(57)【要約】      （修正有）【課題】ガラス板を浮上させて搬送する装置とガラス板との接触を、ガラス板の全面に亘って効果的に検出する。【解決手段】ガラス板の下面に気体を吹き付けてガラス板を浮上させる装置を用いてガラス板を搬送する工程において、ガラス板と装置との接触により発生する弾性波を検出することで、接触を判定する。また、ガラス板の損傷検出方法は：ガラス板に損傷が発生したときに発生する弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔から選択される１以上の情報に閾値を設定する工程と；弾性波を検出して情報を抽出し、閾値と比較して損傷を判定する工程と；を有する。【選択図】図３
2013207106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の下面に気体を吹き付けて前記ガラス板を浮上させる装置を用いて前記ガラス板を搬送する工程を有し、
前記ガラス板を搬送する工程において、前記ガラス板と前記装置との接触により発生する弾性波を検出して前記接触を判定すること
を特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
前記ガラス板を搬送する工程の前に、弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔から選択される少なくとも１つの情報に閾値を設定する工程と、
前記ガラス板を搬送する工程において検出した前記弾性波の前記情報を抽出して前記閾値と比較することで、前記ガラス板の損傷を判定する工程と、を有する、
請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
前記閾値を設定する工程は、前記情報を抽出する工程と、前記情報と前記ガラス板の損傷の種類とを関連付ける工程と、前記損傷の種類ごとに前記閾値を設定する工程と、を有し、
前記損傷を検出する工程は、抽出した前記情報と前記閾値とを比較することで、前記損傷の種類を特定する工程を有する、
請求項２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
前記ガラス板を搬送する工程の後、前記判定の結果に基づいて、前記ガラス板を選別する工程を有する、
請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
前記ガラス板を搬送する工程において、前記弾性波を複数の異なる位置で検出して、前記ガラス板の前記接触が発生した位置を特定する、
請求項１から４のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
ガラス板の下面に気体を吹き付けて前記ガラス板を浮上させる装置を用いて前記ガラス板を搬送する際に、前記ガラス板と前記装置との接触により発生する弾性波を検出して前記接触を判定すること
を特徴とするガラス板の搬送方法。
【請求項７】
ガラス板に損傷が発生したときに発生する弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔から選択される１以上の情報に、損傷の種類に応じて閾値を設定する工程と、
前記弾性波を検出して前記情報を抽出し、前記閾値と比較して前記損傷を判定する工程と、を有する
ガラス板の損傷検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造方法、搬送方法、および損傷検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用ディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられるガラス基板は、半導体プロセスにより、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子等の半導体素子を形成するため、表面に傷がないことが求められている。また、ガラス基板の端面や表裏面の微小な傷やクラックは、ガラス基板の機械的な強度を低下させ、ＦＰＤの製造工程において割れなどの問題を発生させる原因となる。
【０００３】
ガラス基板の製造工程では、薄板状で帯状のガラスシートが所定の長さの素板ガラスに切断された後、所定のサイズにダイヤモンドカッターあるいはレーザ光により切り込み線（スクライブ線）が入れられ、切り込み線に沿って折り曲げられることにより切断され、製品サイズのガラス基板が得られる。なお、ガラスシート、素板ガラスまたはガラス基板は、レーザ光による熱応力により切断される場合もある。製品サイズのガラス基板は、端面の研削および研磨等の加工が施される。その後、ガラス基板は洗浄工程、検査工程を経て、梱包され、出荷される。以下では、素板ガラスおよび製品サイズのガラス基板を総称してガラス板という。
