(57)【要約】【課題】複数の搬送ユニットから成る搬送装置において、搬送ユニット間の間隙寸法の変更を容易にする。【解決手段】少なくとも１つの搬送ユニット２０について、搬送ベルト５１の搬送用張架部分５１ａが巻掛けられる第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、相対位置関係を保持した状態で、搬送ベルト５１の搬送方向Ｘに対し平行な方向へ、一体に移動可能に構成する。第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを一体に移動させることにより、搬送ベルト５１の張力を変化させることなく、搬送用張架部分５１ａの長さを変更して、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法を調整することができる。【選択図】  図１
2013246106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無端状の搬送ベルトと、
前記搬送ベルトが巻掛けられ、回転軸線まわりに回転自在な第１の回転支持体と、
前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、前記搬送ベルトが巻掛けられて、前記第１の回転支持体と共に、搬送対象物を乗載して搬送するための搬送用張架部分を形成する第２の回転支持体と、
前記搬送ベルトが巻掛けられ、前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転駆動される回転駆動体と、
前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、前記第１の回転支持体と前記回転駆動体との間に張架される前記搬送ベルトの張架部分の外周面に接触して、前記搬送ベルトに緊張力を付与する張力付与回転体と、
前記第１の回転支持体および前記張力付与回転体を、相対位置関係を保持した状態で、前記搬送ベルトの前記搬送用張架部分の搬送方向に平行な方向へ、一体に移動可能に支持する支持手段と、を含むことを特徴とする搬送ユニット。
【請求項２】
前記搬送ベルトの前記搬送用張架部分と、
前記搬送ベルトの、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体との間の張架部分と、
前記搬送ベルトの、前記張力付与回転体と前記回転駆動体との間の張架部分とが、
平行となるように構成した
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送ユニット。
【請求項３】
前記支持手段は、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体とが取り付けられるフレームを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送ユニット。
【請求項４】
搬送対象物を搬送する複数の搬送ユニットを、搬送対象物の搬送方向が同一となるように配設して成る搬送装置であって、
前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つが、請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送ユニットから成ることを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
光透過性を有する被検査体を搬送する搬送面を有してなる複数の搬送ユニットを、被検査体の搬送方向が同一となるように配設して搬送装置が構成され、
前記搬送装置を構成する前記複数の搬送ユニットのうち、いずれか一つの搬送ユニットの搬出側端部と、これに隣接する搬送ユニットの搬入側端部との間に間隙が形成され、
前記２つの搬送ユニット間の間隙を通過する方向へ検査光を照射する光照射手段が、隣接する前記２つの搬送ユニットの搬送面よりも上方または下方の領域のいずれか一方に設けられ、
前記２つの搬送ユニットの搬送面よりも上方または下方の領域の他方に、前記検査光を受光する受光手段が設けられ、
前記間隙を形成している前記２つの搬送ユニットの少なくとも一方が、請求項１〜３のいずれか１つに記載の搬送ユニットから成るとともに、該搬送ユニットの移動可能な回転支持体が、前記間隙に臨んでいることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記光照射手段と前記受光手段とは、前記光照射手段の検査光の照射方向と、前記受光手段の受光方向とが交差するように設けられていることを特徴とする請求項５記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送ユニット、この搬送ユニットを用いる搬送装置、および、この搬送ユニットを用いる検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種製法で製造されるガラス板、プラスチックシート、液晶パネルなどの光透過性を有する物品（以下、被検査体と言う）は、製造工程時のトラブルにより、その表面、裏面、または内部に、凹凸や瑕などの実欠陥が発生する場合がある。また、製造ライン中の担当者の作業や製造工程で発生したダストなどが飛散して、被検査体の表面に異物として付着することがある。
【０００３】
被検査体の欠陥の有無を検査する装置が、特許文献１および２に記載されている。また、被検査体の実欠陥と、表面に付着する異物とを判別する技術が、特許文献３に記載されている。
【０００４】
図１３は、特許文献１に記載される従来の検査装置を示す斜視図である。同図に示すように、特許文献１に記載の検査装置は、被検査体であるガラス板７３の上方に配置したラインカメラ７０と、ガラス板７３を挟んでその下方に、ラインカメラ７０と対向するように配置した面状光源７１とを備え、搬送ローラ７２により矢印Ｈの方向へ搬送されるガラス板７３に、面状光源７１から光照射し、ラインカメラ７０で光の散乱を検知することにより、欠陥の有無を検査する構成としている。
【０００５】
図１４Ａは、特許文献２に記載される従来の検査装置を示す斜視図であり、図１４Ｂは、図１４Ａに示す検査装置の搬送ベルト８１と搬送ベルト８１との間隙部分を示す正面図である。図１４Ａに示すように、特許文献２に記載の検査装置は、被検査体である透明板８０を搬送するための隣接した搬送ベルト８１と搬送ベルト８１との間に設けた間隙部分において、透明板８０の上方に配置される撮像装置８２と、透明板８０を挟んで撮像装置８２と対向するように透明板８０の下方に配置される光源８３と、透明板８０と光源８３との間に配置される、多数の平行線を描画した透明な線列プレート８４とから成っている。そして、撮像装置８２で、線列プレート８４の画像を撮影し、平行線の歪みや変形を検知することにより、欠陥の有無を検査する構成としている。
