(57)【要約】【課題】カメラユニットによる撮像動作とクリーニングヘッドによるマスクのクリーニング動作を同時並行的に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ及びマスク１５の下方に保持された基板２の上面に設けられた基板側マーク２ｍの撮像動作を行うカメラユニット１６は、マスク１５の下方に設定された第１の水平移動面Ｓ１内を移動し、マスク１５の下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニングヘッド１８は、マスク１５の下方であってカメラユニット１６が移動する第１の水平移動面Ｓ１よりも高い位置に設定された第２の水平移動面Ｓ２内をカメラユニット１６とは独立して移動するようにする。【選択図】図３
2013193402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に接触されるマスクと、
前記マスクの下方に設定された第１の水平移動面内を移動して前記マスクに設けられたマスク側マーク及び前記マスクの下方に保持された前記基板の上面に設けられた基板側マークの撮像動作を行うカメラユニットと、
前記マスクの下方であって前記カメラユニットが移動する前記第１の水平移動面よりも高い位置に設定された第２の水平移動面内を前記カメラユニットとは独立して移動することにより前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニングヘッドと、
前記カメラユニットによって撮像された前記マスク側マークと前記基板側マークとの位置関係に基づいて前記マスクに前記基板が接触された後、前記マスク上で摺動することによって前記マスク上に供給されたペーストを前記基板に転写させるスキージとを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記カメラユニットによる前記撮像動作と前記クリーニングヘッドによる前記クリーニング動作が並行して行われることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記クリーニングヘッドは、前記クリーニング動作において前記マスクの下面から拭き取ったペーストが前記クリーニングヘッドの下方に落下することを防止するペースト受けを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
基板に接触されるマスクの下方に設定された第１の水平移動面内を移動するカメラユニットにより、前記マスクに設けられたマスク側マーク及び前記マスクの下方に保持された前記基板の上面に設けられた基板側マークの撮像動作を行う撮像工程と、
前記マスクの下方であって前記カメラユニットが移動する前記第１の水平移動面よりも高い位置に設定された第２の水平移動面内を前記カメラユニットとは独立して移動するクリーニングヘッドにより前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニング工程と、
前記撮像工程で撮像した前記マスク側マークと前記基板側マークとの位置関係に基づいて前記マスクに前記基板を接触させた後、前記マスク上でスキージを摺動することによって前記マスク上に供給されたペーストを前記基板に転写させる転写工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項５】
前記撮像工程と前記クリーニング工程を並行して行うことを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を接触させたマスク上でスキージを摺動させることにより基板にペーストを転写させるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板に接触されるマスクの下方に設定された水平移動面内を移動するカメラユニットにより、マスクに設けられたマスク側マークとマスクの下方に保持された基板の上面に設けられた基板側マークの撮像動作を行い、得られたマスク側マークと基板側マークとの位置関係に基づいてマスクに基板を接触させた後、マスク上でスキージを摺動させてマスク上に供給された半田等のペーストを基板に転写させる構成となっている。そして、基板にペーストを転写させた後は、マスクから基板を離間させる版離れを行い、版離れの後は、クリーニングヘッドをマスクの下方を水平面内方向に移動させて、マスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニングを行うようになっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では従来、カメラユニットとクリーニングヘッドはマスクの下方に設置された同一の水平直交座標テーブルに配置されて同一の水平移動面内で、両者が一体となって移動されるようになっていた（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１８９６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の構成では、カメラユニットとクリーニングヘッドとはそれぞれ別個に移動させることができないことから、本来互いに独立した動作であるカメラユニットによるマーク（マスク側マーク及び基板側マーク）の撮像動作とクリーニングヘッドによるマスクのクリーニング動作を同時並行的に行うことができず、カメラユニットによるマークの撮像動作はマスクユニットによるマスクのクリーニング動作の終了を待って行わざるを得なかった。