【０００４】
例えば上記の検査工程において、ガラス板の搬送には、ガラス板の裏面に気体を吹き付けてガラス板をほぼ水平に支持して搬送する装置が用いられている。このような搬送装置によってガラス板を浮上させて搬送する際に、ガラス板のたわみや装置の平坦度の異常などより、ガラス板の一部と搬送装置の一部とが接触することがある。ガラス板と搬送装置とが接触すると、ガラス板に微小な傷や割れなどの損傷が発生し、ガラス板の機械的な強度を低下させるおそれがある。
【０００５】
このような搬送装置とワークとの接触を防止する技術として、特開２０１１−８４３５２号公報には、ワークに部分的な反りや撓みが発生したときに、これを検知して補正できるワーク浮上装置が開示されている。
また、ガラス基板の破壊を検出する方法として、ＡＥセンサを用いる方法が知られている。特開２００３−２４７９８６号公報には、ガラス基板の割れによる音波信号をそれに類似したノイズと高精度に区別して検出する破損検出方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−８４３５２号公報
【特許文献２】特開２００３−２４７９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１に記載された技術では、センサによってワークの浮上距離を計測するとしている。しかし、ガラス板と搬送装置との距離は、例えば数十μｍと非常に小さく、ガラス板が大型化および薄型化していることから、ガラス板全面の接触を監視することは困難である。
【０００８】
また、上記特許文献２に記載された技術は、薬液処理工程や洗浄処理工程などで発生するガラス基板の割れの検出を可能としている。しかし、ガラス基板を浮上させて搬送する装置とガラス基板との接触を効果的に検出することについては記載されていない。
【０００９】
そこで、本発明は、ガラス板を浮上させて搬送する装置とガラス板との接触を、ガラス板の全面に亘って効果的に検出することができるガラス板の製造方法、搬送方法および損傷検出方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様であるガラス板の製造方法は、ガラス板の下面に気体を吹き付けて前記ガラス板を浮上させる装置を用いて前記ガラス板を搬送する工程を有し、前記ガラス板を搬送する工程において、前記ガラス板と前記装置との接触により発生する弾性波を検出して前記接触を判定する。
また、本発明の別の態様であるガラス板の搬送方法は、ガラス板の下面に気体を吹き付けて前記ガラス板を浮上させる装置を用いて前記ガラス板を搬送する際に、前記ガラス板と前記装置との接触により発生する弾性波を検出して前記接触を判定する。
また、本発明の別の態様であるガラス板の損傷検出方法は：ガラス板に損傷が発生したときに発生する弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔から選択される１以上の情報に閾値を設定する工程と；前記弾性波を検出して前記情報を抽出し、前記閾値と比較して前記損傷を判定する工程と；を有する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ガラス板を浮上させて搬送する装置とガラス板との接触を、ガラス板の全面に亘って効果的に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態のガラス基板の製造工程の一例を示す図である。
【図２】浮上搬送装置の一例を示す斜視図である。
【図３】浮上搬送装置の信号の流れの一例を示す図である。
【図４】リニアガイドの構成の一例を示す図である。
【図５】リニアガイドの構成の変形例を示す図である。
【図６】リニアガイドの構成の別の変形例を示す図である。
【図７】リニアガイドの構成の別の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明のガラス板の製造方法について本実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態で製造されるガラス板は、液晶表示装置用ディスプレイに用いるガラス基板であり、例えば厚さが０．５〜０．７ｍｍであり、２２００ｍｍ×２５００ｍｍ（縦×横）のサイズの薄板である。
【００１４】
