(57)【要約】【課題】  加工が終わったワークを搬出してから搬入準備工程が終了するまでの時間を短縮し、加工効率を向上させることができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】  複数のレーザユニットと、ＸＹテーブルと、を有するレーザ加工機と、吸着ノズルが設けられた吸着ヘッドと、ワークを一時的に載置させる搬入側のワーク載置台と、加工前のワークを積載する搬入側のストッカと、から構成された搬入部と、吸着ノズルが設けられた吸着ヘッドと、ワークを一時的に載置させる搬出側のワーク載置台と、加工後のワークを積載する搬出側のストッカと、から構成された搬出部と、前記搬入側の吸着ヘッドの上方に配置されワークを着脱自在な単一の搬入補助手段と、ワークを前記搬入部から前記ＸＹテーブルへ搬入移動中に前記搬入補助手段を下降させ、前記搬入側の吸着ヘッドのそれぞれにワークを吸着させる搬入準備工程を開始する制御手段と、を備えること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面上の一軸方向であるＸ方向に並べて配置された複数のレーザユニットと、前記複数のレーザユニットに対向して前記Ｘ方向に並べられた複数のワークを前記Ｘ方向および前記水平面上で前記Ｘ方向に直交するＹ方向へ移動自在なＸＹテーブルと、を有するレーザ加工機と、
吸着ノズルが設けられ前記複数のワークと同数の搬入側の吸着ヘッドと、前記搬入側の吸着ヘッドにワークを保持する際にワークを一時的に載置させ前記複数のワークより１つ少ない個数の搬入側のワーク載置台と、加工前のワークを積載する搬入側のストッカと、から構成された搬入部と、
吸着ノズルが設けられ前記複数のワークと同数の搬出側の吸着ヘッドと、前記搬出側の吸着ヘッドにワークを保持する際にワークを一時的に載置させ前記複数のワークより１つ少ない個数の搬出側のワーク載置台と、加工後のワークを積載する搬出側のストッカと、から構成された搬出部と、を有するレーザ加工装置において、
前記搬入側の吸着ヘッドの上方に配置され吸着ノズルが設けられワークを着脱自在、かつ上下方向に移動自在な単一の搬入補助手段を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【請求項２】
水平面上の一軸方向であるＸ方向に並べて配置された複数のレーザユニットと、前記複数のレーザユニットに対向して前記Ｘ方向に並べられた複数のワークを前記Ｘ方向および前記水平面上で前記Ｘ方向に直交するＹ方向へ移動自在なＸＹテーブルと、を有するレーザ加工機と、
吸着ノズルが設けられ前記複数のワークと同数の搬入側の吸着ヘッドと、前記搬入側の吸着ヘッドにワークを保持する際にワークを一時的に載置させ前記複数のワークより１つ少ない個数の搬入側のワーク載置台と、加工前のワークを積載する搬入側のストッカと、から構成された搬入部と、
吸着ノズルが設けられ前記複数のワークと同数の搬出側の吸着ヘッドと、前記搬出側の吸着ヘッドにワークを保持する際にワークを一時的に載置させ前記複数のワークより１つ少ない個数の搬出側のワーク載置台と、加工後のワークを積載する搬出側のストッカと、から構成された搬出部と、
前記搬入側の吸着ヘッドの上方に配置され吸着ノズルが設けられワークを着脱自在、かつ上下方向へ移動自在な単一の搬入補助手段と、
を用いて、
ワークを前記搬入部から前記ＸＹテーブルへ搬入移動中に前記搬入補助手段を下降させた後ワークを吸着し、
前記吸着したワークに張り付いたワークを分離するために前記搬入補助手段を上下動し、
前記搬入補助手段を上昇し、
前記搬入側のワーク載置台をストッカ上方へ移動し、
前記搬入補助手段を下降させ前記搬入側のワーク載置台上にワークを載置し、
前記搬入補助手段を上昇し、
前記搬入側のワーク載置台を前記ＸＹテーブル側へ移動する、
ことを特徴とするレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のレーザユニットからレーザ光を照射してワークを加工するレーザ加工装置に係り、複数のワークを同時に搬入し、加工し、搬出するレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のプリント基板などのワークを同時にレーザ加工するレーザ加工装置としては、ワーク載置台に一時的に保持させたワークと供給ストッカに積載されたワークとをワークと同数のワーク保持台（以下、吸着ヘッドと称す）に吸着させ、前記ワークと同数の吸着ヘッドを移動させてＸＹテーブルに複数のワークを同時に供給することが知られている（特許文献１）。
