(57)【要約】【課題】簡易な操作で試料の経時変化を正確に調査できるようにすること。【解決手段】本発明に係る抵抗率測定装置は、試料の抵抗率を測定する４探針抵抗率測定器１００とパーソナルコンピュータ１とを具備し、パーソナルコンピュータ１は、試料を測定するための設定情報をメモリテーブル９１に記憶し、測定期間と測定間隔とを含む測定スケジュールを測定スケジュール管理テーブル９２に記憶し、上記測定スケジュールに従って４探針抵抗率測定器１００に上記設定情報に基づいて試料の抵抗率を測定させ、測定毎に得られる測定データを測定時刻に対応付けてメモリテーブル９１に保存する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の抵抗率を測定する測定手段と、
前記試料を測定するための設定情報を記憶する手段と、
測定期間と測定間隔とを含む測定スケジュールを記憶する手段と、
前記測定スケジュールに従って前記測定手段に前記設定情報に基づいて前記試料の抵抗率を測定させる手段と、
前記測定毎に得られる測定データを測定時刻に対応付けて保存する手段と
を具備することを特徴とする抵抗率測定装置。
【請求項２】
一定期間内に得られる前記測定データに基づいて前記試料の抵抗率の経時変化を表す２次元画像又は３次元画像を生成する手段をさらに具備することを特徴とする請求項１に記載の抵抗率測定装置。
【請求項３】
前記測定スケジュールの測定期間内に他の設定情報を受け付けて前記測定手段に測定させる手段をさらに具備することをさらに特徴とする請求項１に記載の抵抗率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体ウェーハ等の試料の抵抗率を測定する抵抗率測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、４探針抵抗率測定器により半導体ウェーハ等の試料の抵抗率を測定する場合、通常の測定方法を利用し、測定期間、測定間隔は作業者が任意に行っていた。通常の測定方法とは、単発的に１回のみの測定を行うか、任意の指定された回数の測定を測定間隔を空けずに連続して測定を行う手法である。
【０００３】
しかしながら、通常の測定作業の際に、測定結果が期待値と異なる場合、原因がウェーハの経時変化によるものか、測定器の故障によるものかを判断する必要がある。このため、毎々の測定とは別に、ウェーハの経時変化を調査する必要がある。ウェーハの経時変化については、使用している材質により変化期間が異なり、１ヶ月以上の長期間にわたる観測が必要になる。一部のイオン注入層ウェーハの場合、層表面の自然酸化以外の要因でも抵抗率が経時変化することが知られている。また、ウェーハの抵抗率の変化は、時間の他、測定時の温度、湿度変化にも影響される。
【０００４】
そこで、従来技術として、抵抗率測定時の温度の違いによる測定精度の低下を防止するための手法が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２７５２８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、従来の抵抗率測定装置では、ウェーハの経時変化の測定を目的とした測定機能を搭載しておらず、従来からある通常の測定機能や、出荷時の検査機能を使用し、測定作業を行ってきた。このため、測定に使用する測定パラメータ設定、測定開始は作業者が手動で行う必要があり、経時変化調査のための測定作業は、毎回作業者が手動で実施していた。このため、一定期間内に間隔をあけて測定を行う場合は、作業者が１回の測定毎に測定手順に従った操作をする必要があるため、測定パラメータ選択誤りや、測定間隔のずれが生じる可能性があった。また、測定時間は、作業者の就業時間内に限られ、当人が不在の場合、第三者が定期的に実施するか、測定無しとなり、定期的な測定ができない場合も発生していた。
【０００７】
また、測定結果を得るためには、測定毎に個別に得られるデータを作業者が加工する必要があり、データ量が多いと、データ加工のための作業時間が長くなる。顧客からの調査依頼によりウェーハの経時変化を測定する場合、作業者は、顧客にウェーハを返却するまでの期間、定期的に手動で測定を続けなければならない。
【０００８】
