(57)【要約】【課題】ガラスフィルム積層体の状態で、ガラスフィルムに製造関連処理を正確に施す。【解決手段】ガラスフィルム１のガラス面と支持ガラス２のガラス面を直接密着させて積層したガラスフィルム積層体であって、ガラスフィルム１と支持ガラス２の密着部における気泡が、１ｍ2当たり１００個未満に規制されている。【選択図】図２
2013237159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスフィルムと支持ガラスを互いのガラス面を直接密着させて積層したガラスフィルム積層体であって、
前記ガラスフィルムと前記支持ガラスの密着部における気泡が、１ｍ2当たり１００個未満に規制されていることを特徴とするガラスフィルム積層体。
【請求項２】
前記支持ガラスの端面が、研削面取りされた面取り部からなることを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項３】
前記面取り部が、更にエッチング処理されていることを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項４】
前記面取り部が、更に樹脂により被覆されていることを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項５】
前記面取り部が、更に、エッチング処理されると共に、樹脂により被覆されていることを特徴とする請求項２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項６】
前記ガラスフィルムの全周が、前記支持ガラスの端面よりも内側にあることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項７】
前記ガラスフィルムと前記支持ガラスのそれぞれの表裏面のうち、少なくとも前記密着部を構成する側の面の表面粗さＲａが、２．０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項８】
ガラスフィルムと支持ガラスを互いのガラス面を直接密着させて積層したガラスフィルム積層体の製造方法であって、
前記ガラスフィルムと前記支持ガラスを積層した後に、前記支持ガラスの端面に研削面取りを施すことを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項９】
前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部にエッチング処理を施すことを特徴とする請求項８に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項１０】
前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部を樹脂で被覆することを特徴とする請求項８に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項１１】
前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部にエッチング処理を施し、樹脂で被覆することを特徴とする請求項８に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項１２】
前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスが、オーバーフロー法により成形されることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項１３】
請求項８〜１１のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体の製造方法により製造されたガラスフィルム積層体に含まれるガラスフィルムと支持ガラスを分離し、前記分離された支持ガラスと、別の新たなガラスフィルムを積層することでガラスフィルム積層体を製造することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルムと支持ガラスとを積層してなるガラスフィルム積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ、有機ＥＬ照明、太陽電池等の種々の電子デバイスにガラス基板が使用されている。これらのガラス基板には、軽量化や可撓性の向上を図るために薄板化が推進されており、フィルム状まで薄板化されたガラスフィルムが使用されつつある。
