいて前記シリンジ内の液体中の気泡の有無を判定する制御部と
を有することを特徴とするディスペンサ装置。
【００５８】
（付記２）前記制御部は、前記圧力印加部を制御して前記シリンジ内に圧力をパルス状に印加し、前記プランジャ位置検出部により検出した前記プランジャの位置の経時変化により前記シリンジ内の液体中の気泡の有無を判定することを特徴とする付記１に記載のディスペンサ装置。
【００５９】
（付記３）前記圧力印加部は、気体を介して前記シリンジ内に圧力を印加することを特徴とする付記１又は２に記載のディスペンサ装置。
【００６０】
（付記４）更に、前記制御部により制御されて前記シリンジの上下を反転させるアクチュエータを有することを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載のディスペンサ装置。
【００６１】
（付記５）前記制御部は、前記シリンジ内の液体中に気泡があると判定したときに、前記アクチュエータを制御して前記シリンジの上下を反転し、所定時間経過後に前記圧力印加部を制御して前記シリンジ内に圧力を印加することを特徴とする付記４に記載のディスペンサ装置。
【００６２】
（付記６）前記プランジャ位置検出部が、発光部と受光部とを有する光センサであることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載のディスペンサ装置。
【００６３】
（付記７）前記プランジャ位置検出部が、前記プランジャに接触する接触式変位センサであることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項に記載のディスペンサ装置。
【００６４】
（付記８）シリンジ内に充填された液体中の気泡を検知する気泡検知方法であって、
前記シリンジ内に、前記液体に接触しながら移動するプランジャを配置し、前記シリンジ内に圧力を印加して前記シリンジの一方の側に設けられたノズルから前記液体を吐出させる工程と、
前記シリンジ内に圧力を印加したときの前記プランジャの経時的な位置変化を検出し、その検出結果から前記液体中の気泡の有無を判定する工程と
を有することを特徴とする気泡検知方法。
【００６５】
（付記９）前記シリンジ内への圧力の印加は、気体を介して行われることを特徴とする付記８に記載の気泡検知方法。
【００６６】
（付記１０）前記プランジャの経時的な位置変化は、光センサを用いて検出することを特徴とする付記８又は９に記載の気泡検知方法。
【００６７】
（付記１１）前記プランジャの経時的な位置変化は、接触式変位センサを用いて検出することを特徴とする付記８又は９に記載の気泡検知方法。
【符号の説明】
【００６８】
１１，２１…ディスペンサ本体、１２，２２…シリンジ、１３，２３…ノズル、１４，２４…チューブ、１５，２５…プランジャ、１７，２７…接着剤、１８，２８…気泡、２１ａ…制御部、２１ｂ…空気圧印加部、３０…気泡検知排出機構、３１…ホルダ、３２…ロータリーアクチュエータ、３３…回転軸、３４…発光部、３５…受光部、４１…接触式変位センサ、４２…コイル、４３…可動鉄心、４４…ばね。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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