なお、本実施形態で製造されるガラス板は、上記に限定されず、携帯電話機などの電子機器の表示画面に用いられるカバーガラスや、プラズマ・ディスプレイ・パネル、有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）などのフラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display:ＦＰＤ）に用いられる板状ガラスであってもよい。
【００１５】
本実施形態で製造されるガラス板は、特に限定されないが、例えば、以下の組成比率のガラス板に適用され得る。例えば、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫのいずれの成分も含有されていないか、あるいは、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫのいずれか少なくとも１つの成分が含有されているとしても、Ｌｉ、Ｎａ、及びＫの内含有する成分の合計量が、０．５質量％以下であるガラス組成を有することが好ましい。ガラス組成は、以下に示すものが好適に例示される。
（ａ）ＳｉＯ２:５０〜７０質量％、
（ｂ）Ｂ２Ｏ３:５〜１８質量％、
（ｃ）Ａｌ２Ｏ３:１０〜２５質量％、
（ｄ）ＭｇＯ:０〜１０質量％、
（ｅ）ＣａＯ:０〜２０質量％、
（ｆ）ＳｒＯ:０〜２０質量％、
（ｇ）ＢａＯ:０〜１０質量％、
（ｈ）ＲＯ:５〜２０質量％（ただしＲはＭｇ、Ｃａ、ＳｒおよびＢａから選ばれる少なくとも１種であり、ＲＯは、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯのうち含有する成分の合計）、
（ｉ）Ｒ’２Ｏ:０．０５質量％を超え０．５質量％以下（ただしＲ’はＬｉ、ＮａおよびＫから選ばれる少なくとも１種であり、Ｒ’２ＯはＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏのうち含有する成分の合計）、
（ｊ）酸化錫と、酸化鉄および酸化セリウムなどから選ばれる少なくとも１種の金属酸化物を合計で０．０５〜１．５質量％。
なお、上記（ｉ），（ｊ）の組成は必須ではないが、（ｉ），（ｊ）の組成を含むことが好ましい。上記のガラスには、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３およびＰｂＯを実質的に含まず、ＳｎＯ2が含まれている。
また、本実施形態のガラス板に用いるガラスは、（ｉ）のＲ’２Ｏの含有が実質的に０質量％である無アルカリガラスであっても構わない。すなわち、本実施形態のガラス板に用いるガラスは、（ｉ）の組成を含むアルカリ微量含有ガラスまたは無アルカリガラスである。
【００１６】
図１は、本実施形態のガラス板の製造方法の流れを示すフローチャートである。
図１に示すように、熔融されたガラスが、例えばダウンドロー法あるいはフロート法により、所定の厚さの帯状のガラスシートに成形される（ステップＳ１）。
【００１７】
次に、成形された帯状のガラスシートがスクライブおよび切断され、所定のサイズの素板ガラスが得られる。素板ガラスは、さらにスクライブおよび切断され、製品サイズのガラス基板が得られる（ステップＳ２）。得られたガラス基板には、端面の研削、研磨およびコーナカットを含む端面加工が行われる（ステップＳ３）。
【００１８】
上記スクライブでは、ダイヤモンドカッター等を用いて、ガラスに微小なスジ状の傷である切り込み線（スクライブ線）が形成される。素板ガラスおよびガラス基板を含むガラス板の切断は、スクライブ線に沿って機械あるいはマニュアルにより切断される。あるいは、レーザ光によるスクライブおよび熱衝撃によりガラス板を切断することもできる。
【００１９】
この後、ガラス基板の洗浄が行われる（ステップＳ４）。洗浄されたガラス板はキズ、塵、汚れあるいは光学欠陥を含む傷が無いか、光学的検査が行われる（ステップＳ５）。検査により品質の適合したガラス板は、ガラス板を保護する紙と交互に積層されてパレットに積載され、梱包される（ステップＳ６）。梱包されたガラス板は納入先業者に出荷される（ステップＳ７）。
【００２０】
例えば、検査（ステップＳ５）に用いられる光学自動検査機へのガラス板の搬入および搬出や、検査中のガラス板の搬送に、ガラス板の裏面に気体を吹き付けて水平状態に支持して搬送する浮上搬送装置が用いられる。
【００２１】
図２は浮上搬送装置の一例を示す斜視図である。図３は、浮上搬送装置における信号の流れを示す図である。図２に示すように、浮上搬送装置１００は、第１の浮上搬送部１０と、第２の浮上搬送部２０と、リニアガイド３０と、を備えている。図３に示すように、浮上搬送装置１００は、ＡＥセンサ４０と、アンプ５０と、バンドパスフィルタ６０と、処理部７０と、を備えている。本実施形態では、連続する２つの浮上搬送部１０，２０を備える例について説明するが、浮上搬送部は１つであっても、３つ以上であっても良い。
