(57)【要約】【課題】モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避する。【解決手段】スリーブ版を、芯材に配置してロール版を作成する工程をクリーンルーム内に設ける。またさらにスリーブ版及び芯材に付着した異物を除去する清掃工程と、芯材に設けられた空気穴より空気を噴出してスリーブ版の内径を拡大した状態で、スリーブ版に前記芯材を差し込んで、スリーブ版を芯材に配置してロール版を作製する装着工程を備えるようにする。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状を有する反射防止フィルムの製造方法であって、
周側面に賦型用の凹凸形状が作製されたスリーブ版を、芯材に配置してロール版を作成するロール版の作製工程と、
前記ロール版を使用した賦型処理により、前記反射防止フィルムを作製する反射防止フィルムの製造工程とを備え、
前記ロール版の作製工程は、
クリーンルーム内に設けられ、
前記スリーブ版及び芯材に付着した異物を除去する清掃工程と、
前記芯材に設けられた空気穴より空気を噴出して前記スリーブ版の内径を拡大した状態で、前記スリーブ版に前記芯材を差し込んで、前記スリーブ版を前記芯材に配置して前記ロール版を作製する装着工程とを備える
反射防止フィルムの製造方法。
【請求項２】
さらに前記ロール版の周側面を検査する検査工程を備え、
前記検査工程で、スロープの傾きが判定基準値以上の凸部が検出されると、前記芯材から前記スリーブ版を取り外して清掃し直した後、当該スリーブ版を前記芯材に装着し直す修整工程をさらに有する
請求項１に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項３】
前記判定基準値以上の凸部が、平均傾斜度が０．０３５より大きな凸部である
請求項２に記載の反射防止フィルムの製造方法。
【請求項４】
可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状を有する反射防止フィルムの賦型に使用する反射防止フィルム製造用金型であって、
周側面に賦型用の凹凸形状が作製されたスリーブ版が芯材の周側面に配置され、
前記スリーブ版の表面に発生する凸部の平均傾斜度が０．０３５以下である
反射防止フィルム製造用金型。
【請求項５】
可視光領域の光の波長よりも短い周期で配列された凸部によって形成された凹凸形状を表面に有する反射防止フィルムであって、
該表面に形成される可視光領域の光の波長よりも大きい半径の凹部の平均傾斜度が０．０３５以下である
反射防止フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットパネルディスプレイにおける反射防止技術の１つとして、可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状を表面に形成することによって反射防止を図る技術が注目されている（特許文献１〜６参照）。このような方法は、いわゆるモスアイ（ｍｏｔｈ  ｅｙｅ（蛾の目））構造の原理を利用したものであり、入射光に対する屈折率を基板の厚み方向に連続的に変化させ、屈折率の不連続界面を消失させることによって光の反射を防止するものである。
【０００３】
このようなモスアイ構造は、その微細な凹凸形状を反転させた形状を有する製造用金型を用いて、その凹凸形状を任意の樹脂層に転写（賦型）することによって製造されるのが一般的である。従ってモスアイ構造の反射防止フィルムを作製する方法としては、基板上に紫外線硬化性樹脂等からなる樹脂層を形成した後、上記のような製造用金型を用いて当該樹脂層の表面にモスアイ構造を賦型し、さらに当該樹脂層を硬化させることによって形成する方法を用いることができる。このような製造方法は、簡易な方法で、かつ高い製造効率で反射防止フィルムを連続的に製造することができる。
【０００４】
また上記モスアイ構造の賦型用金型としては、レーザー干渉法によって凹部が形成されたもの（例えば、特許文献１〜３）や、陽極酸化法によって凹部が形成されたもの（例えば、特許文献４〜６）が用いられている。なかでも陽極酸化法は、凹部が形成される位置をランダムにすることができること、大面積にわたって均一な形状を有する凹部を形成できること等において利点を有することから、反射防止フィルム製造用金型としては、陽極酸化法によって形成されたものが広く用いられるに到っている。
