(57)【要約】【課題】容易、且つ確実に取り付けることができると共に、製造コストを低減できる液体噴射ヘッド用のフィルタを提供する。【解決手段】第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２を積層してなり、供給されるインクを濾過するための液体噴射ヘッド用のフィルタ１０であって、各金属プレート１１，１２に、それぞれ厚さ方向に貫通するフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを複数形成すると共に、これらフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを法線方向で重ならないように配置し、互いに重なり合う金属プレート１１，１２の合わせ面のうち、少なくとも一方の合わせ面に、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂを連通させるための連通溝１６が形成されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプレートを積層してなり、供給される液体を濾過するための液体噴射ヘッド用のフィルタであって、
各プレートに、それぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔を複数形成すると共に、これら貫通孔を法線方向で重ならないように配置し、
互いに重なり合う前記プレートの合わせ面のうち、少なくとも一方の合わせ面に、各貫通孔を連通させるための凹部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項２】
前記凹部は、面方向で隣接する前記貫通孔同士を連通するように形成された連通溝であって、この連通溝の法線方向に他の前記プレートの前記貫通孔が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項３】
互いに重なり合う前記プレートの合わせ面のうち、一方の合わせ面にのみ前記凹部を形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項４】
互いに重なり合う前記プレートの両方の合わせ面に、それぞれ前記凹部を形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項５】
前記複数のプレートのうち、少なくとも１つのプレートに形成されている前記貫通孔は、前記液体の通流方向下流側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項６】
各プレートに形成された貫通孔は、前記液体の通流方向下流側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする請求項５に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項７】
２つの前記プレートを互いに重ね合せて構成し、
これら２つの前記プレートのうち、少なくとも一方のプレートに形成された前記貫通孔は、各プレートの合わせ面側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項８】
各プレートに形成された前記貫通孔は、各プレートの合わせ面側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタ。
【請求項９】
請求項１に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタを備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項９に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する液体収容体と、
前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管とを備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録する液体噴射ヘッド用のフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、インクタンクからインク（液体）が供給されるインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）はヘッドチップを有している。そして、このヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録が行われるようになっている。
ここで、例えばノズル孔にインクが固化することにより形成される異物等が浸入し、ノズル孔の詰まりによるインクの吐出不良が生じる場合がある。このため、できる限りインクジェットヘッドのインク供給口の近傍に、フィルタを設けることが望ましい。フィルタは、金属糸を織り込むことにより形成されているものが多い。
【０００３】
また、インク供給口を微細な複数の貫通孔からなるフィルタ構造とし、インクの吐出不良を防止する技術が開示されている。微細な複数の貫通孔は、異方性エッチング技術を利用することにより形成される。また、貫通孔の孔径を微細なものとするために、複数の貫通孔をそれぞれ屈曲形成させている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６２３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の従来技術にあっては、金属糸を織り込むことにより形成されるフィルタは平坦度が低いので、例えばフィルタを接着等により取り付ける場合、接着面に対してフィルタが浮いてしまう部分が生じ、フィルタの機能を十分に発揮できなくなってしまうという課題がある。