【００２２】
第１の浮上搬送部１０は、ガラス板Ｇの搬送方向の添って延びる複数の気体噴出部１１を備えている。第１の浮上搬送部１０は、複数の気体噴出部１１に形成された複数のオリフィスから気体を噴出および吸引することにより、ガラス板Ｇを安定して浮上させる。第１の浮上搬送部１０の気体噴出部１１は、例えば中実の金属材料により形成されている。
【００２３】
第２の浮上搬送部２０は、ガラス板Ｇの搬送方向を横切って延びる複数の気体噴出部２１を備えている。第２の浮上搬送部２０は、複数の気体噴出部２１の表面の無数の微小孔から気体を噴出および吸引することにより、ガラス板Ｇを安定して精密に浮上させる。第２の浮上搬送部２０の気体噴出部２１は、例えば多孔質材料のカーボンにより形成されている。
【００２４】
リニアガイド３０は、ガラス板Ｇの端面を保持する保持部３１と、保持部３１を第１の浮上搬送部１０および第２の浮上搬送部２０に沿って移動させる搬送部３２と、を備えている。リニアガイド３０は、保持部３１の搬送部３２に対する位置情報の信号を、処理部７０に出力するように設けられている。
【００２５】
保持部３１は、図４に示すように、ガラス板Ｇの一辺の予め定められた位置を保持する。保持部３１は、例えば、ガラス板Ｇを保持するための吸着機構を備えている。また、保持部３１には、ＡＥセンサ４０が設けられている。
搬送部３２は、保持部３１を、図４に矢印で示すガラス板Ｇの搬送方向に沿って移動させるリニア駆動機構を備えている。
【００２６】
ＡＥセンサ４０は、ガラス板Ｇと、第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０との接触によって発生する弾性波（Acoustic Emission）を検出して、弾性波に対応する電気信号をアンプ５０に出力する。保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０は、ガラス板Ｇを伝播した弾性波を検出する。
【００２７】
ＡＥセンサ４０は、第１の浮上搬送部１０の気体噴出部１１の各々、または第２の浮上搬送部２０の気体噴出部２１の各々に設けても良い。この場合、ＡＥセンサ４０は、気体噴出部１１，２１を伝播した弾性波を検出する。気体噴出部１１，２１の各々に１つずつＡＥセンサ４０を設ける場合は、気体噴出部１１，２１のいずれか一方の端部に設けることが好ましい。またＡＥセンサ４０は、各々の気体噴出部１１，２１に２つ以上設けてもよい。この場合、少なくとも各々の気体噴出部１１，２１の両端に設けることがより好ましい。なお、弾性波の減衰を防止する観点から、ＡＥセンサ４０は多孔質材料の気体噴出部２１よりも中実材料の気体噴出部１１に設けることが好ましい。
【００２８】
アンプ５０は、ＡＥセンサ４０から入力された信号を増幅してバンドパスフィルタ６０へ出力するように設けられている。
バンドパスフィルタ６０は、ガラス板Ｇと気体噴出部１１または２１との接触により発生する弾性波に対応する周波数帯の信号を通過させるように構成されている。
【００２９】
処理部７０は、バンドパスフィルタ６０を通過した弾性波に対応する信号が入力されると、ガラス板Ｇと第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０とが接触したと判定する。このとき、処理部７０において、接触を判定したガラス板Ｇの個体識別情報に、浮上搬送部１０または２０と接触したことを記録するようにしてもよい。処理部７０としては、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を用いることができる。
【００３０】
処理部７０は、バンドパスフィルタ６０から入力された弾性波に対応する信号を処理して、ガラス板Ｇと、第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０との接触の状態を判別するようにしてもよい。また、処理部７０は、上記リニアガイド３０から入力された信号を処理して、ガラス板Ｇの搬送方向における位置を特定するようにしてもよい。
【００３１】
処理部７０には、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触によってガラス板Ｇに発生する損傷の種類と、そのときに発生する弾性波との関係を、予め保存しておいてもよい。すなわち、どのような種類の損傷が発生したときに、どのような弾性波が発生するかを予め特定しておくことが好ましい。
【００３２】
