(57)【要約】【課題】単純な位置演算方法である重心演算によりシンチレータ内相互作用位置の縦・横・深さの３次元位置の特定が可能であり、且つ、構造を複雑化させることなく高分解能化できる３次元放射線位置検出器を提供する。【解決手段】シンチレータブロック２２の少なくとも対向する平行な２面に光学結合された受光素子１２と、シンチレータブロック２２内部の受光素子面と平行な面のみに形成された、少なくとも１層の光学的不連続面１１ａと、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シンチレータブロックの少なくとも対向する平行な２面に光学結合された受光素子と、
シンチレータブロック内部の受光素子面と平行な面のみに形成された、少なくとも１層の光学的不連続面と、
を有することを特徴とする３次元放射線位置検出器。
【請求項２】
前記シンチレータブロックが、２枚以上に積層された板状シンチレータから形成されていることを特徴とする請求項１に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項３】
前記板状シンチレータ間が、光学接着されておらず、薄い空気層になっていることを特徴とする請求項２に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項４】
前記板状シンチレータ間が、光学接着されていることを特徴とする請求項２に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項５】
前記シンチレータの受光素子が光学結合されていない面を覆うカバーが配設されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項６】
前記カバーが吸光材であることを特徴とする請求項５に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項７】
前記カバーが反射材であることを特徴とする請求項５に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項８】
放射線入射面側の受光素子が、半導体受光素子とされていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項９】
前記受光素子のうち少なくとも一つが、位置弁別型であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項１０】
前記位置弁別型の受光素子が、位置弁別型でない受光素子を複数、マトリックス状に配置したものであることを特徴とする請求項９に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項１１】
前記シンチレータブロックと前記位置弁別型の受光素子の間にライトガイドが配設されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項１２】
前記シンチレータブロックが、光学的不連続面により区画されたシンチレータ層が積層された複数のモノリシックシンチレータを重ねて形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の３次元放射線位置検出器。
【請求項１３】
放射線入射面側の前記板状シンチレータの厚み又は光学的不連続面の間隔が、反対側の板状シンチレータの厚み又は光学的不連続面の間隔より薄くされていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれかに記載の３次元放射線位置検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３次元放射線位置検出器に係り、特に、陽電子放出断層装置（ＰＥＴ装置）に用いるのに好適な、放射線が入射した深さ方向の位置を検出可能な３次元放射線位置検出器（Ｄepth of interaction（ＤＯＩ）検出器とも称する）に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＥＴ装置に用いられる放射線検出器として、放射線が入射した深さ方向の位置を検出可能なＤＯＩ検出器が開発されている（非特許文献１参照）。このＤＯＩ検出器に放射線が入射して発光した位置を検出するため、一般的に、アンガー計算により重心演算して発光事象（イベントと称する）の位置を近似する方法（重心演算法やアンガー法と称する）が知られている（特許文献１−５参照）。
【０００３】
図１にて、重心演算法の概念を説明する。図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、シンチレータ１０と多数の受光素子（読出しチャネル）１２からなる放射線検出器では、ガンマ線が相互作用を起こした位置が異なると信号の強度分布が変化する。よって、信号強度分布の重心点から、ガンマ線の検出位置を推定することができる。
【０００４】
ＤＯＩ検出器の実用的な実現方法は、シンチレータを縦・横・深さ方向に、数ｍｍサイズの細かいセグメントに分割する方法である。シンチレータ・セグメントの間に、パターン化した反射膜を挿入すれば、シンチレータブロックの一面からの受光でも、重心演算によって、縦・横・深さのシンチレータ・セグメントの位置が特定可能である（非特許文献１参照）。あるいは、シンチレータブロックの多面から受光するようにすれば、シンチレータ・セグメント間に反射材を挿入しなくても、重心演算によって、縦・横・深さのシンチレータ・セグメントの位置が特定できる（非特許文献２参照）。
