(57)【要約】【課題】圧電基板にＩＤＴ電極を３つ以上並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を設置した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、通過周波数帯域の狭帯域化を簡便な設計手法で実現すること。【解決手段】反射器１２に隣接する各ＩＤＴ電極１１において、反射器側からｘ本目（ｘ：２以上の自然数）の電極指１４までのピッチ（一方のバスバーから伸びる２本の隣接する電極指１４の中心間の距離）の距離をＰｉ２、それより内側の電極指１４のピッチをＰｉ１とすると、Ｐｉ２はＰｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１となるように設定される。また反射器１２に隣接する各ＩＤＴ電極１１の電極指の総数をｙ（ｙ：４以上の自然数）とすると、ｘとｙの間にはｘ≦０．５ｙという関係が成り立つようにｘの本数が選定される。【選択図】図１
2013247376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に３つ以上のＩＤＴ電極を並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を配置して構成した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、
前記反射器に隣接するＩＤＴ電極における前記反射器側からｘ（ｘ：２以上の自然数）本目の電極指までの周期長をＰｉ２、前記ｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶＩＤＴ電極の電極指の周期長をＰｉ１、とすると、
Ｐｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１となるように設定されることを特徴とする縦結合型弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記反射器に隣接する各ＩＤＴ電極について、電極指の総数をｙ（ｙ：４以上の自然数）とすると、ｘ≦０．５ｙであることを特徴とする請求項１記載の縦結合型弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記ｘ本目の電極指までの周期長Ｐｉ２において、周期長Ｐｉ２は前記ＩＤＴ電極における前記反射器側から当該反射器とは反対側に向かうにつれてＰｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１の範囲内で漸次減少するかまたは漸次増加することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか一項に記載の縦結合型弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載された縦結合型弾性表面波フィルタの複数を縦続接続して構成されたことを特徴とする縦続接続型フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電基板上に３つ以上のＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極を並べると共に、これらの両端のＩＤＴ電極の外側に反射器を設置した縦結合型弾性表面波フィルタ及びこのフィルタを用いた縦続接続型フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今において、通信機器の高性能化及び高機能化の要求が著しい。また、モバイル端末からのインターネット利用が急激な伸びを示しており、ネットワークの帯域幅を大幅に消費し始めた結果、帯域幅の逼迫が指摘されている。スマートフォンなど、多くのデータ転送を必要とする機器では比較的広い帯域幅が割り当てられるものもあるが、特定用途、例えば省電力通信機器、ＧＰＳなどにおいては、割り当て帯域幅が狭い機器も多く、このような機器においては様々な用途に応じて割り当てられた帯域幅の中で、如何に夫々の機器の帯域幅を狭くするかが重要となっている。そのため、通信機器に使用される弾性表面波フィルタについても高性能化、例えば広帯域化あるいは狭帯域化、且つ低損失化が要求されている。
【０００３】
現在、例えばタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム基板を圧電基板として用いた縦結合型弾性表面波フィルタは、広帯域かつ低損失のフィルタを実現でき、通信機器に多く利用されている。この縦結合型弾性表面波フィルタは、図１１に示すように圧電基板上に弾性表面波の伝搬方向に沿って複数のＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極を並べると共に、この複数のＩＤＴ電極の両側に反射器を配置して構成されている。このＩＤＴ電極においては、帯域幅を広くするためには、一般的に電極指の本数を少なくし、反対に帯域幅を狭くするには電極指の本数を多くする手法が選択される。しかし、これらの手法はＩＤＴ電極の電極指の本数だけでなく電極指の配置や電極膜厚などの設計を既存のＩＤＴ電極から大幅に変更する必要があり、昨今の通信機器の開発スピードの速さ、また多くの品種の通信機器が開発されている現状に照らすと迅速な手法とは言いがたい。
