(57)【要約】【課題】信頼性が高く、ビア接続安定性に優れたラミネート装置およびそれを用いた回路基板の製造方法を提供する。【解決手段】ラミネート済みプリプレグの表面を色目、明るさを測定できる測定器具（色差計・輝度計）にてＬ値（輝度）を測定することにより、ラミネート済みプリプレグの表面状態及びプリプレグとＰＥＴフィルムとの密着性によりラミネートロールの圧力バランス測定が簡易に実現可能となり、品質面において向上が期待できる回路基板の製造装置およびそれを用いた回路基板の製造方法が提供できる。【選択図】図２
2013207024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリプレグの表裏にプラスチックシートを供給するシート供給部と、
前記プラスチックシートおよび前記プリプレグを挟持した状態で回転し移送する上下２本を１組とする第１のラミネートロールおよびその後方に配置された第２のラミネートロールとで構成され、
前記プラスチックシートがラミネートされたラミネート済みプリプレグを搬出する手段を備え、
前記第１のラミネートロールまたは前記第２のラミネートロールの後方に前記ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を測定する手段を備えることを特徴とする回路基板の製造装置。
【請求項２】
上部に位置する固定盤または可動盤に設けられた上部熱盤と、
下部に位置する可動盤または固定盤に接触設置された下部熱盤を備え、
前記上部熱盤と下部熱盤との間に２枚のプラスチックシートで挟時したプリプレグを備え、
前記上部熱盤と下部熱盤により加熱加圧し、
前記プラスチックシートがラミネートされたラミネート済みプリプレグを搬出した直後に、前記ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を測定する手段を備えることを特徴とする回路基板の製造装置。
【請求項３】
輝度を測定する手段は、ラミネート済みプリプレグの複数箇所の色差（輝度）を測定する機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回路基板の製造装置。
【請求項４】
輝度を測定する手段は、複数の色差（輝度）測定器具からなり、ラミネート済みプリプレグの搬出方向を横切る方向に複数設置されていることを特徴とする請求項３に記載の回路基板の製造装置。
【請求項５】
輝度を測定する手段は、回動可能な色差（輝度）測定器具からなり、前記の回動はラミネート済みプリプレグの搬出方向の垂直方向に行われることを特徴とする請求項３に記載の回路基板の製造装置。
【請求項６】
輝度を測定する手段は、ラミネート済みプリプレグを搬出する手段に同期して作動し、測定することを特徴とする請求項１および請求項２に記載の回路基板の製造装置。
【請求項７】
輝度を測定する手段は、正逆方向に回動する動作中に複数回作動し、測定することを特徴とする請求項５に記載の回路基板の製造装置。
【請求項８】
プリプレグの表裏に離型性を有したプラスチックシートを張り付けてラミネート済みプリプレグを形成する請求項１または請求項２の製造装置において、
前記ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を測定する工程と、
測定された前記輝度の値と良否判定基準値とを比較し判定する管理工程と、
前記管理工程は、測定された輝度の値と良否判定基準値とを比較した結果に基づき、圧力分布を調整することを特徴とする回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数層の回路パターンを接続してなる回路基板を製造するラミネート装置およびそれを用いた回路基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高密度化に伴い、産業用にとどまらず民生用の分野においても高機能な回路基板が強く要望されるようになってきた。特に接続部品の微細化、高機能化によって、より微細な回路パターン形成が重要となり接続の要であるビア位置精度および形状の向上安定化は、それらの接続信頼性を確保するため重要となっている。
【０００３】
以下に従来のラミネート装置について説明する。
【０００４】
