(57)【要約】【課題】非常に薄い板厚のガラス板の加工において割れを発生しにくくする。【解決手段】ガラス板５０のエッチングに用いるエッチング装置に、支持体とガイド１２とを備える。支持体とガイド１２とは、エッチング液を貯えるエッチング槽の内部に配置される。支持体は、直立したガラス板５０の下端を支持する。支持体とガイド１２には、鉛直方向に延びる水平面内の断面が底部２１から開口まで広がる溝２０が互いに向かい合うように形成されていて、これらの溝２０でガラス板５０がガイドされる。【選択図】図２
2013237579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング液を貯えるエッチング槽と、
前記エッチング槽の内部に配置され、直立したガラス板の下端を支持する支持体と、
前記エッチング槽の内部に配置され、前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、
を具備することを特徴とするガラス板エッチング装置。
【請求項２】
前記ガイドは対をなす前記ガイド面が互いに向かい合うように配置された少なくとも１組のガイドからなり、対をなす前記ガイド面の水平方向の幅が前記ガラス板の板厚と等しくなる部分の前記１組のガイドの間の水平方向の距離は前記ガラス板の前記水平方向の幅よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項３】
前記ガラス板は２つの主面と端面とのそれぞれの交線部分が面取りされたものであって、対をなす前記ガイド面同士がなす角は前記側辺部分の面取りによって生じた斜面がなす角よりも小さいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項４】
前記ガラス板は２つの主面と端面とのそれぞれの交線部分が面取りされたものであって、対をなす前記ガイド面同士がなす角は前記側辺部分の面取りによって生じた斜面がなす角よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項５】
前記支持体は前記ガイドの下方に配置され、水平に対して傾いた支持面で前記ガラス板の下端の両側の角を支持することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項６】
前記支持体は前記ガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がる前記支持面よりも上方の第２のガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内することを特徴とする請求項５に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項７】
前記支持体を上下に移動させる搖動機をさらに具備することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項８】
前記エッチング液を鉛直方向に流動させる循環機をさらに具備することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のガラス板エッチング装置。
【請求項９】
エッチングする際にガラス板を直立した姿勢に保持するガラス板保持治具において、
直立したガラス板の下端を支持する支持体と、
前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、
を具備することを特徴とするガラス板保持治具。
【請求項１０】
ガラス板を成形する工程と、
エッチング液を貯えるエッチング槽と、前記エッチング槽の内部に配置され、直立した前記ガラス板の下端を支持する支持体と、前記エッチング槽の内部に配置され、前記エッチング槽の内部に配置され、前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、を備えるエッチング装置を用いて前記ガラス板をエッチングするエッチング工程と、
前記エッチング工程の後に前記ガラス板を機械研磨する工程と、
を具備することを特徴とするガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板エッチング装置、エッチングする際にガラス板を所定の姿勢に保持するガラス板保持治具およびガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルスチルカメラなどに使用されるＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）やＣＭＯＳ（Complementary  Metal  Oxide  Semiconductor）などの固体撮像素子には、フツリン酸ガラスを用いた近赤外線カットフィルタガラスが用いられている。近年の携帯電話やスマートフォンなどの携帯端末に搭載される固体撮像素子モジュールやデジタルスチルカメラの小型化の要請から、フィルタガラスにも非常に薄い板厚のものが求められている。
