(57)【要約】【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、信号光を分光する回折格子４２と、集光光学系４３と、複数の微小レンズ４６ａが、分光方向に１次元に配列され、複数の微小レンズ４６ａの各々が、微小レンズ４６ａの光軸に略直交する面内において少なくとも分光方向と異なる第１の方向に移動可能に構成された空間光変調素子４６、及びシリンドリカルレンズ４７を含む投影光学系４４と、複数の受光素子４５ａが、投影光学系４４の光軸に略直交する面内において第２の方向に配列された受光器４５と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号光を略平行光とするコリメート光学系と、
前記略平行光を所定の１次元方向に分光する分光素子と、
前記分光素子で分光された分光光を集光する集光光学系と、
複数の微小レンズが、前記分光素子による分光方向に１次元に配列され、前記複数の微小レンズの各々が、前記微小レンズの光軸に略直交する面内において少なくとも前記分光方向と異なる第１の方向に移動可能に構成された空間光変調素子、及び前記空間光変調素子から射出した前記分光光を受光する光学素子を含む投影光学系と、
複数の受光素子が、前記投影光学系の光軸に略直交する面内において少なくとも第２の方向に配列された受光器と、を有することを特徴とする分光器。
【請求項２】
前記光学素子は、前記分光方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであり、前記複数の受光素子が、前記シリンドリカルレンズの後側焦点位置に略一致するように配置されることを特徴とする請求項１に記載の分光器
【請求項３】
前記複数の微小レンズは、それらの前側焦点が前記集光光学系の後側焦点面と略一致するように配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の分光器。
【請求項４】
前記第１の方向が、前記分光方向と略直交する方向であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項５】
前記第２の方向が、前記分光方向と略直交する方向であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項６】
前記受光器の前記複数の受光素子は、前記投影光学系の光軸に略直交する面内に２次元に配置され、
前記空間光変調素子の前記複数の微小レンズは、前記分光方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項４に記載の分光器。
【請求項７】
前記信号光は、光ファイバの端面から射出されて前記コリメート光学系に入射するように構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項８】
光源からの光を走査して対物レンズにより標本に集光し、前記標本から射出した信号光を前記対物レンズで集光する顕微鏡と、
前記顕微鏡からの前記信号光を分光して検出する請求項１〜７のいずれか一項に記載の分光器と、を有することを特徴とする顕微分光システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光器及び顕微分光システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光顕微鏡では蛍光を励起光から分離検出する必要がある原理上、何らかの形での分光機能が必須となっている。中でも共焦点光学系を持つ蛍光顕微鏡の場合にはその光検出器が事実上の点検出器となっていることから一般的な分光器との接続が可能であり、詳細な分光データを得ることのできる顕微分光システムを構成することができる。その一例として、共焦点光学系の光検出器の位置に光ファイバ入射端面を置き、その光ファイバの出射端面を分光器の入射スリットへ接続する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。この構成では、分光器の入射スリットを通過した光束は、コリメート光学系でコリメートされて分光素子である回折格子に入射し、波長ごとに所定の回折角で射出された後に集光光学系で集光されて、波長分散方向に置かれた１次元受光器に入射される。