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、簡易な操作で試料の経時変化を正確に調査可能な抵抗率測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するためにこの発明の第１の態様は、試料の抵抗率を測定する測定手段と、前記試料を測定するための測定条件を記憶する手段と、測定期間と測定間隔とを含む測定スケジュールを記憶する手段と、前記測定スケジュールに従って前記測定手段に前記設定情報に基づいて前記試料の抵抗率を測定させる手段と、前記測定毎に得られる測定データを測定時刻に対応付けて保存する手段とを具備することを特徴とする抵抗率測定装置を提供する。
【００１０】
上記第１の態様によれば、ウェーハの経時変化を調査する際など、測定期間と測定間隔を設定し、同一のウェーハについて同一の条件下で連続した測定を自動的に行うことが可能になる。このように構成することで、作業者が１回の測定毎に測定手順に従った操作をする必要が無くなり、測定条件の選択誤りや、測定間隔のずれを回避することができる。
【００１１】
この発明の第２の態様は、上記第１の態様において、一定期間内に得られる前記測定データに基づいて前記試料の抵抗率の経時変化を表す２次元画像又は３次元画像を生成する手段をさらに具備するものである。  
上記第２の態様によれば、例えば、測定期間中に取得した測定データを一括で読み出すことができるため、「偏差」、「等高線」、「３Ｄ」等のグラフを自動生成することが可能となる。
【００１２】
また、この発明の第３の態様は、上記第１の態様において、前記測定スケジュールの測定期間内に他の設定情報を受け付けて前記測定手段に測定させる手段をさらに具備するものである。  
第３の態様によれば、測定スケジュールによる連続測定中にも、単発的な測定や他の連続測定を行うことができるため、さらに効率的に抵抗率測定を実施することが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
すなわちこの発明によれば、簡易な操作で試料の経時変化を正確に調査可能な抵抗率測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る抵抗率測定システムの構成を示すブロック図。
【図２】抵抗率測定システムの動作を示すフローチャート。
【図３】測定メイン画面（通常モード中）を示す図。
【図４】測定メイン画面（連続測定モード中）を示す図。
【図５】レシピ登録画面を示す図。
【図６】測定パターン登録画面を示す図。
【図７】測定モード登録画面（通常モード設定時）を示す図。
【図８】測定モード登録画面（連続測定モード設定時）を示す図。
【図９】エラー時の表示画面を示す図。
【図１０】測定前通知画面を示す図。
【図１１】測定パラメータ、測定結果のメモリテーブルの概要を示す図。
【図１２】測定パラメータ（レシピ）エリアの登録内容の一例を示す図。
【図１３】測定データエリアの登録内容の一例を示す図。
【図１４】測定スケジュール管理テーブルの登録内容の一例を示す図。
【図１５】測定スケジュール画面（エラー無し）を示す図。
【図１６】測定スケジュール画面（エラー有り）を示す図。
【図１７】測定結果表示画面を示す図。
【図１８】測定結果表示画面（通常モード時の折れ線グラフ）を示す図。
【図１９】測定結果表示画面（連続測定モード時の折れ線グラフ）を示す図。
【図２０】測定結果表示画面（連続測定モード時の等高線図）を示す図。
【図２１】測定結果表示画面（連続測定モード時の３Ｄ図）を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照してこの発明に係る実施の形態について説明する。  
図１は、本発明に係る抵抗率測定システムの構成を示すブロック図である。図１に示すように、この抵抗率測定システムは、例えば、半導体ウェーハ等の抵抗率を測定する４探針抵抗率測定器１００と、４探針抵抗率測定器１００を制御するパーソナルコンピュータ（ＰＣ）１と、主電源２と、無停電電源装置（ＵＰＳ：uninterruptible power-supply system）８、記憶装置９とを備える。４探針抵抗率測定器１００は、ＰＣ１との間の通信制御や他ユニットの制御を行う制御ユニット３、電源ユニット４、制御ユニット３から送信される制御信号を各ユニットへ分配する信号分配ユニット５、測定値を計測するプローブ６、及び測定ユニット７を備える。
【００１６】
