(57)【要約】【課題】効率的に太陽電池の電極を形成する。【解決手段】（ａ）複数の太陽電池セルＳＣを、複数の配線部材３２を介して電気的に接続し、組立体３１を形成する工程、（ｂ）表面３３ａ、裏面３３ｂ、および表面３３ａから裏面３３ｂまで貫通する貫通孔３５ａを有する基板３３を準備して、表面３３ａ側に組立体３１を配置する工程（ｃ）組立体３１の配線部材３２を基板３３の表面３３ａ側から裏面３３ｂに電気的に引き出す工程、（ｄ）前記（ｃ）工程の後、基板３３の表面３３ａ側に液状の樹脂３４ａを塗布し、組立体３１を封止する工程、（ｅ）液状の樹脂３４ａを硬化させる工程を有している。ここで、基板３３の貫通孔３５ａには、前記（ｄ）工程の前に導体柱３５が埋め込まれている。【選択図】図１６
2013077712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）光電変換部を備える複数の太陽電池素子を、複数の配線部材を介して電気的に接続し、組立体を形成する工程、
（ｂ）表面、前記表面の反対側に位置する裏面、前記表面および前記裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔、および前記複数の貫通孔に挿入されて保持される複数の導体柱を有する基板を準備して、前記表面側に前記組立体を配置する工程、
（ｃ）前記基板の前記複数の導体柱と前記組立体の前記複数の配線部材を電気的に接続する工程、
（ｄ）前記（ｃ）工程の後、前記基板の前記表面側に液状の樹脂を塗布し、前記組立体を封止する工程、
（ｅ）前記液状の樹脂を硬化させる工程、
を有し、
前記複数の貫通孔の開口形状は前記複数の導体柱の形状に倣って形成され、前記複数の導体柱は前記複数の貫通孔に圧入されることにより前記基板に保持されることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記（ｂ）工程では前記複数の太陽電池素子の受光面の反対側に位置する裏面が、それぞれ前記基板の前記表面と対向するように配置することを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の導体柱の高さは、前記複数の貫通孔の高さよりも大きくなるように形成され、
前記複数の導体柱の一方の端部は、前記基板の前記表面側において突出していることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の導体柱の他方の端部は、前記基板の前記裏面と同じ高さになっている、または前記裏面において突出していることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の配線部材は、帯状に延びる導体膜により形成され、
前記複数の導体柱は円柱形状を成し、
前記複数の導体柱の円の直径は、前記配線部材の配線幅よりも大きいことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項６】
（ａ）光電変換部を備える複数の太陽電池素子を、複数の配線部材を介して電気的に接続し、組立体を形成する工程、
（ｂ）表面、前記表面の反対側に位置する裏面、および前記表面および前記裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔を有する基板を準備して、前記表面側に前記組立体を配置する工程、
（ｃ）前記基板の前記表面側から前記複数の貫通孔に向かって複数の埋め込み部材を挿入する工程、
（ｄ）前記（ｃ）工程の後、前記基板の前記表面側に液状の樹脂を塗布し、前記組立体を封止する工程、
（ｅ）前記液状の樹脂を硬化させる工程、
を有し、
前記組立体は、前記複数の太陽電池素子、前記複数の配線部材、および前記複数の配線部材と電気的に接続される複数の配線引出部を有し、
前記（ｂ）工程では、前記複数の配線引出部の端部と、前記複数の貫通孔とがそれぞれ重なるように前記組立体が配置され、
前記（ｃ）工程では、前記配線引出部の端部が前記基板の前記裏面側に露出するように前記埋め込み部材で前記配線引出部を押し出すことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記（ｂ）工程では前記複数の太陽電池素子の受光面の反対側に位置する裏面が、それぞれ前記基板の前記表面と対向するように配置することを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の配線部材は、帯状に延びる導体膜により形成されることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の貫通孔の開口径は、前記基板の厚さよりも大きいことを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項６に記載の光電変換装置の製造方法において、
前記複数の埋め込み部材は、前記基板と同じ材料で形成されていることを特徴とする光電変換装置の製造方法。
【請求項１１】
表面、前記表面の反対側に位置する裏面、前記表面および前記裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔、および前記複数の貫通孔に挿入されて保持される複数の導体柱を有する基板と、
光電変換部を備える複数の太陽電池素子、および前記複数の太陽電池素子と前記複数の導体柱を電気的に接続する複数の配線部材を有し、前記基板の前記表面側に配置される組立体と、
前記基板の前記表面側に形成され、前記組立体を封止する樹脂体と、
を有し、
前記複数の貫通孔の開口形状は前記複数の導体柱の形状に倣って形成され、前記複数の導体柱は前記複数の貫通孔に圧入されることにより前記基板に保持されることを特徴とする光電変換装置。
【請求項１２】
表面、前記表面の反対側に位置する裏面、前記表面および前記裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔、および前記複数の貫通孔に挿入される複数の埋め込み部材を有する基板と、
光電変換部を備える複数の太陽電池素子、および前記複数の太陽電池素子と電気的に接続する複数の配線部材を有し、前記基板の前記表面側に配置される組立体と、