この構造はツェルニーターナー型といわれるもので、入射スリットから受光器までの倍率は約１倍であることが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２６７９３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように共焦点顕微鏡に分光器を接続することで詳細なスペクトルデータが得られる蛍光顕微鏡を構成することができるが、実際にはスペクトルの形状の情報が必要となることは稀で、ある特定の波長域の蛍光強度の積分値のみが得られれば十分な場合も多い。具体的には単一の蛍光色素で標識した標本や蛍光波長域が十分に離れた既知の色素で多重標識した標本の観測を行う場合などスペクトルの形状そのものは重要ではなく、各蛍光色素の画像中での分布が得られれば十分であるような標本観察の機会が多い。
【０００５】
従来の分光器ではその構成上、決まった分解能での分光情報が常に得られるかわりに、受光器の各チャンネルに入ってくる光量が少なくなり感度が十分でなく、Ｓ／Ｎも良くない。多チャンネルの受光器を利用しその出力に対して電気的な積分、もしくは、電気信号をＡ／Ｄ変換後に数値積分をすることで必要な蛍光波長範囲の信号強度を得ることもできるが、一般に多チャンネルの受光器は単一の受光器に比べて信号のＳ／Ｎや検出ダイナミックレンジが劣ることから十分なＳ／Ｎでの観察が困難であるという課題があった。
【０００６】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、必要以上に波長分割をすることなく、必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及びこの分光器を有する顕微分光システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明に係る分光器は、信号光を略平行光とするコリメート光学系と、この略平行光を所定の１次元方向に分光する分光素子と、分光素子で分光された分光光を集光する集光光学系と、複数の微小レンズが、分光素子による分光方向に１次元に配列され、複数の微小レンズの各々が、この微小レンズの光軸に略直交する面内において少なくとも分光方向と異なる第１の方向に移動可能に構成された空間光変調素子、及び空間光変調素子から射出した分光光を受光する光学素子を含む投影光学系と、複数の受光素子が、投影光学系の光軸に略直交する面内において少なくとも第２の方向に配列された受光器と、を有することを特徴とする。
【０００８】
このような分光器において、光学素子は、分光方向にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズであり、複数の受光素子が、このシリンドリカルレンズの後側焦点位置に略一致するように配置されることが好ましい。
【０００９】
また、このような分光器において、複数の微小レンズは、それらの前側焦点が集光光学系の後側焦点面と略一致するように配置されることが好ましい。
【００１０】
また、このような分光器は、第１の方向が、分光方向と略直交する方向であることが好ましい。
【００１１】
また、このような分光器は、第２の方向が、分光方向と略直交する方向であることが好ましい。
【００１２】
また、このような分光器において、受光器の複数の受光素子は、投影光学系の光軸に略直交する面内に２次元に配置され、空間光変調素子の複数の微小レンズは、分光方向に移動可能に構成されていることが好ましい。
【００１３】
また、このような分光器において、信号光は、光ファイバの端面から射出されてコリメート光学系に入射するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明に係る顕微分光システムは、光源からの光を走査して対物レンズにより標本に集光し、この標本から射出した信号光を対物レンズで集光する顕微鏡と、この顕微鏡からの信号光を分光して検出する上述の分光器のいずれかと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及びこの分光器を有する顕微分光システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】顕微分光システムの構成を示すブロック図である。
