(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の欠陥候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において、欠陥部を特定する作業時間を短縮する。【解決手段】検査装置１００は、配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と正極及び負極を有し、配線６間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器１と、複数のプローブ５と正極または負極との接続を切り換える切換部２と、切換部２を制御する制御部３とを備えており、制御部３は、複数のプローブ５をプローブ群に分割して電気特性測定器１により測定し、電気特性測定器１で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線６間の良否を判別し、不良があると判別された場合、プローブ群に異なる電気特性測定器１を接続するよう切換部２を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、
前記検査装置は、
前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、
正極及び負極を有し前記配線間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器と、
前記複数のプローブと前記正極または負極との接続を切り換える切換部と、
前記切換部を制御する制御部とを備えており、
前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、
前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、
不良があると判別された場合、前記プローブ群に異なる電気特性測定器を接続するよう前記切換部を制御することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、
前記検査装置は、
前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、
正極及び負極を有し、前記配線間の電気特性値を測定する電気特性測定器と、
前記複数のプローブと前記正極または負極の接続を切り換える切換部と、
前記切換部を制御する制御部とを備えており、
前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、
前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、
不良があると判別された場合、前記プローブ群に電気特性測定器を順次接続するよう前記切換部を制御することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
さらに、不良があると判別された前記プローブ群間の欠陥部を特定する特定手段を有する請求項１または２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記特定手段は、温度または赤外線を検出する検出手段を有する請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、
（ａ）：複数のプローブからなるプローブ群を２つのプローブ群に分割するステップと、
（ｂ）：分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、
（ｃ）：測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、
（ｄ）：電気特性値が正常値でなければ、異なる電気特性測定器とプローブ群とを接続するステップと、
（ｅ）：全プローブ群が１つのプローブになるまでステップ（ａ）〜（ｄ）を繰り返すことを特徴とする検査方法。
【請求項６】
基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、
（ａ）：複数のプローブからなるプローブ群を２つのプローブ群に分割するステップと、
（ｂ）：分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、
（ｃ）：測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、
（ｄ）：電気特性値が正常値でなければ、電気特性測定器とプローブ群とを切断するステップと、
（ｅ）：全プローブ群が１つのプローブになるまでステップ（ａ）〜（ｄ）を繰り返し、
（ｆ）：ステップ（ｃ）で正常値でないと判断されたプローブ群を、ステップ（ｂ）において他のプローブ群と異なるタイミングで測定するステップとを有する検査方法。
【請求項７】
ステップ（ａ）は、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割する請求項５または６に記載の検査方法。
【請求項８】
ステップ（ａ）は、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割する請求項５から７のいずれかに記載の検査方法。
【請求項９】
ステップ（ｂ）において、電気特性値が正常値でなければ、プローブ群間の欠陥部を特定する特定ステップをさらに有する請求項５から８のいずれかに記載の検査方法。
【請求項１０】
前記特定ステップは、温度または赤外線を検出することで欠陥部を特定する請求項９に記載の検査方法。
【請求項１１】
請求項５から１０のいずれかに記載の検査方法を動作させる検査プログラムであって、
コンピュータを上記の各ステップとして機能させることを特徴とする検査プログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の検査プログラムが記録されたことを特徴とするコンピュータ読取可能なプログラム記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の欠陥部の候補を絞り込む検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象の基板（以下、基板と略する）を検査する手法として、任意の配線間に電流を流し電圧を測定する導通検査が知られている。例えば特定配線間で短絡している状態が欠陥状態であるとした場合、導通検査を行うことで、基板の特定配線間で短絡が生じているか否か、欠陥部がどの配線部に存在するか、欠陥部の候補（以下、欠陥候補）の絞り込みなどを行うことができる。
【０００３】
