(57)【要約】【課題】ゴミの付着やハンドリング時の貼り付き不具合を引き起こす粘着層を露出させず、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができるガラスフィルム積層体を提供する。【解決手段】ガラスフィルム３と、粘着層２と、幅がガラスフィルム３よりも大きいフィルムであって、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出した耳部６（６ａ，６ｂ）を有するように粘着層２を介してガラスフィルム３に設けられている支持フィルム１と、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａでガラスフィルム３の厚さ以下のフィルムであって、耳部６に粘着層２又は他の粘着層を介して設けられている帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）とを備えるガラスフィルム積層体１０によって、上記課題を解決した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスフィルムと、粘着層と、幅が前記ガラスフィルムよりも大きいフィルムであって、前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出した耳部を有するように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記耳部に前記粘着層又は他の粘着層を介して設けられている帯状フィルムと、を備えることを特徴とするガラスフィルム積層体。
【請求項２】
前記支持フィルムの幅が前記ガラスフィルムの幅よりも５ｍｍ〜１００ｍｍ大きい、請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項３】
前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている、請求項１又は２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項４】
ガラスフィルムを準備する工程と、
粘着層が設けられ、幅が前記ガラスフィルムよりも大きい支持フィルムを準備する工程と、
引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを積層させたときに、前記ガラスフィルムの両側端部から前記支持フィルムがはみ出した耳部に貼り合わせるための帯状フィルムを準備する工程と、
前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、
前記粘着層又は他の粘着層を介して前記帯状フィルムを前記耳部に貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。
【０００３】
工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。
【０００４】
しかし、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シートの表面には粘着層が露出しているので、その粘着層にゴミが付着したりハンドリング時の貼り付き不具合が生じたりする。この問題に対しては、特許文献３では、ガラスフィルムの上面を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様や、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な帯状の保護シートを貼り合わせた態様のガラスフィルム積層体を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１３３１７４号公報
【特許文献２】特開２００１−９７７３３号公報
【特許文献３】特開２０１０−２２８１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献３に記載のガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの上面に貼り合わされた保護シートは剥離が予定されているので、剥離して粘着層が露出し易く、また、保護シートが剥離された後には再び支持シート上に設けられている粘着層が露出し、露出した粘着層がゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすおそれがある。
【０００７】
また、特許文献３には、ガラスフィルムの上面端部周縁を覆うように剥離可能な保護シートを貼り合わせた態様も提案されている。しかしながら、この保護シートを剥離せずに残したままで例えば露光工程に投入すると、保護シートの端部の段差が露光マスクに接触したり、その段差部分に現像液が溜まったりする等の問題が発生する。
【０００８】
本発明者は、こうした問題を解決するために、ガラスフィルムからはみ出した支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）の粘着層上にのみ保護シート（以下、本発明では「帯状フィルム」という。）を貼り合わせる検討を行った。しかし、露出した粘着層上に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでは、その帯状フィルム物性によって、支持フィルムにしわやカールが発生するという問題が生じた。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こす粘着層を露出させず、さらに、露光マスクに接触したり現像液が溜まったりする段差部分がなく、さらに、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる、ガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムと、粘着層と、幅が前記ガラスフィルムよりも大きいフィルムであって、前記ガラスフィルムの両側端部からはみ出した耳部を有するように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムに設けられている支持フィルムと、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記耳部に前記粘着層又は他の粘着層を介して設けられている帯状フィルムと、を備えることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、ガラスフィルムよりも大きい幅の支持フィルムが、ガラスフィルムの両側端部からはみ出した耳部を有するようにガラスフィルム上に設けられ、且つその耳部には剥離が予定されていない帯状フィルムが設けられているので、その粘着層は露出することがない。