【０００５】
この反射防止フィルムは、モスアイ構造の賦型に供する凹凸形状を周側面に形成したいわゆるロール版を使用して、ロール・ツウ・ロール方式により効率良く生産することが望まれる。このロール版の作製方法に関して、モスアイ構造に係る凹凸形状を外周側面に設けた薄板のスリーブ版を作製し、このスリーブ版を円柱形状による芯材の外周に配置してロール版を作製する方法が提案されている（特許文献７、８）。以下、このスリーブ版によるロール版をスリーブ方式のロール版と呼ぶ。
【０００６】
ところでこのスリーブ方式のロール版を使用して反射防止フィルムを作製すると、反射防止フィルムに白点、白濁した微小領域が発生する場合がある。このような白点、白濁は、反射防止フィルムの外観不良であり、画像表示パネルに配置した際に、画質の劣化を招来することになり、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００１−５１７３１９号公報
【特許文献２】特開２００４−２０５９９０号公報
【特許文献３】特開２００４−２８７２３８号公報
【特許文献４】特開２００１−２７２５０５号公報
【特許文献５】特開２００２−２８６９０６号公報
【特許文献６】国際公開第２００６／０５９６８６号パンフレット
【特許文献７】国際公開第２００９／１０５２０６号パンフレット
【特許文献８】国際公開第２０１１／１１０１３９号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる反射防止フィルムの製造方法、反射防止フィルム製造用金型、及び反射防止フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ね、スリーブ方式のロール版の周側面の微小突起により白点、白濁が発生することを見出し、さらにこの微小突起が、スリーブ版を芯材に配置する際の異物の巻き込みにより発生することを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
具体的には、本発明では、以下のようなものを提供する
【００１１】
（１）  可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状を有する反射防止フィルムの製造方法であって、
周側面に賦型用の凹凸形状が作製されたスリーブ版を、芯材に配置してロール版を作成するロール版の作製工程と、
前記ロール版を使用した賦型処理により、前記反射防止フィルムを作製する反射防止フィルムの製造工程とを備え、
前記ロール版の作製工程は、
クリーンルーム内に設けられ、
前記スリーブ版及び芯材に付着した異物を除去する清掃工程と、
前記芯材に設けられた空気穴より空気を噴出して前記スリーブ版の内径を拡大した状態で、前記スリーブ版に前記芯材を差し込んで、前記スリーブ版を前記芯材に配置して前記ロール版を作製する装着工程とを備える。
【００１２】
（１）によれば、白点、白濁の発生原因となる異物の巻き込みを防止することができ、これによりスリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００１３】
（２）  （１）において、
さらに前記ロール版の周側面を検査する検査工程を備え、
前記検査工程で、スロープの傾きが判定基準値以上の凸部が検出されると、前記芯材から前記スリーブ版を取り外して清掃し直した後、当該スリーブ版を前記芯材に装着し直す修整工程をさらに有する。
【００１４】
（２）によれば、一定の大きさ以上の凸部が検出されると、この凸部に係る異物を除去できることにより、確実に、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００１５】
（３）  （２）において、
前記判定基準値以上の凸部が、平均傾斜度が０．０３５より大きな凸部である。
【００１６】
（３）によれば、具体的に、欠陥の原因となる大きさの凸部の発生を防止することができ、確実に、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００１７】
（４）  可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状を有する反射防止フィルムの賦型に使用する反射防止フィルム製造用金型であって、
