(57)【要約】【課題】歯車精度が劣っている場合でも確実にバックラッシを除去できるようにする。【解決手段】一対の駆動側平歯車2,3をステッピングモータ4,5で回転させ、それらの歯面が無負荷時に従動側平歯車1の歯面と互いに反対側で接するように、一対のステッピングモータ4,5のロータ軸4a,5aを相互設定し、ステッピングモータ4,5を同期駆動し、駆動側平歯車2,3で従動側平歯車1を駆動することにより、駆動側平歯車2,3と従動側平歯車1とのバックラッシが互いに除去され、ステッピングモータ4,5の同相のコイル4A,5A,4B,5Bが直列に接続され、モータドライブ回路7A,8Aはステッピングモータ4,5のロータ軸4a,5aに所定の位相差を与えて同期駆動回転させ、ステッピングモータ4,5の一方にのみ、その回転を検出するロータリーエンコーダ6を付設したうえで、駆動側平歯車2,3が従動側平歯車1の円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触するようにする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータにて回転される駆動側回転歯体と従動側回転歯体とを噛み合わせて、前記モータの回転を従動側に伝達して回転を出力する電動ロータリアクチュエータにおいて、
前記モータとして一対のステッピングモータ、前記駆動側回転歯体として一対の駆動側回転歯体を備えて、前記一対の駆動側回転歯体をそれぞれの前記ステッピングモータで回転させるようにしたこと、それらの歯面が無負荷時において前記従動側回転歯体の歯面と互いに反対側で接する関係となるように、前記一対のステッピングモータのロータ軸を相互設定したこと、これら前記一対のステッピングモータをモータドライブ回路にて同期駆動し、前記一対の駆動側回転歯体にて前記従動側回転歯体を駆動することにより、これら前記一対の駆動側回転歯体と前記従動側回転歯体とのバックラッシが互いに除去されるようにし、
前記一対のステッピングモータの同相のコイルが直列に接続され、前記モータドライブ回路は、前記一対のステッピングモータを、それらの前記ロータ軸に所定の位相差を与え、同期駆動回転させ、前記一対のステッピングモータの一方にのみ、その回転を検出するエンコーダを付設したうえで、
前記一対の駆動側回転歯体が前記従動側回転歯体の円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触する
ことを特徴とする電動ロータリアクチュエータ。
【請求項２】
前記一対の駆動側回転歯体は互いに相補的である
ことを特徴とする請求項１に記載の電動ロータリアクチュエータ。
【請求項３】
前記一対のステッピングモータは前記一対の駆動側回転歯体に対して出力軸を同一方向に向かせるように配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載の電動ロータリアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばモータにより回転される駆動側回転歯体と従動側回転歯体とを噛み合わせ、当該モータの回転を従動側へ伝達して出力する電動ロータリーアクチュエータに適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、駆動側回転歯体と従動側回転歯体との間のバックラッシを防止することを意図した電動ロータリーアクチュエータが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この電動ロータリーアクチュエータでは、図１２に示すように、従動側平歯車１の歯１ａの外側の歯面１ｂと駆動側平歯車２の歯面２ｃとの噛み合い接触関係と、従動側平歯車１の歯１ａの外側の歯面１ｃと駆動側平歯車３の歯面３ｂとが接するような噛み合い接触関係とが、無負荷時において周方向に互いに反対向きに接する逆向き構造となっているため、従動側平歯車１及び駆動側平歯車２、３のバックラッシを除去することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４７４３８７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながらかかる特許文献１の電動ロータリーアクチュエータにおいては、従動側平歯車１の歯１ａの外側の歯面１ｂ、１ｃと駆動側平歯車２、３の歯面２ｃ、３ｂとが接しているため、当該従動側平歯車１の軸心ずれが生じた場合、従動側平歯車１の歯面１ｂと駆動側平歯車２の歯面２ｃとの噛合量と、従動側平歯車１の外側の歯面１ｃと駆動側平歯車３の３ｂとの噛合量との間には差が生じ、駆動側平歯車２と駆動側平歯車３との間で従動側平歯車１に対する角度精度誤差が生じるため、バックラッシを除去できなくなるという問題があった。