その結果、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、耳部にはガラスフィルムの厚さ以下の帯状フィルムが設けられているので、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていない。その結果、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【００１２】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記支持フィルムの幅が前記ガラスフィルムの幅よりも５ｍｍ〜１００ｍｍの範囲で大きいことが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、支持フィルムの幅が上記範囲であるので、ガラスフィルムの両側端部には、その両側端部からはみ出す耳部を有し、その耳部に上記引張弾性率の帯状フィルムが設けられている。その結果、ガラスフィルムの端部での割れを防ぎ且つ支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【００１４】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられていることが好ましい。
【００１５】
この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができるという効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つしわやカールの発生を防止した状態で製造工程に供給できるという効果を奏する。
【００１６】
上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、ガラスフィルムを準備する工程と、粘着層が設けられ、幅が前記ガラスフィルムよりも大きい支持フィルムを準備する工程と、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで前記ガラスフィルムの厚さ以下のフィルムであって、前記支持フィルムと前記ガラスフィルムとを積層させたときに、前記ガラスフィルムの両側端部から前記支持フィルムがはみ出した耳部に貼り合わせるための帯状フィルムを準備する工程と、前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、前記粘着層又は他の粘着層を介して前記帯状フィルムを前記耳部に貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、製造されたガラスフィルム積層体は粘着層を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、粘着層を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減できる。また、帯状フィルムはガラスフィルム上に載っておらず、帯状フィルムの端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルムの端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルムが耳部に設けられているので、耳部に帯状フィルムを単に貼り合わせただけでも、支持フィルムにしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明に係るガラスフィルム積層体の他の一例を示す模式的な断面図である。
【図３】ガラスフィルム積層体の端部構造を示す模式的な断面図である。
【図４】ガラスフィルム積層体の模式的な平面図である。
【図５】膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図６】ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１及び図２に示すように、支持フィルム１と、粘着層２と、ガラスフィルム３と、帯状フィルム４とを備えている。そして、支持フィルム１は、幅がガラスフィルム３よりも大きく、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂからはみ出した耳部６（６ａ，６ｂ）を有するように粘着層２を介してガラスフィルム３に積層されており、帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）は、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで、ガラスフィルム３の厚さ以下であり、耳部６（６ａ，６ｂ）に粘着層２又は他の粘着層２ａ，２ｂを介して設けられていることに特徴がある。
【００２２】
以下、各構成について詳しく説明する。
【００２３】
（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１及び図２に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。
【００２４】
支持フィルム１の引張弾性率は特に限定されず、上記した各種の樹脂材料で構成されたフィルムが持つ引張弾性率であればよい。そうした引張弾性率は、通常、２０００ＭＰａ〜５０００ＭＰａの範囲である。この範囲の引張弾性率の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を安定して支持することができる強度を有している。引張弾性率が２０００ＭＰａ未満では、強度が小さくなってガラスフィルム３を安定して支持することができないことがある。一方、引張弾性率が５０００ＭＰａを超えると、強度が大きすぎて得られたガラスフィルム積層体１０に柔軟性がなく、ロール巻きし難いことがある。
【００２５】
なお、支持フィルム１の引張弾性率は、ＪＩＳ  Ｋ６７３４：２０００に基づき、平行部幅１０ｍｍ、長さ４０ｍｍの支持フィルム１を引張試験ダンベルに成形し、ＪＩＳ  Ｋ７１６１：１９９４に準拠して引張試験を行って求めたものである。また、ＡＳＴＭ  Ｄ−８８２−９０に基づき、テンシロン引張り試験機に幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍとなるようにセットし、引張り速度２００ｍｍ／分、温度２５℃、湿度６５％ＲＨの条件で測定した結果で評価することもできる。なお、本願では、ＡＳＴＭ  Ｄ−８８２−９０によって測定した値で評価している。
【００２６】
支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００２７】
支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合を低減できる。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００２８】
