(57)【要約】【課題】紫外線照射装置が複雑になるような紫外線モニタの移動機構を設けることなく、紫外線の強度を容易に測定することができる紫外線照射装置、及び紫外線強度の測定方法を提供する。【解決手段】紫外線照射装置は、紫外線を射出する紫外線射出手段と、紫外線射出手段から射出された紫外線の強度を測定する測定手段と、紫外線を紫外線射出手段から測定手段へ導く導光手段と、を備える。紫外線強度の測定方法は、紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する紫外線強度の測定方法であって、複数の紫外線射出手段を点灯させた状態で、複数の紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第１測定工程と、複数の紫外線射出手段を点灯させた状態から１個の紫外線射出手段を消灯させた状態で、点灯状態が維持されている紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第２測定工程と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を射出する紫外線射出手段と、
前記紫外線射出手段から射出された紫外線の強度を測定する測定手段と、
紫外線を前記紫外線射出手段から前記測定手段へ導く導光手段と、を備える、
ことを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】
前記導光手段は柱状の形状を有し、柱状の形状を有する前記紫外線射出手段の長手方向と略平行な方向に延在して配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記導光手段は柱状の形状を有し、柱状の形状を有する前記紫外線射出手段の長手方向と交差する方向に延在して配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記導光手段は、アクリル樹脂を用いて形成されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
前記導光手段は、前記導光手段に入射した紫外線を反射する反射手段を備えることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の紫外線照射装置。
【請求項６】
前記反射手段は、反射率が高い成分を含む液状体を、前記導光手段に点状に塗布することによって形成された反射点を有することを特徴とする、請求項５に記載の紫外線照射装置。
【請求項７】
前記反射点は、前記測定手段から遠い位置ほど高い密度で配設されていることを特徴とする、請求項６に記載の紫外線照射装置。
【請求項８】
紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する紫外線強度の測定方法であって、
複数の前記紫外線射出手段から射出された紫外線を、紫外線の強度を測定する測定手段に、前記紫外線射出手段を備えた装置に併設された導光手段を介して導く、
ことを特徴とする紫外線強度の測定方法。
【請求項９】
複数の前記紫外線射出手段を点灯させた状態で、複数の前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第１測定工程と、
複数の前記紫外線射出手段を点灯させた状態から１個の前記紫外線射出手段を消灯させた状態で、点灯状態が維持されている前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第２測定工程と、を有する、
ことを特徴とする、請求項８に記載の紫外線強度の測定方法。
【請求項１０】
前記第１測定工程は、複数の前記紫外線射出手段を備える紫外線照射装置が備える全ての前記紫外線射出手段を点灯させた状態で、前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する全点灯測定工程を含むことを特徴とする、請求項９に記載の紫外線強度の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線照射装置、及び紫外線強度の測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光源から射出される紫外線光を被処理部材に照射し、被処理部材を処理する紫外線照射装置が知られている。処理は、例えば被処理部材の表面の改質や、洗浄などである。好適な処理を実施するためには、照射する紫外線の強度を適切に維持することが必要である。しかし、光源の経時変化などによって、照射できる紫外線の強度が変化する場合がある。照射する紫外線の強度を適切に維持するために、光源から射出される紫外線の強度を測定する測定装置を備えた紫外線照射装置が用いられている。
【０００３】
