(57)【要約】【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。【解決手段】センサー素子１は、Ｙ軸方向及びＹ軸方向と直交するＸ軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０のプラスＹ側からプラスＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０のマイナスＹ側からマイナスＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０の主面１０ａ，１０ｂには、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂとを結ぶ仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な平面に沿い、互いに表裏関係にある２つの主面を有する基部と、
前記基部から前記第１方向に沿って延設された駆動用振動腕と、
前記基部の前記駆動用振動腕側とは反対側に、前記基部から前記第１方向とは反対の方向に沿って延設された検出用振動腕と、を備え、
前記基部の少なくとも一方の前記主面には、前記駆動用振動腕と前記検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、前記溝部は、前記第２方向に沿って延設されていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側または前記検出用振動腕側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側及び前記検出用振動腕側に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片において、前記溝部は、前記基部の両方の前記主面に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片において、前記基部の前記駆動用振動腕側の端から前記溝部までの前記第１方向とは反対の方向の距離をＬ１、前記基部の前記第１方向とは反対の方向の全長をＬ２としたときに、
前記溝部が一方の前記主面のみに設けられている場合には、０．１９＜Ｌ１／Ｌ２＜０．２７及び０．８２＜Ｌ１／Ｌ２＜０．９０の少なくとも一方を満足し、
前記溝部が両方の前記主面に設けられている場合には、０．２８＜Ｌ１／Ｌ２＜０．３６及び０．７３＜Ｌ１／Ｌ２＜０．８１の少なくとも一方を満足していることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の振動片において、前記基部には、前記駆動用振動腕に接続されている駆動用電極パッドと、前記検出用振動腕に接続されている検出用電極パッドと、が設けられ、
前記駆動用電極パッドと前記検出用電極パッドとの間には、前記溝部が設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度などの物理量を検出する際に用いられる振動片としては、連結片（以下、基部という）と、基部の両端にて上方に延設された一対の励振用振動片（以下、駆動用振動腕という）と、基部の両端にて下方に延設された一対の検出用振動片（以下、検出用振動腕という）と、を備え、平面形状がＨ型をした振動体（以下、振動片という）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、上記振動片の基部に相当する胴体部の、支持部材と接合される支持部材固着領域を挟む両側領域に、駆動用振動腕に相当する駆動脚の長手方向に沿って溝（以下、溝部という）が設けられた音叉型振動子（以下、振動片という）が知られている（例えば、特許文献２参照）。
また、上記振動片の基部に相当する固定部に、検出用振動腕に相当する上検出腕の延出方向と交差する方向に延在する１または複数の溝部を有する角速度センサー素子（以下、振動片という）が知られている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３２９４４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２５８５０５号公報
【特許文献３】特開２００８−２４９４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の振動片は、各振動腕の延設方向回りに角速度が加わったときに、一対の検出用振動腕が厚さ方向において互いに逆方向（逆相）に振動することにより、各電気信号（各検出信号）の差信号（差分）が大きくなり、角速度の検出精度が良好になるとされている。
また、この振動片は、角速度が加わらない状態における一対の駆動用振動腕の駆動振動に起因した一対の検出用振動腕の厚さ方向の不要振動（以下、漏れ振動という）が、互いに同方向（同相）且つ同程度の振動となることにより、各電気信号（各漏れ信号）の差分が殆どなくなり、漏れ振動による角速度の検出精度への悪影響を抑制できるとされている。
【０００５】
しかしながら、上記振動片は、製造時の形状ばらつき（例えば、水晶を用いた場合のエッチング異方性や、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング時のマスクの位置ずれなどに起因する形状ばらつき）により、一対の検出用振動腕が完全な同一形状に形成されないことがある。
これにより、上記振動片は、漏れ振動が同相であっても漏れ振動の程度（例えば、振幅）が各検出用振動腕で異なったり、漏れ振動が同相ではなく逆相となったりする場合がある。
これらにより、上記振動片は、角速度が加わらない状態における各漏れ信号の差分が大きくなり、この大きくなった差分が、角速度が加わった状態における各検出信号の本来の差分に上乗せされることから、角速度の検出精度が悪化するという問題がある。
【０００６】
これに対して、特許文献２の振動片は、基部の支持部材固着領域を挟む両側領域に、駆動用振動腕の長手方向に沿って溝部を設けることによって、支持部材の拘束作用を受けないことから、基部における歪みの上下（表裏）非対称性が抑制され、角速度が加わらない状態における駆動用振動腕から基部を介して検出用振動腕へ漏れる駆動振動（検出用振動腕の漏れ振動）が低減するとされている。
しかしながら、上記振動片は、基部の溝部が駆動用振動腕の長手方向に沿って設けられていることから、溝部にかからない駆動用振動腕と検出用振動腕とを結ぶ基部の平坦部分を介しての、駆動用振動腕から検出用振動腕へ漏れる駆動振動の低減が不十分という問題がある。
【０００７】
また、特許文献３の振動片は、基部の検出用振動腕の延出方向と交差する方向に延在する１または複数の溝部（貫通孔が好ましいとされている）を有することから、基部が歪み易くなっている。これにより、上記振動片は、基部の厚さ方向回りに加わる角速度に伴って働くコリオリ力によって発生した駆動用振動腕の歪みを、基部を介して効率よく検出用振動腕へ伝達できるとされている。
しかしながら、上記振動片は、角速度が加わらない状態における駆動用振動腕の駆動振動における厚さ方向の不要振動成分が、歪み易くなった基部を介して隣り合う検出用振動腕（上検出腕）へ漏れ易くなる虞がある。