ここで取り上げているラミネート装置は、回路基板のインナービアを形成するために導電性ペーストをプリプレグの任意の位置に充填するためのマスクフィルムを前記プリプレグの両面に張り付ける装置であるので回路基板の製造方法から説明する。
【０００５】
図５は従来の両面回路基板の製造方法の工程断面図である。
【０００６】
まず、図５（ａ）に示す５１は、ガラスクロスに熱硬化性のエポキシ樹脂を含浸させた基板材料であるプリプレグであり、縦、横、厚みのサイズが５００ｍｍ×５００ｍｍ×０．１ｍｍである。
【０００７】
また、５２は導電性ペースト充填時のマスクフィルムとなる厚さ約１９μｍのプラスチックフィルムであり、片面に熱硬化性樹脂層を有し、その反対面にシリコンなどを塗布した離型層を有した構造のもので、その材質は例えばポリエチレンテレフタレート（以下ＰＥＴシートと称する）が用いられる。
【０００８】
図５（ｂ）に示す工程は、ＰＥＴシート５２でプリプレグ５１を挟持しＰＥＴシート５２を前記プリプレグ５１の両面に張り付けるラミネート工程である。
【０００９】
ＰＥＴシート５２の離型層側にプリプレグ５１を任意の一辺側から、少なくとも上下２本を１組とするラミネートロール５３によって加熱加圧し、順次プリプレグの反対の一辺側に向けてＰＥＴシート５２をプリプレグ５１の両面に張り付ける。
【００１０】
図５（ｃ）は、ＰＥＴシート５２をプリプレグ５１の両面に張り付けたラミネート済みプリプレグ５４である。
【００１１】
図５（ｂ）（ｃ）の工程において、１組のラミネートロール５３は、前記ＰＥＴシート５２およびプリプレグ５１全面に圧力を均等にかけられないと、加圧の弱い部分では接着強度が均等に得られず、部分的にＰＥＴシート５２がプリプレグ５１から剥がれてしまう。また、加圧の強い部分では寸法変化が大きくなるなどラミネート済みプリプレグ５４の品質に悪影響が出る場合がある。
【００１２】
よって設備調整時に圧力が均等にかかるように、常温時に圧力測定フィルム７０（プレスケール  富士フィルム株式会社  登録商標）やスキージバランス測定器（ニューロング精密工業株式会社  商品名）などを用いてロール両端の圧力を調整して均圧性を確認するようにしている。
【００１３】
次に、従来のラミネート装置の圧力測定方法を、図６を用いて説明する。
【００１４】
図６は、従来のラミネート装置の圧力測定方法の概略図であり、図６（ａ）（ｂ）は、ラミネートロール５３のロール圧力バランスに偏りが合った場合の圧力測定フィルム７０の状態を示しており、色の濃くなるにつれ、圧力が強いことを示している。
【００１５】
図６（ｃ）は、圧力バランスが均等になった場合の圧力測定フィルム７０の状態を示し、ラミネート進行方向前に中央から按分して、左右で色差が無い状態にするのが望ましい。
【００１６】
また、図６（ａ）（ｂ）（ｃ）の各図の下に示す棒グラフは、スキージバランス測定器で測定した場合の模式図７１であり圧力の強さを相対的に表している。
【００１７】
次に、図５（ｄ）に示すように、ラミネート済みプリプレグ５４の所定の箇所にレーザー加工にて貫通穴５５を形成する。
【００１８】
次に図５（ｅ）に示すように、印刷機（図示せず）を用いて、貫通穴５５を有するラミネート済みプリプレグ５４を設置し、スキージ５６で印刷マスクの役割を果たしているＰＥＴシート５２の表側から貫通穴５５に導電性ペースト５７を充填することにより導通穴５８を形成する。
【００１９】
次に図５（ｆ）に示すように、ラミネート済みプリプレグ５４の両面からＰＥＴシート５２を剥離することで、導電性ペースト充填済みプリプレグ５９が形成される。
【００２０】
このＰＥＴシート５２を剥離する工程により、ＰＥＴシート５２に形成された穴に充填されていた導電性ペーストが、ＰＥＴシート５２の厚みに相当する分だけ凸状の鋲の形態で残り、これにより、後述する加熱加圧する工程において、圧縮効果をもたらし、導通穴の電気的接続の安定に寄与することになる。
【００２１】
次に図５（ｇ）に示すように、導電性ペースト充填済みプリプレグ５９の両面に銅はく等の金属箔６０を重ね、熱プレスで加熱加圧することにより、金属箔６０が導電性ペースト充填済みプリプレグ５９と接着し、図５（ｈ）に示す両面の銅張積層板６１が形成される。
【００２２】
両面の金属箔６０は、所定位置に設けた導通穴５８内の導電性ペーストにより電気的に接続されている。
【００２３】
そして、図５（ｉ）に示すように両面の金属箔６０を選択的にエッチングして、回路パターン６２が形成されて両面の回路基板６３が得られる。