このため基板の１枚当たりに要する作業時間が長くなり、基板の生産性の向上が妨げられるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、カメラユニットによる撮像動作とクリーニングヘッドによるマスクのクリーニング動作を同時並行的に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板に接触されるマスクと、前記マスクの下方に設定された第１の水平移動面内を移動して前記マスクに設けられたマスク側マーク及び前記マスクの下方に保持された前記基板の上面に設けられた基板側マークの撮像動作を行うカメラユニットと、前記マスクの下方であって前記カメラユニットが移動する前記第１の水平移動面よりも高い位置に設定された第２の水平移動面内を前記カメラユニットとは独立して移動することにより前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニングヘッドと、前記カメラユニットによって撮像された前記マスク側マークと前記基板側マークとの位置関係に基づいて前記マスクに前記基板が接触された後、前記マスク上で摺動することによって前記マスク上に供給されたペーストを前記基板に転写させるスキージとを備えた。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記カメラユニットによる前記撮像動作と前記クリーニングヘッドによる前記クリーニング動作が並行して行われる。
【０００９】
請求項３に記載のスクリーン印刷機は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機であって、前記クリーニングヘッドは、前記クリーニング動作において前記マスクの下面から拭き取ったペーストが前記クリーニングヘッドの下方に落下することを防止するペースト受けを備えた。
【００１０】
請求項４に記載のスクリーン印刷方法は、基板に接触されるマスクの下方に設定された第１の水平移動面内を移動するカメラユニットにより、前記マスクに設けられたマスク側マーク及び前記マスクの下方に保持された前記基板の上面に設けられた基板側マークの撮像動作を行う撮像工程と、前記マスクの下方であって前記カメラユニットが移動する前記第１の水平移動面よりも高い位置に設定された第２の水平移動面内を前記カメラユニットとは独立して移動するクリーニングヘッドにより前記マスクの下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニング工程と、前記撮像工程で撮像した前記マスク側マークと前記基板側マークとの位置関係に基づいて前記マスクに前記基板を接触させた後、前記マスク上でスキージを摺動することによって前記マスク上に供給されたペーストを前記基板に転写させる転写工程とを含む。
【００１１】
請求項５に記載のスクリーン印刷方法は、請求項４に記載のスクリーン印刷方法であって、前記撮像工程と前記クリーニング工程を並行して行う。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、カメラユニットはマスクの下方に設定された第１の水平移動面内を移動し、クリーニングヘッドはマスクの下方であって第１の水平移動面よりも高い位置に設定された第２の水平移動面内を移動するようになっており、カメラユニットとクリーニングヘッドは互いに異なる水平移動面内を移動するので、カメラユニットによる撮像動作とクリーニングヘッドによるクリーニング動作を同時並行的に行うことができ、基板の１枚あたりに要する作業時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すフローチャート
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニングヘッドによりマスクのクリーニングを行っている状態を示す図
【図８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、基板２の電極部２ａ上に半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する装置であり、基台１０上に基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット移動機構１２によって移動される基板保持ユニット１３及び基板搬出コンベア１４を備えるほか、基板保持ユニット１３の上方に水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の下方を移動自在に設けられたカメラユニット１６、マスク１５の上方領域を移動自在に設けられたスキージユニット１７及びマスク１５の下方を移動自在に設けられたクリーニングヘッド１８を有して構成されている。
【００１５】
基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入して基板保持ユニット１３に受け渡す。基板搬出コンベア１４は基板保持ユニット１３から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１３、基板搬出コンベア１４の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１６】
