(57)【要約】【課題】成形プレス用クッション材として優れた機能、特に優れたクッション性と貼り付き防止効果を有するクッション材を提供する。【解決手段】１層以上のフェルト層と、フェルト層の両外周面に耐熱クロス（例えばガラスクロス）を配置し、更にその両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として配置した成形プレス用クッション材である。【選択図】図３
2013001110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１層以上のフェルト層を有する成形プレス用クッション材であって、前記フェルト層の両外周面に耐熱クロスを配置し、更にその両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として配置したことを特徴とする、成形プレス用クッション材。
【請求項２】
前記フェルト層と耐熱クロスとの間にテトラフルオロエチレン系フィルムを配置させたことを特徴とする、請求項１に記載の成形プレス用クッション材。
【請求項３】
前記フェルト層が、パラ系芳香族ポリアミドのステープルファイバーまたはメタ系芳香族ポリアミドのステープルファイバーの何れか、またはこれらの混合したステープルファイバーを使用したフェルト層であることを特徴とする、請求項１から請求項２のいずれかに記載の成形プレス用クッション材。
【請求項４】
前記耐熱クロスが、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミックス繊維から選択される繊維の織布（クロス）であることを特徴とする、請求項１から請求項３のいずれかに記載の成形プレス用クッション材。
【請求項５】
前記耐熱クロスが、１００μｍ以上で３００μｍ以下の厚み、かつ質量が１００ｇ／ｍ２から３００ｇ／ｍ２の範囲を有することを特徴とする、請求項４に記載の成形プレス用クッション材。
【請求項６】
前記耐熱クロスが、１５０μｍ以上で２５０μｍ以下の厚み、かつ質量が１５０ｇ／ｍ２から２５０ｇ／ｍ２の範囲を有することを特徴とする、請求項４に記載の成形プレス用クッション材。
【請求項７】
前記テトラフルオロエチレン系フィルムが、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から選択されるフィルムであることを特徴とする、請求項１から請求項６のいずれかに記載の成形プレス用クッション材。
【請求項８】
成形プレス用クッション材の表面粗さ（Ｒａ）が、３μｍ以上で３０μｍ以下の粗さを有することを特徴とする、請求項１から請求項７のいずれかに記載の成形プレス用クッション材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、銅貼り積層板やフレキシブルプリント基板、セラミクス積層板などの精密機器部品を製造する工程で使用する成形プレス用クッション材（以下、単にクッション材と記す場合がある。）に係り、優れたクッション性を有するクッション材に関する。
【背景技術】
【０００２】  積層構造を有する製品（積層製品）は、たとえば、複数の熱盤の間に挟持され、この熱盤による熱プレスにより製造される。
この方法で製造される積層製品の一例は、次の通りである。なお、積層製品には、下記に示す例の他に多種多様な製品がある。
（１）プリント配線板の基板となる積層板
この積層板としては、クラフト紙とフェノール樹脂からなる紙フェノール積層板や、ガラス繊維の織布とエポキシ樹脂とからなるガラスエポキシ積層板などがある。
（２）プリント配線板
この積層板としては、基板の片面に導体パターンを形成した片面プリント配線板や、基板の両面に導体パターンを形成した両面プリント配線板、基板の外面だけでなく内部にも導体パターンを形成した多層プリント配線板などがある。
（３）フラットパネルディスプレイ：液晶ディスプレイ、エレクトロルミネセンスなどがある。
（４）半導体パッケージ：チップとほぼ同サイズのチップサイズパッケージ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ，ＣＳＰ）などがある。【０００３】  これらの各種積層製品（被成形体）を成形プレス装置で製造する工程では、熱盤と積層製品との間にクッション材が介在される。このクッション材は、熱盤と積層製品とが直接接しないようにクッション性を有するとともに、熱盤で発生する熱を積層製品の全面に均一に伝える機能を発揮する。【０００４】  このクッション材の具体的使用例を、図１に基づいて説明する。
図１は、両面プリント配線プリント板の製造装置における、積層板の成形プレスの一例を示す断面図である。図１に示す成形プレス装置では、対向配置される一対の熱盤４０と、一対の熱盤４０より内方側に配置される一対のクッション材Ｃと、一対のクッション材Ｃより内方側に配置される一対の鏡面板５０と、銅箔６０と、プリプレグ７０とが使用される。