【０００６】
図１５は、特許文献３に記載の従来の検査装置の概略構成を示す図面である。図１５において、１１１は被検査体であるプラスチック製のフィルム、１１２は検査光を照射する光照射手段、１１３は受光手段、１１４はフィルム１１１に発生した凹凸や疵などの欠陥、１１５は集光レンズ、１１６は受光レンズ、Ｌは受光手段１１３の受光軸、Ｓは光照射手段１１２からの検査光の照射軸を示す。また、φはフィルム１１１の走行方向と受光手段１１３の受光軸Ｌとのなす角度、δはフィルム１１１の走行方向と光照射手段１１２の照射軸Ｓとのなす角度、θは受光手段１１３の受光軸Ｌと光照射手段１１２の照射軸Ｓとのなす角度、ηは受光手段１１３の受光軸Ｌとフィルム１１１との交点と、受光手段１１３の受光瞳径との張る開口角を表す。
【０００７】
図１５に示す検査装置は、光照射手段１１２の照射軸Ｓと受光手段１１３の受光軸Ｌとが角度θをなしており、検査光の照射範囲内に受光手段１１３が位置しないよう構成されている。フィルム１１１に欠陥１１４がない場合は、検査光が直進するため、受光手段１１３が光照射手段１１２から照射された検査光を受光することがない。しかし、図１５に示すように、フィルム１１１に何らかの欠陥１１４が在る場合は、光照射手段１１２から照射された検査光が欠陥１１４の部分で屈折または散乱し、光路を変更するため、受光手段１１３が検査光を受光する。このように、受光手段１１３が光検知するか否かにより、検査対象のフィルム１１１の欠陥の有無を判定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−３３７５０４号公報
【特許文献２】特開昭６１−１７６８３８号公報
【特許文献３】特開２００９−０２５２６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載される検査装置は、搬送装置を搬送ローラ７２で構成したものであるため、特に小型の搬送対象物（ガラス板７３）を搬送する場合、すべての搬送ローラ７２でがたつきや落下を招く危険性があり、すべての搬送ローラ７２について間隔を適切に調節する必要がある。また、搬送ローラ７２を乗り移るときに、搬送対象物が上下動し、正確な欠陥検出が困難になる場合がある。
【００１０】
さらに搬送対象物の外形寸法が大きく変更された場合、これに合わせて搬送ローラ７２のピッチ変更を行なう必要が生じるが、それには搬送装置の大掛かりな改造を伴うため、実施しにくいという問題がある。
【００１１】
特許文献２に記載される検査装置は、搬送ベルト８１と搬送ベルト８１との間隙部分で、透明板８０の欠陥を検出するものであるが、図１４Ｂに示すように、透明板８０の搬送方向の長さ寸法が、搬送ベルト８１と搬送ベルト８１との間隔の２倍程度の場合、搬送ベルト８１，８１間を乗り移るとき、透明板８０が上下動して、正確な欠陥検出が困難になる問題がある。
【００１２】
そこで、透明板８０の外形寸法の変更に合わせて、隣接する搬送ベルト８１，８１の間隙寸法を変更する必要があるが、これを容易に実施できる構造ではなかった。
【００１３】
特許文献３に記載される検査装置は、高い指向性光源を用いる構造であり、欠陥の識別は可能であるが、表面に付着したダストやゴミ等との判別はできない。そのため、表面に異物が付着したまま次工程に搬送されるおそれがある。
【００１４】
また、特許文献３の検査装置を、搬送ベルトで被検査体を搬送する搬送装置に設ける場合、搬送装置の途中に、検査光を通過させる間隙を設ける必要がある。しかるに、特許文献３の検査装置は、光照射手段１１２の光照射方向と受光手段１１３の受光方向とを一致させない構成のため、検査光が受光手段１１３へ適切に入射できるように搬送装置の間隙寸法を設定することが、欠陥の確実な検知には必要である。したがって、被検査体の寸法や検査条件が変わったときは、これに応じて、搬送ベルト間の間隙寸法を調整しなくてはならない。しかしながら、特許文献３には、このような搬送装置に設けられる搬送ベルト間の間隙寸法を変更することは考慮されていない。
【００１５】
本発明は従来技術の前記問題点を解決できる搬送ユニット、搬送装置、および検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、無端状の搬送ベルトと、前記搬送ベルトが巻掛けられ、回転軸線まわりに回転自在な第１の回転支持体と、前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、前記搬送ベルトが巻掛けられて、前記第１の回転支持体と共に、搬送対象物を乗載して搬送するための搬送用張架部分を形成する第２の回転支持体と、前記搬送ベルトが巻掛けられ、前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転駆動される回転駆動体と、前記第１の回転支持体の回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、前記第１の回転支持体と前記回転駆動体との間に張架される前記搬送ベルトの張架部分の外周面に接触して、前記搬送ベルトに緊張力を付与する張力付与回転体と、前記第１の回転支持体および前記張力付与回転体を、相対位置関係を保持した状態で、前記搬送ベルトの前記搬送用張架部分の搬送方向に平行な方向へ、一体に移動可能に支持する支持手段と、を含むことを特徴とする搬送ユニットである。
【００１７】
また本発明は、前記搬送ベルトの前記搬送用張架部分と、前記搬送ベルトの、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体との間の張架部分と、前記搬送ベルトの、前記張力付与回転体と前記回転駆動体との間の張架部分とが、平行となるように構成したことを特徴とする。
【００１８】
また本発明は、前記支持手段が、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体とが取り付けられるフレームを含むことを特徴とする。
【００１９】
また本発明は、搬送対象物を搬送する複数の搬送ユニットを、搬送対象物の搬送方向が同一となるように配設して成る搬送装置であって、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つが、前述の搬送ユニットから成ることを特徴とする搬送装置である。