【０００６】
本発明はかかる問題を解決するためになされたものであり、歯車精度が劣っている場合でも一対の駆動側回転歯体の間で異なる角度精度誤差を生じさせることなく、確実にバックラッシを除去し得る電動ロータリーアクチュエータを提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題を解決するため本発明においては、モータにて回転される駆動側回転歯体と従動側回転歯体とを噛み合わせて、モータの回転を従動側に伝達して回転を出力する電動ロータリアクチュエータにおいて、前記モータとして一対のステッピングモータ、前記駆動側回転歯体として一対の駆動側回転歯体を備えて、一対の駆動側回転歯体をそれぞれのステッピングモータで回転させるようにしたこと、それらの歯面が無負荷時において前記従動側回転歯体の歯面と互いに反対側で接する関係となるように、一対のステッピングモータのロータ軸を相互設定したこと、これら一対のステッピングモータをモータドライブ回路にて同期駆動し、一対の駆動側回転歯体にて前記従動側回転歯体を駆動することにより、これら一対の駆動側回転歯体と前記従動側回転歯体とのバックラッシが互いに除去されるようにし、一対のステッピングモータの同相のコイルが直列に接続され、モータドライブ回路は、一対のステッピングモータを、それらのロータ軸に所定の位相差を与え、同期駆動回転させ、一対のステッピングモータの一方にのみ、その回転を検出するエンコーダを付設したうえで、前記一対の駆動側回転歯体が前記従動側回転歯体の円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触するようにする。
【０００８】
また本発明において、前記一対の駆動側回転歯体は互いに相補的であるようにする。
【０００９】
さらに本発明において、前記一対のステッピングモータは前記一対の駆動側回転歯体に対して出力軸を同一方向に向かせるように配置されているようにする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、本発明によれば、一対の駆動側回転歯体の歯面が、従動側回転歯体の歯面に対し、無負荷時において互いに反対側で接する関係となるように、一対のステッピングモータのロータ軸を相互設定し、これら一対のステッピングモータを同期駆動して一対の駆動側回転歯体にて従動側回転歯体を回転させるので、一対の駆動側回転歯体と従動側回転歯体との協働によりそれらのバックラッシを簡単に除去できると同時に、一対の駆動側回転歯体が従動側回転歯体の円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触するため、一対の駆動側回転歯体の間で異なる角度精度誤差が生じることを防止できる。また、一対のステッピングモータの同相のコイルを直列に接続し、これらステッピングモータを、それらのロータ軸に所定の位相差を与え、同期駆動すると、一対のステッピングモータを、別々に制御することなく、恰も一つのステッピングモータを駆動させるのと全く同じ制御で駆動できるので、その駆動制御が簡素になる。また、一対のステッピングモータの一方にのみ、その回転を検出するエンコーダを付設すると、一対のステッピングモータを恰も一つのステッピングモータを制御するかのように閉ループ制御できるので、回路構成及び制御を単純化できる。
【００１１】
また本発明によれば、一対の駆動側回転歯体は互いに相補的であるため、一対の駆動側回転歯体の間で生じる角度精度誤差も共通となり、歯車精度の劣化を吸収することができる。
【００１２】
さらに本発明によれば、一対のステッピングモータは一対の駆動側回転歯体に対して出力軸を同一方向に向かせるように配置されているため、一対の駆動側回転歯体に対するモータ励磁角度誤差を共通とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】一対の駆動側平歯車と従動側平歯車との噛み合い接触状態を示す略線的斜視図である。
【図２】一対のステッピングモータの配置関係を示す略線的斜視図である。
【図３】一対のステッピングモータと一対の駆動側平歯車との取付状態を示す上面図である。
【図４】従動側平歯車の軸心ずれによる角度誤差を示すグラフである。
【図５】一方の駆動側平歯車と従動側平歯車との第１の噛み合い接触関係を示す側面図である。