【０００３】
この種のガラスフィルムは、軽量化や可撓性の向上といった要請を満たすことができるものの、フィルム状まで薄板化された結果、破損を来たし易く、搬送時や加工時などの取り扱いが非常に難しいという問題がある。
【０００４】
そこで、ガラスフィルムの取り扱い性の悪さを改善するために、例えば特許文献１〜２では、ガラスフィルムを支持ガラスに積層してガラスフィルム積層体を作製し、この状態でガラスフィルムを搬送したり、ガラスフィルムに電極パターンを形成するなどの種々の製造関連処理を施すことが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１８３７９２号公報
【特許文献２】特開２０１２−０３０４０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ガラスフィルム積層体の状態でガラスフィルムにパターニングなどの製造関連処理を施すと、処理不良が生じる場合があり、問題となっている。
【０００７】
本発明は、ガラスフィルム積層体の状態で、ガラスフィルムに製造関連処理を正確に施すことを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、ガラスフィルム積層体の状態でガラスフィルムに製造関連処理を施した場合に、処理不良が生じる原因がガラスフィルムと支持ガラスの密着部に存在する気泡にあることを知見するに至った。すなわち、図１に示すように、ガラスフィルム１と支持ガラス２の密着部に気泡３が形成されると、ガラスフィルム１の表面に気泡３に由来する凸部４が形成され、ガラスフィルム１の表面が波打つ。その結果、ガラスフィルム１の表面に製造関連処理を正確に施し難くなって、処理不良が生じる原因となる。なお、この気泡３は、支持ガラス２の密着部側のガラス面２ａに付着しているガラス粉５が主たる発生原因となっていることが判明している。すなわち、支持ガラス２のガラス面２ａにガラス粉５が付着していると、ガラスフィルム１のガラス面１ａと支持ガラス２のガラス面２ａの密着が阻害され、ガラス粉５の周辺に空気が残存し気泡３となる。
【０００９】
そこで、上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラスフィルムと支持ガラスを互いのガラス面を直接密着させて積層したガラスフィルム積層体であって、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスの密着部における気泡が、１ｍ2当たり１００個未満に規制されていることに特徴づけられる。
【００１０】
このような構成によれば、製造関連処理の発生原因となる気泡が、１ｍ2当たり１００個未満という極めて少ない個数に規制されていることから、ガラスフィルム積層体の状態でもガラスフィルムの表面が実質的に平坦となり、処理不良を確実に防止することが可能となる。
【００１１】
上記の構成において、前記支持ガラスの端面が、研削面取りされた面取り部からなることが好ましい。
【００１２】
このようにすれば、支持ガラスの端面の強度が向上することから、支持ガラスの端面からの発塵を抑えることができる。このため、気泡の原因となるガラス粉の発生を抑制できる。また、支持ガラスが搬送時や製造関連処理時に破損して、製品となるガラスフィルムがガラス粉によって汚染されたり、破損するという事態も防止することができる。
【００１３】
上記の構成において、前記面取り部が、更にエッチング処理されていてもよい。
【００１４】
このようにすれば、面取り部に存在するマイクロクラックが除去又はその先鋭部が滑らかに鈍化されることから、支持ガラスの端面強度の更なる向上を図ることができる。
【００１５】
上記の構成において、前記面取り部が、更に樹脂により被覆されていてもよい。
【００１６】
このようにすれば、面取り部が樹脂により保護されるので、支持ガラスの端面強度の更なる向上を図ることができる。
【００１７】
