(57)【要約】【課題】本発明はスクリーン印刷板、これを利用した積層型セラミックキャパシタの製造方法及び積層型セラミックキャパシタに関する。【解決手段】本発明は、複数の貫通孔を有するスクリーンメッシュと、上記複数の貫通孔の一部が埋められて形成されるマスク部と、上記マスク部により定義された少なくとも一つの印刷領域と、上記印刷領域の両方の周辺部から所定間隔を置いて対向配置された一対の壁部とを含むスクリーン印刷板を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有するスクリーンメッシュと、
前記複数の貫通孔の一部が埋められて形成されるマスク部と、
前記マスク部により定義された少なくとも一つの印刷領域と、
前記印刷領域の両方の周辺部から所定間隔を置いて対向配置された一対の壁部と、
を含むスクリーン印刷板。
【請求項２】
前記壁部と前記印刷領域の周辺部との間隔は、３０から１００μｍであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項３】
前記一対の壁部は、互いに並んで配置されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項４】
前記壁部の幅は、５から２０μｍであることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項５】
前記印刷領域が前記スクリーンメッシュに２列以上形成されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項６】
前記各列の印刷領域は互いに並んで配列されたことを特徴とする請求項５に記載のスクリーン印刷板。
【請求項７】
前記印刷領域は第１列の第１印刷領域と隣接した第２列の第２印刷領域が互いにずれて配列されたことを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷板。
【請求項８】
前記壁部は前記印刷領域の高くより低く形成され、シートに向かう前記壁部の端部と前記マスク部の一面が段差があるように形成されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項９】
前記壁部はシートに向かう端部が膨らんで形成されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項１０】
前記壁部はシートに向かう端部が凹んで形成されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項１１】
前記壁部はシートに向かう端部の左右側の長さが異なるように形成されたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項１２】
前記壁部はシートに向かう端部に凹凸部を有することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷板。
【請求項１３】
シート上に少なくとも一つの印刷領域を有するスクリーン印刷板を配置し、前記印刷領域に導電性ペーストを供給して前記シート上に内部電極膜を形成し、前記印刷領域の両方の周辺部から所定間隔を置いて配置された一対の壁部により前記導電性ペーストの一部の供給を遮断することを特徴とする積層型セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１４】
前記シートのうち前記壁部と対応する位置に、前記壁部の周辺の開放された貫通孔を通過した導電性ペーストにより、前記壁部のない部分に形成されたものと同じ高さの面を有するように内部電極膜を形成することを特徴とする請求項１３に記載の積層型セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１５】
前記スクリーン印刷板は前記シートの上面から所定間隔離隔されて設けられることを特徴とする請求項１３に記載の積層型セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１６】
請求項１３から１５の何れか１項の製造方法により製造された積層型セラミックキャパシタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷板、これを利用した積層型セラミックキャパシタの製造方法及び積層型セラミックキャパシタに関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ−Ｌａｙｅｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｃａｐａｃｉｔｏｒ：ＭＬＣＣ）は、移動通信端末機、ノート型パソコン、コンピューター及び個人用携帯端末機（ＰＤＡ）など数多くの電子製品の印刷回路基板に装着され、電気を充填または放電させる重要な役割をするチップ状のコンデンサであり、用いられる用途及び容量により多様なサイズと積層形態を有する。
【０００３】