【０００３】
フィルタガラスを薄くする場合、一般に、所望の板厚になるように研削加工する。しかし、ガラスの板厚が薄いと研削工程においてガラスが破損する可能性が高まる。
【０００４】
従来、ガラスの曲げ強度を向上させる観点から、ガラス端面を面取加工する場合がある（たとえば特許文献１参照）。ガラスに曲げ応力が作用した際、ガラス表面の傷が割れの起点となるため、その傷を除去することでガラスの強度を高めるためである。さらに、エッチングによって、ガラス板の表面の傷を除去する場合もある（たとえば特許文献２参照）。また、エッチングによってガラス板を薄くする場合もある（たとえば特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１６９１６６号公報
【特許文献２】特開２０１０−１６８２６２号公報
【特許文献３】特開２００７−２９０８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
研削加工前に面取加工を施す場合もあるが、面取加工自体でガラス端面に傷が形成されたり、それ以前の形成工程にてガラス表面に傷が形成されたりするなど、研削加工での割れの発生を十分に抑制することは困難である。
【０００７】
ガラスに曲げ応力が作用した際、ガラス板端面の傷が割れの基点となりやすい。ガラス板端面の傷を除去するために、ガラス板の主面を保持してエッチングを行うと、光学作用面となる主面にエッチングむらが生じて、製品の光学特性が悪化する。一方、ガラス板の端面を保持してエッチングを行うと、保持部近傍でエッチングの進行が遅くなり、十分なエッチングができなかったり、エッチングにむらが生じてしまう可能性が高い。また、保持部を支点として曲げ応力が加わると、ガラス板が割れる可能性もある。
【０００８】
そこで、本発明は、非常に薄い板厚のガラス板の加工において割れを発生しにくくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するため、本発明は、ガラス板エッチング装置において、エッチング液を貯えるエッチング槽と、前記エッチング槽の内部に配置され、直立したガラス板の下端を支持する支持体と、前記エッチング槽の内部に配置され、前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、を具備することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、エッチングする際にガラス板を直立した姿勢に保持するガラス板保持治具において、直立したガラス板の下端を支持する支持体と、前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、を具備することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、ガラス板の製造方法において、ガラス板を成形する工程と、エッチング液を貯えるエッチング槽と、前記エッチング槽の内部に配置され、直立した前記ガラス板の下端を支持する支持体と、前記エッチング槽の内部に配置され、前記エッチング槽の内部に配置され、前記直立したガラス板の側辺を板厚方向に挟み前記ガラス板側に向かって広がるガイド面の対で前記直立したガラス板の両側辺を案内するガイドと、を備えるエッチング装置を用いて前記ガラス板をエッチングするエッチング工程と、前記エッチング工程の後に前記ガラス板を機械研磨する工程と、を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、非常に薄い板厚のガラス板の加工において割れが発生しにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態の立断面図である。
【図２】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態のガイドをエッチング対象のガラス板とともに示す図４のII−II矢視上面図である。
【図３】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態の支持体をガラス板の断面とともに示す図４のIII−III矢視上面図である。
