(57)【要約】【課題】着弾位置にずれが検出された場合、位置ずれがステージの移動に起因するのか、ノズルヘッドの取付誤差に起因するのか、原因の切り分けが困難である。【解決手段】  制御装置が、ステージに形成された基準マークを撮像装置の撮像範囲内に配置し、基準マークを撮像することにより、撮像装置の位置とステージの位置とを相互に関連付ける。ステージを移動させて、撮像装置によって基準マークと同時に撮像可能な範囲内に前記薄膜材料の液滴を着弾させて、検査マークを形成する。基準マークと検査マークとが撮像範囲内に配置されるようにステージを移動させる。基準マークと検査マークとを撮像し、撮像範囲内における基準マークと検査マークとの位置を求める。基準マークと検査マークとの位置の情報を、出力装置に出力する。【選択図】  図５
2013237005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持面に基板を保持し、前記保持面に平行な方向に移動可能なステージと、
前記ステージの保持面に設けられた基準マークと、
前記保持面に対向し、前記保持面に向けて薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルヘッドと、
前記保持面に対向し、前記保持面及び前記保持面に保持される基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置を制御するとともに、前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置の相対位置関係を記憶する制御装置と、
出力装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記基準マークを前記撮像装置の撮像範囲内に配置し、前記基準マークを撮像することにより、前記撮像装置の位置と前記ステージの位置とを相互に関連付け、
前記ステージを移動させて、前記撮像装置によって前記基準マークと同時に撮像可能な範囲内に前記薄膜材料の液滴を着弾させて、検査マークを形成し、
前記基準マークと前記検査マークとが前記撮像範囲内に配置されるように前記ステージを移動させ、
前記基準マークと前記検査マークとを撮像し、前記撮像範囲内における前記基準マークと前記検査マークとの位置を求め、
前記基準マークと前記検査マークとの位置の情報を、前記出力装置に出力する薄膜形成装置。
【請求項２】
前記保持面のうち、前記検査マークを形成する領域は、前記薄膜材料の液滴に対して撥液性である請求項１に記載の薄膜形成装置。
【請求項３】
さらに、前記検査マークを形成する領域を覆う透明シートを有する請求項１に記載の薄膜形成装置。
【請求項４】
前記薄膜材料は紫外線硬化型であり、
さらに、前記保持面に紫外線を照射する紫外光源を有し、
前記制御装置は、前記保持面に前記薄膜材料の液滴を着弾させた後、前記基準マークが前記撮像範囲内に配置されるように前記ステージを移動する前に、前記保持面上の前記薄膜材料に紫外線を照射することにより、前記薄膜材料を硬化させる工程を有する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
【請求項５】
保持面に基板を保持し、前記保持面に平行な方向に移動可能なステージと、
前記ステージの保持面に設けられた基準マークと、
前記保持面に対向し、前記保持面に向けて薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルヘッドと、
前記保持面に対向し、前記保持面及び前記保持面に保持される基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置を制御するとともに、前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置の相対位置関係を記憶する制御装置と
を有する薄膜形成装置の調整方法であって、
