(57)【要約】      （修正有）【課題】圧力損失が低く、粒子の捕捉率が高いといったバランスよいフィルター性能を発揮するとともに、耐熱性や耐プラズマ性に優れる等、ＣＶＤ装置用エアフィルターに用いられるのに好適な特性を有するＣＶＤ装置用エアフィルターを提供すること。【解決手段】ＣＶＤ装置用エアフィルターは、ＰＴＦＥ繊維(a)を含んでなる濾材層(a)を有し、前記ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径が、１０ｎｍ〜５０μｍであることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＴＦＥ繊維(a)を含んでなる濾材層(a)を有するＣＶＤ装置用エアフィルターであって、
前記ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径が、１０ｎｍ〜５０μｍであることを特徴とする、ＣＶＤ装置用エアフィルター。
【請求項２】
濾材層(a)の厚さが、５μｍ〜２００μｍであることを特徴とする、請求項１に記載のＣＶＤ装置用エアフィルター。
【請求項３】
濾材層(a)の空隙率が、０．６０〜０．９５であることを特徴とする、請求項１または２に記載のＣＶＤ装置用エアフィルター。
【請求項４】
前記ＰＴＦＥ繊維(a)が、電界紡糸法により得られたものであることを特徴とする、請求項１〜３の何れか一項に記載のＣＶＤ装置用エアフィルター。
【請求項５】
濾材層（a）の片面または両面に、支持体層（ｂ）が積層されてなることを特徴とする、請求項１〜４の何れか一項に記載のＣＶＤ装置用エアフィルター。
【請求項６】
請求項１〜５に何れか一項に記載のＣＶＤ装置用エアフィルターが、原料ガス供給口および/またはガス排気口に設置されていることを特徴とする、ＣＶＤ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＶＤ装置に用いられるエアフィルター（ＣＶＤ装置用エアフィルター）およびそれを有するＣＶＤ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアフィルターは、空気や原料ガスまたは排気ガスに含まれる微細な粒子を捕集（捕捉）するために用いられ、粒子捕捉率が高いこと（粒子を高い効率で捕集できること）や、圧力損失が低いことが求められる。エアフィルターを構成する材料も、用途に応じて多岐にわたっている。
【０００３】
エアフィルターを構成する材料として、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂が知られている。フッ素樹脂は、優れた特性（耐薬品性、耐プラズマ性、耐熱性等）を有するために、フッ素樹脂製エアフィルターは、幅広い用途で使用されている。
【０００４】
特許文献１では、複合フィルター媒体とフレームとを含むタービン空気吸入口フィルターが開示され、かかる複合フィルター媒体は、多孔質ポリテトラフルオロエチレン（延伸ＰＴＦＥ）を含む膜フィルター層とデプスフィルター媒体層とを含んでなる。
【０００５】
特許文献２では、特定条件で未焼成のＰＴＦＥを延伸して得られたＰＴＦＥ多孔質膜（延伸ＰＴＦＥ）を備えるフィルター濾材が開示されている。
これらの延伸ＰＴＦＥ製フィルターは、他のポリマー材料で構成されたフィルターに比べて、耐熱性等は優れているものの、依然として、熱収縮等などが発生するため、耐熱性等の点で、改善の余地があった。
【０００６】
一方で、特許文献３では、ＰＴＦＥ粉末をマトリックス（例：ビスコース）中に分散して水性ディスパージョンを調製し、水性ディスパージョンを凝固浴中に吐出して紡糸して未延伸ＰＴＦＥ系繊維シートを得、未延伸ＰＴＦＥ系繊維シートを加熱焼結し、少なくとも縦方向または横方向に延伸して製造された、フィルター用途に用いられるフッ素繊維薄葉シートが開示されている。
【０００７】
また、特許文献４では、フッ素系繊維の抄紙原料を金網抄き型を用いた湿式抄紙法により脱水、乾燥して成形原体を形成し、成形原体を、加熱処理後の該成形原体の内壁に密着可能な型に載置し、フッ素系繊維の融点以上に加熱して繊維間を融着することにより、予備成形体を作成したのち、さらに予備成形体の形状に対応した雌雄の型に該予備成形体を嵌入し熱圧成形して得られた、フィルター用途に用いられるフッ素繊維成形体が開示されている。
