(57)【要約】【課題】液滴の径の大きさにかかわらず精度良く吐出不良を検知できる【解決手段】観察手段は、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に収束させて交差させる光学部材と、検出光の収束部分を液滴が通過した時の検出光の光量を検出する光検出手段とを備える。検出光の収束部分を液滴が通過した時の検出光の光量を検出する。検出光の光量のデータに基づいて液滴吐出ヘッドのノズルからの液体吐出状態を分析し、分析結果に基づいて液滴吐出制御を行う。【選択図】図３
2013193335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、ノズルから液体を液滴吐出対象物に吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液体の吐出状態を観察する観察手段を備えた液滴吐出装置において、
前記観察手段は、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に収束させて交差させる光学部材と、検出光の収束部分を液滴が通過した時の検出光の光量を検出する光検出手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記観察手段は、液滴吐出ヘッドのノズル面と平行な面上であってノズル列方向に対して略直交する方向に設定された検出光の光軸方向及びその直角方向に移動自在な前記光学部材を駆動させる駆動手段を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２記載の液滴吐出装置において、
前記光学部材の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段からの位置信号と位置指令情報により前記光学部材の位置サーボを行い、検出対象ノズルに対して対象ノズルの隣接ノズル間距離以上に収束光を走査する光学部材制御手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１記載の液滴吐出装置において、
前記観察手段が設けられている位置で試験的に液体吐出を行うように液滴吐出ヘッドの動作を制御する試験吐出制御手段と、該試験吐出制御手段により吐出される液体を前記観察手段により観察し、観察したデータに基づいて液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液体の吐出状態を分析する分析手段と、該分析結果に基づいて液滴吐出制御を行う制御手段とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４記載の液滴吐出装置において、
前記分析手段は、前記位置検出手段からの信号と前記光検出手段の検出信号及び前記試験吐出制御手段からの同期信号に基づいて、前記光検出手段の検出信号に変化を認めた場合に、液滴通過時の前記光検出手段の信号が最小値となる光軸方向及びその直角方向の光学部材の位置情報を記憶する位置記憶手段を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項４記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドを任意位置に昇降可能な昇降手段と、該昇降手段によって昇降された前記液滴吐出ヘッドの昇降位置を検出する昇降位置検出手段とを備え、前記制御手段は、前記昇降位置検出手段の設定された２箇所以上の昇降位置情報と前記位置記憶手段の光学部材の位置情報から各ノズルの液滴曲がり角度を算出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ヘッドを往復走査させる走査手段と、走査方向位置を検出する走査位置検出手段とを備え、前記制御手段は、前記走査位置検出手段の試験吐出位置における位置情報と、複数ノズル列の最初もしくは最後のノズル位置における前記位置記憶手段の光学部材の位置情報から記録ヘッド交換時のキャリブレーション情報を算出することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の液滴吐出装置は、例えば複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ等の画像形成装置として用いられる。この画像形成装置で画像が形成される液滴吐出対象物の記録材の材質は、紙に限定されるものではなく、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等も含まれる。そして、画像形成とは、文字や図形等の画像を液滴吐出対象物の記録材に対して形成することだけでなく、単に液滴を記録材に吐出することも意味する。また、液滴として吐出される液体は、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料なども含まれる。