特許文献１には、ランプハウスの照射窓から射出される紫外線の強度を検出するための紫外線モニタと、紫外線モニタを光照射窓に接近する方向に移動させる移動機構を備え、照射窓から射出される紫外線の強度を容易に測定することができる紫外線照射装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２７５５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された装置では、移動機構を設けることによって紫外線照射装置が複雑になるという課題があった。すなわち、紫外線照射装置が大型になったり、製造コストが増加したりするという課題があった。また、移動機構によって紫外線モニタを移動させるため、移動機構の誤動作などによって、移動機構や紫外線モニタが被処理物などに衝突する可能性があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる紫外線照射装置は、紫外線を射出する紫外線射出手段と、前記紫外線射出手段から射出された紫外線の強度を測定する測定手段と、紫外線を前記紫外線射出手段から前記測定手段へ導く導光手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる紫外線照射装置によれば、導光手段によって、紫外線が紫外線射出手段から測定手段へ導かれる。導光手段を用いて紫外線を導くことで、紫外線射出手段から測定手段に至る経路の途中で散乱することに起因して、測定手段に到達する紫外線の量が減少することを抑制することができる。これにより、紫外線射出手段から離れた位置に配設された測定手段にも、充分な量の紫外線を導くことができる。また、受光可能な範囲が狭い測定手段であっても、導光手段によって広い範囲の紫外線を測定手段の受光可能な範囲に導くことで、広い範囲における紫外線の強度を測定することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記導光手段は柱状の形状を有し、柱状の形状を有する前記紫外線射出手段の長手方向と略平行な方向に延在して配設されていることが好ましい。
【００１０】
この紫外線照射装置によれば、柱状の形状を有する導光手段と紫外線射出手段とが並んだ状態で配設されている。紫外線射出手段における導光手段が対向している部分を広くできるため、充分な光量を受光し易くすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記導光手段は柱状の形状を有し、柱状の形状を有する前記紫外線射出手段の長手方向と交差する方向に延在して配設されていることが好ましい。
【００１２】
この紫外線照射装置によれば、柱状の形状を有する導光手段が、紫外線射出手段の長手方向と交差する方向に延在して配設されている。これにより、１個の導光手段を多数の紫外線射出手段に対向させることができる。これにより、多数の紫外線射出手段に対して、略同じ距離に導光手段を配置することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記導光手段は、アクリル樹脂を用いて形成されていることが好ましい。
【００１４】
この紫外線照射装置によれば、前記導光手段は、アクリル樹脂を用いて形成されている。アクリル樹脂は、光透過性に優れるため、効率よく紫外線を導くことができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記導光手段は、前記導光手段に入射した紫外線を反射する反射手段を備えることが好ましい。
【００１６】
この紫外線照射装置によれば、導光手段に入射した紫外線を反射する反射手段によって、入射した紫外線が導光手段から射出することを抑制することができる。これにより、入射した紫外線を効率よく測定手段に導くことができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記反射手段は、反射率が高い成分を含む液状体を、前記導光手段に点状に塗布することによって形成された反射点を有することが好ましい。
【００１８】
この紫外線照射装置によれば、液状体を、導光手段に点状に塗布するだけの簡単な工程で、容易に反射手段を形成することができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる紫外線照射装置において、前記反射点は、前記測定手段から遠い位置ほど高い密度で配設されていることが好ましい。
【００２０】
この紫外線照射装置によれば、測定手段から遠い位置ほど高い密度で、反射点が配設されている。測定手段から遠い位置に入射した紫外線は、測定手段に至るまでに導光手段を通過する導光経路が長いため、近い位置に入射した紫外線より、強度が低下する可能性が高い。このため、入射位置の測定手段からの距離に起因して検出感度の差が生ずる可能性がある。測定手段から遠い位置ほど高い密度で、反射点を配設することによって、測定手段から遠い位置ほど、入射した紫外線が導光手段から射出し難くして、紫外線が導光手段から射出することに起因する強度の低下を抑制することができる。これにより、導光経路の長さの差に起因する検出感度の差を緩和することができる。
【００２１】
［適用例８］本適用例にかかる紫外線強度の測定方法は、紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する紫外線強度の測定方法であって、複数の前記紫外線射出手段から射出された紫外線を、紫外線の強度を測定する測定手段に、前記紫外線射出手段を備えた装置に併設された導光手段を介して導くことを特徴とする。
【００２２】