上記の構成において、前記面取り部が、更に、エッチング処理されると共に、樹脂により被覆されていてもよい。
【００１８】
このようにすれば、面取り部に存在するマイクロクラックが除去又はその先鋭部が滑らかに鈍化され、しかもその滑らかになった面取り部が樹脂により保護されることから、支持ガラスの端面強度の更なる向上を図ることができる。
【００１９】
上記の構成において、前記ガラスフィルムの全周が、前記支持ガラスの端面よりも内側にあることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、ガラスフィルムの端面に他部材が直接接触することを防止することができる。また、ガラスフィルムの支持形態も安定する。このため、ガラスフィルムに対する正確な製造関連処理の実施に寄与し得る。
【００２１】
上記の構成において、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスのそれぞれの表裏面のうち、少なくとも前記密着部を構成する側の面の表面粗さＲａが、２．０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２２】
このようにすれば、ガラスフィルムと支持ガラスの密着度が向上する。このため、搬送中や製造関連処理中などに、支持ガラスに対してガラスフィルムが位置ズレを来たすことを防止することができる。したがって、ガラスフィルムと支持ガラスを積層した後に、これらの密着部にガラス粉が事後的に侵入するという事態を確実に防止することができる。
【００２３】
上記課題を解決するために創案された本発明は、ガラスフィルムと支持ガラスを互いのガラス面を直接密着させて積層したガラスフィルム積層体の製造方法であって、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスを積層した後に、前記支持ガラスの端面に研削面取りを施すことに特徴づけられる。
【００２４】
このような構成によれば、次のような理由により、ガラスフィルムに製造関連処理を正確に施すことが可能なガラスフィルム積層体を製造することができる。
【００２５】
すなわち、支持ガラスの端面からの発塵を防止する観点からは、支持ガラスの端面に研削面取りを施すことが好ましい。しかしながら、ガラスフィルムと積層する前に、支持ガラス単体に対して研削面取りを施すと、支持ガラスのガラスフィルムとの密着部側の表面に研削により生じたガラス粉が付着する。この場合、支持ガラスを洗浄してもガラス粉を完全に除去することが難しい。そして、支持ガラスにガラス粉が付着した状態でガラスフィルムと積層すると、ガラスフィルムと支持ガラスの密着部にガラス粉に起因する気泡が形成されてしまう。また、このように気泡が形成されると、ガラスフィルムと支持ガラスを再び分離させなければ、ガラスフィルムと支持ガラスの間にガラス粉が閉じ込められることから、洗浄によっても気泡を取り除くことが難しくなる。そして、このように気泡が形成されたままであると、既に述べたようにガラスフィルムに対して行う製造関連処理の処理不良の原因となる。
【００２６】
そこで、上記の構成では、ガラスフィルムと支持ガラスを積層した後に、支持ガラスの端面に研削面取りを施すようにしている。このようにすれば、支持ガラスの端面に研削面取りを施す際には、ガラスフィルムと支持ガラスの互いのガラス面が直接密着していることから、その密着部に研削時に生じるガラス粉が侵入せず、気泡の発生を確実に抑えることが可能となる。したがって、このように製造されたガラスフィルム積層体であれば、ガラスフィルム積層体の状態でも、ガラスフィルムの表面が製造関連処理との関係で実質的に平坦とみなすことができ、処理不良を確実に防止することが可能となる。
【００２７】
なお、このように製造されたガラスフィルム積層体のガラスフィルムに対して一連の製造関連処理が終了した後は、ガラスフィルムと支持ガラスが再び分離されるが、この分離された支持ガラスは、別の新たなガラスフィルムの支持ガラスとして再利用することができる。この場合、支持ガラスの端面には、既に研削面取りが施されているので、再度研削面取りを施さなくても端面からの発塵を抑えることができる。また、支持ガラスの密着部となる側の表面はガラスフィルムで覆われていたことから、ガラス粉が付着しておらず、別のガラスフィルムを積層した際にも、その密着部に気泡が形成されるという事態を可及的に防止することができる。このように支持ガラスを再利用する際には、ガラスフィルムと積層する前に、支持ガラスを再度洗浄乾燥するようにしてもよい。