【０００８】
このようなフッ素繊維からなるフィルターは、圧力損失と粒子捕捉性とをバランスよく両立できず、依然として、フィルター性能について改善の余地があった。
ところで、化学蒸着（CVD：Chemical Vapor Deposition）法は、基板物質上に、目的とする薄膜の成分を含む原料ガスをＣＶＤ装置内に供給し、基板表面や気相での化学反応により薄膜を堆積する方法である。たとえば、切削工具の表面処理や半導体素子の製造工程において一般的に使用されている。また、ＣＶＤの種類は、薄膜の形成メカニズムに応じて熱ＣＶＤやプラズマＣＶＤ等、多岐にわたっている。
【０００９】
ＣＶＤ装置から排出される排気ガス中には、ＳｉＯ2、ＳｉＨ4、ＳｉＣｌ4を初めとするさまざまな汚染物質が含まれるため、大気中へ放出される前にフィルター等により除去することが求められる。そのためＣＶＤ装置の排気口に設置されるフィルターは、高い粒子捕捉率を有することが求められる。更に、ＣＶＤ装置内部は、高温雰囲気であったり（たとえば、熱ＣＶＤ）、原料ガスがプラズマ状態に励起されていたりする（たとえば、プラズマＣＶＤ）など、過酷な条件になるために、ＣＶＤ装置に用いられるフィルターには、耐熱性や耐プラズマ性（耐ラジカル性）も求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０１１−２０２６６２号公報
【特許文献２】特開２０１１−１０５８９５号公報
【特許文献３】特開平０３−１３０４９６号公報
【特許文献４】特開平０５−２８７７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、圧力損失が低く、粒子の捕捉率が高いといった、バランスよいフィルター性能を発揮するとともに、耐熱性や耐プラズマ性に優れる等、ＣＶＤ装置用エアフィルターに用いられるのに好適な特性を有するＣＶＤ装置用エアフィルターおよびそれを有するＣＶＤ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは鋭意研究した結果、エアフィルターの材料として、特定の平均繊維径を有するＰＴＦＥ繊維を含んでなる濾材層を用いると、圧力損失が低く、粒子の捕捉率が高いといったバランスよいフィルター性能を発揮すること、および、耐熱性や耐プラズマ性に優れることを見出した。そして、本発明者らは、このような、ＣＶＤ装置用エアフィルターとして好適な特性を発揮し得ることに基づいて、本発明を完成させた。
【００１３】
すなわち、本発明の要旨は以下の通りである。
［１］  ＰＴＦＥ繊維(a)を含んでなる濾材層(a)を有するＣＶＤ装置用エアフィルターであって、前記ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径が、１０ｎｍ〜５０μｍであることを特徴とする、ＣＶＤ装置用エアフィルター。
［２］  濾材層(a)の厚さが、５μｍ〜２００μｍであることを特徴とする、［１］のＣＶＤ装置用エアフィルター
［３］  濾材層(a)の空隙率が、０．６０〜０．９５であることを特徴とする、［１］または［２］に記載のＣＶＤ装置用エアフィルター。
［４］  前記ＰＴＦＥ繊維(a)が、電界紡糸法により得られたものであることを特徴とする、［１］〜［３］の何れかのＣＶＤ装置用エアフィルター。
［５］  濾材層（a）の片面または両面に、支持体層（ｂ）が積層されてなることを特徴とする、［１］〜［４］の何れかのＣＶＤ装置用エアフィルター。
［６］  ［１］〜［５］に何れかのＣＶＤ装置用エアフィルターが、原料ガス供給口および/またはガス排気口に設置されていることを特徴とする、ＣＶＤ装置。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るＣＶＤ装置用エアフィルターによれば、高い耐熱性および高い耐ラジカル性（耐プラズマ性）とともに、低い圧力損失および高い粒子捕捉率といったバランスの良い優れたエアフィルター性能が発揮される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、実施例２で得られた電子顕微鏡写真を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明をより詳細に説明する。
