(57)【要約】【課題】ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行う。【解決手段】チャック１０に、チャック１０に搭載される基板１の縁と交差する様に、基板１の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画１２を有する吸引機構１１を設ける。吸引機構１１の各吸引区画１２の圧力を測定し、測定結果から、チャック１０に搭載された基板１の縁の位置を検出して、チャック１０上での基板１のずれ量を検出する。検出したチャック１０上での基板１のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板１のプリアライメントを行う。【選択図】図７
2013186275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載するチャックと、前記チャックを移動するステージと、前記ステージを駆動する駆動回路とを備え、前記ステージにより前記チャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置であって、
前記チャックに、前記チャックに搭載される基板の縁と交差する様に設けられ、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構と、
前記吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定する複数の測定手段と、
前記複数の測定手段の測定結果から、前記チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、前記チャック上での基板のずれ量を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出した前記チャック上での基板のずれ量に応じ、前記駆動回路により前記ステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記吸引機構を、前記チャックに搭載される四角形の基板の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上備えたことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記吸引機構は、前記チャックに搭載される四角形の基板の直交する２つの縁と交差する様に設けられたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置のプリアライメント方法であって、
チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、
吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、
測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、
検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うことを特徴とする露光装置のプリアライメント方法。
【請求項５】
吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上設け、四角形の基板の１つの縁の位置を２箇所以上で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所以上で検出することを特徴とする請求項４に記載の露光装置のプリアライメント方法。
【請求項６】
吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する２つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の露光装置のプリアライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示用パネル基板等の製造において、基板の露光を行う露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法に係り、特に、基板を搭載するチャックをステージにより移動して基板のプリアライメントを行う露光装置、及び露光装置のプリアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
また、近年、フォトレジストが塗布された基板へ光ビームを照射し、光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光装置が開発されている。光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを直接描画するため、高価なマスクが不要となる。また、描画データ及び走査のプログラムを変更することにより、様々な種類の表示用パネル基板に対応することができる。
【０００４】
露光装置は、基板を搭載して固定するチャックを備え、チャックは、基板のアライメントを行うステージ上に搭載されている。チャックへの基板の搬送は、通常、ロボット等のハンドリングアームにより行われる。そして、基板をチャックへ搬送した後、基板のアライメントを行う前に、露光装置の光学系に対して基板の位置及び角度をほぼ一定にするため、基板のプリアライメントが行われる。
【０００５】
従来は、基板のプリアライメントにおいて、四角形の基板の直交する二辺に対応する基準位置に基板の縁を検出するエッジセンサーを配置し、基板とエッジセンサーとを相対的に移動して、基板の縁がエッジセンサーで検出されるまでの移動量から、ステージの位置及び角度を補正していた。しかしながら、基板の縁を検出するのに基板とエッジセンサーとを相対的に移動する必要があるため、基板のプリアライメントに時間が掛かっていた。そこで、近年では、ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いて、チャックに搭載された基板の縁の画像を取得し、取得した画像に基づいて、基板のプリアライメントを行っている。
【０００６】
基板のプリアライメント用の画像取得装置は、所定の視野範囲を有し、チャックに搭載された基板の位置又は角度が大きくずれると、基板の縁が画像取得装置の視野範囲から外れて、基板の縁の画像が取得できなくなる。特許文献１には、基板の直交する二辺の縁が、プリアライメント用の画像取得装置の視野範囲から外れない様に、基板をチャックへ搬送する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−３００９７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般に、ＣＣＤカメラ等の画像取得装置は、高価であると共に、取り付け位置の調整に手間が掛かり、装置の振動で取り付け位置がずれることもある。また、光学部品の特性が経年変化で劣化するため、定期的なメンテナンスが必要となる。そのため、基板のプリアライメントに画像取得装置を用いると、設備費用が増加すると共に、調整及びメンテナンスの手間が増大する。一方、従来のエッジセンサーを用いる方法は、基板とエッジセンサーとを相対的に移動する必要があるため、基板のプリアライメントを迅速に行うことができない。