支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様の支持フィルムが好ましく用いられる。本発明では、支持フィルム１の幅Ａがガラスフィルム３の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部がガラスフィルム３の端部よりも外方にはみ出し、耳部６（６ａ，６ｂ）を有するものとなる。一方、ロール巻きされた長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、図４に示すように、その支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりも外方にはみ出し、耳部６（６ａ，６ｂ）を有するものとなる。耳部６（６ａ，６ｂ）には、後述する粘着層２を介して帯状フィルム４が設けられる。
【００２９】
支持フィルム１の幅Ａは、ガラスフィルム３の幅Ｂよりも５ｍｍ〜１００ｍｍ大きいことが好ましい。支持フィルム１の幅Ａが上記範囲であれは、ガラスフィルムの両側の耳部６に、後述する帯状フィルム４が設けられる。その結果、ガラスフィルム３の端部での割れを防ぎ且つ支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【００３０】
支持フィルム１にガラスフィルム３を積層した後の耳部６の幅（支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの距離）は、２．５ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましい。この範囲の幅で耳部６が設けられていることにより、その幅に対応した帯状フィルム４を安定して貼り合わせることができる。耳部６の幅が２．５ｍｍ未満では、ガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせてその幅の耳部６とすること自体が難しく、そのため、ガラスフィルム３が支持フィルム１からはみ出してしまうことがある。一方、耳部６の幅が５０ｍｍを超えると、幅が広すぎて、後述する引張弾性率の帯状フィルム４を設けても、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができないことがある。
【００３１】
こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。
【００３２】
（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。
【００３３】
粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。
【００３４】
粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００３５】
粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻きの際の問題を低減できるように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。
【００３６】
粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性が場合等に好ましく用いられる。
【００３７】
塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。
【００３８】
粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない大きさで設けられているか、又は、ガラスフィルム３の外寸を超えない大きさで設けられている。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状で設けられているか、又は、ガラスフィルム３の平面視形状と同じ形状で設けられている。前者は、粘着層２が支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで全面に設けられており、そこにガラスフィルム３が貼り合わされている（図１参照）。後者は、粘着層２がガラスフィルム３を超えない大きさでガラスフィルム３の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで全面に設けられており、そこに支持フィルム１が貼り合わされている（図２参照）。
【００３９】
前者の場合、粘着層２は支持フィルム１の幅方向Ｘの両側の耳部６（６ａ，６ｂ）に設けられているので、その耳部６に粘着層を有さない帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）を貼り合わせて図１に示すガラスフィルム積層体１０が製造される。後者の場合、粘着層２は支持フィルム１の幅方向Ｘの両側の耳部６（６ａ，６ｂ）に設けられていないので、その耳部６に粘着層２ａ，２ｂを有する帯状フィルム４（４ａ，４ｂ）を貼り合わせて図２に示すガラスフィルム積層体１０が製造される。
【００４０】
（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。
【００４１】
ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。
【００４２】
ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００４３】
ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルム３であってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様のガラスフィルム３が好ましく用いられる。本発明では、支持フィルム１の幅Ａがガラスフィルム３の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図３に示すように、支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからはみ出すように配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図４に示すように、支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりもはみ出すように配置されることになる。
【００４４】
なお、支持フィルム１の幅Ａ、ガラスフィルム３の幅Ｂ、支持フィルム１の幅方向Ｘの各端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象である支持フィルム１、ガラスフィルム３及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。
【００４５】
（帯状フィルム）