【００２８】
上記の構成において、前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部にエッチング処理を施すようにしてもよい。
【００２９】
上記の構成において、前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部を樹脂で被覆するようにしてもよい。
【００３０】
上記の構成において、前記支持ガラスの端面に前記研削面取りを施した後に、その面取り部にエッチング処理を施し、樹脂で被覆するようにしてもよい。
【００３１】
また、以上説明した製造方法により製造されたガラスフィルム積層体に含まれるガラスフィルムと支持ガラスを分離し、前記分離された支持ガラスと、別の新たなガラスフィルムを積層することでガラスフィルム積層体を製造するようにしてもよい。
【００３２】
このようにすれば、既に説明した支持ガラスを再利用することにより得られる利点を同様に享受することができる。
【発明の効果】
【００３３】
以上のように本発明によれば、ガラスフィルムと支持ガラスの密着部に形成される気泡が可及的に低減することから、ガラスフィルム積層体の状態においてもガラスフィルムの表面が実質的に平坦になる。したがって、ガラスフィルム積層体の状態で、ガラスフィルムに製造関連処理を正確に施すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】ガラスフィルム積層体の密着部に形成される気泡を説明するための縦断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す斜視図である。
【図３】本実施形態のガラスフィルム積層体の端部周辺の縦断面図である。
【図４】本実施形態のガラスフィルム積層体の変形例を示す端部周辺の縦断面図である。
【図５】本実施形態のガラスフィルム積層体の変形例を示す端部周辺の縦断面図である。
【図６】本実施形態のガラスフィルム積層体の変形例を示す端部周辺の縦断面図である。
【図７】本実施形態のガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための図である。
【図８】比較例のガラスフィルム積層体の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３６】
図２は、本発明の実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す斜視図である。このガラスフィルム積層体は、ガラスフィルム１と支持ガラス２を互いのガラス面１ａ，２ａを直接密着させて積層したものである。
【００３７】
ここで、直接密着とは、接着剤等の他部材を介在させることなく密着させることを意味する。
【００３８】
ガラスフィルム１は、例えば、２００μｍ以下の厚みを有する。支持ガラス２は、ガラスフィルム１よりも厚肉で、例えば２５０〜３０００μｍの厚みを有する。
【００３９】
支持ガラス２は、ガラスフィルム１よりも大きく、ガラスフィルム１の全周が、支持ガラス２の端面２ｂよりも内側に位置している。
【００４０】
図３に示すように、ガラスフィルム１の表裏面のうち、少なくとも支持ガラス２と密着する側（密着部側）のガラス面１ａの表面粗さＲａは、２．０ｎｍ以下、特に０．２ｎｍ以下であることが好ましい。また同様に、支持ガラス２の表裏面のうち、少なくともガラスフィルム１と密着する側（密着部側）のガラス面２ａの表面粗さＲａは、２．０ｎｍ以下、特に０．２ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、Ｒａ（算術平均粗さ）は、ＪＩＳ  ２００１に準拠するものとする。このような表面粗さを満足するガラスフィルム１及び支持ガラス２は、例えばオーバーフローダウンドロー法により成形され、その表面が未研磨面とされる。なお、ガラスフィルム１及び支持ガラス２の表面を、研磨やエッチング処理することにより、上記の数値範囲を満足する表面粗さを付与してもよい。すなわち、ガラスフィルム１及び支持ガラス２は、フロート法などのオーバーフローダウンドロー法以外の方法で成形してもよい。
