(57)【要約】【課題】サンプル流上の複数の照射スポットの位置ずれを抑制できる微小粒子測定装置の提供。【解決手段】２以上の異なる波長の光を出射する光源１と、該光源１からの光が入射されて、微小粒子Ｐが通流するサンプル流Ｓへ向かって前記光を反射する光学部材４と、を備え、前記光学部材４は、前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜４１ａ、４１ｂが複数層設けられ、各反射膜４１ａ、４１ｂが互いに傾きを有して構成されている微小粒子測定装置を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２以上の異なる波長の光を出射する光源と、
該光源からの光が入射されて、微小粒子が通流するサンプル流へ向かって前記光を反射する光学部材と、
を備え、
前記光学部材は、
前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている微小粒子測定装置。
【請求項２】
前記反射膜は、各反射膜により反射されて前記サンプル流に照射される前記異なる波長の光の照射スポットが分離するような角度の傾きを有している請求項１記載の微小粒子測定装置。
【請求項３】
前記光学部材は、
第１表面と第２表面とが互いに傾きを有して対向する板状基材と、
前記板状基材の第１表面に形成された第１反射膜と、
前記板状基材の第２表面に形成された第２反射膜と、
を備えて構成されている請求項１記載の微小粒子測定装置。
【請求項４】
前記光学部材は、
対向する反射膜間に前記傾きを形成するスペーサが設けられて構成されている請求項１記載の微小粒子測定装置。
【請求項５】
２以上の異なる波長の光を出射する光源と、
該光源からの光が入射され、照射対象物へ向かって前記光を反射する光学部材と、
を備え、
前記光学部材は、
前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている光照射装置。
【請求項６】
２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている微小粒子測定装置用の光学部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、微小粒子測定装置及び光照射装置並びに微小粒子測定装置用の光学部材に関する。より詳しくは、細胞やマイクロビーズ等の微小粒子の特性を光学的に分析する微小粒子測定装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フローセル内やマイクロチップ上に形成された流路内を通流する微小粒子に光（レーザ）を照射し、微小粒子からの散乱光や、微小粒子そのものあるいは微小粒子に標識された蛍光物質から発生する蛍光を検出して、微小粒子の光学特性を測定する微小粒子測定装置が用いられている。
この微小粒子測定装置では、光学特性の測定の結果、所定の条件を満たすと判定されたポピュレーション（群）を、微小粒子中から分別回収することも行われている。このうち、特に微小粒子として細胞の光学特性を測定したり、所定の条件を満たす細胞群を分別回収したりする装置は、フローサイトメータあるいはセルソータ等と呼ばれている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、「互いに異なる波長を有する複数の励起光を、所定の周期および互いに異なる位相で照射する複数の光源と、複数の励起光を同一の入射光路上に導光し、染色された粒子に集光する導光部材とを備えたフローサイトメータ」が開示されている。このフローサイトメータは、互いに異なる波長を有する複数の励起光を照射する複数の光源と、前記複数の励起光を同一の入射光路上に導光し、染色された粒子に集光する導光部材と、前記複数の励起光のそれぞれが前記粒子を励起して生じた蛍光を検出し、蛍光信号を出力する複数の蛍光検出器と、を備えるものである（当該文献請求項１・３、図１・３参照）。
【０００４】