【００２４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献資料としては、例えば、特許文献１、２が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２５】
【特許文献１】特開平９−２４６７１８号公報
【特許文献２】特開２００１−２５７４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
上記の回路基板の製造方法の場合において、図５（ｂ）の工程でＰＥＴシートをプリプレグの両面にラミネートしたラミネート済みプリプレグの密着性品質を確保するためには、１組毎のラミネートロールの均圧性が非常に重要となる。
【００２７】
ＰＥＴシートとプリプレグに圧力が均等に伝わることで、接着も均一となり安定した接着強度が得られる。また、過剰な圧力による材料の寸法変化も抑制される。
【００２８】
そのため従来のラミネート装置では、均圧性を得るために、ラミネートロール単体加工精度、ロール偏芯度、円筒度が０．０３μｍ以内の物を使用し、ラミネート装置に組み付けた後の調整時に、ＰＥＴシートとプリプレグにかかる実際の圧力を測定しながらロールに加える空気圧を調整した。
【００２９】
実際の圧力を測定する手段としては、圧力測定フィルムやスキージバランス測定器（ニューロング精密工業株式会社  商品名）などがあり、上下２本１組のラミネートロールで挟み、加圧する事で圧力が測定できるが、従来、高温では測定ができなかったため、これまで常温で測定していた。
【００３０】
しかしながら、ラミネートロールには耐熱シリコンゴムがライニングされているが、ゴムの厚みや温度膨張などで微妙な変化を生じる場合がある。そのため高温にしてから圧力の不具合が見つかると、再測定するためには、再度常温まで下げる必要があり、１００℃以上の高温から２時間程度かかるため非常に効率が悪かった。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記目的を達成するために、本発明の回路基板の製造装置は、プリプレグの表裏にプラスチックシートを張り付けてラミネート済みプリプレグを形成するラミネート装置において、前記ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を測定する手段を備えることを特徴とする回路基板の製造装置であり、ラミネート済みプリプレグの表面を色目、明るさを測定できる測定器具（色差計・輝度計）にてＬ値（輝度）を測定することにより、ラミネート済みプリプレグの表面状態及びプリプレグとＰＥＴフィルムの密着度を確認し、圧力分布を判断するものである。
【００３２】
本発明の回路基板の製造方法は、プリプレグの表裏に離型性を有したプラスチックシートを張り付けてラミネート済みプリプレグを形成する本発明の製造装置において、ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を測定する工程と、測定された前記輝度の値と良否判定基準値とを比較し判定する管理工程と、前記管理工程は、測定された輝度の値と良否判定基準値とを比較した結果に基づき、圧力分布を調整することを特徴とする回路基板の製造方法であり、ラミネート済みのプリプレグを１枚毎に表面状態及び密着性を把握することができ、かつ、Ｌ値（輝度）により数値化することにより、ラミネートの圧力分布も同時に把握することができる。
【００３３】
よって従来のように、調整のたびにラミネートロールの温度を下げなくても圧力調整が可能となる。ゆえに、ラミネートロールの圧力調整の時間を大幅に削減することができるという作用を有する。
【００３４】
本発明は上記従来の問題点を解決するものであって、高温下でのラミネートロールの圧力分布を非常に簡易に測定、管理できる新規手法であり、品質面において向上が期待できる回路基板の製造装置およびそれを用いた回路基板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【発明の効果】
【００３５】
本発明は、上記構成を有する回路基板の製造装置およびそれを用いた回路基板の製造方法により、ラミネート済みのプリプレグを１枚毎に密着性を把握することができ、通常の生産活動内でも簡易に圧力状態の監視が可能となるため、ラミネート装置における圧力調整の時間を大幅に削減することができる。
【００３６】