公知の導通検査としては、基板上の任意の配線間を全て検査すべく２配線間ずつ順次全て検査する方法が知られている。しかしながら配線の数が多い場合、２配線間ずつ順次検査する方法では、検査に時間を要するという問題があった。特に大量の基板を連続して検査する場合には、検査に時間を要するという問題がさらに顕著になってしまう。
【０００４】
そこで、欠陥候補を効率良く絞り込む装置として、例えば、特許文献１に記載の装置が提案されている。該検査装置は、装置自身が有する欠陥候補を効率良く絞り込む装置である。まず、図８及び図９を用いて特許文献１に記載の検査装置の構成及び検査方法について説明する。
【０００５】
該検査装置は、図８で示すように、検査処理部８８２、電圧検出部８０９、定電流源８０８、切換スイッチ８８０、および複数の接触端子８１２を有する。検査処理部８８２は、テスターコントローラ（図示せず）からの指令に応じ、所定の接触端子を順次選択して、切換スイッチ８８０に切換信号を出力する。また切換スイッチ８８０は、スイッチアレイ等からなり、接触端子８１２を定電流源８０８および電圧検出部８０９に接続する。さらに定電流源８０８は、接触端子８１２間に一定電流を流す。またさらに電圧検出部８０９は、一定の電流が流された該接触端子８１２間の電圧値を検出する。またさらに検査処理部８８２は、電圧検出部８０９で検出された電圧値と、定電流源８０８の電流値とを基に、該接触端子８１２間の抵抗値を算出する。ここで検査処理部８８２は、算出された抵抗値と、基準となる抵抗値とを比較し、該接触端子８１２間における欠陥の有無を検査する。
【０００６】
次に、図９を用いて特許文献１に係る検査方法について説明する。該検査方法は、接触端子８１２を電気的に並列接続した接触端子群を形成し、接触端子群同士の導通検査を行うことで、接触端子相互間に発生する電気的短絡を効率よく検出できるものである。
【０００７】
図９（ａ）に示すように、まず、合計８１９２本の接触端子８１２を二分割して４０９６本ずつの端子群を２つ形成する。次いで、図９（ｂ）に示すように、形成された各端子群（４０９６本）を二分割して２０４８本ずつの端子群を合計４つ形成する。該二分割は、８１９２本の接触端子８１２が１本の接触端子８１２に分割されるまで繰り返される。また二分割する毎に、分割された端子群相互間または接触端子８１２相互間の短絡欠陥の有無を検査し、２回目の分割以降は、分割された端子群相互間または接触端子８１２相互間の検査を同時に実施することが示されている。
【０００８】
さらに特許文献１には、検査中に短絡欠陥の発生を検出すると、直ちに検査を中断して、接触端子８１２の清浄作業を行い、該清浄作業が終わると、再度、検査を実施することが開示されている。該清浄作業は、接触端子８１２の先端部に付着した半田などを除去して、短絡欠陥を解消するためのものであり、例えば、接触端子８１２の先端部をワイヤブラシで擦ったり、清浄空気を高圧で吹き付けたり、加熱して半田を溶融したり、又はこれらの幾つかを同時に行うことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−２４４０７７号公報（平成２１年１０月２２日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載の検査装置及び検査方法は、検査装置自身を検査の対象としており、複数の基板を連続して検査する場合を対象としていない。そのため、短絡欠陥の発生を検出した時点で検査を中断する構成を取っている。従って、複数の基板を連続して検査する場合に特許文献１に記載のものを適用することは困難である。
【００１１】
また仮に、検査中に短絡欠陥の発生を検出して検査を中断した後、中断した続きから検査を行う構成としても、欠陥候補を適切に絞り込むことができない事態が発生する。
【００１２】
図１０を用いて欠陥候補を適切に絞り込むことができない例を示す。図１０には、検査装置が全４本の接触端子（接触端子８１２ａ〜ｄ）を有する場合を示している。図１０（ａ）は、１回目の分割として、接触端子８１２ａ〜ｄの４本の接触端子を、２本ずつの端子群２つに分割することを示した図である。接触端子８１２ａ、ｂは電圧検出部８０９の正極側に接続され、接触端子８１２ｃ、ｄは電圧検出部８０９の負極側に接続されている。つまり、１回目の分割後に検査を行うことにより、電圧検出部８０９が正常値と異なる電圧値を検出した場合、接触端子８１２ａ、ｃ間、接触端子８１２ａ、ｄ間、接触端子８１２ｂ、ｃ間、又は接触端子８１２ｂ、ｄ間のいずれかに、欠陥が生じていることが判明する。
【００１３】
次いで図１０（ｂ）は、２回目の分割として、接触端子８１２ａ〜ｄの４本の接触端子を、１本ずつの端子４つに分割することを示した図である。ここで、２回目の分割で４本の接触端子８１２ａ〜ｄから１本ずつの端子を４つ形成したとしても、電圧検出部８０９には、正極部と負極部の２つしか入力が無いため、結局は、４本の接触端子８１２ａ〜ｄを２つの端子群に分けて電圧を検出することになる。
【００１４】
先ず接触端子８１２ａ、ｃを電圧検出部８０９の正極側に接続し、接触端子８１２ｂ、ｄを電圧検出部８０９の負極側に接続する。ここで電圧検出部８０９が、正常値と異なる電圧値を検出した場合、接触端子８１２ａ、ｂ間、接触端子８１２ａ、ｄ間、接触端子８１２ｃ、ｂ間、又は接触端子８１２ｃ、ｄ間のいずれかに、欠陥が生じていることが判明する。
【００１５】
要するに、接触端子８１２ａ、ｄ間、接触端子８１２ｂ、ｃ間は、１回目の分割後と２回目分割後の各検査で、重複して検査を行っていることになる。仮に接触端子８１２ａ、ｄ間に短絡欠陥があった場合には、１回目の分割後の検査及び２回目の分割後の検査で、電圧検出部８０９は正常値と異なる値を検出する。そうすると、１回目の検査結果だけであれば、欠陥候補は、接触端子８１２ａ、ｃ間、接触端子８１２ａ、ｄ間、接触端子８１２ｂ、ｃ間、又は接触端子８１２ｂ、ｄ間の４つに絞り込めているが、２回目の検査によって、欠陥候補は、接触端子８１２ａ、ｂ間、又は接触端子８１２ｃ、ｄ間をさらに加えた６通りに増加してしまう。
【００１６】
以上に示すように、特許文献１に記載の方法を用いた場合には、同じ欠陥部を何度も検出し、欠陥候補を適切に絞り込むことができない問題点があった。
また、特許文献１に記載の方法では、基板の欠陥部の候補となる配線の組み合わせは抽出できるものの、基板における具体的な欠陥箇所は特定できない。具体的な欠陥箇所を特定するためには、そのための後工程を行う必要がある。しかしながら、特許文献１に記載の方法を用いた場合には、欠陥候補を適切に絞り込めないことから、後工程に時間がかかったり、特定する作業回数が多くなるという問題もあった。
【００１７】