【図２】分光器を説明するための説明図である。
【図３】上記分光器の要部を説明するための説明図であって、（ａ）はＸ軸方向から見た場合を示し、（ｂ）はＹ軸方向から見た場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１〜図３を用いて本実施形態に係る分光器を有する顕微分光システムの構成について説明する。図１に示すように、この顕微分光システム１は、光源系１０、共焦点ユニット２０及び顕微鏡３０を有する共焦点顕微鏡と、分光器４０と、制御部５０と、を有する。この顕微分光システム１において、共焦点ユニット２０と分光器４０とは、ファイバカプラ２９ａ，２９ｂを介して光ファイバ２８により光学的に接続されている。
【００１８】
光源系１０は、レーザ装置１１と、光ファイバ１３と、ファイバカプラ１２，１４と、を有する。レーザ装置１１は、例えば、レーザーダイオードを備え、目的の波長特性を有する照明光を射出する。この照明光は、光ファイバ１３を介して共焦点ユニット２０に導かれる。なお、図１の例では、照明光として、標本３３を励起して蛍光を発光させるための励起光を射出する。
【００１９】
共焦点ユニット２０は、光源系１０からの照明光を略平行光束とするコリメートレンズ２１と、ダイクロイックミラー２２と、走査ユニット２３と、スキャナレンズ２４と、集光レンズ２５と、ピンホール２６ａを有するピンホール板２６と、リレーレンズ２７と、を有する。また、顕微鏡３０は、第２対物レンズ３１及び対物レンズ３２と、標本３３が載置されるステージ３４と、を有する。これらの共焦点ユニット２０と顕微鏡３０とを組み合わせて走査型共焦点顕微鏡が構成される。なお、ダイクロイックミラー２２は、光源系１０から射出されたレーザ光を顕微鏡３０側に反射し、このレーザ光により励起した標本３３から放射される蛍光を透過するように構成されている。また、集光レンズ２５の像側焦点は、ピンホール板２６のピンホール２６ａと略一致するように配置されている。
【００２０】
光源である光源系１０のレーザ装置１１から射出されたレーザ光（励起光）はファイバカプラ１２を介して光ファイバ１３に導入される。さらにこの光ファイバ１３を通ったレーザ光はファイバカプラ１４から共焦点ユニット２０のコリメートレンズ２１に入射する。そして、このレーザ光はコリメートレンズ２１で略平行光に変換された後、ダイクロイックミラー２２で顕微鏡３０側の光路に反射され、直交配置された２つのガルバノミラーからなる走査ユニット２３及びスキャナレンズ２４に導入されて、二次元的に走査される。走査されたレーザ光は、第２対物レンズ３１で略平行光にされた後、対物レンズ３２で標本３３上の１点に集光される。なお、走査ユニット２３により二次元的に走査される標本３３上の位置は、制御部５０により走査ユニット２３におけるガルバノミラーの動作を制御することにより制御される。そして、このレーザ光により励起された標本３３から放射された蛍光（信号光）は、対物レンズ３２で略平行光に変換され、レーザ光（励起光）と逆の経路を辿り、走査ユニット２３でデスキャンされた後、ダイクロイックミラー２２に入射する。さらに、ダイクロイックミラー２２に入射した蛍光はこのダイクロイックミラー２２を透過し、集光レンズ２５によりピンホール板２６のピンホール２６ａ上に集光される。
【００２１】
ピンホール２６ａを通過した光は、リレーレンズ２７を経て、ファイバカプラ２９ａから光ファイバ２８に導かれる。リレーレンズ２７を介すると、図１に示すように、ピンホール２６ａを通過した光が、そのままであると発散光束となるところを、再び、集光され、光ファイバ２８の開口端において、見かけ上、小さな開口径でも、有効に（ロスが少なく）入射できるようになる。
【００２２】
ここで、ピンホール２６ａに形成される集光点は標本３３上での光スポットの像となっているため、標本３３上の他の点から発した光がたとえあったとしても、ピンホール２６ａでは像を結ばずピンホール板２６により遮られ、ファイバカプラ２９ａにほとんど到達できない。そのため、このピンホール２６ａを通過できた光のみが、リレーレンズ２７を介してファイバカプラ２９ａに到達できる。この結果、走査型共焦点顕微鏡では高い横分解能だけでなく、高い縦分解能を持って標本を観察できる顕微鏡となっている。