【０００４】
特許文献１には、３つ以上のＩＤＴ電極からなる縦結合型弾性表面波フィルタが開示されている。当該発明の特徴は、ＩＤＴ電極同士が隣接する部分において電極指の周期を他の部分と異なるように設定することで、フィルタの通過帯域の広帯域化かつ低損失化を図ることである。しかし、この技術では電極指幅の決定が煩雑であり、膜厚の調整も必要とする場合があるため、短時間での設計は困難であることが予想される。加えて本発明の目的は狭帯域化であるので、目的が異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７９４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、圧電基板上にＩＤＴ電極を３つ以上並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を配置した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、簡便な設計で通過帯域の狭帯域化を実現できる縦結合型弾性表面波フィルタ及び当該縦結合型弾性表面波フィルタを２つ縦続接続した縦続接続型フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の縦結合型弾性表面波フィルタは、
圧電基板上に３つ以上のＩＤＴ電極を並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を配置して構成した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、
前記反射器に隣接するＩＤＴ電極における前記反射器側からｘ（ｘ：２以上の自然数）本目の電極指までの周期長をＰｉ２、前記ｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶＩＤＴ電極の電極指の周期長をＰｉ１、とすると、
Ｐｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１となるように設定されることを特徴とする。  
本発明の縦結合型弾性表面波フィルタにあっては、
前記反射器に隣接する各ＩＤＴ電極について、前記電極指の総数をｙ（ｙ：４以上の自然数）とすると、ｘ≦０．５ｙであってもよく、
前記ｘ本の電極指の周期長において、周期長Ｐｉ２は前記ＩＤＴ電極における前記反射器側から当該反射器とは反対側に向かうにつれてＰｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１の範囲内で漸次減少するかまたは漸次増加してもよい。
【０００８】
本発明の縦続接続型フィルタは、
上述のうちいずれかの特徴を持った縦結合型弾性表面波フィルタの複数を縦続接続して構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、圧電基板上に３つ以上のＩＤＴ電極を並べると共にこれらのＩＤＴ電極の両側に反射器を配置して構成した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、反射器に隣接する各ＩＤＴ電極における前記反射器側から各ｘ（ｘ：２以上の自然数）本目の電極指までの周期長をＰｉ２、またｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶＩＤＴ電極の電極指の周期長をＰｉ１とすると、Ｐｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１となるように設定される。Ｐｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１のように設定することにより、試験結果からも裏付けられるように、通過帯域外の帯域における周波数特性への影響を小さくしつつ、通過周波数帯域を狭帯域化できる。またＰｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１のように設定することで、電極指の周期長を変更するのみで通過周波数帯域を変化させられるため、フィルタの設計を簡便なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態の縦結合型弾性表面波フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】縦結合型弾性表面波フィルタにおいて励振される各モードを概略的に示した模式図である。
【図３】本発明の確認試験１−１のシミュレーション結果を表した特性図である。