本発明は、上述した従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明に係る検査装置は、基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し前記配線間の電気特性値を測定する複数の電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極との接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に異なる電気特性測定器を接続するよう前記切換部を制御する。
【００１９】
本発明に係る検査装置は、基板上の複数の配線間を電気的に検査する検査装置であって、前記検査装置は、前記配線と電気的に接触する複数のプローブと、正極及び負極を有し、前記配線間の電気特性値を測定する電気特性測定器と、前記複数のプローブと前記正極または負極の接続を切り換える切換部と、前記切換部を制御する制御部とを備えており、前記制御部は、前記複数のプローブをプローブ群に分割して前記電気特性測定器により測定し、前記電気特性測定器で測定される電気特性値に基づき、分割されたプローブ群間で配線間の良否を判別し、不良があると判別された場合、前記プローブ群に電気特性測定器を順次接続するよう前記切換部を制御する。
【００２０】
また、不良があると判別された前記プローブ群間の欠陥部を特定する特定手段を有してもよいし、前記特定手段は、温度または赤外線を検出する検出手段を有してもよい。
【００２１】
本発明に係る検査方法は、基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、（ａ）：複数のプローブからなるプローブ群を２つのプローブ群に分割するステップと、（ｂ）：分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、（ｃ）：測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、（ｄ）：電気特性値が正常値でなければ、異なる電気特性測定器とプローブ群とを接続するステップと、（ｅ）：全プローブ群が１つのプローブになるまでステップ（ａ）〜（ｄ）を繰り返す。
【００２２】
本発明に係る検査方法は、基板上の複数の配線にプローブを当接させ、該配線間を電気特性測定器により検査する検査方法であって、（ａ）：複数のプローブからなるプローブ群を２つのプローブ群に分割するステップと、（ｂ）：分割されたプローブ群間の電気特性値を測定するステップと、（ｃ）：測定された電気特性値が、正常値か否かを判断するステップと、（ｄ）：電気特性値が正常値でなければ、電気特性測定器とプローブ群とを切断するステップと、（ｅ）：全プローブ群が１つのプローブになるまでステップ（ａ）〜（ｄ）を繰り返し、（ｆ）：ステップ（ｃ）で正常値でないと判断されたプローブ群を、ステップ（ｂ）において他のプローブ群と異なるタイミングで測定するステップとを有する。
【００２３】
また、ステップ（ａ）は、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割してもよいし、ステップ（ａ）は、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割してもよい。
【００２４】
さらに、ステップ（ｂ）において、電気特性値が正常値でなければ、プローブ群間の欠陥部を特定する特定ステップをさらに有してもよい。またさらに、前記特定ステップは、温度または赤外線を検出することで欠陥部を特定してもよい。
【００２５】
本発明に係る検査プログラムは、上記検査方法を動作させる検査プログラムであって、コンピュータを上記の各ステップとして機能させる。
【００２６】
本発明に係るコンピュータ読取可能なプログラム記録媒体は、上記検査プログラムが記録されている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係る検査装置の主要構成を説明するためのブロック図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る検査方法のフローチャートである。
【図３】本発明の実施形態１に係るＳ２７の具体例を説明するための図であり、（ａ）は１つの抵抗測定器の正極、負極に接続する態様を示し、（ｂ）は図３(ａ)の電気特性測定器が欠陥を検出し、新たな電気特性測定器を加えた態様を示す図である。
【図４】本発明の実施形態２に係る検査装置の主要構成を説明するためのブロック図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る検査方法のフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態３に係る検査装置を表した図である。
【図７】本発明の実施形態３に係るサーモ検査の手順を説明するためのフローチャートである。
【図８】従来技術に係る検査装置の要部を示した図である。
【図９】従来技術に係る検査方法の検査順序を説明するための図であり、（ａ）は８１９２本の端子から４０９６本の端子２群への分割を示し、（ｂ）は４０９６本の端子２群から２０４８本の端子４群への分割を示す図である。
【図１０】従来技術に係る検査方法の検査方法を説明するための図であり、（ａ）は４本の端子から２本の端子２群への分割を示し、（ｂ）は２本の端子２群から１本の端子４群への分割を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施態様を詳細に説明する。
【００３０】
＜実施形態１＞
図１は、本発明に係る実施形態１における検査装置１００の主要構成を説明するためのブロック図であり、破線で囲まれた部分が、検査装置１００の主要構成部である。検査装置１００は、基板７が有するｎ（ｎは２以上の自然数）本の配線６−１、・・・、配線６−ｎ（以下、配線６−１、…、配線６−ｎのうちの何れか或いは全体を説明する際は、簡単のために配線６と称する）の中で、何れの配線群間に欠陥があるかを検知し、一度欠陥候補となった配線を、二度と検査しないことで、欠陥部を適切に絞り込むことができる。
【００３１】
以下の説明では、基板の配線間において短絡しているものが欠陥である場合を説明するが、欠陥は短絡に限られない。例えば他の欠陥として、本来導通していなければならない配線間が、絶縁状態となっている場合や、所定以上の容量値である場合など種々の検査装置又は検査方法に本発明を適用することができる。
【００３２】