本適用例にかかる紫外線強度の測定方法によれば、紫外線射出手段を備えた装置に併設された導光手段によって、紫外線が紫外線射出手段から測定手段へ導かれる。導光手段を用いて紫外線を導くことで、紫外線射出手段から測定手段に至る経路の途中で散乱することに起因して、測定手段に到達する紫外線の量が減少することを抑制することができる。これにより、紫外線射出手段から離れた位置に配設された測定手段にも、充分な量の紫外線を導くことができる。また、受光可能な範囲が狭い測定手段であっても、導光手段によって広い範囲の紫外線を測定手段の受光可能な範囲に導くことで、広い範囲における紫外線の強度を測定することができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる紫外線強度の測定方法は、複数の前記紫外線射出手段を点灯させた状態で、複数の前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第１測定工程と、複数の前記紫外線射出手段を点灯させた状態から１個の前記紫外線射出手段を消灯させた状態で、点灯状態が維持されている前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する第２測定工程と、を有することが好ましい。
【００２４】
この紫外線強度の測定方法によれば、点灯させた状態から消灯させて、消灯した紫外線射出手段の紫外線の強度を測定する。多くの紫外線射出手段は、消灯状態から点灯して、通常の強度の紫外線を射出している状態になるまでに、時間を要する。消灯する場合は、実質的に消灯した瞬間に射出している紫外線の強度は零になる。点灯させた状態から消灯させて、消灯した紫外線射出手段の紫外線の強度を測定することで、通常の強度の紫外線を射出している状態になるまでの待ち時間をなくして、効率よく紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる紫外線強度の測定方法において、前記第１測定工程は、複数の前記紫外線射出手段を備える紫外線照射装置が備える全ての前記紫外線射出手段を点灯させた状態で、前記紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定する全点灯測定工程を含むことが好ましい。
【００２６】
この紫外線強度の測定方法によれば、紫外線照射装置が備える全ての紫外線射出手段を点灯させた状態から開始して、順次消灯した紫外線射出手段が射出する紫外線の強度を求める。これにより、測定する紫外線射出手段を順次点灯させる場合にくらべて、効率よく、紫外線照射装置が備える全ての紫外線射出手段から射出される紫外線の強度を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】描画装置ユニットの構成を示す説明図。
【図２】前処理装置の要部の概略構成を示す説明図。
【図３】（ａ）は、光強度測定ユニット及び紫外線ランプを、紫外線ランプの延在方向に略直交する断面で示す説明図。（ｂ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な方向における、光強度測定ユニットと紫外線ランプとの位置関係を示す説明図。
【図４】紫外線ランプが射出する紫外線強度の測定工程を示すフローチャート。
【図５】（ａ）は、光強度測定ユニットの配置位置を示す斜視図。（ｂ）は、光強度測定ユニット及び紫外線ランプを、紫外線ランプの延在方向に略直交する断面で示す説明図。（ｃ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な方向における、光強度測定ユニットと紫外線ランプとの位置関係を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る紫外線照射装置、及び紫外線強度の測定方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、マーキング対象物にマーキング画像を形成する描画装置ユニットにおける前処理装置を例にして説明する。前処理装置は、マーキング対象物に紫外線を照射して、マーキング対象物における画像を形成する面を改質する装置である。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２９】
＜描画装置ユニット＞
最初に、描画対象物に、画像を描画する描画装置ユニットについて、図１を参照して説明する。描画対象物は、例えば、半導体チップを保持基板の上に整列させて仮固定した、チップ描画体などである。図１は、描画装置ユニットの構成を示す説明図である。
【００３０】
図１に示したように、描画装置ユニット１００は、液滴吐出装置１０１と、搬送ロボット１０２と、前処理装置１０３と、温度調整装置１０４ａと、温度調整装置１０４ｂと、ロード装置１０５と、アンロード装置１０６と、描画ユニット制御装置１０７と、入出力装置１０８と、表示装置１０９と、を備えている。
描画対象物は、所定のマガジンに装着される。描画対象物が装着されたマガジンをロード装置１０５に装填することで、描画対象物が、描画装置ユニット１００に供給される。
描画装置ユニット１００における処理が終了した描画対象物は、アンロード装置１０６の待機テーブル上に移動され、アンロード装置１０６に装填されたマガジンに装着される。当該マガジンをアンロード装置１０６から取り出すことによって、処理済みの描画対象物が、描画装置ユニット１００から除材される。
【００３１】
