(57)【要約】【課題】  非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。【解決手段】  直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体形の基材と基材の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体とからなる評価用標準器を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器の球体の中心の位置の真直度についての校正値を得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機で評価用標準器を測定して評価用標準器の球体の中心の位置の真直度についての測定値を得る第２の手順と、測定値から校正値を引いた補正値から非接触座標測定機の真直度を評価する第３の手順とを実行することを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価方法。
【請求項２】
請求項１の非接触座標測定機の真直度評価方法において、評価用標準器の球体の中心の位置の真直度は、球体の外周面の測定分布から最小自乗法によってそれぞれ求めた球体の中心の位置の全てから最小自乗法によって全ての球体の中心付近を通過する近似直線を求め、近似直線の方向をＸ軸としＸ軸に直交し基材の球体が取付けられている面を基準面とした場合に基準面に平行な方向をＹ軸としＸ軸，Ｙ軸の双方に直交する方向をＺ軸として座標系を設定し、各球体の中心の位置から近似直線に延ばした垂線の長さによって表すものであることを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価方法。
【請求項３】
請求項１または２の非接触座標測定機の真直度評価方法において、第２の手順の実行に際して、測定値を得た後に評価用標準器をスライドさせスライドの前の最前方の球体の位置にスライドの後の最後方の球体を位置させて再度測定値を得て、第３の手順の実行に際して、評価用標準器のスライドの前後の測定値からの補正値をスライドの前の最前方の球体の位置とスライドの後の最後方の球体の位置とで２点連鎖法でつなぎ合わせることを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価方法。
【請求項４】
請求項３の非接触座標測定機の真直度評価方法において、第２の手順の評価用標準器のスライドの前後の姿勢を測定し、第３の手順の２点連鎖法による測定値のつなぎ合わせの際に、評価用標準器のスライドの前後の姿勢を一致させるように補正することを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価方法。
【請求項５】
直方体形の基材と基材の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体とからなり非接触座標測定機で球体の中心の位置の真直度について測定される評価用標準器と、評価用標準器の基材に取付けられた反射鏡と、非接触座標測定機に設置され反射鏡に向けて照射した光の反射光から評価用標準器の姿勢を測定するオートコリメータとを備えたことを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価装置。
【請求項６】
請求項５の非接触座標測定機の真直度評価装置において、反射鏡とオートコリメータとの間に設置され反射鏡とオートコリメータとの間の光路をＶ字形にする中継鏡を備えたことを特徴とする非接触座標測定機の真直度評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触座標測定機の真直度の評価（精度検査）に係る技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
非接触座標測定機は、接触座標測定機に比して被測定物を高速に測定することができる利点があることから急速に普及してきている。このため、非接触座標測定機の測定精度を評価する手法の確立が求められている。
【０００３】
従来、非接触座標測定機の測定精度の重要な要素である真直度については、直定規を評価用標準器として、センサヘッドに電気マイクロメータ等の接触式変位計を取付けて測定して、得られた測定値から評価することが行われている。この理由は、平面的形状の直定規を評価用標準器とた場合に、非接触プローブでそのまま測定するとノイズが大きくなって高精度の測定が不能になるためである。
【０００４】
また、接触座標測定機の真直度を評価する技術としては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
【０００５】
特許文献１には、直方体形の基材と基材の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体とからなる部材を評価用標準器に組込む技術が記載されている。
【０００６】
この評価用標準器に組込まれる部材は、「ＪＩＳ  Ｂ７４４１」においてボールバーと称せられ寸法測定用標準器とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３８３７５０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述の従来の非接触座標測定機の真直度の評価技術では、非接触プローブに接触式変位計を取付けて測定することから、直定規からなる評価用標準器の測定面を１つの軸方向とこれに直交する軸方向とに向けてセットし直して２回の測定を行わなければならないため、評価作業に時間が掛かってしまうという問題点がある。また、長尺の直定規の製作が困難であることから、真直度の測定範囲が制約されてしまうという問題点がある。
【０００９】