周側面に賦型用の凹凸形状が作製されたスリーブ版が芯材の周側面に配置され、
前記スリーブ版の表面に発生する凸部の平均傾斜度が０．０３５以下である。
【００１８】
（４）によれば、欠陥の原因となる大きさの凸部の無い製造用金型を得ることができ、これにより確実に、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００１９】
（５）  可視光領域の光の波長よりも短い周期で配列された凸部によって形成された凹凸形状を表面に有する反射防止フィルムであって、
該表面に形成される可視光領域の光の波長よりも大きい半径の凹部の平均傾斜度が０．０３５以下である。
【００２０】
（５）によれば、スリーブ方式によるロール版を使用した反射防止フィルムにおいて、金型に由来する欠陥を無い反射防止フィルムを提供することができる。
【発明の効果】
【００２１】
モスアイ構造に係る反射防止フィルムに関して、スリーブ方式のロール版に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る反射防止フィルムを示す図である。
【図２】図１の反射防止フィルムの製造工程を示す図である。
【図３】図１の反射防止フィルムに係るロール版を示す図である。
【図４】図４のロール版の説明に供する図である。
【図５】異物の説明に供する図である。
【図６】異物による凸部の説明に供する図である。
【図７】図６の続きを示す図である。
【図８】図７の続きを示す図である。
【図９】平均傾斜度の説明に供する図である。
【図１０】変曲点の説明に供する図である。
【図１１】凸部に対応する凹部の説明に供する図である。
【図１２】異物の処理に係る処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る反射防止フィルムを示す図である。反射防止フィルム１は、透明フィルムによる基材２に凹凸膜３が形成される。ここで凹凸膜３は、可視光領域の光の波長よりも短い周期で設けられた凸部による凹凸形状である、モスアイ構造に係る微細な凹凸形状を備え、これにより反射防止フィルム１は、厚み方向に徐々に屈折率が変化するように作製され、モスアイ構造の原理により広い波長範囲で入射光の反射を防止する。なお可視光は、電磁波の中で人の目で知覚可能な波長域のものを言う。可視光領域の光の波長は、標準的には、波長３８０〜７８０ｎｍであるが、個人差や観察環境等によって多少前後することが有り得る。また該凹凸形状の周期を可視光領域の光の波長よりも短くする場合、該凹凸形状の周期Ｐを反射防止を所望する可視光領域スペクトルの最短波長λｍｉｎ以下、即ち、Ｐ≦λｍｉｎとすれば良く、より好ましくは、Ｐ＜λｍｉｎとすれば良い。可視光領域スペクトルの波長に対して反射防止效果を望む場合は、該凹凸形状の周期Ｐを可視項領域の最小波長７８０ｎｍ以下（Ｐ≦３８０ｎｍ）とすれば良く、通常、周期Ｐ＝１００〜３００ｎｍの範囲とされる。また該凹凸形状を構成すると凸部の高さ（乃至は凹部の深さ）は凸部の周期Ｐの１／４〜３倍とされる。また凸部の周期Ｐが一定で無く分布を有する場合は、該周期Ｐの分布の平均値をＰＡＶＧ、標準偏差をσとしたときに、ＰＡＶＧ＋３σの値がλｍｉｎ以下、即ち、ＰＡＶＧ＋３σ≦λｍｉｎとする。
【００２４】
反射防止フィルム１は、このため基材２上に賦型用樹脂層４が配置され、この賦型用樹脂層４の表面形状により上述の凹凸膜３が形成される。ここで基材２は、例えばＴＡＣ（Triacetylcellulose）、アクリル、ＰＥＴ（Polyethylene  terephthalate）、ＰＣ（Polycarbonate）等の各種透明フィルムを適用することができる。賦型用樹脂層４は、スリーブ方式のロール版に形成された凹凸形状の賦型により凹凸膜３が形成される。これにより賦型用樹脂層４は、微細構造の賦型に供する賦型用樹脂により作製され、この実施形態では、この賦型用樹脂に紫外線硬化性樹脂が適用される。また紫外線硬化性樹脂については、例えばアクリル系等、各種の樹脂を適用することができる。
【００２５】