これにより、上記特許文献３の振動片の構成を、例えば、特許文献１、２の振動片のような、角速度の検出軸が各振動腕の延設方向である場合における、検出用振動腕の漏れ振動の低減策として用いることは、効果が期待できず困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例にかかる振動片は、第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行な平面に沿い、互いに表裏関係にある２つの主面を有する基部と、前記基部から前記第１方向に沿って延設された駆動用振動腕と、前記基部の前記駆動用振動腕側とは反対側に、前記基部から前記第１方向とは反対の方向に沿って延設された検出用振動腕と、を備え、前記基部の少なくとも一方の前記主面には、前記駆動用振動腕と前記検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
これによれば、振動片は、基部の少なくとも一方の主面に一対の駆動用振動腕と一対の検出用振動腕とを結ぶ仮想線と交差するように溝部が設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における厚さ方向（第１方向及び第２方向と直交する方向）の振動成分（以下、面外振動成分ともいう）が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを抑制することができる。
この結果、振動片は、検出用振動腕の漏れ振動を抑制できることから、例えば、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。なお、上記構成は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づくものである。これは、以降の適用例２〜適用例６についても同様である。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記第２方向に沿って延設されていることが好ましい。
【００１２】
これによれば、振動片は、溝部が第２方向に沿って延設されていることから、各振動腕の延設方向と直交することとなる。この結果、振動片は、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、効率よく、且つ、検出用振動腕間でバランスよく抑制することができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側または前記検出用振動腕側に設けられていることが好ましい。
【００１４】
これによれば、振動片は、溝部が基部の駆動用振動腕側または検出用振動腕側に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の中央部分に設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の前記駆動用振動腕側及び前記検出用振動腕側に設けられていることが好ましい。
【００１６】
これによれば、振動片は、溝部が基部の駆動用振動腕側及び検出用振動腕側に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の駆動用振動腕側または検出用振動腕側に設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。
【００１７】
［適用例５］上記適用例にかかる振動片において、前記溝部は、前記基部の両方の前記主面に設けられていることが好ましい。
【００１８】
これによれば、振動片は、溝部が基部の両方の主面に設けられていることから、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、例えば、溝部が基部の一方の主面のみに設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。
【００１９】
［適用例６］上記適用例にかかる振動片において、前記基部の前記駆動用振動腕側の端から前記溝部までの前記第１方向とは反対の方向の距離をＬ１、前記基部の前記第１方向とは反対の方向の全長をＬ２としたときに、前記溝部が一方の前記主面のみに設けられている場合には、０．１９＜Ｌ１／Ｌ２＜０．２７及び０．８２＜Ｌ１／Ｌ２＜０．９０の少なくとも一方を満足し、前記溝部が両方の前記主面に設けられている場合には、０．２８＜Ｌ１／Ｌ２＜０．３６及び０．７３＜Ｌ１／Ｌ２＜０．８１の少なくとも一方を満足していることが好ましい。
【００２０】
これによれば、振動片は、溝部が一方の主面のみに設けられている場合には、０．１９＜Ｌ１／Ｌ２＜０．２７及び０．８２＜Ｌ１／Ｌ２＜０．９０の少なくとも一方を満足し、溝部が両方の主面に設けられている場合には、０．２８＜Ｌ１／Ｌ２＜０．３６及び０．７３＜Ｌ１／Ｌ２＜０．８１の少なくとも一方を満足している。
これにより、振動片は、駆動用振動腕の駆動振動における面外振動成分が、基部を介して検出用振動腕に伝播することを、より効果的に抑制することができる。
【００２１】
［適用例７］上記適用例にかかる振動片において、前記基部には、前記駆動用振動腕に接続されている駆動用電極パッドと、前記検出用振動腕に接続されている検出用電極パッドと、が設けられ、前記駆動用電極パッドと前記検出用電極パッドとの間には、前記溝部が設けられていることが好ましい。
【００２２】
これによれば、振動片は、基部に備えられた駆動用電極パッドと検出用電極パッドとの間に溝部が設けられていることから、溝部によって駆動用電極パッドと検出用電極パッドとを隔てることができる。これにより、振動片は、駆動用電極パッドと検出用電極パッドとの間に生じる静電容量を低減することができる。
この結果、振動片は、例えば、角速度などの物理量の検出における静電容量に起因した誤差が低減されることから、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。
【００２３】
［適用例８］本適用例にかかるジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２４】
これによれば、本構成のジャイロセンサーは、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映されたジャイロセンサーを提供することができる。
【００２５】
［適用例９］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることを特徴とする。
【００２６】
これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることから、上記適用例のいずれかに記載の効果が反映された電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】第１実施形態のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図２】センサー素子の動作に関わる模式回路図。
【図３】センサー素子の動作について説明する模式斜視図であり、（ａ）は駆動振動状態を示す斜視図、（ｂ）は角速度が加わった状態における検出振動状態を示す斜視図。
【図４】溝部の概略の位置と漏れ振動の減少量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフ。