搬送ロボット１０２は、ロード装置１０５に装填されたマガジンから取り出されて待機テーブル上に置かれた描画対象物を、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などにおける所定の位置に載置する。搬送ロボット１０２は、また、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などで処理された描画対象物を、液滴吐出装置１０１や前処理装置１０３などから除材して、次の処理を実施する装置に供給する。搬送ロボット１０２は、さらに、描画装置ユニット１００における処理が終了した描画対象物を、アンロード装置１０６の待機テーブル上に移動させる。
【００３２】
液滴吐出装置１０１は、描画対象物に、画像を描画する。液滴吐出装置１０１は、搬送ロボット１０２によって媒体載置台３１上に供給された描画対象物を吸着保持して、吸着保持した描画対象物に画像を描画する。
【００３３】
前処理装置１０３は、描画対象物に対して、液滴吐出装置１０１によって描画するために好適な状態にするための前処理を実施する。また、前処理装置１０３は、画像を構成する機能液を硬化させるための硬化光を照射する硬化装置として用いられる場合もある。前処理装置１０３は、搬送ロボット１０２によって、前処理テーブル７１上に供給された描画対象物を吸着保持して、前処理などを実施する。
【００３４】
温度調整装置１０４ａ及び温度調整装置１０４ｂは、描画対象物の温度を、前処理装置１０３による処理や、液滴吐出装置１０１による描画を実施するために好適な温度に調整する。また、画像を構成する機能液を硬化させるための加熱などの後処理を実施するために用いられる場合もある。
【００３５】
描画ユニット制御装置１０７は、画像データにしたがって、上記した各装置などを制御して、描画対象物に、画像を描画させる。
入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７に接続されている。入出力装置１０８は、描画ユニット制御装置１０７の記憶装置に記憶させるプログラムやデータなどを入力するための入力手段として機能する。描画ユニット制御装置１０７は、記憶装置に記憶されたプログラムやデータなどにしたがって、上記した各装置などを制御する。また、入出力装置１０８は、各装置などの稼働にともなって取得されるデータの出力手段としても、機能する。
表示装置１０９は、各装置などの稼働状態などを表示する手段として機能する。
【００３６】
＜前処理装置＞
次に、前処理装置１０３について、図２を参照して説明する。図２は、前処理装置の要部の概略構成を示す説明図である。
【００３７】
図２に示したように、前処理装置１０３は、前処理テーブル７１と、紫外線ランプ７４と、ランプ支持枠７５と、テーブル搬送装置７３と、装置基台７７と、光強度測定ユニット６１と、を備えている。
ランプ支持枠７５は、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとを備えている。支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、装置基台７７に立設されている。支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂは、図示省略したソケットを備えており、それぞれのソケットが互いに対向する状態で立設されている。紫外線ランプ７４は、電極ピン（図示省略）が、支持枠７５ａ及び支持枠７５ｂに形成されたソケットに嵌合しており、支持枠７５ａと支持枠７５ｂとの間に差し渡された状態で支持されている。本実施形態の前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えている。６本の紫外線ランプ７４は、略鉛直方向に並んで、壁のようになっている。
前処理装置１０３が、紫外線照射装置に相当する。紫外線ランプ７４が、紫外線照射手段に相当する。
【００３８】
テーブル搬送装置７３は、紫外線ランプ７４の延在方向と略平行に延在している。前処理テーブル７１は、図２に矢印ａ及び矢印ｂで示したテーブル搬送装置７３の延在方向に移動可能に、テーブル搬送装置７３に支持されている。前処理装置１０３は、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３とをそれぞれ２個備えており、前処理テーブル７１とテーブル搬送装置７３の組が、６本の紫外線ランプ７４からなる壁の両側にそれぞれ配設されている。
【００３９】
前処理テーブル７１は、載置面に吸着パッド７２が配設されている。吸着パッド７２の中央に形成された吸着孔は、図示省略した吸引装置に連通している。描画対象物１５などが前処理テーブル７１の載置面に載置されると、吸着パッド７２に接触して支持される。吸引装置によって吸引されることで、描画対象物１５などが吸着パッド７２に吸着されて、前処理テーブル７１に保持される。
【００４０】
テーブル搬送装置７３は、前処理テーブル７１を、給除材位置又は前処理位置に保持し、給除材位置と前処理位置との間を移動させる。給除材位置は、搬送ロボット１０２によって、描画対象物１５などを、前処理テーブル７１に給材又は前処理テーブル７１から除材する位置である。図２に示した前処理テーブル７１は、給除材位置に位置している。前処理位置は、前処理テーブル７１に保持された描画対象物１５などを、紫外線ランプ７４に臨ませて紫外線を照射させる位置である。テーブル搬送装置７３は、前処理位置において、図示省略した回動装置によって前処理テーブル７１を、矢印ｃ１又は矢印ｃ２で示した方向に回動させて、前処理テーブル７１の載置面を、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に臨ませる。図２に二点差線で示した前処理テーブル７１Ａは、回動させられた前処理テーブル７１を示している。紫外線を照射させた後は、前処理テーブル７１Ａを矢印ｄ１又は矢印ｄ２で示した方向に回動させて、水平状態に戻す。