図２は、この反射防止フィルム１の製造工程を示す図である。この製造工程１０は、樹脂供給工程において、ダイ１２により基材２に紫外線硬化性樹脂４を塗布する。なお紫外線硬化性樹脂４の塗布は、ダイ１２による場合に限らず、各種の手法を適用することができる。続いてこの製造工程１０は、押圧ローラ１４により、反射防止フィルムの製造用金型であるスリーブ方式によるロール版１３の周側面に基材２を加圧押圧し、これにより基材２に紫外線硬化性樹脂４を密着させると共に、ロール版１３の周側面に作製された微細な凹部に紫外線硬化性樹脂４を充分に充填させる。この製造工程は、この状態で、紫外線の照射により紫外線硬化性樹脂４を硬化させ、これにより凹凸膜３を作製する。この製造工程は、続いて剥離ローラ１５を介してロール版１３から基材２を剥離する。製造工程１０は、必要に応じてこの基材２に粘着層等を作製して反射防止フィルム１を作製する。これにより反射防止フィルム１は、ロール材による長尺の基材２に、賦型用金型であるロール版１３の周側面に作製された微細形状を順次賦型して、ロール・ツウ・ロール方式により効率良く量産される。
【００２６】
図３は、ロール版１３の構成を示す斜視図である。ロール版１３は、金属による円柱形状の芯材２０の周側面に、スリーブ版２１を配置して形成される。ロール版１３は、このスリーブ版２１の周側面に、モスアイ構造に係る凹凸形状が作製され、この凹凸形状が上述したように基材２に賦型される。ここで芯材２０は、この実施形態では鉄材が適用されるものの、ロール版に求められる各種の条件を満たすものであれば例えばステンレス等の各種金属材料等を広く適用することができる。スリーブ版２１は、円筒形状による基材の外周側面に、直接に、又は各種の中間層を介して、純度の高いアルミニウム層が成膜され、陽極酸化処理とエッチング処理との交互の繰り返しによりこのアルミニウム層にモスアイ構造に係る凹凸形状が作製される。ここでこのスリーブ版２１に係る基材には、いわゆるメタルスリーブである厚みの薄いスリーブ形状の金属板材が適用される。より具体的に、この実施形態において、スリーブ版２１は、ニッケルによるメタルスリーブに直接、アルミニウム層が作製されて、厚み１５０μｍにより作製される。なおニッケルによるメタルスリーブに代えて、ステンレス、銅等によるスリーブ材を適用してもよい。
【００２７】
図４は、この芯材２０へのスリーブ版２１の配置の説明に供する図である。ここでスリーブ版２１は、その管軸方向に内径Ｄ２が一定に作製される。これに対して芯材２０は、スリーブ版２１を配置した際にスリーブ版２１により覆われる部位の直径Ｄ１が、スリーブ版２１の内径Ｄ２より大径に形成される。さらに芯材２０は、スリーブ版２１を配置した際にスリーブ版２１により覆われない両端部が、スリーブ版２１の内径より小径（Ｄ３）に形成されて、スリーブ版２１により覆われる部位に向かって徐々に径が拡大するように作製される。また芯材２０は、周側面に空気穴２２が複数設けられ、この空気穴２２より外方に空気を噴出できるように、内側にエアーの配管が設けられる。
【００２８】
図４（Ａ）に示すように、この製造工程は、芯材２０を治具に保持した状態で、スリーブ版２１の端部に、芯材２０の一端（小径の部位である）を差し込む。この場合、この芯材２０の端部にあっては、徐々に直径が大きくなることにより、スリーブ版２１は、途中で芯材２０を差し込むことが困難になる。そこでこの工程は、図４（Ｂ）により示すように、スリーブ版２１に芯材２０を差し込みながら、芯材２０に設けられた空気穴２２より空気（矢印により示す）を噴出させる。この工程は、この空気穴２２から噴出する空気の圧力によりスリーブ版２１を変形させてスリーブ版２１の内径を拡大し、図４（Ｃ）に示すように、さらにスリーブ版２１に芯材２０を差し込む。また所望の位置までスリーブ版２１に芯材２０を差し込むと、図４（Ｄ）に示すように、空気穴２２からの空気の噴出を停止させ、これによりスリーブ版２１を収縮させて芯材２０に保持する。
【００２９】
〔スリーブ方式によるロール版に由来する欠陥〕
ところで上述したように、このようしてスリーブ方式のロール版１３を使用して反射防止フィルム１を作製する場合、スリーブ方式のロール版に由来する白点、白濁が発生する。この原因を種々に検討した結果、スリーブ版２１を芯材２０に配置する際に異物を巻き込み、この異物がスリーブ版２１と芯材２０との間に取り残されることにより、ロール版１３の周側面に微細な凸部が作製されることが原因であることが判った。
【００３０】