【０００９】
本発明の課題は、ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行うことである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の露光装置は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置であって、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に設けられ、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構と、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定する複数の測定手段と、複数の測定手段の測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出する検出手段と、検出手段により検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う制御手段とを備えたものである。
【００１１】
また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、基板を搭載するチャックと、チャックを移動するステージと、ステージを駆動する駆動回路とを備え、ステージによりチャックを移動して基板のプリアライメントを行う露光装置のプリアライメント方法であって、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うものである。
【００１２】
チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設ける。チャックに搭載された基板の縁より内側の所では、各吸引区画が基板で密閉されるため、各吸引区画内の空気を抜くと、各吸引区画内の圧力が低下する。一方、チャックに搭載された基板の縁より外側の所では、各吸引区画が基板で密閉されないため、各吸引区画内の空気を抜いても、各吸引区画内の圧力が低下しない。そこで、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出する。そして、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行う。ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構をチャックに設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントが迅速に行われる。
【００１３】
さらに、本発明の露光装置は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上備えたものである。また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上設け、四角形の基板の１つの縁の位置を２箇所以上で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所以上で検出するものである。四角形の基板の１つの縁の位置を２箇所以上で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所以上で検出することにより、四角形の基板のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
【００１４】
さらに、本発明の露光装置は、吸引機構が、チャックに搭載される四角形の基板の直交する２つの縁と交差する様に設けられたものである。また、本発明の露光装置のプリアライメント方法は、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する２つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出するものである。四角形の基板の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出するので、吸引機構の数が少なく済む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、チャックに、チャックに搭載される基板の縁と交差する様に、基板の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構を設け、吸引機構の各吸引区画内の圧力を測定し、測定結果から、チャックに搭載された基板の縁の位置を検出して、チャック上での基板のずれ量を検出し、検出したチャック上での基板のずれ量に応じ、駆動回路によりステージを駆動して、基板のプリアライメントを行うことにより、ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画を有する吸引機構をチャックに設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板のプリアライメントを迅速に行うことができる。
【００１６】
さらに、本発明によれば、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上設け、四角形の基板の１つの縁の位置を２箇所以上で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所以上で検出することにより、四角形の基板のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
【００１７】
さらに、本発明によれば、吸引機構を、チャックに搭載される四角形の基板の直交する２つの縁と交差する様に設け、四角形の基板の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構の各吸引区画内の圧力から検出することにより、吸引機構の数を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施の形態による露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態による露光装置の側面図である。
【図３】基板をチャックにロードした状態を示す上面図である。
【図４】基板をチャックにロードした状態を示す側面図である。
【図５】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図６】図６（ａ）は本発明の一実施の形態によるチャックの上面図、図６（ｂ）は基板を搭載したチャックの上面図である。
【図７】図７（ａ）は吸引機構の上面図、図７（ｂ）は吸引機構の一部断面側面図である。
【図８】各圧力計により測定した各吸引区画内の圧力の一例を示す図である。
