(57)【要約】【課題】露光装置の各レーザ光源についてＡＰＣを行う際に必要となる基準データを、工場出荷時に、より簡易に取得する技術を提供する。【解決手段】本発明の露光装置は、複数のレーザ光源（ＬＤ）を備え、各ＬＤについて、ＡＰＣの際に駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いる基準データを取得し、メモリに格納する。第１のレーザ光源（ＬＤ１）の基準データについては、工場出荷時に予めメモリに格納しておく。一方で、それ以外のＬＤについては、メモリに格納されたＬＤ１の基準データに基づいて取得する。露光装置は、ＬＤ１以外の各ＬＤに供給する駆動電流として、各ＬＤの光量が、メモリに格納されているＬＤ１の基準データに基づいてＬＤ１を発光させた際のＬＤ１の光量と等しくなる駆動電流を、それぞれ決定する。さらに、ＬＤ１以外の各ＬＤについて、決定した駆動電流を基準データとしてメモリに格納する。【選択図】図４
2013001084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが電流源から供給される駆動電流によって光ビームを出力する複数のレーザ光源を備える露光装置であって、
前記複数のレーザ光源のうち、第１のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御することによって当該第１のレーザ光源の光量を所定の目標光量に制御する際に、当該駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いられる基準データが格納された記憶手段と、
前記複数のレーザ光源のうち、前記第１のレーザ光源以外の第２のレーザ光源に供給する駆動電流であって、当該第２のレーザ光源の光量が、前記記憶手段に格納されている前記基準データに基づいて前記第１のレーザ光源を発光させた際の当該第１のレーザ光源の光量と等しくなる駆動電流を決定する決定手段と、
前記決定手段によって決定された駆動電流を、前記第２のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御する際の前記基準データとして、前記記憶手段に格納する格納手段と
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記決定手段は、
前記記憶手段に格納されている前記基準データに対応する駆動電流を、前記第１のレーザ光源に供給することで、当該第１のレーザ光源を発光させる手段と、
前記記憶手段に格納されている前記基準データに対応する駆動電流によって前記第１のレーザ光源が発光する光ビームの光量を検出する手段と、
前記第２のレーザ光源に駆動電流を供給して、当該第２のレーザ光源が発光する光ビームの光量が前記第１のレーザ光源についての前記検出された光量と等しくなるように、当該第２のレーザ光源に供給する駆動電流を調整する手段と、
前記第２のレーザ光源が発光する光ビームの光量が、前記第１のレーザ光源についての前記検出された光量に等しくなった際に、当該第２のレーザ光源に供給されている駆動電流を、駆動電流の決定値として特定する手段と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記記憶手段に格納されている前記第１のレーザ光源に対応する前記基準データは、前記第１のレーザ光源に対して供給可能な駆動電流の上限値であって、当該第１のレーザ光源を用いて事前に測定された前記上限値から、所定の量だけ低減した値に相当するデータであること
を特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記複数の光ビームで露光対象を露光する際に、前記複数のレーザ光源のそれぞれについて、前記記憶手段に格納された当該レーザ光源に対応する前記基準データを基準として、当該レーザ光源に供給する駆動電流を制御することによって、当該レーザ光源の光量を所定の目標光量に制御する光量制御手段
をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記複数のレーザ光源のそれぞれに対応する前記基準データは、各レーザ光源に駆動電流を供給する際の駆動電流の制限値を示すデータであり、
前記光量制御手段は、
前記複数のレーザ光源のそれぞれについて、前記記憶手段に格納された当該レーザ光源に対応する前記基準データが示す制限値を超えない範囲内で、当該レーザ光源に供給する駆動電流を制御することによって、当該レーザ光源の光量を前記目標光量に制御すること
を特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記光量制御手段は、
前記複数のレーザ光源のそれぞれについて、前記記憶手段に格納された当該レーザ光源に対応する前記基準データが示す制限値を最大値とした場合の相対的な比率によって駆動電流を指定して、当該レーザ光源に供給する駆動電流を制御することによって、当該レーザ光源の光量を前記目標光量に制御すること