【０００５】
このようにシンチレータを分割する方法では、検出器の位置分解能はシンチレータ・セグメントのサイズと一致する。よって、位置分解能を高めるためには、シンチレータ・セグメントのサイズを小さくする必要があるが、小さなシンチレータ・セグメントほど、その加工やブロックへの組み上げに手間がかかってしまう。
【０００６】
この問題を解決するために、図２に示すように、一塊のシンチレータ（モノリシックシンチレータと称する）を、セグメントに分割することなく、そのまま受光素子に光学結合する方法が研究されている（非特許文献３、４参照）。図２（ａ）は、モノリシックシンチレータ１１の対向２面に受光素子１２を結合した例、図２（ｂ）は、モノリシックシンチレータ１１の１面に受光素子１２を結合した例である。シンチレータ・セグメントに分割しないため、分解能への物理的な制限が無くなるほか、製造プロセスも簡素化できるメリットがある。
【０００７】
モノリシックシンチレータの最大の欠点は、重心演算では、縦・横の位置弁別は可能であっても、深さ方向の位置弁別が困難な点である。図３は、ガンマ線が、モノリシックシンチレータ１１の地点Ａ、Ｂ、ＣおよびＤにて、それぞれ光電吸収した（発光した）とした場合の、受光素子１２面上での信号分布と、重心演算結果を示している。発光地点ＡとＢは、横方向（ｘ方向）の位置は同じであるが、深さ（ｚ）が異なる。相互作用（光電吸収）位置が受光面から遠いほど、受光素子１２面上での信号分布は広がる傾向にあるが、重心点は、深さｚ１、ｚ２によらず同じになってしまう。
【０００８】
モノリシックシンチレータ１１の検出器において相互作用位置を正しく演算するために、重心演算に代わり、パターンマッチングや最尤推定など統計的手法による位置演算手法も提案されている（非特許文献５〜８参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−４３１０４号公報
【特許文献２】米国特許第３０１１０５７号明細書
【特許文献３】特開平７−３２５１５６号公報
【特許文献４】特開２００８−５１７０１号公報
【特許文献５】特表２００８−５２３３８１号公報
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】Mutayama H, Ishimashi H, Omura T: Depth encoding multicrystal detectors for PET. IEEE Trans Nucl Sci 45: 1152-1157, 1998.
【非特許文献２】Yujiro Yazaki,et al, ”Preliminary Study on a New DOI PET Detector with Limited Number of Photo-Detectors”, The 5th KOREA-JAPAN Joint Meeting on Medical Physics, YI-R2-3, 2008.
【非特許文献３】R. Pani, M.N. Cinti, R. Pellegrini, et al., "LaBr3:Ce scintillation gamma camera prototype for X and gamma ray imaging," Nucl Instr Meth A. 576, pp. 15-18, 2007.
【非特許文献４】Eiji Yoshida, Naoko Inadama, Hiroto Osada, et al., "Basic performance of a large area PET detector with a monolithic scintillator,”Radiol. Phys. Technol., vol. 4, pp. 134-139,2011.
【非特許文献５】T.D. Milster,et al,”DIGITAL POSITION ESTIMATION FOR THE MODULAR SCINTILLATION CAMERA”,IEEE Transactions on Nuclear Science,Vol. NS-32,No. 1,February 1985.
【非特許文献６】Marnix C. Maas, D. J. van der Laan, Dennis R. Schaart, et al., “Experimental Characterization of Monolithic-Crystal Small Animal PET Detectors Read Out by APD Arrays,” IEEE Trans. Nucl. Sci., 53, pp. 1071-1077, 2006.
【非特許文献７】Marnix C Maas, Dennis R Schaart, D J (Jan) van der Laan, et al., "Monolithic scintillator PET detectors with intrinsic depth-of-interaction correction," Phys. Med. Biol., 54, 1893-1908, 2009.
【非特許文献８】Dennis R Schaart, Herman T van Dam, Stefan Seifert, et al., "A novel, SiPM-array-based, monolithic scintillator detector for PET," Phys. Med. Biol., 54, pp. 3501-3512, 2009.