【図９】図９（ａ）は本発明の他の実施の形態によるチャックの上面図、図９（ｂ）は基板を搭載したチャックの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、本発明の一実施の形態による露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態による露光装置の側面図である。本実施の形態は、マスク２と基板１との間に微小なギャップを設けて、マスク２のパターンを基板１へ転写するプロキシミティ露光装置の例を示している。露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、基板搬送ロボット３０、温度調節装置４０、台４１、検出回路５０、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０を含んで構成されている。なお、図２では、検出回路５０、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。露光装置は、これらの他に、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００２０】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００２１】
図１及び図２において、チャック１０は、基板１のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、基板搬送ロボット３０により、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。
【００２２】
ベース３の手前には、チャック１０へ搬送する前の基板１の温度を調節する温度調節装置４０が設けられている。図２において、温度調節装置４０は、台４１に搭載されている。図１において、温度調節装置４０の横には、基板搬送ロボット３０が配置されている。基板搬送ロボット３０は、基板１を図示しない搬送ラインから温度調節装置４０へ搬送する。そして、基板搬送ロボット３０は、チャック１０がロード／アンロード位置にある時、温度調節装置４０により温度が調節された基板１を温度調節装置４０からチャック１０へ搬送し、また露光後の基板１をチャック１０から図示しない搬送ラインへ搬送する。
【００２３】
温度調節装置４０の内部には、図示しない複数の突き上げピンが収納されている。温度調節装置４０は、突き上げピンを上昇させて基板搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１から基板１を受け取り、突き上げピンを下降させて基板１を温度調節面に接触させる。また、温度調節装置４０は、突き上げピンを上昇させて基板１を温度調節面から持ち上げ、基板搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１が突き上げピンの先端から基板１を受け取る。
【００２４】
同様に、チャック１０の内部には、図示しない複数の突き上げピンが収納されている。チャック１０は、突き上げピンを上昇させて基板搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１から基板１を受け取り、突き上げピンを下降させて基板１を表面に接触させる。また、チャック１０は、突き上げピンを上昇させて基板１を表面から持ち上げ、基板搬送ロボット３０のハンドリングアーム３１が突き上げピンの先端から基板１を受け取る。
【００２５】
図３は、基板をチャックにロードした状態を示す上面図である。また、図４は、基板をチャックにロードした状態を示す側面図である。なお、図３では、検出回路５０、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。また、図４では、基板搬送ロボット３０、温度調節装置４０、台４１、検出回路５０、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。本実施の形態では、主に、温度調節装置４０上における基板１のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ、並びに、基板１を温度調節装置４０からチャック１０へ搬送する際の基板搬送ロボット３０の移動誤差によって、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度にずれが発生する。
【００２６】
図５は、チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。なお、図５では、基板搬送ロボット３０、温度調節装置４０、台４１、検出回路５０、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。図３において、マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口２０ａが設けられており、マスクホルダ２０は、開口２０ａの周囲に設けられた図示しない吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。基板１の表面には、感光樹脂材料（フォトレジスト）が塗布されており、露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００２７】
図４及び図５において、チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図４及び図５の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図４及び図５の図面奥行き方向）へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０の裏面を複数個所で支持する。Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８には、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構は、図１のステージ駆動回路６０により駆動される。
【００２８】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないＺ−チルト機構によりマスクホルダ２０をＺ方向（図５の図面上下方向）へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、基板１のアライメントが行われる。図１において、主制御装置７０は、ステージ駆動回路６０を制御して、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向へ回転を行う。
【００２９】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。
【００３０】
以下、本発明の一実施の形態による露光装置のプリアライメント方法について説明する。図６（ａ）は本発明の一実施の形態によるチャックの上面図、図６（ｂ）は基板を搭載したチャックの上面図である。図６（ａ），（ｂ）に示す様に、チャック１０には、チャック１０に搭載される基板１の縁と交差する位置に、複数の吸引機構１１が設けられている。本実施の形態では、吸引機構１１が、チャック１０に搭載される四角形の基板１の１つの縁に２箇所、当該縁と直交する１つの縁に１箇所設けられている。
