(57)【要約】【課題】移動体に発生するガタつきを抑制することが可能な移動機構を提供する。【解決手段】支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、第１移動体に対して第２方向に移動可能な第２移動体とを備え、支持体側に形成された一対の第１溝と、第１移動体側に第１溝と向き合わせて形成された一対の第２溝との間に複数の転動体を挿入し、これら転動体を含んで第１方向に平行な２列の移動軸を構成する。２列の移動軸は、支持体と第１移動体とが向き合う方向（対面方向）と交差する方向に離間して配置する。また、第１溝と第２溝とが向き合う方向は対面方向に対して交差し、第１溝と第２溝との位置関係は、２列の移動軸の一方と他方とで逆とする。そして、第１移動体を駆動する第１振動体が支持体または第１移動体の何れか一方に付勢される方向を、２列の移動軸を含む移動面に対して傾斜させる。【選択図】図２
2013255959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする移動機構。
【請求項２】
請求項１に記載の移動機構であって、
前記支持体は、前記移動機構を所定方向に移送可能な移送体に設置されており、
前記第１方向は、前記移送体の移送方向とは異なる方向である
ことを特徴とする移動機構。
【請求項３】
請求項２に記載の移動機構であって、
前記第１方向および前記第２方向と直交する第３方向を軸として回動する回動体と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、該振動によって前記回動体を駆動する第３振動体と、
を備え、
前記第３振動体が発生させる振動の方向は、前記移送体の移送方向とは異なる方向である
ことを特徴とする移動機構。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れか一項に記載の移動機構であって、
前記支持体または前記第１移動体の何れか一方の前記第１振動体が付勢される部分には、略直方体形状に形成された受圧体が、前記振動体が当接する面と前記付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込まれている
ことを特徴とする移動機構。
【請求項５】
請求項４に記載の移動機構であって、
前記受圧体は、前記支持体または前記移動体のうち前記受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成されている
ことを特徴とする移動機構。
【請求項６】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項７】
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
支持体に対して移動体を所定方向に移動させる移動機構を搭載した種々の機器が知られている。例えば、特許文献１のロボットでは、移動方向と平行に設けられたレールと、レールを両側から挟んで嵌め合わされるレール受けとの間に複数の転動体（ボール）が挿入され、移動方向と平行な２列のボールガイド（移動軸）を形成している。このような移動機構では、駆動モーターなどで発生させた駆動を移動体に伝えると、ボールがレールとレール受けとの間で転動することによって、移動体を円滑に移動させることができる。
【０００３】
また、移動方向が異なる複数の移動体を組み合わせた移動機構が知られており、例えば、特許文献２に開示されているように、支持体に対してＸ軸方向に移動可能な第１移動体と、第１移動体に対してＹ軸方向に移動可能な第２移動体とを重ね合せることで、第２移動体はＸ−Ｙ平面上での移動が可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平５−１６１７２号公報
【特許文献２】特開平１１−２７１４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のように２列の移動軸で移動体が支持される移動機構では、移動体に荷重などが加わることによって、移動体にガタつきが発生することがあるという問題があった。特に、複数の移動体を備えた移動機構では、一の移動体で発生したガタつきが他の移動体に伝わることによって、移動機構全体として大きなガタつきが生じてしまうことがある。
【０００６】
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、移動体に発生するガタつきを抑制することが可能な移動機構の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の移動機構は次の構成を採用した。すなわち、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする。
【０００８】
ここで、「移動面に対して傾斜している方向」とは、移動面に平行な方向や、移動面に垂直な方向を含まないものとする。
【０００９】
このような本発明の移動機構では、第１振動体が支持体側に支持されていれば、第１移動体が第１振動体の付勢力を受け、第１振動体が第１移動体側に支持されていれば、第１移動体が第１振動体の付勢方向とは反対方向の反力を受ける。また、第１振動体の付勢方向は移動面に対して傾斜しているため、第１移動体が受ける付勢力あるいは反力には、移動面に平行な成分と移動面に垂直な成分とが含まれる。第１移動体が移動面に平行な力を受けることによって、２列の移動軸のうち一方の移動軸では、移動面と平行な方向に第１溝と第２溝との間隔が詰まり、第１溝と第２溝とで転動体が挟持される。また、他方の移動軸では、第１溝と第２溝との間隔が広がるものの、第１移動体が移動面に垂直な力を受けることによって一方の移動軸を回転軸として第１移動体を回転させるモーメントが発生するので、第１溝と第２溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、第１移動体のガタつきを抑制することができる。そして、このように支持体に近い側に配置されて第２移動体の重量がかかる第１移動体のガタつきを抑制することにより、移動機構全体の剛性を高めることができる。