例えば、ガラス板Ｇと、第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０との接触によって、ガラス板Ｇに基準を超えるキズが発生したときの弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報を収集し、それぞれの情報に閾値を設定する。
同様に、ガラス板Ｇと、第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０との接触によって、ガラス板Ｇに基準を超えるクラックが発生したときの弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報を収集し、それぞれの情報に閾値を設定する。
【００３３】
また、ガラス板Ｇと、第１または第２浮上搬送装置との接触によって、ガラス板Ｇに基準を超える損傷が見られなかった場合の弾性波の波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報を収集し、それぞれの情報に閾値を設定する。
上記のように設定した閾値は、ガラス板Ｇに発生する損傷の種類と関連付けて、予め処理部７０に保存しておく。
【００３４】
なお、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触の検出、接触によりガラス板Ｇに発生した損傷の検出、またはガラス板Ｇに発生した損傷の種類の特定などの目的に応じて、閾値を設定する弾性波の情報を選択することができる。すなわち、閾値は、弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報のうち、２以上の情報に設定しても良く、いずれか１つの情報に設定しても良い。
【００３５】
図５から図７は、リニアガイド３０の変形例を示す平面図である。
図５に示すように、リニアガイド３０は、例えばガラス板Ｇの両側に設けられ、ガラス板Ｇを複数の保持部３１で保持しても良い。
【００３６】
また、図６に示すように、リニアガイド３０は、ガラス板Ｇの複数の端縁を保持する保持部３１ａを有していても良い。この場合、保持部３１ａには、ガラス板Ｇの各辺に対応する複数のＡＥセンサ４０を設けても良い。図６に示すようなＬ型の保持部３１ａを用いる場合には、例えば前工程からガラス板Ｇ受け入れ、または後工程にガラス板Ｇを送り出すために、保持部３１ａを鉛直方向に移動させてガラス板Ｇから退避させる退避機構を備えていることが好ましい。
また、図７に示すようにリニアガイド３０をガラス板Ｇの両側に設け、ガラス板Ｇの前後左右を保持部３１ａにより保持しても良い。この場合、ガラス板Ｇの前後左右にＡＥセンサ４０を設けても良い。
【００３７】
次に、本実施形態において、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触を検出する流れについて説明する。
例えば、図１に示す洗浄（ステップＳ４）を終えたガラス板Ｇは、図２に示す浮上搬送装置１００によって、検査（ステップＳ５）を行う自動検査機に搬入される。
図２に示すように、浮上搬送装置１００は、第１の浮上搬送部１０の気体噴出部１１のオリフィスからガラス板Ｇの下面に気体を噴出する。これにより、浮上搬送装置１００は、ガラス板Ｇを気体噴出部１１から数十μｍ程度上方に浮上させて水平状態に支持する。気体噴出部１１は複数のオリフィスからの気体の噴出と同時に、他の複数のオリフィスによって気体の吸引を行って、ガラス板Ｇの搬送時の挙動を安定させる場合もある。
【００３８】
浮上搬送装置１００は、ガラス板Ｇの予め定められた位置をリニアガイド３０の保持部３１により保持する。リニアガイド３０は、ガラス板Ｇを保持した保持部３１を搬送部３２によって移動させて、ガラス板Ｇを搬送方向に搬送すると共に、保持部３１の搬送部３２に対する位置の情報を処理部７０に出力する。ガラス板Ｇは、リニアガイド３０の保持部３１の移動によって搬送され、第１の浮上搬送部１０から第２の浮上搬送部２０へと受け渡される。
【００３９】
浮上搬送装置１００は、第２の浮上搬送部２０の気体噴出部２１の無数の気孔からガラス板Ｇの下面に気体を噴出する。これにより、浮上搬送装置１００は、ガラス板Ｇを気体噴出部２１から数十μｍ程度上方に浮上させて水平状態に支持する。浮上搬送装置１００は、複数の気体噴出部２１による気体の噴出と同時に、他の複数の気体噴出部２１による気体の吸引を行って、ガラス板Ｇの搬送時の挙動を安定させる場合もある。本実施形態において、第２の浮上搬送部２０は、第１の浮上搬送部１０と比較して、より精密な搬送が可能になっている。ガラス板Ｇは、例えばこの第２の浮上搬送部によって搬送されながら、自動検査器によって検査される。なお、第１の浮上搬送部１０によって、精密な搬送を行うことも可能である。
【００４０】
