(57)【要約】【課題】霧化部の構成を最適化して、より良質なミストを放出することのできるミスト発生装置を提供すること。【解決手段】ミスト発生装置３は、複数の微細孔が形成された霧化部１１を有する振動板１２と、この振動板１２を膜振動させる振動発生手段としての圧電振動子１３とを備える。そして、ミスト放出面１２ａにおける各微細孔の開口径は、７．５μｍ〜１２．５μｍに設定される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の微細孔が形成された霧化部を有する振動板と、
前記霧化部に液体を供給する供給手段と、
前記振動板を膜振動させる振動発生手段とを備え、
前記振動板の膜振動に基づき前記霧化部に供給された液体を霧化するミスト発生装置であって、
ミスト放出面における前記微細孔の開口径が７．５μｍ〜１２．５μｍであること、
を特徴とするミスト発生装置。
【請求項２】
請求項１に記載のミスト発生装置において、
前記各微細孔の開口径が８μｍ〜１２μｍであること、
を特徴とするミスト発生装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のミスト発生装置において、
前記霧化部の外径が３．５ｍｍ〜４．２ｍｍであること、
を特徴とするミスト発生装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のミスト発生装置において、
前記各微細孔の孔間距離が１２０μｍ〜１３５μｍであること、
を特徴とするミスト発生装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載のミスト発生装置において、
前記各微細孔の開口径が１０μｍ〜１１μｍであること、
を特徴とするミスト発生装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載のミスト発生装置において、
前記振動発生手段は、円環板状に形成された振動子を有し、
前記振動板は、前記振動子の孔部を覆うように、該振動子に貼り合わされるものであって、
前記振動子の外径は１２ｍｍ〜１８ｍｍであり、前記外径に対する内径の比率は３６％〜５９％であること、を特徴とするミスト発生装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載のミスト発生装置を備えた美容装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミスト発生装置及び美容装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の微細孔が形成された振動板を膜振動させることにより、その各微細孔に供給される液体を霧化してミストを発生させるミスト発生装置がある。
例えば、特許文献１には、円環板状に形成された圧電振動子を振動発生手段として、その孔部を覆うように振動板を貼り合わせる構成が開示されている。すなわち、このような構成を採用することで、効率良く、振動板を膜振動させることができる。そして、その圧電振動子の孔部を覆う部分に複数の微細孔を形成して霧化部とすることにより、高効率且つ安定的にミストを発生させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−２０７８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、ミスト発生装置では、その放出するミストの質が、使用感に大きな影響を与える。特に、美容装置に用いる場合においては、その粒径が「濡れ性（しっとり感や潤い感等）」を左右し、放出範囲の広さが「使いやすさ」を演出する。そして、これらミストの質を決定する各要素は、その振動板に形成する微細孔、すなわち霧化部の構成に依存することから、その最適化が重要な課題となっている。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、霧化部の構成を最適化して、より良質なミストを放出することのできるミスト発生装置及び美容装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するために、本発明のミスト発生装置は、複数の微細孔が形成された霧化部を有する振動板と、前記霧化部に液体を供給する供給手段と、前記振動板を膜振動させる振動発生手段とを備え、前記振動板の膜振動に基づき前記霧化部に供給された液体を霧化するミスト発生装置であって、ミスト放出面における前記微細孔の開口径が７．５μｍ〜１２．５μｍであること、を特徴とする。