【００１０】
上述した本発明の移動機構では、移動機構を所定方向に移送可能な移送体に支持体を設置する場合には、第１方向を移送体の移送方向と異ならせてもよい。
【００１１】
移送体が移動機構を移送するのに伴って、移動機構には移送体の移送方向に慣性力が働く。第１方向を移送体の移送方向と異ならせておけば、第１移動体には移動方向に慣性力がかかり難いため、支持体に近い側に配置される第１移動体に第２移動体の重量がかかっていても、慣性力による第１移動体の位置ずれ（移動方向への滑り）を抑制することができる。尚、第２移動体にかかる重量を少なくしておけば、仮に第２方向と移送体の移送方向とが重なっていても、第２移動体に大きな慣性力がかかることはなく、第２移動体の位置ずれ（移動方向への滑り）を抑制することができる。結果として、慣性力による位置ずれを防止するためにブレーキ機構などを追加する必要がなく、移動機構の小型化を図ることができる。
【００１２】
また、上述した本発明の移動機構では、第１方向および第２方向と直交する第３方向を軸として回動する回動体と、振動を発生させて回動体を駆動する第３振動体とを設けることとして、第３振動体が発生させる振動の方向を移送体の移送方向と異ならせてもよい。尚、ここでの「直交」とは、完全な直交に限らず、おおよそ直交するものも含むものとする。
【００１３】
このように第３振動体の振動方向を移送体の移送方向と異ならせておけば、移送体による移送に伴って移動機構に慣性力がかかっても、第３振動体が振動によって回動体を駆動する方向（振動体の駆動力が回動体に伝わる方向）と慣性方向とが重ならないので、慣性力による回動体の位置ずれ（回動方向への滑り）を抑制することができる。
【００１４】
また、こうした本発明の移動機構では、支持体または第１移動体の何れか一方の第１振動体が付勢される部分に、略長方体形状に形成された受圧体を、第１振動体が付勢される面と付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込んでおいてもよい。
【００１５】
このようにすれば、支持体または第１移動体に対して第１振動体が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体が逃げてしまう（受圧体の位置が移動面と平行な方向にずれてしまう）ことはなく、振動体の駆動力を受圧体に適切に伝えて第１移動体を支持体に対して精度良く移動させることができる。
【００１６】
また、上述した本発明の移動機構では、受圧体を、支持体または第１移動体のうち受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成してもよい。
【００１７】
このようにすれば、第１振動体と受圧体との間に働く摩擦力で受圧体が摩耗することを抑制できる。その結果、長い間の使用によっても移動体の移動精度が低下することを抑制することができる。
【００１８】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
【００１９】
このような本発明の電子部品搬送装置では、移動機構のガタつきを抑制することができるので、電子部品を搬送する精度を高めることが可能となる。
【００２０】
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第１方向に移動可能な第１移動体と、
圧電材料を含んで前記第１方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第１移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第１振動体と、
前記第１移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第１移動体の移動に随伴すると共に、前記第１移動体に対して、前記第１方向と交差する第２方向に移動可能な第２移動体と、
圧電材料を含んで前記第２方向の振動を発生可能であり、前記第１移動体または前記第２移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第２振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第１方向と平行に形成された第１溝と、
前記第１移動体に一対で設けられ、前記第１溝に向き合わせて形成された第２溝と、
前記第１溝と前記第２溝との間に設けられ、前記第１移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第１方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して２列設けられ、
前記第１溝と前記第２溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第１移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第１溝および前記第２溝の位置関係は、前記２列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第１振動体が付勢される付勢方向は、前記２列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
【００２１】
このような本発明の電子部品検査装置では、移動機構のガタつきを抑制することができるので、電子部品を検査する精度を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施例の移動機構を搭載した電子部品検査装置を例示した斜視図である。
【図２】把持装置に内蔵された本実施例の移動機構の構成を示した斜視図である。
【図３】移動機構を分解した状態を示した斜視図である。