浮上搬送装置１００は、第１の浮上搬送部１０または第２の浮上搬送部２０とガラス板Ｇとの接触により発生した弾性波を、ＡＥセンサ４０によって検出する。
具体的には、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触により発生した弾性波は、ガラス板Ｇを伝播して、リニアガイド３０の保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０に到達する。また、ＡＥセンサ４０が浮上搬送部１０，２０に設けられている場合には、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触により発生した弾性波は、気体噴出部１１または気体噴出部２１を伝播してＡＥセンサ４０に到達する。
【００４１】
ＡＥセンサ４０は、上記のように伝播した弾性波を電気信号に変換してアンプ５０へ出力する。アンプ５０は、入力された電気信号を増幅して、バンドバスフィルタ６０へ出力する。バンドパスフィルタ６０は、アンプ５０から入力された電気信号のうち、弾性波に対応する周波数帯の電気信号を通過させる。処理部７０は、弾性波に対応する電気信号が入力されると、ガラス板Ｇと浮上搬送装置１００とが接触したと判定する。
【００４２】
上記の弾性波は、ガラス板Ｇの大きさや、接触した場所によらず、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触によって発生する。したがって、本実施形態によれば、浮上搬送部１０，２０とガラス板Ｇとの接触を、ガラス板Ｇの全面に亘って効果的に検出することができる。
【００４３】
また、処理部７０が、接触を判定したガラス板Ｇの個体識別情報に、浮上搬送部１０，２０と接触したことを記録していれば、後の工程でその情報に基づいて浮上搬送部１０，２０と接触したガラス板Ｇを特定することができる。すなわち、本実施形態によれば、処理部７０の判定の結果に基づいてガラス板Ｇを選別し、問題があるガラス板Ｇを製造ラインから選択的に除外することができる。
【００４４】
また、ガラス板Ｇの搬送速度は、弾性波の伝播速度と比較して無視できる程度に遅い。そのため、処理部７０に弾性波に対応する電気信号が入力されたときに、リニアガイド３０から入力された保持部３１の位置情報により、ガラス板Ｇが気体噴出部１１と接触したときの位置がほぼ特定される。これにより、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触が発生するガラス板Ｇの位置を特定することができる。
【００４５】
ＡＥセンサ４０が、リニアガイド３０の保持部３１だけでなく、第１の浮上搬送部１０の各々の気体噴出部１１または第２の浮上搬送部２０の各々の気体噴出部２１に１つずつ設けられている場合には、処理部７０はガラス板Ｇの浮上搬送部１０，２０と接触した領域を特定することができる。
【００４６】
例えば、ガラス板Ｇが第１の浮上搬送部１０の気体噴出部１１の１つと接触した場合、弾性波が発生して、ガラス板Ｇと気体噴出部１１のそれぞれを伝播する。弾性波は保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０と、気体噴出部１１に設けられたＡＥセンサ４０に到達し、処理部７０に弾性波に対応する電気信号が入力される。
【００４７】
このとき、処理部７０において、信号を出力したセンサ４０を特定することで、ガラス板Ｇが接触した気体噴出部１１が特定される。
また、処理部７０に弾性波に対応する電気信号が入力されたときに、リニアガイド３０から入力された保持部３１の位置情報により、ガラス板Ｇが気体噴出部１１と接触したときの位置がほぼ特定される。
【００４８】
これにより、ガラス板Ｇにおいて、気体噴出部１１と接触した領域を含み、上記特定された気体噴出部１１と対向する帯状の領域が特定される。また、気体噴出部１１において、ガラス板Ｇと接触した領域を含み、上記ガラス板の特定された領域と対向する帯状の領域が特定される。
【００４９】
さらに、処理部７０において、保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０によって接触を検出した時間と、気体噴出部１１に設けられたＡＥセンサ４０によって接触を検出した時間との差を求める。この時間の差と、弾性波の伝播速度により、それぞれのＡＥセンサ４０からガラス板Ｇと気体噴出部１１とが接触した点までの距離の差が求められる。
【００５０】
処理部７０により、ガラス板Ｇの上記帯状の領域内において、この距離の差を満たす領域を計算することで、ガラス板Ｇ上の気体噴出部１１と接触した領域と、気体噴出部１１上のガラス板Ｇと接触した領域とが求められる。このとき、ＡＥセンサ４０が気体噴出部１１上の一方の端部に設けられていれば、ガラス板Ｇ上の気体噴出部１１と接触した領域と、気体噴出部１１上のガラス板Ｇと接触した領域とを、より確実に求めることができる。