また、上述の特許文献１にあっては、インク供給口に微細な複数の貫通孔を形成するにあたって異方性エッチング技術を利用しているが、貫通孔の孔径を、異物が貫通孔を通過不可能な程度の大きさに設定するには、貫通孔を高精度に形成する必要がある。このため、製造コストが嵩むという課題がある。
【０００６】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、容易、且つ確実に取り付けることができると共に、製造コストを低減できる液体噴射ヘッド用のフィルタを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、複数のプレートを積層してなり、供給される液体を濾過するための液体噴射ヘッド用のフィルタであって、各プレートに、それぞれ厚さ方向に貫通する貫通孔を複数形成すると共に、これら貫通孔を法線方向で重ならないように配置し、互いに重なり合う前記プレートの合わせ面のうち、少なくとも一方の合わせ面に、各貫通孔を連通させるための凹部が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
このように、プレートを積層することによりフィルタを形成するので、平坦度を高めることができ、接着面に確実にフィルタを固着させることができる。
また、合わせ面に形成される凹部の深さを管理するだけで液体内に含まれる異物の通過を阻害することができるので、従来と比較して製造コストを低減することができる。
【０００９】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、前記凹部は、面方向で隣接する前記貫通孔同士を連通するように形成された連通溝であって、この連通溝の法線方向に他の前記プレートの前記貫通孔が配置されていることを特徴とする。
【００１０】
このように構成することで、フィルタを通過する液体の流路を十分確保することが可能になり、フィルタの濾過性能を高めることができる。
【００１１】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、互いに重なり合う前記プレートの合わせ面のうち、一方の合わせ面にのみ前記凹部を形成したことを特徴とする。
【００１２】
このように構成することで、凹部が形成されている部分のプレート間の隙間管理を容易に行うことが可能になる。このため、安価で濾過性能の高いフィルタを提供することができる。
【００１３】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、互いに重なり合う前記プレートの両方の合わせ面に、それぞれ前記凹部を形成したことを特徴とする。
【００１４】
このように構成することで、各プレートの形状を統一でき、製造コストを低減することが可能になる。
【００１５】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、前記複数のプレートのうち、少なくとも１つのプレートに形成されている前記貫通孔は、前記液体の通流方向下流側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする。
【００１６】
このように構成することで、フィルタを通過する液体の圧損を低減でき、液体の流速を十分確保することができる。
【００１７】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、各プレートに形成された貫通孔は、前記液体の通流方向下流側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする。
このように構成することで、より確実に液体の流速を十分確保することができる。
【００１８】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、２つの前記プレートを互いに重ね合せて構成し、これら２つの前記プレートのうち、少なくとも一方のプレートに形成された前記貫通孔は、各プレートの合わせ面側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする。
【００１９】
このように構成することで、１つのプレートに形成される各貫通孔の面方向のピッチ間隔を狭めても、隣接する貫通孔間の距離を十分確保することができる。このため、高い濾過性能を確保しつつ、省スペースに多くの貫通孔を形成することにより、液体の圧損を低減することが可能になる。
【００２０】
本発明に係る液体噴射ヘッド用のフィルタは、各プレートに形成された前記貫通孔は、各プレートの合わせ面側に向かうに従って漸次縮径するように形成されていることを特徴とする。
このように構成することで、１つのプレートに形成される各貫通孔の面方向のピッチ間隔を狭めても、隣接する貫通孔間の距離をさらに確実に十分確保することができる。このため、液体の圧損をさらに低減することが可能になる。
【００２１】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、請求項１に記載の液体噴射ヘッド用のフィルタを備えていることを特徴とする。
このように構成することで、製造コストを低減できる液体噴射ヘッドを提供できる。
【００２２】
本発明に係る液体噴射記録装置は、請求項９に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体を収容する液体収容体と、前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管とを備えたことを特徴とする。
このように構成することで、組立性を向上させ、製造コストを低減できる液体噴射記録装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、プレートを積層することによりフィルタを形成するので、平坦度を高めることができ、接着面に確実にフィルタを固着させることができる。