本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので、評価作業に時間が掛からない非接触座標測定機の真直度評価方法を提供することを第１の課題とし、第１の課題を解決することができるとともに真直度の測定範囲が制約されることのない非接触座標測定機の真直度評価方法とこれに使用される非接触座標測定機の真直度評価装置とを提供することを第２の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述の第１の課題を解決するため、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法は、特許請求の範囲の請求項１，２に記載の手段を採用する。
【００１１】
即ち、請求項１では、直方体形の基材と基材の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体とからなる評価用標準器を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器の球体の中心の位置の真直度についての校正値を得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機で評価用標準器を測定して評価用標準器の球体の中心の位置の真直度についての測定値を得る第２の手順と、測定値から校正値を引いた補正値から非接触座標測定機の真直度を評価する第３の手順とを実行することを特徴とする。
【００１２】
この手段では、ボールバーを評価用標準器として使用して、予め評価用標準器の球体の中心の位置の真直度の校正値を得ておき、評価する非接触座標測定機の測定による評価用標準器の球体の中心の位置の真直度の測定値から校正値を引いて補正値を得ることで評価する。
【００１３】
また、請求項２では、請求項１の非接触座標測定機の真直度評価方法において、評価用標準器の球体の中心の位置の真直度は、球体の外周面の測定分布から最小自乗法によってそれぞれ求めた球体の中心の位置の全てから最小自乗法によって全ての球体の中心付近を通過する近似直線を求め、近似直線の方向をＸ軸としＸ軸に直交し基材の球体が取付けられている面を基準面とした場合に基準面に平行な方向をＹ軸としＸ軸，Ｙ軸に直交する方向をＺ軸として座標系を設定し、各球体の中心の位置から近似直線に延ばした垂線の長さによって表すものであることを特徴とする。
【００１４】
この手段では、評価用標準器の球体の中心の位置を全ての球体の中心付近を通過する近似直線を基準にした座標系を設定し、各球体の中心の位置から近似直線に延ばした垂線の長さによって真直度を表すことにしている。
【００１５】
さらに、前述の第２の課題を解決するため、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法は、特許請求の範囲の請求項３，４に記載の手段を採用する。
【００１６】
即ち、請求項３では、請求項１または２の非接触座標測定機の真直度評価方法において、第２の手順の実行に際して、測定値を得た後に評価用標準器をスライドさせスライドの前の最前方の球体の位置にスライドの後の最後方の球体を位置させて再度測定値を得て、第３の手順の実行に際して、評価用標準器のスライドの前後の測定値からの補正値をスライドの前の最前方の球体の位置とスライドの後の最後方の球体の位置とで２点連鎖法でつなぎ合わせることを特徴とする。
【００１７】
この手段では、請求項１または２と同様の作用を奏することに加えて、評価用標準器をスライドさせてスライドの前後の各測定値からの補正値を２点連鎖法でつなぎ合わせることにしている。
【００１８】
また、請求項４では、請求項３の非接触座標測定機の真直度評価方法において、第２の手順の評価用標準器のスライドの前後の姿勢を測定し、第３の手順の２点連鎖法による測定値のつなぎ合わせの際に、評価用標準器のスライドの前後の姿勢を一致させるように補正することを特徴とする。
【００１９】
この手段では、補正値を２点連鎖法でつなぎ合わせる前に評価用標準器のスライドの前後の姿勢を一致させるように補正することにしている。
【００２０】
さらに、前述の第２の課題を解決するため、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置は、特許請求の範囲の請求項５，６に記載の手段を採用する。
【００２１】
即ち、請求項５では、直方体形の基材と基材の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体とからなり非接触座標測定機で球体の中心の位置の真直度について測定される評価用標準器と、評価用標準器の基材に取付けられた反射鏡と、非接触座標測定機に設置され反射鏡に向けて照射した光の反射光から評価用標準器の姿勢を測定するオートコリメータとを備えたことを特徴とする。
【００２２】
この手段では、請求項３または４の実施に際して、評価用標準器の基材に取付けられた反射鏡と汎用されているオートコリメータとによって装置を構成するようにしている。
【００２３】
また、請求項６では、請求項５の非接触座標測定機の真直度評価装置において、反射鏡とオートコリメータとの間に設置され反射鏡とオートコリメータとの間の光路をＶ字形にする中継鏡を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この手段では、中継鏡を備えることによって反射鏡とオートコリメータとの間の光路をＶ字形にしている。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法は、請求項１として、ボールバーを評価用標準器として使用して、予め評価用標準器の球体の中心の位置の真直度の校正値を得ておき、評価する非接触座標測定機の測定による評価用標準器の球体の中心の位置の真直度の測定値から校正値を引いて補正値を得ることで評価するため、校正値を得るという準備的な作業が必要になるものの、非接触座標測定機の通常の測定の作業で実施することができるため、評価作業に時間が掛からなくなる効果がある。