【非特許文献９】森谷隆広，他,“クリスタルキューブ：シンチレータへのレーザー加工応用とその検出器性能,”平成２１年度次世代ＰＥＴ研究報告書, pp. 44-47, 2010.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしパターンマッチングや統計的手法による方法は、そもそも演算自体が複雑であることに加え、すべての相互作用位置について事前に計測しておく必要のある、各相互作用位置での発光に対する受光素子１２の出力分布パターン（応答関数）の取得が容易ではない。応答関数の作成には、図４に例示する如く、コリメータ２０を使用することでモノリシックシンチレータ１１に入射する部分を制限して、モノリシックシンチレータ１１の表面の１点にガンマ線をスポット照射するようにする。各位置での受光素子出力の分布の作成を行い、必要な位置の数だけ照射位置を動かして、それぞれの位置での応答関数の作成を行うことができるが、現実的には、相互作用位置がモノリシックシンチレータ１１のある一点に集中するようにガンマ線を照射することは不可能である。
【００１２】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、重心演算によりシンチレータ内相互作用位置の縦・横・深さの３次元位置の特定が可能であり、且つ、構造を複雑化させることなく高分解能化できる３次元放射線位置検出器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、シンチレータブロックの少なくとも対向する平行な２面に光学結合された受光素子と、シンチレータブロック内部の受光素子面と平行な面のみに形成された、少なくとも１層の光学的不連続面と、を有することを特徴とする３次元放射線位置検出器により、前記課題を解決したものである。
【００１４】
ここで、前記シンチレータブロックを、２枚以上に積層された板状シンチレータから形成することができる。
【００１５】
また、前記板状シンチレータ間を、光学接着せず、薄い空気層とすることができる。
【００１６】
また、前記板状シンチレータ間を、光学接着することができる。
【００１７】
また、前記シンチレータの受光素子が光学結合されていない面を覆うカバーを配設することができる。
【００１８】
また、前記カバーを吸光材又は反射材とすることができる。
【００１９】
また、放射線入射面側の受光素子を、半導体受光素子とすることができる。
【００２０】
また、前記受光素子のうち少なくとも一つを、位置弁別型とすることができる。
【００２１】
また、前記位置弁別型の受光素子を、位置弁別型でない受光素子を複数、マトリックス状に配置したものとすることができる。
【００２２】
また、前記シンチレータブロックと前記位置弁別型の受光素子の間にライトガイドを配設することができる。
【００２３】
また、前記シンチレータブロックを、光学的不連続面により区画されたシンチレータ層が積層された複数のモノリシックシンチレータを重ねて形成することができる。
【００２４】
また、放射線入射面側の前記板状シンチレータの厚み又は光学的不連続面の間隔を、反対側の板状シンチレータの厚み又は光学的不連続面の間隔より薄くすることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、単純な位置演算方法である重心演算により、シンチレータ内相互作用位置の縦・横・深さの３次元位置の特定が可能であり、且つ、構造を複雑化させることなく高分解能化できる３次元放射線位置検出器を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】重心演算法の概念を示す説明図
【図２】モノリシックシンチレータを用いた従来検出器の例を示す斜視図
【図３】同じく重心演算法の問題点を示す説明図
【図４】同じく応答関数作成法の問題点を示す説明図
【図５】本発明に係るＤＯＩ検出器の第１実施形態の構成を示す（ａ）分解斜視図及び（ｂ）斜視図
