(57)【要約】【課題】狭小部分の測定時に十分な測定距離が得られるとともに、狭小部分の測定前後の操作を簡略にできる表面性状測定機および表面性状測定方法を提供する。【解決手段】スタイラスを原点に向けて移動させ、スタイラスが原点位置に到達したらスタイラスを制動し、スタイラスが原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する助走区間設定動作と、停止させておいたスタイラスとワークの測定部位とを接触させるワークセット動作と、停止させておいたスタイラスを前記オーバーランとは逆向きの測定方向へ移動させる助走動作と、助走動作でスタイラスが原点位置を通過したら検出部からの検出データを取得しつつスタイラスの移動を継続する測定動作と、を含む。【選択図】図６
2013195241.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの表面をスタイラスでトレースして前記ワークの表面性状を測定する表面性状測定機であって、
前記スタイラスを移動させる駆動機構と、前記スタイラスの変位を検出する検出器と、前記駆動機構および前記検出器を制御する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記ワークの表面の指定範囲を測定する通常測定モードと、前記ワークの狭小部分を測定する狭部測定モードと、を有し、
前記狭部測定モードにおいて、前記制御装置は、
前記狭部測定モードの指定により起動され、前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する助走区間設定動作と、
前記測定開始の指示により起動され、停止させておいた前記スタイラスを前記オーバーランとは逆向きの測定方向へ移動させる助走動作と、
前記助走動作で前記スタイラスが前記原点位置を通過したら前記検出器からの検出データを取得しつつ前記スタイラスの移動を継続する測定動作と、を前記駆動機構および前記検出器に実行させることを特徴とする表面性状測定機。
【請求項２】
請求項１に記載した表面性状測定機において、
前記助走区間設定動作では、
第１速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、
移動方向を逆転して前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、
前記第１速度より低速な第２速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する、ことを特徴とする表面性状測定機。
【請求項３】
請求項１に記載した表面性状測定機において、
前記助走区間設定動作では、
第１速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置の所定距離手前の減速位置に到達したら減速し、
前記第１速度より低速な第２速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する、ことを特徴とする表面性状測定機。
【請求項４】
ワークの表面をスタイラスでトレースして前記ワークの表面性状を測定する表面性状測定方法であって、
前記スタイラスを移動させる駆動機構と、前記スタイラスの変位を検出する検出器と、前記駆動機構および前記検出器を制御する制御装置と、を有する表面性状測定機を用い、
前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する助走区間設定動作と、
停止させておいた前記スタイラスとワークの測定部位とを接触させるワークセット動作と、
停止させておいた前記スタイラスを前記オーバーランとは逆向きの測定方向へ移動させる助走動作と、
前記助走動作で前記スタイラスが前記原点位置を通過したら前記検出部からの検出データを取得しつつ前記スタイラスの移動を継続する測定動作と、を含むことを特徴とする表面性状測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面性状測定機および表面性状測定方法に関し、特に機械的な移動が制約される狭小部位の測定を行うための表面性状測定機および表面性状測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークの表面性状（表面粗さ、うねり、輪郭形状など）を測定する表面性状測定機およびこれを用いた表面性状測定方法が知られている（特許文献１および特許文献２参照）。
表面性状測定機は、ワーク表面をスタイラスでトレースすることで、その表面性状を測定する。すなわち、ワーク表面の任意位置にスタイラスを接触させ、この状態でスタイラスをワーク表面に沿った所定の測定方向へ移動させる。この移動に伴って、スタイラスはワーク表面の凹凸に応じてトレース方向と交差する方向に変位する。この変位量をトレース方向の移動量と対応させて記録することで、ワークの表面性状が測定できる。  
【０００３】
表面性状測定機には、スタイラスを移動させるための駆動機構が用いられる。駆動機構は、先端にスタイラスが形成されたアームをガイドレールで直線移動可能に支持し、レールに沿ってボールねじ軸を配置し、電動モータ等の駆動源でボールねじ軸を回転させてアームを送り駆動する構成等が採用される。
このような駆動機構においては、ボールねじ軸等においてバックラッシュの発生が避けられない。
【０００４】
これに対し、一部の表面性状測定機では、トレース動作の冒頭に助走区間を設定することがなされている。
助走区間は、トレース動作の開始後、所定の距離あるいは所定の時間にわたり、移動のみを行うものである。
助走区間の通過後、表面性状測定機は、通常の測定動作つまりスタイラスの変位量の検出ないし処理を伴う移動を行う。
このような助走区間により、駆動機構のバックラッシュはその後の測定動作に合わせて揃えられ、測定動作における移動位置と変位量との関係を適切に維持できる。
【０００５】
前述した助走区間としては、従来例えば０．５ｍｍ程度の助走距離が採用されていた。具体的には、移動位置を検出するエンコーダの出力をモニタし、同距離に相当するパルス数としてカウントされる。