【図６】他方の駆動側平歯車と従動側平歯車との第１の噛み合い接触関係を示す側面図である。
【図７】一方の駆動側平歯車と従動側平歯車との第２の噛み合い接触関係を示す側面図である。
【図８】他方の駆動側平歯車と従動側平歯車との第２の噛み合い接触関係を示す側面図である。
【図９】一対のステッピングモータとそのモータドライブ回路を示す回路図である。
【図１０】一対のステッピングモータが同一トルク特性の場合のトルク曲線図である。
【図１１】片方のステッピングモータ４のトルクが１／２の場合のトルク曲線図である。
【図１２】従来の一対の駆動側平歯車と従動側平歯車との噛み合い接触状態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
（１）電動ロータリーアクチュエータの構成
図１においては、本発明に係る電動ロータリーアクチュエータを構成する歯車機構を示し、回転を出力するための従動側の大径の平歯車（以下、これを従動側平歯車と呼ぶ）１に対し、図２、図３に示す一対のステッピングモータ４、５により回転される駆動側の小径の一対の平歯車（以下、これを駆動側平歯車と呼ぶ）２、３が、従動側平歯車１における周面の同一箇所に並行配置され、バックラッシ除去のため無負荷時において周方向に互いに反対向きで駆動側回転歯体としての駆動側平歯車２、３の歯面と、従動側回転歯体としての従動側平歯車１の歯面とが接するようになされている。
【００１６】
図２及び図３に示すように、この歯車機構は、一対の駆動側平歯車２、３のそれぞれに一対のステッピングモータ４、５が直結され、当該一対のステッピングモータ４、５のロータ軸４ａ、５ａは同方向に同期駆動回転される。
【００１７】
一対のステッピングモータ４、５は、一方のステッピングモータ４にのみその回転を検出するエンコーダ（ロータリエンコーダ）６が付設されているが、ステッピングモータ４、５はモータ単体としては実質的に同じ構造である。
【００１８】
ここで一対のステッピングモータ４、５は、一対の駆動側平歯車２、３に対して、自身の出力軸を同一方向に向かせるように配置されており、具体的には、ステッピングモータ４の出力軸（ロータ軸４ａ）が駆動側平歯車２に直結され、当該ステッピングモータ４の反出力軸（図示せず）がロータリエンコーダ６に直結されると共に、ステッピングモータ５の反出力軸（ロータ軸５ｂ）が駆動側平歯車３に直結されている。
【００１９】
すなわち、一対のステッピングモータ４、５は、当該ステッピングモータ４の出力軸（ロータ軸４ａ）の方向と、当該ステッピングモータ５の出力軸５ａの方向とが一致するように、一対の駆動側平歯車２、３に対して配置されている。
【００２０】
これにより、この歯車機構では、モータ単体として実質的に同じ構造である一対のステッピングモータ４、５の出力軸４ａ、５ａの方向を一致させることができるため、両者の励磁方向が揃って励磁内誤差を共通とすることができ、かくして一対のステッピングモータ４、５による一対の駆動側平歯車２、３の回転精度を揃えることができる。
【００２１】
ところで、従動側平歯車１における理想的な回転角度と、軸心ずれが生じた場合の実際の回転角度との間に生じる誤差は一般的に図４に示したようになる。例えば、従動側平歯車１を９０度回転させたいにも拘わらず、従動側平歯車１が９０．１６度回転し、＋０．１６度の回転角度誤差が生じる等、軸心ずれにより一定周期の回転角度誤差を持つことが知られている。
【００２２】
従って、この歯車機構では、従動側平歯車１の異なる周面に対して、駆動側平歯車２、３を配置するのではなく、当該従動側平歯車１の周面における円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触するように一対の駆動側平歯車２、３を配置する。
【００２３】
これにより歯車機構では、従動側平歯車１と一対の駆動側平歯車２、３との間で異なる角度精度誤差が生じることを防止し、ひいては当該従動側平歯車１に軸心ずれが起きた場合でも駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間でバックラッシが生じることを防止することができる。
【００２４】
ここで、一対の駆動側平歯車２、３は、１つの平歯車を切断して２分割した結果得られる相補的な関係を互いに有しているため、駆動側平歯車２と従動側平歯車１との噛合状態と、駆動側平歯車３と従動側平歯車１との噛合状態とが同じとなり、駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間で噛合状態の差によりバックラッシが生じることについても予め防止することができる。