ＰＣ１は、システム制御や４探針抵抗率測定器１００の制御を行う。また、ＰＣ１には記憶装置９が接続され、後述するメモリテーブル９１及び測定スケジュール管理テーブル９２の管理を行う。４探針抵抗率測定器１００の制御は、メモリテーブル９１及び測定スケジュール管理テーブル９２に記憶される測定パラメータの設定内容により行われる。
【００１７】
主電源２は、ＵＰＳ８や、４探針抵抗率測定器１００への電源供給を行う。ＰＣ１の電源は、ＵＰＳ８経由で供給される。
制御ユニット３は、ＰＣ１からの上記測定パラメータの設定内容に基づく制御にしたがって、各ユニットを制御するための制御信号を送信する。また、測定ユニット７からの測定結果をＰＣ１へ通知する。各ユニットの動作状況についてもＰＣ１へ通知する。
【００１８】
電源ユニット４は、測定ユニット７で使用される動作電圧を作成する。
信号分配ユニット５は、制御ユニット３からの制御信号を各ユニットへ分配する。
プローブ６は、例えば、４探針プローブで構成される。使用回数制限があるため、運用時に使用回数を把握する必要がある。プローブ動作は、制御ユニット３からの制御信号により制御される。
【００１９】
測定ユニット７は、主電源２と、測定ユニット用の電源ユニット４と、制御ユニット３からの信号を分配する信号分配ユニット５と、測定値を計測するプローブ６と接続されている。測定ユニット７は、制御ユニット３から信号分配ユニット５を経由して送られてくる制御信号にしたがって、プローブ６からの測定値をデジタル値へ変換し、信号分配ユニット５を経由して制御ユニット３へ通知する。
【００２０】
ＵＰＳ８は、主電源２から供給される電源をＰＣ１へ供給する。停電等で電力供給が遮断された際、一定時間電力供給を行う。ＰＣ１は、電源遮断後一定時間内にシステム終了を行う。
図２は、この抵抗率測定システムの動作を示すフローチャートである。また、図３に測定メイン画面（通常モード中）を、図４に測定メイン画面（連続測定モード中）を示す。この図４の画面上から、連続測定モードの中止や、測定スケジュールの参照ができる。なお、本実施形態において、通常モードとは、単発的に１回のみの測定を行う手法で、連続測定モードとは設定された測定期間中に、任意の測定間隔で測定を行う手法とする。連続測定モードと通常モードとを設け、ＰＣ１で判別可能とすることで、測定完了の判定も自動で行うことができる。
【００２１】
図２のステップＳ１において、先ず、測定を行う前に、測定パラメータを設定する必要があるため、測定パラメータの新規作成または読み込みを行う。図３の通常モード時の測定メイン画面または図４の連続測定モード時の測定メイン画面における測定パラメータ一覧からすでに登録済みの測定パラメータを選択するか、「新規作成」ボタンにて、新規の測定パラメータを作成する。測定パラメータとは、測定対象のウェーハの測定内容についての設定情報であり、レシピ、測定パターン、及び測定モードを有する。測定パラメータは、項目が多いため、登録種類により図５乃至図８に示すように画面が分かれている。
【００２２】
図５に、レシピ登録画面を示す。本画面からファイル名、ロットＩＤ等、測定結果の計算式、レシピ、測定条件の設定を行う。レシピは、ウェーハのタイプやサイズを含む。測定条件は、測定タイプ、レンジ、測定方式、測定範囲を含む。
図６に、測定パターン登録画面を示す。本画面から測定する位置や点数、エッジマスク等を設定する。測定位置等は、４探針測定で共通に使用されているパターンを使用するか、任意の位置を指定することができる。
【００２３】
図７に、測定モード登録画面（通常モード設定時）を示す。図７に示すように、通常モードの場合は、画面上の他の設定項目は使用しないため、設定できないようになっている。
図８に、測定モード登録画面（連続測定モード設定時）を示す。連続測定モードでの測定スケジュールは、測定期間とその間の測定間隔を指定することができる。測定間隔は、一定間隔または１回毎の測定間隔を任意に指定できる。さらに、測定時にエラーが発生した場合の処理や、測定前に画面通知する時間についても設定することができる。
【００２４】
図８中の「測定エラー時」の項目は、連続測定モード中にウェーハが用意されない等の状況に対応するため、エラーが発生した場合に測定をスキップする等の処理を設定するものである。図９にエラー時の表示画面の一例を示す。連続測定モードまたは通常モードにて、測定前にエラーが発生し、一定時間待ってもエラー内容が解消されない場合は、図９のような画面表示にて作業者へ通知する。エラー発生時の測定作業は行えないため、連続測定モードではその回の測定は行わず、測定作業を終了する。この画面は、作業者の「閉じる」ボタン操作に従って、又は一定時間経過後自動的に閉じる。