最終的には、プリプレグ７０と銅箔６０とにより、両面プリント配線板（積層製品）が形成される。プリプレグ７０は、ガラスクロスにエポキシ樹脂が含浸され半キュアー状態とされている板材を、複数枚重ねることにより構成される。【０００５】  成形プレス装置では熱盤４０，４０により熱と圧力を加え、成形するのであるが、この時の成形条件は、エポキシ樹脂原料の配合などにより異なる。また、成形工程で使用されるクッション材の熱移動量（昇温速度：℃／ｍｉｎ）が製造条件に合致していないと、積層製品に物性差が生ずる虞があった。また、均一な積層製品を製造するためには、一定の圧力と熱を掛ける必要があるが、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一でなければならない。図１は、このような構成で熱盤４０とプリプレグ７０との間に平板のクッション材Ｃを介在させて、熱プレスが行われる。しかし、このような熱プレスが繰り返し行われると、熱盤４０及び／または鏡面板５０に当接するクッション材表面が平滑になり過ぎてしまい、クッション材Ｃが熱盤４０及び／または鏡面板５０に貼り付いてしまう現象が見られるようになってきた。
特に、クッション材がニードルパンチタイプの場合、クッション材表面の凹凸（ニードルパンチの針穴の凹凸）は、クッション材の繰り返し使用によって繊維の絡み合いが緩んでくることから、クッション材表面の粗さが減少し平滑化するため、熱盤４０及び／または鏡面板５０にクッション材が貼り付く現象が見られるようになってきた。【０００６】  つまり、繰り返し熱プレス回数（成形プレスの回数）が増えるほど、クッション材表面は平滑になるから、より貼り付き現象が増えるのである。クッション材Ｃが熱盤４０及び／または鏡面板５０に貼り付いてしまうと、それ以降の積層製品の製造を阻害するから、クッション材Ｃを交換しなければならない。【０００７】  ところで、現在市販されているクッション材は、ゴム、フェルト状（不織布）、ゴムとフェルトとの積層体など、さまざまな種類のものが使用されている。最近は均一な積層製品を製造することに注力されているが、クッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付いてしまう現象を回避できるクッション材が要求されている。【０００８】  従来から、成形プレス用クッション材としては、前記のニードルパンチで一体化されたフェルト状不織布を用いて、クッション性および熱伝達性を高めたものが特許文献１に記載されている。
例えば、このようなクッション材として、図２に示すものがある。図２において、クッション材Ｃ４は、基体１１Ｂと、基体１１Ｂの表裏にニードルパンチされたステープルファイバーのフェルト材１１Ａが２層、積層されているものからなる。
ここで、ステープルファイバーは、メタ系芳香族ポリアミドとポリベンザゾール繊維とにより構成されている。また、基体１１Ｂは、耐熱性繊維からなる経糸１１Ｂ１と緯糸１１Ｂ２とによる織布が使用されている。このクッション材によれば、プリント回路基板に多少の凹凸があっても、ある程度均一化して圧力を加えることができた。しかし、このクッション材を連続使用すると、熱盤及び／または鏡面板に接するクッション材表面の凹凸形状（ニードルパンチによる針穴の凹凸）が平滑化するため、クッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付いてしまう現象が見られた。【０００９】  また、従来の成形プレス用クッション材として、耐熱性ゴムからなるクッション材であって、芯材として耐熱性樹脂を含浸させたガラスクロスを用い、表面層にアルミニウム板を張り合わせたものが特許文献２に記載されている。このクッション材は、フレキシブルプリント基板の製造工程において、ポリイミド系フィルムを基材とするカバーレイフィルムをフレキシブル基板に圧着させる際に、配線部の凹凸に起因して生じるボイドの発生に対処できるが、このクッション材を使用しても、熱盤及び／または鏡面板に接するクッション材表面（ポリイミド系フィルムを基材とするカバーレイフィルム）の凹凸表面が、クッション材の連続使用に伴って平滑化するため、クッション材Ｃが熱盤及び／または鏡面板に貼り付いてしまう現象が見られた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−１４５５６７号公報
【特許文献２】特開平８−１４８８１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】  本発明は、上述した欠点に鑑み、成形プレス用クッション材として優れたクッション性と、しかも積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一であり、熱盤に当接するクッション材表面が平滑になり過ぎず、よってクッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付くことがない成形プレス用クッション材を提供する。