最近では、電子製品の小型化により、このような積層型セラミックキャパシタの超小型化及び超高容量化が求められており、超小型化のために内部電極及び誘電体層を薄くし、超高容量化のために多くの誘電体を積層した製品が製造されている。
【０００４】
しかし、多い層の誘電体からなる積層型セラミックキャパシタは、シート上に内部電極膜を形成するためにスクリーン印刷板を介して導電性ペーストを充填する段階において、周辺部の吐出量が中央部より相対的に多いことがある。
【０００５】
従って、内部電極膜の周辺部が上側に膨らんで、その厚さが中央部より厚くなる、いわゆる、サドル（ｓａｄｄｌｅ）現象が発生することがある。
【０００６】
このようなサドル現象は、多層の誘電体からなる積層体を圧着する時、相対的に厚い内部電極膜の周辺部が、密度の均一化のために、中央部より多く延びる原因となり得る。従って、シートが全体的に薄くなり、製造された製品の信頼性が低下するという問題点が発生する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
当技術分野では、積層型セラミックキャパシタの誘電体を製造する時、内部電極膜で発生するサドル現象を改善するための新しい方案が求められて来た。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面は、複数の貫通孔を有するスクリーンメッシュと、上記複数の貫通孔の一部が埋められて形成されるマスク部と、上記マスク部により定義された少なくとも一つの印刷領域と、上記印刷領域の両方の周辺部から所定間隔を置いて対向配置された一対の壁部とを含むスクリーン印刷板を提供する。
【０００９】
本発明の一実施例における上記壁部と上記印刷領域の周辺部との間隔は、３０から１００μｍであることができる。
【００１０】
本発明の一実施例における上記一対の壁部は、互いに並んで配置されることができる。
【００１１】
本発明の一実施例における上記壁部の幅は、５から２０μｍであることができる。
【００１２】
本発明の一実施例における上記印刷領域は、上記スクリーンメッシュに２列以上形成されることができる。
【００１３】
このとき、上記各列の印刷領域は互いに並んで配列されることができ、上記印刷領域は第１列の第１印刷領域と隣接した第２列の第２印刷領域が互いにずれて配列されることができる。
【００１４】
本発明の一実施例における上記壁部は、上記印刷領域の高さより低く形成され、シートに向かう上記壁部の端部と上記マスク部の一面が段差があるように形成されることができる。
【００１５】
本発明の一実施例における上記壁部は、シートに向かう端部が膨らんで形成されることができる。
【００１６】
本発明の一実施例における上記壁部は、シートに向かう端部が凹んで形成されることができる。
【００１７】
本発明の一実施例における上記壁部は、シートに向かう端部の左右側の長さが異なるように形成されることができる。
【００１８】
本発明の一実施例における上記壁部は、シートに向かう端部に凹凸部を有することができる。
【００１９】
本発明の他の側面は、シート上に少なくとも一つの印刷領域を有するスクリーン印刷板を配置し、上記印刷領域に導電性ペーストを供給して上記シート上に内部電極膜を形成し、上記印刷領域の両方の周辺部から所定間隔を置いて配置された一対の壁部により上記導電性ペーストの一部の供給を遮断することを特徴とする積層型セラミックキャパシタの製造方法を提供する。
【００２０】
本発明の一実施例において、上記シートの上記壁部と対応する位置に、上記壁部の周辺の開放された貫通孔を通過した導電性ペーストにより、上記壁部のない部分に形成されたものと同じ高さの面を有するように内部電極膜を形成することができる。
【００２１】
本発明の一実施例における上記スクリーン印刷板は、上記シートの上面から所定間隔離隔されて設けられることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の一実施例によると、シート上に内部電極膜を形成する時、内部電極膜の上面に発生するサドル現象を抑制することで、作動信頼性が向上した積層型セラミックキャパシタを製造することができるという効果が期待される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の概略的な構造を示す斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に適用されるシート及び本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板を利用して形成された内部電極膜を図１のＡ−Ａ線断面で示す断面図である。
【図４ａ】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の壁部の形態を変えた実施例を示す断面図である。
【図４ｂ】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の壁部の形態を変えた実施例を示す断面図である。
【図４ｃ】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の壁部の形態を変えた実施例を示す断面図である。