【０００７】
上記構成のミスト発生装置においては、前記各微細孔の開口径が８μｍ〜１２μｍであることが好ましい。
上記構成のミスト発生装置においては、前記霧化部の外径が３．５ｍｍ〜４．２ｍｍであること、が好ましい。
【０００８】
上記構成のミスト発生装置においては、前記各微細孔の孔間距離が１２０μｍ〜１３５μｍであることが好ましい。
上記構成のミスト発生装置においては、前記各微細孔の開口径が１０μｍ〜１１μｍであることが好ましい。
【０００９】
上記構成のミスト発生装置においては、前記振動発生手段は、円環板状に形成された振動子を有し、前記振動板は、前記振動子の孔部を覆うように、該振動子に貼り合わされるものであって、前記振動子の外径は１２ｍｍ〜１８ｍｍであり、前記外径に対する内径の比率は３６％〜５９％であることが好ましい。
【００１０】
本発明の美容装置は、上記何れかに記載のミスト発生装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、霧化部の構成を最適化して、より良質なミストを放出することが可能なミスト発生装置及び美容装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】美容装置の斜視図。
【図２】ミスト発生装置の正面図。
【図３】ミスト発生装置の断面図。
【図４】微細孔の断面図。
【図５】ミスト発生装置の作用説明図。
【図６】ハウジング内におけるミスト発生装置の配置を模式的に示す断面図。
【図７】各微細孔の孔径と発生するミストの粒径との関係を示すグラフ。
【図８】実測データの説明図。
【図９】霧化部の外径が粒径の均一性に与える影響を示すグラフ。
【図１０】霧化部の外径とミストの放出範囲（の直径）との関係を示すグラフ。
【図１１】各微細孔の孔間距離がミスト放出量に与える影響を示すグラフ。
【図１２】（ａ）〜（ｄ）圧電振動子の外径に対する内径の比率（開口比率）が周波数特性に与える影響を示す波形図。
【図１３】（ａ）〜（ｄ）開口比率を一定とした場合に圧電振動子の大きさが周波数特性に与える影響を示す波形図。
【図１４】圧電振動子の外径及び内径の組み合わせとミスト放出量との関係を示すグラフ。
【図１５】外径及び内径の組み合わせに付された評価点を示す説明図。
【図１６】評価点に基づく圧電振動子の最適形状を示す等高線図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明をミスト発生装置が内蔵された携帯型の美容装置に具体化した一実施形態について説明する。
図１に示すように、本実施形態の美容装置１は、略円筒状に形成されたハウジング２を備えている。また、ハウジング２内には、美容液や水等の液体を霧化してミストを発生させるミスト発生装置３、及びその制御回路４が収容されている。そして、ハウジング２の周面２ａには、その発生させたミストをハウジング２の外部に放出する放出口５が形成されている。
【００１４】
具体的には、本実施形態のハウジング２は、一端側（同図中、下側の端部）に他の部分よりも大径に形成された把持部６を備えており、放出口５は、その他端側（同図中、上側の端部近傍）に形成されている。また、ハウジング２の周面２ａには、湾曲板状のカバー７が軸方向移動可能に嵌合されている。そして、本実施形態では、このカバー７を摺動させることにより、その放出口５を閉塞し又は外部に開放することが可能になっている。
【００１５】
さらに、このカバー７は、ミスト発生装置３のスイッチを兼ねており、ミスト発生装置３は、カバー７が放出口５を開放する位置に移動することにより作動する。そして、そのカバー７が放出口５を閉塞する方向に操作されることにより停止するようになっている。