なお、図２においては、図面を分かりやすくするために、前処理テーブル７１と紫外線ランプ７４とを、離して記載してある。実際の前処理装置１０３においては、前処理テーブル７１及びテーブル搬送装置７３は、描画対象物１５などを、直近で紫外線ランプ７４に臨ませるような位置に配設されている。
【００４１】
光強度測定ユニット６１は、紫外線センサー６２と、導光体６４とを備えている。紫外線センサー６２は、受光面６２ａ（図３参照）を、導光体６４の射出面６４ｅ（図３参照）に当接させて、導光体６４と固定されている。光強度測定ユニット６１は、導光体６４が取付部材（図示省略）を介して支持枠７５ａに固定されることによって、支持枠７５ａに固定されている。導光体６４は、支持枠７５ａに固定されることによって、紫外線ランプ７４の延在方向と略直交する方向であって、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に略平行な方向に延在している。導光体６４の入射面６４ａ（図３参照）は、６本の紫外線ランプ７４に臨んでいる。
紫外線センサー６２が、測定手段に相当する。導光体６４が、導光手段に相当する。
【００４２】
＜光強度測定ユニット＞
次に、光強度測定ユニット６１の構成及び配置位置について、図３を参照して説明する。図３は、光強度測定ユニットの概略構成及び配置位置を示す説明図である。図３（ａ）は、光強度測定ユニット及び紫外線ランプを、紫外線ランプの延在方向に略直交する断面で示す説明図であり、図３（ｂ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な方向における、光強度測定ユニットと紫外線ランプとの位置関係を示す説明図である。なお、図面を簡単にするために、図３（ａ）における紫外線ランプ７４は、ガラス管の外形のみを示してある。図３に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、図２に示したＸ軸方向、Ｙ軸方向、又はＺ軸方向と同じ方向である。
【００４３】
上述したように、光強度測定ユニット６１は、紫外線センサー６２と、導光体６４とを備えている。
導光体６４は、アクリル樹脂を用いて形成されている。導光体６４は、直方体形状を有している。直方体の長い４面の中の一面を入射面６４ａと表記する。入射面６４ａの反対側の面を裏面６４ｂと表記する。直方体の長い４面の中の残りの２面を側面６４ｄと表記する。直方体の端面の一方を射出面６４ｅと表記し、もう一方の面を反射端面６４ｃと表記する。
【００４４】
裏面６４ｂには、反射点層６６Ａが形成されている。反射点層６６Ａは、多数の反射点６６を並べて配置したものである。
反射点６６は、例えばインクジェット法によって、液状体の液滴を裏面６４ｂ上に配置（印刷）することによって形成する。液状体は、例えば、チタン白（ＴｉＯ２）や沈降性硫酸バリウム（ＢａＳＯ４）など光学的に吸収がなく反射率の高い顔料とアクリル系バインダーを練り合わせたものを含む反射インクである。
反射点層６６Ａにおいて、反射点６６は、射出面６４ｅから反射端面６４ｃにかけて配置されている位置によって異なる密度で配置されている。反射点６６は、射出面６４ｅに近い位置よりも反射端面６４ｃに近い位置の方が高い密度で配置されている。
反射端面６４ｃには、反射点層６６Ｂが形成されている。反射点層６６Ｂも、多数の反射点６６を並べたものである。反射点層６６Ｂにおいて、反射点６６は、反射点層６６Ａにおける最も反射点６６の密度が高い部分と同等の密度で配設されている。
なお、図３における反射点層６６Ａ及び反射点層６６Ｂは、存在を明示するために、厚く示してある。
反射点層６６Ａが、反射手段に相当する。反射点層６６Ｂが、反射手段に相当する。
【００４５】
上述したように、光強度測定ユニット６１は、導光体６４が取付部材（図示省略）を介して支持枠７５ａに固定されることによって、支持枠７５ａに固定されている。導光体６４は、支持枠７５ａに固定されることによって、紫外線ランプ７４の延在方向と略直交する方向であって、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に略平行な方向に延在している。導光体６４の入射面６４ａは、６本の紫外線ランプ７４に臨んでいる。入射面６４ａと紫外線ランプ７４との距離は、６本の紫外線ランプ７４において略同一の距離である。
６本の紫外線ランプ７４から射出された紫外線は、入射面６４ａから導光体６４に入射する。導光体６４に入射した紫外線は、裏面６４ｂや、反射端面６４ｃや、入射面６４ａや、側面６４ｄにおいて内面反射されて、射出面６４ｅに導かれ、射出面６４ｅから射出される。
【００４６】
紫外線センサー６２は、受光面６２ａを備えており、受光面６２ａから入射された紫外線を検出し、紫外線の強度を出力する。紫外線センサー６２は、図示省略したケーブルを介して描画ユニット制御装置１０７と電気的に接続されており、描画ユニット制御装置１０７に強度情報を送信することによって、紫外線の強度を出力する。
紫外線センサー６２は、受光面６２ａを導光体６４の射出面６４ｅに当接させて、導光体６４と固定されており、射出面６４ｅから射出される紫外線が、受光面６２ａから紫外線センサー６２に入射される。
【００４７】