【０００３】
上記画像形成装置では、装置設置環境や使用状況によってノズルの吐出不良が発生することがある。例えば、装置が設置されている環境が悪くて空気中に飛散する塵が装置内に侵入することがある。この場合、インクを吐出する記録ヘッドに設けられた微細なノズルに、装置内に侵入した塵がノズルに詰まりインクが吐出できないことがある。また、大量の記録紙に画像形成を行った場合記録紙の紙粉が装置内で飛散することがある。この場合もノズルに紙粉が詰まりインクが吐出できなくなる。更に、長い時間、記録動作が行なわれずに記録ヘッドが放置された場合、インクの揮発成分が蒸発してインクの粘性が高くなりノズルにそのインクが詰まって吐出ができなくなくなったり、インク吐出口から吐出されたインク液滴の一部が吐出口付近に付着して吐出口を覆ってしまいインク吐出ができなくなったりする。
【０００４】
これらの吐出不良を検出する検出機構を有している画像形成装置として、特許文献１に記載されているものが知られている。特許文献１の画像形成装置では、光源から照射されている平行光の検出光を受光素子で受光し、受光素子の受光量を測定する構成となっている。そして、記録ヘッドから試験的に吐出されたインク滴が検出光中を通過した際の受光素子の受光量の変化を測定し、その測定結果に基づいて吐出不良が発生しているノズルを検出する。その検出結果に基づいて記録ヘッドのノズル各々について液体吐出状態をリアルタイムに分析する。その分析結果に基づいて記録制御を行う。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の液滴吐出装置では、飛翔液滴の径より大きい光径を有する平行光の検出光を用いており、受光素子で受光される検出光のうち液滴の検出に関与しない光の量が多くなる。この液滴の検出に関与しない光が多くなると、受光素子により検出する液滴通過時の光量信号と液滴通過時の光量信号との差が小さくなり液滴を検出するときのＳ／Ｎ比が非常に悪くなって、誤検出となり易くなる。
【０００６】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、飛翔液滴の径に合わせて収束させた検出光を用いて誤検出を減らし、液滴の径の大きさにかかわらず精度良く吐出不良を検知できる液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、液体を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、ノズルから液体を液滴吐出対象物に吐出する液滴吐出装置であって、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液体の吐出状態を観察する観察手段を備えた液滴吐出装置において、前記観察手段は、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に収束させて交差させる光学部材と、検出光の収束部分を液滴が通過した時の検出光の光量を検出する光検出手段とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に交差されると、ノズルから吐出された液滴は検出光の収束部分を通る。そして、検出光は光学部材で収束されるので、検出光の径を検出対象となるノズルから吐出された液滴の径に近づけられる。この結果、検出に関与しない検出光の部分が減る。光検出手段により検出する液滴通過時の光量と液滴通過時の光量信号又は閾値との差が大きくなり液滴を検出するときのＳ／Ｎ比が良くなって誤検出が減る。よって、液滴の径の大きさにかかわらず精度良く吐出不良を検知できるという特有な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１の検出手段の構成を示す斜視図である。