【図４】本発明の確認試験１−１においてピッチＰｉ２の幅の変化に対する帯域幅の変化を示したグラフである。
【図５】本発明の確認試験１−２のシミュレーション結果を表した特性図である。
【図６】本発明の確認試験１−２においてピッチＰｉ２の数の変化に対する帯域幅の変化を示したグラフである。
【図７】本発明の確認試験１−２の縦結合型弾性表面波フィルタの一例の一部分を示す説明図である。
【図８】本発明の第２の実施形態の縦結合型弾性表面波フィルタの一例を示す概略図である。
【図９】本発明の確認試験２−１のシミュレーション結果を表した特性図である。
【図１０】本発明の応用例である縦続接続型フィルタの構成の一例を示す平面図である。
【図１１】従来の形態の縦結合型弾性表面波フィルタの一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
［第１の実施形態］
本発明の縦結合型弾性表面波フィルタについて説明する。図１は本発明の実施形態に係るフィルタである。このフィルタ１は、図１に示すように、例えばタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）からなる圧電基板１０上に形成されている。圧電基板１０上では当該圧電基板１０の結晶軸のＸ軸に沿って弾性表面波が伝搬する。
【００１２】
この圧電基板１０上には、弾性波例えば弾性表面波の伝搬方向に沿って３つ以上例えば３つのＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極１１が配置されており、これらのＩＤＴ電極１１を両側から挟むように、弾性表面波の伝搬方向に離間して２つの反射器１２が形成されている。これらのＩＤＴ電極１１及び反射器１２は、例えばアルミニウムにより形成される。ＩＤＴ電極１１は、各々弾性表面波の伝搬方向に沿って伸びる一対のバスバー１３ａ、１３ｂと、これらのバスバー１３ａ、１３ｂから相対向するように互い違いに櫛歯状に伸び出す複数本の電極指１４とを備えている。２つのＩＤＴ電極１１間の一番端の電極指１４同士の間の領域が間隙Ｓである。
【００１３】
ここで、３つのＩＤＴ電極１１について、図１中左側から右側に向かって夫々第１のＩＤＴ電極１１ａ、第２のＩＤＴ電極１１ｂ、第３のＩＤＴ電極１１ｃと呼ぶこととすると、入力側電極である第２のＩＤＴ電極１１ｂの一方のバスバー１３ａは入力ポート１５に接続され、他方のバスバー１３ｂは接地されている。また、出力側電極である第１のＩＤＴ電極１１ａ及び第３のＩＤＴ電極１１ｃの一方側のバスバー１３ａは接地され、他方のバスバー１３ｂは出力ポート１６に接続されている。
【００１４】
反射器１２は、ＩＤＴ電極１１の電極指１４と平行に並ぶ複数本のグレーティング電極１７と、弾性表面波の伝搬方向に沿って設けられ、これらの複数本のグレーティング電極１７の一端側及び他端側を夫々接続するように形成された一対のバスバー１８と、を備えている。この反射器１２についても、図１中左側を第１の反射器１２ａ、右側を第２の反射器１２ｂと呼ぶこととする。なお、図１においては電極指１４及びグレーティング電極１７の本数を省略して描画している。また、図１ではＩＤＴ電極１１及び反射器１２について、圧電基板１０上の領域と判別しやすいように、ドットを付してある。
【００１５】
図１に示す縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ電極１１ｂにおける、一方のバスバーから互いに隣接して伸びる２本の電極指１４同士の周期長（以下「ピッチ」と呼ぶ）をＰｉ１とする。一方ＩＤＴ電極１１ａにおいて、第１の反射器１２ａ側から一定本数ｘ（ｘ：２以上の自然数）本目の電極指１４までのピッチをＰｉ２とする。そして、ｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶ電極指１４の周期長をＰｉ１と同寸法とする。また、第３のＩＤＴ電極１１ｃについても、第２の反射器１２ｂに近接するｘ本の電極指１４のピッチをＰｉ２、ｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶ電極指１４の周期長をＰｉ１と同寸法とする。具体的には、例えばｘ＝５、Ｐｉ１＝２．０６８μｍ、Ｐｉ２＝２．１５１μｍ（Ｐｉ２＝１．０４×Ｐｉ１）となっている。従って、２つのＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃにおいて、中央側よりも端部側（反射器１２側）の電極指１４のピッチが各々電極指５本分（２ピッチ分）だけ広くなるように設定されていることになる。
【００１６】
次に、フィルタ１において弾性表面波が伝搬していく様子を説明する。  