【図５】溝部の具体的な位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフ。
【図６】変形例１のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図７】溝部の位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフ。
【図８】変形例２のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図９】変形例３のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図１０】変形例４のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図１１】変形例５のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図１２】変形例６のセンサー素子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）はＺ軸方向から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。
【図１３】第２実施形態のジャイロセンサーの概略構成を示す模式断面図。
【図１４】第３実施形態の携帯電話を示す模式斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
（第１実施形態）
最初に、振動片の一例としてのセンサー素子について説明する。
図１は、第１実施形態のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
【００３０】
図１に示すように、センサー素子１は、第１方向としてのプラスＹ軸方向及びプラスＹ軸方向と直交する第２方向としてのプラスＸ軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する矩形平板状の基部１０と、基部１０のプラスＹ側からプラスＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０のマイナスＹ側からマイナスＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備えている。なお、Ｚ軸は、Ｘ軸及びＹ軸と直交し、主面１０ａ，１０ｂと直交する軸である。
【００３１】
センサー素子１は、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂのそれぞれの先端からプラスＹ軸方向及びマイナスＹ軸方向に沿って延設され、プラスＸ軸方向の幅が駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂの先端におけるプラスＸ軸方向の幅よりも広い質量部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを備えている。
【００３２】
センサー素子１の基部１０の両方の主面１０ａ，１０ｂには、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと検出用振動腕１２ａ，１２ｂとを結ぶ仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差するように、有底の溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられている。
溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂは、プラスＸ軸方向に沿って設けられ、主面１０ａに設けられた溝部１６ａと主面１０ｂに設けられた溝部１７ａ、及び主面１０ａに設けられた溝部１６ｂと主面１０ｂに設けられた溝部１７ｂとは、平面視で互いに重なるように設けられている。
【００３３】
溝部１６ａ，１７ａは、基部１０の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側（寄り）に設けられ、溝部１６ｂ，１７ｂは、基部１０の検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側（寄り）に設けられている。
詳述すると、センサー素子１は、基部１０の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側の端から溝部１６ａ，１７ａの中心までのマイナスＹ軸方向の距離をＬ１（１）、同じく溝部１６ｂ，１７ｂの中心までの距離をＬ１（２）、基部１０のマイナスＹ軸方向の全長をＬ２としたときに、０．２８＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．３６、及び０．７３＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．８１を満足するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられている。
【００３４】
センサー素子１は、基部１０の主面１０ａまたは主面１０ｂに、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの図示しない駆動用電極に接続された駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの図示しない検出用電極に接続された検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄと、を備えている。
基部１０の駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと、検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄとの間には、溝部１６ａ，１６ｂまたは溝部１７ａ，１７ｂが設けられている。これにより、駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと、検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄとは、溝部１６ａ，１６ｂまたは溝部１７ａ，１７ｂにより互いに隔てられていることとなる。
【００３５】
なお、仮想線１５ａは、駆動用振動腕１１ａの根元のマイナスＸ側と検出用振動腕１２ａの根元のマイナスＸ側とを結ぶ直線であり、仮想線１５ｂは、駆動用振動腕１１ａの根元のプラスＸ側と検出用振動腕１２ａの根元のプラスＸ側とを結ぶ直線であり、仮想線１５ｃは、駆動用振動腕１１ｂの根元のマイナスＸ側と検出用振動腕１２ｂの根元のマイナスＸ側とを結ぶ直線であり、仮想線１５ｄは、駆動用振動腕１１ｂの根元のプラスＸ側と検出用振動腕１２ｂの根元のプラスＸ側とを結ぶ直線である。
【００３６】
センサー素子１は、圧電材料である水晶を基材（主要部分を構成する材料）として形成されている。水晶は、電気軸と呼ばれるＸ軸、機械軸と呼ばれるＹ軸、及び光学軸と呼ばれるＺ軸を有している。
そして、センサー素子１は、水晶結晶軸において直交するＸ軸及びＹ軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するＺ軸方向に所定の厚さを有している。なお、所定の厚さは、発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。