【００２０】
また本発明は、光透過性を有する被検査体を搬送する搬送面を有してなる複数の搬送ユニットを、被検査体の搬送方向が同一となるように配設して搬送装置が構成され、前記搬送装置を構成する前記複数の搬送ユニットのうち、いずれか一つの搬送ユニットの搬出側端部と、これに隣接する搬送ユニットの搬入側端部との間に間隙が形成され、前記２つの搬送ユニット間の間隙を通過する方向へ検査光を照射する光照射手段が、隣接する前記２つの搬送ユニットの搬送面よりも上方または下方の領域のいずれか一方に設けられ、前記２つの搬送ユニットの搬送面よりも上方または下方の領域の他方に、前記検査光を受光する受光手段が設けられ、前記間隙を形成している前記２つの搬送ユニットの少なくとも一方が、前述の搬送ユニットから成るとともに、当該搬送ユニットの移動可能な回転支持体が、前記間隙に臨んでいることを特徴とする検査装置である。
【００２１】
また本発明は、前記光照射手段と前記受光手段とが、前記光照射手段の検査光の投光方向と、前記受光手段の受光方向とが交差するように設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、搬送ベルトの搬送対象物を搬送する搬送用張架部分を形成している第１の回転支持体と張力付与回転体とを、相対位置関係を保持した状態で、前記搬送ベルトの搬送用張架部分の搬送方向に対し平行な方向へ、一体に移動可能なように構成したので、第１の回転支持体と張力付与回転体とを一体に移動させることにより、搬送ベルトの張力を変化させることなく、搬送用張架部分の搬送方向に沿った長さを調整することができる。
【００２３】
また本発明によれば、前記搬送ベルトにおける、前記搬送用張架部分と、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体との間の張架部分と、前記張力付与回転体と前記回転駆動体との間の張架部分とを、平行となるように構成したので、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体とを移動させたときに、張力変化を生じさせるおそれがない。したがって、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体とを移動させて、搬送ベルトの搬送用張架部分の搬送方向に沿った長さを変更したときに、搬送ベルトの張力を確実に一定に保つことができる。
【００２４】
また本発明によれば、前記支持手段が、前記第１の回転支持体と前記張力付与回転体とが取り付けられるフレームを含むものとしたので、このフレームを移動させることで、前記第１の回転支持体と張力付与回転体とを、相対位置関係を保持したまま一体に移動させることができる。よって、搬送ベルトの搬送用張架部分の搬送方向の長さを調節する作業が簡単になる。
【００２５】
また本発明によれば、複数の搬送ユニットを、搬送対象物の搬送方向が同一となるように配設した搬送装置において、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも一つを本発明に係る前記搬送ユニットとしたので、隣接する搬送ユニット間に形成される間隙のうち、所望の位置の間隙寸法を、容易に変更することが可能となる。
【００２６】
したがって、搬送対象物の平面視寸法が小さい場合、この搬送対象物が搬送ユニット間を跨いで移動する際に発生するガタつきや、隙間から落下するのを防止するため、搬送ユニット間の間隔を狭くすることが必要となるが、本発明によれば、このような調整作業を容易に行なうことができる。
【００２７】
また本発明によれば、複数の搬送ユニットを搬送対象物の搬送方向が同一となるように配設して搬送装置を構成し、いずれか一つの搬送ユニットの搬出側端部と、これに隣接する搬送ユニットの搬入側端部との間に形成した間隙を通過するように検査光を投射する光照射手段と、この検査光を受光する受光手段とを、いずれか一方が前記搬送ユニットの搬送面の上方となり、他方が前記搬送ユニットの搬送面の下方となるように配置した検査装置において、前記間隙を形成している２つの搬送ユニットの少なくとも一方を、本発明に係る搬送ユニットから成るものとするとともに、当該搬送ユニットの移動可能な回転支持体を、前記間隙に臨ませる構成としたので、必要に応じ、検査光を通過させる間隙の寸法を変更することができる。よって、生産現場での機種変更に対応して、検査装置の検査状態が最適となるように迅速に調整することが可能である。
【００２８】
たとえば、被検査体の広範囲を検査する場合や、強い光量を確保することが要求される場合などには、搬送ユニット間の間隙寸法を大きくして、照射領域を拡大すればよい。反対に、迷走光などの余分な光により検査精度が低下することが問題となる場合は、搬送ユニット間の間隔を狭めて、照射領域を狭めればよい。このように、搬送ユニット間の間隔を変更することにより、検査光が照射される領域の面積を容易に調整して、最適な検査状態とすることができる。
【００２９】
また本発明によれば、前記光照射手段と前記受光手段とを、前記光照射手段の検査光の照射方向と前記受光手段の受光方向とが交差するように設けた検査装置において、検査光の照射範囲を容易に調整することができる。当該検査装置は、暗状態の背景下で、屈折・散乱による発光を検出することにより、被検査体の欠陥の有無を検査する機構であるため、検査光の照射軸方向以外の光成分が在ると、検査精度を低下させるおそれが大きい。したがって本発明により、搬送ユニット間の間隙寸法を調整して、光照射範囲を制限し、不要な光成分が受光手段に入射するのを排除することで、最適な検査結果を得られるという効果が発揮される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送装置２の概略構成を示す正面図である。
【図２】図１に示す搬送装置２の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る搬送ユニット２０の概略構成を示す正面図である。
【図４】図３に示す搬送ユニット２０の平面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る搬送ユニット２０を示す斜視図である。
【図６】図５に示す搬送ユニット２０において、搬送ベルト５１と手前側の支持プレート６３ｂとを取り外して示す斜視図である。