【０００３】
図２１に従来のレーザ加工装置を示す。同図において、レーザ加工装置は、レーザ加工機１００と搬入部１０１と搬出部１０２の大きく３つから構成される。
【０００４】
レーザ加工機１００は、載置された複数（図では２個）のワーク１０５をＸ方向（紙面に対して左右方向）及びＹ方向（紙面に対して垂直方向）に移動自在なＸＹテーブル１０６と、ＸＹテーブル１０６上に固定されワークを吸着又は解放する真空吸着テーブル（図示を省略）と、ワーク１０５に対してレーザ光を照射する複数（図では２個）のレーザユニット１０４ａ、レーザユニット１０４ｂと、レーザユニット１０４ａおよびレーザユニット１０４ｂを設けた門型のコラム１０３と、ＸＹテーブル１０６が設置されたベッド１０７と、前記レーザ加工機１００及び後述する搬入部１０１と搬出部１０２を制御する制御装置１１９と、を備えてなる。
【０００５】
搬入部１０１は、ワーク１０５を吸着又は解放する吸着ノズル１１２が複数設けられた吸着ヘッド１１１ａ及び吸着ヘッド１１１ｂと、吸着ヘッド１１１ａを上昇下降させるためのリフタ１１０ａと、吸着ヘッド１１１ｂを上昇下降させるためのリフタ１１０ｂと、リフタ１１０ａ及びリフタ１１０ｂが側面に固定されたスライダ１０９ａと、スライダ１０９ａを指示する搬入側のガイドレール１０８ａと、ワーク１０５を一時的に保持しＸ方向に移動自在な搬入側ワーク載置台１１３ａと、複数のワーク１０５が積載された上下テーブル１１４ａを上下方向に移動自在な搬入側ストッカ１１５ａと、を備えてなる。リフタ１１０ａと１１０ｂはそれぞれ独立に上昇下降させることができる。
【０００６】
搬出部１０２は、ワーク１０５を吸着又は解放する吸着ノズル１１２が複数設けられた吸着ヘッド１１１ｃ及び吸着ヘッド１１１ｄと、吸着ヘッド１１１ｃを上昇下降させるためのリフタ１１０ｃと、吸着ヘッド１１１ｄを上昇下降させるためのリフタ１１０ｄと、リフタ１１０ｃ及びリフタ１１０ｄが側面に固定されたスライダ１０９ｂと、スライダ１０９ｂを指示する搬入側のガイドレール１０８ｂと、ワーク１０５を一時的に保持しＸ方向に移動自在な搬出側ワーク載置台１１３ｂと、複数のワーク１０５が積載された上下テーブル１１４ｂを上下方向に移動自在な搬出側ストッカ１１５ｂと、を備えてなる。
【０００７】
ガイドレール１０８ａ及び１０８ｂは、最大２０ｋｇの重量物を搬送可能なので、吸着ヘッド及びリフタ（例えば、合計重量６ｋｇ程度）を２組取付けたスライダ１０９を片持ちで保持できＸ方向に移動自在である。
【０００８】
図２２は、本発明の実施形態に係るレーザ加工機を説明する図である。レーザユニット１０４ａは、ミラー２０４ａと１対のガルバノスキャナ２０５ａ及びｆθレンズ２０６ａとから構成され、レーザユニット１０４ｂは、ミラー２０４ｂと１対のガルバノスキャナ２０５ｂ及びｆθレンズ２０６ｂとから構成されている。レーザ発振器２０１から出力されたレーザ光は、音響光学素子２０２により光路を交互に変更されてミラー２０３ａ、２０４ａを介してガルバノスキャナ２０５ａに、ミラー２０３ｂ、２０４ｂを介してガルバノスキャナ２０５ｂにそれぞれ入射される。そして、ガルバノスキャナ２０５ａ、２０５ｂによりＸＹ方向に位置決めされ、ｆθレンズ２０６ａまたはｆθレンズ２０６ｂを通過して、それぞれワーク１０５を加工する。
【０００９】
図１４乃至図１９は従来のレーザ加工動作を表すフローチャートであり、制御装置１１９にプログラムされている。
【００１０】
図１４において、まず、搬入準備工程（Ａ３）に移行し加工するためのワーク１０５を吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂに吸着させた状態で上昇させる（ステップＳ３１１）。次に、ＸＹテーブル１０６から加工が終了したワーク１０５が搬出されたかどうかを判断し（ステップＳ３０２）、搬出終了と判断した場合、搬入工程（Ａ４）に移行し加工するためのワーク１０５をＸＹテーブル１０６へ載置する（ステップＳ３１３）。その後、加工工程に移行しワーク１０５をレーザ加工した後（ステップＳ３０４）、搬出工程に移行し加工されたワーク１０５を搬出側のストッカ１１５ｂ上方の搬出位置へ移動させる（ステップＳ３０５）。そして、格納工程へ移行しワーク１０５を搬出側のストッカ１１５ｂに積載し本発明に係る一連の動作を終了する（ステップＳ３０６）。
【００１１】