前記撮像装置で前記基準マークを撮像し、前記撮像装置の撮像範囲内における前記基準マークの位置を検出することにより、前記撮像装置の位置と前記ステージの位置とを相互に関連付ける工程と、
前記ステージを移動させて、前記撮像装置によって前記基準マークと同時に撮像可能な
範囲内に前記薄膜材料の液滴を着弾させ、前記保持面に検査マークを形成する工程と、
前記基準マークが前記撮像範囲内に配置されるように、前記ステージを移動させる工程と、
前記基準マーク及び前記検査マークを前記撮像装置で撮像し、前記撮像範囲内における前記基準マークと前記検査マークとの位置を求める工程と、
前記基準マーク及び前記検査マークの求められた位置に基づいて、前記撮像装置と前記ノズルヘッドとの相対位置関係を調節する工程と
を有する薄膜形成装置の調整方法。
【請求項６】
前記保持面に前記検査マークを形成する工程の前に、前記検査マークを形成する領域の前記保持面に透明シートを配置し、前記検査マークを前記透明シートの表面に形成する請求項５に記載の薄膜形成装置の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル孔から薄膜材料の液滴を吐出させて基板に薄膜パターンを形成する薄膜形成装置、及び薄膜形成装置の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板にソルダーレジストのパターンを形成する従来の方法について説明する。まず、表面に回路パターンが形成されたプリント配線板の全面に、感光性のソルダーレジストを塗布する。所定のマスクパターンを用いて、ソルダーレジスト膜を露光し、その後現像することにより、ソルダーレジストのパターンが形成される。
【０００３】
ソルダーレジストを液滴化して、プリント配線板の所望の領域にのみ液滴を付着させ、硬化させることにより、ソルダーレジストのパターンを形成する技術が注目されている。ソルダーレジストの液滴は、複数のノズル孔からプリント配線板に向けて吐出される。プリント配線板の表面に付着した液滴に紫外線を照射することにより、液滴を硬化させることができる。
【０００４】
プリント配線板を移動させながら、複数のノズル孔の各々から所定のタイミングで液滴を吐出させることにより、所定のパターンの薄膜が形成される。プリント配線板に形成されている配線パターンに対して、決められた位置に薄膜パターンを形成するために、プリント配線板が保持されるステージと、複数のノズル孔との位置を事前に調整しておかなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１０４１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
プリント配線板に形成する薄膜パターンの解像度を高めるために、複数のノズル孔が設けられているノズルヘッドと、プリント配線板との間隔を狭めることが好ましい。例えば、この間隔は０．５ｍｍ程度に設定される。薄膜材料の液滴の着弾位置がノズルヘッドの直下であり、ノズルヘッドとプリント配線板との間隔が狭いため、着弾位置を直接観測することが困難である。プリント配線板に着弾した薄膜材料の位置を検出するために、薄膜材料の着弾後に、ステージを移動させなければならない。着弾位置の検出にステージの移動が伴うため、着弾位置にずれが検出された場合、位置ずれがステージの移動に起因するのか、ノズルヘッドの取付誤差に起因するのか、原因の切り分けが困難である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によると、
保持面に基板を保持し、前記保持面に平行な方向に移動可能なステージと、
前記ステージの保持面に設けられた基準マークと、
前記保持面に対向し、前記保持面に向けて薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルヘッドと、