図１において、マスク１５は矩形の板状部材から成り、その外縁は矩形枠状のマスク枠１５ｗによって支持されている。マスク１５の中央部には基板２の電極部２ａに対応する多数の開口部１５ｈが設けられている。
【００１７】
図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク１５上にはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１５ｍが設けられている。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１５ｍを上下に対向させた状態で基板２を上昇させてマスク１５に基板２を接触させると、基板２の電極部２ａとマスク１５に設けられた開口部１５ｈとが合致した状態となる。
【００１８】
図２及び図３において、基板保持ユニット１３は、基台１０に対して昇降自在に設けられたベース部１３ａ、ベース部１３ａに取り付けられてＸ軸方向に基板２を搬送する基板搬送コンベア１３ｂ（図１も参照）、基板搬送コンベア１３ｂによって搬送されて所定の基板保持位置に位置決めされた基板２を下受け部材１３ｃによって下受けした状態で昇降させる基板昇降シリンダ１３ｄ及び基板昇降シリンダ１３ｄによって押し上げられた基板２をＹ軸方向からクランプして保持する一対のクランプ部材１３ｅ（図１も参照）を有して成る。
【００１９】
図４において、基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１３の基板搬送コンベア１３ｂ、基板搬出コンベア１４の作動制御、基板昇降シリンダ１３ｄの作動制御及び一対のクランプ部材１３ｅを駆動する図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材駆動機構１３Ａによる基板２のクランプ動作の制御は、スクリーン印刷機１が備える制御装置２０によってなされる。
【００２０】
基板保持ユニット移動機構１２はＸＹＺロボットから成り、制御装置２０によって作動制御されて基板保持ユニット１３を水平面内で移動（回転も含む）させるとともに、基板保持ユニット１３を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる（図４）。
【００２１】
図１及び図３において、カメラユニット１６は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１６ａと、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１６ｂを備えて成り、カメラユニット移動機構１６Ｍ（図２及び図３）によってマスク１５の下方を水平面内方向に移動される。
【００２２】
図１、図２及び図３において、カメラユニット移動機構１６Ｍは、基台１０の四隅から上方に延びて設けられた４本の垂直支柱２１のうち左側の２本及び右側の２本のそれぞれに前後両端が取り付けられてＹ軸方向に延びた２つの下方Ｙ軸ボール螺子２２、これら２つの下方Ｙ軸ボール螺子２２に左右両端が螺合してＸ軸方向に延びた下方移動テーブル２３、下方移動テーブル２３の前面側にＸ軸方向に延びて設けられた下方Ｘ軸ボール螺子２４、この下方Ｘ軸ボール螺子２４に螺合したカメラ取り付けブロック２５、２つの下方Ｙ軸ボール螺子２２を同調駆動して下方移動テーブル２３をＹ軸方向に移動させる２つの下方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ２６及び下方Ｘ軸ボール螺子２４を駆動してカメラ取り付けブロック２５をＸ軸方向に移動させる下方Ｘ軸ボール螺子駆動モータ２７から成っており、カメラユニット１６は下方移動テーブル２３の前面に取り付けられている。このためカメラユニット１６は、２つの下方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ２６及び下方Ｘ軸ボール螺子駆動モータ２７の回転作動によって、下方移動テーブル２３と一体に、マスク１５の下方の第１の水平移動面Ｓ１（図２及び図３）内を移動する。
【００２３】
図４において、上記カメラユニット移動機構１６Ｍを構成する２つの下方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ２６及び下方Ｘ軸ボール螺子駆動モータ２７の回転制御は、制御装置２０によってなされる。また、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作は制御装置２０によって制御され、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置２０に送られる。
【００２４】
図１、図２及び図３において、スキージユニット１７は、水平直交座標テーブルから成るスキージユニット移動機構１７Ｍの作動によってマスク１５の上方をＹ軸方向に移動自在なベース部１７ａの下方に、Ｙ軸方向に対向して設けられた２つのスキージ１７ｂを備えた構成を有しており、各スキージ１７ｂは、ベース部１７ａに取り付けられた２つの空圧シリンダ１７ｃによってそれぞれ独立してベース部１７ａの下方を昇降されるようになっている。スキージユニット移動機構１７Ｍの作動制御及び各空圧シリンダ１７ｃの作動によるスキージ１７ｂの昇降制御は制御装置２０によってなされる（図４）。
【００２５】