前記基板の前記表面側に形成され、前記組立体を封止する樹脂体と、
を有し、
前記組立体は、前記複数の太陽電池素子、前記複数の配線部材、および前記複数の配線部材と電気的に接続される複数の配線引出部を有し、
前記複数の配線引出部は前記埋め込み部材と共に前記複数の貫通孔にそれぞれ挿入され、前記基板の前記裏面側に露出していることを特徴とする光電変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光電変換装置の製造技術に関し、特に、太陽電池モジュールの太陽電池セルから電力を取り出すための引き出し配線の形成に適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特開２０１０-１５７６５２号公報（特許文献１）には、ガラスエポキシやアルミニウムなどの基板上に複数枚の太陽電池素子を配置して、これらをウレタン樹脂によって封入した太陽電池パネルが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０-１５７６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
太陽電池に代表される光電変換装置では、太陽電池セル（セル）と呼ばれる複数の太陽電池素子を電気的に接続してモジュール化することにより要求電力量を出力する構造となっている。太陽電池セルには、入射光を電力に変換する光電変換部を備えるが、光電変換部の構成材料により分類すると、結晶シリコン系（単結晶または多結晶）、薄膜アモルファス・微結晶シリコン系、ＣＩＳ（銅インジウムセレナイド）系、ＣＩＧＳ（二セレン化銅インジウムガリウム）系などの化合物系や色素増感・有機薄膜系などがある。
【０００５】
太陽電池モジュールでは、上記のいずれの太陽電池セルを用いても、太陽電池セルおよび複数の太陽電池セルを接続する配線部材を保護するため、樹脂などの保護部材で封止する必要がある。また、太陽電池セルの損傷や配線部材の断線を防止ないしは抑制する観点からは、樹脂封止された複数の太陽電池セルおよび配線部材をガラス基板などの補強部材に固定する必要がある。このような太陽電池モジュールの構造としては、配線材を介して複数の太陽電池セルを電気的に接続した組立体をＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂により封止し、樹脂封止体の受光面側にガラス基板を、受光面の反対側にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂シートを貼り付けた構造体が知られている（例えば、前記特許文献１の図１１参照）。
【０００６】
前記ＥＶＡ樹脂を用いて封止する太陽電池モジュールは、例えば以下のように組み立てられる。まず、ガラス基板上に架橋前のＥＶＡ樹脂シートを載せ、その上に複数の太陽電池が配線材を介して電気的に接続された組立体、架橋前の別のＥＶＡ樹脂シート、およびＰＥＴ樹脂シートを順次積層する。この時、前記組立体上に載せるＥＶＡ樹脂シートおよびＰＥＴ樹脂シートには貫通孔が形成されており、前記配線材の一部をこの貫通孔に通すことで太陽電池セルから外部に電力を取り出すための引き出し配線とする。次に、減圧チャンバ（真空チャンバ）内にこの積層物を配置して、減圧状態で積層物を加熱しながら積層物をプレスする、所謂、真空ラミネート加工を施す。これによりＥＶＡ樹脂が流動化して前記組立体が封止される。そして、ＥＶＡ樹脂に架橋処理を施し硬化させることにより、上記した太陽電池モジュールが得られる。
【０００７】
ここで、上記の太陽電池モジュールの場合、太陽電池モジュール１個を組み立てるために要する時間が長いため、タクトタイムが長いという課題がある。特に、真空ラミネート加工の工程では、真空チャンバ内でＥＶＡ樹脂シートを一体化させるので長い加工時間を要する。一方、複数の太陽電池モジュールを一括して処理する場合には、大型の真空チャンバが必要となり、装置構成も煩雑になる。また、ＥＶＡ樹脂シートで封止する方式の場合、補強部材としてガラス基板を用いるため、太陽電池モジュールの単位面積当たりの重量が重くなるという課題がある。
【０００８】
そこで、本願発明者は、上記したＥＶＡ樹脂シートを用いた封止方式に代えて、以下の封止方式について検討した。すなわち、電気的に接続された複数の太陽電池セルを基板上に配置して、前記複数の太陽電池セル上から塗布装置を用いて液状（ペースト状）の樹脂を塗布する。そして複数の太陽電池セルおよび配線材が液状の樹脂により覆われた状態で樹脂を硬化させて複数の太陽電池セルおよび配線部材を封止する。この封止方式の場合、前記した真空ラミネート加工を含む封止方式と比較して、組立工程を単純化することができるので、タクトタイムを短縮することができる。また、封止用の樹脂を予めシート状に形成しておく必要がないので、封止用樹脂の選択の自由度が向上する。このため、例えば、封止用の樹脂を硬化させることで、太陽電池モジュールに要求される強度を確保することができれば、ガラス基板を取り付けなくても良いので太陽電池モジュールを軽量化することができる。
【０００９】
ところが、本願発明者がさらに検討を行った結果、液状（ペースト状）の樹脂を塗布して封止する方式では、以下の課題が生じることが判った。すなわち、液状の樹脂を塗布する場合、太陽電池セルから外部に電力を取り出すための引き出し配線を通すための貫通孔を基板に形成しておく必要があるが、前記貫通孔から硬化前の樹脂が漏れ出てしまうことが判った。硬化前の樹脂が貫通孔から漏れ出た場合、塗布装置が汚染される。また、引き出し配線が漏れ出た樹脂により封止されてしまう場合がある。また、漏れ出し量によっては、基板上の樹脂量が不足して、太陽電池セルの封止不良の原因となる。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、光電変換装置を効率的に組み立てる技術を提供することにある。
【００１１】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的な形態の概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１３】