また、合わせ面に形成される凹部の深さを管理するだけで液体内に含まれる異物の通過を阻害することができるので、従来と比較して製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態における液体噴射ヘッドの一部破断斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態における液体噴射ヘッドチップの分解斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態における液体噴射ヘッドチップの一部を拡大した分解斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態におけるフィルタの平面図である。
【図６】図５のＡ部拡大図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図８】図６のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態におけるフィルタの作用説明図である。
【図１０】本発明の第２実施形態におけるフィルタの平面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態におけるフィルタの断面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態におけるフィルタの断面図である。
【図１３】本発明の第５実施形態におけるフィルタの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
（第１実施形態）
（液体噴射記録装置）
次に、この発明の第１実施形態を図１〜図９に基づいて説明する。
図１は、液体噴射記録装置１の斜視図である。
液体噴射記録装置１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２、３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と略直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段６とを備えている。
以下、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向およびＹ方向にともに直交する方向をＺ方向として説明する。
【００２６】
一対の搬送機構２、３は、それぞれ副走査方向に延びて設けられたグリッドローラ２０，３０と、グリッドローラ２０，３０のそれぞれに平行に延びるピンチローラ２１，３１と、詳細は図示しないがグリッドローラ２０，３０を軸回りに回転動作させるモータ等の駆動機構とを備えている。
【００２７】
液体供給手段５は、インクが収容された液体収容体５０と、液体収容体５０と液体噴射ヘッド４とを接続する液体供給管５１とを備えている。液体収容体５０は、複数設けられており、具体的には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク５０Ｙ，５０Ｍ，５０Ｃ，５０Ｂが並べて設けられている。インクタンク５０Ｙ，５０Ｍ，５０Ｃ，５０ＢのそれぞれにはポンプモータＭが設けられており、インクを液体供給管５１を通じて液体噴射ヘッド４へ押圧移動できる。液体供給管５１は、液体噴射ヘッド４（キャリッジユニット６２）の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースからなる。
尚、液体収容体５０は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク５０Ｙ，５０Ｍ，５０Ｃ，５０Ｂに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。
【００２８】
走査手段６は、副走査方向に延びて設けられた一対のガイドレール６０，６１と、一対のガイドレール６０，６１に沿って摺動可能なキャリッジユニット６２と、キャリッジユニット６２を副走査方向に移動させる駆動機構６３とを備えている。駆動機構６３は、一対のガイドレール６０，６１の間に配設された一対のプーリ６４，６５と、一対のプーリ６４，６５間に巻回された無端ベルト６６と、一方のプーリ６４を回転駆動させる駆動モータ６７とを備えている。
【００２９】
一対のプーリ６４，６５は、一対のガイドレール６０，６１の両端部間にそれぞれ配設されており、副走査方向に間隔をあけて配置されている。無端ベルト６６は、一対のガイドレール６０，６１間に配設されており、この無端ベルト６６に、キャリッジユニット６２が連結されている。キャリッジユニット６２の基端部６２ａには、複数の液体噴射ヘッド４が搭載されている。具体的には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクに個別に対応する液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが副走査方向に並んで搭載されている。
【００３０】
（液体噴射ヘッド）
図２は、液体噴射ヘッド４の一部破断斜視図である。
同図に示すように、液体噴射ヘッド４は、被記録媒体Ｓ（図１参照）に対してインク滴を噴射する噴射部７０と、噴射部７０と電気的に接続された制御回路基板８０と、噴射部７０と液体供給管５１との間に、それぞれ接続部９３，９４を介して介在された圧力緩衝器９０とをベース４１，４２上に備えている。圧力緩衝器９０は、液体供給管５１から噴射部７０へインクの圧力変動を緩衝しながら通流させるためのものである。尚、ベース４１，４２は一体成形とされていても構わない。
【００３１】