帯状フィルム４は、図１〜図４に示すように、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで、ガラスフィルム３の厚さＴ１以下の厚さＴ２のフィルムである。そして、耳部６に上記した粘着層２（図１参照）又は他の粘着層２ａ，２ｂ（図２参照）を介して設けられている。こうした帯状フィルム４は支持フィルム１の耳部６に設けられているが、その帯状フィルム４は剥離が予定されていないので、その耳部６に設けられている粘着層２は露出することがない。その結果、ガラスフィルム積層体１０は、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。
【００４６】
引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの帯状フィルム４としては、例えば、低密度ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、シリコーン樹脂（ゴム）フィルム、ブタジエン樹脂（ゴム）フィルム、ウレタン樹脂（ゴム）フィルム、）等を挙げることができる。引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａのこれら帯状フィルム４は、耳部６に設けられている。その結果、帯状フィルム４を耳部６に設けない場合に比べ、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。引張弾性率が５ＭＰａ未満では、軟らかすぎ、耳部６に設けても支持フィルム１にしわやカールが発生したり、切断したりするためうまく貼れないことがある。一方、引張弾性率が８００ＭＰａを超えると、軟らかくなくなり、耳部に設けても支持フィルム１のしわやカールが発生してしまうことがある。
【００４７】
なお、引張弾性率はヤング率と同義であり、本願では、ＪＩＳ  Ｋ６７３４：２０００に基づき、平行部幅１０ｍｍ、長さ４０ｍｍの帯状フィルム３を引張試験ダンベルに成形し、ＪＩＳ  Ｋ７１６１：１９９４に準拠して引張試験を行って求めたものである。また、ＡＳＴＭ  Ｄ−８８２−９０に基づき、テンシロン引張り試験機に幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍとなるようにセットし、引張り速度２００ｍｍ／分、温度２５℃、湿度６５％ＲＨの条件で測定した結果で評価することもできる。なお、本願では、ＡＳＴＭ  Ｄ−８８２−９０によって測定した値で評価している。
【００４８】
上記範囲の引張弾性率の帯状フィルム４を耳部６に設けた場合に、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる理由は以下のとおりである。すなわち、帯状フィルム４と支持フィルム１のひずみ量に差があるためと考えられる。帯状フィルム４が支持フィルム１の引張弾性率を超える高い値である場合には、帯状フィルム４が支持フィルム１のひずみに追従しないため、カールやしわの要因となると考えられる。一方、帯状フィルム４の引張弾性率が上記範囲のように柔軟であれば、支持フィルム１のひずみに追従するため、しわやカールが発生するのを防ぐことができると考えられる。
【００４９】
帯状フィルム４は、全体として５ＭＰａ〜８００ＭＰａの引張弾性率であれば、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された帯状フィルム４であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された帯状フィルム４であってもよい。帯状フィルム４の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００５０】
帯状フィルム４は耳部６のみに設けられており、しかもその厚さＴ２は、ガラスフィルム３の厚Ｔ１以下である。厚さＴ２の上限はガラスフィルム３の厚さＴ１と同じであり、厚さＴ２の下限は１μｍである。したがって、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていない。その結果、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。なお、帯状フィルム４の厚さＴ２が１μｍ未満では、その厚さＴ２が薄すぎ、帯状フィルム４を上手く貼り合わせることができないことがあり、また、耳部６に設けてもしわやカールを防ぐ効果が生じないことがある。
【００５１】
帯状フィルム４の幅Ｃは、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂとの間の距離ａ，ｂ、すなわち耳部６の幅よりも小さい。帯状フィルム４の幅Ｃが耳部６の幅（距離ａ，ｂ）と同じ又はそれを超える場合は、耳部６に貼り合わせた後の帯状フィルム４が支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すので、ガラスフィルム積層体１０を搬送し、その後の工程での位置決めを行う場合に、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂでの位置検出結果に誤差が生じやすく、例えば膜のパターニングを行う際の露光パターンの形成時に不具合が生じることがある。
【００５２】
帯状フィルム４の原反は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。そして、その原反を、耳部６に対応した所定の幅に切断して帯状フィルム４とすることができる。
【００５３】
以上説明したように、本発明に係るガラスフィルム積層体１０によれば、粘着層２を露出しないので、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。また、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルム４が耳部６に設けられているので、耳部６に帯状フィルム４を単に貼り合わせただけでも、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【００５４】
（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図５に示すように、膜５を設けてもよい。膜５は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜５が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。
【００５５】
パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。
【００５６】
ガラスフィルム３上にパターニングされた膜５を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜５であってもよい。
【００５７】