【００２３】
ファイバカプラ２９ａに入射した蛍光は、光ファイバ２８を通り、ファイバカプラ２９ｂを介して分光器４０に導入される。
【００２４】
図２に示すように、分光器４０は、光ファイバ２８の端面（ファイバカプラ２９ｂ）から入射する信号光（図１の例では蛍光）を略平行光束とするコリメート光学系４１と、分光特性を有する波長分散素子（分光素子）である回折格子４２と、複数の受光素子４５ａがアレー状に並べられた受光素子アレーを有して受光面を形成する受光器４５と、回折格子４２で波長分散を受けた信号光（以下、「分光光」と呼ぶ）を集光して後側焦点面ＩＭ上に集光する集光光学系４３と、上記後側焦点面ＩＭを通過した分光光を受光器４５の受光面に結像させる投影光学系４４と、を有している。ここで、集光光学系４３は、その光軸に回転対称な屈折力を有し、例えば、集光レンズで構成される。また、投影光学系４４は、複数の微小レンズ４６ａが分光方向に１次元に配列され、各微小レンズ４６ａの前側焦点が上記集光光学系４３の後側焦点面ＩＭと略一致するように配置された空間光変調素子４６と、空間光変調素子４６を構成する微小レンズ４６ａの各々から出射した略平行光束を上述のように受光器４５の受光面に集光するシリンドリカルレンズ４７と、から構成されている。以下、図２に示すように、この分光器４０の光軸方向（光ファイバ２８から出射した信号光が進む中心方向）をＺ軸とし、この光軸に直交する面内において水平方向をＸ軸とし、垂直方向をＹ軸として説明する。また、前側焦点とは光ファイバ２８側の焦点を示し、後側焦点とは受光器４５側の焦点を示す。
【００２５】
この分光器４０は、光ファイバ２８により導入された信号光を、コリメート光学系４１により略平行光とし、回折格子４２に照射する。この回折格子４２は、Ｘ軸方向に延びる回折格子溝が微小間隔でＹ軸方向に複数並んで刻まれている。そのため、この回折格子４２に入射した信号光は、Ｙ軸方向に回折される。このとき回折角はその波長によって決まるため、この信号光はＹ軸方向に波長に応じて分散され、分光される。すなわち、光軸に直交する面内において、回折格子４２による分光方向がＹ軸方向に相当し、この分光方向に直交する方向がＸ軸方向に相当する。そして、このようにして分光された分光光は集光光学系４３によりその後側焦点面（空間光変調素子４６の前側焦点面）ＩＭ上に集光される。上述したように回折格子４２に入射した信号光はＹ軸方向に分光されるため、集光光学系４３の後側焦点面ＩＭにおける信号光の像はＹ軸方向に一次元に延びている。
【００２６】
本実施形態に係る分光器４０において、投影光学系４４を構成する空間光変調素子４６の微小レンズ４６ａは、図３（ａ）に示すように、回折格子４２による分光方向、すなわち、Ｙ軸方向に１次元に配列されている。また、この微小レンズ４６ａの各々は、図示しないアクチュエータにより、微小レンズ４６ａの光軸に略直交する面内で分光方向と略直交する方向、すなわち、Ｘ軸方向に移動させる（シフトさせる）ことができるように構成されている。そのため、図３（ｂ）に示すように、この微小レンズ４６ａに入射した分光光は、Ｙ軸方向から見たときに、微小レンズ４６ａの光軸上に入射したときはそのままこの微小レンズ４６ａの光軸上を進む略平行光となるが、微小レンズ４６ａがＸ軸方向に移動されると、その移動量に応じてＸ軸方向に斜めに進む略平行光となる。
【００２７】
また、シリンドリカルレンズ４７は、図３（ａ），（ｂ）に示すようにＹ軸方向にのみ屈折力を有するように配置され、且つ、その後側焦点が受光器４５の受光面に略一致するように配置されている。そのため、図３（ａ）に示すように、Ｘ軸方向から見たときは、各々の微小レンズ４６ａから出射した分光光のいずれもが、受光器４５の受光面に集光される。一方、図３（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向から見たときは、微小レンズ４６ａの移動量に応じて、受光器４５に対する分光光の入射位置がＸ軸方向に移動する。そのため、図３（ｂ）に示すように受光器４５を構成する受光素子４５ａを投影光学系４４の光軸と略直交する面内において回折格子４２による分光方向と略直交する方向（Ｘ軸方向）に並べて配置することにより、空間光変調素子４６の微小レンズ４６ａを上述のようにＸ軸方向に移動させることで、各々の微小レンズ４６ａを通過した分光光の集光位置をＸ軸方向に変化させてこの分光光を検出する受光素子４５ａを選択することができる。