検査装置１００は、ｍ（ｍは２以上の自然数）個の電気特性測定器１−１、・・・、電気特性測定器１−ｍ、切換部２、制御部３、記憶部４、ｎ個のプローブ５を備え、電気特性測定器１は本発明における電気特性測定部に対応し、プローブ５が本発明におけるプローブに対応している（以下、電気特性測定器１−１、…、電気特性測定器１−ｍのうちの何れか或いは全体を説明する際は、簡単のために電気特性測定器１と称する）。電気特性測定器１は、各々正極端子及び負極端子を有し、各正極端子に接続された配線と各負極端子に接続された配線間の電圧値や、電気容量値などの電気特性を測定することができる。本実施形態においては、特に断りの無い限り、電気特性測定器は、一定の電圧を印加し電流量を測定する、もしくは一定の電流を流して電圧値を測定することで該配線間の抵抗値を測定する抵抗測定器とする。
【００３３】
切換部２は、各プローブ５を各電気特性測定器１の正極端子または負極端子に電気的に接続させる手段であり、例えばリレー回路などで構成される。また切換部２は、何れの電気特性測定器１の正極端子及び負極端子にも接続されないようにすることもでき、本発明における切換部に相当する。
【００３４】
制御部３は、電気特性測定器１で測定された各抵抗値と、欠陥が無い場合の正常な各抵抗値とを比較することで、欠陥の有無を検出するものであり、本発明における制御部に対応する。また制御部３は、記憶部４に予め記憶された所定の切換パターン順序に基づき、切換部２を制御し、電気特性測定器１の何れかと接続する。ここで所定の切換パターンとは、例えば各配線毎に電気特性測定器１の何れの正極端子または負極端子に接続するかを定めた所定の切換パターンの順序である。
【００３５】
記憶部４は、欠陥が無い場合の正常な抵抗値と上記所定の切換パターン順序を予め記憶しており、後述するように電気特性値が正常でなければ、一方のプローブ群および他方のプローブ群を記憶することが可能であっても良い。プローブ５の各々は、配線６と一対一対応で電気的接続される針状端子である。
【００３６】
図２は、本実施形態における検査方法のフローチャートであり、以下に図２の説明を行う。まず、記憶部４に記憶された所定の切換パターン順序を基に、プローブ５の群を２つの群に分割し、制御部３によって切換部２を切換え、一方のプローブ群に所定の電気特性測定器１の正極を繋ぎ、他方のプローブ群に該電気特性測定器１の負極を繋ぐ（Ｓ２１）。そして正極に接続されたプローブ群と、負極に接続されたプローブ群との間の抵抗値を測定する（Ｓ２２）。なお、後述するように検査に使用する電気特性測定器１の数は増加する。Ｓ２２では、検査に使用する複数の電気特性測定器１が同時に抵抗値を測定する。従って、Ｓ２２の測定にかかる時間は増加しない。次に予め記憶部４に記憶された正常な抵抗値と比較する（Ｓ２３）。
【００３７】
正常な抵抗値は、短絡欠陥があるか否かを判定する閾値である。短絡がない配線間を測定した抵抗値は絶縁抵抗と呼ばれており、数百ＭΩ以上の大きな値である。従って、この数百ＭΩ以上を正常な抵抗値として記憶すればよい。また、測定した抵抗値がこの絶縁抵抗よりも低い場合、すなわち配線間がわずかに短絡している場合でも、基板の品質に問題が無い場合は、短絡欠陥がないと判定してもよい。従って、この場合は正常な抵抗値は数百ＭΩよりも小さい値になる。Ｓ２３において正常な抵抗値と比較した結果、実際の抵抗測定値が正常な抵抗値と相違すると、欠陥有りと判断し（Ｓ２４：ＹＥＳ）、欠陥があったプローブ群の組み合わせと欠陥が発生した基板の識別情報を記憶部４に記憶する（Ｓ２５）。Ｓ２５では欠陥候補と基板の識別情報を記憶するので、特許文献１に記載の技術のように、欠陥個所が判明する度に検査対象に清浄作業を施す必要はなく、継続して後続の基板を検査できるという効果があり、特に複数の基板を連続検査する場合に好適な実施形態となっている。
【００３８】
なお、図２で示す検査を行った基板について、欠陥部を特定するための後工程を続けて行う場合は、Ｓ２５において基板の識別情報を記憶しなくても良い。すなわち、図２で示す検査を終えた基板を、欠陥部を特定するための後工程に１枚ずつ搬送する場合、いわゆる枚葉搬送の場合は、基板の識別情報を記憶しなくても良い。
【００３９】
一方、本実施形態では、所定枚数の基板に関し図２で示す検査を行った後、Ｓ２５で記憶したデータを用いて、欠陥部を特定するための後工程を行うことを想定しているため、基板の識別情報も記憶するようにしている。すなわち、図２で示す検査を終えた複数の基板を、欠陥部を特定するための後工程にまとめて搬送する場合、いわゆるロット搬送の場合は、基板の識別情報を記憶するようにしている。なぜなら、後工程は、この基板の識別情報を用いて、搬送された複数の基板のうちどの基板に欠陥があるのかを識別する必要があるからである（これは後述する実施形態２も同様である）。
【００４０】
次いで、欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が１でない場合（Ｓ２６：ＮＯ）、今まで用いていない新たな電気特性測定器１を割り当てる（Ｓ２７）。一方欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が１である場合（Ｓ２６：ＹＥＳ）、Ｓ２８へ移行する。また正常な抵抗値との比較により、欠陥無しと判断した場合（Ｓ２４：ＮＯ）もＳ２８へ移行する。全プローブ間の組み合わせについて検査が終了すると（Ｓ２８：ＹＥＳ）、フローを終了し、まだ全プローブ間の検査が終了していなければ（Ｓ２８：ＮＯ）、Ｓ２９へ移行する。
【００４１】
新たな電気特性測定器１を割り当てた場合（Ｓ２９：ＹＥＳ）はＳ３０へ移行し、新たな電気特性測定器１を割り当てない場合は（Ｓ２９：ＮＯ）、Ｓ３１へ移行する。新たな電気特性測定器１を割り当てた場合は、記憶部４に記憶された所定の切換パターン順序を基に、新たな短絡欠陥検出部としての電気特性測定器１が割り当てられたプローブの各群を二分割し、プローブの各群において二分割された一方の群に、新たな電気特性測定器１の正極を繋ぎ、他方の群に、該電気特性測定器１の負極を繋ぎ（Ｓ３０）、Ｓ３１へ移行する。
【００４２】
さらに、新たな電気特性測定器１を割り当てていない場合には、記憶部４に記憶された所定の切換パターン順序を基に、新たな電気特性測定器１を割り当てていないプローブの各群を二分割し、プローブの各群において二分割された一方の群に、事前に使用していた電気特性測定器１の正極を繋ぎ、他方の群に、事前に使用していた電気特性測定器１の負極を繋ぎ（Ｓ３１）、Ｓ２２へ移行する。
【００４３】
切換パターン順序としては、例えば、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割していくことなどが挙げられる。短絡欠陥は、ほとんどが隣接配線間で発生するので、プローブ群間で隣接するプローブ数が増加するようプローブ群を分割していくことで、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割することになる。
【００４４】