【図４】圧電モーターの内部構造を示した断面図である。
【図５】圧電モーターの動作原理を示す説明図である。
【図６】Ｘ方向に垂直な平面で取った移動機構の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１は、本実施例の移動機構１５０を搭載した電子部品検査装置１００を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置１００は、大まかには基台１１０と、基台１１０の側面に立設された支持台１３０とを備えている。基台１１０の上面には、検査対象の電子部品１が載置されて搬送される上流側ステージ１１２ｕと、検査済みの電子部品１が載置されて搬送される下流側ステージ１１２ｄとが設けられている。また、上流側ステージ１１２ｕと下流側ステージ１１２ｄとの間には、電子部品１の姿勢を確認するための撮像装置１１４と、電気的な特性を検査するために電子部品１がセットされる検査台１１６（検査部）とが設けられている。尚、電子部品１の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「ＣＬＤやＯＬＥＤなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種ＭＥＭＳデバイス」などが挙げられる。
【００２４】
支持台１３０には、基台１１０の上流側ステージ１１２ｕおよび下流側ステージ１１２ｄと平行な方向（Ｙ方向）に移動可能にＹステージ１３２が設けられており、Ｙステージ１３２からは、Ｙ方向と直交して基台１１０に向かう方向（Ｘ方向）に腕部１３４が延設されている。また、腕部１３４の側面には、Ｘ方向に移動可能にＸステージ１３６が設けられている。そして、Ｘステージ１３６には、撮像カメラ１３８と把持装置１４０が設けられている。後述するように把持装置１４０には、Ｘ方向およびＹ方向の座標を微調整するための移動機構１５０や、Ｘ方向およびＹ方向と直交する上下方向（Ｚ方向）に移動可能なＺステージなどが内蔵されている。また、把持装置１４０の先端には、電子部品１を把持する把持部１４２が設けられている。更に、基台１１０の前面側には、電子部品検査装置１００の全体の動作を制御する制御装置１１８も設けられている。尚、本実施例では、支持台１３０に設けられたＹステージ１３２や、腕部１３４や、Ｘステージ１３６や、把持装置１４０が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
【００２５】
以上のような構成を有する電子部品検査装置１００は、次のようにして電子部品１の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品１は、上流側ステージ１１２ｕに載せられて、検査台１１６の近くまで移動する。次に、Ｙステージ１３２およびＸステージ１３６を動かして、上流側ステージ１１２ｕに載置された電子部品１の真上の位置まで把持装置１４０を移動させる。このとき、撮像カメラ１３８を用いて電子部品１の位置を確認することができる。そして、把持装置１４０内に内蔵されたＺステージを用いて把持部１４２を降下させて、把持部１４２で電子部品１を把持すると、把持装置１４０を撮像装置１１４の上に移動させて、撮像装置１１４を用いて電子部品１の姿勢（座標）を確認する。続いて、把持装置１４０に内蔵されている移動機構１５０を用いて電子部品１の姿勢を調整する。そして、把持装置１４０を検査台１１６の上まで移動させた後、把持装置１４０に内蔵されたＺステージを動かして電子部品１を検査台１１６の上にセットする。把持装置１４０内の移動機構１５０を用いて電子部品１の姿勢が調整されているので、検査台１１６の正しい位置に電子部品１をセットすることができる。そして、検査台１１６を用いて電子部品１の電気的な特性の検査が終了したら、今度は検査台１１６から電子部品１を取り上げた後、Ｙステージ１３２およびＸステージ１３６を動かして、下流側ステージ１１２ｄの上まで把持装置１４０を移動させ、下流側ステージ１１２ｄに電子部品１を置く。その後、下流側ステージ１１２ｄを動かして、検査が終了した電子部品１を所定位置まで搬送する。
【００２６】
図２は、把持装置１４０に内蔵された本実施例の移動機構１５０の構成を示した斜視図である。図示されるように本実施例の移動機構１５０は、最上段に全体を支えるユニットベース２００が配置されており、このユニットベース２００はＸステージ１３６に取り付けられている。ユニットベース２００の下方には、ユニットベース２００に対してＸ方向に移動可能にＸブロック２２０が設けられている。また、Ｘブロック２２０の下方には、Ｘブロック２２０の動きに随伴すると共に、Ｚ方向を軸とする回転方向（θ方向）に回動可能にθブロック２４０が設けられている。さらに、θブロック２４０の下方には、θブロック２４０の動きに随伴すると共に、θブロック２４０に対してＹ方向に移動可能にＹブロック２６０が設けられている。尚、図中の破線矢印は、各ブロック（２２０，２４０，２６０）の移動方向を表している。また、本実施例のユニットベース２００は本発明の「支持体」に相当し、本実施例のＸブロック２２０は本発明の「第１移動体」に相当し、本実施例のＹブロック２６０は本発明の「第２移動体」に相当し、本実施例のθブロック２４０は本発明の「回動体」に相当している。
【００２７】
また、移動機構１５０には、Ｘブロック２２０を駆動するＸ方向用の圧電モーター３００ｘと、θブロック２４０を駆動するθ方向用の圧電モーター３００θと、Ｙブロック２６０を駆動するＹ方向用の圧電モーター３００ｙの３つの圧電モーターが設けられている。尚、３つの圧電モーター（３００ｘ，３００θ，３００ｙ）を特に区別する必要がない場合には、これらを単に圧電モーター３００と称することがある。また、圧電モーター３００の動作原理については後述する。
【００２８】