このような助走区間は、設定にあたって参照される特定の条件はなく、駆動機構のバックラッシュの他、測定動作の安定化を含め、余裕をみて設定されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２２７３２７号公報
【特許文献２】特開２００１−１３３２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前述した表面性状測定機は、ワークの連続した表面の測定の他、ワークに形成された狭小部分、例えば二つの突起の間あるいは溝の底面などの表面性状の測定にも利用される。
このような狭小部分としては、幅が１ｍｍ程度のものもある。スタイラスについては、その微細化により溝等の内幅いっぱいの移動範囲を確保することが可能である。
しかし、前述した助走区間を０．５ｍｍとると、幅１ｍｍの溝の底面のうち、５０％しか測定に利用できないという問題がある。
これに対し、助走区間を小さく設定変更することで、測定に利用できる長さを増やすことができる。
【０００８】
このように助走区間を小さく設定変更する場合の問題として、以下があげられる。
助走区間を小さく設定変更する場合に、基準となる数値がなく、試験を繰り返す必要がある。
全ての測定動作が、小さく設定された助走区間で測定されることになる。このため、狭小部分以外の測定においては、従来通りの余裕をみた助走区間に戻す等の調整操作が必要となる。
【０００９】
本発明の目的は、狭小部分の測定時に十分な測定距離が得られるとともに、狭小部分の測定前後の操作を簡略にできる表面性状測定機および表面性状測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、表面性状測定機が有する原点位置検出機能を利用し、原点で停止させた際の慣性によるオーバーラン分の距離を助走区間として利用できるようにするとともに、オーバーラン分を助走区間として利用するための一連の動作を表面性状測定機の特別な動作モードとして準備しておき、これを利用して狭小区間の測定を簡単かつ確実に行えるようにするものである。
【００１１】
本発明の表面性状測定機は、ワークの表面をスタイラスでトレースして前記ワークの表面性状を測定する表面性状測定機であって、前記スタイラスを移動させる駆動機構と、前記スタイラスの変位を検出する検出器と、前記駆動機構および前記検出器を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記ワークの表面の指定範囲を測定する通常測定モードと、前記ワークの狭小部分を測定する狭部測定モードと、を有し、前記狭部測定モードにおいて、前記制御装置は、前記狭部測定モードの指定により起動され、前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する助走区間設定動作と、前記測定開始の指示により起動され、停止させておいた前記スタイラスを前記オーバーランとは逆向きの測定方向へ移動させる助走動作と、前記助走動作で前記スタイラスが前記原点位置を通過したら前記検出器からの検出データを取得しつつ前記スタイラスの移動を継続する測定動作と、を前記駆動機構および前記検出器に実行させることを特徴とする。
【００１２】
このような本発明においては、通常測定モードを選択している状態では、スタイラスのマニュアル移動操作、測定動作の開始および停止等を指定することで、制御装置が駆動機構および検出部を制御して従来と同様の動作が行われる。一方、ワークの狭小部分を測定する場合、狭部測定モードを選択することで、本発明に基づく狭部測定モードでの測定を行うための各動作が実行される。
まず、スタイラスをワークに接触させない状態で、助走区間設定動作を実行する。
これにより、スタイラスは、原点の測定動作を行う側とは反対側へオーバーランした状態で停止する。
この状態で、ワークをスタイラスに接触させ、捜査開始の指示を入力する。
これにより、スタイラスは駆動機構により移動され、オーバーラン分を助走区間として移動した後、原点を通過してからは測定動作としてデータ処理を伴う移動を継続する。
【００１３】
このような狭部測定モードにおいては、スタイラスないし駆動機構は、助走区間設定動作により設定されるオーバーラン分の助走区間によってバックラッシュを一方の側に集約され、その後の測定動作においても助走区間からの移動が継続され、バックラッシュの影響を解消することができる。
ここで、本発明の狭部測定モードでは、原点復帰動作での原点通過後のオーバーランを利用して助走区間を設定するため、助走区間の距離を僅かなものとすることができる。助走区間の距離は原点復帰動作速度に依存するが、例えば原点復帰速度が秒速２ｍｍであればオーバーラン量は７０μｍ、秒速０．５ｍｍであれば７μｍ程度となり、従来の助走区間０．５ｍｍに対して大幅な削減が可能となる。
【００１４】
その結果、例えば１ｍｍの溝の底部の測定を行う場合でも、従来が測定に利用できる距離０．５ｍｍ（全体の５０％）であったのに対し、オーバーラン量７０μｍなら測定に利用できる距離０．９３ｍｍ、７μｍなら０．９９３ｍｍとなり、ほぼ全体を測定に利用することができる。
このような狭部測定モードは、表面性状測定機において狭部操作モードを選択し、ワークをセットし、測定動作を指示する、という簡単な操作だけでよい。そして、前述した通り、本発明の表面性状測定機では、通常測定モードを選択していれば、従来通りの測定動作をそのまま実行することができる。
【００１５】
本発明において、前記助走区間設定動作では、第１速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、移動方向を逆転して前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、前記第１速度より低速な第２速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する、ことが望ましい。
【００１６】