【図３】図１の検出手段の構成を示す断面図である。
【図４】レンズ制御手段の構成を示すブロック図である。
【図５】制御手段の構成を示すブロック図である。
【図６】分析手段の構成を示すブロック図である。
【図７】検出手段の初期設定を示す斜視図である。
【図８】飛翔液滴の様子を示す図である。
【図９】収束ビームの主走査方向の走査時の各信号を示す波形図である。
【図１０】副走査方向にレンズを走査する際の様子を示す図である。
【図１１】副走査方向にレンズを走査する時の各信号を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本実施形態の液滴吐出装置について図面を用いて説明する。
図１は本実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。同図に示す液滴吐出装置では、図示しない例えば空気サーボマウンタ等の振台あるいは、重量のある架台等に載置されたベース１に記録媒体２を載置して例えばエアバキューム等の吸着機構を備えた吸着テーブル３を上部に設けている。そして、移動方向に例えば円筒ローラや玉により案内され、リニアモータ等の駆動源により移動可能なＹ軸ステージが設けられている。Ｙ軸ステージの可動部には例えば、光学式や磁気式のリニアエンコーダ４が設けられ図示のＹ軸方向に記録媒体２を移動可能な構成としている。また、ベース１にはＹ軸方向と直角方向（Ｘ軸方向）に、例えば円筒ローラや玉により案内され、リニアモータ等の駆動源により移動可能なＸ軸ステージ５が設けられている。Ｘ軸ステージ５の可動部には、その移動位置を検出する例えば、光学式や磁気式のリニアエンコーダ６が設けられており、走査位置検出手段としている。更に、Ｘ軸ステージ５の可動部には、記録媒体２に対して、複数のノズル列がＸ軸方向に平行に、かつ鉛直方向に吐出可能となる記録ヘッド７を搭載した移動台８が、Ｚ軸方向に移動可能となるように、例えば円筒ローラや玉によりＺ軸方向に案内され、端部にボールネジ等を設けたサーボモータを鉛直方向に設けた昇降手段９が設けられている。また、昇降手段９の移動台８には、例えば光学式や磁気式のリニアエンコーダ１０が設けられており、昇降位置検出手段としている。以降の説明では、Ｘ軸方向を主走査方向、Ｙ軸方向を副走査方向と称する。更に、ベース１には記録ヘッド７の走査経路の一端に、記録ヘッド７の複数のノズルからのインク吐出状態を検出する検出手段２０が設けられている。以上の構成のもとで、図示しない記録制御を行う制御装置からの指令により、記録媒体２上の任意位置へ液滴を塗布して自在に記録可能となる。
【００１１】
図２は図１の検出手段の構成を示す斜視図である。図３は図１の検出手段の構成を示す断面図である。
両図に示す検出手段２０は、記録ヘッド７の複数ノズル列形成方向に対して直交する方向に検出光の光軸が設けられている。例えばＬＤやＬＥＤ等の光源２１から出射した拡散ビームは、コリメータレンズ２２にて平行光として光学部材の対物レンズ２３に入射して記録ヘッド７のノズル面の端部から設定距離Ｌ１の位置で収束される。拡散して対物レンズ２４に入射して略平行光になって例えばフォトダイオード等の光検出手段２５に照射する。ここで、対物レンズ２３と対物レンズ２４のＮＡ値を等しくすることが望ましい。また、対物レンズ２３はホルダ２６に固定され、ホルダ２６は一端をケースに固定された例えばワイヤバネ等の支持部材２７により支持されている。走査方向駆動コイル２８と副走査方向駆動コイル２９が設けられ、コイルの一部がそれぞれ、ヨーク３０、３１、永久磁石３２、３３からなる磁気回路のギャップ中に配置されている。また、ホルダ２６の上部には、突起２６ａ、２６ｂが設けられ、これらの突起２６ａ、２６ｂに対向して走査方向及び副走査方向のレンズ位置を計測する、例えば静電容量センサ等のレンズ位置検出手段３４、３５が設けられている。ここでは、静電容量センサを用いたが、位置検出分解能によっては突起２６ａ、２６ｂを永久磁石等にしてホール素子等を対向して用いても良い。以上の構成のもとで図示しないコイル端末から通電すれば、対物レンズ２３を走査方向、副走査方向に移動自在となるボイスコイル型のレンズ駆動手段を構成している。
【００１２】