次に、搬入準備工程（Ａ３）の詳細について図１５を用いて説明する。ステップＳ４０１ａで吸着ヘッド１１１ｂを下降させ、ストッカ１１５ａ上に積載されたワーク１０５を吸着させる。その後、吸着ヘッド１１１ｂを数回上下動させるワーク分離動作を行う（ステップＳ４０２ａ）。ワーク分離動作を行うことによって加工すべき基板に張り付いていた余分なワークを振り落とすことができる。次に、吸着ヘッド１１１ｂを上昇させ、ワーク載置台１１３ａをストッカ１１５ａの上方へ移動させた後（ステップＳ４０３ａ）、吸着ヘッド１１１ｂを下降させワーク載置台１１３ａ上にワークを載置させる（ステップＳ４０４ａ）。吸着ヘッド１１１ｂを上昇させ、ワーク載置台１１３ａをＸＹテーブル１０６側へ移動させ（ステップＳ４０５ａ）、吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂを下降させワーク１０５を吸着させ（ステップＳ４０７）、吸着ヘッド１１１ｂを数回上下動させワーク分離動作を行った後（ステップＳ４０８ａ）、吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂを上昇させて（ステップＳ４０９）、搬入準備工程（Ａ３）を終了する。
【００１２】
図１６は搬入工程（Ａ４）を表すフローチャートを示す。ステップＳ５０１ａでワーク１０５を吸着した吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂをレーザ加工機手前側の位置（Ｙ方向で門型コラム１０３に対向した位置）である搬入出位置にあるＸＹテーブルへ移動開始させる。その後、吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂがＸＹテーブル１０６上方へ移動したら、吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂを下降させてＸＹテーブル１０６上にワーク１０５を載置させた後（ステップＳ５０４）上昇させ（ステップＳ５０５）、搬入位置（ワーク載置台１１３ａ及びストッカ１１５ａの上方）へ移動させる（ステップＳ４０６）。次に加工するワーク１０５が有る場合（ステップＳ５０２ａ）搬入準備工程（Ａ３）へ移行すると共に搬入工程（Ａ４）を終了し、次の加工工程（Ｂ）へ移行する。
【００１３】
図１７は加工工程を表すフローチャートを示す。ＸＹテーブルを駆動しレーザユニット１０４ａ、１０４ｂ下方の加工位置へワーク１０５を移動させる（ステップＳ６０１）。次に、ワーク１０５のレーザ加工を開始し（ステップＳ６０２）、加工終了（ステップＳ６０３）した後、加工工程を終了する。
【００１４】
搬出工程を図１８のフローチャートを用いて説明する。ＸＹテーブル１０６を駆動し搬入出位置へワーク１０５を移動させ（ステップＳ７０１）、吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを搬入出位置へ移動させ（ステップＳ７０２ａ）、搬入出位置へ移動された吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを降下させてワーク１０５を吸着させた後上昇させる（ステップＳ７０３、ステップＳ７０４）。その後、吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを搬出側のストッカ１１５ｂおよびワーク載置台１１３ｂの上方である搬出位置へ移動させ（ステップＳ７０５）、搬出動作を終了する。
【００１５】
図１９に格納工程を表すフローチャートを示す。吸着ヘッド１１１ｃ、１１１ｄを下降させストッカ１１５ｂおよびワーク載置台１１３ｂ上へワークを載置させ（ステップＳ８０１）、吸着ヘッド１１１ｃ、１１１ｄ上昇させた後、ワーク載置台１１３ｂをストッカ１１５ｂ上方へ移動させる（ステップＳ８０２）。吸着ヘッド１１１ｃを下降させワーク載置台１１３ｂ上のワーク１０５を吸着させた後（ステップＳ８０３）、吸着ヘッド１１１ｃを上昇させ、ワーク載置台１１３ｂをＸＹテーブル１０６側へ移動させる（ステップＳ８０４）。吸着ヘッド１１１ｃを下降させストッカ１１５ｂ上にワーク１０５を載置した後、吸着ヘッド１１１ｃを上昇させ（ステップＳ８０５）、格納工程を終了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００５−２９７００７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