【図４】図２および図３のIV−IV矢視立断面図である。
【図５】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態のガイドの溝近傍の拡大平面図である。
【図６】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態を用いた板状光学ガラスの製造工程を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態を用いた板状光学ガラスの製造工程においてガラス板成形工程で成形されたガラス板の斜視図である。
【図８】本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態を用いた板状光学ガラスの製造工程において面取工程後のガラス板の斜視図である。
【図９】本発明に係るガラス板エッチング装置の第２の実施の形態の立断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明に係るガラス板エッチング装置の実施の形態を、図面を参照して説明する。なお、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、各実施の形態は単なる例示であり、本発明はこれらに限定されない。
【００１５】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明に係るガラス板エッチング装置の第１の実施の形態の立断面図である。
【００１６】
本実施の形態のガラスのガラス板エッチング装置１０は、ガラス板５０のエッチングを行う装置である。ガラス板エッチング装置１０は、エッチング槽１１とガイド１２と支持体１３と搖動機１５とエッチング液循環機１７を有している。エッチング槽１１には、エッチング液１６が貯えられる。エッチング対象のガラス板５０は、直立した状態でエッチング液１６に浸漬される。
【００１７】
ガイド１２および支持体１３は、エッチング槽１１の内部に配置されて、エッチングの際にガラス板を所定の姿勢に保持するガラス板保持治具である。支持体１３は、直立したガラス板５０の下端を支持する。ガイド１２は、直立したガラス板５０が倒れないようにガラス板５０の両側辺をガイドする。
【００１８】
ガイド１２は、鉛直方向の同じ位置に設けられた２つが対となっている。また、支持体１３は、鉛直方向の同じ位置に設けられた２つが対となっている。ガイド１２および支持体１３は、いずれもエッチング液１６の液面より下方に配置されている。ガイド１２は、支持体１３よりも鉛直方向の高い位置に配置されている。
【００１９】
ガイド１２および支持体１３はそれぞれアーム１４で連結されている。アーム１４は、搖動機１５から水平に延びている。搖動機１５は、アーム１４を上下に移動させることによって、ガイド１２および支持体１３を上下に移動させる。搖動機１５は、ガイド１２に連結されたアーム１４および支持体１３に連結されたアーム１４を同時に同方向に同じ距離だけ移動させる。これにより、ガラス板５０は上下に搖動する。搖動機１５は、支持体１３のみを上下に移動させるものであってもよい。
【００２０】
エッチング液循環機１７は、たとえばエッチング槽１１の底に配置され、水平方向にエッチング液１６を吸い込み、上方に吐出する。これにより、エッチング液１６は、ガラス板５０の間を上昇し、液面近傍で水平方向に広がり、エッチング槽１１の内壁近傍で下降する循環流となる。
【００２１】
図２は、本実施の形態のガラス板エッチング装置のガイドをエッチング対象のガラス板とともに示す図４のII−II矢視上面図である。図３は、本実施の形態のガラス板エッチング装置の支持体をガラス板の断面とともに示す図４のIII−III矢視上面図である。図４は、図２および図３のIV−IV矢視立断面図である。図５は、本実施の形態におけるガイドの溝近傍の拡大平面図である。
【００２２】
対をなす２つのガイド１２には、互いに向かい合う溝２０が形成されている。溝２０は、ガイド１２の高さ方向の全体にわたって鉛直方向に延びている。溝２０は、複数であって、等間隔で配列されている。溝２０は、対をなすガイド面２３でガラス板５０を板厚方向に挟んでいる。対をなすガイド面２３は、ガラス板５０に向かって広がっている。
【００２３】
