(57)【要約】【課題】ベースプレートに反りが発生した場合にも、ベースプレート上の適切な位置に記録素子基板を配置することが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドの製造方法は、長手方向に沿って複数のインク供給口２が配列されたベースプレート１に、複数の記録素子基板を設置する。ベースプレート１上における記録素子基板の位置を決定するため、ベースプレート１に形成された複数のアライメントマーク３ａ〜３ｊのうち、少なくとも３つのアライメントマークの位置に基づいて、複数の記録素子基板を設ける位置を決定する。【選択図】図３
2013001075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長方形状の面を備え、当該面の長手方向に沿って複数の第１のインク供給口が配列されたベースプレートに、前記第１のインク供給口に連通させる第２のインク供給口が形成された複数の記録素子基板を設置するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記ベースプレートの、少なくとも３つの前記第１のインク供給口の近傍にそれぞれ形成されたアライメントマークの位置を測定した結果に基づいて、前記複数の記録素子基板を前記ベースプレートに設置することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記少なくとも３つの第１のインク供給口は、前記複数の第１のインク供給口の配列方向の、両端に存在する前記第１のインク供給口と、中央の近傍に存在する少なくとも１つの前記第１のインク供給口と、含む、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記配列方向の両端に２つ存在する前記第１のインク供給口の近傍の前記各アライメントマークを結んだ直線を平行移動させて得られる配置基準線に基づいて、前記複数の記録素子基板を設置する位置を決定する、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記配置基準線は、前記直線から最も遠いアライメントマークと、該アライメントマークから前記直線に下ろした垂線の足と、の中点を通る、請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記各第１のインク供給口の、前記配列方向の両端近傍に形成された前記アライメントマークに基づいて、前記各記録素子基板を設置する位置を決定する、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置に搭載可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、コンピュータに関連する出力機器などとして幅広く利用されている。インクジェット記録装置として、インクジェット記録ヘッドを、紙などの被記録媒体上を走査させながら、インクの吐出を行うことにより被記録媒体に記録を行ういわゆるシリアル方式のものが広く知られている。
【０００３】
近年、インクジェット記録装置には、より高速に画像を出力することが要求されている。そのため、インクジェット記録ヘッドは、一度の走査によって、より広い面積の記録を行えることが望ましい。そのためには、インクジェット記録ヘッドの、記録幅を長くすることが有効である。インクジェット記録ヘッドの記録幅とは、インクジェット記録ヘッドの、一度の走査によって記録を行うことができる幅である。記録幅を長くするためには、インクジェット記録ヘッドの走査方向に直交する方向の幅を広くする必要がある。
【０００４】
記録幅の長いインクジェット記録ヘッドを、一枚の記録素子基板のみによって形成する場合、記録素子基板を安定して所定の形状に形成することが難しい。そのため、インクジェット記録ヘッドの歩留まりが低下してしまう。
【０００５】
これを解決するために、インクジェット記録ヘッドには、複数の記録素子基板を並べて設置することが有効である。この場合、複数の記録素子基板を並べる土台となるベースプレートをインクジェット記録ヘッドの記録幅に合わせた長さに形成すればよい。
【０００６】
特許文献１には、複数の記録素子基板をベースプレート上に並べて設置する構成のインクジェット記録ヘッドが開示されている。
【０００７】
図１３は特許文献１に記載されたインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。このインクジェット記録ヘッドでは、１枚のベースプレートＨ１２００上に、複数の記録素子基板Ｈ１１００が２列に配列されている。各列における記録素子基板Ｈ１１００は等ピッチに配置されている。ベースプレートＨ１２００には、記録素子基板Ｈ１１００を設置する位置に対応して複数のインク供給口Ｈ１２０１が形成されている。