上記の技術では、加工工程と搬出工程を行っている間に搬入準備工程を処理していたので搬出工程終了後すぐに搬入工程へ移行していた。しかし、加工工程が短時間の場合、搬出工程を終了した時に搬入準備工程が終了していないためすぐに搬入工程へ移行できなかった。したがって、加工工程の１サイクル当りの時間を短縮できないために加工効率が低下した。
【００１８】
図２０に従来のレーザ加工を表すタイミングチャートを示す。１サイクルは搬入工程の開始から次の搬入工程の開始で決まるが、このように１サイクルは搬入工程(Ａ４)１０秒と搬入準備工程（Ａ３）３４秒で決まってしまい、いかに加工工程（Ｂ）が短くなってもその合計４４秒以下にはならないことがわかる。
【００１９】
本発明の目的は、上記した課題を解決し、加工工程１サイクルに要する時間を短縮し、加工効率を向上させることができるレーザ加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するため、本発明は、レーザ加工機と、搬入部と、搬出部と、を有するレーザ加工装置において、前記搬入側の吸着ヘッドの上方に配置され吸着ノズルが設けられワークを着脱自在、かつ上下方向へ移動自在な単一の搬入補助手段と、ワークを前記搬入部から前記ＸＹテーブルへ搬入移動中に前記搬入補助手段を用いて搬入準備工程を開始する制御手段と、を備え、搬入工程終了前に先行して搬入準備工程を開始することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明により、加工工程１サイクルに要する時間を短縮し、加工効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るレーザ加工装置の全体構成図である。
【図２】本発明に係るレーザ加工の工程全体を表すフローチャートである。
【図３】本発明に係るワーク搬入準備工程を表すフローチャートである。
【図４】本発明に係る搬入工程を表すフローチャートである。
【図５】本発明に係るレーザ加工工程を表すフローチャートである。
【図６】本発明に係るワーク搬出工程を表すフローチャートである。
【図７】本発明に係るワーク格納工程を表すフローチャートである。
【図８】本発明に係るレーザ加工の工程全体のタイミングチャートである。
【図９】本発明に係るワーク搬入時のワークおよび吸着ヘッドの位置を表す斜視図である。
【図１０】本発明に係るワーク搬入時のワークおよび吸着ヘッドの位置を表す平面図である。
【図１１】本発明に係るレーザ加工時のワークの位置を表す図である。
【図１２】本発明に係るワーク搬出時のワークおよび吸着ヘッドの位置を表す斜視図である。
【図１３】本発明に係るワーク搬出時のワークおよび吸着ヘッドの位置を表す平面図である。
【図１４】従来のレーザ加工の工程全体を表すフローチャートである。
【図１５】従来のワーク搬入準備工程を表すフローチャートである。
【図１６】従来の搬入工程を表すフローチャートである。
【図１７】従来のレーザ加工工程を表すフローチャートである。
【図１８】従来のワーク搬出工程を表すフローチャートである。
【図１９】従来のワーク格納工程を表すフローチャートである。
【図２０】従来のレーザ加工の工程全体のタイミングチャートである。
【図２１】従来のレーザ加工装置の全体構成図である。
【図２２】本発明に係るレーザ加工機を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態を実施例に沿って説明する。なお、以下の説明において、同等な各部には同一の符号を付して説明を省略する。
【００２４】
図１は本発明の実施形態に係るレーザ加工装置の全体構成図である。同図において、レーザ加工装置は、レーザ加工機１００と搬入部１０１と搬出部１０２の大きく３つから構成され、搬入部１０１以外は従来のレーザ加工装置と同様な装置構成である。
【００２５】
搬入部１０１は、ワーク１０５を吸着又は解放する吸着ノズル１１２が複数設けられた吸着ヘッド１１１ａ及び吸着ヘッド１１１ｂと、吸着ヘッド１１１ａを上昇下降させるためのリフタ１１０ａと、吸着ヘッド１１１ｂを上昇下降させるためのリフタ１１０ｂと、リフタ１１０ａ及びリフタ１１０ｂが側面に固定されたスライダ１０９ａと、スライダ１０９ａを指示する搬入側のガイドレール１０８ａと、ワーク１０５を一時的に保持しＸ方向に移動自在な搬入側ワーク載置台１１３ａと、複数のワーク１０５が積載された上下テーブル１１４ａを上下方向に移動自在な搬入側ストッカ１１５ａと、を備えてなる。リフタ１１０ａと１１０ｂはそれぞれ独立に上昇下降させることができる。搬入部１０１の上方には、吸着ノズル１１２が複数設けられた吸着ヘッド１１１ｅと、吸着ヘッド１１１ｅを上昇下降させるためのリフタ１１０ｅからなる搬入補助手段が配置されている。