さらに、移動機構１５０には、ユニットベース２００、Ｘブロック２２０、θブロック２４０、およびＹブロック２６０を上下方向（Ｚ方向）に貫通するシャフト２８０が設けられている。シャフト２８０は、Ｙブロック２６０に対してＺ方向に移動可能に取り付けられており、Ｙブロック２６０の動きに随伴すると共に、図示しないＺステージの動作によってＺ方向に移動する。また、シャフト２８０の下端には把持部１４２が取り付けられている。
【００２９】
図３は、移動機構１５０を分解した状態を示した斜視図である。図示されるように、ユニットベース２００は略矩形の平板形状であり、シャフト２８０をＺ方向に通す円形断面の貫通孔２０８が設けられている。貫通孔２０８の大きさは、シャフト２８０がＹブロック２６０の動きに随伴してＸ方向およびＹ方向に移動しても内周面に当たることのない大きさに形成されている。また、ユニットベース２００の下面（Ｘブロック２２０と向き合う面）には、下向きの凹形断面に形成された２つのＸレール受け２０２がＸ方向と平行に延設されており、これら２つのＸレール受け２０２はＹ方向に離間して配置されている。Ｘレール受け２０２の内壁側面には、断面形状が半円形の外溝２０４が形成されており、外溝２０４に沿って複数のボール２０６が配置されている。尚、本実施例の外溝２０４は本発明の「第１溝」に相当し、本実施例のボール２０６は本発明の「転動体」に相当している。
【００３０】
Ｘブロック２２０の上面（ユニットベース２００と向き合う面）には、ユニットベース２００側の２つのＸレール受け２０２に対応して２つのＸレール２２２がＸ方向と平行に延設されている。Ｘレール２２２の両側面には、Ｘレール受け２０２の外溝２０４と向き合う半円形断面の内溝２２４が形成されている。Ｘレール２２２を対応するＸレール受け２０２と嵌め合せた状態では、内溝２２４と外溝２０４との間に複数のボール２０６が挿入されて、各Ｘレール２２２の両側にボールガイドを形成する。そして、ボール２０６が内溝２２４および外溝２０４に沿って転動することにより、Ｘブロック２２０はユニットベース２００に対して円滑に移動する。尚、本実施例の内溝２２４は本発明の「第２溝」に相当している。
【００３１】
また、Ｘブロック２２０のＹ方向を向いた側面の一方（図面手前側）には圧電モーター３００ｘが取り付けられており、他方（図中奥側）には圧電モーター３００θが取り付けられている。圧電モーター３００には、圧電材料を含んで形成された直方体形状の振動体３１０が内蔵されており、振動体３１０の長手方向の端面には円柱形状に形成されたセラミックス製の凸部３１２が設けられている。また、後述するように本実施例の圧電モーター３００は、振動体３１０を凸部３１２が設けられた側に付勢する構造となっている。Ｘブロック２２０を駆動する圧電モーター３００ｘは、振動体３１０の短手方向をＸ方向に合わせて、振動体３１０の凸部３１２がユニットベース２００に付勢された状態で取り付けられている。ユニットベース２００側の凸部３１２が付勢される部分には、略長方体形状に形成されたセラミックス製の受圧体２１０が埋め込まれている。また、θブロック２４０を駆動する圧電モーター３００θは、振動体３１０の短手方向をＸ方向に合わせて、振動体３１０の凸部３１２をθブロック２４０に向けて取り付けられている。尚、本実施例の圧電モーター３００ｘに内蔵された振動体３１０は、本実施例の「第１振動体」に相当し、本実施例の圧電モーター３００θに内蔵された振動体３１０は、本発明の「第３振動体」に相当している。
【００３２】
さらに、Ｘブロック２２０には、シャフト２８０を通す円形断面の貫通孔２２６がＺ方向に貫通して設けられている。Ｘブロック２２０の貫通孔２２６は、ユニットベース２００の貫通孔２０８よりも内径が大きく形成されている。
【００３３】
θブロックの上面（Ｘブロック２２０に向き合う面）からは、シャフト２８０を通す貫通孔２４４が設けられた円筒形状の案内軸２４２が立設されている。案内軸２４２の外周面には、断面形状が半円形に形成された２つの内溝２４６が上下方向（Ｚ方向）に離間して設けられており、内溝２４６に沿って複数のボール２４８が配置されている。案内軸２４２の外径は、Ｘブロック２２０の貫通孔２２６の内径よりも小さく形成されており、貫通孔２２６の内周面には、案内軸２４２の内溝２４６と向き合う２つの外溝（図示せず）が設けられている。案内軸２４２をＸブロック２２０の貫通孔２２６に挿通した状態では、案内軸２４２の内溝２４６と対応する貫通孔２２６の外溝との間に複数のボール２４８が挿入されて、リング状のボールガイドを形成する。そして、ボール２４８が内溝２４６および外溝に沿って転動することにより、θブロック２４０はＸブロック２２０に対して円滑に回動する。
【００３４】
また、θブロック２４０の上面には、圧電モーター３００θと向き合う位置に受圧台２５０が立設されている。この受圧台２５０の上面には、セラミックス製の受圧体２５２が取り付けられており、圧電モーター３００θに内蔵された振動体３１０の凸部３１２が付勢される。
【００３５】
また、θブロック２４０には、Ｙブロック２６０を駆動する圧電モーター３００ｙが、振動体３１０の短手方向をＹ方向に合わせると共に、振動体３１０の凸部３１２をＹブロック２６０に向けて取り付けられている。尚、本実施例の圧電モーター３００ｙに内蔵された振動体３１０は、本発明の「第２振動体」に相当している。
【００３６】
さらに、θブロック２４０の下面（Ｙブロック２６０と向き合う面）には、２つのＹレール２５４がＹ方向と平行に延設されており、２つのＹレール２５４はＸ方向およびＹ方向に離間して配置されている。Ｙレール２５４の両側面には、断面形状が半円形の内溝２５６が形成されている。
【００３７】
Ｙブロック２６０の上面（θブロック２４０と向き合う面）には、θブロック２４０側の２つのＹレール２５４に対応して２つのＹレール受け２６２がＹ方向と平行に延設されている。Ｙレール受け２６２は、断面形状が上向きの凹形に形成されており、内壁側面には、Ｙレール２５４の内溝２５６と向き合う半円形断面の外溝２６４が形成され、外溝２６４に沿って複数のボール２６６が配置されている。Ｙレール受け２６２を対応するＹレール２５４と嵌め合せた状態では、内溝２５６と外溝２６４との間に複数のボール２６６が挿入されて、各Ｙレール２５４の両側にボールガイドを形成する。そして、ボール２６６が内溝２５６および外溝２６４に沿って転動することにより、Ｙブロック２６０はθブロック２４０に対して円滑に移動する。