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を低減でき、さらに、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができるという効果を奏する。それ故、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造した場合に、素子や画素での欠陥等の不具合を少なくすることができ、且つしわやカールの発生を防止した状態で製造工程に供給できるという効果を奏する。
【００５８】
［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、ガラスフィルム３を準備する工程と、粘着層２が設けられ、幅Ａがガラスフィルム３よりも大きい支持フィルム１を準備する工程と、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａで厚さＴ２がガラスフィルム３の厚さＴ１以下のフィルムであって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させたときに、ガラスフィルム３の両側端部３ａ，３ｂから支持フィルム１がはみ出した耳部６（６ａ，６ｂ）に貼り合わせるための帯状フィルム４を準備する工程と、粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせる工程と、前記粘着層（２）又は他の粘着層（２ａ，２ｂ）を介して帯状フィルム４を耳部６に貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。
【００５９】
図６は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図６に示すように、先ず、ロール巻き状の支持フィルムロール３１は支持フィルム供給部２１に装着され、ロール巻き状の帯状フィルム３２は帯状フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール３３はガラスフィルム供給部２３に装着されている。
【００６０】
支持フィルムロール３１は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール３１から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール３３から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２４で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ４１で貼り合わせ部２４まで案内される。貼り合わせ部２４では、ニップローラ４３によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体は、搬送路２６を通って帯状フィルム４の貼り合わせ部２５に送られる。
【００６１】
帯状フィルムロール３２は、粘着層が設けられておらず、そのままロール巻きされている。この帯状フィルムロール３２は、所定幅の帯状フィルム４が供給されたガラスフィルム積層体の幅方向Ｘの両側の耳部６に対応するように、それぞれ１つずつ（計２つ）配置されている。帯状フィルムロール３２から繰り出された帯状フィルム４は、ガラスフィルム積層体の両側の耳部６，６に貼り合わされる。なお、帯状フィルム４は、必要に応じて配置されたガイドローラ４２で貼り合わせ部２５まで案内される。貼り合わせ部２５では、ニップローラ４４によって、帯状フィルム４を耳部６の粘着層２を介して帯状フィルム４と支持フィルム１とを貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路２６を通って巻取部２７に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３４となる。
【００６２】
なお、上記の場合は、支持フィルム１に粘着層２が設けられている場合の例であるが、支持フィルム１の耳部６に粘着層２が設けられていない場合には、帯状フィルム４に粘着層２ａ，２ｂが設けられている。この形態は、ガラスフィルム３に粘着層２が設けられ、そのガラスフィルム３が支持フィルム１に貼り合わされている場合に好ましく適用される。
【００６３】
この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様の作用効果を奏するものとなる。すなわち、製造されたガラスフィルム積層体１０は粘着層２を露出しないので、巻取部２７でロール巻きされた場合でも、ゴミ付着の問題やハンドリング時の貼り付き不具合の問題を引き起こすことがない。また、帯状フィルム４はガラスフィルム３上に載っておらず、帯状フィルム４の端部は段差になっていないので、ガラスフィルム積層体１０を例えば露光工程等に投入した場合であっても、帯状フィルム４の端部が露光マスクに接触したり、現像液が溜まったりする等の問題が生じない。また、引張弾性率が５ＭＰａ〜８００ＭＰａの柔軟な帯状フィルム４が耳部６に設けられているので、耳部６に帯状フィルム４を単に貼り合わせただけであっても、支持フィルム１にしわやカールが発生するのを防ぐことができる。
【実施例】
【００６４】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の実施例で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例と比較例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、搬送不具合、支持フィルムのしわやカールについて評価した。
【００６５】
［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ５９μｍ、幅３３０ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７、引張弾性率：４０００ＭＰａ）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール３１を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。帯状フィルム４として、厚さ５０μｍ、幅１０ｍｍ、長さ１０ｍのポリエチレンフィルム（出光ユニテック株式会社製、ユニラックス  ＲＳ−５７０Ｃ、引張弾性率：８００ＭＰａ）が３インチのコアに巻かれた帯状フィルムロール３２を２本準備した。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール３３を準備した。
【００６６】