対をなす２つの支持体１３には、それぞれ互いに遠ざかるにしたがって上昇する支持面３４が形成されている。また、これらの支持体１３には、互いに向かい合う溝３０が形成されている。溝３０は、支持体１３の上端から鉛直下方に向かって延びて、支持面３４に接続している。溝３０は、複数であって、ガイド１２に形成された溝２０と水平方向の同位置に形成されている。支持体１３に形成された溝３０の水平断面の形状は、ガイド１２に形成された溝２０の水平断面の形状と同じである。つまり、溝３０は、対をなすガイド面３３でガラス板５０を板厚方向に挟んでいる。対をなすガイド面３３は、ガラス板５０に向かって広がっている。支持面３４は、水平に対して傾いた斜面であって、法線が直立したガラス板５０に向かっている。
【００２４】
ガラス板５０は、互いに向かい合う溝２０で案内されて所定の水平方向位置に配置される。ガラス板５０の下端の２つの角が支持体１３に形成された支持面３４に接することにより、ガラス板５０は支持される。
【００２５】
ガイド１２と鉛直方向が同じ位置でのガラス板５０の水平方向の幅Ｗは、ガイド１２の溝２０の両側の突出部２２の間の距離Ｌ１よりも大きい。つまり、ガラス板５０がガイド１２の溝２０から外れて脱落することはない。
【００２６】
ガイド１２と鉛直方向が同じ位置でのガラス板５０の水平方向の幅Ｗは、ガイド１２の向かい合う溝２０の底部２１の距離Ｌ３よりも小さい。このため、ガラス板５０の端面５２と溝２０の底部２１との間には、空隙が存在する。
【００２７】
ガイド１２の溝２０の水平方向の幅がガラス板５０の板厚ｔとなる部分同士の距離Ｌ２は、ガラス板５０の水平方向の幅Ｗよりも大きい。つまり、ガラス板５０とガイド１２の溝２０のガイド面２３との間の少なくとも一方には空隙が存在する。この空隙の大きさ、すなわちガラス板５０とガイド１２の溝２０のガイド面２３とのクリアランスは、たとえば０．１〜０．３ｍｍ程度である。
【００２８】
支持体１３の溝３０が形成されている部分と鉛直方向が同じ位置でのガラス板５０の水平方向の幅Ｗは、支持体１３の向かい合う溝３０の両側の突出部３２の間の距離Ｌ１よりも大きい。つまり、ガラス板５０がガイド１２の溝２０から外れて脱落することはない。
【００２９】
支持体１３の溝３０が形成されている部分と鉛直方向が同じ位置でのガラス板５０の水平方向の幅Ｗは、支持体１３の向かい合う溝３０の底部３１の距離Ｌ３よりも広い。このため、ガラス板５０の端面５２と溝３０の底部３１との間には、空隙が存在する。
【００３０】
支持体１３の溝３０の水平方向の幅がガラス板５０の板厚ｔとなる部分同士の距離Ｌ２は、ガラス板５０の水平方向の幅Ｗよりも大きい。つまり、ガラス板５０と支持体１３の溝３０のガイド面３３との間の少なくとも一方には空隙が存在する。この空隙の大きさ、すなわちガラス板５０と支持体１３の溝３０のガイド面３３とのクリアランスは、たとえば０．１〜０．３ｍｍ程度である。
【００３１】
図６は、本実施の形態のガラス板エッチング装置を用いた板状光学ガラスの製造工程を示すフローチャートである。
【００３２】
板状光学ガラスの製造では、ガラス板成形工程（Ｓ１）、一次ラップ工程（Ｓ２）、面取工程（Ｓ３）、エッチング工程（Ｓ４）、二次ラップ工程（Ｓ５）、ポリッシング工程（Ｓ６）、成膜工程（Ｓ７）を順に行う。ここでは、板状の近赤外線カットフィルタガラスを形成する場合について説明する。
【００３３】
ガラス板成形工程（Ｓ１）では、ガラス板５０を成形する。たとえば調合したガラス原料をガラス溶融炉で溶融し、溶融ガラスをガラス溶融炉から成形型に流し込み、板状のガラスに成形する。この時点でのガラス板５０の厚さは、たとえば１ｍｍ程度である。
【００３４】
図７は、本実施の形態においてガラス板成形工程で成形されたガラス板の斜視図である。
【００３５】
このガラス板５０は、たとえば弗燐酸塩系ガラスである。ガラス板５０は、２つの平行な主面５１を持つ。また、ガラス板５０は、４つの端面５２で囲まれている。線状に延びる主面５１と端面５２との連結部分を稜線５３と呼ぶ。ガラス板５０には、チッピング７１や、クラック７２が生じている場合がある。チッピング７１とはガラス板５０の表面の一部がある大きさで欠けた傷をいい、クラック７２とはガラス板５０の表面から内部に向かって進行した傷をいう。
【００３６】
一次ラップ工程（Ｓ２）では、ガラス板５０の主面５１をラップ処理により機械研磨する。一次ラップ処理後のガラス板５０の厚さは、たとえば０．５ｍｍ程度である。
【００３７】
一次ラップ処理により、ガラス板５０の主面５１が平坦化するとともに、微細な傷は消滅する。ガラス板成形工程（Ｓ１）において完成品の板状光学ガラスの大きさのガラス板を形成してもよいし、一次ラップ処理後にガラス板を切断して所定の大きさに下降してもよい。
【００３８】
