(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス基材積層体の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材の損傷などを防ぐことができるガラス基材積層体を提供する。【解決手段】ガラス基材１１と、粘着層１２と、前記粘着層１２を介して前記ガラス基材１１に積層されたプラスチック基材１３とを備えているガラス基材積層体１０である。前記プラスチック基材１３にスリット１４が設けられたガラス基材積層体によって解決した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基材と、粘着層と、前記粘着層を介して前記ガラス基材に積層されたプラスチック基材とを備え、前記プラスチック基材にスリットが設けられていることを特徴とするガラス基材積層体。
【請求項２】
前記プラスチック基材のスリットが前記ガラス基材の長手方向に平行に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス基材積層体。
【請求項３】
前記ガラス基材の厚さが０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のガラス基材積層体
【請求項４】
前記ガラス基材の粘着層と接する側の面と反対側の面にパターンが設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３に記載のパターン付きガラス基材積層体。
【請求項５】
前記パターンがカラーフィルタであることを特徴とする請求項４に記載のパターン付きガラス基材積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基材積層体及びパターン付きガラス基材積層体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等にガラス基材が用いられている。近年、ガラス製造技術の進歩により、厚さが０．１ｍｍ程度又はそれ以下の薄ガラスが製造されている。このようなガラス基材は可撓性を有することから、ガラス基材上へのパターン形成にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。
【０００３】
しかし、このようなガラス基材は非常に脆く、フォトリソグラフィープロセスなどの製膜工程などを通した場合にガラス基材は破損し易く、膜形成やパターン形成が困難になるという問題がある。
【０００４】
この問題に対して、特許文献１においてガラスフィルム（ガラス基材）の一方の面に可撓性を有するプラスチック製などの支持シートを接着し、ガラスフィルムを保護するようなガラスフィルム積層体（ガラス基材積層体）を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２２８１６６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のようなガラスフィルム積層体では、ガラス基材と支持シートの物性、例えば熱収縮率、熱膨張率、吸湿膨張率等が異なるため、製膜工程などに含まれる加熱工程やウェット工程を流れる際にガラス基材と支持シートの寸法変化が発生する。これらの寸法変化はプラスチック製の支持シートの方が大きく、寸法変化により生じる支持シート内部の応力に逃げ場がないため、ガラスフィルム積層体がカールする、すなわち反りの問題を引き起こすおそれがある。また、上記のようなカールが発生すると、ガラスフィルム積層体の搬送時において、カールによりガラスフィルム積層体の端部の位置をセンサーが正確に検出できず、位置精度が悪化する問題、ニップや挟み込み時において、カールによりガラスフィルム積層体のニップや挟み込みの位置がずれたり、折れたりする問題等を引き起こすおそれがある。
【０００７】
上記問題を解決するために、本発明はカールが発生しにくいガラス基材積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ガラス基材と、粘着層と、前記粘着層を介して前記ガラス基材に積層されたプラスチック基材とを備え、前記プラスチック基材にスリットが設けられていることを特徴とするガラス基材積層体を提供する。
【０００９】
この発明によれば、ガラス基材積層体のプラスチック基材にスリットが設けられているため、ガラス基材積層体のカールの発生を防ぐことができる。そのため、ガラス基材積層体の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材の損傷などを防ぐことができる。