を特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
像担持体を備える画像形成装置であって、
前記像担持体の表面を帯電させる帯電手段と、
画像情報に応じた駆動電流を電流源から複数のレーザ光源に供給することによって当該複数のレーザ光源から出力される、当該画像情報に応じた複数の光ビームで前記像担持体の表面を走査することにより当該像担持体の表面を露光する、請求項１乃至６の何れか１項に記載の露光装置と、
前記露光装置による露光により前記像担持体の表面に形成された、前記画像情報に対応する静電潜像を現像して、記録材に転写すべき画像を当該像担持体の表面に形成する現像手段と
を備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
それぞれが電流源から供給される駆動電流によって光ビームを出力する複数のレーザ光源と、前記複数のレーザ光源のうち、第１のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御することによって当該第１のレーザ光源の光量を所定の目標光量に制御する際に、当該駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いられる基準データが格納された記憶手段とを備える露光装置の調整方法であって、
前記露光装置の決定手段が、前記複数のレーザ光源のうち、前記第１のレーザ光源以外の第２のレーザ光源に供給する駆動電流であって、当該第２のレーザ光源の光量が、前記記憶手段に格納されている前記基準データに基づいて前記第１のレーザ光源を発光させた際の当該第１のレーザ光源の光量と等しくなる駆動電流を決定する決定工程と、
前記露光装置の格納手段が、前記決定工程において決定された駆動電流を、前記第２のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御する際の前記基準データとして、前記記憶手段に格納する格納工程と
を含むことを特徴とする露光装置の調整方法。
【請求項９】
前記決定工程は、
前記記憶手段に格納されている前記基準データに対応する駆動電流を、前記第１のレーザ光源に供給することで、当該第１のレーザ光源を発光させる工程と、
前記記憶手段に格納されている前記基準データに対応する駆動電流によって前記第１のレーザ光源が発光する光ビームの光量を検出する工程と、
前記第２のレーザ光源に駆動電流を供給して、当該第２のレーザ光源が発光する光ビームの光量が前記第１のレーザ光源についての前記検出された光量と等しくなるように、当該第２のレーザ光源に供給する駆動電流を調整する工程と、
前記第２のレーザ光源が発光する光ビームの光量が、前記第１のレーザ光源についての前記検出された光量に等しくなった際に、当該第２のレーザ光源に供給されている駆動電流を、駆動電流の決定値として特定する工程と
を含むことを特徴とする請求項８に記載の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置及びその調整方法、並びに当該露光装置を使用する画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子写真方式の画像形成装置に用いられる光走査装置などの露光装置においては、レーザ光源として用いられるレーザダイオード（ＬＤ）の画像形成中の光量を一定にするために、自動光量制御（ＡＰＣ：Automatic Power Control）が行われる。例えば、特許文献１には、複数の光ビーム（レーザビーム）で感光体を走査して露光するために、複数のレーザ光源を有するマルチビーム方式の画像形成装置が提案されている。このような画像形成装置は、複数のレーザ光源から出力する光ビームの本数よりも少ない数のセンサを用いて、各光ビームの光量を時分割に検出することで、全ての光ビームの光量を検出するとともに、各レーザ光源について個別に自動光量制御を行う。
【０００３】
また、特許文献２には、複数の発光点を備えるレーザ光源から出力された複数の光ビームで感光体を走査する光走査装置において、各発光点からの光ビームの光量をＡＰＣにより個別に調整する技術が提案されている。特許文献２の光走査装置では、複数の発光点から出力される光ビームのそれぞれについて、感光体を光ビームで走査する際の同期処理のための光ビームの検知と、ＡＰＣのための光ビームの光量のモニタリングとの双方を、１つの受光センサで行う。
【０００４】
露光装置に設けられるＬＤは、電流源から供給される駆動電流に応じた光量の光ビームを出力する。上述のように、露光装置において実行されるＡＰＣでは、ＬＤに対して電流源から供給する駆動電流を制御することによって、ＬＤが発光する光ビームの光量を制御する。一般に、ＬＤは過電流によって壊れやすい性質を有するため、ＬＤに供給する駆動電流を制御する際には、あまりに大きな電流とならないように適切な範囲で電流値を制御する必要がある。