面取工程（Ｓ３）では、一次ラップ処理が施されたガラス板５０の８つの稜線５３部分を、ダイヤモンドホイールなどを用いて削って面取りする。たとえば一つの端面５２の両側に面取後に生じる斜面５４のなす角に配置された２枚の円盤状の研削砥石を回転させた状態で、ガラス板５０を２つの主面５１を挟むように保持して稜線５３が回転研削砥石に接触するように直線的に通過させる。これにより、所定の角度で稜線５３が面取りされる。
【００３９】
図８は、本実施の形態において面取工程後のガラス板の斜視図である。
【００４０】
面取工程（Ｓ３）における面取加工によって、ガラス板５０の周囲には、８つの斜面５４が形成される。これにより、斜面５４と主面５１との間に８本の稜線５６が出現し、斜面５４と端面５２との間に８本の稜線５５が出現する。面取り加工後にも除去しきれないチッピング７１やクラック７２が稜線５５，５６部分に残存する場合がある。
【００４１】
そこで、このガラス板５０にエッチング処理を施してガラス板５０に生じた傷を除去する（Ｓ４）。
【００４２】
ガラス板５０のエッチングの際には、エッチング槽１１中に貯えられたエッチング液１６中にガラス板５０を浸漬する。エッチング液１６の酸性成分は、たとえば塩酸とする。塩酸の濃度としては、３〜５重量％程度である。酸性成分が塩酸と硫酸との混合液のエッチング液を用いてもよい。エッチング液１６の濃度や、エッチングの処理時間は、除去すべき傷の程度によって適宜調整する。
【００４３】
エッチング液１６に界面活性剤を添加してもよい。これにより、エッチング液１６のガラス板５０の表面に対する濡れ性が向上し、エッチング液がクラック７２の内部に浸透しやすくなる。これによりエッチングによるクラックなどの傷の除去を素早くかつ確実に行うことができる。界面活性剤としては、脂肪酸ナトリウムやポリオキシエチレンアルキルエーテルなどのアニオン性界面活性剤・非イオン性（ノニオン性）界面活性剤などを用いることができる。界面活性剤の濃度は、たとえば０．０１〜１０重量％程度とする。
【００４４】
このとき、ガラス板５０は、支持体１３によって支持され、ガイド１２および支持体１３に形成された溝２０，３０によってほぼ直立した状態が維持される。エッチング液１６に接するガラス板５０の表面はエッチングされ、主面５１あるいは端面５２に形成されていたクラックやチッピングが消滅していく。搖動機構１５などによってエッチング液１６がガラス板５０に対して相対的に流動するため、エッチング液１６がガラス板５０の一部の近傍で滞留して、エッチングの進行が不均一になることが抑制される。
【００４５】
二次ラップ工程では（Ｓ５）では、ガラス板５０の主面５１を再度ラップ処理により研磨する。二次ラップ処理後のガラス板５０の板厚は、たとえば０．２ｍｍである。
【００４６】
さらに、ポリッシング工程（Ｓ６）で、主面５１をより細かな砥粒などを用いて鏡面にまで仕上げる。光学作用面である主面５１が鏡面までされたガラス板５０は、洗浄され、研磨剤や研磨屑が取り除かれ、乾燥される。二次ラップ工程（Ｓ５）およびポリッシング工程（Ｓ６）では、エッチング後のガラス板１５の特に稜線５５，５６などにダメージを与えないように比較的軟質の治具を用いることが好ましい。
【００４７】
成膜工程（Ｓ７）では、鏡面に仕上げられたガラス板１６の主面５１上に、近赤外線カット膜（図示せず）を真空蒸着法やスパッタリング法などを用いて成膜する。必要に応じて反射防止膜などを設けてもよい。必要な成膜が完了したら、ガラス板１６を洗浄し、乾燥する。これにより板状光学ガラスが完成する。
【００４８】
エッチング工程（Ｓ４）などによって、ガラス板５０に形成された傷が減少し、最終的な板状光学ガラスの強度が向上する。エッチング処理は、光学作用面となる主面５１に対しては、全体として均一に施されることが好ましい。エッチング液１６は障害物の近傍で滞留しやすく、エッチング液１６が滞留するとその近傍でのエッチングの進行は抑制される。
【００４９】
そこで、本実施の形態では、ガラス板５０の端面５２側で支持し、あるいは、ガイドしているため、主面５１の大部分は他の構造物などと近接しない。また、ガラス板５０の上下端の中央部には、支持用あるいはガイド用の構造物が存在せず、ガラス板５０に対して相対的に上下に移動するエッチング液１６の流動は阻害されない。このため、主面５１はほぼ均等にエッチングされる。
【００５０】
エッチング工程（Ｓ４）の際、ガラス板５０をこれに接触する部材で固定していると、接触部分でガラス板５０がエッチング液１６に面しないこととなり、エッチングできない。また、その周辺でのエッチング液の流動が阻害されて、エッチングが不均一となり、クラックが残存したり、エッチング後の形状が所望の形状から離れたりする。
【００５１】