【００２５】
この歯車機構におけるバックラッシ除去のための従動側平歯車１に対する駆動側平歯車２、３の配置状態を具体的に説明する。そのため、図５には大径の従動側平歯車１と小径の駆動側平歯車２との無負荷時での第１の噛み合い接触関係のモデルを示し、図６には大径の従動側平歯車１と小径の駆動側平歯車３との無負荷時での第１の噛み合い接触関係のモデルを示す。また、図７には大径の従動側平歯車１と小径の駆動側平歯車２との無負荷時での第２の噛み合い接触関係のモデルを示し、図８には大径の従動側平歯車１と小径の駆動側平歯車３との無負荷時での第２の噛み合い接触関係のモデルを示す。
【００２６】
ここで、一対の駆動側平歯車２、３は相補的関係を有する全く同じものであるが、従動側平歯車１に対する無負荷時の噛み合い接触関係が異なるため、これら３つの平歯車１、２、３の歯１ａ、２ａ、３ａの両側の歯面の方向を区別するため、一方を「片側」、他方を「反対側」として以下表現する。
【００２７】
図５の場合、無負荷時において、一方の駆動側平歯車２の歯２ａは、その片側の歯面２ｃが従動側平歯車１の歯１ａの片側の歯面１ｂと接し、図６の場合、これとは逆に、他方の駆動側平歯車３の歯３ａは、その反対側の歯面３ｂが従動側平歯車１の歯１ａの反対側の歯面１ｃと接するような噛み合い接触関係となっている。
【００２８】
つまり、一対の駆動側平歯車２、３の中間で見ると、それらの歯２ａ、３ａの内側の歯面２ｃ、３ｂが、従動側平歯車１の歯１ａの外側の歯面１ｂ、１ｃと接するような噛み合い接触関係となっている。そして、無負荷時にこのような噛み合い接触となるように、一対の駆動側平歯車２、３のそれぞれに直結する一対のステッピングモータ４、５のロータ軸４ａ、５ａに、初期設定で所定の位相差を与えてあり、一対のステッピングモータ４、５のロータ軸４ａ、５ａは同方向に同期駆動回転される。
【００２９】
一方、図７の場合には、無負荷時において、一方の駆動側平歯車２の歯２ａは、その反対側の歯面２ｂが従動側平歯車１の歯１ａの反対側の歯面１ｃと接し、図８の場合には、これとは逆に、他方の駆動側平歯車３の歯３ａは、その片側の歯面３ｃが従動側平歯車１の歯１ａの片側の歯面１ｂと接するような噛み合い接触関係となっている。
【００３０】
つまり、一対の駆動側平歯車２、３の中間で見ると、それらの歯２ａ、３ａの外側の歯面２ｂ、３ｃが、従動側平歯車１の歯１ａの内側の歯面１ｃ、１ｂと接するような噛み合い関係となっている。そして、無負荷時にこのような噛み合い接触となるように、一対の駆動側平歯車２、３のそれぞれに直結する一対のステッピングモータ４、５のロータ軸４ａ、５ａに、初期設定で所定の位相差を与えてあり、一対のステッピングモータ４、５のロータ軸４ａ、５ａは同方向に同期駆動回転される。
【００３１】
図５及び図６の場合と、図７及び図８の場合とでは、このように無負荷時における接触歯面が逆になっているが、いずれの場合も、従動側平歯車１を時計方向へ回転させるために、一対のステッピングモータ４、５により一対の駆動側平歯車２、３を反時計方向へ同時回転させたときには、一対の駆動側平歯車２の歯２ａ、３ａは、その回転方向（反時計方向）の前側の歯面２ｂ、３ｂが従動側平歯車１の歯１ａの後側の歯面１ｃと接した状態で、従動側平歯車１に対して時計方向へのトルクを同時に与え、従動側平歯車１を時計方向へ回転させる。
【００３２】
一対のステッピングモータ４、５が停止すると、一対の駆動側平歯車２、３も回転を停止して、図５、図６に示した噛み合い接触関係の場合には、同図に示す無負荷時の状態、図７、図８に示した噛み合い接触関係の場合には同図に示す状態に復帰するので、いずれの場合も３つの平歯車１、２、３は、協働してバックラッシを除去し合うことになる。
【００３３】
一方、従動側平歯車１を反時計方向へ回転させるために、一対のステッピングモータ４、５により一対の駆動側平歯車２、３を時計方向へ同時回転させたときには、図５、図６及び図７、図８のいずれの場合も、一対の駆動側平歯車２の歯２ａ・３ａは、その回転方向（時計方向）の前側の歯面２ｃ、３ｃが従動側平歯車１の歯１ａの後側の歯面１ｂと接した状態で、従動側平歯車１に対して反時計方向へのトルクを同時に与え、従動側平歯車１を反時計方向へ回転させる。
【００３４】
この際にも、一対のステッピングモータ４、５が停止すると、一対の駆動側平歯車２、３も回転を停止して、図５、図６に示した噛み合い関係の場合には同図に示す無負荷時の状態、図７、図８に示した噛み合い関係の場合には同図に示す無負荷時の状態に復帰するので、いずれの場合も、３つの平歯車１、２、３は、協働してバックラッシを除去し合うことになる。