すなわち、本発明の一実施の形態である光電変換装置の製造方法は、（ａ）光電変換部を備える複数の太陽電池素子を、複数の配線部材を介して電気的に接続し、組立体を形成する工程を有している。また、（ｂ）表面、前記表面の反対側に位置する裏面、および前記表面および前記裏面のうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔を有する基板を準備して、前記表面側に前記組立体を配置する工程を有している。また（ｃ）前記組立体の前記複数の配線部材を前記基板の前記表面側から前記裏面側に電気的に引き出す工程を有している。また、（ｄ）前記（ｃ）工程の後、前記基板の前記表面側に液状の樹脂を塗布し、前記組立体を封止する工程を有している。また、（ｅ）前記液状の樹脂を硬化させる工程を有している。ここで、前記基板の前記複数の貫通孔には、前記（ｄ）工程の前に複数の部材が埋め込まれているものである。
【発明の効果】
【００１４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。
【００１５】
すなわち、光電変換装置を効率的に組み立てることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態である光電変換装置に組み込まれる太陽電池セルの基本構造を示す拡大斜視図である。
【図２】図１に示す太陽電池セルの表面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。
【図３】図１に示す太陽電池セルの裏面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。
【図４】図１〜図３に示す太陽電池セルを複数個組み込んだ太陽電池モジュールの受光面側を示す平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図である。
【図７】図４〜図６に示す光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。
【図８】図７に示す太陽電池セル連結工程で得られる組立体を示す平面図である。
【図９】図７に示す基板準備工程で準備する基板を示す平面図である。
【図１０】図９に示す貫通孔周辺の拡大断面図である。
【図１１】図９に示す導体柱および貫通孔の平面形状を示す拡大平面図である。
【図１２】図９〜図１１に示す貫通孔に導体柱を圧入する工程を示す拡大断面図である。
【図１３】図９に示す基板上に図８に示す組立体を配置した状態を示す平面図である。
【図１４】図１３のＣ部の拡大平面図である。
【図１５】図１３のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。
【図１６】図１５に示す基板上に液状の樹脂を塗布した状態を示す断面図である。
【図１７】図４に対する変形例である太陽電池モジュールを示す平面図である。
【図１８】図１７のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図である。
【図１９】図１７のＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図である。
【図２０】図７に対する変形例である光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。
【図２１】図２０に示す連結セル配置工程を示す断面図である。
【図２２】図２０に示す埋め込み部材挿入工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。
【００１８】
また、以下の実施の形態において、要素の数等（個数、数値、量、範囲等を含む）に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でもよい。
【００１９】
さらに、以下の実施の形態において、その構成要素（要素ステップ等も含む）は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではない。
【００２０】
同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
【００２１】
また、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。なお、図面をわかりやすくするために平面図であってもハッチングを付す場合がある。
【００２２】
また、本願において用いる用語の意味を説明する。太陽電池セルとは、光エネルギーを電気的エネルギーに変換する光電変換部、および前記光電変換部で発生した電力を外部に取り出すための電極を備えた太陽電池素子である。また、太陽電池モジュールとは、配線材を介して複数の太陽電池セルを電気的に接続された組立体を樹脂封止したモジュールである。また、太陽電池パネルとは、太陽電池モジュールに電力取り出し用の端子群（ジャンクションボックスと呼ばれる）を取り付けたものである。また、光電変換装置、または太陽電池装置と記載した時は、特に異なる意味で用いる旨を記載した場合を除き、太陽電池モジュールまたは太陽電池パネルを意味する。
【００２３】
また、以下の実施の形態では、光電変換装置の適用例として、本願発明者が具体的に検討した単結晶シリコン系または多結晶シリコン系の太陽電池を取り上げて詳しく説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
＜太陽電池セルの構造＞