噴射部７０は、圧力緩衝器９０に接続部７２を介して接続された流路基板７１と、電圧が印加されることにより、インクを液滴として被記録媒体Ｓへと噴射させる液体噴射ヘッドチップ７３と、液体噴射ヘッドチップ７３と制御回路基板８０とに電気的に接続され液体噴射ヘッドチップ７３に駆動信号を伝送するためのフレキシブル配線７４とを備えている。
制御回路基板８０は、液体噴射記録装置１の本体制御部（不図示）からのピクセルデータ等の信号に基づいて液体噴射ヘッドチップ７３の駆動パルスを生成する制御手段８０ａを備えている。
【００３２】
図３は、液体噴射ヘッドチップ７３の分解斜視図、図４は、液体噴射ヘッドチップ７３の一部を拡大した分解斜視図である。
図３、図４に示すように、液体噴射ヘッドチップ７３は、略長方形状の圧電アクチュエータ７５を備えている。圧電アクチュエータ７５は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなるものである。圧電アクチュエータ７５は、この上面に短手方向に延びる長溝７６を有している。長溝７６は、横断面が矩形状に形成されており、圧電アクチュエータ７５の長手方向の全長に亘って複数並設されている。すなわち、長溝７６は、側壁７７によってそれぞれ区分けされている。
【００３３】
長溝７６の底面は、圧電アクチュエータ７５の前方側から短手方向の略中央部まで延びる前方平坦面７５ａと、この前方平坦面７５ａの後部から後方側に向かって深さが漸次浅くなるような傾斜面７５ｂと、この傾斜面７５ｂの後部から後方側に向かって延びる後方平坦面７５ｃとで構成されている。なお、長溝７６の後端部は、不図示の封止部により封止されている。
【００３４】
長溝７６内には、板状に延びる駆動電極部７８が設けられている。すなわち、側壁７７の両主面の上端部寄りにそれぞれ駆動電極部７８が蒸着により設けられている。この駆動電極部７８が、フレキシブル配線７４を介して制御回路基板８０に電気的に接続されることにより、制御回路基板８０から液体噴射ヘッドチップ７３に駆動信号が入力される。
また、圧電アクチュエータ７５の前端面７５ｄには、ポリイミドなどからなるノズルプレート８１が設けられている。ノズルプレート８１の一方の主面は、圧電アクチュエータ７５への接合面とされ、他方の主面には、インクの付着等を防止するための撥水性や親水性を有する撥水膜が塗布されている。
【００３５】
また、ノズルプレート８１には、その長手方向に所定の間隔（長溝７６のピッチと同等の間隔）を空けて複数のノズル開口部８１ａが形成されている。ノズル開口部８１ａは、ポリイミドフィルムなどのノズルプレート８１に、例えば、エキシマレーザ装置を用いて形成される。これらノズル開口部８１ａは、それぞれ長溝７６に一致して配置されている。
さらに、圧電アクチュエータ７５の上面には、長方形状のカバープレート８２が設けられている。カバープレート８２の短手方向の長さ寸法は、圧電アクチュエータ７５の短手方向の長さ寸法よりも短く設定されている。そして、カバープレート８２の前端面８２ａと、圧電アクチュエータ７５の前端面７５ｄとは面一になっている。
【００３６】
カバープレート８２には、その長手方向に延びる矩形状の開口部８３が形成されている。この開口部８３は、圧電アクチュエータ７５の長手方向の全体の長溝７６に亘って延ばされている。すなわち、全ての長溝７６が開口部８３を介して外方に開放され、開口部８３によって各長溝７６がそれぞれ連通した状態になっている。また、圧電アクチュエータ７５とカバープレート８２を接合したものに、ノズルプレート８１が接合される。さらにノズルプレート８１を支持するノズル支持プレート８４が接合され、液体噴射ヘッドチップ７３を構成している。
【００３７】
このような構成のもと、圧力緩衝器９０内の貯留室から、接続部７２，９４を介して所定量のインクが流路基板７１に供給される。また、流路基板７１は、液体噴射ヘッドチップ７３の開口部８３と連通しており、接続部７２，９４から開口部８３へとインクを行き渡らせることができる構造になっている。これにより、開口部８３を介して長溝７６内にインクが送り込まれる。すなわち、長溝７６はインクが充填されるインク室として機能する一方、流路基板７１は、各長溝７６をそれぞれ連通させる共通インク室として機能する。
そして、駆動電極部７８に駆動電圧を印加すると圧電厚み滑り効果により長溝７６の側壁７７が変形する。これにより、長溝７６の容積が減少して長溝７６内の圧力が増加するので、ノズルプレート８１のノズル開口部８１ａからインク滴が吐出される。
【００３８】
ここで、カバープレート８２の開口部８３には、この開口部８３の中央に向かって突出するように段差部８３ａが全周に亘って形成されている。そして、カバープレート８２には、開口部８３を閉塞するようにフィルタ１０が設けられている。フィルタ１０は、この外周縁が開口部８３の段差部８３ａに接着固定されており、長溝７６にインク内に含まれる異物が浸入してしまうのを防止できるようになっている。
【００３９】
（フィルタ）
図５は、フィルタ１０の平面図、図６は、図５のＡ部拡大図、図７は、図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図、図８は、図６のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
図５〜図８に示すように、フィルタ１０は、例えばステンレス等により形成された第１金属プレート１１、及び第２金属プレート１２の２枚の金属プレート１１，１２を積層してなる。
【００４０】
各金属プレート１１，１２は、カバープレート８２の開口部８３の形状に対応するように、カバープレート８２の長手方向に長い矩形状に形成されたものであって、長手方向に沿って延在するフィルタ本体部１３と、このフィルタ本体部１３の外周縁に設けられた接着部１４とが一体成形されている。各金属プレート１１，１２の肉厚ｔは、例えば、約３０μｍ程度に設定されている。しかしながら、肉厚ｔは、約３０μｍ程度に設定される場合に限られるものではない。