【００３７】
また、センサー素子１を構成する平板は、水晶からの切り出し角度の誤差を、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の各々につき多少の範囲で許容できる。例えば、平板は、Ｘ軸を中心に０度から７度の範囲で回転して切り出されたものを使用することができる。これは、Ｙ軸及びＺ軸についても同様である。
センサー素子１は、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチング（ウエットエッチングまたはドライエッチング）により形成されている。なお、センサー素子１は、１枚の水晶ウエハーから複数個取りすることが可能である。
なお、センサー素子１は、図示しないが、平面視において、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂの基部１０との接続部分、質量部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂとの接続部分には、応力緩和の観点から、曲線部を設けることが好ましい。
【００３８】
ここで、センサー素子１の動作について説明する。
図２は、センサー素子の動作に関わる模式回路図である。図３は、センサー素子の動作について説明する模式斜視図である。図３（ａ）は、駆動振動状態を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、角速度が加わった状態における検出振動状態を示す斜視図である。なお、図３では、各電極パッドを省略してある。
【００３９】
図２、図３（ａ）に示すように、角速度が加わらない状態において、センサー素子１の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの図示しない駆動用電極に、駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂを介して発振源２１から交流電圧の駆動信号が印加されることにより、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂは、Ｘ軸方向（主面１０ａに沿った方向）に屈曲振動する（面内振動ともいう）。
詳述すると、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂは、Ｘ軸方向において、図３（ａ）で黒矢印、白矢印で示すように、互いに離れる方向と、互いに近づく方向との屈曲振動を交互に繰り返す。つまり、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂは、互いに逆方向（逆相）に所定の周波数（例えば、約５０ｋＨｚ〜約１００ｋＨｚ）で屈曲振動している。
【００４０】
次に、図３（ｂ）に示すように、この駆動振動状態で、センサー素子１にＹ軸回りの角速度ωが加わると（センサー素子１がＹ軸回りに回転すると）、センサー素子１の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂには、コリオリ力が作用し、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂがＺ軸方向（主面１０ａに直交する方向）に屈曲振動（面外振動、ウオークモード振動ともいう）する。
センサー素子１は、この駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの面外振動に対して、検出用振動腕１２ａ，１２ｂが面外振動モードで共振し、Ｚ軸方向に屈曲振動する。
詳述すると、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂは、Ｚ軸方向において、図３（ｂ）で黒矢印、白矢印で示すように、互いに逆方向（逆相）に駆動振動の周波数と同じまたは近似した周波数で屈曲振動する。なお、Ｚ軸方向の屈曲振動の振幅は、コリオリ力の大きさに応じて変化する。
【００４１】
図２に示すように、センサー素子１は、この検出用振動腕１２ａ，１２ｂの図示しない検出用電極に生じる検出用振動腕１２ａの電気信号（電圧）と、検出用振動腕１２ｂの電気信号（電圧）との差分を、検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄを介して取り出し回路２２で検出信号として取り出し、この検出信号によって角速度を検出する構成となっている。なお、この検出信号の大きさは、コリオリ力（角速度）の大きさに応じて変化する。
この際、検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとでは、振動方向が互いに逆であることから、例えば、検出用振動腕１２ａに生じる電圧が＋電位のときに、検出用振動腕１２ｂに生じる電圧は−電位となり、検出用振動腕１２ａに生じる電圧が−電位のときに、検出用振動腕１２ｂに生じる電圧は＋電位となり、相対的に両者の電位差（差分）は大きくなる。
そして、センサー素子１は、前述した角速度が加わらない状態における検出用振動腕１２ａ，１２ｂの漏れ振動（Ｚ軸方向を主体とした不要振動）を抑制できれば、漏れ振動に起因して生じる電気信号である漏れ信号が検出信号に上乗せされることなく、角速度の検出精度を向上させることができることとなる。
【００４２】
検出用振動腕１２ａ，１２ｂの漏れ振動は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における振動成分のうち、面外振動成分（Ｚ軸方向の振動成分）が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播し、検出用振動腕１２ａ，１２ｂを面外振動モードで励振して、Ｚ軸方向に振動させているために生じると考えられる。
なお、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における振動成分に、面外振動成分が存在するのは、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂのＸ軸方向に沿った断面形状が、水晶のエッチング異方性、エッチング時のマスクの位置ずれなどにより完全な矩形形状に形成されないことや、駆動信号の印加により生じる電界の強度が、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの部位（水晶結晶軸に対する向きの違い）によって微妙に異なることなどに起因する。
【００４３】
図１に戻って、これを踏まえて、本実施形態のセンサー素子１では、基部１０の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側の端から溝部１６ａ，１７ａの中心までのマイナスＹ軸方向の距離をＬ１（１）、同じく溝部１６ｂ，１７ｂの中心までの距離をＬ１（２）、基部１０のマイナスＹ軸方向の全長をＬ２としたときに、０．２８＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．３６、及び０．７３＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．８１を満足するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂを設けている。