【００１６】
すなわち、美容装置１の使用者は、把持部６を把持し、カバー７を操作することにより施術を行う。そして、放出口５から放出されるミストを顔等の施術部位に当てることにより、肌に潤いを与える等の美容効果が得られるようになっている。
【００１７】
図２及び図３に示すように、ミスト発生装置３は、複数の微細孔１０が形成された霧化部１１を有する振動板１２と、この振動板１２を膜振動させる振動発生手段としての圧電振動子１３とを備えている。
【００１８】
詳述すると、本実施形態の圧電振動子１３は、円環板状に形成されている。また、振動板１２は、円板状に形成されている。なお、振動板１２は、圧電振動子１３の外径よりも小さく且つ圧電振動子１３の孔部１４よりも大きな外径を有している。そして、振動板１２は、圧電振動子１３の孔部１４を覆うように、同圧電振動子１３に貼り合わされている。
【００１９】
具体的には、振動板１２は、その中心が一致するように圧電振動子１３の一面（供給側平面１３ｂ）に接着されている。なお、本実施形態では、両者の接触面形状は、圧電振動子１３の孔部１４を囲む円環状になっている。そして、各微細孔１０が形成された霧化部１１は、振動板１２における圧電振動子１３の孔部１４に対応する位置、詳しくは、振動板１２及び圧電振動子１３と中心が一致する円形状の範囲に設定されている。
【００２０】
図３及び図４に示すように、本実施形態の振動板１２は、その圧電振動子１３に貼り合わされた側の面（各図中、左側の面）がミストを放出するミスト放出面１２ａとなっている。そして、ミスト放出面１２ａとは反対側の面（各図中、右側の面）がミストの原料となる液体が供給される液体供給面１２ｂとなっている。
【００２１】
すなわち、各微細孔１０は、液体供給面１２ｂ側の開口径Ｄinよりもミスト放出面１２ａ側の開口径Ｄoutの方が小さくなるように形成されている。具体的には、各微細孔１０は、ミスト放出面１２ａ側から液体供給面１２ｂ側に向かって、その内径が指数曲線状に拡開するような断面形状を有している。そして、本実施形態の振動板１２は、これにより、その膜振動に基づいて、液体供給面１２ｂ側に供給される液体を霧化し、ミスト放出面１２ａ側から放出することが可能になっている。
【００２２】
図２及び図３に示すように、本実施形態の圧電振動子１３は、円環板状に形成された圧電体１５と、この圧電体１５の両面１５ａ，１５ｂにそれぞれ形成された一対の薄膜電極１６ａ，１６ｂとを備えてなる。また、これらの各薄膜電極１６ａ，１６ｂには、それぞれ、リード線１７ａ，１７ｂが接続されている。なお、圧電体１５の一方の面１５ａには、他方の面１５ｂに設けられた薄膜電極１６ｂに連続する折り返し部１８が形成されており、リード線１７ｂは、この折り返し部１８において薄膜電極１６ｂに接続されている。そして、本実施形態の圧電振動子１３は、これらのリード線１７ａ，１７ｂを介して制御回路４（図１参照）から入力される電力に基づいて、振動板１２を膜振動させるような振動を発生する。
【００２３】
具体的には、図５に示すように、圧電振動子１３は、薄膜電極１６ａ，１６ｂ（図３参照）への電圧印加により生ずる圧電体１５の歪みに基づいて、径方向（同図中、上下方向）に拡縮する態様で振動する。そして、振動板１２は、圧電振動子１３の縮径時には、その液体供給面１２ｂ側（同図中、右側）が凸となる態様で湾曲し、圧電振動子１３の拡径時には、そのミスト放出面１２ａ側（同図中、左側）が凸となる態様で湾曲する。
【００２４】
本実施形態のミスト発生装置３は、この一連の動きが高速で繰り返されることにより生ずる振動板１２の膜振動（いわゆる超音波振動）に基づいて、その霧化部１１、詳しくは、各微細孔１０に供給された液体を霧化する。そして、その発生したミストＭをミスト放出面１２ａ側に放出する構成になっている。
【００２５】
さらに詳述すると、図６に示すように、本実施形態の美容装置１において、ハウジング２には、その内部空間と放出口５とを接続するノズル２０が設けられている。また、ノズル２０のハウジング内開口部２１には、保持部材としてのノズルパッキン２２が固定されている。そして、ミスト発生装置３は、その圧電振動子１３の一面（放出側平面１３ａ、ミスト放出面１２ａ側の面）が、このノズルパッキン２２に当接する態様で、ハウジング２内に収容されている。