【００１０】
また、本発明のガラス基材積層体において、前記プラスチック基材のスリットが前記ガラス基材の長手方向に平行に配置されている、ようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明のガラス基材積層体において、前記ガラス基材の厚さが０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍである、ようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明のガラス基材積層体において、前記ガラス基材の粘着層と接する側の面と反対側の面にパターンを備える、ようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明のガラス基材積層体において、前記パターンがカラーフィルタである、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のガラス基材積層体によれば、プラスチック基材の寸法変化を低減することにより、ガラス基材積層体のカールの発生を防止することができる。また、ガラス基材積層体を搬送する際や製膜工程での不具合の発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るガラス基材積層体の一例を示す断面図である。
【図２】本発明に係るガラス基材積層体に生じるカールの原理を示す断面図である。
【図３】本発明に係るシート態様のプラスチック基材に設けられたスリットを示す平面図である。
【図４】本発明に係るロール態様のプラスチック基材に設けられたスリットを示す平面図である。
【図５】本発明に係るパターンが設けられたガラス基材積層体の一例を示す断面図である。
【図６】本発明に係るガラス基材積層体のカール量を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
１．ガラス基材積層体
以下、図１により、本発明のガラス基材積層体１０について説明する。図１に示すガラス基材積層体１０は、ガラス基材１１と、粘着層１２と、粘着層１２を介してガラス基材１１に積層されたプラスチック基材１３とを備えている。そして、プラスチック基材１３にはスリット１４が設けられている。
【００１７】
（１）ガラス基材
次に、ガラス基材１１について説明する。ガラス基材１１の材料としては、一般にディスプレイ用に用いられるソーダライムガラス、無アルカリガラス等を挙げることができる。中でも、無色で透明度が高く、線熱膨張係数が小さくて変形しにくいため無アルカリガラスを用いることが好ましい。
【００１８】
ガラス基材１１の厚さは、ガラス基材１１をロール状にできる程度の厚さであればよく、具体的には、一般的にガラス基材１１が可撓性を有する厚さ０．１ｍｍ以下であることが好ましい。特に、０．００５ｍｍ〜０．１ｍｍであることが好ましい。このようなガラス基材１１に後述するようなスリット１４が設けられたプラスチック基材１３を貼り合せることにより、ガラス基材積層体１０がカールすることを防ぐことができる。ガラス基材１１の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、ガラス基材１１の強度が著しく低下するため、後述のプラスチック基材１３と貼り合せる際、ガラス基材１１が破損しやすくなり、ガラス基材積層体１０の生産性が低下する。ガラス基材１１の厚さが０．１ｍｍを超える場合には、ガラス基材１１の強度が増すため、プラスチック基材１３によりガラス基材１１を支持する効果が小さくなる。
【００１９】
また、ガラス基材１１の面積は、特に制限はないが、シート状の場合は、例えば、２０ｃｍ2〜９００００ｃｍ2であることが好ましい。また、ロールｔｏロールプロセスで使用することが可能な長尺態様の場合は、例えば、幅は５ｃｍ〜２００ｃｍ、長さは３ｍ〜３０００ｍであることが好ましい。
【００２０】
ガラス基材１１は原理的には溶融したガラスが固化する温度より高い温度において溶融したガラスを引き延ばして作ることができ、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法等を挙げることができる
【００２１】
（２）粘着層
次に、粘着層１２について説明する。粘着層１２の材料としては、ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せることができるものであれば特に制限はなく、具体的には、アクリル系粘着剤、スチレン系粘着剤、シリコン系粘着剤等を挙げることができる。ここで、粘着層は、最終的にガラス基材１１から剥離できる層に限られず、ガラス基材１１から剥離せずにガラス基材１１に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。