【００４１】
支持ガラス２の端面２ｂには、研削面取りが施されている。この実施形態では、研削面取りとして、支持ガラス２の各辺に対して研削加工（Ｒ面取り）が施されると共に、各コーナー部に対してもコーナーカット加工が施されている。
【００４２】
なお、図４に示すように、支持ガラス２の面取り部６は、樹脂７で被覆されていてもよい。また、図５に示すように、支持ガラス２の面取り部６に更にエッチング処理を施し、エッチング処理部（図中のクロスハッチングで示す領域）８を形成してもよい。また、図６に示すように、支持ガラス２の面取り部６にエッチング処理部８を形成した後に、樹脂７で被覆してもよい。
【００４３】
ここで、被覆用の樹脂としては、アクリル樹脂、シリコーンポリマー、ゾル・ゲルポリマー、ポリカーボネート、ポリエーテル・サルホン、ポリアクリレート、ポリイミド、シクロオレフィン共重合体、ポリアリレート、シリコーン樹脂などが挙げられる。中でも、紫外線硬化型の樹脂を用いることが好ましい。
【００４４】
また、エッチング処理液としては、フッ酸水溶液、フッ化アンモニウムやフッ化水素アンモニウムなどのフッ化物水溶液などが挙げられる。エッチング処理の方法としては、エッチング処理液への浸漬、ブラシ・刷毛・ローラ・スプレーなどによるエッチング処理液の塗布などが挙げられる。
【００４５】
そして、本実施形態に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルム１と支持ガラス２のそれぞれのガラス面１ａ、２ａの密着部における気泡の個数が、１ｍ2当たり１００個未満、好ましくは６０個以下、より好ましくは５０個以下、特に好ましくは３０個以下に規制されている。この気泡は、図１で説明したように、ガラスフィルム１と支持ガラス２とを密着する前に、支持ガラス２のガラス面２ａに付着していたガラス粉５を主たる発生原因とする。
【００４６】
なお、密着部における気泡の管理としては、気泡の個数だけでなく、気泡の面積（個々の面積や、個々の面積の総和）や、気泡の高さ（面積又は気泡径に対する高さ、高さの変化率又は急峻度合い）などを同時に考慮することが好ましい。
【００４７】
次に、以上のように構成されたガラスフィルム積層体の製造方法の一例を説明する。
【００４８】
図７に示すように、まず、ガラスフィルム１と支持ガラス２をそれぞれ必要に応じて所定サイズに切断する（ステップＳ１）。この工程では、必要に応じて、例えばレーザ割断やレーザ溶断などのレーザ切断を用いて、ガラスフィルム１や支持ガラス２を所定サイズにトリミングする。レーザ切断を用いれば、スクライブ線を形成してから折り割りする場合よりも、密着部に生じる気泡の減少を期待できる。
【００４９】
切断後は、ガラスフィルム１と支持ガラス２をそれぞれ別々に洗浄乾燥する（ステップＳ２）。この工程では、例えば、ガラスフィルム１や支持ガラス２に対して、洗浄液噴射手段９に設けられた複数の噴出口から水を噴霧して洗浄した後に、スポンジローラ１０によって水分が除去される。なお、洗浄方法は、水などの洗浄液を噴霧する方法に限られず、例えば、ガラスフィルム１や支持ガラス２を洗浄液の中に浸漬するなどの方法を採用してもよい。また、乾燥方法は、スポンジローラ１０などの物理的な接触によって水分を除去する方法に限られず、例えば、ガラスフィルム１や支持ガラス２に温風を吹き付けるなどの方法を採用してもよい。洗浄乾燥は、ガラスフィルム１や支持ガラス２の上下両側のガラス面に対して行ってもよい。
【００５０】
洗浄乾燥後は、ガラスフィルム１と支持ガラス２の互いのガラス面１ａ、２ａをそれぞれ直接密着させて積層する（ステップＳ３）。この際、支持ガラス２の４辺が、ガラスフィルム１から外方に食み出すように、支持ガラス２に対してガラスフィルム１を位置決めする。この工程では、接着剤等を使用せずにガラスフィルム１と支持ガラス２を固定する。この場合、固定力の強さは、ガラスフィルム１のガラス面１ａの表面粗さと、支持ガラス２のガラス面２ａの表面粗さに依存するため、それぞれのガラス面１ａ，２ａは平滑であることが望ましく、具体的には、上述の表面粗さＲａを満足することが好ましい。