図１は、本実施の形態の光電変換装置に組み込まれる太陽電池セルの基本構造を示す拡大斜視図である。また、図２は、図１に示す太陽電池セルの表面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図、図３は図１に示す太陽電池セルの裏面側の電極のレイアウトの一例を示す平面図である。図１に示すように、本実施の形態の太陽電池セルＳＣは、表面１ａ、表面１ａの反対側に位置する裏面１ｂおよび表面１ａと裏面１ｂの間に形成された光電変換部（ｐｎ接合部）を有する基板（半導体基板）１を有している。基板１は、例えば単結晶シリコンまたは多結晶シリコン（以下、単にシリコン結晶と呼ぶ）に第１の不純物濃度で第１導電型（例えばｐ型）とするための不純物がドープされた半導体層（ｐ型半導体層）２を有している。また、半導体層２の表面１ａ側には、シリコン結晶に第１導電型とは反対の第２導電型（例えばｎ型）とするための不純物がドープされた半導体層（ｎ型半導体層）３が形成されている。太陽電池セルＳＣでは、この半導体層２、３のｐｎ接合部で光起電力効果を利用して入力光から電力を発生させる。つまり、半導体層２、３のｐｎ接合部は光電変換部を構成する。また、半導体層３の表面１ａ側には、反射抑制膜、あるいは保護膜として機能する絶縁膜４が形成されている。この絶縁膜４は、例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）から成り、受光面である表面１ａ側から半導体層２、３に向かって入射した光が反射することを抑制する機能を有している。したがって、半導体層３の表面１ａ側の面を絶縁膜４で覆うことにより、入射光のエネルギーをｐｎ接合部で効率的に吸収することができる。また、絶縁膜４は、半導体層３を例えば汚染などから保護するパッシベーション膜として機能する。したがって、半導体層３の表面１ａ側の面を絶縁膜４で覆うことにより、半導体層３の汚染や損傷を防止ないしは抑制することができる。一方、半導体層２の裏面１ｂ側には、第１の不純物濃度よりも高い第２の不純物濃度で第１導電型（例えばｐ型）の不純物がドープされた半導体層（ｐ＋型半導体層、逆電界領域）５が形成されている。なお、半導体層５は、半導体層５の裏面１ｂ側に形成された面電極２０ａに含まれる例えばアルミニウムが熱拡散により半導体層２に分散することで形成される。この半導体層５は、ｐｎ接合部で発生したキャリアが裏面１ｂで再結合により焼失することを抑制するための逆電界領域であり、ＢＳＦ（Back Surface Field）層と呼ばれる。
【００２５】
また、基板１の表面１ａには表面電極（電極）１０が、基板１の裏面１ｂには裏面電極（電極）２０がそれぞれ形成されている。表面電極１０には、ある方向（例えば図１、図２ではＹ方向）に沿って延びる複数（多数）のフィンガ電極（電極、電極配線）１０ａと、フィンガ電極１０ａが延びる方向と交差（直交）する方向（例えば図１、図２ではＸ方向）に沿って延びるバス電極１０ｂを含んでいる。フィンガ電極１０ａは、裏面電極２０との間で発生した電力を取り出すための電極であって、図２に示すように表面１ａ全体に分布するように略等間隔で配置されている。一方、バス電極１０ｂはフィンガ電極１０ａが取り出した電力を集約して外部に伝送するための集合配線（集合電極）であって、図２に示すように、複数のフィンガ電極１０ａと接続され、フィンガ電極１０ａよりも太い線幅で形成されている。例えば本実施の形態では、複数のフィンガ電極１０ａはそれぞれ５０μｍ〜１００μｍ程度の線幅で形成され、バス電極１０ｂは１．５ｍｍ〜３ｍｍ程度の線幅で形成されている。集合配線であるバス電極１０ｂの線幅を太くすることにより、伝送経路の内部インピーダンスを低減できるので電力伝送時の損失を低減することができる。また、伝送経路の内部インピーダンスを低減する観点から複数のバス電極１０ｂを配置することが好ましい。図２に示す例では、複数（例えば２本）のバス電極１０ｂが形成されている。
【００２６】
一方、裏面電極２０には、ある方向（例えば図１、図３ではＸ方向）に沿って延びる複数（図３では３個）の面電極（電極）２０ａと、複数の面電極２０ａの間に配置され、面電極２０ａと同じ方向（例えば図１、図３ではＸ方向）に沿って延びるバス電極２０ｂを含んでいる。面電極２０ａは、複数のフィンガ電極１０ａとの間で発生した電力を取り出すための電極であって、図３に示すようにバス電極２０ｂが配置された領域を除き、裏面１ｂの全体を覆うように配置されている。一方、バス電極２０ｂは面電極２０ａが取り出した電力を集約して外部に伝送するための集合配線（集合電極）であって、図３に示すように、複数の面電極２０ａと接続され、フィンガ電極１０ａ（図２参照）よりも太い線幅で形成されている。例えば本実施の形態では、バス電極２０ｂは２ｍｍ〜４ｍｍ程度の線幅で形成されている。また、伝送経路の内部インピーダンスを低減する観点から複数のバス電極２０ｂを配置することが好ましい。図３に示す例では、複数（例えば２本）のバス電極２０ｂが形成されている。
【００２７】
＜光電変換装置＞
次に、上記の太陽電池セルＳＣを複数個組み込んだ光電変換装置の構造について説明する。図４は図１〜図３に示す太陽電池セルを複数個組み込んだ太陽電池モジュールの受光面側を示す平面図、図５は図４のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図、図６は図４のＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図である。
【００２８】
上記のように太陽電池セルＳＣは、受光面である表面１ａ側から受光し、その光のエネルギーを光電変換部であるｐｎ接合部で吸収して電力を生成する。言い換えれば、光エネルギーを電気的エネルギーに変換する。そして、生成した電力を表面電極１０および裏面電極２０を介して取り出して太陽電池セルＳＣの外部に伝送する。また、図４〜図６に示すように、複数の太陽電池セルＳＣを直列接続あるいは並列接続で電気的に接続し、モジュール化して、太陽電池モジュール（光電変換装置）３０とする。このように複数の太陽電池セルＳＣをモジュール化することで、所望の電力量を得ることができる。図４では、行方向に４個、列方向に４個、合計１６個の太陽電池セルＳＣを行列状（マトリクス状）に配置して、それぞれ直列接続により電気的に接続した例を示している。
【００２９】
図４〜図６に示す太陽電池モジュール３０は、配線部材３２を介して複数の太陽電池セルＳＣを電気的に接続した組立体３１を備えている。この組立体３１は構造的に損傷し易いので、太陽電池モジュール３０は、組立体３１が樹脂封止されることにより形成されている。詳しくは、図５および図６に示すように、組立体３１は、樹脂封止面である表面３３ａおよび表面３３ａの反対側の裏面３３ｂを有する基板３３上（基板３３の表面３３ａ側）に配置され、基板３３の表面３３ａ側を覆うように形成された樹脂体３４により封止されている。複数の太陽電池セルＳＣを樹脂封止することで、太陽電池セルＳＣが外力により損傷することを防止ないしは抑制することができる。