前記保持面に対向し、前記保持面及び前記保持面に保持される基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置を制御するとともに、前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置の相対位置関係を記憶する制御装置と、
出力装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記基準マークを前記撮像装置の撮像範囲内に配置し、前記基準マークを撮像することにより、前記撮像装置の位置と前記ステージの位置とを相互に関連付け、
前記ステージを移動させて、前記撮像装置によって前記基準マークと同時に撮像可能な範囲内に前記薄膜材料の液滴を着弾させて、検査マークを形成し、
前記基準マークと前記検査マークとが前記撮像範囲内に配置されるように前記ステージを移動させ、
前記基準マークと前記検査マークとを撮像し、前記撮像範囲内における前記基準マークと前記検査マークとの位置を求め、
前記基準マークと前記検査マークとの位置の情報を、前記出力装置に出力する薄膜形成装置が提供される。
【０００８】
本発明の他の観点によると、
保持面に基板を保持し、前記保持面に平行な方向に移動可能なステージと、
前記ステージの保持面に設けられた基準マークと、
前記保持面に対向し、前記保持面に向けて薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルヘッドと、
前記保持面に対向し、前記保持面及び前記保持面に保持される基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置を制御するとともに、前記ステージ、前記ノズルヘッド、及び前記撮像装置の相対位置関係を記憶する制御装置と
を有する薄膜形成装置の調整方法であって、
前記撮像装置で前記基準マークを撮像し、前記撮像装置の撮像範囲内における前記基準マークの位置を検出することにより、前記撮像装置の位置と前記ステージの位置とを相互に関連付ける工程と、
前記ステージを移動させて、前記撮像装置によって前記基準マークと同時に撮像可能な範囲内に前記薄膜材料の液滴を着弾させ、前記保持面に検査マークを形成する工程と、
前記基準マークが前記撮像範囲内に配置されるように、前記ステージを移動させる工程と、
前記基準マーク及び前記検査マークを前記撮像装置で撮像し、前記撮像範囲内における前記基準マークと前記検査マークとの位置を求める工程と、
前記基準マーク及び前記検査マークの求められた位置に基づいて、前記撮像装置と前記ノズルヘッドとの相対位置関係を調節する工程と
を有する薄膜形成装置の調整方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
基準マークを用いて、ステージの動作の正常性を確認することができる。基準マークと検査マークとの位置関係から、撮像装置に対するノズルヘッドの位置合わせ精度が十分か否かを判定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施例１による薄膜形成装置の概略図である。
【図２】図２は、実施例１による薄膜形成装置のステージ、ノズルユニット、及び撮像装置の斜視図である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ実施例１による薄膜形成装置のノズルユニットの斜視図及び底面図である。
【図４】図４は、実施例１による薄膜形成装置の調整方法を示すフローチャートである。
【図５】図５Ａ〜図５Ｄは、ステージ、ノズルユニット、及び撮像範囲の平面的な位置関係を示す平面図である。
【図６】図６Ａ〜図６Ｄは、それぞれ図５Ａの一点鎖線６Ａ−６Ａにおける断面図、図５Ｂの一点鎖線６Ｂ−６Ｂにおける断面図、図５Ｃの一点鎖線６Ｃ−６Ｃにおける断面図、及び図５Ｄの一点鎖線６Ｄ−６Ｄにおける断面図である。
【図７】図７Ａは、撮像範囲と基準マークとの位置関係を示す図であり、図７Ｂ〜図７Ｄは、撮像範囲、基準マーク、及び検査マークの位置関係の例を示す図である。