【図７】搬送ユニット２０の可動フレーム６２を、固定フレーム６１から取り外した状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施例１に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。
【図９】本発明の実施例２に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。
【図１０】本発明の実施例３に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。
【図１１】本発明の実施例４に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。
【図１２】本発明の実施例５に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。
【図１３】特許文献１に記載される従来の検査装置を示す斜視図である。
【図１４Ａ】特許文献２に記載される従来の検査装置を示す斜視図である。
【図１４Ｂ】図１４Ａに示す検査装置の搬送ベルトと搬送ベルトとの間隙部分を示す正面図である。
【図１５】特許文献３に記載される従来の検査装置を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送装置２の概略構成を示す正面図、図２は、図１に示す搬送装置２の平面図、図３は、本発明の一実施形態に係る搬送ユニット２０の概略構成を示す正面図、図４は、図３に示す搬送ユニット２０の平面図である。
【００３２】
図１および図２において、搬送装置２は、２つの搬送ユニット２０，２５から構成されるが、３つ以上の搬送ユニットで搬送装置２を構成してもよい。また、図示する搬送装置２の搬送対象物１０ａ，１０ｂ，１０ｃの搬送方向Ｘおよび向きは、矢印によって示す方向および向きとしたが、これと反対向きとすることも可能である。
【００３３】
本実施形態の搬送装置２は、搬送ユニット２０，２５を、搬送対象物１０ａ，１０ｂ，１０ｃが乗載される搬送面２０ｓ，２５ｓの搬送方向が同一となるように直列に配設して構成される。また、各搬送ユニット２０，２５の搬送面２０ｓ，２５ｓが、実質的に同一平面に含まれるよう調整される。
【００３４】
２つの搬送ユニット２０，２５のうち、少なくとも一方は、本発明に係る搬送ユニットで構成される。本実施形態では、矢印で示される方向が搬送方向Ｘである場合に、下流側に位置する搬送ユニット２０を、本発明に係るものとした。ただし、両方の搬送ユニット２０，２５を本発明に係るものとしてもよい。
【００３５】
図３および図４に示すように、本発明に係る搬送ユニット２０は、無端状の搬送ベルト５１と、この搬送ベルト５１が巻掛けられる、第１の回転支持体２１ａと第２の回転支持体２１ｂと張力付与回転体３１と回転駆動体４１とを備える。これら第１の回転支持体２１ａ、第２の回転支持体２１ｂ、張力付与回転体３１、および回転駆動体４１の回転軸線は、互いに平行である。第１の回転支持体２１ａ、第２の回転支持体２１ｂ、および張力付与回転体３１は、円柱状または円筒状の回転自在なローラで構成される。
【００３６】
適宜間隔を置いて配置される第１の回転支持体２１ａと第２の回転支持体２１ｂとには、搬送ベルト５１の内周面が巻掛けられ、両者間の搬送ベルト５１の張架部分が、搬送対象物が乗載される搬送用張架部分５１ａとなり、当該搬送用張架部分５１ａの上面が搬送面２０ｓとなる。本実施形態では、第１の回転支持体２１ａが搬送用張架部分５１ａの搬入側端部を形成し、第２の回転支持体２１ｂが搬出側端部を形成している。
【００３７】
回転駆動体４１は、搬送用張架部分５１ａ以外の位置で、搬送ベルト５１の内周面に接触して駆動力を与える。
【００３８】
張力付与回転体３１は、第１の回転支持体２１ａと回転駆動体４１との間で、搬送ベルト５１の外周面に接触して、搬送ベルト５１に緊張力を付与する。
【００３９】
本実施形態では、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とが、仮想線で示すごとく、相対位置関係を保持した状態で、搬送用張架部分５１ａの搬送方向Ｘと平行な方向へ、一体に移動可能であるところを特徴とする。なお、移動の向きは、搬送方向Ｘの上流側または下流側が必要に応じ適宜選択される。
【００４０】
さらに本実施形態の搬送ユニット２０は、搬送ベルト５１における搬送用張架部分５１ａ、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１との間の張架部分５１ｂ、および、張力付与回転体３１と回転駆動体４１との間の張架部分５１ｃを、互いに平行となるように構成したところを特徴としている。
【００４１】
かかる構成によれば、本実施形態の搬送ユニット２０は、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、搬送用張架部分５１ａの搬送方向Ｘに対し平行な方向へ一体に移動させると、搬送用張架部分５１ａの搬送方向Ｘの長さが増加または減少するが、搬送ベルト５１の第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１との間の張架部分５１ｂの長さは一定であり、張力付与回転体３１と回転駆動体４１との間の張架部分５１ｃの長さが、搬送用張架部分５１ａの変化量と等しい長さだけ、反対に減少または増加する。よって、搬送ベルト５１の全体として、経路長が変化せず一定に保たれるから、搬送ベルト５１に付与されている張力を変化させることなく、搬送用張架部分５１ａの長さを変更することが可能である。
【００４２】
本実施形態の搬送ユニット２０は、前記の機能を有しているから、図１，２に示すように、２つの搬送ユニット２０，２５を直列に配設して搬送装置２を構成した場合に、一方の搬送ユニット２０の搬送用張架部分５１ａの搬入側端部と、これに隣接する他方の搬送ユニット２５の搬送用張架部分５２ａの搬出側端部との間隙Ｇの間隔寸法Ｄを、必要に応じて調整するのが容易である。
【００４３】
先に述べたとおり、図１および図２に示す搬送方向Ｘの上流側に位置する搬送ユニット２５については、本発明を適用しても適用しなくてよい。本発明を適用しない場合、この搬送ユニット２５には、従来公知の搬送ユニットを用いることができる。
【００４４】