【００２６】
また、請求項２として、評価用標準器の球体の中心の位置を全ての球体の中心付近を通過する近似直線を基準にした座標系を設定し、各球体の中心の位置から近似直線に延ばした垂線の長さによって真直度を表すことにしているため、評価をコンピュータ処理する際のプログラムの作成が容易になる効果がある。
【００２７】
さらに、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法は、請求項３として、請求項１または２と同様の作用を奏することに加えて、評価用標準器をスライドさせてスライドの前後の各測定値からの補正値を２点連鎖法でつなぎ合わせることにしているため、評価作業に時間が掛からなくなる効果があるとともに、真直度の測定範囲が制約されることがなく長尺の範囲の真直度を評価することができる効果がある。
【００２８】
また、請求項４として、補正値を２点連鎖法でつなぎ合わせる前に評価用標準器のスライドの前後の姿勢を一致させるように補正することにしているため、評価用標準器のスライドの前後の姿勢の相違が補正値から排除される効果がある。
【００２９】
さらに、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置は、請求項５として、請求項３または４の実施に際して、評価用標準器の基材に取付けられた反射鏡と汎用されているオートコリメータとによって装置を構成するようにしているため、簡素な装置構成によって請求項３または４の非接触座標測定機の真直度評価方法を実施することができる効果がある。
【００３０】
また、請求項６として、中継鏡を備えることによって反射鏡とオートコリメータとの間の光路をＶ字形にしているため、光路をＩ字形にすることが困難な非接触座標測定機に対してもオートコリメータを設置することが可能になる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施をするための形態の第１例の概略図である。
【図２】図１の実施のために使用される非接触座標測定機の側面図である。
【図３】図１で実施される手順のフローチャートである。
【図４】図１の実施による評価を示すグラフである。
【図５】図１の実施による評価を示すグラフである。
【図６】本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施をするための形態の第２例および本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置を実施をするための形態の斜視図であり、（Ａ）に評価用標準器のスライドの前の状態が示され、（Ｂ）に評価用標準器のスライドの後の状態が示されている。
【図７】図６で実施される校正値，測定値，補正値の扱いのブロック図である。
【図８】図６の装置構成の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法および真直度評価装置を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
【００３３】
図１〜図５は、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第１例を示すものである。
【００３４】
第１例は、第１の課題を解決するもので、評価用標準器１としてボールバーを採用している。
【００３５】
評価用標準器１は、精密仕上げされた基材１１，脚１２，１３，１４，１５，球体１６，１７，１８，１９からなる。基材１１は、直方体形に形成され、基準面となる上面１１ａに脚１２，１３，１４，１５が固定される。脚１２，１３，１４，１５は、円柱体形に形成され、基材１の長さ方向に４個が同一の間隔を介して固定され直線状に整列されている。球体１６，１７，１８，１９は、真球体形に形成され、脚１２，１３，１４，１５の上端部に４個がそれぞれ固定されている。
【００３６】
第１の手順としては、評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置の真直度についての校正値Ａを得る。
【００３７】
校正値Ａを得るためには、まず、基準面とする評価用標準器１の基材１１の上面１１ａを高精度の接触座標測定機による複数箇所の測定から特定する。続いて、高精度の接触座標測定機で測定した評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の外周面の測定分布から最小自乗法によって球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置を求める。続いて、求めた評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の４個の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置から最小自乗法によって、全ての球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａ付近を通過する近似直線Ｌを求める。そして、近似直線Ｌの方向をＸ軸とし、Ｘ軸に直交し基準面である評価用標準器１の基材１１の上面１１ａに平行な方向をＹ軸とし、Ｘ軸，Ｙ軸に直交する方向をＺ軸として座標系を設定する。さらに、評価用標準器１の各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置から近似直線Ｌに延ばした垂線の長さによって真直度の校正値Ａを表すことにする。図１には、評価用標準器１の各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａからの垂線の長さがそれぞれａ１，ａ２，ａ３，ａ４として示されている。
【００３８】