従来の微小粒子測定装置では、図５に示すように、流路を通流するサンプル流Ｓに対して、波長の異なる複数の光源１１１から出射される励起光を集光レンズ１１５にて集光させ、サンプル流Ｓ上に複数の照射スポットを形成させるものがある。そして、サンプル流Ｓ中の微小粒子Ｐからの蛍光等を検出系、光検出器１１７にて検出する構成がとられている（例えば、特許文献２の図１５参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−０４６９４７号公報
【特許文献２】特開２００９−２７０９９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一方、微小粒子測定装置を構成する光源やレンズ等は、装置に加わる振動や温度変化等の影響で相対的に微小なずれが生じることがあり、それによって、サンプル流上の照射スポットも微小な位置ずれが生じることがある。照射スポットに位置ずれが生じた場合、ユーザーが各光照射系を高精度に調整し、各照射スポットのアライメントが必要となる。特に、図６に示すように、流路（サンプル流Ｓ）に直交する方向の照射スポットｓの位置ずれは、検出強度のばらつきの原因となり、測定誤差が生じ、大きな問題となる。
【０００７】
そこで、本技術は、サンプル流上の複数の照射スポットの位置ずれを抑制でき、微小粒子に対して高精度に光を照射することが可能な光照射系を備えた微小粒子測定装置を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本技術は、２以上の異なる波長の光を出射する光源と、該光源からの光が入射されて、微小粒子が通流するサンプル流へ向かって前記光を反射する光学部材と、を備え、前記光学部材は、前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている微小粒子測定装置を提供する。
この微小粒子測定装置では、光学部材の波長選択性を有する反射膜により、光源から出射される２以上の異なる波長の光をその波長又は波長帯域に応じて透過又は反射させることが可能となる。そして、光学部材の各反射膜が互いに傾きを有することで、各反射膜により反射されて前記サンプル流に照射される前記異なる波長の光の照射スポットが分離される。
【０００９】
この微小粒子測定装置において、前記光学部材は、第１表面と第２表面とが互いに傾きを有して対向する板状基材と、前記板状基材の第１表面に形成された第１反射膜と、前記板状基材の第２表面に形成された第２反射膜と、を備えて構成されているものとすることができる。
また、前記光学部材は、対向する反射膜間に前記傾きを形成するスペーサが設けられて構成されてもよい。
また、本技術では、２以上の異なる波長の光を出射する光源と、該光源からの光が入射され、照射対象物へ向かって前記光を反射する光学部材と、を備え、前記光学部材は、前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている光照射装置を提供する。
さらに、本技術では、２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている、微小粒子測定装置用の光学部材を提供する。
【００１０】
本技術において、「微小粒子」には、細胞や微生物、リポソームなどの生体関連微小粒子、あるいはラテックス粒子やゲル粒子、工業用粒子などの合成粒子などが広く含まれるものとする。
生体関連微小粒子には、各種細胞を構成する染色体、リポソーム、ミトコンドリア、オルガネラ(細胞小器官)などが含まれる。対象とする細胞には、動物細胞(血球系細胞など)および植物細胞が含まれる。微生物には、大腸菌などの細菌類、タバコモザイクウイルスなどのウイルス類、イースト菌などの菌類などが含まれる。さらに、生体関連微小粒子には、核酸やタンパク質、これらの複合体などの生体関連高分子も包含され得るものとする。
また、工業用粒子は、例えば有機もしくは無機高分子材料、金属などであってもよい。有機高分子材料には、ポリスチレン、スチレン・ジビニルベンゼン、ポリメチルメタクリレートなどが含まれる。無機高分子材料には、ガラス、シリカ、磁性体材料などが含まれる。金属には、金コロイド、アルミなどが含まれる。これら微小粒子の形状は、一般には球形であるのが普通であるが、非球形であってもよく、また大きさや質量なども特に限定されない。