入力ポート１５からフィルタ１に対して電界を印加すると圧電基板１０に歪みが生じ、この歪みにより第２のＩＤＴ電極１１ｂでは弾性表面波が発生し、右側方向及び左側方向に向かって伝搬していく。右側に向かって伝搬する弾性表面波は、第３のＩＤＴ電極１１ｃを介して第２の反射器１２ｂに到達し、この反射器１２ｂにおいて反射されてＩＤＴ電極１１ｃに向かって戻される。また、第２のＩＤＴ電極１１ｂから左側に向かって伝搬する弾性波は、第１のＩＤＴ電極１１ａを介して第１の反射器１２ａに到達し、この反射器１２ａにおいて反射されてＩＤＴ電極１１ａに戻される。こうして図２に示すように、例えば反射器１２ａ、１２ｂのキャビティ（等価反射面）Ｃ−Ｃ間において弾性表面波が反射し、互いに周波数の異なる０次モード及び２次モードの共振モードが励起され、出力ポート１６にて変換された弾性表面波が受信される。  
このような縦結合型弾性表面波フィルタでは、入出力ＩＤＴ電極において電極指の間隔をＰｉ２＞Ｐｉ１とすると、０次モードと２次モードとの間隔が変化し、後述の検証結果から分かるように、通過帯域幅が狭くなる。
【００１７】
＜確認試験１−１＞
次にＰｉ２のＰｉ１に対する倍率によって、周波数特性がどのように変化するかについて検証を行った。具体的には、ＩＤＴ電極１１ａと１１ｃにおいて、反射器１２側２ピッチ分の電極指のピッチについて、Ｐｉ２＝１．０２Ｐｉ１、１．０４Ｐｉ１、１．０６Ｐｉ１と設定した条件下にて夫々周波数特性をシミュレーションした。詳細な条件は以下の通りである。  
（確認試験１−１：シミュレーション条件）
圧電基板１０：３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
ＩＤＴ電極１１のピッチＰｉ１：２．０６８μｍ
反射器１２のピッチＰｒ１：２．０８０μｍ（１．００６×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃの電極指１４の総本数：
各ＩＤＴ電極につき３５本（うち、外側から各５本のピッチがＰｉ２）
ＩＤＴ電極１１ｂの電極指１４の総本数：５９本
電極指１４の交差幅：５７．９μｍ（２８×Ｐｉ１）
反射器１２のグレーティング電極１７の本数：各１００本
電極膜厚：１０９ｎｍ
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃのＰｉ２：１．０２Ｐｉ１、１．０４Ｐｉ１、１．０６Ｐｉ１
【００１８】
一方、対照として、図１１に示したような、２つのＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃにおいて、全ての電極指のピッチが等しい幅Ｐｉ１である従来技術の縦結合型弾性表面波フィルタの周波数特性についてのシミュレーションも行った。詳細な条件は以下の通りである。  
（対照例：シミュレーション条件）
圧電基板１０：３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
ＩＤＴ電極１１のピッチＰｉ１：２．０６８μｍ
反射器１２のピッチＰｒ１：２．０８０μｍ（１．００６×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃの電極指１４の総本数：各ＩＤＴ電極につき３５本
ＩＤＴ電極１１ｂの電極指１４の総本数：５９本
電極指１４の交差幅：５７．９μｍ（２８×Ｐｉ１）
反射器１２のグレーティング電極１７の本数：各１００本
電極膜厚：１０９ｎｍ
【００１９】
結果を図３に示す。なお、夫々のグラフで点線で示しているのは、対照例のシミュレート結果である。  
図３（ａ）に示したのは、反射器１２に近接するＩＤＴ電極１１の電極指のピッチＰｉ２を２ピッチ分、Ｐｉ１の１．０２倍に広げたときのフィルタ１の減衰特性である。この結果から、グラフのピークの両端のポールについて、グラフの左側、つまり低周波側のポールにはほとんど変化が見られないものの、グラフの右側、つまり高周波側のポールは対照例のフィルタの特性グラフと比して左側方向に移動している。よって、グラフのピークの幅が狭まっていることが分かる。従って、既述のように出力ポート１６を介して取り出された電気信号は、通過周波数帯域が狭帯域化された特性となる。  
またＰｉ２をＰｉ１の１．０４倍に広げたときのフィルタ１の減衰特性を図３（ｂ）に、Ｐｉ２をＰｉ１の１．０６倍に広げたときのフィルタ１の減衰特性を図３（ｃ）に示す。これら３つの特性図から、反射器１２に隣接するＩＤＴ電極１１の電極指１４のピッチを拡大するにつれ、フィルタ１の通過帯域幅が狭小化されていく様子が観察される。
【００２０】
さらに、図４に示したのは、図３で示したシミュレーションにおける、Ｐｉ２の変化に対するフィルタ１の３ｄＢ帯域幅の変化をプロットしたグラフである。この結果からも、フィルタ１の通過帯域幅が狭小化されていく特性はＰｉ２を拡大するほどさらに強調されることは明らかである。  
ただし、Ｐｉ２を過剰に拡大してしまうと、例えば図３（ｃ）の２．００ＧＨｚ付近で観察されるように、通過域帯よりも高域側にあるサイドローブにおける減衰特性が劣化し始める事象が観察される。このため、図４からも考察できるように、通過帯域幅の狭帯域化と減衰特性の劣化抑制との兼ね合いを考慮すると、Ｐｉ２はＰｉ１の１．１倍以下であることが適切である。
【００２１】