【００３８】
また、Ｙブロック２６０の上面には、圧電モーター３００ｙと向き合う位置にセラミックス製の受圧体２６８が取り付けられており、圧電モーター３００ｙに内蔵された振動体３１０の凸部３１２が付勢される。さらに、Ｙブロック２６０には、シャフト２８０をＺ方向に移動可能に支持する円筒形状のシャフト支持部２７０が設けられている。
【００３９】
以上のような構成を有する本実施例の移動機構１５０では、３つの圧電モーター３００のうち、圧電モーター３００ｘの振動体３１０に電圧を印加することによって、Ｘブロック２２０をユニットベース２００に対してＸ方向に移動させることができる。また、圧電モーター３００θの振動体３１０に電圧を印加することによって、θブロック２４０をθ方向に回動させることができる。さらに、圧電モーター３００ｙの振動体３１０に電圧を印加することによって、Ｙブロック２６０をθブロック２４０に対してＹ方向に移動させることができる。
【００４０】
図４は、圧電モーター３００の内部構造を示した断面図である。尚、図３に示したように本実施例の移動機構１５０には３つの圧電モーター（３００ｘ，３００θ，３００ｙ）が設けられているが、何れの圧電モーター３００でも基本的な構造や動作原理は同じである。そこで、以下では、圧電モーター３００ｘを例に用いて説明する。図示されるように、振動体３１０は、凸部３１２を突出させた状態で振動体ケース３０２内に保持されており、この振動体ケース３０２は、凸部３１２が突出した方向（Ｚ方向）に向かって移動可能な態様で収容ケース３０４に収容されている。振動体ケース３０２の側面（Ｚ方向に直交するＹ方向を向いた面）の一方側と収容ケース３０４との間には、Ｙ方向に振動体ケース３０２を付勢する側圧バネ３０６が設けられている。また、振動体ケース３０２の側面の他方側（側圧バネ３０６が設けられた側とは反対側）と収容ケース３０４との間には、Ｚ方向に転動するコロ３０８が設けられている。このため、振動体ケース３０２は、Ｙ方向への移動を規制されながら、Ｚ方向に滑らかに移動することが可能である。さらに、コロ３０８が設けられた側と同じ側には付勢バネ３２０が設けられており、この付勢バネ３２０は、振動体ケース３０２をＺ方向（凸部３１２が設けられた側）に付勢している。そして、図２に示したように、移動機構１５０を組み立てた状態では、振動体３１０の凸部３１２がユニットベース２００の受圧体２１０に付勢されており、振動体３１０に電圧を印加することによって、Ｘブロック２２０を駆動することができる。
【００４１】
図５は、圧電モーター３００の動作原理を示す説明図である。図５（ａ）に示されているように、圧電モーター３００ｘに内蔵された振動体３１０の表側の側面には、その側面を縦横に２分割（合計で４分割）するように４つの矩形形状の表電極３１４ａ〜ｄが形成されている。尚、４つの表電極３１４ａ〜ｄを区別する必要がない場合には、これらを単に表電極３１４と称することがある。また、図示は省略しているが、振動体３１０の裏側の側面には、その側面のほぼ全面に亘って裏電極が形成されている。圧電モーター３００は、振動体３１０の表電極３１４に一定周期で電圧を印加したときに、振動体３１０の凸部３１２が楕円運動することによって動作する。振動体３１０の凸部３１２が楕円運動するのは次の理由による。
【００４２】
先ず、周知のように圧電材料を含む振動体３１０は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図５（ａ）に示すように、４つの表電極３１４の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体３１０は長手方向に伸縮する動作を繰り返す。このように振動体３１０が長手方向に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。以下では、振動体３１０が伸縮する方向（図中の±Ｚ方向）を「伸縮方向」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数（共振周波数）は、振動体３１０の物性と、振動体３１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決定される。
【００４３】
また、図５（ｂ）あるいは図５（ｃ）に示すように、互いに対角線の位置にある２つの表電極３１４を組（表電極３１４ａおよび表電極３１４ｄの組、あるいは表電極３１４ｂおよび表電極３１４ｃの組）として、一定周期で正電圧を印加する。すると、振動体３１０は、長手方向の先端部（凸部３１２が設けられた部分）が、短手方向（図面上で左右方向）に首を振るような動作を繰り返す。例えば、図５（ｂ）に示したように、表電極３１４ａおよび表電極３１４ｄの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体３１０は、長手方向の先端部が右方向に移動する動作を繰り返す。また、図５（ｃ）に示したように、表電極３１４ｂおよび表電極３１４ｃの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体３１０は、長手方向の先端部が左方向に移動する動作を繰り返す。このような振動体３１０の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体３１０が屈曲振動する方向（図中の±Ｘ方向）を「屈曲方向」と呼ぶ。こうした屈曲振動についても、振動体３１０の物性と、振動体３１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある２つの表電極３１４に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体３１０は屈曲方向に大きく首を振って振動する。
【００４４】