あるいは、無端状の搬送ベルト５２と、この搬送ベルト５２が巻掛けられ、回転軸線まわりに回転自在な第１の回転支持体２２ａと、第１の回転支持体２２ａの回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、搬送ベルト５２が巻掛けられて、第１の回転支持体２２ａとの間に搬送用張架部分５２ａを形成する第２の回転支持体２２ｂと、搬送ベルト５２が巻掛けられ、第１の回転支持体２２ａの回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転駆動される回転駆動体４２と、第１の回転支持体２２ａの回転軸線に平行な回転軸線まわりに回転自在であって、第１の回転支持体２２ａと回転駆動体４２との間に張架される搬送ベルト５２の張架部分５２ｃの外周面に接触して、搬送ベルト５２に緊張力を付与する張力付与回転体３２とを備える点は、図３および図４に示す本発明に係る搬送ユニット２０と共通とし、第１の回転支持体２２ａと張力付与回転体３２とが一体には移動しない構成の搬送ユニット２５とすることが考えられる。
【００４５】
さらに、本発明を適用しない搬送ユニット２５については、搬送ベルト５２における搬送用張架部分５２ａと、第１の回転支持体２２ａと張力付与回転体３２との間の張架部分５２ｂと、張力付与回転体３２と回転駆動体４２との間の張架部分５２ｃとを、必ずしも平行に構成しなくてよい。
【００４６】
なお本実施形態では、図１および図２に示すように、２つ以上の搬送ユニット２０，２５を搬送方向が一致するように配設して搬送装置２を構成した場合に、各搬送ユニット２０，２５の回転駆動体４１，４２を、タイミングベルトなどの駆動力伝達部材６ａで連結するとともに、いずれか一方の回転駆動体４１と、別途設けた駆動装置７ａの駆動軸７ｂとを、タイミングベルトなどの駆動力伝達部材６ｂで連結する構成を採用した。かかる構成により、１つの駆動装置７ａで全部の搬送ユニット２０，２５を駆動することができ、しかも、各搬送ユニット２０，２５間の搬送動作を同期させるのが容易になる。
【００４７】
次に、搬送ユニット２０の第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、一体に移動可能とするための実施形態について述べる。本実施形態は、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、搬送用張架部分５１の搬送方向Ｘに対し平行な方向へ移動可能な可動フレーム６２に取り付けたところを特徴とするものである。その構造の一例を、図５〜７に示す。
【００４８】
図５は、本発明の一実施形態に係る搬送ユニット２０を示す斜視図、図６は、図５に示す搬送ユニット２０において、搬送ベルト５１と手前側の支持プレート６３ｂとを取り外して示す斜視図、図７は、可動フレーム６２を固定フレーム６１から取り外した状態を示す斜視図である。
【００４９】
本実施形態の搬送ユニット２０は、第１の回転支持体２１ａ，第２の回転支持体２１ｂ，張力付与回転体３１，および回転駆動体４１を支持するための支持手段６０に特徴を有する。この支持手段６０は、図５〜７に示すように、回転駆動体４１および第２の回転支持体２１ｂの両端部を支持する２つの支持プレート６３，６３と、この支持プレート６３，６３間に適宜の固定部材６８で固定される固定フレーム６１と、この固定フレーム６１の上面６１ａに装着される可動フレーム６２とを備え、この可動フレーム６２に、第１の回転支持体２１ａおよび張力付与回転体３１とが取り付けられる。
【００５０】
搬送ベルト５１の搬送方向Ｘに対し、搬送用張架部分５１ａの表面（搬送面２０ｓ）と同一平面内で直交する方向を幅方向とすると、固定フレーム６１の幅寸法は、支持プレート６３，６３の間隔寸法に等しく設定され、可動フレーム６２の幅寸法は、固定フレーム６１の幅寸法よりも短く設定される。第２の回転支持体２１ｂおよび回転駆動体４１の軸方向長さは、支持プレート６３，６３の間隔寸法に等しくまたはそれ以上に設定され、第１の回転支持体２１ａおよび張力付与回転体３１の軸方向の長さは、支持プレート６３，６３の間隔寸法よりも短く設定される。
【００５１】
固定フレーム６１は、その上面６１ａが、搬送ベルト５１の搬送面２０ｓと平行となるように形成される。また、適所に、長手方向を搬送方向Ｘと平行に形成した長孔６６，６６が形成される。また、固定フレーム６１の上面６１ａに、可動フレーム６２の移動方向を規制する案内部材として、図５，６に示すようなピン６４や、図７に示すようなレール６９を設ける。
【００５２】
可動フレーム６２は、固定フレーム６１の上面６１ａに載置される底板部６２ｂと、その幅方向の両端部に起立形成した起立部６２ａ，６２ａとを有する。この起立部６２ａ，６２ａ間に、第１の回転支持体２１ａおよび張力付与回転体３１の両端部を支持して、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１との相対位置関係を固定する。また、底板部６２ｂにおける、固定フレーム６１の長孔６６，６６と対応する位置に、ボルト６５を螺合させるねじ孔６７，６７を形成する。
【００５３】
可動フレーム６２の組み付けは、当該可動フレーム６２を、支持プレート６３，６３間に固定した固定フレーム６１の上面６１ａに載置して、ピン６４又はレール６９の間に位置させる。そして、ボルト６５を、固定フレーム６１の下面側から長孔６６を通過させて、可動フレーム６２のねじ孔６７に螺合させて締め付ける。ピン６４またはレール６９により、可動フレーム６２の移動方向が、搬送方向Ｘと平行な方向Ｃ（図６参照）に規制される。
【００５４】
搬送ベルト５１の搬送用張架部分５１ａの搬送方向の長さを変更する場合は、ボルト６５の締結状態を緩める。ボルト６５は底板部６２ｂの長孔６６に挿通されており、また、ピン６４またはレール６９などの案内部材の間に可動フレーム６２を配置したから、可動フレーム６２は、固定フレーム６１の上面６１ａで、搬送方向Ｘと平行な方向Ｃにのみ移動させることができる。これにより、可動フレーム６２に取り付けた第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とが、搬送方向Ｘと平行な方向へ一体に移動するから、搬送ベルト５１に付与されている張力を変化させずに、搬送用張架部分５１ａの長さを変更することが可能である。
【００５５】
なお、張力付与回転体３１については、搬送ベルト５１に付与する緊張力を調整するため、可動フレーム６２に対する固定位置を変更できるようにしてもよい。
【００５６】
さらに、支持プレート６３，６３間に支持される第２の回転支持体２１ｂについては、上下方向へ移動可能として、搬送ベルト５１の搬送面２０ｓの水平レベルを調整できるように構成してもよい。
【００５７】
前記支持手段６０の構成は一例であり、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを一体に移動させることが可能であれば、図示するものに限定されない。