【００５１】
積層後は、ガラスフィルム１が積層された状態の支持ガラス２の端面に対して、研削砥石１１を用いて研削面取りを施す（ステップＳ４）。このように研削面取りすることで、支持ガラス２の端面２ｂからの発塵を防止することができる。また、支持ガラス２の端面強度が向上するので、支持ガラス２が破損して、ガラスフィルム１に不具合が生じるのを抑制することができる。この工程では、支持ガラス２の密着部側のガラス面２ａの上に、ガラスフィルム１が積層されていることから、支持ガラス２の端面２ｂから生じるガラス粉５が密着部に侵入することがなく、気泡の発生を防止することができる。この際、ガラス粉５は、ガラスフィルム１の密着部と反対側のガラス面に付着するが、このガラス粉５は気泡の発生原因にはなり難いため特に問題とならない。なお、この工程において、研削面取り後に、支持ガラス２の端面に対して、エッチング処理と樹脂コーティングの少なくとも一方を更に施すようにしてもよい。
【００５２】
研削面取り後は、支持ガラス２とガラスフィルム１を積層状態のまま、洗浄乾燥する（ステップＳ５）。この工程により、ガラスフィルム１の密着部と反対側のガラス面に付着したガラス粉５を除去する。なお、洗浄乾燥方法は、特に限定されず、例えばステップＳ２と同様の方法を採用することができる。また、洗浄乾燥は、ガラスフィルム積層体の上下両側のガラス面に対して行ってもよい。
【００５３】
そして、このような一連の工程を経て製造されたガラスフィルム積層体の密着部の気泡は、１ｍ2当たり１００個未満、好ましくは６０個以下、特に好ましくは５０個以下に規制されている。
【００５４】
ここで、上述のように研削面取りを施した支持ガラス２は、ガラスフィルム１に所定の製造関連処理を施した後、新たな別のガラスフィルム１の支持ガラスとして再利用することができる。この場合、上記のステップＳ４〜Ｓ５は省略され、ステップＳ３でガラスフィルム積層体の製造が完了する。このように製造されたガラスフィルム１は、その全周が支持ガラス２の研削面よりも内側になる。
【００５５】
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、種々の形態で実施することができる。上記の実施形態では、ガラスフィルム１を支持ガラス２に積層した後に、支持ガラス２の端面に研削面取りを施す場合を説明したが、これ以外の方法でもガラスフィルム積層体の密着部の気泡の個数を同様に制限することができる。例えば、支持ガラス２の密着部側のガラス面２ａに樹脂などの剥離可能な保護膜を形成した状態で、支持ガラス２の端面に研削面取りを施してもよい。この場合、支持ガラス２の保護膜を剥離してから、ガラスフィルム１が支持ガラス２の上に積層される。
【００５６】
また、支持ガラス２単体の状態で端面に研削面取りを施した後、密着部側のガラス面２ａに付着したガラス粉を、洗浄を繰り返すことにより除去するようにしてもよい。ただし、この場合には高度な洗浄が必要となり、洗浄時間が長くなるという欠点がある。
【実施例】
【００５７】
実施例及び比較例の各ガラスフィルム積層体に対しては、（１）表面粗さＲａの評価試験及び固定力の評価試験、（２）気泡の個数の評価試験及びパターニングの評価試験がそれぞれ行われる。各試験において、実施例と比較例に共通する事項は次のとおりである。
【００５８】
＜ガラスフィルム＞
ガラスフィルムとしては、日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラスを使用した。ガラスフィルムの大きさは２００ｍｍ×２００ｍｍとし、その厚みは２００μｍとした。ガラスフィルムは、三ツ星ダイヤモンド社製のスクライビングホイール（ホイール直径：２．５ｍｍ、刃厚：０．６５ｍｍ、刃角：１００°、材質：焼結ダイヤモンド製）を０．０５ＭＰａで押圧してスクライブ線を形成した後に、折り割ることで、上記の大きさに切断した。
【００５９】
＜支持ガラス＞
支持ガラスとしては、日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラスを使用した。支持ガラスの大きさは２１０ｍｍ×２１０ｍｍとし、その厚みは５００μｍとした。なお、支持ガラスの切断方法は、上記のガラスフィルムと同様である。
【００６０】