【００４１】
各金属プレート１１，１２のフィルタ本体部１３には、それぞれ厚さ方向に貫通するフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂが複数形成されている。各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂは、それぞれ金属プレート１１，１２に、その長手方向に対して交差する直線Ｌ１を、互いに平行となるように複数並列させるように引いたとき、これら直線Ｌ１に沿うように配置されている。
また、第１金属プレート１１に形成されているフィルタ用貫通孔１５ａと、第２金属プレート１２に形成されているフィルタ用貫通孔１５ｂは、互いに法線方向で重ならないように配置されている。つまり、フィルタ１０を正面からみたとき、同一の直線Ｌ１上においては、フィルタ用貫通孔１５ａとフィルタ用貫通孔１５ｂは、それぞれ交互に配置され、且つ互いに重ならないように配置された状態になっている。
【００４２】
また、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂの孔径φ１は、例えば、約４６μｍ程度に設定されている。しかしながら、孔径φ１は、約４６μｍ程度に設定される場合に限られるものではない。
さらに、第１金属プレート１１に形成されているフィルタ用貫通孔１５ａは、それぞれのピッチ間隔Ｐ１が、例えば、約１３２μｍ程度に設定されている。同様に、第２金属プレート１２に形成されているフィルタ用貫通孔１５ｂは、それぞれのピッチ間隔Ｐ２が、例えば、約１３２μｍ程度に設定されている。そして、第１金属プレート１１に形成されているフィルタ用貫通孔１５ａと、第２金属プレート１２に形成されているフィルタ用貫通孔１５ｂとのピッチ間隔Ｐ３は、例えば、約６６μｍ程度に設定されている。すなわち、フィルタ１０を正面からみたとき、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂは、それぞれ等間隔に配置された状態になっている。
尚、ピッチ間隔Ｐ１、ピッチ間隔Ｐ２、及びピッチ間隔Ｐ３は、上述の値に限られるものではなく、任意に設定することが可能である。
【００４３】
また、第１金属プレート１１の第２金属プレート１２との合わせ面１１ａには、面方向で隣接するフィルタ用貫通孔１５ａ同士を連通する連通溝１６が格子状に形成されている。したがって、連通溝１６の法線方向に第２金属プレート１２に形成されているフィルタ用貫通孔１５ｂが配置された状態になっている。
【００４４】
連通溝１６の溝深さｈは、例えば、約８μｍ程度に設定されている。しかしながら、溝深さｈは、約８μｍ程度に設定される場合に限られるものではない。
そして、連通溝１６が格子状に形成されることにより、第１金属プレート１１には、隣接するフィルタ用貫通孔１５ａの間に断面略菱形状の支持柱１７が形成される。この支持柱１７により、第１金属プレート１１の連通溝１６が形成されている箇所が撓むことなく、第１金属プレート１１と第２金属プレート１２との間の連通溝１６の溝深さｈが適正に維持される。
【００４５】
一方、金属プレート１１，１２の接着部１４には、それぞれ厚さ方向に貫通する接着用貫通孔１８ａ，１８ｂが複数形成されている。各接着用貫通孔１８ａ，１８ｂは、それぞれ金属プレート１１，１２の長手方向、及び短手方向に沿うように等間隔に配置されている。また、各接着用貫通孔１８ａ，１８ｂは同軸上に配置されており、接着用貫通孔１８ａ，１８ｂ同士が軸方向に連通した状態になっている。
また、各接着用貫通孔１８ａ，１８ｂの孔径φ２は、例えば、約６０μｍ程度に設定されている。さらに、各接着用貫通孔１８ａ，１８ｂのピッチ間隔Ｐ４は、例えば、約９０μｍ程度に設定されている。しかしながら、孔径φ２は、約６０μｍ程度に設定される場合に限られるものではなく、また、ピッチ間隔Ｐ４は、約９０μｍ程度に設定される場合に限られるものではない。
【００４６】
（フィルタの製造方法）
続いて、フィルタの製造方法について説明する。
まず、第１金属プレート１１に、エッチング等によりフィルタ用貫通孔１５ａ、及び接着用貫通孔１８ａを形成し、その後、連通溝１６を形成する。また、第２金属プレート１２に、エッチング等によりフィルタ用貫通孔１５ｂ、及び接着用貫通孔１８ｂを形成する。この後、第１金属プレート１１の合わせ面１１ａと、第２金属プレート１２の合わせ面１２ａとを重ね合わせるように積層し、これら金属プレート１１，１２同士を熱拡散接合により接合する。
尚、熱拡散接合とは、金属部材同士を接触させ荷重をかけた状態で、各部材に熱（例えば、約９００度程度）を加えることにより接合する接合方法である。これは、金属同士の界面において、互いの分子同士が接合して部材同士が接合されるため、板状の部材同士を、密閉性を維持しながら接合する場合に適している。
【００４７】
（フィルタの作用）
次に、図３、図６、図８、図９に基づいて、フィルタ１０の作用について説明する。
図９は、フィルタ１０の作用説明図であって、図７に対応している。
まず、図３、図８に示すように、液体噴射ヘッドチップ７３の開口部８３にフィルタ１０を取り付ける。このとき、開口部８３の段差部８３ａに接着剤を塗布し、この上からフィルタ１０の接着部１４を載置する。フィルタ１０は、２枚の金属プレート１１，１２を積層したものなので平坦度が高く、段差部８３ａに接着部１４全体を密接させることができる。
【００４８】
また、接着部１４には、複数の接着用貫通孔１８ａ，１８ｂが形成されているので、これら接着用貫通孔１８ａ，１８ｂに接着剤が入り込み、後に硬化することで、接着部１４と段差部８３ａとの接着性を高めている。また、接着用貫通孔１８ａ，１８ｂが接着剤により満たされ、金属プレート１１の図面平面視上面に溢れ出すように、段差部８３ａに接着剤を塗布して、さらに接着性を高めることも可能である。このため、接着部１４全体が接着剤で充たされ、液体噴射ヘッドチップ７３に対するフィルタ１０の固着力が高まる。