【図８】図８は、実施例１の変形例による薄膜形成装置のステージ、ノズルユニット、及び撮像装置の斜視図である。
【図９−１】図９Ａ〜図９Ｃは、実施例２による調整方法を説明するためのステージ、ノズルユニット、及び撮像範囲の平面的な位置関係を示す平面図である。
【図９−２】図９Ｄ及び図９Ｆは、実施例２による調整方法を説明するためのステージ、ノズルユニット、及び撮像範囲の平面的な位置関係を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［実施例１］
図１に、実施例１による薄膜形成装置の概略図を示す。定盤２０の上に、移動機構２１によりステージ２５が支持されている。ステージ２５の上面（保持面）に、基準マーク３１が形成されている。保持面に、プリント配線板等の基板３０が保持される。ステージ２５の保持面に平行な方向をＸ方向及びＹ方向とし、保持面の法線方向をＺ方向とするＸＹＺ直交座標系を定義する。移動機構２１は、ステージ２５をＸ方向及びＹ方向に移動させる。
【００１２】
定盤２０の上方に、支柱２６によって梁２７が支えられている。梁２７に、ノズルユニット支持機構４１及び撮像装置４２が取り付けられている。ノズルユニット支持機構４１に、ノズルユニット４０が支持されている。撮像装置４２及びノズルユニット４０は、ステージ２５に保持された基板３０に対向する。撮像装置４２は、ステージ２５の保持面に形成された基準マーク３１、基板３０の表面に形成されている配線パターン、アライメントマーク、基板３０に形成された薄膜パターン等を撮像する。撮像されて得られた画像データが、制御装置３３に入力される。ノズルユニット４０は、複数のノズル孔から基板３０に向けて、紫外線硬化型の薄膜材料の液滴、例えばソルダーレジスト等の液滴を吐出する。吐出された薄膜材料が、基板３０の表面に付着する。
【００１３】
ノズルユニット４０を定盤２０に固定して、ステージ２５を移動させる代わりに、ステージ２５に対してノズルユニット４０を移動させてもよい。
【００１４】
制御装置３３が、移動機構２１、ノズルユニット４０、及び撮像装置４２を制御する。制御装置３３には、基板３０に形成すべき薄膜パターンの画像データ等が記憶されている。オペレータが、入力装置３５を通して制御装置３３に、種々の指令（コマンド）や、制御に必要な数値データを入力する。入力装置３５には、例えばキーボード、タッチパネル、ポインティングデバイス等が用いられる。制御装置３３は、出力装置３６からオペレータに対して各種情報を出力する。出力装置３６には液晶ディスプレイ等が用いられる。
【００１５】
図２に、実施例１による薄膜形成装置のステージ２５、ノズルユニット４０、及びノズルユニット支持機構４１の斜視図を示す。ステージ２５の保持面に基準マーク３１が形成されている。基準マーク３１の平面形状は、例えば円形である。保持面に、基板３０が保持される。基板３０の上方にノズルユニット４０及び撮像装置４２が支持されている。ノズルユニット４０は、ノズルホルダ４５、及びノズルホルダ４５に固定された複数のノズルヘッド４６を含む。ノズルヘッド４６の、基板３０に対向する面に、複数のノズル孔が設けられている。
【００１６】
ノズルユニット支持機構４１は、ゴニオメータ４７及び昇降機構４８を含む。ゴニオメータ４７は、ノズルユニット４０をＺ軸に平行な軸を回転中心として、ある角度範囲内で回転させることができる。昇降機構４８は、ノズルユニット４０をＺ方向に移動させる。
【００１７】
制御装置３３が、ステージ２５の移動を制御する。さらに、撮像装置４２を制御して、撮像装置４２で撮像された画像データを取り込む。
【００１８】
図３Ａに、ノズルユニット４０の斜視図を示す。ノズルホルダ４５に、複数、例えば４個のノズルヘッド４６が取り付けられている。ノズルヘッド４６の各々に、複数のノズル孔５５が形成されている。Ｘ方向に関して最も外側のノズルヘッド４６よりもさらに外側、及びノズルヘッド４６の間に、それぞれ紫外光源５６が配置されている。紫外光源５６は、基板３０（図１、図２）に紫外線を照射する。
【００１９】