【００１１】
本技術において、光学部材における反射膜が「２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する」とは、光源から出射される２以上の異なる波長の光のうち、特定波長（又は特定波長帯域）の光は反射し、その特定波長（又は特定波長帯域）以外の波長の光は透過する性質を有することをいう。
【発明の効果】
【００１２】
本技術により、サンプル流上の複数の照射スポットの位置ずれを抑制でき、微小粒子に対して高精度に光を照射することが可能な光照射系を備えた微小粒子測定装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本技術に係る微小粒子測定装置の概略構成を説明する模式図である。
【図２】本技術の第１実施形態に係る微小粒子測定装置の光照射系の構成を説明する模式図である。
【図３】本技術の第２実施形態に係る微小粒子測定装置の光照射系の構成を説明する模式図である。
【図４】本技術の第３実施形態に係る微小粒子測定装置の光照射系の構成を説明する模式図である。
【図５】従来の微小粒子測定装置の光照射系の一構成例を説明する模式図である。
【図６】従来の微小粒子測定装置における複数照射スポットの位置ずれを説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本技術を実施するための好適な形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。なお、説明は以下の順序で行う。
１．第１実施形態に係る微小粒子測定装置
２．第２実施形態に係る微小粒子測定装置
３．第３実施形態に係る微小粒子測定装置
【００１５】
１．第１実施形態に係る微小粒子測定装置
図１に、本技術の第１実施形態に係る微小粒子測定装置の概略構成を示す。図２は、本実施形態の微小粒子測定装置における光照射系を主に図示した概略構成である。
【００１６】
本技術の微小粒子測定装置は、図１に示すように、光源１、光学部材４等から構成される光照射系、微小粒子Ｐ、サンプル流Ｓ及びシース流等が送流される、フローセルやマイクロチップ等の流路系を備えている。また、このフローセル内やマイクロチップ上に形成された流路内を通過する微小粒子Ｐからの複数の蛍光・後方散乱光、前方散乱光等の光成分を検出する光検出系等を備えていてもよい。なお、図示しないが、当該微小粒子測定装置は、必要に応じて測定後の微小粒子Ｐを回収や分離するソート系を備えていてもよい。
【００１７】
光源１からの光（励起光）は、光ファイバー２、コリメータレンズ３、光学部材４及び集光レンズ５等から構成される光照射系によって、フローセルやマイクロチップ上に形成された流路内を通流するサンプル流Ｓ中の微小粒子Ｐに照射される。図中、矢印Ｆは、フローセル等内におけるサンプル流Ｓの送流方向を示す。
【００１８】
サンプル流Ｓに集光され照射された光によって、微小粒子Ｐあるいは微小粒子Ｐに標識された蛍光物質から発生する散乱光や蛍光は、光検出系によって検出される。図１では、前方散乱光は、ＦＳ光学フィルタ６を経てＦＳ検出器７にて検出され、蛍光・後方散乱光は、集光レンズ５、ミラー８、ＦＬ・ＢＳ光学フィルタ９、ＦＬ・ＢＳ集光レンズ１０、及び光ファイバー１１を経てＦＬ・ＢＳ検出器１２にて検出される構成を例示している。なお、光照射系や光検出系の構成は、従来公知の微小粒子測定装置と同様の構成とできる。
【００１９】
次に、図２を参照しながら、本技術の微小粒子測定装置の光照射系について詳述する。なお、図２では、図１に示した、光ファイバー２、コリメータレンズ３、及びミラー８等の図示を省略している。
【００２０】
本実施形態の微小粒子測定装置は、光照射系として、光源１と光学部材４とを少なくとも備える。光源１から出射された光は光学部材４に入射され、光学部材４は、入射された光を微小粒子Ｐが通流するサンプル流Ｓに向かって反射する。
【００２１】