【図４ｄ】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の壁部の形態を変えた実施例を示す断面図である。
【図４ｅ】本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板の壁部の形態を変えた実施例を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に適用されるシート及び本発明の他の実施形態によるスクリーン印刷板と、該スクリーン印刷板を利用して形成された内部電極膜を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２５】
しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。
【００２６】
また、本発明の実施形態は当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。
【００２７】
従って、図面における要素の形状及びサイズなどは、より明確な説明のために誇張されることがあり、図面上に同じ符号で示される要素は同じ要素である。
【００２８】
また、類似する機能及び作用をする部分に対しては図面全体にわたって同じ符号を使用する。
【００２９】
さらに、明細書の全体において、ある構成要素を「含む」とは、特に反対する記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。
【００３０】
図１及び図２を参照すると、本実施形態によるスクリーン印刷板１０は、複数の貫通孔１４を有するスクリーンメッシュ１３と、スクリーンメッシュ１３の複数の貫通孔１４の一部を埋めて非貫通状態にしたマスク部１１と、スクリーンメッシュ１３においてマスク部１１により定義される貫通状態の印刷領域１２と、印刷領域１２内で両方の周辺部から所定間隔を置いて対向配置された一対の壁部２０を含む。
【００３１】
スクリーンメッシュ１３はポリエステル又はステンレススチールなどの材質からなることができ、多数の微小開口された貫通孔１４を有する網板状に形成されることができる。
【００３２】
マスク部１１はエマルジョンなどの乳剤からなる一定厚さの膜であることができ、スクリーンメッシュ１３の上面に供給される導電性ペーストのうち、シート３０の上面に印刷される部分だけを通過させ、残りの部分は遮断する役割を担う。このとき、シート３０はセラミックグリーンシートであることができる。
【００３３】
印刷領域１２は、シート３０上にスクリーン印刷板１０を配置し、その上に導電性ペーストを供給した時、供給された導電性ペーストを下側に通過させ、シート３０上にパターンを印刷して内部電極膜４０を形成するためのものである。
【００３４】
このとき、スクリーンメッシュ１３に備えられる印刷領域１２は、２列以上並べて形成することができる。また、チップに切断した時、異なる極性を有するように第１列の第１印刷領域と、第１印刷領域と隣接した第２列の第２印刷領域とをずらして配置することができる。
【００３５】
壁部２０は、スクリーンメッシュ１３の貫通孔１４のうち一部をエマルジョンなどの乳剤で埋めることで印刷領域１２内に垂直方向に形成することができる。
【００３６】
このような壁部２０は、印刷領域１２の周辺部で導電性ペーストの充填量が中央部より相対的に大きくなることを防ぐ役割をする。このとき、壁部２０と印刷領域１２の内側面との間隔は、導電性ペーストの吐出量を最適化することができる距離である３０から１００μｍに設定することができる。
【００３７】
従って、印刷領域１２に吐出された導電性ペーストは、その周辺部で壁部２０により供給が遮断され、印刷領域１２の中央部と周辺部の充填量が略等しくなる。このとき、壁部２０のシート３０に向かう端部は周辺部に充填された導電性ペーストにより内部電極膜４０が形成される時、内部電極膜の上面が突出することを押して抑制する遮断壁の役割もする。
【００３８】
このような作用により、内部電極膜４０の周辺部が膨らんで中央部より突出するサドル現象が防止され、これにより、内部電極膜４０の厚さが最大限均一になることができる。
【００３９】
よって、該内部電極膜４０が備えられたシート３０を複数個積層してセラミック積層体を形成するにおいて、内部電極膜４０の上面は略平面であるため、内部電極膜４０の形状が変形したり、焼成時に内部電極膜４０内にクラックが発生することを防止し、製品の信頼性を向上させることができる。
【００４０】
一方、壁部２０の幅は狭すぎたり、広すぎると、上述のサドル現象を防止し、誘電体の特性を良好にする効果が現われないこともある。
【００４１】
壁部２０の幅を異ならせて複数のスクリーン印刷板を製作した後、各々のスクリーン印刷板１０を利用して内部電極膜４０が形成されたセラミックグリーンシート３０を製作した。その後、該内部電極膜４０の印刷パターンの形状を評価し、該シートを複数個積層してグリーンセラミック積層体を製作し、その特性を比較した結果を表１に示した。