【０００５】
ＡＰＣによってＬＤの光量を制御する際に、ＬＤに対する駆動電流を適切な範囲で制御するためには、当該駆動電流を許容可能な範囲に制限するための基準データが必要となる。この基準データは、例えば、ＬＤに供給すべき駆動電流の制限値（１００％の光量に対応する最大値）であり、工場出荷時にＬＤを露光装置に組み込む際に、当該ＬＤの特性を事前に測定することによって取得される。また、露光装置に複数のＬＤを組み込んで、当該露光装置をマルチビーム方式で動作させる場合には、工場出荷時に、当該複数のＬＤのそれぞれについて個別に基準データを取得する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−１６３８７２号公報
【特許文献２】特開平０９−２３０２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、工場出荷時には、露光装置に組み込む各ＬＤ（レーザ光源）について、ＡＰＣを行う際に用いる基準データを個別の測定により取得して、取得したデータを記憶装置に格納させておく必要がある。しかしながら、露光装置のマルチビーム化に伴って、測定を行うべきＬＤの数が増大すると、工場出荷時に、装置の組立工程における工数が増大するとともに、各ＬＤの特性の測定に要する時間が増大することになる。従って、工場出荷時に装置を組み立てる際の生産性が低下してしまう問題がある。
【０００８】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、マルチビーム方式の露光装置の各レーザ光源についてＡＰＣを行う際に必要となる基準データを、より簡易に取得する技術を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、例えば、露光装置として実現できる。露光装置は、それぞれが電流源から供給される駆動電流によって光ビームを出力する複数のレーザ光源を備える光走査装置であって、複数のレーザ光源のうち、第１のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御することによって当該第１のレーザ光源の光量を所定の目標光量に制御する際に、当該駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いられる基準データが格納された記憶手段と、複数のレーザ光源のうち、第１のレーザ光源以外の第２のレーザ光源に供給する駆動電流であって、当該第２のレーザ光源の光量が、記憶手段に格納されている基準データに基づいて第１のレーザ光源を発光させた際の当該第１のレーザ光源の光量と等しくなる駆動電流を決定する決定手段と、決定手段によって決定された駆動電流を、第２のレーザ光源に供給すべき駆動電流を制御する際の基準データとして、記憶手段に格納する格納手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、マルチビーム方式の露光装置の各レーザ光源についてＡＰＣを行う際に必要となる基準データを、より簡易に取得する技術を提供できる。その結果として、工場出荷時に、装置の組立工程における工数がマルチビーム化に伴って増大することを防ぐことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係る画像形成装置１００の概略的な断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光走査装置１０１の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係るレーザチップ２０３の拡大図である。
【図４】本発明の実施形態に係る光量制御部２０７による制御に基づく基準データの取得処理に関連する構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施形態に係る基準データの取得処理全体の流れを示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態に係る代表ＬＤ以外のＬＤにつての基準データの取得処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係る基準データの取得処理におけるメモリ２０８内のデータの変化の様子を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る光走査装置１０１の構成について、光ビームを検出するセンサ（受光部）の異なる配置例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものでなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須のものとは限らない。