光源１は、少なくとも２以上の異なる波長の光を出射することが可能なものであり、レーザー光源が好適である。１つのレーザー光源にそれぞれ波長の異なる複数のレーザーが内蔵された、いわゆるマルチレーザーを用いてもよいし、それぞれ波長の異なる複数の光源（レーザー）を配置して用いてもよい。マルチレーザーは、波長の異なる複数のレーザービームを同一直線上、または平行光線として、サンプル流Ｓに同時に照射することができるため、好適である。
【００２２】
光学部材４は、光源１から出射される２以上の異なる波長の光に対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられているものである。本実施形態では、光学部材４は２層の反射膜４１ａ、４１ｂを有している。そして、その複数層の反射膜４１ａ、４１ｂは、各反射膜４１ａ、４１ｂが互いに傾きを有して構成される。各反射膜４１ａ、４１ｂは、それぞれ異なる波長選択性を有しているのが好適である。
【００２３】
光学部材４は、石英ガラス、合成石英ガラス等からなる透明な板状基材４１の表面に反射膜４１ａ、４１ｂを形成したものを用いることができる。板状基材４１の平面視形状は特に限定されず、例えば、円形状、楕円形状、三角形状、四角形状、多角形状等とすることができる。
反射膜４１ａ、４１ｂとしては、金属薄膜又は誘電体多層膜からなる、いわゆる光学薄膜を用いることができる。板状基材４１の表面に反射膜４１ａ、４１ｂを形成する方法としては、公知の手法を用いることができ、例えば、真空蒸着が挙げられる。
【００２４】
波長選択性を有する反射膜４１ａ、４１ｂは、例えば、短波長側の光を反射させて長波長側の光を透過するもの（いわゆるロングパスフィルタ）、短波長側の光を透過させて長波長側の光を反射するもの（いわゆるショートパスフィルタ）、特定波長又は特定波長帯域の光を透過させ、それより短波長側及び長波長側の光を反射させるもの（いわゆるバンドパスフィルタ）等のように構成することができる。
【００２５】
本実施形態では、光学部材４は、第１表面４１ａと第２表面４１ｂとが互いに傾きを有して対向する板状基材４１と、その板状基材４１の第１表面に形成された第１反射膜４１ａと、第２表面に形成された第２反射膜４１ｂと、を備えて構成されている。すなわち、板状基材４１の対向する第１表面と第２表面とが非平行で互いに傾きを有することで、それら表面に形成された対向する第１反射膜４１ａと第２反射膜４１ｂとが互いに傾きを有するように構成されている。
具体的には、光学部材４における板状基材４１の第２表面４１ｂは、第１表面４１ａに対して角度φをもって傾いていることにより、第２反射膜４１ｂは、第１反射膜４１ａに対して角度φをもって傾いている。
【００２６】
本実施形態における光源１は、少なくとも波長λ１と波長λ２の２種波長の光Ｌ１、Ｌ２を出射することが可能である。
光源１から出射される波長λ１の光Ｌ１（例えば、青色の光）は、光学部材４の第１反射膜４１ａによってサンプル流Ｓへ向かって反射され、集光レンズ５を経てサンプル流Ｓに照射される（図２の照射スポットｓ１参照）。
また、光源１から出射される波長λ２の光Ｌ２（例えば、赤色の光）は、光学部材４の第１反射膜４１ａを透過し、第１反射膜４１ａと傾きを有して対向する第２反射膜４１ｂによって反射され、集光レンズ５を経てサンプル流Ｓに照射される（図２の照射スポットｓ２参照）。
このように、各反射膜４１ａ、４１ｂが互いに傾きを有する光学部材４を光源１の光路中に配置することにより、異なる波長（λ１、λ２）の各光Ｌ１、Ｌ２のサンプル流Ｓへの照射スポットｓ１、ｓ２をそれぞれ分離させることができる。
【００２７】
上述の通り、第１反射膜４１ａと第２反射膜４１ｂとは、角度φの傾きを有している。この角度φにより、各反射膜４１ａ、４１ｂは、各反射膜４１ａ、４１ｂで反射されてサンプル流Ｓに照射される波長λ１及び波長λ２の光Ｌ１、Ｌ２の各照射スポットｓ１、ｓ２が、それぞれ分離するような角度の傾きを有しているといえる。
【００２８】
第１反射膜４１ａと第２反射膜４１ｂとの角度φは、波長λ１と波長λ２の各光Ｌ１、Ｌ２の照射スポットｓ１、ｓ２間の距離をｄ、焦点距離（集光レンズ５からサンプル流Ｓまでの距離）をｆとした場合、φ＝ｄ／２ｆ  と表される。本技術の微小粒子測定装置では、照射スポット間距離ｄは、例えば、１００〜２００μｍ程度（例えば、１５０μｍ）、焦点距離ｆは、例えば、１ｍｍ〜１０ｍｍ程度（例えば、４ｍｍ）として構成することができる。