本発明に係るＣＶＤ装置用エアフィルター（以後、単に「エアフィルター」と称する場合もある。）は、必須構成要件として、１０ｎｍ〜５０μｍの平均繊維径を有するポリテトラフルオロエチレン繊維（a）(ＰＴＦＥ繊維(a))を含んでなる濾材層(a)を有し、必要に応じて、後述するように、濾材層（a）の片面または両面に、支持体層（ｂ）が積層されていてもよい。
【００１７】
本発明のエアフィルターは、ＣＶＤ（化学蒸着）装置に、（具体的には、該装置の原料ガス供給口および／または排気ガス排出口に、原料ガスおよび／または排気ガスを濾過できるような状態で）設置して、装置内に供給される原料ガスおよび／または装置内から排出される排気ガスを濾過して、原料ガスおよび/または排気ガスに含まれる粒子（塵、ダスト）を捕集（捕捉）するために用いられる。そして、本発明のエアフィルターは、高い耐熱性および高い耐ラジカル性（耐プラズマ性）とともに、低い圧力損失および高い粒子捕捉率といったバランスの良い優れたエアフィルター性能が発揮されるために、原料ガスの種類、基板への蒸着メカニズムを問わず、様々なタイプのＣＶＤ装置に使用することができる。なお、ＣＶＤ装置としては、熱ＣＶＤ装置、プラズマＣＶＤ装置、光ＣＶＤ装置、ＭＯＣＶＤ（metalorganoic CVD）装置が挙げられる。
【００１８】
本発明のエアフィルターにおいて、ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径は、１０ｎｍ〜５０μｍであり、好ましくは、１００ｎｍ〜５０００ｎｍである。ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径がこのような範囲にあることで、圧力損失を低減できるとともに、粒子捕捉率が向上できるなど、エアフィルター性能が向上できる。
【００１９】
ここで、ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径とは、測定対象となるＰＴＦＥ繊維(a)について、無作為に走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）観察される領域を選び、次いで、この領域をＳＥＭ観察（倍率：１００００倍）して無作為に１０本のＰＴＦＥ繊維(a)を選び、選ばれた１０本のＰＴＦＥ繊維(a)の繊維径を測定し、得られた１０本の繊維径の値に基づいて算出される算術平均値である。
【００２０】
後述するように、ＰＴＦＥ繊維(a)が電界紡糸法によって得られるものである場合、紡糸液中のＰＴＦＥ濃度、製造時の雰囲気湿度、紡糸ノズルの先端径、引火電圧、電圧密度などを適宜調整することで、所望の平均繊維径を有するＰＴＦＥ繊維(a)を得ることができる。なお、電界紡糸法において、ＰＴＦＥ濃度が低い紡糸液を用いる、雰囲気湿度を下げる、紡糸ノズルの先端径を小さくする、印加電圧を大きくする、あるいは電圧密度を大きくするなどことにより、ＰＴＦＥ繊維(a)の平均繊維径は小さくなる傾向にある。
【００２１】
「ＰＴＦＥ繊維（ａ）」とは、ＰＴＦＥを、通常９５〜１００重量％、好ましくは９９〜１００重量％、より好ましくは１００重量％の含有量で含む繊維である。本発明に係るＣＶＤ装置用エアフィルターは、ＰＴＦＥ繊維(a)の特性に起因して、耐プラズマ性（耐ラジカル性）や耐熱性（特に、低い熱収縮性）などを発揮することができる。
【００２２】
フッ素樹脂繊維(a)の製造方法は、上記範囲の平均繊維径を有する限り、特に限定されるものではないが、電界紡糸（静電紡糸）法により得られたものが好ましい。電界紡糸法は、上記範囲の平均繊維径を有するＰＴＦＥ繊維(a)を容易に得ることができ、本発明におけるエアフィルターに、このような方法で得られたＰＴＦＥ繊維(a)を用いると、高い粒子捕捉率、低い圧力損失、熱やラジカルや有害物質への高い耐久性が実現できるようになる。