図３において、クリーニングヘッド１８は、筐体３０内に、Ｘ軸回りに回転自在に設けられた２つの回転体３１ａ，３１ｂ（繰り出し側の回転体３１ａ及び巻き取り側の回転体３１ｂ）、これら２つの回転体３１ａ，３１ｂの間に掛け渡されたペーパー部材３２及びこのペーパー部材３２上方に押し上げるＸ軸方向に延びたノズル３３を有して成り、２つの回転体３１ａ，３１ｂを同一の方向に駆動してペーパー部材３２をＹ軸方向に進行させることにより、ペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置するクリーニング部位を更新させることができる。ノズル３３の上端にはペーパー部材３２を介してマスク１５の下面に下方から当接される吸引口が設けられている。
【００２６】
クリーニングヘッド１８は水平直交座標ロボットから成るクリーニングヘッド移動機構１８Ｍ（図２及び図３）によってＹ軸方向に移動自在になっている。クリーニングヘッド移動機構１８Ｍは、前述の４本の垂直支柱２１のうち左側の２本及び右側の２本のそれぞれに前後両端が取り付けられてＹ軸方向に延びた２つの上方Ｙ軸ボール螺子４１と、これら２つの上方Ｙ軸ボール螺子４１に左右両端が螺合してＸ軸方向に延び、クリーニングヘッド１８の筐体３０が取り付けられた上方移動テーブル４２と、２つの上方Ｙ軸ボール螺子４１を同調駆動して上方移動テーブル４２をＹ軸方向に移動させる２つの上方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ４３から成っている。
【００２７】
ここで、２つの上方Ｙ軸ボール螺子４１及び上方移動テーブル４２は、カメラユニット移動機構１６Ｍを構成する２つの下方Ｙ軸ボール螺子２２及び下方Ｘ軸ボール螺子２４よりも上方に位置している。このためクリーニングヘッド１８は、２つの上方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ４３の作動によって、上方移動テーブル４２と一体に、マスク１５の下方の第２の水平移動面Ｓ２（図２及び図３）内を移動する。このクリーニングヘッド１８が移動する第２の水平移動面Ｓ２は、カメラユニット１６が移動する第１の水平移動面Ｓ１よりも高い位置にあり、したがってクリーニングヘッド１８はカメラユニット１６よりも低い水平移動面内で移動することになる。
【００２８】
図４において、上記クリーニングヘッド移動機構１８Ｍを構成する２つの上方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ４３の回転制御は、制御装置２０によってなされる。また、ペーパー部材３２を進行させてノズル３３の上面に掛け渡されたペーパー部材３２のクリーニング部位を更新させる動作は、制御装置２０が前述の２つの回転体３１ａ，３１ｂを駆動させる回転体駆動モータ３１Ａを作動させることによってなされる。また、ノズル３３の吸引口を介した真空吸引動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構１８Ａの作動制御を行うことによってなされる。
【００２９】
次に、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷作業の実行手順を図５のフローチャート及び図６〜図８の説明図を用いて説明する。
【００３０】
制御装置２０は、スクリーン印刷作業を行うときには先ず、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を基板搬入コンベア１１によって搬入して基板搬送コンベア１３ｂに受け渡し、前述の所定の作業位置に位置決めする（基板搬入工程。図５に示すステップＳＴ１）。そして、基板昇降シリンダ１３ｄによる基板２の押し上げ（図６（ａ）中に示す矢印Ａ）とクランプ部材１３ｅによる基板２のクランプ（図６（ａ）中に示す矢印Ｂ）を行って基板２を保持する（基板搬入保持工程。図５に示すステップＳＴ２。図６（ａ））。
【００３１】
制御装置２０は、上記のようにして基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１６Ｍを構成する２つの下方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ２６及び下方Ｘ軸ボール螺子駆動モータ２７の作動制御を行い、カメラユニット１６を第１の水平移動面Ｓ１内で移動させる。そして、上方撮像カメラ１６ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍの直下に位置させたうえで、上方撮像カメラ１６ｂにマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせ、その画像データからマスク１５の位置を把握し（マスク側マーク撮像工程。図５に示すステップＳＴ３）、制御装置２０は、カメラユニット１６によるマスク側マーク１５ｍの撮像が終了したら、同様にして２つの下方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ２６及び下方Ｘ軸ボール螺子駆動モータ２７の作動制御を行ってカメラユニット１６を第１の水平移動面Ｓ１内で移動させ、下方撮像カメラ１６ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させたうえで、下方撮像カメラ１６ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせて、その画像データから基板２の位置を把握する（基板側マーク撮像工程。図５に示すステップＳＴ４）。
【００３２】