【実施例】
【００２６】
図２乃至図７は本発明に係るレーザ加工動作を表すフローチャートであり、制御装置１１９にプログラムされている。図１４乃至図１９に記載されたものと同じものは同等の符号を付して説明を省略する。
【００２７】
図２は本発明に係るレーザ加工の全体工程を示し、搬入準備工程（ステップＳ３０１）、ＸＹテーブル１０６から加工が終了したワーク１０５が搬出されたかどうかの判断（ステップＳ３０２）、搬入工程（ステップＳ３０３）、加工工程（ステップＳ３０４）、搬出工程（ステップＳ３０５）、格納工程を順次処理し本発明に係る一連の動作を終了する（ステップＳ３０６）。
【００２８】
次に、搬入準備工程の詳細について図３を用いて説明する。ステップＳ４０１で吸着ヘッド１１１ｅを下降させ、ストッカ１１５ａ上に積載されたワーク１０５を吸着させる。このとき、吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂが予めＸＹテーブル１０６の上方に配置されているので、吸着ヘッド１１１ｅの上下方向の移動を妨げることは無い。その後、吸着ヘッド１１１ｅを数回上下動させるワーク分離動作を行う（ステップＳ４０２）。ワーク分離動作を行うことによって加工すべき基板に張り付いていた余分なワークを振り落とすことができる。次に、吸着ヘッド１１１ｅを上昇させ、ワーク載置台１１３ａをストッカ１１５ａの上方へ移動させた後（ステップＳ４０３）、吸着ヘッド１１１ｅを下降させワーク載置台１１３ａ上にワークを載置させる（ステップＳ４０４）。吸着ヘッド１１１ｅを上昇させ、ワーク載置台１１３ａをＸＹテーブル１０６側へ移動させ（ステップＳ４０５）、吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂとの衝突を防止するため吸着ヘッド１１１ｅが上昇されていることが確認された場合（ステップＳ４１０）、吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂを搬入位置（ワーク載置台１１３ａ及びストッカ１１５ａの上方）へ移動させる（ステップＳ４０６）。吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂを下降させワーク１０５を吸着させ（ステップＳ４０７）、吸着ヘッド１１１ｂを数回上下動させワーク分離動作を行った後（ステップＳ４０８）、吸着ヘッド１１１ａ及び１１１ｂを上昇させて（ステップＳ４０９）、搬入準備工程を終了する。
【００２９】
図４は搬入工程を表すフローチャートを、図９はワーク１０５を搬入位置へ移動させ搬入補助手段を用いて搬入準備を行っているときの斜視図を、図１０はワーク１０５を搬入位置へ移動させ搬入補助手段を用いて搬入準備を行っているときの平面図をそれぞれ示す。ステップＳ５０１でワーク１０５を吸着した吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂをレーザ加工機手前側の位置（Ｙ方向で門型コラム１０３に対向した位置）である搬入出位置にあるＸＹテーブルへ移動開始させる。その後、吸着ヘッド１１１ｅを時間Ｔだけ待機させた後、次に加工するワーク１０５が有り、かつ吸着ヘッド１１１ｂがワーク載置台１１３ａ上方からＸＹテーブル１０６側にあるかを判定し（ステップＳ５０２）、ＹＥＳの場合は吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂをＸＹテーブル１０６上方まで移動させる（ステップＳ５０３）と共に搬入準備工程（Ａ１）へ移行する（ステップＳ３０１）。吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂがＸＹテーブル１０６上方へ移動したら、吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂを下降させてＸＹテーブル１０６上にワーク１０５を載置させた後（ステップＳ５０４）、上昇させて（ステップＳ５０５）搬入工程を終了し、次の加工工程へ移行する。なお、ステップＳ５０２で吸着ヘッド１１１ｅを待機させる時間Ｔは、吸着ヘッド１１１ｅが吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂと衝突するのを防ぐために吸着ヘッド１１１ｂがワーク載置台１１３ａ上方からＸＹテーブル１０６側まで移動する時間であり、例えば、１秒に設定される。