【００３０】
組立体３１を構成する配線部材３２は、複数の太陽電池セルＳＣを電気的に接続する帯状の導体膜であって、例えば銅膜の表面に接合部材として半田膜が形成されて成る。また、配線幅（配線部材３２の延在方向に対して直交する方向の長さ）は例えば２ｍｍ〜３ｍｍ程度、厚さは例えば１００μｍ程度である。図５、図６に示すように複数の太陽電池セルＳＣを直列接続する場合、一つの太陽電池セルＳＣの裏面電極２０を他の太陽電池セルＳＣの表面電極１０と接続し、これを順次繰り返す必要がある。このため、配線部材３２は隣り合う太陽電池セルＳＣの間で傾斜させる必要がある。配線部材３２に薄い導体膜を用いれば、配線部材３２を変形させ易くすることができるので、容易に直列接続することができる。また、基材導体膜である銅膜の表面に接合部材として半田膜を形成することで、太陽電池セルＳＣのバス電極１０ｂ、２０ｂと容易に接合することができる。また、半田膜を溶融させてバス電極１０ｂ、２０ｂと接合すれば、配線部材３２がバス電極１０ｂ、２０ｂから剥離し難くなるので、電気的接続信頼性を向上させることができる。
【００３１】
また、図４〜図６に示すように複数の太陽電池セルＳＣは、複数の配線部材３２を介して電気的に接続され、複数の太陽電池セルＳＣおよび複数の配線部材３２により形成される通電経路は、通電経路中に設けられた配線引出部３２ａにおいて、導体柱３５と電気的に接続されている。導体柱３５は、複数の太陽電池セルＳＣおよび複数の配線部材３２により形成される通電経路を太陽電池モジュール３０の外部に引き出すための引出配線であって、太陽電池モジュール３０には、２個以上の導体柱３５が形成されている。そして、導体柱３５の一方を正極、他方を負極の引き出し配線とすることで、複数の太陽電池セルＳＣで生成した電力を太陽電池モジュール３０の外部に取り出すことができる。導体柱３５は、配線部材として用いるので導電性が要求されるため、例えば、銅や鉄などの金属材料で形成する。
【００３２】
また、太陽電池モジュール３０の基板３３は、組立体３１を樹脂封止する際に用いる基材であって、例えば、樹脂から成る。図５、図６に示すように本実施の形態では複数の太陽電池セルＳＣは、受光面とは反対側に配置される裏面電極２０が基板３３と対向するように配置するので、基板３３には光（太陽光）の透過性は要求されず、太陽電池モジュール３０の強度や軽量化を図る観点から好ましい材料を選択することができる。本実施の形態では、例えば、ガラスエポキシ樹脂を板状に成形し、基板３３としている。ただし、太陽電池セルＳＣの基板３３との対向面側を受光面とする場合（例えば両面受光タイプ）には、基板３３の光の透過特性が光電変換装置の光電変換効率に大きな影響を与える。したがって、この場合には、ガラスエポキシ樹脂よりも太陽光の透過特性が高い（太陽光を吸収し難い）材料（例えばガラスなど）で基板３３を形成することが好ましい。
【００３３】
また、基板３３には複数の導体柱３５を挿入するための複数の貫通孔３５ａが形成されている。貫通孔３５ａは、基板３３の表面３３ａおよび裏面３３ｂのうちの一方から他方までを貫通するように形成され、貫通孔３５ａの開口部に導体柱３５が埋め込まれている。貫通孔３５ａは導体柱３５の形状に倣って形成され、本実施の形態では、円柱形の導体柱３５に対して貫通孔３５ａは円筒形に形成される。また導体柱３５の円の直径は貫通孔３５ａの円の直径に対して同じ、あるいは僅かに大きくなるように形成され、貫通孔３５ａ内に導体柱３５が圧入されることで挿入されている。言い換えれば、導体柱３５は所謂、嵌め合い構造により貫通孔３５ａ内に保持される。
【００３４】
また基板３３の表面３３ａ側には組立体３１が配置され、表面３３ａ側には複数の太陽電池セルＳＣと複数の配線部材３２を覆うように樹脂体３４が形成されている。樹脂体３４は、組立体３１と基板３３の間にも廻り込んでおり、組立体３１は樹脂体３４により封止されている。なお、図示は省略したが、組立体３１と基板３３の間に確実に樹脂体３４を廻り込ませるため、太陽電池セルＳＣよりも平面積が小さいスペーサ部材（図示は省略）を組立体３１と基板３３の間に配置することができる。
【００３５】
図５、図６に示すように本実施の形態では樹脂体３４は複数の太陽電池セルＳＣの受光面を覆うように形成される。このため、樹脂体３４の光の透過特性が太陽電池モジュール３０の光電変換効率に大きな影響を与える。また、太陽電池モジュール３０の組立効率の観点から、樹脂体３４は容易、かつ、確実に組立体３１を封止できる材料で構成することが好ましい。そこで、本実施の形態では、ウレタン樹脂、詳しくは、主剤としてのポリオール化合物と硬化剤としてのイソシアネート化合物を混合することで硬化させたウレタン樹脂で、樹脂体３４を構成している。上記のウレタン樹脂で樹脂体３４を構成することで、太陽電池セルＳＣの受光面を樹脂体３４で覆うことによる光電変換効率の低下を抑制することができる。また、詳細は後述するが、主剤と硬化剤を混合して硬化させる樹脂を用いることで、容易、かつ、確実に組立体３１を封止することができるので、太陽電池モジュール３０の組立効率を向上させることができる。
【００３６】
このように太陽電池モジュール３０は基板３３を受光面の反対側に配置することで、基板３３の材料選択の自由度を向上させることができる。この結果、太陽電池モジュール３０の軽量化、あるいは強度向上を図ることができる。
【００３７】
＜光電変換装置の製造方法＞
次に、前記した太陽電池モジュール３０の製造方法について説明する。前記した太陽電池モジュール３０は、図７に示すフローに沿って製造される。図７は、図４〜図６に示す光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。以下フローの概要について説明する。なお、光電変換装置の製造方法は、太陽電池セルＳＣを製造する工程、および複数の太陽電池セルＳＣをモジュール化する工程に大別されるが、太陽電池セルＳＣの製造工程は図１を用いて簡単に説明する。
【００３８】
＜太陽電池セル形成工程＞