【図６】ＤＯＩ検出器をＰＥＴ検出器リングに配置した状態を示す図
【図７】第１実施形態の断面図
【図８】本発明の第２実施形態の構成を示す断面図
【図９】同じく第３実施形態の構成を示す断面図
【図１０】同じく第４実施形態の製造方法を示す斜視図
【図１１】同じく第５実施形態の製造方法を示す斜視図
【図１２】同じく第６実施形態の製造方法を示す斜視図
【図１３】同じく第７実施形態の製造方法を示す斜視図
【図１４】同じく第８実施形態の構成を示す斜視図
【図１５】同じく第９実施形態の構成を示す斜視図
【図１６】受光素子の変形例を示す図
【図１７】受光素子の配置の様々な例を示す図
【図１８】本発明の実施例の構成を示す分解斜視図
【図１９】実施例の測定結果を示す図
【図２０】本発明と従来例の測定結果を比較して示す図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２８】
本発明の第１実施形態は、図５（ａ）（組立て前の状態を示す分解斜視図）、図５（ｂ）（組立て後の状態を示す斜視図）に示す如く、複数（図では６枚）の板状シンチレータ２４が積層されたシンチレータブロック２２と、前記板状シンチレータ２４の積層方向（図の上下方向）の両側の対向する２面（図では上面及び下面）に光学結合された、受光位置を弁別可能な受光素子１２と、前記シンチレータブロック２２の受光素子１２が光学結合されていない前後左右の側面を覆うカバー２６とを備えたものである。
【００２９】
このようなＤＯＩ検出器２０の深さ（ｚ）方向の分解能の限界値は、板状シンチレータ２４の板厚によって物理的に制限されるが、縦・横方向（ｘｙ平面）については、分解能を物理的に制限する要素はないので、構造を複雑化することなく、ｘｙ平面の位置分解能を高めることができる。
【００３０】
特に、図６に示す如く、ＤＯＩ検出器２０をリング状に並べたＰＥＴ検出器リング３０を用いるＰＥＴ装置の場合、ＰＥＴ画像に最も影響するのが体軸方向とＰＥＴ検出器リング３０の周方向の分解能であり、ＰＥＴ検出器リング３０の放射方向の分解能が多少制限されても、ＰＥＴ画像への影響は少ない。従って、図６（ａ）に示す如く、被検者８の体軸がＤＯＩ検出器２０のｙ軸（またはｘ軸）と平行になるようし、主に受光素子１２ａの面から放射線が入射するようにすることが好ましい。
【００３１】
なお、放射線の主な入射方向は、受光素子１２ａのある面とは限らず、ＤＯＩ検出器２０を横にして、受光素子の無い面とすることもできる。
【００３２】
図６（ｂ）は、体軸がｚ軸と平行になるようにＤＯＩ検出器２０をリング状に配置した例である。体軸方向の放射線位置分解能をそれほど求めないときに適している。
【００３３】
同様に、体軸がｙ軸と平行になるようにするが、ｙｚ面など受光素子１２ａの無い面から放射線が入射するようにすることもできる。
【００３４】
なお、検出器の配置は、必ずしもリング状である必要はなく、多角形であったり、スリット又は開口を有していたり、対向する板状であってもよい。
【００３５】
積層したシンチレータブロック２２の受光素子１２が光学結合されていない前後左右の４つの側面は、カバー２６を配設して、黒紙等で吸光とするか、反射材や白紙等で反射とすることができる。エネルギ分解能を重視する場合は、反射材や白紙を用いてシンチレーション光の損失を少なくする。一方、ｘｙ方向分解能の均一性を重視する場合（ｘｙ方向端部での位置分解能を、中央部と同程度に高めたい場合）は、黒紙が望ましい。
【００３６】
図７は、第１実施形態の詳細を示した断面図である。
【００３７】
板状シンチレータ２４の枚数は、任意でよく、シンチレータの種類や深さ方向に必要な分解能によって決めることができる。全体の厚みＴは、ＤＯＩ検出器２０の感度を決める重要なファクターであり、ＬＳＯ、ＬＹＳＯ、ＬＧＳＯ、ＧＳＯ、ＢＧＯなど一般的なＰＥＴ用シンチレータを用いる場合、全体の厚みＴが１０ｍｍから３０ｍｍ程度にするのがよい。たとえば、Ｔ＝３０ｍｍで、ＤＯＩ方向（深さ方向）の分解能を５ｍｍにしたい場合、５ｍｍ厚の板状シンチレータ２４が６枚必要になる。