【０００８】
図１４は記録素子基板Ｈ１１００の概略構成図であり、図１３（ａ）は斜視図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。記録素子基板Ｈ１１００では、基板Ｈ１１０８の表面にノズルプレートＨ１１１０が設けられている。基板Ｈ１００８には、厚さ方向に貫通したインク供給口Ｈ１１０１が形成されている。
【０００９】
図１４に示した記録素子基板Ｈ１１００は、インク供給口Ｈ１１０１が図１３に示したベースプレートＨ１２００に形成されたインク供給口Ｈ１２０１に連通する状態で、ベースプレートＨ１２００に固定されている。
【００１０】
図１３および図１４に記載されたインクジェット記録ヘッドでは、インクがベースプレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１から記録素子基板Ｈ１１００の各インク供給口１１０１に供給される。そして、記録素子基板Ｈ１１００の各インク供給口Ｈ１１００に供給されたインクは、発泡室Ｈ１１０７に送り込まれ、電気熱変換素子Ｈ１１１０が発するエネルギによってノズルＨ１１０５から吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−１０１５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
複数の記録素子基板をベースプレート上に設置する構成のインクジェット記録ヘッドでは、インクジェット記録ヘッドの記録幅を長くする場合、ベースプレートの幅を長くする必要がある。ベースプレートの製造工程には、一般的に、複数の板状体を焼成して一体化する焼成工程が含まれる。ベースプレートは、焼成工程により、長手方向に沿って反りが発生してしまうことがある。
【００１３】
長手方向に沿って、厚さ方向に直交する方向に反りが発生したベースプレートでは、インク供給口の位置が、所定の位置から、ベースプレートの反りに応じて変位している。そのため、このようなベースプレートに複数の記録素子基板を、反りのないベースプレートと同様の位置に配置しようとしても、記録素子基板のインク供給口が、ベースプレートのインク供給口に連通しない場合がある。
【００１４】
そこで、本発明は、ベースプレートに反りが発生した場合にも、ベースプレート上の適切な位置に記録素子基板を配置することが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、長方形状の面を備え、当該面の長手方向に沿って複数の第１のインク供給口が配列されたベースプレートに、前記第１のインク供給口に連通させる第２のインク供給口が形成された複数の記録素子基板を設置するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ベースプレートの、少なくとも３つの前記第１のインク供給口の近傍にそれぞれ形成されたアライメントマークの位置を測定した結果に基づいて、前記複数の記録素子基板を前記ベースプレートに設置することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ベースプレートに反りが発生した場合にも、ベースプレート上の適切な位置に記録素子基板を配置することが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのベースプレートの平面図である。
【図２】図１に示したベースプレートの焼成前の分解斜視図である。
【図３】図１に示したベースプレート上に複数の記録素子基板を設置する位置を決定する工程のフローチャートである。
【図４】図１に示したベースプレートに形成されたアライメントマークを検出する検出装置の概略構成図である。
【図５】図４に示した検出装置により形成された画像の一例を示した図である。
【図６】図１に示したベースプレート上に記録素子基板を設置した状態を示した平面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのベースプレートの平面図である。
【図８】図７に示したベースプレート上に複数の記録素子基板を設置する位置を決定する工程のフローチャートである。
【図９】図４に示した検出装置により形成された画像の一例を示した図である。
【図１０】図７に示したベースプレート上に記録素子基板を設置した状態を示した平面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態に係るベースプレート上に複数の記録素子基板を設置する位置を決定する方法の説明図である。
【図１２】ベースプレート上の図１１に示した方法で決定した位置に複数の記録素子基板を設置した状態を示した平面図である。
【図１３】一般的なインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