【００２２】
また、粘着層１２の厚さは、０．００５ｍｍ〜０．２ｍｍであることが好ましい。粘着層１２をこの厚さの範囲にすることにより、ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せるために必要な粘着力を十分確保することができる。
【００２３】
粘着層１２の形成には特に制限はなく、ガラス基材１１の一方の面に形成してもよいし、プラスチック基材１３の一方の面に形成してもよい。また、塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を挙げることができる。
【００２４】
（３）プラスチック基材
次に、プラスチック基材１３について説明する。プラスチック基材１３の材料としては、特に制限はなく、汎用的なプラスチック基材を挙げることができる。具体的には、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ナイロン６６（６６Ｎ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（ＡＢＳ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等を挙げることができる。
【００２５】
プラスチック基材１３の厚さは、特に制限はないが、シート状の場合には０．００５ｍｍ〜２ｍｍの範囲が好ましい。プラスチック基材１３の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、プラスチック基材１３の強度が不十分で、ガラス基材１１を保護することができず、ガラス基材１１が破損するおそれがある。また、プラスチック基材１３の厚さが２ｍｍを超える場合には、プラスチック基材１３の可撓性が失われ、ガラス基材１１に応力が加わり、ガラス基材１１が破損する恐れがある。一方、長尺態様の場合には、０．００５ｍｍ〜０．２ｍｍの範囲がより好ましい。プラスチック基材１３の厚さが０．００５ｍｍ未満の場合には、プラスチック基材１３の強度が不十分で、ガラス基材１１を保護することができず、ガラス基材１１が破損するおそれがある。また、プラスチック基材１３の厚さが０．２ｍｍを超える場合には、ロールｔｏロールプロセスにおいて、ロール状に巻き取ることが困難になるという不具合が生じるおそれがある。
【００２６】
プラスチック基材１３の大きさは、ガラス基材１１の面積と同じ、またはガラス基材１１の面積よりも大きいプラスチック基材１３でガラス基材１１の一方の面を全面覆ってあることが好ましい。プラスチック基材１３がガラス基材１１の一方の面を全面覆うことができない部分があっても、ガラス基材１１を保護する機能を得ることはできるが、その場合、プラスチック基材１３がガラス基材１１の一方の面を全面覆うことができない部分は、ガラス基材１１の一方の面の面積の５％以内であることが好ましい。
【００２７】
本発明に用いられるプラスチック基材１３の製造方法は、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等を挙げることができる。
【００２８】
（４）スリット
次に、プラスチック基材１３に設けられているスリット１４について説明する。本発明においてスリットとは、プラスチック基材１３を貫通している開口部や切れ目のことをいう。ガラス基材１１とプラスチック基材１３を貼り合せることによりできたガラス基材積層体１０は、ガラス基材積層体１０を作製した後、加熱工程やウェット工程等が含まれる製膜工程に搬送される。ここで、加熱工程は、熱がガラス基材積層体１０に加えられる全ての工程を含み、例えば、乾燥、ポストベーク（焼成）、アニール（焼きなまし）等を挙げることができる。ウェット工程は、水がガラス基材積層体１０に接触する全ての工程を含み、例えば、洗浄工程、現像工程等を挙げることができる。
【００２９】
加熱工程やウェット工程における温度や湿度の変化により、ガラス基材積層体１０の寸法は変化する。また、加熱工程やウェット工程だけでなく、ガラス基材積層体１０が搬送される工程の環境の温度や湿度の変化によってもガラス基材積層体１０の寸法は変化する。このような寸法変化は、ガラス基材積層体１０を構成するガラス基材１１とプラスチック基材１３の物性、例えば、熱収縮率、熱膨張率、吸湿膨張率等により異なる。ガラス基材積層体１０において、ガラス基材１１よりもプラスチック基材１３の寸法変化が大きく、プラスチック基材１３の寸法変化によって生じるプラスチック基材１３内部の応力（図２中のＡ）の逃げ場が無いため、図２（a）、（ｂ）に示すように、ガラス基材積層体１０がカールするという不具合を生じるおそれがある。