第２の手順としては、校正値Ａを得た後に、評価用標準器１を評価しようとする非接触座標測定機２で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置の真直度についての測定値Ｂを得る。
【００３９】
非接触座標測定機２としては、図２に示すように、３軸門形に構成され測定用テーブル２１にセットされた被測定物の上方を非接触プローブ２２が走査移動されるものが想定されている。評価用標準器１は、被測定物として測定用テーブル２１にセットされる。
【００４０】
測定値Ｂを得るためには、評価しようとする非接触座標測定機２において前述の校正値Ａを得るためのプロセスと同様のプロセスが行われる。図１には、評価用標準器１の各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａからの垂線の長さがそれぞれｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４として示されている。
【００４１】
第３の手順としては、測定値Ｂを得た後に、測定値Ｂのｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４から校正値Ａのａ１，ａ２，ａ３，ａ４を引いて、補正値Ｃを得る。
【００４２】
図１には、評価用標準器１の各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａからの垂線の長さがそれぞれｃ１（ｂ１−ａ１），ｃ２（ｂ２−ａ２），ｃ３（ｂ３−ａ３），ｃ４（ｂ４−ａ４）として示されている。
【００４３】
この補正値Ｃにおける評価用標準器１の各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａからの垂線の長さｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４によって、非接触座標測定機２の真直度を評価することになる。
【００４４】
この評価の信頼性については、図４，図５に示すグラフによって明らかにされている。
【００４５】
図４，図５のグラフは、縦軸にｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４に相当する真直度（ｍｍ）をとり、横軸にＸ軸の位置（ｍｍ）をとったもので、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第１例で得られたｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４が実線で示されている。図４は、Ｘ軸のＺ軸（垂直）方向の真直度を表している。また、図５は、Ｘ軸のＹ軸（平面）方向の真直度を表している。なお、図４，図５のグラフには、この非接触座標測定機２の非接触プローブ２２に接触式変位計を取付けて測定した測定値が破線で比較表示されている。
【００４６】
図４，図５のグラフから理解されるように、真直度の評価の対象となる補正値Ｃ（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４）が非接触座標測定機２の非接触プローブ２２に接触式変位計を取付けて測定した測定値に対して０．００１ｍｍまでの差が生じていない。従って、非接触座標測定機２の真直度の評価に充分に対応することができるといえる。
【００４７】
第１例によると、ボールバーを評価用標準器１として使用して、予め評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置の真直度の校正値Ａを得ておき、評価する非接触座標測定機２の測定による評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置の真直度の測定値Ｂから校正値Ａを引いて補正値Ｃを得ることで評価することになる。従って、校正値Ａを得るという準備的な作業が必要になるものの、評価用標準器１のセットのし直しが不要な非接触座標測定機２の通常の測定の作業で実施することができるため、評価作業に時間が掛からなくなる。
【００４８】
また、評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置を全ての球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａ付近を通過する近似直線Ｌを基準にした座標系を設定して測定し、各球体１６，１７，１８，１９の中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの位置から近似直線に延ばした垂線の長さ（ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４，ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４）によって真直度を表すことにしている。従って、評価をコンピュータ処理する際のプログラムの作成が容易になる。
【００４９】
図６〜図８は、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第２例と、本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置を実施するための形態とを示すものである。
【００５０】
第１例は、第２の課題を解決するもので、第１例と同一の評価用標準器１をスライドさせて使用する。
【００５１】
本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置を実施するための形態では、評価用標準器１をスライダ３に載せて非接触座標測定機２の測定用テーブル２１にセットされたレール４の上をスライドすることができるように構成している。
【００５２】