次に、レンズ制御手段について説明する。図４はレンズ制御手段の構成を示すブロック図である。同図に示すレンズ制御手段１００は、走査方向、副走査方向とも同様の構成となるが、比較器１０１、位相補償器１０２、ゲイン調整器１０３、駆動アップ１０４及び感度調整器１０５を含んで構成され、位置ループを持つ位置サーボ系となっている。比較器１０１は、任意の指令信号とレンズ位置検出手段からの出力信号を比較する。位相補償器１０２はレンズ駆動手段の周波数特性に対して位置サーボ系が安定となるための位相補償を行う。ゲイン調整器１０３はサーボ系のループゲインを調整する。そして、駆動アップ１０４は走査方向駆動コイル２８と副走査方向駆動コイル２９を駆動するための駆動信号を各コイルに供給する。感度調整器１０５はレンズ位置検出手段３４、３５の変位感度を調整する。帰還を持つ制御系としたが、制御精度が悪くなるが開ループ制御でも構わない。
【００１３】
次に、記録制御について説明する。図５は制御手段の構成を示すブロック図である。同図に示す制御手段２００において、ＣＰＵ２０１は記録媒体への記録データ(一般的にはラスタデータ)に基づいて記録動作を制御する。ＣＰＵ２０１には、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、Ｘステージドライバ２０４、Ｙステージドライバ２０５、光源ドライバ２０６、Ｄ／Ａ変換器２０７、レンズ制御手段２０８、試験吐出手段２０９及び分析手段２１０を含んで構成されている。そして、ＲＯＭ２０２には動作プログラムが格納されている。ＲＡＭ２０３は動作に必要な諸データを読み書きするＲＡＭである。Ｘステージドライバ２０４は走査方向ステージ位置を制御する。Ｙステージドライバ２０５は副走査方向ステージ位置を制御する。光源ドライバ２０６は例えばＬＤドライバ等であり、複数ノズルの液滴飛翔状態を検出する検出手段の光源の光量を制御する。Ｄ／Ａ変換器２０７は対物レンズ２３の走査量(振幅)データをアナログ信号に変換する。レンズ制御手段２０８は対物レンズ２３の走査量(振幅)データに基づいて走査方向駆動コイル２８と副走査方向駆動コイル２９への駆動信号を出力する。試験吐出手段２０９は記録ヘッド７への駆動情報から液滴を吐出駆動する。
【００１４】
次に、図５の分析手段について説明する。図６は分析手段の構成を示すブロック図である。同図に示す分析手段２１０は、ＣＰＵ２１１と、分析プログラムを格納するＲＯＭ２１２と、分析に必要なデータを読み書きするＲＡＭ２１３と、レンズ位置情報を格納するレンズ位置メモリ２１４と、データ等を制御手段２００と送受する入出力インターフェース２１５と、記録ヘッド７の駆動信号と同期信号もしくは、設定遅延した同期信号をラッチ信号として、走査方向レンズ位置信号、副走査方向レンズ位置信号、光検出手段信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換器２１６、２１７、２１８とを含んで構成されている。入出力インターフェース２１５では、ノズル番号データ、レンズ位置メモリの内部データが送受される。
【００１５】
次に、複数ノズルから吐出される液滴の吐出状態を検出する動作について説明する。
はじめに、図７に示すように、最初に制御手段１００によりノズル番号１の近傍となる液滴検出位置（仮にＸｓとする）にＸ軸ステージが移動する。また、この時、Ｚ軸ステージも最初の位置Ｌ１へ移動する。この位置で液滴が吐出されたとき、仮に図８に示すような位置に液滴が飛翔したとする。制御手段１００からの検出対象ノズルに対して対象ノズルの隣接ノズル間距離以上に収束ビームを主走査方向に走査する。図９はこの時の各信号を示す波形図である。図９（ａ）は図５の試験吐出手段２０９の例えば記録ヘッド７が圧電素子で駆動されるものとした時の駆動信号、図９(ｂ)は同期信号、図９（ｃ）はＬ１と液滴飛翔速度から計算される時間だけ遅延された同期信号を示す。図９(ｄ)は主走査方向のレンズ駆動信号、図９(ｅ)はレンズ位置検出手段の出力信号、図９(ｆ)はは光検出器の出力信号を示す。図８（ｂ）で示すように、液滴が収束ビームの中央部分にあるとき、光検出器の出力信号が最小値となる。図５の分析手段２１０は、Ｌ１と液滴飛翔速度から計算される時間だけ遅延された同期信号毎に主走査方向レンズ位置をサンプリングして内部演算で最小値を算出し、その時の主走査方向レンズ位置を記憶する（ＸＬ1ｉ、ｉ＝1）。続いて、この時の最小値となるように指令出力として換算した走査電圧（固定値）主走査方向レンズ位置を維持したまま、図１０に示すように副走査方向にレンズを走査する。この時の各波形を図１１に示す。図１０（ｃ）、（ｄ）に示すようにビーム収束点に対して前側と後ろ側にて、光検出手段の出力は最小値となる。分析手段２１０では、前側の時の副走査方向レンズ位置を記憶する（ＹＬ１ｉ、ｉ＝1）。このようにして、複数ノズルに対して、図１のＸ軸ステージ５をノズルピッチ毎に動作させて全ノズルに対して行う。レンズを走査したときに光検出手段の信号に変化がない、すなわち不吐出の時は、例えば記憶する対物レンズ位置データを走査量より大きな値にすることで判断する。