【００２６】
具体的には、ノズルパッキン２２は、ハウジング内開口部２１の連通孔２３に対応する貫通孔２４を有しており、ミスト発生装置３は、その霧化部１１が貫通孔２４を介して連通孔２３に臨む位置に配置されている。また、ノズルパッキン２２におけるミスト発生装置３側の面（同図中、右側の面）には、その貫通孔２４の周縁を包囲するように円環状の突部２５が形成されている。そして、ノズルパッキン２２は、その突部２５が圧電振動子１３の放出側平面１３ａに密着することで、ノズル２０とミスト発生装置３との間、詳しくは、ハウジング内開口部２１の連通孔２３と圧電振動子１３の孔部１４との間を液密に接続する構成になっている。
【００２７】
一方、圧電振動子１３における放出側平面１３ａとは反対側の面（供給側平面１３ｂ、液体供給面１２ｂ側の面）には、タンクパッキン２７が取着されている。また、タンクパッキン２７には、振動板１２の液体供給面１２ｂに臨む位置に開口する略円筒状の接続部２８が形成されている。そして、この接続部２８には、供給手段としてのタンク２９が液密に取着されている。
【００２８】
すなわち、振動板１２の液体供給面１２ｂには、タンク２９内に貯留された液体Ｌが供給される。なお、本実施形態では、圧電振動子１３は、ノズルパッキン２２及びタンクパッキン２７とともに、ノズル２０のハウジング内開口部２１側に押し付けられる態様で、図示しない固定部材によりハウジング２に固定されている。そして、圧電振動子１３の供給側平面１３ｂ及び振動板１２の液体供給面１２ｂとタンクパッキン２７とが密着することにより、その液体供給面１２ｂとタンク２９とが液密に接続されるようになっている。
【００２９】
ここで、図２及び図６に示すように、本実施形態では、圧電振動子１３の放出側平面１３ａには、その孔部１４の周縁を囲むように、薄膜電極１６ａの存在しない無電極部３０が形成されている。そして、ノズルパッキン２２（の突部２５）は、この無電極部３０に当接するようになっている。
【００３０】
すなわち、振動板１２の液体供給面１２ｂに液体Ｌが接触し続けることで、その液体Ｌが各微細孔１０を介してミスト放出面１２ａに滲み出すことがある。そして、その滲み出した液体Ｌが放出側平面１３ａの薄膜電極１６ａに付着することで、ショートやマイグレーション等の発生要因となるおそれがある。
【００３１】
しかしながら、上記のように、ノズルパッキン２２に接触する部分を無電極部３０とする。つまり、シール部材としてのノズルパッキン２２により、圧電振動子１３の孔部１４と薄膜電極１６ａとを液密に区画することで、ミスト放出面１２ａに滲み出した液体Ｌが薄膜電極１６ａに付着することを防止することができる。そして、本実施形態の美容装置１では、これにより、高い信頼性を確保することが可能になっている。
【００３２】
（霧化部の最適設計）
上述のように、ミスト発生装置３が放出するミストの質は、その霧化部１１の構成に依存する。この点を踏まえ、本願出願人は、霧化部１１の各構成要素が、その放出されるミストの質に与える影響について検証を行なった。なお、本実施形態では、圧電振動子１３の厚み（Ｔ）は０．５ｍｍ、振動板１２の厚みは３０μｍとなっている。
【００３３】
図７は、霧化部１１に形成された各微細孔１０の孔径、すなわちミスト放出面１２ａにおける開口径Ｄout（の平均値）と、その発生するミストの粒径ＰＤとの関係を示すグラフであり、図８は、その実測データである。そして、図７中の式は、両者の相関を示す近似曲線の式である。
【００３４】
ミスト発生装置３が放出するミストを顔等の施術部位に当てる場合、いわゆる化粧崩れをおこすことなく、潤い感やしっとり感を与える最適な濡れ性を実現するためには、そのミストの粒径ＰＤを１０μｍ〜２０μｍにすることが望ましい。そして、図７に示すように、この最適な粒径範囲に対応する各微細孔１０の孔径（開口径Ｄout）は、８μｍ〜１２μｍである。したがって、各微細孔１０の孔径は、８μｍ〜１２μｍとすることが望ましい。