これにより、センサー素子１では、後述するように検出用振動腕１２ａ，１２ｂの漏れ振動を格段に低減（抑制）する効果を得ることができた。なお、上記の範囲設定は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づいている。
【００４４】
ここで、センサー素子１における漏れ振動の低減効果について図を用いて詳述する。
図４は、溝部の概略の位置と漏れ振動の減少量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の概略の位置を示し、縦軸は漏れ振動の減少量（ｐｐｍ）を示す。
図５は、溝部の具体的な位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の具体的な位置をＬ１（（１），（２））／Ｌ２の比で示し、縦軸は漏れ振動量（ｐｐｍ）を示す。なお、図５では、基部の両主面に溝部が設けられている設定（本実施形態の構成）となっている。
なお、図４、図５、後述する図７で、実線の折れ線は、検出用振動腕１２ａを表し、破線の折れ線は、検出用振動腕１２ｂを表す。
【００４５】
図４に示すように、漏れ振動は、（Ａ）：溝部を両主面１０ａ，１０ｂの中央に１個ずつ（例えば、１６ａ，１７ａ）設けることにより、溝部なしと比較して、２０００ｐｐｍ弱程度減少する。そして、漏れ振動は、（Ｂ）：溝部を主面１０ａまたは主面１０ｂの検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側に１個（例えば、１６ｂまたは１７ｂ）設けることにより、溝部なしと比較して、２０００〜３０００ｐｐｍ程度減少する。
そして、漏れ振動は、（Ｃ）：溝部を両主面１０ａ，１０ｂの検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側に１個ずつ（例えば、１６ｂ，１７ｂ）または、（Ｄ）：溝部を両主面１０ａ，１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側に１個ずつ（例えば、１６ａ，１７ａ）設けることにより、溝部なしと比較して、４０００ｐｐｍ強〜６０００ｐｐｍ弱程度減少する。
さらに、漏れ振動は、（Ｅ）：溝部を両主面１０ａ，１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側の両方に１個ずつ（例えば、１６ａ，１７ａ，１６ｂ，１７ｂ）設けることにより、溝部なしと比較して、９０００ｐｐｍ強〜１００００ｐｐｍ強程度減少する。
【００４６】
次に、上記の結果から、漏れ振動の減少量が最大である（Ｅ）：溝部を両主面１０ａ，１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側の両方に１個ずつ（例えば、１６ａ，１７ａ，１６ｂ，１７ｂ）設ける場合の具体的な位置を考察する。
ここで、溝部の最適な位置としては、検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとの漏れ振動の差分を略０とすることが可能な、漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる位置が好ましい。
【００４７】
この漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる位置とは、図５において、２つの折れ線が交差する２箇所である。
図５から、２つの折れ線が交差する位置は、センサー素子１において、基部１０の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側の端から溝部１６ａ，１７ａの中心までのＹ軸方向の距離をＬ１（１）、同じく溝部１６ｂ，１７ｂの中心までの距離をＬ１（２）、基部１０のＹ軸方向の全長をＬ２としたときに、０．２８＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．３６、及び０．７３＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．８１の範囲内である。
つまり、センサー素子１は、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂの位置が上記条件を満足すれば、漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる。
これにより、センサー素子１は、検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとの漏れ振動の差分を略０とすることが可能となる。
【００４８】
上述したように、第１実施形態のセンサー素子１は、基部１０の両方の主面１０ａ，１０ｂに一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂとを結ぶ仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられていることから、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における厚さ方向（主面１０ａと直交する方向、Ｚ軸方向）の振動成分（面外振動成分）が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを抑制することができる。
この結果、センサー素子１は、検出用振動腕１２ａ，１２ｂの漏れ振動を抑制できることから、例えば、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。
【００４９】
また、センサー素子１は、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂがプラスＸ軸方向に沿って延設されていることから、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂの延設方向であるＹ軸方向と直交することとなる。この結果、センサー素子１は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、効率よく、且つ、検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとの間でバランスよく抑制することができる。
【００５０】
また、センサー素子１は、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが基部１０の両方の主面１０ａ，１０ｂに設けられていることから、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、例えば、溝部が基部１０の一方の主面１０ａまたは主面１０ｂのみに設けられている場合と比較して、更に抑制することができる。
【００５１】
また、センサー素子１は、溝部１６ａ，１７ａの位置が、０．２８＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．３６を満足し、溝部１６ｂ，１７ｂの位置が、０．７３＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．８１を満足している。