ここで、上記ステップＳＴ３とステップＳＴ４の順序は反対でもよいが、マスク側マーク１５ｍの撮像は、マスク１５を最初に設置したときのみ行うようにする。
【００３３】
このように本実施の形態において、カメラユニット１６は、マスク１５の下方に設定された第１の水平移動面Ｓ１内を移動してマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ及びマスク１５の下方に保持された基板２の上面に設けられた基板側マーク２ｍの撮像動作を行うものとなっている。
【００３４】
制御装置２０は、上記ステップＳＴ３におけるマスク側マーク１５ｍの撮像及びステップＳＴ４における基板側マーク２ｍの撮像と並行して、クリーニングヘッド１８によるマスク１５の下面のクリーニングを行う（クリーニング実行工程。図５に示すステップＳＴ５）。すなわち、カメラユニット１６による撮像動作（ステップＳＴ３及びステップＳＴ４の撮像工程）とクリーニングヘッド１８によるクリーニング動作（ステップＳＴ５）は同時並行的に実行する。
【００３５】
ステップＳＴ５のマスク１５のクリーニングは、制御装置２０が、クリーニングヘッド移動機構１８Ｍを構成する２つの上方Ｙ軸ボール螺子駆動モータ４３の作動制御を行って、ペーパー部材３２のクリーニング部位をマスク１５の下面に接触させたうえで、吸引機構１８Ａの作動制御を行ってノズル３３に真空吸引を行わせながら、クリーニングヘッド１８を第２の水平移動面Ｓ２内をＹ軸方向に移動（図７中に示す矢印Ｃ）させることによって行う。これにより、マスク１５の下面に付着しているペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）がペーパー部材３２によって拭き取られ、マスク１５の下面がクリーニングされる。
【００３６】
なお、このクリーニングヘッド１８によるマスク１５のクリーニングは、スクリーン印刷作業を基板１枚ごとに行うようにしてもよいが、予め定めた所定の枚数ごとに行うようにしてもよい。
【００３７】
このように本実施の形態において、クリーニングヘッド１８は、マスク１５の下方であってカメラユニット１６が移動する第１の水平移動面Ｓ１よりも高い位置に設定された第２の水平移動面Ｓ２内をカメラユニット１６とは独立して移動することによりマスク１５の下面をクリーニングするクリーニング動作を行うものとなっている。
【００３８】
このマスク１５の下面のクリーニングの際、マスク１５の下面から拭き取ったペーストＰｔがペーパー部材３２に付着することなく、或いはペーパー部材３２に付着した後に落下することがあり得るが、この落下したペーストＰｔは筐体３０内に蓄えられることによって、クリーニングヘッド１８の下方に落下することが防止される。すなわち、本実施の形態では、クリーニングヘッド１８の筐体３０は、マスク１５の下面から拭き取ったペーストＰｔがクリーニングヘッド１８の下方に落下することを防止するペースト受けとして機能する。
【００３９】
制御装置２０は、ステップＳＴ３及びステップＳＴ４でカメラユニット１６による基板側マーク２ｍの撮像とマスク側マーク１５ｍの撮像を行い、また、必要に応じてステップＳＴ５でマスク１５のクリーニングを行ったら、基板保持ユニット１３を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして（すなわちカメラユニット１６によって撮像されたマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍとの位置関係に基づいて）、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（位置合わせ工程。図５に示すステップＳＴ６）。
【００４０】
制御装置２０は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１２の作動制御を行って基板保持ユニット１３を基台１０に対して上昇させ（図６（ｂ）中に示す矢印Ｄ１）、一対のクランプ部材１３ｅにより保持した基板２の上面をマスク１５の下面に接触させることによって、マスク１５に基板２を接触させる（接触工程。図５に示すステップＳＴ７。図６（ｂ））。これにより基板２上の電極部２ａとマスク１５の開口部１５ｈとが合致した状態となる。
【００４１】
制御装置２０は基板２をマスク１５に接触させたら、スキージ１７ｂによるスキージングを行って、予めマスク１５上に供給されたペーストＰｔを基板２の電極部２ａに転写させる（転写工程。図５に示すステップＳＴ８）。このスキージングは、具体的には、スキージユニット１７が備える２つのスキージ１７ｂのうちの一方を下動させ（図８（ａ）中に示す矢印Ｅ１）、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部１７ａを水平方向に移動（図８（ａ）中に示す矢印Ｆ）させることによって行う。これによりマスク１５上でスキージ１７ｂが摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ１７ｂによって掻き寄せられてマスク１５の開口部１５ｈ内に押し込まれ、各基板２の電極部２ａ上に転写される。
【００４２】
すなわち本実施の形態において、スキージ１７ｂは、カメラユニット１６によって撮像されたマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍとの位置関係に基づいてマスク１５が基板２に接触された後、マスク１５上で摺動することによってマスク１５上に供給されたペーストＰｔをマスク１５の開口部１５ｈ内に押し込んで基板２の電極部２ａに転写させるものとなっている。