続いて、図６に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２１に支持フィルムロール３１を設置し、帯状フィルム供給部２２に２本の帯状フィルムロール３２を設置し、ガラスフィルム供給部２３にガラスフィルムロール３３を設置した。続いて、ガラスフィルムロール３３から繰り出したガラスフィルム３と、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１とを、各々のフィルムの中心合わせを行って貼り合わせ部２４のニップローラ４３でラミネートした。その後、搬送路２６を搬送させて、ラミネートした後の積層体の幅方向Ｘの端部に存在する耳部６ａ，６ｂに、２本の帯状フィルムロール３２からそれぞれ繰り出された帯状フィルム４をそれぞれ位置合わせし、貼り合わせ部２５のニップローラ４４でラミネートした。その後、搬送路２６を搬送させて、巻取部２７で直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３４を得た。
【００６７】
次に、ガラスフィルム積層体ロール３４を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。そして、ガラスフィルム積層体１０を露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した後、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６８】
［実施例２］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレンフィルム（旭化成株式会社製、サランラップ、ポリ塩化ビニリデン製ラップ、引張弾性率：４００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６９】
［実施例３］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレフィルム（旭化成株式会社製、サランラップ−ポリエチレン製ラッップ、引張弾性率：２００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００７０】
［比較例１］
実施例１において、帯状フィルム４をＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製Ｅ５１０１、引張弾性率：４０００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００７１】
［比較例２］
実施例１において、帯状フィルム４をポリスチレンフィルム（電気化学工業株式会社製、クリアレンＣ、引張弾性率：１５００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００７２】
［比較例３］
実施例１において、帯状フィルム４をポリエチレンフィルム（プライムポリマー株式会社製、ハイゼックス、引張弾性率：１０００ＭＰａ）とした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００７３】
［測定と結果］
実施例１〜３及び比較例１〜３により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、搬送不具合と支持フィルム１の耳部６でのしわやカールの発生の有無とを評価し、その結果を表１に示した。搬送不具合は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に、５段階の相対評価で評価したものである。「１」は何も問題がなく特に良好なものであり、「２」はカールが僅かに見られたものの良好なものであり、「３」はカールが見られる上にしわも一部見られあまり良いものではなく、「４」は端部全体にわたってしわが見られて使用できないものであり、「５」は端部全体にわたってしわが見られる上、大きなカールが見られて使用できないものである。「２」以下の数字（１，２）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。
【００７４】
また、しわやカールの評価についても５段階の相対評価で評価した。「１」は何も問題がなく特に良好なものであり、「２」はしわやカールが僅かに見られたものの良好なものであり、「３」はしわやカールが一部見られあまり良いものではなく、「４」はしわやカールが見られて使用できないものであり、「５」はしわやカールが多く見られて使用できないものである。「２」以下の数字（１，２）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。なお、しわは、耳部６にロールの進行方向に沿って波をうっているような形態で現れ、カールは、ロールの幅方向に弧を描くような形態で現れる。
【００７５】
【表１】
2013022901.tif 000003
【００７６】
表１の評価結果より、帯状フィルム４の引張弾性率が８００ＭＰａ以下、より好ましくは４００ＭＰａ以下であれば、支持フィルム１の耳部６にカールやしわが発生せず、搬送不具合も生じないガラスフィルム積層体１０が得られることを確認した。なお、この実施例では、引張弾性率４０００ＭＰａのＰＥＴフィルムを用いているが、本発明者は、上記した引張弾性率の範囲（２０００ＭＰａ〜５０００ＭＰａ）の各種の支持フィルム１を用いても、同様の結果になることも確認した。
【符号の説明】
【００７７】
１  支持フィルム
１ａ，１ｂ  支持フィルムの端部
２  粘着層
２ａ，２ｂ  帯状フィルムに設けられている粘着層
３  ガラスフィルム
３ａ，３ｂ  ガラスフィルムの端部
４，４ａ，４ｂ  帯状フィルム
５  膜
６，６ａ，６ｂ  耳部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ  ガラスフィルム積層体
２０  ガラスフィルム積層体の製造装置
２１  支持フィルム供給部
２２  帯状フィルム供給部
２３  ガラスフィルム供給部
２４  支持フィルムの貼り合わせ部
２５  帯状フィルムの貼り合わせ部
２６  搬送路
２７  巻取部
３１  支持フィルムロール
３２  帯状フィルムロール
３３  ガラスフィルムロール
３４  ガラスフィルム積層体ロール
４１，４２  ガイドローラ
４３，４４  ニップローラ
【００７８】
Ａ  支持フィルムの幅
Ｂ  ガラスフィルムの幅
Ｃ  帯状フィルムの幅
ａ  支持フィルムの一方の端部からガラスフィルムの端部までの距離
ｂ  支持フィルムの他方の端部からガラスフィルムの端部までの距離
Ｔ１  ガラスフィルムの厚さ
Ｔ２  帯状フィルムの厚さ
【図１】
2013022901.tif 000004
【図２】
2013022901.tif 000005
【図３】
2013022901.tif 000006
【図４】
2013022901.tif 000007
【図５】
2013022901.tif 000008
【図６】
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