(57)【要約】【課題】長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル３の負圧ポケット３ａ、３ｂは吸引流路３ｃ、吸引管路５によりエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９ａが接続しており、排出管路９ａには弁制御装置１２により開閉動作を行う電磁開閉弁１０が接続し、電磁開閉弁１０には排出管路９ｂが接続し、回収タンク１１へ連通している。テーブル起動時にポンプを起動すると同時に電磁開閉弁１０を閉動作し、負圧ポケット３ａ、３ｂに潤滑油が充満した後に電磁開閉弁１０を開動作する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内面を備えたベース上に、負圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部の係合部に潤滑油を供給して搭載し、前記負圧ポケットに吸引管路を経由してエジェクタを連通し、前記エジェクタに供給管路と排出管路を連通し、前記供給管路に潤滑油供給装置を連結し、前記排出管路に回収タンクを連結するスライドテーブル装置において、
前記排出管路に開閉弁を備え、
前記エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作し、前記吸引管路と前記負圧ポケットに前記潤滑油が充満した後に、前記開閉弁を開動作する弁制御装置を備えるスライドテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、案内部に負圧を発生して安定性を高めたスライドテーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
テーブルの自重による案内部への押付け力を用いて運動を規制するスライドテーブル装置において、押付け力が大きいほどスライドテーブルが安定するので、大気圧による押付け力を付加する場合がある。例えば、図４に示すように、案内面を備えたベース上に、負圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブル１００を潤滑油を介して搭載し、負圧ポケット１００ａ、１００ｂに吸引管路１０１を連通し、供給管路１０２から潤滑油を排出管路１０３へ噴出して吸引管路１０１と負圧ポケット１００ａ、１００ｂ内の潤滑油を吸引し排出管路１０３へ排出するエジェクタ１０４を備えるスライドテーブル装置がある。（非特許文献１）
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】「福田交易株式会社  ＨＹＰＲＯＳＴＡＴＩＫ社の静圧技術カタログ  ＣＡＴ．（１）２２０９Ｎ（Ｎ）」、福田交易株式会社、Ｐ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献1に記載の従来技術では、長時間運転停止した後に起動する時、負圧ポケット１００ａ、１００ｂと吸引管路内１０１に空気が流入していると、負圧ポケット１００ａ、１００ｂ内を所定の負圧にするまでに長時間を要することがある。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、案内面を備えたベース上に、負圧ポケットを設けた案内部を備えたテーブルを、前記案内面と前記案内部の係合部に潤滑油を供給して搭載し、前記負圧ポケットに吸引管路を経由してエジェクタを連通し、前記エジェクタに供給管路と排出管路を連通し、前記供給管路に潤滑油供給装置を連結し、前記排出管路に回収タンクを連結するスライドテーブル装置において、
前記排出管路に開閉弁を備え、
前記エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作し、前記吸引管路と前記負圧ポケットに前記潤滑油が充満した後に、前記開閉弁を開動作する弁制御装置を備えることである。
【発明の効果】
【０００７】
請求項1に係る発明によれば、エジェクタの噴出開始時に前記開閉弁を閉動作するので、噴出した潤滑油が吸引管路と連結する負圧ポケットに短時間で充満する。充満後に開閉弁を開とすると、吸引管路と負圧ポケット内には空気の混入がないのでエジェクタ部で潤滑油が強く吸引され、負圧ポケット内が短時間で所定の負圧に到達する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態のスライドテーブル装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本実施形態のテーブルの案内面部の斜視図である。
【図４】従来のスライドテーブル装置を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態をＶ−平型の静圧案内面を備えたスライドテーブル装置の事例に基づき、図１〜図３を参照しつつ説明する。
図１に示すように、スライドテーブル装置１は、Ｖ型案内面２ａと平型案内面２ｂを備えたベース２と、ベース２上に往復可能でリニアモータ４で駆動されるテーブル３を備えている。図２に示すように、テーブル３は下面にＶ型案内部３Ａと平型案内部３Ｂを備え、ベースのＶ型案内面２ａとＶ型案内部３Ａが係合し、ベースの平型案内面２ｂと平型案内部３Ｂが係合する。Ｖ型案内部３Ａには中央部に一対の負圧ポケット３ａ、両端部に一対の静圧ポケット３ｃ、３ｅを備えている。平型案内部３Ｂには中央部に負圧ポケット３ｂ、両端部に静圧ポケット３ｄ、３ｆを備えている。
【００１０】
図３に示すように、テーブル３は負圧ポケット３ａ、３ｂに連通する吸引流路３ｃを備え、吸引流路３ｃは吸引管路５に連通している。吸引管路５はエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９ａが接続しており、排出管路９ａには電磁開閉弁１０が接続し、電磁開閉弁１０には排出管路９ｂが接続し、回収タンク１１へ連通している。電磁開閉弁１０は弁制御装置１２により開閉動作を行う。
【００１１】
スライドテーブル装置１の起動時の作動について説明する。
起動指令が図示しない制御装置から指令されると、ポンプ７が起動すると同時に弁制御装置１２が電磁開閉弁１０を閉動作する。そうすると、ポンプ７で昇圧された潤滑油が供給管路８を経由してエジェクタ６の噴出口６ｂに供給される。潤滑油はエジェクタ６の排出口６ｃから排出管路９ａに流入するが、電磁開閉弁１０が閉状態であるため排出管路９ａに充満した後に、エジェクタ６の吸引口６ａから吸引管路５、吸引流路３ｃを経由して内部の空気を追い出しながら負圧ポケット３ａ、３ｂに充満する。
所定の時間が経過した後に弁制御装置１２により電磁開閉弁１０を開動作する。そうすると、排出管路９ａ内の潤滑油は電磁開閉弁１０と排出管路９ｂを経由してタンク１１へ回収される。この状態でエジェクタ６の噴出口６ｂに昇圧された潤滑油が供給されると、高速の潤滑油が噴出口６ｂから排出口６ｃに流入する、この時吸引口６ａには負圧が発生する。この負圧により、吸引管路５、吸引流路３ｃを経由して負圧ポケット３ａ、３ｂ内の潤滑油を吸引することで、負圧ポケット３ａ、３ｂに負圧が発生する。
【００１２】
液体を用いたエジェクタでは、吸引管路に気体の混入があるとエジェクタの吸引力が低下するが、本発明のスライドテーブル装置１では、起動時に負圧ポケット３ａ、３ｂとエジェクタ６の間に空気の混入が無い状態で吸引を開始できるので、強い吸引力により短時間に負圧ポケット３ａ、３ｂを所定の負圧にできる。
【符号の説明】
【００１３】
２：ベース  ３：テーブル  ３ａ、３ｂ：負圧ポケット  ３ｃ：吸引流路  ５：吸引管路６：エジェクタ  ７：ポンプ  ８：供給管路  ９ａ、９ｂ：排出管路  １０：電磁開閉弁  １１：タンク  １２：弁制御装置      
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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