【００４２】
上記グリーンセラミック積層体は１５０〜１，０００層のセラミックグリーンシート３０を積層した後、圧着、切断、焼成、外部電極及びメッキなどの工程を順に行い、積層型セラミックキャパシタに製作し、印刷形状、静電容量、破壊電圧（ＢＤＶ）及び出荷加速寿命などに対して評価した。
【００４３】
【表１】
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【００４４】
＜壁部の幅によるグリーンセラミック積層体の特性評価の結果＞
上記表１を参照すると、従来例として、印刷領域に壁部が備えられないスクリーン印刷板を使用すると、上記印刷領域の周辺部で導電性ペーストの吐出量が上記印刷領域の中央部より相対的に多くなる。これによって、グリーンシート上に形成される内部電極膜の周辺部が中央部より相対的に突出したサドル形状を有するようになる。
【００４５】
このようなサドル形状の内部電極膜を有するシートを複数個積層してグリーンセラミック積層体を製造した後、その特性を調べた。
【００４６】
その結果、電気を保存することができる空間のサイズを示す静電容量は１０７％と最も高く示され、絶縁破壊される破壊電圧は７５Ｖで、出荷加速寿命は３１％であり、静電容量を除き、総じて性能が低いことが分かる。
【００４７】
これと対比される実施例として、スクリーン印刷板１０の壁部２０の幅が５から２０μｍの範囲にあるものを例に挙げた。このような実施例の場合、印刷領域１２の周辺部で導電性ペーストの吐出量が壁部２０により調節される。従って、シート３０上に形成される内部電極膜４０の周辺部が中央部より相対的に突出するサドル現象を防止することができる。
【００４８】
よって、シート３０上に形成された内部電極膜４０は周辺部と中央部の厚さの差が１０％未満となる、上面が略平らな形状を有する。また、内部電極膜４０の周辺部と中央部の厚さの差に因るクラックや層間剥離の発生を防止することができる。
【００４９】
このような内部電極膜４０を有するシート３０を複数個積層してグリーンセラミック積層体を製造した後、その特性を調べた。
【００５０】
その結果、静電容量において、実施例１の壁部２０の幅が５μｍである場合は１０６％で、実施例２の壁部２０の幅が１０μｍである場合は１０４％で、実施例３の壁部２０の幅が２０μｍである場合は１０１％であって、壁部２０の幅が５から２０μｍにある実施例１から３は、静電容量が全て１００％以上と優れることが分かる。
【００５１】
また、破壊電圧において、実施例１の壁部２０の幅が５μｍである場合は８５Ｖで、実施例２の壁部２０の幅が１０μｍである場合は９３Ｖで、実施例３の壁部２０の幅が２０μｍである場合は８７Ｖであって、壁部２０の幅が５から２０μｍにある実施例１から３は、破壊電圧が全て８５Ｖ以上を示すため、壁部のない従来例の７５Ｖより破壊電圧が改善されたことが分かる。
【００５２】
また、出荷加速寿命において、実施例１の壁部２０の幅が５μｍである場合は１５％で、実施例２の壁部２０の幅が１０μｍである場合は１０％で、実施例３の壁部２０の幅が２０μｍである場合は１２％であって、壁部２０の幅が５から２０μｍにある実施例１から３は、出荷加速寿命が全て１５％以下を示すため、壁部のない従来例の３１％より出荷加速寿命が改善されたことが分かる。
【００５３】
上記の結果から、本実施例の場合、従来例に比べて絶縁抵抗の低下などを効率的に抑制することができ、信頼性の高い積層型セラミックキャパシタを製造することができる。
【００５４】
一方、上記実施例と対比される比較例として、スクリーン印刷板の壁部の幅が３０から５０μｍの範囲にあるものを例に挙げた。このような比較例の場合、上記印刷領域の周辺部で導電性ペーストの吐出量が上記印刷領域の中央部より相対的に少なくなる。よって、グリーンシート上に形成される内部電極膜の周辺部が中央部より相対的に凹んだ形状を有する。
【００５５】
このような上面に凹部を有するシートを複数個積層してグリーンセラミック積層体を製造した後、その特性を調べた。
【００５６】
その結果、静電容量において、比較例１の上記壁部の幅が３０μｍである場合は９５％で、比較例２の上記壁部の幅が４０μｍである場合は９２％で、比較例３の上記壁部の幅が５０μｍである場合は８８％であって、上記壁部の幅が３０から５０μｍにある比較例１から３は、静電容量が全て１００％未満と低い。このような静電容量は上記壁部の幅が広くなるほど、次第に低下することが分かる。
【００５７】
また、破壊電圧において、比較例１の上記壁部の幅が３０μｍである場合は８１Ｖで、比較例２の壁部の幅が４０μｍである場合は７４Ｖであって、比較例３の壁部の幅が５０μｍである場合は７２Ｖであって、上記壁部の幅が３０から５０μｍにある比較例１から３は、破壊電圧が全て実施例より低い８５Ｖ未満で、このような破壊電圧は上記壁部の幅が広くなるほど、次第に低下することが分かる。
【００５８】
また、出荷加速寿命において、比較例１の上記壁部の幅が３０μｍである場合は１８％で、比較例２の上記壁部の幅が４０μｍである場合は２７％で、比較例３の上記壁部の幅が５０μｍである場合は３５％であって、上記壁部の幅が３０から５０μｍにある比較例１から３は、出荷加速寿命が実施例１の最低数値である１５％に至らない１８％以上で、このような出荷加速寿命は上記壁部の幅が広くなるほど、著しく低下することが分かる。