上述の試験によれば、３つのＩＤＴ電極１１を並べると共に、これらのＩＤＴ電極１１の両側に反射器１２を配置した縦結合型弾性表面波フィルタにおいて、既述のように反射器に隣接するＩＤＴ電極の例えば５本の電極指（２ピッチ分）のピッチＰｉ２を、
Ｐｉ１＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１…（１）
となるように設定することにより、従来のフィルタに比して、ピークの幅つまり通過周波数の幅が高帯域側から狭まる。結果として他のフィルタ特性、例えば通過周波数帯域での減衰劣化などの影響を抑えながら、通過周波数帯域を狭帯域化することができる。
この電極指１４のピッチおよび電極指１４の幅については、例えば要求される狭帯域化の程度や、フォトリソグラフィー法の加工（エッチング）精度等により適宜決定される。
【００２２】
＜確認試験１−２＞
確認試験１−１においては、図１に示すＩＤＴ電極１１ａと１１ｃにおいて、反射器１２側５本ずつ（２ピッチ分ずつ）の電極指のピッチＰｉ２について、このピッチＰｉ２の拡大倍率を変化させるとフィルタ特性がどのように変化するか試験を行った。この確認試験１−２では、Ｐｉ２を、Ｐｉ１の１．０２倍に固定したまま、ピッチを拡大させる電極指の本数を増減させるとどのような変化が起こるか、試験を行った。  
この試験では、ピッチをＰｉ２とする電極指の本数／ＩＤＴ電極１１ａ（１１ｃ）全体の電極指本数＝２５．７％、３７．１％、４８．６％としたときの周波数特性をシミュレーションした。詳細な条件は以下の通りである。
【００２３】
（確認試験１−２：シミュレーション条件）
圧電基板１０：３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
ＩＤＴ電極１１のピッチＰｉ１：２．０６８μｍ
反射器１２のピッチＰｒ１：２．０８０μｍ（１．００６×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃのＰｉ２：２．１０９μｍ（１．０２×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃの電極指１４の総本数：各ＩＤＴ電極につき３５本
ＩＤＴ電極１１ｂの電極指１４の総本数：５９本
電極指１４の交差幅：５７．９μｍ（２８×Ｐｉ１）
反射器１２のグレーティング電極１７の本数：各１００本
電極膜厚：１０９ｎｍ
【００２４】
これらのフィルタについて同様にシミュレーションを行った結果を図５に示す。（ａ）はＩＤＴ電極１１ａ及び１１ｃにおいて、ピッチをＰｉ２とする電極指の本数／ＩＤＴ電極１１ａ（１１ｃ）全体の電極指本数（以下この割合を「ｐ」と呼ぶ）＝１４．３％にしたときの特性図、（ｂ）は２５．７％、（ｃ）は３７．１％、（ｄ）は４８．６％としたときの特性図を夫々示している。なお、夫々のグラフで点線で示しているのは、確認試験１−１でシミュレートした対照例の結果である。
【００２５】
これらの特性図から、グラフのピークの両端のポールについて、グラフの左側、つまり低周波側のポールにはほとんど変化が見られないものの、グラフの右側、つまり高周波側のポールは対照例のフィルタの特性グラフと比して左側方向に移動し、通過帯域幅の狭帯域化がみられる。そしてｐを大きくするほど高周波側のポールの移動幅は拡大していく。
【００２６】
また、図６に示したのは、ｐの変化に対するフィルタ１の３ｄＢ帯域幅の変化を表したグラフである。この結果からも、上述した通過帯域幅の狭帯域化はｐを増加させることによってさらに強調されることは明らかである。  
ただし、ｐを過剰（Ｐｉ２となるピッチの本数を過剰）にしてしまうと、確認試験１−１と同様に、通過域帯よりも高域側（２．００ＧＨｚ付近）にあるサイドローブが拡大され、当該部分で減衰レベルが大きく劣化し、特性の低下を招く。このため、ｐは０．５以下とすることが適切である。
【００２７】
ここで、ピッチを拡大する電極指の本数については、最小で１ピッチの半分であってもよい。図７に示したのはその一例であり、反射器１２ｂに隣接するＩＤＴ電極１１ｃの右端の模式図である。図７では電極指１４を直線で表している。上側の縦線群がバスバー１３ａに接続された電極指１４を表し、下側の縦線群が出力ポート１６に接続された電極指１４を表す。この図で示すように、ＩＤＴ電極１１ｃの一番外側の電極指１４の間隔を広げるだけでも、上述の試験で見られたような狭帯域化効果は得られる。なお、この図の寸法は実際の寸法比及び電極指本数を再現しているものではなく、見やすい表現のために寸法比および電極指本数を変化させて描いているものである。
【００２８】
本確認試験で得られた結果、即ちｐ≦０．５について、ピッチをＰｉ２とする電極指の本数をｘ、ＩＤＴ電極１１ａ（または１１ｃ）全体の電極指本数をｙ（ｙ：０以外の自然数）とおくと、
ｘ≦０．５ｙ…（２）
と表すことができる。  
また、上述したとおり、拡大させるピッチは１ピッチの半分からでも効果があることから、ｘは２以上の自然数であることがいえる。よって（２）とからより、ｙは４以上の自然数に定まる。
【００２９】
［第２の実施形態］