＜紫外線強度の測定＞
次に、前処理装置１０３が備える紫外線ランプ７４が射出する紫外線の強度を測定する工程について、図４を参照して説明する。図４は、紫外線ランプが射出する紫外線強度の測定工程を示すフローチャートである。
最初に、図４のステップＳ１では、前処理装置１０３が備える６本の紫外線ランプ７４を、全て点灯させる。
次に、ステップＳ２では、紫外線ランプ７４をウォームアップさせ、ウォームアップの間は、待機する。紫外線ランプ７４は、点灯した時点では、通常の強度で紫外線を射出することができない。点灯してから通常の強度で紫外線を射出している状態になるまで、ウォームアップ時間が必要である。ステップＳ２は、ウォームアップが完了するまで待つ工程である。
【００４８】
次に、ステップＳ３では、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を測定する。光強度測定ユニット６１によって、ウォームアップが完了した６本の紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を測定し、測定結果を記憶する。
【００４９】
次に、ステップＳ４では、点灯している紫外線ランプ７４の中の１灯の紫外線ランプ７４を消灯させる。
次に、ステップＳ５では、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を測定する。ステップＳ４において、点灯している紫外線ランプ７４の中の１灯の紫外線ランプ７４を消灯させた後、点灯している紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を測定し、測定結果を記憶する。
【００５０】
次に、ステップＳ６では、１灯の紫外線ランプ７４が射出している紫外線の強度を算出する。ステップＳ３において測定して記憶した紫外線の強度から、ステップＳ５において測定して記憶した紫外線の強度を減ずることで、ステップＳ４で消灯させた紫外線ランプ７４が射出している紫外線の強度を算出する。
【００５１】
次に、ステップＳ７では、射出している紫外線の強度を求めてない紫外線ランプ７４が有るか否かを判定する。紫外線の強度を求めてない紫外線ランプ７４の有無は、例えば、測定する対象の紫外線ランプ７４の数を予め入力しておき、ステップＳ４において消灯した紫外線ランプ７４の数と比較することによって判定することができる。
射出している紫外線の強度を求めてない紫外線ランプ７４が有った（ステップＳ７でＹＥＳ）場合には、ステップＳ４に戻り、ステップＳ４からステップＳ７の各工程を繰り返す。射出している紫外線の強度を求めてない紫外線ランプ７４が無い（ステップＳ７でＮＯ）場合には、ステップＳ８に進む。
【００５２】
ステップＳ７の次に、ステップＳ８では、取得した紫外線ランプ７４が射出する紫外線の強度のデータを出力する。データの出力は、例えば、入出力装置１０８を用いて実施する。あるいは、表示装置１０９に表示することによって、出力する。
ステップＳ８を実施して、前処理装置１０３が備える紫外線ランプ７４が射出する紫外線の強度を測定する工程を終了する。
【００５３】
＜他の光強度測定ユニット例＞
次に、光強度測定ユニット６１の構成及び配置位置と、一部の構成及び配置位置が異なる光強度測定ユニット６７の構成及び配置位置について、図５を参照して説明する。図５は、光強度測定ユニットの概略構成及び配置位置を示す説明図である。図５（ａ）は、光強度測定ユニットの配置位置を示す斜視図であり、図５（ｂ）は、光強度測定ユニット及び紫外線ランプを、紫外線ランプの延在方向に略直交する断面で示す説明図であり、図５（ｃ）は、紫外線ランプの延在方向に略平行な方向における、光強度測定ユニットと紫外線ランプとの位置関係を示す説明図である。なお、図面を簡単にするために、図５（ｂ）における紫外線ランプ７４は、ガラス管の外形のみを示してある。
【００５４】
光強度測定ユニット６１と同様に、光強度測定ユニット６７は、紫外線センサー６９と、導光体６８とを備えている。
紫外線センサー６９が、測定手段に相当する。導光体６８が、導光手段に相当する。
導光体６８は、アクリル樹脂を用いて形成されている。導光体６８は、直方体形状を有している。直方体の長い４面の中の一面を入射面６８ａと表記する。入射面６８ａの反対側の面を裏面６８ｂと表記する。直方体の長い４面の中の残りの２面を側面６８ｄと表記する。直方体の端面の一方を射出面６８ｅと表記し、もう一方の面を反射端面６８ｃと表記する。
【００５５】
裏面６８ｂには、反射点層６６Ｃが形成されている。反射点層６６Ｃは、多数の反射点６６を並べて配置したものである。反射点６６は、上述した反射点層６６Ａや反射点層６６Ｂを構成する反射点６６と同様のものである。
反射点層６６Ｃにおいて、反射点６６は、反射点層６６Ａと同様に、射出面６８ｅから反射端面６８ｃにかけて配置されている位置によって異なる密度で配置されている。反射点６６は、射出面６８ｅに近い位置よりも反射端面６８ｃに近い位置の方が高い密度で配置されている。
反射端面６８ｃには、反射点層６６Ｄが形成されている。反射点層６６Ｄも、多数の反射点６６を並べたものである。反射点層６６Ｄにおいて、反射点６６は、反射点層６６Ｃにおける最も反射点６６の密度が高い部分と同等の密度で配設されている。
反射点層６６Ｃが、反射手段に相当する。反射点層６６Ｄが、反射手段に相当する。
【００５６】