このような本発明では、最初の原点位置の通過まで高速な第１速度で移動するため、作業時間を短縮できる。また、２回目の原点位置の通過により、最初（１回目）と最後（３回目）の原点位置の通過を同じ方向とすることができる。そして、最後の原点位置の通過を低速な第２速度で行うため、オーバーラン量をより短くすることができ、助走区間をより短くして測定動作の距離をより長く確保することができる。
このような本発明では、原点位置の通過を検知することだけで各動作の切り替えを行うため、例えば原点位置の手前で減速あるいは一旦停止を行うための所定位置が必要でなく、そのための位置センサや動作制御で移動位置を常時モニタする等の処理を必要としない。従って、動作切り替えは３回行うため煩雑であるが、機器構成および制御を簡単にすることができ、設備コストを低減し、保守性も向上することができる。
【００１７】
本発明において、前記助走区間設定動作では、第１速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置の所定距離手前の減速位置に到達したら減速し、前記第１速度より低速な第２速度で前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する、ことが望ましい。
第１速度と第２速度との切り替えにあたっては、原点位置の手前の所定位置で一旦停止してもよいし、原点位置の手前の所定位置を通過したら減速することで速度を変更してもよい。
原点位置の手前の所定位置から減速あるいは同所定位置で一旦停止を行う際には、移動経路に沿って位置センサを設置して所定位置への到達を検出する構成、あるいは制御装置の現在位置カウンタの値をモニタして所定位置への到達を検出する構成などが適宜採用できる。
【００１８】
このような本発明では、原点位置の手前まで高速な第１速度で移動するため、作業時間を短縮できる。また、原点位置の通過を低速な第２速度で行うため、オーバーラン量をより短くすることができ、助走区間をより短くして測定動作の距離をより長く確保することができる。
また、助走区間設定動作は原点位置に向けて移動開始した方向がオーバーランまで継続されるため、方向を逆転させる等の煩雑な動作が必要なく、移動の無駄がない。
第１速度と第２速度との切り替えを行う所定位置は、動作速度との関係から適宜調整することが望ましい。原点位置から遠いと低速での移動が増えて作業時間がかかる。一方、原点位置に近すぎると、原点位置を通過する時点で十分に低速にまで減速されず、オーバーラン量すなわち助走区間を十分に短くできないことがある。従って、これらの条件を考慮して適切な値を設定することが望ましい。
【００１９】
本発明の表面性状測定方法は、ワークの表面をスタイラスでトレースして前記ワークの表面性状を測定する表面性状測定方法であって、前記スタイラスを移動させる駆動機構と、前記スタイラスの変位を検出する検出器と、前記駆動機構および前記検出器を制御する制御装置と、を有する表面性状測定機を用い、前記スタイラスを原点に向けて移動させ、前記スタイラスが前記原点位置に到達したら前記スタイラスを制動し、前記スタイラスが前記原点位置をオーバーランした状態で停止させ、この状態で測定開始の指示を待機する助走区間設定動作と、停止させておいた前記スタイラスとワークの測定部位とを接触させるワークセット動作と、停止させておいた前記スタイラスを前記オーバーランとは逆向きの測定方向へ移動させる助走動作と、前記助走動作で前記スタイラスが前記原点位置を通過したら前記検出部からの検出データを取得しつつ前記スタイラスの移動を継続する測定動作と、を含むことを特徴とする。
このような本発明の方法によれば、前述した本発明の表面性状測定機で説明した効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態の装置外観を示す斜視図。
【図２】前記第１実施形態の装置構成を示すブロック図。
【図３】前記第１実施形態の装置要部を示す側面図。
【図４】前記第１実施形態の通常測定モードの動作を示すフロー図。
【図５】前記第１実施形態の通常測定モードの動作を示す模式図。
【図６】前記第１実施形態の狭部測定モードの動作を示すフロー図。
【図７】前記第１実施形態の狭部測定モードの動作を示す模式図。
【図８】本発明の第２実施形態の狭部測定モードの動作を示すフロー図。
【図９】前記第２実施形態の狭部測定モードの動作を示す模式図。
【図１０】前記第３実施形態の狭部測定モードの動作を示すフロー図。
【図１１】前記第３実施形態の狭部測定モードの動作を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
図１から図７には、本発明の第１実施形態が示されている。
このうち、図１から図３は、本実施形態の表面性状測定機の構成を示す。
図１および図２に示すように、本実施形態の表面性状測定機１は、電装部２と駆動検出部３とを有する。
【００２２】
電装部２は、ケース２０の表面にタッチパネルディスプレイ等の表示部２１、シートスイッチ等の操作部２２を有するとともに、ケース２０の内部に記憶デバイス等の記憶部２３および本発明の制御装置である制御部２４を有する。
制御部２４は、小型コンピュータシステムで構成され、記憶部２３に記憶された動作プログラムに基づいて表面性状測定機１の各部を制御して各種処理を実行する。
ケース２０の表面には印刷装置２５が設置されているとともに、ケース２０の側面には入出力端子２６が設置されている。
【００２３】
駆動検出部３は、ケース３０内に移動ブロック３１を有し、この移動ブロック３１は図示しないガイドレールにより所定の移動方向（図中左右方向）へ移動可能に支持されている。
移動ブロック３１の移動方向と平行に、ボールねじ軸３２が設置されている。ボールねじ軸３２は駆動源である電動モータ３３で回転駆動されるとともに、ボールねじ軸３２の回転角度位置は回転エンコーダ３４で検出される。ボールねじ軸３２にはボールナット３５が螺合され、このボールナット３５は移動ブロック３１に接続されている。