これにより、センサー素子１は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、より効果的に抑制することができる。
【００５２】
また、センサー素子１は、基部１０に備えられた駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと、検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄとの間に、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられていることから、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂによって駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄとを隔てることができる。
これにより、センサー素子１は、駆動用電極パッド１８ａ，１８ｂと検出用電極パッド１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄとの間に生じる静電容量を低減することができる。
この結果、センサー素子１は、例えば、角速度などの物理量の検出における静電容量に起因した誤差が低減されることから、角速度などの物理量の検出精度を向上させることができる。
【００５３】
また、センサー素子１は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂの先端から延設された質量部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂを備えていることから、質量部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂの質量効果によって駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂを長くすることなく、例えば、角速度の検出に適した比較的低周波数（例えば、約５０ｋＨｚ〜約１００ｋＨｚ）で振動させることができる。
この結果、センサー素子１は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂのＹ軸方向の長さを抑制することにより、低周波数化に伴うサイズアップを抑制することが可能となる。
【００５４】
次に、第１実施形態の変形例について説明する。第１実施形態のセンサー素子１では、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが両主面１０ａ，１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側に設けられていたが、溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂの配置（位置）は、これに限定されるものではなく、以下の変形例に示すような配置としてもよい。
【００５５】
（変形例１）
図６は、変形例１のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図６（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００５６】
図６に示すように、変形例１のセンサー素子２は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子２は、主面１０ａに溝部１６ａ，１６ｂが設けられ、主面１０ｂから溝部（１７ａ，１７ｂ）が除去されている。
この構成における溝部１６ａ，１６ｂの位置は、０．１９＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．２７及び０．８２＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．９０の範囲内となっている。なお、上記の範囲設定は、発明者らのシミュレーションによる漏れ振動の解析結果から得られた知見に基づいている。
【００５７】
溝部１６ａ，１６ｂの位置設定について図７を用いて詳述する。
図７は、溝部の位置と漏れ振動の発生量との関係をシミュレーションにより解析した結果を表したグラフであり、横軸は溝部の位置をＬ１（（１），（２））／Ｌ２の比で示し、縦軸は漏れ振動量（ｐｐｍ）を示す。なお、図７では、一方の主面のみに溝部が設けられている設定となっている。
【００５８】
前述したように、溝部１６ａ，１６ｂの位置については、漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる位置が好ましい。この漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる位置とは、図７において、２つの折れ線が交差する２箇所である。
図７から、２つの折れ線が交差する位置は、センサー素子２において、０．１９＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．２７、及び０．８２＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．９０の範囲内である。
つまり、センサー素子２は、溝部１６ａ，１６ｂの位置が上記条件を満足すれば、漏れ振動量が検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとで略等しくなる。
これにより、センサー素子２は、検出用振動腕１２ａと検出用振動腕１２ｂとの漏れ振動の差分を略０とすることが可能となる。
【００５９】
上述したように、センサー素子２は、溝部１６ａ，１６ｂが一方の主面１０ａのみに設けられ、溝部１６ａ，１６ｂの位置が、０．１９＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．２７及び０．８２＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．９０の範囲内である。
これにより、センサー素子２は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、例えば、後述する変形例２よりも効果的に抑制することができる。
【００６０】
また、センサー素子２は、溝部１６ａ，１６ｂが主面１０ａのみに設けられていることから、製造工程において、主面１０ａのみのエッチングで溝部１６ａ，１６ｂを形成することができる。
これにより、センサー素子２は、主面１０ｂのエッチングが不要となることから、第１実施形態と比較して、製造工数を削減することができる。
なお、センサー素子２は、主面１０ａの溝部１６ａ，１６ｂを除去し、主面１０ｂに溝部１７ａ，１７ｂを設けても同様の効果を奏することが可能である。
【００６１】
なお、図７において、２つの折れ線の交点を結んだ方向が、図５と異なり傾斜している（図５は略水平）のは、溝部の有無による、基部１０の主面１０ａ側と主面１０ｂ側との剛性の違いに起因するものと考えられる。
基部１０における主面１０ａ側と主面１０ｂ側との剛性のバランスの観点から考察すれば、溝部は、両主面１０ａ，１０ｂに設けられていることが好ましいといえる。