図３Ｂに、ノズルヘッド４６及び紫外光源５６の底面図を示す。ノズルヘッド４６の各々の底面（基板３０に対向する表面）に、２列のノズル列５７が配置されている。ノズル列５７の各々は、Ｙ方向にピッチ（周期）８Ｐで並ぶ複数のノズル孔５５で構成される。一方のノズル列５７は、他方のノズル列５７に対して、Ｘ方向にずれており、さらに、Ｙ方向にピッチ４Ｐだけずれている。すなわち、１つのノズルヘッド４６に着目すると、ノズル孔５５は、Ｙ方向に関してピッチ４Ｐで等間隔に分布することになる。ピッチ４Ｐは、例えば３００ｄｐｉの解像度に相当する。
【００２０】
４個のノズルヘッド４６は、Ｘ方向に配列し、かつ相互にＹ方向にずらされてノズルホルダ４５（図３Ａ）に取り付けられている。図３Ｂにおいて、最も左側のノズルヘッド４６を基準にすると、２、３、４番目のノズルヘッド４６は、それぞれＹ軸の負の方向に２Ｐ、Ｐ、及び３Ｐだけずらされている。このため、４個のノズルヘッド４６に着目すると、ノズル孔５５は、Ｙ方向にピッチＰ（１２００ｄｐｉに相当するピッチ）で配列することになる。
【００２１】
Ｘ方向に関して最も外側のノズルヘッド４６よりもさらに外側、及びノズルヘッド４６の間に、それぞれ紫外光源５６が配置されている。紫外光源５６は、基板３０（図１、図２）に付着した液状の薄膜材料を硬化させる。
【００２２】
基板３０（図１）をＸ方向に移動させながら、ノズルユニット４０の各ノズル孔５５から薄膜材料の液滴を吐出させることにより、Ｙ方向に関して１２００ｄｐｉの解像度で薄膜パターンを形成することができる。Ｙ方向にＰ／２だけずらして往復走査を行うことにより、Ｙ方向の解像度を２倍の２４００ｄｐｉまで高めることができる。Ｘ方向の解像度は、基板３０の移動速度と、ノズル孔５５からの液滴の吐出周期で決定される。
【００２３】
図４に、実施例１による薄膜形成装置の調整方法のフローチャートを示す。この調整は、薄膜形成装置を組み立てた後、形成された薄膜パターンに位置ずれが発生した時、またはノズルヘッド４６を交換した直後に行われる。薄膜形成装置を組み立てた時、及びノズルユニット４０を交換した時には、ノズルユニット４０と撮像装置４２とが所定の位置関係になるように、相互に位置合わせされて固定される。
【００２４】
ステップＳ１において、基準マーク３１（図２）を撮像装置４２（図２）の画角（撮像範囲）の中心に配置する。この手順は、制御装置３３が移動機構２１（図１）を制御することにより実行される。図５Ａに、このときのステージ２５、ノズルユニット４０、及び撮像装置４２の撮像範囲４３の平面的な位置関係を示す。図６Ａに、図５Ａの一点鎖線６Ａ−６Ａにおける断面図を示す。基準マーク３１が撮像範囲４３内に配置されている。制
御装置３３が、撮像装置４２を制御して基準マーク３１を撮像し、画像データを取得する。
【００２５】
図７Ａに、取得された画像を示す。基準マーク３１が撮像範囲４３のほぼ中央に配置される。制御装置３３（図１）は、画像解析を行うことにより、カメラ座標系において、基準マーク３１の中心位置の座標を求める。求められた基準マーク３１の中心の座標を、カメラ座標系の原点４４と定義する。例えば、基準マーク３１がカメラ座標系の原点に位置する状態を、ステージ２５の基準位置とする。ステージ２５の基準位置からの移動量は、移動機構２１（図１）に備えられているエンコーダ等により算出可能である。基準マーク３１の中心位置をカメラ座標の原点とすることにより、撮像装置４２の位置と、ステージ２５の位置とが、相互に関連付けられる。ここで、「相互に関連付けられる」とは、ステージ２５の任意の位置を、カメラ座標系の座標で表すことができることを意味する。
【００２６】
図４のステップＳ２において、ステージ２５（図２）を移動させながら、ノズルユニット４０（図３Ａ、図３Ｂ）の一部のノズル孔５５から薄膜材料の液滴を吐出させて、基準マーク３１の中心に薄膜材料の液滴を着弾させる。図５Ｂに、薄膜材料の液滴が着弾した直後のステージ２５、ノズルユニット４０、及び撮像範囲４３の平面的な位置関係を示す。
【００２７】