次に第２の実施形態について説明する。この実施形態では、第１の実施形態にかかる、反射器１２に隣接するＩＤＴ電極１１について、外側からピッチをグラデーション状に漸減し、最終的には反射器１２側と反対側のピッチがＰｉ１となるようにする。具体的な実施例としては、図８に示すように、反射器に隣接するＩＤＴ電極１１ａにおいて、第１の反射器１２ａ側から一定本数ｍ（ｍ：２以上の自然数）本目の電極指１４までのピッチをＰｉ２とし、反射器からｍ本目からｘ本目までの電極指１４のピッチをＰｉ３とする。ｘ本目の電極指を境に反射器と反対側に並ぶ電極指のピッチはＰｉ１とする。このときｍ＜ｘであり、当該ｘは確認試験１−２で導出されたｘとｙについて適した比率、つまりｘ≦０．５ｙを充足し、かつＰｉ１＜Ｐｉ３＜Ｐｉ２≦１．１Ｐｉ１となるように設定されている。
【００３０】
このようなフィルタについてシミュレーションを行い、従来例に比してどのような変化が見られるかを観察した。詳細な条件は以下の通りである。
【００３１】
＜確認試験２−１＞  
（確認試験２−１：シミュレーション条件）
圧電基板１０：３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３
ＩＤＴ電極１１のピッチＰｉ１：２．０６８μｍ
反射器１２のピッチＰｒ１：２．０８０μｍ（１．００６×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃのＰｉ２：２．１７１μｍ（１．０５×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃのＰｉ３：２．１０９μｍ（１．０２×Ｐｉ１）
ＩＤＴ電極１１ａ、１１ｃの電極指１４の総本数：各ＩＤＴ電極につき３５本
（うち、各２本のピッチがＰｉ２、各３本のピッチがＰｉ３）
ＩＤＴ電極１１ｂの電極指１４の総本数：５９本
電極指１４の交差幅：５７．９μｍ（２８×Ｐｉ１）
反射器１２のグレーティング電極１７の本数：各１００本
電極膜厚：１０９ｎｍ
【００３２】
このフィルタについて前述の確認試験と同様にシミュレーションを行った結果を図９に示す。実線にて示しているのが確認試験２−１の結果、点線にて示しているのが確認試験１−１でシミュレートした対照例の結果である。  
上記のように各ピッチを設定することにより、グラフのピークの両端のポールについて、グラフの左側、つまり低周波側のポールにはほとんど変化が見られないものの、グラフの右側、つまり高周波側のポールは従来のフィルタの特性グラフと比して左側方向に移動し、結果として通過帯域幅の狭帯域化がみられる。  
この試験のフィルタは、反射器１２に隣接するＩＤＴ電極１１において反射器側から内側へピッチが漸次減少していることを特徴としているが、逆に反射器側からｘ本目までの電極指のピッチは外側から内側へ漸次増加し、それより内側のピッチはＰｉ１となる形態を取ってもよい。  
なお、この試験では寸法を変化させたピッチは２種であるが、３種、４種と更に増加させても良い。また、ピッチを略連続的に変化させてもよい。
【００３３】
［考察］
以上で取り上げてきた実施形態から、反射器１２に隣接するＩＤＴ電極１１ａと１１ｃにおいて、反射器に隣接する側の電極指１４のピッチを、他の電極指１４のピッチの１．１倍以下までの範囲で広げることで、通過帯域以外の帯域における周波数特性への影響を少なくしつつ、通過周波数帯域を狭帯域化した縦結合型弾性表面波フィルタが得られることが明らかになった。また、ピッチを広げる電極指１４の数は、１本からでも効果があるが、ＩＤＴ電極１１ａと１１ｃ夫々の全体の電極指数の半数以下が望ましいこともシミュレーションから明らかになった。  
これらの試験に代表される本発明の縦結合型弾性表面波フィルタは、電極指のピッチを広げるという簡便な設計方法により、フィルタの周波数帯域を狭帯域化することが可能となり、また低損失化の面でも有利な効果を持つ。  
また、上述してきた試験ではＩＤＴ電極１１の数は３つであったが、４つ以上、例えば５つであってもよい。
【００３４】
［応用例］
上述した縦結合型弾性表面波フィルタを２つ縦続接続して構成された縦続接続型フィルタの構成例を図１０に示す。  
縦結合型弾性表面波フィルタにおいて２つのフィルタを接続して縦続接続型フィルタを構成した場合、フィルタが１つの場合と比べて共振周波数がほぼ一致することが明らかになっている。従って、本発明の構成の縦続接続型フィルタも、狭帯域化を達成できる。
【符号の説明】
【００３５】
１０            圧電基板
１１            ＩＤＴ電極
１２            反射器
１４            電極指
１７            グレーティング電極
Ｐｉ１            周期長（ピッチ）
Ｐｉ２            周期長（ピッチ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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