【００６２】
（変形例２）
図８は、変形例２のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図８（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６３】
図８に示すように、変形例２のセンサー素子３は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子３は、主面１０ａのＹ軸方向の略中央に溝部１６ａが設けられ、主面１０ｂのＹ軸方向の略中央に溝部１７ａが設けられている。なお、溝部１６ａと溝部１７ａとは、平面視において、互いに重なるように設けられている。
これにより、図４に示すように、センサー素子３（図４の（Ａ）に相当）は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、基部１０に溝部（１６ａ，１７ａ）がない構成と比較して抑制することができる。
なお、センサー素子３は、溝部１６ａ，１７ａがいずれか一方のみの場合でも上記効果を少なからず奏するものと考えられる。
【００６４】
（変形例３）
図９は、変形例３のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図９（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６５】
図９に示すように、変形例３のセンサー素子４は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子４は、主面１０ａの検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側のみに溝部１６ｂが設けられている。
センサー素子４の溝部１６ｂの位置は、図７によれば、０．８２＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．９０の範囲内にあることが好ましい。
これにより、図４に示すように、センサー素子４（図４の（Ｂ）に相当）は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、変形例２（図４の（Ａ）に相当）よりも抑制することができる。
なお、センサー素子４は、主面１０ａに代えて、主面１０ｂの検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側のみに溝部１７ｂを設けた場合でも上記効果を奏することが可能である。
【００６６】
（変形例４）
図１０は、変形例４のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図１０（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６７】
図１０に示すように、変形例４のセンサー素子５は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子５は、主面１０ａの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側のみに溝部１６ａが設けられている。
センサー素子５の溝部１６ａの位置は、図７によれば、０．１９＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．２７の範囲内にあることが好ましい。
これにより、センサー素子５は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、変形例３と同様に、変形例２よりも抑制することができる。
なお、センサー素子５は、主面１０ａに代えて、主面１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側のみに溝部１７ａを設けた場合でも上記効果を奏することが可能である。
【００６８】
（変形例５）
図１１は、変形例５のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図１１（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６９】
図１１に示すように、変形例５のセンサー素子６は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子６は、両主面１０ａ，１０ｂの検出用振動腕１２ａ，１２ｂ側のみに溝部１６ｂ，１７ｂが設けられている。
センサー素子６の溝部１６ｂ，１７ｂの位置は、図５によれば、０．７３＜Ｌ１（２）／Ｌ２＜０．８１の範囲内にあることが好ましい。
これにより、図４に示すように、センサー素子６（図４の（Ｃ）に相当）は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、変形例３（図４の（Ｂ）に相当）よりも抑制することができる。
【００７０】
（変形例６）
図１２は、変形例６のセンサー素子の概略構成を示す模式図である。図１２（ａ）は、Ｚ軸方向から俯瞰した平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００７１】
図１２に示すように、変形例６のセンサー素子７は、第１実施形態と比較して、溝部の構成が異なる。センサー素子７は、両主面１０ａ，１０ｂの駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ側のみに溝部１６ａ，１７ａが設けられている。
センサー素子７の溝部１６ａ，１７ａの位置は、図５によれば、０．２８＜Ｌ１（１）／Ｌ２＜０．３６の範囲内にあることが好ましい。
これにより、図４に示すように、センサー素子７（図４の（Ｄ）に相当）は、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの駆動振動における面外振動成分が、基部１０を介して検出用振動腕１２ａ，１２ｂに伝播することを、変形例５と同様に、変形例３よりも抑制することができる。
【００７２】
なお、センサー素子（１など）は、溝部（１６ａなど）のＸ軸方向の長さを、仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差しないように短くした場合でも、ある程度の漏れ振動の抑制効果を奏することができる。しかしながら、この構成における漏れ振動の抑制効果は、上述した第１実施形態及び各変形例における漏れ振動の抑制効果には及ばないことが、発明者らの解析によって確認されている。
なお、溝部（１６ａなど）のＹ軸方向の幅、Ｚ軸方向の深さなどは、基部１０の平面サイズ、基部１０の厚さ、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの共振周波数、漏れ振動の程度などに応じて適宜設定される。
【００７３】
（第２実施形態）
次に、上記第１実施形態及び各変形例で述べたセンサー素子を備えたジャイロセンサーの一例について説明する。
【００７４】
図１３は、第２実施形態のジャイロセンサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、図１３は、Ｙ軸方向に沿って各駆動用振動腕間及び各検出用振動腕間を切断したときの断面図である。また、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