【００５９】
従って、本発明の一実施形態による実施例１から３は、従来例及び比較例１から３より優れた作動信頼性を有することが分かる。静電容量、破壊電圧及び出荷加速寿命を全て考慮すると、好ましい壁部２０の幅は３０μｍ以下、より好ましくは５から２０μｍである。結果的に、このような実施例１から３のグリーンセラミック積層体を利用して製作された積層型セラミックキャパシタは最適化された性能を有するものと期待される。
【００６０】
一方、本実施形態では、この壁部２０のシート３０に向かう端部が平らな面を有するものを示して説明しているが、本発明の壁部は図４Ａに示されているように壁部２１のシート３０に向かう面を凸面２１ａで形成したり、図４Ｂに示されているように壁部２２のシート３０に向かう面を凹面２２で形成したり、図４Ｃ及び図４Ｄに示されているように壁部２３、２４のシート３０に向かう面をその左右側の長さを異ならせて、少なくとも一側が傾いた形態で形成することができる。また、必要に応じて、図４Ｅに示されているように壁部２５のシート３０に向かう面を凹凸面２５ａで構成することができる。
【００６１】
また、図５を参照すると、本発明の一実施形態による壁部２６は、印刷領域１２の高さより低く形成することができる。即ち、シート３０に向かう端部との間に所定の隙間ｈができるように、壁部２６の端部とマスク部１１の一面が段差があるように形成することができる。
【００６２】
この場合、隙間ｈは導電性ペーストの充填量を２次的に調節する役割をすることができるため、この隙間ｈの高さによって壁部２６の幅を調節することが可能となる。従って、このような構造の壁部２６を印刷領域１２の狭いスクリーン印刷板１０に適用する場合、壁部２６の幅をさらに減らすなど設計がより容易になる。
【００６３】
上記のように構成された本発明の一実施形態によるスクリーン印刷板を利用して積層型セラミックキャパシタを製造する方法の一実施形態を以下に説明する。
【００６４】
セラミックパウダー、ポリマー及び溶剤を混合してスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）を製造した後、ドクターブレードなどの工法で塗布する。
【００６５】
セラミックパウダーはＢａＴｉＯ３系物質を含むことができる。しかし、これに制限されず、ＢａＴｉＯ３にカルシウム（Ｃａ）、ジルコニウム（Ｚｒ）などが一部共用された（Ｂａ１−ｘＣａｘ）ＴｉＯ３、Ｂａ（Ｔｉ１−ｙＣａｙ）Ｏ３、（Ｂａ１−ｘＣａｘ）（Ｔｉ１−ｙ）Ｚｒｙ）Ｏ３またはＢａ（Ｔｉ１−ｙＺｒｙ）Ｏ３などを含むことができる。このとき、セラミックパウダーの平均粒径は１．０μｍ以下であることが好ましい。
【００６６】
また、このようなセラミックパウダー物質にセラミック添加剤、有機溶剤、可塑剤、結合剤及び分散剤を配合し、バスケットミル（ｂａｓｋｅｔ  ｍｉｌｌ）を利用してスラリーを製造することができる。
【００６７】
その後、製造されたスラリーをキャリアフィルム（ｃａｒｒｉｅｒ  ｆｉｌｍ）上に塗布して乾燥し、約数μｍの厚さでセラミックグリーンシート３０を製造する。
【００６８】
セラミックグリーンシート３０は基本材料であるセラミックパウダーとともに転移金属、希土類元素またはマグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）などをさらに含んでよい。
【００６９】
また、焼結温度を低くするために、ガラス成分の焼結調剤をさらに含んでよい。このガラス成分の焼結調剤は特定成分に制限されるものではなく、例えば、Ｂ、Ｂａ、Ｃａ、ＡｌまたはＬｉなどの元素を含む二酸化ケイ素系ガラス成分であってよい。
【００７０】
そして、このセラミックグリーンシート３０上に約１〜２μｍの厚さで導電性ペーストを印刷し内部電極膜４０を形成する。このとき、導電性ペーストの印刷方法としては、スクリーン印刷またはグラビア印刷方法などを用いることができる。また、導電性ペーストは銀（Ａｇ）、鉛（Ｐｂ）、白金などの貴金属材料及びニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）のうち一つの物質で形成されたり、このうち少なくとも２つの物質を混合して形成されることができる。
【００７１】
本発明の一実施形態によるスクリーン印刷方法は、複数の貫通孔１４を有するスクリーンメッシュ１３を用意し、このスクリーンメッシュ１３の貫通孔１４の一部を埋めてマスク部１１を形成し、このマスク部１１により貫通孔１４の一部が印刷領域１２として定義される。そして、印刷領域１２内に壁部２０を備えてスクリーン印刷板１０を製作する。
【００７２】
このとき、印刷領域１２はスクリーンメッシュ１３に形成されたマスク部１１に別途の露光または現象工程を通じて形成することができる。例えば、印刷領域１２は、マスク部１１上にフォトレジストを塗布し、フォトマスクを適用してＵＶなどを通じて露光してから現象するフォトリソグラフィ工程を通じて形成したり、マスク部１１にレーザーまたはドライエッチング方法を用いて形成することができる。