しかし、本実施の形態では、ガラス板５０の端面５２と溝２０，３０の底部２１，３１との間は離間しているため、エッチング液１６は、ガラス板５０の端面５２とガイド１２あるいは支持体１３との間に生じた隙間を上下方向に流れやすい。また、ガイド１２および支持体１３に形成された溝２０，３０は底部２１，３１から水平方向に広がっている。このため、エッチング液１６は、水平方向にも溝２０，３０の底部２１，３１側に流れ込みあるいは流れ出しやすい。このように、エッチング液１６は、ガイド１２あるいは支持体１３付近で、ガラス板５０近傍の一か所に滞留する可能性が小さくなる。このため、ガラス板５０の水平方向両側の端面５２の近傍もほぼ均等にエッチングされる。
【００５２】
また、ガラス板５０が支持部材などに接触していると、その接触部分でのエッチングの進行が抑制される。しかし、本実施の形態では、ガイド１２の溝２０の水平方向の幅がガラス板５０の板厚ｔとなる部分同士の間隔Ｌ１は、ガラス板５０の水平方向の幅Ｗよりも大きい。つまり、ガラス板５０とガイド１２の溝２０を形成する面との間には空隙６０が存在する。このため、ガラス板５０のエッチング液１６に対する相対的な搖動によって、ガラス板５０は溝２０が向かい合う方向に垂直な方向に水平に揺れる。ガラス板５０の一つの稜線５４が溝２０のガイド面２３に接触したとしても、この揺れに伴ってガラス板５０の稜線５４は溝２０のガイド面２３から一旦離れることとなる。したがって、ガラス板５０の一部が長期間ガイド１２に接触して、その部分のエッチングの進行が遅くなる可能性は著しく小さい。
【００５３】
特に、ガラス板５０の主面５１の周囲の稜線５６に生じた傷は、曲げ強度をより低下させる傾向にある。そこで、本実施の形態では、ガイド１２および支持体１３に形成された溝２０，３０のガイド面２３，３３が水平方向に開く角度αを、ガラス板５０の稜線５３を面取り加工して形成された斜面５４がなす角βに比べて大きくしている。このため、これらの斜面５４と主面５１との境界線である稜線５６は、溝２０，３０のガイド面２３，３３に接触することはない。その結果、主面５１との境界線である稜線５６のエッチングが不十分になる可能性は小さい。よって、ガラス板５０の主面５１との境界線である稜線５６に生じたクラックなどの傷がエッチング処理後に残存する可能性が小さくなる。
【００５４】
また、α＝βあるいはαの値とβの値との差が小さい場合、面取り加工によって形成された斜面５４の全体がガイド面２３と接したり、斜面５４の広い範囲とガイド面２３とが長期間非常に近接した状況となり得る。このような場合、その近接した斜面５４とガイド面２３との間をエッチング液が通り抜けにくくなり、エッチングの進行が不均一になる可能性がある。そこで、αの値とβの値との差は大きい方が好ましい。
【００５５】
面取り加工の精度、ガイド面２３，３３の加工の精度、エッチング時のガラス板５０の位置の変化などを考慮すると、設計上、斜面５４とガイド面２３とがなす角を１０度以上にすることが好ましい。すなわち、
｜α−β｜≧２０
とすることが好ましい。本実施の形態では、α＞βであるから、
α−β≧２０
とすることが好ましい。
【００５６】
ガイド１２の溝２０のガイド面２３が水平方向に開く角度αが大きくなり過ぎると、ガラス板５０を所定の位置に案内しておく機能が損なわれる。また、ガイド１２の溝２０のガイド面２３が水平方向に開く角度αが小さくなり過ぎると、溝２０の底部２１方向へのガラス板５０の移動可能距離が大きくなり、ガラス板５０のガイド１２からの脱落を防ぐためには溝２０を深くする必要がある。その結果、溝２０内にガラス板５０が深く入り込むこととなり、主面５１の周辺部のエッチングが十分に行われない可能性がある。
【００５７】
これらのため、ガイド１２の溝２０のガイド面２３が水平方向に開く角度αは、所定の範囲内としておくことが好ましい。αの大きさの好ましい範囲は、たとえば
４５≦α≦９０
である。
【００５８】
面取り角度（β／２）は、いわゆるＣ面加工の場合、４５度である。面取り角度は、稜線５３に形成されるクラックの長さや深さに応じるなどの目的で、Ｃ面加工の場合よりも大きくしたり、小さくしてもよい。しかし、面取り角度が０度あるいは９０度に近づくと、面取り量が減少し、面取りの効果が低減する。このため、面取り角度は、３０度から６０度程度が現実的である。すなわち、
３０≦β／２≦６０
６０≦β≦１２０
となる。
【００５９】
以上より、α＞βの場合、
α−β≧２０
４５≦α≦９０
６０≦β≦１２０
としておくことが好ましい。α≧β＋２０であり、β≧６０であるから、α≧８０となる。また、β≦α−２０であり、α≦９０であるから、β≦７０となる。これらをまとめると、
α−β≧２０
８０≦α≦９０