【００３１】
図７（ａ）は吸引機構の上面図、図７（ｂ）は吸引機構の一部断面側面図である。図７（ａ）において、各吸引機構１１は、基板１の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画１２を有する。図７（ｂ）において、各吸引区画１２は、チャック１０の表面から裏面へ貫通しており、本実施の形態では、各吸引区画１２に多孔質材１３が挿入されている。チャック１０の裏面において、各吸引区画１２には配管１４がそれぞれ接続されており、各配管１４は図示しない真空設備へ接続されている。
【００３２】
なお、図７では、１つの吸引機構１１に３２個の吸引区画１２が設けられているが、本発明はこれに限らず、１つの吸引機構１１に３１個以下、または３３個以上の吸引区画１２を設けてもよい。
【００３３】
図７（ｂ）において、チャック１０に搭載された基板１の縁より内側（図面左側）の所では、各吸引区画１２が基板１で密閉されるため、各吸引区画１２に接続された各配管１４から各吸引区画１２内の空気を抜くと、各吸引区画１２内の圧力が低下する。一方、チャック１０に搭載された基板１の縁より外側（図面右側）の所では、各吸引区画１２が基板１で密閉されないため、各吸引区画１２に接続された各配管１４から各吸引区画１２内の空気を抜いても、各吸引区画１２内の圧力が低下しない。各配管１４には、圧力計１５がそれぞれ取り付けられており、各圧力計１５は、各吸引区画１２内の圧力を測定する。図８は、各圧力計１５により測定した各吸引区画１２内の圧力の一例を示す図である。なお、図８において、縦軸は大気圧を零とした相対圧力を示し、横軸は各吸引区画１２の位置を図７（ｂ）の左から順番に示している。
【００３４】
図１において、検出回路５０は、各圧力計１５の測定結果から、チャック１０に搭載された基板１の縁の位置を検出して、チャック１０上での基板１のずれ量を検出する。本実施の形態では、図６に示す様に、吸引機構１１が、チャック１０に搭載される四角形の基板１の１つの縁に２箇所、当該縁と直交する１つの縁に１箇所設けられているので、検出回路５０は、四角形の基板１の１つの縁の位置を２箇所で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所で検出することにより、四角形の基板１のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出することができる。
【００３５】
なお、吸引機構１１を、四角形の基板１の同じ縁にさらに設け、あるいは他の縁にさらに設けて、四角形の基板１の同じ縁の位置をさらに多くの箇所で検出し、あるいは他の縁の位置をさらに検出すると、四角形の基板１のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ量をさらに精度よく検出することができる。
【００３６】
主制御装置７０は、検出回路５０が検出したチャック１０上での基板１のずれ量に応じ、ステージ駆動回路６０によりＸステージ５、Ｙステージ７及びθステージ８の各駆動機構を駆動して、基板１のプリアライメントを行う。ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画１２を有する吸引機構１１をチャック１０に設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板１のプリアライメントが迅速に行われる。
【００３７】
図９（ａ）は本発明の他の実施の形態によるチャックの上面図、図９（ｂ）は基板を搭載したチャックの上面図である。図９（ａ），（ｂ）に示す様に、本実施の形態では、各吸引機構１１が、チャック１０に搭載される四角形の基板１の直交する２つの縁と交差する様に設けられている。吸引機構１１を、チャック１０に搭載される四角形の基板１の直交する２つの縁と交差する様に設け、四角形の基板１の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構１１の各吸引区画１２内の圧力から検出するので、吸引機構１１の数が少なく済む。
【００３８】
以上説明した実施の形態によれば、チャック１０に、チャック１０に搭載される基板１の縁と交差する様に、基板１の裏面を吸引する複数の隣接した吸引区画１２を有する吸引機構１１を設け、吸引機構１１の各吸引区画１２内の圧力を測定し、測定結果から、チャック１０に搭載された基板１の縁の位置を検出して、チャック１０上での基板１のずれ量を検出し、検出したチャック１０上での基板１のずれ量に応じ、ステージ駆動回路６０によりＸステージ５、Ｙステージ７及びθステージ８を駆動して、基板１のプリアライメントを行うことにより、ＣＣＤカメラ等の画像取得装置を用いることなく、複数の隣接した吸引区画１２を有する吸引機構１１をチャック１０に設ける安価、かつ調整及びメンテナンスが容易な構成で、基板１のプリアライメントを迅速に行うことができる。
【００３９】
さらに、吸引機構１１を、チャック１０に搭載される四角形の基板１の１つの縁に２箇所以上、当該縁と直交する１つの縁に１箇所以上設け、四角形の基板１の１つの縁の位置を２箇所以上で検出し、当該縁と直交する１つの縁の位置を１箇所以上で検出することにより、四角形の基板１のＸＹ方向の位置及びθ方向の角度のずれ量を検出して、これらのずれ量を補正することができる。
【００４０】
さらに、吸引機構１１を、チャック１０に搭載される四角形の基板１の直交する２つの縁と交差する様に設け、四角形の基板１の直交する２つの縁の位置を、１つの吸引機構１１の各吸引区画１２内の圧力から検出することにより、吸引機構１１の数を減らすことができる。
【００４１】
本発明で用いる吸引機構の配置は、図６及び図９に示した例に限らず、チャックに搭載される基板の縁が１つ以上の吸引区画を密閉する様に、吸引機構を配置すればよい。
【００４２】
本発明は、プロキシミティ露光装置に限らず、光ビームにより基板を走査して、基板にパターンを描画する露光装置にも適用される。
【符号の説明】
【００４３】
１  基板
２  マスク
３  ベース
４  Ｘガイド
５  Ｘステージ
６  Ｙガイド
７  Ｙステージ
８  θステージ
９  チャック支持台
１０  チャック
１１  吸引機構
１２  吸引区画
１３  多孔質材
１４  配管
１５  圧力計
２０  マスクホルダ
３０  基板搬送ロボット
３１  ハンドリングアーム
４０  温度調節装置
４１  台
５０  検出回路
６０  ステージ駆動回路
７０  主制御装置
【図１】
2013186275.tif 000003
【図２】
2013186275.tif 000004
【図３】
2013186275.tif 000005
【図４】
2013186275.tif 000006
【図５】
2013186275.tif 000007
【図６】
2013186275.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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