電動モータ３３および回転エンコーダ３４は制御部２４に接続され、制御部２４は回転エンコーダ３４からの回転角度位置を監視しつつ電動モータ３３を動作制御することで、ボールねじ軸３２を回転させて移動ブロック３１を任意位置へと移動させることができる。これらのボールねじ軸３２、ボールナット３５、電動モータ３３および回転エンコーダ３４により駆動機構３９が構成されている
【００２４】
移動ブロック３１の先端側はケース３０の側面開口から露出され、露出された側にはアーム３６が設置され、アーム３６の先端にはスタイラス３７が固定されている。
アーム３６は移動ブロック３１の移動方向に沿って延びているとともに、移動ブロック３１に揺動自在に軸支されている。アーム３６の揺動によりアーム３６の先端およびスタイラス３７が縦方向（図中上下方向）に変位する。移動ブロック３１内にはアーム３６の揺動角度を検出する検出器３８が設置され、この検出器３８でアーム３６の角度を検出することで、スタイラス３７の変位を検出することができる。
図１に示すように、スタイラス３７がワーク４の表面をトレースし、同表面の凹凸により上下に変位した際には、検出器３８からの検出信号が制御部２４に送られて処理され、表面性状（表面粗さ、うねり、輪郭形状など）の測定値として表示、印刷あるいは記録等される。
なお、図１において、ワーク４に対するスタイラス３７の高さや傾きを調節するために、ケース３０は上下傾斜ユニット３Ｓで支持されている。
【００２５】
図３において、駆動検出部３のケース３０は、外装の内側にフレーム３０Ｆを有する。図３はケース３０の外装を外した状態を示している。
フレーム３０Ｆには、前述したボールねじ軸３２、電動モータ３３および回転エンコーダ３４を含む駆動機構３９が設置されている。また、フレーム３０Ｆにはガイドレール３０Ｒが設置され、このガイドレール３０Ｒにより前述した移動ブロック３１が移動自在に支持されている。
移動ブロック３１には、移動限界を検出するためのリミットプレート３１Ａ，３１Ｂが設置されている。フレーム３０Ｆには、リミットプレート３１Ａ，３１Ｂとの接触を検知するリミットスイッチ３０Ａ，３０Ｂが設置されている。
【００２６】
移動ブロック３１は、前述のように駆動機構３９で駆動されてガイドレール３０Ｒに沿って移動する。
移動ブロック３１が先端側（スタイラス３７がある側）に進出して移動限界（ボールねじ軸３２の機能限界）まで達した際には、リミットプレート３１Ａがリミットスイッチ３０Ａに当接し、リミットスイッチ３０Ａの作動信号に基づいて制御部２４が進出側の移動限界にあること認識し、駆動機構３９のさらなる進出を停止させる。このリミットプレート３１Ａとリミットスイッチ３０Ａとの当接位置（当接によりリミットスイッチ３０Ａが作動する位置）が、本実施形態における原点位置ＭＰｏである。
同様に、移動ブロック３１が基端側（スタイラス３７と反対側）に後退して移動限界まで達した際には、リミットプレート３１Ｂとリミットスイッチ３０Ｂとの当接により駆動機構３９が停止され、この位置が本実施形態における終端位置ＭＰｘである。
【００２７】
このように、移動ブロック３１の移動は原点位置ＭＰｏから終端位置ＭＰｘまでの移動範囲Ｒｍ内で行われ、移動ブロック３１に支持されたスタイラス３７の移動も原点位置ＭＰｏから終端位置ＭＰｘまでの移動範囲Ｒｍとなる。
ワーク４に対する測定動作は、移動範囲Ｒｍ内に設定される移動の開始位置ＷＰｓから終了位置ＷＰｅまでの測定範囲Ｒｄとなり、この測定範囲Ｒｄの長さはスタイラス３７の移動範囲Ｒｍと等しいか、より小さいものとなる。
【００２８】
次に、図４から図７により、本実施形態の表面性状測定機１を用いた表面性状測定の手順について説明する。
前述した図１において、表面性状測定機１を起動すると、制御部２４においてシステムが起動され、各部の自己診断の後、表示部２１に画面表示を行うとともに、操作部２２に対する動作指示を待機する状態となる。
【００２９】
図４において、動作指示を待機する状態（処理Ｓ１１）で、操作部２２に操作があった場合、制御部２４は操作内容を調べる（処理Ｓ１２〜Ｓ１３）。
操作内容が「狭部測定モードの選択」であった場合、分岐Ａから後述する「狭部測定モード」へジャンプする（処理Ｓ１２）。
操作内容が「測定実行」であった場合、後述する「通常測定モード」の処理（処理Ｓ１５〜Ｓ１８）を実行する（処理Ｓ１３）。
それ以外の操作であった場合、制御部２４は、操作により指示された動作を実行する（処理Ｓ１４）。具体的な動作としては、例えばスタイラス３７のマニュアル移動、その他の機械的動作、データの集計処理、表示の切り替え、設定モードへの移行などである。
【００３０】
前述した処理Ｓ１３で、操作内容が「測定実行」であった場合には「通常測定モード」の処理が実行される。
通常測定モードは、既存の表面性状測定の動作に相当するものであり、図３に示すように、ワーク４とスタイラス３７とを接触させ、ワーク４の表面に沿ってスタイラス３７を移動させ、移動の間のスタイラス３７の変位を検出する。
この際、本実施形態では、測定動作に先立って助走動作を行う。
図４に示すように、通常測定モードにおいては、スタイラス３７を指定された測定方向へ移動させ（処理Ｓ１５）、所定の助走距離に達したら（処理Ｓ１６）、検出器３８からのデータの取得を伴う移動（処理Ｓ１７）に切り替えて移動を継続し、スタイラス３７が終了位置に達したら（処理Ｓ１８）動作を完了する。このうち、処理Ｓ１５，Ｓ１６が助走動作であり、処理Ｓ１７，Ｓ１８が測定動作である。
【００３１】
図５において、スタイラス３７は駆動機構３９上の開始位置ＭＰｓにある状態でワーク４に接触されており、ワーク４上では開始位置ＷＰｓにある。制御部２４は、処理Ｓ１５で助走動作を開始し、予め設定された動作切替位置ＭＰｒ，ＷＰｒに達すると、処理Ｓ１６により測定動作に切り替える。データを取得しつつ終了位置ＭＰｅ，ＷＰｅに達したら、動作を停止する。これにより、ワーク４の動作切り替え位置ＷＰｒから終了位置ＷＰｅまでの表面性状データが取得できる。
なお、ワーク４における各位置ＷＰｓ，ＷＰｒ，ＷＰｅは、それぞれ駆動機構３９の各位置ＭＰｓ，ＭＰｒ，ＭＰｅとして検知される。これらの関係は、ワーク４とスタイラス３７とを接触させた時点で確定している。