【００５８】
また前記実施形態は、第１の回転支持体２１ａが搬送方向Ｘの上流側に位置する場合について述べたものであるが、第１の回転支持体２１ａが搬送方向Ｘの下流側に位置するように構成し、これと張力付与回転体３１とを一体移動させることも可能である。
【００５９】
さらに、搬送ベルト５１に付与されている張力を変化させずに、搬送用張架部分５１ａの長さを変更できるという本発明の特徴を損なわないように、搬送ユニット２０に搬送ベルト５１を支持する回転体を追加することも可能である。
【実施例】
【００６０】
以下、本発明に係る搬送装置を被検査体の検査装置に応用した実施例について、図面を参照しながら説明する。なお各図に示す構成部材の厚みや寸法などは、図面作成上の観点から採用されたものであり、本発明の構成は、図示する態様に限定されるものではない。
【００６１】
（実施例１）
図８は、本発明の実施例１に係る検査装置１の概略構成を示す図面である。本実施例の検査装置１は、被検査体１０に対し検査光を照射し、光の透過状態から、凹凸などの欠陥の有無を検出するものである。
【００６２】
被検査体１０は、ガラス板、プラスチックシート、液晶パネルなどの光透過性を有する物品である。なお光透過性とは、検査に用いる光に対し所要の透過性を有するものであればよく、透明のみならず、半透明のものでもよい。また、本実施例が対象とする被検査体１０は、表面が平坦なものに限らず、表面が緩やかな曲率の湾曲面である物品を含む。
【００６３】
検査装置１は、被検査体１０を搬送する搬送装置２と、被検査体１０に対し光を照射して欠陥の有無を検知する検出システム５とで構成される。
【００６４】
搬送装置２は、２台または３台以上の複数の搬送ユニット２０，２５を、搬送方向Ｘを一致させて直列に配設して構成される。搬送ユニット２０の被検査体１０が乗載される搬送面２０ｓと、搬送ユニット２５の被検査体１０が乗載される搬送面２５ｓとは、同一平面内に位置するよう調整される。
【００６５】
搬送ユニット２０（２５）は、無端状の搬送ベルト５１（５２）と、搬送ベルト５１（５２）の内周面が巻掛けられる第１の回転支持体２１ａ（２２ａ）と、搬送ベルト５１（５２）の内周面が巻掛けられて、第１の回転支持体２１ａ（２２ａ）との間で被検査体１０が乗載される搬送用張架部分５１ａ（５２ａ）を形成する第２の回転支持体２１ｂ（２２ｂ）と、搬送用張架部分５１ａ（５２ａ）以外の位置で搬送ベルト５１（５２）に接触して駆動力を与える回転駆動体４１（４２）と、第１の回転支持体２１ａ（２２ａ）と、回転駆動体４１（４２）との間で、搬送ベルト５１（５２）の外周面に接触して、搬送ベルト５１（５２）に緊張力を付与する張力付与回転体３１（３２）とを備える。
【００６６】
各搬送ユニット２０，２５それぞれの回転駆動体４１，４２は、タイミングベルトなどの駆動力伝達部材６ａで連結されるともに、一方の回転駆動体４１と、別途設けた駆動装置７ａの駆動軸７ｂとが、タイミングベルトなどの駆動力伝達部材６ｂで連結される。これにより搬送ユニット２０，２５は、１つの駆動装置７ａで同期駆動される。
【００６７】
本実施例では、搬送方向Ｘの下流側に配設した搬送ユニット２０に、本発明が適用される。すなわち、当該搬送ユニット２０において、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、相対位置関係を保持した状態で、搬送用張架部分５１ａの搬送方向Ｘと平行な方向へ、一体に移動可能とする。さらに、搬送ベルト５１における、搬送用張架部分５１ａと、第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１との間の張架部分５１ｂと、張力付与回転体３１と回転駆動体４１との間の張架部分５１ｃとを、互いに平行となるように構成する。
【００６８】
第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、相対位置関係を保持した状態で一体に移動可能とするには、図５〜７に例示する固定フレーム６１および可動フレーム６２を用いた支持手段６０を利用すればよい。
【００６９】
なお、本発明が適用される搬送ユニット２０以外の搬送ユニット２５については、図示する以外の構造の、従来公知の搬送ユニットを用いてもよい。
【００７０】
本実施例の検出システム５は、搬送ユニット２５の搬出側端部と、これに隣接する搬送ユニット２０の搬入側端部との間に形成される間隙Ｇの位置で、被検査体１０の欠陥検知を行なうものである。搬送ユニット２０，２５の搬送面２０ｓ，２５ｓよりも下方の領域に、検査光を投射する光照射手段４を設け、搬送面２０ｓ，２５ｓよりも上方の領域に、検査光を受光する受光手段３を設ける。
【００７１】
本実施例の光照射手段４は、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇを通過するように、下方から検査光を照射する照明装置であり、その照射軸Ｐが、搬送面２０ｓ，２５ｓを含む平面に対し直交するように配置される。光照射手段４としては、ＬＥＤ(Light Emitting Diode)ライン照明のような棒状照明が望ましい。受光手段３は、たとえばＣＣＤ(Charge Coupled Device)ラインセンサのような１次元撮像装置から成る検査カメラであり、その受光軸Ｑが、光照射手段４の照射軸Ｐと一致するように配置される。
【００７２】
さらに本検出システム５は、受光手段３が撮像して得た検出信号から明情報と暗情報とを弁別する画像処理装置１２、駆動装置７ａの駆動軸７ｂの回転数を制御する搬送速度制御装置１３、光照射手段４の照度調整装置１４、および、前記各装置を制御するホストコンピュータ１１を具備することが望ましい。
【００７３】
検査装置１は、光照射手段４により、被検査体１０の下方から被検査体１０に対し検査光を照射し、上方に配置した受光手段３で被検査体１０を走査する。受光手段３によって得られる画像は、被検査体１０に実欠陥や付着異物がある場合、該当箇所で検査光が屈折しまたは遮断されるため、周囲よりも輝度が低い暗部として観察される。したがって、画像処理装置１２により、画像中に、輝度が所定値に満たない箇所が在るどうかを判定することで、被検査体１０の欠陥または異物の有無を検出することが可能である。
【００７４】
搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法は、検査対象の被検査体１０の寸法変更や、受光手段３および光照射手段４の配置変更があった場合に、これに対応して、変更することが必要となる場合がある。本実施例の検査装置１は、搬送ユニット２０の第１の回転支持体２１ａと張力付与回転体３１とを、搬送方向Ｘと平行な方向へ一体に移動させることが可能であるから、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法を、必要に応じて、容易に調整可能である。
【００７５】
たとえば、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇを、検査に必要な最小の距離に調整すれば、光照射手段４から照射した検査光が検査装置１の内部で迷走することにより生じる迷光を、搬送ベルト５１，５２で遮光して、欠陥検出に不要な光が受光手段３の受光範囲内に入射することを回避できる。よって、検査精度を向上させた被検査体１０の検査装置を提供することができる。
【００７６】
しかも本実施例の検査装置１は、第１の回転支持体２１ａの位置を変更して、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法を調整する過程において、搬送ベルト５１の張力が一定に保たれるため、間隙Ｇの寸法調整後に、搬送ベルト５１の駆動状態が変化することが無い。したがって、搬送ベルト５１の張力が変動したときに発生する、搬送方向Ｘと直交する向きに搬送ベルト５１がしだいに変位する蛇行が起こりにくい。
【００７７】
なお、上流側の搬送ユニット２５の間隙Ｇに臨んでいる第２の回転支持体２２ｂを、上下方向に移動可能とすることもできる。搬送ユニット２５の第２の回転支持体２２ｂの上下位置を調整することにより、被検査体１０が、上流側の搬送ユニット２５から下流側の搬送ユニット２０へ乗り移る際に傾く問題を抑制することが可能である。
【００７８】
（実施例２）
図９は、本発明の実施例２に係る検査装置１Ａの概略構成を示す図面である。本実施例は、平面視形状が比較的大型の被検査体１０Ａを検査対象とする場合である。なお搬送装置２の構成については、実施例１と共通である。また、図８で用いたのと同じ符号は、共通の構成部材を示している。
【００７９】
本実施例では、搬送ユニット２０と搬送ユニット２５との間の間隙Ｇを挟んで、上方領域に検査カメラなどの受光手段３を配置し、下方領域に、照明装置などの２つの光照射手段４Ａ，４Ｂを配置する。受光手段３の受光軸Ｑは、搬送面２０ｓ，２５ｓを含む平面に対し直交する方向とする。光照射手段４Ａ，４Ｂは、この受光軸Ｑに対し対称で、かつ受光手段３の視野外となるように配置される。また、各光照射手段４Ａ，４Ｂの照射軸Ｐ１，Ｐ２は、いずれも受光軸Ｑに対し、所定角度αを成すように設定される。
【００８０】
光照射手段４は、たとえばＬＥＤライン照明のような棒状照明である。受光手段３は、たとえばＣＣＤラインセンサのような検査カメラである。
【００８１】
本実施例の検査装置１Ａは、被検査体１０に欠陥がない場合、検査光が被検査体１０の内部を直進して通過するから、受光手段３には光が入射せず、したがって得られる画像データは、暗情報のみとなる。被検査体１０の内部に実欠陥が在ると、その箇所で検査光が屈折または散乱し、受光手段３へ光が入射する。したがって、暗背景中に、欠陥部分が明情報として観測される画像データが得られる。光照射手段４Ａ，４Ｂを複数配置することにより、明情報の領域を相対的に増加させることができるから、欠陥検出精度が向上する。
【００８２】
搬送ユニット２０，２５間に設けられる間隙Ｇは、光照射手段４Ａ，４Ｂによる照明領域を遮らない寸法に調整する。特に、光照射手段４Ａ，４Ｂの取付位置を変更したことにより、照射軸Ｐ１，Ｐ２の角度が変わったときには、これに合わせて、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法を調整する必要が生じる場合がある。本実施例は、一方の搬送ユニット２０における第１の回転支持体２１ａを、張力付与回転体３１と一体に移動可能としたから、搬送ベルト５１の張力を変化させずに、搬送ベルト５１の搬送用張架部分５１ａの長さを変更して、間隙Ｇの寸法を調整するのが容易である。
【００８３】
なお本実施例において、光照射手段４Ａ，４Ｂを、受光手段３の視野内へ移動させることにより、欠陥部の情報を暗情報として取得することも可能である。
【００８４】
（実施例３）
図１０は、本発明の実施例３に係る検査装置１Ｂの概略構成を示す図面である。本実施例は、比較的大型の被検査体１０Ａを検査対象とするものであって、欠陥部分の暗情報と明情報を同時に取得することにより、異なる種類の欠陥を検出できるように構成したものである。
【００８５】
実施例１および実施例２の検査装置１，１Ａは、被検査体１０，１０Ａの品質として有害な実欠陥と、後工程で除去可能な表面に付着した異物とを混在して検出し、実欠陥と付着した異物とを判別することを想定していない。製造工程における何らかのトラブルにより実欠陥が多発した場合に、単なる付着異物の増加と間違えたときには、前記トラブルへの対処が遅れるという問題を発生させる。反対に、単なる異物の付着の増加を、製造工程上のトラブルと誤解したときには、製造ラインの稼動を無用に一時停止させるなどの問題を招くおそれが有る。
【００８６】
そこで本実施例の検査装置１Ｂでは、被検査体１０Ａの実欠陥と付着異物とを判別できるようにするため、以下のような構成を採用する。被検査体１０Ａの上方に、２つの受光手段３Ａ，３Ｂを配置する。第１の受光手段３Ａは、その受光軸Ｑ１が、搬送面２０ｓ，２５ｓを含む平面に対し直交するように配置し、第２の受光手段３Ｂは、その受光軸Ｑ２が、第１の受光手段３Ａの受光軸Ｑ１に対し、所定角度βをなすように配置する。さらに、これら２つの受光手段３Ａ，３Ｂは、撮像領域がほぼ一致するように設定する。
【００８７】
他方、被検査体１０Ａの下方に配置される光照射手段４については、第１の受光手段３Ａの視野外であって、かつ、第２の受光手段３Ｂの視野内となる領域に位置するとともに、その照射軸Ｐが、第２の受光手段３Ｂの受光軸Ｑ２と一致するように設定する。
【００８８】
光照射手段４は、たとえばＬＥＤライン照明のような棒状照明である。受光手段３は、たとえばＣＣＤラインセンサのような検査カメラである。
【００８９】
被検査体１０に実欠陥が存在する場合、その部分で、光照射手段４から照射された検査光が屈折または散乱し、これが第１の受光手段３Ａに入射するから、第１の受光手段３Ａは実欠陥を明情報として取得する。他方、被検査体１０Ａの表面に付着異物が存在する場合、その部分で検査光が遮光されるため、第２の受光手段３Ｂは付着異物の存在を暗情報として取得する。このようにして本実施例の検査装置１Ｂは、凹凸などの実欠陥と、付着異物などの除去可能な欠陥とを区別して検出することができる。