【図１４】図１３に示したインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態における、記録素子基板を設置する前のベースプレート１の平面図である。ベースプレート１の表面は長方形状である。図１に示すように、ベースプレート１の表面をＸ−Ｙ直交座標平面と見立て、ベースプレート１の表面の長手方向をＸ軸とし、ベースプレート１の表面の短手方向をＹ軸とする。Ｘ軸およびＹ軸では、矢印方向を正の方向とし、矢印と反対方向を負の方向とする。本実施形態では、ベースプレート１の表面を長方形状としたが、ベースプレート１の表面は正確に長方形である必要はない。ここで、「長方形状」とは、長辺同士が対向し、短辺同士が対向している図形の状態のすべてを含むものとする。
【００１９】
ベースプレートは、絶縁性、熱伝導性、機械的強度に優れている材料で形成される。本実施形態にかかるベースプレート１はアルミナで形成されており、ベースプレート１には、記録素子基板へインクを供給するための複数のインク供給口２が形成されている。
【００２０】
ベースプレート１では、Ｙ軸方向に並んだ２つ１組のスリット状のインク供給口２が、Ｘ軸方向に延びる２つの列をなしている。各列におけるインク供給口２は等間隔に配置されている。インク供給口２の２つの列は、各列におけるインク供給口２の間隔の半分の長さだけＸ軸方向にずらされている。
【００２１】
ベースプレート１には、１組のインク供給口２について１枚の記録素子基板が設置される。図１に示したベースプレート１には１８組のインク供給口２が形成されているため、本実施形態ではベースプレート１に１８枚の記録素子基板が設置される。
【００２２】
しかし、ベースプレート１では、インク供給口２の組数を変更することにより任意の数の記録素子基板を設置することが可能となる。また、本実施形態では、１つの記録素子基板に対して２つのインク供給口２を設けたが、１つの記録素子基板に対して設けるインク供給口２の数は任意である。したがって、１つの記録素子基板に対して設けるインク供給口２の数は、記録素子基板の構成により適宜変更可能である。
【００２３】
図１におけるベースプレート１のインク供給口２の下側（Ｙ軸方向の負の側）の列の各１組のインク供給口２に隣接して１０個のアライメントマーク３ａ〜３ｊがＸ軸方向に配列されている。アライメントマーク３ａ〜３ｊは、等間隔に配置されており、Ｘ軸方向に隣接するインク供給口２からの距離がいずれも等しい。
【００２４】
図２は、ベースプレート１の焼成前の状態を示した斜視図である。ベースプレート１は、同様の形状の５枚の板状体１ａ〜１ｅにより構成されている。
【００２５】
板状体１ａ，１ｂには、図２に示したベースプレート１のインク供給口２に対応する開口部２ａ，２ｂが形成されている。開口部２ａ，２ｂを形成する方法としては、たとえば、レーザー加工法や打ち抜き法などがある。アライメントマーク３ａ〜３ｊは最上層の板状体１ａのみに形成されている。アライメントマーク３ａ〜３ｊを形成する方法としては、たとえば、レーザー加工法がある。アライメントマーク３ａ〜３ｊは、ベースプレート１の表面において視認可能であればよい。アライメントマーク３ａ〜３ｊの形状は、凹形状でも凸形状でもよく、形状以外の色などで視認可能であれば平面でもよい。
【００２６】
本実施形態では、各インク供給口２ａ，２ｂおよび各アライメントマーク３ａ〜３ｊはレーザー加工装置（不図示）を用いてレーザー加工法により形成されている。各インク供給口２ａ，２ｂは板状体１ａ，１ｂを貫通しており、各アライメントマーク３ａ〜３ｊは凹形状に形成されている。
【００２７】
レーザー加工装置による各インク供給口２ａおよび各アライメントマーク３ａ〜３ｊの加工は、インク供給口２とアライメントマーク３ａ〜３ｊの相対位置の精度を向上させるため、板状体１ａを位置決めして固定した後に、一連の流れで行われる。また、同様に、レーザー加工装置による各インク供給口２ｂの加工も、板状体１ｂを位置決めして固定した後に、一連の流れで行われる。
【００２８】
板状体１ｃ，１ｄ，１ｅには、板状体１ａ，１ｂのインク供給口１ａ，１ｂと連通するインク供給路（不図示）などが形成される。本実施形態では、当該インク供給路も、レーザー加工装置を用いてレーザー加工法により形成した。
【００２９】
これらの各板状体１ａ〜１ｅは、対応する各辺が揃えられた状態で積層され、約１２００℃で焼成される。これにより、板状体１ａ〜１ｅが一体となりベースプレート１となる。
【００３０】
板状体１ａ〜１ｅの積層体である焼成前のベースプレート１には、焼成後に、収縮や反りが生じる。焼成によるベースプレート１の収縮は、あらかじめ予測することができ、設計上考慮に入れることができる。一方、焼成によるベースプレート１の反りは、あらかじめ予測できない。
【００３１】