【００４３】
制御装置２０は、基板２の電極部２ａにペーストＰｔを転写させたら、マスク１５に当接させていたスキージ１７ｂを上動させたうえで（図８（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、基板保持ユニット移動機構１２を作動させ、基板保持ユニット１３を下降させることによって基板２をマスク１５から離間させ（図８（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、版離れを行う（版離れ工程。図５に示すステップＳＴ９。図８（ｂ））。これにより基板２の電極部２ａ上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。
【００４４】
なお、ここでは、基板保持ユニット移動機構１２は、スキージ１７ｂによる基板２へのペーストＰｔの転写が終了した後、マスク１５から基板２を離間させる版離れ機構として機能している。
【００４５】
制御装置２０は版離れを行ったら、基板保持ユニット１３の作動制御を行って基板２の保持を解除する（保持解除工程。図５に示すステップＳＴ１０）。この基板２の保持の解除は、具体的は、制御装置２０が、クランプ部材駆動機構１３Ａの作動制御を行ってクランプ部材１３ｅを開かせたうえで、基板昇降シリンダ１３ｄを作動させて基板２を下降させ、基板２の両端を一対の基板搬送コンベア１３ｂ上に降ろすことによって行う（図３参照）。
【００４６】
制御装置２０は基板２の保持を解除したら、基板保持ユニット移動機構１２を作動させて基板保持ユニット１３を水平面内で移動させ、基板搬送コンベア１３ｂの向きを整えたうえで基板搬送コンベア１３ｂ及び基板搬出コンベア１４を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程。図５に示すステップＳＴ１１）。これにより一連のスクリーン印刷作業が終了する。
【００４７】
なお、上記のステップＳＴ９で版離れが行われた状態では、マスク１５の下面にはペーストＰｔの残り滓が付着した状態となっているが、このペーストＰｔの残り滓は、次の基板２についてのスクリーン印刷作業で、カメラユニット１６によるマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍの撮像（ステップＳＴ３及びステップＳＴ４）と並行して行われるクリーニングヘッド１８によるマスク１５のクリーニング（ステップＳＴ５）で除去される。
【００４８】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１によるスクリーン印刷方法は、基板２に接触されるマスク１５の下方に設定された第１の水平移動面Ｓ１内を移動するカメラユニット１６により、マスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ及びマスク１５の下方に保持された基板２の上面に設けられた基板側マーク２ｍの撮像動作を行う撮像工程（ステップＳＴ３及びステップＳＴ４）、マスク１５の下方であってカメラユニット１６が移動する第１の水平移動面Ｓ１よりも高い位置に設定された第２の水平移動面Ｓ２内をカメラユニット１６とは独立して移動するクリーニングヘッド１８によりマスク１５の下面をクリーニングするクリーニング動作を行うクリーニング工程（ステップＳＴ５）及び撮像工程で撮像したマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍとの位置関係に基づいてマスク１５に基板２を接触させた後、マスク１５上でスキージ１７ｂを摺動することによってマスク１５上に供給されたペーストＰｔを基板２に転写させる転写工程（ステップＳＴ８）を含むものとなっている。
【００４９】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法）では、カメラユニット１６はマスク１５の下方に設定された第１の水平移動面Ｓ１内を移動し、クリーニングヘッド１８はマスク１５の下方であって第１の水平移動面Ｓ１よりも高い位置に設定された第２の水平移動面Ｓ２内を移動するようになっており、カメラユニット１６とクリーニングヘッド１８は互いに異なる水平移動面内を移動するので、カメラユニット１６による撮像動作とクリーニングヘッド１８によるクリーニング動作を同時並行的に行うことができ、基板２の１枚あたりに要する作業時間を短縮して基板２の生産性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
カメラユニットによる撮像動作とクリーニングヘッドによるマスクのクリーニング動作を同時並行的に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００５１】
１  スクリーン印刷機
２  基板
２ｍ  基板側マーク
１５  マスク
１５ｍ  マスク側マーク
１６  カメラユニット
１７ｂ  スキージ
１８  クリーニングヘッド
３０  筐体（ペースト受け）
Ｓ１  第１の水平移動面
Ｓ２  第２の水平移動面
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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