ここで、欠陥が存在する確率が大きくなるようプローブ群を分割していくことには、少なくとも２つの利点が存在する。先ず第一の利点は、全プローブを２つの群に分割する切換パターンにおいて、検査回数が進む毎に、検査を行う配線の組み合わせを絞り込むことができるため、短絡欠陥の検出が後になるほど、欠陥部を絞り込むことができる点である。また第二の利点は、最後の切換パターンにおいて、短絡発生率が最も高くなる最後のパターンであれば、短絡欠陥が検出されたとしても、電気特性測定器１を増やして検査する必要がなくなる点である。
【００４５】
本実施形態では、Ｓ２７で示すように、あるプローブ群間で欠陥を検出した場合には、プローブ群の一方、すなわち本実施形態においては負極側に新たな電気特性測定器１を割り当てる。そうすることで、以後、短絡を検出した負極側のプローブ群と正極側のプローブ群とを導通させることがなくなる。従って、そのプローブ群間の検査を２度行わないようにすることができ、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができる。また、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことによって、後の欠陥部を特定する工程において検査時間や検査回数を短縮することができる。
【００４６】
このように、短絡欠陥が検出する度に、割り当てられた電気特性測定器１の数は増えていく。Ｓ２２〜Ｓ２７、Ｓ２９〜Ｓ３１は、割り当てられた１つ以上の電気特性測定器１毎に処理するのである。また、Ｓ２２では、割り当てられた１つ以上の電気特性測定器１が同時にそれぞれ抵抗値を測定する。抵抗値を測定するには数百ミリ秒の時間を要する。一方、それ以外の処理は電気特性測定器１毎に並列に、制御部３によって処理することができる。また、制御部３としてはコンピューターなどが用いられるため、抵抗値を測定する数百ミリ秒の時間よりも非常に短い。従って、短絡欠陥の数にかかわらず、検査すべき配線間の全組み合わせをほぼ一定の時間で検査をすることができる。
【００４７】
また、図２のＳ２２〜Ｓ３１は、割り当てられた電気特性測定器１毎に処理を行う。割り当てられた電気特性測定器１の数が２つである場合について、以下に詳しく説明する。Ｓ２２では、２つの電気特性測定器１が同時にそれぞれ抵抗値を測定する。Ｓ２３では、測定した２つの抵抗値それぞれについて、正常な抵抗値と比較する。Ｓ２４では、欠陥が有るか否かをそれぞれ判断する。欠陥があると判断された場合は、Ｓ２５〜Ｓ２７の処理を行う。もし、欠陥有りと判断された数が２つの場合は、Ｓ２７における新たな電気特性測定器１の割り当ては最大２回行われ、Ｓ２８に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は２〜４になる。もし、欠陥有りと判断された数が１つの場合は、Ｓ２７における新たな電気特性測定器１の割り当ては最大１回行われ、Ｓ２８に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は２〜３になる。もし、欠陥有りと判断された数が０の場合は、Ｓ２７における新たな電気特性測定器の割り当てはなく、Ｓ２８に進んだ時点で割り当てられた電気特性測定器の数は２のままである。
【００４８】
また、新たに割り当てられた電気特性測定器１の数（上述のように、数は０〜２）だけＳ３０を処理する。Ｓ３１は、当初割り当てられていた２つの電気特性測定器１毎に処理する。再度行われるＳ２２では、２〜４の電気特性測定器１毎に行われるのである。
【００４９】
短絡欠陥がない基板を検査する場合は、検査に使用する電気特性測定器１の数は１つである。一方、短絡欠陥が検出する度に、検査に使用する電気特性測定器１の数は増えていく。いずれにしても、Ｓ２２において、検査に使用する１つないしは複数の電気特性測定器１が抵抗値を同時に測定する。従って、短絡欠陥の検出回数にかかわらず、Ｓ２２で行われる抵抗測定回数は一定である。
【００５０】
図３は、図２におけるＳ２７の具体例を説明するための図である。図３（ａ）は、４つのプローブ５を２つずつの群に分割し、各群を電気特性測定器１の正極、負極に接続する態様を説明するための図である。他方図３（ｂ）は、図３(ａ)の電気特性測定器１が欠陥を検出し、新たな電気特性測定器２を加えた態様を説明するための図である。図３（ｂ）に示すように、図３（ａ）で短絡を検出した負極側のプローブ２つと、正極側のプローブ２つとは、電気特性測定器１を通して導通することがなくなり、その後も２度とプローブ群間の検査を行わないようにすることができる。つまり、１つの欠陥に対して、２度以上検出することのない検査装置、及び検査方法を提供することができる。
【００５１】
以下、本実施形態における基板７の配線６が１６本である場合について具体的に説明する。短絡が発生し得る２本の配線間の組み合わせは１６×１５／２＝１２０組となる。
【００５２】
【表１】
2013104798.tif 000003
表１は、この場合に記憶部４で記憶される切換パターンの一例を示した表である。配線の本数が２のべき乗であれば、プローブ群を二分割していくと、最終的に１本の配線に分割することができる。この場合、抵抗検査回数は、配線本数を２を底とする対数により計算される。
【００５３】
例えば配線が１６本である場合は、抵抗検査はｌｏｇ２１６＝４（回）となる。１回目の抵抗測定は、８×８＝６４組の配線間の組み合わせを検査する。この１回目の抵抗測定で短絡を検出しなかった場合、２回目の抵抗測定は、８×８＝６４組の配線間の組み合わせを検査する。この６４組のうち１回目の抵抗測定と重複している組み合わせは３２組、重複していない新たな抵抗測定する組み合わせは３２組である。
【００５４】
１回目で短絡を検出しなかった場合、重複する３２組の組み合わせは当然短絡していない。したがって２回目の抵抗測定では、重複していない３２の組み合わせの短絡を検査するに等しい。一方、１回目の抵抗測定で短絡を検出した場合、１回目の抵抗測定の負極側に新たな電気特性測定器１を割り当てて、２つの電気特性測定器１を用いて２回目の抵抗測定を行う。２つの電気特性測定器１のそれぞれが抵抗測定する配線間の組み合わせは４×４＝１６組となるので、２回目の抵抗測定は１６＋１６＝３２組の組み合わせの短絡を検査していることになる。この３２組の組み合わせのうち１回目の抵抗測定と重複している組み合わせはない。また、１回目の抵抗測定で短絡を検出しなかった場合、又は検出した場合のいずれも、２回目の抵抗測定で短絡を検査する配線間の組み合わせは、全く同じである。
【００５５】
３回目および４回目の抵抗測定も、重複していない新たな配線間の組み合わせを同様に検査していくことになる。検査される配線間の組み合わせは、３回目の抵抗測定が１６組、４回目の抵抗測定が８組となる。結局、１〜４回目の抵抗測定で検査される抵抗間の組み合わせの合計は６４＋３２＋１６＋８＝１２０組となり、すべての配線間の組みあわせを検査できる。また最終的に１本ずつの配線間で短絡を検出する必要があるため、最大で配線数の半分、つまり８つの電気特性測定器１を設けることがより好ましい。