焼成によるベースプレート１の反りは、主に長手方向であるＸ軸方向に沿って発生する。したがって、ベースプレートのＸ軸方向に沿った反りによる変位は、焼成後に、厚さ方向やＹ軸方向に発生する。ベースプレートの反りによる厚さ方向の変位は、研磨などによって設計上の所定の形状に修正することができる。一方、ベースプレート１の反りによるＹ軸方向の変位は、修正することが困難である。したがって、ベースプレート１のインク供給口３ａ〜３ｊの位置は、設計上の所定の位置から、ベースプレート１のＸ軸方向に沿った反りに応じてＹ軸方向に変位している。
【００３２】
そのため、このようなベースプレート１に複数の記録素子基板を、ベースプレート１のインク供給口２が所定の位置にあるものとして配置しても、記録素子基板のインク供給口が、ベースプレート１のインク供給口２に連通しない場合がある。
【００３３】
本実施形態では、ベースプレート１にＸ軸方向に沿って反りが発生しても、該ベースプレート１のインク供給口２と記録素子基板のインク供給口との連通を確保することができる。そのために、本実施形態では以下のような工程で、ベースプレート１上における、複数の記録素子基板を設置する位置を決定する。
【００３４】
図３はベースプレート１上における、複数の記録素子基板を設置する位置を決定する工程のフローチャートである。
【００３５】
まず、アライメントマーク３ａ〜３ｊの位置を検出する（Ｓ１０１）。図４は、アライメントマークを測定するための検出装置の模式図である。図４では、ベースプレート１のインク供給口２を省略している。
【００３６】
この検出装置は、ベースプレート１を積載するプレート台１０を有している。プレート台１０は、Ｘ軸方向に沿って移動可能なステージ１１と、Ｙ軸方向に移動可能なステージ１２と、の上に搭載されている。ベースプレート１は、プレート台１０上に、アライメントマーク３ａ〜３ｊが形成された表面を上方に向けて積載される。
【００３７】
図４に示した検出装置のプレート台１０の上方にはカメラ１３が配置されている。カメラ１３はプレート台１０上のベースプレート１のアライメントマーク３ａ〜３ｊを撮影するために用いられる。
【００３８】
ステージ１１，１２およびカメラ１３は、制御装置１４に接続されている。ステージ１１，１２は、制御装置１４によって、プレート台１０上のベースプレート１の、カメラ１３に対向する位置が適当に変更するように移動させられる。そして、カメラ１３は、制御装置１４によって、順次、プレート台１０上のベースプレート１のカメラ１３に対向する各部分を撮影するように駆動させられる。
【００３９】
また、制御装置１４は、カメラ１３によって撮影した画像を繋ぎ合わせることにより全てのアライメントマーク３ａ〜３ｊの位置を示す画像を形成する。このように、この検出装置は、アライメントマーク３ａ〜３ｊの位置を正確に検出することができる。
【００４０】
図５（ａ）は、図４に示した検出装置によって得られた画像の一例である。ここで、図５（ａ）に、両端に位置するアライメントマーク３ａ，３ｊを結んだ直線１２０を示している。本実施形態では、Ｘ軸が直線１２０に平行であるものとする。
【００４１】
アライメントマーク３ａ〜３ｊは、焼成前の図２の状態では一直線上にあったが、焼成後の図５の状態では図１の上側に湾曲した曲線上にある。これは、ベースプレート１が、中央領域がＹ軸方向に湾曲するように反っている。
【００４２】
次に、ベースプレート１の反り量を記録する（Ｓ１０２）。ベースプレート１の反り量は図５に示した画像から導き出す。
【００４３】
また、直線１２０から各アライメントマーク３ｂ〜３ｉまでのＹ軸方向の距離は、各アライメントマーク３ｂ〜３ｉと、該各アライメントマーク３ｂ〜３ｉから直線１２０に下ろした垂線の足と、の距離である。図５（ｂ）には、直線１２０から各アライメントマーク３ｂ〜３ｉまでのＹ軸方向の距離をそれぞれ矢印１２１ｂ〜１２１ｉで示している。本工程では、この矢印１２１ｂ〜１２１ｉの中で最長のものの長さを、反り量として記録する。本実施形態では、図５（ｂ）における矢印１２１ｂ〜１２１ｉの中で最長である矢印１２１ｅの長さが反り量として記録される。
【００４４】
次に、記録素子基板を配置する基準とする配置基準線を決定する（Ｓ１０３，Ｓ１０４）。
【００４５】
まず、インク供給口２に対応する記録素子基板の下側（Ｙ軸方向の負の側）の列の配置基準線１２３を決定するために、反り量の半分の距離１２２を求める。そして、直線１２０に平行で、かつ、直線１２０からＹ軸の正の方向に距離１２２だけ離れた直線を決定する。当該直線が、インク供給口２の第１の列の配置基準線１２３となる。配置基準線は、アライメントマーク３ｅと、該アライメントマーク３ｅから直線１２０に下ろした垂線の足と、の中点を通る。
【００４６】