【００２３】
上記電界紡糸法として、上述したＰＴＦＥおよび溶媒、さらには必要に応じて添加剤（繊維形成剤、イオン性界面活性剤、粘度調整剤等）を含む紡糸液から、例えば米国特開２０１０／０１９３９９９  Ａ１号公報に記載の方法など公知の電界紡糸法を用いることができる。
【００２４】
濾材層(a)の空隙率（多孔度）は、圧力損失の増加を防ぐための流体流路の確保、ろ材強度の確保という観点からは、好ましくは、０．６０〜０．９５であり、より好ましくは０．７０〜０．９０である。
【００２５】
濾材層(a)の目付は、ＰＴＦＥ繊維の繊維径にもよるが、高粒子捕捉性能、低圧力損失の両立、濾材強度の確保という観点からは、好ましくは１〜２００ｇ／ｍ2であり、より好ましくは１０〜１００ｇ／ｍ2である。
【００２６】
濾材層（a）の厚さは、ＰＴＦＥ繊維の繊維径にもよるが、高粒子捕捉性能、低圧力損失の両立という観点からは、好ましくは５μｍ〜２００μｍである。
なお、濾材層（a）における、空隙率、目付および厚さは、電界紡糸法でＰＴＦＥ繊維(a)を調製する際に、紡糸時間を長くする、紡糸ノズル数を増やすなどにより、増大する傾向にある。
【００２７】
本発明に係るＣＶＤ装置用エアフィルターの製造方法は、特に限定されないが、たとえば、上述したような電界紡糸法によりＰＴＦＥ繊維(a)を製造する工程、および前記ＰＴＦＥ繊維(a)をシート状に集積してエアフィルターを形成する工程を含むものである。
【００２８】
なお、これら２つの工程は、別途独立に行ってもよく、同時に行ってもよい（すなわち、ＰＴＦＥ繊維(a)を、製造しつつシート状に集積して、濾材層（a）を形成してもよい）。
【００２９】
また、本発明に係るエアフィルターは、支持層（ｂ）などが積層されていない、濾材層(a)のみからなるもの（単層型エアフィルター）であってもよいし、さらに、濾材層(a)の片面または両面に支持層（ｂ）等が積層されてなるもの（積層型エアフィルター）であってもよい。
【００３０】
なお、上記積層エアフィルターは、たとえば、上記のように特定の平均繊維径を有するＰＴＦＥ繊維(a)を作製する工程と、支持体層（ｂ）の少なくとも一方の表面にＰＴＦＥ繊維(a)をシート状に集積して濾材層(a)を形成する工程とを実施することで作製できる。これら２つの工程は、別途独立に行ってもよく、同時に行ってもよい（すなわち、ＰＴＦＥ繊維(a)を、製造しつつ支持体層（ｂ）の少なくとも一方の表面にシート状に集積して、濾材層(a)を形成してもよい）。
【００３１】
また、支持体層（ｂ）としては、エアフィルターにおける従来公知の支持体層を用いることができ、たとえば鉄、銅、ステンレス等から構成されるメッシュ、ガラス繊維、セルロース繊維、ポリオレフィン繊維、ナイロン繊維、ポリエステル繊維などから構成される不織布などが挙げられる。中でも、耐久性の観点からは、支持体層（ｂ）は鉄、銅、ステンレス等から構成されるメッシュまたはガラス不織布からなることが好ましい。
【００３２】
また、本発明のエアフィルターは、ＰＴＦＥ繊維(a)を含んでなる濾材層(a)の他に、異なる１つ以上の濾材層（ｃ）を有していても良い。この場合、本発明のエアフィルターは濾材層(a)と１つ以上の濾材層（ｃ）からなるものであってもよいし、さらに1つ以上の支持層（ｂ）を積層してなるものであってもよい。濾材層の目詰まりの防止につながるため、エアフィルターの長期性能保持の観点から、複数の濾材層により塵（ダスト）を粒径毎に捕集していくことが好ましい。
【００３３】
濾材層（ｃ）としては、耐久性の観点から金属性であることが好ましく、金属焼結粉末からなるパウダー状濾材、焼結金属金網からなるメッシュ状濾材、金属繊維からなるウール状及び不織布状濾材など従来公知のものを用いることができる。
【００３４】
また、本発明のエアフィルターには、その性能を損なわない範囲で従来公知の加工が施されていてもよく、たとえばプリーツ加工が施されていてもよい。
【実施例】
【００３５】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
［実施例１］