さらに実際に生産する材料で調整することが可能であるため、密着性やペースト滲みなど品質を安定させることができ、層間の接続信頼性が高い回路基板を高い生産性で提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態１における回路基板の製造方法を示す工程断面図
【図２】本発明の実施の形態１における回路基板の製造装置を示す概略図
【図３】本発明の実施の形態におけるラミネート温度とＬ値（輝度）の関係を示す図
【図４】本発明の実施の形態２における回路基板の製造装置を示す概略図
【図５】従来の回路基板の製造方法を示す工程断面図
【図６】従来のラミネート装置の圧力測定方法を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００３８】
（実施の形態１）
以下に本発明の回路基板の製造方法について説明する。
【００３９】
本実施の形態においては、両面の回路基板について説明する。
【００４０】
図１は本発明の実施の形態１における回路基板の製造方法を示す工程断面図である。
【００４１】
まず、図１（ａ）におけるプリプレグ１は、ガラスクロスに熱硬化性のエポキシ樹脂を含浸させた基板材料であり、縦、横、厚みのサイズが５００ｍｍ×５００ｍｍ×０．１ｍｍである。
【００４２】
また、プラスチックシート（以下ＰＥＴシートと称す）２は、マスクフィルムとなる厚さ約１９μｍのプラスチックフィルムである。
【００４３】
前記ＰＥＴシート２は、プラスチックフィルムの表層に融点を有しない熱硬化性樹脂からなる厚さ約１．２μｍの穴径制御層（図示せず）、その反対面であるプリプレグ１と接する面に、例えばシリコンなどを塗布した離型層を有した構造のものである。
【００４４】
なお、ＰＥＴシート２の基材としては、例えばポリエチレンテレフタレートが用いられるが、ＰＥＮなどを用いても問題ない。
【００４５】
さらに、ＰＥＴシート２の基材、もしくは熱硬化性樹脂からなる穴径制御層(図示せず)の少なくともいずれかに顔料などを混ぜて全光線透過率２０％〜８０％の半透明状態にすることが望ましい。
【００４６】
図１（ｂ）に示す工程は、ＰＥＴシート２でプリプレグ１を挟持し、ＰＥＴシート２をプリプレグ１の両面に張り付けるラミネート工程である。
【００４７】
従来の製造方法と同様にＰＥＴシート２の離型層側にプリプレグ１を任意の一辺側から、少なくとも上下２本を１組とするラミネートロール２１によって加熱加圧し、順次プリプレグの反対の一辺側に向けてＰＥＴシート２をプリプレグ１の両面に張り付けることでラミネート済みプリプレグ３を形成する。
【００４８】
図１（ｃ）において、ラミネート完了後すぐに、ラミネート済みプリプレグ３の接着度の圧力分布を確認するため、測定器具１３でＬ値（輝度）を測定する。
【００４９】
なお、測定器具１３としては、例えば色差計が用いられるが、表面の色目、明るさを測定できる測定器具であれば限定しない。
【００５０】
もし圧力分布に偏りがある場合は、圧力を調整し、再度接着状態を確認することが、その場ですぐに行うことができる。
【００５１】
また測定箇所については、加圧シリンダーの影響を受けやすいロール両端など、適宜指定する。
【００５２】
本発明の実施の形態１における製造装置について、後ほど詳細を記述する。
【００５３】
図１（ｂ）において、上下２本を１組とするラミネートロール２１などの方法で加熱加圧することにより、プリプレグ１表面のエポキシ樹脂を溶融させ、プリプレグ１とＰＥＴシート２を接着する。
【００５４】
このとき接着した箇所は外観上黒く見え、接着していない部分は白く見える。温度を上げエポキシ樹脂をより溶融させると、プリプレグ１とＰＥＴシート２の接着面積が広がることで黒く見える部分が増えるため、Ｌ値（輝度）が変化するので、測定器具にて接着度が判定できる。
【００５５】
ラミネートロール２１は、面内温度ばらつきが±１℃のジャケットロール（トクデン株式会社  登録商標）を使用しているので、ラミネートロール２１自体の温度差はほとんどない。そのため圧力の差で樹脂の溶融度合いが変化する。
【００５６】
例えば、圧力の強い部分は熱が伝わりやすくなり、エポキシ樹脂の溶融が進むので接着しやすくなるため、外観上黒く見えるようになる。また、圧力の低い部分では反対に熱が伝わりにくいので、エポキシ樹脂溶融が進まず接着しない部分が多くなるため、外観上白く見えるようになる。