すなわちこの種の一連の工程においては、完全には塵、埃等を除去し得ない。特に、スリーブ方式によるロール版１３では、各種の液槽に基材を搬送、浸漬して陽極酸化処理とエッチング処理とを繰り返してスリーブ版２１を作成することにより、これらの液槽に係る工程では、充分に防塵対策することが困難である。またスリーブ版２１を芯材２０に装着する際に使用するエアーに塵等が含まれている場合もある。
【００３１】
これにより図５（Ａ）に示すように、塵、埃等による異物Ｍがスリーブ版２１と芯材２０との間に取り残される場合も発生する。ここでこのような異物Ｍは、微小なものである。しかしながらスリーブ版２１の場合、内側からの空気圧により変形させて芯材２０に装着することができるように、極めて厚みが薄く作製されていることにより、このような微小な異物Ｍであっても、ロール版１３の表面形状に影響を与えることになる。すなわちこの場合、図５（Ｂ）に示すように、異物Ｍの部位が盛り上がって凸部が形成され、その結果、図５（Ｃ）により示すように、賦型して作製される反射防止フィルム１においては、これとは逆に凹部が形成される。
【００３２】
反射防止フィルム１において、このように作製される凹部が極めて小型の場合、白点、白濁とは認識されない。しかしながらこの凹部が大型の場合には、白点、白濁により認識されることになる。因みに、凹部のへこみが急激な場合には白点により認識され、このへこみが緩やかな場合には白濁として認識されることになる。また場合によっては、凹部の周囲にニュートンリングのような模様が観察される場合もある。
【００３３】
図６〜図８は、この凹部の大きさによる影響の実験結果の説明に供する特性曲線図である。この実験では、ロール版１３の周側面に順次大きさの異なる凸部を作製して実験用のロール版を作製し、この実験用のロール版を使用して評価用の反射防止フィルムを作成し、この評価用の反射防止フィルムを評価した。図６〜図８は、このロール版１３に作成した凸部の断面形状を触針により計測した結果である。これらの図において、横軸は、ロール版１３の周側面に沿った方向であり、凸部の広がりを示すものである。また縦軸は、凸部の高さである。なお触針の場合、触針による検出可能限界以下であるモスアイ構造の凹凸を損なう恐れがあることにより、これらの測定結果は、反射防止フィルムを作製した後の測定結果である。
【００３４】
これら図６〜図８の測定結果については、スロープの傾きにより評価することができる。なおこの実施形態では、この評価基準に供するスロープの傾きに、図９に示すように、凸部の高さをＨ、半径をＷ／２とおき、Ｈ／（Ｗ／２）で表されるスロープの平均傾斜度を適用した。また非対称形状の凸部については、緩やかなスロープの側でスロープの傾きを評価した。図６（Ａ）の例は、凸部の高さＨが０．２３ｍｍ、半径Ｗ／２が２．０ｍｍであり、これにより傾きは０．１２であった。また図６（Ｂ）の例は、凸部の高さＨが０．１９ｍｍ、半径Ｗ／２が１．８ｍｍであり、これにより傾きは０．１１であった。また図６（Ｃ）の例は、凸部の高さＨが０．１５ｍｍ、半径Ｗ／２が１．５ｍｍであり、これにより傾きは０．１０であった。
【００３５】
また図７（Ｄ）の例は、凸部の高さＨが０．１１ｍｍ、半径Ｗ／２が２．３ｍｍであり、これにより傾きは０．０５であった。また図７（Ｅ）の例は、凸部の高さＨが０．０９ｍｍ、半径Ｗ／２が２．５ｍｍであり、これにより傾きは０．０４であった。また図７（Ｆ）の例は、凸部の高さＨが０．０６ｍｍ、半径Ｗ／２が１．９ｍｍであり、これにより傾きは０．０３であった。また図８（Ｈ）の例は、凸部の高さＨが０．０６ｍｍ、半径Ｗ／２が２．０ｍｍであり、これにより傾きは０．０３であった。また図８（Ｇ）の例は、凸部の高さＨが０．０５ｍｍ、半径Ｗ／２が１．８ｍｍであり、これにより傾きは０．０３であった。また図８（Ｉ）の例は、凸部の高さＨが０．０５ｍｍ、半径Ｗ／２が２．０ｍｍであり、これにより傾きは０．０３（０．０２５）であった。
【００３６】
これらの測定結果のうちで、図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、図７（Ｄ）、（Ｅ）の例である傾きが０．０４以上の場合、白点、白濁として認識されることが判った。また図７（Ｆ）、図８（Ｇ）、（Ｈ）、（Ｉ）の例である傾きが０．０３以下の場合、欠陥として認識されないことが判った。これによりロール版１３において、スロープの傾きがこれらの値０．０４と０．０３との中間値０．０３５より大きな凸部が発生しないように管理すれば、スリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避できることが判る。