【００２８】
ここで、シリンドリカルレンズ４７はＸ軸方向に屈折力を有していないため、投影光学系４４の全体のＸ軸方向の焦点距離は空間光変調素子４６を構成する微小レンズ４６ａの焦点距離Ｌ２となる。また、上述したように、微小レンズ４６ａの前側焦点位置と受光器４５の受光面とが略共役になるように配置されている。そのため、受光器４５の受光面とシリンドリカルレンズ４７の縦方向（Ｙ軸方向）の主面との距離がＬ１であるとすると、この投影光学系４４の全体のＹ軸方向の焦点距離ｆは、次式（１）の関係となるように設計されている。
【００２９】
ｆ  ＝  Ｌ１×Ｌ２／（Ｌ１＋Ｌ２）                          （１）
【００３０】
それでは、本実施形態に係る分光器４０の具体的な設計手段を以下に示す。
【００３１】
まず、コリメート光学系４１の焦点距離ｆｃは、このコリメート光学系４１を通過した後の光ビームの幅に加えて、空間光変調素子４６を構成する微小レンズ４６ａの移動距離分の幅が、おおよそこの微小レンズ４６ａの直径より小さくなるようにすれば良いので、空間光変調素子４６の幅（Ｘ軸方向幅）をＷとし、集光光学系４３の焦点距離ｆ1とし、投影光学系４４の横方向（Ｘ軸方向）の焦点距離をｆ2Tとし、微小レンズ４６ａの移動距離をΔｘとすると、次の条件式（２）を満足すれば良い。但し、ＮＡfは光ファイバ２８の開口数である。
【００３２】
Ｗ  ＝  ２×ｆ2T（ｆｃ／ｆ1）×ＮＡｆ＋２×Δｘ              （２）
【００３３】
次に集光光学系４３の焦点距離ｆ1については、波長としてλ1〜λ2の範囲の信号光を分光して検出するために、回折格子４２として格子定数ｄのものを使い、この回折格子４２への入射角をθ1とすると、回折格子４２からの出射角θ2は、ｓｉｎθ2−ｓｉｎθ1＝λ／ｄより、ｓｉｎ-1（λ1／ｄ−ｓｉｎθ1）からｓｉｎ-1（λ2／ｄ−ｓｉｎθ1）までの範囲となる。従って、回折格子４２から出射する分光光の半画角Δθは次式（３）で表される。
【００３４】
Δθ＝（ｓｉｎ-1(λ2／ｄ−ｓｉｎθ1）−ｓｉｎ-1（λ1／ｄ−ｓｉｎθ1））／２
（３）
【００３５】
よって、一次元配列している微小レンズ４６ａのＹ軸方向のピッチをＰSLMとし、Ｙ軸方向に並ぶ微小レンズ４６ａの個数をＮSLMとした空間光変調素子４６を使うと、集光光学系４３の焦点距離ｆ1は、次の条件式（４）を満たすようにすれば良い。
【００３６】
ｆ1×ｓｉｎΔθ  ＝  ＰSLM×ＮSLM                          （４）
【００３７】
最後に投影光学系４４の焦点距離については、横方向（Ｘ軸方向）の焦点距離ｆ2Tと縦方向（Ｙ軸方向）の焦点距離ｆ2Lとがあるが、これらはそれぞれ次のように決める。
【００３８】
まず、受光素子４５ａの横幅（Ｘ軸方向幅）がＷdTで、この受光素子４５ａがＸ軸方向にＮd本並んでおり、空間光変調素子４６の各微小レンズ４６ａのＸ軸方向の移動距離を±Δｘとし、空間光変調素子４６から受光器４５までの距離をＬ３とすると、投影光学系４４の横方向（Ｘ軸方向）の焦点距離ｆ2Tは、次式（５）の関係を満たせば良い。
【００３９】
Ｌ３×Δｘ／ｆ2T  ＝  ＷdT×Ｎd／２                      （５）
【００４０】
一方、空間光変調素子４６の焦点距離Ｌ２は、投影光学系４４の横方向（Ｘ軸方向）の焦点距離ｆ2Tに等しいので、受光器４５とシリンドリカルレンズ４７の縦方向（Ｙ軸方向）の主面との距離がＬ１であれば、投影光学系４４の縦方向（Ｙ軸方向）の焦点距離ｆ2Lは、次式（６）の関係を満たせば良い。
【００４１】
ｆ2L  ＝  Ｌ１×ｆ2T／（Ｌ１＋ｆ2T）                    （６）
【００４２】
このように設計された光学系において、投影光学系４４の光軸に対して横方向（Ｘ軸方向）にｋ番目の位置にある受光素子４５ａに分光光を入射させる際には、空間光変調素子４６でその分光光の波長（蛍光波長）が入射している微小レンズ４６ａの移動距離Δｘを、次式（７）で求められる値となるように制御すれば良い。