＜気泡の個数の評価試験及びパターニングの評価試験＞
暗室中で２０万ルクスの照明を用いて、各ガラスフィルム積層体の密着部中に残存した目視可能な気泡の数をカウントした。また、各ガラスフィルム積層体のガラスフィルムの表面に電極パターンを形成し、気泡によるパターニング不良が生じるか否かを評価した。パターニングの良否評価は、「◎」、「○」、「△」、「×」の４段階で評価した。「◎」は製品として使用できる非常に良好な電極パターンが形成されたことを示し、「○」は「◎」よりも劣るものの製品として使用できる良好な電極パターンが形成されたことを示し、「△」は「○」よりも劣り、製品として使用できる電極パターンを維持していることを示し、「×」は電極パターンの太さや形状が不均一になったり、断線するなどの異常が生じ、製品として使用できない電極パターンが形成されたことを示すものとする。
【００６１】
＜Ｒａの評価試験及び固定力の評価試験＞
ガラスフィルム及び支持ガラスの表面粗さＲａの測定は、ＳＩＩ社製の走査型プローブ顕微鏡（ＮａｎｏＮａｖｉＩＩ／Ｓ−ｉｍａｇｅ）を使用した。測定条件は、走査エリアを２０００ｎｍ、走査周波数を０．９５Ｈｚ、Ｘ方向の走査データ数を２５６、Ｘ方向と直交するＹ方向の走査データ数を２５６とした。そして、ガラスフィルムと支持ガラスのそれぞれにつき、中央部１点、コーナー部１点の計２点を測定し、その測定値を平均したものをＲａの数値とした。また、各ガラスフィルム積層体の固定力の評価は、「◎」、「○」、「△」の３段階で評価した。「◎」は非常に安定した固定状態であることを示し、「○」は「◎」よりは劣るものの安定した固定状態であることを示し、「△」は多少の難がある固定状態であることを示すものとする。
【００６２】
次に、各実施例及び各比較例のガラスフィルム積層体の製造方法を説明する。
【００６３】
＜実施例１＞
実施例１では、既に説明した図７に示すように、ガラスフィルムと支持ガラスをそれぞれ別々に切断（ステップＳ１）及び洗浄乾燥（ステップＳ２）した後に、ガラスフィルムと支持ガラスを積層し（ステップＳ３）、この積層状態のまま、支持ガラスの端面に研削面取りを施すと共に（ステップＳ４）、洗浄乾燥する（ステップＳ５）という一連の工程を経ることで、ガラスフィルム積層体を製造した。
【００６４】
ここで、支持ガラスの研削面取りは、東京ダイヤモンド社製の＃４００のダイヤモンドホイールと、＃１０００のダイヤモンドホイールを使用した。そして、これら２つのダイヤモンドホイールを用いて、支持ガラスの端面に対して粗加工と仕上げ加工を施し、Ｒ状に研削面取りした。なお、研削面取り後の支持ガラスの端面の平均粗さＲａを測定したところ、０．５μｍであった。Ｒａの測定には、東京精密社製の触針式表面粗さ計（サーフコム）を使用し、その測定条件は、測定長８ｍｍ、測定速度６ｍｍ／ｓ、カットオフ０．８ｍｍとした。
【００６５】
＜実施例２〜４＞
実施例２〜４のガラスフィルム積層体は、実施例１と同様の手順で製造した。ただし、ガラスフィルムの密着部側のガラス面と、支持ガラスの密着部側のガラス面の表面粗さＲａが、実施例１と相違するようにした。
【００６６】
＜実施例５＞
実施例５のガラスフィルム積層体では、次のようにして、ガラスフィルム積層体として使用された支持ガラスを再利用することで製造される。まず、支持ガラスの研削面取り済みの端面に、更にエッチング処理を施した点のみが実施例１と相違するという製造手順でガラスフィルム積層体を製造する。次に、このガラスフィルム積層体に含まれるガラスフィルムと支持ガラスを再び分離（剥離）する。そして、この分離した支持ガラスと別の新たなガラスフィルムを積層することで、実施例５のガラスフィルム積層体が製造される。
【００６７】
ここで、エッチング処理は、ガラスフィルムと支持ガラスを積層した状態で、ガラスフィルムから外側に食み出した支持ガラスの各辺を、濃度１０％のフッ酸水溶液に６０秒間浸漬することにより行った。
【００６８】
＜実施例６＞
実施例６のガラスフィルム積層体は、実施例５と同様に支持ガラスを再利用したものであり、再利用される支持ガラスの端面が、研削面取りされた後に更に樹脂で被覆されている点が実施例５と相違する。
【００６９】