【問題点を解決するための手段】
【００１２】  本発明者が前記課題を解決し、優れたクッション性を有し、かつ熱を全面に均一に伝える、成形プレス用クッション材は、
（１）少なくとも１層以上のフェルト層を有する成形プレス用クッション材であって、前記フェルト層の両外周面に耐熱クロスを配置し、更にその両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として配置したことを特徴とする、成形プレス用クッション材である。
（２）前記フェルト層と耐熱クロスとの間にテトラフルオロエチレン系フィルムを配置させたことを特徴とする、（１）に記載の成形プレス用クッション材である。
（３）前記フェルト層が、パラ系芳香族ポリアミドのステープルファイバーまたはメタ系芳香族ポリアミドのステープルファイバーの何れか、またはこれらの混合したステープルファイバーを使用したフェルト層であることを特徴とする、（１）から（２）のいずれかに記載の成形プレス用クッション材である。
（４）前記耐熱クロスが、ガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミックス繊維から選択される繊維の織布（クロス）であることを特徴とする、（１）から（３）のいずれかに記載の成形プレス用クッション材である。
（５）前記耐熱クロスが、１００μｍ以上で３００μｍ以下の厚み、かつ質量が１００ｇ／ｍ２から３００ｇ／ｍ２の範囲を有することを特徴とする、（４）に記載の成形プレス用クッション材である。
（６）前記耐熱クロスが、１５０μｍ以上で２５０μｍ以下の厚み、かつ質量が１５０ｇ／ｍ２から２５０ｇ／ｍ２の範囲を有することを特徴とする、（４）に記載の成形プレス用クッション材である。
（７）前記テトラフルオロエチレン系フィルムが、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から選択されるフィルムであることを特徴とする、（１）から（６）のいずれかに記載の成形プレス用クッション材である。
（８）成形プレス用クッション材の表面粗さ（Ｒａ）が、３μｍ以上で３０μｍ以下の粗さを有することを特徴とする、（１）から（７）のいずれかに記載の成形プレス用クッション材である。
【００１３】  ここで、少なくとも１層以上のフェルト層とは、繊度１．０〜１０．０ｄｔｅｘ、好ましくは繊度１．０〜６．０ｄｔｅｘの耐熱性のステープルファイバーで、ニードルパンチによる繊維間の絡み合いで形成されたフェルト層を１層、または２層以上含むものである。
【００１４】  前記フェルト層は、基体となる織布または格子状素材を含んでいても良い。好ましくは、耐熱繊維からなる経糸と緯糸とを織製してなる織布にて構成されているものである。糸素材は、メタ系芳香族ポリアミド、パラ系芳香族ポリアミドのほか、全芳香族ポリエステル繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール（ＰＢＯ）繊維、ステンレス繊維などを適宜採用することが可能である。
また、基体は上記のように経糸と緯糸を織製した織布が強度上望ましいが、この織布のみならず、経糸と緯糸を単に重ね合わせた構成など、適宜採用することができる。
【００１５】  本品発明では、前記フェルト層と耐熱クロスとの間の接合は、耐熱性樹脂による接合（接着）が一般的に使用できるが、耐熱性樹脂としてテトラフルオロエチレン系フィルムを配置させて接合することができる。この場合、テトラフルオロエチレン系フィルムの配置は、前記フェルト層と耐熱クロスとの間の接合材の役割を果たす。
【００１６】  前記ステープルファイバー（短繊維）は、耐熱性のステープルファイバーである、パラ系芳香族ポリアミドのステープルファイバー及び／またはメタ系芳香族ポリアミドのステープルファイバーを含むもので、耐熱性のステープルファイバーと他のステープルファイバーとを混綿したものについて、耐熱性のステープルファイバーを少なくとも５０重量％以上含む概念である。
耐熱性のステープルファイバーの具体例としては、パラ系芳香族ポリアミド（ケブラー；商品名／デュポン製、トアロン；商品名／帝人製）のステープルファイバー、および／またはメタ系芳香族ポリアミド（コーネックス；商品名／帝人製、ノーメックス；商品名／デュポン製）のステープルファイバーをそれぞれ使用するか、またはそれぞれを一定量ずつ混合したステープルファイバーが好適に使用できる。
【００１７】  前記耐熱クロスとは、耐熱性と強度に優れ、化学的に安定したガラス長繊維などで織られた織布（例えばガラスクロス）であり、綾織や平織の組織が使用できる。繊維材料としてはガラス繊維、シリカ繊維、アルミナ繊維、セラミックス繊維から選択される繊維が使用できる。本発明では、より好ましくはガラスクロスが使用できる。