まず、太陽電池セル形成工程では、表面１ａ（図１参照）、表面１ａの反対側に位置する裏面１ｂ（図１参照）、および表面１ａと裏面１ｂの間に形成された太陽電池本体（ｐｎ接合部）を有する基板１を準備する。本工程において準備する基板１は、図１に示す半導体層２、３および絶縁膜４が形成されている。ただし、本実施の形態では、図１に示す半導体層５は図７に示す裏面電極形成工程に含まれる焼成工程（裏面電極焼成工程）においてアルミニウムが熱拡散することで形成されるため、基板準備工程の段階では、図１に示す半導体層５が配置される領域にも半導体層２が配置されている。なお、基板１を準備する、とは、基板１を製造するという意味の他、外部で製造された基板１を購入し、準備することも含んでいる。
【００３９】
基板１の製造方法について簡単に説明すると、例えば以下の工程で製造される。基板１の製造工程には、まず、半導体層２を構成する半導体基板を準備する。本実施の形態では、例えば導電型がｐ型の結晶シリコン基板を準備する。次に、ｐ型の結晶シリコン基板の一方の面にｎ型の半導体層３を堆積させてｐｎ接合部を形成する。さらに、半導体層３の表面１ａ側（ｐｎ接合部の反対面側）に例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）から成る絶縁膜４を堆積させて半導体層３を覆うことで、図１に示す基板１（但し、半導体層５は除く）が形成される。
【００４０】
次に、裏面電極形成工程では、基板１の裏面１ｂに面電極２０ａの原料ペースト（面電極材、アルミニウムペースト）およびバス電極２０ｂの原料ペースト（バス電極材、銀ペースト）を塗布した後、焼成（アニール）することで、図１に示す面電極２０ａおよびバス電極２０ｂを形成する。またこの時、面電極材中のアルミニウムが基板１（詳しくは半導体層２）に熱拡散してＰ＋層となり半導体層（ＢＳＦ層）５が形成される。
【００４１】
次に、裏面電極２０が形成された基板１を反転させた（反転工程）後、表面電極形成工程では図１に示すフィンガ電極１０ａおよびバス電極１０ｂを形成する。本工程では、基板１の表面１ａにフィンガ電極１０ａの原料ペースト（フィンガ電極材、銀ペースト）およびバス電極２０ｂの原料ペースト（バス電極材、銀ペースト）を塗布した後、焼成（アニール）することで、図１に示すフィンガ電極１０ａおよびバス電極１０ｂを形成する。以上の工程により、図１〜図３に示す太陽電池セルＳＣが得られる。
【００４２】
＜太陽電池セルモジュール化工程＞
次に、複数の太陽電池セルＳＣをモジュール化する工程について説明する。まず、図７に示す太陽電池セル連結工程では、図８に示すように複数の太陽電池セルＳＣを、複数の配線部材３２を介して電気的に接続し、組立体３１を形成する。図８は、図７に示す太陽電池セル連結工程で得られる組立体を示す平面図である。本工程では、太陽電池セルＳＣのバス電極１０ｂ、２０ｂ（図１参照）のうちの一方（例えば表面電極１０のバス電極１０ｂ）に、帯状に延びる導電膜である配線部材３２の一端部を接合する。配線部材３２の表面には、半田材からなるめっき膜（半田めっき膜）が形成されており、この半田めっき膜を介して、バス電極１０ｂ、２０ｂと配線部材３２を電気的に接続することができる。次に、太陽電池セルＳＣのバス電極１０ｂ、２０ｂ（図１参照）のうちの一方（例えば表面電極１０のバス電極１０ｂ）に配線部材３２の一端部が接合された状態で、太陽電池セルＳＣを整列配置し、太陽電池セルＳＣのバス電極１０ｂ、２０ｂ（図１参照）のうちの他方（例えば裏面電極２０のバス電極２０ｂ）に配線部材３２の他端部を接合する。これにより、複数の太陽電池セルＳＣが直列に接続される。図８に示すように行列状に太陽電池セルＳＣを配置する場合には、例えば行毎に直列接続した複数の中間組立体３１ａを形成し、この複数の中間組立体３１ａの配線部材３２同士を接続することで、組立体３１が得られる。また、複数の太陽電池セルＳＣおよび複数の配線部材３２により形成される通電経路と外部とを電気的に接続するための配線引出部３２ａも本工程で形成される。
【００４３】
また、図７に示す基板準備工程では、図９、図１０に示すように表面３３ａ、表面３３ａの反対側に位置する裏面３３ｂ、表面３３ａおよび裏面３３ｂのうち一方から他方まで貫通する複数の貫通孔３５ａ、および複数の貫通孔３５ａに挿入されて基板３３に保持される複数の導体柱３５を有する基板３３を準備する。図９は、図７に示す基板準備工程で準備する基板を示す平面図、図１０は図９に示す貫通孔周辺の拡大断面図である。また、図１１は図９に示す導体柱および貫通孔の平面形状を示す拡大平面図、図１２は、図９〜図１１に示す貫通孔に導体柱を圧入する工程を示す拡大断面図である。
【００４４】
図９に示す複数の貫通孔３５ａの開口形状は複数の導体柱３５の形状に倣って形成される。例えば本実施の形態では図１１に示すように、導体柱３５は円柱形状を成し、貫通孔３５ａは、導体柱３５の形状に倣った円筒形状を成す。また導体柱３５の円の直径Ｄ１は貫通孔３５ａの開口径（円の直径）Ｄ２に対して同じ、あるいは僅かに大きくなるように形成されている。図１１では直径Ｄ１の方が開口径Ｄ２よりも僅かに大きい例を示している。このように貫通孔３５ａの開口径Ｄ２が狭いので、導体柱３５を貫通孔３５ａに挿入する場合には、図１２に示すように圧入治具４０を用いて導体柱３５を貫通孔３５ａ内に圧入する。圧入治具４０は特に限定されないが、例えばハンマ、あるいは圧縮空気を用いて導体柱３５に押圧力を付与する装置を用いることができる。このように導体柱３５の円の直径Ｄ１が貫通孔３５ａの開口径（円の直径）Ｄ２に対して同じ、あるいは僅かに大きくなるように形成することで、圧入された導体柱３５と貫通孔３５ａの間に隙間が生じることを防止ないしは抑制できる。このため、図７に示す樹脂塗布工程で液状の樹脂を塗布した場合でも貫通孔３５ａから樹脂が漏れ出すことを防止ないしは抑制できる。また、導体柱３５が基板３３に保持されるので、基板３３のハンドリングが容易になる。
【００４５】
また、図１２に示すように、導体柱３５の高さＨ１は、貫通孔３５ａの高さＨ２よりも大きくなるように形成され、図１０に示すように導体柱３５の一方の端部が基板３３の表面３３ａ側において突出していることが好ましい。導体柱３５の一方の端部を基板３３の表面側に突出させることで、図７に示す導体柱接合工程で、配線部材３２と導体柱３５を容易に接合することができる。
【００４６】