【００１６】
さらに、制御手段１００により、Ｌ１とは異なる記録ヘッドの高さ位置（Ｌ２とする）にて上記同様に行ってそれぞれの対物レンズ位置データを取得して、レンズ位置の差分Δを高さ位置の差分で除算すれば、各ノズルの液滴飛翔角度が得られる。また、ノズル番号１の近傍となる液滴検出位置Ｘｓを固定しておく。そして、最初もしくは最後のノズル番号のレンズ位置データと交換ヘッドとのそれを比較すれば、記録のキャリブレーションデータとなり、差分を記録補正値として使用すれば、迅速にヘッド交換が可能である。
【００１７】
以上の本実施形態によれば、収束ビームを用いて、光検出手段により検出する液滴通過時の光量信号と非通過時の光量信号との比、Ｓ／Ｎ比が非常に良く誤検出を防止できる。また、サテライト等の微小液滴にも対応可能となる。
【００１８】
以上に説明したものは一例であり、本発明は、次の態様毎に特有の効果を奏する。
（態様１）
観察手段は、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に収束させて交差させる光学部材と、検出光の収束部分を液滴が通過した時の検出光の光量を検出する光検出手段とを備える。これによれば、上記実施形態について説明したように、光源から照射された検出光をノズルから吐出された液滴が通過する液滴通過経路に交差されると、ノズルから吐出された液滴は検出光の収束部分を通る。そして、検出光は光学部材で収束されるので、検出光の径を検出対象となるノズルから吐出された液滴の径に近づけられる。この結果、検出に関与しない検出光の部分が減る。光検出手段により検出する液滴通過時の光量と液滴通過時の光量信号又は閾値との差が大きくなり液滴を検出するときのＳ／Ｎ比が良くなって誤検出が減る。よって、液滴の径の大きさにかかわらず精度良く吐出不良を検知できる。
（態様２）
（態様１）において、観察手段は、液滴吐出ヘッドのノズル面と平行な面上であってノズル列方向に対して略直交する方向に設定された検出光の光軸方向及びその直角方向に移動自在な前記光学部材を駆動させる駆動手段を備える。これによれば、上記実施形態について説明したように、光源から照射された検出光は、レンズ駆動手段によって検出光の光軸を液滴吐出ヘッドのノズル面と平行な面上であってノズル列方向に対して略直交する方向に設定され、ノズルから吐出された液滴は検出光の収束部分を通る。これにより、検出対象となるノズルから吐出された液滴だけに検出光を照射できる。そして、検出対象となるノズルから吐出された液滴の径に検出光の径を近づけられる。この結果、検出に関与しない検出光の部分が減る。そして、光検出手段により検出する液滴通過時の光量と液滴通過時の光量信号又は閾値との差が大きくなり液滴を検出するときのＳ／Ｎ比が良くなって誤検出が減る。よって、液滴の径の大きさにかかわらず精度良く吐出不良を検知できる。
（態様３）
（態様２）において、光学部材の位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段からの位置信号と位置指令情報により光学部材の位置サーボを行い、検出対象ノズルに対して対象ノズルの隣接ノズル間距離以上に収束光を走査する光学部材制御手段とを備える。これによれば、上記実施形態について説明したように、これにより、検出対象となるノズルから吐出された液滴だけに検出光を照射できる。
（態様４）