【００１８】  また、前記耐熱クロスは、厚みが１００μｍ以上で３００μｍ以下の範囲、かつ質量が１００ｇ／ｍ２から３００ｇ／ｍ２の範囲のものを使用することが出来る。より好ましくは、前記耐熱クロスが、１５０μｍ以上で２５０μｍ以下の厚み、かつ質量が１５０ｇ／ｍ２から２５０ｇ／ｍ２の範囲を有するものである。
耐熱クロスの厚みが１００μｍ未満で質量が１００ｇ／ｍ２未満のものは、熱盤に当接するクッション材表面が平滑になり過ぎることがあり、クッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付くことがある。また、耐熱クロスの厚みが３００μｍを超え質量も３００ｇ／ｍ２を超えるものは、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一にならない場合がある。
【００１９】  前記テトラフルオロエチレン系フィルムとは、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から選択されるフィルムであって、好ましくはフィルム厚みが２０μｍから１００μｍのものまで使用できる。フィルム厚みが２０μｍ未満のものは、耐熱クロスの凹凸がクッション材表面に大きく現れる場合があり、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一にならないことがある。またフィルム厚みが１００μｍを超えるものは、熱盤に当接するクッション材表面が平滑になり過ぎ、クッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付くことがある。
【００２０】  本発明のクッション材の構成は、片面側のレイアップで説明すると、フェルト層／耐熱クロス（例えばガラスクロス）／テトラフルオロエチレン系フィルム（表層材）の構成であるから、熱盤による温度と圧力に対するクッション性はフェルト層が受け持ち、熱盤及び／または鏡面板への貼り付き防止には、耐熱クロス（例えばガラスクロス）の表面凹凸（織布面の凹凸）が表層材であるテトラフルオロエチレン系フィルムの表面に現れるから、それが寄与している。
【００２１】  本発明では、より好ましい構成として、片面側のレイアップで説明すると、フェルト層／テトラフルオロエチレン系フィルム／耐熱クロス（例えばガラスクロス）／テトラフルオロエチレン系フィルム（表層材）の構成のように、フェルト層と耐熱クロス（例えばガラスクロス）との間にテトラフルオロエチレン系フィルムを接合材として配置することができる。つまり、この構成では、フェルト層の両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを介して耐熱クロス（例えばガラスクロス）を配置し、更にその両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として配置したことを特徴とする。フェルト層と耐熱クロス（例えばガラスクロス）とはテトラフルオロエチレン系フィルムを介して接合している。また、耐熱クロス（例えばガラスクロス）の外周面にもテトラフルオロエチレン系フィルムが接合しクッション材の表層材として配置しているものである。
【発明の効果】
【００２２】  本発明のクッション材の使用によって、積層製品（被成形体）を繰り返し加熱プレス成形する際に、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一であり、熱盤または鏡面板に当接するクッション材表面が平滑になり過ぎず、よってクッション材が熱盤及び／または鏡面板に貼り付くことがない。
本発明のクッション材では、成形プレス装置で繰り返し使用される期間は、クッション材の両外周面（表裏面）の粗さ（Ｒａ）が３μｍから３０μｍであることが好ましい。粗さ（Ｒａ）が３μｍ未満では、クッション材表面が平滑になり過ぎ熱盤または鏡面板に貼り付いてしまうことがある。また、粗さ（Ｒａ）が３０μｍを超えた場合は、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一にならない場合がある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】積層板の成形プレスの例を示す。
【図２】従来の成形プレス用クッション材を示す。
【図３】本発明の成形プレス用クッション材の態様の例を示す。
【図４】本発明の成形プレス用クッション材の別の態様の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２４】  本発明の基本構成は、少なくとも１層以上のフェルト層を有する成形プレス用クッション材であって、前記フェルト層の両外周面に耐熱クロスを配置し、更にその両外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として配置したことを特徴とする、成形プレス用クッション材である。
【００２５】  ここで、本発明に係る実施の態様を、図３に基づき説明する。