６０≦β≦７０
であることが好ましい。
【００６０】
このように、本実施の形態によれば、非常に薄い板厚のガラス板の加工においても、エッチング処理後にクラックなどの傷が残存する可能性が小さくなり、その後の研削加工時の割れの発生が抑制される。
【００６１】
また、エッチング工程（Ｓ４）の際、ガラス板５０をこれに接触する部材で固定していると、エッチング液１６中でのガラス板５０の搖動、エッチングを加速するためのバブリングやエッチング液１６の流れなどによってガラス板５０に外力が加えられた場合に、固定部分が支点となってガラス板５０に曲げ応力が発生する。この曲げ応力が過度に大きいと、ガラス板５０が割れるおそれがある。しかし、本実施の形態において、ガラス板５０は支持体１３あるいはガイド１２で固定されているわけではないので、このような曲げ応力に伴う割れは生じない。
【００６２】
二次ラップ工程（Ｓ５）の後、ポリッシング工程（Ｓ６）の前に、さらに別途エッチングを施してもよい。このエッチングでは、エッチング工程（Ｓ４）とは異なるエッチング液を用い、異なる温度で処理を行ってもよい。このエッチングにおいても、本実施の形態のガラス板エッチング装置１０を用いてもよい。
【００６３】
［第２の実施の形態］
図９は、本発明に係るガラス板エッチング装置の第２の実施の形態の立断面図である。
【００６４】
本実施の形態のガラス板エッチング装置は、ガイド１２に形成された溝２０のガイド面２３が水平方向に開く角度αとガラス板５０の稜線５３を面取り加工して形成された斜面５４がなす角βとの関係が、第１の実施の形態（図５参照）と異なる。本実施の形態では、ガイド１２に形成された溝２０のガイド面２３が水平方向に開く角度αを、ガラス板５０の稜線５３を面取り加工して形成された斜面５４がなす角βに比べて小さくしている。つまり、α＜βとしている。
【００６５】
また、同様に、支持体１３（図３参照）に形成された溝３０（図３参照）のガイド面３３（図３参照）が水平方向に開く角度αも、ガラス板５０の稜線５３を面取り加工して形成された斜面５４がなす角βに比べて大きくしている。たとえば、面取り角度が４５度すなわちα＝９０とし、β＝６０とする。
【００６６】
本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、エッチング液がガイド１２あるいは支持体１３付近で、ガラス板５０近傍の一か所に滞留する可能性が小さくなる。このため、ガラス板５０の水平方向両側の端面５２の近傍もほぼ均等にエッチングされる。また、ガラス板５０の一部が長期間ガイド１２に接触して、その部分のエッチングの進行が遅くなる可能性は著しく小さい。
【００６７】
このように、本実施の形態によれば、非常に薄い板厚のガラス板の加工においても、エッチング処理後にクラックなどの傷が残存する可能性が小さくなり、その後の研削加工時の割れの発生が抑制される。また、エッチング工程の際、ガラス板５０をこれに接触する部材で固定していないため、固定部分が支点となってガラス板５０に曲げ応力が発生して割れるおそれがない。
【００６８】
さらに、ガイド面２３が水平方向に開く角度αがガラス板５０の稜線５３を面取り加工して形成された斜面５４がなす角βよりも小さい場合、ガラス板５０の端面５２と溝２０の底部２１との距離が大きくなる。このため、溝２０の底部２１側でのエッチング液の流動性が向上し、ガラス板５０の端面５２近傍でのエッチングが均等に進行するようになる。
【００６９】
また、上述のように、｜α−β｜≧２０であることが好ましい。ここでは、α＜βであるから、β−α≧２０であることが好ましい。また、上述のように、４５≦α≦９０、６０≦β≦１２０であることが好ましい。α≦β−２０であり、β≦１２０であるから、α≦１００となる。また、β≧α＋２０であり、α≧４５であるから、β≧６５となる。これらをまとめると、
β−α≧２０
４５≦α≦１００
６５≦β≦１２０
であることが好ましい。
【符号の説明】
【００７０】
１０…ガラス板エッチング装置、１１…エッチング槽、１２…ガイド、１３…支持体、１４…アーム、１５…搖動機、１６…エッチング液、１７…エッチング液循環機、２０…溝、２１…底部、２２…突出部、２３…ガイド面、３０…溝、３１…底部、３２…突出部、３３…ガイド面、３４…支持面、５０…ガラス板、５１…主面、５２…端面、５３…稜線、５４…斜面、５５…稜線、５６…稜線、７１…チッピング、７２…クラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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