【００３８】
板状シンチレータ２４の層間（図７のＳ−Ｓ）は、光が伝達するようにしながらも、光学的な不連続性を与えるために、層間物質の屈折率が、シンチレータの屈折率よりも小さくなるようにすることが望ましい。具体的には、光学接着剤又はグリース、あるいは何も層間に挿入せず、空気層とすることができる。積層したシンチレータブロック２２の上下面と受光素子１２の間Ｓ−Ｐは、なるべくスムーズに光が伝達するようにするのがよく、光学接着剤又はグリースで光学結合するのが望ましい。
【００３９】
前記受光素子１２は、光電子増倍管や半導体受光素子など種類を問わないが、少なくとも放射線入射面を覆う受光素子１２ａは、薄型が特徴である半導体受光素子が好ましい。半導体受光素子としては、Ａvalanche Ｐhotodiode（ＡＰＤ）や、ガイガーモードＡＰＤ（ＳｉＰＭとも称する）が好適である。
【００４０】
受光素子１２、１２ａ（以下、特に区別が必要な場合を除き、１２で代表する）は、位置弁別型か、位置弁別型でないものを２×２以上のマトリクスで配置するものとする。一般的に、受光素子１２の解像度は細かいほうが良いが、解像度が例えば２×２など少ない場合や、あるいは、解像度が高くても（素子数が多くても）、その間の隙間（不感領域）が広い場合は、図８に示す第２実施形態のように、シンチレータブロック２２と受光素子１２の間にライトガイド２８を挿入するとよい。この場合は、シンチレータブロック２２とライドガイド２８の間Ｓ−Ｌ、及び／又は、ライトガイド２８と受光素子１２の間Ｌ−Ｐを、光学接着剤又はグリースで光学結合することが望ましい。
【００４１】
板状シンチレータ２４の縦横のサイズは任意であるが、受光素子１２のサイズと同等、もしくはそれ以下にするとよい。板状シンチレータ２４のサイズと受光素子１２のサイズが異なる場合は、図９に示す第３実施形態のように、ライトガイド２８でサイズの違いを吸収することができる。
【００４２】
図１０は、板状シンチレータ２４を積層する代わりに、モノリシックシンチレータ１１に外部からレーザー加工を施し、板状シンチレータを積層したのと同様な光学的不連続面１１ａを形成した本発明の第４実施形態の製造方法を示す斜視図である。可視〜近赤外の波長帯のレーザー光を、集光レンズを用いてモノリシックシンチレータ１１内部に集光させると、多光子吸収などの非線形な吸収が引き起こされ、直径数十μｍ程度のマイクロクラックをモノリシックシンチレータ１１内部に導入することができる（非特許文献９参照）。ここでは、レーザー入射面と平行な面（レーザー照射軸と垂直な面）に沿って、光学的不連続面１１ａを形成している。その際、レーザー入射面から遠い面から光学的不連続面１１ａを順次形成していくが、モノリシックシンチレータ１１の厚みがレーザー集光の妨げとなる場合は、図１０に示すように、中央面から加工を形成し、片側が終わった段階で、裏返して反対側の加工を行えばよい。
【００４３】
図１１は、レーザー入射面と垂直な面に沿って、光学的不連続面１１ａを形成した第５実施形態の製造方法を示す斜視図である。
【００４４】
本実施形態においても、モノリシックシンチレータ１１の厚みがレーザー集光の妨げとなる場合は、図１１に示すように、中央部から加工を形成し、片側が終わった段階で、裏返して反対側の加工を行えばよい。
【００４５】
図１２、図１３は、６層のシンチレータブロックを例として、一部にレーザー加工を取り入れた第６及び第７実施形態の製造方法を示す斜視図である。図１２に示す第６実施形態は、モノリシックシンチレータ１１に３層のレーザー加工を施したものを２つ組み合わせた場合、図１３に示す第７実施形態は、モノリシックシンチレータ１１に２層のレーザー加工を施したものを３つ組み合わせた場合である。
【００４６】
なお、ｚ方向の分解能は、必ずしも均一である必要はなく、板状シンチレータ２４の厚みを変えてもよい。特に、主に受光素子１２ａのある面から放射線が入射する場合、放射線が入射する面に近いほど、放射線が相互作用を起こす確率が高いため、放射線の入射面に近いほど、板厚を薄くするとよい。