【００３７】
なおこのような欠陥として認識される凸部の異物について、その大きさが大きくなると、図６（Ｂ）等に現れているように、スロープに変曲点が観察されることになる。また異物の大きさが小さい場合でも、スリーブ版２１の硬さによっては、変曲点が現れることになる。より具体的に、この図６〜図８の測定に供したスリーブ版よりスリーブ版の厚みが薄い場合、ニッケルに代えて銅によるメタルスリーブを適用した場合等にあっては、この実施形態に比してスリーブ版が変形し易くなり、これにより変曲点が発生し易くなる。種々に検討した結果によれば、図１０に示すように、このような変曲点については、凸部のピークから変曲点までの距離ｈｃについて、ｈｃ／Ｈが０．８以下となるように、さらに工程を管理する場合には、スリーブ版の特性を考慮して、一段と確実にスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避できることが判った。これにより上述したスロープの傾きに加えて、ｈｃ／Ｈが０．８以下となるように、工程管理すれば、一段と確実にスリーブ方式のロール版に由来する欠陥を回避することができる。
【００３８】
またこれらの例による反射防止フィルム１については、ロール版１３の凸部に対応する凹部が作製されることになるものの、この凹部については、凸部の形状を正確に転写して作製される。これにより反射防止フィルム１の凹部について見れば、図９について上述した凸部の傾きに対応する凹部の傾きが０．０３５より大きな凹部が発生しないように管理すれば、スリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。またこの場合も、図１０との対比により図１１に示すように、凹部に形成される変曲点について、凹部の底から変曲点までの距離ｈｃについて、比率ｈｃ／Ｈが０．８以下となるように、さらに工程を管理すれば、スリーブ版の特性を考慮して、さらに一段と確実にスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。なおこの図１１の場合のＨは凹部の深さである。
【００３９】
ここで異物Ｍは、スリーブ版２１と芯材２０との間に取り残されると、スリーブ版２１の収縮により押し潰されるように力を受け、少なからず変形する。しかしながら上述した欠陥として認識される凸部は、概ね高さが０．０６ｍｍより大きい場合であり（図６〜図７参照）、この程度の凸部に係る異物は、φ０．０６ｍｍより大きいと言え、この程度の異物は照明等の設定の工夫により目視により発見することができる。
【００４０】
具体的に、メタルスリーブにニッケルを適用し、厚み１００μｍによりスリーブ版を作製する場合、φ０．１ｍｍ相当以上の異物の除去により、白点、白濁の発生を防止することができる。なおニッケルは、ヤング率が１８５（ｋＮ／ｍｍ２）であり、この程度の異物の付着を防止するためには、クリーン度を１０００以下とすることが必要である。これに対してメタルスリーブにニッケルを適用し、厚み１５０μｍによりスリーブ版を作製する場合、φ０．２ｍｍ相当以上の異物の除去により、白点、白濁の発生を防止することができる。なおこの場合クリーン度１００００以下とすることが必要である。またメタルスリーブにニッケルを適用し、厚み３００μｍによりスリーブ版を作製する場合、φ０．３ｍｍ相当以上の異物の除去により、白点、白濁の発生を防止することができる。なおこの場合クリーン度１０００００以下とすることが必要である。
【００４１】
これに対してヤング率が１１０（ｋＮ／ｍｍ２）である銅をメタルスリーブに適用して厚み１５０μｍによりスリーブ版を作成する場合、φ０．１ｍｍ相当以上の異物の除去により、白点、白濁の発生を防止することができる。なおこの場合クリーン度１０００以下とすることが必要である。またヤング率が２５０（ｋＮ／ｍｍ２）であるクロムをメタルスリーブに適用して厚み１５０μｍによりスリーブ版を作成する場合、φ０．３ｍｍの異物の除去により、白点、白濁の発生を防止することができる。なおこの場合クリーン度１０００００以下とすることが必要である。
【００４２】