図３において、１０は本発明のクッション材であり、基体１０Ｂと、基体１０Ｂの熱盤側面１Ｅに第１のフェルト層１Ａと、その反対側に第２のフェルト層１Ｂと、第１のフェルト層１Ａの外周面に第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｃと、第２のフェルト層１Ｂの外周面に第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｄとが配置している。第１のフェルト層１Ａと第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｃとの接合、および第２のフェルト層１Ｂと第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｄとの接合は、耐熱性樹脂による接合（接着）が使用できる。
そして、第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｃと第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｄとには、それぞれその外周面に表層材として、テトラフルオロエチレン系フィルムＰ１とＰ２とが配置している。
このようなクッション材１０は、熱盤に当接するクッション材表面１Ｅと、鏡面板に当接するクッション材表面２Ｅとで構成されている。
【００２６】  なお、図３におけるクッション材１０は、第１のフェルト層１Ａと第２のフェルト層１Ｂとが、基体１０Ｂに接合している。図３の本発明では、基体１０Ｂの外周面に耐熱性のステープルファイバーの短繊維をニードルパンチして、第１のフェルト層１Ａと第２のフェルト層１Ｂとをそれぞれ基体１０Ｂに接合している。しかし、基体１０Ｂを使用せずに、前もって耐熱性のステープルファイバーの短繊維をニードルパンチして成るフェルト層を１層または複数層を使用することができる。
【００２７】  一方、図３において、第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｃと第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｄの両外周面には、テトラフルオロエチレン系フィルムＰ１とＰ２とが配置された構成になっているが、テトラフルオロエチレン系フィルムは、その溶融温度以上で熱プレスすることで第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｃと第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）１Ｄの両外周面に接合することができる。
【００２８】  さらに本発明に係る実施の別の態様を、図４に基づき説明する。
図４において、２０は本発明のクッション材であり、基体１０Ｂと、基体１０Ｂの熱盤側面１Ｅに第１のフェルト層２１Ａと、その反対側に第２のフェルト層２１Ｂと、第１のフェルト層２１Ａの外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムＰ３を介して第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）２１Ｃと、第２のフェルト層２１Ｂの外周面にテトラフルオロエチレン系フィルムＰ４を介して第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）２１Ｄとが配置している。
そして、第１の耐熱クロス（例えばガラスクロス）２１Ｃと第２の耐熱クロス（例えばガラスクロス）２１Ｄとには、それぞれその外周面に表層材として、テトラフルオロエチレン系フィルムＰ１とＰ２とが配置している。
このようなクッション材２０は、熱盤に当接するクッション材表面１Ｅと、鏡面板に当接するクッション材表面２Ｅとで構成されている。
【００２９】  なお、図４におけるクッション材２０は、第１のフェルト層２１Ａと第２のフェルト層２１Ｂとが、基体１０Ｂに接合している。図４の本発明では、基体１０Ｂの外周面に耐熱性のステープルファイバーの短繊維をニードルパンチして、第１のフェルト層２１Ａと第２のフェルト層２１Ｂとをそれぞれ基体１０Ｂに接合している。しかし、基体１０Ｂを使用せずに、前もって耐熱性のステープルファイバーの短繊維をニードルパンチして成るフェルト層を１層または複数層を使用することができる。
【００３０】  一方、図４において、第１のフェルト層２１Ａと第２のフェルト層２１Ｂの両外周面には、テトラフルオロエチレン系フィルムＰ３とＰ４とが配置された構成になっている。
テトラフルオロエチレン系フィルムは、その溶融温度以上で熱プレスすることで第１のフェルト層２１Ａと第２のフェルト層２１Ｂの両外周面に接合することができる。
あるいは、予め耐熱クロス（例えばガラスクロス）の両外周面に２枚のテトラフルオロエチレン系フィルムを熱プレスして接合した後で、前記ガラスクロスをフェルト層の外周面に接合することもできる。