【００５６】
さて、基板に発生する短絡欠陥の数は、配線間の組み合わせ数と比べて非常に少なく、通常１〜２つ程度である。短絡欠陥が１つ存在する基板を検査する場合、検査に使用される電気特性測定器１の数は１〜２つである。同様に、短絡欠陥が２つ存在する基板を検査する場合、検査に使用される電気特性測定器１の数は１〜３つである。従って、基板に発生する短絡欠陥の発生状況によっては、最大数すなわち配線数の半分よりも少ない電気特性測定器１で事足りる。
【００５７】
上記のように電気特性測定器１の数を削減することによって、切換部２も簡素化でき、検査装置を安価かつ簡便に実現できる利点がある。しかしながら、短絡欠陥が多く発生した基板を検査した場合、Ｓ２７で新たな抵抗測定器を割り当てられない事態、すなわち割り当てられていない電気特性測定器１がなくなってしまう事態が稀に起こりえる。このような場合は、欠陥があった配線群の負極側に、新たな抵抗測定器を割り当てずに処理を継続すればよい。ここで一般的に、基板７の配線６がＮ（Ｎは２以上の自然数）本である場合を考える。検査すべき配線間の組み合わせはＮ×（Ｎ−１）／２組となり、Ｎが２のｐ乗（ｐは１以上の自然数）であれば、抵抗検査回数はｐ回となる。また、１〜ｐ回目の抵抗検査において、重複を除いた新たな短絡を検査する配線間の組み合わせは、順に２２ｐ−２組、２２ｐ−３組、２２ｐ−４組、・・・、２ (ｐ−１)組となる。
【００５８】
一方、配線の本数が２のべき乗ではない場合には、配線を２等分することが出来ないステップが生じるため、２のべき乗になるように、架空の配線を定義し処理を行う。
【００５９】
【表２】
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表２は、本実施形態における基板７の配線６が１２本である場合において、切換部２などの挙動を示した表である。１２本の配線に架空の配線４本を追加して配線の本数を合計１６本とし、追加後の配線本数を２のべき乗である１６本とし、表１に示す切換パターンを用いて、処理を行うことになる。表２において、電位が０のプローブは電気特性測定器１の負極側に、電位がＥのプローブは電気特性測定器１の正極側に各々電気的接続されていることを表す。
【００６０】
架空の配線は、いずれの配線とも短絡を起こさない理想の配線と考えることができる。以下、架空の配線と実在する配線との間を「架空配線間」と称する。架空配線間は、短絡を発生しないので、各抵抗測定の重複していない新たな配線間の組み合わせの中で、架空配線だけと組み合わせられる実在する配線は、短絡を発生しない。したがって、このような配線間は、抵抗値測定の際に省くことができる。その結果、使用する電気特性測定器１を少なくすることができる場合がある。このような場合を具体的に以下に説明する。
【００６１】
表２の４回目の抵抗測定では、重複していない新たな配線間の組み合わせが８組である。具体的には、架空配線１：配線６−１，配線６−２：配線６−３，架空配線２：配線６−４，配線６−５：配線６−６，架空配線３：配線６−７，配線６−８：配線６−９，架空配線４：配線６−１０，配線６−１１：配線６−１２である。ここで、「Ｘ：Ｙ」は、配線Ｘと配線Ｙとの間の短絡を検査するように、配線Ｘを電気特性測定器１の負極に接続して電位を０にし、配線Ｙを電気特性測定器１の正極に接続して電位をＥにすることを表す。
【００６２】
この８通りの配線の組み合わせのうち、架空配線１：配線６−１，架空配線２：配線６−４，架空配線３：配線６−７，架空配線４：配線６−１０の４つは、「Ｘ：Ｙ」のＸに相当する配線が架空配線であるため、短絡を発生しない。したがって、この４通りの配線間は、４回目の抵抗測定から省くことができる。その結果、この４通りの「Ｘ：Ｙ」のＹに相当する右側の配線６−１、６−４、６−７、６−１０を何れの電気特性測定器１の正極端子及び負極端子にも接続させない。表２の４回目の抵抗測定において、配線６−１、６−４、６−７、６−１０に斜線を記しているのは、何れの電気特性測定器１の正極端子及び負極端子にも接続していないことを表している。
【００６３】
次に、４回目の抵抗測定において、使用する電気特性測定器１の最大数を削減できることを示す。１回目の抵抗測定時に電気特性測定器１が短絡を検出し、２回目の抵抗測定時に２つの電気特性測定器１が共に短絡を検出し、３回目の抵抗測定時に４つの電気特性測定器１が共に短絡を検出した場合、４回目の抵抗測定では、本来は８つの電気特性測定器１が必要になる。また、この８つは、使用する電気特性測定器１が最大数となる場合である。しかし、架空配線１：配線６−１，架空配線２：配線６−４，架空配線３：配線６−７，架空配線４：配線６−１０の４つは抵抗測定をする必要が無く、電気特性測定器１を割り当てる必要もない。したがって、４回目の抵抗測定は、４つの電気特性測定器１だけで検査ができる。すなわち、３回目の抵抗測定における電気特性測定器１の割り当てを変えずに、４回目の抵抗測定を行えばよい。したがって、４回目の抵抗測定は、４つの電気特性測定器１が配線６−２：配線６−３，配線６−５：配線６−６，配線６−８：配線６−９，配線６−１１：配線６−１２をそれぞれ検査すればよい。
【００６４】
このように本実施形態では、不良があると判別された場合、異なる電気特性測定器を接続するように切換部を制御することができるので、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮したり、検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供することができる。
【００６５】
＜実施形態２＞
本実施形態は、１つの電気特性測定器１だけを用いて、実施形態１と同様、一度欠陥候補となった配線間の組み合わせを、二度と検査しないことで、適切に欠陥部を絞り込むことができる装置および方法であり、図４と図５を用いて説明する。また本実施形態においても、電気特性測定器１、プローブ５、切換部２が本発明における電気特性測定器、プローブ、切換部に対応している。また記憶部４については、実施形態１で説明した機能に加えて、電気特性値が正常でなければ、一方のプローブ群および他方のプローブ群を記憶することがさらに可能であっても良い。
【００６６】
電気特性測定器１が１つの場合には、実施形態１のＳ２７のように欠陥が検出されたプローブ群の負極側に電気特性測定器１を割り当てるのではなく、欠陥検出を後回しにすることで対応する。すなわち欠陥があると判別した場合、プローブ群に電気特性測定器１を順次接続するようしている。本実施形態は、実施形態１と比べて、電気特性測定器１が１つで済み、切替部２が簡素化でき、簡便な構成とすることができる。