【００３０】
図５は加工工程を表すフローチャートを、図１１はワーク１０５を加工位置へ移動させたときの平面図をそれぞれ示す。ＸＹテーブルを駆動しレーザユニット１０４ａ、１０４ｂ下方の加工位置へワーク１０５を移動させる（ステップＳ６０１）。次に、ワーク１０５のレーザ加工を開始し（ステップＳ６０２）、加工終了（ステップＳ６０３）した後、加工工程を終了する。
【００３１】
搬出動作を図６、図１２および図１３を用いて説明する。搬出工程を表すフローチャートを図６に、ワーク１０５を上下テーブル１１４ｂおよびワーク載置台１１３ｂ上へ載置させたときの斜視図を図１２に、平面図を図１３にそれぞれ示す。ＸＹテーブル１０６を駆動し搬入出位置へワーク１０５を移動させ（ステップＳ７０１）、吸着パッドフレーム１１１ａ、１１１ｂを搬入位置へ、吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを搬入出位置へそれぞれ移動させ（ステップＳ７０２）、搬入出位置へ移動された吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを降下させてワーク１０５を吸着させた後上昇させる（ステップＳ７０３、ステップＳ７０４）。その後、吸着パッドフレーム１１１ｃ、１１１ｄを搬出側のストッカ１１５ｂおよびワーク載置台１１３ｂの上方の搬出位置へ移動させ（ステップＳ７０５）、搬出動作を終了する。
【００３２】
図７に格納工程を表すフローチャートを示す。格納工程は図１９と同じ処理なので説明を省略する。
【００３３】
図８に本発明のレーザ加工の実施例を表すタイミングチャートを示す。レーザ加工の各工程に要する時間は、搬入準備工程（Ａ１）３６秒、搬入工程（Ａ２）８秒、加工工程（Ｂ）１２秒、搬出工程（Ｃ１）１２秒、格納工程（Ｃ２）２２秒である。搬入準備手段を用いて搬入工程（Ａ２）中に搬入準備工程（Ａ１）に入ることが可能なため、本発明の加工工程（Ｂ）では１サイクル当り３７秒に短縮ことができた。なお、前記従来技術に比べ、搬入準備工程（Ａ１）が２秒長く、搬入工程（Ａ２）が２秒短くなっている。これは、本発明の実施例が、処理に２秒を要する吸着ヘッド１１１ａ、１１１ｂを搬入位置へ移動させる工程（ステップＳ４０６）を、搬入工程（Ａ２）でなく搬入準備工程（Ａ１）で行うためである。
【００３４】
上述した実施例では、ワーク１０５を２個同時に加工することを説明してきたが、吸着ヘッドおよびレーザユニットをワーク１０５と同数、ワーク載置台をワーク１０５より１つ少ない個数とすることにより、３個以上のワーク１０５を加工することが可能である。
【００３５】
以上の結果から、搬入補助手段を用いた実施例では、搬入補助手段を用いない従来技術よりも、加工工程１サイクル当たりの加工時間を短縮することができるので加工のスループットを向上させることが認められた。
【００３６】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々の変形が可能で有り、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。
【符号の説明】
【００３７】
１００  レーザ加工機
１０１  搬入部
１０２  搬出部
１０３  門型コラム
１０４ａ、１０４ｂ  レーザユニット
１０５  ワーク
１０６  ＸＹテーブル
１０７  ベッド
１０８ａ、１１８ｂ  ガイドレール
１０９ａ、１１９ｂ  スライダ
１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ、１１０ｅ  リフタ
１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ、１１１ｅ  吸着ヘッド
１１２  吸着ノズル
１１３ａ、１１３ｂ  ワーク載置台
１１４ａ、１１４ｂ  上下テーブル  
１１５ａ、１１５ｂ  ストッカ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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