ここで、図５（ａ）に示した伸縮振動の共振周波数も、図５（ｂ）あるいは図５（ｃ）に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体３１０の物性や、振動体３１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）によって決定される。従って、振動体３１０の寸法（幅Ｗ、長さＬ、厚さＴ）を適切に選んでやれば、２つの共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体３１０に対して、図５（ｂ）あるいは図５（ｃ）に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図５（ｂ）あるいは図５（ｃ）に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図５（ａ）の伸縮振動も誘起される。その結果、図５（ｂ）に示す態様で表電極３１４ａおよび表電極３１４ｄの組に電圧を印加した場合には、振動体３１０の先端部（凸部３１２が設けられた部分）が図面上で時計回りに楕円を描くような動作（楕円運動）を行う。また、図５（ｃ）に示す態様で表電極３１４ｂおよび表電極３１４ｃの組に電圧を印加した場合には、振動体３１０の先端部が図面上で反時計回りの楕円運動を行う。尚、以上の説明では振動体３１０に正電圧を印加するものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっても変形する。従って、振動体３１０に負電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動（および伸縮振動）を発生させても良い。また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。
【００４５】
圧電モーター３００ｘは、このような楕円運動を利用してＸブロック２２０を駆動する。すなわち、図３に示したように圧電モーター３００ｘは、振動体３１０の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせてＸブロック２２０側に固定されており、振動体３１０の凸部３１２がユニットベース２００の受圧体２１０に付勢された状態で楕円運動を発生させる。すると、凸部３１２は、振動体３１０が伸長する際には受圧体２１０に付勢された状態で屈曲方向の何れか一方に向かって移動し、振動体３１０が収縮する際には受圧体２１０から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、受圧体２１０と凸部３１２との間に働く摩擦力によって、Ｘブロック２２０は、ユニットベース２００に対して屈曲方向（Ｘ方向）の何れか他方に向かって移動する。
【００４６】
また、圧電モーター３００θは、Ｘブロック２２０側に固定されており、θブロック２４０側に設けられた受圧台２５０の受圧体２５２に振動体３１０の凸部３１２が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター３００θを動作させると、凸部３１２と受圧体２５２との間に働く摩擦力によって、θブロック２４０はθ方向に回動する。
【００４７】
また、圧電モーター３００ｙは、振動体３１０の短手方向（屈曲方向）をＹ方向に合わせてθブロック２４０側に固定されており、Ｙブロック２６０側に設けられた受圧体２６８に振動体３１０の凸部３１２が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター３００ｙを動作させると、凸部３１２と受圧体２６８との間に働く摩擦力によって、Ｙブロック２６０はθブロック２４０に対してＹ方向に移動する。従って、電子部品検査装置１００は、移動機構１５０の圧電モーター３００ｘ、圧電モーター３００θ、圧電モーター３００ｙを動作させることにより、把持部１４２で把持した電子部品１の姿勢を微調整することが可能である。加えて、こうした圧電モーター３００は、電磁力を利用してローターを回転させる電磁モーターに比べて小型化が容易であると共に、ギアなどを介すことなく直接的に駆動力を伝えることができるので、移動機構１５０のアクチュエーターに圧電モーター３００を用いることによって、移動機構１５０の小型化を図ることができる。
【００４８】
ここで、本実施例の移動機構１５０では、Ｘブロック２２０、θブロック２４０、およびＹブロック２６０がそれぞれ異なる方向（Ｘ方向、θ方向、およびＹ方向）に移動可能に設けられており、各ブロック（２２０，２４０，２６０）には、荷重などが加わることによってガタつきが発生することがある。特に、移動機構１５０の全体を支持するユニットベース２００に近い側のＸブロック２２０には、θブロック２４０やＹブロック２６０の重量がかかるのでガタつきが生じ易く、Ｘブロック２２０の動きに随伴するθブロック２４０やＹブロック２６０にＸブロック２２０のガタつきが伝わることにより、移動機構１５０全体として大きなガタつきが生じてしまう。そこで、本実施例の移動機構１５０では以下のようにしてガタつきを抑制している。
【００４９】
図６は、Ｘ方向に垂直な平面で取った移動機構１５０の断面図である。図６では、Ｘブロック２２０に圧電モーター３００ｘを取り付けた部分の近傍が拡大して示されている。前述したように、ユニットベース２００側のＸレール受け２０２に形成された外溝２０４と、Ｘブロック２２０側のＸレール２２２に形成された内溝２２４との間には複数のボール２０６が挿入されており、これら複数のボール２０６によって、Ｘ方向に平行なボールガイドがＸレール２２２の両側に形成されている。これら２列のボールガイドに沿って複数のボール２０６が転動することでＸブロック２２０はユニットベース２００に対して円滑に移動する。以下では、２列のボールガイドを含む平面を「移動面」と呼ぶ。尚、ボール２０６の円滑な転動のために、ボール２０６と内溝２２４や外溝２０４との間には若干の隙間（遊び）が設けられている。
【００５０】