【００５７】
このことから測定器具にてＬ値（輝度）を測定して、数値化することで部分的な圧力の高低が判断できるため、ラミネートロールの温度を下げる等の操作をすることなく、圧力調整ができる。よって、従来の方法より、圧力調整の時間が削減できる。
【００５８】
さらに、もし圧力バランスが悪い場合には、通常の生産活動内でも簡易に、圧力を調整し、再度接着状態を確認することがその場ですぐに行えるという効果を有している。
【００５９】
図２は本発明の実施の形態１における回路基板の製造装置を示す概略図であり、実施の形態１における製造装置について詳細に説明する。
【００６０】
図２（ａ）は、上下２本１組のラミネートロール２１とそれぞれのラミネートロール２１に、ＰＥＴシート２が供給できるＰＥＴシートロール２２を備えたラミネート装置である。ラミネート済みプリプレグ３の搬出方向後方に１台以上の測定器具１３を備えることで、ラミネート済みプリプレグ３の接着度が、ラミネート済みプリプレグ完成後、すぐに測定できる。
【００６１】
また図２（ｂ）に示すように、複数台の測定器具１３をラミネート済みプリプレグ３の搬出方向と垂直に配置することで、ラミネート方向按分の接着度バランスを連続的に測定することで、按分方向の比較がすぐに出来、ラミネート工程における圧力分布へのフィードバックが速やかに行える。
【００６２】
また、ＰＥＴシート２が連続で供給されるため、枚様にする切断装置が備わっているが、切断時ラミネート済みプリプレグ３は一時搬送が停止するので、そのタイミングで測定することで誤差は抑えられる。
【００６３】
また、測定器具を進行方向と逆方向に移動させることで複数箇所の測定が可能となり測定値の信頼性が向上するのが見込まれる。
【００６４】
本実施の形態において、測定器具にて測定したラミネート済みプリプレグ３の表面のＬ値とラミネート温度条件との関係は、図３に示すようになる。
【００６５】
本発明は、ラミネート済みプリプレグ３の表面を測定器具１３にて、適宜指定した測定箇所、例えばランダムに端４点、中央１点から得られるＬ値（輝度）を測定し、測定した平均値と予め定められた良否判定基準値（Ｌ値）とを比較した結果に基づき、以降の工程の実施の可否を判定するものである。
【００６６】
なお、本実施の形態おける良否判定基準値のＬ値は、３５．０±２．０とし、その範囲を満たす場合に次工程の貫通穴の形成を実施するものとする。
【００６７】
次に図１（ｄ）に示すように、ラミネート済みプリプレグ３の所定の箇所にレーザー加工法を用いて、貫通穴４を形成する。
【００６８】
次に図１（ｅ）に示すように、印刷機（図示せず）を用いてスキージ５でＰＥＴシート２の上から貫通穴４に導電性ペースト６を充填し、導通穴７を形成する。
【００６９】
この工程において、表側のＰＥＴシート２は印刷マスクの役割を果たしており、ＰＥＴシート２に穿設された貫通穴４の穴径が回路基板の層間の接続信頼性や多層積層工程における合致性に寄与する。
【００７０】
次に図１（ｆ）に示すように、導電性ペースト印刷済みのラミネート済みプリプレグ３の両面からＰＥＴシート２を剥離すると導電性ペースト充填済みプリプレグ８が形成される。
【００７１】
次に図１（ｇ）に示すように、導電性ペースト充填済みプリプレグ８の両面に銅はく等の金属箔９を重ね、熱プレスで加熱加圧することにより、図１（ｈ）に示す両面の銅張積層板１０が形成される。両面の金属箔９は所定位置に設けた導通穴７の導電性ペーストを介して電気的に接続されている。
【００７２】
そして、図１（ｉ）に示すように、両面の金属箔９を選択的にエッチングして回路パターン１１を形成して両面の回路基板１２を得る。
【００７３】
本発明のラミネート装置を用いることで、ラミネートロールの圧力調整時に、ラミネートロールが加熱状態で圧力調整できるため、測定の度に冷却する必要が無くなった。よって生産効率の高い調整が可能となった。
【００７４】
また、通常の生産活動内でも簡易に圧力状態の監視が可能となるため、実施の形態１における層間の接続信頼性が高い回路基板を提供することに加えて、回路基板の製造過程における生産性の向上を図ることができる。
【００７５】
（実施の形態２）
本実施の形態２においては、実施の形態１と同様、両面の回路基板について説明する。
【００７６】
図４は本発明の実施の形態２における回路基板の製造装置を示す概略図であり、実施の形態２における製造装置について詳細に説明する。
【００７７】