【００１３】
＜画像形成装置１００の構成＞
まず、図１を参照して、本発明の実施形態に係る画像形成装置１００の構成及び動作について説明する。画像形成装置１００は、例えば、複写機、プリンタ（印刷装置）、ファクシミリ装置、又は複合機（ＭＦＰ）であり、入力された画像情報に応じて記録材の表面に画像を形成する機能を有する。画像形成装置１００は、露光装置の一例としての光走査装置１０１を備える。光走査装置１０１は、複数のレーザ光源として複数のレーザダイオード（ＬＤ）を備え、当該複数のＬＤが出力する複数の光ビーム（レーザビーム）で、露光対象である感光ドラム１０２の表面を走査することによって、感光ドラム１０２を露光する。ここで、感光ドラム１０２は、像担持体の一例である。画像形成の際には、複数の光ビームによる露光が行われる前に、帯電器（図示せず）が感光ドラム１０２の表面を予め帯電する。
【００１４】
光走査装置１０１が備える各ＬＤは、電流源から供給される駆動電流に応じた光ビームを出力する。この駆動電流は、記録材に形成すべき画像を示す画像情報に基づいて変調される。光走査装置１０１は、画像情報に応じた駆動電流を各ＬＤに供給することによって、当該画像情報に応じた複数の光ビームで感光ドラム１０２の表面を露光する。その結果、感光ドラム１０２の表面には、記録材への形成対象の画像に対応する静電潜像が形成される。
【００１５】
その後、感光ドラム１０２の回転に伴って、その表面に形成された静電潜像が、現像装置１０３（例：現像ローラ）と感光ドラム１０２との間のニップ部に搬送される。現像装置１０３は、当該ニップ部において、感光ドラム１０２の表面の静電潜像に現像剤（例：トナー）を付着させることによって、当該静電潜像を現像する。これにより、感光ドラム１０２の表面には、記録材に転写すべき画像が形成される。現像された画像（現像剤像）は、その後、感光ドラム１０２の回転に伴って、転写装置１０４（例：転写ローラ）と感光ドラム１０２との間の転写ニップ部１１０に搬送される。
【００１６】
一方で、感光ドラム１０２の表面に形成された画像が転写ニップ部１１０に到達するタイミングに合わせて、記録材積載部１０６から記録材Ｓが給紙され、搬送路上を搬送される。転写ニップ部１１０では、転写装置１０４から印加される所定の電圧の作用によって、感光ドラム１０２上の画像が、記録材Ｓの表面に転写される。転写ニップ部１１０において画像が転写された記録材Ｓは、その後、定着装置１０５に搬送される。定着装置１０５は、搬送された記録材Ｓに熱及び圧力を加えることにより、記録材Ｓの表面に画像を定着させる。定着装置１０５による定着処理の後、記録材Ｓは画像形成装置１００の外部に排紙される。
【００１７】
＜光走査装置１０１の構成＞
次に、図２及び図３を参照して、光走査装置１０１の概略的な構成について説明する。本実施形態において、光走査装置１０１は、ポリゴンミラー２０１、ポリゴンモータ２０２、レーザチップ２０３、ｆ−θレンズ２０４、ＢＤセンサ２０５、及び折り返しミラー２０６を備える。また、光走査装置１０１は、これら各部の動作を制御する光量制御部２０７、及び光量制御部２０７が使用する種々のデータが格納されるメモリ２０８をさらに備える。レーザチップ２０３は、複数の半導体レーザであるレーザダイオード（ＬＤ）と、１個のフォトダイオード（ＰＤ）とを備え、感光ドラム１０２の露光に用いる複数の光ビームを当該複数のＬＤから出力する。なお、本実施形態において、メモリ２０８は記憶手段として機能する。
【００１８】
本実施形態では、レーザチップ２０３は、複数のレーザ光源として、ＬＤ１、ＬＤ２、ＬＤ３、及びＬＤ４を含む４つのＬＤを備える。ＬＤ１、ＬＤ２、ＬＤ３、及びＬＤ４は、図３に示すように、それぞれ光量制御部２０７内の電流源（図示せず）から供給される駆動電流によって、光ビーム３０１、３０２、３０３及び３０４を出力する。このように、光走査装置１０１は、これら４つのＬＤから出力する４つの光ビームで、露光対象である感光ドラム１０２の表面を露光する。本実施形態では、ＬＤ１〜ＬＤ４のうち、ＬＤ１を、供給可能な駆動電流の上限値を事前に測定する対象のＬＤに相当する、代表のＬＤ（以下、「代表ＬＤ」と称する。）とする。なお、ＬＤ１は第１のレーザ光源に相当し、ＬＤ２〜Ｌ４は、第１のレーザ光源以外の第２のレーザ光源に相当する。後述するように、この上限値は、ＡＰＣを行う際に駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いる基準データを決定するために使用される。
【００１９】
画像形成装置１００において画像形成が開始されると、光量制御部２０７は、光走査装置１０１内の各部の制御を開始する。光量制御部２０７は、光量制御部２０７内の複数の電流源から、レーザチップ２０３内の、対応するＬＤ（ＬＤ１〜ＬＤ４）に駆動電流を供給することによって、ＬＤ１〜ＬＤ４を発光させる。レーザチップ２０３のＬＤ１〜ＬＤ４から出力された複数の光ビームは、ポリゴンミラー２０１に入射する。ポリゴンミラー２０１は、複数の鏡面を備え、光量制御部２０７による制御に基づいて動作するポリゴンモータ２０２によって回転駆動され、図３に示す矢印方向に等角速度で回転している。ポリゴンミラー２０１は、矢印方向への回転に伴って、入射した各光ビームが連続的な角度で偏向されるように、各光ビームを反射する。