そして、記録素子基板に対応する記録素子基板の上側（Ｙ軸方向の負の側）の列（第２の列）の配置基準線１２４は、配置基準線１２３からＹ軸の正の方向に所定の距離Ｌだけ平行移動させたものである。ここで、所定の距離Ｌは、ベースプレート１にＸ軸方向に沿った反りが発生しない場合におけるインク供給口２の２つの列の間の距離である。所定の距離Ｌは、ベースプレート１の形状や、焼成による収縮率などに基づいて算出することができる。
【００４７】
以上のように本実施形態では、複数の記録素子基板を設置する位置の基準となる配置基準線１２３，１２４を決定することができる。
【００４８】
そして、図６に示すように、配置基準線１２３，１２４が記録素子基板４のＹ軸方向の中心を通るように、記録素子基板４をベースプレート１に配置する。このとき、ベースプレート１にＸ軸方向に沿った反りが発生しない場合における記録素子基板４の位置から、記録素子基板４の位置をＹ軸方向のみに変位させる。
【００４９】
これにより、ベースプレート１にＸ軸方向に沿った反りが発生しても、ベースプレート１の第１のインク供給口２と、記録素子基板４の第２のインク供給口と、の位置のズレを抑制することができる。したがって、インクジェット記録ヘッドの歩留まりおよび信頼性が向上する。
【００５０】
なお、本実施形態では、アライメントマークを全てのインク供給口２の近傍に設けたが、アライメントマークは、Ｘ軸方向の両端のインク供給口２の近傍と、Ｘ軸方向の中央のインク供給口２の近傍と、を含む少なくとも３ヶ所に存在していればよい。アライメントマークを３ヶ所のみに設けた場合にも、同様に配置基準線を決定することができるため、インクジェット記録ヘッドの歩留まりおよび信頼性が向上する。
（第２の実施形態）
図７は、本発明の第２の実施形態における、記録素子基板を設置する前のベースプレート２１の平面図である。本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、以下に示す構成以外は、第１の実施形態と同様である。
【００５１】
図７に示すように、ベースプレート２１には、インク供給口２２の下側（Ｙ軸方向の負の側）の列（第１の列）に沿って、１０個のアライメントマーク２３ａ〜２３ｊが配列されている。各アライメントマーク２３ａ〜２３ｊは、各インク供給口２２のＸ軸方向の両端の近傍に配置されている。アライメントマーク２３ｂ〜２３ｉは、Ｘ軸方向に隣接する２つのインク供給口２２の中間に配置されている。
【００５２】
また、図７に示すように、ベースプレート２１には、インク供給口２２の上側（Ｙ軸方向の正の側）の列（第２の列）に沿って、１０個のアライメントマーク２３ｋ〜２３ｔが配列されている。各アライメントマーク２３ｋ〜２３ｔは、各インク供給口２２のＸ軸方向の両端の近傍に配置されている。アライメントマーク２３ｌ〜２３ｓは、Ｘ軸方向に隣接する２つのインク供給口２２の中間に配置されている。
【００５３】
図８はベースプレート２１上における、複数の記録素子基板を設置する位置を決定する工程のフローチャートである。
【００５４】
まず、アライメントマーク２３ａ〜２３ｔの位置を検出する（Ｓ２０１）。アライメントマーク２３ａ〜２３ｔの位置の検出には第１の実施形態と同様に図４に示した検出装置を用いた。本実施形態に係る検出結果を図９に示す。
【００５５】
次に、ベースプレート２１の反り量を記録する（Ｓ２０２，Ｓ２０３）。ベースプレート２１の反り量は図９に示した画像から導き出す。本実施形態では、Ｘ軸が、両端に位置するアライメントマーク２３ａ，２３ｊを結んだ直線に平行であるものとする。
【００５６】
まず、図９（ａ）に示すように、下側（Ｙ軸方向の負の側）の列（第１の列）のアライメントマーク２３ａ〜２３ｊにおける、最も下側（Ｙ軸方向の負の側）にある第１のアライメントマークＹ1を記録する。また、下側（Ｙ軸方向の負の側）の列のアライメントマーク２３ａ〜２３ｊにおける、最も上側（Ｙ軸方向の正の側）にある第２のアライメントマークＹ2を記録する。図９（ａ）では、第１のアライメントマークＹ1はアライメントマーク２３ａであり、第２のアライメントマークＹ2はアライメントマーク２３ｅである。
【００５７】
次に、図９（ｂ）に示すように、上側（Ｙ軸方向の正の側）の列（第２の列）のアライメントマーク２３ｋ〜２３ｔにおける、最も下側（Ｙ軸方向の負の側）にある第３のアライメントマークＹ3を記録する。そして、上側（Ｙ軸方向の正の側）の列のアライメントマーク２３ｋ〜２３ｔにおける、最も上側（Ｙ軸方向の正の側）にある第４のアライメントマークＹ4と、を記録する。図９（ｂ）では、第３のアライメントマークＹ3はアライメントマーク２３ｔであり、第４のアライメントマークＹ4はアライメントマーク２３ｏである。
【００５８】