図１３に示すように、ジャイロセンサー８は、センサー素子（１〜７のいずれか、ここでは１とする）と、センサー素子１を駆動制御するＩＣチップ２０と、センサー素子１及びＩＣチップ２０を収納するパッケージ３０とを備えている。
【００７５】
パッケージ３０は、平面形状が略矩形で凹部を有するパッケージベース３１と、パッケージベース３１の凹部を覆う平板状のリッド（蓋体）３２と、を備え、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース３１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコン（高抵抗シリコン）などが用いられている。
リッド３２には、パッケージベース３１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。
【００７６】
ＩＣチップ２０は、センサー素子１の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂを駆動振動させる駆動回路（発振源２１、図２参照）、検出用振動腕１２ａ，１２ｂ間の電位差を検出信号として取り出す取り出し回路２２（図２参照）、この検出信号によってＹ軸回りの角速度を検出する検出回路などを備えていることが好ましい。ＩＣチップ２０は、パッケージベース３１の凹部の内底面３３に、例えば、図示しない接続パッド面を下にしてフリップチップボンディングにより接合されている。
【００７７】
センサー素子１は、パッケージベース３１の、凹部の内底面３３に固定されたＩＣチップ２０を取り囲むように形成された段差部３４上に固定された略枠状の基板４０に支持されている。
基板４０は、ポリイミドなどの樹脂からなる基板本体４１と、基板本体４１の段差部３４側に積層されたＣｕなどの金属箔からなるタブテープ４２と、を備えている。
基板４０は、ＩＣチップ２０の上方（リッド３２側）に位置する開口部分の縁から、中央部に向かって斜め上方に折り曲げられた複数の帯状のタブテープ４２が延設されている。タブテープ４２の先端は、センサー素子１の基部１０に設けられている図示しない各電極パッドに、バンプなどの接合部材を介して電気的に接続されている。
これにより、センサー素子１は、基板４０によって水平に（ＸＹ平面に平行に）支持されている。なお、前述したように、基部１０の各電極パッドは、駆動用振動腕１１ａ，１１ｂ及び検出用振動腕１２ａ，１２ｂの図示しない駆動用電極及び検出用電極と電気的に接続されている。
【００７８】
基板４０（タブテープ４２）は、パッケージベース３１内の図示しない内部配線によりＩＣチップ２０及びパッケージベース３１の外底面３５に設けられた外部端子３６と電気的に接続されている。
ジャイロセンサー８は、センサー素子１が基板４０に支持された状態で、パッケージベース３１の開口部がリッド３２により覆われ、パッケージベース３１とリッド３２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材３７で接合されることにより、パッケージ３０内が気密に封止されている。
なお、気密に封止されたパッケージ３０内は、減圧された真空状態（真空度の高い状態）または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
【００７９】
ジャイロセンサー８は、外部端子３６を介して外部から電源や入力信号が供給され、ＩＣチップ２０からの駆動信号によりセンサー素子１が所定の周波数で屈曲振動することによって、Ｙ軸回りに印加された角速度の検出を行い、角速度の検出結果を外部端子３６から外部へ出力する。
【００８０】
上述したように、第２実施形態のジャイロセンサー８は、センサー素子１を備えたことから、センサー素子１の奏する効果が反映されて角速度の検出精度が向上したジャイロセンサーを提供することができる。
なお、ジャイロセンサー８は、センサー素子１に代えてセンサー素子２〜７のいずれかを備えていても、同様の効果を奏することができる。
【００８１】
（第３実施形態）
次に、上記第１実施形態及び各変形例で述べたセンサー素子を備えた電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図１４は、第３実施形態の携帯電話を示す模式斜視図である。
図１４に示す携帯電話７００は、上述したセンサー素子（１〜７のいずれか）を、例えば、ジャイロセンサーなどのセンサーデバイスの主要構成要素として用い、更に液晶表示装置７０１、複数の操作ボタン７０２、受話口７０３、及び送話口７０４を備えて構成されている。なお、携帯電話の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプの形態でもよい。
【００８２】
上述したセンサー素子は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、車体姿勢検出装置、ポインティングデバイス、ゲームコントローラー、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などに搭載されるセンサーデバイスの主要構成要素として好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び各変形例で説明した効果が反映された電子機器を提供することができる。
【００８３】
なお、振動片の材料としては、水晶に限定されるものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ3）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体、またはシリコン（Ｓｉ）などの半導体でもよい。
また、屈曲振動の駆動方法は、圧電体の圧電効果によるものの他に、クーロン力による静電駆動であってもよい。
【符号の説明】
【００８４】
１，２，３，４，５，６，７…振動片としてのセンサー素子、８…ジャイロセンサー、１０…基部、１０ａ，１０ｂ…主面、１１ａ，１１ｂ…駆動用振動腕、１２ａ，１２ｂ…検出用振動腕、１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ…質量部、１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ…仮想線、１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂ…溝部、１８ａ，１８ｂ…駆動用電極パッド、１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ…検出用電極パッド、２０…ＩＣチップ、２１…発振源、２２…取り出し回路、３０…パッケージ、３１…パッケージベース、３２…リッド、３３…内底面、３４…段差部、３５…外底面、３６…外部端子、３７…接合部材、４０…基板、４１…基板本体、４２…タブテープ、７００…電子機器としての携帯電話、７０１…液晶表示装置、７０２…操作ボタン、７０３…受話口、７０４…送話口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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