【００４７】
図１４に、ｚ方向分解能を高分解能から低分解能へ少しずつ変えていくようにした第８実施形態の製造方法を示し、図１５に、高分解能のレイヤーと低分解能のレイヤーに分けた第９実施形態の製造方法を示す。
【００４８】
なお、前記実施形態においては、いずれも、対向する受光素子１２、１２ａの解像度が同一とされていたが、受光素子の解像度は、必ずしも、対向する２面で同じである必要はない。
【００４９】
図１６に示す如く、片側の受光素子１２ａは４×４の解像度であるが、反対側の受光素子１２ｂを、図１６（ａ）に示す如く２×２の解像度にしたり、図１６（ｂ）に示す如く１×１、すなわち位置弁別型でない受光素子としても良い。
【００５０】
また、受光素子を結合するシンチレータブロック２２の面は、図１７（ａ）のように、対向２面を基本とするが、図１７（ｂ）〜（ｆ）に示す変形例のように、受光素子１２の面を増やすことによって、シンチレーション光を多く取得することができ、位置分解能およびエネルギ分解能をより高めることができる。
【実施例】
【００５１】
図１８に、第１実施形態の実施例の詳細を示す。１８ｍｍ×１８ｍｍ×１ｍｍのＬＹＳＯの板状シンチレータ２４を８枚積層した。各板状シンチレータ２４間には、光学接着剤又はグリースは挟んでおらず、ごく薄い空気層になっている。そして、シンチレータブロック２２の上下に、受光素子１２をグリースで光学結合した。受光素子１２は、３ｍｍ×３ｍｍの有感領域を持つＭulti Ｐixel Ｐhoton counter（ＭＰＰＣ）素子（浜松ホトニクス株式会社製）を４×４のマトリクスに配列したものである。
【００５２】
図１９は、実施例の位置弁別性能を示す実験結果である。図１９（ａ）に示すように、直径２ｍｍにコリメートした５１１ｋｅＶのガンマ線をＤＯＩ検出器２０の中央および中央から３ｍｍずらした位置に照射した。図１９（ｂ）は、３次元重心演算の結果をｚ軸上およびｘ軸上に投影したものであり、平面方向および深さ方向に位置弁別できていることを示している。
【００５３】
図１９は、約１６０，０００カウントのガンマ線照射について、個々のガンマ線に対する位置演算結果を重ねて表示したものである。これは、ある特定の板状シンチレータ（ここでは中心付近のレイヤー）において相互作用を起こしたガンマ線の位置演算結果のみを表示すると、図２０（ａ）のようになることを示しており、ｚ方向の位置情報が特定されていることを意味している。これに対して、層状でないモノリシックシンチレータ１１を用いた従来の場合には、特定の位置で相互作用したガンマ線の位置演算結果だけを表示したとしても、図２０（ｂ）のように鋭いピークは形成されず、深さ方向の位置弁別は困難である。
【００５４】
なお、本発明に係るＤＯＩ検出器は、単純な重心演算であっても３次元放射線位置演算が可能であるが、非特許文献５〜８に示すようなパターンマッチングや最尤推定など統計的手法を適用すれば、位置演算の精度を高めることができる。
【００５５】
また、本発明に係るＤＯＩ検出器は、ＰＥＴ装置に用いるのに好適であるが、適用対象はこれに限定されず、医用の他、環境測定用や高エネルギ実験用などにも用いることができる。
【符号の説明】
【００５６】
８…被検者
１０…シンチレータ
１１…モノリシックシンチレータ
１１ａ…光学的不連続面
１２、１２ａ、１２ｂ…受光素子
２０…ＤＯＩ検出器
２２…シンチレータブロック
２４…板状シンチレータ
２６…カバー
２８…ライトガイド
３０…ＰＥＴ検出器リング
【図１】
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【図４】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図２０】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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