【００２５】
図８中の「測定開始前通知時間」の項目は、連続測定モードで測定開始時間近くになったときに、画面表示で作業者へ通知する時間を設定するものである。この通知は、例えば、図１０に示すような測定前通知画面で行われ、この画面は、作業者の「閉じる」ボタン操作に従って、又は測定開始時に自動的に閉じる。
【００２６】
測定パラメータと測定結果は、例えば図１１に示すように、測定パラメータ（レシピ）エリアと測定データエリアとに分けてメモリテーブル９１に保存される。測定結果の参照は、「測定パラメータ」をキーにして行う。測定パラメータ、測定結果の保存エリアの詳細は、図１２、図１３に示す。
【００２７】
測定パラメータ（レシピ）エリアには、例えば、図１２に示すように、測定パラメータ（レシピ）１セット毎の登録内容が記憶される。測定パラメータ中の測定点数は、可変データのため、１セット分の終了フラグとして、「測定パラメータ（レシピ）終了」が登録される。本フラグが読み出されたところで、測定パラメータ１セット分の登録データの最後と判別する。
【００２８】
測定データエリアには、例えば、図１３に示すように、測定結果１回分毎の測定データが測定した順に登録される。測定結果中の測定点数は、可変データのため、１回分の終了フラグとして、「測定値データ１回分終了」が登録される。本フラグが読み出されたところで、測定値データ１回分の登録データの最後と判別する。連続測定モードでのデータ読み出しは、測定結果登録内容中の「測定モード」と「測定回数」（連続測定モード時は、図１４の「連続測定ＮＯ．」の内容により図１３の「測定回数」が登録される）で判別する。「連続測定ＮＯ．」は、連続測定モード設定毎にインクリメントとしていく番号と測定回数を組み合わせた内容とする。例えば、連続測定モード設定「４回目」で連続測定回数が３回目の測定の場合、「連続測定ＮＯ．」＝“０４０３”として測定結果中の「測定回数」へ登録される。
【００２９】
連続測定終了時は、「測定回数」をインクリメントしていく番号＋「０」として登録することで、連続測定の最終測定回データとして認識する。連続測定モードの途中で測定中止を設定された場合は、最後に登録された測定結果から測定結果先頭に向かって読み出す。後に登録された連続測定モードでの「測定回数」の内容が、該当する連続測定モード最後の結果となるため、「測定回数」をインクリメントしていく番号＋「０」に変更する。この手順により、途中で測定中止になっても、測定結果を正しく読み出すことができる。通常モードの場合は、図１４の「連続測定ＮＯ．」の内容を図１３の「測定回数」として登録するため、「測定回数」＝“００００”が登録される。
【００３０】
測定スケジュールの管理は、測定パラメータ及び測定結果が記憶されるメモリテーブル９１とは別のメモリエリアに設けられる測定スケジュール管理テーブル９２で管理される。図１４に測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容の一例を示す。測定スケジュール管理テーブル９２は、「番号」、上述した「連続測定ＮＯ．」、「測定実行回数」、測定開始前の「通知時間」、「測定日時」、「レシピファイル名」等の項目を含む。「番号」は、測定を行う順番が登録され、予約されている日時が近い順に付けられる。
【００３１】
測定スケジュールは、図４の連続測定モード時の測定メイン画面の「測定スケジュール」ボタンにより図１５に示す測定スケジュール画面を表示することで確認することができる。図１５は、測定スケジュール管理テーブル９２で管理している内容の表示画面例であり、測定エラーが発生しなかった場合に表示される画面である。測定エラーが発生した場合には、図１６のように表示される。測定スケジュール画面からスケジュール変更（削除のみ）を行うことができる。スケジュール変更後、「更新」ボタンが押された場合に、ＰＣ１は測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容を更新する。また、連続測定モードによる測定開始あるいは測定完了、または連続測定モードの中止によりスケジュールと登録内容を更新する。
【００３２】