【００４３】
Δｘ  ＝  ｋ×ＷdT×ｆ2T／Ｌ３                        （７）
【００４４】
蛍光検出をする際に使われる励起光など受光素子４５ａに入射することが望ましくない波長の光に関しては、空間光変調素子４６上のその光の波長に対応する微小レンズ４６ａの移動距離を大きくすることで受光素子４５ａに入射しない方向に飛ばしてしまうこともできる。上記の設計手順において受光器４５を構成する受光素子４５ａのうち最も端に位置するものをブランクにしてしまうことで、検出が不要な励起光についてはその位置に集光するように空間光変調素子４６を制御することで、受光器４５に対して不要な光が入射することを防ぐことができる。
【００４５】
本実施形態の説明においては、空間光変調素子４６の微小レンズ４６ａは、投影光学系４４の光軸に略直交する面内で分光方向と略直交する方向（Ｘ軸方向）に移動可能に構成される例を説明をしたが、これに限られず、分光方向と異なる第１の方向に移動可能に構成することが可能である。また、空間光変調素子４６から射出した分光光を受光するレンズとして、分光方向（Ｙ軸方向）にのみ屈折力を有するシリンドリカルレンズを用いた例を説明をしたが、これに限られず、回転対称なレンズ、分光方向（Ｙ軸方向）と分光方向に直交する方向の屈折力が互いに異なるレンズを用いてもよい。これら場合、受光器４５を構成する受光素子４５ａの配置方向である第２の方向は、微小レンズ４６ａの移動可能方向、微小レンズ４６ａと空間光変調素子４６の微小レンズ４６aから射出した分光光を受光するレンズの合成焦点距離（特に、微小レンズ４６ａの移動可能方向の合成焦点距離）などを考慮して、決定する必要がある。
【００４６】
このように、本実施形態に係る分光器４０は、信号光の波長ごとに受光素子４５ａを選択することができるので、必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子４５ａで十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる。さらに、励起光など不要な光が受光素子４５ａに入射して信号強度を乱したり受光素子４５ａを傷めたりすることを避けることができる。また、任意の励起波長が受光器４５に入ることを避けられるので、特に複数の励起波長で観察する共焦点顕微鏡に最適である。
【００４７】
また、本実施形態に係る分光器４０は、光ファイバ２８を入射端としているので、容易に共焦点顕微鏡に接続することが可能である。すなわち、一般に共焦点顕微鏡では光検出をピンホールに接続した光検出器で行っているが、ピンホール透過後の光を光ファイバに入射させることで光検出器への光導入を容易に光ファイバで行うことが可能である。このようにして、分光機能を持った共焦点顕微鏡に適した分光器を構成することができる。
【００４８】
なお、以上の説明では、受光器４５の受光素子４５ａをＸ軸方向に１次元に配置した場合について説明したが、この受光素子４５ａを投影光学系４４の光軸に略直交する面内で２次元に配置しても良い。この場合、空間光変調素子４６においてＹ軸方向に隣り合う微小レンズ４６ａの間に空間を設け、微小レンズ４６ａをＹ軸方向に移動させることにより、受光器４５の受光面において、この微小レンズ４６ａで集光された信号光（分光光）のＹ軸方向の集光位置を変化させて、Ｙ軸方向に並ぶ受光素子４５ａを選択することができる。この場合も、受光面におけるＸ軸方向位置は、微小レンズ４６ａをＸ軸方向に移動させることでＸ軸方向に並ぶ受光素子４６ａを選択することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  顕微分光システム    ２０  共焦点ユニット    ３０  顕微鏡
４０  分光器    ４１  コリメート光学系    ４３  集光光学系
４４  投影光学系    ４５  受光器    ４５ａ  受光素子
４６  空間光変調素子    ４６ａ  微小レンズ    ４７  シリンドリカルレンズ
【図１】
2013195264.tif 000003
【図２】
2013195264.tif 000004
【図３】
2013195264.tif 000005