【００６７】
図４は、本実施態様における検査装置４００の主要構成を説明するためのブロック図である。図４に示すように、本実施形態の構成で実施形態１と異なるのは、電気特性測定器１が１つであるという点だけであり、他の構成は実施形態１と同様であるため、説明は省略する。
【００６８】
図５は、本実施形態における検査方法のフローチャートであり、以下の通り説明を行う。まず、記憶部４に記憶された所定の切換パターン順序を基に、プローブ５の群を２つの群に分割し、制御部３によって切換部２を切換えて、一方の群に電気特性測定器１の正極を繋ぎ、他方の群に電気特性測定器１の負極を繋ぎ（Ｓ５１）、正極に接続されたプローブ群と、負極に接続されたプローブ群との間の抵抗値を測定し（Ｓ５２）、測定した抵抗値を正常な抵抗値と比較し（Ｓ５３）、欠陥有りと判断した場合（Ｓ５４：ＹＥＳ）、欠陥があったプローブ群の組み合わせと欠陥が発生した基板の識別情報を記憶部４に記憶する（Ｓ５５）。Ｓ５５では欠陥候補と基板の識別情報を記憶するので、特許文献１に記載の技術のように、欠陥個所が判明する度に検査対象に清浄作業を施す必要はなく、継続して後続の基板を検査できるという効果があり、特に複数の基板を連続検査する場合に好適な実施形態となっている。
【００６９】
なお、図５で示す検査を行った基板について、欠陥部を特定するための後工程を続けて行う場合は、Ｓ５５において基板の識別情報を記憶しなくても良い。一方、本実施形態では、所定枚数の基板に関し図５で示す検査を行った後、Ｓ５５で記憶したデータを用いて、欠陥部を特定するための後工程を行うことを想定しているため、基板の識別情報も記憶するようにしている。
【００７０】
欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が１でない場合（Ｓ５６：ＮＯ）、欠陥があったプローブ群の負極側と電気特性測定器１とを切断し（Ｓ５７）、次にプローブ群を分割して以降に欠陥検出を後回しにするプローブ群として、欠陥があったプローブ群の負極側を記憶部４に記憶し（Ｓ５８）、欠陥があったプローブ群の負極側のプローブ数が１である場合（Ｓ５６：ＹＥＳ）、Ｓ５９へ移行する。
【００７１】
また、正常な抵抗値との比較により、欠陥無しと判断した場合（Ｓ５４：ＮＯ）もＳ５９へ移行する。欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがあれば（Ｓ５９：ＹＥＳ）、Ｓ６１へ移行し、二分割されたものがなければ（Ｓ５９：ＹＥＳ）、Ｓ６０へ移行する。
【００７２】
欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがある場合には、その中から１つ選び（Ｓ６１）、選ばれたプローブ群において、二分割された群に、それぞれ負極、正極を割り当てる（Ｓ６２）。欠陥検出を後回しにしたプローブ群の中に二分割されたものがない場合、全プローブ間の組み合わせについて検査が終了していれば（Ｓ６０：ＹＥＳ）、フローを完了し、全プローブ間の組み合わせについて検査が終了していなければ（Ｓ６０：ＮＯ）、記憶部４に記憶された所定の切換パターン順序を基に、前回分割されたプローブの群を、それぞれ、さらに二分割し、欠陥検出を後回しにしたプローブ群以外の群に関しては、一方の群に電気特性測定器１の正極、他方の群に負極を割り当て（Ｓ６３）、Ｓ５１へ移行する。
【００７３】
本実施形態では、欠陥検出部１が１つである場合でも、Ｓ５８で示すように、あるプローブ群間で欠陥が検出された場合には、欠陥があったプローブ群の負極側を、次にプローブ群を分割して以降に欠陥検出を後回しにすることで、そのプローブ群間の検査を２度と行わないようにすることができる。つまり、本実施形態に係る検査装置、及び検査方法は、一度欠陥候補となった配線間の組み合わせを、二度と検査しないことで、適切に欠陥部を絞り込むことができる。また、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことによって、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮することができる。
【００７４】
換言すれば、本実施形態では、不良があると判別された場合、電気特性測定器を順次接続するように切換部を制御できるので、基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、後の欠陥部を特定する工程において検査時間を短縮することができる検査装置および検査方法を提供することができる。さらに、実施形態１と比べて、電気特性測定器１が１つで済み、切替部２が簡素化でき、簡便な構成とすることができるという新たな効果を奏し得る。
【００７５】
＜実施形態３＞
本実施形態は、実施形態１に対し、欠陥部を特定するため、サーモ検査を行う後工程をさらに有する点が異なる。図６に示す通り、検査装置６００にはサーモ検査を行うためのサーモカメラ１０をさらに備えている。検査装置６００は、サーモカメラ１０以外の構成は、検査装置１００と同様であるため説明を省略し、サーモカメラ１０に関連する部分を中心に説明する。
【００７６】
なお本実施形態では、欠陥部を特定するために、温度または赤外線を検出する検出手段としてサーモカメラを採用した場合を説明するが、検出手段はサーモカメラには限定されず、温度または赤外線を検出する他の検出手段を用いても良いことは勿論である。
【００７７】
図６は、本実施形態におけるサーモ検査を利用した検査装置の一例を表した図である。サーモ検査を利用した検査装置６００は、サーモカメラ１０を備える。プローブ５は、電気特性測定器１から印加された電圧によって基板７の配線６を導通させ、短絡欠陥部等を発熱させる。あるいは電圧源ないしは電流源を別途設けて、基板７の配線６を導通させ、短絡欠陥部等を発熱させてもよい。
サーモカメラ１０は、基板７の例えば赤外画像を取得する。記憶部４は、制御部３と接続され、画像データ等を記憶する。制御部３は、サーモカメラ１０を制御し、また、サーモカメラ１０の撮像位置合わせのために画像のマッチング等を行う画像処理部としても機能する。
【００７８】
図７は、本実施形態におけるサーモ検査の手順を説明するためのフローチャートであり、以下説明する。まず、どのプローブ群間に短絡欠陥部があるかを特定する（Ｓ７１）。Ｓ７１の具体的な処理内容としては、実施形態１（図２）におけるＳ２１〜Ｓ３１のフローを用いても良いし、実施形態２（図５）におけるＳ５１〜Ｓ６２のフローを用いても良い。
【００７９】