【００４９】
また、接着用貫通孔１８ａ，１８ｂ，１８ｃから接着剤が溢れ出すことにより、接着部１４と段差部８３ａとの間の隙間が埋まっているか否かが確認できる。ここで、接着部１４と段差部８３ａとの間に隙間が生じている場合、この隙間から塵埃が浸入してしまう虞があるが、接着部１４と段差部８３ａとの間の隙間が埋まることによって、塵埃の浸入を防止できる。
【００５０】
尚、上述の第１実施形態では、カバープレート８２をセラミックなどの材質で構成するように検討したため、接着剤を使用してフィルタ１０を接合することとしたが、本来その接合方法は接着剤の使用に限定されるものではない。例えば、フィルタ１０が接合される対象が溶融性の高いプラスチックのような樹脂材料で形成される場合は、当該対象を溶融しフィルタ１０と接合することも可能である。本実施形態で示した流路基板７１などは、樹脂材料で形成されることが多いため、流路基板７１を溶融してフィルタ１０を取り付けることが可能である。もちろん、より強固な接合を目的として、溶融接合した後に、接着剤でさらに接着することも可能である。
【００５１】
ここで、フィルタ１０は、特に表裏面を問わないが、以下の説明においては、圧電アクチュエータ７５側に第２金属プレート１２を向けた状態でフィルタ１０を接着固定した場合について説明する。
図９に示すように、上述のように取り付けられたフィルタ１０を介し、液体噴射ヘッドチップ７３の長溝７６にインクが充填されるとき、インクは、フィルタ１０のフィルタ用貫通孔１５ａに導かれ（矢印Ｙ１参照）、連通溝１６を通る（矢印Ｙ２参照）。その後、フィルタ用貫通孔１５ｂを介して圧電アクチュエータ７５の長溝７６にインクが充填される（矢印Ｙ３参照）。
【００５２】
このとき、連通溝１６の溝深さｈよりも大きい異物は連通溝１６を通過することができず、フィルタ用貫通孔１５ａに留まる。この第１実施形態では、連通溝１６の溝深さｈは、例えば、約８μｍ程度に設定されているので、これよりも大きい異物はフィルタ１０を通過することができず、インクが濾過される。
【００５３】
（効果）
したがって、上述の第１実施形態によれば、フィルタ１０は、２枚の金属プレート１１，１２を積層したものなので平坦度が高く、段差部８３ａに接着部１４全体を密接させることができる。このため、液体噴射ヘッドチップ７３に確実にフィルタ１０を接着固定させることができる。
また、第１金属プレート１１に形成される連通溝１６の溝深さｈを管理するだけでインク内に含まれる異物通過を阻害することができるので、従来と比較してフィルタ１０の製造コストを低減することができる。
【００５４】
さらに、第１金属プレート１１にのみ連通溝１６を形成しているので、連通溝１６が形成されている部分の金属プレート１１，１２間の隙間管理を容易に行うことが可能になる。このため、安価で濾過性能の高いフィルタ１０を提供することができる。
そして、図６に示すように、連通溝１６は格子状に形成されているので、１つのフィルタ用貫通孔１５ａに導かれたインクが連通溝１６に通流されるとき、四方全体に亘って通流される。このため、インクの圧損が小さく、十分な流速を確保することができる。
【００５５】
また、各フィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂは、それぞれ金属プレート１１，１２に、その長手方向に対して交差する直線Ｌ１を、互いに平行となるように複数並列させるように引いたとき、これら直線Ｌ１に沿うように配置されていると共に、フィルタ１０を正面からみたとき、同一の直線Ｌ１上においては、フィルタ用貫通孔１５ａとフィルタ用貫通孔１５ｂは、それぞれ交互に配置され、且つ互いに重ならないように配置されている。このため、第１金属プレート１１のフィルタ用貫通孔１５ａと、第２金属プレート１２のフィルタ用貫通孔１５ｂとのピッチ間隔Ｐ３（図７参照）を大きく確保することができる。よって、フィルタ１０を通るインクの通流経路が長く設定され、フィルタ１０の濾過性能を高めることができる。
【００５６】
（第２実施形態）
次に、この発明の第２実施形態を図１〜図３を援用し、図１０に基づいて説明する。
図１０は、第２実施形態におけるフィルタ２１０の平面図である。尚、第１実施形態と同一態様には、同一符号を付して説明する（以下の実施形態についても同様）。
この第２実施形態において、液体噴射記録装置１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２、３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と略直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段６とを備えている点、液体噴射ヘッド４は、被記録媒体Ｓ（図１参照）に対してインク滴を噴射する噴射部７０と、噴射部７０と電気的に接続された制御回路基板８０と、噴射部７０と液体供給管５１との間に、それぞれ接続部９３，９４を介して介在された圧力緩衝器９０とをベース４１，４２上に備えている点、噴射部７０は、圧力緩衝器９０に接続部７２を介して接続された流路基板７１と、電圧が印加されることにより、インクを液滴として被記録媒体Ｓへと噴射させる液体噴射ヘッドチップ７３と、液体噴射ヘッドチップ７３と制御回路基板８０とに電気的に接続され液体噴射ヘッドチップ７３に駆動信号を伝送するためのフレキシブル配線７４とを備えている点、液体噴射ヘッドチップ７３を構成するカバープレート８２の開口部８３には、この開口部８３の中央に向かって突出するように段差部８３ａが全周に亘って形成されており、ここに開口部８３を閉塞するようにフィルタ２１０が設けられている点、フィルタ２１０は、２枚の金属プレート２１１，２１２を積層してなり、長手方向に沿って延在するフィルタ本体部１３と、このフィルタ本体部１３の外周縁に設けられた接着部１４とが一体成形されている点、圧電アクチュエータ７５側に第２金属プレート２１２を向けた状態でフィルタ２１０を取り付けている点等の基本的構成は、前述した第１実施形態と同様である（以下の実施形態についても同様）。