【００２０】
ポリゴンミラー２０１によって偏向された光ビームは、ｆ−θレンズ２０４に入射する。ｆ−θレンズ２０４は、入射した複数の光ビームに対して、集光作用を与える。さらに、ｆ−θレンズ２０４は、ｆ−θレンズ２０４を通過して折り返しミラー２０６に反射された複数の光ビームが、感光ドラム１０２の表面を走査する際の時間的な直線性を保証するような歪曲収差の補正を行う。これにより、当該複数の光ビームは、感光ドラム１０２の表面で結合して、当該表面を矢印方向に等速で走査する。
【００２１】
ここで、ＢＤ（Beam Detect）センサ２０５（受光部）は、ポリゴンミラー２０１からの反射光を検出するためのセンサである。ＢＤセンサ２０５は、ポリゴンミラー２０１の各鏡面によって反射される光ビームのうち、走査開始側における光ビームを検知する位置に配置されている。ＢＤセンサ２０５は、光ビームを検出すると、光ビームを検出したことを示す信号（ＢＤ信号）を、光量制御部２０７に出力する。光量制御部２０７は、入力されたＢＤ信号を、ポリゴンミラー２０１の回転と、レーザチップ２０３における画像信号を用いた画像の書き込み開始タイミングとの同期処理のための同期信号として用いる。
【００２２】
このような光走査装置１０１において、ＬＤ１〜ＬＤ４のそれぞれについてＡＰＣを行う際には、各ＬＤに供給する駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準となるデータが必要となる。このデータは、上述のように、ＬＤに供給する駆動電流が過電流となって当該ＬＤが壊れることを防止するために、駆動電流を適切な範囲（許容される範囲）で制御するための基準となるデータに相当する。この基準データは、駆動電流の制限値として、例えば、光量の制御範囲の最大値（１００％の光量）に対応する駆動電流として、予め用意される。
【００２３】
このような基準データは、工場出荷時に、光走査装置１０１に組み込むＬＤ１〜ＬＤ４のそれぞれについて、測定工具（光量調整工具）を用いて事前に測定することによって、得ることができる。しかし、マルチビーム方式の光走査装置１０１では、複数のＬＤのそれぞれについてかかる測定を行うと、上述のように、工場出荷時の装置の組立工程における工数が増大し、かつ、全体の測定時間が増大し、その結果、生産性が低下するおそれがある。
【００２４】
そこで、本実施形態では、光走査装置１０１に組み込まれるＬＤ１〜ＬＤ４の基準データを、ＬＤ１〜ＬＤ４の全てについて事前の測定を行うことなく取得する。即ち、代表ＬＤとするＬＤ１（第１のレーザ光源）については、これまでと同様、事前の測定によって基準データを取得しておく。その一方で、それ以外のＬＤ２〜ＬＤ４（第２のレーザ光源）については、事前の測定を必要とすることなく、基準データを取得する。即ち、ＬＤ２〜ＬＤ４については、ＬＤ１について測定により求めた基準データに基づいてＬＤ１を発光させた際のＬＤ１の光量に、ＬＤ２〜ＬＤ４の光量を合わせた場合の駆動電流を、基準データとして取得する。
【００２５】
より具体的には、ＬＤ１の基準データに相当する駆動電流でＬＤ１を発光させた際の光量を検出して光量検出値を得るとともに、ＬＤ２〜ＬＤ４の光量を、ＬＤ１の光量検出値と等しくなるように、ＬＤ２〜ＬＤ４に供給する駆動電流を調整する。当該調整により、ＬＤ１に光量検出値と、ＬＤ２〜ＬＤ４のそれぞれの光量検出値とが等しくなった際に、ＬＤ２〜ＬＤ４にそれぞれ供給されている駆動電流を、それらの基準データとして取得する。以下では、光走査装置１０１において実行される具体的な処理について、より詳細に説明する。
【００２６】
なお、以下では、各ＬＤの光量を検出するためのセンサ（受光部）として、ＢＤセンサ２０５を用いる場合について説明している。しかし、各ＬＤの光量を検出するセンサとして、図８に示すように、感光ドラム１０２の表面の近傍に設けられたＰＤセンサ８０１が用いられてもよい。ＰＤセンサ８０１は、折り返しミラー２０６による反射後の、各ＬＤからの光ビームについて、感光ドラム１０２の表面における実際の光量に近い光量を検出することができる。あるいは、レーザチップ２０３内に設けられたＰＤが、各ＬＤの光量を検出するセンサ（受光部）として用いられてもよい。このような何れの場合にも、以下で説明する処理と同等の効果を得ることが可能である。
【００２７】
＜基準データの取得処理に関するブロック構成＞
次に、図４のブロック図を参照して、工場出荷時に、代表ＬＤであるＬＤ１（第１のレーザ光源）についての事前の測定により得られた基準データに基づいて、ＬＤ２〜ＬＤ４（第２のレーザ光源）に対応する基準データを取得する処理について説明する。なお、同図では、ＬＤ１〜ＬＤ４のそれぞれを用いて実行すべき処理を、１つの図面で共通に示している。