【００７３】
壁部２０は、スクリーンメッシュ１３の貫通孔１４の一部をエマルジョンなどの乳剤を埋めることで印刷領域１２内に垂直方向に形成することができる。また、壁部２０は別途の露光または現象工程を通じて印刷領域１２を形成する時、該当するマスク部１１の一部領域を残して形成することができる。
【００７４】
このような壁部２０は、印刷領域１２の周辺部で導電性ペーストの充填量が多くなることを防止する役割をする。壁部２０と印刷領域１２の内側面との間隔は、導電性ペーストの吐出量の多い領域に該当する３０から１００μｍであることができる。
【００７５】
結果的に、セラミックグリーンシート３０上にスクリーン印刷板１０を所定間隔Ｇ離隔して設け、該スクリーン印刷板１０の印刷領域１２またはその周りに導電性ペーストを塗布した後、スキージ（ｓｑｕｅｅｇｅｅ）などの加圧手段を利用してセラミックグリーンシート３０上に内部電極膜４０を印刷する。
【００７６】
導電性ペーストは金属粉末、セラミック粉末及びシリカ（ＳｉＯ２）粉末を含んでよい。金属粉末はＮｉ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ａｌまたはこれらの合金を使用することができ、これに限定されない。また、平均粒径は５０〜４００ｎｍが好ましい。
【００７７】
内部電極膜４０の厚さは用途によって適切に調節されることができ、０．１から１．０μｍの範囲内であることが好ましい。
【００７８】
従って、印刷領域１２に吐出された導電性ペーストは、その周辺部で壁部２０により注入が遮られ、印刷領域１２の中央部と周辺部の充填量が略等しくなる。特に、壁部２０はその端部が周辺部で吐出された導電性ペーストにより内部電極膜が形成される時、内部電極膜の上面が突出することを抑制する遮断壁の役割も担う。
【００７９】
このとき、スクリーンメッシュ１３の印刷領域１２を通過する導電性ペーストが壁部２０に遮られて壁部の該当位置では導電性ペーストが通過せず、その壁部２０の周辺部を通じて供給されながら印刷領域１２の全体充填量が調節され、内部電極膜４０の上面が略平らに形成されることができる。このとき、壁部２０は内部電極膜４０の周辺部を押し、この周辺部が突出することを防止する役割もすることができる。
【００８０】
その後、内部電極膜４０が形成されたセラミックグリーンシート３０をキャリアフィルムから剥離し、キャリアフィルムが剥離された複数のセラミックグリーンシート３０を高温及び高圧で圧着し積層し、数十から数百層までバー（ｂａｒ）状に積層して高積層化されたグリーンセラミック積層体を製造することが好ましい。
【００８１】
次いで、グリーンセラミック積層体を切断工程を経て所定のサイズに切断し、グリーンチップを製造する。その後、仮焼、焼成、研磨、外部電極メッキなどの工程を経ると、最終的に積層型セラミックキャパシタが完成される。
【００８２】
このとき、焼成は約１１００℃以上の高温で行うことが好ましい。これは内部電極膜４０としてＮｉなどの非金属を使用すると、低温である４００℃から酸化が生じて焼結収縮が起こり、１０００℃以上で急激に焼成される虞があるためである。
【００８３】
もし、内部電極膜４０が急激に焼成されると、内部電極膜４０の過焼成により電極が凝集したり、切れることがあり、内部電極膜４０の連結性及び容量が低下することがある。また、焼成後、クラックのような積層型セラミックキャパシタの内部構造の欠陥が発生することがある。
【００８４】
従って、約４００から５００℃の比較的低い温度で焼結が始まる金属粉末の焼結開始温度を最大限遅延させて、誘電体との収縮差を最小化する必要がある。
【００８５】
本発明は上述した実施形態及び添付の図面により限定されるものではなく、添付の請求の範囲により限定される。従って、請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で当技術分野の通常の知識を有する者により多様な形態の置換、変形及び変更が可能で、これも本発明の範囲に属する。
【符号の説明】
【００８６】
１０  スクリーン印刷板
１１  マスク部
１２  印刷領域
１３  スクリーンメッシュ
１４  貫通孔
２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６  壁部
３０  シート
４０  内部電極膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図４ｃ】
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【図４ｄ】
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【図４ｅ】
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【図５】
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