【００３２】
前述した処理Ｓ１２で、操作内容が「狭部測定モード」であった場合には、図６の「狭部測定モード」が実行される。
図６に示すように、狭部測定モードにおいては、先ず助走区間設定（処理Ｓ２１〜Ｓ２９）を行い、オーバーラン分の助走区間を設定した後、ワークセット（処理Ｓ２Ａ〜Ｓ２Ｂ）を行い、これらの準備の後に助走動作（処理Ｓ２Ｃ〜Ｓ２Ｄ）および測定動作（処理Ｓ２Ｅ〜Ｓ２Ｆ）を行う。
助走区間設定動作では、以下に示す３回の原点復帰動作を繰り返す。
図７において、３回の原点復帰動作は、「原点復帰」「離脱」「低速復帰」の各動作として示されている。
【００３３】
図６において、１回目の原点復帰動作（処理Ｓ２１〜Ｓ２３）では、スタイラス３７を高速で原点復帰させる（処理Ｓ２１）。スタイラス３７が原点位置ＭＰｏへと移動する間、制御部２４はリミットスイッチ３０Ａ(図３参照）の出力を監視し（処理Ｓ２２）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏに到達したら、制御部２４は駆動機構３９に制動をかける。スタイラス３７ないし移動ブロック３１は原点位置ＭＰｏにおいて直ちに停止しようとするが、自らの慣性により原点位置ＭＰｏを僅かにオーバーランして停止する（処理Ｓ２３）。
【００３４】
図７において、１回目の原点復帰動作にあたって、スタイラス３７は移動範囲Ｒｍ（図３参照）のどこにあってもよく、当該位置から原点位置ＭＰｏに向けて移動を開始する。
１回目の原点復帰の移動速度は、比較的高速な第１速度ＶＨとされる。第１速度ＶＨは、駆動機構３９におけるスタイラス３７の粗動速度に準じて設定すればよい。
処理Ｓ２１により、スタイラス３７は原点位置ＭＰｏに向けて高速な第１速度ＶＨで移動し、処理Ｓ２２により原点位置ＭＰｏへの到達が検出されたら、処理Ｓ２３により制動され、原点位置ＭＰｏをオーバーランして停止する。この際の停止位置ＭＰｏ’として、停止位置ＭＰｏ’と原点位置ＭＰｏとの距離がオーバーラン量ＲＨとなる。
以上により１回目の原点復帰動作（図７の「原点復帰」）が完了する。
【００３５】
図６において、２回目の原点復帰動作（処理Ｓ２４〜Ｓ２６）では、１回目とは逆向きにスタイラス３７を高速で原点復帰させる（処理Ｓ２４）。スタイラス３７が原点位置ＭＰｏへと移動する間、制御部２４はリミットスイッチ３０Ａ(図３参照）の出力を監視し（処理Ｓ２５）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏに到達したら、制御部２４は駆動機構３９に制動をかける。スタイラス３７ないし移動ブロック３１は原点位置ＭＰｏにおいて直ちに停止しようとするが、自らの慣性により原点位置ＭＰｏを僅かにオーバーランして停止する（処理Ｓ２６）。
【００３６】
図７において、スタイラス３７は、１回目の原点復帰により原点位置ＭＰｏをオーバーラン量ＲＨだけオーバーランした停止位置ＭＰｏ’で停止している。
処理Ｓ２４により、スタイラス３７は原点位置ＭＰｏに向けて、１回目と同じ比較的高速な第１速度ＶＨで移動し、処理Ｓ２５により原点位置ＭＰｏへの到達が検出されたら、処理Ｓ２６により制動され、原点位置ＭＰｏをオーバーランして停止する。この際のオーバーラン量ＲＨであり、このオーバーランによりスタイラス３７は再び原点位置ＭＰｏを超えて移動範囲Ｒｍ（図３参照）に戻ることになる。
なお、２回目の原点復帰は、後述する低速な第２速度ＶＬで行ってもよく、この際にはオーバーラン量ＲＬとなる。
以上により２回目の原点復帰動作（図７の「離脱」）が完了する。
【００３７】
図６において、３回目の原点復帰動作（処理Ｓ２７〜Ｓ２９）では、１回目と同じ向きにスタイラス３７を低速で原点復帰させる（処理Ｓ２７）。スタイラス３７が原点位置ＭＰｏへと移動する間、制御部２４はリミットスイッチ３０Ａ(図３参照）の出力を監視し（処理Ｓ２８）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏに到達したら、制御部２４は駆動機構３９に制動をかける。スタイラス３７ないし移動ブロック３１は原点位置ＭＰｏにおいて直ちに停止しようとするが、自らの慣性により原点位置ＭＰｏを僅かにオーバーランして停止する（処理Ｓ２９）。
【００３８】
図７において、スタイラス３７は、２回目の原点復帰により原点位置ＭＰｏをオーバーラン量ＲＨだけオーバーランした位置で停止している。
処理Ｓ２７により、スタイラス３７は原点位置ＭＰｏに向けて、第１速度ＶＨより低速な第２速度ＶＬで移動し、処理Ｓ２８により原点位置ＭＰｏへの到達が検出されたら、処理Ｓ２９により制動され、原点位置ＭＰｏをオーバーランして停止する。この際の停止位置ＭＰｏ”として、停止位置ＭＰｏ”と原点位置ＭＰｏとの距離がオーバーラン量ＲＬとなる。このオーバーラン量ＲＬは、第１速度ＶＨに起因するオーバーラン量ＲＨに比べて十分小さい値となる。
以上により３回目の原点復帰動作（図７の「低速復帰」）が完了する。
【００３９】
以上の３回目の原点復帰動作により助走区間設定が行われ、３回目の原点復帰の結果、スタイラス３７は停止位置ＭＰｏ”で停止しており、原点位置ＭＰｏまでの距離つまりオーバーラン量ＲＬが助走区間として設定される。
図６において、ワークセットの動作では、停止位置ＭＰｏ”で停止しているスタイラス３７に、ワーク４の測定範囲の開始位置ＷＰｓを合わせて、これらを互いに接触させる（処理Ｓ２Ａ）。
この後、操作部２２を操作し、測定実行が指示されると（処理Ｓ２Ｂ）、制御部２４は駆動機構３９に助走動作（処理Ｓ２Ｃ〜Ｓ２Ｄ）および測定動作（処理Ｓ２Ｅ〜Ｓ２Ｆ）を実行させる。
すなわち、スタイラス３７を指定された測定方向へ移動させ（処理Ｓ２Ｃ）、原点位置ＭＰｏに達したら（処理Ｓ２Ｄ）、検出器３８からのデータの取得を伴う移動（処理Ｓ２Ｅ）に切り替えて移動を継続し、スタイラス３７が終了位置ＭＰｅに達したら（処理Ｓ２Ｆ）動作を完了する。
【００４０】