【００２８】
図４に示すように、光量制御部２０７は、ＣＰＵ４０１、ＡＰＣ回路４０２、及びＡ／Ｄ変換回路４０３を備えている。ＡＰＣ回路４０２は、レーザチップ２０３内のＬＤ１〜ＬＤ４のそれぞれについて、ＣＰＵ４０１からの指示に応じて光量の制御を行うための回路であり、電流源から各ＬＤに供給すべき駆動電流を制御することによって、各ＬＤの光量を制御する。即ち、ＡＰＣ回路４０２は、ＬＤ１〜ＬＤ４についてのＡＰＣを実行するための回路である。ＡＰＣ回路４０２は、さらに、工場出荷時には、代表ＬＤに対応する基準データから、ＬＤ２〜ＬＤ４に対応する基準データを取得するために、ＣＰＵ４０１からの指示に応じて、ＬＤ１〜ＬＤ４の光量の制御を行う。
【００２９】
メモリ２０８には、代表ＬＤ（ＬＤ１）に供給すべき駆動電流をＡＰＣにより制御する際に基準として用いる基準データが、予め格納されている。メモリ２０８に格納されている代表ＬＤに対応する当該基準データは、当該代表ＬＤに対して供給可能な駆動電流の上限値から、所定の量だけ低減した値に相当するデータである。この駆動電流の上限値から所定の量だけ低減した値は、工場出荷時に、代表ＬＤ１を用いて、測定工具（光量調整工具）により事前に測定される。このように、駆動電流の上限値そのものをＬＤ１の駆動電流の制御範囲の最大値（制限値）とするのではなく、ある程度の余裕度を確保するために、当該上限値から、当該余裕度に相当する所定の量だけ低減させた値に相当するデータを、基準データとすればよい。
【００３０】
光量制御部２０７は、代表ＬＤ（ＬＤ１）以外のＬＤ２〜ＬＤ４に対応する基準データを取得するために、ＬＤ２〜ＬＤ４に供給する駆動電流であって、ＬＤ１を対応する基準データに基づいて発光させた際の光量と等しい光量で発光させる駆動電流を決定する。さらに、光量制御部２０７は、ＬＤ２〜ＬＤ４のそれぞれについて決定した駆動電流を、ＡＰＣの際にＬＤ２〜ＬＤ４に供給すべき駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いられる基準データとして、メモリ２０８に格納する。
【００３１】
（代表ＬＤの光量検出値の取得）
次に、光量制御部２０７によって実行される処理について、図４を参照しながら、より具体的に説明する。まず、ＣＰＵ４０１は、メモリ２０８に予め格納された代表ＬＤの基準データに基づいて、当該基準データに相当する駆動電流によって当該代表ＬＤを発光させて、当該代表ＬＤの光量を、光量検出値として取得する。
【００３２】
ＣＰＵ４０１は、メモリ２０８を参照して、メモリ２０８に予め格納されている代表ＬＤに対応する基準データを読み出す。その後、ＣＰＵ４０１は、読み出した基準データに相当する駆動電流に応じた光量で代表ＬＤを発光させるため、当該基準データに対応する駆動電流を当該代表ＬＤに供給するように、ＡＰＣ回路４０２に命令する。ＡＰＣ回路４０２は、ＣＰＵ４０１からの命令に応じて、指定された大きさの駆動電流を電流源から代表ＬＤ（ＬＤ１）に供給する制御を実行する。
【００３３】
ＡＰＣ回路４０２から供給される駆動電流によって、レーザチップ２０３内のＬＤ１〜ＬＤ４のうち、代表ＬＤ（ＬＤ１）が発光する。代表ＬＤの発光により出力された光ビームは、ＢＤセンサ２０５（受光部）に入射する。ＢＤセンサ２０５は、受光した光ビームの光量に比例した電圧を、Ａ／Ｄ変換回路４０３に出力する。Ａ／Ｄ変換回路４０３は、入力されたアナログ値の電圧をデジタル値に変換して、ＣＰＵ４０１に出力する。これにより、ＣＰＵ４０１は、メモリ２０８に予め格納された基準データに相当する駆動電流によって代表ＬＤが発光した光ビームの光量を、対応する電圧値として検出できる。ＣＰＵ４０１は、検出した電圧値を、代表ＬＤの光量検出値としてメモリ２０８に格納する。
【００３４】
（ＬＤ２〜ＬＤ４の基準データの取得）
次に、ＣＰＵ４０１は、取得した代表ＬＤ（ＬＤ１）の光量検出値に基づいて、代表ＬＤ以外のＬＤ２〜ＬＤ４に対応する基準データを取得する。ＣＰＵ４０１は、ＬＤ２〜ＬＤ４のそれぞれについて、ＡＰＣ回路４０２から当該ＬＤに供給する駆動電流を調整することによって、代表ＬＤの光量検出値に基づいて、当該ＬＤに対応する基準データとなる駆動電流を特定する。ここでは、ＬＤ２について説明するが、ＬＤ３及びＬＤ４についても、ＬＤ２について行う処理と同様の処理を行えばよい。
【００３５】
まず、ＣＰＵ４０１は、ＡＰＣ回路４０２に対して、駆動電流値として任意の初期値（例えば低い駆動電流値）を指定して、ＬＤ２に対する駆動電流の供給を開始するように命令する。ＡＰＣ回路４０２は、ＣＰＵ４０１から指定された大きさの駆動電流を、電流源からＬＤ２に供給する制御を実行する。ＡＰＣ回路４０２から供給される駆動電流によって、レーザチップ２０３内のＬＤ２が、当該駆動電流の電流値に応じた光量で発光する。