（態様１）において、観察手段が設けられている位置で試験的に液体吐出を行うように液滴吐出ヘッドの動作を制御する試験吐出制御手段と、該試験吐出制御手段により吐出される液体を観察手段により観察し、観察したデータに基づいて液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液体の吐出状態を分析する分析手段と、該分析結果に基づいて液滴吐出制御を行う制御手段とを有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、分析結果に基づいて液滴吐出を制御することで、液滴吐出動作の停止などを含めた制御を行い、吐出不良によって引き起こされる、例えばインクジェット記録装置の場合の画像抜けを防止できる。これにより、画像形成の品質を向上させることができる。
（態様５）
（態様４）において、分析手段は、位置検出手段からの信号と光検出手段の検出信号及び試験吐出制御手段からの同期信号に基づいて、光検出手段の検出信号に変化を認めた場合に、液滴通過時の光検出手段の信号が最小値となる光軸方向及びその直角方向の光学部材の位置情報を記憶する位置記憶手段を有する。これによれば、上記実施形態について説明したように、液滴の検出感度を高めることができ、誤検出がなく、サテライト等の微小液滴をも検出し、吐出／不吐出、吐出異常情報が得られ、その情報に基づいて記録装置を制御しているので、パターンの断線不良や、パターンが不要に接続されてしまう等の誤配線がなく、記録品質の向上が図れる。
（態様６）
（態様４）において、液滴吐出ヘッドを任意位置に昇降可能な昇降手段と、該昇降手段によって昇降された液滴吐出ヘッドの昇降位置を検出する昇降位置検出手段とを備え、制御手段は、昇降位置検出手段の設定された２箇所以上の昇降位置情報と位置記憶手段の光学部材の位置情報から各ノズルの液滴曲がり角度を算出する。これによれば、上記実施形態について説明したように、記録媒体への着弾位置を算出して記録するのでパターンよれがなく、上記同様記録品質の記録品質の向上が図れる。
（態様７）
（態様５）において、液滴吐出ヘッドを往復走査させる走査手段と、走査方向位置を検出する走査位置検出手段とを備え、制御手段は、走査位置検出手段の試験吐出位置における位置情報と、複数ノズル列の最初もしくは最後のノズル位置における位置記憶手段の光学部材の位置情報から記録ヘッド交換時のキャリブレーション情報を算出する。これによれば、上記実施形態について説明したように、記録ヘッドを交換した時の位置補正を容易に行うことができ、記録装置のダウンタイム短縮が図れる。
【符号の説明】
【００１９】
１  ベース
２  記録媒体
３  吸着テーブル
４  リニアエンコーダ
５  Ｘ軸ステージ
６  リニアエンコーダ
７  記録ヘッド
８  移動台
９  昇降手段
１０  リニアエンコーダ
２０  検出手段
２１  光源
２２  コリメータレンズ
２３  対物レンズ
２４  対物レンズ
２５  光検出手段
２６  ホルダ
２６ａ  突起
２６ｂ  突起
２７  支持部材
２８  走査方向駆動コイル
２９  副走査方向駆動コイル
３０  ヨーク
３１  ヨーク
３２  永久磁石
３３  永久磁石
３４  レンズ位置検出手段
３５  レンズ位置検出手段
１００  レンズ制御手段
１０１  比較器
１０２  位相補償器
１０３  ゲイン調整器
１０４  駆動アップ
１０５  感度調整器
２００  制御手段
２０１  ＣＰＵ
２０２  ＲＯＭ
２０３  ＲＡＭ
２０４  Ｘステージドライバ
２０５  Ｙステージドライバ
２０６  光源ドライバ
２０７  Ｄ／Ａ変換器
２０８  レンズ制御手段
２０９  試験吐出手段
２１０  分析手段
２１１  ＣＰＵ
２１２  ＲＯＭ
２１３  ＲＡＭ
２１４  レンズ位置メモリ
２１５  入出力インターフェース
２１６  Ａ／Ｄ変換器
２１７  Ａ／Ｄ変換器
２１８  Ａ／Ｄ変換器
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特許第３３６８１９４号公報
【図１】
2013193335.tif 000003
【図２】
2013193335.tif 000004
【図３】
2013193335.tif 000005
【図４】
2013193335.tif 000006
【図５】
2013193335.tif 000007
【図６】
2013193335.tif 000008
【図７】
2013193335.tif 000009
【図８】
2013193335.tif 000010
【図９】
2013193335.tif 000011
【図１０】
2013193335.tif 000012
【図１１】
2013193335.tif 000013