図１２は、この異物の除去に係る工程を示すフローチャートである。この図１２に示す各工程は、上述したクリーン度に保持されたクリーンルームに設けられ、これによりこの実施形態では、作業環境のクリーン度を向上して異物の巻き込みを防止する。この実施形態の製造工程は、別工程で作製されたスリーブ版２１と芯材２０とをこの図１２の工程に係るクリーンルームに搬入し、ここで初めに清掃工程（ステップＳＰ２）を実行する。
【００４３】
この清掃工程では、フィルタにより異物を除去したエアーをスリーブ版２１と芯材２０とに吹き付け、これによりスリーブ版２１、芯材２０に付着した異物を除去する。なおここで異物の除去に供するフィルタは、０．０１μｍ粒子を９９．９９％除去可能なものが望ましく、さらにはイオナイザー等の除電設備を介して帯電付着を防止できるようにすることが望ましい。なお異物の付着が著しい場合には、溶剤を含ませた清掃用のクロスにより拭取って異物を除去する。異物の確認については、ビデオ撮影用の照明等を使用した照明条件下で目視により確認する。なおスリーブ版２１の内側面、芯材２０の周側面については、特に注意深く異物が除去され、また異物の付着が確認される。
【００４４】
このようにして異物の除去が確認されると、この製造工程は、装着工程（ステップＳＰ３）により芯材２０にスリーブ版２１を装着する（図４参照）。この処理において、この実施形態では、芯材２０に設けられた空気穴２２から吹き出すエアーについては、フィルタにより異物を除去したエアーを適用する。なおこのエアーは、清掃工程で異物の除去に使用するエアーと同様のクリーン度に保持されたエアーの適用が望まれ、これにより清掃工程で異物の除去に使用するエアーと同一の設備によるエアーを適用することができる。
【００４５】
続いてこの工程は、検査工程（ステップＳＰ４）により凸部の発生を検査する。ここでこの検査工程では、スリーブ版２１を芯材２０に装着した後、充分にスリーブ版２１が芯材２０になじむのを待って、凸部を検査する。このためこの工程では、スリーブ版２１を芯材２０に装着した後、ロール版１３を５分間、静置し、ロール版の外観を目視により検査する。ここでこの検査においては、目視により著しく大きな凸部の有無を確認して実行される。なおこの著しく大きな凸部とは、例えば高さ５００μｍを超えるもの、又はφ２ｍｍを超える大きさのものであり、例えばビデオ撮影用の照明等を使用した照明条件下で目視により確認して検出される。
【００４６】
ここでこのような著しく大きな凸部が発見されると、この工程では、空気穴２２からエアーを吹き出してスリーブ版２１を芯材２０から取り外し、改めて発見した凸部に対応する個所を含めた全体を清掃し直して異物を除去する。なおこの場合、凸部が発見された個所は、特に入念に清掃される。またその後、スリーブ版２１を芯材２０に装着し、改めて検査する。また最終的に著しく大きな凸部が検出できない場合には、この工程を終了する。これによりこの実施形態では、極端に大きな凸部が検出されると、これよりも大きさが小さく、反射防止フィルムにおける白点、白濁の発生原因となる凸部が多数存在するであろうとの仮定に基づき、スリーブ版２１、芯材２０を清掃し直して欠陥を防止する。
【００４７】
この実施形態によれば、クリーンルーム内においてスリーブ版を芯材に装着するようにして、スリーブ版及び芯材に付着した異物を除去する清掃工程を設けることにより、白点、白濁の発生原因となる異物の巻き込みを防止することができ、これによりスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００４８】
〔第２実施形態〕
上述の第１実施形態では、ロール版の検査工程（図１２、ステップＳＰ４）において、著しく大きな凸部を検出し、このような凸部が検出されると改め清掃してロール版を作成した。これに代えてこの実施形態では、この反射防止フィルムの検査工程において、上述した白点、白濁の判定基準（スロープの傾き）によりロール版の外観を判定する。またこのような凸部が検出されると、改め清掃してロール版を作成する。この実施形態では、このロール版の検査工程に係る判断基準が異なる点を除いて、第１実施形態と同一に構成される。
【００４９】
具体的に、この実施形態では、斜め照射により照明光を照射した目視による検査により、スロープの傾き（平均傾斜度）が０．０３５より大きな凸部を検出する。なおこの場合、スロープの傾き（平均傾斜度）により凸部を判定することにより、斜め照射による照明光の入射角を対応する傾きに設定して凸部により形成される影を検出することにより、凸部の有無を判定することができる。なおこの目視による検出に代えて、撮像装置と画像処理装置とを使用した検査により、ロール版の周側面をスキャンして、判定基準値以上の凸部を検出してもよい。またこれに代えて各種の非接触による検出手法を広く適用することができる。