【００９０】
本実施例では、検査装置１Ｂが前述のような機構で被検査体１０Ａの欠陥を検出するから、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法を適切に設定する必要がある。すなわち、使用する第１，第２の受光手段３Ａ，３Ｂおよび光照射手段４の種類や配置を考慮して、第１および第２の受光手段３Ａ，３Ｂの視野を遮らず、かつ、検査領域を十分照明できるように、間隙Ｇの大きさを設定しなくてはならない。本実施例では、搬送ユニット２０，２５の少なくとも一方に本発明を適用して、間隙Ｇに臨む第１の回転支持体２１ａを、搬送方向Ｘと平行に移動可能としたので、検査条件の変更に応じた間隙Ｇの調整を容易に行なえる。
【００９１】
（実施例４）
図１１は、本発明の実施例４に係る検査装置１Ｃの概略構成を示す図面である。本実施例は、前述した実施例３において、光照射手段５を、ＬＥＤ面照明装置のような面状光源としたものである。その他の構成については、実施例３と共通するので、ここでの説明は省略する。
【００９２】
本実施例では、第１の受光手段３Ａの受光軸Ｑ１を、搬送面２０ｓ，２５ｓを含む平面に対し直交させるとともに、面状の光照射手段５における搬送方向Ｘの前方側端縁の位置に一致させる。他方、第２の受光手段３Ｂは、その受光軸Ｑ２を第１の受光手段３Ａの受光軸Ｑ１に対し角度βだけ傾斜させるとともに、その視野内に光照射手段５の発光領域が収まるように配置する。
【００９３】
本実施例の検査装置１Ｃは、光照射手段５を面状光源とすることにより、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇ全体が照明される状態となる。第１および第２の受光手段３Ａ，３Ｂは、被検査体１０の実欠陥を、搬送による位置の移動に伴い輝度が経時的に変化する情報として検知するが、第１の受光手段３Ａと第２の受光手段３Ｂとでは、得られる情報に相違がある。また、実欠陥の種類により、輝度の変化状態が相違する。他方、被検査体１０の表面に付着した異物については、第１および第２の受光手段３Ａ，３Ｂはいずれも、これを輝度が低い暗情報として検知する。このようにして第１および第２の受光手段３Ａ，３Ｂが得た輝度情報の経時的変化を比較・解析することで、被検査体１０に存在する欠陥の種類を詳細に検出することが可能となる。
【００９４】
本実施例では、光照射手段５が被検査体１０を光照射する範囲を適切に設定するため、搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの大きさを調整する必要がある。本実施例では、搬送ユニット２０，２５の少なくとも一方に本発明を適用して、間隙Ｇに臨む第１の回転支持体２１ａを、搬送方向Ｘと平行に移動可能としたので、検査条件に最適となるように、間隙Ｇの寸法を調整することが容易である。
【００９５】
（実施例５）
図１２は、本発明の実施例５に係る検査装置１Ｄの概略構成を示す図面である。本実施例は、比較的小型の被検査体１０Ｂを検査する場合の構成である。
【００９６】
搬送ユニット２０と搬送ユニット２５との間の間隙Ｇを挟んで、その上方領域に受光手段３を配置し、下方領域に、光照射手段４を配置する。本実施例では、光照射手段４を、その照射軸Ｐが、搬送面２０ｓ，２５ｓを含む平面に対し直交する方向となりように配置し、受光手段３を、その視野内に光照射手段４が位置するとともに、その受光軸Ｑが、光照射手段４の照射軸Ｐに対し、比較的小さな所定角度γを成すように配置したところを特徴とする。
【００９７】
光照射手段４は、たとえばＬＥＤライン照明のような棒状照明である。受光手段３は、たとえばＣＣＤラインセンサのような検査カメラである。
【００９８】
受光手段３と光照射手段４との位置関係を調整することで、被検査体１０Ｂの欠陥部を明情報あるいは暗情報として取得することができる。
【００９９】
搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇは、搬送方向Ｘの長さ寸法が小さい被検査体１０Ｂの乗り移りが正常に行えるようにするため、あまり広くすることができない。他方、受光手段３が検査光を確実に受光できるような間隔を確保する必要がある。搬送ユニット２０，２５間の間隙Ｇの寸法は、このような条件を満足するよう、適切に設定する必要がある。
【０１００】
本実施例では、搬送ユニット２０，２５の少なくとも一方に本発明を適用して、間隙Ｇに臨む第１の回転支持体２１ａを、搬送方向Ｘと平行に移動可能としたので、検査条件に最適となるように、間隙Ｇの寸法を調整することが容易である。
【０１０１】
前述した各実施例は、いずれも例示であって、本発明を制限するものではない。また本発明は、特許請求の範囲に記載した事項と均等の範囲内でのすべての変更を含むものとする。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明は、光透過性を有する被検査体の検査装置の搬送装置だけでなく、搬送ベルトの搬送用張架部分の長さを調整する必要がある搬送装置であれば、適用することが可能である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  検査装置
２  搬送装置
３  受光手段
４  光照射手段
７ａ  駆動装置
７ｂ  駆動軸
１０  被検査体
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  搬送対象物
２０  搬送ユニット
２０ｓ  搬送面
２１ａ  第１の回転支持体
２１ｂ  第２の回転支持体
３１  張力付与回転体
４１    回転駆動体
５１  搬送ベルト
５１ａ  搬送用張架部分
【図１】
2013246106.tif 000003
【図２】
2013246106.tif 000004
【図３】
2013246106.tif 000005
【図４】
2013246106.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2013246106.tif 000012
【図１１】
2013246106.tif 000013
【図１２】
2013246106.tif 000014
【図１３】
2013246106.tif 000015
【図１４Ａ】
2013246106.tif 000016
【図１４Ｂ】
2013246106.tif 000017
【図１５】
2013246106.tif 000018