【００３５】
従って、３つの平歯車１、２、３は、時計方向又は反時計方向のいずれの方向に回転しても、協働してバックラッシを除去し合うとともに、両駆動側平歯車２、３のトルクが従動側平歯車１に対して同時に加わることになる。
【００３６】
図９に、一対のステッピングモータ４、５を駆動するモータドライブ回路の構成を示す。ステッピングモータ４、５は、一方のステッピングモータ４にのみその回転を検出するエンコーダ（ロータリエンコーダ）６が付設されているが、モータ単体としては実質的に同じ構造で、Ａ相とＢ相の２相型であり、それらのＡ相のコイル４Ａ、５Ａ同士を直列に接続してあるとともに、Ｂ相のコイル４Ｂ、５Ｂ同士も直列に接続してある。そして、Ａ相のコイル４Ａ、５Ａは、共通の一つのＡ相ドライブ部７Ａにより励磁され、Ｂ相のコイル４Ｂ、５Ｂは、共通の一つのＢ相ドライブ部７Ｂにより励磁されるようになっている。
【００３７】
また、Ａ相、Ｂ相のそれぞれにおいて、コイルに流れる電流を電流センサ８Ａ、８Ｂにより検出し、共通の電流帰還処理部９で処理して、両ステッピングモータ４、５を同時にフィードバック制御する。Ａ相ドライブ部７Ａ、Ｂ相ドライブ部７Ｂ、電流帰還処理部９は、ステッピングモータが１台のときと全く同じ構成で、しかも、１個のロータリエンコーダ６により回転を検出するので、閉ループ系を構成して、両ステッピングモータ４、５を、恰も１台のステッピングモータを制御しているのと同様に動作させることができるようになっている。
【００３８】
従って、閉ループ系を構成して両ステッピングモータ４、５を駆動するモータドライブ回路（図９）は、これらステッピングモータ４、５のコイルをＡ相、Ｂ相それぞれについて直列接続するだけで、しかも、ロータリエンコーダ６を片側のステッピングモータ４にのみ付設するだけで、１台のステッピングモータを駆動する従来のものをそのまま使用することができる。なお、一対のステッピングモータ４、５を、エンコーダ無しの開ループ系モータドライブ回路で駆動することも可能である。
【００３９】
一対の駆動側平歯車２、３は、従動側平歯車１に対して、無負荷時に図５、図６又は図７、図８に示したような噛み合い関係とするために、一対のステッピングモータ４、５相互では、それらのロータ軸４ａ、５ａに所定の位相差を機械的に与えてあり、両者のロータ軸４ａ、５ａは同時に同速度で回転する。
【００４０】
一対のステッピングモータ４、５は、上記のように一方のステッピングモータ４にのみロータリエンコーダ６が付設され、他方のステッピングモータ５には付設されていないので、前者を「エンコーダ付きステッピングモータ」、後者を「エンコーダ無しステッピングモータ」と称すると、エンコーダ無しステッピングモータ５で回転される駆動側平歯車３は、上記のような噛み合い関係とする初期設定時の微調整のために、エンコーダ無しステッピングモータ５のロータ軸５ａに対し、その回りを両方向に微調整可能に固定されている。
【００４１】
いま、両ステッピングモータ４、５が仕様まで全く同じで、同一トルク特性（ｓｉｎθ）であるとすると、ロータ軸４ａ・５ａは上記のように所定の位相差を保ったまま同時に同速回転するので、その位相差をφとすると、図１０に示すように、一方のステッピングモータのトルク曲線はｓｉｎθ、他方のステッピングモータのトルク曲線はｓｉｎ（θ＋φ）、合成トルク曲線はｓｉｎθ＋ｓｉｎ（θ＋φ）として表すことができる。
【００４２】
また、片方のステッピングモータのトルク特性が１／２であると、図１１に示すように、そのトルク曲線はｓｉｎ（θ＋φ）／２となるので、合成トルク曲線はｓｉｎθ＋ｓｉｎ（θ＋φ）／２として表すことができる。
【００４３】
従って、上記のように３つの平歯車１、２、３のバックラッシを協働して除去できると同時に、両ステッピングモータ４、５により従動側平歯車１のトルクの増大及びトルク調整が可能になる。
【００４４】
因みに、エンコーダ付きステッピングモータ４の駆動側平歯車２は、ロータ軸４ａに予め固定されているので、ロータリーエンコーダ６からのパルス数を確認しながら、エンコーダ無しステッピングモータ５側を調整することにより、ロータリーエンコーダ６からのパルス数によって、一対の駆動側平歯車２、３が従動側平歯車４に対して図５、図６又は図７、図８に示したような噛み合い関係となる場合の両ステッピングモータ４、５の機械的な励磁角のズレを判断することができる。
【００４５】
（４）作用および効果