また、図４は実施の形態１の図１（ｂ）に示す、ＰＥＴシート２でプリプレグ１を挟持し、ＰＥＴシート２をプリプレグ１の両面に張り付けるラミネート工程における第２の工法を示す概略図である。
【００７８】
図４（ａ）において、１５は上部に位置する固定盤または可動盤（図示せず）に設けられた上部熱盤１５ａと、下部に位置する可動盤または固定盤（図示せず）に接触設置された下部熱盤１５ｂであり、熱媒などによって温度コントロールが可能な熱盤である。
【００７９】
上部熱盤１５ａと下部熱盤１５ｂとの間に２枚のＰＥＴシート２で挟時したプリプレグ１を所定の位置に設置する。
【００８０】
図４（ｂ）に示すように、２枚のＰＥＴシート２で挟時したプリプレグ１を、５０℃〜２００℃に加熱された上部熱盤１５ａと下部熱盤１５ｂで挟み込み、１秒〜６０秒加圧することでラミネート済みプリプレグ３を形成する。
【００８１】
次に図４（ｃ）に示すように、上部熱盤１５ａと下部熱盤１５ｂより開放し、ラミネート済みプリプレグ３を搬出する。
【００８２】
ラミネート完了後すぐに、ラミネート済みプリプレグ３の接着度の圧力分布を確認するため、測定器具１３でＬ値（輝度）を測定する。
【００８３】
熱盤１５は、面内温度のばらつきは、熱盤の熱源にオイル等の流体を用いると±２℃程度のばらつきなので、熱盤１５自体の全体の温度差はほとんどない。そのため圧力の差で樹脂の溶融度合いが変化するので、熱盤の平行度、平面度の管理が重要になってくる。
【００８４】
実施の形態１と同様に、圧力の強弱により熱の伝わり方が変化し、その結果、エポキシ樹脂の溶融度に差が生じる。よって接着力の差が生じ、ラミネート済みプリプレグの表面の外観上に、明暗として表れる。
【００８５】
このことから測定器具にてＬ値（輝度）を測定して、数値化することで部分的な圧力の高低が判断できるため、熱盤の平行度、平面度の調整ができる。
【００８６】
さらに、もし圧力バランスが悪い場合には、通常の生産活動内でも簡易に、熱盤の平行度、平面度の調整をし、再度接着状態を確認することがその場ですぐに行えるという効果を有している。
【００８７】
ラミネート済みプリプレグ３の表面を測定器具１３にて、適宜指定した測定箇所から得られるＬ値（輝度）を測定し、測定した平均値と予め定められた良否判定基準値（Ｌ値）とを比較した結果に基づき、以降の工程の実施の可否を判定する。
【００８８】
次に、実施の形態１の図１（ｃ）から（ｉ）工程を経ることで本発明の両面の回路基板を得ることが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上述べたように、本発明のラミネート装置を用いることにより、ラミネート装置立ち上げ時やメンテナンス時にかかっていた時間を削減する事が可能となった。
【００９０】
さらに通常の生産においても簡単に圧力状態を検知できるので、ラミネート済みプリプレグの表面の輝度を管理することにより、接着状態が安定したラミネート済みプリプレグが供給できるので高精度な形成位置での貫通穴の加工が可能である。
【００９１】
このため、高い位置精度で形成された導通穴を有したプリプレグと内層用基板の回路パターンとの位置合わせが容易となり、繊細パターンを有した多層の回路基板においても、導通穴と内層用基板の回路パターンとの合致精度を向上させ、層間の接続信頼性が高い回路基板を高い生産性で提供することができる。
【００９２】
また本発明の技術を採用し、その技術を普及させることも容易であり、本発明の産業上の利用可能性は大であるといえる。
【符号の説明】
【００９３】
１、５１  プリプレグ
２、５２  ＰＥＴシート
３、５４  ラミネート済みプリプレグ
４、５５  貫通穴
５、５６  スキージ
６、５７  導電性ペースト
７、５８  導通穴
８、５９  導電性ペースト充填済みプリプレグ
９、６０  金属箔
１０、６１  銅張積層板
１１、６２  回路パターン
１２、６３  回路基板
１３  測定器具
１５、１５ａ、１５ｂ  熱盤
２１、５３  ラミネートロール
２２  ＰＥＴシートロール
【図１】
2013207024.tif 000003
【図２】
2013207024.tif 000004
【図４】
2013207024.tif 000005
【図５】
2013207024.tif 000006
【図３】
2013207024.tif 000007
【図６】
2013207024.tif 000008