図２では、サンプル流Ｓ、及び光Ｌ１、Ｌ２が、図２の平面内にあり、角度φが図２の平面に垂直な方向の軸回りの角度の場合を示しているが、この場合に限定されず、例えば、光Ｌ１、Ｌ２が図２の平面に垂直な方向で光学部材４に入射されるように配置されてもよい。
【００２９】
なお、例えば、青色の光を発する波長λ１は波長４５０〜４９５ｎｍ帯域（例えば、波長４８８ｎｍ）、赤色の光を発する波長λ２は波長６２０〜７５０ｎｍ帯域（例えば、波長６３８ｎｍ）が選択され得る。
【００３０】
第１実施形態に係る微小粒子測定装置では、光源１から出射される２以上の波長（本実施形態では２つの波長λ１、λ２）の光Ｌ１、Ｌ２を１つの光学部材４にて、各照射スポットｓ１、ｓ２を分離するようにしているため、各波長の光Ｌ１、Ｌ２の照射スポットｓ１、ｓ２が、サンプル流Ｓに対して、それぞれ別々に位置ずれすることを抑制することができる。よって、サンプル流Ｓ中の微小粒子Ｐに対して高精度に光を照射することが可能となる。
【００３１】
一般に、２以上の異なる波長の光（複数の光源）のそれぞれに対して、光照射系を設計することが行われており、その光照射系におけるミラーマウントの高精度な管理・調整が必要である。そして、複数光源の各照射スポットが位置ずれした際には、各光源の光照射系を高精度に調整し直す必要が生じる。これに対して、本技術では、上述の通り、１つの光学部材４にて、サンプル流Ｓへの照射スポット（ｓ１、ｓ２）を分離するようにしているため、光照射系の管理（調整）が容易化されるとともに、照射スポットの位置ずれを抑制することができる。
【００３２】
２．第２実施形態に係る微小粒子測定装置
図３に、本技術の第２実施形態に係る微小粒子測定装置の光照射系の構成を示す。図３についても図２と同様、コリメータレンズやミラー等の図示を省略している。
また、本実施形態の微小粒子測定装置における光照射系以外の構成については、例えば、第１実施形態（図１参照）で述べた構成と同様にすることができるため、説明を省略する。
本実施形態に係る微小粒子測定装置は、第１実施形態の微小粒子測定装置と比べて、光学部材の構成が異なる。
【００３３】
本実施形態における光学部材４２は、光源１から出射される２以上の異なる波長の光に対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられている。そして、対向する２つ反射膜の間にスペーサが設けられ、そのスペーサにより反射膜が互いに傾きを有する構成を備えている。以下、光学部材４２の構成を具体的に述べる。
【００３４】
光学部材４２は、平行平板状の板状基材（第１板状基材）４３と、対向する表面が互いに傾きを有する板状基材（第２板状基材）４４との間にスペーサ４５が設けられている。スペーサ４５は、光が通る部分（光学有効エリア）に穴が開いた形状とされている。
第１板状基材４３の対向する第１表面４３ａと第２表面４３ｂとは互いに平行であり、第２表面のみに反射膜（第１反射膜）４３ｂが形成されている。
第２板状基材４４の対向する第１表面４４ａ及び第２表面４４ｂには、ともに反射膜（第２反射膜４４ａ、第３反射膜４４ｂ）が形成されている。第２板状基材４４の第１表面と第２表面とは互いに傾きを有していることから、第２反射膜４４ａと第３反射膜４４ｂとが互いに傾きを有している。
そして、光学部材４２において、対向する第１板状基材４３の第２表面（第１反射膜）４３ｂと、第２板状基材４４の第１表面（第２反射膜）４４ａとは、第１板状基材４３と第２板状基材４４との間に設けられたスペーサ４５により、傾きを有して構成されている。
なお、スペーサ４５の材質は特に限定されず、例えば、各種樹脂材料、各種ゴム材料、各種金属材料等を用いることができる。
【００３５】
本実施形態では、光学部材４２が３層の反射膜４３ｂ、４４ａ、４４ｂを備えており、光源１から出射される３波長の光Ｌ３〜Ｌ５に対応することが可能となる。以下、具体的に述べる。
【００３６】