図６Ｂに、図５Ｂの一点鎖線６Ｂ−６Ｂにおける断面図を示す。基準マーク３１の中心に、薄膜材料の液滴が着弾することにより、検査マーク３２が形成される。撮像装置４２とノズルユニット４０との相対位置関係が既知であり、ステップＳ１において、撮像装置４２の位置とステージ２５の位置とが相互に関連付けられているため、ステージ２５の移動量に基づいて、液滴を吐出させるノズル孔５５、及び液滴を吐出させるタイミングを決定することができる。
【００２８】
図４のステップＳ３において、紫外光源５６（図３Ａ、図３Ｂ）から紫外線を照射することにより、検査マーク３２を硬化させる。図５Ｃに、紫外線照射時のステージ２５、ノズルユニット４０、及び撮像範囲４３の平面的な位置関係を示す。図６Ｃに、図５Ｃの一点鎖線６Ｃ−６Ｃにおける断面図を示す。図６Ｃに示すように、薄膜材料の液滴を吐出したノズルヘッド４６に最も近い紫外光源５６から検査マーク３２に紫外線が照射される。これにより、検査マーク３２を形成している薄膜材料が硬化する。薄膜材料が硬化することにより、検査マーク３２の面内方向への広がりを停止させることができる。
【００２９】
図４のステップＳ４において、制御装置３３が移動機構２１（図１）を制御して、基準マーク３１がカメラ座標系の原点に一致するように、ステージ２５を移動させる。図５Ｄに、このときのステージ２５、ノズルユニット４０、及び撮像範囲４３の平面的な位置関係を示す。図６Ｄに、図５Ｄの一点鎖線６Ｄ−６Ｄにおける断面図を示す。基準マーク３１及び検査マーク３２が、撮像範囲４３のほぼ中央に配置される。
【００３０】
制御装置３３が、撮像装置４２を制御して基準マーク３１及び検査マーク３２を撮像することにより、画像を取得する。画像を取得した後、検査マーク３２をステージ２５から取り除く。基準マーク３１の表面を、液状の薄膜材料に対して撥液性にすることにより、検査マーク３２をステージ２５から容易に取り除くことができる。例えば、基準マーク３１は、耐溶剤性の高いポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等で形成することが好ましい。さらに、ＰＴＦＥの表面は撥液性であるため、基準マーク３１に付着した検査マーク３２を容易に取り除くことができる。
【００３１】
基準マーク３１の表面を撥液性にする代わりに、図８に示すように、基準マーク３１及びその近傍を透明シート３７で覆ってもよい。この場合、検査マーク３２（図６Ｂ〜図６
Ｄ）は透明シート３７の上に形成される。画像を取得した後、透明シート３７を廃棄することにより、検査マーク３２をステージ２５から取り除くことができる。
【００３２】
図４のステップＳ５において、制御装置３３が画像解析を行うことにより、基準マーク３１の中心位置及び検査マーク３２の中心位置を求める。制御装置３３は、求められた中心位置の情報を出力装置３６（図１）に出力する。例えば、両者の中心位置の、カメラ座標系における座標を出力する。または、基準マーク３１の中心位置の座標と、基準マーク３１に対する検査マーク３２の相対座標とを出力してもよい。また、基準マーク３１と検査マーク３２との画像を表示してもよい。
【００３３】
図７Ｂに、取得された画像の一例を示す。撮像装置４２とノズルユニット４０との位置合わせが正常に行われており、かつステージ２５の動作が正常であれば、基準マーク３１の中心、検査マーク３２の中心、及びカメラ座標系の原点４４がすべて一致する。
【００３４】
図７Ｃに、基準マーク３１の中心がカメラ座標系の原点４４と一致するが、検査マーク３２の中心はカメラ座標系の原点４４からずれている例を示す。基準マーク３１の中心がカメラ座標系の原点４４と一致しているため、ステージ２５の動作は正常であると考えられる。検査マーク３２の中心が基準マーク３１の中心からずれているため、撮像装置４２に対してノズルユニット４０の位置が、正規の位置からずれていると考えられる。
【００３５】