また、前記したように導体柱３５は複数の太陽電池セルＳＣ（図５参照）で生成した電力を太陽電池モジュール３０（図５参照）の外部に取り出す引出配線として用いるので、確実に基板３３の裏面側に引き出すことが好ましい。この観点から、図１０に示すように導体柱３５の他方の端部は、基板３３の裏面３３ｂと同じ高さになっている、または裏面３３ｂにおいて突出していることが好ましい。図１０では、裏面３３ｂにおいて導体柱３５の端部が突出している例を示している。
【００４７】
次に、図７に示す連結セル配置工程では、図１３に示すように基板３３の表面３３ａ上に組立体３１を配置（搭載）する。図１３は、図９に示す基板上に図８に示す組立体を配置した状態を示す平面図、図１４は図１３のＣ部の拡大平面図、図１５は図１３のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。
【００４８】
本工程では、図１４に示すように、配線部材３２の一部（図１４では配線引出部３２ａ）が導体柱３５と重なるように配置する。この時、導体柱３５と配線部材３２の電気的接続信頼性を向上させる観点から、導体柱３５と配線部材３２の接触面積を広くすることが好ましい。また、導体柱３５のインピーダンス成分を低減する観点から導体柱３５の円の直径Ｄ１を広くすることが好ましい。したがって本実施の形態では、導体柱３５の円の直径Ｄ１は、配線部材３２の幅Ｗ１よりも広くなっている。
【００４９】
また、本工程では、図１５に示すように複数の太陽電池セルＳＣの受光面の反対側に位置する裏面１ｂが、それぞれ基板３３の表面３３ａと対向するように配置する。言い換えれば、本工程では複数の太陽電池セルＳＣの受光面が基板３３とは反対側を向くように基板３３上に組立体３１を配置する。このように、複数の太陽電池セルＳＣの受光面が基板３３の反対側を向くように組立体３１を配置すれば、基板３３には光透過性が要求されないため、強度や軽量化を図る観点、あるは製造コストの観点から好ましい材料を選択することができる。
【００５０】
次に、図７に示す導体柱接合工程では、図１５に示す導体柱３５と配線部材３２を接合し、電気的に接続する。本工程では、例えば配線部材３２の表面に形成された半田膜を溶融させて導体柱３５と接合する。また、予め導体柱３５に半田膜を形成しておけば、導体柱３５と配線部材３２の電気的接続信頼性をさらに向上させることができる。また、本実施の形態によれば前記したように導体柱３５の一方の端部を基板３３の表面側に突出させることで、図７に示す導体柱接合工程で、配線部材３２と導体柱３５を容易に接合することができる。
【００５１】
次に、図７に示す樹脂塗布工程では、図１６に示すように基板３３の表面３３ａ側に液状の樹脂３４ａを塗布し、組立体３１を封止する。図１６は、図１５に示す基板上に液状の樹脂を塗布した状態を示す断面図である。本工程では、塗布装置４１を用いて基板３３の表面３３ａ上に樹脂３４ａを塗布する。塗布装置４１は、例えば塗布ヘッドに形成された開口部（吐出口）４１ａから塗布材料を吐出しながら、基板と開口部４１ａの相対的位置関係を移動させることにより塗布する吐出装置であって、例えばスリットコータと呼ばれる装置を用いることができる。また、組立体３１を樹脂３４ａで封止するためには、組立体３１と基板３３の間にも樹脂３４ａを回り込ませる必要があるので、塗布する段階では樹脂３４ａの粘度が低いことが好ましい。樹脂３４ａを低粘度とすることで、組立体３１と基板３３の間に樹脂３４ａを回り込ませることができる。本実施の形態では、例えば主剤としてのポリオール化合物と硬化剤としてのイソシアネート化合物を混合して塗布し、塗布後に硬化させてウレタン樹脂を形成する方法を適用している。このように複数液（例えば主剤と硬化剤）を混合させる複数液混合方式で樹脂体３４（図５参照）を形成する場合、硬化前の樹脂３４ａの粘度を低く抑えることができる。
【００５２】
ここで、前記したように組立体３１と基板３３の間に樹脂３４ａを回り込ませる観点からは、樹脂３４ａの粘度を低くすることが好ましいが、樹脂３４ａの粘度が低い場合には新たな課題が発生する。すなわち、基板３３に貫通孔が形成されている場合、孔が塞がれていなければ貫通孔から硬化前の樹脂３４ａが漏れ出てしまう。硬化前の樹脂３４ａが貫通孔から漏れ出た場合、塗布装置４１が汚染される。また、引出配線が樹脂３４ａに封止されてしまう場合がある。また、漏れ出し量によっては、基板３３上の樹脂３４ａの量が不足して、組立体３１の一部が露出してしまう場合がある。
【００５３】
そこで、本実施の形態では、図１６に示すように貫通孔３５ａの開口形状は導体柱３５の形状に倣って形成され、導体柱３５は貫通孔３５ａに圧入されることにより基板３３に保持される。言い換えれば、導体柱３５は、貫通孔３５ａとの間に隙間が生じることを抑制するように貫通孔３５ａに埋め込まれている。このため、本実施の形態によれば、貫通孔３５ａから硬化前の樹脂３４ａが漏れ出てしまうことを防止ないしは抑制することができる。したがって、塗布装置４１の汚染を防止ないしは抑制できる。また、引出配線である導体柱３５が封止されることを抑制し、特に外部との接続面である基板３３の裏面３３ｂ側において、導体柱３５を確実に露出させることができる。また、基板３３上の樹脂３４ａの量が不足して、組立体３１の一部が露出することを防止ないしは抑制できる。
【００５４】
次に、図７に示す樹脂硬化工程では、基板３３上で組立体３１を封止する樹脂３４ａを硬化させて、図４から図６に示す太陽電池モジュール３０を取得する。本工程では、樹脂３４ａを硬化温度（例えば３０℃〜８０℃程度）まで加熱した後、放置することで樹脂３４ａが硬化して、図５および図６に示す樹脂体３４（本実施の形態ではウレタン樹脂）にする。硬化後の樹脂体３４は、基板３３上で封止された組立体３１を外力の印加から保護するために必要な強度を備えている。また、複数の太陽電池セルＳＣの受光面に太陽光を到達させるために必要な透明度（太陽光に対する透過性）を備えている。
【００５５】
図４〜図６に示す太陽電池モジュール３０は、上記の工程により取得できるが、太陽電池パネル（光電変換装置、図示は省略）の製造方法では、上記により得られた太陽電池モジュール３０の導体柱３５に電力取り出し用の配線（図示は省略）を接合し、ジャンクションボックスと呼ばれる端子群と電気的に接続する。これにより、太陽電池モジュール３０内で変換された電力を外部に取り出すことが可能となる。