【実施例】
【００３１】  以下、本発明の成形プレス用クッション材について、実施例を用いてさらに詳しく説明するが、これらは本発明を何ら限定するものではない。
まず、実施例および比較例において、次の構成は全て共通のものを使用した。
（１）クッション材に配置される基体：
・メタ系芳香族ポリアミドのスパン糸［６ｄｔｅｘ（デシテックス）の５０ｍｍカット長の短繊維からなるスパン糸］で織製した織布を使用した。なお具体的な繊維としては、コーネックス（商品名／帝人製）を使用した。織布の質量は２００ｇ／ｍ２であった。
（２）ニードルパンチの条件
・フェルト層の作成；前記織布の両外周面（表裏）に、パラ系芳香族ポリアミドであるケブラー（商品名／デュポン製）のステープルファイバーで２ｄｔｅｘ（デシテックス）の５０ｍｍカット長の短繊維を使用し、１稜当たり６バーブの針を使用して、ニードルパンチ回数を５０回／ｃｍ２に設定してフェルト層を設けた。よって、織布の質量２００ｇ／ｍ２と表面側フェルト質量２５０ｇ／ｍ２と裏面側フェルト質量２５０ｇ／ｍ２とで、合計質量が７００ｇ／ｍ２のフェルト層となる。
・上記のニードルパンチを施したあと、更に前記フェルト層の両外周面（表裏）にメタ系芳香族ポリアミドであるコーネックス（商品名／帝人製）のステープルファイバーで２ｄｔｅｘ（デシテックス）の５０ｍｍカット長の短繊維を使用し、１稜当たり６バーブの針を使用して、ニードルパンチ回数を５０回／ｃｍ２に設定して、追加のフェルト層を設けた。追加のフェルト層は表面側に質量１５０ｇ／ｍ２と裏面側に質量１５０ｇ／ｍ２とが追加されて、合計質量が１０００ｇ／ｍ２のフェルト層となった。
・  上記のニードルパンチを施したあと、更に前記フェルト層の両外周面（表裏）を、２    稜当たり１８バーブの針を使用して、ニードルパンチ回数を８０回／ｃｍ２に設定し    て、仕上げのニードルパンチを施して、本発明のフェルト層を作成した（合計質量は    １０００ｇ／ｍ２）。
【実施例１】
【００３２】  前記フェルト層の両外周面（表裏）にフッ素ゴム系接着剤を塗布し、続いてその表裏に耐熱クロスとしてガラスクロスを接合し、更にその表裏にテトラフルオロエチレン系フィルムを表層材として、この順序に配置して実施例１の成形プレス用クッション材を作成した。なお、テトラフルオロエチレン系フィルムおよびガラスクロスの詳細と、配置後の加工条件は下記のとおりである。
・  テトラフルオロエチレン系フィルム（表層材）；テトラフルオロエチレン・ヘキサフ    ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）で厚み２５μｍ。
・  ガラスクロス；質量２００ｇ／ｍ２で厚み２００μｍ。
加工条件；前記成形プレス用クッション材を２８０℃で加圧１０ｋｇ／ｃｍ２、時間２０分間の熱プレスを実施した。
【実施例２】
【００３３】  実施例１のフッ素ゴム系接着剤に代えて、テトラフルオロエチレン系フィルム（ＦＥＰ）で厚み２５μｍのものを接合材として配置し、その他は同じ条件で実施例２の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例３】
【００３４】  実施例２の表層材テトラフルオロエチレン系フィルム（ＦＥＰ）を厚み５０μｍに代え、その他は同じ条件で実施例３の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例４】
【００３５】  実施例２の表層材テトラフルオロエチレン系フィルム（ＦＥＰ）を厚み１００μｍに代え、その他は同じ条件で実施例４の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例５】
【００３６】  実施例２のガラスクロスを質量１５０ｇ／ｍ２で厚み１５０μｍに代え、その他は同じ条件で実施例５の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例６】
【００３７】  実施例２のガラスクロスを質量２５０ｇ／ｍ２で厚み２５０μｍに代え、その他は同じ条件で実施例６の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例７】
【００３８】  実施例２のガラスクロスを質量１００ｇ／ｍ２で厚み１００μｍに代え、その他は同じ条件で実施例７の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例８】
【００３９】  実施例２のガラスクロスを質量３００ｇ／ｍ２で厚み３００μｍに代え、その他は同じ条件で実施例８の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例９】
【００４０】  実施例２の表層材テトラフルオロエチレン系フィルムを、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）で厚み２５μｍに代え、その他は同じ条件で実施例９の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例１０】