次に、記録素子基板を配置する基準とする配置基準線を決定する（Ｓ２０４）。まず、アライメントマーク２３ａを原点とし、アライメントマークＹ1，Ｙ2，Ｙ3，Ｙ4の各座標におけるＹ座標の平均値を求める。なお座標平面における原点の位置は任意である。そして、アライメントマークＹ1，Ｙ2，Ｙ3，Ｙ4の各座標におけるＹ座標の平均値を通り、Ｘ軸に平行な基準線２３０を決定する。そして、基準線２３０をＹ軸方向の負の側にＬ／２の距離だけ平行移動させた線が第１の列の配置基準線２２３となり、基準線２３０をＹ軸の正の側にＬ／２の距離だけ平行移動させた線が第２の列の配置基準線２２４となる。
【００５９】
そして、図１０に示すように、配置基準線２２３，２２４が記録素子基板４のＹ軸方向中心を通るように、記録素子基板４をベースプレート２１に配置する。
【００６０】
これにより、ベースプレート２１にＹ軸方向の反りが発生しても、ベースプレート２１のインク供給口２２と、記録素子基板４のインク供給口と、の位置のズレを抑制することができる。したがって、インクジェット記録ヘッドの歩留まりおよび信頼性が向上する。
（第３の実施形態）
図１１は、本発明の第３の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの製造方法の、ベースプレート上の記録素子基板を配置する配置基準線を決定するための説明図である。本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法は、以下に示す構成以外は、第１の実施形態と同様である。
【００６１】
本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、図４に示した検出装置にてアライメントマークの検出を行う。なお、本実施形態でも、図７に示す第２の実施形態に係るベースプレート２１を用いる。本実施形態では、Ｘ軸が、両端に位置するアライメントマーク２３ａ，２３ｊを結んだ直線に平行であるものとする。図１１は、ベースプレート２１の表面の画像におけるインク供給口２２の両端近傍のアライメントマーク２３ａ，２３ｂの部分を拡大して示している。
【００６２】
配置基準線３３１ａｂは、アライメントマーク２３ａのＹ座標とアライメントマーク２３ｂのＹ座標との平均値を通り、Ｘ軸に平行な直線である。つまり、図１１における、アライメントマーク２３ａと配置基準線３３１ａｂとの距離Δａｂ１と、アライメントマーク２３ｂと配置基準線３３１ａｂとの距離Δａｂ２と、の距離が等しい。
【００６３】
図１１では、アライメントマーク２３ａとアライメントマーク２３ｂとの間の配置基準線３３１ａｂのみを決定したが、同様の方法で、任意の隣り合う２つのアライメントマーク間のインク供給口２２上に配置基準線を決定することができる。
【００６４】
そして、図１２に示すように、各配置基準線が記録素子基板４のＹ軸方向中心を通るように、記録素子基板４をベースプレート２１に配置する。
【００６５】
これにより、ベースプレート２１にＹ軸方向の反りが発生しても、ベースプレート２１のインク供給口２２と、記録素子基板４のインク供給口と、の位置のズレを抑制することができる。したがって、インクジェット記録ヘッドの歩留まりおよび信頼性が向上する。
【００６６】
なお、本実施形態では、隣接する２組のインク供給口２２の間に単一のアライメントマークを設けた。これにより、当該単一のアライメントマークを、隣接する２つのインク供給口２２上の配置基準線を求める際の２つの基準のうちの一方として共有することができ、アライメントマークの数を減少させることができる。
【００６７】
しかし、各１組のインク供給口２２について各別に、Ｘ軸方向の両端近傍にアライメントマークを設けてもよい。この場合にも、同様に各インク供給口２２上に配置基準線を決定することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１        ベースプレート
２        インク供給口
３ａ〜３ｊ        アライメントマーク
４        記録素子基板
１２３，１２４    配置基準線
【図１】
2013001075.tif 000003
【図２】
2013001075.tif 000004
【図３】
2013001075.tif 000005
【図４】
2013001075.tif 000006
【図５】
2013001075.tif 000007
【図６】
2013001075.tif 000008
【図７】
2013001075.tif 000009
【図８】
2013001075.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2013001075.tif 000012
【図１１】
2013001075.tif 000013
【図１２】
2013001075.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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