本実施形態では、光源１から少なくとも３波長（λ３、λ４、λ５）の光Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５が出射され、光学部材４２における第１板状基材４３の第１表面４３ａに入射される。
波長λ３の光Ｌ３（例えば、青色の光）は、光学部材４２の第１板状基材４３の第１表面４３ａを透過し、第２表面に形成された第１反射膜４３ｂによって反射され、集光レンズ５を経てサンプル流Ｓ上に照射される（図３の照射スポットｓ３参照）。
波長λ４の光Ｌ４（例えば、緑色の光）は、第１板状基材４３の第１表面４３ａ及び第２表面（第１反射膜）４３ｂを透過し、両板状基材４３、４４間にある空気層Ａを経て、第２板状基材４４の第１表面に形成された第２反射膜４３ａによって反射され、集光レンズ５を経て、サンプル流Ｓ上に照射される（図３の照射スポットｓ４参照）。
波長λ５の光Ｌ５（例えば、赤色の光）は、第１板状基材４３の第１表面４３ａ、第２表面（第１反射膜）４３ｂ、及び第２板状基材４４の第１表面（第２反射膜）４４ａを透過し、第２板状基材４４の第２表面に形成された第３反射膜４４ｂによって反射され、集光レンズ５を経て、サンプル流Ｓ上に照射される（図３の照射スポットｓ５参照）。
【００３７】
このように、光学部材４２において、各反射膜４３ｂ、４４ａ、４４ｂが、それぞれ互いに傾きを有することにより、光源１から出射される異なる波長（λ３、λ４、λ５）の光（Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５）のサンプル流Ｓ上への照射スポット（ｓ３、ｓ４、ｓ５）をそれぞれ分離させることができる。
【００３８】
なお、例示した各色の各波長について、波長λ３は波長４５０〜４９５ｎｍ帯域（例えば、波長４８８ｎｍ）、波長λ４は波長４９５〜５７０ｎｍ帯域（例えば、波長５６１ｎｍ）、波長λ５は波長６２０〜７５０ｎｍ帯域（例えば、波長６３８ｎｍ）が選択され得る。
【００３９】
第２実施形態に係る微小粒子測定装置では、光源１から出射される２以上の波長（本実施形態では３つの波長λ３〜λ５）の光Ｌ３〜Ｌ５を１つの光学部材４２にて、各照射スポット（ｓ３〜ｓ５）を分離するようにしているため、各波長λ３〜λ５の光Ｌ３〜Ｌ５の照射スポットｓ３〜ｓ５が、サンプル流Ｓに対して、それぞれ別々に位置ずれするのを抑制することができる。よって、サンプル流Ｓ中の微小粒子Ｐに対して高精度に光を照射することが可能となる。
【００４０】
３．第３実施形態に係る微小粒子測定装置
図４に、本技術の第３実施形態に係る微小粒子測定装置の光照射系の構成を示す。図４についても図２と同様、コリメータレンズやミラー等の図示を省略している。
また、本実施形態の微小粒子測定装置における光照射系以外の構成についても、例えば、第１実施形態（図１参照）で述べた構成と同様にすることができるため、説明を省略する。
本実施形態に係る微小粒子測定装置についても、第１実施形態の微小粒子測定装置と比べて、光学部材の構成が異なる。
【００４１】
本実施形態における光学部材４６は、光源１から出射される２以上の異なる波長の光に対して波長選択性を有する反射膜が複数層（本実施形態では４層）設けられている。そして、光学部材４６は、各反射膜が傾きを有するように構成されている。以下、光学部材４６の構成を具体的に述べる。
【００４２】
光学部材４６は、２つの板状基材（第１板状基材４７及び第２板状基材４８）を備え、両板状基材４７、４８が透明な接着剤４９により接着されて構成されている。接着剤４９の材質は特に限定されず、例えば、アクリル樹脂系、エポキシ樹脂系、ウレタン樹脂系等の接着剤を用いることができる。接着剤４９は、第１板状基材４７の第２表面４７ｂと第２板状基材４８の第１表面４８ａの面全体に設けてもよく、第１板状基材４７の第２表面４７ｂと第２板状基材４８の第１表面４８ａの周辺部のみに設けてもよい。
【００４３】
第１板状基材４７は、対向する第１表面４７ａと第２表面４７ｂとが互いに非平行で傾きを有している。第２板状基材４８も、対向する第１表面４８ａと第２表面４８ｂとが互いに非平行で傾きを有している。また、光学部材４６は、第１板状基材４７の第２表面４７ｂと、第２板状基材４８の第１表面４８ａとが、互いに非平行で傾きを有して構成されている。