既存の電界紡糸法によりＰＴＦＥのみからなるＰＴＦＥ繊維（a）１を製造した。製造されたＰＴＦＥ繊維（a）１の特性を、下記「測定方法・評価基準」に基づいて、測定または評価した。得られた結果を表１に示す。
【００３６】
次いで、ＰＴＦＥ繊維（a）１を堆積して（重ね合わせて）濾材層（a）１（縦１０ｃｍ、横１０ｃｍ）を製造した。製造された濾材層（ａ）１の特性を、下記「測定方法・評価基準」に基づいて、測定または評価した。得られた結果を表１に示す。
【００３７】
［測定方法・評価基準］
１．ＰＴＦＥ繊維(a)１の平均繊維径
ＰＴＦＥ繊維(a)１について、無作為にＳＥＭ観察の領域を選び、この領域をＳＥＭ観察（装置：Ｓ−３４００Ｎ（（株）日立ハイテクノロジーズ製）、倍率：１００００倍）して無作為に１０本のＰＴＦＥ繊維(a)１を選び、これらのＰＴＦＥ繊維(a)１の測定結果に基づいて、平均（算術平均）繊維径を算出した。
【００３８】
２．濾材層（ａ）１の厚さ
濾材層（ａ）１の厚さを、ＬＩＴＥＭＡＴＩＣ  ＶＬ−５０（（株）ミツトヨ製）により測定した。
３．濾材層(a)１の目付
濾材層(a)１の目付（ｇ/ｍ2）を、ＪＩＳ  Ｌ  １９０６（２０００）に準じて測定した。
４．空隙率
濾材層（ａ）１を４ｃｍ角（縦４ｃｍ×横４ｃｍ）に切り出して、試験片１を作成し、かかる試験片１の重量（ｇ）を測定した。次いで、「２．濾材層（ａ）１の厚さ」の項で測定された厚さを用いて、上記試験片１の体積（ｃｍ3）を算出し、さらに、算出された体積（ｃｍ3）と試験片１の重量（ｇ）とから密度（ｇ/ｃｍ3）を算出した。算出された密度（ｇ/ｃｍ3）を用いて、下記式（Ｉ）に基づいて空隙率を算出した。
【００３９】
【数１】
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【００４０】
５．平均流量径および平均流量径圧力
ＡＳＴＭ  Ｅ１２９４−８９のハーフドライ法に基づき、Ｇａｌｗｉｃｋ（15.9ｄｙｎ/ｃｍ）を浸漬液として用いて平均流量径および平均流量径圧力を測定した。
【００４１】
縦軸が流量を、横軸が濾材層（ａ）１に供される圧力を示す、Ｇａｌｗｉｃｋ（浸漬液）に浸漬されていない濾材層（ａ）１の通気曲線（ドライカーブ）と、Ｇａｌｗｉｃｋ（浸漬液）に浸漬された濾材層（ａ）１の通気曲線（ウェットカーブ）とを作成した。さらに、ドライカーブの傾きを算出し、ドライカーブの１/２の値の傾きを有する曲線（ハーフドライカーブ）を作成した。
【００４２】
次いで、ウェットカーブとハーフドライカーブとの交点における圧力（平均流量圧力）を求め、さらに、上記式（１）に基づいて、平均流量径圧力を算出した。
６．粒子捕捉率および圧力損失
濾材層（ａ）１について、ＪＩＳ  Ｂ  ９９０８に準じて、粒子捕捉率を測定した。この際、エアフィルターユニットの替わりに２００ｍｍ×２００ｍｍの大きさに切り出された濾材層（ａ）１を用い、測定用粉塵として、表Ａに示されるような特定粒子径範囲を有する大気塵を用いた。粒子捕捉率の測定の際には、空気の流量を面速度５．３ｃｍ／ｓとした。また、この測定と共に、濾材層（ａ）１の上流側および下流側での圧力の差（すなわち、圧力損失）を微差圧計により測定した。この測定は、表Ｂに示されるように空気の流量を変えて行った。
【００４３】
【表Ａ】
2013193025.tif 000004
【００４４】
【表Ｂ】
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【００４５】
【表１】
2013193025.tif 000006
【００４６】
［実施例２］
実施例１と同様にＰＴＦＥ繊維（a）１を製造し、次いで、ＰＴＦＥ繊維（a）１を堆積して（重ね合わせて）濾材層（a）２（縦１０ｃｍ、横１０ｃｍ、厚さ２０μｍ、空隙率０．７６）を製造した。この濾材層（ａ）２を縦４０ｍｍ（Ａ）、横４０ｍｍ（Ｂ）の寸法に切り出してサンプルを作製した。作製されたサンプルを、枠など固定器具による固定をせずに２６０℃に保持された電気炉（定温乾燥器ＤＲＡ４３０ＤＡ（アドバンテック東洋株式会社製））内に３０分間静置した。その後電気炉より取り出し、室温まで空冷後、熱処理後の寸法として縦の長さ（ａ）および横の長さ（ｂ）を測定した。熱処理前の縦の長さ（Ａ）および横の長さ（Ｂ）と、熱処理後の縦の長さ（ａ）および横の長さ（ｂ）の長さと下記式に基づいて、縦および横における収縮率（％）を算出した。結果を表２に示す