以上の構成において、電動ロータリーアクチュエータを構成する歯車機構は、従動側平歯車１の異なる周面に対して、駆動側平歯車２、３を配置するのではなく、従動側平歯車１の周面における円周方向の同一箇所にて互いの歯面が接触するように一対の駆動側平歯車２、３を並行配置した。
【００４６】
これにより歯車機構では、例え従動側歯車１に軸心ずれが生じる場合でも、従動側平歯車１の周面における円周方向の同一箇所に一対の駆動側平歯車２、３が並行配置されているので、従動側平歯車１の軸心ずれを許容しながら、従動側平歯車１と一対の駆動側平歯車２、３との間で異なる角度精度誤差が生じることを予め防止し得ると共に、駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間でバックラッシが生じることについても予め防止することができる。
【００４７】
また歯車機構は、一対の駆動側平歯車２、３に対して一対のステッピングモータ４、５の出力軸４ａ、５ａの方向を一致させるように配置したことにより、当該ステッピングモータ４、５の励磁方向が揃って励磁内誤差を同一にすることができ、かくして一対のステッピングモータ４、５による一対の駆動側平歯車２、３の回転精度を揃えることができるので、駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間でバックラッシが生じることを防止することができる。
【００４８】
さらに歯車機構は、一対の駆動側平歯車２、３が１つの平歯車を切断して２分割した結果得られる相補的な関係を有しているため、駆動側平歯車２と従動側平歯車１との噛合状態と、駆動側平歯車３と従動側平歯車１との噛合状態とが同じとなり、駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間で噛合状態の差によりバックラッシが生じることを防止することができる。
【００４９】
このように歯車機構では、従動側平歯車１の周面における円周方向の同一箇所に一対の駆動側平歯車２、３を並行配置し、当該一対の駆動側平歯車２、３に対して一対のステッピングモータ４、５の出力軸４ａ、５ａの方向を一致させるように配置すると共に、互いに相補的な関係を有する一対の駆動側平歯車２、３を用いたことにより、従動側平歯車１に軸心ずれが生じても、駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間でバックラッシが生じることを確実に防止することができる。
【００５０】
以上の構成によれば、歯車精度が劣っている場合でも一対の駆動側平歯車２、３の間で異なる角度精度誤差を生じさせることなく、簡易な構成で駆動側平歯車２、３と従動側平歯車１との間のバックラッシを確実に除去し得る電動ロータリーアクチュエータを実現することができる。
ことができる。
【００５１】
（６）他の実施の形態
なお、上述した実施の形態においては、一対のステッピングモータ４、５によりそれぞれ回転される一対の駆動側回転歯体として駆動側平歯車２、３を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、傘歯車、ウォーム、ピニオンの他にハイポイドギアや歯付きプーリ等を用いるようにしても良い。
【００５２】
また、上述した実施の形態においては、従動側回転歯体として従動側平歯車１を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、傘歯車、ウォーム、ピニオン、ハイポイドギア及び歯付きプーリ等を用いるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１…従動側平歯車（従動側回転歯体）、２、３…駆動側平歯車（駆動側回転歯体）、４、５…ステッピングモータ、４Ａ、５Ａ、４Ｂ、５Ｂ…コイル、４ａ、５ａ、５ｂ…ロータ軸、６…ロータリーエンコーダ、７Ａ…Ａ相ドライブ部、７Ｂ…Ｂ相ドライブ部、８Ａ、８Ｂ…電流センサ、９…電流帰還部。
【図１】
2013255344.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2013255344.tif 000007
【図６】
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【図７】
2013255344.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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