さらに、評価用標準器１の基材１１の側面１１ｂに反射鏡５が取付けられ、反射鏡５に向けて照射した光の反射光から評価用標準器１の姿勢を測定するオートコリメータ６が非接触座標測定機２の測定用テーブル２１等に設置されている。
【００５３】
この本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置を実施するための形態を使用した本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第２例では、第１例の第２の手順の実行に際して、最初に測定値Ｂ−１（ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４）を得た後に評価用標準器１をスライドさせスライドの前の最前方の球体１９の位置にスライドの後の最後方の球体１６を位置させて再度の測定値Ｂ−２（ｂ５，ｂ６，ｂ７，ｂ８）を得る。
【００５４】
そして、第１例の第３の手順の実行に際して、測定値Ｂ−１（ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４），Ｂ−２（ｂ５，ｂ６，ｂ７，ｂ８）からそれぞれ補正値Ｃ−１（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４），Ｃ−２（ｃ５，ｃ６，ｃ７，ｃ８）を得た後に、オートコリメータ６で測定した評価用標準器１のスライドの前後の姿勢（近似直線Ｌの角度）を一致させるように補正し、補正値Ｃ−１（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４），Ｃ−２（ｃ５，ｃ６，ｃ７，ｃ８）を評価用標準器１のスライドの前後で重複した球体１９，１６の中心１９ａ，１６ａの位置で２点連鎖法でつなぎ合わせることで、最終的な補正値Ｃ−３を得る。
【００５５】
本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第２例によると、評価用標準器１をスライドさせてスライドの前後の測定値Ｂ−１（ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４），Ｂ−２（ｂ５，ｂ６，ｂ７，ｂ８）からの補正値Ｃ−１（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４），Ｃ−２（ｃ５，ｃ６，ｃ７，ｃ８）を２点連鎖法でつなぎ合わせることにしているため、真直度の測定範囲が制約されることがなく長尺の範囲の真直度を評価することができる。
【００５６】
また、補正値Ｃ−１（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４），Ｃ−２（ｃ５，ｃ６，ｃ７，ｃ８）を２点連鎖法でつなぎ合わせる前に、評価用標準器１のスライドの前後の姿勢を一致させるように補正することにしているため、評価用標準器１のスライドの前後の姿勢の相違が補正値Ｃ−１（ｃ１，ｃ２，ｃ３，ｃ４），Ｃ−２（ｃ５，ｃ６，ｃ７，ｃ８）から排除される。
【００５７】
なお、第２例では、その他の点について第１例と同様の作用効果が奏される。
【００５８】
本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置を実施するための形態によると、評価用標準器１の基材１１に取付けられた反射鏡５と、汎用されているオートコリメータ６とによって装置を構成するようにしている。従って、簡素な装置構成によって本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価方法を実施するための形態の第２例を実施することができる。
【００５９】
なお、図８には、反射鏡５，オートコリメータ６の間に中継鏡７を設置して、光路がＶ字形になるように構成している。
【００６０】
図８に示した本発明に係る非接触座標測定機の真直度評価装置の変形例によると、光路をＩ字形にすることが困難な非接触座標測定機２に対してもオートコリメータ６を設置することが可能になる。
【００６１】
以上、図示した各例の外に、評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９を２個，３個または５個以上とすることも可能である。
【００６２】
さらに、評価用標準器１を非接触座標測定機２の測定用テーブル２１へのセットについては、Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸のいずれか１つの方向や複数の方向に設定することが可能である。
【実施例】
【００６３】
図４，図５のグラフで示した数値を得るための評価用標準器１については、基材１１を断面形状が１辺４０ｍｍの正方形で長さが３６０ｍｍの低熱膨張のセラミックスバー材とし、球体１６，１７，１８，１９を直径２５．４ｍｍの玉軸受用鋼球（ＪＩＳ  １５０１）の表面をブラスト処理してＴｉＮコーティングしたものを用い中心１６ａ，１７ａ，１８ａ，１９ａの間隔を１００ｍｍに設定している。
【符号の説明】
【００６４】
１                        評価用標準器
１１                      基材
１６，１７，１８，１９    球体
２                        非接触座標測定機
５                        反射鏡
６                        オートコリメータ
７                        中継鏡
Ａ                        校正値
Ｂ                        測定値
Ｃ                        補正値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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