また、Ｘブロック２２０の側面に取り付けられた圧電モーター３００ｘは、内蔵する振動体３１０の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせると共に、上端側（凸部３１２が設けられた側）をＸブロック２２０とは反対側に傾けて固定されている。そして、振動体３１０は、付勢バネ３２０によって長手方向（伸縮方向）に付勢され、ユニットベース２００の受圧体２１０に凸部３１２が付勢された状態となっている。このため、振動体３１０の凸部３１２が受圧体２１０に付勢される方向（付勢方向）は、移動面に対して所定の角度（図示した例では７５度）で傾斜している。
【００５１】
尚、本実施例の受圧体２１０は、略直方体形状に形成されており、下面（振動体３１０の凸部３１２が当接する面）が振動体３１０の付勢方向と直交する状態でユニットベース２００に埋め込まれている。これにより、ユニットベース２００の下面に対して振動体３１０の凸部３１２が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体２１０の位置が横方向（Ｙ方向）にずれてしまうことはなく、凸部３１２と受圧体２１０との間に働く摩擦力によってＸブロック２２０をユニットベース２００に対して精度良く移動させることができる。また、本実施例の移動機構１５０では、ユニットベース２００がプラスチック材料で形成されているのに対して、受圧体２１０がセラミックス材料や金属材料などのプラスチック材料よりも硬度の高い材料で形成されている。このため、凸部３１２と受圧体２１０との間に働く摩擦力で受圧体２１０が摩耗することを抑制できる。
【００５２】
ここで、Ｘブロック２２０は、圧電モーター３００ｘに内蔵された振動体３１０の凸部３１２がユニットベース２００の受圧体２１０に付勢されることによって、付勢方向とは反対方向の反力を受ける。この反力には、移動面に平行な図中右方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、Ｘブロック２２０が移動面に平行な反力を受けることによって、Ｘレール２２２の両側のボールガイドのうち、圧電モーター３００ｘから遠い側（図中右側）のボールガイドでは、ボール２０６と内溝２２４および外溝２０４との隙間が詰まり、内溝２２４および外溝２０４でボール２０６を挟持した状態となる。
【００５３】
また、圧電モーター３００ｘに近い側（図中左側）のボールガイドでは、内溝２２４と外溝２０４との間隔が広がるものの、Ｘブロック２２０が移動面に垂直な反力を受けることによって、図中右側の隙間が詰まったボールガイドを軸にＸブロック２２０を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、内溝２２４の上端側と外溝２０４の下端側とでボール２０６を挟持した状態となる。
【００５４】
以上のように本実施例の移動機構１５０では、振動体３１０の付勢方向を移動面に対して傾斜させることにより、Ｘレール２２２の両側のボールガイドの何れにおいても内溝２２４と外溝２０４とでボール２０６を挟持しておくことができる。しかも一方のボールガイドでは移動面と平行な方向にボール２０６を挟持し、他方のボールガイドでは移動面に垂直な方向にボール２０６を挟持して互いに挟持方向が異なるので、Ｘブロック２２０に任意の方向から荷重が加わっても、Ｘブロック２２０のガタつきを抑制することができる。そして、このようにユニットベース２００に近い側に配置されてθブロック２４０およびＹブロック２６０の重量がかかるＸブロック２２０のガタつきを抑制することにより、移動機構１５０全体としての剛性を高めることができる。
【００５５】
また、本実施例の移動機構１５０では、Ｘ方向に移動するＸブロック２２０をユニットベース２００に近い上段の位置に配置し、Ｙ方向に移動するＹブロック２６０をユニットベース２００から遠い下段の位置に配置している。これは次のような理由による。先ず、前述したように電子部品検査装置１００では、移動機構１５０を内蔵した把持装置１４０がＸステージ１３６に取り付けられており、Ｙステージ１３２およびＸステージ１３６を動かすことによって把持装置１４０をＸ−Ｙ平面上で移動させることができる。そして、電子部品１を検査台１１６まで移動させる際には、主にＹステージ１３２を動かすことから、移動機構１５０にはＹ方向の慣性力が働く。Ｙ方向と直交するＸ方向に移動可能なＸブロック２２０は、移動方向に慣性力がかからないため、ユニットベース２００に近い上段の位置に配置することによってＸブロック２２０にθブロック２４０およびＹブロック２６０の重量がかかっても、慣性力によるＸブロック２２０の位置ずれ（移動方向への滑り）の発生を防止することができる。尚、本実施例のＹステージ１３２は、本発明の「移送体」に相当している。
【００５６】
一方、Ｙ方向に移動可能なＹブロック２６０は、移動方向に慣性力がかかるものの、他のブロック（２２０，２４０）の重量がかかることのない下段の位置に配置しておけば、Ｙブロック２６０に大きな慣性力が働くことはなく、Ｙブロック２６０の位置ずれ（移動方向への滑り）を抑制することができる。結果として、慣性力によるＹブロック２６０の位置ずれを防止するブレーキ機構などを追加する必要がなく、移動機構１５０の小型化を図ることができる。
【００５７】
さらに、本実施例の移動機構１５０では、Ｘブロック２２０とＹブロック２６０との間にθブロック２４０が設けられており、θブロック２４０を駆動する圧電モーター３００θは、内蔵する振動体３１０の短手方向（屈曲方向）をＸ方向に合わせて配置されている。このように圧電モーター３００θを配置しておけば、Ｙステージ１３２の移動に伴って移動機構１５０にＹ方向の慣性力がかかっても、振動体３１０の凸部３１２と受圧体２５２との間に摩擦力が働く方向（振動体３１０の屈曲方向）と慣性方向とが重ならないので、慣性力によるθブロック２４０の位置ずれ（θ方向への滑り）を抑制することができる。
【００５８】
以上、本発明の移動機構や、移動機構を搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【００５９】