光強度測定ユニット６７は、導光体６８が取付部材（図示省略）を介して装置基台７７に固定されることによって、装置基台７７に固定されている。導光体６８は、装置基台７７に固定されることによって、紫外線ランプ７４の延在方向略平行な方向に延在している。導光体６８の入射面６８ａは、６本の紫外線ランプ７４に臨んでいる。入射面６８ａは、紫外線ランプ７４の長さ方向の全体を含む範囲に臨んでいる。導光体６８の入射面６８ａの短辺方向の長さは、並列する６本の紫外線ランプ７４からの紫外線が入射しやすくするために、導光体６４の入射面６４ａの短辺方向の長さより長く設定されている。
６本の紫外線ランプ７４から射出された紫外線は、入射面６８ａから導光体６８に入射する。導光体６８に入射した紫外線は、裏面６８ｂや、反射端面６８ｃや、入射面６８ａや、側面６８ｄにおいて内面反射されて、射出面６８ｅに導かれ、射出面６８ｅから射出される。
【００５７】
紫外線センサー６９は、受光面６９ａを備えており、受光面６９ａから入射された紫外線を検出し、紫外線の強度を出力する。紫外線センサー６９は、図示省略したケーブルを介して描画ユニット制御装置１０７と電気的に接続されており、描画ユニット制御装置１０７に強度情報を送信することによって、紫外線の強度を出力する。
紫外線センサー６９は、受光面６９ａを導光体６８の射出面６８ｅに当接させて、導光体６８と固定されており、射出面６８ｅから射出される紫外線が、受光面６９ａから紫外線センサー６９に入射される。
【００５８】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）光強度測定ユニット６１は、紫外線センサー６２と、導光体６４とを備えている。光強度測定ユニット６７は、紫外線センサー６９と、導光体６８とを備えている。紫外線ランプ７４から射出されて導光体６４又は導光体６８に入射した紫外線を、紫外線センサー６２又は紫外線センサー６９に導くことによって、紫外線ランプ７４から紫外線センサー６２又は紫外線センサー６９に至る経路の途中で紫外線が散乱することを抑制することができる。これにより、紫外線ランプ７４から離れた位置に配設された紫外線センサー６２及び紫外線センサー６９に、充分な量の紫外線を導くことができる。
【００５９】
（２）導光体６４は、紫外線ランプ７４の延在方向と略直交する方向であって、６本の紫外線ランプ７４からなる壁に略平行な方向に延在している。これにより、入射面６４ａと紫外線ランプ７４との距離を、６本の紫外線ランプ７４において略同一の距離にすることができる。したがって、紫外線ランプ７４から射出されて導光体６４の入射面６４ａに入射する紫外線を、６本の紫外線ランプ７４において、略均一にすることができる。
【００６０】
（３）導光体６８は、装置基台７７に固定されることによって、紫外線ランプ７４の延在方向に略平行な方向に延在しており、入射面６８ａは、紫外線ランプ７４の長さ方向の全体を含む範囲に臨んでいる。このため、紫外線ランプ７４の全長にわたって紫外線ランプ７４から射出される紫外線を、入射面６８ａに入射させて紫外線センサー６９に導き、測定することができる。これにより、紫外線ランプ７４の長さ方向における一部分から射出される紫外線を測定する場合にくらべて、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を、正確に測定することができる。
【００６１】
（４）導光体６４及び導光体６８において、裏面６４ｂ、反射端面６４ｃ、裏面６８ｂ、及び反射端面６８ｃには、反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、又は反射点層６６Ｄが形成されている。反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、又は反射点層６６Ｄによって、導光体６４又は導光体６８に入射した紫外線が、裏面６４ｂ、反射端面６４ｃ、裏面６８ｂ、又は反射端面６８ｃから、導光体６４又は導光体６８の外に射出されることを抑制することができる。
【００６２】
（５）反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、及び反射点層６６Ｄは、多数の反射点６６で構成されている。反射点６６は、例えばインクジェット法によって、反射インクの液滴を配置（印刷）することによって形成する。これにより、液滴を吐出して、裏面６４ｂ、反射端面６４ｃ、裏面６８ｂ、又は反射端面６８ｃに着弾させるだけで、容易に反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、及び反射点層６６Ｄを形成することができる。
【００６３】
（６）反射点層６６Ａ及び反射点層６６Ｃにおいて、反射点６６は、射出面６４ｅ又は射出面６８ｅに近い位置よりも、反射端面６４ｃ又は反射端面６８ｃに近い位置の方が高い密度で配置されている。このため、射出面６４ｅ又は射出面６８ｅから遠い位置に入射して、導光体６４又は導光体６８を通過する導光経路が長いために導光体６４又は導光体６８から射出する可能性が高くなる紫外線を射出し難くすることができる。これにより、射出面６４ｅ又は射出面６８ｅに至る導光経路の長さの差に起因する検出感度の差を緩和することができる。
【００６４】
（７）導光体６４及び導光体６８は、アクリル樹脂を用いて形成されている。アクリル樹脂は、光透過性に優れるため、紫外線が導光体６４又は導光体６８の内部を透過する際の損失を抑制して、効率よく紫外線を導くことができる。また、アクリル樹脂は、ガラスなどにくらべて比重が小さいため、導光体６４及び導光体６８の重量を軽くすることができる。