【００３６】
ＬＤ２の発光により出力された光ビームは、ＢＤセンサ２０５（受光部）に入射する。ＢＤセンサ２０５は、上述と同様、受光した光ビームの光量に比例した電圧を、Ａ／Ｄ変換回路４０３に出力する。Ａ／Ｄ変換回路４０３は、入力されたアナログ値の電圧をデジタル値に変換して、ＣＰＵ４０１に出力する。これにより、ＣＰＵ４０１は、ＬＤ２が出力した光ビームの光量を、対応する電圧値として検出できる。
【００３７】
さらに、ＣＰＵ４０１は、検出したＬＤ２の光量検出値（電圧値）と、メモリ２０８に既に格納されている代表ＬＤの光量検出値（電圧値）とを比較して、これらが等しいか否かを判断する。ＣＰＵ４０１は、当該比較の結果、双方の光量が等しくない場合には、ＬＤ２の光量が代表ＬＤの光量と等しくなるように、ＡＰＣ回路４０２からＬＤ２に供給する駆動電流を調整するように、ＡＰＣ回路４０２に命令する。例えば、ＣＰＵ４０１は、代表ＬＤの光量検出値よりも、ＬＤ２の光量検出値の方が少ない場合、ＬＤ２の光量を増大させるために、駆動電流を増加させるようにＡＰＣ回路４０２に命令すればよい。
【００３８】
ＣＰＵ４０１は、ＬＤ２の駆動電流の調整と光量検出値の比較とを、ＬＤ２の光量検出値が代表ＬＤの光量検出値と等しくなるまで繰り返す。最終的に、ＣＰＵ４０１は、双方の光量が等しくなった際に、ＡＰＣ回路４０２からＬＤ２に供給している駆動電流を、ＬＤ２の基準データに対応する、駆動電流の決定値として特定する。ＣＰＵ４０１は、特定した駆動電流値を、ＬＤ２の基準データとしてメモリ２０８に格納する。その後、ＣＰＵ４０１は、ＬＤ２について行った上述の処理を、ＬＤ３及びＬＤ４についても実行することによって、ＬＤ３及びＬＤ４の基準データも取得して、同様にメモリ２０８に格納する。
【００３９】
＜基準データの取得処理に関するフローチャート＞
次に、上述の図４を用いて説明した、工場出荷時に行われる、ＬＤ２〜ＬＤ４（第２のレーザ光源）に対応する基準データの取得処理の流れについて、図５及び図６のフローチャートを参照しながら説明する。図５及び図６に示す各ステップの処理は、ＣＰＵ４０１がメモリ２０８等に予め格納された制御プログラムをＲＡＭ（図示せず）に読み出して実行することによって実現される。なお、上述のように、代表ＬＤ（ＬＤ１）についての事前の測定により取得された、代表ＬＤに対応する基準データが、メモリ２０８に予め格納されているものとする。
【００４０】
まず、Ｓ５０１で、ＣＰＵ４０１は、代表ＬＤの光量検出値が既にメモリ２０８に格納されているか否かを判定する。ここで、ＣＰＵ４０１は、当該光量検出値が、メモリ２０８に格納されていると判定した場合、Ｓ５０４へ処理を進める一方で、格納されていないと判定した場合、Ｓ５０２へ処理を進める。
【００４１】
Ｓ５０２で、ＣＰＵ４０１は、予めメモリ２０８に格納されている代表ＬＤの基準データを参照して、当該基準データに相当する駆動電流を代表ＬＤに供給することで、当該基準データに対応する光量で当該代表ＬＤを発光させる。その後、Ｓ５０３で、ＣＰＵ４０１は、発光させた代表ＬＤの光ビームがＢＤセンサ２０５（受光部）で受光されることによって当該受光部から出力される、光量検出値を取得する。その際、ＣＰＵ４０１は、取得した光量検出値をメモリ２０８に格納しておく。その後、ＣＰＵ４０１は、処理をＳ５０４へ進める。
【００４２】
Ｓ５０４で、ＣＰＵ４０１は、代表ＬＤ以外のＬＤ２〜ＬＤ４に対応する基準データを取得して、メモリ２０８に格納するための処理を実行する。具体的には、以下で説明する、図６に示すフローチャートに従った処理を実行する。
【００４３】
Ｓ６０１で、ＣＰＵ４０１は、代表ＬＤ以外の全ＬＤ（ＬＤ２〜ＬＤ４）についての基準データが、メモリ２０８に既に格納されているか否かを判定する。ここで、ＣＰＵ４０１は、全ＬＤの基準データが、メモリ２０８に格納されていると判定した場合、処理を終了する一方で、格納されていないと判定した場合、処理をＳ６０２へ進める。Ｓ６０２で、ＣＰＵ４０１は、基準データを未取得のＬＤ（ＬＤ２〜ＬＤ４の何れか）を発光させる。ここでは、ＣＰＵ４０１は、例えば、ＬＤ２〜ＬＤ４の順に、未だ基準データを未取得のＬＤに対して、所定の初期値に対応する駆動電流を供給することによって発光させればよい。所定の初期値とは、設計時に把握されるＬＤを故障させない程度の駆動電流値である。
【００４４】
次に、Ｓ６０３で、ＣＰＵ４０１は、発光させたＬＤの光ビームがＢＤセンサ２０５（受光部）で受光されることによって当該受光部から出力される、光量検出値を取得する。さらに、Ｓ６０４で、ＣＰＵ４０１は、（Ｓ６０３で取得した）発光させたＬＤの光量検出値が、（Ｓ５０３で取得してメモリ２０８に格納されている）代表ＬＤの光量検出値と等しいか否かを判定する。ここで、ＣＰＵ４０１は、これらの光量検出値が等しくないと判定した場合、Ｓ６０５へ処理を進める。
【００４５】