第１板状基材４７の第１表面及び第２表面には、それぞれ第１反射膜４７ａ及び第２反射膜４７ｂが形成されている。また、第２板状基材４８の第１表面及び第２表面にも、それぞれ第３反射膜４８ａ及び第４反射膜４８ｂが形成されている。そのため、光学部材４６において、各反射膜４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂは、いずれも傾きを有して構成されている。
【００４４】
本実施形態では、光学部材４６が４層の反射膜４７ａ、４７ｂ、４８ａ、４８ｂを備えており、光源１から出射される４波長の光Ｌ６〜Ｌ９に対応することが可能となる。以下、具体的に述べる。
【００４５】
本実施形態では、光源１から少なくとも４波長（λ６、λ７、λ８、λ９）の光（Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８、Ｌ９）が出射され、光学部材４６における第１板状基材４７の第１表面（第１反射膜）４７ａに入射される。
波長λ６の光Ｌ６（例えば、紫色の光）は、光学部材４６の第１板状基材４７の第１表面に形成された第１反射膜４７ａによって反射され、集光レンズ５を経てサンプル流Ｓ上に照射される（図４の照射スポットｓ６参照）。
波長λ７の光Ｌ７（例えば、青色の光）は、第１板状基材４７の第１表面（第１反射膜）４７ａを透過し、第１板状基材４７の第２表面に形成された第２反射膜４７ｂによって反射され、集光レンズ５を経て、サンプル流Ｓ上に照射される（図４の照射スポットｓ７参照）。
波長λ８の光Ｌ８（例えば、緑色の光）は、第１板状基材４７の第１表面（第１反射膜）４７ａ及び第２表面（第２反射膜）４７ｂを透過し、接着剤４９の層を経て、第２板状基材４８の第１表面に形成された第３反射膜４８ａによって反射され、集光レンズ５を経て、サンプル流Ｓ上に照射される（図４の照射スポットｓ８参照）。
波長λ９の光Ｌ９（例えば、赤色の光）は、第１板状基材４７の第１表面（第１反射膜）４７ａ及び第２表面（第２反射膜）４７ｂを透過し、接着剤４９の層を経て、さらに第２板状基材４８の第１表面（第３反射膜）４８ａをも透過し、第２板状基材４８の第２表面に形成された第４反射膜４８ｂによって反射される。そして、第４反射膜４８ｂによって反射された波長λ９の光Ｌ９は、集光レンズ５を経て、サンプル流Ｓ上に照射される（図４の照射スポットｓ９参照）。
【００４６】
このように、光学部材４６において、各反射膜（第１反射膜４７ａ、第２反射膜４７ｂ、第３反射膜４８ａ、及び第４反射膜４８ｂ）が、それぞれ傾きを有することにより、光源１から出射される異なる波長（λ６〜λ９）の光（Ｌ６〜Ｌ９）のサンプル流Ｓ上への照射スポット（ｓ６〜ｓ９）をそれぞれ分離させることができる。
【００４７】
なお、例示した各色の各波長については、波長λ６は波長３８０〜４５０ｎｍ帯域（例えば、波長４０５ｎｍ）、波長λ７は波長４５０〜４９５ｎｍ帯域（例えば、波長４８８ｎｍ）、波長λ８は波長４９５〜５７０ｎｍ帯域（例えば、波長５６１ｎｍ）、波長λ９は波長６２０〜７５０ｎｍ帯域（例えば、波長６３８ｎｍ）が選択され得る。
【００４８】
第３実施形態に係る微小粒子測定装置では、光源１から出射される２以上の波長（本実施形態では４つの波長λ６〜λ９）の光（Ｌ６〜Ｌ９）を１つの光学部材４６にて、各照射スポット（ｓ６〜ｓ９）を分離するようにしているため、各波長（λ６〜λ９）の光（Ｌ６〜Ｌ９）の照射スポット（ｓ６〜ｓ９）が、サンプル流Ｓに対して、それぞれ別々に位置ずれするのを抑制することができる。よって、サンプル流Ｓ中の微小粒子Ｐに対して高精度に光を照射することが可能となる。
【００４９】
４．各実施形態における共通事項
最後に、上述した以外に各実施形態に係る微小粒子測定装置が有する共通事項を述べる。
【００５０】
本技術の微小粒子測定装置では、２以上の波長の光を１つの光学部材にて、各照射スポットを分離するようにしているため、各波長の光の照射スポットが各々で位置ずれすることを防止できる。また、１つの光学部材で複数の照射スポットを一括して調整することができるため、アライメントが容易となる。
【００５１】