【００３０】
ガラス基材積層体１０のプラスチック基材１３にスリット１４が設けられることにより、ガラス基材積層体１０が搬送される加熱工程、ウェット工程、環境等の温度や湿度の変化により生じるガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差をスリット１４が吸収する。すなわち、ガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差が生じて図２（a）、（ｂ）のようにカールするような場合には、スリット１４が変形して、プラスチック基材１３内部の応力Ａを緩和し、ガラス基材積層体１０がカールするという不具合の発生を防ぐことができる。そのため、ガラスフィルム積層体１０の搬送時における位置精度の悪化、ニップや挟み込み時における搬送不良、ガラス基材１１の損傷等を防ぐことができる。また、製膜工程においては、カールによりガラス基材積層体１０の平坦性が失われると、塗布工程では塗布膜厚が不均一になる問題、露光工程では露光装置ステージがガラス基材積層体１０を吸着できず装置のエラーが発生する問題、現像工程では現像液の分布が悪化することによる現像不良が発生する問題等を防ぐことができる。
【００３１】
プラスチック基材１３に設けられているスリット１４の形状については、上記応力を緩和する機能を発揮できるものであれば特に制限はなく、直線状のスリット１４（図３（ａ））や破線状のスリット１４（図３（ｂ））、多角形状または円形状、楕円形状等のスリット１４や十字形状等のスリット１４（図３（ｃ）〜図３（ｅ））等を挙げることができる。中でも、直線状のスリット１４や破線状のスリット１４を用いることがより好ましい。直線状のスリット１４や破線状のスリット１４は、プラスチック基材１３に切れ目を入れることのみで形成することができ、生産性に優れているためである。また、直線状のスリット１４や破線状のスリット１４は、ガラス基材１１がスリット１４から露出する面積を小さくすることができるため、ガラス基材積層体１０の強度の低下を防ぐことができる。また、図３（ａ）〜（ｅ）に示すように同一の形状のスリット１４がプラスチック基材１３に配置されてもよいし、２種類以上の形状のスリット１４を配置させてもよい。さらに、図３（ｃ）〜（ｅ）に示すようにプラスチック基材１３に配置されるスリット１４は、全て同じ大きさでもよいし、個々のスリット１４の大きさが異なっていてもよい。
【００３２】
スリット１４の形状が、図３（ｃ）〜図３（ｅ）に示すように、例えば、多角形状または円形状、楕円形状等のスリット１４の場合には、１つのスリット１４の面積は、ガラス基材積層体１０がカールすることを防ぐことができれば、特に制限はないが、１つのスリット１４の面積は１ｃｍ2以下が好ましい。１つのスリット１４の面積が１ｃｍ2よりも大きい場合は、スリット１４から露出するガラス基材１１の面積が大きくなり、プラスチック基材１３のガラス基材１１を保護する効果が低下し、ガラス基材１１が破損するおそれがあるためである。
【００３３】
プラスチック基材１３に形成されるスリット１４の数については、特に制限は無いが、通常、複数のスリット１４が用いられる。また、プラスチック基材１３に形成したスリット１４の総面積は、粘着層１２と接する側のガラス基材１１の面積の１０％以下であることが好ましい。上記面積比が１０％を超える場合は、プラスチック基材１３のガラス基材１１を保護する効果が低下し、ガラス基材１１が破損するおそれがあるためである。
【００３４】
特に、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、ガラス基材積層体１０がロールｔｏロールプロセスに適用できる長尺態様の場合には、スリット１４は長手方向に平行に配置されることが好ましい。また、スリット１４が長手方向に平行に配置される態様としては、図４（ｃ）に示すように、個々のスリット１４は長手方向に対して傾斜して設けられている場合であっても、スリット１４が全体として長手方向に平行に配置されていればよい。ここで、長手方向とはガラス基材１１やプラスチック基材１３の長辺方向のことをいい、シート状の場合であっても同様である。ロールｔｏロールプロセスの場合、ガラス基材積層体１０は長手方向に張力がかけられているため、ガラス基材積層体１０の長手方向にカールが発生しにくくなる。一方、ガラス基材積層体１０の長手方向に垂直な幅方向には張力がかけられていないので、長手方向よりもカールが発生しやすくなる。ガラス基材積層体１０の長手方向に平行な方向にスリット１４を設けることでガラス基材積層体１０が幅方向にカールするのを防ぐことができる。