ここで、樹脂による被覆処理は、紫外線硬化型のアクリル樹脂を刷毛により研削面取り部に塗布した後、紫外線を照射してアクリル樹脂を硬化させることにより行った。なお、硬化後の樹脂の厚みは、１５μｍであった。
【００７０】
＜実施例７＞
実施例７のガラスフィルム積層体は、実施例５と同様に支持ガラスを再利用したものであり、再利用される支持ガラスの端面が、研削面取りされた後にエッチング処理され、その後更に樹脂で被覆されている点が実施例５と相違する。
【００７１】
なお、エッチング処理及び樹脂の被覆処理は、実施例５、６と同様である。
【００７２】
＜比較例１＞
比較例１では、図８に示す手順で製造した。すなわち、まず、ガラスフィルムと支持ガラスをそれぞれ別々に切断する（ステップＳ１）。次に、単体の支持ガラスの端面に研削面取りを施す（ステップＳ２）。そして、ガラスフィルムと支持ガラスをそれぞれ別々に洗浄する（ステップＳ３）。最後に、ガラスフィルムと支持ガラスを積層する（ステップＳ４）。なお、洗浄乾燥工程は、実施例１と同様であり、特段高度な洗浄を伴うものではない。
【００７３】
＜各評価試験結果＞
次に、以上のように製造された実施例１〜７及び比較例１の各評価試験結果を表１に示す。
【００７４】
【表１】
2013237159.tif 000003
【００７５】
上記の表によれば、１ｍ2当たりの気泡の数が１００個以上の比較例１では、電極パターンに何らかのパターニング不良が生じていることが確認できる。これに対し、１ｍ2当たりの気泡の数が１００個未満に規制されている実施例１〜７では、パターニング不良のない電極パターンが形成されていることが確認できる。すなわち、気泡の数が１００個未満であれば、ガラスフィルムの表面が実質的に平坦となり、パターニング不良を防止することが可能となる。特に、気泡の数が、５０個以下となる実施例１、２、５〜７で良好な電極パターンが形成されることが確認できる。
【００７６】
また、表面粗さＲａに関しては、実施例１〜４の結果を見ると、ガラスフィルムの表面粗さＲａと、支持ガラスの表面粗さＲａのいずれか一方が２．０ｎｍを超えると、ガラスフィルムと支持ガラス間の固定力が悪くなることが確認できる。そして、ガラスフィルムの表面粗さＲａと、支持ガラスの表面粗さＲａが共に０．２ｎｍ以下である場合には、固定力が特に良好となることが確認できる。したがって、ガラスフィルムと支持ガラスのそれぞれの表裏面のうち、少なくとも密着部を構成する側のガラス面の表面粗さＲａは、２．０ｎｍ以下、特に０．２ｎｍ以下であることが好ましい。そして、実施例１〜４を比較すると、固定力が高くなるに連れて、より気泡が少なくなっていることが確認できる。これは、固定力が高い場合、事後的にガラスフィルムと支持ガラスの密着部に侵入し難くなるため、特に積層された周縁部において気泡の発生が低減したものと考えられる。
【００７７】
更に、支持ガラスを再利用した実施例５〜７に関しては、再利用することを予定して、予め支持ガラスの端面強度を向上させるための処理を施していることから、気泡の個数が良好に維持されていることが確認できる。すなわち、支持ガラスを再利用する場合、支持ガラスの端面には既に研削面取りが施されているので、再度研削面取りを施さなくても端面からの発塵を抑えることができ、且つ、密着部となる側の表面はガラスフィルムで覆われていたことから、ガラス粉が付着していない良好な状態である。しかし、再利用する場合には、再利用を予定していない支持ガラスよりも端面に他部材が接触する確率が必然的に高くなる。この他部材の接触は、支持ガラス単体のときにも起こり得る。このため、支持ガラスを再利用する場合には、面取りに加えて、エッチング処理や、樹脂コーティングなどの端面強度を更に向上させる処理を施すことが好ましいと言える。
【符号の説明】
【００７８】
１      ガラスフィルム
１ａ    ガラス面
２      支持ガラス
２ａ    ガラス面
３      気泡
４      凸部
５      ガラス粉
６      面取り部
７      樹脂
８      エッチング処理部
９      洗浄液噴射手段
１０    スポンジローラ
１１    研削砥石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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