図７において、処理Ｓ２Ａにより、スタイラス３７は駆動機構３９上の停止位置ＭＰｏ”で停止した状態でワーク４に接触され、ワーク４上では開始位置ＷＰｓにある。制御部２４は、処理Ｓ２Ｃで助走動作を開始し、駆動機構３９上で原点位置ＭＰｏに達すると、処理Ｓ２Ｄにより測定動作に切り替える。この位置がワーク４上で動作切り替え位置ＷＰｒとなる。さらに、処理Ｓ２Ｅによりデータを取得しつつ移動を継続し、終了位置ＷＰｅ（駆動機構３９上で終了位置ＭＰｅ）に達したら、動作を停止する。これにより、ワーク４の動作切り替え位置ＷＰｒから終了位置ＷＰｅまでの表面性状データが取得できる。
なお、駆動機構３９上の終了位置ＭＰｅは、停止位置ＭＰｏ”にワーク４上の開始位置ＷＰｓから終了位置ＷＰｅまでの距離を加えることで算出できる。
【００４１】
以上のように、本実施形態の狭部測定モードにおいては、スタイラス３７ないし駆動機構３９は、助走区間設定動作により設定されるオーバーラン量ＲＬ分の助走区間によってバックラッシュを一方の側に集約され、その後の測定動作においても助走区間からの移動が継続され、バックラッシュの影響を解消することができる。
【００４２】
本実施形態の狭部測定モードでは、助走区間設定動作における原点復帰動作での原点通過後のオーバーランを利用して助走区間を設定するため、助走区間の距離（オーバーラン量ＲＬ）を僅かなものとすることができる。
本実施形態において、高速な第１速度が秒速２ｍｍであればこの速度でのオーバーラン量ＲＨは７０μｍ、低速な第２速度が秒速０．５ｍｍであればこの速度でのオーバーラン量ＲＬは７μｍ程度となる。本実施形態では、第２速度である秒速０．５ｍｍによる７μｍ程度がオーバーラン量ＲＬとなり、助走区間を従来の０．５ｍｍ程度に対して大幅に削減することができる。
【００４３】
例えば、１ｍｍの溝の底部の測定を行う場合、従来が測定に利用できる距離０．５ｍｍ（全体の５０％）であったのに対し、オーバーラン量ＲＬ＝７μｍなら０．９９３ｍｍとなり、ほぼ全体を測定に利用することができる。
このような狭部測定モードは、表面性状測定機において狭部操作モードを選択し、ワークをセットし、測定動作を指示する、という簡単な操作だけでよい。そして、前述した通り、本発明の表面性状測定機では、通常測定モードを選択していれば、従来通りの測定動作をそのまま実行することができる。
【００４４】
本実施形態では、助走区間設定動作として３回の原点復帰動作を繰り返すようにした。
この際、最初の原点復帰動作においては、高速な第１速度ＶＨで移動するため、作業時間を短縮できる。
また、２回目の原点復帰動作を逆向きに行うことで、最初（１回目）と最後（３回目）の原点復帰動作を同じ方向とすることができる。
そして、最後の原点復帰動作を低速な第２速度ＶＬで行うため、オーバーラン量ＲＬを短くすることができ、助走区間を短くし、測定動作の距離をより長く確保することができる。
【００４５】
本実施形態では、３回の原点復帰動作の何れにおいても、原点位置ＭＰｏの通過を検知することだけで各動作の切り替えを行うことができる。このため、例えば原点位置ＭＰｏの手前で減速あるいは一旦停止を行うための所定位置が必要でなく、そのための位置センサや動作制御で移動位置を常時モニタする等の処理を必要としない。
従って、動作切り替えは３回行うため煩雑であるが、機器構成および制御を簡単にすることができ、設備コストを低減し、保守性も向上することができる。
【００４６】
〔第２実施形態〕
図８および図９には、本発明の第２実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第１実施形態と同様の装置構成（図１〜図３参照）を備え、基本動作（図４および図５）も共通である。本実施形態と前述した第１実施形態との相違は、前述した図４の処理Ｓ１２で分岐Ａにジャンプする先である「狭部測定モード」の内容である。従って、簡略化のため共通部分の説明は省略し、以下には第１実施形態と異なる「狭部測定モード」について説明する。
【００４７】
図８に示すように、本実施形態の狭部測定モードにおいては、先ず助走区間設定（処理Ｓ３１〜Ｓ３５）を行い、オーバーラン分の助走区間を設定した後、ワークセット（処理Ｓ３６〜Ｓ３７）を行い、これらの準備の後に助走動作（処理Ｓ３８〜Ｓ３９）および測定動作（処理Ｓ３Ａ〜Ｓ３Ｂ）を行う。
このうち、ワークセット以降の各処理（処理Ｓ３６〜Ｓ３Ｂ）は前述した第１実施形態の各処理（処理Ｓ２Ａ〜Ｓ２Ｆ）と同様であり、相違するのは助走区間設定（処理Ｓ３１〜Ｓ３５）である。
本実施形態の助走区間設定動作では、原点位置ＭＰｏの手前に予め減速位置ＭＰｐを設定しておき、この位置で原点復帰速度を高速から低速に切り替える。
図９において、減速位置ＭＰｐで切り替えられる高速移動および低速移動は、「原点復帰」「低速復帰」の各動作として示されている。
【００４８】
図８において、高速での原点復帰動作（処理Ｓ３１〜Ｓ３２）では、制御部２４は駆動機構３９を起動し、スタイラス３７を原点に向けて高速で移動させる（処理Ｓ３１）。制御部２４は駆動機構３９の現在位置を監視し（処理Ｓ３２）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏの手前に設定された減速位置ＭＰｐに到達したら、制御部２４は駆動機構３９を低速に切り替え、移動を継続する（処理Ｓ３３）。
スタイラス３７が引き続き原点位置ＭＰｏへと移動する間、制御部２４はリミットスイッチ３０Ａ(図３参照）の出力を監視し（処理Ｓ３４）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏに到達したら、制御部２４は駆動機構３９に制動をかける（処理Ｓ３５）。スタイラス３７ないし移動ブロック３１は原点位置ＭＰｏにおいて直ちに停止しようとするが、自らの慣性により原点位置ＭＰｏを僅かにオーバーランして停止する。
【００４９】
図９において、原点復帰動作にあたって、スタイラス３７は移動範囲Ｒｍ（図３参照）のどこにあってもよく、当該位置から原点位置ＭＰｏに向けて移動を開始する。
原点復帰を開始する際の移動速度は、比較的高速な第１速度ＶＨとされる。第１速度ＶＨは、駆動機構３９におけるスタイラス３７の粗動速度に準じて設定すればよい。