本技術の微小粒子測定装置における光源から照射される光の波長は、上述の各実施形態で述べた波長又は波長帯域に限定されず、ユーザーが適宜自由に選ぶことができる。その場合、光学部材における反射膜が有する波長選択性は、適宜設定することができる。
また、場合によっては、使用する光源又は使用する光源における光の波長に応じて、光学部材自体をユーザーが適宜交換することも可能である。
【００５２】
上記各実施形態では、短波長側の光から順に、光学部材の反射膜で反射されるように構成されている光照射系を例示したが、反射される光（波長）の順序は特に限定されない。例えば、長波長側の光から順に、光学部材の反射膜で反射されるように構成されていてもよい。
【００５３】
第１実施形態では２層の反射膜、第２実施形態では３層の反射膜、第３実施形態では４層の反射膜が形成されている構成を例示したが、各実施形態における光学部材４、４２、４６について、反射膜をさらに増やして構成してもよい。また、反射膜は５層以上とすることも可能である。
【００５４】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）２以上の異なる波長の光を出射する光源と、該光源からの光が入射されて、微小粒子が通流するサンプル流へ向かって前記光を反射する光学部材と、を備え、
前記光学部材は、前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている、微小粒子測定装置。
（２）前記反射膜は、各反射膜により反射されて前記サンプル流に照射される前記異なる波長の光の照射スポットが分離するような角度の傾きを有している、前記（１）に記載の微小粒子測定装置。
（３）前記光学部材は、第１表面と第２表面とが互いに傾きを有して対向する板状基材と、前記板状基材の第１表面に形成された第１反射膜と、前記板状基材の第２表面に形成された第２反射膜と、を備えて構成されている、前記（１）又は（２）に記載の微小粒子測定装置。
（４）前記光学部材は、対向する反射膜間に前記傾きを形成するスペーサが設けられて構成されている、前記（１）〜（３）のいずれか１つに記載の微小粒子測定装置。
（５）２以上の異なる波長の光を出射する光源と、該光源からの光が入射され、照射対象物へ向かって前記光を反射する光学部材と、を備え、
前記光学部材は、前記２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている光照射装置。
（６）２以上の異なる波長の光のいずれかに対して波長選択性を有する反射膜が複数層設けられ、前記反射膜が互いに傾きを有して構成されている、微小粒子測定装置用の光学部材。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本技術に係る微小粒子測定装置は、サンプル流上の複数の照射スポットの位置ずれを抑制でき、微小粒子に対して高精度に光を照射することが可能である。従って、本技術は、フローサイトメータあるいはセルソータ等の微小粒子測定装置として好適に実施され得る。
【符号の説明】
【００５６】
１  光源
４  光学部材
４１  板状基材
４１ａ  第１反射膜（板状基材の第１表面）
４１ｂ  第２反射膜（板状基材の第２表面）
４２  光学部材
４３  第１板状基材
４３ａ  第１板状基材の第１表面
４３ｂ  第１反射膜（第１板状基材の第２表面）
４４  第２板状基材
４４ａ  第２反射膜（第２板状基材の第１表面）
４４ｂ  第３反射膜（第２板状基材の第２表面）
４５  スペーサ
４６  光学部材
４７  第１板状基材
４７ａ  第１反射膜（第１板状基材の第１表面）
４７ｂ  第２反射膜（第１板状基材の第２表面）
４８  第２板状基材
４８ａ  第３反射膜（第２板状基材の第１表面）
４８ｂ  第４反射膜（第２板状基材の第２表面）
４９  接着剤
Ｓ  サンプル流
Ｐ  微小粒子
Ｌ１〜Ｌ９  光
ｓ１〜ｓ９  照射スポット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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