【００５６】
（実施の形態２）
前記実施の形態では、貫通孔３５ａ内に導体柱３５を埋め込むことで、貫通孔３５ａを塞ぎ、かつ、基板３３の表面３３ａ側から裏面３３ｂ側に電力を引き出す実施態様について説明した。本実施の形態では、変形例として、配線を引き出すために基板に形成した貫通孔に基板３３と同じ材料からなる埋め込み部材を埋め込む実施態様について説明する。なお、本実施の形態では、前記実施の形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。図１７は図４に対する変形例である太陽電池モジュールを示す平面図、図１８は図１７のＡ−Ａ線に沿った拡大断面図、図１９は図１７のＢ−Ｂ線に沿った拡大断面図である。
【００５７】
図１７から図１９に示す太陽電池モジュール５０は、配線部材３２の一部（配線引出部３２ａ）が表面３３ａおよび裏面３３ｂのうち一方から他方まで貫通する貫通孔５１ａの側壁に沿って裏面３３ｂ側に引き出されている点で前記実施の形態１で説明した太陽電池モジュール３０（図４から図６参照）と相違する。また、貫通孔５１ａには、基板３３と同じ材料（例えばガラスエポキシ樹脂）から成る埋め込み部材５１が挿入されている点で前記実施の形態１で説明した太陽電池モジュール３０と相違する。基板３３と同じ材料で貫通孔５１ａを埋めることで、基板３３の外観を一様にすることができる。
【００５８】
また、上記のように配線部材３２の一部を裏面３３ｂ側から引き出すことで、前記実施の形態１の太陽電池モジュール３０の製造工程と比較して製造工程を簡略化することができる。図２０は図７に対する変形例である光電変換装置の製造フローの概要を示す説明図である。また、図２１は図２０に示す連結セル配置工程を示す断面図である。また図２２は、図２０に示す埋め込み部材挿入工程を示す断面図である。
【００５９】
図２０と図７を比較して判るように、本実施の形態では、配線部材３２（図１８、図１９参照）の一部を基板３３（図１８、図１９参照）の裏面３３ｂ（図１８、図１９参照）側に引き出すので、引き出し用の導電性部材を別途設ける必要がない。このため、図７に示す導体柱接合工程を省略することができる。詳しくは、本実施の形態では、図２０に示す連結セル配置工程において、図２１に示すように配線引出部３２ａの端部と、貫通孔５１ａとが重なるように組立体３１が基板３３の表面３３ａ側に配置される。そして、連結セル配置工程の後、埋め込み部材挿入工程として、図２２に示すように基板３３の表面３３ａ側から貫通孔５１ａに向かって複数の埋め込み部材５１を挿入する。この時、配線引出部３２ａの端部が基板３３の裏面３３ｂ側に露出するように埋め込み部材５１で配線引出部３２ａを押し出す。これにより、貫通孔５１ａは、埋め込み部材５１により塞がれ、かつ、配線部材３２の一部（配線引出部３２ａ）は折り曲げられ、基板３３の裏面３３ｂ側に露出する。
【００６０】
ここで、配線部材３２を基板３３の裏面３３ｂ側に確実に露出させる観点から以下の態様が好ましい。まず、貫通孔５１ａの開口径は、基板３３の厚さよりも大きいことが好ましい。これにより、図２０に示す連結セル配置工程で貫通孔５１ａ上に重なる配線引出部３２ａの長さを基板３３の厚さよりも大きくすることができる。また、埋め込み部材５１の平面寸法は、貫通孔５１ａの平面寸法よりも小さくすることが好ましい。埋め込み部材５１と共に配線引出部３２ａを貫通孔５１ａ内に通す隙間を確保するためである。ただし、埋め込み部材５１と貫通孔５１ａの隙間が過剰に大きくなると、樹脂塗布工程において、液状の樹脂３４ａ（図１６参照）が漏れ出る原因となるので、埋め込み部材５１と貫通孔５１ａの隙間は、例えば１００μｍ〜３００μｍ程度とすることが好ましい。この程度の隙間であれば、樹脂３４ａの表面張力により隙間から漏れ出ることを抑制できる。また、本実施の形態では、樹脂塗布工程において、埋め込み部材５１と貫通孔５１ａの隙間に樹脂３４ａが埋め込まれ、これが硬化することで、埋め込み部材５１が基板３３に保持される。したがって、埋め込み部材５１の脱落防止の観点からは、樹脂塗布工程において、樹脂３４ａが埋め込み部材５１と貫通孔５１ａの隙間に入ることが好ましい。また、埋め込み部材５１および貫通孔５１ａの平面形状は特に限定されないが、貫通孔５１ａは埋め込み部材５１の形状に倣って形成されていることが好ましい。
【００６１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６２】
例えば、前記実施の形態では、光電変換装置の例として太陽電池モジュールに適用した実施態様について説明したが、太陽電池パネルなど、他の光電変換装置にも広く適用することができる。
【００６３】
また例えば、前記実施の形態で説明した各変形例を適宜組み合わせて適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、例えば、太陽電池や太陽電池を組み込んだ電気製品に幅広く利用可能である。
【符号の説明】
【００６５】
１  基板
１ａ  表面
１ｂ  裏面
１ｃ  アライメントマーク
２、３  半導体層
４  絶縁膜（絶縁体）
５  半導体層（ＢＳＦ層）
１０  表面電極
１０ａ  フィンガ電極
１０ｂ  バス電極
２０  裏面電極
２０ａ  面電極
２０ｂ  バス電極
３０、５０  太陽電池モジュール（光電変換装置）
３１  組立体
３１ａ  中間組立体
３２  配線部材
３２ａ  配線引出部
３３  基板
３３ａ  表面
３３ｂ  裏面
３４  樹脂体
３４ａ  樹脂
３５  導体柱
３５ａ  貫通孔
４０  圧入治具
４１  塗布装置
４１ａ  開口部
５１  埋め込み部材
５１ａ  貫通孔
ＳＣ  太陽電池セル（太陽電池素子）
Ｄ１  直径
Ｄ２  開口径
Ｈ１  高さ
Ｗ１    幅
【図１】
2013077712.tif 000003
【図２】
2013077712.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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