Ｓ６０５で、ＣＰＵ４０１は、発光させているＬＤに供給する駆動電流を、異なる電流値の駆動電流に調整することによって、当該ＬＤの光量を調整する。その後、ＣＰＵ４０１は、Ｓ６０３及びＳ６０４の処理を再び実行する。Ｓ６０４で、発光させたＬＤの光量検出値が代表ＬＤの光量検出値と等しいと判定した場合、Ｓ６０６へ処理を進める。このように、Ｓ６０３〜Ｓ６０５の処理は、発光させたＬＤの光量と代表ＬＤの（基準データに基づく）光量とが等しくなるまで繰り返される。
【００４６】
Ｓ６０６で、ＣＰＵ４０１は、発光させたＬＤへその時点で供給している駆動電流の電流値を、当該ＬＤについての基準データとしてメモリ２０８に格納する。さらに、Ｓ６０７で、ＣＰＵ４０１は、基準データの取得が完了したＬＤを消灯させて、処理をＳ６０１へ戻す。Ｓ６０１で、ＣＰＵ４０１は、再び、代表ＬＤ以外の全ＬＤについての基準データが、メモリ２０８に格納されているかを判定することによって、基準データが未取得のＬＤについての基準データの取得処理を行う。さらに、ＣＰＵ４０１は、全てのＬＤの基準データの取得が完了すると（Ｓ６０１で「ＹＥＳ」）、一連の処理を終了する。
【００４７】
ここで、図７を参照して、図５及び図６に示したフローチャートに従った基準データの取得処理における、メモリ２０８のデータの変化について説明する。当該処理の開始時には、工場出荷時に光量調整工具を用いて代表ＬＤについて測定して得られた基準データが、７０１に示すように、メモリ２０８に既に格納された状態となっている。次に、Ｓ５０３で、代表ＬＤの光量検出値が取得されると、７０２に示すように、メモリ２０８に追加的に格納される。さらに、代表ＬＤ以外のＬＤ２〜ＬＤ４についての基準データが取得されると、Ｓ６０６で、順にメモリ２０８に格納される。最終的に、７０３に示すように、メモリ２０８には、代表ＬＤ（ＬＤ１）の基準データに加えて、当該基準データに基づいて取得されたＬＤ２〜ＬＤ４の基準データが、メモリ２０８に格納された状態となる。
【００４８】
＜ＡＰＣにおける基準データの使用＞
光走査装置１０１において、代表ＬＤ（第１のレーザ光源に相当するＬＤ１）について予め取得した基準データと、代表ＬＤ以外のＬＤ（第２のレーザ光源に相当するＬＤ２〜ＬＤ４）についてそれぞれ取得した基準データは、ＡＰＣを実行する際に使用される。これらＬＤ１〜ＬＤ４のそれぞれに対応する基準データは、各ＬＤにＡＰＣ回路４０２が駆動電流を供給する際の、駆動電流の制限値を示すデータとして使用される。具体的には、ＣＰＵ４０１は、ＡＰＣ回路４０２を用いた各ＬＤのＡＰＣを実行する際に、メモリ２０８に格納された各ＬＤに対応する基準データが示す制限値を越えないように、各ＬＤに供給する駆動電流を制御することで、各ＬＤの光量を、所定の目標光量に制御すればよい。また、ＣＰＵ４０１は、各ＬＤに供給する駆動電流を所定の目標光量に制御する際に、基準データが示す制限値を最大値（１００％の光量）とした場合の相対的な比率（０〜１００％）によって、ＡＰＣ回路４０２に対して駆動電流を指定してもよい。
【００４９】
以上説明したように、本実施形態では、複数のＬＤを備える露光装置において、第１のレーザ光源（ＬＤ１）のＡＰＣを行う際に、ＬＤ１に供給すべき駆動電流を許容される範囲内に制限するための基準として用いられる基準データを予めメモリ２０８に格納しておく。一方で、ＬＤ１以外の第２のレーザ光源（ＬＤ２〜ＬＤ４）の基準データについては、メモリ２０８に格納されたＬＤ１の基準データに基づいて取得する。露光装置は、ＬＤ２〜ＬＤ４のそれぞれに供給する駆動電流として、ＬＤ２〜ＬＤ４の光量が、メモリ２０８に格納されているＬＤ１の基準データに基づいてＬＤ１を発光させた際のＬＤ１の光量と等しくなる駆動電流を、それぞれ決定する。さらに、ＬＤ２〜ＬＤ４のそれぞれについて、決定した駆動電流を基準データとしてメモリ２０８に格納する。
【００５０】
これにより、マルチビーム方式の露光装置において、第１のレーザ光源の基準データについては、事前の測定により取得する一方で、それ以外のレーザ光源については、事前の測定を必要とすることなく、基準データを簡易に取得することが可能になる。その結果、工場出荷時に、装置の組立工程における工数がマルチビーム化に伴って増大することを防ぐことが可能になる。
【００５１】
なお、本実施形態によれば、第１のレーザ光源の基準データについては、工場出荷時に事前の測定により取得することが必要であるが、それ以外のレーザ光源の基準データについては、基準データを取得するタイミングは工場出荷時には限られない。即ち、工場出荷時に、第１のレーザ光源の基準データをメモリ２０８に格納しておけば、図５及び図６に示した処理を、装置の出荷後の何れかのタイミングにおいて実行することが可能であり、その結果、第１のレーザ光源以外の基準データを取得できよう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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