処理Ｓ３１により、スタイラス３７は原点位置ＭＰｏに向けて高速な第１速度ＶＨで移動し、処理Ｓ３２により減速位置ＭＰｐが検出されたら、処理Ｓ３３により移動速度が第１速度ＶＨより低速な第２速度ＶＬに切り替えられ、処理Ｓ３４により第２速度ＶＬでの移動が継続され、原点位置ＭＰｏへの到達が検出されたら、処理Ｓ３５により制動が行われ、原点位置ＭＰｏをオーバーランして停止する。この際の停止位置ＭＰｏ”として、停止位置ＭＰｏ”と原点位置ＭＰｏとの距離がオーバーラン量ＲＬとなる。このオーバーラン量ＲＬは、第１速度ＶＨに起因するオーバーラン量ＲＨに比べて十分小さい値となる。
【００５０】
以上の助走区間設定により、スタイラス３７は停止位置ＭＰｏ”で停止しており、原点位置ＭＰｏまでの距離つまりオーバーラン量ＲＬが助走区間として設定される。
図８において、ワークセットの動作では、停止位置ＭＰｏ”で停止しているスタイラス３７に、ワーク４の測定範囲の開始位置ＷＰｓを合わせて、これらを互いに接触させる（処理Ｓ３６）。
この後、操作部２２を操作し、測定実行が指示されると（処理Ｓ３７）、制御部２４は駆動機構３９に助走動作（処理Ｓ３８〜Ｓ３９）および測定動作（処理Ｓ３Ａ〜Ｓ３Ｂ）を実行させる。
すなわち、スタイラス３７を指定された測定方向へ移動させ（処理Ｓ３８）、原点位置ＭＰｏに達したら（処理Ｓ３９）、検出器３８からのデータの取得を伴う移動（処理Ｓ３Ａ）に切り替えて移動を継続し、スタイラス３７が終了位置ＭＰｅに達したら（処理Ｓ３Ｂ）動作を完了する。
【００５１】
図９において、処理Ｓ３６により、スタイラス３７は駆動機構３９上の停止位置ＭＰｏ”で停止した状態でワーク４に接触され、ワーク４上では開始位置ＷＰｓにある。制御部２４は、処理Ｓ３８で助走動作を開始し、駆動機構３９上で原点位置ＭＰｏに達すると、処理Ｓ３９により測定動作に切り替える。この位置がワーク４上で動作切り替え位置ＷＰｒとなる。さらに、処理Ｓ３Ａによりデータを取得しつつ移動を継続し、処理Ｓ３Ｂにより終了位置ＷＰｅ（駆動機構３９上で終了位置ＭＰｅ）に達したら、動作を停止する。これにより、ワーク４の動作切り替え位置ＷＰｒから終了位置ＷＰｅまでの表面性状データが取得できる。
なお、駆動機構３９上の終了位置ＭＰｅは、停止位置ＭＰｏ”にワーク４上の開始位置ＷＰｓから終了位置ＷＰｅまでの距離を加えることで算出できる。
【００５２】
このような本実施形態においても、狭部測定モードにより、前述した第１実施形態と同様な効果、すなわち助走動作によるバックラッシュの影響の解消、助走区間の距離（オーバーラン量ＲＬ）の短縮化、測定に利用できる距離の拡大、簡単な操作などの各効果を得ることができる。
さらに、本実施形態では、前述した第１実施形態と異なり、原点位置の手前まで高速な第１速度ＶＨで移動した後、減速位置ＭＰｐで移動速度を低速な第２速度ＶＬに切り替えるため、助走区間として短いオーバーラン量ＲＬを確保しつつ移動の無駄をなくすことができる。
すなわち、本実施形態の助走区間設定動作では、先行する高速での移動（処理Ｓ３１〜Ｓ３２）と低速での移動（処理Ｓ３３〜Ｓ３４）とが、速度の切り替えであって方向の切り替えではないため、原点位置に向けて移動開始した方向がオーバーランまで継続される。従って、方向を逆転させる等の煩雑な動作が必要なく、移動の無駄がない。
【００５３】
なお、減速位置ＭＰｐつまり第１速度と第２速度との切り替えを行う所定位置は、動作速度つまり第１速度ＶＨおよび第２速度ＶＬ等との関係から適宜調整することが望ましい。減速位置ＭＰｐが原点位置ＭＰｏから遠いと低速での移動が増えて作業時間がかかる。一方、原点位置ＭＰｏに近すぎると、原点位置ＭＰｏを通過する時点で十分に低速にまで減速されず、オーバーラン量ＲＬすなわち助走区間を十分に短くできないことがある。従って、これらの条件を考慮して適切な値を設定することが望ましい。
【００５４】
また、第１速度ＶＨと第２速度ＶＬとの切り替えにあたっては、原点位置ＭＰｏの手前の減速位置ＭＰｐを通過したら単に減速して速度を変更してもよいが、この減速位置ＭＰｐで一旦停止し、第２速度ＶＬで再度移動してもよい。
原点位置の手前の所定位置を減速位置ＭＰｐとしてこれを検出する際には、移動経路に沿って位置センサを設置して所定位置への到達を検出する構成、あるいは駆動機構３９および制御部２４の現在位置カウンタの値をモニタして減速位置ＭＰｐへの到達を検出する構成などが適宜採用できる。
【００５５】
〔第３実施形態〕
図１０および図１１には、本発明の第３実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第１実施形態と同様の装置構成（図１〜図３参照）を備え、基本動作（図４および図５）も共通である。本実施形態と前述した第１実施形態との相違は、前述した図４の処理Ｓ１２で分岐Ａにジャンプする先である「狭部測定モード」の内容である。従って、簡略化のため共通部分の説明は省略し、以下には第１実施形態と異なる「狭部測定モード」について説明する。
【００５６】
図１０に示すように、本実施形態の狭部測定モードにおいては、先ず助走区間設定（処理Ｓ４１〜Ｓ４３）を行い、オーバーラン分の助走区間を設定した後、ワークセット（処理Ｓ４４〜Ｓ４５）を行い、これらの準備の後に助走動作（処理Ｓ４６〜Ｓ４７）および測定動作（処理Ｓ４８〜Ｓ４９）を行う。
このうち、ワークセット以降の各処理（処理Ｓ４４〜Ｓ４９）は前述した第１実施形態の各処理（処理Ｓ２Ａ〜Ｓ２Ｆ）と同様であり、相違するのは助走区間設定（処理Ｓ４１〜Ｓ４３）である。
本実施形態の助走区間設定動作は、原点復帰動作を１回だけ行う簡素な構成とされている。
【００５７】
図１０において、助走区間設定では、制御部２４は駆動機構３９を起動し、スタイラス３７を原点に向けて高速で移動させる（処理Ｓ４１）。制御部２４は駆動機構３９の現在位置を監視し（処理Ｓ４２）、スタイラス３７が原点位置ＭＰｏに到達したら、制御部２４は駆動機構３９に制動をかける（処理Ｓ４３）。スタイラス３７ないし移動ブロック３１は原点位置ＭＰｏにおいて直ちに停止しようとするが、自らの慣性により原点位置ＭＰｏを僅かにオーバーランして停止する。
【００５８】