例えば、前述した実施例では、ユニットベース２００から下方に向けてＸブロック２２０、θブロック２４０、Ｙブロック２６０の順で配置されていたが、各ブロックの配置はこれに限られるわけではなく、例えば、θブロック２４０、Ｘブロック２２０、Ｙブロックの２６０の順で配置してもよい。この場合は、θブロック２４０を駆動する圧電モーター３００θを、複数のボール２４８で形成されるリング状のボールガイドを含む移動面に対して振動体３１０の付勢方向を傾けて配置しておけばよい。これにより、θブロック２４０には、移動面に平行な力と、移動面に垂直な力とがかかって、リング状のボールガイドの中心に対して対称な２箇所のうち一方の箇所では、移動面に平行な力によって内溝２４６と外溝との間隔が詰まり、内溝２４６および外溝でボール２４８が挟持される。また、他方の箇所では、内溝２４６と外溝との間隔が広がるものの、移動面に垂直な力によって一方の箇所を軸にθブロック２４０を回転させるモーメントが発生し、内溝２４６および外溝で上下方向（移動面に垂直な方向）にボール２４８が挟持される。その結果、ユニットベース２００に近い側に配置されたθブロック２４０のガタつきが抑制されるので、移動機構１５０全体としての剛性を高めることができる。尚、Ｙステージ１３２の移動に伴って移動方向に慣性力が働くＹブロック２６０は、他のブロック（２２０，２４０）の重量がかからない下段の位置に配置しておき、Ｙブロック２６０に働く慣性力を低減することが望ましい。
【００６０】
また、前述した実施例では、ユニットベース２００に近い側のＸブロック２２０を駆動する圧電モーター３００ｘについてのみ、振動体３１０の付勢方向を移動面に対して傾けて配置していたが、圧電モーター３００θ、圧電モーター３００ｙについても同様に、振動体３１０の付勢方向を移動面に対して傾けて配置してもよい。このようにすれば、θブロック２４０やＹブロック２６０のガタつきが抑制されるので、移動機構１５０全体の剛性を更に高めることができる。
【００６１】
また、前述した実施例では、圧電モーター３００ｘがＸブロック２２０側に固定され、振動体３１０の凸部３１２がユニットベース２００側（受圧体２１０）に付勢される構成としていたが、これとは逆に、圧電モーター３００ｘをユニットベース２００側に固定して、振動体３１０の凸部３１２がＸブロック２２０側に付勢される構成としてもよい。この場合には、Ｘブロック２２０は振動体３１０の付勢力を直接的に受ける。そして、振動体３１０の付勢方向を移動面に対して傾けておくことによって、Ｘブロック２２０が受ける付勢力には、移動面に平行な成分と、移動面に垂直な成分とが含まれるので、前述した実施例と同様に、Ｘレール２２２の両側のボールガイドの何れにおいても内溝２２４と外溝２０４とでボール２０６が挟持され、Ｘブロック２２０のガタつきを抑制することができる。
【００６２】
また、前述した実施例では、ユニットベース２００に対してＸブロック２２０、θブロック２４０、Ｙブロック２６０を下方に吊り下げる構成としていたが、これに限られるわけではなく、ユニットベース２００に対してＸブロック２２０、θブロック２４０、Ｙブロック２６０を上方に載置する構成としてもよい。この場合にも、ユニットベース２００に近い側に配置されたＸブロック２２０を駆動する圧電モーター３００ｘを、移動面に対して振動体３１０の付勢方向を傾けた状態で配置しておけば、他のブロック（２４０，２６０）の重量がかかる基端側のＸブロック２２０のガタつきを抑制することができるので、移動機構１５０全体の剛性を高めることができる。
【００６３】
また、前述した実施例では、外溝２０４および内溝２２４の断面形状が半円形に形成されていた。しかし、外溝２０４および内溝２２４の断面形状は、これに限られるわけではなく、ボール２０６などの転動体が転動可能に挟持される形状であればよい。例えば、Ｖ字形状としてもよい。
【００６４】
また、前述した実施例では、外溝２０４と内溝２２４との間に複数のボール２０６が転動体として挿入されていた。しかし、外溝２０４と内溝２２４との間で転動してＸブロック２２０を円滑に移動させることができる転動体であれば、ボール２０６に限られるわけではない。例えば、外溝２０４および内溝２２４に沿って円筒形の複数のコロを交互に直交させて配列するクロスローラーとしてもよい。クロスローラーは、コロがＶ溝に線接触することにより、高荷重に耐えることができるので、クロスローラーを用いれば、移動機構１５０の剛性を高めることができる。
【符号の説明】
【００６５】
１…電子部品、  １００…電子部品検査装置、    １１０…基台、
１１２ｄ…下流側ステージ、    １１２ｕ…上流側ステージ、
１１４…撮像装置、    １１６…検査台、    １１８…制御装置、
１３０…支持台、    １３２…Ｙステージ、    １３４…腕部、
１３６…Ｘステージ、    １３８…撮像カメラ、    １４０…把持装置、
１４２…把持部、    １５０…移動機構、    ２００…ユニットベース、
２０２…Ｘレール受け、    ２０４…外溝、    ２０６…ボール、
２０８…貫通孔、    ２１０…受圧体、    ２２０…Ｘブロック、
２２２…Ｘレール、    ２２４…内溝、    ２２６…貫通孔、
２４０…θブロック、    ２４２…案内軸、    ２４４…貫通孔、
２４６…内溝、    ２４８…ボール、    ２５０…受圧台、
２５２…受圧体、    ２５４…Ｙレール、    ２５６…内溝、
２６０…Ｙブロック、    ２６２…Ｙレール受け、    ２６４…外溝、
２６６…ボール、    ２６８…受圧体、    ２７０…シャフト支持部、
２８０…シャフト、    ３００ｘ，３００ｙ，３００θ…圧電モーター、
３１０…振動体、    ３１２…凸部、    ３１４…表電極、
３２０…付勢バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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