【００６５】
（８）ステップＳ１で、前処理装置１０３が備える６本の紫外線ランプ７４を、全て点灯させ、ステップＳ３で、紫外線ランプ７４から射出される紫外線の強度を測定する。ステップＳ４で、点灯している紫外線ランプ７４の中の１灯の紫外線ランプ７４を消灯させ、ステップＳ５で、点灯している紫外線ランプ７４の中の１灯の紫外線ランプ７４を消灯させた後の紫外線の強度を測定する。ステップＳ６では、ステップＳ３の測定結果と、ステップＳ５の測定結果とから、１灯の紫外線ランプ７４が射出している紫外線の強度を算出する。紫外線ランプ７４をウォームアップさせる工程はステップＳ２のみとなっている。これにより、紫外線の強度を測定する対象の紫外線ランプ７４を測定に際してそれぞれ点灯してウォームアップする場合にくらべて、前処理装置１０３における紫外線強度の測定に際して、ウォームアップに要する時間を短縮することができる。
【００６６】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００６７】
（変形例１）前記実施形態においては、導光体６４及び導光体６８において、裏面６４ｂ、反射端面６４ｃ、裏面６８ｂ、及び反射端面６８ｃには、反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、又は反射点層６６Ｄが形成されていた。しかし、導光手段に反射手段を設けることは必須ではない。導光体に入射した紫外線を充分に射出面に導くことができれば、反射手段を設けない構成であってもよい。
【００６８】
（変形例２）前記実施形態においては、反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、及び反射点層６６Ｄは、多数の反射点６６によって構成されていた。しかし、反射手段が反射点を備えることは必須ではない。反射手段は、反射率が高い部材が略均一に隙間無くならべられた構成であってもよい。
【００６９】
（変形例３）前記実施形態においては、導光体６４又は導光体６８に形成された反射点層６６Ａ及び反射点層６６Ｃにおいて、反射点６６は、射出面６４ｅ又は射出面６８ｅに近い位置よりも、反射端面６４ｃ又は反射端面６８ｃに近い位置の方が高い密度で配置されている。しかし、反射手段において、反射点の配置密度を位置によって変えることは必須ではない。反射手段における反射点の配置密度は、面方向の全ての部分において均一であってもよい。
【００７０】
（変形例４）前記実施形態においては、導光体６４及び導光体６８において、裏面６４ｂ、反射端面６４ｃ、裏面６８ｂ、及び反射端面６８ｃには、反射点層６６Ａ、反射点層６６Ｂ、反射点層６６Ｃ、又は反射点層６６Ｄが形成されていた。側面６４ｄ及び側面６８ｄには、反射点層は形成されていなかった。導光体は、側面６４ｄ又は側面６８ｄに相当する面にも反射手段を形成する構成であってもよい。
【００７１】
（変形例５）前記実施形態においては、導光体６４及び導光体６８は、アクリル樹脂を用いて形成されていた。しかし、導光手段は、他の材料を用いて形成してもよい。導光手段を形成する材料は、光透過性に優れる材料であれば他の材料であってもよい。
【００７２】
（変形例６）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、６本の紫外線ランプ７４を備えていた。しかし、紫外線照射装置が備える紫外線射出手段は６個に限定されない。紫外線照射装置が備える紫外線射出手段は、何個であってもよい。
【００７３】
（変形例７）前記実施形態においては、紫外線ランプ７４は直管形状の外形形状を有していたが、紫外線射出手段の外形形状は直管形状に限らない。紫外線射出手段の外形形状は、例えば、直管の中央が１８０度曲げられたＵ字形状形などであってもよい。
【００７４】
（変形例８）前記実施形態においては、前処理装置１０３は、描画対象物に、画像を描画する描画装置ユニット１００において、描画対象物に前処理や後処理を実施するための紫外線照射装置であった。しかし、前記実施形態で説明したような紫外線照射装置が好適に紫外線を照射できる対象物は、描画対象物に限らない。紫外線照射装置は、半導体の製造装置や液晶装置の製造装置における、半導体基板や液晶表示装置の基板の表面改質装置や表面洗浄装置としての紫外線照射装置であってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
６１…光強度測定ユニット、６２…紫外線センサー、６２ａ…受光面、６４…導光体、６４ａ…入射面、６４ｂ…裏面、６４ｃ…反射端面、６４ｄ…側面、６４ｅ…射出面、６６…反射点、６６Ａ，６６Ｂ，６６Ｃ，６６Ｄ…反射点層、６７…光強度測定ユニット、６８…導光体、６８ａ…入射面、６８ｂ…裏面、６８ｃ…反射端面、６８ｄ…側面、６８ｅ…射出面、６９…紫外線センサー、６９ａ…受光面、７４…紫外線ランプ、７５…ランプ支持枠、７７…装置基台、１００…描画装置ユニット、１０１…液滴吐出装置、１０２…搬送ロボット、１０３…前処理装置、１０５…ロード装置、１０６…アンロード装置、１０７…描画ユニット制御装置、１０８…入出力装置、１０９…表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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