【００３５】
プラスチック基材１３に形成されるスリット１４は、後述するパターンが形成される領域から外れた領域に形成されていればよく、特にプラスチック基材１３の長手方向に垂直な幅方向のプラスチック基材１３の長さに対して、１％〜１０％の長さだけプラスチック基材１３の端部より内側に形成されることが好ましい。
【００３６】
プラスチック基材１３に設けられているスリット１４の形成方法は、カッター等により切れ込みを入れる方法やスリットの形状に加工したカッター等によりプラスチック基材１３をりくり抜いて作製する方法等を挙げることができる。スリット１４は、プラスチック基材１３に設けられてあればよく、粘着層１２にもスリット１４が設けられていても、設けられていなくてもよい。
【００３７】
（５）パターン付きガラス基材積層体
パターン付きガラス基材積層体２０は、図５に示すように、ガラス基材積層体１０においてガラス基材１１の粘着層１２と接する側の面と反対側の面にパターン１５が設けられている。具体的なパターン１５としては、樹脂層、電極配線等の金属層、絶縁層等を設けることができる。
【００３８】
本発明のパターン付きガラス基材積層体２０のパターン１５がカラーフィルタである場合には、パターン付きガラス基材積層体２０のカールを防ぐことで、例えば、パターン１５として着色層を塗工する際にムラが生じて色が不均一になる問題や、精度良くパターンが露光されないことによる着色パターン同士のアライメント不良の問題を解決することができる。
【００３９】
２．ガラス基材積層体の製造方法
本発明に係るガラス基材積層体１０の製造方法は、ガラス基材１１を準備する工程と、粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられているプラスチック基材１３を準備する工程と、ガラス基材１１とプラスチック基材１３とを粘着層１２を介して貼り合せる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラス基材積層体１０をロールｔｏロールプロセスにて製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラス基材積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。
【００４０】
以下、長尺態様のガラス基材積層体１０の製造方法について、各工程を詳細に説明する。
【００４１】
ガラス基材１１を準備する工程としては、前述したガラス基材１１の製造方法によりできたガラス基材１１はロール状に巻き取られ、ガラス基材ロールとして、ラミネーター等の貼合装置に取り付けられる。
【００４２】
粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられているプラスチック基材１３を準備する工程としては、粘着層１２が一方の面に設けられ、かつスリット１４が設けられたプラスチック基材１３は、粘着層１２が半径方向外側を向いて配置されるようにロール状に巻き取られ、粘着層及びスリットが設けられたプラスチック基材ロールとしてラミネーター等の貼合装置に取り付けられる。また、プラスチック基材１３の製造方法、プラスチック基材１３の一方の面に粘着層１２を形成する方法、プラスチック基材１３にスリット１４を設ける方法ついては、前述の通りである。
【００４３】
ガラス基材１１とプラスチック基材１３とを粘着層１２を介して貼り合せる工程としては、ラミネーター等の貼合装置に取り付けられたガラス基材ロールとプラスチック基材ロールから繰り出された、ガラス基材１１とプラスチック基材１３は搬送され、ニップローラ等により粘着層１２を介して貼り合わされる。
【００４４】
貼り合わされたガラス基材積層体１０は巻き取られ、ロール状のガラス基材積層体１０となる。
【００４５】
この製造方法で製造されたガラス基材積層体１０は、温度や湿度の変化による生じるガラス基材１１とプラスチック基材１３の寸法変化の差をプラスチック基材１３に設けられたスリット１４が緩和することで、ガラス基材積層体１０を搬送等した際にカールが発生するとういう不具合を防ぐことができる。
【実施例】
【００４６】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例と比較例では、ガラス基材積層体１０を製造した。
【００４７】
（実施例１）