【００３５】
また、両者の相関を示す近似曲線を下方になぞることで、各微細孔１０の孔径が７．５μｍ程度でも、１０μｍに近いミストの粒径ＰＤの値が得られることが分かる（図８参照、実測データＮｏ．１０）。そして、美容装置１としての使用状態における施術部位との距離のバラつきを考慮し、この程度の誤差（孔径：０．５μｍ）を許容するとすれば、各微細孔１０の孔径（開口径Ｄout）の取りうる範囲は、７．５μｍ〜１２．５μｍとなる。
【００３６】
さらに、最も適切な粒径ＰＤが、１５μｍ（１０μｍ〜２０μｍの中間値）であるとすれば、これに対応する各微細孔１０の孔径の最適範囲は、１０μｍ〜１１μｍであると推測される。なお、これは、両者の相関を示す近似曲線において、その粒径ＰＤが１５μｍを示すときの値（孔径＝約１０．５μｍ）と、その近傍の実測データ（図８参照、実測データＮｏ．４２）における値に基づくものである。
【００３７】
そして、本実施形態のミスト発生装置３では、以上の検証を踏まえ、その霧化部１１における各微細孔１０の孔径（開口径Ｄout）の値は、８μｍ〜１２μｍに設定されている。
【００３８】
また、本願出願人は、霧化部１１の外径（霧化部径）Ｄ_αが粒径ＰＤの均一性に与える影響、及び霧化部１１の外径（霧化部径）Ｄ_αとミストの放出範囲（の直径）との関係について検証を行った。
【００３９】
図９に示すように、放出されるミストの粒径ＰＤは、霧化部１１の外径Ｄ_αが小さい程、その均一性が高くなる傾向がある。すなわち、霧化部１１の外径Ｄ_αを拡大することで、その中心部と周縁部との間の振動振幅差もまた大きくなる。そして、これにより霧化が不安定化することで、その放出されるミストの粒径ＰＤにバラつきが生ずることになる。
【００４０】
しかしながら、図１０に示すように、ミストの放出範囲（の直径）は、霧化部１１の外径Ｄ_αに略比例する。このため、その粒径ＰＤの均一性を重視して霧化部１１の外径Ｄ_αを小さな値に設定することで、美容装置１として施術に必要な放出範囲が確保できなくなるおそれがある。
【００４１】
ここで、本実施形態では、使用状態における美容装置１の放出口５（図１参照）と施術部位との距離は、約１５ｃｍ程度と推定されており、図１０に示されたミスト放出範囲の直径もまた、１５ｃｍ離れた位置の値となっている。また、その施術に適したミスト放出範囲の直径は、約５ｃｍ程度と推定されている。そして、本実施形態では、この施術に適したミスト放出範囲の直径（５ｃｍ）に対応する値（３．５ｍｍ）が、霧化部１１の外径Ｄ_αに関する最適値として選択されている。
【００４２】
なお、美容装置１としての利用を考慮した場合、そのミスト放出範囲の直径は、最適値である５ｃｍより多少広くともよい。したがって、図９及び図１０に基づいて、その霧化部１１の外径Ｄ_αが取りうる範囲は、３．５ｍｍ〜４．２ｍｍとすることができる。
【００４３】
さらに、本願出願人は、図１１に示すように、各微細孔１０の孔間距離Ｘ（中心間距離）がミスト放出量に与える影響についても検証を行った。
すなわち、孔間距離Ｘが大きい場合には、単位面積当たりの開口面積が減少することで、その霧化能力が低下する。そして、孔間距離Ｘが小さい場合には、各微細孔１０から放出されたミストが結合する現象が発生する。
【００４４】
この点、図１１に示すように、各微細孔１０の孔間距離Ｘが１３５μｍである場合には、そのミスト放出量が安定する。そして、本実施形態では、この検証結果に基づいて、各微細孔１０の孔間距離Ｘは、１３５μｍに設定されている。
【００４５】
なお、図１１に示すように、孔間距離Ｘが最適値である１３５μｍから乖離することにより生ずる影響は、その値が１３５μｍよりも小さい値である方が少ない。したがって、同図に基づいて、その孔間距離Ｘの取りうる範囲は、１２０μｍ〜１３５μｍとすることができる。
【００４６】
本実施形態のミスト発生装置３では、このような検証に基づいて、その霧化部１１の最適化が図られている。そして、これにより、より良質なミストを放出することが可能となっている。
【００４７】
（圧電振動子の最適設計）