【００５０】
因みに、この種の画像処理によりスロープの傾きを検出する場合、例えば斜め方向からの照明により表面の凹凸により明暗が現れるようにして、撮像結果の輝度値の処理により凸部の高さ、大きさを計測することが考えられる。
【００５１】
なおこのような測定においては、上述した凹部の底から変曲点までの距離ｈｃについての比率ｈｃ／Ｈが０．８より小さいものを検出してもよい。
【００５２】
この実施形態によれば、検査工程で、スロープの傾きが判定基準値以上の凸部が検出されると、芯材からスリーブ版を取り外して清掃し直した後、当該スリーブ材を芯材に装着し直すことにより、さらに一段と確実にスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００５３】
より具体的に、この判定基準値以上の凸部を、平均傾斜度が０．０３５より大きな凸部であるように設定することにより、さらに一段と確実にスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００５４】
またこれによりスリーブ方式によるロール版については、スリーブ版の表面に発生する凸部の平均傾斜度が０．０３５以下であるように管理して、製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００５５】
また反射防止フィルムについては、賦型処理面に形成される凹部の平均傾斜度が０．０３５以下であるように管理して、製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００５６】
〔第３実施形態〕
この実施形態では、さらに反射防止フィルムの生産する際の事前の確認作業において、反射防止フィルムを試験的に生産し、この試験的に生産した反射防止フィルムより白点、白濁の有無を検出する。またこのような白点、白濁が検出されると、第２実施形態について上述したと同様に、対応するロール版の外観を検査、清掃し直してこの凸部に係る異物を除去する。なお反射防止フィルムの検査にあっては、白点、白濁の有無の検出に代えて、上述の実施形態で説明した判定基準により凹部を検出してもよい。
【００５７】
この実施形態では、反射防止フィルムの検査結果により異物を除去し直すことにより、一段と確実にスリーブ方式のロール版による製造用金型に由来する欠陥を有効に回避することができる。
【００５８】
〔他の実施形態〕
以上、本発明の実施に好適な具体的な構成を詳述したが、本発明は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述の実施形態の構成を組み合わせ、さらには上述の実施形態の構成を種々に変更し、さらには従来構成と組み合わせることができる。
【００５９】
すなわち上述の実施形態では、凸部の高さと広がりとから算出される平均傾斜度によりスロープの傾きを表すようにして、白点、白濁に係る凸部を判断する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、スロープの特定の部位間（例えば高さ９０％の個所と高さ１０％の個所）で検出した傾きによりスロープの傾きを判断する場合等、スロープの傾きの検出手法、判定手法は種々の手法を広く適用することができる。
【００６０】
また上述の実施形態では、賦型用樹脂に紫外線硬化性樹脂を適用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、紫外線硬化性樹脂以外の賦型用樹脂を使用する場合にも広く適用することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１  反射防止フィルム
２  基材
３  凹凸膜
４  賦型用樹脂層
１０  製造工程
１２  ダイ
１３  ロール版
１４  押圧ローラ
１５  剥離ローラ
２０  芯材
２１  スリーブ版
２２  空気穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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