オペレータは、出力装置３６（図１）に出力された位置情報に基づいて、基準マーク３１に対する検査マーク３２の位置ずれ量を算出する。制御装置３３が、この位置ずれ量を算出し、出力装置３６に位置ずれ量を出力してもよい。この位置ずれ量に基づいて、ノズルユニット４６の位置を微調整することにより、撮像装置４２とノズルユニット４０との位置合わせを行う。ノズルユニット４６の位置の微調整は、例えば、微調ねじ等によりノズルホルダ４５（図２）の位置を調整することにより行われる。
【００３６】
ノズルユニット４０の位置と、撮像装置４２の位置との相対位置関係は、制御装置３３（図１、図２）に記憶されている。ノズルユニット４０の位置を、微調ねじで機械的に微調整する代わりに、基準マーク３１に対する検査マーク３２の位置ずれ量に基づいて、制御装置３３に記憶されているノズルユニット４０の位置と、撮像装置４２の位置との相対位置関係を修正してもよい。
【００３７】
図７Ｄに、ステップＳ５（図４）で求められた基準マーク３１の中心が、カメラ座標系の原点４４と一致しない例を示す。基準マーク３１の中心がカメラ座標系の原点４４からずれているため、ステージ２５の動作に何らかの異常が発生していると考えられる。この場合には、オペレータが、ステージ２５及び移動機構２１（図１）の再調整、または交換を行う。
【００３８】
ステージ２５に基準マーク３１が形成されていない場合には、図７Ｃの状態と、図７Ｄの状態とを区別することができない。すなわち、ノズルユニット４０と撮像装置４２との位置合わせが不良である状態と、ステージ２５の動作が不良である状態とのいずれの不良が生じているのか判断することができない。従って、他の手法を用いて、いずれの不良が発生しているのか切り分けを行う必要がある。実施例１においては、ステージ２５に形成された基準マーク３１を観察することにより、ステージ２５の動作不良と、ノズルユニット４０の位置合わせ不良とを、容易に切り分けることができる。
【００３９】
上記実施例１では、基準マーク３１（図２）を円形にしたが、他の形状にしてもよい。また、ステップＳ２（図４）において、検査マーク３２を基準マーク３１の中心に形成したが、必ずしも中心に形成する必要はない。基準マーク３１と検査マーク３２との位置関
係を明確に決めておけばよい。なお、基準マーク３１と検査マーク３２との両方が、同時に撮像装置４２の撮像範囲４３内に配置されるように、両者の相対位置を設定することが好ましい。この場合には、ステップＳ５（図４）において、画像から算出された基準マーク３１の位置と検査マーク３２の位置との関係が、予め決められた位置関係と同一であるか否かを判定すればよい。ステージ２５の保持面のうち、検査マーク３２を形成する領域及びその近傍を、撥液性にしておくことが好ましい。
【００４０】
また、上記実施例１では、ステップＳ４（図４）において、基準マーク３１の中心を撮像範囲４３（図５Ｄ）の中心（カメラ座標系の原点）に一致させたが、必ずしも両者を一致させる必要はない。基準マーク３１が撮像範囲４３内の所定の位置に配置されるように、ステージ２５を移動させればよい。このとき、基準マーク３１の中心が、この所定の位置に一致すれば、ステージ２５の動作が正常であると判定できる。なお、基準マーク３１及び検査マーク３２の両者が、撮像範囲４３内に配置されるようにすることが好ましい。
【００４１】
１つのノズルユニット４０（図３Ａ、図３Ｂ）内において、複数のノズルヘッド４６間の十分な位置合わせ精度が確保されている場合には、１つのノズルヘッド４６を用いて、図４に示した調整を行えばよい。複数のノズルヘッド４６間の十分な位置合わせ精度が確保されていない場合には、ノズルヘッド４６の各々について、図４に示した調整を行えばよい。
【００４２】
ステージ２５の保持面に、ノズルヘッド４６の個数に相当する数の基準マークを設けてもよい。この場合、ステージ２５の１回の移動で、複数の基準マークに、それぞれ対応するノズルヘッド４６を用いて検査マークを形成する。これにより、ステージ２５の１回の移動で、複数のノズルヘッド４６の位置合わせの正常性を判定することができる。
【００４３】
［実施例２］