また、振動発生手段を構成する振動子の周波数特性は、その形状に依存する。この点を踏まえ、本願出願人は、その環状板状をなす圧電振動子１３の形状、すなわち、外径ＯＤ及び内径ＩＤ（図３参照）がミスト放出の安定性に与える影響について検証を行なった。
【００４８】
図１２（ａ）〜（ｄ）は、圧電振動子１３の外径ＯＤに対する内径ＩＤの比率（開口比率）が当該圧電振動子１３の周波数特性に与える影響を示している。そして、図１３（ａ）〜（ｄ）は、その開口比率（ＩＤ／ＯＤ）を一定とした場合に圧電振動子１３の大きさが周波数特性に与える影響を示している。
【００４９】
なお、これらの各図において「Ｚ」はインピーダンス、「Ｐ」は位相を示している。そして、周知のように、その「共振点の数（下側のピーク）」及び「位相の反転」の少ない方が、より周波数特性が良好であることを示している。
【００５０】
すなわち、図１２（ａ）〜（ｄ）に示すように、圧電振動子１３は、その開口比率（ＩＤ／ＯＤ）が大きいほど、その周波数特性が良好となる。そして、図１３（ａ）〜（ｄ）に示すように、その開口比率（ＩＤ／ＯＤ）を一定とした場合には、その大きさ（外径ＯＤ）が大きいほど、より良好な周波数特性を示す傾向がある。
【００５１】
しかしながら、開口比率（ＩＤ／ＯＤ）が大きい、或いは外径ＯＤが大きいということは、その内径ＩＤもまた大きいということである。そして、これにより、振動板１２が大型化することで、図５に示されるような膜振動以外の振動モード、すなわち霧化に適さない振動モードが発生する可能性がある。
【００５２】
これを裏付けるように、図１２（ａ）〜（ｄ）の比較例では、図１２（ｃ）の条件（ＯＤ＝１６ｍｍ、ＩＤ＝７ｍｍ）において、その霧化が最も安定した。そして、その内径ＩＤの拡大（図１２（ｂ）の条件：ＩＤ＝８ｍｍ、及び図１２（ａ）の条件：ＩＤ＝９ｍｍ）に従って、その安定性が低下する傾向が確認された。なお、図１２（ｄ）の条件（ＯＤ＝１５ｍｍ、ＩＤ＝５ｍｍ）でも、その霧化に安定性の低下が見られたが、これは、その周波数特性の低下によるものと考えられる。
【００５３】
また、図１４は、圧電振動子１３の外径ＯＤ及び内径ＩＤの組み合わせとミスト放出との関係を示すものであり、そのミストの放出量（霧化量）は、概ねその開口比率（ＩＤ／ＯＤ）が５０％以下である場合に安定する。そして、圧電振動子１３の外径ＯＤが１４ｍｍ〜１６ｍｍにある場合に、その霧化が最も安定する傾向が確認された。
【００５４】
これらの各図に示される検証を踏まえ、本願出願人は、その外径ＯＤ及び内径ＩＤの組み合わせについて、図１５に示されるような評価点を付与することとした。
詳述すると、「ミストの放出が確認された場合」「その霧化が安定的である場合」「周波数特性に優れている場合」に、それぞれ「１点」ずつを付与する。ただし、周波数特性に優れている場合であっても霧化が不安定である場合には、その評価点を「０点」とした。そして、その評価の結果を図１６に示すような等高線図に表すことで、最適な振動子の形状を考察した。
【００５５】
すなわち、図１６中、領域β１は、圧電振動子１３としての最適な形状を示す外径ＯＤ及び内径ＩＤの範囲に対応し、領域β２は、その安定的なミスト放出を考慮した上で、その外径ＯＤ及び内径ＩＤが取り得る範囲に対応する。したがって、圧電振動子１３の開口比率（ＩＤ／ＯＤ）は、３６％〜５９％であることが好ましく、さらに４０％〜５４％であることがより好ましい。また、その霧化安定性を重視すれば、その開口比率（ＩＤ／ＯＤ）は、５０％以下に設定することが望ましく、圧電振動子１３の外径ＯＤは、１４ｍｍ〜１６ｍｍであることが望ましい。そして、圧電振動子１３の内径ＩＤは、６ｍｍ〜８ｍｍであることが望ましい。
【００５６】
以上の考察を踏まえ、本実施形態のミスト発生装置３では、圧電振動子１３の外径ＯＤは１６ｍｍ、その内径は７ｍｍに設定されている。そして、これにより、安定的にミストを放出することができるとともに、その良好な周波数特性に基づいて、制御性に優れたミスト発生装置３を形成することが可能となっている。
【００５７】