【００４１】  実施例２の表層材テトラフルオロエチレン系フィルムを、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）で厚み２５μｍに代え、加工条件の内、加熱温度を３１５℃に変えた。その他は同じ条件で実施例１０の成形プレス用クッション材を作製した。
【実施例１１】
【００４２】  実施例２の表層材テトラフルオロエチレン系フィルムを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）で厚み２５μｍに代え、加工条件の内、加熱温度を３３０℃に変えた。その他は同じ条件で実施例１１の成形プレス用クッション材を作製した。【００４３】（比較例１）
前記フェルト層の表裏に、表層材としてテトラフルオロエチレン系フィルムを配置して比較例１の成形プレス用クッション材を作成した。なお、テトラフルオロエチレン系フィルムと、配置後の加工条件は下記のとおりである。
・  テトラフルオロエチレン系フィルム（表層材）；テトラフルオロエチレン・ヘキサフ    ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）で厚み２５μｍ。
加工条件；前記比較例１の成形プレス用クッション材を２８０℃で加圧１０ｋｇ／ｃｍ２、時間２０分間の熱プレスを実施した。【００４４】（比較例２）
前記フェルト層の表裏に、接合材としてテトラフルオロエチレン系フィルムの厚み２５μｍのもの、およびガラスクロスを、この順序に配置して比較例２の成形プレス用クッション材を作成した。なお、テトラフルオロエチレン系フィルムおよびガラスクロスの詳細と、配置後の加工条件は下記のとおりである。
・  テトラフルオロエチレン系フィルム（接合材）；テトラフルオロエチレン・ヘキサフ    ルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）で厚み２５μｍ。
・  ガラスクロス；質量２００ｇ／ｍ２で厚み２００μｍ。
加工条件；前記成形プレス用クッション材を２８０℃で加圧１０ｋｇ／ｃｍ２、時間２０分間の熱プレスを実施した。【００４５】  これらの実施例と比較例で作製したサンプルを、図１に示すものと同様の構造を有する試験機を用いて、クッション材の性能を測定した。なお、クッション材は、温度１９０℃、加圧４０ｋｇ／ｃｍ２を６０分保持し、その後水冷１５分、加圧開放１５分を１サイクルとし、これを３００サイクル繰り返し、プレス回数毎に次の測定を実施した。
・  クッション変位量（μｍ）の測定：１８０℃の加熱下において、０．２ｋｇにてプレ    スした場合と、５０ｋｇにてプレスした場合のクッション材の厚みを測定した。そし    て、５０ｋｇ時から０．２ｋｇ時の差を求め、クッション変位量（μｍ）とした。評    価としては、クッション量が３００μｍ以上を「優れる」、２００μｍ以上で３００    μｍ未満を「良好」、２００μｍ未満を「不良」とした。
・  表面粗さ（μｍ）の測定：クッション材の外周面の粗さ（Ｒａ）を測定した。評価と    しては、粗さ（Ｒａ）が３μｍ以上で３０μｍ以下を「適合」、それ以外を「不適合    」とした。
・  貼り付きの有無：熱盤または鏡面板に貼り付くか否か、目視で貼り付きの有無を確認    した。貼り付きがないものを「優れる」、貼り付きがあっても５秒以下で剥がれるも    のを「良好」、５秒以上貼り付くか、または密着して剥がれないものを「不良」とし    た。【００４６】  上記の試験機を用いたクッション材の性能の結果を、表に示す。このことから、本発明に係る実施例においては、クッション材として優れたクッション性と貼り付き防止効果を有することが確認された。
粗さ（Ｒａ）が３μｍ未満の比較例１では、クッション材表面が平滑になり過ぎ熱盤及び鏡面板に貼り付いてしまった。また、粗さ（Ｒａ）が３０μｍを超えた比較例２では、積層板に加える熱と圧力がクッション材の全面において均一にならなかった。【００４７】
【表】
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【符号の説明】
【００４８】１０、２０  ：  クッション材
１０Ｂ  ：  基体
１Ａ、１Ｂ、２１Ａ、２１Ｂ  ：  フェルト層
１Ｃ、１Ｄ、２１Ｃ、２１Ｄ  ：  耐熱クロス
１Ｅ  ：  クッション材の熱盤側面
２Ｅ  ：  クッション材の鏡面板側面
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４  ：  テトラフルオロエチレン系フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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