図１１において、原点復帰動作にあたって、スタイラス３７は移動範囲Ｒｍ（図３参照）のどこにあってもよく、当該位置から原点位置ＭＰｏに向けて移動を開始する。
原点復帰を開始する際の移動速度は、比較的高速な第１速度ＶＨとされる。第１速度ＶＨは、駆動機構３９におけるスタイラス３７の粗動速度に準じて設定すればよい。
処理Ｓ４１により、スタイラス３７は原点位置ＭＰｏに向けて高速な第１速度ＶＨで移動し、処理Ｓ４２により原点位置ＭＰｏへの到達が検出されたら、処理Ｓ４３により制動が行われ、原点位置ＭＰｏをオーバーランして停止する。この際の停止位置ＭＰｏ’として、停止位置ＭＰｏ’と原点位置ＭＰｏとの距離がオーバーラン量ＲＨとなる。
【００５９】
以上の助走区間設定により、スタイラス３７は停止位置ＭＰｏ’で停止しており、原点位置ＭＰｏまでの距離つまりオーバーラン量ＲＨが助走区間として設定される。
図１０において、ワークセットの動作では、停止位置ＭＰｏ’で停止しているスタイラス３７に、ワーク４の測定範囲の開始位置ＷＰｓを合わせて、これらを互いに接触させる（処理Ｓ４４）。
この後、操作部２２を操作し、測定実行が指示されると（処理Ｓ４５）、制御部２４は駆動機構３９に助走動作（処理Ｓ４６〜Ｓ４７）および測定動作（処理Ｓ４８〜Ｓ４９）を実行させる。
すなわち、スタイラス３７を指定された測定方向へ移動させ（処理Ｓ４６）、原点位置ＭＰｏに達したら（処理Ｓ４７）、検出器３８からのデータの取得を伴う移動（処理Ｓ４８）に切り替えて移動を継続し、スタイラス３７が終了位置ＭＰｅに達したら（処理Ｓ４９）動作を完了する。
【００６０】
図１１において、処理Ｓ４４により、スタイラス３７は駆動機構３９上の停止位置ＭＰｏ’で停止した状態でワーク４に接触され、ワーク４上では開始位置ＷＰｓにある。制御部２４は、処理Ｓ４６で助走動作を開始し、駆動機構３９上で原点位置ＭＰｏに達すると、処理Ｓ４７により測定動作に切り替える。この位置がワーク４上で動作切り替え位置ＷＰｒとなる。さらに、処理Ｓ４８によりデータを取得しつつ移動を継続し、処理Ｓ４９により終了位置ＷＰｅ（駆動機構３９上で終了位置ＭＰｅ）に達したら、動作を停止する。これにより、ワーク４の動作切り替え位置ＷＰｒから終了位置ＷＰｅまでの表面性状データが取得できる。
なお、駆動機構３９上の終了位置ＭＰｅは、停止位置ＭＰｏ’にワーク４上の開始位置ＷＰｓから終了位置ＷＰｅまでの距離を加えることで算出できる。
【００６１】
このような本実施形態においても、狭部測定モードにより、前述した第１実施形態と同様な効果、すなわち助走動作によるバックラッシュの影響の解消、助走区間の距離の短縮化、測定に利用できる距離の拡大、簡単な操作などの各効果を得ることができる。
なお、本実施形態では、助走区間設定で停止直前の移動速度は第１速度ＶＨであり、前述した第１実施形態で停止する直前の第２速度ＶＬよりも高速であるため、助走区間となるオーバーラン量ＲＨも前述した第１実施形態のオーバーラン量ＲＬよりも大きくなる。
しかし、原点復帰速度である第２速度ＶＬが秒速２ｍｍであればオーバーラン量は７０μｍとすることができ、従来の助走区間０．５ｍｍに対して大幅な削減が可能となる。
その結果、例えば１ｍｍの溝の底部の測定を行う場合でも、従来が測定に利用できる距離０．５ｍｍ（全体の５０％）であったのに対し、オーバーラン量７０μｍなら測定に利用できる距離０．９３ｍｍとなり、ほぼ全体を測定に利用することができる。
【００６２】
さらに、本実施形態では、前述した第１実施形態のような方向変換や、高速および低速等の速度切り替え等を一切行う必要がなく、移動の無駄あるいは煩雑な動作制御をなくすことができる。
また、前述した第２実施形態のように原点位置ＭＰｏの手前で減速あるいは一旦停止を行うための減速位置ＭＰｐが必要なく、そのための位置センサや動作制御で移動位置を常時モニタする等の処理を必要としない。従って、装置構成および処理系の簡素化を図ることができる。
【００６３】
〔変形例〕
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を外れない範囲での変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、本発明の表面性状測定機１の機器構成は、前述した図１〜図３の構成に限らず、例えば電装部２および駆動検出部３が一体となった携帯式のものであってもよく、駆動検出部３がコラムに固定されるような大型のものであってもよく、スタイラス３７を移動させる駆動機構３９と、スタイラス３７の変位を検出する検出器３８と、駆動機構３９および検出器３８を制御する制御装置（制御部２４）とを含む基本構成を備えたものであれば本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１…表面性状測定機
２…電装部
２０…ケース
２１…表示部
２２…操作部
２３…記憶部
２４…制御部
２５…印刷装置
２６…入出力端子
３…駆動検出部
３０…ケース
３０Ａ…リミットスイッチ
３１Ａ…リミットプレート
３０Ｆ…フレーム
３０Ｒ…ガイドレール
３１…移動ブロック
３２…ボールねじ軸
３３…電動モータ
３４…回転エンコーダ
３５…ボールナット
３６…アーム
３７…スタイラス
３８…検出器
３９…駆動機構
４…ワーク
ＭＰｅ…終了位置
ＭＰｏ…原点位置
ＭＰｐ…減速位置
ＭＰｒ…動作切替位置
ＭＰｓ…開始位置
ＭＰｘ…終端位置
Ｒｄ…測定範囲
ＲＨ…オーバーラン量
ＲＬ…オーバーラン量
Ｒｍ…移動範囲
ＶＨ…第１速度
ＶＬ…第２速度
ＷＰｅ…終了位置
ＷＰｒ…動作切替位置
ＷＰｓ…開始位置
【図１】
2013195241.tif 000003
【図２】
2013195241.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2013195241.tif 000008
【図７】
2013195241.tif 000009
【図８】
2013195241.tif 000010
【図９】
2013195241.tif 000011
【図１０】
2013195241.tif 000012
【図１１】
2013195241.tif 000013