上記ステップＳ１の測定パラメータの設定が完了した後、ステップＳ２において、作業者により図３又は図４の測定メイン画面上の「測定開始」ボタンが選択されると、ＰＣ１は測定する際に使用する測定パラメータを図１２の測定パラメータ（レシピ）エリアから読み込み、抵抗率の測定を開始する（ステップＳ３）。ステップＳ４において、ＰＣ１は連続測定モードの場合は、測定パラメータ設定中の測定間隔と、現状登録されている測定スケジュールが重複しないか否かを確認する。ＰＣ１は、測定スケジュールの重複がなく、連続測定モードによる測定を開始する場合は、測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容を更新する。
【００３３】
ステップＳ４のスケジュール確認結果により、測定スケジュール重複が発生している場合は（ステップＳ５：スケジュールエラー有り）、ＰＣ１は図１６の測定スケジュール画面（エラーあり）を表示し、エラーを作業者に通知する。図１６の画面から作業者はエラーとなっているスケジュールを削除することができる。スケジュール変更後、「更新」ボタンが押された場合、ＰＣ１は測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容を更新する。
【００３４】
ステップＳ５でエラー無しと判定され（ステップＳ５：ＮＯ）、問題なく測定作業が開始されると、ＰＣ１は、図１７の測定結果表示画面を表示する（ステップＳ６）。測定中は、この画面で測定が完了した測定値がリアルタイムに更新されていく。連続測定モード時は、図４に示すように、測定メイン画面に「連続測定モード中」と表示され、次回測定予定の時刻等が通知される。
【００３５】
次スロットの測定がある場合（ステップＳ７：ＹＥＳ）は、ステップＳ３に移行する。次スロットの測定が無い場合（ステップＳ７：ＮＯ）は、１回分の測定が完了した後（ステップＳ８）、レシピと測定値を保存する（ステップＳ９）。ＰＣ１は、レシピと測定値を図１３に示す測定データエリアに１回の測定結果毎に保存する。また、ＰＣ１は測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容を更新する。ＰＣ１は、ステップＳ９で取得した１回分の測定値から、「最大値」、「最小値」、「中間値」、「平均値」等の値を算出し、図１７の測定結果表示画面に表示する。測定結果を参照する場合は、図３の通常モード時の測定メイン画面または図４の連続測定モード時の測定メイン画面から該当するファイル名を選択し、「詳細」ボタンを押すと図１７のような測定結果表示画面が開き、測定結果を参照することができる。
【００３６】
測定結果表示画面において、連続測定モードの場合は、一定期間内に得られる測定値データを使用して、「偏差」、「等高線」、「３Ｄ」グラフ表示を行うこともできる。
図１８に示す測定結果表示画面（通常モード時の折れ線グラフ）は、通常モードでの測定が終了し、図１７の測定結果表示画面で「偏差」を選択した際の画面表示例である。
【００３７】
図１９に示す測定結果表示画面（連続測定モード時の折れ線グラフ）は、連続測定モードでの測定が終了し、図１７の測定結果表示画面で「偏差」を選択した際の画面表示例である。連続測定開始から測定作業が完了した測定回数分の結果を折れ線グラフ画面に合わせて表示する。
【００３８】
図２０に示す測定結果表示画面（連続測定モード時の等高線図）は、連続モードでの測定が終了し、図１７の測定結果表示画面で「等高線」を選択した際の画面表示例である。１回分の測定結果をグラフを表示し、連続測定モードの場合は、コマ送りするような表示で、取得している回数分の結果を順に表示する。途中、前後、一時停止、停止により、表示画面の操作が可能である。
【００３９】
図２１に示す測定結果表示画面（連続測定モード時の３Ｄ図）は、連続モードでの測定が終了し、図１７の測定結果表示画面で「３Ｄ」を選択した際の画面表示例である。１回分の測定結果をグラフに表示し、連続測定モードの場合は、コマ送りするような表示で、取得している回数分の結果を表示する。途中、前後、一時停止、停止により、表示画面の操作が可能である。
【００４０】
グラフの種類は、モードの種類によらず同様であるが、連続測定モード時は、測定毎の表をコマ送りで表示したり、折れ線グラフで測定完了している回数分の結果を一括に表示したりする。このように連続測定モードで取得した測定結果は、経時変化が判りやすいよう、結果をまとめたグラフ等を自動作成することも可能となる。
【００４１】