ガラス基材１１として、厚さ０．０７ｍｍ、幅１００ｍｍ、長さ１００ｍｍのシート状のガラス基材１１（日本電気硝子製ＯＡ−１０Ｇ）を準備した。また、粘着層１２及びプラスチック基材１３として、厚さ０．０６ｍｍ、幅１５０ｍｍ、長さ１００ｍｍのシート状の粘着層付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材（日東電工製ＲＴ２０７）を準備した。カッターを用いて、粘着層１２付きプラスチック基材１３の幅方向に平行に、長さ１３０ｍｍのスリット１４を粘着層１２付きプラスチック基材１３の両端にそれぞれ５ｍｍ間隔で３本形成した（図３（ａ））。
【００４８】
次に、ハンドローラーを用いて、ガラス基材１１とスリット１４を形成した粘着層１２付きプラスチック基材１３をラミネートした。ガラス基材１１よりはみ出した粘着層１２付きプラスチック基材１３を切除し、ガラス基材積層体１０を作製した。なお、貼り合せの方向は、ハンドローラーの進行方向に対して、粘着層１２付きプラスチック基材１３は長辺（１５０ｍｍ）方向が垂直になるよう配置した。
【００４９】
次に、貼り合せたガラス基材積層体１０をクリーンオーブン（エスペック製ＰＶＨＣ−３３２）にて２００℃×１５分加熱し、その後、空気中において放冷してガラス基材積層体１０を作製した（サンプル１）。
【００５０】
（比較例１）
実施例１において、スリット１４を形成しないこと以外は実施例１と同様にして、ガラス基材積層体１０を作製した（サンプル２）。
【００５１】
（評価）
ガラス基材積層体１０を室温（２５℃）まで冷却した後、ガラス面を凸側にカールしたサンプル１及びサンプル２のカール量を比較した。図６に示すように、カール量は、平坦な机の上にガラス基材積層体１０が上に凸の状態になるように置き、平坦な机とガラス基材積層体１０の辺の浮いた距離Ｌを定規により測定した。測定の結果、サンプル１のカール量は１３ｍｍであったのに対し、サンプル２のカール量は１６ｍｍであった。スリット１４が形成されているガラス基材積層体１０（サンプル１）のカール量が低減したことを確認した。
（実施例２）
【００５２】
ガラス基材１１として、厚さ０．０７ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのロール状のガラス基材１１（日本電気硝子製ＯＡ−１０Ｇ）を準備した。また、粘着層１２及びプラスチック基材１３として、厚さ０．０６ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍのロール状の粘着層１２付きポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）基材（日東電工製ＲＴ２０７）を準備した。スリッター（ＤＮＫ製ＲＭ０３０３ＴＫ）を用いて、プラスチック基材１３の粘着層１２が形成されていない側の面に長さ３００ｍｍのスリット１４を１０ｍｍ間隔で破線状に長さ方向と平行になるようにプラスチック基材１３の両端に３本ずつ形成した（図４（ａ））。
【００５３】
次に、ラミネーター（ＤＮＫ製ＬＭ−２０３−ＳＢ）を用いて、ガラス基材１１とスリット１４を形成した粘着層１２付きプラスチック基材１３をラミネートし、ガラス基材積層体１０を作製した。
【００５４】
次に、貼り合せたガラス基材積層体１０をクリーンオーブン（エスペック製ＰＶＨＣ−３３２）にて２００℃×１５分加熱し、その後、空気中において放冷してガラス基材積層体１０を作製した（サンプル３）。
【００５５】
（比較例２）
実施例２において、スリット１４を形成しないこと以外は実施例２と同様にして、ガラス基材積層体１０を作製した（サンプル４）。
【００５６】
（評価）
ガラス基材積層体１０を室温（２５℃）まで冷却した後、ロールｔｏロールマスク露光装置（ＤＮＫ製）にてフォトマスク露光の工程を実施したところ、サンプル３は不具合なく、露光ステージに吸着され、露光工程を行うことができた。一方、サンプル４は、幅方向（３００ｍｍの方向）のカール量が大きいため、露光ステージに吸着することができず、露光工程を行うことができなかった。
【符号の説明】
【００５７】
１０  ガラス基材積層体
１１  ガラス基材
１２  粘着層
１３  プラスチック基材
１４  スリット
１５  パターン
２０  パターン付きガラス基材積層体
【図１】
2013075394.tif 000003
【図２】
2013075394.tif 000004
【図３】
2013075394.tif 000005
【図４】
2013075394.tif 000006
【図５】
2013075394.tif 000007
【図６】
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