【００５７】
ここで、第１実施形態と第２実施形態との相違点は、第１実施形態のフィルタ１０のフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂの配列と、第２実施形態のフィルタ２１０のフィルタ用貫通孔２１５ａ，２１５ｂの配列とが異なる点にある。
より詳しくは、図１０に示すように、第１金属プレート２１１に形成されているフィルタ用貫通孔２１５ａと、第２金属プレート２１２に形成されているフィルタ用貫通孔２１５ｂは、それぞれ各金属プレート２１１，２１２の長手方向、及び短手方向に沿うように、等間隔で配置されている。
【００５８】
また、第１金属プレート２１１に形成されているフィルタ用貫通孔２１５ａと、第２金属プレート２１２に形成されているフィルタ用貫通孔２１５ｂは、互いに法線方向で重ならないように配置されている。さらに、第１金属プレート２１１には、隣接する面方向でフィルタ用貫通孔２１５ａ同士を連通する連通溝２１６が格子状に形成されている。これにより、第２金属プレート２１２に形成されているフィルタ用貫通孔２１５ｂは、連通溝２１６の法線方向に配置された状態になる。
【００５９】
また、連通溝２１６が格子状に形成されることにより、第１金属プレート２１１には、隣接するフィルタ用貫通孔２１５ａの間に断面矩形状の支持柱２１７が形成される。この支持柱２１７により、第１金属プレート２１１の連通溝２１６が形成されている箇所が撓むことなく、第１金属プレート２１１と第２金属プレート２１２との間の連通溝２１６の溝深さが適正に維持される。
このように、フィルタ２１０を形成した場合であっても前述の第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００６０】
尚、上述の第１実施形態、及び第２実施形態では、面方向で隣接するフィルタ用貫通孔１５ａ，２１５ａ同士を連通するように、連通溝１６，２１６を格子状に形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、連通溝１６，２１６は、第１金属プレート１１，２１１と第２金属プレート１２，２１２とを積層させた状態で、第１金属プレート１１，２１１に形成されているフィルタ用貫通孔１５ａ，２１５ａと、第２金属プレート１２，２１２に形成されているフィルタ用貫通孔１５ｂ，２１５ｂとを連通するように凹状に形成されていればよい。
【００６１】
（第３実施形態）
次に、この発明の第３実施形態を図１１に基づいて説明する。
図１１は、第３実施形態におけるフィルタ３１０の断面図である。
ここで、同図に示すように、第１実施形態と第３実施形態との相違点は、第１実施形態では、第１金属プレート１１にのみ連通溝１６が形成されているのに対し、第３実施形態では、第１金属プレート３１１の合わせ面３１１ａと、第２金属プレート３１２の合わせ面３１２ａとの両者３１１ａ，３１２ａに格子状の連通溝３１６が形成されている点にある。
そして、第１金属プレート３１１には、隣接するフィルタ用貫通孔３１５ａの間に支持柱３１７が形成されると共に、第２金属プレート３１２には、隣接するフィルタ用貫通孔３１５ｂの間に支持柱３１７が形成される。
【００６２】
したがって、上述の第３実施形態によれば、前述の第１実施形態と同様の効果に加え、各金属プレート３１１，３１２の形状を統一でき、製造コストを低減することが可能になる。
尚、上述の第３実施形態も、前述の第１実施形態、及び第２実施形態と同様に、連通溝３１６を格子状に形成する場合に限られるものではなく、第１金属プレート３１１と第２金属プレート３１２とを積層させた状態で、第１金属プレート３１１に形成されているフィルタ用貫通孔３１５ａと、第２金属プレート３１２に形成されているフィルタ用貫通孔３１５ｂとが連通するように凹状に形成されていればよい。
【００６３】
（第４実施形態）
次に、この発明の第４実施形態を図１２に基づいて説明する。
図１２は、第４実施形態におけるフィルタ４１０の断面図である。
ここで、同図に示すように、第１実施形態と第４実施形態との相違点は、第１実施形態の各金属プレート１１，１２のフィルタ本体部１３に形成されているフィルタ用貫通孔１５ａ，１５ｂの形状と、第４実施形態の各金属プレート４１１，４１２のフィルタ本体部４１３に形成されているフィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂの形状が異なる点にある。
【００６４】
より詳しくは、図１２に示すように、各金属プレート４１１，４１２のフィルタ本体部４１３に形成されているフィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂは、それぞれインクの通流方向（以下、単に通流方向という）下流側（図１２における上側）に向かうに従って漸次縮径するようにテーパ状に形成されている。
各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂの通流方向上流側の直径φ３、つまり、各フィルタ用貫通孔４１５ａの大孔の直径φ３は、例えば、約４６μｍ程度に設定されている。一方、各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂの通流方向下流側の直径φ４、つまり、各フィルタ用貫通孔４１５ａの小孔の直径φ４は、例えば、約３０μｍ〜約４０μｍ程度に設定されている。尚、直径φ３は、約４６μｍ程度に設定される場合に限られるものではなく、また、直径φ４は、約３０μｍ〜約４０μｍ程度に設定される場合に限られるものではない。