図９Ａ〜図９Ｅを参照して、実施例２による薄膜形成装置の調整方法について説明する。以下、実施例１との相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
【００４４】
図９Ａに示すように、ステージ２５の保持面に、Ｙ方向に並ぶ２つの基準マーク３１Ａ、３１Ｂが形成されている。１つの基準マーク３１Ａを撮像装置４２の撮像範囲４３のほぼ中央に配置し、ステップＳ１（図４）と同じ処理を行う。これにより、撮像装置４２の位置とステージ２５の位置との関連付が完了する。
【００４５】
図９Ｂに示すように、ステージ２５をＹ方向に移動させて、もう一方の基準マーク３１Ｂを撮像範囲４３のほぼ中央に配置する。基準マーク３１Ｂを撮像して画像解析を行うことにより、カメラ座標系における基準マーク３１Ｂの位置を算出する。
【００４６】
図９Ｃに示すように、ステージ２５をＸ方向に移動させながら、基準マーク３１Ａ、３１Ｂのほぼ中心に、それぞれ検査マーク３２Ａ、３２Ｂを形成する。検査マーク３２Ａ、３２Ｂは、例えば同一のノズルヘッド４６（図３Ａ、図３Ｂ）の両端またはその近傍のノズル孔５５から薄膜材料の液滴を吐出させることにより形成される。両端または両端近傍のノズル孔５５を用いるために、２つの基準マーク３１Ａ、３１Ｂは、その間隔が、ノズルヘッド４６の両端または両端の近傍のノズル孔５５の間隔にほぼ等しくなるように配置される。薄膜材料の液滴が検査マーク３１Ａ、３１Ｂの位置に着弾した後、薄膜材料を硬化させる。
【００４７】
図９Ｄに示すように、一方の基準マーク３１Ａの中心が、撮像範囲４３の中心（カメラ座標系の原点）に配置されるようにステージ２５を移動させる。カメラ座標系内における基準マーク３１Ａの中心位置を検出することにより、ステージ２５の動作の正常性を確認
することができる。基準マーク３１Ａと検査マーク３２Ａとの相対位置を検出することにより、撮像装置４２に対するノズルユニット４０の位置合わせの正常性を判定することができる。
【００４８】
図９Ｅに示すように、もう一方の基準マーク３１Ｂの中心が撮像範囲４３のほぼ中心に位置するように、ステージ２５を移動する。基準マーク３１Ｂと検査マーク３２Ｂとの位置関係を検出する。
【００４９】
基準マーク３１Ａと検査マーク３２Ａとの位置関係、及び基準マーク３１Ｂと検査マーク３２Ｂとの位置関係が、共に正常であれば、Ｚ軸に平行な軸を回転中心としたノズルユニット４０の回転方向の位置合わせが適切に行われていると判定できる。一方の位置関係が正常であっても、他方の位置関係が異常である場合には、ノズルユニット４０の回転方向の位置合わせが適切に行われていないと判定できる。
【００５０】
実施例２においては、ノズルユニット４０の回転方向に関する位置合わせの正常性を判定することができる。
【００５１】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【符号の説明】
【００５２】
２０  定盤
２１  移動機構
２５  ステージ
２６  支柱
２７  梁
３０  基板
３１、３１Ａ、３１Ｂ  基準マーク
３２、３２Ａ、３２Ｂ  検査マーク
３３  制御装置
３５  入力装置
３６  出力装置
３７  透明シート
４０  ノズルユニット
４１  ノズルユニット支持機構
４２  撮像装置
４３  撮像範囲
４４  カメラ座標系の原点
４５  ノズルホルダ
４６  ノズルヘッド
４７  ゴニオメータ
４８  昇降機構
【図１】
2013237005.tif 000003
【図２】
2013237005.tif 000004
【図３】
2013237005.tif 000005
【図４】
2013237005.tif 000006
【図５】
2013237005.tif 000007
【図６】
2013237005.tif 000008
【図７】
2013237005.tif 000009
【図８】
2013237005.tif 000010
【図９−１】
2013237005.tif 000011
【図９−２】
2013237005.tif 000012