【００４７】
【数２】
2013193025.tif 000007
【００４８】
［比較例１］
実施例２において濾材層（ａ）２の代わりに延伸ＰＴＦＥ（縦４０ｍｍ、横４０ｍｍ、厚さ１０８μｍ、空隙率０．８６：住友電気工業株式会社製ポアフロン（登録商標）メンブレン）を用いた以外は同様に、２６０℃での熱処理後の収縮率の評価を行なった。結果を表２に示す。
【００４９】
【表２】
2013193025.tif 000008
【００５０】
表２に示されるように、比較例における延伸ＰＴＦＥにおいては、２６０℃の熱処理前後で収縮が生じており、高温雰囲気下における形状安定性、すなわち耐熱性に課題があることが分かる。一方、本発明の濾材層（a）２においては、２６０℃の熱処理環境下においてもほとんど収縮せず、熱に対する形状安定性が高いことが分かる。すなわち、濾材層（a）２は高温環境下でも使用しうる耐熱性を有していることが理解される。
【００５１】
［実施例３］
実施例１で製造されたＰＴＦＥ繊維（a）１を堆積して（重ね合わせて）、濾材層（a）３（縦２０ｃｍ、横２０ｃｍ、厚さ５９．５μｍ）を製造した。なお、濾材層（a）３の厚さは、実施例１と同様にして測定されたものである。
【００５２】
次に、濾材層（a）３、支持体層（b）としてステンレス製メッシュ、濾材層（c）としてスチールウールを順次積層することによりエアフィルター（a）を製造し、エアフィルター（a）を、シリコン膜形成用プラズマＣＶＤ装置のガス排気口に、従来のエアフィルターの代わりに組み込んだ。ここで、濾材層（c）がプレフィルターとして機能するように、エアフィルター（a）の濾材層（c）をＣＶＤ装置内部側に設置した（すなわち、濾材層（a）３はＣＶＤ装置外部側に設置されている）。
【００５３】
次いで、３０日間の実機運転を行ない、排気ガスを、ＣＶＤ装置内部から外部へ排出する際に、エアフィルター（a）を通過させた。ここで、エアフィルター（a）は、排気ガスによって２００℃の高温条件下で、排気ガスに含まれるＳｉＨ3、ＳｉＨ2等のラジカル物質に曝された。
【００５４】
実機運転終了後、濾材層（ａ）３を取り出して、濾材層（ａ）３の表面（排気ガス入り口側（ＣＶＤ装置内部側））及び裏面（排気ガス出口面（ＣＶＤ装置外部側））を、ＳＥＭ観察（装置：Ｓ−３４００Ｎ（（株）日立ハイテクノロジーズ製）、倍率：２０００倍）に供して、電子顕微鏡写真を得た。なお、ＣＶＤ装置に組み込む前の濾材層（ａ）３を、同様の条件でＳＥＭ観察に供して電子顕微鏡写真を得た。得られた各電子顕微鏡写真を図１に示す。
【００５５】
また、濾材層（ａ）１ではなく、実機運転終了後に取り出された濾材層（ａ）３を用いたことを除いては、実施例１と同様にして平均流量径（μｍ）および平均流量径圧力（ｐｓｉ）を測定した。結果を表３に示す。
【００５６】
【表３】
2013193025.tif 000009
【００５７】
図１に示されるように、実機運転前のＳＥＭ写真（「実機使用前」）と実機運転後のＳＥＭ写真（「実機使用後（表面）」および「実機使用後（裏面）」）とを対比すると、濾材層（ａ）３を構成しているＰＴＦＥ繊維（ａ）１の形状は、何ら変化していないことが分かる。
【００５８】
また、図１の「実機使用後（表面）」に示されるように、濾材層（ａ）３の表面に粒子状の物質が捕捉されていることが分かる。すなわち、濾材層（ａ）３が、ＣＶＤ装置内から外部へ排出される排気ガス中の粒子を捕捉する機能を有することが理解される。
【００５９】
さらに、表３に示されるように、実機使用前後において、捕捉粒子によるわずかな平均流量径の減少及び平均流量径圧力の増加が見られたが、フィルターの損傷と想定されるような大きな変化は見られなかった。すなわち、濾材層（ａ）３はＣＶＤ装置用エアフィルターに必要とされる耐ラジカル性および耐熱性等の耐久性を有していることが理解される。
【図１】
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