一方、図２のステップＳ３で測定を開始する際、測定モードによらず、ステップＳ５でウェーハの配置忘れ等の測定前エラーがあった場合において、一定時間内にエラーから回復した場合（ステップＳ１４：ＮＯ）はステップＳ３に移行する。一方、一定時間経過してもエラーが発生し続けている場合（ステップＳ１４：ＹＥＳ）は、ＰＣ１は、図９のようなエラー時の表示画面により測定前エラーを作業者に通知する（ステップＳ１５）。そして、図８の測定モード登録画面（連続測定モード設定時）で設定された測定エラー時の処理設定内容に応じてエラー処理を行う（ステップＳ１５）。
【００４２】
また、測定期間が経過する前であって（ステップＳ１０：ＮＯ）、かつ測定間隔が経過する前において（ステップＳ１１：ＮＯ）、他の測定スケジュール又は通常モードの測定の受け付けが有る場合はステップＳ１０に移行し（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、無い場合は（ステップＳ１２：ＮＯ）測定開始を受け付ける（ステップＳ１３）。ＰＣ１は、連続測定モードで次の測定が始まる前に、図１０の測定前通知画面を表示し、作業者へ測定開始予定時刻と、測定対象のウェーハを準備するように通知する。通知する時間は、測定パラメータ中に「測定前通知時間」として登録された内容とする。「測定前通知時間」の設定は、図８の測定モード登録画面（連続測定モード時）の画面で行う。図１０の測定前通知画面のように、測定時間近くに作業者へ通知を行うことで、測定可能な期間は別の測定作業を行うことが可能となる。
【００４３】
連続測定中であれば、図４で連続測定モード時の測定メイン画面のように連続測定モード中であることを画面上に表示する。連続測定モードは複数登録可能であるが、途中で中止することもできる。中止したい場合は図４の連続測定モード時の測定メイン画面中の測定パラメータ一覧からファイル名を選択し、「連続測定モード中止」ボタンにより中止する。ＰＣ１は「連続測定モード中止」ボタンが押下された場合、測定スケジュール管理テーブル９２の登録内容を更新する。
【００４４】
図２において、測定期間が経過して又は連続測定モードが中止されて連続測定モードが終了した場合で（ステップＳ１０：ＹＥＳ）、他の連続測定モードの登録が有る場合（ステップＳ１６：ＹＥＳ）はステップＳ１０に移行する。一方、他の連続測定モードの登録が無い場合（ステップＳ１６：ＮＯ）は、図３の通常モード時の測定メイン画面のように「連続測定モード中」の表示が消去され（ステップＳ１７）、連続測定モードから通常モードへ遷移する（ステップＳ１８）。
【００４５】
以上述べたように、上記実施形態では、測定期間と測定間隔とを設定し、同一のウェーハについて連続した抵抗率測定を行うことが可能な連続測定モードを新たに設けることで、自然酸化等による抵抗率の経時変化の状況を判りやすい方法で顧客へ提供することが可能となる。
【００４６】
したがって、上記実施形態によれば、経時変化を調査する際等、一定期間中に同様の測定パラメータを使用したウェーハ測定が、毎測定で作業者の操作を介さず、自動で行うことができるようになる。測定時間は、作業者のいない時間に割り当てることもでき、測定対象のウェーハをステージ上に用意しておくか、移載機のウェーハ用キャリア中の任意のスロットへ入れておくことで測定作業を行うことが可能となる。
【００４７】
また、上記実施形態によれば、操作が容易になるため、ウェーハの経時変化調査を顧客自身が行う際、測定を実施し易くなる。作業者が就業していない時間にも、測定作業が自動的に実施できるため、効率よく測定作業が実施できる。一定期間中に取得した測定データを一括で読み出すことができるため、全体での変化率や、偏差率の算出、グラフ化についても自動生成することができる。測定で得られた結果は、通常の測定作業で得られた測定結果が期待値と異なる場合に、ウェーハの経時変化によるものか、或いは測定器の故障によるものかを切り分けるための判定条件の１つとして使用することができる。
【００４８】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１００…４探針抵抗率測定器、１…パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、２…主電源、３…制御ユニット、４…電源ユニット、５…信号分配ユニット、６…プローブ、７…測定ユニット、８…無停電電源装置（ＵＰＳ）、９…記憶装置、９１…メモリテーブル、９２…測定スケジュール管理テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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