次に、Ｓ７１で特定したプローブ群間、すなわち、Ｓ２５（Ｓ５５）で記憶部４に記憶されたプローブ群の組み合わせのうち、まだ電流を流していないプローブ群間に電流を流し（Ｓ７２）、短絡欠陥部を発熱させる。次いで、サーモカメラ１０で撮影することで、発熱した短絡欠陥部を、欠陥部をより詳細に特定する（Ｓ７３）。Ｓ７１で特定したプローブ群間全てに電流を流し終えたならば（Ｓ７４：ＹＥＳ）、フローを終了し、Ｓ７１で特定したプローブ群間全てに電流を流し終えていなければ（Ｓ７４：ＮＯ）、Ｓ７２に移行する。
【００８０】
本実施形態によれば、検査装置６００が一度欠陥候補となった配線を、二度と検査しない構成と相俟って、欠陥部をより詳細に特定するためのサーモ検査の回数を減らすことができ、検査時間を短縮することができる。
【００８１】
一般的にサーモ検査では、被検査箇所が温度上昇するのを待つ必要があり、また検査後に温度低下を待つ必要が生じる場合もある。例えば、サーモ検査を一度行うのに要する時間が十秒程度であるのに対して、導通検査は、数百ミリ秒程度で済む場合もある。従って、サーモ検査に要する時間は、短絡検査や導通検査等と比して比較的長くなる。
【００８２】
しかしながら本実施形態においては、欠陥部の候補を適切に絞り込むことができるため、後工程のサーモ検査回数を減らすことができ、全体の検査時間を大幅に低減したり、検査回数を低減できるという格別な相乗効果を奏することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、実施形態１、２に加えて、さらに検出手段としてのサーモカメラ１０を備えることで、どのプローブ群間に短絡欠陥部があるかを特定する装置とサーモ検査装置を別装置とするよりも簡便な構成とすることができるという効果も期待できる。
【００８４】
ここで効果について補足すると、後工程の検査工程の内容によっては、検査時間のみ低減できる場合、検査回数のみ低減できる場合、又は検査時間及び検査回数の双方が低減できる場合の３通りが存在する。奏し得る効果は、後工程の内容又は方法で３通りの何れかとなるが、例えばサーモカメラで基板全体を一度に撮影できない場合は、欠陥部が絞り込めていることで、撮影回数を減らせるので、検査回数を減少させて検査時間も低減することが可能となる
以上が本発明の実施形態の説明であるが、本発明はこれら実施形態にのみ限定されないことは勿論である。例えば実施形態１において、プローブ５の個数は１６個としたが、本発明は、これに限定されるものではなく、プローブ５は、配線６の数以上であれば、いくつあってもよい。
【００８５】
また、図２中のＳ２６、２７では、欠陥があったプローブ群の負極側を扱ったが、本発明は、これに限定されるものではなく、正極側を扱ってもよいことは勿論である。
【００８６】
さらに本発明は、本来、相互に電気的に接続しないように設計された配線間に、短絡が生じているかを検査することのみならず、本来、相互に電気的に導通するように設計された配線間の、断線、細り等の不良を検出することにも用いることができる。
【００８７】
またさらに本発明において、制御部３や記憶部４は、集積回路（ＩＣチップ）上に形成された論理回路によってハードウェア的に実現していてもよいし、ＣＰＵ（central processing unit）を用いてソフトウェア的に実現してもよい。また、後者の場合、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ、制御プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、制御プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、制御プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶媒体などを備えている。
【００８８】
そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである制御プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ（microprocessor unit））が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【００８９】
記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ類、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ（compact disc read-only memory）／ＭＯ（magneto-optical）／ＭＤ（Mini Disc、登録商標）／ＤＶＤ（digital versatile disk）／ＣＤ−Ｒ（CD Recordable）等の光ディスクを含むディスク類、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード類、マスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ（erasable programmable read-only memory）／ＥＥＰＲＯＭ（electrically erasable and programmable read-only memory）／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ類、あるいはＰＬＤ（Programmable logic device）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の論理回路類などを用いることができる。
【００９０】
さらには上述した機能を実現するソフトウェアをインターネット、共有サーバーなどへアクセス可能となるようアップロードし、ユーザなどがソフトウェアをダウンロードし検査装置にインストールすることで本発明を実施することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明の検査装置、検査方法、検査プログラム及びプログラム記録媒体は、基板の検査に利用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
１  電気特性測定器
２  切換部
３  制御部
４  記憶部
５  プローブ
６  配線
７  基板
１００、４００、６００  検査装置
【図１】
2013104798.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2013104798.tif 000011
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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