【００５１】
ＡＥセンサ４０が気体噴出部１１に二つ以上、好ましくは少なくとも気体噴出部１１の両端に設けられている場合には、処理部７０によってこれらのＡＥセンサ４０に弾性波が到達した時間の差をとることで、気体噴出部１１上のガラス板Ｇと接触した領域を、より正確かつ容易に特定することができる。また、リニアガイド３０の搬送部３１の位置情報、および搬送部３１に対するガラス板Ｇの位置情報を組み合わせることで、ガラス板Ｇ上の気体噴出部１１と接触した領域をより容易に特定することができる。
【００５２】
第２の浮上搬送部２０においても、上記第１の浮上搬送部１０と同様に、ガラス板Ｇ上の気体噴出部２１と接触した領域と、気体噴出部２１上のガラス板Ｇと接触した領域と、を特定することができる。
【００５３】
また、図５に示すように、ＡＥセンサ４０がガラス板Ｇの両側を保持する搬送部３１にそれぞれ設けられている場合には、処理部７０によって、これらのＡＥセンサ４０に弾性波が到達した時間の差をとることで、より正確にガラス板Ｇの浮上搬送部１０，２０と接触した領域を特定することができる。
同様に、図６及び図７に示すようなガラス板Ｇの複数の端縁を保持する搬送部３１ａに、ガラス板Ｇの各端縁に対応する複数のＡＥセンサ４０が設けられている場合には、これらのＡＥセンサ４０に弾性波が到達した時間の差をとることで、より正確にガラス板Ｇの浮上搬送部１０，２０と接触した領域を特定することができる。
【００５４】
このように、ガラス板Ｇにおいて気体噴出部１１，２１と接触した領域を特定することで、無駄な廃棄をなくして歩留りを向上させるとともに、損傷の検出精度を向上させることができる。また、気体噴出部１１，２１においてガラス板Ｇと接触した領域を特定することで、装置の調整を行って、接触を防止することができる。
【００５５】
処理部７０に、ガラス板Ｇに発生する損傷の種類と、各損傷に対応する弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報の閾値と、が保存されている場合には、リニアガイド３０の保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０によって検出された弾性波の信号に基づいて、ガラス板Ｇの損傷の状態を判定することができる。
【００５６】
すなわち、ガラス板Ｇと浮上搬送部１０，２０との接触によって発生した弾性波は、ガラス板Ｇを伝播して、リニアガイド３０の保持部３１に設けられたＡＥセンサ４０によって検出される。このＡＥセンサ４０は、検出した弾性波に対応する電気信号を出力する。出力された電信号は、アンプ５０、バンドパスフィルタ６０を経て処理部７０に入力され、処理部７０によって処理されて、弾性波の周波数、振幅、波形、発生時間および発生間隔などの情報が抽出される。
【００５７】
抽出された情報は、処理部７０において、保存された各損傷の状態を判定する閾値と比較される。処理部７０は、比較の結果、各損傷に対応する閾値を超えているか否かに基づいて、抽出された情報が該当する損傷の状態を判定する。これにより、処理部７０によって、基準を超えるキズ、クラック等の損傷が発生している、あるいは基準を超える損傷が発生していない、などのガラス板の損傷の状態が判定される。
処理部７０は、判定された損傷の状態を、ガラス板Ｇの固体識別情報に記録する。これにより、後工程において基準を超える損傷が発生したガラス板Ｇを特定してガラス板Ｇを選別し、問題があるガラス板Ｇを製造ラインから選択的に除外することができる。
【００５８】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されることはない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。例えば、上述の実施形態では、ガラス板としてＦＰＤ用のガラス板を用いて説明したが、本発明はＦＰＤ用のガラス板に限定されない。
【符号の説明】
【００５９】
１０  第１の浮上搬送部
１１  気体噴出部
２０  第２の浮上搬送部
２１  気体噴出部
３０  リニアガイド
３１，３１ａ  保持部
３２  搬送部
４０  ＡＥセンサ
５０  アンプ
６０  バンドパスフィルタ
７０  処理部
１００  浮上搬送装置
Ｇ  ガラス板
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図２】
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