【００６５】
このように構成することにより、各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂのインクを受け入れる側の直径φ３が大きく設定されたことになる。
したがって、上述の第４実施形態によれば、前述の第１実施形態と同様の効果に加え、フィルタ４１０を通過するインクの圧損を低減でき、インクの流速を十分確保することができる。
【００６６】
尚、上述の第４実施形態では、各金属プレート４１１，４１２の各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂの両方がテーパ形状を有するように記載したが、各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂのうち、少なくとも一方がテーパ形状を有するように形成すれば、本実施形態と同様の効果を得ることができる。この場合、例えば、金属プレート４１１のフィルタ用貫通孔４１５ａはテーパ形状を有しており、金属プレート４１２のフィルタ用貫通孔４１５ｂは図７，９および１１に示すようにプレートの深さ方向にストレート形状の貫通孔とすることが可能であり、もちろんテーパ形状とストレート形状の貫通孔を各フィルタ用貫通孔４１５ａ，４１５ｂで入れ換えることも可能である。
【００６７】
（第５実施形態）
次に、この発明の第５実施形態を図１３に基づいて説明する。
図１３は、第５実施形態におけるフィルタ５１０の断面図である。
ここで、同図に示すように、第４実施形態と第５実施形態との相違点は、第４実施形態の第２金属プレート４１２に形成されているテーパ状のフィルタ用貫通孔４１５ｂと、第５実施形態の第２金属プレート５１２に形成されているテーパ状のフィルタ用貫通孔５１５ｂの向きが異なる点にある。
【００６８】
つまり、第５実施形態の第２金属プレート５１２に形成されているフィルタ用貫通孔５１５ｂは、第２金属プレート５１２の第１金属プレート５１１との合わせ面５１２ａ側に向かうに従って漸次縮径するようにテーパ状に形成されている。
このため、各金属プレート５１１，５１２に形成されているテーパ状のフィルタ用貫通孔５１５ａ，５１５ｂは、それぞれ対応する合わせ面５１１ａ，５１２ａ側に向かうに従って漸次縮径するように形成されているといえる。
【００６９】
このように構成することにより、第１金属プレート５１１のフィルタ用貫通孔５１５ａと、第２金属プレート５１２のフィルタ用貫通孔５１５ｂとのピッチ間隔Ｐ３’を小さくしつつ、連通溝１６における第１金属プレート５１１のフィルタ用貫通孔５１５ａと、第２金属プレート５１２のフィルタ用貫通孔５１５ｂとの間の距離Ｌ１を大きく設定することができる。
【００７０】
したがって、上述の第５実施形態によれば、ピッチ間隔Ｐ３’を小さくできる分、より多くのフィルタ用貫通孔５１５ａ，５１５ｂを形成することができるので、高い濾過性能を確保しつつ、インクの圧損を低減することが可能になる。
尚、上述の第５実施形態では、各金属プレート５１１，５１２の各フィルタ用貫通孔５１５ａ，５１５ｂの両方がテーパ形状を有するように記載したが、各金属プレート５１２（下流側）のフィルタ用貫通孔５１５ｂがテーパ形状を有するように形成すれば、本実施形態と同様の効果を得ることができる。この場合、例えば、金属プレート５１１のフィルタ用貫通孔５１５ａは図７，９および１１に示すようにプレートの深さ方向にストレート形状の貫通孔とすることが可能である。
【００７１】
尚、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上述の実施形態では、液体噴射ヘッドチップ７３を構成するカバープレート８２の開口部８３にフィルタ１０，２１０，３１０，４１０，５１０を取り付けた場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、液体噴射ヘッドチップ７３に供給されるインクを濾過可能な位置であればよい。例えば、液体噴射ヘッド４の流路基板７１内にフィルタ１０，２１０，３１０，４１０，５１０を設けてもよい。
【００７２】
また、上述の実施形態では、フィルタ１０，２１０，３１０，４１０，５１０を、それぞれ２枚の金属プレート１１〜５１２を積層して形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、３枚以上の複数の金属プレートを重ね合せて形成してもよい。この場合、各金属プレートの合わせ面に連通溝１６，２１６，３１６を形成すればよい。
さらに、上述の実施形態では、フィルタ１０，２１０，３１０，４１０，５１０は、例えばステンレス等により形成されたものである場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、フィルタ１０，２１０，３１０，４１０，５１０の材質は、熱拡散接合を利用した接合方法が可能な材質であればよい。
【符号の説明】
【００７３】
１  液体噴射記録装置
４  液体噴射ヘッド
１０，２１０，３１０，４１０，５１０  フィルタ（液体噴射ヘッド用のフィルタ）
１１，２１１，３１１，４１１，５１１  第１金属プレート（プレート）
１１ａ，２１ａ，３１１ａ，３１２ａ，５１１ａ，５１２ａ  合わせ面
１２，２１２，３１２，４１２，５１２  第２金属プレート（プレート）
１５ａ，１５ｂ，２１５ａ，２１５ｂ，４１５ａ，４１５ｂ，５１５ａ，５１５ｂ  フィルタ用貫通孔（貫通孔）
１６，２１６，３１６  連通溝
５０  液体収容体
５１  液体供給管
Ｍ  ポンプモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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