以上、本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）ミスト発生装置３は、複数の微細孔１０が形成された霧化部１１を有する振動板１２と、この振動板１２を膜振動させる振動発生手段としての圧電振動子１３とを備える。そして、ミスト放出面１２ａにおける各微細孔１０の開口径Ｄoutは、７．５μｍ〜１２．５μｍに設定される。
【００５８】
上記構成によれば、いわゆる化粧崩れをおこすことなく、潤い感やしっとり感を与える最適なミスト粒径（１０μｍ〜２０μｍ）を実現して、良質なミストを放出することができる。さらに、この各微細孔１０の開口径Ｄoutを８μｍ〜１２μｍに設定することで、より良質なミストを放出することができる。そして、その開口径Ｄoutを１０μｍ〜１１μｍに設定することで、より一層、良質なミストを放出することができる。
【００５９】
（２）霧化部１１の外径Ｄ_αは、３．５ｍｍに設定される。これにより、その使用状態におけるミスト放出範囲の直径を最適な値にすることができる。
（３）各微細孔１０の孔間距離Ｘは、１３５μｍに設定される。すなわち、孔間距離Ｘが大きい場合には、単位面積当たりの開口面積が減少することで、その霧化能力が低下する。そして、孔間距離Ｘが小さい場合には、各微細孔１０から放出されたミストが結合する現象が発生する。しかしながら、上記構成によれば、安定的なミスト放出を実現することができる。
【００６０】
（４）振動板１２は、円環板状に形成された圧電振動子１３の孔部１４を覆うように、該圧電振動子１３に貼り合わされる。そして、圧電振動子１３の外径ＯＤは、１２ｍｍ〜１８ｍｍに設定されるとともに、その外径ＯＤに対する内径ＩＤの比率は、３６％〜５９％に設定される。
【００６１】
上記構成によれば、安定的にミストを放出することができるとともに、その良好な周波数特性に基づいて、制御性に優れたミスト発生装置３を形成することができる。その結果、より良質なミストを放出することができるようになる。
【００６２】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、本発明をミスト発生装置３が内蔵された携帯型の美容装置１に具体化した。しかし、これに限らず、本発明は、据え置き型の美容装置、或いは美容装置以外に用いられるミスト発生装置に適用してもよい。
【００６３】
・上記各実施形態では、ミスト発生装置３は、円環板状に形成された圧電振動子１３の孔部１４を覆うように円板状の振動板１２を貼り合わせることにより形成されることとした。しかし、圧電振動子及び振動板の形状、並びに両者の接触面形状は、必ずしもこれに限るものではない。例えば、筒状の圧電振動子や矩形状の振動板を用いてもよく、また、圧電振動子が複数の孔を有するものであってもよい。ただし、効率良く振動板を膜振動させる観点では、上記各実施形態に示される圧電振動子及び振動板の形状が好ましい。
【００６４】
・上記実施形態では、圧電振動子１３の厚み（Ｔ）は０．５ｍｍ、振動板１２の厚みは３０μｍとしたが、これらの値は、適宜変更してもよい。
・また、特許文献１に記載されているように支持部材（支持板）で振動板１２を圧電振動子１３に挟み込む構成としてもよい。これにより、その周波数特性を改善して霧化特性を安定化することができる。なお、支持部材の素材としては、例えば、ステンレス（ＳＵＳやＮｉ鋼等）等を用いるとよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…美容装置、３…ミスト発生装置、１０…微細孔、Ｄout…開口径、Ｘ…孔間距離、１１…霧化部、Ｄ_α…外径、１２…振動板、１２ａ…ミスト放出面、１２ｂ…液体供給面、１３…圧電振動子、１３ａ…放出側平面、１３ｂ…供給側平面、ＯＤ…外径、ＩＤ…内径、１４…孔部、１５…圧電体、１５ａ，１５ｂ…面、１６ａ，１６ｂ…薄膜電極、２２…ノズルパッキン、２４…貫通孔、２５…突部、２７…タンクパッキン、２９…タンク、３０…無電極部、Ｌ…液体、Ｍ…ミスト、ＰＤ…粒径。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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